【事件の表示】
　特願２００６−　　６８８３「荷電粒子線装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　４月２０日出願公開、特開２００６−１０８１２３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１３年７月１０日に出願した特願２００１−２０８６７４号の一部を平成１８年１月１６日に新たな特許出願としたものであって、平成２０年８月４日付けで拒絶理由が通知され、これに対し、同年１０月２０日付けで手続補正がなされ、その後同年１１月１０日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年１２月１７日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、平成２１年１月１５日付けで手続補正がなされ、これに対し、平成２２年５月２８日付けで審尋がなされ、これに対し、同年８月２日に回答書が提出されたものである。
　
２．平成２１年１月１５日付けの手続補正についての補正の却下の決定
〔補正の却下の決定の結論〕
　平成２１年１月１５日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
〔理由〕
（２−１）補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲を補正するものであって、その補正内容は、特許請求の範囲の請求項１について、
「　【請求項１】
　荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を調節する光学素子と、当該光学素子に対して軸調整を行うアライメント偏向器を備えた荷電粒子線装置において、
　前記アライメント偏向器の偏向量を、前記光学素子の条件を変化させたときに得られる画像の像移動量に基づいて演算する演算手段を備え、当該演算手段によって算出された偏向量が予め定められた値以上、或いはその値より大きい場合、当該算出された偏向量による軸調整の後、再度前記演算手段による像移動量の演算処理を行うと判断することを特徴とする荷電粒子線装置。」
と補正するものである。
　
（２−２）本件補正の目的について
　本件補正は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である、「前記アライメント偏向器の偏向量を」「演算する演算手段」という事項から「前記アライメント偏向器の偏向量を、前記光学素子の条件を変化させたときに得られる画像の像移動量に基づいて演算する演算手段」という事項に限定し、同じく「当該演算手段によって算出された偏向量が予め定められた値以上、或いはその値より大きい場合」に「再度前記演算手段による演算処理を行う」ことから、「当該算出された偏向量による軸調整の後、再度前記演算手段による像移動量の演算処理を行うと判断する」ことに限定するものであって、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号に規定された特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　
（２−３）独立特許要件について
　本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するか）について以下に検討する。
　
（２−３−１）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の原出願の出願日前である平成２年９月１７日に頒布された「特開平２−２３４３３６号公報 」（以下「引用刊行物」という。）には、図面とともに、以下の技術事項が記載されている。
　
（ａ）「３．発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
　本発明は、走査電子顕微鏡に関し、特に、半導体集積回路装置の製造工程における外観検査などに用いられる走査電子顕微鏡に適用して効果のある技術に関する。」（第２頁左上欄第３−８行）
　
（ｂ）「そこで、本発明の目的は、作業者の熟練度などに影響されることなく、常に最大限の性能を発揮することが可能な走査電子顕微鏡を提供することにある。
　本発明の他の目的は、電子光学系の軸ずれを自動的に補正して操作性を向上させることが可能な走査電子顕微鏡を提供することにある。
　本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。」（第２頁左下欄第８−１７行）
　
（ｃ）「〔実施例〕
　以下、本発明の一実施例である走査電子顕微鏡を、図面を参照しながら詳細に説明する。
　第１図は、本発明の一実施例である走査電子顕微鏡の構成の一例を示すブロック図であり、第２図は、その作用の一例を説明する説明図である。
　たとえば、水平面内における移動および水平面からの傾動などが自在な試料台１０の上には、半導体基板などからなる対象物２０が載置されており、この試料台１０の上方には、当該試料台１０に載置された対象物２０に向けて電子線３０を放射する電子線源４０が配置されている。
　この電子線源４０から対象物２０に到る電子線３０の通過経路を取り囲む位置には、対象物２０に到達する電子線３０のスポットサイズや電流値などを制御する収束レンズ５１と、当該電子光学系５０における軸ずれを補正する軸ずれ補正コイル５２と、観察画像の明るさ，コントラスト，焦点深度などを調整する対物絞り５３と、対象物２０に対する電子線３０の入射位置すなわち走査を制御する偏向コイル５４と、電子線３０の対象物２０に対する焦点位置を制御する対物レンズ５５とからなる電子光学系５０が設けられている。
　この電子光学系５０の軸ずれ補正コイル５２および偏向コイル５４，対物レンズ５５は、それぞれ、補正電流制御部５２ａおよび走査電源部５４ａ，レンズ電流制御部５５ａを介して、たとえばマイクロプロセッサなどからなる信号制御部７０（第３の手段）に接続されており、当該信号制御部７０によって各々の動作が統轄して制御されている。
　また、対象物２０が載置された試料台１０の近傍には、対象物２０における電子線３０の照射部位から発生する二次電子または反射電子３０ａの強度を検出して電気的な信号の大小に変換する検出器６０が配置されており、この検出器６０は前記信号制御部７０に接続されている。
　さらに、信号制御部７０には、複数の画像メモリ９１および画像メモリ９２と、陰極線管などからなる表示部８０が接続されている。
　そして、信号制御部７０は、偏向コイル５４による電子線３０の対象物２０に対する走査位置と、当該走査位置から検出器６０を介して検出される二次電子または反射電子３０ａの強度を輝度変調して得られる信号とから、画像メモリ９１および９２に、対象物２０の、電子線３０の正焦点および過焦点または不足焦点における拡大画像を個別に構成するとともに、この画像メモリ９１および９２から画像情報を読み出して、表示部８０に表示させる動作を行うものである。
　この場合、信号制御部７０には、画像メモリ９ｌおよび９２に格納されている画像情報から、たとえばパターンマッチング技術などによって、電子線３０を正焦点から過焦点または不足焦点に変化させる際に、表示部８０に出力される同一の観察画像の、電子光学系５０の軸ずれなどに起因して生じる位置ずれ量を検出するパターンマッチング処理部９０が接続されている。
　さらに、信号制御部７０には、軸ずれ補正値記憶部１００が接続されている。この軸ずれ補正値記憶部１００には、焦点位置を変化させる際に表示部８０に出力される観察画像の電子光学系５０の軸ずれなどに起因する位置ずれ量と、この位置ずれ、すなわち軸ずれの補正に必要な、軸ずれ補正コイル５２に対する指令電流の現在値からの増減量を示す相対指令電流値とが、あらかじめ各加速電圧毎などに対応づけて、格納されている。
　そして、信号制御部７０は、前述のパターンマッチング処理部９０において検出された観察画像の位置ずれ量、すなわち電子光学系５０の軸ずれ量が、所定の許容値を逸脱している場合には、たとえば、表示部８０にその旨を報知する文字や画像情報を表示して、操作者に認識させる動作を行うものである。
　さらに本実施例の場合には、信号制御部７０は、当該位置ずれ量に応じた軸ずれ補正コイル５２への相対指令電流値を軸ずれ補正値記憶部１００から読み出して補正電流制御部５２ａに与える動作を、位置ずれ量が所定の値以下になるまで繰り返すことにより、電子光学系５０の軸ずれの補正操作を自動的に行うようにプログラムされている。
　なお、特に図示しないが、前記試料台１０や電子線源４０，電子光学系５０などは、所定の真空室内に収容されており、電子線３０の経路は高い真空度に保たれる構造となっている。」（第３頁右上欄第２行−第４頁右上欄第６行）
　
（ｄ）「以下、本実施例の走査電子顕微鏡の動作の一例を説明する。
　まず、軸ずれ補正値記憶部１００への前述のような補正データの格納操作の一例を説明する。
　すなわち、標準パターンや通常の試料である対象物２０の所定の画像の観察において、電子線３０の加速電圧やビーム電流などを所望の値に一定にした条件下で、意図的に電子線３０の対象物２０に対する焦点位置を、正焦点から、過焦点または不足焦点に変化させる。そして、この時に電子光学系５０の軸ずれに起因して生じる観察画像の移動が解消されるように、軸ずれ補正コイル５２に対して、現在の指令電流値から適宜増減させる操作を、電子光学系５０の光軸に直交する平面内において互いに直交する２方向（Ｘ，Ｙ方向）について独立に行い、指令電流値の現在値からの増減量を、相対指令電流値として対応する観察画像の移動量とともに軸ずれ補正値記憶部１００に記憶させる。
　この操作を、電子線３０の異なる加速電圧やビーム電流値毎に行っておく。
　なお、上記の相対指令電流値の登録操作では、周知の補間法などを用いても良いことは言うまでもない。
　次に、実際の画像観察における動作は次のようになる。
　まず、操作者の指令などにより、稼働中の所望のタイミングで、信号制御部７０は、電子線３０の対象物２０に対する正焦点位置での観察画像を画像メモリ９１に格納する。さらに、レンズ電流制御部５５ａを介して、対物レンズ５５に対する通電量を増減させて、電子線３０の焦点位置を現在の正焦点から過焦点または不足焦点に意図的に変化させ、その時の対象物２０の同一部位の観察画像を他方の画像メモリ９２に格納する。
　この時の画像メモリ９１および９２の画像情報を表示部８０に出力した場合の観察画像８０ａおよび観察画像８０ｂの一例を示すものが第２図である。
　同図に示されるように、電子光学系５０に軸ずれを生じている場合には、対象物２０の同一の部位における、正焦点での観察画像８０ａと、過焦点または不足焦点での観察画像８０ｂとは、位置ずれを生じる。そして、パターンマッチング処理部９０は、必要に応じて輪郭強調処理などを施すことにより、正焦点での観察画像８０ａおよび過焦点または不足焦点での観察画像８０ｂの同一の点Ａの座標（ｘ１，ｙ１）および（ｘ２，ｙ２）から、軸ずれに起因する観察画像８０ａおよび８０ｂの移動量ΔＸおよび移動量ΔＹを求める。
　そして、この移動量ΔＸおよびΔＹが、すなわち電子光学系５０の軸ずれ量が、予め、当該走査電子顕微鏡の性能などに基づいて設定されている所定の許容値を逸脱している場合には、信号制御部７０は表示部８０に対して、電子光学系５０が軸ずれ不良状態にあることを文字や画像情報などで出力し、当該走査電子顕微鏡の性能が充分に発揮できる状態ではないことを操作者に確実に認識させる。
　さらに、信号制御部７０は、前述のようにして検出された観察画像８０ａおよび８０ｂの移動量ΔＸおよびΔＹに基づいて、軸ずれ補正値記憶部１００から、当該移動量ΔＸおよびΔＹに対応する電子光学系５０の軸ずれを補正するのに必要な、軸ずれ補正コイル５２に対する相対指令電流値を読み出して補正電流制御部５２ａに与え、この操作を当該移動量ΔＸおよびΔＹが所定の値以下になるまでフィードバック制御によって繰り返し、現在の電子光学系５０における軸ずれを自動的に補正する。」（第４頁右上欄第７行−第５頁左上欄第１６行）
　
　上記引用刊行物の記載事項及び図面を総合勘案すると、引用刊行物には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　
「試料台１０に載置された対象物２０に向けて電子線３０を放射する電子線源４０と、電子線３０の対象物２０に対する焦点位置を制御する対物レンズ５５を含む電子光学系５０と、当該電子光学系５０における軸ずれを補正する軸ずれ補正コイル５２と、を備えた走査電子顕微鏡において、
　信号制御部７０は、電子線３０の対象物２０に対する正焦点位置での観察画像８０ａを画像メモリ９１に格納しさらに、レンズ電流制御部５５ａを介して、対物レンズ５５に対する通電量を増減させて、電子線３０の焦点位置を現在の正焦点から過焦点または不足焦点に意図的に変化させ、その時の対象物２０の同一部位の観察画像８０ｂを他方の画像メモリ９２に格納して、パターンマッチング処理部９０において、正焦点での観察画像８０ａおよび過焦点または不足焦点での観察画像８０ｂの同一の点Ａの座標（ｘ１，ｙ１）および（ｘ２，ｙ２）から、軸ずれに起因する観察画像８０ａおよび８０ｂの移動量ΔＸおよび移動量ΔＹを求め、この移動量ΔＸおよびΔＹが、すなわち電子光学系５０の軸ずれ量が、予め、当該走査電子顕微鏡の性能などに基づいて設定されている所定の許容値を逸脱している場合には、移動量ΔＸおよびΔＹに基づいて、軸ずれ補正値記憶部１００から、当該移動量ΔＸおよびΔＹに対応する電子光学系５０の軸ずれを補正するのに必要な、軸ずれ補正コイル５２に対する相対指令電流値を読み出して補正電流制御部５２ａに与え、この操作を当該移動量ΔＸおよびΔＹが所定の値以下になるまでフィードバック制御によって繰り返し、現在の電子光学系５０における軸ずれを自動的に補正する、
走査電子顕微鏡。」
　
（２−３−２）対比
　本願補正発明を、引用発明と比較する。
　引用発明における「電子線源４０」は、本願補正発明における「荷電粒子源」に相当する。
　引用発明における「電子線３０の対象物２０に対する焦点位置を制御する対物レンズ５５」は、本願補正発明における「荷電粒子線を調節する光学素子」に相当する。
　引用発明における「電子光学系５０における軸ずれを補正する軸ずれ補正コイル５２」は、対物レンズ５５が電子光学系に含まれているので本願補正発明における「光学素子に対して軸調整を行うアライメント偏向器」に相当する。
　引用発明における「電子線源４０」と「対物レンズ５５」と「軸ずれ補正コイル５２」を備えた「走査電子顕微鏡」は、本願補正発明における「荷電粒子源」と「光学素子」と「アライメント偏向器」を備えた「荷電粒子線装置」に相当する。
　引用発明における「対物レンズ５５に対する通電量を増減させて、電子線３０の焦点位置を現在の正焦点から過焦点または不足焦点に意図的に変化させ」ることは、本願補正発明における「光学素子の条件を変化させ」ることに相当する。
　引用発明における「正焦点での観察画像８０ａおよび過焦点または不足焦点での観察画像８０ｂの同一の点Ａの座標（ｘ１，ｙ１）および（ｘ２，ｙ２）から」、求められた「軸ずれに起因する観察画像８０ａおよび８０ｂの移動量ΔＸおよび移動量ΔＹ」は、本願補正発明における「光学素子の条件を変化させたときに得られる画像の像移動量」に相当する。
　引用発明における「軸ずれ補正コイル５２に対する相対指令電流値」は、移動量ΔＸおよびΔＹに基づいて、軸ずれ補正値記憶部１００から読み出されたものであるから、本願補正発明における「光学素子の条件を変化させたときに得られる画像の像移動量に基づいて」求められる「アライメント偏向器の偏向量」に相当する。
　引用発明における「信号処理部７０」は、「移動量ΔＸおよびΔＹに基づいて、軸ずれ補正値記憶部１００から、当該移動量ΔＸおよびΔＹに対応する電子光学系５０の軸ずれを補正するのに必要な、軸ずれ補正コイル５２に対する相対指令電流値を読み出して補正電流制御部５２ａに与え」ているので、本願補正発明における「前記アライメント偏向器の偏向量を、前記光学素子の条件を変化させたときに得られる画像の像移動量に基づいて」求める「演算手段」に相当する。
　
　すると、本願補正発明と、引用発明とは、次の点で一致する。
＜一致点＞
「荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を調節する光学素子と、当該光学素子に対して軸調整を行うアライメント偏向器を備えた荷電粒子線装置において、
　前記アライメント偏向器の偏向量を、前記光学素子の条件を変化させたときに得られる画像の像移動量に基づいて、求める演算手段を備えた、
荷電粒子線装置。」
　
　一方で、両者は、次の各相違点で相違する。
＜相違点１＞
　本願補正発明では、「演算手段」が「前記アライメント偏向器の偏向量を、前記光学素子の条件を変化させたときに得られる画像の像移動量に基づいて」演算しているのに対し、引用発明では、「信号処理部７０」が「移動量ΔＸおよびΔＹに基づいて、」軸ずれ補正値記憶部１００から、当該移動量ΔＸおよびΔＹに対応する電子光学系５０の軸ずれを補正するのに必要な、軸ずれ補正コイル５２に対する相対指令電流値を読み出して補正電流制御部５２ａに与え」ている点。
＜相違点２＞
　本願補正発明では、「当該演算手段によって算出された偏向量が予め定められた値以上、或いはその値より大きい場合、当該算出された偏向量による軸調整の後、再度前記演算手段による像移動量の演算処理を行うと判断する」のに対し、引用発明では「移動量ΔＸおよび移動量ΔＹが所定の値以下になるまでフィードバック制御によって繰り返し」ている点。
　
（２−３−３）判断
＜相違点１について＞
　荷電粒子線装置における軸調整において、対物レンズの焦点を変化させたときの像の移動量から、アライメントコイルに流す電流を演算する手法は、本願の原出願の出願時において周知である（必要ならば特開平１０−９２３５４号公報や特開昭６１−８２４２７号公報参照。）。よって、引用発明における「移動量ΔＸおよびΔＹに基づいて、」「軸ずれ補正値記憶部１００から、当該移動量ΔＸおよびΔＹに対応する電子光学系５０の軸ずれを補正するのに必要な、軸ずれ補正コイル５２に対する相対指令電流値を読み出」す手法に代えて、上記周知の像の移動量から、アライメントコイルに流す電流を演算する手法を採用することは、当業者にとって格別の困難性無く行うことができる設計変更に過ぎず、その作用効果も当業者が予測しうるものに過ぎない。
＜相違点２について＞
　引用発明における像移動量ΔＸおよびΔＹは、電子線の通過経路に配置されている軸ずれ補正コイル５２の磁場により電子線の通過経路が変更されて補正されるものであるから、軸ずれ補正コイル５２に対する相対指令電流値と、像移動量ΔＸおよびΔＹとは、互いにある関数で示される関連性のある値である。よって、引用発明における「移動量ΔＸおよび移動量ΔＹが所定の値以下になるまでフィードバック制御によって繰り返」すことは、軸ずれ補正コイル５２に対する相対指令電流値が所定の値以下になるまでフィードバック制御により信号処理部７０での像移動量の演算処理と相対電流指令値を求めて当該相対電流指令値を軸ずれ補正コイル５２に送り軸ずれを補正することとを繰り返すこと、と等価である。ゆえに、引用発明においても、本願補正発明における「当該演算手段によって算出された偏向量が予め定められた値以上、或いはその値より大きい場合、」「当該算出された偏向量による軸調整」をし「再度前記演算手段による像移動量の演算処理を行うと判断する」動作を行っていると認められる。
　また、引用発明における前記繰り返し動作において、像移動量ΔＸおよびΔＹに基づいて求められた相対電流指令値を軸ずれ補正コイル５２に送り軸ずれを補正すること、すなわち「当該算出された偏向量による軸調整」を、「移動量ΔＸおよび移動量ΔＹが所定の値以下になる」かどうかの判断の後に行っているが、これを上記判断の前に行うように変更することは、実際に補正した後の移動量を測定して判断するという正確性と、実際に補正した後の移動量を測定する時間を省くという時間短縮性とのいずれに重きを置くかという、当業者がフィードバック制御において適宜選択しうる設計的事項に過ぎない。　
　したがって、本願補正発明は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（２−３）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
　平成２１年１月１５日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明は、平成２０年１０月２０日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものであるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
　
「【請求項１】
　荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を調節する光学素子と、当該光学素子に対して軸調整を行うアライメント偏向器を備えた荷電粒子線装置において、
　前記アライメント偏向器の偏向量を演算する演算手段を備え、
　当該演算手段によって算出された偏向量が予め定められた値以上、或いはその値より大きい場合、再度前記演算手段による処理を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。」
　
４．引用刊行物記載の発明
　原査定の拒絶の理由で引用された引用刊行物の記載事項並びに引用発明は、前記「（２−３−１）」に記載したとおりである。
　
５．対比・判断
　本願発明は、前記「（２−３）」で検討した本願補正発明から、「前記アライメント偏向器の偏向量を、前記光学素子の条件を変化させたときに得られる画像の像移動量に基づいて、演算する演算手段」を「前記アライメント偏向器の偏向量を演算する演算手段」へと拡張し、「当該演算手段によって算出された偏向量が予め定められた値以上、或いはその値より大きい場合、当該算出された偏向量による軸調整の後、再度前記演算手段による像移動量の演算処理を行うと判断する」を「当該演算手段によって算出された偏向量が予め定められた値以上、或いはその値より大きい場合、再度前記演算手段による処理を行う」へと拡張したものである。
　ここで、上記「（２−３−３）」の「＜相違点２について＞」の判断をもとにすると、引用発明における「この移動量ΔＸおよびΔＹが、すなわち電子光学系５０の軸ずれ量が、予め、当該走査電子顕微鏡の性能などに基づいて設定されている所定の許容値を逸脱している場合には、移動量ΔＸおよびΔＹに基づいて、軸ずれ補正値記憶部１００から、当該移動量ΔＸおよびΔＹに対応する電子光学系５０の軸ずれを補正するのに必要な、軸ずれ補正コイル５２に対する相対指令電流値を読み出して補正電流制御部５２ａに与え、この操作を当該移動量ΔＸおよびΔＹが所定の値以下になるまでフィードバック制御によって繰り返」すことは、本願発明における「当該演算手段によって算出された偏向量が予め定められた値以上、或いはその値より大きい場合、再度前記演算手段による処理を行うこと」に相当する。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらにほかの構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「（２−３）」に記載したとおり、引用発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、引用刊行物に記載された発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。