【手続補正書】
【提出日】平成24年6月6日(2012.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンが形成された被検基板の表面に第１の直線偏光を照射する照明部と、
前記第１の直線偏光が前記被検基板の表面に照射されることにより前記被検基板から出射される楕円偏光を受光し、前記第１の直線偏光と振動方向が異なる第２の直線偏光成分のみを通過させる検光子と、
前記検光子を通過した光を受光し光電変換された信号強度を検出する信号強度検出部と、
前記楕円偏光及び前記検光子のいずれか一方を他方に対して相対回転させながら前記信号強度検出部が前記信号強度を検出し、前記パターンからの前記信号強度が前記第１の直線偏光の偏光方向と前記第２の直線偏光成分を直交させた場合よりも小さくなる前記楕円偏光に対する前記検光子の検査用相対位置を決定する相対回転制御部と、
前記相対回転制御部により決定された前記検査用相対位置に前記楕円偏光及び前記検光子のいずれか一方を他方に対し前記相対回転をさせた状態で、前記検光子を通過した光に基づいて前記被検基板の表面検査を行う表面検査部とを備えたことを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】
前記信号強度に基づいて前記被検基板の表面における前記パターンが形成されている領域の位置を検出する位置検出部をさらに備え、
前記相対回転制御部は、前記パターンが形成されている領域の信号強度が最小となる相対位置を前記検査用相対位置として決定することを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
【請求項３】
前記被検基板の表面における予め指定した領域の位置情報が記憶されている位置記憶部をさらに備え、
前記相対回転制御部は、前記所望の位置の信号強度を検出し、該信号強度が最小となる相対位置を前記検査用相対位置として決定することを特徴とする請求項１または２に記載の表面検査装置。
【請求項４】
前記相対回転制御部は、前記検光子を回転させる検光子回転駆動装置を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の表面検査装置。
【請求項５】
前記検光子の上流側に１／２波長板が設けられ、
前記相対回転制御部は、前記１／２波長板を前記検光子に対して回転させる波長板回転駆動装置を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の表面検査装置。
【請求項６】
所定のパターンが形成された被検基板の表面に第１の直線偏光を照射する照明ステップと、
前記第１の直線偏光が前記被検基板の表面に照射されることにより前記被検基板から出射される楕円偏光を受光し、検光子に前記第１の直線偏光と振動方向が異なる第２の直線偏光成分のみを通過させ前記第２の直線偏光成分を抽出する抽出ステップと、
前記検光子を通過した光を受光し光電変換された信号強度を検出する信号強度検出ステップと、
前記楕円偏光及び前記検光子のいずれか一方を他方に対して相対回転させながら前記信号強度を検出し、前記パターンからの前記信号強度が前記第１の直線偏光の偏光方向と前記第２の直線偏光成分を直交させた場合よりも小さくなる前記楕円偏光に対する前記検光子の検査用相対位置を決定する相対位置制御ステップと、
前記検査用相対位置に前記楕円偏光及び前記検光子のいずれか一方を他方に対し前記相対回転をさせた状態で、前記検光子を通過した光に基づいて前記被検基板の表面検査を行う表面検査ステップとを有することを特徴とする表面検査方法。
【請求項７】
前記信号強度に基づいて前記被検基板の表面における前記パターンが形成されている領域の位置を検出する位置検出ステップをさらに有し、
前記相対位置制御ステップでは、前記パターンが形成されている領域の位置の信号強度を検出し、該信号強度が最小となる相対位置を前記検査用相対位置として決定することを特徴とする請求項６に記載の表面検査装置。
【請求項８】
前記被検基板における予め指定した領域の位置情報が記憶される記憶ステップをさらに有し、
前記相対位置制御ステップでは、前記所望の位置の信号強度を検出し、該信号強度が最小となる相対位置を前記検査用相対位置として決定することを特徴とする請求項６または７に記載の表面検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
このような目的を達成するため、本発明に係る表面検査装置は、所定のパターンが形成された被検基板の表面に第１の直線偏光を照射する照明部と、前記第１の直線偏光が前記被検基板の表面に照射されることにより前記被検基板から出射される楕円偏光を受光し、前記第１の直線偏光と振動方向が異なる第２の直線偏光成分のみを通過させる検光子と、前記検光子を通過した光を受光し光電変換された信号強度を検出する信号強度検出部と、前記楕円偏光及び前記検光子のいずれか一方を他方に対して相対回転させながら前記信号強度検出部が前記信号強度を検出し、前記パターンからの前記信号強度が前記第１の直線偏光の偏光方向と前記第２の直線偏光成分を直交させた場合よりも小さくなる前記楕円偏光に対する前記検光子の検査用相対位置を決定する相対回転制御部と、前記相対回転制御部により決定された前記検査用相対位置に前記楕円偏光及び前記検光子のいずれか一方を他方に対し前記相対回転をさせた状態で、前記検光子を通過した光に基づいて前記被検基板の表面検査を行う表面検査部とを備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
なお、上記構成の表面検査装置において、前記信号強度に基づいて前記被検基板の表面における前記パターンが形成されている領域の位置を検出する位置検出部をさらに備え、前記相対回転制御部は、前記パターンが形成されている領域の信号強度が最小となる相対位置を前記検査用相対位置として決定するように構成してもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、上記構成の表面検査装置において、前記被検基板の表面における予め指定した領域の位置情報が記憶されている位置記憶部をさらに備え、前記相対回転制御部は、前記所望の位置の信号強度を検出し、該信号強度が最小となる相対位置を前記検査用相対位置として決定するように構成してもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、上記構成の表面検査装置において、前記相対回転制御部は、前記検光子を回転させる検光子回転駆動装置を備えることが好ましい。また、前記検光子の上流側に１／２波長板が設けられ、前記相対回転制御部が前記１／２波長板を前記検光子に対して回転させる波長板回転駆動装置を備えるようにしてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明に係る表面検査方法は、所定のパターンが形成された被検基板の表面に第１の直線偏光を照射する照明ステップと、前記第１の直線偏光が前記被検基板の表面に照射されることにより前記被検基板から出射される楕円偏光を受光し、検光子に前記第１の直線偏光と振動方向が異なる第２の直線偏光成分のみを通過させ前記第２の直線偏光成分を抽出する抽出ステップと、前記検光子を通過した光を受光し光電変換された信号強度を検出する信号強度検出ステップと、前記楕円偏光及び前記検光子のいずれか一方を他方に対して相対回転させながら前記信号強度を検出し、前記パターンからの前記信号強度が前記第１の直線偏光の偏光方向と前記第２の直線偏光成分を直交させた場合よりも小さくなる前記楕円偏光に対する前記検光子の検査用相対位置を決定する相対位置制御ステップと、前記検査用相対位置に前記楕円偏光及び前記検光子のいずれか一方を他方に対し前記相対回転をさせた状態で、前記検光子を通過した光に基づいて前記被検基板の表面検査を行う表面検査ステップとを有する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
なお、上記構成の表面検査方法において、前記信号強度に基づいて前記被検基板の表面における前記パターンが形成されている領域の位置を検出する位置検出ステップをさらに有し、前記相対位置制御ステップでは、前記パターンが形成されている領域の位置の信号強度を検出し、該信号強度が最小となる相対位置を前記検査用相対位置として決定するように構成してもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、上記構成の表面検査方法において、前記被検基板における予め指定した領域の位置情報が記憶される記憶ステップをさらに有し、前記相対位置制御ステップでは、前記所望の位置の信号強度を検出し、該信号強度が最小となる相対位置を前記検査用相対位置として決定するように構成してもよい。