【事件の表示】
　特願２００６−２５７５４８「走査型熱顕微鏡のプローブ」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年　４月　５日出願公開，特開２００７−　８６０７９〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は，成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯　
　本願は，平成１８年９月２２日（パリ条約による優先権主張２００５年９月２２日，中国）の出願であって，平成２１年７月６日付けで拒絶査定がなされ，これに対して，同年１１月１８日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。　
　　
第２　本願発明　
　本願の請求項１ないし４に係る発明は，願書に添付した明細書，特許請求の範囲及び図面の記載からみて，その特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定されるものであると認められ，その請求項１に係る発明は次のとおりである。　　
　　
「【請求項１】　
　カンチレバーと，該カンチレバーに形成される第一導電層と，該第一導電層に形成され，穴が設けられる絶縁層と，該絶縁層の表面に形成される第二導電層と，熱電対と，該熱電対の端部に設置されるカーボンナノチューブと，を含み，　
　前記第一導電層は前記絶縁層の穴を通して前記第二導電層と接触して，前記熱電対が形成され，　
　前記カーボンナノチューブの一端は前記熱電対に接続されることを特徴とする走査型熱顕微鏡のプローブ。」（以下「本願発明」という。）　
　　
第３　引用刊行物の記載事項　
　原査定の拒絶の理由に引用され，本願出願日前に頒布された特開２００２−１３１２１１号公報（以下「刊行物１」という）には，図面と共に次の事項が記載されている。　
　　
（１−ア）　
「【０００４】　
【課題を解決するための手段】　本発明は，走査原子力顕微鏡を用いて，微視的な熱電物質サンプルを測定及び特性解析する方法及び装置を提供する。本方法は走査熱プローブを使用する熱的及び電気的同時測定を基礎とし，走査熱顕微鏡（ＳＴｈＭ：scanning thermal microscope）の適用性を，熱電物質の特性解析へと拡張する。」　
　　
（１−イ）　
「【０００７】　
【発明の実施の形態】　
　本発明は，熱電物質の熱的及び電気的特性を測定及び特性解析する方法及び装置を提供する。本発明は，熱電対及びサーミスタ・プローブ型温度センサなどの，熱プローブとして設計された温度センサを利用し，また熱プローブ・チップにある表面電極を用いて，熱電物質のサンプルの電気測定を行う。　
【０００８】　
　本発明の好適な実施例は，２つの熱電対を本発明の温度センサとして使用する。しかしながら，本発明はその趣旨及び範囲から逸れることなく，他のタイプの温度センサを使用することにより，プローブ上の様々なポイントでの温度値を測定してもよい。例えば，本発明は２つの熱電対ではなく，好適な実施例の１つ以上の熱電対の代わりに，またはそれに加えて，１つ以上のサーミスタを使用してもよい。しかしながら，説明の都合上，本発明は，温度を測定するために使用される２つの熱電対を有するプローブに関して述べられる。」　
　　
（１−ウ）　
「【０００９】　
　プローブ設計：　
　図１は，本発明に従うプローブ１００の２つの図を示す。図１に示されるプローブは，熱電物質の熱電特性を後述のように測定するために使用される。図１のプローブは，２つの熱電対を用いて，試験対象の熱電物質サンプルの熱電特性を計算するために使用される温度の測定を提供する。　
【００１０】　
　図１に示されるように，プローブ１００はカンチレバー基板構造１１０，第１のリード１２０，第２のリード１３０，第３のリード１４０，第４のリード１４５，リフレクタ１５０，及びコーン（cone）１６０を含む。リード１２０乃至１４５は，後述のように，プローブ・チップ１６０（コーン・チップ）の温度及びサンプル物質の温度を測定するために使用される，２つの熱電対を形成する。これらの測定から，サンプル物質の熱電特性が決定される。　
【００１１】　
　リフレクタ１５０は，検出器（図示せず）に向けられるレーザ・ビームを反射するために使用される。レーザ・ビーム，リフレクタ１５０及び検出器は，カンチレバー構造１１０のたわみを測定し，プローブ・チップ１６０とサンプル物質との間の距離を一定値に維持するために使用される。　
【００１２】　
　図２は，プローブ・チップ１６０の横断面を示す。図２に示されるように，プローブ・チップ１６０は，多数の異なる物質層から構成される。典型的な実施例に関わる後述の特定の物質は，例証を目的とするもので，類似の特性を有する他の物質も，ここで使用される物質の代わりに，またはそれらに加えて，本発明の趣旨及び範囲から逸れることなく，使用され得る。　
【００１３】　
　プローブ・チップ１６０の形成が，図２を参照して述べられる。プローブの様々な層を形成するために使用される，付着やエッチングなどの機構は，一般に，半導体チップ・メーカには周知である。しかしながら，これらの機構はここで述べる構造を形成するためには，従来使用されてこなかった。　
【００１４】　
　カンチレバー基板１１０が最初に，シリコンまたは窒化ケイ素物質により形成される。酸化ケイ素コーン１６０が，カンチレバー基板１１０上に形成される。次に，２次金属層がカンチレバー基板１１０及びコーン１６０上に形成される。２次金属層は，例えばクロムであり，第２のリード１３０及び第３のリード１４０を形成するために使用される。　
【００１５】　
　クロム層は，カンチレバー基板１１０及びコーン１６０の全てを覆う訳ではない。むしろ，図２に示されるように，コーン１６０の底部のクロム層の一部がエッチングにより除去され，２本のリード１３０及び１４０が互いに接触することなく形成される。　
【００１６】　
　一旦２本のリード１３０及び１４０が形成されると，酸化ケイ素層１８０がクロム層上に形成される。酸化ケイ素層１８０はコーンの頂点，及びコーンの底部のあるポイントにおいてエッチングされて，２つの熱電対を形成する。そして，この熱電対が本発明において，サンプル物質の熱電特性測定を行うために使用される。　
【００１７】　
　酸化ケイ素層１８０が形成された後，１次金属層１２０が形成される。１次金属層１２０は，典型的な実施例では，白金／イリジウムから成るが，特定のアプリケーションに特に適した特性を有することが判明している任意の他のタイプの金属であってもよい。図２に示されるように，１次金属層１２０は，エッチングにより，コーンの底部の近くの位置において除去され，それにより第１及び第４のリード１２０及び１４５が形成される。　
【００１８】　
　酸化ケイ素層１８０がエッチングにより除去されたポイントでの，１次及び２次金属層の相互作用が，熱電特性の測定に使用される熱電対を形成する。２重の熱電対の動作に干渉しない限り，追加の金属層が図２に示される構造に追加されてもよい。例えば後述のように，カンチレバー構造１１０を過熱するために，細いワイヤがカンチレバー構造に追加されてもよく，それにより温度差を生成する。　
【００１９】　
　図１及び図２に示されるプローブ構造は，円錐形状のプローブ・チップを示すが，プローブ・チップは所望の任意の形状であってよい。例えば，円錐形状のプローブ・チップは非常に狭いまたは非常に広い直径を有してよく，また先端において，任意の値の内角を有してよい。しかしながら，より狭い先端が好ましい。なぜなら，狭い先端は測定温度フィールドをより小さな領域に局所化し，プローブがより小さな規模の物質の熱電特性を測定することを可能にするからである。　
【００２０】　
　前述のプロセスを用いて形成されるプローブは，多くの異なるアプリケーションにおいて，測定を行うために使用される。プローブはナノ・スケールの構造の熱電特性の測定，半導体物質のシリコン・ドーパントのプロファイリング，及び巨大磁気抵抗ヘッドの特性解析などに使用される。本発明はプローブのある１つのアプリケーションに限定されるものではなく，プローブが形成される全ての可能なアプリケーションを網羅するように意図されるものである。」　
　　
　これらの記載事項と図面を総合すると，刊行物１には，以下の発明が記載されていると認められる。　
 　
「酸化ケイ素コーン１６０が，カンチレバー基板１１０上に形成され，次いで２次金属層（例えばクロム）がカンチレバー基板１１０及びコーン１６０上に形成され，次いで酸化ケイ素層１８０が前記クロム層上に形成され，前記酸化ケイ素層１８０はコーンの頂点，及びコーンの底部のあるポイントにおいてエッチングされて，２つの熱電対を形成し，次いで１次金属層１２０が形成され，酸化ケイ素層１８０がエッチングにより除去されたポイントでの，１次及び２次金属層の相互作用が，熱電特性の測定に使用される熱電対を形成するプローブ。」（以下「引用発明」という。）　
　　
　同様に，原査定の拒絶の理由に引用され，本願出願日前に頒布された特開２００２−２４３８８０号公報（以下「刊行物２」という）には，図面と共に次の事項が記載されている。　
　　
（２−ア）　
「【０００９】　
　ホルダー８は半導体技術で製作されるが，ホルダー先端８ａの曲率半径を１０ｎｍ以下にすることは極めて難しい。孔径Ｄはこの曲率半径より大きくなるから，孔径Ｄを数十ｎｍ以下に制御することは至難の業である。従って，従来の熱記録媒体の記録密度はＡＦＭ用カンチレバーを利用した発熱ホルダーによって限界に達していた。　
【００１０】　
　熱記録媒体の入出力だけでなく，一般の試料表面のナノスケールにおける熱測定に関しても従来は問題があった。試料表面の温度分布測定をナノスケールで行う手段は従来存在しなかった。また，試料表面の熱伝導度分布をナノスケールで行う手段も従来存在しない。しかし，ナノ科学を強力に進展させてゆくためには，このような熱測定センサは不可欠である。　
【００１１】　
　従って，本発明に係る発熱プローブ及び発熱プローブ装置は，カンチレバーに代えてカーボンナノチューブ等の導電性ナノチューブの先端を発熱点とすることにより，孔径Ｄを一気に数ｎｍにまで極小化して，熱記録媒体の記録密度を激増させることを目的とする。また，導電性ナノチューブの先端部を利用して試料表面の温度分布や熱伝導度分布などの熱情報を検出することを目的とする。」　
　　
（２−イ）　
「【００２０】　
　図１は本発明に係る発熱プローブの第１実施形態の概略斜視図である。この発熱プローブ１９も従来の発熱プローブと同様に，ＡＦＭ用カンチレバー２を加工して構成されている。カンチレバー２はカンチレバー部４と，その先端に突設されたホルダー８（突出部又はピラミッド部とも称する）から構成されている。　
【００２１】　
　カンチレバー部４の両側面には電極膜５，６が設けられ，これらは導電性物質をローティングして形成されている。電極膜５，６の後端部には接点５ａ，６ａを通して制御回路Ｃが接続されている。この制御回路Ｃは電圧供給用の電源２０とスイッチ２１から構成されている。　
【００２２】　
　前記ホルダー８には導電性ナノチューブ探針１０が配置されている。この導電性ナノチューブ探針１０は導電性ナノチューブの基端部１０ｂをホルダー８に固定し，先端部１０ａを下方に突出させ，先端１０ｃを熱記録媒体２２の表面に近接配置して構成されている。」　
　　
（２−ウ）　
「【００３５】　
　この発熱プローブ１９は発熱プローブであると同時に，走査型顕微鏡用プローブでもある。つまり，制御回路Ｃを停止させておくと，先端１０ｃはＡＦＭ用の探針として機能する。熱記録媒体２２の表面を先端１０ｃによりＡＦＭ操作すると，その凹凸を検出して記録された情報を出力することができる。言いかえると，この発熱プローブ１９は孔形成によって情報を記録し，ＡＦＭ操作によって情報を読み取って，情報を出力することができる。即ち，この発熱プローブ１９は熱記録媒体２２の入出力用プローブである。」　
  　
第４　本願発明と引用発明との対比　
１　その機能・構造からみて，引用発明の「カンチレバー基板１１０」と「酸化ケイ素コーン１６０」が，本願発明の「カンチレバー」に相当することは明らかである。　
２　引用発明の「２次金属層（例えばクロム）」，「「熱電対」，「１次金属層１２０」が，それぞれ，本願発明の「第一導電層」，「熱電対」，「第二導電層」に相当することは明らかである。　
３　引用発明の「酸化ケイ素層１８０」が，本願発明の「絶縁層」に相当することは明らかである。そして，引用発明は「前記酸化ケイ素層１８０はコーンの頂点，及びコーンの底部のあるポイントにおいてエッチングされ」ていることから，引用発明の「酸化ケイ素層１８０」は，「穴が設けられる絶縁層」であるといえる。そうすると，引用発明の「１次金属層１２０が形成され，酸化ケイ素層１８０がエッチングにより除去されたポイントでの，１次及び２次金属層の相互作用が，熱電特性の測定に使用される熱電対を形成する」が，本願発明の「前記第一導電層は前記絶縁層の穴を通して前記第二導電層と接触して，前記熱電対が形成され」に相当することは明らかである。　
４　上記（１−ア）の記載からみて，引用発明の「プローブ」は，「走査型熱顕微鏡のプローブ」であることは明らかである。　
　　
　そうすると，両者は，　
（一致点）　
「カンチレバーと，該カンチレバーに形成される第一導電層と，該第一導電層に形成され，穴が設けられる絶縁層と，該絶縁層の表面に形成される第二導電層と，熱電対と，を含み，　
　前記第一導電層は前記絶縁層の穴を通して前記第二導電層と接触して，前記熱電対が形成される走査型熱顕微鏡のプローブ。」　
である点で一致し，以下の点で相違するといえる。　
　　
（相違点）　
　プローブが，本願発明では「熱電対の端部に設置されるカーボンナノチューブ」を含み，「前記カーボンナノチューブの一端は前記熱電対に接続され」ているのに対して，引用発明は，カーボンナノチューブを有していない点。　
　　
第５　相違点についての当審の判断　
　上記（２−ア）ないし（２−ウ）によると，刊行物２には，ＡＦＭ用カンチレバーの先端に突設されたホルダーにカーボンナノチューブ等の導電性ナノチューブを設けることにより，極小化された情報の読み取りができることが記載されている。　
　そして，上記（１−ウ）の【００１９】に「プローブ構造は，・・・しかしながら，より狭い先端が好ましい。なぜなら，狭い先端は測定温度フィールドをより小さな領域に局所化し，プローブがより小さな規模の物質の熱電特性を測定することを可能にするからである。」と記載されているように，当該技術分野においては，より微少サンプルでも測定できるように解析能力を向上させることは周知の課題であり，また，引用発明も刊行物２も，走査型熱顕微鏡の分野に属するので，刊行物２に記載されている，カンチレバーの先端にカーボンナノチューブ等の導電性ナノチューブを設けるという技術的事項を引用発明に適用し，相違点に係る本願発明の構成とすることは当業者であれば容易に想到し得るというべきである。　
　　
　さらに，本願発明に係る効果も，引用発明及び刊行物２に記載された事項から予測し得る範囲内であり，格別顕著なものであるとはいえない。　
　
第６　むすび　
　以上のとおり，本願発明は，刊行物１に記載された発明及び刊行物２に記載された事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであり，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　したがって，本願は，他の請求項に係る発明について検討するまでもなく拒絶すべきものである。　
　よって，結論のとおり審決する。