【手続補正書】
【提出日】平成24年6月6日(2012.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動電極と、検出電極と、を有し、前記駆動電極に供給される駆動信号に基づいて振動することにより、前記検出電極に、所定の物理量の大きさに応じた検出信号とともに前記駆動信号に基づく振動の漏れ信号を発生させる物理量検出素子と、
前記駆動信号を生成する駆動部と、
前記駆動信号に同期した検波信号に基づいて、前記検出信号と前記漏れ信号を含む被検波信号に対して同期検波を行う同期検波部と、
制御信号に基づいて、同期検波により前記漏れ信号の少なくとも一部が出力されるように、前記被検波信号に対する前記検波信号の立ち上がり及び立ち下がりの少なくとも一方のタイミングを変更するタイミング変更部と、を含むことを特徴とする物理量検出装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記タイミング変更部は、
前記制御信号に基づき、前記検波信号と前記被検波信号との位相差を変更することを特徴とする物理量検出装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記タイミング変更部は、
前記制御信号に基づき、前記検波信号のデューティー比を変更することを特徴とする物理量検出装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記タイミング変更部は、
前記相対的なタイミングの変更量が調整可能であることを特徴とする物理量検出装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記同期検波部の出力信号に基づいて、当該物理量検出装置の異常の有無を判定する異
常判定部を含むことを特徴とする物理量検出装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
前記物理量は、角速度であることを特徴とする物理量検出装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の物理量検出装置と、
当該物理量検出装置に前記制御信号を供給し、当該物理量検出装置が前記同期検波部の出力信号に基づいて生成した信号を受け取り、当該信号に基づいて当該物理量検出装置の異常を診断する異常診断装置と、を含むことを特徴とする物理量検出装置の異常診断システム。
【請求項８】
駆動電極と、検出電極と、を有し、前記駆動電極に供給される駆動信号に基づいて振動することにより、前記検出電極に、所定の物理量の大きさに応じた検出信号とともに前記駆動信号に基づく振動の漏れ信号を発生させる物理量検出素子と、前記駆動信号を生成する駆動部と、前記駆動信号に同期した検波信号に基づいて、前記検出信号と前記漏れ信号を含む被検波信号に対して同期検波を行う同期検波部と、を含む物理量検出装置の制御方法であって、
当該物理量検出装置に、前記漏れ信号の少なくとも一部が出力されるように、前記被検波信号に対する前記検波信号の立ち上がり及び立ち下がりの少なくとも一方のタイミングを変更して同期検波させるステップと、
当該物理量検出装置に、前記同期検波部の出力信号に基づいて、前記漏れ信号に応じた信号を生成させるステップと、を含むことを特徴とする物理量検出装置の制御方法。
【請求項９】
駆動電極と、検出電極と、を有し、前記駆動電極に供給される駆動信号に基づいて振動することにより、前記検出電極に、所定の物理量の大きさに応じた検出信号とともに前記駆動信号に基づく振動の漏れ信号を発生させる物理量検出素子と、前記駆動信号を生成する駆動部と、前記駆動信号に同期した検波信号に基づいて、前記検出信号と前記漏れ信号を含む被検波信号に対して同期検波を行う同期検波部と、を含む物理量検出装置の制御方法であって、
当該物理量検出装置に、前記漏れ信号の少なくとも一部が出力されるように、前記被検波信号に対する前記検波信号の立ち上がり及び立ち下がりの少なくとも一方のタイミングを変更して同期検波させるステップと、
当該物理量検出装置に、前記同期検波部の出力信号に基づいて、当該物理量検出装置の異常の有無を判定させるステップと、を含むことを特徴とする物理量検出装置の制御方法。
【請求項１０】
駆動電極と、検出電極と、を有し、前記駆動電極に供給される駆動信号に基づいて振動することにより、前記検出電極に、所定の物理量の大きさに応じた検出信号とともに前記駆動信号に基づく振動の漏れ信号を発生させる物理量検出素子と、前記駆動信号を生成する駆動部と、前記駆動信号に同期した検波信号に基づいて、前記検出信号と前記漏れ信号を含む被検波信号に対して同期検波を行う同期検波部と、を含む物理量検出装置の異常診断方法であって、
当該物理量検出装置に、前記漏れ信号の少なくとも一部が出力されるように、前記被検波信号に対する前記検波信号の立ち上がり及び立ち下がりの少なくとも一方のタイミングを変更して同期検波させるステップと、
当該物理量検出装置に、前記同期検波部の出力信号に基づいて、前記漏れ信号に応じた信号を生成させるステップと、
前記漏れ信号に応じた信号に基づいて、当該物理量検出装置の異常を診断するステップと、を含むことを特徴とする物理量検出装置の異常診断方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
（１）本発明は、駆動電極と、検出電極と、を有し、前記駆動電極に供給される駆動信号に基づいて振動することにより、前記検出電極に、所定の物理量の大きさに応じた検出信号とともに前記駆動信号に基づく振動の漏れ信号を発生させる物理量検出素子と、前記駆動信号を生成する駆動部と、前記駆動信号に同期した検波信号に基づいて、前記検出信号と前記漏れ信号を含む被検波信号に対して同期検波を行う同期検波部と、制御信号に基づいて、前記同期検波により前記漏れ信号の少なくとも一部が出力されるように、前記被検波信号に対する前記検波信号の立ち上がり及び立ち下がりの少なくとも一方のタイミングを変更するタイミング変更部と、を含むことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
（８）本発明は、駆動電極と、検出電極と、を有し、前記駆動電極に供給される駆動信号に基づいて振動することにより、前記検出電極に、所定の物理量の大きさに応じた検出信号とともに前記駆動信号に基づく振動の漏れ信号を発生させる物理量検出素子と、前記駆動信号を生成する駆動部と、前記駆動信号に同期した検波信号に基づいて、前記検出信号と前記漏れ信号を含む被検波信号に対して同期検波を行う同期検波部と、を含む物理量検出装置の制御方法であって、当該物理量検出装置に、前記漏れ信号の少なくとも一部が出力されるように、前記被検波信号に対する前記検波信号の立ち上がり及び立ち下がりの少なくとも一方のタイミングを変更して同期検波させるステップと、当該物理量検出装置に、前記同期検波部の出力信号に基づいて、前記漏れ信号に応じた信号を生成させるステップと、を含むことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
（９）本発明は、駆動電極と、検出電極と、を有し、前記駆動電極に供給される駆動信号に基づいて振動することにより、前記検出電極に、所定の物理量の大きさに応じた検出信号とともに前記駆動信号に基づく振動の漏れ信号を発生させる物理量検出素子と、前記駆動信号を生成する駆動部と、前記駆動信号に同期した検波信号に基づいて、前記検出信号と前記漏れ信号を含む被検波信号に対して同期検波を行う同期検波部と、を含む物理量検出装置の制御方法であって、当該物理量検出装置に、前記漏れ信号の少なくとも一部が出力されるように、前記被検波信号に対する前記検波信号の立ち上がり及び立ち下がりの少なくとも一方のタイミングを変更して同期検波させるステップと、当該物理量検出装置に、前記同期検波部の出力信号に基づいて、当該物理量検出装置の異常の有無を判定させるステップと、を含むことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
（１０）本発明は、駆動電極と、検出電極と、を有し、前記駆動電極に供給される駆動信号に基づいて振動することにより、前記検出電極に、所定の物理量の大きさに応じた検出信号とともに前記駆動信号に基づく振動の漏れ信号を発生させる物理量検出素子と、前記駆動信号を生成する駆動部と、前記駆動信号に同期した検波信号に基づいて、前記検出信号と前記漏れ信号を含む被検波信号に対して同期検波を行う同期検波部と、を含む物理量検出装置の異常診断方法であって、当該物理量検出装置に、前記漏れ信号の少なくとも一部が出力されるように、前記被検波信号に対する前記検波信号の立ち上がり及び立ち下がりの少なくとも一方のタイミングを変更して同期検波させるステップと、当該物理量検出装置に、前記同期検波部の出力信号に基づいて、前記漏れ信号に応じた信号を生成させるステップと、前記漏れ信号に応じた信号に基づいて、当該物理量検出装置の異常を診断するステップと、を含むことを特徴とする。