【手続補正書】
【提出日】平成23年12月5日(2011.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記光学部材に対して相対移動可能であり、前記基板を載置するテーブルと、
前記テーブルに対して相対移動可能であり、前記テーブルが前記光学部材の下から離れるとき、前記光学部材直下の空間に液浸液体が実質的に維持されるように、前記テーブルの代わりに前記光学部材と対向するように位置付け可能な部材と、を備え、
前記テーブルが前記光学部材の下から離れる前に、前記テーブルと前記部材とは、相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光装置。
【請求項２】
前記テーブルと前記部材とはそれぞれ、前記光学部材と対向して位置付けられることによって、前記光学部材の直下に液浸液体を維持し、前記光学部材の下方で液浸液体が実質的に維持されつつ前記テーブルの代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる請求項１に記載の液浸露光装置。
【請求項３】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置するテーブルと、
前記光学部材と対向して位置付け可能な部材と、を備え、
前記テーブルと前記部材とはそれぞれ、前記光学部材と対向して位置付けられることによって、前記光学部材の直下に液浸液体を維持し、
前記部材は、前記テーブルが前記光学部材の下から離れるために、前記テーブルの代わりに前記光学部材と対向して位置付けられ、
前記テーブルが前記光学部材の下から離れる前に、前記テーブルと前記部材とは相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光装置。
【請求項４】
前記相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動されたテーブル及び部材が前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる請求項１〜３のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項５】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置するテーブルと、
前記光学部材と対向して位置付け可能な部材と、を備え、
前記テーブルと前記部材とは相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動され、かつ前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材によって、前記光学部材の直下に液浸液体が維持される液浸露光装置。
【請求項６】
前記テーブルと前記部材とは、その表面が実質的に面一となるように相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動され、かつ前記表面が実質的に面一となった状態で前記光学部材に対して移動される請求項１〜５のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項７】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置するテーブルと、
前記光学部材と対向して位置付け可能な部材と、を備え、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルの表面と前記部材の表面とが実質的に面一となるように相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動され、かつ前記表面が実質的に面一となった状態で前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材によって、前記光学部材の直下に液浸液体が維持される液浸露光装置。
【請求項８】
前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルによって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材に対して移動され、かつ前記第２状態への遷移前に相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される請求項１〜７のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項９】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記光学部材に対して相対移動可能であり、前記基板を載置するテーブルと、
前記テーブルに対して相対移動可能な部材と、を備え、
前記光学部材と前記テーブルとの間の空間に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と前記部材との間の空間に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記光学部材直下の空間に液浸液体を維持しつつ、前記部材は前記テーブルと置き換えられ、その置換に先立ち、前記テーブルと前記部材とは相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光装置。
【請求項１０】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置するテーブルと、
前記光学部材と対向して位置付け可能な部材と、を備え、
前記光学部材と前記テーブルとの間に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と前記部材との間に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材に対して移動され、かつ前記第２状態への遷移前に相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光装置。
【請求項１１】
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる状態で相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１２】
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる状態で前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる請求項１〜１１のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１３】
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルの代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる前に相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される請求項１〜１２のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１４】
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルの代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられるまで、前記光学部材に対して移動される請求項１〜１３のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１５】
前記テーブルと前記部材とは、互いに並置された状態、あるいは接近した状態で前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる請求項１〜１４のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１６】
前記部材は、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルに対して並置されるように移動され、前記並置されたテーブルと部材とが前記光学部材に対して移動される請求項１５に記載の液浸露光装置。
【請求項１７】
前記部材は、その表面が、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルの表面と並置されるように、前記テーブルに対して相対的に移動される請求項１５又は１６に記載の液浸露光装置。
【請求項１８】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルに対して前記部材が接近した状態で、前記光学部材に対して移動される請求項１５に記載の液浸露光装置。
【請求項１９】
前記部材は、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルに対して接近するように移動され、前記接近したテーブルと部材とが前記光学部材に対して移動される請求項１８に記載の液浸露光装置。
【請求項２０】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の下方で前記光学部材との間に維持される液浸液体に対して相対移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される請求項１〜１９のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２１】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の直下に液浸液体を実質的に維持しつつ、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触を実質的に維持しつつ、前記光学部材の下方で液浸液体に対して相対移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される請求項１〜２０のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２２】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の下方で液浸液体に対して相対移動され、前記液浸液体は、前記光学部材の直下に実質的に維持されつつ前記テーブルから前記部材に移載される請求項１〜２１のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２３】
前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルによって、前記光学部材の下方で液浸液体に対して前記載置した基板が相対的に移動される請求項１〜２２のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２４】
前記テーブルと前記部材との一方が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記テーブルと前記部材との他方は前記光学部材の直下から離れて配置される請求項１〜２３のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２５】
前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルの前記部材への置換において、前記光学部材の直下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材は前記液浸液体との接触が実質的に維持される請求項１〜２４のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２６】
前記テーブルと前記部材とは、その境界が前記液浸液体の下を通過するように、前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される請求項１〜２５のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２７】
前記テーブルと前記部材とは近接した状態、あるいはギャップを挟んで配置された状態で前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される請求項１〜２６のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２８】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の直下に液浸液体が実質的に維持されるように近接した状態で前記光学部材に対して移動される請求項２７に記載の液浸露光装置。
【請求項２９】
前記テーブルと前記部材とは、前記ギャップが前記液浸液体の下を通過するように、前記光学部材に対して移動される請求項２７に記載の液浸露光装置。
【請求項３０】
前記テーブルと前記部材とはその対向するエッジが前記液浸液体の下を通過するように前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される請求項１〜２９のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３１】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材に対して実質的に同時に移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される請求項１〜３０のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３２】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材に対する移動において実質的に連続する表面を形成する請求項１〜３１のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３３】
前記部材は、前記テーブルを有する基板ステージと異なるステージを含む請求項１〜３２のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３４】
前記異なるステージは、前記露光が行われる基板を載置するテーブルを有する請求項３３に記載の液浸露光装置。
【請求項３５】
前記異なるステージは、前記光学部材の直下に液浸液体を維持するためのパッドを支持するように構成されたパッドステージを含む請求項３３に記載の液浸露光装置。
【請求項３６】
前記部材は、前記テーブルを有する基板ステージに設けられる請求項１〜３２のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３７】
それぞれ基板を載置する、前記テーブルを含む２つのテーブルを有するステージアセンブリによって、前記２つのテーブルが交互に前記光学部材と対向して位置付けられ、
前記部材として、一方が前記光学部材と対向して位置付けられる前記２つのテーブルの他方が用いられる請求項１〜３４のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３８】
それぞれ基板を載置する、前記テーブルを含む２つのテーブルを有するステージアセンブリによって、前記２つのテーブルが交互に前記光学部材と対向して位置付けられ、
前記部材は、前記２つのテーブルの一方の代わりに他方を前記光学部材と対向して位置付ける途中で、前記光学部材と対向して位置付けられる請求項１〜３５のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３９】
前記テーブルは、前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される間、前記光学部材の直下から離れて移動可能である請求項１〜３８のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項４０】
前記テーブルは、前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される間、前記光学部材の直下から離れて、前記基板の露光動作と異なる動作が行われる請求項１〜３９のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項４１】
前記異なる動作は、前記基板のロード及び／又はアンロードを含む請求項４０に記載の液浸露光装置。
【請求項４２】
前記部材は、前記テーブルに載置される基板の露光中、あるいは前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材の下から離れて位置付けられる請求項１〜４１のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項４３】
前記光学部材に対して所定方向に離れて配置され、前記基板のアライメントを行うアライメントシステムを、さらに備え、
前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記部材は、前記光学部材の直下から前記所定方向に離れて位置付けられる請求項１〜４２のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項４４】
前記基板のアライメントを行うアライメントシステムを、さらに備え、
前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記アライメントシステムによって、前記テーブルに載置される基板のアライメントが行われる請求項１〜４３のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項４５】
前記テーブルに載置される基板を交換する交換システムを、さらに備え、
前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記交換システムによって、前記テーブルに載置される基板の交換が行われる請求項１〜４４のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項４６】
前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材と液浸液体とを介して前記テーブルに載置される基板の露光が行われ、
前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記交換システムによって、前記テーブルに載置される前記露光された基板の交換が行われる請求項４５に記載の液浸露光装置。
【請求項４７】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置するテーブルを有する第１ステージと、
前記第１ステージに対して相対移動可能な第２ステージと、を備え、
前記第１、第２ステージは、前記第１ステージが前記光学部材と対向して位置付けられる状態で相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動され、かつ前記光学部材に対して移動され、前記第１ステージの代わりに前記光学部材と対向して位置付けられる前記第２ステージによって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される液浸露光装置。
【請求項４８】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置するテーブルを有する第１ステージと、
前記第１ステージに対して相対移動可能な第２ステージと、を備え、
前記光学部材と前記第１ステージとの間に液浸液体が維持される第１状態から前記光学部材と前記第２ステージとの間に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記第１、第２ステージは、前記光学部材に対して移動され、かつ前記第２状態への遷移前に相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光装置。
【請求項４９】
前記第１、第２ステージは、その表面が実質的に面一となるように相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動され、かつ前記表面が実質的に面一となった状態で前記光学部材に対して移動される請求項４７又は４８に記載の液浸露光装置。
【請求項５０】
前記第１、第２ステージは、互いに並置された状態、あるいは接近した状態で前記光学部材に対して移動される請求項４７〜４９のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項５１】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記基板を載置するテーブルによって、前記光学部材と対向して前記基板を位置付けることと、
前記光学部材及び液浸液体を介して前記基板が露光された前記テーブルが前記光学部材の下から離れるとき、前記光学部材の直下に液浸液体が実質的に維持されるように、前記テーブルの代わりに前記光学部材と対向して、前記テーブルに対して相対移動可能な部材を位置付けることと、を含み、
前記テーブルが前記光学部材の下から離れる前に、前記テーブルと前記部材とが相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光方法。
【請求項５２】
前記テーブルと前記部材とはそれぞれ、前記光学部材と対向して位置付けられることによって、前記光学部材の直下に液浸液体を維持し、前記光学部材の下方で液浸液体が実質的に維持されつつ前記テーブルの代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる請求項５１に記載の液浸露光方法。
【請求項５３】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記基板を載置するテーブルによって、前記光学部材と対向して前記載置した基板を位置付けることと、
前記光学部材と液浸液体とを介して前記載置した基板が露光された前記テーブルを前記光学部材の下から離すために、前記光学部材と対向して位置付け可能な部材を、前記テーブルの代わりに前記光学部材と対向して位置付けることと、を含み、
前記テーブルと前記部材とはそれぞれ、前記光学部材と対向して位置付けられることによって、前記光学部材の直下に液浸液体を維持し、
前記テーブルが前記光学部材の下から離れる前に、前記テーブルと前記部材とは相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光方法。
【請求項５４】
前記相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動されたテーブル及び部材が前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる請求項５１〜５３のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項５５】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記基板を載置するテーブルによって、前記光学部材と対向して前記載置した基板を位置付けることと、
前記光学部材と液浸液体とを介して前記載置した基板が露光された前記テーブルと、前記光学部材と対向して位置付け可能な部材とを、相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動し、かつ前記光学部材に対して移動することと、を含み、
前記テーブルの代わりに前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材によって、前記光学部材の直下に液浸液体が維持される液浸露光方法。
【請求項５６】
前記テーブルと前記部材とは、その表面が実質的に面一となるように相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動され、かつ前記表面が実質的に面一となった状態で前記光学部材に対して移動される請求項５１〜５５のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項５７】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記基板を載置するテーブルによって、前記光学部材と対向して前記載置した基板を位置付けることと、
前記光学部材と液浸液体とを介して前記載置した基板が露光された前記テーブルと、前記光学部材と対向して位置付け可能な部材とを、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルの表面と前記部材の表面とが実質的に面一となるように相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動し、かつ前記表面が実質的に面一となった状態で前記光学部材に対して移動することと、を含み、
前記テーブルの代わりに前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材によって、前記光学部材の直下に液浸液体が維持される液浸露光方法。
【請求項５８】
前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルによって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材に対して移動され、かつ前記第２状態への遷移前に相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される請求項５１〜５７のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項５９】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記基板を載置するテーブルによって、前記光学部材と対向して前記基板を位置付けることと、
前記光学部材及び液浸液体を介して前記基板を露光することと、
前記光学部材と前記テーブルとの間の空間に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と前記テーブルに対して相対移動可能な部材との間の空間に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記光学部材直下の空間に液浸液体を維持しつつ、前記部材を前記テーブルと置き換えることと、を含み、
その置換に先立ち、前記テーブルと前記部材とは相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光方法。
【請求項６０】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記基板を載置するテーブルによって、前記光学部材と対向して前記載置した基板を位置付けることと、
前記光学部材と、前記光学部材と液浸液体とを介して前記載置した基板が露光された前記テーブルとの間に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と、前記光学部材と対向して位置付け可能な部材との間に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記テーブルと前記部材とを前記光学部材に対して移動することと、を含み、
前記テーブルと前記部材とは、前記第２状態への遷移前に相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光方法。
【請求項６１】
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる状態で相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される請求項５１〜６０のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項６２】
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる状態で前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる請求項５１〜６１のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項６３】
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルの代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる前に相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される請求項５１〜６２のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項６４】
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルの代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられるまで、前記光学部材に対して移動される請求項５１〜６３のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項６５】
前記テーブルと前記部材とは互いに並置された状態、あるいは接近した状態で前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる請求項５１〜６４のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項６６】
前記部材は、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルに対して並置されるように移動され、前記並置されたテーブルと部材とが前記光学部材に対して移動される請求項６５に記載の液浸露光方法。
【請求項６７】
前記部材は、その表面が、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルの表面と並置されるように、前記テーブルに対して相対的に移動される請求項６５又は６６に記載の液浸露光方法。
【請求項６８】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルに対して前記部材が接近した状態で、前記光学部材に対して移動される請求項６５に記載の液浸露光方法。
【請求項６９】
前記部材は、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルに対して接近するように移動され、前記接近したテーブルと部材とが前記光学部材に対して移動される請求項６８に記載の液浸露光方法。
【請求項７０】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の下方で前記光学部材との間に維持される液浸液体に対して相対移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される請求項５１〜６９のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項７１】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の直下に液浸液体を実質的に維持しつつ、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触を実質的に維持しつつ、前記光学部材の下方で液浸液体に対して相対移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される請求項５１〜７０のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項７２】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の下方で液浸液体に対して相対移動され、前記液浸液体は、前記光学部材の直下に実質的に維持されつつ前記テーブルから前記部材に移載される請求項５１〜７１のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項７３】
前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルによって、前記光学部材の下方で液浸液体に対して前記載置した基板が相対的に移動される請求項５１〜７２のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項７４】
前記テーブルと前記部材との一方が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記テーブルと前記部材との他方は前記光学部材の直下から離れて配置される請求項５１〜７３のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項７５】
前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルの前記部材への置換において、前記光学部材の直下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材は前記液浸液体との接触が実質的に維持される請求項５１〜７４のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項７６】
前記テーブルと前記部材とは、その境界が前記液浸液体の下を通過するように、前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される請求項５１〜７５のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項７７】
前記テーブルと前記部材とは近接した状態、あるいはギャップを挟んで配置された状態で前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される請求項５１〜７６のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項７８】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の直下に液浸液体が実質的に維持されるように近接した状態で前記光学部材に対して移動される請求項７７に記載の液浸露光方法。
【請求項７９】
前記テーブルと前記部材とは、前記ギャップが前記液浸液体の下を通過するように、前記光学部材に対して移動される請求項７７に記載の液浸露光方法。
【請求項８０】
前記テーブルと前記部材とはその対向するエッジが前記液浸液体の下を通過するように前記光学部材に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される請求項５１〜７９のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項８１】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材に対して実質的に同時に移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される請求項５１〜８０のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項８２】
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材に対する移動において実質的に連続する表面を形成する請求項５１〜８１のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項８３】
前記部材は、前記テーブルを有する基板ステージと異なるステージを含む請求項５１〜８２のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項８４】
前記異なるステージは、前記露光が行われる基板を載置するテーブルを有する請求項８３に記載の液浸露光方法。
【請求項８５】
前記異なるステージは、前記光学部材の直下に液浸液体を維持するためのパッドを支持するように構成されたパッドステージを含む請求項８３に記載の液浸露光方法。
【請求項８６】
前記部材は、前記テーブルを有する基板ステージに設けられる請求項５１〜８２のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項８７】
それぞれ基板を載置する、前記テーブルを含む２つのテーブルを有するステージアセンブリによって、前記２つのテーブルが交互に前記光学部材と対向して位置付けられ、
前記部材として、一方が前記光学部材と対向して位置付けられる前記２つのテーブルの他方が用いられる請求項５１〜８４のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項８８】
それぞれ基板を載置する、前記テーブルを含む２つのテーブルを有するステージアセンブリによって、前記２つのテーブルが交互に前記光学部材と対向して位置付けられ、
前記部材は、前記２つのテーブルの一方の代わりに他方を前記光学部材と対向して位置付ける途中で、前記光学部材と対向して位置付けられる請求項５１〜８５のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項８９】
前記テーブルは、前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される間、前記光学部材の直下から離れて移動可能である請求項５１〜８８のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項９０】
前記テーブルは、前記部材によって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される間、前記光学部材の直下から離れて、前記基板の露光動作と異なる動作が行われる請求項５１〜８９のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項９１】
前記異なる動作は、前記基板のロード及び／又はアンロードを含む請求項９０に記載の液浸露光方法。
【請求項９２】
前記部材は、前記テーブルに載置される基板の露光中、あるいは前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材の下から離れて位置付けられる請求項５１〜９１のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項９３】
前記光学部材に対して所定方向に離れて配置されるアライメントシステムによって、前記基板のアライメントが行われ、
前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記部材は、前記光学部材の直下から前記所定方向に離れて位置付けられる請求項５１〜９２のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項９４】
前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる間、アライメントシステムによって前記テーブルに載置される基板のアライメントが行われる請求項５１〜９３のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項９５】
前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる間、交換システムによって前記テーブルに載置される基板の交換が行われる請求項５１〜９４のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項９６】
前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材と液浸液体とを介して前記テーブルに載置される基板の露光が行われ、
前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記交換システムによって、前記テーブルに載置される前記露光された基板の交換が行われる請求項９５に記載の液浸露光方法。
【請求項９７】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記基板を載置するテーブルを有する第１ステージによって、前記光学部材と対向して前記載置した基板を位置付けられることと、
前記光学部材と液浸液体を介して前記載置した基板が露光された前記第１ステージと、前記第１ステージに対して相対移動可能な第２ステージとを、前記第１ステージが前記光学部材と対向して位置付けられる状態で相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動し、かつ前記光学部材に対して移動することと、を含み、
前記第１ステージの代わりに前記光学部材と対向して位置付けられる前記第２ステージによって前記光学部材の直下に液浸液体が維持される液浸露光方法。
【請求項９８】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記基板を載置するテーブルを有する第１ステージによって、前記光学部材と対向して前記載置した基板を位置付けられることと、
前記光学部材と、前記光学部材と液浸液体を介して前記載置した基板が露光された前記第１ステージとの間に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と、前記第１ステージに対して相対移動可能な第２ステージとの間に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記第１、第２ステージを、前記光学部材に対して移動することと、を含み、
前記第１、第２ステージは、前記第２状態への遷移前に相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光方法。
【請求項９９】
前記第１、第２ステージは、その表面が実質的に面一となるように相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動され、かつ前記表面が実質的に面一となった状態で前記光学部材に対して移動される請求項９７又は９８に記載の液浸露光方法。
【請求項１００】
前記第１、第２ステージは、互いに並置された状態、あるいは接近した状態で前記光学部材に対して移動される請求項９７〜９９のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項１０１】
デバイス製造方法であって、
請求項１〜５０のいずれか一項に記載の液浸露光装置を用いてワークピースを露光することと、
前記露光されたワークピースを現像することと、を含む。
【請求項１０２】
デバイス製造方法であって、
請求項５１〜１００のいずれか一項に記載の液浸露光方法を用いてワークピースを露光することと、
前記露光されたワークピースを現像することと、を含む。