【事件の表示】
　平成　８年特許願第　８６９７１号「半導体チップのピックアップ方法とピックアップ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年１０月３１日出願公開、特開平　９−２８３９８３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成８年４月１０日の出願であって、平成１７年２月２１日付けで拒絶査定がされ、これに対し、同年３月３１日に拒絶査定に対する審判請求がされるとともに、同年４月２６日付けで手続補正がされたものである。
　
２．平成１７年４月２６日付けの手続補正についての補正却下の決定
【補正却下の決定の結論】
　平成１７年４月２６日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
【決定の理由】
［１］本件補正の内容
　本件補正のうち、特許請求の範囲に係る補正の内容の一つは、請求項２の「前記ピックアップステージに移載する途中のウェハーを画像認識してウェハーの各位置ごとの半導体チップの良否判定して良否判定と位置を同時に認識する撮像判定処理手段」を、「前記ピックアップステージに移載するために通過する途中のウェハーの全体を画像認識してウェハーの各位置ごとの半導体チップの良否判定して良否判定と位置を同時に認識する撮像判定処理手段」と補正するものである。
　
［２］本件補正の適否
　上記補正は、補正前の請求項２に係る発明について、撮像判定処理手段により画像認識するウェハーが、「ピックアップステージに移載するために通過する途中」のものであると限定し、更に、撮像判定処理手段により画像認識するウェハーの領域を、「ウェハーの全体」と限定するものであり、この発明を特定するために必要な事項を限定するものであって、発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから、特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項２に記載された発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
〈独立特許要件について〉
［２−１］本願補正発明
　本件補正後の発明は、補正後の明細書の特許請求の範囲の請求項１〜２に記載されたものであるところ、その請求項２に係る発明（以下、「本願補正発明２」という。）は次のとおりのものである。
　
「【請求項２】半導体チップをウェハーからピックアップして後段の製造ラインへ供給する半導体チップのピックアップ装置において、前記ピックアップステージに移載するために通過する途中のウェハーの全体を画像認識してウェハーの各位置ごとの半導体チップの良否判定して良否判定と位置を同時に認識する撮像判定処理手段と、ピックアップステージに到着したウェハーから前記良否判定と位置に基づいて良品と判定された半導体チップを、ピックアップステージでの良否判定無しにピックアップして後段の製造ラインへ供給するピックアップ手段とを設けた半導体チップのピックアップ装置。」
　
［２−２］引用例及び引用例の主な記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された特開昭６０−１７８６３９号公報（以下、「引用例」という。）には、次の事項が記載されている。
（ア）「このペレット選別装置は、検知テーブル１上にウエハ２を各ペレット３に分割、整列させ、これらペレット３をラインセンサ４を用いて良品ペレット５、不良ペレット６のいずれかに検知、分類させ、次いでペレット３をピックアップテーブル７に移載するようにし、移載されたペレット３のうち良品ペレット５のみをコレット８で選別、吸着させるものである。選別、吸着された良品ペレット５は位置決め装置９の位置決め台１０へ移載させ、さらに位置決め台１０上で整列させた良品ペレット５をＸＹ方向に駆動可能なマウントユニット１１により搬送ラインＡ上に搬送される基板１２のマウント位置１３にマウントさせるようにしている。」（第３頁左上欄第５〜１８行、なお、「ペレット３にうち」は、「ペレット３のうち」の誤記と認める。）
（イ）「検知テーブル１の上方位置には、粘着シート１８の上面に整列されたペレット３を検知カメラ２１およびストロボ２２の閃光により検知可能とするラインセンサ４が配置される。ラインセンサ４は、長さＬの線２３で検知対象を捕捉するものであり、本実施例では一本の線２３を1024〜2048ビットの情報量で検知対象を捕捉し、検知された線情報をラインセンサ４と接続されるメモリ部２４で記憶可能としている。ラインセンサ４の検知範囲は、検知テーブル１のＸＹ方向の移動により、粘着シート１８に被着されたペレット３の全体に及び、コントローラ２５により、検知テーブル１の移動速度、ＸＹ方向の移動順路、さらには一定周期で閃光するストロボ２２の閃光周期を制御し、移動により得られる整列されたペレット３に関する線情報をラインセンサ４により順次検知し、さらにこれら線情報をメモリ部２４で順次記憶するようにしている。記憶された線情報はメモリ部２４で合成されて面情報とされ、この結果、粘着シート１８上に整列するペレット３の全体が、メモリ部２４で検知可能となる。」（第３頁左下欄第１行〜右下欄第１行）
（ウ）「メモリ部２４には、予め検知テーブル１上に分割、整列されたペレット３と同じ型の良品ペレット５に関する基準情報が入力されている。良品ペレット５に関する基準情報には、第４図に示すようにペレット５の縦Ｅおよび横Ｆの外形寸法、整列されたペレット５間の間隔Ｗ、隣接するペレット５間の中心間距離Ｇなど様々なものがあり、メモリ部２４でこれら良品ペレット５に関する基準情報と検知テーブル１上に整列されたペレット３に関する面情報を比較し、比較の結果、粘着シート１８に被着されたペレット３のうち不良ペレット６の位置を認定し検出するようにしている。不良ペレット６の位置の認定方法には、様々なものがあり、例えばカセットリング１９に支持された粘着シート１８の上面の任意位置を座標中心とし、該座標中心からＸＹ方向への移動距離に基づき、不良ペレット６の位置を認定し、さらに記憶を行うようにしておけばよい。不良ペレット６には、第５図に示すように半導体検査装置による検査の結果、不良マーク２０に表示されたペレット２６、破壊、分離の際割れの生じたペレット２７、あるいは欠けの生じたペレット２８、さらには円形のウエハ２の端部に相当し、規格から外れたペレット２９などがあり、粘着シート１８上におけるこれらの位置をメモリ部２４で検出することにより、結果として良品ペレット５の位置の検出を行うものである。」（第３頁右下欄第１４行〜第４頁左上欄第２０行）
（エ）「ラインセンサ４による検知が終了し、不良ペレット６の位置の認定が行われたら、粘着シート１８の上面に分割、整列されたペレット３をカセットリング１９に支持させたままの状態でピックアップテーブル７に移載させる。ピックアップテーブル７は、検知テーブル１と同様に架台３０に対してＸＹ方向に移動自在であり、カセットリング１９は、検知テーブル１での支持状態に相応させてピックアップテーブル７の上部に位置し、ボンディングアーム３１の先端に取付けられたコレット８により、粘着シート１８上面のペレット３を吸着、摘出可能としている。コレット８は、ピックアップ点３２でペレット３を吸着して矢示Ｈ方向に回動し、次いで位置決め装置９の位置決め台１０上で吸着を解除し、該位置にペレット３を移載するようにしている。ピックアップテーブル７は、コレット８のピックアップ点３２に順次ペレット３が位置されるようにＸＹ方向に移動され、ピックアップテーブル７のＸＹ方向の移動は、メモリ部２４の指令に基づいて行われるようにしている。すなわち、メモリ部２４でその整列位置が検出された不良ペレット６が、コレット８のピックアップ点３２に位置されないようにピックアップテーブル７の移動がメモリ部２４の指令により制御され、この結果良品ペレット５のみがコレット８により選別、吸着され、位置決め台１０に移載可能となる。さらに位置決め台１０に移載、整列された良品ペレット５は、マウントユニット１１により基板１２のマウント位置１３にマウントされ、これによりペレットボンディングが行われるようにしている。」（第４頁右上欄第１行〜左下欄第１２行）
（オ）図１には、検知テーブル１と、ピックアップテーブル７とが、間隔を空けて設置されていることが示されている。
　
［２−３］当審の判断
（１）引用例に記載された発明
　引用例の摘示（ア）には、「このペレット選別装置は、検知テーブル１上にウエハ２を各ペレット３に分割、整列させ、これらペレット３をラインセンサ４を用いて良品ペレット５、不良ペレット６のいずれかに検知、分類させ、次いでペレット３をピックアップテーブル７に移載するようにし、移載されたペレット３にうち良品ペレット５のみをコレット８で選別、吸着させるものである。選別、吸着された良品ペレット５は位置決め装置９の位置決め台１０へ移載させ、さらに位置決め台１０上で整列させた良品ペレット５をＸＹ方向に駆動可能なマウントユニット１１により搬送ラインＡ上に搬送される基板１２のマウント位置１３にマウントさせるようにしている。」と記載されている。
　そして、上記ラインセンサに関し、摘示（イ）には、「検知テーブル１の上方位置には、粘着シート１８の上面に整列されたペレット３を・・・検知可能とするラインセンサ４が配置される。・・・ラインセンサ４の検知範囲は・・・粘着シート１８に被着されたペレット３の全体に及び・・・」と記載されているから、このラインセンサは、整列されたペレットの全体を検知しているといえ、また、摘示（ウ）には、「・・・粘着シート１８に被着されたペレット３のうち不良ペレット６の位置を認定し検出するようにしている。・・・粘着シート１８上におけるこれらの位置をメモリ部２４で検出することにより、結果として良品ペレット５の位置の検出を行うものである。」との記載があるから、このラインセンサは、整列されたペレットの不良ペレット及び良品ペレットの位置を検出しているといえ、言い換えれば、整列されたペレットの各位置ごとの不良ペレット及び良品ペレットを検出しているといえる。よって、引用例には、「整列されたペレットの全体を検知して整列されたペレットの各位置ごとの不良ペレット及び良品ペレットを検出するラインセンサ」が記載されているといえる。
　さらに、上記コレットに関し、摘示（エ）の「ラインセンサ４による検知が終了し、不良ペレット６の位置の認定が行われたら粘着シート１８の上面に分割、整列されたペレット３をカセットリング１９に支持させたままの状態でピックアップテーブル７に移載させる。・・・良品ペレット５のみがコレット８により選別、吸着され、位置決め台１０に移載可能となる。」という記載によれば、このコレットは、ピックアップテーブルに移載された整列されたペレットから良品ペレットを位置決め台に移載するのであり、一方、ラインセンサによる検知は、整列されたペレットをピックアップテーブルに移載する前に行うのであるから、引用例には、「ピックアップテーブルに移載された整列されたペレットから良品ペレットを、ピックアップステージでのラインセンサによる検知を行うことなしに吸着して位置決め台に移載するコレット」が記載されているといえる。
　以上の記載及び認定事項を、本願補正発明２の記載ぶりに則り整理すると、引用例には次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているといえる。
『ペレットを整列されたペレットから吸着して位置決め台に移載するペレットを移載する装置において、ピックアップテーブルに移載する前の整列されたペレットの全体を検知して整列されたペレットの各位置ごとの不良ペレット及び良品ペレットを検出するラインセンサと、ピックアップテーブルに移載された整列されたペレットから良品ペレットを、ピックアップステージでのラインセンサによる検知を行うことなしに吸着して位置決め台に移載するコレットと、を設けたペレットを移載する装置。』
　
（２）本願補正発明と引用発明との対比
　本願補正発明２と引用発明とを対比する。
　引用発明の『ペレット』、『整列されたペレット』、『吸着』、『ペレットを移載する装置』、『ピックアップテーブル』及び『検知』は、それぞれ本願補正発明２の「半導体チップ」、「ウェハー」、「ピックアップ」、「ピックアップ装置」、「ピックアップステージ」及び「画像認識」に相当する。また、引用発明の『位置決め台に移載する』ことは、本願補正発明２の「後段の製造ラインへ供給する」ことの一態様であり、さらに、引用発明の『ラインセンサ』及び『コレット』は、本願補正発明２の「撮像判定処理手段」及び「ピックアップ手段」の一種である。そして、引用発明の『各位置ごとの不良ペレット及び良品ペレットを検出』することは、本願補正発明２の「各位置ごとの半導体チップの良否判定」することに相当し、各位置ごとの半導体チップの良否判定を行うのであれば、「良否判定と位置を同時に認識する」ことになるのは自明である。さらに、引用発明の『良品ペレット』は、本願補正発明２の「良否判定と位置に基づいて良品と判定された半導体チップ」に相当し、引用発明の『ラインセンサによる検知を行うことなしに』は、本願補正発明２の「良否判定無しに」に相当する。
　してみると、本願補正発明２と引用発明とは、「半導体チップをウェハーからピックアップして後段の製造ラインへ供給する半導体チップのピックアップ装置において、前記ピックアップステージに移載する前のウェハーの全体を画像認識してウェハーの各位置ごとの半導体チップの良否判定して良否判定と位置を同時に認識する撮像判定処理手段と、ピックアップステージに到着したウェハーから前記良否判定と位置に基づいて良品と判定された半導体チップを、ピックアップステージでの良否判定無しにピックアップして後段の製造ラインへ供給するピックアップ手段とを設けた半導体チップのピックアップ装置。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点：撮像判定処理手段について、本願補正発明２では、該撮像判定処理手段が、ピックアップステージに移載するために通過する途中のウェハーを画像認識するものであるのに対して、引用発明は、該撮像判定処理手段が、ピックアップステージに移載するために通過する途中のウェハーを画像認識するものではない点
　
（３）相違点についての判断
　上記相違点について検討する。
　被処理物の移動を利用して効率的に良否判定を行うために、通過する途中の被処理物を認識するラインセンサを設け、ラインセンサにより被処理物を画像認識して良否判定することは、技術分野を問わず、本願出願前に周知の事項である（例えば、特開昭６２−１０００９３号公報（特に、第４図、第４頁左上欄第３行〜右上欄第９行）、特開昭６３−１４８１５１号公報（特に、第１図、第２頁左下欄第４〜１４行、第２頁右下欄第１６行〜第３頁左上欄第１１行）、特開平７−２６０４４５号公報（特に、図１、【００１０】〜【００２０】）、参照）。
　一方、引用発明は、摘示（オ）によれば、ウェハーをピックアップテーブルに移載する際に、検知テーブルとピックアップテーブルとの間を、ウェハーが移動するものであるといえるし、さらに、ラインセンサによりウェハーを画像認識して良否判定をしているのであるから、引用発明において、ウェハーの移動を利用して効率的に良否判定を行うために、ラインセンサ、すなわち撮像判定処理手段を、ピックアップステージに移載するために通過する途中のウェハーを画像認識するものとすることは、当業者が容易に想到することができたことである。
　よって、相違点は容易になし得たことである。
　
（４）小括
　したがって、本願補正発明２は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
［２−４］むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。 
　
３．本願発明についての審決
［１］本願発明
　平成１７年４月２６日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願発明は、同年１月３１日付けの手続補正により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜２に記載されたものであるところ、その請求項２に係る発明（以下、「本願発明２」という。）は次のとおりである。
「【請求項２】半導体チップをウェハーからピックアップして後段の製造ラインへ供給する半導体チップのピックアップ装置において、前記ピックアップステージに移載する途中のウェハーを画像認識してウェハーの各位置ごとの半導体チップの良否判定して良否判定と位置を同時に認識する撮像判定処理手段と、ピックアップステージに到着したウェハーから前記良否判定と位置に基づいて良品と判定された半導体チップを、ピックアップステージでの良否判定無しにピックアップして後段の製造ラインへ供給するピックアップ手段とを設けた半導体チップのピックアップ装置。」
　
［２］原査定の理由の概要
　原審の拒絶査定の理由の概要は、本願発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された下記１〜２の刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
　　　　　　　　　　　　　　　記
　１．特開昭５８−１２５８３７号公報
　２．特開昭６０−１７８６３９号公報
　
［３］引用例及び引用例の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された特開昭６０−１７８６３９号公報（引用例）及びその主な記載事項は、上記２．［２−２］に記載したとおりである。
　
［４］当審の判断
　上記２．［２−１］の本願補正発明２は、本願発明２の撮像判定処理手段により画像認識するウェハーが、「ピックアップステージに移載するために通過する途中」のものであると限定し、更に、撮像判定処理手段により画像認識するウェハーの領域を、「ウェハーの全体」と限定することにより、発明を特定するために必要な事項をより狭い範囲に限定したものである。
　このように発明を特定するために必要な事項をより狭い範囲に限定した本願補正発明２が、当業者が容易に発明をすることができたものである以上、本願発明２も、上記２．［２−３］に記載したものと同様の理由により、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
［５］むすび
　以上のとおり、本願発明２は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、その余の発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。