【事件の表示】
　特願２００４−２１６２４２「デバイスでの暗電流の補償方法およびシステム、リソグラフィ装置の波面収差の補正方法およびシステム」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　２月２４日出願公開、特開２００５−　４９３４９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯　 
　本願は、本願は、平成１６年７月２３日（パリ条約による優先権主張２００３年７月２８日、米国）の特許出願であって、平成１９年８月６日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年１１月７日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同年１２月７日付けで手続補正がなされたものである。さらに、平成２１年２月１６日付けで審尋がなされ、回答書が同年５月１３日付けで請求人より提出されたものである。　 
　　 
第２　平成１９年１２月７日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）についての補正却下の決定　 
［補正却下の決定の結論］　 
　　本件補正を却下する。　 
［理由］　 
１　補正後の請求項１に記載された発明　 
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、特許請求の範囲の減縮を目的として次のとおりに補正された。
　　「【請求項１】
（ａ）光感応性デバイスの第１のアレイおよび第２のアレイから第１の暗電流値を求め、
（ｂ）光エネルギを第１のアレイによって受信し、
（ｃ）受信した光エネルギに基づいて第１のアレイの各エレメントごとに光エネルギ値を求め、
（ｄ）光エネルギに不感の第２のアレイから前記ステップ（ｃ）とほぼ同時に第２の暗電流値を求め、
（ｅ）光エネルギ値を第１の暗電流値および第２の暗電流値の関数として調整し、
（ｆ）調整された光エネルギ値に基づいて制御信号を形成し、形成した制御信号を用いて光の波面収差を補正
し、
　前記第１の暗電流値は、第１のアレイおよび第２のアレイにわたる暗電流の空間分布に相関し、前記第２の暗電流値は、リーク量、温度に基づく所定の時間での暗電流の変化分を基礎としている
　
　そこで、本願の補正後の上記請求項１に係る発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）否かについて、以下に検討する。　 
　　 
２　引用刊行物およびその記載事項　 
　本願出願前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開昭５８−４７２２５号公報（以下、「刊行物１」という。）には、「個体センサの温度補正方法及びその装置」について、図面とともに次の事項が記載されている。 　 
　　 
（１−ア）　 
「２．特許請求の範囲
１．光量検出用の複数個の検出ホトエレメントを有する固体センサの温度補正方法において、前記検出ホトエレメントの近傍に実質的に暗電流のみを出力する基準ホトエレメントを配設し、非露光状態での検出ホトエレメント及び基準ホトエレメントの出力並びに光量測定時の基準ホトエレメントの出力に基づいて、光量測定時の検出ホトエレメントの暗電流成分を算出し、その検出ホトエレメントの出力を前記暗電流成分により補正することを特徴とする固体センサの温度補正方法。」（１頁左下欄４行〜１５行） 
　　 
（１−イ）　 
「  本発明は、ホトダイオード又はホトトランジスタ等のホトエレメントを複数個並設した固体センサにおける、各ホトエレメントの出力を温度について補正する方法及び装置に関する。
  レンズの収差等を検査するMTF（変調伝達関数）検査機等の光学的計測装置においては、光量分布を測定するためにCCD（電荷結合素子）センサ等の固体センサが使用されている。CCDセンサは、例えば、2048個（2048ビツト）のホトエレメントを中心間距離13μｍで並設してなり、各ホトエレメントの露光量に対応する出力を信号処理装置に伝送して露光量分布等を測定することが可能である。而して、ホトエレメントの感度特性は保証動作周波数の範囲において直線性を有し、その出力は露光量を変数とする一次関数で表わされるのであるが、出力値には露光量に対応して増減する出力成分の外に、非露光時（露光量零）にも検出される暗電流成分が存在する。この暗電流は、各ホトエレメント間でバラツキがあり、また、CCDセンサが使用される雰囲気温度によつて敏感に変動するため、CCDセンサによる光量測定における誤差発生要因となる。」（２頁左上欄６行〜右上欄８行）
　　 
（１−ウ）　 
「  本発明は以上の点に鑑みなされたものであつて、各ホトエレメント間でバラツキがあり、また温度によつても変動する暗電流成分を、高精度で補正することができ、露光量に直接対応する出力成分のみを取出すことができ、またこれを安価に実施可能な固体センサの温度補正方法及びその装置を提供することを目的とする。」（２頁左下欄９行〜１５行）
　　 
（１−エ）　 
「  以上、詳説した如く、本発明によれば、CCDセンサの各検出ホトエレメントの出力から、各ホトエレメント間でバラツキがあり８℃の温度上昇で２倍になる等温度による変動がある暗電流成分を温度に対して極めて高精度で補正演算してこれを除外し、露光量に直接対応する成分のみを取出すことができ、且つ、これを極めて簡潔な計算プロセス及び装置で実施するから、本発明をMTF検査機のような光学的計測装置に適用した場合に、装置環境の温度変化があるとき又は使用開始時等の装置内部の温度が定常状態になる迄の過渡期においても、極めて高精度の光学的計測が可能である。」（６頁左下欄２行〜１４行）
（１−オ）　 
　図３には、ＣＣＤセンサからの出力に、Ａ／Ｄ変換された後で、暗電流成分を用いた補正をする構成が記載されている。
　　 
　そうすると、これらの記載と図面を総合すると、刊行物１には、次の発明が記載されていると認められる。　 
　　 
「　光量検出用の複数個の検出ホトエレメントを有する固体センサの温度補正方法において、
前記検出ホトエレメントの近傍に温度によつても変動する暗電流のみを実質的に出力する基準ホトエレメントを配設し、
非露光状態での検出ホトエレメント及び基準ホトエレメントの出力
並びに光量測定時の基準ホトエレメントの出力
に基づいて、光量測定時の検出ホトエレメントの暗電流成分を算出し、
その検出ホトエレメントの出力を前記暗電流成分により補正する
レンズの収差の検査のために使用する固体センサの温度補正方法。」（以下、「引用発明」という。）　 
　
　本願出願前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開２００１−２３０１９３号公報（以下、「刊行物２という。）には、「波面収差測定方法及び投影露光装置」について、図面とともに次の事項が記載されている。 　 
　
（２−ア）　 
「【請求項１】  第１の物体上に形成されたパターンを投影光学系を介して第２の物体上に結像させて露光する投影露光装置の投影光学系の波面測定方法において、
該投影光学系を介して該第１物体面上の特定パターンの光強度分布を測定する光強度検出手段と、該光強度検出手段により検出された光強度分布を用いて、投影光学系の波面収差を算出する波面収差演算手段と、
露光負荷、又は／及び環境変化などを測定してその値が一定値を超えた場合に投影光学系の波面収差を計測し、光学特性を制御する制御手段とを利用していることを特徴とする波面収差測定方法。」
　
（２−イ）　 
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マスク上のパターンを投影光学系を介して感光性の基板に転写する、半導体素子を製造する等のリソグラフィ工程で使用される投影光学系の波面収差測定方法及び投影露光装置に関するものである。」
　
（２−ウ）　 
「【０００１】
【発明の属する技術分野】・・・
【０００４】特に近年、半導体デバイスの一層の微細化要求により、投影レンズで転写できる結像性能限界のパターンを転写することが多くなってきた結果、転写するパターンは光学系の収差に対し、より敏感になっている。その為、投影レンズの結像性能を測定し、制御したいという要求が生じ、該測定、制御に対し、様々な方法が考案されている。
・・・
【０００７】一方、近年半導体素子製造用の投影露光装置では投影レンズの高ＮＡ化が求められており、最近の投影レンズにおいてはＮＡ０．６５以上、解像線幅０．１８μｍのスペックが望まれている。また、それに伴い焦点深度も０．５〜０．７μｍとかなり厳しくなり、フォーカス面の追従性は０．０５μｍ以下の精度が要求されている。
【０００８】このような状況の中、投影光学系の露光光吸収により微妙に変動する収差をも制御する必要性が生じてきており、前述した二つの公報にみられるような、フォーカスに重点を置いた計測ではなく、露光により変化する投影レンズの結像性能を測定したいという要求がでてきた。
【０００９】その為、フォーカスのみならず、他の諸収差（例：球面収差、アス、コマ、倍率、ディストーション等）の変動を計測・制御する必要性が生じており、この投影光学系の諸収差を制御する為の手段として、全ての収差情報を含む波面収差の計測が必要となってきている。」
　
（２−エ）　 
「【００３６】図１は本発明の実施形態１の投影露光装置の要部概略図である。同図において２は原板のレチクル（フォトマスク）で、該レチクル２上の回路パターンが投影光学系（縮小投影レンズ）１によって、保持手段であるＸＹＺステージ４上のウエハー３上に縮小されて結像し、露光が行われる。
・・・
【００４９】ここで、像面（ウエハ面）上の特定パターンの光強度分布を測定する光強度検出装置８としては、ＣＣＤカメラ等の撮像素子が適用でき・・・。」
　　 
３　当審の判断　 
（１）対比　 
　引用発明と補正発明とを対比すると、その構造・機能からみて、引用発明の「検出ホトエレメント」、「基準ホトエレメント」および「補正」は、それぞれ、補正発明の「第１のアレイ」、「第２のアレイ」および「調整」に相当することが明らかである。
　また、引用発明の「光量検出用の複数個の検出ホトエレメントを有する固体センサ」は、補正発明の「光感応性デバイス」に相当する。
　また、引用発明の「非露光状態での検出ホトエレメント及び基準ホトエレメントの出力」は、非露光状態での検出ホトエレメント及び基準ホトエレメントからの出力が暗電流であるから、補正発明の「光感応性デバイスの第１のアレイおよび第２のアレイから第１の暗電流」に相当するので、引用発明の「非露光状態での検出ホトエレメント及び基準ホトエレメントの出力並びに光量測定時の基準ホトエレメントの出力に基づいて、光量測定時の検出ホトエレメントの暗電流成分を算出し、その検出ホトエレメントの出力を前記暗電流成分により補正する」は、
補正発明の「（ａ）光感応性デバイスの第１のアレイおよび第２のアレイから第１の暗電流値を求め、
（ｂ）光エネルギを第１のアレイによって受信し、
（ｃ）受信した光エネルギに基づいて第１のアレイの各エレメントごとに光エネルギ値を求め、
（ｄ）光エネルギに不感の第２のアレイから前記ステップ（ｃ）とほぼ同時に第２の暗電流値を求め、
（ｅ）光エネルギ値を第１の暗電流値および第２の暗電流値の関数として調整し、」に相当する。
　また、引用発明の「レンズの収差の検査のために使用する固体センサの温度補正方法」と補正発明の「調整された光エネルギ値に基づいて制御信号を形成し、形成した制御信号を用いて光の波面収差を補正」する「方法」とは、引用発明が、補正した検出ホトエレメントの出力を用いているので、「調整された光エネルギ値に基づいてレンズの収差に関して使用する方法」である点で共通するといえる。
　そうすると、両者は、　 
（一致点）  
「（ａ）光感応性デバイスの第１のアレイおよび第２のアレイから第１の暗電流値を求め、
（ｂ）光エネルギを第１のアレイによって受信し、
（ｃ）受信した光エネルギに基づいて第１のアレイの各エレメントごとに光エネルギ値を求め、
（ｄ）光エネルギに不感の第２のアレイから前記ステップ（ｃ）とほぼ同時に第２の暗電流値を求め、
（ｅ）光エネルギ値を第１の暗電流値および第２の暗電流値の関数として調整し、調整された光エネルギ値に基づいてレンズの収差に関して使用する方法。」
である点で一致し、以下の点で相違するといえる。　 
　　 
（相違点１）　
　「調整された光エネルギ値に基づいてレンズの収差に関して使用する方法」について、補正発明では「調整された光エネルギ値に基づいて制御信号を形成し、形成した制御信号を用いて光の波面収差を補正」する［方法」であるのに対して、引用発明では「レンズの収差の検査のために使用する固体センサの温度補正方法」である点。　　 
　
（相違点２）
　第１の暗電流と第２の暗電流について、補正発明では「前記第１の暗電流値は、第１のアレイおよび第２のアレイにわたる暗電流の空間分布に相関し、前記第２の暗電流値は、リーク量、温度に基づく所定の時間での暗電流の変化分を基礎としている」のに対して、引用発明では「温度によっても変動する暗電流」である点。
　　　 
（２）相違点についての判断　 
　　まず、相違点１を検討するに、　 
　上記摘記事項（２−ウ）に「近年半導体素子製造用の投影露光装置では、・・・投影光学系の露光光吸収により微妙に変動する収差をも制御する必要性が生じてきており、・・・その為、フォーカスのみならず、他の諸収差（例：球面収差、アス、コマ、倍率、ディストーション等）の変動を計測・制御する必要性が生じており、この投影光学系の諸収差を制御する為の手段として、全ての収差情報を含む波面収差の計測が必要となってきている。」と記載されており、収差を制御するとは、収差を補正することであるから、刊行物２には、「調整された光エネルギ値に基づいて光の波面収差を測定し、波面収差を補正する」周知技術が記載されている。
　ここで、投影露光装置等において収差等の補正するために、制御信号を用いることは周知技術である。
　してみると、引用発明は、レンズの収差の検査のために使用する固体センサの温度補正方法であるので、同じレンズの収差の検査を行う、上記波面収差を補正する周知技術に適用することにより、相違点１における補正発明の構成とすることは、当業者が容易に想到し得る事項であるというべきである。　
　
　次に、相違点２を検討するに、 
　空間分布について本願明細書には「【００２８】  第１の暗電流値は第１のアレイおよび第２のアレイにわたる暗電流の空間分布に相関している。第２の暗電流値はリーク量、温度または他の要素に基づく所定の時間での暗電流の変化分を基礎としている。・・・」と記載されているのみであることと、引用発明も個々のエレメントごとに暗電流を有し、空間の分布を有するのであるから、「前記第１の暗電流値は、第１のアレイおよび第２のアレイにわたる暗電流の空間分布に相関し」は、引用発明も当然に有する構成であるといえる。
　また、「前記第２の暗電流値は、リーク量、温度に基づく所定の時間での暗電流の変化分を基礎としている」については、  温度については、引用発明は、温度補正方法であるから、当然に温度に基づく暗電流の変化分を基礎としており、リーク量については本願明細書には上記【００２８】の記載と「【０００２】・・・ 暗電流はサーマル効果やリーク効果で発生した電子の存在に起因する望ましくないセンサ信号（例えばノイズ）に関連する。」と記載しているのみであり、引用発明の暗電流との違いがないものといえる。
　したがって、相違点２は、実質的な相違点ではないというべきである。
　　 
　そして、本願明細書に記載された効果も、引用発明、刊行物２に記載された発明および周知技術から、当業者が予測し得る範囲のものであり、格別顕著なものといえない。　 
　　 
　したがって、補正発明は、引用発明、刊行物２に記載された発明および周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるというべきであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。　 
　　 
４　まとめ　 
　以上のとおりであるから、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により、却下すべきものである。　 
　　 
第３　本願発明について　 
１　本願発明　 
　本件補正は、上記のとおり却下されることとなるので、本願の請求項１ないし２８に係る発明は、平成１９年１月１７日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし２８に記載された事項により特定されたものであって、その請求項１に係る発明は、次のとおりであると認める。　 
　　 
「　　【請求項１】
（ａ）光感応性デバイスの第１のアレイおよび第２のアレイから第１の暗電流値を求め、
（ｂ）光エネルギを第１のアレイによって受信し、
（ｃ）受信した光エネルギに基づいて第１のアレイの各エレメントごとに光エネルギ値を求め、
（ｄ）光エネルギに不感の第２のアレイから前記ステップ（ｃ）とほぼ同時に第２の暗電流値を求め、
（ｅ）光エネルギ値を第１の暗電流値および第２の暗電流値の関数として調整し、
（ｆ）調整された光エネルギ値に基づいて制御信号を形成し、形成した制御信号を用いて光の波面収差を補正することを特徴とする方法。」（以下、「本願発明」という。）　 
　　 
２　引用刊行物およびその記載事項　 
　本願出願前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用した刊行物１、２およびその記載事項は、上記「第２　２」に記載したとおりである。　 
　　 
３　当審の判断　 
　本願発明は、補正発明において「前記第１の暗電流値は、第１のアレイおよび第２のアレイにわたる暗電流の空間分布に相関し、前記第２の暗電流値は、リーク量、温度に基づく所定の時間での暗電流の変化分を基礎としている」との第１の暗電流値と第２の暗電流値の限定を省いたものに相当する。　 
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、更に他の要件を付加したものに相当する補正発明が、上記「第２　３」において検討したとおり、引用発明、刊行物２に記載された発明および周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明、刊行物２に記載された発明および周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるというべきである。　 
　　 
第４　まとめ　 
　以上のとおり、本願発明は、引用発明、刊行物２に記載された発明および周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　 
　したがって、その他の請求項について言及するまでもなく、本願出願は拒絶されるべきものである。　 
　よって、結論のとおり審決する。