(57)【要約】【課題】  検量線を用いて元素の濃度が正しく算出されるかを容易にチェックすることができる発光分析装置の提供。【解決手段】  発光分析装置１であって、マスターカーブ用固体試料算出部２５ａで算出された元素の濃度と、マスターカーブ用固体試料中に含有される元素の既知濃度との濃度差を算出する比較部２５ｂと、濃度差が第一設定濃度差以上第二設定濃度差未満であるときには、検量線を補正するための補正係数を算出するマスターカーブ補正分析実行部２５ｃと、濃度差が第二設定濃度差以上であるときには、既知濃度の元素を含有する少なくとも２個の標準固体試料と対向電極３との間で放電を行うことにより、輝線スペクトルの強度を取得して、２点標準化分析を実行する２点標準化分析実行部２５ｄとを備えるようにする。【選択図】図１
0003187346.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
固体試料と対向電極との間で放電を行うことで発生した発光光が導入されることにより、当該発光光を、各元素に特有な波長を有する輝線スペクトルに分光する分光器と、
前記輝線スペクトルの強度を検出する光検出器と、
前記輝線スペクトルの強度と元素の濃度との関係を示す検量線を記憶する記憶部と、
未知濃度の元素を含有する未知固体試料と対向電極との間で放電を行うことにより、輝線スペクトルの強度を取得して、前記検量線を用いて前記未知固体試料中に含有される元素の濃度を算出する未知固体試料算出部とを備える発光分析装置であって、
既知濃度の元素を含有するマスターカーブ用固体試料と対向電極との間で放電を行うことにより、輝線スペクトルの強度を取得して、前記検量線を用いて前記マスターカーブ用固体試料中に含有される元素の濃度を算出するマスターカーブ用固体試料算出部と、
前記マスターカーブ用固体試料算出部で算出された元素の濃度と、前記マスターカーブ用固体試料中に含有される元素の既知濃度との濃度差を算出する比較部と、
前記濃度差が第一設定濃度差以上第二設定濃度差未満であるときには、前記検量線を補正するための補正係数を算出するマスターカーブ補正分析実行部と、
前記濃度差が第二設定濃度差以上であるときには、既知濃度の元素を含有する少なくとも２個の標準固体試料と対向電極との間で放電を行うことにより、輝線スペクトルの強度を取得して、２点標準化分析を実行する２点標準化分析実行部とを備えることを特徴とする発光分析装置。
【請求項２】
前記濃度差が第一設定濃度差未満であるときには、補正を実行しないことを特徴とする請求項１に記載の発光分析装置。
【請求項３】
前記マスターカーブ用固体試料算出部及び前記２点標準化分析実行部は、オペレータに指示する画面を表示するようになっていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の発光分析装置。
【請求項４】
前記未知固体試料、前記マスターカーブ用固体試料又は前記標準固体試料を保持して移動させる搬送機構と、
前記搬送機構に制御信号を出力する制御部とを備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の発光分析装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、スパーク放電、アーク放電、誘導結合プラズマ（Inductively Coupled Plasma；ＩＣＰ）放電等の各種放電法やレーザ励起法等により、固体試料中に含有される元素の濃度を算出する発光分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
鉄鋼品種（例えば、低合金鋼や炭素鋼やステンレス鋼や低合鋳鉄等）や非鉄金属品種の多様化や高品質化や製鋼加工技術の発展に伴い、母材（例えば、Ｆｅ、Ｃｕ、Ａｌ等）中に含有される微量成分、特にＣ、Ｓｉ、Ｓ、Ｐ、Ｍｎ、Ｎｉ等の元素量を厳密にコントロールすることが要求されるようになり、鉄鋼材や非鉄金属材等の生産工場等での製鋼・精練工程において、母材中に含有される微量成分を定量することが重要となってきている。
【０００３】
そこで、近年、母材中に含有される微量成分の定量を迅速に行うことができる発光分光分析方法が広く利用されるようになってきている。図４は、このような発光分光分析方法を用いる発光分析装置の一例を示す概略構成図である。
発光分析装置１０１は、開孔２ａが形成された発光スタンド２と、開孔２ａと対向する位置に設置された対向電極３と、各元素に特有の波長ｎを有する輝線スペクトルに分光する凹面回折格子（分光器）４と、輝線スペクトルの強度Ａｎを検出する受光素子５ａを有する光検出器５と、発光分析装置１０１全体の制御を行うコンピュータ１２０とを備える（例えば、特許文献１参照）。コンピュータ１２０は、データ処理部１２１やメモリ（記憶部）１２２を備え、さらにモニタ画面等を有する表示装置３１と、キーボードやマウス等を有する入力装置３０とが連結されている。
【０００４】
このような発光分析装置１０１を用いて、例えば、未知固体試料６における母材Ｆｅ中に含有される測定対象の元素Ｃの濃度ｙＣを算出するには、オペレータは、まず製鋼・精練工程中に採取した未知固体試料６を切断、研磨した後、未知固体試料６の分析面６ａが発光スタンド２の開孔２ａを塞ぐように、未知固体試料６を当接する。次に、対向電極３に電圧を印加することにより、未知固体試料６の分析面６ａと対向電極３との間で、スパーク放電により発光させる。そして、発生した発光光を凹面回折格子４に導入して各元素に特有の波長ｎを有する輝線スペクトルに分光した後、光検出器５で波長１５６．１ｎｍを有する輝線スペクトルの強度Ａ１５６．１を検出している。そして、データ処理部１２１は、メモリ１２２の検量線記憶領域２２ａに記憶された検量線（Ｃ／Ｆｅ）に輝線スペクトルの強度Ａ１５６．１を当てはめることにより、母材Ｆｅ中に含有される元素Ｃの濃度ｙＣを算出している。
【０００５】
ところで、母材Ｆｅ中に含有される元素Ｃの濃度ｙＣを算出するためには、発光分析装置１０１で予め検量線（Ｃ／Ｆｅ）を作成する必要があり、このため、発光分析装置１０１を生産工場等に設置する際に、母材Ｆｅ中に既知濃度ＹＣ’の元素Ｃを含有する標準固体試料６’を発光分析装置１０１で測定し、さらに元素Ｃを先程と異なる既知濃度ＹＣ’で母材Ｆｅ中に含有する標準固体試料６’を発光分析装置１０１で測定するように複数個（例えば１０個〜５０個）の標準固体試料６’を測定した結果、輝線スペクトルの強度Ａ１５６．１と、母材Ｆｅ中に含有される元素Ｃの濃度ＹＣとの関係を示す検量線（Ｃ／Ｆｅ）を作成して検量線記憶領域２２ａに記憶させている。なお、検量線（Ｃ／Ｆｅ）は、輝線スペクトルの強度Ａｎと、母材Ｓｎ中に含有される元素Ｘｎの濃度Ｙｎとの関係を示すものであり、例えば図２に示すように、ＹＣ＝αＣ／ＦｅＡ１５６．１２＋βＣ／ＦｅＡ１５６．１＋γＣ／Ｆｅで表される。
【０００６】
さらに、発光分析装置１０１を所定時間間隔（例えば８時間間隔）で、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を用いて元素Ｃの濃度ｙＣが正しく算出されるかを、チェック用固体試料６’’を測定することによりチェックしている。具体的には、オペレータは、母材Ｆｅ中に既知濃度ＹＣ’’の元素Ｃを含有するチェック用固体試料６’’を発光分析装置１０１で測定した結果、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を用いてチェック用固体試料６’’中に含有される元素Ｃの濃度ｙＣ’’を算出して、その元素Ｃの濃度ｙＣ’’と、チェック用固体試料６’’に含有される元素Ｃの既知濃度（目標濃度）ＹＣ’’との濃度差ΔＹＣが、第一設定濃度差ΔＹＣ１未満であるか否かを判断している。
【０００７】
その結果、濃度差ΔＹＣが第一設定濃度差ΔＹＣ１未満であるときには、オペレータは「ＯＫ」と判断して未知固体試料６の分析を行う。一方、濃度差ΔＹＣが第一設定濃度差ΔＹＣ１以上であるときには、オペレータは「ＮＧ」と判断し、母材Ｆｅ中に既知濃度ＹＣ’’’の元素Ｃを含有するマスターカーブ用固体試料６’’’を測定するマスターカーブ補正分析や、２個の標準固体試料６’を測定する２点標準化分析を実行している。そして、オペレータはマスターカーブ補正や２点標準化分析を実行した後にチェック用固体試料６’’を測定し、測定結果が「ＯＫ」となるまで繰り返す。
【０００８】
なお、「２個の標準固体試料６’」は、例えば、半径ｒの円形の上面と底面とを有する円柱形状となっており、全体が均質で偏りのないものであり、母材Ｆｅ中に既知の低濃度ＹＣ’の元素Ｃを含有するものと、母材Ｆｅ中に既知の高濃度ＹＣ’の元素Ｃを含有するものとなる。また、「マスターカーブ用固体試料６’’’」は、半径ｒの円形の上面と底面とを有する円柱形状となっており、全体が均質で偏りのないものであり、母材Ｆｅ中に未知固体試料６と同程度の濃度と予測される既知の濃度ＹＣ’’’の元素Ｃを含有するものとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−６９８５３号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、オペレータは発光分析装置１０１を８時間間隔で、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を用いて元素Ｃの濃度ｙＣが正しく算出されるかをチェックしているが、上述したような方法では非常に手間と時間がかかっていた。また、「ＮＧ」となったときには、マスターカーブ用固体試料６’’’や標準固体試料６’を測定することになるが、マスターカーブ用固体試料６’’’や標準固体試料６’は固体であるため偏析・欠陥を生じることが多く、各既知濃度ＹＣ’、ＹＣ’’’について均質なものを手に入れることは容易ではない上に非常に高価であった。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本件考案者は、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を用いて元素Ｃの濃度ｙＣが正しく算出されるかをチェックするチェック方法について検討を行った。まず、チェック用固体試料６’’中に含有される元素Ｃの既知濃度ｙＣ’’を算出して、その元素Ｃの既知濃度ｙＣ’’と元素Ｃの既知濃度ＹＣ’’との濃度差ΔＹＣが第一設定濃度差ΔＹＣ１未満であるか否かを判断しているが、このときにチェック用固体試料６’’を使用することを止めた。その代わりに、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を用いて元素Ｃの濃度ｙＣが正しく算出されるかを、マスターカーブ用固体試料６’’’を測定することでチェックすることにした。具体的には、算出された元素Ｃの既知濃度ｙＣ’’’と、マスターカーブ用固体試料６’’’中に含有される元素Ｃの既知濃度（目標濃度）ＹＣ’’’との濃度差ΔＹＣが、どの程度あるかを判定することにした。そして、濃度差ΔＹＣが第一設定濃度差ΔＹＣ１未満であるときには、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を補正せず、濃度差ΔＹＣが第一設定濃度差ΔＹＣ１以上第二設定濃度差ΔＹＣ２未満であるときには、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を補正するための補正係数（マスターカーブ係数のみ）を算出するマスターカーブ補正分析を実行し、濃度差ΔＹＣが第二設定濃度差ΔＹＣ２以上であるときには、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を補正するための補正係数（αβ値等）を算出する２点標準化分析を実行することを見出した。
【００１２】
すなわち、本考案の発光分析装置は、固体試料と対向電極との間で放電を行うことで発生した発光光が導入されることにより、当該発光光を、各元素に特有な波長を有する輝線スペクトルに分光する分光器と、前記輝線スペクトルの強度を検出する光検出器と、前記輝線スペクトルの強度と元素の濃度との関係を示す検量線を記憶する記憶部と、未知濃度の元素を含有する未知固体試料と対向電極との間で放電を行うことにより、輝線スペクトルの強度を取得して、前記検量線を用いて前記未知固体試料中に含有される元素の濃度を算出する未知固体試料算出部とを備える発光分析装置であって、既知濃度の元素を含有するマスターカーブ用固体試料と対向電極との間で放電を行うことにより、輝線スペクトルの強度を取得して、前記検量線を用いて前記マスターカーブ用固体試料中に含有される元素の濃度を算出するマスターカーブ用固体試料算出部と、前記マスターカーブ用固体試料算出部で算出された元素の濃度と、前記マスターカーブ用固体試料中に含有される元素の既知濃度との濃度差を算出する比較部と、前記濃度差が第一設定濃度差以上第二設定濃度差未満であるときには、前記検量線を補正するための補正係数を算出するマスターカーブ補正分析実行部と、前記濃度差が第二設定濃度差以上であるときには、既知濃度の元素を含有する少なくとも２個の標準固体試料と対向電極との間で放電を行うことにより、輝線スペクトルの強度を取得して、２点標準化分析を実行する２点標準化分析実行部とを備えることを特徴にしている。
【００１３】
ここで、「第一設定濃度差」や「第二設定濃度差」とは、オペレータ等によって予め決められた任意の数値であり、「第一設定濃度差」は「第二設定濃度差」より小さい数値となる。
【考案の効果】
【００１４】
以上のように、本考案の発光分析装置によれば、算出チェックを実行する際に、従来のチェック用固体試料に代えてマスターカーブ用固体試料を使用しているので、チェック用固体試料を使用する必要がなくなる。また、濃度差ΔＹが第一設定濃度差ΔＹ１以上第二設定濃度差ΔＹ２未満であるときにはマスターカーブ補正分析を実行することになるが、本考案では既にマスターカーブ用固体試料を測定しているので、改めてマスターカーブ用固体試料を測定する必要がなくなる。よって、手間と時間とを短縮することができ、かつ、使用する固体試料の数も減らすことができる。そして、濃度差ΔＹが第二設定濃度差ΔＹ２以上であるときには、２点標準化分析を実行する。
【００１５】
（他の課題を解決するための手段及び効果）
また、本考案の発光分析装置において、前記濃度差が第一設定濃度差未満であるときには、補正を実行しないようにしてもよい。
そして、本考案の発光分析装置において、前記マスターカーブ用固体試料算出部及び前記２点標準化分析実行部は、オペレータに指示する画面を表示するようになっているようにしてもよい。
本考案の発光分析装置によれば、チェック結果に従い、自動的に最適な補正分析画面に移行していくので、オペレータは、元素の濃度が正しく算出されるように実行しなければならない作業内容を把握することができる。
【００１６】
さらに、本考案の発光分析装置において、前記未知固体試料、前記マスターカーブ用固体試料又は前記標準固体試料を保持して移動させる搬送機構と、前記搬送機構に制御信号を出力する制御部とを備えるようにしてもよい。
本考案の発光分析装置によれば、チェック結果に従い、制御部が搬送機構を用いて自動的に最適な固体試料をセットしていくので、自動的に元素の濃度が正しく算出されるようにチェックが実行されることになる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態に係る発光分析装置の一例を示す概略構成図。
【図２】輝線スペクトルの強度Ａｎと、母材Ｓｎ中に含有される元素Ｘｎの濃度Ｙｎとの関係を示す検量線（Ｃ／Ｆｅ）の一例。
【図３】チェック方法について説明するフローチャート。
【図４】従来の発光分析装置の一例を示す概略構成図。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
以下、本考案の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本考案は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本考案の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれる。
【００１９】
図１は、本考案の実施形態に係る発光分析装置の一例を示す概略構成図である。なお、発光分析装置１０１と同様のものについては、同じ符号を付している。
発光分析装置１は、開孔２ａが形成された発光スタンド２と、開孔２ａと対向する位置に設置された対向電極３と、各元素に特有の波長ｎを有する輝線スペクトルに分光する凹面回折格子（分光器）４と、輝線スペクトルの強度Ａｎを検出する受光素子５ａを有する光検出器５と、発光分析装置１全体の制御を行うコンピュータ２０とを備える。
なお、未知固体試料６は、鉄鋼材や非鉄金属材等の生産工場等での製鋼・精練工程においてオンライン操業で次々と採取されるものであり、その形状は、半径ｒの円形の上面と底面とを有する円柱形状である。
【００２０】
発光スタンド２の上面には、円形状の開孔２ａが形成されており、対向電極３は、発光スタンド２の内部で、開孔２ａと対向する位置に設置されている。これにより、固体試料６の分析面６ａが開孔２ａを塞ぐように当接され、対向電極３に電圧が印加されると、分析面６ａと対向電極３との間でスパーク放電を行うことができるようになっている。
凹面回折格子４は、発光スタンド２の内部で、分析面６ａと対向電極２ａとの間でのスパーク放電により発生した発光光が導入されるように配置されている。そして、凹面回折格子４は、発光光を、各元素に特有な波長ｎを有する輝線スペクトルに分光する。
【００２１】
光検出器５は、各輝線スペクトルの強度Ａｎをそれぞれ検出する複数（例えば７個）の受光素子５ａを有する。つまり、１個の受光素子５ａは、対応付けられた元素Ｘｎに特有な波長ｎを有する輝線スペクトルの強度Ａｎを検出する。そして、複数の受光素子５ａでそれぞれ検出された輝線スペクトルの強度Ａｎは、コンピュータ２０に出力されるようになっている。
【００２２】
コンピュータ２０は、データ処理部２１やメモリ（記憶部）２２を備え、さらにモニタ画面等を有する表示装置３１と、キーボードやマウス等を有する入力装置３０とが連結されている。データ処理部２１は、未知固体試料６を測定する未知固体試料算出部２４と、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を用いて元素Ｃの濃度ｙＣが正しく算出されるかをチェックする校正実行部２５とを有する。また、メモリ２２は、図２に示すような検量線（Ｃ／Ｆｅ）が予め記憶される検量線記憶領域２２ａと、濃度差閾値記憶領域２２ｂとを有する。
【００２３】
濃度差閾値記憶領域２２ｂは、補正しない第一設定濃度差ΔＹＣ１未満範囲（−ＹＣ１〜ＹＣ１）と、補正係数（マスターカーブ係数）を算出するマスターカーブ補正分析を実行するための第一設定濃度差ΔＹＣ１以上第二設定濃度差ΔＹＣ２未満範囲（−ＹＣ２〜−ＹＣ１、ＹＣ１〜ＹＣ２）と、補正係数（αβ値）を算出する２点標準化分析を実行するための第二設定濃度差ΔＹＣ２以上範囲（〜−ＹＣ２、ＹＣ２〜）とが予め記憶されている。
【００２４】
校正実行部２５は、所定時間間隔（例えば８時間間隔）でチェックを実行するためのものであり、マスターカーブ用固体試料算出部２５ａと、比較部２５ｂと、マスターカーブ補正分析実行部２５ｃと、２点標準化分析実行部２５ｄとを有する。
ここで、発光分析装置１により検量線（Ｃ／Ｆｅ）を用いて元素Ｃの濃度ｙＣが正しく算出されるかをチェックするチェック方法（簡単標準化モード）の一例について説明する。図３は、このチェック方法について説明するためのフローチャートである。
【００２５】
まず、ステップＳ１０１の処理において、未知固体試料算出部２４は、初期画面として「含有率分析画面」を表示装置３１に表示する。
次に、ステップＳ１０２の処理において、オペレータは入力装置３０を用いて含有率分析画面に「簡単標準化モードＯＮ」と「マスター試料名入力（マスターカーブ用固体試料６’’’中に含有される元素Ｃの濃度（目標濃度）ＹＣ’’’の入力）」とを行う。
【００２６】
次に、ステップＳ１０３の処理において、マスターカーブ用固体試料算出部２５ａは、「マスターカーブ用固体試料６’’’をセットしてください」と表示装置３１に表示する。これにより、オペレータは表示内容を確認してマスターカーブ用固体試料６’’’の分析面６ａ’’’が開孔２ａを塞ぐようにマスターカーブ用固体試料６’’’を当接する。
次に、ステップＳ１０４の処理において、マスターカーブ用固体試料算出部２５ａは、対向電極３に電圧を印加し、マスターカーブ用固体試料６’’’の分析面６ａ’’’と対向電極３との間でスパーク放電することにより発光させる。そして、発生した発光光を凹面回折格子４に導入して各元素に特有の波長ｎを有する輝線スペクトルに分光した後、光検出器５で各輝線スペクトルの強度Ａｎをそれぞれ検出する。
【００２７】
次に、ステップＳ１０５の処理において、マスターカーブ用固体試料算出部２５ａは、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を用いてマスターカーブ用固体試料６’’’中に含有される元素Ｃの濃度ｙＣ’’’を算出して、その元素Ｃの濃度ｙＣ’’’と、マスターカーブ用固体試料６’’’中に含有される元素Ｃの既知濃度（目標濃度）ＹＣ’’’との濃度差ΔＹＣを算出する。
次に、ステップＳ１０６の処理において、比較部２５ｂは、濃度差ΔＹＣがどの範囲に属するかを判定する。
【００２８】
比較部２５ｂが濃度差ΔＹＣは第一設定濃度差ΔＹＣ１未満範囲に属すると判定したときには、「補正不要。分析を継続できます」と表示装置３１に表示して、ステップＳ１０８の処理において、「簡単標準化モードＯＦＦ（含有率分析に移行）」として、本フローチャートを終了させる。これにより、オペレータは表示内容を確認して未知固体試料６を分析することになる。
また、比較部２５ｂが濃度差ΔＹＣは第一設定濃度差ΔＹＣ１以上第二設定濃度差ΔＹＣ２未満に属すると判定したときには、ステップＳ１０７の処理において、マスターカーブ補正分析実行部２５ｃは、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を補正するための補正係数（マスターカーブ係数）を算出して、補正係数（マスターカーブ係数）を用いて検量線（Ｃ／Ｆｅ）を補正して、その補正した検量線（Ｃ／Ｆｅ）を用いて濃度ｙＣ’’’を再び算出して表示装置３１に表示する。そして、マスターカーブ補正分析実行部２５ｃは、「自動補正完了。正常に分析ができます」と表示装置３１に表示して、算出した濃度ｙＣ’’’を目標濃度に更新して、ステップＳ１０８の処理に進む。
【００２９】
さらに、比較部２５ｂが濃度差ΔＹＣは第二設定濃度差ΔＹＣ２以上に属すると判定したときには、ステップＳ１０９の処理において、２点標準化分析実行部２５ｄは、「２点標準化補正分析画面への移行確認ポップアップ」を表示装置３１に表示する。
次に、ステップＳ１１０の処理において、オペレータが２点標準化分析を実行しないと判断して、入力装置３０を用いて「Ｃａｎｃｅｌ」と入力したときには、ステップＳ１０３の処理に戻る。
一方、オペレータが２点標準化分析を実行すると判断して、入力装置３０を用いて「ＯＫ」と入力したときには、ステップＳ１１１の処理において、２点標準化分析実行部２５ｄは、「〜の標準固体試料６’をセットしてください」と表示装置３１に表示する。これにより、オペレータは必要な標準固体試料６’の分析面６ａ’が開孔２ａを塞ぐように標準固体試料６’を当接する。
次に、ステップＳ１１２の処理において、２点標準化分析実行部２５ｄは、対向電極３に電圧を印加し、標準固体試料６’の分析面６ａ’と対向電極３との間でスパーク放電することにより発光させる。そして、発生した発光光を凹面回折格子４に導入して各元素に特有の波長ｎを有する輝線スペクトルに分光した後、光検出器５で各輝線スペクトルの強度Ａｎをそれぞれ検出する。なお、２点標準化分析の内容によっては、ステップＳ１１１の処理とステップＳ１１２の処理とを繰り返すことになる。
【００３０】
次に、ステップＳ１１３の処理において、２点標準化分析実行部２５ｄは、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を補正するための補正係数（αβ値）を算出して、補正係数（αβ値）を用いて検量線（Ｃ／Ｆｅ）を補正する。
次に、ステップＳ１１４の処理において、オペレータが２点標準化分析をやり直すと判断して、入力装置３０を用いて「ＮＧ」と入力したときには、ステップＳ１１１の処理に戻る。
一方、オペレータが問題なしと判断して、入力装置３０を用いて「ＯＫ」と入力したときには、ステップＳ１０３の処理に戻る。
【００３１】
以上のように、本考案の発光分析装置１によれば、表示装置３１に表示された表示内容に従い、自動的に最適な補正分析画面に移行していくので、オペレータは、検量線（Ｃ／Ｆｅ）を用いて元素Ｃの濃度ｙＣが正しく算出されるかを容易にチェックすることができる。このとき、従来のチェック用固体試料６’’に代えてマスターカーブ用固体試料６’’’を使用しているので、チェック用固体試料６’’を使用する必要がなくなる。また、濃度差ΔＹＣが第一設定濃度差ΔＹＣ１以上第二設定濃度差ΔＹＣ２未満であるときには、マスターカーブ補正分析を実行することになるが、このとき、既にマスターカーブ用固体試料６’’’を測定していることから、改めてマスターカーブ用固体試料６’’’を測定する必要がなくなる。よって、手間と時間とを短縮することができ、かつ、チェック用固体試料６’’の数を減らすことができる。
【００３２】
＜他の実施形態＞
上述した発光分析装置１では、校正実行部２５が、オペレータに行わせる作業内容（例えば、「マスターカーブ用固体試料をセットしてください」や、「標準固体試料をセットしてください」等）を表示装置３１に表示する構成を示したが、未知固体試料６やマスターカーブ用固体試料６’’’や標準固体試料６’を保持しながら移送するためのロボットアーム（搬送機構）とロボットアーム制御部とを備え、校正実行部が、ロボットアーム制御部に制御信号を出力することで、自動的に校正を実行する構成としてもよい。
なお、「マスターカーブ用固体試料をセットしてください」や、「標準固体試料をセットしてください」等の作業内容を表示装置３１に表示する構成を示したが、このメッセージは例文であり、オペレータに次の操作を促すようなメッセージ内容を表示すればよい。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本考案は、スパーク放電、アーク放電、誘導結合プラズマ放電等の各種放電法やレーザ励起法等により、母材中に含有される測定対象の元素の濃度を算出する発光分析装置等に利用することができる。
【符号の説明】
【００３４】
１：発光分析装置
３：対向電極
４：凹面回折格子（分光器）
５：光検出器
２４：未知固体試料算出部
２５ａ：マスターカーブ用固体試料算出部
２５ｂ：比較部
２５ｃ：マスターカーブ補正分析実行部
２５ｄ：２点標準化分析実行部
２２：メモリ（記憶部）
【図１】
0003187346.tif 000003
【図２】
0003187346.tif 000004
【図３】
0003187346.tif 000005
【図４】
0003187346.tif 000006