【手続補正書】
【提出日】平成24年7月25日(2012.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｋ番目の点をｘｋ、点ｘｋの測定値をｗｋとするｎ個のサンプリングデータ（ｘｋ、ｗｋ）に対して、ｍ項の直交関数の線形結合で表される
2011033354.tif 000001
をフィッティングさせる場合のサンプリングデータの信頼性を評価する評価方法であって、
前記ｎ個のサンプリングデータのうち測定値ｗｋが有効である点ｘｋについて、ｇｉ（ｘｋ）ｇｊ（ｘｋ）の総和
2011033354.tif 000002
を算出する算出ステップと、
前記算出ステップで算出した総和Ｅｒｒが閾値以下の場合に、前記サンプリングデータに信頼性があると評価する評価ステップと、
を有することを特徴とする評価方法。
【請求項２】
ｋ番目の点をｘｋ、点ｘｋの測定値をｗｋとするｎ個のサンプリングデータ（ｘｋ、ｗｋ）に対して、ｍ項の直交関数の線形結合で表される
2011033354.tif 000003
をフィッティングさせる場合のサンプリングデータの信頼性を評価する評価方法であって、
前記ｎ個のサンプリングデータに対して、前記ｍ項のうち第１所定項を用いた式をフィッティングさせるために前記第１所定項の各係数ａｉを算出する第１のフィッティングステップと、
前記ｎ個のサンプリングデータに対して、前記ｍ項のうち第２所定項を用いた式をフィッティングさせるために前記第２所定項の各係数ａｉ’を算出する第２のフィッティングステップと、
前記第１のフィッティングステップで得られた前記第１所定項の各係数ａｉと前記第２のフィッティングステップで得られた前記第２所定項の各係数ａｉ’とを比較して、前記サンプリングデータの信頼性を評価する評価ステップと、
を有することを特徴とする評価方法。
【請求項３】
前記第２所定項は、前記第１所定項を含み、且つ、前記第２所定項の項数は、前記第１所定項の項数よりも多いことを特徴とする請求項２に記載の評価方法。
【請求項４】
前記第２所定項は、前記第１所定項に含まれる１つの項であることを特徴とする請求項２に記載の評価方法。
【請求項５】
ｋ番目の点をｘｋ、点ｘｋの測定値をｗｋとするｎ個のサンプリングデータ（ｘｋ、ｗｋ）に対して、ｍ項の直交関数の線形結合で表される
2011033354.tif 000004
をフィッティングさせる場合のサンプリングデータの信頼性を評価する評価方法であって、
2011033354.tif 000005
を定義して、前記ｎ個のサンプリングデータに対して式Ｃをフィッティングさせた場合のフィッティング残差の平方和Φの各係数に対する偏微分を０とした式を表す行列式を
2011033354.tif 000006
とし、ＧＴＧの非対角成分を０とした対角行列を
2011033354.tif 000007
とした場合において、
式Ｄから各項の係数ａｉを求める第１のステップと、
式Ｅから各項の係数ａｉ’を求める第２のステップと、
前記第１のステップで求めた各項の係数ａｉと第２のステップで求めた各項の係数ａｉ’とを比較して、前記サンプリングデータの信頼性を評価する評価ステップと、
を有することを特徴とする評価方法。
【請求項６】
光学系の波面収差を測定する測定方法であって、
前記光学系を通過した被検光と参照面からの参照光との干渉縞を検出する検出ステップと、
前記検出ステップで検出した干渉縞に基づいて、前記光学系を通過した光の波面収差を算出する算出ステップと、
請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の評価方法に従って、前記算出ステップで算出した波面収差に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式をフィッティングさせる場合の該波面収差の信頼性を評価する評価ステップと、
前記評価ステップで信頼性が保証された場合に、前記算出ステップで算出した波面収差に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式をフィッティングさせるフィッティングステップと、
を有することを特徴とする測定方法。
【請求項７】
コンピュータに請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の評価方法の各ステップを実行させるためのプログラム。
【請求項８】
レチクルのパターンを基板に投影する投影光学系を備えた露光装置を用いて、前記基板を露光する露光方法であって、
請求項６に記載の測定方法に従って、前記投影光学系の波面収差を測定する測定ステップと、
前記測定ステップで測定された波面収差に基づいて、前記投影光学系を調整する調整ステップと、
前記調整ステップで調整された投影光学系を介して、前記レチクルのパターンを前記基板に投影する投影ステップと、
を有することを特徴とする露光方法。
【請求項９】
請求項８に記載の露光方法を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項１０】
光学系の波面収差の測定を実行し、且つ、該波面収差を直交関数の線形結合で表す測定装置であって、
前記波面収差の情報を含む干渉パターンを検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された干渉パターンに基づいて前記波面収差を求める処理手段と、を有し、
前記処理手段は、前記検出手段により検出された干渉パターンに無効な測定点が含まれている場合、該無効な測定点による直交関数系の直交性の崩れの度合いを求め、該度合いに基づいて前記測定の信頼性を評価する、ことを特徴とする測定装置。
【請求項１１】
前記処理手段は、前記度合いとして、前記直交関数系における直交関数の値を前記無効な測定点においてゼロとして得られた直交関数系の直交性の度合いを求める、ことを特徴とする請求項１０に記載の測定装置。
【請求項１２】
前記処理手段は、前記度合いとして、前記波面収差を表す前記直交関数系における直交関数の数を変化させた場合における同一の直交関数に対する係数の変化の度合いを求める、ことを特徴とする請求項１０に記載の測定装置。
【請求項１３】
前記処理手段は、前記度合いとして、前記直交関数系における直交関数の値を前記無効な測定点においてゼロとして得られた直交関数系について、その直交性を改善した場合における同一の直交関数に対する係数の変化の度合いを求める、ことを特徴とする請求項１０に記載の測定装置。
【請求項１４】
前記処理手段は、前記信頼性が許容範囲内である場合、前記線形結合を求める、ことを特徴とする請求項１０乃至１３のうちいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項１５】
前記処理手段は、前記信頼性が許容範囲外である場合、前記干渉パターンを前記検出手段に再度検出させる、ことを特徴とする請求項１０乃至１４のうちいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項１６】
光学系を調整する調整方法であって、
請求項１０乃至１５のうちいずれか１項に記載の測定装置を用いて前記光学系の波面収差を測定する工程と、
前記工程で測定された前記波面収差に基づいて前記光学系を調整する工程と、を含むことを特徴とする調整方法。
【請求項１７】
基板を露光する露光装置であって、
前記基板に光を投影する投影光学系と、
前記投影光学系の波面収差を測定する請求項１０乃至１５のうちいずれか１項に記載の測定装置と、を有し、
前記測定装置により測定された前記波面収差に基づいて前記投影光学系を調整する、ことを特徴とする露光装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項１９】
データのサンプリングを実行する手段と、
前記サンプリングにより得られたデータを直交関数の線形結合で表す処理手段と、を有し、
前記処理手段は、前記サンプリングにより得られたデータに無効なサンプリング点が含まれている場合、該無効なサンプリング点による直交関数系の直交性の崩れの度合いを求め、該度合いに基づいて前記サンプリングの信頼性を評価する、ことを特徴とする処理装置。
【請求項２０】
光学系の波面収差の情報を含む干渉パターンを検出して該波面収差の測定を実行し、且つ、該波面収差を直交関数の線形結合で表す測定方法であって、
前記干渉パターンに無効な測定点が含まれている場合、該無効な測定点による直交関数系の直交性の崩れの度合いを求め、該度合いに基づいて前記測定の信頼性を評価する、ことを特徴とする測定方法。
【請求項２１】
データのサンプリングを実行し、該サンプリングにより得られたデータを直交関数の線形結合で表す処理方法であって、
前記サンプリングにより得られたデータに無効なサンプリング点が含まれている場合、該無効なサンプリング点による直交関数系の直交性の崩れの度合いを求め、該度合いに基づいて前記サンプリングの信頼性を評価する、ことを特徴とする処理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】評価方法、測定方法、プログラム、露光方法、デバイスの製造方法、測定装置、調整方法、露光装置、処理装置及び処理方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、評価方法、測定方法、プログラム、露光方法、デバイスの製造方法、測定装置、調整方法、露光装置、処理装置及び処理方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そこで、本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、測定またはサンプリングの信頼性の評価に有利な技術を提供することを例示的目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての評価方法は、ｋ番目の点をｘｋ、点ｘｋの測定値をｗｋとするｎ個のサンプリングデータ（ｘｋ、ｗｋ）に対して、ｍ項の直交関数の線形結合で表されるＦ（ｘ）＝Σａｉｇｉ（ｘ）をフィッティングさせる場合のサンプリングデータの信頼性を評価する評価方法であって、前記ｎ個のサンプリングデータのうち測定値ｗｋが有効である点ｘｋについて、ｇｉ（ｘｋ）ｇｊ（ｘｋ）の総和Ｅｒｒ＝ΣΣ∫｜ｇｉ（ｘｋ）ｇｊ（ｘｋ）ｄｋ｜（但し、ｉ≠ｊ）を算出するステップと、前記算出ステップで算出した総和Ｅｒｒが閾値以下の場合に、前記サンプリングデータに信頼性があると評価する評価ステップと、を有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明によれば、例えば、測定またはサンプリングの信頼性の評価に有利な技術を提供することができる。