(57)【要約】  プレス焼結法で焼結される少なくとも１つの製品を支持するプレス焼結法製品キャリアは、上部と、上部に形成され、製品を受容し、凹部底面上で製品を支持する製品受け凹部と、製品受け凹部を囲む上部表面と、上部表面に設けられ、製品受け凹部を囲む保持溝と、保持溝に連通し、製品受け凹部及び保持溝の上方に設けられたフィルム材、ホイル材、またはシート材などの可撓性カバーを保持するために前記保持溝に真空を付与することを可能にする真空接続部と、製品受け凹部内にガスを導入するために製品受け凹部内に配置された凹部ガス入口と、製品受け凹部内に配置され、製品受け凹部からガスを引き出して、製品受け凹部をパージするために凹部ガス入口からのガス流をもたらすことを可能にする凹部ガス出口を備える。【選択図】図３【特許請求の範囲】
【請求項１】
プレス焼結法で焼結しようとする少なくとも１つの製品（Ｐ）を支持するプレス焼結法製品キャリア（１００）であって、
上部（１１０）と、
前記上部に形成された製品受け凹部（１２０）であって、前記製品を受容し、該製品受け凹部の凹部底面（１２５）上で前記製品を支持するように構成された製品受け凹部（１２０）と、
前記製品受け凹部を囲む上部表面（１３０）と、
前記上部表面に設けられ、前記製品受け凹部を囲む保持溝（１４０）と、前記保持溝に連通し、前記製品受け凹部及び前記保持溝の上方に設けられたフィルム材、ホイル材、またはシート材（Ｓ）などの可撓性カバーを保持するために前記保持溝内に真空を設けることを可能にする真空接続部（１４５）と、
前記製品受け凹部内にガスを導入するために前記製品受け凹部内に配置された凹部ガス入口（１５０）と、前記製品受け凹部内に配置された凹部ガス出口（１６０）であって、前記製品受け凹部からガスを引き出して、前記製品受け凹部をパージするために前記凹部ガス入口から該凹部ガス出口へのガス流を設けることを可能にする凹部ガス出口と
を備えるプレス焼結法製品キャリア。
【請求項２】
前記上部表面（１３０）が平坦である、請求項１に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項３】
前記上部表面（１３０）が前記製品受け凹部（１２０）を完全に囲む、請求項１または２に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項４】
前記保持溝（１４０）が前記製品受け凹部（１２０）を完全に囲む、請求項１〜３のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項５】
前記凹部ガス入口（１５０）が、前記製品受け凹部（１２０）の第１の側部（１２１）に設けられ、前記凹部ガス出口（１６０）が、前記製品受け凹部の第２の側部（１２２）に設けられ、前記第２の側部が前記第１の側部と対向する、請求項１〜４のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項６】
前記凹部ガス入口（１５０）が、前記製品受け凹部（１２０）の側部に沿って分散配置された複数のガス流入孔（１５１）を備え、前記ガス流入孔が、使用時に、前記凹部底面（１２５）上に支持された前記製品（Ｐ）の方向に前記ガス流入孔からガスを流出させるように配置されている、請求項１〜５のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項７】
前記複数のガス流入孔（１５１）が、使用時に、ガスの層流を設けるように構成されている、請求項６に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項８】
前記凹部ガス出口（１６０）が、前記製品受け凹部（１２０）の側部に沿って分散配置された複数のガス流出孔（１６１）を備える、請求項１〜７のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項９】
前記凹部ガス出口（１６０）は、使用時の水平面に対して、前記凹部ガス入口（１５０）よりも低い高さに設けられる、請求項１〜８のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項１０】
前記製品受け凹部（１２０）のうち前記凹部ガス出口（１６０）が設けられた側において、前記凹部底面（１２５）に追加の凹部（１２６）が設けられている、請求項９に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項１１】
前記真空接続部（１４５）が、当該プレス焼結法製品キャリアの外面に沿って見たときに前記保持溝（１４０）が前記製品受け凹部（１２０）と前記真空接続部との間にあるような当該プレス焼結法製品キャリア（１００）上の位置に設けられており、任意で、前記真空接続部が当該プレス焼結法製品キャリアの側面（１０１）上に設けられる、請求項１〜１０のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項１２】
当該プレス焼結法製品キャリア（１００）が、ガス源への接続のための第１のガス接続部（１５５）を備え、前記第１のガス接続部が前記凹部ガス入口（１５０）と連通し、前記第１のガス接続部が、当該プレス焼結法製品キャリアの外面に沿って見たときに前記保持溝（１４０）が前記製品受け凹部（１２０）と前記第１のガス接続部との間にあるような当該プレス焼結法製品キャリア上の位置に設けられており、任意で、前記第１のガス接続部が当該プレス焼結法製品キャリアの側面（１０１）上に設けられる、請求項１〜１１のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項１３】
当該プレス焼結法製品キャリア（１００）が、ポンプなどのガス抜き部への接続のための第２のガス接続部（１６５、１６５Ａ）を備え、前記第２のガス接続部が前記凹部ガス出口（１６０）と連通し、前記第２のガス接続部が、当該プレス焼結法製品キャリアの外面に沿って見たときに前記保持溝（１４０）が前記製品受け凹部（１２０）と前記第２のガス接続部との間にあるような当該プレス焼結法製品キャリア上の位置に設けられており、任意で、前記第２のガス接続部が当該プレス焼結法製品キャリアの側面（１０１）上に設けられる、請求項１〜１２のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項１４】
当該プレス焼結法製品キャリアおよび当該プレス焼結法によって支持される製品を冷却するための構成、ならびに当該プレス焼結法製品キャリアおよび当該プレス焼結法製品キャリアによって支持される製品を加熱するための構成のうち少なくとも１つをさらに備える請求項１〜１３のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項１５】
前記製品受け凹部（１２０）および前記保持溝（１４０）を覆うためのフィルム材、ホイル材、またはシート材などの可撓性カバーをさらに備える請求項１〜１４のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリア。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリアと、前記製品受け凹部（１２０）および前記保持溝（１４０）を覆うように構成されたフィルム材、ホイル材、またはシート材などの可撓性カバーからなるキット。
【請求項１７】
請求項１〜１５のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリア（１００）を備える焼結装置（１０）。
【請求項１８】
プレス焼結法製品キャリア（１００）を提供するステップであって、前記プレス焼結法製品キャリアは、
上部（１１０）と、
前記上部に形成された製品受け凹部（１２０）であって、前記製品を受容し、該製品受け凹部の凹部底面（１２５）上で製品を支持するように構成された製品受け凹部（１２０）と、
前記製品受け凹部を囲む上部表面（１３０）と、
前記上部表面に設けられ、前記製品受け凹部を囲む保持溝（１４０）と、前記保持溝に連通し、前記製品受け凹部及び前記保持溝の上方に設けられたフィルム材、ホイル材、またはシート材（Ｓ）などの可撓性カバーを保持するために前記保持溝内に真空を設けることを可能にする真空接続部（１４５）と、
前記製品受け凹部内にガスを導入するために前記製品受け凹部内に配置された凹部ガス入口（１５０）と、前記製品受け凹部内に配置された凹部ガス出口（１６０）であって、前記製品受け凹部からガスを引き出して、前記製品受け凹部をパージするために前記凹部ガス入口から該凹部ガス出口へのガス流を設けることを可能にする凹部ガス出口と
を備える、ステップと、
焼結しようとする少なくとも１つの製品（Ｐ）を提供するステップと、
前記プレス焼結法製品キャリア（１００）の前記製品受け凹部（１２０）内に前記製品を配置するステップと、
前記製品受け凹部および前記保持溝（１４０）の上方に、フィルム材、ホイル材、またはシート材などの可撓性カバーを設けて、前記製品受け凹部を覆うステップと、
前記真空接続部（１４５）に真空を印加して、前記可撓性カバーを前記製品受け凹部の上方において前記上部表面に保持するために前記保持溝内に真空を設けるステップと、
前記凹部ガス入口（１５０）を通じて前記製品受け凹部内にガス、任意で窒素、を導入し、前記凹部ガス出口（１６０）を通じて前記製品受け凹部からガスを引き出して、前記製品受け凹部をパージするために前記凹部ガス入口から前記凹部ガス出口へのガス流を設けるステップと、
前記製品が前記プレス焼結法製品キャリアによって前記製品受け凹部内で支持され前記可撓性カバーによって覆われている間、かつ前記可撓性カバーおよび前記製品に圧力を印加する間に、前記製品を焼結するステップと
を含むプレス焼結法。
【請求項１９】
請求項１〜１５のいずれか一項に記載のプレス焼結法製品キャリア（１００）の前記製品受け凹部を覆うように構成され、および／または請求項１８に記載のプレス焼結法に使用されるように構成されたフィルム材、ホイル材、またはシート材。
【請求項２０】
請求項１９に記載のフィルム材、ホイル材、またはシート材の製造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
[01]  本発明は、プレス焼結法で焼結される１つ以上の製品を支持するためのプレス焼結法製品キャリアに関し、ここで、この製品キャリアは、製品を載せて支持するための上部を含む。本発明はさらに、この製品キャリアを備えるプレス焼結装置、およびプレス焼結法に関する。
【背景技術】
【０００２】
[02]  プレス焼結法の対象は半導体ダイおよび下地基板のみに限定されないが、半導体ダイは、例えば半導体製品から基板への高い熱伝導率を達成するために、プレス焼結法で基板に結合されることがある。銀または銅のような高導電性金属からの結合の焼結は、典型的には２５０℃〜３００℃の範囲の高温で行われ、その一方で、下地基板に焼結結合される製品に圧力が加えられる。焼結される製品のうち保護コーティングで被覆されていない部分は、これらの高温下で急速に酸化する。例えば、銅は、この方法の後の瞬間に除去することが難しい複合酸化物へと酸化する。これらの酸化物は、ワイヤボンディングのような後続の工程で品質問題を引き起こす。
【０００３】
[03]  別の問題は、焼結プロセス中の高温下で、焼結ペーストや焼結フィルムのような形態の焼結材料から汚染物質が放出されることであり、これは、一般に、製品の汚染も引き起こす。
【０００４】
[04]  一般的に使用される方法は、窒素のような不活性ガスで保護雰囲気を作ることである。これは、密閉されたプロセスチャンバ内で、または気密ゲートによって相互接続された複数のプロセスチャンバ内で行われる。焼結法は、一般に、焼結しようとする製品の予備加熱段階、実際の焼結段階、および製品を再び室温まで冷却する段階の３つの段階を有する。これらの段階は、１つのプロセスチャンバ内、または別個の複数のチャンバ内で行うことができる。いずれの場合も、チャンバを排気し、不活性ガスをチャンバに導入することによって、サイクルごとに雰囲気を変更しなければならない。３つの段階が３つの別々のチャンバで行われる場合、各チャンバが雰囲気の変更を必要とするため、３回の雰囲気変更が必要となる。
【０００５】
[05]  プロセスチャンバの容積はかなり大きいので、雰囲気の変更には非常に長い時間を要する。したがって、既知の焼結システムおよび焼結法のサイクル時間は、実際の焼結工程そのものに必要な時間よりも長くならざるを得ない。
【発明の概要】
【０００６】
[06]  本発明の目的は、サイクル時間を短縮したプレス焼結法およびプレス焼結装置を実現することである。
【０００７】
[07]  本発明のもう一つの又は代替の目的は、汚染レベルを低減したプレス焼結法およびプレス焼結装置を実現することである。
【０００８】
[08]  本発明のさらにもう一つの又は代替の目的は、焼結法中に望ましくない化学反応、特に酸化、を示さないプレス焼結法およびプレス焼結装置を実現することである。
【０００９】
[09]  本発明のさらにもう一つの又は代替の目的は、プレス焼結法およびプレス焼結装置において、使用する不活性ガスの量の低減を可能にすることである。
【００１０】
[10]  これらの目的の少なくとも１つは、プレス焼結法で焼結しようとする少なくとも１つの製品を支持するプレス焼結法製品キャリアによって達成される。この製品キャリアは、
上部と、
前記上部に形成された製品受け凹部であって、前記製品を受容し、該製品受け凹部の凹部底面上で前記製品を支持するように構成された製品受け凹部と、
前記製品受け凹部を囲む上部表面と、
前記上部表面に設けられ、前記製品受け凹部を囲む保持溝と、前記保持溝に連通し、前記製品受け凹部及び前記保持溝の上方に設けられたフィルム材、ホイル材、またはシート材などの可撓性カバーを保持するために前記保持溝内に真空を設けることを可能にする真空接続部と、
前記製品受け凹部内にガスを導入するために前記製品受け凹部内に配置された凹部ガス入口と、前記製品受け凹部内に配置された凹部ガス出口であって、前記製品受け凹部からガスを引き出して、前記製品受け凹部をパージするために前記凹部ガス入口から該凹部ガス出口へのガス流を設けることを可能にする凹部ガス出口とを備える。
【００１１】
[11]  焼結しようとする製品をチャンバ間で移動させ、段階ごとに雰囲気を変更する代わりに、製品は、可動の製品キャリア内に配置され、そのキャリアでは、第１の段階の開始時に一度だけ保護雰囲気が生成される。この保護雰囲気は、製品が室温へ冷却されるまで各段階で維持することができる。この製品キャリアは、焼結法の３つの段階すべてを経た後、第１段階の開始に戻すことができる。
【００１２】
[12]  この小さな製品受け凹部内の保護雰囲気は、製品の設置後に、フィルム材、ホイル材、またはシート材によって凹部を閉鎖して凹部チャンバを設け、その小さな凹部チャンバを、窒素のような不活性ガスを用いてフラッシングすることにより生成される。凹部チャンバの容積は、焼結しようとする製品の体積よりも幾分大きいだけでよい。凹部チャンバは、例えばテフロン（登録商標）のフィルム、ホイルまたはシートで閉鎖され、このテフロン部材は、凹部チャンバの良好な閉鎖を確保するために真空によって保持される。このチャンバの内部の一方の側では、不活性ガスが複数の孔を通して導入され、この不活性ガスは、チャンバ内に閉じ込められた空気を反対側の排気孔を通して押し出す。これらの排気孔は、全ての空気がこの小さなチャンバから確実に押し出されるように、フラッシング孔よりも低い高さに配置される（空気は窒素より重い）。
【００１３】
[13]  一実施形態では、上部表面が平坦である。
【００１４】
[14]  一実施形態では、上部表面が製品受け凹部を完全に囲む。
【００１５】
[15]  一実施形態では、保持溝が製品受け凹部を完全に囲む。
【００１６】
[16]  一実施形態では、凹部ガス入口が、製品受け凹部の第１の側部に設けられ、凹部ガス出口が、製品受け凹部の第２の側部に設けられ、第２の側部が第１の側部と対向する。
【００１７】
[17]  一実施形態では、凹部ガス入口が、製品受け凹部の側部に沿って分散配置された複数のガス流入孔を備え、これらのガス流入孔が、使用時に、凹部底面上に支持された製品の方向にガス流入孔からガスを流出させるように配置されている。
【００１８】
[18]  一実施形態では、複数のガス流入孔が、使用時に、ガスの層流を設けるように構成されている。
【００１９】
[19]  一実施形態では、凹部ガス出口が、製品受け凹部の側部に沿って分散配置された複数のガス流出孔を備える。
【００２０】
[20]  一実施形態では、凹部ガス出口は、使用時の水平面に対して、凹部ガス入口よりも低い高さに設けられる。
【００２１】
[21]  一実施形態では、製品受け凹部のうち凹部ガス出口が設けられた側において、凹部底面に追加の凹部が設けられている。
【００２２】
[22]  一実施形態では、真空接続部が、製品キャリアの外面に沿って見たときに保持溝が製品受け凹部と真空接続部との間にあるような製品キャリア上の位置に設けられており、任意で、真空接続部が製品キャリアの側面上に設けられる。
【００２３】
[23]  一実施形態では、製品キャリアは、ガス源への接続のための第１のガス接続部を備え、第１のガス接続部は凹部ガス入口と連通し、第１のガス接続部は、製品キャリアの外面に沿って見たときに保持溝が製品受け凹部と第１のガス接続部との間にあるような製品キャリア上の位置に設けられており、任意で、第１のガス接続部が製品キャリアの側面上に設けられる。
【００２４】
[24]  一実施形態では、製品キャリアは、ポンプなどのガス抜き部への接続のための第２のガス接続部を備え、第２のガス接続部が凹部ガス出口と連通し、第２のガス接続部が、製品キャリアの外面に沿って見たときに保持溝が製品受け凹部と第２のガス接続部との間にあるような製品キャリア上の位置に設けられており、任意で、第２のガス接続部が製品キャリアの側面上に設けられる。
【００２５】
[25]  一実施形態では、製品キャリアが、製品キャリアおよび製品キャリアによって支持される製品を冷却するための構成、ならびに製品キャリアおよび製品キャリアによって支持される製品を加熱するための構成のうち少なくとも１つをさらに備える。
【００２６】
[26]  一実施形態では、製品キャリアが、製品受け凹部および保持溝を覆うためのフィルム材、ホイル材、またはシート材などの可撓性カバーをさらに備える。
【００２７】
[27]  別の態様では、本発明は、上記のような製品キャリアと、製品受け凹部および保持溝を覆うように構成されたフィルム材、ホイル材、またはシート材などの可撓性カバーからなるキットを提供する。
【００２８】
[28]  別の態様では、本発明は、上述のような製品キャリアを備える焼結装置を提供する。
【００２９】
[29]  別の態様では、本発明は、プレス焼結法を提供する。このプレス焼結法は、
プレス焼結法製品キャリアを提供するステップであって、該プレス焼結法製品キャリアは、
上部と、
前記上部に形成された製品受け凹部であって、前記製品を受容し、該製品受け凹部の凹部底面上で前記製品を支持するように構成された製品受け凹部と、
前記製品受け凹部を囲む上部表面と、
前記上部表面に設けられ、前記製品受け凹部を囲む保持溝と、前記保持溝に連通し、前記製品受け凹部及び前記保持溝の上方に設けられたフィルム材、ホイル材、またはシート材などの可撓性カバーを保持するために前記保持溝内に真空を設けることを可能にする真空接続部と、
前記製品受け凹部内にガスを導入するために前記製品受け凹部内に配置された凹部ガス入口と、前記製品受け凹部内に配置された凹部ガス出口であって、前記製品受け凹部からガスを引き出して、前記製品受け凹部をパージするために前記凹部ガス入口から該凹部ガス出口へのガス流を設けることを可能にする凹部ガス出口と
を備える、ステップと、
焼結しようとする少なくとも１つの製品を提供するステップと、
前記製品キャリアの製品受け凹部内に製品を配置し、製品受け凹部を覆うステップと、
製品受け凹部および保持溝の上方に、フィルム材、ホイル材、またはシート材などの可撓性カバーを設けるステップと、
真空接続部に真空を印加して、前記カバーを製品受け凹部の上方において前記上部表面に保持するために保持溝内に真空を設けるステップと、
前記凹部ガス入口を通じて前記製品受け凹部内にガス、任意で窒素、を導入し、前記凹部ガス出口を通じて前記製品受け凹部からガスを引き出して、製品受け凹部をパージするために凹部ガス入口から凹部ガス出口へのガス流を設けるステップと、
製品が製品キャリアによって製品受け凹部内で支持され可撓性カバーによって覆われている間、かつ可撓性カバーおよび製品に圧力を印加する間に、製品を焼結するステップと
を含む。
【００３０】
[30]  別の態様では、本発明は、上述のプレス焼結法製品キャリアの製品受け凹部を覆う、および／または上述のプレス焼結法で使用されるように構成されたフィルム材、ホイル材、またはシート材を提供する。
【００３１】
[31]  別の態様では、本発明は、上述のようなフィルム材、ホイル材、またはシート材の製造を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
[32]  本発明のさらなる特徴および利点は、非限定的かつ非排他的な実施形態を通して明細書から明らかになる。これらの実施形態は、保護の範囲を限定するものと解釈されるべきではない。当業者は、本発明の範囲から逸脱することなく、本発明の他の代替および等価の実施形態を考案し、実施することができることを理解するであろう。本発明の実施形態を、添付の図面を参照して説明する。ここで、同様の又は同一の参照符号は、同様の、同一の、又は対応する要素を示す。
【００３３】
【図１】焼結法および焼結装置を示す全体概略図である。
【図２】焼結装置の一部の下方に位置する焼結法製品キャリアを示す概略図である。
【図３】焼結法製品キャリアの一実施形態を示す図である。
【図４Ａ】製品を載せた図３の製品キャリアの斜視図である。
【図４Ｂ】製品を載せた図３の製品キャリアの斜視図である。
【図５】製品受け凹部の上方にテフロンシートを有する図４Ａの製品キャリアを示す図である。
【図６Ａ】図３の製品キャリアの断面を示す斜視図である。
【図６Ｂ】図３の製品キャリアの断面を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
[33]  図１に概略的に示す焼結装置１０、および対応する焼結法は、焼結しようとする１つ以上の製品Ｐを受け取る入力コンベア１１を提供する。これらの製品は、この後、焼結装置内でのさらなる処理のために、プレス焼結装置１０内の本発明に係るプレス焼結法製品キャリア１００に移される。あるいは、１つ以上の製品Ｐを、最初にプレス焼結法製品キャリア１００（以下、製品キャリアと呼ぶ）上に提供し、その後、入力コンベア１１に移し、その後、本発明に係る製品キャリア１００を、その上に支持された１つ以上の製品と共に、焼結装置１０内に移送して、その中でさらに処理することもできる。第１のステージ１２では、製品Ｐを有する製品キャリア１００が予熱され、その後、さらなる加熱と、製品Ｐへの加圧のために、プレス焼結ステージ１３へ移送される。図２は、プレス焼結ステージ１３の圧力ブロック１３．１の下方に製品キャリア１００を示している。この圧力ブロックは、焼結しようとする製品Ｐに圧力を加えるためのものである。図示の圧力ブロックは、製品Ｐに圧力を加えるために圧力ブロック１３．１から下降させることの可能な、製品信頼性のある可動インサート１３．２を有する。複数のインサート１３．２が存在してもよい。インサート１３．２の数は、製品キャリア１００上に搭載される製品Ｐの数に対応してもよい。圧力ブロックのさらに他の実施形態では、平坦な底面を有する、より大きな圧力ブロックを設け、任意で圧力ブロックと製品の間にシリコーンマットのような弾性および／または柔軟な材料を配置して、１つ以上の製品に圧力を加えることができる。この点に関して、様々な実施形態が可能である。焼結ステージ１３におけるプレス焼結の後、製品Ｐを有する製品キャリア１００は、製品キャリアおよびその上の製品を冷却するための冷却ステージ１４に移送される。その後、さらなる処理のために、個々の製品Ｐが出力コンベア１５に移送されるか、製品を載せた製品キャリア１００が出力コンベア１５に移送される。
【００３５】
[34]  図３は、製品キャリア１００のより詳細な斜視図である。図４Ａおよび４Ｂは、複数の製品Ｐが搭載された製品キャリアの、異なる方向からの斜視図である。この製品キャリアは、１つ以上の製品Ｐを支持するための上部１１０を備える。これらの製品は、焼結法において（可動の）インサート１３．２がこれらの製品にアクセスできるように製品キャリア上に支持される。製品受け凹部１２０が、製品キャリアの上部１１０に形成されている。製品受け凹部１２０は、１つ以上の製品を受容し、製品受け凹部の凹部底面１２５上でそれらの製品を支持するように構成されている。平坦な上面１３０が、製品受け凹部１２０を囲んでいる。保持溝１４０が、上面１３０に設けられ、製品受け凹部１２０を囲んでいる。図示の実施形態では、上部表面１３０と保持溝１４０の両方が製品受け凹部１２０を完全に囲んでいる。上部表面１３０のうち上部表面部分１３１は、製品受け凹部１２０と保持溝１４０との間に位置し、別の上部表面部分１３２は、保持溝１４０の外周側に位置する。
【００３６】
[35]  真空接続部１４５が、保持溝１４０と連通した状態で製品キャリア上に設けられており、製品受け凹部１２０および溝１４０を覆うように設けられるフィルム材、ホイル材、またはシート材などの可撓性カバーを保持するために保持溝内に真空を設けることを可能にする。図４Ａ及び図４Ｂは、図示の実施形態におけるテフロンのシートＳの形態のカバーの輪郭を示しており、ここで、このシートＳは、製品受け凹部１２０及び保持溝１４０を覆うように設けることができる。図５は、適所に配置されたテフロンのシートＳを示す。保持溝１４０に設けられた真空は、シートＳを、上部表面１３０上に、かつ製品受け凹部１２０の上方に保持するよう機能する。真空を生成するために、ポンプ（図示せず）を真空接続部１４５に接続することができる。保持溝１４０と真空接続部１４５とを連通させるために、ダクトが製品キャリア内に製造される。真空接続部１４５は、製品キャリア１００の外面に沿って見たときに保持溝１４０が製品受け凹部１２０と真空接続部との間にあるような製品キャリア上の位置に設けられる。図示の実施形態では、真空接続部１４５は、製品キャリア１００の前部における側面１０１に設けられている。
【００３７】
[36]  製品キャリア１００は、製品受け凹部１２０内に配置され、製品受け凹部内にガスを導入する凹部ガス入口１５０と、製品受け凹部内に配置され、製品受け凹部からガスを引き出す凹部ガス出口１６０をさらに有する。凹部ガス入口１５０は、製品受け凹部１２０の第１の側部１２１に設けられ、凹部ガス出口１６０は、製品受け凹部の第２の側部１２２に設けられている。第２の側部１２２は、製品受け凹部１２０の第１の側部１２１と対向する。したがって、使用時には、凹部ガス入口１５０からガス流が供給され、そのガス流が製品Ｐを通過して、凹部ガス出口１６０に至ることで、製品受け凹部がパージ（浄化）される。こうして、焼結法中に生じた汚染物質が、ガス流によって製品から運び去られる。
【００３８】
[37]  凹部ガス入口１５０は、製品受け凹部１２０の第１の側部１２１に沿って分散配置された複数のガス流入孔１５１を含む。これらのガス流入孔は、第１の側部１２１の全体に分散配置されている。ガス流入孔１５１は、使用時に、製品受け凹部１２０内の凹部底面１２５上に支持された製品Ｐの方向にガス流入孔からガスを流出させるように設けられ、また、ガスの層流を設けるように構成されている。製品受け凹部１２０の対向する第２の側部１２２では、凹部ガス出口１６０が、第２の側部に沿って分散配置された複数のガス流出孔１６１を備える。これらのガス流出孔１６１は、第２の側部１２１の全体に分散配置されている。
【００３９】
[38]  凹部底面１２５は、その大部分が平坦であり、使用時に、この焼結法における水平面に沿って配置される。製品Ｐは、全体的に、凹部底面１２５から延びる突出部上に、凹部底面から上方へ多少の距離をあけて配置される。製品受け凹部１２０内で支持される製品Ｐの上面は、全体的に上部表面１３０の下方にあるので、製品受け凹部１２０の上方に設けられる、テフロン（登録商標）などのシートＳの形態の可撓性カバーと製品との間には、ある程度の距離があくことになる。ガスの流れは、凹部ガス入口１５０から、製品Ｐの上方、下方、および側方を通過して、凹部ガス出口１６０へと至り、製品から汚染物質を運び去る。凹部ガス出口１６０は、水平面に対して、凹部ガス入口１５０よりも低い高さに設けられている。酸素は、凹部ガス入口１５０から凹部ガス出口１６０へのガス流を設けるために一般的に使用されるパージガス、例えば窒素、よりも重い。凹部ガス出口１６０が凹部ガス入口１５０よりも低い高さにあることにより、より重い酸素が、より低い高さに蓄積され、製品受け凹部１２０から効率的に除去される。製品受け凹部１２０の第２の側部１２２において、凹部底面１２５には、凹部ガス出口１６０をより低い高さに設けることを可能にするために、追加の凹部１２６が設けられている。
【００４０】
[39]  製品キャリア１００は、パージガスのガス源に接続するための第１のガス接続部１５５を含む。第１のガス接続部１５５は、製品キャリア１００内に設けられたダクトによって凹部ガス入口１５０と連通する。第１のガス接続部１５５は、製品キャリアの外面に沿って見たときに保持溝１４０が製品受け凹部１２０と第１のガス接続部との間にあるような製品キャリア上の位置に設けられる。図示の実施形態では、第１のガス接続部１５５は、製品キャリアの前部における側面１０１に設けられている。図は、第１のガス接続部１５５から凹部ガス入口１５０へのダクトを提供する連通部を製造できるように、第１および第２の製品キャリア部分１００．１、１００．２が存在することを示している。
【００４１】
[40]  製品キャリア１００は、ガス抜き部に接続するための第２のガス接続部１６５、１６５Ａを備えている。第２のガス接続部１６５、１６５Ａは、製品キャリア内に設けられたダクトを介して凹部ガス出口１６０と連通している。第２のガス接続部１６５、１６５Ａは、製品キャリアの外面に沿って見たときに製品受け凹部１２０と第２のガス接続部との間に保持溝１４０があるような製品キャリア上の位置に設けられる。図は、２種類の第２のガス接続部１６５、１６５Ａを示す。第１の例である第２のガス接続部１６５では、パージガスは、周囲圧力下で第２のガス接続部１６５から周囲環境に流出することができる。パージガス流は、第１のガス接続部１５５におけるガスの圧力が周囲圧力より高いときに、製品受け凹部１２０内に存在することになる。周囲環境は、ガス抜き部として機能する。第２の例である第２のガス接続部１６５Ａでは、第３の製品キャリア部分１００．３に、第２のガス接続部１６５Ａと凹部ガス出口１６０とを連通させる内部ダクトが設けられる。この第２の例に係る第２のガス接続部１６５Ａは、パージガスを引き出すためのポンプへの接続を可能にする。なお、第３の製品キャリア部分１００．３は、図中、任意の要素として破線で示されている。
【００４２】
[41]  図１および図２を参照して上述したように、焼結法の全体を通して、焼結しようとする１つ以上の製品Ｐが、焼結法製品キャリア１００の製品受け凹部１２０内に設置される。製品受け凹部１２０及び保持溝１４０の上方に、フィルム材、ホイル材、またはシート材Ｓ（例えばテフロンのシートＳ）などの可撓性カバーが設けられ、製品キャリアの上部表面にシートＳを保持するために、真空が保持溝に印加される。窒素源などのパージガス源が第１のガス接続部１４５に接続され、製品受け空間１２０内のパージガスの流れを可能にする。ポンプを第２のガス接続部１６５Ａに接続してもよいし、あるいはパージガスを第２のガス接続部１６５から周囲環境に流出させてもよい。この後、図１および図２を参照して説明したように、製品キャリアに支持された製品が処理ステージ内で処理される。製品受け凹部１２０の上方に設けられた可撓性カバーは、（可動の）インサート１３．２によって製品Ｐに圧力を加えることを依然として可能にする。このインサートは、可撓性カバーがインサートと製品との間にある状態で、製品に圧力を加える。
【００４３】
[42]  一実施形態では、製品キャリア１００は、製品キャリアおよび製品キャリアによって支持される製品を冷却するための構成および／または製品キャリアおよび製品キャリアによって支持される製品を加熱するための構成を含む。この加熱構成は、例えば、製品キャリアに組み込まれた電気ヒータとすることができる。この冷却構成は、例えば、製品キャリアに設けられ、冷却媒体を通過させて循環させるための冷却流路とすることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【国際調査報告】
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