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【手続補正書】
【提出日】平成24年11月8日(2012.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像光学系により被写体を撮影した撮影画像を取得する画像取得手段と、
前記撮像光学系における光学特性の変動要因を示すパラメータの値を設定するパラメータ値設定手段と、
前記撮像光学系における、前記撮影画像の撮影時の光学特性を取得する光学特性取得手段と、
該取得された光学特性および前記パラメータの値に基づいて、前記撮像光学系における光学特性に起因する前記撮影画像の画質劣化を補正するための回復フィルタを決定する回復フィルタの決定手段と、
前記撮影画像に対し、前記回復フィルタを適用した回復処理を行う画像回復手段と、を有し、
前記変動要因は、前記撮像光学系の設計値のみからは決定できないことを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記変動要因は、前記被写体の分光スペクトルであることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記変動要因は、前記撮像光学系における前記被写体までの距離とフォーカス距離との差であることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記パラメータ値設定手段は、ユーザ指示に応じて前記パラメータの値を設定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項５】
さらに、前記画像回復手段で前記撮影画像に回復処理を施した回復画像を表示する表示手段を有することを特徴とする請求項４に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記パラメータ値設定手段は、前記撮影画像に基づく演算によって前記パラメータの値を設定することを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記パラメータは、ひとつの変動要因に対し複数あることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記画像回復手段は、前記撮像光学系における光学伝達関数を用いた回復処理を行うことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項９】
撮像光学系により被写体を撮影した撮影画像を取得する画像取得ステップと、
前記撮像光学系における光学特性の変動要因を示すパラメータの値を設定するパラメータ値設定ステップと、
前記撮像光学系における、前記撮影画像の撮影時の光学特性を取得する光学特性取得ステップと、
該取得された光学特性および前記パラメータの値に基づいて、前記撮像光学系における光学特性に起因する前記撮影画像の画質劣化を補正するための回復フィルタを決定する回復フィルタの決定ステップと、
前記撮影画像に対し、前記回復フィルタを適用した回復処理を行う画像回復ステップと、を有し、
前記変動要因は、前記撮像光学系の設計値のみからは決定できないことを特徴とする画像処理方法。
【請求項１０】
コンピュータに、請求項９に記載の画像処理方法の各ステップを実行させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成24年10月4日(2012.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記記憶手段には、前記表示装置情報として解像度が記憶され、前記印刷設定として用紙サイズ及び解像度が記憶され、
前記選択された用紙サイズ、前記記憶された前記表示手段の解像度、及び前記記憶された解像度であって、選択されたプリンタ及び用紙サイズについての解像度に基づいて前記印刷物の画素数を算出する第１画素数算出手段と、
前記算出された印刷物の画素数及び前記プリンタの解像度と前記表示手段の解像度との比に基づいて前記表示手段に表示される画像の画素数を算出する第２画素数算出手段と、を備え、
前記画像生成手段は、前記算出された画像の画素数で前記取得した文書データから画像を生成することを特徴とする請求項１に記載の印刷プレビューシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記画像生成手段は、
前記選択された文書データ全体が前記表示手段に表示されるような大きさの画像である縮小画像を前記文書データから生成する縮小画像生成手段と、
前記切り出し手段により切り出された画像に前記縮小画像を合成する合成手段と、を備え、
前記サーバ側送受信手段は、前記縮小画像が合成された切り出し画像を送信することを特徴とする請求項３に記載の印刷プレビューシステム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の印刷プレビューシステムを構成するサーバ。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項２に記載の印刷プレビューシステムは、請求項１に記載の印刷プレビューシステムにおいて、前記記憶手段には、前記表示装置情報として解像度が記憶され、前記印刷設定として用紙サイズ及び解像度が記憶され、前記選択された用紙サイズ、前記記憶された前記表示手段の解像度、及び前記記憶された解像度であって、選択されたプリンタ及び用紙サイズについての解像度に基づいて前記印刷物の画素数を算出する第１画素数算出手段と、前記算出された画素数及び前記プリンタの解像度と前記表示手段の解像度との比に基づいて前記表示手段に表示される画像の画素数を算出する第２画素数算出手段と、を備え、前記画像生成手段は、前記算出された画像の画素数で前記取得した文書データから画像を生成することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項４に記載の印刷プレビューシステムは、請求項３に記載の印刷プレビューシステムにおいて、前記画像生成手段は、前記選択された文書データ全体が前記表示手段に表示されるような大きさの画像である縮小画像を前記文書データから生成する縮小画像生成手段と、前記切り出し手段により切り出された画像に前記縮小画像を合成する合成手段と、を備え、前記サーバ側送受信手段は、前記縮小画像が合成された切り出し画像を送信することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項８に記載のサーバは、請求項１〜７のいずれかに記載の印刷プレビューシステムを構成する。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月5日(2012.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）現像剤供給部材から供給される現像剤を静電潜像担持体上に供給する現像剤担持体を備える現像装置であって、
（ｂ）前記現像剤供給部材は、抵抗値１．９×１０4 〜７．６×１０7 〔Ω〕の電気抵抗を有するフォーム部材を有することを特徴とする現像装置。
【請求項２】
（ａ）現像剤供給部材から供給される現像剤を静電潜像担持体上に供給する現像剤担持体を備える現像装置であって、
（ｂ）前記現像剤供給部材は、抵抗値１．２×１０4 〜７．６×１０7 〔Ω〕の電気抵抗を有するフォーム部材を有することを特徴とする現像装置。
【請求項３】
前記現像剤担持体は、その表面と１〔ｍｍ〕の間隔をもって配置されたコロナ放電器に５〔ｋＶ〕の電圧を印加してコロナ放電を発生させて前記表面を帯電させた場合、０．１秒後の電位が１〜３６〔Ｖ〕である請求項１又は２に記載の現像装置。
【請求項４】
前記現像剤供給部材は、抵抗値１．９×１０4 〜８．８×１０7 〔Ω〕の電気抵抗を有するフォーム部材を有する請求項２に記載の現像装置。
【請求項５】
前記フォーム部材は連続気泡のウレタン発泡フォームから成り、
該ウレタン発泡フォームは、イオン導電による９．６×１０9 〜１．０２×１０12〔Ω・ｃｍ〕の電気抵抗率を有し、各気泡壁面にカーボンブラックを固着させて電気抵抗の抵抗値を１．０４×１０4 〜７．６×１０7 〔Ω〕としたものである請求項１又は２に記載の現像装置。
【請求項６】
前記フォーム部材は連続気泡のウレタン発泡フォームから成り、
該ウレタン発泡フォームは、電子導電による１．１６×１０9 〜８．５１×１０11〔Ω・ｃｍ〕の電気抵抗率を有し、各気泡壁面にカーボンブラックを固着させて電気抵抗の抵抗値を１．９×１０4 〜８．８×１０7 〔Ω〕としたものである請求項１又は２に記載の現像装置。
【請求項７】
前記現像剤担持体は、軸体の外周面に形成された弾性層と、該弾性層の外周面に形成された複数の層とを有し、１００〔Ｖ〕印加時の電気抵抗の抵抗値が４．３５×１０6 〜４．３２×１０8 〔Ω〕である請求項５又は６に記載の現像装置。
【請求項８】
（ａ）現像剤供給部材から供給される現像剤を静電潜像担持体上に供給する現像剤担持体を備え、
（ｂ）前記現像剤供給部材は、抵抗値１．９×１０4 〜７．６×１０7 〔Ω〕の電気抵抗を有するフォーム部材を有することを特徴とする画像形成装置。
【手続補正書】
【提出日】平成24年7月5日(2012.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器の外周に巻きつけて装着するロールシュリンクラベルであって、
基材フィルムと、その面上に設けられた、アルカリ分散型ホットメルト粘着剤（ａ）から形成される粘着層（イ）および軟化点が９５℃よりも高いホットメルト粘着剤（ｂ）から形成される粘着層（ロ）、とからなることを特徴とするロールシュリンクラベル。
【請求項２】
基材フィルムの、一方の端部（Ｉ）に粘着層（イ）が設けられ、相対するもう一方の端部（ＩＩ）に粘着層（ロ）が設けられていることを特徴とする請求項１記載のロールシュリンクラベル。
【請求項３】
端部（Ｉ）は、基材フィルムと容器との接合部であり、端部（ＩＩ）は、巻きつけ後の、基材フィルム自身の他の部位との固定部であることを特徴とする請求項２記載のロールシュリンクラベル
【請求項４】
アルカリ分散型ホットメルト粘着剤（ａ）が熱可塑性エラストマー（Ａ）、酸価が１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以上３００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるロジン系粘着付与剤（Ｂ）、を含むことを特徴とする請求項１ないし３いずれか記載のロールシュリンクラベル。
【請求項５】
軟化点が９５℃よりも高いホットメルト粘着剤（ｂ）が、熱可塑性エラストマー（Ｊ）、粘着付与剤（Ｋ）および合成オイル（Ｄ）を含んでなり、前記熱可塑性エラストマー（Ｊ）は、ジブロックの含有量が７０重量％以下で、スチレン比率が１０〜４０重量％であるスチレン系エラストマーであることを特徴とする請求項１ないし４いずれか記載のロールシュリンクラベル。
【請求項６】
請求項１ないし５いずれか記載のロールシュリンクラベルが、容器に装着されてなるラベル付き容器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明は、以下のロールシュリンクラベル及びラベル付き容器に関する。
［１］容器の外周に巻きつけて装着するロールシュリンクラベルであって、
基材フィルムと、その面上に設けられた、アルカリ分散型ホットメルト粘着剤（ａ）から形成される粘着層（イ）および軟化点が９５℃よりも高いホットメルト粘着剤（ｂ）から形成される粘着層（ロ）、とからなることを特徴とするロールシュリンクラベル。
［２］基材フィルムの、一方の端部（Ｉ）に粘着層（イ）が設けられ、相対するもう一方の端部（ＩＩ）に粘着層（ロ）が設けられていることを特徴とする上記［１］項記載のロールシュリンクラベル。
［３］端部（Ｉ）は、基材フィルムと容器との接合部であり、端部（ＩＩ）は、巻きつけ後の、基材フィルム自身の他の部位との固定部であることを特徴とする上記［２］項記載のロールシュリンクラベル
［４］アルカリ分散型ホットメルト粘着剤（ａ）が熱可塑性エラストマー（Ａ）、酸価が１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以上３００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるロジン系粘着付与剤（Ｂ）を含むことを特徴とする上記［１］〜［３］項のいずれかに記載のロールシュリンクラベル。
［５］軟化点が９５℃よりも高いホットメルト粘着剤（ｂ）が、熱可塑性エラストマー（Ｊ），粘着付与剤（Ｋ）及び合成オイル（Ｄ）を含んでなり、前記熱可塑性エラストマー（Ｊ）は、ジブロックの含有量が７０重量％以下で、スチレン比率が１０〜４０重量％であるスチレン系エラストマーであることを特徴とする上記［１］〜［４］項のいずれかに記載のロールシュリンクラベル。
［６］上記［１］〜［５］項のいずれかに記載のロールシュリンクラベルが、容器に装着されてなるラベル付き容器。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
＜接着強度（対ＯＰＰ）＞
強度測定は、上記方法で作製したアルカリ分散型ホットメルト粘着剤（ａ）を離型紙に厚さ２０μｍに塗工し、基材フィルムの印刷面に転写し、これをＯＰＰに貼り付け、試験用容器を作成した。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
＜糊残り性＞
ラベル付き容器を９０℃の湯浴に入れロールシュリンクラベルをシュリンクさせシュリンク適性が○と判断したサンプルのラベルを剥がした。ＰＥＴボトルにアルカリ分散型ホットメルト粘着剤（ａ）がＰＥＴボトルに残った場合の評価は×とした。全く残らなかった場合の評価を○とした。
【手続補正書】
【提出日】平成24年7月20日(2012.7.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光モジュールを保持する長尺状の基台と、
前記発光モジュールを覆う長尺状のカバーとを備え、
前記カバーは、該カバーの短手方向の端部が該カバーの内側に屈曲する屈曲部を有し、
前記基台は、前記カバーを保持するように、前記カバーの長手方向において前記屈曲部と線接触で係合する係合部を有する
ランプ。
【請求項２】
前記カバーは、該カバーの短手方向に弾性変形するように構成される
請求項１に記載のランプ。
【請求項３】
前記カバーの短手方向において前記屈曲部の先端部が前記係合部に押圧することにより、該屈曲部と前記基台の前記係合部とは係合する
請求項２に記載のランプ。
【請求項４】
前記係合部は、前記発光モジュールからの射出光の１／２ビーム角の範囲外の領域に設けられる
請求項１〜３のいずれか１項に記載のランプ。
【請求項５】
前記係合部には、形状が前記屈曲部の形状と相似する溝部が形成され、
前記係合部の前記溝部は、前記カバーの長手方向において前記屈曲部と線接触する
請求項１〜４のいずれか１項に記載のランプ。
【請求項６】
前記屈曲部は、前記カバーの短手方向の両端部に設けられており、一方の端部の前記屈曲部と他方の端部の前記屈曲部との距離をｗ１とし、
前記係合部は、前記基台の短手方向の両端部に設けられ、一方の端部の前記係合部における前記溝部の底面と他方の端部の前記係合部における前記溝部の底面との距離をｗ２とすると、
ｗ１＜ｗ２の関係を満たす
請求項５に記載のランプ。
【請求項７】
前記屈曲部の短手方向の先端部の断面の輪郭形状は、円弧形状である
請求項１〜６のいずれか１項に記載のランプ。
【請求項８】
前記カバーには、さらに、該カバーの長手方向において、前記発光モジュールの光照射側から前記係合部を覆うように構成された長尺状のガイド部が形成される
請求項１〜７のいずれか１項に記載のランプ。
【請求項９】
前記ガイド部は、前記発光モジュールからの射出光の１／２ビーム角の範囲外の領域に設けられる
請求項１〜８のいずれか１項に記載のランプ。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載のランプを備える
照明装置。
【手続補正書】
【提出日】平成24年8月28日(2012.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザインターフェースにおいてスクロールモードとポインティングモードとを切り替える方法であって、
前記ポインティングモードの間に、リモコン装置を動かして、対応する、カーソルの動きを生成する段階と、
スクロールホイールを回転させて前記スクロールモードに入り、カーソルを動かす段階と、
前記回転段階に応答して前記ポインティングモードを無効にする段階と、を含む方法。
【請求項２】
前記リモコン装置は３Dポインティング装置である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ユーザインターフェースにおいてスクロールモードとポインティングモードとを切り替える方法であって、
スクロールホイールを回転させて前記スクロールモードに入り、カーソルを動かす段階と、
前記スクロールホイールの前記回転に応答して、カーソル、およびオブジェクトのハイライトのうちの少なくとも一方を動かす段階と、
前記スクロールホイールの前記回転の後の、第1の所定の時間の間、前記ポインティングモードを無効にする段階と、を含む方法。
【請求項４】
前記第1の所定の時間は1秒未満である、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記第1の所定の時間は300ミリ秒である、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記第1の所定の時間が終了した後に、ソフトフリーズ状態に入る段階をさらに含む、請求項３に記載の方法。
【請求項７】
前記ソフトフリーズ状態の間に、所定量を超えるトルクをユーザがハンドヘルドポインティング装置に与えた場合に、前記ポインティングモードに入る段階をさらに含む、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記ソフトフリーズ状態の間に、ユーザが所定秒数以内に所定距離だけリモコン装置を動かした場合に、前記ポインティングモードに入る段階をさらに含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
所定秒数以内の前記所定距離は25度/秒である、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記所定量のトルクはユーザ設定可能である、請求項７に記載の方法。
【請求項１１】
コンピュータ上で実行されたときに、
ポインティングモードの間に、リモコン装置の動きに関連付けられたデータを処理して、対応する、カーソルの動きを生成する段階と、
スクロールホイールの回転を検出する段階と、
前記検出段階に応答してスクロールモードに入り、前記検出された回転に基づいて前記カーソルを動かす段階と、
前記検出段階に応答して前記ポインティングモードを無効にする段階と、を実施する命令を含むコンピュータ可読媒体。
【請求項１２】
前記リモコン装置は３Dポインティング装置である、請求項１１に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項１３】
コンピュータ上で実行されたときに、
スクロールホイールの回転を検出する段階と、
前記検出段階に応答してスクロールモードに入り、前記スクロールホイールの前記回転に応答して、カーソル、およびオブジェクトのハイライトのうちの少なくとも一方を動かす段階と、
前記スクロールホイールの前記回転の後の、第1の所定の時間の間、ポインティングモードを無効にする段階と、を実施する命令を含むコンピュータ可読媒体。
【請求項１４】
前記第1の所定の時間は1秒未満である、請求項１３に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項１５】
前記第1の所定の時間は300ミリ秒である、請求項１４に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項１６】
前記第1の所定の時間が終了した後に、ソフトフリーズ状態に入る段階をさらに含む、請求項１３に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項１７】
前記ソフトフリーズ状態の間に、所定量を超えるトルクをユーザがハンドヘルドポインティング装置に与えた場合に、前記ポインティングモードに入る段階をさらに含む、請求項１６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項１８】
前記ソフトフリーズ状態の間に、ユーザが所定秒数以内に所定距離だけリモコン装置を動かした場合に、前記ポインティングモードに入る段階をさらに含む、請求項１７に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項１９】
所定秒数以内の前記所定距離は25度/秒である、請求項１８に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項２０】
前記所定量のトルクはユーザ設定可能である、請求項１７に記載のコンピュータ可読媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成24年11月7日(2012.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体を有し、
前記半導体の上方に絶縁膜を有し、
前記絶縁膜の上方に第１の導電膜を有し、
前記第１の導電膜の上方に第１の窒化シリコン膜を有し、
前記第１の窒化シリコン膜の上方に有機樹脂膜を有し、
前記有機樹脂膜の上方に第２の窒化シリコン膜を有し、
前記第２の窒化シリコン膜の上方に第２の導電膜を有し、
前記第１の窒化シリコン膜は第１の開口部を有し、
前記有機樹脂膜は第２の開口部を有し、
前記第２の窒化シリコン膜は第３の開口部を有し、
前記半導体は、第１の領域と第２の領域と第３の領域とを有し、
前記第１の領域は、トランジスタの第１のチャネル形成領域として機能することができる領域であり、
前記第２の領域は、前記トランジスタの第２のチャネル形成領域として機能することができる領域であり、
前記第３の領域は、前記トランジスタのソース領域又は前記トランジスタのドレイン領域の一方として機能することができる領域であり、
前記第１の導電膜は、前記第１の領域と重なる領域を有し、
前記第１の導電膜は、前記第２の領域と重なる領域を有し、
前記第２の導電膜は、前記第１の開口部と前記第２の開口部と前記第３の開口部とを介して前記第３の領域と電気的に接続されており、
前記第２の窒化シリコン膜は、前記第２の開口部の内側に、前記第１の窒化シリコン膜と重なる領域を有することを特徴とする表示装置。
【請求項２】
半導体を有し、
前記半導体の上方に絶縁膜を有し、
前記絶縁膜の上方に第１の導電膜を有し、
前記絶縁膜の上方に第３の導電膜を有し、
前記第１の導電膜の上方と前記第３の導電膜の上方とに第１の窒化シリコン膜を有し、
前記第１の窒化シリコン膜の上方に第４の導電膜を有し、
前記第１の窒化シリコン膜の上方に第５の導電膜を有し、
前記第４の導電膜の上方と前記第５の導電膜の上方とに有機樹脂膜を有し、
前記有機樹脂膜の上方に第２の窒化シリコン膜を有し、
前記第２の窒化シリコン膜の上方に第２の導電膜を有し、
前記第１の窒化シリコン膜は第１の開口部を有し、
前記有機樹脂膜は第２の開口部を有し、
前記第２の窒化シリコン膜は第３の開口部を有し、
前記半導体は、第１の領域と第２の領域と第３の領域と第４の領域とを有し、
前記第１の領域は、トランジスタの第１のチャネル形成領域として機能することができる領域であり、
前記第２の領域は、前記トランジスタの第２のチャネル形成領域として機能することができる領域であり、
前記第３の領域は、前記トランジスタのソース領域又は前記トランジスタのドレイン領域の一方として機能することができる領域であり、
前記第４の領域は、前記トランジスタのソース領域又は前記トランジスタのドレイン領域の他方として機能することができる領域であり、
前記第１の導電膜は、前記第１の領域と重なる領域を有し、
前記第１の導電膜は、前記第２の領域と重なる領域を有し、
前記第２の導電膜は、前記第１の開口部と前記第２の開口部と前記第３の開口部とを介して前記第３の領域と電気的に接続されており、
前記第３の導電膜は、容量素子の一方の電極として機能することができる領域を有し、
前記第４の導電膜は、前記容量素子の他方の電極として機能することができる領域を有し、
前記第５の導電膜は、前記第４の領域と電気的に接続されており、
前記第２の窒化シリコン膜は、前記第２の開口部の内側に、前記第１の窒化シリコン膜と重なる領域を有することを特徴とする表示装置。
【請求項３】
半導体を有し、
前記半導体の上方に絶縁膜を有し、
前記絶縁膜の上方に第１の導電膜を有し、
前記第１の導電膜の上方にパッシベーション膜を有し、
前記パッシベーション膜の上方に平坦化膜を有し、
前記平坦化膜の上方にバリア膜を有し、
前記バリア膜の上方に第２の導電膜を有し、
前記パッシベーション膜は第１の開口部を有し、
前記平坦化膜は第２の開口部を有し、
前記バリア膜は第３の開口部を有し、
前記半導体は、第１の領域と第２の領域と第３の領域とを有し、
前記第１の領域は、トランジスタの第１のチャネル形成領域として機能することができる領域であり、
前記第２の領域は、前記トランジスタの第２のチャネル形成領域として機能することができる領域であり、
前記第３の領域は、前記トランジスタのソース領域又は前記トランジスタのドレイン領域の一方として機能することができる領域であり、
前記第１の導電膜は、前記第１の領域と重なる領域を有し、
前記第１の導電膜は、前記第２の領域と重なる領域を有し、
前記第２の導電膜は、前記第１の開口部と前記第２の開口部と前記第３の開口部とを介して前記第３の領域と電気的に接続されており、
前記バリア膜は、前記第２の開口部の内側に、前記パッシベーション膜と重なる領域を有することを特徴とする表示装置。
【請求項４】
半導体を有し、
前記半導体の上方に絶縁膜を有し、
前記絶縁膜の上方に第１の導電膜を有し、
前記絶縁膜の上方に第３の導電膜を有し、
前記第１の導電膜の上方と前記第３の導電膜の上方とにパッシベーション膜を有し、
前記パッシベーション膜の上方に第４の導電膜を有し、
前記パッシベーション膜の上方に第５の導電膜を有し、
前記第４の導電膜の上方と前記第５の導電膜の上方とに平坦化膜を有し、
前記平坦化膜の上方にバリア膜を有し、
前記バリア膜の上方に第２の導電膜を有し、
前記パッシベーション膜は第１の開口部を有し、
前記平坦化膜は第２の開口部を有し、
前記バリア膜は第３の開口部を有し、
前記半導体は、第１の領域と第２の領域と第３の領域と第４の領域とを有し、
前記第１の領域は、トランジスタの第１のチャネル形成領域として機能することができる領域であり、
前記第２の領域は、前記トランジスタの第２のチャネル形成領域として機能することができる領域であり、
前記第３の領域は、前記トランジスタのソース領域又は前記トランジスタのドレイン領域の一方として機能することができる領域であり、
前記第４の領域は、前記トランジスタのソース領域又は前記トランジスタのドレイン領域の他方として機能することができる領域であり、
前記第１の導電膜は、前記第１の領域と重なる領域を有し、
前記第１の導電膜は、前記第２の領域と重なる領域を有し、
前記第２の導電膜は、前記第１の開口部と前記第２の開口部と前記第３の開口部とを介して前記第３の領域と電気的に接続されており、
前記第３の導電膜は、容量素子の一方の電極として機能することができる領域を有し、
前記第４の導電膜は、前記容量素子の他方の電極として機能することができる領域を有し、
前記第５の導電膜は、前記第４の領域と電気的に接続されており、
前記バリア膜は、前記第２の開口部の内側に、前記パッシベーション膜と重なる領域を有することを特徴とする表示装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、
前記半導体は、半導体膜又はシリコンウェルであることを特徴とする表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月20日(2012.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明はかかる課題を解決するために、次の手段を採用するものである。
すなわち、本発明は、
（１）少なくともポリアリーレンスルフィド、環式ポリアリーレンスルフィド、アルカリ金属ハロゲン化物、水及び有機極性溶媒を含む混合物（ａ）から環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドを回収する方法であって、混合物（ａ）から水を留去した後、固液分離（ｉ）を行うことによりアルカリ金属ハロゲン化物を除去する工程を含むことを特徴とする環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法
（２）固液分離（ｉ）をポリアリーレンスルフィドが可溶となる温度領域で行うことを特徴とする（１）記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法
（３）前記混合物（ａ）が、ポリアリーレンスルフィド１００重量部に対して環式ポリアリーレンスルフィドを６重量部以上７０重量部以下含むことを特徴とする（１）または（２）記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法
（４）少なくともスルフィド化剤、ジハロゲン化芳香族化合物及び有機極性溶媒を含む混合物を、加熱して反応させて前記混合物（ａ）を調製するに際し、混合物（ａ）中のイオウ成分１モルに対して有機極性溶媒を１．２５リットル以上５０リットル以下用いることを特徴とする（３）記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法
（５）少なくともポリアリーレンスルフィド、スルフィド化剤、ジハロゲン化芳香族化合物及び有機極性溶媒を含む混合物を、加熱して反応させて前記混合物（ａ）を調製するに際し、混合物中のイオウ成分１モルに対して有機極性溶媒を１．２５リットル以上５０リットル以下用いることを特徴とする（３）記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法
（６）固液分離（ｉ）を行う温度が２００℃を越え３５０℃以下であることを特徴とする（１）〜（５）のいずれかに記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法
（７）ポリアリーレンスルフィド及び環式ポリアリーレンスルフィドが有機極性溶媒に溶融解状態にある温度領域から降温により固液分離（ｉ）実施温度に調温することを特徴とする（１）〜（６）のいずれかに記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法
（８）固液分離（ｉ）を行う温度が１６５℃以上２００℃以下であることを特徴とする（７）記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法
（９）固液分離（ｉ）を行う際の圧力が０．５ＭＰａ以下であることを特徴とする（１）〜（８）のいずれかに記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４９】
また、上記ソックスレー抽出における抽出残渣を７０℃で５時間真空乾燥に処し、白色固体を２．８４ｇ得た。抽出に用いたポリフェニレンスルフィドに対する収率は９４．７％であった。この白色粉末は赤外分光分析における吸収スペクトルによりフェニレンスルフィド単位からなる化合物であることを確認した。また、重量平均分子量は１６５００であり、アルカリ金属含有量は８０００ｐｐｍであった。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７０】
実施例４より、混合物（ｂ）におけるポリアリーレンスルフィドを有機極性溶媒に一度溶融解後、降温により固液分離（ｉ）温度に設定することで、より低温での固液分離（ｉ）実施が可能となることが分かった。
【手続補正７】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともポリアリーレンスルフィド、環式ポリアリーレンスルフィド、アルカリ金属ハロゲン化物、水及び有機極性溶媒を含む混合物（ａ）から環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドを回収する方法であって、混合物（ａ）から水を留去した後、固液分離（ｉ）を行うことによりアルカリ金属ハロゲン化物を除去する工程を含むことを特徴とする環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法。
【請求項２】
固液分離（ｉ）をポリアリーレンスルフィドが可溶となる温度領域で行うことを特徴とする請求項１記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法。
【請求項３】
前記混合物（ａ）が、ポリアリーレンスルフィド１００重量部に対して環式ポリアリーレンスルフィドを６重量部以上７０重量部以下含むことを特徴とする請求項１または２記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法。
【請求項４】
少なくともスルフィド化剤、ジハロゲン化芳香族化合物及び有機極性溶媒を含む混合物を、加熱して反応させて前記混合物（ａ）を調製するに際し、混合物（ａ）中のイオウ成分１モルに対して有機極性溶媒を１．２５リットル以上５０リットル以下用いることを特徴とする請求項３記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法。
【請求項５】
少なくともポリアリーレンスルフィド、スルフィド化剤、ジハロゲン化芳香族化合物及び有機極性溶媒を含む混合物を、加熱して反応させて前記混合物（ａ）を調製するに際し、混合物中のイオウ成分１モルに対して有機極性溶媒を１．２５リットル以上５０リットル以下用いることを特徴とする請求項３に記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法。
【請求項６】
固液分離（ｉ）を行う温度が２００℃を越え３５０℃以下であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法。
【請求項７】
ポリアリーレンスルフィド及び環式ポリアリーレンスルフィドが有機極性溶媒に溶融解状態にある温度領域から降温により固液分離（ｉ）実施温度に調温することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法。
【請求項８】
固液分離（ｉ）を行う温度が１６５℃以上２００℃以下であることを特徴とする請求項７記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法。
【請求項９】
固液分離（ｉ）を行う際の圧力が０．５ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の環式ポリアリーレンスルフィド及びポリアリーレンスルフィドの回収方法。
【手続補正書】
【提出日】平成24年7月31日(2012.7.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリマー結合ゴム添加剤（３）を試験するための方法であって、ポリマー結合ゴム添加剤（３）を試験用マスターバッチ、特にＥＰＤＭマスターバッチ（２）と混合し、得られた試験混合物（５）を、強制的に試験シーブ（１０）を通過させ、シービングによって除去された未分散粒子（１４）の数を求める、方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法を実施するための装置であって、シリンダー（６）およびその中に導入されるピストン（７）、前記シリンダーの一端の複数のシーブ（８、９、１０）、およびシーブ（１０）に隣接するリング（１１）を備えた、装置。
【請求項３】
シーブ（１０）が１５０μｍ以下のメッシュ幅を有し、外側に向けてそれに隣接するシーブ（８、９）のメッシュがそれよりも大きい、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
デリミッタープレート（４）と共にダブルロール系（１ａ、１ｂ）を包含する、請求項２または３に記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成24年8月31日(2012.8.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）少なくとも１つのジエンをベースとし、かつ１つ以上のビニル芳香族モノマーから構成される繰り返し単位から構成されるポリマー鎖を有する少なくとも１つの官能化ジエンゴムと、（Ｂ）トルエン中の膨潤指数が１〜２５であり、かつ粒径が５〜１０００ｎｍである少なくとも１つのスチレン／ブタジエンゴムゲルと、また（Ｃ）適切な場合、さらなるゴム、フィラーおよびゴム助剤とを含むゴム混合物。
【請求項２】
前記官能化ジエンゴムが１，３−ブタジエンおよびスチレンをベースとする繰り返し単位から構成され、そしてヒドロキシおよび／またはカルボキシ基を用いて官能化されたものであることを特徴とする請求項１に記載のゴム混合物。
【請求項３】
４０〜１００重量％の１，３−ブタジエンと０〜６０重量％のスチレンとから構成され、そして結合した官能基および／またはこれらの塩の割合が、ジエンゴムの１００重量％を基準として、０．０２〜５重量％であることを特徴とする請求項２に記載のゴム混合物。
【請求項４】
ゴムの総量の１００重量部を基準とする、前記スチレン／ブタジエンゴムゲルの割合が１〜１００重量部であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のゴム混合物。
【請求項５】
ゴムの総量の１００重量部を基準とする、前記スチレン／ブタジエンゴムゲルの割合が５〜７５重量部であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のゴム混合物。
【請求項６】
前記スチレン／ブタジエンゴムゲルが、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレートおよび／またはペンタエリスリトールテトラメタクリレートを含む、ＸＳＢＲ−スチレン／ブタジエンコポリマーおよびグラフトポリマーであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のゴム混合物。
【請求項７】
少なくとも１つの官能化ジエンゴムが、少なくとも１つのスチレン／ブタジエンゴムゲルと、適切な場合、さらなるゴム、フィラーおよびゴム助剤と２０〜２２０℃の温度で混合装置にて混合されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のゴム混合物の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年12月16日(2011.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
(表１)
2010095636.tif 000001
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
製造例１から９までのイオン性高分子を、表２の条件で混合した。１日静置後の粘度と、５０ｍＬのサンプル瓶に入れ、振幅約１０ｃｍ、振動数４回／Ｓで５秒間手動によりシェイクした後の粘度を測定し、その比からダイラタンシー性を評価した。また、シェイク後サンプル瓶内壁へのゲル状物の付着の有無を観察した。その結果を表２に示す。製造例のイオン性高分子からなる混合物はダイラタンシー性を示し、シェイク後サンプル瓶内壁へのゲル状物の付着が観察された。
【手続補正書】
【提出日】平成24年3月13日(2012.3.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
車体の前端部にエンジンへの燃焼用空気を取り入れる空気取入口を開口させた、いわゆるラムエア型の吸気装置を備えた自動二輪車では、自動二輪車の走行中に、外気が車体前端の空気取入口からラムダクトおよびエアクリーナを通過してエンジンへ供給される（例えば、特許文献１）。そのときに発生する吸気騒音を抑えるために、両面テープなどの接着手段でラムダクトの内部に吸音材が貼り付けられたものがある。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］特開２００５−３１３８９９号公報
【手続補正書】
【提出日】平成24年10月18日(2012.10.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性フリース複合材料の製造方法において、
弾性フィルム（２）を送り込みそして部分的に接着剤を適用しそして
メルトブロイング装置（８）を用いてメルトブローフリースよりなる層（９）を製造しそして予めに固化させることなく直接的に弾性フィルム（２）の上に載せそして接着剤によって部分的に弾性フィルム（２）に接合することを特徴とする、上記製造方法。
【請求項２】
弾性フリース複合材料の製造方法において、
弾性フィルム（２）を送り込みそして部分的に接着剤を適用し、
メルトブロイング装置（８）を用いてメルトブローフリースよりなる層（９）を製造しそして予めに固化させることなく直接的に搬送装置（３’）の上に載せそしてメルトブローフリースよりなる層（９）を搬送装置（３’）によって、弾性フィルム（２）の引張り力が全くかからない状態で送り込みそして接着剤によって部分的に弾性フィルム（２）に接合することを特徴とする、上記製造方法。
【請求項３】
メルトブローフリースよりなる層（９）を搬送装置（３’）として回転ローラー又は循環ベルトの上に載せそしてメルトブローフリースよりなる層（９）をローラー又はベルトから、接着剤が部分的に適用された弾性フィルム（２）の上に直接的に貼り付ける、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
弾性フィルム（２）が平面シート押出成形機によって形成されそしてその直後に、前もって巻いたり巻き解いたりすることなく接着剤を適用する、請求項１〜３のいずれか一つに記載の方法。
【請求項５】
接着剤としてホットメルト接着剤（６）を弾性フィルム（２）の上に適用する、請求項１〜４のいずれか一つに記載の方法。
【請求項６】
弾性フィルム（２）の長手方向（Ｘ）に走るストライプ状に接着剤（５）を適用する請求項１〜５のいずれか一つに記載の方法。
【請求項７】
弾性フィルム（２）が両面にメルトブローフリースよりなる層（９）を備えている、請求項１〜６のいずれか一つに記載の方法。
【請求項８】
弾性フィルム（２）を形成するための平面シート押出成形機（１）、接着剤を部分的に適用するための装置（４）及び、メルトブローフリースよりなる層（９）が弾性フィルム（２）又は搬送装置（３’）の上に直接的に載せることができるように配置されているメルトブロイング装置（８）を有する、請求項１〜７のいずれか一つに記載の方法を実施するための装置。
【請求項９】
メルトブローフリースで形成された層（９）を弾性フィルム（２）の上に直接的に載せることができそしてメルトブロイング装置（８）の領域に搬送装置（３）が配置されるようにメルトブロイング装置（８）が配置されている、請求項８に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
この課題を解決するために、第一の実施態様によれば、フリース材料を製造する方法において、弾性フィルムを送り込みそして部分的に接着剤を適用しそしてメルトブロイング装置を用いてメルトブローフリースよりなる層を製造しそして予めに固化させることなく直接的に弾性フィルムの上に載せそして接着剤によって部分的に弾性フィルムに接合することを特徴とする、上記製造方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
第二の一つの実施態様によれば、弾性フリース複合材料の製造方法において、
弾性フィルムを送り込みそして部分的に接着剤を適用し、
メルトブロイング装置を用いてメルトブローフリースよりなる層を製造しそして予めに固化させることなく直接的に搬送装置の上に載せそしてメルトブローフリースよりなる層を搬送装置によって、弾性フィルムの引張り力が全くかからない状態で送り込みそして接着剤によって部分的に弾性フィルムに接合することを特徴とする、上記製造方法によって解決される。この場合、搬送装置としての回転ローラー又は循環ベルトが予め用意されそしてメルトブローフリースよりなる層を該ローラー又はベルトから、接着剤が部分的に適用された弾性フィルムの上に直接的に貼り付ける。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【図１ａ】は本発明の方法を実施するための装置の概略図を図示している。
【図１ｂ】は図１ａに従う装置の詳細な斜視図を図示している。
【図２】は図１ａに図示した装置の改変態様である。
【図３】は図２に従う装置の有利な別の態様である。
【図４ａ】は第一の延伸の前の弾性フリース材料を図示している。
【図４ｂ】は第一の延伸の間の弾性フリース材料を図示している。
【図４ｃ】は第一の延伸の後の弾性フリース材料を図示している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
弾性フィルムは本発明の方法では両面にメルトブローフリースよりなる層を備えていてもよく、この場合にはメルトブローフリースよりなる層を弾性フィルムの上に直接的に塗布し或いは搬送装置による引張り力が十分にかからない状態でのメルトブローフリースの供給を両面の層のために同時に又は合い前後して行うことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図１ｂから判る通り、ストライプ（５）はフィルム（２）の長手方向（Ｘ）に伸びており、装置（４）の出口ノズル（７）の振動運動によって波状の進行が達成される。ホットメルト接着剤（６）が塗布された弾性フィルム（２）はその後で溶融フロー装置（８）に送られる。そこで生じたメルトブローフリースの層（９）は予めに固化させることなしに弾性フィルム（２）の上に直接的に載せられる。生じたフリース複合材料（１０）は次いでロール間隙（１１）に通され、メルトブローフリースの層（９）を僅かな圧力効果によって未だ溶融液状のホットメルト接着剤（６）中に押し込む。この場合、フリース複合材料（１０）にロール間隙（１１）で作用する力は、材料を変形することなく圧力及び温度によって十分に固定するように選択される。形成されるフリース複合材料（１０）は後でロール（１２）に巻き付ける。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
ホットメルト接着剤（６）のストライプ（５）及びメルトブローフリースの層（９）の繊維は実質的にフィルムの長手方向（Ｘ）に伸びているので、形成されるフリース複合材料（１０）は横方向への非常に良好な伸び性に特徴があり、この伸び性は弾性フィルム（２）の弾性が実質的に決定しそして極端な場合にはメルトブローフリース及びホットメルト接着剤（６）よりなる設けられた層（９）によって取るに足らない程度しか悪影響を受けない。
【手続補正書】
【提出日】平成24年2月15日(2012.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
なお、上記においては、非酸化性雰囲気として窒素雰囲気を例示したが、例えば、アルゴン雰囲気等の希ガス雰囲気であっても良い。また、そのような非酸化性雰囲気は、大気圧よりも減圧した雰囲気とすることも好ましい。更には、非酸化性雰囲気は、還元性雰囲気（例えば、水素含有雰囲気）としても良い。
なお、上記実施形態には以下の発明が開示されている。
（付記１）
第１導電型の低不純物濃度の半導体基板に裏面側から第１導電型の不純物をドープする第１工程と、
前記半導体基板の裏面に裏面電極を形成する第２工程と、
前記第１工程にてドープされた不純物を熱処理により活性化又は拡散させる第３工程と、
をこの順に行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
（付記２）
前記熱処理を５００℃以下で行うことを特徴とする付記１に記載の半導体装置の製造方法。
（付記３）
前記第１工程では、前記不純物をイオン注入によりドープし、
前記第３工程では、前記第１工程にて前記不純物が注入された層を活性化させることにより、第１導電型の高濃度拡散層を前記半導体基板の裏面側に形成することを特徴とする付記１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
（付記４）
前記第１工程では、前記不純物を拡散によりドープすることによって、第１導電型の高濃度拡散層を前記半導体基板の裏面側に形成し、
前記第３工程では、前記第１工程にてドープされた不純物を拡散させ、前記高濃度拡散層の深さ方向分布を広げることを特徴とする付記１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
（付記５）
前記半導体基板の表層に第２導電型の拡散層を形成する工程と、
前記拡散層上に表面電極を形成する工程と、
をこの順に行った後で、前記第１工程以降の工程を行うことを特徴とする付記１乃至４の何れか１つに記載の半導体装置の製造方法。
（付記６）
前記第１工程から前記第２工程までを非酸化性雰囲気中で連続的に行うことを特徴とする付記１乃至５の何れか１つに記載の半導体装置の製造方法。
（付記７）
前記拡散層上に表面電極を形成する前記工程と、前記第１工程と、の間に、
前記半導体基板を薄くする加工を該半導体基板の裏面側から行う裏面加工工程を行うことを特徴とする付記５に記載の半導体装置の製造方法。
（付記８）
前記裏面加工工程から前記第２工程までを非酸化性雰囲気中で連続的に行うことを特徴とする付記７に記載の半導体装置の製造方法。
（付記９）
前記第１工程と前記第２工程との間で前記半導体基板の裏面にエッチング処理を施し、該エッチング処理から前記第２工程までを非酸化性雰囲気中で連続的に行うことを特徴とする付記１乃至５、７の何れか１つに記載の半導体装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１導電型の低不純物濃度の半導体基板に裏面側から第１導電型の不純物をドープする第１工程と、
前記半導体基板の裏面に裏面電極を形成する第２工程と、
前記第１工程にてドープされた不純物を熱処理により活性化又は拡散させる第３工程と、
をこの順に行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成24年5月18日(2012.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
まず、図４に示すように、無端ベルト２２の吸着区間２２ａを、積み上げられたウエハＷｆの直上に位置させる。吸着区間２２ａがこの位置にあるときは、バキュームボックス２３の複数の孔２３ｂのうち区画室２３１，２３２に設けられたものが、吸着区間２２ａと重なっている。また、このときバルブユニット２７を切り替えることにより、区画室２３１，２３２とポンプ２６とを接続し、区画室２３３とポンプ２６とを遮断する。これとともに、ポンプ２６を駆動させ、区画室２３１，２３２の内圧を負圧とする。ここで、ヒータ４１を駆動することにより、あらかじめ液体Ｌｑの温度を３０〜５０℃程度にしておく。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
次いで、ノズル３１からウエハＷｆの端面に向けて所定の吐出圧力で液体Ｌｑを噴出する（図５参照）。ノズル３１からの吐出圧力によって、液体Ｌｑが噴き付けられる部位において、ウエハＷｆどうしの間に液体Ｌｑが侵入する。そうすると、図５に示すように、最上位のウエハＷｆを含む複数枚のウエハＷｆは、互いの間に隙間が生じるように浮き上がる。そして、最上位のウエハＷｆは、無端ベルト２２の吸着区間２２ａ（ウエハ吸着面２２ｃ）に近接する。なお、積み上げられたウエハＷｆの周囲の適所には、ウエハＷｆをその面内方向に垂直な方向に沿って上下動させるためのガイド（図示略）が設けられている。
【手続補正書】
【提出日】平成24年8月21日(2012.8.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の回路領域が形成された半導体基板上に設けられた複数の指標のうちの所定の指標の位置情報をそれぞれ取得する取得ステップと、
前記位置情報に基づいて、個片化された複数の半導体チップのそれぞれが配置されるべき前記半導体基板上の配置位置を算出する算出ステップと、
前記複数の半導体チップのそれぞれを対応する前記配置位置へ配置する配置ステップと
を含む積層型半導体素子の製造方法。
【請求項２】
前記算出ステップは、前記所定の指標の設計座標値を、所定の誤差パラメータによって規定される座標変換式により変換した変換座標値と、前記取得ステップによって取得した前記所定の指標の実測座標との差が最小となるように、前記誤差パラメータを算出し、
前記配置ステップは、個片化された前記複数の半導体チップを、前記設計座標値と前記座標変換式によりそれぞれ配置位置を決定して前記半導体基板上の前記複数の回路領域のそれぞれに配置する請求項１に記載の積層型半導体素子の製造方法。
【請求項３】
前記所定の指標の数は、前記半導体基板上に配置される前記複数の半導体チップの数よりも少ない請求項１または２に記載の積層型半導体素子の製造方法。
【請求項４】
前記所定の指標は、前記半導体基板上であって、前記複数の回路領域の外側に設けられたアライメントマークである請求項１から３のいずれか一項に記載の積層型半導体素子の製造方法。
【請求項５】
前記所定の指標は、前記複数の回路領域の内側にそれぞれ設けられた前記複数の指標から選択された指標である請求項１から４のいずれか一項に記載の積層型半導体素子の製造方法。
【請求項６】
前記取得ステップは、個片化された前記複数の半導体チップのうち前記所定の指標の個数分の半導体チップを、前記所定の指標へ個別に観察して配置する時に前記所定の指標の実測座標値を取得し、
前記配置ステップは、前記実測座標値を取得して配置した半導体チップ以外の個片化された半導体チップを前記半導体基板上に配置する請求項５に記載の積層型半導体素子の製造方法。
【請求項７】
前記複数の回路領域の内側にそれぞれ設けられた指標として、貫通電極を用いる請求項５または６に記載の積層型半導体素子の製造方法。
【請求項８】
前記半導体基板とは異なる他の半導体基板を、前記配置ステップによって配置された前記複数の半導体チップの上に更に重ねる積層ステップを備える請求項１から７のいずれか１項に記載の積層型半導体素子の製造方法。
【請求項９】
前記積層ステップは、前記算出ステップで算出された前記所定の指標の位置に基づいて前記半導体基板と前記他の半導体基板とを互いに位置合わせする請求項８に記載の積層型半導体素子の製造方法。
【請求項１０】
前記積層ステップは、配置された前記複数の半導体チップの配置位置と、これに対応する前記他の半導体基板に設けられた複数の指標の実測座標値との差が最小となるように、前記他の半導体基板を前記複数の半導体チップの上に重ねる請求項８または９に記載の積層型半導体素子の製造方法。
【請求項１１】
前記配置ステップの後に、前記半導体チップを前記半導体基板に対して加圧する加圧ステップを含む請求項１から１０のいずれか一項に記載の積層型半導体素子の製造方法。
【請求項１２】
前記配置ステップの後に、前記半導体チップおよび前記半導体基板を加熱する加熱ステップを含む請求項１から１１のいずれか一項に記載の積層型半導体素子の製造方法。
【請求項１３】
前記配置ステップの後に、前記複数の半導体チップが配置された前記半導体基板を接合部へ搬送する搬送ステップを含み、
前記加熱ステップは、前記接合部で実施される請求項１２に記載の積層型半導体素子の製造方法。
【請求項１４】
複数の回路領域が形成された半導体基板上に設けられた複数の指標のうちの所定の指標の位置情報をそれぞれ取得する取得部と、
前記位置情報に基づいて、個片化された複数の半導体チップのそれぞれが配置されるべき前記半導体基板上の配置位置を算出する算出部と、
前記複数の半導体チップのそれぞれを対応する前記配置位置へ配置する配置部と
を備える積層型半導体素子の製造装置。
【請求項１５】
前記算出部は、前記所定の指標の設計座標値を、所定の誤差パラメータによって規定される座標変換式により変換した変換座標値と、前記取得部によって取得した前記所定の指標の実測座標との差が最小となるように、前記誤差パラメータを算出し、
前記配置部は、個片化された前記複数の半導体チップを、前記設計座標値と前記座標変換式によりそれぞれ配置位置を決定して前記半導体基板上の前記複数の回路領域のそれぞれに配置する請求項１４に記載の積層型半導体素子の製造装置。