(57)【要約】【課題】半導体回路基板の検査用検出プローブを提供する。【解決手段】  試験装置１０のプローブ孔内に設置されて、該試験装置及び測定待ち回路基板４０に導接する検出プローブであって、導電ロッド体１００と弾性導電柱２００とからなり該導電ロッド体両端がそれぞれ弾性導電柱に接続される連結端１３０及び前記測定待ち回路基板に接触する検出端１２０であり、上記弾性導電柱は、両端がそれぞれ連結端に接続する自由端２１０及び前記検出回路基板に係止する固定端２２０からなり、測定待ち回路基板が該試験装置にセットされて導電ロッド体の検出端１２０が測定待ち回路基板４０の接合電極に押圧されると、その押圧力で弾性導電柱が圧縮され、確実に電気的導通状態が確認される。【選択図】図４
0003183536.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
試験装置中のプローブ孔内に設置されて、該試験装置及び測定待ち回路基板に導接することに用いる検出プローブであって、
前記試験装置は、検出回路基板を具え、
該検出プローブは、導電ロッド体と弾性導電柱とからなり
上記導電ロッド体は、その両端がそれぞれ弾性導電柱に接続される連結端及び前記測定待ち回路基板に接触することに用いる検出端であり、
上記弾性導電柱は、該導電ロッド体に軸方向に接続する弾性導電柱であり、該弾性導電柱の両端がそれぞれ連結端に接続する自由端及び前記検出回路基板に係止する固定端である、検出プローブ。
【請求項２】
前記弾性導電柱が内部に多数の金属顆粒を埋設した軟質柱体である請求項１に記載の検出プローブ。
【請求項３】
前記弾性導電柱が内部に金属導線を埋設した軟質柱体である請求項１に記載の検出プローブ。
【請求項４】
前記弾性導電柱が導電ロッド体を覆って接続される請求項１に記載の検出プローブ。
【請求項５】
前記導電ロッド体は、少なくとも１つの滑り止め部を具え、該滑り止め部は、該導電ロッド体の側面に突出して形成され、該弾性導電柱の該自由端は、該滑り止め部を覆う請求項１に記載の検出プローブ。
【請求項６】
前記導電ロッド体は、位置限定部を具え、該位置限定部は、該導電ロッド体の側面から径を拡大して形成され、
該位置限定部は、前記プローブ孔の内側段差に係止されて該導電ロッド体の活動行程を制限する請求項１に記載の検出プローブ。
【請求項７】
更にコイルバネを具え、コイルバネは、弾性導電柱の外に被せ設けられる請求項６に記載の検出プローブ。
【請求項８】
前記コイルバネは、該位置限定部に係止される請求項７に記載の検出プローブ。
【請求項９】
更にコイルバネを具え、コイルバネは、弾性導電柱の外に被せ設けられる請求項１に記載の検出プローブ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、検出プローブに関し、特に、回路プローブに用いる半導体試験プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
プローブカードは、半導体製造工程において、回路検出にしばしば使用する部材であり、その内部に複数のプローブを配列して設置し、プローブの配列位置は、このプローブカードが検出する測定待ち回路基板上の回路配置と互いに対応する。プローブカードは、通常、検出機台の上に設置され、測定待ち回路基板上において、治具により挟持され、プローブ上に圧制される。従って、各プローブを測定待ち回路基板上の回路に導通させ、プローブにより測定待ち回路基板上の回路ループが正常動作するか否かを検出する。
【０００３】
従来のプローブ構造は、一般に１つのスリーブを具え、スリーブ内に２つの電極及び2つの電極の間に接続するバネを設ける。そのうち、１つの電極は、検出機台に固定されて検出機台に電気接続され、もう１つの電極は、スリーブ内に滑動可能に位置し、測定待ち回路基板を導接することに用いられる。ウエハがプローブに触圧する時、バネが圧縮されてスライドして電極に接し、これにより、この電極及び測定待ち回路基板を加圧接触させて確実に導通させる。或いは、ただ１つのスライド可能な電極を設置し、バネにより電極及び検出機台を直接導接する。プローブは、微小な部材であり、その構造が複雑であるので、部品の製作及び組み立ては、何れも容易ではない。
【０００４】
これに鑑み、本考案者は、上記現有技術に対し、特に、研究に専念し、学理の運用を合わせ、上記問題点の解決に資することが、改良の目標となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−３０４８２４号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
本考案の目的は、構造が簡単な検出プローブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成する為、本考案が提供する検出プローブは、試験装置中に設置され、試験装置及び測定待ち回路基板を導接することに用い、この試験装置は、検出回路基板を有する。本考案の検出プローブは、導電ロッド体及び弾性導電柱を具える。導電ロッド体の両端は、それぞれ連結端及び測定待ち回路基板に接触することに用いる検出端である。弾性導電柱は、導電ロッド体に軸方向に接続し、弾性導電柱の両端は、それぞれ連結端に接続する自由端及び検出回路基板に係止することに用いる固定端である。
【０００８】
好ましくは、前記検出プローブは、その弾性導電柱が内部に複数の金属顆粒を埋設した軟質柱体である。
【０００９】
好ましくは、前記検出プローブは、その弾性導電柱が内部に金属導線を埋設した軟質柱体である。
【００１０】
好ましくは、前記検出プローブは、その弾性導電柱が導電ロッド体を覆う。
【００１１】
好ましくは、前記検出プローブは、その導電ロッド体が少なくとも１つの滑り止め部を具え、滑り止め部は、導電ロッド体の側面から延伸し、弾性導電柱の自由端は、滑り止め部を覆う。
【００１２】
好ましくは、前記検出プローブは、その導電ロッド体は、位置限定部を具え、位置限定部は、導電ロッド体の側面から延伸し、位置限定部は、プローブ孔の内側に係止され、導電ロッド体の活動行程を制限する。
【００１３】
好ましくは、前記検出プローブは、更にコイルバネを具え、コイルバネは、弾性導電柱の外に被せ設けられる。
【００１４】
好ましくは、前記検出プローブは、そのコイルバネは、位置限定部に係止される。
【考案の効果】
【００１５】
本考案の検出プローブは、弾性導電柱により従来技術が採用するバネ及びスリーブに取って代わり、その構造を簡易化し、このように、従来技術の構造が複雑過ぎて製造及び組み立てが容易でない欠陥を効率的に改善する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本考案の第１実施例の検出プローブの立体分解説明図である。
【図２】図１中の本考案の第１実施例の検出プローブの軸方向断面図である。
【図３】本考案の第１実施例の検出プローブの設置状態説明図である。
【図４】本考案の第１実施例の検出プローブの使用状態説明図である。
【図５】本考案の第２実施例の検出プローブの設置状態説明図である。
【図６】本考案の第２実施例の検出プローブの使用状態説明図である。
【図７】本考案の第３実施例の検出プローブの立体分解説明図である。
【図８】本考案の第３実施例の検出プローブの設置状態説明図である。
【図９】本考案の第３実施例の検出プローブの使用状態説明図である。
【考案を実施するための形態】
【００１７】
図１及び図２を参照して、本考案の好適実施例の検出プローブを説明する。それは、導電ロッド体１００及び弾性導電柱２００を具える。
【００１８】
導電ロッド体１００は、好ましくは、金属で製造され、導電ロッド体１００の両端は、それぞれ連結端１１０及び検出端１２０であり、導電ロッド体１００は、更に、滑り止め部１３０及び位置限定部１４０を有する。連結端１１０は、弾性導電柱２００に接続され、検出端１２０の末端は、導接部１２１を有し、導接部１２１は、切欠き溝状又は凸出弧面状を呈するが、本考案は、これに限定するものではない。滑り止め部１３０は、連結端１１０及び検出端１２０との間にあって、導電ロッド体１００の中段の側壁から外向きに延伸し、好ましくは、環リブ状を呈して延伸する。位置限定部１４０は、導電体１００の側面から拡大して形成され、好ましくは、円コイルを呈する。本実施例において、図示するように、滑り止め部１３０は連結端１１０に接し、位置限定部１４０は検出端１２０に接するが、本考案は、これに限定するものではない。
【００１９】
本実施例において、弾性導電柱２００は、軟質柱体であり、好ましくは、シリコーン又はゴムで製造され、弾性導電柱２００の内部に多数の金属顆粒を埋設するが（例えば、液体シリコーン又はゴム液体接着剤混合金属粉末）、本考案は、これに限定するものではない。弾性導電柱２００は、軸方向に導電ロッド体１００を接続し、弾性導電柱２００の両端は、それぞれ自由端２１０及び固定端２２０であり、自由端２１０は、導電ロッド体１００の連結端１１０に固定接続され、固定端２２０は、検出回路基板２０へ延伸する。弾性導電柱２００の自由端２１０は、導電ロッド体１００を連結する連結端１１０を覆い、好ましくは、滑り止め部１３０を覆ってこの弾性導電柱２００が導電ロッド体１００から脱落することを防止する。弾性導電柱２００は、その自由端において、その軸方向に沿って套接孔２１１を開設し、導電ロッド体１００の連結端１１０を套接し、或いは、弾性導電柱２００は、射出成形によって導電ロッド体を覆う連結端１１０を成形することができるが、本考案をこれに限定するものではない。
【００２０】
図３を参する。本考案の検出プローブは、試験装置１０中に設置し、測定待ち回路基板４０を検出することに用いるものであり、測定待ち回路基板４０上に接合電極４１を有する。前記試験装置１０内に検出回路基板２０及び検出回路基板２０に連結するプローブソケット３０を具える。検出回路基板２０上に検出回路（図示せず）を設け、プローブソケット３０上に複数のマトリクス配列されたプローブ孔３１を貫通開設する。
また、各プローブ孔３１の一端の開口が検出回路基板２０に附され、検出回路に対応して配置される。本考案の半導体検出プローブは、これらのプローブ孔３１内に収容設置される。導電ロッド体１００の検出端１２０は、プローブ孔３１に突出配置され、検出端１２０上の導接部１２１は、測定待ち回路基板４０に接触することに用いる。好ましくは、前記プローブ孔３１内側に段差を形成する凸縁３２を設け、凸縁３２は、導電ロッド体１００の位置限定部１４０に合わせて配置される。位置限定部１４０は、凸縁３２に係止され、これにより、導電ロッド体１００の軸方向の動作行程を限定する。弾性導電柱２００の固定端２２０は、検出回路基板２０に係止される。
【００２１】
図４を参照する。試験装置１０は、測定待ち回路基板４０を検出する時、測定待ち回路基板４０は、試験装置１０に移行し、測定待ち回路基板４０上の接合電極４１を導電ロッド体１００の検出端１２０に接触させ、接合電極４１は、好ましくは、検出端１２０の導接部１２１に位置して検出端１２０及び接合電極４１を確実に接触導通させる。測定待ち回路基板４０は、更に、検出端１２０を測定待ち回路基板４０に押し当てるので、導電ロッド体１００がその圧力を受けて検出端１２０をプローブ孔３１内に向けて退縮させ、弾性導電柱２００は、滑り止め部１３０から押圧を受けてその軸方向に沿って圧縮される。これにより、測定待ち回路基板４０を検出回路基板２０上に検出回路に確実に電気接続させることができる。
【００２２】
図５及び図６を参照する。本考案の第２実施例は、検出プローブの構造は、ほぼ前記第１実施例と同一である。本実施例及び第１実施例の異なる箇所は、弾性導電柱２００の内部に金属導線２０１を埋設し、金属導線２０１により弾性導電柱２００の両端を導通する。検出装置１０が測定待ち回路基板４０を検出する時、金属導線２０１の両端は、それぞれ導電ロッド体１００の連結端１１０及び検出回路基板２０上の検出回路を導通し、測定待ち回路基板４０を検出回路基板２０上の検出回路に接続させる。
【００２３】
図７を参照する。本考案の第２実施例は、検出プローブの構造は、ほぼ前記第１実施例と同一である。本実施例及び第１実施例の異なる箇所は、本考案の検出プローブは、更にコイルバネ３００を具え、コイルバネは、弾性導電柱２００の外に被せて設けられる。
【００２４】
図８を参照する。位置限定部１４０及びコイルバネ３００は、何れも凸縁３２に接して位置限定部１４０が係止され、コイルバネ３００は、基板２１と位置限定部１４０の間に係止され、これにより導電ロッド体１００の軸方向の動作行程を限定し、プローブ孔３１内に導電ロッド体１００の位置を固定することができる。
【００２５】
図９を参照する。本実施例において、試験装置１０が測定待ち回路基板４０を検出する時、検出回路基板４０が試験装置１０に移行し、測定待ち回路基板４０上の接合電極４１を導電ロッド体１００の検出端１２０に接触させ、接合電極４１は、好ましくは、検出端１２０の導接部１２１に接して検出端１２０及び接合電極４１を確実に接触導接させる。測定待ち回路基板４０は、更に押し迫って、検出端１２０を測定待ち回路基板４０に押圧するので、導電ロッド体１００がその圧力を受けてその検出端１２０をプローブ孔３１内に向けて退縮させ、弾性導電柱２００が係止部１３０の押圧を受けてその軸方向に沿って圧縮され、同時にコイルバネ３００も位置限定部１４０の押圧を受けてその軸方向に沿って圧縮される。これにより測定待ち回路基板４０を検出回路基板２０上の検出回路に確実に電気接続させる。本実施例において、コイルバネ３００が弾性導電柱２００を補助し、導電ロッド体１００の動作の安定性を増加させる。
【００２６】
本考案の検出プローブは、弾性導電柱２００により従来の技術のバネ及びスリーブの構造に取って代わる。従って、本考案の検出プローブは、構造が簡単で、その製造及び組み立ては、何れも従来技術より容易であるので、従来技術の欠陥を効率的に改善する。
【００２７】
なお、本考案では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本考案に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本考案の精神と領域を脱しない均等の範囲内で各種の変動や潤色を加えることができることは勿論である。
【符号の説明】
【００２８】
１０  試験装置
２０  検出回路基板
２１  検出回路
３０  プローブソケット
３１  プローブ孔
３２  凸縁
４０  測定待ち回路基板
４１  接合電極
１００  導電ロッド体
１１０  連結端
１２０  検出端
１２１  導接部
１３０  滑り止め部
１４０  位置限定部
２００  弾性導電柱
２１０  自由端
２２０  固定端
２２１  套接孔
３００  コイルバネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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