(57)【要約】  摺動面に対して流体を積極的に取り入れ、摺動面から排出させて、摺動面における堆積物発生原因物質の濃縮を防止し、ひいては堆積物発生を防止しつつ、摺動面に取り入れられた流体の低圧流体側への漏洩を防止する。   一対の摺動部品の互いに相対摺動する一方側の摺動面には、高圧流体側から入る入口部１０ａ、高圧流体側に抜ける出口部１０ｂ、及び、入口部１０ａ及び出口部１０ｂとを連通する連通部１０ｃから構成される流体循環溝１０が設けられ、流体循環溝１０は低圧流体側とはランド部Ｒにより隔離されており、流体循環溝１０を流れる流体の連通部１０ｃにおける圧力が低下されるように、少なくとも、入口部１０ａまたは出口部１０ｂにおける溝の断面積が連通部１０ｃにおける溝の断面積と異なるように設定されることを特徴としている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の摺動部品の互いに相対摺動する一方側の摺動面には、高圧流体側から入る入口部、高圧流体側に抜ける出口部、及び、前記入口部及び前記出口部とを連通する連通部から構成される流体循環溝が設けられ、前記流体循環溝は低圧流体側とはランド部により隔離されており、前記流体循環溝を流れる流体の前記連通部における圧力が低下されるように、少なくとも、前記入口部または前記出口部における溝の断面積が前記連通部における溝の断面積と異なるように設定されることを特徴とする摺動部品。 
【請求項２】
前記入口部の溝の断面積が前記連通部および前記出口部の溝の断面積より小さく設定されることを特徴とする請求項１に記載の摺動部品。 
【請求項３】
前記出口部の溝の断面積が前記連通部および前記入口部の溝の断面積より大さく設定されることを特徴とする請求項１に記載の摺動部品。 
【請求項４】
前記流体循環溝は、前記摺動面の周方向にランド部で隔離されて複数設けられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の摺動部品。 
【請求項５】
前記流体循環溝と高圧流体側とで囲まれる部分には、前記流体循環溝より浅い正圧発生溝からなる正圧発生機構が設けられ、前記正圧発生機構は前記入口部の下流側において前記入口部に連通され、前記出口部および前記高圧流体側とはランド部で隔離されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の摺動部品。 
【請求項６】
前記正圧発生機構は、レイリーステップ機構からなることを特徴とする請求項５に記載の摺動部品。 
【請求項７】
前記一方側の摺動面の前記流体循環溝と高圧流体側とで囲まれる部分の外側には、前記流体循環溝より浅い負圧発生溝からなる負圧発生機構が設けられ、前記負圧発生溝は前記入口部の上流側において前記入口部に連通され、前記出口部並びに前記低圧流体側及び前記高圧流体側とはランド部により隔離されていることを特徴とする請求項５又は６に記載の摺動部品。 
【請求項８】
前記負圧発生機構は、逆レイリーステップ機構から構成されることを特徴とする請求項７に記載の摺動部品。 
【請求項９】
前記一方側の摺動面の高圧側には正圧発生溝を備えた正圧発生機構が、低圧側には負圧発生溝を備えた負圧発生機構が設けられ、前記正圧発生溝と前記負圧発生溝との間に前記連通部が配設され、前記正圧発生溝の上流側及び前記連通部を高圧流体側に連通するように入口部が配設され、前記負圧発生溝の下流側及び前記連通部を高圧流体側に連通する出口部が配設され、前記入口部及び前記出口部は低圧側から高圧側に向かってそれぞれ開く方向に傾斜されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の摺動部品。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、メカニカルシール、軸受、その他、摺動部に適した摺動部品に関する。特に、摺動面に流体を介在させて摩擦を低減させるとともに、摺動面から流体が漏洩するのを防止する必要のある密封環または軸受などの摺動部品に関する。 
【背景技術】
【０００２】
摺動部品の一例である、メカニカルシールにおいて、その性能は、漏れ量、摩耗量、及びトルクによって評価される。従来技術ではメカニカルシールの摺動材質や摺動面粗さを最適化することにより性能を高め、低漏れ、高寿命、低トルクを実現している。しかし、近年の環境問題に対する意識の高まりから、メカニカルシールの更なる性能向上が求められており、従来技術の枠を超える技術開発が必要となっている。 
そのような中で、例えば、水冷式エンジンの冷却に用いられるウォーターポンプのメカニカルシールにおいては、時間の経過とともに不凍液の１種であるＬＬＣの添加剤、例えばシリケートやリン酸塩など（以下、「堆積物発生原因物質」という。）が、摺動面で濃縮され、堆積物が生成されメカニカルシールの機能が低下するおそれのあることが本件発明者において確認された。この堆積物の生成は薬品やオイルを扱う機器のメカニカルシールにおいても同様に発生する現象と考えられる。 【０００３】
従来のメカニカルシールにおいては、摺動面の摩擦発熱による摩耗や焼損の発生を防止するために、摺動面に流体層を形成させるべく流体導入溝を形成したものが知られている（例えば、特許文献１、２、３参照。）が、漏れ及び摩耗の低減に加えて、摺動面における堆積物の生成を防止するための方策を講じたものは提案されていないのが現状である。 
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１８０７７２号公報
【特許文献２】特開平７−２２４９４８号公報
【特許文献３】米国特許第５，４９８，００７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、摺動面に対して流体を積極的に取り入れ、摺動面から排出させて、摺動面における堆積物発生原因物質の濃縮を防止し、ひいては堆積物発生を防止しつつ、摺動面に取り入れられた流体の低圧流体側への漏洩を防止することにより、長期間にわたり摺動面の密封機能を維持させることのできる摺動部品を提供することを目的とする。 
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため本発明の摺動部品は、第１に、一対の摺動部品の互いに相対摺動する一方側の摺動面には、高圧流体側から入る入口部、高圧流体側に抜ける出口部、及び、前記入口部及び前記出口部とを連通する連通部から構成される流体循環溝が設けられ、前記流体循環溝は低圧流体側とはランド部により隔離されており、前記流体循環溝を流れる流体の前記連通部における圧力が低下されるように、少なくとも、前記入口部または前記出口部における溝の断面積が前記連通部における溝の断面積と異なるように設定されることを特徴としている。 
この特徴によれば、摺動面に対して流体を積極的に取り入れ、摺動面から排出させて、摺動面における堆積物発生原因物質の濃縮を防止し、ひいては堆積物発生を防止しつつ、流体循環溝を流れる流体の連通部における圧力を低下させ、摺動面に取り入れられた流体の低圧流体側への漏洩を防止することにより、長期間にわたり摺動面の密封機能を維持させることのできる摺動部品を提供することができる。 【０００７】
また、本発明の摺動部品は、第２に、第１の特徴において、前記入口部の溝の断面積が前記連通部および前記出口部の溝の断面積より小さく設定されることを特徴としている。 
また、本発明の摺動部品は、第３に、第１の特徴において、前記出口部の溝の断面積が前記連通部および前記入口部の溝の断面積より大さく設定されることを特徴としている。 
これらの特徴によれば、摺動面に対する流体の取り入れを確保しつつ、流体循環溝を流れる流体の連通部における圧力を低下させることができる。 【０００８】
また、本発明の摺動部品は、第４に、第１ないし３のいずれかの特徴において、前記流体循環溝は、前記摺動面の周方向にランド部で隔離されて複数設けられることを特徴としている。 
この特徴によれば、摺動面全体に均一に流体を取り入れることができる。 【０００９】
また、本発明の摺動部品は、第５に、第１ないし４のいずれかの特徴において、前記流体循環溝と高圧流体側とで囲まれる部分には、前記流体循環溝より浅い正圧発生溝からなる正圧発生機構が設けられ、前記正圧発生機構は前記入口部の下流側において前記入口部に連通され、前記出口部および前記高圧流体側とはランド部で隔離されていることを特徴としている。 
この特徴によれば、正圧発生機構により発生された正圧により相対摺動す摺動面の間隔を広げ、該摺動面に液膜を形成し、潤滑性を向上させることができる。 【００１０】
また、本発明の摺動部品は、第６に、第５の特徴において、前記正圧発生機構は、レイリーステップ機構からなることを特徴としている。 
この特徴によれば、摺動面にレイリーステップを設けることで容易に正圧発生機構を形成することができる。 【００１１】
また、本発明の摺動部品は、第７に、第５又は６の特徴において、前記一方側の摺動面の前記流体循環溝と高圧流体側とで囲まれる部分の外側には、前記流体循環溝より浅い負圧発生溝からなる負圧発生機構が設けられ、前記負圧発生溝は前記入口部に連通され、前記出口部及び前記低圧流体側とはランド部により隔離されていることを特徴としている。 
この特徴によれば、レイリーステップ機構の設けられていない部分であるところの隣接する流体循環溝の間において高圧流体側から低圧流体側に漏洩しようとする被密封流体を負圧発生溝に取り込み、流体循環溝を介して高圧流体側に戻すことにより、密封性を向上させ、摺動面全体の密封性を向上させることができる。 【００１２】
また、本発明の摺動部品は、第８に、第７の特徴において、前記負圧発生機構は、逆レイリーステップ機構から構成されることを特徴としている。 
この特徴によれば、摺動面に逆レイリーステップを設けることで容易に負圧発生機構を形成することができる。 【００１３】
また、本発明の摺動部品は、第９に、第１ないし４のいずれかの特徴において、前記一方側の摺動面の高圧側には正圧発生溝を備えた正圧発生機構が、低圧側には負圧発生溝を備えた負圧発生機構が設けられ、前記正圧発生溝と前記負圧発生溝との間に前記連通部が配設され、前記正圧発生溝の上流側及び前記連通部を高圧流体側に連通するように入口部が配設され、前記負圧発生溝の下流側及び前記連通部を高圧流体側に連通する出口部が配設され、前記入口部及び前記出口部は低圧側から高圧側に向かってそれぞれ開く方向に傾斜されていることを特徴としている。 
この特徴によれば、正圧発生機構により潤滑性を向上させ、負圧発生機構により密封性を向上させることに加えて、正圧発生機構側から負圧発生機構側に流入しようとする流体を連通部に取り込み、高圧流体側に排出するものであるから、摺動面における漏洩をより一層防止し、密封性を向上させることができる。 
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、以下のような優れた効果を奏する。 
（１）流体循環溝を流れる流体の前記連通部における圧力が低下されるように、少なくとも、前記入口部または前記出口部における溝の断面積が前記連通部における溝の断面積と異なるように設定されることにより、摺動面に対して流体を積極的に取り入れ、摺動面から排出させて、摺動面における堆積物発生原因物質の濃縮を防止し、ひいては堆積物発生を防止しつつ、流体循環溝を流れる流体の連通部における圧力を低下させ、摺動面に取り入れられた流体の低圧流体側への漏洩を防止することにより、長期間にわたり摺動面の密封機能を維持させることのできる摺動部品を提供することができる。 【００１５】
（２）入口部の溝の断面積が連通部および出口部の溝の断面積より小さく設定されること、または、出口部の溝の断面積が連通部および入口部の溝の断面積より大さく設定されることにより、摺動面に対する流体の取り入れを確保しつつ、流体循環溝を流れる流体の連通部における圧力を低下させることができる。 【００１６】
（３）流体循環溝が摺動面の周方向にランド部で隔離されて複数設けられることにより、摺動面全体に均一に流体を取り入れることができる。 【００１７】
（４）正圧発生機構により発生された正圧により相対摺動す摺動面の間隔を広げ、該摺動面に液膜を形成し、潤滑性を向上させることができる。 【００１８】
（５）正圧発生機構をレイリーステップ機構から構成することにより、摺動面にレイリーステップを設けることで容易に正圧発生機構を形成することができる。 【００１９】
（６）レイリーステップ機構の設けられていない部分であるところの隣接する流体循環溝の間において高圧流体側から低圧流体側に漏洩しようとする被密封流体を負圧発生溝に取り込み、流体循環溝を介して高圧流体側に戻すことにより、密封性を向上させ、摺動面全体の密封性を向上させることができる。 【００２０】
（７）負圧発生機構を逆レイリーステップ機構から構成することにより、摺動面に逆レイリーステップを設けることで容易に負圧発生機構を形成することができる。 【００２１】
（８）正圧発生機構により潤滑性を向上させ、負圧発生機構により密封性を向上させることに加えて、正圧発生機構側から負圧発生機構側に流入しようとする流体を連通部に取り込み、高圧流体側に排出するものであるから、摺動面における漏洩をより一層防止し、密封性を向上させることができる。 
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施例１に係るメカニカルシールの一例を示す縦断面図である。
【図２】本発明の実施例１に係る摺動部品の摺動面を示したもので、図（ａ）は流体循環溝が略Ｖ字状をなして周方向に独立して複数設けられた場合を、図（ｂ）は流体循環溝が直線状をなして周方向に独立して複数設けられた場合を示している。
【図３】本発明の実施例１に係る摺動部品の摺動面を示したもので、図（ａ）は流体循環溝が略Ｕ字状をなして周方向に独立して複数設けられた場合を、図（ｂ）は流体循環溝が周方向に連通されるように設けられた場合を示している。
【図４】図２（ａ）のＡ−Ａ断面図であって、流体循環溝の入口部の縦断面形状を説明するためのものである。
【図５】本発明の実施例１に係る摺動部品の摺動面に設けられる流体循環溝の平面形状を説明するための図である。
【図６】本発明の実施例２に係る摺動部品の摺動面を示したもので、図２に示す摺動面に正圧発生機構が付加された場合を示している。
【図７】本発明の実施例２に係る摺動部品の摺動面を示したもので、図３に示す摺動面に正圧発生機構が付加された場合を示している。
【図８】本発明の実施例３に係る摺動部品の摺動面を示したものである。
【図９】本発明の実施例４に係る摺動部品の摺動面を示したものである。
【図１０】レイリーステップ機構などからなる正圧発生機構及び逆レイリーステップ機構などからなる負圧発生機構を説明するためのものであって、図（ａ）はレイリーステップ機構を、図（ｂ）は逆レイリーステップ機構を示したものである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置などは、特に明示的な記載がない限り、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。   
【実施例１】
【００２４】
図１ないし図５を参照して、本発明の実施例１に係る摺動部品について説明する。 
なお、以下の実施例においては、摺動部品の一例であるメカニカルシールを例にして説明する。また、メカニカルシールを構成する摺動部品の外周側を高圧流体側（被密封流体側）、内周側を低圧流体側（大気側）として説明するが、本発明はこれに限定されることなく、高圧流体側と低圧流体側とが逆の場合も適用可能である。 【００２５】
図１は、メカニカルシールの一例を示す縦断面図であって、摺動面の外周から内周方向に向かって漏れようとする高圧流体側の被密封流体を密封する形式のインサイド形式のものであり、高圧流体側のポンプインペラ（図示省略）を駆動させる回転軸１側にスリーブ２を介してこの回転軸１と一体的に回転可能な状態に設けられた一方の摺動部品である円環状の回転環３と、ポンプのハウジング４に非回転状態かつ軸方向移動可能な状態で設けられた他方の摺動部品である円環状の固定環５とが設けられ、固定環５を軸方向に付勢するコイルドウェーブスプリング６及びベローズ７によって、ラッピング等によって鏡面仕上げされた摺動面Ｓ同士で密接摺動するようになっている。すなわち、このメカニカルシールは、回転環３と固定環５との互いの摺動面Ｓにおいて、被密封流体が回転軸１の外周から大気側へ流出するのを防止するものである。 
なお、図１では、回転環３の摺動面の幅が固定環５の摺動面の幅より広い場合を示しているが、これに限定されることなく、逆の場合においても本発明を適用出来ることはもちろんである。 【００２６】
図２は、本発明の実施例１に係る摺動部品の摺動面を示したものであって、ここでは、図２の固定環５の摺動面に流体循環溝が形成される場合を例にして説明する。 
なお、回転環３の摺動面に流体循環溝が形成される場合も基本的には同様であるが、その場合、流体循環溝は被密封流体側に連通すればよいため、摺動面の外周側まで設けられる必要はない。 【００２７】
図２（ａ）において、固定環５の摺動面の外周側が高圧流体側であり、また、内周側が低圧流体側、例えば大気側であり、相手摺動面は反時計方向に回転するものとする。 
固定環５の摺動面には、高圧流体側に連通されると共に低圧流体側とは摺動面の平滑部Ｒ（本発明においては、「ランド部」ということがある。）により隔離された流体循環溝１０が周方向に複数設けられている。 【００２８】
流体循環溝１０は、高圧流体側から入る入口部１０ａ、高圧流体側に抜ける出口部１０ｂ、及び、入口部１０ａ及び出口部１０ｂとを周方向に連通する連通部１０ｃから構成されている。流体循環溝１０は、摺動面において腐食生成物などを含む流体が濃縮されることを防止するため、積極的に高圧流体側から被密封流体を摺動面上に導入し排出するという役割を担うものであり、相手摺動面の回転方向に合わせて摺動面上に被密封流体を取り入れ、かつ、排出しやすいように入口部１０ａ及び出口部１０ｂが形成される一方、漏れを低減するため、低圧流体側とはランド部Ｒにより隔離されている。 【００２９】
なお、流体循環溝１０は低圧流体側とはランド部Ｒにより隔離されているとはいっても、低圧流体側と圧力勾配が存在する限り微量の漏れは避けられず、図２（ａ）に示す流体循環溝１０のように低圧流体側に近い連通部１０ｃにおいては最も圧力勾配が大きいため、連通部１０ｃから流体の漏洩が発生しやすいものである。 【００３０】
本例では、流体循環溝１０は、入口部１０ａ及び出口部１０ｂの傾斜角度が大きく設定され、両者は低圧流体側（図２においては内周側）において交差するように略Ｖ字状に配設され、この交叉部が連通部１０ｃを形成している。入口部１０ａと出口部１０ｂとの交叉角度は鈍角（例えば、約１５０°）であるが、特にこれに限定されるものではなく、入口部１０ａ及び出口部１０ｂの傾きをさらに大きくしてもよく、また、直線状ではなく曲線状（円弧状など）にしてもよい。また、流体循環溝１０の幅及び深さは、被密封流体の圧力、種類（粘性）などに応じて最適なものに設定されるが、この点については、後に、詳細に説明する。 
なお、本明細書において、「入口部及び出口部の傾斜角度が大きく」とは、例えば図２において、入口部及び出口部のそれぞれの傾斜角度が入口部及び出口部と固定環の中心を結ぶ線よりも高圧流体側に向かうにつれてより大きく開くように傾斜していることを意味する。 【００３１】
図２（ａ）に示す流体循環溝１０は、入口部１０ａ及び出口部１０ｂの傾斜角度が大きいため、入口部１０ａへの流体の流入及び出口部１０ｂからの流体の排出が容易である。  また、流入低圧流体側に近い連通部１０ｃの長さが短いことから、連通部１０ｃから低圧流体側への漏洩は減少される。 【００３２】
図２（ｂ）に示す固定環５は、流体循環溝１０の形状が略直線状をなしている点で図２（ａ）と異なると共に、流体循環溝１０が周方向に３等配で設けられている点で相違するが、その他の基本構成は図２（ａ）と同じである。 
図２（ｂ）に示す流体循環溝１０は、入口部１０ａ、連通部１０ｃ及び出口部１０ｂが略直線状をなしているため、入口部１０ａから出口部１０ｂへの流体の流通が容易であり、さらに、連通部１０ｃから低圧流体側への漏洩も少ない。 【００３３】
図３（ａ）に示す固定環５は、流体循環溝１０の形状が略Ｕ字状をなしている点で図２（ａ）と異なると共に、流体循環溝１０が周方向に８等配で設けられている点でも相違するが、その他の基本構成は図２（ａ）と同じである。 
図３（ａ）に示す流体循環溝１０は、入口部１０ａ及び出口部１０ｂが固定環の中心を通るように高圧流体側に向けて開かれ、入口部１０ａ及び出口部１０ｂの内周側端部が固定環５の中心を中心とする円弧状の連通部１０ｃにより接続されている。 【００３４】
図３（ｂ）に示す固定環５は、主に、流体循環溝が周方向に連通するように設けられている点で図３（ａ）と異なると共に、流体循環溝１０が周方向に１２等配で設けられている点でも相違するが、その他の基本構成は図３（ａ）と同じである。 
図３（ｂ）において、図３（ａ）と同様に、高圧流体側に連通されると共に低圧流体側とは摺動面の平滑部Ｒにより隔離された流体循環溝１０の入口部１０ａ及び出口部１０ｂが対をなすように周方向に複数設けられ、連通部１０ｃは、対をなす入口部１０ａ及び出口部１０ｂを内周側端部において連通すると共に、全周に延び、すべての流体循環溝１０の連通部を連通している。また、流体循環溝１０の入口部１０ａ及び出口部１０ｂは、例えば、中心線Ｏ−Ｏを基準にして高圧流体側に向けて開かれると共に、対称に形成され、入口部１０ａ及び出口部１０ｂの交差角は鈍角（例えば、約１２０°）をなすように設定されている。 【００３５】
次に、図４及び図５を参照しながら流体循環溝の断面形状について説明する。 
図４は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面図であって、流体循環溝の入口部の縦断面形状を示している。 
図４（ａ）において、流体循環溝の入口部１０ａの溝深さｈ１は高圧流体側に面する入口面において連通部１０ｃ及び出口部１０ｂの溝深さｈより小さく設定されている。この場合、入口部１０ａ、連通部１０ｃ及び出口部１０ｂの溝幅は一定とされている。 
図４（ａ）に示す入口部１０ａは、高圧流体側に面する入口面においてランド部Ｒから溝底面１０ｄまでの溝深さがｈ１に設定され、連通部１０ｃに向かってなだらかに深くなるように底面１０ｄがテーパ形状に形成されている。 【００３６】
図４（ｂ）に示す入口部１０ａは、高圧流体側に面する入口面から一定の距離ｍにおいてランド部Ｒから溝底面１０ｄまでの溝深さがｈ１に設定され、その後、連通部１０ｃに向かってなだらかに深くなるテーパ形状に形成されている。 【００３７】
図４（ｃ）に示す入口部１０ａは、高圧流体側に面する入口面から一定の距離ｍにおいてランド部Ｒから溝底面１０ｄまでの溝深さがｈ１に設定され、その後、段差部により溝深さｈまで深くなるように形成されている。 【００３８】
以上のように、図４に示す流体循環溝１０の入口部１０ａの溝深さｈ１は連通部１０ｃ及び出口部１０ｂの溝深さｈより小さく設定されていることにより、溝幅が一定とされている場合であっても、溝の断面積が入口部１０ａにおいて連通部１０ｃ及び出口部１０ｂより小さい。そのため、流体循環溝１０の断面積が連通部１０ｃ及び出口部１０ｂと同じ大きさで一定とされている場合に比べて、流体循環溝１０への流体の流入量が減少し、低圧流体側に最も近い連通部１０ｃにおける流体の圧力も低減される。その結果、連通部１０ｃと低圧流体側との圧力勾配も小さくなり、低圧流体側に最も近い連通部１０ｃからの漏れが減少されることになる。 【００３９】
次に、図５を参照しながら、流体循環溝１０の溝幅の大小により溝の断面積が変更される場合について説明する。 
図５（ａ）は、入口部１０ａの溝幅ｂ１が連通部１０ｃ及び出口部１０ｂの溝幅ｂより小さく設定されている場合を示している。この場合、入口部１０ａ、連通部１０ｃ及び出口部１０ｂの溝深さは一定とされている。 
図５（ａ）に示す入口部１０ａは、高圧流体側に面する入口面において溝幅がｂ１に設定され、連通部１０ｃに向かってなだらかに拡大して溝幅ｂになるようにテーパ形状に形成されている。 【００４０】
入口部１０ａの溝幅ｂ１が連通部１０ｃに向かって拡大する態様としては、高圧流体側に面する入口面から一定距離までは溝幅ｂ１とし、その後、連通部１０ｃに向かってなだらかに拡大するように設定される場合の他、高圧流体側に面する入口面から一定の距離までは溝幅ｂ１とし、その後、段差部により急激に溝幅ｂまで拡大されるように設定されてもよい。 【００４１】
図５（ｂ）は、出口部１０ｂの溝幅ｂ２が連通部１０ｃ及び入口部１０ａの溝幅ｂより大きく設定されている場合を示している。この場合、入口部１０ａ、連通部１０ｃ及び出口部１０ｂの溝深さは同じである。 
図５（ｂ）に示す出口部１０ｂは、連通部１０ｃから出口部１０ｂに向けてなだらかに拡大され、高圧流体側に面する出口面において溝幅がｂ２になるようにテーパ形状に形成されている。 【００４２】
出口部１０ｂの溝幅ｂ２が連通部１０ｃから出口部１０ｂに向かって拡大する態様としては、高圧流体側に面する出口面から一定距離までは溝幅ｂ２とし、その後、連通部１０ｃに向かってなだらかに縮小するように設定される場合の他、高圧流体側に面する出口面から一定の距離までは溝幅ｂ２とし、その後、段差部により急激に溝幅ｂまで縮小されるように設定されてもよい。 【００４３】
以上のように、図５（ａ）に示すように、流体循環溝１０の入口部１０ａの溝幅ｂ１は連通部１０ｃ及び出口部１０ｂの溝幅ｂより小さく設定されている場合、溝深さが一定とされている場合であっても、溝の断面積が入口部１０ａにおいて連通部１０ｃ及び出口部１０ｂより小さい。そのため、流体循環溝１０の入口部に１０ａにおける断面積が連通部１０ｃ及び出口部１０ｂと同じ大きさで一定とされている場合に比べて、流体循環溝１０への流体の流入量が減少し、低圧流体側に最も近い連通部１０ｃにおける流体の圧力も低減される。その結果、連通部１０ｃと低圧流体側との圧力勾配も小さくなり、低圧流体側に最も近い連通部１０ｃからの漏れが減少されることになる。 
また、図５（ｂ）に示すように、出口部１０ｂの溝幅ｂ２が連通部１０ｃ及び入口部１０ａの溝幅ｂより大きく設定されている場合、溝深さが一定とされている場合であっても、溝の断面積が出口部１０ｂにおいて連通部１０ｃ及び出口部１０ｂより大きい。そのため、流体循環溝１０の出口部１０ｂにおける断面積が連通部１０ｃ及び入口部１０ａと同じ大きさで一定とされている場合に比べて、出口部１０ｂでの流体の排出抵抗が小さくなり、連通部１０ｃにおける流体の圧力が低減される。その結果、連通部１０ｃと低圧流体側との圧力勾配も小さくなり、低圧流体側に最も近い連通部１０ｃからの漏れが減少されることになる。 【００４４】
なお、上記においては、溝深さ及び溝幅のいずれか一方を一定として他方を変化させる場合について説明したが、溝深さ及び溝幅の両方を変化させてもよく、要は、断面積が所望のとおりに変化されればよい。 【００４５】
以上説明したように、実施例１の構成によれば、流体循環溝１０により摺動面に流体が積極的に導かれ排出されることにより摺動面間の流体が循環し、堆積物発生原因物質などを含む流体の濃縮および摩耗粉や異物の滞留が防止され、ひいては堆積物の形成が防止され、長期間にわたり摺動面の密封機能を維持することができる。その際、流体循環溝１０を流れる流体の連通部１０ｃにおける圧力が低下されるように、少なくとも、入口部１０ａまたは出口部１０ｂにおける溝の断面積が連通部１０ｃにおける溝の断面積と異なるように設定、より具体的には、入口部１０ａの溝の断面積が連通部１０ｃおよび出口部１０ｂの溝の断面積より小さく、あるいは、出口部１０ｂの溝の断面積が連通部１０ｃおよび入口部１０ａの溝の断面積より大さく設定されるているため、流体循環溝１０のもっとも低圧流体側に近い部分に位置する連通部１０ｃから低圧流体側への流体の漏洩をより一層低減できる 
【実施例２】
【００４６】
図６及び図７を参照して、本発明の実施例２に係る摺動部品について説明する。 
実施例２に係る摺動部品は、摺動面の流体循環溝と高圧流体側とにより囲まれる部分に正圧発生機構を付加的に設けた点で実施例１の摺動部品と相違するが、その他の基本構成、すなわち、流体循環溝１０を流れる流体の連通部１０ｃにおける圧力が低下されるように、少なくとも、入口部１０ａまたは出口部１０ｂにおける溝の断面積が連通部１０ｃにおける溝の断面積と異なるように設定、より具体的には、入口部１０ａの溝の断面積が連通部１０ｃおよび出口部１０ｂの溝の断面積より小さく、あるいは、出口部１０ｂの溝の断面積が連通部１０ｃおよび入口部１０ａの溝の断面積より大さく設定されるているため、流体循環溝１０のもっとも低圧流体側に近い部分に位置する連通部１０ｃから低圧流体側への流体の漏洩をより一層低減できるようにすることは実施例１と同じであり、同じ部材には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。 【００４７】
図６（ａ）に示す固定環５において、流体循環溝１０が設けられた摺動面には、流体循環溝１０と高圧流体側とで囲まれる部分に流体循環溝１０より浅い正圧発生溝１１ａを備える正圧発生機構１１が設けられている。 
正圧発生溝１１ａは流体循環溝１０の入口部に連通し、出口部１０ｂ及び高圧流体側とはランド部Ｒにより隔離されている。 
本例では、正圧発生機構１１は、流体循環溝１０の入口部１０ａに連通するグルーブ１１ａ及びレイリーステップ１１ｂを備えたレイリーステップ機構から構成されるが、これに限定されることなく、例えば、ダム付きフェムト溝で構成してもよく、要は、正圧を発生する機構であればよい。 
なお、レイリーステップ機構については、後に、詳しく説明する。 【００４８】
図６（ｂ）に示す固定環５は、流体循環溝１０の形状が略直線状をなしている点で図６（ａ）と異なると共に、流体循環溝１０が周方向に３等配で設けられている点でも相違するが、その他の基本構成は図６（ａ）と同じである。 【００４９】
図７（ａ）に示す固定環５は、流体循環溝１０の形状が略Ｕ字状をなしている点で図６（ａ）と異なると共に、流体循環溝１０が周方向に８等配で設けられている点でも相違するが、その他の基本構成は図６（ａ）と同じである。 
本例に示す流体循環溝１０は、入口部１０ａ及び出口部１０ｂが固定環５の中心を通るように高圧流体側に向けて開かれ、入口部１０ａ及び出口部１０ｂの内周側の部分が固定環の中心を中心とする円弧状の連通部１０ｃにより接続されている。 【００５０】
図７（ｂ）に示す固定環５は、主に、流体循環溝が周方向に連通するように設けられている点で図７（ａ）と異なると共に、流体循環溝１０が周方向に１２等配で設けられている点でも相違するが、その他の基本構成は図７（ａ）と同じである。 
図７（ｂ）において、図７（ａ）と同様に、高圧流体側に連通されると共に低圧流体側とは摺動面の平滑部Ｒにより隔離された流体循環溝１０の入口部１０ａ及び出口部１０ｂが対をなすように周方向に複数設けられ、連通部１０ｃは、対をなす入口部１０ａ及び出口部１０ｂを内周側端部において連通すると共に、全周に延び、すべての流体循環溝１０の連通部を連通している。また、流体循環溝１０の入口部１０ａ及び出口部１０ｂは、例えば、中心線Ｏ−Ｏを基準にして高圧流体側に向けて開かれると共に、対称に形成され、入口部１０ａ及び出口部１０ｂの交差角は鈍角（例えば、約１２０°）をなすように設定されている。 【００５１】
本実施例２において、正圧発生機構１１は、その上流側において流体循環溝１０の入口部１０ａを介して高圧流体側から流体を吸い込み、正圧を発生し、発生した正圧により相対摺動す摺動面の間隔を広げ、該摺動面に液膜を形成し、潤滑性を向上させるものである。 
【実施例３】
【００５２】
図８を参照して、本発明の実施例３に係る摺動部品について説明する。 
実施例３に係る摺動部品は、摺動面の流体循環溝と高圧流体側とにより囲まれる部分の外側には、負圧発生機構が付加的に設けられた点で実施例２の摺動部品と相違するが、その他の基本構成、すなわち、流体循環溝１０を流れる流体の連通部１０ｃにおける圧力が低下されるように、少なくとも、入口部１０ａまたは出口部１０ｂにおける溝の断面積が連通部１０ｃにおける溝の断面積と異なるように設定、より具体的には、入口部１０ａの溝の断面積が連通部１０ｃおよび出口部１０ｂの溝の断面積より小さく、あるいは、出口部１０ｂの溝の断面積が連通部１０ｃおよび入口部１０ａの溝の断面積より大さく設定されるているため、流体循環溝１０のもっとも低圧流体側に近い部分に位置する連通部１０ｃから低圧流体側への流体の漏洩をより一層低減できるようにすることは実施例２と同じであり、同じ部材には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。 【００５３】
図８（ａ）において、流体循環溝１０が設けられた摺動面には、流体循環溝１０と高圧流体側とで囲まれる部分に流体循環溝１０より浅い正圧発生溝１１ａを備える正圧発生機構１１が設けられ、さらに、流体循環溝１０と高圧流体側とで囲まれた部分の外側、すなわち、隣接する流体循環溝１０、１０の間には、流体循環溝１０より浅い負圧発生溝１２ａを備える負圧発生機構１２が設けられている。負圧発生溝１２ａは入口部１０ａに連通し、出口部１０ｂ及び低圧流体側とはランド部Ｒにより隔離されている。 
本例では、負圧発生機構１２は、流体循環溝１０の入口部１０ａに上流側において連通するグルーブ１２ａ及び逆レイリーステップ１２ｂを備えたレイリーステップ機構から構成されるが、これに限定されることなく、要は、負圧を発生する機構であればよい。 
逆レイリーステップ機構については、後に、詳しく説明する。 【００５４】
図８（ｂ）は、流体循環溝１０が周方向に４等配に配設され、隣接する流体循環溝１０、１０の間に設けられる逆レイリーステップ機構１２のグルーブ１２ａが図８（ａ）のグルーブ１２ａより周方向に長く形成される点で図８（ａ）と相違するが、その他の構成は図８（ａ）と同じである。 【００５５】
本実施例３において、負圧発生機構１２は、負圧の発生により高圧流体側から低圧流体側に漏洩しようとする被密封流体を負圧発生溝１２ａに取り込み、流体循環溝１０を介して高圧流体側に戻し、密封性を向上させる役割を果たすもので、正圧発生機構１１の設けられていない部分であるところの隣接する流体循環溝１０と１０との間における漏洩を防止し、摺動面全体の密封性を向上させるものである。 
なお、正圧発生機構１１及び負圧発生機構１２の等配数や正圧発生機構１１と負圧発生機構１２の長さの比は、適宜最適なものを選定できる。 
【実施例４】
【００５６】
図９を参照して、本発明の実施例４に係る摺動部品について説明する。 
前述した実施例と同じ部材には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。 【００５７】
実施例４に係る摺動部品は、摺動面の高圧側には正圧発生溝１１ａを備えた正圧発生機構１１が、低圧側には負圧発生溝１２ａを備えた負圧発生機構１２が設けられ、正圧発生溝１１ａと負圧発生溝１２ａとの間に流体循環溝１０の連通部１０ｃが全周にわたって配設され、正圧発生溝１１ａの上流側及び連通部１０ｃを高圧流体側に連通するように入口部１０ａが配設され、負圧発生溝１２ａの下流側及び連通部１０ｃを高圧流体側に連通する出口部１０ｂが配設されている。入口部１０ａ及び出口部１０ｂは低圧側から高圧側に向かってそれぞれ開く方向に傾斜されている 【００５８】
本実施例４において、正圧発生溝１１ａと負圧発生溝１２ａとの間に配設される流体循環溝１０の連通部１０ｃは、正圧発生機構１１側から負圧発生機構１２側に流入しようとする流体を取り込み、高圧流体側に排出する役割を持つものであり、摺動面における漏洩を防止し、密封性を向上させるものである。 
また、流体循環溝１０を流れる流体の連通部１０ｃにおける圧力が低下されるように、少なくとも、入口部１０ａまたは出口部１０ｂにおける溝の断面積が連通部１０ｃにおける溝の断面積と異なるように設定、より具体的には、入口部１０ａの溝の断面積が連通部１０ｃおよび出口部１０ｂの溝の断面積より小さく、あるいは、出口部１０ｂの溝の断面積が連通部１０ｃおよび入口部１０ａの溝の断面積より大さく設定されるているため、流体循環溝１０のもっとも低圧流体側に近い部分に位置する連通部１０ｃから低圧流体側への流体の漏洩をより一層低減できるようにすることは前述の実施例と同じである。 【００５９】
次に、図１０を参照しながら、レイリーステップ機構などからなる正圧発生機構及び逆レイリーステップ機構などからなる負圧発生機構を説明する。 
図１０（ａ）において、相対する摺動部品である回転環３、及び、固定環５が矢印で示すように相対摺動する。例えば、固定環５の摺動面には、相対的移動方向と垂直かつ上流側に面してレイリーステップ１１ｂが形成され、該レイリーステップ１１ｂの上流側には正圧発生溝であるグルーブ部１１ａが形成されている。相対する回転環３及び固定環５の摺動面は平坦である。 
回転環３及び固定環５が矢印で示す方向に相対移動すると、回転環３及び固定環５の摺動面間に介在する流体が、その粘性によって、回転環３または固定環５の移動方向に追随移動しようとするため、その際、レイリーステップ１１ｂの存在によって破線で示すような正圧（動圧）を発生する。 
なお、１０ａ、１０ｂは流体循環溝の入口部、出口部を、また、Ｒはランド部を示す。 【００６０】
図１０（ｂ）においても、相対する摺動部品である回転環３、及び、固定環５が矢印で示すように相対摺動するが、回転環３及び固定環５の摺動面には、相対的移動方向と垂直かつ下流側に面して逆レイリーステップ１２ｂが形成され、該逆レイリーステップ１２ｂの下流側には負圧発生溝であるグルーブ部１２ａが形成されている。相対する回転環３及び固定環５の摺動面は平坦である。 
回転環３及び固定環５が矢印で示す方向に相対移動すると、回転環３及び固定環５の摺動面間に介在する流体が、その粘性によって、回転環３または固定環５の移動方向に追随移動しようとするため、その際、逆レイリーステップ１２ｂの存在によって破線で示すような負圧（動圧）を発生する。 
なお、１０ａ、１０ｂは流体循環溝の入口部、出口部を、また、Ｒはランド部を示す。 【００６１】
以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。 【００６２】
例えば、前記実施例では、摺動部品をメカニカルシール装置における一対の回転用密封環及び固定用密封環のいずれかに用いる例について説明したが、円筒状摺動面の軸方向一方側に潤滑油を密封しながら回転軸と摺動する軸受の摺動部品として利用することも可能である。 【００６３】
また、例えば、前記実施例では、外周側に高圧の被密封流体が存在する場合について説明したが、内周側が高圧流体の場合にも適用できる。 【００６４】
また、例えば、前記実施例では、摺動部品を構成するメカニカルシールの固定環に流体循環溝、正圧発生機構及び負圧発生機構を設ける場合について説明したが、これとは逆に、回転環に流体循環溝、正圧発生機構及び負圧発生機構を設けてもよい。その場合、流体循環溝は回転環の外周側まで設けられる必要はなく、被密封流体側と連通すればよい。 
【符号の説明】
【００６５】
１              回転軸 
２              スリーブ 
３              回転環 
４              ハウジング 
５              固定環 
６              コイルドウェーブスプリング 
７              ベローズ 
１０             流体循環溝 
１１             正圧発生機構（レイリーステップ機構） 
１２             負圧発生機構（逆レイリーステップ機構） 
Ｒ               ランド部 
Ｓ               摺動面 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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