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　特願２００４−　６８６２１「可動可搬型静電式基板保持器」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　４月１４日出願公開、特開２００５−１０１５０５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、平成１６年３月１１日（優先権主張、平成１５年３月１３日、ドイツ国）の出願であって、平成１８年１１月１７日付けで拒絶の理由が通知され、平成１９年５月２１日に手続補正がなされ、同年１１月１５日付けで拒絶査定がされ、これに対し、平成２０年２月１８日に拒絶査定に対する審判請求とともに手続補正（以下「本件補正１」という。）がなされ、同年３月１９日に特許請求の範囲についての手続補正（以下「本件補正２」という。）がなされ、同年１１月２８日に審尋がなされ、指定期間内に何ら応答がなかったものである。
　
第２．本件補正１についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正１を却下する。
　
［理由］
１．補正の内容
　本件補正１は、特許請求の範囲について補正をするものであって、請求項１について、補正前後の記載は、以下のとおりである。
　
（１）補正前（平成１９年５月２１日付け手続補正）
「被搬送基板を保持し、搬送するための可動可搬型静電式基板保持器であって、該保持器は、表面に前記搬送基板を載置する該基板に覆われる領域と、前記基板に覆われない領域を有し、さらに、内部に前記表面に載置される前記基板を真空保持するための孔を有し、
　前記基板に覆われない領域のみが、前記保持器を受容部に固定する締結リングにより覆われるように構成されていることを特徴とする可動可搬型静電式基板保持器。」
　
（２）補正後（平成２０年２月１８日付け手続補正）
「被搬送基板を保持し、搬送するための可動可搬型静電式基板保持器であって、該保持器は、表面に前記搬送基板を載置する該基板に覆われる領域と、前記基板に覆われない領域を有し、さらに、内部に前記表面に載置される前記基板を真空保持するための孔を有し、
　前記基板に覆われない領域のみが、前記保持器を受容部に固定する締結リングにより覆われるように構成されて
おり、
　
前記保持器の前記基板に覆われない領域の厚さが、前記覆われる領域の厚さに比して、＋３０ｍｍから−１０ｍｍの範囲である
　
２．補正の適否　　　
　本件補正の特許請求の範囲の補正後の請求項１についての補正は、保持器について、「基板に覆われない領域の厚さが、前記覆われる領域の厚さに比して、＋３０ｍｍから−１０ｍｍの範囲である」なる事項を付加するものであり、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下「改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正１発明」という。）が、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか否か（いわゆる独立特許要件）について検討する。
　
（１）補正発明
　補正１発明は、本件補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、上記１．（２）のとおりのものと認める。
　
（２）刊行物に記載された発明
　これに対し、原査定で引用された本件優先日前に日本国内において頒布された刊行物である特開２００２−３１３８９１号公報（以下「刊行物１」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
ア．段落０００１
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は基板を載置して搬送および処理を行うための基板搬送用トレーおよびその製造方法に関するものである。」
　
イ．段落００３５〜００３６
「【００３５】図１（ａ）は本発明の実施の形態１における基板搬送用トレーの平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）の断面図である。
【００３６】１はトレー本体、２は凹部、３は突き上げ用ピンが通る貫通孔、４は基板を吸着するための貫通孔、５は絶縁性を有しかつ柔軟性を有する物質、６は耐蝕性または耐スパッタリング性を有する物質である。」
　
ウ．段落００５０
「【００５０】トレー本体１の凹部２に設けた物質５は、絶縁性を有するとともに柔軟性を有するため、その絶縁性により基板がトレー本体１と絶縁され、基板に帯電した静電気により基板がトレー本体１に静電気力により引きつけられ固定される。」
　
エ．段落００５６
「【００５６】次に、予備室１０を経由してリンス室１３へ搬送し、トレー本体１に設けた基板を吸着するための貫通孔４より吸引することにより基板をトレー本体１に吸着させ、トレー本体１を回転させながら還元性を有しかつ導電性を有する水溶液を塗布した後、イオン交換水で洗浄し、その後高速回転させて水分を除去する。」
　
オ．図１
　上記摘記事項を踏まえ、図１を参照すると、トレー本体１は、基板に覆われない領域と覆われる領域とを有し、基板に覆われない領域の厚さが、覆われる領域の厚さよりも大きいことが看取できる。
　
　上記エ．及び図１の記載から、トレー本体１は、「内部に表面に載置される基板を真空保持するための貫通孔４を有していることは明らかである。
　
　これらの記載事項を、図面を参照しつつ、技術常識を考慮しながら補正発明に照らして整理すると、刊行物１には以下の発明（以下、「刊行物発明」という。）が記載されていると認める。
　
「被搬送基板を保持し、搬送するためのトレー本体１であって、該トレー本体１は、表面に前記搬送基板を載置する該基板に覆われる領域と、前記基板に覆われない領域を有し、さらに、内部に前記表面に載置される前記基板を真空保持するための貫通孔４を有し、
　前記トレー本体１の前記基板に覆われない領域の厚さが、前記覆われる領域の厚さに比して大きいものであるトレー本体１。」
　
（３）対比
　補正１発明と刊行物発明とを対比する。
　刊行物発明の「トレー本体１」は、上記ウ．に記載されているように、静電作用を有するから、補正１発明の「可動可搬型静電式基板保持器」に相当する。
　刊行物発明の「貫通孔４」は、補正１発明の「孔」に相当する。
　刊行物発明の「基板に覆われない領域の厚さが、前記覆われる領域の厚さに比して大きい」は、「基板に覆われない領域の厚さが、前記覆われる領域の厚さに比して大きい」である限りにおいて、補正１発明の「基板に覆われない領域の厚さが、前記覆われる領域の厚さに比して、＋３０ｍｍから−１０ｍｍの範囲である」と、一致する。
　
　したがって、補正１発明と刊行物発明とは、次の点で一致している。
「被搬送基板を保持し、搬送するための可動可搬型静電式基板保持器であって、該保持器は、表面に前記搬送基板を載置する該基板に覆われる領域と、前記基板に覆われない領域を有し、さらに、内部に前記表面に載置される前記基板を真空保持するための孔を有し、
　前記保持器の前記基板に覆われない領域の厚さが、前記覆われる領域の厚さに比して大きいものである可動可搬型静電式基板保持器。」
　
　そして、補正１発明と刊行物発明とは、以下の点で相違している。
　保持器について、補正１発明は、「基板に覆われない領域のみが、前記保持器を受容部に固定する締結リングにより覆われるように構成されており」、「基板に覆われない領域の厚さが、覆われる領域の厚さに比して、＋３０ｍｍから−１０ｍｍの範囲である」であるが、刊行物発明は、「締結リングにより覆われるように構成」されているか否か不明であり、厚さについては「大きい」程度が特定されていない点。
　
（４）相違点の検討
　相違点について検討する。
　基板の保持器は、何らかの処理のために用いられるものであり、処理にあたっては、処理装置に固定される必要があるところ、保持器の固定を「基板に覆われない領域のみが、保持器を受容部に固定する締結リングにより覆われるように構成」し、「基板に覆われない領域の厚さが、覆われる領域の厚さに比して小さい」ものとすることは、原査定において引用した特開平２−１３５７５３号公報の第３ページ右下欄第１３〜１８行、第１図、同じく特開平４−２７９０４４号公報の段落００２４、図２、同じく特開平６−２２４２８７号公報の段落０００３、図４にみられるごとく周知である。
　よって、刊行物発明の保持器を、処理装置に固定するにあたり、「基板に覆われない領域のみが、保持器を受容部に固定する締結リングにより覆われるように構成」することに、困難性は認められない。
　基板に覆われない領域の厚さと、覆われる領域の厚さとの関係については、刊行物発明は「覆われない領域の厚さが、前記覆われる領域の厚さに比して
大きい
小さい
　また、補正１発明が、「＋３０ｍｍから−１０ｍｍの範囲」なる数値限定をしたことによる臨界的意義、格別な技術的意義を見いだすことはできない。
　よって、厚さの関係をどの程度とするかは、基板の厚さ、締結リングの形状等を考慮して、実施にあたり、適宜なしうる設計的事項にすぎない。
　
　以上のことから、補正１発明は、刊行物発明、及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
３．むすび
　したがって、本件補正１は、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３．本件補正２についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正２を却下する。
　
［理由］
１．補正の内容
　本件補正１は、上記第２．のとおり却下されたので、本件補正２による補正前とは、平成１９年５月２１日付け手続補正によるものである。
　本件補正２は、特許請求の範囲について補正をするものであって、請求項１について、補正前後の記載は、以下のとおりである。
　
（１）補正前（平成１９年５月２１日付け手続補正）
「被搬送基板を保持し、搬送するための可動可搬型静電式基板保持器であって、該保持器は、表面に前記搬送基板を載置する該基板に覆われる領域と、前記基板に覆われない領域を有し、さらに、内部に前記表面に載置される前記基板を真空保持するための孔を有し、
　前記基板に覆われない領域のみが、前記保持器を受容部に固定する締結リングにより覆われるように構成されていることを特徴とする可動可搬型静電式基板保持器。」
　
（２）補正後（平成２０年３月１９日付け手続補正）
「被搬送基板を保持し、搬送するための可動可搬型静電式基板保持器であって、該保持器は、表面に前記搬送基板を載置する該基板に覆われる領域と、前記基板に覆われない領域を有し、さらに、内部に前記表面に載置される前記基板を真空保持するための孔を有し、
　前記基板に覆われない領域のみが、前記保持器を受容部に固定する締結リングにより覆われるように構成されており、
　前記保持器の前記基板に覆われない領域の厚さが、前記覆われる領域の厚さに比して、＋３０ｍｍから−１０ｍｍの範囲であることを特徴とする可動可搬型静電式基板保持器。」
　
２．補正の適否　　　
　本件補正２による補正後の請求項１は、上記本件補正１による補正後の請求項１と同一である。
　本件補正２による補正前の請求項１は、上記本件補正１による補正前の請求項１と同一である。
　
　したがって、上記第２．における検討と同様に、本件補正２による補正後の請求項１に係る発明は、刊行物発明、及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
３．むすび
　したがって、本件補正２は、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第４．本願発明について
１．本願発明
　本件補正１及び本件補正２は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１に係る発明は、平成１９年５月２１日付けで補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記第２．１．（１）に示す請求項１に記載されたとおりである。
　
２．刊行物等
　これに対して、原査定の際にあげられた刊行物及びその記載内容は、上記第２．２．（２）に示したとおりである。
　
３．対比・検討
　本願発明は、補正１発明において付加された事項を削除するものである。
そうすると、本願発明も、上記第２．２．（４）と同様の理由により、刊行物発明、及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　したがって、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないことから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。