(57)【要約】薄膜を堆積させるためのシステムは、（ｉ）蒸発性材料を受け入れるためのレセプタクルを画定し、蒸気がカートリッジから排出されることを可能にするように構成された開口を画定するカートリッジであって、（ａ）レセプタクルと開口との間の蒸気経路に配置されたガス透過性部材と、（ｂ）ガス透過性部材と開口との間の蒸気経路に配置されたバッフルとを備えるカートリッジと；（ｉｉ）カートリッジを加熱して蒸発性材料を蒸発させ、それにより第１の蒸気ストリームを生成するように構成された加熱要素とを含む。システムは、第１の蒸気ストリームをガス透過性部材上に凝縮させて、その上に中間コーティングを形成させるように構成され、システムは、中間コーティングを再蒸発させて第２の蒸気ストリームを生成するように構成され、第２の蒸気ストリームは、開口を通して排出される。【選択図】図５０Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜を堆積させるためのシステムであって、前記システムは、
（ｉ）蒸発性材料を受け入れるためのレセプタクルを画定し、蒸気がカートリッジから排出されることを可能にするように構成された開口を画定するカートリッジであって、
（ａ）前記レセプタクルと前記開口との間の蒸気経路に配置されたガス透過性部材と、
（ｂ）前記ガス透過性部材と前記開口との間の蒸気経路に配置されたバッフルとを備えるカートリッジと；
（ｉｉ）前記カートリッジを加熱して前記蒸発性材料を蒸発させ、それにより第１の蒸気ストリームを生成するように構成された加熱要素とを備え、
前記システムは、前記第１の蒸気ストリームを前記ガス透過性部材上に凝縮させて、その上に中間コーティングを形成するように構成され、
前記システムは、前記中間コーティングを再蒸発させて第２の蒸気ストリームを生成するように構成され、前記第２の蒸気ストリームは、前記開口を通して排出される、システム。
【請求項２】
前記システムが、前記蒸発性材料を第１の温度で加熱して第１の蒸気ストリームを生成するように構成され、また前記中間コーティングを第２の温度で加熱して前記第２の蒸気ストリームを生成するように構成され、前記第２の温度は、前記第１の温度よりも低い、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記バッフルが、前記ガス透過性部材と前記開口との間の直接的な見通し線を阻害するように構成される、請求項１または２に記載のシステム。
【請求項４】
前記カートリッジが、ハウジングをさらに備え、前記レセプタクル、前記ガス透過性部材、および前記バッフルが、前記ハウジングの内側に配置される、請求項１から３のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項５】
前記カートリッジが、前記ハウジングに取り付けられたキャップ部分をさらに備え、前記キャップ部分は、前記開口を画定し、前記開口は、前記レセプタクルと流体連通して蒸気が前記カートリッジから排出されることを可能にする、請求項４に記載のシステム。
【請求項６】
前記カートリッジが、前記ハウジングと前記ガス透過性部材との間の熱伝導を阻害するように構成される、請求項４または５に記載のシステム。
【請求項７】
前記カートリッジが、その中に前記ガス透過性部材を受け入れるための空洞を画定する空洞部分をさらに備える、請求項４から６のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項８】
前記空洞部分が、前記ハウジングの内側に配置され、前記空洞部分が、前記ハウジングの壁から離間している、請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記空洞部分が、前記ハウジング内の中央に配置されている、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記カートリッジが、前記空洞部分を含むスリーブをさらに備え、前記スリーブは、前記ハウジングに取り付けられている、請求項７から９のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項１１】
前記空洞が、前記空洞部分の第１の開口を介して前記レセプタクルと流体連通しており、前記レセプタクル内で生成された前記第１の蒸気ストリームが前記空洞内の前記ガス透過性部材に入射することを可能にする、請求項７から１０のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項１２】
前記第２の蒸気ストリームが前記開口を通して排出される前に、前記空洞部分内で生成された前記第２の蒸気ストリームを前記バッフルに入射するように方向付けるための第２の開口部が前記空洞部分に提供されている、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記ガス透過性部材が、有孔部材、メッシュ、ふるい、多孔質部材、またはそれらの２つ以上の任意の組み合わせを含む、請求項１から１２のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項１４】
前記レセプタクル内に配置された蒸発性材料をさらに備える、請求項１から１３のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項１５】
前記蒸発性材料が、蒸発性コーティングであり、前記蒸発性コーティングは、非水平に配向したキャリア表面上に配置される、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記キャリア表面は、実質的に垂直に配向している、請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
前記ハウジングが、前記キャリア表面を提供する、請求項１５または１６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記蒸発性材料が、単一のモノリシック構造である、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１９】
前記蒸発性材料が、実質的に垂直に配向した表面および非垂直に配向した表面を備え、前記実質的に垂直に配向した表面に対応する表面積は、前記非垂直に配向した表面に対応する表面積よりも大きい、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記蒸発性材料と前記ハウジングとの間にギャップが提供される、請求項１８または１９に記載のシステム。
【請求項２１】
前記蒸発性材料の前記実質的に垂直に配向した表面と前記ハウジングとの間にギャップが提供される、請求項１９に記載のシステム。
【請求項２２】
前記蒸発性材料が、無機材料を含む、請求項１４から２１のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項２３】
前記蒸発性材料が、フラーレンを含む、請求項１４から２１のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項２４】
前記フラーレンが、Ｃ６０、Ｃ７０、Ｃ７６、Ｃ８４、またはそれらの２つ以上の任意の混合物を含む、請求項２３に記載のシステム。
【請求項２５】
前記蒸発性材料が、金属を含む、請求項１４から２１のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項２６】
前記蒸発性材料が、アルミニウム、銀、銅、マグネシウム、イッテルビウム、亜鉛、カドミウム、またはそれらの２つ以上の任意の混合物を含む、請求項２５に記載のシステム。
【請求項２７】
前記蒸発性材料が、マグネシウムを含む、請求項２５に記載のシステム。
【請求項２８】
薄膜の堆積に使用するためのカートリッジであって、
（ｉ）蒸発性材料を受け入れるためのレセプタクルを画定し、蒸気が前記カートリッジから排出されることを可能にするように構成された開口を画定する本体と；
（ｉｉ）前記レセプタクルと前記開口との間の蒸気経路における前記本体の内側に配置されたガス透過性部材と；
（ｉｉｉ）前記ガス透過性部材と前記開口との間の蒸気経路における前記本体の内側に配置されたバッフルとを備えるカートリッジ。
【請求項２９】
前記本体が、ハウジングを含み、前記レセプタクル、前記ガス透過性部材、および前記バッフルが、前記ハウジングの内側に配置される、請求項２８に記載のカートリッジ。
【請求項３０】
前記本体が、前記ハウジングに取り付けられたキャップ部分をさらに備え、前記キャップ部分は、前記開口を画定し、前記開口は、蒸気が前記カートリッジから排出されることを可能にするために、前記レセプタクルと流体連通している、請求項２９に記載のカートリッジ。
【請求項３１】
前記ガス透過性部材が、前記ハウジングの内側に配置され、前記ハウジングの壁から離間している、請求項２９または３０に記載のカートリッジ。
【請求項３２】
前記ガス透過性部材が、前記ハウジング内の中央に配置される、請求項３１に記載のカートリッジ。
【請求項３３】
前記ガス透過性部材が、有孔部材、メッシュ、ふるい、多孔質部材、またはそれらの２つ以上の任意の組み合わせを含む、請求項２８〜３２のいずれか一項に記載のカートリッジ。
【請求項３４】
前記レセプタクル内に配置された前記蒸発性材料をさらに備える、請求項２８から３３のいずれか一項に記載のカートリッジ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、２０１８年６月８日に出願された米国仮出願第６２／６８２，７２６号の利益および優先権を主張し、その内容は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本開示の主題は、熱蒸発プロセスにおいて使用するための材料に関する。具体的には、材料を熱的に蒸発させるための装置および方法が本明細書に記載される。
【背景技術】
【０００３】
熱蒸発器は、一般に、光電子デバイス、半導体デバイス、および光学コーティングの製造を含む、様々な用途で薄膜を堆積させるために使用される。例えば、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）および有機光起電力デバイス（ＯＰＶ）の層を含む、光電子デバイスの様々な有機および／または無機層は、熱蒸発プロセスによって堆積され得る。
【０００４】
一般に、蒸発は、真空チャンバ内で、原料を蒸発または昇華させ、蒸発した原料がターゲット表面に移動することを可能にすることにより行われ、蒸発した原料は冷却され、凝華によって堆積する。原料の蒸発は、典型的には、例えば、抵抗加熱または電子ビーム加熱を使用して材料をその昇華温度まで加熱することによって達成される。
【０００５】
様々な熱蒸発器源には、「ボート」タイプの蒸発源、「ボックス」タイプの蒸発源、およびクヌーセンセル（またはＫセル）源が含まれる。ボートタイプの蒸発源は、典型的には、原料を受け入れるための陥凹部を備えた抵抗発熱体の形態のボートを含む。蒸発中、ボートには電流が流れ、ボートが加熱されて原料を蒸発させる。ボックスタイプの蒸発源は、典型的には、加熱されたときに蒸発した材料を逃がすために形成された１つ以上の開口を有する囲いの内側に源材料を受け入れるように構成される。電子ビームを熱源として利用する蒸発器の場合、高エネルギー電子ビームの衝撃によって原料が加熱されて、原料の蒸発をもたらす。
【０００６】
熱蒸発器は、一般に、点源、線形源、または表面源として構成され得る。例えば、点源は一般に、単一の点から蒸気材料を放出するように構成される。線形源は、一般に、線形ノズルまたは線形に配置された一連のノズルから蒸気材料を放出するように構成され得る。表面源は、一般に、平面構成に配置された一連のノズルから蒸気材料を放出するように構成され得る。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
いくつかの実施形態によれば、薄膜を堆積させるためのシステムは、（ｉ）蒸発性材料を受け入れるためのレセプタクルを画定し、蒸気がカートリッジから排出されることを可能にするように構成された開口を画定するカートリッジであって、（ａ）レセプタクルと開口との間の蒸気経路に配置されたガス透過性部材と；（ｂ）ガス透過性部材と開口との間の蒸気経路に配置されたバッフルとを備えるカートリッジと；（ｉｉ）カートリッジを加熱して蒸発性材料を蒸発させ、それにより第１の蒸気ストリームを生成するように構成された加熱要素とを含む。システムは、第１の蒸気ストリームをガス透過性部材上に凝縮させて、その上に中間コーティングを形成させるように構成され、システムは、中間コーティングを再蒸発させて第２の蒸気ストリームを生成するように構成され、第２の蒸気ストリームは、開口を通して排出される。
【０００８】
いくつかの実施形態によれば、薄膜の堆積に使用するためのカートリッジは、（ｉ）蒸発性材料を受け入れるためのレセプタクルを画定し、蒸気がカートリッジから排出されることを可能にするように構成された開口を画定する本体と；（ｉｉ）レセプタクルと開口との間の蒸気経路における本体の内側に配置されたガス透過性部材と；（ｉｉｉ）ガス透過性部材と開口との間の蒸気経路における本体の内側に配置されたバッフルとを含む。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
ここで、添付の図面を参照しながらいくつかの実施形態を例として説明する。
【図１】一例における蒸発器の斜視図である。
【図２】図１の蒸発器の断面図である。
【図３】分散性原料の模式図である。
【図４】（図４Ａ、４Ｂおよび４Ｃ）様々な実施形態に係るカートリッジの斜視図である。
【図５】一例における蒸発器の断面図である。
【図６】一例における線形蒸発器の斜視図である。
【図７】図６の線形蒸発器の断面図である。
【図８】（図８Ａ、８Ｂおよび８Ｃ）様々な実施形態によるカートリッジの斜視図である。
【図９】一例によるカートリッジの斜視図である。
【図１０】一例における図９のカートリッジの断面図である。
【図１１】別の例における図９のカートリッジの断面図である。
【図１２】さらに別の例における図９のカートリッジの断面図である。
【図１３】（図１３Ａ、１３Ｂおよび１３Ｃ）様々な実施形態によるカートリッジの斜視図である。
【図１４−１】（図１４Ａ、１４Ｂおよび１４Ｃ）様々な実施形態によるカートリッジの斜視図である。
【図１４−２】（図１４Ｄおよび１４Ｅ）様々な実施形態によるカートリッジの断面図である。
【図１５】（図１５Ａ、１５Ｂおよび１５Ｃ）様々な実施形態によるカートリッジの斜視図である。
【図１６】（図１６Ａおよび１６Ｂ）様々な実施形態によるカートリッジを備えた蒸発器の断面図である。
【図１７】一例における線形蒸発器の斜視図である。
【図１８】図１７の線形蒸発器の断面図である。
【図１９−１】（図１９Ａ、１９Ｂ、１９Ｃ、１９Ｄ、１９Ｅおよび１９Ｆ）様々な実施形態によるキャリア部材の表面を示す図である。
【図１９−２】（図１９Ａ、１９Ｂ、１９Ｃ、１９Ｄ、１９Ｅおよび１９Ｆ）様々な実施形態によるキャリア部材の表面を示す図である。
【図２０】（図２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄおよび２０Ｅ）様々な実施形態による蒸発性コーティングでコーティングされたキャリア部材の断面図である。
【図２１】蒸発性コーティングでコーティングされたキャリア部材の概略図である。
【図２２】（図２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９および３０）様々な実施形態による、その中に配置された１つ以上のキャリア部材を備えたカートリッジを示す図である。
【図２３】（図２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９および３０）様々な実施形態による、その中に配置された１つ以上のキャリア部材を備えたカートリッジを示す図である。
【図２４】（図２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９および３０）様々な実施形態による、その中に配置された１つ以上のキャリア部材を備えたカートリッジを示す図である。
【図２５】（図２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９および３０）様々な実施形態による、その中に配置された１つ以上のキャリア部材を備えたカートリッジを示す図である。
【図２６】（図２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９および３０）様々な実施形態による、その中に配置された１つ以上のキャリア部材を備えたカートリッジを示す図である。
【図２７】（図２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９および３０）様々な実施形態による、その中に配置された１つ以上のキャリア部材を備えたカートリッジを示す図である。
【図２８】（図２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９および３０）様々な実施形態による、その中に配置された１つ以上のキャリア部材を備えたカートリッジを示す図である。
【図２９】（図２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９および３０）様々な実施形態による、その中に配置された１つ以上のキャリア部材を備えたカートリッジを示す図である。
【図３０】（図２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９および３０）様々な実施形態による、その中に配置された１つ以上のキャリア部材を備えたカートリッジを示す図である。
【図３１】（図３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃおよび３１Ｄ）様々な実施形態による蒸発性コーティングを備えたカートリッジを示す図である。
【図３２Ａ】一実施形態によるカートリッジの斜視図である。
【図３２Ｂ】図３２Ａのカートリッジの断面図である。
【図３３Ａ】一実施形態によるカートリッジの斜視図である。
【図３３Ｂ】図３３Ａのカートリッジの断面図である。
【図３４Ａ】一実施形態における、蒸発性コーティングを備えたカートリッジの断面図である。
【図３４Ｂ】一実施形態における、蒸発器の内側に配置された蒸発性コーティングを備えたカートリッジの断面図である。
【図３５Ａ】一実施形態による、蒸発性コーティングを備えた細長いキャリア部材の斜視図である。
【図３５Ｂ】図３５Ａの細長いキャリア部材の断面図である。
【図３６】一実施形態による蒸発性コーティングを備えたキャリア部材を示す図である。
【図３７】別の実施形態による、蒸発性コーティングを備えたキャリア部材を示す図である。
【図３８】一実施形態による、カートリッジの内側に配置された複数のキャリア部材を示す図である。
【図３９】一実施形態による環状カートリッジを示す図である。
【図４０】一実施形態による蒸発器の内側に配置された図３９の環状カートリッジを示す図である。
【図４１】一実施形態の円筒形カートリッジを示す図である。
【図４２Ａ】一実施形態による円筒形カートリッジの断面図である。
【図４２Ｂ】別の実施形態による円筒形カートリッジの断面図である。
【図４２Ｃ】さらに別の実施形態による円筒形カートリッジの断面図である。
【図４３Ａ】一実施形態の円筒形カートリッジの底面図である。
【図４３Ｂ】別の実施形態による円筒形カートリッジの底面図である。
【図４４Ａ】一実施形態による、蒸発性材料を格納する円筒形カートリッジの断面図である。
【図４４Ｂ】一実施形態による、キャリア部材上に配置された蒸発性コーティングを格納する円筒形カートリッジの断面図である。
【図４４Ｃ】一実施形態による、チャンバ内に提供された蒸発性材料を格納する円筒形カートリッジの断面図である。
【図４４Ｄ】一実施形態による、チャンバ内に提供された複数の蒸発性材料を格納する円筒形カートリッジの断面図である。
【図４５】一実施形態による円筒形カートリッジを示す図である。
【図４６】図４５の実施形態による円筒状カートリッジの断面図である。
【図４７】一実施形態による、蒸発性材料を格納する円筒形カートリッジの断面図である。
【図４８Ａ】カートリッジがテーパ部分を含むハウジングを含む実施形態を示す図である。
【図４８Ｂ】カートリッジのハウジングがテーパして円錐形のハウジングを形成する実施形態を示す図である。
【図４９】一実施形態によるカートリッジの斜視図である。
【図５０Ａ】一実施形態による図４９のカートリッジの断面図である。
【図５０Ｂ】別の実施形態による図４９のカートリッジの断面図である。
【図５１】（図５１Ａおよび５１Ｂ）一実施形態による物理蒸着システムにおけるカートリッジの動作を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図示の簡略化および明確化のために、適切であるとみなされる場合には、対応する、または類似する要素を示すために、参照番号が図面間で繰り返され得ることが理解される。さらに、本明細書で説明される例示的な実施形態の完全な理解を提供するために、多くの特定の詳細が記載されている。しかしながら、本明細書で説明される例示的な実施形態は、それらの特定の詳細の一部がなくても実践され得ることが当業者には理解される。他の例では、本明細書で説明される例示的な実施形態を不明瞭にしないように、特定の方法、手順、および構成要素は詳細には説明されていない。
【００１１】
図１は、蒸発器用のるつぼ１００の例を示す。例えば、るつぼ１００は、点源蒸発器で使用することができる。るつぼ１００は、上部１１０および下部１２０を含む本体により形成される。出口１３０は、蒸発した原料をそこを通して逃がすように上部１３０によって画定される。
【００１２】
図２は、線Ｉ−Ｉに沿ったるつぼ１００の断面を示している。るつぼ１００は、るつぼ１００の本体によって画定されるチャンバ１５０を含み、これは原料を受け入れるように構成されている。図示されるように、るつぼ１００の上部１１０および下部１２０は、チャンバ１５０の内側への原料の配置を容易にするために上部１１０が取り外され得るように、機械的留め具（例えばねじ山）によって互いに接合されてもよい。
【００１３】
原料は通常、粉末、ペレット、および／または顆粒の形態で提供される。そのような原料をるつぼ１００に補充するために、原料は典型的に、貯蔵容器から分配され、るつぼ１００のチャンバ１５０の内側に配置される。しかしながら、そのような様式でるつぼ１００に補充することは、原料が供給される分散性形態（例えば、粉末、ペレットおよび／または顆粒）に起因して、一般に面倒で時間がかかる。さらに、原料が分散性形態で供給される場合、充填量（例えば、るつぼ１００のチャンバ１５０の内側に提供される原料の量）を正確に制御および監視することは、一般に困難である。充填量の変動は、例えば、稼働時間および堆積速度の安定性などのいくつかの堆積パラメータに影響を与える可能性があり、したがって、そのような変動を低減または軽減することが望ましい。
【００１４】
また、少なくともいくつかの場合において、分散性形態の原料は、特に減圧環境（例えば真空）下で、比較的低い熱伝導率を示し得ることも現在判明している。ここで図３を参照すると、隣接する原料３０５の間に形成されたギャップ３１０は、断熱材として作用することによって、それらの間の熱エネルギーの伝達または交換を阻害し得ると想定される。これにより、原料の加熱が不均一になり、したがって原料のある特定の部分が他の部分よりも高温に曝される可能性がある。例えば、いくつかの場合において、より高い蒸発速度を達成するために、原料の蒸発温度よりも実質的に高い温度まで原料を加熱することが望ましい場合がある。特にそのような場合、加熱要素の近位に配置された原料の部分は、そのような加熱要素の遠位に配置された原料の部分と比較して、高温に曝される可能性がある。これにより、特に原料が長時間にわたって高温に曝されると、原料の一部が劣化し得、したがってデバイス性能および／または膜品質が低下する可能性がある。
【００１５】
一態様において、物理蒸着装置で使用するためのカートリッジが提供される。例えば、カートリッジは、蒸発器での使用のために構成され得る。例えば、カートリッジは、蒸発器のるつぼに受け入れられ得る。
【００１６】
再び図２を参照すると、カートリッジ２００は、チャンバ１５０の内側に受け入れられるものとして示されている。カートリッジ２００は、一般に、るつぼ１００およびカートリッジ２００が加熱されると、原料が蒸発して、蒸発した原料の蒸気ストリームを生成するように、中に原料を格納する。次いで、蒸発した原料は、出口１３０を通して送出され、ターゲット基板（図示せず）上に堆積される。
【００１７】
図４Ａ〜４Ｃは、様々な実施形態によるカートリッジ２００を示す。カートリッジは、全般的に数字２００によって参照され、カートリッジ２００の異なる実施形態を指すために異なる接尾辞「ａ」、「ｂ」、「ｃ」などが使用されることが理解される。
【００１８】
図４Ａでは、カートリッジ２００ａは、開口部４１０を画定する実質的に円筒形のハウジングとして示されている。開口部４１０は、円筒形ハウジングの端面のほぼ中央に配置されてもよい。
【００１９】
図４Ｂでは、カートリッジ２００ｂは、複数の開口部４１２を画定する実質的に円筒形のハウジングとして示されている。複数の開口部４１２は、円筒形ハウジングの端面に形成され得る。
【００２０】
図４Ｃでは、カートリッジ２００ｃは、端面にガス透過性部材４２０を有する実質的に円筒形のハウジングとして示されている。そのようなガス透過性部材４２０の例には、スクリーン、有孔プレート、メンブレン、メッシュ、ふるい、多孔質部材（多孔質セラミック部材を含む）、およびそれらの組み合わせが含まれるが、これらに限定されない。ガス透過性部材４２０は、一般に、固体材料の通過を阻害する一方で、蒸発した原料の通過を可能にするように構成される。いくつかの実施形態において、ガス透過性部材４２０は、例えば溶接によって、ハウジングに取り外し不可能に固定されてもよい。
【００２１】
図５は、一例における蒸発器５００を示す。図示されるように、るつぼ１００は、蒸発器５００のケーシング５３０の内側に配置されるものとして示されている。るつぼ１００は、１つ以上の支持体５１０によってケーシング５３０の内側に固定されてもよい。支持体５１０は、るつぼ１００とケーシング５３０との間の熱エネルギーの伝達を低減または軽減するために、比較的低い熱伝導率を示す材料を含み得る。このようにして、るつぼ１００の温度は、全体を通して比較的一定に、そして実質的に均一に維持され得る。例えば、１つ以上の支持体５１０は、セラミック材料を使用して形成されてもよい。加熱要素５２０は、るつぼ１００とケーシング５３０との間に配置されるものとして示されている。例えば、加熱要素５２０は、中に収納されたるつぼ１００およびカートリッジ２００を加熱するために、るつぼ１００の側壁および底部付近に配置されてもよい。
【００２２】
図６は、一例におけるるつぼ６００を示しており、るつぼ６００は、線形蒸発器での使用のために構成されている。るつぼ６００は、上部６１０および下部６２０を接合することにより形成された本体を備える。蒸発した原料の蒸気ストリームをそこから逃がすための複数の出口６３０が、上部６１０に形成されている。上部６１０および下部６２０はそれぞれ、それらの部分を互いに固定するためのフランジ６４０ａ、６４０ｂを含む。例えば、上部６１０および下部６２０は、ボルト、ナット、ねじ、クランプなどを使用して互いに機械的に固定され得る。るつぼ６００を蒸発器７００に取り付けるために、１つ以上の支持体６５０がフランジ６４０ａ、６４０ｂに接合されてもよく、その例が図７に示されている。
【００２３】
図７では、るつぼ６００は、１つ以上の支持体６５０によってケーシング７３０の内側に取り付けられ、加熱要素７２０は、るつぼ６００およびその中に収納されたカートリッジ２００を加熱するためにるつぼ６００とケーシング７３０との間に配置される。
【００２４】
図８Ａでは、カートリッジ２００ｄは、１つ以上の開口部８１０を画定する中空の長方形プリズムとして形成されたハウジングを備える。１つ以上の開口部８１０は、直線的に、ハウジングの長手方向軸に平行に配置され、ハウジングの上面８２１のほぼ中央に形成される。
【００２５】
図８Ｂでは、カートリッジ２００ｅは、複数の開口部８１２を画定する中空の長方形プリズムとして形成されたハウジングを備える。複数の開口部８１０は、列をなして配置され、ハウジングの上面８２３に形成される。
【００２６】
図８Ｃでは、カートリッジ２００ｆは、その上面としてガス透過性部材８１５を有する中空の長方形プリズムとして形成されたハウジングを備える。そのようなガス透過性部材８１５の例には、スクリーン、有孔プレート、メンブレン、メッシュ、ふるい、多孔質部材（多孔質セラミック部材を含む）、およびそれらの組み合わせが含まれるが、これらに限定されない。ガス透過性部材８１５は、一般に、固体材料の通過を阻害する一方で、蒸発した原料の通過を可能にするように構成される。いくつかの実施形態において、ガス透過性部材８１５は、例えば溶接によって、ハウジングに取り外し不可能に固定されてもよい。
【００２７】
図９は、蒸発器９００のさらに別の例を示している。蒸発器９００は、細長い本体９１０を含むものとして示されている。例えば、細長い本体９１０の断面は、本体９１０の長手方向軸に対して垂直に切り取られた場合、実質的に三角形の形状であってもよい。したがって、本体９１０のそのような構成は、中空三角プリズムと呼ばれることもある。本体９１０は、その中に加熱要素９３０を受け入れるために本体９１０を通って延在する内側管９２０を備えてもよい。また、原料を蒸発器９００に導入するために、充填穴９４０が提供されてもよい。るつぼ９５０は、本体９１０の一端に配置されている。るつぼ９５０は、形状および構成が中空の三角柱であってもよい。いくつかの例では、本体９１０およびるつぼ９５０は、互いに取り外し不可能に接合されてもよい。他の例では、本体９１０およびるつぼ９５０は、るつぼ９５０を本体９１０から取り外して原料の補充を容易にすることができるように、互いに取り外し可能に接合されてもよい。複数の出口９６０は、本体９１０の長手方向軸に実質的に平行に配置される。例えば、複数の出口９６０は、本体９１０の頂点のうちの１つに沿って形成されてもよい。
【００２８】
図１０は、一例による線ＩＩ−ＩＩに沿った蒸発器９００の断面図を示す。図１０の例では、内側管９２０は、本体９１０の実質的に全長にわたって延在するように示されている。カートリッジ２００は、るつぼ９５０の内側に受け入れられるように構成される。
【００２９】
図１１は、別の例による線ＩＩ−ＩＩに沿った蒸発器９００の断面図を示す。図１１の例では、補助加熱要素９３２がるつぼ９５０に隣接して提供されている。例えば、補助加熱要素９３２は、るつぼ９５０に取り付けられた区画１１００内に収納されてもよい。このようにして、るつぼ９５０およびその中に収納されたカートリッジ２００は、加熱要素９３０および／または補助加熱要素９３２により加熱され得る。
【００３０】
図１２は、さらに別の例による線ＩＩ−ＩＩに沿った蒸発器９００の断面図を示す。図１２の例では、区画１１００は、るつぼ９５０内に、またはるつぼ９５０を通って延在する突出部分１２１０をさらに含む。いくつかの例では、突出部分１２１０は、るつぼ９５０内に部分的に延在してもよい。他の例では、突出部分１２１０は、実質的にるつぼ９５０を通って内側管９２０の端部に向かって延在してもよい。突出部分１２１０の端部と内側管９２０との間にギャップを提供して、使用中の様々な構成要素の熱膨張による幾何学形状の変化に対応することができる。
【００３１】
図１３Ａ〜１３Ｃは、三角プリズム構成を有するカートリッジ２００の様々な実施形態を示している。例えば、そのようなカートリッジ２００は、図１０および／または図１１に示される蒸発器９００において使用され得る。
【００３２】
図１３Ａでは、カートリッジ２００ｇは、開口部１３１０を画定するハウジングを備える。開口部１３１０は、ハウジングの上面１３２１に形成されている。開口部１３１０は、例えば、頂点のうちの１つの近位に形成されてもよい。他の例では、開口部１３１０は、上面１３２１の中央部分またはその近くなど、上面１３２１の他の部分に形成されてもよい。
【００３３】
図１３Ｂでは、カートリッジ２００ｈは、複数の開口部１３１２を画定するハウジングを備える。複数の開口部１３１２が上面１３２３上に形成されている。複数の開口部１３１２は、例えば、図に示されるように、上面１３２３の周縁部の近位に形成されてもよい。しかしながら、開口部１３１２は他の構成で配置されてもよいことが理解される。
【００３４】
図１３Ｃでは、カートリッジ２００ｉはハウジングを備え、ガス透過性部材１３１５がハウジングの上面を形成している。そのようなガス透過性部材１３１５の例には、スクリーン、有孔プレート、メンブレン、メッシュ、ふるい、多孔質部材（多孔質セラミック部材を含む）、およびそれらの組み合わせが含まれるが、これらに限定されない。ガス透過性部材１３１５は、一般に、固体材料の通過を阻害する一方で、蒸発した原料の通過を可能にするように構成される。いくつかの実施形態において、ガス透過性部材１３１５は、例えば溶接によって、ハウジングに取り外し不可能に固定されてもよい。
【００３５】
図１４Ａ〜１４Ｅは、三角プリズム構成を有するカートリッジ２００の様々な実施形態を示す。例えば、そのようなカートリッジ２００は、図１２に示される蒸発器９００において使用され得、補助加熱要素９３２を収納するための区画１１００は、本体９１０に向かって延在する突出部分１２１０を含む。
【００３６】
図１４Ａでは、カートリッジ２００ｊは、開口部１４１０を画定するハウジングを備える。開口部１４１０は、ハウジングの上面１４２１に形成されている。開口部１４１０は、例えば、頂点のうちの１つの近位に形成されてもよい。他の例では、開口部１４１０は、上面１４２１の中央部分またはその近くなど、上面１４２１の他の部分に形成されてもよい。ハウジングは、例えば、区画１１００の突出部分１２１０を収容するための空洞１４３１をさらに備える。図１４Ｄに示されるように、空洞１４３１は、一実施形態では、上面１４２１と下面１４４１との間のハウジングを通って実質的に延在して、貫通穴を形成することができる。図１４Ｅに示される別の実施形態では、空洞１４３１  ’は、部分的に下面１４４１から上面１４２１に向かって延在して、窪みを形成することができる。
【００３７】
図１４Ｂでは、カートリッジ２００ｋは、複数の開口部１４１２を画定するハウジングを備える。複数の開口部１４１２が上面１４２３上に形成されている。複数の開口部１４１２は、例えば、図に示されるように、上面１４２３の周囲の近位に形成され得る。しかしながら、開口部１４１２は、他の構成で配置されてもよいことが理解されよう。ハウジングは、例えば、区画１１００の突出部分１２１０を収容するための空洞１４３１をさらに備える。空洞１４３１は、実質的にハウジングを通って延在して貫通穴を形成してもよく、または、空洞１４３１は、部分的に下面から上面１４２３に向かって延在して陥凹部を形成してもよい。
【００３８】
図１４Ｃでは、カートリッジ２００ｌはハウジングを備え、ガス透過性部材１４１５がハウジングの上面を形成している。そのようなガス透過性部材１４１５の例には、スクリーン、有孔プレート、メンブレン、メッシュ、ふるい、多孔質部材（多孔質セラミック部材を含む）、およびそれらの組み合わせが含まれるが、これらに限定されない。ガス透過性部材１４１５は、一般に、固体材料の通過を阻害する一方で、蒸発した原料の通過を可能にするように構成される。いくつかの実施形態において、ガス透過性部材１４１５は、例えば溶接によって、ハウジングに取り外し不可能に固定されてもよい。ハウジングは、例えば、区画１１００の突出部分１２１０を収容するための空洞１４３１をさらに備える。空洞１４３１は、実質的にハウジングを通って延在した貫通穴を形成してもよく、または、空洞１４３１は、部分的に下面から上面に向かって延在して陥凹部を形成してもよい。
【００３９】
図１５Ａ〜１５Ｃは、細長いハウジングを有するカートリッジ２００の様々な実施形態を示す。例えば、そのようなカートリッジ２００は、充填穴９４０を介して蒸発器９００の本体９１０にカートリッジ２００を挿入することによって、図９〜１２に示される蒸発器９００において使用され得る。
【００４０】
図１５Ａでは、カートリッジ２００ｍは、開口部１５１０を画定する細長いハウジングを備える。細長いハウジングは、実質的に円筒形であってもよい。開口部１５１０は、図１５Ａに示されるように、細長いスロットの形態で細長いハウジングの側壁に形成されてもよい。
【００４１】
図１５Ｂでは、カートリッジ２００ｎは、複数の開口部１５１２を画定する細長いハウジングを備える。細長いハウジングは、実質的に円筒形であってもよい。複数の開口部１５１２は、一連の開口として細長いハウジングの側壁に形成されてもよい。例えば、複数の開口部１５１２は、細長いハウジングの側壁の周りに実質的に均一に分配されてもよい。
【００４２】
図１５Ｃでは、カートリッジ２００ｐは、ガス透過性部材１５１５を備える。例えば、細長いハウジングは、実質的にガス透過性部材１５１５により形成されてもよい。別の例では、ガス透過性部材１５１５は、ハウジングの外面を実質的に覆ってもよい。例えば、ガス透過性部材１５１５は、細長いハウジングの側壁、および／または細長いハウジングの端面を覆ってもよい。
【００４３】
図１６Ａは、カートリッジ２００が蒸発器９００の内側に提供される実施形態を示す。図１６Ａでは、カートリッジ２００は、充填穴９４０を介して蒸発器９００の本体９１０の内部に挿入されている。例えば、カートリッジ２００は、１つ以上の支持部材１６１０によって本体９１０の内部表面に固定されてもよい。図示された実施形態において、１つ以上の支持部材１６１０の各支持部材は、カートリッジ２００を受け入れるためのスリーブと、スリーブを本体９１０の内部表面に接続するアームとを備えるものとして示されている。例えば、支持部材は、セラミック材料などの比較的低い熱伝導率を示す材料を使用して形成されてもよい。カートリッジ２００が提供されると、充填穴９４０は、封止部材１６２０によって封止され得る。例えば、封止部材１６２０は、ねじ、プラグ、または他の適切なシールであってもよい。
【００４４】
図１６Ｂは、カートリッジ２００が蒸発器９００の内側に提供される別の実施形態を示す。図１６Ｂに示されるように、カートリッジ２００は、封止部材１６２０に接続され得る。例えば、カートリッジ２００は、ねじ、ねじ山、溶接、接着などによって、封止部材１６２０の遠位部分に取り付けられてもよい。他の例では、カートリッジ２００は、例えば、カートリッジ２００と共に封止部材１６２０を一体的に形成することによって、封止部材１６２０を含んでもよい。いくつかの実施形態において、カートリッジ２００と封止部材１６２０との間の熱エネルギーの伝達を阻害するために、カートリッジ２００と封止部材１６２０との間に断熱材料が提供されてもよい。このようにして、カートリッジ２００の温度を比較的一定に保つことができる。
【００４５】
図１７および１８は、蒸発器１７００を示しており、蒸発器１７００は、複数のるつぼ１７２０ａ〜１７２０ｃを備えた線形蒸発器である。蒸発器１７００は、出口１７４０を画定する本体１７１０を含む。複数のるつぼ１７２０ａ〜ｃは、本体１７１０の内側に配置される。各るつぼ１７２０ａ〜ｃの内側にカートリッジが提供され得る。図示される実施形態において、第１のるつぼ１７２０ａには第１のカートリッジ２００が提供され、第２のるつぼ１７２０ｂには第２のカートリッジ２００’が提供され、第３のるつぼ１７２０ｃには第３のカートリッジ２００”が提供される。各カートリッジ２００、２００’、２００”は、異なる原料および／または蒸発性コーティングを備えてもよい。例えば、図１８に示される構成では、各カートリッジ２００、２００’、２００”から生成された蒸気材料は、出口１７４０を介して放出される前に互いに混合され得る。
【００４６】
一態様において、蒸発性原料が提供される。蒸発性原料は、表面に配置された蒸発性コーティングを含む。例えば、表面は、キャリア部材の表面、またはカートリッジもしくはるつぼの表面であってもよい。
【００４７】
いくつかの実施形態において、蒸発性コーティングは、無機材料を含む。そのような無機材料の例には、金属、金属合金、および炭素質材料が含まれるが、これらに限定されない。金属の例には、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、マグネシウム（Ｍｇ）、モリブデン（Ｍｏ）、イッテルビウム（Ｙｂ）、亜鉛（Ｚｎ）、カドミウム（Ｃｄ）、およびそれらの混合物または合金が含まれる。蒸発性コーティングの他の例には、フラーレンが含まれる。例えば、フラーレンは、Ｃ６０、Ｃ７０、Ｃ７６、Ｃ８４、またはそれらの混合物を含み得る。
【００４８】
いくつかの実施形態において、蒸発性コーティングは、実質的に金属からなる。例えば、蒸発性コーティングは、実質的に純粋なマグネシウムを含み得る。他の実施形態において、蒸発性コーティングは、実質的にフラーレンを含む。
【００４９】
いくつかの実施形態において、蒸発性コーティングは、金属およびフラーレンの混合物を含む。例えば、蒸発性コーティングは、マグネシウムおよびフラーレンの混合物を含み得る。
【００５０】
いくつかの実施形態において、例えば熱蒸発などの物理蒸着（ＰＶＤ）プロセスを使用して、蒸発性コーティングを形成することができる。特定の理論に束縛されることを望まないが、蒸発性コーティングを形成する材料の純度は、少なくともいくつかの場合において、蒸発性コーティングを形成するプロセスで改善され得ると想定される。例えば、多くの市販の材料は典型的に、ある特定の量の不純物または汚染物質を含むことが分かっている。原料中に比較的少量（例えば、ｐｐｍ以下）の不純物が存在するだけでも、そのような材料を使用して形成された薄膜の特性に影響を与える可能性があることも分かっている。ＰＶＤプロセスを使用して蒸発性コーティングを形成することにより、出発材料中に存在する少なくともいくらかの不純物の濃度は、そのような不純物が、蒸発性コーティングを形成する材料とは異なる蒸発温度を有することにより低減され得ると想定される。
【００５１】
いくつかの実施形態において、蒸発性コーティングが提供される表面は、実質的に平坦な表面である。いくつかの実施形態において、蒸発性コーティングが提供される表面は、非平坦表面である。例えば、非平坦面は、多孔質表面であってもよい。他の例では、非平坦面は、その上に形成されたいくつかの不規則な特徴を有する比較的粗い表面であってもよい。
【００５２】
いくつかの実施形態において、蒸発性コーティングは、キャリア部材の表面上に配置されてもよい。例えば、キャリア部材は、シート、プレート、ブロック、円筒、球、または他の形状の形態で提供されてもよい。いくつかの実施形態において、キャリア部材は、多孔質部材を含む。例えば、キャリア部材は、有孔体、メッシュ、ふるい、多孔質体、またはそれらの組み合わせの形態で提供されてもよい。
【００５３】
キャリア部材は、一般に、無機材料または炭素質材料を含む。例えば、キャリア部材は、金属、グラファイト、および／またはセラミックを含み得る。いくつかの場合では、高温で非反応性（例えば不活性）であるキャリア部材を提供することが特に有利となり得る。例えば、キャリア部材は、蒸発性コーティングの蒸発温度で実質的に（物理的または化学的に）反応しない材料で構成されてもよい。代替として、またはそれに加えて、キャリア部材には、そのような反応を阻害するためのコーティングが施されてもよい。例えば、キャリア部材および／または非反応性コーティングを形成するために使用される材料は、蒸発性コーティングの蒸発温度よりも高い蒸発温度を示し得る。キャリア部材および／または非反応性コーティングを形成するために使用され得る金属の例には、タンタル、モリブデン、およびチタンが含まれるが、これらに限定されない。いくつかの場合では、比較的高い熱伝導率を示す材料でキャリア部材を形成することが特に有利となり得る。例えば、高い熱伝導率を有する材料は、一般に熱をより容易に伝導し、したがって、キャリア部材の部分が他の部分よりも高い温度で加熱される可能性を低減する。
【００５４】
図１９Ａ〜１９Ｆは、蒸発性コーティングを備えたキャリア部材の様々な実施形態が提供され得ることを示している。
【００５５】
図１９Ａには、実質的に平坦な表面１９１２を有する平面体１９１０の一部が示されている。例えば、平面体１９１０は、金属またはセラミックプレートであってもよい。
【００５６】
図１９Ｂには、メッシュ表面１９２２を有するメッシュ体１９２０の一部が示されている。例えば、メッシュ体１９２０は、編んだ金属ワイヤ、または他の編んだワイヤにより形成されてもよい。
【００５７】
図１９Ｃには、多孔質表面１９３２を有する多孔質体１９３０の一部が示されている。多孔質表面１９３２は、複数の空洞または細孔１９３５を画定する。例えば、そのような多孔質体１９３０は、セラミック材料により形成されてもよい。
【００５８】
図１９Ｄには、複数の穿孔１９４５を画定する穿孔体１９４０の一部が示されている。例えば、有孔体１９４０は、有孔プレートまたは押し出し部材の形態で提供されてもよい。穿孔１９４５は、図１９Ｄに示されるように、実質的に正方形または長方形であってもよい。しかしながら、他の実施形態において、他の形状、サイズおよび構成の穿孔１９４５が提供されてもよい。例えば、穿孔１９４５は、実質的に円形、楕円形、楕円形、六角形、五角形、または他の形状であってもよい。
【００５９】
図１９Ｅには、波形表面１９５２を有する波形部材１９５０の一部が示されている。例えば、波形表面１９５２は、その上に形成された一連の交互の隆起部および溝を含む。
【００６０】
図１９Ｆには、波形表面１９６２を有する別の波形部材１９６０の一部が示されている。例えば、波形表面１９６２は、複数の突起を含む。突起は、例えば、図示されるようなピラミッドの形態、または任意の他の形状および構成であってもよい。
【００６１】
図２０Ａ〜２０Ｅは、様々な実施形態による、その上に蒸発性コーティングを提供した後のキャリア部材の断面図を示す。
【００６２】
図２０Ａには、図１９Ａの平面体１９１０の断面が示されている。図２０Ａでは、蒸発性コーティング２０１０は、実質的に平坦な表面１９１２をコーティングするように提供されている。
【００６３】
図２０Ｂには、図１９Ｂのメッシュ体１９２０の断面が示されている。図２０Ｂでは、蒸発性コーティング２０２０は、メッシュ表面１９２２を実質的にコーティングするように提供されている。例えば、蒸発性コーティング２０２０は、メッシュ表面１９２２を形成する要素（例えばワイヤ）の外面をコーティングしてもよい。
【００６４】
図２０Ｃには、図１９Ｃの多孔質体１９３０の断面が示されている。図２０Ｃでは、蒸発性コーティング２０３０は、多孔質表面１９３２を実質的にコーティングするように提供されている。例えば、蒸発性コーティング２０３０は、隣接する細孔または空洞１９３５の間の表面の部分、および細孔または空洞１９３５を画定する表面の部分をコーティングしてもよい。具体的には、蒸発性コーティング２０３０は、表面１９３２上に形成された細孔または空洞１９３５の内側に提供されてもよい。
【００６５】
図２０Ｄには、図１９Ｄの有孔体１９４０の断面が示されている。図２０Ｄでは、蒸発性コーティング２０４０は、有孔体１９４０の露出表面をコーティングするように提供されている。例えば、蒸発性コーティング２０４０は、穿孔１９４５を画定する有孔体１９４０の部分の上、ならびに上面および下面上に提供されてもよい。
【００６６】
図２０Ｅには、図１９Ｅの波形体１９５０の断面が示されている。図２０Ｅでは、蒸発性コーティング２０５０は、波形体１９５０の波形表面１９５２をコーティングするように提供されている。例えば、蒸発性コーティング２０５０は、その上に形成された隆起および溝を画定する波形表面１９５２の部分の上に提供されてもよい。
【００６７】
いくつかの場合では、非平坦表面上に配置された蒸発性コーティングを提供することが特に有利となり得る。メッシュ表面、多孔質表面、有孔表面、および／または波形表面を有するものなどの非平坦表面を有するキャリア部材は、一般に、比較的大きなキャリア表面積対体積比（ＳＡ：Ｖ）を示す。そのようなキャリア部材は、より高いキャリアＳＡ：Ｖを有する表面にコーティングされた所与の量の蒸発性材料に対してより大量の蒸発性コーティング表面が露出され得るので、その上に蒸発性コーティングを堆積させるために特に望ましくなり得る。換言すれば、キャリアの表面積対体積比は、一般に、その上に堆積された蒸発性コーティングの表面積対体積比と直接相関する。
【００６８】
いくつかの実施形態において、比較的高い表面積対体積比を示す蒸発性コーティングを提供することが特に望ましくなり得る。これは、蒸発性コーティング２１２０を備えたキャリア部材２１１０が示されている図２１を参照してさらに説明される。図２１に示されるように、蒸発性コーティングの露出表面２１２２の近位に配置された蒸発性コーティング２１２０の部分は、２１３１とラベル付けされ（また近位部分２１３１とも呼ばれる）、露出表面２１２２の遠位に配置された蒸発可能コーティング２１２０の部分は、２１３３とラベル付けされている（また遠位部分２１３３とも呼ばれる）。露出表面２１２２は、一般に、ＰＶＤプロセス中に減圧環境（例えば真空環境）にむき出しに置かれる蒸発性コーティング２１２０の表面である。理解されるように、蒸発性コーティング２１２０を形成する材料を蒸発させた結果として生成された任意のガス状材料は、そのような減圧環境において比較的妨げられずに移動することができる。近位部分２１３１および遠位部分２１３３からの平均拡散距離は、それぞれＤ１およびＤ２と表示されている。明確にするために、平均拡散距離は、一般に、蒸発した材料（ガス状材料）が露出表面２１２２に到達するために移動する平均距離を指すことが理解される。
【００６９】
蒸発性コーティング２１２０を加熱して蒸発させるために、加熱要素２１６０が提供される。図２１に示されるように、加熱要素２１６０の相対的配置に基づいて、加熱要素２１６０の近くに配置された近位部分２１３１は、一般に、遠位部分２１３３よりも大きく加熱される（例えば、より迅速に加熱される、および／またはより高い温度に加熱される）ことが分かる。さらに、近位部分２１３１に配置された蒸発性材料を蒸発させることから生成される任意のガス状材料は、遠位部分２１３３の平均拡散距離Ｄ２よりも小さい平均拡散距離Ｄ１を有する。特定の理論に束縛されることを望まないが、より大きく加熱され、より短い平均拡散距離を有するように配置された蒸発性コーティング２１２０の部分は、より低い程度に加熱され、より大きい平均拡散距離を有するように配置されるコーティング２１２０の部分よりも優先的に蒸発すると想定される。さらに、蒸発性コーティング２１２０のそのような優先的な蒸発は、露出表面２１２２の総面積に変化をもたらし得ると想定される。例えば、露出表面２１２２の総面積のそのような変化は、ＰＶＤプロセス中に不均一な蒸発速度をもたらす可能性があり、これは一般に望ましくない。蒸発性コーティングのＳＡ：Ｖを増加させることにより、蒸発性コーティングを形成するための材料の所与の量（例えば質量）に対して、蒸発性コーティングの厚さを低減することができると想定される。このようにして、蒸発性コーティングをより均一に加熱することができ、コーティングの異なる部分間の平均拡散距離の不一致も低減することができる。さらに、そのような構成の蒸発性コーティングは、ＰＶＤプロセス中の長期間にわたって露出表面の総面積を比較的一定に維持することにより、蒸発性コーティングを形成する材料の比較的安定した蒸発を提供することができると想定される。
【００７０】
蒸発性コーティングが平面または実質的に平面の表面上に提供されるいくつかの実施形態が説明されたが、蒸発性コーティングは非平面表面上にも同様に提供され得ることが理解される。例えば、表面は、湾曲、屈曲、および／または折り畳まれていてもよい。
【００７１】
いくつかの例では、非平面表面上に提供される様々な特徴は、周期的に反復する構造であってもよい。例えば、実質的に同一の特徴を反復パターンに配置して、非平面表面を形成してもよい。他の例では、非平面表面上に提供される特徴は、実質的にランダムまたは疑似ランダムであってもよい。例えば、特徴は、形状、サイズ、分布、および／または他の構成において実質的にランダムであってもよい。
【００７２】
一態様において、カートリッジが提供され、カートリッジは、ハウジングと、ハウジングの内側に配置された１つ以上のキャリア部材とを備える。１つ以上のキャリア部材の各キャリア部材は、蒸発性コーティングでコーティングされた表面を含む。カートリッジは、ＰＶＤ装置および／またはプロセスで使用するためのものであってもよい。いくつかの実施形態において、そのようなカートリッジのハウジングは、その中に加熱要素を受け入れるように構成されてもよい。他の実施形態において、カートリッジは、ハウジングの外部に配置された加熱要素によって加熱されるように構成されてもよい。
【００７３】
図２２は、一実施形態によるカートリッジ２２００の概略図である。図２２では、カートリッジ２２００は、出口２２２０を画定するハウジング２２１０を含む。１つ以上のキャリア部材２２４０は、ハウジング２２１０の内側に配置される。いくつかの実施形態において、１つ以上のスペーサ２２４２が、隣接するキャリア部材２２４０の間に提供されてもよい。図２２に示される実施形態において、１つ以上のキャリア部材２２４０は、出口２２２０に実質的に平行に配置される。図２３は、カートリッジ２２００の別の実施形態の概略図であり、１つ以上のキャリア部材２２４０は、出口２２２０に対して実質的に垂直に配置されている。
【００７４】
図２４は、一実施形態によるカートリッジ２４００の概略図であり、出口２４２０を画定する実質的に円筒形のハウジング２４１０が提供されている。１つ以上のキャリア部材２４４０は、ハウジング２４１０の内側に配置され、それらが垂直に積み重ねられた構成になるように配置されるものとして示されている。キャリア部材２４４０を離間させる、および／または支持するために、カートリッジ２４００に１つ以上のスペーサまたは支持部材が提供されてもよい。図２５は、図２４に示されるカートリッジ２４００の上面断面図を示す。
【００７５】
図２６は、別の実施形態によるカートリッジ２６００の上面図であり、１つ以上のキャリア部材２６４０が放射状に配置され、ハウジング２６１０の内側に配置されている。例えば、１つ以上のキャリア部材２６４０は、キャリア部材２６４０が中央支持部材２６６０の周りに放射状に分布するように配置されてもよい。いくつかの実施形態において、中央支持部材２６６０は、中実ロッドの形態で提供されてもよい。他の実施形態において、中央支持部材２６６０は、中空ロッドの形態で提供されてもよい。図２７にさらに示されるように、中空ロッドの形態で提供される中央支持部材２６６０は、温度変調要素（図示せず）を収容するための空間または陥凹部２６６２を画定し得る。そのような温度変調要素の例には、加熱要素および冷却要素が含まれるが、これらに限定されない。中央支持部材２６６０の周りの１つ以上のキャリア部材２６４０の放射状配置は、キャリア部材２６４０の加熱および／または冷却を促進して、より均一な温度プロファイルを達成すると想定される。
【００７６】
図２８は、ハウジング２８１０が中空三角プリズムの形態で提供されるカートリッジ２８００の実施形態を示す。ハウジング２８１０には、出口２８２０が提供されている。１つ以上のキャリア部材２８４０が、ハウジング２８１０内に提供される。
【００７７】
図２９は、カートリッジ２９００の別の実施形態を示しており、ハウジング２９１０は、貫通穴２９１２が貫通する中空三角プリズムの形態で提供されている。ハウジング２９１０には、出口２９２０が提供されている。１つ以上のキャリア部材２９４０が、ハウジング２９１０内に提供されている。
【００７８】
図３０は、カートリッジ３０００が、ハウジング３０１０の内側に格納される非平面キャリア部材３０４０を備えた実施形態を示している。例えば、キャリア部材３０４０は、非平面構成に形成された剛性キャリア部材であってもよく、または、キャリア部材３０４０は、そのような非平面構成に曲げられた、もしくは折り畳まれた可撓性キャリア部材であってもよい。
【００７９】
一態様において、ハウジングを備えるカートリッジが提供され、ハウジング表面の少なくとも一部は、蒸発性コーティングでコーティングされている。ハウジングは、内面および外面を画定し得る。いくつかの実施形態において、ハウジングの外面は、蒸発性コーティングでコーティングされてもよい。他の実施形態において、ハウジングの内面は、蒸発性コーティングでコーティングされてもよい。いくつかの実施形態において、ハウジングの内面および外面の両方が、蒸発性コーティングでコーティングされてもよい。
【００８０】
図３１Ａ〜３１Ｄは、カートリッジ３１００の様々な実施形態を示しており、ハウジング３１１０は、内部表面３１１２および外部表面３１１４を画定している。蒸発性コーティング３１４０は、内部表面３１１２の一部の上に配置される。図３１Ａによる一実施形態において、蒸発性コーティング３１４０は、内部表面３１１２の下部をコーティングする。図３１Ｂによる別の実施形態において、蒸発性コーティング３１４０は、内部表面３１１２の下部、側部、および上部を実質的にコーティングする。図３１Ｃによるさらに別の実施形態において、ハウジング３１１０は、ハウジング３１１０によって画定されるチャンバ内に延在する突出部分３１２０を含み、蒸発性コーティング３１４０は、突出部分３１２０をコーティングする。図３１Ｄによるさらに別の実施形態において、内部表面３１１２の側部は、蒸発性コーティング３１４０でコーティングされる。
【００８１】
図３２Ａおよび３２Ｂは、ハウジング３２１０が中空三角プリズムの形態で提供されるカートリッジ３２００の実施形態を示す。ハウジング３２１０は、蒸発性コーティング３２４０の蒸発から生成された蒸気材料を逃がすための複数の出口３２２０を画定する。例えば、複数の出口３２２０は、ハウジング３２１０の頂点に沿って配置されてもよい。ハウジング３２１０は、実質的にそれを通って延在する貫通穴３２１２を任意選択で画定し得る。例えば、貫通穴３２１２は、その中に温度変調要素（例えば加熱要素）を受け入れるように構成されてもよい。カートリッジ３２００の断面図を示す図３２Ｂにさらに示されるように、ハウジング３２１０の内部表面は、蒸発性コーティング３２４０でコーティングされてもよい。具体的には示されていないが、いくつかの実施形態において、貫通穴３２１２を画定するハウジング３２１０の部分もまた、蒸発性コーティング３２４０でコーティングされてもよい。
【００８２】
図３３Ａおよび３３Ｂは、ハウジング３３１０が細長い出口３３２０を備えているカートリッジ３３００の別の実施形態を示している。例えば、細長い出口３３２０は、実質的に、ハウジング３３１０の長手方向の一端から他端まで延在してもよい。他の例では、細長い出口３３２０は、ハウジング３３１０の一部の上に延在してもよい。ハウジング３３１０は、実質的にそれを通って延在する貫通穴３３１２を任意選択で画定し得る。
【００８３】
図３４Ａは、一実施形態による蒸発器３４００内のカートリッジ３２００の配置を示す。図３４Ａでは、蒸発器３４００の加熱要素３４４０が、カートリッジ３２００の貫通穴３２１２に受け入れられている。そのような構成では、カートリッジ３２００のハウジング３２１０および蒸発性コーティング３２４０は、加熱要素３４４０によって加熱されて、蒸発性コーティング３２４０を蒸発させ、それにより蒸気材料を生成することができる。次いで、蒸気材料は、１つ以上の出口（図示せず）を通って送出され得る。いくつかの実施形態において、カートリッジ３２００のハウジング３２１０はまた、蒸発器３４００の様々な構成要素のためのハウジングとして機能し得る。
【００８４】
図３４Ｂに示される別の実施形態において、蒸発器３４００’は、蒸発器３４００’のハウジングを画定するためのケーシング３４１０を含む。そのような構成では、カートリッジ３２００は、ケーシング３４１０によって画定されるチャンバ内に受け入れられる。加熱要素３４４０は、貫通穴３２１２を通って延在するように提供されてもよい。ケーシング３４１０は、任意選択で、加熱要素３４４０を収納するための部分を含んでもよい。
【００８５】
図３５Ａおよび３５Ｂは、キャリア部材３５１０が提供され、キャリア部材３５１０の外部表面３５１２が蒸発性コーティング３５４０によってコーティングされている実施形態を示す。キャリア部材３５１０は、ロッドの形態で提供されてもよい。例えば、蒸発性コーティング３５４０は、実質的にロッド状キャリア部材３５１０の全周囲に提供されてもよい。
【００８６】
図３６は、キャリア部材３６１０が、外部表面３６１２上に形成された複数のリブ３６１５を備えている別の実施形態を示す。複数のリブ３６１５は、半径方向外向きに延在してもよく、リブ３６１５は、キャリア部材３６１０の長手方向軸に沿って互いに離間してもよい。蒸発性コーティング３６４０は、リブ３６１５の表面を含む、キャリア部材３６１０の外部表面３６１２を実質的にコーティングするように提供される。いくつかの実施形態において、リブ３６１５は、連続スパイラル（例えばスクリュー）として形成されてもよい。
【００８７】
図３７は、キャリア部材３７１０が中空管状部材として形成されるさらに別の実施形態を示す。具体的には、キャリア部材３７１０は、外部表面３７１２および内部表面３７１５を画定する。キャリア部材３７１０の内部表面３７１５によって、陥凹部３７１８が画定される。キャリア部材３７１０の外面３７１２は、蒸発性コーティング３７４０によってコーティングされている。例えば、陥凹部３７１８は、加熱要素などの温度変調要素を収容するように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、陥凹部３７１８は、実質的にキャリア部材３７１０を通って延在してもよい。他の実施形態では、陥凹部３７１８は、部分的にキャリア部材３７１０を通って延在する。
【００８８】
例えば、図３５Ａから３７の実施形態による蒸発性コーティングでコーティングされたロッド状キャリア部材３５１０、３６１０、および３７１０は、蒸発器内に配置され得る。例えば、ここで図１６Ａおよび１６Ｂに示される実施形態を参照すると、ロッド状キャリア部材３５１０、３６１０、および３７１０は、充填穴９４０を介して蒸発器９００の内側に配置され得る。別の例では、図３５Ａ〜３７の実施形態による蒸発性コーティングでコーティングされたロッド状キャリア部材３５１０、３６１０、および３７１０は、カートリッジの内側に格納されてもよい。図３８は、カートリッジ３８００のハウジング３８１０が１つ以上のロッド状キャリア部材３８４０を備えているカートリッジ３８００の実施形態を示す。キャリア部材３８４０のそれぞれは、蒸発性コーティングでコーティングされている。
【００８９】
図３９は、実質的に環状の円筒体３９０１を有するカートリッジ３９００の実施形態を示している。図４０は、一実施形態による蒸発器の内側に配置されたカートリッジ３９００の断面図を示す。カートリッジ３９００の本体３９０１は、上部３９１０、下部３９１２、および上部３９１０の内縁と下部３９１２との間に延在する内側部分３９２２、および上部３９１０の外縁と下部３９１２との間に延在する外側部分３９２０によって画定される。内側部分３９２２は、開口部３９３０を画定する。いくつかの実施形態において、上部３９１０は、蒸気材料がそのような部分を通って送出され得ないように、不透過性部材により形成されてもよい。下部３９１２はまた、不透過性部材により形成されてもよい。例えば、上部３９１０および／または下部３９１２は、例えば金属またはセラミックにより形成される実質的に中実な部材により形成されてもよい。内側部分３９２２および外側部分３９２０は、ガス透過性部材により形成されてもよい。そのようなガス透過性部材の例には、スクリーン、有孔プレート、メンブレン、メッシュ、ふるい、多孔質部材（多孔質セラミック部材を含む）、およびそれらの組み合わせが含まれるが、これらに限定されない。ガス透過性部材は、一般に、固体材料の通過を阻害する一方で、蒸発した原料の通過を可能にするように構成される。カートリッジ３９００の本体３９０１は、蒸発されるべき原料を格納するためのチャンバ３９５０を画定する。例えば、原料は、蒸発性コーティングの形態で、または分散性形態で提供されてもよい。原材料の分散性形態の例には、粉末、ペレット、および顆粒が含まれる。図４０に示されるように、１つ以上の加熱要素４０１０が、カートリッジ３９００を加熱するように配置されてもよい。例えば、１つ以上の加熱要素４０１０は、開口３９３０の内側に、外側部分３９２０に隣接して、またはその両方に提供されてもよい。カートリッジ３９００の配置および構成に基づいて、チャンバ３９５０の内側に格納される原料の蒸発の結果として生成された蒸気物質は、ガス透過性の内側部分３９２２および外側部分３９２０を通して選択的に放出され得ることが分かる。具体的には、蒸気材料が上部３９１０を介して放出または送出されることが実質的に阻害される。このようにして、「スパッタ」または「スピッティング」と呼ばれることもある任意の微粒子がカートリッジ３９００から放出される可能性は、少なくともある特定の材料に対して低減される。
【００９０】
いくつかの実施形態において、カートリッジ３９００は、追加の部材を備えてもよい。さらなる実施形態において、カートリッジ３９００は、追加の環状円筒体をさらに含む。例えば、そのような追加の環状円筒体は、本体３９０１の周りに同心円状に配置されてもよい。そのような実施形態において、追加の環状円筒体は、本体３９０１に対して半径方向遠位に配置されてもよい。そのような追加の環状円筒体と本体３９０１との間にギャップを提供して、加熱要素４０１０および提供され得る任意の追加の加熱要素を収容することができる。
【００９１】
一実施形態において、カートリッジが提供され、カートリッジはハウジングを含む。ハウジングは、蒸発性材料を格納するためのチャンバを画定する。蒸発性材料の蒸気フラックスをチャンバから放出させるために、開口がハウジングに形成される。いくつかの実施形態において、バッフルがチャンバ内に配置される。バッフルは、開口を通して蒸気フラックスを放出する前に、蒸気フラックスの少なくとも一部をバッフルに入射させるように構成される。カートリッジは、ＰＶＤ装置での使用またはＰＶＤ装置との併用のために構成され得る。
【００９２】
図４１は、一実施形態によるカートリッジ４１００を示す。カートリッジ４１００は、蒸気の通過を可能にするための１つ以上の開口４１２０を有するハウジング４１１０を含む。図示される実施形態において、ハウジング４１１０は、実質的に円筒形のハウジングである。図４２Ａを参照すると、カートリッジ４１００の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿った断面図が示されている。図示される実施形態において、ハウジング４１１０は、レセプタクル部分４１１２およびキャップ部分４１１３を含む。ハウジング４１１０は、内面４１１７および外面４１１８を画定し、これらは、レセプタクル部分４１１２およびキャップ部分４１１３の対応する面によって提供され得る。チャンバ４２４０は、ハウジング４１１０によって画定される。例えば、チャンバ４２４０は、レセプタクル部分４１１２の内面４１１７およびキャップ部分４１１３によって画定され得る。１つ以上の開口４１２０は、ハウジング４１１０のキャップ部分４１１３に形成されるものとして示されている。具体的には、図示される実施形態において、１つ以上の開口４１２０の各開口は、内面４１１７上に提供された内部開口部４１２７と、外面４１１８上に提供された外部開口部４１２８との間に延在し、したがって蒸発性材料を蒸発させることにより生成される蒸気フラックス（図示されていない）は、１つ以上の開口４１２０を介して送出されてチャンバ４２４０から放出され得る。カートリッジ４１００は、バッフル４２２０をさらに含む。いくつかの実施形態において、バッフル４２２０は、チャンバ４２４０の内側に配置され、１つ以上の開口４１２０を通る蒸気フラックスの流れを低減または阻害する。例えば、バッフル４２２０は、蒸気フラックスの少なくとも一部が内部開口部４１２７に到達するのを阻止するように構成されてもよい。例えば、バッフル４２２０は、内部開口部４１２７に隣接して、およびそれから離間して配置されてもよい。図示される実施形態において、バッフル４２２０は、実質的に横方向に延在して内部開口部４１２７を覆う阻止部分４２２２を含む。開口部４１２７とバッフル４２２０の阻止部分４２２２との間にギャップ４２３０を提供して、蒸気を開口部４１２７に到達させ、１つ以上の開口４１２０を介してチャンバ４２４０から放出させることができる。しかしながら、１つ以上の開口４１２０に対するバッフル４２２０の配置および構成により、チャンバ４２４０に格納される蒸発性材料（図示せず）から１つ以上の開口４１２０への直接的な見通し線は、実質的に防止される。したがって、チャンバ４２４０から生成された蒸気フラックスの少なくとも一部は、内部開口部４１２７に到達する前にバッフル４２２０に入射し、１つ以上の開口４１２０を通して放出される。特定の理論に束縛されることを望まないが、そのような構成は、カートリッジ４１００の内側の蒸気フラックスの平均保持時間を増加させ、したがって蒸気フラックス材料の平均自由行程を低減し得ると想定される。結果として、任意の微粒子（例えばスパッタ）または原子もしくは分子のクラスタは、一般に、内部開口部４１２７に到達する前にハウジング４１１０の表面と衝突し、したがってそのような微粒子またはクラスタがそのような衝突のために崩壊または微細化する可能性が高まるため、任意のそのような微粒子またはクラスタが１つ以上の開口４１２０を通して放出される可能性は低減される。理解されるように、そのような微粒子またはクラスタの放出は、そのような微粒子またはクラスタのターゲット基板上への堆積が欠陥の形成をもたらし得、これがいくつかの場合ではデバイスの故障を引き起こし得るため、薄膜形成プロセス中は一般に極めて望ましくない。さらに、このように１つ以上の開口４１２０を通る蒸気流を制限すると、カートリッジ４１００の内側の蒸気フラックス材料の分圧を増加させ、蒸気フラックスがカートリッジ４１００から放出される速度の安定性を高めることができるとさらに想定される。例えば、バッフル４２２０は、実質的に環状の部材であってもよい。
【００９３】
いくつかの実施形態において、カートリッジ４１００は、スペーサ４２５０をさらに含む。例えば、スペーサ４２５０は、ハウジング４１１０の外面４１１８に提供されてもよい。スペーサ４２５０は、レセプタクル部分４１１２の底面４１１６上に提供されてもよく、それと一体的に形成されてもよい。スペーサ４２５０は、一般に、カートリッジ４１００とＰＶＤシステムの要素（例えばるつぼまたは加熱器）との間の熱伝導を制限または阻害することによって、そのような要素からカートリッジ４１００を熱的に絶縁するために提供される。例えば、スペーサ４２５０は、比較的低い熱伝導率を示す材料を含み得る。いくつかの実施形態において、スペーサ４２５０は、カートリッジ４１００を動作構成で物理的に支持または維持するように構成される。例えば、使用中、カートリッジ４１００は、カートリッジ４１００がスペーサ４２５０によって直立の配向（例えば動作構成）で支持および維持されるように、そのような配向でＰＶＤシステムのるつぼの内側に配置されてもよい。そのような例では、スペーサ４２５０は、カートリッジ４１００とるつぼとの間の熱伝導を阻害するために、るつぼと直接物理的に接触しているカートリッジ４１００の総表面積を低減するように構成され得る。例えば、スペーサ４２５０は、底面４１１６から突出し、テーパプロファイルを示して、カートリッジ４１００を支持するための十分な構造的完全性を提供しながら、るつぼとの接触面積を低減することができる。
【００９４】
図４２Ｂは、バッフル４２２０が蒸気の通過を可能にするための１つ以上の貫通穴４２２６を含む一実施形態によるカートリッジ４１００’の断面図を示す。例えば、１つ以上の貫通穴４２２６は、１つ以上の開口４１２０に対して実質的に垂直に配向され、チャンバ４２４０の内側で生成された蒸気フラックスがカートリッジ４１００’の表面に衝突せずに１つ以上の開口４１２０を通って逃げるのが実質的に阻害されたままであるように配置され得る。例えば、１つ以上の貫通穴４２２６は、バッフル４２２０の阻止部分４２２２と１つ以上の開口４１２０との間に配置されてもよい。
【００９５】
図４２Ｃは、バッフル４２２０”の阻止部分４２２２”が半径方向外向きにフレアしている別の実施形態によるカートリッジ４１００”の断面図を示す。図示される実施形態において、阻止部分４２２２”は、概して、円錐形の阻止部分を形成する角度で、キャップ部分４１１３から下向きおよび半径方向外向きに延在する。ギャップ４２３０は、円錐形の阻止部分４２２２”と、キャップ部分４１１３上に形成された１つ以上の開口４１２０との間に提供されてもよい。
【００９６】
図４３Ａおよび４３Ｂは、様々な実施形態によるカートリッジ４１００および４１００’’’の底面図を示している。図４３Ａでは、カートリッジ４１００の底面４１１６は、実質的に環状のスペーサ４２５０を含む。図４３Ｂでは、カートリッジ４１００’’’の底面４１１６は、複数のスペーサ４２５０を含み、スペーサ４２５０は、互いに離間して配置されている。
【００９７】
いくつかの実施形態において、カートリッジ４１００は、その中に格納される蒸発性材料をさらに含む。例えば、蒸発性材料は、チャンバ４２４０の内側に提供されてもよい。
【００９８】
図４４Ａは、蒸発性材料が蒸発性コーティング４４２０の形態で提供される実施形態を示す。例えば、蒸発性コーティング４４２０は、内面４１１７をコーティングしてもよい。上記で説明されたように、いくつかの実施形態において、バッフル４２２０は、蒸発性コーティング４４２０と１つ以上の開口４１２０の内部開口部４１２７との間に配置される。
【００９９】
図４４Ｂは、１つ以上のキャリア部材４４４０がチャンバ４２４０の内部に配置されている実施形態を示している。上記のように、１つ以上のキャリア部材４４４０には、蒸発性コーティング４４２０が提供されている。
【０１００】
図４４Ｃは、蒸発性材料４４２１がチャンバ４２４０内に提供されている実施形態を示す。例えば、蒸発性材料４４２１は、単一のモノリシックまたは連続構造であってもよい。図示される実施形態において、蒸発可能材料４４２１とレセプタクル部分４１１２の内面４１１７との間にギャップ４１１８を形成するために、内部スペーサ４４１９が内面４１１７に提供されている。例えば、ギャップ４１１８は、蒸発性材料４４２１の実質的に垂直に配向した表面と、内面４１１７の実質的に垂直な部分（例えば側壁）との間に提供されてもよい。そのような配置では、例えば、ギャップ４１１８は、蒸発性材料４４２１を蒸発させることによって生成される蒸気ストリームが１つ以上の開口４１２０を介して放出される前に移動し得る実質的に垂直なチャネルを提供する。特定の理論に束縛されることを望まないが、蒸発性材料４４２１に含まれ得る汚染物質の少なくとも一部は、熱蒸発プロセス中に放出され得ると想定される。ギャップ４１１８を提供することにより、蒸発性材料４４２１の蒸発中に生成されるそのような汚染物質の少なくとも一部がギャップ４１１８を通って落下し、カートリッジ４１００のチャンバ４２４０の底部付近に蓄積し、したがって、そのような汚染物質がカートリッジ４１００から逃れ、ターゲット基板上に堆積する可能性が低減される。いくつかの実施形態において、内部スペーサ４４１９は、蒸発性材料４４２１の底面と内面４１１７との間にギャップまたは物理的分離を提供するために、内面４１１７の底部に提供されてもよい。例えば、そのようなギャップは、蒸発プロセスに大きな影響を与えることなく汚染物質が蓄積し得る空間を提供し得る。いくつかの実施形態において、蒸発性材料４４２１は、１つ以上の空洞または貫通穴を含んでもよい。例えば、そのような空洞または貫通穴は、実質的に垂直に延在して、蒸気ストリームが生成され得る追加の表面積を提供し得る。
【０１０１】
図４４Ｄは、複数の蒸発性材料４４２１がチャンバ４２４０内に提供されている実施形態を示す。例えば、各蒸発性材料４４２１は、ロッド、プレート、ディスク、ブロック、または他の形状として形作られてもよい。いくつかの実施形態において、蒸発性材料４４２１は、実質的に垂直に配向している。例えば、各蒸発可能材料４４２１は、加熱時に蒸気ストリームが生成され得る追加の表面積を提供するために、互いに離間されてもよい。
【０１０２】
図４５は、別の実施形態によるカートリッジ４５００を示す。カートリッジ４５００は、その上に形成された１つ以上の開口４５２０を有するハウジング４５１０を含む。図４６は、図４５の線ＩＶ−ＩＶに沿ったカートリッジ４５００の断面図を示す。図４６にさらに示されるように、ハウジング４５１０は、レセプタクル部分４５１２およびキャップ部分４５１３を含む。ハウジング４５１０は、内面４５１７および外面４５１８を画定し、これらは、レセプタクル部分４５１２およびキャップ部分４５１３の対応する表面によって提供され得る。チャンバ４６５０は、ハウジング４５１０によって画定される。例えば、チャンバ４６５０は、レセプタクル部分４５１２の内面４５１７およびキャップ部分４５１３によって画定され得る。１つ以上の開口４５２０は、ハウジング４５１０のキャップ部分４５１３に形成されるものとして示されている。１つ以上のキャリア部材４６４０が、チャンバ４６５０の内側に配置される。いくつかの実施形態において、１つ以上のキャリア部材４６４０は、各キャリア部材４６４０が対応する各開口４５２０と実質的に整列して配置されるように、１つ以上の開口４５２０に対して対応して配置される。例えば、そのような配置では、キャリア部材４６４０の中心軸は、対応する開口４５２０の中心軸と実質的に整列されてもよい。いくつかの実施形態において、１つ以上のキャリア部材４６４０は、１つ以上の開口４５２０を介したチャンバ４６５０からカートリッジ４５００の外部への蒸気の流れを制限することによって、バッフルとして機能するように構成され得る。例えば、各キャリア部材４６４０は、蒸発性材料（図示せず）から１つ以上の開口４５２０への直接的な見通し線を実質的に防止するために、対応する開口４５２０の近位に配置された制限部分４６４２を含んでもよい。したがって、チャンバ４６５０から生成された蒸気フラックスの少なくとも一部は、１つ以上の開口４５２０を通して放出される前に、１つ以上のキャリア部材４６４０に入射するようになる。例えば、制限部分４６４２は、対応する開口４５２０の近位に配置されたキャリア部材４６４０の表面を含み得る。制限部分４６４２は、チャンバ４６５０の内側で生成された蒸気を、蒸発性材料から開口４５２０への直接的な見通し線を実質的に防止しながら、開口４５２０を介して逃がすために、ギャップによって開口４５２０から離間されてもよい。特定の理論に束縛されることを望まないが、そのような配置は、蒸気フラックスが１つ以上の開口４５２０を通って放射される速度の安定性を高めるのに寄与し得ると想定される。
【０１０３】
図４６に示される実施形態において、１つ以上のキャリア部材４６４０のそれぞれは、実質的に円筒形の部材である。しかしながら、キャリア部材４６４０の様々な他の構成および形状が使用されてもよいことが理解される。いくつかの実施形態において、１つ以上のキャリア部材４６４０は、カートリッジ４５００のハウジング４５１０に熱的に結合される。例えば、レセプタクル部分４５１２の内面４５１７には、１つ以上のキャリア部材４６４０をその上に固定するためのねじ穴が提供されてもよい。例えば、１つ以上のキャリア部材４６４０は、カートリッジ４５００の様々な部品または要素の比較的均一な加熱を可能にする熱伝導性材料を含んでもよい。例えば、このようにして、カートリッジ４５００の内側に格納される任意の蒸発性材料を均一に加熱して、ホットスポットを作成する、または蒸発性材料の任意の部分を過熱する可能性を低減することができる。いくつかの実施形態において、１つ以上のキャリア部材４６４０は、ハウジング４５１０のレセプタクル部分４５１２またはキャップ部分４５１３と一体的に形成されてもよい。
【０１０４】
１つ以上のキャリア部材４６４０は、一般に、蒸発性材料を支持または格納するように構成される。例えば、そのような蒸発性材料は、蒸発性コーティングの形態で１つ以上のキャリア部材４６４０上に提供されてもよい。いくつかの実施形態において、蒸発性コーティングは、ハウジング４５１０の内面４５１７にさらに提供され得る。図４７は、１つ以上のキャリア部材４６４０の表面およびハウジング４５１０の内部表面４５１７に蒸発性コーティング４７２０が配置されている実施形態を示す。
【０１０５】
いくつかの実施形態において、蒸発性コーティングが配置される表面は、重力方向に対して非水平に配置される。例えば、蒸発性コーティングが配置される表面は、重力方向に対して実質的に平行になるように、重力方向に対して実質的に垂直に配置される。したがって、カートリッジが蒸発性コーティングを含むいくつかの実施形態において、蒸発性コーティングは、カートリッジの動作構成において実質的に垂直に配向した表面上に配置されてもよい。特定の理論に束縛されることを望まないが、蒸発性コーティングに含まれる汚染物質の少なくとも一部は、熱蒸発プロセス中に放出され得ると想定される。蒸発性コーティングを実質的に垂直な表面に配置することにより、そのような汚染物質の少なくとも一部がカートリッジのチャンバの底部近くに蓄積し、したがってそのような汚染物質がカートリッジから逃げて標的基板に堆積する可能性を低減すると想定される。さらに、蒸発性コーティングを実質的に垂直な表面に配置することにより、そのような汚染物質の蒸発性コーティング表面への再堆積が阻害され得る。
【０１０６】
図４７は、カートリッジ４５００が蒸発性コーティング４７２０を含む実施形態を示す。蒸発性コーティング４７２０は、１つ以上のキャリア部材４６４０の表面およびハウジング４５１０のレセプタクル部分４５１２の内面４５１７に配置されるものとして示されている。
【０１０７】
一態様において、蒸発性コーティングを蒸発させるための方法が提供される。この方法は、蒸発性コーティングでコーティングされたキャリア表面を提供することと、蒸発性コーティングを加熱して蒸発性コーティングを蒸発させることとを含む。蒸発性コーティングを蒸発させることにより、蒸気材料を生成することができる。いくつかの実施形態において、キャリア表面は、１つ以上のキャリア部材によって提供される。他の実施形態において、１つ以上のキャリア部材は、カートリッジのハウジングの内側に配置される。いくつかの他の実施形態において、キャリア表面は、カートリッジのハウジングの表面によって提供される。例えば、そのような表面は、ハウジングの内部表面または内面であってもよい。
【０１０８】
図４８Ａは、カートリッジ４８００がテーパ部分を含むハウジング４８１０を含む実施形態を示す。例えば、図示される実施形態において、ハウジング４８１０は、ハウジング４８１０のベース部分４８１１がカートリッジ４８００の上部４８１３よりも狭くなるようにテーパしている。カートリッジ４８００のハウジング４８１０は、上部４８１３に形成された開口４８２０をさらに含む。
【０１０９】
図４８Ｂは、カートリッジ４８００’のハウジング４８１０がベース部分４８１１でテーパして円錐形のハウジング４８１０を形成する実施形態を示す。ハウジング４８１０の上部４８１３は、ベース部分４８１１よりも広くなるように構成され、上部４８１３には、開口部４８２０が提供されている。
【０１１０】
例えば、図４８Ａおよび４８Ｂの実施形態によるカートリッジ４８００および４８００’は、ＰＶＤシステムで使用するための対応する形状のるつぼ内に適合するように構成され得る。
【０１１１】
一態様において、表面上に薄膜コーティングを堆積させるためのシステムが提供される。いくつかの実施形態によれば、システムは、カートリッジと、カートリッジ内に配置された蒸発性材料と、カートリッジを加熱して蒸発性材料を蒸発させ、それによって第１の蒸気ストリームを生成するように構成される加熱要素とを含む。カートリッジは、蒸発性材料を受け入れるためのレセプタクルと、カートリッジから蒸気を排出させるように構成された開口と、ガス透過性部材と、ガス透過性部材と開口との間の蒸気経路に配置されたバッフルとを含む。いくつかの実施形態において、システムは、第１の蒸気ストリームをガス透過性部材上に凝縮させて、その上に中間コーティングを形成するように構成される。中間コーティングは再蒸発されて、第２の蒸気ストリームを生成する。次いで、第２の蒸気ストリームが開口を通して排出される。
【０１１２】
図４９は、一実施形態によるカートリッジ４９００を示す。カートリッジ４９００は、ハウジング４９１０と、カートリッジ４９００から蒸気を排出させるための１つ以上の開口４９２０とを含む。図５０Ａは、図４９に示される線Ｖ−Ｖに沿ったカートリッジ４９００の断面図を示す。
【０１１３】
図５０Ａに示されるように、カートリッジ４９００は、その中に蒸発性材料を受け入れるように構成されたハウジング４９１０によって形成されたレセプタクルまたはチャンバ４９４０を含む。カートリッジ４９００は、ハウジング４９１０に嵌合および挿入されるスリーブ４９１５を含む。スリーブ４９１５は、その中にガス透過性部材４９５１を収納するための空洞４９７０を画定する空洞部分４９９１を含む。キャップ部分４９１３は、スリーブ４９１５に嵌合および挿入され、キャップ部分４９１３は、バッフル４９３０を含み、開口４９２０を画定する。ハウジング４９１０、スリーブ４９１５、およびキャップ部分４９１３は、集合的にカートリッジ４９００の本体と呼ばれ得る。空洞４９７０は、空洞４９７０の底部に形成された（および空洞部分４９９１の底に形成された）第１の開口部４９７１を介してレセプタクル４９４０に接続される。蒸気をキャップ部分４９１３に向けて流し、開口部４９２０を介して排出させるために、第２の開口部４９７３もまた空洞４９７０の上部に提供される（および空洞部分４９９１の上部に形成される）。補助ガス透過性部材４９６１および４９６３は、それぞれ第１の開口部４９７１および第２の開口部４９７３に提供される。図示される実施形態において、補助ガス透過性部材４９６１および４９６３ならびにガス透過性部材４９５１は、レセプタクル４９４０から開口４９２０に移動するいかなる蒸気もそのような部材に入射するように配置される。さらに、バッフル４９３０は、第２の開口部４９７３を介して空洞４９７０からキャップ部分４９１３に向かって移動するいかなる蒸気も、開口４９２０を介して排出される前にバッフル４９３０に入射するように、第２の開口部４９７３に対して配置される。例えば、図示される実施形態において、バッフル４９３０は、実質的に横方向に延びる阻止部分４９３２を含み、蒸気が開口４９２０に直接流れるのを阻害する。開口４９２０および第２の開口部４９７３に対するバッフル４９３０の配置および構成により、第２の開口部４９７３から開口４９２０への直接的な見通し線は実質的に防止される。
【０１１４】
特定の理論に束縛されることを望まないが、そのような構成は、カートリッジ４９００の内側の蒸気フラックスの平均保持時間を増加させ、したがって蒸気フラックス材料の平均自由行程を低減すると想定される。さらに、結果として、任意の微粒子（例えばスパッタ）または原子もしくは分子のクラスタが１つ以上の開口４９２０を通して放出される可能性は、任意のそのような微粒子またはクラスタが一般に排出される前にカートリッジ４９００の表面と衝突するため、低減されると想定される。さらに、特にバッフル４９３０と組み合わせたガス透過性部材４９６１、４９５１、および４９６３のそのような配置のために、蒸発プロセス中にカートリッジ４９００から汚染物質（蒸発性材料に存在し得る）が放出される可能性が低減されると想定される。例えば、非気相中のあらゆる汚染物質、ならびにレセプタクル４９４０内で生成された微粒子は、補助ガス透過性部材４９６１の存在により、空洞４９７０に入るのを実質的に阻害され得る。ガス透過性部材４９５１および補助ガス透過性部材４９６３、ならびに空洞４９７０またはその近くで生成されたスパッタが開口４９２０を介して排出されるのを阻害するために曲がりくねった蒸気経路を作り出すバッフル４９３０の配置により、そのような汚染物質および微粒子がカートリッジ４９００から排出される可能性はさらに低減される。
【０１１５】
図５０Ｂは、カートリッジ４９００が複数のガス透過性部材４９５１ａ、４９５１ｂ、４９５１ｃを備えている実施形態を示す。そのような実施形態において、レセプタクル４９４０内の蒸発性材料（図示せず）を蒸発させることによって生成される蒸気は、第１のガス透過性部材４９５１ａ、第２のガス透過性部材４９５１ｂ、次いで第３のガス透過性部材４９５１ｃを順に通過する。いくつかの実施形態において、ガス透過性部材４９５１ａ、４９５１ｂ、４９５１ｃは、互いに異なる細かさを有するように構成され得る。例えば、第３のガス透過性部材４９５１ｃは、第１のガス透過性部材４９５１ａよりも細かい第２のガス透過性部材４９５１ｂよりも細かくてもよい。例えば、空洞４９７０を通って移動する蒸気は、徐々に細かくなるガス透過性部材に入射し得る。理解されるように、ガス透過性部材４９５１ａ、４９５１ｂ、４９５１ｃの細かさは、例えば、細孔サイズ（発泡体もしくは他の多孔質部材の場合）、密度、および／またはメッシュサイズ（ふるいもしくはメッシュの場合）によって決定され得る。
【０１１６】
ＰＶＤシステムにおけるカートリッジ４９００の動作は、図５１Ａおよび５１Ｂに示されている。図５１Ａを参照すると、図５０Ａの実施形態によるカートリッジ４９００が示されている。カートリッジ４９００は、レセプタクル４９４０内に提供される蒸発性コーティング５１１０の形態の蒸発性材料を含む。例えば、蒸発性コーティング５１１０は、ハウジング４９１０の内部表面４９１７上に直接配置される。他の実施形態において、蒸発性コーティング５１１０は、キャリア部材の表面上に提供されてもよい。いくつかの実施形態において、蒸発性コーティング５１１０は、実質的に垂直に配向した表面（例えば、内部表面４９１７の垂直部分）上に提供される。カートリッジ４９００を加熱するためのシステムには、加熱要素５１０１が提供されている。システムは、カートリッジ４９００を加熱すると、蒸発性コーティング５１１０が蒸発して第１の蒸気ストリームを生成するように構成される。例えば、第１の蒸気ストリームは、蒸発性コーティング５１１０が第１の温度に加熱されると生成され得る。例えば、第１の温度は、概して、蒸発性コーティング５１１０を形成するための材料の昇華温度に対応し得る。第１の蒸気ストリームは、第１の開口部４９７１を通ってレセプタクル４９４０から空洞４９７０内に移動するように構成される。第１の蒸気ストリームを補助ガス透過性部材４９６１に通すことにより、第１の蒸気ストリームに同伴される、または別様に運搬される微粒子または汚染物質を濾過して取り除くことができる。いくつかの実施形態において、システムは、第１の蒸気ストリームがガス透過性部材４９５１上に凝縮されて、その上に中間コーティング（図示せず）を形成するように構成される。例えば、カートリッジ４９００は、ガス透過性部材４９５１がハウジング４９１０よりも低い温度に加熱され、それにより第１の蒸気ストリームをその上で凝縮させるように構成されてもよい。別の例では、カートリッジ４９００は、レセプタクル４９４０が空洞４９７０よりも高い圧力を受け、それにより、レセプタクル４９４０およびガス透過性部材４９５１が実質的に類似しているいくつかの場合であっても、第１の蒸気ストリームをガス透過性部材４９５１上に凝縮させるように構成されてもよい。いくつかの実施形態において、ガス透過性部材４９５１の温度は、温度勾配を形成するために異なる部分で変動してもよい。例えば、キャップ部分４９１３の近位に配置されたガス透過性部材４９５１の部分は、第１の開口部４９７１の近位に配置された別の部分よりも高温であってもよい。例えば、そのような温度勾配は、キャップ部分４９１３に加えられるものより大きな熱負荷によって引き起こされてもよく、これは次いで、キャップ部分４９１３に近接するガス透過性部材４９５１の部分に向かって伝導または放射される。システムは、中間コーティングが次いでガス透過性部材４９５１から蒸発して第２の蒸気ストリームを生成するように構成される。例えば、ガス透過性部材４９５１は、第２の蒸気ストリームを生成するために第２の温度で加熱されるように構成されてもよい。いくつかの実施形態において、第２の温度は、第１の温度よりも低い。それにもかかわらず、第２の温度は、中間コーティングを蒸発させるのに十分であり得る。次いで、第２の蒸気ストリームは、第２の開口部４９７３およびそこに提供された補助ガス透過性部材４９６３を通過する。このようにして、微粒子または不純物が補助ガス透過性部材４９６３を通過するのが実質的に阻害され得る。第２の蒸気ストリームは、第２の開口部４９７３を介して空洞４９７０を出ると、開口部４９２０を通って排出される前にバッフル４９３０に入射する。いくつかの実施形態において、バッフル４９３０は、ガス透過性部材４９５１と開口４９２０との間の直接的な見通し線を実質的に阻害するように構成され、したがって、第２の蒸気ストリームの実質的にすべてが、排出される前にカートリッジ４９００の一部に入射するようになる。カートリッジ４９００から排出された第２の蒸気ストリームは、薄膜層またはデバイスを形成するために基板（図示せず）上に堆積されてもよい。いくつかの実施形態において、カートリッジ４９００は、るつぼがカートリッジ４９００と加熱要素５１０１との間に配置されるように、るつぼ（図示せず）の内部に配置される。
【０１１７】
図５１Ｂは、蒸発性材料５１１０が単一のモノリシックまたは連続構造として提供される別の実施形態を示す。例えば、蒸発性材料５１１０は、環状体または開いた円筒の形状であってもよい。蒸発性材料５１１０は、実質的に垂直に配向した表面４９８１および非垂直に配向した表面４９８３を含み、実質的に垂直に配向した表面４９８１に対応する表面積は、非垂直に配向した表面４９８３に対応する表面積よりも、例えば約１．１倍以上、約１．３倍以上、約１．５倍以上、約２倍以上、約５倍以上、または約１０倍以上大きい。
【０１１８】
いくつかの実施形態において、カートリッジ４９００は、ハウジング４９１０とガス透過性部材４９５１との間の熱伝導を阻害するように構成される。いくつかの実施形態において、スリーブ４９１５によって画定される空洞４９７０は、ハウジング４９１０から離間している。ガス透過性部材４９５１、４９６１、または４９６３の例には、有孔部材、メッシュ、ふるい、多孔質部材、またはそれらの任意の組み合わせが含まれるが、これらに限定されない。例えば、ガス透過性部材４９５１、４９６１、または４９６３は、金属またはセラミックで形成され得る。いくつかの実施形態において、中間コーティングを形成するための材料の純度は、出発蒸発材料を形成するための材料の純度よりも高い。
【０１１９】
いくつかの実施形態において、ガス透過性部材４９５１は、金属メッシュである。金属メッシュは、約１００以上、約１５０以上、約２００以上、約３００以上、約５００以上、約６００以上、または約７００以上のメッシュサイズを有し得る。例えば、ガス透過性部材４９５１は、約１００から約２０００の間のメッシュサイズを有する金属メッシュを含み得る。
【０１２０】
いくつかの実施形態において、開口４９２０は、カートリッジ４９００から排出された蒸気フラックスの均一性を高めるように構成され得る。例えば、カートリッジ４９００は、そのような目的のために、開口４９２０に接続された、またはそれと一体的に形成されたノズルをさらに含んでもよい。
【０１２１】
上記のようなカートリッジおよび蒸発性コーティングを備えたキャリア部材を含む装置の様々な実施形態は、いくつかの実施形態において導電性コーティングまたはその一部を堆積させるために使用され得る。したがって、一態様において、光電子デバイスを製造するための方法が提供され、この方法は、（ｉ）第１の電極と、第１の電極の少なくとも一部の上に配置された１つ以上の半導体層とを備える基板を提供することと；（ｉｉ）（ａ）蒸発性コーティングでコーティングされたキャリア表面を提供すること；（ｂ）蒸発性コーティングを加熱して蒸気ストリームを生成すること；および（ｃ）基板を蒸気ストリームに曝露して第２の電極を基板上に堆積させることにより、第２の電極を基板上に堆積させることとを含む。例えば、そのような光電子デバイスは、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）および有機光起電デバイス（ＯＰＶ）を含む有機光電子デバイスであってもよい。いくつかの実施形態において、（ｃ）では、１つ以上の半導体層の表面が蒸気ストリームに曝露されて、第２の電極が１つ以上の半導体層の表面上に堆積される。例えば、ＯＬＥＤの場合、１つ以上の半導体層は、発光層またはエレクトロルミネセント層を含んでもよい。いくつかの実施形態において、１つ以上の半導体層は、正孔注入層、電子阻止層、正孔輸送層、電子輸送層、正孔阻止層、および／または電子注入層を含んでもよい。いくつかの実施形態において、第１の電極はアノードであってもよく、第２の電極はカソードであってもよい。例えば、第２の電極は、電子注入層の表面上に堆積されてもよい。
【０１２２】
本明細書に記載される、カートリッジ、キャリア部材、および蒸発性コーティングの様々な実施形態の異なる特徴は、異なる手法で互いに組み合わせることができることが理解される。換言すれば、カートリッジ、キャリア部材（複数可）、または蒸発性コーティングの一実施形態に関して説明された特徴は、特に明記されないが、カートリッジ、キャリア部材（複数可）、および／または蒸発性コーティングの他の実施形態にも適用することができる。
【０１２３】
本明細書で使用する場合、「実質的に」、「実質的な」、「約（ａｐｐｒｏｘｉｍａｔｅｌｙ）」、および「約（ａｂｏｕｔ）」という用語は、小さな変動を示し、説明するために使用される。事象または状況と組み合わせて使用する場合、これらの用語は、事象または状況が正確に発生する場合だけでなく、事象または状況が近似的に発生する場合も指す場合がある。例えば、数値と組み合わせて使用する場合、これらの用語は、その数値の±１０％以下、例えば±５％以下、±４％以下、±３％以下、±２％以下、±１％以下、±０．５％以下、±０．１％以下、または±０．０５％以下などの変動の範囲を指す場合がある。例えば、第１の数値が第２の数値の±１０％以下、例えば±５％以下、±４％以下、±３％以下、±２％以下、±１％以下、±０．５％以下、±０．１％以下、または±０．０５％以下の変動の範囲内である場合、第１の数値は、第２の数値と「実質的に」同じとなり得る。例えば、「実質的に」平行とは、±１０°以下、例えば±５°以下、±４°以下、±３°以下、±２°以下、±１°以下、または±０．５°以下、±０．１°以下、または±０．０５°以下の０°に対する角度変動の範囲を指し得る。
【０１２４】
さらに、量、比率、および他の数値は、本明細書において範囲形式で提示される場合がある。そのような範囲形式は、便宜上および簡潔にするために使用され、範囲の制限として明示的に指定された数値だけでなく、その範囲内に包含されるすべての個々の数値または部分範囲を、各数値および部分範囲が明示的に指定されるのと同等に含むように柔軟に理解されるべきであることが理解され得る。
【０１２５】
本開示をある特定の実施形態を参照して説明したが、その様々な修正は、当業者には明らかであろう。本明細書で提供される例はいずれも、本開示を例示する目的でのみ含まれており、決して本開示を限定することを意図していない。本明細書で提供される図面はいずれも、本開示の様々な態様を例示することのみを目的としており、決して縮尺通りであること、または本開示を限定することを意図していない。本明細書に添付される特許請求の範囲は、上記の説明に記載された特定の実施形態によって限定されるべきではなく、全体として本開示と一致する最も広い解釈が与えられるべきである。本明細書に列挙される全ての文書の開示は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１３Ｃ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１４Ｃ】
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【図１４Ｄ】
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【図１４Ｅ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１５Ｃ】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９Ａ】
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【図１９Ｂ】
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【図１９Ｃ】
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【図１９Ｄ】
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【図１９Ｅ】
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【図１９Ｆ】
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【図２０Ａ】
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【図２０Ｂ】
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【図２０Ｃ】
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【図２０Ｄ】
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【図２０Ｅ】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１Ａ】
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【図３１Ｂ】
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【図３１Ｃ】
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【図３１Ｄ】
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【図３２Ａ】
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【図３２Ｂ】
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【図３３Ａ】
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【図３３Ｂ】
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【図３４Ａ】
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【図３４Ｂ】
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【図３５Ａ】
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【図３５Ｂ】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２Ａ】
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【図４２Ｂ】
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【図４２Ｃ】
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【図４３Ａ】
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【図４３Ｂ】
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【図４４Ａ】
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【図４４Ｂ】
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【図４４Ｃ】
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【図４４Ｄ】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８Ａ】
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【図４８Ｂ】
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【図４９】
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【図５０Ａ】
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【図５０Ｂ】
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【図５１Ａ】
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【図５１Ｂ】
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【国際調査報告】
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2021527165.tif 000093