(57)【要約】      （修正有）【課題】板金ピンを容易に交換でき、コストを低減することができる太陽電池基板保持装置を提供する。【解決手段】縦型ボート１０と、縦型ボート１０に移載される基板と、該基板を保持するピン１２と、ピン１２を挿通するとともに縦型ボート１０の表面から裏面まで挿通し縦型ボート１０の裏面でピン１２の先端部を折り曲げてピン１２を縦型ボート１０に固定する固定部材１５とを備える。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
縦型ボートと、
前記縦型ボートに移載される基板と、
前記基板を保持するピンと、
前記ピンを挿通するとともに前記縦型ボートの表面から裏面まで挿通し前記縦型ボートの裏面で前記ピンの先端部を折り曲げて前記ピンを前記縦型ボートに固定する固定部材と、
を備えることを特徴とする太陽電池基板保持装置。
【請求項２】
前記固定部材は、ステープラであることを特徴とする請求項１記載の太陽電池基板保持装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、縦型の基板保持方法を採用する太陽電池反射防止膜成膜装置向けの太陽電池基板保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池は基板サイズが１２５ｍｍ〜１５６ｍｍ程度と小さく、また、１枚の基板当たりにかけられるコストが小さいために単位時間当たりの処理基板枚数を多くする必要がある。このため、太陽電池用の成膜装置ではバッチ式が用いられる。
【０００３】
バッチ式では、複数の基板を同時に成膜処理室に搬送するために、基板が基板移載装置に移載される。基板移載装置には、水平な板に基板を水平に並べるカートタイプや、基板を垂直に複数並べるボートタイプなどがある。処理効率を向上させるために、ボートタイプのサンプルホルダを用いて同時に処理できる基板の数を増やすことが有効であるため、ボートタイプのサンプルホルダに搭載する基板移載方法が提案されている（特許文献１参照。）。
【０００４】
また、図２に示すように、縦型ボート１０には板金ピンＰ１〜Ｐ４が取り付けられており、基板（シリコンウェハ）１１は、板金ピンＰ１〜Ｐ４により縦型ボート１０に保持されている。
【０００５】
図３に板金ピン１２（図２の板金ピンＰ１〜Ｐ４に対応）と縦型ボート１０と基板１１との断面図を示す。板金ピン１２は、基板１１を固定するための突起部１２ａと、板金ピン１２を縦型ボート１０にかしめて固定するための２つのリベットボディ１４とを有している。
【０００６】
図４に示すように、縦型ボート１０と板金ピン１２には穴部１０ａが形成され、この穴部１０ａにリベットシャフト１３を挿入し、リベットボディ側面１０ｂを拡張させて、縦型ボート１０の穴部１０ａにかしめて留める。即ち、リベットにより板金ピン１２を縦型ボート１０に固定することができる。
【０００７】
また、板金ピン１２と縦型ボート１０とからリベットを取り外す際には、縦型ボート１０の裏側からリベットシャフト１３を叩き出す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−１２１５８７号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、板金ピン１２と縦型ボート１０とからリベットを一度取り外すと、穴部１０ａが変形して、再度、リベット留めする際には、リベットが十分にかしまらなくなる。
【００１０】
また、熱や膜応力により板金ピン１２が反り、リベットが抜けてしまう。また、板金ピン１箇所当たり、リベットを２本打つ必要があり、作業工数がかかる。また、リベットを交換する際のリベット抜き作業がしにくい。
【００１１】
本考案の課題は、板金ピンを容易に交換でき、コストを低減することができる太陽電池基板保持装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本考案に係る太陽電池基板保持装置は、上記課題を解決するために、縦型ボートと、前記縦型ボートに移載される基板と、前記基板を保持するピンと、前記ピンを挿通するとともに前記縦型ボートの表面から裏面まで挿通し前記縦型ボートの裏面で前記ピンの先端部を折り曲げて前記ピンを前記縦型ボートに固定する固定部材とを備えることを特徴とする。
【考案の効果】
【００１３】
本考案によれば、固定部材により、ピンを挿通するとともに縦型ボートの表面から裏面まで挿通し縦型ボートの裏面でピンの先端部を折り曲げてピンを縦型ボートに固定するので、板金ピンを容易に交換でき、コストを低減することができる太陽電池基板保持装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本考案の実施例１の太陽電池基板保持装置の主要部の構成を示す図である。
【図２】板金ピンにより縦型ボートに保持される基板を示す図である。
【図３】図２に示す板金ピンと縦型ボートと基板との断面図である。
【図４】板金ピンをリベットにより縦型ボートに固定する状態を示す図である。
【考案を実施するための形態】
【００１５】
以下、本考案の太陽電池基板保持装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００１６】
図１は、本考案の実施例１の太陽電池基板保持装置の主要部の構成を示す図である。図３に示す従来の太陽電池基板保持装置は、リベットを用いて板金ピン１２を縦型ボート１０に固定していたが、図１に示す太陽電池基板保持装置は、板金ピン１２を縦型ボート１０に固定する固定部材としてステープラ１５（ホッチキス）を用いたことを特徴とする。
【００１７】
太陽電池基板保持装置は、縦型ボート１０（図２）と、縦型ボート１０に移載される基板１１（図２）と、基板１１を保持する突起部１２ａを有する板金ピン１２（図１）と、ステープラ１５（図１）とを備えている。
【００１８】
ステープラ１５は、コの字形状をなし、板金ピン１２を挿通するとともに縦型ボート１０の表面から裏面まで挿通し縦型ボート１０の裏面でピン１３の先端部を内側に折り曲げて板金ピン１２を縦型ボート１０に固定する。
【００１９】
このようなステープラ１５は、一般的には、複数個併設されて、図示しないステープラ収納部に収納されている。
【００２０】
ステープラ１５を使用する際には、図示しないステープラ収納部を板金ピン１２に当て、ステープラ収納部に形成された図示しない突起部を押すと、１つのステープラ１５が押し出される。
【００２１】
押し出されたステープラ１５は、板金ピン１２を挿通し、さらに縦型ボート１０の表面から裏面まで挿通して、縦型ボート１０の裏面でピン１３の先端部が内側に折り曲げられる。このとき、板金ピン１２には穴部１２ｂが形成され、縦型ボート１０には穴部１０ａが形成される。
【００２２】
このように、実施例１の太陽電池基板保持装置によれば、ステープラ１５を用いることにより、板金ピン１２を縦型ボート１０に容易に固定することができる。
【００２３】
また、ステープラ１５を取り外しても、縦型ボート１０の取り付け穴はほとんど変形せず、板金ピン１２を繰り返して交換することができる。
【００２４】
また、板金ピン１２を縦型ボート１０に固定する作業工数を削減できるので、コストを低減することができる。
【００２５】
また、熱が加わってもステープラ１５は変形せず、板金ピン１２の緩みはなく板金ピン１２を縦型ボート１０に固定できる。
【００２６】
さらに、汎用のステープラ芯（単価０．２円）を使用することにより、リベット（単価８０円×２ＰＣ）に比較して、大幅にコストを低減することができる。
【００２７】
さらに、汎用のステープルリムーバによりステープラ１５を取り外すことができ、板金ピン１２を容易に交換することができる。
【００２８】
また、マガジン回転式ステープラを用いることにより、配置の自由度を向上することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本考案は、太陽電池用の結晶シリコン基板を保持する太陽電池基板保持装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００３０】
Ｐ１〜Ｐ４‥板金ピン、１０‥縦型ボート、１０ａ‥穴部、１１‥基板、１２‥板金ピン、１２ａ‥突起部、１２ｂ‥穴部、１３‥リベットシャフト、１４‥リベットボディ、１５‥ステープラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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