【事件の表示】
　特願２０００−２２４７４６「照射原子数量測定装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　３月１６日出願公開、特開２００１−　６６２４９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．本願発明
　本願は、平成８年１０月２８日に出願した特願平８−２８５０５４号の一部を平成１２年７月２６日に新たな特許出願としたものであって、その請求項１に係る発明は、平成１８年１１月２１日付け手続補正書で補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。（以下、「本願発明」という。）
「【請求項１】
　ホローカソードランプに電流０を除く調整可能な２つの電流値を、定電流回路を用いてパルス状に交互に流すことにより、輝度が高低交互に繰り返し、ロックイン検出のための輝度変調されたスペクトル光を発生させ、該スペクトル光を、真空製膜装置の真空容器内に照射して、真空容器を通過した該スペクトル光の輝度変調に同期した成分をロックインアンプにより検出して、真空容器内の基板表面に照射される原子の数量をロックインアンプを用いる原子吸光分光法で測定する真空製膜装置内の照射原子数量測定装置において、
　前記２つの電流値のうち、前記高低交互に繰り返す輝度の低い輝度に対応する電流値は、前記ホローカソードランプ中の安定なプラズマ状態を維持するために前記電流０を除く電流値であり、前記高低交互に繰り返す低い輝度に対応する電流値の時間と高い輝度に対応する電流値の時間が等しく、
　前記定電流回路は、トランジスタと該トランジスタのエミッタ電極に接続される抵抗、電界効果トランジスタと該電界効果トランジスタのソース電極に接続される抵抗、又は定電流ダイオードを主要な構成要素とし、
　前記ホローカソードランプの電流値が０にならないことを特徴とするバックグランド補正を行わないことを特徴とする真空製膜装置内の照射原子数量測定装置。」
　
２．刊行物に記載された事項
　平成１８年９月１９日付けの当審の拒絶理由において引用した『Y.KASAI,A.SUZUKI,H.TANOUE,T.NAGAI,S.SAKAI "MBE Growth of BiSrCaCuO Films Using Flux Monitoring by Atomic Absorption Spectroscopy" Advances in Superconductivity -7 Vol.2 1995.05.31(JST資料受入日) pp.897-900』（以下、「刊行物１」という。），及び特開平５−３０６９９７号公報（以下、「刊行物２」という。）には、それぞれ次の事項が記載されている。
　
＜刊行物１（翻訳文）＞　
ア．「図1は、AAS（原子吸光分光）測定システムを備えたMBE（分子線エピタキシー）システムを示す。Bi，Sr，Ca，Cuの各フラックスは、これらの金属を内部に備えた金属蒸発源によって生成される。・・・
　原子吸光分光システムは以下のように記述される。各元素のスペクトル光は、ホローカソードランプによって放射され、分子線エピタキシーチャンバに導入される。これらのスペクトル光は、分子線エピタキシーチャンバの中で同じ元素のビームフラックスによって吸収され、最大吸収係数のスペクトル光が、ラインパスフィルタによって選択され、光電子増倍管によって検出される。・・・ロックインアンプおよび機械式チョッパは分機能を増加するために用いる。典型的にはチョッパの周波数は886Hz、ロックインアンプの時定数は0.3であった。ロックインアンプの出力電圧は、ビームフラックス中を通過する伝達光の強度に比例する。各金属元素ごとにホローカソードランプとラインパスフィルタの両方を機械的に交換することによって、すべてのビームフラックスを成長のあいだ測定することができる。」（第８９７頁第３０行〜第４２行）
イ．図１には、分子線エピタキシー装置と原子吸光分光法を用いたビームフラックスモニターシステムの概略図が示されている。
　
　したがって、上記摘記事項ア，イや図１の記載，及び本願の出願時の技術常識に照らし併せると、刊行物１には、
「ホローカソードランプによって放射されたスペクトル光を機械式チョッパへ通すことにより、輝度が高低交互に繰り返し、ロックイン検出のための輝度変調されたスペクトル光とし、該スペクトル光を、分子線エピタキシーシステムのチャンバ内に導入して、チャンバ内を通過した該スペクトル光の輝度変調に同期した成分をロックインアンプにより検出して、チャンバ内の基板表面に照射される原子の数量をロックインアンプを用いる原子吸光分光法で測定するビームフラックスモニターシステム。」
の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されている。　
　
＜刊行物２＞
ウ．「【０００８】
【実施例】図１は一実施例で用いる中空陰極ランプとその点灯回路部を示したものである。アノード２、カソード４及びブースト電極６が低圧の封入ガスとともにガラス管に封入されている。カソード４には定電流回路８が接続され、アノード２とカソード４の間に一定電流Ｉｌが流れるようになっている。Ｉｌは数１００ｍＡになるように設定されており、この電流ではブースト電極６とアノード２との間に電流が流れていないときにはその発光プロファイルは図４（Ｆ）のように共鳴波長λｒでの発光強度が低下したプロファイルとなる。ブースト電極６には電源Ｖｈによってベース電極Ｉｈを流し、ブースト電極６とアノード２の間にブースト電流Ｉｂを流すブースト電極用電源部１０が接続されている。
【０００９】図２は光源として図１の中空陰極ランプ１を備えた原子吸光分光光度計の一例を表わしている。１２は試料を原子化し、そのフレーム中を中空陰極ランプ１からの放射光が通過する原子化部である。原子化部１２を通過した放射光は分光器１４で分光され、検出器１６で検出される。検出器１６の検出信号はプリアンプ１８で増幅された後、信号処理部２０で制御部２２からのサンプリングタイミング信号に従ってサンプリングされ、バックグラウンド補正された吸光度が求められてデータ処理部２４へ送られる。中空陰極ランプ１を点灯させるために、点灯回路部２６が設けられており、制御部２２からの制御信号によってアノードとカソード間に点灯電流Ｉｌを流し、ブースト電極とアノード間にブースト電流Ｉｂを流す。中空陰極ランプ１からの放射光を間欠的に、かつ周期的に原子化部１２に通すために、一実施例では点灯電流Ｉｌとブースト電流Ｉｂを間欠的に、かつ周期的に流すように点灯回路部２６が制御部２２によって制御され、信号処理部２０でのサンプリングのタイミングが制御部２２によって制御される。」 
エ．「【００１１】図４によりこの実施例の動作を説明する。中空陰極ランプのアノードとカソードの間には図４（Ａ）に示されるタイミングで電流Ｉｌが間欠的に、かつ周期的に流される。ブースト電極にはブースト電流Ｉｂが（Ｂ）に示されるタイミングで流される。ブースト電流Ｉｂが流される期間はアノードとカソード間に電流Ｉｌが流れている期間の一部で、電流Ｉｌが流れている期間の前半、後半又は中間部の何れに設定してもよい。図４の例では電流Ｉｌが流れている期間の前半の期間にブースト電流Ｉｂが流される。
【００１２】ブースト電流Ｉｂが流れている期間１（原文では数字を○で囲む）ではその発光プロファイルは（Ｇ）のように共鳴波長λｒでの発光強度が大きく、ブースト電流Ｉｂの流れていない発光期間２（原文では数字を○で囲む）では自己吸収が起こって共鳴波長λｒでの発光強度が減少している。図３におけるスイッチＳＷ１は期間１（原文では数字を○で囲む）でオンとなり、共鳴波長λｒでの大きな発光強度をもつ光源からの放射光によって試料の原子吸光とバックグラウンド吸収がともに検出される。スイッチＳＷ３は期間２（原文では数字を○で囲む）でオンとなり、主としてバックグラウンド吸収が検出される。スイッチＳＷ２は光源が発光していないタイミングでオンとなり、ベースレベルの信号が検出される。」 
オ．図１には、トランジスタと該トランジスタのエミッタ電極に接続される抵抗とを、定電流回路８の構成要素とすることが図示されている。
カ．図４（Ａ）には、パルス電流を流す時間と流さない時間とを、等しいサイクルとすることが図示されている。
　
３．対比
　本願発明と刊行物１発明とを対比すると、
　刊行物１発明の「分子線エピタキシーシステムのチャンバ」、「ビームフラックスモニターシステム」は、それぞれ本願発明の「真空製膜装置の真空容器」、「照射原子数量測定装置」に相当することは明らかであり、また、刊行物１には、本願明細書と同様に、バックグランド補正を行なう旨の記載がないから、刊行物１発明も本願発明と同様に、バックグランド補正を行わないものと解するのが相当である。
　したがって、両者は、
「輝度が高低交互に繰り返し、ロックイン検出のための輝度変調されたスペクトル光を発生させ、該スペクトル光を、真空製膜装置の真空容器内に照射して、真空容器を通過した該スペクトル光の輝度変調に同期した成分をロックインアンプにより検出して、真空容器内の基板表面に照射される原子の数量をロックインアンプを用いる原子吸光分光法で測定する真空製膜装置内の照射原子数量測定装置において、
　バックグランド補正を行わない真空製膜装置内の照射原子数量測定装置。」 
である点で一致し、次の点で相違する。 
（相違点）
　本願発明では、「ホローカソードランプに電流０を除く調整可能な２つの電流値を、定電流回路を用いてパルス状に交互に流すことにより、」輝度が高低交互に繰り返し、ロックイン検出のための輝度変調されたスペクトル光を発生させ、「前記２つの電流値のうち、前記高低交互に繰り返す輝度の低い輝度に対応する電流値は、前記ホローカソードランプ中の安定なプラズマ状態を維持するために前記電流０を除く電流値であり、前記高低交互に繰り返す低い輝度に対応する電流値の時間と高い輝度に対応する電流値の時間が等しく、前記定電流回路は、トランジスタと該トランジスタのエミッタ電極に接続される抵抗、電界効果トランジスタと該電界効果トランジスタのソース電極に接続される抵抗、又は定電流ダイオードを主要な構成要素とし、前記ホローカソードランプの電流値が０にならない」のに対し、刊行物１発明では、「ホローカソードランプによって放射されたスペクトル光を機械式チョッパへ通すことにより、」輝度が高低交互に繰り返し、ロックイン検出のための輝度変調されたスペクトル光を発生させる点。
　
４．判断
　上記相違点について検討する。
　上記摘記事項ウ．〜カ．の記載によると、刊行物２には、原子吸光分光光度計において、中空陰極ランプ１（本願発明のホローカソードランプに相当）に調整可能な電流を、定電流回路８（本願発明の定電流回路に相当）を用いて間欠的かつ周期的に流すことにより、輝度が高低交互に繰り返し、輝度変調されたスペクトル光を発生させ、前記高低交互に繰り返す低い輝度に対応する電流を流さない時間と高い輝度に対応する電流を流す時間が等しく、前記定電流回路８は、トランジスタと該トランジスタのエミッタ電極に接続される抵抗を主要な構成要素とする技術（以下、「刊行物２発明」という。）が記載されている。そして、刊行物１発明，刊行物２発明は、ともに原子吸光分光の技術であるから、刊行物１発明において、輝度変調されたスペクトル光を発生させるに際し、機械式チョッパに代えて刊行物２発明の電流制御の手法を用いて、ホローカソードランプに調整可能な電流を、定電流回路を用いて間欠的かつ周期的に流すことにより、輝度が高低交互に繰り返し、ロックイン検出のための輝度変調されたスペクトル光を発生させ、前記高低交互に繰り返す低い輝度に対応する電流を流さない時間と高い輝度に対応する電流を流す時間が等しく、前記定電流回路は、トランジスタと該トランジスタのエミッタ電極に接続される抵抗を主要な構成要素とすることは、当業者であれば容易に為し得ることである。 
　そして、刊行物１において、ホローカソードランプに調整可能な電流を、定電流回路を用いて間欠的かつ周期的に流すことにより、輝度が高低交互に繰り返し、ロックイン検出のための輝度変調されたスペクトル光を発生させる場合、原子吸光分析において、安定な発光状態を得るために、ホローカソードランプに、電流が０にならない小電流を常に流しておくことは、周知技術（例えば、特開昭６２−１７４６３４号公報、特公平５−７４７７４号公報などを参照。）であるから、ホローカソードランプに電流０を除く調整可能な２つの電流値を、定電流回路を用いてパルス状に交互に流すことにより、輝度が高低交互に繰り返し、ロックイン検出のための輝度変調されたスペクトル光を発生させ、前記２つの電流値のうち、前記高低交互に繰り返す輝度の低い輝度に対応する電流値は、前記ホローカソードランプ中の安定なプラズマ状態を維持するために前記電流０を除く電流値とすることは、当業者であれば適宜為し得ることであって、格別のことではない。 
　そして、本願明細書に記載の作用効果も、刊行物１発明，刊行物２発明，及び上記周知技術から当業者であれば予測できる範囲のものである。
　
　上記の周知例には、それぞれ次の事項が記載されている。
＜特開昭６２−１７４６３４号公報＞ 
キ．「ホローカソードランプを常時小電流或は小電流パルス或はそれらを重畳させた電流で点灯し、測定時のみホローカソードランプに大電流パルスを与えるようにした。第１図にこのようなホローカソードランプの点灯様式を示す。この図でＩの期間は非測定期間で、ホローカソードランプには小電流が供給されており、ホローカソードランプはいわばアイドリングの状態にあり、Ｍの期間が測定期間で、アイドリング中の小電流に重ねて大電流パルスが供給される。」（第１頁右下欄末行〜第２頁左上欄第９行） 
ク．「非測定期間中もアイドリングを続けているので、測定時にも直ちに安定した広幅輝線スペクトルの発光が得られる。」（第２頁左上欄末行〜第２頁右上欄第３行）
　
＜特公平５−７４７７４号公報＞ 
ケ．「第３図は本発明の一実施例におけるホローカソードランプ点灯回路を示す。HCLはホローカソードランプで、第４図のHCLに相当する。ib，Ib，Ipは夫々HCLに電流を供給する電源で、ibは高周波電源で周波数は160MHz程度である。Ibは直流バイアス電源でIpはパルス用直流電源である。・・・なおこの実施例ではHCLには常時Ibの直流バイアス電流が供給されているが、原理上これはなくてもよいものである。」（第２頁右欄第２１行〜第３７行） 
　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１発明，刊行物２発明，及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。