(57)【要約】  半導体デバイスが、デバイスの単一の主要表面（面）を覆って堆積された圧縮層及び引張層の両方を有する基板を有する。引張層は、デバイスの基板上に直接堆積されてよく、圧縮層は引張層を覆っている。遷移材料が、引張層と圧縮層との間に配置されてもよい。遷移材料は、引張層及び圧縮層の一方又は両方の成分を含む化合物であってもよい。特定の実施形態では、引張材料は窒化ケイ素であってよく、圧縮層は酸化ケイ素であってよく、遷移材料は引張窒化ケイ素層の表面を酸化することによって形成されるシリコンオキシ窒化物であってもよい。デバイスの同一面上に引張層と圧縮層の両方を堆積させることによって、反対側の主面（面）は処理のために自由となる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイスであって：
基板；
前記基板の主要表面を覆う引張層；
前記主要表面を覆う圧縮層；
を含み、
前記引張層及び前記圧縮層の両方が、前記基板に力を加えて、前記基板が湾曲しないよう保持する、半導体デバイス。
【請求項２】
前記引張層と前記圧縮層との間に中間層をさらに備え、
前記中間層は前記引張層と前記圧縮層との間で応力を伝達する、請求項１に記載の半導体デバイス。
【請求項３】
前記中間層が前記圧縮層及び前記引張層よりも薄い、請求項２に記載の半導体デバイス。
【請求項４】
前記中間層が前記圧縮層又は前記引張層の酸化表面である、請求項２に記載の半導体デバイス。
【請求項５】
前記引張層は、前記圧縮層よりも前記基板に近接している、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の半導体デバイス。
【請求項６】
前記引張層は、窒化ケイ素層であり、
前記圧縮層は、酸化ケイ素層である、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の半導体デバイス。
【請求項７】
引張層と圧縮層との間の中間層をさらに備え；
前記中間層は、シリコンオキシ窒化物層である、請求項６に記載の半導体デバイス。
【請求項８】
前記引張層の引張力が、前記圧縮層の圧縮力にバランスをとる、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の半導体デバイス。
【請求項９】
半導体デバイスを製造する方法であって：
当該半導体デバイスの基板の主要表面を覆う引張層を堆積するステップ；
前記主要表面を覆う圧縮層を堆積するステップ；
を含み、
前記引張層及び前記圧縮層の両方が、前記基板に力を加えて、前記基板が湾曲しないよう保持する、方法。
【請求項１０】
前記圧縮層を堆積するステップの前に、前記引張層を堆積するステップが生じ、
前記圧縮層は前記引張層の上に堆積される、ことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記引張層と前記圧縮層との間に中間層を形成するステップをさらに含む、請求項９又は１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記引張層を堆積するステップの後、前記圧縮層を堆積するステップの前に、前記中間層が形成される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記中間層は、前記引張層の表面を酸化することによって形成される、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記引張層を堆積するステップは、窒化ケイ素を堆積するステップを含む、請求項１１乃至１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
前記窒化ケイ素を堆積するステップは、物理蒸着によって前記窒化ケイ素を堆積するステップを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記窒化ケイ素を堆積するステップは、前記窒化ケイ素の柱状堆積を含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
前記中間層を形成するステップは、前記窒化ケイ素の表面を酸化して、シリコンオキシ窒化物を形成する酸化ステップを含む、請求項１４乃至１６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
前記酸化ステップは、前記窒化ケイ素の表面を空気に曝すことを含む、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記圧縮層を堆積するステップは、前記シリコンオキシ窒化物の上に酸化ケイ素を堆積するステップを含む、請求項１７又は１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記酸化ケイ素を堆積するステップは、物理蒸着によって前記酸化ケイ素を堆積するステップを含む、請求項１９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、偏向を防止する機構を備える半導体デバイスの分野におけるものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスでは、デバイスが湾曲しないように保持することが望ましい。湾曲を防止する１つのアプローチは、半導体ウェハの両側（主表面）に材料を堆積させることであった。例えば、前面及び後面の両方に圧縮応力材料を堆積させることが、応力のバランスをとり、湾曲を防止する。しかしながら、材料を両方の主要表面上に堆積することは、必ずしも望ましくないし、実用的でもない。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
半導体デバイスが、基板の一表面上に中立偏向二重層を有し、引張層及び圧縮層を有する。
【０００４】
半導体デバイスが、基板の一表面上に窒化シリコン引張層を有し、該窒化シリコン層の酸化された表面上に酸化シリコン圧縮層を備える。
【０００５】
本発明の一態様によれば、半導体デバイスは、  基板；  前記基板の主要表面を覆う引張層；
前記主要表面を覆う圧縮層；を含み、前記引張層及び前記圧縮層の両方が、前記基板に力を加えて、前記基板が湾曲しないよう保持する。
【０００６】
本概要のパラグラフの一実施形態によれば、デバイスは、前記引張層と前記圧縮層との間に中間層をさらに備える。
【０００７】
本概要の任意のパラグラフの実施形態によれば、前記中間層は前記引張層と前記圧縮層との間で応力を伝達する。
【０００８】
本概要の任意のパラグラフの実施形態によれば、前記中間層が前記圧縮層及び前記引張層よりも薄い。
【０００９】
本概要の任意のパラグラフの実施形態によれば、前記中間層が前記圧縮層又は前記引張層の酸化表面である。
【００１０】
本概要の任意のパラグラフの実施形態によれば、前記引張層は、前記圧縮層よりも前記基板に近接している。
【００１１】
本概要の任意のパラグラフの実施形態によれば、前記引張層は、窒化ケイ素層である。
【００１２】
本概要のパラグラフの実施形態によれば、前記圧縮層は、酸化ケイ素層である。
【００１３】
本概要のパラグラフのいずれかの実施形態によれば、前記中間層は、シリコンオキシ窒化物層である。
【００１４】
本概要の任意のパラグラフの実施形態によれば、前記引張層の引張力が、前記圧縮層の圧縮力にバランスをとる。
【００１５】
本発明の別の態様によれば、半導体デバイスを製造する方法は、当該半導体デバイスの基板の主要表面を覆う引張層を堆積するステップ；  前記主要表面を覆う圧縮層を堆積するステップ；を含み、前記引張層及び前記圧縮層の両方が、前記基板に力を加えて、前記基板が湾曲しないよう保持する。
【００１６】
本概要の任意のパラグラフの実施形態によれば、前記圧縮層を堆積するステップの前に、前記引張層を堆積するステップが生じ、前記前記圧縮層は前記引張層の上に堆積される。
【００１７】
本概要の任意のパラグラフの実施形態によれば、本方法は、前記引張層と前記圧縮層との間に中間層を形成するステップをさらに含む。
【００１８】
本概要の任意のパラグラフの実施形態によれば、前記引張層を堆積するステップの後、前記圧縮層を堆積するステップの前に、前記中間層が形成される。
【００１９】
本概要の任意のパラグラフの実施形態によれば、前記中間層は、前記引張層の表面を酸化することによって形成される。
【００２０】
本概要のパラグラフの一実施形態によれば、前記引張層を堆積するステップは、窒化ケイ素を堆積するステップを含む。
【００２１】
本概要のパラグラフの一実施形態によれば、前記窒化ケイ素を堆積するステップは、物理蒸着によって前記窒化ケイ素を堆積するステップを含む。
【００２２】
本概要のパラグラフの一実施形態によれば、前記窒化ケイ素を堆積するステップは、前記窒化ケイ素の柱状堆積を含む。
【００２３】
本概要のパラグラフのいずれかの実施形態によれば、前記中間層を形成するステップは、前記窒化ケイ素の表面を酸化して、シリコンオキシ窒化物を形成する参加ステップを含む。
【００２４】
本概要のパラグラフの一実施形態によれば、前記酸化ステップは、前記窒化ケイ素の表面を空気に曝すことを含む。
【００２５】
本概要のパラグラフの一実施形態によれば、前記圧縮層を堆積するステップは、前記シリコンオキシ窒化物の上に酸化ケイ素を堆積するステップを含む。
【００２６】
本概要のパラグラフの一実施形態によれば、前記酸化ケイ素を堆積するステップは、物理蒸着によって前記酸化ケイ素を堆積するステップを含む。
【００２７】
前述の及びこれに関連した目的を達成するために、本発明は、以下に詳細に記載されかつ特許請求の範囲に特に示された特徴を含んでいる。以下の記載及び添付の図面は、本発明の例示的な実施形態を詳細に示している。しかしながら、これらの実施形態は、本発明の原理が使用され得る種々の方法のうちのいくつかを示しているにすぎない。本発明の他の目的、利点及び新規な特徴は、図面を参照して、本発明の詳細な記載から明らかになるであろう。
【００２８】
添付の図面は、本発明の種々の態様を示す。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施形態に従った半導体デバイスの側面断面図である。
【図２】図１の半導体デバイスの側面断面図であり、追加の構成部品が取り付けられている。
【図３】本発明の一実施形態に従った半導体デバイスを製造する方法の上位フローチャートである。
【図４】本発明の別の実施形態に従った半導体デバイスの側面断面図である。
【図５】本発明のさらに別の実施形態に従った半導体デバイスの側面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
半導体デバイスが基板を有し、当該デバイスの単一の主要表面（前面）を覆って堆積された圧縮層及び引張層の両方を有する。引張層は、デバイスの基板上に直接堆積されてもよく、圧縮層は引張層を覆っている。遷移材料（中間層）が、引張層と圧縮層との間に配置されてもよい。遷移材料は、引張層及び圧縮層の一方又は両方の成分を含む化合物であってもよい。特定の実施形態では、引張材料は窒化ケイ素又はシリコン窒化物であってもよく、圧縮層は酸化ケイ素又はシリコン酸化物であってもよく、遷移材料は引張窒化ケイ素層の表面を酸化することによって形成され得るシリコンオキシ窒化物（silicon oxy-nitride）であってもよい。材料は、物理的蒸着を用いて堆積されてもよい。蒸着条件は、引張層及び圧縮層の所望の成長速度及び／又は特性を達成するように制御することができる。デバイスの同一面上に引張層と圧縮層の両方を堆積させることによって、反対側の主面（面）は処理のために自由となる。
【００３１】
図１は、半導体デバイス１０を示し、半導体デバイス１０は、基板１２を含み、基板１２の主表面（前面）１６を覆う引張層１４と、引張層１４と前面１６の両方を覆う圧縮層１８とを有する。また、引張層１４と圧縮層１６との間に中間層（又は遷移層）２２を設けてもよい。以下に詳細に説明するように、中間層２２は、圧縮層１８から引張層１４及び基板１２へと応力を伝達する。中間層２２は、引張層１４及び／又は圧縮層１６内にある１つ以上の成分を含む化合物であってもよい。或いは、中間層２２は、引張層１４の表面上に酸化物層を形成することなどにより、引張層１４の表面の化学合成によって形成されてもよい。
【００３２】
中間層２２は、引張層１４を覆う圧縮層１８の堆積を促進するために使用することができる。中間層２２は、基板１２の湾曲を防止することができるという点で、より一貫性のあるデバイス１０の性能を実現することができる。この目的に向けて、中間層２２は、応力の一貫性及び／又は圧縮層１８から引張層１４への応力の伝達を促進することができる。しかしながら、これらの可能性は、決定的なものでも、網羅的なものでもなく、中間層２２は、デバイス１０に対して異なる、又は追加の利点を提供し得る。
【００３３】
前面１６を覆う引張層１４及び圧縮層１８の両方の形成により、基板１２の背面（主要面）２６に対して操作（operation）を行うことができる。例えば、背面２６に沿って材料を除去することによって、必要に応じてデバイス１０の厚さを薄くすることができる。或いは、後側２６を、センシティブなデバイス（コンポーネント）の配置、或いはウェハ又は半導体デバイスの積層のための他の構造への結合のような他の目的に利用可能な状態に保つことが重要である。
【００３４】
一実施形態では、引張層１４は窒化シリコンであり、圧縮層１８は酸化シリコンであり、中間層２２はシリコンオキシ窒化物（silicon oxy-nitride）である。これらは単なる例示材料であり、他の適切な材料が代替として可能である。これらの層は、基板１２が湾曲しないようにするために、基板１２に所望の応力をかけるような組成物及び厚さを有して形成されてもよい。
【００３５】
窒化シリコン引張層１４は、例えば０.６±０.０２μmの厚さを含む、０.１μm〜１μmの厚さを有することができる。酸化ケイ素圧縮層１８は、０.５±０.０２μmなど、１μm未満の厚さを有してもよい。シリコンオキシ窒化物（silicon oxy-nitride）中間層２２は、２００±５０Å（２００±５０オングストローム）のように、約２００Å（２００オングストローム）の厚さを有することができる。これらの値は例示であって、限定として解釈されるべきではない。例えば、層の厚さの一般比を維持しながら、他の層の厚さを広範囲に変えることができる。例えば、窒化ケイ素の酸化ケイ素に対する厚さの比を６:５に保つと、薄膜の場合、０.１〜１０μmのオーダーで湾曲をゼロに近づける。
【００３６】
代替的な化学量論的窒化タンタル及びタンタルを、サブ化学量論的（sub-stoichiometric）窒化タンタルの中間遷移層と共に使用することができる。窒化タンタルは、圧縮性であり、タンタルは、引張り性があり、サブ化学量論窒化タンタルは、引張り応力とともにタンタルを成長させる。別の可能性としては、窒化タンタルと銅の二重層を使用し、タンタルオキシ窒化物（tantalum oxy-nitride）の中間層を備える。この中間層は、窒化タンタル膜を大気中に曝して酸化することによって形成することができる。
【００３７】
図２は、電子コンポーネント４０が前面１６上に配置された場合、例えば、基板１２上の導電性トレース及び／又はビアに係合した後の処理段階におけるデバイス１０の図を示す。層１４、１８、及び２２の一部は、基板１２上に部品４０を形成又は配置するために、選択的エッチングなどによって除去されてもよい。他の実施形態では、層１４、１８及び２２は、既存の構成要素及び構造の上又は周囲に堆積されてもよい。層１４、１８及び２２は、特定の離散した位置でのみ除去され得、層１４、１８及び２２の残りの部分は、前面１６の大きな部分を覆う連続した層として残されることが理解されよう。
【００３８】
電子部品４０が互いに電気的に絶縁されることが望ましいことが多い。従って、層１４、１８２２に使用される材料は、誘電体（電気的に絶縁性）であることが望ましい。本発明の一実施形態で使用される酸化ケイ素、窒化ケイ素、及びシリコンオキシ窒化物（silicon oxy-nitride）材料は、この条件を満たす。さらに、窒化ケイ素は、電子デバイスに使用されるほとんどの基板に強固に接着するという特徴を有する。
【００３９】
デバイス１０は、最初に、その基板のためのウェハを有してもよく、ウェハは、個々のデバイスに細分される。個々のデバイスは、多種多様な製品のいずれかに使用することができ、導電性トレース、スイッチ、キャパシタなどのような様々な構成要素のいずれかを有することができる。デバイス１０のようなデバイスは、例えば、３Ｄウェハ積層のために、より大きな電子デバイスの一部として積層されてもよい。
【００４０】
次に、図３を参照して、デバイス１０（図１）を製造する方法１００のステップを示す。図３に示され、以下に記載されるステップは、最終デバイスを形成する際に使用されるステップのほんの一部であり、図示されるステップは、湾曲又は他のたわみを防止するプロセスに焦点を当てる。
【００４１】
ステップ１０２において、引張層１４（図１）が、基板１２の主表面（前面）１６を覆って堆積される。堆積は、物理気相堆積（PVD）によることができ、これは、通常、この材料を堆積するために使用されるプラズマ強化化学気相堆積（PECVD）とは異なるプロセスである。PVDの利点は、カセットウェハ処理を容易にすること、より短いサイクル時間及びより高いスループットを提供すること、低い材料消費率、及び低い汚染リスクを含む。
【００４２】
PVDプロセスは、気体原料が圧力制御雰囲気中に密閉されたチャンバ内で実施される。チャンバ圧力が増加するにつれて、堆積層（引張層１４（図１））の引張膜応力は増加するが、堆積速度は低下することが判明した。かくして、堆積材料に対する望ましい引張応力と、より速い堆積速度との間にある種のバランスをとる必要がある。さらに、堆積される必要がある引張材料の量を最小化（又は低減）するように、圧縮層１８（図１）の材料と同程度の応力を有する堆積材料を生成するように、チャンバ圧力を選択することができる。堆積の量を少なくすることは、堆積プロセスを迅速かつ低コストで進行させるので、好ましい。さらに、堆積された窒化ケイ素は、その堆積方法に依存して、圧縮性又は引張性のいずれにすることも可能である。引張層１４については、もちろん、引張窒化ケイ素が望ましい。
【００４３】
ステップ１０２におけるPVDプロセスのためのチャンバ圧力は、約３ mTorrであってもよく、例えば、非限定的な例示値として、３.１±０.１ mTorrであってもよい。チャンバ圧力のための一次供給源は、アルゴンのような不活性ガスであってもよい。窒素ガスの流れは、堆積に使用されるターゲット上の材料がスパッタリングプロセスよりも速く蓄積する有害性を防止するために制御され得る。スパッタリングのためのターゲットへのダメージを防止するために、及び／又は基板（ウェハ）１２及び／又は堆積材料への有害な影響を回避するために、チャンバ内の温度を制御してもよく、及び／又は処理時間を制御してもよい。
【００４４】
チャンバ内の圧力が増加すると、柱状構造（columnar structure）内に窒化ケイ素が成長し、より多孔質で引張り性あるフィルムが生成される。柱状粒子（columnar grains）間の間隔は、典型的な化学量論的窒化ケイ素（Si３N４）より低い屈折率を生じるが、引張層１４に使用され得る多孔質柱状形態は、同じ化学量論的窒化ケイ素を有し得る。
【００４５】
窒化ケイ素は、単一の非限定的な例示値として、引張層１４の厚さ１μmごとに−４９μmのウェハ湾曲をもたらすことが判明した。層１４及び１８の厚さは、基板１２上の張力及び圧縮力のバランスを取るように選択することができる。
【００４６】
ステップ１０４において、中間層２２（図１）が形成される。中間層２２は、引張層１４の頂部を酸化し、例えば、窒化ケイ素の表面を酸化して、オキシ窒化物（oxy-nitride）を形成することによって形成することができる。これは、窒化ケイ素の頂部層を酸化するのに十分な時間、窒化ケイ素を空気に曝すことにより行うことができ、中間層２２を生成することができる。これは、窒化シリコン引張層１４から中間層２２のシリコンオキシ窒化物へのフィルム勾配を形成する。これは、酸化ケイ素圧縮層１８のその後の形成のための固体ベースを形成する。
【００４７】
窒化ケイ素は、１００±５０オングストロームのシリコンオキシ窒化物の厚さを有するなどの、表面層を形成するために、室温及び大気圧で酸化され得る。窒化ケイ素の頂部単層は、空気暴露の最初の５〜１０分以内に酸化される。
【００４８】
窒化ケイ素上に酸化ケイ素を直接堆積させると、望ましくない、及び／又は予測できない結果を生じることがある。酸化ケイ素の応力は、酸化ケイ素が成長する表面によって影響を受ける。酸化ケイ素が窒化ケイ素上に直接堆積され（成長す）ると、多孔質窒化ケイ素は酸化ケイ素中に柱状成長を誘起すると考えられる。このことは、例えば、堆積された１μm毎に−３３μmの湾曲を有する引張シリコン酸化物を生成してしまい、下層１４の引張力に対抗する力を基板１２に提供するためにシリコン酸化物が圧縮性であることが望ましい場合に起こってしまう。しかし、窒化ケイ素表面が最初に酸化されると、頂部酸化単分子層はコンパクトなフィルム表面を形成し、これにより酸化ケイ素の形態が高密度に成長し、圧縮性フィルムを生成することを可能にする。例えば、酸化シリコンは、酸化シリコンの厚さが１μmになるごとに+８５μmのウェハ湾曲を有することができる。このことにより、窒化ケイ素からの引張力に対抗する圧縮層の形成が可能となる。
【００４９】
上記のメカニズムは、中間層２２を有するデバイスの観察された有利な性能に対する推測である。材料成長の実際のメカニズムは、上述のメカニズムとは異なる可能性があることが認識されるべきである。
【００５０】
最後に、ステップ１０６において、圧縮層１８（図１）が引張層１４の上に堆積される。より具体的には、中間層２２を使用して、引張層１４を覆う圧縮層１８の堆積を容易化することができる。圧縮層１８は、PVD又は他の適切な堆積又は形成プロセスによって堆積されてもよい。PVDを使用する場合、圧縮フィルムは０.１〜２ mTorrのオーダーの低圧で形成される。例えば、３ mTorrで堆積された引張窒化ケイ素膜からの偏向をバランスさせるために、包括的な二酸化ケイ素膜を０.６ mTorrで堆積させることができる。或いは、圧縮誘電体膜、例えば、酸化シリコン及び窒化シリコンが、電子ビーム蒸着を用いて堆積されてもよい。圧縮フィルムの他の材料セット、代表的には金属を電気メッキを用いて堆積させることができる。
【００５１】
図４は、基板２１２の前面２１６を覆う圧縮層２１８を有する半導体デバイス２１０の代替構成を示す。引張層２１４が圧縮層２１８を覆い、層２１４と２１８との間に中間層２２２を伴う。デバイス２１０は、湾曲又は変形に対する抵抗に関して、デバイス１０（図１）と同様に機能することができる。特定の材料セット、例えば窒化タンタル及び銅によって、圧縮性フィルムが最初に堆積され（窒化タンタル）、そして引張性フィルムが頂部に堆積される（銅）ことを可能にする。場合によっては、タンタルの中間層を窒化タンタル層と銅層との間に使用して、銅の接着を促進することができる。
【００５２】
図５は、基板３１２の前面３１６上に引張層３１４を有し、圧縮層３１８が引張層３１４上に直接形成される、別の代替の半導体デバイス３１０を示す。中間層２２（図１）は、この実施形態では省略される。中間層は、上述したように、利点を有するが、中間層を、ある種の材料など、ある種の状況では省略することが可能である。一例として、圧縮窒化タンタル上に引張銅を直接堆積させて、平衡フィルム積層体を形成することができる。２枚のフィルムは相補的な偏向を有し、偏向は中間フィルムの助けなしに相殺することができる。
【００５３】
本発明を或る用途及び実施に対して図示して説明してきたが、この明細書と添付された図面とを読んで理解すると他の当業者にも同等の変更や修正ができるものと認識することができる。特に、上述のエレメント（コンポーネント、アセンブリ、デバイス、組成物等）によって実行される種々の機能に関して、そのようなエレメントを記述するために使用される用語（「手段」への言及を含む）は、別段の指示がない限り、本発明の本明細書に示された例示的な実施形態においてその機能を実行する開示された構造と構造的に等価ではないとしても、記載されたエレメントの特定の機能（すなわち、機能的に同等である）を実行する任意のエレメントに対応することを意図している。さらに、本発明の特定の特徴は、例示されたいくつかの実施形態のうちの１つ又は複数のみに関して上述したが、このような特徴は、任意の与えられた又は特定の用途に対して所望かつ有利であり得るように、他の実施形態の１つ又は複数の他の特徴と組み合わせることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2021526318.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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2021526318.tif 000009
2021526318.tif 000010