(57)【要約】      （修正有）【課題】気密性に優れた気体注入逆止弁及び気体注入逆止弁を備えた精密部材収納装置を提供する。【解決手段】気体注入逆止弁は、第１及び第２弾性部材２２、２８を利用して上下バルブ２３、２６にそれぞれ弾性力を提供して付勢し、そのうち上下バルブ２３、２６が相互に一組として結合され、外力（気体注入装置の移動）により気体注入逆止弁２の移動制御部２７を制御して、第２弾性部材２８の下バルブ２６に対する弾性力の作用を除去することで、上下バルブ２３、２６より形成されるバルブの制御を容易にし、気体がバルブに進入しやすくする。【選択図】図６
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
気体注入逆止弁であって、上蓋部と下蓋部を含み、前記上蓋部が上蓋固定部、第１弾性部材、上バルブ、蓋体を含み、そのうち前記第１弾性部材が前記上バルブと前記蓋体の間に介在され、かつ前記第１弾性部材の弾性力により前記上バルブが付勢され、
前記下蓋部が下蓋固定部、第２弾性部材、移動制御部、下バルブを含み、そのうち前記移動制御部が突出部を備え、かつ前記第２弾性部材と前記下バルブの間に介在され、前記第２弾性部材の弾性力により前記移動制御部が付勢され、前記移動制御部を介して前記第２弾性部材の弾性力により前記下バルブが付勢され、
そのうち、前記上蓋固定部と前記下蓋固定部が相互に結合され、前記蓋体が前記上蓋固定部上に嵌合され、前記第１弾性部材、前記上バルブ、前記第２弾性部材、前記移動制御部、前記下バルブが前記上蓋固定部と前記下蓋固定部の内部に配置され、かつ前記移動制御部の前記突出部が前記下蓋固定部の外に突出し、前記移動制御部の前記突出部が外力によって移動されると、前記下バルブが受ける前記第２弾性部材からの弾性力の作用が除去されることを特徴とする、気体注入逆止弁。
【請求項２】
前記上バルブが下に向かって延伸された第１柱体を備え、かつ前記下バルブが上に向かって延伸された第２柱体を備え、前記第１柱体と前記第２柱体が相互に結合され、気体の入出を制御するバルブが形成されることを特徴とする、請求項１に記載の気体注入逆止弁。
【請求項３】
前記上バルブと前記下バルブが一体成型から成ることを特徴とする、請求項２に記載の気体注入逆止弁。
【請求項４】
前記第２弾性部材が弾性片であることを特徴とする、請求項１に記載の気体注入逆止弁。
【請求項５】
前記弾性片と前記移動制御部が一体として結合されたことを特徴とする、請求項３に記載の気体注入逆止弁。
【請求項６】
前記第２弾性部材がバネであり、かつ前記移動制御部がさらに溝部を含み、前記溝部が前記バネに対応し、前記バネの一部が前記溝部に嵌入されることを特徴とする、請求項１に記載の気体注入逆止弁。
【請求項７】
気体注入逆止弁を備えた精密部材収納装置であって、そのうち前記精密部材収納装置が、開口を備えた収納本体と、前記開口に対応して前記開口を密封するカバー体を含み、そのうち前記カバー体または前記収納本体に少なくとも１つの貫通孔が設けられ、前記気体注入逆止弁が前記貫通孔に嵌合され、気体の入出を制御し、
そのうち前記気体注入逆止弁が、上蓋部と下蓋部を含み、前記上蓋部が上蓋固定部、第１弾性部材、上バルブ、蓋体を含み、前記第１弾性部材が前記上バルブと前記蓋体の間に介在され、かつ前記第１弾性部材の弾性力により前記上バルブが付勢され、
前記下蓋部が下蓋固定部、第２弾性部材、移動制御部、下バルブを含み、前記移動制御部が突出部を備え、かつ前記第２弾性部材と前記下バルブの間に介在され、前記第２弾性部材の弾性力により前記移動制御部が付勢され、前記移動制御部を介して前記第２弾性部材の弾性力により前記下バルブが付勢され、
そのうち、前記上蓋固定部と前記下蓋固定部が相互に結合され、前記蓋体が前記上蓋固定部上に嵌合され、前記第１弾性部材、前記上バルブ、前記第２弾性部材、前記移動制御部、前記下バルブが前記上蓋固定部と前記下蓋固定部の内部に配置され、かつ前記移動制御部の前記突出部が前記下蓋固定部の外に突出し、前記移動制御部の前記突出部が外力によって移動されると、前記下バルブが受ける前記第２弾性部材からの弾性力の作用が除去されることを特徴とする、精密部材収納装置。
【請求項８】
前記上バルブが下に向かって延伸された第１柱体を備え、かつ前記下バルブが上に向かって延伸された第２柱体を備え、前記第１柱体と前記第２柱体が相互に結合され、気体の入出を制御するバルブが形成されることを特徴とする、請求項７に記載の精密部材収納装置。
【請求項９】
前記上バルブと前記下バルブが一体成型から成ることを特徴とする、請求項８に記載の精密部材収納装置。
【請求項１０】
前記第２弾性部材が弾性片であり、かつ前記弾性片と前記移動制御部が一体として結合されたことを特徴とする、請求項７に記載の気体注入逆止弁。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は気体注入逆止弁及び気体注入逆止弁を備えた精密部材収納装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現今の半導体精密部材の製造プロセスは多くが複数の処理室に区分されており、精密部材収納装置を利用して各処理腔体間で精密部材を搬送している。
【０００３】
精密部材の保存と輸送の過程において汚染のない清潔な状態を保ち、精密部材と大気の接触を隔絶するために、精密部材収納装置中に気体を注入することが現在の解決手段の１つである。
【０００４】
このため、現在市販されている精密部材収納装置には逆止弁が設置されており、精密部材収納装置に注入された気体が外部に漏れ出ないようにしている。逆止弁の原理はバネと弁を利用しており、バネの弾性力で弁を押さえている。気体を注入するときは、注入の力がバネの弾性力より大きいため、弁を押し動かして気体注入の目的を達することができ、精密部材収納装置内に窒素ガスなどの気体を充満させることができる。
【０００５】
一般に気体注入装置は気体を精密部材収納装置に提供するとき、気体注入の推力があまり大きくないが、逆止弁のバネの弾性力より大きければよい。しかし、逆止弁のバネの弾性力も大きすぎてはならず、さもないと気体注入時の推力で弁を完全に開かせることができず、精密部材収納装置内の気体が不足して、精密部材を清潔に保つという効果を達成できなくなる。
【０００６】
しかしながら、逆止弁のバネの弾性力を低くすると、精密部材収納装置を利用して各処理室間で搬送を行う過程で、揺れや振動によって容易に逆止弁のバネが開いてしまい、異常な弁の開放によって精密部材収納装置の気体が漏れ出してしまうことがある。
【０００７】
これに鑑み、気密性に優れた気体注入逆止弁及び気体注入逆止弁を備えた精密部材収納装置の提供が必要である。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００８】
本考案の目的は、気密性に優れた気体注入逆止弁及び気体注入逆止弁を備えた精密部材収納装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本考案の精密部材収納装置は、収納本体、カバー体、少なくとも１つの気体注入逆止弁を含み、収納本体は開口を備え、カバー体が前記開口に対応して精密部材収納装置の開口を密封し、収納本体またはカバー体上に貫通孔が設けられ、前記気体注入逆止弁が前記貫通孔に嵌合され、気体の入出を制御する。
【００１０】
本考案の気体注入逆止弁は、上蓋部と下蓋部を含み、前記上蓋部が上蓋固定部、第１弾性部材、上バルブ、蓋体を含み、前記第１弾性部材が上バルブと蓋体の間に介在され、かつ第１弾性部材の弾性力により上バルブが付勢され、前記下蓋部が下蓋固定部、第２弾性部材、移動制御部、下バルブを含み、前記移動制御部が前記第２弾性部材と下バルブの間に介在され、かつ第２弾性部材の弾性力により移動制御部が付勢され、前記移動制御部を介して前記第２弾性部材の弾性力により前記下バルブが付勢される。前記移動制御部は突出部を備えている。
【００１１】
上蓋固定部と下蓋固定部は相互に結合され、蓋体が上蓋固定部上に嵌合され、第１弾性部材、上バルブ、第２弾性部材、移動制御部、下バルブが上蓋固定部と下蓋固定部の内部に配置される。前記移動制御部の突出部が下蓋固定部の外に突出し、移動制御部の突出部が外力によって移動されると、下バルブが受ける第２弾性部材からの弾性力の作用が除去される。
【００１２】
上バルブは下に向かって延伸された第１柱体を備え、かつ下バルブは上に向かって延伸された第２柱体を備え、前記第１柱体と前記第２柱体が相互に結合され、気体の入出を制御するバルブが形成される。
【００１３】
一実施例において、上バルブと下バルブは一体成型から成る。
【００１４】
第２弾性部材はバネであり、かつ移動制御部はさらに溝部を含み、前記溝部がバネに対応し、バネの一部が溝部に嵌入される。
【００１５】
このほか、第２弾性部材は弾性片としてもよく、前記弾性片と移動制御部が一体として結合される。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本考案の精密部材収納装置の立体分解図である。
【図２】本考案の気体注入逆止弁の立体図である。
【図３】本考案の気体注入逆止弁の立体分解図である。
【図４】図３の別の角度からの立体分解図である。
【図５】図２の断面図である。
【図６】図５の気体注入装置が気体注入逆止弁に作用している状態の断面図である。
【図７】図６の矢印の方向への気体の流動を示す断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１７】
審査官が本考案の技術内容をより理解することができるように、以下特別にいくつかの具体的な最良の実施例を挙げて説明する。以下で述べる上、下、左、右等の方向は相対的位置を説明するために用いるのみであり、本考案を限定しない。また、図面に示す部材の数量も例を挙げて説明するために用いるのみであり、本考案を限定しない。
【００１８】
まず図１と図２に示すように、本考案の提供する精密部材収納装置は、収納本体１、カバー体３、少なくとも１つの気体注入逆止弁２を含む。収納本体１は開口１２を備えている。カバー体３は前記開口１２に対応し、カバー体３は精密部材収納装置の開口１２を密封することができる。図１に示すように、収納本体１上に貫通孔１１が設けられ、気体注入逆止弁２が前記貫通孔１１に嵌合され、気体の入出を制御する(以下で詳細に説明する)。ここで理解すべきは、気体注入逆止弁２が嵌設された貫通孔１１は、カバー体３に設けてもよいことである(図示しない)。貫通孔１１の設置位置及び数量は搭載ポート(ｌｏａｄ  ｐｏｒｔ)の気体注入装置５０(図５に示す)に対応する。
【００１９】
図３と図４を同時に参照する。本考案の気体注入逆止弁２は、上蓋部２０ａと下蓋部２０ｂを含む。上蓋部２０ａは上蓋固定部２４、第１弾性部材２２、上バルブ２３、蓋体２１を含む。第１弾性部材２２は上バルブ２３と蓋体２１の間に介在され、第１弾性部材２２の弾性力により上バルブ２３が付勢される。本実施例において、第１弾性部材２２はバネであり、前記バネ２２の一部が上バルブ２３の固定溝２３１に嵌入され、これによりバネ２２が固定される。
【００２０】
蓋体２１は蓋体本体２１１、フィルタ２１２、隔離網２１３を含む。フィルタ２１２及び隔離網２１３は従来のフィルタ及び隔離網と同じであるため、ここでは説明を省略する。気密性を高めるために、上バルブ２３と上蓋固定部２４の間にパッキン２９を設置することができる。蓋体本体２１１を上蓋固定部２４に被せて結合させることで、フィルタ２１２、隔離網２１３、第１弾性部材２２、上バルブ２３、パッキン２９等の部材が蓋体本体２１１と上蓋固定部２４の間に固定される。
【００２１】
下蓋部２０ｂは下蓋固定部２５、第２弾性部材２８、移動制御部２７、下バルブ２６を含む。移動制御部２７は第２弾性部材２８と下バルブの間に介在され、第２弾性部材２８の提供する弾性力により移動制御部２７が付勢され、かつ移動制御部２７を介して第２弾性部材２８の弾性力により下バルブ２６が同時に付勢される。第２弾性部材２８はバネとすることが好ましく、かつ移動制御部２７はさらに溝部２７２を含み、溝部２７２がバネ２８に対応し、バネ２８の一部が溝部２７２に嵌入され、これによりバネ２８が固定される。このほか、別の実施例において、第２弾性部材２８は弾性片としてもよい。弾性片と移動制御部２７は一体として結合され(図示しない)、例えば移動制御部２７上側の周囲に上方向に持ち上がった複数のプラスチック片を設計してもよい(図示しない)。
【００２２】
好ましくは、上バルブ２３は下方向に延伸された第１柱体２３０を備え、かつ下バルブ２６は上方向に延伸された第２柱体２６０を備え、第１柱体２３０が第２柱体２６０内に挿入されて相互に結合され、気体の入出を制御するバルブが形成される(以下で詳細に説明する)。上バルブ２３と下バルブ２６は本図面において２つの個別の部材であるが、実際には、金型射出成型で可能であれば上バルブ２３と下バルブ２６を一体成型した単一部材(ｏｎｅ  ｐｉｅｃｅ)としてもよい。
【００２３】
上蓋固定部２４と下蓋固定部２５は相互に結合され、蓋体２１が上蓋固定部２４上に嵌合され、これにより第１弾性部材２２、上バルブ２３、第２弾性部材２８、移動制御部２７、下バルブ２６が上蓋固定部２４と下蓋固定部２５の内部に固定される。
【００２４】
同時に図５を参照する。以下で本考案の気体注入逆止弁２を利用した気体の入出の制御を説明する。気体注入装置５０がまだ本考案の気体注入逆止弁２に接触していないとき、第１弾性部材２２と第２弾性部材２８により提供される弾性力(いずれも下方向への弾性力)により、上バルブ２３と下バルブ２６が形成するバルブが下方向に上蓋固定部２４の底面と下蓋固定部２５の底面にそれぞれ緊密に当接され、かつ上バルブ２３には通気孔が設けられていないため、精密部材収納装置(図１参照)内の気体が(下方向に)外部に漏れ出ることがない。このとき第２弾性部材２８の提供する弾性力を受けて、移動制御部２７の突出部２７１は下方向に延伸されて下蓋固定部２５の穿通孔２５１に穿通され、下蓋固定部２５の外に突出する。
【００２５】
図６を参照する。精密部材収納装置の内部に気体を注入したいときは、気体注入装置５０を矢印の方向に沿って移動させ、移動制御部２７の突出部２７１が気体注入装置５０の推力を受けて移動されると、下バルブ２６が受ける第２弾性部材２８の弾性力の作用が除去される。
【００２６】
このとき、図７に示すように、気体注入装置５０が期待の注入を行う際、進入する気体の力に第１弾性部材２２の弾性力を克服する必要がありさえすれば、(矢印で示すように)気体が下蓋固定部２５の気体進入口２５０を経由し、下バルブ２６の気体進入口２６１、移動制御部２７の気体進入口２７０、上蓋固定部２４ の気体進入口２４０、蓋体２１を通って精密部材収納装置の内部に到達できる(気体進入口については図４の符号を参照)。
【００２７】
本考案の移動制御部と第２弾性部材の作用により、本来第１弾性部材の弾性力のみを受けて制御されるバルブに第２弾性部材の弾性力による圧迫が加わるため、精密部材収納装置の運搬過程において、揺れによる気体の漏出が発生しにくくなる。かつ、移動制御部を利用して第２弾性部材を制御するため、気体注入装置の気体進入力も大きすぎる必要はなく、気体注入不足の問題がない。
【００２８】
上述をまとめると、本考案はその目的、手段及び効果のいずれも従来技術とは異なる特徴があるため、審査官には明察の上早期に実用新案登録を許可していただき、社会が恩恵を受けられるよう願うものである。上述のいくつかの実施例は説明のために例を挙げたまでであり、本考案の主張する権利範囲は実用新案登録請求の範囲に準じ、上述の実施例に限定されないことに注意が必要である。
【符号の説明】
【００２９】
１        収納本体 
１１      貫通孔 
１２      開口
２        気体注入逆止弁 
２０ａ    上蓋部
２０ｂ    下蓋部 
２１      蓋体 
２１１    蓋体本体 
２１２    フィルタ
２１３    隔離網 
２２      第１弾性部材 
２３      上バルブ
２３０    第１柱体 
２３１    固定溝
２４      上蓋固定部
２５      下蓋固定部
２５０    気体進入口 
２５１    穿通孔
２６      下バルブ
２６０    第２柱体
２７      移動制御部 
２７１    突出部
２６１、２７０、２４０    気体進入口 
２７２    溝部 
２８      第２弾性部材
２９      パッキン
３        カバー体
５０      気体注入装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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