【事件の表示】
　特願２００２−１５９２３６「プラズマディスプレイパネルの製造方法および誘電体保護膜製造装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　１月　８日出願公開、特開２００４−　　６０８２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　この出願は、平成１４年５月３１日の出願であって、平成１９年５月１０日付けで手続補正がされ、平成１９年８月２８日付けで拒絶理由が通知され、平成１９年１０月３１日付けで手続補正がされたが、平成１９年１２月２８日付けで拒絶査定され、これに対して、平成２０年２月７日に拒絶査定不服審判の請求がされるとともに、同日付けで手続補正がされたものである。
　
第２　平成２０年２月７日付け手続補正についての補正の却下の決定
　
［補正の却下の決定の結論］
　平成２０年２月７日付け手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１　本件補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲を次のように補正する事項を含むものである。
　
（本件補正前、即ち、平成１９年１０月３１日付け手続補正により補正されたもの）
「　【請求項１】　基板の表示電極を覆う誘電体層を形成するとともに前記誘電体層を保護する誘電体保護膜を形成した前面板と、前記前面板との間に放電空間を形成する背面板とを備えたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
蒸発源にエネルギビームを照射して蒸発させ、前記前面板に蒸発粒子を入射させて前記誘電体層の上に前記誘電体保護膜を作製する際に、前記蒸発源のエネルギビーム照射面に立てた垂線から前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度を、前記垂線から前記前面板の搬送方向の上流側への照射角度よりも大きくし、かつ前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度が５０°から７０°の範囲にあり、前記前面板の搬送方向の上流側への照射角度が１５°から２５°の範囲にあることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
　【請求項２】　前記誘電体保護膜の原材料はペレット状の固体であることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
　【請求項３】　成膜チャンバ内に配置した蒸発原材料にエネルギビームを照射部から照射し誘電体保護膜の原材料を蒸発させる蒸発源と、前記蒸発源からの蒸発粒子を堆積させる基板を搬送する搬送装置とを有する誘電体保護膜製造装置であって、
前記蒸発源から前記基板への前記蒸発粒子の入射領域を規制する開口を備えた規制部を設け、前記規制部を前記開口が前記蒸発源に対して前記基板の搬送方向の下流側に偏在させて配置し、前記開口は、蒸発源のエネルギビームの照射面に垂線を立て、前記垂線と前記照射部から前記規制部の下流側の前記開口の端部までの直線とのなす角度をα、前記垂線と前記照射部から前記規制部の上流側の前記開口の端部までの直線とのなす角度をβとするとき、αはβより大きく、αは５０°から７０°の任意の値を有し、βは１５°から２５°の任意の値を有する規制開口部であることを特徴とする誘電体保護膜製造装置。
　【請求項４】　ペレット状の固体よりなる蒸発原材料を蒸発源に供給する供給装置を有することを特徴とする請求項３に記載の誘電体保護膜製造装置。」
　
（本件補正後）
「　【請求項１】　基板の表示電極を覆う誘電体層を形成するとともに前記誘電体層を保護する誘電体保護膜を形成した前面板と、前記前面板との間に放電空間を形成する背面板とを備えたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
蒸発源にエネルギビームを照射して蒸発させ、前記前面板に蒸発粒子を入射させて前記誘電体層の上に前記誘電体保護膜を作製する際に、
蒸着規制板によって、
　【請求項２】　前記誘電体保護膜の原材料はペレット状の固体であることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
　【請求項３】　成膜チャンバ内に配置した蒸発原材料にエネルギビームを照射部から照射し誘電体保護膜の原材料を蒸発させる蒸発源と、前記蒸発源からの蒸発粒子を堆積させる基板を搬送する搬送装置とを有する誘電体保護膜製造装置であって、前記蒸発源から前記基板への前記蒸発粒子の入射領域を規制する開口を備えた規制部を設け、前記規制部を前記開口が前記蒸発源に対して前記基板の搬送方向の下流側に偏在させて配置し、前記開口は、蒸発源のエネルギビームの照射面に垂線を立て、前記垂線と
前記エネルギビームが前記蒸発原材料に照射された点から
前記エネルギビームが前記蒸発原材料に照射された点から
　【請求項４】　ペレット状の固体よりなる蒸発原材料を蒸発源に供給する供給装置を有することを特徴とする請求項３に記載の誘電体保護膜製造装置。」
（下線は、補正箇所を明示するために請求人が付したものである。）
　
２　本件補正の適否
（１）本件補正の目的
　本件補正のうち特許請求の範囲についてする補正は、以下の事項からなるものである。
ア　本件補正前の請求項１に記載した発明特定事項である「前記蒸発源のエネルギビーム照射面に立てた垂線から前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度を、前記垂線から前記前面板の搬送方向の上流側への照射角度よりも大きくし」を、「蒸着規制板によって、前記蒸発源のエネルギビーム照射面に立てた垂線から前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度を、前記垂線から前記前面板の搬送方向の上流側への照射角度よりも大きくし」と限定する事項。
イ　本件補正前の請求項３の「前記照射部から」という記載を「前記エネルギビームが前記蒸発原材料に照射された点から」という記載に変更する事項。
　
　上記の事項のうち、アは特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　
　したがって、本件補正で特許請求の範囲についてする補正のうち、請求項１を対象とする補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とする補正に該当する。そこで、本件補正後の請求項１に係る発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
　
（２）独立特許要件
ア　本願補正発明
　本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）は、本件補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。
　
「　基板の表示電極を覆う誘電体層を形成するとともに前記誘電体層を保護する誘電体保護膜を形成した前面板と、前記前面板との間に放電空間を形成する背面板とを備えたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
蒸発源にエネルギビームを照射して蒸発させ、前記前面板に蒸発粒子を入射させて前記誘電体層の上に前記誘電体保護膜を作製する際に、蒸着規制板によって、前記蒸発源のエネルギビーム照射面に立てた垂線から前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度を、前記垂線から前記前面板の搬送方向の上流側への照射角度よりも大きくし、かつ前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度が５０°から７０°の範囲にあり、前記前面板の搬送方向の上流側への照射角度が１５°から２５°の範囲にあることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。」
　
イ　引用文献に記載された発明
　原査定の拒絶の理由に引用され、この出願の出願前である平成１４年３月２２日に頒布された刊行物である特開２００２−８３５４６号公報（以下「引用文献」という。）には、以下の事項が図面とともに記載されている。
　
＜記載事項１＞
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、テレビなどの画像表示用のプラズマディスプレイ装置とその製造方法に関するものである。」
　
＜記載事項２＞
「【０００２】
【従来の技術】近年、プラズマディスプレイ装置は、視認性に優れた表示パネル（薄型表示デバイス）として注目されており、高精細化および大画面化が進められている。このプラズマディスプレイ装置には、大別して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大画面化および製造の簡便性から、現状では、ＡＣ型で面放電型のプラズマディスプレイ装置が工業上の主流を占めるようになってきている。
【０００３】このＡＣ型のプラズマディスプレイ装置におけるパネル構造の一例を図７に示している。
【０００４】図７に示すように、ガラス基板などの透明な前面側の基板１上には、走査電極２と維持電極３とで対をなすストライプ状の表示電極が複数対形成され、そして基板１上の隣り合う表示電極間には遮光層（図示せず）が配置形成されている。この走査電極２および維持電極３は、それぞれ透明電極２ａ、３ａおよびこの透明電極２ａ、３ａに電気的に接続された母線２ｂ、３ｂとから構成されている。前記透明電極２ａ、３ａはインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）や酸化スズ(ＳｎＯ2）等で形成され、母線２ｂ、３ｂは、クロム−銅−クロム(Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒ）の積層体または銀（Ａｇ）等で形成される。なお、透明電極２ａ、３ａがなく、母線２ｂ、３ｂのみで表示電極を構成する場合もある。また、前記前面側の基板１には、前記複数対の電極群を覆うように硼珪酸ガラス等からなる誘電体層４が形成され、その誘電体層４上にはＭｇＯのような耐イオンスパッタ性に優れ、高い２次電子放出係数を有する材料からなる保護膜５が形成されている。
【０００５】また、前記前面側の基板１に対向配置される背面側の基板６上には、走査電極２及び維持電極３の表示電極と直交する方向に、複数のストライプ状で前記母線２ｂ、３ｂと同様に、クロム−銅−クロム（Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒ）の積層体または銀（Ａｇ）等からなるデータ電極７が形成されている。このデータ電極７間には、データ電極７と平行にストライプ状の複数の隔壁８が配置され、この隔壁８の側面にかけてデータ電極７を覆うように蛍光体層９が設けられている。
【０００６】これらの基板１と基板６とは、走査電極２および維持電極３とデータ電極７とが直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、周囲が封止され、そして前記放電空間には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうちの一種または混合ガスが放電ガスとして封入されている。また、放電空間は、隔壁８によって複数の区画に仕切ることにより、表示電極とデータ電極７との交点が位置する複数の放電セル１０が設けられ、その各放電セル１０には、赤色、緑色及び青色となるように蛍光体層９が一色ずつ順次配置されている。」
　
＜記載事項３＞
「【００１０】従来、前記保護膜層であるＭｇＯ膜の形成方法として、電子ビーム蒸着法が用いられる。図９（ａ）、（ｂ）にその装置構成を示しており、成膜室において、水平に配置されたＭｇＯ単結晶のターゲット１１に対して、電子ビームを磁場などで偏向することで照射して、ＭｇＯを加熱し蒸発させる。この時の蒸発粒子の分布はコサイン（ｃｏｓ）分布になると知られている。前記ターゲット材料に対向してガラス基板１２を平行となるように真上に配置して、ＭｇＯ膜を形成する。
【００１１】実際の量産性を考慮した場合、基板通過方式にする。このような従来例として、例えば特開平１０−１７６２６２号公報がある。基板通過方式を採用する場合、図９のように、ターゲット１１からガラス基板１２へ入射する粒子が角度θ０、θ１が、通過の開始時と終了時で同じとなるよう、すなわち対称(θ０＝θ１)となるように蒸着遮蔽部材１３ａ、１３ｂが設けられている。この蒸着遮蔽部材１３ａ、１３ｂは、入射角が３５度より大きくならないようにするために設けられている。なお、図９（ｂ）のようにターゲット１１の数はガラス基板１２の大きさに応じて、基板搬送方向と直交する方向に１つないし複数配置している。この図では４つのターゲット１１を配置している。」
　
＜記載事項４＞
「【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このような断面形状を持つ保護膜を用いると、高精細のパネルにおいて書き込み動作に利用できる時間が短くなる。すなわち、高速書き込みを行うときに、所定の時間内に書き込み放電が終了せず、黒欠陥(ちらつき)となり、表示品質が低下するという問題が発生することがわかった。この黒欠陥のレベルは、書き込み電圧のパルス幅のみならず、書き込み電圧の電圧値・傾斜などに依存し、この黒欠陥の原因を調べると、保護膜である酸化マグネシウム（ＭｇＯ）の膜質が原因であることがわかった。すなわち、ＭｇＯ膜の膜質の違いにより、ＭｇＯ膜の放電特性が決まるのである。
【００１５】本発明はこのような課題を解決するもので、書き込み放電を高速で安定に行うことができるようにすることを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成するために本発明においては、少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置するとともに前記放電空間を複数に仕切るための隔壁を少なくとも一方の基板に配置し、かつ前記隔壁により仕切られた放電空間で放電が発生するように基板に電極群を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたパネル本体を有するプラズマディスプレイ装置において、一対の基板のうち少なくとも一方の基板上に、複数の走査電極および維持電極とその表面を覆う誘電体層とを形成するとともに、前記誘電体層の上に保護膜を形成し、かつ前記保護膜の結晶カラムの断面形状を、膜厚方向に対して５〜５０度の角度をもった形状としたものである。
【００１７】すなわち、本発明者らは、膜質に影響を及ぼすと考えられる保護膜の成膜条件（成膜条件としては、基板温度、酸素の供給量、成膜圧力、成膜レート、構成粒子の入射角度である）と放電特性の関係を調べた結果、成膜粒子の入射角度が最も放電特性に影響を及ぼすことを確認したことに基づくもので、構成粒子の入射角度を最適にすることにより、高速書き込み時の黒欠陥問題を解決することができる。」
　
＜記載事項５＞
「　　　【００３５】
　以下に本発明に係る断面形状を持つ保護膜の形成方法の実施例を示す。
　　　【００３６】
　ターゲット材料としてＭｇＯを用いた基板通過方式の電子ビーム蒸着法で説明する。
　　　【００３７】
　なお、以下の説明では、ターゲット材料に対してガラス基板を平行になるように真上に配置しているが、必ずしも平行になるようにガラス基板を配置する必要はない。
　　　【００３８】
　図２に第１の実施例を示す。成膜室において、水平に配置されたＭｇＯのターゲット２１に対して、電子ビームを磁場などで偏向することで照射して、ＭｇＯを加熱し蒸発させる。
　　　【００３９】
　前記ターゲット２１に対向してガラス基板１２を平行となるように真上に配置して、ＭｇＯ膜を形成する。
　　　【００４０】
　本発明では、ターゲット２１からガラス基板１２へ入射する粒子の角度が５〜５０度となるように、入射角制御板２２ａ、２２ｂを設け、入射角度はそれぞれθ１０とθ１１になるように制御している。本実施例では、入射角度はθ１１の方がθ１０よりも大きくなるように入射角制御板２２ａ、２２ｂを配置している。実際には、θ１０＝６度、θ１１＝４０度となるように入射角を制限して蒸着を行い、パネルを作成して評価を行った。
　　　【００４１】
　実験条件としては、基板温度２００度、酸素導入後の蒸着圧力が２×１０-3(Ｐａ)、蒸着レートは２０Å／ｓ、膜厚は６０００Åである。
【００４２】その結果を表１に示す。また、その時の断面形状の模式図を図３に示しており、２３はＭｇＯ膜である。
【００４３】比較例として、従来例である図１０のθ０＝θ１が３０度となる条件でもパネルを作成し、評価を行った。他の実験条件は、本実施例と同じである。
【００４４】この結果より、本発明によれば、放電の統計遅れが小さくなり、放電特性がよくなることがわかる。そして、この結果、高速書き込み時に問題であった黒欠陥は発生しなくなった。」
　
＜記載事項６＞
「　　　【００５０】
　図６に第３の実施例を示している。前記第１、第２の実施例では、入射角制御板により遮蔽される部分が多く、比較的蒸着効率が悪くなってしまう。そこで、本実施例では、入射角が５度以下となる部分も構成粒子が入射するようにしている。入射角制御板２２ａ、２２ｂにより入射角がそれぞれθ１４、θ１５となり、入射角が５度以下の部分も含まれるが、入射角θ１５をθ１４よりも大きくし、全膜厚の表面側３分の２において結晶カラムが傾くように入射角を設定している。実際には、θ１４＝８度、θ１５＝４０度になるように入射角を制限して蒸着を行い、パネルを作成して評価を行った。他の蒸着条件は第１の実施例と同じである。その結果を表１に示す。
　　　【００５１】
　この結果から、第１の実施例ほどではないが、従来例よりも放電特性がよくなることがわかる。その結果、高速書き込み時に問題であった黒欠陥もほぼ発生しなくなった。」
　
＜記載事項７＞
「　　　【００５２】
【表１】
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
＜記載事項８＞
　図６の記載は、次のとおりである。
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
（ア）記載事項２は従来の技術についての記載であるが、前提となるパネル構造については、記載事項４〜記載事項８で説明されている「本発明」、「第１の実施例」及び「第３の実施例」においても同様であることは明らかである。したがって、記載事項２及び記載事項４から、引用文献には、前面側の基板上に表示電極とその表面を覆う誘電体層とを形成するとともに、前記誘電体層の上に保護膜を形成し、前面側の基板と放電空間を挟んで対向配置される背面側の基板とを備えたプラズマディスプレイ装置のパネル本体が記載されている。
　
（イ）記載事項３は従来の技術についての記載であるが、記載事項５〜記載事項８で説明されている「本発明」、「第１の実施例」及び「第３の実施例」における保護膜であるＭｇＯ膜の形成方法は、記載事項３のＭｇＯ膜の形成方法を前提としたものであることは明らかである。したがって、記載事項１、記載事項３及び記載事項５から、引用文献には上記（ア）のプラズマディスプレイ装置のパネル本体の製造方法として、ＭｇＯのターゲット２１に対して、電子ビームを照射してＭｇＯを加熱し蒸発させ、前記前面側の基板であるガラス基板１２に蒸発粒子を入射させて前記誘電体層の上に前記保護膜であるＭｇＯ膜を形成する際に、入射角制御板２２ａ、２２ｂによって、入射角を制限して蒸着を行うプラズマディスプレイ装置のパネル本体の製造方法が記載されている。
　
（ウ）記載事項３、記載事項５及び記載事項６から、引用文献には上記（イ）のプラズマディスプレイ装置のパネル本体の製造方法の変形例として、基板通過の終了時のターゲット２１からガラス基板１２へ入射する粒子の角度θ１５を、基板通過の開始時のターゲット２１からガラス基板１２へ入射する粒子の角度θ１４よりも大きくし、θ１５が４０度であり、θ１４が８度であるプラズマディスプレイ装置のパネル本体の製造方法が記載されている。また、記載事項８で引用した図６の記載から、前記角度θ１５、θ１４はそれぞれ、ターゲット２１に立てた垂線からガラス基板１２の基板搬送方向の下流側、上流側の角度であることが読み取れる。
　
（エ）記載事項５〜記載事項７から、引用文献には、上記（ウ）のプラズマディスプレイ装置のパネル本体の製造方法のように基板通過の開始時及び終了時のターゲットからガラス基板へ入射する粒子の角度を制限することにより、放電の統計遅れが小さくなることが記載されている。
　
　したがって、上記（ア）〜（エ）に基づけば、引用文献には次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
「　前面側の基板上に表示電極とその表面を覆う誘電体層とを形成するとともに、前記誘電体層の上に保護膜を形成し、前面側の基板と放電空間を挟んで対向配置される背面側の基板とを備えたプラズマディスプレイ装置のパネル本体の製造方法であって、
　ＭｇＯのターゲット２１に対して、電子ビームを照射してＭｇＯを加熱し蒸発させ、前記前面側の基板であるガラス基板１２に蒸発粒子を入射させて前記誘電体層の上に前記保護膜であるＭｇＯ膜を形成する際に、入射角制御板２２ａ、２２ｂによって、前記ターゲット２１に立てた垂線から前記ガラス基板１２の基板搬送方向の下流側の基板通過の終了時の前記ターゲット２１から前記ガラス基板１２へ入射する粒子の角度θ１５を、前記垂線から前記ガラス基板１２の基板搬送方向の上流側の基板通過の開始時の前記ターゲット２１から前記ガラス基板１２へ入射する粒子の角度θ１４よりも大きくし、前記θ１５が４０度であり、前記θ１４が８度であることにより、放電の統計遅れを小さくしたプラズマディスプレイ装置のパネル本体の製造方法。」
　
ウ　対比
　本願補正発明と引用発明とを比較する。
　
（ア）引用発明の「前面側の基板」及び「前面側の基板であるガラス基板１２」は、本願補正発明の「基板」に相当し、以下同様に、「表示電極」は「表示電極」に、「誘電体層」は「誘電体層」に、「保護膜」及び「保護膜であるＭｇＯ膜」は「誘電体保護膜」に、「背面側の基板」は「背面板」に、「プラズマディスプレイ装置のパネル本体」は「プラズマディスプレイパネル」に、それぞれ相当する。また、引用発明の「前面側の基板上に表示電極とその表面を覆う誘電体層とを形成するとともに、前記誘電体層の上に保護膜を形成」したものは、本願補正発明の「前面板」に相当することは明らかである。
　よって、引用発明の「前面側の基板上に表示電極とその表面を覆う誘電体層とを形成するとともに、前記誘電体層の上に保護膜を形成し、前面側の基板と放電空間を挟んで対向配置される背面側の基板とを備えたプラズマディスプレイ装置のパネル本体の製造方法であって」は、本願補正発明の「基板の表示電極を覆う誘電体層を形成するとともに前記誘電体層を保護する誘電体保護膜を形成した前面板と、前記前面板との間に放電空間を形成する背面板とを備えたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって」に相当する。
　
（イ）引用発明の「ＭｇＯのターゲット２１」は、本願補正発明の「蒸発源」に相当し、以下同様に、「電子ビーム」は「エネルギビーム」に、「蒸発粒子」は「蒸発粒子」に、それぞれ相当する。また、本願補正発明の「前記前面板に蒸発粒子を入射させて」は、前面板は基板に表示電極を覆う誘電体層及び誘電体保護膜を形成したものであることを考慮すれば、実質的には、「（誘電体層を形成した）基板に蒸発粒子を入射させて」を意味することは明らかであるから、引用発明の「前記前面側の基板であるガラス基板１２に蒸発粒子を入射させて」は、本願補正発明の「前記前面板に蒸発粒子を入射させて」に相当するといえる。
　よって、引用発明の「ＭｇＯのターゲット２１に対して、電子ビームを照射してＭｇＯを加熱し蒸発させ、前記前面側の基板であるガラス基板１２に蒸発粒子を入射させて前記誘電体層の上に前記保護膜であるＭｇＯ膜を形成する際に」は、本願補正発明の「蒸発源にエネルギビームを照射して蒸発させ、前記前面板に蒸発粒子を入射させて前記誘電体層の上に前記誘電体保護膜を作製する際に」に相当するといえる。
　
（ウ）引用発明の「入射角制御板２２ａ、２２ｂ」は、本願補正発明の「蒸着規制板」に相当する。また、引用発明の「ターゲット２１に立てた垂線」は、記載事項８で引用されている図６の記載のとおり、ターゲット２１からガラス基板１２へ入射する粒子の角度の基準となる線として立てられるものであり、粒子は電子ビームの照射面から蒸発することを考慮すれば、本願補正発明の「蒸発源のエネルギビーム照射面に立てた垂線」に相当することは明らかである。さらに、引用発明の「前記ターゲット２１から前記ガラス基板１２へ入射する粒子の角度」は、本願補正発明の「照射角度」に相当することも明らかである。
　
（エ）本願補正発明の「前記蒸発源のエネルギビーム照射面に立てた垂線から前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度」は、字句どおりであれば、前記垂線から前記前面板の搬送方向の下流側の全照射範囲に対応する角度範囲、即ち、下記のこの出願の図４の記載における０°からα°の角度範囲を指すとも解される。しかしながら、本願補正発明は、前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度が５０°から７０°の範囲にあることを発明特定事項としていることを勘案すれば、前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度は、下記図４におけるα°、すなわち、引用発明でいう「基板通過の終了時の」照射角度を意味すると解すべきである。また、本願補正発明の「前記垂線から前記前面板の搬送方向の上流側への照射角度」についても同様に、下記図４におけるβ°、すなわち、引用発明でいう「基板通過の開始時の」照射角度を意味すると解すべきである。
　そうすると、上記（ウ）の内容も考慮すれば、引用発明の「前記ターゲット２１に立てた垂線から前記ガラス基板１２の基板搬送方向の下流側の基板通過の終了時の前記ターゲット２１から前記ガラス基板１２へ入射する粒子の角度θ１５」及び「前記垂線から前記ガラス基板１２の基板搬送方向の上流側の基板通過の開始時の前記ターゲット２１からガラス基板１２へ入射する粒子の角度θ１４」は、それぞれ、本願補正発明の「前記蒸発源のエネルギビーム照射面に立てた垂線から前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度」及び「前記垂線から前記前面板の搬送方向の上流側への照射角度」に相当するといえる。
　よって、引用発明の「入射角制御板２２ａ、２２ｂによって、前記ターゲット２１に立てた垂線から前記ガラス基板１２の基板搬送方向の下流側の基板通過の終了時の前記ターゲット２１から前記ガラス基板１２へ入射する粒子の角度θ１５を、前記垂線から前記ガラス基板１２の基板搬送方向の上流側の基板通過の開始時の前記ターゲット２１から前記ガラス基板１２へ入射する粒子の角度θ１４よりも大きくし」は、本願補正発明の「蒸着規制板によって、前記蒸発源のエネルギビーム照射面に立てた垂線から前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度を、前記垂線から前記前面板の搬送方向の上流側への照射角度よりも大きくし」に相当する。
　
【図４】
　
　
　よって、本願補正発明と引用発明の両者は、
「　基板の表示電極を覆う誘電体層を形成するとともに前記誘電体層を保護する誘電体保護膜を形成した前面板と、前記前面板との間に放電空間を形成する背面板とを備えたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
蒸発源にエネルギビームを照射して蒸発させ、前記前面板に蒸発粒子を入射させて前記誘電体層の上に前記誘電体保護膜を作製する際に、蒸着規制板によって、前記蒸発源のエネルギビーム照射面に立てた垂線から前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度を、前記垂線から前記前面板の搬送方向の上流側への照射角度よりも大きくしたプラズマディスプレイパネルの製造方法。」
の点で一致し、以下の点で相違する。
　
［相違点１］
　前面板の搬送方向の下流側への照射角度について、本願補正発明は５０°から７０°の範囲にあるのに対して、引用発明は４０度である点。
　
［相違点２］
　前面板の搬送方向の上流側への照射角度について、本願補正発明は１５°から２５°の範囲にあるのに対して、引用発明は８度である点。
　
エ　相違点についての判断
　上記相違点１，２について併せて検討する。
　
　上記相違点１，２に係る本願補正発明の発明特定事項は、前面板の搬送方向の下流側への照射角度及び上流側への照射角度の範囲を数値限定したものであるところ、まず、当該数値限定の技術的意義について検討する。
　
　上記照射角度の数値限定に関連して、この出願の明細書の発明の詳細な説明（以下単に「発明の詳細な説明」という。）には、次の記載がある。
　
「　　　【００２７】
　また、上記の成膜条件で蒸着初期の照射角度βと蒸着終期の照射角度αを変えて搬送される前面ガラス基板３にＭｇＯ薄膜の保護膜１０を膜厚７００ｎｍ形成し、これらのＭｇＯ薄膜について電子放出性能を測定した結果を（表１）に示す。
　　　【００２８】
　【表１】
　
　　　【００２９】
　ここで、ＭｇＯ薄膜の電子放出性能は実際のパネルでの放電統計遅れを測定することにより評価した。また、従来例としてはαとβが共に４５°の場合について示しており、（表１）の結果はこの従来例での値を１として、従来例に対する相対値として示している。
　　　【００３０】
　表に示す結果より、従来例に比べ蒸着初期の照射角度βが小さく、基板搬送方向下流側の照射角度αの大きい方が電子放出性能が大きくなっている。さらに、照射角度αに関しては、照射角度βがいずれの場合でもαが５０°で最大の電子放出性能を得ている。また、照射角度βが２５°あるいは３５°の場合には、照射角度βと同等の照射角度αではむしろ、従来例に比べて電子放出性能が劣っている。このことは、従来例の照射角度αとβがそれぞれ４５°であることを考えると、結晶性を向上させて電子放出性能を高めるためには、照射角度αおよびβの角度を大きくとるか、両者の角度配分を最適にする必要があると考えられる。本実施の形態によれば、照射角度βが１５°から３５°で照射角度αが５０°から７０°であれば全て従来例に比較して高い電子放出性能を得ることができるが、望ましくは照射角度βが１５°から２５°で照射角度αが５０°から７０°の場合であり、さらに望ましくは、照射角度βが１５°で照射角度αが５０°の場合である。
　　　【００３１】
　本発明の製造方法により、αが５０°、βが１５°の条件で作成したＭｇＯ薄膜の誘電体の保護膜１０のＰＤＰを作成し、放電電圧を印加した際の放電応答時間を従来例と比較した。その結果、保護膜１０単体の評価結果と同様に、従来例の放電応答時間が１．９μｓｅｃであったものが本発明の実施例では１．４μｓｅｃに短縮され、高精細表示パネルへの適用が十分に可能であることがわかった。」
　
　上記の記載によれば、上記照射角度の数値限定と電子放出性及びパネルの放電統計遅れとの関係について、次のように整理することができる。
（ア）前面板の下流側及び上流側の照射角度のいずれについても、誘電体保護膜であるＭｇＯ薄膜の電子放出性能が大きくなるように照射角度が設定されるものである（【００２８】、【００３０】）。
（イ）ＭｇＯ薄膜の電子放出性能は、パネルの放電統計遅れを測定することにより評価される（【００２９】、【００３１】）。
（ウ）前面板の上流側の照射角度が１５°，２５°，３５°のいずれの場合についても、前面板の下流側の照射角度が５０°で最大の電子放出性能が得られる。
（エ）前面板の下流側の照射角度が１０°，３０°，５０°，７０°のいずれの場合についても、前面板の上流側の照射角度は１５°，２５°，３５°の順に同等以上の電子放出性能が得られる。
　
　一方、引用発明において、ターゲットからガラス基板へ入射する粒子の角度、すなわち照射角度と放電の統計遅れとの関係について、前面板の搬送方向の下流側への照射角度に相当するθ１５を４０度、前面板の搬送方向の上流側への照射角度θ１４を８度とすることにより、放電の統計遅れを小さくしたものであると規定されている。そして、放電の統計遅れと誘電体保護膜の電子放出性能が密接に関連していることは、この出願の出願時における技術常識であり、このことは、上記（イ）のとおり、この出願の発明の詳細な説明にも記載されている。
　そうすると、上記照射角度の数値限定は、本願補正発明も引用発明も、電子放出性能を考慮してその値が設定されているものであり、その点において両発明は格別異なるとはいえない。
　
　次に、上記［相違点１］、［相違点２］の項に記載のとおり、引用発明の照射角度の具体的な値自体は本願補正発明の照射角度の範囲と相違しているので、以下、この点につき検討する。
　
　まず、前面板の上流側の照射角度について検討する。前面板の上流側の照射角度は、引用発明が８°であるのに対して、本願補正発明は１５°から２５°の範囲であるが、発明の詳細な説明の記載によっても１５°から２５°の範囲が８°よりも電子放出性能が高いことは裏付けられているとはいえず、上記（エ）の内容からはむしろ、８°の方が電子放出性能が高いことが予想される。したがって、本願補正発明で前面板の上流側の照射角度を１５°から２５°の範囲とすることには、引用発明に比して格別の技術的意義は認められない。
　
　次に、前面板の下流側の照射角度について検討する。前面板の下流側の照射角度は引用発明が４０°であるのに対して、本願補正発明は５０°から７０°の範囲にあり、上記（ウ）のとおり５０°で最大の電子放出性能が得られるとされている。
　上記のとおり、本願補正発明と引用発明とはいずれも、電子放出性能を考慮して前面板の下流側の照射角度を設定するものであるところ、両発明における照射角度の値が異なる理由は明らかではないが、次のように推察される。
　即ち、電子放出性能に影響を与える誘電体保護膜の成膜条件は、この出願の発明の詳細な説明の【００２２】に「保護膜１０の結晶構造は、減圧成膜チャンバ１８内の真空度や基板温度あるいは成膜速度などの成膜条件に影響を受けるが、基板の蒸発粒子の入射条件によって大きく影響を受ける」と記載されているように、照射角度以外に真空度や基板温度あるいは成膜速度などの成膜条件が挙げられる。同趣旨の記載は、引用文献の上記記載事項４にもある（【００１７】）。
　そして、電子放出性能が最大となる照射角度は、真空度、基板温度や成膜速度などの他の成膜条件によらずに一定の照射角度であるとは必ずしもいえず、少なくともこのことはこの出願の発明の詳細な説明の記載によっても裏付けられているとはいえない。したがって、本願補正発明と引用発明との照射角度の具体値の相違は、他の成膜条件の相違が一因であると推察できる（なお、他の蒸着条件については、引用文献には上記記載事項５に開示されているが（【００４１】）、本願の発明の詳細な説明には開示されていない）。
　そうすると、種々の成膜条件について電子放出性能を考慮して実験的に照射角度を設定した結果、その値自体が異なるとしても、上記のとおり本願補正発明と引用発明とはいずれも電子放出性能を考慮して照射角度を設定するものである以上、値の相違自体に技術的意義を認めることはできず、この点は当業者が適宜なし得る設計変更に過ぎない。
　また、本願補正発明と引用発明との照射角度の具体値の相違が、上記の推察のように他の成膜条件の相違に基づくものではないとしても、この出願の発明の詳細な説明において、同一の技術的意義に基づく引用発明の照射角度との相違が何に起因するのか何ら開示されていない以上、所定の条件下で電子放出性能を考慮して照射角度を設定することは当業者の通常の創作能力の発揮の域を出るものではない。
　
　以上のとおり、引用発明において、上記相違点１，２に係る本願補正発明の発明特定事項のように、前面板の搬送方向の下流側への照射角度が５０°から７０°の範囲にあり、前面板の搬送方向の上流側への照射角度が１５°から２５°の範囲にあるようにすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
　また、本願補正発明によってもたらされる効果についても、引用文献の記載から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　
オ　まとめ
　よって、本願補正発明は、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
（３）補正の却下の決定についてのまとめ
　以上のとおり、本件補正で請求項１を対象とする補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、本件補正は、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　
第３　本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されることになったから、この出願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成１９年１０月３１日付け手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。
　
「　基板の表示電極を覆う誘電体層を形成するとともに前記誘電体層を保護する誘電体保護膜を形成した前面板と、前記前面板との間に放電空間を形成する背面板とを備えたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
蒸発源にエネルギビームを照射して蒸発させ、前記前面板に蒸発粒子を入射させて前記誘電体層の上に前記誘電体保護膜を作製する際に、前記蒸発源のエネルギビーム照射面に立てた垂線から前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度を、前記垂線から前記前面板の搬送方向の上流側への照射角度よりも大きくし、かつ前記前面板の搬送方向の下流側への照射角度が５０°から７０°の範囲にあり、前記前面板の搬送方向の上流側への照射角度が１５°から２５°の範囲にあることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。」
　
第４　原査定の拒絶の理由の概要
　原査定の拒絶の理由は、この出願の請求項１に係る発明は、その出願前に頒布された上記引用文献である特開２００２−８３５４６号公報に記載された発明に基づいて、その出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、という理由を含むものである。
　
第５　当審の判断
１　引用文献に記載された発明
　引用文献の記載事項及び引用発明については、「第２　２　（２）　イ」の項に記載したとおりである。
　
２　対比及び相違点についての判断
　本願発明は、本願補正発明から、照射角度が所定の範囲にあるのは、「蒸着規制板によって」であるとの発明特定事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、さらに上記の発明特定事項を付加した本願補正発明が、「第２　２　（２）」の項に記載したとおり、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
３　まとめ
　したがって、本願発明は、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
第６　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、他の請求項に係る発明ついて論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。