(57)【要約】      （修正有）【課題】研磨処理を高品質に行うことを可能にする研磨具、及びこの研磨具を用いた研磨装置を提供する。【解決手段】バフＢは、円盤状に形成される。バフＢの中心を含む面における周縁部の断面形状は円弧状となっている。バフＢは、円形の布Ｂｎを互いに貼り合わせたものである。布Ｂｎどうしの貼り合わせには、接着剤が用いられる。接着剤は、布Ｂｎの全域において一様に塗布される。別途の研磨棒を回転するバフＢの周面に塗布し、研磨剤がバフＢに塗布される。研磨剤が塗布されたバフＢを回転することにより、ワークＷを研磨することができる。【選択図】図３
0003181350.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
円盤状に形成され、周面に研磨剤が塗布された状態で自身の軸を中心に回転することによりワークを研磨する研磨具であって、
複数の円形状のシートが接着剤によって互いに貼り合わされてなり、
前記接着剤は前記シートの全域に浸み込んでいることを特徴とする研磨具。
【請求項２】
自身の周面の形状は、前記自身の回転軸を含み前記回転軸に沿った断面において円弧状であり、
前記円弧部分に対する中心角は９０°以上であることを特徴とする請求項１記載の研磨具。
【請求項３】
請求項１または２記載の研磨具と、
棒状に形成された前記研磨剤の一端側が前記研磨具の周面に当接するように前記研磨剤の他端側を保持する研磨剤保持機構と、を備える研磨装置であって、
前記研磨剤保持機構は、
前記研磨剤の前記他端側に配された保持具と、
前記保持具と連結可能な被保持具とを有し、
前記被保持具は、
前記研磨剤の一端側の端面に埋没する埋没部と、
前記研磨剤の一端側の端面から突出し前記他の部品と連結可能な連結部とを有することを特徴とする研磨装置。
【請求項４】
前記ワークを保持するワーク保持機構と、
前記研磨剤が塗布された前記研磨具の周面が前記ワークに当接した状態で、前記研磨具を回転させる研磨具回転機構と、
前記ワークに対して前記研磨具を押し当てる研磨具押当機構と、
前記研磨具押当機構に備えられたモータのトルク値に応じて前記研磨具押当機構を制御する押当制御機構と、を備えたことを特徴とする請求項３記載の研磨装置。
【請求項５】
前記研磨具回転機構に備えられたモータのトルク値に応じて前記研磨具の回転数を制御する研磨具回転数制御機構と、を備えたことを特徴とする請求項４記載の研磨装置。
【請求項６】
ワーク軸方向を中心にして前記ワークを正逆方向に回転させるワーク回転機構と、
前記研磨剤が塗布された前記研磨具の周面が前記ワークに当接する場合、前記研磨具の回転方向と前記ワークの回転方向とが同一方向から見て逆向きとなるように、前記ワーク回転装置及び前記研磨具回転機構を制御する回転制御ユニットと、を備えたことを特徴とする請求項３または５のうちいずれか１項記載の研磨装置。
【請求項７】
前記回転制御ユニットは、前記研磨具が一定の方向のみに回転するように前記研磨具回転機構を制御することを特徴とする請求項６記載の研磨装置。
【請求項８】
前記ワークは、棒状に形成されワーク表面にらせん溝を有し、
前記ワークの軸方向を中心に前記ワークを回転させるワーク回転機構と、
前記らせん溝に当接した状態の前記研磨具を前記ワークの回転軸方向へ移動させる回転軸移動機構と、
前記回転軸移動機構に備えられたモータのトルク値に応じて、前記回転軸移動機構を制御する移動制御機構と、を備えたことを特徴とする請求項３または７のうちいずれか１項記載の研磨装置。
【請求項９】
前記らせん溝の幅は、前記研磨具の厚みよりも広いことを特徴とする請求項８記載の研磨装置。
【請求項１０】
前記ワークは、棒状に形成されワーク表面にらせん溝を有し、
前記ワークの軸方向を中心に前記ワークを回転させるワーク回転機構と、を備え、
前記研磨具は前記ワークの軸方向に対して垂直に起立した姿勢で配されるとともに、前記研磨具の周面が前記らせん溝の面のみに当接する範囲内で前記らせん溝が延びる方向に対して斜めに配されることを特徴とする請求項３または９のうちいずれか１項記載の研磨装置。
【請求項１１】
前記らせん溝が延びる方向に直交する面において前記らせん溝の輪郭は円弧状であり、
前記らせん溝の輪郭において前記研磨具が当接する領域には、中心角が９０°の円弧を形成する第１〜２位置が含まれることを特徴とする請求項１０記載の研磨装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、研磨具及び研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属製のワーク（以下、金属ワークと称する）の表面を研磨するための研磨具、及びこの研磨具を用いて金属ワークの表面を研磨する研磨装置が知られている（例えば、特許文献１）。特許文献１に記載の研磨装置では、円盤状の糸バフ、布バフやスポンジバフを研磨具として用いる。ここで、糸バフや布バフは、シート状の材料を重ね糸で縫い合わせたものであり、スポンジバフは、スポンジからなる円盤状のバフである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１１５８９５号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、金属ワークの表面を均一にする場合には、金属ワークに対するバフの押し付け力や、バフの回転数の制御が重要となる。しかしながら、特許文献１に記載の研磨装置にて用いられるバフは柔らかいため、金属ワークに対してバフを一定の力で押しつけた場合であっても、バフが撓む、あるいはバフの周縁部が変形する結果、金属ワークに対してバフの押し付け力を一定にすることが非常に困難である。
【０００５】
したがって、金属ワークの研磨処理の要求品質が高くなるにつれ、金属ワークの表面を均一にすることが非常に困難である。
【０００６】
本考案は上記問題点に鑑みてなされたものであり、研磨処理を高品質に行うことを可能にする研磨具、及びこの研磨具を用いた研磨装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案は、円盤状に形成され、周面に研磨剤が塗布された状態で自身の軸を中心に回転することによりワークを研磨する研磨具であって、複数の円形状のシートが接着剤によって互いに貼り合わされてなり、前記接着剤は前記シートの全域に浸み込んでいることを特徴とする。
【０００８】
自身の周面の形状は、前記自身の回転軸を含み前記回転軸に沿った断面において円弧状であり、前記円弧部分に対する中心角は９０°以上であることが好ましい。
【０００９】
本考案は、上記の研磨具と、棒状に形成された前記研磨剤の一端側が前記研磨具の周面に当接するように前記研磨剤の他端側を保持する研磨剤保持機構と、を備える研磨装置であって、前記研磨剤保持機構は、前記研磨剤の前記他端側に配された保持具と、前記保持具と連結可能な被保持具とを有し、前記被保持具は、前記研磨剤の一端側の端面に埋没する埋没部と、前記研磨剤の一端側の端面から突出し前記他の部品と連結可能な連結部とを有することを特徴とする。
【００１０】
前記ワークを保持するワーク保持機構と、前記研磨剤が塗布された前記研磨具の周面が前記ワークに当接した状態で、前記研磨具を回転させる研磨具回転機構と、前記ワークに対して前記研磨具を押し当てる研磨具押当機構と、前記研磨具押当機構に備えられたモータのトルク値に応じて前記研磨具押当機構を制御する押当制御機構と、を備えたことが好ましい。また、前記研磨具回転機構に備えられたモータのトルク値に応じて前記研磨具の回転数を制御する研磨具回転数制御機構と、を備えたことが好ましい。
【００１１】
ワーク軸方向を中心にして前記ワークを正逆方向に回転させるワーク回転機構と、前記研磨剤が塗布された前記研磨具の周面が前記ワークに当接する場合、前記研磨具の回転方向と前記ワークの回転方向とが同一方向から見て逆向きとなるように、前記ワーク回転装置及び前記研磨具回転機構を制御する回転制御ユニットと、を備えたことが好ましい。また、前記回転制御ユニットは、前記研磨具が一定の方向のみに回転するように前記研磨具回転機構を制御することが好ましい。
【００１２】
前記ワークは、棒状に形成されワーク表面にらせん溝を有し、前記ワークの軸方向を中心に前記ワークを回転させるワーク回転機構と、前記らせん溝に当接した状態の前記研磨具を前記ワークの回転軸方向へ移動させる回転軸移動機構と、前記回転軸移動機構に備えられたモータのトルク値に応じて、前記回転軸移動機構を制御する移動制御機構と、を備えたことが好ましい。また、前記らせん溝の幅は、前記研磨具の厚みよりも広いことが好ましい。
【００１３】
前記ワークは、棒状に形成されワーク表面にらせん溝を有し、前記ワークの軸方向を中心に前記ワークを回転させるワーク回転機構と、を備え、前記研磨具は前記ワークの軸方向に対して垂直に起立した姿勢で配されるとともに、前記研磨具の周面が前記らせん溝の面のみに当接する範囲内で前記らせん溝が延びる方向に対して斜めに配されることが好ましい。
【００１４】
前記らせん溝が延びる方向に直交する面において前記らせん溝の輪郭は円弧状であり、前記らせん溝の輪郭において前記研磨具が当接する領域には、中心角が９０°の円弧を形成する第１〜２位置が含まれることが好ましい。
【考案の効果】
【００１５】
研磨処理を高品質に行うことを可能にする研磨具、及びこの研磨具を用いた研磨装置
によれば、研磨処理を高品質に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】研磨装置の概要を示す側面図である。
【図２】研磨装置の概要を示す正面図である。
【図３】バフの周縁部分の概要を示すIII-III線断面図である。
【図４Ａ】研磨棒、バフ、ワーク装置及びこれらの周辺の概要を示す拡大図である。
【図４Ｂ】スタンドの概要を示す側面図である。
【図４Ｃ】スタンドの概要を示す側面図である。
【図５】研磨剤保持機構の概要を示す正面図である。
【図６Ａ】スタンドからみたときのバフとワークとの位置関係を示す説明図である。
【図６Ｂ】真上からみたときのバフとワークとの位置関係を示す説明図である。
【図６Ｃ】当接領域Ｚの回転軌跡Ｔの概要を示すIII-III線断面図である。ここで、ＩＶＣは、図６ＡのＩＶＣ―ＩＶＣ線断面におけるバフの輪郭線であり、ＩＶＲは、図６ＡのＩＶＲ―ＩＶＲ線断面におけるバフの輪郭線であり、ＩＶＬは、図６ＡのＩＶＬ―ＩＶＬ線断面におけるバフの輪郭線である。
【考案を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して、本考案の実施の形態を説明する。
【００１８】
図１〜２に示すように、研磨装置２は、棒状のワークＷを水平姿勢にして保持するワーク保持機構１０と、ワークＷを研磨するためのバフＢと、バフＢを回転可能な状態で保持するバフ保持機構２０と、バフＢを回転させるバフ回転モータ３０Ｍと、研磨棒Ｋを保持するとともに、回転状態のバフＢに研磨棒Ｋを当接する研磨剤保持機構４０と、バフＢの周面がワークＷの表面に押し当てられるようにバフ保持機構２０を移動させるバフ押当機構５０と、バフＢをワークＷの長手方向（以下、Ｘ方向と称する）へ移動させるバフスライド移動機構６０と、各部を制御する制御部９０と、を備える。
【００１９】
＜ワーク＞  ワークＷは、いわゆるボールねじ用のネジ軸であり、直線状のネジ軸には、ボール転動用のらせん溝が設けられている。
【００２０】
＜バフ＞  バフＢは、円盤状に形成される。また、図３に示すように、バフＢの中心線を含み中心線に沿った面（バフＢの径方向とバフＢの中心軸とがなす面）における周縁部の断面形状は円弧状となっている。そして、当該周縁部の断面形状は、中心角が４５°以上、または、９０°以上の円弧となっていることが好ましい。バフＢは、円形状の布Ｂｎを互いに貼り合わせたものである。布Ｂｎどうしの貼り合わせには、接着剤が用いられ、この接着剤は、布Ｂｎの全域において塗布される。このようなバフＢは、複数の布Ｂｎが接着剤によって貼りあわされているため、研磨条件の調節が容易となる程度の適度な弾性及び剛性を有する。布Ｂｎの形成材料としては、綿、麻、合成繊維などいずれでもよい。接着剤としては、例えば、アクリル系接着剤、ウレタン系接着剤や、エチレン系ビニル樹脂接着剤などを用いることができる。なお、布Ｂｎに代えて、紙、コルク等、接着剤が浸み込み可能な材料からなるシートを用いてもよい。
【００２１】
ここで、「布Ｂｎの全域」とは、バフＢをワークＷに当接した場合にバフＢが撓むまたは変形しない程度のコシを有する程度のものであればよい。したがって、「布Ｂｎの全域」には、「径方向において布Ｂｎの中央部から周端までの全範囲」としてもよいし、「この全範囲より周端部分を除いた範囲」としてもよい。また、接着剤は、布Ｂｎの全域において一様に塗布されていることが好ましい。
【００２２】
バフＢには研磨剤が含有されていない。このため、ワークＷの研磨には、バフＢの周面において、ワークＷへの当接に先立ち、研磨棒Ｋの塗布を行う必要がある。研磨棒Ｋの詳細は後述する。
【００２３】
また、バフＢの厚みＭ２は、らせん溝Ｗｍの幅Ｍ１と等しい、またはらせん溝Ｗｍの幅Ｍ１よりも狭いことが好ましい。なお、バフＢの厚みＭ２は、特に限定されないが、例えば、１ｍｍ以上３ｍｍ以下である。また、バフＢの直径も、特に限定されないが、例えば、５０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下である。
【００２４】
＜ワーク保持機構＞  図１〜２に戻って、ワーク保持機構１０は、ワークＷの両端を保持するとともに、Ｘ方向に延びる回転軸ＡＸ１を中心にしてワークＷを回転させるものであり、１対の脚１１と、１対の脚１１の上部に設けられたワーク保持板１２と、ワーク保持板１２に設けられ、棒状のワークＷの端部を把持するワーク把持具１３と、回転軸ＡＸ１を中心にしてワーク把持具１３を回動させる把持回転モータ１４Ｍと、を備える。ワーク把持具１３は、ワークＷの端部の把持を行う把持状態と、ワークＷの端部の把持を解除する解除状態との間で遷移自在である。
【００２５】
＜バフスライド移動機構＞  バフスライド移動機構６０は、Ｘ方向に延び、両端が１対の脚１１にそれぞれ固定されたスライドレール６１と、Ｘ方向に移動自在なスライド台座６２と、スライドレール６１上においてスライド台座６２を移動させるスライド台座モータ６３Ｍと、スライド台座モータ６３Ｍのトルクを検知するトルクセンサ６３Ｓと、を備える。スライド台座６２は挿通穴６２Ｘを有する。そして、挿通穴６２Ｘにスライドレール６１が挿入される。このように、挿通穴６２Ｘにスライドレール６１が挿入されるため、スライド台座６２はＸ方向に移動自在となる。そして、スライド台座モータ６３Ｍの駆動によって、スライド台座６２はＸ方向へ移動する。
【００２６】
＜バフ押当機構＞  図４Ａに示すように、バフ押当機構５０は、スライド台座６２の上面６２Ｕに設けられ、スライド台座６２に対しバフ保持機構２０をＹ方向へ移動自在にする押当レール５１と、バフ保持機構２０をＹ方向へ移動させるバフ保持機構モータ５２Ｍと、バフ保持機構モータ５２Ｍのトルクを検知するトルクセンサ５２Ｓと、を備える。ここで、Ｙ方向は水平面に含まれＸ方向と直交する方向を指す。そして、バフ保持機構モータ５２Ｍの駆動によって、バフ押当機構５０は、スライド台座６２に対してＹ方向へ移動する。この結果、ワークＷに対するバフＢの押し付け力を制御することができる。
【００２７】
＜バフ保持機構＞  バフ保持機構２０は、柱状のスタンド２１と、スタンド２１の先端部にて基端部が回動自在に設けられたアーム２２と、アーム２２を回動するためのアーム回動モータ２３Ｍと、アーム２２の自由端側に設けられ、バフＢの中心部分を両面側から挟持する保持ホイール２４と、を備える。
【００２８】
スタンド２１は、図４Ａ〜４Ｃに示すように、押当レール５１に対してスライド自在に嵌合するレール嵌合部２１Ｒと、基部がレール嵌合部２１Ｒの側面に設けられ先端部がＹ方向に延びる水平軸２１Ｃと、水平軸２１Ｃの先端部に軸着され上部にアーム２２が設けられる回動柱２１Ａと、水平軸２１Ｃを回動する回動モータ２１Ｍと、を有する。さらに、水平軸２１Ｃは、レール嵌合部２１Ｒに対して自身の軸を中心に回動自在となっている。
【００２９】
モータ制御部９１の制御の下、回動モータ２１Ｍが駆動すると、回動柱２１Ａは、第１状態と、第１状態と異なる第２状態との間で遷移自在となる。例えば、第１状態では回動柱２１Ａは垂直方向に起立するような姿勢となり（図４Ｂ参照）、第２状態では回動柱２１Ａは斜めに傾いた姿勢となる（図４Ｃ参照）。さらに、レール嵌合部２１Ｒの側面から突出する係止突起２１Ｄが設けられ、係止突起２１Ｄが挿入される係止穴２１Ｅが回動柱２１Ａに設けられる。係止突起２１Ｄ及び係止穴２１Ｅは、第１状態及び第２状態のときに、互いに係止する。このように、回動モータ２１Ｍが駆動することにより、バフＢの向きは、垂直方向に起立した第１姿勢（図４Ｂ参照）と、垂直方向に対して斜めの第２姿勢（図４Ｃ参照）との間で遷移自在となる。
【００３０】
アーム２２は、基端部がスタンド２１に対し回動自在に設けられているため、バフＢは、周面がワークＷの表面に当接する当接位置（図４Ａ参照）と、当接位置から退避した退避位置（図１参照）との間で移動自在となる。
【００３１】
また、図４Ａに示すように、レール嵌合部２１Ｒが押当レール５１に対してスライド自在に嵌合するため、バフＢはＹ方向に移動自在となり、バフスライド移動機構６０によって、バフＢはＸ方向に移動自在となる。
【００３２】
＜バフ回転モータ＞  バフ回転モータ３０Ｍは、制御部９０の制御の下、保持ホイール２４を回転する。このバフ回転モータ３０Ｍには、バフＢのトルク、すなわちバフ回転モータ３０Ｍのトルクを検知するトルクセンサ３０Ｓが取り付けられる。
【００３３】
＜研磨剤＞  図５に示すように、研磨棒Ｋは、棒状に形成され、粉状の研磨剤が油によって棒状に固められている。研磨棒Ｋは、一端側がバフＢの周面に向く姿勢のまま、他端側が研磨剤保持機構４０によって保持される。
【００３４】
＜研磨剤保持機構＞  図４Ａ、５に示すように、研磨剤保持機構４０は、研磨棒Ｋの他端側に設けられる研磨剤固定ネジ４１と、研磨剤固定ネジ４１に螺合する研磨剤固定ナット４２とを備える。
【００３５】
研磨剤固定ネジ４１は、ネジ頭４１Ｈと、ネジ部４１Ｔとを有する。研磨剤固定ナット４２は、ネジ部４１Ｔと螺合した状態でネジ部４１Ｔの中途部分に位置する。このような状態の研磨剤固定ネジ４１及び研磨剤固定ナット４２を基礎として、研磨剤を棒状に固めることにより、図５に示すような研磨棒Ｋが得られる。
【００３６】
さらに、研磨剤保持機構４０は、スタンド２１の側面から、ワーク把持具１３によって把持されたワークＷ側に向かって張り出す張出板４４と、張出板４４よりもワークＷ側に設けられ研磨棒Ｋを保持する研磨剤保持板４５と、張出板４４及び研磨剤保持板４５の間に設けられ、上下方向にて研磨剤保持板４５をスライド自在にする昇降レール４６と、を有する。研磨剤保持板４５には、ネジ部４１Ｔと螺合可能な研磨剤ネジ穴４５Ｘが設けられる。研磨剤ネジ穴４５Ｘにネジ部４１Ｔを螺合することにより、研磨棒Ｋは、自身の長手方向が上下方向となるような姿勢で保持される。さらに、昇降レール４６によって、研磨棒Ｋは上下方向に移動自在となる。
【００３７】
さらにまた、研磨剤保持機構４０は、研磨剤回転ユニット４８を有する。研磨剤回転ユニット４８は、上下方向に延びる回転ネジ４８Ａと、回転ネジ４８Ａを回転するネジモータ４８Ｍと、回転ネジ４８Ａに軸着された回転ギア４８Ｇと、研磨剤固定ナット４２に軸着され回転ギア４８Ｇと噛合する研磨剤ギア４８Ｆと、を備える。また、研磨剤保持板４５には、回転ネジ４８Ａと螺合可能な回転ネジ穴４８Ｙが設けられる。
【００３８】
制御部９０によってネジモータ４８Ｍが駆動すると、回転ネジ４８Ａの回転が、回転ギア４８Ｇを介して、研磨剤ギア４８Ｆに伝わる。このとき、ネジ部４１Ｔが研磨剤ネジ穴４５Ｘに螺合しているため、研磨剤ギア４８Ｆの回転によって、研磨棒Ｋは回転しながら下降する。また、回転ネジ４８Ａが回転ネジ穴４８Ｙに螺合しているため、回転ギア４８Ｇの回転によって、回転ネジ４８Ａ及び回転ギア４８Ｇも、研磨棒Ｋとともに回転しながら下降する。もちろん、ネジモータ４８Ｍの駆動により、回転ネジ４８Ａが逆方向に回転すると、研磨棒Ｋは、回転しながら上昇する。この研磨剤回転ユニット４８により、バフＢと当接する研磨棒Ｋの一端側を、偏ることなく均一に消耗させることができる。
【００３９】
制御部９０は、各モータを制御するモータ制御部９１と、バフＢのトルクを検知するトルク検知部９２と、ワーク把持具１３を把持状態と解除状態との間で切り替えるワーク把持制御部９３と、を備える。トルク検知部９２は、トルクセンサ３０Ｓからのセンシング信号を読み取る。
【００４０】
次に、研磨装置２の作動について説明する。
【００４１】
まず、図２に示すように、ワーク把持制御部９３は、ワーク把持具１３を用いてワークＷの端部の把持を行う。こうして、ワークＷは水平方向の状態で両端が把持される。
【００４２】
図４Ａに示すように、両端をワーク把持具１３によって把持されたワークＷは、把持回転モータ１４Ｍにより、回転軸ＡＸ１を中心にて方向ＤＷ１へ所定の回転数で回転する。また、バフＢは、バフ回転モータ３０Ｍにより方向ＤＢ１へ所定の回転数で回転する。
【００４３】
次に、バフＢの位置合わせを行う。まず、アーム２２の駆動により、保持ホイール２４によって挟持されたバフＢは、ワークＷのＹ方向側に位置する（図１参照）。その後、スライド台座モータ６３Ｍ及びバフ保持機構モータ５２Ｍの駆動により、Ｘ方向及びＹ方向におけるバフＢの位置決めを行う。こうして、バフＢの周面がワークＷ、より詳しくは、ワークＷのらせん溝Ｗｍに当接することとなる（図３参照）。このとき、バフＢは、ワークＷの回転軸ＡＸ１に対して垂直に起立した姿勢で配されることが好ましい。ここで、らせん溝Ｗｍの面のうち、バフＢの周面と当接する領域を当接領域Ｚと称する。
【００４４】
図４Ａに示すように、研磨剤回転ユニット４８は、研磨棒Ｋの一端側をバフＢの周面に当接する。この結果、バフＢの周面に研磨剤が塗布される。バフＢの回転により、バフＢの周面に塗布された研磨剤は当接領域Ｚ（図３参照）へ供給される。この結果、当接領域Ｚに供給された研磨剤により、ワークＷの表面は研磨される。
【００４５】
ここで、ワークＷの研磨条件として、ワークＷに対するバフＢの押し付け力が重要な条件となる。前述のとおり、バフＢは、接着剤を用いて円形の布Ｂｎを互いに貼り合わせたものであり、接着剤は布Ｂｎの全域において一様に塗布されている。このようなバフＢは、従来のバフ（糸バフ、布バフ、スポンジバフ）に比べて、適度な弾性及び剛性を有する。また、接着剤は、バフＢの全域に存在するため、バフＢの周縁部においても、中心部分と同様の弾性及び剛性を有する。さらに、使用によってバフＢの周縁部が摩耗した場合、新たに周縁部となった部分においても接着剤が存在する。したがって、新たな周縁部も、中心部分と同様の弾性及び剛性を有し、かつ、新たな周縁部分を構成する複数の布Ｂｎも一体としてまとまったものとなる。このように、バフＢは、自身の周縁部の摩耗によっても、新たな周縁部の弾性及び剛性は変わらないため、ワークＷへの押し当て力の制御によって、ワークＷの表面状態を容易に均一にすることができる。
【００４６】
または、モータ制御部９１は、トルクセンサ５２Ｓによって検知されたトルク値が基準値となるように、バフ保持機構モータ５２Ｍを制御する。すなわち、トルクセンサ５２Ｓによって検知されたトルク値が基準値よりも大きい場合、モータ制御部９１は、バフ保持機構モータ５２Ｍの制御を介して、ワークＷに対するバフＢの押し付け力を小さくする。一方、トルクセンサ５２Ｓによって検知されたトルク値が基準値よりも小さい場合、モータ制御部９１は、バフ保持機構モータ５２Ｍの制御を介して、ワークＷに対するバフＢの押し付け力を大きくする。これにより、ワークＷに対するバフＢの押し付け力を一定にすることが可能となるため、ワークＷの表面を均一に仕上げることができる。
【００４７】
さらに、ワークＷの研磨条件として、ワークＷに対するバフＢの押し付け力のみならず、ワークＷに対するバフＢの摩擦力も重要な条件となる。このため、モータ制御部９１は、トルクセンサ３０Ｓによって検知されたトルク値が基準値よりも大きい場合には、トルク値が基準値となるように、つまり、バフＢの回転数が小さくなるようにバフ回転モータ３０Ｍを制御する。一方、トルクセンサ３０Ｓによって検知されたトルク値が基準値よりも小さい場合には、モータ制御部９１は、トルク値が基準値となるように、つまり、バフＢの回転数が大きくなるようにバフ回転モータ３０Ｍを制御する。これにより、ワークＷに対するバフＢの摩擦力を一定にすることが可能となるため、ワークＷの表面を均一に仕上げることができる。なお、ワークＷに対するバフＢの摩擦力を一定にするために、前述したバフ保持機構モータ５２Ｍの制御を合わせて行ってもよい。
【００４８】
加えて、ワークＷの研磨条件として、ワークＷに対するバフＢの押し付け力や摩擦力のみならず、Ｘ方向におけるらせん溝Ｗｍに対する押し付け力も重要な条件となる。このため、モータ制御部９１は、トルクセンサ６３Ｓによって検知されたトルク値が基準値よりも大きい場合、すなわち、らせん溝Ｗｍのスライド台座６２の移動方向側にバフＢが押し付けられる場合、スライド台座モータ６３Ｍの制御を介して、トルクセンサ６３Ｓによって検知されたトルク値が基準値となるようにスライド台座モータ６３Ｍを制御する。一方、トルクセンサ６３Ｓによって検知されたトルク値が基準値よりも小さい場合、すなわち、らせん溝Ｗｍのスライド台座６２の移動方向と反対側にバフＢが押し付けられる場合、モータ制御部９１は、スライド台座モータ６３Ｍの制御を介して、トルクセンサ６３Ｓによって検知されたトルク値が基準値となるようにスライド台座モータ６３Ｍを制御する。これにより、らせん溝Ｗｍのリード角が一定でない場合であっても、らせん溝Ｗｍの中央部分、すなわち、本来の被研磨エリアにバフＢを当接することができる。結果、らせん溝Ｗｍのリード角が一定でない場合であっても、らせん溝Ｗｍの面を均一に仕上げることができる。
【００４９】
らせん溝Ｗｍに対してＸ方向の一端側から他端側までの研磨を行った後、モータ制御部９１は、ネジモータ４８Ｍを介して、回転ネジ４８Ａの回転方向を逆転させる。これにより、研磨棒Ｋは、回転しながら上昇することとなる。結果、当接領域Ｚへの研磨剤の供給が停止する。その後、把持回転モータ１４Ｍにより、ワークＷが逆方向（方向ＤＷ２）に回転することが好ましい。これにより、バフＢは、ワークＷのらせん溝Ｗｍに当接した状態で、逆方向、すなわちＸ方向の他端側から一端側へ移動するため、らせん溝Ｗｍの仕上がりが良好となる。
【００５０】
ところで、元々のバフに研磨剤が含まれている場合には、被研磨面ではない溝のエッジ面ＷＥまでも研磨してしまう恐れがある。一方、バフＢは、研磨剤を含んでいない布Ｂｎと研磨剤を含んでいない接着剤とからなるため、元々、研磨剤を含まない。そして、かかるバフＢを用いてワークＷを研磨する場合には、ワークＷと当接するに先立ちバフＢの周面に研磨剤を塗布する。このため、研磨剤が当接領域Ｚには供給されるものの、その他の部分には供給されない。この結果、その他の部分、たとえば、溝のエッジ面ＷＥまでを研磨することを防ぐことができる。
【００５１】
さらに、バフＢの中心線を含み中心線に沿った面における周縁部の断面形状は円弧状となっているため、バフＢの厚み方向における両端部に余剰の研磨剤が塗布されたとしても、バフＢの厚み方向両端部に塗布された研磨剤は、バフＢの厚み方向中央部に塗布された研磨剤よりも密着力が弱いため、バフＢの回転により飛散しやすい。この結果、溝のエッジ面ＷＥまでを研磨することはない。
【００５２】
らせん溝Ｗｍが延びる方向に直交する面においてらせん溝Ｗｍの輪郭は円弧状（図６Ｃ参照）であり、らせん溝Ｗｍの輪郭においてバフＢが当接する領域には、円弧を形成する第１位置ＰＬ及び第２位置ＰＲが含まれる。ここで、第１位置ＰＬは、ＩＶＬ―ＩＶＬ線断面においてバフＢとらせん溝Ｗｍとが接する位置であり、第２位置ＰＲは、ＩＶＲ―ＩＶＲ線断面においてバフＢとらせん溝Ｗｍとが接する位置である。第１位置ＰＬ及び第２位置ＰＲによって形成される円弧の中心角θは、１８０°以下であればよく、たとえば、４５°や９０°等がある。これにより、らせん溝Ｗｍにおけるボールの転動がスムーズになる。
【００５３】
ところで、ワークＷは、ネジ軸にグラインダーを押し付けてらせん溝Ｗｍを形成することにより得られるが、形成材料の硬さゆえに、ネジ軸に押し付けられたグラインダーは、微小に弾かれる結果、らせん溝Ｗｍには方向Ｄｒ（図６Ａ参照）に延びる切削跡が残ってしまう。このような場合には、バフＢの向きを、らせん溝Ｗｍの延びる方向Ｄｒに対して斜めにすること（図６Ａ〜６Ｃ参照）で、らせん溝Ｗｍに残っている微小な切削跡を除去することができる。
【００５４】
前述のとおり、らせん溝Ｗｍが延びる方向に直交する面においてらせん溝Ｗｍの輪郭は円弧状（図６Ｃ参照）であり、らせん溝Ｗｍの輪郭において研磨具Ｂが当接する領域には、所定の中心角の円弧を形成する第１位置ＰＬ及び第２位置ＰＲが含まれる。これにより、らせん溝Ｗｍにおけるボールの転動がスムーズになる。
【００５５】
なお、らせん溝Ｗｍの微小な切削跡が問題にならない場合には、バフＢの向き（図６Ａの方向ＤＢ１）は、らせん溝Ｗｍの延びる方向Ｄｒに対して平行としてもよい。
【００５６】
バフＢをワークＷに当接する場合、バフの回転方向ＤＢ１は、研磨剤が塗布されているか塗布されていないに関わらず、常に同じ方向であることがよい。バフの回転方向ＤＢ１を逆転してしまうと、バフＢの周面が滑らかな状態を維持できず、結果として、ワークＷの研磨レベルが低下してしまう。バフＢの正逆方向の回転により、バフの周縁部に毛羽立ちが生じる、あるいは、バフの周縁部において布Ｂｎ同士が剥がれるため、と推定される。
【００５７】
なお、ワークＷは、棒状の形状をしたものであればよく、例えば、ボールスプラインでもよい。また、ワークＷは、棒状のものに限らず、板状のもの（例えば、直動ガイド）でもよい。さらにまた、ワークＷとしては溝の有無も問わない。
【００５８】
なお、上記実施形態では、研磨剤ネジ穴４５Ｘにネジ部４１Ｔを螺合することにより、研磨剤保持板４５と研磨棒Ｋとを連結したが、螺合以外の形態であっても、嵌合など、着脱自在に連結できるものであればよい。
【００５９】
尚、本考案は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本考案の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【符号の説明】
【００６０】
２    研磨装置
１０    ワーク保持機構
２０    バフ保持機構
３０Ｍ    バフ回転モータ
３０Ｓ    トルクセンサ
４０    研磨剤保持機構
５０    バフ押当機構
６０    バフスライド移動機構
９０    制御部
９１    モータ制御部
９２    トルク検知部
９３    ワーク把持制御部
Ｂ    バフ
Ｋ    研磨棒
Ｗ    ワーク
ＷＥ    エッジ面
Ｗｍ    らせん溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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