【手続補正書】
【提出日】平成24年2月20日(2012.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
第７観点の圧電デバイスにおいて、第２板は第１板の端面に接合される接合領域を有し、第１板の端面の外側又は第２板の接合領域の外側の少なくとも一方には第１板又は第２板の外縁まで伸び端面又は接合領域より凹んだ凹み面が形成され、接着剤は凹み面で第１板と第２板とを接合する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
第１２観点の圧電デバイスにおいて、圧電デバイスの外周には第２板側から第１板までを第１板を貫通しない範囲で切欠きが形成され、切欠きの凹部側の側面には外部ガラスが接着されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
第１４観点の圧電デバイスにおいて、圧電デバイスの外周には第２板側から第１板までを第１板を貫通しない範囲で切欠きが形成され、切欠きの凹部側の側面には外部金属膜が接着されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
第２１観点の圧電デバイスの製造方法は、電圧の印加により振動する複数の圧電振動片を用意する工程と、圧電振動片が収納される凹部とその凹部の周囲に形成された端面とを有する第１板が複数形成された第１板ウエハを用意する工程と、端面を周回するように環状に形成され端面に形成された金属膜と端面を周回するように環状に形成され金属膜の外側に形成された接着剤とを形成する形成工程と、第１板と同じ大きさの第２板が複数形成された第２板ウエハを用意する工程と、第１板の凹部内に圧電振動片を収納する収納工程と、収納工程後金属膜が接着剤から発生するガスが圧電振動片へ流れ込まないようにするとともに圧電振動片を密閉封入するように、接着剤によって第１板ウエハと第２板ウエハとを接合する接合工程と、を備える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
なお、封止ガラスＧＳは３５０℃〜４００℃で溶融し、接着可能な鉛フリーのバナジウム系ガラスである。封止ガラスＧＳの融点は、圧電体又はガラスなどで形成されたリッド部１１Ｂ及びベース部１２Ｂよりは融点が低いため、以下鉛フリーのバナジウム系ガラスを低融点ガラスと称する。また、この低融点ガラスは接着時の気密性と耐水性・耐湿性などの信頼性が高い。さらに、低融点ガラスはガラス構造を制御することにより熱膨張係数も柔軟に制御できるので、セラミックス、ガラス、半導体、金属などの熱膨張係数が異なる様々な材料と接着しやすい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
また、第１リッド突起部３１２ａの内側端面Ｍ１１には幅ＷＩ/２の金属膜１１３が形成されている。第２リッド突起部３１２ｂの外側端面Ｍ１２には幅ＷＩ/２の接着剤１１４が形成されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
また、ベース部１２Ｃは圧電体又はガラスなどで形成されたベース１２０Ｃを備える。またベース１２０Ｃは、ベース側凹部１２１と、このベース側凹部１２１の外周に幅ＷＩのベース突起部３２２とを備える。ベース突起部３２２は、ベース側凹部１２１側に形成された第１ベース突起部３２２ａと、その第１ベース突起部３２２ａの外側に第１ベース突起部３２２ａより低く形成された第２ベース突起部３２２ｂとを有している。第１ベース突起部３２２ａは内側端面Ｍ２１を有し、第２ベース突起部３２２ｂは外側端面Ｍ２２を有する。外側端面Ｍ２２はベース突起部３２２の縁部まで伸びて形成される。外側端面Ｍ２２は内側端面Ｍ２１より凹んだ凹み面１２５を形成する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
第３実施形態において、リッド部１１Ｃとベース部１２Ｃとの両方に凹み面１１５、１２５が形成されているが、いずれかの一方のみに形成されてもよい。したがって、接着剤も凹み面が形成されているリッド部１１Ｃ又はベース部１２Ｃのみに形成されてもよい。また、金属膜１１３、１２３はリッド部１１Ｃ及びベース部１２Ｃの両方に形成されているが、いずれかの一方のみに形成されてもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
ステップＴ１３１において、図１０に示されたように例えば円形の水晶材料で均一平板に形成されたベースウエハ２２Ｗには、ベース側凹部１２１を有するベース１２０Ｃが数百から数千個形成される。
また、ベース側凹部１２１同士の間にはベースウエハ２２Ｗより凹んだ幅Ｗの溝部ＴＲ２がＸ’軸方向及びＺ’軸方向に沿って形成されている。
なお、溝部ＴＲ２の半分（幅Ｗ／２）が図８に示された凹み面１２５を構成している（リッドウエハ２１Ｗにおいては溝部ＴＲ１が図８に示された凹み面１１５を構成する）。ベース側凹部１２１及び溝部ＴＲ２の形成工程は第１実施形態のステップＳ１２１で説明されたリッド側凹部１１１の形成工程と同じである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
図９に示されたフローチャートにより、凹み面１１５、１２５のみに接着剤１１４及び接着剤１２４が塗布されると、第１実施形態及び第２実施形態に比べて、第３実施形態はポリイミド樹脂の量を減少させることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
図８に示された第３実施形態の第３水晶振動子１００Ｃでは接着剤１１４が凹み面１１５の側面Ｍ１３に接着して塗布され接着剤１２４が凹み面１２５の側面Ｍ２３に接着して塗布されているが、図１１に示された第３水晶振動子１００Ｃ’は接着剤１１４、１２４と側面Ｍ１３、Ｍ２３との間に隙間ＳＰ１が形成されている。これにより、リッド部１１Ｃとベース部１２Ｃとを接合した際、接着剤１１４、１２４が金属膜１１３、１２３側まで流れ込むことが防止できる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１１】
図１５に示されたように、第６水晶振動子１００Ｆは、第５実施形態で説明されたリッド部１１Ｅと、ベース部１２Ｆと、ベース部１２Ｆのベース側凹部１２１内に載置された水晶振動片１０とを備える。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２１】
（第７実施形態の変形例）
図１７は、第７実施形態の変形例である第７水晶振動子１００Ｇ’の断面図である。図１７（ａ）はリッド部１１Ｇとベース部１２Ｅとを接合する前の状態で、（ｂ）はリッド部１１Ｇとベース部１２Ｅとを接合した後である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２２】
図１７（ａ）に示されたように、第７水晶振動子１００Ｇ’では水平金属膜１１３ａ’がキャビティＣＴ側の接着剤１１４ｂの一部のみを覆うように形成されている。このような構成によれば、図１７（ｂ）に示されたようにリッド部１１Ｇとベース部１２Ｇとを接合する際、リッド部１１Ｇとベース部１２Ｅとは外側に形成された接着剤１１４ａのみでなく、キャビティＣＴ側に形成された接着剤１１４ｂによりも接合することができる。このため、リッド部１１Ｇとベース部１２Ｅとの接合強度を高めることができ、キャビティＣＴ内の気密性を高めることができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２５】
リッド部１１Ｈは、圧電体又はガラスなどで形成されたリッド１１０Ｈを備える。またリッド１１０Ｈは、リッド側凹部１１１と、このリッド側凹部１１１の外周に幅ＷＩの第１端面Ｍ１を有するリッド突起部１１２とを備える。リッド突起部１１２の第１端面Ｍ１にはリッド側凹部１１１を周回するように接着剤１１４が形成されている。また、接着剤１１４のリッド側凹部１１１側にはリッド側凹部１１１を周回するように金属膜１１３が形成されている。金属膜１１３は、接着剤１１４のリッド側凹部１１１側の一部を覆うようにリッド突起部１１２の第１端面Ｍ１に接合して形成されている。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５５】
また、ベース部１２Ｊは圧電体又はガラスなどで形成されたベース１２０Ｊを備える。またベース１２０Ｊは、ベース側凹部１２１と、このベース側凹部１２１の外周に幅Ｗ２の第２端面Ｍ５２を有するベース突起部１４２と、第２端面Ｍ５２より凹んで第９水晶振動子１００Ｊの縁部まで伸びて形成された幅Ｗ３の凹み面１４３とを有している。このため、ベース側凹部１２１から第９水晶振動子１００Ｊの縁部までの幅ＷＩは（Ｗ２＋Ｗ３）となっている。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５７】
また、リッド部１１Ｊ及びベース部１２Ｊは同じ幅Ｗ２のリッド突起部１３２及びベース突起部１４２を有しベース部１２Ｊのベース突起部１４２の外側には幅Ｗ３の凹み面１４３が形成されている。このため、第９水晶振動子１００Ｊの外周にはリッド部１１Ｊからベース部１２Ｊまでベース部１２Ｊを貫通しないように溝部ＴＲ３（図２４を参照）を形成した際の切欠き１４４が形成されている。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６８】
また、リッド部１１Ｋ及びベース部１２Ｋは同じ幅Ｗ２のリッド突起部１３２及びベース突起部１４２を有しベース部１２Ｋのベース突起部１４２の外側に幅Ｗ３の凹み面１４３が形成されている。このため、第１０水晶振動子１００Ｋの外周にはリッド部１１Ｋからベース部１２Ｋまでベース部１２Ｋを貫通しないように溝部ＴＲ３（図２６を参照）を形成した際の切欠き１４４が形成されている。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１２】
前記圧電デバイスの外周には、前記第２板側から前記第１板までを前記第１板を貫通しない範囲で切欠きが形成され、
前記切欠きの前記凹部側の側面には、外部ガラスが接着されている請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１４】
前記圧電デバイスの外周には、前記第２板側から前記第１板までを前記第１板を貫通しない範囲で切欠きが形成され、
前記切欠きの前記凹部側の側面には、外部金属膜が接着されている請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２１】
電圧の印加により振動する複数の圧電振動片を用意する工程と、
前記圧電振動片が収納される凹部とその凹部の周囲に形成された端面とを有する第１板が複数形成された第１板ウエハを用意する工程と、
前記端面を周回するように環状に形成され前記端面に形成された金属膜と前記端面を周回するように環状に形成され前記金属膜の外側に形成された接着剤とを形成する形成工程と、
前記第１板と同じ大きさの第２板が複数形成された第２板ウエハを用意する工程と、
前記第１板の前記凹部内に前記圧電振動片を収納する収納工程と、
前記収納工程後、前記金属膜が前記接着剤から発生するガスが前記圧電振動片へ流れ込まないようにするとともに前記圧電振動片を密閉封入するように、前記接着剤によって前記第１板ウエハと前記第２板ウエハとを接合する接合工程と、
を備える圧電デバイスの製造方法。