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　平成　９年特許願第３６６０１９号「冷風冷却を用いた機械加工装置及び機械加工方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　７月１３日出願公開、特開平１１−１８８５７０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯・本件発明
　本件出願は、平成９年１２月２４日の特許出願であって、その請求項１ないし４に係る発明は、平成１６年９月１７日に補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項３に係る発明（以下「本件発明」という。）は、次のとおりである。　
「【請求項３】　工作物に対する加工具による加工箇所及び加工箇所以外の工作物自体に冷風を供給しつつ、工作物と加工具とを相対移動させ、且つ前記工作物の温度を検出し、その検出温度に応じて、供給する冷風の温度及び流量又は流量のみを制御する冷風冷却機械加工方法。」
　
第２　引用例                            
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願の出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平９−２２５７７８号公報（以下「引用例１」という。）及び特公平６−５９６２４号公報（以下「引用例２」という。）の記載内容はそれぞれ以下のとおりである。
　
１　引用例１
（１）引用例１記載の事項
　引用例１には以下の事項が記載されている。
ア．段落００１７〜００２４
「【００１７】
【発明の実施の形態】以下に本発明による工作機械の冷却集塵装置の実施例を図１乃至図２４を参照して説明する。図１乃至図３は、本発明の一実施例の工作機械の冷却集塵装置のほぼ全体構成を一部断面で示した正面図であり、図４は一部断面で示した側面図である。これらの図において、Ｎ／Ｃルーター等の切断及び切削加工機のスピンドル１にはカッタ回転主軸２が取付けられ、この回転主軸２にはコレット３によってカッタ４が固着されている。
【００１８】スピンドル１にはヘッド取付部材５がボルト６によって固着され、このヘッド取付部材５の構造の詳細が図５に示されている。ヘッド取付部材５には上部冷却ハウジング７が取付られ、この上部冷却ハウジング７の詳細構造が図６に示されている。上部冷却ハウジング７には中間冷却ハウジング８が取付られ、この中間冷却ハウジング８の詳細構造が図７に示されている。上部冷却ハウジング７と中間冷却ハウジング８との内部には内側冷却ハウジング９が取付けられ、この内側冷却ハウジング９の詳細構造が図８及び図９に示されている。中間冷却ハウジング８には下部冷却ハウジング１０が取付けられ、この下部冷却ハウジング１０の詳細構造が図１０及び図１１に示されている。以上のヘッド取付部材５と上部冷却ハウジング７と中間冷却ハウジング８と内側冷却ハウジング９と下部冷却ハウジング１０とは、カッタ回転主軸２とカッタ４とを取囲む冷却集塵ハウジングを構成する。
【００１９】上部冷却ハウジング７にはエアーカーテン用冷気取入れ部１３が取付けられ、このエアーカーテン用冷気取入れ部１３は図１２に示したように貫通孔１３ａを有し、この貫通孔１３ａは、一端が外部の加圧冷気供給部１００に接続され、他端が冷却集塵ハウジングの壁内に穿設されたエアーカーテン用冷気流通路１４に接続されている。このエアーカーテン用冷気流通路１４は図１に示したように、上部冷却ハウジング７を貫通する流路１４ａと、上部冷却ハウジング７及び中間冷却ハウジング８と内側冷却ハウジング９との間隙に形成された流路１４ｂと、下部冷却ハウジング１０に穿設された流路１４ｃとから構成される。この流路１４ｂは図８及び図９に示したように、その流路の中間部分が内側冷却ハウジング９の外周面に形成された種々の形状の複数の凸部９ａによって、複数の小流路に分割されている。
【００２０】また、流路１４ｃは、図１０に明示したように下部冷却ハウジング１０を貫通する。詳述すると、図１０及び図１１において下部冷却ハウジング１０は上面に円周方向に等間隔に穿孔された複数、図示例では１２個の入口孔１１と下面に刻設されたエアーカーテン用冷気吐出口１５とを有し、流路１４ｃは入口孔１１とエアーカーテン用冷気吐出口１５とを連通している。エアーカーテン用冷気吐出口１５は、図１１に示したように複数、図示例では１２個の円形のエアーカーテン用冷気吐出孔１５ａと同数のスリット１５ｂとから構成される。エアーカーテン用冷気吐出孔１５ａは円周上に互いに等角度間隔に配置され、スリット１５ｂは上述の円周上に形成され、隣接するエアーカーテン用冷気吐出孔１５ａを互いに接続している。こうして、エアーカーテン用冷気吐出口１５は、下部冷却ハウジング１０の下面の全周にわたって連続的に刻設されている。
【００２１】また、図１１に示したように、スリット１５ｂは、その幅ｄがエアーカーテン用冷気吐出孔１５ａの直径よりも小さく選定され、各エアーカーテン用冷気吐出孔１５ａの中心を接続している。
【００２２】また、中間冷却ハウジング８には図１及び図１２に示したように、切粉排出部を構成する集塵アタッチメント１６が取付けられ、この集塵アタッチメント１６の切粉排出孔１６ａは、一端が中間冷却ハウジング８及び内側冷却ハウジング９を貫通する切粉排出用の貫通孔１７に接続され、他端が図示を省略した外部のバキューム式切粉吸引装置に接続される。
【００２３】図１に示したように下部冷却ハウジング１０の下面にはカッタ冷却用冷気吐出リング１８が取付けられている。このカッタ冷却用冷気吐出リング１８の詳細構造が図１３に示されている。このカッタ冷却用冷気吐出リング１８には、互いに２０°〜８０°離間した２本のカッタ冷却用冷気吐出孔１８ａ、１８ｂが斜め方向に穿孔されている。
【００２４】下部冷却ハウジング１０には図４に示したようにカッタ冷却用冷気取入れ部１９が取付けられ、このカッタ冷却用冷気取入れ部１９は図１４及び図１５に拡大して示したように、下部冷却ハウジング１０に取付けられた冷気取入れアタッチメント２０と、ブラケット２１、２２、２３と、一対の冷気ホース２４Ａ、２４Ｂとから構成される。この冷気ホース２４Ａは一端でカッタ冷却用冷気流路２５Ａを介してカッタ冷却用冷気吐出リング１８のカッタ冷却用冷気吐出孔１８ａに連通し、他端で加圧冷気供給部１００に連通している。同様に、冷気ホース２４Ｂも一端でカッタ冷却用冷気流路２５Ｂを介してカッタ冷却用冷気吐出リング１８のカッタ冷却用冷気吐出孔１８ｂに連通し、他端で加圧冷気供給部１００に連通している。こうして、加圧冷気供給部１００からの加圧冷気は、一対の冷気ホース２４Ａ、２４Ｂと一対のカッタ冷却用冷気流路２５Ａ、２５Ｂとを介してカッタ冷却用冷気吐出孔１８ａ、１８ｂから噴出される。」
イ．段落００２９〜００３１
「【００２９】図１及び図４において、図示を省略した外部の切粉吸引装置を駆動して、集塵アタッチメント１６を介して冷却集塵ハウジング内をバキューム吸引すると同時に、加圧冷気供給部１００から加圧冷気をエアーカーテン用冷気取入れ部１３及びカッタ冷却用冷気取入れ部１９に供給する。この状態で、カッタ４は補助材２７の上に載置固定された被切削材２８を切削し、切削孔または切削溝２９を穿設する。
【００３０】エアーカーテン用冷気取入れ部１３に流入したエアーカーテン用冷気３０は、冷却集塵ハウジングの壁内のエアーカーテン用冷気流通路１４を流通しながら冷却集塵ハウジング自体を冷却した後に、下部冷却ハウジング１０のエアーカーテン用冷気吐出口１５から、具体的には図１１に示した下部冷却ハウジング１０の下面に形成されたエアーカーテン用冷気吐出孔１５ａとスリット１５ｂとから流出してエアーカーテン３１を形成し、カッタ４の周囲を外気から遮断する。この際、エアーカーテン用冷気３０は、図２２に示したように内側冷却ハウジング９内で複数に分流し、これによって一様な圧力となって図２３に示したように複数のエアーカーテン用冷気吐出孔１５ａと複数のスリット１５ｂから互いにほぼ等しい圧力で噴出する。
【００３１】カッタ冷却用冷気取入れ部１９に流入したカッタ冷却用冷気２６は、図１９に示したようにカッタ冷却用冷気流路２５Ａ、２５Ｂを通って、カッタ冷却用冷気吐出リング１８のカッタ冷却用冷気吐出孔１８ａ，１８ｂからほぼ斜め３０°〜６０°下方に流出する。このカッタ冷却用冷気２６の一部は、カッタ４の軸部４ａに衝突してそれを冷却して、カッタ駆動部からカッタ４の刃部４ｂに伝達される伝導熱を冷却し、カッタ駆動部からの伝導熱に起因するカッタ４の発熱を防止する。また、カッタ冷却用冷気２６の残部は、カッタ４の刃部４ｂに衝突してそれを冷却すると共に、切削孔又は切削溝２９のバリを除去する。」
ウ．段落００３３〜００３４
「【００３３】カッタの軸部４ａ及び刃部４ｂを夫々冷却した冷気２６は、図１及び図３において矢印３２で示したように切粉と共に切粉排出用の貫通孔１７及び切粉排出孔１６ａを通って外部の切粉吸引装置に吸引される。
【００３４】この冷気の吸引に伴い、図１に示したようにエアーカーテン用冷気吐出口１５から噴出されたエアーカーテン流れ３１も、被切削材２８に衝突した後にカッタ冷却用冷気２６と同様に貫通孔１７及び切粉排出孔１６ａを介して吸引排出される。このエアーカーテン流３１の吸引排出は、切粉排出用の貫通孔１７への切粉の排出を助長すると同時に、冷却集塵ハウジング内部を冷却する。このように、エアーカーテン用冷気３０によって、冷却集塵ハウジング自体及びその内部のカッタ４が夫々冷却される。」
　
（２）引用例１記載の発明
　これらの記載事項を、図面を踏まえ、本件発明に照らして整理すると引用例１には以下の発明が記載されていると認める。
「被切削材２８に対するカッタ４による切削箇所及び切削箇所以外の被切削材２８自体に冷気を供給しつつ、被切削材２８とカッタ４とを相対移動させる冷気による冷却機械加工方法。」
　
２　引用例２
（１）引用例２記載の事項
　引用例２には以下の事項が記載されている。
ア．第２欄第１２〜１５行
「本発明は研磨装置に係り、特に、例えば半導体、シリコンウェハの鏡面研磨まど（原文のまま。「など」の誤記と思われる）、大口径の加工面を有する被加工物を、高い形状精度と高い研磨能率で研磨するに好適な研磨装置に関するものである。」
イ．第４欄第２４〜４６行
「この研磨装置の概要を、図面を用いて説明すると、表面に研磨布１２を装着した回転盤１３と、前記研磨布１２上へ研磨液を供給する研磨液供給装置１４と、前記回転盤１３に対向して配設され、保持面３ａで被加工物１を保持することができる、軸部３ｂを有する加圧プレート３とを具備し、回転する前記回転盤１３の研磨布１２上に、回転する前記加圧プレート３に保持された被加工物１を加圧し、前記研磨布１２上へ研磨液を供給しながら、前記被加工物１を研磨するようにし、加圧プレート３の保持面３ａに近い内部に、被加工物１の加工面近傍の温度を検出することができる複数の温度センサ４を前記加工プレート３の径方向に埋め込むとともに、これら複数の温度センサ４の近傍に、複数の加熱・冷却水管７を同心状に埋設し、前記加圧プレート３の軸部３ｂに、前記温度センサ４によつて検出した温度信号を外部へ取出すためのスリツプリング５と、前記加熱・冷却水管７に接続された供給管８，排出管９の端部に接続するウオータージヨイント１０とを設け、該ウオータジヨイント１０と配管１１ａを介して接続された水温制御槽１１内の加熱・冷却用の循環水の温度，流量を、前記温度センサ４からの温度信号に基づいて制御することができる、スリツプリング５と信号線６ａで接続された温度検出制御装置６を設けたものである。」
ウ．第５欄第９〜２１行
「水温制御槽１１は、１本の加熱・冷却水管７に連通する２個のウオータージヨイント１０に対して１個ずつ（合計３個）配管１１ａによつて接続されており、各水温制御槽１１には、加熱ヒータ，冷却用水管，流量制御バルブ（いずれも図示せず）が内蔵されている。温度検出制御装置６は、温度センサ４からの温度信号と、予め設定した設定温度との差分を演算することができる差分演算回路（図示せず）を有しており、この温度検出制御装置６は、前記した３個の水温制御槽１１と信号線６ｂによつて接続されている。１５は、加圧プレート３の上方に配設された、加圧源としての加圧シリンダの加圧軸である。回転盤１３の下方には、この回転盤１３を駆動するための駆動源（図示せず）が設けられている。」
エ．第５欄第２３行〜第６欄第１３行
「加圧プレート３を上昇させ、その保持面３ａに、接着剤２（もしくは吸着材）によつて被加工物１（たとえば、シリコンウエハ）を保持する。研磨液供給装置１４を作動させて、回転盤１３上へ研磨液の滴下を開始する。前記加圧シリンダを駆動し、加圧軸１５を介して、加圧プレート３を回転盤１３上へ所定の加圧力で押圧する。温度検出制御装置６に、設定温度（研磨温度範囲４０〜６０℃内の、たとえば、４５±１℃）を設定する。
　ここで研磨装置をＯＮにすると、回転盤１３，加圧プレート３が、それぞれ矢印方向へ回転し、被加工物１の加工面の研磨加工が行なわれる。各温度センサ４で検出された温度信号は、スリップリング５を介して、温度検出制御装置６へ送信される。この温度検出制御装置６において、送信されてきた温度信号と前記設定温度とが比較され、該温度信号の方が低い場合には、この温度検出制御装置６から、該当する水温制御槽１１へ加熱信号が送信される。この加熱信号を受信した水温制御槽１１では、前記加熱ヒータがＯＮになり、冷却用水管への供給水が停止し、流量制御バルブの開度が大になつて、該水温制御槽１１内の加熱・冷却用の循環水の温度が上昇し、流量が増加し、その循環水が加熱・冷却水管７へ流れて、被加工物１の、温度の低い研磨個所が加熱される。一方、温度信号の方が高い場合には、温度検出制御装置６から、該当する水温制御槽１１へ冷却信号が送信される。この冷却信号を受信した水温制御槽１１では、前記加熱ヒータがＯＦＦになり、冷却用水管へ供給水が供給され、流量制御バルブの開度が小になつて、該水温制御槽１１内の加熱・冷却用の循環水の温度が低下し、流量が減少し、その循環水が加熱・冷却水管７へ流れて、被加工物１の、温度の高い研磨個所が冷却される。このようにして、被加工物１の加工面の温度が、前記設定温度内に維持される。」
　
（２）引用例２記載の発明
　これらの記載事項から、引用例２には以下の事項が記載されていると認める。
「被加工物１と加工具とを相対移動させる研磨装置において、被加工物１の加工面近傍の温度を検出し、その検出温度に応じて、加熱・冷却水管に供給される循環水の温度、流量を制御することにより、被加工物１の加工面の温度を設定温度内に維持すること。」
　
第３　対比
　本件発明と引用例１記載の発明とを対比すると、引用例１記載の発明の「被切削材２８」、「カッタ４」、「切削箇所」及び「冷気」は、それぞれ本件発明の「工作物」、「加工具」、「加工箇所」及び「冷風」に相当することが明らかである。
　したがって、本件発明と引用例１記載の発明とは、以下の一致点及び相違点を有しているということができる。
　
１　一致点
　工作物に対する加工具による加工箇所及び加工箇所以外の工作物自体に冷風を供給しつつ、工作物と加工具とを相対移動させる冷風冷却機械加工方法、である点。
　
２　相違点　           
　本件発明では、工作物の温度を検出し、その検出温度に応じて、供給する冷風の温度及び流量又は流量のみを制御するのに対して、引用例１記載の発明では、そのようになっていない点。
　
第４　相違点についての検討
　上記第２の２で認定したように引用例２には「被加工物１と加工具とを相対移動させる研磨装置において、被加工物１の加工面近傍の温度を検出し、その検出温度に応じて、加熱・冷却水管に供給される循環水の温度、流量を制御することにより、被加工物１の加工面の温度を設定温度内に維持すること。」が記載されており、この記載事項における「被加工物１」は、本件発明の「工作物」に相当する。
　そして、引用例１記載の発明及び引用例２記載の事項は、いずれも加工中の工作物の温度調整に関するものであって、引用例２記載の事項により、温度調整機能の向上が期待される。また、冷却媒体として、水、冷風は、いずれも周知であり、ともに流体であるから、適宜置換可能なものである。
　したがって、引用例２記載の事項を引用例１記載の発明に適用して、工作物の温度を検出し、その検出温度に応じて、供給される冷風の温度、流量を制御することは、当業者が格別の創意を要することなく容易に想到しうるところである。
　また、本件発明の採用する構成によってもたらされる効果も、引用例１記載の発明、引用例２記載の事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　
　なお、請求人は、審判請求書についての平成１６年９月１７日付け手続補正書で「拒絶査定に対する意見」を述べているので、以下これについて検討する。
　拒絶査定時の請求項４と、同請求項５（現在の請求項３）との相違は、前者では、加工箇所に冷風を供給するのみであるのに対して、後者では、加工箇所だけでなく加工箇所以外の工作物自体にも冷風を供給する点にあるところ、後者のようにすることは引用例１に示されている。
　そうしてみると、原査定において請求項５について触れられていないとしても、請求項４について特許性がなければ、請求項５についても特許性がないとみるのが相当である。
　さらに、請求人は、「旧請求項４以外の発明についての意見」として、請求項４以外の請求項についても、特許性についての検討を行った上で、審判を請求したものである。
　したがって、法律的な根拠を持たない「審査ガイドライン」の記載を根拠として「請求項４のみが拒絶理由を解消しておらず、他の請求項の発明は拒絶理由を解消しているものである」とする主張は採用できない。
　
第５　むすび
　したがって、本件発明は、引用例１記載の発明、引用例２記載の事項及び上記従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許をすることができない。
　よって、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、結論のとおり審決する。