【手続補正書】
【提出日】平成23年10月3日(2011.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電力により基板を保持する保持面を有する基板保持部材の前記保持面に一端が開口する検知穴の内部圧力に基づいて、前記保持面への前記基板の保持状態を検知する検知部と、
それぞれが基板を保持する一対の前記基板保持部材に保持された前記各基板を相互に位置合わせする位置合わせ部と、
前記位置合わせ部で位置合わせされた前記各基板を接合する接合部と
を備える基板貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記検知部は、前記保持面上の前記基板の有無を検知する請求項１に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項３】
前記検知部は、前記保持面上での所定の位置からのずれを検知する請求項１に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項４】
前記検知部は、前記検知穴が前記基板により封止されたか否かを検知する請求項１から３のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項５】
前記検知部は、前記検知穴の内部を減圧する減圧部を有し、前記検知穴が基板により封止されていない場合に上昇する前記検知穴の内部圧力に基づいて前記検知穴が基板により封止されているか否かを検知する請求項４に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項６】
前記検知部は、前記検知穴の内部に給気する給気部を有する請求項４に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項７】
前記検知穴の内部に給気された気体が基板を押す力は、前記静電力が基板を引きつける力よりも小さい請求項６に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項８】
前記給気部は、不活性ガスを供給する請求項６または請求項７に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項９】
前記検知部は、前記検知穴が基板により封止されていない場合に減少する前記検知穴の内部圧力に基づいて前記検知穴が基板により封止されているか否かを検知する請求項６から請求項８までのいずれか１項に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１０】
前記検知部は、前記検知穴が基板により封止されていない場合に、前記検知穴から漏出した気体を検出する請求項６から請求項８までのいずれか１項に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１１】
前記基板保持部材には複数の前記検知穴が形成されており、
前記検知部は、前記検知穴が基板により封止されていない場合に、前記検知穴から漏出した気体の組成に対応づけて、前記複数の検知穴のうち当該気体が漏洩した検知穴を特定する請求項１０に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１２】
前記基板保持部材には複数の前記検知穴が形成されており、
前記検知部は、前記検知穴から漏出した気体を検出した時期に対応づけて、前記複数の検知穴のうち当該気体が漏洩した検知穴を特定する請求項１０に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１３】
静電力により基板を保持する保持面を有する基板保持部材内を通して前記基板に光を照射し、前記基板からの反射光に基づいて、前記保持面への前記基板の保持状態を検知する検知部と、
それぞれが基板を保持する一対の前記基板保持部材に保持された前記各基板を相互に位置合わせする位置合わせ部と、
前記位置合わせ部で位置合わせされた前記各基板を接合する接合部と
を備える基板貼り合わせ装置。
【請求項１４】
前記検知部は、前記保持面上の前記基板の有無を検知する請求項１３に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１５】
前記検知部は、前記保持面上での所定の位置からのずれを検知する請求項１３に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１６】
前記検知部は、前記基板保持部材の検知穴が前記基板により封止されたか否かを検知する請求項１３から１５のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１７】
前記検知部は、前記基板保持部材の保持面に一端が開口する検知穴を通じて前記光を前記基板に照射し、前記保持面に保持した前記基板により反射された前記光の検出結果に基づいて、前記検知穴が基板により封止されていることを検知する請求項１６に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１８】
前記基板保持部に前記基板が保持されていないことを前記検知部が検知した場合に、前記位置合わせ部および前記接合部の少なくとも一方の動作を停止させる制御部を更に備える請求項１から１７のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１９】
前記基板保持部材は、前記保持面のうち前記基板を保持する領域において当該基板の縁部近傍に各々が一端を開口する複数の検知穴を有し、
前記検知部は、前記検知穴の各々について前記基板の前記保持状態を個別に検知する請求項１から１８のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項２０】
前記検知部が、前記検知穴のひとつにおいて前記基板が保持されていることを検知し、且つ、前記検知穴の他のひとつは前記基板が保持されていることを検知しなかった場合に、前記基板保持部材を前記位置合わせ部および前記接合部とは別の領域に搬送させる制御部を更に備える請求項１９に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項２１】
前記位置合わせ部は、一方の前記基板保持部材を保持する第一ステージと、他方の前記基板保持部材を保持する第二ステージとを有し、
前記検知部は、前記第一ステージおよび前記第二ステージの少なくとも一方に設けられている請求項１から２０のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項２２】
静電力により基板を保持する保持面を有する基板保持部材の前記保持面に一端が開口する検知穴の内部圧力に基づいて、前記保持面への前記基板の保持状態を検知する検知工程と、
それぞれが基板を保持する一対の前記基板保持部材に保持された前記各基板を相互に位置合わせする位置合わせ工程と、
前記位置合わせ工程で位置合わせされた前記各基板を接合する接合工程と
を備える基板貼り合わせ方法。
【請求項２３】
前記検知工程は、前記検知穴が前記基板により封止されたか否かを検知する工程を有する請求項２２に記載の基板貼り合わせ方法。
【請求項２４】
静電力により基板を保持する保持面を有する基板保持部材内を通して前記基板に光を照射し、前記基板からの反射光に基づいて、前記保持面への前記基板の保持状態を検知する検知工程と、
それぞれが基板を保持する一対の前記基板保持部材に保持された前記各基板を相互に位置合わせする位置合わせ工程と、
前記位置合わせ工程で位置合わせされた前記各基板を接合する接合工程と
を備える基板貼り合わせ方法。
【請求項２５】
前記検知工程では、前記基板保持部材の保持面に一端が開口する検知穴を通じて前記光を前記基板に照射し、前記保持面に保持した前記基板により反射された前記光の検出結果に基づいて、前記検知穴が基板により封止されていることを検知する請求項２４に記載の基板貼り合わせ方法。
【請求項２６】
前記基板保持部材は、前記保持面のうち前記基板を保持する領域において当該基板の縁部近傍に各々が一端を開口する複数の検知穴を有し、
前記検知工程では、前記検知穴の各々について前記基板の前記保持状態を個別に検知し、前記検知工程において、前記検知穴のひとつにおいて前記基板が保持されていることを検知し、且つ、前記検知穴の他のひとつにおいては前記基板が保持されていることを検知しなかった場合に、前記基板保持部材を位置合わせ部および接合部とは別の領域に搬送する搬送工程を有する請求項２４または２５に記載の基板貼り合わせ方法。
【請求項２７】
前記搬送工程の後、前記別の領域に搬送された前記基板保持部材に前記基板を搭載し直す工程を有する請求項２６に記載の基板貼り合わせ方法。
【請求項２８】
前記基板保持部に前記基板が保持されていないことを前記検知工程で検知した場合に、前記位置合わせ工程および前記接合工程のすくなくとも一方の工程を停止させる工程を有する請求項２４から２７のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ方法。
【請求項２９】
静電力により基板を保持する保持面を有する基板保持部材の前記保持面に一端が開口する検知穴の内部圧力に基づいて、前記保持面への前記基板の保持状態を検知する検知部を備える検知装置。
【請求項３０】
前記検知部は、前記保持面上の前記基板の有無を検知する請求項２９に記載の検知装置。
【請求項３１】
前記検知部は、前記保持面上での所定の位置からのずれを検知する請求項２９に記載の検知装置。
【請求項３２】
前記検知部は、前記検知穴が前記基板により封止されたか否かを検知する請求項２９から３１のいずれか一項に記載の検知装置。
【請求項３３】
前記検知部は、前記検知穴の内部を減圧する減圧部を有し、前記検知穴が基板により封止されていない場合に上昇する前記検知穴の内部圧力に基づいて前記検知穴が基板により封止されているか否かを検知する請求項３２に記載の検知装置。
【請求項３４】
前記検知部は、前記検知穴の内部に給気する給気部を有する請求項３２に記載の検知装置。
【請求項３５】
静電力により基板を保持する保持面を有する基板保持部材内を通して前記基板に光を照射し、前記基板からの反射光に基づいて、前記保持面への前記基板の保持状態を検知する検知部を備える検知装置。
【請求項３６】
前記検知部は、前記保持面上の前記基板の有無を検知する請求項３５に記載の検知装置。
【請求項３７】
前記検知部は、前記保持面上での所定の位置からのずれを検知する請求項３５に記載の検知装置。
【請求項３８】
前記検知部は、前記基板保持部材の検知穴が前記基板により封止されたか否かを検知する請求項３５から３７のいずれか一項に記載の検知装置。
【請求項３９】
前記検知部は、前記基板保持部材の保持面に一端が開口する検知穴を通じて前記光を前記基板に照射し、前記保持面に保持した前記基板により反射された前記光の検出結果に基づいて、前記検知穴が基板により封止されていることを検知する請求項３８に記載の検知装置。
【請求項４０】
基板を保持する保持面を有する基板保持部材の前記保持面に形成された検知穴と前記保持面に保持された前記基板との位置関係に基づいて、前記保持面への前記基板の保持状態を検知する検知部を備える検知装置。
【請求項４１】
請求項２９から４０のいずれか一項に記載の検知装置と、
前記基板が保持された前記基板保持部材を移動させる搬送部とを備える搬送装置。
【請求項４２】
前記検知部は、基板を保持する保持面を有する基板保持部材の前記保持面に一端が開口する検知穴の内部圧力に基づいて、前記保持面への前記基板の保持状態を検知し、
前記搬送部は、前記基板保持部材を負圧により保持する保持領域、および、前記保持領域とは別の領域に開口し、前記検知穴に連通する検知穴延長部を有する請求項４１に記載の搬送装置。
【請求項４３】
静電力により基板を保持する保持面と、
前記保持面に一端が開口するように形成された検知穴とを備え、
前記検知穴の内部圧力に基づいて前記保持面への前記基板の保持状態が検知部により検知される基板保持部材。
【請求項４４】
静電力により基板を保持する保持面を有するホルダ本体と、
前記保持面に一端が開口するように前記ホルダ本体に形成された検知穴と
を備え、
検知部からの光が前記検知穴を通して前記基板に照射され、前記基板からの反射光に基づいて前記保持面への前記基板の保持状態が検知部により検知される基板保持部材。
【請求項４５】
前記検知穴は、前記保持面の領域のうち前記保持面に保持された前記基板のデバイスが形成されていない部分に対応する領域に形成されている請求項４３または４４に記載の基板保持部材。
【請求項４６】
前記検知穴は、前記保持面から前記基板を取り外すときに前記基板を押す押し具が挿通される請求項４３から４５のいずれか一項に記載の基板保持部材。
【請求項４７】
静電力により基板を保持する保持面と、
前記保持面に形成された検知穴とを有し、
前記検知穴と前記基板との位置関係に基づいて、前記保持面への前記基板の保持状態が検知部により検知される基板保持部材。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板貼り合わせ装置、基板貼り合わせ方法、検知装置、搬送装置および基板保持部材