(57)【要約】  真空ポンプ用のフォアラインは、例えば、排気される容器に接続可能な入口と、容器を排気するために真空ポンプの入口に接続された出口とを有する。これにより、フォアラインは、第１の端部及び第２の端部を有する排出管をさらに備え、第１の端部は、開口部を備え、第２の端部は、固形物トラップを備える。第２の端部は、フォアラインの外側に配置される。第１の端部は、入口と出口との間のフォアライン内に配置され、開口部は、フォアラインの入口に向かって広がっており、流入する固形物は、開口部によって集められ、排出管の中を通って排出され、固形物トラップ内に捕らえられるようになっている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプ用のフォアラインであって、
排気される容器に接続可能な入口と、
前記容器を排気するために前記真空ポンプの入口に接続可能な出口と、を有し、前記フォアラインは、
第１の端部及び第２の端部を有し、前記第１の端部が開口部を備え、前記第２の端部が固形物トラップを備える排出管をさらに備え、
前記第２の端部は、前記フォアラインの外側に配置され、
前記第１の端部は、前記入口と前記出口との間の前記フォアライン内に配置され、前記開口部は、前記フォアラインの前記入口に向かって広がっており、流入する固形物が前記開口部によって集められ、前記排出管を通って排出され、前記固形物トラップ内に捕らえられるようになっている、
ことを特徴とするフォアライン。
【請求項２】
前記入口と前記排出管の前記開口部とは、実質的に垂直軸上に配置されている、
請求項１に記載のフォアライン。
【請求項３】
前記フォアラインは真っ直ぐであり、詳細には前記フォアラインの前記入口及び前記出口は、実質的に垂直軸上に配置されている、
請求項１又は２に記載のフォアライン。
【請求項４】
前記フォアラインは、第１の直径を有する第１の部分と、第２の直径を有する第２の部分とを有し、前記第１の直径は前記第２の直径よりも小さい、
請求項１から３のいずれかに記載のフォアライン。
【請求項５】
前記排出管の前記開口部は、前記第２の部分の中に配置され、前記開口部は、前記第１の直径よりも大きいか又は等しく、前記第２の直径よりも小さい直径を有する、
請求項４に記載のフォアライン。
【請求項６】
前記開口部は、漏斗、好ましくは穿孔された漏斗によって提供される、
請求項１から５のいずれかに記載のフォアライン。
【請求項７】
前記トラップは、前記排出管に解放可能に取り付けられている、
請求項１から６のいずれかに記載のフォアライン。
【請求項８】
バルブが前記排出管に配置されている、
請求項１から７のいずれかに記載のフォアライン。
【請求項９】
前記トラップは、前記トラップ内の固形物の量を検出するゲージを備える、
請求項１から８のいずれかに記載のフォアライン。
【請求項１０】
前記トラップは、前記トラップ内の固形物の量を検出するスケール機構を備える、
請求項１から９のいずれかに記載のフォアライン。
【請求項１１】
前記トラップは、物質を前記トラップ内に加える入口ポートを備え、前記捕捉された固形物は、除去される前に前処理され、詳細には前記固形物を不活性にするようになっている、
請求項１から１０のいずれかに記載のフォアライン。
【請求項１２】
前記トラップは、吸引装置、好ましくは真空掃除機に接続されるよう構成されたポートを備える、
請求項１から１１のいずれかに記載のフォアライン。
【請求項１３】
前記入口は、第１の要素によって定められ、前記出口及び排出管は、第２の要素によって定められ、前記第１の要素は、前記第２の要素に対して直線に沿って移動可能であり、結果として、前記開口部のリムと前記フォアラインの側壁との間の距離を調整可能とする、
請求項１から１２のいずれかに記載のフォアライン。
【請求項１４】
前記第１の要素は、少なくとも１つ、好ましくは２つのタブを備え、前記第２の要素は、前記第１の要素の前記タブと整列する少なくとも１つの、好ましくは２つのタブを備え、少なくとも１つ、好ましくは２つの離間要素が、前記第２の要素に対する前記第１の要素の位置を調整するために、前記タブの間に配置される、
請求項１３に記載のフォアライン。
【請求項１５】
請求項１から１４のいずれかに記載のフォアラインを有し、運転時、前記フォアラインの前記入口及び前記フォアラインの前記出口が垂直軸上に配置されることを特徴とする、真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ用のフォアライン、及びそのようなフォアラインを有する真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
フォアラインは、入口と出口を有する導管又は真空ラインである。それによって、入口は、排気される真空容器、付加的な導管、又は何らかの他の種類の真空機器に接続される。フォアラインの出口は、真空ポンプの入口に接続され、ガス状媒体が真空ポンプによってフォアラインの入口からフォアラインの出口に運ばれ、それによってフォアラインの入口に真空が確立される。フォアラインは真空機器を真空ポンプの入口に接続しているため、フォアライン内に真空が存在する。
【０００３】
半導体プロセス操作の間に、埃及び固体プロセス副生成物は、プロセスガスの中を通って真空ポンプに移動し、最終的には、真空ポンプ機構が損傷する結果となる。特に、埃及び固形物は、真空システム内の、例えば、フォアラインパイプ内側面などの表面上に集まる可能性がある。振動によって又はこれらの表面上の埃及び固形物の過剰な蓄積によって、真空内側面からより大量の固形物が分離される可能性がある。分離した材料は、通常、雪崩状になる。フォアラインは真空ポンプの入口に接続されているので、粉末雪崩は、真空ポンプ機構に到達し、その影響は壊滅的なものになり、ポンプの焼き付きをもたらす。
【０００４】
埃及び固形物によって引き起こされる真空ポンプの損傷を避けるために、いわゆるデッドレグの形のトラップが採用されており、トラップは、フォアラインの入口の真下にあり、真空ポンプに向かうフォアラインの導管は、入口とトラップとの間の直線接続部から分岐する。従って、最適な直線形状から逸脱した角度の付いた真空ラインが確立される。
【０００５】
従って、分岐を含むことによりフォアラインのコンダクタンスが低下するので、ポンプ性能が低下する。
【０００６】
さらに、既存の技術では、通常、運転時にトラップを空にすることは不可能である。従って、トラップにアクセスして空にするために全ての真空システムを停止する必要があり、このことは半導体プロセスの中断につながり、サービス間隔の遅延が生じ、従ってシステム休止時間が長くなる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、サービス時間を短縮する、改善されたポンプ性能をもつフォアラインを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
所与の技術的問題は、請求項１に記載のフォアライン及び請求項１６に記載の真空ポンプによって解決される。
【０００９】
本発明によれば、真空ポンプ用のフォアラインは、例えば、排気される容器に接続可能な入口と、容器を排気する真空ポンプの入口に接続可能な出口とを備える。これにより、ガス状媒体は、フォアラインに沿ってフォアラインの容器の滑らかな入口から、フォアラインの出口を通ってポンプに運ばれ、フォアラインの入口に真空をもたらす。もしくは、入口は、別の真空導管に又は一般に何らかの種類の何らかの真空機器に接続可能とすることができる。本発明は容器に限定されない。しかしながら、何らかの構成において、フォアライン内で使用する真空は、１０-2ｍｂａｒ未満、好ましくは１０-4ｍｂａｒ未満とすることができる。
【００１０】
さらに、本発明によれば、フォアラインは、第１の端部及び第２の端部を有する排出管を備える。第１の端部は、開口部を備え、第２の端部は、行き止まりとして説明することもできる固形物トラップを備える。第１の端部は、入口と出口との間のフォアライン内に配置され、開口部は、例えば、粉末雪崩状の流入固形物が排出管の開口部によって集められるようにフォアラインの入口に向けられる。フォアラインの入口を通って流入する固形物は、排出管の開口部によって捕捉される。開口部によって集められた固形物は、排出管を通って運ばれ、固形物トラップ内に捕捉される。固形物トラップを備える第２の端部は、フォアラインの外側に配置される。従って、本発明によれば、固形物は、排出管の開口部によって捕捉され、その後、固形物トラップ内に集められるか又は貯蔵される。固形物トラップがフォアラインの外側に配置されているので、トラップを空にするためのサービス時間が短縮される。
【００１１】
好ましくは、入口及び排出管の開口部は、真空ポンプに取り付けられる際に実質的に垂直軸上に配置される。縦軸は、重力に沿った軸として定められる。より一般的には、入口と排出管の開口部は、実質的に直線上に配置される。従って、固形物又は埃は、重力に従って入口を通って排出管の開口部に落下して捕捉される。入口と開口部は、垂直軸上に正確に配置する必要はない。これに関連して、「実質的に」は、入口及び開口部が正確に垂直軸上に配置されなくても、埃及び固形物が開口部によって捕捉される限り、わずかに傾斜又は変位する場合でも本発明が依然として機能することを意味する。しかしながら、入口及び出口は、正確に垂直線上に配置されることが好ましい。従って、埃及び固形物は、排出管の開口部によって確実に捕捉される。
【００１２】
好ましくは、フォアラインの入口及び出口は、真空ポンプに取り付けられる際に実質的に垂直軸上に配置される。従って、フォアラインは、分岐又は曲がりなしで真っ直ぐでありフォアラインのコンダクタンス特性を維持する。従って、フォアラインは、分岐又は曲がりを備えておらず、ガス状媒体は、フォアラインの入口からフォアラインの出口に向かって流れる際にこれを辿ることができる。フォアラインを通る流路は、従来の方法に比べて真っ直ぐであり、これにより真空ポンプのポンプ性能特性を維持する。
【００１３】
好ましくは、フォアラインが真空ポンプに取り付けられているか又は接続されている場合、フォアラインは、垂直軸に沿って垂直方向に配置される。
【００１４】
好ましくは、開口部は、フォアラインの直径よりも小さい直径を有する。一方で、固形物は、排出管の開口部によって集められるが、ガス状媒体は、開口部を通り過ぎることができ、結果的にフォアラインの出口に向かって、すなわち真空ポンプに向かって流れることができる。従って、他方で、固形物は、開口部によって十分に集められるが、フォアラインのコンダクタンスは依然として維持される。
【００１５】
好ましくは、フォアラインは、第１の直径を有する第１の部分と、第２の直径を有する第２の部分とを有する。これにより、詳細には、入口は、第１の部分に接続され、第２の部分は、フォアラインの出口に向かって第１の部分に直接接続される。第１の部分の第１の直径は、第２の部分の第２の直径よりも小さい。従って、真空の変動を和らげて真空ポンプの連続動作を保証するために、緩衝要素がフォアライン内に定められる。詳細には、フォアラインは、第２の部分に続く第３の部分を備えることができ、好ましくは第２の部分に直接接続され、その場合、第３の部分は、第２の部分の第２の直径を低減させるいために、第１の直径にほぼ等しいか又は少なくとも第２の直径よりも小さい直径を有し、フォアラインの出口を含む第３の部分は、標準的な真空ポンプのフランジに接続できるようになっている。
【００１６】
好ましくは、排出管の開口部は、第２の部分に配置され、開口部は、第１の直径より大きいか又はこれに等しい直径、及び第２の直径よりも小さい直径を有する。開口部は、フォアラインの入口に向かって広がっているので、固形物は、運転時に入口の真下に配置された開口部によって集められる。開口部の直径は、第１の部分の直径よりも大きいので、入口及びフォアラインの第１の部分に流入するすべての固形物が集められるが、第２の部分の直径が大きいのでガス状媒体は開口部を通り過ぎることができる。従って、排出管の開口部によって効率的で信頼性の高い固形物及び埃の収集が保証されるが、フォアラインのコンダクタンスは依然として維持され、結果的に真空ポンプのポンプ性能も維持／改善される。詳細には、開口部の直径が第１の部分の直径よりも大きいので、ほとんどすべての埃及び固形物が集められる。
【００１７】
好ましくは、フォアライン内に配置された排出管の部分は、少なくとも部分的に穿孔されている。従って、コンダクタンスは穿孔によって強化されるが、埃及び固形物は依然として排出管によって捕捉される。
【００１８】
好ましくは、開口部は、漏斗によって提供され、より好ましくは、ガス状媒体は漏斗の穿孔を通って流れることができるので、フォアラインのコンダクタンスを高めるために漏斗に穿孔されている。
【００１９】
好ましくは、トラップは、排出管に解放可能に取り付けられている。従って、遮断バルブを閉じた状態で排出管からトラップを取り外すという簡単な操作で、トラップを容易に空にすることが可能である。
好ましくは、バルブは、排出管に配置される。従って、固形物はバルブが開いているときにトラップ内に集められる。バルブが閉じている場合、運転時にフォアライン内の真空を失うことなくトラップを空にすることができる。従って、サービス時間中にフォアライン内の真空を維持することができるので、サービス時間が大幅に短縮される。
【００２０】
好ましくは、トラップは、トラップ内の固形物の量を検出するためのゲージを含む。加えて、フォアライン内の雪崩事象を検出して次のサービス時間の予測を行うこともできる。従って、ゲージによるトラップ内の固形物の検出量によって、一方では次のサービス間隔を計画し、長期に及ぶサービス間隔によるポンプへの損傷を回避することが可能であり、他方で、不必要なサービス及び保守作業を避けることも可能である。
【００２１】
好ましくは、トラップは、トラップ内に集まった固形物の重量を測定することによってトラップ内の固形物の量を検出するスケール機構を備える。
【００２２】
好ましくは、トラップは、捕捉された固形物が除去される前に前処理されるように、トラップ内に物質を加えるための入口ポートを備える。特に、半導体工程に関して、反応性化学物質がトラップで捕捉される場合があるので、これらの危険物が大気に直接さらされるのを防ぐために前処理が必要である。好ましくは、前処理によって、固形物は、不活性の状態になる。従って、例えば、トラップを空にするために開ける際に生じるであろう酸素とのさらなる反応はない。
【００２３】
好ましくは、トラップは、真空掃除機に接続されるように構成されたポートを備える。従って、トラップを空にすることが容易になり、微細な埃又は固形物の小さな粒子が周囲に漏出するリスクが最小限に抑えられる。
【００２４】
好ましくは、入口は、第１の要素によって定められ、出口及び排出管は、第２の要素によって定められる。従って、フォアラインは、少なくとも互いに分離可能な第１の要素及び第２の要素を備える。これにより、第１の要素は、第２の要素に対して移動可能であり、好ましくはフォアラインの垂直軸に沿って移動可能である。第２の要素に対して第１の要素を移動させることにより、開口部のリムとフォアラインの側壁との間の距離が調整される。従って、特に開口部が第２の部分の中で動かされる場合、排出管とフォアラインとの間の隙間を適合させることができる。従って、フォアラインは、所要の体積流量又は取り付けられた真空ポンプのスループットに適合させることができる。このことは、フォアライン又は開口部の直径を調整するために何らかの導管を交換することなく、容易に行うことができる。従って、単一の種類のフォアラインを、複数の異なる種類の真空機器及び特に複数の種類の取り付けられた真空ポンプに使用することができる。
【００２５】
好ましくは、第１の要素は、少なくとも１つ、好ましくは２つのタブを備え、第２の要素は、第１の要素のタブと整列する少なくとも１つ、好ましくは２つのタブを備え、少なくとも１つ、好ましくは２つの離間要素は、第２の要素に対する第１の要素の位置を調整するために各タブの間に配置される。従って、離間要素は、スペーサー又はねじとすることができる。離間要素は、第１の要素と第２の要素との間の距離を可変的な方法で制御することができ、開口部のリムとフォアラインの側壁との間の隙間は、可変的に調整することができる。
【００２６】
本発明の別の態様は、前述のようなフォアラインを備えた真空ポンプであり、運転時、フォアラインの入口及びフォアラインの出口は、垂直軸上に配置される。その場合、フォアラインの出口は、真空ポンプの入口に接続される。結果として、フォアラインは、真空ポンプの上流に配置され、運転時に真空ポンプによって真空がもたらされる。好ましくは、入口及び排出管の開口部は、実質的に垂直軸上に配置される。垂直軸は、重力に沿った軸として定められる。従って、固形物又は埃は、重力に従って入口を通って排出管の開口部内に落下して捕捉される。入口及び開口部は、垂直軸上に正確に配置する必要はない。これに関連して、「実質的に」は、入口及び開口部が正確に垂直軸上に配置されなくても、埃及び固形物が開口部によって捕捉される限り、わずかに傾斜又は変位する場合でも本発明が依然として機能することを意味する。しかしながら、入口及び出口は、正確に垂直線上に配置されることが好ましい。従って、埃及び固形物は、排出管の開口部によって確実に捕捉される。
【００２７】
好ましくは、フォアラインの入口及び出口は、真空ポンプに取り付けられる際に実質的に垂直軸上に配置される。従って、フォアラインは、分岐又は曲がりなしで真っ直ぐでありフォアラインのコンダクタンス特性を維持する。従って、フォアラインは、分岐又は曲がりを備えておらず、ガス状媒体は、フォアラインの入口からフォアラインの出口に向かって流れる際にこれを辿ることができる。フォアラインを通る流路は、従来の方法に比べて真っ直ぐであり、これにより真空ポンプのポンプ性能特性を維持する。
以下、添付の図面を参照して特定の実施形態に関して本発明を説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明によるフォアラインの概略側面図である。
【図２】図１に示すフォアラインの断面図である。
【図３】本発明による断面図の別の実施形態である。
【図４】本発明によるフォアラインの別の実施形態である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明による真空ポンプ用のフォアラインは、例えば、排気される容器に接続可能になっている入口１０を備える。もしくは、入口１０は、別の真空ライン又は何らかの種類の何らかの真空機器に接続することができる。従って、入口１０は、対応部分に接続される真空フランジを備えることができる。フォアラインは、出口１２をさらに備え、出口１２は、同様に真空ポンプに接続されるようになったフランジを備えることができる。真空ポンプによって、ガス状媒体は、フォアラインの入口１０に真空を確立するか又は維持するために、フォアラインの入口１０からフォアラインの出口１２に向かって運ばれる。
【００３０】
本発明によれば、入口１０及び出口１２は、垂直軸１４上に配置される。特に、完成したフォアラインは、取り付けられた真空ポンプの性能を向上させるフォアラインのコンダクタンスを改善するために、湾曲していない直線状である。
【００３１】
図１に示されるように、フォアラインは、第１の直径Ｄ1を有する第１の部分１６と、第２の直径Ｄ2を有する第２の部分１８と、第３の直径Ｄ3を有する第３の部分２０とを備え、第１の直径Ｄ1は、第３の直径Ｄ３と同一か又はほとんど同一であり、一方で第２の直径Ｄ2は、第１の直径Ｄ1よりも大きく、特に第３の直径Ｄ3よりも大きい。従って、第２の部分１８によって、真空圧の変動を低減して真空ポンプの連続動作を保証するために、緩衝要素２２が組み込まれる。
【００３２】
運転時、本発明によるフォアラインが真空ポンプに取り付けられている場合、垂直軸１４は、垂直方向に一致し、従って入口１０は、出口１２の上に配置される。
【００３３】
さらに、フォアラインは、第１の端部２６及び第２の端部２８を有する排出管２４を備える。従って、第１の端部２６は、フォアライン内に、好ましくは第２の部分１８内に配置される。第２の端部２８は、フォアラインの外側に配置される。第１の端部２６は、共通垂直軸１４上のフォアラインの入口１０の真下に配置され、入口１０に向かって広がる開口部３０を備える。排出管２４の第２の端部２８は、例えばそれぞれのフランジ３４によって排出管２４に解放可能に取り付けられたトラップ３２を備える。入口１０の中を通ってフォアラインに入るガス状媒体又はプロセスガスによって運ばれた何らかの固形物は、開口部３０によって集められ、次に排出管２４の中を通って吐出され、最後にトラップ３２内に集められる。従って、ガス状媒体は、矢印３６に従って開口部３０を通り過ぎることができ、真空ポンプに向かってフォアラインの出口１２の方へ流れることができる。
【００３４】
結果として、フォアラインの真っ直ぐな構造により、プロセスガスが真空ポンプに到達するために何らかの分岐を辿る必要がないので、フォアラインの高コンダクタンスがもたらされる。従って、ポンプ性能が向上する。加えて、入口を通ってフォアラインに入る固形物又は埃は、開口部３０によって集められ、最終的にトラップ３２内に集められて貯蔵される。トラップ３２は、排出管２４に解放可能に取り付けられているので、トラップはサービス時間の間に簡単に取り外して空にすることができる。
【００３５】
図２に示される実施形態によれば、開口部３０は、漏斗３８によって構築され、漏斗は、好ましくは、フォアラインのコンダクタンスをさらに向上させるために穿孔されている。従って、漏斗３８の外側リムは、開口部３０を定め、開口部３０は、直径Ｄdを有する。従って、開口部３０の直径Ｄdは、第１の部分１６の直径Ｄ１よりも大きく、第２の部分１８の直径Ｄ２よりも小さい。従って、Ｄ1＜Ｄd＜Ｄ2である。従って、すべての固形物又は埃は開口部３０によって集められ、ガス状媒体のみが開口部３０を通り過ぎて真空ポンプに向かって流れ得ることが保証される。結果として、埃又は固形物は真空ポンプに到達せず、真空ポンプの汚染又は損傷が回避される。
【００３６】
以下の図面では、同じ又は類似の要素は同じ参照番号で示されている。
【００３７】
図３の実施形態において、フォアラインは、入口１０及び第１の部分１６を定める第１の要素４０を備える。さらに、フォアラインは、開口部３０を含む排出管２４及び第２の部分１８並びに第３の部分２０を定める第２の要素４２を備える。これにより、第１の要素４０は、矢印４４で示されるように第２の要素４２に対して相対的に移動可能である。矢印４４に従って、垂直線に沿って第２の要素４２に対する第１の要素の位置を調整することにより、フォアラインの側壁４６と漏斗３８のリム４８との間の隙間が調整される。これにより、フォアラインのコンダクタンスは、程度の差はあるが、排出管２４によってすべての固形物を捕捉する必要性とバランスを取ることができる。排出管２４、詳細には漏斗３８のリム４８と側壁４６との間の隙間が低減される場合、フォアラインの入口１０から入る埃又は固形物は、排出管２４すなわち開口部３０によって捕捉される可能性が高まる。しかしながら、同時にフォアラインのコンダクタンスが低下する。リム４８と側壁４６との間の隙間が拡大される場合、フォアラインのコンダクタンスが改善されるが、埃又は固形物が開口部３０によって集められず、排出管２４を迂回できる可能性も高まる。従って、フォアラインは、様々な適用の特定の必要性に適合させることができる。結果として、使用される真空ポンプの体積流量又はスループットに隙間を適合させることができるので、多くの様々な用途及び様々な真空ポンプの種類に唯一の種類のフォアラインが必要とされる。
【００３８】
第２の要素４２の位置に対する第１の要素４０の位置を調整するために、第１の要素４０は、少なくとも１つのタブ５０、好ましくは２つ以上のタブ５０を備える。また、第２の要素４２は、同じ数のタブ５２を備え、第１の要素４０のタブ５０の位置は、第２の要素４２のタブ５２のそれぞれの位置と一直線になっている。従って、離間要素５４は、第２の要素４２に対する第１の要素４０の位置を調整して維持するために、それぞれのタブ５０、５２の間に配置される。離間要素は、スペーサー又はねじとすることができ、少なくとも１つのタブ５０、５２は、ねじを回すことによって第２の要素４２の位置に対する第１の要素４０の位置を調整するために、ねじ山を備えることができる。
【００３９】
図４に示される実施形態によれば、排出管２４は、ゲートバルブ５６を備える。ゲートバルブ５６を閉じることにより、トラップ３２を排出管２４から取り外すことができ、集められた埃又は固形物は、技術サービスの間にトラップ３２から除去することができる。従って、トラップ３２の除去中にフォアライン内の真空を維持することができる。従って、技術サービス時間が大幅に短縮される。トラップ３２を空にするための真空システムの運転中断は、ゲートバルブ５６により不要となる。
【００４０】
さらに、トラップ３２は、集められた固形物又は埃の量を検出するために、ゲージ５８用の検出ポートを備える。従って、トラップ３２は、ゲージが特定量の集められた埃又は固形物を検出した場合、必要な場合にのみ空にされる。
【００４１】
さらに、トラップ３２は、集められた埃又は固形物の量を評価するためにスケール機構を備えることができる。従って、集められた固形物に従って技術サービスを計画することができる。
【００４２】
本発明は、フォアラインの真っ直ぐなデザインによる高コンダクタンスを保証する真空ポンプ用のフォアラインを提供するが、入口を通ってフォアラインに入るほとんどすべての埃又は固形物は、排出管によって集められ、トラップ内に集められるか又は貯蔵される。これにより、解放可能に取り付けられたトラップによって、フォアラインを容易に維持できる。さらに、排出管内にゲートバルブを用いることにより、真空システムの運転時に維持管理を行うことができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
2021526608.tif 000007
2021526608.tif 000008
2021526608.tif 000009