【事件の表示】
　特願２００２−１０３３６４「ピエゾ抵抗型３軸加速度センサ」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年１０月１５日出願公開、特開２００３−２９４７８１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１４年４月５日の出願であって、平成１７年５月１２日付（発送日同年５月２０日）で拒絶査定がなされ、これに対し、平成１７年６月８日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同日付の手続補正書によって明細書を補正対象とする補正がなされたものである。
　
第２　平成１７年６月８日付手続補正書による補正（以下、「本件補正」という。）についての補正却下の決定
[補正却下の決定の結論]
　本件補正を却下する。
[理由]
１．補正の内容
　本件補正により、特許請求の範囲は、
「　【請求項１】　加速度をピエゾ抵抗体で検出する３軸加速度センサであって、そのピエゾ抵抗体は両端を外枠部と質量部に接続された可撓部上に配されており、Ｘ軸およびＹ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向は、各々の軸に対応する可撓部の長手方向と平行で、Ｚ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向は、Ｚ軸に対応する可撓部の長手方向と角度を有していることを特徴とするピエゾ抵抗型３軸加速度センサ。
　　【請求項２】　Ｚ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向と、Ｚ軸に対応する可撓部の長手方向のなす角度が、１０度以上３０度以下あるいは６５度以上９０度以下であることを特徴とする請求項１に記載のピエゾ抵抗型３軸加速度センサ。」
から
「　【請求項１】　加速度をピエゾ抵抗体で検出する３軸加速度センサであって、そのピエゾ抵抗体は両端を外枠部と質量部に接続された可撓部上に配されており、Ｘ軸およびＹ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向は、各々の軸に対応する可撓部の長手方向と平行で、Ｚ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向は、Ｚ軸に対応する可撓部の長手方向と
、１０度以上３０度以下あるいは６５度以上９０度以下の
と補正された。（なお、下線は、補正箇所を示すため、請求人が付したものである。）
　
２．補正の適否
　上記の補正内容は、（１）請求項１に係る発明特定事項である、Ｚ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向と、Ｚ軸に対応する可撓部の長手方向との間の「角度」について、「１０度以上３０度以下あるいは６５度以上９０度以下」との限定、すなわち、補正前の請求項２に係る発明の特定事項を付加する補正事項と、（２）補正前の請求項２を削除する補正事項とである。
　上記補正事項（１）は、平成１８年法改正前特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を、（２）は同条同項第１号の請求項の削除を、それぞれ目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された事項により特定される発明（以下、「本件補正発明１」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法改正前特許法第１７条の２第５項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
３．刊行物記載の発明・事項
（１）原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願日前の平成３年１月８日に頒布された刊行物である特開平３−２５３５号公報（以下「刊行物１という」）には、図面とともに下記の事項が記載されている。
（ア）「〔産業上の利用分野〕
　本発明は抵抗素子を用いたセンサの製造方法、特に半導体基板上に形成された抵抗素子に対して加えられる機械的変形を、電気抵抗の変化として検出するセンサの製造方法に関する。」（第２頁右下欄第９〜１３行）
（イ）「〔実施例〕
　以下本発明を図示する実施例に基づいて説明する。
センサの構造
　はじめに、本発明の対象となる抵抗素子を用いたセンサの構造を簡単に説明する。第１図は加速度センサの一例を示す構造断面図である。このセンサの中枢ユニットとなるのは、半導体ペレット１０である。この半導体ペレット１０の上面図を第２図に示す。第１図の中央部分に示されている半導体ペレット１０の断面は、第２図をＸ軸に沿って切断した断面に相当する。この半導体ペレット１０は、内側から外側に向かって順に、作用部１１、可撓部１２、固定部１３の３つの領域に分けられる。第２図に破線で示されているように、可撓部１２の下面には、環状に溝が形成されている。この溝によって、可撓部１２は肉厚が薄くなり、可撓性をもつことになる。したがって、固定部１３を固定したまま作用部１１に力を作用させると、可撓部１２が撓んで機械的変形が生じる。可撓部１２の上面には、第２図に示すように、抵抗素子Ｒｘ１〜Ｒｘ４，Ｒｙ１〜Ｒｙ４，Ｒｚ１〜Ｒｚ４が所定の向きに形成されている。
　第１図に示すように、作用部１１の下方には重錘体２０が接合されており、固定部１３の下方には台座３０が接合されている。台座３０の底面はパッケージ４０の内側底面に接合されており、半導体ペレット１０および重錘体２０はこの台座３０によって支持される。重錘体２０は内部で宙吊りの状態となっている。・・・
　このセンサに加速度が加わると、重錘体２０に外力が作用することになる。この外力は作用部１１に伝達され、可撓部１２に機械的変形が生じる。これによって、抵抗素子の電気抵抗に変化が生じ、この変化はボンディングワイヤ１５およびリード４２を介して外部に取り出すことができる。作用部１１に加わった力のＸ方向成分は抵抗素子Ｒｘ１〜Ｒｘ４の電気抵抗の変化により、Ｙ方向成分は抵抗素子Ｒｙ１〜Ｒｙ４の電気抵抗の変化により、Ｚ方向成分は抵抗素子Ｒｚ１〜Ｒｚ４の電気抵抗の変化により、それぞれ検出される。」（第４頁右上欄第１０行〜同頁右下欄第１６行）
（ウ）「半導体ウエハ１００の上面に、複数の抵抗素子Ｒを形成する場合、第１４図に示すようなマスク７００を用意しておくと便利である。図で破線は半導体ウエハ１００の肉厚が薄い部分に対応する領域を示し、添字を付加した記号Ｒで示す部分は、各抵抗素子Ｒを形成するためにマスクに開けられた窓部である。このマスク７００の特徴は、Ｚ軸方向の力を検出するための抵抗素子が２とおり形成できる点である。すなわち、Ｒｚ１〜Ｒｚ４の第１の組と、Ｒｚ１′〜Ｒｚ４′の第２の組と、の両方が形成できる。いずれの組を用いるかは、用いる半導体ウエハ１００の面方位によって決めることになる。マスク７００はシリコンの面方位（１１０）のウエハと（１００）のウエハとの両方に適したマスクパターンである。面方位（１１０）のウエハの場合は第１の組、面方位（１００）のウエハの場合は第２の組を用いるのがよい。これはどの方向に抵抗素子を配したら応力に対する検出感度が良好になるかという条件が、用いるウエハの面方位によって異なるためである。したがって、第２図に示した抵抗素子の配列は一列であり、実際には用いるウエハの面方位により最適な配列をとることになる。」（第８頁左上欄第６行〜同頁右上欄第８行）
（エ）「また、可撓部を形成する手段としては、溝を設ける方法だけでなく貫通孔を設ける方法を用いてもよい。要するに部分的に除去する加工によって可撓性を生じさせることができればどのような方法を用いてもよい。第１５図に貫通孔を設ける方法によって可撓部を形成した実施例を示す。この半導体ペレット１０′には、４か所に方形の貫通孔１６が設けられており、これによって架橋部１７が形成される。この架橋部１７は可撓性をもつことになり、ここに抵抗素子が形成される。」（第８頁右上欄第２０行〜同頁左下欄第９行）
（オ）図面の第１５図には、架橋部１７の上面に、抵抗素子Ｒｘ１〜Ｒｘ４およびＲｙ１〜Ｒｙ４が各軸に対応する架橋部１７の長手方向と平行であり、抵抗素子Ｒｚ１〜Ｒｚ４が抵抗素子Ｒｘ１〜Ｒｘ４と同じ架橋部１７に形成されており、抵抗素子Ｒｚ１〜Ｒｚ４が同架橋部１７の長手方向と平行ではない角度を有していることが示されている。
　
　上記摘記事項事項（イ）における「このセンサに加速度が加わると、重錘体２０に外力が作用することになる。この外力は作用部１１に伝達され、可撓部１２に機械的変形が生じる。これによって、抵抗素子の電気抵抗に変化が生じ、この変化はボンディングワイヤ１５およびリード４２を介して外部に取り出すことができる。」記載の記載からみて、刊行物１に示される抵抗素子を用いたセンサは加速度を検出するものを含むことが読み取れる。
　また、上記摘記事項（エ）における「第１５図に貫通孔を設ける方法によって可撓部を形成した実施例を示す。」の記載、及び、（イ）における「半導体ペレット１０は、内側から外側に向かって順に、作用部１１、可撓部１２、固定部１３の３つの領域に分けられる。・・・作用部１１の下方には重錘体２０が接合されており、・・・このセンサに加速度が加わると、重錘体２０に外力が作用することになる。この外力は作用部１１に伝達され、可撓部１２に機械的変形が生じる。」の記載からみて、第１５図に示される実施例において、架橋部１７は一端が固定部に、他端が重錘に接続されていることが読み取れる。
　したがって刊行物１には次の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認める。
　
＜刊行物１記載の発明＞
　「加速度を半導体基板上に形成された抵抗素子で検出する３軸加速度センサであって、その半導体基板上に形成された抵抗素子は両端を固定部と重錘に接続された架橋部１７上に配されており、Ｘ方向成分を検出する抵抗素子Ｒｘ１〜Ｒｘ４及びＹ方向成分を検出する抵抗素子Ｒｙ１〜Ｒｙ４の長手方向は、各々の軸に対応する架橋部１７の長手方向と平行で、Ｚ方向成分を検出する抵抗素子Ｒｚ１〜Ｒｚ４の長手方向は、Ｚ方向に対応する架橋部１７の長手方向と、平行ではない角度を有している３軸加速度センサ。」
　
（２）原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願日前の平成７年７月２８日に頒布された刊行物である特開平７−１９１０５３号公報（以下「刊行物２という」）には、図面とともに下記の事項が記載されている。
（ア）「【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、Ｘ，ＹおよびＺ軸の３軸方向にそれぞれ作用する加速度を検出するための加速度センサに関する。」（段落【０００１】）
（イ）「【０００８】・・・Ｘ軸、Ｙ軸とＺ軸との間に感度の差が生じるという問題がある。・・・【００１０】この発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、・・・軸間の感度差を軽減することができ、・・・ができる加速度センサを提供することを目的とする。」（段落【０００８】、【００１０】）
　
　上記摘記事項（ア）〜（イ）からみて、刊行物２には、次の事項が記載されているものと認める。
　「３軸方向にそれぞれ作用する加速度を検出するための加速度センサにおいて、Ｘ軸、Ｙ軸とＺ軸との間に生じる感度の差を軽減するという技術課題が存在すること。」
　
４．対比
　本件補正発明１と刊行物１記載の発明を対比する。
　その技術的意義からみて、後者の「半導体基板上に形成された抵抗素子」、「固定部」、「重錘」、「架橋部１７」、「Ｘ方向成分を検出する抵抗素子」、「Ｙ方向成分を検出する抵抗素子」、「Ｚ方向成分を検出する抵抗素子」は、前者の「ピエゾ抵抗体」、「外枠部」、「質量部」、「可撓部」、「Ｘ軸用ピエゾ抵抗体」、「Ｙ軸用ピエゾ抵抗体」、「Ｚ軸用ピエゾ抵抗体」にそれぞれに相当する。
　また、後者の「Ｚ方向成分を検出する抵抗素子Ｒｚ１〜Ｒｚ４の長手方向は、Ｚ方向に対応する架橋部１７の長手方向と、平行ではない角度を有している」ことは、前者の「Ｚ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向は、Ｚ軸に対応する可撓部の長手方向と、１０度以上３０度以下あるいは６５度以上９０度以下の角度を有している」ことと、「Ｚ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向は、Ｚ軸に対応する可撓部の長手方向と、平行ではない角度を有している」限りにおいて一致している。
　そうすると、両者は次の一致点及び相違点を有している。
＜一致点＞
　「加速度をピエゾ抵抗体で検出する３軸加速度センサであって、そのピエゾ抵抗体は両端を外枠部と質量部に接続された可撓部上に配されており、Ｘ軸およびＹ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向は、各々の軸に対応する可撓部の長手方向と平行で、Ｚ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向は、Ｚ軸に対応する可撓部の長手方向と、平行ではない角度を有していることを特徴とするピエゾ抵抗型３軸加速度センサ。」
＜相違点＞
　本件補正発明１においては、Ｚ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向と、Ｚ軸に対応する可撓部の長手方向との平行ではない角度が「１０度以上３０度以下あるいは６５度以上９０度以下」であるのに対し、刊行物１記載の発明においては、その角度の数値について特定されていない点。
　
５．判断
　半導体面上に形成されるピエゾ抵抗素子の加速度検出感度は、半導体面上で形成されるピエゾ抵抗素子の方向によって変化することは周知である（例えば、特開平７−２０２２２１号公報の段落【００１７】、【００２７】〜【００２８】、図面図２、図３、あるいは、特開平６−１７４５７１号公報の図面図５を参照）。一方、刊行物１記載の発明においては、Ｚ方向成分を検出する抵抗素子Ｒｚ１〜Ｒｚ４の長手方向は、Ｚ方向に対応する架橋部１７の長手方向と、平行ではない角度を有している。してみれば、刊行物１記載の発明における抵抗素子Ｒｚ１〜Ｒｚ４の検出感度と、これら抵抗素子Ｒｚ１〜Ｒｚ４の形成されている架橋部１７と同じ架橋部１７に形成されている抵抗素子Ｒｘ１〜Ｒｘ４の検出感度とは異なっているものと解される。そうすると、上記の刊行物２に記載の事項「３軸方向にそれぞれ作用する加速度を検出するための加速度センサにおいて、Ｘ軸、Ｙ軸とＺ軸との間に生じる感度の差を軽減するという技術課題が存在すること。」を勘案して、刊行物１記載の発明において、Ｚ方向成分を検出する抵抗素子について所望の感度を得るため、架橋部１７に対する形成角度を適宜選択して上記相違点に係る構成とすることは当業者が容易に成し得たものといえる。
　
＜補正発明１の作用効果について＞　
　そして、本件補正発明１の作用効果は、刊行物１に記載の発明、刊行物２に記載の事項及び上記周知の事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別なものではない。
　
　したがって、本件補正発明１は刊行物１記載の発明、刊行物２に記載の事項及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明
１．本願発明
　平成１７年６月８日付手続補正書による補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし２に係る発明は、願書に最初に添付された明細書及び平成１７年１月２０日付手続補正書の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし２にそれぞれ記載された事項により特定されるとおりものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は次のとおりである。
＜本願発明１＞
　「　【請求項１】　加速度をピエゾ抵抗体で検出する３軸加速度センサであって、そのピエゾ抵抗体は両端を外枠部と質量部に接続された可撓部上に配されており、Ｘ軸およびＹ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向は、各々の軸に対応する可撓部の長手方向と平行で、Ｚ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向は、Ｚ軸に対応する可撓部の長手方向と角度を有していることを特徴とするピエゾ抵抗型３軸加速度センサ。」
　
２．刊行物記載の発明・事項
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物、及び同刊行物に記載された発明・事項は、前記、「第２　３．（１）ないし（２）」に記載したとおりである。
　
３．対比・判断
　本願発明１は、前記第２で検討した本願補正発明１の発明特定事項である、Ｚ軸用ピエゾ抵抗体の長手方向と、Ｚ軸に対応する可撓部の長手方向との間の「角度」について、「１０度以上３０度以下あるいは６５度以上９０度以下」との限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明１の発明特定事項を全て含み、さらに他の限定を付加したものに相当する本願補正発明１が前記「第２　５．」に記載したとおり、前記刊行物１記載の発明、刊行物２に記載の事項及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、本願発明１も同様の理由により、刊行物１記載の発明、刊行物２に記載の事項及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明できたものであって、特許法２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
４．むすび
　以上のとおり、請求項１に係る発明が特許法２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、請求項２に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。