【手続補正書】
【提出日】平成24年5月8日(2012.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
光硬化性樹脂膜１８が十分に硬化した後に、光硬化性樹脂膜１８からモールド１６を剥離させる（図１（ｄ）：剥離工程）。モールド１６を剥離させる方法は、光硬化性樹脂膜１８のパターンに欠損が生じにくい方法であればよく、基板１０の縁部から徐々に剥離させる方法や、モールド１６の側から加圧しながら剥離させ、モールド１６が光硬化性樹脂膜１８から剥離する境界線上での光硬化性樹脂膜１８へかかる力を低減させて剥離する方法（加圧剥離法）などの方法を用いることができる。さらに、光硬化性樹脂膜１８の近傍を加温し、モールド１６と光硬化性樹脂膜１８との界面での光硬化性樹脂膜１８とモールド１６の表面との付着力を低減させ、かつ、光硬化性樹脂膜１８のヤング率を低下させて、かつ、脆性を良化させて変形による破断を抑制して剥離する方法（加熱アシスト剥離）を適用することも可能である。なお、上記の方法を適宜組み合わせた複合的手法を用いてもよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
なお、図２（ａ）〜（ｄ）では、凸部２０（２２，２４，２８）が直線状に形成又は配列された態様を示したが、これらは曲線状に形成（配置）されてもよいし、蛇行するように形成（配置）されてもよい。また、凸部２０（２２，２４，２８）の幅〈直径〉及び凹部２６の幅は１０ｎｍ〜５０ｎｍ程度であり、凸部２０，２２，２４，２８の高さ（凹部２６の深さ）は、１０ｎｍ〜１００ｎｍ程度である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
一方、図６（ｃ）に示すように、ｙ方向と直交するｘ方向（以下、「基板幅方向」、「主走査方向」ということもある。）の基板１０２の最大幅にわたって複数のノズルが一列に並べられた構造を有する長尺のフルラインヘッド１１０を適用してもよい。フルライン型のヘッド１１０を用いた液体吐出では、ヘッド１１０をｘ方向に移動させることなく、基板搬送方向について基板１０２とヘッド１１０を相対的に移動させる動作を１回行うだけで基板１０２上の所望位置に液滴を配置することができ、レジストの塗布速度の高速化を図ることができる。ここで、上述した「ｘ方向」は図２〜５における「Ｂ方向」に対応している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
図８は、複数のノズル１２０がグループごとに位置をずらして配置されたヘッド１１０（ノズル面１３１）の平面図である。同図に示すヘッド１１０は、第１のグループに属するノズル１２０Ａ、第２のグループに属するノズル１２０Ｂ、第３のグループに属するノズル１２０Ｃのそれぞれが、液室１２２の並び方向に沿って一列に配置され、一方、第１のグループに属するノズル１２０Ａ、第２のグループに属するノズル１２０Ｂ、第３のグループに属するノズル１２０Ｃは、液室１２２の並び方向と略直交する方向について位置をずらして配置されている。図８では、第１のグループに属するノズル１２０Ａ、第２のグループに属するノズル１２０Ｂ、第３のグループに属するノズル１２０Ｃをそれぞれ破線により囲んで図示している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
ここで、圧電素子１５３の圧電定数をｄ１５、印加される電界の電位差（電圧）をＶ、圧電素子１５３の高さをＨとすると、平均変位量δｖは、次式〔数３〕で表される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２１】
なお、シリアル型ヘッドが適用される態様では、ｙ方向について複数のノズル１２０が並べられたヘッド１１０をｘ方向に走査させるので、上記の説明におけるｘ方向とｙ方向を入れ換えて考えればよい。すなわち、ｙ方向のドットピッチをｙ方向の最小ノズルピッチ未満の範囲で変更することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５９】
レジスト組成物は、一種以上のフッ素を含む界面活性剤（含フッ素界面活性剤）と重合性化合物と、光重合開始剤Iとを少なくとも含有するインプリント用硬化性組成物である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６８】
また、次式〔数２〕で表される架橋密度が０．０１個／ｎｍ２以上１０個／ｎｍ２以下であることが好ましく、０．１個／ｎｍ２以上６個／ｎｍ２以下であることがより好ましく、０．５個／ｎｍ２以上５．０個／ｎｍ２以下であることがもっとも好ましいことを見出した。組成物の架橋密度は、各分子の架橋密度を求め、更に重量平均より求めるか、または組成物の硬化後密度を測定し、Ｍｗ、および（Ｎf−１）についてそれぞれの値を重量平均した値と次式〔数２〕より求める。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９４】
これらの中で特に、芳香族構造および／または脂環炭化水素構造を有する単官能（メタ）アクリレートがドライエッチング耐性を改善する観点から好ましい。具体例には、ベンジル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボロニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレートが好ましく、ベンジル（メタ）アクリレート、が特に好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０９】
（含フッ素界面活性剤）
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１０】
本例に示すインプリントシステムでは、含フッ素界面活性剤は、レジストパターンの一部となるため、良好なパターン形成性、硬化後のモールド離型性及びエッチング耐性の良好なレジスト特性を有するものであることが好ましい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１１】
含フッ素界面活性剤の含有量は、レジスト組成物中、例えば、０．００１質量％以上５質量％以下であり、好ましくは０．００２質量％以上４質量％以下であり、さらに好ましくは、０．００５質量％以上３質量％以下である。２種類以上の界面活性剤を用いる場合は、その合計量が前記範囲となる。界面活性剤が組成物中０．００１質量％以上５質量％以下の範囲にあると、塗布の均一性の効果が良好であり、界面活性剤の過多によるモールド転写特性の悪化や、インプリント後のエッチング工程におけるエッチング適性の劣化を招きにくい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２５１】
（その他成分）
既に述べたように、本例に示すインプリントシステムに適用されるレジスト組成物は、上述の重合性化合物、含フッ素界面活性剤、及び光重合開始剤Ｉの他に種々の目的に応じて、本発明の効果を損なわない範囲で、界面活性剤、酸化防止剤、溶剤、ポリマー成分等その他の成分を含んでいてもよい。以下にその他の成分について概要を説明する。
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２８４】
（発明７）：発明１乃至６のいずれかに記載の液体塗布装置において、前記基板の前記機能性を有する液体が着弾する面と平行な面内において、前記ヘッドを回転させるヘッド回転手段と、前記ヘッド回転手段により前記ヘッドを回転させて、前記相対移動手段の相対移動方向と略直交する方向における打滴密度を変更する打滴密度変更手段と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２９１】
発明９に係る打滴密度変更手段による打滴密度の変更を行う場合は、発明７に係る打滴
密度の変更を行うことが好ましい。
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３０９】
（発明１７）：基板上に機能性を有する液体を打滴する複数のノズル、及び少なくとも一部が圧電素子で構成された側壁によって区画され、前記複数のノズルのそれぞれに連通される複数の液室を具備し、前記圧電素子をせん断変形させて前記液室内の液体をノズルから打滴する液体吐出ヘッドと前記基板とを相対的に移動させ、所定の打滴周期で前記圧電素子を動作させて、前記液体を前記基板上に離散的に着弾させる液体塗布方法において、両隣のノズルが異なるグループに属するように前記複数のノズルが３つ以上のグループにグループ化され、同一のグループに属するノズルのみから同一タイミングにおける打滴を行い、前記液体を前記基板上に離散的に着弾させるように前記圧電素子の動作を制御することを特徴とする。
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３１１】
（発明１８）：基板上に機能性を有する液体を打滴する複数のノズル、及び少なくとも一部が圧電素子で構成された側壁によって区画され、前記複数のノズルのそれぞれに連通される複数の液室を具備し、前記圧電素子をせん断変形させて前記液室内の液体をノズルから打滴する液体吐出ヘッドと、前記基板と前記液体吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動手段と、両隣のノズルが異なるグループに属するように前記複数のノズルが３つ以上のグループにグループ化され、同一のグループに属するノズルのみから同一タイミングにおける打滴を行い、前記液体を前記基板上に離散的に着弾させるように前記圧電素子の動作を制御する打滴制御手段と、型に形成された凹凸パターンを転写する転写手段と、を備えたことを特徴とするナノインプリントシステム。
【手続補正４９】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１７】
基板上に機能性を有する液体を打滴する複数のノズル、及び少なくとも一部が圧電素子で構成された側壁によって区画され、前記複数のノズルのそれぞれに連通される複数の液室を具備し、前記圧電素子をせん断変形させて前記液室内の液体をノズルから打滴する液体吐出ヘッドと前記基板とを相対的に移動させ、所定の打滴周期で前記圧電素子を動作させて、前記液体を前記基板上に離散的に着弾させる液体塗布方法において、
両隣のノズルが異なるグループに属するように前記複数のノズルが３つ以上のグループにグループ化され、同一のグループに属するノズルのみから同一タイミングにおける打滴を行い、前記液体を前記基板上に離散的に着弾させるように前記圧電素子の動作を制御することを特徴とする液体塗布方法。
【手続補正５０】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１８】
基板上に機能性を有する液体を打滴する複数のノズル、及び少なくとも一部が圧電素子で構成された側壁によって区画され、前記複数のノズルのそれぞれに連通される複数の液室を具備し、前記圧電素子をせん断変形させて前記液室内の液体をノズルから打滴する液体吐出ヘッドと、
前記基板と前記液体吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動手段と、
両隣のノズルが異なるグループに属するように前記複数のノズルが３つ以上のグループにグループ化され、同一のグループに属するノズルのみから同一タイミングにおける打滴を行い、前記液体を前記基板上に離散的に着弾させるように前記圧電素子の動作を制御する打滴制御手段と、
型に形成された凹凸パターンを転写する転写手段と、
を備えたことを特徴とするナノインプリントシステム。