【手続補正書】
【提出日】平成23年9月20日(2011.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、
正の屈折力を有する第１レンズ群と、
正の屈折力を有する第２レンズ群と、
負の屈折力を有する第３レンズ群と、を有し、
前記第１レンズ群は、最も物体側に位置し負の屈折力を有するレンズ面を含む正レンズ成分を有し、
前記第２レンズ群は、異なる光学材料からなる２つの回折素子要素を接合し、当該接合面に回折格子溝が形成された回折光学面を有する回折光学素子を有し、
前記第３レンズ群は、少なくとも１つ以上の合成で負の屈折力を有する色補正レンズ成分を有し、且つ、当該第３レンズ群の最も像側のレンズ面が、像側に凹面を向けて配置されており、
前記第１レンズ群に設けられた前記正レンズ成分の前記負の屈折力を有する面の曲率半径をＲとし、当該負の屈折力を有する面の物体側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ１、像側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ２とし、前記負の屈折力を有する面の頂点から物体までの光軸上の距離をｄ０としたとき、次式
｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜  ＜  ０．０１
の条件を満足し、
全系の焦点距離をｆとし、前記回折光学面を通る最大画角に対応する光束の主光線の光軸からの高さをｈとしたとき、次式
０．０５  ＜  ｜ｈ／ｆ｜
の条件を満足するように構成された顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】
全系の焦点距離をｆとし、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との合成焦点距離をｆ１２としたとき、次式
１．５  ≦  ｜ｆ１２／ｆ｜  ≦  ４
の条件を満足し、
全系の焦点距離をｆとし、前記第３レンズ群の焦点距離をｆ３としたとき、次式
１  ≦  ｜ｆ３／ｆ｜  ≦  ３．５
の条件を満足する請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】
全系の焦点距離をｆとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、次式
５  ≦  ｜ｆ２／ｆ｜
の条件を満足する請求項１または２に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】
前記回折光学素子における前記回折光学面の回折格子溝の数をＮとし、当該回折光学面の有効半径をＨとしたとき、次式
２  ≦  Ｎ／Ｈ  ≦  １０
の条件を満足する請求項１〜３いずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項５】
前記回折光学素子中の前記２つの回折素子要素のうち、屈折率が低くアッベ数が小さい方の前記回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ１、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ１、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ１とし、前記回折光学素子中の前記２つの回折素子要素のうち、屈折率が高くアッベ数が大きい方の前記回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ２、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ２、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式
ｎｄ１  ≦  １．５４
０．０１４５  ≦  ｎＦ１−ｎＣ１
１．５５  ≦  ｎｄ２
ｎＦ２−ｎＣ２  ≦  ０．０１３
の条件を満足する請求項１〜４いずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
前記課題を解決するために、本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群と、を有し、第１レンズ群は、最も物体側に位置し負の屈折力を有するレンズ面を含む正レンズ成分有し、第２レンズ群は、異なる光学材料からなる２つの回折素子要素を接合し、当該接合面に回折格子溝が形成された回折光学面を有する回折光学素子を有し、第３レンズ群は、少なくとも１つ以上の合成で負の屈折力を有する色補正レンズ成分を有し、且つ、当該第３レンズ群の最も像側のレンズ面が、像側に凹面を向けて配置されて構成されている。そして、第１レンズ群に設けられた正レンズ成分の負の屈折力を有する面の曲率半径をＲとし、当該負の屈折力を有する面の物体側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ１、像側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ２とし、負の屈折力を有する面の頂点から物体までの光軸上の距離をｄ０としたとき、次式
｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜  ＜  ０．０１
の条件を満足し、全系の焦点距離をｆとし、回折光学面を通る最大画角に対応する光束の主光線の光軸からの高さをｈとしたとき、次式
０．０５  ＜  ｜ｈ／ｆ｜
の条件を満足するように構成される。但し、軸外物点から発する光束の主光線は、軸外物点から射出される光束の中、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数（ＮＡ）の光線と第１レンズ群内の適宜の面との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第３レンズ群内の適宜の面との交点で制限したとき、当該光束の中心光線とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
（表６）
ｆ＝ 4.014
ＮＡ＝ 0.45
β＝50x
ｄ０＝ 17.83
ｈ＝0.48
ｆ１＝ 18.136
ｆ２＝ 74.682
ｆ１２＝11.633
ｆ３＝ -8.683
Ｎ＝61
Ｈ＝7.6
ｍ      ｒ        ｄ        ｎｄ         νｄ
1    -57.300     3.00      1.80440      39.57
2    -17.390     0.20
3     71.472     3.50      1.60300      65.47
4    -24.538     1.20      1.62004      36.24
5    -39.899     0.20
6     30.223     5.20      1.60300      65.47
7    -19.420     1.00      1.64769      33.79
8     26.032     4.50      1.60300      65.47
9   -200.000     0.30
10      0.000     1.00      1.51680      64.12
11      0.000     0.20      1.55690      50.17
12      0.000     0.00  10001.00000      -3.45
13*     0.000     0.20      1.52760      34.71
14      0.000     1.50      1.51680      64.12
15      0.000     0.30
16     15.092     1.50      1.67003      47.25
17      7.250     6.00      1.49782      82.52
18    -14.111     1.00      1.71700      47.93
19     28.782    12.50
20    -14.824     1.80      1.80518      25.43
21     -4.550     1.85      1.60300      65.47
22      5.911
回折光学面データ
第１３面    κ＝1.0000    Ａ2＝-6.24941E-08    Ａ4＝1.04769E-13
Ａ6＝-1.68555E-16    Ａ8＝-1.96387E-19    Ａ10＝0.00000E+00
条件対応値
（１）｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜＝0.00079
（２）｜ｈ／ｆ｜＝0.12
（３）｜ｆ１２／ｆ｜＝2.90
（４）｜ｆ３／ｆ｜＝2.16
（５）｜ｆ２／ｆ｜＝18.61
（６）Ｎ／Ｈ＝8.03
（７）ｎｄ１＝1.52760
（８）ｎＦ１−ｎＣ１＝0.015
（９）ｎｄ２＝1.55690
（１０）ｎＦ２−ｎＣ２＝0.011