【手続補正書】
【提出日】平成24年11月13日(2012.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動部、第１支持部及び第２支持部を含む振動片と、
ベース及び前記ベースに接合されているリッドを含み、内部に前記振動片が搭載されているパッケージと、
前記ベース及び前記リッドの何れか一方に、前記内部及び前記パッケージの外面を貫通するように設けられている貫通孔と、
を含み、
前記貫通孔は封止材により閉塞され、
前記第１支持部及び前記第２支持部は前記ベースに固定され、
前記第１支持部は前記第２支持部よりも小さく、
前記貫通孔は、平面視で前記振動片と重ならないように前記第２支持部よりも前記第１支持部側に配置されていることを特徴とする振動子。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１支持部及び前記第２支持部は、前記振動部の両側に沿って配置され、
前記貫通孔は、
平面視で、前記第１支持部の延びる方向に沿って前記第１支持部の先端よりも先に配置されていることを特徴とする振動子。
【請求項３】
請求項２において、
前記振動部は、平面視で、前記第１支持部よりも前記第２支持部に近くなるように配置されていることを特徴とする振動子。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記貫通孔は、前記ベース及び前記リッドの何れか一方から前記内部に突出している凸部に設けられていることを特徴とする振動子。
【請求項５】
請求項４において、
前記凸部は、
前記第１支持部及び前記第２支持部の並ぶ方向から見て、前記第２支持部の少なくとも一部と重なるように設けられていることを特徴とする振動子。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記ベースは、
主面に前記第１支持部及び前記第２支持部が固定されている第１の絶縁性基板と、
前記主面に設けられている前記凸部である第２の絶縁性基板と、
を含み、
前記貫通孔は、
前記第１の絶縁性基板に設けられている大孔部と、
前記大孔部に連通し、前記第２の絶縁性基板に設けられている小孔部と、
を含むことを特徴とする振動子。
【請求項７】
請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記凸部は前記リッドに設けられ、
前記貫通孔が、前記リッドの外面から前記内部に向けて傾斜している傾斜面を含むことを特徴とする振動子。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項において、
前記ベースは有底の凹部が設けられ、
前記リッドは前記凹部の開口部を塞ぎ、
前記振動片が前記凹部の内部に搭載されていることを特徴とする振動子。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項において、
前記振動部が、屈曲振動で振動する振動腕であることを特徴とする振動子。
【請求項１０】
請求項９において、
前記振動腕が、その先端に錘部を含むことを特徴とする振動子。
【請求項１１】
請求項１乃至８のいずれか一項において、
前記振動部が、厚み滑り振動で振動することを特徴とする振動子。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の振動子を備えていることを特徴とする発振器。
【請求項１３】
請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の振動子を備えていることを特徴とするジャイロ。
【請求項１４】
請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の振動子を備えていることを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】振動子、発振器、ジャイロ及び電子機器
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、上記目的を達成するために、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のある実施形態に係る振動子は、振動部、第１支持部及び第２支持部を含む振動片と、ベース及び前記ベースに接合されているリッドを含み、内部に前記振動片が搭載されているパッケージと、前記ベース及び前記リッドの何れか一方に、前記内部及び前記パッケージの外面を貫通するように設けられている貫通孔と、を含み、前記貫通孔は封止材により閉塞され、前記第１支持部及び前記第２支持部は前記ベースに固定され、前記第１支持部は前記第２支持部よりも小さく、前記貫通孔は、平面視で前記振動片と重ならないように前記第２支持部よりも前記第１支持部側に配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記第１支持部及び前記第２支持部は、前記振動部の両側に沿って配置され、前記貫通孔は、平面視で、前記第１支持部の延びる方向に沿って前記第１支持部の先端よりも先に配置されていることを特徴とする振動子。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記振動部は、平面視で、前記第１支持部よりも前記第２支持部に近くなるように配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記貫通孔は、前記ベース及び前記リッドの何れか一方から前記内部に突出している凸部に設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記凸部は、前記第１支持部及び前記第２支持部の並ぶ方向から見て、前記第２支持部の少なくとも一部と重なるように設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記ベースは、主面に前記第１支持部及び前記第２支持部が固定されている第１の絶縁性基板と、前記主面に設けられている前記凸部である第２の絶縁性基板と、を含み、前記貫通孔は、前記第１の絶縁性基板に設けられている大孔部と、前記大孔部に連通し、前記第２の絶縁性基板に設けられている小孔部と、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記凸部は前記リッドに設けられ、前記貫通孔が、前記リッドの外面から前記内部に向けて傾斜している傾斜面を含むことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記ベースは有底の凹部が設けられ、前記リッドは前記凹部の開口部を塞ぎ、前記振動片が前記凹部の内部に搭載されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記振動部が、屈曲振動で振動する振動腕であることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記振動腕が、その先端に錘部を含むことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記振動部が、厚み滑り振動で振動することを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る発振器は、前記振動子を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係るジャイロは、前記振動子を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る電子機器は、前記振動子を備えていることを特徴とする。
［適用例１］圧電振動片と、該圧電振動片を気密に封止するパッケージとを備え、圧電振動片が、振動部と、該振動部の基端部から延出しかつ振動部の両側に沿って配置された第１及び第２支持腕とを有し、パッケージが、絶縁材料からなる箱型のベースと、該ベースの上部に接合される平板状のリッドと、ベースとリッドとにより画定されてその内部に圧電振動片を収容するためのキャビティと、ベース又はリッドからキャビティの内部に突出する凸部と、該凸部を貫通してキャビティの内部及びパッケージの外面に開口する封止孔とを有し、圧電振動片が、第１及び第２支持腕においてキャビティの底面に固定支持され、封止孔が封止材により気密に閉塞され、第１支持腕の長さが第２支持腕の長さより短く、凸部が、平面的に見て圧電振動片と重ならないように、第１支持腕の延長方向に該第１支持腕の先端寄りも先に位置しかつ圧電振動片の長さ方向において第２支持腕と少なくとも部分的に重なる範囲に設けられていることを特徴とする圧電デバイス。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［適用例２］前記圧電振動片の幅方向において、前記振動部が短い前記第１支持腕よりも長い前記第２支持腕に近くなるように配置されていることを特徴とする圧電デバイス。
これにより、圧電振動片の重心位置が第１支持腕よりも第２支持腕に近くなるので、圧電振動片をよりバランス良く支持することができ、圧電振動片の振動漏れを防止して、より一層振動の安定性を図ることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
［適用例３］前記ベースが複数の絶縁材料板の積層構造により箱型に形成され、前記キャビティの底面が第１の絶縁材料板により画定され、かつ凸部が第１の絶縁材料板に積層される第２の絶縁材料板によりそれぞれ画定され、第１の絶縁材料板に形成された大孔部と該大孔部に連続するように第２の絶縁材料板に形成された小孔部とによって、前記封止孔がその内側に段差を有するように形成されることを特徴とする圧電デバイス。
このように、その中に球状、ペレット状の封止材を置くために段差付きの封止孔を有するベースを、最少２枚の絶縁材料板からなる積層構造とすることができるので、パッケージの低背化に有利である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
［適用例４］前記リッドが凸部を有し、該凸部の封止孔がリッドの外面からキャビティに向けてテーパを付した傾斜面を有することを特徴とする圧電デバイス。
これにより、同様にレーザビーム又はハロゲンランプ等の照射により加熱溶融させる球状、ペレット状の封止材を、封止孔の傾斜面にキャビティ内に落下しないように置くことができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
［適用例５］前記振動部がその基端部から平行に延出して屈曲振動する少なくとも１対の振動腕を有する音叉型の圧電振動片を備えることを特徴とする圧電デバイス。
［適用例６］前記振動腕がその先端に幅広の錘部を有することを特徴とする圧電デバイス。
これにより、振動腕を短くしても、高次振動モードの発生を抑制して振動周波数の安定性を得られるので、圧電振動片全体を長手方向に小型化することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
［適用例７］前記振動部が矩形平板からなる厚み滑り振動の圧電振動片を有することを特徴とする圧電デバイス。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
［適用例８］前記圧電振動片が、前記第１及び第２支持腕に加えて、更にその基端部において前記キャビティの底面に固定されることを特徴とする圧電デバイス。
これにより、より安定して確実に支持することができる。