(57)【要約】【課題】  種々形状の単一又は複数の磁性体又は非磁性体の被研削物の高精度研削加工が出来、安価に製作される平面研削用溝付マグネットチャック又は溝付保持プレートを提供する。【解決手段】  平面研削用溝付マグネットチャック又は溝付保持プレートの上面に溝２を形成したものであり、溝付保持プレートはマグネットチャックや真空チャックに磁着又は吸着されて使用される。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
平面研削盤で種々の形状の単一又は複数の磁性体又は非磁性体からなる被研削物を浮き上り現象を防止すると共に作業性の向上を図りながら精度の高い研削加工をするために使用されるマグネットチャック又は該マグネットチャックの上面側に磁着するプレート又は真空チャックの上面側に吸着されるプレートに関するものであり、前記マグネットチャックやプレートの上面側に被研削物を直接又はホットメルト接着剤により固定して研削加工をするために使用されるマグネットチャック又はプレートであって、前記マグネットチャック又はプレートはその上面に溝を形成するものからなることを特徴とする平面研削用溝付マグネットチャック又は溝付保持プレート。
【請求項２】
前記溝が、前記マグネットチャックやプレートの全面積の２０％以上の面積のものからなることを特徴とする請求項１に記載の平面研削用溝付マグネットチャック又は溝付保持プレート。
【請求項３】
前記ホットメルト接着剤が、１００％固形分の熱可塑性ポリマをベースとした接着剤混合物からなることを特徴とする請求項１に記載の平面研削用溝付マグネットチャック又は溝付保持プレート。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本考案は、種々の形状の単一又は複数の磁性体又は非磁性体からなる被研削物を高精度に加工するための平面研削用溝付マグネットチャック又は溝付保持プレートに関する。
【背景技術】
【０００２】  平面研削加工としては厚さ精度，平面度，平行度，面粗さが要求され、高精度加工としてはこれ等の各精度の高度化が要求される。被研削物を平面加工する場合は通常は被研削物を既設のマグネットチャックに磁着させてその表面側を研削加工するものであるが、非磁性体の場合は以上の加工が出来ないため特別の保持手段が必要となる。この保持手段としては各種のものがあるが、例えば磁性体である薄鋼板で非磁性体の両側を挾んで固定するもの，真空チャック，熱ワックス，プロメルタシステム，冷凍チャック，ＥＳチャック（冷凍チャックの１つ），バイス，専用ジグ，両面テープ及び瞬間接着剤等が挙げられる。これ等については夫々長所もあるが精度保持，取り扱い性，費用等の夫々短所もあり、通常の平面研削加工における被研削物の保持手段としては不適当である。【０００３】  以上の欠点を解消する手段として後に説明する本考案があるが、本考案において開示されているホットメルト接着剤を使用するものやチャックに溝を形成する公知技術として「特許文献１」や「特許文献２」が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１８３０４７号（図１）
【特許文献２】特開２０００−８４７７２号（図１）
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】  前記の「特許文献１」の「特開平９−１８３０４７号」の「試料研削方法」は、ホットメルト接着剤を保持手段として使用する技術を開示するものであるが、本考案において説明しているホットメルト接着剤の使用手段とこの技術は全く相違するものである。【０００６】  また、「特許文献２」の「特開２０００−８４７７２号」の「マグネットチャック」は溝を形成している点において後に説明する本考案と似ている点もあるが、この溝は勾配を有するものでこのチャック上に載置されている被研削物の取り外しを容易にするためのものであり、本考案とは構造，用途，目的等において大きく相違するものである。【０００７】  被研削物が磁性体の場合は、その被研削物を直接既存のマグネットチャックに磁着してその表面を研削加工すればよいが、非磁性体の場合はマグネットチャックに磁着することが出来ず、磁性体である薄鋼板で非磁性体の両側を挾んで固定するもの、真空チャック，熱ワックス，プロメルタシステム，冷凍チャック，ＥＳチャック（冷凍チャックの１つ），バイス，専用ジグ，両面テープ及び瞬間接着剤等が挙げられる。いずれも作業性やコストの問題があり前記の問題点を解決する手段としては適当ではない。更に厚さが薄く平坦度が悪い被研削物の場合、真空チャックでは平坦度不良があれば弾性変形させて矯正し、吸着させることもある。この場合研削終了後に吸着解除すると、弾性変形が戻るため、せっかくの研削加工面精度が悪くなる場合がある。この現象は磁性体の被研削物が、マグネットチャック吸着力で弾性変形する場合と同様である。これ等の問題点の解決のために本願考案の出願人はホットメルト接着剤を用いて被研削物をチャックに固定する方法を考えたが、その研究及び実験時の観察の結果、この手段のみでは研削時に研削液の染み込みにより被研削物に浮き上りが発生する場合があり、高精度加工が出来ない問題点を発見した。この問題点は、従来の非磁性体の被研削物の固定方法の磁性体である薄鋼板で非磁性体の両側を挾んで固定するもの、真空チャック，バイス，専用ジグ等も全て同様な現象が確認された。この浮き上り現象については、磁性体である被研削物においても同様に見られ、磁性体の被研削物の従来の研削加工においてもこの浮き上りに対しては十分に考慮されていないことが判明した。この原因としては被研削物を固定する際にチャックと被研削物との間に油分や研削液が侵入することによるものであるが、これ等を除去するにはこれ等を完全に拭きとったり被研削物をチャックに力を込めて押しつける作業が必要であり面倒である。更に油分等が十分に除去されない場合では摩擦力が弱く、被研削物の固定力が弱まり研削加工時に被研削物が外れることがある。【０００８】  本考案は、以上の事情に鑑みて創案されたものであり、被研削物が磁性体や非磁性体であることに無関係に種々形状の単一又は複数の被研削体を高精度に、浮き上りなく、取り扱い性がよく、比較的安価に実施出来る平面研削用溝付マグネットチャック又は溝付保持プレートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  本考案は、以上の目的を達成するために、請求項１の考案は、平面研削盤で種々の形状の単一又は複数の磁性体又は非磁性体からなる被研削物を浮き上り現象を防止すると共に作業性の向上を図りながら高精度の高い研削加工をするために使用されるマグネットチャック又は該マグネットチャックの上面側に磁着するプレート又は真空チャックの上面側に吸着されるプレートに関するものであり、前記マグネットチャックやプレートの上面側に被研削物を直接又はホットメルト接着剤により固定して研削加工をするために使用されるマグネットチャック又はプレートであって、前記マグネットチャック又はプレートはその上面に溝を形成するものからなることを特徴とする。【００１０】  また、請求項２の考案は、前記溝が、前記マグネットチャックや保持プレートの全面積の２０％以上の面積のものからなることを特徴とする。【００１１】  また、請求項３の考案は、前記ホットメルト接着剤が、１００％固形分の熱可塑性ポリマをベースとした接着剤混合物からなることを特徴とする。
【考案の効果】
【００１２】  本考案の請求項１の平面研削用溝付マグネットチャック又は溝付保持プレートによれば、被研削物はこの保持プレートの上面にホットメルト接着剤により保持された状態に研削加工されるが、その際に使用される研削液は保持プレートの溝を介して被研削物の下面側から除去されるため被研削物の浮き上りが防止されて高精度の研削加工を行うことが出来る。また、この被研削物は平面研削用溝付保持プレートを使用せずに直接溝付マグネットチャックや真空チャックに磁着又は吸着して従来通りの段取りで研削加工をすることが出来、これによって前記と同様な効果を挙げることが出来る。【００１３】  また、本考案の請求項２の平面研削用溝付マグネットチャック又は溝付保持プレートによれば、溝の面積をマグネットチャックやプレートの全面積の２０％以上の面積にすることにより浮き上り防止が確実に行われ、かつ本考案の期待する高精度研削加工を行うことが出来る。【００１４】  また、本考案の請求項３の平面研削用溝付マグネットチャック又は溝付保持プレートによれば、使用されるホットメルト接着剤が１００％固形分の熱可塑性ポリマをベースとした接着混合物であり、熱すれば液体化し、冷めれば固形化する性質のものからなり、作業性がよく、保持力も研削抵抗以上の力で保持が出来、かつその取り付けや取り外しが容易に出来る効果を上げることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本考案の平面研削用溝付保持プレートの全体構造を示す斜視図（ａ）及び（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｂ）。
【図２】上面に溝を形成したマグネットチャックを示す斜視図（ａ）と（ａ）のＢ矢視図及び（ａ）のＢ−Ｂ線断面図（ｃ）。
【図３】本考案の平面研削用溝付保持プレートを用いて被研削物の平面研削加工する状態を示す模式的正面図（ａ）及び（ａ）のＣ矢視図（ｂ）及び（ｂ）のＣ−Ｃ線断面図。
【図４】溝付のマグネットチャックの上面に被研削物を搭載しホットメルト接着剤で固定した状態を示す正面図（ａ）及び（ａ）のＤ矢視図（ｂ）及び溝の方向を（ａ），（ｂ）と異なる直角方向に形成したものによる被研削物の研削状態を示す平面図（ｃ）。
【考案を実施するための形態】
【００１６】  以下、本考案の平面研削用溝付マグネットチャック又は溝付保持プレートの実施の形態を図面を参照して詳述する。
【実施例１】
【００１７】  図１（ａ），（ｂ）に示すように、本考案の平面研削用溝付保持プレート１は磁性体の平板からなり、その表面側に溝２が複数箇所形成されるものからなる。この実施例では溝２はＶ溝からなるが勿論これに限定するものではない。なお、この溝２の形状，本数等は被研削物４の種類や平面研削盤の形態等によって適宜設定されるものであり、均一に決められるものではない。また、本実施例では溝２の形成方向は研削液７（図３に示す）の噴射方向であるがこれに限定するものではない。なお、図３（ａ），（ｂ）は以上の平面研削用溝付保持プレートを用いた被研削物４の加工状態を示すものである。
図３（ａ），（ｂ）において符号５又は５ａはマグネットチャック又は真空チャックであり、符号６はホットメルト接着剤３を噴射するためのグルーガンであり、符号７は研削液であり、符号８は砥石である。
【実施例２】
【００１８】  図２（ａ），（ｂ），（ｃ）は平面研削盤に設けられているマグネットチャック５の上面側に溝２を形成したものである。これにより、図１（ａ），（ｂ）に示した平面研削用溝付保持プレート１を用いることなく直接被研削物４の研削加工をすることが出来る。なお、図２において符号９は磁極部材であり符号１０は仕切板である。
また、図４（ａ），（ｂ）はこのマグネットチャック５を用いた場合の被研削物４の研削加工方法を示すものである。また、図４（ｃ）は溝２の形成方向を図４（ａ），（ｂ）と直角方向に形成したものを示す。また、真空チャック５ａ上に平面研削用溝付保持プレート１を吸着して被研削物４を研削加工をすることも出来る。【００１９】  本考案は、以上の説明のものからなるが、その内容は以上のものに限定するものではなく、同一技術的範疇のものが適用されることは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００２０】  本考案の平面研削用溝付マグネットチャック又は溝付保持プレートはすべての平面研削加工に適用可能であり、被研削物も種々形状や単一又は複数のものにも適用され、その利用範囲は極めて広い。また、安価に製作することが出来、中小企業や個人企業に対しても適用が可能である。
【符号の説明】
【００２１】１    平面研削用溝付保持プレート
２    溝
３    ホットメルト接着剤
４    被研削物
５    マグネットチャック
５ａ  真空チャック
６    グルーガン
７    研削液
８    砥石
９    磁極部材
１０  仕切板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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