(57)【要約】垂直方向に基板搬送容器が積み重ねられた基板搬送容器スタックを収容し、開口するオープナー装置は、移動機構を備える。その移動機構は、開口動作時、全ての基板搬送容器もしくは基板搬送容器のサブグループを、垂直軸に沿って互いに相対的に移動させ非積み重ね状態にし、オープナー装置内の定められた垂直方向の開口位置で、非積み重ね状態にある垂直方向に隣接する基板搬送容器の間に垂直方向の距離を置いて配置される。オープナー装置はまた、閉鎖時に、非積み重ね状態にある基板搬送容器を垂直軸に沿って、互いに相対的に移動させ、再度積み重ね状態にする。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板搬送容器スタックを収容し、開口するためのオープナー装置であって、前記基板搬送容器スタックは、垂直方向に隣接する各一組の基板搬送容器において、下部基板搬送容器が上部基板搬送容器を支持するように垂直方向に積み重ねられた複数の基板搬送容器を備え、前記基板搬送容器のそれぞれには、基板を収容し搬送するための基板台座が設けられており、前記オープナー装置は、
ハウジングと、
前記基板搬送容器スタックを支持し、前記ハウジングに対して垂直方向に移動可能なキャリッジと、前記ハウジングによって支持される係合構造と、前記係合構造と相互に作用するアクチュエータとを含む移動機構と、を備え、
前記移動機構は、開口動作において、前記基板搬送容器を互いに対して移動することで、前記複数の基板搬送容器が、積み重ね状態から非積み重ね状態へ遷移し、前記積み重ね状態では、複数の前記基板搬送容器が互いに積み重ねられ、前記オープナー装置中で支持された前記基板搬送容器スタックを形成し、前記非積み重ね状態では、前記基板台座から基板をアンロードするか、または前記基板台座上に基板をロードするか、またはアンロードとロードの両方のいずれかの操作を行うために、前記基板搬送容器の前記基板台座が水平方向からアクセス可能になるように、前記基板搬送容器が、垂直方向に隣接する前記基板搬送容器間で垂直な距離をもって開口された位置で分離され、
複数の前記基板搬送容器が、前記非積み重ね状態のとき、前記移動機構が、互いに垂直な方向に前記基板搬送容器を移動する閉鎖動作を行うことで、前記基板搬送容器を前記非積み重ね状態から、複数の前記基板搬送容器が前記基板搬送容器集合体を形成した前記積み重ね状態に遷移し、
前記開口動作時に、前記移動機構が、垂直方向に隣接する前記各一組の基板搬送容器における前記下部基板搬送容器を前記上部基板搬送容器から垂直方向に引き離すために、前記下部基板搬送容器を下方に移動し、
前記閉鎖動作時に、前記移動機構が、垂直方向に隣接する前記各一組の基板搬送容器における前記下部基板搬送容器を前記上部基板搬送容器の方向に移動させるために、前記下部基板搬送容器を上方に移動させる、オープナー装置。
【請求項２】
前記移動機構は、前記基板搬送容器集合体から選択された基板搬送容器サブグループの前記基板搬送容器を各々互いに対して、垂直方向に移動することで、前記選択された基板搬送容器サブグループの前記基板搬送容器が、前記積み重ね状態から前記非積み重ね状態に遷移し、前記非積み重ね状態で、前記台座から１つの基板がアンロードされるか、または前記台座上に１つの基板をロードするか、またはアンロードとロードの両方の、いずれかの操作を行うために、前記選択された基板搬送容器サブグループの複数の前記基板搬送容器が、垂直方向に隣接する基板搬送容器が離間した状態で、開口位置で分離され、該離間が前記選択された基板搬送容器サブグループの複数の前記基板搬送容器を水平方向からアクセスすることを可能とし、
前記選択された基板搬送容器サブグループの前記基板搬送容器が、前記非積み重ね状態のとき、前記移動機構が閉鎖動作中に前記選択された基板搬送容器サブグループの前記基板搬送容器それぞれを互いに垂直方向に移動することで、前記選択された基板搬送容器のサブグループの前記基板搬送容器が、前記非積み重ね状態から前記積み重ね状態に遷移し、さらに、前記積み重ね状態では、前記基板搬送容器が、前記選択された基板搬送容器サブグループに属さない１つ以上の基板搬送容器を前記基板搬送容器集合体と一体となるように、互いに積み重ねられる、請求項１に記載のオープナー装置。
【請求項３】
前記キャリッジは、上部操作位置と下部操作位置の間で移動可能であり、
前記キャリッジは、前記下部操作位置に向かって下方に移動することで、前記開口動作を実行し、また、前記キャリッジは、前記上部操作位置に向かって上方に移動することで、前記閉鎖動作を実行し、
前記上部操作位置は、前記基板搬送容器集合体が、前記キャリッジ上にロードされる位置か、前記キャリッジからアンロードされる位置か、または、その両方の操作がされる位置のいずれかである、請求項１または２に記載のオープナー装置。
【請求項４】
前記係合構造は、前記ハウジングによってある固定された垂直位置で支持され、前記基板搬送容器の被係合構造と係合し、
前記係合構造は、前記基板搬送容器の対応する前記被係合構造と係合することで、キャッチ・アンド・ホールド状態になり、前記係合構造が前記基板搬送容器の対応する前記被係合構造と係合しなくなることで、リリース・アンド・パス状態になる、請求項１から３のいずれかに記載のオープナー装置。
【請求項５】
前記開口動作時に、前記移動機構が、前記キャッチ・アンド・ホールド状態に遷移するために、前記キャリッジの下方への動きと協同して、前記係合構造を選択的に操作することで、その時点で、すでに前記キャリッジ上に載置されている前記基板搬送容器集合体の最上部の基板搬送容器は、前記最上部の基板搬送容器の対応する前記被係合構造と係合する前記係合構造により、逐次捕捉と保持され、前記最上部の基板搬送容器が前記オープナー装置内で垂直方向に開口された位置で、保持される、請求項４に記載のオープナー装置。
【請求項６】
前記閉鎖動作時に、複数の前記係合構造により前記オープナー装置内で保持される前記最下部の基板搬送容器が、前記最下部の基板搬送容器の対応する前記被係合構造から係合を解放する前記係合構造により、逐次解放され、前記最下部の基板搬送容器が前記キャリッジ上に載置されることで、前記移動機構が、前記リリース・アンド・パス状態に遷移するために、前記キャリッジの上方への移動と協同して、前記係合構造を選択的に操作する、請求項４または５に記載のオープナー装置。
【請求項７】
前記キャッチ・アンド・ホールド状態にある前記係合構造は、キャッチ・アンド・ホールド位置に位置して、さらに、その位置で、前記係合構造が、前記基板搬送容器の前記対応する被係合構造と垂直方向で重なり合い、
前記リリース・アンド・パス状態にある前記係合構造は、リリース・アンド・パス位置に位置して、さらに、その位置では、前記係合構造が、前記基板搬送容器の前記対応する被係合構造と垂直方向で重なり合わない、請求項４から６のいずれかに記載のオープナー装置。
【請求項８】
前記係合構造は、前記キャッチ・アンド・ホールド位置と、前記リリース・アンド・パス位置の間で回転させられ、さらに、
前記係合構造の各々は、垂直方向の回転軸回りに回転するスリーブ部と、前記スリーブ部から放射状に突出し対応する前記被係合構造と係合する係合部を備える、請求項７に記載のオープナー装置。
【請求項９】
さらにセンサー配置を備えるオープナー装置において、
前記センサー配置は、すべての前記係合構造が前記キャッチ・アンド・ホールド状態にあることを検知するセンサーか、または、すべての前記係合構造が前記リリース・アンド・パス状態にあることを検知するセンサーか、またはその両方の状態を検知するセンサーのいずれかのセンサーを備える、請求項４から８のいずれかに記載のオープナー装置。
【請求項１０】
前記アクチュエータは、前記リリース・アンド・パス状態に関連したリリース・アンド・パス位置から前記キャッチ・アンド・ホールド状態に関連したキャッチ・アンド・ホールド位置に前記係合構造を移動するアクチュエータ駆動力と、
前記係合構造を前記キャッチ・アンド・ホールド位置から前記リリース・アンド・パス位置へ移動するアクチュエータ駆動力と、
前記係合構造を前記リリース・アンド・パス位置で保持する保持力と、
前記係合構造を前記キャッチ・アンド・ホールド位置で保持する保持力のうち、少なくとも１つの作用力を前記係合構造に加える、請求項４から９のいずれかに記載のオープナー装置。
【請求項１１】
１つの前記アクチュエータは、前記係合構造に前記作用力を加える、個別に、選択され操作可能な複数のアクチュエータを備える、請求項１０に記載のオープナー装置。
【請求項１２】
前記アクチュエータは、水平方向であって、かつ第１の位置と第２の位置の間を長手方向に移動する部分を有するアクチュエータ部材を備え、
前記アクチュエータ部材移動部分が垂直方向の移動と前記第１の位置と第２の位置のうちの１つの方向に向かう移動動作のうち、少なくとも１つのアクチュエータ移動動作を実行するときに、前記アクチュエータ部材移動部分は、前記係合構造に力を加え、
前記アクチュエータが垂直方向に移動するときに、前記アクチュエータ部材移動部分が垂直方向に移動する、請求項１０または１１に記載のオープナー装置。
【請求項１３】
前記センサー配置は、前記オープナー装置が、
前記キャリッジが前記上部操作位置に配置されている状態と、
基板搬送容器集合体が前記キャリッジにロードされず、前記キャリッジが前記上部操作位置に配置されている状態と、
前記基板搬送容器集合体が前記キャリッジにロードされ、前記キャリッジが前記上部操作位置に配置されている状態と、
前記キャリッジが前記下部操作位置に配置されている状態と、
前記基板搬送容器集合体が前記キャリッジにロードされ、前記積み重ね状態にある状態と、
前記基板搬送容器集合体の前記基板搬送容器が分離され、前記オープナー装置内に前記垂直方向に開いた位置に保持されている状態のうちの１つ以上の状態に遷移したかどうかを検出するセンサーを備える、請求項１から１２のいずれかに記載のオープナー装置。
【請求項１４】
前記移動機構は、前記キャリッジに連結され、さらに前記キャリッジを下方に移動して前記開口動作を実行するために、また前記キャリッジを上方に移動して前記閉鎖動作を実行するために、選択的に操作可能なベルト駆動部を有する垂直方向駆動部を備える、請求項１から１３のいずれかに記載のオープナー装置。
【請求項１５】
前記ハウジングは、ハウジングの第１側面に第１ロード・アンロードポートを有し、前記第１ロード・アンロードポートは、第１水平方向から、前記非積み重ね状態にある複数の前記基板搬送容器の前記基板台座へのアクセスを可能にし、前記基板台座から基板をアンロードするか、または前記基板台座に基板をロードするか、またはアンロードとロードの両方の操作を行い、さらに、
前記ハウジングは、第２ロード・アンロードポートを前記ハウジングの前記第１側面か、または前記ハウジングの前記第１側面の反対側の第２側面に備え、前記基板搬送容器集合体を前記キャリッジからアンロードするか、または、前記基板搬送容器集合体を前記キャリッジにロードするか、またはアンロードとロードの両方の、いずれかの操作を行うために、前記第２ロード・アンロードポートが、前記第１水平方向、または前記第１水平方向と反対側の第２水平方向のどちらか一方から、前記上部操作位置で、前記キャリッジへのアクセスを可能にする、請求項３から１４のいずれかに記載のオープナー装置。
【請求項１６】
前記キャリッジの第１側面と第２側面が、それぞれ前記ハウジングの前記第１側面と前記第２側面に対応し、
前記係合構造が、前記キャリッジの第３側面に垂直方向に互い違いに配置された複数の前記係合構造の第１セットと前記キャリッジの第４側面に垂直方向に互い違いに配置された複数の前記係合構造の第２セットを備える、請求項１５に記載のオープナー装置。
【請求項１７】
前記オープナー装置は、さらに支持フックを備え、
前記支持フックは、前記第２ロード・アンロードポートに備えられていて、ある支持位置に向かって移動可能であり、前記支持位置では、前記支持フックが、前記ハウジング内であって、前記キャリッジの上方の垂直方向に離間した位置で基板搬送容器集合体を保持し、さらに、
前記支持フックは、ロード操作では、あるリリース位置へ移動可能であり、前記リリース位置では、前記キャリッジ上に前記基板搬送容器集合体をロードするために、前記支持フックが、前記基板搬送容器集合体をリリースする、請求項１５または１６に記載のオープナー装置。
【請求項１８】
前記基板搬送容器集合体が前記保持フックに保持されているかどうかを感知するセンサーをさらに備える、請求項１７に記載のオープナー装置。
【請求項１９】
前記アクチュエータは、前記キャリッジと共に前記垂直方向に移動するように前記キャリッジに接続されている、請求項１から１８のいずれかに記載のオープナー装置。
【請求項２０】
基板の格納、処理、供給、および加工の少なくとも１つを行うクリーンルーム設備であって、
請求項１から１９のいずれかに記載のオープナー装置と、
前記オープナー装置に前記基板搬送容器集合体をロードし、かつ前記基板搬送容器集合体をオープナー装置からアンロードする第１ロボットと、
前記基板搬送容器集合体に含まれる前記基板搬送容器の前記基板台座にアクセスする第２ロボットを備える、クリーンルーム設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［0001］本出願は、２０１８年７月４日に出願されたドイツ国特許出願第２０  ２０１８  １０３  ８２４．９号と、２０１８年８月１７日に出願されたドイツ国特許出願第２０  ２０１８  １０４  ７４３．４号と、２０１８年１１月９日に出願された米国特許出願第１６／１８５、５５６号と、２０１９年３月２９日に出願されたドイツ国特許出願第２０  ２０１９  １０１  ７９２．９号に対する優先権を主張し、これらの各々の出願は、その全体が参照によって本明細書に組み込まれる。
【０００２】
［0002］本明細書の開示は、一般的には、半導体製造における基板のハンドリング、保管、処理、及び加工等に関係するものである。特に本明細書の開示は、未処理、前処理済み、又は処理済みの半導体ウェハである基板のハンドリング、保管、処理、及び加工等に関係するものである。しかし、取り扱われる、又は保管される基板は、半導体又は半導体回路の製造時に半導体ウェハ上へのパターン形成に必要な基板パターン情報を含むマスク基板又はレチクル等のものであっても良い。
【０００３】
［0003］本明細書の開示はさらに、基板台座と、このような基板搬送容器を複数有する基板搬送容器スタックに基板を保持する基板搬送容器に関するものであり、特にこのような台座から基板をアンロードすること、及び台座上に基板をロードすることのうち、少なくとも１つを行うために、基板搬送容器スタックのそれぞれの基板搬送容器に対応する基板台座へアクセスするためのオープナー装置とその方法に関するものである。
【背景技術】
【０００４】
［0004］３００ｍｍウェハ半導体材料の導入以来、フロント・オープニング・ユニファイド・ポッド、すなわちＦＯＵＰが、基板とその同様の材料に関する貯蔵と運搬方法の標準になった。ＦＯＵＰは、半導体処理工程での使用を目的に、シリコンウエハを隔離して保持するために使用されてきた。デジタル回路やマイクロプロセッサやトランジスタ等の設計に必要不可欠なものとして、半導体は、これらのウェハを貯蔵装置が許す範囲で、できる限り清潔に近い状態で維持することを必要とする。従って、ＦＯＵＰにより、ウェハが、処理過程中に使用される他の機械とウェハ検査装置の間で搬送されることを可能にする。
【０００５】
［0005］従来のＦＯＵＰは、一般に周囲のクリーンルーム環境からウェハを保護する働きをする。従来の半導体プロジェクトにおいては、ＦＯＵＰを使用することでロードポート及び前面開口ドアを経由してウェハを装置内に入れることができる。しばしば、ロボットハンドリング機構がウェハをＦＯＵＰ内に配置し、ウェハはその中で、フィンで決まった位置に固定され、後の使用のために保持される。現在の既存のＦＯＵＰは多種多様の構造であるため、その内容物を汚染し、ウェハを摩擦し、さらには基板ウェハの内容物のロード及びアンロードを遅延させるかもしれない方法及びシステム設計によって動きを妨げられている。そのため、ＦＯＵＰに求められるタスクを、より効率よく正確に遂行する必要がある。
【０００６】
［0006］ＴＥＣ−ＳＥＭ  ＡＧ，  Ｔaｇｅｒｗｉｌｅｎは、半導体ウェハの形態の基板を保管、ハンドリング、処理、及び運搬するための新種の装置を提案した。
【０００７】
［0007］２０１４年７月１７日にＴＥＣ−ＳＥＭ  ＡＧにより公開された公開米国出願２０１４年１０７８１８  Ａ２号は、基板搬送容器及び複数の基板搬送容器からなる基板搬送容器スタックを提案した。提案された基板搬送容器スタックは、垂直方向に積み重ねられた複数の基板搬送容器を備え、基板搬送容器スタックの垂直方向に隣接する各一組の基板搬送容器において、それぞれの下部基板搬送容器が、それぞれの上部基板搬送容器を支持することを特徴とし、各基板搬送容器は、内部開口からなる内部ゾーン周辺の水平フレーム面に延びる搬送容器外部フレームを備え、さらに基板搬送容器スタックの内部収容空間内に板状の基板を収容及び搬送するための基板台座を備え、基板搬送容器スタックの内部収容空間、又は、内部収容部分は、基板搬送容器スタックの基板搬送容器の内部開口により規定される。これらの基板搬送容器は正方形若しくは略正方形又は長方形若しくは略長方形の形状を有する。ＷＯ２０１４／１０７８１８  Ａ２の開示内容のその全体が、参照により本明細書に組み込まれる。
【０００８】
［0008］また、２０１７年１２月２８日に公開されたＴＥＣ−ＳＥＭ  ＡＧの公開米国出願２０１７年０３７２９３０  Ａ１号が、利益をもたらす特徴を追加するこの種の基板搬送容器と基板搬送容器スタックを開示し、特に、基板搬送容器スタック内でそれぞれの基板搬送容器の対応する台座に保持される基板に、効果的にパージング処理を施すことを可能にする。公開米国出願２０１７年０３７２９３０  Ａ１号の開示は、その全体が参照のために本明細書に組み込まれる。
【０００９】
［0009］概して又はおおよそ円形を有する旧タイプの基板搬送容器と、このような基板搬送容器、及び関連する保管とオープナー装置を含む基板搬送容器スタックは、ＴＥＣ−ＳＥＭ  ＡＧのＷＯ２００５／００６４０７  Ａ１号及びＷＯ２００７／００６１６６  Ａ２号からも知られる。ＷＯ２００５／００６４０７  Ａ１号又は対応する公開米国出２００６年０１５１４０４  Ａ１号の開示、及びＷＯ２００７／００６１６６  Ａ２号又は対応する公開米国出願２０１０年０１７９６８１  Ａ１号の開示は、その全体が参照のために本明細書に組み込まれる。
【００１０】
［0010］ＴＥＣ−ＳＥＭ  ＡＧのこれらの特許公開文書によると、オープナー装置を使って、基板搬送容器スタックに対応する基板搬送容器の台座が、台座の上に基板をロードするため、及び台座から基板をアンロードするための少なくとも１つのためにアクセスされる。オープナー装置は、移動機構を備え、その移動機構は、基板搬送容器スタックの選択された基板搬送容器に作用する。移動機構がローディング及びアンローディングギヤップを開口するために適用されるので、２つの隣接する基板搬送容器の下段の基板台座の上にそれぞれの基板がロードされるか、又はこの基板台座からそれぞれの基板がアンロードされる。基板搬送容器スタック内では、２つの隣接する基板搬送容器の間に、ローディング及びアンローディングのこのような例のギャップが、同時に開口可能である。このようなローディング及びアンローディングギャップを基板搬送容器スタック内で開口することにより、その結果として、典型的には基板搬送容器スタックが下方基板搬送容器スタック部と下方基板搬送容器スタック部に分かれる。基板搬送容器スタックの最上段の基板搬送容器の台座にアクセスするために、最上段の基板搬送容器と基板搬送容器スタックのカバー（もしカバーが備えられる場合）の間に、一般的に、このようなローディング及びアンローディングのためのギャップが開けられる。基板搬送容器スタックの最下段基板搬送容器の台座にアクセスするために、最下段基板搬送容器と基板搬送容器スタックの垂直方向に隣接する基板搬送容器の間に、このようなローディング及びアンローディングギャップが開けられる。最下段基板搬送容器は、一般的に、基板搬送容器スタックの（もしベースが備えられる場合）ベースの上に置かれる。
【００１１】
［0011］基板搬送容器スタック内にこのようなローディング及びアンローディングギャップが同時に１つだけ開口されるので、基板搬送容器上へのローディングと基板搬送容器からのアンローディングの処理にかなりの時間を要する。一般的に、効率化のためには、このような高い基板の処理能力が要求されるため、これは、半導体製造におけるこのような基板搬送容器及び基板搬送容器スタックの使用、特に、未処理、前処理済み、又は処理済みの半導体ウェハのハンドリング、保管、処理、及び加工にとって有害である。このようなオープナー装置は、半導体製造において基板の処理能力を制限する障害となり得る。
【００１２】
［0012］しかしながら、新しい、実質的に改善されたオープナー装置が、ＴＥＣ−ＳＥＭ  ＡＧにより開発された。そのオープナー装置は、初期のオープナー装置のこの限定と欠点を克服している。新オープナー装置は、異なる概念によって作動する。新オープナー装置は、移動機構を備え、その移動機構は、ある定められた数の基板搬送容器を有する基板搬送容器スタックの基板搬送容器を積み重ね（スタック）状態から非積み重ね（アンスタック）状態にするように構成され、さらに、積み重ね状態では、基板搬送容器スタック中の垂直方向に隣接する各組の基板搬送容器の上部基板搬送容器と下部基板搬送容器の間にそれぞれのローディング及びアンローディングギャップがなく、さらに、非積み重ね状態では、それぞれのローディング及びアンローディングギャップが、基板搬送容器スタック中の垂直方向に隣接する各組の基板搬送容器の上部基板搬送容器と下部基板搬送容器の間で開口される。非積み重ね状態では、基板搬送容器のすべての台座に、ローディング及びアンローディングするためにアクセス可能となり、これにより、基板の処理能力が向上する。さらに、移動機構は、基板搬送容器を非積み重ね状態から積み重ね状態に戻すようにも構成される。
【００１３】
［0013］本明細書は、本発明のコンセプトと新オープナー装置の好ましい実施形態の構造詳細と関連する操作方法について開示する。
【発明の概要】
【００１４】
［0014］本発明の好ましい実施形態は、改善されたオープナー装置と、基板搬送容器スタックのそれぞれの基板搬送容器の１つ又は複数の基板台座にアクセスするために改善された開口方法を提供する。これらのオープナー装置と方法は、先行技術のアプローチにより可能となった、基板台座へのアクセスや処理能力に比べて、より効率の良いアクセスや高い処理能力を可能とする。
【００１５】
［0015］本発明の好ましい実施形態によると、オープナー装置は垂直方向に積み重ねられるように配置された複数の基板搬送容器を含む基板搬送容器スタックを収容し、開口する。基板搬送容器スタック中の垂直方向に隣接する各一組の基板搬送容器は、その対応する下部基板搬送容器が、対応する上部基板搬送容器を支持する。さらに、各基板搬送容器は、内部開口を有する内部ゾーン周りの水平方向のフレーム面に延びる搬送容器外部フレームを有し、基板搬送容器スタックの内部収容空間内に板状の基板を収容及び搬送する基板台座を定義するか、又は備える。オープナー装置は移動機構を備え、その移動機構は、開操作時、所定の第1最大数を超えない基板搬送容器を含む基板搬送容器スタックの複数の基板搬送容器を、垂直軸に沿って互いに相対的に移動させるように構成され、操作可能となり、その結果、基板搬送容器が積み重ね状態から非積み重ね状態へ持ち込まれるように移動される。積み重ね状態では、基板搬送容器が互いに積み重ねられてオープナー装置内で支持される基板搬送容器スタックを定義し、非積み重ね状態では、基板搬送容器が分離され、オープナー装置内の定められた垂直方向の開口位置で、非積み重ね状態にある垂直方向に隣接する基板搬送容器の間に垂直方向の距離を置いて、垂直軸に沿って互いに対して互い違いに配置される。その結果、すべての基板搬送容器の基板台座は、少なくとも1つの板状の基板をそれぞれに選択された基板搬送容器の基板台座からアンロードするため、及び、少なくとも1つの板状の基板をそれぞれに選択された基板搬送容器の基板台座上にロードするための少なくともどちらか一方のために、水平方向からアクセス可能となる。
【００１６】
［0016］移動機構はまた、基板搬送容器が基板搬送容器スタックを定義する状態である積み重ね状態に基板搬送容器が戻されるように、閉操作時、非積み重ね状態の基板搬送容器スタックの基板搬送容器を、垂直軸に沿って互いに対して相対的に移動させる。
【００１７】
［0017］移動機構はまた、開操作時、基板搬送容器スタックの垂直方向に隣接する各組の基板搬送容器の対応する下部基板搬送容器を垂直方向かつ下方向に移動させて、対応する上部基板搬送容器から、下部基板搬送容器を垂直方向に離間させる。
【００１８】
［0018］移動機構はまた、閉操作時、垂直方向に互い違いに配置された基板搬送容器であり、垂直方向に隣接するそれぞれ一組の基板搬送容器の下部基板搬送容器を、垂直方向かつ上方向に移動させ、上部基板搬送容器に向かって垂直方向に移動させる。
【００１９】
［0019］したがって、開口状態、つまり非積み重ね状態では、それぞれローディング及びアンローディングギャップが、垂直方向に隣り合うすべての基板搬送容器の間に開けられ、選択された複数の基板台座に、順次に、又は同時にアクセスし、ロード及びアンロード可能になる。そのロード、アンロードには、仕分け作業のためのロード、アンロードも含まれる。ある処理段階で非積み重ね状態の基板搬送容器に対して必要なすべてのアンローディング及びローディングが、基板搬送容器の間でさらなる相対的移動なしに成されることが好ましく、その結果、高い処理能力が実現される。
【００２０】
［0020］非積み重ね状態にある、垂直方向に隣接する基板搬送容器間の垂直方向距離は、等間隔であることが好ましい。これにより、多くの共通するパーツを使用してオープナー装置を構成することが可能となり、またロード及びアンロードするために台座にアクセスするロボット構成の制御をよりシンプルにすることが可能となる。
【００２１】
［0021］本発明の好ましい実施形態によると、オープナー装置は、基板搬送容器スタックを収容及び開口し、その基板搬送容器スタックは正方形若しくは略正方形又は長方形若しくは略長方形の搬送容器外部フレームを有する基板搬送容器を備える。特に、公開米国出願２０１７年０３７２９３０ Ａ１号で知られる基板搬送容器及び基板搬送容器スタックは、本発明の好ましい実施形態によるオープナー装置によって収容され、取り扱われる。以下の開示では、「オープナー装置」の代わりに簡潔に「オープナー」とも表現される。
【００２２】
［0022］基板搬送容器の最上段の基板搬送容器がカバーを支えられるように、オープナー装置は、複数の基板搬送容器上に積み重ねられたカバーを備えるタイプの基板搬送容器スタックを収容、及び開口することが可能である。さらに移動機構は、開操作時、基板搬送容器スタックの最上段基板搬送容器をカバーに対して垂直軸に沿って相対的に動かすことが可能であり、その結果、非積み重ね状態を実現する。カバー及び基板搬送容器は分離され、オープナー装置内の定められた垂直方向の開口位置で、垂直軸に沿って互い違いに配置され、さらに、非積み重ね状態で、カバーと最上段の基板搬送容器の間に垂直方向の距離を置いて配置されるので、最上段の基板搬送容器の基板台座から板状の基板をアンローディングするため、若しくは最上段の基板搬送容器の基板台座上に板状の基板をローディングするための少なくともどちらか一方のために、最上段の基板搬送容器の基板台座が水平方向からアクセス可能となる。さらに、移動機構は、閉操作時、非積み重ね状態にある基板搬送容器スタックのカバー及び基板搬送容器を、垂直軸に沿って互いに相対的に移動することができるので、カバー及び基板搬送容器が積み重ね状態へ戻される。積み重ね状態では、基板搬送容器は最上段の基板搬送容器上に積み重ねられるカバーを含む基板搬送容器スタックを定義する。移動機構は、開操作時、基板搬送容器スタックの最上段の基板搬送容器を垂直方向かつ下方向に動かすことでカバーから垂直方向に離間させる。移動機構は閉操作時、最上段の基板搬送容器を垂直方向かつ上方向に移動することで非積み重ね状態のカバーに向かって垂直方向に移動させる。
【００２３】
［0023］オープナー装置は、積み重ねられた複数の基板搬送容器の上にベースを含んだタイプの基板搬送容器スタックを収容、及び開口することが可能であり、そのベースが基板搬送容器の最下段の基板搬送容器を支えることができる。
【００２４】
［0024］本発明の好ましい実施形態によるオープナー装置に収容及び取り扱われる基板搬送容器スタックは、ベースとカバーの両方を有する。このような基板搬送容器スタックは、基板搬送容器スタックの台座内に保持される前処理済みの半導体ウェハに定義される基板のパージング処理を実行するために、閉鎖状態つまり積み重ね状態で使用されることが好ましい。要求されるパージングガスの量を減らす、又は最小限にするために、パージング処理は基板搬送容器スタックの収容スペース内で行われることが好ましく、それは隣接する基板搬送容器の間と、最上段の基板搬送容器とカバーの間、及び最下段の基板搬送容器とベースの間の係合を密封することで周辺環境から密封される。しかしながら、ベースやカバーが必要とされない用途も可能である。例えば、適切なパージング装置のパージングチャンバーではベースやカバーなしでパージング処理を実行できる。
【００２５】
［0025］オープナー装置は、所定の第1最大数値を超えるが所定の第２最大数値を超えない数の基板搬送容器を含む基板搬送容器スタックを収容及び開口するように構成されてもよい。これを達成するために、移動機構は、開操作時、基板搬送容器スタックの選択された基板搬送容器のサブグループの基板搬送容器を、垂直軸に沿って互いに相対的に移動させ、積み重ね状態から非積み重ね状態にする。積み重ね状態では、基板搬送容器スタックのすべての基板搬送容器は、互いに積み重ねられ、基板搬送容器スタックを定義し、非積み重ね状態では、選択された基板搬送容器のサブグループの基板搬送容器が分離され、非積み重ね状態にある垂直方向に隣接する基板搬送容器の間に垂直方向の距離を置いた状態で、定められた垂直方向の開口位置で、垂直軸に沿ってそれぞれが互い違いに位置するように配置される。その結果、各選択された基板搬送容器の対応する基板台座から板状の基板を1枚アンロードするため、及び各選択された基板搬送容器の対応する基板台座上に板状の基板を1枚ロードするための少なくともどちらか一方を行うために、選択された基板搬送容器のサブグループのすべての基板搬送容器の基板台座が水平方向からアクセス可能になる。移動機構は、閉操作時、非積み重ね状態にある選択された基板搬送容器のサブグループの基板搬送容器を、垂直軸に沿って互いに相対的に移動し、これらの基板搬送容器は、互いに積み重ねられた積み重ね状態に戻され、選択された基板搬送容器のサブグループに属さない１つ又は複数の基板搬送容器と共に、基板搬送容器スタックを定義する。
【００２６】
［0026］前述されたオープナー装置は、開閉の対象となる基板搬送容器スタックを収容及び取り扱うことができる。さらに、この基板搬送容器スタックは、開閉操作に関しては、対応する基板搬送容器を、隣り合う上部及び下部の基板搬送容器から垂直方向に距離を置いて、又は、カバー及び隣り合う下部の基板搬送容器から垂直方向に距離を置いて保持するための供給物よりも多くの積み重ねられた基板搬送容器を含む。基板搬送容器の所定の第１最大数値は、これらの供給物、例えば、垂直方向に互い違いに配置されたサポート数、又は、保持要素のセット数に反映される。その保持要素とは、オープナー装置内の各垂直方向位置で同等物を保持するための基板搬送容器と係合可能な係合構造として定義されてもよい。基板搬送容器の所定の第２最大数値は、基板搬送容器がオープナー装置内で適切に収容され、かつ、オープナー装置によって開閉操作機能をそれぞれもった、サブグループ内で取り扱われるのに適した状態で、いくつの基板搬送容器を基板搬送容器スタックに含むことができるのかを反映している。このアプローチにより、開口状態時には、ローディング及びアンローディングギャップが開けられるのは基板搬送容器スタックのすべての基板搬送容器の間ではないので、基板を処理する能力は下がるが、一方で基板搬送容器に基板を保管するための保管能力が高くなるという利点が達成される。
【００２７】
［0027］オープナー装置の移動機構は、開操作時、選択された基板搬送容器サブグループの、垂直方向に隣接する各一組基板搬送容器の下部基板搬送容器を、上部基板搬送容器から垂直方向に離間することが好ましい。これは、本移動機構が、下部基板搬送容器を、垂直下方向に動かすことにより実現される。さらに、移動機構は、閉操作時、選択された基板搬送容器サブグループの垂直方向に互い違いに配置された基板搬送容器の垂直方向に隣接する各一組の基板搬送容器の下部基板搬送容器を上部基板搬送容器に向かって垂直方向に移動する。これは、本移動機構が、下部基板搬送容器を、垂直方向かつ上方向に動かすことにより実現される。
【００２８】
［0028］さらに、オープナー装置の移動機構は、選択されたサブグループに属さず、積み重ね状態である選択された基板搬送容器サブグループの最上段基板搬送容器の上に積み重ねられた垂直方向に隣接する基板搬送容器から、あるいはカバーから、選択された基板搬送容器サブグループの最上段の基板搬送容器を、垂直方向に離間することができる。これは本移動機構が、選択された基板搬送容器サブグループの最上段基板搬送容器を、垂直方向かつ下方向に動かすことにより実現される。さらに、移動機構は、閉操作時、選択された基板搬送容器サブグループの最上段基板搬送容器を、選択されたサブグループに属さない垂直方向に隣接する基板搬送容器に、あるいはカバーに向かって垂直に移動させることもできる。これは本移動機構が選択された基板搬送容器サブグループの最上段基板搬送容器を垂直方向で、かつ上方向に動かすことにより実現される。
【００２９】
［0029］オープナー装置の移動機構は、基板搬送容器スタックの上部基板搬送容器サブグループであり、かつ基板搬送容器スタックの最上段の基板搬送容器を含む、選択された基板搬送容器サブグループの基板搬送容器上で開閉操作を実行することが好ましい。このために、移動機構は選択された基板搬送容器サブグループの最上段基板搬送容器を垂直方向、かつ下方向に動かすことが可能であり、その結果としてこの基板搬送容器とカバー（もし備えられる場合）の間にローディング及びアンローディングギャップを開ける。それに応じて、移動機構はこの選択された基板搬送容器サブグループの最上段の基板搬送容器をカバーに向かって垂直方向に移動することができ、その結果としてこのローディング及びアンローディングギャップは再び閉じられる。
【００３０】
［0030］オープナー装置の移動機構は、基板搬送容器スタックの下部基板搬送容器サブグループであり、かつ基板搬送容器スタックの最下段基板搬送容器を含む選択された基板搬送容器サブグループの基板搬送容器上で開閉操作を実行することが好ましい。
【００３１】
［0031］好ましい実施例として、オープナー装置の移動機構は選択された基板搬送容器サブグループの複数の基板搬送容器の上で開口動作と閉塞動作を実行し、さらにこの選択された基板搬送容器サブグループは基板搬送容器スタックの間の基板搬送容器サブグループであり、基板搬送容器スタックの最下段の基板搬送容器と最上段の基板搬送容器のいずれも含まないことを特徴とする。オープナー装置はこのような１つの中間基板搬送容器サブグループ上か又はその代替物として、一体化せずに、いくつかに分離して中間に位置する複数の基板搬送容器サブグループの上で動作する。さらに、このような複数の基板搬送容器サブグループの異なるグループ間にオーバーラップを存在させることが可能になる。この目的を達成するために、オープナー装置は基板搬送容器のそれぞれ異なる関連性に基づいて基板搬送容器スタックの基板搬送容器サブグループを交互に操作する。
【００３２】
［0032］好ましい実施例として、基板搬送容器スタックが完全に開口される場合、基板搬送容器スタックの最下段基板は、非積み重ね状態で、ベース（もし備えられる場合）上に残ったままであり、さらに、基板搬送容器スタックが部分的にだけ開口される場合、選択された基板搬送容器サブグループの最下段基板搬送容器は、（もし備えられる場合）ベース上か、又は選択された基板搬送容器サブグループに属さない基板搬送容器上か、部分的な基板搬送容器スタック上に残ったままであることを特徴とする。
【００３３】
［0033］本発明の好ましい実施形態によると、オープナー装置の移動機構はキャリッジを備え、そのキャリッジは、オープナー装置のラック又はハウジングに対して垂直軸に沿って、上部操作位置と、下部制限位置に相当するかそれに近い下部操作位置の間を移動可能に支持される。この移動機構は、開操作を実行するために、キャリッジを下部操作位置に向かって下方向に動かし、閉操作を実行するために、キャリッジを上部操作位置に向かって上方向に移動することが可能である。上部操作位置は、ローディング及びアンローディング位置であり、そこでは、各基板搬送容器スタックがキャリッジ若しくはアンローディング位置へロード若しくはアンロードされ、そのアンローディング位置では、各基板搬送容器スタックがキャリッジからアンロードされる。
【００３４】
［0034］このような移動可能なキャリッジは、開閉操作の過程で基板搬送容器スタックの基板搬送容器の積み重ね及び分離を実行する。移動可能なキャリッジにより多くの利益を得、それは以下により詳しく説明される。
【００３５】
［0035］好ましい実施例においては、キャリッジ及びラック又はハウジングの少なくとも一方は、以下の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の位置決め構造又はガイド構造のうち少なくとも１つを有する。（ａ）は、基板搬送容器のカウンター配置及びガイド構造と連携する位置決め構造又はガイド構造。（ｂ）は、基板搬送容器スタックのベースのカウンター位置決め構造又はガイド構造と連携する位置決め構造又はガイド構造。そして、（ｃ）は、基板搬送容器スタックのカバーのカウンター位置決め構造又はガイド構造と連携する配置又はガイド構造。さらに、位置決め構造又はガイド構造とカウンター位置決め構造又はガイド構造は、キャリッジ上の基板搬送容器スタックの所定の位置と、開操作の過程にあり、かつ非積み重ね状態の基板搬送容器と（もし備えられる場合）カバーの所定の位置を、垂直軸に対して直角方向に確保して維持する。この位置決め構造とガイド構造により、オープナー装置の正しい操作と機能、及びオープナー装置と基板搬送容器スタックとその構成部品の間の正しい相互作用が達成され、保護される。
【００３６】
［0036］好ましい例として、オープナー装置の移動機構は係合構造を備え、その係合構造は、定められた一定の垂直方向位置で、垂直方向に互い違いに配置されるように、ラック又はハウジングによって直接的又は間接的に支持され、さらに、キャリッジ上にロードされた基板搬送容器スタックのそれぞれに関連する基板搬送容器と、もし備えられる場合カバーの対応するカウンター係合構造と結合され、及び係合可能となる。さらに、係合構造は対応するキャッチ・アンド・ホールド状態になるように選択的に動作可能であり、キャッチ・アンド・ホールド状態では、係合構造は、基板搬送容器スタックのそれぞれに関連する基板搬送容器と、もし備えられる場合カバーのそれぞれのカウンター係合構造と係合するか、若しくは係合可能となり、リリース・アンド・パス状態では、係合構造は、それぞれに関連する基板搬送容器と、もし備えられる場合カバーのそれぞれのカウンター係合構造と係合しないか、若しくは係合不可能となる。
【００３７】
［0037］係合構造により、基板搬送容器スタック又はそのサブグループの基板搬送容器の開閉操作を、キャリッジとその昇降動作、及び係合構造の連携動作により、効果的に行うことができる。従って、キャリッジと係合構造を有する移動機構のこの構成は、本発明の好ましい実施形態に含まれる効率的な構成となっている。しかしながら、移動機構の別の構成もまた可能である。
【００３８】
［0038］好ましい実施例においては、１つ又は複数の係合構造は、基板搬送容器スタックのそれぞれの基板搬送容器と関連する。しかしながら、これは絶対的に必要なことではない。特に、基板搬送容器スタックの最下段基板搬送容器と関連する係合構造を有さない。この場合、最下段基板搬送容器は、非積み重ね状態でもキャリッジに直接又は間接に支持され続け、特にベースが備えられていれば、ベースを経由して支持され続ける。これを達成するために、最下段基板搬送容器の垂直方向の開口位置は、キャリッジの下部操作位置によって決定されるか、又は最下段操作位置に相当する。さらに、オープナー装置が、ある選択された基板搬送容器サブグループ上で作動できる場合には、多数の基板搬送容器が存在することが予想され、オープナー装置が何らかの動作を実施する際には、その他多数の基板搬送容器は、その時点で選択されているサブグループには属さず、また、この基板搬送容器サブグループに関係をもつ係合構造も有しない。
【００３９】
［0039］一方で、係合構造と基板搬送容器との関係、また他方で、もしカバーが備えられている場合そのカバーと、カウンター係合構造の間の関係は、現時点のオープナー装置の動作モードに依存する。オープナー装置が、基板搬送容器スタックの選択された基板搬送容器サブグループの基板搬送容器上で、開閉操作を実行する場合、前述したこの関係は、この選択された基板搬送容器サブグループに依存する。特に、もし基板搬送容器スタックが有する基板搬送容器の数が、ある定められた第１最大値を超えるならば、その第1最大値は、基板搬送容器スタックを構成する基板搬送容器の最大数によって決められ、それは、キャッチ・アンド・ホールド状態において、それらのカウンター係合構造をオープナー装置の関連する係合構造と同時に係合させることができる。
【００４０】
［0040］リリース・アンド・パス状態での係合構造は、基板搬送容器の対応するいかなるカウンター係合構造とも係合可能状態にないことが好ましい。このことは、オープナー装置の安全な動作に貢献する。
【００４１】
［0041］さらに、本明細書では以下のことが提案されている。すなわち、係合構造は、開操作時、ある順序やタイミングでキャッチ・アンド・ホールド状態をとるように、連続して動作することが可能である。この順序やタイミングは、係合構造の垂直方向の位置とキャリッジのある瞬間の垂直方向の位置に依存し、さらに、キャリッジは、間欠的に、若しくは、好ましくは、連続的に、下部操作位置に向かって移動させられる。さらに、係合構造は、閉操作時、ある順序やタイミングでリリース・アンド・パス状態をとるように、連続して動作することが可能である。この順序やタイミングは、係合構造の垂直方向の位置とキャリッジの瞬間の垂直方向の位置に依存し、さらに、キャリッジは、間欠的に、若しくは、好ましくは、連続的に、上部操作位置に向かって移動させられる。
【００４２】
［0042］オープナー装置の移動機構は、開操作時、キャリッジの下方向の移動と連携してキャッチ・アンド・ホールド状態をとるように係合構造を選択的に操作可能である。それにより、基板搬送容器スタック、又はキャリッジ上にロードされた状態の一部の基板搬送容器スタックの各最上段基板搬送容器が、この基板搬送容器の対応するカウンター係合構造と係合する少なくとも１つの関連する係合構造によって連続的に捕らえられ、保持される。その結果、この基板搬送容器は、オープナー装置内の少なくとも１つの関連する係合構造に定められる対応する垂直方向の開口位置で保持される。
【００４３】
［0043］さらに、オープナー装置の移動機構は、閉操作時、キャリッジの上方向の移動と連携してリリース・アンド・パス状態をとるように係合構造を選択的に操作可能である。それにより、対応する最下段基板搬送容器、又は、オープナー内の定められた垂直方向の開口位置で、少なくとも１つの結合された係合構造によって保持された残りの基板搬送容器が、この基板搬送容器の関連するカウンター係合構造から非係合する少なくとも１つの関連する係合構造によって連続的にリリースされる。その結果、この基板搬送容器はキャリッジ上に配置されるか、基板搬送容器に積み重ねられるか、又はベースが備えられる場合、ベースに積み重ねられるか、又はキャリッジ上にロードされた部分的な基板搬送容器スタックに積み重ねられる。
【００４４】
［0044］基板搬送容器スタックの最下段の基板搬送容器が、１つ又は複数の係合構造により非積み重ね状態で保持される場合には、閉操作の過程で、この最下段の基板搬送容器は、最下段の基板搬送容器をキャリッジ上に配置するか、もしベースが備えられる場合にはベース上に配置するかのどちらかによって、最初にキャリッジ上に再ロードされる。
【００４５】
［0045］好ましい実施例においては、カバー（もし備えられる場合）とベース（もし備えられる場合）が基板搬送容器スタックに含まれる。そうすることで、非積み重ね状態でキャリッジ上に支持されたままのベースが、非積み重ね状態でキャリッジ上にロードされた基板搬送容器スタックの一部であることが特定できる。しかしながら、もし基板搬送容器スタックの一部が、少なくとも２つの互いに積み重ねられた要素を含む必要がある場合、その上に第１基板搬送容器を有しているベース、又は、互いに積み重ねられた２つの基板搬送容器が、閉操作の初期段階でキャリッジ上に支持される部分的な基板搬送容器スタックを定義する。閉操作がさらに進むと、他の基板搬送容器は順次、この部分的な基板搬送容器スタックに積み重ねられ、この基板搬送容器スタックの一部になる。最上段の搬送容器、又はカバー（もし備えられる場合）が、この段階で基板搬送容器スタックの一部の上に積み重ねられる時、基板搬送容器スタックの「再構築」と、非積み重ね状態から積み重ね状態への遷移が完了する。
【００４６】
［0046］オープナー装置の移動機構は、開操作時、係合構造がキャッチ・アンド・ホールド状態になるように以下の方法で係合構造を選択的に操作可能である。その方法は、最初に少なくとも１つの関連する係合構造によって決定された、基板搬送容器スタックの（もし備えられていれば）カバーが、カバーの関連するカウンター係合構造と係合する少なくとも１つの関連する係合構造に係止され保持されることを特徴とし、カバーはある定義された垂直方向に開口された位置のオープナー装置内で保持される。
【００４７】
［0047］さらに、オープナー装置の移動機構は、閉操作時、係合構造がリリース・アンド・ホールド状態になるように、以下の方法で係合構造を選択的に操作可能である。その方法とは、オープナー装置内の定義された垂直方向の開口位置で少なくとも１つの関連する係合構造によって保持されるカバー（もし備えられる場合）が、少なくとも１つの関連する係合構造によってリリースされ、その関連する係合構造はカバーの対応するカウンター係合構造から非係合し、その結果、カバーはキャリッジ上にロードされた基板搬送容器の最上段基板搬送容器に積み重ねられる。
【００４８】
［0048］オープナー装置が、基板搬送容器スタックの選択されたサブグループの基板搬送容器上で操作するように構成されるならば、オープナー装置の移動機構は、開操作時、係合構造がキャッチ・アンド・ホールド状態になるように以下の方法で係合構造を選択的に操作することができる。その方法は、選択された基板搬送容器が、オープナー装置内で、少なくとも１つの関連する係合構造によって定められた所定の垂直方向の開口位置で保持され、その後、開操作の過程で、ある選択された基板搬送容器サブグループの最上段基板搬送容器から分離されるように、最初に、選択された基板搬送容器、つまり積み重ね状態の基板搬送容器スタックの選択された基板搬送容器サブグループの最上段の基板搬送容器に積み重ねられた垂直方向に隣接する基板搬送容器が、この選択された基板搬送容器の関連するカウンター係合構造と係合する少なくとも１つの関連する係合構造によって係止され保持される特徴がある。
【００４９】
［0049］さらに、オープナー装置の移動機構は、閉操作時、係合構造がリリース・アンド・パス状態になるように、以下の方法で係合構造を選択的に操作可能である。その方法とは、基板搬送容器スタックの選択された基板搬送容器サブグループの最上段基板搬送容器から分離された選択された基板搬送容器が、選択された基板搬送容器の対応するカウンター係合構造から離れる、少なくとも１つの関連する係合構造によってリリースされる、という方法である。その結果として、選択された基板搬送容器が、キャリッジ上にロードされた基板搬送容器の最上段の基板搬送容器上に積み重ねられる。
【００５０】
［0050］選択された基板搬送容器と共に、選択された基板搬送容器上に積み重ねられる少なくとも１つの他の基板搬送容器、好ましくは、複数の基板搬送容器と、さらに、もし備えられる場合、通常、選択された基板搬送容器上に積み重ねられるカバー、これらはすべてが選択された基板搬送容器サブグループに属するわけではないが、少なくとも１つの係合構造を使った開操作の結果として、オープナー装置内に保持される。そして、これらの基板搬送容器とカバーは、閉操作の結果、選択された基板搬送容器サブグループの最上段基板搬送容器上に再び積み重ねられる。
【００５１】
［0051］一般的には、キャッチ・アンド・ホールド状態にある複数の係合構造は、キャッチ・アンド・ホールド位置に位置決め可能であり、さらに、キャッチ・アンド・ホールド位置では、複数の係合構造は、対応するカウンター係合構造と垂直方向にオーバーラップする。また、リリース・アンド・パス状態にある複数の係合構造は、リリース・アンド・パス位置に位置決め可能であるが、リリース・アンド・パス位置では、複数の係合構造は対応するカウンター係合構造と垂直方向にオーバーラップしない。
【００５２】
［0052］係合構造は係合要素によって定義されることが好ましく、その係合要素は、キャッチ・アンド・ホールド位置とリリース・アンド・パス位置の間を移動する、好ましくは回動するラック又はハウジングに対して支持される。その係合要素は、垂直回転軸周りを回動可能に支持されることが好ましい。
【００５３】
［0053］係合要素はそれぞれのスリーブ部を含むことができ、そのスリーブ部は垂直方向の回転軸と対応する係合部の周りを回動可能であり、その係合部はスリーブ部から放射状に突出し、かつ対応するカウンター係合構造と係合可能な状態にある。
【００５４】
［0054］さらに、以下のことが提案される。係合構造又は係合部は、対応するカウンター係合構造と係合されることが可能である。  カウンター係合構造は、基板搬送容器及びカバー（もし備えられる場合）の対応する搬送容器外部フレームから水平方向かつ外方向に突出するか、若しくは基板搬送容器及びカバー（もし備えられる場合）それぞれの対応する搬送容器外部フレームの外周縁上又は外周縁内に備えられる。
【００５５】
［0055］オープナー装置の好ましい実施形態によると、移動機構は垂直方向に互い違いに配置された係合構造のセットを複数有し、その結果、複数の係合構造が、キャリッジ上にロードされる基板搬送容器スタックのそれぞれの関連する基板搬送容器と、もし備えられる場合、カバーの複数の対応するカウンター係合構造と結合し、かつ係合可能な状態となる。さらに、移動機構では、垂直方向に互い違いに配置された係合構造のセットは、キャリッジとそのキャリッジの垂直方向の動きの範囲とは異なるサイドに配置される。この構造は、基板搬送容器スタックとその構成要素に対してオープナー装置が正しく安全に機能することにも貢献する。
【００５６】
［0056］好ましい実施例として、異なるタイプの係合構造が、垂直方向に互い違いに配置される係合構造の各セット内に、垂直方向かつ交互に備えられ、配置される。さらに、異なるタイプの係合構造は、基板搬送容器と、もし備えられる場合、カバーの、関連する異なるタイプのカウンター係合構造を有する。それはつまり、係合構造が対応するキャッチ・アンド・ホールド状態をとる時、第１タイプの係合構造が第１タイプのカウンター係合構造と係合可能であり、第２タイプの係合構造は第２タイプのカウンター係合構造と係合可能になっているが、第１タイプの係合構造は第２タイプのカウンター係合構造とは係合不可能であり、さらに、第２タイプの係合構造は第１タイプの対応するカウンター係合構造とは係合不可能になっている。
【００５７】
［0057］係合構造のこの構成と、基板搬送容器スタックの基板搬送容器の対応するカウンター係合構造の補完的実現は、必須ではないが、オープナー装置の正しい動作と基板搬送容器との相互作用を効率的に達成するために効率的なものである。好ましい例として、これにより、係合構造と対応するカウンター係合構造の間での意図しない相互作用がより簡単に避けられるため、係合構造を備えることができ、比較的シンプルな方法でその動作をコントロールすることが可能になる。第１及び第２タイプの対応するカウンター係合構造が、垂直方向に沿って交互に備えられる場合、基板搬送容器スタック内の、垂直方向に隣接する同じタイプの対応するカウンター係合構造の間の垂直方向距離が大きくなり、その結果、第１及び第２タイプの関連する係合構造は、対応する基板搬送容器の正確な対応するカウンター係合構造と容易に相互に作用することが可能となる。より多くの種類のカウンター係合構造と、対応する係合構造が備えられることが好ましい。
【００５８】
［0058］上記で提案された回動可能な構造を持つ場合、異なるタイプの係合構造を定義する係合要素の係合部は、垂直回転軸と、キャッチ・アンド・ホールド位置で対応するカウンター係合構造と係合するそれぞれの部分との間に、異なる半径方向の距離を有することが好ましく、その結果、このような異なる係合部、すなわち、垂直回転軸と、キャッチ・アンド・ホールド位置で対応するカウンター係合構造と係合するそれぞれの部分との間に異なる距離を有する係合部が、垂直方向に沿って、交互に設けられる。
【００５９】
［0059］係合構造を定義する係合要素のスリーブ部は、スリーブ部材によって定義されてもよく、スリーブ部材には分離した係合部材が取り付けられ、それは係合要素の係合部を定義する。さらに、異なるタイプの分離した係合部材が、垂直方向に沿って交互にスリーブ部材に取り付けられ、係合部材には、垂直方向の回転軸と、キャッチ・アンド・ホールド位置にある対応するカウンター係合構造と係合するそれぞれの部分との間に、変化する半径方向距離を有する。
【００６０】
［0060］係合要素のスリーブ部は、垂直方向に互い違いに配置された各セットの係合構造を定義し、そのスリーブ部は、内部回転ベアリングを使ってオープナー装置の共通の取り付け支柱に取り付けられてもよい。これはシンプルではあるが、係合要素を取り付けるのに効率的な構造である。この係合要素を取り付ける構造はまた、１つのタイプの係合構造だけが備えられる場合にも使用できる。
【００６１】
［0061］本発明の好ましい実施形態によると、オープナー装置はその第１サイドに第１のローディング及びアンローディングポートを備えてもよく、第１のローディング及びアンローディングポートは、第１水平方向位置から非積み重ね状態にある基板搬送容器の基板台座にアクセスして、少なくとも１つの板状の基板を、それぞれに選択された基板搬送容器の対応する基板台座からアンロードすることと、少なくとも１つの板状の基板を、それぞれに選択された基板搬送容器の対応する基板台座上にロードすることの少なくともどちらか一方を可能にする。そして、オープナー装置は、第２のローディング及びアンローディングポートを、オープナー装置の第１サイド又は別のサイド、好ましくは第１サイドの反対側に位置する第２サイドに備えてもよく、第２ローディング及びアンローディングポートは、第１水平方向位置又は別の水平方向位置、好ましくは第１水平方向位置と反対の第２水平方向位置から、上部操作位置にあるキャリッジにアクセスして、キャリッジから対応する基板搬送容器スタックをアンローディングすることと、キャリッジ上に対応する基板搬送容器スタックをロードすることの少なくともどちらか一方を可能にする。
【００６２】
［0062］好ましい実施例において、第２ローディング及びアンローディングポートは、保持構造を有し、その保持構造はホールド位置をとるように構成される。そのホールド位置において、保持構造は、上部操作位置に配置されるとき、基板搬送容器スタックをオープナー装置内にキャリッジの上の垂直方向距離に保持することができる。さらに、ローディング操作の過程において、キャリッジは上部操作位置から上方向に保持構造と結合する上部レシービング位置へ移動可能であり、開操作の過程において、上部レシービング位置から下部操作位置へ向けて移動可能である。保持構造は、さらに、ローディング操作の過程において、リリース位置をとることが可能であり、そのリリース位置において、保持構造は、上部レシービング位置に配置されているか、又は上部レシービング位置にアプローチするキャリッジ上にロードされるために前もって保持されている基板搬送容器スタックをリリースする。第２ローディング及びアンローディングポートは、保持構造上にそれぞれの基板搬送容器スタックをロードする能力を可能にすることが好ましい。保持構造が上部操作位置に配置されるとき、所定の高さを超えないそれぞれの基板搬送容器スタックが、保持構造に保持されるそれぞれの基板搬送容器スタック下の上部操作位置に配置されるキャリッジ上に支持されるように、キャリッジ上の垂直方向距離を選択することが好ましい。それにより、基板搬送容器スタックの高い処理能力が実現される。
【００６３】
［0063］保持構造はアクチュエータ構成と結合されてもよく、アクチュエータ構成は保持構造をホールド位置からリリース位置に移動させ、またリリース位置からホールド位置に移動させる。各保持構造は、鍵型の保持要素によって定義されてもよく、それには例えばソレノイドアクチュエータのようなそれぞれの個々の電気機械式アクチュエータが備えられる。しかしながら、ホールド位置とリリース位置の間の動きを実現する別の構造もまた可能である。例えば、保持構造は、バネ配置によってホールド位置に向かって付勢されてもよく、さらに、キャリッジは、上部レシービング位置にアプローチした時に、保持構造に作用して同等物をリリース位置に向かって動かしてもよい。
【００６４】
［0064］好ましい例として、第１ローディング及びアンローディングポートと、第２ローディング及びアンローディングポートの少なくとも１つ、より好ましくは少なくとも第２ローディング及びアンローディングポートが遮蔽装置（シールディングアレンジメント）を備えてもよく、遮蔽装置は、スライドドア等のように開閉が可能であるので、例えば開操作又は閉操作を実行するように対応するポートを閉じることが可能である。
【００６５】
［0065］オープナー装置は、第１ローディング及びアンローディングポートと結合する少なくとも１つの第１イオン化装置と、及び／又は、第２ローディング及びアンローディングポートと結合する少なくとも１つの第２イオン化装置を備えることが好ましく、その目的は静電気を除去又は減らすためである。静電気は、対応する基板台座にあるか、又は対応する基板台座から対応する基板台座に向かって搬送される半導体ウェハに悪影響を与える可能性がある。オープナーはまた、供給及び計量装置を備え、少なくとも１台のイオン化装置へ加圧清浄空気を供給する。供給及び計量装置は対応するローディング及びアンローディングポートの上に配置されることが好ましい。
【００６６】
［0066］オープナー装置の少なくとも１つのハウジング壁、好ましくは第２ローディング及びアンローディングポート下に位置するハウジング壁又はハウジング壁部分は、通気口のアレイ又はマトリクスを備えることが好ましく、その通気口はハウジング壁の相当な範囲上に縦横方向に延びるか、好ましくは、オープナー装置の垂直範囲上に縦方向に延びる。オープナー装置の垂直範囲とは、第１ローディング及びアンローディングポートの垂直範囲の少なくともかなりの部分に相当し、このアレイ又はマトリクスの反対側に配置されることが好ましい。通気口は、横方向に延びる通気溝を有することが可能である。通気口は調整可能な効果的な開口幅を有するので、少なくとも垂直方向に沿って、所望の通気流プロファイルを調整することが可能である。これにより、垂直方向に均一な、好ましくは層流の、清浄な空気又はガスの通気流がオープナー装置を通るように調節することができる。
【００６７】
［0067］オープナー装置の第１サイドと第２サイドは、キャリッジとその垂直方向の移動範囲の第１サイドと第２サイドに相当し、オープナー装置は、キャリッジとその垂直方向の移動範囲の第３サイドに、垂直方向に互い違いに配置される係合構造を少なくとも１セット含み、及び、第３サイドの反対側に位置するキャリッジとその垂直方向の移動範囲の第４サイドに、垂直方向に互い違いに配置される係合構造を少なくとも１セット含んでもよい。第３及び第４サイドは、第１ローディング及びアンローディングポート側から見て、第１ローディング及びアンローディングポートに対して左右に位置し、及び／又は、第２ローディング及びアンローディングポート側から見て、第２ローディング及びアンローディングポートに対して、左右に位置することが好ましい。
【００６８】
［0068］第３サイドには、垂直方向に互い違いに配置される係合構造が２セット備えられることが好ましく、それらは第１水平方向に、互いにずらして配置され、及び／又は、第４サイドには、垂直方向に互い違いに配置される係合構造が２セット備えられることが好ましく、それらは第１水平方向に互いにずらして配置される。従って、非積み重ね状態でオープナー装置内に係合構造によって支持される各基板搬送容器は、少なくとも３つの係合構造によって保持されるか、好ましくは少なくとも４つの係合構造又は厳密に４つの係合構造によって保持される。これにより、オープナーが正しく操作、機能し、基板搬送容器と相互に作用することができる。
【００６９】
［0069］係合構造は、従来のオペレーター及びアクチュエータ、例えば、機械式、電気機械式、空気圧式のオペレーター及びアクチュエータを使って操作できることが好ましい。適切な相互作用構成に対しては多くの可能性があり、その相互作用構成は、係合構造に力を加えて適切な方法で同等物を操作することができる。
【００７０】
［0070］オープナー装置の好ましい実施形態によると、移動機構は相互作用構成を含んでもよく、それは係合構造に力を加え、その力とは、以下（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、及び（ｄ）の少なくとも１つ、又は複数の力を含む。（ａ）は対応する係合構造を、リリース・アンド・パス状態に相当するリリース・アンド・パス位置からキャッチ・アンド・ホールド状態に相当するキャッチ・アンド・ホールド位置に移動するアクチュエータ駆動力、（ｂ）は対応する係合構造をキャッチ・アンド・ホールド状態に相当するキャッチ・アンド・ホールド位置からリリース・アンド・パス状態に相当するリリース・アンド・パス位置に移動するアクチュエータ駆動力、（ｃ）は対応する係合構造をリリース・アンド・パス状態に相当するリリース・アンド・パス位置で保持する保持力、そして（ｄ）は対応する係合構造をキャッチ・アンド・ホールド状態に相当するキャッチ・アンド・ホールド位置で保持する保持力である。
【００７１】
［0071］相互作用構成は、個々の相互作用装置を複数含むことが好ましく、その相互作用装置は、直接又は間接にラック又はハウジングによって支持され、係合構造の定められた垂直方向位置に相当するか、又は隣接する垂直方向に互い違いに配置された固定位置に備えられる。さらに、個々の相互作用装置の各々は、少なくとも１つの関連する係合構造に、アクチュエータ駆動力及び保持力のうち少なくとも１つの力を加える。個々の相互作用装置はそれぞれ、選択的に操作可能なアクチュエータ、例えばソレノイドアクチュエータのような空気圧又は電気機械式アクチュエータを少なくとも１つ含むことが好ましく、少なくとも１つの関連する係合構造に対して、アクチュエータ駆動力及び保持力の少なくともどちらかを加える。さらに、個々の相互作用装置の各々は、永久的に作用する相互作用装置を含んでもよく、少なくとも１つの関連する係合構造に対して保持力及びアクチュエータ駆動力の少なくともどちらかを加える。特に、個々の相互作用装置の各々は、付勢ばね構成及び永久磁石構成の少なくともどちらかを含んでもよい。
【００７２】
［0072］永久的に作用する相互作用装置に定義される個々の相互作用装置だけが備えられることが好ましく、例えばそれは、付勢ばね構成及び／又は永久磁石構成である。例えば、永久磁石構成は特に好都合である。これら個々の相互作用装置は、係合構造が開閉操作を行う時、オープナー装置の操作過程において、係合構造がそれぞれの適切な位置を取るように貢献し、又はそれをエスコートする。以下を参照に、少なくとも１つの移動可能な相互作用装置によってアクチュエータ駆又は動力が加えられることが好ましいが、上述のように、選択的に操作可能なアクチュエータを含む個々の相互作用装置によって、アクチュエータ駆動力が適切に加えられてもよい。
【００７３】
［0073］永久磁石構成を含む個々の相互作用装置については、さらに以下のことが提案される。すなわち、前述された係合構造を定義する係合要素の少なくとも１つのスリーブ部が、磁気的に取り付け支柱の関連する取り付け部と相互作用する。さらに、スリーブ部と取り付け部のうち１つは、少なくとも１つの永久磁石を備え、スリーブ部と取付け部のもう一方は、少なくとも１つの磁気又は着磁可能な要素を備えるので、係合要素がキャッチ・アンド・ホールド位置にあるか、若しくはキャッチ・アンド・ホールド位置の近くにある時、係合要素をキャッチ・アンド・ホールド位置に付勢する少なくとも１つの磁力が発生し、係合要素がリリース・アンド・パス位置にあるか、若しくはリリース・アンド・パス位置の近くにある時、係合要素をリリース・アンド・パス位置に付勢する磁力が発生する。
【００７４】
［0074］スリーブ部は一組の着磁可能な当接要素を備えてもよく、取り付け部は、カウンター当接要素を備え、それはスリーブ部の着磁可能な当接要素の間に突出する。カウンター当接要素は着磁可能であり、スリーブ部はさらに着磁可能な当接要素と結合する少なくとも１つの永久磁石を備える。若しくは、カウンター当接要素は、永久磁石を含むか、永久磁石に定義される。対応する係合要素がキャッチ・アンド・ホールド位置にある時、着磁可能な当接要素の１つはカウンター当接要素に当接し、さらに、対応する係合要素がリリース・アンド・パス位置にある時、着磁可能な当接要素のもう一方はカウンター当接要素に当接する。関連する永久磁石を有するこのようなスリーブ部は、係合構造が、オープナー装置の対応する操作段階でそれぞれ要求される正しい位置をとるように貢献し、又はエスコートする。これは、永久的に作用する相互作用装置に定義される個々の相互作用装置だけが備えられる場合に実現されることが好ましいが、選択的に操作可能なアクチュエータを含む個々の相互作用装置が備えられ、係合構造上で作用するアクチュエータ駆動力を与える場合にも適切である。さらに、この構造は縮小スペース、又は最小限のスペースで設置が可能である。
【００７５】
［0075］上述されたように、好ましくは、相互作用設備は、少なくとも１つの移動可能に支持された相互作用装置を含み、当該相互作用装置はラック又はハウジングに対して相対的に垂直方向であって、垂直方向に並ぶ複数の相互作用の位置又は位置範囲に対して移動可能であり、垂直方向に互い違い支持され、当該位置又は当該位置範囲は係合構造の規定された垂直位置に対応するか、当該垂直位置を含むか、又は当該垂直位置に隣接していて、さらに当該移動可能な相互作用装置が相互作用位置又は相互作用位置の範囲のそれぞれに移動させられたときに、当該移動可能な相互作用装置は少なくともひとつの関連する係合構造上に少なくとも1つのアクチュエータ駆動力を適用するか、又は該移動可能な相互作用装置はその移動する過程において、それぞれの当該位置又は当該位置範囲を通過することを特徴とする。このような移動可能な相互作用装置を少なくとも１つ備えることで、選択的に操作可能なアクチュエータを備える個々の相互作用装置を多数設置する必要がなくなることが好ましく、このようなオープナー装置の製造コスト面で相当な利点をもたらすことが可能となる。さらに、アクチュエータを設置するために必要とされるスペースを、全体的に減らすことができる。
【００７６】
［0076］移動可能な相互作用装置は、少なくとも１つのアクチュエータ材を備え、そのアクチュエータ材は第１ポジションと第２ポジションの間を、好ましくは、水平方向かつ、長手方向に移動する。さらに、移動可能な相互作用装置が、垂直方向の移動の過程において、それぞれの垂直方向の相互作用位置又は垂直方向の相互作用位置範囲に移動若しくは通過する時に、アクチュエータ材が少なくとも１つの関連する係合構造にアクチュエータ駆動力又は第１アクチュエータ駆動力を加え、かつ、アクチュエータ材が第２ポジションを取る場合には、アクチュエータ材は関連する係合構造にアクチュエータ駆動力を加えず、また、アクチュエータ材が第２ポジションを取るか、又はアクチュエータ材の第２ポジションへの移動に基づきその位置をとる場合には、少なくとも１つの関連する係合構造の上に第２アクチュエータ駆動力を加える。アクチュエータ駆動力又は第１アクチュエータ駆動力は、少なくとも１つの関連する係合構造を、対応するリリース・アンド・パス位置及び対応するキャッチ・アンド・ホールド位置のどちらか一方に向けて移動させるように指示され、第２アクチュエータ駆動力は、少なくとも１つの関連する係合構造を対応するリリース・アンド・パス位置及び対応するキャッチ・アンド・ホールド位置のもう一方に向けて移動させるように指示される。
【００７７】
［0077］好ましい例として、それぞれの係合構造をリリース・アンド・パス位置からキャッチ・アンド・ホールド位置へ移動するために、あるアクチュエータ駆動力が必要とされ、それぞれの係合構造をキャッチ・アンド・ホールド位置からリリース・アンド・パス位置へ移動するために、別のアクチュエータ駆動力が必要とされる。さらに、以下のことが好まれる。すなわち、これらのアクチュエータ駆動力は、第1ポジション又は第２ポジションをとるアクチュエータ材によってそれぞれもたらされるか、又は、典型的には、第１ポジションに相当するか若しくは第１ポジションの近くの初期位置から、第２ポジションへのアクチュエータ材の移動によりもたらされるのが、好ましくは第２ポジションに相当するか又は第２ポジションの近くの初期位置から第１ポジションへのアクチュエータ材の移動によりもたらされる。
【００７８】
［0078］しかしながら、アクチュエータ材の第２ポジションが単に「ニュートラル」位置の一種である可能性もあり、その場合、アクチュエータ駆動力は対応する係合部には加えられない。これは、以下の場合には適切である。それは、もし、例えば対応する永久的に作動する相互作用装置が係合構造に備えられ、対応する係合構造がリリース・アンド・パス位置及びキャッチ・アンド・ホールド位置のどちらか一方から、リリース・アンド・パス位置及びキャッチ・アンド・ホールド位置のもう一方へ移動させられる場合である。その結果、移動可能な部材のアクチュエータ材は、対応する係合構造をもう一方の位置から一方の位置へ移動することのみ要求される。その位置とは、対応する係合構造が関連する個々の相互作用装置によって保持されることが可能な位置であり、さらに、その関連する個々の相互作用装置は、保持力を加える。第１操作状態において、その保持力は、この位置で係合部を維持する永久に作用する相互作用装置のアクチュエータ駆動力に打ち勝ち、係合構造がもう一方の位置へ戻る時には、第２操作状態においてはこのような保持力を加えない。これら個々の相互作用装置は、電磁的に保持力を発生するソレノイドを含んでもよく、一方、永久的に作用する相互作用装置によって定義される個々の相互作用装置に、適宜、付勢ばね構成を含むことが可能である。
【００７９】
［0079］移動可能な相互作用装置はキャリッジと接続されることが好ましく、かつ、好ましくは、直接又は間接にキャリッジに支持され、共通の垂直方向の動きを実現する。移動可能な相互作用装置を、キャリッジの支持部に対して定められた垂直方向位置に備えることで、移動可能な相互作用装置によるキャリッジの共通の動きによって、係合構造の連動操作が、キャリッジの垂直方向の動きと適切に連動し、リリース・アンド・パス位置とキャッチ・アンド・ホールド位置をとることができる。
【００８０】
［0080］オープナー装置が基板搬送容器スタックの基板搬送容器の選択されたサブグループの基板搬送容器上で作動するように構成されている場合、複数の移動可能な相互作用装置が備えられることが好ましく、その複数の相互作用装置は、キャリッジに接続され、かつ、好ましくは直接的又は間接的にキャリッジに支持されて共通の垂直方向の動きを実現し、さらに、キャリッジの支持部に対して異なる垂直方向位置に備えられる。キャリッジのサポート部は、キャリッジ上にロードされる基板搬送容器スタックを支持する。これらの移動可能な相互作用装置は、キャリッジ上にロードされる対応する基板搬送容器スタックの異なる予め決められた基板搬送容器サブグループに結合されてもよい。
【００８１】
［0081］対応する移動可能な相互作用装置は、少なくとも１つの選択的に操作可能なアクチュエータ、例えば、空気圧又は電気機械式アクチュエータを備えることが好ましく、アクチュエータ材を第１ポジションから第２ポジションへ向かって移動させ、及び／又は、アクチュエータ材を第２ポジションから第１ポジションへ向かって移動させる。
【００８２】
［0082］選択的に操作可能なアクチュエータは、アクチュエータ材を使って、同等物を第１又は第２ポジションへ向かって動かすことで、対応するアクチュエータ駆動力を対応する係合構造上に加えるように構成されることが可能である。さらに、アクチュエータ材は、少なくとも１つの当接部分を含み、その当接部分は、第１又は第２ポジションへの動きの過程で、対応する係合構造の関連するカウンター当接部分に当接するように構成され、対応する係合構造上に、当接部分を介して、対応するアクチュエータ駆動力又は第１アクチュエータ駆動力又は第２アクチュエータ駆動力を加える。垂直方向に互い違いに配置される係合構造を、リリース・アンド・パス位置からキャッチ・アンド・ホールド位置へ、及びキャッチ・アンド・ホールド位置からリリース・アンド・パス位置へそれぞれ移動させるために、当接部分は、対応する初期位置から、対応する第１ポジション及び第２ポジションへ繰り返し移動し、及び対応する初期位置へ戻る動きを実行し、係合構造の当接部分上に、順次アクチュエータ駆動力を加える。
【００８３】
［0083］なお、アクチュエータ材は少なくとも１つの反作用部を含んでもよく、その反作用部は対応する係合構造の少なくとも１つの関連するカウンター反作用部と相互に作用するように構成されている。それにより、アクチュエータ材が第１又は第２ポジションにあり、かつ移動可能な相互作用装置が垂直方向の相互作用位置又は垂直方向の相互作用位置範囲のそれぞれを通過する時、反作用部によって係合されるカウンター反作用部に対して反作用部が垂直方向に移動することにより、アクチュエータ駆動力又は第１アクチュエータ駆動力又は第２アクチュエータ駆動力を発生する。そのアクチュエータ駆動力又は第１アクチュエータ駆動力又は第２アクチュエータ駆動力は、カウンター反作用部を介して対応する係合構造に加えられる。この点について、さらに以下のことが提案される。すなわち、反作用部と関連するカウンター反作用部は、カムとカムフォロアのように相互作用するように構成され、アクチュエータ駆動力又は第１アクチュエータ駆動力又は第２アクチュエータ駆動力を発生する。そのアクチュエータ駆動力又は第１アクチュエータ駆動力又は第２アクチュエータ駆動力は、カウンター反作用部に対して反作用部の垂直移動方向に直交する方向に導かれる。従って、反作用部は一度だけ、アクチュエータ材の第１又は第２ポジションに相当する操作位置に置かれ、順次、係合構造のカウンター反作用部上で動作し、それぞれリリース・アンド・パス位置からキャッチ・アンド・ホールド位置へ、及びキャッチ・アンド・ホールド位置からリリース・アンド・パス位置へ係合構造を持ってくる。
【００８４】
［0084］係合構造は、カウンター当接部又はカウンター反作用部を有することが可能であることが好ましく、それらは、非積み重ね状態の基板搬送容器と、もし備えられる場合、対応する係合構造と関連する反作用部カバーから、定められた異なる垂直方向距離に配置され、開操作及び閉操作の過程において、垂直方向の高さが異なる基板搬送容器スタック又は一部の基板搬送容器を収容する。なお、独立して垂直方向に移動可能である移動可能な相互作用装置、又は、キャリッジの垂直方向の動きから独立する移動可能な相互作用装置、又は、キャリッジに接続されるか間接的にキャリッジに支持される場合、キャリッジに対して動かされる移動可能な相互作用装置が、オープナー装置の開閉操作の過程において、垂直方向の高さが変化する基板搬送容器スタック又は一部の基板搬送容器スタックを収容するために備えられてもよい。
【００８５】
［0085］スリーブ部を有する係合要素を含む前述された好ましい実施形態を参照に、さらに、スリーブ部はスリーブ部材によって定義されることが提案される。また、そのスリーブ部材には、分離したカウンター当接部又はカウンター反作用部が取り付けられる。さらに、異なる種類のカウンター当接部又はカウンター反作用部が備えられ、それらは、アクチュエータ材の当接部又は反作用部とそれぞれ相互作用する部分と、それぞれのスリーブ部材に取り付けられる部分では、垂直方向に長さが異なる。及び／又は、分離したカウンター当接部分又はカウンター反作用部分は、スリーブ部材の垂直方向範囲内の異なる垂直方向の高さで、対応するスリーブ部材に取り付けられる。
【００８６】
［0086］この点で、さらに以下のことが提案される。第1タイプの分離したカウンター当接部又はカウンター反作用部が、オープナー装置の上部領域にあるスリーブ部材に取り付けられる。それは、対応するスリーブ部材の垂直方向範囲の下方に配置される当接部又は反作用部と相互に作用する部分を有し、その各スリーブ部材には対応するカウンター当接部又はカウンター反作用部が取り付けられる。第２タイプの分離したカウンター当接部又はカウンター反作用部がオープナー装置の中間領域にあるスリーブ部材に取り付けられる。それは、対応するスリーブ部材の垂直方向範囲内に配置される当接部又は反作用部と相互に作用する部分を有し、対応するスリーブ部材には各カウンター当接部又はカウンター反作用部が取り付けられる。そして、第３タイプ又は第４（英語は第一になっている）タイプの分離したカウンター当接部又はカウンター反作用部がオープナー装置の下部領域にあるスリーブ部材に取り付けられる。それは、対応するスリーブ部材の垂直方向範囲の上部に配置される当接部又は反作用部と相互に作用する部分を有し、対応するスリーブ部材には、対応するカウンター当接部又はカウンター反作用部が取り付けられる。
【００８７】
［0087］従って、開閉操作の過程において、垂直方向の高さが変化する基板搬送容器スタック又は一部の基板搬送容器を、以下の方法で収容することが可能である。その方法とは、カウンター当接部分又はカウンター反作用部をそれぞれオープナー装置内の適切に定められた垂直方向位置に配置するか、当接部分又は反作用部と相互に作用する部分を、それぞれオープナー装置内の適切に定められた垂直方向位置に配置するかである。
【００８８】
［0088］オープナー装置は、垂直方向のガイディング構成を有してもよく、それは、開閉操作の過程における垂直方向移動の間、キャリッジをガイドするものである。
【００８９】
［0089］移動機構は、垂直方向のドライビング構成を有してもよく、それは、開操作の過程でキャリッジを選択的に垂直方向に下方向に移動させ、閉操作の過程と、もし備えられる場合、ローディング操作の過程では上方向に移動させる。垂直方向のドライビングアレンジメントは、少なくとも１つのベルトドライブを含んでもよく、そのベルトドライブはキャリッジと連結し、選択的に操作可能で、キャリッジを下方向に移動させて開操作を実行し、かつキャリッジを上方向に移動させて閉操作と、もし備えられる場合、ローディング操作を実行する。
【００９０】
［0090］オープナー装置は、センサー構成を有してもよく、それはオープナー装置の少なくとも１つの操作と、基板搬送容器スタックの状態をモニターする。
【００９１】
［0091］この点で、センサー構成は少なくとも１つのセンサーを有し、そのセンサーはキャリッジの現在の位置及びキャリッジの現在の移動状況の少なくともどちらか一方を感知し、及び／又は、オープナー装置が、以下の複数の定められた状態のうちの１つ又は複数を有するかどうかを感知する。その状態とは、キャリッジが上部操作位置に配置されている状態、キャリッジが上部操作位置に配置されている間にキャリッジ上に基板搬送容器がロードされていない状態、キャリッジが上部操作位置に配置されている間にキャリッジ上に基板搬送容器がロードされている状態、キャリッジが上部レシービング位置に配置されている状態、キャリッジが下部操作位置に配置されている状態、基板搬送容器スタックがキャリッジ上にロードされており、かつ積み重ね状態である状態、そして、基板搬送容器スタック、又は選択された基板搬送容器サブグループの基板搬送容器、及びもし備えられ該当する場合に、カバーが非積み重ね状態であり、オープナー装置内の対応する垂直方向の開口位置で保持されている状態、である。センサー構成は少なくとも１つのセンサーを有してもよく、もし保持構造が備えられる場合、基板搬送容器スタックがその保持構造によって保持されているかどうかを感知する。
【００９２】
［0092］キャリッジの現在の位置と現在の移動状態の少なくとも１つを感知するために、光を発信し、反射光を受信し、対象物からの距離を決定することができる光センサーを使用することができる。光センサーには、例えば、いわゆる拡散センサー又は拡散反射センサーがあり、背景抑制機能を備えるタイプが好ましい。このようなセンサーは、典型的には光パルスを使用する。別の方法として、又は追加で、垂直方向のドライビングアレンジメントのドライビングシャフト又は別の回転要素は、ロータリーエンコーダを備えて、キャリッジの現在のポジション及び現在の移動状況の少なくともどちらか一方を決定してもよい。例えば、ロータリーエンコーダはアブソリュートエンコーダーであることが好ましいが、ここでこれ以上の参照を必要としない。
【００９３】
［0093］センサー構成は、それぞれ係合構造の現在の状態を感知するセンサーを少なくとも１つ備えてもよい。各係合構造は、このようなセンサーと結合されてもよい。さらに、センサー構成は少なくとも１つのセンサーを含んでもよく、それは複数の係合構造と結合して係合構造が同一の状態をとるかどうかを感知する。
【００９４】
［0094］さらに、センサー構成は少なくとも１つのセンサーを備えてもよく、そのセンサーは、相互作用構成における少なくとも１つの相互作用装置動作をモニターし、及び／又は、相互作用構成における少なくとも１つの相互作用装置の現在の状況を感知する。各相互作用装置、好ましくは少なくともそれぞれに選択的に操作可能な相互作用装置が、このようなセンサーと結合してもよい。
【００９５】
［0095］センサー構成は、少なくともセンサー１つを含むことが好ましく、そのセンサーは開操作時に積み重ね状態と非積み重ね状態との切り替えをモニターし、及び／又は、閉操作時に非積み重ね状態と積み重ね状態との切り替えをモニターする。
【００９６】
［0096］一般的に、オープナー装置は、固定センサー構成及び可動センサー構成の少なくとも１つを含み、それは開操作の過程で、オープナー装置内の基板搬送容器と、もし備えられる場合カバーの互い違い垂直方向の配置をモニターし、及び／又は開閉操作の過程で、オープナー装置内の対応する垂直方向の開口位置で保持される少なくとも１つの基板搬送容器に対応する台座にロードされる基板の有無、及び基板の状態の少なくとも１つに反応する。可動センサー構成は、キャリッジと共に、開操作時は下方向に、閉操作時は上方向に動いてもよい。
【００９７】
［0097］一般的には、複数の可動センサー構成が備えられ、キャリッジと共に、開操作時には下方向に、閉操作時には上方向に移動可能に設置され、可動センサー構成は、キャリッジにロードされる基板搬送容器スタックを支えるキャリッジの支持部に対して、異なる垂直方向位置に配置されてもよい。可動センサー構成は、キャリッジ上にロードされる対応する基板搬送容器スタックのあらかじめ定められた基板搬送容器サブグループと結合することが好ましい。
【００９８】
［0098］少なくとも１つの可動センサー構成は、キャリッジと接続されて、共通の垂直方向の動きを実現することが好ましい。これを達成するために、少なくとも１つの可動センサー構成が、直接又は間接にキャリッジに支持されてもよい。
【００９９】
［0099］可動センサー構成は、開閉操作の少なくとも１つの過程において、オープナー装置内の対応する垂直方向の開口位置で保持される複数又はすべての基板搬送容器の対応する台座にロードされる基板の有無、及び、その状態の少なくとも１つに反応してもよい。可動センサー構成は、少なくとも１つの可動センサーを有し、その可動センサーは水平感知方向に反応し、かつ、キャリッジ上にロードされる基板搬送容器スタックを支持するキャリッジの支持部の上の定められた垂直方向距離に配置されるので、開閉操作それぞれの過程において、可動センサー又は支持部上方の異なる定められた垂直方向距離に配置される複数の可動センサーのそれぞれが、オープナー装置内で各垂直方向の開口位置で保持された少なくとも１つの関連する基板搬送容器又は複数の関連する基板搬送容器の基板台座の側方を連続的に垂直方向に通過する。
【０１００】
［0100］開閉操作の過程において、垂直方向高さが変化する基板搬送容器スタック又は一部の基板搬送容器を収容するために、可動センサー構成又は対応する可動センサー構成は複数の可動センサーを有してもよく、その複数の可動センサーはそれぞれ、水平感知方向に反応し、キャリッジ支持部の上方の異なる定められた垂直方向距離に配置される。
【０１０１】
［0101］上述されたように、例えば、どの係合構造も基板搬送容器スタックの最下段基板搬送容器又は選択された基板搬送容器サブグループの最下段基板と結合できない場合、最下段基板搬送容器は、非積み重ね状態においてもキャリッジ上に支持されたままである。この場合、この最下段基板搬送容器の台座にロードされる基板の有無、及びその状態の少なくとも１つに反応する固定センサー構成を少なくとも１つ備えることが適切であり、それは、固定センサーを少なくとも１つ含んでもよく、その固定センサーは、水平感知方向に反応し、かつキャリッジの下部操作位置上方にある定められた垂直方向距離に配置される。
【０１０２】
［0102］水平感知方向に反応するセンサーは、ライトビーム又は光バリアセンサー等でもよい。このセンサーは、光送信器、及び分離した光受信器を含む一方向のセンサーか、若しくは１つの要素に統合された光送信回路及び光受信回路を含む反射センサーであってもよい。
【０１０３】
［0103］オープナー装置は、オープナー装置内で画定された少なくとも１つのパージングガス流を画定する少なくとも１つのパージング構造を含んでいる。例えば少なくとも１つのパージングガス流は、非積み重ね状態において、垂直方向の開口位置で基板搬送容器を通過することが好ましく、パージングガス流は、対応する基板搬送容器を通過する際、下方向に導かれることが好ましい。例えば、開閉操作の過程で、摩耗粒子がオープナー内の機械部品の相互作用によって発生すれば、非積み重ね状態に移行中か、既に非積み重ね状態か、これから再び積み重ねられる前の状態か、又は現在再積み重ね中の状態かの、いずれかの状態でそれぞれ対応する基板搬送容器の基板台座に保持される垂直方向に隣接する基板から当該摩擦粒子はすべてこのパージングガス流と一緒に一掃される。
【０１０４】
［0104］本発明の好ましい実施形態は、さらに、半導体ウェハ及びレチクルの少なくとも１つによって定義される基板の保管、ハンドリング、収容、及び処理の少なくとも１つのためにクリーンルーム設備を備える。クリーンルーム設備は、上述の本発明の好ましい実施形態による少なくとも１つのオープナー装置を備え、そのオープナー装置は、あるタイプの基板搬送容器スタックの基板搬送容器の台座にアクセスする。あるタイプの基板搬送容器スタックは、複数の基板搬送容器を有し、その複数の基板搬送容器は、基板搬送容器スタックの垂直方向に隣接する各組の基板搬送容器のそれぞれにおいて、下部基板搬送容器がそれぞれの上部基板搬送容器を支えるように垂直方向に積み重ねられて配置されている。さらに、各基板搬送容器は搬送容器外部フレームを含み、その搬送容器外部フレームは内部開口周りに水平方向に延びて基板台座を定義するか、若しくは基板台座を備え、基板搬送容器スタックの内部収容空間内に板状の基板を収容及び搬送する。
【０１０５】
［0105］クリーンルーム設備は第1ロボット構成を少なくとも１つ含んでもよく、その第１ロボット構成は、それぞれの基板搬送容器スタックをオープナー装置（若しくは選択された複数のオープナー装置）内にロードするように構成され、操作可能であり、かつ、それぞれの基板搬送容器スタックをオープナー装置（若しくは選択された複数のオープナー装置）からアンロードするように構成され、操作可能である。また、クリーンルーム設備は第２ロボット構成を少なくとも１つ含んでもよく、その第２ロボット構成は、非積み重ね状態において、選択された基板搬送容器の少なくとも１つの基板台座又は複数の基板台座にアクセス可能に構成され、操作可能である。さらに、第２ロボット構成は、それぞれの板状の基板を、それぞれ選択されたアクセスされている基板搬送容器の対応する基板台座からアンロードするように構成され、操作可能であり、かつ、それぞれの板状の基板を、それぞれ選択されたアクセスされている基板搬送容器の対応する基板台座上にロードするように構成され、操作可能である。第１及び第２ロボット構成はそれぞれ、ロード及びアンロードするためにそれぞれの基板搬送容器スタックを支持又は掴む、若しくは、ロード及びアンロードするためにそれぞれの基板を支持又は掴むためのサポート又はグリッパーを有する１つ又は複数のロボットアーム等を備えることができる。このようなロボットアームを備えるロボット構成は、先行技術で知られている。
【０１０６】
［0106］第１ロボット構成は、基板搬送容器スタックを保管するストッカー装置とオープナー装置の間に配置され、ストッカー装置とオープナー装置の間で基板搬送容器スタックを搬送することができる。
【０１０７】
［0107］第２ロボット構成は、オープナー装置と少なくとも１つの搬送ポートの間に配置され、オープナー装置と搬送ポート、又は各装置の間で基板を搬送することが可能である。  各装置は永久的に搬送ポートに接続されるか、若しくは一時的に搬送ポートに固定され、基板の加工、処理、保管及び搬送の少なくとも１つを遂行する。例えば、第２ロボット構成は、オープナー装置と、搬送ポートに固定されたＦＯＵＰの間で基板を搬送することが可能である。
【０１０８】
［0108］少なくとも１つの搬送ポートは、いわゆるＥＦＥＭによって提供されてもよく、ストッカー装置とＥＦＥＭはクリーンルーム設備に属することが可能である。
【０１０９】
［0109］オープナー装置の少なくとも１つのハウジングウォールが、通気口の配列（アレイ又はマトリックス）を備える場合、オープナー装置を通る清浄な空気の流れが提供されることが好ましく、その清浄な空気の流れは、ストッカー装置が配置されるクリーンルーム設備のゾーンから生成される。しかしながら、以下のことが好まれる。つまり、オープナー装置を通る清浄空気の流れは、ストッカー装置が配置されるゾーンに向かって反対方向に導かれることが好ましい。これにより、オープナー装置の操作や個々の基板の取り扱いによって生じる摩耗粒子は、基板がアクセス可能で、かつ、基板がクローズ状態にある基板搬送容器スタック内で、遮られ、保護されることなく、個々に取扱われる領域から一掃されるという利点を得られることが好ましい。
【０１１０】
［0110］クリーンルーム設備は、静電気を除去するか、又は減らすために、第１ロボット構成と結合する少なくとも１つの第１イオン化装置、及び／又は、第２ロボット構成と結合する少なくとも１つの第２イオン化装置を備えることが好ましく、静電気は、対応する基板台座に含まれるか、取り扱われているか、これから取り扱われる半導体ウェハに有害である可能性がある。クリーンルーム設備はまた、少なくとも１つのイオン化装置に加圧清浄空気を供給するための供給及び計量装置を備えることも可能である。
【０１１１】
［0111］本発明の好ましい実施形態は、さらに、基板搬送容器スタックのそれぞれの基板搬送容器の１つ又は複数の基板台座にアクセスする方法を提供する。その基板搬送容器スタックの垂直方向に隣接する各組の基板搬送容器において、それぞれの下部基板搬送容器が、それぞれの上部基板搬送容器を支持するように垂直方向に積み重ねられた複数の基板搬送容器を、その基板搬送容器スタックは含む。さらに、各基板搬送容器は、搬送容器外部フレームを含み、その搬送容器外部フレームは内部開口を含む内部ゾーン周りの水平フレーム面に延びて、基板搬送容器スタックの内部収容空間内に板状の基板を収容及び運搬する基板台座を定義するか、若しくはその基板台座を備える。
【０１１２】
［0112］前記方法の第１段階では、開操作時、基板搬送容器を積み重ね状態から非積み重ね状態へ持ち込むように、基板搬送容器スタックの基板搬送容器、又は基板搬送容器スタックの選択された基板搬送容器サブグループの基板搬送容器を、垂直軸に沿って互いに対して相対的に移動させる。積み重ね状態では、基板搬送容器スタックのすべての基板搬送容器が互いに積み重ねられて基板搬送容器スタックを定義し、非積み重ね状態では、基板搬送容器スタック又は選択された基板搬送容器サブグループの基板搬送容器は、それぞれ分離され、定められた垂直方向の開口位置で垂直軸に沿ってお互い、互い違いに配置される。さらに、非積み重ね状態では、垂直方向に隣接する基板搬送容器の間には垂直方向に距離が置かれるので、それらすべての基板搬送容器の基板台座は、少なくとも１つの板状の基板がそれぞれ選択された基板搬送容器の対応する基板台座からアンロードされ、及び、少なくとも１つの板状の基板がそれぞれ選択された基板搬送容器の基板台座上にロードされるための少なくとも一方のために、水平方向からアクセス可能となる。前記方法の第１段階は、開操作時、基板搬送容器スタック又は選択された基板搬送容器グループの垂直方向に隣接する各組の基板搬送容器の、対応する下部基板搬送容器を対応する上部の基板搬送容器から垂直方向に離間させることを含んでもよい。これは、対応する下部基板搬送容器を垂直方向に下方向に動かすことで可能となる。
【０１１３】
［0113］前記方法の第２段階では、それぞれに選択された基板搬送容器の対応する基板台座から少なくとも１つの板状の基板をアンロードすること、及びそれぞれに選択された基板搬送容器の対応する基板台座上に少なくとも１つの板状の基板をロードすることの少なくともどちらか一方のために、垂直方向の開口位置で分離された基板搬送容器の１つ又は複数の基板台座にアクセスする。
【０１１４】
［0114］前記方法の第３段階では、閉操作時、基板搬送容器が積み重ね状態に戻されるように、現在非積み重ね状態にある基板搬送容器スタックの基板搬送容器を、垂直方向軸に沿って互いに対して相対的に移動させる。  積み重ね状態とは、すべての基板搬送容器が基板搬送容器スタックを定義している状態である。前記方法の第３段階は、閉操作時、垂直方向に互い違いに配置された基板搬送容器の垂直方向に隣接する一組の基板搬送容器のそれぞれの下部基板搬送容器をそれぞれの上部基板搬送容器に向かって垂直方向に移動させることを含んでもよい。これは、対応する下部基板搬送容器を垂直方向に上方向に動かすことで可能となる。
【０１１５】
［0115］前記方法は、前述された本発明の好ましい実施形態によるオープナー装置を用いて行われることが好ましい。
【０１１６】
［0116］オープナー装置は、望ましいタイプの基板搬送容器スタックを収容し開口することが可能であり、基板搬送容器スタックのそれぞれの基板搬送容器の１つ又は複数の基板台座にアクセスするための方法は、以下で説明されるように、この望ましいタイプの基板搬送容器スタックに適用することができる。望ましいタイプの基板搬送容器スタックとは、すなわち、基板搬送容器スタックの垂直方向に隣接する各組の基板搬送容器において、それぞれの下部基板搬送容器がそれぞれの上部の板搬送容器を支持するように、垂直方向に積み重ねられ配置された複数の基板搬送容器を含むものである。さらに、各基板搬送容器は、搬送容器外部フレームを含み、その搬送容器外部フレームは、内部開口を含む内部ゾーン周りの水平フレーム面に延び、基板搬送容器スタックの内部収容空間内に板状の基板を収容し、かつ搬送するための基板台座を備える。また、内部収容空間又は内部収容部分は、基板搬送容器スタックの基板搬送容器の内部開口によって定義される。
【０１１７】
［0117］基板搬送容器スタックの垂直方向に隣接する対応する一組の基板搬送容器の下部基板搬送容器が、少なくとも１つの上部支持構造を使って、少なくとも１つの下部支持構造の位置で、この垂直方向に隣接する一組の基板搬送容器の上部基板搬送容器を支持するように、基板搬送容器の各々は、その搬送容器外部フレームに、少なくとも１つの上部支持構造と少なくとも１つの下部支持構造を含む。
【０１１８】
［0118］基板搬送容器スタックの各基板搬送容器は、さらに以下の特徴を満たすことが好ましい。
搬送容器外部フレームは、第１フレームウェブ軸に沿って延びる第１フレームウェブと、第２フレームウェブ軸に沿って延びる第２フレームウェブと、第３フレームウェブ軸に沿って延びる第３フレームウェブと、第４フレームウェブ軸に沿って延びる第４フレームウェブを含み、
第１フレームウェブ軸は、第４フレームウェブ軸と、第１フレームウェブと第４フレームウェブと結合する第１頂点であり、かつ、第１フレームウェブと第４フレームウェブが一体に連結する搬送容器外部フレームの第１フレーム頂点領域で、直角に交差し、
第１フレームウェブ軸は、第２フレームウェブ軸と、第１フレームウェブと第２フレームウェブと結合する第２頂点であり、かつ、第１フレームウェブと第２フレームウェブが一体に連結する搬送容器外部フレームの第２フレーム頂点領域で、直角に交差し、
第３フレームウェブ軸は、第４フレームウェブ軸と、第３フレームウェブと第４フレームウェブと結合する第４頂点であり、かつ、第３フレームウェブと第４フレームウェブが一体に連結する搬送容器外部フレームの第４フレーム頂点領域で、直角に交差し、
第３フレームウェブ軸は、第２フレームウェブ軸と、第３フレームウェブと第２フレームウェブと結合する第３頂点であり、かつ、第３フレームウェブと第２フレームウェブが一体に連結する搬送容器外部フレームの第３フレーム頂点領域で、直角に交差する。
【０１１９】
［0119］基板搬送容器スタックの基板搬送容器は、それぞれ、搬送容器外部フレームの外周に配置された一式の相互作用要素を備えることが好ましく、搬送容器外部フレームの外周では、その各々の基板搬送容器は、対応する基板搬送容器とそれぞれに、直接的に相互に作用するが、他の基板搬送容器とは必ずしも直接的に相互に作用しない。相互作用要素は、突出部であってもよく、その突出部は、対応する搬送容器外部フレームの外周近辺から水平方向に突出し、突出部は下部から係合可能であり、対応する基板搬送容器を個々に支持し、及び、対応する基板搬送容器を基板搬送容器スタックの中でその基板搬送容器の下に位置する少なくとも１つの別の基板搬送容器に対して垂直方向に移動させることが可能である。それぞれの基板搬送容器のこれらの相互作用要素又は突出部は、前述された対応するカウンター係合構造を定義し、その対応するカウンター係合構造は、オープナー装置の関連する係合構造によって係合可能である。
【０１２０】
［0120］そのアレンジメントは以下のように構成される。すなわち、各基板搬送容器は、共通の水平方向に突出する一組の突出部と、反対方向の共通の水平方向に突出する別の一組の突出部を含む。突出部は、対応するフレーム頂点領域、より好ましくは、対応するフレーム頂点領域の実質的に平面なアウター頂点ポーション、若しくは、対応するフレーム頂点領域に近い対応するフレームウェブに備えられることが可能であり、突出部は、４つの垂直方向に互い違いに配置された突出部のセットとして、基板搬送容器スタックに配置される。オープナー装置は、同様に、例えば４つの垂直方向に互い違いに配置された係合構造を含んでもよい。
【０１２１】
［0121］第１突出部は、第１フレーム頂点領域又は第１フレーム頂点領域の近くの、又は第１フレーム頂点領域に隣接する第４フレームウェブに備えられてもよい。第４突出部は、第４フレーム頂点領域又は第４フレーム頂点領域の近くの、若しくは第４フレーム頂点領域に隣接する第４フレームウェブに備えられてもよい。第１及び第４突出部は、同じ水平方向に突出している。さらに、第２突出部は、第２フレーム頂点領域又は第２フレーム頂点領域の近くの、若しくは第２フレーム頂点領域に隣接する第２フレームウェブに備えられてもよい。第３突出部は、第３フレーム頂点領域、又は第３フレーム頂点領域の近くの、若しくは第３フレーム頂点領域に隣接する第２フレームウェブに備えられてもよい。第２及び第３突出部は、同じ方向に突出し、その同じ方向とは、第１及び第４突出部が突出する水平方向とは反対の方向である。
【０１２２】
［0122］なお、第１突出部は、第１フレーム頂点領域、又は第１フレーム頂点領域付近の、若しくは第１フレーム頂点領域と隣り合う第１フレームウェブに備えられてもよい。第２突出部は、第２フレーム頂点領域、又は第２フレーム頂点領域付近の、若しくは第２フレーム頂点領域と隣り合う第１フレームウェブに備えられてもよい。第１及び第２突出部は、同じ水平方向に突出し、さらに、第３突出部は、第３フレーム頂点領域、又は第３フレーム頂点領域の近くの、若しくは第３フレーム頂点領域に隣接する第３フレームウェブに備えられてもよい。第４突出部は、第４フレーム頂点領域、又は第４フレーム頂点領域の近くの、若しくは、第４フレーム頂点領域に隣接する第３フレームウェブに備えられてもよい。第３及び第４突出部は、同じ方向に突出し、その同じ方向とは、第１及び第４２突出部が突出する水平方向とは反対の方向である。
【０１２３】
［0123］第１及び第４突出部、又は第１及び第２突出部は、第１タイプの突出部であり、第２及び第３突出部、又は第３及び第４突出部は、第２タイプの突出部であってもよい。さらに第１タイプの突出部と、第２タイプの突出部は、異なる形を有し、及び／又は、対応するフレーム頂点領域に別々に、若しくはフレーム頂点領域と相対的に配置される。第１及び第２タイプの突出部は、上述された第１及び第２タイプの対応するカウンター係合構造を定義し、その第１及び第２タイプの対応するカウンター係合構造は、オープナー装置の第１及び第２タイプの関連する係合構造とそれぞれに係合可能である。
【０１２４】
［0124］例えば、第１タイプの突出部は、搬送容器外部フレームの外側横縁近く、又は外側横縁に隣接して配置される突出部であってもよい。さらに、第２タイプの突出部は、第１タイプの突出部よりも搬送容器外部フレームの外側横縁に対していくらか内側に配置される突出部であってもよい。もちろん、このような突出部は、第１タイプ及び第２タイプの突出部に異なるように結合されてもよい。第２タイプの突出部は、搬送容器外部フレームの外側横縁の近く若しくは外側横縁に隣接して配置される突出部であってもよく、第１タイプの突出部は、第２タイプの突出部よりも搬送容器外部フレームの外側横縁に対していくらか内側に配置される突出部であってもよい。
【０１２５】
［0125］突出部は、基板搬送容器スタックに、垂直方向に互い違いに配置される突出部の複数のセットとして配置されることが好ましく、対応する突出部のセットは、垂直方向に直接的に隣接する突出部が、垂直方向に重なり合わないか、若しくは垂直方向に完全に重なり合わないように配置される。
【０１２６】
［0126］つまり、基板搬送容器スタックの各基板搬送容器が、少なくとも１つの第１ポジショニング構造と少なくとも１つの第２ポジショニング構造を含むように構築され、各組の垂直方向に隣接した基板搬送容器に関しては、垂直方向に隣接する各組の基板搬送容器の下部基板搬送容器の少なくとも１つの第１ポジショニング構造が、上部基板搬送容器の少なくとも１つの第２ポジショニング構造と係合しているか、又は係合可能であり、この垂直方向に隣接する一組の２つの基板搬送容器の適切な相対位置を保つか、又は適切な相対位置に貢献する。
【０１２７】
［0127］好ましいタイプの基板搬送容器スタックの各々の基板搬送容器は、さらに、次に示す１又は複数の構成要件を満たす基板搬送容器であって、
当該構成要件は、
搬送容器外部フレームから内方向かつ上方向に延び、内部ゾーンと重なり合い、かつ基板台座を画定し、搬送容器フレームの垂直方向範囲の上方に距離を置いて配置され、さらに、円周と、予め定められた許容直径に相当するか、又は予め定められた許容最小及び最大直径による、あらかじめ定められた許容直径範囲内の直径を有する板状の基板を搬送する、複数の基板保持アームと、
第４フレームウェブと少なくとも１つの第１補助開口部を定義する内部開口の間のスペースに延びる間仕切りウェブの少なくとも１つの第１円弧部と、
第２フレームウェブと少なくとも１つの第２補助開口部を定義する内部開口の間のスペースに延びる間仕切りウェブの少なくとも１つの第２円弧部分であり、
当該円弧部が、予め定められた直径又は直径範囲に適合する曲率半径を有する基板搬送容器。
【０１２８】
［0128］基板搬送容器スタックは好ましくは以下のように構成されてもよい。つまり、基板搬送容器スタックの基板搬送容器の間仕切りウェブの円弧部分が、基板搬送容器の第１及び第３ウェブフレーム軸に対して平行な搬送容器のスタックの第１水平軸に少なくとも平行方向に基板搬送容器スタックの内部収容空間を定義する。さらに、基板搬送容器スタックの基板搬送容器の内部ゾーンの第１及び第２補助開口部は、基板搬送容器スタックの少なくとも１つの第１パージング経路と少なくとも１つの第２パージング経路を定義し、その第１及び第２パージング経路は、向かい合う両サイドに内部収容空間に垂直方向かつ平行に延びる。さらに、基板搬送容器スタックは、パージング構造を備え、そのパージング構造は、基板搬送容器スタック内で、水平方向のパージング流が、基板搬送容器の基板台座に保持される基板の間のスペースを通り流れることを可能にする。基板搬送容器スタック内に保持される基板のパージング処理を可能にするために、第１のカバー及びベースは第１パージング経路と通じ合う第１ポートを含んでもよく、さらに、第２のカバー及びベースは第２パージング経路と通じ合う第２ポートを含んでもよい。その結果、パージングガスが、供給ポートを定義する第１及び第２ポートの１つを経由して基板搬送容器スタック内に供給され、排出ポートを定義する第１及び第２ポートのもう一方を経由して基板搬送容器スタックから排出され、その第１及び第２パージング経路と、パージング構造のパージング通路を経由して内部収容空間を通過するパージングガス流を実現することができる。
【０１２９】
［0129］上述のクリーンルーム設備は、対応する基板搬送容器スタックの対応する第１及び第２ポートのそれぞれに接続されるパージングコネクターを備えてもよく、それは、基板搬送容器スタック内に収容される基板のパージング処理を実現する。ストッカー装置は、このようなパージングコネクターのセットを含むことが好ましく、このストッカー装置内に保管される、例えば保管棚等に配置される対応する基板搬送容器スタックが、パージングガス供給ラインとパージングガス排出ラインに接続されてもよく、その結果、基板搬送容器スタック内に保持される基板がパージング処理される。
【０１３０】
［0130］このような構成は、例えば次のような構造である。それぞれの基板搬送容器スタックには排出ポートだけではなく供給ポートも備えられ、その結果、それぞれの基板搬送容器スタックがストッカー装置の保管場所に適切に配置されている場合に、関連するパージングガス供給ラインと関連するパージングガス排出ラインの結合が自動的に確立される。これを達成するために、保管場所で、又は保管場所のなかで対応するそれぞれの基板搬送容器スタックを適切に位置させることにより、保管場所が適切なカウンターコネクターを含むことが可能となり、当該適切なカウンターコネクターは、ベースの底部面に備えられた供給ポート及び排出ポートとなる適切なコネクターと係合可能になる。密封されたガスコネクションを確立するのに適したオスコネクターとメスコネクターは周知技術である。
【図面の簡単な説明】
【０１３１】
【図１】図１は基板搬送容器スタックの第１の好ましい実施形態の斜視図であり、複数の基板搬送容器、ベース、及びカバーを含む。
【図２】図２は、基板搬送容器に保持される基板を有し、及びベース及びカバーが取り除かれた図１による基板搬送容器スタックの斜視図である。
【図３】図３は第２の好ましい実施形態による基板を保持する基板搬送容器を上から見た図であり、図１及び２で示される第１の好ましい実施形態の基板搬送容器とは少し異なる。
【図４】図４は基板を保持しない図３による基板搬送容器を上から見た図である。
【図５】図５は、第２の好ましい実施形態に似た別の好ましい実施形態による、カバーとベースを含む基板搬送容器スタックの断面斜視図である。
【図６】図６は、基板搬送容器のベースとカバーと共に互いに適切に積み重ねられた別の好ましい実施形態による基板搬送容器を含む基板搬送容器スタックを示す。
【図７Ａ】図７Ａは、図６の基板搬送容器スタックの側面図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは図７Ａの詳細Ｂによる基板搬送容器の突出部材に定義される相互作用部材の拡大側面図である。
【図８】図８は、図６の基板搬送容器スタックの適切に積み重ねられた４つの基板搬送容器の頂点領域の斜視図であり、基板搬送容器スタック内の基板搬送容器の適切な相対位置決めを達し、維持する相互に係合する位置決め構造を有する。
【図９Ａ】図９Ａは基板搬送容器スタックを収容するストッカー配置含むクリーンルーム設備と、少なくとも１つの搭載又は接続ポートを含む少なくとも１つのＥＦＥＭ、及びストッカー配置とＥＦＥＭに結合する１つのオープナー装置を模式的に示す図である。
【図９Ｂ】図９Ｂはストッカー配置及びＥＦＥＭと結合する複数のオープナー装置を含む図９Ａに示された種類のクリーンルーム設備を模式的に示す図である。
【図１０】図１０は本発明の好ましい実施形態によるオープナー装置の一例の第１及び第４サイドの斜視図であり、オープナー装置の第１サイドで開口された基板搬送容器スタック内の基板搬送容器にアクセスする第１ローディング及びアンローディングポートが示される。
【図１１】図１１はオープナー装置の第２及び第３サイドの斜視図であり、オープナー装置の第２サイドでオープナーに及びオープナーから基板搬送容器スタックをロードする第２ローディング及びアンローディングポートが示される。
【図１２】図１２はオープナー装置の第４及び第２サイドの斜視図であり、オープナー装置のハウジング及びパネルエレメントは図示されていない。
【図１３】図１３はオープナー装置の第３及び第１サイドの斜視図であり、オープナー装置のハウジング及びパネルエレメントは図示されていない。
【図１４Ａ】図１４Ａはオープナー装置のキャリッジの上側の斜視図である。
【図１４Ｂ】図１４Ｂはオープナー装置のキャリッジの下側の斜視図である。
【図１５Ａ】図１５Ａはオープナー装置の取り付け支柱に取り付けられ、垂直方向に互い違いに配置された第１及び第２タイプの係合構造のセットの側面図である。
【図１５Ｂ】図１５Ｂは、図１５Ａの詳細Ｂによる２つの隣接した係合構造の拡大側面図である。
【図１５Ｃ】図１５Ｃは図１５Ａの詳細Ｃによる隣接する複数の係合構造の拡大側面図である。
【図１５Ｄ】図１５Ｄは図１５Ｃの詳細Ｄによる係合構造の拡大側面図である。
【図１５Ｅ】図１５Ｅは図１５Ａの断面Ｅ−Ｅによる取り付け支柱の下向きの断面図であり、取り付け支柱に第１及び第２タイプの係合構造が取り付けられる。
【図１６Ａ】図１６Ａは第１タイプの係合構造の斜視図である。
【図１６Ｂ】図１６Ｂは第１タイプの係合構造の側面図である。
【図１６Ｃ】図１６Ｃは図１６Ｂの断面Ｃ−Ｃによる第１タイプの係合構造の側断面図である。
【図１７Ａ】図１７Ａはオープナー装置の垂直方向に移動可能な相互作用装置の側面図であり、それは横方向に移動可能な駆動部材を使ってオープナー装置の結合する係合構造にアクチュエータ駆動力を与える。
【図１７Ｂ】図１７Ｂは相互作用装置の斜面図である。
【図１７Ｃ】図１７Ｃは相互作用装置を上から見た図である。
【図１８】図１８は、図１７Ｃに対応する移動可能な相互作用装置の下向きの断面図であり、移動可能な相互作用装置の駆動部材が３つの異なる横方向位置を示す。
【図１９Ａ】図１９Ａは移動可能な相互作用装置の側面図である。
【図１９Ｂ】図１９Ｂは図１９Ａの断面Ｂ−Ｂによる移動可能な相互作用装置の上向きの断面図である。
【図１９Ｃ】図１９Ｃは図１９Ａの断面Ｃ−Ｃによる移動可能な相互作用装置の側断面図である。
【図２０】図２０はオープナー装置の第２サイドの側面図であり、オープナー装置のハウジングに属するフェイスプレートは図示されていない。
【図２１】図２１はオープナー装置の第４サイドの側面図である。
【図２２Ａ】図２２Ａはオープナー装置の第１サイドの側面図である。
【図２２Ｂ】図２２Ｂは図２２Ａの断面Ｂ−Ｂによるオープナー装置の下向きの断面図である。
【図２２Ｃ】図２２Ｃは図２２Ａの断面Ｃ−Ｃによるオープナー装置の上向きの断面図である。
【図２２Ｄ】図２２Ｄは図２２Ｂの詳細Ｄによるオープナー装置の上向きの拡大断面図である。
【図２３Ａ】図２３Ａはオープナー装置の第３サイドの側面図である。
【図２３Ｂ】図２３Ｂは図２３Ａの詳細Ｂによる第３サイドの拡大側面図である。
【図２３Ｃ】図２３Ｃは図２３Ａの詳細Ｃによる第３サイドの拡大側面図である。
【図２３Ｄ】図２３Ｄは図２３Ａの断面Ｄ−Ｄによるオープナー装置の側断面図である。
【図２３Ｅ】図２３Ｅは図２３Ｄの詳細Ｅによるオープナー装置の側断面図である。
【図２３Ｆ】図２３Ｆは図２３Ｄの詳細Ｆによるオープナー装置の側断面図である。
【図２３Ｇ】図２３Ｇは図２３Ａの断面Ｇ−Ｇによるオープナー装置の下向きの断面図である。
【図２３Ｈ】図２３Ｈは図２３Ａの断面Ｈ−Ｈによるオープナー装置の側断面図である。
【図２３Ｉ】図２３Ｉは図２３Ｇの詳細Ｉによるオープナー装置の下向きの断面図である。
【図２３Ｊ】図２３Ｊは図２３Ｇの詳細Ｊによるオープナー装置の下向きの断面図である。
【図２４Ａ】図２４Ａは図１５Ｅに類似した取り付け支柱の下向きの断面図であり、オープナー装置の典型的な好ましい実施形態の変形例による取り付け支柱に取り付けられる第１及び第２タイプの交互係合構造を示す。
【図２４Ｂ】図２４Ｂは図１７Ａの図に実質的に類似した、オープナー装置の変形例の別の移動可能な相互作用装置の駆動部材の部分的側面図である。
【図２５】図２５は、オープナー装置の変形例の開閉操作において、図２４Ｂによる駆動部材の図２４Ａによる係合構造との相互作用を模式的に示し、一部の図２５Ａから２５Ｅは開操作中の時系列の相互作用状態に相当し、一部の図２５Ｆから２５Ｊは閉操作中の時系列の相互作用状態に相当する。
【図２６】図２６は第１及び第２タイプの係合構造のモニタリングに関するオープナー装置の変形例の詳細を部分的側面図で示す。
【図２７】図２７はオープナー装置の好ましい実施形態のさらなる詳細図の部分的側面図であり、オープナー装置内の上部ローディング位置で基板搬送容器スタックを保持する保持エレメントを作動させる駆動部と、上部ローディング位置で基板搬送容器スタックの存在を感知するセンサーを含む。
【図２８】図２８は保持位置をとる図２７による保持エレメント及びさらなる保持エレメントを示すオープナー装置の内側の部分図である。
【図２９Ａ】図２９Ａ及び図２９Ｂは本発明の好ましい実施形態によるオープナー装置を模式的に示し、図２９Ａは積み重ね状態でオープナー装置のキャリッジ上に配置される基板搬送容器スタックを示す。
【図２９Ｂ】図２９Ａ及び図２９Ｂは本発明の好ましい実施形態によるオープナー装置を模式的に示し、図２９Ｂは分離状態の基板搬送容器スタックを示す。
【図３０Ａ】図３０Ａ、図３０Ｂ、図３０Ｃは本発明の好ましい実施形態による別のオープナー装置を模式的に示し、図３０Ａは積み重ね状態でオープナー装置のキャリッジ上に配置される基板搬送容器スタックを示す。
【図３０Ｂ】図３０Ａ、図３０Ｂ、図３０Ｃは本発明の好ましい実施形態による別のオープナー装置を模式的に示し、図３０Ｂは第１の部分的分離状態の基板搬送容器スタックを示す。
【図３０Ｃ】図３０Ａ、図３０Ｂ、図３０Ｃは本発明の好ましい実施形態による別のオープナー装置を模式的に示し、図３０Ｃは第２の部分的分離状態の基板搬送容器スタックを示す。
【図３１】図３１は図２９Ａ及び図２９Ｂによるオープナー装置変形例のキャリッジを模式的に示し、積み重ね状態でキャリッジ上に配置される基板搬送容器スタックを示す。
【図３２】図３２は図３０Ａから図３０Ｃによるオープナー装置変形例のキャリッジを模式的に示し、積み重ね状態でキャリッジ上に配置される基板搬送容器スタックを示す。
【図３３】図３３は本発明の好ましい実施形態による別のオープナー装置を模式的に示し、部分的に分離状態にある基板搬送容器スタックを示し、それは３つの考えられる部分的分離状態のうちの１つである。
【図３４】図３４は図２９Ａ及び図２９Ｂによるオープナー装置の変形例を示し、分離状態でカバーとベースを含む基板搬送容器スタックを示す。
【図３５】図３５は基板搬送容器の異なる変形例によるオープナー装置のキャリッジ上に配置された基板搬送容器スタックの最上段の基板搬送容器を模式的に示し、オープナー装置の関連する変形例を示す。
【図３６】図３６は基板搬送容器の別の異なる変形例によるオープナー装置のキャリッジ上に配置される基板搬送容器スタックの最上段の基板搬送容器を模式的に示し、オープナー装置の関連する変形例を示す。
【図３７】図３７は前の図に示されるオープナー装置とその変形例のようなオープナー装置の異なるプロセッサー、センサー、ドライバー、及び駆動部の概略ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【０１３２】
［0194］図１から図５は、基板搬送容器と基板搬送容器スタックを示す。このような基板搬送容器と基板搬送容器スタックは、既存のシステムやＦＯＵＰのような移動機構に対する高密度な代替品又は増強として提供され、前述したように、より密度の高い収容力と性能の改善、追加、かつ向上を実現する。本発明の好ましい実施形態のオープナー装置は、このような種類の基板搬送容器スタックを収容し、かつ開閉するように適応されてもよい。
【０１３３】
［0195］図１は、基板搬送容器スタック１０の第１の好ましい実施形態の斜視図であり、基板搬送容器スタック１０は、互いに積み重ねられた複数の基板搬送容器１２を備える。基板搬送容器は基板搬送容器スタックのベース１４上に積み重ねられ、基板搬送容器スタックのカバーは基板搬送容器上に積み重ねられる。ベース１４とカバー１６は基板搬送容器スタック１０に含まれてもよい。
【０１３４】
［0196］図１に示されるように、ベース１４はガスコネクター２０を備え、カバー１６はガスコネクター２２を備えてもよく、それらはガス供給部とガス返送部に接続される。その結果、ガスは、基板搬送容器スタック１０内で、基板搬送容器１２に保持される基板の内部環境に取り入れられ、基板は、ガスと相互作用するか、又はガスに処理される。なお、ベースは、供給コネクターと返送コネクターを定義するそのようなガスコネクターを２つ備えてもよく、又は、カバーが、供給コネクターと返送コネクターを定義するそのようなガスコネクター２つ備えてもよい。なお、そのようなガスコネクターが全く備えられなくてもよい。
【０１３５】
［0197］図２はベース１４とカバー１６を備えていない積み重ねられた基板搬送容器１８の斜視図である。すなわち、この基板搬送容器スタック１８は、個々の基板搬送容器１２が、互いに複数個積み重ねられたものである。図２に示されるように、基板搬送容器１２はそれぞれ、基板３０を一枚保持することが可能である。この目的のために、基板搬送容器１２の各々は、それぞれ基板搬送容器の基板台座として通常定義される複数の基板保持アーム３２を備えている。好ましい本実施形態では、各基板搬送容器１２それぞれは、例えば４本の基板保持アーム３２を備えている。
【０１３６】
［0198］基板搬送容器スタック１０の基板搬送容器１２に保持される基板３０の複数３４は、定められた垂直方向位置で、垂直方向に隣接する基板との間に定められた垂直方向のスペースを置いて配置される。使用シナリオ次第では、基板搬送容器スタックの全ての基板搬送容器がそれらの対応する基板台座に対応する基板を保持しないことが可能である。基板搬送容器スタック１０の基板搬送容器１２のすべてが、同種の対応する基板を保持する場合、これらの基板は垂直方向位置に等間隔の距離を置いて基板台座に位置決めされることが好ましい。
【０１３７】
［0199］図３は、第２の好ましい実施形態の基板搬送容器１２が基板３０を保持する状態を上から見下ろした図である。第２の好ましい実施形態の基板搬送容器は、図１と図２に示される第１の好ましい実施形態にかかる基板搬送容器スタック１０の基板搬送容器１２とわずかにしか異ならないため、両実施形態には同じ参照番号を使用する。図４は、基板を含まない、第２の好ましい実施形態にかかる基板搬送容器を上から見下ろした図である。
【０１３８】
［0200］第１の好ましい実施形態の基板搬送容器１２と同様に、第２の好ましい実施形態の基板搬送容器１２は、４つのフレームウェブ４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、及び４２ｄを含む搬送容器外部フレーム４０を備え、そのフレームウェブは、搬送容器外部フレームの対応するフレーム頂点領域で対になるように一体に連結される。搬送容器外部フレーム４０の４つのフレーム頂点領域には、参照番号４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、及び４４ｄが割り当てられる。搬送容器外部フレームは、図３と４に示されるように、正方形若しくは長方形又は正方形若しくは略長方形である。
【０１３９】
［0201］第２の好ましい実施形態の基板搬送容器１２は、第１の好ましい実施形態の基板搬送容器１２のように、個々に参照番号３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、及び３２ｄ、を割り当てられた４本の基板保持アーム３２を備え、それらの対応する固定されない保持端部でもって、基板のための基板台座を定義する。固定されない保持端部は、対応する基板保持アームの座部とも定義される。図４に示されるように、４本の基板保持アーム３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、及び３２ｄは、搬送容器外部フレーム４０から基板ホルダーの中心又はほぼ中心に向かって内方向に突出する。
【０１４０】
［0202］図に示されるように、基板搬送容器１２は、突出部５０ａ、５０ｂと、凹部又は開口部５２ａ、５２ｂを有することができる。第１の突出部５０ａと隣接する凹部又は開口部５２ａのペアと、第２の突出部５０ｂと隣接する凹部又は開口部５２ｂのペアは、搬送容器外部フレーム４０の正反対に位置するフレーム頂点領域４４ａと４４ｃに配置される。突出部５０ａ、５０ｂはそれぞれの基板搬送容器上に積み重ねられ垂直方向に隣接する上の基板搬送容器のそれぞれの開口部又は凹部内に突出し、さらに、開口部又は凹部５２ａ、５２ｂのそれぞれには、垂直方向に隣接する下の基板搬送容器のそれぞれの突出部が突出する。その垂直方向に隣接する下の基板搬送容器の上には、対応する基板搬送容器が積み重ねられている。ここで、上方向に突出する突出部は、例えば図に示されるようなものが想定される。あるいは、下方向に突出する突出部が可能である。下方向に突出する突出部の場合、各々の突出部は、対応する基板搬送容器が積み重ねられる垂直方向に隣接する下方の基板搬送容器のそれぞれの開口部又は凹部に突出し、開口部又は凹部の各々には、対応する基板搬送容器に積み重ねられる垂直方向に隣接する上方の基板搬送容器のそれぞれの突出部が突出する。上方向と下方向に突出する突出部の組み合わせもまた可能である。
【０１４１】
［0203］図３と図４に示される突出部５０ａ、５０ｂと凹部又は開口部５２ａ、５２ｂの配置は、次のような状態である。その配置は、互いに同一の基板搬送容器を積み重ねた、ある基板搬送用容器スタックの中にあり、すべての基板搬送容器の突出部が垂直方向に並び、かつ、すべての基板搬送容器の凹部又は開口部は垂直方向に並ぶ。その結果、すべての突出部は、関連する垂直方向に隣り合う上部又は下部基板搬送容器の凹部又は開口部と係合できない態様である。これは、また次のケースにも適応する。基板搬送容器はそれぞれ、交互に、それぞれが垂直な回転軸周りに１８０度回転した対応する相対回転位置において、それぞれの上に、交互に積み重ねられる。それは、フレーム頂点領域４４ａと４４ｃが、交互に、基板搬送容器スタックの反対側の垂直エッジ領域で、それぞれの上に位置されるように積み重ねられる。結果として、好ましくは、少なくとも２つのサブタイプの基板搬送容器が必要とされる。すなわち、図３と図４に示された第１サブタイプの基板搬送容器１２と以下の異なる点を除いて基本的に同じである第２サブタイプの基板搬送容器が必要となる。その異なる点とは、それぞれが置かれる共有された頂点領域において、それぞれの突出部と凹部又は開口部を有する位置が異なることである。その結果、図８に別の好ましい実施形態として示されるものと同様の、垂直方向に隣り合う基板搬送容器の間で相互係合が可能となる。
【０１４２】
［0204］２種類のサブタイプの基板搬送容器１２、１２´は、本事例の場合には、搬送容器外部フレーム４０の外周に、ある特殊な構成で、突起部５４ａ、５４ｂ、５４ｃ、及び５４ｄを備え、その突起部は、側方又は、水平方向に突出する。この突起部は、例えば、受け渡し、保持、若しくは移動の装置、又は機構部等のような、相互作用装置、又は機構部が、基板搬送容器スタックの中のそれぞれに対応する基板搬送容器と相互作用することを可能にする。
【０１４３】
［0205］本事例の場合には、４つのこのような相互作用する突起部５４ａ、５４ｂ、５４ｃ、及び５４ｄが、フレーム頂点領域４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、及び４４ｄにそれぞれ配置される。これらの突起部の第1タイプ、すなわち突起部５４ａと５４ｄは、フレーム頂点領域４４ａと４４ｄに位置し、かつ、フレームウェブ４２ｄに対して側方方向へ突出し、これらの突起部の第２タイプ、すなわち、突起部５４ｂと５４ｃは、フレーム頂点領域４４ｂと４４ｃに位置し、かつフレームウェブ４２ｂに対して側方方向に突出する。結果的に第１タイプの突起部と第２タイプの突起部は、搬送容器外部フレーム４０から反対方向に突出する。
【０１４４】
［0206］第２タイプの突起部５４ｂと５４ｃは、フレームウェブ４２ｂに割り当てられるフレームウェブ軸沿いの対応するフレーム頂点領域に配置され、フレームウェブ４２ｄに割り当てられるフレームウェブ軸沿いの対応するフレーム頂点領域に配置される第１タイプの突起部５４ａと５４ｄよりもいくらか内側に配置される。これにより、交互に積み重なる２つのサブタイプの基板搬送容器１２の積み重ねは、図５、図６、図７Ａ、図７Ｂ、及び図８に示されるものと同様に、水平方向に互い違いに相互作用する突起部となり得る。これを達成するために、２つのサブタイプの基板搬送容器は、垂直軸周りで１８０度回転した相対回転相対位置で互いに積み重ねられ、第１タイプと第２タイプが交互に相互作用する突起部は、基板搬送容器スタックから側方方向に突出し、かつ垂直方向に重なり合わないか、又はほんの少しだけ重なり合う。上述した相互作用装置又は相互作用機構部の係合構造と、基板搬送容器スタックのそれぞれの基板搬送容器との係合を単純化することが好ましい。
【０１４５】
［0207］なお、図１と図２に示される基板搬送容器スタック１０の基板搬送容器１２は、対応する基板搬送容器の搬送容器外部フレームから側方方向又は水平方向に突出する異なる種類の相互作用する突起部を備える。図１と図２に示される好ましい実施形態によると、対応する基板搬送容器の対応するフレームウェブ又はフレーム頂点領域から突出する対応する同一タイプの相互作用する突起部は、垂直方向に完全に重なり合う。ここでは、図１と図２の好ましい実施形態と、図３、図４、及び図５に示された好ましい実施形態との間には、関連する重要な唯一の相違点があると考えることが好ましい。
【０１４６】
［0208］上述された本発明の好ましい実施形態の基板搬送容器は、間仕切りウェブ６０ａと６０ｂが備えられ、間仕切りウェブは対応する基板搬送容器１２の内部ゾーン６２を複数の開口部に区分けする。搬送容器外部フレーム４０は、内部ゾーンに延び、間仕切りウェブ６０ａと６０ｂはフレームウェブ４２ａと４２ｃの間に延び、かつ、これらのフレームウェブ４２ａと４２ｃと一体に連結されるので、大内部開口６４と２組の小内部開口６６ａ、６６ｂと６８ａ、６８ｂが定められる。大開口部６４は、フレームウェブ４２ｄと間仕切りウェブ６０ａの間に延びる第１の小内部開口６６ａ、６６ｂの対と、フレームウェブ４２ｂと間仕切りウェブ６０ｂの間に延びる第２の一組の小内部開口６８ａ、６８ｂの間に位置する。例えば、図に示されるように、小内部開口は同一又は互いに対称な形を有する。安定性の理由から、間仕切りウェブ６０ａと６０ｂは、それぞれの複数のより小さな一組の開口部を得るために、それぞれ隣接するフレームウェブ４２ｄと４２ｂと中間領域で一体に連結されることが好ましい。もし、各間仕切りウェブの中間領域で、隣接するフレームウェブとこのような一体結合を有しないならば、代わりに、大内部開口６４の両サイドにそれぞれ、より大きな内部開口を備えてもよい。
【０１４７】
［0209］基板搬送容器１２の大内部開口６４は、基板搬送容器１２を含む基板搬送容器スタックの内部収容空間を定義する。図２に示されるように、この内部収容空間では、基板又は半導体ウェハが基板搬送容器のそれぞれに保持される。基板又はウェハは、基板搬送容器スタックの基板搬送容器１２の間仕切りウェブ６０ａと６０ｂの対応する円弧部分によって互いに側方かつ対向する方向に範囲を定められる内部収容空間の内部ゾーンに保持される。図３に示されるように、間仕切りウェブの円弧部分は、基板又はウェハの直径に対応した曲率半径を有するため、図３の上から見下ろした図では、円弧部分は、基板又はウェハの外周部分に沿って一定の小さな半径距離を置いて延びる。この距離は、図３で示されるよりも実質的に小さくてもよい。
【０１４８】
［0210］図３に示されるように、基板搬送容器の小内部開口６６ａ、６６ｂと、６８ａ、６８ｂは、基板搬送容器のパージガス供給経路又はパージング経路７０と７２を定義する。図４Ａに示されるように、経路７０は小内部開口６６ａ、６６ｂに対応する経路ペア７０ａと７０ｂを含み、経路７２は小内部開口６８ａ、６８ｂに対応する経路ペア７２ａと７２ｂを含んでもよい。供給経路７０と７２（例えば７０ａと７０ｂ、及び７２ａと７２ｂの対）のどちらか一方は供給経路として（又は供給経路ペアとして）、もう一方は除去又はコレクター経路として（又は除去又はコレクター経路ペアとして）定義し、機能することができる。
【０１４９】
［0211］例えば、図３と図４に示されるように、これらの経路又は経路のペアは、対角線上に反対に配置されるか、又は、対向する両横方向に配置され、その結果、基板又はウェハは、基板搬送容器スタック中のその経路又は経路のペアの間に配置される。
【０１５０】
［0212］特に、他酔えば図１を参照すると、経路又は経路のペア各々は、基板搬送容器スタックの中で、基板搬送容器スタックの対応するノズル又はコネクターと接続されるので、基板搬送容器に保持される基板が、上述されたように、パージング処理に送られることが可能となる。基板搬送容器スタック内で、それぞれの基板搬送容器によって保持されている隣り合う基板をパージガスが通過するほどの勢いで、複数の経路のうちのひとつか、又は複数の経路ペアのうちのひとを経由して複数の基板に向かってパージガスが流入され、それからパージガスが複数の基板の間を通過した後、パージガスは複数の経路か又は複数の経路ペアの他のもう一方により回収される。
【０１５１】
［0213］図５は、他のより好ましい実施形態による基板搬送容器スタックの断面斜視図であり、その基板搬送容器スタックは多数の基板搬送容器を含む。しかしながら、当該基板搬送容器は、上述で説明に用いられた図に示される第１、第２サブタイプの対応する基板搬送容器１２と基本的に同一と想定されても、又は類似していると想定されることも可能であり、またベース１４とカバー１６に対しても同じことが適用する。
【０１５２】
［0214］さらに、別の好ましい実施形態による基板搬送容器スタックと基板搬送容器が図６、図７Ａ、図７Ｂ、及び図８に示される。複数の基板搬送容器１２に関しては、前述され説明された２つのサブタイプの基板搬送容器１２が提供されるが、当該複数の基板搬送容器は、それらと完全に同じという訳ではなく、多少の違いはあるが、図３と図４で参照される前述の基板搬送容器に対応することが想定されている。しかし、カバー１６とベース１４は、図１と図５で示されたカバーとベースとは幾らかの異なる設計がなされる。
【０１５３】
［0215］代替形態として、どのサブタイプの基板搬送容器も提供されずに、基本的に図３による基板搬送容器に相当する基板搬送容器のただ一つのタイプだけが提供され、2つの直計方向に正対し対向する複数の頂点領域のひとつに、それぞれの突起とそれぞれの凹部又は開口部の配置位置を含んでいてもよく、その結果、垂直方向に隣り合う基板搬送容器間の相互係合は、図８に示されるように、基板搬送容器のただ1つのタイプに基づき達成可能である。このことが前提とされ、以下の説明がなされる。
【０１５４】
［0216］従って、直径方向に反対に位置するフレーム頂点領域、すなわち、例えば第１フレーム頂点領域４４ａと、第３フレーム頂点領域４４ｃは、配置構造、すなわち配置突出部と配置凹部又は配置開口部を備える。本実施形態では、図８に示されるように、第１フレーム頂点領域４４ａは一組の突出部５０ａと開口部又は凹部５２ａを備え、第３フレーム頂点領域４４ｃは一組の突出部５０ｂと凹部又は開口部５２ｂを備える。これらの配置構造は、基板搬送容器スタック１０内で、垂直方向に隣接する基板搬送容器１２の適切な相対位置を守る。そして、基板搬送容器スタックの隣接する基板搬送容器が、垂直回転軸周りに１８０度回転させられた相対位置を含む。
【０１５５】
［0217］図８は、複数の基板搬送容器１２のフレーム頂点領域４４ａと４４ｃを示し、基板搬送容器１２は互いに適切に積み重ねられている。特に、対応する下部基板搬送容器の突出部５０ａと、上部基板搬送容器の開口部４２ｂの相互係合、及び、基板搬送容器スタック内の隣接する基板搬送容器の相互作用する突起部５４ａと５４ｃの横方向の互い違いの配置が示される。これにより、垂直方向に並ぶ相互作用する突起部の間、すなわち、垂直方向に隣接する相互作用する突起部５４ａ同士の間と、垂直方向に隣接する相互作用する突起部５４ｃ同士の間に、比較的大きな垂直方向のすき間ができるので、外部インターフェイス装置、例えば移動装置などが、基板搬送容器のそれぞれと簡単に相互作用することが可能となる。
【０１５６】
［0218］図６、図７Ａ、及び図７Ｂは、このような基板搬送容器スタック１０の一例を示す。この例では、２５個を上回る基板搬送容器１２、例えば２７若しくは２８個の基板搬送容器１２が互いに積み重ねられ、その最下段基板搬送容器１２がベース１４に積み重ねられ、その最上段基板搬送容器１２にはカバー１６が積み重ねられる。横方向に互い違いに配置された相互作用する突起部５４ａと５４ｃ、及び、横方向に互い違いに配置された相互作用する突起部５４ｂと５４ｄから見た場合に、基板搬送容器１２は前述された方法で、互いに対して垂直軸周りに１８０度相対回転させて積み重ねられ、それは、前述された配置構造本件の場合では突出部５０ａ、５０ｂと開口部又は凹部５２ａ、５２ｂによって保護される。図に示されるように、基板搬送容器スタック１０内の基板搬送容器１２の台座に保持される基板の高いスタック密度と高い収容密度が得られる。原則、このような基板搬送容器スタックは、任意の数の基板搬送容器を含んでもよく、例えば、図示の非限定の例に示されるよりも多くの基板搬送容器を含んでもよい。偶数の数の基板搬送容器、あるいは奇数の数の基板搬送容器が、このような基板搬送容器スタックに備えられることが可能である。
【０１５７】
［0219］図６の斜視図と、図７Ａと図７Ｂの側面図によると、ベース１４とカバー１６はベースプレートとカバープレートとして備えられる。カバープレートはその下側に、最上段基板搬送容器の基板保持アームとそのアームに保持される基板を収容するのにふさわしい凹部を備えることが好ましい。
【０１５８】
［0220］なお、図１と図５に示される好ましい実施形態の場合、ベース１４とカバー１６は、基板搬送容器スタック１０内に保持される基板３０にパージング処理を施すことができる構造を有する。
【０１５９】
［0221］上述された全種類の基板搬送容器スタックと基板搬送容器と、その他の種類の基板搬送容器スタックと基板搬送容器について、アクセスされる基板台座を含む基板搬送容器と、この基板搬送容器に積み重ねられる基板搬送容器の間、あるいは、もし備えられている場合、アクセスされる基板台座を含む基板搬送容器とこの基板搬送容器に積み重ねられるカバーの間に対応する垂直方向のローディング及びアンローディングギャップが開けられた後、適切なローダーは、台座に基板をロードするために、又は台座から基板をアンロードするために、基板搬送容器スタックに含まれる対応する基板搬送容器の基板台座にアクセスすることができる。このために、本発明の好ましい実施形態は有益なオープナー装置を提供する。その例として、好ましい実施形態が以下に説明されるが、これに限定されない。１つ又は複数のこのようなオープナー装置１００は、単に「オープナー」とも表され、半導体製造工場で使用されるクリーンルーム設備８０に備えられる。
【０１６０】
［0222］図９に示される好ましい実施形態のクリーンルーム設備８０は、基板搬送容器スタック１０、例えば前述されたタイプの基板搬送容器を保管棚又はその他の支持又は保持装置に収容及び保管する保管室８４を含むストッカー配置８２を備える。第1ロボット構成９０は、選択された基板搬送容器スタック１０を、本発明の好ましい実施形態によるオープナー装置１００を備えるオープナーステーション９４に搬送し、そして対応する基板搬送容器スタック１０をオープナーステーション９４から保管室８４へ戻す。
【０１６１】
［0223］オープナーステーション９４と、そこに備えられるオープナー装置１００は、基板搬送容器又は基板搬送容器スタックの基板搬送容器の選択されたサブグループを積み重ね状態から非積み重ね状態へ移動することによって対応する基板搬送容器スタック１０を開口するので、基板搬送容器の基板台座がアクセス可能になる。オープナー装置１００はまた、基板搬送容器又は基板搬送容器スタックの基板搬送容器の選択されるサブグループを非積み重ね状態から積み重ね状態に移動することによって、対応する基板搬送容器スタックをクローズする。
【０１６２】
［0224］第２ロボット構成９２は非積み重ね状態で基板搬送容器の基板台座にアクセスし、対応する個々の基板（例えば、半導体ウェハ）を選択された基板搬送容器の基板台座からアンロードし、それをＥＦＥＭ８６のポートへ、そして、例えばＥＦＥＭ８６のポートに合体されたＦＯＵＰ８８内に搬送する。第２ロボット構成９２はまた、対応する個々の基板（例えば、半導体ウェハ）をＥＦＥＭ８６のポート又はポートに合体されたＦＯＵＰ８８からオープナー装置１００へ搬送し、基板を、非積み重ね状態の基板搬送容器スタック１０の選択された基板搬送容器の基板台座にロードする。ＥＦＥＭ８６は、このようなポートを複数、例えば、図９に示されるように２つ備えてもよい。
【０１６３】
［0225］図９Ｂに示されるクリーンルーム設備８０は、複数のオープナー装置１００、すなわちオープナーステーション９４に並んで配置される３つのオープナー装置１００を備えることを除いて図９Ａに示されるクリーンルーム設備に相当し、ＦＯＵＰ８８やその他の器材や装置を合体するポートをより多く有するＥＦＥＭ８６を備え、また、これらすべてのポート、本件の場合４つのポートと３つのオープナー装置１００すべてに応対する別のタイプの第２ロボット構成９２を備える。
【０１６４】
［0226］本発明による好ましい実施形態のオープナー装置１００の適切な例は、図９Ａと図９Ｂに示されるタイプのクリーンルーム設備８０のオープナーステーション９４のオープナー装置１００として使用でき、図１０から２３Ｊと図２７、図２８にあるように様々な図で示される。図２４Ａ、図２４Ｂ、図２５、及び図２６はオープナーの変形例と操作を説明する。さらに、図２９Ａ、図２９Ｂ、図３１Ａ、図３０Ｂ、図３０Ｃと、図３１から図３４、及び図３７は、本発明の好ましい実施形態によるオープナー装置の一般的な機能、及びいくつかの特徴を説明し、例えば、オープナー装置とその変形例がどのように実現されるかを示す。オープナー装置は様々なタイプの基板搬送容器スタックと基板搬送容器で動作することが可能であり、例えば図３５と図３６で図式的に説明される。
【０１６５】
［0227］本説明では、オープナー装置は「新オープナー」又は「オープナー」と呼ばれ、基板搬送容器（例えば、前述の基板搬送容器１２）は「搬送容器」と呼ばれ、基板搬送容器スタック（例えば、前述の基板搬送容器スタック１０）は「搬送容器のスタック」又は「スタック」と呼ばれてもよい。
【０１６６】
［0228］まず、前述の好ましい実施形態のオープナー１００とその構造と機能の概略を説明し、次にその詳細を説明する。
【０１６７】
［0229］新オープナーは先行技術の解決策とは異なる動作をし、例えば、新オープナーは、対応する搬送容器スタックの搬送容器間に相対運動をもたらす新しいタイプの移動機構１０１を備える。移動機構１０１は搬送容器のスタックがオープナーの上部から下方向へ動き、およそ５センチメートルずつ、移動機構に属する保持アーム又はその他の適切な係合構造が搬送容器スタックを遮って挿入され、スタックの対応する上部の搬送容器をつかみ支持し、上部搬送容器が到達した垂直方向の高さで保持する。もしカバー要素又は対応する基板搬送容器のカバーが備えられている場合には、それについても同様である。それに応じて、搬送容器は隣接する搬送容器との間におよそ５センチメートルの相互距離を置いて互い違いに配置される。このように、２５又はそれ以上の搬送容器を含むスタック全体は、すべての搬送容器に対して開口されるので、全２５の搬送容器と、対応する搬送容器の基板台座内に保持される対応する基板又はウェハは、追加の開口ステップなしに、処理ロボット等に同時にアクセスすることができる。
【０１６８】
［0230］これを実現するために、例えば図１０乃至図１３に示されているように、搬送容器のスタックは、オープナーのサポート又はキャリッジ１１２に保持され、例えばベルトアクチュエータ配置１３０ａ、１３０ｂによって、マイナスＺ軸方向、すなわち下方向にトップダウン式に動かされる。キャリッジは少しの間、搬送容器毎の捕捉位置で止まることができ、横方向に対向する両サイドに位置する２つの保持アーム（すなわち、好ましくは全体で４本の保持アーム）が動かされ、好ましくは対応する現在のリリース位置から対応する捕捉位置に回動され、現時点で搬送容器スタックの正に上部にある対応する搬送容器をつかみ支持する。保持アームは動かされ、又はオープナーのハウジングの壁の対応する溝を通って回動して、それぞれの捕捉位置に到達する。図１５Ａに示される全部で４セットの垂直方向に互い違いに配置された保持アームの１セットが図１５Ｂ乃至図１５Ｅでその詳細が明らかにされる。
【０１６９】
［0231］サポート又はキャリッジ部材１１２は、例えば図１４Ａと１４Ｂに示されるが、その上に搬送容器スタックがオープナーの中で積み重ねられ、さらにそのサポート又はキャリッジ部材１１２は、移動機構１０１に備えられ、ステップ毎に開口された搬送容器間の距離から１つの搬送容器の高さを引いた意図された距離だけ下方向に動く。図１７Ａ乃至１７Ｃ、図１８と、図１９Ａ乃至１９Ｃで異なる視点で示されるように、キャリッジとともに、保持アームを作動させる対応するアクチュエータ装置１１４ａ、１１４ｂは下方向に動かされる。アクチュエータ装置は、基板搬送容器スタックを搬送するためのサポート又はキャリッジ部材にリンクされたサポート又はキャリッジ部材上で搬送される。なお、基板搬送容器スタックとアクチュエータ装置又は複数のアクチュエータ装置に共通のサポート又はキャリッジ部材が備えられてもよい。図１２と図１３に示されるように、２つのこのようなアクチュエータ装置１１４ａ、１１４ｂがサポート又はキャリッジ部材１１２の向かい合う両サイドに設けられることが好ましい。各アクチュエータ装置は、好ましくは対応する２つの保持アームに、それぞれのタイミングで作用する。
【０１７０】
［0232］搬送容器スタックを閉鎖するために、サポート又はキャリッジ部材１１２はプラスＺ軸方向、すなわち上方向に戻り、４本の保持アームは、サポートの断続的な上方向の動きに対して適切なタイミングで、対応するアクチュエータ装置によって対応する捕捉位置から後退させられ対応するリリース位置へ戻される。
【０１７１】
［0233］図１８はこのようなアクチュエータ装置の駆動アーム又はアクチュエータ材の対応する操作位置を示す。
【０１７２】
［0234］なお、開閉操作時、サポート又はキャリッジ部材が断続的に下方向及び上方向に動く代わりに、継続的に下方向及び上方向に動くことが可能である。
【０１７３】
［0235］保持アームは、正しい垂直方向位置に到達した時、保持アームを回転させて、適切な構造、例えばスロットと搬送容器スタック内で係合させる筒状要素２１０に配置される。図１５Ａ乃至図１５Ｅと図１６Ａ乃至図１６Ｃに示されるように、２種類の保持アーム２００と２０２が垂直方向に互い違いに備えられることが好ましく、スタックの対応する搬送容器のそれぞれ関連する種類の構造と相互に作用する。保持アームは金属シート材、好ましくは、例えばステンレスシート材から作られることができる。
【０１７４】
［0236］特に、オープナーの保持アーム２００と２０２は、係合要素又はより一般的にはオープナー装置の係合構造であり、オープナー装置１００の中の特定の垂直方向位置で保持される対応する基板搬送容器１２の関連するカウンター係合構造と係合することができる。例えば、図３乃至図８を基準に、上述の基板搬送容器１２と基板搬送容器スタック１０の場合、カウンター係合構造は、対応する基板搬送容器１２の基板搬送容器フレーム４０から側方かつ対向する方向に対になって突出する２つのタイプの相互作用する突起部５４ｂ、５４ｃ、及び５４ａ、５４ｄで定義される。
【０１７５】
［0237］図１２と図１３に示されるように、オープナー装置１００は、筐体１０２を有する。また、その筐体はベースプレート１０４、トッププレート１０６、と複数の縦長構造要素を有することが好ましい。この細長く延ばされた構造要素は、垂直方向に延びていて、ベースプレートとトッププレートを接続している。また、このベースプレートとトップレートは、それぞれが対応する水平面に延びている。この縦長構造要素は、ベースプレートとトッププレートと共に、複数の又はすべてのオープナー装置の要素（部品）に使用され、さらなる機能を果たす取り付けフレームを定義する。筐体の全ての構成部品はオープナー装置の棚とも表現され、ステンレス材のような金属材で作られることが好ましい。図１０と図１１に示されるように、この筐体又は棚１０２は、これから説明される多様なパネル、特に金属プレートなどその他の構成部品と共に、オープナー装置１００のハウジングを定義する。
【０１７６】
［0238］縦長構造要素は、長方形の断面を有するサポートビーム１０８と、円形の断面を有するガイドビーム１１０と、さらにそこで固定結合された複数の構成部品を有する。サポートビーム１０８とガイドビーム１１０は、キャリッジ１１２を備えるキャリッジ構成部を移動可能な状態にガイドする。また、キャリッジ１１２は、積み重ね状態にある基板搬送容器スタック１０のためのサポート部である。さらに、基板搬送容器スタック１０は、オープナー装置内に収容されている。これらの構成部品は、２つのアクチュエータ装置１１４ａ、１１４ｂを含み、前述されたように、それらはキャリッジ１１２の横方向に向かい合う両サイドに配置される。アクチュエータ装置１１４ｂは図１７Ａ、図１７Ｂ、図１８及び図１９Ａから図１９Ｃにも示され、取付体１１６ｂを含み、その取付体には図２３Ｊに示されるように、スライディングガイド１１８ｂが取り付けられ、そのスライディングガイド１１８ｂは、ガイディングレール１２０と滑り係合状態にある。ガイディングレール１２０は、例えば、図２３Ｇと図２３Ｊに示されるようにサポートビーム１０８に取り付けられる。
【０１７７】
［0239］また、もう一方のアクチュエータ装置１１４ａは取付体１１６ａを含み、取付体１１６ｂにはガイド要素１１８ａが取り付けられ、ガイド要素１１８ａは、例えば図２３Ｇと図２３Ｉに示されるようにガイドビーム１１０と滑り係合状態にある。
【０１７８】
［0240］したがって、取付体１１６ａ、１１６ｂに設けられた２つのアクチュエータ装置１１４ａと１１４ｂは、キャリッジ１１２を備えるキャリッジ構成部が構成され、さらに、当該キャリッジ構成部は、サポートビーム１０８とガイドビーム１１０に沿って、垂直方向で、かつ上方向と下方向に移動可能であることを特徴とする。キャリッジ構成部をある垂直位置で保持し、かつ上方と下方に駆動し移動するために、２つのベルトアクチュエータが備えられる。第１ベルトアクチュエータは、第１駆動プーリー１３２ａと第１リターンプーリー１３４ａに架けられた第１歯付きベルト１３０ａを備え、第２ベルトアクチュエータは、第２駆動プーリー１３２ｂと第２リターンプーリー１３４ｂに架けられた第２歯付きベルト１３０ｂを備える。その歯付きベルトギア１３８はサーボモータ１３６の駆動プーリー１３７と駆動プーリー１３９を含む。例えば、図１２と１３と、同じく図２２Ｂに示されるように、サーボモータ１３６のスピードを低下させて駆動するために、第１ベルト駆動と第２ベルト駆動をより低い駆動速度で駆動することにより、サーボモータ１３６の駆動プーリー１３７と被駆動プーリー１３９を備える歯付きベルトギア１３８を経由して第１と第２駆動プーリー１３２a、１３２bは、互いに反対駆動方向に駆動されることが可能になる。２つの駆動プーリー１３２ａ、１３２ｂと歯付きベルトギア１３８の被駆動プーリー１３９は共通の駆動軸１４０に取り付けられている。
【０１７９】
［0241］歯付きベルトギア１３８の被駆動プーリー１３９が図２３Ｄに示されていて、その被駆動プーリーは駆動軸１４０に取り付けられている。駆動軸１４０は２つのサポートを介してベースプレート１０４に取り付けられ、図２３Ｅに示される１つのサポートは駆動軸１４０の固定ベアリングを含み、図２３Ｆに示されるもう一方のサポートは駆動軸１４０のフローティングベアリングを含む。これらのベアリングは深溝玉ベアリングであってもよい。
【０１８０】
［0242］ベースプレート１０４とトッププレート１０６と共に筐体を定義する複数の縦長構造要素を再度ここで参照すると、好ましい本実施形態によれば、これらの縦長構造要素は、さらに円形又は実質的に円形の断面を有する２本のビーム１５０ａ、１５０ｂを備えてもよい。例えば、図１０に示されるオープナー装置の第一サイドに位置するこれらのビームは、ベースプレート１０４とトッププレート１０６の間に追加の支えを提供し、基板搬送容器スタックが積み重ね状態にある時も非積み重ね状態にある時も、保持アームの対応するセットに保持される基板搬送容器が、オープナー装置内の正しい位置に固定され、ガイドされる。一般的には、このような固定、ガイド機能は非積み重ね状態の基板搬送容器や基板搬送容器スタックには必要ないが、例えば地震の影響など異常な状況や故障に備えて、このような固定及びガイド機能を備えることが適当かもしれない。さらに、これら２つの縦長要素１５０ａと１５０ｂは、ベースプレート１０４とトッププレート１０６と共に筐体を定義する縦長構造要素に属する必要はなく、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）など適切なプラスチック材で作られたロッドによって定義することが可能であり、トッププレート１０６に対してのサポート機能は無いか、又はほぼ無い。
【０１８１】
［0243］組み立てられたオープナー装置１００内で、サーボモータ１３６、歯付きベルトギア１３８、駆動軸１４０及びその他の構成部品は、金属シート１４２に覆われている。さらにこれらの構成部品は、組み立てられたオープナー装置１００内で、オープナー装置の第一サイドに位置する金属シートフェイスプレート１６０と、オープナー装置の第一サイドの反対側の第二サイド（例えば、図１１を参照）に位置するオープナー装置の金属シートフェイスパネル１６２、及び、オープナー装置１００の第三サイド（例えば、図１１を参照）と第四サイド（例えば、図１０を参照）に位置する第１の一組の金属シート間仕切りパネル１６４ａと第２の一組の金属シート間仕切りパネル１６４ｂによって、両横方向に保護される。これらの間仕切りパネルの対は幾らか内側に配置されているので、間仕切りパネルはキャリッジ１１２と対応するアクチュエータ装置１１４ａ、１１４ｂの間に配置される。
【０１８２】
［0244］さらに、２つの縦長金属シートフェイスプレート１６６ａ、１６６ｂと、２つの縦長金属シートフェイスプレート１６８ａ、１６８ｂがあり、金属シートフェイスプレート１６６ａ、１６６ｂは、オープナー装置の垂直方向に沿って延びるサポートビーム１５０ａ、１５０ｂと平行に延び、金属シートフェイスプレート１６８ａ、１６８ｂは、同様に、オープナー装置の垂直方向に沿って延び、フェイスパネル１６２によって一部が覆われている。
【０１８３】
［0245］オープナー装置１００は第一サイドに位置する２つのフェイスプレート１６６ａ、１６６ｂの間に大開口部１７６を含み、それは、非積み重ね状態にある基板搬送容器スタックの対応する基板搬送容器の対応する基板台座から基板をアンロードし、このような対応する基板搬送容器のこのような対応する台座にある基板をロードするオープナー装置のローディング及びアンローディングポート１７６を定義する。
【０１８４】
［0246］さらに、オープナー装置１００はオープナー装置の第二サイドに開口部１７８を含み、それはフェイスパネル１６２の上であり、２つのフェイスプレート１６８ａ、１６８ｂの間に配置される。この開口部を開閉するスライドドア又は他のシールド装置が備えられることが好ましく、キャリッジ１１２（又は代替ホルダー、図２７と２８を参照して以下に説明されるように）上の対応する基板搬送容器スタックをロードし、又はキャリッジ１１２から対応する基板搬送容器スタックをアンロードするローディング及びアンローディングポート１７８を定義し、それはキャリッジ１１２の垂直方向の移動範囲内で、ローディングとアンローディングのために上部操作位置に着くか、又は上部ローディング及びアンローディング位置に着く。図に示される実施形態はスライドドア１７０を含み、図１１のそれは、上部閉鎖位置にあり、下方向に動いてローディング及びアンローディングポートを開口することができる。
【０１８５】
［0247］第１ペアの金属シート間仕切りパネル１６４ａの２つの間仕切りパネル間と、第２ペアの金属シート間仕切りパネル１６４ｂの２つの間仕切りパネル間には、例えば図１０に示されるように、対応する垂直方向のスリットが定められ、キャリッジ１１２の２つの狭い接続ポーション１７４ａと１７４ｂそれぞれが、図１０と図２３Ｄに示されるように、そのスリットを通って延びる。これらの間仕切りパネルは、以下にさらに詳しく説明されるように、保持アーム２００と２０２用に短い横方向に延びるスリットをさらに備える。
【０１８６】
［0248］さらに別の金属シート間仕切りパネル１８０はオープナー装置の第二サイドに、フェイスパネル１６２とスライドドア１７０よりも内側に配置されるので、スライドドア１７０はフェイスパネル１６２と間仕切りパネル１８０の間に位置し、フェイスパネル１６２と間仕切りパネル１８０の間に隠れるように下方向に移動して、基板搬送容器スタックのローディング及びアンローディングポートを開口する。図２０は外部フェイスパネル１６２を除くオープナー装置１００の第２サイドの図を示す。２つのガイディングレール１８２ａ、１８２ｂがあり、それらは間仕切りパネル１８０に取り付けられ、垂直方向に延び、スライドドア１７０のスライディングガイドと相互に作用する。第３ベルトアクチュエータがあり、第３歯付きベルト１８４、ドライブプーリ１８６、及びリターンプーリーを含む。図２２Ｂに示されるように、ドライブプーリ１８６は追加のサーボモータ１８８により駆動される。
【０１８７】
［0249］したがって、スライドドア１７０を第３ベルトアクチュエータと第２サーボモータ１８８によって下方向に動かして、キャリッジ１１２からの基板搬送容器スタックのアンロード、及びキャリッジ１１２（又は代替ホルダー）上への基板搬送容器スタックのロードの少なくともどちらか一方を可能にするためにポートを開き、及び上方向に動かして再びこのポートを閉じる。このような操作のために、キャリッジ１１２は上部操作位置又は上部ローディング及びアンローディング位置に持ち込まれた状態になり、その位置は好ましくはキャリッジ１１２の中央の板状部分の上面１１３がポートの下方境界と並ぶ位置、若しくはポートの下方境界より少し高く配置される位置である。上面１１３は、基板搬送容器スタック、特に備えられることが好ましい基板搬送容器スタックのベースのサポート面を定義することができる。しかし代わりに、例えば図１４Ａに示されるように、上面１１３より上側にずらされた、キャリッジ１１２の上昇サポート構造部の上面部分１１１が対応する基板搬送容器スタックを支持してもよい。これは、適切なローディング及びアンローディング構造、例えばロボットアーム配置が、キャリッジ１１２に基板搬送容器スタックをロードし、及びキャリッジ１１２から基板搬送容器スタックをアンロードする能力を向上させる。ローディング及びアンローディング構造は、ベースの下側と上面１１３の間にかみ合うサポートポーション又はグリッパーを含む。
【０１８８】
［0250］基板搬送容器スタックのためのローディング及びアンローディングポートは、キャリッジ１１２上に基板搬送容器スタックをロードした後、及びオープナー装置を再操作する前には閉じられていることが好ましい。再操作とはつまり、基板搬送容器スタック１０の基板搬送容器１２を完全に若しくは部分的に非積み重ね状態へと持ちこむことである。その結果、基板搬送容器の台座が対応する基板、例えば半導体ウェハがアンロード及びロードするためにアクセス可能な状態になる。
【０１８９】
［0251］第３歯付きベルト１８４と、このベルトアクチュエータのドライブ及びリターンプーリーは、フェイスパネル１６２と間仕切りパネル１８０の間に配置される。リターンプーリーは、好ましくはポート開口部の下部境界線の下で、間仕切りパネル１８０の上端部分に取り付けられる。少なくとも１つのセンサーが備えられ、スライドドア１７０の現在位置又は少なくとも閉じられた状態を感知してもよい。
【０１９０】
［0252］間仕切りパネル１８０は、図２０に示されるように、ガイドレイル１８２ａと１８２ｂの間のストリップポーションの中央に水平方向の通気スリット１９０の配列を備えてもよい。図２２Ａに示されるように、間仕切りパネル１８０の内側、すなわち、間仕切りパネル１８０がオープナーの第一サイドに面している側に、水平方向に延びるシャッター要素１９２が設けられることが好ましく、間仕切りパネル１８０に取り付けられる。これらのシャッター要素の垂直方向位置は、一定範囲で垂直方向に調整可能であるので、通気スリット１９０を効果的なスリット開口幅に調整できる。これにより、オープナー装置１００を経由し、希望された、一定の、望ましくは層状のクリーンエアが流れることが好ましい。そして、上述されたクリーンルーム設備８０の場合、好ましくはＥＦＥＭ８６からストッカー配置８２の保管室８４へ、流れることが好ましい。この保管室８４から、クリーンエアが、エア吸引部又は排出装置によって継続的に排出される。なお、必要であれば反対方向のクリーンエアが流れるようにしてもよい。クリーンエアをどちらの方向にも流れるようにするために、フェイスパネル１６２はストリップ部分の中央に通気口のマトリックス１９４を含んでもよく、それは通気スリットの配列１９０に位置合わせされている。さらに、スライドドア１７０はストリップの下中央部に通気口１９６のマトリックスを有してもよく、それはスライドドアが上部の閉鎖位置にある時、通気スリットの配列１９０の上部と位置が一致する。
【０１９１】
［0253］再び、ベースプレート１０４とトッププレート１０６と共に筐体を定義する縦長構造要素を参照すると、これらの縦長構造要素は、さらに第１ペアのサポートビーム１５２ａ、１５２ｂと、第２ペアのサポートビーム１５４ａ、１５４ｂを備えることができ、係合構造、すなわちオープナー装置１００の開閉操作の過程でリリース位置と捕捉位置の間を動く、又は回動する保持アームを取り付ける支柱を定義する。二組のサポートビーム又は取り付け支柱はキャリッジ１１２の横方向に対向する両サイドに配置される。取り付け支柱１５２ａ、１５２ｂはアクチュエータ装置１１４ｂサイド、すなわちオープナー装置１００の第３サイドに配置され、取り付け支柱１５４ａ、１５４ｂはアクチュエータ装置１１４ａサイド、すなわちオープナー装置の第４サイドに配置され、それぞれの場合において、間仕切りパネル１６４ａと１６４ｂそれぞれに対して外側に配置される。
【０１９２】
［0254］２種類の係合構造、すなわち、好ましい本実施形態による保持アーム２００と２０２を備えることが好ましい。これらの保持アームは垂直方向、かつ交互に、それぞれの取り付け支柱に取り付けられるので、垂直方向に互い違いに配置された係合構造が４セット形成される。その配置は、非積み重ね状態にある基板搬送容器又はカバーの垂直方向のホールド位置に対応するオープナー装置１００の対応する垂直方向の高さに、このような４つの係合構造が設けられるようになっている。非積み重ね状態で、対応する基板搬送容器を所定の垂直方向位置で共通して支持するこれら４つの係合構造のうち、２つの係合構造は第１タイプの係合構造であり、２つの係合構造は第２タイプの係合構造であることが好ましい。係合構造が保持アームとして定義される本実施形態の場合、第１アーム長さを有する第１タイプの２つの保持アームと第２アーム長さを有する第２タイプの２つの保持アームがオープナー装置１００の一定の垂直方向の高さに備えられることが好ましく、非積み重ね状態の場合に、カバー（備えられる場合）と各基板搬送容器それぞれを共通にキャッチ及び保持して、同一物を分離及び保持する。
【０１９３】
［0255］例えば、取り付け支柱１５２ａと取り付け支柱１５４ａに相当する取り付け支柱が図１５Ａと図１５Ｅに示される。図１５Ａに示されるように、短い方の保持アームと長い方の保持アームが取り付け支柱１５２ａ／１５４ｂの垂直方向範囲に沿って交互に備えられる。最下段の保持アーム２００はより長いアーム長さを有し、垂直方向に隣接する保持アーム２０２はより短いアーム長さを有し、その次に隣接する上部保持アームは再びより長いアーム長さを有し、そして同じように、最上段の保持アームは再びより短いアーム長さを有する。以下に、長い方の保持アーム２００と短い方の保持アーム２０２について説明する。
【０１９４】
［0256］もう一方の２つの取り付け支柱１５２ｂと１５４ｂは同様に、垂直方向かつ交互に保持アームを備えることが好ましい。例えば、図１０と図１１に示されるように、本実施例に応じて実現されるように、唯一関連する相違点として、対応する最下段の保持アームは短い方の保持アーム２０２であり、対応する最上段の保持アームは長い方の保持アーム２００となり得るのが好ましい。
【０１９５】
［0257］２種類の保持アームのうちの１つを、第１タイプの（もし備えられるなら）カバーと、つかまれ、保持される対応する基板搬送容器の対応するカウンター係合構造に結合する第１タイプの保持アーム、例えば、突起部として識別し、２種類の保持アームのうちもう一方を、第２タイプの（もし備えられるなら）カバーとつかまれ、保持される対応する基板搬送容器の対応するカウンター係合構造に結合する第２タイプの保持アーム、例えば突起部として識別するために、好ましくは、垂直方向に互い違い配列された保持アームのセットが同一の取り付け支柱に取り付けられることは理に適っている。結合するカウンター係合構造は、好ましくは、基板搬送容器の垂直高さに沿って、同様に垂直方向に互い違いに、交互に備えられるので、長い方の保持アーム２００が１つのタイプの対応するカウンター係合構造を利用して対応する基板搬送容器（又はカバー）をつかみ、保持し、対応する短い方の保持アーム２０２は、別のタイプの対応するカウンター係合構造との係合を利用して対応する基板搬送容器（又はカバー）をつかみ、保持する。
【０１９６】
［0258］これらのカウンター係合構造は、基板搬送容器スタックで、垂直方向に互い違いに配置されたカウンター係合構造の４セットからなる状態で備えられることが好ましく、また好ましくは、それらは突出部と定義されてもよい。各々のセットの中では、その各セットは同じ取り付け支柱に取り付けられた支持アームの1セットに共通に紐づけされており、第１と第２タイプのカウンター係合構造が、例えば、図５乃至８に示され、かつ上述されたように、互いに交互に、かつ垂直方向に備えられている。また、そのセット各々は、同一の取り付け支柱に取り付けられたある１つの保持アームに共通に関連付けられている。これらの隣接する基板搬送容器のカウンター係合構造は、例えば上述された基板搬送容器１２の突起部５４ａ、５４ｂ、５４ｃ、及び５４ｄであり、それぞれに対して横方向の対応する位置に配置されていて、かつ保持アームに隣接している。つまり、長い方の保持アーム２００と直近に隣接する短い方の保持アーム２０２の一組は、それぞれの位置に配置された係合セクション２０４と２０６を備えていて、それは、係合セクション２０４と２０６のそれぞれに対して、図１５Ｅに示されたように、係合セクション２０４が、長い方の保持アーム２００の係合領域であり、また係合セクション２０６は、短い方の保持アーム２０２の係合領域であり、それぞれが横方向の対応する位置に配置されている。さらに図１６Ａは、これら短い方の保持アーム２０２と長い方の保持アーム２００の形状が、アーム長の長短を除き、類似の形状であることが好ましいことを示している。
【０１９７】
［0259］取付け柱１５２a、１５２ｂ、１５４と１５４ｂのそれぞれに取り付けられた複数の支持アームの４つのセットのうちのいずれかであって、かつどちらかが最上段の支持アームとしての短支持アーム２００と最下段の支持アームとしての長支持アーム２０２を含むのか、またこれら複数の支持アームのセットのうちいずれであってかつどちらかが最上段の支持アームとしての長支持アーム２００と最下段の支持アームとしての短支持アーム２０２とを含み、そのことが基板搬送容器スタック１０とその基板搬送容器スタックの複数の基板搬送容器１２と（もし備わっているならば、）その基板搬送容器の中でカバーの基礎となり、かつその中で基板搬送容器スタック１０がキャリッジ１１２の上にどのように配置されるのかという構成の基礎について、図３５と３６に示されている。
【０１９８】
［0260］図３、図４、及び図６乃至図８に示される基板搬送容器１２のような基板搬送容器は互いに積み重ねられて基板搬送容器スタック１０を定義すると想定すると、詳細図に示されるオープナー装置１００は、基板搬送容器スタックがカバーを備える場合の図３５に模式的に示されるように、基板搬送容器スタック上で動作するように設計されると考えられる。
【０１９９】
［0261］この場合、図３５Ａに示される基板搬送容器１２は基板搬送容器スタックの最上段の基板搬送容器１２を表し、それは、取り付け支柱１５４ｂに取り付けられ、この基板搬送容器１２の相互作用突起部５４ａと係合する最上段の短い方の保持アーム２０２と、取り付け支柱１５２ａに取り付けられ、この基板搬送容器１２の相互作用突起部５４ｄと係合する最上段の長い方の保持アーム２００と、取り付け支柱１５２ａに取り付けられ、この基板搬送容器１２の相互作用突起部５４ｃと係合する最上段の長い方の保持アーム２００と、及び取り付け支柱１５２ｂに取り付けられ、この基板搬送容器１２の相互作用突起部５４ｂと係合する最上段の短い方の保持アーム２０２によってつかみ、保持される。カバーは、取り付け支柱１５４ｂに取り付けられる長い方の保持アーム２００である最上段の保持アームと、取り付け支柱１５４ａに取り付けられる短い方の保持アーム２０２である最上段の保持アームと、取り付け支柱１５２ａに取り付けられる短い方の保持アーム２０２である最上段の保持アームと、及び取り付け支柱１５２ｂに取り付けられる長い方の保持アーム２００である最上段の保持アームによって保持される。
【０２００】
［0262］図３５Ｃは、オープナー装置１００が最上段の基板搬送容器に積み重ねられるカバーを含まない基板搬送容器スタックで作動する場合を表していることが好ましい。この場合、図３５Ｃは基板搬送容器スタックの最上段の基板搬送容器１２を示し、それは取り付け支柱１５４ｂに取り付けられる長い方の保持アーム２００である最上段の保持アームと、取り付け支柱１５４ａに取り付けられる短い方の保持アーム２０２である最上段の保持アームと、取り付け支柱１５２ａに取り付けられる短い方の保持アーム２０２である最上段の保持アームと、及び取り付け支柱１５２ｂに取り付けられる長い方の保持アーム２００である最上段の保持アームによってつかみ、保持される。
【０２０１】
［0263］しかし、オープナー装置によって開閉される基板搬送容器スタックは、基板搬送容器スタックの最上段の基板搬送容器に積み重ねられるカバーを含むことが好ましい。この場合、図３５Ｃは対応する取り付け支柱に交互に取り付けられた長い方の保持アーム２００と短い方の保持アーム２０２を含むオープナー装置の変形例を表し、取り付け支柱１５４ｂに取り付けられる最上段の保持アームは短い方の保持アーム２０２であり、取り付け支柱１５４ａに取り付けられる最上段の保持アームは長い方の保持アームであり、取り付け支柱１５２ａに取り付けられる最上段の保持アームは長い方の保持アーム２００であり、及び取り付け支柱１５２ｂに取り付けられる最上段の保持アームは短い方の保持アーム２０２である。このようなオープナー装置１００を実現しようとすれば、基板搬送容器スタックは３５Ａ図の実施例と比較され、基板搬送容器上で垂直軸周りに180度回転された位置に配置されねばならないという類似点が見いだされ、またさらにオープナー装置にさらなる適合要件が要求されるのであれば、例えば本オープナー装置が本明細書中の複数の図面で示されるあるオープナー装置のミラーコピーに対応するものであってもよい。
【０２０２】
［0264］図３５Ｂと図３５Ｄは、別の好ましい実施形態の基板搬送容器を含む基板搬送容器スタックの取り扱いに適応する長い方の保持アーム２００と短い方の保持アーム２０２の配置に関するオープナー装置のさらなる変形例に相当する。図３６A乃至図３６Dもまた同様である。これらの図はすべて、それぞれ別の好ましい実施形態の基板搬送容器スタックの対応する最上段の基板搬送容器をそれぞれ示し、これらは基板搬送容器の搬送容器外部フレームにある相互に作用する突起部の相対的配置についての図３乃至図８で説明された基板搬送容器とは異なる。オープナー装置は、対応する取り付け支柱１５２ａ、１５２ｂ、１５４ａ、及び１５４ｂの長い方の保持アーム２００と短い方の保持アーム２０２をそれぞれに対応するように配置することで、これらのどの好ましい実施形態にも対応するように適応可能である。
【０２０３】
［0265］オープナー装置のさらなる変形例を考慮することができる。前に示された好ましい実施例は、キャリッジ１１２に配置される基板搬送容器スタック１０に対して、保持アームがキャッチ・アンド・ホールド位置に向かって時計回りに回転するように配置される取り付け支柱を含む。なお、基板搬送容器スタックに対して、保持アームがキャッチ・アンド・ホールド位置に向かって反時計回りに回転するように、取り付け支柱を配置することができる。このために、図３５と図３６と対比して、取り付け支柱１５４ａと１５４ｂはオープナー装置の第１サイドに向かってずらして配置され、取り付け支柱１５２ａと１５２ｂはオープナー装置の第２サイドに向かってずらして配置されることが望ましい。
【０２０４】
［0266］好ましくは、図１０乃至図２５に示される詳細の好ましい実施形態や、図３２と図３３を基準に考慮されるものとは異なり、その他の図を基準に以下に考慮される、その他の好ましいオープナーの実施形態は実現可能である。例えば、ここに示され説明されるものとは実質的に異なる形の基板搬送容器スタックや基板搬送容器での動作に対応した好ましい実施形態が実現可能である。
【０２０５】
［0267］長い方の保持アーム２００と短い方の保持アーム２０２は対応する筒状要素に属し、又は筒状要素に取り付けられ、対応する筒状要素は対応する保持アームを対応する取り付け支柱に固定して、保持アームがリリース位置と捕捉位置の間で回動できるようにする。各保持アームは、少なくとも捕捉位置で、対応する間仕切りパネル１６４ａ又は１６４ｂの対応する水平方向のスリットと係合するが、リリース位置でもある程度係合することが好ましい。捕捉位置では、対応する保持アームは各間仕切りパネル１６４ａ又は１６４ｂの対応するスリットをさらに挿通して対応する基板搬送容器の関連するカウンター係合構造と係合し、又は最上段の保持アームの場合、カバー（もし備えられる場合）の関連するカウンター係合構造と係合するので、捕捉位置は（完全）挿入位置とも表される。リリース位置では、保持アームはオープナー装置の内部スペースから後退し、その結果その係合セクションは基板搬送容器又はカバーのカウンター係合構造と係合不可能となるので、リリース位置は後退位置とも表される。
【０２０６】
［0268］本実施形態の場合、保持アーム２００と２０２の各々は対応するスリーブ部材、好ましくは両タイプの保持アーム用の同一のスリーブ部材２１０に取り付け可能であることが望ましい。４本の取り付け支柱に取り付けられた全４セットすべての保持アーム用の同一のスリーブ部材２１０が使用されることが好ましい。
【０２０７】
［0269］図１６Ａ乃至図１６Ｃに示されるように、短い方の保持アーム２０２は、下方向に曲がり、係合セクション２０６を提供する部分を有する適切な形をした金属シートプレートで定義される。いくらか長さの長い方の保持アーム２００も同様に、図１５Ｂ、図１５Ｄ及び１５Ｅに示され、また図１０と図１１でも説明されるように、係合セクション２０４を含むサイドの反対サイドに沿って、更に下方向に曲がる部分２１２を含む。この部分２１２は長い方の保持アーム２００の強度を上げる。
【０２０８】
［0270］保持アームは、複数のネジ、例えば、図１６Ａに示されたように３つのネジや、その他の取り付け構造を使用して、スリーブ部材２１０、に取り付けられる。例えば図１６Ｃに示されるように、スリーブ部材２１０は、適切なプラスチック材料により作成されてもよく、また、例えば、好ましくは、ステンレスやアルミニウムなど金属材料により作成されても良い。スリーブ部材２１０それぞれは、上部放射状延長部２１４ａと下部放射状延長部２１４ｂを有する貫通開口部２１４を備え、さらに、それぞれのリングベアリングは、スリーブ部材２１０の中に取り付けられ、そのスリーブ部材２１０は外部リング、スリーブ部材２１０と内部リングを備え、外部リングはそれぞれ関連するスリーブ部材２１０に取り付けられていて、少なくとも摩擦力でスリーブ部材２１０と係合している。内部リングは、それぞれ関連する１つの内部支持スリーブ２１８に取り付けられている。それぞれ２つのリングベアリングの外部リングが、その保持アームによりスリーブ部材２１０を支持する。下部リングベアリング２１６ｂの内部リングが、上部リングベアリング２１６ａの内部リングを支持する内部支持スリーブ２１８を支持する。ベアリング用ローラー要素が、各リングベアリングの内部リングと外部リングの間に備えられ、外部リングと対応する保持アームを備えたスリーブ部材２１０が、リングベアリングの内部リングと内部支持スリーブ２１８に関しても、かつ４本の取り付け支柱１５２ａ、１５２ｂ、１５４ａ、１５４ｂを有するオープナー装置の筐体に関しても、かなり低い回転力をベースに、回転可能に備えられているのが好ましい。
【０２０９】
［0271］同一の取り付け支柱に取り付けられたスリーブ部材２１０の垂直列の垂直方向に隣接する内部サポートスリーブ２１８は互いに短いサポートスリーブ部材２２０に支持されるので、対応する上部スリーブ部材２１０の下部リングベアリング２１６ｂは、その内部リングで対応する短いサポートスリーブ部材２２０を介して対応する下部スリーブ部材２１０の上部リングベアリング２１６ａの内部リング上で支持される。
【０２１０】
［0272］図１５Ａ乃至図１５Ｅに示される保持アームのセットの場合に、長い方の保持アーム２００である最下段の保持アームを支持する最下段のスリーブ部材２１０の下部リングベアリング２１６ｂの内部リングは、サポートチューブ又は長いサポートスリーブ部材２２２上で支持され、それは組み立てられたオープナー装置のベースプレート１０４で支持される。そして、最上段の保持アーム、この場合、短い方の保持アーム２０２を支える最上段のスリーブ部材２１０の上部リングベアリング２１６ａの内部リングは、サポートチューブ又は長いサポートスリーブ部材２２４を支え、それは留め金具２２６で固定され、取り付け支柱又は対応する保持アームのセット、図１５Ａ乃至図１５Ｅに示される取り付け支柱１５２ａ又は１５４ａのサポートビームに締結される。
【０２１１】
［0273］取り付け支柱又はサポートビームは、垂直方向に並ぶ要素、つまり、上部サポートチューブ２２４、上部下部リングベアリング２１６ａと２１６ｂ、及び各スリーブ部材２１０の対応するサポートスリーブ２１８、短いサポートスリーブ２２０、及び下部サポートチューブ２２２を通って延びる。留め金具２２６は、不要な垂直方向の遊び（不要な垂直方向の隙間）をつくらずに相互に支持係合して、これらの要素を固定する。好ましくは、サポートチューブ２２２と２２４、サポートスリーブ２１８、及び短いサポートスリーブ部材２２０は同一又はほぼ同一の直径を有し、対応する取り付け支柱は、隙間を作らず、又は少しの放射状の遊び（少しの放射状の隙間）を持って、例えば図１５Ｅに示されるように、これらの要素を通って延びる。
【０２１２】
［0274］スリーブ部材２１０と、ひいてはまた、保持アーム２００と２０２が、定められた２か所の位置（後退位置若しくはリリース位置又は、挿入された位置若しくは捕捉位置）のうちの１つに確実に位置するために、各々のスリーブ部材２１０又は各々の保持アーム２００と２０２が、これら２つの定められた位置のうちから現時点での位置で保持アームを維持する関連させられた個々の相互作用装置を備えることができ、さらに好ましくは、スリーブ材や保持アームをこれら定められた２つの位置に向けて位置をずらすことができるが、もし少なくともスリーブ部材若しくは保持アームがすでに対応する定められた位置へある程度到達しているならば、後者の位置にずらす。これらの相互作用装置は磁気の相互作用装置として定義され得る。このために、例えば、セクター又は開口部又はその他の種類の凹部によって定義されるスリットは、軟鉄当接要素２３０によって制限され得る対応するスリーブ部材２１０内に配置される。その軟鉄当接要素は、スリーブ部材２１０に取り付けられる。対応する取り付け支柱、例えば、図１５Ａ乃至図１５Ｅに示された対応する取り付け支柱１５２ａ又は１５４ｂは、それぞれの永久磁石ピン２３２を保持して移動させ、この永久磁石ピンは、これら複数の軟鉄性の当接要素２３０の間に突出しているので、左側の当接要素２３０と磁石ピン２３２の間の磁性引張り力、又は右側の当接要素２３０と磁石ピン２３２の間の磁性引張り力のどちらかが勝り（つまり、どちらかがより大きくなり）、スリーブ部材２１０が対応する当接要素２３０と磁石ピン２３２の間に向かって回転され、それぞれの当接要素２３０と磁石ピン２３２の間で接した係合状態で保たれる。
【０２１３】
［0275］なお、対応するピン２３２は軟鉄ピンであってもよく、対応するスリーブ部材２１０は、それぞれの端部が２つの当接要素２３０に近接して配置される少なくとも１つの永久磁石を適切な容器に保管できる。図１６Ａ乃至図１６Ｃによると、このような１つの磁石２３４が、その対向する端部がそれぞれの当接要素２３０の近くに配置されて備えられる。従って、当接要素２３０の１つは常にピン２３２に引き寄せられ、これにより保持アーム２００、２０２は一方又はもう一方の定められた位置、つまり後退若しくはリリース位置、又は挿入若しくは捕捉位置で保持される。
【０２１４】
［0276］本発明のさらに別の好ましい実施形態によると、当接要素２３０は永久磁石になり得る。
【０２１５】
［0277］上述の好ましい実施形態によると、垂直方向に位置する４本の保持アームのセット２００と２０２は  取り付け支柱１５４ａと１５４ｂに取り付けられる保持アームに結合するアクチュエータ装置１１４ａ、及び取り付け支柱１５２ａと１５２ｂに取り付けられる保持アームに結合するアクチュエータ装置１１４ｂによって作動する。上述されたように、これらのアクチュエータ装置はキャリッジ１１２と共にキャリッジ構成を定義する。キャリッジ構成は、前述されたベルトアクチュエータによって上下方向に動く可動構造である。適切な操作のため、それぞれアクチュエータ装置はキャリッジの垂直方向の動きと連携し合う方法で保持アームを駆動することが好ましい。しかし、積み重ねられた基板搬送容器の数と、キャリッジ１１２の支持面部分１１１に対するキャリッジ１１２に支持される当スタック又は一部のスタックの最上段の基板搬送容器１２の垂直方向位置は変化し、すなわち、開操作時にはキャリッジの下方向の動きの過程で４本の保持アームの対応するセットにキャッチされる各基板搬送容器によって減少し、及び閉操作時にはキャリッジの上方向の動きの過程で各基板搬送容器が戻されることによって増加する。従って、対応するアクチュエータ装置のアクチュエータ材は、各々の保持アーム又はそのスリーブ部材に作用し、高さ補正をしない限り、垂直方向の対応する保持アームのセットの全ての保持アームにおいて適切な垂直方向位置をとることができないことが好ましい。高さ補償によって開操作時にはスタック又は搬送容器の一部のスタックから続いて分離される基板搬送容器を補償し、閉操作時にはスタック又は搬送容器の一部のスタックに続いて再積み上げされる基板搬送容器を補償する。
【０２１６】
［0278］開操作において、スタックが下方向に動かされ、搬送容器が次々に対応する保持アームのセットにキャッチされる際の搬送容器スタックの高さの減少を補償し、同様に、スタックが上方向に動かされ、搬送容器が次々にスタックの上部の搬送容器として追加される際の搬送容器スタックの高さの増加を補償するために、電気機械式及び／又はソフトウェアで制御できる解決策を取り入れてもよい。例えば、２つのアクチュエータ装置１１４ａと１１４ｂが垂直方向に調節可能なアクチュエータ材を含んでもよく、それらは開操作時にはキャリッジ１１２の支持面部分１１１に対して下方向に動かされ、閉操作時には支持面部分１１１に対して上方向に動かされる。キャリッジ１１２に対する対応するアクチュエータ材の垂直方向の動きは、適切なサーボドライブをコントロールするように構成又はプログラムされた処理装置によってコントロールされることが可能である。しかしながら、例えば図に示される好ましい実施例によって実現されるように、機械による解決策も適当になり得る。
【０２１７】
［0279］これを達成するために、各対応する筒状要素（例えば本実施例の場合、各対応するスリーブ部材２１０）に結合する、対応する係合要素２４６は、連結要素を使って対応するスリーブ部材２１０に取り付けられ、図１５Ａ乃至図１５Ｅに示されるように、オープナー装置内に対応する取り付け支柱に取り付けられたスリーブ部材の垂直方向列にある保持アーム２００又は２０２を有する対応するスリーブ部材２１０の垂直方向位置によって決まるスリーブ部材２１０の垂直方向範囲に対して特定の垂直方向位置を取る。
【０２１８】
［0280］スリーブ部材２１０は垂直方向の列のスクリュー穴２４０を少なくとも１列備え、そのスリーブ部材によって、それぞれの連結要素２４２又は２４４が、それぞれのスリーブ部材２１０の垂直方向の範囲に沿って適切な垂直方向位置で、スクリューで取り付けすられることを可能にする。それにより、それぞれの係合要素が、それぞれのスリーブ部材の垂直方向の範囲内に位置するか、又は、それぞれのスリーブ部材の下に位置するか、又は、それぞれのスリーブ部材の上に位置する。スリーブ部材によって、関連する保持アーム２００と２０２それぞれに対して適切な垂直方向の位置で、それぞれの係合要素２４６が保持されることが可能になる。
【０２１９】
［0281］複数の図に示されたスリーブ部材２１０は、1列のねじ穴２４０を有するが、同様に、それぞれの連結要素を2つのねじを使用して取り付けるための平行に並ぶ2列のねじ穴も連結要素の適切な方向を維持するために適切である。もし連結要素を取り付けるために1つのねじが用いられるならば、そのときには、連結要素の取り付け端部とその連結要素を適切な方向に維持するスリーブ要素構造との間には取り付け固定係合部が設けられるのが好ましい。この目的のために、ねじ穴２４０の垂直列が長手方向の凹部の中に位置するか、長手方向の凸部またはスリーブ部材２１０の類似の盛り上がった側のいずれかに位置するので、連結部材の取り付け端部は、少なくともあるひとつの垂直方向に延びる表面部分により、取り付け固定係合状態であることを特徴とする。これは、このような縦長の凹部を用いて複数の図によって示された好ましい実施形態の事例であり、垂直方向に並ぶねじ穴の列は該縦長の凹部の中に配置される。
【０２２０】
［0282］対応する取り付け支柱に取り付けられるスリーブ部材２１０の垂直方向列の上部の範囲内のスリーブ部材２１０については、係合要素２４６は対応するスリーブ部材の下であり、かつ隣接するスリーブ部材の垂直方向の高さ範囲内に保持される。これは、第1種の長手方向の連結要素２４２によって実現され、各スリーブ部材にねじ取り付けられる第１端部分、及び係合要素２４６を保持する第２端部分を含む。スリーブ部材２１０の垂直方向列の下部の範囲については、対応するスリーブ部材２１０の係合要素は対応するスリーブ部材の上、かつ隣接するスリーブ部材の垂直方向の高さ範囲内に保持される。これもまた第１タイプの長手方向の連結要素２４２によって実現され、垂直方向列のスリーブ部材の上部の範囲と比べて、対応するスリーブ部材に反対方向に取り付けられる。スリーブ部材２１０の垂直方向列の中間範囲については、対応する係合要素２４６は、この対応するスリーブ部材の垂直方向の高さ範囲内で対応するスリーブ部材に取り付けられる。これは、第２タイプの小さく、短い連結要素２４４によって実現される。これら連結要素２４２と２４４は、適切に選ばれたスクリュー穴２４０を使って対応するスリーブ部材２１０にねじ取り付けされるので、各係合要素を適切な垂直方向位置で配置する。
【０２２１】
［0283］従って、各係合要素２４６が取り付けられるスリーブ部材２１０に対する対応する係合部材２４６の垂直方向位置は、垂直方向列のスリーブ部材２１０に沿って段階的に、体系的にシフトし、垂直方向位置は、最下段のスリーブ部材の場合にはそれぞれのスリーブ部材２１０の上に最大距離を置いて配置されてもよく、垂直方向列のスリーブ部材の中間範囲の場合には、それぞれのスリーブ部材の垂直方向の高さ範囲内に配置されてもよく、及び最上段のスリーブ部材の場合には、対応するスリーブ部材の下に最大距離をおいて配置されてもよい。これにより、開操作時の基板搬送容器のスタックの高さの減少と閉操作時の基板搬送容器のスタックの高さの増加が補償され、対応するアクチュエータ装置１１４ａと１１４ｂのアクチュエータ材を、キャリッジ１１２の支持面部分１１１に対して定められた垂直方向位置に位置決めすることができる。
【０２２２】
［0284］好ましくは、対応するスリーブ部材２１０に対する係合要素２４６の位置は  キャリッジ１１２の支持面部分１１１、基板搬送容器１０の上述の実施形態によるベース１４等のベース（もし備えられる場合）の垂直寸法、及び基板搬送容器１２の垂直寸法に関連するアクチュエータ装置の対応するアクチュエータ材の垂直方向位置を反映する。好ましくは、アクチュエータ装置のアクチュエータ材がキャリッジ１１２に対して異なる垂直方向位置に配置される場合、係合要素２４６はそれらのスリーブ部材２１０に対して異なって配置されることが好まれるが、このように機械的に搬送容器スタックの高さの増減補償をした場合、前述したような垂直方向の位置の段階的、かつ体系的なシフトを含む垂直方向の互い違いの配置が同様に実現される。
【０２２３】
［0285］本実施形態によると、係合要素２４６は別個の要素、例えば筒状のローラータイプ要素であって、それは回動可能な方法で、対応する連結要素に取り付けられる。しかしながら、連結要素と係合要素は、その代わりに複合の要素又は単一の要素であってもよい。
【０２２４】
［0286］好ましくは、係合要素２４６はポリオキシメチレン又はポリエチレンテレフタレートなどのプラスチック材で作られ、及び非回動式に対応する金属連結要素に取り付けられ、対応するアクチュエータ装置１１４ａ又は１１４ｂの金属アクチュエータ材２５０ａ又は２５０ｂと相互作用するので、一組の硬質材料と軟質材料が摩擦係合状態になり、半導体回路の製造で、問題となるかもしれない粒子の摩擦を軽減する。例えば、もし、すり減ったプラスチックの粒子があれば、すり減った金属粒子よりもこの点においては問題になりにくい。好ましくは、アクチュエータ装置はアルミニウム製のアクチュエータ材２５０ａと２５０ｂを含む。しかし、これらのアクチュエータ材は、ステンレス製の当接部（又は反作用部、以下に説明）を含み、それは対応する係合要素と相互作用する。
【０２２５】
［0287］このような場合、係合要素２４６は、開操作時にキャッチ・アンド・ホールド位置に向けて及びその位置保持アームを有する対応するスリーブ部材２１０を回動するアクチュエータ駆動力を受け、及び開操作時にリリース位置に向けて回動するアクチュエータ駆動力を受ける。このために、対応するアクチュエータ装置１１４ａ又は１１４ｂのアクチュエータ材２５０ａ又は２５０ｂは当接部又は係合要素２４６に対する２つの当接部の対応する当接部と当接し、それに応じて、対応する係合構造２１０、２００又は２１０、２０２のカウンター当接要素２４６、又はカウンター当接要素２４６として表されてもよい。対応するアクチュエータ駆動力をこの係合要素又はカウンター当接要素２４６に加えるために、アクチュエータ材は横方向に移動させられるだけでよく、アクチュエータ装置とそのアクチュエータ材の垂直方向の動きは、アクチュエータ材を垂直方向位置又は対応する係合要素又はカウンター当接要素２４６に結合する範囲の位置に移動させるためだけに要求されるので、アクチュエータ材の横方向の動きは、当接部を有するアクチュエータ材を各係合要素又はカウンター当接要素２４６と当接係合状態にし、その結果、アクチュエータ材が、スリーブ部材２１０の上で、支持アーム２００又は２０２を用いて対応するアクチュエータ駆動力を加える。
【０２２６】
［0288］上述されたように、２つのアクチュエータ装置１１４ａと１１４ｂがオープナー装置１００の横方向かつ両サイドに配置され、それらは、縦長のアクチュエータ材２５０ａと２５０ｂそれぞれを使って、対応するオープナーサイドのオープナー装置の対応する垂直方向高さにある対応する２つの対向する保持アーム２００と２０２を作動する。アクチュエータ装置１１４ｂを示す図１７Ａから図１９Ｃを基準に以下にさらに詳しく説明されるアクチュエータ装置は、電磁駆動、サーボモータ又はステッピングモータ等、あるいは別の種類の駆動、例えば空圧駆動のような電気機械駆動を含む。駆動はアクチュエータ材２５０ｂ（又は相応してアクチュエータ材２５０ａ）を２つの対向する横方向のどちらか一方方向へ動かして、対応する保持アームを第１横方向のアクチュエータ材の動きをもとにリリース位置から捕捉位置へ持ちこみ、第２横方向、つまり第1横方向と反対の方向のアクチュエータ材の動きをもとに捕捉位置からリリース位置へ保持アームを持ちこむ。このために、アクチュエータ材はその両端部にそれぞれの一組の当接部２５２ａ、２５２ｂ及び２５４ａ、２５４ｂを含み、対応する当接部ペアのうちの１つの当接部ペア（この場合、当接部２５２ｂと２５４ｂ）は対応する係合要素すなわちカウンター当接要素２４６に対して当接して、対応する保持アームをキャッチ・アンド・ホールド位置に向けて、その位置まで枢動し、これら当接部のもう一方（この場合、２５２ａと２５４ａ）は、係合要素すなわちカウンター当接要素２４６に対して当接して対応する保持アームをリリース位置に向けて、その位置まで枢動する。
【０２２７】
［0289］従って、この対応する係合要素又はカウンター当接要素２４６との係合を可能にするために、二組の当接部が対応する係合要素２４６の対向する両横方向サイドに配置され、それは対応するアクチュエータ装置がキャリッジ１１２と共に垂直方向に動く過程においてアクチュエータ材が適切に横方向に動くことで配置される。図１９Ａに示されるように、当接部２５２ａ、２５２ｂ、２５４ａ、及び２５４ｂは上部及び下部傾斜ストラドル部を含み、それぞれの係合要素又はそれぞれのスリーブ部材２１０のカウンター当接要素２４６がそれぞれの一組の２つの当接部の間にまたがる位置をとり、アクチュエータ材のそれぞれの横方向駆動の作動運動を用いてアクチュエータ駆動力を受けるようにアシストする。
【０２２８】
［0290］開閉操作時のアクチュエータ材全体の動きは、例えばジグザグ運動である。開操作時には、キャリッジ１１２の下方向の動きに沿って、アクチュエータ材２５０ａ、２５０ｂは第1横方向に動いて一組の保持アームを捕捉位置へ持っていき、次にアクチュエータ材は第２横方向に戻って隣接する下方の保持アームの対と相互作用する準備をし、次に、アクチュエータ材がキャリッジと共にこの隣接する一組の下方保持アームを捕捉位置に持っていくために適切な垂直方向位置に到達したとき等に、再び第1横方向に動く。同じように、閉操作時にはキャリッジ１１２の上方向の動きに沿って対応するアクチュエータ材の逆ジグザグ運動が必要となる。
【０２２９】
［0291］好ましくは、アクチュエータ材がその両端に１つだけ対応する当接部を含んでいれば十分なので、開操作では対応する係合要素又はカウンター当接要素２４６に対して対応する当接部の一方のサイドと当接し、閉操作ではアクチュエータ材は対応する係合要素又はカウンター当接要素２４６に対して対応する当接部のもう一方のサイドと当接する。
【０２３０】
［0292］図１８Ａ、図１８Ｂ、及び図１８Ｃはモータケーシング２６０を除く（取付体１１６ｂからモータケーシングを取り外した）アクチュエータ装置１１４ｂを上から見た断面図である。モータケーシングは、好ましくはステッピングモータを備えるが、サーボモータでも適当であり、好都合である。モータの出力軸２６２は出力レバー２６４と、出力軸に対して偏心的に出力レバーに回動可能に取り付けられる出力ローラー２６６と共に、断面図として示されている。図１９Ｂに示されるように、出力ローラー２６６は、取付体２１６ｂの円形開口部２６８を定義し移動部２７２の水平方向のスリット２７０にかみ合う円形ローラーレーンと回転係合状態にあり、それは取付体１１６ａ内にスライド可能に支持され、アクチュエータ材２５０ｂが取り付けられる。従って、出力レバー２６４を使って出力軸２６２を同じ方向に回転させることで、アクチュエータ材２５０ｂが横方向に前後に動かされる。オープナー装置の作動過程で、出力レバー２６４を有する出力軸２６２がモータによって交互に両方向に回転させられることも否定できない。なお、これは、より単純に回転アクチュエータ駆動力をもとに横方向の動きを得る偏心駆動によって実現されてもよい。
【０２３１】
［0293］図１８Ａによると、アクチュエータ材２５０ｂは中間又は参考位置をとる。アクチュエータ装置は、好ましくはセンサー構造を備え、センサー構造は、少なくともこの中間又は参考位置にあるアクチュエータ材の存在、又はこの中間又は参考位置を通るアクチュエータ材の通過を検知する。例えば、誘導性センサー２７４は取付体１１６ｂの側部に備えられてもよく、それは移動部２７２に取り付けられる磁気要素又はアクチュエータ材２５０ｂに反応し、又はアクチュエータ材と横方向に動くその他の構造部に反応する。高周波発振器タイプのような一定の誘導性センサーは、対応する物として専用の磁気要素を必要としないが、近くの金属材料の有無に反応することが望ましい。
【０２３２】
［0294］図１８Ａのレバー位置に対して、例えば、図１８Ｂでは、出力レバー２６４は反時計回りに１４０度回転し、図１８Ｃでは、出力レバーは反時計回りに３２０度回転する。図１８Ｂによると、アクチュエータ材２５０ｂは実質、保持アームをキャッチ・アンド・ホールド位置に持っていく方向に動かされ、図１８Ｃではアクチュエータ材２５０ｂは実質、保持アームをリリース位置に持っていく方向に動かされた状態である。
【０２３３】
［0295］もし必要であれば、センサー配置はアクチュエータ材が適切な位置にあることを検知し、又はアクチュエータ材の横方向の動きと対応する現在の横方向の位置を継続的に感知することができる。
【０２３４】
［0296］構造的特徴において前記の好ましい実施例とはわずかに異なり、別の解決策も可能である。それにより、アクチュエータ材の繰り返しのジグザグ運動が回避される。これは、図２４Ａ、図２４Ｂ、及び図２５に示され、説明される。この変形例によると、傾斜係合面又は端部がアクチュエータ材の２つの端部に備えられる。すなわち、少なくとも１つ又は少なくとも一組（特に、少なくとも１つの上部係合面又は端部と１つの下部係合面又は端部）が筒状要素又はスリーブ部材２１０、又はより一般的に、保持アーム２００と２０２の各係合要素ごとに備えられる。これらの傾斜係合面は対応するアクチュエータ装置を使って開口位置又は閉鎖位置に持ち込まれ、開口位置では開操作で下方向に動く過程で保持アームを捕捉位置に持ち込み、閉鎖位置では閉操作で上方向に動く過程で保持アームをリリース位置に持ち込む。
【０２３５】
［0297］開操作のために、例えば図２５Ａ乃至図２５Ｅに示されるように、第１方向に傾く第１傾斜面は第１サイドにある係合要素に沿って下方向に動いて、対応する係合要素を介して対応する保持アームに対して捕捉位置の方向に枢動力を加える。閉操作のために、例えば図２５Ｆ乃至図２５Ｊに示されるように、基本的には第１方向に対応する第２方向に傾く第２傾斜面は、対向する第２サイドにある係合要素に沿って上方向に動いて、対応する係合要素を介して対応する保持アームに対して捕捉位置の方向に枢動力を加える。傾斜面が、対応する保持アームに結合する係合要素に対して下方向又は上方向に動く間、これらの枢動力は、対応する傾斜面と対応する係合要素の第１又は第２サイドとの係合に由来し、それは、ある種のカムとカムフォロアの相互作用によるものである。傾斜係合面はいくらか弾力的に保たれ、整列誤差を補償する。
【０２３６】
［0298］図２４Ａは図１５Ｅを改変したものであり、スリーブ部材２１０がある種の異なる係合要素２４６´を含んでいることを示し、その係合要素２４６´は図２４Ａに示されるように連結要素２４２´等の適切な連結要素を使ってスリーブ部材に取り付けられる。係合要素２４６´は、スリーブ部材の回転軸に対して直交する回転軸を有するローラー要素によって定義されることが可能だ。対応するアクチュエータ装置のアクチュエータ材の傾斜係合面はアクチュエータ材２５０ｂの対応する部分によって与えられ（つくられ）、それは当接部の代わりに反作用部として表されてもよい。図２４Ｂは当接部２５４ａと２５４ｂに代わる反作用部２５４´を示す。そして、アクチュエータ材２５０ｂのもう一方の端にある当接部２５２ａと２５２ｂは、対応するように傾斜する上部及び下部の係合面を含む対応する反作用部に取り替えられてもよく、それらは対応するスリーブ部材２１０の対応する係合要素２４６´と相互に作用し、対応するスリーブ部材２１０のカウンター反作用部又はカウンター反応要素として表されてもよい。
【０２３７】
［0299］カウンター反応要素２４６´によるカウンター当接要素２４６との差し替えと、両アクチュエータ装置１１４ａと１１４ｂに備えられる反作用部２５４´等の対応する反作用部によって二組の当接部２５２ａ、２５２ｂ及び２５４ａ、２５４ｂを差し替えることは、図１０乃至図２３Ｊに示されるオープナー装置と図２４Ａと図２４Ｂに示されるオープナー装置変形例の唯一の構造上の違いであることが好ましい。しかしながら、開操作のためには図２５Ａ乃至図２５Ｅに示され、閉操作の場合には図２５Ｆ乃至図２５Ｊに示されるように、この変形例は、対応するアクチュエータ装置１１４ａ及び１１４ｂと対応する係合構造との実質異なる種類の相互作用を可能にする。対応する係合構造とはすなわち、アクチュエータ材２５０ａと２５０ｂの対応する反作用部と、カウンター反作用部又はスリーブ部材２１０のカウンター反応要素２４６´を介した保持アーム２００及び２０２を有するスリーブ部材２１０である。
【０２３８】
［0300］図２５Ａ乃至図２５Ｊはt１からt１０まで時系列でそれぞれ対応する相互作用状態を示す。例えば、開操作及び閉操作において、各反作用部２５４´は、開操作時には反作用部２５４´の一端近く、閉操作時には、対応する反作用部２５４´のもう一端近くのカウンター当接２４６´と垂直方向に沿って適切な位置に置かれるだけである。
【０２３９】
［0301］開操作のためには、反作用部２５４´は対応する保持アームのリリース又は後退位置に対応する場所にあるカウンター反応要素２４６´と垂直方向に沿った位置に置かれることが好ましい。キャリッジ１１２の下方向の動きによって反作用部は対応するアクチュエータ装置と共に下方向に動き、その動きは反作用部２５４´の下面を対応するカウンター反応要素２４６´と係合状態に持っていき（図２５Ａ、ｔ１）、図２５Ｂ乃至図２５Ｅに示されるように、反作用部２５４´のさらなる下方向の動きはキャッチ・アンド・ホールド位置に向けてカウンター反応要素２４６´に加えられるアクチュエータ駆動力を発生させ、それは横方向の動き、具体的には、対応するスリーブ部材２１０及び対応する保持アーム２００又は２０２と共にカウンター反応要素２４６´が枢動する動きを発生させる。図２５Ｅでは、カウンター反応要素２４６´は、ターゲット位置に到達しており、そのターゲット位置は、対応する保持アームがそのホールド及び捕捉位置にたどり着いた時に置かれる場所に相当、又はごく接近した場所である。なお、この点において、例えば前述された磁気相互作用装置によって定義される個々の相互作用装置は、対応する保持アームを最終的にキャッチ・アンド・ホールド位置へ移動させることができる。
【０２４０】
［0302］閉操作のため、反作用部２５４´は、対応する保持アームのキャッチ・アンド・ホールド位置に対応する位置にあるカウンター反応要素２４６´と垂直方向と一致する位置へ持ち込まれることが好ましい。反作用部２５４´が対応するアクチュエータ装置とキャリッジ１１２と共に上方向に動くことで、各反作用部２５４´の上面が対応するカウンター反応要素２４６´と係合状態に持ち込まれ（図２５F、ｔ６）、図２５Ｇ乃至図２５Ｊに示されるように、反作用部２５４´がさらに上方向に動くことで、横方向の動き、より正確には対応するスリーブ部材２１０及び対応する保持アーム２００又は２０２と共にカウンター反応要素２４６´の枢動運動を発生させる。図２５（Ｊ）において、カウンター反応要素２４６´はターゲット位置に到達しており、そのターゲット位置は、対応する保持アームがそのリリース位置にたどり着いた時に置かれる場所に相当、又はごく接近した場所であることを示す。なお、この点において、例えば前述された磁気相互作用装置に定義される個々の相互作用装置は、最終的に対応する保持アームをリリース位置に移動させることができる。
【０２４１】
［0303］図２５Ａ乃至図２５Ｊは、開閉操作それぞれにおいて、すべてのカウンター反応要素に関して及び、４本の取り付け支柱に取り付けられる保持アームの垂直方向の4セットすべての、保持アームを有するすべてのスリーブ部材について体系的に示している。
【０２４２】
［0304］この変形例によると、対応するアクチュエータ材を２つの交互の操作位置（１つは開操作位置、もう１つは閉操作位置）のひとつに選択的に、持ち込むだけなので、２つのアクチュエータ装置１１４ａと１１４ｂのアクチュエータ材２５０ａと２５０ｂの動きを簡単に制御するだけで十分である。
【０２４３】
［0305］図２６は、オープナー装置１００の変形例による対応するスリーブ部材２００を有する保持アーム２００及び２０２の詳細図である。簡略化のために、同一及び同類の要素に同じ参照番号を使用する。本実施形態によると、スリーブ部材２１０はスクリュー穴の並行する２列２４０aと２４０bを備え、対応する連結要素を取り付ける。る。  その連結要素は、例えば図２６に示される長い連結要素２４２であり、対応する係合要素２４６を、その係合要素が取り付けられるスリーブ部材の上に配置されるように取り付けるものである。
【０２４４】
［0306］上述されたように、取り付け支柱に取り付けられ、磁気的に当接要素２３０と相互作用する径方向に突出する当接ピン２３２は、対応するスリーブ部材２１０の２つの当接要素２３０の間に設けられる。これらの要素は対応するスリーブ部材の操作位置と対応する長い方の保持アーム２００又は短い方の保持アーム２０２の２つの操作位置を定義する。
【０２４５】
［0307］保持アーム２００及び２０２は、各保持アームが対応する通り穴２０３を含むという点において前項で考慮された保持アームとは異なる。すべての保持アームが同一の操作位置につく、例えばキャッチ・アンド・ホールド位置又はリリース位置のどちらかにつく場合、ライトビームセンサー構成が発するライトビームが遮断されることなく、通り穴２０３のすべてを通って伝達するように全ての通り穴２０３が並べられる。この通り穴２０３により、オープナー装置１００のコントローラは、保持アームがすべて同じ操作位置に着くことを検知するように構成又はプログラムされることが可能だ。
【０２４６】
［0308］全ての保持アームがこのリリース位置につく場合、通り穴２０３を通り、垂直方向に伝達するライトビームを発する適切に配置されたライトビームセンサー構成により、少なくとも垂直方向に互い違いに並ぶすべての保持アームの正しい配置が検出されることが好ましい。しかしながら、ライトビームがリリース位置につかない１つ又は複数の保持アームに遮断される場合、関連するアクチュエータ装置１１４ａ又は１１４ｂを有するキャリッジ１１２が保持アーム全てをリリース位置に置くように操作され、基板搬送容器スタックの新たな開操作に向けて準備される。
【０２４７】
［0309］オープナー装置１００の４つの垂直列の保持アームそれぞれに対してこのようなライトビームセンサー構成を２つ備えることが可能であることが好ましく、その2つのライトビームセンサー構成のうち１つは保持アームすべてがリリース位置に着くことを検出し、もう１つは保持アームすべてがキャッチ・アンド・ホールド位置に着くことを検出する。対応する垂直方向の保持アームのセットがこれら２つの条件を満たすことで、対応するライトビームは保持アームすべての通り穴２０３を通って伝達されることができる。
【０２４８】
［0310］図２６は、保持アームが間仕切りパネル１６４ａの対応する水平方向のスリット２０７に係合しないか、わずかに係合するリリース位置に着くことを示す。さらに、アクチュエータ装置１１４ａのアクチュエータ材２５０ａの係合又は当接端部が示される。キャリッジを上方向に少し動かすことで、隣接する係合要素２４６がこの係合又は当接端部の２つの当接部の間に配置され、その結果、アクチュエータ装置１１４ａを適切に操作することで、関連するスリーブ部材２１０の長い方の保持アーム２００はキャッチ・アンド・ホールド位置に着くように動かされる。
【０２４９】
［0311］オープナー装置１００は少なくとも１つのライトビームセンサー、例えば上部及び下部ライトビームセンサーを含んでもよく、それはキャリッジ１１２と共に上下方向に動く。開操作時には、対応するライトビーム装置のライトビームが対応する捕らえられた基板搬送容器の基板（例えばウェハ）及び捕らえられた基板搬送容器自体に沿って下方向に通過し、閉操作時には、対応するライトビーム装置のライトビームはリリースされ取り上げられる次の基板搬送容器とこの基板搬送容器の基板（例えばウェハ）に沿って上方向に通過し、これらの要素は、対応するライトビームセンサーの出力信号で特定のサインを伝え、開閉操作の正しいコースと、基板が正しい位置に配置され壊れていないかをモニターする。
【０２５０】
［0312］好ましい実施形態及びこれまで参照された変形例によるオープナー装置１００は、上部センサー及び下部センサーを含む少なくとも一組のライトビームセンサー又は光バリアセンサーを含む。上部センサーと下部センサーは直接的又は間接的に２つのアクチュエータ装置１１４Ａ及び１１４ｂのそれぞれに取り付けられる。アクチュエータ装置１１４ｂにはこのような一組のセンサー、つまり上部センサー２８０ｂ及び下部センサー２８２ｂが備えられ、アクチュエータ装置１１４ｂは垂直方向に延びるホルダー２８４ｂを使って取付体１１６ｂに取り付けられるので、２つのセンサーは互いに対して垂直方向にずらして配置される。下部センサー２８２ｂはアクチュエータ材２５０ｂとほぼ同じ垂直方向高さに配置され、上部センサー(２８０b)は下部センサーに対して実質的に上方向にずらした位置に配置される。これらのセンサーは、一つの要素に一体化された光透過回路や光受信回路を含む反射センサーであってもよい。例えば、図１７Ａ及び図１７Ｂは  互いに対して垂直方向に少しずらされた両センサー２８０ｂ及び２８２ｂの光出力と光入力の存在を示す。この場合、例えばもう１つのアクチュエータ装置１１４ａ側に、結合されていない要素が必要であるが、各センサータイプと同様の一組のセンサーもアクチュエータ装置１１４ａの側に備えられてもよい。これは、図１２及び図１３に示されるように、キャリッジ１１２の両サイドにある対応するアクチュエータ装置１１４ａ及び１１４ｂのモータケーシングに隣接するセンサーホルダー２８４ａ及び２８４ｂの存在によって示される。
【０２５１】
［0313］なお、前記ホルダーの１つは上部光送信器を備え、もう１つのホルダーが上部光受信器を備え、ホルダーの１つが下部光送信器を備え、もう１つのホルダーが下部光受信器を備え、それらホルダーは上部ライトビーム又は一方向タイプの光バリアセンサー、及び下部ライトビーム又は一方向タイプの光バリアセンサーを定義する。これらのライトビームセンサー又は光バリアセンサーの実現により、基板搬送容器１２及び基板３０を確実に検出、モニタリングできる。
【０２５２】
［0314］キヤリッジ１１２の上で上方へ移動し、かつ下方へ移動する基板搬送容器スタックの高さが変化することは、少なくとも１つの上方センサーと少なくとも1つの下方センサーを備えることと、開口操作処理の下方への移動過程で当該上方センサーから当該下方センサーへの切り替えと、閉口操作の処理の上方への移動過程で当該下方のセンサーから当該上方のセンサーへの切り替えによりひきおこされる。基板搬送容器が保持アーム２００及び２０２に保持される場合に、２つのセンサーの垂直位置はキャリッジ１１２の支持面部分１１１に対して相対的に適切に選択され、かつ当該垂直位置は基板搬送容器と開口状態か又は非積み重ね状態の位置で基板搬送容器に保持された基板の垂直位置に関する点において適切に選択される。もし、より高い基板搬送容器スタックがオープナー装置により取り扱われ、かつ少なくとも部分的に開口及び閉口されるべき状況になったとしても、キャリッジのそれぞれ対応する側に２つ以上のこのようなセンサーが備えられ、互いに対して垂直方向に適切に配置されることが可能になる。
【０２５３】
［0315］ライトビームセンサーは、開閉操作を有効的にモニタリングし、さらに基板（例えば、半導体ウェハ）の正しい位置及び状態をモニタリングする。
【０２５４】
［0316］さらに、オープナー装置の操作をモニターするために、キャリッジ１１２は少なくとも１つのセンサーを備え、センサーは基板搬送容器スタックが支持面部分１１１上に存在し正しい位置にあることを感知するように適応される。例えば、誘導性センサー２９０がキャリッジの適切な容器に備えられ、かつ対応する基板搬送容器スタックのベースに組み込まれ、又は取り付けられた磁気要素又は金属要素に反応するように、又はもしステンレスやアルミニウム等の金属材料で作られている場合にベースに反応するように適応されてもよい。キャリッジ１１２はさらに、１つ又は複数の配置又はセンタリング要素、例えばセンタリング突出部２９２を含んでもよく、それは対応する基板搬送容器スタックのベースの適切な配置又はセンタリング要素、例えばセンタリング開口部又はセンタリング凹部と係合する。この点において、図１４Ａ及び図１４Ｂ及びその他の図のキャリッジ１１２は単なる一例であり、ベース及びその変形例のデザインと支持部分又は処理装置のグリッパー又はキャリッジ１１２上に、又はキャリッジ１１２から基板搬送容器スタックをロード及び／又はアンロードするロボットアーム配置のデザインに基づいている。
【０２５５】
［0317］例えば、ベースは図６、７Ａ、及び７Ｂに示されるベース１４のように平面の底面を含む。この場合、キャリッジ１１２の底面部分１１１に支持されるベース１４の底面とキャリッジの中央の平面状の部分の上部面１１３の間に比較的大きな垂直方向の隙間がある。しかし、代わりに、ベースは、その下側に、つまりキャリッジの支持面部分１１１に支持されるベースの表面部分に対して下方向に突出する側に基板を備えもよい。上部面１１３と支持面部分１１１の間の垂直方向のずれからできるこの隙間に収容されるこれらの構造は、パージングガス供給と排出ラインをベースのパージングガス供給構造と接続することができる。基板搬送容器スタックがストッカー構成、例えば前述されたクリーンルーム設備の１つのストッカー構成に保管されている時に、閉鎖された基板搬送容器スタックに保管された基板にパージング処理が施されてもよい。キャリッジ１１２はまた、もし必要であれば、他の種類のベースを支持するために異なるデザインを有してもよい。さらに、この隙間は、ベースと前述されたサポート部分又は処理装置のグリッパー又はロボットアーム配置の間の適切な係合を可能にする。
【０２５６】
［0318］２つのアクチュエータ装置１１４ａ、１１４ｂ及び上述されたセンサーは適切な電気配線を用いて対応制御及び電力供給と接続されている。すべての電気配線が、オープナー装置１００の１サイドで束になってキャリッジ構成に繋げられることが好ましい。例えば図２３Ａと２３Ｃに示されるように、配線束は、いわゆるエナジーチェーン又はＥ−Ｃｈａｉｎ２９４内に保護され、その一端はオープナーの筐体に取り付けられ、もう一端は直接又は間接的にアクチュエータ装置、この場合アクチュエータ装置１１４ｂに属する取付体１１６ｂの取付体に適切な部品を使って取り付けられる。図１４Ｂに示されるように、キャリッジ１１２はその下側にカバープレート要素を備えてもよく、それは電気配線がアクチュエータ装置と上部面１１３のもう一方のサイドに配置されるセンサーを接続するために通るスペース又は経路を保護する。
【０２５７】
［0319］オープナー装置１００はキャリッジ１１２の現在の垂直位置を感知するために少なくとも１つのセンサーを備えることが好ましい。例えば、キャリッジ１１２の上下の動きは駆動軸及び出力軸の回転及び回転角度によってもたらされるので、キャリッジ１１２に結合する２つのベルトアクチュエータの駆動軸１４０又はサーボモータ１３６の出力軸は、ロータリーエンコーダを備えてもよい。しかしながら、このようなキャリッジの実際の垂直方向位置とその上下垂直方向の動きの間接的な測定の代わりに、直接測定もまた有効である。これを達成するために、光センサーを使って、対応するセンサーと参照要素又はキャリッジ構成の参照表面部分の間の垂直方向距離が測定される。特に、少なくとも１つの光学式距離センサー、例えば、同ハウジングに配置される光送信器及び受信器を含むいわゆる拡散センサーは、筐体又はオープナー装置の別の固定部品の１つに取り付けられ、反射ターゲットとしてキャリッジ構成の一部分、例えばアクチュエータ装置の１つの一部分又はそこに取り付けられ又は属する構成部品を含む。例えば、このような光学式距離センサーはその上部領域で間仕切りパネル１４０ａと１４０ｂの１つに取り付けられ、反射ターゲットとしてアクチュエータ装置１１４ｂのアクチュエータ材２５０ｂ又はアクチュエータ装置１４４ａのアクチュエータ材２５０ａを結合することができる。このセンサーを適切な電力供給及びコントローラと繋ぐ電気配線及びその他の必要な電気配線は、オープナー装置１００を通って及びオープナー装置１００の部品に沿って導かれ、ケーブルコネクター及びケーブル止め具を使って適切な位置でこのような部品に固定される。このようなケーブルコネクター又はケーブル留め具２９８は、例えば図２３Ｂに示される。
【０２５８】
［0320］このような光学式距離センサーは、オープナー装置１００の開閉操作時の、キャリッジ１１２の現在の垂直方向位置及びその上方向及び下方向の動きを正確に感知することができる。別のよい方法として、ロータリーエンコーダは、開閉操作時のキャリッジ１１２の現在の垂直方向位置と、上方向及び下方向の動きを間接的であるが十分に正確に感知することが可能であり、現在の垂直方向位置とその動きを動的に感知することができる。このロータリーエンコーダにより、キャリッジ１１２を十分に、正確な上部ローディング及びアンローディング位置、つまり対応する基板搬送容器がキャリッジにロードされ、かつキャリッジからアンロードされる位置に持ちこむことができる。そして、開操作時に、キャリッジが適切に下方向に動かされ、キャリッジが下部操作位置、例えば下部限度位置に対応又は近い位置にたどり着いた時に下方向の動きが適切に止められ、キャリッジが上部ローディング及びアンローディング位置まで適切に上方向に戻され、もし備えられる場合、上部受け取り位置までさらに上方向に動かされる。さらに、保持アームが、移動可能なアクチュエータ装置１１４ａ及び１１４ｂの代わりに筐体に取り付けられる対応する個々のアクチュエータを使って個々に作動される場合、これら個々のアクチュエータ装置は適切に制御され、キャリッジ１１２の現在の垂直方向位置を示す垂直方向距離センサー又はロータリーエンコーダが提供する垂直方向位置及び動きデータを元に保持アームをキャリッジの下方向の動きとキャリッジの上方向の動きに連動させて作動させる。
【０２５９】
［0321］ここまで、オープナー装置１００は各基板搬送容器スタックに対して１つだけ上部ローディング及びアンローディング位置を含み、それはオープナー装置のキャリッジ１１２の上部操作位置に相当する。キャリッジのこの上部操作位置は、基板搬送容器スタックがオープナー装置の第２サイドにあるローディング及びアンローディングポートを通ってキャリッジにロードされ、及びこのローディング及びアンローディングポートを通ってキャリッジ１１２からアンロードされることを可能にする。キャリッジ１１２のこの上部操作位置は、キャリッジのローディング及びアンローディング位置として適切に表される。
【０２６０】
［0322］しかしながら、キャリッジが上部操作位置に着く時、つまりキャリッジから対応する基板搬送容器スタックをアンロードできる位置、及び、特にキャリッジの対応する基板搬送容器スタックをロードできる位置に着く時、もし基板搬送容器スタックがローディング及びアンローディングポートを通ってロードされ、キャリッジ１１２とは独立してオープナー装置１００内にキャリッジに現在ロードされている基板搬送容器スタックの上の補助ホールド位置に保持されれば、さらなる利点が達成される。
【０２６１】
［0323］キャリッジ１１２とは独立してオープナー装置１００に基板搬送容器スタックをロードできると、開閉操作がすでに実行されている前の基板搬送容器スタックが第２操作ステップでキャリッジ１１２からアンロードされる前に、第１操作ステップで新たな基板搬送容器をオープナー装置１００にロードすることが可能になる。
【０２６２】
［0324］従って、新たな基板搬送容器スタックをオープナー装置１００内のこの補助ホールド位置にロードした後、前の基板搬送容器スタックがその上部アンローディング位置にあるキャリッジ１１２からアンロードされ、ストッカー構成等のローディング位置に戻される。いま新たな基板搬送容器スタックを自由に運搬できるようになったキャリッジ１１２は、既に前述された上部受け取り位置に向かって上方向に動かされ、新たな基板搬送容器スタック、特にそのベースと支持係合状態になる。新たな基板搬送容器スタックは、補助のホールド位置を定義する関連ホルダーによってリリースされ、次に、新たな基板搬送容器スタックを有するキャリッジは下方向に動かされて開操作を実行し、再び上方向に動かされて閉操作を実施し、続いてこの基板搬送容器スタックをキャリッジ１１２からアンロードする。
【０２６３】
［0325］この基板搬送容器スタックがキャリッジからアンロードされる前に、次の基板搬送容器が既にオープニング装置１００にロードされホルダーを使って保持されたという状態もあり得る。  基板搬送容器スタックをオープナー装置のローディング及びアンローディングポートとストッカー配置等の間で搬送する対応するハンドリング又はロボットアーム構成は、新たな基板搬送容器スタックを１つのワークフロー内でオープナー装置１００へロードし、及び前の基板搬送容器スタックをオープナー装置からアンロードすることができる。前の基板搬送容器スタックをローディング及びアンローディングポートからアンロードした後のみ、次の基板搬送容器スタックをオープナー装置のローディング及びアンローディングポートに入れる必要はない。前の基板搬送容器スタックがストッカー構成等に戻される間、次の基板搬送容器スタックを既に開操作に出してしまうことができる。そのため、オープナー装置１００を使った基板搬送容器スタックの処理能力は実質的に向上する。
【０２６４】
［0326］前項の図で示されたオープナー装置１００及びその変形例は、開閉操作に送り出される対応する基板搬送容器スタックのための上部ローディング位置の追加または補助を可能にする。これを達成するために、オープナー装置１００は４つの電磁アクチュエータ３００、好ましくはソレノイドアクチュエータ３００を含み、それは回動可能にオープナー装置の上部領域でオープナー装置の筐体に取り付けられる。図１０及び１１に示されるように、対応する間仕切りパネル１６４ａ及び１６４ｂの外側には、２つのこのような電磁アクチュエータ３００がオープナーの第３サイドに備えられ、２つのこのような電磁アクチュエータ３００がオープナー装置の第４サイドに備えられる。
【０２６５】
［0327］オープナー装置の第１サイド近くの第３サイドに配置される電磁アクチュエータ装置３００が、間仕切りパネル１６４ｂに取り付けられる隣接する反射光センサー２９６、例えば反射光ビームセンサー、特にいわゆる拡散センサー又は拡散反射センサー２９６と共に図２７の部分的詳細側面図に示される。
【０２６６】
［0328］アクチュエータ３００の出力棒３２０は保持要素３２２の回転支持部３２４に対して偏心的に、対応する鍵型の保持要素３２２と回動可能に接続され、それは以下で保持フック３２２として表される。ただし、保持要素は代わりに異なった形で、異なった方法で移動可能になり得る。
【０２６７】
［0329］本実施形態によると、対応する保持フック３２２は、対応する保持フック３２２の保持部分３２６が対応する間仕切りパネル１６４bの垂直方向の溝３２８を通ってオープナー装置の内部スペースに延びて次の基板搬送容器スタックを支持するホールド位置と、保持フック３２２が対応する垂直方向の溝３２８を通らずに内部スペースに延びる又は対応する垂直方向の溝３２８を少し通って内部スペースに延びるリリース位置の間を回動する。対応する間仕切りパネル１６４bの内側の図である図２７及び図２８は、オープナー装置１００のこのサイドにホールド位置を取る保持フック３２２を示す。対応する電磁アクチュエータ３００は、この位置では非通電であることが好ましい。アクチュエータ３００に組み込まれた付勢バネは、出力棒を介してホールド位置に向かって対応する保持フック３２２を偏らせる。内部スペース内に突出する保持部分３２６を有する向かい合う保持フック３２２はまた、図２３Ｈに示される。
【０２６８】
［0330］アクチュエータ３００を作動させると、出力棒３２０が保持フックに向かって動き、実質的には下方向に動き、又は下方向にやや傾くので、保持フック３２２が約９０度枢動する。そのため、保持部分３２６は、保持フックがリリース位置をとるまで、実質的に上方向、かつ内部スペースの外方向に枢動する。なお、例えば、対応する保持要素がリリース位置を取るまで、実質的に下方向かつ内部スペースの外側方向に枢動する保持部分を含むような、鍵型の保持要素又は他の種類の保持要素のような異なる動態を用いてもよい。
【０２６９】
［0331］オープナー装置のこのサイドに位置するこれら２つの保持フックとオープナー装置の反対側に位置する対応する別の２つの保持フックに支持された基板搬送容器スタックは、保持フックにリリースされた後、上方向に支持係合部に移動したキャリッジ１１２に支持される。その後、次の開閉操作を実行できる。
【０２７０】
［0332］上述されたように、例えば図１１に示されるように、第３サイドのホールド位置にある対応する保持部分３２６と共に内部スペースに延びる保持フック３２２が２つあり、例えば図１０に示されるように、オープナー装置の第４サイドのホールド位置にある対応する保持部分３２６と共に内部スペースに延びる保持フック３２２が２つあるので、対応する新たな基板搬送容器スタックはオープナー装置内の上部又は予備ローディング位置に安全に保持される。なお、しかしながら、異なる保持構造部が備えられ、追加の上部又は補助ホールド位置の利点を得て、対応する基板搬送容器スタックに開閉操作を実施する。
【０２７１】
［0333］オープナー装置の第３面側の間仕切りパネル１６４ｂの内側から見て、間仕切りパネルのもう一方のサイドにあるライトビームセンサー２９６によって発信されるセンシングライトビーム３３０が間仕切りパネルの中の開口部を通して送出される様子が図２８にさらに図示されている。本ライトビームセンサー２９６は保持フック３２２により保持される新しい基板搬送容器スタックの存在を検出するために設けられ、検出された当該基板搬送容器は開口及び閉口処理へと送られる。
【０２７２】
［0334］別のこのようなライトビーム３３４がライトビーム３３０の下に示され、間仕切りパネルの別の開口部３３６を通って放出される。このライトビームは、図１１に示されるように別のこのようなライトビームセンサー２９７によって放出され、それは同一の間仕切りパネル１９４bに取り付けられ、アンローディング位置として機能する上部操作位置にあるキャリッジ１１２に支持される基板搬送容器スタックの存在を検知する。実際には、これは開閉操作が既に完了しストッカー構成等に戻される基板搬送容器スタックである。ライトビーム３３０及び３３４はまた図１０にも示される。
【０２７３】
［0335］センサーは、オープナー装置１００内の対応する位置に、対応する基板搬送容器スタックが存在又は不在であることを示すシグナルをオープナー装置のコントローラ（例えば図３７に体系的に示されるようなコントローラ３４０）に送信し、基板搬送容器スタックの高い処理能力を有するオープナー装置の正しい操作を可能にする。
【０２７４】
［0336］ベルトアクチュエータ及びキャリッジ１１２の上方向及び下方向の動きを制御する関連するコントローラの故障の際に構成部品のダメージを避けるため、オープナー装置はオープナー装置１００の上部領域及び／又は下部領域に１つ又は複数のゴムバンパーを含んでもよい。このようなゴムバンパーはベルトアクチュエータの緊急遮断に含まれてもよく、少なくとも１つのこのようなゴムバンパーに対してキャリッジ構成の少なくとも１つの適切な部分の突起がサーボモータ１３６への電力供給を遮断する。
【０２７５】
［0337］好ましくは、オープナーは基板のローディング及びアンローディングポートの上又は上部領域の第１サイドにイオン化装置３０２を備え、それはこのアンローディング及びローディングポート付近の静電気を除去又は大幅に減らす。このために、イオンが生成され、放出されてイオン平衡に近づき、好ましくはイオン平衡を得て維持する。イオン化装置３０２には電力及び清浄乾燥空気、特に加圧清浄空気が供給される。加圧清浄乾燥空気供給の関連する磁気バルブ３０４が図２２Ｂに示される。イオン化装置３０２は少なくとも１つのフィードバックセンサーを含んでもよく、それはローディング及びアンローディングポート内の適切な位置に配置される。オープナー装置は、さらにオープナーの第２サイドにイオン化装置を含んでもよく、基板搬送容器のローディング及びアンローディングポートに結合する。
【０２７６】
［0338］半導体製造工場等、例えば上述されたクリーンルーム設備へのオープナー装置１００の設置について、オープナー装置は、電気配線及び供給ラインを収容する少なくとも１つのチャンネルを含む支持構造部上に配置され、可能であれば、少なくとも１つの加圧清浄空気供給ラインを含み、オープナー装置に向かい、かつオープナー装置内に入るこのために、オープナー装置はそのベースプレート１０４に貫通開口部３０６を含み、ベースプレート１０４は貫通開口部３０６及び支持構造部の貫通開口部を適切な状態にして支持構造部上に配置される。ベースプレートの貫通開口部３０６又はベースプレートの別の貫通開口部は、オープナー装置から少なくとも１つの経路又は支持構造部の専用のパージング経路を通ってパージングエアを排出してもよい。
【０２７７】
［0339］オープナー装置１００からベースプレートに向かってかつ支持構造部のこのような経路等の中へパージングエアが下向きに流れて、エアーの適切なパージングを実現するために、適切なファン又はブロワが備えられてもよい。好ましくは、少なくとも１つのこのようなファン又はブロワがそれぞれ対応する間仕切りパネル１６４ａ及び１６４ｂの外側で、オープナーの第３サイド及び第４サイドにあるベースプレート１０４に取り付けられ、及び好ましくは間仕切りパネル１８０の外側で、オープナー装置の第２サイドにも取り付けられるので、例えばオープナー装置の部品つまりベルトアクチュエータの機械的相互作用による摩擦、及び、特に保持アーム２００及び２０２の係合要素２４６及び２４６´とアクチュエータ材の間の相互作用によるすり減った粒子が、対応する基板搬送容器スタックが開口又は一部開口された状態で基板がアクセス可能であるオープナー装置の内部スペースに侵入しない。基板にこのようなすり減った粒子が侵入しないように、オープナー装置１００の保持アーム２００及び２０２の係合要素２４６は、４本の保持アームのセットに開口状態で支持される対応する基板搬送容器の台座内に保持される対応する基板の垂直方向位置から比較的下方向に離れた位置に配置される。これは、保持アームの説明された設計と保持アームのスリーブ部材及び対応する係合要素を保持する連結要素で実現され、またオープナー装置の保持アーム上に支持される基板搬送容器フレームから上方向に延びる基板保持アームを含む各基板搬送容器を適切に設計することで実現される。
【０２７８】
［0340］本実施形態では、オープナー装置は３つのこのようなファン又はブロワを備え、その１つがオープナー装置の３つの側面それぞれに設けられ、かつ対応する間仕切りパネルの外側に設けられる。これらのファン又はブロワ３０８ａ、３０８ｂ、及び３０８ｃは、例えば軸流ファン又は軸流ブロワである。この場合、ファン又はブロワはベースプレート１０４に取り付けられ、対応するファン又はブロワの下の対応する貫通穴に一致し、対応する貫通開口部を経てオープナー装置１００が配置される支持構造部内へ及び支持構造部経由でパージングエアを排出する。なお、これらのファン又はブロワは径方向のファン又はブロアであっても良く、それは対応する間仕切りパネルの開口部を通って、金属シートプレート１４２の下のオープナー装置のスペースの中へ両側方にパージングエアを排出し、金属フェイスプレート１６０及び間仕切りパネルによっても環境から遮断される。この場合、パージングエアはベースプレート１０４の貫通開口部３０６を通って支持構造部中へ及び支持構造部経由で排出される。
【０２７９】
［0341］従って、オープナー装置１００は、機械部品の機械的相互作用によって生成されるすり減った粒子が基板、特に半導体ウェハへ侵入しないように保護する適切な下方向に流れるパージングガスを備えてもよい。基板は開口状態にある対応する基板搬送容器に保持され、又は開口状態にある対応する基板搬送容器の台座から搬送され又は台座へ向かって搬送される。
【０２８０】
［0342］以下に参照する概略図は、本発明の好ましい実施形態によるオープナー装置の好ましい操作を説明し、前述されたオープナー装置及びその変形例の好ましい実施形態を含む。簡略化のために機能又は見た目が同等の構成部品には同じ参照番号を使用する。対応するオープナー装置は対応する移動機構１０１を表す部品を含む構造部品のいくつかによってのみ表される。
【０２８１】
［0343］図２９Ａはオープナー装置の模式的キャリッジ１１２に配置される基板搬送容器のスタックを示す。基板搬送容器スタック１０はベース及びカバーを除いて示される。しかしながら、基板搬送容器スタック１０は互いに積みかねられる基板搬送容器１２に加え、ベースとカバーを含んでもよい。基板搬送容器１２は対応する基板搬送容器１２に保持される基板３０と共に示される。キャリッジ１１２は上部操作位置、特に上部ローディング及びアンローディング位置又は上部アンローディング位置、又はオープナー装置の上部スタート位置に示される。
【０２８２】
［0344］図２９Ｂはオープナー装置内の下部操作位置に位置するキャリッジ１１２と共に非積み重ね状態にある基板搬送容器１２を示す。
【０２８３】
［0345］図２９Ａ及び図２９Ｂでは、キャリッジ１１２が基板搬送容器スタック１０のどちらか一方のサイドにある模式的なアクチュエータ材２５０ａ及び２５０ｂと共に示され、それはまたアクチュエータ装置１１４ａ及びアクチュエータ装置１１４ｂのような対応するアクチュエータ装置を表し、それは、共通の下方向及び上方向への移動のためにキャリッジ１１２に支持されるか、又は連結される。図２９Ｂによると、基板搬送容器１２は模式的に示される保持アーム、すなわち長い方の保持アーム２００又は短い方の保持アーム２０２、あるいは垂直方向に沿って交互に配置される短い保持アーム２００と長い保持アーム２０２によって保持される。従って、図２９Ｂは例えば、前述された詳細図によるオープナー装置を表すが、１種類の保持アームのみを使って対応する垂直方向に延びる保持アームのセットを定義するのも可能である。
【０２８４】
［0346］保持アームは対応する係合要素２４６と共に示され、対応する保持アーム２００又は２０２の垂直方向位置に対して所定の垂直方向位置にある対応する連結材によって保持され、開閉操作の過程で基板搬送容器スタック１０の前述された高さのばらつき補償を実現する。
【０２８５】
［0347］図２９Ｂによると、最下段基板搬送容器１２はキャリッジ１１２上の開口位置に配置される。しかし、代わりに、最下段板搬送容器は分離開口状態において垂直方向のホールド位置を定める対応する追加の保持アームのセットによって保持されてもよい。さらに、最下段の基板搬送容器１２は基板搬送容器スタック１０のベースに置き換えられてもよく、最上段の基板搬送容器１２は基板搬送容器スタック１０のカバーに置き換えられてもよい。
【０２８６】
［0348］オープナー装置はオープナー装置内の一定の垂直方向位置に備えられた保持アームのセットよりも多くの搬送容器を有する基板搬送容器のスタックを処理することができるので、スタックの選択された基板搬送容器のサブグループのみが開口され、前述されたように垂直方向に互い違いに配置されたオープナー装置の対応する関連する保持アームのセットによって保持される。
【０２８７】
［0349］図３０Ａ乃至３０Ｃはこのようなオープナー装置及び対応する基板搬送容器スタック１０が対応して部分的に開口された状態を示す。また、図３０Ａ乃至図３０Ｃでは、ベース及びカバーは示されていないが、基板搬送容器スタックはキャリッジ１１２上に支持されるベース及び最上段の基板搬送容器１１２上に積み重ねられたカバーを含んでもよい。
【０２８８】
［0350］基板搬送容器スタックの上部の基板搬送容器のセット及び下部の基板搬送容器のセットを選択して操作するために、好ましくは、キャリッジ１１２と共に移動可能になるように、アクチュエータ材２５０ａ及び２５０ｂがそれらの結合するアクチュエータ装置と共に備えられるだけでなく、駆動材２５０ａサイドの追加の上部アクチュエータ材２５０ｃ、及びアクチュエータ材２５０ｂサイドの追加の上部アクチュエータ材２５０ｄが備えられ、それらはまた対応するアクチュエータ装置を示す。上部のアクチュエータ材２５０ｄ及び２５０ｃは個々に下部アクチュエータ材２５０ａ及び２５０ｂから移動可能である。基板搬送容器スタック１０の上部の基板搬送容器１２のセット上で作動するために、対応する上部のアクチュエータ材２５０ｃ及び２５０ｄを有する上部アクチュエータ装置は、作動して保持アーム２００／２０２の係合要素２４６と係合し、図３０Ｂのように基板搬送容器スタックは部分的に非積み重ね状態になり、基板搬送容器スタックの上部サブグループの基板搬送容器１２が開口される。アクチュエータ材２５０ａ及び２５０ｂを有する下部のアクチュエータ装置を交互に作動することで、図３０Ｃのように部分的に非積み重ね状態になり、基板搬送容器スタックの下部サブグループの基板搬送容器１２が部分的に分離され開口される。また、最下段の基板搬送容器１２は基板搬送容器スタック１０のベースに置き換えられてもよく、最上段の基板搬送容器１２は基板搬送容器スタック１０のカバーに置き換えられてもよい。
【０２８９】
［0351］オープナー装置１００の詳細図を参照して説明されるように、オープナー装置はアクチュエータ材２５０ｂサイドにある上部ライトビームセンサー２８０ｂ及び下部ライトビームセンサー２８２ｂ、及び同様にアクチュエータ材２５０ａサイドにある上部ライトビームセンサー２８０ａ及び下部ライトビームセンサー２８２ａを含むライトビームセンサーを備えてもよく、それらは共通の下方向及び上方向への移動のためにキャリッジ１１２と連結される。上述されるように、センサーは反射センサーであってもよい。なお、要素２８０ａ及び２８０ｂの一方はライトビーム放出部であり、これらの要素のもう一方は上部ライトビームセンサーのライトビーム受信部であってもよく、同様に、要素２８２ａ及び２８２ｂの一方はライトビーム放出部であり、これらの要素のもう一方は上述されたように下部ライトビームセンサーのライトビーム受信部であってもよい。図３１はこのライトビームセンサーを模式的に示している。
【０２９０】
［0352］基板３０の積み重ね及び分離及び状態はライトビームセンサーによってモニターされる。異なる高さの基板搬送容器スタックを収容するために、下方向の動きの過程で対応する上部センサーから対応する下部センサーへ切り替え、上方向の動きの過程では対応する下部センサーから対応する上部センサーへ切り替えることができる。
【０２９１】
［0353］図３０Ａ乃至図３０Ｃに示されるよりも多くの基板搬送容器を含む基板搬送容器スタック１０を部分的に分離する場合にも同じことが同様に達成される。これを達成するために、少なくとも１つの上部ライトビームセンサー若しくは２つのライトビームセンサー部、及び少なくとも１つの下部ライトビームセンサー若しくは２つのライトビームセンサー部の追加のセットが備えられ、それは例えば、アクチュエータ材２５０ｃ及び上部ライトビームセンサー２８０ｄのサイドにある上部ライトビームセンサー２８０ｃ、又はライトビームセンサー部２８０ｃ及び下部ライトビームセンサー２８２ｃ、又はライトビームセンサー部２８２ｃ、あるいはアクチュエータ材２５０ｄのサイドにあるライトビームセンサー部２８０ｄ及び下部ライトビームセンサー２８２ｄ、又はライトビームセンサー部２８２ｄである。図３２は上部及び下部アクチュエータ材と、少なくとも１つの上部のライトビームセンサーセット２８０ｃ、２８２ｃ、２８０ｄ、２８２ｄ及び少なくとも１つの下部ライトビームセンサーセット２８０ａ、２８２ａ、２８０ｂ、２８２ｂを模式的に表す。アクチュエータ材２５０ｃ及び２５０ｄが上部サブグループの基板搬送容器を部分的に分離するために作動される場合、アクチュエータ材２５０ｃのサイドの上部一組のセンサー又はセンサー部２８０ｃ及び２８２ｄと、アクチュエータ材２５０ｄのサイドの上部一組のセンサー又はセンサー部２８０ｄ及び２８２ｄが使用される。下部サブグループの基板搬送容器スタック上で作動するために、それは下部アクチュエータ材２５０ａ及び２５０ｂによって成され、アクチュエータ材２５０ａのサイドの下部一組のセンサー又はセンサー部２８０ａ及び２８２aと、アクチュエータ材２５０ｂのサイドの下部一組のセンサー又はセンサー部２８０ｂ及び２８２ｂが使用される。
【０２９２】
［0354］図３３は、基板搬送容器スタックの３つのサブグループの基板搬送容器、すなわち上部サブグループ、中間サブグループ、又は下部サブグループで選択的に動作するように構成されるオープナー装置を示す。図３０は非積み重ね状態の中間サブグループの基板搬送容器を示す。基板搬送容器スタックのいずれか一方のサイドに対応するアクチュエータ材を有する別のアクチュエータ装置を備える代わりに、３つのアクチュエータ材が互いに垂直方向にずらして配置されるように、保持アーム２００／２０２が個々のアクチュエータ装置１１５を用いて駆動される。個々のアクチュエータ装置１１５はオープナー装置の筐体に固定して取り付けられるか、又はそこに固定的に接続された構造部材に固定される。オープナー装置の保持アームの各々は、独自のアクチュエータ装置を備えてもよい。なお、オープナー装置の各サイドにある各ペアの保持アームは共通のアクチュエータ装置１１５を備えてもよい。従って、キャリッジ１１２は好ましくはキャリッジ１１２と共通に移動可能なライトビームセンサーを備えるだけでよく、基板搬送容器の積み重ね及び非積み重ね状態と対応する基板３０の状態をモニターする。追加の一ペアの上部ライトビームセンサー２８０ｅ又はライトビームセンサー部２８０ｅ及び下部ライトビームセンサー２８２ｅ又はライトビームセンサー部２８２ｅと、追加の一ペアの上部ライトビームセンサー２８０ｆ又はライトビームセンサー部２８０ｆ及び下部ライトビームセンサー２８２ｆ又はライトビームセンサー部２８２ｆはオープナー装置の両サイドに含まれてもよく、キャリッジ１１２と共通に移動する。
【０２９３】
［0355］基板搬送容器１２の積み重ね及び分離と下部サブグループの基板搬送容器の基板３０の状態をモニターするために、ライトビームセンサー２８０ａ、２８２ａ及び２８０ｂ、２８２ｂが使用される。基板搬送容器１２の積み重ね及び分離と中間サブグループの基板搬送容器の基板３０の状態をモニターするために、ライトビームセンサー２８０ｃ、２８２ｃ及び２８０ｄ、２８２ｄが使用される。基板搬送容器１２の積み重ね及び分離と上部サブグループの基板搬送容器の基板３０の状態をモニターするために、ライトビームセンサー２８０ｅ、２８２ｅ及び２８０ｆ、２８２ｆが使用される。
【０２９４】
［0356］図３３で、対応するアクチュエータ材によって模式的に示される個々のアクチュエータ装置１１５に加えて、個々のセンサー３１０がオープナー装置の保持アーム２００／２０２付近に備え取り付けられ、対応する保持アームの現在の位置を感知する。これらのセンサー３１０は例えば、光センサー又は誘導性センサーであり得る。
【０２９５】
［0357］代替えとして、又は追加として、１つ又は複数のライトビームセンサーが各垂直方向の保持アームのセット毎に備えられ、オープナー装置が開操作される前に、すべての保持アームが同一の正しい位置、つまりキャッチ・アンド・ホールド位置及びリリース位置をとるかどうかモニターする。例えば図２６を使って説明されるように、基板搬送容器スタックがキャリッジ１１２上にロードされる前に、このようなモニタリングが対応するセンサーを使って実現される。
【０２９６】
［0358］上述されたように、オープナー装置が作動する基板搬送容器スタック１０は、好ましくはベース１４とカバー１６を含み、そのベース１４上に非積み重ね状態で基板搬送容器１２が積み重ねられ、カバー１６は積み重ね状態で基板搬送容器スタック１０の最上段基板搬送容器１２に積み重ねられる。図３４は適切なオープナー装置によって実現される非積み重ね状態にあるこのような基板搬送容器スタックを示す。ここで、ベース１４を有するキャリッジ１１２は対応する保持アームに保持される最下段基板搬送容器から比較的遠くに垂直方向に距離をおいて示される。しかし、このように遠くに垂直方向に距離を置く必要はない。基板搬送容器スタックが分離の状態にある時、例えば、下部光センサー又はセンサー部２８２ａ及び２８２ｂが最下段基板搬送容器の下端の真下に位置するように、キャリッジは最下段基板搬送容器からより近くに距離を置いた位置に配置される。
【０２９７】
［0359］図２９Ｂ、図３０Ｂ、図３０Ｃ、図３３、及び図３４において、保持アーム２００／２０２のための取り付け支柱１５２ａ、１５２ｂ、１５４ａ、及び１５４ｂの存在が単に模式的に示されているだけで、詳細図に示されるオープナー装置１００のベースプレート１０４のようなベースプレート上の取り付け支柱のサポートは示されていない。このようなサポートに関して、取り付け支柱はさらに下方向に延びてキャリッジ１１２の下で支持されている。さらに、保持アームを取り付けるスリーブ部材は示されていない。従って、係合要素２４６は図３３を除く図中で模式的に示されており、適切な連結要素を用いて連結する保持アームに対して直接的に接続されている。
【０２９８】
［0360］好ましくは、オープナー装置は適切なコントローラ３４０を含み、好ましくは、コントローラ３４０は少なくとも１つのプロセッサー３４２、読み出し専用メモリ又はフラッシュメモリ３４４、及びランダムアクセスメモリ３４６を含む。図３７で模式的に示されるように、コントローラ３４０に制御されるため、オープナー装置の様々な制御可能な部品、すなわち少なくとも２つのアクチュエータ装置１１４ａ及び１１４ｂ、２つのサーボモータ１３６及び１８８、バルブ３０４、イオン化装置３０２及びファン又はブロワ３０８ａ、３０８ｂ、及び３０８ｃ、等が適切な電線を介してコントローラ３４０と接続される。好ましくは、コントローラ３４０は様々なセンサーから受信されるシグナル又はデータを元に制御を可能にし、様々なセンサーには、キャリッジ１１２の現在の垂直方向位置を示す垂直方向距離センサー又はロータリーエンコーダ３５０、ライトビームセンサー２８０ａ、２８０ｂ、２８２ａ、２８２ｂ、２９６及び２９７、保持アーム２００、２０２と連結するセンサー、２つのアクチュエータ装置１１４ａ及び１１４ｂの誘導性センサー２７４、キャリッジ１１２の誘導センサー２９０、及び前項で説明されたその他のすべてのセンサー及び備えられるセンサーがあれば、更にそれらのセンサーが含まれる。コントローラ３４０は適宜、クリーンルーム設備又は半導体製造工場の上位制御装置に連結、所属、又は制御されることができる。
【０２９９】
［0361］図３３に模式的に示されるように、オープナー装置の筐体に取り付けられる個々のアクチュエータ装置を使って保持アームを駆動する場合、コントローラ３４０は、開操作の過程での基板搬送容器のスタックの高さの減少と、閉操作の過程での基板搬送容器のスタック高さの増加を適切に考慮して、キャリッジ１１２の動きに連動して保持アームを順次作動するようにこれらのアクチュエータ装置１１５を制御する。
【０３００】
［0362］本発明の好ましい実施形態について説明してきたが、本発明の範囲及び精神から逸脱することなく、変形及び修正が当業者に明らかであることが理解される。そのため、本発明の範囲は以下の特許請求の範囲によってのみ定められる。
【図１】
2021526739.tif 000003
【図２】
2021526739.tif 000004
【図３】
2021526739.tif 000005
【図４】
2021526739.tif 000006
【図５】
2021526739.tif 000007
【図６】
2021526739.tif 000008
【図７Ａ】
2021526739.tif 000009
【図７Ｂ】
2021526739.tif 000010
【図８】
2021526739.tif 000011
【図９Ａ】
2021526739.tif 000012
【図９Ｂ】
2021526739.tif 000013
【図１０】
2021526739.tif 000014
【図１１】
2021526739.tif 000015
【図１２】
2021526739.tif 000016
【図１３】
2021526739.tif 000017
【図１４Ａ】
2021526739.tif 000018
【図１４Ｂ】
2021526739.tif 000019
【図１５Ａ】
2021526739.tif 000020
【図１５Ｂ】
2021526739.tif 000021
【図１５Ｃ】
2021526739.tif 000022
【図１５Ｄ】
2021526739.tif 000023
【図１５Ｅ】
2021526739.tif 000024
【図１６Ａ】
2021526739.tif 000025
【図１６Ｂ】
2021526739.tif 000026
【図１６Ｃ】
2021526739.tif 000027
【図１７Ａ】
2021526739.tif 000028
【図１７Ｂ】
2021526739.tif 000029
【図１７Ｃ】
2021526739.tif 000030
【図１８（Ａ）】
2021526739.tif 000031
【図１８（Ｂ）】
2021526739.tif 000032
【図１８（Ｃ）】
2021526739.tif 000033
【図１９Ａ】
2021526739.tif 000034
【図１９Ｂ】
2021526739.tif 000035
【図１９Ｃ】
2021526739.tif 000036
【図２０】
2021526739.tif 000037
【図２１】
2021526739.tif 000038
【図２２Ａ】
2021526739.tif 000039
【図２２Ｂ】
2021526739.tif 000040
【図２２Ｃ】
2021526739.tif 000041
【図２２Ｄ】
2021526739.tif 000042
【図２３Ａ】
2021526739.tif 000043
【図２３Ｂ】
2021526739.tif 000044
【図２３Ｃ】
2021526739.tif 000045
【図２３Ｄ】
2021526739.tif 000046
【図２３Ｅ】
2021526739.tif 000047
【図２３Ｆ】
2021526739.tif 000048
【図２３Ｇ】
2021526739.tif 000049
【図２３Ｈ】
2021526739.tif 000050
【図２３Ｉ】
2021526739.tif 000051
【図２３Ｊ】
2021526739.tif 000052
【図２４Ａ】
2021526739.tif 000053
【図２４Ｂ】
2021526739.tif 000054
【図２５（Ａ）】
2021526739.tif 000055
【図２５（Ｂ）】
2021526739.tif 000056
【図２５（Ｃ）】
2021526739.tif 000057
【図２５（Ｄ）】
2021526739.tif 000058
【図２５（Ｅ）】
2021526739.tif 000059
【図２５（Ｆ）】
2021526739.tif 000060
【図２５（Ｇ）】
2021526739.tif 000061
【図２５（Ｈ）】
2021526739.tif 000062
【図２５（Ｉ）】
2021526739.tif 000063
【図２５（Ｊ）】
2021526739.tif 000064
【図２６】
2021526739.tif 000065
【図２７】
2021526739.tif 000066
【図２８】
2021526739.tif 000067
【図２９Ａ】
2021526739.tif 000068
【図２９Ｂ】
2021526739.tif 000069
【図３０Ａ】
2021526739.tif 000070
【図３０Ｂ】
2021526739.tif 000071
【図３０Ｃ】
2021526739.tif 000072
【図３１】
2021526739.tif 000073
【図３２】
2021526739.tif 000074
【図３３】
2021526739.tif 000075
【図３４】
2021526739.tif 000076
【図３５（Ａ）】
2021526739.tif 000077
【図３５（Ｂ）】
2021526739.tif 000078
【図３５（Ｃ）】
2021526739.tif 000079
【図３５（Ｄ）】
2021526739.tif 000080
【図３６（Ａ）】
2021526739.tif 000081
【図３６（Ｂ）】
2021526739.tif 000082
【図３６（Ｃ）】
2021526739.tif 000083
【図３６（Ｄ）】
2021526739.tif 000084
【図３７】
2021526739.tif 000085
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月15日(2020.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
［0084］係合構造は、カウンター当接部又はカウンター反作用部を有することが可能であることが好ましく、それらは、非積み重ね状態の基板搬送容器と、もし備えられる場合、対応する係合構造と関連する反作用部カバーから、定められた異なる垂直方向距離に配置され、開操作及び閉操作の過程において、垂直方向の高さが異なる基板搬送容器スタック又は一部の基板搬送容器スタックを収容する。なお、独立して垂直方向に移動可能である移動可能な相互作用装置、又は、キャリッジの垂直方向の動きから独立する移動可能な相互作用装置、又は、キャリッジに接続されるか間接的にキャリッジに支持される場合、キャリッジに対して動かされる移動可能な相互作用装置が、オープナー装置の開閉操作の過程において、垂直方向の高さが変化する基板搬送容器スタック又は一部の基板搬送容器スタックを収容するために備えられてもよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
［0101］上述されたように、例えば、どの係合構造も基板搬送容器スタックの最下段基板搬送容器又は選択された基板搬送容器サブグループの最下段基板搬送容器と結合できない場合、最下段基板搬送容器は、非積み重ね状態においてもキャリッジ上に支持されたままである。この場合、この最下段基板搬送容器の台座にロードされる基板の有無、及びその状態の少なくとも１つに反応する固定センサー構成を少なくとも１つ備えることが適切であり、それは、固定センサーを少なくとも１つ含んでもよく、その固定センサーは、水平感知方向に反応し、かつキャリッジの下部操作位置上方にある定められた垂直方向距離に配置される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５１】
［0213］図５は、他のより好ましい実施形態による基板搬送容器スタックの断面斜視図であり、その基板搬送容器スタックは多数の基板搬送容器を含む。しかしながら、当該基板搬送容器スタックは、上述で説明に用いられた図に示される第１、第２サブタイプの対応する基板搬送容器１２と基本的に同一と想定されても、又は類似していると想定されることも可能であり、またベース１４とカバー１６に対しても同じことが適用する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２５】
［0287］このような場合、係合要素２４６は、開操作時にキャッチ・アンド・ホールド位置に向けて及びその位置保持アームを有する対応するスリーブ部材２１０を回動するアクチュエータ駆動力を受け、及び閉操作時にリリース位置に向けて回動するアクチュエータ駆動力を受ける。このために、対応するアクチュエータ装置１１４ａ又は１１４ｂのアクチュエータ材２５０ａ又は２５０ｂは当接部又は係合要素２４６に対する２つの当接部の対応する当接部と当接し、それに応じて、対応する係合構造２１０、２００又は２１０、２０２のカウンター当接要素２４６、又はカウンター当接要素２４６として表されてもよい。対応するアクチュエータ駆動力をこの係合要素又はカウンター当接要素２４６に加えるために、アクチュエータ材は横方向に移動させられるだけでよく、アクチュエータ装置とそのアクチュエータ材の垂直方向の動きは、アクチュエータ材を垂直方向位置又は対応する係合要素又はカウンター当接要素２４６に結合する範囲の位置に移動させるためだけに要求されるので、アクチュエータ材の横方向の動きは、当接部を有するアクチュエータ材を各係合要素又はカウンター当接要素２４６と当接係合状態にし、その結果、アクチュエータ材が、スリーブ部材２１０の上で、支持アーム２００又は２０２を用いて対応するアクチュエータ駆動力を加える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２３０】
［0292］図１８Ａ、図１８Ｂ、及び図１８Ｃはモータケーシング２６０を除く（取付体１１６ｂからモータケーシングを取り外した）アクチュエータ装置１１４ｂを上から見た断面図である。モータケーシングは、好ましくはステッピングモータを備えるが、サーボモータでも適当であり、好都合である。モータの出力軸２６２は出力レバー２６４と、出力軸に対して偏心的に出力レバーに回動可能に取り付けられる出力ローラー２６６と共に、断面図として示されている。図１９Ｂに示されるように、出力ローラー２６６は、取付体１１６ｂの円形開口部２６８を定義し移動部２７２の水平方向のスリット２７０にかみ合う円形ローラーレーンと回転係合状態にあり、それは取付体１１６ａ内にスライド可能に支持され、アクチュエータ材２５０ｂが取り付けられる。従って、出力レバー２６４を使って出力軸２６２を同じ方向に回転させることで、アクチュエータ材２５０ｂが横方向に前後に動かされる。オープナー装置の作動過程で、出力レバー２６４を有する出力軸２６２がモータによって交互に両方向に回転させられることも否定できない。なお、これは、より単純に回転アクチュエータ駆動力をもとに横方向の動きを得る偏心駆動によって実現されてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２５６】
［0318］２つのアクチュエータ装置１１４ａ、１１４ｂ及び上述されたセンサーは適切な電気配線を用いて対応制御及び電力供給と接続されている。すべての電気配線が、オープナー装置１００の１サイドで束になってキャリッジ構成に繋げられることが好ましい。例えば図２３Ａと２３Ｃに示されるように、配線束は、ケーブル類保護案内部材２９４、例えばエナジーチェーン又はＥ−Ｃｈａｉｎ（登録商標）内に保護され、その一端はオープナーの筐体に取り付けられ、もう一端は直接又は間接的にアクチュエータ装置、この場合アクチュエータ装置１１４ｂに属する取付体１１６ｂの取付体に適切な部品を使って取り付けられる。図１４Ｂに示されるように、キャリッジ１１２はその下側にカバープレート要素を備えてもよく、それは電気配線がアクチュエータ装置と上部面１１３のもう一方のサイドに配置されるセンサーを接続するために通るスペース又は経路を保護する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２５７】
［0319］オープナー装置１００はキャリッジ１１２の現在の垂直位置を感知するために少なくとも１つのセンサーを備えることが好ましい。例えば、キャリッジ１１２の上下の動きは駆動軸及び出力軸の回転及び回転角度によってもたらされるので、キャリッジ１１２に結合する２つのベルトアクチュエータの駆動軸１４０又はサーボモータ１３６の出力軸は、ロータリーエンコーダを備えてもよい。しかしながら、このようなキャリッジの実際の垂直方向位置とその上下垂直方向の動きの間接的な測定の代わりに、直接測定もまた有効である。これを達成するために、光センサーを使って、対応するセンサーと参照要素又はキャリッジ構成の参照表面部分の間の垂直方向距離が測定される。特に、少なくとも１つの光学式距離センサー、例えば、同ハウジングに配置される光送信器及び受信器を含むいわゆる拡散センサーは、筐体又はオープナー装置の別の固定部品の１つに取り付けられ、反射ターゲットとしてキャリッジ構成の一部分、例えばアクチュエータ装置の１つの一部分又はそこに取り付けられ又は属する構成部品を含む。例えば、このような光学式距離センサーはその上部領域で間仕切りパネル１４０ａと１４０ｂの１つに取り付けられ、反射ターゲットとしてアクチュエータ装置１１４ｂのアクチュエータ材２５０ｂ又はアクチュエータ装置１１４ａのアクチュエータ材２５０ａを結合することができる。このセンサーを適切な電力供給及びコントローラと繋ぐ電気配線及びその他の必要な電気配線は、オープナー装置１００を通って及びオープナー装置１００の部品に沿って導かれ、ケーブルコネクター及びケーブル止め具を使って適切な位置でこのような部品に固定される。このようなケーブルコネクター又はケーブル留め具２９８は、例えば図２３Ｂに示される。
【国際調査報告】
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