【事件の表示】
　平成１０年特許願第３７７８１１号「ウエーハの移送装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　９月２８日出願公開、特開平１１−２６５９２６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本件発明
　本願は、平成１０年１２月１４日の出願（パリ条約による優先権主張１９９７年１２月１６日、ドイツ連邦共和国）であって、平成２０年２月２６日付で拒絶査定がなされ、これに対し同年５月２９日に査定を不服とする審判が請求されたものである。その後、当審において平成２１年１月１６日付で拒絶理由を通知し、これに対して同年４月９日に意見書と手続補正書が提出された（同年５月２１日付の方式についての補正を含む。）。
　本願の請求項１ないし６に係る発明は、平成２１年５月２１日付手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明は次のとおりである。
　
「ウエーハ（６０）用の保持装置（１０）が１つの平らな面（１２）を持ち、保持装置（１０）に、１つ又は複数の気体通路（２０）が形成され、気体通路（２０）が平らな面（１２）の方へ外方へ傾斜して延び、その一端が気体出口開口を持つ平らな面（１２）に終わり、その他端が気体供給導管（２８）へ接続可能であり、気体出口開口の外側に隣接して少なくとも３つの調節腕（３０）が設けられ、これらの調節腕（３０）の端部（３８）が保持装置（１０）の平らな面（１２）から突出し、調節腕（３０）が平らな面（１２）に対して半径方向に調節可能であり、ウエーハ（６０）が、平らな面（１２）とウエーハ（６０）との間に形成される気体クッションにより、平らな面（１２）に対し一定の間隔を維持しながら移送可能であることを特徴とする、ウエーハの移送装置。」（以下、「本件発明」という。）
　
２．当審の拒絶理由の概要
　当審にて平成２１年１月１６日付で通知した拒絶理由の概要は、本願の請求項１ないし６に係る発明が、本願の優先日前に国内で頒布された以下の刊行物に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
　
　刊行物：　特開昭６３−８１３５号公報
　
３．刊行物記載の発明
　上記刊行物には、以下の記載が認められる。
ａ．（特許請求の範囲）
「搬送される物品の平面状にした保持面に対面設定され、上記保持面に対面する面を平面に形成してチャック面としたパットと、
　このパッドに、上記物品の保持面に対向するように形成されたノズル機構と、
　このノズル機構に圧力設定した気体流を供給する手段とを具備し、
　上記ノズル機構は、上記パッドのチャック面に対応する部分が大径となるようにしたテーパ面を有するバルブを有し、このバルブの上記テーパ面に沿って気体流の送出通路が形成されるようしてなり、上記送出気体流が上記パッドのチャック面とほぼ平行となるように設定されるようにしたことを特徴とするチャック装置。」
ｂ．（第１ページ右下欄第２〜７行）
「［産業上の利用分野］
　この発明は、半導体装置の製造過程における半導体ウエハ、あるいは液晶セル用のガラス板等のように、例えば表面処理が施され、この表面部に接触することができないような物品を搬送するチャック装置に関する。」
ｃ．（第２ページ右下欄第１行〜第３ページ左上欄第１０行）
「第１図は１つの半導体ウエハ11を保持するチャック装置21の１つを取出して示したもので、このチャック装置21を構成するベース22に、例えば３個のパッド231〜233が同一平面の状態で取付けられている。そして、この３個のパッド231〜234によって半導体ウエハ11を保持するようになるもので、このパッド231〜233を取付けたベース22はアーム24で保持され、このアーム24はこの図では示されていない移送装置に連結され、このチャック装置21が所定の移送通路にしたがって移送されるようにしている。
　第２図は上記のようなチャック装置21の、１つのパッド231に対応する部分を取出して示しているもので、他のパッド232および233部分も同様に構成されるものである。
　このパッド231は、保持しようとする半導体ウエハ11の保持面に対面するようになる平面状のチャック面25を有するものであり、このチャック面25の中心部分に開口するようにして、ベース22部分を介してアーム24部にまで連通される空気流通路26が形成されている。そして、この空気流通路26には図示しないポンプ機構からの空気流が矢印で示すように供給されるようにしている。
　この空気流通路26は、特にパッド231のチャック面25に開口する部分は、このチャック面25の方向に径が大きくなるようにテーパ状に開いて構成されるものであり、このテーパ状に開いた部分でノズル27が形成されるようにしている。そして、このテーパ状のノズル27内にはバルブ28が設定されている。」
ｄ．（第３ページ右上欄第１〜１４行）
「すなわち、パッド231のチャック面25に充分近接する状態で半導体ウエハ11を設定し、この状態で上記ノズル27から空気流を送出するするようにすると、上記半導体ウエハ11の保持面と上記チャック面25との間に薄い空気の層が形成されるようになる。
　上記ベース22には、パッド231〜233のそれぞれの間に位置して、それぞれ外周方向に延びるようにして３本の係止爪291〜293が設けられている。この係止爪291〜293のそれぞれの先端部分は、保持される半導体ウエハ11の外周部に位置するように立下がり折曲されているもので、この爪291〜293によって、半導体ウエハ11が水平方向に位置ずれすることを阻止するようにしている。」
ｅ．（第３ページ右下欄第２〜８行）
「このような状態で半導体ウエハ11保持するようにすると、半導体ウエハ11とチャック装置との間に接触による摩擦力が存在しないため、若干の傾きが生じた場合、保持された半導体ウエハ11が横方向にづれることがある。しかし、このような半導体ウエハ11のづれは係止爪291〜293によって阻止されるようになる。」
ｆ．（第４ページ左上欄第７〜１１行）
「尚、上記実施例ではチャック装置を３個のパッド231〜233で構成するように説明したが、これは搬送される対象物品の状態に合せて、１個でもよいものであり、さらに多数のパッドを使用するようにしてもよいことはもちろんである。」
　
　上記摘記事項を、技術常識を勘案しつつ、本件発明の記載に沿って整理すると、刊行物には、以下の発明が記載されていると認められる。
「半導体ウエハ用のチャック装置が１つの平面状のチャック面を持ち、チャック装置に、１つ又は複数のノズル機構が形成され、ノズル機構が平面状の保持面の方へ外方へ傾斜して延び、その一端がノズルを持つ平面状のチャック面に終わり、その他端が空気流通路へ接続可能であり、ノズルの外側に隣接して少なくとも３つの係止爪が設けられ、これらの係止爪の端部がチャック装置の平面状のチャック面から突出し、半導体ウエハが、平面状のチャック面と半導体ウエハとの間に形成される薄い空気の層により移送可能である、半導体ウエハの移送装置。」（以下、「刊行物記載の発明」という。）
　
４．対比
　本件発明と刊行物記載の発明とを対比すると、後者の「半導体ウエハ」、「チャック装置」、「平面状のチャック面」、「ノズル機構」、「ノズル」、「空気流通路」が、前者の「ウエーハ」、「保持装置」、「平らな面」、「気体通路」、「気体出口開口」、「気体供給導管」にそれぞれ相当することは明白であり、後者の「薄い空気の層」は、ウェーハの保持面と保持装置の平らな面との間に介在して両者を一定の間隔に非接触状態で維持するものであるから、前者の「気体クッション」に相当するということができる。また、後者の「係止爪」と前者の「調節腕」とは、ともにウェーハの外周に当接してウェーハの側方への移動を防止する腕状部材である限りにおいて共通する。
　刊行物記載の発明において、半導体ウエハが、平面状のチャック面と半導体ウエハとの間に形成される薄い空気の層により、平面状のチャック面に対し一定の間隔を維持しなが移送可能であることは、当業者が容易に理解し得る。（必要ならば、刊行物の第３ページ右上欄第１５行〜右下欄第１行を参照されたい。）
　そうすると、両者は以下の点で一致及び相違するものと認められる。
＜一致点＞
「ウエーハ用の保持装置が１つの平らな面を持ち、保持装置に、１つ又は複数の気体通路が形成され、気体通路が平らな面の方へ外方へ傾斜して延び、その一端が気体出口開口を持つ平らな面に終わり、その他端が気体供給導管へ接続可能であり、気体出口開口の外側に隣接して少なくとも３つの腕状部材が設けられ、これらの腕状部材の端部が保持装置の平らな面から突出し、ウエーハが、平らな面とウエーハとの間に形成される気体クッションにより、平らな面に対し一定の間隔を維持しながら移送可能である、ウエーハの移送装置。」である点。
＜相違点＞
　腕状部材が、本件発明では保持装置の平らな面に対して半径方向に調節可能であるのに対し、刊行物記載の発明ではこのような特定がない点。
　
５．当審の判断　
　上記＜相違点＞について検討する。
　
　刊行物記載の発明においても、腕状部材の端部がウェーハの外周に当接するためには、ウェーハの寸法により決まる外周の位置に対応して、保持装置の平らな面に対し腕状部材の半径方向の位置を調節しておく必要があることは、当業者であれば容易に理解し得るものである。したがって、刊行物記載の発明においても腕状部材は保持装置の平らな面に対して半径方向に調節可能であるというべきである。
　また、ウェーハの寸法が変化した場合に新たな外周位置に対応するように腕状部材を再度調節可能とすることも、当業者が容易に想到し得るものである。
　なお、請求人は平成２１年４月９日付意見書において、「これに反し刊行物では、ウエーハを捕捉しようとすれば、係止爪２９１〜２９３がウエーハに当たって破壊することがあります。係止爪がウエーハに接触するのを回避するためには、係止爪の半径方向長さをウエーハの半径より大きくせねばなりません。しかしそうすると、漂うウエーハはもはや保持装置の中心に十分正確に位置しなくなってしまいます。その結果ウエーハを正確に位置させることは不可能であります。
　これに対し本願のように半径方向に調節可能な調節腕と１つの平らな面を持つ保持装置の構成は、材料の破壊を伴うことなく、ウエーハの最適な取扱いを保証し、これを正確に位置させることができるのであります。」と主張しているが、調節腕がウエーハに接触するのを回避するためには、調節腕の半径方向長さをウエーハの半径より大きくせねばならず、ウエーハがもはや保持装置の中心に十分正確に位置しなくなることは、本件発明においても同様である。
　「半径方向に調節可能な調節腕」とは、保持装置の平らな面にウェーハを吸着した後、調節腕が縮小してウェーハの外周に近接することを意味するものとは限らず、また、願書に最初に添付した明細書にも図面にも、ウェーハを吸着した後に調節腕が縮小してウェーハの外周に近接することについては、記載も示唆も見当たらないことを付記しておく。
　したがって、本件発明には、刊行物記載の発明より普通に予測される範囲を越える、格別の作用効果があるということもできない。
　
６．むすび　
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、刊行物記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、本願の請求項２ないし６に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。