(57)【要約】【課題】シール対象物間の隙間のシール状態からシール状態の解除を素早く確実にできるような構造を有するエラストマー製シール部材を提供すること。【解決手段】内部に気体を入出させる空間を有するチューブ状のエラストマー製シール部材において、一方の面が第１のシール対象物に取り付け面となる固定ベース部３と、固定ベース部と連なり空間を形成するチューブ状部１０と、第１のシール対象物とシール可能な所定の隙間を設けて対向配置された第２のシール対象物にチューブ状部の外部表面を接触させて密着する可撓シール面９と、チューブ状部の空間内の気体を吸引排気するための吸引ポート２と、固定ベース部に開設されて吸引ポートと空間とを連通する吸引口４と、吸引口の横に位置し、固定ベース部側のチューブ状部内面に沿ってシール部材の全長に亘り一体的に設けられて吸引口よりも高い高さの凸部を有する隙間用リブ部５，６と、を備える。【選択図】  図７
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
内部に気体を入出させる空間を有するチューブ状のエラストマー製シール部材であって、
一方の面が第１のシール対象物に取り付け面となる固定ベース部と、
前記固定ベース部と連なり前記空間を形成するチューブ状部と、
前記第１のシール対象物とシール可能な所定の隙間を設けて対向配置された第２のシール対象物に前記チューブ状部の外部表面を接触させて密着する可撓シール面と、
前記チューブ状部の空間内の気体を吸引排気するための吸引ポートと、
前記固定ベース部に開設されて前記吸引ポートと前記空間とを連通する吸引口と、
前記吸引口の横に位置し、前記固定ベース部側の前記チューブ状部内面に沿って前記シール部材の全長に亘り一体的に設けられて前記吸引口よりも高い高さの凸部を有する隙間用リブ部と、を備えたことを特徴とするエラストマー製シール部材。
【請求項２】
前記隙間用リブ部は、前記吸引口を間に挟み２本並行に設けられていること特徴とする請求項１に記載のエラストマー製シール部材。
【請求項３】
内部に気体を入出させる空間を有するチューブ状のエラストマー製シール部材であって、
一方の面が第１のシール対象物に取り付け面となる固定ベース部と、
前記固定ベース部と連なり前記空間を形成するチューブ状部と、
前記第１のシール対象物とシール可能な所定の隙間を設けて対向配置された第２のシール対象物に前記チューブ状部の外部表面を接触させて密着する可撓シール面と、
前記チューブ状部の空間内の気体を吸引排気するための吸引ポートと、
前記固定ベース部に開設されて前記吸引ポートと前記空間とを連通する吸引口と、
前記可撓シール面側の全長に前記チューブ状部の内面と一体的に設けられた凸部を有する隙間用リブ部と、を備え、
前記隙間用リブ部は、前記チューブ状部の空間内の気体が吸引排気された際に、前前記固定ベース部側の内面に前記凸部が接触した位置が前記吸引口の横に位置し、且つ前記吸引口よりも前記凸部が高い高さ位置となることを特徴とするエラストマー製シール部材。
【請求項４】
前記隙間用リブ部は、前記チューブ状部の空間内の気体が吸引排気された際に、前記吸引口を間に挟み２本並行になるように設けられていること特徴とする請求項３に記載のエラストマー製シール部材。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、エラストマー製シール部材に関するもので、さらに詳細には、所定の隙間を空けて相対する面を有する構造体との間の隙間をシールして、例えば固定に用いる場合や、シール材で囲った間に連絡通路を設けるなどを行うことに使用され、さらに使用しているシール状態の解除も可能なエラストマー製シール部材に関する。
【０００２】
ここで、エラストマーとは、弱い応力でかなり変形した後、その応力を除くと急速にほぼ元の寸法及び形状に戻る合成ゴムあるいは合成プラスチックのような高分子材料をいう。
【背景技術】
【０００３】
例えば、半導体製造装置のラインでの設置例を説明すると、被処理体であるウェハの処理をする異なる処理を行う装置を並べたライン構成の場合において、ウェハをそれら装置間で搬入出するための移動が行える構造を備える必要がある。
【０００４】
例えば、図１は装置の筐体を並べたライン構成の例を示す。図１に示すように装置の筐体である対象物Ａと対象物Ｂとの間には所定の隙間距離Ｌが設けられており、この対象物Ａ，Ｂには共に相対する開口ａ及び開口ｂが設けられている。この開口ａ，ｂを通して例えばウェハの移動を可能とするように構成しなければならないが、対象物Ａと対象物Ｂの隙間距離Ｌがあり、開口ａ及び開口ｂから異物が進入して汚染してしまうことやウェハの処理雰囲気の環境に影響を与えてしまうことがある。そのために従来からこの開口ａ，ｂを囲うように図１に示されるようなシール部材１が用いられている。
【０００５】
このシール部材１について、図４及び図５を参照して説明する。このシール部材１は、シール部材１を対象物Ａ側に取り付ける側となる固定ベース部３と、相対する対象部Ｂと接触してシールさせる可撓シール面９を有するチューブ状部１０とからなる。例えば図５で示されるように、可撓性が高い側が断面半円状であったり矩形形状（図示しない）であったりする。この例のシール部材１は無端チューブ状の特定部分の可撓性が高く構成されたエラストマー製のシール部材が用いられる。
【０００６】
このシール部材１によって対象物Ａと対象物Ｂとの離間された隙間距離Ｌをシールした状態を図２に示す。図２ではエラストマー製シール部材１の特性によりチューブ状部１０の内部空間が断面半円状に立ち上がり、可撓シール面９が対象物Ｂに密着してシール状態となる。シール状態を解除する場合は、吸引ポート２より内部空間内の空気を吸引排気することにより可撓シール面９が引き込まれて、図３に示すように可撓シール面が対象物Ｂから離間する。このシール解除によりメンテナンス作業が必要とされる時には対象物Ｂの移動が自在となる。
【０００７】
なお、このようなチューブ状のエラストマー製のシール部材の存在は既に知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載のシール手法は空気を注入させることでシール面と対象物とをシール状態とする手法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】実開昭６２−１６３５３２号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来のこの種のエラストマー製シール部においては、吸引ポート２より内部を吸引排気する場合、図６（ａ）の状態から可撓性を有するチューブ状部１０の部分が吸引されて引き寄せられて、図６（ｂ），（ｃ）の状態となる。このときに吸引ポート２の内部側の吸引口４が塞がれてしまい長さの有る例えば全周４ｍのような無端チューブの全域で所定の隙間を作って離間させるまでに時間が掛かってしまう懸念がある。
【００１０】
本考案はこのような事情の下になされたものであり、その目的は長尺なチューブ状のシール部を用いて、シール対象物間の隙間のシール状態からシール状態の解除を素早く確実にできるような構造を有するエラストマー製シール部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このため本考案は、内部に気体を入出させる空間を有するチューブ状のエラストマー製シール部材であって、一方の面が第１のシール対象物に取り付け面となる固定ベース部と、前記固定ベース部と連なり前記空間を形成するチューブ状部と、前記第１のシール対象物とシール可能な所定の隙間を設けて対向配置された第２のシール対象物に前記チューブ状部の外部表面を接触させて密着する可撓シール面と、前記チューブ状部の空間内の気体を吸引排気するための吸引ポートと、前記固定ベース部に開設されて前記吸引ポートと前記空間とを連通する吸引口と、前記吸引口の横に位置し、前記固定ベース部側の前記チューブ状部内面に沿って前記シール部材の全長に亘り一体的に設けられて前記吸引口よりも高い高さの凸部を有する隙間用リブ部と、を備えたことを特徴とする。
【００１２】
このように構成することによって、吸引ポートによりチューブ状部の空間内の気体を吸引排気した際に、可撓シール面側内面が隙間用リブ部の凸部に当接する。これにより、吸引口が塞がれないので、隙間用リブ部がシール部材の全長に亘って排気の流路を確保することができ、素早く排気が可能となると共に確実にシール状態の解除がなされる。
【００１３】
本考案において、前記隙間用リブ部は、前記吸引口より高い高さの凸部を有するものであれば、１本であっても差し支えないが、前記吸引口を間に挟み２本並行に設けられているのが好ましい。
【００１４】
このように構成することによって、チューブ状部の可撓性シール面側が吸引排気により凹み込んでも、２本の並行な隙間リブ部材によってトンネル状に排気の流路となる空間が残されながら吸引排気がされていくので、速やかにシール状態の解除がなされる。
【００１５】
また本考案は、内部に気体を入出させる空間を有するチューブ状のエラストマー製シール部材であって、一方の面が第１のシール対象物に取り付け面となる固定ベース部と、前記固定ベース部と連なり前記空間を形成するチューブ状部と、前記第１のシール対象物とシール可能な所定の隙間を設けて対向配置された第２のシール対象物に前記チューブ状部の外部表面を接触させて密着する可撓シール面と、前記チューブ状部の空間内の気体を吸引排気するための吸引ポートと、前記固定ベース部に開設されて前記吸引ポートと前記空間とを連通する吸引口と、前記可撓シール面側の全長に前記チューブ状部の内面と一体的に設けられた凸部を有する隙間用リブ部と、を備え、前記隙間用リブ部は、前記チューブ状部の空間内の気体が吸引排気された際に、前記固定ベース部側の内面に前記凸部が接触した位置が前記吸引口の横に位置し、且つ前記吸引口よりも前記凸部が高い高さ位置となることを特徴とする。
【００１６】
このように構成することによって、吸引ポートによりチューブ状部の空間内の気体を吸引排気した際に、可撓シール面側内面に設けられた隙間用リブ部の凸部が固定ベース部側の内面に当接し、その接触した位置が吸引口の横に位置し、且つ吸引口よりも凸部が高い高さ位置となる。これにより、吸引口が塞がれないので、隙間用リブ部がシール部材の全長に亘って排気の流路を確保することができ、素早く排気が可能となると共に確実にシール状態の解除がなされる。
【００１７】
本考案において、前記隙間用リブ部は、前記吸引口より高い高さの凸部を有するものであれば、１本であっても差し支えないが、前記チューブ状部内を吸引したときに前記吸引口を間に挟み２本並行になるように設けられているのが好ましい。
【００１８】
このように構成することによって、チューブ状部の内側であって可撓性シール面側に設けられた２本の並行な隙間用リブ部によって可撓性シール面側が吸引排気により凹み込んでもトンネル状に排気の通路の空間が残されながら吸引排気がされていくので、速やかにシール状態の解除がなされる。
【考案の効果】
【００１９】
以上のように構成される本考案によれば、チューブ状のエラストマー製シール部材の空間の吸引排気を妨げない構造となるので、速やかに確実にシール状態から解除することができる。特に全長の長い長尺なシール部材のシール状態の解除においては解除時間の短縮ができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】シール部材の使用状態の一例を示す概略斜視図である。
【図２】前記シール部材を用いたシール状態を示す側面図である。
【図３】前記シール部材を用いたシール状態の解除状態を示す側面図である。
【図４】従来のシール部材の使用状態の一例を示す正面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。
【図５】図４（ａ）のＩ−Ｉ線に沿う拡大断面図（ａ）及び図４（ａ）のII−II線に沿う拡大断面図（ｂ）である。
【図６】従来のシール部材におけるシール状態を示す断面図（ａ）、シール解除状態を示す断面図（ｂ）及び（ｂ）のIII−III線に沿う断面図（ｃ）である。
【図７】本考案に係る第１実施形態のシール部材の一部を断面で示す正面図（ａ）及び（ａ）のIV−IV線に沿う拡大断面図（ｂ）である。
【図８】第１実施形態のシール部材におけるシール状態を示す断面図（ａ）、シール解除状態を示す断面図（ｂ）及び（ｂ）のＶ−Ｖ線に沿う断面図（ｃ）である。
【図９】本考案に係る第２実施形態のシール部材の一部を断面で示す背面図（ａ）及び（ａ）のVI−VI線に沿う拡大断面図（ｂ）である。
【図１０】第２実施形態のシール部材におけるシール状態を示す断面図（ａ）、シール解除状態を示す断面図（ｂ）及び（ｂ）のVII−VII線に沿う断面図（ｃ）である。
【考案を実施するための形態】
【００２１】
先ず図１から図３に示す図面に基づいたシール部材の使用例は前述の通りであるので、ここでは省略して本考案の実施形態について説明を行うものとする。
【００２２】
＜第１実施形態＞
第１実施形態のシール部材１Ａは、図７及び図８に示すように、シール部材そのものを第１のシール対象物と固定するための固定ベース部３と、この固定ベース部３と一体的に成形されてなるチューブ状部１０から構成されている。なお、固定ベース部３は、例えば接着材、接着テープやねじ部材等の固定手段によって第１のシール対象物Ａに交換可能に固着されている。
【００２３】
チューブ状部１０には、隙間距離Ｌを介して対向する第２のシール対象物Ｂと接触させて密着させる可撓シール面９が設けられている。また、シール部材１Ａには図示しない真空ラインと連通する吸引手段が吸引ポート２と接続されている。例えば、この吸引手段が作用していないときは、大気開放されてシール部材が自立してシール対象物Ｂと接してシール状態となるものである。なお、吸引ポート２から逆に空気をチューブ状部１０内に供給してもシール状態とさせることもできる。
【００２４】
図８（ｂ）に示すように、吸引ポート２とチューブ状部１０の空間とを連通する吸引口４から空間内の気体である空気を排気して可撓シール面９を収縮させて凹ませることで、シール状態を解除することができる。
【００２５】
第１実施形態のシール部材１Ａは、固定ベース部３側のチューブ状部１０の内面に可撓シール面９を収縮させて凹ませたときに、この凹み面と接触させるための凸部を設けるものである。この場合、凸部となる隙間用リブ部５，６は吸引口４よりも高く設定される凸部によって吸引口４が塞がれることを防止することができる。この際、吸引口４と引き寄せられた可撓シール面９との間に隙間を形成しあたかも排気のための流路を形成する（図８（ｃ）参照）。
【００２６】
この隙間用リブ部５，６は、延在する固定ベース部３に例えば２本並行に延びて設けられ、吸引口４はこの並行な間隔の間に位置している。なお、必ずしも２本ある必要はなく隙間用リブ部５を１本にして吸引口４の横を沿わせて延在させても同様の効果が得られる。
【００２７】
図７は無端のシール部材１Ａが例えば方形に設けられている例であり、既に前述した使用例を示す図１のように開口ａ，ｂが備わっている状態を図示している。この無端のシール部材１Ａは全周長が例えば４ｍあるもので、本考案の特徴である隙間用リブ部５，６が前述したように２本設けられている。
【００２８】
また、図７に示すように吸引口４が周長を２分する２箇所に設けられており、この吸引口４からチューブ状部１０の空間内の空気を吸引排気する。これにより、吸引を始めたときに先ず吸引口４の近辺の可撓シール面９から固定ベース部３側に引き寄せられて凹み込んでしまう。しかしながら、隙間用リブ部５，６によって吸引口４は塞がれることはないので、吸引口４が隙間用リブ部５，６に沿って流路として延びるよう収縮が進むことになる（図８（ｃ）参照）。
【００２９】
この実施形態では吸引口４が２箇所備わっているので、吸引によるチューブ状部１０の収縮がそれぞれの吸引口４の２方向から始まるので、この結果速やかに確実なシール状態の解除が行われることとなる。
【００３０】
＜第２実施形態＞
次に本考案に係る第２実施形態のシール部材について、図９及び図１０を参照して説明する。第２実施形態のシール部材１Ｂは、図９に示すように第１実施形態のシール部材１Ａの隙間用リブ部５，６に代えて、チューブ状部１０の内部で可撓シール面９側に凸部となる隙間用リブ部７，８が形成されている点で異なる。
【００３１】
第２実施形態において、その他の部分は第１実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して説明は省略する。
【００３２】
第２実施形態のシール部材１Ｂは、図１０に示すように、チューブ状部１０の内部が吸引されて可撓シール面９側が固定ベース部３に引き寄せられることで、隙間用リブ部７，８が当接されるようになっている。この構成においても隙間用リブ部７、８が２本並行に延在して並行な間隔の間に吸引口４を挟む位置に当接されて吸引口４を塞ぐことがない。また、この隙間用リブ部７，８の凸部は、当接されたときには吸引口４よりも高くなる。この隙間用リブ部７，８も図９の点線で示されるように全周長に延在して形成されている。
【００３３】
この構成のチューブ状部１０の内部を吸引することにより、吸引口４の近辺が最初に収縮して凹み引き寄せられたとしても、可撓シール面９側の隙間用リブ部７，８の凸部より隙間が形成されて吸引が阻害されることなく全周長に亘り速やかに吸引されてシール状態の解除が行われる（図１０（ｃ）参照）。
【００３４】
第１及び第２実施形態のシール部材１Ａ，１Ｂにおいて、本考案の主要部である隙間用リブ部５（７），６（８）については、吸引されて潰れない程度の凸部となる硬度を有するように形成されていれば良い。
【００３５】
また、本実施形態では、本考案におけるチューブ状部１０は断面が半円に形成されているが、断面方形でも良く形状に係わらず本考案が適用できる。
【００３６】
さらに、本考案に係るエラストマー製シール部材は、種々の産業分野における構造物間の隙間をシール及ぶシール解除を要する部分においても広く適用できるものである。
【符号の説明】
【００３７】
１Ａ，１Ｂ  シール部材
２  吸引ポート
３  固定ベース部
４  吸引口
５，６，７，８  隙間用リブ部
９  可撓シール面
１０  チューブ状部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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