【事件の表示】
　平成　７年特許願第３３８２３７号「薬液処理装置のボックス型キャビネット」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　６月１０日出願公開、特開平　９−１５０１０３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成７年１１月３０日の出願であって、本願の特許請求の範囲の請求項１、２に係る発明は、平成１６年４月２３日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１、２に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に記載された発明は次のとおりである（以下、この発明を単に「本願発明」という）。
「【請求項１】被処理物の薬液処理が行なわれる薬液処理部の下方に設けられてボックス型をなし、内部に薬液供給系及びドレン回収系が配設されるとともに、全体排気用排気口を有しその全体排気用排気口を通して、前記薬液供給系及びドレン回収系が配設されたボックス内部を全体排気するための全体排気用配管を備えた、薬液処理装置のボックス型キャビネットにおいて、
　局所排気用排気口を有しその局所排気用排気口を通して前記ボックス内部の雰囲気を局所的に排気するための局所排気用配管を備えるとともに、前記薬液処理部の稼動時には前記全体排気用排気口を通して全体排気し前記ボックス内部のメンテナンス作業時には前記局所排気用排気口を通して局所排気するように択一的に排気路を切り換える排気切換え手段を設けたことを特徴とする、薬液処理装置のボックス型キャビネット。」
　
２．引用文献
　原査定の平成１６年２月１７日付けの拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である、特開平１−２０７１６５号公報、特開平３−５６４８号公報には、次の事項が記載されている。
　
・特開平１−２０７１６５号公報（以下、「引用例１」という）
ａ．「先ず、
レジスト塗布装置
半導体ウエハ１
ｂ．「前記チャック１０に支持されるウエハ１の上方には、ウエハ１のほぼ中心位置より
レジスト液
ｃ．「このレジストノズル３０へのレジスト液の供給系として、レジスト液収容器３２、加圧ポンプ３３及びバルブＶ１，サックバックバルブＶ２等が設けられている。」（第２頁右下欄１５〜１８行目）
ｄ．「前記レジスト収容器３２は、第１図に示すように、本
レジスト塗布装置の
下部筐体に設けられた収納ボックス７０
　上記記載事項ａ〜d及び図１、２の記載によれば、引用例１には、「半導体ウエハ１のレジスト塗布が行なわれるレジスト塗布装置の下部筐体に設けられてボックス型をなし、レジスト液供給系が配設されるレジスト塗布装置の収納ボックス７０」の発明（以下、「引用例１記載の発明」という）が記載されているものと認められる。
　
・特開平３−５６４８号公報（以下、「引用例２」という）
ｅ．「第１図は本発明に係る
切替式局所排気装置
部屋１
第１の切替ダンバ５
ドラフト６
第２の切替ダンパ７
吸込ロ８ａ
　該吸込口８ａには、第２図に詳細に示すように、扇形状の可搬形緊急排気フード９がフレキシブルクト１０を介して接続されている。」（第２頁左上欄１８〜右上欄１３行目）
ｆ．「次に、作用を説明する。まず、
通常時
ドラフト排気
非常時
　このように、本実施例装置にあっては、
薬液等を
部屋１内に拡散させないため、人間の安全性を保持でき、しかも薬液の処理時にも安全性の保持が可能である
　上記記載事項ｅ、ｆ及び図面の記載によれば、引用例２には、安全性を保持するために、「局所排気用の吸込ロ８ａを有しその局所排気用の吸込ロ８ａを通して部屋１内部を局所的に排気するための局所排気用配管を備えるとともに、通常時には全体排気用のドラフト６を通して全体排気し、非常時には前記局所排気用の吸込ロ８ａを通して局所排気するように択一的に排気路を切り換える第１の切替ダンパ５、第２の切替ダンパ７を設け」る技術（以下、「引用例２記載の技術」という）が記載されているものと認められる。
　
３．対比
　本願発明と引用例１記載の発明とを対比すると、構成、機能から看て、引用例１記載の発明の「半導体ウエハ１」は、本願発明の「被処理物」に相当する。同様に、「レジスト液」、「レジスト塗布」、「収納ボックス７０」は、それぞれ、「薬液」、「薬液処理」、「ボックス」に相当する。
　また、上記記載ｄによれば、収納ボックス７０は、レジスト塗布装置の下部筐体に設けられていることから、引用例１記載の発明の「レジスト塗布装置の下部筐体に設けられ」は、本願発明の「薬液処理部の下方に設けられ」に相当する。
　
　したがって、本願発明と引用例１記載の発明とは、
「被処理物の薬液処理が行なわれる薬液処理部の下方に設けられてボックス型をなし、薬液供給系が配設される薬液処理装置のボックス」
である点で一致し、次の点で相違する。
・相違点１
　本願発明は、ボックス型キャビネットの内部に「ドレン回収系」が配設されるものであるのに対し、引用例１記載の発明では、ドレン回収系が配設されるかどうか明らかでない点。
・相違点２
　本願発明では、「全体排気用排気口を有しその全体排気用排気口を通して、前記薬液供給系及びドレン回収系が配設されたボックス内部を全体排気するための全体排気用配管を備えた、薬液処理装置のボックス型キャビネットにおいて、
　局所排気用排気口を有しその局所排気用排気口を通して前記ボックス内部の雰囲気を局所的に排気するための局所排気用配管を備えるとともに、前記薬液処理部の稼動時には前記全体排気用排気口を通して全体排気し前記ボックス内部のメンテナンス作業時には前記局所排気用排気口を通して局所排気するように択一的に排気路を切り換える排気切換え手段を設けた」ものであるのに対し、引用例１記載の発明では、排気手段については不明である点。
　
４．相違点の検討、及び判断
・相違点１に関して
　スピンコータによるレジスト塗布等の薬液処理装置において、ドレン回収系を設けることは慣用手段である（例えば、特開平２−２７８７１３号公報（第１図における排出管５、ドレンボックス７）、特開平４−２４５６１９号公報（回収管３３、回収ポット３２）参照）。また、ドレン回収系を薬液処理装置の下方に配置することは、薬液が重力によって下方に流れることを考えれば、ごく自然なことである。
　してみると、引用例１記載の発明に上記慣用手段を適用して、薬液供給系とともにドレン回収系をも、薬液処理部の下方に設けられるボックス型キャビネット内に配設することは、当業者が容易に想到し得ることである。
　したがって、引用例１記載の発明に上記慣用手段を適用して、相違点１に関して本願発明のように構成することは、当業者が適宜なし得ることである。
　
・相違点２に関して
　薬液処理部の下方に設けられるボックス型キャビネットにおいて、ボックス内部のガスを排気して、安全性を高めることは周知の技術である（例えば、特開平３−１８６３５２号公報（第２頁右下欄第４〜８行「薬品庫４の後部に排気ダクト１９が設けられていて、薬品庫４内に薬品が漏れたような場合でも、その薬品から生じるガス等を排気ダクト１９を通じて排除できるようになっている。」）、特開昭５９−１９３１４２号公報（第２頁右上欄第７〜１０行「薬品庫４の後部に排気ダクト１９が設けられているので、薬品庫４内に薬品が漏れたような場合でも、危険性を排除できる。」）、実願平３−８７０７６号（実開平５−２８４２６号）のＣＤ−ＲＯＭ（「【０００９】・・・廃液タンク８を収納したタンク収納部41内の雰囲気空気は、該タンク収納部41の背面板44に設けた通気孔45から排気筒10を通り、処理室３内の排気経路５の下部開口52から処理室３内の雰囲気空気とともに排気手段６により外部へ排気される。」））。
　ところで、引用例２には、安全性を保持するために、「局所排気用の吸込ロ８ａを有しその局所排気用の吸込ロ８ａを通して部屋１内部を局所的に排気するための局所排気用配管を備えるとともに、通常時には全体排気用のドラフト６を通して全体排気し、非常時には前記局所排気用の吸込ロ８ａを通して局所排気するように択一的に排気路を切り換える第１の切替ダンパ５、第２の切替ダンパ７を設け」る技術が記載されている。ここで、引用例２記載の技術の「局所排気用の吸込ロ８ａ」は、本願発明の「局所排気用排気口」に相当する。同様に、「部屋１」は「ボックス」に、「全体排気用のドラフト６」は「全体排気用排気口」に、「第１の切替ダンパ５、第２の切替ダンパ７」は「排気切換え手段」に相当する。したがって、引用例２記載の技術は、安全性を保持するために、「局所排気用排気口を有しその局所排気用排気口を通してボックス内部を局所的に排気するための局所排気用配管を備えるとともに、通常時には全体排気用排気口を通して全体排気し、非常時には前記局所排気用排気口を通して局所排気するように択一的に排気路を切り換える排気切換え手段を設け」る技術である。
　そして、ボックス内部のメンテナンス作業時には、部品交換で配管からはずす際などに、局所的に有害物質の濃度が高くなることがあり、特に安全性を保持する必要があることは当然である。また、その際に、局所的に有害物質の濃度が高くなる場合には、その部分を重点的に排気する必要があることも、当業者が容易に認識する程度のことである。
　してみれば、引用例１記載の発明に、上記慣用手段、周知の技術を付加し、その際に引用例２記載の技術を適用して、相違点２に関して本願発明のように構成することは、当業者が必要に応じて、適宜なし得ることである。
　
　そして、本願発明によってもたらされる効果も、引用例１記載の発明、引用例２記載の技術、及び上記慣用手段、周知の技術から予測し得る程度のものである。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１記載の発明、引用例２記載の技術、及び上記慣用手段、周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。