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　特願２００５−５１８６２８「表面のジオメトリーデータを捕捉検出するための光学的な測定システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　３月　３日国際公開、ＷＯ２００５／０１９７６８、平成１８年　５月１１日国内公表、特表２００６−５１４７４７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　本願は，平成１６年６月１９日（パリ条約による優先権主張日　平成１５年８月１８日，ドイツ）を国際出願日とする出願であって，平成２０年４月８日付けで拒絶査定がされ，これに対し，同年７月１６日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。　
　
　
第２　本願発明 
　本願の請求項１〜１０に係る発明は，平成２０年２月２０日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１〜１０に記載されたとおりのものと認められ，その請求項１は，次のとおりである。
　
「【請求項１】　
　ビーム供給部分と，該ビーム供給部分に接続されており，それぞれの測定ビーム（ＭＳ１，ＭＳ２）を配属されている表面個所に送出しかつ表面から戻し反射されたビームを受け取るための複数のプローブ出口（１，…，６）を有しているプローブ装置（ＳＡ）と，表面から戻し反射されたビームに基づいてジオメトリーデータを特定するための後置接続されている評価装置（ＡＥ）とを備えた，少なくとも１つの物体（ＢＴ）の表面のジオメトリーデータを捕捉検出するための光学的な測定システムにおいて，
　少なくとも３つのプローブ出口（１，２，３）が１つの測定面（例えばＭＥ１）に配置されておりかつ少なくとも１つのプローブ出口（例えば４，５，６）が別の測定面（例えばＭＥ２）に配置されている
ことを特徴とする測定システム。」（以下，「本願発明」という。）
　
　
第３　引用例およびその記載事項
　本願優先日前に頒布され，原査定の拒絶の理由において引用された刊行物である特表２００２−５１３９１９号公報（以下，「引用例１」という。）には，図面とともに，次の事項が記載されている。なお，以下において，下線は当審にて付与したものである。
（１−ア）
「【特許請求の範囲】
　【請求項１】  
表面の形状又は表面粗さ又は距離間隔の検出のための干渉計形測定装置であって，変調形干渉計（１）を有し，該変調形干渉計（１）は，１つの空間的にコヒーレントなビーム源（１１）及びそのビームを２つの部分ビームに分けるための第１のビームスプリッタ（１３）を有し，前記の２つの部分ビームのうちの一方の部分ビームは，他方の部分ビームに対して，変調装置（１４，１４′）を用いてそれの光位相又は光周波数においてシフトされ，それに引き続いてまとめられ，測定センサ部（２）を有し，該測定センサ部では，まとめられた部分ビームは，測定分岐（２１１）を通って導かれて，表面にて反射された測定ビームと，基準分岐（２１２）を通って導かれ，その中で反射された基準ビームとに分けられ，反射された測定ビームが反射された基準ビームと重畳され，  受信器ユニット（３）を有し，前記受信器ユニットは，重畳されたビームを相異なる波長を有する少なくとも２つのビームへ分解し，ビームを電気信号に変換し，電気信号を位相差に基づき信号を評価するように構成された当該の測定装置において，
  
構成ユニットとして構成された変調形干渉計（１）が測定センサ部（２）とは空間的に別個に，そして，光伝送ファイバ装置（４）を介して前記の測定センサ部（２）と結合可能であり，測定分岐（２１１）及び基準分岐（２１２）は，測定ビーム及び基準ビームを導く固体ソリッドステート素子により形成されていることを特徴とする干渉計形測定装置
　【請求項２】  
測定センサ部（２）の入力側に，コリメータ装置（２１）が設けられ，測定分岐（２９）の出力側に，フォーカシング装置（２３）及びこのフォーカシング装置（２３）に後置接続された偏向素子（２４）が設けられており，該偏向素子は被測定表面の方に向けられていて
・・・
　【請求項５】  測定分岐（２１１）は，少なくとも１つの更なる偏向素子（２９）を有し，該偏向素子（２９）により，測定分岐内を導かれた測定ビームが分解され，被測定表面の更なる個所へ向けられ，この更なる個所により反射された測定ビームが再び測定分岐（２１１）内へ入力結合されるように構成されていることを特徴とする請求項１から４までのうちいずれか１項記載の測定装置。」
　
（１−イ）
「【００１０】
  
被測定表面の複数セクションーないし複数の別個の表面を測定センサ部の位置定めの変更ないし，そのし直しをせずに次のようにして迅速に確実に測定できる，即ち，測定分岐は，少なくとも１つの更なる偏向素子を有し，該偏向素子により，測定分岐内を導かれた測定ビームが分解され，被測定表面の更なる個所へ向けられ，この更なる個所により反射された測定ビームが再び測定分岐内へ入力結合されるように構成されているのである
　
（１−ウ）
「【００１９】
  図１〜図３に示す表面の粗面の粗さないし距離間隔の検出のための干渉計形測定装置は，それぞれ，１つの変調形干渉計１と，それとは空間的に分離された，光伝送ファイバ装置４を介して結合された測定センサ部２と，そこから戻されたビームを受け取る受信器ユニット３とからなる。
【００２０】
  変調形干渉計１は，ビーム源１１，有利には，同時に良好な空間的コヒーレンスのもとで多数の種々の波長の連続的ビーム分布を有する短コヒーレントの広帯域のビーム源１１の形態のもの，例えば，スーパー発光ダイオードを有する。ビーム源１１のビームは，コリメータレンズ１２を用いてコリメートされ，第１ビームスプリッタ１３を用いて２つの部分ビームに分割され，それ等の部分ビームは，それぞれ音響光学変調器１４，１４′を介して導かれ，偏向ミラー１５，１５′を介して第２ビームスプリッタ１３′にて再びまとめられ，ここで，両部分ビームのうちの１つが，遅延素子１６，１６′（図２及び図３参照）を介して導かれる。まとめられた部分ビームは対物レンズ１７を介して単一モード光伝送ファイバ装置４内に達する。
【００２１】
  両部分ビームは，音響光学変調器１４，１４′を用いて隣接するが異なる周波数で変調される。遅延素子１６，１６′を用いて，両部分ビームの光路差が変調形干渉計，例えばマッハツェンダ形の変調形干渉計にて生ぜしめられ，ここで遅延素子は，例えば，ガラスプレートとして構成されている。そのようにして，例えば半透過性ディスクとして構成されたビームスプリッタ１３′によりまとめられた部分ビームが，２つの隣接する異なる２つの周波数を有する別個の波列として生ぜしめられ，空間的に相互に，ビーム源１１のコヒーレンス長を上回る長さを以てシフトされている。
【００２２】
  図１及び図２の測定センサ部２はマイケルソン形の干渉計として構成されている。単一モード光ファイバ４を介して供給されるまとめられた光ビームは対物レンズの形態のコリメータ装置２１にてコリメートされ，引き続いて第３のビームスプリッタ２２を用いて測定ビームと基準ビームとに分割される。測定ビームは，測定ビームを導く測定分岐２１１の出力側端部にて，対物レンズのフォーカシング装置２３を用いてフォーカシングされ，測定分岐２１１の出力側にて，プリズムの形態の偏向素子２４を用いて偏向され，ここでビーム光円錐の軸がプリズムの出力側にて被測定面へ垂直に向けられるように偏向される。プリズム２４及び対物レンズ２３からなるユニットは，ユニットそれ自体として交換され得，その結果，他の輪郭の表面を測定し得る。測定センサ部２の入力側におけるコリメータ装置２１及び測定分岐２１１の端部領域におけるフォーカシング装置２３は有利にＧＲＩＮ（＝ｇｒａｄｅ−ｉｎｄｅｘ）−レンズとして構成され，このＧＲＩＮ（＝ｇｒａｄｅ−ｉｎｄｅｘ）−レンズにより有利なビーム案内が行われる。
 【００２３】
  第３ビームスプリッタにて分離された基準ビームは基準分岐２１２にて，それの端部にて設けられたプリズムの形態の反射器素子２８へ方向変換され，ここでプリズムは，基準分岐２１２の光学軸の方向に調整移動され得る。測定ビーム２５をコリメートされたビーム２５として導く測定分岐２１１は，第３ビームスプリッタ２２に続いて固体の形態の測定ビームー案内体２６を有し，一方，基準分岐２１２は，さらなる固体の形態の基準ビーム案内体２７，２７′を有する。
・・・
【００２６】
  測定分岐２１１を介して戻された測定ビーム及び基準分岐２１２を介して戻された基準ビームは第３ビームスプリッタ２２にて干渉し，光伝送ファイバ装置４−これは亦測定センサ部２へのまとめられたビームの案内のために用いられるーを介して戻され，分岐部材４１を介して受信器ユニット３へ導かれる。ここで光伝送ファイバ装置４は，一方では測定センサ部２に結合され，他方では，変調形干渉計１及び受信器ユニット３に結合され得る。ここで，変調形干渉計１，測定センサ部２及び／又は受信器ユニット３のプラグコネクタは相応のソケットとして直接ケーシングにて配され得る。
【００２７】
  受信器ユニット３の受光入射レンズ３１により，単一モード光伝送ファイバ装置４の出射面が，ビーム分解ユニット３２の通過後受光ユニット３３の平面内へ結像されるようになる。要するに，各フォトダイオードは所定の波長を以て光伝送ファイバ装置の出射面の結像を受光する。
【００２８】
  
図２に示すように測定分岐２１１中にプリズムの形態の更なるビームスプリッタ２９が配され，該ビームスプリッタにより，更なる測定ビームが分岐される。前記の更なる測定ビームは，第１の貫通する測定ビームに対して異なった出力結合角度を有し，その結果種々の配向の表面領域が同時に測定され得，ここで，測定対象物に関して測定センサ部の位置が維持され，付加的調整作業は必要でない
【００２９】
  同様に，更なるビームスプリッタ２９によりもっと多くの測定ビームを形成し得，ここで常に測定ビームの一部がビームスプリッタ２９により，その後方に配されたビームスプリッタないし測定分岐２１１の出力側へ偏向なしで通過される。基準分岐の数が，有利に，形成された測定ビームの数に相応し，相応に多くの遅延素子も亦，変調形干渉計１内に設けられており，その結果コヒーレンス多重を用いて測定個所への一義的な対応付けが与えられる。」
　
　以上の記載を総合すると，引用例１には，次の発明が開示されていると認められる。
　
「表面の形状又は表面粗さ又は距離間隔の検出のための干渉計形測定装置であって，変調形干渉計（１）を有し，該変調形干渉計（１）は，１つの空間的にコヒーレントなビーム源（１１）及びそのビームを２つの部分ビームに分けるための第１のビームスプリッタ（１３）を有し，前記の２つの部分ビームのうちの一方の部分ビームは，他方の部分ビームに対して，変調装置（１４，１４′）を用いてそれの光位相又は光周波数においてシフトされ，それに引き続いてまとめられ，測定センサ部（２）を有し，該測定センサ部では，まとめられた部分ビームは，測定分岐（２１１）を通って導かれて，表面にて反射された測定ビームと，基準分岐（２１２）を通って導かれ，その中で反射された基準ビームとに分けられ，反射された測定ビームが反射された基準ビームと重畳され，
  受信器ユニット（３）を有し，前記受信器ユニットは，重畳されたビームを相異なる波長を有する少なくとも２つのビームへ分解し，ビームを電気信号に変換し，電気信号を位相差に基づき信号を評価するように構成された当該の測定装置において，
　構成ユニットとして構成された変調形干渉計（１）が測定センサ部（２）とは空間的に別個に，そして，光伝送ファイバ装置（４）を介して前記の測定センサ部（２）と結合可能であり，測定分岐（２１１）及び基準分岐（２１２）は，測定ビーム及び基準ビームを導く固体ソリッドステート素子により形成され，
　前記測定センサ部（２）の入力側に，コリメータ装置（２１）が設けられ，前記測定分岐（２１１）の出力側に，フォーカシング装置（２３）及びこのフォーカシング装置（２３）に後置接続された偏向素子（２４）が設けられており，該偏向素子は被測定表面の方に向けられており，
　前記測定分岐（２１１）は，少なくとも１つの更なるビームスプリッタ（２９）を有し，該ビームスプリッタ（２９）により，測定分岐内を導かれた測定ビームが分解され，被測定表面の更なる個所へ向けられ，この更なる個所により反射された測定ビームが再び測定分岐（２１１）内へ入力結合されるように構成されている干渉計形測定装置。」（以下，「引用発明」という。）　
　
　
第４　対比・判断 
　
１　対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
（１）引用発明の「変調形干渉計（１）」および「光伝送ファイバ装置（４）」は，ビームを「測定センサ部（２）」に供給しているから，本願発明の「ビーム供給部分」に相当する。
　
（２）引用発明の「測定センサ部（２）」は，被測定対象物の表面の形状又は表面粗さ又は距離間隔の検出のための「プローブ装置」であるといえ，当該「測定センサ部（２）」は，「変調形干渉計（１）」および「光伝送ファイバ装置（４）」，すなわち，「ビーム供給部分」に接続されている。
　また，引用発明の「測定センサ部（２）」は，測定ビームを，偏向素子（２４）を介して被測定表面に導き，表面にて反射された測定ビームを受け取るとともに，測定ビームを分解するビームスプリッタ（２９）を介して被測定表面の更なる個所に導き，この更なる個所により反射された測定ビームを受け取っているから，当該「測定センサ部（２）」は，「測定ビーム」および「分解された測定ビーム」，すなわち，「それぞれの測定ビーム」を，被測定対象物の配属されている「被測定表面」および「被測定表面の更なる個所」，すなわち，「表面個所」に送出しかつ表面から戻し反射されたビームを受け取っているといえる。また，引用発明の「測定センサ部（２）」は，それぞれの測定ビームを被測定対象物の異なる２表面（「被測定表面」および「被測定表面の更なる個所」）に送出し，反射されたビームを受け取っているから，当該「測定センサ部（２）」が２つのプローブ出口，すなわち，「複数のプローブ出口」を有していることが明らかである。
　そうすると，引用発明の「測定センサ部（２）」は，本願発明の「該ビーム供給部分に接続されており，それぞれの測定ビーム（ＭＳ１，ＭＳ２）を配属されている表面個所に送出しかつ表面から戻し反射されたビームを受け取るための複数のプローブ出口（１，…，６）を有しているプローブ装置（ＳＡ）」に相当する。
　
（３）引用発明の「表面の形状又は表面粗さ又は距離間隔の検出」は，本願発明の「ジオメトリーデータを特定する」こと，に相当する。また，引用発明の「受信器ユニット（３）」は，「光伝送ファイバ装置（４）」を介して「測定センサ部（２）」に接続され，「表面から戻し反射されたビーム」を電気信号に変換し，電気信号を位相差に基づき評価して，「表面の形状又は表面粗さ又は距離間隔」すなわち「ジオメトリーデータ」を特定している。
　そうすると，引用発明の「受信器ユニット（３）」は，本願発明の「表面から戻し反射されたビームに基づいてジオメトリーデータを特定するための後置接続されている評価装置（ＡＥ）」に相当する。
　
（４）引用発明の「表面の形状又は表面粗さ又は距離間隔の検出」は，本願発明の「少なくとも１つの物体（ＢＴ）の表面のジオメトリーデータを捕捉検出」に相当し，「干渉計形測定装置」は，光学的な測定システムであるといえるから，引用発明の「表面の形状又は表面粗さ又は距離間隔の検出のための干渉計形測定装置」は，本願発明の「少なくとも１つの物体（ＢＴ）の表面のジオメトリーデータを捕捉検出するための光学的な測定システム」に相当する。
　
（５）上記（２）で検討のように，引用発明の「測定センサ部（２）」は，２つのプローブ出口を有している。そして，上記２つのプローブ出口は，それぞれ別の測定面に配置されていることが，引用例１の【図２】からみて，明らかである。
　そして，引用発明の「２つのプローブ出口を有し，当該２つのプローブ出口は，それぞれ別の測定面に配置されている」点と，本願発明の「少なくとも３つのプローブ出口（１，２，３）が１つの測定面（例えばＭＥ１）に配置されておりかつ少なくとも１つのプローブ出口（例えば４，５，６）が別の測定面（例えばＭＥ２）に配置されている」点とは，「少なくとも１つのプローブ出口が１つの測定面に配置されておりかつ少なくとも１つのプローブ出口が別の測定面に配置されている」点において共通する。
　
　してみると，両者は， 
　
（一致点）
「ビーム供給部分と，該ビーム供給部分に接続されており，それぞれの測定ビームを配属されている表面個所に送出しかつ表面から戻し反射されたビームを受け取るための複数のプローブ出口を有しているプローブ装置と，表面から戻し反射されたビームに基づいてジオメトリーデータを特定するための後置接続されている評価装置とを備えた，少なくとも１つの物体の表面のジオメトリーデータを捕捉検出するための光学的な測定システムにおいて，
　少なくとも１つのプローブ出口が１つの測定面に配置されておりかつ少なくとも１つのプローブ出口が別の測定面に配置されている測定システム。」
の点で一致し，以下の点で相違する。
　
（相違点）本願発明では，１つの測定面に少なくとも３つのプローブ出口（１，２，３）が配置されているのに対し，引用発明では，１つの測定面に１つのプローブ出口が配置されている点。
　
２　判断
　上記相違点について検討する。
　被測定対象物の表面形状を光学的に測定する装置において，１つの測定面に少なくとも３つのプローブ出口を配置することが，例えば，特開平４−１２２１４号公報の第２頁左下欄１０〜１３行および第３頁右上欄７〜８行，特開平４−９５８０７号公報の第３頁右上欄１〜１９行，特開２００１−１７４２２４号公報の段落【０００６】に記載されているように本願優先日前に周知であり，１つの測定面に少なくとも３つのプローブ出口を配置すれば測定時間を短縮できることが自明である（上記特開２００１−１７４２２４号公報の段落【０００６】を参照）。
　そして，引用発明と上記周知技術とは，被測定対象物の表面形状を光学的に測定する装置という同一の技術分野に属するものであり，当該分野においても測定時間を短縮することは一般的な課題であるから，引用発明に，上記周知の技術的事項を適用し，上記相違点における本願発明のようにすることは，当業者であれば，何ら困難性はなく，容易に想到し得る事項であるといえる。
　
　そして，本願明細書に記載された本願発明によってもたらされる効果は，引用例１に記載の事項および周知の技術的事項から，当業者であれば予測することができる程度のものである。
　
　なお，請求人は，審判請求書の手続補正書（平成２０年８月１４日付けで提出されたもの）の第３頁１５〜４２行において，「しかし引用文献１の測定装置には，２つのファイバオプチックリフレックスプローブが相互に１８０°の間隔をおいて配置されているシリンダ形状のセンサフィンガが開示されています（３３頁左欄２０行乃至２８行）。Ｆｉｇ．５にはセンサフィンガの構造およびねじ山の測定原理，３３頁左欄２８行以下にセンサの構造が示されていますが，これらの記載からも分かるように２つのプローブ出口しか存在していないことで，測定結果は孔内のプローブポジションに依存しており，ですから測定エラーが頻繁に生じることになり，そのために対策を講じなければなりません。
　引用文献２の装置では，変調干渉計１およびセンサ装置２は空間的に分離されています。測定エレメントの２つの構成部分を分離したことがこの発明のポイントであります。２つのビーム，すなわち測定ビーム（２１１）および基準ビーム（２１２）は本来の測定のために必要であり，これらは測定プローブのポジションを決定するために用いられるものではありません。更にこの測定分岐２１１中にプリズムの形態の更なるビームスプリッタ２９が配され，該ビームスプリッタにより更なる測定ビームが分岐されるようになっています。
　然るに，請求項１に係る本願発明では，『少なくとも４つのプローブ出口が２つの測定面において，少なくとも３つのプローブ出口が１つの測定面内にあるように分配されています。これによりプローブ装置の位置の測定が複数の自由度において可能になります。』ですから，『「２９」の部品を含む面と「２４’」の部品を含む面との２つの測定面で測定すること（引用文献の図２）』において，『引用文献１の第５図および対応説明箇所に示された２つのプローブ出口を設けること』を参考にしても，当業者といえども本願発明に想到することはできません。請求項１に係る本願発明は『１つの測定面につき複数のプローブ出口を設けること』と『２つの測定面』とを単に結び付けて得られたものではなく，『少なくとも３つのプローブ出口（１，２，３）が１つの測定面（例えばＭＥ１）に配置されておりかつ少なくとも１つのプローブ出口（例えば４，５，６）が別の測定面（例えばＭＥ２）に配置されている』ようにするにはそれ相応の発明力が必要ですし，上にも述べたように『１つの測定面におけるプローブ出口の数を３つ以上とすることについては，２つの場合と比べて当業者が予測し得ない格別の効果』が生じるものであり，『当業者であれば適宜なし得た設計的事項』ではありません。」と主張している。
　しかし，本願出願当初の【特許請求の範囲】【請求項１】において特定されていた発明特定事項である「複数のプローブ出口（１，…，６）を有しているプローブ装置（ＳＡ）は，表面のジオメトリーデータの他に同時に，相互に固定の位置関係において位置決めされているプローブ出口（１，…，６）を有するプローブ装置（ＳＡ）の，単数または複数の物体に対する相対位置も少なくとも，複数の関連の自由度に関して突き止めることができるように実現されている」は，平成２０年２月２０付け手続補正書による補正によって削除されているのであるから，本願発明は，「測定プローブのポジションを決定する」ことや，「プローブ装置の位置の測定」をすることまで特定しているとはいえない。
　そうすると，本願発明が，プローブのポジション又は位置を決定又は測定するものである旨の上記主張は，請求の範囲の記載に基づかない主張であり，採用することができない。
　
　さらに，付言すれば，「プローブのポジション又は位置を決定又は測定する」ことも，特開平４−１２２１４号公報の第２頁右上欄１５〜１９行および第２頁右下欄１８行〜第３頁左上欄５行に記載されているので，必要であれば，参照されたい。
　
３　まとめ  
　上記のとおり，本願発明は，引用発明および周知技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものである。 
　
　
第５　むすび　 
　以上のとおり，本願発明は，引用発明および周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　
　そうすると，他の請求項について言及するまでもなく，本願は，拒絶すべきものである。
　
　よって，結論のとおり審決する。