(57)【要約】      （修正有）【課題】周波数は段階的に可変可能で、電圧は連続的に可変可能な機能を備えた安価で利便性がある安全な高周波高電圧電源装置を提供する。【解決手段】高周波高電圧電源１、周波数５ｋＨｚの出力端子３、周波数１０ｋＨｚの出力端子４、周波数１５ｋＨｚの出力端子５、周波数２０ｋＨｚの出力端子６、格納可能な高周波高電圧を負荷に供給する装備２および接地端子７で構成され、高周波高電圧を供給する装備２は、各出力端子から負荷に供給する電線を止める溝を有する。【選択図】図１
0003169069.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
周波数５kHzの高電圧回路１１、１０kHzの高電圧回路１２、１５kHzの高電圧回路１３、２０kHzの高電圧回路１４、インターロック回路１５、操作回路１６、入力電圧調整回路１７で構成される高周波高電圧電源装置。
【請求項２】
高周波高電圧電源１、周波数５kHzの高電圧出力端子３、周波数１０kHzの高電圧出力端子４、周波数１５kHzの高電圧出力端子５および周波数２０kHzの高電圧出力端子６、格納可能な高周波高電圧を負荷に供給する装備２、接地端子７で構成される請求項１の回路を構成する高周波高電圧電源装置。
【請求項３】
周波数５kHz、１０kHz、１５kHzおよび２０kHzについて、それぞれの実験および試験を実施する場合に、誤操作による事故の防止等の安全を図るためインターロック回路１５を内蔵した請求項１および請求項２の高周波高電圧電源装置。
【請求項４】
格納可能な高周波高電圧を負荷に供給する装備２を具備した利便性および安全を図った請求項１、請求項２および請求項３の高周波高電圧電源装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、周波数が５kHz、１０kHz、１５kHz、２０kHzの４種類およびそれぞれの電圧が可変で、高周波放電およびプラズマの実験および試験をするための高周波高電圧を発生する装置で、その実験および試験の利便性かつ安全を図った安価な高周波高電圧電源装置である。
【背景技術】
【０００２】
高周波高電圧電源装置は、放電を利用したオゾン発生およびプラズマ生成などの電源装置として活用され、それぞれの装置に必要な周波数および電圧を供給する電源装置として普及している。
【０００３】
放電を利用したオゾン発生およびプラズマ生成を利用した応用装置が普及する中で、それらを開発および試作するためには周波数２０kHz程度および電圧１５kV程度まで可変できる高周波高電圧電源があれば便利である。また、その電源を用いて最適な条件や特性を見出すための高周波放電の実験およびそれを用いた試験を可能とする。
【０００４】
このようなことを目的とする周波数および電圧が連続的に可変できる高周波高電圧電源装置は受注生産品として存在するが、大変高価である。
【０００５】
特許情報として存在するものとして、周波数は２０kHzおよび電圧は５kVまで可変可能な高周波電源装置としては耐圧試験を目的とした高周波耐電圧試験装置がある［特許文献１］。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−３３３０８７号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
このような高周波高電圧電源装置は、特に周波数を連続的に可変可能な機能を具備しているものについては極めて高価である。また、安価なものはある周波数に限定した装置であり、周波数による特性を測定することができない。しかし、これらの実験および試験において、周波数を必ずしも連続的に可変する必要はなく段階的に変化されることで目的を達成することが可能な場合もある。そこで、周波数は段階的に可変できるとともに電圧は連続的に可変可能な機能を具備した安価で利便性がある安全な高周波高電圧電源を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本考案は、電圧においては連続的な可変が可能で、周波数においては５kHz、１０kHz、１５kHz、２０kHzの４種類について、それぞれの周波数に対して独立した高電圧回路を内蔵することにより４種類の周波数に対する実験および試験を実現させた。また、利便性および安全を図る装備および回路を備えたことを特徴とする。
【考案の効果】
【０００９】
本考案の高周波高電圧電源装置は、安価で利便性があり安全に配慮した電源として高周波放電およびプラズマの実験および試験を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は本考案による高周波高電圧電源装置の実施形態の例を示す概念図である。
【図２】図２は本考案による高周波高電圧電源装置の回路構成を示す概念図である。
【図３】図３は装備２を格納した状態を示す。
【図４】図４は本考案による高周波高電圧電源装置の周波数５kHzにおける電圧波形である。
【図５】図５は本考案による高周波高電圧電源装置の周波数１０kHzにおける電圧波形である。
【図６】図６は本考案による高周波高電圧電源装置の周波数１５kHzにおける電圧波形である。
【図７】図７は本考案による高周波高電圧電源装置の周波数２０kHzにおける電圧波形である。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
本考案は、図１に示す周波数５kHz、１０kHz、１５kHz、２０kHzの高電圧の各出力端子および格納可能な高周波高電圧を負荷に供給する装備で構成され高周波高電圧電源装置に、負荷として高周波放電およびプラズマに関する実験および試験装置を接続することで実現できる。
【実施例１】
【００１２】
図１は本考案による実験および試験の構成を示すものであって、高周波高電圧電源装置１、周波数５kHzの高電圧出力端子３、周波数１０kHzの高電圧出力端子４、周波数１５kHzの高電圧出力端子５および周波数２０kHzの高電圧出力端子６ならびに格納可能な高周波高電圧を負荷に供給する装備２、接地端子７および負荷８で構成される。
【００１３】
図２は、本考案装置の回路構成を示す図であって、周波数５kHzの高電圧回路１１、１０kHzの高電圧回路１２、１５kHzの高電圧回路１３、２０kHzの高電圧回路１４、インターロック回路１５、操作回路１６、入力電圧調整回路１７で構成され、１００pF以下の容量性負荷に対して、周波数５kHz、１０kHz、１５kHzおよび２０kHzの４種類についてピークピーク電圧を１３ｋVまで可変可能である。また、交流100Vに接続する。
【００１４】
図３は格納可能な高周波高電圧を負荷に供給する装備２を格納した状態を示す。
【００１５】
図４、図５、図６および図７は、同一の負荷を接続した場合の周波数５kHz、１０kHz、１５kHzおよび２０kHzにおける出力電圧波形を示す。いずれもピークピーク電圧は１０ｋVである。この測定には2000:1の高電圧プローブ(形式EP-50K)ならびに2kV/divおよび25μs/divのレンジを使用した。
【００１６】
周波数を可変しての測定においては、５kHz、１０kHz、１５kHzおよび２０kHzの周波数について高電圧回路が誤操作により同時に動作することがないようにインターロック回路１５を内蔵させた。また、５kHz、１０kHz、１５kHzおよび２０kHzの周波数に対する試験においては、最大４種類同時に実施することができる。それらの測定と試験については操作回路１６で切り替えることができる。
【００１７】
図１は周波数５kHzの高電圧出力端子３に負荷８が接続された状態を示している。その他の周波数について実験および試験をする場合は、各高電圧出力端子４、５および６に接続を切り替えることで実現できる。
【００１８】
最大４種類の周波数について同時に試験をする場合は、各出力端子の４つの負荷を接続することで実現する。このことにより試験の効率を向上させることができる。さらに、格納可能な高周波高電圧を負荷に供給する装備２により実験および試験の利便性および安全を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００１９】
本考案である高周波高電圧電源装置は、放電を利用したオゾン発生およびプラズマ生成を利用した応用装置の開発および試作のための簡易的で安価な電源としての用途ならびに放電実験の教育的提示用の電源としても用途が期待できる。
【符号の説明】
【００２０】
１    高周波高電圧電源装置
２    格納可能な高周波高電圧を負荷に供給する装備
３    周波数５kHzの高電圧出力端子
４    周波数１０kHzの高電圧出力端子
５    周波数１５kHzの高電圧出力端子
６    周波数２０kHzの高電圧出力端子
７    接地端子
８    負荷
１１  周波数５kHzの高電圧回路
１２  周波数１０kHzの高電圧回路
１３  周波数１５kHzの高電圧回路
１４  周波数２０kHzの高電圧回路
１５  インターロック回路
１６  操作回路
１７  入力電圧調整回路
【図１】
0003169069.tif 000003
【図２】
0003169069.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【手続補正書】
【提出日】平成23年5月1日(2011.5.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
高周波高電圧電源１、周波数５kHzの出力端子３、周波数１０kHzの出力端子４、周波数１５kHzの出力端子５、周波数２０kHzの出力端子６、格納可能な高周波高電圧を負荷に供給する装備２および接地端子７で構成され、前記高周波高電圧を供給する装備２は、前記各出力端子から負荷に供給する電線を止める溝を有することを特徴とする高周波高電圧電源装置。
【請求項２】
周波数５kHzの高電圧回路１１、１０kHzの高電圧回路１２、１５kHzの高電圧回路１３、２０kHzの高電圧回路１４、インターロック回路１５、操作回路１６および入力電圧調整回路１７で構成され、電源に操作回路１６を接続し、操作回路１６により前記４種類の高電圧回路のいずれか一つの回路、またはいずれか二つの回路、またはいずれか三つの回路、または４つすべての回路に入力電圧調整回路を経て入力することができ、入力する前記高電圧回路と入力しない前記高電圧回路との同時動作を防ぐインターロック回路１５を具備し、入力電圧調整回路１７により前記高電圧回路への入力電圧を可変することにより高電圧回路の出力電圧を可変できることを特徴とする請求項１記載の高周波高電圧電源装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
0003169069.tif 000011
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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