【事件の表示】
　平成１１年特許願第１４６７３３号「半導体加速度センサ」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年１２月８日出願公開、特開２０００−３３８１２６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯 
　本件は、平成１１年５月２６日に出願された特許出願であって、拒絶査定が平成１６年７月１６日付けでされ、同月２７日に発送されたところ、この拒絶査定に対する審判が同年８月２６日に請求されるとともに手続補正書が同日に提出されたものである。
　
　
２　平成１６年８月２６日付けの手続補正についての補正の却下の決定
　［補正却下の決定の結論］
　　平成１６年８月２６日付けの手続補正を却下する。
　［理由］
　（１）補正の内容
　　平成１６年８月２６日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）は、本件補正前の特許請求の範囲の請求項１、３及び４を削除するとともに、本件補正前の特許請求の範囲の請求項２の記載
「【請求項２】　マス部と、弾性を有するビームにより前記マス部を一端で支持し、他端が支持体部に一体支持されたカンチレバーと、前記カンチレバー上に形成され、印加された加速度に比例した電圧を出力として取り出すゲージ抵抗とを備えたセンシングエレメントを有するとともに、前記センシングエレメントの上下に位置し、前記支持体部と接合されるとともに、センサ自体の周波数特性をエアダンピングにより制御する凹部を設けた上ガラスキャップ及び下ガラスキャップを備え、過大加速度が印加されたときに前記マス部が一定値以上変位しないように規制する凸状の上部ストッパを前記上ガラスキャップの凹部内に形成し、下部ストッパを前記下ガラスキャップの凹部内に形成した半導体加速度センサにおいて、前記上部ストッパと下部ストッパとは、前記上ガラスキャップの凹部、及び下ガラスキャップの凹部内の４隅方向に各１個ずつ配置されるとともに、その外側にさらに複数個配置されることを特徴とする半導体加速度センサ。」
を新たに請求項１として、
「【請求項１】　マス部と、弾性を有するビームにより前記マス部を一端で支持し、他端が支持体部に一体支持されたカンチレバーと、前記カンチレバー上に形成され、印加された加速度に比例した電圧を出力として取り出すゲージ抵抗とを備えたセンシングエレメントを有するとともに、前記センシングエレメントの上下に位置し、前記支持体部と接合されるとともに、センサ自体の周波数特性をエアダンピングにより制御する凹部を設けた上ガラスキャップ及び下ガラスキャップを備え、過大加速度が印加されたときに前記マス部が一定値以上変位しないように規制する凸状の上部ストッパを前記上ガラスキャップの凹部内に形成し、下部ストッパを前記下ガラスキャップの凹部内に形成した半導体加速度センサにおいて、前記上部ストッパと下部ストッパとは、前記上ガラスキャップの凹部、及び下ガラスキャップの凹部内の４隅方向に各１個ずつ配置されるとともに、その外側にさらに複数個配置され、前記マス部の上下面のうち少なくとも一方の面は、相対する上ガラスキャップまたは下ガラスキャップの凹部内に形成されたストッパの内、最も内側の４隅方向に各１個ずつ配置されたストッパのみによってその変位を規制されることを特徴とする半導体加速度センサ。」
と補正する補正事項を含んでいる。
　　上記補正事項は、「ストッパ」に関し、「前記マス部の上下面のうち少なくとも一方の面は、相対する上ガラスキャップまたは下ガラスキャップの凹部内に形成されたストッパの内、最も内側の４隅方向に各１個ずつ配置されたストッパのみによってその変位を規制される」点をさらに付加して限定したものである。
　
　（２）新規事項の判断
　　上記の「前記マス部の上下面のうち少なくとも一方の面は、相対する上ガラスキャップまたは下ガラスキャップの凹部内に形成されたストッパの内、最も内側の４隅方向に各１個ずつ配置されたストッパのみによってその変位を規制される」点に関し、請求人は、審判請求書の請求の理由（３）（ｂ）において、かかる補正は、出願時の明細書の段落【００３３】及び【００３５】の記載並びに図３及び４に基づいたものであり、新規な事項ではない旨主張している。
　　しかしながら、上記段落【００３３】には、「図３、図４において、図１、図２と異なる点は、図３、図４ではストッパ９Ａの内側には他のストッパが設けられておらず、各ストッパ９Ａの外側に更に凹部３ａの４隅に向かう位置に２個ずつストッパ９Ａとほぼ同じ大きさのストッパ９Ｃが設けられている点である。」と記載され、段落【００３５】には、「本実施形態によれば、過度な加速度が印加された場合でも、複数のストッパにより衝撃を分散して受け、その衝撃を緩和するとともに、過度な加速度がカンチレバー４のねじれの方向にかかっても、マス部５が４個のストッパ９Ａのどこかで必ず接触するため、ねじれ方向の力による変位も規制することができ、カンチレバー４の破損を防止できる。さらに、ストッパ９Ａの外側に複数のストッパ９Ｃが設けられているため、センサチップ１の感度調整により、マス部５の大きさをより大きくし、マス部５の重さを増加した低Ｇ検知タイプのセンサチップ１に対しても、上ガラスキャップ２、下ガラスキャップ３をそのまま使用することができ、製造コストの低減が図れる。」との記載があるものの、「前記マス部の上下面のうち少なくとも一方の面は、相対する上ガラスキャップまたは下ガラスキャップの凹部内に形成されたストッパの内、最も内側の４隅方向に各１個ずつ配置されたストッパのみによってその変位を規制される」点の記載は見当たらない。
　　すなわち、上記段落の記載や図３及び４から、「ストッパ９Ａ」の外側に複数の「ストッパ９Ｃ」が設けられている点、過度な加速度がカンチレバー４のねじれの方向にかかっても、マス部５が４個のストッパ９Ａのどこかで必ず接触する点、マス部５の大きさをより大きくし、マス部５の重さを増加した低Ｇ検知タイプのセンサチップ１に対しても、ストッパ９Ａの外側に設けられたストッパ９Ｃで対応できる点を読み取ることは可能であるとしても、これら複数設けられたストッパの内、最も内側の４隅方向に各１個ずつ配置されたストッパ（ストッパ９Ａ）「のみによって」変位規制を行う点までは読み取ることはできない。
　　マス部５が４個のストッパ９Ａのどこかで必ず接触するとしても、それは、当該マス部５がその外側にあるストッパ９Ｃにも接触する場合があることを排除するものではないし、マス部５の大きさをより大きくした場合には、最も内側の４隅方向に各１個ずつ配置されたストッパ（ストッパ９Ａ）には接触せずに、その外側に設けられたストッパ９Ｃに接触する場合もあるから、ストッパ９Ａ「のみによって」変位規制を行う点を読み取ることはできないのである。
　　したがって、請求人の上記主張を採用することはできず、本件補正は、願書に最初に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内においてしたものとはいえないから、特許法１７条の２第３項の規定に違反してなされたものであり、同法１５９条１項において読み替えて準用する同法５３条１項の規定により却下されるべきものである。
　
　
３　本願発明について
　平成１６年８月２６日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜４に係る発明は、平成１６年１月１３日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載から見て、その特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された事項により特定されるものであると認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は、以下のとおりである。
「【請求項１】　マス部と、弾性を有するビームにより前記マス部を一端で支持し、他端が支持体部に一体支持されたカンチレバーと、前記カンチレバー上に形成され、印加された加速度に比例した電圧を出力として取り出すゲージ抵抗とを備えたセンシングエレメントを有するとともに、前記センシングエレメントの上下に位置し、前記支持体部と接合されるとともに、センサ自体の周波数特性をエアダンピングにより制御する凹部を設けた上ガラスキャップ及び下ガラスキャップを備え、過大加速度が印加されたときに前記マス部が一定値以上変位しないように規制する凸状の上部ストッパを前記上ガラスキャップの凹部内に形成し、下部ストッパを前記下ガラスキャップの凹部内に形成した半導体加速度センサにおいて、前記上部ストッパと下部ストッパとは、前記上ガラスキャップの凹部、及び下ガラスキャップの凹部内の４隅方向に各１個ずつ配置されるとともに、その内側かつ前記上部ストッパ及び下部ストッパと相対する位置に有るマス部の面の対角線と対応する位置に、等間隔に複数個配置されることを特徴とする半導体加速度センサ。」
　
　
４　刊行物
　（１）特開平１０−１７０５４２号公報　
　　原審の拒絶の理由に引用され、本願の出願前の平成１０年６月２６日に頒布された刊行物である特開平１０−１７０５４２号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている。
　
　　ア　「【０００２】【従来の技術】半導体加速度センサは、従来より、半導体エッチング技術を利用して製造されており、小型、高感度、高信頼性という特徴を有している。この種の半導体加速度センサは、図１１に示すように、重り部２と、一端が重り部２と一体連結された薄肉の撓み部３と、撓み部３の他端と一体連結され撓み部３により重り部２を揺動自在に支持する支持部４とをシリコン基板をエッチング加工することで一体に形成したセンシングエレメント１と、支持部４の上下に陽極接合により固定された上部キャップ１０及び下部キャップ２０とを有し、撓み部３の表面には歪に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗がシリコン基板への拡散技術等により形成してある。なお、上部キャップ１０及び下部キャップ２０夫々のセンシングエレメント１に対向する面には、重り部２の揺動空間を確保しエアダンピング効果を得るための凹所１０ａ、２０ａ夫々がエッチングにより形成してある。また、上部キャップ１０及び下部キャップ２０はセンシングエレメント１を封止するためのものであって、シリコン基板と略等しい熱膨脹率を有するガラス（耐熱ガラス）で形成してある。」
　
　　イ　「【０００３】以下、上記半導体加速度センサの動作について簡単に説明する。上記半導体加速度センサに対して、例えば図１１における矢印方向の加速度Ｇが印加されると、その加速度Ｇの大きさに応じて重り部２が揺動することで撓み部３が撓み、その結果、撓み部３に歪による応力が生じ、ピエゾ効果によって撓み部３表面のピエゾ抵抗Ｒの抵抗値が変化する。したがって、この抵抗値変化を電圧出力として取り出すことで、印加された加速度Ｇを検出することができるようになっている。」
　
　　ウ　「【００１１】【発明の実施の形態】（実施形態１）図１に本実施形態の半導体加速度センサの断面図を示す。本半導体加速度センサの基本構成は従来構成と略同じであって、過大な加速度が印加されたときに重り部２が一定値以上変位しないように規制する微小の突起からなり断面略台形状のストッパ１０ｂ，２０ｂを上部キャップ１０及び下部キャップ２０夫々の凹所１０ａ，２０ａに形成した点で相違する。【００１２】ストッパ１０ｂ，２０ｂは、凹所１０ａ，２０ａの底面から重り部２の方向へ突出したものであって、重り部２の撓み部３側の適宜部位に対向するように配設されている。」
　
　（２）引用発明の認定
　　上記摘記事項アより、引用例１には、「重り部２」と、「一端が重り部２と一体連結」され「他端」が「支持部４」と「一体連結」された「薄肉の撓み部３」と、「撓み部３の表面に」「形成」された「歪に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗」とからなる「センシングエレメント１」を備え、「支持部４の上下に陽極接合により固定された上部キャップ１０及び下部キャップ２０」を有し、「上部キャップ１０及び下部キャップ２０夫々のセンシングエレメント１に対向する面には、重り部２の揺動空間を確保しエアダンピング効果を得るための凹所１０ａ、２０ａ夫々がエッチングにより形成」され、「上部キャップ１０及び下部キャップ２０はセンシングエレメント１を封止するため」、「シリコン基板と略等しい熱膨脹率を有するガラス（耐熱ガラス）で形成」された「半導体加速度センサ」が読み取れる。
　　同摘記事項イより、引用例１には、「加速度Ｇの大きさに応じて重り部２が揺動することで撓み部３が撓み、その結果、撓み部３に歪による応力が生じ、ピエゾ効果によって撓み部３表面のピエゾ抵抗Ｒの抵抗値が変化」し、「この抵抗値変化を電圧出力として取り出すことで、印加された加速度Ｇを検出することができるように」した「半導体加速度センサ」が読み取れる。　　同摘記事項ウより、引用例１には、「過大な加速度が印加されたときに重り部２が一定値以上変位しないように規制する微小の突起からなり断面略台形状のストッパ１０ｂ，２０ｂを上部キャップ１０及び下部キャップ２０夫々の凹所１０ａ，２０ａに形成」し、「ストッパ１０ｂ，２０ｂは、凹所１０ａ，２０ａの底面から重り部２の方向へ突出したものであって、重り部２の撓み部３側の適宜部位に対向するように配設」された「半導体加速度センサ」が読み取れる。
　　以上より、引用例１には、
「重り部２と、一端が重り部２と一体連結され他端が支持部４と一体連結された薄肉の撓み部３と、撓み部３の表面に形成された歪に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗とからなるセンシングエレメント１を備え、支持部４の上下に陽極接合により固定された上部キャップ１０及び下部キャップ２０を有し、上部キャップ１０及び下部キャップ２０夫々のセンシングエレメント１に対向する面には、重り部２の揺動空間を確保しエアダンピング効果を得るための凹所１０ａ、２０ａ夫々がエッチングにより形成され、上部キャップ１０及び下部キャップ２０はセンシングエレメント１を封止するため、シリコン基板と略等しい熱膨脹率を有するガラス（耐熱ガラス）で形成され、加速度Ｇの大きさに応じて重り部２が揺動することで撓み部３が撓み、その結果、撓み部３に歪による応力が生じ、ピエゾ効果によって撓み部３表面のピエゾ抵抗Ｒの抵抗値が変化し、この抵抗値変化を電圧出力として取り出すことで、印加された加速度Ｇを検出することができるようにした半導体加速度センサにおいて、過大な加速度が印加されたときに重り部２が一定値以上変位しないように規制する微小の突起からなる断面略台形状のストッパ１０ｂ，２０ｂを上部キャップ１０及び下部キャップ２０夫々の凹所１０ａ，２０ａに形成し、ストッパ１０ｂ，２０ｂは、凹所１０ａ，２０ａの底面から重り部２の方向へ突出したものであって、重り部２の撓み部３側の適宜部位に対向するように配設された半導体加速度センサ」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
　
５　対比・判断
　（１）本願発明１と引用発明との対比
　　本願発明１（以下、「前者」という。）と引用発明（以下、「後者」という。）とを対比すると、後者の「半導体加速度センサ」、「重り部２」、「支持部４」、「一端が重り部２と一体連結され他端が支持部４と一体連結された薄肉の撓み部３」、「撓み部３の表面に形成された歪に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗」及び「センシングエレメント１」は、それぞれ前者の「半導体加速度センサ」、「マス部」、「支持体部」、「弾性を有するビームにより前記マス部を一端で支持し、他端が支持体部に一体支持されたカンチレバー」、「前記カンチレバー上に形成され、印加された加速度に比例した電圧を出力として取り出すゲージ抵抗」及び「センシングエレメント」に相当する。
　　後者の「支持部４の上下に陽極接合により固定された上部キャップ１０及び下部キャップ２０」は、「上部キャップ１０及び下部キャップ２０夫々のセンシングエレメント１に対向する面には、重り部２の揺動空間を確保しエアダンピング効果を得るための凹所１０ａ、２０ａ夫々がエッチングにより形成され、上部キャップ１０及び下部キャップ２０はセンシングエレメント１を封止するため、シリコン基板と略等しい熱膨脹率を有するガラス（耐熱ガラス）で形成され」ていることから、後者の「上部キャップ１０」及び「下部キャップ２０」は、前者の「前記センシングエレメントの上下に位置し、前記支持体部と接合されるとともに、センサ自体の周波数特性をエアダンピングにより制御する凹部を設けた上ガラスキャップ及び下ガラスキャップ」にそれぞれ相当する。
　　後者の「ストッパ１０ｂ，２０ｂ」は、「過大な加速度が印加されたときに重り部２が一定値以上変位しないように規制する微小の突起からなる断面略台形状」であって、「上部キャップ１０及び下部キャップ２０夫々の凹所１０ａ，２０ａに形成」され、「凹所１０ａ，２０ａの底面から重り部２の方向へ突出」し、「重り部２の撓み部３側の適宜部位に対向するように配設された」ものであるから、前者の「過大加速度が印加されたときに前記マス部が一定値以上変位しないように規制する」「前記上ガラスキャップの凹部内に形成」された「上部ストッパ」及び「前記下ガラスキャップの凹部内に形成」された「下部ストッパ」にそれぞれ相当する。
　　してみれば、前者と後者とは、
「マス部と、弾性を有するビームにより前記マス部を一端で支持し、他端が支持体部に一体支持されたカンチレバーと、前記カンチレバー上に形成され、印加された加速度に比例した電圧を出力として取り出すゲージ抵抗とを備えたセンシングエレメントを有するとともに、前記センシングエレメントの上下に位置し、前記支持体部と接合されるとともに、センサ自体の周波数特性をエアダンピングにより制御する凹部を設けた上ガラスキャップ及び下ガラスキャップを備え、過大加速度が印加されたときに前記マス部が一定値以上変位しないように規制する凸状の上部ストッパを前記上ガラスキャップの凹部内に形成し、下部ストッパを前記下ガラスキャップの凹部内に形成した半導体加速度センサ」という点で一致し、以下の相違点にて相違する。
　［相違点］
　　前者の「上部ストッパ」と「下部ストッパ」は、「上ガラスキャップの凹部、及び下ガラスキャップの凹部内の４隅方向に各１個ずつ配置されるとともに、その内側かつ前記上部ストッパ及び下部ストッパと相対する位置に有るマス部の面の対角線と対応する位置に、等間隔に複数個配置」されているのに対し、後者の「ストッパ１０ｂ」と「ストッパ２０ｂ」は、そのような配置になっていない点。
　
　（２）判断
　　上記相違点について検討する。
　　例えば、原審の拒絶の理由に引用され、本願の出願前の平成６年８月５日に頒布された刊行物である特開平６−２１３９２４号公報（以下、「引用例２」という。）には、「加速度センサ」（段落【００１７】参照）に関し、「固定電極１，２の電極面の一部に設けた絶縁体突起７」が、「図２に示すように各固定電極面に四箇所（計８個）配設され、可動電極３が過大変位した時に絶縁体突起７に可動電極５が優先的に接触して、可動電極３と固定電極１，２の電極表面との接触を無くすように設定してある」旨（段落【００２１】及び図２参照）及び「絶縁体突起７の数も図２、７、９、１２に示すような特に４個である必要はなく、強度を考慮してその個数を増やして、例えば図１３の第５実施例に示すように配置しても良」い旨記載されている（段落【００３６】並びに図２、７、９、１２及び１３参照）。
　　また、原審の拒絶の理由に引用され、本願の出願前の平成９年４月２２日に頒布された刊行物である特開平９−１０５７６０号公報（以下、「引用例３」という。）には、加速度センサに関し、「前記シリコンキャップ１３上面１３uには、縦断面形状が三角形形状の、例えば図１の（ｂ）に示すように円錐形状（角錐形状でもよい）の凸部１４を複数、異方性エッチングにより形成するものである」旨（段落【００２０】及び図１（ｂ）参照）及び「凸部の個数は多数であることに限定されず、少なくとも１つ以上好ましくは複数あるとよく」、「凸部の配列は縦、横、斜め等に規則的に並んでいてもあるいは散点状でもいずれでもよい」旨記載されている（段落【００２５】参照）。
　　ここで、引用例２記載の「絶縁体突起７」や引用例３記載の「凸部」は、本願発明１の「ストッパ」に相当し、引用例２の図１３や引用例３の図１（ｂ）に示された配置から、「ストッパ」を「ガラスキャップの凹部内の４隅方向に各１個ずつ配置」するとともに「その内側に等間隔に複数個配置」することは、周知の技術である。
　　そして、複数の凸部を斜めに規則的に並べた配置とすることも、刊行物３に記載されているように周知であり、かかる周知の配置して、「ストッパと相対する位置に有るマス部の面の対角線と対応する位置に配置」することは、当業者が適宜為し得る設計事項にすぎない。
　　また、本願発明１の奏する効果も、引用発明並びに上記引用例２及び３に記載された周知の事項に基づいて、当業者が容易に予測し得るものにすぎない。
　
　
６　むすび
　以上のとおりであるから、本願発明１は、引用発明並びに上記引用例２及び３に記載された周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項２〜４に係る発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶をすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。