【事件の表示】
　平成　７年特許願第　４５３９９号「直動型軸受および直動型軸受の潤滑薄膜形成方法」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年　９月１７日出願公開、特開平　８−２４０２２３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯の概要
　本願は、平成７年３月６日の出願であって、平成１６年９月２１日（起案日）付けで拒絶査定がなされ、これに対して、平成１６年１０月２８日（受付日）に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、平成１６年１１月２９日（受付日）付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１６年１１月２９日付けの手続補正についての補正却下の決定
　
　［補正却下の決定の結論］
　平成１６年１１月２９日付けの手続補正を却下する。
　
　［理由］
　（１）補正後の請求項１に係る発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
　「【請求項１】軸状のレールと、それに外嵌される筒状の移動体と、レールと移動体との間に配置されてそれらの相対的なスライド動作に伴い転動循環される複数の転動体とを備え、前記レールおよび移動体が金属で形成され、少なくともレールおよび移動体の軌道面に、官能基を有する含フッ素重合体からなる潤滑薄膜が形成されている直動型軸受において、
　前記薄膜が、パーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）とその誘導体との混合物を希釈溶媒で希釈した潤滑油により形成されてなる
とともに、前記薄膜の膜厚が、０．２μｍ以下に設定されている
　
　上記特許請求の範囲の請求項１に係る補正は、薄膜の膜厚について０．２μｍ以下に設定されているとの限定を付加したものであって、上記補正は、平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１７条の２第３項第２号に規定された特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に係る発明（以下、「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
　（２）引用刊行物の記載事項
〈刊行物１〉
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開平５−３３２３５６号公報（以下、「刊行物１」という。）には、半導体製造設備用の搬送装置に用いられる半導体製造設備用リニアベアリングに関して、下記の事項ア〜オが図面とともに記載されている。
　ア；「【発明が解決しようとする課題】しかしながら近年、半導体製造分野では半導体の集積度が増すにつれて導電パターンの線幅が微細化しており、これに伴って、導電パターン上へのパーティクルの付着を極度に敬遠する傾向にある。固体潤滑剤は、流体潤滑剤のように蒸発によって環境を汚染する心配はないが、潤滑被膜の摩耗・転着過程において発塵するという問題点がある。例えば、軟質金属系の固体潤滑剤は、摩耗粉自体が導電性を有するため、この摩耗粉が導電パターン上に付着すると導電パターンを短絡させてしまう恐れもある。二硫化モリブデン等の層状物質系の固定潤滑剤は、導電性はないが、耐摩耗性に乏しい。また、ＰＴＦＥ等の高分子系の固体潤滑剤は耐摩耗性、耐久性の点で軟質金属よりも劣る。
　さらに、半導体製造設備では、真空中で使用できるのみならず、大気・真空両用、耐蝕、耐熱などの機能も必要とされる。すなわち、半導体製造設備でリニアベアリングおよびガイドローラが使用されるのは主にウェーハ処理工程である。この工程で使用される装置は、生産性向上のためインライン化される傾向があり、ウェーハの搬送装置には大気と真空の両環境下で運転できる軸受が必要になってきている。また、使用される箇所によっては耐蝕性や耐熱性も要求されるがこれらの特性を有するものはない。
　そこで、この発明は上記したような問題点を解決し、リニアベアリングおよびガイドローラの潤滑被膜を、非導電性で、かつ、低発塵性、高潤滑性、高耐久性、高耐蝕性といった特性を具備したものとし、しかもこれらの特性が大気・真空両環境下において発揮されるようにして、半導体製造設備に適したリニアベアリングおよびガイドローラとすることを課題としている。」（第２頁２欄４行〜３３行；段落【０００７】〜【０００９】参照）
　
　イ；「【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するため、この発明においては、保持器の無端軌道内に多数の転動体を整列状態で循環可能に保持する金属製リニアベアリングにおいて、前記転動体および保持器のうち少なくとも転動体の表面に、これら金属製材料に対して親和性の高い官能基を有する含フッ素重合体からなる潤滑被膜を形成した構成を採用したのである。」（第２頁２欄３５行〜４１行；段落【００１０】参照）
　
　ウ；「【作用】この発明に係る半導体製造設備用リニアベアリングおよびガイドローラは、少なくとも転動体またはガイドローラの表面さらにはその保持器を構成する金属製各部材の表面に形成された含フッ素重合体からなる被膜が、金属に対して親和性の高い官能基を有して、前記各部材表面との密着性が高く、このため摩耗粉が飛散し難く一層低発塵である。また、前記官能基は、各部材を保護して耐食性が向上する。さらにまた、含フッ素重合体本来の特性により、摩擦係数が低く、耐熱性にも優れており、潤滑性能の良好な潤滑被膜が長期にわたって維持される。」（第２頁２欄４８行〜第３頁３欄８行；段落【００１２】参照）
　
　エ；「【実施例】この発明における含フッ素重合体としては、ポリフルオロアルキル重合体、またはフルオロポリエーテル重合体などが好ましい。・・・（中略）・・・
　このような含フッ素重合体は、単独で用いるか、または２種以上を併用して用いてもよい。その場合は、組み合わされた基が互いに反応して重合体をより高分子量化させるようにして、より耐摩耗性の優れた膜を得るように配慮をすることが望ましい。
　上記の含フッ素重合体を塗布する方法は、通常の塗布方法でよく、特に限定されるものではないが、例えば含フッ素重合体を適当な溶媒に溶解して塗布（吹付け、浸漬なども含む）し、その後、溶媒を蒸発させればよく、薄膜形成後に加熱して造膜成分の高分子量化を図るか、焼付ける手法を採用することもできる。
　この発明の第１実施例を以下、図面に基づいて説明する。図１は、この発明をリニアボールベアリングに適用した第１実施例を示す。このリニアボールベアリング（φ１３×φ２３×３２）は、ボール形転動体１の無端軌道を、保持器２内部に転動体１を無負荷の状態で循環する循環軌道３と、保持器２内周面にＣ字状に開口する蟻溝形転走軌道４とを連続して形成し、これら両軌道内に多数のボール形転動体１を整列状態で循環可能に保持するものである。そして、このようなリニアボールベアリングの転動体１に対し、次に示す循環被膜形成処理をした。
　すなわち、下記に示す化４の式で表わすイソシアネート基含有のパーフルオロポリエーテル重合体（数平均分子量２０００）をフロン２２５に５重量％溶解し、これに転動体を浸漬した。これを取り出して１５０℃で３０分加熱して潤滑被膜を形成し、保持器に組み付けた。」（第３頁３欄１０行〜第５頁８欄４５行；段落【００１３】〜【００２１】参照）
　
　オ；「【効果】この発明は、以上説明したようにリニアベアリングの転動体の表面さらには循環路を構成する保持器、またはガイドローラの表面を含む摩擦面に密着性に優れた含フッ素重合体からなる潤滑被膜を被覆したので、半導体製造分野で要求される特性即ち、非導電性で、かつ、低発塵性、高潤滑性、高耐久性および高耐蝕性のある特性を具備し、半導体製造設備用リニアベアリングおよびガイドローラとして最適のものであるということができる。」（第６頁１０欄２８行〜３６行；段落【００３３】参照）
　
〈刊行物２〉
　同じく引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開昭６４−６５３２２号公報（以下、「刊行物２」という。）には、動圧流体軸受に関して、下記の事項カ、キが図面とともに記載されている。
　カ；「［発明が解決しようとする問題点］
　以上述べたように、従来の技術においては、簡易な加工により摩耗粉の発生を極力防止抑制し、しかも運転開始後定常回転に至るまでの時間の短い動圧液体軸受は得られないという問題点があった。
［問題点を解決するための手段］
　上記の問題点を解決するために、この発明は相対回転する対向面の少なくとも一方に流体を定方向に導く溝を形成した動圧軸受の相対する表面の少なくとも一方に、官能基を有するオルガノポリシロキサンもしくは含フッ素重合体のいずれかまたは両方を被覆した動圧流体軸受とする手段を採用したものである。以下その詳細を述べる。
　まず、この発明における官能基を有するオルガノポリシロキサンは、たとえばジメチルシロキサン、メチルフェニルシロキサン、トリメチルフルオロプロピルシロキサン等のシロキサンの単独重合体または２種以上の共重合体に官能基を導入したものであり、その官能基はたとえばエポキシ基、アミノ基、カルボキシル基、水酸基、メルカプト基、イソシアネート基、シアネート基、ビニル基、アルコキシル基、アルコキシカルボニル基などである。（・・・中略・・・）
などである。
　以上の官能基を有するオルガノポリシロキサンもしくは含フッ素重合体のうちの一種類のみを被覆してもよい。
　また上記の官能基を有するオルガノポリシロキサンもしくは含フッ素重合体のいずれか一方または両方の中の二種類以上の重合体を組み合わせて使用する際は、それぞれの重合体が単位として有する官能基が互いに反応し合うように組み合わせると、その反応によって重合体の分子量はさらに増大して潤滑性のある強固な膜で被覆出来て好ましい。」（第２頁左上欄９行〜第３頁右下欄８行）
　
　キ；「実施例１：
　イソシアネート基含有ポリフルオロエーテル（・・・略・・・）をたとえばフロンＲ１１３のような高フッ化有機溶剤に均一に分散させた液を図に示すような動圧流体軸受のハウジング１の内面に塗布し、１５０℃で２時間焼成し塗膜を形成した。塗布の具体的方法は浸漬法、スプレー法、刷毛塗り法など通常広く用いられる方法であれば特に限定されるものではないが、液の浪費などの点を考慮すれば浸漬法が最も経済的で好ましい。塗布後は溶媒を蒸散させると皮膜４が得られるが、その膜厚は０．０１〜２．０μｍの範囲が望ましい。なぜならば、０．０１μｍ未満の薄膜では期待される耐摩耗性および潤滑性は得難く、また２．０μｍを越える厚い膜では末端反応基が充分反応せず未反応のまま残存して、樹脂本来の潤滑性を低下させるようになり、かつ寸法管理が困難となって好ましくないからである。」（第４頁右上欄１行〜１９行）
　
　（３）対比・判断
　刊行物１に記載された上記事項ア〜オ及び図１からみて、刊行物１に記載された発明のリニアベアリングは、外輪５は筒状に構成されており、ボール形転動体１を連続して形成された循環軌道３と蟻溝型転走軌道４との間を循環させることによって、直線状のレール上を移動できるように構成されており、この転動体１の表面と循環路を構成する保持器２の表面を含む摩擦面には、含フッ素重合体からなる潤滑被膜を被覆したものである。
　そして、この潤滑被膜は、一例としては、イソシアネート基（官能基）含有のパーフルオロポリエーテル重合体（数平均分子量２０００）をフロン２２５に５重量％溶解し、これを転動体に浸漬し、これを取り出して１５０℃で３０分加熱して潤滑被膜を形成し、保持器に組み付けるものであって、２種以上の含フッ素重合体を併用してもよいものである。
　さらに、リニアベアリングの外輪５と直線状のレールが金属で形成されることは当業者であれば自明な事項にすぎないものである。
　
　そこで、本願補正発明の用語を使用して本願補正発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、両者は、「軸状のレールと、それに外嵌される筒状の移動体と、レールと移動体との間に配置されてそれらの相対的なスライド動作に伴い転動循環される複数の転動体とを備え、前記レールおよび移動体が金属で形成され、摩擦面に官能基を有する含フッ素重合体からなる潤滑薄膜が形成されている直動型軸受において、前記薄膜が、パーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）を含む混合物を希釈溶媒で希釈した潤滑油により形成されてなる直動型軸受。」で一致しており、下記の点で相違している。
　
　相違点１；本願補正発明では、潤滑薄膜を少なくともレール及び移動体の軌道面に形成するのに対して、刊行物１に記載された発明では、潤滑被膜（潤滑薄膜）をリニアベアリングの転動体１の表面と循環路を構成する保持器２の表面を含む摩擦面に形成するものであって、レール及び外輪５の軌道面に潤滑被膜を形成するかどうかは不明である点。
　
　相違点２；本願補正発明では、潤滑薄膜をパーフルオロポリエーテルとその誘導体との混合物を希釈溶液で希釈した潤滑油により形成されてなるものであるのに対して、刊行物１に記載された発明では、潤滑被膜をパーフルオロポリエーテールと他の含フッ素重合体との混合物を溶媒（希釈溶液）に溶解した潤滑油により形成することができるものではあるが、他の含フッ素重合体としてパーフルオロポリエーテルの誘導体を用いるかどうかまでは不明である点。
　
　相違点３；本願補正発明では、潤滑薄膜の膜厚を０．２μｍ以下に設定するものであるのに対して、刊行物１に記載された発明では、潤滑被膜は薄膜に形成するものではあるが、膜厚をどのように設定するかまでは不明である点。
　
　上記各相違点について検討した結果は下記のとおりである。
　《相違点１について》
　直動型軸受において、適宜な潤滑被膜をレール及び移動体の軌道面に形成することは、本願出願前普通に採用されている設計的事項にすぎないものであって、刊行物１に記載された発明においても、潤滑被膜は、転動体１及び保持器２の表面を含む摩擦面に形成することができるものである。
　してみると、潤滑被膜を転動体１との摩擦面となる蟻溝型転走軌道４とレールの軌道面に形成して、上記相違点１に係る本願補正発明の構成とすることは、当業者であれば適宜採用することができる程度の設計的事項にすぎないものである。
　
　《相違点２について》
　パーフルオロポリエーテルと併用する含フッ素重合体としては、組み合わされた基が互いに反応して重合体をより高分子化させるようなものであればよいものである。
　してみると、パーフルオロポリエーテルと併用する含フッ素重合体として、パーフルオロポリエーテルの誘導体を用いて、上記相違点２に係る本願補正発明の構成とすることは、当業者であれば適宜採用することができる程度の設計的事項にすぎないものである。
　
　《相違点３について》
　上記刊行物２には、動圧流体軸受の摺動面に形成する潤滑被膜（潤滑薄膜）に関するものではあるが、刊行物１に記載された発明と同様の低発塵性を得るという課題を達成するための手段として、イソシアネート基含有ポリフルオロエーテル（パーフルオロポリエーテル）の潤滑被膜をハウジング１の内面（摩擦面としての摺動面）に０．０１μｍ〜２．０μｍの膜厚となるように塗布することが記載されている。
　そして、刊行物１に記載された発明においても刊行物２に記載された潤滑被膜と同様の成分よりなる潤滑被膜の薄膜を摩擦面に形成するものであって、当業者であれば、潤滑被膜の膜厚については、上記刊行物２に記載された膜厚の技術的意義等を参酌して適宜発塵性を検証するための実験等を行うことにより、所望の範囲を設定することができる技術的事項と認められる。
　してみると、刊行物１及び刊行物２に記載された上記事項を知り得た当業者であれば、潤滑被膜の膜厚について適宜発塵性を検証する実験等を行うことにより膜厚を０．２μｍ以下に設定して上記相違点３に係る本願補正発明の構成とすることは必要に応じて容易に想到することができる程度のことであって、格別創意を要することではない。
　
　また、本願補正発明の効果について検討しても、刊行物１及び刊行物２に記載された事項から当業者であれば予測することができる程度のものであって、格別のものとはいえない。
　
　したがって、本願補正発明は、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
　ところで、請求人は、審判請求書中で、「本願発明は、前記特殊環境における発塵抑制を目的として本発明者が鋭意実験研究の結果、所定被膜を所定膜厚に設定すると発塵が激減する臨界点を見出したことにより得られたものです。」（平成１７年１月６日（受付日）付け手続補正書の【本願発明が特許されるべき理由】の３．本願発明と引用文献に記載の発明との対比の項参照）旨主張している。
　
　しかしながら、刊行物１に記載された発明でも潤滑被膜は薄膜に形成するものであって、被膜の膜厚については適宜発塵性を検証するための実験等により所望の膜厚を設定することができるものである。
　そして、刊行物２には動圧流体軸受の摺動面（摩擦面）に塗布する潤滑被膜に関するものではあるが、刊行物１に記載された発明と同様の含フッ素重合体を用いた樹脂被膜の膜厚を０．０１μｍ〜２．０μｍの範囲に設定することにより、低発塵性を発揮することができることが記載されているものであるから、上記刊行物２に記載された事項を参酌して、本願補正発明のように樹脂薄膜の膜厚を０．２μｍ以下の値に設定することが格別創意を要することでないことは、上記のとおりである。
　よって、請求人の上記審判請求書中での主張は採用することができない。
　
　（４）むすび
　以上のとおり、本願補正発明（本件補正後の請求項１に係る発明）が特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合しないものであり、同法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　（１）本願発明１
　平成１６年１１月２９日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし請求項５に係る発明は、平成１６年２月２３日（受付日）付けの手続補正によって補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項５に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は、次のとおりのものである。
　「軸状のレールと、それに外嵌される筒状の移動体と、レールと移動体との間に配置されてそれらの相対的なスライド動作に伴い転動循環される複数の転動体とを備え、前記レールおよび移動体が金属で形成され、少なくともレールおよび移動体の軌道面に、官能基を有する含フッ素重合体からなる潤滑薄膜が形成されている直動型軸受において、
　前記薄膜が、パーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）とその誘導体との混合物を希釈溶媒で希釈した潤滑油により形成されてなる、ことを特徴とする直動型軸受」
　
　（２）引用刊行物の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開平５−３３２３５６号公報（上記刊行物１）及び特開昭６４−６５３２２号公報（上記刊行物２）の記載事項は、前記「２．（２）引用刊行物の記載事項」に記載したとおりである。
　
　（３）対比・判断
　本願発明１は、前記２．で検討した本願補正発明の技術事項である樹脂薄膜について膜厚の限定を省いたものに実質的に相当する。
　そうすると、本願発明１の構成を全て含み、さらに構成を限定したものに実質的に相当する本願補正発明が、前記「２．（３）対比・判断」に記載したとおり、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明１も、実質的に同様の理由により、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　（４）むすび
　以上のとおり、本件出願の請求項１に係る発明（本願発明１）は、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願の請求項１に係る発明が特許を受けることができないものである以上、本願の他の発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。