【手続補正書】
【提出日】平成24年5月17日(2012.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と第２基板とを相互に位置を合わせて重ね合わせる重ね合わせ装置であって、
前記第１基板を保持する第１テーブルと、
前記第１テーブルに対向して配され、前記第２基板を保持する第２テーブルと、
前記第２テーブルに対して駆動力を作用させることにより、並進３自由度及び回転３自由度のうちの少なくとも５自由度で前記第２テーブルを駆動するアクチュエータと、
前記アクチュエータを制御して前記第１基板と前記第２基板とを互いに位置合わせする制御部と
を備える重ね合わせ装置。
【請求項２】
前記第１テーブルに保持された前記第１基板と前記第２テーブルに保持された前記第２基板との相対位置を測定する測定部を備え、
前記制御部は、前記測定部からの測定に基づいて、前記第１基板と前記第２基板とを平行にすべく前記アクチュエータを制御する請求項１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３】
前記第１テーブルにおける前記第１基板を保持する面は、静止した基準面を形成しており、
前記制御部は、前記基準面に対して前記アクチュエータを駆動する請求項１または２に記載の重ね合わせ装置。
【請求項４】
前記アクチュエータは、前記第１基板と前記第２基板とを互いに接触させるべく前記第２テーブルを駆動するＺ軸アクチュエータを有する請求項１から３のいずれか一項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項５】
前記Ｚ軸アクチュエータは、マグネット及びコイルを有する請求項４に記載の重ね合わせ装置。
【請求項６】
前記第２テーブルを支持するステージ部材を備え、
前記Ｚ軸アクチュエータの前記マグネットおよび前記コイルの一方は前記ステージ部材上に設けられており、前記マグネットおよび前記コイルの他方は前記第２テーブルに設けられており、前記ステージ部材は、前記Ｚ軸アクチュエータにより前記第２テーブルを非接触で支持する請求項５に記載の重ね合わせ装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記第１基板と前記第２基板とを互いに接触させる方向に直交する２つの軸の周りに前記第２テーブルを回転させるべく、前記Ｚ軸アクチュエータを駆動する請求項４から６のいずれか一項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項８】
前記Ｚ軸アクチュエータは、同一直線状にない少なくとも３つのＺ軸リニアアクチュエータである請求項４から７のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項９】
前記Ｚ軸リニアアクチュエータが３つである場合に、前記Ｚ軸リニアアクチュエータの駆動力が作用するそれぞれの作用軸が、前記第１テーブルにおける前記第１基板を保持する面と平行な面で三角形の頂点を通り、かつ前記作用軸と平行な軸であって前記三角形の重心を通る軸が、前記第２テーブルおよび前記第２テーブルと一体的に備えられた構造物全体の重心を通るように、前記Ｚ軸リニアアクチュエータが設置された請求項８に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１０】
前記アクチュエータは、
前記第１基板と前記第２基板とを互いに接触させる方向に沿ったＺ方向に直交するＸ方向に前記第２テーブルを駆動するＸ軸アクチュエータと、
前記Ｚ方向および前記Ｘ方向に直交するＹ方向に前記第２テーブルを駆動するＹ軸アクチュエータと、を有する請求項１から９のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１１】
前記Ｘ軸アクチュエータおよび前記Ｙ軸アクチュエータは、それぞれマグネットおよびコイルを有する請求項１０に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１２】
２つの前記Ｙ軸アクチュエータを有し、
前記制御部は、前記第２テーブルを前記Ｚ方向の軸周りに回転させるべく、２つの前記Ｙ軸アクチュエータを個別に制御する請求項１０または１１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１３】
前記Ｘ軸アクチュエータの駆動力が作用する作用軸が、前記第２テーブルおよび前記第２テーブルと一体的に備えられた構造物全体の重心を通るように、前記Ｘ軸アクチュエータが設置された請求項１０から１２のいずれか一項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１４】
前記Ｙ軸アクチュエータは、少なくとも２つのＹ軸リニアアクチュエータである請求項１０から１３のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１５】
前記Ｙ軸リニアアクチュエータが２つである場合に、前記Ｙ軸リニアアクチュエータの駆動力が作用するそれぞれの作用軸に対する中線が、前記第２テーブルおよび前記第２テーブルと一体的に備えられた構造物全体の重心を通るように、前記Ｙ軸リニアアクチュエータが設置された請求項１４に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１６】
前記第１テーブルおよび前記第２テーブルの少なくともいずれかは、前記第１基板および前記第２基板のいずれかである基板を静電力により保持する基板ホルダへ、電力を供給する供給端子を有する請求項１から１５のいずれか一項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１７】
前記供給端子は、前記基板ホルダが載置されている間は前記基板ホルダへ前記電力の供給を実行する請求項１６に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１８】
前記基板ホルダは、前記第１テーブルまたは前記第２テーブルに載置されるまでは、ロボットアームから前記電力の供給を受けて前記ロボットアームに保持される請求項１６または１７に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１９】
前記第１基板を保持する前記基板ホルダと前記第２基板を保持する前記基板ホルダは、前記第１基板と前記第２基板が接触した状態で互いにクランプされる請求項１６から１８のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２０】
前記制御部は、前記アクチュエータにより前記第２テーブルを、基準面に平行な方向を回転軸として回転する場合は、前記回転軸が前記第２基板のうち前記第１基板と対向する面の重心を通るように駆動する請求項１から１９のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２１】
前記制御部は、前記アクチュエータにより前記第２テーブルを、基準面に直交する方向を回転軸として回転する場合は、前記回転軸が前記第２テーブルおよび前記第２テーブルと一体的に備えられた構造物全体の重心を通るように駆動する請求項１から２０のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２２】
前記第２テーブル上に配され、前記第１テーブルに保持された前記第１基板の位置を観察する顕微鏡をさらに備える請求項１から２１のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２３】
前記第２テーブルの振動が前記第１テーブルに伝わることを防止する防振部を備える請求項１から２２のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２４】
第１基板と第２基板とを相互に位置を合わせて重ね合わせる重ね合わせ方法であって、
前記第１基板を第１テーブルに保持するステップと、
前記第１テーブルに対向して配された第２テーブルに前記第２基板を保持するステップと、
前記第２テーブルに対して駆動力を作用させることにより、並進３自由度及び回転３自由度のうちの少なくとも５自由度で前記第２テーブルを駆動するアクチュエータを制御して前記第１基板と前記第２基板とを互いに位置合わせするステップと
を含む重ね合わせ方法。
【請求項２５】
第１基板と第２基板とを相互に位置を合わせて重ね合わせる重ね合わせ装置を用いた半導体装置の製造方法であって、
前記第１基板を第１テーブルに保持するステップと、
前記第１テーブルに対向して配された第２テーブルに前記第２基板を保持するステップと、
前記第２テーブルに対して駆動力を作用させることにより、並進３自由度及び回転３自由度のうちの少なくとも５自由度で前記第２テーブルを駆動するアクチュエータを制御して前記第１基板と前記第２基板とを互いに位置合わせするステップと
を含む半導体装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】重ね合わせ装置、重ね合わせ方法及び半導体装置の製造方法