【手続補正書】
【提出日】平成24年7月24日(2012.7.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シーメンス法によるシリコン分離の間に少なくとも１つのシリコン棒（３）に給電する装置であって、
電気エネルギ供給用の電気エネルギ供給系統（Ｎ）に前記装置を接続するべく構成されてなる１つの入力部（Ｅ）と、
前記少なくとも１つのシリコン棒（３）を接続可能な少なくとも１つの出力部（Ａ）と、
前記少なくとも１つの出力部（Ａ）に接続された前記少なくとも１つのシリコン棒（３）に前記エネルギ供給系統（Ｎ）からの電流を供給するべく構成されてなる少なくとも１つの交流コントローラ（１）と
を有する装置において、
さらに、前記少なくとも１つの出力部（Ａ）に接続された前記少なくとも１つのシリコン棒（３）に前記エネルギ供給系統（Ｎ）から、前記交流コントローラ（１）により準備された電流より高い周波数の電流を供給するように構成されて成る少なくとも１つの周波数変換器（２）を有することを特徴とする装置。
【請求項２】
前記装置により前記少なくとも１つの出力部（Ａ）において様々な周波数の電圧分から混合された電圧が準備可能であることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記交流コントローラ（１）および前記周波数変換器（２）により準備された電圧が前記出力部において準備可能な電圧を混合すべく結合できる結節点を具備することを特徴とする、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記少なくとも１つの交流コントローラ（１）の出力部と、前記少なくとも１つの周波数変換器（２）の出力部と、前記シリコン棒が接続可能な前記装置の出力部が電気的に直列に配置されていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
電気的に、前記少なくとも１つの交流コントローラ（１）と前記出力部（Ａ）の間に、前記少なくとも１つの交流コントローラ（１）を前記少なくとも１つの周波数変換器（２）から減結合する第１の減結合手段（４）が配置され、前記少なくとも１つの周波数変換器（２）と前記出力部（Ａ）との間に、前記少なくとも１つの周波数変換器（２）を前記少なくとも１つの交流コントローラ（１）から減結合する第２の減結合手段（５）が配置されていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
一方で前記少なくとも１つの交流コントローラ（１）と前記第１の減結合手段（４）とからなる配置と、他方で前記少なくとも１つの周波数変換器（２）と前記第２の減結合手段とからなる配置が、電気的に並列に配置されていることを特徴とする、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記装置が、それぞれ１つのシリコン棒（３ａ，３ｂ）のための少なくとも１対の出力部を具備し、かつ、前記１対の出力部に割当てられた少なくとも１対の周波数変換器（２ａ，２ｂ）を具備することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
前記１対の出力部の両出力部の各々が前記１対の周波数変換器（２ａ，２ｂ）の一方の周波数変換器（２ａ，２ｂ）の出力部と結合していることを特徴とする、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記１対の周波数変換器（２ａ，２ｂ）の両周波数変換器（２ａ，２ｂ）が少なくともその電気出力量に関して同等であることを特徴とする、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記１対の周波数変換器（２ａ，２ｂ）の各々が１つの出力部を具備し、かつ、前記１対の周波数変換器（２ａ，２ｂ）の両出力部が１つの連結を作り、その中で前記周波数変換器（２ａ，２ｂ）の両出力部が逆相で連結していることを特徴とする、請求項８または９に記載の装置。
【請求項１１】
前記連結が、第１の外接続点（Ｋ１）と中央接続点（Ｋ２）と第２の外接続点（Ｋ３）とを具備し、ここで、前記１対の周波数変換器（２ａ，２ｂ）の第１の周波数変換器（２ａ）の出力部が前記第１の外接続点（Ｋ１）および中央接続点（Ｋ２）と結合しており、前記１対の周波数変換器（２ａ，２ｂ）の第２の周波数変換器（２ｂ）の出力部が前記中央接続点（Ｋ２）および第２の外接続点（Ｋ３）と結合していることを特徴とする、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記交流コントローラ（１）の出力部が前記第１の外接続点（Ｋ１）および第２の外接続点（Ｋ３）と結合していることを特徴とする、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記少なくとも１つの周波数変換器（２）が中周波変換器であることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１４】
前記少なくとも１つの周波数変換器（２）が、前記装置の出力部（Ａ）において相異なる中周波の重なり合う電流から１つの混合電流を準備するように構成されて成ることを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１５】
前記少なくとも１つの周波数変換器（２）が、前記装置の出力部（Ａ）で準備された１つ以上の電流の１つ以上の周波数を調整するように構成されて成ることを特徴とする、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１６】
前記装置が、前記少なくとも１つの交流コントローラ（１）により準備された電力の、前記少なくとも１つの周波数変換器（２）により準備された電力に対する比を調整するように構成されて成る規制手段を具備することを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１７】
前記装置が、前記１つ以上の周波数を前記少なくとも１つのシリコン棒（３）の直径および／または横断面積に応じて調整するように構成されて成る規制手段を具備することを特徴とする、請求項１〜１６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１８】
前記少なくとも１つの交流コントローラ（１）が系統転流式の交流コントローラであることを特徴とする、請求項１〜１７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１９】
請求項１〜１８のいずれか１項に記載の装置を使ってシーメンス法によるシリコン分離の間に少なくとも１つのシリコン棒（３）に給電する方法。
【請求項２０】
分離プロセス中に前記少なくとも１つの接続されたシリコン棒において一様な温度分布を生じさせる目的で、前記少なくとも１つの交流コントローラ（１）により使用可能にされた電力の、前記少なくとも１つの周波数変換器（２）により使用可能にされた電力に対する比を変えることを特徴とする、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記少なくとも１つの周波数変換器（２）を介して前記少なくとも１つのシリコン棒（３）に供給される電力が、前記少なくとも１つの交流コントローラ（１）を介して供給される電力に比して分離プロセス中に大きくなることを特徴とする、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
少なくとも１つの負荷に給電する装置であって、
電気エネルギ供給用の電気エネルギ供給系統に前記装置を接続するべく構成されてなる１つの入力部と、
前記少なくとも１つの負荷を接続可能な少なくとも１つの出力部と、
前記少なくとも１つの出力部に接続された前記少なくとも１つの負荷に前記エネルギ供給系統からの電流を供給するべく構成されてなる少なくとも１つの交流コントローラと
を有する装置において、
さらに、前記少なくとも１つの出力部に接続された前記少なくとも１つの負荷に前記エネルギ供給系統から、前記交流コントローラにより準備された電流より高い周波数の電流を供給するように構成されて成る少なくとも１つの周波数変換器を有することを特徴とする装置。
【請求項２３】
前記装置により前記少なくとも１つの出力部において様々な周波数の電圧分から混合された電圧が準備可能であることを特徴とする、請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
前記交流コントローラおよび前記周波数変換器により準備された電圧が前記出力部において準備可能な電圧を混合すべく結合できる結節点を具備することを特徴とする、請求項２３に記載の装置。
【請求項２５】
前記少なくとも１つの交流コントローラの出力部と、前記少なくとも１つの周波数変換器の出力部と、前記負荷が接続可能な前記装置の出力部が電気的に直列に配置されていることを特徴とする、請求項２２〜２４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２６】
電気的に、前記少なくとも１つの交流コントローラと前記出力部の間に、前記少なくとも１つの交流コントローラを前記少なくとも１つの周波数変換器から減結合する第１の減結合手段が配置され、前記少なくとも１つの周波数変換器と前記出力部との間に、前記少なくとも１つの周波数変換器を前記少なくとも１つの交流コントローラから減結合する第２の減結合手段が配置されていることを特徴とする、請求項２２〜２４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２７】
一方で前記少なくとも１つの交流コントローラと前記第１の減結合手段とからなる配置と、他方で前記少なくとも１つの周波数変換器と前記第２の減結合手段とからなる配置が、電気的に並列に配置されていることを特徴とする、請求項２６に記載の装置。
【請求項２８】
前記装置が、それぞれ１つの負荷のための少なくとも１対の出力部を具備し、かつ、前記１対の出力部に割当てられた少なくとも１対の周波数変換器を具備することを特徴とする、請求項２２〜２４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２９】
前記１対の出力部の両出力部の各々が前記１対の周波数変換器の一方の周波数変換器の出力部と結合していることを特徴とする、請求項２８に記載の装置。
【請求項３０】
前記１対の周波数変換器の両周波数変換器が少なくともその電気出力量に関して同等であることを特徴とする、請求項２９に記載の装置。
【請求項３１】
前記１対の周波数変換器の各々が１つの出力部を具備し、かつ、前記１対の周波数変換器の両出力部が１つの連結を作り、その中で前記周波数変換器の両出力部が逆相で連結していることを特徴とする、請求項２９または３０に記載の装置。
【請求項３２】
前記連結が、第１の外接続点と中央接続点と第２の外接続点とを具備し、ここで、前記１対の周波数変換器の第１の周波数変換器の出力部が前記第１の外接続点および中央接続点と結合しており、前記１対の周波数変換器の第２の周波数変換器の出力部が前記中央接続点および第２の外接続点と結合していることを特徴とする、請求項３１に記載の装置。
【請求項３３】
前記交流コントローラの出力部が前記第１の外接続点および第２の外接続点と結合していることを特徴とする、請求項３２に記載の装置。
【請求項３４】
前記少なくとも１つの周波数変換器が中周波変換器であることを特徴とする、請求項２２〜３３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項３５】
前記少なくとも１つの周波数変換器が、前記装置の出力部において相異なる中周波の重なり合う電流から１つの混合電流を準備するように構成されて成ることを特徴とする、請求項２２〜３４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項３６】
前記少なくとも１つの周波数変換器が、前記装置の出力部で準備された１つ以上の電流の１つ以上の周波数を調整するように構成されて成ることを特徴とする、請求項２２〜３５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項３７】
前記装置が、前記少なくとも１つの交流コントローラにより準備された電力の、前記少なくとも１つの周波数変換器により準備された電力に対する比を調整するように構成されて成る規制手段を具備することを特徴とする、請求項２２〜３６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項３８】
前記少なくとも１つの交流コントローラが系統転流式の交流コントローラであることを特徴とする、請求項２２〜３７のいずれか１項に記載の装置。