(57)【要約】【課題】貯留タンク内のスラリーの量を把握することができるスラリー再生装置を提供する。【解決手段】ワイヤソー５１でシリコンインゴットＩを切断するときに生じた切屑および砥粒を含む使用済クーラントからなるスラリーＳを再利用可能に再生するスラリー再生装置１０は、再生処理するスラリーＳを貯留する貯留タンク１１と、貯留タンク１１に貯留されたスラリーＳの液面を検知するための液面検知手段１２Ｌとを備えている。液面検知手段１２Ｌで検知されたスラリーＳの液面から、貯留タンク１１内のスラリーＳの量を把握することができる。そのため、スラリーＳの再生中、貯留タンク１１内のスラリーＳを枯渇させたり、貯留タンク１１からスラリーＳを溢れさせることが抑制される。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤソーでシリコンインゴットを切断するときに生じた切屑および砥粒を含む使用済クーラントからなるスラリーを再利用可能に再生するスラリー再生装置であって、
再生処理するスラリーを貯留する貯留タンクと、
前記貯留タンクに貯留されたスラリーの液面を検知するための液面検知手段と、
を備えている、スラリー再生装置。
【請求項２】
前記液面検知手段は、所定の下限液面を検知可能なセンサを備え、
当該スラリー再生装置は、前記センサが前記下限液面を検知したとき、スラリーを前記貯留タンクへ供給する供給調整部を備えている、請求項１に記載のスラリー再生装置。
【請求項３】
前記供給調整部は、
スラリーを備蓄する備蓄タンクと、
前記備蓄タンクと前記貯留タンクとを接続する配管と、
前記配管を介して前記備蓄タンク内のスラリーを前記貯留タンクへ送ることが可能なポンプと、
前記センサが前記下限液面を検知したとき、前記ポンプを駆動することにより、前記配管を介して前記備蓄タンクから前記貯留タンクへスラリーを供給し、前記スラリーの供給量が所定の一定量に達したとき、前記ポンプを停止することにより、前記スラリーの供給を停止する制御を行う供給調整制御部と、
を備えている、請求項２に記載のスラリー再生装置。
【請求項４】
前記液面検知手段は、所定の下限液面を検知可能なセンサを備え、
当該スラリー再生装置は、前記センサが前記下限液面を検知したとき、そのことを報知する報知部を備えている、請求項１に記載のスラリー再生装置。
【請求項５】
前記報知部は、
周囲に情報を提示する情報提示装置と、
前記センサが前記下限液面を検知したとき、前記情報提示装置を駆動することにより、貯留タンク内のスラリーの液面が前記下限液面まで低下したことを周囲に報知する制御を行う報知制御部と、
を備えている、請求項４に記載のスラリー再生装置。
【請求項６】
前記液面検知手段は、所定の下限液面および所定の上限液面を検知可能なセンサを備え、
当該スラリー再生装置は、前記センサが前記下限液面を検知したとき、スラリーを前記貯留タンクへ供給し、前記センサが前記上限液面を検知したとき、前記スラリーの貯留タンクへの供給を停止する供給調整部を備えている、請求項１に記載のスラリー再生装置。
【請求項７】
前記供給調整部は、
スラリーを備蓄する備蓄タンクと、
前記備蓄タンクと前記貯留タンクとを接続する配管と、
前記配管を介して前記備蓄タンク内のスラリーを前記貯留タンクへ送ることが可能なポンプと、
前記センサが前記下限液面を検知したとき、前記ポンプを駆動することにより、前記配管を介して前記備蓄タンクから前記貯留タンクへスラリーを供給し、前記センサが前記上限液面を検知したとき、前記ポンプを停止することにより、前記スラリーの供給を停止する制御を行う供給調整制御部と、
を備えている、請求項６に記載のスラリー再生装置。
【請求項８】
前記液面検知手段は、所定の下限液面および所定の上限液面を検知可能なセンサを備え、
当該スラリー再生装置は、前記センサが前記下限液面を検知したとき、スラリーを前記貯留タンクへ供給し、前記センサが前記上限液面を検知したとき、そのことを報知する供給調整部を備えている、請求項１に記載のスラリー再生装置。
【請求項９】
前記供給調整部は、
スラリーを備蓄する備蓄タンクと、
前記備蓄タンクと前記貯留タンクとを接続する配管と、
前記配管を介して前記備蓄タンク内のスラリーを前記貯留タンクへ送ることが可能なポンプと、
周囲に情報を提示する情報提示装置と、
前記センサが前記下限液面を検知したとき、前記ポンプを駆動することにより、前記配管を介して前記備蓄タンクから前記貯留タンクへスラリーを供給し、前記センサが前記上限液面を検知したとき、前記情報提示装置を駆動することにより、貯留タンク内のスラリーの液面が前記上限液面まで上昇したことを周囲に報知する制御を行う供給調整制御部と、
を備えている、請求項８に記載のスラリー再生装置。
【請求項１０】
前記液面検知手段は、液面計である、請求項１から９のいずれか１項に記載のスラリー再生装置。
【請求項１１】
スラリーを前記貯留タンクから導出して再生処理する再生処理部を備えている、請求項１から１０のいずれか１項に記載のスラリー再生装置。
【請求項１２】
前記再生処理部は、再生処理したスラリーの一部を前記貯留タンクへ戻すように構成されている、請求項１１に記載のスラリー再生装置。
【請求項１３】
前記再生処理部は、スラリーを遠心分離し、切屑を高濃度で含む固形分と、切屑を低濃度で含み、貯留タンクへ循環される遠心分離液とに分離する遠心分離部、および、スラリーを膜分離し、切屑を濃縮して含み、貯留タンクへ循環される濃縮液と、切屑を含まない膜濾過液とに分離する膜分離部の少なくともいずれか一つである、請求項１１に記載のスラリー再生装置。
【請求項１４】
前記再生処理部は、スラリーを遠心分離し、切屑を高濃度で含む固形分と、切屑を低濃度で含み、貯留タンクへ循環される遠心分離液とに分離する少なくとも一つの遠心分離部、および、スラリーを膜分離し、切屑を濃縮して含み、貯留タンクへ循環される濃縮液と、切屑を含まない膜濾過液とに分離する少なくとも一つの膜分離部を備え、
少なくとも一つの遠心分離部と少なくとも一つの膜分離部とが並行してスラリーを再生処理する、請求項１１に記載のスラリー再生装置。
【請求項１５】
前記貯留タンクに貯留されたスラリーを加熱するためのヒータを備えている、請求項１から１４のいずれか１項に記載のスラリー再生装置。
【請求項１６】
前記貯留タンクに貯留されたスラリーを攪拌するための攪拌部を備えている、請求項１から１５のいずれか１項に記載のスラリー再生装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ワイヤソーでシリコンインゴットを切断するときに使用された使用済クーラント（これを「スラリー」という）から切屑等を除去することにより前記スラリーを再利用可能に再生するスラリー再生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池等に用いられるシリコンウエハは、ワイヤソーでシリコンインゴットを薄く切断することにより得られる。シリコンインゴットの切断方式は固定砥粒方式と遊離砥粒方式とに大別される。固定砥粒方式は、砥粒をワイヤソーに固定させた方式であり、遊離砥粒方式は、砥粒を冷却液であるクーラントに含有させた方式である。いずれの方式も、切断作業中、ワイヤソーでシリコンインゴットを切断している部位にクーラントが供給される。これにより、切断部位が冷却され、切断部位から切屑が排出される。切断された金属シリコン薄片は、クーラントや切屑等が付着しているので、これを洗浄してシリコンウエハが得られる。
【０００３】
シリコンインゴットの切断に使用された使用済クーラントは、切屑や砥粒等を含んで泥の様である。そのため、使用済クーラントはスラリーと称される。スラリーはコスト削減のために再利用される。しかし、そのまま再利用すると、混入している切屑等により、シリコンウエハの表面が傷付いたり、シリコンウエハが破損したり、ワイヤソーが劣化したりする。そこで、例えば、特許文献１に開示される再生方法によって、スラリーから切屑等が除去され、スラリーが再利用可能に再生される。
【０００４】
すなわち、特許文献１に開示されるスラリー再生方法は、遠心分離工程と、膜分離工程とを含んでいる。遠心分離工程は、スラリーを遠心分離し、切屑等を高濃度で含む固形分（スラッジ）と、切屑等を低濃度で含む遠心分離液とに分離して、固形分は除去し、遠心分離液はスラリーに混合して循環させる工程である。膜分離工程は、スラリーを膜分離し、切屑等を濃縮して含む濃縮液と、切屑等をほとんど含まない膜濾過液とに分離して、膜濾過液は回収し、濃縮液はスラリーに混合して循環させる工程である。そして、遠心分離工程で循環させた遠心分離液と、膜分離工程で回収した膜濾過液とを混合することにより、スラリーを再利用可能なクーラントに再生する。
【０００５】
その場合、特許文献１の明細書段落００３６〜００３９に記載されているように、シリコンインゴットの切断現場から回収されたスラリーが貯留タンクに貯留され、この貯留タンクから遠心分離装置および膜分離装置へスラリーが分配供給され、遠心分離装置においては前記遠心分離液を貯留タンクへ循環させつつ前記遠心分離工程が行われ、膜分離装置においては前記濃縮液を貯留タンクへ循環させつつ前記膜分離工程が行われる。
【０００６】
このように、スラリーの再生中、貯留タンクから遠心分離装置や膜分離装置へスラリーが導出されたり、遠心分離装置や膜分離装置から貯留タンクへ遠心分離液や濃縮液が導入されたりするので、貯留タンク内のスラリーの量（これを「貯留量」という）が時々刻々様々に変化する。したがって、スラリーの再生中、貯留量を把握していないと、貯留タンク内のスラリーを枯渇させたり、貯留タンクからスラリーを溢れさせる可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第２０１３／０３５４３８号パンフレット
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００８】
本考案は、ワイヤソーでシリコンインゴットを切断するときに生じた切屑および砥粒を含む使用済クーラントからなるスラリーを再利用可能に再生するスラリー再生装置における前記問題に対処するもので、貯留タンク内のスラリーの量を把握することができるスラリー再生装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本考案は、ワイヤソーでシリコンインゴットを切断するときに生じた切屑および砥粒を含む使用済クーラントからなるスラリーを再利用可能に再生するスラリー再生装置であって、再生処理するスラリーを貯留する貯留タンクと、前記貯留タンクに貯留されたスラリーの液面を検知するための液面検知手段と、を備えている。
【００１０】
本考案によれば、貯留タンク内のスラリーの液面を検知するための液面検知手段が備えられているので、前記液面検知手段で検知されたスラリーの液面から、貯留タンク内のスラリーの量を把握することができる。そのため、スラリーの再生中、貯留タンク内のスラリーを枯渇させたり、貯留タンクからスラリーを溢れさせることが抑制される。
【００１１】
なお、本考案において「砥粒」とは、例えば、固定砥粒方式におけるワイヤソーから脱落した砥粒や、遊離砥粒方式におけるクーラントに含有された砥粒等が含まれる。
【００１２】
本考案においては、前記液面検知手段は、所定の下限液面を検知可能なセンサを備え、当該スラリー再生装置は、前記センサが前記下限液面を検知したとき、スラリーを前記貯留タンクへ供給する供給調整部を備えていることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、センサが所定の下限液面を検知したとき、貯留タンクへスラリーが人手を介さず自動で供給される。そのため、貯留タンク内のスラリーが枯渇するという問題が確実に防止される。
【００１４】
なお、本考案において「下限液面」とは、例えば、貯留タンク内のスラリーの量がこの下限液面より少なくなると、スラリーの再生が満足に行えなくなるような液面等が含まれる。より詳細には、貯留タンク内のスラリーの量がこの下限液面より少なくなると、遠心分離装置や膜分離装置へのスラリーの供給量が不足しもしくは途絶え、その結果、遠心分離装置では、例えばスラッジの排出性が低下したり異常振動が発生するような液面、また膜分離装置では、例えば濾過膜のハウジングの内部でスラッジが沈降して堆積し、配管や濾過膜を閉塞させるような液面等が含まれる。
【００１５】
本考案においては、前記供給調整部は、スラリーを備蓄する備蓄タンクと、前記備蓄タンクと前記貯留タンクとを接続する配管と、前記配管を介して前記備蓄タンク内のスラリーを前記貯留タンクへ送ることが可能なポンプと、前記センサが前記下限液面を検知したとき、前記ポンプを駆動することにより、前記配管を介して前記備蓄タンクから前記貯留タンクへスラリーを供給し、前記スラリーの供給量が所定の一定量に達したとき、前記ポンプを停止することにより、前記スラリーの供給を停止する制御を行う供給調整制御部と、を備えていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、備蓄タンクから貯留タンクへスラリーが配管を介してポンプの駆動により安定して供給される。
【００１７】
その上で、センサが前記下限液面を検知したとき、貯留タンクへスラリーが所定の一定量供給される。そのため、貯留タンク内のスラリーの量が、前記下限液面と、この下限液面に前記一定量を加えたときの液面との間に維持される。したがって、スラリーの貯留量が常に一定の幅に収まるため、貯留タンク内のスラリーの性状（例えば固形分濃度等）が大幅に変化することがない。そのため、貯留タンク内のスラリーを常に安定して連続的に再生することができる。また、スラリーの供給量が前記一定量に達したとき、スラリーの供給が停止されるので、貯留タンクからスラリーが溢れるという問題も確実に防止される。
【００１８】
本考案においては、前記液面検知手段は、所定の下限液面を検知可能なセンサを備え、当該スラリー再生装置は、前記センサが前記下限液面を検知したとき、そのことを報知する報知部を備えていることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、センサが所定の下限液面を検知したとき、そのことが報知されるので、その報知を受けた作業者が貯留タンクへスラリーを人手を介して供給することができる。そのため、貯留タンク内のスラリーが枯渇するという問題が確実に防止される。
【００２０】
本考案においては、前記報知部は、周囲に情報を提示する情報提示装置と、前記センサが前記下限液面を検知したとき、前記情報提示装置を駆動することにより、貯留タンク内のスラリーの液面が前記下限液面まで低下したことを周囲に報知する制御を行う報知制御部と、を備えていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、貯留タンク内のスラリーの液面が下限液面まで低下したことが情報提示装置を介して確実に報知される。
【００２２】
本考案においては、前記液面検知手段は、所定の下限液面および所定の上限液面を検知可能なセンサを備え、当該スラリー再生装置は、前記センサが前記下限液面を検知したとき、スラリーを前記貯留タンクへ供給し、前記センサが前記上限液面を検知したとき、前記スラリーの貯留タンクへの供給を停止する供給調整部を備えていることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、センサが所定の下限液面を検知したとき、貯留タンクへスラリーが人手を介さず自動で供給される。そのため、貯留タンク内のスラリーが枯渇するという問題が確実に防止される。また、センサが所定の上限液面を検知したとき、前記スラリーの供給が人手を介さず自動で停止される。そのため、貯留タンク内のスラリーの量が、前記下限液面と、前記上限液面との間に維持される。したがって、スラリーの貯留量が常に一定の幅に収まるため、貯留タンク内のスラリーの性状（例えば固形分濃度等）が大幅に変化することがない。そのため、貯留タンク内のスラリーを常に安定して連続的に再生することができる。また、センサが上限液面を検知したとき、スラリーの供給が停止されるので、貯留タンクからスラリーが溢れるという問題も確実に防止される。
【００２４】
なお、本考案において「上限液面」とは、例えば、貯留タンク内のスラリーの量がこの上限液面より多くなると、貯留タンクからスラリーが溢れてしまうような液面等が含まれる。
【００２５】
本考案においては、前記供給調整部は、スラリーを備蓄する備蓄タンクと、前記備蓄タンクと前記貯留タンクとを接続する配管と、前記配管を介して前記備蓄タンク内のスラリーを前記貯留タンクへ送ることが可能なポンプと、前記センサが前記下限液面を検知したとき、前記ポンプを駆動することにより、前記配管を介して前記備蓄タンクから前記貯留タンクへスラリーを供給し、前記センサが前記上限液面を検知したとき、前記ポンプを停止することにより、前記スラリーの供給を停止する制御を行う供給調整制御部と、を備えていることが好ましい。
【００２６】
この構成によれば、備蓄タンクから貯留タンクへスラリーが配管を介してポンプの駆動により安定して供給され、また、前記スラリーの供給がポンプの停止により安定して停止される。
【００２７】
本考案においては、前記液面検知手段は、所定の下限液面および所定の上限液面を検知可能なセンサを備え、当該スラリー再生装置は、前記センサが前記下限液面を検知したとき、スラリーを前記貯留タンクへ供給し、前記センサが前記上限液面を検知したとき、そのことを報知する供給調整部を備えていることが好ましい。
【００２８】
この構成によれば、センサが所定の下限液面を検知したとき、貯留タンクへスラリーが人手を介さず自動で供給される。そのため、貯留タンク内のスラリーが枯渇するという問題が確実に防止される。また、センサが所定の上限液面を検知したとき、そのことが報知されるので、その報知を受けた作業者が前記スラリーの供給を人手を介して停止することができる。そのため、貯留タンク内のスラリーの量が、前記下限液面と、前記上限液面との間に維持される。したがって、スラリーの貯留量が常に一定の幅に収まるため、貯留タンク内のスラリーの性状（例えば固形分濃度等）が大幅に変化することがない。そのため、貯留タンク内のスラリーを常に安定して連続的に再生することができる。また、センサが上限液面を検知したとき、前記報知を受けた作業者がスラリーの供給を停止するので、貯留タンクからスラリーが溢れるという問題も確実に防止される。
【００２９】
本考案においては、前記供給調整部は、スラリーを備蓄する備蓄タンクと、前記備蓄タンクと前記貯留タンクとを接続する配管と、前記配管を介して前記備蓄タンク内のスラリーを前記貯留タンクへ送ることが可能なポンプと、周囲に情報を提示する情報提示装置と、前記センサが前記下限液面を検知したとき、前記ポンプを駆動することにより、前記配管を介して前記備蓄タンクから前記貯留タンクへスラリーを供給し、前記センサが前記上限液面を検知したとき、前記情報提示装置を駆動することにより、貯留タンク内のスラリーの液面が前記上限液面まで上昇したことを周囲に報知する制御を行う供給調整制御部と、を備えていることが好ましい。
【００３０】
この構成によれば、備蓄タンクから貯留タンクへスラリーが配管を介してポンプの駆動により安定して供給され、また、貯留タンク内のスラリーの液面が上限液面まで上昇したことが情報提示装置を介して確実に報知される。
【００３１】
本考案においては、前記液面検知手段は、液面計であることが好ましい。
【００３２】
この構成によれば、スラリーの再生中、貯留タンク内のスラリーの量が時々刻々様々に変化しても、それを確実に把握することができる。
【００３３】
本考案においては、当該スラリー再生装置は、スラリーを前記貯留タンクから導出して再生処理する再生処理部を備えていることが好ましい。
【００３４】
この構成によれば、貯留タンクから再生処理部へスラリーが導出されるため、貯留タンク内のスラリーの量が減少する。しかし、その場合でも、液面検知手段で検知されたスラリーの液面から、スラリーの貯留量を把握することができる。
【００３５】
本考案においては、前記再生処理部は、再生処理したスラリーの一部を前記貯留タンクへ戻すように構成されていることが好ましい。
【００３６】
この構成によれば、再生処理部から貯留タンクへスラリーの一部が導入されるため、貯留タンク内のスラリーの量が時々刻々様々に変化しつつ減少する。しかし、その場合でも、液面検知手段で検知されたスラリーの液面から、スラリーの貯留量を把握することができる。
【００３７】
本考案においては、前記再生処理部は、スラリーを遠心分離し、切屑を高濃度で含む固形分と、切屑を低濃度で含み、貯留タンクへ循環される遠心分離液とに分離する遠心分離部、および、スラリーを膜分離し、切屑を濃縮して含み、貯留タンクへ循環される濃縮液と、切屑を含まない膜濾過液とに分離する膜分離部の少なくともいずれか一つであることが好ましい。
【００３８】
この構成によれば、貯留タンクから遠心分離部や膜分離部へスラリーが導出されるため、貯留タンク内のスラリーの量が減少する。また、遠心分離部や膜分離部から貯留タンクへ遠心分離液や濃縮液が導入されるため、貯留タンク内のスラリーの量が時々刻々様々に変化しつつ減少する。しかし、その場合でも、液面検知手段で検知されたスラリーの液面から、スラリーの貯留量を把握することができる。
【００３９】
なお、本考案において固形分について「切屑を高濃度で含む」および遠心分離液について「切屑を低濃度で含む」とは、固形分は遠心分離液よりも切屑を高濃度で含み、遠心分離液は固形分よりも切屑を低濃度で含むという意味である。
【００４０】
また、本考案において膜濾過液について「切屑を含まない」とは、膜濾過液が切屑を全く含まない場合だけでなく、スラリーをクーラントに再生するに際して膜濾過液が含んでいても構わない程度の量の切屑を膜濾過液が含んでいる場合も含まれる。
【００４１】
本考案においては、前記再生処理部は、スラリーを遠心分離し、切屑を高濃度で含む固形分と、切屑を低濃度で含み、貯留タンクへ循環される遠心分離液とに分離する少なくとも一つの遠心分離部、および、スラリーを膜分離し、切屑を濃縮して含み、貯留タンクへ循環される濃縮液と、切屑を含まない膜濾過液とに分離する少なくとも一つの膜分離部を備え、少なくとも一つの遠心分離部と少なくとも一つの膜分離部とが並行してスラリーを再生処理することが好ましい。
【００４２】
この構成によれば、遠心分離工程と膜分離工程とが並行して行われるため、貯留タンク内のスラリーの量の変化が複雑化し、かつ、その変化の幅も大きくなる。しかし、その場合でも、液面検知手段で検知されたスラリーの液面から、スラリーの貯留量を把握することができる。
【００４３】
本考案においては、当該スラリー再生装置は、前記貯留タンクに貯留されたスラリーを加熱するためのヒータを備えていることが好ましい。
【００４４】
この構成によれば、貯留タンク内のスラリーが加熱されることにより、スラリーの粘度が下がってスラリーの流動性が上る。そのため、スラリーの再生作業が促進される。
【００４５】
本考案においては、当該スラリー再生装置は、前記貯留タンクに貯留されたスラリーを攪拌するための攪拌部を備えていることが好ましい。
【００４６】
この構成によれば、貯留タンク内のスラリーが攪拌されることにより、スラリーに混入している切屑等が沈降せずに分散する。そのため、スラリーが平均化して再生される。
【考案の効果】
【００４７】
以上のように、本考案によれば、貯留タンク内のスラリーの量を把握することができるスラリー再生装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本考案の第１の実施形態に係るスラリー再生装置の全体構成図である。
【図２】本考案の第２の実施形態に係るスラリー再生装置の全体構成図である。
【図３】本考案の第３の実施形態に係るスラリー再生装置の全体構成図である。
【図４】本考案の第４の実施形態に係るスラリー再生装置の全体構成図である。
【図５】本考案の第５の実施形態に係るスラリー再生装置の全体構成図である。
【考案を実施するための形態】
【００４９】
＜第１の実施形態＞
［構成］
図１は、本考案の第１の実施形態に係るスラリー再生装置１０の全体構成図である。このスラリー再生装置（以下単に「再生装置」という）１０は、シリコンインゴットＩの切断現場５０においてワイヤソー５１でシリコンインゴットＩを薄く切断するときに生じた切屑や砥粒等を含む使用済クーラントからなるスラリーＳを再利用可能に再生する装置である。なお、本実施形態では、シリコンインゴットＩの切断方式は固定砥粒方式である。すなわち、硬質ダイアモンド製の砥粒がワイヤソー５１に固定されている。そのため、遊離砥粒方式に比べて、スラリーＳには砥粒がほとんど含まれていないので、スラリーＳから砥粒を回収する前工程が多くの場合不要となる。
【００５０】
クーラントは、ジエチレングリコールやポリエチレングリコールに、必要に応じて、水、ｐＨ調整剤、粘度調整剤、分散剤、凝集剤等が配合されたものである。クーラントは、シリコンインゴットＩの切断作業中、ワイヤソー５１でシリコンインゴットＩを切断している部位に供給され、これにより、切断部位が冷却され、切断部位から切屑が排出される。シリコンインゴットＩの切断に使用された使用済クーラント、すなわちスラリーＳには、シリコンインゴットＩの切断時に生じた切屑等が混入している。
【００５１】
再生装置１０は、主たる構成要素として、貯留タンク１１と、再生処理部１００とを備えている。貯留タンク１１は、シリコンインゴットＩの切断現場５０から回収された、再生処理する対象物であるスラリーＳを貯留する。再生処理部１００は、スラリーＳを貯留タンク１１から導出して再生処理する。再生装置１０は、再生処理部１００においてスラリーＳから切屑や砥粒等を除去することによりスラリーＳを再利用可能に再生する。
【００５２】
なお、図１において、貯留タンク１１に貯留された後のスラリーには符号Ｓを付し、貯留タンク１１に貯留される前のスラリーには符号Ｓｏを付して、両者を区別している。
【００５３】
再生処理部１００は、遠心分離工程が行われる遠心分離装置（遠心分離部）２０と、膜分離工程が行われる膜分離装置（膜分離部）３０とを備えている。遠心分離装置２０および膜分離装置３０は、それぞれ一つずつ備えられている。遠心分離装置２０と貯留タンク１１との間に、スラリー導出用配管２０ａと、遠心分離液循環用配管２０ｂとが配設されている。膜分離装置３０と貯留タンク１１との間に、スラリー導出用配管３０ａと、濃縮液循環用配管３０ｂとが配設されている。なお、図示しないが、各配管２０ａ，２０ｂ，３０ａ，３０ｂに、流体を送ることが可能なポンプが配設されている。
【００５４】
本実施形態において、遠心分離工程とは、スラリー導出用配管２０ａを介して貯留タンク１１から導出されて遠心分離装置２０に導入されたスラリーＳを遠心分離する工程である。この工程において、スラリーＳは、切屑等を遠心分離液Ｓ２よりも高濃度で含む固形分（スラッジ）Ｓ１と、切屑等を固形分Ｓ１よりも低濃度で含む遠心分離液Ｓ２とに分離される。固形分Ｓ１は遠心分離装置２０から取り出される。遠心分離液Ｓ２は遠心分離液循環用配管２０ｂを介して遠心分離装置２０から貯留タンク１１へ循環される。
【００５５】
本実施形態において、膜分離工程とは、スラリー導出用配管３０ａを介して貯留タンク１１から導出されて膜分離装置３０に導入されたスラリーＳを膜分離する工程である。この工程において、スラリーＳは、切屑等を濃縮して含む濃縮液Ｓ３と、切屑等をほとんど含まない膜濾過液Ｓ４とに分離される。濃縮液Ｓ３は濃縮液循環用配管３０ｂを介して膜分離装置３０から貯留タンク１１へ循環される。膜濾過液Ｓ４は膜濾過液回収用配管３０ｃを介して回収される。
【００５６】
遠心分離装置２０は、貯留タンク１１から導出されたスラリーＳを垂直軸周りに回転させて遠心分離する縦型の遠心分離装置である。この遠心分離装置２０は、下端側にテーパ部を有する筒形状の回転体２１を備える。回転体２１は、図示しないモータで垂直軸周りに回転される。
【００５７】
この遠心分離装置２０では、スラリーＳが回転体２１の内部に導入される。スラリーＳに含まれる切屑等は、遠心力により回転体２１の内面に押し付けられ、分離される。分離された切屑等は、一定時間毎にスラリーＳの導入を止め、低速で回転体２１を回転させながら、図示しないスクレーパー（掻き取り板）を回転体２１の内面に押し当てることにより、固形分Ｓ１として遠心分離装置２０から取り出される。一方、切屑等が分離されたスラリーＳの成分（再生処理したスラリーＳの一部）は、遠心分離液Ｓ２として遠心分離液循環用配管２０ｂを介して遠心分離装置２０から貯留タンク１１へ戻される。
【００５８】
膜分離装置３０は、濾過膜３１を用いて、貯留タンク１１から導出されたスラリーＳを濃縮液Ｓ３と膜濾過液Ｓ４とに膜分離する。この膜分離装置３０は、濾過膜３１として、親水化ポリフッ化ビニリデン製の中空糸膜を束ねたものを採用している。
【００５９】
この膜分離装置３０では、濃縮液Ｓ３は、濾過膜３１を通過しなかったスラリーＳの成分（再生処理したスラリーＳの一部）であり、切屑等を濃縮して含んでいる。濃縮液Ｓ３は、濃縮液循環用配管３０ｂを介して膜分離装置３０から貯留タンク１１へ戻される。一方、膜濾過液Ｓ４は、濾過膜３１を通過したスラリーＳの成分であり、切屑等をほとんど含んでいない。膜濾過液Ｓ４は、膜濾過液回収用配管３０ｃを介して膜分離装置３０から取り出され、回収される。
【００６０】
貯留タンク１１には、貯留タンク１１に貯留されたスラリーＳの液面を検知するためのセンサ（液面検知手段）１２Ｌと、貯留タンク１１に貯留されたスラリーＳを攪拌するための攪拌装置（攪拌部）１３と、貯留タンク１１に貯留されたスラリーＳを加熱するためのヒータ１４とが備えられている。
【００６１】
センサ１２Ｌは、例えば、貯留タンク１１からスラリーＳが遠心分離装置２０や膜分離装置３０へ導出された結果、貯留タンク１１内のスラリーＳの量（貯留量）が減少して、スラリーＳの液面が低下しているときに、低下してきたスラリーＳの液面を検知する液面検知センサである。センサ１２Ｌは、所定の下限液面を検知可能な位置に配設されている。ここで、「下限液面」とは、本実施形態では、貯留タンク１１内のスラリーＳの量がこの下限液面より少なくなると、スラリーＳの再生が満足に行えなくなる液面のことである。以下、状況に応じて、前記センサ１２Ｌを「下限液面センサ１２Ｌ」という場合がある。なお、図１は、この下限液面センサ１２Ｌが前記下限液面を検知している状態を例示している。
【００６２】
攪拌装置１３は、貯留タンク１１内に配置された攪拌翼１３ａと、この攪拌翼１３ａが連結された回転軸１３ｂを有するモータ１３ｃとを含み、モータ１３ｃが攪拌翼１３ａを回転させることにより、貯留タンク１１内のスラリーＳを攪拌するものである。貯留タンク１１内のスラリーＳが攪拌されることにより、スラリーＳに混入している切屑等が沈降せずに分散する。そのため、貯留タンク１１に貯留されているスラリーＳの遠心分離装置２０や膜分離装置３０による再生が平均化して行われる。
【００６３】
ヒータ１４は、貯留タンク１１内のスラリーＳを加熱することにより、スラリーＳの粘度を下げ、スラリーＳの流動性を上げるものである。スラリーＳの流動性が上がることにより、貯留タンク１１に貯留されているスラリーＳの遠心分離装置２０や膜分離装置３０による再生作業が促進される。
【００６４】
以上の構成に加え、本実施形態に係る再生装置１０は、貯留タンク１１へスラリーＳｏを供給する供給調整部４０Ａを備えている。この供給調整部４０Ａは、備蓄タンク４１と、配管４２と、ポンプ４３と、制御盤４４とを備えている。
【００６５】
備蓄タンク４１は、貯留タンク１１へ供給するスラリーＳｏを備蓄するためのものである。備蓄タンク４１には、シリコンインゴットＩの切断現場５０から回収されたスラリーＳｏが供給される。シリコンインゴットＩの切断現場５０と備蓄タンク４１との間に、切断現場５０から備蓄タンク４１へスラリーＳｏを供給するための備蓄用配管５２が配設されている。備蓄タンク４１の容量は、一回のシリコンインゴットＩの切断作業で使用されるクーラントの量の２〜５倍の容量に設定されている。これは、貯留タンク１１の容量よりも大きい容量である。
【００６６】
備蓄タンク４１には、図示しない攪拌手段が具備されている。攪拌手段とは、攪拌翼による攪拌や、液をポンプによって循環させる方法などが例示される。また、備蓄タンク４１にも液面センサを設けても構わない。
【００６７】
なお、備蓄用配管５２に代えて、図１に符号Ｘを付して示すコンテナを用いて、切断現場５０で生成したスラリーＳｏを備蓄タンク４１まで自動でまたは作業者が人手を介して運搬するようにしても構わない（符号Ｙ参照）。
【００６８】
配管４２は、備蓄タンク４１と貯留タンク１１とを接続する。この配管４２を介して備蓄タンク４１から貯留タンク１１へスラリーＳｏが供給される。
【００６９】
ポンプ４３は、配管４２に配設され、配管４２を介して備蓄タンク４１内のスラリーＳｏを貯留タンク１１へ送ることが可能なものである。
【００７０】
制御盤４４は、この再生装置１０のオン・オフをはじめ、各種動作および各種設定を総合的に司るものである。制御盤４４は、供給調整制御部４４ａを内蔵している。供給調整制御部４４ａは、周知の通り、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等から構成されるマイクロプロセッサである。供給調整制御部４４ａと下限液面センサ１２Ｌとが通信可能に接続され、供給調整制御部４４ａとポンプ４３とが電気的に接続されている。下限液面センサ１２Ｌが低下してきたスラリーＳの液面を検知したとき、センサ１２Ｌから供給調整制御部４４ａに検知信号Ａが送信される。供給調整制御部４４ａは、この検知信号Ａを受信すると、ポンプ４３に駆動信号Ｂを出力してポンプ４３を駆動させる。これにより、備蓄タンク４１内のスラリーＳｏが配管４２を介して貯留タンク１１へ供給される。供給調整制御部４４ａは、備蓄タンク４１から貯留タンク１１へ予め定められた一定量だけスラリーＳｏが供給されるようにポンプ４３を駆動する。およそ以上のような制御を供給調整制御部４４ａは行うように構成されている。
【００７１】
［動作］
次に、本実施形態に係る再生装置１０の動作を説明する。
【００７２】
シリコンインゴットＩの切断現場５０においてワイヤソー５１でシリコンインゴットＩを薄く切断するときに生じた切屑や砥粒等を含むスラリーＳｏは、回収され、切断現場５０から備蓄用配管５２を介して備蓄タンク４１へ供給される。
【００７３】
貯留タンク１１には、下限液面センサ１２Ｌが検知可能な下限液面を超える量のスラリーＳが貯留されている。すなわち、貯留タンク１１では、センサ１２ＬはスラリーＳに没しており、スラリーＳの液面を検知していない状態にある。
【００７４】
この状態で、貯留タンク１１から遠心分離装置２０および膜分離装置３０へそれぞれスラリーＳが分配供給される。
【００７５】
遠心分離装置２０においては、遠心分離液Ｓ２を貯留タンク１１へ循環させ、貯留タンク１１内のスラリーＳと混合しつつ、遠心分離工程が行われる。膜分離装置３０においては、濃縮液Ｓ３を貯留タンク１１へ循環させ、貯留タンク１１内のスラリーＳと混合しつつ、膜分離工程が行われる。つまり、遠心分離装置２０における遠心分離工程と、膜分離装置３０における膜分離工程とが同時に並行して行われる。
【００７６】
遠心分離液Ｓ２は、遠心分離装置２０において行われる遠心分離工程によって切屑等が除去されているため、これを貯留タンク１１内のスラリーＳと混合することにより、貯留タンク１１内のスラリーＳの固形分濃度が低下する。一方、濃縮液Ｓ３は、膜分離装置３０において行われる膜分離工程によって切屑等が濃縮して含まれているため、これを貯留タンク１１内のスラリーＳと混合することにより、貯留タンク１１内のスラリーＳの固形分濃度が上昇する。
【００７７】
貯留タンク１１内のスラリーＳの遠心分離装置２０への導出、および切屑等が除去された遠心分離液Ｓ２の貯留タンク１１への導入、つまり遠心分離液Ｓ２の循環と、貯留タンク１１内のスラリーＳの膜分離装置３０への導出、および切屑等が濃縮して含まれた濃縮液Ｓ３の貯留タンク１１への導入、つまり濃縮液Ｓ３の循環とが、同時に並行して、所定回数または所定時間、繰り返し行われることにより、貯留タンク１１内のスラリーＳの固形分濃度は徐々に変化し、両者による固形分濃度変化の影響が釣り合った時点で安定する。
【００７８】
そして、遠心分離工程における遠心分離液Ｓ２の循環および膜分離工程における濃縮液Ｓ３の循環を、所定回数または所定時間、繰り返し行い、膜濾過液Ｓ４を回収することにより、貯留タンク１１内のスラリーＳを再利用可能なクーラントに再生する。その際、適宜、新たなクーラントを補充し、成分調整を行う。
【００７９】
また、貯留タンク１１内のスラリーＳの遠心分離装置２０への導出、および遠心分離液Ｓ２の貯留タンク１１への導入、つまり遠心分離液Ｓ２の循環と、貯留タンク１１内のスラリーＳの膜分離装置３０への導出、および濃縮液Ｓ３の貯留タンク１１への導入、つまり濃縮液Ｓ３の循環とが、同時に並行して、所定回数または所定時間、繰り返し行われることにより、貯留タンク１１内のスラリーＳの量（貯留量）が様々に変化しつつ徐々に減少していく。
【００８０】
そして、スラリーＳの貯留量が下限液面まで減少し、下限液面センサ１２Ｌが低下してきたスラリーＳの液面を検知すると、センサ１２Ｌから供給調整制御部４４ａに検知信号Ａが送信される。供給調整制御部４４ａは、この検知信号Ａを受けて、ポンプ４３に駆動信号Ｂを出力する。これにより、備蓄タンク４１内のスラリーＳｏが貯留タンク１１へ所定の一定量だけ供給される。その結果、貯留タンク１１内のスラリーＳの量が、センサ１２Ｌが検知可能な下限液面に前記一定量を加えた量まで回復する。
【００８１】
このようなスラリーＳの液面管理ないし貯留量管理が行われつつ、貯留タンク１１から遠心分離装置２０および膜分離装置３０へのスラリーＳの分配供給、並びに、遠心分離液Ｓ２の循環および濃縮液Ｓ３の循環が繰り返し行われ、再び、スラリーＳの貯留量が下限液面まで減少し、下限液面センサ１２ＬがスラリーＳの液面を検知すると、スラリーＳの貯留量が前記一定量だけ回復する。
【００８２】
このように、本実施形態に係る再生装置１０では、スラリーＳの貯留量が常に一定の幅、つまり、下限液面と、下限液面に前記一定量を加えたときの液面との間に収まり、貯留タンク１１内のスラリーＳの性状（例えば固形分濃度等）が大幅に変化することを抑制しつつ、スラリーＳの再生が常に安定して連続的に行われる。
【００８３】
［作用］
以上、説明したように、本考案の第１の実施形態では、貯留タンク１１内のスラリーＳの液面を検知するためのセンサ１２Ｌが備えられているので、前記センサ１２Ｌで検知されたスラリーＳの液面から、貯留タンク１１内のスラリーＳの量を把握することができる。そのため、スラリーＳの再生中、貯留タンク１１内のスラリーＳを枯渇させたり、貯留タンク１１からスラリーＳを溢れさせることが抑制される。
【００８４】
また、この第１の実施形態では、センサ１２Ｌが所定の下限液面を検知したとき、貯留タンク１１へスラリーＳｏが人手を介さず自動で供給される。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳが枯渇するという問題が確実に防止される。
【００８５】
また、この第１の実施形態では、前記供給調整部４０Ａは、前記センサ１２Ｌが前記下限液面を検知したとき、前記ポンプ４３を駆動することにより、前記配管４２を介して前記備蓄タンク４１から前記貯留タンク１１へスラリーＳｏを供給し、前記スラリーＳｏの供給量が所定の一定量に達したとき、前記ポンプ４３を停止することにより、前記スラリーＳｏの供給を停止する制御を行う供給調整制御部４４ａを備えている。
【００８６】
この構成によれば、備蓄タンク４１から貯留タンク１１へスラリーＳｏが配管４２を介してポンプ４３の駆動により安定して供給される。
【００８７】
その上で、センサ１２Ｌが前記下限液面を検知したとき、貯留タンク１１へスラリーＳｏが所定の一定量供給される。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳの量が、前記下限液面と、この下限液面に前記一定量を加えたときの液面との間に維持される。したがって、スラリーＳの貯留量が常に一定の幅に収まるため、貯留タンク１１内のスラリーＳの性状（例えば固形分濃度等）が大幅に変化することがない。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳを常に安定して連続的に再生することができる。また、スラリーＳｏの供給量が前記一定量に達したとき、スラリーＳｏの供給が停止されるので、貯留タンク１１からスラリーＳが溢れるという問題も確実に防止される。
【００８８】
また、この第１の実施形態では、貯留タンク１１から再生処理部１００へスラリーＳが導出されるため、貯留タンク１１内のスラリーＳの量が減少する。しかし、その場合でも、センサ１２Ｌで検知されたスラリーＳの液面から、スラリーＳの貯留量を把握することができる。
【００８９】
また、この第１の実施形態では、再生処理部１００から貯留タンク１１へスラリーＳの一部が導入されるため、貯留タンク１１内のスラリーＳの量が時々刻々様々に変化しつつ減少する。しかし、その場合でも、センサ１２Ｌで検知されたスラリーＳの液面から、スラリーＳの貯留量を把握することができる。
【００９０】
また、この第１の実施形態では、貯留タンク１１から遠心分離装置２０および膜分離装置３０へスラリーＳが導出されるため、貯留タンク１１内のスラリーＳの量が減少する。また、遠心分離装置２０および膜分離装置３０から貯留タンク１１へ遠心分離液Ｓ２および濃縮液Ｓ３が導入されるため、貯留タンク１１内のスラリーＳの量が時々刻々様々に変化しつつ減少する。しかし、その場合でも、センサ１２Ｌで検知されたスラリーＳの液面から、スラリーＳの貯留量を把握することができる。
【００９１】
また、この第１の実施形態では、遠心分離工程と膜分離工程とが並行して行われるため、貯留タンク１１内のスラリーＳの量の変化が複雑化し、かつ、その変化の幅も大きくなる。しかし、その場合でも、センサ１２Ｌで検知されたスラリーＳの液面から、スラリーＳの貯留量を把握することができる。
【００９２】
また、この第１の実施形態では、貯留タンク１１内のスラリーＳが加熱されることにより、スラリーＳの粘度が下がってスラリーＳの流動性が上る。そのため、スラリーＳの再生作業が促進される。
【００９３】
また、この第１の実施形態では、貯留タンク１１内のスラリーＳが攪拌されることにより、スラリーＳに混入している切屑等が沈降せずに分散する。そのため、スラリーＳが平均化して再生される。
【００９４】
＜第２の実施形態＞
次に、図２を参照して本考案の第２の実施形態を説明する。この第２の実施形態は第１の実施形態を変形したものであるから、第１の実施形態と異なる部分のみ説明し、第１の実施形態と同じまたは相当する部分は説明を省略する。図２において、図１と同じまたは相当する構成要素には同じ符号が付されている。
【００９５】
この第２の実施形態では、前記供給調整部４０Ａに代えて、報知部４０Ｂが備えられている。この報知部４０Ｂは、制御盤４４と、情報提示装置４５とを備えている。
【００９６】
制御盤４４は、報知制御部４４ｂを内蔵している。報知制御部４４ｂは、周知の通り、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等から構成されるマイクロプロセッサである。報知制御部４４ｂと下限液面センサ１２Ｌとが通信可能に接続され、報知制御部４４ｂと情報提示装置４５とが電気的に接続されている。情報提示装置４５は、例えば、警報音の発生、音声や表示による警告の通知、ランプの点滅等により、周囲に視覚や聴覚を通じて情報を提示するものである。
【００９７】
下限液面センサ１２Ｌが低下してきたスラリーＳの液面を検知したとき、センサ１２Ｌから報知制御部４４ｂに検知信号Ｃが送信される。報知制御部４４ｂは、この検知信号Ｃを受信すると、情報提示装置４５に駆動信号Ｄを出力して情報提示装置４５を駆動させる。これにより、貯留タンク１１内のスラリーＳの液面が前記下限液面まで低下したことが周囲に視覚や聴覚を通じて提示される。およそ以上のような制御を報知制御部４４ｂは行うように構成されている。
【００９８】
この第２の実施形態では、センサ１２Ｌが所定の下限液面を検知したとき、そのことが報知されるので、その報知を受けた作業者が貯留タンク１１へスラリーＳを人手を介して供給することができる。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳが枯渇するという問題が確実に防止される。
【００９９】
また、この第２の実施形態では、貯留タンク１１内のスラリーＳの液面が下限液面まで低下したことが情報提示装置４５を介して確実に報知される。
【０１００】
＜第３の実施形態＞
次に、図３を参照して本考案の第３の実施形態を説明する。この第３の実施形態は第１の実施形態を変形したものであるから、第１の実施形態と異なる部分のみ説明し、第１の実施形態と同じまたは相当する部分は説明を省略する。図３において、図１と同じまたは相当する構成要素には同じ符号が付されている。
【０１０１】
この第３の実施形態では、前記下限液面センサ１２Ｌに加えて、上限液面センサ１２Ｈが貯留タンク１１に備えられている。この上限液面センサ１２Ｈは、下限液面センサ１２Ｌの上方に配置されている。
【０１０２】
上限液面センサ１２Ｈは、例えば、備蓄タンク４１から貯留タンク１１へスラリーＳｏが供給され、その結果、貯留タンク１１内のスラリーＳの量（貯留量）が増大して、スラリーＳの液面が上昇しているときに、上昇してきたスラリーＳの液面を検知する液面検知センサである。センサ１２Ｈは、所定の上限液面を検知可能な位置に配設されている。ここで、「上限液面」とは、本実施形態では、貯留タンク１１内のスラリーＳの量がこの上限液面より多くなると、貯留タンク１１からスラリーＳが溢れてしまう液面のことである。なお、図３は、この上限液面センサ１２Ｈが前記上限液面を検知していない状態を例示している。
【０１０３】
供給調整制御部４４ａは、下限液面センサ１２Ｌに加えて、前記上限液面センサ１２Ｈとも通信可能に接続されている。下限液面センサ１２Ｌが低下してきたスラリーＳの液面を検知したとき、センサ１２Ｌから供給調整制御部４４ａに検知信号Ｅが送信される。供給調整制御部４４ａは、この検知信号Ｅを受信すると、ポンプ４３に駆動信号Ｇを出力してポンプ４３を駆動させる。これにより、備蓄タンク４１内のスラリーＳｏが配管４２を介して貯留タンク１１へ供給される。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳの液面が上昇に転じる。
【０１０４】
その後、上限液面センサ１２Ｈが上昇してきたスラリーＳの液面を検知したとき、センサ１２Ｈから供給調整制御部４４ａに検知信号Ｆが送信される。供給調整制御部４４ａは、この検知信号Ｆを受信すると、ポンプ４３に駆動信号Ｇを出力してポンプ４３を停止させる。これにより、貯留タンク１１へのスラリーＳｏの供給が停止される。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳの液面が、再生処理部１００によるスラリーＳの再生処理により、低下に転じる。およそ以上のような制御を供給調整制御部４４ａは行うように構成されている。
【０１０５】
この第３の実施形態では、下限液面センサ１２Ｌが所定の下限液面を検知したとき、貯留タンク１１へスラリーＳｏが人手を介さず自動で供給される。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳが枯渇するという問題が確実に防止される。また、上限液面センサ１２Ｈが所定の上限液面を検知したとき、前記スラリーＳｏの供給が人手を介さず自動で停止される。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳの量が、前記下限液面と、前記上限液面との間に維持される。したがって、スラリーＳの貯留量が常に一定の幅に収まるため、貯留タンク１１内のスラリーＳの性状（例えば固形分濃度等）が大幅に変化することがない。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳを常に安定して連続的に再生することができる。また、上限液面センサ１２Ｈが上限液面を検知したとき、スラリーＳｏの供給が停止されるので、貯留タンク１１からスラリーＳが溢れるという問題も確実に防止される。
【０１０６】
また、この第３の実施形態では、備蓄タンク４１から貯留タンク１１へスラリーＳｏが配管４２を介してポンプ４３の駆動により安定して供給され、また、前記スラリーＳｏの供給がポンプ４３の停止により安定して停止される。
【０１０７】
なお、本実施形態では、下限液面を検知可能な下限液面センサ１２Ｌと、上限液面を検知可能な上限液面センサ１２Ｈとをそれぞれ別々に備えたが、下限液面を検知可能かつ上限液面も検知可能なセンサを一つ備えてもよい。
【０１０８】
＜第４の実施形態＞
次に、図４を参照して本考案の第４の実施形態を説明する。この第４の実施形態は第３の実施形態を変形したものであるから、第３の実施形態と異なる部分のみ説明し、第３の実施形態と同じまたは相当する部分は説明を省略する。図４において、図３と同じまたは相当する構成要素には同じ符号が付されている。
【０１０９】
この第４の実施形態では、供給調整部４０Ａは、備蓄タンク４１と、配管４２と、ポンプ４３と、制御盤４４とに加えて、情報提示装置４５を備えている。供給調整制御部４４ａは、ポンプ４３に加えて、前記情報提示装置４５とも電気的に接続されている。情報提示装置４５は、例えば、警報音の発生、音声や表示による警告の通知、ランプの点滅等により、周囲に視覚や聴覚を通じて情報を提示するものである。
【０１１０】
下限液面センサ１２Ｌが低下してきたスラリーＳの液面を検知したとき、センサ１２Ｌから供給調整制御部４４ａに検知信号Ｈが送信される。供給調整制御部４４ａは、この検知信号Ｈを受信すると、ポンプ４３に駆動信号Ｋを出力してポンプ４３を駆動させる。これにより、備蓄タンク４１内のスラリーＳｏが配管４２を介して貯留タンク１１へ供給される。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳの液面が上昇に転じる。
【０１１１】
その後、上限液面センサ１２Ｈが上昇してきたスラリーＳの液面を検知したとき、センサ１２Ｈから供給調整制御部４４ａに検知信号Ｊが送信される。供給調整制御部４４ａは、この検知信号Ｊを受信すると、情報提示装置４５に駆動信号Ｌを出力して情報提示装置４５を駆動させる。これにより、貯留タンク１１内のスラリーＳの液面が前記上限液面まで上昇したことが周囲に視覚や聴覚を通じて提示される。およそ以上のような制御を供給調整制御部４４ａは行うように構成されている。
【０１１２】
この第４の実施形態では、下限液面センサ１２Ｌが所定の下限液面を検知したとき、貯留タンク１１へスラリーＳｏが人手を介さず自動で供給される。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳが枯渇するという問題が確実に防止される。また、上限液面センサ１２Ｈが所定の上限液面を検知したとき、そのことが報知されるので、その報知を受けた作業者が前記スラリーＳｏの供給を人手を介して停止することができる。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳの量が、前記下限液面と、前記上限液面との間に維持される。したがって、スラリーＳの貯留量が常に一定の幅に収まるため、貯留タンク１１のスラリーＳの性状（例えば固形分濃度等）が大幅に変化することがない。そのため、貯留タンク１１内のスラリーＳを常に安定して連続的に再生することができる。また、上限液面センサ１２Ｈが上限液面を検知したとき、前記報知を受けた作業者がスラリーＳｏの供給を停止するので、貯留タンク１１からスラリーＳが溢れるという問題も確実に防止される。
【０１１３】
また、この第４の実施形態では、備蓄タンク４１から貯留タンク１１へスラリーＳｏが配管４２を介してポンプ４３の駆動により安定して供給され、また、貯留タンク１１内のスラリーＳの液面が上限液面まで上昇したことが情報提示装置４５を介して確実に報知される。
【０１１４】
＜第５の実施形態＞
次に、図５を参照して本考案の第５の実施形態を説明する。この第５の実施形態は第１の実施形態を変形したものであるから、第１の実施形態と異なる部分のみ説明し、第１の実施形態と同じまたは相当する部分は説明を省略する。図５において、図１と同じまたは相当する構成要素には同じ符号が付されている。
【０１１５】
この第５の実施形態では、貯留タンク１１に貯留されたスラリーＳの液面を検知するための液面検知手段として、液面計１２が貯留タンク１１に備えられている。液面計１２としては、特に限定されず、例えば、フロート（浮子）式や空気圧式の他、音波や電波の反射を利用する方式等、従来用いられているものが好ましく使用可能である。
【０１１６】
この構成によれば、スラリーＳの再生中、貯留タンク１１内のスラリーＳの量が時々刻々様々に変化しても、それを確実に把握することができる。
【０１１７】
＜他の実施形態＞
シリコンインゴットＩの切断方式は、砥粒をクーラントに含有させた遊離砥粒方式でもよい。その場合、スラリーＳには切屑とともに砥粒が含まれているので、スラリーＳから砥粒を回収する前工程を行うことが好ましい。
【０１１８】
再生処理部１００は、遠心分離装置２０のみ備えてもよく、膜分離装置３０のみ備えてもよい。
【０１１９】
遠心分離装置２０および膜分離装置３０は、二つ以上備えてもよい。
【０１２０】
二つ以上の遠心分離装置２０と二つ以上の膜分離装置３０とが並行してスラリーＳを再生処理してもよい。
【０１２１】
遠心分離装置２０における遠心分離工程および膜分離装置３０における膜分離工程は、同時に並行して行わなくてもよい。例えば、遠心分離工程と膜分路工程とを時間的にオーバーラップさせず、順に行うようにしてもよい。
【０１２２】
遠心分離工程における遠心分離液Ｓ２の循環および膜分離工程における濃縮液Ｓ３の循環は、繰り返し行わなくてもよい。例えば、遠心分離液Ｓ２の循環および濃縮液Ｓ３の循環を１回だけにしてもよい。
【０１２３】
スラリーＳから固形分（スラッジ）Ｓ１を除去する装置として、遠心分離装置２０に代えて、例えば、フィルタプレスを用いてもよい。
【符号の説明】
【０１２４】
１０    スラリー再生装置
１１    貯留タンク
１２Ｌ  液面検知手段
５１    ワイヤソー
Ｉ      シリコンインゴット
Ｓ      スラリー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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