【事件の表示】
　平成９年特許願第２０５６８号「気相成長装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年８月１８日出願公開，特開平１０−２１９４５３〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は，成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本願は，平成９年２月３日の出願であって，平成１８年１０月２４日付けで拒絶理由の通知がなされ（発送日は同年１１月７日），同年１２月２９日付けで意見書と明細書の記載に係る手続補正書の提出がなされ，平成１９年２月２０日付けで拒絶査定がなされ（発送日は同年同月２７日），これに対し，同年３月２９日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに，同年５月１日付けで上記審判に係る請求書の手続補正書及び明細書の記載に係る手続補正書の提出がなされ，平成２１年６月１８日付けで特許法第１６４条第３項に基づく報告を引用した審尋が通知され（発送日は同年同月２３日），同年８月１８日に回答書が提出されている。
　
ＩＩ．平成１９年５月１日付けの手続補正（以下，「本件補正」という。）についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１９年５月１日付けの手続補正を却下する。
［理由］
１．本件補正は，平成１８年１２月２９日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲，すなわち，
「【請求項１】　気相成長を行う反応管と，
　１以上の原料ガス供給源からなり，原料ガスの供給を行う原料ガス供給部と，
　少なくともキャリアガスを供給することのできるキャリアガス供給部と，
　上記原料ガス供給部からの原料ガスと，上記キャリアガス供給部からのキャリアガスとを反応管に供給する原料ガス供給路と，
　上記キャリアガス供給部から，上記反応管に，直接ガスを送り込む反応管パージガス供給路と，
　上記原料ガス供給部からの原料ガスを，上記反応管外に送出する原料ガス送出路と，
　上記原料ガス供給部からの原料ガスを，上記反応管と，上記原料ガス送出路とに切り換え供給する切り換え手段とを有し，
　上記切り換え手段は，上記原料ガス供給路と，上記原料ガス送出路とに，それぞれ開閉装置を有し，
　上記原料ガス供給路の開閉装置と，上記原料ガス送出路の開閉装置とは，一方が閉じると他方が開く構成とされてなることを特徴とする気相成長装置。
【請求項２】　上記パージガス供給路に，開閉装置を有し，
　上記原料ガス供給路の開閉装置と，上記パージガス供給路の開閉装置とは，一方が開くと他方も開く構成とされてなることを特徴とする請求項１に記載の気相成長装置。
【請求項３】　上記反応管と上記原料ガス供給部との間に，両者を切り離し可能とするための切り離し手段が設けられてなることを特徴とする請求項１に記載の気相成長装置。」（これらの請求項１〜３を，以下，それぞれ「旧請求項１」〜「旧請求項３」という。）
を
「【請求項１】　気相成長を行う反応管と，
　１以上の原料ガス供給源からなり，原料ガスの供給を行う原料ガス供給部と，
　少なくともキャリアガスを供給することのできるキャリアガス供給部と，
　上記原料ガス供給部からの原料ガスと，上記キャリアガス供給部からのキャリアガスとを反応管に供給する原料ガス供給路と，
　上記キャリアガス供給部から，上記反応管に，直接ガスを送り込む反応管パージガス供給路と，
　上記原料ガス供給部からの原料ガスを，上記反応管外に送出する原料ガス送出路と，
　上記原料ガス供給部からの原料ガスを，上記反応管と，上記原料ガス送出路とに切り換え供給する切り換え手段とを有し，
　上記切り換え手段は，上記原料ガス供給路と，上記原料ガス送出路とに，それぞれ開閉装置を有し，
　上記原料ガス供給路の開閉装置と，上記原料ガス送出路の開閉装置とは，一方が閉じると他方が開く構成とされてなり，
　上記パージガス供給路に，開閉装置を有し，
　上記原料ガス送出路の開閉装置と，上記パージガス供給路の開閉装置とは，一方が開くと他方も開く構成とされてなることを特徴とする気相成長装置。
【請求項２】　上記反応管と上記原料ガス供給部との間に，両者を切り離し可能とするための切り離し手段が設けられてなることを特徴とする請求項１に記載の気相成長装置。」と補正することを含むものである。
　
２．この補正は，旧請求項１の「上記原料ガス供給路の開閉装置と・・・されてなる」との記載を「上記原料ガス供給路の開閉装置と・・・されてなり，」と変更し，その後に「上記パージガス供給路に，開閉装置を有し，上記原料ガス送出路の開閉装置と，上記パージガス供給路の開閉装置とは，一方が開くと他方も開く構成とされてなる」との記載を追加するとともに，旧請求項２を削除し，旧請求項３を請求項２と補正するものであって，旧請求項１の上記追加による補正事項は，パージガス供給路に関する事項を限定するものである。してみると，上記補正は平成１４年法律第２４号改正附則第２条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号に規定する「特許請求の範囲の減縮」及び同第１号に規定する「請求項の削除」を目的とするものに該当する。
　そこで，本件補正後の請求項１に係る発明（以下，「本願補正発明」という。）が，特許出願の際独立して特許を受けることができるものか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下検討する。
　
３．特許法第２９条第２項違反について
（１）本願出願前に頒布された刊行物である特開平５−４１３７４号公報（原査定における拒絶の理由に引用された引用文献２，以下，「引用例」という。）には，以下の事項が記載されている。
（ア）「複数の反応ガスを混合した後バルブＶ９を経由して反応管（１） に接続する反応ガス供給ラインと，窒素をバルブＶ８を経由して該バルブＶ９と該反応管との中間位置に接続する窒素パージラインと，該反応ガス供給ラインの反応ガス供給側と該バルブＶ９との中間位置よりバルブＶ１０を経由して該反応管の排気口に接続する反応ガスパージ用のベントラインとを有し，該バルブＶ８と該バルブＶ９と該バルブＶ１０とが相互に近接して配置したことを特徴とする化学気相成長装置。」（特許請求の範囲の【請求項４】）
（イ）「【実施例】・・・７００℃以上のウエハ温度で，ＳｉＨ４とＮ２Ｏを用いて減圧ＣＶＤ法によりＳｉＯ２膜を成長する際のシーケンスを以下に説明する。なお，以下の説明において（開）以外のバルブは（閉）とする。
・・・
ステップ１：バルブＶ２，４，５，６，７，８，１０を開にし，ＳｉＨ４とＮ２Ｏラインを常圧Ｎ２パージするとともに，反応管内も常圧Ｎ２パージする。
・・・
ステップ２：バルブＶ２，４，５，６，７，８，１０を開にし，ＳｉＨ４とＮ２Ｏラインを常圧Ｎ２パージしながら，反応管内を真空引きする。
・・・
ステップ３：バルブＶ２，４，７，８，１０を開にし，ＳｉＨ４とＮ２ＯラインのＮ２を真空引きするとともに，反応管内を減圧Ｎ２パージする。
・・・
ステップ４：バルブＶ１，２，３，４，７，８，１０を開にし，ＳｉＨ４とＮ２Ｏを混合してラインの反応ガスパージを行うとともに，反応管内を減圧Ｎ２パージする。
・・・
ステップ５：バルブＶ１，２，３，４，９を開にし，ＳｉＨ４とＮ２Ｏガスを反応管に流してウエハ上にＳｉＯ２膜を成長する。
・・・
ステップ６：バルブＶ２，４，７，８，１０を開にし，反応管内の減圧Ｎ２パージと，ＳｉＨ４とＮ２Ｏラインの反応ガス抜きを行う。
・・・
ステップ７：バルブＶ２，４，５，６，７，８，１０を開にし，ＳｉＨ４とＮ２Ｏラインを常圧Ｎ２パージするとともに，反応管内の減圧Ｎ２パージを行う。
・・・
ステップ８：ポンプを止め，バルブＶ２，４，５，６，７，８，１０を開にし，ＳｉＨ４とＮ２ＯラインをＮ２パージするとともに，反応管内をＮ２で常圧復帰させる。
・・・
ステップ９：バルブＶ２，４，５，６，７，８，１０を開にし，ＳｉＨ４とＮ２ＯラインをＮ２パージするとともに，常圧に復帰した反応管内をＮ２パージする。」（段落【００１７】〜【００２６】）
（ウ）「図１は本発明の実施例のガス配管系統図である。図において，Ｖはバルブ（Ｖ１〜Ｖ１０），ＭＦＣはマスフローコントローラ，ＢＧはバラトロンゲージである。」（段落【００１１】）とされる【図１】から，Ｎ２がバルブＶ５，Ｖ６を経由して，それぞれ，ＳｉＨ４ライン，Ｎ２Ｏラインに供給されていることが見て取れる。
　
（２）対比・判断
　引用例の記載事項（ア）には「複数の反応ガスを混合した後バルブＶ９を経由して反応管（１）に接続する反応ガス供給ラインと，窒素をバルブＶ８を経由して該バルブＶ９と該反応管との中間位置に接続する窒素パージラインと，該反応ガス供給ラインの反応ガス供給側と該バルブＶ９との中間位置よりバルブＶ１０を経由して該反応管の排気口に接続する反応ガスパージ用のベントラインとを有」する「化学気相成長装置」が記載されているといえ，記載事項（イ）には「反応管内」を「Ｎ２パージ」することが記載されているといえる。
　これら引用例の記載事項（ア），（イ）の記載を本願補正発明の記載に則って整理すると，引用例には「複数の反応ガスを混合した後バルブＶ９を経由して反応管（１）に接続する反応ガス供給ラインと，窒素をバルブＶ８を経由して該バルブＶ９と該反応管との中間位置に接続し反応管内をＮ２パージする窒素パージラインと，該反応ガス供給ラインの反応ガス供給側と該バルブＶ９との中間位置よりバルブＶ１０を経由して該反応管の排気口に接続する反応ガスパージ用のベントラインとを有する化学気相成長装置」の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されているといえる。
　
　そこで，本願補正発明と引用発明を対比すると，
（あ）引用発明の「反応管（１）」は化学気相成長装置に用いるものであるから，本願補正発明の「気相成長を行う反応管」に相当することは明らかである。
（い）引用発明の「複数の反応ガス」は，供給部材を介して供給されるのが明らかであるから，本願補正発明の「１以上の原料ガス供給源からなり，原料ガスの供給を行う原料ガス供給部」に相当するものを有しているといえ，引用発明の「複数の反応ガスを混合した後」「反応管（１）に接続する反応ガス供給ライン」は，本願補正発明の「上記原料ガス供給部からのガス」を「反応管に供給する原料ガス供給路」に相当することは明らかである。
（う）引用発明の「窒素」は，供給部材を介して供給されるのが明らかであるから，本願補正発明の「ガスを供給することのできるガス供給部」に相当するものを有しているといえ，してみると，引用発明の「窒素」と本願補正発明のキャリアガス供給部とは「少なくともガスを供給することのできるガス供給部」を有する点で共通する。
（え）引用発明の「反応管内をＮ２パージする窒素パージライン」は，本願補正発明の「上記反応管に，直接ガスを送り込む反応管パージガス供給路」に相当するといえる。
（お）引用発明の「該反応ガス供給ラインの反応ガス供給側と該バルブＶ９との中間位置よりバルブＶ１０を経由して該反応管の排気口に接続する反応ガスパージ用のベントライン」は，反応ガス供給ラインからの反応ガスを反応管を通さず反応管外の排気口に送出するものであることが明らかであるから，本願補正発明の「上記原料ガス供給部からの原料ガスを，上記反応管外に送出する原料ガス送出路」に相当するといえる。
（か）引用発明の「バルブＶ８」，「バルブＶ９」，及び「バルブＶ１０」は引用例の記載事項（ア）から，それぞれ窒素パージライン，反応ガス供給ライン，ベントラインに設けられることが明らかであるから，本願補正発明の「パージガス供給路の開閉装置」，「原料ガス供給路の開閉装置」，及び「原料ガス送出路の開閉装置」に相当するといえる。
（き）引用発明の「バルブＶ９」と「バルブＶ１０」は「該反応ガス供給ラインの反応ガス供給側と該バルブＶ９との中間位置よりバルブＶ１０を経由して該反応管の排気口に接続する」ことから，反応ガスを反応ガス供給ラインと反応管の排気口に切り換える機能を有することは明らかであって，してみると，両者は本願補正発明の「上記原料ガス供給部からの原料ガスを，上記反応管と，上記原料ガス送出路とに切り換え供給する切り換え手段」に相当するといえる。
　
　以上のことから，本願補正発明と引用発明とは，
「気相成長を行う反応管と，
　１以上の原料ガス供給源からなり，原料ガスの供給を行う原料ガス供給部と，
　少なくともガスを供給することのできるガス供給部と，
　上記原料ガス供給部からの原料ガスを反応管に供給する原料ガス供給路と，
　上記ガス供給部から，上記反応管に，直接ガスを送り込む反応管パージガス供給路と，
　上記原料ガス供給部からの原料ガスを，上記反応管外に送出する原料ガス送出路と，
　上記原料ガス供給部からの原料ガスを，上記反応管と，上記原料ガス送出路とに切り換え供給する切り換え手段とを有し，
　上記切り換え手段は，上記原料ガス供給路と，上記原料ガス送出路とに，それぞれ開閉装置を有し，
　上記パージガス供給路に，開閉装置を有してなる気相成長装置。」である点で一致し，以下の点で相違している。
　
相違点ａ：ガス供給部に関し，本願補正発明は「少なくともキャリアガスを供給することのできるキャリアガス供給部」と特定されるものであるのに対し，引用発明はそのような特定がない点。
相違点ｂ：原料ガス供給路に関し，本願補正発明は「上記原料ガス供給部からの原料ガスと，上記キャリアガス供給部からのキャリアガスとを反応管に供給する」と特定されるものであるのに対し，引用発明は「複数の反応ガスを混合した後」「反応管（１）に接続する」と特定するものである点。
相違点ｃ：本願補正発明は「上記原料ガス供給路の開閉装置と，上記原料ガス送出路の開閉装置は，一方が閉じると他方が開く構成とされてなり」と特定されるものであるのに対し，引用発明はそのような特定がされていない点。
相違点ｄ：本願補正発明は「上記原料ガス送出路の開閉装置と，上記パージガス供給路の開閉装置とは，一方が開くと他方も開く構成とされてなる」と特定されるものであるのに対し，引用発明はそのような特定がされていない点。
　
　上記相違点について，以下のとおり検討する。
　
（相違点ａ，ｂについて）
　反応ガスに不活性ガスを混合して反応管に供給することは，化学気相成長によりＳｉＯ２膜を得る分野において周知の技術（例えば，特開平４−４８６３２号公報，特開平２−２９８０３４号公報参照）であり，該不活性ガスは反応に寄与しないことからキャリアガスであって，窒素もキャリアガスとして通常用いられるものである（上記特開平４−４８６３２号公報の実施例ＩＶ参照）から，引用発明において，反応ガスにキャリアガスとして窒素を混合して反応管に供給しようとすることは，上記周知技術に則り当業者が適宜なし得る事項に過ぎないといえる。そして，引用例の記載事項（ア）及び視認事項（ウ）に，窒素は反応ガスであるＳｉＨ４ラインにも供給されていることが示されているから，引用発明において，反応ガスに窒素をキャリアガスとして混合する際に，該窒素を窒素パージラインへの供給源と同一の供給源から得ようとすることは，当業者であれば格別の困難なくなし得ることである。
　してみれば，引用発明において，反応ガスに窒素をキャリアガスとして混合して反応管に供給するとともに，該窒素を窒素パージラインへの供給源と同一の供給源から得る，すなわち，上記相違点ａ，ｂに係る本願補正発明の特定事項を採用することは，当業者であれば引用例に記載された発明及び周知技術から容易になし得ることであるといえる。そして，かかる特定事項の採用によって当業者が想定し得ない顕著な効果を生じるものでもない。
　
（相違点ｃ，ｄについて）
　引用例の記載事項（イ）には，「（開）以外のバルブは（閉）とする」，「ステップ１：バルブＶ・・・８，１０を開」，「ステップ２：バルブＶ・・・８，１０を開」，「ステップ３：バルブＶ・・・８，１０を開」，「ステップ４：バルブ・・・８，１０を開」，「ステップ５：バルブＶ・・・９を開」，「ステップ６：バルブＶ・・・８，１０を開」，「ステップ７：バルブＶ・・・８，１０を開」，「ステップ８：・・・バルブＶ・・・８，１０を開」，「ステップ９：バルブＶ・・・８，１０を開」と記載され，これらの記載から，引用例において，（Ｘ）バルブＶ８とＶ１０を開ける時にはバルブＶ９を閉じる，（Ｙ）バルブＶ９を開ける時にはバルブＶ８とＶ１０を閉じる，ことが明らかといえ，上記（か）における検討のとおり，引用発明のバルブＶ８，Ｖ９，及びＶ１０はそれぞれ，本願補正発明のパージガス供給路の開閉装置，原料ガス供給路の開閉装置，及び原料ガス送出路の開閉装置に相当することを踏まえると，引用例の上記バルブ開閉動作（Ｘ），（Ｙ）はそれぞれ，（Ｘ’）パージガス供給路の開閉装置と原料ガス送出路の開閉装置を開ける時には原料ガス供給路の開閉装置を閉じる，（Ｙ’）原料ガス供給路の開閉装置を開ける時にはパージガス供給路の開閉装置と原料ガス送出路の開閉装置を閉じる，との動作に相当するといえる。そして，上記動作（Ｘ’），（Ｙ’）から，原料ガス供給路の開閉装置と原料ガス送出路の開閉装置は一方を閉じると他方を開けること，及び，原料ガス送出路の開閉装置とパージガス供給路の開閉装置は一方を開けると他方も開けること，が明らかといえる。
　してみると，上記相違点ｃ，ｄに係る特定事項は，引用例に記載されているといえ，実質的な相違点とはいえないものである。
　この点に関し，請求人は平成２１年８月１８日付け回答書において，「本願補正発明は，原料ガス送出路の開閉装置と，パージガス供給路の開閉装置とは，一方が開くと他方も開く構成となっており，これらの開閉装置が自動的に連動して開く構成としています。この本願補正発明の構成は，引用文献１（当審註：本審決において「引用例」とする特開平５−４１３７４号公報。）には開示されていません。即ち，引用文献１に記載された発明から容易に発明できるものではありません。」と主張するが，特許請求の範囲の請求項１に係る本願補正発明は，開閉動作の自動的な連動を特定するものではないから，上記主張は，特許請求の範囲の記載に基づく主張とはいえないものであり，たとえ本願補正発明の「構成とされて」との特定事項が自動的な連動を意味するものと解されるとしても，複数のバルブを有する装置においてバルブの開閉を連動させる必要がある場合に，作業性，効率，安全性などの点を考慮して該開閉の連動操作を自動的に行うことは，本願出願前に慣用の事項に過ぎず，かかる慣用の事項を踏まえ引用発明においてバルブの開閉動作を自動的に行うことに格別の困難性はないといえ，それを阻害する要因も認められない。
　
３．むすび
　以上のとおりであるから，本願補正発明は，本願出願日前に頒布された引用例に記載された発明及び周知技術に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであって，特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　したがって，平成１９年５月１日付けで提出された手続補正書によりなされた補正は，平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので，同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
ＩＩＩ．本願発明
　平成１９年５月１日付けの手続補正が上記のとおり却下されたので，本願の請求項１に係る発明（以下，「本願発明」という。）は，平成１８年１２月２９日付けで提出された手続補正書により補正された本願明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される以下のとおりのものであると認められる。
「【請求項１】　気相成長を行う反応管と，
　１以上の原料ガス供給源からなり，原料ガスの供給を行う原料ガス供給部と，
　少なくともキャリアガスを供給することのできるキャリアガス供給部と，
　上記原料ガス供給部からの原料ガスと，上記キャリアガス供給部からのキャリアガスとを反応管に供給する原料ガス供給路と，
　上記キャリアガス供給部から，上記反応管に，直接ガスを送り込む反応管パージガス供給路と，
　上記原料ガス供給部からの原料ガスを，上記反応管外に送出する原料ガス送出路と，
　上記原料ガス供給部からの原料ガスを，上記反応管と，上記原料ガス送出路とに切り換え供給する切り換え手段とを有し，
　上記切り換え手段は，上記原料ガス供給路と，上記原料ガス送出路とに，それぞれ開閉装置を有し，
　上記原料ガス供給路の開閉装置と，上記原料ガス送出路の開閉装置とは，一方が閉じると他方が開く構成とされてなることを特徴とする気相成長装置。」
　
ＩＶ．引用文献の記載事項
　引用例の記載事項は，前記「ＩＩ．３．（１）」に記載したとおりである。
　そして，引用例には，前記「ＩＩ．３．（２）」に記載されたとおりの「引用発明」が記載されている。
　
Ｖ．対比・判断
　本願発明は，前記「ＩＩ．３．（２）」で検討した本願補正発明において，「上記パージガス供給路に，開閉装置を有し，上記原料ガス送出路の開閉装置と，上記パージガス供給路の開閉装置とは，一方が開くと他方も開く構成とされてなる」ことが特定されていないものであり，他の特定事項は本願補正発明と同じである。
　そうすると，本願発明は，本願補正発明の特定事項を全て含むものであるから，本願補正発明と同様に，前記「ＩＩ．３．（２）」でみた理由により，引用例に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
ＶＩ．むすび
　したがって，本願発明は，本願出願日前に頒布された引用例に記載された発明及び周知技術に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして，本願は，その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく，拒絶されるべきものである。
　よって，結論のとおり審決する。