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【手続補正書】
【提出日】平成23年11月30日(2011.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバと、
前記チャンバの内部を排気する排気手段と、
前記チャンバ内にガスを供給するガス導入手段と、
基板ホルダと、
高周波電力を印加することにより前記ガスをプラズマ化し、絶縁物ターゲットをスパッタするためのターゲット載置台を備えるスパッタリングカソードと、
前記基板ホルダ内部に設けられている第１の電極と、
前記第１の電極と電気的に接続されており、基板電位を調整する可変インピーダンスと、
前記プラズマが発生する空間に露出されている第２の電極と、
該第２の電極からの電流の直流成分によって基板電位を導出する基板電位導出手段と、
前記導出された基板電位に従って、前記可変インピーダンスを制御する制御回路と、
を備える高周波スパッタリング装置。
【請求項２】
前記基板ホルダを回転させることが可能な回転駆動手段をさらに備え、
前記基板ホルダには基板載置台が設けられており、
前記スパッタリングカソードは、前記基板載置台の表面と前記ターゲット載置台の表面とが非平行となるように配置される
ことを特徴とする請求項１に記載の高周波スパッタリング装置。
【請求項３】
前記第２の電極は電気的に前記第１の電極に接続され、該第２の電極からの電流は該第１の電極からの電流に合体しており、
前記基板電位導出手段は、該第１の電極からの電流の直流成分によって基板電位を導出している
ことを特徴とする請求項１に記載の高周波スパッタリング装置。
【請求項４】
前記基板ホルダが開口部を有し、前記第１の電極は該開口部の部分で前記プラズマが発生する空間に露出され、前記第１の電極の該開口部の部分が前記第２の電極を形成している
ことを特徴とする請求項３に記載の高周波スパッタリング装置。
【請求項５】
前記制御回路は、予めプログラムされている基板電位値を有し、該導出された基板電位を該プログラムされている基板電位値に調整するよう該可変インピーダンスを制御している
ことを特徴とする請求項１に記載の高周波スパッタリング装置。
【請求項６】
前記第１の電極へ電力を供給する高周波電源と、
前記高周波電源に接続されており、前記高周波電源からの入射波と前記電極からの反射波を検出する検出器と、
検出された入射波及び反射波に基づいて、反射波が検出されないように前記可変インピーダンスを制御する制御回路と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の高周波スパッタリング装置。
【請求項７】
チャンバと、前記チャンバの内部を排気する排気手段と、前記チャンバ内にガスを供給するガス導入手段と、基板ホルダと、高周波電力を印加することにより前記ガスをプラズマ化して絶縁物ターゲットをスパッタするためのターゲット載置台を備えるスパッタリングカソードと、前記基板ホルダ内部に設けられている第１の電極と、前記第１の電極と電気的に接続されており、基板電位を調整する可変インピーダンスと、を備える高周波スパッタリング装置を用いて薄膜を形成する高周波スパッタリング方法であって、
前記プラズマが発生する空間に露出するように第２の電極を設置するステップと、
該第２の電極からの電流の直流成分から基板電位を導出するステップと、
該導出された基板電位に従って前記可変インピーダンスを制御して基板電位を調整するステップと、
を備えることを特徴とする高周波スパッタリング方法。
【請求項８】
前記高周波スパッタリング装置には前記基板ホルダを回転させることが可能な回転駆動手段がさらに備えられ、
前記基板ホルダには基板載置台が設けられ、
前記スパッタリングカソードは、前記基板載置台の表面と前記ターゲット載置台の表面とが非平行となるように配置される
ことを特徴とする請求項７に記載の高周波スパッタリング方法。
【請求項９】
前記第２の電極は電気的に前記第１の電極に接続され、該第２の電極からの電流は該第１の電極からの電流に合体しており、該第１の電極からの電流の直流成分によって基板電位を導出している
ことを特徴とする請求項７に記載の高周波スパッタリング方法。
【請求項１０】
前記導出された基板電位を予めプログラムされた基板電位値に調整するよう、該可変インピーダンスを制御している
ことを特徴とする請求項７に記載の高周波スパッタリング方法。
【手続補正書】
【提出日】平成24年7月27日(2012.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）  透明ポリカーボネート、７０〜９９．４９９重量％；
（ｂ）  滑剤としてのペルフルオロアルキルスルホン酸の第四級アンモニウム塩、０．００１〜４重量％；および
（ｃ）  硫酸バリウム、０．５〜２９．９９９重量％
を含有し、（ａ）と（ｂ）と（ｃ）との合計が１００重量％であるプラスチック組成物を含有するフィルム。
【請求項２】
前記フィルムが少なくとも一つの同時押出層を備える、請求項１に記載のフィルム。
【請求項３】
請求項１に記載のフィルムを備える成形品。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月15日(2012.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
硬化性組成物の構成成分としての、エポキシド基に対して反応性である鎖末端当り１個超のアルコキシシリル官能基を有するプレポリマー。
【請求項２】
エポキシド基に対して反応性である鎖末端当り１個超のトリアルコキシシリル官能基を含むことを特徴とする、請求項１に記載のプレポリマー。
【請求項３】
コーティング組成物、結合剤および／または接着結合組成物として使用できる、請求項１または２に記載のプレポリマー。
【請求項４】
前記接着結合組成物が、発泡性接着結合組成物である、請求項３に記載のプレポリマー。
【請求項５】
式（１）
【化２】
2010077432.tif 000001
［式中、
ａは、１〜３の整数であり、
ｂは、０〜２の整数であり、ａとｂの合計は３であり、
ｃは、０〜２２の整数であり、
ｄは、２〜１０００の整数であり、
ｅは、０〜１００００の整数であり、
ｆは、０〜１０００の整数であり、
ｇは、０〜１０００の整数であり、
ｈ、ｉおよびｊは、０〜５００の整数であり、ただし、指数ｄ〜ｊを有するフラグメントは、相互に自由に順序可変であり、すなわち、ポリエーテル鎖内で配列において互換性があり、
ｎは、２と８の間の整数であり、
Ｒは、炭素原子１〜２０個を有する直鎖または分枝アルキル基、あるいは炭素原子１〜２０個を有するハロアルキル基から選択される同一でも異なっていてもよい１つまたは複数の基を表し、
Ｒ１は、飽和もしくは不飽和かつ非分枝もしくは分枝の基、またはアルコキシ、アリールアルコキシもしくはアルキルアリールアルコキシ基型のポリエーテル基を表し、その炭素鎖には、酸素原子の割込みがあってもよく、あるいはＲ１は、フェノールＯＨ基が直接に結合している単一もしくは複数縮合の芳香族基であり、
Ｒ２またはＲ３は、互いに独立して、Ｈ、または飽和もしくは不飽和で一価もしくは多価の炭化水素基であり、当該炭化水素基はフラグメントＹを介して脂環式的に架橋することが可能であり、Ｙはなくてもよく、あるいはメチレン単位１個または２個を有するメチレン架橋であってよく、前記炭化水素基Ｒ２およびＲ３は、さらに置換されていてもよく、ハロゲン、ヒドロキシル基またはグリシジルオキシプロピル基の官能基を有してもよく、
Ｒ５またはＲ６は、互いに独立して、Ｈまたは一価の炭化水素基であり、
Ｒ４は、炭素原子１〜２４個の直鎖もしくは分枝のアルキル基、または適切な場合にはアルキル基を有していてもよい芳香族もしくは脂環式の基であり、
Ｒ７およびＲ８は、互いに独立して、水素、または、開環重合により共重合することによってアルコキシシラン基を含む架橋性ポリエーテルエステルを与えるアルキル、アルコキシ、アリールもしくはアラルキル基であり、
Ｒ９、Ｒ１０、Ｒ１１およびＲ１２は、互いに独立して、水素、アルキル、アルケニル、アルコキシ、アリールまたはアラルキル基であり、炭化水素基は、フラグメントＺを介して脂環式的にまたは芳香族的に架橋することが可能であり、Ｚは二価のアルキレン基またはアルケニレン基である］
で表されるアルコキシシランポリエーテルである、請求項１に記載のプレポリマー。
【請求項６】
Ｙがない場合、Ｒ２またはＲ３は、互いに独立して、各々、炭素原子１〜２０個を有する直鎖もしくは分枝の基である、請求項５に記載のプレポリマー。
【請求項７】
Ｒ２−Ｒ３は、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−基であり、したがって、Ｙは、−（ＣＨ２ＣＨ２−）−基である、請求項５に記載のプレポリマー。
【請求項８】
式（１）で表されるアルコキシシランポリエーテルが、トリアルコキシシランポリエー
テルであることを特徴とする、請求項４に記載のプレポリマー。
【請求項９】
請求項１から８の少なくとも一項に記載の少なくとも１つのプレポリマーを含む組成物。
【請求項１０】
発泡性であり、１つまたは複数の発泡剤を含むことを特徴とする、請求項９に記載の組成物。
【請求項１１】
前記発泡剤が、化学的に形成される、請求項１０に記載の組成物。
【請求項１２】
前記発泡性組成物が、シラン、フィラー、溶媒、発泡安定剤、および発泡体の硬化を促進するための触媒から選択されるさらなる成分を含む、請求項１０または１１に記載の組成物。
【請求項１３】
表面または３次元複合材料を接着結合する方法であって、請求項９から１２のいずれか一項に記載の任意選択により発泡性である組成物を被接着面間で発泡することによって発砲体を形成し、あるいは組成物から調製できる発砲体を発泡後に被接着面の一方にまたは被接着面間に適用し、次いでその発砲体を被接着面間で圧縮する、方法。
【請求項１４】
表面をコーティングまたは改質する方法であって、請求項５に記載の式（１）に従うプレポリマーを含む組成物を処理する表面に適用し、硬化させる方法。
【請求項１５】
請求項５に記載の式（１）の少なくとも１つのプレポリマーを含む組成物の自由硬化または触媒誘導硬化によって得られる、ポリマー材料。
【請求項１６】
発泡様構造を有する、請求項１５に記載のポリマー材料。
【請求項１７】
請求項１０から１２のいずれか一項に記載の発泡性組成物を使用して製造される複合材料。
【請求項１８】
請求項９から１２のいずれか一項に記載の組成物を含む接着剤、シーラント、結合剤および／またはジョイントシーラント。
【請求項１９】
異なる基材を接着的に結合および／またはシールおよび／または接合できることを特徴とする、請求項１８に記載の接着剤、シーラント、結合剤および／またはジョイントシーラント。
【請求項２０】
発泡性接着剤を使用することを特徴とする、請求項１８または１９に記載の接着剤。
【手続補正書】
【提出日】平成24年11月12日(2012.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【化１】
2010077431.tif 000001
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【化２】
2010077431.tif 000002
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
【化５】
2010077431.tif 000003
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【化６】
2010077431.tif 000004
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
【化７】
2010077431.tif 000005
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
着色剤とインクキャリアとを含有する相変化インクであって、
前記インクキャリアが、下記に示す式のトリエステルを含む、相変化インク。
【化１】
2010077431.tif 000006
（上記式中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ、他とは独立して、（ａ）直鎖および分枝のアルキル基などのアルキル基（ここで、該アルキル基、環式および非環式、置換および非置換のアルキル基中にはヘテロ原子が存在してもしなくてもよい）、（ｂ）置換および非置換のアリール基などのアリール基（ここで、該アリール基中にはヘテロ原子が存在してもしなくてもよい）、（ｃ）置換および非置換のアリールアルキル基などのアリールアルキル基（ここで、該アリールアルキル基のアルキル部分は、直鎖または分枝、環式または非環式、置換または非置換であることができ、かつ該アリールアルキル基のアリール部分またはアルキル部分のどちらかにはヘテロ原子が存在してもしなくてもよい）、あるいは（ｄ）置換および非置換のアルキルアリール基などのアルキルアリール基（ここで、該アルキルアリール基のアルキル部分は、直鎖または分枝、環式または非環式、置換または非置換であることができ、かつ該アルキルアリール基のアリール部分またはアルキル部分のどちらかにはヘテロ原子が存在してもしなくてもよい）であり、ｎは約１〜約５０の整数である。）
【請求項２】
請求項１に記載の相変化インクであって、トリエステルが、下記に示す式を有する、相変化インク。
【化２】
2010077431.tif 000007
（上記式中、ｍは、約１５〜約５０の平均値を有する整数であり、ｎは、約５〜約１７の平均値を有する整数である。）
【請求項３】
請求項１に記載の相変化インクであって、トリエステルが、再生可能な資源から誘導される少なくとも１種の成分を含む、相変化インク。
【請求項４】
請求項１に記載の相変化インクであって、トリエステルが、植物油のエステル交換によるバイオディーゼル製造の副産物であるプロポキシル化グリセロール出発原料を用いて調製される、相変化インク。
【手続補正書】
【提出日】平成24年2月1日(2012.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の（ａ）と（ｂ）を特徴とする、別の容器（１０）の他の弁（３２）に連結可能な弁（３１）を有する、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を別の容器（１０）から移して充填するための容器（２０）：
（ａ）上記の弁（３１、３２）はバタフライ弁タイプの二重弁装置を形成し、各弁（３１、３２）は容器（２０、２１）に取付られた時に互いに独立して密封して閉じられ、
（ｂ）カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）が別の容器（１０）から移される時に、上記の弁（３１）の外側表面と上記の弁（３１）が連結された上記の他の弁（３２）の外側表面とは互いに密着当接し、直径方向（Ｂ−Ｂ）に回動可能なシャッター（３４、３５）を形成し、上記の２つの外側表面がカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）で汚染されない。
【請求項２】
上記の弁（３１）が開口制御装置を有する弁であり、この開口制御装置は上記２つの弁が互いに連結されていない時にはロックされる請求項１に記載の容器。
【請求項３】
上記の２つの容器（２０、２１）がカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の輸送コンテナである請求項１または２に記載の容器。
【請求項４】
一方の容器が貯蔵ホッパー（１０３または１０６）であり、他方の容器がコンテナー（２００）である請求項１または２に記載の容器。
【手続補正書】
【提出日】平成24年8月10日(2012.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
幾つかの指部シェル（２）を備える外側シェルを備える防水又は通気性防水手袋（１）であって、
少なくとも１つの指部シェルは、第１の舌部（２１）と、第２の舌部（２２）と、第３の舌部（２３）とを備え、
前記第１の舌部は、前記指部シェル（２）の腹部を形成し、
前記第２の舌部及び前記第３の舌部は、前記指部シェルの背面部及び側部を形成し、
前記舌部（２１〜２３）は、これらの隣接する縁によって共に繋ぎ合わされ、
前記手袋（１）は、前記隣接する縁に重なると共にこれらの縁に固定される防水ストライプ（４１、４２）をさらに備える、防水又は通気性防水手袋。
【請求項２】
前記第１の舌部（２１）及び前記第２の舌部（２２）は、前記指部シェルの第１の側部に位置付けられたこれらの隣接する縁によって共に繋ぎ合わされ、
前記第１の舌部（２１）及び前記第３の舌部（２３）は、前記指部シェルの第２の側部に位置付けられたこれらの隣接する縁によって共に繋ぎ合わされ、
前記第２の舌部（２２）及び前記第３の舌部（２３）は、前記指部シェル（２）の前記背面部に位置付けられたこれらの隣接する縁によって共に繋ぎ合わされる、請求項１に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項３】
前記３つの舌部は共通材料から一体形成される、請求項１又は２に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項４】
前記第１の舌部と、前記第２の舌部と、前記第３の舌部とは、共に繋ぎ合わされる独立した要素である、請求項１又は２に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項５】
前記第１の舌部（２１）は皮革から作製され、前記第２の舌部（２２）及び前記第３の舌部（２３）は織物から作製される、請求項４に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項６】
前記３つの舌部は防水材料から作製される、請求項１〜５のいずれか一項に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項７】
ユーザの手を収容する内部容積の境界を画する詰め物をさらに備え、
前記詰め物は、前記外側シェルに固定されると共に、前記外側シェルの内側に取り囲まれる、請求項１〜６のいずれか一項に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項８】
前記防水ストライプ（４１、４２）は、接着剤材料によって覆われている織物から作製される、請求項１〜７のいずれか一項に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項９】
前記防水ストライプ（４１、４２）は、熱溶融性接着剤材料から作製される、請求項１〜６のいずれか一項に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項１０】
前記第１の舌部（２１）と一体形成されると共に前記指部シェルの先端の背面部を形成する接合部（２５）をさらに備え、
前記接合部（２５）は、前記第１の舌部の上に折り重ねられ、
前記第１の舌部及び前記接合部は、これらの隣接する縁によって共に繋ぎ合わされる、請求項１〜９のいずれか一項に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項１１】
前記隣接する舌部の縁は共に縫い合わされ、縫い目は前記防水ストライプによって覆われている、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項１２】
前記接合部（２５）の折り線は前記指部シェル（２）の末端に位置付けられ、これによって前記末端は一切の縫い目が除かれている、請求項１０又は１１に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項１３】
前記舌部の縁は、前記指部シェルの縦方向に延在する、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項１４】
２つの隣接する指部シェルが、指部の叉の付け根においてそれぞれのＣ字形状の縁によって共に繋ぎ合わされ、
前記手袋は、前記隣接する縁に重なると共にこれらの縁に固定される封止構成要素をさらに備え、
前記封止構成要素は、熱溶融性接着剤材料から作製される、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項１５】
前記Ｃ字形状の縁は、前記指部の叉の付け根の下の掌部から、前記指部の叉の付け根の上の前記外側シェルの前記背面部へ延在する、請求項１４に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項１６】
前記Ｃ字形状の縁は、手に対して縦方向であり且つ前記手の面に直交する平面に位置付けられる、請求項１４又は１５に記載の防水又は通気性防水手袋。
【請求項１７】
幾つかの指部シェルを備える防水又は通気性防水手袋を製造する方法であって、
第１の舌部と、第２の舌部と、第３の舌部とを備えるパターンに基づき、これら３つの舌部の隣接する縁によって前記３つの舌部を共に繋ぎ合わせることによって指部シェルを形成するステップであって、その結果、前記第１の舌部は前記指部シェルの腹部を形成し、したがって前記第２の舌部及び前記第３の舌部は前記指部シェルの背面部及び側部を形成するステップと、
前記隣接する縁に重なる防水ストライプを固定するステップと、
前記指部シェルを、前記手袋の掌部及び甲部に固定するステップとを備える、方法。
【手続補正書】
【提出日】平成24年3月19日(2012.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コア−シェル構造のナノ粒子を含む複合材料の製造方法であって、
コア材料及びシェル材料を含む前駆体を提供すること、
この前駆体をエアロゾルガスに懸濁し、エアロゾルを形成すること、
ホットゾーンを有するプラズマを提供すること、
このエアロゾルをプラズマのホットゾーンに通すこと、
エアロゾル中のコア材料の少なくとも一部及びシェル材料の少なくとも一部を気化させること、
気化したコア材料及びシェル材料をプラズマのホットゾーンから取り出すこと、及び
気化したコア材料及びシェル材料を、１種の原子からなるコアを有するコア−シェル構造のナノ粒子に凝縮させること
を含む方法。
【請求項２】
前記前駆体が、粉末、液体、液体の蒸気、及びこれらの組み合わせからなる群より選ばれる、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記コア材料がリチウム合金化材料である、請求項１又は２記載の方法。
【請求項４】
前記コア材料が、錫、珪素、アルミニウム、ゲルマニウム及びこれらの組み合わせからなる群より選ばれる、請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
前記コア材料が事前にリチウム化された材料である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記シェル材料が、炭素、窒素及び酸素からなる群より選ばれた元素を含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記エアロゾルガスが不活性ガスである、請求項１〜６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記不活性ガスがアルゴンである、請求項７記載の方法。
【請求項９】
前記エアロゾルが、プラズマのホットゾーン内を末端とするチューブを通過する、請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
プラズマのホットゾーンを通過するプラズマガスを供給することをさらに含む、請求項１〜９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
前記コア−シェル構造のナノ粒子が５００ｎｍ未満の平均外径を有する、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年11月28日(2011.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両インナー側の車両固定部材に接続される外輪と、車輪に接続される内輪と、前記内輪と前記外輪との間に介在される転動体と、前記内輪に固定され、磁性体からなるパルサーリング部と、前記外輪側に固定されるとともに前記パルサーリング部に対し非接触で対向し、磁石と該パルサーリング部の回転に伴う磁気変化を検出する検出部とを有したＡＢＳセンサーと、前記外輪に固定され、前記ＡＢＳセンサーが一体に取り付けられる環状のセンサー保持体と、前記内輪と前記外輪との間に形成される転動体配置空隙の軸方向外方端側をシールするシール装置とを備えるセンサー付き転がり軸受装置であって、
前記シール装置は、前記外輪に嵌装される環状のアウターケースと、前記内輪に嵌装される環状のインナーケースとを有し、それらアウターケース及びインナーケースのうちいずれか一方に一体化されたシール部材が他方と協働してシール機能を発揮するものであり、
前記インナーケースは、磁性体をなす環状の板状部材として形成され、前記ＡＢＳセンサー側に筒状に延出して該ＡＢＳセンサーに対し径方向に非接触対向するセンサー対向部を有するとともに、当該センサー対向部が前記パルサーリング部とされるとともに、
前記ＡＢＳセンサーは、前記環状のセンサー保持体に対しボルトにより締結固定されるものであり、前記磁石及び前記検出部を有したセンサー本体と、前記ボルトを挿通する貫通孔を有した締結用固定部とを有する一方、前記環状のセンサー保持体は、前記外輪の外周又は内周に嵌装される環状カバー部材と、前記ボルトを挿通する貫通孔を有した締結用固定部材とを別体形成された後に一体に固定されたものであり、前記ＡＢＳセンサーと前記センサー保持体との双方の前記貫通孔に前記ボルトを挿通させた形で、それら双方が締結固定されていることを特徴とするセンサー付き転がり軸受装置。
【手続補正書】
【提出日】平成24年4月23日(2012.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水素化カルボキシル化ニトリルゴム（ＨＸＮＢＲ）、少なくとも１つの架橋剤およびカーボンナノチューブを含む加硫可能な組成物。
【請求項２】
前記水素化カルボキシル化ニトリルポリマーが
ａ）１つ以上の共役ジエン、好ましくはブタジエンに由来する４０〜８５重量パーセントの範囲の繰り返し単位、
ｂ）１つ以上のα，β−不飽和ニトリル、好ましくはアクリロニトリルに由来する１５〜６０重量パーセントの範囲の繰り返し単位、および
ｃ）少なくとも１つのカルボン酸基を有する１つ以上のモノマーまたはそれの誘導体、好ましくはα，β−不飽和モノ−もしくはジカルボン酸、より好ましくはマレイン酸、ｎ−ブチルアクリレート、イソ−ブチルアクリレート、または第三ブチルアクリレートに由来する０．１〜３０重量パーセントの範囲の繰り返し単位
を含み、
３つのモノマーａ）、ｂ）およびｃ）が、合計１００重量パーセントになるように所与の範囲で選ばれなければならない、請求項１に記載の加硫可能な組成物。
【請求項３】
１）１００重量部のＨＸＮＢＲ、
２）ＨＸＮＢＲの１００重量部を基準として、１〜１０重量部、好ましくは４〜８重量部の少なくとも１つの架橋剤、および
３）ＨＸＮＢＲの１００重量部を基準として、１〜５０重量部、好ましくは１〜２０重量部、より好ましくは１〜１０重量部のカーボンナノチューブ
を含む請求項１または２に記載の加硫可能な組成物。
【請求項４】
前記ＨＸＮＢＲ、前記カーボンナノチューブおよび前記架橋剤が一緒に混合される、請求項１〜３のいずれか一項に記載の加硫可能な組成物の調製方法。
の方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の組成物を、好ましくは射出成形中に、加硫にかける工程を含むポリマー加硫物の製造方法。
【請求項６】
特にシール、ロールカバー、ベルト、固定子または無限軌道車の軌道に取り付けるベアリングパッドの形態で、請求項５に記載の方法によって得られるポリマー加硫物。
【手続補正書】
【提出日】平成23年11月16日(2011.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明によれば以下に示す、ポリウレタン発泡体用の難燃化処理用高粘度水性液、ＪＩＳ  Ｚ２１５０の防炎１級及び／又はＵＬ９４のＶ０に合格のポリウレタン発泡体、難燃性ポリウレタン発泡体の製造方法が提供される。
[１] 
スルファミン酸グアニジンと、カルボキシ化合物と、水溶性有機高分子とを水に溶解してなり、
前記カルボキシ化合物が、クエン酸の金属塩と、必要に応じて添加されるクエン酸とからなることを特徴とする難燃性水性組成物。
［２］
前記カルボキシ化合物の含有量が、スルファミン酸グアニジンとカルボキシ化合物の合計含有量に対して５〜５０重量％である、前記１に記載の難燃性水性組成物。
［３］
前記水溶性有機高分子が、ウレタン系水溶性有機高分子、セルロース系水溶性有機高分子、アクリル系水溶性有機高分子の中から選ばれる少なくとも１種である、前記１に記載の難燃性水性組成物。
［４］
２５℃における粘度が、６，０００〜３０，０００ｃｐｓである、前記１に記載の難燃性水性組成物。
［５］
前記スルファミン酸グアニジンとカルボキシ化合物の合計含有量が、前記グアニジン化合物とカルボキシ化合物と水の合計含有量に対して３０〜７０重量％である、前記１に記載の難燃性水性組成物。
［６］
更にメラミンシアヌレートを含有する、前記１に記載の難燃性水性組成物。
［７］
ｐHが６〜８である、前記１に記載の難燃性水性組成物。
［８］
更に、親水性多孔質無機微粒子を含有する、前記１に記載の難燃性水性組成物。
［９］
更に、親水性多孔質無機微粒子を含有し、該親水性多孔質無機微粒子が、合成ゼオライト、ピオセライト及びホワイトカーボン（含水非晶質二酸化ケイ素）の中から選択される、前記１に記載の難燃性水性組成物。
［１０］
前記親水性多孔質無機微粒子の含有量が、水１００重量部に対して１〜１０重量部である、前記９に記載の難燃性水性組成物。
［１１］
ポリオール成分と前記１〜１０のいずれかに記載の難燃性水性組成物とを含有するブレンド物。
［１２］
前記１〜１０のいずれかに記載の難燃性水性組成物中の固形分を含有する難燃性ポリウレタン発泡体。
［１３］
ＪＩＳ  Ｚ２１５０の防炎１級及び／又は規格ＵＬ９４のＶ０に合格の前記１２に記載の難燃性ポリウレタン発泡体。
［１４］
前記１〜１０のいずれかに記載の難燃性水性組成物と、ポリオールとイソシアネートとの混合物を用意し、該混合物を触媒の存在下で反応させてポリウレタン発泡体を得ることからなる、難燃性ポリウレタン発泡体の製造方法。
［１５］
ポリオール成分に前記１〜１０のいずれかに記載の難燃性水性組成物をブレンドし、得られたブレンド物にイソシアネート成分を混合し、得られた混合物を触媒の存在下で反応させることからなる、難燃性ポリウレタン発泡体の製造方法。
［１６］
ポリオール成分と前記１〜１０のいずれかに記載の難燃性水性組成物とを含有するブレンド物であって、前記１５の難燃性ポリウレタン発泡体の製造方法に用いられる、ブレンド物。
［１７］
ポリオール成分とイソシアネート成分のブレンド物に前記１〜１０のいずれかに記載の難燃性水性組成物を混合し、得られた混合物を触媒の存在下で反応させることからなる、難燃性ポリウレタン発泡体の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スルファミン酸グアニジンと、カルボキシ化合物と、水溶性有機高分子とを水に溶解してなり、
前記カルボキシ化合物が、クエン酸の金属塩と、必要に応じて添加されるクエン酸とからなることを特徴とする難燃性水性組成物。
【請求項２】
前記カルボキシ化合物の含有量が、スルファミン酸グアニジンとカルボキシ化合物の合計含有量に対して５〜５０重量％である、請求項１に記載の難燃性水性組成物。
【請求項３】
前記水溶性有機高分子が、ウレタン系水溶性有機高分子、セルロース系水溶性有機高分子、アクリル系水溶性有機高分子の中から選ばれる少なくとも１種である、請求項１に記載の難燃性水性組成物。
【請求項４】
２５℃における粘度が、６，０００〜３０，０００ｃｐｓである、請求項１に記載の難燃性水性組成物。
【請求項５】
前記スルファミン酸グアニジンとカルボキシ化合物の合計含有量が、前記グアニジン化合物とカルボキシ化合物と水の合計含有量に対して３０〜７０重量％である、請求項１に記載の難燃性水性組成物。
【請求項６】
更にメラミンシアヌレートを含有する、請求項１に記載の難燃性水性組成物。
【請求項７】
ｐHが６〜８である、請求項１に記載の難燃性水性組成物。
【請求項８】
更に、親水性多孔質無機微粒子を含有する、請求項１に記載の難燃性水性組成物。
【請求項９】
更に、親水性多孔質無機微粒子を含有し、該親水性多孔質無機微粒子が、合成ゼオライト、ピオセライト及びホワイトカーボン（含水非晶質二酸化ケイ素）の中から選択される、請求項１に記載の難燃性水性組成物。
【請求項１０】
前記親水性多孔質無機微粒子の含有量が、水１００重量部に対して１〜１０重量部である、請求項９に記載の難燃性水性組成物。
【請求項１１】
ポリオール成分と請求項１〜１０のいずれかに記載の難燃性水性組成物とを含有するブレンド物。
【請求項１２】
請求項１〜１０のいずれかに記載の難燃性水性組成物中の固形分を含有する難燃性ポリウレタン発泡体。
【請求項１３】
ＪＩＳ  Ｚ２１５０の防炎１級及び／又は規格ＵＬ９４のＶ０に合格の請求項１２に記載の難燃性ポリウレタン発泡体。
【請求項１４】
請求項１〜１０のいずれかに記載の難燃性水性組成物と、ポリオールとイソシアネートとの混合物を用意し、該混合物を触媒の存在下で反応させてポリウレタン発泡体を得ることからなる、難燃性ポリウレタン発泡体の製造方法。
【請求項１５】
ポリオール成分に請求項１〜１０のいずれかに記載の難燃性水性組成物をブレンドし、得られたブレンド物にイソシアネート成分を混合し、得られた混合物を触媒の存在下で反応させることからなる、難燃性ポリウレタン発泡体の製造方法。
【請求項１６】
ポリオール成分と請求項１〜１０のいずれかに記載の難燃性水性組成物とを含有するブレンド物であって、請求項１５の難燃性ポリウレタン発泡体の製造方法に用いられる、ブレンド物。
【請求項１７】
ポリオール成分とイソシアネート成分のブレンド物に請求項１〜１０のいずれかに記載の難燃性水性組成物を混合し、得られた混合物を触媒の存在下で反応させることからなる、難燃性ポリウレタン発泡体の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成24年5月11日(2012.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の工程１（ａ）〜２を含む嵩密度５５０ｇ／ｌ以下の界面活性剤担持用顆粒群の製造方法；
工程１（ａ）：粘土鉱物粉末と、粘土鉱物を除く吸油能０．４ｍｌ／ｇ以上の粉末原料を混合する工程、及び
工程２：工程１（ａ）により得られた混合粉末に水又はバインダー水溶液を添加し、低剪断造粒機によって顆粒化する工程。
【請求項２】
以下の工程１（ｂ）〜２を含む嵩密度５５０ｇ／ｌ以下の界面活性剤担持用顆粒群の製造方法；
工程１（ｂ）：粘土鉱物を除く吸油能０．４ｍｌ／ｇ以上の粉末原料を混合する工程、及び
工程２：工程１（ｂ）により得られた混合粉末に水又はバインダー水溶液を添加し、低剪断造粒機によって顆粒化する工程。
【請求項３】
低剪断造粒機がパン型造粒機又はドラム型造粒機である、請求項１又は２に記載の製造方法。
【請求項４】
低剪断造粒機のフルード数が１．０以下である請求項１〜３いずれか記載の製造方法。
【請求項５】
更に、工程３を含む請求項１〜４いずれか記載の製造方法；
工程３：工程２によって得られた顆粒を乾燥する工程。
【請求項６】
水又はバインダー水溶液を多流体ノズルを用いて添加する請求項１〜５いずれか記載の製造方法。
【請求項７】
多流体ノズルが２流体ノズルである請求項６記載の製造方法。
【請求項８】
粉末原料がライト灰を含む請求項１〜７いずれか記載の製造方法。
【請求項９】
以下の成分を含有する嵩密度５５０ｇ／ｌ以下の界面活性剤担持用顆粒群。
粘土鉱物を除く吸油能０．４ｍｌ／ｇ以上の粉末原料：４０〜９５重量％
粘土鉱物粉末：０〜４５重量％
バインダー：０〜３５重量％
水：０〜１５重量％
【請求項１０】
請求項１〜８いずれか記載の製造方法により作製される界面活性剤担持用顆粒群又は請求項９記載の界面活性剤担持用顆粒群を含有する顆粒群に界面活性剤組成物を担持させてなる高嵩密度洗剤粒子群。
【請求項１１】
請求項１０記載の洗剤粒子群を含有してなる洗剤組成物。
【手続補正書】
【提出日】平成24年7月17日(2012.7.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの第１の噴射弁（１０４０）により燃料を吸気管（１０５０）内へ噴射するか、または、少なくとも１つの第２の噴射弁（１０４５）により燃料を直接に燃焼室（１０７５）へ噴射するか、または、少なくとも１つの第１の噴射弁（１０４０）により燃料を吸気管（１０５０）内へ噴射し、かつ、少なくとも１つの第２の噴射弁（１０４５）により燃料を直接に燃焼室（１０７５）へ噴射して、燃焼させる、
内燃機関（１０００）の駆動方法において、
前記内燃機関（１０００）の少なくとも１つの設定された駆動状態において、設定された回数の連続する作業サイクルにわたって、少なくとも１つの第１の噴射弁（１０４０）のみを介して燃料を前記吸気管（１０５０）内へ噴射し、次の１回の作業サイクルでは、少なくとも１つの第１の噴射弁（１０４０）を介して燃料を前記吸気管（１０５０）内へ噴射し、さらに少なくとも１つの第２の噴射弁（１０４５）を介して燃料を直接に前記燃焼室（１０７５）へ噴射するか、または、少なくとも１つの第２の噴射弁（１０４５）のみを介して燃料を直接に前記燃焼室（１０７５）へ噴射する
ことを特徴とする内燃機関の駆動方法。
【請求項２】
作業サイクルの連続回数の設定値を前記内燃機関（１０００）の少なくとも１つの駆動パラメータに基づいて選択する、請求項１記載の内燃機関の駆動方法。
【請求項３】
前記内燃機関（１０００）の前記燃焼室（１０７５）の温度を表す駆動特性量（Ｔ）を求め、作業サイクルの連続回数の設定値を、前記内燃機関（１０００）の前記燃焼室（１０７５）の温度を表す駆動特性量（Ｔ）に基づいて求める、請求項１または２記載の内燃機関の駆動方法。
【請求項４】
前記内燃機関（１０００）の前記燃焼室（１０７５）の温度を表す駆動特性量（Ｔ）を前記内燃機関（１０００）の回転数（ｎ）と噴射燃料量の設定値（Ｑｓｏｌｌ）とに基づいて求める、請求項３記載の内燃機関の駆動方法。
【請求項５】
作業サイクルの連続回数の設定値を、前記内燃機関（１０００）の前記燃焼室（１０７５）の温度を表す駆動特性量（Ｔ）に基づいてテーブルから選択する、請求項３または４記載の内燃機関の駆動方法。
【請求項６】
少なくとも１つの第１の噴射弁（１０４０）により燃料を吸気管（１０５０）内へ噴射するか、または、少なくとも１つの第２の噴射弁（１０４５）により燃料を直接に燃焼室（１０７５）へ噴射するか、または、少なくとも１つの第１の噴射弁（１０４０）により燃料を吸気管（１０５０）内へ噴射し、かつ、少なくとも１つの第２の噴射弁（１０４５）により燃料を直接に燃焼室（１０７５）へ噴射して、燃焼させる、
内燃機関（１０００）の制御装置（１００５）において、
前記内燃機関（１０００）の少なくとも１つの設定された駆動状態において、設定された回数の連続する作業サイクルにわたって、少なくとも１つの第１の噴射弁（１０４０）のみを介して燃料が前記吸気管（１０５０）内へ噴射され、次の１回の作業サイクルでは、少なくとも１つの第１の噴射弁（１０４０）を介して前記吸気管（１０５０）内へ燃料が噴射され、さらに少なくとも１つの第２の噴射弁（１０４５）を介して直接に前記燃焼室（１０７５）へ燃料が噴射されるか、または、少なくとも１つの第２の噴射弁（１０４５）のみを介して直接に前記燃焼室（１０７５）へ燃料が噴射される
ことを特徴とする内燃機関の駆動装置。
【請求項７】
請求項１から５までのいずれか１項記載の内燃機関の駆動方法の各ステップを計算装置または制御装置に実行させるためのコンピュータプログラム。
【請求項８】
請求項１から５までのいずれか１項記載の内燃機関の駆動方法の各ステップをコンピュータまたは制御装置に実行させるためのコンピュータプログラムを記憶した、機械的に読み取り可能な記憶担体。
【手続補正書】
【提出日】平成24年7月13日(2012.7.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
個別仕様包装を作成する方法であって、
プロセッサに結合したユーザインターフェースを介して、包装される物品の第一画像を受け取るステップと、
前記ユーザインターフェースを介して、一又はそれ以上の前記物品の特性に関する情報を受け取るステップと、
前記第一画像を処理することによって前記物品の三次元的大きさを求めるステップと、
前記プロセッサによって、ユーザにより選択されたデザインを有する前記物品のための少なくとも一つの包装を自動的に選択するステップと、
前記ユーザにより選択された包装に前記第一画像を、プリンタを介して印刷するステップと、
前記プロセッサによって、前記一又はそれ以上の特性に基づいてパック材料の種類を自動的に決定するステップと、
前記プロセッサによって、前記大きさと前記選択された包装に基づいてパック材料の量を自動的に決定するステップと、
前記選択された包装を提供するステップと、
前記決定されたパック材料の量のパック材料を提供するステップと、
を含み、
前記第一画像は、既知の寸法を与える複数の参照点を有する背景を備え、
前記三次元的大きさを求めるステップは、画像処理によって、前記物品を前記背景と比較するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記自動的に包装を選択するステップは、
包装の大きさの入手可能な在庫情報を入手するステップと、
前記物品の前記求められた三次元的大きさを前記入手可能な在庫情報と比較するステップと、
前記在庫情報から、前記物品と最も近い大きさを有し、かつ、前記大きさより大きい包装を選択するステップと、
を含むことを特徴とする請求項１に記載された方法。
【請求項３】
前記ユーザインターフェースを介して、前記第一画像とは異なった視点から前記物品を示す前記物品の第二画像を受け取るステップをさらに含み、
前記第一画像は、既知の寸法を与える複数の参照点を有する第一背景を備え、
前記第二画像は、既知の寸法を与える複数の参照点を有する第二背景を備え、
前記三次元的大きさを求めるステップは、画像処理によって、前記第一背景及び前記第二背景と前記物品を比較するステップを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
ユーザの承認を得るために前記選択した包装のデザインを表示するステップと、
前記ユーザインターフェースを介して、前記デザインに対するユーザの修正を受けるステップと、
前記ユーザによる修正に基づいて、修正された包装を選択するステップと、
前記修正された包装の大きさに基づいて、前記決定したパック材料の種類と量を修正するか否かを自動的に決定するステップと、
をさらに含み、
前記選択した包装及びパック材料を提供するステップは、前記修正した包装と修正したパック材料の量をユーザに提示するステップを含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成24年10月4日(2012.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する複数の処理部と、基板を搬送する基板搬送機構と、基板処理が終了した基板表面の欠陥を検査する欠陥検査部と、前記基板搬送機構による基板の搬送を制御する搬送制御手段と，を備えた基板処理装置であって、
欠陥検査部の検査結果に基づいて欠陥の分類を行う欠陥分類手段と、
前記処理部により基板処理が行われる際の前記基板搬送機構による基板の搬送順路を記憶する記憶手段と、
前記欠陥分類手段により分類された欠陥の種類と、前記記憶手段に記憶された基板の搬送順路に基づいて、当該分類された欠陥の発生原因となった処理部を特定し、さらに当該特定された処理部の異常の有無を判定する欠陥処理特定手段と、をさらに有し、
前記搬送制御手段は、前記欠陥処理特定手段により異常と判定された処理部を迂回して基板を搬送するように前記基板搬送機構の制御を行うことを特徴とする、基板処理装置。
【請求項２】
前記欠陥処理特定手段は、欠陥の発生原因となった処理部において連続して欠陥が発生した場合に、当該欠陥の発生原因となった処理部を異常と判定することを特徴とする、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記欠陥処理特定手段は、欠陥の発生原因となった処理部において、欠陥の発生割合が予め設定された割合を上回った場合に、当該欠陥の発生原因となった処理部を異常と判定することを特徴とする、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項４】
基板を処理する複数の処理部と、基板を搬送する基板搬送機構と、基板処理が終了した基板表面の欠陥の有無を検査する欠陥検査部と、を備えた基板処理装置における基板の搬送方法であって、
欠陥検査部の検査結果に基づいて欠陥の分類を行い、
前記処理部により基板処理が行われる際の前記基板搬送機構による基板の搬送順路を記憶し、
前記分類された欠陥の種類と、前記記憶された基板の搬送順路に基づいて、当該分類された欠陥の発生原因となった処理部を特定し、さらに当該特定された処理部の異常の有無を判定し、
その後、異常と判定された処理部を迂回するように基板の搬送を行うことを特徴とする、基板の搬送方法。
【請求項５】
欠陥の発生原因と特定された処理部において、連続して欠陥が発生した場合に、当該処理部を異常と判定することを特徴とする、請求項４に記載の基板の搬送方法。
【請求項６】
欠陥の発生原因と特定された処理部において、欠陥の発生の割合が予め設定された割合以上であった場合に当該処理部を異常と判定することを特徴とする、請求項４に記載の基板の搬送方法。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれか基板の搬送方法を基板処理装置によって実行させるために、当該基板処理装置を制御する制御装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
【請求項８】
請求項７に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
別な観点による本発明は、基板を処理する複数の処理部と、基板を搬送する基板搬送機構と、基板処理が終了した基板表面の欠陥の有無を検査する欠陥検査部と、を備えた基板処理装置における基板の搬送方法であって、欠陥検査部の検査結果に基づいて欠陥の分類を行い、前記処理部により基板処理が行われる際の前記基板搬送機構による基板の搬送順路を記憶し、前記分類された欠陥の種類と、前記記憶された基板の搬送順路に基づいて、当該分類された欠陥の発生原因となった処理部を特定し、さらに当該特定された処理部の異常の有無を判定し、その後、異常と判定された処理部を迂回するように基板の搬送を行うことを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
そして、上述のように異常との判定が行われると、搬送制御手段２００は異常と判定されたモジュール、この場合は下部反射防止膜形成ユニット３１のカップＦ１、レジスト塗布ユニット３２のカップＦ２、及び上部反射防止膜形成ユニット３３のカップＦ３を迂回してウェハＷの処理を行うように各ウェハ搬送機構の制御を行う。なお、異常が発生したモジュールが特定された場合、搬送制御手段２００により自動的に当該特定されたモジュールを迂回する制御を行うのではなく、例えば警報を発報して異常発生の通知のみ行うようにしてもよい。かかる場合、作業員が異常発生を確認した後に、当該モジュールを迂回してウェハＷの処理を継続するか、あるいは塗布現像処理装置１を停止して異常個所の復旧作業を行うか、といった判断が行われる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
ウェハＷの処理にあたっては、先ず、複数枚のウェハＷを収容したカセットＣがカセットステーション２の所定のカセット載置板１３に載置される。その後、ウェハ搬送機構２１によりカセットＣ内の各ウェハＷが順次取り出され、処理ステーション３の第３のブロックＧ３の例えば受け渡しユニット５３に搬送される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
次にウェハＷは、ウェハ搬送機構９０によって受け渡しユニット５２に搬送され、シャトル搬送装置８０によって第４のブロックＧ４の受け渡しユニット６２に搬送される。その後、ウェハＷは、インターフェイスステーション７のウェハ搬送機構９１によって露光装置４に搬送され、露光処理される。
【手続補正書】
【提出日】平成24年4月12日(2012.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターゲットにレーザ光を照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
前記チャンバ内の所定の位置にターゲットを供給するターゲット供給部と、
少なくとも１つの光学素子を含み、ドライバレーザから出射されるレーザ光を前記ターゲットに集光することによってプラズマを発生させるレーザ集光光学系と、
前記プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するＥＵＶ集光光学系と、
前記レーザ集光光学系によって集光されたレーザ光が前記ターゲット又は前記プラズマによって反射されて前記ドライバレーザに入射する戻り光を検出する戻り光検出器と、
前記レーザ集光光学系に含まれている少なくとも１つの光学素子の位置を調節する位置調節機構と、
前記戻り光検出器によって検出される戻り光の量に基づいて前記位置調節機構を制御する制御部と、
を具備する極端紫外光源装置。
【請求項２】
前記プラズマから放射される極端紫外光を検出する極端紫外光検出器をさらに具備し、
前記制御部が、前記戻り光検出器によって検出される戻り光の量と、前記極端紫外光検出器によって検出される極端紫外光の量とに基づいて、前記位置調節機構を制御する、請求項１記載の極端紫外光源装置。
【請求項３】
前記ドライバレーザから出射されて所定の光路を通過したレーザ光の第１の直線偏光成分を円偏光成分に変換しながら反射し、集光されたレーザ光が前記ターゲット又は前記プラズマによって反射されて生じた戻り光の円偏光成分を第２の直線偏光成分に変換しながら反射するリターダーと、
前記ドライバレーザから出射されるレーザ光の光路に配置され、第１の直線偏光成分を反射して第２の直線偏光成分を吸収するコーティングミラーと、
をさらに具備する、請求項１又は２記載の極端紫外光源装置。
【請求項４】
前記ドライバレーザから出射されるレーザ光の光路に配置され、第１の直線偏光成分を透過させて第２の直線偏光成分を反射する偏光分離素子と、
前記ドライバレーザから出射され前記偏光分離素子を透過したレーザ光の第１の直線偏光成分を円偏光成分に変換し、集光されたレーザ光が前記ターゲット又は前記プラズマによって反射されて生じた戻り光の円偏光成分を第２の直線偏光成分に変換して前記偏光分離素子に入射させる波長板と、
をさらに具備する、請求項１又は２記載の極端紫外光源装置。
【請求項５】
前記ドライバレーザから出射されるレーザ光の光路に配置され、第１の直線偏光成分を反射して第２の直線偏光成分を透過させる偏光分離素子と、
前記ドライバレーザから出射され前記偏光分離素子によって反射されたレーザ光の第１の直線偏光成分を円偏光成分に変換し、集光されたレーザ光が前記ターゲット又は前記プラズマによって反射されて生じた戻り光の円偏光成分を第２の直線偏光成分に変換して前記偏光分離素子に入射させる波長板と、
をさらに具備する、請求項１又は２記載の極端紫外光源装置。
【請求項６】
複数の前記偏光分離素子を具備する、請求項４又は５記載の極端紫外光源装置。
【請求項７】
前記ドライバレーザから出射されるレーザ光の光路に配置され、第１の直線偏光成分を反射して第２の直線偏光成分を吸収するコーティングミラーと、
前記ドライバレーザから出射され前記コーティングミラーによって反射されたレーザ光の第１の直線偏光成分を円偏光成分に変換し、集光されたレーザ光が前記ターゲット又は前記プラズマによって反射されて生じた戻り光の円偏光成分を第２の直線偏光成分に変換して前記コーティングミラーに入射させる波長板と、
をさらに具備する、請求項１又は２記載の極端紫外光源装置。
【請求項８】
前記ドライバレーザが、第１の直線偏光成分を主成分とするレーザ光を出射する、請求項３〜７のいずれか１項記載の極端紫外光源装置。
【請求項９】
前記ドライバレーザから出射されるレーザ光の光路にブルースター角で配置され、第１の直線偏光成分を透過して第２の直線偏光成分を反射する偏光子と、
前記ドライバレーザから出射され前記偏光子を透過したレーザ光の第１の直線偏光成分を円偏光成分に変換しながら反射し、集光されたレーザ光が前記ターゲット又は前記プラズマによって反射されて生じた戻り光の円偏光成分を第２の直線偏光成分に変換しながら反射して前記偏光子に入射させるリターダーと、
をさらに具備する、請求項１又は２記載の極端紫外光源装置。
【請求項１０】
前記リターダーが、曲面の反射面を有することにより、前記レーザ集光光学系の役割りを兼ねる、請求項３又は９記載の極端紫外光源装置。
【請求項１１】
前記ドライバレーザが、ＣＯ２レーザによって構成される発振器と、前記発振器が発生したレーザ光を増幅する少なくとも１つの増幅器とを含む、請求項１〜１０のいずれか１項記載の極端紫外光源装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記課題を解決するため、本発明の１つの観点に係る極端紫外光源は、ターゲットにレーザ光を照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置にターゲットを供給するターゲット供給部と、少なくとも１つの光学素子を含み、ドライバレーザから出射されるレーザ光をターゲットに集光することによってプラズマを発生させるレーザ集光光学系と、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するＥＵＶ集光光学系と、レーザ集光光学系によって集光されたレーザ光がターゲット又はプラズマによって反射されてドライバレーザに入射する戻り光を検出する戻り光検出器と、レーザ集光光学系に含まれている少なくとも１つの光学素子の位置を調節する位置調節機構と、戻り光検出器によって検出される戻り光の量に基づいて位置調節機構を制御する制御部とを具備する。
【手続補正書】
【提出日】平成24年4月27日(2012.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の起動メディアが搭載されるクライアント装置及びサーバ装置が所定の通信回線を介して接続された情報生成システムにおいて、
前記起動メディアには、
前記クライアント装置を前記サーバ装置に接続し、前記クライアント装置と前記サーバ装置との間で通信を行わせることにより、所望のオペレーティングシステムを生成するためのシステム起動資源情報と、
前記起動メディア固有のメディア識別情報とが記憶され、
前記クライアント装置は、
前記起動メディアが前記クライアント装置に搭載されると、前記起動メディアから前記システム起動資源情報及び前記メディア識別情報を読み出し、前記システム起動資源情報を初期起動オペレーティングシステム記憶部のシステム起動資源記憶部に記憶すると共に、前記メディア識別情報を前記初期起動オペレーティングシステム記憶部の識別情報記憶部に記憶する読出制御部と、
複数のオペレーティングシステム構成情報の中から所望の前記オペレーティングシステム構成情報を選択することをユーザに促すためのオペレーティングシステム構成情報選択画面を表示部に表示する表示制御部と、
操作部におけるユーザの選択操作に応じて、複数の前記オペレーティングシステム構成情報の中から所望の前記オペレーティングシステム構成情報が選択されると、当該選択された前記オペレーティングシステム構成情報に基づいて所望の前記オペレーティングシステムを生成するオペレーティングシステム生成部と、
を備えることを特徴とする情報生成システム。