【手続補正書】
【提出日】平成24年3月8日(2012.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
格子面角度測定手段により、単結晶材料からなるワークの任意の格子面と前記ワークの被処理面とがなす角度を測定する工程と、
前記測定された角度に基づいて、前記ワークの被処理面の形状を修正するのに必要とされる前記被処理面内の加工量分布を求める工程と、
前記加工量分布を再現するように、前記ワークにプラズマエッチング加工を施す工程と、
を含むことを特徴とする加工方法。
【請求項２】
前記角度を実測角度とし、
前記任意の格子面と目的とする形状の表面とがなす角度を目的角度としたとき、
前記加工量分布を求める工程における前記加工量分布は、前記実測角度と前記目的角度との角度差に基づいて求められたものであることを特徴とする請求項１に記載の加工方法。
【請求項３】
前記角度を測定する工程に供される前記ワークは、あらかじめ前記加工量分布を見越した加工代の厚さを有しており、
前記加工量分布のうちの最大の加工量は、前記加工代の厚さとほぼ同じであることを特徴とする請求項１または２に記載の加工方法。
【請求項４】
前記プラズマエッチング加工は、前記ワーク近傍に電界を発生させる電極と、該電極に高周波を印加する通電手段と、前記ワーク近傍に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、前記電極と前記ワークのうち少なくとも一方を移動する移動手段と、を有するプラズマエッチング装置によるものであり、
前記プラズマエッチング加工を施す工程において、前記加工量分布に基づき、前記移動手段により、前記ワークの表面に沿って前記電極を移動させつつ、前記通電手段による前記高周波のＲＦパワー、前記処理ガス供給手段による前記処理ガスの供給量、前記移動手段による前記ワークと前記電極との離間距離、前記ワークと前記電極との相対移動速度のうち、少なくとも１つを変化させることを特徴とする請求項２または３に記載の加工方法。
【請求項５】
前記プラズマエッチング加工を施す工程において、前記ワークの一方の面に対して前記加工量分布に基づいて前記プラズマエッチング加工を施した後、前記ワークの他方の面に対しても、前記加工量分布に基づいて前記プラズマエッチング加工を施すことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の加工方法。
【請求項６】
前記角度を測定する工程は、Ｘ線回折法を用いていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の加工方法。
【請求項７】
対向配置された上部電極および下部電極と、
前記上部電極と前記下部電極との間に、被処理面を有し、単結晶材料からなるワークを載置する載置部と、
前記上部電極と前記ワークのうち少なくとも一方を移動する移動手段と、
前記被処理面に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
前記上部電極と前記下部電極との間に高周波を印加する通電手段と、
前記ワークの任意の格子面と前記被処理面とがなす角度を測定する手段と、
前記移動手段、前記処理ガス供給手段および前記通電手段の少なくとも１つの手段を制御する制御手段とを有し、
前記制御手段は、前記角度に基づいて、前記被処理面内の加工量分布を求め、前記加工量分布を再現するように、前記移動手段、前記処理ガス供給手段および前記通電手段の少なくとも１つの手段を制御するよう構成されていることを特徴とする加工装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記ワークと前記上部電極のうち少なくとも一方を移動しながら、
前記ワークと前記上部電極との相対移動速度を変化させるように前記移動手段を制御することを含むことを特徴とする請求項７に記載の加工装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［適用例１］
本発明の加工方法は、格子面角度測定手段により、単結晶材料からなるワークの任意の格子面と前記ワークの被処理面とがなす角度を測定する工程と、
前記測定された角度に基づいて、前記ワークの被処理面の形状を修正するのに必要とされる前記被処理面内の加工量分布を求める工程と、
前記加工量分布を再現するように、前記ワークにプラズマエッチング加工を施す工程と、
を含むことを特徴とする。
これにより、単結晶材料で構成されたワークの被処理面の形状が目的とする形状になるように、被処理面に効率よく修正加工を施すことができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
［適用例２］
本発明の加工方法では、前記角度を実測角度とし、
前記任意の格子面と目的とする形状の表面とがなす角度を目的角度としたとき、
前記加工量分布を求める工程における前記加工量分布は、前記実測角度と前記目的角度との角度差に基づいて求められたものであることが好ましい。
これにより、加工量分布を簡単に求めることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
［適用例３］
本発明の加工方法では、前記角度を測定する工程に供される前記ワークは、あらかじめ前記加工量分布を見越した加工代の厚さを有しており、
前記加工量分布のうちの最大の加工量は、前記加工代の厚さとほぼ同じであることが好ましい。
これにより、ワークの厚さを必要以上に減らしてしまうのを防止することができる。
また、これにより、加工後のワークの厚さを、目的とする厚さに特に近づけることができる。また、加工代を最大限に利用することができ、ワークのより広い範囲について形状の修正をすることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例４］
本発明の加工方法では、前記プラズマエッチング加工は、前記ワーク近傍に電界を発生させる電極と、該電極に高周波を印加する通電手段と、前記ワーク近傍に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、前記電極と前記ワークのうち少なくとも一方を移動する移動手段と、を有するプラズマエッチング装置によるものであり、
前記プラズマエッチング加工を施す工程において、前記加工量分布に基づき、前記移動手段により、前記ワークの表面に沿って前記電極を移動させつつ、前記通電手段による前記高周波のＲＦパワー、前記処理ガス供給手段による前記処理ガスの供給量、前記移動手段による前記ワークと前記電極との離間距離、前記ワークと前記電極との相対移動速度のうち、少なくとも１つを変化させることが好ましい。
これにより、結晶構造解析法により取得したワークの結晶構造に関する情報を直接利用して、ワークの加工量分布を求め、ワークを加工しているため、加工後のワークの被処理面の形状を目的とする形状に限りなく近づけることができる。また、加工前のワークの被処理面の形状を人為的に取得する場合に比べて、人為的誤りが介在するおそれがないため、この点においても有利である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［適用例５］
本発明の加工方法では、前記プラズマエッチング加工を施す工程において、前記ワークの一方の面に対して前記加工量分布に基づいて前記プラズマエッチング加工を施した後、前記ワークの他方の面に対しても、前記加工量分布に基づいて前記プラズマエッチング加工を施すことが好ましい。
これにより、両面の平行度が高いワークを簡単に製造することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［適用例６］
本発明の加工方法では、前記角度を測定する工程は、Ｘ線回折法を用いていることが好ましい。
これにより、比較的簡単にワークの結晶構造を同定することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
［適用例７］
本発明の加工装置は、対向配置された上部電極および下部電極と、
前記上部電極と前記下部電極との間に、被処理面を有し、単結晶材料からなるワークを載置する載置部と、
前記上部電極と前記ワークのうち少なくとも一方を移動する移動手段と、
前記被処理面に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
前記上部電極と前記下部電極との間に高周波を印加する通電手段と、
前記ワークの任意の格子面と前記被処理面とがなす角度を測定する手段と、
前記移動手段、前記処理ガス供給手段および前記通電手段の少なくとも１つの手段を制御する制御手段とを有し、
前記制御手段は、前記角度に基づいて、前記被処理面内の加工量分布を求め、前記加工量分布を再現するように、前記移動手段、前記処理ガス供給手段および前記通電手段の少なくとも１つの手段を制御するよう構成されていることを特徴とする。
これにより、単結晶材料で構成されたワークの被処理面の形状が目的とする形状になるように、被処理面に効率よく修正加工を施すことができる加工装置が得られる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
［適用例８］
本発明の加工装置では、前記制御手段は、前記ワークと前記上部電極のうち少なくとも一方を移動しながら、
前記ワークと前記上部電極との相対移動速度を変化させるように前記移動手段を制御することを含むことが好ましい。
これにより、加工後のワークの被処理面の形状を目的とする形状に限りなく近づけることができる。