【手続補正書】
【提出日】平成24年6月19日(2012.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ軸とＹ軸とで規定される平面に沿った主面を有する基部と、
前記基部から、一方が前記Ｙ軸のプラス方向へ延出され、他方が前記Ｙ軸のマイナス方向へ延出された１対の検出用振動腕と、
前記基部から、一方が前記Ｘ軸のプラス方向へ延出され、他方が前記Ｘ軸のマイナス方向へ延出された１対の連結腕と、
前記各連結腕から、一方が前記Ｙ軸のプラス方向へ延出され、他方が前記Ｙ軸のマイナス方向へ延出された各１対の駆動用振動腕と、
前記基部から延出される少なくとも２本の梁と、
前記各梁の先端部に接続される支持部と、を備え、
前記各梁の１つである水晶からなる第１の梁が、前記Ｘ軸方向において、前記基部よりプラス側に位置する前記連結腕と、前記Ｙ軸方向において、前記基部よりプラス側に位置する前記検出用振動腕との間の前記基部の外縁から延出され、
前記第１の梁は、前記基部から前記Ｘ軸のプラス方向に延出する第１延出部と、
前記第１延出部から前記Ｙ軸のプラス方向に延出する第２延出部と、
前記第２延出部から前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第３延出部と、
を含み、
前記第１延出部と前記第２延出部との角部の内側に有する第１異形部と、前記第２延出部と前記第３延出部との角部の内側に有する第２異形部とが、平面視において互いに接しない間隔で配置されていることを特徴とする振動ジャイロ素子。
【請求項２】
請求項１に記載の振動ジャイロ素子において、前記振動ジャイロ素子の厚みをＴとし、前記第１延出部と前記第３延出部との間隔をＷ１としたときに、Ｗ１／Ｔ≧０．７３であることを特徴とする振動ジャイロ素子。
【請求項３】
請求項１または２に記載の振動ジャイロ素子において、前記各梁の１つである水晶からなる第２の梁が、前記Ｘ軸方向において、前記基部よりプラス側に位置する前記連結腕と、前記Ｙ軸方向において、前記基部よりマイナス側に位置する前記検出用振動腕との間の前記基部の外縁から延出され、
前記第２の梁は、前記基部から前記Ｘ軸のプラス方向に延出する第４延出部と、
前記第４延出部から前記Ｙ軸のマイナス方向に延出する第５延出部と、
前記第５延出部から前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第６延出部と、を含み、
前記第４延出部と前記第５延出部との角部の内側に有する第３異形部と、前記第５延出部と前記第６延出部との角部の内側に有する第４異形部とが、平面視において互いに接しない間隔で配置されていることを特徴とする振動ジャイロ素子。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の振動ジャイロ素子において、前記振動ジャイロ素子の厚みをＴとし、前記第４延出部と前記第６延出部との間隔をＷ２としたときに、
Ｗ２／Ｔ≧０．７３であることを特徴とする振動ジャイロ素子。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の振動ジャイロ素子において、前記各梁の１つである第３の梁が、前記Ｘ軸方向において、前記基部よりマイナス側に位置する前記連結腕と、前記Ｙ軸方向において、前記基部よりプラス側に位置する前記検出用振動腕との間の前記基部の外縁から延出され、
前記第３の梁は、前記基部から前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第７延出部と、
前記第７延出部から前記Ｙ軸のプラス方向に延出する第８延出部と、
前記第８延出部から前記Ｘ軸のプラス方向に延出する第９延出部と、
前記第９延出部から前記Ｙ軸のプラス方向に延出する第１０延出部と、
前記第１０延出部から前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第１１延出部と、
を含むことを特徴とする振動ジャイロ素子。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の振動ジャイロ素子において、前記各梁の１つである第４の梁が、前記Ｘ軸方向において、前記基部よりマイナス側に位置する前記連結腕と、前記Ｙ軸方向において、前記基部よりマイナス側に位置する前記検出用振動腕との間の前記基部の外縁から延出され、
前記第４の梁は、前記基部から前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第１２延出部と、
前記第１２延出部から前記Ｙ軸のマイナス方向に延出する第１３延出部と、
前記第１３延出部から前記Ｘ軸のプラス方向に延出する第１４延出部と、
前記第１４延出部から前記Ｙ軸のマイナス方向に延出する第１５延出部と、
前記第１５延出部から前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第１６延出部と、
を含むことを特徴とする振動ジャイロ素子。
【請求項７】
請求項１に記載の振動ジャイロ素子において、前記各梁が、前記振動ジャイロ素子の重心に対して回転対称であることを特徴とする振動ジャイロ素子。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の振動ジャイロ素子と、
前記振動ジャイロ素子が載置される支持台と、
前記振動ジャイロ素子の前記支持部と前記支持台とを固定する固定部材とを備え、
前記固定部材は、弾性を有する材料であることを特徴とする振動ジャイロ素子の支持構造。
【請求項９】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の振動ジャイロ素子と、
前記振動ジャイロ素子が載置される支持台と、
前記振動ジャイロ素子の前記支持部と前記支持台とを固定する固定部材と、
前記振動ジャイロ素子を駆動振動させる駆動回路と、
前記振動ジャイロ素子に角速度が加わったときに前記振動ジャイロ素子に生じる検出振動を検出する検出回路と、を備えることを特徴とするジャイロセンサー。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
［適用例１］本適用例にかかる振動ジャイロ素子は、水晶を基材とし、Ｘ軸とＹ軸とで規定される平面に沿った平板状に形成され、Ｚ軸方向に厚みを有する振動ジャイロ素子であって、基部と、前記基部から前記Ｙ軸に沿って、一方が前記Ｙ軸のプラス方向へ延出され、他方が前記Ｙ軸のマイナス方向へ延出された１対の検出用振動腕と、前記基部から前記Ｘ軸に沿って、一方が前記Ｘ軸のプラス方向へ延出され、他方が前記Ｘ軸のマイナス方向へ延出された１対の連結腕と、前記各連結腕の先端側から前記Ｙ軸に沿って、一方が前記Ｙ軸のプラス方向へ延出され、他方が前記Ｙ軸のマイナス方向へ延出された各１対の駆動用振動腕と、前記基部から延出される少なくとも２本の梁と、前記各梁の先端部に接続される支持部とを備え、前記各梁はエッチングにより形成されると共に、前記各梁の１つである第１の梁が、前記Ｘ軸方向において、前記基部よりプラス側に位置する前記連結腕と、前記Ｙ軸方向において、前記基部よりプラス側に位置する前記検出用振動腕との間の前記基部の外縁から延出され、前記第１の梁は、前記基部から前記Ｘ軸に沿って前記Ｘ軸のプラス方向に延出する第１延出部と、前記第１延出部の先端部から前記Ｙ軸に沿って前記Ｙ軸のプラス方向に延出する第２延出部と、前記第２延出部の先端部から前記Ｘ軸に沿って前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第３延出部とを含む第１折り返し部を有して構成され、前記第１延出部と前記第３延出部とは、前記第１折り返し部の前記第１延出部と前記第２延出部とで形成される角部の内側に生じる第１異形部と、前記第２延出部と前記第３延出部とで形成される角部の内側に生じる第２異形部とが、平面視において互いに接しない間隔で配置されていることを特徴とする。
また、Ｘ軸とＹ軸とで規定される平面に沿った主面を有する基部と、前記基部から、一方が前記Ｙ軸のプラス方向へ延出され、他方が前記Ｙ軸のマイナス方向へ延出された１対の検出用振動腕と、前記基部から、一方が前記Ｘ軸のプラス方向へ延出され、他方が前記Ｘ軸のマイナス方向へ延出された１対の連結腕と、前記各連結腕から、一方が前記Ｙ軸のプラス方向へ延出され、他方が前記Ｙ軸のマイナス方向へ延出された各１対の駆動用振動腕と、前記基部から延出される少なくとも２本の梁と、前記各梁の先端部に接続される支持部と、を備え、前記各梁の１つである水晶からなる第１の梁が、前記Ｘ軸方向において、前記基部よりプラス側に位置する前記連結腕と、前記Ｙ軸方向において、前記基部よりプラス側に位置する前記検出用振動腕との間の前記基部の外縁から延出され、前記第１の梁は、前記基部から前記Ｘ軸のプラス方向に延出する第１延出部と、前記第１延出部から前記Ｙ軸のプラス方向に延出する第２延出部と、前記第２延出部から前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第３延出部と、を含み、前記第１延出部と前記第２延出部との角部の内側に有する第１異形部と、前記第２延出部と前記第３延出部との角部の内側に有する第２異形部とが、平面視において互いに接しない間隔で配置されていることを特徴としていてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
［適用例２］上記適用例にかかる振動ジャイロ素子において、前記振動ジャイロ素子の前記厚みをＴとし、前記第１折り返し部の前記第１延出部と前記第３延出部との間隔をＷ１としたときに、Ｗ１／Ｔ≧０．７３であることが好ましい。
また、前記振動ジャイロ素子の厚みをＴとし、前記第１延出部と前記第３延出部との間隔をＷ１としたときに、Ｗ１／Ｔ≧０．７３であることを特徴としていてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［適用例３］上記適用例にかかる振動ジャイロ素子において、前記各梁の１つである第２の梁が、前記Ｘ軸方向において、前記基部よりプラス側に位置する前記連結腕と、前記Ｙ軸方向において、前記基部よりマイナス側に位置する前記検出用振動腕との間の前記基部の外縁から延出され、前記第２の梁は、前記基部から前記Ｘ軸に沿って前記Ｘ軸のプラス方向に延出する第４延出部と、前記第４延出部の先端部から前記Ｙ軸に沿って前記Ｙ軸のマイナス方向に延出する第５延出部と、前記第５延出部の先端部から前記Ｘ軸に沿って前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第６延出部とを含む第２折り返し部を有して構成され、前記第４延出部と前記第６延出部とは、前記第２折り返し部の前記第４延出部と前記第５延出部とで形成される角部の内側に生じる第３異形部と、前記第５延出部と前記第６延出部とで形成される角部の内側に生じる第４異形部とが、平面視において互いに接しない間隔で配置されていることが好ましい。
また、前記各梁の１つである水晶からなる第２の梁が、前記Ｘ軸方向において、前記基部よりプラス側に位置する前記連結腕と、前記Ｙ軸方向において、前記基部よりマイナス側に位置する前記検出用振動腕との間の前記基部の外縁から延出され、前記第２の梁は、前記基部から前記Ｘ軸のプラス方向に延出する第４延出部と、前記第４延出部から前記Ｙ軸のマイナス方向に延出する第５延出部と、前記第５延出部から前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第６延出部と、を含み、前記第４延出部と前記第５延出部との角部の内側に有する第３異形部と、前記第５延出部と前記第６延出部との角部の内側に有する第４異形部とが、平面視において互いに接しない間隔で配置されていることを特徴としていてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［適用例４］上記適用例にかかる振動ジャイロ素子において、前記振動ジャイロ素子の前記厚みをＴとし、前記第２折り返し部の前記第４延出部と前記第６延出部との間隔をＷ２としたときに、Ｗ２／Ｔ≧０．７３であることが好ましい。
また、前記振動ジャイロ素子の厚みをＴとし、前記第４延出部と前記第６延出部との間隔をＷ２としたときに、Ｗ２／Ｔ≧０．７３であることを特徴としていてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
［適用例５］上記適用例にかかる振動ジャイロ素子において、前記各梁の１つである第３の梁が、前記Ｘ軸方向において、前記基部よりマイナス側に位置する前記連結腕と、前記Ｙ軸方向において、前記基部よりプラス側に位置する前記検出用振動腕との間の前記基部の外縁から延出され、前記第３の梁は、前記基部から前記Ｘ軸に沿って前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第７延出部と、前記第７延出部の先端部から前記Ｙ軸に沿って前記Ｙ軸のプラス方向に延出する第８延出部と、前記第８延出部の先端部から前記Ｘ軸に沿って前記Ｘ軸のプラス方向に延出する第９延出部と、前記第９延出部の先端部から前記Ｙ軸に沿って前記Ｙ軸のプラス方向に延出する第１０延出部と、前記第１０延出部の先端部から前記Ｘ軸に沿って前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第１１延出部とを含む第３折り返し部を有して構成されていることが好ましい。
また、前記各梁の１つである第３の梁が、前記Ｘ軸方向において、前記基部よりマイナス側に位置する前記連結腕と、前記Ｙ軸方向において、前記基部よりプラス側に位置する前記検出用振動腕との間の前記基部の外縁から延出され、前記第３の梁は、前記基部から前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第７延出部と、前記第７延出部から前記Ｙ軸のプラス方向に延出する第８延出部と、前記第８延出部から前記Ｘ軸のプラス方向に延出する第９延出部と、前記第９延出部から前記Ｙ軸のプラス方向に延出する第１０延出部と、前記第１０延出部から前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第１１延出部と、を含むことを特徴としていてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
［適用例６］上記適用例にかかる振動ジャイロ素子において、前記各梁の１つである第４の梁が、前記Ｘ軸方向において、前記基部よりマイナス側に位置する前記連結腕と、前記Ｙ軸方向において、前記基部よりマイナス側に位置する前記検出用振動腕との間の前記基部の外縁から延出され、前記第４の梁は、前記基部から前記Ｘ軸に沿って前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第１２延出部と、前記第１２延出部の先端部から前記Ｙ軸に沿って前記Ｙ軸のマイナス方向に延出する第１３延出部と、前記第１３延出部の先端部から前記Ｘ軸に沿って前記Ｘ軸のプラス方向に延出する第１４延出部と、前記第１４延出部の先端部から前記Ｙ軸に沿って前記Ｙ軸のマイナス方向に延出する第１５延出部と、前記第１５延出部の先端部から前記Ｘ軸に沿って前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第１６延出部とを含む第４折り返し部を有して構成されていることが好ましい。
また、前記各梁の１つである第４の梁が、前記Ｘ軸方向において、前記基部よりマイナス側に位置する前記連結腕と、前記Ｙ軸方向において、前記基部よりマイナス側に位置する前記検出用振動腕との間の前記基部の外縁から延出され、前記第４の梁は、前記基部から前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第１２延出部と、前記第１２延出部から前記Ｙ軸のマイナス方向に延出する第１３延出部と、前記第１３延出部から前記Ｘ軸のプラス方向に延出する第１４延出部と、前記第１４延出部から前記Ｙ軸のマイナス方向に延出する第１５延出部と、前記第１５延出部から前記Ｘ軸のマイナス方向に延出する第１６延出部と、を含むことを特徴としていてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
［適用例８］本適用例にかかる振動ジャイロ素子の支持構造は、上記適用例のいずれかに記載の振動ジャイロ素子と、前記振動ジャイロ素子が載置される支持台と、前記振動ジャイロ素子の前記支持部と前記支持台とを固定するための固定部材とを備え、前記固定部材は、弾性を有する材料であることが好ましい。
また、本適用例にかかる振動ジャイロ素子の支持構造は、上記適用例のいずれかに記載の振動ジャイロ素子と、前記振動ジャイロ素子が載置される支持台と、前記振動ジャイロ素子の前記支持部と前記支持台とを固定する固定部材とを備え、前記固定部材は、弾性を有する材料であることを特徴としていてもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
［適用例９］本適用例にかかるジャイロセンサーは、上記適用例のいずれかに記載の振動ジャイロ素子と、前記振動ジャイロ素子が載置される支持台と、前記振動ジャイロ素子の前記支持部と前記支持台とを固定するための固定部材と、前記振動ジャイロ素子を駆動振動させるための駆動回路と、前記振動ジャイロ素子に角速度が加わったときに前記振動ジャイロ素子に生じる検出振動を検出する検出回路とを備えることを特徴とする。
また、本適用例にかかるジャイロセンサーは、上記適用例のいずれかに記載の振動ジャイロ素子と、前記振動ジャイロ素子が載置される支持台と、前記振動ジャイロ素子の前記支持部と前記支持台とを固定する固定部材と、前記振動ジャイロ素子を駆動振動させる駆動回路と、前記振動ジャイロ素子に角速度が加わったときに前記振動ジャイロ素子に生じる検出振動を検出する検出回路と、を備えることを特徴としていてもよい。