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　特願２００３−１８６２０２「基板洗浄装置および基板洗浄方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　１月２０日出願公開、特開２００５−　１３９６０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成１５年６月３０日の特許出願であって、同１９年１２月１２日付けで拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同２０年２月１４日に意見書と共に明細書について手続補正書が提出されたが、同２０年３月５日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同２０年４月９日に本件審判の請求がされ、その後、同２０年５月８日に明細書について再度手続補正書が提出されたものである。
　
第２　平成２０年５月８日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成２０年５月８日付けの手続補正を却下する。
［理由］
１　補正の内容
　平成２０年５月８日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
（１）補正前
「基板の搬送路と、搬送される基板表面に一定方向に流れる洗浄水を供給すべく基板上方に配置される洗浄液供給手段と、基板下方に配置される超音波発振部材とを備え、前記洗浄液供給手段および超音波発振部材は幅方向に複数配置され、また前記超音波発振部材は搬送ローラ間に臨む超音波発振ノズルを備え、この超音波発振ノズルから発振される超音波が基板とノズルとの間の空間を介して前記基板表面に供給された洗浄水に振動を与えることを特徴とする基板洗浄装置。」
（２）補正後
「基板の搬送路と、搬送される基板表面に一定方向に流れる洗浄水を供給すべく基板上方に配置される洗浄液供給手段と、基板下方に配置される超音波発振部材とを備え、
前記洗浄液供給手段は水素水、オゾン水またはアルカリイオン水を供給し、前記超音波発振部材は２８ｋＨｚ〜１ＭＨｚの超音波を発振し、
２　補正の適否
　本件補正の特許請求の範囲の請求項１についてする補正は、洗浄液供給手段について「水素水、オゾン水またはアルカリイオン水を供給し」という事項を付加し、また、超音波発振部材について「２８ｋＨｚ〜１ＭＨｚの超音波を発振し」という事項を付加するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とすることが明らかであるので、さらに、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、上記１（２）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「基板洗浄装置」であると認める。
（２）引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開２００２−１５９９２２号公報（以下「引用例」という。）の記載内容は以下のとおりである。
ア　引用例記載の事項
　引用例には以下の事項が記載されている。
（ア）段落【０００１】
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被洗浄基板に付着した微粒子を超音波による振動が付加された洗浄液によって洗浄する超音波洗浄装置に関する。」
（イ）段落【００２７】〜【００３９】
「【００２７】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の一形態である超音波洗浄装置１の構成を簡略化して示す断面図であり、図２は図１の平面図である。超音波洗浄装置１は、矢符２にて示す予め定める搬送方向に搬送される被洗浄基板３の洗浄すべき一方の表面４（以後、洗浄面と呼ぶ）から、付着微粒子を、超音波による振動を付加した洗浄液を用いて除去する装置であって、被洗浄基板３の他方の表面５（以後、裏面と呼ぶ）から間隔をあけて設けられ、前記裏面５に洗浄液６（以後、第１洗浄液と呼ぶ）を噴射する第１噴射ノズル７と、第１噴射ノズル７から噴射される第１洗浄液６に超音波による振動を付加する超音波振動発生手段８と、被洗浄基板３の洗浄面４から間隔をあけて設けられ、洗浄面４に洗浄液９（以後、第２洗浄液と呼ぶ）を噴射する第２噴射ノズル１０とを含む。
【００２８】第１噴射ノズル７は、被洗浄基板３の搬送方向に垂直方向に延び、軸直角断面形状は略嘴状であり、搬送方向に垂直方向の長さは、被洗浄基板３の搬送方向に垂直な方向の長さよりも長い。第１噴射ノズル７は、第１〜第５ノズル部材１１，１２，１３，１４，１５と、第１〜第４脚部材１６，１７，１８，１９とを含む。第１および第２ノズル部材１１，１２は、被洗浄基板３に臨み、対向して配置され、第１ノズル部材１１の第１先端部２１と第２ノズル部材１２の第２先端部２２とによって、間隙Ｄ１を有する第１ノズル孔２０が形成される。第１ノズル孔２０は、被洗浄基板３の搬送方向に垂直方向に細長く延びる。
【００２９】第１〜第５ノズル部材１１，１２，１３，１４，１５は、軸直角断面において、被洗浄基板３に臨む第１ノズル部材１１を基点として、図１の紙面上では反時計まわりにこの順序に設けられ、第１〜第５ノズル部材１１，１２，１３，１４，１５によって、内部に第１洗浄液６を貯留する第１貯留部２３が形成される。また、第５ノズル部材１５と第１ノズル部材１１との間には、第１供給口２４が形成され、第１供給口２４は、前記第１貯留部２３に開口する。
【００３０】第１〜第４脚部材１６，１７，１８，１９は、逆Ｌ字状の形状を有する部材であり、一方の端部は、第１噴射ノズル７の第１および第２側面２５，２６に固定され、他方の端部は第１基台２７に固定されて、第１噴射ノズル７が、被洗浄基板３の裏面５から間隔をあけて保持される。
【００３１】超音波振動発生手段８は、第１噴射ノズル７に内包され、超音波振動子３１と、吸収ダンパ３２と、封止板３３と、超音波振動子３１に電圧を負荷する電源回路３４とを含む。吸収ダンパ３２は、超音波振動子３１が第１貯留部２３に向って超音波を発振する面と反対側の面に設けられ、前記反対側の方向に伝播する超音波を吸収し、共振の発生を防止する。封止板３３は、超音波振動子３１と第１洗浄液６を貯留する第１貯留部２３との間に設けられ、第１洗浄液６が超音波振動子３１の方へ漏出することを防止する。超音波振動子３１の周波数には、前述のように周波数が低すぎると振動の効果が発現せず、周波数が高すぎるとキャビテーションによって被洗浄基板３が損傷を受ける恐れがあるので、１ＭＨｚが好適に用いられる。
【００３２】前記第１供給口２４には、第１供給管路３５が接続され、第１供給管路３５は、第１供給タンク３６に通じる。また、第１供給管路３５には第１ポンプ３７が設けられるので、第１供給タンク３６から第１ポンプ３７によって、第１供給管路３５を通じ、第１洗浄液６が第１噴射ノズル７に供給される。
【００３３】第１噴射ノズル７から被洗浄基板３の裏面５に向って噴射された後の第１洗浄液６は、トレイ３８に落下し、トレイ３８から第１供給タンク３６に回収される。トレイ３８から第１供給タンク３６に回収された第１洗浄液６は、第１ポンプ３７によって第１供給管路３５を通じて、第１噴射ノズル７に供給され、再使用される。すなわち、第１洗浄液６は循環して再使用される。
【００３４】第２噴射ノズルは、被洗浄基板３の搬送方向に垂直方向に延び、軸直角断面形状は略嘴状であり、搬送方向に垂直方向の長さは、被洗浄基板３の搬送方向に垂直な方向の長さよりも長い。第２噴射ノズル１０は、第６〜第８ノズル部材４１，４２，４３と、第５〜第８脚部材４４，４５，４６，４７とを含む。第６および第７ノズル部材４１，４２は、被洗浄基板３に臨み、対向して配置され、第６ノズル部材４１の第３先端部４８と第７ノズル部材４２の第４先端部４９とによって、間隙Ｄ２を有する第２ノズル孔５０が形成される。第２ノズル孔５０は、被洗浄基板３の搬送方向に垂直方向に細長く延びる。
【００３５】第６〜第８ノズル部材４１，４２，４３は、軸直角断面において、被洗浄基板３に臨む第６ノズル部材４１を基点として、図１の紙面上では反時計まわりにこの順序に設けられ、第６〜第８ノズル部材４１，４２，４３によって、内部に第２洗浄液９を貯留する第２貯留部５１が形成される。また、第６ノズル部材４１と第８ノズル部材４３との間には、第２供給口５２が形成され、第２供給口５２は、前記第２貯留部５１に開口する。
【００３６】第５〜第８脚部材４４，４５，４６，４７は、逆Ｌ字状の形状を有する部材であり、一方の端部は、第２噴射ノズル１０の第３および第４側面５３，５４に固定され、他方の端部は第１基台２７に固定されて、第２噴射ノズル１０が、被洗浄基板３の洗浄面４から間隔をあけて保持される。
【００３７】第２噴射ノズル１０は、第１噴射ノズル７よりも搬送方向下流側に配置され、第５および第７脚部材４４，４６を構成する第１基台２７に固定される部材の長さは、第６および第８脚部材４５，４７を構成する第１基台２７に固定される部材の長さよりも短いので、第２噴射ノズル１０の第２ノズル孔５０を形成する第３および第４先端部４８，４９の方が、第８ノズル部材４３よりも被洗浄基板３に近接して設けられる。このことによって、第２噴射ノズル１０は、第２洗浄液９を搬送方向下流側から上流側に向けて噴射することができる。
【００３８】前記第２供給口５２には、第２供給管路５５が接続され、第２供給管路５５は、第２供給タンク５６に通じる。また、第２供給管路５５には第２ポンプ５７が設けられるので、第２供給タンク５６から第２ポンプ５７によって、第２供給管路５５を通じ、第２洗浄液９が第２噴射ノズル１０に供給される。
【００３９】第２噴射ノズル１０から被洗浄基板３の洗浄面４に向って噴射された後の第２洗浄液９は、被洗浄基板３の洗浄面４上から流出してトレイ３８に落下し、トレイ３８から第１供給タンク３６に回収される。トレイ３８から第１供給タンク３６に回収された第２洗浄液９は、第１ポンプ３７によって第１供給管路３５を通じて、第１噴射ノズル７に供給され、第１洗浄液６として再使用される。」
（ウ）段落【００４４】〜【００４６】
「【００４４】被洗浄基板３は、搬送手段６１によって、前述のように矢符２方向に搬送される。搬送手段６１は、複数の搬送ローラ６２と、電動機６３と、複数の搬送ローラ６２同志を連結するベルト６４とを含む。搬送ローラ６２は、搬送方向に垂直方向かつ被洗浄基板３の表面に平行な軸線を有し、軸線まわりに回転自在に超音波洗浄装置１の機体に支持される。電動機６３は、複数の搬送ローラ６２の１つに接続され、搬送ローラ６２を軸線まわりに回転駆動する。電動機６３は、搬送ローラ６２の１つを軸線まわりに回転駆動し、複数の搬送ローラ６２同志はベルト６４よって連結されるので、電動機６３による回転駆動力が各搬送ローラ６２に伝達されて、各搬送ローラ６２が軸線まわりに回転し、被洗浄基板３が矢符２方向に搬送される。被洗浄基板３は、搬送される途上において、第１および第２噴射ノズル７，１０の洗浄液が噴射される領域を通過するとき洗浄される。
【００４５】図３は、被洗浄基板３の洗浄面４から微粒子６５が除去される状態を示す図である。図３を用いて、洗浄面４上の微粒子６５が除去される状態を説明する。図３（ａ）は、被洗浄基板３の洗浄面４に付着している微粒子６５が、第２洗浄液９の噴射されている領域に達し、第２洗浄液９中に浸漬した状態を示す。微粒子６５の洗浄面４側周辺には、まだ第２洗浄液９が浸透しきっていない空間６６が存在する。図３（ｂ）は、微粒子６５が第２洗浄液９中に浸漬後時間経過した状態を示す。被洗浄基板３の裏面５側には、第１噴射ノズル７から噴射される第１洗浄液６を通じて超音波振動が被洗浄基板３伝播し、さらに被洗浄基板３を通じて第２洗浄液９に超音波振動が伝播する。第２洗浄液９に伝播された超音波振動によって、微粒子６５の周囲にも第２洗浄液９が浸透する。超音波振動による第２洗浄液９の加速および直進流と、第１洗浄液６を通じて被洗浄基板３に伝播した超音波振動による被洗浄基板３の振動とによって、微粒子６５は矢符６７に示す方向に洗浄面４から離脱し、除去される。
【００４６】また、被洗浄基板３の洗浄面４から除去された微粒子６５が、洗浄面３に再付着することを防止するために、洗浄液にアルカリ水素水などの機能水を用いることもある。図３（ｃ）は、被洗浄基板３と微粒子６５とが、同じ種類の電位を持つことによって反発し、再付着が防止されている状態を示す。洗浄液にアルカリ水素水などの機能水を使用することによって、たとえば洗浄液と微粒子６５および被洗浄基板３とが、相対運動するときに生じるζ電位などによって、微粒子６５と被洗浄基板３とがともに同じ種類の電位を持ち、矢符６８方向の反発力が働いて微粒子６５と被洗浄基板３との再付着が防止される。」
（エ）ここで、摘記事項（イ）の段落【００２８】、【００３４】、及び図面の図２を参照すると、第１噴射ノズル７および第２噴射ノズル１０は幅方向に配置されていることが見て取れる。
　また、図面の図１を参照すると、第１噴射ノズル７の第１ノズル孔２０を形成する第１ノズル部材１１の第１先端部２１と第２ノズル部材１２の第２先端部２２とは、搬送ローラ６２間に臨んで備えられていることが見て取れる。
イ　引用例記載の発明
　引用例記載の事項を技術常識を考慮しながら補正発明に照らして整理すると引用例には以下の発明が記載されていると認める。
「基板３の搬送路と、搬送される基板表面４に一定方向に流れる洗浄液９を供給すべく基板３上方に配置される第２噴射ノズル１０と、基板裏面５に洗浄液６を供給すべく基板３下方に配置される超音波振動発生手段８を内包する第１噴射ノズル７とを備え、前記第２噴射ノズル１０はアルカリ水素水を供給し、前記超音波振動発生手段８は超音波振動子３１により１ＭＨｚの超音波を発振し、前記第２噴射ノズル１０および第１噴射ノズル７は幅方向に配置され、また前記第１噴射ノズル７は搬送ローラ６２間に臨む第１ノズル孔２０を形成する第１ノズル部材１１の第１先端部２１と第２ノズル部材１２の第２先端部２２とを備え、この第１ノズル孔２０から発振される超音波が基板３と第１ノズル孔２０との間の洗浄液６を介して前記基板表面４に供給された洗浄液９に振動を与える超音波洗浄装置。」
（３）対比
　補正発明と引用例記載の発明とを対比すると以下のとおりである。
　引用例記載の発明の「第２噴射ノズル１０」は、補正発明の「洗浄液供給手段」に相当する。
　また、引用例記載の発明の「超音波振動発生手段８を内包する第１噴射ノズル７」は、超音波を発振する部材であるという点に着目すると、「超音波発振部材」ということができるものであり、同じく「第１ノズル孔２０を形成する第１ノズル部材１１の第１先端部２１と第２ノズル部材１２の第２先端部２２」は、「超音波発振ノズル」ということができるものである。そうすると、引用例記載の発明の「第１噴射ノズル７」は、補正発明の「超音波発振部材」に相当する。
　さらに、引用例記載の発明の「基板３と第１ノズル孔２０との間の洗浄液６」は、「超音波の伝播媒体」であるという限りで、補正発明の「基板とノズルとの間の空間」と共通している。
　また、引用例記載の発明は「超音波洗浄装置」として表現されているが、補正発明と同様に「基板洗浄装置」としても表現できるものである。
　したがって、補正発明と引用例記載の発明とは、以下の点で一致しているということができる。
「基板の搬送路と、搬送される基板表面に一定方向に流れる洗浄水を供給すべく基板上方に配置される洗浄液供給手段と、基板下方に配置される超音波発振部材とを備え、前記洗浄液供給手段は水素水を供給し、前記超音波発振部材は１ＭＨｚの超音波を発振し、前記洗浄液供給手段および超音波発振部材は幅方向に配置され、また前記超音波発振部材は搬送ローラ間に臨む超音波発振ノズルを備え、この超音波発振ノズルから発振される超音波が基板とノズルとの間の伝播媒体を介して前記基板表面に供給された洗浄水に振動を与える基板洗浄装置。」
　そして、補正発明と引用例記載の発明とは、以下の２点で相違している。
ア　＜相違点１＞
　補正発明では、洗浄液供給手段および超音波発振部材は幅方向に複数配置されているのに対して、引用例記載の発明では、そのようになっていない点。
イ　＜相違点２＞
　補正発明では、超音波の伝播媒体が空間、すなわち、空気であるのに対して、引用例記載の発明では、超音波の伝播媒体が洗浄液である点。
（４）相違点の検討
ア　＜相違点１＞について
　洗浄液供給手段および超音波発振部材を幅方向に配置するに当たって、各々複数配置するかどうかは、基板の大きさと、洗浄液供給手段および超音波発振部材の大きさとを勘案して、適宜決定すればよい単なる設計的事項にすぎず、洗浄液供給手段および超音波発振部材を幅方向に複数配置することに格別の困難性はない。
イ　＜相違点２＞について
　超音波の空気における減衰率が高いものの、空気が超音波の伝播媒体であることは、例えば、特開２００２−１６６２３９号公報（段落【００１８】、及び図面の図２、図３参照。）に見られるように従来周知の事項であり、この従来周知の事項を引用例記載の発明に適用して、第１噴射ノズル７、すなわち、超音波発振部材に洗浄液６を導入することなく、基板とノズルとの間の空間の空気を介して超音波を伝播するように構成することに格別の困難性はない。
ウ　補正発明の効果について
　補正発明によってもたらされる効果も、引用例記載の発明及び上記従来周知の事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
エ　したがって、補正発明は、引用例記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
３　むすび
　よって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本件出願の発明について
１　本件出願の発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、平成２０年２月１４日付け手続補正書により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項２に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本件出願の発明」という。）は、上記第２の１（１）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの「基板洗浄装置」である。
２　引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載内容は、上記第２の２（２）に示したとおりである。
３　対比・検討
　本件出願の発明は、上記第２の２で検討した補正発明から、洗浄液供給手段について「水素水、オゾン水またはアルカリイオン水を供給し」という事項を削除し、また、超音波発振部材について「２８ｋＨｚ〜１ＭＨｚの超音波を発振し」という事項を削除したものである。
　そうすると、本件出願の発明を構成する事項の全てを含み、さらに他の事項を付加する補正発明が上記第２の２（４）エで示したとおり、引用例記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件出願の発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
４　むすび
　したがって、本件出願の発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、本件出願の請求項２に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。