(57)【要約】      （修正有）【課題】特に基板の表面を平均的に加工することができる湿式工程用縦式基板の浸漬装置を提供する。【解決手段】メーンケース１０と、該メーンケース１０に設置される搬送輪部材２０及び２つの噴流部材４０とを有し、その内、該２つの噴流部材４０との間に化学液体を充満し、該各噴流部材４０は、間隔をおいて設置されるように、周縁部が互いに接着して閉鎖状に形成される外側板及び内側板を備え、該内側板に複数の噴出孔が密集に形成され、該搬送輪部材２０を介して基板を該２つの噴流部材４０との間に搬送し、基板を化学液体に浸漬する状態になり、また、その外側板と内側板との間に充満した化学液体が噴出孔から噴出し、基板の各部分の加工効果を上昇すると共に、基板の部分をエッチングし過ぎることを防ぐものである。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
メーンケース１０と、搬送輪部材２０と、２つの噴流部材４０とを有し、
その内、前記メーンケース１０は、反対する両側に輸入口１１及び輸出口１２が形成され、中段に加工凹部１３が形成され、該加工凹部１３の下側に、該加工凹部１３と連通するように、化学液体を収容するためのタンク１５が設置され、また、該輸入口１１と輸出口１２との間に横に設けられると共に、それぞれ上部及び下部に位置する２つのフレーム１４を備え、
前記搬送輪部材２０は、前記メーンケース１０における２つのフレーム１４に設けられ、複数の伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂと、複数の調整輪軸２４Ａ、２４Ｂとを備え、且つ、該伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂ及び調整輪軸２４Ａ、２４Ｂは、互いに対応するように、回転可能に前記２つのフレーム１４に縦に設置され、前記メーンケース１０の輸入口１１と輸出口１２との間に、間隔をおいて排列され、両端が回転可能に前記２つのフレーム１４に貫設され、
前記２つの噴流部材４０は、前記メーンケース１０の加工凹部１３に設置されると共に、それぞれ前記伝動輪軸２２Ｂ及び調整輪軸２４Ｂの両側に位置し、各噴流部材４０は、外側板４１と、内側板４２と、２つの漏れ防止板４４とを備え、その内、該外側板４１と内側板４２とは、間隔をおいて設置されると共に、周縁部が互いに接着して閉鎖状に形成されるように結合し、該外側板４１と内側板４２との間に分流空間４０１が形成され、また、該外側板４１に、少なくとも１つの輸液管４３が設けられ、該輸液管４３は、一端が該分流空間４０１と連通し、他端が吸い込み装置４５を介して前記タンク１５と連通し、該内側板４２には、前記伝動輪軸２２Ｂ及び調整輪軸２４Ｂに面するように、複数の噴出孔４２１が密集に形成され、該漏れ防止板４４は、弾性を備え、互いに結合された該外側板４１及び内側板４２の両側に縦に固定されると共に、対応した前記伝動輪軸２２Ｂ及び調整輪軸２４Ｂに当接されることを特徴とする湿式工程用縦式基板の浸漬装置。
【請求項２】
前記搬送輪部材２０はさらに、駆動軸２１を有し、該駆動軸２１は、前記メーンケース１０の輸入口１１と輸出口１２との間に、回転可能に横に設置され、前記２つのフレーム１４の何れかの１つの近傍に位置し、間隔をおいて複数のウォームギア２１１を備え、且つ、該駆動軸２１における一端がモータ２６と連接し、そのモータ２６によって、該駆動軸２１を連れて回転することができ、
前記各伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂは、端部の近傍に、輸入歯車２２１Ａ、２２１Ｂ又は輸出歯車２２２Ｂが周設され、その輸入歯車２２１Ａ、２２１Ｂは、前記駆動軸２１のウォームギア２１１と対応するように組み合われ、
前記各調整輪軸２４Ａ、２４Ｂは、端部の近傍に、伝動歯車２４１Ｂが周設され、その伝動歯車２４１Ｂは、前記伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂの輸出歯車２２２Ｂと対応するように組み合われることを特徴とする請求項１に記載の湿式工程用縦式基板の浸漬装置。
【請求項３】
前記各フレーム１４は、複数の摺動溝１４１が間隔をおいて形成され、該各摺動溝１４１は、前記フレーム１４における一側を切欠いて開口が形成され、かつ、長手方向が前記メーンケース１０の輸入口１１から輸出口１２までの方向と垂直し、
前記搬送輪部材２０はさらに、複数の摺動ブロック２３を有し、該複数の摺動ブロック２３は、回転不能及び移動可能に、それぞれ前記２つのフレーム１４の摺動溝１４１に設置されると共に、その摺動溝１４１の開口側に位置し、
前記伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂは、両端が回転可能に前記フレーム１４に貫設されると共に、対応する摺動溝１４１の内部に位置し、
前記調整輪軸２４Ａ、２４Ｂは、両端が回転可能に前記摺動ブロック２３に設置され、
さらに、前記フレーム１４の一側に、２つの弾性押圧部材３０が設置され、該各弾性押圧部材３０は、少なくとも１つのストッパー３１と、複数の固定棒体３２と、複数の押圧棒体３３とを備え、その内、該ストッパー３１は、前記摺動溝１４１の開口と対応するように、フレーム１４の一側に設置され、該固定棒体３２は、両端がそれぞれ該ストッパー３１及びフレーム１４に結合され、該押圧棒体３３は、両端がそれぞれ該ストッパー３１及び摺動ブロック２３に結合され、また、該各押圧棒体３３にばね３４が周設され、該ばね３４は、両端がそれぞれ該ストッパー３１及び摺動ブロック２３に当接されることを特徴とする請求項１に記載の湿式工程用縦式基板の浸漬装置。
【請求項４】
前記各フレーム１４は、複数の摺動溝１４１が間隔をおいて形成され、該各摺動溝１４１は、前記フレーム１４における一側を切欠いて開口が形成され、かつ、長手方向が前記メーンケース１０の輸入口１１から輸出口１２までの方向と垂直し、
前記搬送輪部材２０はさらに、複数の摺動ブロック２３を有し、該複数の摺動ブロック２３は、回転不能及び移動可能に、それぞれ前記２つのフレーム１４の摺動溝１４１に設置されると共に、その摺動溝１４１の開口側に位置し、
前記伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂは、両端が回転可能に前記フレーム１４に貫設されると共に、対応する摺動溝１４１の内部に位置し、
前記調整輪軸２４Ａ、２４Ｂは、両端が回転可能に前記摺動ブロック２３に設置され、
さらに、前記フレーム１４の一側に、２つの弾性押圧部材３０が設置され、該各弾性押圧部材３０は、少なくとも１つのストッパー３１と、複数の固定棒体３２と、複数の押圧棒体３３とを備え、その内、該ストッパー３１は、前記摺動溝１４１の開口と対応するように、フレーム１４の一側に設置され、該固定棒体３２は、両端がそれぞれ該ストッパー３１及びフレーム１４に結合され、該押圧棒体３３は、両端がそれぞれ該ストッパー３１及び摺動ブロック２３に結合され、また、該各押圧棒体３３にばね３４が周設され、該ばね３４は、両端がそれぞれ該ストッパー３１及び摺動ブロック２３に当接されることを特徴とする請求項２に記載の湿式工程用縦式基板の浸漬装置。
【請求項５】
前記搬送輪部材２０は、複数の輸送輪２５を有し、該複数の輸送輪２５は、回転可能に前記メーンケース１０の底部近傍のフレーム１４に設置されると共に、それぞれ間隔をおいて排列され、前記伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂと調整輪軸２４Ａ、２４Ｂとの間に突出し、軸方向が前記メーンケース１０の輸入口１１から輸出口１２までの方向及び伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂの軸方向と垂直することを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の湿式工程用縦式基板の浸漬装置。
【請求項６】
前記搬送輪部材２０の各輸送輪２５は、外周面に位置決め凹部２５１が環設されることを特徴とする請求項５に記載の湿式工程用縦式基板の浸漬装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、特に基板の表面を平均的に加工することができる湿式工程用縦式基板の浸漬装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
湿式工程は、回路基板、ガラス基板、ウエハなどの基板を、化学薬液により加工するプロセス、例えば、現像剤によって基板に既定の回路を現像された保護層を作り、エッチング液によって基板に保護層が設置されていない部分の銅箔をエッチングして銅箔に回路パターンを表せ、また、基板に付着しているエッチング液を洗浄により除去するなどのプロセスを含み、この工程で基板に回路を作成してから他の部品との組み合わせを行う。
【０００３】
その内、エッチング液により基板をエッチングするプロセスを例として、エッチング液を基板に付くことから、エッチングし過ぎることを防止するために、既存の技術により、基板を縦にエッチングタンクに搬送し、そのエッチングタンクは、基板の両側に噴出管を介してエッチング液を噴出し、該基板が縦に搬送されることから、エッチング液が基板の下側に流れ落ちてエッチングタンクに収集することができ、エッチング液が基板に付いてエッチングしすぎるという問題を解決する。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、エッチング液が下側に流れ落ちる特徴があるが、噴出管によりエッチング液を基板の各部分に噴出するときに、基板の下部近傍における配線をエッチングし過ぎる問題が生じるので、既存の技術により、基板を縦に湿式工程を行うためのその装置を改良する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置は、メーンケース１０と、搬送輪部材２０と、２つの噴流部材４０とを有し、その内、前記メーンケース１０は、反対する両側に輸入口１１及び輸出口１２が形成され、中段に加工凹部１３が形成され、該加工凹部１３の下側に、該加工凹部１３と連通するように、化学液体を収容するためのタンク１５が設置され、また、該輸入口１１と輸出口１２との間に横に設けられると共に、それぞれ上部及び下部に位置する２つのフレーム１４を備え、
前記搬送輪部材２０は、前記メーンケース１０における２つのフレーム１４に設けられ、複数の伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂと、複数の調整輪軸２４Ａ、２４Ｂとを備え、且つ、該伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂ及び調整輪軸２４Ａ、２４Ｂは、互いに対応するように、回転可能に前記２つのフレーム１４に縦に設置され、前記メーンケース１０の輸入口１１と輸出口１２との間に、間隔をおいて排列され、両端が回転可能に前記２つのフレーム１４に貫設され、
前記２つの噴流部材４０は、前記メーンケース１０の加工凹部１３に設置されると共に、それぞれ前記伝動輪軸２２Ｂ及び調整輪軸２４Ｂの両側に位置し、各噴流部材４０は、外側板４１と、内側板４２と、２つの漏れ防止板４４とを備え、その内、該外側板４１と内側板４２とは、間隔をおいて設置されると共に、周縁部が互いに接着して閉鎖状に形成されるように結合し、該外側板４１と内側板４２との間に分流空間４０１が形成され、また、該外側板４１に、少なくとも１つの輸液管４３が設けられ、該輸液管４３は、一端が該分流空間４０１と連通し、他端が吸い込み装置４５を介して前記タンク１５と連通し、該内側板４２には、前記伝動輪軸２２Ｂ及び調整輪軸２４Ｂに面するように、複数の噴出孔４２１が密集に形成され、該漏れ防止板４４は、弾性を備え、互いに結合された該外側板４１及び内側板４２の両側に縦に固定されると共に、対応した前記伝動輪軸２２Ｂ及び調整輪軸２４Ｂに当接されるものである。
【０００６】
前記搬送輪部材２０はさらに、駆動軸２１を有し、該駆動軸２１は、前記メーンケース１０の輸入口１１と輸出口１２との間に、回転可能に横に設置され、前記２つのフレーム１４の何れかの１つの近傍に位置し、間隔をおいて複数のウォームギア２１１を備え、且つ、該駆動軸２１における一端がモータ２６と連接し、そのモータ２６によって、該駆動軸２１を連れて回転することができ、
前記各伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂは、端部の近傍に、輸入歯車２２１Ａ、２２１Ｂ又は輸出歯車２２２Ｂが周設され、その輸入歯車２２１Ａ、２２１Ｂは、前記駆動軸２１のウォームギア２１１と対応するように組み合われ、
前記各調整輪軸２４Ａ、２４Ｂは、端部の近傍に、伝動歯車２４１Ｂが周設され、その伝動歯車２４１Ｂは、前記伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂの輸出歯車２２２Ｂと対応するように組み合われることが好ましい。
【０００７】
前記各フレーム１４は、複数の摺動溝１４１が間隔をおいて形成され、該各摺動溝１４１は、前記フレーム１４における一側を切欠いて開口が形成され、かつ、長手方向が前記メーンケース１０の輸入口１１から輸出口１２までの方向と垂直し、
前記搬送輪部材２０はさらに、複数の摺動ブロック２３を有し、該複数の摺動ブロック２３は、回転不能及び移動可能に、それぞれ前記２つのフレーム１４の摺動溝１４１に設置されると共に、その摺動溝１４１の開口側に位置し、
前記伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂは、両端が回転可能に前記フレーム１４に貫設されると共に、対応する摺動溝１４１の内部に位置し、
前記調整輪軸２４Ａ、２４Ｂは、両端が回転可能に前記摺動ブロック２３に設置され、
さらに、前記フレーム１４の一側に、２つの弾性押圧部材３０が設置され、該各弾性押圧部材３０は、少なくとも１つのストッパー３１と、複数の固定棒体３２と、複数の押圧棒体３３とを備え、その内、該ストッパー３１は、前記摺動溝１４１の開口と対応するように、フレーム１４の一側に設置され、該固定棒体３２は、両端がそれぞれ該ストッパー３１及びフレーム１４に結合され、該押圧棒体３３は、両端がそれぞれ該ストッパー３１及び摺動ブロック２３に結合され、また、該各押圧棒体３３にばね３４が周設され、該ばね３４は、両端がそれぞれ該ストッパー３１及び摺動ブロック２３に当接されることが好ましい。
【０００８】
前記搬送輪部材２０は、複数の輸送輪２５を有し、該複数の輸送輪２５は、回転可能に前記メーンケース１０の底部近傍のフレーム１４に設置されると共に、それぞれ間隔をおいて排列され、前記伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂと調整輪軸２４Ａ、２４Ｂとの間に突出し、軸方向が前記メーンケース１０の輸入口１１から輸出口１２までの方向及び伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂの軸方向と垂直することが好ましい。
【０００９】
前記搬送輪部材２０の各輸送輪２５は、外周面に位置決め凹部２５１が環設されても構わない。
【考案の効果】
【００１０】
本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置は上記の課題を解決するものであり、基板を化学液体に浸漬する際に、基板の表面の各部分を平均的に化学反応をすることができ、加工の効果を上昇すると共に、基板の部分をエッチングし過ぎることを防止する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置の側面図である。
【図２】本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置における噴流部材を省略する状態を示す平面図である。
【図３】本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置における噴流部材の斜面図である。
【図４】本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置における噴流部材の他の斜面図である。
【図５】本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置の部分拡大斜面図である。
【図６】本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置の上視の部分拡大断面図である。
【図７】本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置の側視の部分断面図である。
【図８】本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置の他の上視の部分断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して本考案の好適な実施の形態を詳細に説明する。尚、下記実施例は、本考案の好適な実施の形態を示したものにすぎず、本考案の技術的範囲は、下記実施例そのものに何ら限定されるものではない。
【００１３】
図１、図２、図５に示すように、本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置は、メーンケース１０と、搬送輪部材２０と、２つの弾性押圧部材３０と、２つの噴流部材４０とを有し、その内、該メーンケース１０は、反対する両側に輸入口１１及び輸出口１２が形成され、中段に加工凹部１３が形成され、該加工凹部１３の下側に、該加工凹部１３と連通するように、化学液体を収容するためのタンク１５が設置され、また、該輸入口１１と輸出口１２との間に横に設けられると共に、それぞれ上部及び下部に位置する２つのフレーム１４を備える。該各フレーム１４は、複数の摺動溝１４１が間隔をおいて形成されるものであり、該各摺動溝１４１は、細長形状を呈し、該フレーム１４における一側を切欠いて開口が形成され、かつ、長手方向がメーンケース１０の輸入口１１から輸出口１２までの方向と垂直する。
【００１４】
前記搬送輪部材２０は、前記メーンケース１０における２つのフレーム１４に設けられ、駆動軸２１と、複数の伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂと、複数の摺動ブロック２３と、複数の調整輪軸２４Ａ、２４Ｂと、複数の輸送輪２５とを有するものである。
【００１５】
前記駆動軸２１は、前記メーンケース１０の輸入口１１と輸出口１２との間に、回転可能に横に設置され、かつ、前記２つのフレーム１４の何れかの１つの近傍に位置すると共に、間隔をおいて複数のウォームギア２１１を備える。さらに、前記駆動軸２１の一端がモータ２６と連接し、そのモータ２６によって、駆動軸２１を連れて回転することができる。
【００１６】
図６及び図７に示すように、前記複数の伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂは、回転可能に前記２つのフレーム１４に縦に設置されると共に、前記メーンケース１０の輸入口１１と輸出口１２との間に、それぞれ間隔をおいて排列される。該各伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂは、両端が回転可能に前記２つのフレーム１４に貫設されると共に、対応する摺動溝１４１の内部に位置するものである。また、該各伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂは、端部の近傍に、輸入歯車２２１Ａ、２２１Ｂ又は輸出歯車２２２Ｂが周設され、その輸入歯車２２１Ａ、２２１Ｂは、駆動軸２１のウォームギア２１１と対応するように組み合われ、そこで、駆動軸２１が伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂを回転させることができる。
【００１７】
前記複数の摺動ブロック２３は、回転不能及び移動可能に、それぞれ前記２つのフレーム１４の摺動溝１４１に設置されると共に、その摺動溝１４１の開口側に位置するものである。
【００１８】
前記調整輪軸２４Ａ、２４Ｂは、前記２つのフレーム１４との間に縦に設置されると共に、メーンケース１０の輸入口１１と輸出口１２との間に、それぞれ間隔をおいて排列される。該各調整輪軸２４Ａ、２４Ｂは、両端が回転可能に摺動ブロック２３に設置され、また、その摺動ブロック２３を介して摺動溝１４１に沿って移動することができる。前記複数の調整輪軸２４Ａ、２４Ｂは、それぞれ前記複数の伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂと対応する。該各調整輪軸２４Ａ、２４Ｂには、端部の近傍に伝動歯車２４１Ｂが周設されるものである。該各調整輪軸２４Ａ、２４Ｂの伝動歯車２４１Ｂは、前記伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂの輸出歯車２２２Ｂと対応するように組み合われ、そこで、伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂを介して調整輪軸２４Ａ、２４Ｂを回転させることもできる。
【００１９】
前記複数の輸送輪２５は、回転可能にメーンケース１０の底部近傍のフレーム１４に設置されると共に、それぞれ間隔をおいて排列されるものである。該各輸送輪２５は、前記伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂと調整輪軸２４Ａ、２４Ｂとの間に突出すると共に、軸方向がメーンケース１０の輸入口１１から輸出口１２までの方向及び伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂの軸方向と垂直するものであり、外周面に位置決め凹部２５１が環設される。
【００２０】
図６に示すように、前記２つの弾性押圧部材３０は、それぞれフレーム１４の一側に設置され、該各弾性押圧部材３０は、少なくとも１つのストッパー３１と、複数の固定棒体３２と、複数の押圧棒体３３とを有し、その内、該ストッパー３１は、前記摺動溝１４１の開口と対応するように、フレーム１４の一側に設置され、該固定棒体３２は、該ストッパー３１を固定するために、両端がそれぞれストッパー３１及びフレーム１４に結合され、該押圧棒体３３は、一端が該ストッパー３１を通り、他端が前記摺動ブロック２３に結合される。また、前記弾性押圧部材３０は、各押圧棒体３３にばね３４が周設され、該ばね３４は、両端がそれぞれストッパー３１及び摺動ブロック２３に当接されることから、摺動ブロック２３を介して調整輪軸２４Ａ、２４Ｂを押圧して移動すると共に、調整輪軸２４Ａ、２４Ｂが常に対応した伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂに当接される状態を維持することができる。
【００２１】
図３、図４、図８に示すように、前記２つの噴流部材４０は、前記メーンケース１０の加工凹部１３に設置されると共に、それぞれ伝動輪軸２２Ｂ及び調整輪軸２４Ｂの両側に位置するものである。該各噴流部材４０は、外側板４１と、内側板４２と、２つの漏れ防止板４４とを有し、その内、該外側板４１と内側板４２とは、間隔をおいて設置されると共に、周縁部が互いに接着して閉鎖状に形成され、それによれば、該外側板４１と内側板４２とを結合すると共に、該外側板４１と内側板４２との間に分流空間４０１が形成される。さらに、該外側板４１に、少なくとも１つの輸液管４３を備え、該輸液管４３は、一端が該分流空間４０１と連通し、他端が吸い込み装置４５を介してタンク１５と連通する。その吸い込み装置４５は、タンク１５の化学液体を吸い込んで輸液管４３を介して分流空間４０１に注入することができる。該内側板４２には、前記伝動輪軸２２Ｂ及び調整輪軸２４Ｂに面するように、複数の噴出孔４２１が密集に形成され、該漏れ防止板４４は、弾性を備え、互いに結合された外側板４１及び内側板４２の両側に縦に固定されると共に、対応した伝動輪軸２２Ｂ及び調整輪軸２４Ｂに当接されるものである。
【００２２】
上述したように、本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置において、使用する時、前記２つの噴流部材４０との間に化学液体を充満すると共に、漏れ防止板４４を介して化学液体を漏れることを減少することができる。その化学液体には、噴流部材４０と漏れ防止板４４との間に、又は、噴流部材４０の分流空間４０１に充満し、漏れた化学液体には、下方に流れ落ちてタンク１５に貯められる。
【００２３】
なお、基板５０がメーンケース１０の輸入口１１から本考案に係る湿式工程用縦式基板の浸漬装置に移送されて加工を行う時に、その基板５０の底部が輸送輪２５の位置決め凹部２５１に位置すると共に、モータ２６により駆動軸２１、伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂ、調整輪軸２４Ａ、２４Ｂを回転することによって、基板５０を、安定にメーンケース１０の輸出口１２へ移動させることができる。その移動する過程に、基板５０は、順次に各調整輪軸２４Ａ、２４Ｂを押し開くことがあるが、ばね３４の弾力によって、伝動輪軸２２Ａ、２２Ｂと調整輪軸２４Ａ、２４Ｂとの間に保持されることができる。
【００２４】
さらに、その基板５０が前記２つの噴流部材４０との間に移動される際に、化学液体に浸漬する状態になり、その化学液体が平均的に基板５０の表面の各部分を化学反応をする。この化学液体が輸液管４３を通って、外側板４１と内側板４２との間に形成された分流空間４０１に注入すると、内側板４２の噴出孔４２１から２つの噴流部材４０との間に向かって噴出する、且つ、各噴出孔４２１により噴射状の水流を生じることから、基板５０の各部分の加工効果を上昇すると共に、基板５０の部分をエッチングし過ぎないように、優れたポイントを有する。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本考案は上記の構成を有することから、基板を化学液体に浸漬する際に、基板の表面の各部分を平均的に化学反応をすることができ、加工の効果を上昇すると共に、基板の部分をエッチングし過ぎることを防止する。
【符号の説明】
【００２６】
１０   メーンケース
１１   輸入口
１２   輸出口
１３   加工凹部
１４   フレーム
１４１  摺動溝
１５   タンク
２０   搬送輪部材
２１   駆動軸
２１１  ウォームギア
２２Ａ、２２Ｂ 伝動輪軸
２２１Ａ、２２１Ｂ 輸入歯車
２２２Ｂ  輸出歯車
２３   摺動ブロック
２４Ａ、２４Ｂ 調整輪軸
２４１  Ｂ伝動歯車
２５   輸送輪
２５１  位置決め凹部
２６   モータ
３０   弾性押圧部材
３１   ストッパー
３２   固定棒体
３３   押圧棒体
３４   ばね
４０   噴流部材
４０１  分流空間
４１   外側板
４２   内側板
４２１  噴出孔
４３   輸液管
４４   漏れ防止板
４５   吸い込み装置
５０   基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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