(57)【要約】      （修正有）【課題】シート状部材を安定して吸着保持することができる吸着手段を提供する。【解決手段】シート状部材３０２を吸着する手段であって、負圧が印加される第１のエアチャンバ３３と第２のエアチャンバ３４とが内部に形成されている本体３を具え、本体３は第１および第２のエアチャンバ３３、３４を仕切る第１の隔離壁部３８と、第１の隔離壁部３８と共に第２のエアチャンバを画成する第１の壁部３６と、を有する。第１の隔離壁部３８には第１および第２のエアチャンバ３３、３４を連通する複数の第１の連通孔３８３が貫設されており、第１の壁部３６には第２のエアチャンバ３４と外部とを連通する複数の第２の連通孔３６２が貫設されており、第１の連通孔３８３が第１の隔離壁部３８に設けられている範囲は、第２の連通孔３６２が第１の壁部３６に設けられている範囲よりも小さい。【選択図】図８
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
基板に搬送されながら順次貼着されるシート状部材を、基板に貼着される前に負圧により吸着保持しておくための吸着手段であって、
前記吸着手段は、負圧源に連結されることで負圧が印加される第１のエアチャンバと、該第１のエアチャンバと仕切られている少なくとも一つの第２のエアチャンバと、が内部に形成されている本体を具えており、
前記本体は、前記第１のエアチャンバと前記第２のエアチャンバとを仕切るように設けられている第１の隔離壁部と、前記第１の隔離壁部と間隔をおいて設けられている第１の壁部と、を具えており、
前記第１の隔離壁部は、その長手方向両端にそれぞれ位置する側壁部と、両該側壁部の間に位置すると共に前記第１のエアチャンバと前記第２のエアチャンバとを連通する複数の第１の連通孔が貫設されている中央壁部と、を有しており、
前記第１の壁部は、前記シート状部材と接触する側に位置すると共に前記第２のエアチャンバと外部とを連通する複数の第２の連通孔が貫設されている外壁面を有しており、
前記第１の連通孔が前記第１の隔離壁部に設けられている範囲は、前記第２の連通孔が前記第１の壁部に設けられている範囲よりも小さいことを特徴とする吸着手段。
【請求項２】
前記本体は、前記第１の隔離壁部と共に前記第１のエアチャンバを画成している第２の壁部と、前記第１の壁部と前記第２の壁部とを繋いでいる第２の隔離壁部と、を更に具えており、
前記第２の隔離壁部と、前記第１の壁部と、前記第２の壁部と、によって前記本体の内部に更に第３のエアチャンバが画成されており、
前記第２の隔離壁部には、前記第１のエアチャンバと前記第３のエアチャンバとを連通する少なくとも一つの第３の連通孔が貫設されており、
前記第２の連通孔の内の一部は、前記第３のエアチャンバと外部とを連通している
ことを特徴とする請求項１に記載の吸着手段。
【請求項３】
前記第１の壁部は、前記第３のエアチャンバに近い側に第１の端縁を、前記第２のエアチャンバに近い側に第２の端縁を有しており、
前記シート状部材は、該第２の端縁側から該第１の端縁側へと前記第２の連通孔に吸着されながら搬送されるものであり、
前記第３の連通孔の孔径は、前記第１の連通孔の孔径よりも大きい
ことを特徴とする請求項２に記載の吸着手段。
【請求項４】
前記第１の連通孔の孔径は前記第２の連通孔の孔径よりも大きくない
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の吸着手段。
【請求項５】
前記本体は、前記第１の隔離壁部と前記第１の壁部とに繋がっている少なくとも一つの支持リブを更に具えており、
該支持リブと前記第１の隔離壁部と前記第１の壁部とにより前記第２のエアチャンバが複数画成されている
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の吸着手段。
【請求項６】
前記本体は、アルミニウムを押し出し成形することにより長尺状に設けられたものであり、且つ、長手方向両端をそれぞれ覆うように設けられている側端蓋を更に具えており、
該側端蓋には、前記負圧源と連結される負圧導入口が設けられており、
第３の連通孔は、第２の壁部側より削孔して設けられた凹部により画成されているものであり、
前記凹部には、これを密閉するようにパッド部材が覆設されている
ことを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項に記載の吸着手段。
【請求項７】
前記第１の壁部は、前記第１の隔離壁部の前記中央壁部に位置対応する中間段部と、前記第１の隔離壁部の前記側壁部に位置対応する側段部と、に区切られており、
前記第２の連通孔は、前記中間段部と前記側段部とにそれぞれ設けられている
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の吸着手段。
【請求項８】
基板にシート状部材を順次貼着させるものであって、
請求項１〜７のいずれか一項に記載の吸着手段と、
前記シート状部材を前記基板に圧着するローラーユニットと、
前記吸着手段の前記第１のエアチャンバに負圧を印加する負圧源と、を具えていることを特徴とするラミネータ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、フィルム等のシート状部材を基板に貼着させるためのラミネータに関するものであり、特に前記ラミネータにおいて、負圧による吸着力を利用してシート状部材を吸着する吸着手段に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、一般に用いられているラミネータの一部構造を示しており、搬送される基板１０１に例えば感光性レジストフィルムなどのシート状部材１０２をローラーにより順次貼着するためのものである。
【０００３】
このようなラミネータは、概ね、シート供給ロール（図示せず）からシート状部材１０２を引き出し、基板１０１に見合う大きさに一枚ずつ切断するための搬送・切断手段１１と、引き出されて切断されたシート状部材１０２を先端が上から基板１０１の上面と当接するように吸着保持するための吸着手段２と、吸着手段２に負圧を提供する負圧源１２と、上下互いに当接して反対方向に回転しながら、先端が基板１０１の上面に当接しているシート状部材１０２を基板１０１と共にそれらの間に挟み込みながら前進させシート状部材１０２を基板１０１に圧着する一対のローラーユニット１３と、を具えている。
【０００４】
図２および図３は、上記の吸着手段２の構造を示したものであり、吸着手段２は、ローラーユニット１３に近い側に位置し且つ上から下に円弧状に延伸している前片体２１と、前片体２１と背向するようにシート状部材１０２が吸着される側に位置し且つ上から下へ円弧状に延伸しながら段々と前片体２１の下端側に近寄って下端がそれと繋がっている吸着片体２２と、前片体２１と吸着片体２２とを上方で繋いでいる上片体２３と、これら前片体２１、吸着片体２２、上片体２３により画成された空間を両側から閉塞しエアチャンバ２５とするように左右にそれぞれ設けられている一対の側片体２４と、を有している。
【０００５】
吸着片体２２には、多数の吸引孔２２１がエアチャンバ２５と外部とを連通するように穿設されている。また、上片体２３には、負圧源１２とエアチャンバ２５とを繋ぐ複数の連通孔２３１が形成されている。
【０００６】
負圧源１２によりエアチャンバ２５に負圧が印加されると、吸着手段２は、エアチャンバ２５と繋がっている吸引孔２２１によって、搬送手段１１から搬送されたシート状部材１０２を吸着片体２２の外面に吸着保持する。これによりローラーユニット１３に送られるシート状部材１０２が、ローラーユニット１３で基板１０１に貼着される前に基板１０１と接触してしまうことを防ぐと共に、吸着手段２とローラーユニット１３との間のシート状部材１０２を引っ張ってそれに適度な張力を与えることができる。
【０００７】
このように、吸着手段２は多数の吸引孔２２１によってシート状部材１０２を吸着保持するが、シート状部材１０２は一枚ごとにカットされたものなので、吸着手段２に吸着されながらロールユニット１３に搬送される過程において、シート状部材１０２の後端が吸着手段２を通過する際に、多数の吸引孔２２１の内の一部だけが、つまりロールユニット１３に近い側に位置する吸引孔２２１だけがシート状部材１０２を吸着するという状況が起こる。これにより、負圧の漏れによる吸引力の低下やローラーユニット１３のシート状部材１０２を引っ張る際の力学による分力関係の問題で吸着保持が不安定になり、例えばシート状部材１０２の後端が吸着手段２から脱落して垂れ下がり基材１０１と接触してしまったり、皺になったりして、貼着作業が妨げられるということが起こり得る。
【０００８】
そこで、例えば特許文献１に示したような、吸着手段２において、吸着片体２２の吸引孔２２１を、下端側、つまりロールユニット１３に近い側の領域において、他の領域よりも密となるように配置することで、吸着安定性の向上を図ったものが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０００‐３０１６８５号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記のような吸着手段を具えたラミネータでは、負圧源と繋がっている複数の連通孔と、シート状部材を吸着するための複数の吸引孔と、が、一つのエアチャンバのみを介して直接に連通されているため、負圧源に近い側と遠い側とにそれぞれ位置する各吸引孔との間で吸引力の差異が発生してシート状部材に皺ができたり、更にはシート状部材が吸着手段から脱落したりするといった問題がある。
【００１１】
また、上記のような吸着手段を具えたラミネータでは、用いるシート状部材の幅が、例えば吸着手段において吸引孔が設けられている幅ほど大きくない場合、左右両端に近い側の吸引孔がシート状部材により覆われず開放状態となり、外部の空気がそこから漏れ入ることで、エアチャンバの負圧が低下し、シート状部材を吸着している吸引孔の吸引力も低下するため、シート状部材が吸着手段から脱落するといった問題もある。
【００１２】
本考案は、これらの問題点に鑑みてなされたものであり、ロールユニットに搬送されるシート状部材を常に安定して吸着保持することができる吸着手段の提供を一つの目的とする。
【００１３】
また本考案は、上記吸着手段を具えたことにより貼着作業の安定性が向上したラミネータの提供をもう一つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、本考案は、以下の手段を提供する。即ち、
基板に搬送されながら順次貼着されるシート状部材を、基板に貼着される前に負圧により吸着保持しておくための吸着手段であって、
前記吸着手段は、負圧源に連結されることで負圧が印加される第１のエアチャンバと、該第１のエアチャンバと仕切られている少なくとも一つの第２のエアチャンバと、が内部に形成されている本体を具えており、
前記本体は、前記第１のエアチャンバと前記第２のエアチャンバとを仕切るように設けられている第１の隔離壁部と、前記第１の隔離壁部と間隔をおいて設けられている第１の壁部と、を具えており、
前記第１の隔離壁部は、その長手方向両端にそれぞれ位置する側壁部と、両該側壁部の間に位置すると共に前記第１のエアチャンバと前記第２のエアチャンバとを連通する複数の第１の連通孔が貫設されている中央壁部と、を有しており、
前記第１の壁部は、前記シート状部材と接触する側に位置すると共に前記第２のエアチャンバと外部とを連通し、前記シート状部材を吸引することができる複数の第２の連通孔が貫設されている外壁面を有しており、
前記第１の連通孔が前記第１の隔離壁部に設けられている範囲は、前記第２の連通孔が前記第１の壁部に設けられている範囲よりも小さいことを特徴とする吸着手段を提供する。
【００１５】
また、本考案は、基板にシート状部材を順次貼着させるものであって、前記吸着手段と、前記シート状部材を前記基板に圧着するローラーユニットと、前記吸着手段の前記第１のエアチャンバに負圧を印加する負圧源と、を具えていることを特徴とするラミネータをも提供する。
【考案の効果】
【００１６】
上記構成によれば、各第２の連通孔のそれぞれの吸引力が均衡となり、また、たとえ第２の連通孔のうちの一部がシート状部材により塞がれず開放状態になっても、シート状部材を吸着している第２の連通孔が一定の負圧を保つので、安定してシート状部材を吸着保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】従来のラミネータの概要を示す側面図である。
【図２】従来のラミネータにおける吸着手段の一例を示す斜視部分透視図である。
【図３】図２の吸着手段を示す部分縦断面図である。
【図４】本考案に係る吸着手段を具えたラミネータの一実施形態の概要を示す側面図である。
【図５】本考案に係る吸着手段を示す部分透視分解斜視図である。
【図６】本考案に係る吸着手段を示す部分透視分解斜視図である。
【図７】図５におけるＡ‐Ａ線に沿った断面図である。
【図８】図６におけるＢ‐Ｂ線に沿った断面図である。
【図９】本考案に係る吸着手段が、幅の比較的大きいシート状部材を吸着保持している状態を示す部分断面概略図である。
【図１０】本考案に係る吸着手段が、幅の比較的小さいシート状部材を吸着保持している状態を示す部分断面概略図である。
【図１１】本考案に係る吸着手段において、シート状部材の後端部が吸着手段の第１の区域に移動した状態を示す部分断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照しながら、本考案の具体的な実施形態を仔細に説明する。
【００１９】
図４は本考案に係る吸着手段３０１を具えたラミネータ３００の一実施形態の概要を示す側面図であり、図５は吸着手段３０１を部分的に透視して示す分解斜視図である。
【００２０】
本実施形態のラミネータ３００は、例えばシートロール（図示せず）からシート状部材３０２を引き出すように設けられている搬送手段４と、シート状部材３０２の搬送方向において搬送手段４よりも下流側に位置し、シート状部材３０２を基板３０３に圧着するように設けられているローラーユニット５と、搬送手段４とローラーユニット５との間に設けられており、基板３０３に搬送されながら順次貼着されるシート状部材３０２を基板３０３に貼着される前に負圧により吸着保持しておく吸着手段３０１と、吸着手段３０１に負圧を提供するように吸着手段３０１に連結されている負圧源６と、を具えている。また、搬送手段４に隣接して切断手段（図示せず）が設けられており、この切断手段によりシート状部材３０２は搬送手段４を一定の長さ分通過するごとに切断され、つまりは基板３０３に対応する大きさに一枚ずつ切断される。
【００２１】
上記の構成により、本考案に係るラミネータ３００においては、一枚一枚に切断されたシート状部材３０２が、ローラーユニット５にて基板３０３に圧着される前に、吸着手段３０１により吸着保持されているので、吸着手段３０１とローラーユニット５との間でシート状部材３０２に所定の張力を保持させることができ、ローラーユニット５での貼着が整然且つスムーズになる。
【００２２】
以下では、図５〜図８を主に参照して、吸着手段３０１の構成を詳説する。なお、図７は図５のＡ‐Ａ線に沿った断面図であり、図８は図６のＢ‐Ｂ線に沿った断面図である。
【００２３】
吸着手段３０１は、長尺状に設けられており且つその長手方向両端に開口を有する本体３と、本体３の長手方向両端を覆い該開口をそれぞれ塞ぐように且つ着脱自在に設けられている一対の側端蓋３１、３１と、を有している。
【００２４】
本体３は、シート状部材３０２が吸着される側に位置し且つ上から下へ円弧状に延伸している第１の壁部３６と、ローラーユニット５に近い側に位置し且つ第１の壁部３６と共にそれらの間に内部空間を画成するように延伸している第２の壁部３７と、からなっている。また、本体３の内部空間には、第１の壁部３６と第２の壁部３７とに繋がっている第１の隔離壁部３８および第２の隔離壁部３９が設けられている。なお、第１の隔離壁部３８は第１の壁部３６と間隔をおいて並行するように設けられている。
【００２５】
本体３の内部空間には、ローラーユニット５に近い側に位置する第２の壁部３７と第１の隔離壁部３８とにより画成されている第１のエアチャンバ３３と、シート状部材３０２が吸着される側に位置する第１の壁部３６と第１の隔離壁部３８とにより画成されていると共に第１の隔離壁部３８により第１のエアチャンバ３３と仕切られている少なくとも１つの第２のエアチャンバ３４（図示では２つ）と、第１および第２の壁部３６、３７により画成されていると共に第２の隔離壁部３９により第１および第２のエアチャンバ３３、３４とそれぞれ仕切られている第３のエアチャンバ３５と、が形成されており、第１、第２、第３のエアチャンバ３３、３４、３５はそれぞれ本体３の延伸方向に沿って延在している。
【００２６】
また、本実施形態では、本体３は、更に第１の壁部３６と第１の隔離壁部３８とに繋がっている少なくとも一つの支持リブ３０（図示では１つ）を有しており、第１の隔離壁部３８と第１の壁部３６との間に画成されている第２のエアチャンバ３４が支持リブ３０により仕切られることで、第２のエアチャンバ３４が複数画成されることができる（図示では２つ）。なお、支持リブ３０は省略することも、また２つ以上設けることもでき、支持リブ３０の設置個数により第２のエアチャンバ３４の数量も変化する。
【００２７】
なお、本実施形態では、アルミニウムを押し出し成形することにより本体３の構成を得た。
【００２８】
第１のエアチャンバ３３は、例えば両側端蓋３１、３１にそれぞれ形成された負圧導入口３１１を介して負圧源６に連結されており、これにより負圧源６が稼動すると第１のエアチャンバ３３内の空気が吸引され負圧が印加される。
【００２９】
第１の隔離壁部３８は、その長手方向両端にそれぞれ位置する側壁部３８１、３８１と、これら側壁部３８１、３８１の間に位置する中央壁部３８２と、を有しており、中央壁部３８２には第１のエアチャンバ３３と第２のエアチャンバ３４とを連通する多数の第１の連通孔３８３、３８３…が貫設されている。
【００３０】
第１の壁部３６は、シート状部材３０２と接触する側に位置すると共に第２のエアチャンバ３４と外部とを連通する多数の第２の連通孔３６２、３６２…が貫設されている外壁面３６１を有している。また、第２の連通孔３６２は、その内の第１の壁部３６の下端に近い側に設けられている一部が第３のエアチャンバ３５と外部とを連通している。
【００３１】
図９および図１０に概示されているように、第１の連通孔３８３が第１の隔離壁部３８の中央壁部３８２に設けられている範囲は、第２の連通孔３６２が第１の壁部３６に設けられている範囲よりも小さい。詳説すると、例えば本体３の第１の壁部３６を、第１の隔離壁部３８の中央壁部３８２に位置対応する部分を中間段部３ａとして、一方、第１の隔離壁部３８の側壁部３８１に位置対応する部分を側段部３ｂとして区分すると、第１の連通孔３８３の設置範囲は中間段部３ａに対応し、第２の連通孔３６２の設置範囲は中間段部３ａと側段部３ｂとに対応する。
【００３２】
また、各第１の連通孔３８３の孔径は各第２の連通孔３６２の孔径よりも大きくない。言い換えると、各第１の連通孔３８３は、その孔径が各第２の連通孔３６２の孔径と等しくなるように設けられてもよく、或いはそれよりも小さくなるように設けられてもよく、本実施形態では、小さくなるように設けた。
【００３３】
第２の隔離壁部３９は、図７に示されているように、第３のエアチャンバ３５を第１および第２のエアチャンバ３３、３４から仕切るように第１の壁部３６と第２の壁部３７とに繋がっていると共に、第１の隔離壁部３８にも繋がっている。
【００３４】
また、第２の隔離壁部３９には、第１のエアチャンバ３３と第３のエアチャンバ３５とを連通する少なくとも一つの第３の連通孔３９１（図示では３つ、図５および図８参照）が貫設されており、第３の連通孔３９１の孔径は、各第１の連通孔３８３の孔径よりも大きい。本実施形態では、各第３の連通孔３９１は、第２の壁部３７側から削孔して第２の隔離壁部３９の一部を削ることにより設けた凹部により画成されている。なお、該凹部には、その開口を塞ぐように第２の壁部３７側からパッド部材３２が覆設されており、これにより該凹部から空気が流通しないようにされている。
【００３５】
ここで、第１の壁部３６の下端つまりローラーユニット５に近い側であると共に第３のエアチャンバ３５に近い側の端を第１の端縁３６３とし、上端つまり搬送手段４に近い側であると共に第２のエアチャンバ３４に近い側の端を第２の端縁３６４とすると、第１の壁部３６は、第２の隔離壁部３９に繋がっている箇所を境にして、第１の端縁３６３に近い側である第１の区域３６５と、第２の端縁に近い側である第２の区域３６６と、に区分されることができる（図７、図８、図１１参照）。各第２の連通孔３６２の設置範囲は、前記説明と重複するが、第１および第２の区域３６５、３６６に跨っている。
【００３６】
各エアチャンバと各連通孔との関係をここで整理すると、以下の通りである。即ち、負圧源６と連結されている第１のエアチャンバ３３は、第１の連通孔３８３により第２のエアチャンバ３４と連通されていると共に、第３の連通孔３９１により第３のエアチャンバ３５とも連通されている。また第２のエアチャンバ３４と第３のエアチャンバ３５とは、各第２の連通孔３６２によりそれぞれ外部と連通されている。
【００３７】
以下、本実施形態の吸着手段３０１の作用を、図７〜図１１を参照して説明する。
【００３８】
負圧源６により負圧導入口３１１を介して第１のエアチャンバ３３に負圧が印加されると、つまり第１のエアチャンバ３３内の空気が吸引されると、第１のエアチャンバ３３と第２のエアチャンバ３４とを連通するように第１の連通孔３８３が第１の隔離壁部３８の中央壁部３８２に設置されていることにより、第２のエアチャンバ３４内の空気も、両側段部３ｂ、３ｂに対応する空間から、中間段部３ａに対応する空間を経て、第１の連通孔３８３を通して第１のエアチャンバ３３に向かって吸引される。これにより第２のエアチャンバ３４にも負圧が印加されるので、第２のエアチャンバ３４と外部とを連通している第２の連通孔３６２が外部の空気を吸引する。また、第３の連通孔３９１を通して第３のエアチャンバ３５にも負圧が印加されるので、第２の連通孔３６２の内、第３のエアチャンバ３５と外部とを連通しているものも外部の空気を吸引する。
【００３９】
これにより、図８に示されているように、シート状部材３０２は、搬送手段４からローラーユニット５へと搬送される過程において吸着手段３０１を通過する際に、第２の区域３６６では第２のエアチャンバ３４からの負圧により、また第１の区域３６５では第３のエアチャンバ３５からの負圧によりそれぞれ第１の壁部３６の外壁面３６１に吸い着けられながら、外壁面３６１の第２の端縁３６４側から第１の端縁側へと、つまり上端から下端へと搬送されることができる。
【００４０】
ここで特筆すべきは、第１の連通孔３８３は第１の隔離壁部３８の中央壁部３８２と対応する幅にしか設けられていないが、例えば図９に示されているように、シート状部材３０２が比較的幅の大きいもの、例えば中央壁部３８２の幅よりも大きいものであっても、第１の連通孔３８３からの負圧は、第２のエアチャンバ３４における側壁部３８１、３８１に対応する部分にも一定の度合いかかるので、側段部３ｂ、３ｂに設置されている第２の連通孔３６２も、シート状部材３０２に対する吸引力を有しているという点である。
【００４１】
また、図１０に示されているように、シート状部材３０２’が比較的幅の小さいもの、例えば中央壁部３８２の幅とほぼ同じようなものであっても、第２の連通孔３６２のうち中間段部３ａに設けられているものは、第１の隔離壁部３８の中央壁部３８２に設けられている第１の連通孔３８３に近接しているので、第１の連通孔３８３からの負圧を比較的強く受けることができる。これにより、たとえ第２の連通孔３６２の内、側段部３ｂに設けられているものが開放状態となっていても、中間段部３ａに設けられているものだけで、シート状部材３０２’を吸着保持することができる。
【００４２】
また、図１１に示されているように、シート状部材３０２が搬送されて、その後端が第２の区域３６６を通過して第１の区域３６５に差し掛かった際には、被吸着面積が減少するだけでなく、力学による分力関係の問題でシート状部材３０２に対して吸着手段３０１から脱落する方向に働く力が増加する。しかし、本実施形態において、第３の連通孔３９１の孔径は、第１の連通孔３８３ならびに第２の連通孔３６２の孔径よりも大きいため、第３のエアチャンバ３５の負圧は第２のエアチャンバ３４の負圧よりも大きくなっており、第２の連通孔３６２のうち第３のエアチャンバ３５と連通しているもの、つまり第１の区域３６５に位置しているものは、第２のエアチャンバ３４と連通しているもの、つまり第２の区域３６６に位置しているものよりも吸引力が強い。これにより、上述のように、シート状部材３０２が搬送されて、その後端が第２の区域３６６を通過して第１の区域３６５に差し掛かり、第２の連通孔３６２のうち第２の区域３６６に位置しているものが開放状態になってしまっても、第２の連通孔３６２のうち第１の区域３６５に位置しているものが一定の吸引力を保つことができるので、シート状部材３０２が脱落してしまうのを防ぐことができる。
【００４３】
以上総括すると、本考案に係る吸着手段３０１によれば、負圧源６と連結される第１のエアチャンバ３３と、シート状部材３０２を吸引するための第２の連通孔３６２と連通されている第２のエアチャンバ３４と、の第１の隔離壁部３８による仕切りにより、各第２の連通孔３６２それぞれにかかる負圧が従来よりも均衡している。また、第１の隔離壁部３８に設けられている第１の連通孔３８３と第２の連通孔３６２との位置関係により、中間段部３ａあたりの負圧による吸引力をやや上げ、例えばシート状部材３０２の幅が小であって両方の側段部３ｂに設けられている第２の連通孔３６２が負圧漏れになる場合でも、シート状部材３０２をしっかりと吸着保持することができる。
【００４４】
更に、第２の隔離壁部３９を設けて第１および第２のエアチャンバ３３、３４から第３のエアチャンバ３５を仕切って画成し、また第１および第２の連通孔３８３、３６２よりも孔径が大きい第３の連通孔３９１を設けて第１のエアチャンバ３３と第３のエアチャンバ３５とを連通させたことにより、例えばシート状部材３０２の後端が第２の区域３６６を通過した後、第２の区域３６６にある第２の連通孔３６２が塞がれずに負圧漏れが起こったりローラーユニット１３のシート状部材１０２を引っ張る際の力学による分力関係の問題でシート状部材３０２が吸着手段３０１から脱落する方向に力がかかっても、シート状部材３０２をより大きな吸引力で吸着保持し、搬送過程の最後の段階をも無事に済ませることができる。
【００４５】
加えて、吸着手段３０１の本体３を、アルミニウムの押し出し成形で形成し、また側端蓋３１に負圧源６と連結できる負圧導入口３１１を設けたことにより、全体の構造が簡単であり、更には側端蓋３１が着脱できるように設けられているので、内部の清掃も簡単にできる。
【００４６】
以上、本考案の好ましい実施形態を説明したが、本考案はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【符号の説明】
【００４７】
３            本体
３０          支持リブ
３１          側端蓋
３１１        負圧導入口
３２          パッド部材
３３          第１のエアチャンバ
３４          第２のエアチャンバ
３５          第３のエアチャンバ
３６          第１の壁部
３ａ          中間段部
３ｂ          側段部
３６１        外壁面
３６２        第２の連通孔
３６３        第１の端縁
３６４        第２の端縁
３６５        第１の区域
３６６        第２の区域
３７          第２の壁部
３８          第１の隔離壁部
３８１        側壁部
３８２        中央壁部
３８３        第１の連通孔
３９          第２の隔離壁部
３９１        第３の連通孔
３００        ラミネータ
３０１        吸着手段
３０２        シート状部材
３０３        基板
４            搬送手段
５            ローラーユニット
６            負圧源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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