(57)【要約】      （修正有）【課題】試料室を手動で開閉することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。【解決手段】Ｘ線管と検出器とが内部に配置された装置本体部５０と、右側壁には右方に突出する右側ピンが形成され、左側壁には左方に突出する左側ピン２３が形成された試料室上側筐体部２０とを備え、測定時には試料Ｓが装置本体部５０の上面に載置され、試料室上側筐体部２０で覆われる蛍光Ｘ線分析装置１であって、右側ピンを支持するための右側支持部材を有する右側連結部と、左側ピン２３を支持するための左側支持部材３２ａを有する左側連結部３２とを備え、右側連結部の一端部及び左側連結部の一端部を回転軸として、右側連結部及び左側連結部が設定支持角度以上、回転することにより、右側支持部材が右側ピンを支持するとともに、左側支持部材３２ａが左側ピン２３を支持するように構成する。【選択図】図４
0003187413.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線管と検出器とが内部に配置された装置本体部と、
上面と右側壁と前側壁と左側壁と後側壁とを有し、右側壁には右方に突出する右側ピンが形成され、左側壁には左方に突出する左側ピンが形成された試料室上側筐体部とを備え、
試料は、測定時には前記装置本体部の上面に載置され、前記試料室上側筐体部で覆われる蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記右側ピンを支持するための右側支持部材を有する右側連結部と、
前記左側ピンを支持するための左側支持部材を有する左側連結部とを備え、
前記右側連結部の一端部及び前記左側連結部の一端部を回転軸として、前記右側連結部及び前記左側連結部が設定支持角度以上、回転することにより、前記右側支持部材が前記右側ピンを支持するとともに、前記左側支持部材が前記左側ピンを支持するようになっていることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項２】
前記前側壁には、前方に突出するストッパが形成され、
前記右側支持部材及び前記左側支持部材は、前記右側連結部の他端部及び前記左側連結部の他端部より、前記右側連結部の一端部及び前記左側連結部の一端部に近い位置に形成されており、
前記右側連結部の他端部と前記左側連結部の他端部とを連結する前側連結部を備え、前記右側連結部及び前記左側連結部が回転すると、前記前側連結部が前記ストッパを支持するようになっていることを特徴とする請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項３】
前記右側連結部及び前記左側連結部には、前記右側連結部及び前記左側連結部が設定保持角度となるように回転力を作用させるカウンターバランス又はバネが取り付けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項４】
前記前側連結部は、把持されるようになっていることを特徴とする請求項３に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、試料中に含まれる元素の情報を取得する蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
蛍光Ｘ線分析装置は、固体試料や粉体試料や液体試料に一次Ｘ線を照射し、一次Ｘ線により励起されて放出される蛍光Ｘ線を検出することによって、その試料に含まれる元素の定性や定量分析を行うものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図５は、従来の蛍光Ｘ線分析装置の概略構成を示す側面図であり、図６は、図５に示す蛍光Ｘ線分析装置の平面図であり、図７は、図５に示す蛍光Ｘ線分析装置の断面図である。蛍光Ｘ線分析装置１０１は、装置本体部５０と、試料室上側筐体部１２０と、試料室上側筐体部１２０を上下方向に移動させる駆動機構１４０とを備える。
【０００４】
装置本体部５０の内部には、Ｘ線管５１と検出器５２とが配置されており、また、装置本体部５０の上面には円形状の開口５３が形成され、試料Ｓの分析面が開口５３を塞ぐようにして分析位置に載置されるようになっている。
Ｘ線管５１は、陽極であるターゲットと陰極であるフィラメントとを有し、ターゲットの端面で発生した一次Ｘ線を出射するようになっている。このようなＸ線管５１は、出射した一次Ｘ線が開口５３に入射するように配置されている。よって、試料Ｓの分析面が開口５３を塞ぐように当接されることで、試料Ｓの分析面が一次Ｘ線に照射されることになる。
【０００５】
また、検出器５２は、蛍光Ｘ線の強度を検出するＸ線検出素子を有する。このような検出器５２は、試料Ｓの分析面で発生する蛍光Ｘ線が入射するように配置されている。よって、試料Ｓの分析面が一次Ｘ線に照射されると、試料Ｓの分析面で蛍光Ｘ線が発生して、Ｘ線検出素子は蛍光Ｘ線の強度（検出信号）を検出することになる。
さらに、装置本体部５０の内部は、真空ポンプ（図示せず）と接続されており、装置本体部５０の内部を真空に排気することができるようになっている。
【０００６】
試料室上側筐体部１２０は、上面と右側壁と前側壁と左側壁と後側壁とを有する筒形状の筐体部２１を備える。そして、筐体部２１の下面には気密シール用のＯリング５５が取り付けられており、筐体部２１が、装置本体部５０の上面にＯリング５５を介して載置されることで、筐体部２１と装置本体部５０の上面とで形成された密閉空間内に、試料Ｓが配置されることになる。また、筐体部２１は、真空ポンプ（図示せず）と接続されており、筐体部２１と装置本体部５０の上面とで形成された空間を真空に排気することができるようになっている。
【０００７】
ところで、試料Ｓを出し入れする際に、測定者は、試料室上側筐体部１２０を装置本体部５０の上面から上方に２０ｃｍ程度移動させることで、試料Ｓを分析位置に配置したり分析位置から取り除いたりしている。図８は、図５に示す蛍光Ｘ線分析装置の開状態の側面図である。
しかしながら、試料室上側筐体部１２０は、真空に耐える強度を有し、また、一次Ｘ線を遮蔽する材料で作製する必要があるため、非常に重いもの（例えば１０ｋｇ）となっている。そこで、試料室上側筐体部１２０を上下方向に機械的に移動させるために、駆動機構１４０が設置されている。
【０００８】
駆動機構１４０は、水平方向に伸びた右側連結部１３１と、水平方向に伸びた左側連結部１３２と、右側連結部１３１及び左側連結部１３２が取り付けられた支柱１４４と、右側連結部１３１及び左側連結部１３２を支柱１４４に対して上下方向に移動させるモータ１４３とを備える。右側連結部１３１の上面の中央部には、長穴形状の開口１３１ｂを有する右側支持部材１３１ａが取り付けられている。また、左側連結部１３２の上面の中央部には、長穴形状の開口１３２ｂを有する左側支持部材１３２ａが取り付けられている。
【０００９】
試料室上側筐体部１２０の筐体部２１の右側壁の中央部には、右方に突出する円柱形状の右側ピン１２２が形成されており、右側連結部１３１の開口１３１ｂに挿入されている。また、試料室上側筐体部１２０の筐体部２１の左側壁の中央部には、左方に突出する円柱形状の左側ピン１２３が形成されており、左側連結部１３２の開口１３２ｂに挿入されている。
【００１０】
これにより、右側連結部１３１と左側連結部１３２とがモータ１４３によって上方に設定支持位置まで移動すると、開口１３１ｂの内周下端面によって右側ピン１２２が支持されるとともに、開口１３２ｂの内周下端面によって左側ピン１２３が支持される。右側ピン１２２と左側ピン１２３とが支持されると、右側連結部１３１と左側連結部１３２とが設定支持位置からさらに上方に移動することで、試料室上側筐体部１２０も上方に移動する。その結果、試料室上側筐体部１２０が装置本体部５０の上面から上方に保持され、測定者は試料Ｓを分析位置に配置したり分析位置から取り除いたりしている。
【００１１】
また、試料室を開状態から閉状態にするために、右側連結部１３１と左側連結部１３２とが下方に移動すると、開口１３１ｂの内周下端面によって右側ピン１２２が支持されるとともに、開口１３２ｂの内周下端面によって左側ピン１２３が支持されているので、試料室上側筐体部１２０も下方に移動していく。その後、右側連結部１３１と左側連結部１３２とが設定支持位置に移動すると、筐体部２１の下端面が装置本体部５０の上面に接触する。さらに右側連結部１３１と左側連結部１３２とが下方に移動していくと、開口１３１ｂの内周下端面から右側ピン１２２が離れるとともに、開口１３２ｂの内周下端面から左側ピン２３が離れる。その結果、試料室上側筐体部１２０は、自重によってＯリング５５を押しつぶして装置本体部５０の上面に載置され、筐体部２１と装置本体部５０の上面とで形成された空間を気密にする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００９−００２７９５号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、上述したような蛍光Ｘ線分析装置１０１では、モータ１４３等を用いた駆動機構１４０が設置されており、装置が大掛かりで、空間を取るとともにコストがかかるという問題点があった。
そこで、本考案は、試料室を手動で開閉することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するためになされた本考案の蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線管と検出器とが内部に配置された装置本体部と、上面と右側壁と前側壁と左側壁と後側壁とを有し、右側壁には右方に突出する右側ピンが形成され、左側壁には左方に突出する左側ピンが形成された試料室上側筐体部とを備え、試料は、測定時には前記装置本体部の上面に載置され、前記試料室上側筐体部で覆われる蛍光Ｘ線分析装置であって、前記右側ピンを支持するための右側支持部材を有する右側連結部と、前記左側ピンを支持するための左側支持部材を有する左側連結部とを備え、前記右側連結部の一端部及び前記左側連結部の一端部を回転軸として、前記右側連結部及び前記左側連結部が設定支持角度以上、回転することにより、前記右側支持部材が前記右側ピンを支持するとともに、前記左側支持部材が前記左側ピンを支持するようにしている。
【００１５】
ここで、「設定支持角度」とは、試料室上側筐体部が自重によって装置本体部の上面に載置されるために、試料室上側筐体部が少し上方へ移動した後に、右側連結部及び左側連結部と試料室上側筐体部とがリンクするよう、設計者等によって予め決められた水平方向に対する任意の角度であり、例えば、１°等となる。
【００１６】
本考案の蛍光Ｘ線分析装置によれば、右側連結部と左側連結部とが順方向（時計回り）に設定支持角度、回転すると、右側支持部材によって右側ピンが支持されるとともに、左側支持部材によって左側ピンが支持される。右側ピンと左側ピンとが支持されると、右側連結部と左側連結部とが設定支持角度からさらに順方向に回転することで、試料室上側筐体部は上方に移動する。その結果、試料室上側筐体部が装置本体部の上面から上方に保持され、測定者は試料を分析位置に配置したり、分析位置から取り除いたりすることができる。
【００１７】
また、試料室を開状態から閉状態にするために、右側連結部と左側連結部とを逆方向（反時計回り）に回転させると、右側ピンと左側ピンとが支持されているので、試料室上側筐体部は下方に移動していく。その後、右側連結部と左側連結部とが設定支持角度になると、筐体部の下端面が装置本体部の上面に接触する。さらに右側連結部と左側連結部とが逆方向に回転していくと、右側支持部材から右側ピンが離れるとともに、左側支持部材から左側ピンが離れる。その結果、試料室上側筐体部は、自重によって装置本体部の上面に載置されることになる。
【考案の効果】
【００１８】
以上のように、本考案の蛍光Ｘ線分析装置によれば、閉状態では試料室上側筐体部は右側連結部と左側連結部とから分離されて装置本体部の上面に載置されるので、自重によって筐体部と装置本体部の上面とで形成された空間を気密にすることができる。また、試料室上側筐体部の開閉機構が扉構造となっており、手動で開閉することができるため、モータ等を用いた駆動機構が不要となり、さらに、場所を取らない構造とすることができる。
【００１９】
（他の課題を解決するための手段および効果）
また、上記の考案において、前記前側壁には、前方に突出するストッパが形成され、前記右側支持部材及び前記左側支持部材は、前記右側連結部の他端部及び前記左側連結部の他端部より、前記右側連結部の一端部及び前記左側連結部の一端部に近い位置に形成されており、前記右側連結部の他端部と前記左側連結部の他端部とを連結する前側連結部を備え、前記右側連結部及び前記左側連結部が回転すると、前記前側連結部が前記ストッパを支持するようにしてもよい。
以上のように、本考案の蛍光Ｘ線分析装置によれば、試料室上側筐体部は装置本体部の上面と平行に維持されるので、筐体部の下端面が装置本体部の上面に接触する際に、上方から載置されるため、装置本体部の上面に配置されたＯリング等の摩耗を軽減することができる。
【００２０】
そして、上記の考案において、前記右側連結部及び前記左側連結部には、前記右側連結部及び前記左側連結部が設定保持角度となるように回転力を作用させるカウンターバランス又はバネが取り付けられているようにしてもよい。
ここで、「設定保持角度」とは、測定者が試料を分析位置に配置したり分析位置から取り除いたりするために、試料室を開状態に保持するよう、設計者等によって予め決められた水平方向に対する任意の角度であり、例えば、１°等となる。
以上のように、本考案の蛍光Ｘ線分析装置によれば、右側連結部及び左側連結部が設定保持角度となるように回転力が作用するため、測定者は力を入れずに開閉することができる。
【００２１】
さらに、上記の考案において、前記前側連結部は、把持されるように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本考案の実施形態に係る蛍光Ｘ線分析装置の概略構成の一例を示す側面図。
【図２】図１に示す蛍光Ｘ線分析装置の平面図。
【図３】図１に示す蛍光Ｘ線分析装置の断面図。
【図４】図１に示す蛍光Ｘ線分析装置の開状態の側面図。
【図５】従来の一般的な蛍光Ｘ線分析装置の概略構成を示す側面図。
【図６】図５に示す蛍光Ｘ線分析装置の平面図。
【図７】図５に示す蛍光Ｘ線分析装置の断面図。
【図８】図５に示す蛍光Ｘ線分析装置の開状態の側面図。
【考案を実施するための形態】
【００２３】
以下、本考案の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本考案は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本考案の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００２４】
図１は、本考案の実施形態に係る蛍光Ｘ線分析装置の概略構成の一例を示す側面図であり、図２は、図１に示す蛍光Ｘ線分析装置の平面図であり、図３は、図１に示す蛍光Ｘ線分析装置の断面図である。また、図４は、図１に示す蛍光Ｘ線分析装置の開状態の側面図である。なお、蛍光Ｘ線分析装置１０１と同様のものについては、同じ符号を付している。
蛍光Ｘ線分析装置１は、装置本体部５０と、試料室上側筐体部２０と、試料室上側筐体部２０を移動させるための開閉機構４０とを備える。
【００２５】
試料室上側筐体部２０は、上面と右側壁と前側壁と左側壁と後側壁とを有する筒形状の筐体部２１を備える。そして、筐体部２１の下面には気密シール用のＯリング５５が取り付けられており、筐体部２１が、装置本体部５０の上面にＯリング５５を介して載置されることで、筐体部２１と装置本体部５０の上面とで形成された密閉空間内に、試料Ｓが配置されることになる。また、筐体部２１は、真空ポンプ（図示せず）と接続されており、筐体部２１と装置本体部５０の上面とで形成された空間を真空に排気することができるようになっている。
【００２６】
筐体部２１の右側壁の後部には、右方に突出する円柱形状の右側ピン２２が形成されており、筐体部２１の左側壁の後部には、左方に突出する円柱形状の左側ピン２３が形成されている。つまり、右側ピン２２と左側ピン２３とは、試料室上側筐体部２０の重心よりも後側に設けられている。さらに、筐体部２１の前側壁の中央部には、前方に突出する平板形状のストッパ２４が形成されている。
【００２７】
開閉機構４０は、水平方向に伸びた右側連結部３１と、水平方向に伸びた左側連結部３２と、右側連結部３１が取り付けられる右側支柱４１と、左側連結部３２が取り付けられる左側支柱４２とを備える。
【００２８】
右側連結部３１の上面の一端部には、回転部材３１ｃが形成されており、回転部材３１ｃと右側支柱４１とが回転軸３１ｄを介して回転可能に取り付けられている。また、回転部材３１ｃと右側支柱４１とには、伸縮可能なバネ４３が取り付けられており、右側連結部３１が設定保持角度となるように回転力が作用している。そして、右側連結部３１の上面の後部には、長穴形状の開口３１ｂを有する右側支持部材３１ａが取り付けられており、試料室上側筐体部２０の右側ピン２２が開口３１ｂに挿入されている。
【００２９】
左側連結部３２の上面の一端部には、回転部材３２ｃが形成されており、回転部材３２ｃと左側支柱４２とが回転軸３２ｄを介して回転可能に取り付けられている。また、回転部材３２ｃと左側支柱４２とには、伸縮可能なバネ４４が取り付けられており、左側連結部３２が設定保持角度となるように回転力が作用している。そして、左側連結部３２の上面の後部には、長穴形状の開口３２ｂを有する左側支持部材３２ａが取り付けられており、試料室上側筐体部２０の左側ピン２３が開口３２ｂに挿入されている。
【００３０】
また、右側連結部３１の他端部と左側連結部３２の他端部とを連結するように、左右方向に伸びた前側連結部３３が形成されている。これにより、右側連結部３１と左側連結部３２とは一体的に回転するようになっている。
【００３１】
このような蛍光Ｘ線分析装置１によれば、測定者は前側連結部３３を把持して、右側連結部３１と左側連結部３２とを図４に示す左側面図から見て順方向（時計回り）に回転させると、右側連結部３１と左側連結部３２とが設定支持角度になったときに、開口３１ｂの内周下端面によって右側ピン２２が支持されるとともに、開口３２ｂの内周下端面によって左側ピン２３が支持される。また、右側ピン２２と左側ピン２３とは、試料室上側筐体部２０の重心よりも後側に設けられているため、前側連結部３３の上面によって試料室上側筐体部２０のストッパ２４が支持される。これにより、試料室上側筐体部２０は、装置本体部５０の上面と平行に維持される。
【００３２】
右側ピン２２と左側ピン２３とストッパ２４とが支持されると、右側連結部３１と左側連結部３２とが設定支持角度からさらに順方向に回転することで、試料室上側筐体部２０は上方に移動することになる。このとき、左右のバネ４３、４４の伸長する力が加わるので、力を入れずに開閉することができる。そして、バネ４３、４４の伸縮作用により、右側連結部３１と左側連結部３２とは設定保持角度で停止する。その結果、試料室上側筐体部２０が装置本体部５０の上面から上方に保持され、測定者は試料Ｓを分析位置に配置したり分析位置から取り除いたりする。
【００３３】
また、試料室を開状態から閉状態にするために、測定者は前側連結部３３を把持して、右側連結部３１と左側連結部３２とを図４に示す左側面図から見て逆方向（反時計回り）に回転させると、開口３１ｂの内周下端面によって右側ピン２２が支持され、開口３２ｂの内周下端面によって左側ピン２３が支持され、前側連結部３３の上面によって試料室上側筐体部２０のストッパ２４が支持されているので、試料室上側筐体部２０は下方に移動していく。その後、右側連結部３１と左側連結部３２とが設定支持角度になったときに、筐体部２１の下端面が装置本体部５０の上面に接触する。このとき、試料室上側筐体部２０は装置本体部５０の上面と平行に維持されるので、筐体部２１の下端面が装置本体部５０の上面に接触する際に、上方から載置されるため、Ｏリング５５の摩耗を軽減することができる。
【００３４】
さらに右側連結部３１と左側連結部３２とが逆方向に回転すると、開口３１ｂの内周下端面から右側ピン２２が離れるとともに、開口３２ｂの内周下端面から左側ピン２３が離れる。その結果、試料室上側筐体部２０は、自重によってＯリング５５を押しつぶして装置本体部５０の上面に載置されることになる。
【００３５】
以上のように、本考案の蛍光Ｘ線分析装置１によれば、閉状態では試料室上側筐体部２０は右側連結部３１と左側連結部３２とから分離されて装置本体部５０の上面に載置されるので、自重によって筐体部２１と装置本体部５０の上面とで形成された空間を気密にすることができる。また、試料室上側筐体部２０の開閉機構４０が扉構造となり、右側連結部３１と左側連結部３２とが設定保持角度となるように回転力が作用するため、手動で開閉することができ、モータ等を用いた駆動機構が不要となるだけでなく、場所を取らない構造とすることができる。
【００３６】
＜他の実施形態＞
上述した蛍光Ｘ線分析装置１では、左右にバネ４３、４４が取り付けられている構成を示したが、カウンターバランスが取り付けられているような構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本考案は、試料中に含まれる元素の情報を取得する蛍光Ｘ線分析装置等に利用することができる。
【符号の説明】
【００３８】
１  蛍光Ｘ線分析装置
２０  試料室上側筐体部
２２  右側ピン
２３  左側ピン
３１  右側連結部
３１ａ  右側支持部材
３２  左側連結部
３２ａ  左側支持部材
５０  装置本体部
５１  Ｘ線管
５２  検出器
Ｓ  試料
【図１】
0003187413.tif 000003
【図２】
0003187413.tif 000004
【図３】
0003187413.tif 000005
【図４】
0003187413.tif 000006
【図５】
0003187413.tif 000007
【図６】
0003187413.tif 000008
【図７】
0003187413.tif 000009
【図８】
0003187413.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月20日(2013.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
Ｘ線管と検出器とが内部に配置された装置本体部と、
上面と右側壁と前側壁と左側壁と後側壁とを有し、右側壁には右方に突出する右側ピンが形成され、左側壁には左方に突出する左側ピンが形成された試料室上側筐体部とを備え、
試料は、測定時には前記装置本体部の上面に載置され、前記試料室上側筐体部で覆われる蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記右側ピンを支持するための右側支持部材を有する右側連結部と、
前記左側ピンを支持するための左側支持部材を有する左側連結部とを備え、
前記右側連結部の一端部及び前記左側連結部の一端部を回転軸として、前記右側連結部及び前記左側連結部が設定支持角度以上、回転することにより、前記右側支持部材が前記右側ピンを支持するとともに、前記左側支持部材が前記左側ピンを支持するようになっており、
前記前側壁には、前方に突出するストッパが形成され、
前記右側支持部材及び前記左側支持部材は、前記右側連結部の他端部及び前記左側連結部の他端部より、前記右側連結部の一端部及び前記左側連結部の一端部に近い位置に形成されており、
前記右側連結部の他端部と前記左側連結部の他端部とを連結する前側連結部を備え、前記右側連結部及び前記左側連結部が回転すると、前記前側連結部が前記ストッパを支持するようになっており、
前記右側連結部及び前記左側連結部には、前記右側連結部及び前記左側連結部が設定保持角度となるように回転力を作用させるカウンターバランス又はバネが取り付けられ、
前記前側連結部は、把持されるようになっていることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。