【事件の表示】
　平成１０年特許願第５０４３６９号「ウェーハ処理システムにおける半導体ウェーハを着脱するための方法および装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　１月　８日国際公開、ＷＯ９８／００８６１、平成１２年１０月２４日国内公表、特表２０００−５１４２４７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、平成９年６月２７日（優先権主張、平成８年６月２８日、アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、平成１９年１月３１日付けで拒絶理由が通知され、平成１９年４月２７日に手続補正がなされ、平成２０年３月３１日付けで最後の拒絶理由が通知され、平成２０年８月１日に手続補正がなされ、平成２０年９月１９日付けで平成２０年８月１日の手続補正を却下するとともに拒絶査定がされた。
　これに対し、平成２１年１月５日に拒絶査定に対する審判請求がなされ、平成２１年１月３０日に明細書を対象とする手続補正（以下「本件補正」という。）がなされたものである。
　
第２．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
１．補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲について補正をするものであって、請求項１について、補正前後の記載は、以下のとおりである。
　
（１）補正前
「上部に抵抗性の誘電体層を有する静電チャックにウェーハを接着するために、前記静電チャックの極に直流電圧を供給する直流電源を制御するための制御システムであって、
　前記直流電源に電気接続されて、増強電圧、保持電圧、および脱離電圧で前記直流電圧を前記直流電源に出力させる制御回路を含み、
　前記増強電圧は、増強期間において第一の極性をし、前記増強電圧によって前記抵抗性の誘電体層の第一領域と前記第一領域と少なくとも一部分が重なる前記ウェーハの第二領域との間の電位差が増強され、前記電位差により前記ウェーハが前記静電チャックに接着される接着力が生じ、前記増強期間は前記接着力が所定のレベルにほぼ達すると終了し、
　前記保持電圧は、保持期間において前記接着力を前記所定のレベルにほぼ維持し、前記第一の極性を有し、かつ前記増強電圧よりも電圧の大きさが小さく、前記保持電圧が前記ウェーハの全処理継続時間中に印加されており、
　前記脱離電圧は、脱離期間において前記接着力を取り除き、前記第一の極性とは反対の極性を有することを特徴とする制御システム。」
　
（２）補正後
「上部に抵抗性の誘電体層を有する静電チャックにウェーハを接着するために、前記静電チャックの極に直流電圧を供給する直流電源を制御するための制御システムであって、
　前記直流電源に電気接続されて、増強電圧、保持電圧、および脱離電圧で前記直流電圧を前記直流電源に出力させる制御回路を含み、
　前記増強電圧は、増強期間において第一の極性をし、前記増強電圧によって前記抵抗性の誘電体層の第一領域と前記第一領域と少なくとも一部分が重なる前記ウェーハの第二領域との間の電位差が増強され、前記電位差により前記ウェーハが前記静電チャックに接着される接着力が生じ、前記増強期間は前記接着力が所定のレベルにほぼ達すると終了し、
　前記保持電圧は、保持期間において前記接着力を前記所定のレベルにほぼ維持し、前記第一の極性を有し、かつ前記増強電圧よりも電圧の大きさが小さく、前記保持電圧が前記ウェーハの全処理継続時間中に印加され
るとともに、前記静電チャックに蓄えられる電荷の量を最小にするための最小のレベルに維持され
　前記脱離電圧は、脱離期間において前記接着力を取り除き、前記第一の極性とは反対の極性を有することを特徴とする制御システム。」
　
２．補正の適否　　　
　本件補正における特許請求の範囲の補正後の請求項１についての補正は、保持電圧について、「静電チャックに蓄えられる電荷の量を最小にするための最小のレベルに維持され」るという事項を付加するものであり、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下「改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか否か（いわゆる独立特許要件）について検討する。
　
（１）第３６条
　補正後の請求項１は、保持電圧について、「静電チャックに蓄えられる電荷の量を最小にするための最小のレベルに維持され」なる事項を含むものである。
　しかし、「電荷の量を最小にする」、「最小のレベル」のそれぞれの「最小」は、何をもって最小というのか、また、「レベル」が一定の「幅」をもったものか否かは、明らかでない。
　補正発明は、明確でないから、特許請求の範囲の記載が、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　よって、補正発明は、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
（２）第２９条
ア．補正発明
　補正発明は、上記（１）のとおり明確でなく、本件補正は却下すべきものであるが、請求人の主張、発明の詳細な説明の記載を踏まえ、予備的に検討しておく。
　
　請求人は、審判請求の理由において、「補正事項は、明細書第８ページ第１０〜１６行などの記載に基づきます。」と主張する。
　同記載は以下のとおりである。
「十分な接着力が達成されているということが一旦決定されると、増強電圧は保持電圧に置き換えられることが望ましい。保持電圧は、ウェーハをチャックに適切に接着し続けるために、すなわちウェーハを適切に冷却し続けるために十分な大きさを備えていることが望ましく、ウェーハとチャックとの間の静電位の増加が過度に起こったり、ウェーハが処理中に脱離したりするということがないようにする。一実施形態において、保持電圧はチャック内に蓄えられる電荷の量を最小にするための最小の所望レベルに維持されると有利である。」
　
　「チャック内に蓄えられる電荷の量を最小にする」の技術的意義について、明示の記載はない。
　発明の詳細な説明において、関連する記載は、以下のとおりである。
　
「図３に関して、このような領域３０５／３１２および３０７／３１４は、間隙３０６両端の容量性プレートとして効果的に作用する。電荷が抵抗性誘電体層１１６を通って上部へ移動し続けるとこれらの容量性プレート間の電位差は大きくなり続ける。処理が続いている間ずっと接着のために加えられた電圧が一定に保たれた場合、これらの容量プレート間、例えば３０５／３１２領域間または３０７／３１４領域間の電位差は非常に高いレベルにまで上昇する可能性がある。このようにレベルが非常に高いと、間隙の電界が大きくなりこれによりチャックからウェーハへの電荷の移動が促進され、それによってチャックとウェーハとの間の有効な接着力が減少する。
　さらに、誘電体層の上部表面に多数の電荷が存在すると処理を完了する際に電荷を静電チャックから十分取り除くのに必要な時間が大いに増大する。電荷の除去はウェーハとチャックとの間の静電力を取り除いてウェーハをチャックから脱離させるために必要である。」（第５ページ第１３〜２５行）
　
「増強電圧の正確な大きさとは関係なく、同電圧は所望の接着力に達するまでずっとチャックの極に与え続けられることが望ましい。本発明の一態様によると、増強電圧の大きさとそれに対応する特定の処理環境に対する増強時間とは、計算された推定値と経験に基づく観察とを組み合わせることによって正確にすることができる。たとえば、十分な接着力、すなわちウェーハの十分な冷却が達成されるまで、電源が発生できる最大電圧の小さい方の電圧とウェーハおよび／またはチャック表面を損傷させない最大電圧の小さい方の電圧とをチャックの極に与えることによって、あるいは所定の電圧に対して、増強時間を正確にすることができる。
　所望の接着力を達成すると、次に工程４０４においてチャックの極に保持電圧が与えられる。保持電圧は、ウェーハとチャックとの間に必要とされる静電接着力を十分に維持するために、十分な大きさを有していることが望ましい。望ましくは、保持電圧の大きさはチャックの極とその各々の上に重なって存在するウェーハ領域との間の電位差が、ウェーハまたはチャックを損傷するほど過度に大きくならないようにすべきである。これらの保持電圧は残りの処理時間の間チャックの極に与えられることが望ましい。
  ・・・。
　流量が過度に高いことは、大量の熱交換ガスがチャック／ウェーハのインターフェースから漏出していることを示している可能性があり、ウェーハの冷却が不十分になったり、あるいはウェーハとチャックとの間の保持力が不十分になったりすることもあるが、これは静電接着力を増加させること、すなわち保持電圧の大きさを増加させることによって補正され得る。」（第１０ページ第３〜２７行）
　
「図５にＴ２として示したように、保持電圧は実質的に全処理継続時間与えられることが望ましい。保持期間Ｔ２の継続時間は特定の処理の要件に応じて変化する。しかしながら、インターフェース間隙の電荷の移動を減少し、チャックの誘電体にかかる電圧の応力を減少するように必要な最小電圧であること望ましい。」（第１３ページ第４〜８行）
　
「前述のことから理解できるように、本発明では所望の接着のための電界およびそれに付随する接着力を迅速に得るために高い電圧を長所的に使用している。一旦所望の接着力が達成されると、電界を所望の最小レベルに維持し、それによってインターフェース間隙における過度の電荷の移動を最小限度にするために、本発明では保持電圧を減少させているので有利である。このようにして、付着（sticking）が大幅に減少される。
　さらに、電界を所望の最小レベルに維持した結果、既知の再生可能な量の電荷がチャックの上に蓄えられる。結果的に、蓄えられた電荷は残っている接着力を最小にするように計算された方法で取り除かれ得る。加えて、本発明では蓄えられた電荷を取り除くために高い電圧（極性は反対）を長所的に使用しており、それによって残りの付着を最小にすると同時に脱離時間を最小にしてウェーハのスループットを改善している。」（第１４ページ第１６〜２７行）
　
　これら記載を踏まえると、電荷の量は電圧と関係すること、電荷の量は接着力と関係することは明らかである。
　よって、保持期間Ｔ２において、保持を継続するための接着力を得るために、一定以上の電荷の量が必要となる。
　他方、補正発明は、「ここで述べる発明は、チャックの極とそれら極のぞれぞれの上に重なって存在するウェーハ領域との間の電位差が過度に増大することを防ぐことと、ウェーハ処理システムのスループットを改善するために脱離時間を最小にすることとに関する」（第７ページ第２４〜２４行）ものである。
　保持期間Ｔ２における電荷は、「誘電体層の上部表面に多数の電荷が存在すると処理を完了する際に電荷を静電チャックから十分取り除くのに必要な時間が大いに増大する」（第５ページ第２２〜２３行）のであるから、多すぎることは望ましくない。
　
　以上、発明の詳細な説明を参酌すると、「チャック内に蓄えられる電荷の量を最小にする」の技術的意義は、「チャック内に蓄えられる電荷の量を保持のために必要最小限にする」ことと解される。
　電荷の量は電圧と関係することから、補正発明の「保持電圧はチャック内に蓄えられる電荷の量を最小にするための最小の所望レベルに維持される」とは、「保持電圧はチャック内に蓄えられる電荷の量を保持のために必要最小限にするための最小の所望レベルに維持される」ことと解される。
　
　したがって、補正発明は、本件補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、上記解釈を前提に、上記１．（２）のとおりのものと認める。
　
イ．刊行物に記載された発明
　これに対し、原査定の拒絶理由で引用された本件優先日前に日本国内において頒布された刊行物である特開平４−３００１３７号公報（以下「刊行物１」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
（ア）段落０００５〜０００６
「【０００５】また、静電チャックに電圧を印加しても、必要な吸着力が実際に発現するまでにはかなりの応答時間が必要であり、このため半導体生産、処理に要する時間が長くなっていた。また、静電チャックから半導体ウエハーを解除する際にも、同様に応答の遅れが生じていた。
【０００６】本発明の課題は、広範囲の温度変化に追従して、必要な吸着力を維持でき、かつウエハーの吸着や解除に必要な応答時間も短かくすることができるような、ウエハー保持装置を提供することである。」
　
（イ）段落０００８〜００１１
「【０００８】
【実施例】まず、本発明者が開発した、ヒーター付き静電チャックについて説明する。図１は、こうした単極型静電チャックを示す概略断面図である。
【０００９】例えば円盤状のセラミックス基体２の内部には抵抗発熱体３が埋設され、この抵抗発熱体３は一例として螺旋状に巻回されている。抵抗発熱体３の両端部には、それぞれ電極端子８が接続固定され、各電極端子８の端面が給電ケーブル１０に接合されている。一対の給電ケーブル１０は、それぞれヒーター制御部に接続されており、図示省略したスイッチを作動させることにより、抵抗発熱体３を発熱させることができる。円盤状セラミックス基体２は、相対向する主面２ａ，２ｂを有する。ここで主面とは、他の面よりも相対的に広い面をいう。
【００１０】円盤状セラミックス基体２の一方の主面２ａに沿って、例えば円形の膜状電極５が形成されている。そして、この膜状電極５を覆うように、一方の主面２ａ上にセラミックス誘電体層４が形成され、一体化されている。これにより、膜状電極５は、セラミックス基体２とセラミックス誘電体層４との間に内蔵される。セラミックス基体２の内部には電極端子７が埋設され、この電極端子７の一端には膜状電極５が接続され、電極端子７の他端には給電ケーブル１２が接続されている。この給電ケーブル１２はチャック用電源部の例えば正極に接続され、この負極がアース線１４に接続される。
【００１１】ウエハーＷを加熱処理する際には、セラミックス誘電体層４のウエハー吸着面６にウエハーＷを設置し、ウエハーＷに対してアース線１４を接触させる。そして、膜状電極５に正電荷を蓄積してセラミックス誘電体層４を分極させる。それと共に、ウエハーＷに負電荷を蓄積させ、セラミックス誘電体層４とウエハーＷとの間のクーロン引力により、ウエハーＷをウエハー吸着面６へと吸着させる。これと共に、抵抗発熱体３を発熱させてウエハー吸着面６を所定温度に加熱する。」
　
（ウ）段落００２０
「【００２０】また、次の（２），（３）式が成立する。
（２）　Ｑ＝ＣＶ＝ε′・ε０．（Ｓ／ｄ）・Ｖ
（３）　Ｆ＝１／２・ＣＶ２／ｄ
Ｆ：吸着力（Ｎ）、　Ｃ：誘電体層の静電容量（Ｆ）
Ｑ：電荷量（Ｃ）
これにより、誘電体層に存在する電荷量に吸着力Ｆが比例することがわかる。」
　
（エ）段落００２２
「【００２２】今、ｔ＝ｔ１において，瞬間的に直流電圧Ｖを印加すると、誘電体層には、図３に示すようにまず瞬間的にＱ１まで充電され、引き続き徐々に増加して最終値のＱ２に達して一定となる。次に、ｔ２において、印加電圧を瞬間的に０に戻すと、電荷はまずＱ１だけ瞬間的に放電し、引き続き徐々に放電して０となる。Ｑ１を瞬時電荷、充電時に時間と共に増大する電荷を吸収電荷、放電時に時間と共に減少する電荷を残留電荷と呼ぶ。」
　
（オ）段落００２６
「【００２６】静電チャックの吸脱着レスポンスは速ければ速い程良いので、出来るならば、瞬時電荷だけで吸着力を発現させたい。その為には、初期に高電圧をかけることで瞬時電荷量Ｑ２を得、その後、図４に示すようにＶ２まで電圧を下げれば良い。放電時も印加電圧の極性を充電時と反対にして高電圧を印加すればレスポンスは向上する。すなわち、
（９）　Ｑ２＝Ｃ１Ｖ１　
を満たす電圧Ｖ１を印加すれば良い。」
　
（カ）段落００２９
「【００２９】こうして得たＶａｂｓ（Ｔ）＝Ｖ１，Δｔの値をチャック用電源部に転送し、図５に示すパターンで電圧を印加する。そして、蓄積電荷がＱ１からＱ２に至る間、またＱ２−Ｑ１から０に至る間に、Δｔの応答時間が必要である。こうした図４〜図６に示す制御を行えば、原理的に最もレスポンスの速い運転を実現できる。」
　
（キ）段落００３２
「【００３２】ジョンソン−ラーベック効果を用いた静電チャックでは、吸着するウエハーと誘電体層との間に極めて微小な空間が形成され、ここに電荷を蓄積することによって吸着力が発現する。従って誘電体層自体の誘電率よりも、誘電体層の表面状態によって蓄積電荷量（吸着力）が決まる。誘電体層は主に抵抗Ｒとして働く。ジョンソン−ラーベック力を利用しても、吸着力は（３）式に従う。しかし、前述のように吸着に関与する電荷蓄積層は、セラミックス層部分にはないので、材料の誘電率から吸着力を計算しても実際の吸着力とは一致しない。しかしながら、実際にはセラミックス層の蓄積電荷量と相関があることがわかっているので、（３）式より、
（１１）　Ｆ＝αＱ＝αＣＶ，　α＝ｆ（Ｖ，Ｔ）
とおく。飽和吸着力Ｆ０と電圧Ｖの関係を実測して、αを求める。この式でＣはセラミックス誘電体層の静電容量である。」
　
（ク）段落００３７
「【００３７】これに対し、本実施例では、図９、図１０に示すように、印加電圧を制御する。具体的には、まずウエハー吸着面の温度を測定し、（１１）式のＦにＦ０を代入してＶ２、Ｑを求める。そして、（１３）式に、目標とするレスポンス時間Δｔを代入し、またＱ（ｔ）にＱを代入し、Ｖ１を求める。Ｖ１＜Ｖａｂｓ（Ｔ）であれば、このＶ１の値をチャック用電源部に転送し、図１０に示すパターンて電圧を印加する。ウエハー吸着時、脱着時の応答（レスポンス）時間はΔｔとなる。」
　
（ケ）図１
　誘電体層４の上面と、ウエハーＷの下面との、少なくとも一部分が重なっていることが看取できる。
　
（コ）図１０
　電圧が、０から、吸着時の応答時間Δｔ中はＶ１であり、吸着期間においてＶ１より低いＶ２であり、吸着力はＦ０にほぼ維持され、脱着時の応答時間Δｔ中は−Ｖ１であることが看取できる。
　
　これらの記載事項を、図面を参照しつつ、技術常識を考慮しながら補正発明に照らして整理すると、刊行物１には以下の発明（以下、「刊行物発明」という。）が記載されていると認める。
　
「上部に誘電体層４を有するジョンソン−ラーベック効果を用いた静電チャックにウエハーＷを吸着するために、前記静電チャックの電極端子７に直流電圧を供給するチャック用電源部を制御するためのものであって、
　前記チャック用電源部に電気接続されて、Ｖ１、Ｖ２、および−Ｖ１で前記直流電圧を前記チャック用電源部に出力させる静電チャック制御部を含み、
　前記Ｖ１は、吸着時の応答時間Δｔにおいて正極をし、前記Ｖ１によって前記誘電体層の上面と前記上面と少なくとも一部分が重なる前記ウエハーの下面との間の電位差が増強され、前記電位差により前記ウエハーＷが前記静電チャックに吸着される吸着力が生じ、前記吸着時の応答時間Δｔは前記吸着力がＦ０にほぼ達すると終了し、
　前記Ｖ２は、吸着期間において前記吸着力を前記Ｆ０にほぼ維持し、前記正極を有し、かつ前記Ｖ１よりも電圧の大きさが小さく、前記Ｖ２が前記ウエハーＷの全処理継続時間中に印加されており、
　前記−Ｖ１は、脱着時の応答時間Δｔにおいて前記吸着力を取り除き、負極を有するもの。」
　
ウ．対比
　補正発明と刊行物発明とを対比する。
　補正発明の「抵抗性の誘電体層を有する静電チャック」は、その明細書第２ページ下から２行〜第３ページ第２行に、「従来の技術では、誘電体層１１６は実質的に抵抗性の誘電材料から形成されているものもある。このような実質的に抵抗性の誘電体層は、これと接続する静電チャックの極に直流電圧でバイアスがかけられた場合、ジョンソン−ラーベック効果を示す。」と記載されていることから、刊行物発明の「誘電体層を有するジョンソン−ラーベック効果を用いた静電チャック」と、実質的に一致する。
　刊行物発明の「ウエハー」は、それぞれ補正発明の「ウェーハ」に相当し、同様に、「吸着」は「接着」に、「電極端子７」は「極」に、「チャック用電源部」は「直流電源」に、「制御するためのもの」は「制御するための制御システム」に、「Ｖ１」は「増強電圧」に、「Ｖ２」は「保持電圧」に、「−Ｖ１」は「脱離電圧」に、「静電チャック制御部」は「制御回路」に、「吸着時の応答時間Δｔ」は「増強期間」に、「正極」は「第一の極性」に、「上面」は「第一領域」に、「下面」は「第二領域」に、「Ｆ０」は「所定のレベル」に、「吸着期間」は「保持期間」に、「脱着時の応答時間Δｔ」は「脱離期間」に、「負極」は「第一の極性とは反対の極性」に、相当する。
　
　したがって、補正発明と刊行物発明とは、次の点で一致している。
「上部に抵抗性の誘電体層を有する静電チャックにウェーハを接着するために、前記静電チャックの極に直流電圧を供給する直流電源を制御するための制御システムであって、
　前記直流電源に電気接続されて、増強電圧、保持電圧、および脱離電圧で前記直流電圧を前記直流電源に出力させる制御回路を含み、
　前記増強電圧は、増強期間において第一の極性をし、前記増強電圧によって前記抵抗性の誘電体層の第一領域と前記第一領域と少なくとも一部分が重なる前記ウェーハの第二領域との間の電位差が増強され、前記電位差により前記ウェーハが前記静電チャックに接着される接着力が生じ、前記増強期間は前記接着力が所定のレベルにほぼ達すると終了し、
　前記保持電圧は、保持期間において前記接着力を前記所定のレベルにほぼ維持し、前記第一の極性を有し、かつ前記増強電圧よりも電圧の大きさが小さく、前記保持電圧が前記ウェーハの全処理継続時間中に印加されており、
前記脱離電圧は、脱離期間において前記接着力を取り除き、前記第一の極性とは反対の極性を有することを特徴とする制御システム。」
　
　そして、補正発明と刊行物発明とは、以下の点で相違している。
　保持電圧について、補正発明は、「静電チャックに蓄えられる電荷の量を最小にするための最小のレベルに維持され」るが、刊行物発明は、明らかでない点。
　
エ．相違点の検討
　相違点について検討する。
　補正発明の「保持電圧はチャック内に蓄えられる電荷の量を最小にするための最小の所望レベルに維持される」とは、上記ア．のとおり、「保持電圧はチャック内に蓄えられる電荷の量を保持のために必要最小限にするための最小の所望レベルに維持される」ことと解される。
　刊行物発明は、上記イ．（ア）の【０００６】のごとく、「必要な吸着力を維持でき、かつウエハーの吸着や解除に必要な応答時間も短かくすることができる」ようにするためのものである。
　刊行物発明においても、吸着力は、上記イ．（ウ）、（キ）に記載の（３）式から、電荷量に比例するから、必要な吸着力を得るためには、一定以上の電荷量が必要である。
　また、ウエハーの解除のためには、電荷量を減少させる必要があるが、上記イ．（カ）の記載、図５から、電荷量が多いと電荷量を減少させるための時間が多くかかることとなる。
　したがって、刊行物発明において、上記目的達成のため、「電荷量を必要最小限」とし、そのための保持電圧を「最小の所望レベルに維持」すること、すなわち相違点に係る事項とすることに、困難性は認められない。
　
　以上のことから、補正発明は、刊行物発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
３．むすび
　したがって、本件補正は、上記２．（１）又は（２）のいずれによっても、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３．本願発明について
１．本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１ないし２８に係る発明は、平成１９年４月２７日付けで補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし２８に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記第２．１．（１）に示す請求項１に記載されたとおりである。
　
２．刊行物等
　これに対して、原査定の際にあげられた刊行物及びその記載内容は、上記第２．２．（２）イ．に示したとおりである。
　
３．対比・検討
　本願発明は、上記第２．２．（２）ウ．によると、刊行物発明と実質的な差違はない。
　そうすると、本願発明は、当然、刊行物発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　したがって、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないことから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。