【事件の表示】
　平成　５年特許願第５０５５０６号「マイクロメカニカル音叉角速度センサー」拒絶査定不服審判事件〔平成　５年　３月１８日国際公開、ＷＯ９３／０５４０１、平成　７年　３月１６日国内公表、特表平　７−５０２５９２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【１】（手続の経緯・本願発明）
　本願は、１９９２年９月１１日（パリ条約による優先権主張外国庁受理１９９１年９月１１日　（ＵＳ）アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、その請求項１〜５４に係る発明は、特許法第１８４条の６第２項の規定により願書に添付した明細書とみなされるその国際出願に係る明細書の翻訳文及び平成１１年９月１３日提出の手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜５４に記載されたとおりのものと認められるところ、その請求項４６には次のとおりに記載されている（以下、請求項４６に係る発明を「本願発明」と言う。）。
　
「少なくとも第１の回転感知軸を軸とする角回転を検知するマイクロメカニカル音叉ジャイロスコープであって、以下を備えるもの：
　角速度感知構造体を架設したベース領域を含む基板；
　第１の面内に配置され、少なくとも第１と第２の振動構造体を含み、前記第１と第２の振動構造体が互いに概ね近接し、平行に配設されている前記角速度感知構造体；　前記第１と第２の振動構造体を励起し、これらを前記回転感知軸に直角で、前記第１の面にある軸にそって横方向へ振動させるためのもので、前記少なくとも第１と第２の振動構造体の前記横方向の振動が前記第１の回転感知軸を軸として、前記ジャイロスコープが角回転すると、前記第１の面に直角な第２の面に平行な方向に前記角速度感知構造体の少なくとも一部を同時に縦運動させる駆動手段；および、
　前記角速度感知構造体の少なくとも一部の前記同時の縦運動を感知し、前記感知した同時の縦運動に比例する電圧出力信号を発生する手段であって、前記電圧出力信号が前記ジャイロスコープにより検出された角回転量を示す手段。」
　
【２】（刊行物）
　これに対し、原審における拒絶理由に引用された本願出願前に頒布された刊行物である特開昭６０−７３４１４号公報（以下、「刊行物１」という。）は、本願発明と同様、角速度センサーに関し、図面と共に以下の記載がある。
　
ａ．「フォトリソグラフィとエッチング加工法により、同一基板上に振動による慣性変換部とコリオリ力検出部とを一体に形成したことを特徴とする振動式角速度計。」（公報１頁左欄５行〜８行）
　
ｂ．「本発明は従来技術の上記問題点を解消し、小型で製作精度が高く、安定性、信頼性に優れた振動式の角速度計の提供を目的とするものであり、その構成上の特徴は、フォトリソグラフィとエッチング加工法により、同一基板上に振動による慣性変換部とコリオリ力検出部とを一体に形成したことにある。
　近年集積回路製造技術の進歩に伴い、シリコン、水晶等の単結晶体等をフォトリソグラフィ（写真植刻）技術と結晶軸による腐蝕感度差を利用した異方性エッチング技術とにより、高精度に微細加工することが容易となっている。」（２頁右上欄１７行〜左下欄８行）
　
ｃ．「Ｚ軸に角速度が印加されると、音叉振動子Ｓａ、Ｓｂの振動方向ｄ、ｄ´に対して直角方向に角速度Ωに比例した振幅のコリオリ力による振動が矢印ｅ、ｅ´に示す方向にコリオリ力検出部１４に発生する。」（３頁左下欄１０行〜１３行）
　
ｄ．「第５図はこのような加工技術を用いて製作された本発明の振動式角速度計の一実施例を示し、次の４種の基本要素が同一基板上に一体形成されている。
〈１〉フレーム
〈２〉リガメント
〈３〉慣性変換部（振動部）
〈４〉コリオリ力検出部」（３頁左上欄１５行〜右上欄２行）
　上記記載ａ〜ｄから、
・Ｚ軸を軸とする角速度を検出するフォトリソグラフィと異方性エッチング技術により微細加工した音叉振動子を用いた振動式角速度計、が読みとれる。
　
ｅ．「７はフレームを示し、測定すべき角速度Ωが与えられる回転軸Ｚのまわりに回転可能に支持されている。・・・Ｓａ、Ｓｂはフレーム内に形成された慣性変換部Ｓを形成する一対の音叉振動子であり、軸Ｚを含んでフレーム内に形成された第１リガメント９に支持されており、音叉振動子を励振させるためのカプス状の対向電極１０ａ、１０ｂがその表面にスパッタされた後、エッチング加工法で形成されている。・・・発振回路が自励振すると、音叉振動子Ｓａ、Ｓｂは、矢印ｄ、ｄ´に示すごとく、フレーム７の面に平行に固有振動数で互いに逆位相で振動する。」（３頁右上欄３行〜下から２行）
　
ｆ．「１４は慣性変換部の音叉振動子Ｓａ、Ｓｂの結合部に一体に延長形成された板状のコリオリ力検出部であり、上記結合部と反対側は軸Ｚを含む第２のリガメント１５を介してフレーム７に支持されている。・・・。Ｚ軸に角速度が印加されると、音叉振動子Ｓａ、Ｓｂの振動方向ｄ、ｄ´に対して直角方向に角速度Ωに比例した振幅のコリオリ力による振動が矢印ｅ、ｅ´に示す方向にコリオリ力検出部１４に発生する。・・・検出コイルにはコリオリ力検出部１４の振動の速度に比例した交流信号が誘起され、この信号によりコリオリ力即ち角速度Ωを測定することができる。」（３頁右上欄末行〜右下欄１行）
　第５図から、一対の音叉振動子Ｓａ、Ｓｂは互いに概ね近接し、平行に配設されていることが見てとれるから、この点を考慮すると、
　上記記載ｅ．から、
・フレーム７の面内に配置され、一対の音叉振動子Ｓａ、Ｓｂが互いに概ね近接し、平行に配設されている慣性変換部Ｓ、
が読みとれる。
　また、上記記載ｅ．ｆ．から、
・慣性変換部Ｓを支持するフレーム７、
・一対の音叉振動子Ｓａ、Ｓｂを励振し、振動方向ｄ、ｄ´に振動させるためのカプス状の対向電極１０ａ、１０ｂ及び発振回路、
・Ｚ軸に角速度が印加されると、一対の音叉振動子Ｓａ、Ｓｂの振動方向ｄ、ｄ´の振動が振動方向ｄ、ｄ´に対して直角方向に角速度Ωに比例した振幅のコリオリ力によりコリオリ力検出部１４に振動を発生させること、
・コリオリ力による振動を検出し、該振動の速度に比例した交流信号を発生し、該交流信号が角速度Ωを示すコリオリ力検出部１４、
が読みとれる。
　以上のことを勘案すると、刊行物１には次の発明が記載されているものと認められる。
「Ｚ軸を軸とする角速度を検出するフォトリソグラフィと異方性エッチング技術により微細加工した音叉振動子を用いた振動式角速度計であって、以下を備えるもの：
　慣性変換部Ｓと当該慣性変換部を支持するフレーム７とを一体形成した基板；
　フレーム７の面内に配置され、一対の音叉振動子Ｓａ、Ｓｂが互いに概ね近接し、平行に配設されている慣性変換部Ｓ；
　一対の音叉振動子Ｓａ、Ｓｂを励振し、振動方向ｄ、ｄ´に振動させるためのもので、Ｚ軸に角速度が印加されると、一対の音叉振動子Ｓａ、Ｓｂの振動方向ｄ、ｄ´の振動が振動方向ｄ、ｄ´に対して直角方向に角速度Ωに比例した振幅のコリオリ力によりコリオリ力検出部１４に振動を発生させるカプス状の対向電極１０ａ、１０ｂ及び発振回路、および、
　コリオリ力による振動を検出し、該振動の速度に比例した交流信号を発生し、該交流信号が角速度Ωを示すコリオリ力検出部１４」（以下、「刊行物１に記載された発明」という。）。
　
【３】（対比）  
　本願発明と刊行物１に記載された発明とを対比する。
　刊行物１に記載された発明では、検出量は「角速度」であるのに対し、本願発明では「角回転量」であるが、ジャイロスコープにおいて、検出出力から直接得られた角速度量から回転角を（例えば積分等の演算によって）求めることは普通に行われていること、さらには、角速度も回転運動を特徴づける物理量の一種である点から見て「角回転量」に包含される量であると言い得ることも考え併せると、刊行物１に記載された発明における「角速度」は、本願発明における「角回転量」に相当するということができる。
　そして、刊行物１に記載された発明における、
「Ｚ軸」、「フォトリソグラフィと異方性エッチング技術により微細加工した音叉振動子を用いた振動式角速度計」、「慣性変換部Ｓ」、「支持」、「フレーム７の面」、「一対の音叉振動子Ｓａ、Ｓｂ」、「励振」、「振動方向ｄ、ｄ´」、「Ｚ軸に角速度が印加されると」、「振動方向ｄ、ｄ´に対して直角方向」、「角速度Ωに比例した振幅のコリオリ力によりコリオリ力検出部１４に振動を発生させる」、「カプス状の対向電極１０ａ、１０ｂ及び発振回路」、「検出」、「振動の速度に比例した交流信号」、「角速度Ωを示すコリオリ力検出部１４」、
は、それぞれ、本願発明の、
「第１の回転感知軸」、「マイクロメカニカル音叉ジャイロスコープ」、「角速度感知構造体」、「架設」、「第１の面」、「第１と第２の振動構造体」、「励起」、「回転感知軸に直角で、前記第１の面にある軸にそって横方向」、「第１の回転感知軸を軸として、前記ジャイロスコープが角回転すると」、「第１の面に直角な第２の面に平行な方向」、「角速度感知構造体の少なくとも一部を同時に縦運動させる」、「駆動手段」、「感知」、「感知した同時の縦運動に比例する電圧出力信号」、「角回転量を示す手段」、
に相当する。また、刊行物１に記載された「フレーム７」と本願発明の「基板」は、ともに「角速度感知構造体」を架設した「部材」である点で共通するから、両者は、
（一致点）
　少なくとも第１の回転感知軸を軸とする角回転を検知するマイクロメカニカル音叉ジャイロスコープであって、以下を備えるもの：
　角速度感知構造体を架設した部材；
　第１の面内に配置され、少なくとも第１と第２の振動構造体を含み、前記第１と第２の振動構造体が互いに概ね近接し、平行に配設されている前記角速度感知構造体；　前記第１と第２の振動構造体を励起し、これらを前記回転感知軸に直角で、前記第１の面にある軸にそって横方向へ振動させるためのもので、前記少なくとも第１と第２の振動構造体の前記横方向の振動が前記第１の回転感知軸を軸として、前記ジャイロスコープが角回転すると、前記第１の面に直角な第２の面に平行な方向に前記角速度感知構造体の少なくとも一部を同時に縦運動させる駆動手段；および、
　前記角速度感知構造体の少なくとも一部の前記同時の縦運動を感知し、前記感知した同時の縦運動に比例する電圧出力信号を発生する手段であって、前記電圧出力信号が前記ジャイロスコープにより検出された角回転量を示す手段。
　で一致し、次の点で相違する。
（相違点）
　角速度感知構造体を架設した部材について、
　本願発明では、「角速度感知構造体を架設したベース領域を含む基板」であるのに対し、刊行物１に記載された発明は、「角速度感知構造体と一体に形成されたフレーム７」である点。
　
【４】（当審の判断）
　上記相違点について検討する。
　振動式角速度計において、コリオリ力を検出する検出部を凹部を有する基板上に架設する構成は周知である（例えば、特開昭６０−１１３１０５号公報参照。）。
　そして、該周知の構成における基板の検出部を架設した領域が、本願発明における「ベース領域」に相当するということができる。
　そうしてみると、刊行物１に記載された発明において、一体形成されたフレーム７に角速度感知構造体を架設することに代えて、基板にベース領域を有するものを採用し、該ベース領域を有する基板に角速度感知構造体を架設して本願発明の構成とすることは、当業者が容易に想到し得るところと言えるものである。
　そして、本願発明による効果も、刊行物１並びに周知事項に基いて当業者が容易に予測し得る範囲のものである。
　なお、審判請求人は審判請求書において特許請求の範囲に対する補正案を提示し、該補正案をもとに引用発明との差異を縷々主張しているが、補正案に記載された発明は本願発明とは別異の発明である以上、その主張も本願発明とは別異の発明に対する主張である故、審判請求人の主張は採用し得ない。
　
【５】（むすび）
　したがって、本願の請求項４６に係る発明は、上記刊行物１に記載された発明並びに周知事項に基いて当業者が容易に発明をすることが出来たものと認められる故、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることが出来ない。
　上記のとおり、本願の請求項４６に係る発明が特許を受けることができないものであるから、本願のその余の請求項に係る発明について審究するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって結論のとおり審決する。