【事件の表示】
　平成　９年特許願第　９９１９８号「露光装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年１０月２７日出願公開、特開平１０−２８９４７５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
I．手続の経緯
　本件審判の請求に係る特許願（以下「本願」という。）は、平成９年４月16日に出願されたものであって、平成16年６月９日付け拒絶理由通知に対し、平成16年８月12日付けで意見書の提出とともに手続補正がなされたが、平成16年10月７日付けで拒絶査定がなされた。
　その後、平成16年11月11日付けで拒絶査定不服審判が請求され、平成16年12月13日付けで手続補正書が提出されたものである。
　
　
II．平成16年12月13日付け手続補正についての却下の決定
　
　〔補正却下の決定の結論〕
　平成16年12月13日付け手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
　〔理由〕
　１．本件補正についての補正の内容
　本件補正による補正内容は、特許請求の範囲に関しては、以下のものである。
　
　−本件補正前−
「【請求項１】　基板上に形成された感光層を露光する露光装置であって、
　露光用の光源と、
　上記光源からの光を第１の光路と第２の光路に分離する光路分離手段と、
　上記光路分離手段により分離された上記第１及び第２の光路を合成する光路合成手段と、
　上記光路合成手段で合成された光を上記基板上に形成された感光層に集光する対物側の集光手段とを備え、
　上記第１の光路には、
　上記光源からの光を集光する第１の集光手段と、
　上記第１の集光手段により集光された光を第１の記録信号に応じて変調する第１の音響光学効果光変調器とが配置され、
　上記第２の光路には、
　上記光源からの光を集光する第２の集光手段と、
　上記第２の集光手段により集光された光を第２の記録信号に応じて変調する第２の音響光学効果光変調器とが配置され、
　第１と第２の音響光学効果光変調器の少なくとも一方は、光源からの光を記録信号に応じて変調すると共に偏向し、第１又は第２の集光手段の焦点面より光源側に配置されていることを特徴とする露光装置。」
　
　−本件補正−
「【請求項１】　基板上に形成された感光層を露光する露光装置であって、
　露光用の光源と、
　上記光源からの光を第１の光路と第２の光路に分離する光路分離手段と、
　上記光路分離手段により分離された上記第１及び第２の光路を合成する光路合成手段と、
　上記光路合成手段で合成された光を上記基板上に形成された感光層に集光する対物側の集光手段とを備え、
　上記第１の光路には、
　上記光源からの光を集光する第１の集光手段と、
　上記第１の集光手段により集光された光を第１の記録信号に応じて変調する第１の音響光学効果光変調器とが配置され、
　上記第２の光路には、
　上記光源からの光を集光する第２の集光手段と、
　上記第２の集光手段により集光された光を第２の記録信号に応じて変調する第２の音響光学効果光変調器とが配置され、
　
少なくとも
の
は
上記
所定の距離だけ
、上記所定の距離は１０ｍｍ以下の近距離とされていることを特徴とする露光装置
　【請求項２】　
上記第１の集光手段の焦点距離が８０ｍｍであり、上記第１の音響光学効果光変調器は、上記第１の集光手段の焦点面より１０ｍｍだけ光源側に配置されていることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
　
　本件補正は上記下線部が追加された内容である。
　
　２．補正の適否
　上記本件補正の適否であるが、
　(i)本件補正前の請求項数は１であったものを、本件補正では請求項数を２とするもので項数の増加である。
　(ii)本件補正の請求項１に記載された「
上記所定の距離は１０ｍｍ以下の近距離
　「【００６４】また、この露光装置でレーザ光を偏向する場合には、露光用レーザ172から出射したレーザ光は、固定光学定盤170上に設置されたビームスプリッタ173で反射され、レンズ174で集光され、ＡＯＭ175で変調されると共に偏向される。このＡＯＭ175は、レンズ174の焦点面よりも光源側にずらして設置されている。具体的には、本実施の形態においては、集光レンズ174の焦点距離が80ｍｍであり、ＡＯＭ175は集光レンズ174の焦点面よりも10ｍｍだけ光源側にずらして設置されている。」
　「【００７２】なお、原盤上でのグルーブまたはピット列のウォブリングの振幅が十分に必要であり、ウォブリングの周波数は低くても良い場合には、ＡＯＭ206を集光用レンズ205の焦点位置から光軸方向に大きくずらして設置すればよい。また、高速のウォブリングが必要であり、ウォブリングの振幅は小さくてもよい場合には、ＡＯＭ206を集光用レンズ205の焦点位置から近距離の位置に設置すればよい。」
なる記載があるものの、上記『１０ｍｍ以下』の明確な記載はないものであって、上記事項が自明の事項であるとも、記載されているに等しいと認められる示唆もないので新規事項の追加である。　
　
　要するに、本件補正の上記(i)は拒絶査定不服審判請求時の補正の要件を規定した特許法(平成18年改正前のもの。以下同様。)第17条の２第４項各号に掲げる要件である
　(a)『請求項の削除について』は、上記のとおり、請求項は増加しているため該当しない。
　(b)『特許請求の範囲の限定的減縮について』は該当しない。
　(c)『誤記の訂正について』は、「本来その意であることが明細書、特許請求の範囲又は図面の記載から明らかな字句・語句に正す」（審査基準）程度の軽微な補正の範囲内のものではない。
　(d)『明瞭でない記載の釈明について』は、審査基準では「請求項の記載そのものが、文理上、意味が不明瞭であること、請求項自体の記載内容が他の記載との関係において不合理を生じていること、又は、請求項自体の記載は明瞭であるが請求項に記載した発明が技術的に正確に特定されず不明瞭であること等をいう」としており、明瞭でない記載の釈明の範囲のものではない。
　さらに、本件補正の上記(ii)は、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものでなく、特許法17条の２第３項の規定に違反する。　
　
　結局、本件補正は、特許法第17条の２第３項、ないし、第４項に規定された目的の何れにも該当しないことは明らかである。
　
　３．補正についての結び
　したがって、本件補正は、特許法第159条第１項の規定において読み替えて準用する同法第53条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　
III．本願発明について
　１．本願発明
　平成16年12月13日付けの手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項に係る発明は、平成16年８月12日付け手続補正で補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、上記II．〔理由〕−本件補正前−に記載する次のとおりのものである。
　「基板上に形成された感光層を露光する露光装置であって、
　露光用の光源と、
　上記光源からの光を第１の光路と第２の光路に分離する光路分離手段と、
　上記光路分離手段により分離された上記第１及び第２の光路を合成する光路合成手段と、
　上記光路合成手段で合成された光を上記基板上に形成された感光層に集光する対物側の集光手段とを備え、
　上記第１の光路には、
　上記光源からの光を集光する第１の集光手段と、
　上記第１の集光手段により集光された光を第１の記録信号に応じて変調する第１の音響光学効果光変調器とが配置され、
　上記第２の光路には、
　上記光源からの光を集光する第２の集光手段と、
　上記第２の集光手段により集光された光を第２の記録信号に応じて変調する第２の音響光学効果光変調器とが配置され、
　第１と第２の音響光学効果光変調器の少なくとも一方は、光源からの光を記録信号に応じて変調すると共に偏向し、第１又は第２の集光手段の焦点面より光源側に配置されていることを特徴とする露光装置。」（以下「本願発明」という。）
　
　２．刊行物及びその記載
　原査定の拒絶理由で引用された特開平４−26941号公報（以下「刊行物１」という。）は、光ディスク原盤露光装置に関してのもので、以下の記載がある。（なお、下線は当審で付与した。）
　(a)「その第五の問題点としては、
光量変調を高速化させるためにビーム径を細くする
　(b)「実施例
　本発明の一実施例を第１図ないし第５図に基づいて説明する。
第１図は、２ビーム露光光学系の構成例を示すものである。レーザ光源としてのＡｒ
＋
レーザ13より出射された光が２ビームに分離されたそれぞれの光路上には、光量変調、パルス変調、ウォブル変調が可能な光変調器14ａ，14ｂが配設されている。これら各光変調器14ａ，14ｂには、超音波の振幅、周波数を変える駆動回路15ａ、15ｂが接続されている。また、各光変調器14ａ，14ｂの前後に位置する光路上にはレンズ16ａ，16ｂ，17ａ，17ｂが配設されている。この場合、前方に位置するレンズ16ａ，16ｂは焦点距離ｆ＝100であり、後方に位置するレンズ17ａ，17ｂは焦点距離ｆ＝300
　このような構成において、
Ａｒ
＋
レーザ13から出射された光は、反射ミラー18により反射されハーフミラ−19により透過又は反射される。その反射された第一光ａは第一露光光学系Ａに導かれ、一方、その透過した第二光ｂは反射ミラー20により反射されて第二露光光学系Ｂに導かれる。
　
第一露光光学系Ａに導かれた第一光ａはｆ＝100のレンズ16ａにより細く絞られ0.1mm以下に集光される位置に配設された光変調器14ａに入射する。この時、駆動回路15ａから光変調器14ａに送られる超音波の周波数の振幅を変えることにより光量変調、パルス変調を行うことができ、また、その超音波の周波数を変えることによりウォブル変調を行うことができる
　そして、
このようにして光量変調、パルス変調、ウォブル変調が行われ変調光となった１次回折光は、ｆ＝300のレンズ17ａに入射してコリメートされる。このレンズ17ａは、焦点距離を変えることによりビーム径を拡大又は縮小することができ、ここではビーム径が拡大する位置に配設されている。これにより、ビーム径が３倍に拡大された１次回折光は、反射ミラー21により反射され、ハーフミラ−22を透過して対物レンズ23により集光され、光ディスク原盤としてのレジスト板24に導かれ、これにより露光が行われる
　一方、
第二露光光学系Ｂ内に導かれた第二光ｂは、第一露光光学系Ａの第一光ａと同様な処理が行われる。すなわち、レンズ16ｂにより集光され、光変調器14ｂにより光量変調、パルス変調、ウォブル変調が行われた１次回折光は、レンズ17ｂによりコリメートされた後、ハーフミラ−22により反射され、対物レンズ23により集光されてレジスト板24の正面に照射され露光が行われる。
　
第２図は、光変調器14ａ，14ｂにより光量変調、パルス変調が行われる時の光量と振幅との関係を示すグラフ
第３図は、光変調器14ａ，14ｂによりウォブル変調が行われる時の出射角と周波数との関係を示す
　上述したように、
一つの露光光学系では変調器は１個しか設けられていない
　(c)「発明の効果
　本発明は、レーザ光源より出射された光を対物レンズにより集光して光スポットを形成し、この光スポットを光ディスク原盤の表面に照射することによりその光ディスク原盤に情報用のピットを形成する光ディスク原盤露光装置において、レーザ光源より出射された光が対物レンズに向かう間の光路上に光量変調、パルス変調、ウォブル変調が可能な１個の光変調器を配設し、この光変調器に接続され超音波の振幅、周波数を変える駆動回路を設け、光変調器の前後の光路上に位置させてレンズを配置したので、一つの露光光学系においては変調器は１個しか設けられていないため、レーザ光の光軸調整を従来に比べ簡単に素早く行え、しかも、使用するレーザ光源の出力も大出力を必要とせずレーザチューブの生産コストの低減化を図ることができ、また、これにより変調用の駆動回路も１個で済むため光学系全体のスペースの省略化を図ることが可能となり、さらに、レーザ光源の光軸変動が発生しても光変調器による回折効率の変動が従来の光変調器の個数分の１（例として、従来、３個使用していれば１／３）に減り光路長も短くなるので対物レンズによるケラレがなくなり、常に安定した露光を行うことができるものである。」(４頁右上欄11行〜左下欄17行)
　
　以上の記載を、図面を参照して整理すると、刊行物１には以下の発明が記載されているものと認める。
　「レーザ光源であるＡｒ＋レーザ13より出射された光が光ディスク原盤としてのレジスト板24に導かれ、これにより露光が行われる光ディスク原盤露光装置であって、
　Ａｒ＋レーザ13から出射された光は、反射ミラー18により反射され、ハーフミラ−19により透過又は反射され、反射された第一光ａは第一露光光学系Ａに導かれｆ＝100のレンズ16ａにより細く絞られ0.1mm以下に集光される位置に配設された光変調器14ａに入射、駆動回路15ａから光変調器14ａに送られる超音波の周波数の振幅を変えることにより光量変調、パルス変調を行うことができ、その超音波の周波数を変えることによりウォブル変調を行うことができ、る変調光となった１次回折光が、ｆ＝300のレンズ17ａに入射してコリメートされ、レンズ17ａは、焦点距離を変えることによりビーム径を拡大又は縮小することができ、ビーム径が３倍に拡大された１次回折光が、反射ミラー21により反射され、ハーフミラ−22を透過して対物レンズ23により集光され、光ディスク原盤としてのレジスト板24に導かれ、これにより露光が行われ、
　一方、Ａｒ＋レーザ13から出射され、ハーフミラ−19を透過し、反射ミラー20により反射されて第二露光光学系Ｂに導かれた第二光ｂは、第一露光光学系Ａの第一光ａと同様な処理が行われるもので、レンズ16ｂにより集光され、光変調器14ｂにより光量変調、パルス変調、ウォブル変調が行われた１次回折光は、レンズ17ｂによりコリメートされた後、ハーフミラ−22により反射され、対物レンズ23により集光されてレジスト板24の正面に照射され露光が行われ、
る光ディスク原盤露光装置。」（以下「刊行物１発明」という。）
　
　原査定の拒絶理由で引用された特開平７−182680号公報（以下「刊行物２」という。）は、光学式記録装置に関してのもので、以下の記載がある。（なお、下線は当審で付与した。）
　(d)「【００３３】図３に図１の光学式記録装置の一部を示し、ビーム拡大レンズ32よりミラー５に入射した平行レーザービームがミラー５で反射されて、その光路が90度偏向せしめられ、リレーレンズ35に入射して集束せしめられ、その後に発散したレーザービームがカッティングヘッド４のミラー９によって反射されてその光路が90度偏向せしめられ、その後カッティングヘッド４の対物レンズ８によって集束せしめられて、光学式ディスク６のフォトレジスト層７ｂを露光する。そして、
光変調偏向器３を、リレーレンズ35及び対物レンズ８の中間で、焦点距離ｆを有するリレーレンズ35の焦点Ｆより50ｍｍ以上で、100ｍｍ以下の範囲内の所定距離ａだけ、リレーレンズ35側にずれた位置に設ける。このように距離ａを設定すると、光学式ディスク６上に形成されるトラッキング用グルーブの形成のための変調振幅が十分な振幅となり、変調帯域が十分な帯域となる。
　
　３．対比・判断
　−対比−
　本願発明と刊行物１発明とを対比する。
　(i)刊行物１発明における「レーザ光源であるＡｒ＋レーザ13より出射された光が光ディスク原盤としてのレジスト板24に導かれ、これにより露光が行われる光ディスク原盤露光装置」は、本願発明の「基板上に形成された感光層を露光する露光装置」に相当する。
　(ii)刊行物１発明における「レーザ光源であるＡｒ＋レーザ13から出射された光」であるが、これは本願発明の「露光用の光源」に相当する。
　(iii)刊行物１発明における「ハーフミラ−19により透過又は反射」であるが、反射と透過で２つの光路に分離する機能をもつから、これは本願発明の「光源からの光を第１の光路と第２の光路に分離する光路分離手段」に相当する。
　(iv)刊行物１発明の「１次回折光が、反射ミラー21により反射され、ハーフミラ−22を透過して対物レンズ23により集光され、光ディスク原盤としてのレジスト板24に導かれ、これにより露光」及び「第二光ｂは・・・ハーフミラ−22により反射され、対物レンズ23により集光されてレジスト板24に導かれ、これにより露光」においての「ハーフミラ−22」であるが、上記(iii)とは逆の、２つ光路を合成する機能をもつことから、これは本願発明の「光路分離手段により分離された上記第１及び第２の光路を合成する光路合成手段」に、さらに「対物レンズ23」は本願発明の「光路合成手段で合成された光を上記基板上に形成された感光層に集光する対物側の集光手段」に相当する。
　(v)刊行物１発明における「第一光ａは第一露光光学系Ａに導かれｆ＝100のレンズ16ａにより細く絞られ0.1mm以下に集光される位置に配設された光変調器14ａに入射、駆動回路15ａから光変調器14ａに送られる超音波の周波数の振幅を変えることにより光量変調、パルス変調を行うことができ、その超音波の周波数を変えることによりウォブル変調を行うことができ」について、「第一光ａは第一露光光学系Ａ」は本願発明の「第１の光路」に、同じく「レンズ16ａ」「光変調器14ａ」は本願発明の「第１の集光手段」「第１の音響光学効果光変調器」にそれぞれ対応するから、上記事項は本願発明の「第１の光路には、上記光源からの光を集光する第１の集光手段と、上記第１の集光手段により集光された光を第１の記録信号に応じて変調する第１の音響光学効果光変調器とが配置」に相当する。
　(v)刊行物１発明における「第二露光光学系Ｂに導かれた第二光ｂは、第一露光光学系Ａの第一光ａと同様な処理が行われるもので、レンズ16ｂにより集光され、光変調器14ｂにより光量変調、パルス変調、ウォブル変調が行われ」について、「第二露光光学系Ｂ」は本願発明の「第２の光路」に、同じく「レンズ16ｂ」「光変調器14ｂ」は、本願発明の「第２の集光手段」「第２の音響光学効果光変調器」に対応するから、上記事項は本願発明の「第２の光路には、上記光源からの光を集光する第２の集光手段と、上記第２の集光手段により集光された光を第２の記録信号に応じて変調する第２の音響光学効果光変調器とが配置」に相当する。
　
　結局、両発明の［一致点］及び［相違点］は、以下のとおりである。
　［一致点］
　「基板上に形成された感光層を露光する露光装置であって、
　露光用の光源と、
　上記光源からの光を第１の光路と第２の光路に分離する光路分離手段と、
　上記光路分離手段により分離された上記第１及び第２の光路を合成する光路合成手段と、
　上記光路合成手段で合成された光を上記基板上に形成された感光層に集光する対物側の集光手段とを備え、
　上記第１の光路には、
　上記光源からの光を集光する第１の集光手段と、
　上記第１の集光手段により集光された光を第１の記録信号に応じて変調する第１の音響光学効果光変調器とが配置され、
　上記第２の光路には、
　上記光源からの光を集光する第２の集光手段と、
　上記第２の集光手段により集光された光を第２の記録信号に応じて変調する第２の音響光学効果光変調器とが配置され、
　る露光装置。」の点。
　
　［相違点］
　音響光学効果光変調器の配置についてであるが、本願発明のものは「第１と第２の音響光学効果光変調器の少なくとも一方は、光源からの光を記録信号に応じて変調すると共に偏向し、第１又は第２の集光手段の焦点面より光源側に配置されている」というものであるが、刊行物１発明のものにはこの構成について明確な記載がない点。
　
　−判断−
　刊行物２は、基板上に形成された感光層を露光する露光装置である点で本願発明及び刊行物１発明と共通するもので、「
光変調偏向器３を、リレーレンズ35及び対物レンズ８の中間で、焦点距離ｆを有するリレーレンズ35の焦点Ｆより所定距離ａだけ、リレーレンズ35側にずれた位置に設ける。このように距離ａを設定すると
変調振幅が十分な振幅となり
　一方、本願発明の上記相違点のもつ機能／作用であるが、明細書には従来との比較で「【００７０】図３（ａ）は、従来の露光装置の光学系における集光レンズとＡＯＭの配置を示している。このように、ＡＯＭ202が集光用レンズ201の焦点位置に設置されていると、集光用レンズ203の焦点と露光原盤上の集光点とが共役になっているために、ＡＯＭ202でレーザ光200を偏向しても原盤上での集光点の位置は変化しない。すなわち、このような光学系を用いる場合には、レーザビームの変調は可能であるが、ウォブリングができない。」であったものを「【００７１】図３（ｂ）は、本発明の露光装置の光学系における集光レンズとＡＯＭの配置を示している。この図中に点線で示しているように、ＡＯＭ206が集光用レンズの焦点位置から若干ずらして設置されていると、
ＡＯＭ206に入射するレーザ光204がレンズ205で集光されて小径であるので高速に変調することができ、同時にＡＯＭ206でレーザ光204を偏向することもできる。
　そして、刊行物１発明においても高速に変調および偏光してその目的を達成することは自明ないし当然であるから、「第一露光光学系Ａ」「第二露光光学系Ｂ」の少なくとも一方の光学系について、上記相違点のように「光源からの光を記録信号に応じて変調すると共に偏向し、第１又は第２の集光手段の焦点面より光源側に配置」していくことは当業者が必要に応じて適宜容易に想到できるものである。
　
　よって、本願発明は、刊行物１及び刊行物２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第29条第２項の規定より特許を受けることができないものである。
　
　４．むすび
　以上のとおりであるから、本願請求項１に係る発明は、特許法29条第２項の規定により特許を受けることができないとした原査定は妥当なものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。