【手続補正書】
【提出日】平成24年6月29日(2012.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のコンピュータから製造装置の装置コントローラ内へ送信した制御パラメータであるレシピが正常に前記装置コントローラ内部のデータ格納領域に正しく送られたか否かを検査する検査システムであって、
基準データである検査用レシピデータを保持し、該検査用レシピデータを前記製造装置の制御装置に送信し、前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを読み出して該読み出された検査用レシピデータと前記保持された基準データである検査用レシピデータとを比較照合する検査装置と、
前記製造装置の制御装置であって、前記検査装置とデータ授受を可能に構成された前記製造装置の制御装置であって、前記検査装置から受信した検査用レシピデータを必要に応じてデータ形式を変換して前記装置コントローラに転送する制御装置と、
前記制御装置から転送された検査用レシピデータを、前記データ格納領域に格納する装置コントローラと
を備えることを特徴とする検査システム。
【請求項２】
前記検査用レシピデータは、前記レシピとして正常である正常値または異常値を含んでおり、
前記制御装置は、前記検査装置から受信した検査用レシピデータが正常値を含んでいる場合に、該正常値を含んでいる検査用レシピデータを前記装置コントローラに転送することを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
【請求項３】
前記制御装置は、前記検査装置から受信した検査用レシピデータが異常値を含んでいる場合は、前記検査装置に、前記検査用レシピデータが異常値を含むことを通知する応答を行うことを特徴とする請求項２に記載の検査システム。
【請求項４】
前記検査装置は、前記比較照合の結果を、該検査装置が有する記憶装置にファイル出力することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の検査システム。
【請求項５】
前記検査装置が前記装置コントローラから前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを読み出す際に、前記装置コントローラは、該装置コントローラが対応するデータ形式が前記検査装置が対応するデータ形式と異なる場合、前記読み出しの前に前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを前記検査装置に適合するようにデータ変換することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の検査システム。
【請求項６】
自身から製造装置の制御装置へ送信した制御パラメータであるレシピが前記製造装置の装置コントローラ内部のデータ格納領域に正しく格納されたか否かを検査する検査装置であって、
基準データである検査用レシピデータを保持するためのデータ保持部と、
前記検査用レシピデータを前記制御装置へ送信する送信部と、
前記装置コントローラから前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを受信する受信部と、
前記データ保持部に保持されている基準データである検査用レシピデータと前記受信部にて受信した検査用レシピデータとを比較照合する検査部と
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項７】
前記制御装置に送信した検査用レシピデータを前記装置コントローラに転送するように前記制御装置を制御する手段をさらに備えることを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
前記制御する手段は、前記制御装置に対してコマンドを送信して、前記制御装置に送信した検査用レシピデータを前記装置コントローラに転送させることを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記検査部による比較照合した結果を前記検査装置が備える記憶装置にファイル出力する出力部をさらに備えることを特徴とする請求項６乃至８のいずれかに記載の検査装置。
【請求項１０】
前記検査用レシピデータを生成するレシピ生成部をさらに備えることを特徴とする請求項６乃至９のいずれかに記載の検査装置。
【請求項１１】
前記レシピ生成部は、前記レシピとして正常である正常値を含む検査用レシピデータと異常値を含む検査用レシピデータとを夫々生成することを特徴とする請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記レシピ生成部は、制御項目単位で該制御項目に対する制御パラメータの正常値及び異常値の指定を取得し、前記制御項目に対して設定された前記正常値を含む正常な検査用レシピデータ、および前記制御項目に対して設定された前記異常値を含む検査用レシピデータを夫々生成することを特徴とする請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１３】
前記送信部により前記異常値を含む検査用レシピデータを前記制御装置に送信した結果、前記制御装置から異常である旨を通知された場合は、前記制御装置が前記異常値を異常であると判断している旨を表示する表示部をさらに備えることを特徴とする請求項１１または１２に記載の検査装置。
【請求項１４】
前記検査部は、前記受信した検査用レシピデータが前記検査装置のデータ形式と異なる場合に、該受信した検査用レシピデータを比較可能なデータに変換し、データ保持部に保持されている基準データである検査用レシピデータと比較することを特徴とする請求項６乃至１３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項１５】
前記検査部は、レシピに設定すべき各制御項目と、前記受信部にて受信した検査用レシピデータを前記データ保持部に保持されている基準データである検査用レシピデータと比較するための変換の処理内容との対応を規定したテーブルを記憶した記憶部を備えることを特徴とする請求項６乃至１４のいずれかに記載の検査装置。
【請求項１６】
検査装置から製造装置の制御装置へ送信した制御パラメータであるレシピが正常に前記製造装置の装置コントローラ内部のデータ格納領域に正しく送られたか否かを検査する検査方法であって、
前記検査装置が、基準データである検査用レシピデータを該検査装置が有するデータ保持部に保持し、前記検査用レシピデータを前記製造装置の制御装置に送信する工程と、
前記制御装置が、前記検査装置から受信した検査用レシピデータを必要に応じてデータ形式を変換して前記装置コントローラに転送する工程と、
前記装置コントローラが、前記転送された検査用レシピデータを前記データ格納領域に格納する工程と、
前記検査装置が、前記格納領域に格納された前記検査用レシピデータを読み出して該読み出された検査用レシピデータと前記データ保持部に保持された基準データである検査用レシピデータとを比較照合する工程と
を有することを特徴とする検査方法。
【請求項１７】
検査装置から製造装置の制御装置へ送信した制御パラメータであるレシピが前記製造装置の装置コントローラ内部のデータ格納領域に正しく格納されたか否かを検査する検査方法であって、
所定の情報を取得して検査用レシピデータを生成する工程と、
前記生成された検査用レシピデータを基準データとしてデータ保持部に保持する工程と、
前記生成された検査用レシピデータを前記制御装置へ送信する工程と、
前記送信した検査用レシピデータを前記制御装置から前記装置コントローラへと転送させる工程と、
前記装置コントローラから前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを受信する工程と、
前記データ保持部に保持されている基準データである検査用レシピデータと前記装置コントローラから受信した検査用レシピデータとを比較照合する工程と
を有することを特徴とする検査方法。
【請求項１８】
コンピュータを請求項６乃至１５のいずれかに記載の検査装置として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項１９】
コンピュータにより読み出し可能なプログラムを格納した記憶媒体であって、請求項１８に記載のコンピュータプログラムを格納したことを特徴とする記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
このような目的を達成するために、本発明は、所定のコンピュータから製造装置の装置コントローラ内へ送信した制御パラメータであるレシピが正常に前記装置コントローラ内部のデータ格納領域に正しく送られたか否かを検査する検査システムであって、基準データである検査用レシピデータを保持し、該検査用レシピデータを前記製造装置の制御装置に送信し、前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを読み出して該読み出された検査用レシピデータと前記保持された基準データである検査用レシピデータとを比較照合する検査装置と、前記製造装置の制御装置であって、前記検査装置とデータ授受を可能に構成された前記製造装置の制御装置であって、前記検査装置から受信した検査用レシピデータを必要に応じてデータ形式を変換して前記装置コントローラに転送する制御装置と、前記制御装置から転送された検査用レシピデータを、前記データ格納領域に格納する装置コントローラとを備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明は、自身から製造装置の制御装置へ送信した制御パラメータであるレシピが前記製造装置の装置コントローラ内部のデータ格納領域に正しく格納されたか否かを検査する検査装置であって、基準データである検査用レシピデータを保持するためのデータ保持部と、前記検査用レシピデータを前記制御装置へ送信する送信部と、前記装置コントローラから前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを受信する受信部と、前記データ保持部に保持されている基準データである検査用レシピデータと前記受信部にて受信した検査用レシピデータとを比較照合する検査部とを備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明は、検査装置から製造装置の制御装置へ送信した制御パラメータであるレシピが正常に前記製造装置の装置コントローラ内部のデータ格納領域に正しく送られたか否かを検査する検査方法であって、前記検査装置が、基準データである検査用レシピデータを該検査装置が有するデータ保持部に保持し、前記検査用レシピデータを前記製造装置の制御装置に送信する工程と、前記制御装置が、前記検査装置から受信した検査用レシピデータを必要に応じてデータ形式を変換して前記装置コントローラに転送する工程と、前記装置コントローラが、前記転送された検査用レシピデータを前記データ格納領域に格納する工程と、前記検査装置が、前記格納領域に格納された前記検査用レシピデータを読み出して該読み出された検査用レシピデータと前記データ保持部に保持された基準データである検査用レシピデータとを比較照合する工程とを有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
さらに、本発明は、検査装置から製造装置の制御装置へ送信した制御パラメータであるレシピが前記製造装置の装置コントローラ内部のデータ格納領域に正しく格納されたか否かを検査する検査方法であって、所定の情報を取得して検査用レシピデータを生成する工程と、前記生成された検査用レシピデータを基準データとしてデータ保持部に保持する工程と、前記生成された検査用レシピデータを前記制御装置へ送信する工程と、前記送信した検査用レシピデータを前記制御装置から前記装置コントローラへと転送させる工程と、前記装置コントローラから前記データ格納領域に格納された前記検査用レシピデータを受信する工程と、前記データ保持部に保持されている基準データである検査用レシピデータと前記装置コントローラから受信した検査用レシピデータとを比較照合する工程とを有することを特徴とする。