【事件の表示】
　特願２００２−３６２６０７「化学的機械的研磨用スラリーおよびこれを用いた半導体装置の製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　７月　８日出願公開、特開２００４−１９３４９５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本件出願は、平成１４年１２月１３日の特許出願であって、同１７年４月２１日付けで拒絶の理由が通知され、同年６月２７日に手続補正がなされたが、同年１１月２４日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同年１２月２６日に本件審判の請求とともに手続補正がなされたものである。
　本審決において、意匠法等の一部を改正する法律（平成１８年法律第５５号）附則第３条第１項に規定される各条については、同項の規定により、なお従前の例による。
　
第２．平成１７年１２月２６日付けの補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１７年１２月２６日付けの補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
  　
［理由］
１．補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
　
（１）補正前
「α−アルミナ粒子と、α−アルミナとは異なる結晶構造を有する少なくとも１種の他のアルミナ粒子とを含むアルミナ粉末、および樹脂粒子を含有し、前記樹脂粒子表面に前記アルミナ粉末が付着していることを特徴とする化学的機械的研磨用スラリー。」
　
（２）補正後
「α−アルミナ粒子と、α−アルミナとは異なる結晶構造を有する少なくとも１種の他のアルミナ粒子とを含むアルミナ粉末、および樹脂粒子を含有し、前記樹脂粒子表面に前記アルミナ粉末が付着して
おり、前記アルミナ粉末が０．１〜５重量％の割合で含有され、前記樹脂粒子が０．０１〜５重量％の割合で含有され、前記アルミナ粉末が、前記α−アルミナ粒子と前記少なくとも１種の他のアルミナ粒子との総重量の２０〜８０％の割合で前記α−アルミナ粒子を含有し、前記樹脂粒子が、メタクリル樹脂粒子およびポリスチレン樹脂粒子からなる群の中から選ばれる少なくとも１種の樹脂粒子を含む
　
２．補正の適否　　　
　本件補正の特許請求の範囲の請求項１についての補正は、「アルミナ粉末」、「樹脂粒子」についての事項を付加するものであり、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が、特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するか否か（いわゆる独立特許要件）について検討する。
　
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、上記１．（２）のとおりのものと認める。
　
（２）刊行物に記載された発明
　これに対し、原査定で引用された本件出願日前に日本国内において頒布された刊行物である特開２００１−１５２１３５号公報（以下「刊行物１」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
ア．段落０００６
「本発明は、上記の従来の問題を解決するものであり、重合体粒子の表面に無機粒子が付着し、特に、複数の無機粒子からなる被覆層が形成され、その表面が十分な強度及び硬度を有し、耐熱性に優れ、また、適度に柔軟であって、研磨速度を大きくすることができるとともに、スクラッチ及び断線等の発生も抑えられる特定の複合粒子を含有する化学機械研磨用水系分散体の製造方法を提供することを目的とする。・・・」
イ．段落０００８
「上記「重合体粒子」としては、・・・（２）ポリメチルメタクリレート等の（メタ）アクリル樹脂及びアクリル系共重合体・・・を使用することができる。」
ウ．段落００１１
「上記「無機粒子」としては、アルミナ・・・を使用することができる。・・・」
エ．段落００５３
「合成例２［重合体粒子（ｂ）を含む水分散体の調製］
　メチルメタクリレ−ト９４．５部、メタクリル酸４部、ジビニルベンゼン（純度；５５％）１部、メタクリルアミド０．５部、ラウリル硫酸アンモニウム０．０３部、過硫酸アンモニウム０．６部及びイオン交換水４００部を、容量２リットルのフラスコに投入し、窒素ガス雰囲気下、攪拌しながら７０℃に昇温し、６時間重合させた。これによりカルボキシル基及びアミド基を有し、平均粒子径０．１７μｍの架橋ポリメチルメタクリレート系粒子［重合体粒子（ｂ）］を含む水分散体を得た。・・・」
オ．段落００６０〜００６１
「合成例６［複合粒子（Ｂ）を含む水系分散体の調製］
　重合体粒子（ｂ）を１０重量％含む水分散体のｐＨを水酸化カリウムにより１１に調整して水分散体（３）（原文は丸囲み数字、以下同様）を得た。また、コロイダルアルミナ（シーアイ化成株式会社製、商品名「ナノテックＡｌ2Ｏ3」）を１０重量％含む水分散体のｐＨを同様に１１に調整して水分散体（４）（原文は丸囲み数字、以下同様）を得た。・・・
　その後、水分散体（３）１００部と水分散体（４）５０部とを混合し、硝酸によりｐＨを８に調整し、３時間攪拌して重合体粒子（ｂ）にアルミナ粒子が付着した複合粒子（Ｂ）を含む水系分散体を得た。・・・」
カ．段落００６９
「実施例２［複合粒子（Ｂ）を含有するＣＭＰ用水系分散体の製造及びそれを用いたアルミニウム膜のＣＭＰ試験］
　イオン交換水に、複合粒子（Ｂ）を含む水系分散体及び過硫酸アンモニウムを、複合粒子（Ｂ）及び過硫酸アンモニウムの濃度が、それぞれ５重量％及び１重量％になるように配合した後、硝酸によってｐＨを４に調整してＣＭＰ用水系分散体を得た。・・・」
　
　ここで、カ．の記載より、ＣＭＰ用水系分散体に複合粒子（Ｂ）は５重量％であり、オ．の記載より、複合粒子（Ｂ）は、アルミナ粒子１、重合体粒子２の割合であるから、ＣＭＰ用水系分散体に、アルミナ粒子が１．７重量％、重合体粒子が３．３重量％含まれることとなる。
　
　これらの記載事項を、技術常識を考慮しながら補正発明に照らして整理すると、刊行物１には以下の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されていると認める。
　
「アルミナ粒子、および重合体粒子を含有し、前記重合体粒子表面に前記アルミナ粒子が付着しており、前記アルミナ粒子が１．７重量％の割合で含有され、前記重合体粒子が３．３重量％の割合で含有され、前記重合体粒子が、架橋ポリメチルメタクリレート系粒子である化学機械研磨用水系分散体。」
　
　また、同じく本件出願日前に日本国内において頒布された刊行物である特表平１１−５１１３９４号公報（以下「刊行物２」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
ア．第４ページ第６〜７行
「この発明は、半導体および集積回路ウェーハの平坦化に使用する研磨粒子含有スラリーの改良に関するものである。」
イ．第７ページ第４〜２５行
「この発明の一つの特徴は、金属含有の加工部材を研磨あるいは平坦化するための水性スラリーであって、このスラリーの固形部分の約１〜５０重量％がサブミクロンのアルファ−アルミナで、固形部分の残りが研磨性がかなり小さい合成物からなることである。研磨性がかなり小さい固形物は、・・・ガンマ−アルミナ、デルタ−アルミナ・・・からなる。・・・
　この発明においては、使用されている水性スラリーの固形部分の約１〜５０重量％がサブミクロンのアルファ−アルミナ、固形部分の残りの部分が研磨性がかなり小さい別の位相であるとき、ケミカル−メカニカル  ポリッシングされている加工部材からの金属の除去が予想以上に高い速度であることを発見した。・・・
　このようなスラリーの金属研磨速度は、使用されている水性スラリーの固形物が100％アルファ−アルミナと同等の粒径であるときに得られる速度よりもかなり大きく・・・」
　
　これらの記載事項から、刊行物２には以下の発明（以下「刊行物２発明」という。）が記載されていると認める。
「スラリーの固形部分の約１〜５０重量％がアルファ−アルミナで、固形部分の残りがガンマ−アルミナ、デルタ−アルミナからなるケミカル−メカニカル  ポリッシング用のスラリー。」
　そして、これにより、100％アルファ−アルミナの場合よりも、高い研磨速度が得られるものである。
　
（３）対比
　補正発明と刊行物１発明とを対比する。
　刊行物１発明の「アルミナ粒子」、「化学機械研磨用水系分散体」は、それぞれ補正発明の「アルミナ粉末」、「化学的機械的研磨用スラリー」に相当する。
　刊行物１発明の「架橋ポリメチルメタクリレート系粒子」は、補正発明の「メタクリル樹脂粒子」に相当するから、刊行物１発明の「重合体粒子」は、補正発明の「樹脂粒子」に相当する。
　また、刊行物１発明の「アルミナ粒子」、「重合体粒子」の重量％は、いずれも、補正発明の重量％の範囲に含まれる。
　
　したがって、補正発明と刊行物１発明とは、次の点で一致している。
「アルミナ粉末、および樹脂粒子を含有し、前記樹脂粒子表面に前記アルミナ粉末が付着しており、前記アルミナ粉末が０．１〜５重量％の割合で含有され、前記樹脂粒子が０．０１〜５重量％の割合で含有され、前記樹脂粒子が、メタクリル樹脂粒子およびポリスチレン樹脂粒子からなる群の中から選ばれる少なくとも１種の樹脂粒子を含む化学的機械的研磨用スラリー。」
　
　そして、補正発明と刊行物１発明とは、以下の点で相違している。
　アルミナ粉末が、補正発明は、α−アルミナ粒子と、前記α−アルミナとは異なる結晶構造を有する少なくとも１種の他のアルミナ粒子を含み、前記アルミナ粉末が、前記α−アルミナ粒子と、前記他のアルミナ粒子との総重量の２０〜８０％の割合で前記α−アルミナ粒子を含有するものであるが、刊行物１発明は、特定されていない点。
　
（４）相違点の検討
　相違点について検討する。
　刊行物１発明においても、研磨速度の向上は、当然の課題であるところ、アルミナを含む化学的機械的研磨用スラリーという同一技術分野のものである刊行物２発明は、アルミナ成分を工夫することで、研磨速度を向上させるものである。
　そして、同じく本件出願日前に日本国内において頒布された刊行物である特開２０００−２６９１６９号公報の段落００１６の記載からも明らかなとおり、「アルミナ粉末」は研磨に寄与し、「樹脂粒子」は弾性の確保に寄与し、両者の機能は異なっている。
　したがって、刊行物１発明を前提に、刊行物２発明に接した当業者であれば、研磨速度の向上のため、刊行物１発明の研磨に寄与する粉末である「特定されていないアルミナ粉末」を、刊行物２発明の「特定されたアルミナ粉末」とすることは、適宜なし得ることにすぎない。
　そして、刊行物１発明に刊行物２発明を適用したものにおいて、「ガンマ−アルミナ」、「デルタ−アルミナ」は、「アルファ−アルミナ」と異なる結晶構造を有することは明らかであり、「アルファ−アルミナ」の約１〜５０重量％という範囲は、補正発明の２０〜８０％と重複している。
　よって、刊行物１発明に刊行物２発明を適用し、上記相違点に係る事項とすることができる。
　また、相違点によってもたらされる効果も、当業者が予測できる程度のものであって格別のものではない。
　
　請求人は、平成１９年３月２２日付け回答書で、「表面ラフネスについては一切着目されていない」旨、主張する。
　しかし、かかる点は、請求項１において特定されているものではない。仮に特定されていたとしても、「表面ラフネス」の抑制は当然の課題であり、刊行物１発明に刊行物２発明を適用した「スラリー」によれば、補正発明と同様の「表面ラフネス」になるものと認められる。
　よって、請求人の主張は根拠がない。
　
　以上、補正発明は、刊行物１発明、刊行物２発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
３．むすび
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３．本件発明について
１．本件発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、願書に添付した明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし１６に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、上記第２．１．（１）に示す請求項１に記載されたとおりである。
　
２．刊行物等
　これに対して、原査定の際にあげられた刊行物及びその記載内容は、上記第２．２．（２）に示したとおりである。
　
３．対比・検討
　本件発明は、上記第２．２．で検討した補正発明において、「アルミナ粉末」、「樹脂粒子」についての事項を削除するものである。
　そうすると、本件発明を構成する事項のすべてを含み、さらに他の事項を付加する補正発明が、上記第２．２．（４）で示したとおり、刊行物１発明、刊行物２発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　したがって、本件発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないことから、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。