(57)【要約】      （修正有）【課題】コストを削減し、工場の使用面積を減らすことができ、生産効率を高められる複数並列自動チップ分類機を提供する。【解決手段】複数の分類ユニット３０、ウエハ１１を収納するウエハケース１０、及び分類トレイ２１を収納する分類トレイケース２０を備える。更に複数の分類ユニット３０、ウエハケース１０及び分類トレイケース２０との間を往復し、複数のウエハ１１及び複数の分類トレイ２１を出し入れするシャトル機構４０を備える。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
複数並列自動チップ分類機であって、
複数の分類待ちチップ（５０）が設置されるウエハ（１１）と、
複数の前記ウエハ（１１）を収納するウエハケース（１０）と、
複数の分類済みチップ（５０）が設置される分類トレイ（２１）と、
複数の前記分類トレイ（２１）を収納する分類トレイケース（２０）と、
前記ウエハ（１１）を設置するための分類待ち作業台（３１）、分類トレイ（２１）を設置するための分類済み作業台（３２）及び前記分類待ち作業台（３１）にある前記ウエハ（１１）上の前記分類待ちチップ（５０）をピックアップし、前記分類済み作業台（３２）にある前記分類トレイ（２１）上に詰めるためのアームを備える分類ユニット（３０）と、
前記ウエハケース（１０）、前記分類トレイケース（２０）及び複数の前記分類ユニット（３０）との間を往復し、複数の前記ウエハ（１１）及び複数の前記分類トレイ（２１）を出し入れするシャトル機構（４０）と、
を備えることを特徴とする複数並列自動チップ分類機。
【請求項２】
請求項１に記載の複数並列自動チップ分類機において、
更に前記分類ユニット（３０）及び前記シャトル機構（４０）と電気的に接続され、前記ウエハ（１１）及び前記分類トレイ（２１）を出し入れする時間を制御するスケジュールソートユニット（６０）を備えることを特徴とする複数並列自動チップ分類機。
【請求項３】
請求項１に記載の複数並列自動チップ分類機において、
複数の前記分類ユニット（３０）はそれぞれ前記ウエハ（１１）或いは前記分類トレイ（２１）の予備作業台（７０）を備えることを特徴とする複数並列自動チップ分類機。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、チップ分類機、特に複数並列自動チップ分類機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウエハをダイシングにより複数のチップ（ｄｉｅ又はｃｈｉｐ）に切断した後、品質、性能や商品の特性で分類を行う必要があり、異なる等級のチップは異なる分野で使用される。特に発光ダイオード（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｅｄ  Ｄｉｏｄｅ，  ＬＥＤ）は、ダイオードの明るさ、波長、色温度、操作電圧等が製造工程の条件の差異により、同じウエハ上で生産されたものでも、各チップとの間でいくらかの差異が発生する。発光ダイオードの分類は次第に細分化が要求され、今では１５０種類にも分けられている。図１は先行技術である単体半自動分類機を示す斜視図である。アーム１がウエハ２上の複数の分類待ちチップ３をピックアップし、分類トレイ４上に詰める。図１の中で、分類トレイ４は１２個あり、複数の分類待ちチップ３は１２種類に分けられる。ウエハ２上の複数の分類待ちチップ３の分類が終わると、手動で別のウエハ２と交換し、分類が続けられる。
【０００３】
図２は先行技術である単体自動分類機を示す斜視図である。主な構造は図１に示す単体半自動分類機と似ており、更にウエハケース６及び分類トレイケース７が増加され、ウエハ２の交換が自動化され、またアーム５による最適な分類トレイ４の選別及び交換が自動化されている。しかし、分類トレイ４の複数回に亘る交換は時間を消費するだけでなく、それぞれの分類トレイ４全てが同じ品質のチップ３でいっぱいになるわけではないので、作業の最後に各機械の分類トレイ４を同じ種類のものでまとめる作業を行わなくてはならず、時間の浪費になる。さらに、複数の単体自動分類機は工場の場所を占有するので、限られた空間でどのようにして分類機能を高速化するかが当業者の共通の目標である。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
本考案の主な目的は、チップ分類機が分類トレイの散乱により分類速度が低下する問題の解決である。
【０００５】
本考案の更なる目的は、複数のチップ分類機の工場占有面積が大きすぎる問題の解決である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の目的を達するため、本考案は複数並列自動チップ分類機を提供する。本考案はウエハケース、分類トレイケース、複数の分類ユニット及びシャトル機構を備える。前記ウエハケースは複数のウエハを収納できる。複数の前記ウエハ上には分類待ちチップが設置される。前記分類トレイケースは複数の分類トレイを収納できる。複数の前記分類トレイは複数の分類済みチップを収納できる。複数の前記分類ユニットはそれぞれ前記ウエハを設置する分類待ち作業台、前記分類トレイを設置する分類済み作業台及びアームを備える。前記アームは前記分類待ち作業台にある前記ウエハ上の分類待ちチップをピックアップし、前記分類済み作業台にある前記分類トレイ上に詰める。前記シャトル機構は複数の前記分類ユニット、前記ウエハケース及び前記分類トレイケース間を往復し、複数の前記ウエハ及び複数の前記分類トレイを出し入れする。
【考案の効果】
【０００７】
本考案は分類機の設置により、複数の分類ユニットがウエハケース及び分類トレイケースを共用し、ケースの使用量を節約し、コストを削減できる。本考案はまた、分類機を並べることにより、工場の使用面積を減らすことができる。そして、分類トレイを共用する方式によって、異なる分類機の分類トレイを同じ種類のものでまとめる作業を避けることができ、生産効率を高められる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】先行技術の単体半自動分類機を示す斜視図である。
【図２】先行技術の単体自動分類機を示す斜視図である。
【図３】本考案の実施例の立体構造を示す斜視図である。
【図４】本考案の別の実施例の立体構造を示す斜視図である。
【図５】本考案の実施例のソート構造を示す説明図である。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案の詳細な説明と技術内容を図面に基づいて説明する。
【００１０】
図３は本考案の実施例の立体構造を示す斜視図である。本考案は複数並列自動チップ分類機であり、ウエハケース１０、分類トレイケース２０、複数の分類ユニット３０及びシャトル機構４０を備える。ウエハケース１０は複数のウエハ１１を収納し、複数のウエハ１１上には複数の分類待ちチップ５０が置かれている。分類トレイケース２０は複数の分類トレイ２１を収納し、複数の分類トレイ２１には複数の分類済みチップ５０が置かれる。複数の分類ユニット３０はそれぞれウエハ１１を設置するための分類待ち作業台３１、分類トレイ２１を設置するための分類済み作業台３２及びアームを備え、前記アームは分類待ち作業台３１にあるウエハ１１上の分類待ちチップ５０をピックアップし、分類済み作業台３２にある分類トレイ２１上に詰める。シャトル機構４０はウエハケース１０、分類トレイケース２０及び複数の分類ユニット３０間を往復し、複数のウエハ１１及び複数の分類トレイ２１を出し入れする。図３では分類ユニット３０は８つあり、４つを１組としてウエハケース１０及び分類トレイケース２０の両側に設置される。
【００１１】
本実施例中、複数のウエハ１１はウエハケース１０及び分類待ち作業台３１上に地面と垂直に設置され、複数の分類トレイ２１は分類トレイケース２０及び分類済み作業台３２上に地面と垂直に設置される。分類待ち作業台３１及び分類済み作業台３２も同様に複数の分類ユニット３０上に地面と垂直に設置される。シャトル機構４０は軸上移動パーツを備える。図３では３軸方向の軸上移動パーツが複数のウエハ１１及び複数の分類トレイ２１を出し入れする。前記軸上移動パーツを垂直に設置されたウエハケース１０及び分類トレイケース２０に合わせるため、シャトル機構４０は複数の分類ユニット３０、ウエハケース１０及び分類トレイケース２０の上方に設置され、垂直移動の方式によって複数のウエハ１１及び複数の分類トレイ２１を出し入れする。図３は実際に使用されるシャトル機構４０ではなく、シャトル機構４０の三軸上の移動の概略を表している。
【００１２】
本考案の実施例の工程は以下のステップに分けられる。
【００１３】
ステップ１・ウエハ１１及び分類トレイ２１の設置：シャトル機構４０がウエハケース１０内にある複数のウエハ１１及び分類トレイケース２０内にある複数の分類トレイ２１をそれぞれ複数の分類ユニット３０上の分類待ち作業台３１と分類済み作業台３２に設置する。
【００１４】
ステップ２・分類：複数の分類ユニット３０が分類作業を行う。ウエハ１１上にある複数の分類待ちチップ５０をピックアップし分類トレイ２１に詰める。ここで、本実施例では、チップ５０を１５０種類に分類するため、１５０種類の分類トレイ２１があり、同じ種類の分類トレイ２１は１つしかない。そのため、複数の分類ユニット３０内の分類トレイ２１は全て異なる種類の分類トレイ２１である。
【００１５】
ステップ３・分類トレイ２１の交換：複数の分類ユニット３０内の分類作業が終わった後、シャトル機構４０は異なる分類ユニット３０内の分類トレイ２１を交換する。交換後、複数の分類ユニット３０は次の分類作業を行うことが可能である。特に説明すべきなのは、ウエハ１１上の分類待ちチップ５０の数が不確定なので、図５に示すように、分類ユニット３０はウエハ状態信号と分類トレイ状態信号をスケジュールソートユニット６０に送信し、スケジュールソートユニット６０は異なる分類ユニット３０が選出を完了する順序に沿ってシャトル機構４０を制御し、分類トレイ２１の交換を行う。
【００１６】
ステップ４・ウエハ１１及び分類トレイ２１の交換：ウエハ１１上の分類待ちチップ５０の分類が終わったら、空になったウエハ１１を取り、新しいウエハ１１を設置し分類を続ける。もし分類トレイ２１が同じ種類のチップ５０でいっぱいになると、新しい分類トレイ２１と交換する。
【００１７】
ステップ５・分類完了：１セット分のチップ５０の分類が完了した後、全ての分類トレイ２１を取り出す。異なる分類トレイ２１には異なる種類のチップ５０があり、分類したチップ５０の数が異なるので、同じ分類の分類トレイ２１は１つとは限らない。
【００１８】
上述の分類トレイ２１を交換する方式だけではなく、分類トレイ２１を固定し、ウエハ１１を交換する方式や分類トレイ２１及びウエハ１１を同時に交換する方式など、使用する方式によって異なる設計が可能である。
【００１９】
図４は本考案の別の実施例の立体構造を示す斜視図である。図４のように、垂直式の構造以外にも、本考案は水平式の構造も利用できる。詳しく説明すると、複数のウエハ１１はウエハケース１０及び分類待ち作業台３１上に地面と水平に設置され、複数の分類トレイ２１は分類トレイケース２０及び分類済み作業台３２上に地面と水平に設置される。シャトル機構４０は複数の分類ユニット３０、ウエハケース１０及び分類トレイケース２０の片側に設置され、シャトル機構４０は少なくとも１軸方向（図中では２軸方向）の軸上移動パーツを備え、水平移動の方式によって複数のウエハ１１及び複数の分類トレイ２１を出し入れする。
【００２０】
図５は本考案の実施例のソート構造を示す説明図である。図５では、本考案は更にウエハ１１及び分類トレイ２１の出し入れ時間を制御するスケジュールソートユニット６０を備え、分類ユニット３０及びシャトル機構４０と電気的に接続されている。分類ユニット３０はウエハ状態信号と分類トレイ状態信号をスケジュールソートユニット６０に送信し、スケジュールソートユニット６０はウエハ状態信号と分類トレイ状態信号に沿ってシャトル機構４０を制御し、複数のウエハ１１及び複数の分類トレイ２１の出し入れを行う。また作業効率を高めるために、複数の分類ユニット３０はそれぞれウエハ１１或いは分類トレイ２１を設置可能な予備作業台７０を備える。予備作業台７０の設置により、シャトル機構４０にインターバルを与え、分類ユニットは、チップ５０でいっぱいになった分類トレイ２１或いは分類済みのウエハ１１がシャトル機構４０により取り除かれ、新しい分類トレイ２１又は新しいウエハ１１が置かれるのを待たなければ引き続き作業が行えない問題を避けることができる。
【００２１】
上述のように、本考案は分類機の設置により、複数の分類ユニット３０がウエハケース１０、分類トレイケース２０を共用し、ケースの使用量を節約し、コストを削減できる。また、本考案は分類機を並べることにより、工場の使用面積を減らすことができる。そして、分類トレイ２１を共用する方式によって、異なる分類ユニット３０の分類トレイ２１を同じ種類のものでまとめる作業を避けることができ、生産効率を高められる。さらに、予備作業台７０の構造を利用することで、分類ユニット３０がシャトル４０の取り込み中に浪費する待ち時間を避ける。
【００２２】
本考案について詳細な説明を行ったが、以上の上述は本考案の最良の実施例を挙げただけであり、これらの実施例は本考案を限定するものではなく、本考案に基づく本考案の要旨を逸脱しないあらゆる変更は全て本考案の実用新案登録請求の範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本考案は、チップ分類機に適用することができる。
【符号の説明】
【００２４】
１  アーム
２  ウエハ
３  チップ
４  分類トレイ
５  アーム
６  ウエハケース
７  分類トレイケース
１０  ウエハケース
１１  ウエハ
２０  分類トレイケース
２１  分類トレイ
３０  分類ユニット
３１  分類待ち作業台
３２  分類済み作業台
４０  シャトル機構
５０  チップ
６０  スケジュールソートユニット
７０  予備作業台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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