【手続補正書】
【提出日】平成24年3月12日(2012.3.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の光反射部を備える可動板が前記可動板の厚さ方向に変位可能に設けられた第１の基体と、
前記第１の光反射部に第１のギャップを隔てて対向する第２の光反射部が設けられた第２の基体とを有し、
前記第１の基体と前記第２の基体とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含む原子構造を有するＳｉ骨格と、前記Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含むことを特徴とする光学デバイス。
【請求項２】
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記Ｓｉ骨格から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記第１の基体と前記第２の基体とを接合している請求項１に記載の光学デバイス。
【請求項３】
前記Ｓｉ骨格の結晶化度は、４５％以下である請求項１または２に記載の光学デバイス。
【請求項４】
前記接合膜は、プラズマ重合により形成されたものである請求項１ないし３のいずれかに記載の光学デバイス。
【請求項５】
前記接合膜は、ポリオルガノシロキサンを主材料として構成されている請求項４に記載の光学デバイス。
【請求項６】
前記ポリオルガノシロキサンは、オクタメチルトリシロキサンの重合物である請求項５に記載の光学デバイス。
【請求項７】
前記脱離基は、Ｈ原子、Ｂ原子、Ｃ原子、Ｎ原子、Ｏ原子、Ｐ原子、Ｓ原子およびハロゲン系原子、またはこれらの各原子が前記Ｓｉ骨格に結合するよう配置された原子団からなる群から選択される少なくとも１種で構成されたものである請求項１ないし６のいずれかに記載の光学デバイス。
【請求項８】
前記脱離基は、アルキル基である請求項７に記載の光学デバイス。
【請求項９】
前記第１の基体の構成材料は、シリコンまたはガラスである請求項１ないし８のいずれかに記載の光学デバイス。
【請求項１０】
前記第２の基体の構成材料は、シリコンまたはガラスである請求項１ないし９のいずれかに記載の光学デバイス。
【請求項１１】
前記エネルギーの付与は、前記接合膜にエネルギー線を照射する方法、前記接合膜を加熱する方法、および、前記接合膜に圧縮力を付与する方法のうちの少なくとも１つの方法により行われる請求項１ないし１０のいずれかに記載の光学デバイス。
【請求項１２】
前記可動板を前記可動板の厚さ方向に変位させる駆動手段を有する請求項１ないし１１のいずれかに記載の光学デバイス。
【請求項１３】
前記第２の基体の前記第１の基体側の面には、前記可動板に第２のギャップを隔てて対向する電極が設けられており、前記駆動手段は、前記可動板と前記電極との間に電圧を印加することにより、前記可動板と前記電極との間に静電引力を生じさせて、前記可動板を変位させるように構成されている請求項１２に記載の光学デバイス。
【請求項１４】
第１の光反射部を備える可動板が前記可動板の厚さ方向に変位可能に設けられた第１の基体と、
前記第１の光反射部に第１のギャップを隔てて対向する第２の光反射部が設けられた第２の基体とを有し、
前記第１の基体と前記第２の基体とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、金属原子と、前記金属原子に結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記第１の基体と前記第２の基体とを接合していることを特徴とする光学デバイス。
【請求項１５】
第１の光反射部を備える可動板が前記可動板の厚さ方向に変位可能に設けられた第１の基体と、
前記第１の光反射部に第１のギャップを隔てて対向する第２の光反射部が設けられた第２の基体とを有し、
前記第１の基体と前記第２の基体とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、金属原子と、有機成分で構成される脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記接合膜から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記第１の基体と前記第２の基体とを接合していることを特徴とする光学デバイス。
【請求項１６】
前記可動板を前記可動板の厚さ方向に変位させる駆動手段を有する請求項１４または１５に記載の光学デバイス。
【請求項１７】
前記第２の基体の前記第１の基体側の面には、前記可動板に第２のギャップを隔てて対向する電極が設けられており、前記駆動手段は、前記可動板と前記電極との間に電圧を印加することにより、前記可動板と前記電極との間に静電引力を生じさせて、前記可動板を変位させるように構成されており、前記電極は、前記接合膜と同一材料で構成されている請求項１６に記載の光学デバイス。
【請求項１８】
前記第２の基体の前記第１の基体側の面には、凹部が形成され、前記凹部の底面に前記第２の光反射部が設けられている請求項１ないし１７のいずれかに記載の光学デバイス。
【請求項１９】
前記第１の光反射部と前記第２の光反射部との間で光反射を繰り返し干渉を生じさせて、前記第１のギャップに応じた波長の光を外部へ出射し得るように構成されている請求項１ないし１８のいずれかに記載の光学デバイス。
【請求項２０】
請求項１ないし１９のいずれかに記載の光学デバイスを備えることを特徴とする波長可変フィルタモジュール。
【請求項２１】
請求項１ないし１９のいずれかに記載の光学デバイスを備えることを特徴とする光スペクトラムアナライザ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の光学デバイスは、第１の光反射部を備える可動板が前記可動板の厚さ方向に変位可能に設けられた第１の基体と、
前記第１の光反射部に第１のギャップを隔てて対向する第２の光反射部が設けられた第２の基体とを有し、
前記第１の基体と前記第２の基体とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含む原子構造を有するＳｉ骨格と、前記Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含むことを特徴とする。
これにより、設計自由度を高めるとともに低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる。
本発明の光学デバイスでは、前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記Ｓｉ骨格から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記第１の基体と前記第２の基体とを接合しているのが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の光学デバイスでは、前記エネルギーの付与は、前記接合膜にエネルギー線を照射する方法、前記接合膜を加熱する方法、および、前記接合膜に圧縮力を付与する方法のうちの少なくとも１つの方法により行われることが好ましい。
これにより、接合膜に対して比較的簡単に効率よくエネルギーを付与することができる。
本発明の光学デバイスでは、前記可動板を前記可動板の厚さ方向に変位させる駆動手段を有することが好ましい。
本発明の光学デバイスでは、前記第２の基体の前記第１の基体側の面には、前記可動板に第２のギャップを隔てて対向する電極が設けられており、前記駆動手段は、前記可動板と前記電極との間に電圧を印加することにより、前記可動板と前記電極との間に静電引力を生じさせて、前記可動板を変位させるように構成されていることが好ましい。
これにより、可動板を静電力により変位させることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の光学デバイスは、第１の光反射部を備える可動板が前記可動板の厚さ方向に変位可能に設けられた第１の基体と、
前記第１の光反射部に第１のギャップを隔てて対向する第２の光反射部が設けられた第２の基体とを有し、
前記第１の基体と前記第２の基体とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、金属原子と、前記金属原子に結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記第１の基体と前記第２の基体とを接合していることを特徴とする。
これにより、接合膜は、金属酸化物に脱離基が結合したものとなり、変形し難い強固な膜となる。このような接合膜を用いた光学デバイスによっても、設計自由度を高めるとともに低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の光学デバイスは、第１の光反射部を備える可動板が前記可動板の厚さ方向に変位可能に設けられた第１の基体と、
前記第１の光反射部に第１のギャップを隔てて対向する第２の光反射部が設けられた第２の基体とを有し、
前記第１の基体と前記第２の基体とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、金属原子と、有機成分で構成される脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記接合膜から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記第１の基体と前記第２の基体とを接合していることを特徴とする。
これにより、接合膜は、金属原子と有機成分で構成される脱離基とを含むものとなり、変形し難い強固な膜となる。このような接合膜を用いた光学デバイスによっても、設計自由度を高めるとともに低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の光学デバイスでは、前記可動板を前記可動板の厚さ方向に変位させる駆動手段を有することが好ましい。
本発明の光学デバイスでは、前記第２の基体の前記第１の基体側の面には、前記可動板に第２のギャップを隔てて対向する電極が設けられており、前記駆動手段は、前記可動板と前記電極との間に電圧を印加することにより、前記可動板と前記電極との間に静電引力を生じさせて、前記可動板を変位させるように構成されており、前記電極は、前記接合膜と同一材料で構成されていることが好ましい。
これにより、可動板を静電力により変位させることができる。また、電極と接合膜とを同一工程にて形成することができるため、光学デバイスの低コスト化を図ることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の光学デバイスでは、前記第２の基体の前記第１の基体側の面には、凹部が形成され、前記凹部の底面に前記第２の光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、スペーサを介在させることなく第１の基体と第２の基体とを接合しても、第１のギャップを確保することができる。その際、第１の基体や第２の基体を形成するための加工前の基板の面を利用して、第１の基体と第２の基体との平行度や、第１の基体および第２の基体のそれぞれの面の平滑度を優れたものとすることができる。
本発明の光学デバイスでは、前記第１の光反射部と前記第２の光反射部との間で光反射を繰り返し干渉を生じさせて、前記第１のギャップに応じた波長の光を外部へ出射し得るように構成されているのが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
図１ないし図３に示すように、光学デバイス１は、例えば、光を受け、干渉作用により、その光の波長のうち特定の波長に対応する光（干渉光）だけを出射させる波長可変フィルタである。なお、この光学デバイス１は、波長可変フィルタに限らず、光スイッチ、光アッテネータなどの各種光学デバイスに用いることもできる。
このような光学デバイス１は、互いに接合された第１の基体（第１の構造体）２および第２の基体（第２の構造体）３を有し、これらの間に、光を干渉させるためのギャップ、すなわち光学ギャップＧ１（第１のギャップ）が形成されている。そして、この光学ギャップＧ１に光Ｌが入射すると、干渉作用により、光学ギャップＧ１の大きさに応じた波長の光だけが射出する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
第２の基体３は、光透過性を有しており、第２の基体３には、その一方の面側に、第１の基体２と第２の基体３との間に静電ギャップＧ２（第２のギャップ）を形成するための第１の凹部３１と、第１の凹部３１内側で第１の基体２と第２の基体３との間に光学ギャップＧ１を形成するための第２の凹部３２とが形成されている。これにより、可動板２１の厚さ方向での変位を許容する空隙を形成しつつ、第２の基体３と第１の基体２とを接合することができる。
このような第２の基体３の構成材料としては、用いる光の波長に関し光透過性を有していれば、特に限定されないが、例えば、前述したようなシリコン材料、ガラス材料等が好適に用いられる。