【手続補正書】
【提出日】平成23年7月12日(2011.7.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物を支持する支持部と、
前記支持部に支持された前記被検物の表面に検査用照明光を照射するとともに該照明光の波長を変更可能な照明部と、
前記検査用照明光が照射された前記被検物の表面からの検査光を受け前記被検物の像を形成させる結像光学系と、
前記結像光学系により形成された前記被検物の像を撮像する撮像素子と、
前記撮像素子で撮像された前記被検物の像に基づいて前記被検物の表面の検査を行う検査部とを有し、
前記被検物の表面と前記検査光の光軸とが成す角度を調整可能であり、
前記角度と前記検査用照明光の波長に応じて、前記被検物と前記撮像素子と前記結像光学系とがシャインプルーフの条件を満たすように、且つ、前記被検物と前記撮像素子とが前記結像光学系を介して互いに共役となるように、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を制御する制御部を備えたことを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記被検物と前記撮像素子と前記結像光学系とがシャインプルーフの条件を満たすように、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸に対して傾動させるシャインプルーフ条件制御部を有することを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記被検物と前記撮像素子とが前記結像光学系を介して互いに共役となるように、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸方向に移動させるフォーカス制御部を有することを特徴とする請求項１または２に記載の表面検査装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記検査用照明光の波長の変更により生じる前記結像光学系の軸上色収差に応じて、前記被検物と前記撮像素子とが前記結像光学系を介して互いに共役となるように制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の表面検査装置。
【請求項５】
前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸に対して略垂直な方向に、または前記シャインプルーフの条件を満たす面内で移動させる解像度制御部を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の表面検査装置。
【請求項６】
前記解像度制御部は、前記撮像素子を前記検査光の光軸に対して略垂直な方向に移動させることを特徴とする請求項５に記載の表面検査装置。
【請求項７】
被検物の表面に波長が変更可能な検査用照明光を照射する第１のステップと、
前記検査用照明光が照射された前記被検物の表面からの検査光を受光する第２のステップと、
前記第２のステップで受光した前記検査光に基づいて前記被検物の表面の検査を行う第３のステップとを有し、
前記第２のステップにおいて、前記被検物の表面と前記検査光の光軸とが成す角度に応じて、前記被検物と前記検査光の受光面を有する撮像素子と前記検査光を受け前記受光面に前記被検物の像を形成させる結像光学系とがシャインプルーフの条件を満たすように、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸に対して傾動させ、且つ、前記検査用照明光の波長に応じて前記被検物と前記撮像素子とが前記結像光学系を介して互いに共役となるように、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸方向に移動させることを特徴とする表面検査方法。
【請求項８】
前記第２のステップにおいて、前記検査用照明光の波長の変更により生じる前記結像光学系の軸上色収差に応じて、前記被検物と前記撮像素子とが前記結像光学系を介して互いに共役となるように、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸方向に移動させることを特徴とする請求項７に記載の表面検査方法。
【請求項９】
前記第２のステップにおいて、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸に対して略垂直な方向に移動させることを特徴とする請求項７または８に記載の表面検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
このような目的達成のため、本発明に係る表面検査装置は、被検物を支持する支持部と、前記支持部に支持された前記被検物の表面に検査用照明光を照射するとともに該照明光の波長を変更可能な照明部と、前記検査用照明光が照射された前記被検物の表面からの検査光を受け前記被検物の像を形成させる結像光学系と、前記結像光学系により形成された前記被検物の像を撮像する撮像素子と、前記撮像素子で撮像された前記被検物の像に基づいて前記被検物の表面の検査を行う検査部とを有し、前記被検物の表面と前記検査光の光軸とが成す角度を調整可能であり、前記角度と前記検査用照明光の波長に応じて、前記被検物と前記撮像素子と前記結像光学系とがシャインプルーフの条件を満たすように、且つ、前記被検物と前記撮像素子とが前記結像光学系を介して互いに共役となるように、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を制御する制御部を備えて構成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
なお、上述の表面検査装置において、前記制御部は、前記被検物と前記撮像素子と前記結像光学系とがシャインプルーフの条件を満たすように、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸に対して傾動させるシャインプルーフ条件制御部を有して構成されることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、上述の表面検査装置において、前記制御部は、前記被検物と前記撮像素子とが前記結像光学系を介して互いに共役となるように、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸方向に移動させるフォーカス制御部を有して構成されることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、上述の表面検査装置において、前記制御部は、前記検査用照明光の波長の変更により生じる前記結像光学系の軸上色収差に応じて、前記被検物と前記撮像素子とが前記結像光学系を介して互いに共役となるように制御することが好ましい。
また、上述の表面検査装置において、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸に対して略垂直な方向に、または前記シャインプルーフの条件を満たす面内で移動させる解像度制御部を備えて構成されることが好ましい。またこのとき、前記解像度制御部は、前記撮像素子を前記検査光の光軸に対して略垂直な方向に移動させることが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明に係る表面検査方法は、被検物の表面に波長が変更可能な検査用照明光を照射する第１のステップと、前記検査用照明光が照射された前記被検物の表面からの検査光を受光する第２のステップと、前記第２のステップで受光した前記検査光に基づいて前記被検物の表面の検査を行う第３のステップとを有し、前記第２のステップにおいて、前記被検物の表面と前記検査光の光軸とが成す角度に応じて、前記被検物と前記検査光の受光面を有する撮像素子と前記検査光を受け前記受光面に前記被検物の像を形成させる結像光学系とがシャインプルーフの条件を満たすように、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸に対して傾動させ、且つ、前記検査用照明光の波長に応じて前記被検物と前記撮像素子とが前記結像光学系を介して互いに共役となるように、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸方向に移動させるようになっている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
なお、上述の表面検査方法では、前記第２のステップにおいて、前記検査用照明光の波長の変更により生じる前記結像光学系の軸上色収差に応じて、前記被検物と前記撮像素子とが前記結像光学系を介して互いに共役となるように、前記撮像素子および前記結像光学系の少なくともいずれか一方を前記検査光の光軸方向に移動させることが好ましい。