【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３５４４０１９号発明「光学顕微鏡及び光学顕微鏡の深度測定方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第３５４４０１９号の請求項１乃至５に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯
１．本件特許第３５４４０１９号に係る発明についての出願は、平成６年１２月２日に特許出願され、平成１６年４月１６日にその特許の設定登録がなされた。
２．これに対して、平成１６年１１月１２日に請求人野田幸夫より特許無効審判が請求された。
３．被請求人株式会社キーエンスより、平成１７年１月３１日に答弁書が提出された。
４．請求人より平成１７年６月１日に上申書が提出された。
５．平成１７年７月５日に請求人及び被請求人より口頭審理陳述要領書が提出されるとともに、口頭審理が行われた。
６．さらに、被請求人より平成１７年７月６日に上申書が提出された。
　
第２　本件特許発明
　本件発明１〜５は、設定登録時の願書に添付した明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。
【請求項１】
レーザ光を出射するレーザ光源と、
上記レーザ光を試料付近に集光するための対物レンズと、
共焦点位置に配置され、上記試料でのレーザ反射光を受光するための一次元イメージセンサと、
上記試料でのレーザ光の集光位置を上記一次元イメージセンサの長手方向に対応する方向にのみ一次元的に走査するために、レーザ光を偏向する偏向手段と、
上記試料を載置するための試料ステージを深さ方向にのみ上記偏向手段と同期して駆動するように制御するステージ制御手段と、
上記試料ステージの深さ方向の情報とそれに対応する上記一次元イメージセンサの各素子での受光量の情報に基づいた各素子についての受光量のピーク位置を記憶することで、当該ピーク位置に基づく深度の情報を記憶する記憶部と、
上記深度の情報から試料の断面の情報を求める演算手段と、
上記試料に光を照射するための上記レーザ光源とは異なる観察用光源と、
上記観察用光源からの上記試料での反射光を上記対物レンズを介して受光する撮像装置とを有することを特徴とする光学顕微鏡。
【請求項２】
請求項１において、上記撮像装置で撮像された画像に、上記断面の情報を重ね合わせた画像信号を出力することを特徴とする光学顕微鏡。
【請求項３】
請求項１または２において、上記撮像装置からの画像信号を記憶するフレームメモリと、このフレームメモリの画像信号または上記撮像装置からの出力を選択的に切り換えてモニタに出力するセレクタとを備えた光学顕微鏡。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかにおいて、試料を載置した試料ステージをオートフォーカスモードにおいて上下動させ、上記一次元イメージセンサからの出力を取り込んで受光光量が最大となったときの試料ステージの高さを選択するオートフォーカス装置を備えた光学顕微鏡。
【請求項５】
レーザ光により試料を1 次元的に走査し、一次元イメージセンサにおいて受光した試料からのレーザ反射光の受光量及び上記試料が載置された試料ステージの深さ方向の位置を記憶部に記憶する第１ステップと、
上記試料ステージを一段階深さ方向に上昇または下降させる第２ステップと、
レーザ光により試料表面を1 次元的に走査し、一次元イメージセンサにおいて受光した受光量が上記記憶部に記憶された受光量よりも大きい場合に、上記記憶部に記憶された受光量と深さ方向の位置を書き換える第３ステップと、
上記試料ステージが第２ステップにおいて上昇された場合には、上記試料ステージが上昇端になるまで上記第２ステップでの上昇と上記第３ステップを繰り返し、上記試料ステージが第２ステップにおいて下降された場合には、上記試料ステージが下降端になるまで上記第２ステップの下降と上記第３ステップを繰り返す第４ステップと、
上記記憶部に記憶された深さ方向の位置の情報を断面の情報として撮像装置で撮像された試料の画像と重ね合わせて出力する第５ステップとを有することを特徴とする光学顕微鏡の深度測定方法。
　
第３　請求人の主張の概要及び証拠方法
　請求人は、証拠方法として甲第１〜８号証を提示し、以下の理由により本件請求項１〜５に係る特許は、甲第１〜８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、本件発明１〜５についていの特許は無効とされるべきであると主張する。
　また、請求人は、平成１７年６月１日に提出された上申書及び平成１７年７月５日に提出された口頭審理陳述要領書において、参考資料として特開平１−１２３１０２号公報を提出し、これを主引用例として本件発明１〜５についての特許が無効とされるべきとの主張もおこなったが、この主張は、平成１７年７月５日の口頭審理において取り下げられた（第１回口頭審理調書を参照）。
　
［証拠方法］
甲第１号証：特開平５−６０９７８号公報
甲第２号証：特開昭６２−１８１７９号公報
甲第３号証：「映像情報　INDUSTRIAL；　１９８８　Vol.２０、No.１」昭和６３年１月１日発行
甲第４号証：「Ｏ　plus　Ｅ；　１９８８年２月号　No．９９」昭和６３年２月発行
甲第５号証：特開昭６２−９８２０７号公報
甲第６号証：特開平５−１７６２２８号公報
甲第７号証：特開昭６３−８６９７７号公報
甲第８号証：実開平６−５５１１２号公報
参考資料　：特開平１−１２３１０２号公報
　
第４　被請求人の主張の概要
　被請求人は、本件発明１〜５は、甲第１〜第８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものとはいえないから、請求人の主張は理由がなく、採用されるべきではない旨主張する。
　
第５　甲各号証及び参考資料の記載事項
１．甲第１号証：特開平５−６０９７８号公報
（１−１）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は共焦点型のレーザ顕微鏡に関し、特に、測定領域の確認ができると共に、所望測定領域へのアクセス時間の短縮化を図るために工夫したものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、対物レンズと接眼レンズとから構成される光学顕微鏡の代りに、レーザ光を被測定物に照射し、その反射光を検出し、画像処理を施して、例えば生物内部の様子を鮮明に描き出したり、不透明な半導体の内部状態を画像化するようなレーザ顕微鏡が出現されている。このレーザ顕微鏡は焦点のあった面だけが情報を取り出す「共焦点型」であるため、従来の光学顕微鏡と比べて、鮮明な像が得られ分解能が優れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところでレーザ顕微鏡はレーザ光の走査によって画像を作り出すもので、２次元以上の空間を微細な点（０次元）に分解し、その各点からの情報を時系列に伝送処理されているので、現在被測定物のどの位置を測定していかが判らないという問題がある。また、希望測定領域のみの観察についても、時系列的に処理するためアクセス時間が遅いという問題がある。
【０００４】本発明は以上述べた事情に鑑み、所望の測定領域の確認が容易となり、必要な箇所だけを詳細に観察し、測定時間の短縮を図ることができるレーザ顕微鏡を提供することを目的とする。」
（１−２）「【０００９】図１に示すように、本実施例に係るレーザ顕微鏡１０は、レーザ光（Ｈｅ−Ｎｅレーザ光：波長０．６３３μｍ）Ｌを出射するレーザ光源部１１と、出射したレーザ光Ｌを拡大するビームエクスパンダ１２と、拡大されたレーザ光を一方向に走査したレーザ走査光ＬS とするレーザ光調光手段としてのＡＯ素子１３と、このレーザ走査光ＬS を被測定物に照射する対物レンズ１４と、被測定物Ｒでのレーザ走査光ＬS の反射光ＲＬS をビームスプリッタ１５Ａ，１５Ｂを介して受光するＨｅ−Ｎｅ用干渉フィルタ１６を有する一次元受光部としての一次元ＣＣＤイメージセンサ１７からなるレーザ光測定部と、上記対物レンズ１４の外周に設けられたリング状照射部１８から被測定物にレーザ光Ｌの波長以外の波長を有する光（本実施例においては緑色フィルタによって赤をカットした白色光）ＬW を照射する光源部１９と、この光の被測定物Ｒでの反射散乱光をビームスプリッタ１５Ａ，１５Ｂを介して受光する二次元受光部としての二次元ＣＣＤイメージセンサ２０とからなる白色光測定部とを具備するものである。
【００１０】本実施例においてはレーザ光調光手段としてＡＯ素子１３を用いて一方向に走査した走査光ＬS を得るようにしている。ここで、ＡＯ素子とは、トランスデューサーを有する光学媒体（二酸化テルル）にレーザー光を入射させ、光学媒体中に発生した超音波によってレーザー光回折し、光を偏向させるものをいい音響光学偏向素子と称されている。」
（１−３）「【００１５】尚、一次元のラインセンサはレーザ光が当る箇所のみの反射光の情報を得るが、一方の二次元センサは図１に示すように、モニタ２２ではレーザ光の当る位置が明るい二次元の映像をモニタを得ることができる。
【００１６】一次元センサによる測定サンプル形状の測定においては、レーザ光が照射されている一次元状の位置の情報しか得られないため、サンプルのどの箇所を測定しているかを知ることが困難であるが、二次元センサによる観測ではサンプル形状およびレーザ光の照射されている位置を同時に知ることができるため、サンプルのどの箇所を測定しているのかを即座に知ることができる。また、二次元センサは一次元センサとは独立に駆動されるため、一次元センサでの測定を行っているときに同時にその測定位置を知ることができる。」
　
２．甲第３号証：「映像情報　INDUSTRIAL；　１９８８　Vol.２０、No.１」昭和６３年１月１日発行
（２−１）「２．レーザースキャン
　共焦点系の光学系は図２からも分かる様に本質的に光軸上の１点を拡大することになるので得られる画像は０次元のもとのなる。従って、２次元画像を得るためには何等かの形で走査を行う必要がある。走査には、Ａ．試料　Ｂ．集束光束　のいずれかを移動させれば良い。・・・（中略）・・・　集束光点の走査にも数種類の方法があるが，このうち実用的なものは、（イ）ガルバノミラー　（ロ）ポリゴンミラー　（ハ）ＡＯ素子（音響光学偏向素子）などである。（イ）のガルバノミラーは高速走査には不適当だが，小型で偏向角の波長依存性も無く使い易いので１ＬＭ１１／２ＬＭ１１では垂直方向の走査に使用している。
　水平方向の走査にはより高速性を要求されるので（ロ）又（ハ）の方法が残ることになる。（ロ）のポリゴンミラーに関してはレザープリンタ等で広く使用されており、実績のあるスキャナーであるが、高倍率顕微鏡に使うには振動が大き過ぎるので不適当である。（ハ）のＡＯ素子は偏向角の波長依存性があるという欠点はあるものの、振動が皆無であり小型であるという利点があるので、１ＬＭ１１／２ＬＭ１１ではこれを水平方向のスキャンに使用している。このような走査法によって、１ＬＭ１１／２ＬＭ１１の大な特長の一つであるリアルタイム画像を得ている。これは共焦点型光学系を持つ顕微鏡として世界初の成功例である。これら水平、垂直の走査を光路図で示すと図３、４の様になる。」（６８頁左欄１４行〜６９頁左欄４行）
（２−２）「３．焦点移動メモリー
　共焦点型光学系の画像処理分野での応用例として最も大きな成果は、この焦点移動メモリーであろう。焦点移動メモリーとは試料上の焦点面を奥行方向にスキャンし、その間に合焦点情報のみを選択的に画像メモリーへ書き込むことで、焦点深度が無限に深い映像を得るという、まさに夢の様な画像処理的手法のことである。
　では、なぜこの手法が通常の顕微鏡では不可能であり、共焦点型レーザー顕微鏡ではそれが可能になるかという点を考えてみよう。図５は共焦点型光学系を反射型として応用するときの光路図である。図２と比較すれば１つの対物レンズに２回光を通して（往復使用することで）共焦点型になっているのがすぐに分かる。この図５では試料面に正確に焦点が合っているから、点光源から出た光は試料の反射率に応じて減衰するものの、試料によって反射された光の大部分はピンホールを通過して検出器に入る。一方この光学系が焦点を外れた場合を考えると、前ピン状態が図６、後ピン状態が図７であり、そのどちらも検出器に入る光量は激減する。つまり共焦点型の光学系はピントの合った画素だけが明るいという非常にユニークな特長を持っているのである。今、対物レンズから試料まので距離ｌを可変していったときの光検出器からの出力Ｉおよび像の解像度Ｒをグラフにしてみると図８の様になる。通常の顕微鏡で同じ関係をグラフにすると図９の様になる。（図８と図９では分かり易くするために隣接画素も同じ反射率を持つものとしている。）
　図８から共焦点型レーザー顕微鏡では解像力のピークと明るさのピークが一致しているという重大な特長を読み取ることができる。言い換えれば画像処理装置は各画素について明るさにだけ注目していれば解像力が最大になった位置（合焦点面）を知ることができるということになる。通常の光学顕微鏡の場合（図９）にはこうはいかない。図９を感覚的に説明すればこうなる。顕微鏡（一眼レフのカメラのファインダーでも良い）をのぞきながら焦点を移動させていくと、ぼやけていた像が次第に焦点が合っていき、完全に焦点が合った位置で像の解像力は最大となり、再び像はポケてくる。しかしこの間視野の明るさにはほとんど変化はなく、焦点が合っているかいないかは像の解像力だけがたよりである。解像力とは本来、隣接画素との相互関係で決まるものであるから、通常の顕微鏡光学系の場合、１画素だけに注目して、焦点が合っているのかいないのかという判断はつけられない。
　一方、図８で示す共焦点型顕微鏡の場合は１画素だけに注目していても、その明るさＩから焦点が合っているかいないかという判断をつけられる。この特長を利用して無限の焦点深度を得る画像処理手法を我々は焦点移動メモリーと呼んでいる。図１０に焦点移動メモリーのブロックダイヤグラムを示す。図１１はこのメモリ−の動作概念図であり、写真１に焦点移動メモリーによって得られた画像出力例を示す。
　尚、この焦点移動メモリーは１ＬＭ１１／２ＬＭ１１には標準装備されている。」（６９頁左欄５行〜７０頁左欄５行）
（２−３）「４．表面形状測定　
　合焦点面での画素情報が最も明るいという、共焦点型光学系の特長は、表面形状測定にも応用することができる。試料をＺ軸ステージによって奥行方向に移動しながら、各画素について最大輝度を与えるステージのＺ軸変位量を別のメモリに記憶させれば、各画素について奥行方向の高さ情報をストアすることができる。（図１２参照）
　このメモリの内容を何等かの形で表示すれば，試料の表面形状を知ることができる。写真２はこの様にして得られた表面形状の表示例である。
　この方式の表面形状測定の特長としては　
１．非接触である。
２．微小画素についても高さ情報を知ることができる。　
３．他の方式と比べて測定に要する時間が短い。
などが考えられる。」（７０頁左欄６行〜末行）
（２−４）甲第３号証の写真２（７１頁左欄中段）は、試料のウエハーの表面形状の表示例であり、試料の２次元画像と断層像が重ね合わされて表示されているものと認められる。
　
３．甲第６号証：特開平５−１７６２２８号公報
（３−１）「【０００２】
【従来の技術】例えば走査型電子顕微鏡による２次元の観察画像をＣＲＴディスプレイに表示するような場合には、その観察画像の内の或る特定のラインに沿う画像の断面の輪郭、即ち断面のプロファイルを同時にリアルタイムで観察したいときがある。２次元の観察画像の断面のプロファイルとは、或る特定のライン上の座標を例えば横軸に取って、そのライン上の各画素の濃度に対応する例えば縦軸上の位置にそれぞれ所定の色の点をプロットして得られた曲線を言う。同様に、ＩＴＶカメラで撮影した３次元物体の画像の斜視図をＣＲＴディスプレイに表示しているような場合には、その３次元物体の画像の内の或る特定の断面におけるプロファイルを同時にリアルタイムで観察したいときがある。
【０００３】そのように或る特定のライン又は面における観察画像の断面のプロファイルをリアルタイムで観察するための従来の画像表示装置は、図２に示すような構造であった。この図２において、１は画像検出器を示し、例えば走査型電子顕微鏡の場合には画像検出器１は２次電子を検出するための検出器であり、ＩＴＶカメラの場合には画像検出器１は撮像素子である。その画像検出器１から出力される画像信号は、画像増幅器２を介してフレームメモリ３に格納され、フレームメモリ３から読み出された画像信号がＣＲＴディスプレイ４に供給される。これにより、画像検出器１により得られた画像信号に対応する２次元画像がリアルタイムでＣＲＴディスプレイ４に表示される。
【０００４】それと並行して、画像増幅器２から出力される画像信号はプロファイル表示用のＣＲＴディスプレイ５にも供給されている。従って、画像増幅器２は画像検出器１から出力される画像信号をフレームメモリ３及びＣＲＴディスプレイ５に共に最適となるように調節する。そして、ＣＲＴディスプレイ５では、供給される画像信号の中から１フレーム毎に或る特定のライン上の画像信号が抽出され、そのラインの座標を例えば横軸として、縦軸上のそのライン上の画像信号のレベルに対応する位置に所定の色の点が連続的に表示される。これにより、画像検出器１が観察対象とする２次元画像の内の或る特定のラインに沿う断面のプロファイルが、リアルタイムでそのＣＲＴディスプレイ５に表示される。」
（３−２）「【００１０】図１は本実施例のブロック図であり、１は２次電子検出器等の画像検出器、６は全体としてフレームメモリ、７は全体の動作を制御する計算機を示す。その画像検出器１から出力されるアナログの画像信号を、画像増幅器２を介してフレームメモリ６に供給し、画像増幅器２は、その画像信号のレベルをフレームメモリ６に格納するのに最適なレベルに調節する。フレームメモリ６は、画像増幅器２から連続的に供給されて来る画像信号をメモリを介してＣＲＴディスプレイ４に供給する。これにより、画像検出器１により得られた画像信号に対応する２次元の原画像がリアルタイムでＣＲＴディスプレイ４に表示される。また、フレームメモリ６は、その２次元の原画像の内の計算機７から指定されたラインに沿う画像信号をプロファイル展開してＣＲＴディスプレイ４に供給する。これにより、そのプロファイル展開された画像が２次元の原画像に重畳された形式でリアルタイムにＣＲＴディスプレイ４に表示される。」
（３−３）「【００１３】２次元の原画像の内の或るラインに沿う断面のプロファイルであるラインプロファイル（より正確にはそのライン上の画像データの濃淡を曲線で表したもの）をリアルタイムで観察する場合には、計算機７からＣＰＵ１２に対してラインプロファイルの重畳表示の指示コマンド及び当該ラインのアドレス（ラインアドレス）を伝達する。これに対応して、ＣＰＵ１２はビデオメモリ９の記憶領域からそのラインアドレス上の各８ビットの画像データを順次読み取り、テキストメモリ１３の記憶領域において、そのラインアドレス上の座標を水平アドレスとして各画像データの濃度を垂直アドレスとする画素の画像データとして“１”を書き込む。テキストメモリ１３上のその他の記憶領域には“０”が書き込まれている。
【００１４】これにより、そのラインアドレスに沿うビデオメモリ９の各画素の濃度を示す８ビットの画像データが、テキストメモリ１３の垂直方向にビット展開される。具体的に説明するに、ビデオメモリ９に格納されている画像データに対応する画像は、図１のビデオメモリ９の表面に描かれている周辺が暗く内部が明るい図形であるとする。このときラインアドレスとしてその図形を横切る水平走査ラインのアドレスを選択すると、そのラインに沿う一連の画素の濃度はその図形の外部で淡く内部で濃くなる。従って、そのラインアドレスに沿う画像のラインプロファイルは、図１のテキストメモリ１３の表面に示すように、水平方向の両側で値が小さく中央部で値が大きい曲線となり、この曲線の２値の画像データがテキストメモリ１３に格納される。」
（３−４）「【００１６】従って、ＣＲＴディスプレイ４には、２次元の原画像に対して指定されたラインに沿う画像の断面のプロファイルが重畳してリアルタイムで表示される。具体的に、図１のＣＲＴディスプレイ４の表面に示すように、その２次元の原画像と平行に指定されたラインに沿う断面のプロファイルが表示される。この場合、画像検出器１から画像増幅器２を介してフレームメモリ６へ供給される入力画像信号に対応する画像が、１フレーム毎に状態が変化する動画であっても、指定されたラインアドレスのラインプロファイル画像は、常にその動画に追従してリアルタイムで同一のＣＲＴディスプレイ４上に重畳して表示される。本実施例におけるリアルタイムとは、画像検出器１で検出されてからせいぜい１フレーム周期〜２フレーム周期程度の遅延時間で、という意味である。」
　
４．甲第７号証：特開昭６３−８６９７７号公報
（４−１）「第１図において、光学系（図示せず）によって撮像面に結ばれた被写体像は、カラー固体撮像素子４１によって一次元カラー撮像信号に変換される。この一次元カラー撮像信号は、プリアンプ４２を介してγ補正回路４３に供給され、γ補正された後、スイツチ回路４４に供給される。
　上記被写体像をそのまま出力する通常撮影時、スイッチ手段４４のスイッチ４５の可動接片ａは端子ｂに接続され、スイッチ４６はオフ状態に設定される。したがって、この場合は、γ補正回路４３の出力は、スイッチ４５を介して複合映像信号生成回路４７のＹ／Ｃ分離回路４８に与えられ、輝度信号Ｙと色信号Ｃに分けられる。ここで、輝度信号Ｙは輝度信号処理回路４９にて所定の処理を受け、色信号Ｃは、色信号分離回路５０及びカラーエンコーダ５１にて所定の処理を受ける。そして、輝度信号処理回路４９の出力とカラーエンコーダ５１の出力とがＹ／Ｃ合成回路５２で合成され、複合映像信号Ｖとして出力される。
　一方、静止画再生時は、スイッチ４５の可動接片ａが端子ｃに接続され、スイッチ４６はオン状態に設定される。したがって、この場合は、上記γ補正回路４３の出力は、スイッチ４６を介してメモリ回路５３のＡ／Ｄ変換回路５４に供給され、デジタル信号化される。このデジタル信号化された信号はメモリ５５に実時間で記憶される。このメモリ５５から実時間で読み出された信号は、Ｄ／Ａ変換回路５４で一次元カラー信号に逆変換された後、スイッチ４５を通してＹ／Ｃ分離回路４８に供給される。この後は、上述したような処理を受け、静止画像の複合映像信号Ｖとして出力される。」（２頁右下欄６行〜３頁左上欄１７行）
　
５．甲第８号証：実開平６−５５１１２号公報
 （５−１）「【０００８】
 【実施例】
  以下、本考案を図面に基づいて説明する。
 図１は本考案の共焦点顕微鏡の一実施例を示す構成図である。なお、図１において図２と同一要素には同一符号を付して重複する説明は省略する。
図１において、１０は試料６を入射光軸方向に自動的に動かすＺステージ、１１は試料６からの反射光を受光して画面上の１点の光量をモニタするＣＣＤカメラ、１２はＣＣＤカメラ１１に接続され、光量の最大点を探し、その位置でＺステージ１０を止めるように制御するＣＰＵである。
【０００９】
　このような構成において、顕微鏡としての動作は図２装置と同様であるため、対物レンズの焦点合わせについてのみ説明する。まず、試料６のＺステージ１０は、自動的に対物レンズ５のワーキングディスタンスより少し近づいた点で止まる。次に、徐々にＺステージ１０は、対物レンズ５から離れていく。この時、ＣＰＵ１２は、試料６からの光量をモニタするＣＣＤカメラ１１の或る点の光量の最大値を探し、その位置にＺステージ１０を止める。なお、共焦点系では、最大光量点が試料６の表面を示している。したがって、Ｚステージ１０を光軸方向に動かした時に、或る点の光量が最大光量の点となるなら、その時のＺステージ１０の位置が試料６の表面であり、オートフォーカス動作が得られる。」
　
６．参考資料　：特開平１−１２３１０２号公報
（６−１）「（問題点を解決するための手段）
　本発明は、前記問題点を解決するために、点光源からのレ−ザ光を対物レンズにより被測定物に集光し、該被測定物からの反射光を点受光して該反射光の強度により前記被測定物に形成されたトレンチの深さを検出する共焦点光学系と、前記被測定物の３次元方向の移動を制御し前記レ−ザ光に該被測定物上の相対的な走査を行なわしめる制御ステ−ジと、前記レ−ザ光と異なる波長の光を用いて前記被測定物の測定位置を観察する観察用光学系とで、トレンチ深さ測定装置を構成したものである。」（２頁右上欄１２行〜左下欄２行）
（６−２）「前記観察用光学系２０は、制御ステ−ジ３０上の被測定物３１における測定箇所を観察するためのもので、共焦点光学系１０を補うものである。即ち、共焦点光学系１０から得られる像は基本的には０次元であるため、画像面にはならず測定箇所を識別することが難しい。これを共焦点光学系１０で解決するためには、高密度及び高速度の２次元走査をレ−ザ光側か制御ステ−ジ３０側で行なう必要があり、技術的には可能なものの高価かつ複雑な機構となつてしまう。したがつて、本発明では簡単な方式として、通常の光学顕微鏡とほぼ同様の観察用光学系２０を、共焦点光学系１０と複合して設けたものである。
　この観察用光学系２０は、例えばハロゲンランプから成る照明光源２１を有し、その光軸上前方に集光レンズ２２、及び特定波長領域の光のみ透過させるバンドパス光学フイルタ２３を有している。」（３頁左上欄７行〜右上欄４行）
　
第６　当審の判断
１．本件発明１について
（１）甲第３号証に記載された発明
　甲第３号証には、上記（２−１）〜（２−４）、図１〜図１３及び写真２の開示事項を参酌すると、「共焦点顕微鏡において、レーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ光を試料に集光するための対物レンズと、ＣＣＤからなる検出素子と、レーザ光を水平方向に走査するための音響光学偏向素子と、試料をＺ軸ステージによって奥行方向に移動しながら、各画素について最大輝度を与えるステージのＺ軸変位量をメモリに記憶し、各画素の奥行方向の高さ情報をストアし、試料の表面形状を測定する手段と、試料の２次元画像と断層像が重ね合わせて表示する表示手段と、を備えた共焦点顕微鏡」の発明（以下、「甲第３号証発明１」という。）が記載されている。
（２）対比
　本件発明１と甲第３号証発明１とを対比する。
　甲第３号証発明１に係るＣＣＤからなる検出素子は、図３及び図４も参照すれば、音響光学偏向素子によって水平方向に走査されるレーザ反射光を受光するものであるから、一次元イメージセンサということができ、また、甲第３号証発明１に係る音響光学偏光素子は本件発明１に係る偏向手段に相当するものであって、本件発明１と同様に試料でのレーザ光の集光位置を上記一次元イメージセンサの長手方向に対応する方向にのみ一次元的に走査する機能を有することは明らかである。そして、甲第３号証発明１に係るステージも試料を載置するための試料ステージといえるものであり、また、甲第３号証発明１が、Ｚ軸すなわち深さ方向に駆動する際、偏向手段と同期して駆動するようにステージ制御手段を具備することは当然の技術的事項である。さらに、甲第３号証発明１に係る「試料をＺ軸ステージによって奥行方向に移動しながら、各画素について最大輝度を与えるステージのＺ軸変位量をメモリに記憶し、各画素の奥行方向の高さ情報をストアし、試料の表面形状を測定する手段」は、当然ながら情報処理のための演算手段を備えるものであるから、本件発明１に係る「試料ステージの深さ方向の情報とそれに対応する一次元イメージセンサの各素子での受光量の情報に基づいた各素子についての受光量のピーク位置を記憶することで、ピーク位置に基づく深度の情報を記憶する記憶部」との構成に対応するものである。
　したがって、平成１７年７月５日の口頭審理において両当事者が確認したとおり（第１回口頭審理調書参照）、本件発明１と甲第３号証発明１は、請求人が審判請求書において本件発明１の分節のために使用した符号（Ａ〜Ｉ）を用いれば、「レーザ光を出射するレーザ光源と（Ａ）、
上記レーザ光を試料付近に集光するための対物レンズと（Ｂ）、
共焦点位置に配置され、上記試料でのレーザ反射光を受光するための一次元イメージセンサと（Ｃ）、
上記試料でのレーザ光の集光位置を上記一次元イメージセンサの長手方向に対応する方向にのみ一次元的に走査するために、レーザ光を偏向する偏向手段と（Ｄ）、
上記試料を載置するための試料ステージを深さ方向にのみ上記偏向手段と同期して駆動するように制御するステージ制御手段と（Ｅ）、
上記試料ステージの深さ方向の情報とそれに対応する上記一次元イメージセンサの各素子での受光量の情報に基づいた各素子についての受光量のピーク位置を記憶することで、当該ピーク位置に基づく深度の情報を記憶する記憶部と（Ｆ）、
上記深度の情報から試料の断面の情報を求める演算手段と（Ｇ）、
を備えた光学顕微鏡。」である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点］
　本件発明１が、試料に光を照射するためのレーザ光源とは異なる観察用光源と（Ｈ）、
上記観察用光源からの上記試料での反射光を上記対物レンズを介して受光する撮像装置（Ｉ）を備えているのに対し、甲第３号証発明１では、試料の２次元画像と断層像が重ね合わせて表示する表示手段と有しているものの、前記構成（Ｈ）及び（Ｉ）については記載がない点。
（３）当審の判断
　上記相違点について検討する。
　甲第３号証発明１は、試料の２次元画像と断層像を重ね合わせて表示する表示手段を有するものであるが、試料の２次元画像をどのように得るのか具体的な記載はない。しかしながら、レーザ光を用いた光学顕微鏡において、レーザ光とは別個に白色光等を試料に照射しその反射光を受光して試料画像を得る試料観察手段を備えることは甲第１号証及び参考資料に開示されているように本願出願前周知である。そして、甲第３号証発明１及び上記周知技術は、いずれもレーザ顕微鏡を対象とする点で技術分野を同じくし、また、甲第１号証及び参考資料に記載のような試料観察手段を甲第３号証発明１に適用することを阻害する要因も特段存在しない。
　してみれば、甲第３号証発明１に係る２次元画像を得る手段として、レーザ光源とは異なる白色光等からなる観察光源と撮像装置からなる観察手段を用いることは、甲第３号証発明１及び周知技術に基づけば、当業者が容易に想到することができたものである。
　また、本件発明１の奏する作用効果も、甲第３号証発明１及び周知技術から当業者が予測できる範囲のものである。
（４）被請求人の主張
　被請求人は、平成１７年７月６日に提出した上申書において、「甲第３号証は、通常の顕微鏡に比して優れた共焦点光学系が「１つの光学系」だけでいろいろなことができ、他の光学系を必要としない完結した（クローズの）構成であることを開示しております。」（３頁５〜７行）、「甲第３号証には「１つの光学系」で完結しているものが記載され、この構成による不具合等については一切記載されておらず、１つの光学系で完結している甲第３号証のものへ別な光学系を付加することは、甲第３号証開示の構成を複雑化し、大型化、コストを高くするだけであります。このような変更は、甲第３号証の開示する目的に反する方向への変更であり、甲第３号証が否定する変更であって、その変更は大きな阻害要因があります。」（３頁下から３行〜４頁５行）旨主張する。
　しかしながら、被請求人が主張するように甲第３号証発明に係る共焦点光学系が１つの光学系から構成されているとしても、２次元画像を得る撮像手段として上記周知技術に係る通常光による撮像手段を一つの選択肢としてレーザ顕微鏡に適用しようとすることを阻害することにはならない。
　すなわち、被請求人は、「甲第３号証には「１つの光学系」で完結しているものが記載され、この構成による不具合等については一切記載されて」いないと主張するが、１つの光学系で完結していようが、不具合等が一切記載されていまいが、そのことから直ちに当該光学系についていかなる変更も許されないものであるとは言えず、かえって、さらなる改善に向けて、当該装置の改良、変更等いろいろな試みがなされるとするのが普通である。
　言いかえれば、甲第３号証に記載の発明に接した当業者は、例え、甲第３号証の発明に係る共焦点光学系が「１つの光学系」で完結していたとしても、当該技術分野の技術水準を考慮して、レーザ顕微鏡装置のさらなる機能向上等のために種々の変更、改良を考えるものであって、「一つの光学系」で完結し、この構成による不具合等については一切記載されていないから、別な光学系を付加することは考えられないとか阻害要因があるとかいう被請求人の主張は、その前提において根拠のある主張ではなく、採用することができない。
　
２．本件発明２について
　上記第５の２．（２−４）において述べたように、甲第３号証の写真２は試料のウエハーの表面形状の表示例であり、試料の２次元画像と断層像が重ね合わされて表示されているものと認められ、また、両者は、２次元画像を得る手段は異なるが、二次元画像と断層像を重ね合わせる点で差異はないことは、平成１７年７月５日の口頭審理において両当事者が認めたとおり（第１回口頭審理調書参照）である。
　さらに、甲第６号証にも、電子顕微鏡装置において、２次元画像と断面画像を重ね合わせて表示画像表示装置が開示されている。
　以上から、本件発明２は、甲第３号証及び甲第６号証に記載の発明並びに周知技術に基づいて、当業者が容易に想到することができたものである。
　
３．本件発明３について
　甲第７号証には、撮像装置と映像出力回路との間にフレームメモリとスイッチとを接続した撮像装置が記載されているから、本件発明３は、甲第３号証、甲第６号証及び甲第７号証に記載の発明並びに周知技術に基づいて、当業者が容易に想到することができたものである。
　
４．本件発明４について
　甲第８号証にはオートフォーカス機構を有するレーザ顕微鏡が記載されているから、本件発明４は、甲第３号証及び甲第６号証〜甲第８号証に記載の発明並びに周知技術に基づいて、当業者が容易に想到することができたものである。
　
５．本件発明５について
（１）甲第３号証に記載された発明
　甲第３号証には、上記（２−１）〜（２−４）、図１〜図１３及び写真２の開示事項を参酌すると、「試料に対し音響光学偏向素子によりレーザ光を水平方向に走査し、ＣＣＤにより試料からの反射光を受光するとともに、試料をＺ軸ステージによって奥行方向に移動しながら、各画素について最大輝度を与えるステージのＺ軸変位量をメモリに記憶し、各画素の奥行方向の高さ情報をストアし、試料の表面形状すなわち断層像を測定する手段と、試料の２次元画像と断層像を重ね合わせて表示する共焦点顕微鏡による表面形状測定方法」の発明（以下、「甲第３号証発明２」という。）が記載されている。
（２）対比
　本件発明５と甲第３号証発明２とを対比する。
　甲第３号証発明２に係るＣＣＤからなる検出素子は、図３も参照すれば、音響光学偏向素子によって水平方向に走査されるレーザ反射光を受光するものであるから、一次元イメージセンサということができ、また、甲第３号証発明２に係る音響光学偏光素子は本件発明１に係る偏向手段に相当する。そして、甲第３号証発明２に係るステージも試料を載置するための試料ステージといえることは明らかであって、また、Ｚ軸すなわち深さ方向に駆動する際、段階的に上昇又は下降するステップを含むもので、さらに、上昇端又は下降端まで段階的に上昇又は下降することは明らかである。
　したがって、平成１７年７月５日の口頭審理において両当事者が確認したとおり（第１回口頭審理調書参照）、本件発明５と甲第３号証発明２は、請求人が審判請求書において本件発明１の分節のために使用した符号（Ｍ〜Ｑ）を用いれば、「レーザ光により試料を1 次元的に走査し、一次元イメージセンサにおいて受光した試料からのレーザ反射光の受光量及び上記試料が載置された試料ステージの深さ方向の位置を記憶部に記憶する第１ステップと（Ｍ）、
上記試料ステージを一段階深さ方向に上昇または下降させる第２ステップと（Ｎ）、
レーザ光により試料表面を1 次元的に走査し、一次元イメージセンサにおいて受光した受光量が上記記憶部に記憶された受光量よりも大きい場合に、上記記憶部に記憶された受光量と深さ方向の位置を書き換える第３ステップと（Ｏ）、
上記試料ステージが第２ステップにおいて上昇された場合には、上記試料ステージが上昇端になるまで上記第２ステップでの上昇と上記第３ステップを繰り返し、上記試料ステージが第２ステップにおいて下降された場合には、上記試料ステージが下降端になるまで上記第２ステップの下降と上記第３ステップを繰り返す第４ステップと（Ｐ）、
を有することを特徴とする光学顕微鏡の深度測定方法。」である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点］
　本件発明５が、記憶部に記憶された深さ方向の位置の情報を断面の情報として撮像装置で撮像された試料の画像と重ね合わせて出力する第５ステップ（Ｑ）を有するのに対し、甲第３号証発明２では、試料の２次元画像と断層像が重ね合わせて表示するステップを有するものの、前記構成（Ｑ）については記載がない点。
（３）当審の判断
　上記相違点について検討する。
　甲第３号証発明２は、上述したとおり、試料の２次元画像と断層像を重ね合わせて表示するステップを有するものであるが、撮像装置についての具体的な記載はない。しかしながら、レーザ光を用いた光学顕微鏡において、試料全体を把握するために、レーザ光とは別個に、白色光等を試料に照射しその反射光を受光してなる撮像装置を設けることは甲第１号証及び参考資料に開示されているように本願出願前周知である。そして、甲第３号証発明２及び上記周知技術は、いずれもレーザ顕微鏡を対象とする点で技術分野を同じくし、また、上記周知技術に係る撮像装置を甲第３号証発明２に適用することを阻害する要因も特段存在しない。
　してみれば、断層像すなわち断面の情報と撮像装置で撮像された試料の画像と重ね合わせて出力するステップを設けることは、甲第３号証発明２及び周知技術に基づけば、当業者が容易に想到することができたものである。
　また、本件発明５の奏する作用効果も、甲第３号証発明２及び周知技術から当業者が予測できる範囲のものである。
　
第７．むすび
　したがって、本件請求項１〜５に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。