【手続補正書】
【提出日】平成24年3月26日(2012.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＲＦプラズマシステムにおけるＲＦ生成器であって、
同調可能な周波数範囲内での同調周波数においてＲＦ電力信号を生成するように動作可能な電力源と、
前記ＲＦ電力信号を検出するように適合され、前記ＲＦ電力信号を示すアナログ信号を生成するように動作可能なセンサユニットであって、前記アナログ信号が前記電力源の同調周波数に関連する対象周波数成分を有する、センサユニットと、
前記センサユニットから前記アナログ信号を受信するよう適合されたセンサ信号処理ユニットであって、当該アナログ信号を所定帯域幅内に帯域制限し、当該所定帯域幅は、前記対象周波数成分を通過させ、かつ、干渉周波数成分を拒絶するように調整可能である、センサ信号処理ユニットと
を具備するＲＦ生成器。
【請求項２】
前記アナログ信号はさらに基本周波数成分と複数のスプリアス周波数成分とを有すると規定され、前記センサ信号処理ユニットの所定帯域幅は、前記基本周波数成分を通過させ、前記複数のスプリアス周波数成分を除去するように調整可能である請求項１に記載のＲＦ生成器。
【請求項３】
前記センサ信号処理ユニットの所定帯域幅は、前記電力源の同調周波数を追尾する請求項１に記載のＲＦ生成器。
【請求項４】
前記センサ信号処理ユニットは、
前記センサユニットから前記アナログ信号を受信するように適合され、前記アナログ信号をデジタル電力信号に変換するように動作可能なＡ／Ｄ変換器対と、
前記Ａ／Ｄ変換器対から前記デジタル電力信号を受信するように適合され、ＲＦ生成器により生成されたＲＦ電力信号を追尾する前記デジタル電力信号からデジタル制御信号を導出するように動作可能なデジタル信号プロセッサと
をさらに含む請求項１に記載のＲＦ生成器。
【請求項５】
前記センサユニットは、ＲＦライン電圧を示すアナログ電圧信号とＲＦライン電流を示すアナログ電流信号とを生成し、前記Ａ／Ｄ変換器対は前記アナログ電圧信号をデジタル電圧信号に、前記アナログ電流信号をデジタル電流信号に変換する請求項４に記載のＲＦ生成器。
【請求項６】
前記デジタル信号プロセッサは、前記デジタル電圧信号及びデジタル電流信号の各々に対して、同相信号と直角位相信号とを生成する請求項５に記載のＲＦ生成器。
【請求項７】
前記デジタル信号プロセッサは、
デジタル混合信号を生成するように動作可能なデジタル周波数合成器と、
第１デジタル電力信号を処理する第１処理部と、
第２デジタル電力信号を処理する第２処理部と
をさらに具備し、前記各処理部は、
前記デジタル混合信号と１つの前記デジタル電力信号を受信するように適合され、前記デジタル混合信号と前記１つのデジタル電力信号を結合して複素座標信号を形成するように動作可能なデジタル複素混合器と、
前記複素座標信号を受信するように適合され、前記複素座標信号のデータレートを減少するように動作可能なデシメーションモジュールと、
前記デシメーションモジュールから下方変換された複素座標信号を受信し、前記下方変換された複素座標信号の周波数応答を形成するように適合されたローパスフィルタと
を含む請求項４に記載のＲＦ生成器。
【請求項８】
前記デシメーションモジュールはさらに、カスケードインテグレータコームフィルタとして規定される請求項７に記載のＲＦ生成器。
【請求項９】
前記デジタル周波数合成器のデジタル混合信号は、前記電力源の同調周波数と相関関係を有する請求項７に記載のＲＦ生成器。
【請求項１０】
前記デジタル信号プロセッサは、フィールドプログラマブルゲートアレイにおいて少なくとも部分的には実行される請求項５に記載のＲＦ生成器。
【請求項１１】
プラズマ室と、
前記プラズマ室へＲＦ電力信号を送信するＲＦ生成器であって、
同調可能周波数範囲内での同調周波数におけるＲＦ電力信号を生成するように動作可能な同調可能電力源と、
前記ＲＦ電力信号を検出するように適合され、前記ＲＦ電力信号を示すアナログ信号を生成するように動作可能なセンサユニットであって、前記アナログ信号が基本周波数成分と複数の干渉周波数成分とを有する、センサユニットと、
前記センサユニットから前記アナログ信号を受信するよう適合されたセンサ信号処理ユニットであって、当該アナログ信号を所定帯域幅内に帯域制限し、当該所定帯域幅は、前記基本周波数成分を通過させ、かつ、干渉周波数成分を拒絶するように調整可能である、センサ信号処理ユニットと
を含む、ＲＦ生成器と、
前記ＲＦ生成器と前記プラズマ室との間に介在し、前記ＲＦ生成器と前記プラズマ室との間でインピーダンスの整合をとる整合ネットワークと
を具備するＲＦプラズマシステム。
【請求項１２】
ＲＦプラズマシステムにおけるＲＦ生成器であって、
第１固定周波数におけるＲＦ電力信号を生成するように動作可能な第１電力源と、
第２固定周波数におけるＲＦ電力信号を生成するように動作可能な第２電力源と、
前記第１及び第２電力源の１つにより生成された前記ＲＦ電力信号を検出するように適合され、対応する前記ＲＦ電力信号を示す第１及び第２のアナログ信号を生成するように動作可能なセンサユニットであって、前記第１及び第２のアナログ信号が前記電力源の固定周波数に関連する対象周波数と複数の干渉周波数成分とを有する、センサユニットと、
デジタル領域において実行されるセンサ信号処理ユニットであって、前記センサユニットから前記第１及び第２のアナログ信号を受信し、前記第１及び第２のアナログ信号を、前記対象周波数を通過させ、干渉周波数成分を拒絶する所定帯域幅内に帯域制限するように適合された、センサ信号処理ユニットと
を具備するＲＦ生成器。
【請求項１３】
前記複数のスプリアス周波数成分の少なくともいくつかは、前記第１及び第２電力源からのＲＦ電力信号の相互変調に起因する請求項１２に記載のＲＦ生成器。
【請求項１４】
前記センサ信号処理ユニットは、
前記センサユニットから前記アナログ信号を受信するように適合され、前記アナログ信号をデジタル電力信号に変換するように動作可能なＡ／Ｄ変換器対と、
前記Ａ／Ｄ変換器対から前記デジタル電力信号を受信するように適合され、ＲＦ生成器により生成されたＲＦ電力信号を追尾する前記デジタル電力信号からデジタル制御信号を導出するように動作可能なデジタル信号プロセッサと
をさらに含む請求項１２に記載のＲＦ生成器。
【請求項１５】
前記センサユニットは、ＲＦライン電圧を示すアナログ電圧信号とＲＦライン電流を示すアナログ電流信号とを生成し、前記Ａ／Ｄ変換器対は前記アナログ電圧信号をデジタル電圧信号に、前記アナログ電流信号をデジタル電流信号に変換する請求項１４に記載のＲＦ生成器。
【請求項１６】
前記デジタル信号プロセッサは、前記デジタル電圧信号及びデジタル電流信号の各々に対して、同相信号と直角位相信号とを生成する請求項１５に記載のＲＦ生成器。
【請求項１７】
前記デジタル信号プロセッサは、
デジタル混合信号を生成するように動作可能なデジタル周波数合成器と、
第１デジタル電力信号を処理する第１処理部と、
第２デジタル電力信号を処理する第２処理部と
をさらに具備し、前記各処理部は、
前記デジタル混合信号と１つの前記デジタル電力信号とを受信するように適合され、前記デジタル混合信号と前記１つのデジタル電力信号とを結合して複素座標信号を形成するように動作可能なデジタル複素混合器と、
前記複素座標信号を受信するように適合され、前記複素座標信号のデータレートを減少するように動作可能なデシメーションモジュールと、
前記デシメーションモジュールから下方変換された複素座標信号を受信し、前記下方変換された複素座標信号の周波数応答を形成するように適合されたローパスフィルタと
を含む請求項１４に記載のＲＦ生成器。
【請求項１８】
前記デシメーションモジュールはさらに、カスケードインテグレータコームフィルタとして規定される請求項１７に記載のＲＦ生成器。
【請求項１９】
前記デジタル周波数合成器のデジタル混合信号は、前記電力源の同調周波数と相関関係を有する請求項１７に記載のＲＦ生成器。
【請求項２０】
前記デジタル信号プロセッサは、フィールドプログラマブルゲートアレイにおいて少なくとも部分的には実行される請求項１４に記載のＲＦ生成器。
【請求項２１】
ＲＦプラズマシステムにおけるＲＦ生成器であって、
同調可能な周波数範囲内での同調周波数においてＲＦ電力信号を生成するように動作可能な電力源と、
前記ＲＦ電力信号を検出するように適合され、前記ＲＦ電力信号を示すアナログ信号を生成するように動作可能なセンサユニットであって、前記アナログ信号が前記電力源の同調周波数に関連する対象周波数成分を有するセンサユニットと、
前記センサユニットから前記アナログ信号を受信し、対象周波数成分を通過させ、干渉周波数成分を拒絶するように調整可能な所定帯域幅内に前記アナログ信号の帯域制限を行うように適合されたセンサ信号処理ユニットと
を具備するＲＦ生成器。
【請求項２２】
前記アナログ信号はさらに基本周波数成分と複数のスプリアス周波数成分とを有すると規定され、前記センサ信号処理ユニットの所定帯域幅は、前記基本周波数成分を通過させ、前記複数のスプリアス周波数成分を除去するように調整可能である請求項２１に記載のＲＦ生成器。
【請求項２３】
前記センサ信号処理ユニットの所定帯域幅は、前記電力源の同調周波数を追尾する請求項２１に記載のＲＦ生成器。
【請求項２４】
前記センサ信号処理ユニットは、
前記センサユニットから前記アナログ信号を受信するように適合され、前記アナログ信号をデジタル電力信号に変換するように動作可能なＡ／Ｄ変換器対と、
前記Ａ／Ｄ変換器対から前記デジタル電力信号を受信するように適合され、ＲＦ生成器により生成されたＲＦ電力信号を追尾する前記デジタル電力信号からデジタル制御信号を導出するように動作可能なデジタル信号プロセッサと
をさらに含む請求項２１に記載のＲＦ生成器。
【請求項２５】
前記センサユニットは、ＲＦライン電圧を示すアナログ電圧信号とＲＦライン電流を示すアナログ電流信号とを生成し、前記Ａ／Ｄ変換器対は前記アナログ電圧信号をデジタル電圧信号に、前記アナログ電流信号をデジタル電流信号に変換する請求項２４に記載のＲＦ生成器。
【請求項２６】
前記デジタル信号プロセッサは、前記デジタル電圧信号及びデジタル電流信号の各々に対して、同相信号と直角位相信号とを生成する請求項２５に記載のＲＦ生成器。
【請求項２７】
前記デジタル信号プロセッサは、
デジタル混合信号を生成するように動作可能なデジタル周波数合成器と、
第１デジタル電力信号を処理する第１処理部と、
第２デジタル電力信号を処理する第２処理部と
をさらに具備し、前記各処理部は、
前記デジタル混合信号と１つの前記デジタル電力信号を受信するように適合され、前記デジタル混合信号と前記１つのデジタル電力信号を結合して複素座標信号を形成するように動作可能なデジタル複素混合器と、
前記複素座標信号を受信するように適合され、前記複素座標信号のデータレートを減少するように動作可能なデシメーションモジュールと、
前記デシメーションモジュールから下方変換された複素座標信号を受信し、前記下方変換された複素座標信号の周波数応答を形成するように適合されたローパスフィルタと
を含む請求項２４に記載のＲＦ生成器。
【請求項２８】
前記デシメーションモジュールはさらに、カスケードインテグレータコームフィルタとして規定される請求項２７に記載のＲＦ生成器。
【請求項２９】
前記デジタル周波数合成器のデジタル混合信号は、前記電力源の同調周波数と相関関係を有する請求項２７に記載のＲＦ生成器。
【請求項３０】
前記デジタル信号プロセッサは、フィールドプログラマブルゲートアレイにおいて少なくとも部分的には実行される請求項２５に記載のＲＦ生成器。
【請求項３１】
プラズマ室と、
前記プラズマ室へＲＦ電力信号を送信するＲＦ生成器と、
前記ＲＦ生成器と前記プラズマ室との間に介在し、前記ＲＦ生成器と前記プラズマ室との間でインピーダンスの整合をとる整合ネットワークと
を具備するＲＦプラズマシステムであって、前記ＲＦ生成器は、
同調可能周波数範囲内での同調周波数におけるＲＦ電力信号を生成するように動作可能な同調可能電力源と、
前記ＲＦ電力信号を検出するように適合され、前記ＲＦ電力信号を示すアナログ信号を生成するように動作可能なセンサユニットであって、前記アナログ信号が基本周波数成分と複数の干渉周波数成分とを有するセンサユニットと、
前記センサユニットから前記アナログ信号を受信し、基本周波数成分を通過させ、干渉周波数成分を拒絶するように調整可能な所定帯域幅内に前記アナログ信号の帯域制限を行うように適合されたセンサ信号処理ユニットと
をさらに具備するＲＦプラズマシステム。
【請求項３２】
ＲＦプラズマシステムにおけるＲＦ生成器であって、
第１固定周波数におけるＲＦ電力信号を生成するように動作可能な第１電力源と、
第２固定周波数におけるＲＦ電力信号を生成するように動作可能な第２電力源と、
前記第１及び第２電力源の１つにより生成された前記ＲＦ電力信号を検出するように適合され、前記ＲＦ電力信号を示すアナログ信号を生成するように動作可能なセンサユニットであって、前記アナログ信号が前記電力源の固定周波数に関連する対象周波数と複数の干渉周波数成分とを有するセンサユニットと、
デジタル領域において実行され、前記センサユニットから前記アナログ信号を受信し、前記アナログ信号を、前記対象周波数を通過させ、干渉周波数成分を拒絶する所定帯域幅内に帯域制限するように適合されたセンサ信号処理ユニットと
を具備するＲＦ生成器。
【請求項３３】
前記複数のスプリアス周波数成分の少なくともいくつかは、前記第１及び第２電力源からのＲＦ電力信号の相互変調に起因する請求項３２に記載のＲＦ生成器。
【請求項３４】
前記センサ信号処理ユニットは、
前記センサユニットから前記アナログ信号を受信するように適合され、前記アナログ信号をデジタル電力信号に変換するように動作可能なＡ／Ｄ変換器対と、
前記Ａ／Ｄ変換器対から前記デジタル電力信号を受信するように適合され、ＲＦ生成器により生成されたＲＦ電力信号を追尾する前記デジタル電力信号からデジタル制御信号を導出するように動作可能なデジタル信号プロセッサと
をさらに含む請求項３２に記載のＲＦ生成器。
【請求項３５】
前記センサユニットは、ＲＦライン電圧を示すアナログ電圧信号とＲＦライン電流を示すアナログ電流信号とを生成し、前記Ａ／Ｄ変換器対は前記アナログ電圧信号をデジタル電圧信号に、前記アナログ電流信号をデジタル電流信号に変換する請求項３４に記載のＲＦ生成器。
【請求項３６】
前記デジタル信号プロセッサは、前記デジタル電圧信号及びデジタル電流信号の各々に対して、同相信号と直角位相信号とを生成する請求項３５に記載のＲＦ生成器。
【請求項３７】
前記デジタル信号プロセッサは、
デジタル混合信号を生成するように動作可能なデジタル周波数合成器と、
第１デジタル電力信号を処理する第１処理部と、
第２デジタル電力信号を処理する第２処理部と
をさらに具備し、前記各処理部は、
前記デジタル混合信号と１つの前記デジタル電力信号とを受信するように適合され、前記デジタル混合信号と前記１つのデジタル電力信号とを結合して複素座標信号を形成するように動作可能なデジタル複素混合器と、
前記複素座標信号を受信するように適合され、前記複素座標信号のデータレートを減少するように動作可能なデシメーションモジュールと、
前記デシメーションモジュールから下方変換された複素座標信号を受信し、前記下方変換された複素座標信号の周波数応答を形成するように適合されたローパスフィルタと
を含む請求項３４に記載のＲＦ生成器。
【請求項３８】
前記デシメーションモジュールはさらに、カスケードインテグレータコームフィルタとして規定される請求項３７に記載のＲＦ生成器。
【請求項３９】
前記デジタル周波数合成器のデジタル混合信号は、前記電力源の同調周波数と相関関係を有する請求項３７に記載のＲＦ生成器。
【請求項４０】
前記デジタル信号プロセッサは、フィールドプログラマブルゲートアレイにおいて少なくとも部分的には実行される請求項３４に記載のＲＦ生成器。
【請求項４１】
ＲＦ生成器により生成された無線周波数（ＲＦ）電力信号を追尾するデジタル制御信号の生成方法であって、
前記ＲＦ生成器により生成されたＲＦ電力信号を示すアナログ信号を生成する工程であって、前記アナログ信号が前記ＲＦ生成器の同調周波数に関連する対象周波数を有する工程と、
前記アナログ信号をデジタル電力信号に変換する工程と、
周波数設定点と一致するデジタル混合信号を生成する工程と、
前記デジタル混合信号と前記デジタル電力信号とを結合してデジタル複素座標信号を形成する工程と、
前記デジタル複素座標信号に関連するデータレートを減少する工程と、
前記デジタル複素座標信号の周波数応答を形成することにより、ＲＦ生成器により生成されたＲＦ電力信号を追尾するデジタル制御信号を導出する工程と
を含むデジタル制御信号の生成方法。
【請求項４２】
前記デジタル混合信号を生成する工程は、前記周波数設定点と前記ＲＦ生成器の同調周波数とが相関関係を有するようにする工程をさらに含む請求項４１に記載の方法。