(57)【要約】      （修正有）【課題】配管に付属する種々の異形部分に容易に対応でき、配管への取り付け作業が容易かつ簡便であり、配管内流体の均一加熱を容易かつ厳密に達成できるとともに、安価かつコンパクトに配管を囲繞し得るスペーサーブロックを提供する。【解決手段】配管を環状に囲繞する円筒状のスペーサーブロックであって、長さ方向に沿って分割された２つの部分Ａ１，Ａ２から成り、そのうちの１つの部分が、分割された平面上に長さ方向に凸部１１及び凹部２１を備え、他の１つの部分が、この凸部及び凹部とそれぞれ嵌合する凹部２２及び凸部１２を対称的に備える。また、２つの部分の外面及び／又は内面には、長さ方向にヒーター線はめ込み用の溝６１，６１’，６２，６２’を有し、２つの部分が組み合ってできる内部空間の直径ｄ２を、配管の外径ｄＢより大きくして、スペーサーブロックと配管との間に形成される空間に金属製充填物を装入する。【選択図】図１
0003187009.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
配管を環状に囲繞する実質的に円筒状のスペーサーブロックであって、該スペーサーブロックが、該円筒の中心軸を含む平面でその長さ方向に沿って分割された２つの部分から成り、該スペーサーブロックの２つの部分のうちの１つの部分が、分割されて形成された平面上にその長さ方向に延びる、少なくとも１つの凸部及び凹部を備え、かつ、他の１つの部分が、分割されて形成された平面上にその長さ方向に延び、上記凸部及び凹部と、夫々対応して嵌合し得る少なくとも１つの凹部及び凸部を備え、該スペーサーブロックの２つの部分が、上記の各凹凸部で嵌合することにより、互いに組み合って配管を環状に囲繞し、かつ、上記のスペーサーブロックの２つの部分の外面及び／又は内面に、その長さ方向に延びる少なくとも１つの溝を有し、該溝が、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込み可能に形成されており、かつ、上記のスペーサーブロックの２つの部分が組み合ってできる実質的に円柱状の内部空間の、その長さ方向に垂直な面で切断したときにできる円の直径が、囲繞される配管の外径より大きいことを特徴とするスペーサーブロック。
【請求項２】
上記スペーサーブロックの、２つの部分に分割されて形成された平面上に夫々備えられている凸部及び凹部が、上記２つの部分が組み合ってできる実質的に円柱状の内部空間を隔てて両側に各１個備えられている、請求項１記載のスペーサーブロック。
【請求項３】
上記スペーサーブロックの２つの部分が組み合ってできる実質的に円柱状の内部空間の、その長さ方向に垂直な面で切断したときにできる円の直径が、囲繞される配管に接続された付属部分の外径と略同一である、請求項１又は２記載のスペーサーブロック。
【請求項４】
上記の付属部分が、囲繞される配管に接続されたフランジ部分、継手部分及びこれらの段付き処理部分より成る群から選ばれる、請求項３記載のスペーサーブロック。
【請求項５】
スペーサーブロックと囲繞される配管との間に形成される空間に金属製充填物を装入して上記配管を環状に囲繞する、請求項１〜４のいずれか一つに記載のスペーサーブロック。
【請求項６】
上記の金属製充填物が、１つ以上の筒状体から成り、該筒状体が単独で又は組み合って、上記の空間に適合し、かつ、該筒状体が、その長さ方向に沿って少なくとも２つに分割されている、請求項５記載のスペーサーブロック。
【請求項７】
上記の金属製充填物が、囲繞される配管の外径と略同一の内径を有し、かつ、スペーサーブロックの２つの部分が組み合ってできる実質的に円柱状の内部空間の、その長さ方向に垂直な面で切断したときにできる円の直径と略同一の外径を有する筒状体から成り、かつ、該筒状体が、その長さ方向に沿って少なくとも２つに分割されている、請求項５又は６記載のスペーサーブロック。
【請求項８】
上記の金属製充填物が、その長さ方向に延びる凸部を有し、該凸部が、上記のスペーサーブロックの内面に形成されている上記溝と嵌合し得る、請求項５〜７のいずれか一つに記載のスペーサーブロック。
【請求項９】
上記のスペーサーブロック及び金属製充填物が、いずれもアルミニウム又はアルミニウム合金製である、請求項１〜８のいずれか一つに記載のスペーサーブロック。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、配管に設置するスペーサーブロック（配管囲繞体）に関し、更に詳しくは、半導体製造装置及びその他の装置の配管を加熱するために使用するヒーター線を保持し得、かつ、良好な均一加熱を達成すると共に、配管の温度分布を適切にするためのスペーサーブロックに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置及びその他の装置の配管、とりわけ、１／８インチ配管、１／４インチ配管、３／８インチ配管、１／２インチ配管では、配管内部を流通する流体、例えば、反応性ガス、液体、スラリー等が凝集、凝結して配管に目詰まりを起こすことが多々あった。この問題を解決するために、通常、配管を加熱して内部流体を所定温度に維持することが行われている。また、配管内部を流通する流体を高温に維持する必要がある場合にも、同様に配管を加熱するという操作が行われている。
【０００３】
従来、このような配管を加熱する方法として、円筒形の金属製ブロック、例えば、アルミニウムブロックで配管を囲繞し、更に、その外部にヒーター、例えば、マントルヒーターを設置して該金属製ブロックを加熱して、配管を間接的に加熱する方法が採用されていた。該方法においては、円筒形の金属製ブロックを２つ割りにしたものを配管に装着して囲繞し、そして、これらをネジ止めして固定していた。しかし、ネジを備えることから、金属製ブロック自体の製造コストが高くなる。また、ネジ止め作業に手間がかかり、半導体装置配管のような狭く入り組んだ空間でのネジ止め作業は容易ではなかった。
【０００４】
かかる問題を解決すべく種々の提案がなされている。例えば、熱媒体流通管を囲繞する２つ割り又はそれ以上の囲繞体の表面に多数の凹溝を流通管に沿う方向に形成し、その凹溝にその両端部が嵌入する半円形状等の嵌合体により前記囲繞体の２つ割り又はそれ以上の囲繞体を跨ぐように取付ける囲繞体と嵌合体とから成る熱媒体流通管の被覆体（特許文献１）、及び、配管に装着され、外部からの熱を伝熱して前記配管を加熱する配管加熱用被覆体であって、配管の外径に相当する径の貫通孔を有する筒状体を軸線に沿って少なくとも２つに分割してなり、少なくとも一方の外周面に長手方向に延びる凹溝を備える囲繞体と、囲繞体の半周よりも長い円弧状の帯状板で、一方の端部に切欠を形成してなる延出部が形成された第１の嵌合板と、囲繞体の半周よりも長い円弧状の帯状板で、一方の端部に第１の勘合板の切欠及び延出部と係合し合う切欠及び延出部が形成された第２の嵌合板とを、それぞれ他方の端部同士を蝶番により開閉自在に連結してなる嵌合部材とから構成されるとともに、嵌合部材は、蝶番を囲繞体の凹溝に収容し、かつ、第１の嵌合板の延出部が第２の嵌合板の切欠に収容されるように囲繞体に装着されることを特徴とする配管加熱用被覆体（特許文献２）が知られている。
【０００５】
しかし、これらの２つ割りの金属製囲繞体、即ち、アルミニウムブロックは、その内径が囲繞する配管の外径とほぼ等しいことから、囲繞する配管に多少の曲がりや歪があると、その取り付けが容易ではなかった。また、囲繞する配管に存在する溶接ビード部の位置やその盛り上がりの高さ、継ぎ手部分（フランジ部分）の段付き処理の段サイズ、及び、変形配管の細部の構造や寸法等は配管メーカーにより様々であることから、これらへの対応も容易ではなかった。また、このような状況においては、これらの囲繞体を標準化することも困難であった。これらの囲繞体としては、通常、外径２０ｍｍφ、３０ｍｍφ及び４０ｍｍφの３種類を用意して対応している。しかし、囲繞する配管は外径の相違により何種類もあり、また、規格も様々であること、及び、上記の異形部分の存在等から、実際の取り付けにおいては、現場でこれらの異形部分を都度詳細に採寸して、囲繞体内面が配管と接触する部分を加工処理し、これらの異形部分に適合させるようにせざるを得なかった。更に、配管のエルボー部についても、エルボー部のサイズ及び状況を現場で確認して採寸し、これに合わせて加工処理をしていた。従って、これらの囲繞体により配管を囲繞することにより、配管内流体を所定温度で均一に加熱するためには、相当のコスト高を覚悟しなければならなかった。一方、これらの囲繞体の表面を覆って配管内部の流体を加熱するために、通常、マントルヒーターが使用されている。しかし、囲繞体の設置計画及び設置とマントルヒーターの設置計画及び設置とは、通常、別個に行われることから、お互いのパーツの点数や形状がまちまちとなり、夫々の管理及び製作が煩雑となっていた。また、これらの囲繞体同士の継目には１ｍｍ程度の隙間が生じるため、マントルヒーターの設置に伴う上記不都合と相まって、配管内部流体を十分かつ適切に加熱し得るか否かに不安が残るという問題があった。
【０００６】
上記の囲繞体の取り付け作業においては、例えば、２つに分割されている囲繞体の夫々を配管に取り付け、次いで、これを手で押さえながらクリップでこれらを配管に固定しなければならない。よって、取り付け作業は、基本的に両手で実施することになるが、現実の半導体装置等では配管が入り組んでおり、狭い空間での作業を余儀なくされる。従って、従来のネジ止め作業に比べれば改良されてはいるものの、やはり、相当の困難性を伴い、作業には相当の時間と労力を要していた。また、クリップを落とすことも多く、一旦、クリップを落とすと、このような狭い空間では殆ど回収不能となっていた。また、現状では、囲繞体を固定するクリップの形状も様々であり、材質、形状、寸法、バネ強度等にもバラツキがあり、従って、この管理が煩雑であると共に、これらのバラツキにより、囲繞体を覆うマントルヒーターの内部生地を損傷させることもあった。更に、加熱温度によっては、バネ自体に焼きなましが生じてその強度が低下し、ひいては囲繞体の脱落を起こすこともあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−１８５０８６号公報
【特許文献２】特開２００６−２８３８０７号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００８】
本考案は、配管に付属する種々の異形部分に容易に対応し得るばかりではなく、配管への取り付け作業が極めて容易かつ簡便であり、加えて、配管内流体の所定温度における均一加熱を容易かつ厳密に達成し得るばかりではなく、全体として著しく安価かつコンパクトに配管を囲繞することができるスペーサーブロックを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本考案者は、上記従来技術の２つ割りの金属製囲繞体、即ち、アルミニウムブロックが有する種々の欠点を解決すべく鋭意検討した。従来、２つ割りの金属製囲繞体を固定する手段であるクリップの使用は、著しく作業性を悪くし、かつ、クリップと言う余分な部品の存在により、煩わしい部品管理や品質管理を余儀なくされるばかりではなく、それによりコスト高に繋がっていたことに鑑みて、まず、このクリップを使用しない手段を検討した。その結果、２つ割りの金属製囲繞体の１つの部分に、その長さ方向に延びる凸部及び凹部を設け、一方、２つ割りの金属製囲繞体の他の１つの部分に、上記凸部及び凹部と夫々対応して嵌合し得る凹部及び凸部を設けることにより、これら２つ割りの金属製囲繞体を該凸部と凹部とで嵌合せしめれば、クリップなしに、これら２つの部分を容易に組み合わせ得ることを見出した。加えて、２つ割りの金属製囲繞体の各々に凸部と凹部とを夫々互いに対照的に備える構造にすれば、コストダウンに繋がる。
【００１０】
次いで、囲繞する配管に付属する異形部分に対して如何に対応するかについて検討した。従来は、アルミニウムブロックの内径を、囲繞する配管の外径に合わせ、そして、アルミニウムブロックの内面を、配管に付属する異形部分に適合させるように加工していた。確かに、そのようにすれば、確実にアルミニウムブロックを配管に装着することはできる。しかし、その一方で、多くの作業時間と多大なコストが生ずることにもなる。そこで、本考案者は、発想を転換し、金属製囲繞体の内径を、囲繞する配管の外径に合わせるのではなく、該配管の外径より大きな外径を持つ、該配管に接続された付属部分、例えば、フランジ部分、継手部分又はこれらの段付き処理部分等の外径に合わせることに思い至った。このようにすれば、内径を、例えば、段付き処理部分の外径に合わせて、金属製囲繞体を製造することができる故、金属製囲繞体の画一化が可能となり、著しく製造コストの削減を図ることができる。そして、金属製囲繞体と、囲繞される配管との間に生ずる空間には、適宜、熱伝導性の高い金属製充填物を装入することができれば、所期の目的を達成し得るのではないかと考えた。そして、金属製充填物としては、金属製囲繞体と、囲繞される配管との間に生ずる空間にほぼ適合するように設計された、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金製の２つ割りのスリーブ等を、フランジ又は継ぎ手部分の段付き処理の段サイズ等を考慮して複数種類用意しておけばよい。そして、これらスリーブは画一化が可能であることから、非常に安価に製造することができる。故に、従来の金属製囲繞体で行っていた内面の加工が不要となり、配管への設置が著しく短時間でかつ容易に実施できるのみならず、内面加工に要していた多大なコストも削減することができる。そして、金属製囲繞体の長さ方向のつなぎ目の部分と、内部の金属製充填物、例えば、金属製スリーブとの長さ方向のつなぎ目の部分とをずらすことは容易であることから、従来のアルミブロックが有していたような、円周方向と長さ方向の継目の存在による配管内部流体の適切な加熱についての不安を一掃することができたのである。
【００１１】
また、上記のようにして各種の不具合を吸収したとしても、金属製充填物であるスリーブを画一化し、かつ、金属製囲繞体の内面及び該金属製充填物の加工処理を行うものではないことから、例えば、溶接ビード部の盛り上がりの部分により、金属製充填物であるスリーブと金属製囲繞体内面との間に僅かな隙間が生ずる。これらの隙間は、溶接ビード部の盛り上がりの部分によるものばかりではなく、フランジ又は継ぎ手部分の段付き処理の段サイズの相違等からも生ずる。しかし、本考案のスペーサーブロックは、スペーサーブロックの２つの部分のうちの１つの部分が、その長さ方向に延びる凸部及び凹部を備え、他の１つの部分が、上記凸部及び凹部と夫々対応して嵌合し得る凹部及び凸部を備えることにより、これら２つ割りの金属製囲繞体が該凸部と凹部とで嵌合して、配管を両側から包み込むようにすることから、該スペーサーブロックで囲繞された部分の密閉性に著しく優れる。従って、金属製囲繞体と、囲繞される配管との間に生ずる空間に金属製充填物を装入した際、上記のように多少の隙間が生じても、その隙間の存在により加熱の能力が低下することはないのである。
【００１２】
本考案者は、最後に、配管内流体の加熱を更に効率よくかつ適確に行うには如何にするべきかについての検討を実施した。その結果、２つ割りの金属製囲繞体自体にヒーター線をはめ込み可能にして、金属製囲繞体自体を電熱ヒーター線保持体とすれば著しく効率よく加熱ができ、金属製囲繞体自体が電熱ヒーターを兼ねることができる故、従来のマントルヒーターが不要であり、全体として著しくコンパクト化が可能であることを見出したのである。
【００１３】
即ち、本考案は、
（１）配管を環状に囲繞する実質的に円筒状のスペーサーブロックであって、該スペーサーブロックが、該円筒の中心軸を含む平面でその長さ方向に沿って分割された２つの部分から成り、該スペーサーブロックの２つの部分のうちの１つの部分が、分割されて形成された平面上にその長さ方向に延びる、少なくとも１つの凸部及び凹部を備え、かつ、他の１つの部分が、分割されて形成された平面上にその長さ方向に延び、上記凸部及び凹部と、夫々対応して嵌合し得る少なくとも１つの凹部及び凸部を備え、該スペーサーブロックの２つの部分が、上記の各凹凸部で嵌合することにより、互いに組み合って配管を環状に囲繞し、かつ、上記のスペーサーブロックの２つの部分の外面及び／又は内面に、その長さ方向に延びる少なくとも１つの溝を有し、該溝が、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込み可能に形成されており、かつ、上記のスペーサーブロックの２つの部分が組み合ってできる実質的に円柱状の内部空間の、その長さ方向に垂直な面で切断したときにできる円の直径が、囲繞される配管の外径より大きいことを特徴とするスペーサーブロックである。
【００１４】
好ましい態様として、
（２）上記スペーサーブロックの、２つの部分に分割されて形成された平面上に夫々備えられている凸部及び凹部が、上記２つの部分が組み合ってできる実質的に円柱状の内部空間を隔てて両側に各１個備えられている、上記（１）記載のスペーサーブロック、
（３）上記スペーサーブロックの２つの部分が組み合ってできる実質的に円柱状の内部空間の、その長さ方向に垂直な面で切断したときにできる円の直径が、囲繞される配管に接続された付属部分の外径と略同一である、上記（１）又は（２）記載のスペーサーブロック、
（４）上記の囲繞される配管に接続された付属部分の外径が、該付属部分の外径のうちの最大の外径である、上記（３）記載のスペーサーブロック、
（５）上記の付属部分が、囲繞される配管に接続されたフランジ部分、継手部分及びこれらの段付き処理部分より成る群から選ばれる、上記（３）又は（４）記載のスペーサーブロック、
（６）上記のスペーサーブロックの２つの部分の外面及び／又は内面に備えられている溝が、夫々、外面に２〜５本及び内面に１〜４本である、上記（１）〜（５）のいずれか一つに記載のスペーサーブロック、
（７）上記のスペーサーブロックの２つの部分の外面及び／又は内面に備えられている溝が、夫々、外面に３〜４本及び内面に１〜３本である、上記（１）〜（５）のいずれか一つに記載のスペーサーブロック、
（８）上記のスペーサーブロックの２つの部分の外面及び／又は内面に備えられている溝が、互いに略平行である、上記（１）〜（７）のいずれか一つに記載のスペーサーブロック、
（９）上記のスペーサーブロックの２つの部分の外面及び／又は内面に備えられている溝の直径が、０．８〜５．０ｍｍの範囲から選ばれる、上記（１）〜（８）のいずれか一つに記載のスペーサーブロック、
（１０）上記のスペーサーブロックの２つの部分の外面及び／又は内面に備えられている溝の直径が、１．０〜３．０ｍｍの範囲から選ばれる、上記（１）〜（８）のいずれか一つに記載のスペーサーブロック、
（１１）上記のスペーサーブロックの２つの部分の外面及び／又は内面に備えられている溝の直径が、同一又は異なる、上記（１）〜（１０）のいずれか一つに記載のスペーサーブロック、
（１２）上記のスペーサーブロックが、アルミニウム又はアルミニウム合金製である、上記（１）〜（１１）のいずれか一つに記載のスペーサーブロック、
（１３）スペーサーブロックと囲繞される配管との間に形成される空間に金属製充填物を装入して上記配管を環状に囲繞する、上記（１）〜（１２）のいずれか一つに記載のスペーサーブロック、
（１４）上記の金属製充填物が、１つ以上の筒状体から成り、該筒状体が単独で又は組み合って、上記の空間に適合し、かつ、該筒状体が、その長さ方向に沿って少なくとも２つに分割されている、上記（１３）記載のスペーサーブロック、
（１５）上記の金属製充填物が、囲繞される配管の外径と略同一の内径を有し、かつ、スペーサーブロックの２つの部分が組み合ってできる実質的に円柱状の内部空間の、その長さ方向に垂直な面で切断したときにできる円の直径と略同一の外径を有する筒状体から成り、かつ、該筒状体が、その長さ方向に沿って少なくとも２つに分割されている、上記（１３）又は（１４）記載のスペーサーブロック、
（１６）上記の金属製充填物が、その長さ方向に延びる凸部を有し、該凸部が、上記のスペーサーブロックの内面に形成されている上記溝と嵌合し得る、上記（１３）〜（１５）のいずれか一つに記載のスペーサーブロック、
（１７）上記の金属製充填物が、アルミニウム又はアルミニウム合金製である、上記（１３）〜（１６）のいずれか一つに記載のスペーサーブロック
を挙げることができる。
【考案の効果】
【００１５】
本考案のスペーサーブロックは、２つ割りであるにもかかわらず、従来の２つ割りの金属製囲繞体に必要であった固定手段としてのクリップを必要としない。従って、クリップと言う余分な部品の存在による煩わしい部品管理や品質管理が不要であるばかりではなく、コスト削減を図ることができる。また、クリップを使用しない新たな固定手段を採用していることから、著しく作業性を改善することもできる。また、本考案のスペーサーブロックは、２つ割りのスペーサーブロックと、その内部空間に適合する少なくとも２つ割りの筒状充填物、即ち、内部スペーサーとから、配管を環状に囲繞するものであり、従来の２つ割りの金属製囲繞体のように、囲繞する配管の異形部分に適合させて内面を加工する必要がないことから、著しく作業時間を短縮でき、かつ、多大なコスト削減を達成することができる。加えて、金属製囲繞体がヒーター線をはめ込み可能な溝を備えるスペーサーブロックから成る故に、それ自体が電熱ヒーターを兼ねることができ、従って、全体として著しくコンパクト化され得るばかりではなく、配管内流体の加熱を更に効率よくかつ適確に実施することができる。また、本考案の２つ割りのスペーサーブロックは、２つの部分が一体化して配管を包み込むようにして嵌合して組み合うことから、その密閉性が著しく高く、従って、金属製囲繞体と、囲繞される配管との間に生ずる空間に金属製充填物を装入した際に多少の隙間が生じても、その隙間の存在により加熱の能力が低下することがない。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本考案のスペーサーブロック（Ａ）の一実施態様の概略の断面図である。
【図２】図２は、本考案の実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）により配管（Ｂ）を囲繞したときに、その長さ方向にスペーサーブロック（Ａ）を切断したときの断面の一例を示す概略図である。
【図３】図３は、本考案の実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）と囲繞される配管との間に形成される空間に装入される金属製充填物（Ｇ）のいくつかの態様を示した概略図である。
【考案を実施するための形態】
【００１７】
図１には、本考案の実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の一実施態様の概略の断面図を示した。ここで、「実質的に円筒状」とは、スペーサーブロック（Ａ）の外面及び内面に存在する溝及びその他の凹凸部を無視し、これらが存在しないものとして考えた形状が略円筒状であることを言う。該円筒状のスペーサーブロック（Ａ）は、該円筒の中心軸を含む平面でその長さ方向に沿って分割された２つの部分（Ａ１、Ａ２）から成る。これら２つの部分（Ａ１、Ａ２）は、図１に示すように、円筒形の中心軸を含む平面で２つの部分に分割した形状、即ち、２つの部分（Ａ１、Ａ２）の中心角がいずれも略１８０°である組み合わせを基本形とすることが好ましい。スペーサーブロック（Ａ）の２つの部分のうちの１つの部分（Ａ１）は、分割された平面（３１）上に、スペーサーブロック（Ａ）の長さ方向に延びる凸部（１１）及び凹部（２１）を備える。一方、他の１つの部分（Ａ２）は、分割された平面（３２）上に、スペーサーブロック（Ａ）の長さ方向に延び、上記凸部（１１）及び凹部（２１）と、夫々対応して嵌合し得る凹部（２２）及び凸部（１２）を備える。そして、該スペーサーブロック（Ａ）の２つの部分（Ａ１、Ａ２）が、上記の各凹凸部、即ち、凸部（１１）と凹部（２２）、及び、凸部（１２）と凹部（２１）で嵌合することにより、互いに組み合って配管を環状に囲繞する。ここで、図１に示すように、各凹部（２１，２２）は、その開口部径が凸部（１２，１１）の最大径より若干小さくなっており、それにより両者の嵌合を確実なものにしている。凸部（１１，１２）及び凹部（２１，２２）の形状は、図１に示されたものに限定されるものではなく、両者の嵌合が確実に行われるものであればいずれの形状であってもよい。ここで、凸部（１１，１２）及び凹部（２１，２２）の数は、夫々、１個以上、好ましくは２〜４個であり、図１に示されているように、実質的に円柱状の内部空間（５）を隔てて両側に各１個備えられていることがより好ましい。ここで、「実質的に円柱状」とは、上記と同様に、スペーサーブロック（Ａ）の内面に存在する溝及びその他の凹凸部を無視し、これらが存在しないものとして考えた形状が略円柱状であることを言う。
【００１８】
本考案の実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）を構成する、その長さ方向に沿って分割され得る２つの部分（Ａ１、Ａ２）は、上記のように互いに組み合って実質的に円柱状の内部空間（５）を形成する。該内部空間（５）において、その長さ方向に垂直な面で切断したときにできる円の直径［実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の内径］（ｄ２）は、囲繞される配管（Ｂ）の外径（ｄＢ）より大きく、囲繞される配管に接続された付属部分の外径と略同一であることが好ましい。ここで、上記の付属部分とは、例えば、囲繞される配管に接続されたフランジ部分、継手部分、これらの段付き処理部分等である。ここで、「段付き処理部分」とは、フランジ部分及び継手部分を配管に接続する際に生じる段付き処理部分、例えば、溶接による接続で生じる段付き処理部分等を言う。図２は、本考案の実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）により配管（Ｂ）を囲繞したときに、その長さ方向に沿ってスペーサーブロック（Ａ）を切断したときの断面の一例を示す概略図である。実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の内径（ｄ２）は、囲繞される配管（Ｂ）に設けられた付属部分である段付き処理部分（Ｃ）の外径（ｄＣ）と略同一である。囲繞される配管（Ｂ）には、段付き処理部分（Ｃ）のほかにバルブ（Ｅ）を配管（Ｂ）に接続するフランジ（ナット）部分（Ｄ）も付属部分として接続されている。円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の内径（ｄ２）は、好ましくは、図２に示されているように段付き処理部分（Ｃ）の外径（ｄＣ）と略同一にする。これにより、段付き処理部分（Ｃ）の外径は画一的であることから、円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の内径（ｄ２）を画一化することができる。図２において、段付き処理部分（Ｃ）はスペーサーブロック（Ａ）により囲繞することもできるが、別途、リング状のパーツ（Ｆ）を設けて囲繞することもできる。
【００１９】
実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の内径（ｄ２）は、上記のように囲繞される配管に接続された付属部分の外径にほぼ等しく、好ましくは３．０〜２５．０ｍｍ、より好ましくは６．０〜１５．０ｍｍである。囲繞される配管は、通常、１／８インチ配管（外径３．１７５ｍｍ）、１／４インチ配管（外径６．３５０ｍｍ）、３／８インチ配管（外径９．５２５ｍｍ）、１／２インチ配管（外径１２．７００ｍｍ）、３／４インチ配管（外径１９．０５０ｍｍ）である。円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の内径（ｄ２）は、フランジ部分又は継手部分の段付き処理部分の外径にほぼ等しく、又は、多少大きくしておくことが好ましい。本考案の実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）は、凸部と凹部との嵌合で自由度を持たせていることから、段付き処理部分の外径に多少のばらつきがあっても、これにより十分に対応することができる。一方、円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の外径（ｄ１）は、特に制限されることはないが、大き過ぎると、配管を加熱する際の加熱効率が低下するばかりではなく、嵩張り作業効率も低下し、かつ、製造コストも増加する。一方、小さ過ぎると、スペーサーブロック（Ａ）の外面及び／又は内面に所定の溝を設けることが困難になる。従って、外径（ｄ１）は、好ましくは１０．０〜５０．０ｍｍ、より好ましくは１５．０〜４５．０ｍｍ、更に好ましくは２０．０〜４０．０ｍｍである。１／８インチ配管及び３／８インチ配管を囲繞するに際しては、通常、外径（ｄ１）は、夫々、２０．０ｍｍ及び３０．０ｍｍとすることが好ましい。これにより、スペーサーブロック（Ａ）の画一化を図ることができる。
【００２０】本考案の実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の２つの部分（Ａ１、Ａ２）の外面及び／又は内面には、その長さ方向に延びる少なくとも１つの溝（６１、６１’、６２、６２’）を有する。該溝（６１、６１’、６２、６２’）は、２つの部分（Ａ１、Ａ２）の両方又は一方の外面若しくは内面のみ、又は、外面及び内面の両方に存在していてよい。好ましくは、２つの部分（Ａ１、Ａ２）の外面及び内面の両方に溝（６１、６１’、６２、６２’）を有する。該溝（６１、６１’、６２、６２’）の数は、外面に好ましくは２〜５本、より好ましくは３〜４本であり、内面に好ましくは１〜４本、より好ましくは１〜３本である。これらの溝（６１、６１’、６２、６２’）は、互いに平行であることが好ましい。また、これらの溝（６１、６１’、６２、６２’）は、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込むことができるように形成されている。これらの溝（６１、６１’、６２、６２’）の断面、即ち、該溝（６１、６１’、６２、６２’）をその長さ方向に垂直な面で切断したときの溝の断面は、好ましくは、略Ｕ字形又は略半円形であり、より好ましくは、図１に示すように略Ｕ字形である。該溝（６１、６１’、６２、６２’）の直径（７１、７１’、７２、７２’）、即ち、該溝（６１、６１’、６２、６２’）の断面の開口部の幅は、絶縁されたヒーター線をはめ込むことができればよく、通常、絶縁されたヒーター線の直径とほぼ等しいか又はやや小さい。やや小さめとすることにより、はめ込んだヒーター線の脱落を防止し得る。該溝の直径（７１、７１’、７２、７２’）は、好ましくは０．８〜５．０ｍｍの範囲から選ばれ、より好ましくは１．５〜３．０ｍｍの範囲から選ばれる。絶縁されたヒーター線としては、オリジナル製品を使用することもできるが、市販品を使用することが特に好ましい。市販品を使用することにより、とりわけ、絶縁されたヒーター線を特注する必要がなく、コスト低減を達成することができる。絶縁されたヒーター線の市販品としては、例えば、（公序良俗違反につき、不掲載）等を使用することができる。また、１つの面に備えられる複数の溝（６１、６１’、６２、６２’）の直径（７１、７１’、７２、７２’）は、互いに同一であってもよく、また、異なっていてもよい。通常、外面に設けられる複数の溝（６１、６２）の直径（７１、７２）は互いに異なることが好ましく、また、内面に設けられる溝（６１’、６２’）の直径（７１’、７２’）も互いに異なることが好ましい。絶縁されたヒーター線は全ての複数の溝（６１、６１’、６２、６２’）中にはめ込まれてよいが、もちろん、これらの複数の溝（６１、６１’、６２、６２’）の一部に適宜はめ込むこともできる。また、絶縁されたヒーター線を使用することなく、従前通りにマントルヒーター、リボンヒーター又はテープヒーターを、スペーサーブロック（Ａ）を覆って取り付けることもできる。
【００２１】
実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の厚さ（ｔ）は、上記の外径（ｄ１）及び内径（ｄ２）の範囲内で、溝の高さ（深さ）（８１、８１’、８２、８２’）、並びに、基板の強度及び製造コスト等を考慮して定められる。通常、図１に示したような表裏両面に溝（６１、６１’、６２、６２’）を有する態様のスペーサーブロック（Ａ）にあっては、スペーサーブロック（Ａ）の厚さ（ｔ）は、一の面に備えられた溝の高さ（８１）と他の面に備えられた溝の高さ（８１’）の合計に加えて、好ましくは０．５〜２．０ｍｍ程度である。スペーサーブロック（Ａ）の厚さ（ｔ）は、好ましくは２．０〜１２．０ｍｍ、より好ましくは３．０〜１０．０ｍｍ、更に好ましくは６．０〜９．０ｍｍである。例えば、電熱ヒーター用基板（Ａ）の外面に備えられている溝の直径（７１）の最大値が、２．０〜３．０ｍｍであり、内面に備えられている溝の直径（７１’）の最大値が１．５〜２．２ｍｍであるときには、スペーサーブロック（Ａ）の厚さ（ｔ）は、好ましくは８．０〜９．０ｍｍ程度である。また、実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の全長、即ち、長さに特に制限はなく、好ましくは３，０００ｍｍ以下、より好ましくは１，５００〜２，５００ｍｍ、更に好ましくは１，９００〜２，１００ｍｍである。該円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の長さは、加熱又は保温する配管の長さに応じて適宜切断することができる。
【００２２】
実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）としては、熱伝導性が良好である材質が選ばれる。通常、加工の容易さ及び価格等の観点から、好ましくはアルミニウム又はアルミニウム合金（例えば、ＪＩＳ  Ａ  ６０６３Ｔ１等）が使用される。該円筒状のスペーサーブロック（Ａ）は、切削等の金属加工により製造することもできるが、特に好ましくは、押出成型により製造する。これにより、著しく製造コストを低減し得る。
【００２３】
本考案の実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）により配管を囲繞するに際して、スペーサーブロック（Ａ）と囲繞される配管（Ｂ）との間に形成される空間（５）に金属製充填物（Ｇ）が装入される。図３には、該金属製充填物（Ｇ）のいくつかの態様を示した。図３に示したように、該金属製充填物（Ｇ）としては、好ましくは筒状体が使用される。このように、該筒状体は、その長さ方向に沿って少なくとも２つに分割されているものが使用され、好ましくは２つに分割されているものが使用される。筒状体を２つに分割するに際して、２つの部分を分割する角度に特に制限はない。図３の（ａ）に示したような、筒状体の中心軸を含む平面で２つに分割したもの、即ち、２つの部分の中心角がいずれも１８０°であるもの、又は、図３の（ｂ）に示したような、１つの部分の開口部の径が囲繞する配管の外径より小さいものと、他の１つの部分がその開口部を塞いで全体として筒状体を形成するものが好ましく使用される。図３の（ｂ）に示した筒状体は、配管への取り付けの際に配管にはめ込むようにして取り付けられるので、一旦取り付ければ、手で押さえておかなくても脱落することがないので取り付け作業が容易である。また、図３の（ｃ）に示したような、筒状体の中心軸を含む平面で２つに分割したものの外面にその長さ方向に延びる凸部を設けたものも使用し得る。図３の（ｃ）に示した筒状体は、その凸部が、スペーサーブロックの内面に形成されている溝（６１’、６２’）と嵌合し得るようになっており、それにより、予め、スペーサーブロックの内面に該筒状体を取り付けておくことができ、作業中の筒状体の脱落等を防止して取り付け作業をより簡便にすることができる。従って、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の３種類の態様の筒状体を用意しておき、作業性等を考慮して使い分けると便利である。スペーサーブロックと囲繞される配管との間に形成される空間に装入される金属製充填物（Ｇ）としては、上記の筒状体を１つ以上使用することができる。該筒状体を、１つ単独で上記空間に適合するように使用することができ、又は、複数個組み合わせて上記空間に適合するように使用することもできる。上記の筒状体の内径及び外径は、囲繞する配管の外径、配管に接続された付属部分、即ち、フランジ部分、継手部分又はこれらの段付き処理部分の外径、及び、本考案の配管を環状に囲繞する実質的に円筒状のスペーサーブロックの内径に依存して決定される。
【００２４】
次に、本考案の実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）及び金属製充填物である筒状体（Ｇ）を配管（Ｂ）に取り付けて配管を囲繞し、次いで、絶縁されたヒーター線をはめ込んで電熱ヒーターを配管に敷設し、そして、その上を保温材により保温する手順を簡単に説明する。まず、加熱又は保温する配管径に合わせて、円筒状のスペーサーブロック（Ａ）及び金属製充填物である筒状体（Ｇ）を用意する。また、加熱又は保温に必要なおおよその熱量を考慮して、所定寸法を有する絶縁されたヒーター線を準備する。まず、配管（Ｂ）に金属製充填物である筒状体（Ｇ）を取り付け、次いで、円筒状のスペーサーブロック（Ａ）を取り付け、基板（Ａ）の溝中に絶縁されたヒーター線をはめ込み、その上を保温材で覆うことにより取り付けを完了することができる。ここで、保温材としては、特に制限はなく市販のものを使用することができる。とりわけ、特願２０１１−１９２４１７号に記載されているものを使用することができる。即ち、短辺と長辺の長さの比率が略１対２である、略同一の長方形の形状を表裏面に有する板状の保温材を、その任意の辺同士を接続することにより、複数組み合わせて構成されることができ、かつ、該複数の保温材の長方形の形状が、互いに同一又は相似形であり、ここで、該複数の保温材の長方形の形状が、互いに相似形であるとき、小さい保温材の長方形の長辺及び短辺に対する大きい保温材の長方形の対応する長辺及び短辺の長さの比率が、いずれも１対２の倍数である、組合せ式保温材である。該組合せ式保温材を使用することにより、更にコンパクトにすることができ、かつ、作業効率も更に高めることができる。
【００２５】
以下の実施例において、本考案を更に詳細に説明するが、本考案はこれら実施例により限定されるものではない。
【実施例】
【００２６】
（実施例１）
実施例１においては、３／８配管（外径９．５２５ｍｍ）を囲繞するため適した、実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）を作製した。該スペーサーブロック（Ａ）は、アルミニウム合金（ＪＩＳ  Ａ  ６０６３Ｔ１）を使用して、常法に従って押出成形することにより製造したものである。該実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の内径（ｄ２）は１３．０ｍｍであり、外径（ｄ１）は３０．０ｍｍである。また、その厚さ（ｔ）は８．５ｍｍである。該円筒状のスペーサーブロック（Ａ）は、その長さ方向に沿って分割され得る２つの部分（Ａ１、Ａ２）から成る。これら２つの部分（Ａ１、Ａ２）は、図１に示すように、円筒形の中心軸を含む平面で２つの部分に分割した形状、即ち、２つの部分（Ａ１、Ａ２）の中心角がいずれも１８０°の形状である。スペーサーブロック（Ａ）の２つの部分のうちの１つの部分（Ａ１）は、分割された平面（３１）上に、スペーサーブロック（Ａ）の長さ方向に延びる凸部（１１）及び凹部（２１）を備える。一方、他の１つの部分（Ａ２）は、分割された平面（３２）上に、スペーサーブロック（Ａ）の長さ方向に延び、上記凸部（１１）及び凹部（２１）と、夫々対応して嵌合し得る凹部（２２）及び凸部（１２）を備える。凸部（１１）及び凸部（１２）の高さは、約２．０ｍｍであり、かつ、凹部（２１）及び凹部（２２）の高さは、約２．４ｍｍであることから、両者が嵌合した際、凸部と凹部との間に約０．４ｍｍの隙間ができるように作製されている。これにより、配管に多少の凹凸が存在してもそれを吸収することが可能となっている。スペーサーブロック（Ａ）の２つの部分（Ａ１、Ａ２）の外面には、いずれも３個の溝（６１−１、６１−２、６１−３、及び、６２−１、６２−２、６２−３）を有する。図１に示したように中央に内径２．８ｍｍ、開口部径２．６ｍｍの溝（６１−１、及び、６２−１）を有し、そこから左右両側に４５°又は６０°の角度の位置に内径２．０ｍｍ、開口部径１．８ｍｍの溝（６１−２、６１−３、及び、６２−２、６２−３）を有する。このように溝幅を変えておくことにより、異なる太さの絶縁されたヒーター線をはめ込むことができ、被加熱流体の加熱温度に柔軟に対応することができる。一方、スペーサーブロック（Ａ）の２つの部分（Ａ１、Ａ２）の内面には、いずれも３個の溝（６’１−１、６’１−２、６’１−３、及び、６’２−１、６’２−２、６’２−３）を有する。図１に示したように中央に内径１．６ｍｍ、開口部径１．４ｍｍの溝（６’１−１、及び、６’２−１）を有し、そこから左右両側に約３０°又は４５°の角度の位置に内径２．０ｍｍ、開口部径１．８ｍｍの溝（６’１−２、６’１−３、及び、６’２−２、６’２−３）を有する。
【００２７】
上記のスペーサーブロック（Ａ）を使用して３／８配管（外径９．５２５ｍｍ）を囲繞するに際して、スペーサーブロック（Ａ）と囲繞される配管との間に形成される空間には、図３（ｃ）に示した金属製充填物を装入した。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本考案のスペーサーブロックは、新規な固定手段を採用していることから、クリップと言う余分な部品の存在による煩わしい部品管理や品質管理が不要であるばかりではなく、コスト削減を図ることができると共に、著しく作業性を改善することもできる。また、従来のように、囲繞する配管の異形部分に適合させて内面を加工する必要がないことから、著しく作業時間を短縮でき、かつ、多大なコスト削減を達成することができる。加えて、自体電熱ヒーターを兼ねることができ、全体として著しくコンパクト化され得るばかりではなく、配管内流体の加熱を更に効率よくかつ適確に実施することができる。従って、種々の装置の配管の加熱及び保温、とりわけ、半導体製造装置の配管に使用されることが大いに期待される。
【符号の説明】
【００２９】
Ａ  実質的に円筒状のスペーサーブロック
Ａ１、Ａ２  実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の、その長さ方向に沿って分割された２つの部分
Ｂ  配管
Ｃ  段付き処理部分
Ｄ  フランジ（ナット）部分
Ｅ  バルブ
Ｆ  リング状のパーツ
Ｇ  金属製充填物
ｄ１  実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の外径
ｄ２  実質的に円柱状の内部空間（５）の長さ方向に垂直な面で切断したときにできる円の直径［実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の内径］
ｄＢ  囲繞される配管（Ｂ）の外径
ｄＣ  段付き処理部分（Ｃ）の外径
ｔ  実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の厚さ
１１、１２  分割された平面（３１，３２）上に、スペーサーブロック（Ａ）の長さ方向に延びる凸部
２１、２２  分割された平面（３１，３２）上に、スペーサーブロック（Ａ）の長さ方向に延びる凹部
３１、３２  分割された平面
５  ２つの部分（Ａ１、Ａ２）が組み合ってできる実質的に円柱状の内部空間
６１、６１’、６２、６２’  スペーサーブロック（Ａ）の２つの部分（Ａ１、Ａ２）の外面及び／又は内面に存在する溝
７１、７１’、７２、７２’  溝（６１、６１’、６２、６２’）の直径（溝の断面の開口部の幅）
８１、８１’、８２、８２’  溝（６１、６１’、６２、６２’）の高さ（深さ）
【図１】
0003187009.tif 000003
【図２】
0003187009.tif 000004
【図３】
0003187009.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月5日(2013.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本考案の実質的に円筒状のスペーサーブロック（Ａ）の２つの部分（Ａ１、Ａ２）の外面及び／又は内面には、その長さ方向に延びる少なくとも１つの溝（６１、６１’、６２、６２’）を有する。該溝（６１、６１’、６２、６２’）は、２つの部分（Ａ１、Ａ２）の両方又は一方の外面若しくは内面のみ、又は、外面及び内面の両方に存在していてよい。好ましくは、２つの部分（Ａ１、Ａ２）の外面及び内面の両方に溝（６１、６１’、６２、６２’）を有する。該溝（６１、６１’、６２、６２’）の数は、外面に好ましくは２〜５本、より好ましくは３〜４本であり、内面に好ましくは１〜４本、より好ましくは１〜３本である。これらの溝（６１、６１’、６２、６２’）は、互いに平行であることが好ましい。また、これらの溝（６１、６１’、６２、６２’）は、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込むことができるように形成されている。これらの溝（６１、６１’、６２、６２’）の断面、即ち、該溝（６１、６１’、６２、６２’）をその長さ方向に垂直な面で切断したときの溝の断面は、好ましくは、略Ｕ字形又は略半円形であり、より好ましくは、図１に示すように略Ｕ字形である。該溝（６１、６１’、６２、６２’）の直径（７１、７１’、７２、７２’）、即ち、該溝（６１、６１’、６２、６２’）の断面の開口部の幅は、絶縁されたヒーター線をはめ込むことができればよく、通常、絶縁されたヒーター線の直径とほぼ等しいか又はやや小さい。やや小さめとすることにより、はめ込んだヒーター線の脱落を防止し得る。該溝の直径（７１、７１’、７２、７２’）は、好ましくは０．８〜５．０ｍｍの範囲から選ばれ、より好ましくは１．５〜３．０ｍｍの範囲から選ばれる。絶縁されたヒーター線としては、オリジナル製品を使用することもできるが、市販品を使用することが特に好ましい。市販品を使用することにより、とりわけ、絶縁されたヒーター線を特注する必要がなく、コスト低減を達成することができる。また、１つの面に備えられる複数の溝（６１、６１’、６２、６２’）の直径（７１、７１’、７２、７２’）は、互いに同一であってもよく、また、異なっていてもよい。通常、外面に設けられる複数の溝（６１、６２）の直径（７１、７２）は互いに異なることが好ましく、また、内面に設けられる溝（６１’、６２’）の直径（７１’、７２’）も互いに異なることが好ましい。絶縁されたヒーター線は全ての複数の溝（６１、６１’、６２、６２’）中にはめ込まれてよいが、もちろん、これらの複数の溝（６１、６１’、６２、６２’）の一部に適宜はめ込むこともできる。また、絶縁されたヒーター線を使用することなく、従前通りにマントルヒーター、リボンヒーター又はテープヒーターを、スペーサーブロック（Ａ）を覆って取り付けることもできる。