【事件の表示】
　特願２００２−　１６８７２「照明及びレチクルの最適化により、印刷ラインの形状歪みを最小化するシステム及び方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　９月１３日出願公開、特開２００２−２６１００４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本願は、平成１４年１月２５日（パリ条約による優先権主張２００１年１月２９日、米国）の出願であって、平成１６年３月２６日付で拒絶査定がなされ、これに対し、同年６月２８日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年７月２６日付で手続補正がなされた。
　その後、当審において、平成１８年５月１２日付で平成１６年７月２６日付手続補正を却下するとともに、同日付で拒絶理由を通知し、これに対して、平成１８年８月１４日付で手続補正がなされたものである。
　
２．本願発明
　本願の請求項１に係る発明は、「照明及びレチクルの最適化により、印刷ラインの形状歪みを最小化するシステム及び方法」に関する発明であり、平成１８年８月１４日付けで補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１には、以下のように記載されている。
【請求項１】
「半導体ウエハ上にイメージを投影して、該ウエハ上にパターンを形成する方法であって、
　レチクルに１つの方向からビームが入射することにより該レチクルから生じる各回折次数の回折光の振幅と、該レチクルに入射する各方向の軸外ビームの強度とを変数とする、前記ウエハ上に生成されるイメージを表す関数を提供するステップと、
　前記各回折次数の回折光の振幅と、前記各方向の軸外ビームの強度と、前記関数に基づき表されるイメージ特性との関係を示すメリット関数を提供するステップと、
　第１の制約に従い、前記メリット関数の値を最適化する、前記各回折次数の回折光の振幅と前記各方向の軸外ビームの強度とのそれぞれの初期解を求めるステップと、
　前記第１の制約とは異なる第２の制約に従い、前記それぞれの初期解に基づいて、前記メリット関数の値をローカル最適化する、前記各回折次数の回折光の振幅と前記各方向の軸外ビームの強度とのそれぞれの最適解を求めるステップと、
　前記各回折次数の回折光の振幅の最適解に基づいて、レチクルを形成するステップと、
　前記レチクルを形成するステップで形成されたレチクルを前記各方向の軸外ビームの強度の最適解に従って照明することにより、イメージを前記ウエハ上に形成するステップと、
　前記ウエハに含まれるレジストを、前記イメージを前記ウエハ上に形成するステップで形成されたイメージにより露光するステップと、
　露光された前記レジストを現像して、前記ウエハ上にパターンを形成するステップとを含む、方法。」
　
３．当審の拒絶の理由の要旨
　補正後の請求項１〜１９に係る発明は、結局、レチクルの回折パラメータ及び光源パラメータを決定する際、制約の下メリット関数を最適化する発明であるが、本願明細書の発明の詳細な説明には、メリット関数としてはフィーチャの勾配を考慮する程度の記載しかなく、また、レチクルの回折パラメータ及び光源パラメータについても何ら具体的に例示されていないから、請求項中の発明を特定するための事項に対応する技術的手段が発明の詳細な説明中に単に抽象的、機能的に記載してあるだけで、それを具現すべき装置、工程などが不明りょうであり、しかもそれらが出願時の技術常識に基づいても当業者が理解できないため、当業者が請求項に係る発明の実施をすることができない場合に該当する。
　そうすると、本願は、特許法第３６条第４項並びに第６項第１及び第２号の規定を満たしていない。
　
４．当審の判断
４．１　特許法第３６条第６項第２号違反に関して
（１）用語の不明確性
・「メリット関数」の不明確性について
　【００５７】段落に、「Ψは、イメージのフィーチャ縁部で生じる最悪の場合の対数勾配を表すメリット関数である。Ψの最適化は、フィーチャの縁部間での最も狭い勾配ができるだけ急峻になるように保証する。」と記載されているが、【００２６】段落には、「ソースすなわち光源パラメータと、レチクル・フィーチャまたはパラメータと、所望のイメージ特性との間の関係を示すメリット関数」と記載され、メリット関数が、【００５７】段落記載の「イメージのフィーチャ縁部で生じる最悪の場合の対数勾配を表すメリット関数」であることを必要としないメリット関数も含む。
　また、【００４１】段落には、「イメージ強度にもとづくメリット関数は、光源方向及び強度、並びに回折波面の振幅の未知の値に関して定義され、光学の周知の原理にもとづき、イメージ形成の標準方程式を用いて回折次数振幅として表される。」と記載され、メリット関数が、【００５７】段落記載の「イメージのフィーチャ縁部で生じる最悪の場合の対数勾配を表すメリット関数」であることを必要としないメリット関数も含む。
　さらに、【００４１】段落には、「この実施例では選択臨界位置において、フィーチャの縁部を横切るイメージのグラジエントを記述するメリット関数が選択され、全ての選択位置での最小の勾配を最大化するようにする。こうしたメリット関数は、良好なイメージ忠実度を保証する。しかしながら、多くの他のメリット関数も本発明に従い選択され得る。」と記載され、メリット関数が、【００５７】段落記載の「イメージのフィーチャ縁部で生じる最悪の場合の対数勾配を表すメリット関数」であることを必要としないメリット関数も明らかに含む。
　また、【００４４】、【００４５】段落に、「従来、汎用メリット関数において、パラメータ空間の単純な網羅的グリッド検索よりも好適な、完全に大域的なアルゴリズムは保証されないことが知られている。…」と記載されており、請求項１に記載された、特許を受けようとする発明のメリット関数が、汎用メリット関数でないことは明らかである。
　したがって、請求項１に記載された、特許を受けようとする発明における「メリット関数」は、明細書の発明の詳細な説明に定義が明確に記載されておらず、また、汎用のものでもないから、不明確である。
　
・「第１の制約」及び「第２の制約」の不明確性について
　請求項１に、第１の制約及び第２の制約について各々の制約の内容が記載されておらず、第１の制約及び第２の制約の意味が不明である。
　そこで、明細書の発明の詳細な説明を参照すると「制約」なる用語とその内容が散見されるものの、どの制約が第１の制約であって、どの制約が第２の制約であるのか明らかでなく、また、制約の内容自体も明確でない。
　さらに、制約の内容が特定されず、例えば、【００４２】段落の「iii）明領域での十分な露光を要求するために、及びiv）暗領域での不要な露光を阻止するために、追加の制約が課せられる。本発明に従う方法は、これらの制約に制限されるものではなく、代わりのまたは追加の制約を含むことができ、」等、制約の概念の外延も不明確である。　
　
・「初期解」及び「最適解」の不明確性について
　第１の制約の内容が明確でないから、「第１の制約に従い、前記メリット関数の値を最適化する、前記各回折次数の回折光の振幅と前記各方向の軸外ビームの強度とのそれぞれの」初期解についても不明確である。
　また、第２の制約の内容が明確でないから、「第２の制約に従い、前記それぞれの初期解に基づいて、前記メリット関数の値をローカル最適化する、前記各回折次数の回折光の振幅と前記各方向の軸外ビームの強度とのそれぞれの」最適解についても不明確である。
　
・「メリット関数の値をローカル最適化する」点の不明確性について
　メリット関数の値をローカル最適化する点については、「メリット関数」が不明確であることは上述したとおりであり、また、「ローカル」最適化とはどのような最適化であるのか請求項１に記載されておらず、不明確である。
　そこで、明細書の発明の詳細な説明を参照すると、　【００４５】段落に、「２）ローカル最適化技法により、ステップ１の単純化大域解をより完全な基準に対して詳細化する（ブロック５５２）。」、【００４６】段落に、「ステップ１（ブロック５５１）が良好な初期解を提供する限り、広範に使用可能なローカル最適化ルーチンの頑強性（robustness）が、ステップ２で詳細な最適性基準の組み込みを可能にする（ブロック５５２）。例えば、ステップ２のローカル最適化プログラムと共に使用されるイメージ・モデルは、０．０２ＮＡステップで精密に間隔をあけられ、０．３λ／ＮＡ2の焦点サンプリングを有する照明グリッドを組み込む。ステップ２の解を獲得するために使用される市販のローカル最適化プログラムは、WolframResearch社からMethematica（商標）パッケージとして販売されるFindMinimum最適化プログラムであり、これはBrentのアルゴリズムにもとづく。」と記載されているが、請求項１に記載された発明の「メリット関数の値をローカル最適化」することががどのようなものであるのか、上記記載及び【図９】を参照しても、単に数学上のソフト（FindMinimum最適化プログラム）及び幾つかの光学的条件を羅列しているにすぎず、技術内容が明らかでない。
　また、明細書の発明の詳細な説明【００６４】、【００８３】段落を参照しても明らかでない。
　
（２）請求項１に記載された各ステップの不明確性
・請求項１に記載された、「それぞれの初期解に基づいて、前記メリット関数の値をローカル最適化する、前記各回折次数の回折光の振幅と前記各方向の軸外ビームの強度とのそれぞれの最適解を求めるステップ」については、明細書の発明の詳細な説明を参照しても、明確に記載されているとは認められない。
　
・請求項１に記載された、「各回折次数の回折光の振幅の最適解に基づいて、レチクルを形成するステップ」については、明細書の発明の詳細な説明を参照しても、明確に記載されているとは認められない。
　すなわち、上記ステップにおける「各回折次数の回折光の振幅の最適解」が明細書の発明の詳細な説明を参照しても、最適解を例示した記載がなく、明確に記載されているとは認められないからである。
　
　したがって、請求項１に記載された、特許を受けようとする発明は、明確なものとはいえない。
　
４．２　特許法第３６条第６項第１号違反に関して
　請求項１に記載された発明について検討する。
・請求項１に記載された、「それぞれの初期解に基づいて、前記メリット関数の値をローカル最適化する、前記各回折次数の回折光の振幅と前記各方向の軸外ビームの強度とのそれぞれの最適解を求めるステップ」については、明細書の発明の詳細な説明に記載されているとは認められない。
　すなわち、上記ステップは、明細書の発明の詳細な説明に式（６）として表されていると認められるが、明細書の発明の詳細な説明では、式（６）を解くことをせず（【００５９】段落）、式（６）を、近似解法かつ種々の条件の下で解くことができるとのみ記載されており（【００６０】、【００６１】段落等）、実際に最適解を求めるステップが記載されているとはいえない。
　
・請求項１に記載された、「各回折次数の回折光の振幅の最適解に基づいて、レチクルを形成するステップ」は、「最適解を求めるステップ」が明細書の発明の詳細な説明に記載されているとは認められないから、「各回折次数の回折光の振幅の最適解に基づいて、レチクルを形成するステップ」も明細書の発明の詳細な説明に記載されているとは認められない。
　
　したがって、請求項１に記載された、特許を受けようとする発明は、明細書の発明の詳細な説明に記載されているとは認められない。
　
４．３　特許法第３６条第４項違反に関して
　以下に例示するように、意味不明な記載が多数存在し、全体として、明細書の発明の詳細な説明には、請求項１に記載された、特許を受けようとする発明を当業者がその実施することができる程度に明確かつ十分に記載されていない。
　
・明細書の発明の詳細な説明【００３７】段落に、「強いフォーカス感度を回避するために、レチクル透過率の位相を０°または１８０°に制限することが必要であり、マスク振幅透過率を純粋な実数量に、すなわち非複素量にする。従って、マスク回折パターンの実数部分は、半径方向に偶対称性を有し、虚数部分は奇対称性を有する。」との記載があるが、意味不明である。
　
・明細書の発明の詳細な説明【００４２】段落に、「ii）受け入れ可能な最小の瞳孔充填の達成を要求する」との記載があるが、意味不明である。
　
・明細書の発明の詳細な説明【００４５】段落に、「前述のように、この問題のメリット関数の最適解は、ターゲット・ウエハ・パターンにもとづく従来の初期解からは、良い成果を容易に獲得することができない。従って、最適化技術が良好な大域性能を達成すること、すなわち堅固なローカル収束が不十分であることが重要である。大域収束を効率的に達成するために（ブロック５５０）、本発明のこの実施例は、図９に示される２部分ストラテジを用いて、最適波面について解き（瞳孔面内で定義される照明及び回折次数振幅のセットをもたらす）、続いて最適波面にもとづき、レチクル・パターンを決定する（ブロック５５３）。」との記載があるが、数学的、光学的に意味不明である。
　
・明細書の発明の詳細な説明【００４６】段落に、「ステップ１（ブロック５５１）が良好な初期解を提供する限り、広範に使用可能なローカル最適化ルーチンの頑強性（robustness）が、ステップ２で詳細な最適性基準の組み込みを可能にする（ブロック５５２）。例えば、ステップ２のローカル最適化プログラムと共に使用されるイメージ・モデルは、０．０２ＮＡステップで精密に間隔をあけられ、０．３λ／ＮＡ2の焦点サンプリングを有する照明グリッドを組み込む。ステップ２の解を獲得するために使用される市販のローカル最適化プログラムは、WolframResearch社からMethematica（商標）パッケージとして販売されるFindMinimum最適化プログラムであり、これはBrentのアルゴリズムにもとづく。」との記載があるが、当該記載の数学的、光学的取り扱いが不明であり、当業者がその実施をできる程度に明確かつ十分に記載されているとはいえない。
　
・明細書の発明の詳細な説明【００４８】段落に、「ベクトル変数ベクトルＳ」が導入されているが、その意味内容が明確でなく、そのベクトルＳの関数の式（３）（【００５２】段落）の意味内容が明確でない。
　したがって、ベクトルＳを用いた実施例の計算過程も明確でないから、本願明細書に基づいて当業者が発明を実施することは極めて困難である。
　
・明細書の発明の詳細な説明【００５２】段落には、ターゲットパターンが対称であるときの実施例が記載されているが、請求項１に記載された、特許を受けようとする発明は、ターゲットパターンが非対称であるときも含むから、ターゲットパターンが非対称であるときにはどのようにするのか例示されていない。
　
・明細書の発明の詳細な説明【００６７】〜【００８８】段落に記載された計算手順は、【００９０】段落以降の図示された実施例のマスクパターンを得るために必須のものである（「本発明の方法は、前述のように、コンピュータ・プログラムとして実現される。」（【００９０】段落））が、上記手順は高々数学上の手順を多少示した（線形代数の極値問題を、ラグランジュアンを用いて解く一般的手法が確立しているわけではない。）にすぎず、【００９０】段落以降の図示された実施例のマスクパターンとの関連が不明（上記コンピュータ・プログラムを、実施例のマスクパターンを得ることにどのように関連づけるか明示されていない。）である。
　
・明細書の発明の詳細な説明【０１００】〜【０１０３】段落に、位相シフトマスクを併用した実施例の記載があり、当該記載によれば、単に請求項記載の発明に位相シフトマスクの技術を付加した程度のものではない旨記載されているが、この記載と、請求項１に記載された、特許を受けようとする発明との関連が不明である。
　　
・請求項１に記載された、特許を受けようとする発明は、「メリット関数の値をローカル最適化する、各回折次数の回折光の振幅と各方向の軸外ビームの強度とのそれぞれの最適解を求め、各回折次数の回折光の振幅の最適解に基づいて、レチクルを形成する」ことを意図するものであると一応認められる。
　しかしながら、本願明細書には、種々の条件を簡略化（ターゲット・パターンの対称化等）した実施例のみ例示され、しかも当該実施例の数学的、光学的取り扱いが不明確であり、発明の明確な実施手順が記載されておらず、したがって、上記意図にしたがったレチクルを当業者が形成できる程度に明確かつ十分に記載されていない。
　
　したがって、請求項１に記載された、特許を受けようとする発明は、明細書の発明の詳細な説明に、当業者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されているとは認められない。
　
５．むすび
　したがって、本願は、特許法第３６条４項並びに第６項第１号及び第２号に規定する要件を満たしていない。
　よって、結論のとおり審決する。