【事件の表示】
　特願２００３−３２４２４１「基板処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　４月　７日出願公開、特開２００５−　９３６５７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ　手続の経緯
　
　本願は平成１５年９月１７日に出願された特許出願であって、平成１９年１１月２日付け拒絶理由通知によって拒絶理由が通知され、それに対して同年１２月２８日付けで意見書ならびに手続補正書が提出され、さらに平成２０年１月２４日付け拒絶理由通知によって拒絶理由が通知され、それに対して同年３月３１日付けで意見書ならびに手続補正書が提出されたものの、同年４月２８日付けで拒絶査定がなされ、この査定を不服として、同年６月１２日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同年７月４日付けで手続補正がされたものである。
　その後、当審において平成２１年４月３０日付けで審尋がなされ、同年７月２日付けで回答書が提出されている。
　
　
II　平成２０年７月４日付け手続補正についての補正の却下の決定
　
〔補正却下の決定の結論〕
　
　平成２０年７月４日付け手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
〔理由〕
　
１．本件補正の目的
　
　本件補正は、特許請求の範囲および明細書を補正するものであって、その補正は、補正前（平成２０年３月３１日付け手続補正によって補正。以下、同じ。）の請求項１の、
　
「基板に対して一連の複数の処理を行う基板処理装置であって、
　基板に対して処理を行う複数の処理ユニットと、
　前記複数の処理ユニットのそれぞれの動作を制御する複数の下位制御手段と、
　装置全体の動作を制御する上位制御手段と、
を備え、
　前記複数の下位制御手段のそれぞれは、
　制御対象となる前記処理ユニットの動作を制御するために必要なデータを記憶する不揮発性の記憶手段
　を備え、
　複数の前記不揮発性の記憶手段が、前記複数の処理ユニットの動作を制御するために必要なデータを分担して記憶し、
　前記上位制御手段は、
　装置全体の動作を制御するために必要なデータを記憶する不揮発性の記憶手段
　を備えることを特徴とする基板処理装置。」
　
なる記載を、
　
「基板に対して一連の複数の処理を行う基板処理装置であって、
　基板に対して処理を行う複数の処理ユニットと、
　前記複数の処理ユニットのそれぞれの動作を制御する複数の下位制御手段と、
　装置全体の動作を制御する上位制御手段と、
を備え、
　前記複数の下位制御手段のそれぞれは、
　制御対象となる前記処理ユニットの動作を制御するために必要なデータ
及び制御対象となる前記処理ユニットの調整により得られたデータ
を備え、
　複数の前記不揮発性の記憶手段が、前記複数の処理ユニットの動作を制御するために必要なデータを分担して記憶し、
　前記上位制御手段は、
　装置全体の動作を制御するために必要なデータを記憶する不揮発性の記憶手段
　を備えることを特徴とする基板処理装置。」と限定する補正を含むものであるから、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２（以下、単に「特許法第１７条の２」という。）第４項第２号に掲げる、特許請求の範囲の減縮を目的とする補正を含むものである。
　
　
　そこで、本件補正後の請求項１に記載されている発明特定事項により特定される発明(以下、「本件補正発明」という。)が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否か、すなわち、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項に規定する要件を満たすか否かについて、以下に検討する。
　
　
２．本件補正発明
　
　本件補正発明は、次のとおりのものである。
　
「基板に対して一連の複数の処理を行う基板処理装置であって、
　基板に対して処理を行う複数の処理ユニットと、
　前記複数の処理ユニットのそれぞれの動作を制御する複数の下位制御手段と、
　装置全体の動作を制御する上位制御手段と、
を備え、
　前記複数の下位制御手段のそれぞれは、
　制御対象となる前記処理ユニットの動作を制御するために必要なデータ及び制御対象となる前記処理ユニットの調整により得られたデータを記憶する不揮発性の記憶手段
を備え、
　複数の前記不揮発性の記憶手段が、前記複数の処理ユニットの動作を制御するために必要なデータを分担して記憶し、
　前記上位制御手段は、
　装置全体の動作を制御するために必要なデータを記憶する不揮発性の記憶手段
　を備えることを特徴とする基板処理装置。」
　
　
３．引用例
　
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である、特開昭６２−２９９０２５号公報（以下、「引用例」という。）には、以下の技術的事項の記載がある（下線は当審で付した）。
　
ａ．第３ページ左上欄第６行目〜第３ページ左下欄第１１行目
「第１図において、参照符号１０は本発明に係る制御方法が適用される制御システムを示し、この制御システム１０はウエハ処理装置１２の動作制御を行うものである。この場合、
前記ウエハ処理装置１２は四つの処理工程に分割され、各処理工程を構成する洗浄ユニット１４ａ、塗布ユニット１４ｂ、露光ユニット１４ｃおよび現像ユニット１４ｄは夫々洗浄ユニットコントローラ１６ａ、塗布ユニットコントローラ１６ｂ、露光ユニットコントローラ１６ｃおよび現像ユニットコントローラ１６ｄによって制御される
前記各ユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄはマスタコントローラ１８によって統括制御される
　一方、洗浄ユニットコントローラ１６ａ、塗布ユニットコントローラ１６ｂ、露光ユニットコントローラ１６ｃおよび現像ユニットコントローラ１６ｄにはフロッピィディスクドライバ２２ａ乃至２２ｄが夫々接続される。この場合、洗浄ユニットコントローラ１６ａにはフロッピィディスクドライバ２２ａを介してフロッピィディスクから前記洗浄ユニット１４ａの動作を制御する制御プログラムおよびデータがロードされる。同様に、塗布ユニットコントローラ１６ｂ、露光ユニットコントローラ１６ｃおよび現像ユニットコントローラ１６ｄにはフロッピィディスクドライバ２２ｂ乃至２２ｄを介して前記フロッピィディスクより塗布ユニット１４ｂ、露光ユニット１４ｃおよび現像ユニット１４ｄの動作を制御する制御プログラムおよびデータが夫々ロードされる。ここで、
前記各フロッピィディスクドライバ２２ａ乃至２２ｄには各ユニット１４ａ乃至１４ｄを制御する制御プログラム、データおよびこれらの制御プログラムをデバッグするためのデバッグルーチンが格納された共通のフロッピィディスクが夫々装填される。
各ユニット１４ａ乃至１４ｄの動作テストあるいは前記制御プログラムのデバッグが行われ
　
ｂ．第５ページ左上欄第１８行目〜第５ページ右上欄第８行目
　
「この場合、
マスタコントロールＣＰＵ６８は制御用メモリ７８に格納されているシステムプログラムに基づき、フロッピィディスクドライバ２１またはハードディスクドライバ２３よりインタフェース７６を介して各ユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄを統括制御する制御プログラムを前記制御用メモリ７８にロードする
　
ｃ．第７ページ左下欄第１０行目〜第７ページ左下欄第１９行目
　
「ここで、
以上のように構成されたウエハ処理装置１２はユーザーの要請等に応じてその処理工程を変更あるいは修正する
　このような場合、ユーザーあるいはメーカーは
各ユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄまたはマスタコントローラ１８に接続される入出力機器２５ａ乃至２５ｄまたは入出力機器２０を介して前記制御プログラムのデバッグを行うことが可能
  　
　これらの記載からして、引用例には、
　
「ウエハに対して四つの処理工程を行うウエハ処理装置であって、
　ウエハに対して処理を行う洗浄ユニット１４ａ、塗布ユニット１４ｂ、露光ユニット１４ｃおよび現像ユニット１４ｄと、
　洗浄ユニットコントローラ１６ａ、塗布ユニットコントローラ１６ｂ、露光ユニットコントローラ１６ｃおよび現像ユニットコントローラ１６ｄと、
　各ユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄを統括制御するマスタコントローラ１８とを備え、
　各ユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄのそれぞれは、制御対象となる洗浄ユニット１４ａ、塗布ユニット１４ｂ、露光ユニット１４ｃおよび現像ユニット１４ｄの動作を制御する制御プログラムおよびデータが格納されたフロッピィディスクが装填されるフロッピィディスクドライバ２２ａ乃至２２ｄを備え、
　フロッピィディスクには、各ユニット１４ａ乃至１４ｄを制御する制御プログラム、データおよびこれらの制御プログラムをデバッグするためのデバッグルーチンが格納されており、
　ユーザーの要請等に応じて各ユニット１４ａ乃至１４ｄの処理工程を変更あるいは修正することが可能であり、
　マスタコントローラ１８は、各ユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄを統括制御する制御プログラムを格納するハードディスクドライバ２３を備えるウエハ処理装置。」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　
　
４．本件補正発明と引用発明との対比
　
　本件補正発明と引用発明とを対比する。
  　
＜相当関係Ａ＞
　引用発明の「ウエハ」、「各ユニット１４ａ乃至１４ｄ」、「各ユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄ」、「マスタコントローラ１８」および「各ユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄを統括制御する制御プログラムを格納するハードディスクドライバ２３」は、それぞれ本願発明の「基板」、「処理ユニット」、「下位制御手段」、「上位制御手段」および「装置全体の動作を制御するために必要なデータを記憶する不揮発性の記憶手段」にそれぞれ相当する。
  　
＜相当関係Ｂ＞
　フロッピィディスクが不揮発性の記憶媒体であることは技術常識であって、前記フロッピィディスクが装填されたフロッピィディスクドライバは不揮発性の記憶手段といえるから、引用発明の「制御対象となる洗浄ユニット１４ａ、塗布ユニット１４ｂ、露光ユニット１４ｃおよび現像ユニット１４ｄの動作を制御する制御プログラムおよびデータが格納されたフロッピィディスク」が装填された状態の「フロッピィディスクドライバ２２ａ乃至２２ｄ」は、本願発明の「制御対象となる前記処理ユニットの動作を制御するために必要なデータ…を記憶する不揮発性の記憶手段」に相当する。
  　
＜相当関係Ｃ＞
　引用発明の「ユーザーの要請等に応じて各ユニット１４ａ乃至１４ｄの処理工程を変更あるいは修正する」と、本件補正発明の「制御対象となる前記処理ユニットの調整により得られたデータを記憶する」とを対比すると、両者は、制御対象となる前記処理ユニットの調整を行う点で共通する。
  　
　以上の相当関係からして、本件補正発明と引用発明とは、
  　
「基板に対して一連の複数の処理を行う基板処理装置であって、
　基板に対して処理を行う複数の処理ユニットと、
　前記複数の処理ユニットのそれぞれの動作を制御する複数の下位制御手段と、
　装置全体の動作を制御する上位制御手段と、
を備え、
　前記複数の下位制御手段は、
　制御対象となる前記処理ユニットの動作を制御するために必要なデータを記憶する不揮発性の記憶手段
を備え、
　制御対象の前記処理ユニットの調整を行い、
　前記上位制御手段は、
　装置全体の動作を制御するために必要なデータを記憶する不揮発性の記憶手段
　を備える基板処理装置。」の点で一致し、以下の相違点１〜３の点で相違する。
　　
（相違点１）
　本件補正発明では、「不揮発性の記憶手段」が「複数の下位制御手段」のそれぞれに備えられているのに対して、引用発明では、各ユニットが１つのフロッピィディスクを共用しているため、「フロッピィディスク」が装填された「フロッピィディスクドライバ」が「各ユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄ」のそれぞれに備えられているとはいえない点。
　
　なお、引用例の記載上、フロッピィディスクが個々のユニットと同数あるのか、各ユニットで１つのフロッピィディスクを共用しているのか、そのどちらであるのかが定かでないが、ここでは後者であると認定した。仮に、前者である場合、この点は相違点ではない。
　
（相違点２）
　本件補正発明では、「複数の前記不揮発性の記憶手段が、前記複数の処理ユニットの動作を制御するために必要なデータを分担して記憶」しているのに対して、引用発明では、そのような構成を採用していない点。
　
（相違点３）
　「制御対象となる前記処理ユニットの調整」に関連して、本件補正発明では、調整により得られたデータを複数の下位制御手段のそれぞれが備える不揮発性の記憶手段で記憶するのに対して、引用発明では、そのような構成を採用していない点。
　
　
５．検討・判断
　
　上記各相違点について検討する。
　
（１）相違点１、２について
　技術常識を踏まえると、各ユニットで１つのフロッピィディスクを共有している場合、各ユニットでのプログラムやデータのロードの都度、フロッピィディスクの抜き差しが必要になって手間がかかることは明らかであるから、引用発明において、個々のユニットごとに専用のフロッピィディスクを準備しておき、抜き差しの手間を軽減することは、当業者であれば容易に想到することであるし、前記専用のフロッピィディスクに個々のユニットごとに必要なデータのみを格納させておくことは、当業者にとって格別の創意を必要としない設計変更に過ぎない。
　
　また、制御システムの技術分野において、上位のコントローラに制御され、個々のユニットを制御する下位のコントローラにそれぞれハードディスクメモリや不揮発性メモリ等の不揮発性の記憶手段を設けておき、下位のコントローラに個々のユニットで必要なデータのみを記憶させておくことは周知の技術であって、基板処理装置の技術分野においても、例えば、特開２００２−２１７１８２号公報（【０００５】〜【０００６】等参照。メインコントローラに統括制御され、個々のユニットを制御する下位のコントローラにハードディスクメモリを設けて制御プログラムを記憶する技術が開示されている。）、特開平１０−１２４３２２号公報（【００２５】〜【００２６】および図４等参照。マスタコントローラに制御され、個々のユニットを制御するスレーブコントローラに不揮発性メモリを設けてプログラムやデータを保持する技術が開示されている。）に記載されているように、周知の技術に過ぎないので、引用発明においても当該周知の技術を付加することに格別の困難性や阻害要因も認められない。
　
　してみると、引用発明において、各ユニット１４ａ乃至１４ｄごとに専用のフロッピィディスクを準備すること、あるいは、各ユニット１４ａ乃至１４ｄを制御する下位のコントローラである各ユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄにも個々にハードディスクメモリや不揮発性メモリ等の不揮発性の記憶手段を設けておき、それぞれの記憶手段に各ユニット１４ａ乃至１４ｄで必要なデータのみを記憶させておくことによって、「不揮発性の記憶手段」が「複数の下位制御手段」のそれぞれに備えられているようにし（相違点１）、かつ、「複数の前記不揮発性の記憶手段が、前記複数の処理ユニットの動作を制御するために必要なデータを分担して記憶」する（相違点２）ように構成することは、引用発明に基いて当業者が容易になし得ること、あるいは、引用発明および周知の技術に基いて当業者が容易になし得ることである。
　
（２）相違点３について
　引用例では、各ユニットにおける処理工程の変更あるいは修正や制御プログラムのデバッグをした後に、どのような工程を行うかのかが記載されていないが、コントローラによって制御される装置の制御プログラム等に調整（修正・変更）を行った後に、調整（修正・変更）によって得られた各種の修正されたパラメータやプログラムが当該装置の停止や再起動等で失われてしまわないように、記憶手段に保存しておくことは、当業者であれば当然になすべきことに過ぎない、あるいは、例示するまでもない慣用技術に過ぎない。
  　
　してみると、引用発明において、「制御対象となる前記処理ユニットの調整により得られたデータ」を各ユニットの「不揮発性の記憶手段」に記憶させることは、当業者であれば容易に想到し得ることである。
　
　
　そして、本件補正発明が奏する作用効果は、引用発明、または、引用発明および周知の技術から当業者が予測できる範囲のものである。
　
　よって、本件補正発明は、引用発明、または、引用発明および周知の技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
６．本件補正についてのむすび
　
　以上のとおり、本件補正発明は、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項に規定する要件を満たさないものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　
　
III　本願発明について
  　
１．本願発明
  　
　平成２０年７月４日付け手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の特許請求の範囲に記載された発明は、平成２０年３月３１日付け手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１〜６に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
　
「基板に対して一連の複数の処理を行う基板処理装置であって、
　基板に対して処理を行う複数の処理ユニットと、
　前記複数の処理ユニットのそれぞれの動作を制御する複数の下位制御手段と、
　装置全体の動作を制御する上位制御手段と、
を備え、
　前記複数の下位制御手段のそれぞれは、
　制御対象となる前記処理ユニットの動作を制御するために必要なデータを記憶する不揮発性の記憶手段
を備え、
　複数の前記不揮発性の記憶手段が、前記複数の処理ユニットの動作を制御するために必要なデータを分担して記憶し、
　前記上位制御手段は、
　装置全体の動作を制御するために必要なデータを記憶する不揮発性の記憶手段
　を備えることを特徴とする基板処理装置。」
　
　
２．引用例
　
　原査定の拒絶の理由で引用された引用例およびその記載事項は、前記「II　〔理由〕３．引用例」に記載したとおりである。
　
　
３．本願発明と引用発明との対比、検討・判断
　
　本願発明は、上記「II　〔理由〕２．本件補正発明」で検討した本件補正発明の発明特定事項から、
「制御対象となる前記処理ユニットの調整により得られたデータを記憶する」（不揮発性の記憶手段）という限定的事項を削除したものに相当する。
　
　そうすると、本願発明と引用発明とは、上記「II　〔理由〕４．本件補正発明と引用発明との対比」において一致するとした点で一致し、「（相違点１）」、「（相違点２）」として相違するとした点で相違する。
　
　そして、上記「（相違点１）」、「（相違点２）」は、上記「II　〔理由〕５．検討・判断」の「（１）相違点１、２について」で述べたとおり、引用発明、または、引用発明および周知の技術に基いて当業者が想到し得る事項であるので、本願発明も、同様の理由により、引用発明、または、引用発明および周知の技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
４．むすび
  　
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。