【事件の表示】
　特願２００３−　７４９６１「合着機チャンバーガス温度調節装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年１０月１５日出願公開、特開２００３−２９５１５０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯・本願発明
　本願は、平成１５年３月１９日（パリ条約による優先権主張２００２年３月２２日、大韓民国）の出願であって、平成１９年１２月２５日付けで手続補正がなされたところ、平成２０年３月２５日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年７月１日に拒絶査定不服審判請求がなされるとともに同日付けで手続補正がなされ、その後、当審において、平成２１年１１月１０日付けで前記平成２０年７月１日付け手続補正が却下されるとともに同日付けで拒絶理由が通知され、平成２２年３月１７日付けで手続補正がなされたものである。
　
　そして、平成２２年３月１７日付け手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、本願の特許請求の範囲の請求項９に係る発明は次のものであると認める。
　
「液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバー内に液晶表示素子の液晶が滴下された第１基板と第２基板とを挿入する段階と、
　前記液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバーを真空にする段階と、
　前記液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバー内を真空にした後に、前記第１基板と第２基板とを合着する段階と、
　前記第１基板と第２基板とを合着した後に、前記液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバー内に、流入された空気またはガス内の水分が凝結して基板上に落ちることを防止するために加熱された空気又はガスを流入させる段階と
　を含むことを特徴とする液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバーを用いた液晶表示素子の製造方法。」（以下「本願発明」という。）
　
２　引用刊行物の記載事項
　当審における拒絶理由に引用した、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００２−４０３９８号公報（以下「引用刊行物」という。）には、図とともに以下の事項が記載されている。
　
（１）「【請求項１】  液晶を挟み相対向する第１及び第２の基板を貼り合わせて構成される液晶表示装置の製造装置において、夫々前記第１及び第２の基板を吸着する第１及び第２の基板吸着手段を備え互いに平行に設けられた第１及び第２の定盤と、少なくとも前記第１及び第２の定盤が内部に設けられる真空チャンバと、前記第１の定盤上における前記第１の基板の板面方向へのずれを拘束した状態で支持する第１の拘持手段と、前記第２の定盤上における前記第２の基板の板面方向へのずれを拘束した状態で支持する第２の拘持手段と、前記第１及び第２の定盤を加圧することにより前記第１及び第２の基板同士を圧接する加圧手段と、この加圧手段が前記第１及び第２の定盤を加圧している間に前記第１及び第２の基板同士の位置合わせを行う位置合わせ手段と、を有することを特徴とする液晶表示装置の製造装置。」
　
（２）「【請求項６】  第１及び第２の基板を貼り合わせて構成される液晶表示装置を製造する液晶表示装置の製造方法において、前記第１の基板上に液晶を滴下する工程と、内圧が所定値以下の真空チャンバ内で前記第１の基板の前記液晶が滴下された面に前記第２の基板を所定の圧力で加圧しながら前記第１及び第２の基板同士の位置合わせを行う工程と、前記真空チャンバを大気開放する工程と、を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。」
　
（３）「【００３７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例に係る液晶表示装置の製造装置及び製造方法について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は本発明の実施例に係る液晶表示装置の製造装置の構造を示す模式的上面図である。
【００３８】本実施例に係る製造装置には、第１の基板３１が積載される第１の積載部１及び第２の基板３２が積載される第２の積載部２が設けられている。第１の基板３１及び第２の基板３２は、夫々、例えばＴＦＴ基板及びＣＦ基板であるが、これらに限定されるものではなく、一方がＣＦオンＴＦＴ基板であって他方が共通電極が設けられた基板であってもよい。・・・また、第１の基板３１上に液晶を滴下する液晶滴下部４、第１の基板３１上に光硬化性樹脂を塗布する樹脂塗布部５及び第１の基板３１と第２の基板３２とを貼り合わせる処理部６が設けられている。液晶滴下部４には、液晶用ディスペンサ４ａが設けられ、樹脂塗布部５には樹脂用ディスペンサ５ａが設けられている。更に、貼り合わせが終了したパネルに紫外線を照射して光硬化性樹脂を更に硬化するＵＶ照射部７が設けられている。
【００３９】そして、積載部１及び２、液晶滴下部４、樹脂塗布部５、処理部６並びにＵＶ照射部７の間で第１の基板３１及び第２の基板３２を移動させる基板移載ロボット９が設けられている。
・・・
【００４１】なお、処理部６の基板移載ロボット９側にはシャッタ６ａが設けられ、ＵＶ照射部７の基板移載ロボット９側にはシャッタ７ａが設けられている。シャッタ６ａ及び７ａは、いずれも基板３１又は３２の出し入れの際に開くものである。
【００４２】図２は処理部６の構造を示す断面図である。処理部６には、真空チャンバ１１が設けられ、真空チャンバ１１内に互いに平行に第１の定盤１２及び第２の定盤１３が設けられている。真空チャンバ１１には、真空引き口１１ａ及び真空排気口１１ｂが設けられている。第１の定盤１２の基材は、例えばセラミックス製であり、その第２の定盤１３との対向面に第１の基板３１を静電吸着する電極（第１の基板吸着手段）１４が埋め込まれている。同様に、第２の定盤１３の基材は、例えばセラミックス製であり、その第１の定盤１２との対向面に第２の基板３２を静電吸着する電極（第２の基板吸着手段）１５が埋め込まれている。また、第１の定盤１２及び第２の定盤１３には、夫々第１の基板３１及び第２の基板３２を真空吸着するための吸引孔（図示せず）等が設けられている。」
　
（４）「【００４９】次に、上述のように構成された本実施例の液晶表示装置の製造装置の動作、即ちこの製造装置を使用した液晶表示装置の製造方法について説明する。図４乃至図９は本発明の実施例に係る液晶表示装置の製造装置の動作を示す模式図である。
・・・
【００５１】次に、基板移載ロボット９が第１の積載部１から第１の基板３１を取り出し、液晶滴下部４のステージ８ａ上に移載する。移載された第１の基板３１上には、図５（ａ）に示すように、シール剤４２が塗布されている。・・・
【００５２】そして、第１の基板３１の移載後、シール剤４２で囲まれた領域内にディスペンサ４ａにより液晶４ｂを滴下する。図１０は液晶の滴下及び光硬化性樹脂の塗布の位置を示す模式図である。液晶４ｂは、図１０に示すように、所定量内で少量ずつ散在させてもよく、中心部に多めに滴下してもよい。その後、液晶滴下・樹脂塗布部８に設けられたステージ８ａにより第１の基板３１を樹脂塗布部５まで移動させる。そして、図５（ｂ）に示すように、ディスペンサ５ａにより第１の基板３１上に光硬化性樹脂４３を塗布する。このとき、図１０に示すように、光硬化性樹脂４３はシール剤４２の４隅の周囲に１カ所ずつ塗布すればよいが、これに限定されるものではない。
【００５３】次に、基板移載ロボット９により第１の基板３１を処理部６間で移動させ、図６に示すように、処理部６内の突き上げピン１２ａ上に第１の基板３１を載置し、シャッタ６ａを閉じる。次いで、突き上げピン１２ａを下降させ、プッシャーガイド１８及び１９等により第１の基板３１の位置決め及び固定を行い、更に第１の定盤１２により第１の基板３１を吸着する。
【００５４】その後、真空チャンバ１１内を真空引き口１１ａから真空引きする。そして、真空チャンバ１１の内圧が所定の圧力に達した後、真空チャンバ１１内を所定圧力以下に保持するために真空引き口１１ａから真空引きを行ったまま、アライメントカメラ３０によりアライメントマーク３３及び３４の位置を検出しながら、図７に示すように、・・・位置調整テーブル２６により第１の定盤１２の位置を調整する。
【００５５】次いで、図８に示すように、加圧モータ２７により第２の定盤１３と第１の定盤１２とを互いに加圧しながら、アライメントマーク３３及び３４の位置を検出し、それらの位置ずれが、例えば１．０μｍ以内となるように位置調整テーブル２６により第１の定盤１２の位置を調整する。・・・その後、例えば１９６０Ｎの圧力を印加した状態で、シール剤４２の周囲に塗布された光硬化性樹脂４３に紫外線源３５から紫外線を照射することにより、光硬化性樹脂４３を仮硬化させる。」
　
（５）「【００５８】その後、図９に示すように、真空排気口１１ｂからＮ2ガスを徐々に流量を大きくしながら、真空チャンバ１１内に流入させて大気圧となるまでＮ2パージを行う。瞬間的に大気圧をかける場合には、シール剤４２等に瞬間的に大きな衝撃力が作用するが、このように徐々にＮ2ガスを流入させた場合には、シール剤４２等に対する衝撃力の作用を防止できる。このようなパージ方法を、例えばスローベントという。このスローベントにおけるＮ2ガス流量の変化は、一次関数的であっても、二次関数的であっても、段階的に変化するものであってもよいが、これらに限定されるものではない。
【００５９】そして、図１０に示すように、互いに貼り合わされた基板３１及び３２を突き上げピン１２ａにより上昇させると共に、シャッタ６ａを開き、基板移載ロボット９により基板３１及び３２を取り出す。続いて、シャッタ７ａを開き、基板３１及び３２をＵＶ照射部７内に移載した後、シャッタ７ａを閉じる。続いて、シール剤４２を加熱する等して本硬化させる。このとき、ＴＦＴは紫外線により損傷を受けることがあるので、ＴＦＴへの紫外線の照射を防ぐためのマスクを使用することが望ましい。」
　
　上記摘記事項の記載を総合すると、引用刊行物には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　
「第１及び第２の基板を貼り合わせて構成される液晶表示装置を製造する液晶表示装置の製造方法において、前記第１の基板上に液晶を滴下する工程と、内圧が所定値以下の真空チャンバ内で前記第１の基板の前記液晶が滴下された面に前記第２の基板を所定の圧力で加圧しながら前記第１及び第２の基板同士の位置合わせを行う工程と、前記真空チャンバを大気開放する工程と、を有する液晶表示装置の製造方法であって、
その実施例に係る液晶表示装置の製造装置には、
第１の基板３１が積載される第１の積載部１及び第２の基板３２が積載される第２の積載部２が設けられており、
第１の基板３１上に液晶を滴下する液晶滴下部４、第１の基板３１上に光硬化性樹脂を塗布する樹脂塗布部５及び第１の基板３１と第２の基板３２とを貼り合わせる処理部６が設けられており、
積載部１及び２、液晶滴下部４、樹脂塗布部５、処理部６並びにＵＶ照射部７の間で第１の基板３１及び第２の基板３２を移動させる基板移載ロボット９が設けられており、
処理部６には、真空チャンバ１１が設けられ、真空チャンバ１１内に互いに平行に第１の定盤１２及び第２の定盤１３が設けられており、真空チャンバ１１には、真空引き口１１ａ及び真空排気口１１ｂが設けられており、
上記のように構成された実施例の液晶表示装置の製造装置を使用した液晶表示装置の製造方法において、
第１の基板３１を液晶滴下部４のステージ８ａ上に移載した後、シール剤４２で囲まれた領域内にディスペンサ４ａにより液晶４ｂを滴下し、
次に、基板移載ロボット９により第１の基板３１を処理部６間で移動させ、処理部６内の突き上げピン１２ａ上に第１の基板３１を載置し、突き上げピン１２ａを下降させ、第１の基板３１の位置決め及び固定を行い、更に第１の定盤１２により第１の基板３１を吸着し、
その後、真空チャンバ１１内を真空引き口１１ａから真空引きし、真空チャンバ１１の内圧が所定の圧力に達した後、真空チャンバ１１内を所定圧力以下に保持するために真空引き口１１ａから真空引きを行ったまま、第１の定盤１２の位置を調整し、
次いで、加圧しながら第１及び第２の基板同士の位置合わせを行う工程の後、真空排気口１１ｂからＮ2ガスを徐々に流量を大きくしながら、真空チャンバ１１内に流入させて大気圧となるまでＮ2パージを行う、液晶表示装置の製造方法。」
　
３　対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
　
（１）引用発明の「液晶表示装置の製造方法」は、本願発明の「液晶表示素子の製造方法」に相当する。
　
（２）引用発明の「真空チャンバ（１１）」は、「第１及び第２の基板を貼り合わせて構成される液晶表示装置を製造する液晶表示装置の製造方法」のための製造装置において、「第１の基板３１と第２の基板３２とを貼り合わせる処理部６」に設けられるものであるから、本願発明の「液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバー」に相当する。
　
（３）引用発明の「液晶表示装置の製造方法」は、「第１の基板３１」に「液晶４ｂを滴下し」、「次に、基板移載ロボット９により第１の基板３１を処理部６間で移動させ、処理部６内の突き上げピン１２ａ上に第１の基板３１を載置し、シャッタ６ａを閉じ、突き上げピン１２ａを下降させ、第１の基板３１の位置決め及び固定を行い、更に第１の定盤１２により第１の基板３１を吸着し」、「その後、真空チャンバ１１内を真空引き口１１ａから真空引きし、真空チャンバ１１の内圧が所定の圧力に達した後、真空チャンバ１１内を所定圧力以下に保持するために真空引き口１１ａから真空引きを行ったまま、第１の定盤１２の位置を調整し、次いで、加圧しながら第１及び第２の基板同士の位置合わせを行う工程」を有しているから、引用発明は、本願発明の、「液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバー内に液晶表示素子の液晶が滴下された第１基板と第２基板とを挿入する段階と」、「前記液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバーを真空にする段階と」、「　前記液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバー内を真空にした後に、前記第１基板と第２基板とを合着する段階と」を含む、との特定事項を備える。
　
（４）引用発明における「真空チャンバを大気開放する工程」は、その実施例において「第１及び第２の基板同士の位置合わせを行う工程の後、真空排気口１１ｂからＮ2ガスを徐々に流量を大きくしながら、真空チャンバ１１内に流入させて大気圧となるまでＮ2パージを行う」ものであるから、「前記第１基板と第２基板とを合着した後に、前記液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバー内に、空気又はガスを流入させる段階」である点で、本願発明の「前記第１基板と第２基板とを合着した後に、前記液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバー内に、流入された空気またはガス内の水分が凝結して基板上に落ちることを防止するために加熱された空気又はガスを流入させる段階」と一致する。
　
　したがって、本願発明と引用発明とは、
「液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバー内に液晶表示素子の液晶が滴下された第１基板と第２基板とを挿入する段階と、
　前記液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバーを真空にする段階と、
　前記液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバー内を真空にした後に、前記第１基板と第２基板とを合着する段階と、
　前記第１基板と第２基板とを合着した後に、前記液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバー内に、空気又はガスを流入させる段階と
　を含む、液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバーを用いた液晶表示素子の製造方法。」
である点で一致し、以下の点で相違する。
　
相違点
　第１基板と第２基板とを合着した後に、前記液晶表示素子製造用の基板合着機チャンバー内に、空気又はガスを流入させる段階において、本願発明は、「流入された空気またはガス内の水分が凝結して基板上に落ちることを防止するために加熱された」空気又はガスを流入させるのに対して、引用発明はそのような特定事項を備えていない点。
　
４　判断
　上記相違点につき検討する。
　液晶滴下法による液晶表示素子の製造方法において、一方の基板に液晶を滴下し、二枚の基板を貼り合わせる工程の後に、液晶の粘度が低下する温度まで液晶の温度を上げるよう基板を加熱する工程を備えることは本願の優先日当時において周知の事項である（特開平９−１２７５２８号公報の請求項１、４及び段落［００１３］−［００１５］、特開２００２−５５３５１号公報の請求項１０−１２、段落［００２８］、［００３１］、［００３５］等参照。）ところ、真空チャンバー内の液晶基板を加熱する方法として、真空チャンバーに接続された給気管から、加熱された空気又はガスを流入させることは本願の優先日当時において周知である（特開平１１−２４９１５６号公報（請求項１−３、段落［０００４］−［０００７］、［００１９］−［００２３］、図１−図２）、特開平１１−１０９３８６号公報（請求項１−３、段落［００３３］−［００３８］、図１）、国際公開第９７／４８００８号パンフレット（第１４頁第２１−２４行）、等参照。）から、引用発明において、液晶が滴下された第１基板と第２基板とを合着した後に、合着された基板を液晶の粘度が低下する温度まで液晶の温度を上げるよう加熱するようになし、そのために合着機チャンバー内に流入される空気又はガスを加熱したものとなすことは、当業者であれば容易になし得たことである。
　
　そして、上記相違点の「流入された空気またはガス内の水分が凝結して基板上に落ちることを防止するために」との発明特定事項に関して、本願明細書の発明の詳細な説明には、「前記チャンバー部を待機状態にして加熱されないガス又は空気を供給することで、ベント時に真空チャンバーとベントガスの温度差によって注入空気又はガス内の水分が凝結して基板上に落ちるという問題があり」（段落［００１３］）、「本発明の第１実施態様による合着機チャンバーのガス温度調節装置は、図４のように開閉バルブ１１３ａから延在する給気管１１３に加熱手段として主に加熱コイル１を設けて、前記給気工程時に、前記給気管１１３を介して合着機チャンバーに流入する空気又はガスを加熱する。この時空気又はガスを加熱する温度は液晶が液化しない程度の温度で加熱する。即ち、給気時に、空気又はガスを３０〜１００℃以下に加熱して給気時間（前記開閉バルブの開放時間）を約５分以下にして合着機チャンバー内に流入させることにより液晶の液化現象を防止し、真空時に滴下された液晶又は流入される空気又はガスに含まれた水分の凝結を防止することができ、合着機チャンバー内部の温度が上昇し液晶の粘性を小さくするので、液晶の広がり速度を向上させることができる。」と記載されており、「流入された空気またはガス内の水分が凝結して基板上に落ちることを防止するために」との発明特定事項は、合着機チャンバーに空気又はガスを流入させる際に、「液晶が液化しない程度の温度」である「３０〜１００℃以下に」空気又はガスを加熱することによって得られるものと認められる。
　してみると、引用発明において、上記周知技術の給気管から流入するガスを加熱する手段を採用したものにおいても、「液晶の粘度が低下する温度」に加熱された空気又はガスを流入させることにより、本願発明の上記「流入された空気またはガス内の水分が凝結して基板上に落ちることを防止するために」との発明特定事項を自ずと備えるものと認められる。
　
　よって、引用発明において、上記相違点に係る本願発明の構成とすることは、当業者であれば容易になし得たことである。
　
５　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物に記載された発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。