【事件の表示】
　特願２００４−１９８１５０「真空処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　１月１９日出願公開、特開２００６−　１９６３９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成１６年７月５日の特許出願であって、同１６年８月１８日付で拒絶の理由が通知され、同１６年９月２４日、及び同１６年１０月２６日に意見書及び手続補正書が提出されたが、同１６年１１月１７日付で拒絶をすべき旨の査定がされ、これに対し、同１６年１２月１４日に本件審判の請求がされ、同時に手続補正（以下「本件補正」という。）がされたものである。
　
第２　本件補正についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
１　補正の内容の概要
　本件補正は特許請求の範囲を含む明細書について補正をするものであって、請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
（１）補正前の請求項１
「真空排気可能な内部空間を画定する真空容器と、
　前記真空容器内の真空状態を維持したままで、処理対象物を、該真空容器内へ搬入し、及び該真空容器内から搬出することができる第１のロードロック機構と、
　前記真空容器内の真空状態を維持したままで、処理対象物を、該真空容器内へ搬入し、及び該真空容器内から搬出することができる第２のロードロック機構と、
　前記真空容器の外に配置され、処理対象物を保持して、前記第１のロードロック機構及び前記第２のロードロック機構に、該処理対象物を搬入することができる第１の外部アームと、
　処理対象物を、前記第１のロードロック機構及び第２のロードロック機構から受け取る第２の外部アームと、
　前記真空容器の外に配置され、処理対象物を、該真空容器外の保管場所から搬出して前記第１の外部アームへ引き渡し、かつ前記第２の外部アームに保持された処理対象物を受け取り、該真空容器外の保管場所へ搬送するロボットアームと
を有する真空処理装置。」
（２）補正後の請求項１
「真空排気可能な内部空間を画定する真空容器と、
　前記真空容器内の真空状態を維持したままで、処理対象物を、該真空容器内へ搬入し、及び該真空容器内から搬出することができる第１のロードロック機構と、
　前記真空容器内の真空状態を維持したままで、処理対象物を、該真空容器内へ搬入し、及び該真空容器内から搬出することができる第２のロードロック機構と、
　前記真空容器の外に配置され、処理対象物を保持して、前記第１のロードロック機構及び前記第２のロードロック機構に、該処理対象物を搬入することができる第１の外部アームと、
　処理対象物を、前記第１のロードロック機構及び第２のロードロック機構から受け取る第２の外部アームと、
　前記真空容器の外に配置され、処理対象物を、該真空容器外の保管場所から搬出して前記第１の外部アームへ引き渡し、かつ前記第２の外部アームに保持された処理対象物を受け取り、該真空容器外の保管場所へ搬送するロボットアームと
、
　
前記第１及び第２のロードロック機構の一方から前記第２の外部アームに処理対象物が引き渡された時点では、前記第１の外部アームが未処理の処理対象物を保持して、当該一方のロードロック機構へ処理対象物を搬入する準備が完了しているように、前記第１及び第２の外部アーム、前記ロボットアーム、前記第１及び第２のロードロック機構を制御する制御装置と
を有する真空処理装置。」
２　補正の適否
　請求項１における補正は、「第１及び第２のロードロック機構の一方から第２の外部アームに処理対象物が引き渡された時点では、第１の外部アームが未処理の処理対象物を保持して、当該一方のロードロック機構へ処理対象物を搬入する準備が完了しているように、第１及び第２の外部アーム、ロボットアーム、第１及び第２のロードロック機構を制御する制御装置」という限定事項を付加するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下検討する。
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正がされた明細書及び図面の記載からみて、前記１の（２）の補正後の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認める。
（２）引用例記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開２０００−１２６４７号公報（以下「引用例」という。）には、以下のとおり記載されている。
（ア）発明の詳細な説明の段落【０００１】
「【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造技術等に利用されるイオン注入装置において、その端部ステーションであるウエハを処理する真空室（イオン注入室）内にウエハを搬送するための装置及びその方法に関する。」
（イ）発明の詳細な説明の段落【００１８】〜【００１９】
「【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明におけるウエハ搬送装置１０の概略構成図であり、図７にその全体構造を示すイオン注入装置１の端部ステーション２として配置されている。図１において、このウエハ搬送装置１０は、イオンを注入してウエハを処理する真空室３（破断線でハウジング断面の一部のみを示す）へロードロック室４を介してウエハ５を給排するローディング部６からなっている。
　このローディング部６は、大気中に置かれたプラットフォーム８上に、ほぼ中央に位置するアライナ１２と、これに対向配置された２つのウエハ搬送用のロボット１４，１５と、各ロボットに対応して隣接配置された一対のカセットステーション１６，１７を備えている。」
（ウ）発明の詳細な説明の段落【００２１】
「ウエハ搬送用のロボット１４（１５）は、図３，図４において後述する３軸アームロボットであり、プラットフォーム８上の所定位置に固定され、ウエハ５（５’）を保持して、ロードロック室４およびカセットステーション１６（１７）内にウエハを給排するためのアーム構造を有し、上下移動、回転および前後移動が可能になっている。」
（エ）発明の詳細な説明の段落【００２４】〜【００２６】
「図２は、本発明に係るウエハの搬送工程におけるロボットの動作原理を示すものである。ロボットの動作によるウエハの搬送は、先ず、予めカセットＡから１枚の未処理のウエハ５’が第１のロボットＡ(14)によってアライナ１２上に載置される準備工程（第１工程丸１）から開始される。この準備工程の動作は、最初のウエハを処理する際の前段階として実行され、また、その後に続く連続作業の動作時において、処理済ウエハ５がカセットへ格納された後に、続行される未処理ウエハ５’のアライナへの載置動作として第１のロボットＡが行う一連の第１動作丸２−丸１に組み込まれる。
　連続作業時において、第１のロボットＡは、ロードロック室４から処理済のウエハ５を受け取り、それをカセットＡに格納（第２工程丸２）し、このカセットＡから別のウエハを取り出してアライナ１２上に載置する（第１工程丸１）。一方で第２のロボットＢ(15)は、アライナ１２上で既に所定の角度位置合わせを行った未処理のウエハを保持して待機しており、ロボットＡの処理済のウエハ５の排出後、直ちに、ロボットＡが次のウエハをアライナ１２に供給する前に、未処理ウエハ５’をロードロック室４内に供給する（第３工程丸３）。
　このような第１，第２，第３工程を逐次２つのロボットにより実行し、カセットＡのウエハが全部イオン注入処理されたウエハになってカセットＡに格納されると、今度は、カセットＢのウエハの処理を行うようになっている。この場合、ロボットＡとロボットＢの動作は逆転する。」
（オ）ここで、真空室３が、真空排気可能な内部空間を画定していること、及び、ロードロック室４が、真空室３内の真空状態を維持したままで、ウエハを真空室３内へ搬入し、また、該真空室３から搬出することができることは、明らかである。また、ロボット１４及び１５は、図１から明らかに真空室３の外に配置されている。そして、ウエハを搬送しているのであるから、搬送の過程でウエハを保持しなければならないことは明らかである。
　以上(ア)〜(エ)の記載事項、及び(オ)の認定事項から、引用例には以下の発明が記載されていると認められる。（以下、「引用発明」とする。）
「真空排気可能な内部空間を画定する真空室３と、
　前記真空室３内の真空状態を維持したままで、ウエハを、該真空室３内へ搬入し、及び該真空室３内から搬出することができるロードロック室４と、
　前記真空室３の外に配置され、ウエハを保持して、前記ロードロック室４にウエハを搬入することができる第１のロボットＡ（１４）と、
　ウエハを、前記ロードロック室４から受け取る第２のロボットＢ（１５）とを有し、ロボットＡ（１４）とロボットＢ（１５）とはその動作を逆転することが可能であり、
　ロードロック室４から第１のロボットＡ（１４）が処理済のウエハを受け取り、それをカセットＡに格納し、カセットＡから別のウエハを取り出してアライナ１２上に載置し、一方で、第２のロボットＢ（１５）がアライナ１２上で既に角度位置合わせを行った未処理のウエハを保持して待機しており、ロボットＡの処理済ウエハの排出後、直ちに、第２のロボットＢ（１５）が未処理ウエハをロードロック室４内に供給する
イオン注入装置。」
（３）対比
　補正発明と引用発明とを対比すると、後者の「真空室３」、「ウエハ」、「ロードロック室４」、「イオン注入装置」は、それぞれ、前者の「真空容器」、「処理対象物」、「ロードロック機構」、「真空処理装置」に相当する。また、後者の「第２ロボットＢ（１５）」は、ウエハをロードロック室４内に搬入するのであるから、前者の「第１の外部アーム」に相当する。同様に、後者の「第１のロボットＡ（１４）」は、ウエハをロードロック室４から搬出するのであるから、前者の「第２の外部アーム」に相当する。
　したがって、両者は、次の点で一致している。
「真空排気可能な内部空間を画定する真空容器と、
　前記真空容器内の真空状態を維持したままで、処理対象物を、該真空容器内へ搬入し、及び該真空容器内から搬出することができるロードロック機構と、
　前記真空容器の外に配置され、処理対象物を保持して、前記ロードロック機構に、該処理対象物を搬入することができる第１の外部アームと、
　処理対象物を、前記ロードロック機構から受け取る第２の外部アームと、
を有する真空処理装置。」
　そして、両者は、次の点で相違している。
＜相違点１＞
　ロードロック機構に関し、補正発明は、第１、及び第２という２つのロードロック機構を設けているのに対し、引用発明では、ロードロック機構に相当するロードロック室４は１つしか設けられていない点。
＜相違点２＞
　補正発明では、真空容器の外に配置され、処理対象物を、該真空容器外の保管場所から搬出して第１の外部アームへ引き渡し、かつ第２の外部アームに保持された処理対象物を受け取り、該真空容器外の保管場所へ搬送するロボットアームを有しているのに対し、引用発明では、補正発明の第２及び第１の外部アームに相当する第１及び第２のロボットＡ（１４）、Ｂ（１５）以外に、ロボットアームを有していない点。
＜相違点３＞
　ロードロック機構への処理対象物の搬入及び搬出に関し、補正発明では、第１及び第２のロードロック機構の一方から第２の外部アームに処理対象物が引き渡された時点では、第１の外部アームが未処理の処理対象物を保持して、当該一方のロードロック機構へ処理対象物を搬入する準備が完了しているように、第１及び第２の外部アーム、ロボットアーム、第１及び第２のロードロック機構を制御する制御装置を設けているのに対し、引用発明では、ロードロック機構に相当するロードロック室４から第１のロボットＡ（１４）が処理済のウエハを受け取り、それをカセットＡに格納し、カセットＡから別のウエハを取り出してアライナ１２上に載置し、一方で、第２のロボットＢ（１５）がアライナ１２上で既に角度位置合わせを行った未処理のウエハを保持して待機しており、ロボットＡの処理済ウエハの排出後、直ちに、第２のロボットＢ（１５）が未処理ウエハをロードロック室４内に供給するようにしている点。
＜相違点４＞
　第１の外部アームと第２の外部アームに関し、補正発明では、第１の外部アームはロードロック機構に処理対象物を搬入することができるものであり、第２の外部アームは処理対象物をロードロック機構から処理対象物を受け取ることができると、その役割を分業化しているのに対し、引用発明では、第１の外部アームと第２の外部アームに相当する第１のロボットＡ（１４）と第２のロボットＢ（１５）の役割は、処理対象物に相当するウエハの搬入及び搬出の動作分担を逆にすることができるものである点。
（４）相違点の検討
　上記相違点について、以下検討する。
ア　＜相違点１＞について
　真空処理装置において、ロードロック機構を２つ設けることは、例えば、特開２００３−２０３９６３号公報（同公報には、ロードロック機構に相当するロードロック室２２Ａと２２Ｂを設ける点について記載されている。）、特開平１１−１６３０７５号公報（同公報には、ロードロック機構に相当するロードロック室１６−１と１７−１を設ける点について記載されている。）に記載されているように周知の事項であることから、引用発明においても、ロードロック機構に相当するロードロック室４を２つ設けるようにすることは、当業者が容易になし得たものである。
イ　＜相違点２＞について
　一般に処理対象物を複数の移載装置、すなわちアームやロボットアーム等の中継によって移動することは、特開平６−２１１９６号公報（同公報には、処理対象物であるウエハを載置台７６を介して多関節ロボット３０と搬送アーム７０、７２との間で中継することについて記載されている。）、特開２００２−３１３８７４号公報（同公報には、処理対象物であるウエハをインデクサロボットと主搬送ロボットとの間で中継することについて記載されている。）に記載されているように周知の事項であることから、引用発明においても、移載装置であって外部アームに相当する第１のロボットＡ（１４）、第２のロボットＢ（１５）と処理対象物の保管場所との間に中継する移載装置、すなわちロボットアームを設けることは、当業者が容易になし得たものである。
ウ　＜相違点３＞について
　引用発明においても、ロードロック室４から第１のロボットＡ（１４）が処理済のウエハを受け取り、それをカセットＡに格納し、カセットＡから別のウエハを取り出してアライナ１２上に載置している間、第２のロボットＢ（１５）はアライナ１２上で既に角度位置合わせを行った未処理のウエハを保持して待機していることから、第２のロボットＢ（１５）は、「ロードロック機構の一方から第２の外部アームに処理対象物が引き渡された時点では、第１の外部アームが未処理の処理対象物を保持して、ロードロック機構へ処理対象物を搬入する準備が完了している」ものとみることができる。そして、複数の移載装置を有する場合、当該複数の移載装置を同時に作動させて搬入と搬出を同時に行うことも、特開平１０−１２５７６４号公報（同公報の段落【００１３】には、ウエハの搬入と搬出を同時に行うことについて記載されている。）、特開平８−１８１１８９号公報（同公報の段落【００１７】には、ウエーハの処理部への挿入とそこからの取り出しを同時に行うことについて記載されている。）に記載されているように周知の事項であることからすれば、引用発明においても、ロードロック室４から第１のロボットＡ（１４）にウエハが引き渡された時点では、第２のロボットＢ（１５）がウエハを保持してロードロック室４へウエハを搬入する準備が完成しているようにすることは当業者が容易になし得たものである。そして、さらに処理対象物であるウエハを中継するために、別の移載装置であるロボットアームをさらに追加して用いる場合には、そのロボットアームを含めて制御すべきことは、当業者にとって自明の事項である。
エ　＜相違点４＞について
　一般に、２つの移載装置の動作分担を互いに交代できるようにすることも、それぞれ専用で用いるようにすることも、ともに慣用されている周知の事項であることからすれば、引用発明において移載装置である第１の外部アームと第２の外部アームに相当する第１のロボットＡ（１４）と第２のロボットＢ（１５）の動作分担を、逆も可能にすることに代えて、一方を搬入専用、他方を搬出専用とすることは、当業者が容易になし得たものである。
オ　補正発明の作用効果について
　補正発明が奏する作用効果も、引用発明および上記周知の事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、補正発明は、引用発明及び上記周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
３　むすび
　以上のとおりであるので、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本件発明について
１　本件発明
　本件補正は、前記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１ないし６に係る発明は、平成１６年１０月２６日付手続補正書により補正がされた明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された「真空処理装置」と認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、前記第２の１の（１）で示した補正前の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認める。
２　引用例記載事項
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された引用例１及び引用例２の記載事項は、前記第２の２の（２）に示したとおりである。
３　対比・判断
　本件発明は、前記第２の２で述べたとおり、補正発明の特定事項から、前記限定事項が省かれたものである。
　そうすると、前記第２の２の（４）で検討したとおり、補正発明は、引用発明及び上記周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、補正発明の特定事項から前記限定事項が省かれた本件発明についても、同様に引用発明及び上記周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４　むすび
　以上のとおりであるので、本件発明は、引用発明及び上記周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その余の請求項について検討するまでもなく、本願は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。