【手続補正書】
【提出日】平成24年10月9日(2012.10.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体である複数のイメージセンサに照明光を照射して得られる出力信号から、当該イメージセンサを検査する検査装置に用いられる照明装置であって、
光源と、
前記光源からの光を前記照明光として出射して複数の前記イメージセンサの検査領域に、前記照明光による所定の光分布を形成するアダプタと、
前記アダプタと前記イメージセンサとの相対位置関係を調整するために、前記アダプタを回転移動させる回転調整機構、及び、前記アダプタの設置面内における直交する２つの方向に当該アダプタを平面移動させる平面調整機構からなるアダプタ駆動部と、
前記アダプタ駆動部の作動を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、
複数の前記イメージセンサの内の少なくとも１つのイメージセンサの中心領域に、当該イメージセンサに対向する前記アダプタによる前記光分布が形成された状態で、前記光分布の位置情報を取得して初期位置情報とする初期設定部と、
前記初期位置情報に基づいて、複数の前記イメージセンサの各々の中心領域に前記アダプタによる前記光分布を位置させるための移動量を算出して、当該移動量となるように前記アダプタ駆動部を作動させるアダプタ変位調整部と、を有する照明装置。
【請求項２】
前記初期設定部は、複数の前記イメージセンサのいずれか１つの中心領域に、当該イメージセンサに対向する前記アダプタによる前記光分布が形成された状態で、前記光分布の位置情報を前記初期位置情報として取得し、
前記アダプタ変位調整部は、前記回転調整機構により前記アダプタを所定の角度だけ回転させ、当該回転により移動した前記光分布の、前記イメージセンサの前記中心領域からの変位量を算出し、前記平面調整機構により前記アダプタを前記変位量だけ移動させて前記光分布を前記イメージセンサの前記中心領域に位置させる、という動作を、複数の前記イメージセンサの各々の中心領域に前記アダプタによる前記光分布が位置するまで繰り返すように構成された請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記初期設定部は、
複数の前記イメージセンサの内のいずれか１つである第１のイメージセンサの中心領域に、当該第１のイメージセンサに対向する前記アダプタによる第１の光分布が形成された状態で、当該第１の光分布の位置情報を第１初期位置情報として取得し、
前記第１のイメージセンサとは異なる第２のイメージセンサの中心領域に、当該第２のイメージセンサに対向する前記アダプタによる第２の光分布が形成された状態で、当該第２の光分布の位置情報を第２初期位置情報として取得し、
前記アダプタ変位調整部は、
前記第１初期位置情報及び前記第２初期位置情報から、前記第２のイメージセンサの前記中心領域に前記第２の光分布が形成された状態で、前記アダプタを回転させて前記第１のイメージセンサ及び前記第２のイメージセンサの前記中心領域を結ぶ線と、前記第１の光分布及び前記第２の光分布を結ぶ線とが平行となる、前記アダプタの回転移動の移動量を算出して、前記回転調整機構により前記アダプタを前記回転移動の移動量だけ回転させ、
算出された前記回転移動の移動量及び前記第１初期位置情報から、前記第１の光分布が、前記第１のイメージセンサの前記中心領域に位置するための前記アダプタの平面移動の移動量を算出して、前記平面調整機構により前記アダプタを前記平面移動の移動量だけ移動させる請求項１に記載の照明装置。
【請求項４】
請求項１〜３いずれか一項に記載の照明装置を有する検査装置。
【請求項５】
被検体である複数のイメージセンサに照明光を照射して得られる出力信号から、当該イメージセンサを検査する検査装置に用いられる照明装置の位置調整方法であって、
光源からの光を前記照明光として出射して複数の前記イメージセンサの検査領域にアダプタを介して前記照明光による所定の光分布を形成する工程と、
前記アダプタを回転移動させる回転調整機構、及び、前記アダプタの設置面内における直交する２つの方向に当該アダプタを平面移動させる平面調整機構からなるアダプタ駆動部により前記アダプタを移動させて、前記アダプタと複数の前記イメージセンサとの相対位置関係を調整する位置調整工程と、を有し、
前記位置調整工程は、
複数の前記イメージセンサの内の少なくとも１つのイメージセンサの中心領域に、当該イメージセンサに対向する前記アダプタによる前記光分布が形成された状態で、前記像の位置情報を取得して初期位置情報とする初期設定工程と、
前記初期位置情報に基づいて、複数の前記イメージセンサの各々の中心領域に前記アダプタによる前記光分布を位置させるための移動量を算出して、当該移動量となるように前記アダプタ駆動部を作動させるアダプタ変位調整工程と、を有する照明装置の位置調整方法。
【請求項６】
前記初期設定工程は、複数の前記イメージセンサのいずれか１つの中心領域に、当該イメージセンサに対向する前記アダプタによる前記光分布が形成された状態で、前記光分布の位置情報を前記初期位置情報として取得し、
前記アダプタ変位調整工程は、前記回転調整機構により前記アダプタを所定の角度だけ回転させ、当該回転により移動した前記光分布の、前記イメージセンサの前記中心領域からの変位量を算出し、前記平面調整機構により前記アダプタを前記変位量だけ移動させて前記光分布を前記イメージセンサの前記中心領域に位置させる、という動作を、複数の前記イメージセンサの各々の中心領域に前記アダプタによる前記光分布が位置するまで繰り返すように構成された請求項５に記載の照明装置の位置調整方法。
【請求項７】
前記初期設定工程は、
複数の前記イメージセンサの内のいずれか１つである第１のイメージセンサの中心領域に、当該第１のイメージセンサに対向する前記アダプタによる第１の光分布が形成された状態で、当該第１の光分布の位置情報を第１初期位置情報として取得する工程と、
前記第１のイメージセンサとは異なる第２のイメージセンサの中心領域に、当該第２のイメージセンサに対向する前記アダプタによる第２の光分布が形成された状態で、当該第２の光分布の位置情報を第２初期位置情報として取得する工程と、を有し、
前記アダプタ変位調整工程は、
前記第１初期位置情報及び前記第２初期位置情報から、前記第２のイメージセンサの前記中心領域に前記第２の光分布が形成された状態で、前記アダプタを回転させて前記第１のイメージセンサ及び前記第２のイメージセンサの前記中心領域を結ぶ線と、前記第１の光分布及び前記第２の光分布を結ぶ線とが平行となる、前記アダプタの回転移動の移動量を算出して、前記回転調整機構により前記アダプタを前記回転移動の移動量だけ回転させる工程と、
算出された前記回転移動の移動量及び前記第１初期位置情報から、前記第１の光分布が、前記第１のイメージセンサの前記中心領域に位置するための前記アダプタの平面移動の移動量を算出して、前記平面調整機構により前記アダプタを前記平面移動の移動量だけ移動させる工程と、を有する請求項５に記載の照明装置の位置調整方法。
【請求項８】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の照明装置でイメージセンサを照明し、
照明された前記イメージセンサからの出力信号に基づいて前記イメージセンサを検査するイメージセンサの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】照明装置、この照明装置を有する検査装置、照明装置の位置調整方法、及び、イメージセンサの製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、照明装置、この照明装置を有する検査装置、照明装置の位置調整方法、及び、イメージセンサの製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
アダプタ駆動部は、ウェハと対向する面内（照明装置からの光軸に対して垂直な面内）でイメージセンサに対する光学アダプタの相対位置を調整するものであり、ウェハと対向する面内における互いに直交する２方向（Ｘ方向，Ｙ方向）の位置を調整する平面調整機構（Ｘ方向調整機構及びＹ方向調整機構）と、その２方向（Ｘ方向，Ｙ方向）を含む面（ＸＹ平面）内おいて、光学アダプタの回転方向（θ方向）の位置を調整する回転調整機構（θ方向調整機構）と、から構成される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
従来では、図１３で示すようなウェハ４０に形成されたイメージセンサ４１に、略点像（以下、「点像」）４２を投影し、このウェハ上に投影された点像４２の位置と、光学アダプタのアダプタ要素を介して形成される像の中心領域とが、同じ位置になるような構成の位置決めアダプタを用いて、イメージセンサ４１で検出されたこの点像４２をモニターなどの表示装置上で確認し、目視観察しながら、イメージセンサ４１の画素エリアの中心とこの点像４２とのずれ量を予測して、アダプタ駆動部の平面調整機構（Ｘ方向調整機構、Ｙ方向調整機構）を用いて、イメージセンサの画素エリアの中心に点像４２が形成されるように、位置決めアダプタの位置を手動で調整していた。このとき、イメージセンサ４１が２個以上の場合は、アダプタ駆動部の回転調整機構（θ方向調整機構）を用いた回転方向の調整と、平面調整機構を用いた調整とを交互に手動で行い、位置決アダプタまたは光学アダプタの位置調整を行っていた。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、アダプタ駆動部によるアダプタの位置調整を、アクチュエータ等を用いて自動で行うことができるようにし、光学アダプタとイメージセンサとの位置調整を短時間に、かつ、容易に行うことができる照明装置、この照明装置を有する検査装置、照明装置の位置調整方法、及び、イメージセンサの製造方法を提供することを目的とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記課題を解決するため、本発明に係る照明装置は、被検体である複数のイメージセンサに照明光を照射して得られる出力信号から、当該イメージセンサを検査する検査装置に用いられる照明装置であって、光源と、この光源からの光を照明光として出射して複数のイメージセンサの検査領域に、照明光による所定の光分布を形成するアダプタと、このアダプタとイメージセンサとの相対位置関係を調整するために、アダプタを回転移動させる回転調整機構、及び、アダプタの設置面内における直交する２つの方向に当該アダプタを平面移動させる平面調整機構からなるアダプタ駆動部と、このアダプタ駆動部の作動を制御する制御部と、を有して構成される。そして、制御部は、複数のイメージセンサの内の少なくとも１つのイメージセンサの中心領域に、当該イメージセンサに対向するアダプタによる光分布が形成された状態で、この光分布の位置情報を取得して初期位置情報とする初期設定部と、初期位置情報に基づいて、複数のイメージセンサの各々の中心領域にアダプタによる光分布を位置させるための移動量を算出して、当該移動量となるようにアダプタ駆動部を作動させるアダプタ変位調整部と、を有する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
このような照明装置において、初期設定部は、複数の前記イメージセンサのいずれか１つの中心領域に、当該イメージセンサに対向するアダプタによる光分布が形成された状態で、この光分布の位置情報を初期位置情報として取得し、アダプタ変位調整部は、回転調整機構によりアダプタを所定の角度だけ回転させ、当該回転により移動した光分布の、イメージセンサの中心領域からの変位量を算出し、平面調整機構によりアダプタをこの変位量だけ移動させて光分布をイメージセンサの中心領域に位置させる、という動作を、複数のイメージセンサの各々の中心領域にアダプタによる光分布が位置するまで繰り返すように構成されることが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
あるいは、このような照明装置において、初期設定部は、複数のイメージセンサの内のいずれか１つである第１のイメージセンサの中心領域に、当該第１のイメージセンサに対向するアダプタによる第１の光分布が形成された状態で、当該第１の光分布の位置情報を第１初期位置情報として取得し、第１のイメージセンサとは異なる第２のイメージセンサの中心領域に、当該第２のイメージセンサに対向するアダプタによる第２の光分布が形成された状態で、当該第２の光分布の位置情報を第２初期位置情報として取得し、アダプタ変位調整部は、第１初期位置情報及び第２初期位置情報から、第２のイメージセンサの中心領域に第２の光分布が形成された状態で、アダプタを回転させて第１のイメージセンサ及び第２のイメージセンサの中心領域を結ぶ線と、第１の光分布及び第２の光分布を結ぶ線とが平行となる、アダプタの回転移動の移動量を算出して、回転調整機構によりアダプタをこの回転移動の移動量だけ回転させ、算出された回転移動の移動量及び第１初期位置情報から、第１の光分布が、第１のイメージセンサの中心領域に位置するためのアダプタの平面移動の移動量を算出して、平面調整機構によりアダプタをこの平面移動の移動量だけ移動させることが好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明に係る照明装置の位置調整方法は、被検体である複数のイメージセンサに照明光を照射して得られる出力信号から、当該イメージセンサを検査する検査装置に用いられる照明装置の位置調整方法であって、光源からの光を照明光として出射して複数のイメージセンサの検査領域にアダプタを介して照明光による所定の光分布を形成する工程と、アダプタを回転移動させる回転調整機構、及び、アダプタの設置面内における直交する２つの方向に当該アダプタを平面移動させる平面調整機構からなるアダプタ駆動部によりこのアダプタを移動させて、アダプタと複数のイメージセンサとの相対位置関係を調整する位置調整工程と、を有する。そして、位置調整工程は、複数のイメージセンサの内の少なくとも１つのイメージセンサの中心領域に、当該イメージセンサに対向するアダプタによる光分布が形成された状態で、この位置情報を取得して初期位置情報とする初期設定工程と、初期位置情報に基づいて、複数のイメージセンサの各々の中心領域にアダプタによる光分布を位置させるための移動量を算出して、当該移動量となるようにアダプタ駆動部を作動させるアダプタ変位調整工程と、を有する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
このような照明装置の位置調整方法において、初期設定工程は、複数のイメージセンサのいずれか１つの中心領域に、当該イメージセンサに対向するアダプタによる光分布が形成された状態で、この光分布の位置情報を初期位置情報として取得し、アダプタ変位調整工程は、回転調整機構によりアダプタを所定の角度だけ回転させ、当該回転により移動した光分布の、イメージセンサの中心領域からの変位量を算出し、平面調整機構によりアダプタをこの変位量だけ移動させて光分布をイメージセンサの中心領域に位置させる、という動作を、複数のイメージセンサの各々の中心領域にアダプタによる光分布が位置するまで繰り返すように構成することが好ましい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
あるいは、このような照明装置の位置調整方法において、初期設定工程は、複数のイメージセンサの内のいずれか１つである第１のイメージセンサの中心領域に、当該第１のイメージセンサに対向するアダプタによる第１の光分布が形成された状態で、当該第１の光分布の位置情報を第１初期位置情報として取得する工程と、第１のイメージセンサとは異なる第２のイメージセンサの中心領域に、当該第２のイメージセンサに対向するアダプタによる第２の光分布が形成された状態で、当該第２の光分布の位置情報を第２初期位置情報として取得する工程と、を有し、アダプタ変位調整部は、第１初期位置情報及び第２初期位置情報から、第２のイメージセンサの中心領域に第２の光分布が形成された状態で、アダプタを回転させて第１のイメージセンサ及び第２のイメージセンサの中心領域を結ぶ線と、第１の光分布及び第２の光分布を結ぶ線とが平行となる、アダプタの回転移動の移動量を算出して、回転調整機構によりアダプタをこの回転移動の移動量だけ回転させる工程と、算出された回転移動の移動量及び第１初期位置情報から、第１の光分布が、第１のイメージセンサの中心領域に位置するためのアダプタの平面移動の移動量を算出して、平面調整機構によりアダプタをこの平面移動の移動量だけ移動させる工程と、を有することが好ましい。
また、本発明に係るイメージセンサの製造方法は、上述の照明装置のいずれかでイメージセンサを照明し、照明されたイメージセンサからの出力信号に基づいて前記イメージセンサを検査する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
図３に示すように、光学アダプタ２０を保持する光学アダプタホルダ２２には、アダプタ駆動部１５が設けられている。このアダプタ駆動部１５は、光学アダプタ２０の設置されている面（ウェハ４０と対向する面であり、照明装置１０の光源１１からの光軸と垂直な面）内において直交する２方向（Ｘ方向、Ｙ方向）の位置を調整する平面調整機構であるＸ方向調整機構１５１及びＹ方向調整機構１５２と、光学アダプタ２０の中心部２５を通り光源１１からの光軸と平行な軸を中心とする回転方向（θ方向、光軸と垂直な面内において、光軸方向と一致する軸を中心に回転させる方向）の位置の調整を行う回転調整機構であるθ方向調整機構１５３と、を有する。