(57)【要約】【課題】基板に反りが発生しない真空吸着装置を提供することを課題とする。【解決手段】本考案の真空吸着装置は、気体導引面および真空吸引ユニットを備える減圧室と、複数の第一吸気孔を備える載置部と、積載部を備える遮断治具と、を備える。前記載置部は前記減圧室上に設置され、前記気体導引面と隣接し、前記第一吸気孔は前記気体導引面と繋がっている。前記遮蔽治具は前記載置部上に設置され、前記積載部は基板を積載するのに使用され、基板の面積に応じて設置される。前記遮蔽治具は一部の前記第一吸気孔を遮蔽するのに用いられる。前記積載部は複数の第二吸気孔を備える。前記第二吸気孔は前記遮蔽治具に遮蔽されていない前記第一吸気孔に対応しており、前記気体導引面と繋がっている。前記真空吸引ユニットが前記気体導引面に対し吸気を行うことで、前記積載部上にある基板を吸着保持する。【選択図】図１
0003180722.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
吸着した基板を平らに保つための真空吸着装置であって、
気体導引面および真空吸引ユニットを備える減圧室と、
複数の第一吸気孔を備える載置部と、
積載部を備える遮断治具と、を備え、
前記載置部は前記減圧室上に前記気体導引面と隣接して設置され、
前記第一吸気孔は前記気体導引面と繋がっており、
前記遮蔽治具は前記載置部上に設置され、前記積載部は基板を積載するために前記基板の面積に応じて設置され、
前記遮蔽治具は一部の前記第一吸気孔を遮蔽するのに用いられ、前記積載部は複数の第二吸気孔を備え、前記第二吸気孔は前記遮蔽治具に遮蔽されていない前記第一吸気孔に対応しており、前記気体導引面と繋がっており、前記真空吸引ユニットが前記気体導引面に対し吸気を行うことで、前記積載部上にある基板を吸着保持することを特徴とする真空吸着装置。
【請求項２】
前記気体導引面は更に通気孔を備え、前記真空吸引ユニットと繋がっていることを特徴とする請求項１に記載の真空吸着装置。
【請求項３】
前記気体導引面は更に気体を流すための導引溝を備えることを特徴とする請求項１に記載の真空吸着装置。
【請求項４】
前記遮蔽治具はガラス繊維であることを特徴とする請求項１に記載の真空吸着装置。
【請求項５】
前記真空吸着装置は更に前記遮蔽治具に穿設し前記載置部上に前記遮蔽治具を固定するための固定ユニットを備えることを特徴とする請求項１に記載の真空吸着装置。
【請求項６】
前記固定ユニットは前記載置部上に着脱可能であることを特徴とする請求項５に記載の真空吸着装置。
【請求項７】
前記第一吸気孔は等間隔に配列されることを特徴とする請求項１に記載の真空吸着装置。
【請求項８】
前記第二吸気孔の孔径は前記第一吸気孔より大きいことを特徴とする請求項１に記載の真空吸着装置。
【請求項９】
吸着した基板を平らに保つための真空吸着装置であって、
気体導引面および真空吸引ユニットを備える減圧室と、
複数の第一吸気孔を備える載置部と、
積載部を備える遮断治具と、を備え、
前記載置部は前記減圧室上に前記気体導引面と隣接して設置され、
前記第一吸気孔は前記気体導引面と繋がっており、
前記遮蔽治具は前記載置部上に設置され、前記積載部は基板を積載するために前記基板の面積に応じて設置され、
前記遮蔽治具は一部の前記第一吸気孔を遮蔽するのに用いられ、前記積載部は複数の第二吸気孔および複数の通気溝を備え、前記通気溝は前記遮蔽治具と前記載置部が隣接する部分の片面に位置し、遮蔽されていない部分の前記第一吸気孔に対応して遮蔽されていない部分の前記第一吸気孔および前記第二吸気孔と繋がっており、前記第二吸気孔はそれぞれ遮蔽されていない前記第一吸気孔のいずれか一つに対応しており、前記真空吸引ユニットが前記気体導引面に対し吸気を行うことで、前記積載部上にある基板を吸着保持することを特徴とする真空吸着装置。
【請求項１０】
前記気体導引面は更に通気孔を備え、前記真空吸引ユニットと繋がっていることを特徴とする請求項９に記載の真空吸着装置。
【請求項１１】
前記気体導引面は更に気体を流すための導引溝を備えることを特徴とする請求項９に記載の真空吸着装置。
【請求項１２】
前記遮蔽治具はガラス繊維であることを特徴とする請求項９に記載の真空吸着装置。
【請求項１３】
前記真空吸着装置は更に前記遮蔽治具に穿設し前記載置部上に前記遮蔽治具を固定するための固定ユニットを備えることを特徴とする請求項９に記載の真空吸着装置。
【請求項１４】
前記固定ユニットは前記載置部上に着脱可能であることを特徴とする請求項１３に記載の真空吸着装置。
【請求項１５】
前記第一吸気孔は等間隔に配列されることを特徴とする請求項９に記載の真空吸着装置。
【請求項１６】
前記第二吸気孔の孔径は前記第一吸気孔より大きいことを特徴とする請求項９に記載の真空吸着装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、真空吸着装置に関し、より詳しくは、吸引力を集中させることが可能な真空吸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板外観検査装置を使用し基板を検査する際、まず基板を載置部に設置し、エア吸引装置により複数の吸気孔で基板を吸着することで載置部に固定する。
【０００３】
しかし、基板の材質は様々であり、特殊な材質による基板は、吸着した後に、基板の端の部分が反ってしまう問題がある。このような反りが発生している基板を検査しようとした際、撮影された基板の画像が鮮明でなく、有効な検査が行えないことがある。
【０００４】
また、フレキシブルプリント基板は薄く軟らかく、形状が不規則である。更に、基板に対する要求により、電子部品を基板上に追加するような時は、載置部に真空吸着させ基板を平らにする必要がある。従来の載置部の多くは複数の吸気孔を備える設計により基板を吸着するが、吸引力が分散し易く、平らに吸着できない状況が起こり易い。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本考案は、真空吸着装置の設計を改良し、基板を真空吸着する際の有効性を増進させ、基板に反りが発生する問題を解決することを課題とする。また、異なる基板に対し簡単に基板治具を交換することが可能な装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための、本考案の真空吸着装置は、気体導引面および真空吸引ユニットを備える減圧室と、複数の第一吸気孔を備える載置部と、積載部を備える遮断治具と、を備える。前記載置部は前記減圧室上に設置され、前記気体導引面と隣接し、前記第一吸気孔は前記気体導引面と繋がっている。前記遮蔽治具は前記載置部上に設置され、前記積載部は基板を積載するのに使用され、基板の面積に応じて設置される。本考案の真空吸着装置は吸着した基板を平らに保つことが可能である。
【０００７】
前記遮蔽治具は一部の前記第一吸気孔を遮蔽するのに用いられる。前記積載部は複数の第二吸気孔を備える。前記第二吸気孔は前記遮蔽治具に遮蔽されていない前記第一吸気孔に対応しており、前記気体導引面と繋がっている。前記真空吸引ユニットが前記気体導引面に対し吸気を行うことで、前記積載部上にある基板を吸着保持する。
【０００８】
前記気体導引面は、更に、前記真空吸引ユニットと繋がっている通気孔を備える。前記遮蔽治具はガラス繊維である。また、本考案の真空吸着装置は更に、前記遮蔽治具に穿設し前記遮蔽治具を前記載置部の特定位置に固定するための固定ユニットを備える。前記固定ユニットは前記載置部上に着脱可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本考案の真空吸着装置を示す断面図である。
【図２】本考案の減圧室を示す平面図である。
【図３】本考案の減圧室を示す側面図である。
【図４】本考案の載置部を示す説明図である。
【図５】本考案の遮蔽治具を示す説明図である。
【図６】本考案の真空吸着装置を示す平面図である。
【図７】本考案の遮蔽治具と載置部を示す局部断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１０】
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１１】
図１は本考案の真空吸着装置を示す断面図である。本考案の真空吸着装置は、減圧室１０と、載置部２０と、遮蔽治具３０と、を備える。
【００１２】
図２は本考案の減圧室を示す上面図であり、図３は本考案の減圧室を示す側面図である。減圧室１０はやや長方形を呈している直方体構造であり、気体導引面１１と真空吸引ユニット１２を備える。減圧室１０は室内の気圧を大気圧より低い状態に保つことが可能な中空構造である。真空吸引ユニット１２は真空ポンプであることが望ましい。減圧室１０は完全に真空である必要はない。
【００１３】
本考案の減圧室１０について説明する。気体導引面１１は減圧室１０の外側に設置され、真空吸引ユニット１２は減圧室１０の内側に設置され、気体導引面１１の片側に接続される。こうして気体導引面１１は真空吸引ユニット１２と繋がり、真空吸引ユニット１２が作動すると、気体導引面１１の気体に対して吸気を行う。気体導引面１１は互いに並列になるよう配列され、共に繋がっている導引溝１３を備えている。真空吸引ユニット１２が吸気すると、気体は導引溝１３に沿って流れる。導引溝１３の配列はこれに限定しない。
【００１４】
図４は本考案の載置部を示す説明図である。載置部２０はやや長方形を呈している厚みのある板状構造であり、減圧室１０に対応しほぼ同形状を呈する。載置部２０は減圧室１０上に気体導引面１１を覆うように設置される。載置部２０は複数の第一吸気孔２１を備える。載置部２０が減圧室１０上に気体導引面１１を覆うように設置された際、第一吸気孔２１は気体導引面１１と繋がる。また、第一吸気孔２１は載置部２０上に平均的に分布しており、等間隔に配列されることが好ましいが、これに限定しない。
【００１５】
図５は本考案の遮蔽治具を示す説明図である。遮蔽治具３０はやや長方形を呈している薄い板状構造であり、載置部２０に対応しほぼ同形状を呈する。遮蔽治具３０は載置部２０上に設置される。また、本考案は更に固定ユニット４０を備える。固定ユニット４０はねじであることが好ましいが、これに限定しない。固定ユニット４０は複数であることが好ましく、本実施例では固定ユニット４０の数は２個である。固定ユニット４０は遮蔽治部３０の端に穿設され、遮蔽治具３０を載置部２０上に固定する。固定ユニット４０は載置部２０上で着脱可能であり、これにより遮蔽治具３０を交換する際にも、固定ユニット４０を外すだけで遮蔽治具３０を交換することが可能となる。また、遮蔽治具３０は密着性に優れるガラス繊維であることが好ましいが、これに限定しない。
【００１６】
遮蔽治具３０は更に積載部３１を備える。積載部３１は基板５０の大きさにより設置する範囲が決定され、積載部３１により基板５０を積載する。積載部３１は更に複数の第二吸気孔３２を備え、遮蔽治具３０が載置部２０上に設置された際、遮蔽治具３０上の積載部３１が設置されていない区域が一部の第一吸気孔２１を遮蔽し、積載部３１の第二吸気孔３２がその他部分の第一吸気孔２１に対応し気体導引面１１と繋がる。第二吸気孔３２の孔径は第一吸気孔２１の孔径より大きい。また、本実施例の第二吸気孔３２の数量は対応する部分の第一吸気孔２１の数量よりやや少ないが、孔径の大きさや第二吸気孔３２の数量は適宜変更し得るものであり、第二吸気孔３２の数量を第一吸気孔２１の数量と同数としてもよい。
【００１７】
図６は本考案の真空吸着装置を示す上面図である。本考案の真空吸着装置を使用する際、まず基板５０の面積に応じて遮蔽治具３０上の積載部３１の範囲を決定し、その後、固定ユニット４０を遮蔽治具３０に穿設し遮蔽治具３０を載置部２０上に固定する。基板を交換する際にその大きさが変化した場合、遮蔽治具３０もまた交換することが可能である。
【００１８】
図７は本考案の遮蔽治具と載置部を示す局部断面図である。本考案の遮蔽治具３０は、第二吸気孔３２の数量が対応する第一吸気孔２１の数量より少なく、遮蔽治具３０を載置部２０上に設置する際、第二吸気孔３２はそれぞれ第一吸気孔２１の一つずつと対応する。遮蔽治具３０の積載部３１は更に複数の通気溝３３を備え、通気溝３３は遮蔽治具３０と載置部２０が隣接する部分の片面に位置する。通気溝３３は遮蔽治具３０に遮蔽されていない部分の第一吸気孔２１に対応しており、これにより遮蔽治具３０に遮蔽されていない部分の第一吸気孔２１は通気溝３３によって第二吸気孔３２と繋がっている。真空吸引ユニット１２が吸気した際、第二吸気孔３２に対応する第一吸気孔２１が繋がっており、更に第二吸気孔３２と対応していない部分の第一吸気孔２１もまた通気溝３３により第二吸気孔３２と繋がる。
【００１９】
遮蔽治具３０が載置部２０上に設置される際、遮蔽治具３０に積載部３１の範囲が設定されていないと、載置部２０の一部の第一吸気孔２１を遮蔽し、積載部３１の第二吸気孔３２は遮蔽されていない第一吸気孔２１と対応し気体導引面１１と繋がる。これにより減圧室１０の真空吸引ユニット１２が作動し気体導引面１１に対し吸気すると、第一吸気孔２１、第二吸気孔３２と気体導引面１１は互いに繋がっているため、真空吸引ユニット１２の吸引によって積載部３１上にある基板５０を吸着することが可能となる。また、遮蔽治具３０の積載部３１がない部分は第一吸気孔２１を遮蔽しているので、真空吸引ユニット１２の吸引力は全て積載部３１に集中し、積載部３１上にある基板５０はより強力に積載部３１上に吸着される。
【００２０】
本考案の真空吸着装置は、基板の大きさに対応している積載部を遮蔽治具に設置し、第一吸気孔の一部を遮蔽することで、真空吸引ユニットの吸引力を積載部に集中することができ、基板を吸着する有効性を増進するものであり、従来の技術にある基板に反りが発生する問題を解決するものである。また本考案の遮蔽治具は着脱可能であるため、異なる基板に対して簡単に遮蔽治具を交換することができる、従来の技術にあるような、基板を交換する際に機器或いは載置部を交換する必要がある問題を解決するものである。
【００２１】
上述において、本考案の説明の利便性のために最良の実施例を挙げて説明したが、これらの実施例は本考案の請求の範囲を限定するものではなく、本考案に基づく本考案の要旨を逸脱しないあらゆる変更は本考案の請求の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００２２】
１０      減圧室
１１      気体導引面
１２      真空吸引ユニット
１３      導引溝
２０      載置部
２１      第一吸気孔
３０      遮蔽治具
３１      積載部
３２      第二吸気孔
３３      通気溝
４０      固定ユニット
５０      基板
【図１】
0003180722.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0003180722.tif 000008
【図７】
0003180722.tif 000009