【事件の表示】
　特願２００１−１３８２００「薬液処理装置およびそれを用いたデバイスの製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年１１月２２日出願公開、特開２００２−３３４８６５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯 
　本願は、平成１３年５月９日に出願したものであって、原審において平成１７年４月２７日付で拒絶理由通知がなされ、これに対し、平成１７年７月５日付で意見書及び手続補正書が提出されたところ、平成１７年８月１６日付で拒絶査定がなされ、これに対し、平成１７年９月２２日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに同日付で手続補正書が提出されたものである。
　
II．平成１７年９月２２日付の手続補正についての補正却下の決定 
［補正却下の決定の結論］ 
　平成１７年９月２２日付の手続補正を却下する。
　
［理由］ 
１．補正後の本願発明 
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１〜１４のうち、請求項２は次のとおりに補正された。
「【請求項２】　薬液タンク内の薬液を薬液ポンプが介在された薬液配管を介して処理室内に供給し、使用後の薬液を前記薬液タンク内に回収して再使用する薬液循環系を含み、且つ、前記薬液中の一の液の濃度を光を透過する光透過部分を含む濃度検出手段で検出し、この検出濃度が設定濃度よりも低いとき前記薬液タンク内に少なくとも前記一の液を補給する薬液処理装置において、前記濃度検出手段の光透過部分は、前記薬液ポンプよりも後段側における前記薬液配管に一端部が接続されたサンプリング配管の他端部に接続されていて、前記サンプリング配管内に供給された前記薬液を前記薬液循環系外に排出するようになっていて、前記サンプリング配管の内径は前記薬液配管の内径よりも小さく、前記薬液ポンプを前記薬液循環系内に1つだけ具備することを特徴とする薬液処理装置。」
　
　そこで、上記補正を検討すると、補正後の請求項２は、補正前の請求項２の「サンプリング配管」について、「内径」を「薬液配管の内径よりも小さく」するという事項で限定するものに該当するから、上記補正は、特許法第１７条の２第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする補正に該当する。
　
　そして、上記補正については、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内である。
　
　次に、補正後の請求項２に係る発明（以下、「本願補正発明２」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるのかについて以下に検討する。
　
２．引用刊行物とその記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用した、本願の出願前に頒布された刊行物である特開平１０−２２２６１号公報（以下、「刊行物」という。）には、図面と共に次の事項が記載されている。 
　
（１）刊行物（特開平１０−２２２６１号公報）
（１ａ）「【０００１】【発明の属する技術分野】　本発明は、半導体製造工程や液晶基板製造工程においてレジストの剥離に用いられるレジスト剥離液の管理装置、詳しくは、レジスト剥離液の循環使用における連続自動補給機構、水分濃度調整機構、及びレジスト剥離で溶出したレジストの濃縮化に伴うレジスト剥離性能の劣化抑制のためのレジスト剥離液自動排出機構を併せて有する装置に関する。」
　
（１ｂ）「【００１４】【発明の実施の形態】　以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態を詳細に説明する。ただし、これらの実施の形態に記載されている構成機器の形状、その相対配置などは、とくに特定的な記載がない限りは、本発明の範囲をそれらのみに限定するものではなく、単なる説明例にすぎない。
　図１は、本発明の第１の実施の形態によるレジスト剥離液管理装置を示す系統図である。図中の参照番号１〜１３は従来の既設のレジスト剥離処理装置を構成する機器である。すなわち、この従来のレジスト剥離処理装置は、レジスト剥離液を貯留するレジスト剥離処理槽１、オーバーフロー槽２、液面レベル計３、レジスト剥離室フード４、レジスト剥離液スプレー７、レジスト剥離液スプレーへの送液ポンプ８、レジスト剥離液中の微細粒子等を除去するためのフィルター９、基板を配置してレジスト剥離しつつ移動するローラーコンベア５、基板６、及びレジスト剥離液の清浄化と撹拌のための循環ポンプ１１、微細粒子除去用フィルター１３、ならびにＮ2 ガス、純水等の配管類などからなっている。
【００１５】本発明に基づき、上記レジスト剥離処理装置に付設される機器は、吸光光度計１５、吸光光度計１６、液排出ポンプ１８、及びレジスト剥離原液供給缶１９、レジスト剥離原液供給用の流量調節弁２１、純水供給用の流量調節弁２２と、これら各機器を接続する配管類、電気計装類又は空気計装類などである。」
　
（１ｃ）「【００１８】また、レジスト剥離液スプレー用の管路１０にオンラインで設置した吸光光度計１５と吸光光度計１６（例えば、両器は一体構成）には、管路１４から試料液が導入されてそれぞれの吸光度が連続測定され、測定済み液は管路１７から管路１０に戻される。
　なお、吸光光度計１５と吸光光度計１６とを別体として設置することや測定用の循環ポンプを使用して試料液を吸光光度計１５と吸光光度計１６とに導入することも可能である。」
　
（１ｄ）「【００２２】次に図１に示す第１実施形態による装置の制御系統について説明する。
　液面レベル計３とレジスト剥離処理槽１の液面レベル、吸光光度計１５とレジスト剥離液の水分濃度、吸光光度計１６とレジスト剥離液の溶解レジスト濃度の３者は、本質的にはそれぞれ独立機能として作用するが、本発明においては、これらを相互の補完的な関連において機能させることを特徴としている。・・・」
　
（１ｅ）「【００２４】本発明者は、レジスト剥離液の水分濃度と吸光度との関係を実験により検討し、吸光度の測定波長は、近赤外線領域の９５０nmから１０１０nmの範囲が適切であり、９７６nm付近が感度が大きく特に良好であった。
　なお、測定波長は、近赤外線領域から選択され、剥離液とレジストの種類や濃度に応じて使い分けられる。
　図５に示す如く、測定波長λ＝９７６nmにおける吸光度とレジスト剥離液の水分濃度とは高度な直線関係にあり、吸光度を検出することにより水分濃度が正確に測定できることを確認した。
　管路１０にオンラインで設置された吸光光度計１５は、測定誤差を最小限とするための諸補償機能と吸光度制御器２５を備えている。管路１０から導入した試料液の吸光度測定値を、吸光度制御器２５に入力して、その値が目標値になるように、出力信号によりレジスト剥離原液及び純水の少なくとも一方を、流量調節弁２１、２２によりそれぞれ自動制御して、水分濃度を目標値に調整するまで補給する。」
　
（１ｆ）「【００２８】次にレジスト剥離処理が開始されると、水分濃度の下降、基板の持ち出しによる液の減量及び溶解レジスト濃縮が進行する。
　水分濃度下降の場合は、吸光光度計１５がレジスト剥離液の吸光度を連続測定して、吸光度制御器２５の出力信号により、純水が適正な微少流量において流量調節弁２２により弁開度を調節して送液され、目標値の水分濃度になるよう自動制御される。・・・」
　
（１ｇ）図１には、レジスト剥離室フード４とローラーコンベア５の間において、レジスト剥離液スプレー７から剥離液が基板６に供給されていること、管路１０が、レジスト剥離液を貯留するレジスト剥離処理槽１から始まり、送液ポンプ８の後段側において吸光光度計１５へ向かう管路１４と分岐した後、レジスト剥離室フード４とローラーコンベア５の間の剥離液スプレー７へ接続されていること、使用後のレジスト剥離液がレジスト剥離処理槽１内に回収されていること、及び管路１４については、一端部が送液ポンプ８よりも後段側の管路１０に、他端部が吸光光度計１５に接続されていることが、それぞれ示されている。
　
３．対比・判断
　刊行物には、上記摘記事項（１ｂ）、及び（１ｇ）から、「レジスト剥離室フード４」と「ローラーコンベア５」との間で基板を処理していることがわかるから、「レジスト剥離室フード４」と「ローラーコンベア５」とで挟まれた空間は、処理室であることがわかる。
　また、上記摘記事項（１ａ）、（１ｂ）、及び（１ｇ）から、レジスト剥離液が、レジスト剥離処理槽１から送液ポンプ８を介在して管路１０によって処理室へ供給され、使用後、レジスト剥離処理槽１内に回収されて、循環使用されているから、レジスト剥離処理槽１、送液ポンプ８、管路１０、処理室でもって、レジスト剥離液循環系を構成していることが理解でき、また、このレジスト剥離液循環系は、送液ポンプ８が１つだけ具備していることもわかる。
　また、吸光光度計１５は、上記摘記事項（１ｃ）、（１ｄ）、及び（１ｆ）から、レジスト剥離液の水分濃度を測定するものであることがわかる。
　そして、吸光光度計とは、光透過部分を通して試料に光を照射し、透過した光の量を測定するものであって、上記摘記事項（１ｃ）の「吸光光度計１５と吸光光度計１６（・・・）には管路１４から試料液が導入されてそれぞれの吸光度が連続測定され、」という記載、及び上記摘記事項（１ｇ）から、吸光光度計１５の光透過部分が、試料液が導入される管路１４の他端部に接続されているものと理解できる。
　よって、上記摘記事項（１ａ）〜（１ｇ）を総合すると、刊行物には、
「レジスト剥離処理槽１内のレジスト剥離液を送液ポンプ８が介在された管路１０を介して処理室内に供給し、使用後のレジスト剥離液を前記レジスト剥離処理槽１内に回収して循環使用するレジスト剥離液循環系を含み、且つ、前記レジスト剥離液中の水分濃度を吸光光度計１５で検出し、水分濃度下降の場合は、純水が適正な微少流量において流量調節弁２２により弁開度を調節して送液され、目標値の水分濃度になるようにするレジスト剥離液管理装置において、前記吸光光度計１５の光透過部分は、前記送液ポンプ８よりも後段側における前記管路１０に一端部が接続された管路１４の他端部に接続されていて、前記送液ポンプ８を前記レジスト剥離液循環系内に１つだけ具備するレジスト剥離液管理装置」の発明（以下、「刊行物発明」という。）が記載されていることになる。
　そこで、本願補正発明２と刊行物発明とを対比すると、刊行物発明の「レジスト剥離処理槽１」、「レジスト剥離液」、「送液ポンプ８」、「管路１０」、「水分」、「吸光光度計１５」、「レジスト剥離液管理装置」、及び「管路１４」は、本願補正発明２の「薬液タンク」、「薬液」、「薬液ポンプ」、「薬液配管」、「一の液」、「光を透過する光透過部分を含む濃度検出手段」、「薬液処理装置」、及び「サンプリング配管」にそれぞれ相当し、刊行物発明の「水分濃度下降の場合は、純水が適正な微少流量において流量調節弁２２により弁開度を調節して送液され、目標値の水分濃度になるようにする」ことは、本願補正発明２の「この検出濃度が設定濃度よりも低いとき前記薬液タンク内に少なくとも前記一の液を補給する」ことに相当し、また、刊行物発明の「レジスト剥離処理槽１」、「送液ポンプ８」、「管路１０」、処理室でもって「レジスト剥離液」を「循環使用するレジスト剥離液循環系」は、本願補正発明２の「薬液タンク」、「薬液ポンプ」、「薬液配管」、処理室でもって「薬液」を「再使用する薬液循環系」に外ならないから、両者は、
「薬液タンク内の薬液を薬液ポンプが介在された薬液配管を介して処理室内に供給し、使用後の薬液を前記薬液タンク内に回収して再使用する薬液循環系を含み、且つ、前記薬液中の一の液の濃度を光を透過する光透過部分を含む濃度検出手段で検出し、この検出濃度が設定濃度よりも低いとき前記薬液タンク内に少なくとも前記一の液を補給する薬液処理装置において、前記濃度検出手段の光透過部分は、前記薬液ポンプよりも後段側における前記薬液配管に一端部が接続されたサンプリング配管の他端部に接続されていて、前記薬液ポンプを前記薬液循環系内に１つだけ具備する薬液処理装置。」の点で一致し、次の点で相違する。
　
　相違点１：本願補正発明２では、サンプリング配管内に供給された薬液を薬液循環系外に排出するようになっているのに対し、刊行物発明では、そのようになっていない点。
　
　相違点２：本願補正発明２では、サンプリング配管の内径が前記薬液配管の内径よりも小さくなっているのに対し、刊行物発明では、この点が不明である点。
　
　そこで、上記相違点１、２について次に検討する。
　
相違点１について
　一般に、吸光光度計等の、光透過部分を含む濃度検出手段を用いた濃度検出技術において、濃度検出する場合等に、サンプリング配管内に供給された薬液を薬液循環系外に排出することは、例えば、次の特許公報に記載されているように周知のことである。
　
周知例１：特開昭６２−８０４０号公報
（「洗浄液２の一部は、・・・サンプリングされ、酸素濃度測定部６のフローセル７に送り込まれ、このフローセル内の酸素濃度は、・・・波長300nm付近の紫外線光源８と、その透過光を検出する紫外線検出器９とによって吸光測定される。」（第３頁左下欄第６〜１３行）、「また、排出口２２から排出される測定後の試料は、試薬を使用していないため、洗浄槽１に戻すこともできる。」（第３頁右下欄第１０〜１２行）、第６図参照。）
　
周知例２：特開昭６１−２８１５３２号公報
（第５図及び図面説明箇所参照。）
　
　また、薬液循環系の薬液ポンプの後段にサンプリング配管を設け、該サンプリング配管内に供給された薬液の濃度を測定した後、該薬液を薬液循環系外に排出することも、例えば次の特許公報に記載されているように周知のことである。
　
周知例３：特開平１１−２２４８７１号公報
（段落【００５０】、図１参照。）
　
周知例４：特開平７−４３２８９号公報
（段落【００１４】、【００１５】、【００２０】、【００２１】、図１、図２参照。）
　
周知例５：特開平９−２４６２２５号公報
（段落【００１１】、【００２７】、第２図参照。）　
　
　よって、刊行物発明において、上記周知技術の、サンプリング配管内に供給された薬液を薬液循環系外に排出する事項を採用することは、当業者ならば容易に想到し得ることである。
　
相違点２について
　一般に、半導体デバイス等の製造装置に用いられる薬液処理装置において、サンプリング配管の内径を主配管である薬液配管の内径よりも小さくすることは、例えば、次の特許公報に記載されているように通常行われていることであるから、刊行物発明のサンプリング配管においても、サンプリング配管の内径を薬液配管の内径よりも小さくすることに、格別な困難性を有しない。
　
周知例６：特開平５−１２１３９１号公報
（段落【００１８】、【００２２】、図１参照。）
　
周知例７：特開平７−１２８２０４号公報
（段落【０００７】、【００１３】、【００１４】、図３参照。主配管にオリフィスを設けたり、主配管の一部を細径に絞ることによって、上流側と下流側との間に流体差圧を発生させて、サンプリング管に流体を流していることから、サンプリング管の内径が主配管に比べ小さいといえる。）　
　
　そして、本願補正発明２による効果も刊行物の記載、及び上記周知技術から予測することができる程度のものであって格別顕著なものとは認められない。
　
　したがって、本願補正発明２は、刊行物に記載された発明、及び上記周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
４．むすび 
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。 
　
III．本願発明について 
１．本願発明２
　平成１７年９月２２日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜１４に係る発明は、平成１７年７月５日付手続補正書で補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜１４に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項２に係る発明（以下、「本願発明２」という。）は、次のとおりのものである。
　
「【請求項２】　薬液タンク内の薬液を薬液ポンプが介在された薬液配管を介して処理室内に供給し、使用後の薬液を前記薬液タンク内に回収して再使用する薬液循環系を含み、且つ、前記薬液中の一の液の濃度を光を透過する光透過部分を含む濃度検出手段で検出し、この検出濃度が設定濃度よりも低いとき前記薬液タンク内に少なくとも前記一の液を補給する薬液処理装置において、前記濃度検出手段の光透過部分は、前記薬液ポンプよりも後段側における前記薬液配管に一端部が接続されたサンプリング配管の他端部に接続されていて、前記サンプリング配管内に供給された前記薬液を前記薬液循環系外に排出するようになっていて、前記薬液ポンプを前記薬液循環系内に1つだけ具備することを特徴とする薬液処理装置。」
　
２．引用刊行物とその記載事項 
　原査定の拒絶の理由に引用した、本願の出願前に頒布された刊行物、及びその記載事項は、上記「II．２．引用刊行物とその記載事項」欄に記載されたとおりである。 
　
３．対比・判断
　本願発明２は、前記「II．平成１７年９月２２日付の手続補正についての補正却下の決定」で検討した本願補正発明２から「サンプリング配管の内径は薬液配管の内径よりも小さく」するという構成を省いたものである。 
　そうすると、本願発明２の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明２が、前記「II．３．対比・判断」に記載したとおり、刊行物、及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明２も、同様の理由により、刊行物、及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明２は、刊行物に記載された発明、及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができた発明であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。