(57)【要約】【課題】搬送する基板に破片や裂け目が生じにくい基板搬送装置を提案すること。【解決手段】伝動軸２２０を２つの支持ベース２１０の間で回転させるように、伝動軸２２０の両端部分２２４は、それぞれ支持ベース２１０に接続される。支持軸２３０の両端部分２３６は、それぞれ支持ベース２１０に接続される。支持軸２３０は、伝動軸２２０の上方に位置する。第１のローラー２４０は、複数間隔を置いて伝動軸２２０に固定され、伝動軸２２０と同期回転して、第１のローラー２４０上に位置する基板２６０を搬送することに用いられる。第２のローラー２５０は、第１のローラー２４０との間に基板２６０が挟まれて搬送されるように、回転可能に支持軸２３０に接続され、基板２６０の上表面に接触する。【選択図】図３
0003172324.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
２つの支持ベースと、
前記支持ベースの間で回転するように、両端部分がそれぞれ前記支持ベースに接続される伝動軸と、
両端部分がそれぞれ前記支持ベースに接続され、前記伝動軸の上方に位置する支持軸と、
互いに間隔を置いて前記伝動軸に固定され、前記伝動軸と同期回転して、上に位置する基板を搬送することに用いられる複数の第１のローラーと、
前記第１のローラーとの間に前記基板が挟まれて搬送されるように、回転可能に前記支持軸に接続され、前記基板の上表面に接触する複数の第２のローラーと、
を備える基板搬送装置。
【請求項２】
前記支持軸は、複数の溝を有する請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記溝に挟み置かれ、前記第２のローラーを位置決めすることに用いられる複数のＣ形ホックを更に備え、前記基板が前記第２のローラーを連動させて前記Ｃ形ホックの間で回転させる請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記支持ベースの１つは、前記伝動軸を連動させて回転させることに用いられるモータを備える請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
それぞれが前記第１のローラーを貫通して前記伝動軸に接触する複数の固定デバイスを更に備え、前記伝動軸が、それぞれが前記固定デバイスと結合する複数の凹み区域を有する請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
複数の前記第１のローラーそれぞれは、第１のスロットを有する請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
複数の前記第１のローラーそれぞれは、前記第１のスロットに設けられる第１のゴム輪を更に備える請求項６に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
複数の前記第２のローラーの両端部分それぞれは、第２のスロットを有する請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
複数の前記第２のローラーそれぞれは、それぞれが前記第２のスロットに設けられる２つの第２のゴム輪を更に備える請求項８に記載の基板搬送装置。
【請求項１０】
２つの前記支持ベースそれぞれは、前記伝動軸の前記端部が回転自在に結合される軸受けを備える請求項１に記載の基板搬送装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、基板搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、製造業において、競争が激しくなっているため、メーカは、限りある時間において数多くの製品を生産できると、高い競争力を持つようになる。そのため、自動化装置の重要性が日増しに高まっている。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
図１は、従来の基板搬送装置１００の正面図を示す。図２は、図１に示す基板搬送装置１００が基板１４０を搬送する時の側面模式図を示す。図１と図２をともに参照すると、基板搬送装置１００は、支持ベース１１０と、下伝動軸１２０と、上伝動軸１３０と、下ローラー１２２と、上ローラー１３２と、を備える。そのうち、支持ベース１１０は、下伝動軸１２０と上伝動軸１３０を連動させて回転させる。下ローラー１２２は、差し込みピン１２４によって下伝動軸１２０に固定されている。円筒状の外形を有する上ローラー１３２は、差し込みピン１３４の貫通によって伝動軸１３０に固定されている。そのため、下ローラー１２２は、下伝動軸１２０の回転に伴って回転し、上ローラー１３２は、上伝動軸１３０の回転に伴って回転する。上ローラー１３２には、ゴム輪１３６が設けられ、下ローラー１２２には、ゴム輪１２６が設けられている。方向ｘに基板１４０を搬送する場合に、支持ベース１１０は、ゴム輪１３６とゴム輪１２６とが連動して基板１４０を移動させるように、下伝動軸１２０を制御して方向１５２に回転させ、上伝動軸１３０を制御して方向１５４に回転させる。一方で、上ローラー１３２は、基板１４０が方向ｚに向かって浮かぶことを抑える機能を更に有する。
【０００４】
しかしながら、上伝動軸１３０は、長時間の使用によって変形した場合に、２つの支持ベース１１０の間でまっすぐに回転することができなくなり、且つ、この上伝動軸１３０に差し込みピン１３４によって固定されている上ローラー１３２に設けたゴム輪１３６も、上伝動軸１３０の変形によって基板１４０に対して斜めに接触する。上ローラー１３２と下ローラー１２２は、どちらも上伝動軸１３０と下伝動軸１２０の回転に伴って回転するものであり、どちらも自発動力を有する動輪であるため、基板１４０は、上ローラー１３２から発生する方向ｙの剪断応力を受けやすく、破片や裂け目が発生してしまう。
【０００５】
そこで、上記事情を鑑みて、本考案は、搬送する基板に破片や裂け目が生じにくい基板搬送装置を提案することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案の実施形態は、２つの支持ベースと、伝動軸と、支持軸と、複数の第１のローラーと、複数の第２のローラーとを備える基板搬送装置である。伝動軸は、前記支持ベースの間で回転するように、両端部分がそれぞれ前記支持ベースに接続される。支持軸は、両端部分がそれぞれ前記支持ベースに接続される。支持軸は、前記伝動軸の上方に位置する。複数の第１のローラーは、互いに間隔を置いて前記伝動軸に固定され、前記伝動軸と同期回転して、上に位置する基板を搬送することに用いられる。複数の第２のローラーは、前記第１のローラーとの間に前記基板が挟まれて搬送されるように、回転可能に前記支持軸に接続され、前記基板の上表面に接触する。
【０００７】
また、本考案の実施形態において、前記支持軸は、複数の溝を有することが好ましい。
【０００８】
また、本考案の実施形態において、前記溝に挟み置かれ、前記第２のローラーを位置決めすることに用いられる複数のＣ形ホックを更に備え、前記基板が前記第２のローラーを連動させて前記Ｃ形ホックの間で回転させることが好ましい。
【０００９】
また、本考案の実施形態において、前記支持ベースの１つは、前記伝動軸を連動させて回転させることに用いられるモータを備えることが好ましい。
【００１０】
また、本考案の実施形態において、それぞれが前記第１のローラーを貫通して前記伝送軸に接触する複数の固定デバイスを更に備え、前記伝動軸が、それぞれが前記固定デバイスと結合する複数の凹み区域を有することが好ましい。
【００１１】
また、本考案の実施形態において、複数の前記第１のローラーぞれぞれは、第１のスロットを有することが好ましい。
【００１２】
また、本考案の実施形態において、複数の前記第１のローラーそれぞれは、前記第１のスロットに設けられる第１のゴム輪を更に備えることが好ましい。
【００１３】
また、本考案の実施形態において、複数の前記第２のローラーの両端部分それぞれは、第２のスロットを有することが好ましい。
【００１４】
また、本考案の実施形態において、複数の前記第２のローラーそれぞれは、それぞれが前記第２のスロットに設けられる２つの第２のゴム輪を更に備えることが好ましい。
【００１５】
また、本考案の実施形態において、２つの前記支持ベースそれぞれは、前記伝動軸の前記端部が回転自在に結合される軸受けを備えることが好ましい。
【考案の効果】
【００１６】
本考案の実施形態においては、基板が第１のローラーと第２のローラーの間に挟まれ、第１のローラーが固定デバイスによって伝動軸に固定されているため、支持ベースのモータが伝動軸を連動させて回転させる場合に、第１のローラーは伝動軸と同期回転して基板を搬送することができる。基板が第１のローラーによって搬送される際に、基板は、第２のローラーを連動させてＣ形ホックの間で回転させることができる。このような構成によって、第２のローラーは、自発動力を持たず、受動的に回転する受動輪となるため、基板に対して、基板の浮きを抑える機能のみを有し、基板の移動方向に垂直な剪断応力を発生しにくく、基板に破片や裂け目を引き起こしにくい。一方で、第２のローラーは、支持軸に接触する固定デバイスを１つも有さず、第２のローラーの両側のＣ形ホックのみによって位置決めされるので、支持軸の変形によって基板の移動方向に垂直な剪断応力を発生しにくいため、支持軸の使用寿命を延長できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】従来の基板搬送装置の正面図を示す。
【図２】図１に示す基板搬送装置が基板を搬送する時の側面模式図を示す。
【図３】本考案の実施形態における基板搬送装置の正面図を示す。
【図４】図３に示す支持軸と第２のローラーの斜視図を示す。
【図５】図４に示す支持軸と第２のローラーの分解図を示す。
【図６】図３に示す基板搬送装置が基板を搬送する時の側面模式図を示す。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら、本考案を明確にするため、本考案の実施形態について説明する。しかしながら、この実施形態が本考案を制限するものではないことを了解すべきである。つまり、説明する実施形態は本考案の一例であって、実施形態の構成が必須なものではない。なお、図面を簡略化するため、従来から慣用の構造とデバイスについては図面に簡単に示している。
【００１９】
図３は、本考案の実施形態における基板搬送装置２００の正面図を示す。図４は、図３に示す支持軸２３０と第２のローラー２５０の斜視図を示す。図５は、図４に示す支持軸２３０と第２のローラー２５０の分解図を示す。図３〜図５を参照すると、基板搬送装置２００は、２つの支持ベース２１０と、伝動軸２２０と、支持軸２３０と、複数（図では４つ）の第１のローラー２４０と、複数（図では２つ）の第２のローラー２５０と、複数（図では４つ）のＣ形ホック２３４とを備える。伝動軸２２０が２つの支持ベース２１０の間で回転できるように、伝動軸２２０の２つの端部２２４は、それぞれ支持ベース２１０に接続される。
【００２０】
支持軸２３０の２つの端部２３６は、それぞれ支持ベース２１０に接続される。支持軸２３０は、伝動軸２２０の上方に位置し、溝２３２を有する。支持軸２３０は、第２のローラー２５０の貫通孔２５６を貫通する。第１のローラー２４０は、複数、間隔を置いて伝動軸２２０に固定され、伝動軸２２０と同期回転し、第１のローラー２４０の上に位置する基板２６０を搬送することに用いられる。基板２６０が第１のローラー２４０と第２のローラー２５０との間に挟まれて搬送されるように、第２のローラー２５０は、回転可能に支持軸２３０に接続され、基板２６０の上表面に接触する。Ｃ形ホック２３４は、溝２３２に挟み置かれ、第２のローラー２５０を位置決めすることに用いられる。基板２６０が移動する場合に、基板２６０は、摩擦力によって２つのＣ形ホック２３４間で第２のローラー２５０を連動させて回転させることができる。なお、２つのＣ形ホック２３４の間の距離Ｄ１は、第２のローラー２５０の長さの距離Ｄ２よりやや大きく、例えば距離Ｄ２と距離Ｄ１の差が約０．５ミリメートルである。
【００２１】
本実施形態において、支持ベース２１０の１つは、連結器（ｃｏｕｐｌｉｎｇ）を介して伝動軸２２０の端部２２４に接続され、伝動軸２２０を連動させて回転させることができるモータ２１２を有する。支持ベース２１０は、伝動軸２２０の端部２２４が回転自在に結合される軸受け２１４を更に備える。固定デバイス２４２は、第１のローラー２４０を貫通して伝動軸２２０に接触し、且つ、伝動軸２２０が固定デバイス２４２と結合する凹み区域２２２を有するため、第１のローラー２４０は、伝動軸２２０の回転に伴って同期回転できる。
【００２２】
なお、第１のローラー２４０は、第１のスロット２４４を有する。第１のゴム輪２４６は、第１のスロット２４４に設けられて基板２６０の下表面に接触する。第２のローラー２５０の両端部分は、それぞれ、第２のスロット２５２を有する。第２のゴム輪２５４は、第２のスロット２５２に設けられて基板２６０の上表面に接触する。第１のゴム輪２４６と第２のゴム輪２５４は、基板２６０との間の摩擦力を増加できるほか、第１のローラー２４０と第２のローラー２５０が基板２６０に傷をつけることを避けることができる。
【００２３】
具体的には、基板搬送装置２００が基板２６０を搬送する場合に、支持ベース２１０におけるモータ２１２は、伝動軸２２０を連動させて回転させ、伝動軸２２０に固定された第１のローラー２４０を伝動軸２２０に伴って回転させる。この時、第１のローラー２４０の第１のスロット２４４における第１のゴム輪２４６が基板２６０の下表面に接触するため、第１のゴム輪２４６は、摩擦力によって、基板２６０を連動させて移動させることができる。基板２６０が移動する場合に、基板２６０の上表面が、摩擦力によって、２つのＣ形ホック２３４の間で第２のローラー２５０を連動させて回転させることができる。
【００２４】
このような構成とすることで、第２のローラー２５０が自発動力を持たず、受動的に回転する受動輪となるため、基板２６０に対して、第２のローラー２５０は、基板２６０が方向ｚに向かって浮かぶことを抑える機能のみを有し、ｙ方向への剪断応力を発生させにくく、基板２６０に破片や裂け目が生じにくい。又、第２のローラー２５０は、支持軸２３０に固定するための固定デバイスを１つも有さず、第２のローラーの両側のＣ形ホック２３４のみによって位置決めされるので、第２のローラー２５０が支持軸２３０の変形によって剪断応力を発生させにくいため、支持軸２３０の使用寿命を延長できる。
【００２５】
一方、第２のローラー２５０が自発動力を持たず、受動的に回転する受動輪であるため、支持軸２３０は、回転できないように支持ベース２１０に固定されて接続されてよいし、回転可能に支持ベース２１０に接続されてもよい。回転できない例としては、支持軸２３０が支持ベース２１０に接着される方式である。回転可能な例としては、支持軸２３０が支持ベース２１０における軸受け２１４に回転自在に結合される方式である。支持軸２３０を支持ベース２１０に接続する方法は、前記２種の方式に限定されない。すなわち、第２のローラー２５０が、支持軸２３０において、基板２６０による摩擦力を受けて受動的に回転できればよい。
【００２６】
前記基板搬送装置２００は、太陽電池エッチング装置であってよく、第１のローラー２４０の材質は、耐化学性塗布剤で被覆された炭素繊維であってよく、その塗布剤の例としては、ポリフッ化ビニリデン（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｉｄｅｎｅｆｌｕｏｒｉｄｅ；ＰＶＤＦ）又はポリエチレン（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ；ＰＥ）である。伝動軸２２０と支持軸２３０の材質は、ポリ塩化ビニル（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｃｈｌｏｒｉｄｅ；ＰＶＣ）であってよい。基板２６０は、シリコンウェハーであってよい。Ｃ形ホック２３４の材質は、耐酸性と耐アルカリ性を有するポリプロピレン（Ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ；ＰＰ）であってよい。固定デバイス２４２は、ねじ又は差し込みピンを備えてよい。支持ベース２１０は、歯車群を含んでもよい。
【００２７】
以下の説明においては、前述したデバイスの相互連結関係についての説明は省き、基板搬送装置２００が基板２６０を搬送することに関わる技術内容について補充する。
【００２８】
図６は、図３に示す基板搬送装置２００が基板２６０を搬送する時の側面模式図を示す。図３と図６をともに参照すると、ユーザーは、基板搬送装置２００を用いて方向ｘに基板２６０を搬送しようとする場合に、支持ベース２１０のモータ２１２が伝動軸２２０を連動させて方向２７２に回転させるように設定すればよい。第１のローラー２４０は伝動軸２２０に固定されているため、伝動軸２２０の回転に伴って方向２７２に同期回転する。この時、基板２６０は、第１のローラー２４０の第１のゴム輪２４６によって方向ｘへ搬送される。ここで、方向ｘへ移動する基板２６０は、第２のローラー２５０の第２のゴム輪２５４に接触し、摩擦力によって、第２のローラー２５０を方向２７４に回転させる。このようにすることで、第２のローラー２５０は、基板２６０が方向ｚに向かって浮かぶことを抑える機能のみを有し、基板２６０に対して、方向ｙへの剪断応力を発生しないようになる。
【００２９】
上述した本考案の実施形態は、従来の技術と比べて、下記のような長所を有する。
【００３０】
（１）第２のローラーは、自発動力を持たず、受動的に回転する受動輪であるため、基板に対して、基板の浮きを抑える機能のみを有し、基板の移動方向に垂直な（方向ｙ）剪断応力を発生しにくく、基板に破片や裂け目を引き起こしにくいこと。
【００３１】
（２）第２のローラーは、支持軸に固定するための固定デバイスを１つも有さず、第２のローラーの両側のＣ形ホックのみによって位置決めされるので、支持軸２３０の変形によって基板の移動方向に垂直な剪断応力を発生させにくいため、支持軸の使用寿命を延長できること。
【００３２】
以上、本考案の好適な実施形態を開示したが、この実施形態は決して本考案を限定するものではなく、当業者であれば、本考案の精神と領域を離脱しない範囲内で、多様の変更や修飾を加えることができ、従って本考案の保護範囲は、実用新案登録請求の範囲で指定した内容を基準とする。
【符号の説明】
【００３３】
１００  基板搬送装置
１１０  支持ベース
１２０  下伝動軸
１２２  下ローラー
１２４  差し込みピン
１２６  ゴム輪
１３０  上伝動軸
１３２  上ローラー
１３４  差し込みピン
１３６  ゴム輪
１４０  基板
１５２  方向
１５４  方向
２００  基板搬送装置
２１０  支持ベース
２１２  モータ
２１４  軸受け
２２０  伝動軸
２２２  凹み区域
２２４  端部
２３０  支持軸
２３２  溝
２３４  Ｃ形ホック
２３６  端部
２４０  第１のローラー
２４２  固定デバイス
２４４  第１のスロット
２４６  第１のゴム輪
２５０  第２のローラー
２５２  第２のスロット
２５４  第２のゴム輪
２５６  貫通孔
２６０  基板
２７２  方向
２７４  方向
Ｄ１    距離
Ｄ２    距離
ｘ      方向
ｙ      方向
ｚ      方向
【図１】
0003172324.tif 000003
【図２】
0003172324.tif 000004
【図３】
0003172324.tif 000005
【図４】
0003172324.tif 000006
【図５】
0003172324.tif 000007
【図６】
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