(57)【要約】      （修正有）【課題】接着シートの張力を良好に維持できるとともに、剥離シートの剥離不良を防止することができるシート貼付装置を提供する。【解決手段】シート貼付装置１は、帯状の剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを供給する供給手段２と、原反ＲＳの剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離板３５を有する剥離手段３と、接着シートＡＳを被着体ＷＦに押圧して貼付する押圧手段４とを備える。剥離手段３は、折り返された剥離シートＲＬが剥離板３５に接着することを防止する接着防止手段としてのイオン噴出手段３８を有する。【選択図】図１
0003185807.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を供給する供給手段と、
前記原反の剥離シートを折り返して当該剥離シートから接着シートを剥離する剥離部材を有する剥離手段と、
前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記剥離手段は、折り返された剥離シートが前記剥離部材に接着することを防止する接着防止手段を有することを特徴とするシート貼付装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、剥離シートに仮着された接着シートをピールプレートで剥離シートから剥離し、剥離された接着シートを繰り出すシート繰出ユニットと、接着シートの張力を測定するロードセルと、接着シートをウエハ（被着体）に押圧して貼付する押圧ローラとを備え、接着シートの張力を制御しながら当該接着シートを被着体に貼付するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１９２３９号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、ピールプレートで折り返された剥離シートが静電気によって当該ピールプレートに接着する場合があり、この接着によって張力が変化してしまい、被着体毎に接着シートの張力が異なってしまうという不都合や、剥離シートの巻き取りに支障を来し、ピールプレートでの剥離不良を招来するという不都合がある。
【０００５】
本考案の目的は、接着シートの張力を良好に維持することができるとともに、剥離シートの剥離不良を防止することができるシート貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案のシート貼付装置は、帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を供給する供給手段と、前記原反の剥離シートを折り返して当該剥離シートから接着シートを剥離する剥離部材を有する剥離手段と、前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記剥離手段は、折り返された剥離シートが前記剥離部材に接着することを防止する接着防止手段を有することを特徴とする。
【考案の効果】
【０００７】
以上のような本考案によれば、接着防止手段を設けることで、剥離板で折り返された剥離シートが当該剥離板に接着することを防止するため、剥離シートを支障なく巻き取って接着シートの張力を良好に維持することができるとともに、剥離シートの剥離不良を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本考案の一実施形態に係るシート貼付装置を示す側面図。
【図２】シート貼付装置の要部を拡大して示す側面図。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向（紙面手前方向）で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１、図２において、シート貼付装置１は、帯状の剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを供給する供給手段２と、原反ＲＳの剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離部材としての剥離板３５を有する剥離手段３と、接着シートＡＳを被着体としてのウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段４と、剥離手段３を移動させる移動手段５とを備え、接着シートＡＳを所定形状に切断可能な切断手段６およびウエハＷＦを支持する支持手段７の近傍に配置されている。なお、接着シートＡＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤ＡＤ層が積層された構成である。
【００１１】
供給手段２は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動する駆動ローラ２３との間に切断手段６の切断によって生じた不要シートＵＳを挟み込むピンチローラ２４と、駆動機器としての回動モータ２５Ａによって駆動して不要シートＵＳを巻き取る巻取ローラ２５と、駆動ローラ２３、巻取ローラ２５等を支持するフレームＦ１をそのスライダ２６Ａで支持する駆動機器としてのリニアモータ２６と、駆動機器としての回動モータ２７Ａによって駆動する駆動ローラ２７との間に剥離手段３で剥離された剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２８と、駆動機器としての回動モータ２９Ａによって駆動して剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２９とを備えている。
【００１２】
剥離手段３は、支持フレーム３１に支持されて原反ＲＳを案内するガイドローラ３２Ａ、３２Ｂと、原反ＲＳをガイドローラ３２Ｂとの間に挟み込む押圧部材３３Ａをその出力軸３３Ｂで支持する駆動機器としてのエアシリンダ３３と、張力測定ローラ３４Ａを支持するとともに、接着シートＡＳの張力を測定可能なロードセル３４と、剥離板３５と、剥離板３５で剥離された剥離シートＲＬを案内するガイドローラ３２Ｃ、３２Ｄと、剥離シートＲＬをガイドローラ３２Ｄとの間に挟み込む押圧部材３６Ａをその出力軸３６Ｂで支持する駆動機器としてのエアシリンダ３６と、剥離板３５に帯電した静電気の極性を検知する電極センサ等の極性検知手段３７と、剥離板３５で剥離された剥離シートＲＬが剥離板３５の下面に接着することを防止する接着防止手段としてのイオン噴出手段３８と、剥離シートＲＬと剥離板３５の裏面との接着状況を検知可能な光学センサや超音波センサ、あるいは撮像手段等の接着検知手段３９とを備えている。
ロードセル３４は、ガイドローラ３２Ｂと押圧部材３３Ａとで挟み込まれた位置から押圧手段４までの間に繰り出された接着シートＡＳの張力によって、張力測定ローラ３４Ａが引っ張られることで、剥離手段３と押圧手段４との間における接着シートＡＳの張力を測定可能に設けられている。
イオン噴出手段３８は、イオナイザー等で構成され、剥離板３５に帯電している静電気極性と同じ極性のイオンを剥離直後の剥離シートＲＬに噴出可能に設けられている。
【００１３】
押圧手段４は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４２に回転可能に支持された押圧ローラ４３を備えている。
【００１４】
移動手段５は、Ｚ軸に対して傾斜して立設された駆動機器としてのリニアモータ５１の図示略のスライダで剥離手段３の支持フレーム３１を支持可能に構成されている。
切断手段６は、駆動機器であり６軸ロボット等の多関節ロボット６１の作業アーム（先端アーム）６１Ａに着脱可能に支持された切断刃６２を備えている。
【００１５】
支持手段７は、ウエハＷＦを支持する支持面７１Ａを有するテーブル７１と、テーブル７１をその出力軸７２Ａで支持する駆動機器としての直動モータ７２とを備え、支持面７１Ａの上面は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に連通されている。
【００１６】
以上のシート貼付装置１において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、原反ＲＳを図１に示すようにセットする。そして、図示しない操作パネルを介して自動運転が指示されると、剥離手段３がエアシリンダ３３、３６を駆動し、押圧部材３３Ａ、３６Ａをガイドローラ３２Ｂ、３２Ｄに押し付け、接着シートＡＳの繰出を抑制した後、供給手段２が回動モータ２３Ａ、２５Ａ、２７Ａ、２９Ａを駆動し、接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬを巻き取る。そして、ロードセル３４によって支持手段７上に位置する接着シートＡＳ部分の張力が所定値となったことが検知されると、供給手段２が回動モータ２３Ａ、２５Ａ、２７Ａ、２９Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
【００１７】
その後、人手や図示しない搬送手段等によってテーブル７１の支持面７１Ａ上にウエハＷＦがセットされると、支持手段７が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持する。次いで、押圧手段４がリニアモータ４１を駆動し、押圧ローラ４３を図１中二点鎖線で示す位置にまで移動させ、接着シートＡＳをウエハＷＦの上面に押圧して貼付する。この際、押圧ローラ４３の移動に伴って、接着シートＡＳ部分にはさらなる張力が加わるが、ロードセル３４がそれを検知した瞬間に、移動手段５がリニアモータ５１を駆動し、ロードセル３４で検出される張力が所定値からずれないよう、接着シートＡＳの繰出基にある剥離手段３を左斜め下方へ移動させる。接着シートＡＳの貼付が完了すると、切断手段６が多関節ロボット６１を駆動し、切断刃６２をウエハＷＦの外周に沿って移動させて接着シートＡＳを所定形状に切断する。
【００１８】
次いで、ウエハＷＦが人手や図示しない搬送手段等によってテーブル７１上から取り去られると、供給手段２が回動モータ２３Ａ、２５Ａおよびリニアモータ２６を駆動し、駆動ローラ２３を図１中二点鎖線で示す位置にまで移動させて不要シートＵＳを巻き取る。そして、支持手段７が直動モータ７２を駆動し、テーブル７１を下降させた後、剥離手段３がエアシリンダ３３、３６を駆動し、押圧部材３３Ａ、３６Ａをガイドローラ３２Ｂ、３２Ｄから離間させる。その後、供給手段２が回動モータ２３Ａの駆動を停止させた状態で、供給手段２、押圧手段４および移動手段５が同期してリニアモータ２６、４１、５１を駆動し、駆動ローラ２３、押圧ローラ４３および剥離手段３を初期位置に復帰させる。この復帰により、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、新しい接着シートＡＳ部分がウエハＷＦの被着面に臨む位置に供給される。以降、同様の動作が繰り返される。
【００１９】
ここで、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離されると、剥離シートＲＬに静電気が帯電し、図２中二点鎖線で示すように、剥離シートＲＬが剥離板３５に貼り付いてしまい、新しい接着シートＡＳ部分の供給に支障を来たす場合がある。この際、剥離シートＲＬが剥離板３５に接着していることが接着検知手段３９にて検知されると、剥離手段３がイオン噴出手段３８を駆動し、極性検知手段３７で検知された極性と同じ極性のイオンを剥離シートＲＬに噴出する。そうすると、噴出されたイオンで剥離シートＲＬ側の静電気を除電中和することができ、剥離シートＲＬが剥離板３５に接着することを防止することができる。
【００２０】
以上のような本実施形態によれば、イオン噴出手段３８が設けられていることで、剥離板３５で折り返された剥離シートＲＬが当該剥離板３５に接着することを防止することができるため、剥離シートＲＬを支障なく巻き取って接着シートＡＳの張力を良好に維持することができるとともに、剥離シートＲＬの剥離不良を防止することができる。
【００２１】
以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれるものである。
【００２２】
例えば、接着検知手段３９は本考案に必須の構成ではなく、省略可能である。この場合には、剥離直後の剥離シートＲＬが剥離板３５に接着しているか否かに係わらず、シート貼付装置１が稼動している間は常時、イオン噴出手段３８からイオンを噴出させ、剥離シートＲＬを除電すればよい。
また、極性検知手段３７で検知した極性とは反対の極性のイオンを剥離板３５に噴出し、剥離板３５側で除電をしてもよい。
さらに、剥離板３５に接地線を接続して当該剥離板３５を除電したり、折り返された直後の剥離シートＲＬに接触可能な接地部材を設け、当該剥離シートＲＬを除電したりしてもよい。
【００２３】
また、気体噴出手段から噴出される空気等を剥離板３５と剥離シートＲＬとの間に吹き付け、剥離シートＲＬが剥離板３５に接着することを防止してもよい。
【００２４】
供給手段２は、剥離シートＲＬに所定形状の枚葉の接着シートＡＳが複数仮着された原反ＲＳを供給してもよい。この際、当該原反ＲＳの剥離シートＲＬを剥離部材にて折り返すことで、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離しながら、当該接着シートＡＳを押圧ローラ等の押圧部材で押圧して貼付してもよいし、剥離された接着シートＡＳを保持部材で保持し、当該保持部材で接着シートＡＳを押圧して貼付してもよい。
【００２５】
押圧手段４は、押圧ローラ４３にかえて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、エア噴き付けにより押圧する構成を採用してもよい。
【００２６】
切断手段６は、接着シートＡＳを切断可能な任意の構成を採用でき、例えば、レーザカッターや水圧や風圧で切断可能なもの等で構成してもよいし、回転して切断するロータリカッター等の他のカッター刃を採用してもよい。
【００２７】
また、本考案における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層または複層の中間層を有するものや、中間層のない単層または複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２８】
本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、接着防止手段は、剥離部材で折り返された剥離シートが当該剥離部材に接着することを防止する構成であれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内で限定されることはない（他の手段についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２９】
１    シート貼付装置
２    供給手段
３    剥離手段
４    押圧手段
３５  剥離板（剥離部材）
３８  イオン噴出手段（接着防止手段）
ＡＳ  接着シート
ＲＬ  剥離シート
ＲＳ  原反
ＷＦ  ウエハ（被着体）
【図１】
0003185807.tif 000003
【図２】
0003185807.tif 000004