(57)【要約】  真空遮断器における耐電圧性能の悪化、発熱による通電性能の悪化を安価な構成で解消することを目的とし、真空遮断器の絶縁ロッド（６）、真空バルブ（８）、可動側端子（７ａ）などから形成される主回路構造体と、この主回路構造体を支持する絶縁ホルダ（１）を備え、絶縁ホルダ（１）の形状を真空バルブ（８）が配置される部位および絶縁ロッド（６）が配置される部位の上下面と両側面に開口部（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）を設けた枠構造体としたことを特徴とする。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定接点および可動接点を有する真空バルブ、この真空バルブの固定接点に接続された固定側端子、前記真空バルブの可動接点に接続された可動側端子、前記真空バルブの可動接点に連結され、前記固定接点および前記可動接点を開閉操作する絶縁ロッドを備えた主回路構造体と、この主回路構造体を支持する絶縁ホルダとを備えた真空遮断器において、前記絶縁ホルダは、前記真空バルブが配置された部位および前記絶縁ロッドが配置された部位の上下面と両側面に開口部を有した枠構造体としたことを特徴とする真空遮断器。
【請求項２】
前記絶縁ホルダは、Ｕ字型フレームを２段に配し、前記Ｕ字型フレームの開口側の一側同士を結合した絶縁ホルダ固定部を形成し、前記絶縁ホルダ固定部と前記Ｕ字型フレームの前記絶縁ホルダ固定部側とで囲まれた空間に前記絶縁ロッドが配置されるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の真空遮断器。
【請求項３】
前記絶縁ホルダは、Ｕ字型フレームを２段に配し、前記Ｕ字型フレームの開口側の一側同士を結合した絶縁ホルダ固定部を形成とするとともに、前記Ｕ字型フレームの各中間部同士を中間フレームで結合した形状とし、前記絶縁ホルダ固定部と前記中間フレームと前記Ｕ字型フレームの前記絶縁ホルダ固定部側とで囲まれた空間に前記絶縁ロッドが配置され、前記Ｕ字型フレームの先端側と前記中間フレームで囲まれた空間に前記真空バルブが配置されるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の真空遮断器。
【請求項４】
前記絶縁ホルダは、前記真空バルブが配置される部位、前記絶縁ロッドが配置される部位をそれぞれ３つ有し、かつ、これらを一体化したものであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の真空遮断器。
【請求項５】
前記絶縁ホルダには、先端に設けられた固定部に通電性能の低い安価な金属からなる固定板が取り付けられるとともに、前記真空バルブには、通電性能の高い金属からなる固定側端子が取り付けられ、前記固定側端子を前記固定板に締結して前記主回路構造体を支持するように構成し、かつ、前記主回路構造体の前記固定側端子に固定側の導体を直接接続したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の真空遮断器。
【請求項６】
前記固定側端子に接続される固定側の導体は、幅広の形状で、前記固定側端子の両側面に直接接続されており、かつ、幅広の部分が鉛直方向となるよう配置されていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の真空遮断器。
【請求項７】
前記固定側端子の両側面に締結された少なくとも２つの前記固定側の導体の間に放熱フィンが取り付けられていることを特徴とする請求項６に記載の真空遮断器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガス絶縁スイッチギヤなどに搭載される真空遮断器に係り、特に真空遮断器の主回路構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガス絶縁スイッチギヤは、六フッ化硫黄（ＳＦ６）ガスの優れた絶縁性能によって機器をコンパクト化することができ、電気室のスペース縮小に貢献している。このガス絶縁スイッチギヤに搭載される真空遮断器は、一般的に真空遮断器の操作機構がガス容器の外側に配置されるとともに、真空遮断器の主回路部がガス容器の内側に配置され、操作機構と主回路部とがガス容器の内外の気密を保ったまま駆動可能な軸にて連結されるように構成されている。
ここで、真空遮断器の主回路部は、絶縁操作ロッド、可動側端子、真空バルブおよび固定側端子で構成されるが、これらの主回路部の構成部材は、接地電位であるガス容器と絶縁を保った状態でガス容器内に支持する必要がある。このため、真空遮断器の主回路部は、ガス容器内で絶縁碍子または絶縁性のホルダで支持されるように構成されていることが一般的である。【０００３】
このように真空遮断器の主回路部を絶縁ホルダで支持する場合、例えば絶縁ホルダを円筒形にして真空バルブの周囲を覆う構造にすると、真空バルブ外側の電界を高めてしまうため、耐電圧性能が悪くなる。また、通電時に真空バルブが発熱することになるが、周囲が覆われていると、空気の対流が悪くなるため、真空バルブ周辺の温度が上昇し、通電性能が悪くなるという課題がある。
このような課題を解消するものとして例えば特許文献１または特許文献２に示されるような真空遮断器が提案されている。
すなわち、特許文献１に示された真空遮断器は、特に図３に示されるように断面Ｕ字状の第一絶縁フレームおよび第二絶縁フレームを真空バルブの左右から真空バルブを覆うように両者間に隙間をもって配置され、第一絶縁フレームおよび第二絶縁フレームが真空バルブの固定側導体により締結されるように構成されている。
また、特許文献２に示された真空遮断器は、図１および図４に示されるように真空バルブを上下から挟持するように配置された一対の絶縁支持板と、絶縁支持板の一方端に固定されるとともに真空バルブの固定側が固定された上部電極とを備えたものにより構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１３１４４０号公報（特に図３参照）
【特許文献２】特開２０１３−１４９５７９号公報（特に図１、図４参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したような特許文献１、特許文献２に示された真空遮断器においては、ともに真空バルブの周囲の絶縁物に開口部を設けて空気の対流を改善する構造としているが、１個の真空バルブを２つの絶縁フレームで支持する構造であるため、２つの絶縁フレームの長さにわずかな差があると、遮断器投入時に真空バルブに生じる衝撃荷重を一方の絶縁フレームが受けることになる。このため、絶縁フレームとしての強度が安定せず、真空バルブとしての耐電圧性能および通電性能の信頼性を損なうことになるという課題がある。
また、特許文献１に示された真空遮断器のように真空バルブ１個に対して２個の絶縁フレームで支持する構造とすると、三相遮断器の場合６個の絶縁フレームが必要となり、コストが増加するという課題がある。
さらに、特許文献２に示された真空遮断器のように絶縁フレームを三相一括構造とすると、真空バルブを三相分並べた場合、真ん中の相の組立性能が悪いなどの問題点がある。【０００６】
また、真空バルブの固定側を支持する固定板は、真空遮断器の投入、遮断時に主回路に生じる衝撃荷重に耐える強度と真空遮断器主回路を通電する機能が要求されるため、銅やアルミなどの通電性能の高い材料でかつ衝撃荷重に耐える厚みが必要となる。したがって、固定板が大型化し、コストが増加するという課題がある。
この発明は、上述のような課題を解消するためなされたもので、耐電圧性能、通電性能を低下させることなく、安定性が高くコストを抑制することが可能な真空遮断器の主回路構造を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る真空遮断器は、固定接点および可動接点を有する真空バルブ、この真空バルブの固定接点に接続された固定側端子、前記真空バルブの可動接点に接続された可動側端子、前記真空バルブの可動接点に連結され、前記固定接点および前記可動接点を開閉操作する絶縁ロッドを備えた主回路構造体と、この主回路構造体を支持する絶縁ホルダとを備えた真空遮断器において、前記絶縁ホルダは、前記真空バルブが配置された部位および前記絶縁ロッドが配置された部位の上下面と両側面に開口部を有した枠構造体としたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、真空バルブを含む主回路構造体を支持する絶縁ホルダを枠構造体とすることによって、真空バルブ外側の電界を向上させず、空気の対流をよくすることが可能となり、真空遮断器の真空バルブ周辺での耐電圧性能、通電性能の信頼性を向上させることが可能な真空遮断器を低コストで提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１に係る真空遮断器が配設されたスイッチギヤを示す側断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る絶縁ホルダを示す斜視図である。
【図３】図２における絶縁ホルダの側面形状を示す図である。
【図４】図２における絶縁ホルダの上面形状を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係る真空遮断器単極部の構造を示す側面図である。
【図６】図５におけるＡ−Ａ線に沿った断面形状を示す図である。
【図７】図５におけるＢ−Ｂ線に沿った断面形状を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態１に係る真空遮断器の要部構成を示す側面図である。
【図９】図８における真空遮断器の上面形状を示す平面図である。
【図１０】本発明の実施の形態２に係る真空遮断器の要部構成を示す斜視図である。
【図１１】本発明の実施の形態３に係る真空遮断器の要部構成を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
実施の形態１．
以下、本発明の実施の形態１に係るスイッチギヤについて図１から図９に基づいて説明する。
図１は、本発明の実施の形態１に係る真空遮断器が配設されたスイッチギヤを示す側断面図、図２は、本発明の実施の形態１に係る絶縁ホルダを示す斜視図、図３は、図２における絶縁ホルダの側面形状を示す図、図４は、図２における絶縁ホルダの上面形状を示す図である。また、図５は、本発明の実施の形態１に係る真空遮断器単極部の構造を示す側面図、図６は、図５におけるＡ−Ａ線に沿った断面形状を示す図、図７は、図５におけるＢ−Ｂ線に沿った断面形状を示す図である。図８は、本発明の実施の形態１に係る真空遮断器の要部構成を示す側面図、図９は、図８における真空遮断器の上面形状を示す平面図である。
【００１１】
図１において、スイッチギヤは、扉ＤＲを有し、各部を収納する筐体ＣＳと、この筐体ＣＳ内に設けられた真空遮断器ＶＢ、計器用変流器ＣＴ、計器用変圧器ＶＴおよび断路器ＤＳを備えて構成されている。
ここで、真空遮断器ＶＢは、一方の端子がケーブルＣＢに接続導体ＣＤおよびケーブルヘッドＣＨを介して接続され、他方の端子が水平母線ＨＢに接続されている。また、真空遮断器ＶＢは、ケーブルＣＢへ接続される経路に計器用変流器ＣＴおよび計器用変圧器ＶＴが接続されるとともに、水平母線ＨＢへ接続される経路に断路器ＤＳが接続されている。さらに、スイッチギヤは、断路器ＤＳを操作する断路器操作機構が収納された断路器操作機構部ＬＰと、真空遮断器ＶＢを操作する遮断器操作機構が収納された遮断器操作機構部ＢＰとを備えている。
また、真空遮断器ＶＢを形成する主回路構造体は、図５に示すように、固定接点および可動接点を有する真空バルブ８と、この真空バルブ８の固定接点に接続された固定側端子９と、真空バルブ８の可動接点に接続された可動側端子７ａと、真空バルブ８の可動接点に連結され、可動接点を開閉操作する絶縁ロッド６とによって構成されており、固定板１０および固定板固定部４を介して絶縁ホルダ１に固定されている。
【００１２】
なお、真空バルブ８は、絶縁円筒で構成される真空容器の内部に固定接点および可動接点が設けられている。ここで、真空バルブ８の固定接点は、固定電極棒の先端部に固定され、この固定電極棒は、絶縁円筒の一端面に設けられた固定側端板に固定されている。また、可動接点は、絶縁ロッド６によって駆動される可動電極棒の先端部に固着され、この可動電極棒の動きに応じて固定接点に対する開閉動作を行うことになる。さらに、可動電極棒は、絶縁円筒の他端面に設けられた可動側端板を貫通し、この貫通部分は、ベローズからなる封止部材により封止されている。また、固定接点に接続された固定側端子９は、固定側電極棒に固定され、可動接点に接続された可動側端子７ａは、可動側電極棒に固定されている。
【００１３】
次に、本発明の要部である絶縁ホルダ１の構造について詳細に説明する。
すなわち、絶縁ホルダ１は、図２に示すように、真空遮断器ＶＢの可動導体を固定する可動導体固定部２と、絶縁ホルダ１を固定する固定部３と、主回路構造体が取り付けられる固定板１０を固定する固定板固定部４とから構成されている。
さらに詳しく説明すると、絶縁ホルダ１は、図４に示すように、最奥端部（図中右側）が連結されたＵ字型のフレーム１０１を図３に示すように上下２段に配し、かつ、フレーム１０１の上側フレーム１０１ａおよび下側フレーム１０１ｂの開口側１０２の一側同士を縦方向の絶縁ホルダ固定部３で一体に結合するとともに、Ｕ字型の上側フレーム１０１ａおよび下側フレーム１０１ｂの各中間部同士を縦方向の中間フレーム１０３で一体に結合した枠構造体として構成されている。このような絶縁ホルダ１は、絶縁樹脂材料を一体成形することによって製作される。
【００１４】
このような絶縁ホルダ１の絶縁ホルダ固定部３、中間フレーム１０３およびＵ字型フレーム１０１の絶縁ホルダ固定部側によって囲まれた空間に絶縁ロッド６が配置され、Ｕ字型フレーム１０１ａ,１０１ｂの先端側１０４ａ,１０４ｂおよび中間フレーム１０３で囲まれた空間に真空バルブ８が配置され、これによって図５に示すような真空遮断器ＶＢが形成されることになる。なお、強度的に余裕がある場合は、中間フレーム１０３を省略しても良い。
【００１５】
ここで、図５に示すように、真空遮断器ＶＢの絶縁ホルダ１に真空遮断器単極を配置した場合、絶縁ロッド６が配置される位置には、絶縁ロッド側面開口部５ａ（図３参照）、絶縁ロッド上面開口部５ｂ（図４参照）が設けられることになり、真空バルブ８が配置される位置には、真空バルブ側面開口部５ｃ（図３参照）、真空バルブ上面開口部５ｄ（図４参照）が設けられることになる。
このように、絶縁ホルダ１に真空遮断器単極を配置した場合、真空バルブ８の可動側には真空バルブの可動側端子７ａおよび可動導体７ｂが取り付けられており、可動導体７ｂは、可動導体固定部２に締結されている。また、真空バルブ８の固定側には固定側端子９が取付けられており、固定側端子９は、固定板１０および固定板固定部４を介して絶縁ホルダ１のフレーム１０１に締結されている。
【００１６】
図６は、図５におけるＡ−Ａ線に沿った断面を示すものであり、絶縁ホルダ１に配置される真空バルブ８の電極１３、電極棒１４、絶縁筒（絶縁円筒）１５および電極シールド１６が示されている。図７は、図５におけるＢ−Ｂ線に沿った断面を示すものであり、絶縁ホルダ１に配置される真空バルブ８の絶縁ロッド６および操作ロッド１７が示されている。
【００１７】
図８、図９は、三相の真空遮断器ＶＢに適用した例を示し、図８は、図５における真空遮断器単極構造の真空バルブ固定側端子９に固定側導体１１を取り付けた状態、図９は、固定側導体１１ａ、固定側導体１１ｂが真空バルブ８の１つの固定側端子９の両側面に締結され、幅広の部分が鉛直方向となるよう配置された構造を示している。
このように真空バルブ８と絶縁ホルダ１とを固定する固定板１０を介さず固定側導体１１（１１ａ，１１ｂ）を真空遮断器ＶＢの固定側端子９の両側面に直接取り付けることによって、導体断面積の増加による通電性能の向上を図ることができるとともに、平導体である固定側導体１１ａ、固定側導体１１ｂを縦（鉛直）方向に配置しているため、空気の対流を妨げることなく、導体部の放熱性能も向上させることができる。なお、固定側導体１１として２枚の導体（１１ａ，１１ｂ）を使用した例を示したが、通電電流が大きくない場合は、どちらかの１枚だけであってもよい。
【００１８】
上述したように、絶縁ホルダ１を上面および側面に開口部を有する枠構造体で形成したため、真空バルブ８周辺の空気の対流を妨げることなく、放熱性能の高い主回路構造体を形成することができる。また、絶縁ホルダ１に大きな開口部を設けているため、組立時のボルト締結作業を容易とすることができる。さらに、絶縁ホルダ１を各相個別の構造としたため、真空遮断器ＶＢが三相並んだ場合に中央の相だけを先に取り付けて組立した後で、両側の相を取り付けることが可能となり、組立の作業性を向上させることができる。
【００１９】
さらに、真空遮断器ＶＢは、真空バルブ８の可動電極を動作させ、電流を投入または遮断する装置であるため、真空バルブ８を支持する絶縁ホルダ１には真空遮断器の投入または開極時に生じる衝撃荷重に耐える強度が要求され、また、絶縁ホルダ１と真空バルブ８を固定する固定板１０にも同様に衝撃荷重に耐える強度が必要となるが、実施の形態１においては、図５、図８に示すように固定板１０が真空遮断器の衝撃に耐えて真空バルブ８を支持する機能を有するとともに、固定側端子９が真空遮断器主回路に接続されて通電する機能を有し、固定側端子９と固定板１０とが通電と強度の各機能を分けた構成を採用している。したがって、固定板１０は、通電性能を有するアルミや銅などの高価な金属を使用する必要がなく、鉄など安価な金属によって製作することが可能となる。
【００２０】
また、図５に示すように、固定板１０は、Ｕ字型フレーム１０１の端部間にまたがって配置されるため、真空バルブ８の直径よりも大きな寸法となり、かつ真空バルブ８を支持する必要な強度を実現するため、必要な厚みも必要となる。このように固定板１０は、寸法が大きく、材料も嵩むが、例えば鉄などの安価な材料を使用すればコストの上昇を抑制することができる。加えて、固定側端子９は、銅やアルミなどの通電性能を有する高価な材料が必要となるが、真空バルブ８の直径と同程度のサイズがあれば十分で、さほど材料費が嵩むことがない。
【００２１】
実施の形態２．
次に、本発明の実施の形態２に係るスイッチギヤの要部である真空遮断器について図１０に基づき説明する。
この実施の形態２においては、図１０に示すように、真空遮断器の主回路構造体の固定側導体１１ａと固定側導体１１ｂとの間に放熱フィン１２を配置したことを特徴としている。この放熱フィン１２を除く他の構成は、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
このように固定側導体１１ａと固定側導体１１ｂとの間に放熱フィン１２を設けることによって固定側導体１１ａ，１１ｂにおいて発生した熱が空気の対流により空間に放出され易くなる。また、放熱フィン１２は、固定側導体１１ａと固定側導体１１ｂに挟まれた空間に配置されているため、放熱フィン１２周辺の電界を殆ど上昇させることがなく、耐電圧性能を低下させることがない。
【００２２】
実施の形態３．
次に、本発明の実施の形態３に係る真空遮断器について図１１に基づき説明する。
上述の実施の形態１においては、固定側端子９を導電性の良い金属で構成するとともに固定板１０を安価な鉄などを用いて構成し、通電と強度の機能を併せ持たせる構成としたが、図１１に示すように、固定側端子９、固定板１０の両方を銅やアルミなどの通電性能の良い金属で構成し、固定側導体１３を固定板１０に直接締結するように構成してもよい。
このような構成とすることにより、鉄に比べ銅やアルミなどの高価な金属を多く使う分だけ主回路構造体のコストが上昇することになるが、固定側導体１３を固定板１０に直接締結することが可能となり、組立の作業効率を向上させることができる。
【００２３】
なお、上述の実施の形態１から実施の形態３においては、絶縁ホルダ１の先端部に設けた固定板固定部４を絶縁ホルダ１の先端上下部にそれぞれ水平方向に配置した事例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、図１に示した絶縁ホルダ１の上下方向を９０度回転させて水平方向にして、絶縁ホルダ１の先端部に設けた固定板固定部４を絶縁ホルダ１の先端部の左右側においてそれぞれ上下方向に配置したもの、すなわち図２を平面図、図３を側面図にするように構成した真空遮断器の主回路構造体であっても同等の効果を奏することができる。
【００２４】
また、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態の一部または全部を自由に組み合せたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００２５】
１:  絶縁ホルダ、  ２：真空遮断器の可動導体固定部、  
３：絶縁ホルダ固定部、  ４：遮断器の固定板固定部、  
５a：真空遮断器主回路の絶縁ロッド側面開口部、
５b：真空遮断器主回路の絶縁ロッド上面開口部、  
５c：真空バルブ側面開口部、  ５d：真空バルブ上面開口部、  
６：絶縁ロッド、  ７a：真空バルブ可動側端子、
７b：可動導体、  ８：真空バルブ、  ９：真空バルブ固定側端子、
１０：固定板、  １１，１１ａ，１１ｂ，１３：固定側導体、
１２：放熱フィン、  １０１：絶縁ホルダのＵ字型フレーム、
１０３：絶縁ホルダの中間フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【手続補正書】
【提出日】平成28年11月2日(2016.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定接点および可動接点を有する真空バルブ、この真空バルブの固定接点に接続された固定側端子、前記真空バルブの可動接点に接続された可動側端子、前記真空バルブの可動接点に連結され、前記固定接点および前記可動接点を開閉操作する絶縁ロッドを備えた主回路構造体と、この主回路構造体を支持する絶縁ホルダとを備えた真空遮断器において、前記絶縁ホルダは、前記真空バルブが配置される部位および前記絶縁ロッドが配置される部位の上下面と両側面に開口部を有した枠構造体とし、かつ、前記枠構造体は、Ｕ字型フレームを２段に配し、前記Ｕ字型フレームの開口側の一側同士を結合した絶縁ホルダ固定部と、前記Ｕ字型フレームの各中間部同士を結合した中間フレームとから構成され、前記絶縁ホルダ固定部と前記中間フレームと前記Ｕ字型フレームの前記絶縁ホルダ固定部側とで囲まれた空間に前記絶縁ロッドが配置され、前記Ｕ字型フレームの先端側と前記中間フレームで囲まれた空間に前記真空バルブが配置されるように構成したことを特徴とする真空遮断器。
【請求項２】
前記絶縁ホルダは、前記真空バルブが配置される部位、前記絶縁ロッドが配置される部位をそれぞれ３つ有し、かつ、これらを一体化したものであることを特徴とする請求項１に記載の真空遮断器。
【請求項３】
前記絶縁ホルダには、先端に設けられた固定部に通電性能の低い安価な金属からなる固定板が取り付けられるとともに、前記真空バルブには、通電性能の高い金属からなる固定側端子が取り付けられ、前記固定側端子を前記固定板に締結して前記主回路構造体を支持するように構成し、かつ、前記主回路構造体の前記固定側端子に固定側の導体を直接接続したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空遮断器。
【請求項４】
前記固定側端子に接続される固定側の導体は、幅広の形状で、前記固定側端子の両側面に直接接続されており、かつ、幅広の部分が鉛直方向となるよう配置されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の真空遮断器。
【請求項５】
前記固定側端子の両側面に締結された少なくとも２つの前記固定側の導体の間に放熱フィンが取り付けられていることを特徴とする請求項４に記載の真空遮断器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明に係る真空遮断器は、固定接点および可動接点を有する真空バルブ、この真空バルブの固定接点に接続された固定側端子、前記真空バルブの可動接点に接続された可動側端子、前記真空バルブの可動接点に連結され、前記固定接点および前記可動接点を開閉操作する絶縁ロッドを備えた主回路構造体と、この主回路構造体を支持する絶縁ホルダとを備えた真空遮断器において、前記絶縁ホルダは、前記真空バルブが配置される部位および前記絶縁ロッドが配置される部位の上下面と両側面に開口部を有した枠構造体とし、かつ、前記枠構造体は、Ｕ字型フレームを２段に配し、前記Ｕ字型フレームの開口側の一側同士を結合した絶縁ホルダ固定部と、前記Ｕ字型フレームの各中間部同士を結合した中間フレームとから構成され、前記絶縁ホルダ固定部と前記中間フレームと前記Ｕ字型フレームの前記絶縁ホルダ固定部側とで囲まれた空間に前記絶縁ロッドが配置され、前記Ｕ字型フレームの先端側と前記中間フレームで囲まれた空間に前記真空バルブが配置されるように構成したことを特徴とするものである。
【国際調査報告】
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