【事件の表示】
　平成１０年特許願第３４９４３５号「走査過程に及ぼす機械振動の騒乱効果を補償するラスタモード走査装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　９月２８日出願公開、特開平１１−２６４８３４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯・本願発明
　本願は、平成１０年１２月９日（パリ条約による優先権主張　平成９年１２月１０日　独国（ＤＥ））の特許出願（平成１０年特許願第３４９４３５号。以下「本件出願」という。）であって、平成１９年５月２３日付けで、同年４月２日付けの手続補正についての補正却下の決定がなされるとともに、同日付けで拒絶査定（発送日：同年６月４日）がなされたところ、拒絶査定不服審判が同年８月３１日に請求されるとともに、同年１０月１日付けで手続補正書が提出されたものであって、当審で、平成２１年５月１日付けで、平成１９年１０月１日付けの手続補正について補正却下の決定をするとともに、同日付けで拒絶の理由を通知したところ、請求人から意見書及び手続補正書が同年１１月９日に提出されたものである。
　本件出願の請求項１〜１０に係る発明は、平成２１年１１月９日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜１０に記載された事項により特定されるとおりのものであって、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものと認める。
　　　
【請求項１】「顕微鏡台（１）上の標本（７）について、ラスタモードによる走査を実行する走査顕微鏡であって、
　該標本（７）から所定の距離に配置される第１のセンサ（５）であって、該標本（７）から該第１のセンサ（５）への距離に依存する測定信号（Ｓ４）を感知する第１のセンサ（５）と、
　前記ラスタモードによる走査を実行する際に、該標本（７）を有する該顕微鏡台（１）と該第１のセンサ（５）とを互いに変位させて、該走査において、該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離を一定に保つ変位装置と、
　該変位装置には直接的には接続されない電子回路(６)であって、該電子回路(６)は該第１のセンサが感知した該測定信号（Ｓ４）を処理して、該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離に関する調整信号(Ｓ５)を発生させる電子回路(６)と、
　該走査の進行中に発生している該顕微鏡台（１）における機械的な振動であって、該顕微鏡台にほぼ平行な平面内での相対位置が変化する振動を感知して、振動指標信号（Ｓ１）を発生する第２のセンサ（２）と、
　該第２のセンサ（２）に接続され、該振動指標信号（Ｓ１）を処理してフィルター信号（Ｓ３）を得るフィルタ（３）と、
　該電子回路(６) と該フィルタ（３）とに接続され、該調節信号（Ｓ５）と該フィルタ信号（Ｓ３）とを加算することによって、該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離を一定に保つ該変位装置を制御するための最終調整信号（Ｓ６）を獲得する加算器とを備え、
　該変位装置は、前記ラスタモードによる走査を実行する際に、該フィルタ信号（Ｓ３）の設定によって該最終調整信号（Ｓ６）が一定となるように調整して、前記該顕微鏡
台
　　　　　　　　
　なお、請求項１の「前記該顕微鏡にほぼ平行な平面内で該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離を一定に保つ第１の機器を備える」の前文には、「該顕微鏡台にほぼ平行な平面内で」という記載はあるものの「該顕微鏡」という記載ないから、「前記該顕微鏡にほぼ平行な平面内で該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離を一定に保つ第１の機器を備える」は「前記該顕微鏡台にほぼ平行な平面内で該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離を一定に保つ第１の機器を備える」の誤記であるとして、上記のごとく請求項１に係る発明を認定した。（下線は当審が付加したものである。）
　　
第２　当審の拒絶理由 
　一方、当審において平成２１年５月１日付けで通知した拒絶の理由の概要は、本件出願の請求項１〜１０に係る発明は、本件出願の優先権主張の日より前に頒布された、特開平５−７９８１１号公報（以下、「引用刊行物Ａ」という。」）に記載された発明、特開平６−２７３４２８号公報（以下、「引用刊行物Ｂ」という。）に記載された発明、及び特表平４−５０４１８４号公報（以下、「引用刊行物Ｃ」という。）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることできたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。 
 　　　 
第３　引用刊行物記載の発明
（Ａ）本件出願の優先権主張の日前に頒布された上記引用刊行物Ａには次の事項が図面とともに記載されている。（なお、下線は当審で付与したものである。） 
（Ａ−１）「【特許請求の範囲】 
【請求項１】　走査型顕微鏡本体の任意点の外乱振動を検出する振動検出手段と、 
　検出された前記本体の振動情報から探針と試料の間の相対振動情報を推定する成形フィルタ回路と、 
　推定された前記相対振動情報と前記試料の観察情報を演算処理して、該観察情報から前記外乱振動の成分を除去する信号処理回路、 
とを有することを特徴とする走査型顕微鏡。」 
（Ａ−２）「【０００１】 
【産業上の利用分野】本発明は、走査型顕微鏡に関するものである。」 
（Ａ−３）「【０００２】 
【従来の技術】近年、試料表面に探針（プローブ）を近接させて走査し、前記探針と試料との間に作用する物理量（トンネル電流、原子間力、磁力等）を検出することにより前記試料表面の微細形状を観察する走査型顕微鏡の開発、改良が盛んに行われている。図２は、従来の前記走査型顕微鏡の構造を示す概略図である。 
走査型顕微鏡本体ベース部１は、精密除振装置１５上に設置されている。精密除振装置１５は、非常に弱いばね１６とダンパ１７により構成されている。 
走査型顕微鏡本体ベース部１上には試料台３が設置されており、その上に試料４が載置される。また、走査型顕微鏡本体ベース部１に設けられた走査型顕微鏡本体２は、試料台３に対向するように配置された探針５を有している。制御及び表示装置１２は、走査回路１０により走査型顕微鏡本体２を試料４の表面と略平行な面（ＸＹ平面）を移動させて、前記物理量が検出される位置まで探針５を試料台３に接近させる。そして、探針５から検出された前記物理量が設定された値に保たれるように検出及びサーボ回路１１を制御して、探針５を試料４に対して上下させながら走査することで、試料４表面の形状が得られる。」
（Ａ−４）「【０００３】 
【発明が解決しようとする課題】上記の如き走査型顕微鏡においては、試料表面の分解能が高いため、観察領域が１０μｍ角程度と非常に狭く、観察箇所の特定が困難であった。また、試料と探針との間隔は１０〜２０Å程度まで近づくため、振動等により探針と試料が接触して損傷する恐れがあった。さらに、探針に振動が伝達されると、走査型顕微鏡として原子レベルの分解能を達成することが困難であった。そのため、外乱によって生じる振動を除去するための精密除振装置が不可欠であった。また、設置環境によっては、前記精密除振装置で除去しきれない外乱振動成分が、試料表面の観察情報に混入して観察が困難になる等の問題が生じていた。本発明は、このような従来の問題点に鑑みて成されたもので、設置環境を選ばず、しかも高性能な精密除振装置を従来のように別個に用いることなく正確で緻密な試料表面観察を可能にすることを目的とする。」 
（Ａ−５）「【０００４】 
【問題点を解決するための手段】上記
問題点を解決するために、本発明では、走査型顕微鏡本体の任意点の外乱振動を検出する振動検出手段
前記本体の振動情報から探針と試料の間の相対振動情報を推定する成形フィルタ回路
推定された前記相対振動情報と前記試料の観察情報を演算処理して、該観察情報から前記外乱振動の成分を除去する信号処理回路、とで走査型顕微鏡を構成した
【０００５】 
【作用】本発明においては、顕微鏡本体構造の振動伝達特性を近似した成形フィルタ回路を用いることで、顕微鏡本体任意の点の振動情報から探針と試料間の相対振動変位情報を得ている。すなわち、機械的な除振によらず、電気信号処理によって、試料観察情報から外乱振動成分を除去する構成を取っている。そのため、従来の如き、高性能な精密除振装置の必要性や設置環境が限定されると言った不都合は解消される。 
【０００６】 
【実施例】図１は本発明の第一の実施例である。走査型顕微鏡本体ベース部１は、簡易な除振部材１４（ゴムパット等）上に設置されている。
顕微鏡本体べ−ス部１の上に試料台３が固着されておりその上に試料４が載置されている
べ−ス部１の上に振動検出器６を固着し、その信号を振動検出回路７、成形フィルタ回路８を通し、信号処理回路９に入力し、これら３つの回路が外乱振動除去部を形成する
次に信号処理回路９に走査回路１０、検出及びサ−ボ回路１１が接続され、プロ−ブである探針５の変位信号が入力される
【０００７】ここで、Ｓはラプラス演算子、ω０ は試料４と探針５の相対振動数、ξは減衰率である。上記特性を図示すると図３のようになる。　そこで、本体べ−ス部１の振動加速度を振動検出器（加速度センサ）６で検出し、その情報を振動検出回路７及び式（１）の伝達特性を近似する
成形フィルタ回路８を通すことにより
試料４と探針５間の相対振動変位を得ることができる。得られた相対振動変位信号を用いて信号処理回路９による演算処理を行なうことで試料観察情報から不要な外乱振動成分を電気的に除去することが可能となる
（Ａ−６）図１には、
制御及び表示装置１２が信号処理回路９と走査回路１０に接続された走査型顕微鏡が描かれている
 　　 
　上記引用刊行物Ａの（Ａ−１）〜（Ａ−６）の記載を参照すると、上記引用刊行物Ａには、 
「ベース部１上に固着された試料台３上に載置された試料４と
　探針５と、 
　検出及びサーボ回路１１と、 
　走査回路１０と、 
　ベース部１上に固着され、走査型顕微鏡本体の任意点の外乱振動を検出する振動検出器６と、 
　振動検出回路７と、 
　振動検出器または振動検出位置の相違に基づいて成形フィルタの特性を変えることできる成形フィルタ回路８と、 
　走査回路１０、検出及びサ−ボ回路１１が接続されることによりプローブである探針５からの変位信号が入力され、振動検出器６の信号が振動検出回路７、成形フィルタ回路８を通して入力される信号処理回路９と、 
　信号処理回路９と走査回路１０に接続された制御及び表示装置１２、 
　とを有し、
　成形フィルタ回路８からの相対振動変位信号を用いて信号処理回路９による演算処理を行なうことで試料観察情報から不要な外乱振動成分を電気的に除去する走査型顕微鏡。」 
　の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。 
 　　　　　　　　　　　　　 
（Ｂ）本件出願の優先権主張の日前に頒布された上記引用刊行物Ｂには、次の事項が図面とともに記載されている。 
（Ｂ−１）「【０００１】 
【産業上の利用分野】本発明は、走査型顕微鏡や表面電位計などの分野において利用される物理量定センサに関する。」 
（Ｂ−２）「【０００４】 
【発明が解決しようとする課題】上述したように、原子間力を検出する検出部は、第一の従来例では単結晶シリコンにより作成された片持ち梁３の変位をピエゾ抵抗４の抵抗変化として検出し、第二の従来例では片持ち梁７の変位を光テコ法により検出しているため、いずれも装置の小型化を達成することは可能である。しかし、このような検出方法では、外的な振動に弱いばかりでなく、暗振動（本来の原子間力以外の微弱な振動）の多い場合や、突発的な外乱による振動が測定結果のノイズとして誤検出されてしまうことになり、精密な測定を行うことができない。」 
（Ｂ−３）「【００１３】 
【実施例】請求項１記載の発明の一実施例を図１及び図２に基づいて説明する。まず、物理量測定センサの全体構成を図１に基づいて述べる。計測用振動センサ１７と補正用振動センサ１８とは同一の基板１９上に設けられ、しかも、互いに近接した位置に配設されている。この場合、前記計測用振動センサ１７は、基板１９上に取付けられた支持体２０と、この支持体２０上に固定された加振体２１と、この加振体２１に連設された振動センサ部２２とより構成されている。この振動センサ部２２は、梁としての片持ち梁２３と、この片持ち梁２３の先端部に形成された探針２４と、前記片持ち梁２３の表面に貼付けられた振動量検出素子としての検出素子２５とからなっている。この検出素子２５は計測用センサ出力回路２６に接続されている。そして、このような計測用振動センサ１７は基板１９の端部に配置されており、その片持ち梁２３の先端部の探針２４は測定物２７の表面に対向配置されている。前記検出素子２５としては、圧電素子や磁歪素子を用いたり、光テコ法などによる非接触型センサを用いることができる。 
【００１４】一方、前記補正用振動センサ１８も、上述したような計測用振動センサ１７と全く同一な構成とされており、この場合の片持ち梁２３は測定物２７から離れた基板１９の表面上に位置している。また、片持ち梁２３上に貼付けられた検出素子２５は、補正用センサ出力回路２８に接続されている。これにより、前記計測用振動センサ１７は前記測定物２７の表面と前記片持ち梁２３との間に作用する物理量を計測し、一方の補正用振動センサ１８は前記片持ち梁２３の周囲に作用する外的な振動を計測する。 
 ・・・ 
【００１６】そこで、このような計測用振動センサ１７の設けられた同一の基板１９上の近接した位置に補正用振動センサ１８を配設した場合、その補正用振動センサ１８の片持ち梁２３はほとんど外乱による暗振動のみを受け、この暗振動により検出素子２５に検出され補正用センサ出力回路２８によって出力される補正用センサ出力Ｂの波形は、図２（ｂ）に示すように、ノイズによる誤差出力の波形となる。従って、このようなことから、補正用センサ出力Ｂを補正用データとして用い、計測用センサ出力Ａからノイズ成分を除去することによって、図２（ｃ）に示すように、外乱の影響の除去されたセンサ出力を得ることができる。」 
（Ｂ−４）「【００１９】ここでは、請求項１記載の発明で述べたような物理量測定センサにおいて、図３に示すように、計測用振動センサ１７からの計測用センサ出力Ａと、補正用振-動センサ１８からの補正用センサ出力Ｂとの差分を検出する差分検出回路２９を設けたことに特徴がある。この場合、差分検出回路２９は、補正用センサ出力回路２８の後段に接続されたインバータ３０と、このインバータ３０及び計測用センサ出力回路２６の後段に接続された加算回路３１とからなっている。 
【００２０】このような構成において、差分検出回路２９の働きについて述べる。計測用センサ出力Ａは、図２（ａ）に示すように、原子間力に相当した計測出力と、外的な振動によって生じた誤差出力とが足し合わされた状態として出力される。この誤差分が最終的な結果となる表面電位や表面状態像の誤差となって現れる。一方、補正用センサ出力Ｂは、原子間力の作用がないため、図２（ｂ）に示すように、外的な振動によって生じる誤差分のみが検出される。そこで、補正用センサ出力Ｂをインバータ３０に通すことにより符号を反転し、さらにこの反転された補正用センサ出力Ｂを加算回路３１において計測用センサ出力Ａと足し合わすことにより、結果として計測用センサ出力Ａから補正用センサ出力Ｂが差し引かれた状態となり、これにより図２（ｃ）に示すように、暗振動によるノイズを除去した計測値のみのセンサ出力を得ることができる。」
　　　　　　　　　　　　　　　
Ｃ）本件出願の優先権主張の日前に頒布された上記引用刊行物Ｃには次の事項が図面とともに記載されている。 
（Ｃ−１）「発明の分野 
 　本発明は走査電子ビームを有する走査電子顕微鏡のような器具に間し、特にこのような器具によって提供される分解能を改良するシステムに関する。」（３頁右上欄４〜７行） 
（Ｃ−２）「
この電子レンズは台１８上で保たれる標本の表面上にビームの焦点を合わせる
（Ｃ−３）「第２図は、第１図の走査電子顕微鏡７上で振動の影響を除去するためにリアルタイムで動作するシステムを概して示す。特に、除去される振動は周波数が約２０〜３０ヘルツより大きく且つ数百ヘルツ以下である。第
２図のシステムは１つの方向、すなわちＸ方向の振動だけ除去することを示している。実際は、第２のシステムがＸ軸と並行しない他の方向（たとえばｙ方向）の振動を除去するために備えられる。更に、第３のシステムが垂直の、つまりＺ方向の振動を除去するために備えられる
（Ｃ−４）「第２図の振動除去システムにおいて、鋸歯状波発生器１９が加算増幅器２１と接続され、加算増幅器２１は偏向コイルＤ１、及びＤ２に、交互に、電圧を印加するように接続される。実際に、加算増幅器２１は従来の差動動作増幅器として通常に実施される。更に、第２図のシステムは相対変位センサ３５を備え、相対変位センサ３５は第１図に示されるように、通常、標本台１８と結合されるが、一方、顕微鏡７の本体と直接結合できる。相対変位センサ３５は電圧信号を与えるために可変ゲイン増幅器３９を介して加算増幅器２１と接続される。 
　ここで、第２図のシステムの動作を記述する。初めに、鋸歯状波発生器１９が時変電圧信号を与えるために動作し、時変電圧信号は電子ビームを予め決められた走引速度で、第１図のＳＥＭ（走査電子顕微鏡）７の電子源１３からＸ方向の走査横断標本台１８へ偏向させる。Ｘ軸方向の標本台１８の変位を引き起こす振動がないとき、偏向コイルＤ１及びＤ２に適用する走査電圧に影響を及ぼす変位センサ３５の電圧出力はない。しかし、振動が標本台１８を変位センサ３５の感度範囲内でＸ方向に動かすように起こると、変化センサは偏向コイルＤ１及びＤ２の通常電圧を変更する電圧出力信号を備える。更に、
振動が起こると、変位センサ３５からの電圧信号は
鋸歯状波発生器１９からの走査信号と加算されたり、減算される
 　　　　　　　　　　 
第４　本願発明と引用発明との対比・判断 
（４−１）対比 
（i）引用発明の「試料台３」、「試料４」、及び「走査型顕微鏡」がそれぞれ本願発明の「顕微鏡台（１）」「標本（７）」、「走査顕微鏡」に相当するから、引用発明の「走査型顕微鏡」と本願発明の「走査顕微鏡」とは「顕微鏡台上の標本について、走査を実行する走査顕微鏡」である点で共通するものである。 
（ii）引用発明の走査型顕微鏡は、上記引用刊行物Ａの摘記事項（Ａ−４）及び（Ａ−５）に記載されているように、摘記事項（Ａ−３）に記載された従来の技術の走査型顕微鏡に、外乱振動成分を除去するための振動検出器６、振動検出回路７、成形フィルタ回路、及び信号処理回路９を設けたものであり、さらに、上記摘記事項（Ａ−３）には「制御及び表示装置１２は、・・・物理量が検出される位置まで探針５を試料台３に接近させる。そして、探針５から検出された前記物理量が設定された値に保たれるように検出及びサーボ回路１１を制御して、探針５を試料４に対して上下させながら走査することで、試料４表面の形状が得られる。」ことが記載されていることから、引用発明の「探針５」は本願発明の「該標本（７）から該第１のセンサ（５）への距離に依存する測定信号（Ｓ４）を感知する第１のセンサ（５）」に相当し、本願発明の「センサ（５）」と同様に、「該標本（７）から所定の距離に配置される」「第１のセンサ（５）」である。
（iii）上記引用刊行物Ａの摘記事項（Ａ−３）には、「探針５から検出された前記物理量が設定された値に保たれるように検出及びサーボ回路１１を制御して、探針５を試料４に対して上下させながら走査する」ことが記載されているから、引用発明においても、「検出及びサーボ回路１１」の制御により、探針５を試料４に対して上下させながら走査する変位装置が存在することは明らかである。そして、探針５から検出された前記物理量が設定された値に保たれることは、探針５と試料の距離を一定に保つことを意味することから、引用発明の「走査型顕微鏡」は本願発明の「走査顕微鏡」と同様に「該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離を一定に保つ変位装置」を有することは明らかである。そして、引用発明の「変位装置」と本願発明の「変位装置」とは、「走査を実行する際に、該標本を有する該顕微鏡台と該第１のセンサとを互いに変位させて、該走査において、該標本と該第１のセンサとの間の前記距離を一定に保つ変位装置」である点で共通する。
（iv）上記引用刊行物Ａの摘記事項（Ａ−３）には、「制御及び表示装置１２は・・・物理量が検出される位置まで探針５を試料台３に接近させる。そして、探針５から検出された前記物理量が設定された値に保たれるように検出及びサーボ回路１１を制御して、探針５を試料４に対して上下させながら走査する」ことが記載されているところ、この「検出及びサーボ回路１１」の検出回路が、探針５からの物理量を検出していることは明らかであり、さらに、引用発明の制御及び表示装置１２が「検出及びサーボ回路１１」の検出回路の出力に応じて、「検出及びサーボ回路１１」のサーボ回路を制御して、探針５から検出される記物理量が設定された値に保たれるようにしていることから、引用発明の「検出及びサーボ回路１１」の検出回路の出力が、本願発明の「調節信号（Ｓ５）」に相当し、さらに、引用発明の「検出及びサーボ回路１１」の検出回路が本願発明の「電気回路（６）」に相当するとともに、本願発明の「電気回路（６）」と同様に「該電子回路(６)は該第１のセンサが感知した該測定信号（Ｓ４）を処理して、該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離に関する調整信号(Ｓ５)を発生させる電子回路(６)」である。 
　また、上記引用刊行物Ａの摘記事項（Ａ−５）には、「【０００４】・・・本発明では、走査型顕微鏡本体の任意点の外乱振動を検出する振動検出手段と、検出された前記本体の振動情報から探針と試料の間の相対振動情報を推定する成形フィルタ回路と、推定された前記相対振動情報と前記試料の観察情報を演算処理して、該観察情報から前記外乱振動の成分を除去する信号処理回路、とで走査型顕微鏡を構成した。・・・【０００６】・・・次に信号処理回路９に走査回路１０、検出及びサ−ボ回路１１が接続され、プロ−ブである探針５の変位信号が入力される。」ことが記載されており、さらに、上記のごとく、引用発明の制御及び表示装置１２が、「検出及びサーボ回路１１」の検出回路の出力に応じて「検出及びサーボ回路１１」のサーボ回路を制御して、探針５から検出される物理量が設定された値に保たれるようにしていることから、引用発明の「検出及びサーボ回路１１」の検出回路の出力は、成形フィルタ回路８の出力とともに信号処理回路９に入力され、信号処理回路９からの探針５の外乱振動の成分を除去した信号により、引用発明の制御及び表示装置１２が「検出及びサーボ回路１１」のサーボ回路を制御して、探針５から検出される記物理量が設定された値に保たれるようにしていることになり、引用発明の「検出及びサーボ回路１１」の検出回路は、本願発明の「電気回路（６）」と同様に「該変位装置には直接的には接続されない電子回路(６)」である。 
（v）引用発明の振動検出器６は、走査型顕微鏡本体の外乱振動を検出する振動検出器であり、振動検出器６の信号が振動検出回路７を介して成形フィルタ回路８に入力されるから、引用発明の「振動検出器６及び振動検出回路」が本願発明の「振動指標信号（Ｓ１）を発生する第２のセンサ（２）」に相当する。
　また、上記引用刊行物Ａの摘記事項（Ａ−３）には「【０００３】【発明が解決しようとする課題】・・・また、試料と探針との間隔は１０〜２０Å程度まで近づくため、振動等により探針と試料が接触して損傷する恐れがあった。さらに、探針に振動が伝達されると、走査型顕微鏡として原子レベルの分解能を達成することが困難であった。・・・設置環境によっては、前記精密除振装置で除去しきれない外乱振動成分が、試料表面の観察情報に混入して観察が困難になる等の問題が生じていた。本発明は、このような従来の問題点に鑑みて成されたもので、設置環境を選ばず、しかも高性能な精密除振装置を従来のように別個に用いることなく正確で緻密な試料表面観察を可能にすることを目的とする。」ことが記載されているから、引用発明の「振動検出器６及び振動検出回路」は、走査型顕微鏡が走査中に走査型顕微鏡に混入する振動を検出するものである。そうすると、引用発明の「振動検出器６及び振動検出回路」と本願発明の「振動指標信号（Ｓ１）を発生する第２のセンサ（２）」とは、「走査の進行中に発生している走査顕微鏡における機械的な振動」を感知する点で共通するものである。
　そして、上記引用刊行物Ａの摘記事項（Ａ−５）には「【０００７】・・・そこで、本体べ−ス部１の振動加速度を振動検出器（加速度センサ）６で検出し、その情報を振動検出回路７及び式（１）の伝達特性を近似する成形フィルタ回路８を通すことにより、試料４と探針５間の相対振動変位を得ることができる。」ことが記載されていることから、引用発明の「振動検出器６及び振動検出回路」と本願発明の「振動指標信号（Ｓ１）を発生する第２のセンサ（２）」とは、「標本とセンサの相対位置が変化する振動を感知」する点で共通する。
（vi）上記引用刊行物Ａの摘記事項（Ａ−５）には、「【０００７】・・・上記特性を図示すると図３のようになる。そこで、本体べ−ス部１の振動加速度を振動検出器（加速度センサ）６で検出し、その情報を振動検出回路７及び式（１）の伝達特性を近似する成形フィルタ回路８を通すことにより、試料４と探針５間の相対振動変位を得ることができる。」ことが記載され、引用発明の「成形フィルタ回路８」は、振動検出器６の信号の振動検出回路７を介した出力が入力されることから、本願発明の「該第２のセンサ（２）に接続され、該振動指標信号（Ｓ１）を処理してフィルター信号（Ｓ３）を得るフィルタ（３）」に相当する。
（vii）引用発明の「信号処理回路９」には、検出及びサ−ボ回路１１が接続されることによりプローブである探針５からの変位信号が入力され、振動検出器６の信号が振動検出回路７、成形フィルタ回路８を通して入力される信号処理回路であり、さらに、上記引用刊行物Ａの摘記事項（Ａ−５）には、「【０００７】・・・そこで、本体べ−ス部１の振動加速度を振動検出器（加速度センサ）６で検出し、その情報を振動検出回路７及び式・・・成形フィルタ回路８を通すことにより、試料４と探針５間の相対振動変位を得ることができる。得られた相対振動変位信号を用いて信号処理回路９による演算処理を行なうことで試料観察情報から不要な外乱振動成分を電気的に除去することが可能となる。」ことが記載されていることから、引用発明の「信号処理回路９」は、探針５の変位信号の検出及びサーボ回路１１を介した出力と振動検出器６の信号の振動検出回路７、成形フィルタ回路８を介した出力とを用いて演算処理を行って、試料観察情報から不要な外乱振動成分を電気的に除去していることは明かである。そして、上記（iv）、（v）で述べたように、引用発明の「検出及びサーボ回路１１」の検出回路、「成形フィルタ回路８」がそれぞれ本願発明の「電気回路（６）」、「フィルタ（３）」に相当することから、引用発明の「信号処理回路９」と本願発明の「加算器」とは、「電子回路(６) と該フィルタ（３）とに接続され、該調節信号（Ｓ５）と該フィルタ信号（Ｓ３）とを演算する演算回路」である点で共通するものである。 
　また、引用発明の走査型顕微鏡は、上記引用刊行物Ａの摘記事項（Ａ−３）に記載されているように、「探針５から検出された前記物理量が設定された値に保たれるように検出及びサーボ回路１１を制御して、探針５を試料４に対して上下させながら走査する」ものであり、さらに、引用発明の信号処理回路９は、上記（vii）で述べたように、探針５の変位信号の検出及びサーボ回路１１を介した出力と振動検出器６の信号の振動検出回路７、成形フィルタ回路８を介した出力とを用いて演算処理を行って、試料観察情報から不要な外乱振動成分を電気的に除去していることから、引用発明の信号処理回路９に接続された制御及び表示装置１２は、信号処理回路９の出力により、試料観察情報から不要な外乱振動成分を電気的に除去しながら、探針５から検出された前記物理量が設定された値に保たれるように検出及びサーボ回路１１を制御して、探針５を試料４に対して上下させながら走査していることは明らかである。 
　そうすると、引用発明の「信号処理回路９」と本願発明の「加算器」とは、「該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離を一定に保つ該変位装置を制御するための最終調整信号（Ｓ６）を獲得する演算回路」である点で共通するものである。
（viii）上記（iii）で検討したように、引用発明においても、「検出及びサーボ回路１１」の制御により、探針５を試料４に対して上下させながら走査する変位装置が存在することは明らかであり、この変位装置は、探針５と試料の距離を一定に保つことから、本願発明の「変位装置」と同様に「第１のセンサ（５）との間の前記距離を一定に保つ第１の機器を備える」ものである。
　さらに、引用発明の「成形フィルタ回路８」は、振動検出器または振動検出位置の相違に基づいて成形フィルタの特性を変えることできる成形フィルタ回路であるから、フィルタの特性が変わるように設定可能なことは明らかである。そして、この成形フィルタ８の特性を変えることにより、引用発明の変位装置が探針５と試料の距離を一定に保つことができることから、引用発明の「変位装置」と本願発明の「変位装置」とは、「該変位装置は、該フィルタ信号（Ｓ３）の設定によって該最終調整信号（Ｓ６）が一定となるように調整して、該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離を一定に保つ第１の機器を備える」点で共通する。
 　　　　　　　　　　　　 
　そうすると、本願発明と引用発明とは、 
「顕微鏡台上の標本について、走査を実行する走査顕微鏡であって、
　該標本から所定の距離に配置される第１のセンサ（５）であって、該標本から該第１のセンサへの距離に依存する測定信号（Ｓ４）を感知する第１のセンサと、
　走査を実行する際に、該標本を有する該顕微鏡台と該第１のセンサとを互いに変位させて、該走査において、該標本と該第１のセンサとの間の前記距離を一定に保つ変位装置と、
　該変位装置には直接的には接続されない電子回路であって、該電子回路は該第１のセンサが感知した該測定信号を処理して、該標本と該第１のセンサとの間の前記距離に関する調整信号を発生させる電子回路と、
　該走査の進行中に発生している機械的な振動であって、相対位置が変化する振動を感知して、振動指標信号を発生する第２のセンサと、
　該第２のセンサに接続され、該振動指標信号を処理してフィルター信号を得るフィルタと、
　該電子回路 と該フィルタとに接続され、該調節信号と該フィルタ信号とを演算することによって、該標本と該第１のセンサとの間の前記距離を一定に保つ該変位装置を制御するための最終調整信号を獲得する演算回路とを備え、
　該変位装置は、該フィルタ信号の設定によって該最終調整信号が一定となるように調整して、該標本と該第１のセンサとの間の前記距離を一定に保つ第１の機器を備える走査顕微鏡。」 
　である点で一致し、次の相違点（あ）〜相違点（え）で相違する。 
 　　　　　　　　 
・相違点（あ） 
　標本を走査する走査顕微鏡が、本願発明では「ラスタモード」で標本を走査する走査顕微鏡であるのに対して、引用発明ではどのようなモードで走査するか明確でない点。 
 　　　　　　　　　　 
・相違点（い） 
　第２のセンサが、本願発明では、「該顕微鏡台（１）における」機械的な振動であって、「該顕微鏡台にほぼ平行な平面内での」相対位置が変化する振動を感知するのに対して、引用発明では、ベース部１上に固着され、走査型顕微鏡本体の任意点の外乱振動を検出する振動検出器６である点。
　　　
・相違点（う）
　本願発明では、演算回路が、「加算器」であり、フィルタからの出力信号と電気回路からの調整信号とを「加算する」のに対して、引用発明では、演算回路が、「信号処理回路９」であり、探針５の変位信号の検出及びサーボ回路１１を介した出力と振動検出器６の信号の振動検出回路７、成形フィルタ回路８を介した出力とを用いて演算処理をする点。 
　　　　　
・相違点（え）
　該フィルタ信号（Ｓ３）の設定によって該最終調整信号（Ｓ６）が一定となるように調整して、該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離を一定に保つ第１の機器を備える変位装置が、本願発明では、「前記ラスタモードによる走査を実行する際に」、該フィルタ信号（Ｓ３）の設定によって該最終調整信号（Ｓ６）が一定となるように調整して、「前記該顕微鏡台にほぼ平行な平面内で」該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離を一定に保つ用にしているのに対して、引用発明では、振動検出器または振動検出位置の相違に基づいて成形フィルタの特性を変えることできる成形フィルタ回路８からの相対振動変位信号を用いて信号処理回路９による演算処理を行なうことで試料観察情報から不要な外乱振動成分を電気的に除去している点。
　　　 　　　　　　　　　　　 
（３ｂ−１）当審の判断 
　上記相違点（あ）〜相違点（え）について判断する。 
・相違点（あ）について 
　走査型顕微鏡において、試料を走査する際、ラスタ走査をすることは、例えば、特開平３−１２５０３号公報（４頁右上欄２〜７行）、特開平３−２３１１１０号公報（３頁右上欄４〜７行）に記載されているように、本件出願の優先権主張の日前に周知であることから、引用発明の走査型顕微鏡において、試料上に配置された探針５をラスタモードで走査することは当業者が容易になし得るものである。 
　　　
・相違点（い）について
（い−１）引用発明の振動検出器６はベース部１上に固着されており、試料４はベース上に固着された試料台３上に載置されているが走査型顕微鏡本体の外乱振動は、ベース部１にも試料台３にも、走査型顕微鏡本体に生じた外乱振動がともに加わっていることは明らかである。そして、引用発明の振動検出器６は、走査型顕微鏡本体の任意点の外乱振動を検出する振動検出器であり、さらに、上記引用刊行物Ａの摘記事項（Ａ−５）には、振動検出器６を走査型顕微鏡本体に取り付ける例も記載されており、さらに、試料を載せる試料台の外乱を検出することも、例えば、上記引用刊行物Ｃの摘記事項（Ｃ−４）、あるいは実願平３−９７４１６号（実開平５−４６０２９号）のＣＤ−ＲＯＭの段落【０００８】にそれぞれ記載されているように周知であることから、引用発明の振動検出器６を試料４が載置された試料台３上に設けることにより、第２のセンサが、本願発明のごとく、「該顕微鏡台（１）における」機械的な振動を感知することは当業者が必要に応じて適宜採用し得る選択的事項にすぎないものである。
（い−２）さらに、引用発明の走査型顕微鏡本体に加わる外乱振動が、試料４が載置されている試料台３に対して一方向の成分を有する外乱振動ではなく、３次元的な成分を有する外乱振動であることは、上記引用刊行物Ｃの摘記事項（Ｃ−４）に記載されているように技術常識であり、３次元的な成分のどの成分の外乱振動が走査型顕微鏡本体に加わっても、探針５から検出された前記物理量が設定された値に保たれるようにする際の不要な外乱振動成分となることは明らかであるから、引用発明の振動検出器６が、例えば、上記引用刊行物Ｃの摘記事項（Ｃ−４）に記載されているＸＹ平面の振動、すなわち、引用発明の試料台４にほぼ平行な面内での相対位置が変化する振動を感知するように構成することは当業者であれば容易になし得るものである。
　　　　　　　　
・相違点（う）について
　走査型顕微鏡において、振動検知器からの出力と探針からの出力とを加算回路で加算して、探針に含まれる外的振動を除去することは上記引用刊行物Ｂの摘記事項（Ｂ−４）の段落【００２０】に記載されており、引用発明の信号処理回路９も上記引用刊行物Ｂに記載された発明の加算回路も共に演算回路である点で共通するものであるから、引用発明において、外乱振動を除去するために、探針５の変位信号の検出及びサーボ回路１１を介した出力と振動検出器６の信号の振動検出回路７、成形フィルタ回路８を介した出力とを演算処理する際に、演算回路として信号処理回路９の代わりに加算回路を用いて、本願発明のごとく、演算回路が、「加算器」であり、フィルタからの出力信号と電気回路からの調整信号とを「加算する」ように構成することは当業者が容易になし得るものである。 
　　　　　　　　　　
・相違点（え）について
（え−１）試料を走査する際、ラスタモードで走査することは上記相違点（あ）で検討したとおりであり、さらに「前記該顕微鏡台にほぼ平行な平面内で」該標本（７）と該第１のセンサ（５）との間の前記距離を一定に保つようにすることは、上記相違点（い）の（い−２）で検討したとおりである。
（え−２）本件出願の明細書の発明の詳細な説明の段落【００１７】及び【００１８】には、それぞれ「本発明の一つの態様で、フィルタ３は調節自在に構成され、加算器４の出力はフィルタの制御入力に接続される。・・・フィルタは、・・・信号Ｓ６が機器の変位装置が活動しない時間にわたってほぼ一定となるように、調節される。」こと、及び「三つのディジタルフィルタのパラメータの自動的調節によって、変位装置が活動していない各時点で、信号Ｓ６は実質的に時間と共に変動しないことが保証される。」ことが記載されていることから、本願発明の「前記ラスタモードによる走査を実行する際に、該フィルタ信号（Ｓ３）の設定によって該最終調整信号（Ｓ６）が一定となるように調整」することは、走査顕微鏡で走査を実行していないときに、「該フィルタ信号（Ｓ３）の設定によって該最終調整信号（Ｓ６）が一定となるように調整」していることを意味することは明らかである。そして、引用発明の成形フィルタ回路８は振動検出器または振動検出位置の相違に基づいて成形フィルタの特性を変えることができる成形フィルタ回路であり、この成形フィルタ回路８の特性を変える作業は走査型顕微鏡で走査を実行していないときにすることが自明な事項であるから、引用発明の成形フィルタ回路８は、本願発明と同様に「走査を実行する際に」、該フィルタ信号（Ｓ３）の設定によって該最終調整信号（Ｓ６）が一定となるように調整するものである。
　また、仮に、本願発明の「前記ラスタモードによる走査を実行する際に、該フィルタ信号（Ｓ３）の設定によって該最終調整信号（Ｓ６）が一定となるように調整」することが、自動的にフィルタの調整量を設定することも意味したとしても、自動的にフィルタの調整量を設定することは、例えば、特開平６−７５２号公報の段落【００１８】、【００１９】及び図４に記載されているごとく周知であるから、フィルタを自動的に設定することは当業者が容易になし得るものである。
 　 
　そして、本願発明によってもたらされる効果は、引用発明、引用刊行物Ｂに記載された発明、及び周知の技術事項から予測される範囲内のものであって、格別のものではない。 
　したがって、本願発明は、引用発明、引用刊行物Ｂに記載された発明、及び周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。 
 　　　　　　 
第５　むすび
　以上のとおり、本願発明は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるので、本件出願は、その余の請求項に係る発明を検討するまでもなく、当審が通知した上記拒絶の理由によって拒絶をすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。