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　特願２００６−１５６６４２「ターボ分子ポンプ」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　９月　７日出願公開、特開２００６−２３３９７８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１０年７月３１日に出願した特願平１０−２１８２５６号の一部を平成１８年６月５日に新たな特許出願としたものであって、平成２１年２月１３日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２１年３月２６日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
２．本願発明
　本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は、平成２１年１月９日付け手続補正により補正された明細書、特許請求の範囲、及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】
　アルミニウム合金からなる基材上に無電解メッキにより十分な耐食作用が得られる厚さに形成されるニッケル層と、該ニッケル層の上に輻射率向上の目的でカチオン電着塗装により形成されるエポキシ系樹脂層とを有するロータを備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。」
　
３．本願発明１についての検討
（１）本願発明１
　本願発明１は、上記２．に記載したとおりである。
（２）引用例
（２−１）引用例１
　特開平８−２８１８６８号公報（以下、「引用例１」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（あ）「【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は半導体製造装置、特にドライエッチング装置の排気に用いる、ターボ分子ポンプその他の真空ポンプの防食構造に関する。」
（い）「【００１１】以上のように塩素イオンが大量に発生するのであるが、このような大量の塩素イオンの存在に対しては、従来回転翼や固定翼に防食処理として施していた２０μｍ厚の無電解Ｎｉ−Ｐ系合金メッキ膜では、母材のアルミ合金を完璧に防護することができない。
【００１２】つまり、メッキ膜中に存在する細孔（ピンホール）から塩素イオンが容易に侵入し、アルミ素地まで達した所で孔食が起きるのであり、このようにして孔食が起きると、メッキ膜中に存在するＮｉ合金との関係から、局部電池作用がより一層増幅され、これにより激しく孔食が進行し、そして腐食生成物がメッキ膜を押し上げ、メッキ膜の剥離が生じる。」
（う）「【００１９】
【実施例】以下、この発明に係る防食構造について図１ないし図５を用いて詳細に説明する。
【００２０】この防食構造は図１に示すように金属部品１の表面にメッキ膜２を有し、このメッキ膜２の上にさらに防護膜３を備えるもので、メッキ膜２はＮｉ−Ｐ系合金により、また防護膜３はフッ素樹脂により形成されている。
【００２１】ターボ分子ポンプのアルミ合金部として周知の回転翼、固定翼を腐食から保護するには、その回転翼、固定翼の一部でなく全表面に、上記Ｎｉ−Ｐ系合金のメッキ膜２を設け、このメッキ膜２の上にさらに上記フッ素樹脂の防護膜３を設ける。
【００２２】なお、回転翼のみがアルミ合金から形成され、固定翼は鉄系材料から形成されている場合でも、アルミ合金の回転翼のみならず、鉄製固定翼の全表面にも上記と同様にＮｉ−Ｐ系合金のメッキ膜２とフッ素樹脂の防護膜３をその順に重ねて設けることができる。
【００２３】このようなメッキ膜２と防護膜３との２層構造は次の処理を経て作成することができる。
【００２４】先ず、回転翼、固定翼の全表面に、公知の無電解Ｎｉ−Ｐ合金メッキ処理を施し、Ｎｉ−Ｐ合金のメッキ膜２を形成する。
【００２５】すなわち、回転翼、固定翼につき所定の前処理を行った後、規定の浴組成のメッキ浴中に当該回転翼と固定翼を浸漬し、これにより回転翼および固定翼の全表面にＮｉ−Ｐ合金メッキ膜を形成する。
【００２６】Ｎｉ−Ｐ合金メッキ膜は厚く着けるほど、それだけ耐孔食性の向上を図ることができる。これは膜厚を厚く形成すると、膜の成長の途中で膜内のピンホールが塞がり、表面に開口するピンホールの数が減り、このためメッキ表面からアルミ素地への塩素イオン侵入量が減少するからであると考えられる。したがって、経済性も考慮に入れると、第１のメッキ膜２として形成するＮｉ−Ｐ合金メッキ膜は２０μｍ厚程度とするのが好適である。」
（え）「【００４１】
【発明の効果】この発明に係る防食構造にあっては、上記の如く金属部品の表面に、Ｎｉ−Ｐ系合金のメッキ膜を設け、さらにその上に、フッソ樹脂の防護膜を設けたものである。このため母材の金属部品への塩素イオン侵入量が可及的に減少し、軽度の孔食しか起こらず、金属部品の長寿命化を図れる。
【００４２】なお、このような塩素イオン侵入量の減少作用は、メッキ膜の表面に開口しているピンホールに防護膜のフッ素樹脂が入り込み、これによりピンホールの開口部が塞がれ、素地（金属部品表面）への塩素イオンの侵入経路が閉ざされる、および、メッキ膜の表面をフッ素樹脂の防護膜が覆うため、金属部品全体として表面の発水性が向上し、ＡｌＣｌ3 、塩素系ガス等、腐食の原因となる物質が吸着し難くなることによるものと考えられる。」
　以上の記載事項及び図面からみて、引用例１には、下記の発明（以下、「引用例１発明」という。）が記載されているものと認められる。
「アルミ合金からなる基材上に無電解メッキにより形成されるＮｉ−Ｐ系合金のメッキ膜と、該メッキ膜の上にフッ素系樹脂の防護膜とを設けた回転翼及び固定翼を備えたターボ分子ポンプ。」
（２−２）引用例２
　特開平２−１５８３３６号公報（以下、「引用例２」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（か）「本発明は、例えば半導体製造設備の排気ラインなどに適用されるターボ分子ポンプ用耐食材料に関する。」（第１ページ右下欄第１〜３行）
（き）「即ち、本発明に係るターボ分子ポンプ用耐食材料はアルミニウム金属またはアルミニウム合金の表面の第１層に酸化被膜が形成されている。そして、その封孔のために水和物Ａｌ２Ｏ３・xＨ２Ｏが第２層として形成されている。さらに、この水和物が形成される際に水酸化物Ｎｉ（ＯＨ）２，Ａｌ（ＯＨ）３が同時に形成され、第３層としてエポキシ樹脂が形成されている。…さらに、第３層にエポキシ樹脂を形成させて耐食性を向上させている。このように、複数の被膜を重ね合わせることにより従来よりも優れた耐食性を有するターボ分子ポンプ用耐食材料が得られる。」（第２ページ右上欄第１４行〜左下欄第１６行）
（２−３）引用例３
　特開平４−２８８８０４号公報（以下、「引用例３」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（さ）「【００１６】本発明の目的は、半光沢Ｎｉめっき層や無光沢Ｎｉめっき層上に、化成処理を行なわないで、樹脂塗装、特にカチオン電着塗装によりエポキシ樹脂層を積層し、樹脂層の付着性がよく、しかも耐食性が良好な永久磁石とその製造方法を提供することにある。」
（２−４）引用例４
　特開平９−２１７１９９号公報（以下、「引用例４」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（た）「【０００９】本発明に用いられる被塗物として、電着塗装を施すのに必要な導電性を有するものであれば良く、例えば、鋼、アルミニウム、銅、真鍮等の金属及び合金を始めとして、導電性樹脂、導電性セラミック、半導体、あるいは塗装の前工程でメッキ、蒸着等の方法で導電性被覆を施したもの等、それ自体公知のものを使用できる。
【００１０】本発明に用いられる塗料は、アニオン型樹脂塗料またはカチオン型樹脂塗料であって、それ自体公知のものが使用できる。アニオン型樹脂塗料は樹脂骨格中にカルボキシル基を多数有する酸性の樹脂を低分子有機アミン等で中和した水性塗料である。カチオン型樹脂塗料はアミノ基を多数有する塩基性の樹脂を有機カルボン酸等の低分子有機酸で中和した水性塗料である。アニオン型樹脂塗料に使用するポリマーとしては、アクリル系樹脂及びその変性樹脂を用いることが加水分解に対する安定性の点から望ましいが、特に限定されない。カチオン型樹脂塗料に使用するポリマーとしては、アミノ基を導入したエポキシ樹脂を用いることが耐食性の観点から望ましいが、特に限定されない。」
（３）対比
　本願発明１と引用例１発明とを比較すると、後者の「アルミ合金」は前者の「アルミニウム合金」に相当し、同様に、「Ｎｉ−Ｐ系合金のメッキ膜」は「ニッケル層」に、「回転翼」は「ロータ」に相当する。また、後者の「フッ素系樹脂の防護膜」と前者の「エポキシ系樹脂層」とは「樹脂層」である限りで一致する。
　以上より、本願発明１の用語に倣って整理すると、両者は、
「アルミニウム合金からなる基材上に無電解メッキにより形成されるニッケル層と、該ニッケル層の上に樹脂層とを有するロータを備えたターボ分子ポンプ。」である点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点１］
　本願発明１の「ニッケル層」は「十分な耐食作用が得られる厚さに形成されるニッケル層」であるのに対し、引用例１発明の「Ｎｉ−Ｐ系合金のメッキ膜」はそのような「ニッケル層」であるかどうか、不明である点。
［相違点２］
　本願発明１は「ニッケル層」の上に「輻射率向上の目的でカチオン電着塗装により形成されるエポキシ系樹脂層」を設けているのに対し、引用例１発明は「該メッキ膜」の上に「フッ素系樹脂の防護膜」を設けている点。
（４）判断
（４−１）［相違点１］について
　本願発明１では、そのターボ分子ポンプの用途・使用環境等が特定されておらず、「十分な耐食作用が得られる厚さ」が数量的に当業者にとって明確に理解し得る事項かどうかは措くとして、例えば、引用例１に「【００２６】Ｎｉ−Ｐ合金メッキ膜は厚く着けるほど、それだけ耐孔食性の向上を図ることができる。…」と記載されているように、引用例１発明においても「メッキ膜」をそのような厚さにするのが一般に好適であることは当業者に明らかであり、そのような厚さにすることは当業者が容易に想到し得たものと認められる。
　この点に関して、上記に摘記したように、引用例１には、「「【００１１】…従来回転翼や固定翼に防食処理として施していた２０μｍ厚の無電解Ｎｉ−Ｐ系合金メッキ膜では、母材のアルミ合金を完璧に防護することができない。」、「【００２６】…したがって、経済性も考慮に入れると、第１のメッキ膜２として形成するＮｉ−Ｐ合金メッキ膜は２０μｍ厚程度とするのが好適である。」と記載されており、審判請求の理由では、「すなわち、引用文献１の「メッキ膜２」…は、本願発明の構成Ａ１の「十分な耐食作用が得られる厚さに形成」されたものでないことは明らかである。」と主張している。しかし、引用例１で「Ｎｉ−Ｐ合金メッキ膜は２０μｍ厚程度」としたのは、「経済性も考慮に入れ」たことによるのであって、さらに厚くすることに技術的な阻害事由があるわけではない。また、引用例１発明は「フッ素樹脂の防護膜」を設けているが、「メッキ層」をどの程度の厚さとするかは、「経済性」のほか、その用途・使用環境、所要の性能・耐久性等に応じて設計すべきものであり、「メッキ層」の上に「フッ素樹脂の防護膜」のような樹脂層を設けるとしても、「メッキ層」を耐食性からみて十分な厚さとすることが望ましいことに変わりはない。
（４−２）［相違点２］について
　引用例１発明では、「該メッキ膜」の上に「フッ素系樹脂の防護膜」を設けることにより、母材のアルミ合金への塩素イオン侵入量が可及的に減少し、軽度の孔食しか起こらず、金属部品の長寿命化が図られている。このような作用効果を奏する「防護膜」の材質やその形成方法としてどのようなものを選択するかは、所要の性能、膜形成の作業性等を考慮して適宜設計する事項にすぎない。
　ここで、引用例２には、上記に摘記したとおり、アルミニウム合金の基材の表面に、第１層として酸化処理、第２層として水和物、第３層としてエポキシ樹脂の被膜が形成されたターボ分子ポンプ用耐食材料が示されている。このエポキシ樹脂の被膜は耐食性向上のためであり、その点では引用例１発明の「フッ素樹脂の防護膜」と実質的に共通するから、引用例１発明の「防護膜」として引用例２のエポキシ樹脂を採用することは、上記に適宜の設計として当業者が容易に想到し得たものと認められる。
　ただ、このようにする場合、エポキシ樹脂の被膜は耐食性向上のためであり、直接的に「輻射率向上の目的」ではない。しかし、（ａ）本願発明１は「ターボ分子ポンプ」という物に係る発明であり、「エポキシ系樹脂層」を設けることの目的が該発明の特定事項といえるためには、その目的によって、「エポキシ系樹脂層」の形状・構造（特に厚さ）が特定され得ることを要するが、そのような形状・構造を明確に認識し得るに足る事項は本願発明１に特に限定されていないとともに、それが当業者に自明であるとも認められないこと、（ｂ）本願明細書（例えば段落【００２１】）の記載等に基づいて本願発明１の目的から「エポキシ系樹脂層」の形状・構造がある程度特定され得るとしても、耐食性向上の目的による「エポキシ樹脂」の「防護膜」の厚さも特定の値に限定されるものではなく、所要性能等に応じて相応の範囲内の値を採り得るから、両者の目的の差異に基づいて形状・構造（特に厚さ）が明確に区別されるとは認められないこと、（ｃ）そのような目的は、その構成要素による作用効果として十分に把握し得ること、（ｄ）一般に、ある構成要素を備えることによって複数の目的・効果を達成し得ること、あるいは、ある目的から構成要素を付加したとしても、同時に他の目的・効果を達成し得ることは、往々にしてみられること、以上を考え合わせると、「輻射率向上の目的」という点のみに物の発明における発明特定事項からみた実質的差異を認めることはできない。
　また、カチオン電着塗装によりエポキシ樹脂の被膜を形成することは、上記に摘記したとおり、引用例３、４に示されており、上記のように引用例１発明の「防護膜」として引用例２のエポキシ樹脂を採用する場合、「カチオン電着塗装」により「防護膜」を形成することは、適宜の設計的事項にすぎない。
　そして、エポキシ樹脂が相応の輻射率という物性を備えていることが当業者に未知ないし意外であるとは考えられず、本願発明１の奏する作用効果も、引用例１〜４に記載された発明に基づいて当業者が予測できる程度のものである。
　
　なお、審判請求の理由において、「本願発明の構成（Ａ１）の「十分な耐食作用が得られる厚さに形成されるニッケル層」にあえて構成（Ｂ１）の「エポキシ系樹脂層」を設けるという構成は、引用文献１および２には示唆も開示もされておらず、請求項１の発明を想起する動機付けがない。」と主張している。しかし、引用例１発明の「メッキ膜」をさらに厚くすることが耐食性の点で好適であることは上記のとおりであり、その場合にも、より一層の耐食性能向上のためにその上に「保護膜」を設けるかどうかは、所要性能や経済性等を考量して適宜設計する事項にすぎない。「十分な耐食作用が得られる厚さ」が数量的に当業者にとって明確に理解し得る事項かどうか、疑義があることは上記のとおりであり、それが、任意のすべての状況下で「保護膜」を不要とするような厚さを意味するとは認めることはできない。
　同じく、「本願発明の発明者は、通常の塗装法によりニッケル層の表面にエポキシ系樹脂層を設けた場合、高速回転するロータではエポキシ系樹脂層が剥離するという課題に直面し、鋭意研究の結果、カチオン電着塗装によりエポキシ系樹脂層を設けると密着性が向上することから高速回転するロータでもエポキシ系樹脂層の剥離を防止することを見出し、本発明を創案するに至ったものである。つまり、「高速回転するロータでは通常の塗装法によるエポキシ系樹脂層が剥離する」という課題自体が新規なものであり、」と主張する。しかし、エポキシ樹脂等の「保護膜」を設ける場合に相応の密着性を要すること、「高速回転するロータ」の場合にそのような密着性が一層必要であることは、当業者に自明である。
　
（５）むすび
　したがって、本願発明１は、引用例１〜４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
４．結論
　以上のとおり、本願発明１が特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである以上、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。