【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３７０１３５６号発明「微細パターン部分研磨装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第３７０１３５６号の請求項１ないし３に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１．手続の経緯・本件発明
　本件は、平成７年１０月２６日に出願され、平成１７年７月２２日にその請求項１ないし３に係る発明についての特許が設定（特許第３７０１３５６号）されたものであり、これに対して、平成１８年３月２０日に請求人から本件無効審判が請求され、一方、平成１８年７月１４日及び平成１８年１０月２日に被請求人からは上申書が提出された。
　本件特許明細書において、特許請求の範囲の記載は次のとおりである。
「　【請求項１】　微細パターン形成領域およびその周辺に発生する突起等を研磨方法により修正する微細パターン部分研磨装置において、研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する手段を具備し、該測定する手段により得られた情報に基づいて、研磨体表面と被研磨体の間隔を制御するもので、前記測定する手段が、被研磨体と研磨体の間にレーザ光を通し、該レーザ光をセンサーで検知し、その検知電圧の変化により、間隔を測定するもの、あるいは、被研磨体と研磨体との隙間に圧縮空気を吹き出し、該吹き出した圧縮空気の圧力の変化量をセンサーにより読み取り、読み取られた圧力の変化量により、間隔を測定するもの、あるいはまた、接触式の圧力センサを用いて、被研磨体の基準面を測定するものであることを特徴とする微細パターン部分研磨装置。
　　【請求項２】　請求項１において、少なくとも研磨体表面が略球面形状の研磨用ヘッドを具備することを特徴とする微細パターン部分研磨装置。
　　【請求項３】　請求項１において、少なくとも研磨体がワイヤー状で構成されていることを特徴とする微細パターン部分研磨装置。」（以下、「本件特許発明」という。）
　
第２．請求人の主張の概要
　請求人は、本件発明の特許を無効とするとの審決を求め、その理由として、概ね、次の１ないし３を挙げ、証拠方法として、甲第１号証ないし甲第９号証を提示している。
１．特許法第３６条第４項第１号（特許法第１２３条第１項第４号）
　本件特許の要旨は、被研磨体と研磨体との間の間隔を測定する手段を有し、当該測定手段からの出力に基づき、研磨中における被研磨体と研磨体との間の間隔を制御することにあるものと解される。しかしながら、
　（１）甲第１号証（本件特許公報）の図１（ａ）に記載された実施例では、研磨ヘッドと突起との間にレーザ光を通過させ、いかなる手法により研磨ヘッドと突起との間の間隔ないし距離を測定するのか具体的な測定手法は記載されていない。
　（２）甲第１号証の図１（ｂ）に記載された実施例では、突起に対して、いかなるビーム形状及びビーム幅のレーザビームを突起のいかなる部分に向けて投射するか記載されていないため、突起の高さを測定する具体的な測定手法が不明である。
　（３）甲第１号証の図２（ａ）に記載された実施例では、ゲージセンサの出力値とセンサ２９により検出された圧縮空気の圧力値とから、いかにして研磨ヘッドと被研磨体との間隔を測定するか記載されず、且つ突起の高さをいかにして測定するかも記載されていない。
　（４）甲第１号証の図２（ｂ）に記載された実施例においては、圧力センサを被研磨体の基準面と接触させて基準面を検出した後、いかにして被研磨体と研磨体との間の間隔を測定するかについて説明されていない。
　（５）甲第１号証に記載された各実施例には、研磨ヘッドを駆動する駆動回路と駆動信号について、なんら説明を見出すことはできない。
２．特許法第３６条第６項（特許法第１２３条第１項第４号）
　特許請求の範囲の請求項１に記載されている研磨体表面と被研磨体との間の間隔を制御する制御手段及び制御方法、すなわち研磨ヘッドを駆動制御する手段及び方法自体が記載されず、特許法第３６条第６項に規定する要件を満たしていない。
３．特許法第２９条第２項（特許法第１２３条第１項第２号）
　本件の請求項１〜３に係る各特許発明は、甲第４号証〜甲第９号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到することができた程度にすぎないから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　
第３．甲第１号証ないし甲第９号証
　甲第１号証　特許第３７０１３５６号の明細書及び図面
　　　　　　　（本件特許公報）
　甲第２号証　特願平７−３０２０３４号の平成１７年４月２２日付け意見書
　甲第３号証　特願平７−３０２０３４号の出願当初の明細書及び図面
　甲第４号証　特開平６−３１３８７１号公報
　甲第５号証　特開平７−２５３５０７号公報
　甲第６号証　特開平３−２６９３０７号公報
　甲第７号証　特開平５−２５００３７号公報
　甲第８号証　特開平７−２０５０１１号公報
　甲第９号証　特開平７−５２０１４号公報
　
第４．被請求人の主張の概要
　被請求人は、平成１８年７月１４日付の上申書において、本件無効審判請求は成り立たないとの審決を求め、その理由として、次の１ないし２を挙げている。
１．本件特許発明と先行技術との相違（特許法第２９条第２項違反に対する反論）
　（１）甲第４号証（特開平６−３１３８７１号公報）
　甲第４号証記載の発明は、微小突起除去装置及びカラーフィルタ補修装置に関するもので、研磨ヘッド４７とカラーフィルタ３との間の相対距離を高精度に規制するだけで、本件特許発明のように研磨ヘッドと突起等の間隔を測定し、得られた情報に基づき、この間隔を制御するものではない。
　また、本件特許発明の測定手段と、甲第４号証記載の測定手段は相違する。
　（２）甲第５号証（特開平７−２５３５０７号公報）
　甲第５号証記載の発明は、フィルタの異物修正装置に関するもので、突起の高さを把握するものではなく、加工手段の下面とフィルタの一方面との間の隙間ｈを制御するだけで、本件特許発明のように研磨ヘッドと突起等の間隔を測定し、得られた情報に基づき、この間隔を制御するものではない。
　（３）甲第６号証（特開平３−２６９３０７号公報）
　甲第６号証記載の発明は、すきま測定機に関するもので、産業上の利用分野としては、ファクトリオートメーションの現場や事務用機器等において、ローラその他のすきまを測定する点が示されているのみで、この技術が、微細パターンに発生した突起等の測定に適用できる点や、本件特許発明のような測定対象に適用できる点は示されていない。
　甲第６号証記載の発明において、一次元ＣＣＤ５上の受光している範囲は、通過光６の幅と対応しており、一次元ＣＣＤの受光範囲を求めることによってローラ２、２のすきま３の幅を検出するものであるが、これはドラムとドラムとが水平であることを前提としている。したがって、甲第６号証記載の発明は、突起が傾斜を有する等して水平とは限らない、研磨体と突起等の距離を測定する本件特許発明に適用できるものではない。
　（４）甲第７号証（特開平５−２５００３７号公報）
　甲第７号証記載の発明は、位置検出方式に関するもので、産業上の利用分野としては、ロボットシステムでのワークの位置検出に際し、特に薄膜圧力センサを用いてワークに位置を検出するもので、この技術が、微細パターンに発生した突起等の測定に適用できる点や、本件特許発明のような測定対象に適用できる点は示されていない。
　甲第７号証記載の発明の薄膜圧力センサは、ワークの形状等を検出するためのものであるのに対して、本件特許発明の接触式圧力センサーは、被研磨体の基準面の位置を測定するものであり、その形状等を検出するものではない。またロボットが作業を行うに際してワーク位置を認識するために用いられる甲第７号証の薄膜圧力センサに対して、本件特許発明の接触式圧力センサーは、単に接触式であるのみならず圧力を検知することにより、被研磨体たる基板を傷つけることの無いものであり、わずかのキズでも問題となる光学部材であるカラーフィルター基板や、フォトマスクにおいて効果を発揮するものである。
　（５）甲第８号証（特開平７−２０５０１１号公報）
　甲第８号証には、フィルタ基板上に存在する異物を連続移送される研磨テープにより除去するに際し、上記異物の残存高さを測定しつつ研磨除去することを特徴とするフィルタ基板異物除去方法が記載されているが、本件特許発明の構成要件及びそれにより得られる顕著な効果について記載も示唆もしていない。
　（６）甲第９号証（特開平７−５２０１４号公報）
　甲第９号証には、面取り加工が施された半導体ウェハーの周縁に設けられているノッチ部にヒモ状研摩部材を当接させ、ウェハーとヒモ状研摩部材とを相対的に押圧してヒモ状研摩部材を走行させることを特徴とするウェハーノッチ部の鏡面研摩方法が記載されているが、本件特許発明の上記構成要件及びそれにより得られる顕著な効果について記載も示唆もしていない。
　（７）甲第４〜９号証の組み合わせについて
　甲第４〜９号証のいずれにも、本件特許発明の構成要件である、「研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する手段により得られた情報に基づいて、研磨体表面と被研磨体の間隔を制御する微細パターン部分研磨装置」については記載も示唆もされていない。そしていずれの甲号証にも「研磨体表面と被研磨体の間隔、すなわち、研磨ヘッド等の研磨体表面と、突起や突起周辺の基準面等の被研磨体の間隔を測定する」との基本的な技術思想がないことから、これら甲号証記載の発明を如何に組み合わせても本件特許発明の構成に至るものではない。
２．記載要件の充足について（特許法第３６条第４項、第６項違反に対する反論）
　（１）間隔の測定について
　本件特許発明の研磨体表面と被研磨体との間隔の測定に関し、請求人は当業者が本件特許発明を実施できる程度に記載されていないと主張する。
　しかしながら、明細書には、被研磨体と研磨体の間にレーザ光を通し、該レーザ光をセンサーで検知し、その検知電圧の変化により、間隔を測定するもの、あるいは、被研磨体と研磨体との隙間に圧縮空気を吹き出し、該吹き出した圧縮空気の圧力の変化量をセンサーにより読み取り、読み取られた圧力の変化量により、間隔を測定するもの、あるいはまた、接触式の圧力センサを用いて、被研磨体の基準面を測定するものの各方法において、どのように研磨体表面と被研磨体の間隔を測定するか、またはそれぞれの測定の結果どのようなデータが得られたかが具体的に記載されている。
　そして本件特許発明は、微細パターン形成領域およびその周辺に発生する突起等を研磨方法により修正する微細パターン部分研磨装置に関するものであるから、当然に、基準面である基板上から突き出た不必要な突起等の高さを計測し、その上で所定の範囲・高さで研磨除去を行うものである。したがってその測定範囲・対象は、例えば明細書の第１６段落に記載されたように、レーザを使用して被研磨体の基準面を測定し、更にレーザを使用して突起等の高さ及び位置を測定し、その値に応じて研磨ヘッドを制御することにより突起等を部分研磨するものである。
　（２）間隔の制御について
　一般に、測定結果すなわち測定手段からの情報に基づき、制御対象を制御することは広く行われているところである。
　当業者であるならば、微細パターン形成領域およびその周辺に発生する突起等を研磨方法により修正するとの本件特許発明の目的・課題に照らし、研磨体表面と被研磨体との間に一定間隔を制御する為の手段及び突起等の高さを計測する方法として、レーザを使用する方法、圧縮空気の圧力変化を検知する方法、接触式の圧力センサを用いる方法等を用い、さらに、これらを具体的にどのような構成とするかは、出願時の技術水準を考え合わせながら実験等を行うことにより適宜設定できる程度のものである。
　
第５．当審の判断
１．特許法第３６条第４項について
　（１）特許法第３６条第４項では、当業者が発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分な開示を要求している。ここで、請求人は、「特許法第３６条第４項第１号違反」を主張しているが、本件特許が出願された平成７年１０月において、特許法第３６条第４項に第１号は存在しない。しかしながら、特許法第３６条第４項第１号違反を主張する請求理由の要約、すなわち、審判請求書の第２頁第４行〜第７行には「本件特許発明の必須構成要件である研磨体表面と被研磨体との間隔を測定する手段並びに当該測定手段からの情報に基づいて研磨体表面と被研磨体との間隔を制御する手段が、発明の詳細な説明において当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載されていない。」と記載されていることから、発明の詳細な説明において、当業者が発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されていないことを主張していることは明らかである。したがって、この主張は、「特許法第３６条第４項違反」の明らかな誤りである。
　そこで、特許法第３６条第４項違反の点について検討する。
　（２）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１では、「研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する手段」及び「測定する手段により得られた情報に基づいて、研磨体表面と被研磨体の間隔を制御するもの」を発明特定事項としている。そして、「前記測定する手段」に関して、「被研磨体と研磨体の間にレーザ光を通し、該レーザ光をセンサーで検知し、その検知電圧の変化により、間隔を測定するもの」、「被研磨体と研磨体との隙間に圧縮空気を吹き出し、該吹き出した圧縮空気の圧力の変化量をセンサーにより読み取り、読み取られた圧力の変化量により、間隔を測定するもの」、及び「接触式の圧力センサを用いて、被研磨体の基準面を測定するもの」の３つの手段を並列に発明特定事項としている。請求項１では、測定手段を並列に３つ設け、そのいずれかの手段を採用することを発明特定事項としているから、３つの測定手段それぞれについて、実施可能となっていなければならない。ここで、測定するのは研磨体表面と被研磨体の間隔であるから、「前記測定する手段」とは、「研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する手段」を意味することは明らかである。以下、この発明特定事項が本件特許明細書及び図面に記載されているかどうかを検討する。
　（２）−１．レーザ光により間隔を測定するものについて
　本件特許明細書の段落番号【００１５】には、「図１（ａ）は被研磨体である突起等の高さと研磨体の間にレーザ１６からレーザ光１７を通し、これをセンサー１８で検知し、その検知電圧の変化により、間隔を測定する方法である。」と記載され、図面の図１（ａ）とともに、第一の発明の一例して説明されている。
　しかしながら、本件特許発明は、請求項１で特定されているように、「研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する」発明であるから、このようなレーザ１６からレーザ光１７を通すという説明だけでは、いかにして研磨体表面と被研磨体の間隔の測定に結びつけるのか説明されていない。また、この点を、本件出願時において、当業者にとって技術常識であるということはできない。したがって、上記の点については、当業者が発明を実施することができる程度に明確かつ十分には記載されていないものである。
　また、本件特許明細書の段落番号【００１６】には、「図１（ｂ）は単数または、複数のレーザ１６’、１６”を使用して被研磨体の基準面を測定し、更に上記の同一または、別のレーザ１６’、１６”を使用して突起等の高さ及び位置を測定する。その値に応じて研磨ヘッドを制御させることにより、突起等を部分研磨する。この方法は、突起等の平面位置を知ることができるため、自動化・量産性に富む方法である。
　尚、被研磨体全面をレーザー光１１１又は１１１’でスキャニングした後、突起等の高さ・位置が記憶制御装置にメモリーして自動制御する。」と記載され、図面の図１（ｂ）とともに、レーザ光により間隔を測定する発明の別の一例として説明されている。
　しかしながら、前述したように、本件特許発明は、「研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する」発明であるから、単数または複数のレーザにより傾斜して照射しそれをスキャンすれば、技術常識を参酌することにより基準面及び突起の高さ及び位置は測定可能ではあるものの、それは「突起を含む被研磨体の形状の測定」であって、「研磨体表面と被研磨体の間隔の測定」ではない。したがって、この点についても、当業者が発明を実施することができる程度に明確かつ十分には記載されていないものである。
　（２）−２．　圧縮空気の吹き出しによるものについて
　本件特許明細書の段落番号【００１７】には、「図２（ａ）は図１（ａ）（ｂ）の様にレーザを用いず、（ａ）は隙間に吹き出した圧縮空気２１４の影響の変化量により、計測しようとるものである。即ち、平板２７に圧縮空気の吹き出し口２８を設けこれを圧力検知穴２１１より取り入れた空気をセンサ２９で検出すると共に被研磨体と研磨体との間隔の変化により生じる圧力変化を読みとる。そして、これと同時に平板と突起等２３と接触した時のゲージセンサ２１２の変化の値を読む。この方法では、突起の位置の特定は困難であるが、一時に広い面積において、微細パターン２１上の突起等の有無が測定できるので、量産品の被検査物の突起等の有無を迅速にスクリーニングできる。」と記載され、図面の図２（ａ）とともに、圧縮空気の吹き出しにより間隔を測定する発明の一例として説明されている。
　しかしながら、ここで説明されているのは、平板２７に圧縮空気の吹き出し口２８を設け、それを同じく平板２７に設けた圧力検知穴２１１より取り入れた空気をセンサ２９で検出していることから、これで測定できるのは「平板２７と被研磨体である微細パターン２１の間の距離」であって、「研磨体表面と被研磨体の間隔」ではない。したがって、この点についても、当業者が発明を実施することができる程度に明確かつ十分には記載されていないものである。
　（２）−３．接触式の圧力センサを用いたものについて
　本件特許明細書の段落番号【００１８】には、「図２（ｂ）は接触式の圧力センサー２１３を用いて、被研磨体の基準面を測定し、その後、その測定結果から研磨体と被研磨体の間隔を制御する方法である。この方法は、研磨体２４と接触式圧力センサ２１３が別々に構成されており、最初に接触式圧力センサ２１３にて、被研磨体２３の基準面２１に接触させて基準面の位置を測定した後、研磨体２４を所望の高さに移動して突起等２３を部分研磨するものである。」と記載され、図面の図２（ｂ）とともに、接触式圧力センサにより間隔を測定する発明の一例として説明されている。
　しかしながら、ここで説明されているのは、被研磨体２３の基準面２１の位置、及び突起等の高さの測定であって、「研磨体表面と被研磨体の間隔の測定」ではない。したがって、この点についても、当業者が発明を実施することができる程度に明確かつ十分には記載されていないものである。
　（３）測定する手段により得られた情報に基づいて、研磨体表面と被研磨体の間隔を制御する点について
　本件請求項１に記載された発明においては、測定する手段により得られた情報とは「研磨体表面と被研磨体の間隔」であるから、この研磨体表面と被研磨体の間隔の情報をもとに研磨体表面と被研磨体の間隔を制御することになる。
　研磨体表面と被研磨体の間隔を制御する点については、本件特許明細書の段落番号【００１６】に「図１（ｂ）は単数または、複数のレーザ１６’、１６”を使用して被研磨体の基準面を測定し、更に上記の同一または、別のレーザ１６’、１６”を使用して突起等の高さ及び位置を測定する。その値に応じて研磨ヘッドを制御させることにより、突起等を部分研磨する。」と記載され、また、段落番号【００１８】に「被研磨体の基準面を測定し、その後、その測定結果から研磨体と被研磨体の間隔を制御する方法である。」と記載され、その他には研磨体表面と被研磨体の間隔を制御する旨の説明はない。
　しかしながら、一般に、研磨において、研磨体表面と被研磨体との間隔が測定できれば、その間隔を制御することは従来周知であった（例えば、請求人の提出した甲第４号証には、その第４頁、段落番号【００１７】に、「研磨装置による研削量は研磨装置本体の最終降下位置により規定されるため、研磨装置本体すなわち研磨ヘッド47とカラーフィルタ３との間の相対距離を高精度に規制する必要がある。」と記載されている。）ことから、研磨体表面と被研磨体との間隔が測定できれば、その間隔を制御することは、当業者の技術常識を参酌することにより、当業者が実施可能なものである。したがって、この点に関する請求人の主張は理由がない。
　（４）特許法第３６条第４項についてのまとめ
　以上、（２）−１〜（２）−３に示したとおり、本件特許明細書及び図面には、「研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する」ことについて、当業者が発明を実施できる程度に明確かつ十分には記載されていないので、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない。
２．特許法第３６条第６項第１号について
　（１）特許法第３６条第６項第１号では、特許を受けようとするする発明、すなわち、特許請求の範囲の各請求項に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載したものであることを要求している。ここで、請求人は、「特許法第３６条第６項違反」を主張しているだけで、第１号違反を主張しているのか第２号違反を主張しているのか、明確な記載は審判請求書中には存在しない。しかしながら、特許法第３６条第６項違反を主張する請求理由の要約、すなわち、審判請求書の第２頁第９行〜第１０行には「特許請求の範囲の請求項１に記載の必須構成要件である「研磨体表面と被研磨体との間隔を制御する手段」が発明の詳細な説明において記載されていない。」と記載されていることから、請求項に記載された発明が発明の詳細な説明に記載されていないことを主張するものであることは明らかである。したがって、この主張は「特許法第３６条第６項第１号違反」の明らかな誤りである。
　（２）請求人は、「特許請求の範囲の請求項１に記載の必須構成要件である「研磨体表面と被研磨体との間隔を制御する手段」が発明の詳細な説明において記載されていない。」（審判請求書の第２頁第９行〜第１０行。）と主張している。本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載中、段落番号【００１６】には、「図１（ｂ）は単数または、複数のレーザ１６’、１６”を使用して被研磨体の基準面を測定し、更に上記の同一または、別のレーザ１６’、１６”を使用して突起等の高さ及び位置を測定する。その値に応じて研磨ヘッドを制御させることにより、突起等を部分研磨する。」と記載され、また、段落番号【００１８】にも「被研磨体の基準面を測定し、その後、その測定結果から研磨体と被研磨体の間隔を制御する方法である。」と記載されている。すなわち、「研磨体表面と被研磨体との間隔を制御する」こととほぼ同様の記載が存在する。そして、第５の１．（３）で言及しているように、研磨体表面と被研磨体との間隔が測定できれば、その間隔を制御することは、当業者の技術常識を参酌することにより当業者が実施可能なものである。したがって、この点に関する請求人の主張は理由がない。
　（３）本件特許請求の範囲の請求項１では、「研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する手段」を有することも必須構成要件としている。この点に関しては、第５の１（２）−１〜（２）−３で言及したように、本件特許明細書及び図面に、各種の測定手段についての記載はあるものの、それらは、「研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する手段」ではない。また、請求項１において、「被研磨体と研磨体との隙間に圧縮空気を吹き出し、該吹き出した圧縮空気の圧力の変化量をセンサーにより読み取り、読み取られた圧力の変化量により、間隔を測定するもの」と限定しているが、発明の詳細な説明に記載されたものは、段落番号【００１７】、あるいは図面の図２（ａ）に記載されているように、平板２７と微細パターン２１との隙間に圧縮空気を吹き出すものであって、被研磨体と研磨体との隙間に圧縮空気を吹き出したものではない。したがって、「研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する手段」、あるいは、「被研磨体と研磨体との隙間に圧縮空気を吹き出し、該吹き出した圧縮空気の圧力の変化量をセンサーにより読み取り、読み取られた圧力の変化量により、間隔を測定するもの」については、発明の詳細な説明に記載されていない。
　（４）特許法第３６条第６項第１号についてのまとめ
　上記（３）に示したとおり、本件特許発明の請求項１において発明特定事項とされている「研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する手段」、あるいは、「被研磨体と研磨体との隙間に圧縮空気を吹き出し、該吹き出した圧縮空気の圧力の変化量をセンサーにより読み取り、読み取られた圧力の変化量により、間隔を測定するもの」については、発明の詳細な説明に記載されていないので、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
３．特許法第２９条第２項について
　（１）本件特許は第５の１及び２で言及しているように不備がある。したがって、本件特許明細書の特許請求の範囲の各請求項に記載された発明を、各請求項の記載をそのまま採用しても、特許法第２９条第２項の要件については判断できない。
　この点につき、被請求人は平成１８年７月１４日付けの上申書の第５頁第８行〜第１０行に「そしてこの手段は、突起と研磨体との間の距離を測定しつつ突起周辺の基準面を測定することから、
研磨が必要な基準面からの突起の高さも測定される
　そこで、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１において、「研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する手段」を、「被研磨体の基準面からの突起の高さを測定する手段」と置き換え、これにより、
仮に
　（２）
仮に
　そうすると、本件特許請求の範囲に記載された発明は、「研磨体表面と被研磨体の間隔を測定する手段」を、「被研磨体の基準面からの突起の高さを測定する手段」と置き換えることになる。合わせて、測定する手段により測定される「間隔」をすべて、「被研磨体の基準面からの突起の高さ」と置き換えることにより、以下の通りとなる。
「　【請求項１】　微細パターン形成領域およびその周辺に発生する突起等を研磨方法により修正する微細パターン部分研磨装置において、
被研磨体の基準面からの突起の高さ
被研磨体の基準面からの突起の高さ
被研磨体の基準面からの突起の高さ
　　【請求項２】　請求項１において、少なくとも研磨体表面が略球面形状の研磨用ヘッドを具備することを特徴とする微細パターン部分研磨装置。
　　【請求項３】　請求項１において、少なくとも研磨体がワイヤー状で構成されていることを特徴とする微細パターン部分研磨装置。」（なお、下線は、もとの特許請求の範囲の記載から置き換えた部分を示す。）
　ところで、本件特許請求の範囲の請求項１に記載された発明は、計測する手段を３つ挙げ、そのいずれかの測定手段による微細パターン部分研磨装置としていることから、結局、請求項１に記載された発明は、以下の３つの発明のうち、いずれか１つと考えることができる。
発明１−１
「微細パターン形成領域およびその周辺に発生する突起等を研磨方法により修正する微細パターン部分研磨装置において、被研磨体の基準面からの突起の高さを測定する手段を具備し、該測定する手段により得られた情報に基づいて、研磨体表面と被研磨体の間隔を制御するもので、前記測定する手段が、被研磨体と研磨体の間にレーザ光を通し、該レーザ光をセンサーで検知し、その検知電圧の変化により、被研磨体の基準面からの突起の高さを測定するものであることを特徴とする微細パターン部分研磨装置。」
発明１−２
「微細パターン形成領域およびその周辺に発生する突起等を研磨方法により修正する微細パターン部分研磨装置において、被研磨体の基準面からの突起の高さを測定する手段を具備し、該測定する手段により得られた情報に基づいて、研磨体表面と被研磨体の間隔を制御するもので、前記測定する手段が、被研磨体と研磨体との隙間に圧縮空気を吹き出し、該吹き出した圧縮空気の圧力の変化量をセンサーにより読み取り、読み取られた圧力の変化量により、被研磨体の基準面からの突起の高さを測定するものであることを特徴とする微細パターン部分研磨装置。」
発明１−３
「微細パターン形成領域およびその周辺に発生する突起等を研磨方法により修正する微細パターン部分研磨装置において、被研磨体の基準面からの突起の高さを測定する手段を具備し、該測定する手段により得られた情報に基づいて、研磨体表面と被研磨体の間隔を制御するもので、前記測定する手段が、接触式の圧力センサを用いて、被研磨体の基準面を測定するものであることを特徴とする微細パターン部分研磨装置。」
　（３）甲第８号証（特開平７−２０５０１１号公報）に記載された発明
　一方、甲第８号証には、以下の記載がある。
　ア．明細書の段落番号【０００１】
「【産業上の利用分野】本発明は、例えばカラー液晶パネルの構成要素としてのカラーフィルタ基板の異物除去に用いられるフィルタ基板異物除去方法及びその装置に関するものである。」
　イ．明細書の段落番号【００１１】
「図１乃至図９の第一実施例において、１は機台、２は移動機構であって、この場合機台１上に摺動部３により前後方向に移動自在に前後スライド台４を配設し、この前後スライド台４を前後移動用モータ５及びボールネジ機構６により移動可能に設け、この前後スライド台４上に摺動部７により左右方向に移動自在に左右スライド台８を配設し、この左右スライド台８を左右移動用モータ９及びボールネジ機構１０により移動可能に設け、この左右スライド台８上に図外の吸着固定機構等によりフィルタ基板Ｗを位置決め状態で固定載置可能な載置台１１を配設して構成している。」
　ウ．明細書の段落番号【００１２】
「１２はテープ移送機構であって、この場合機台１の後部に機体１３を立設し、機体１３の前部に上下移動台１４を摺動部１５により上下動作可能に設け、この上下移動台１４を上下させる上下動用モータ１６及びボールネジ機構１７を設け、上下移動台１４の左右側部に・・・研磨テープＴの実巻リール１８及び巻取リール１９を軸着し、この実巻リール１８を繰出回転させる繰出用モータ２０を設け、かつ巻取ローラ２１を巻取回転させる巻取用モータ２２を設け、巻取用モータ２２によりベルト２３を介して巻取リール１９を巻取回転させ、上下移動台１４にテンション機構２４を配設し、テンション機構２４の進退動作可能なプランジャ２５にテンションローラ２６を取付け、実巻リール１８から引き出した研磨テープＴをローラー２７、テンションローラー２６、ローラ２８、ローラ２９を介して異物除去部３０により折り返し案内し、ローラ３１、ローラ３２を介して巻取ローラ２１と挟着ローラ３３との間を経て巻取リール１９に巻回し、実巻リール１８及び巻取リール１９を回転させながら巻取ローラ２１により研磨テープＴを一方向に連続移送させるように構成している。」
　エ．明細書の段落番号【００１４】
「３７は押圧部であって、弾圧機構３７ａを含んで構成され、上記案内ガイド３５にナット体３８及びガイド体３９を取付ボルト４０により取付け、ガイド体３９に摺動穴４１を形成し、摺動穴４１に鋼球、樹脂製球等の球体４２を上下移動自在に内装し、摺動穴４１の下周縁部に球体４２の一部が突出する状態で保持可能な抜止部４３を形成し、ナット体３８に調節用ネジ４４を螺着し、摺動穴４１内に上下二個の押圧片４５により押圧用バネ４６を挟装して内装し、研磨テープＴを球体４２により適宜調節されたバネ圧により弾圧して構成している。・・・」
　オ．明細書の段落番号【００１６】
「５０は高さ測定部であって、この場合マイクロコンピュータ等により構成され、上記テープ移送機構１２及び移動機構２並びに位置制御部４７、上下動用モータ１６に電気的に接続され、例えば、顕微鏡式自動計測器やＣＣＤカメラ等のセンサー手段５１を備えてなり、この場合設定された加工時間での研磨除去加工の後に移動機構２により異物Ｍとセンサー手段５１とが対向し、この対向位置で異物Ｍの残存高さＨを測定し、所定の高さ、例えば３μｍ〜５μｍ以内になっていれば以降の除去加工を停止し、また所定の高さに達していない場合には、再加工信号を出力し、移動機構２により異物Ｍと異物除去部３０とを対向させ、異物除去部３０により再度設定された加工時間の除去加工を行い、加工後に再度異物Ｍの残存高さＨを再度測定するように構成されている。」
　以上の記載から、図面の図１乃至図９を参照することにより、甲第８号証には以下の発明が記載されている。
「フィルタ基板Ｗ上の異物Ｍを連続移送される研磨テープＴにより除去するフィルタ基板異物除去装置において、異物Ｍの残存高さＨを測定するＣＣＤカメラ等のセンサー手段５１を有し、異物Ｍの残存高さが所定の高さ以内になるまで異物Ｍの除去加工を行なうフィルタ基板異物除去装置。」（以下、「引用発明」とする。）
　（４）発明１−１と引用発明との検討
　（４）−１．対比
　上記発明１−１と引用発明とを対比すると、引用発明の「異物Ｍ」、「フィルタ基板異物除去装置」はそれぞれ、発明１−１の「突起等」、「微細パターン部分研磨装置」に相当する。
　引用発明の「フィルタ基板Ｗ」は、摘記事項アにあるように、カラー液晶パネルの構成要素としてのものであるので、当然、その表面には微細パターンが形成されるものであり、また、その周辺にもその他の情報を形成するものであることから、発明１−１の「微細パターン形成領域及びその周辺」も含むものである。
　引用発明の「異物Ｍを連続移送される研磨テープＴにより除去する」ことは、発明１−１の「突起等を研磨方法により修正する」ことに相当する。
　引用発明の「異物Ｍの残存高さ」とは、発明１−１の「被研磨体の基準面からの突起の高さ」に相当することは明らかである。
　したがって、発明１−１と引用発明とは、以下の一致点、及び相違点１及び２を有する。
一致点
「微細パターン形成領域およびその周辺に発生する突起等を研磨方法により修正する微細パターン部分研磨装置において、被研磨体の基準面からの突起の高さを測定する手段を具備する微細パターン部分研磨装置。」
相違点１
　被研磨体の基準面からの突起の高さを測定する手段が発明１−１では被研磨体と研磨体の間にレーザ光を通し、該レーザ光をセンサーで検知し、その検知電圧の変化により、測定するものであるのに対し、引用発明では、ＣＣＤカメラにより計測するものである点。
相違点２
　研磨に関し、発明１−１では、測定する手段により得られた情報に基づいて、研磨体表面と被研磨体の間隔を制御しているのに対し、引用発明では、測定する手段により得られた情報である異物Ｍの残存高さは利用しているものの、どのような制御を行っているかは不明な点。
　（４）−２．判断
　上記相違点について検討する。
　（４）−２−１．相違点１について
　２つの物体の間にレーザ光を通し、該レーザ光をセンサーで検知し、その検知電圧の変化により、２つの物体間の距離を測定することは、例えば、特開昭６３−１１７２０４号公報、特開平６−１６７３２０号公報に記載されているように周知の技術であり、この周知技術を引用発明に適用することを阻害する要因は存在しない。そして、研磨体である研磨テープＴと被研磨体であるフィルタ基板Ｗとの間にレーザ光を通し、研磨テープＴとフィルタ基板Ｗとの間の距離、及び、研磨テープＴと異物Ｍとの間の距離を測定することにより、結果として異物Ｍの残存高さを求めることが可能である。したがって、引用発明において、ＣＣＤカメラにより異物Ｍの残存高さを測定することに代え、上記周知のレーザ光とセンサーを用い、間接的に異物Ｍの残存高さを測定することは、当業者が容易になし得たものである。
　（４）−２−２．相違点２について
　被研磨体から突出する突起を研磨するために、研磨体表面と被研磨体の間隔を制御することは、甲第４号証（甲第４号証の明細書の段落番号【００１７】には、「研磨装置による研削量は研磨装置本体の最終降下位置により規定されるため、研磨装置本体すなわち研磨ヘッド４７とカラーフィルタ３との間の相対距離を高精度に規制する必要がある。」との記載がある。）、あるいは甲第５号証（甲第５号証の明細書の段落番号【００２０】には、「請求項２の発明に係る異物修正装置は、流量変化検出手段が検出した流体の流量変化に応じて、加工手段の下面とフィルタの一方面との間の隙間の距離を制御できる。」との記載がある。）に記載されているように周知の技術であることから、引用発明においても、異物Ｍの残存高さＨが所定の高さ以内になるように、研磨体表面と被研磨体である「研磨テープＴとフィルタ基板Ｗ」の間隔を制御するようにすることは、当業者が容易になし得たものである。
　（４）−３．むすび
　したがって、発明１−１は、甲第８号証に記載された発明及び上記周知技術を用いることにより、当業者が容易になし得たものであるので、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　（５）発明１−２と引用発明との検討
　（５）−１．対比
　上記発明１−２と引用発明とを対比すると、引用発明の「異物Ｍ」、「フィルタ基板異物除去装置」はそれぞれ、発明１−２の「突起等」、「微細パターン部分研磨装置」に相当する。
　引用発明の「フィルタ基板Ｗ」は、摘記事項アにあるように、カラー液晶パネルの構成要素としてのものであるので、当然、その表面には微細パターンが形成されるものであり、また、その周辺にもその他の情報を形成するものであることから、発明１−２の「微細パターン形成領域及びその周辺」も含むものである。
　引用発明の「異物Ｍを連続移送される研磨テープＴにより除去する」ことは、発明１−２の「突起等を研磨方法により修正する」ことに相当する。
　引用発明の「異物Ｍの残存高さ」とは、発明１−２の「被研磨体の基準面からの突起の高さ」に相当することは明らかである。
　したがって、発明１−２と引用発明とは、以下の一致点、及び相違点３及び２を有する。
一致点
「微細パターン形成領域およびその周辺に発生する突起等を研磨方法により修正する微細パターン部分研磨装置において、被研磨体の基準面からの突起の高さを測定する手段を具備する微細パターン部分研磨装置。」
相違点３
　被研磨体の基準面からの突起の高さを測定する手段が発明１−２では被研磨体と研磨体との隙間に圧縮空気を吹き出し、該吹き出した圧縮空気の圧力の変化量をセンサーにより読み取り、読み取られた圧力の変化量により、被研磨体の基準面からの突起の高さを測定するものであるのに対し、引用発明では、ＣＣＤカメラにより計測するものである点。
相違点２
　研磨に関し、発明１−２では、測定する手段により得られた情報に基づいて、研磨体表面と被研磨体の間隔を制御しているのに対し、引用発明では、測定する手段により得られた情報である異物Ｍの残存高さは利用しているものの、どのような制御を行っているかは不明な点。
　（５）−２．判断
　上記相違点について検討する。
　（５）−２−１．相違点３について
　甲第５号証である特開平７−２５３５０７号公報には、加工工具５９のボルト５７の端面５８に形成されたエア噴出口６０からエアを噴出し、カラーフィルタ４９と加工工具５９との隙間をこのエアの圧力により測定する技術が記載されている。ここで、加工工具５９は、異物５０が存在する場合、異物５０を除去することなしにはそれ以上カラーフィルタ４９に接近できないことは明らかであるので、結局、カラーフィルタ４９と加工工具５９との隙間を測定した場合、その測定された値は、異物５０の高さに相当するものである。そして、甲第５号証に記載された技術を引用発明に適用することを阻害する要因は存在しない。したがって、引用発明において、ＣＣＤカメラにより異物Ｍの残存高さを測定することに代え、甲第５号証に記載されたエア噴出の技術を適用し、研磨テープＴとフィルタ基板Ｗの距離を測定することにより、結果として、異物Ｍの残存高さを測定することは、当業者が容易になし得たものである。
　（５）−２−２．相違点２について
　相違点２については、（４）−２−２で言及した通り、甲第４号証、甲第５号証に記載の従来周知の技術を用いることにより、当業者が容易になし得たものである。
　（５）−３．むすび
　したがって、発明１−２は、甲第８号証に記載された発明、甲第５号証に記載された技術及び上記周知技術を用いることにより、当業者が容易になし得たものであるので、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　（６）発明１−３と引用発明との検討
　（６）−１．対比
　上記発明１−３と引用発明とを対比すると、引用発明の「異物Ｍ」、「フィルタ基板異物除去装置」はそれぞれ、発明１−３の「突起等」、「微細パターン部分研磨装置」に相当する。
　引用発明の「フィルタ基板Ｗ」は、摘記事項アにあるように、カラー液晶パネルの構成要素としてのものであるので、当然、その表面には微細パターンが形成されるものであり、また、その周辺にもその他の情報を形成するものであることから、発明１−３の「微細パターン形成領域及びその周辺」も含むものである。
　引用発明の「異物Ｍを連続移送される研磨テープＴにより除去する」ことは、発明１−３の「突起等を研磨方法により修正する」ことに相当する。
　引用発明の「異物Ｍの残存高さ」とは、発明１−３の「被研磨体の基準面からの突起の高さ」に相当することは明らかである。
　したがって、発明１−３と引用発明とは、以下の一致点、及び相違点４及び２を有する。
一致点
「微細パターン形成領域およびその周辺に発生する突起等を研磨方法により修正する微細パターン部分研磨装置において、被研磨体の基準面からの突起の高さを測定する手段を具備する微細パターン部分研磨装置。」
相違点４
　被研磨体の基準面からの突起の高さを測定する手段が発明１−３では接触式の圧力センサを用いて、被研磨体の基準面を測定するものであるのに対し、引用発明では、ＣＣＤカメラにより計測するものである点。
相違点２
　研磨に関し、発明１−３では、測定する手段により得られた情報に基づいて、研磨体表面と被研磨体の間隔を制御しているのに対し、引用発明では、測定する手段により得られた情報である異物Ｍの残存高さは利用しているものの、どのような制御を行っているかは不明な点。
　（６）−２．判断
　上記相違点について検討する。
　（６）−２−１．相違点４について
　甲第７号証である特開平５−２５００３７号公報には、車体３０のワーク３１に薄膜圧力センサ１を押し付けることにより、ワーク３１の位置を検出する技術が記載されている。薄膜圧力センサ１は、明らかに接触式の圧力センサであり、ワーク３１の位置を測定する。そして、甲第５号証に記載された技術を引用発明に適用することを阻害する要因は存在しない。そして、異物Ｍの残存高さを測定する場合には、フィルタ基板Ｗの基準面の位置、及び異物Ｍの上端の位置の２箇所について、接触式の圧力センサで測定すれば、異物Ｍの残存高さが測定できることは明らかである。したがって、引用発明において、ＣＣＤカメラにより異物Ｍの残存高さを測定することに代え、甲第７号証に記載された薄膜圧力センサの技術を適用し、その薄膜圧力センサによりフィルター基板Ｗの基準面及び異物Ｍの上端の位置を測定し、もって異物Ｍの残存高さを測定することは、当業者が容易になし得たものである。
　（６）−２−２．相違点２について
　相違点２については、（４）−２−２で言及した通り、甲第４号証、甲第５号証に記載の従来周知の技術を用いることにより、当業者が容易になし得たものである。
　（６）−３．むすび
　したがって、発明１−３は、甲第８号証に記載された発明、甲第７号証に記載された技術及び上記周知技術を用いることにより、当業者が容易になし得たものであるので、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　（７）
仮に
　請求項２において特定されている「研磨体表面が略球面形状の研磨用ヘッドを具備する」点については、甲第８号証に記載されているとおり、また、請求項３において特定されている「研磨体がワイヤー状で構成されている」点については、甲第９号証である特開平７−５２０１４号公報に記載されているとおり、ともに周知の事項である。
　したがって、請求項２ないし３に記載された発明は、甲第８号証に記載された発明、甲第５号証、甲第７号証それぞれに記載された技術、及び周知技術、周知事項を用いることにより、当業者が容易になし得たものであるので、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　（８）特許法第２９条２項の要件に関する
仮の
　以上のとおり、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明を、
仮に
仮に
　
第６．むすび
　以上のとおり、本件特許は、特許法第３６条第４項及び第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、特許法第２９条第２項に規定する要件について検討するまでもなく、同法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきものである。
　審判に関する費用については、特許法１６９条第２項において準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり、審決する。