(57)【要約】      （修正有）【課題】ワークの表面に付着した塵埃を適切に除去する除塵装置を提供する。【解決手段】ワークＷ２の表面に付着した異物を吸着する小径ロール体５３と、小径ロール体５３よりも異物を吸着する吸着力が大きく設けられていると共に、小径ロール体５３により吸着された異物を写し取る転写ロール体４３と、小径ロール体５３よりも異物を吸着する吸着力が大きな粘着テープを巻回することにより構成される。さらに、転写ロール体４３により写し取られた異物をさらに写し取る粘着テープロール３２と、転写ロール体４３を駆動するモータ４５（駆動機構）とを具備し、転写ロール体４３の直径は、小径ロール体５３の直径よりも大きく設けられている除塵装置１０とする。【選択図】図１
0003165573.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ワークの表面に付着した異物を除去する除塵装置であって、
前記ワークの表面に付着した前記異物を吸着する小径ロール体と、
前記小径ロール体よりも前記異物を吸着する吸着力が大きく設けられていると共に、前記小径ロール体により吸着された前記異物を写し取る転写ロール体と、
前記小径ロール体よりも前記異物を吸着する吸着力が大きな粘着テープを巻回することにより構成されると共に、前記転写ロール体により写し取られた前記異物をさらに写し取る粘着テープロールと、
前記小径ロール体または前記転写ロール体を駆動する駆動機構と、
を具備し、前記転写ロール体の直径は、前記小径ロール体の直径よりも大きく設けられている、
ことを特徴とする除塵装置。
【請求項２】
請求項１に記載の除塵装置であって、
１つの前記転写ロール体に対して前記小径ロール体は複数設けられ、これら複数の前記小径ロール体が前記ワークに接触した状態でさらに前記転写ロール体を下降させることにより、前記小径ロール体は前記転写ロール体に押し付けられる、
ことを特徴とする除塵装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ワークの表面に付着した塵埃を適切に除去する除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品が実装されるプリント基板や液晶パネル等の各種の基板あるいは基板の原材料となるシート状部材等の表面に付着した塵埃などの異物を除去する除塵装置が知られている。このような除塵装置の中には、たとえば、上面側および下面側のそれぞれに、２本の粘着ロール体が設けられていて、それぞれ２本の粘着ロール体に、１本の粘着テープが接触する構成を有するものがある（特許文献１参照）。このタイプの除塵装置においては、１本の粘着ロール体と１本の粘着テープから構成されるユニットを２つ備える構成と比較して、対象物をクリーニングする粘着ロール体の本数は同じでありながら、除塵装置が対象物の搬送方向において必要とする寸法を低減可能となり、この除塵装置をコンパクトにすることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−０８６９３９号公報（図２、図３等参照）
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、クリーニングされるワークが、底壁のみならず側壁を有するものである場合、かかるワークの底壁にはクリーニングすることが困難な箇所が存在する。図７の（Ａ）は、特許文献１に開示される除塵装置の粘着テープＴＲ１および粘着ロールＲ１（粘着ロールは１つのみ図示）と、平板上のワークＷ１との関係を説明するための図である。図７の（Ｂ）は、特許文献１に開示される除塵装置の粘着テープＴＲ１および粘着ロールＲ１（粘着ロールは１つのみ図示）と、側壁Ｆを有するワークＷ２との関係を説明するための図である。
【０００５】
図７の（Ａ）に示されるように、平板上のワークＷ１の底壁に付着した塵埃などの異物Ｄは、粘着ロールＲ１に吸着され、粘着ロールＲ１に吸着された異物Ｄは粘着テープＴＲ１に転写されることにより異物Ｄのクリーニングが行われる。一方、図７の（Ｂ）に示されるように、側壁Ｆを有するワークＷ２の場合、粘着ロールＲ１は側壁Ｆとの隙間においてクリーニングできない領域（図７の（Ｂ）に示すデッドスペースＤＳ１）が生じ、このクリーニングできない領域における塵埃等の異物Ｄを適切に除去できないという課題がある。なお、このクリーニングできない領域を最小限にするためには、たとえば、粘着ロールＲ１の半径を側壁Ｆの高さより小さく設計することが考えられる。
【０００６】
しかしながら、粘着ロールＲ１の半径を側壁Ｆの高さより小さくしてしまうと、粘着ロールＲ１を駆動する駆動機構（不図示）の軸を設けることが困難になるため、粘着ロールＲ１自体を駆動させることができなくなるという不都合が生じる。このような場合に、粘着ロールＲ１を間接的に駆動させるための駆動機構（不図示）を粘着テープＴＲ１側に設けるという設計変更も考えられるが、粘着テープＴＲ１は異物Ｄを転写する動作を行うのに従って消耗されて外径寸法が変化するため、粘着ロールＲ１を間接的に駆動させるための駆動機構を設けることが不可能または困難である。したがって、現実的には粘着ロールＲ１の半径を側壁Ｆの高さよりは大きくする必要があり、その場合には上述したクリーニングできない領域を十分に狭くすることできないという課題がある。
【０００７】
本考案は、上述した課題を解決するためになされたもので、ワークの表面に付着した塵埃を適切に除去する除塵装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本考案の一側面は、ワークの表面に付着した異物を除去する除塵装置であって、ワークの表面に付着した異物を吸着する小径ロール体と、小径ロール体よりも異物を吸着する吸着力が大きく設けられていると共に、小径ロール体により吸着された異物を写し取る転写ロール体と、小径ロール体よりも異物を吸着する吸着力が大きな粘着テープを巻回することにより構成されると共に、転写ロール体により写し取られた異物をさらに写し取る粘着テープロールと、転写ロール体を駆動する駆動機構と、を具備し、転写ロール体の直径は、小径ロール体の直径よりも大きく設けられていることを特徴とするものである。
【０００９】
この本考案の構造を採用することにより、小径ロール体の半径をワークの側壁の高さより小さくしても、転写ロール体を駆動する駆動機構によって間接的に小径ロール体を回転させることができると共に、小径ロール体に駆動機構が設けられなくても不都合が生じない。また、本考案の構造を採用することで、駆動機構の軸を設けることに起因して小径ロール体の半径をワークの側壁の高さより大きくしなければならないという不都合が解消されるため、上述したクリーニングできない領域を十分に狭くすることが可能となる。また、ワークの側壁の高さに応じて転写ロール体の外径寸法を小径ロール体の外径寸法より大きくすれば、上述したクリーニングできない領域を十分に狭くすることができる。
【００１０】
また、本考案の一側面は、上述した構造に加えて、１つの転写ロール体に対して小径ロール体は複数設けられ、これら複数の小径ロール体がワークに接触した状態でさらに転写ロール体を下降させることにより、小径ロール体は転写ロール体に押し付けられることが好ましい。
【００１１】
この本考案の構造を採用することにより、上述した効果に加えて、複数回のクリーニング効果を得ることができると共に、小径ロール体の下降時にワークの側壁に接触した場合であっても、摩擦を極力発生させないようにすることが可能となる。
【考案の効果】
【００１２】
本考案によると、ワークの表面に付着した塵埃を適切に除去する除塵装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本考案の一実施の形態に係る除塵装置の特徴的な構造を示す図である。
【図２】図１に示す除塵装置の側面図である。
【図３】図１のＩ−Ｉの端面図である。
【図４】図１に示す転写ロール体と小径ロール体との位置関係を説明するための図である。
【図５】図４に示す支持フレームを説明するための図である。
【図６】本考案の一実施の形態に係る除塵装置によってワークのクリーニングされる領域を概念的に示した図である。
【図７】従来の除塵装置によってワークのクリーニングされる領域を概念的に示した図である。
【考案を実施するための形態】
【００１４】
以下、本考案の一実施の形態に係る除塵装置１０について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態により、この考案が限定されるものではない。
【００１５】
図１は、本考案の一実施の形態に係る除塵装置１０の特徴的な構造を示す図である。図２は、図１に示す除塵装置１０を図１のＹ軸方向からＸ軸方向で見た場合の側面図である。図３は、図１に示す除塵装置１０を図１のＩ−Ｉの端面で切断した場合の図である。図４は、図１に示す転写ロール体４３と小径ロール体５３との位置関係を説明するための図である。図５は、図４に示す支持フレーム５１３を説明するための図である。
【００１６】
図１〜図３に示すように、除塵装置１０は、フレーム部２０と、不図示の搬送機構と、テープロールユニット３０と、転写ロールユニット４０と、クリーニングロールユニット５０と、各種のアクチュエータと、不図示の制御部とを主要な構成要素としている。
【００１７】
図１に示すフレーム部２０は、互いに対向する一対の対向フレーム部２１を有している。このフレーム部２０は、図２に示すように、テープロールユニット３０、転写ロールユニット４０およびクリーニングロールユニット５０の全体を支持している。なお、このフレーム部２０は、その全体が不図示のアクチュエータによって、上下動可能に設けられている。
【００１８】
また、搬送機構は、後述する図７に示すように、クリーニングロールユニット５０の下方側においてワークＷ２を搬送するものである。
【００１９】
テープロールユニット３０は、図１に示すように、テープ保持部３１を有している。このテープ保持部３１は、ロール支持部３１１と、支持スライダ３１２とを有している。ロール支持部３１１は、粘着テープロール３２を回転自在とする状態で、その粘着テープロール３２を保持する部分である。ロール支持部３１１は、ネジ等での取付状態を解除すれば、軸方向（図１におけるＸ方向）に沿った移動が可能に設けられていて、この軸方向に沿う移動により、粘着テープロール３２の交換が可能となっている。なお、粘着テープロール３２は、粘着テープをロール状に巻回したものとなっている。
【００２０】
また、ロール支持部３１１は、保持軸３１１ａを有し、さらに保持軸３１１ａは、フランジ部３１１ｂが取り付けられている。フランジ部３１１ｂは、粘着テープロール３２の芯部分３２ａに当接し、その粘着テープロール３２を受け止める部分となっている。また、フランジ部３１１ｂに隣接して、回転取付部３１１ｃが設けられている。回転取付部３１１ｃは、保持軸３１１ａに対して、ベアリング３１１ｄを介して回転自在に設けられている。また、回転取付部３１１ｃの外周面は、芯部分３２ａの内部に入り込み、この芯部分３２ａの内壁に当接する。それにより、粘着テープロール３２は、回転取付部３１１ｃと共に回転する。また、かかる取り付け構造により、粘着テープロール３２は、保持軸３１１ａに対して回転するように設けられている。
【００２１】
また、支持スライダ３１２は、保持軸３１１ａを支持する部分である。この支持スライダ３１２は、フレーム部２０に設けられているスライド溝２２（図２参照）に沿って、上下方向（図２におけるＺ方向）に沿って移動可能としている。なお、この支持スライダ３１２には、アクチュエータ３３の下端側が連結されていて、このアクチュエータ３３の作動により、テープ保持部３１は上下方向（図１および図２におけるＺ方向）に沿って移動可能に設けられている。
【００２２】
転写ロールユニット４０は、図１に示すように、軸支部４１と、回転軸４２と、転写ロール体４３とを有している。軸支部４１は、ベアリング４１１を具備している。このベアリング４１１を介して、回転軸４２がフレーム部２０に回転自在に取り付けられている。なお、軸支部４１は、フレーム部２０に対して、上下方向（図１におけるＺ方向）にスライド可能に設けられていても良い。
【００２３】
また、回転軸４２の外周側には、転写ロール体４３が設けられている。転写ロール体４３は、塵埃を付着可能な粘着ラバーを材質として形成されている。この粘着ラバーは、シリコーンゴム等のような、塵埃の吸着性に優れる吸着層を有している。なお、粘着ラバーの吸着層の下層側には、例えばニトリルゴムやカーボンゴム等のような導電層を設けるように構成しても良い。なお、図１に示すように、回転軸４２には、カップリング４４を介して、モータ４５（駆動機構の一例）が連結されている。それにより、モータ４５の駆動力を転写ロール体４３に与えることが可能となっている。
【００２４】
また、クリーニングロールユニット５０は、図１に示すように、支持機構５１と、保持軸５２と、小径ロール体５３とを有している。支持機構５１は、図１および図４に示すように、フランジ部５１１と、挿通軸５１２と、支持フレーム５１３とを有している。フランジ部５１１は、図１に示すように、フレーム部２０の下方側から、対向している反対側の対向フレーム部２１に向かって所定寸法だけ突出している。また、図１に示すように、フランジ部５１１から上方側に向かい、挿通軸５１２が延出している。挿通軸５１２は、図５に示すように、支持フレーム５１３に形成されている挿通孔５１３ａ１に挿通する。
【００２５】
ここで、支持フレーム５１３には、図５に示すように、水平延伸部５１３ａと、上下延伸部５１３ｂとが設けられている。水平延伸部５１３ａは、図１においてＸ方向に沿って延伸する部分である。また、図４に示すように、本実施の形態では、１つの転写ロール体４３に対して２つの小径ロール体５３が設けられる構成とすべく、それぞれの対向フレーム部２１に向かって２つの水平延伸部５１３ａが設けられている。なお、図２および図４に示すように、２つの水平延伸部５１３ａの間には、回転軸４２が位置する構成となっている。
【００２６】
また、図１および図５に示すように、上下延伸部５１３ｂは、図１においてＺ方向に沿って延伸する部分である。この上下延伸部５１３ｂの上端は、図１に示すように、水平延伸部５１３ａに連結されていると共に、上下延伸部５１３ｂの下端側は、保持軸５２に連結されている。ここで、上下延伸部５１３ｂは、粘着ロール体４３に対して近接対向する位置に設けられている。それにより、後述するようにワークＷ２の内部の除塵を行いやすいものとなっている。なお、保持軸５２は、図１に示すように、上下延伸部５１３ｂに対して、回転不能に設けられているが、この保持軸５２が上下延伸部５１３ｂに対して回転自在に設けられていても良い。
【００２７】
また、小径ロール体５３は、保持軸５２に対してベアリング５２ａを介して回転自在に取り付けられている。この小径ロール体５３は、上述の転写ロール体４３と同様の構成となっていて、塵埃を付着可能な粘着ラバーを材質として形成されている。ただし、小径ロール体５３に付着した塵埃は、転写ロール体５３に写し取られる（転写される）関係上、小径ロール体５３の粘着ラバーの粘着力は、転写ロール体４３の粘着ラバーの粘着力よりも小さいものとなっている。なお、転写ロール体４３に付着した塵埃が粘着テープロール３２に写し取られる（転写される）関係上、転写ロール体４３の粘着ラバーの粘着力は、粘着テープロール３２の粘着テープの粘着力よりも小さいものとなっている。
【００２８】
また、図２、図３に示すように、小径ロール体５３の直径は、転写ロール体４３の直径よりも大幅に小さいものとなっている。特に、本実施の形態では、１つの転写ロール体４３に対して２つの小径ロール体５３が設けられる構成のため、小径ロール体５３の直径は、転写ロール体４３の直径の半分よりも小さいものとなっている。また、ワークＷ２のデッドスペースＤ２を可能な限り小さくするために、小径ロール体５３の直径は、可能な限り小さい方が好ましい。
【００２９】
＜動作について＞
以上のように、本実施の形態における除塵装置１０では、ワークＷ２がクリーニングポジションに到達すると、不図示の制御部の制御により、不図示のアクチュエータを作動させて、フレーム部２０の全体を降下させて、小径ロール体５３が最初にワークＷ２の底壁に接触させる。その後、時間差で転写ロール体４３が小径ロール体５３に接触する。さらに、不図示の制御部の制御により、アクチュエータ３３を作動させて、粘着テープロール３２を転写ロール体４３と接触させる。その後、不図示の制御部の制御により、２つの小径ロール体５３をワークＷ２に接触させつつ、モータ４５の駆動力によって転写ロール体４３を回転させ、小径ロール体５３も回転させる。それにより、ワークＷ２は、図６のＹ方向に沿って相対的に移動しながら、ワークＷ２に付着した塵埃などの異物Ｄが、小径ロール体５３によって吸着除去される。そして、小径ロール体５３に付着した塵埃などの異物Ｄは、小径ロール体５３と接触しながら回転する転写ロール体４３に転写される（写し取られる）。さらに、転写ロール体４３に付着した塵埃などの異物Ｄは、転写ロール体４３と接触しながら回転する粘着テープロール３２の粘着テープに転写される（写し取られる）。
【００３０】
ここで、図７に示す従来の除塵装置の構成と比較すると、本実施の形態においては、転写ロール体４３に加えて、さらに小径ロール体５３を有する構成となっている。そのため、図６（Ｂ）と図７（Ｂ）とを比較すると、図６（Ｂ）に示す本実施の形態の除塵装置１０においては、ワークＷ２が側壁Ｆを備えるものであっても、側壁Ｆと底壁Ｔとの間に存在する、クリーニングできない領域（図６の（Ｂ）のデッドスペースＤＳ２）を十分に狭くすることが可能となっている。
【００３１】
なお、従来の除塵装置において、クリーニングできない領域（デッドスペースＤＳ１）を最小限にするために、たとえば、図７の（Ｂ）に示したように、粘着ロールＲ１の半径を側壁Ｆの高さより小さく設計することで解消する方法も考えられる。しかしながら、粘着ロールＲ１の半径を側壁Ｆの高さより小さくしてしまうと、粘着ロールＲ１を駆動する駆動機構（不図示）の軸を設けることが困難になるため、粘着ロールＲ１自体を駆動させることができなくなるという不都合が生じる。さらに、このような不都合を解消するために、粘着ロールＲ１を間接的に駆動させるための駆動機構（不図示）を粘着テープＴＲ１側に設けるという方法も考えられるが、粘着テープＴＲ１は異物Ｄを転写する毎に消耗されて外径寸法が変化するため、粘着ロールＲ１を間接的に駆動させるための駆動機構を設けることが不可能または困難である。したがって、現実的には粘着ロールＲ１の半径を側壁Ｆの高さよりは大きくする必要があり、その場合には、本実施例の構造と比較してクリーニングできない領域を十分に狭くすることは困難である。
【００３２】
また、本実施の形態の除塵装置１０においては、小径ロール体５３は、図４および図５に示すように、上下延伸部５１３ｂを介して２つ取り付けられている。ここで、上下延伸部５１３ｂは、転写ロール体４３に対して近接対向する位置に設けられている。すなわち、水平延伸部５１３ａが、上方に退避させられた構成となっている。そのため、不図示の制御部の制御により不図示のアクチュエータを作動させて、フレーム部２０を降下させた場合でも、水平延伸部５１３ａが側壁Ｆと干渉する可能性を低減させることができる。このため、本実施の形態の除塵装置１０を用いて、クリーニングできるワークＷ２の対象を広げることが可能となっている。また、本実施の形態の除塵装置１０においては、図６に示すように、ワークＷ１、Ｗ２の底壁から転写ロール体４３の回転軸４２までの高さＨ１は、図７に示すワークＷ１、Ｗ２の底壁から粘着ロールＲ１の回転軸Ｒまでの高さＨ２より高くすることが可能となる。そのため、転写ロール体４３そのものが側壁Ｆと干渉する可能性を低減させることができる。このため、本実施の形態の除塵装置１０を用いて、クリーニングできるワークＷ２の対象を広げることが可能となっている。
【００３３】
また、本実施の形態の除塵装置１０においては、１つの転写ロール体４３に対して小径ロール体５３は２つ設けられ、これらの小径ロール体５３がワークＷ２に接触した状態でさらに転写ロール体４３を下降させることにより、小径ロール体５３は転写ロール体４３に押し付けられる構造を採用している。これにより、複数回のクリーニング効果を得ることができると共に、小径ロール体５３の下降時にワークＷ２の側壁Ｆに接触した場合であっても、摩擦を極力発生させないようにすることが可能となっている。
【００３４】
しかしながら、小径ロール体５３の下降時にワークＷ２の側壁Ｆに接触した場合に摩擦が発生しても問題がない場合には、図４に示した支持フレーム５１３のうち挿通孔５１３ａ１の周囲と、フランジ部５１１との間に、不図示の付勢バネを設けて、この付勢バネにより、支持フレーム５１３、保持軸５２および小径ロール体５３には、上方側に向かう付勢力を与えてフレーム部２０全体を上下動させるようにしてもよい。
【００３５】
なお、本実施の形態の除塵装置１０は、１つの転写ロール体４３に対して２つの小径ロール体５３を具備するものとしたが、１つの転写ロール体４３に対して２つ以外の複数個の小径ロール体５３を具備するもの、または１つの転写ロール体４３に対して１つの小径ロール体５３を具備するものとしてもよい。また、小径ロール体５３がワークＷ２の側壁Ｆと接触している状況で、転写ロール体４３がワークＷ２の側壁Ｆと接触しないように小径ロール体５３を配置するようにしてもよい。たとえば、図６の（Ｂ）に示す転写ロール体４３の端部と小径ロール体５３の端部とは、ワークＷ２の側壁Ｆと平行してほぼ同一直線上に位置するように設けられているが、転写ロール体４３の端部と側壁Ｆとの間に隙間ができるように、小径ロール体５３の端部がよりワークＷ２の側壁Ｆ側に移動させた位置するように設けるようにしてもよい。このような配置とすることでも、転写ロール体４３が側壁Ｆと干渉する可能性を低減させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
以上のように、本考案の一実施の形態に係る除塵装置１０は、上述の実施の形態で示したような除塵装置以外にも、一対のローラ間に挟持される被搬送物の凹凸に応じてローラを上下動させながらローラを回転させて被搬送物を搬送する搬送装置などにも有効に用いることができる。
【符号の説明】
【００３７】
１０…除塵装置、２０…フレーム部、２１…対向フレーム部、３０…テープロールユニット、３１…テープ保持部、３２…粘着テープロール、３２ａ…芯部分、３３…アクチュエータ、４０…転写ロールユニット、４１…軸支部、４２…回転軸、４３…転写ロール体、４４…カップリング、４５…モータ（駆動機構の一例）、５０…クリーニングロールユニット、５１…支持機構、５２…保持軸、５２ａ…ベアリング、５３…小径ロール体、３１１…ロール支持部、３１１ａ…保持軸、３１１ｂ…フランジ部、３１１ｃ…回転取付部、３１１ｄ…ベアリング、３１２…支持スライダ、４１１…ベアリング、５１１…フランジ部、５１２…挿通軸、５１３…支持フレーム、５１３ａ…水平延伸部、５１３ａ１…挿通孔、５１３ｂ…上下延伸部、
【図１】
0003165573.tif 000003
【図２】
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【図３】
0003165573.tif 000005
【図４】
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【図５】
0003165573.tif 000007
【図６】
0003165573.tif 000008
【図７】
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