【事件の表示】
　平成　８年特許願第２３８３７４号「半導体単結晶引き上げ用Ｃ／Ｃルツボ」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　３月　３日出願公開、特開平１０−　５９７９５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
理　由
１．手続の経緯
　本願は、平成８年８月２０日の出願であって、平成１８年６月８日付けで拒絶理由が通知され、平成１８年８月３日付けで意見書及び手続補正書が提出され、平成１９年５月１７日付けで拒絶査定され、平成１９年６月２１日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに同年７月１８日付けで手続補正書が提出されたものであり、その後、平成２１年９月２日付けで特許法第１６４条第３項に基づく報告を引用した審尋が通知され、これに対する回答書が平成２１年１１月９日に提出されている。
　
２．平成１９年７月１８日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１９年７月１８日付けの手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の本願発明
　平成１９年７月１８日付けの手続補正（以下、必要に応じて「本件補正」という。）により、特許請求の範囲の請求項１は、
本件補正前の平成１８年８月３日付けの手続補正によって補正された
「【請求項１】　炭素繊維強化炭素複合材料を全部または一部に含んで形成される半導体単結晶引き上げ用ルツボであって、
前記炭素繊維強化炭素複合材料の少なくとも一部分に熱分解炭素の被膜が形成され、前記被膜は開気孔の内表面に沿って生成することを特徴とする半導体単結晶引き上げ用ルツボ。」が
「【請求項１】　炭素繊維強化炭素複合材料を全部または一部に含んで形成される半導体単結晶引き上げ用ルツボであって、
前記炭素繊維強化炭素複合材料の少なくとも一部分に熱分解炭素の被膜が形成され、
前記被膜は、前記炭素繊維強化炭素材料の表面と開気孔の内表面に沿って生成されていて、
前記炭素繊維強化炭素複合材料の表面の被膜と開気孔の被膜とが連なっていることを特徴とする半導体単結晶引き上げ用ルツボ。」
と補正された。
　上記補正は、本件補正前の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「熱分解炭素の被膜」について、「開気孔の内表面に沿って生成」することに加え、「前記炭素繊維強化炭素材料の表面」に生成され、「前記炭素繊維強化炭素複合材料の表面の被膜と開気孔の被膜とが連なっている」との限定を付加するものであるから、本件補正は、平成１４年法律第２４号改正附則第２条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）について、特許出願の際独立して特許を受けることができるものかについて以下に検討する。
　
（２）刊行物に記載された事項
（２−１）原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開昭６１−２５６９９３号公報（以下、「刊行物１」という。）には、次の事項が載されている。
（ア）「（１）黒鉛基材表面に、高純度且つガス不滲透性の緻密な熱分解炭素被膜を形成させて成ることを特徴とするシリコン単結晶引上げ装置用黒鉛るつぼ及びヒーター。」（特許請求の範囲　第１項）
（イ）「（３）上記熱分解炭素被膜の厚みが２０〜２５０μｍである特許請求の範囲第１項または第２項記載の黒鉛るつぼ及びヒーター。」（特許請求の範囲　第３項）
（ウ）「（５）上記黒鉛基材が炭素繊維と炭素との複合材であることを特徴とする特許請求の範囲第１乃至第４項のいずれかに記載の黒鉛るつぼ及びヒーター。」（特許請求の範囲　第５項）
（エ）「而してこの装置に於いて、黒鉛るつぼ及び黒鉛ヒーターは、反覆作用により、亀裂を生じ破損するので分割したり微粒質の高強度等方性黒鉛材を用いたりして種々の対策が試みられているが、未だ充分な効果が得られていない。」（第２頁左上欄１０〜１４行）
（オ）「本発明者は従来の黒鉛るつぼや黒鉛ヒーターの上記難点を解決するために従来から鋭意研究を続けて来たが、この研究に於いて黒鉛るつぼは使用中に内部の石英るつぼにより酸化され消耗し、酸化消耗を受けた部分は大きく強度が劣化し、耐熱衝撃性が低下し、黒鉛るつぼと石英るつぼとの間の熱膨脹係数の差による熱応力に耐えられなくなり、亀裂を生ずることが判明した。また装置内で発生する珪素や一酸化珪素の蒸気の一部が黒鉛表面層で反応し、炭化珪素層を形成することも、亀裂発生の原因の一つとなっており、これ等亀裂の原因は黒鉛るつぼばかりでなく、黒鉛ヒーターにも同様に生じていることが判明した。」（第２頁左上欄１６行〜同頁右上欄８行）
（カ）「本発明に於いては従来の黒鉛るつぼ及び黒鉛ヒーターの表面に上記特定の熱分解炭素被膜を好ましくはその膜厚を２０〜２５０μｍで形成させることにより、後記各実施例でも示した様に、著しく耐熱衝撃性が向上し、その亀裂の発生を大きく防止することが出来、惹いては反覆使用にも長期間耐えうるものである。」（第２頁右上欄１９行〜同頁左下欄５行）
（キ）「また本発明に於ける黒鉛基材としては炭素繊維と炭素との複合材であるるつぼやヒーターも包含される。これ等複合基材はこれ自体高強度であり、これに熱分解炭素被膜を形成することにより、基材の本来の優れた高強度に更に熱分解炭素被膜形成に基づく耐熱衝撃性が加味され、極めて好ましいものとなる。この際の上記複合基材としても従来から使用されて来たものがいずれも本発明に於いて有効に使用することが出来る。」（第３頁左下欄１０〜１８行）
（ク）「実施例３
　シリコン単結晶引上げ用るつぼのＰｙＣ被覆基材として炭素繊維−炭素複合基材を使用して実施例１と同様の試験を行った。
　該複合基材は、炭素繊維の３次元織物に数回、樹脂及びピッチを含浸、焼成して得られたもので次のような特性を持っている。
　嵩比重：１．５７、
　・・・
　被覆方法及び試験方法は、実施例１と同様に行った。これ等の結果を表３に示す。」（第４頁右下欄４〜１６行）として、第５頁左上欄には表３が記載され、表３の「Czochrolski法による実験結果」には、ＰｙＣの被膜厚さが０μｍのときは３８回目で割れが発生するのに対し、ＰｙＣの被膜厚さが２０〜３００μｍのときは０μｍのときと比較して繰返し使用による割れが１４９〜４３１回目で発生しており割れの発生が遅いことが記載されているといえる。
（ケ）「以上の実施例から、ガス不滲透性の緻密で高純度のＰｙＣ被膜を多孔性黒鉛及び炭素繊維−炭素結合基材に２０〜２５０μｍの厚さで被覆した黒鉛ヒーターは、ＳｉＯ２やＳｉＯ、Ｓｉとの反応を抑制する上で極めて効果的で長寿命を示すことがわかった。」（第５頁右上欄１５〜２０行）
　
（２−２）原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開昭６３−２３６７９８号公報（以下、「刊行物２」という。）には、次の事項が載されている。
（コ）「更に詳しく述べれば本発明に於いては比較的低温低圧つまり１３００℃以下及び５０Ｔｏｒｒ以下で緩徐にＰｙＣを生成せしめることにより、黒鉛基材内部に深くＰｙＣを含浸させることが出来、且つその上にＰｙＣ被膜を形成せしめることによリ、黒鉛基材とＰｙＣ被膜の機械的かみ合わせが強固になり、黒鉛基材とＰｙＣ膜とのＣＴＥ差によるＰｙＣ膜の亀裂及び剥離を抑制出来る重要な技術を見出したものである。」（第２頁右下欄１６行〜第３頁左上欄４行）
（サ）「実施例１
　使用した基材である黒鉛ルツボの特性は次の様なものであった。
・ＣＴＥ：２．１×１０−６／℃、５．３×ｌ０−６／℃
　　　　　（室温〜４００℃）
・嵩比重：１．５０（ＣＴＥが２．１の黒鉛）
　　　　　１．７７（ＣＴＥが５．３の黒鉛）
　・・・
　上記の黒鉛基材を１２８０℃に加熱してＣ３Ｈ８ガスを・・・、Ｈ２ガスを・・・流し炉内圧を３４Ｔｏｒｒに保持して、ＰｙＣを黒鉛基材内部に約１２８μｍ含浸させた後、ＰｙＣ被膜を形成させた。被膜の厚さは生成時間を変えて第１表（ＣＴＥが２．１の黒鉛基材の場合）、第２表（ＣＴＥが５．３の黒鉛基材の場合）それぞれに示す膜厚に調整した。」（第４頁右上欄２０行〜同頁左下欄１８行）として、第５頁右上欄の第１表にはＰｙＣ被膜厚さ（μｍ）が０〜３１２の範囲で６個記載され、同頁左下欄の第２表にはＰｙＣ被膜厚さ（μｍ）が０〜７２の範囲で６個記載されている。
　
（３）対比、判断
　刊行物１には、記載事項（ア）に「黒鉛基材表面に、高純度且つガス不滲透性の緻密な熱分解炭素被膜を形成させて成ることを特徴とするシリコン単結晶引上げ装置用黒鉛るつぼ」が記載され、記載事項（ウ）には、記載事項（ア）に記載された「黒鉛るつぼ」において「黒鉛基材が炭素繊維と炭素との複合材である」ことが記載されている。
　これらの記載事項からみて、刊行物１には、
「炭素繊維と炭素との複合材である黒鉛基材表面に、高純度且つガス不滲透性の緻密な熱分解炭素被膜を形成させて成ることを特徴とするシリコン単結晶引上げ装置用黒鉛るつぼ。」
の発明（以下、「刊行１発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
　本願補正発明と刊行１発明とを対比すると、刊行１発明の「炭素繊維と炭素との複合材」、は、本願補正発明の「炭素繊維強化炭素複合材料」に相当し、刊行１発明の「熱分解炭素被膜」は、本願補正発明の「熱分解炭素の被膜」に相当することは明らかである。
　そして、刊行１発明の「シリコン単結晶引上げ装置用黒鉛るつぼ」は、「半導体単結晶引き上げ用ルツボ」といえるものであり、しかも、「炭素繊維と炭素との複合材」をその全部または一部に含んで形成され、この「炭素繊維と炭素との複合材」の少なくとも一部分に「熱分解炭素被膜」が形成されているものであることは明らかである。
　してみると、両者は、
「炭素繊維強化炭素複合材料を全部または一部に含んで形成される半導体単結晶引き上げ用ルツボであって、前記炭素繊維強化炭素複合材料の少なくとも一部分に熱分解炭素の被膜が形成されていることを特徴とする半導体単結晶引き上げ用ルツボ。」
で一致し、次の点で相違する。
相違点ａ：本願補正発明は、「前記被膜は、前記炭素繊維強化炭素材料の表面と開気孔の内表面に沿って生成されていて、前記炭素繊維強化炭素複合材料の表面の被膜と開気孔の被膜とが連なっている」ものであるのに対し、刊行１発明は、かかる特定がない点
　
　そこで、相違点ａについて検討する。
　刊行物１には、記載事項（エ）に「黒鉛るつぼ・・・は、反覆作用により、亀裂を生じ破損するので分割したり微粒質の高強度等方性黒鉛材を用いたりして種々の対策が試みられているが、未だ充分な効果が得られていない」との記載があり、また、記載事項（カ）に「本発明に於いては従来の黒鉛るつぼ・・・の表面に上記特定の熱分解炭素被膜を・・・形成させることにより、・・・、著しく耐熱衝撃性が向上し、その亀裂の発生を大きく防止することが出来、惹いては反覆使用にも長期間耐えうるものである」との記載がある。さらに、記載事項（キ）には、炭素繊維と炭素との複合材を黒鉛基材とする黒鉛るつぼについて「これに熱分解炭素被膜を形成することにより、基材の本来の優れた高強度に更に熱分解炭素被膜形成に基づく耐熱衝撃性が加味され、極めて好ましいものとなる」との記載があり、記載事項（ク）には、炭素繊維と炭素との複合材を黒鉛基材とする黒鉛るつぼに熱分解炭素被膜を形成したことにより耐久性が増したことを示す具体例が記載されているといえる。
　これらの記載からみて、刊行１発明は、黒鉛るつぼの亀裂発生を抑制することを目的とするものであり、この黒鉛るつぼの亀裂発生は、炭素繊維と炭素との複合材である黒鉛基材表面に熱分解炭素の被膜を形成したことにより、抑制されるものであると認められる。
　さらに、刊行物１には、記載事項（オ）に、かかる黒鉛るつぼの亀裂発生の原因の一つが「装置内で発生する珪素や一酸化珪素の蒸気の一部が黒鉛表面層で反応し、炭化珪素層を形成すること」であることが記載されており、また、記載事項（ケ）には「ガス不滲透性の緻密で高純度のＰｙＣ被膜を多孔性黒鉛及び炭素繊維−炭素結合基材に２０〜２５０μｍの厚さで被覆した黒鉛ヒーターは、ＳｉＯ２やＳｉＯ、Ｓｉとの反応を抑制する上で極めて効果的で長寿命を示す」ことが記載されている。
　してみると、刊行１発明においては、黒鉛るつぼの亀裂発生を抑制するために、その原因である珪素や一酸化珪素の蒸気が黒鉛表面層で反応することによる炭化珪素層の形成を阻止する必要があり、そのために、熱分解炭素の被膜を、黒鉛基材である炭素繊維と炭素との複合材と珪素や一酸化珪素の蒸気との接触を極力少なくするように形成されたものとすることは当業者が当然配慮することであるといえる。
　一方、刊行１発明において黒鉛るつぼを形成する黒鉛基材である炭素繊維と炭素との複合材、即ち炭素繊維強化炭素材料も、炭素繊維との複合材ではない通常の黒鉛基材も、それぞれ、その程度は様々ではあるが、多孔性であり、その表面に開気孔を有するものであることは広く知られている技術事項である。そして、通常の黒鉛基材の表面に熱分解炭素の被膜を形成する方法として、析出温度、圧力など、熱分解炭素の析出条件を制御することにより、原料ガスを黒鉛基材内部に浸透させ、黒鉛基材内部で熱分解炭素を析出させて黒鉛基材内部に熱分解炭素を含浸させると共に、その黒鉛基材の表面に熱分解炭素の被膜を形成する種々の方法が本願出願前広く知られている。例えば、刊行物２には、比較的低温低圧つまり１３００℃以下及び５０Ｔｏｒｒ以下で緩徐にＰｙＣ、即ち熱分解炭素を生成せしめることにより、黒鉛基材内部に深く熱分解炭素を含浸させ且つその上に熱分解炭素の被膜を形成せしめる方法が、実施例と共に記載されており（上記（コ）及び（サ）を参照）、さらに、刊行物２の第３頁右上欄５〜７行に記載された特公昭４７−１００３号公報、特公昭５１−１３７５４号公報にも、黒鉛基材の内部に熱分解炭素を含浸させると共にその表面に熱分解炭素の被膜を形成する方法が記載されているところである。そして、これら本願出願前周知の方法により通常の黒鉛基材の内部に含浸させると共に表面に形成された熱分解炭素の被膜は、通常の黒鉛基材の表面と開気孔の内表面に沿って生成されていて、通常の黒鉛基材の表面の被膜と開気孔の被膜とは連なっているものであり、通常の黒鉛基材表面に形成した熱分解炭素の被膜と較べ、黒鉛基材と周囲のガスとの接触が少ないものであることは明らかである。
　してみれば、刊行１発明において、炭素繊維強化炭素材料と珪素や一酸化珪素の蒸気の接触を極力少なくすべく、炭素繊維強化炭素材料に熱分解炭素の被膜を形成する方法として上記の本願出願前周知の方法を採用して、この熱分解炭素の被膜を、炭素繊維強化炭素材料の表面と開気孔の内表面に沿って生成されていて、炭素繊維強化炭素材料の表面の被膜と開気孔の被膜とが連なっているものとすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　そして、本件補正後の本願明細書及び図面の記載を検討しても、熱分解炭素の被膜を上記のとおりのものと特定したことにより、当業者が予測し得ない格別顕著な効果が奏されたものとは認められない。
　
　したがって、本願補正発明は、刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（４）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
（５）補正案について
　請求人は回答書中で次の（Ｉ）、（ＩＩ）の補正案を提示し、再度の審理を求めているので、これらの補正案による補正後の発明について検討する。
（Ｉ）　請求項１に、請求項２の特徴を追加する補正 
（ＩＩ）請求項１において、（熱分解炭素の）被膜の膜厚を５０μｍ以下へ限定する補正
　まず、（Ｉ）の補正案による補正後の発明について検討する。
　請求項１に記載された事項に追加される請求項２の特徴とは、「生成させる前記熱分解炭素の組織は、ＲＣ組織もしくはＩＳＯ組織もしくはＳＣ組織に、または、これらの組み合わせに形成されること」であると解される。
　しかし、請求人が平成１８年８月３日に提出した「カーボン用語辞典」の写しの「熱分解炭素」の項にも記載されているとおり、ＲＣ組織、ＩＳＯ組織、ＳＣ組織は、いずれも熱分解炭素の組織として普通のものであり、これらを組み合わせた組織も熱分解炭素の組織として普通にみられるものである。そして、本願明細書及び図面の記載を検討しても、熱分解炭素の組織を、ＲＣ組織もしくはＩＳＯ組織もしくはＳＣ組織に、または、これらの組み合わせに特定したことにより当業者が予測し得ない格別顕著な効果が奏されるものとは認められない。
　よって、（Ｉ）の補正案による補正後の発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　次に、（ＩＩ）の補正案による補正後の発明について検討する。　
　刊行物１の記載事項（イ）には、熱分解炭素被膜の厚みが２０〜２５０μｍであることが記載されている。そして、本願明細書及び図面の記載を検討しても、前記炭素繊維強化炭素材料の表面と開気孔の内表面に沿って生成されていて、前記炭素繊維強化炭素複合材料の表面の被膜と開気孔の被膜とが連なっている状態で形成される熱分解炭素の被膜について、その厚みの範囲を５０μｍ以下と限定したことにより当業者が予測し得ない格別顕著な効果が奏されたものとは認められない。
　よって、（ＩＩ）の補正案による補正後の発明も、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　上記のとおり、請求人が回答書中で提示した２つの補正案による補正後の発明はいずれも特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、補正の機会を与える必要を認めない。
　
３．本願発明について
（１）本願発明 
　平成１９年７月１８日付けの手続補正は前記２．のとおり却下されたので、本願の請求項１〜３に係る発明は、平成１８年８月３日付け手続補正書により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された以下のとおりのものであると認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は、次のとおりのものである。
　
【請求項１】　炭素繊維強化炭素複合材料を全部または一部に含んで形成される半導体単結晶引き上げ用ルツボであって、
前記炭素繊維強化炭素複合材料の少なくとも一部分に熱分解炭素の被膜が形成され、前記被膜は開気孔の内表面に沿って生成することを特徴とする半導体単結晶引き上げ用ルツボ。
　
（２）引用刊行物 
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である刊行物１、２及びその記載事項は、前記２．（２）に記載したとおりである。
　
（３）対比・判断
　本願発明１は、前記２．で検討した本願補正発明に関し、「前記被膜は、前記炭素繊維強化炭素材料の表面と開気孔の内表面に沿って生成されていて、前記炭素繊維強化炭素複合材料の表面の被膜と開気孔の被膜とが連なっている」ことを、「前記被膜は開気孔の内表面に沿って生成する」ことに拡張したものである。
　してみると、本願発明１の発明特定事項のうち、「前記被膜は開気孔の内表面に沿って生成する」ことを、「前記被膜は、前記炭素繊維強化炭素材料の表面と開気孔の内表面に沿って生成されていて、前記炭素繊維強化炭素複合材料の表面の被膜と開気孔の被膜とが連なっている」ことに限定したものに相当する本願補正発明が、前記２．（３）に記載したとおり、刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願補正発明と同様の理由により、本願発明１も、刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）むすび 
　以上のとおり、本願発明１は、刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
 したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。