【手続補正書】
【提出日】平成24年2月17日(2012.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−２７５７７０号公報
【特許文献２】特許第３７０１８８２号公報
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の第１の手段は、ペーストが充填されたペースト収納筒とペースト収納筒からのペーストを吐出するノズル吐出口とを備えた１または複数の塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、架台上に設置された基板載置テーブルに搭載された基板に対してガントリが移動し、ノズル吐出口から基板上にペーストを吐出させるペースト塗布装置において、基板載置テーブルは、複数の吸着孔が設けられた複数の第１の部材と複数の第２の部材とが直交して組み合わされて井桁状をなす構造のテーブルであって、基板載置テーブルの中心部では回転部材で支持し、基板載置テーブルの中心部以外の第１，第２の部材の直交位置では回転部材と直交軸受とを組み合わせた複数の移動部材で支持して回動させながらＸＹ移動することにより、基板載置テーブルを移動及び回転させて、基板載置テーブルに載置された基板の位置，姿勢を調整する複数のＸＹθ軸移動機構を備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明の第２の手段は、ペーストが充填されたペースト収納筒とペースト収納筒からのペーストを吐出するノズル吐出口とを備えた１または複数の塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、架台上に設置された基板載置テーブルに搭載された基板に対してガントリが移動し、ノズル吐出口から基板上にペーストを吐出させるペースト塗布装置において、基板載置テーブルの中心にθ軸方向の回転方向の位置決めのためのクロスローラ軸受からなるθ軸移動機構を設け、基板載置テーブルは、複数の第１の部材と複数の第２の部材とが直交して組み合わされて井桁状をなす構造のテーブルであって、第１，第２の部材が直交する位置に、基板載置テーブルのＸ，Ｙ軸方向の位置決めのための直交軸受とθ方向の回転方向位置決めのためのクロスローラ軸受とからなる複数のＸＹθ軸移動機構を設けたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の第３の手段は、第２の手段において、ガントリと架台側に設置されてガントリを移動させる機構を支持する部分とを、基板載置テーブルの外側で分離できる構成としたことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の第４の手段は、第２の手段又は第３の手段において、基板が載置された基板載置テーブルを、ガントリに設けられた１または複数の塗布ヘッドによるペーストの塗布可能範囲の外側に移動させる手段を備えたことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明の第５の手段は、ペーストが充填されたペースト収納筒とペースト収納筒からのペーストを吐出するノズル吐出口とを備えた１または複数の塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、架台上に設置された基板載置テーブルに搭載された基板に対してガントリが移動し、ノズル吐出口から基板上にペーストを吐出させるペースト塗布方法において、基板載置テーブルは、複数の第１の部材と複数の第２の部材とが直交して組み合わされて井桁状をなす構造のテーブルであって、基板載置テーブルの中心部にθ軸方向の回転方向の位置決めのためのクロスローラ軸受からなるθ軸移動機構を備えるとともに、基板載置テーブルの中心部以外の位置に直交軸受とクロスローラ軸受とからなる複数のＸＹθ軸移動機構を備え、基板載置テーブルの中心部まわりの回転位置決めの際に中心部以外では、第１，第２の部材が直交する位置に設けられた直交軸受によって基板載置テーブルをＸ，Ｙ軸方向に位置決めし、第１，第２の部材が直交する位置に設けられたクロスローラ軸受によって基板載置テーブルをθ軸方向の回転方向に位置決めすることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第６の手段は、第５の手段において、ガントリと架台側に設置されてガントリを移動させる機構を支持する部分とを分離可能としたことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の第７の手段は、第５の手段又は第６の手段において、基板が載置された基板載置テーブルを、ガントリに設けられた塗布ヘッドによるペーストの塗布可能範囲の外側に移動可能としたことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【図１】本発明によるペースト塗布装置及び方法の第１の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１における塗布ヘッド部の一具体例を示す斜視図である。
【図３】図１に示す第１の実施形態での主制御系統の一具体例を示すブロック図である。
【図４】図１に示す第１の実施形態での副制御系統の一具体例を示すブロック図である。
【図５】図１に示す第１の実施形態の全体動作の一具体例を示すフローチャートである。
【図６（ａ）】図１に示すペースト塗布装置のガントリを架台から取り外した状態の一具体例を示す斜視図である。
【図６（ｂ）】図１に示すペースト塗布装置のガントリを架台から取り外した状態の他の具体例を示す斜視図である。
【図７】図１における基板保持機構の一具体例の一部を拡大して示す斜視図である。
【図８】図７における吸着プレートの一具体例を示す図である。
【図９】図８に示す吸着プレートの分断線Ａ−Ａに沿う横断面図である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
ガントリ２ｂの横梁３ｂは架台１のＹ軸方向の幅よりも長く、このため、横梁３ｂの両端部は架台１のＸ軸に平行な両側の側面、即ち、架台側面１ａ，１ｂから突出しており、このため、この横梁３ｂの両端部の下面に設けられている横梁側支持部材４ａ，４ｂも夫々、架台１のかかる両側の架台側面１ａ，１ｂから突出している。これにより、ガントリ２ｂは、横梁３ｂが基板保持機構８を横梁側支持部材４ａ，４ｂと架台側支持部材５ａ，５ｂとで抱え込んでいるような形状をなしている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
夫々の塗布ヘッド部１０の架台には、その裏面側（ヘッド設置面９側）に、上記のように、Ｙ軸方向移動機構１１のリニアモータが設けられ、その表面側にＺ軸サーボモータ１２を有するＺ軸移動テ−ブル支持ブラケット１３が設けられており、このＺ軸サーボモータ１２により、塗布ヘッド部１０を上下に移動させるＺ軸移動テーブル１４が設けられている。このＺ軸移動テーブル１４に、後述するように、ペースト収納筒（シリンジ）やノズルが設けられたノズル支持具，距離計，照明光源を備えた鏡筒と画像認識カメラなどが取り付けている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
図２は図１における塗布ヘッド部１０の一具体例の要部を拡大して示す斜視図であって、１６はノズル支持具、１７はペースト収納筒、１８はノズル、１９は距離計である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
また、基板保持機構８のＸ，Ｙ軸方向の位置の微調整は、ガントリ２ａ，２ｂのＸ軸方向の位置の微調整やこれらガントリ２ａ，２ｂでの塗布ヘッド部１０のＹ軸方向の位置の微調整によって行われる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペーストが充填されたペースト収納筒と該ペースト収納筒からのペーストを吐出するノズル吐出口とを備えた１または複数の塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、該架台上に設置された基板載置テーブルに搭載された基板に対して該ガントリが移動し、該ノズル吐出口から基板上に該ペーストを吐出させるペースト塗布装置において、
該基板載置テーブルは、複数の吸着孔が設けられた複数の第１の部材と複数の第２の部材とが直交して組み合わされて井桁状をなす構造のテーブルであって、
該基板載置テーブルの中心部では回転部材で支持し、該基板載置テーブルの該中心部以外の該第１，該第２の部材の直交位置では回転部材と直交軸受とを組み合わせた複数の移動部材で支持して回動させながらＸＹ移動することにより、該基板載置テーブルを移動及び回転させて、該基板載置テーブルに載置された該基板の位置，姿勢を調整する複数のＸＹθ軸移動機構を備えたことを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項２】
ペーストが充填されたペースト収納筒と該ペースト収納筒からのペーストを吐出するノズル吐出口とを備えた１または複数の塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、該架台上に設置された基板載置テーブルに搭載された基板に対して該ガントリが移動し、該ノズル吐出口から基板上に該ペーストを吐出させるペースト塗布装置において、
該基板載置テーブルの中心にθ軸方向の回転方向の位置決めのためのクロスローラ軸受からなるθ軸移動機構を設け、
該基板載置テーブルは、複数の第１の部材と複数の第２の部材とが直交して組み合わされて井桁状をなす構造のテーブルであって、
該第１，第２の部材が直交する位置に、該基板載置テーブルのＸ，Ｙ軸方向の位置決めのための直交軸受とθ方向の回転方向位置決めのためのクロスローラ軸受とからなる複数のＸＹθ軸移動機構を設けたことを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項３】
請求項２に記載のペースト塗布装置において、
前記ガントリと前記架台側に設置されて前記ガントリを移動させる機構を支持する部分とを、前記基板載置テーブルの外側で分離できる構成としたことを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載のペースト塗布装置において、
基板が載置された前記基板載置テーブルを、前記ガントリに設けられた１または複数の前記塗布ヘッドによるペーストの塗布可能範囲の外側に移動させる手段を備えたことを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項５】
ペーストが充填されたペースト収納筒と該ペースト収納筒からのペーストを吐出するノズル吐出口とを備えた１または複数の塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリが架台上に設置され、該架台上に設置された基板載置テーブルに搭載された基板に対して該ガントリが移動し、該ノズル吐出口から基板上に該ペーストを吐出させるペースト塗布方法において、
該基板載置テーブルは、複数の第１の部材と複数の第２の部材とが直交して組み合わされて井桁状をなす構造のテーブルであって、
該基板載置テーブルの中心部にθ軸方向の回転方向の位置決めのためのクロスローラ軸受からなるθ軸移動機構を備えるとともに、該基板載置テーブルの中心部以外の位置に直交軸受とクロスローラ軸受とからなる複数のＸＹθ軸移動機構を備え、
該基板載置テーブルの中心部まわりの回転位置決めの際に該中心部以外では、該第１，第２の部材が直交する位置に設けられた該直交軸受によって該基板載置テーブルをＸ，Ｙ軸方向に位置決めし、該第１，第２の部材が直交する位置に設けられた該クロスローラ軸受によって該基板載置テーブルをθ軸方向の回転方向に位置決めすることを特徴とするペースト塗布方法。
【請求項６】
請求項５に記載のペースト塗布方法において、
前記ガントリと前記架台側に設置されて前記ガントリを移動させる機構を支持する部分とを分離可能としたことを特徴とするペースト塗布方法。
【請求項７】
請求項５または６に記載のペースト塗布方法において、
前記基板が載置された前記基板載置テーブルを、前記ガントリに設けられた前記塗布ヘッドによるペーストの塗布可能範囲の外側に移動可能としたことを特徴とするペースト塗布方法。