【手続補正書】
【提出日】平成24年5月15日(2012.5.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液浸露光装置、液浸露光方法、及びデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置するテーブルと、
前記光学部材に対して相対移動されるとともに、前記光学部材と対向して位置付けられることによって前記光学部材の下に液浸液体を維持可能な部材と、を備え、
前記テーブルと前記部材とは相対移動可能であり、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の下方で液浸液体を維持する前記テーブルが前記部材に置き換えられるように、前記光学部材に対して移動され、前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項２】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置するテーブルと、
前記光学部材に対して相対移動されるとともに、前記光学部材と対向して位置付けられることによって前記光学部材の下に液浸液体を維持可能な部材と、を備え、
前記テーブルと前記部材とは相対移動可能であり、
前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルと、前記部材とは、前記光学部材に対して移動され、この移動により前記テーブルの代わりに前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材によって、前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項３】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置するテーブルと、
前記光学部材に対して相対移動されるとともに、前記光学部材と対向して位置付けられることによって前記光学部材の下に液浸液体を維持可能な部材と、を備え、
前記テーブルと前記部材とは相対移動可能であり、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材と前記テーブルとの間に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と前記部材との間に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記光学部材に対して移動され、前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記光学部材に対する前記テーブルと前記部材との移動において、前記光学部材の下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触が実質的に維持される。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記光学部材の下方で液浸液体を維持する前記テーブルの前記部材への置換において、前記光学部材の下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触が実質的に維持される。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記光学部材に対する前記テーブルと前記部材との移動によって、前記液浸液体は、前記光学部材の下に実質的に維持されつつ、あるいは前記光学部材との接触が実質的に維持されつつ、前記テーブルから前記部材に移動する。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の下に液浸液体を実質的に維持しつつ、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触を実質的に維持しつつ、前記光学部材に対して移動される。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルが前記光学部材の下方から離脱するのと並行して、前記部材が前記光学部材の下方に進入するように、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動される。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルの代わりに前記部材が液浸液体を維持するまで、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動される。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記部材は、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルに対して接近するように相対移動され、前記接近したテーブルと部材とが前記光学部材に対して移動される。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とはその表面が並置された状態で前記光学部材に対して移動される。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは互いに近接した状態で前記光学部材に対して移動される。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触が実質的に維持されるように近接した状態で前記光学部材に対して移動される。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは、その境界が液浸液体の下を通るように前記光学部材に対して移動される。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは、その端部が対向して配置される、あるいはギャップを挟んで配置され、前記対向した端部あるいは前記ギャップが液浸液体の下を通るように前記光学部材に対して移動される。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材に対して実質的に同時に移動される。
【請求項１７】
請求項１〜１６のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材に対する移動において、その表面が実質的に面一となる、あるいは実質的に連続する表面を形成する。
【請求項１８】
請求項１〜１７のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルは、前記基板の一部に液浸液体が位置するように移動され、前記光学部材と液浸液体とを介して前記基板が露光される。
【請求項１９】
請求項１〜１８のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルに載置される基板の露光に続いて、前記テーブルと前記部材とは前記光学部材に対して移動される。
【請求項２０】
請求項１〜１９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材との一方が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記テーブルと前記部材との他方は前記光学部材の下方から離れて配置される。
【請求項２１】
請求項１〜２０のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、前記テーブルは、前記光学部材の下方から離れて移動可能である。
【請求項２２】
請求項１〜２１のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、前記テーブルは、前記光学部材の下方から離れて、前記基板の露光動作と異なる動作が行われる。
【請求項２３】
請求項２２に記載の液浸露光装置において、
前記異なる動作は、前記テーブルに載置される基板のロード及び／又はアンロードを含む。
【請求項２４】
請求項１〜２３のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルに載置される基板のアライメントを行うアライメントシステムを、さらに備え、
前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、前記アライメントシステムによって、前記テーブルに載置される基板のアライメントが行われる。
【請求項２５】
請求項１〜２４のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルに載置される基板を交換する交換システムを、さらに備え、
前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、前記交換システムによって、前記テーブルに載置される基板の交換が行われる。
【請求項２６】
請求項１〜２５のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルに載置される基板の露光中、あるいは、前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記部材は、前記光学部材の下方から離れて移動可能である。
【請求項２７】
請求項１〜２６のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
所定方向に関して前記光学部材から離れて配置され、前記テーブルに載置される基板のアライメントを行うアライメントシステムを、さらに備え、
前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記部材は、前記光学部材の下方から前記所定方向に離れて配置される。
【請求項２８】
請求項１〜２７のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記部材は、前記テーブルが設けられる基板ステージと異なるステージを含む。
【請求項２９】
請求項１〜２８のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記部材は、前記液浸液体を維持するためのパッドを支持するように構成されたパッドステージを含む。
【請求項３０】
請求項１〜２９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
それぞれ基板を載置する、前記テーブルを含む２つのテーブルを有するステージアセンブリによって、前記２つのテーブルが交互に前記光学部材と対向して位置付けられ、
前記２つのテーブルの一方の代わりに他方を前記光学部材と対向して位置付ける途中で、前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項３１】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置する第１ステージと、
前記第１ステージに対して相対移動可能な第２ステージと、を備え、
前記第１、第２ステージはそれぞれ、前記光学部材に対して相対移動されるとともに、前記光学部材と対向して位置付けられることによって前記光学部材の下に液浸液体を維持可能であり、
前記第１、第２ステージは、前記光学部材の下方で液浸液体を維持する前記第１ステージが前記第２ステージに置き換えられるように、前記光学部材に対して移動され、前記第２ステージによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項３２】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置する第１ステージと、
前記第１ステージに対して相対移動可能な第２ステージと、を備え、
前記第１、第２ステージはそれぞれ、前記光学部材に対して相対移動されるとともに、前記光学部材と対向して位置付けられることによって前記光学部材の下に液浸液体を維持可能であり、
前記光学部材と対向して位置付けられる前記第１ステージと、前記第２ステージとは、前記光学部材に対して移動され、この移動により前記第１ステージの代わりに前記光学部材と対向して位置付けられる前記第２ステージによって、前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項３３】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置する第１ステージと、
前記第１ステージに対して相対移動可能な第２ステージと、を備え、
前記第１、第２ステージはそれぞれ、前記光学部材に対して相対移動されるとともに、前記光学部材と対向して位置付けられることによって前記光学部材の下に液浸液体を維持可能であり、
前記第１、第２ステージは、前記光学部材と前記第１ステージとの間に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と前記第２ステージとの間に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記光学部材に対して移動され、前記第２ステージによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項３４】
請求項３１〜３３のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記光学部材に対する前記第１、第２ステージの移動において、前記光学部材の下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触が実質的に維持される。
【請求項３５】
請求項３１〜３４のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記光学部材の下方で液浸液体を維持する前記第１ステージの前記第２ステージへの置換において、前記光学部材の下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触が実質的に維持される。
【請求項３６】
請求項３１〜３５のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記光学部材に対する前記第１、第２ステージの移動によって、前記液浸液体は、前記光学部材の下に実質的に維持されつつ、あるいは前記光学部材との接触が実質的に維持されつつ、前記第１ステージから前記第２ステージに移動する。
【請求項３７】
請求項３１〜３６のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１、第２ステージは、前記光学部材の下に液浸液体を実質的に維持しつつ、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触を実質的に維持しつつ、前記光学部材に対して移動される。
【請求項３８】
請求項３１〜３７のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１、第２ステージは、前記第１ステージが前記光学部材の下方から離脱するのと並行して前記第２ステージが前記光学部材の下方に進入するように、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動される。
【請求項３９】
請求項３１〜３８のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１、第２ステージは、前記第１ステージの代わりに前記第２ステージが液浸液体を維持するまで、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動される。
【請求項４０】
請求項３１〜３９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第２ステージは、前記光学部材と対向して位置付けられる前記第１ステージに対して接近するように相対移動され、前記接近した第１、第２ステージが前記光学部材に対して移動される。
【請求項４１】
請求項３１〜４０のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１、第２ステージはその表面が並置された状態で前記光学部材に対して移動される。
【請求項４２】
請求項３１〜４１のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１、第２ステージは互いに近接した状態で前記光学部材に対して移動される。
【請求項４３】
請求項４２に記載の液浸露光装置において、
前記第１、第２ステージは、前記光学部材の下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触が実質的に維持されるように近接した状態で前記光学部材に対して移動される。
【請求項４４】
請求項３１〜４３のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１、第２ステージは、その境界が液浸液体の下を通るように前記光学部材に対して移動される。
【請求項４５】
請求項３１〜４４のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１、第２ステージは、その端部が対向して配置される、あるいはギャップを挟んで配置され、前記対向した端部あるいは前記ギャップが液浸液体の下を通るように前記光学部材に対して移動される。
【請求項４６】
請求項３１〜４５のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１、第２ステージは、前記光学部材に対して実質的に同時に移動される。
【請求項４７】
請求項３１〜４６のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１、第２ステージは、前記光学部材に対する移動において、その表面が実質的に面一となる、あるいは実質的に連続する表面を形成する。
【請求項４８】
請求項３１〜４７のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１ステージは、前記基板の一部に液浸液体が位置するように移動され、前記光学部材と液浸液体とを介して前記基板が露光される。
【請求項４９】
請求項３１〜４８のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１ステージに載置される基板の露光に続いて、前記第１、第２ステージは前記光学部材に対して移動される。
【請求項５０】
請求項３１〜４９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１、第２ステージの一方が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記第１、第２ステージの他方は前記光学部材の下方から離れて配置される。
【請求項５１】
請求項３１〜５０のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第２ステージによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、前記第１ステージは、前記光学部材の下方から離れて移動可能である。
【請求項５２】
請求項３１〜５１のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第２ステージによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、前記第１ステージは、前記光学部材の下方から離れて、前記基板の露光動作と異なる動作が行われる。
【請求項５３】
請求項５２に記載の液浸露光装置において、
前記異なる動作は、前記第１ステージに載置される基板のロード及び／又はアンロードを含む。
【請求項５４】
請求項３１〜５３のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１ステージに載置される基板のアライメントを行うアライメントシステムを、さらに備え、
前記第２ステージによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、前記アライメントシステムによって、前記第１ステージに載置される基板のアライメントが行われる。
【請求項５５】
請求項３１〜５４のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１ステージに載置される基板を交換する交換システムを、さらに備え、
前記第２ステージによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、前記交換システムによって、前記第１ステージに載置される基板の交換が行われる。
【請求項５６】
請求項３１〜５５のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第１ステージに載置される基板の露光中、あるいは、前記第１ステージが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記第２ステージは、前記光学部材の下方から離れて移動可能である。
【請求項５７】
請求項３１〜５６のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
所定方向に関して前記光学部材から離れて配置され、前記第１ステージに載置される基板のアライメントを行うアライメントシステムを、さらに備え、
前記第１ステージが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記第２ステージは、前記光学部材の下方から前記所定方向に離れて配置される。
【請求項５８】
請求項３１〜５７のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第２ステージは、前記液浸液体を維持するためのパッドを支持するように構成されたパッドステージを含む。
【請求項５９】
請求項３１〜５８のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記第２ステージは、前記基板の露光に用いられないステージを含む。
【請求項６０】
請求項３１〜５９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
それぞれ基板を載置する、前記第１ステージを含む２つの基板ステージが交互に前記光学部材と対向して位置付けられ、
前記２つの基板ステージの一方の代わりに他方を前記光学部材と対向して位置付ける途中で、前記第２ステージによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項６１】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
互いに相対移動可能な、前記基板を載置するテーブルと、前記光学部材に対して相対移動されるとともに、前記光学部材と対向して位置付けられることによって前記光学部材の下に液浸液体を維持可能な部材と、のうち、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルによって、前記光学部材の下に液浸液体を維持することと、
前記光学部材の下方で液浸液体を維持する前記テーブルが前記部材に置き換えられるように、前記光学部材に対して前記テーブルと前記部材とを移動することと、を含む。
【請求項６２】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
互いに相対移動可能な、前記基板を載置するテーブルと、前記光学部材に対して相対移動されるとともに、前記光学部材と対向して位置付けられることによって前記光学部材の下に液浸液体を維持可能な部材と、のうち、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルによって、前記光学部材の下に液浸液体を維持することと、
前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルと、前記部材とを、前記光学部材に対して移動することと、を含み、
この移動により前記テーブルの代わりに前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材によって、前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項６３】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
互いに相対移動可能な、前記基板を載置するテーブルと、前記光学部材に対して相対移動されるとともに、前記光学部材と対向して位置付けられることによって前記光学部材の下に液浸液体を維持可能な部材と、のうち、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルによって、前記光学部材の下に液浸液体を維持することと、
前記光学部材と前記テーブルとの間に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と前記部材との間に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記光学部材に対して前記テーブルと前記部材とを移動することと、を含む。
【請求項６４】
請求項６１〜６３のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記光学部材に対する前記テーブルと前記部材との移動において、前記光学部材の下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触が実質的に維持される。
【請求項６５】
請求項６１〜６４のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記光学部材の下方で液浸液体を維持する前記テーブルの前記部材への置換において、前記光学部材の下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触が実質的に維持される。
【請求項６６】
請求項６１〜６５のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記光学部材に対する前記テーブルと前記部材との移動によって、前記液浸液体は、前記光学部材の下に実質的に維持されつつ、あるいは前記光学部材との接触が実質的に維持されつつ、前記テーブルから前記部材に移動する。
【請求項６７】
請求項６１〜６６のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の下に液浸液体を実質的に維持しつつ、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触を実質的に維持しつつ、前記光学部材に対して移動される。
【請求項６８】
請求項６１〜６７のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルが前記光学部材の下方から離脱するのと並行して、前記部材が前記光学部材の下方に進入するように、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動される。
【請求項６９】
請求項６１〜６８のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルの代わりに前記部材が液浸液体を維持するまで、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動される。
【請求項７０】
請求項６１〜６９のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材は、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルに対して接近するように相対移動され、前記接近したテーブルと部材とが前記光学部材に対して移動される。
【請求項７１】
請求項６１〜７０のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とはその表面が並置された状態で前記光学部材に対して移動される。
【請求項７２】
請求項６１〜７１のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは互いに近接した状態で前記光学部材に対して移動される。
【請求項７３】
請求項７２に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触が実質的に維持されるように近接した状態で前記光学部材に対して移動される。
【請求項７４】
請求項６１〜７３のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは、その境界が液浸液体の下を通るように前記光学部材に対して移動される。
【請求項７５】
請求項６１〜７４のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは、その端部が対向して配置される、あるいはギャップを挟んで配置され、前記対向した端部あるいは前記ギャップが液浸液体の下を通るように前記光学部材に対して移動される。
【請求項７６】
請求項６１〜７５のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材に対して実質的に同時に移動される。
【請求項７７】
請求項６１〜７６のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材に対する移動において、その表面が実質的に面一となる、あるいは実質的に連続する表面を形成する。
【請求項７８】
請求項６１〜７７のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルは、前記基板の一部に液浸液体が位置するように移動され、前記光学部材と液浸液体とを介して前記基板が露光される。
【請求項７９】
請求項６１〜７８のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルに載置される基板の露光に続いて、前記テーブルと前記部材とは前記光学部材に対して移動される。
【請求項８０】
請求項６１〜７９のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材との一方が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記テーブルと前記部材との他方は前記光学部材の下方から離れて配置される。
【請求項８１】
請求項６１〜８０のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、前記テーブルは、前記光学部材の下方から離れて移動可能である。
【請求項８２】
請求項６１〜８１のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、前記テーブルは、前記光学部材の下方から離れて、前記基板の露光動作と異なる動作が行われる。
【請求項８３】
請求項８２に記載の液浸露光方法において、
前記異なる動作は、前記テーブルに載置される基板のロード及び／又はアンロードを含む。
【請求項８４】
請求項６１〜８３のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、アライメントシステムによって、前記テーブルに載置される基板のアライメントが行われる。
【請求項８５】
請求項６１〜８４のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、交換システムによって、前記テーブルに載置される基板の交換が行われる。
【請求項８６】
請求項６１〜８５のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルに載置される基板の露光中、あるいは、前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記部材は、前記光学部材の下方から離れて移動可能である。
【請求項８７】
請求項６１〜８６のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
所定方向に関して前記光学部材から離れて配置されるアライメントシステムによって、前記テーブルに載置される基板のアライメントが行われ、
前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記部材は、前記光学部材の下方から前記所定方向に離れて配置される。
【請求項８８】
請求項６１〜８７のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材は、前記テーブルが設けられる基板ステージと異なるステージを含む。
【請求項８９】
請求項６１〜８８のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材は、前記液浸液体を維持するためのパッドを支持するように構成されたパッドステージを含む。
【請求項９０】
請求項６１〜８９のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
それぞれ基板を載置する、前記テーブルを含む２つのテーブルを有するステージアセンブリによって、前記２つのテーブルが交互に前記光学部材と対向して位置付けられ、
前記２つのテーブルの一方の代わりに他方を前記光学部材と対向して位置付ける途中で、前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項９１】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記光学部材に対して相対移動されるとともに、前記光学部材と対向して位置付けられることによって前記光学部材の下に液浸液体を維持可能な第１、第２ステージのうち、その第１ステージに基板を載置することと、
前記光学部材の下方で液浸液体を維持する前記第１ステージが前記第２ステージに置き換えられるように、前記光学部材に対して前記第１、第２ステージを移動することと、を含む。
【請求項９２】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記光学部材に対して相対移動されるとともに、前記光学部材と対向して位置付けられることによって前記光学部材の下に液浸液体を維持可能な第１、第２ステージのうち、その第１ステージに基板を載置することと、
前記光学部材と対向して位置付けられる前記第１ステージと、前記第２ステージとを、前記光学部材に対して移動することと、を含み、
この移動により前記第１ステージの代わりに前記光学部材と対向して位置付けられる前記第２ステージによって、前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項９３】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記光学部材に対して相対移動されるとともに、前記光学部材と対向して位置付けられることによって前記光学部材の下に液浸液体を維持可能な第１、第２ステージのうち、その第１ステージに基板を載置することと、
前記光学部材と前記第１ステージとの間に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と前記第２ステージとの間に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記光学部材に対して前記第１、第２ステージを移動することと、を含む。
【請求項９４】
請求項９１〜９３のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記光学部材に対する前記第１、第２ステージの移動において、前記光学部材の下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触が実質的に維持される。
【請求項９５】
請求項９１〜９４のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記光学部材の下方で液浸液体を維持する前記第１ステージの前記第２ステージへの置換において、前記光学部材の下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触が実質的に維持される。
【請求項９６】
請求項９１〜９５のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記光学部材に対する前記第１、第２ステージの移動によって、前記液浸液体は、前記光学部材の下に実質的に維持されつつ、あるいは前記光学部材との接触が実質的に維持されつつ、前記第１ステージから前記第２ステージに移動する。
【請求項９７】
請求項９１〜９６のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１、第２ステージは、前記光学部材の下に液浸液体を実質的に維持しつつ、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触を実質的に維持しつつ、前記光学部材に対して移動される。
【請求項９８】
請求項９１〜９７のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１、第２ステージは、前記第１ステージが前記光学部材の下方から離脱するのと並行して前記第２ステージが前記光学部材の下方に進入するように、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動される。
【請求項９９】
請求項９１〜９８のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１、第２ステージは、前記第１ステージの代わりに前記第２ステージが液浸液体を維持するまで、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動される。
【請求項１００】
請求項９１〜９９のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第２ステージは、前記光学部材と対向して位置付けられる前記第１ステージに対して接近するように相対移動され、前記接近した第１、第２ステージが前記光学部材に対して移動される。
【請求項１０１】
請求項９１〜１００のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１、第２ステージはその表面が並置された状態で前記光学部材に対して移動される。
【請求項１０２】
請求項９１〜１０１のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１、第２ステージは互いに近接した状態で前記光学部材に対して移動される。
【請求項１０３】
請求項１０２に記載の液浸露光方法において、
前記第１、第２ステージは、前記光学部材の下に液浸液体が実質的に維持される、あるいは前記光学部材と液浸液体との接触が実質的に維持されるように近接した状態で前記光学部材に対して移動される。
【請求項１０４】
請求項９１〜１０３のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１、第２ステージは、その境界が液浸液体の下を通るように前記光学部材に対して移動される。
【請求項１０５】
請求項９１〜１０４のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１、第２ステージは、その端部が対向して配置される、あるいはギャップを挟んで配置され、前記対向した端部あるいは前記ギャップが液浸液体の下を通るように前記光学部材に対して移動される。
【請求項１０６】
請求項９１〜１０５のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１、第２ステージは、前記光学部材に対して実質的に同時に移動される。
【請求項１０７】
請求項９１〜１０６のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１、第２ステージは、前記光学部材に対する移動において、その表面が実質的に面一となる、あるいは実質的に連続する表面を形成する。
【請求項１０８】
請求項９１〜１０７のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１ステージは、前記基板の一部に液浸液体が位置するように移動され、前記光学部材と液浸液体とを介して前記基板が露光される。
【請求項１０９】
請求項９１〜１０８のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１ステージに載置される基板の露光に続いて、前記第１、第２ステージは前記光学部材に対して移動される。
【請求項１１０】
請求項９１〜１０９のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１、第２ステージの一方が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記第１、第２ステージの他方は前記光学部材の下方から離れて配置される。
【請求項１１１】
請求項９１〜１１０のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第２ステージによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、前記第１ステージは、前記光学部材の下方から離れて移動可能である。
【請求項１１２】
請求項９１〜１１１のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第２ステージによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、前記第１ステージは、前記光学部材の下方から離れて、前記基板の露光動作と異なる動作が行われる。
【請求項１１３】
請求項１１２に記載の液浸露光方法において、
前記異なる動作は、前記第１ステージに載置される基板のロード及び／又はアンロードを含む。
【請求項１１４】
請求項９１〜１１３のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第２ステージによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、アライメントシステムによって、前記第１ステージに載置される基板のアライメントが行われる。
【請求項１１５】
請求項９１〜１１４のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第２ステージによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される間、交換システムによって、前記第１ステージに載置される基板の交換が行われる。
【請求項１１６】
請求項９１〜１１５のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第１ステージに載置される基板の露光中、あるいは、前記第１ステージが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記第２ステージは、前記光学部材の下方から離れて移動可能である。
【請求項１１７】
請求項９１〜１１６のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
所定方向に関して前記光学部材から離れて配置されるアライメントシステムによって、前記第１ステージに載置される基板のアライメントが行われ、
前記第１ステージが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記第２ステージは、前記光学部材の下方から前記所定方向に離れて配置される。
【請求項１１８】
請求項９１〜１１７のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第２ステージは、前記液浸液体を維持するためのパッドを支持するように構成されたパッドステージを含む。
【請求項１１９】
請求項９１〜１１８のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記第２ステージは、前記基板の露光に用いられないステージを含む。
【請求項１２０】
請求項９１〜１１９のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
それぞれ基板を載置する、前記第１ステージを含む２つの基板ステージが交互に前記光学部材と対向して位置付けられ、
前記２つの基板ステージの一方の代わりに他方を前記光学部材と対向して位置付ける途中で、前記第２ステージによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項１２１】
デバイス製造方法であって、
請求項１〜６０のいずれか一項に記載の液浸露光装置を用いてワークピースを露光することと、
前記露光されたワークピースを現像することと、を含む。
【請求項１２２】
デバイス製造方法であって、
請求項６１〜１２０のいずれか一項に記載の液浸露光方法を用いてワークピースを露光することと、
前記露光されたワークピースを現像することと、を含む。