(57)【要約】超音波振動子エレメント２０は、基板１１と、基板１１の上に配設された下部電極１２と、下部電極１２とキャビティ１４Ｈを介して対向配置している上部電極１６を含むメンブレン１８と、メンブレン１８を支持することでキャビティ１４Ｈを形成している複数の柱１４と、をそれぞれが有し、それぞれのキャビティ１４Ｈが互いに通じている複数のセル１０からなるセル群１０Ｚと、を具備する。
2014077106.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の上に配設された下部電極と、前記下部電極とキャビティを介して対向配置している上部電極を含むメンブレンと、前記メンブレンを支持することで前記キャビティを形成している複数の柱と、をそれぞれが有し、それぞれの前記キャビティが互いに通じている複数の超音波振動子セルからなるセル群と、を具備することを特徴とする超音波振動子エレメント。
【請求項２】
前記メンブレンが、３本以上１６本以下の前記複数の柱により支持されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波振動子エレメント。
【請求項３】
それぞれの柱が、隣接する複数の超音波振動子セルのメンブレンを支持していることを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子エレメント。
【請求項４】
前記超音波振動子セルの前記下部電極又は前記上部電極の少なくともいずれかが、前記基板のセル群形成領域の全面に配設されている、前記複数の振動子の共通電極であることを特徴とする請求項３に記載の超音波振動子エレメント。
【請求項５】
前記セル群が、前記キャビティの形状、前記キャビティの大きさ、前記柱の数又は前記メンブレンの厚さから選ばれる少なくともいずれかが異なる複数の種類の前記超音波振動子セルを具備することを特徴とする請求項３に記載の超音波振動子エレメント。
【請求項６】
それぞれの前記キャビティの形状が、ペンローズタイルパターンを構成する２種類の菱形であり、
前記柱が、前記２種類の菱形の頂点に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の超音波振動子エレメント。
【請求項７】
前記セル群の最外周領域の前記キャビティの外周側が、包絡面からなる封止壁により囲まれており、前記セル群の前記複数のキャビティが外部と通じていない密封された空間であることを特徴とする請求項３に記載の超音波振動子エレメント。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の超音波振動子エレメントが先端部に配設された挿入部と、前記挿入部の基端側に配設された操作部と、前記操作部から延出するユニバーサルコードと、を具備することを特徴とする超音波内視鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の静電容量型の超音波振動子セル（以下、「セル」ともいう）からなるセル群を具備する超音波振動子エレメント（以下、「エレメント」ともいう）及び前記超音波振動子エレメントが先端部に配設された挿入部を具備する超音波内視鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
体内に超音波を照射し、エコー信号から体内の状態を画像化して診断する超音波診断法が普及している。超音波診断法に用いられる医療装置の１つに超音波内視鏡がある。超音波内視鏡は、体内へ導入される挿入部の先端硬性部にエレメントが配設されている。エレメントは電気信号を超音波に変換し体内へ送信し、また体内で反射した超音波を受信して電気信号に変換する機能を有する。【０００３】
現在の多くのエレメントには、環境負荷が大きい鉛を含むセラミック圧電材、例えばＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）等が主に使用されている。これに対して、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を用いて製造される、材料に鉛を含まない静電容量型超音波振動子（Capacitive Micro-machined Ultrasonic Transducer；以下、「ｃ−ＭＵＴ」という）からなる複数のセルを有するエレメントの開発が進んでいる。【０００４】
例えば、図１〜図３に示すエレメント１２０が、米国特許第６８５４３３８号明細書に開示されている。上面図である図１に示すように、エレメント１２０は、超音波送受信の基本単位である２５個のｃ−ＭＵＴからなるセル１１０を有する。【０００５】
図２はエレメント１２０の１個のセル１１０の断面図であり、図３は、図１に示したエレメント１２０の４個のセル１１０の部分分解図であり、破線で示された正方形は、１個のセル１１０の専有領域、言い換えればセル１１０の平面視形状を示している。なお、以下、平面視形状を単に形状という。セル１１０の形状は正方形と見なすことができる。【０００６】
図２及び図３に示すように、セル１１０は、下部電極１２を兼ねた導電性の基板１１１と、キャビティ１１４Ｈを介して対向配置している上部電極１１６を有する。上部電極１１６のキャビティ１１４Ｈの直上の領域が超音波振動するメンブレン１１８を構成している。キャビティ１１４Ｈは、絶縁層１１４に形成された貫通孔により形成されている。キャビティ１１４Ｈは、外部と通じていない密封された空間である。【０００７】
セル１１０は、下部電極１２と上部電極１１６との間に駆動信号が印加されるとメンブレン１１８が振動して超音波を発生する。外部から超音波が入射すると、メンブレン１１８が変形し電極間の静電容量が変化することを利用して、超音波を電気信号に変換する。エレメント１２０の送受信感度は、「（メンブレン１１８の面積）／（セル１１０の面積）」で示される開口率が大きいほど高い。【０００８】
しかし、正方形のセル１１０を有するエレメント１２０では、円形のキャビティ１１４Ｈの直上のメンブレン１１８以外の領域は、超音波の送受信には寄与しない不感領域である。例えば不感領域の電極間の静電容量は超音波受信時に変化しない、いわゆる寄生容量となる。【０００９】
エレメント１２０では不感領域が広く開口率が小さいため、高い送受信感度を得ることが容易ではなかった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
送受信感度の高い超音波振動子エレメント及び前記超音波振動子エレメントを具備する超音波内視鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の実施形態の超音波振動子エレメントは、基板と、前記基板の上に配設された下部電極と、前記下部電極とキャビティを介して対向配置している上部電極を含むメンブレンと、前記メンブレンを支持することで前記キャビティを形成している複数の柱と、をそれぞれが有し、それぞれの前記キャビティが互いに通じている複数の超音波振動子セルからなるセル群と、を具備する。【００１２】
また、別の実施形態の超音波内視鏡は、基板と、前記基板の上に配設された下部電極と、前記下部電極とキャビティを介して対向配置している上部電極を含むメンブレンと、前記メンブレンを支持することで前記キャビティを形成している複数の柱と、をそれぞれが有し、それぞれの前記キャビティが互いに通じている複数の超音波振動子セルからなるセル群と、を具備する超音波振動子エレメントが先端部に配設された挿入部と、前記挿入部の基端側に配設された操作部と、前記操作部から延出するユニバーサルコードと、を具備する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の実施形態によれば、受信感度の高い超音波振動子エレメント及び前記超音波振動子エレメントを具備する超音波内視鏡を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】従来のエレメントの上面図である。
【図２】従来のエレメントの超音波振動子セルの断面図である。
【図３】従来のエレメントの分解図である。
【図４】第１実施形態のエレメントの斜視図である。
【図５】第１実施形態のエレメントの超音波振動子セルの断面図である。
【図６】第１実施形態のエレメントの分解図である。
【図７】第１実施形態のエレメントのセルを説明するための上面模式図である。
【図８Ａ】第１実施形態のエレメントの柱の変形例を示す図である。
【図８Ｂ】第１実施形態のエレメントの柱の変形例を示す図である。
【図８Ｃ】第１実施形態のエレメントの柱の変形例を示す図である。
【図８Ｄ】第１実施形態のエレメントの柱の変形例を示す図である。
【図９】第２実施形態のエレメントの分解図である。
【図１０】第３実施形態のエレメントを説明するための上面模式図である。
【図１１】第４実施形態のエレメントを説明するための上面模式図である。
【図１２】第５実施形態のエレメントを説明するための上面模式図である。
【図１３】第６実施形態のエレメントを説明するための上面模式図である。
【図１４】第７実施形態のエレメントを説明するための上面模式図である。
【図１５】第８実施形態のエレメントを説明するための上面模式図である。
【図１６】第９実施形態のエレメントを説明するための上面模式図である。
【図１７】第１０実施形態のエレメントを説明するための上面模式図である。
【図１８】第１１実施形態のエレメントの分解図である。
【図１９】実施形態のエレメントの封止壁の上面図である。
【図２０】第１２実施形態の超音波内視鏡のアレイ型超音波振動子の斜視図である。
【図２１】第１２実施形態の超音波内視鏡の外観図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
＜第１実施形態＞
図４に示すように、本実施形態の超音波振動子エレメント２０は、基板１１の上に、複数の超音波振動子セル１０からなるセル群１０Ｚが配設されている。そして、下部電極端子１２Ｔと上部電極端子１６Ｔとの間に駆動信号が印加されるとセル群１０Ｚは超音波を送信し、入射した超音波は下部電極端子１２Ｔと上部電極端子１６Ｔとの間の静電容量変化をもとに電気信号に変換され受信される。【００１６】
図５に示すように、セル１０は、下部電極端子１２Ｔと接続された下部電極１２と、下部電極１２を覆う下部絶縁層１３と、キャビティ１４Ｈを形成している柱１４と、柱１４により支持されている、上部電極端子１６Ｔと接続された上部電極１６を含むメンブレン１８と、を有する。キャビティ１４Ｈの直上の領域のメンブレン１８は、上部絶縁層１５と、上部電極１６と、保護層１７と、を含む。【００１７】
柱１４は、メンブレン１８を支持することでキャビティ１４Ｈを形成している。後述するように、キャビティ１４Ｈは、真空状態又は所望の気体が所望の気圧にて封じ込め密封されている空間である。【００１８】
なお、単結晶シリコン等からなる基板１１の表面には絶縁薄膜が形成されているが図示していない。下部電極１２は導電性の金属、例えば、Ａｌ、Ｍｏ、Ｗ、Ｔｉ又は前記金属の合金等からなる単層膜又は多層膜である。【００１９】
なお、メンブレン１８の厚さを薄くするためには上部電極１６として、グラフェン又はシリセン等を用いてもよい。グラフェンは炭素原子よりなる２次元網構造又は複数の２次元網構造層が積層された構造を有し、シリセンはシリコン原子からなる２次元網構造を有する。グラフェン等は、厚さが極薄であるにも係わらず、金属同等の、導電率、高剛性及び高熱伝導率を、有する。【００２０】
下部絶縁層１３、上部絶縁層１５及び柱１４は、チッ化シリコン、酸化シリコン、酸化タンタル又は酸化ハフニウム等からなる。下部絶縁層１３、上部絶縁層１５及び柱１４は、それぞれ別の材料により構成されていてもよい。なお、下部絶縁層１３又は上部絶縁層１５の少なくともいずれかは必須の構成要素ではない。【００２１】
下部絶縁層１３は、下部電極１２をプロセス工程中において保護するとともに、下部電極１２と上部電極１６の間の電気的絶縁を担保する。下部電極１２を覆うように成膜された下部絶縁層１３の表面は、成膜後に必要に応じてＣＭＰ法等により平坦化される。【００２２】
キャビティ１４Ｈは、犠牲層エッチングにより形成される。すなわち、下部絶縁層１３の上に柱１４と犠牲層とが配設され、その上が上部絶縁層１５等により覆われる。【００２３】
そして犠牲層を覆っている上部絶縁層１５等に貫通穴（ＶＩＡ穴）を形成することにより犠牲層にエッチャントを注入し、犠牲層を選択的にエッチングすることにより、空洞部であるキャビティ１４Ｈが形成される。犠牲層の材料は、周囲の材料とのエッチング選択比の大きい材料から選択される。例えば、下部絶縁層１３等がチッ化シリコンからなる場合には、犠牲層にはリンガラス等が用いられる。ＶＩＡ穴は、犠牲層エッチング後に穴埋めされるが、穴埋め部材を一部の柱１４として用いてもよい。
上部電極１６は、下部電極１２と同様の材料からなる。上部電極１６を覆う保護層１７は、チッ化シリコン、酸化シリコン、ポリイミド又はポリパラキシリレン等からなる絶縁体からなる。【００２４】
なお、エレメント２０の構成要素の材料及び製造方法等は、従来のエレメントと略同じである。すなわち、エレメント２０が、従来のエレメントと異なるのはメンブレンを支持しているのが絶縁層１１４ではなく、複数の柱１４であることである。このため、エレメント２０の製造方法等は、上記記載に限られるものではなく、公知のエレメントの製造方法等を用いることができる。【００２５】
図５に示すセル１０は、図２に示したセル１１０と類似しているようにも見える。しかし、図３で示したように、従来のエレメント１２０では、キャビティ１１４Ｈは、それぞれが密閉された空間であり、言い換えれば、それぞれのキャビティ１１４Ｈは孤立していた。これに対して、図６に示すように、エレメント２０では、複数の柱１４によりキャビティ１４Ｈが形成されている。このため、セル群１０Ｚの複数のキャビティ１４Ｈは、互いに通じている（communicate)、いわゆるオープンキャビティである。言い換えれば、複数のキャビティ１４Ｈは、１つの空間を形成している。【００２６】
なお、図６の分解図においては、下部絶縁層１３及び保護層１７は図示していない。また図７の上面図は柱１４と下部電極１２と上部電極１６の配置だけを示している。図６及び図７等に破線で示した正六角形は、１個のセル１０の専有領域、言い換えればセル１０の平面視形状を示しているが、実際には境界は明示されない。例えば、破線で示した複数のセル１０のキャビティ１４Ｈの境界線は実際には存在しない仮想線である。【００２７】
図６及び図７に示すように、エレメント２０には、平面視形状が正六角形の複数のセル１０が隙間なく配設されている。すなわち、それぞれの柱１４が、隣接する３つのセル１０のメンブレン１８を支持し、キャビティ１４Ｈを形成している。上部絶縁層１５が柱１４と接合されている領域は、振動しない送受信に寄与しない不感領域であるが、エレメント２０の、振動領域であるメンブレン１８の面積がセル面積に対する開口率は従来のエレメントよりもはるかに高い。すなわち、セル１０の形状及び面積はキャビティ１４Ｈの形状及び面積と略等しい。【００２８】
なお、エレメント２０においても、厳密には、セル１０の形状と、柱１４の領域を含まないキャビティ１４Ｈの形状と、は異なるが、以下、キャビティ１４Ｈの形状をセル１０の形状ということがある。【００２９】
複数のセル１０の下部電極１２は、下部電極配線１２Ｓにより互いに接続されており、上部電極１６は、上部電極配線１６Ｓにより互いに接続されている。すなわち、エレメント２０の複数のセル１０は、同時に駆動されるセル群１０Zを構成している。【００３０】
下部電極１２と上部電極１６の間に、下部電極端子１２Ｔと上部電極端子１６Ｔとを介して、０でない電位が印加されると、電位差により発生する静電引力により、メンブレン１８が、下部電極１２の方向に引き寄せられ変位する。なお、安全確保の観点から上部電極１６は接地電位とすることが好ましい。【００３１】
メンブレン１８の変位量は、セル１０の中心点で最大あり、隣接セル境界では正六角形の各辺の２等分点で最大となる。また変位量は、破線で表示した隣接するセル１０の境界線を軸として線対称となる。更に、セル１０は正六角形であるので、変位量は、セル１０の中心点に対して６度回転すると等しい６回対称である。【００３２】
メンブレン１８が変位した状態で印加電位が切断されると静電引力が消滅し、メンブレン１８は構成材料及び構造パラメータで決まる共振周波数で振動し、共振周波数に等しい振動数の超音波が送信される。【００３３】
なお、超音波をパルス的に送信する場合は、印加する駆動信号の波形等を制御することが好ましい。例えば、印加電位の上昇にメンブレン１８の変位が追従できるように、ゆっくりと電位を上昇したり、メンブレン１８が完全に静止するよう十分な時間をおいてから、次のパルスを印加したりすることが好ましい。また、超音波を送信した後に、補助パルス印加による引力、又は、主パルスと逆位相の補助パルス印加によるカウンター振動発生によりメンブレン１８を強制的に静止してもよい。【００３４】
一方、ドップラー計測などのために、連続して超音波を送信する場合には、メンブレン１８の共振周波数に等しい、例えば三角波パルスからなる駆動信号が印加される。【００３５】
超音波発生時のメンブレン１８の振動周波数、すなわち、発生する超音波の周波数は、正六角形のセル１０に内接する円形のキャビティを有するセルが発生する超音波の周波数より若干低い。前記内接する円形のキャビティを有するセルと等しい超音波周波数を実現するには、セル１０を相似形状で縮小すればよい。【００３６】
セル１０に超音波が入射した場合は、メンブレン１８が超音波の音圧により入射超音波の周波数で振動し、その振動に応じてキャビティ１４Ｈの厚さ、すなわち、電極間の距離が変化し、これに応じて電極間の静電容量が変化する。このため、電極間の静電容量を検出することにより、入射した超音波の強度及び周波数が検出される。【００３７】
なお、電極間に常時、電位差を印加するＤＣオフセットバイアス法を用いメンブレン１８を常時、微小変形しておくことで、エレメント２０は、より高周波数の超音波を送受信できる。【００３８】
なお、駆動信号は、エレメント２０の外部から供給されてもよいし、エレメント２０の裏面に、ＩＣ等からなる駆動回路を配設してもよい。【００３９】
ここで、図７に示すように、円柱である柱１４の断面の直径Ｒは、柱１４と柱１４の間隔Ｄの１／２０以上１／５以下が好ましい。前記範囲以上であれば、メンブレン１８を安定して支持可能であり、前記範囲以下であれば開口率が例えば９５％以上と大きいため、送受信感が高い。【００４０】
例えば、正六角形のセル１０において、間隔Ｄが１００μｍ、直径Ｒが１０μｍの場合、セル１０の面積は２６０００μｍ２、柱１４の面積は１５７μｍ２である。このため、開口率は、（２６０００−１５７）／２６０００＝９９．４％である。【００４１】
これに対して、従来の孤立した円形キャビティを有するセルが正方格子配列したエレメントでは、仮想的にキャビティ同士が接している形態でも、開口率は、「（円の面積）／（円に外接する正方形の面積）」であるため、７８．５％であった。【００４２】
すなわち、従来の孤立した円形キャビティを有するセルが正方格子配列したエレメントでは開口率は８０％未満であったが、エレメント２０では、９５％を超える高開口率が容易に実現できる。【００４３】
エレメント２０は、超音波の送受信感度の向上が達成され、更に応用展開の拡大が可能となる。また開口率が大きいということは、効率のよいメンブレンのドライブが可能、又は、寄生容量の割合が低下して、信号雑音比（ＳＮ比）も上昇する。【００４４】
すなわち、エレメント２０は、開口率が大きく、送受信感度が高い。【００４５】
更に、エレメント２０では、下部電極１２と上部電極１６との対向領域は、全て超音波の受信に寄与するため、不感領域による寄生容量の影響を受けないため、受信感度が高い。【００４６】
なお、柱１４の形状は円柱に限られるものではない。例えば、図８Ａに示す柱１４Ａでは断面が円形ではなく、略正三角形であり、図８Ｂに示す柱１４Ｂは断面が３方向に突出した略星型である。また、図８Ｃに示す柱１４Ｃは、柱中央部が膨らんだエンタシス形状であり、図８Ｄに示す柱１４Ｄは、柱の上部が広がった飾り柱形状である。【００４７】
柱１４は、楕円柱、多角柱、星型柱、円錐又は多角錐等の形状であってもよく、また、エレメント２０の複数の柱１４が、複数の異なる形状の柱から構成されていてもよい。なお、円柱以外の柱１４の場合にも、セルの開口率が９０％以上、好ましくは９５％以上となるように柱４５が設計されることが好ましい。【００４８】
＜第２実施形態＞
図９に示す第２実施形態のエレメント２０Ａは、エレメント２０と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。【００４９】
エレメント２０Ａでは下部電極１２Ａが、セル群１０ＺＡ形成領域の全面に配設されている、複数の振動子１０の共通の下部電極である。すなわち、図９では、破線により、それぞれの振動子１０の下部電極１２Ａを示しているが、その境界線は仮想線である。【００５０】
エレメント２０Ａでは、下部電極１２Ａが全面に配設されているが、上下電極が対向する領域の全てがメンブレン１８であるため、パターニングされた下部電極１２を有するエレメント２０と比較して不感領域が増加することはない。【００５１】
エレメント２０Ａは、下部電極１２Ａをパターニングする必要がないため、製造が簡単である。また、既に説明したように、パターニングされた下部電極１２の上に成膜された下部絶縁層１３の表面には凹凸が形成されるため、平坦化することが好ましい。しかし、エレメント２０Ａでは、セル群１０ＺＡ形成領域の全面に下部電極１２が配設されているため、下部絶縁層１３の表面には凹凸が形成されず、平坦化も不要である。【００５２】
エレメント２０Ａは、エレメント２０の効果を有し、更に製造が容易である。【００５３】
なお、下部電極１２又は上部電極１６の少なくともいずれかが、基板１１のセル群１０Ｚ形成領域の全面に配設されていても、エレメント２０Ａと同様の効果を有することは言うまでも無い。【００５４】
＜第３実施形態＞
図１０に示す第３実施形態のエレメント２０Ｂは、エレメント２０等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。【００５５】
エレメント２０Ｂは、それぞれのセル１０が、それぞれ６本の柱１４を専有する。このため、セル１０の間に、送受信に寄与しない無駄な領域が形成されている。【００５６】
隣接するセル１０が柱１４を共用しているエレメント２０等では、１本の柱が不良であると、その柱を共用している３個のセル１０が不良となる。これに対して、エレメント２０Ｂは、柱が不良あっても１個のセル１０が不良となるだけであるため、製品として使用可能となる確率が高い。すなわち、エレメント２０においては、必ずしも全てのセル１０が良品である必要はない場合も多い。【００５７】
エレメント２０Ｂは、エレメント２０等の効果を有し、更にエレメント２０等よりも製造歩留まりが高い。【００５８】
なお、エレメント２０Ｂにおいても、開口率９０％以上が好ましく、特に好ましくは９５％となるように設計される。また、一部の柱が隣接セルにより共用されており、残りの柱が専有されていてもよい。【００５９】
＜第４実施形態＞
図１１に示す第３実施形態のエレメント２０Ｃは、エレメント２０等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。なお、以下の図においては、柱１４は中心を示す黒丸で示す。【００６０】
エレメント２０Ｃでは、柱１４が、正六角形のセル１０Ｃの頂点６箇所だけでなく、隣接セルとの境界線の２辺の上にも、それぞれ３本が配設されている。すなわち、セル１０Ｃのメンブレンは、１２本の柱１４により支持されている。【００６１】
セル１０Ｃのメンブレンの変位は、セル中心に対して６回対称ではなく、２回対称であり、複雑な形状に変位する。このため、セル１０Ｃは、共振周波数の幅が広い。【００６２】
エレメント２０Ｃは、エレメント２０が有する効果を有し、更に、メンブレン１８が発生する超音波は、広帯域であり、同様に、広帯域の超音波を送受信可能である。【００６３】
＜第５実施形態＞
図１２に示す第５実施形態のエレメント２０Ｄは、エレメント２０等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。【００６４】
エレメント２０Ｄでは、柱１４が、正六角形のセル１０Ｄの頂点ではなく、頂点から少しずれた位置に配設されている。ずれ量ｄはランダムに設定されているが、直径ＲＤの円の内部に設定されている。直径ＲＤは、例えば、間隔Ｄの１／１００以上１／１０以下が好ましい。前記範囲であれば、効果が顕著である。また、ずれ量ｄは、例えば乱数をもとに設定される。【００６５】
柱１４の間隔Ｄが同じセル１０は、不必要共振が発生したり、不要な横波が強調されたりするおそれがある。これに対して、エレメント２０Ｄでは、セル１０Ｄの柱１４が、六角形の頂点から微小な平面変位でランダムに配置されているため、不必要共振が発生したりするおそれがない。【００６６】
すなわち、エレメント２０Ｄは、エレメント２０が有する効果を有し、更に、不必要共振が発生したりするおそれがない。【００６７】
＜第６実施形態及び第７実施形態＞
第６実施形態のエレメント２０Ｅ及び第７実施形態のエレメント２０Ｆは、エレメント２０等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。【００６８】
図１３に示すように、エレメント２０Ｅでは、正三角形のセル１０Ｅが隙間なく配設されている。すなわち、それぞれのセル１０Ｅのメンブレン１８は、共通の３本の柱１４により支持されている。また、図１４に示すように、エレメント２０Ｆでは、セル１０Ｆは正八角形である。セル１０Ｆのメンブレン１８は１２本の柱１４により支持されており、そのうち、８本は正八角形のセル１０Ｆの頂点に配置されている。【００６９】
エレメント２０Ｅ及びエレメント２０Ｆは、エレメント２０と同じ効果を有する。すなわち、柱１４がメンブレン１８を支持することでキャビティ１４Ｈを形成している振動子セルを有していれば、振動子セルを支えている柱の数は、３本以上であれば、６本に限定されるものではない。なお、振動子セルを支えている柱の数は、１６本以下が好ましく、前記範囲以下であれば、開口率を大きくすることが容易である。【００７０】
また、メンブレン（セル）の平面視形状は、特定の形状に限定されるものではない。例えば、並行四辺形、長方形、菱形、又は台形であってもよい。特に、複数のセルを平面充填できる、すなわち、隙間なく配設できる形状が、開口率を大きくすることが容易であるため、好ましい。【００７１】
＜第８実施形態〜第１１実施形態＞
第８実施形態のエレメント２０Ｇ〜第１０実施形態のエレメント２０Ｊは、エレメント２０等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。【００７２】
図１５に示すように、第８実施形態のエレメント２０Ｇのセル群１０ＺＧは、キャビティの形状は同じ正方形であるが大きさ（セル１０Ｇの平面視寸法）が異なる３種類のセル１０Ｇ１〜１０Ｇ３を具備する。【００７３】
図１６に示すように、第９実施形態のエレメント２０Ｈのセル群１０ＺＨは、キャビティの形状及び大きさは同じであるが、それぞれのキャビティを支持している柱１４の数が異なる４種類のセル１０Ｈ１〜１０Ｈ４を具備する。【００７４】
図１７に示すように、第１０実施形態のエレメント２０Ｉのセル群１０ＺＩは、キャビティ（セル）の形状が異なる２種類のセル１０Ｉ１〜１０Ｉ２を具備する。【００７５】
図１８に示すように、第１１実施形態のエレメント２０Ｊのセル群１０ＺＪは、キャビティの形状等は同じだが、メンブレン１８の厚さが異なる２種類のセル１０Ｊ１〜１０Ｊ２を具備する。【００７６】
セル群がキャビティの平面視形状、キャビティの大きさ（平面視寸法）、柱の数又はメンブレンの厚さから選ばれる少なくともいずれかが異なる複数の種類のセルは、共振周波数が異なる。【００７７】
このため、エレメント２０Ｇ〜２０Ｊは、送受信できる超音波の周波数帯域が広い。例えば、図１５に示すエレメント２０Ｇでは、最も大きなセル１０Ｇ１をエレメント２０Ｇの中心部に配置し、最外周には最も小さなセル１０Ｇ３を配置している。大きなセル１０Ｇ１が発生する超音波は周波数が低いため、ビームが拡がりやすく、小さなセル１０Ｇ３が発生する超音波は周波数が高いため、ビームが拡がりにくい。エレメント２０Ｇでは、低周波数のセルを中心部に配置しているため、エレメント全体での超音波ビームの収束性が良い。【００７８】
一方、図１６に示すエレメント２０Ｈでは、中心部に配置されたセル１０Ｈ１のメンブレン１８は１６本の柱１４で支持されているため、共振周波数が高い。これに対して、周辺部に配置されたセル１０Ｈ４のメンブレン１８は５本の柱１４で支持されているため、共振周波数が低い。セル１０Ｈ１とセル１０Ｈ３との間に配置された、セル１０Ｈ２のメンブレン１８は１０本の柱１４で支持されており、セル１０Ｈ３のメンブレン１８は８本の柱１４で支持されている。このため、セル１０Ｈ２及びセル１０Ｈ３の共振周波数は、セル１０Ｈ１の共振周波数とセル１０Ｈ４の共振周波数との間にある。【００７９】
エレメント２０Ｈは、観察対象の近点側が高分解能に観察できる。すなわち、近点側は高周波数の信号により画像形成をするため高分解能である。【００８０】
図１７に示したエレメント２０Ｉの２種類のセル１０Ｉ１及び１０Ｉ２の形状は、ペンローズタイルパターンを構成する２種類の菱形であり、柱が２種類の菱形の頂点に配置されている。ペンローズタイルパターンでは、２種類の菱形（鋭角７２度、鈍角１０８度の菱形と鋭角３６度、鈍角１４４度の菱形）が平面充填されている。正多角形を利用した充填の場合、周期的なパターンが現れるが、ペンローズタイルパターンは、他の平面充填とは違い周期的なパターンがない。【００８１】
ペンローズタイルパターンは５回対称という特異的な対称性を持つため、平面的に見て並進対称性はない。このため、エレメント２０Ｉは不要共振が極めて発生しにくく、特に好ましく用いることができる。【００８２】
なお、菱形のセルは、略同一寸法の楕円型キャビティのあるセルと等しい共振周波数を示すため、エレメント２０Ｉは、２種類の共振周波数を有する。更に、ペンローズタイルパターンを一方向に縮小又は拡大した複数のセルを有するエレメントは、原理的には１０種類の共振周波数を有する広帯域なエレメントである。【００８３】
図１８に示すエレメント２０Ｊでは、メンブレン１８の厚さが厚いセル１０Ｊ２の共振周波数が、厚さが薄いセル１０Ｊ１の共振周波数よりも高い。すなわち、共振周波数は、メンブレン厚さに比例する。【００８４】
なお、共振周波数が異なる複数の種類のセルを有するエレメントにおける、セル配置は、目的に応じて変更可能である。またセルの種類は２種類以上であればよい。【００８５】
エレメント２０Ｇ〜２０Ｊは、いずれもエレメント２０等が有する効果を有し、更に、より広帯域な特性を有するため、超音波ドップラー計測などに応用展開できる。また、目的に応じて、エレメント内で音波の指向性に配慮したセル配置としたり、超音波ビーム内の収束性に優れた高い解像度を有するセル配置としたりできる。【００８６】
また、キャビティの平面視形状、キャビティの大きさ（平面視寸法）、柱の数及びメンブレンの厚さから選択される２以上の要因を変化することで、より多くの共振周波数を有する広帯域のエレメントとなる。特に、配置するセルの共振周波数を連続的になだらかに変化させることにより、非常に広帯域のエレメントとなる。【００８７】
なお、図１８に示したエレメント２０Ｊでは、下部電極１２Ａはセル群形成領域の全面に形成されている。一方、上部電極１６Ｊもセル群形成領域の略全面に形成されているが、柱１４と対向する領域には穴１６ＪＨが形成されている。柱１４の直上のメンブレンは不感領域となるが、エレメント２０Ｊでは、不感領域には上部電極１６がないため、受信感度が、より高い。【００８８】
ここで、図１９は、上記実施形態で説明したエレメント２０のセル群１０Ｚの端部の一例を示している。既に説明したように、セル群１０Ｚを構成するセル１０の複数のキャビティ１４Ｈは、互いに通じている。しかし、セル群１０Ｚの最外周領域のキャビティ１４Ｈの外周側は、包絡面からなる封止壁により囲まれており、セル群１０Ｚの複数のキャビティ１４Ｈが外部と通じていない密封された空間であることが好ましい。なお、エレメント２０A〜２０Ｊにおいても複数のキャビティ１４Ｈが外部と通じていない密封された空間であることが好ましい。【００８９】
セル群１０Ｚの複数のキャビティ１４Ｈが外部と通じていない密封された空間であるエレメントは、周囲の環境が変化しても、キャビティ１４Ｈの内部圧力が変化しないため、送受信感度が変化するおそれがない。【００９０】
＜第１２実施形態＞
上記で説明したエレメント２０〜２０Ｊは、超音波内視鏡（以下、「内視鏡」という）２に好ましく用いることができる。【００９１】
図２０に示すように、ラジアルタイプのアレイ型超音波振動子３０は、複数のエレメント２０と、エレメント２０が外面に配設された円筒形の保持部材３１と、ケーブル８０と、を有する。エレメント２０の下部電極端子１２Ｔと上部電極端子１６Ｔとは、それぞれケーブル８０の導線８１Ａ、８Ｂと接続される。なお、超音波アレイは、コンベックス型又はリニア型等でもよい。【００９２】
図２１は、アレイ型超音波振動子３０（エレメント２０）が先端部４７に配設された第１２実施形態の超音波内視鏡２を有する超音波内視鏡システム１を示す。内視鏡２は、超音波観測装置３及びモニタ４とともに超音波内視鏡システム１を構成する。内視鏡２は、体内に挿入される細長の挿入部４１と、挿入部４１の基端に配された操作部４２と、操作部４２の側部から延出したユニバーサルコード４３とを具備する。【００９３】
ユニバーサルコード４３の基端部には、光源装置（不図示）に接続されるコネクタ４４Ａが配設されている。コネクタ４４Ａからは、カメラコントロールユニット（不図示）にコネクタ４５Ａを介して着脱自在に接続されるケーブル４５と、超音波観測装置３にコネクタ４６Ａを介して着脱自在に接続されるケーブル４６と、が延出している。超音波観測装置３にはモニタ４が接続される。【００９４】
挿入部４１は、先端側から順に、先端部４７と、先端部４７の後端に位置する湾曲部４８と、湾曲部４８の後端に位置して操作部４２に至る細径かつ長尺で可撓性を有する可撓管部４９と、を連設して構成されている。そして、先端部４７の先端側にはアレイ型超音波振動子３０が配設されている。
先端部４７に設けられたアレイ型超音波振動子３０によって内視鏡２は、超音波画像を取得する。【００９５】
内視鏡２は、高い超音波送信感度及び超音波受信感度を有する超音波振動子エレメントを具備するため、高解像度の画像を取得可能である。【００９６】
なお、エレメント２０〜２０Ｊは、図２１に示した内視鏡２だけでなく、小型で細経化が必要な各種超音波診断装置、例えば、IVUS（Intra Vascular UltraＳound)、体外式の超音波プローブ、又はカプセル型超音波内視鏡にも配設できることは言うまでもない。【００９７】
本発明は、上述した実施形態等に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変、例えば、実施形態の構成要素の組み合わせ等が可能である。【００９８】
本発明は上述した実施形態等に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変、組み合わせ等ができる。【００９９】
本出願は、２０１２年１１月１５日に日本国に出願された特願２０１２−２５１４４４号を優先権主張の基礎として出願するものであり、上記の開示内容は、本願明細書、請求の範囲、図面に引用されたものとする。
【図１】
2014077106.tif 000003
【図２】
2014077106.tif 000004
【図３】
2014077106.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2014077106.tif 000021
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【手続補正書】
【提出日】平成28年4月12日(2016.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
図２及び図３に示すように、セル１１０は、下部電極１１２を兼ねた導電性の基板１１１と、キャビティ１１４Ｈを介して対向配置している上部電極１１６を有する。上部電極１１６のキャビティ１１４Ｈの直上の領域が超音波振動するメンブレン１１８を構成している。キャビティ１１４Ｈは、絶縁層１１４に形成された貫通孔により形成されている。キャビティ１１４Ｈは、外部と通じていない密封された空間である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
セル１１０は、下部電極１１２と上部電極１１６との間に駆動信号が印加されるとメンブレン１１８が振動して超音波を発生する。外部から超音波が入射すると、メンブレン１１８が変形し電極間の静電容量が変化することを利用して、超音波を電気信号に変換する。エレメント１２０の送受信感度は、「（メンブレン１１８の面積）／（セル１１０の面積）」で示される開口率が大きいほど高い。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の実施形態の超音波振動子エレメントは、基板と、前記基板の上に配設された下部電極と、前記下部電極とキャビティを介して対向配置している上部電極を含むメンブレンと、前記メンブレンを支持することで前記キャビティを形成している複数の柱と、をそれぞれが有し、それぞれの前記キャビティが互いに通じている複数の超音波振動子セルからなるセル群と、を具備し、前記メンブレンが、３本以上１６本以下の前記複数の柱により支持されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、別の実施形態の超音波内視鏡は、基板と、前記基板の上に配設された下部電極と、前記下部電極とキャビティを介して対向配置している上部電極を含むメンブレンと、前記メンブレンを支持することで前記キャビティを形成している複数の柱と、をそれぞれが有し、それぞれの前記キャビティが互いに通じている複数の超音波振動子セルからなるセル群と、を具備する超音波振動子エレメントが先端部に配設された挿入部と、前記挿入部の基端側に配設された操作部と、前記操作部から延出するユニバーサルコードと、を具備する。
さらに、別の実施形態の超音波内視鏡は、超音波振動子エレメントが先端部に配設された挿入部と、前記挿入部の基端側に配設された操作部と、前記操作部から延出するユニバーサルコードと、を具備する超音波内視鏡であって、前記超音波振動子エレメントが基板と、前記基板の上に配設された下部電極と、前記下部電極とキャビティを介して対向配置している上部電極を含むメンブレンと、前記メンブレンを支持することで前記キャビティを形成している複数の柱と、をそれぞれが有し、それぞれの前記キャビティが互いに通じている複数の超音波振動子セルからなるセル群と、を具備する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
柱１４は、楕円柱、多角柱、星型柱、円錐又は多角錐等の形状であってもよく、また、エレメント２０の複数の柱１４が、複数の異なる形状の柱から構成されていてもよい。なお、円柱以外の柱１４の場合にも、セルの開口率が９０％以上、好ましくは９５％以上となるように柱１４が設計されることが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
エレメント２０Ａは、下部電極１２Ａをパターニングする必要がないため、製造が簡単である。また、既に説明したように、パターニングされた下部電極１２の上に成膜された下部絶縁層１３の表面には凹凸が形成されるため、平坦化することが好ましい。しかし、エレメント２０Ａでは、セル群１０ＺＡ形成領域の全面に下部電極１２Ａが配設されているため、下部絶縁層１３の表面には凹凸が形成されず、平坦化も不要である
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
＜第４実施形態＞
図１１に示す第４実施形態のエレメント２０Ｃは、エレメント２０等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。なお、以下の図においては、柱１４は中心を示す黒丸で示す。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
＜第８実施形態〜第１１実施形態＞
第８実施形態のエレメント２０Ｇ〜第１１実施形態のエレメント２０Ｊは、エレメント２０等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の上に配設された下部電極と、前記下部電極とキャビティを介して対向配置している上部電極を含むメンブレンと、前記メンブレンを支持することで前記キャビティを形成している複数の柱と、をそれぞれが有し、それぞれの前記キャビティが互いに通じている複数の超音波振動子セルからなるセル群と、を具備し、
前記メンブレンが、３本以上１６本以下の前記複数の柱により支持されていることを特徴とする超音波振動子エレメント。
【請求項２】
それぞれの柱が、隣接する複数の超音波振動子セルのメンブレンを支持していることを特徴とする請求項１に記載の超音波振動子エレメント。
【請求項３】
前記超音波振動子セルの前記下部電極又は前記上部電極の少なくともいずれかが、前記基板のセル群形成領域の全面に配設されている、前記複数の超音波振動子セルの共通電極であることを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子エレメント。
【請求項４】
前記セル群が、前記キャビティの形状、前記キャビティの大きさ、前記柱の数又は前記メンブレンの厚さから選ばれる少なくともいずれかが異なる複数の種類の前記超音波振動子セルを具備することを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子エレメント。
【請求項５】
それぞれの前記キャビティの形状が、ペンローズタイルパターンを構成する２種類の菱形であり、
前記柱が、前記２種類の菱形の頂点に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子エレメント。
【請求項６】
前記セル群の最外周領域の前記キャビティの外周側が、包絡面からなる封止壁により囲まれており、前記セル群の前記複数のキャビティが外部と通じていない密封された空間であることを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子エレメント。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の超音波振動子エレメントが先端部に配設された挿入部と、前記挿入部の基端側に配設された操作部と、前記操作部から延出するユニバーサルコードと、を具備することを特徴とする超音波内視鏡。
【請求項８】
超音波振動子エレメントが先端部に配設された挿入部と、前記挿入部の基端側に配設された操作部と、前記操作部から延出するユニバーサルコードと、を具備する超音波内視鏡であって、
前記超音波振動子エレメントが
基板と、
前記基板の上に配設された下部電極と、前記下部電極とキャビティを介して対向配置している上部電極を含むメンブレンと、前記メンブレンを支持することで前記キャビティを形成している複数の柱と、をそれぞれが有し、それぞれの前記キャビティが互いに通じている複数の超音波振動子セルからなるセル群と、を具備することを特徴とする超音波内視鏡。
【国際調査報告】
2014077106.tif 000027
2014077106.tif 000028
2014077106.tif 000029
2014077106.tif 000030