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　平成　９年特許願第　１１７２４号「インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　８月　４日出願公開、特開平１０−２０２８７４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成９年１月２４日の出願であって、平成１６年２月２７日付けで拒絶の査定がされたため、これを不服として同年４月１日付けで本件審判請求がされるとともに、同年５月６日付けで明細書についての手続補正（以下「本件補正」という。）がされたものである。
　
第２　補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　平成１６年５月６日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
１．補正内容及び補正目的についての判断
　本件補正は特許請求の範囲を補正するものであり、補正前及び補正後の各請求項の記載は以下のとおりである。
　
（補正前請求項１）インク圧力室を形成するインクジェット基台上に、前記インク圧力室のインクを加圧する振動板と、圧電体薄膜と、及びこの圧電体薄膜に対する電極を形成するインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、基板上に分離層を介して前記振動板と、前記圧電体薄膜と、及び前記電極を形成する工程と、前記基板と前記インクジェット基台とを接着させる工程と、前記分離層に照射光を照射してこの分離層において前記基板を前記振動板と、圧電体薄膜と、及び電極から分離し、これらの振動板等と前記インクジェット基台とを接合させる工程と、を備えるインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
（補正前請求項２）前記インクジェット基台が、感光性ガラスによって形成する方法、光硬化樹脂によって形成する方法、電鋳によって形成する方法、スタンパを利用して形成する方法のいずれかによって形成される請求項１記載の方法。
（補正前請求項３）前記各工程を経ることによって製造されたインクジェットプリンタヘッド。
（補正前請求項４）前記インクジェット基台にインク吐出用ノズルが一体に形成されている請求項３記載のインクジェットプリンタヘッド。
（補正前請求項５）前記インク圧力室の高さ方向の幅が、１０μｍ乃至５０μｍの範囲である請求項３又は４記載のインクジェットプリンタヘッド。
（補正前請求項６）前記基板が石英ガラスである請求項１記載の方法。
　
（補正後請求項１）インク圧力室を形成するインクジェット基台上に、前記インク圧力室のインクを加圧する振動板と、圧電体薄膜と、及び前記圧電体薄膜に対する電極を形成するインクジェットプリンタヘッドの製造方法であって、
　基板上に分離層を介して前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極を形成する工程と、
　前記基板と前記インクジェット基台とを接着させる工程と、
　前記分離層に照射光を照射して前記分離層において前記基板を前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極から分離し、前記基板を前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極と前記インクジェット基台とを接合させる工程と、
を備え、
　前記分離層は、前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極を形成する際のプロセス温度に対して耐性を有することを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
（補正後請求項２）前記インクジェット基台が、感光性ガラスによって形成する方法、光硬化樹脂によって形成する方法、電鋳によって形成する方法、スタンパを利用して形成する方法のいずれかによって形成される請求項１記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
（補正後請求項３）前記各工程を経ることによって製造されたインクジェットプリンタヘッド。
（補正後請求項４）前記インクジェット基台にインク吐出用ノズルが一体に形成されている請求項３記載のインクジェットプリンタヘッド。
（補正後請求項５）前記インク圧力室の高さ方向の幅が、１０μｍ乃至５０μｍの範囲である請求項３又は４記載のインクジェットプリンタヘッド。
（補正後請求項６）前記基板が石英ガラスである請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
（補正後請求項７）前記分離層が非晶質シリコンである請求項１または請求項６に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
　
　本件補正は、補正前の請求項１、２及び６を補正して補正後の請求項１、２及び６とし、新たな請求項７を追加したものである。
　請求項１についての補正は、補正前請求項１で「これらの振動板等と」と記載されていたものを、補正後請求項１で「前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極と」と補正し、補正後請求項１に「分離層」が「前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極を形成する際のプロセス温度に対して耐性を有する」点を補正により追加したものなので、この補正は、特許法第１７条の２第４項第２号に規定された、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当するものと認められる。（なお、補正後請求項１の「前記基板を前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極と前記インクジェット基台とを接合させる工程と」との記載の「前記基板を」は、文意からして、不要な記載で、明らかに誤記である。）
　しかしながら、補正後請求項７は、補正前の各請求項に記載された「分離層」についての限定事項を記載した新たな請求項として追加されたことが明らかであって、このような補正は、特許請求の範囲の減縮を目的としたものとはいえず、また、請求項の削除、誤記の訂正、明りょうでない記載の釈明（拒絶理由通知に係る拒絶の理由に示す事項についてするものに限る。）のいずれを目的とするものでもない。
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第４項の規定に違反するものであり、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
　なお、本件補正についての判断は上記のとおりであるが、補正後請求項１のみに着目すれば、その補正は、特許法第１７条の２第４項第２号に規定された、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当するものと認められるので、補正後請求項１に記載された発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定を満たすか）について以下で一応検討する。
　
２．補正後請求項１に記載された発明の独立特許要件の判断
　
Ａ．補正後請求項１に記載された発明の認定
　上記「１．補正内容及び補正目的についての判断」で記載したように、補正後請求項１には、補正により文意が明らかでないものとなっている記載があるので、それを明らかな誤記として削除し、補正後請求項１に係る発明を以下のように認定する。
　
「インク圧力室を形成するインクジェット基台上に、前記インク圧力室のインクを加圧する振動板と、圧電体薄膜と、及び前記圧電体薄膜に対する電極を形成するインクジェットプリンタヘッドの製造方法であって、
　基板上に分離層を介して前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極を形成する工程と、
　前記基板と前記インクジェット基台とを接着させる工程と、
　前記分離層に照射光を照射して前記分離層において前記基板を前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極から分離し、前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極と前記インクジェット基台とを接合させる工程と、
を備え、
　前記分離層は、前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極を形成する際のプロセス温度に対して耐性を有することを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。」（以下、「本願補正発明」という。）
　
Ｂ．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用され、平成６年６月３日に頒布された特開平６−１５５７３１号公報（以下、「引用例１」という。）には、以下の記載が図示とともにある。
　
（ア）「接着剤（６ｂ）が添加された樹脂（６ａ）を圧電素子（７）の表面にコーティングすることによって形成された振動板（６）と、
　内部のインク液に吐出圧を与えるための圧力室（２）がインク供給路（３）に連通して形成されて、上記振動板（６）の上記圧電素子（７）と反対側の面に接合されたインク流路部材（１）とを有することを特徴とするインクジェットヘッド。」（【請求項１】）
　
（イ）「次に、上記インクジェットヘッドの製造工程を、図３ないし図６を参照して説明する。ここでは、まず製造用の治具として用いるガラス板１３の表面に、ガラス板１３を例えば８０℃に加熱しながら、ワックス１１を厚さ５μｍになるようにワイヤバー等で塗布する。」（段落【００１４】）
　
（ウ）「ワックス１１は、有機溶剤に溶け易くて常温では固体であり、加熱によって液体になるものを、ごみを含まないようにフィルタリングしてから用いる。そして図３に示されるように、そのワックス１１上に、複数の圧電素子７を各々所定の位置に位置合わせをしながら貼り付け、次いで図４に示されるように、各圧電素子７間の隙間に、圧電素子７と表面がそろうようにワックス１２を充填する。」（段落【００１５】）
　
（エ）「次いで図５に示されるように、例えば紫外線硬化型の樹脂６ａと紫外線硬化型の接着剤６ｂとを例えば２対１で混合してさらに銀粉末を２０重量％添加して充分に分散させたものを、平面になっている圧電素子７とワックス（又はシリコン樹脂）１２の表面に、厚さ５０μｍになるように例えばワイヤバーでコーティングする。紫外線硬化型の樹脂６ａとしては、例えばトリシクロデカンジメタノールジアクリレート樹脂などを用いることができる。」（段落【００１７】）
　
（オ）「次いで、コーティング部分に紫外線を照射すると、コーティング部分が硬化して、これが振動板６となる。同時に、混合されていた接着剤６ｂによって、各圧電素子７が振動板６にしっかりと接合される。」（段落【００１８】）
　
（カ）「次いで、図６に示されるように、振動板６の表面にインク流路部材１を接着剤を用いて接合する。振動板６のこちら側の面では、接着剤の厚さが多少ばらついたとしても、インク滴の吐出特性などに大きな影響は及ぼさない。」（段落【００１９】）
　
（キ）「そして最後に、ガラス板１３を加熱してワックスを溶かし、圧電素子７からガラス板１３を剥離し、各圧電素子７の表面に電極を取り付けて（図示せず）、インクジェットヘッドができあがる。」（段落【００２０】）
　
（ク）「なお、振動板６中に銀粉末が添加されているので、振動板６自体を共通電極として利用することができる。ただし、振動板６に銀粉末等を添加せずに、圧電素子７の表面にアルミニウム被膜を真空蒸着などによって形成して電極としてもよい。」（段落【００２１】）
　
　上記（ア）〜（ク）の記載等を勘案すると、引用例１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　
「接着剤が添加された樹脂を圧電素子の表面にコーティングすることによって形成された振動板と、圧電素子の表面に取り付けられた電極と、内部のインク液に吐出圧を与えるための圧力室がインク供給路に連通して形成されて、上記振動板の圧電素子と反対側の面に接合されたインク流路部材とを有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
　製造用の治具として用いるガラス板の表面に、常温では固体であり、加熱によって液体になるワックス１１を塗布し、そのワックス１１上に複数の圧電素子を各々所定の位置に位置合わせしながら取り付け、各圧電素子間の隙間に、圧電素子と表面がそろうようにワックス１２を充填し、紫外線硬化型の樹脂と紫外線硬化型の接着剤とを混合したものを平面になっている圧電素子とワックス１２の表面にコーティングし、コーティング部分に紫外線を照射して硬化させて振動板となし、
　振動板の表面にインク流路部材を接着剤を用いて接合し、
　ガラス板を加熱してワックス１１を溶かし、圧電素子からガラス板を剥離し、
　各圧電素子の表面に電極を取り付けてなる、インクジェットヘッドの製造方法。」
　
Ｃ．対比
　本願補正発明と引用発明とを対比すると、
　引用発明の「圧電素子」、「振動板」、「圧力室」、「電極」が、本願補正発明の「圧電体薄膜」、「振動板」、「インク圧力室」、「圧電体薄膜に対する電極」にそれぞれ相当することは明らかである。
　また、引用発明の「インク流路部材」は、圧力室が形成されて、振動板と接合されるものなので、、本願補正発明の「インク圧力室を形成するインクジェット基台」に相当する。
　さらに、引用発明の「製造用の治具として用いるガラス板」は、その上にワックス１１を介して圧電素子、振動板を形成し、振動板をインク流路部材に接合した後に剥離されるものであることから、本願補正発明の「基板」に相当する。
　また、引用発明の「ワックス１１」は、ガラス板上に圧電素子及び振動板を形成する際に、間に介装されるものであり、振動板をインク流路部材に接合した後、ガラス板は、前記「ワックス１１」を加熱して溶かすことにより、圧電素子及び振動板から分離されるのだから、この「ワックス１１」と本願補正発明の「分離層」とは、「分離機能を有する層」である点で一致している。
　
　したがって、本願補正発明と引用発明とは、以下の一致点及び相違点を有する。
　
＜一致点＞「インク圧力室を形成するインクジェット基台上に、前記インク圧力室のインクを加圧する振動板と、圧電体薄膜と、及び前記圧電体薄膜に対する電極を形成するインクジェットプリンタヘッドの製造方法であって、
　基板上に分離機能を有する層を介して前記振動板、前記圧電体膜を形成する工程と、
　前記基板と前記インクジェット基台とを接着させる工程と、
　前記分離機能を有する層において前記基板を前記振動板、前記圧電体薄膜から分離し、前記振動板、前記圧電体薄膜とインクジェット基台とを接合させる工程と、
を備えたインクジェットプリンタヘッドの製造方法。」
　
＜相違点１＞本願補正発明では分離層に照射光を照射して、分離層において基板を分離しているのに対して、引用発明では、加熱して、ワックス１１においてガラス板を分離する点。
　
＜相違点２＞「分離機能を有する層」として、本願補正発明の「分離層」は「前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極を形成する際のプロセス温度に対して耐性を有する」ものであるのに対して、引用発明の「ワックス１１」は、そのように特定されていない点。
　
＜相違点３＞本願補正発明では、基板上に振動板、圧電体薄膜とともに電極を形成するのに対して、引用発明では、ガラス板と圧電素子を剥離した後に、電極を圧電素子の表面に取り付けている点。
　
Ｄ．判断
＜相違点１＞について
　本願補正発明の「分離層」及び分離層に照射光を照射して分離する点に関して、本願明細書には、以下のように記載されている。
「分離層の説明
　分離層は基板側から入射された照射光を吸収してその層内および／または界面において剥離（以下、「層内剥離」、「界面剥離」と云う。）を生じるような性質を有するものであり、好ましくは、照射光の照射により、分離層を構成する物質の原子間または分子間の結合力が消失または減少すること、現実的には、アブレーション等を生ぜしめることにより層内剥離および／または界面剥離に至るものである。」（段落【００２１】）
「分離層の層内剥離および／または界面剥離が生じる原理は、分離層の構成材料にアブレーションが生じること、また、分離層内に内蔵しているガスの放出、さらには照射直後に生じる溶融、蒸散等の相変化によるものであることが推定される。」（段落【００５２】）
「ここで、アブレーションとは、照射光を吸収した固体材料（分離層の構成材料）が光化学的または熱的に励起され、その表面や内部の原子または分子の結合が切断されて放出することを言い、主に、分離層の構成材料の全部または一部が溶融、蒸散（気化）等の相変化を生じる現象として現れる。また、前記相変化によって微小な発泡状態となり、結合力が低下することもある。」（段落【００５３】）
　本願補正発明では「分離層に照射光を照射して前記分離層において前記基板を前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極から分離」する際に、照射光によりどのようにして分離するのか何ら特定されていないけれども、上記各段落の記載のように、照射光の照射によって生じる物性変化には様々なものが想定される以上、本願補正発明の分離層においての分離方法には、
（１）照射光を照射して、分離層を加熱し、溶融など分離層の熱による物性変化を専ら利用して分離する方法。
（２）照射光の照射した際に、分離層を主として加熱するのではなく、分離層の熱的物性変化以外の物性変化（例えば、光化学的な性質の変化）を専ら利用して分離する方法。
の両方を含んでいるものと解し得る。
　よって、以下に、上記各分離方法に分けて相違点１を検討する。
分離方法（１）の場合
　この場合、相違点１は、引用発明は、ワックス１１に対する熱供給源として照射光を用いるか否か定かでない点となる。
　本願出願時において、熱供給源として照射光を用いることは、ヒータとしてのハロゲンランプなど、多くの技術分野において、普通に行われている常套手段にすぎない。
　ここで、本願補正発明では、「前記分離層に照射光を照射して」と記載していることから、基板と振動板等との間に介装された分離層に対して、照射光を基板を通して直接照射しているとも解せ、その場合、記載はないものの基板が透明または半透明であることを予定しているとも考えられるが、引用発明のガラス板も、透明または半透明なものを普通に想定でき、ガラス板を透明または半透明としてワックス１１にガラス板を通して照射光を直接照射するようにすることは、当業者にとって容易に想到し得る程度の設計事項にすぎない。
分離方法（２）の場合
　本願出願前において、治具基板を用いて製造した部材を他部材に積層して一体化した構造物を製造する方法として、一体化した後に、紫外線を照射して治具基板を分離する技術は、周知の技術であり、例えば、特開平８−８５２１４号公報、特開平８−２８１９５４号公報、特開平７−１７００７２号公報を提示できる。
　上記特開平７−１７００７２号公報に「石英ガラス基板１１１との界面に位置するポリイミド絶縁層１２１のうち、紫外線が照射された部分では、光化学反応が生じる。この光化学反応によって、石英ガラス基板１１１とポリイミド絶縁層１２１とが剥離される。」（段落【００３３】参照）と記載されているように、紫外線照射による分離（剥離）は、当該分離方法（２）に該当するものである。
　したがって、本願補正発明の光照射による分離が、上記分離方法（２）の場合であるとしても、当該分離方法（２）は、上記したように周知技術であって、引用発明の加熱による分離に代えて、周知技術である分離方法（２）を採用することは、当業者が容易になし得ることである。そして、その分離方法（２）を採用することによる作用効果も、当業者が予測し得る程度のことにすぎない。
　よって、相違点１に係る本願補正発明の発明特定事項は、いずれにしても、引用例１に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に想到し得たことである。
　
＜相違点２＞について
　本願明細書に「振動板、ＰＺＴ薄膜（圧電体薄膜）、圧電体薄膜に対する電極の各層（以下、これらを纏めて「被転写層」ということがある。）を形成する際に、その種類や形成方法によってはプロセス温度が高くなる（例えば４００〜９００℃程度）ことがある。その場合でも、基板が耐熱性に優れていれば、基板上への振動板等の形成に際し、その温度条件等の成膜条件の設定の幅が広がるからである。」（段落【００１７】）と記載されているように、本願補正発明の「プロセス温度」とは、振動板、圧電体薄膜、電極を基板上で形成する際の形成温度のことであると解せる。
　引用発明の「分離機能を有する層」は、ワックスであるので、上記本願明細書に記載されたプロセス温度の具体例である４００〜９００℃程度の温度に耐性を有しているとは想定しにくいが、本願補正発明では、振動板、圧電体薄膜、電極を基板上で形成する際にどのようなプロセス温度で形成するのか特定されておらず、また、分離層がどのような材料で形成されているかについても特定されていないため、相違点２に係る本願補正発明の発明特定事項は、分離層の温度特性（温度に対する耐性）とプロセス温度との相対的な関係を規定したにすぎない。
　引用発明において、ガラス板上で圧電素子と振動板を形成し、インク流路部材に接合してから、ガラス板を分離するためには、ガラス板上に塗布されたワックス１１は、圧電素子と振動板を形成する過程で、溶融して圧電素子及び振動板を不用意に脱落させないような温度特性（プロセス温度に対する耐性）を有するものでなければならないのは当然のことである。
　もし、プロセス温度として、通常のワックスでは溶融してしまうような温度が必要ならば、たとえ、引用例１においてワックスしか記載されていなくても、そのワックスに代えて、必要なプロセス温度に耐性を有し、後で分離も可能な材料を「分離機能を有する層」として採用することは引用発明の製造方法を用いる上では当然のことであって、当業者にとって格別想到困難な事項ではない。
　よって、相違点２に係る本願補正発明の発明特定事項は、引用発明においても当然の事項を単に明記したにすぎず、引用例１に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得たことである。
　
＜相違点３＞について
　引用例１の上記（ク）には、振動板自体を共通電極として利用することが記載されており、その場合、電極は、ガラス板上で形成されることになり、相違点３に係る本願補正発明の発明特定事項は、引用例１に記載された事項とも解せる。
　たとえ、上記のように振動板を電極として利用せず別部材として形成する場合でも、電極を、どの段階で形成するかは、当業者が適宜に変更し得る設計事項であり、引用発明において、ガラス板上で圧電素子及び振動板とともに、電極を形成することに格別の困難性があるとは認められない。
　よって、相違点３に係る本願補正発明の発明特定事項は、引用例１に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得たことである。
　
　したがって、本願補正発明は、引用例１に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
［補正の却下の決定のむすび］
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第４項の規定に違反するものであり、仮にそうでないとしても、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるので、いずれにしても、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
第３　本件審判請求についての判断
　
１．本願発明の認定
　本件補正が却下されたから、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、願書に最初に添付された明細書の特許請求の範囲請求項１に記載された事項によって特定されるものと認めることができ、当該請求項１の記載は上記「第２［理由］１．補正内容及び補正目的についての判断」で（補正前請求項１）として記載したとおりである。
　
２．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例１及びその記載事項は、上記「第２［理由］２．Ｂ．引用例」に記載したとおりである。
　
３．対比、判断
　本願発明は、上記「第２［理由］１．補正内容及び補正目的についての判断」で検討した本願補正発明で、「これらの振動板等と」を「前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極と」と限定した点を省き、本願補正発明の「分離層は、前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極を形成する際のプロセス温度に対して耐性を有する」と限定した点を省いたものである。
　なお、本願発明の上記「振動板等」との記載は、不明確な記載であるが、本願明細書及び図面を参酌しても、基板上で形成され、インクジェット基台と接合された後に分離層において基板から分離される部材としては、振動板、圧電体薄膜、電極以外のものは記載されておらず、上記「振動板等」の記載は、本願発明に記載の振動板、圧電体薄膜、電極についてまとめて記載したものと解され、本願発明の「これらの振動板等と」との記載と、本願補正発明の「前記振動板、前記圧電体薄膜、及び前記電極と」との記載とは実質的に相違しないものと解される。
　以上のように、本願発明の発明特定事項をすべて含み、さらに他の限定事項を付加した、本願補正発明が、「第２［理由］２．Ｄ．判断」に記載したとおり、引用例１に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、引用例１に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願拒絶を免れない。
　よって、結論のとおり審決する。