【手続補正書】
【提出日】平成23年12月7日(2011.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に凹部と凸部が規則的に形成された凹凸パターンを有する基板の上記上面に溶液をインクジェット方式で吐出して塗布する溶液の塗布装置であって、
所定方向に沿って配置された複数のノズルを有し、この複数のノズルから一定のタイミングでドット状の上記溶液を上記基板に塗布する塗布ヘッドと、
上記基板と上記塗布ヘッドとを相対的に移動させる駆動手段と、
この駆動手段による上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動の際、上記各ノズルから吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の各列が、上記基板上面の隣接する２つ以上の上記凸部に跨るように、上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向を上記相対的移動方向に対して所定角度ずらすように制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。
【請求項２】
上記駆動手段は、上記基板を保持するとともに、この基板を水平方向及びこの水平方向に対して直交する軸線を中心とする回転方向に駆動可能な載置テーブルを有し、
上記制御手段は、上記駆動手段によって上記基板を回転させることで、上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向を上記相対的移動方向に対して所定角度ずらすことを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置。
【請求項３】
上記駆動手段による上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動を複数回行なうとともに、それぞれの相対的移動の際に、上記相対的移動方向と上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向との角度のずれを変えることを特徴とする請求項１または請求項２記載の溶液の塗布装置。
【請求項４】
上記駆動手段により、上記基板は上記複数のノズルの配置方向に対して直交する方向に相対的移動させられることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の溶液の塗布装置。
【請求項５】
上記凹凸パターンの凹部と凸部とは、上記基板の長手方向と幅方向に対して傾斜して形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の溶液の塗布装置。
【請求項６】
上面に凹部と凸部が規則的に形成された凹凸パターンを有する基板の上記上面に溶液を塗布ヘッドの複数のノズルからインクジェット方式で吐出させて塗布する溶液の塗布方法であって、
上記基板と上記塗布ヘッドとを相対的に移動させる工程と、
上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動の際、上記各ノズルから一定のタイミングで吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の各列が、上記基板上面の隣接する２つ以上の上記凸部に跨るように、上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向を上記相対的移動方向に対して所定角度ずらす工程と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布方法。
【請求項７】
上記基板を直線方向に移動させるとともに、上記塗布ヘッドを基板の移動方向と交差する方向に移動させることで、上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動方向を上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向に対して所定角度ずらすことを特徴とする請求項６記載の溶液の塗布方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、基板に溶液をインクジェット方式で吐出して塗布する溶液の塗布装置及び塗布方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
この発明は、上面に凹部と凸部が規則的に形成された凹凸パターンを有する基板の上記上面に溶液をインクジェット方式で吐出して塗布する溶液の塗布装置であって、
所定方向に沿って配置された複数のノズルを有し、この複数のノズルから一定のタイミングでドット状の上記溶液を上記基板に塗布する塗布ヘッドと、
上記基板と上記塗布ヘッドとを相対的に移動させる駆動手段と、
この駆動手段による上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動の際、上記各ノズルから吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の各列が、上記基板上面の隣接する２つ以上の上記凸部に跨るように、上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向を上記相対的移動方向に対して所定角度ずらすように制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この発明は、上面に凹部と凸部が規則的に形成された凹凸パターンを有する基板の上記上面に溶液を塗布ヘッドの複数のノズルからインクジェット方式で吐出させて塗布する溶液の塗布方法であって、
上記基板と上記塗布ヘッドとを相対的に移動させる工程と、
上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動の際、上記各ノズルから一定のタイミングで吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の各列が、上記基板上面の隣接する２つ以上の上記凸部に跨るように、上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向を上記相対的移動方向に対して所定角度ずらす工程と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布方法にある。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
上記ヘッドテーブル１９の一側面にはインクジェット方式によって機能性薄膜である、たとえば配向膜を形成する溶液をドット状に吐出する複数の塗布ヘッド２２がＹ方向に沿って配置されている。この実施の形態では、たとえば７つの塗布ヘッド２２が千鳥状に二列で配置されている（図７参照）。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
また、凹凸パターン１５の凹部１５ａと凸部１５ｂとが基板Ｗの長手方向と幅方向に対して規則的に形成された例において、１つのノズル３４から吐出されて基板Ｗ上に塗布されるドット状の溶液の列の方向と、凸部１５ｂとの間の角度θを４５度までの範囲に設定する例を説明したが、角度θは４５度までの範囲に限定されず、それ以上であっても良い。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
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