(57)【要約】  耐真空性を備えた高価な構成部材を用いることを必要とせずに、真空機器内において被測定物の温度を確実に検出することが可能な温度検出ツールを提供する。  真空機器の内部において被測定物の温度を検出するために用いられる温度検出ツールＡにおいて、被測定物（ワーク）５の温度データを取得するための熱電対部１１と、熱電対部により取得された温度データを蓄積しておくロガー部１２と、熱電対部とロガー部とを結ぶハーメチック結線１３と、ロガー部が収容され、内部が大気圧に保たれるロガー収容チャンバ１４とを備えた構成とする。  また、ロガー収容チャンバを覆うように配設される被覆部材１５をさらに備えた構成とする。また、電池が電池収容チャンバ内に収容された電池パックをさらに備えた構成とする。また、無線通信部が無線通信部収容チャンバ内に収容された無線通信部パックをさらに備えた構成とする。
2015005093.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空機器内に配設され、前記真空機器内の被測定物の温度を検出するために用いられる温度検出ツールであって、
前記被測定物の温度データを取得するための熱電対部と、
前記熱電対部により取得された前記温度データを蓄積するロガー部と、
気密性を有し、内部に前記ロガー部が収容された状態で密閉されたロガー収容チャンバと、
前記熱電対部と前記ロガー収容チャンバ内に収容された前記ロガー部とを結ぶハーメチック結線と
を具備することを特徴とする温度検出ツール。
【請求項２】
前記真空機器が、真空下で成膜を行うための真空成膜装置であることを特徴とする請求項１記載の温度検出ツール。
【請求項３】
遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなり、前記ロガー収容チャンバを覆うように配設される被覆部材をさらに備えていることを特徴とする請求項１または２記載の温度検出ツール。
【請求項４】
温度検出ツールを作動させるため電池を、気密性を有する電池収容チャンバに収容し、密閉した電池パックをさらに備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の温度検出ツール。
【請求項５】
前記ロガー部に蓄積された前記温度データを外部に無線で発信するための無線通信部を、気密性を有する無線通信部収容チャンバに収容し、密閉した無線通信部パックをさらに備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の温度検出ツール。
【請求項６】
温度を検出すべき前記被測定物が、前記真空機器内で取り扱われるワークであり、かつ、前記真空機器内において前記ワークを保持するための治具であるワーク保持治具を備えている場合において、前記ワーク保持治具に保持されるように構成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の温度検出ツール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物の温度を測定するための温度検出ツールに関し、詳しくは、真空機器の内部において被測定物の温度を測定するために用いられる温度検出ツールに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空下で成膜を行う成膜装置の一つに、例えば、図７および図８にその要部構成を示すようなＭＯＣＶＤ装置がある（特許文献１参照）。なお、図７はＩｎ系材料を用いるＭＯＣＶＤ装置の構成を示す図、図８はその要部構成を拡大して示す図である。【０００３】
このＭＯＣＶＤ装置は、以下に説明するような構成を備えている。
円筒形のチャンバ１０４は、回転ディスク１０９を収容し、回転ディスク１０９はその上面に複数のウェハ１０１を搭載している。回転ディスク１０９はその中心を下方から中空シャフト１１０によって水平に支持され、中空シャフト１１０は図示しないモータに機械的に接続され、そのモータによって回転ディスク１０９が水平に矢印Ａ方向に回転するように構成されている。また、チャンバ１０４は内部を外部から観察できるように周壁の少なくとも一部が透明に構成されている。回転ディスク１０９には熱電対１０６が埋設され、図８に示すように、その先端３０１は、ウェハ１０１の裏面に近接又は接触するようにディスク１０９の表面から突出して設置されている。【０００４】
ところで、Ｉｎ系材料は分解しやすい特性を有するため、材料ガス導入口１０５から導入されるＩｎ系ガスは、なるべくウェハ１０１の直近で分解させる必要がある。したがって、回転ディスク１０９の表面中央部に導入される材料ガスの温度上昇を抑制するために、中空シャフト１１０内部に冷却水２０１を循環させ回転ディスク１０９の中央部を裏面から冷却するようにしている。【０００５】
熱電対１０６の起動力を測定温度に比例する温度データに変換する温度測定部１０７と、測定部１０７からの温度データを表示データに変換して測定温度を表示する表示部４００とが、回転ディスク１０９の下側の中空シャフト１１０の近傍に設置され、冷却水２０１により冷却されるように構成されている。【０００６】
なお、温度測定部１０７と表示部４００は内蔵する電池により駆動される。また、抵抗発熱体からなるヒータ１０３が、チャンバ１０４内の天井近傍に設置され、チャンバ１０４の外部に設けられたヒータ電源１０８に電気的に接続されている。ヒータ電源１０８は手動式コントローラ１１１に接続され、使用者がコントローラ１１１を操作することにより、ヒータ１０３の出力を制御できるようになっている。さらに、チャンバ１０４の天井の中央には、材料ガス導入口１０５が設けられている。なお、表示部４００は、ＬＣＤやＬＥＤ表示装置によって構成される。【０００７】
このような構成において、ヒータ電源１０８が駆動されると、チャンバ１０４内はヒータ１０３により加熱される。そして、表示装置４００の表示するウェハ１０１の温度が約６００℃になると、回転ディスク１０９が回転し、Ｉｎ材料ガス、例えばトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）ガスが所定時間だけ材料ガス導入口１０５からチャンバ１０４内へ導入され、ＩｎＰなどの薄膜がウェハ１０１上に成膜される。【０００８】
そして、この特許文献１のＭＯＣＶＤ装置では、成膜工程中において、使用者がチャンバ１０４の側壁の透明部分を介して表示部４００の表示内容を観察しながら、コントローラ１１１を手動操作することにより、ウェハ１０１の温度が所定の温度プロファイルに従って変化するように管理するようにしている。【０００９】
その結果、特許文献１のＭＯＣＶＤ装置によれば、所望の特性を有するＩｎ材料膜を製造することができるとされている。【００１０】
しかしながら、特許文献１のＭＯＣＶＤ装置においては、温度測定部１０７や、測定部１０７からの温度データを表示データに変換して測定温度を表示する表示部４００などの機器や部材が真空にさらされることになるため、それらの機器や部材として、耐真空性を備えたものを用いることが必要になり、設備コストが増大するという問題点がある。
さらに、上記の機器や部材は、特に高温に対する処置がされていないことから、耐熱性を備えている機器や部材を用いることが必要になり、コストの増大を招いたり、機器や部材を設置する場所に制約が生じ、設備構成の自由度が制限されたりするという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００４−２０７６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、上記課題を解決するものであり、耐真空性を備えた高価な構成部材を用いることを必要とせずに、真空機器内において被測定物の温度を確実に検出することが可能な温度検出ツールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため、本発明の温度検出ツールは、
真空機器内に配設され、前記真空機器内の被測定物の温度を検出するために用いられる温度検出ツールであって、
前記被測定物の温度データを取得するための熱電対部と、
前記熱電対部により取得された前記温度データを蓄積するロガー部と、
気密性を有し、内部に前記ロガー部が収容された状態で密閉されたロガー収容チャンバと、
前記熱電対部と前記ロガー収容チャンバ内に収容された前記ロガー部とを結ぶハーメチック結線と
を具備することを特徴としている。【００１４】
本発明は、前記真空機器が、真空下で成膜を行うための真空成膜装置である場合に特に有意義である。【００１５】
真空機器が、真空下で成膜を行うための真空成膜装置である場合、ロガー部に着膜を生じ、性能の劣化などを引き起こすおそれがあるが、本発明の温度検出ツールでは、ロガー部が上述のようにロガー収容チャンバに収容されているため、ロガー部に直接に着膜することを防止して、特性が劣化したり、耐久性の低下を招いたりすることを防止して、信頼性を向上させることが可能になり、特に有意義である。【００１６】
また、本発明の温度検出ツールは、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなり、前記ロガー収容チャンバを覆うように配設される被覆部材をさらに備えていることが好ましい。【００１７】
ロガー収容チャンバを覆うように配設される被覆部材を備えた構成とすることにより、ロガー収容チャンバへの熱を遮断することが可能になり、ロガー部への熱影響を抑えて、信頼性を向上させることが可能になる。【００１８】
また、被覆部材を備えた構造（２重構造）にすることにより、ロガー収容チャンバへの異物（汚染物質）の付着や、着膜の発生を抑制、防止することが可能になる。また、被覆部材に付着した異物や膜は、被覆部材のみをエッチング処理するなどして、容易に除去することが可能で、複雑なメンテナンス作業を必要とすることなく、温度検出ツールを良好なコンディションに保つことが可能になる。【００１９】
また、本発明の温度検出ツールにおいては、温度検出ツールを作動させるため電池を、気密性を有する電池収容チャンバに収容し、密閉した電池パックをさらに備えていることが好ましい。【００２０】
上述のような電池パックを備えた構成とすることにより、全体として十分な電池容量を備えた温度検出ツールを構成することが可能になり、長時間連続して稼働させることが可能な温度検出ツールを提供することが可能になる。【００２１】
なお、電池収容チャンバも、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなり、電池収容チャンバを覆うように配設される被覆部材を備えた構成とすることが望ましい。【００２２】
また、本発明の温度検出ツールにおいては、前記ロガー部に蓄積された前記温度データを外部に無線で発信するための無線通信部を、気密性を有する無線通信部収容チャンバに収容し、密閉した無線通信部パックをさらに備えていることが好ましい。【００２３】
上述のような無線通信部パックを備えた構成とすることにより、ロガー部を取り出すことなく、無線により温度データを外部に発信することが可能になり、リアルタイムに温度データを得ることができる。
また、得られる温度データにより、真空機器内の温度をリアルタイムに制御することが可能になる。【００２４】
なお、無線通信部収容チャンバも、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなり、電池収容チャンバを覆うように配設される被覆部材を備えた構成とすることが望ましい。【００２５】
また、本発明の温度検出ツールは、温度を検出すべき前記被測定物が、前記真空機器内で取り扱われるワークであり、かつ、前記真空機器内において前記ワークを保持するための治具であるワーク保持治具を備えている場合において、前記ワーク保持治具に保持されるように構成されていることが好ましい。【００２６】
真空機器が、ワークを保持するワーク保持治具を備えている場合に、このワーク保持治具に温度検出ツールを保持させることにより、温度検出ツールを真空機器内に設置するための特別の治具や部材が不要になるとともに、ワークをハンドリングしたり、搬送したりするためのデバイスを利用して、温度検出ツールのハンドリングや搬送を行うことが可能になり、温度検出ツールの取り扱い性や、取り出して搬送する際の搬送性などを向上させることができる。【００２７】
なお、温度検出ツールをワーク保持治具に保持させる際の態様に特別の制約はなく、埋め込み用のキャビティーをワーク保持治具に設け、そこに温度検出ツールを埋設するようにしてもよく、また、他の部材を用いて温度検出ツールをワーク保持治具に保持させるようにしてよい。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の温度検出ツールは、真空機器の内部において被測定物の温度データを取得するための熱電対部と、熱電対部により取得された温度データを蓄積するロガー部と、気密性を有し、内部にロガー部が収容された状態で密閉されたロガー収容チャンバと、ロガー部とを結ぶハーメチック結線とを備えており、気密性を有するロガー収容チャンバ内に収容されたロガー部は、真空機器内において真空にさらされることがないため、ロガー部自体が耐真空性を備えていることが不要になる。
その結果、耐真空性を備えた高価なロガー部を用いることが不要になり、コストの増大を招くことなく、真空機器中で被測定物の温度測定を確実に行うとともに、得られる温度データを蓄積することが可能な温度検出ツールを提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施形態（実施形態１）にかかる温度検出ツールの要部構成を示す図である。
【図２】本発明の実施形態（実施形態１）にかかる温度検出ツールが内部に配設された真空機器（この実施形態１では真空成膜装置）の構成を模式的に示す図である。
【図３】本発明の他の実施形態（実施形態２）にかかる温度検出ツールの要部構成を示す図である。
【図４】本発明の他の実施形態（実施形態３）にかかる温度検出ツールの要部構成を示す図である。
【図５】本発明の他の実施形態（実施形態４）において、温度検出ツールをワーク保持部材に保持させた状態を示す図である。
【図６】ワーク保持部材に保持された温度検出ツールの流れを説明する図である。
【図７】従来のＭＯＣＶＤ装置の構成を示す図である。
【図８】図７のＭＯＣＶＤ装置の要部構成を拡大して示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【００３１】
［実施形態１］
図１は本発明の実施形態にかかる温度検出ツールの要部構成を示す図、図２は本発明の実施形態にかかる温度検出ツールが内部に配設されている真空機器（この実施形態１では真空成膜装置）の構成を示す図である。
【００３２】
この実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）は、図２に示すような真空機器（真空成膜装置）Ｂの内部に配設されて被測定物（その表面に成膜が行われるワーク）５の温度を検出するために用いられるものである。
なお、温度を検出する対象となるワーク５としては、例えば、シリコン基板やアルミナ基板、所定のセラミック成形体を焼成したセラミック素体などが例示される。
【００３３】
また、温度検出ツールＡ（Ａ１）がその内部に配設される真空成膜装置Ｂは、図２に示すように、円筒形の真空チャンバ（成膜室）１と、その内部に回転可能に配設された円板状のワーク保持治具２とを備えている。
ワーク保持治具２は、回転軸３に取り付けられており、回転軸３は回転駆動手段（図示せず）により回転されるように構成されている。
【００３４】
また、ワーク保持治具２には、その表面（下側主面）に成膜が行われるべきワーク５を保持するための保持部４が設けられている。なお、この実施形態１において、保持部４は、内周にワーク５を保持するための段部４ａを備えた貫通孔として形成されている。
なお、ワーク保持治具２の構成材料としては、特に制約はないが、例えば、ステンレス、アルミニウム、鉄などを用いることが可能である。
【００３５】
なお、上記真空成膜装置Ｂは、さらにワーク５や真空チャンバ（成膜室）１内を所定の温度に加熱するためのヒータや、成膜用材料を供給するための材料ガス導入部などを備えているがここでは図示を省略している。
【００３６】
この実施形態１において、温度検出ツールＡ（Ａ１）は、上述のように構成された真空成膜装置Ｂ（詳しくは、真空チャンバ（成膜室）１）の内部に配設されている。
【００３７】
温度検出ツールＡ（Ａ１）は、ワーク５の温度データを取得するための熱電対部１１と、熱電対部１１により取得された温度データを蓄積しておくロガー部１２とを備えている。
さらに温度検出ツールＡ（Ａ１）は、気密性を有し、内部にロガー部１２が収容された状態で密閉されたロガー収容チャンバ１４と、上記熱電対部１１とロガー収容チャンバ１４内に収容されたロガー部１２とを結ぶハーメチック結線１３とを備えている。なお、特に図示しないが、ロガー部１２は駆動用の電池を備えている。
なお、ロガー部１２としては、温度データを蓄積することが可能な種々の構成のものを用いることが可能である。
【００３８】
さらに、この実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）は、図１，２に示すように、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなる被覆部材１５を備えており、被覆部材１５は、ロガー収容チャンバ１４を覆うように配設されている。被覆部材１５は、気密であることまでは必要とされないが、できるだけロガー収容チャンバ１４を覆うことができるように構成されていることが望ましい。
【００３９】
また、ロガー収容チャンバ１４は、上述のように気密性を有し、かつ、ロガー部１２の収納や取り出しの際に開閉することが可能な構成とされている。
【００４０】
また、被覆部材１５の構成材料としては、例えば、ステンレスなどを用いることが可能であるが、さらに他の材料を用いることも可能である。
【００４１】
また、この実施形態１において、温度検出ツールＡ（Ａ１）は、図１に示すように、ワーク保持治具２のワーク５を保持するための保持部４に配設され、取り外すことができるような態様でワーク保持治具２に固定されている。
【００４２】
この実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）は、上述のように構成されており、気密性を有するロガー収容チャンバ１４内にロガー部１２が収容、密閉されているため、ロガー部１２が真空機器（真空成膜装置）Ｂ内の真空にさらされることがなく、ロガー部１２に耐真空性を持たせることが不要になり、コストの増大を招くことなく、真空機器（真空成膜装置）Ｂ内でワーク５の温度測定を行うとともに、得られる温度データをロガー部１２に蓄積することが可能になる。
【００４３】
また、ロガー収容チャンバ１４が、遮熱性を備えた被覆部材１５により覆われているので、ロガー収容チャンバ１４およびその内部のロガー部１２が好ましくない熱影響を受けることを抑えることが可能になる。
【００４４】
また、被覆部材１５を備えた構造とすることにより、ロガー収容チャンバ１４への着膜を抑制、防止することが可能になるとともに、被覆部材１５に付着した膜は、被覆部材１５を例えば酸性のエッチング液を用いてエッチング処理することにより効率よく除去することが可能で、複雑なメンテナンス作業を必要とすることなく、温度検出ツールを良好なコンディションに保つことができる。
【００４５】
また、温度検出ツールＡ（Ａ１）を、ワーク保持治具２に保持させるようにしているので、温度検出ツールＡ（Ａ１）を真空チャンバ（成膜室）１内に設置するための治具や部材を別途用意することが不要になる。
また、温度検出ツールＡ（Ａ１）を、ワーク５を保持した状態のワーク保持治具２とともにハンドリングしたり、搬送したりすることが可能になることから、特に温度検出ツールＡ（Ａ１）のハンドリングや搬送のために特別の治具や部材を用意することなく、温度検出ツールＡ（Ａ１）の取り扱い性や、取り出して搬送する際の搬送性などを向上させることができる。
【００４６】
また、この実施形態１では、温度検出ツールＡ（Ａ１）を、ワーク保持治具２のワーク５を保持するための保持部４に保持させるようにしているので、ワーク保持治具２として、それまで使用していたものをそのまま使用することが可能で、新たにワーク保持治具を用意することを必要とせずに、温度検出ツールＡ（Ａ１）を真空チャンバ（成膜室）１内に設置することができるようになる。
【００４７】
なお、この実施形態１では、内周に段部４ａを設けた貫通孔を、ワークを保持するための保持部４とし、この保持部４に温度検出ツールＡ（Ａ１）を保持させるようにしているが、温度検出ツールをワーク保持部材に保持させる態様に特別の制約はなく、ワーク保持治具に埋め込み用のキャビティーを設け、そこに温度検出ツールが埋設されるように構成することも可能であり、さらに他の部材を用いて温度検出ツールをワーク保持治具に保持させることも可能である。
【００４８】
さらに、本発明の温度検出ツールを真空機器の内部に配設する方法は、ワーク保持部材に保持させる方法に限られるものではなく、別部材を用いて真空機器の内部に配設するように構成してもよい。
【００４９】
［実施形態２］
図３は、本発明の他の実施形態（実施形態２）にかかる温度検出ツールＡ（Ａ２）の要部構成を模式的に示す図である。
この実施形態２の温度検出ツールＡ（Ａ２）も、上記実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）の場合と同様に、真空機器（真空成膜装置）Ｂ（図２参照）の内部に配設されて用いられるものである。
なお、図３において、図１と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示している。
【００５０】
この実施形態２の温度検出ツールＡ（Ａ２）は、基本的に、上記実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）と同様の構成を備えており、さらに、温度検出ツールＡ（Ａ２）を作動させるために用いられる電池２１を、気密性を有する電池収容チャンバ２４内に収容し、密閉した電池パック２２を備えている。
そして、この電池パック２２を構成する電池収容チャンバ２４も、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなる被覆部材１５ａを備えており、被覆部材１５ａは、電池収容チャンバ２４を覆うように配設されている。
また、電池収容チャンバ２４内の電池２１と、ロガー収容チャンバ１４内のロガー部１２とはハーメチック結線１３ａにより接続されている。
【００５１】
なお、電池収容チャンバ２４は、上述のように、気密性を有し、かつ、電池２１の収納や取り出し、あるいは取り換えの際などには開閉することが可能な構成とされている。
この実施形態２の温度検出ツールＡ（Ａ２）のその他の構成は、実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）と同様である。
この実施形態２のように、電池パック２２を備えた構成とすることにより、全体として十分な電池容量を備え、長時間連続して稼働させることが可能な温度検出ツールを実現することができる。
【００５２】
また、電池収容チャンバ２４も、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなる被覆部材１５ａにより被覆されているので、電池収容チャンバ２４への着膜を抑制、防止することができるとともに、被覆部材１５ａに付着した膜は、被覆部材１５ａを例えば酸性のエッチング液を用いてエッチング処理することにより効率よく除去することが可能で、複雑なメンテナンス作業を必要とすることなく、温度検出ツール全体を良好なコンディションに保つことができる。
【００５３】
［実施形態３］
図４は、本発明の他の実施形態（実施形態３）にかかる温度検出ツールＡ（Ａ３）の要部構成を模式的に示す図である。
この実施形態３の温度検出ツールＡ（Ａ３）も、上記実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）と同様に、真空機器（真空成膜装置）Ｂ（図２参照）の内部に配設されて用いられるものである。
なお、図４において、図１と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示している。
【００５４】
この実施形態３の温度検出ツールＡ（Ａ３）は、基本的に、上記実施形態１の温度検出ツールＡ１と同様の構成を備えており、さらに、ロガー部１２に蓄積された温度データを無線で外部に発信するための無線通信部３１を、気密性を有する無線通信部収容チャンバ３４内に収容し、密閉した無線通信部パック３２を備えている。
また、無線通信部収容チャンバ３４内の無線通信部３１と、ロガー収容チャンバ１４内のロガー部１２とはハーメチック結線１３ｂにより接続されている。
【００５５】
なお、無線通信部収容チャンバ３４は、上述のように気密性を有し、かつ、無線通信部３１の収納や取り出し、あるいは取り換えの際などには開閉することが可能な構成とされている。
【００５６】
また、この無線通信部パック３２を構成する無線通信部収容チャンバ３４も、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなる被覆部材１５ｂを備えており、被覆部材１５ｂは、無線通信部収容チャンバ３４を覆うように配設されている。
この実施形態３の温度検出ツールＡ（Ａ３）のその他の構成は、実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）と同様である。
【００５７】
この実施形態３のように、無線通信部パック３２を備えた構成とすることにより、ロガー部１２を真空機器（真空成膜装置）Ｂから取り出すことなく、無線により温度データを外部に発信することが可能になり、リアルタイムに温度データを得ることができる。また、得られる温度データにより、真空機器（真空成膜装置）Ｂ（図２参照）内の温度をリアルタイムに制御して、高品質の成膜を行うことができる。
【００５８】
なお、無線通信部収容チャンバ３４も、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなる被覆部材１５ｂにより被覆されているので、無線通信部収容チャンバ３４への着膜を抑制、防止することができるとともに、被覆部材１５ｂに付着した膜は、被覆部材１５ｂを例えば酸性のエッチング液を用いてエッチング処理することにより効率よく除去することが可能で、複雑なメンテナンス作業を必要とすることなく、温度検出ツール全体を良好なコンディションに保つことができる。
【００５９】
［実施形態４］
この実施形態４では、例えば、図５に示すように、温度検出ツールＡ（Ａ２）をワーク保持部材２の保持部４に保持させた場合における、ワーク５や温度検出ツールＡ（Ａ２）の流れ（取り扱い方法）について説明する。
【００６０】
（１）図６に示すように、処理前室５１に搬送される前の段階で、ワーク保持部材２の保持部４にワーク５を設置するとともに、温度検出ツールＡ（Ａ２）を設置する（図５）。
このとき、温度検出ツールＡ（Ａ２）を構成するロガー収容チャンバ１４の内部にはロガー部１２が収容されており、ロガー収容チャンバ１４は、常温で内部が大気圧になるような状態で密閉されている。
また、温度検出ツールＡ（Ａ２）を構成する電池収容チャンバ２４の内部には、電池２１が収容されており、電池収容チャンバ２４は、常温で内部が大気圧になるような状態で密閉されている。
【００６１】
（２）それから、上記（１）のように、保持部４にワーク５と温度検出ツールＡ（Ａ２）とが設置された状態のワーク保持治具２を処理前室５１に搬送する。
【００６２】
（３）次に、保持部４にワーク５と温度検出ツールＡ（Ａ２）とが設置された状態のワーク保持治具２を、処理前室５１から、真空成膜装置Ｂに搬入し、所定の条件（圧力条件（真空条件）や温度条件）の下で、ワーク５への成膜を行う。
【００６３】
（４）成膜が終了した後、保持部４にワーク５と温度検出ツールＡ（Ａ２）とが設置された状態のワーク保持治具２を、処理室（真空成膜装置Ｂ）から外部に搬出する。そして、成膜されたワーク５を後工程に供給したり、温度検出ツールＡ（Ａ２）をワーク保持治具２から取り外して蓄積されたデータを解析したりするなどの必要な処理を行う。
【００６４】
この実施形態４のように構成することにより、温度検出ツールを真空機器（真空成膜装置）の内部に配置するにあたって、特別な治具などを必要とすることなく、容易に温度検出ツールを真空機器の内部に配設することが可能になるとともに、温度検出ツールをワークやそれを保持するワーク保持治具とともに取り扱うことが可能になり、真空機器内部への搬入や、真空機器からの搬出などのハンドリング、さらにはその前後の搬送などを効率よく行うことが可能になる。
【００６５】
なお、上記の実施形態では示していないが、温度検出ツールが、ロガー部、電池パック、および、無線通信部パックのすべてを備えた構成とすることも可能である。
【００６６】
また、上記実施形態では、温度を測定すべき対象である被測定物が、その表面に成膜が行われるワークである場合を例にとって説明したが、本願発明の温度検出ツールにおいて被測定物の種類に特別の制約はない。
例えば、特に成膜の対象となるワークではなく、被測定物が、他の目的のために所定の温度に加熱されるようなワークである場合にも、本発明を適用することが可能である。
【００６７】
また、本発明は、例えば、真空機器の内壁温度や雰囲気温度を測定する場合などにも適用することが可能である。
【００６８】
本発明はさらにその他の点においても上記実施形態に限定されるものではなく、ロガー収容チャンバや、ワークを保持するためのワーク保持部材の具体的な構成などに関し、発明の範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能である。
【符号の説明】
【００６９】
１                        真空チャンバ（成膜室）
２                        ワーク保持治具
３                        回転軸
４                        保持部
４ａ                      段部
５                        ワーク（被測定物）
１１                      熱電対部
１２                      ロガー部
１３，１３ａ，１３ｂ      ハーメチック結線
１４                      ロガー収容チャンバ
１５                      被覆部材
１５ａ                    電池収容チャンバ用の被覆部材
１５ｂ                    無線通信部収容チャンバ用の被覆部材
２１                      電池
２２                      電池パック
２４                      電池収容チャンバ
３１                      無線通信部
３２                      無線通信部パック
３４                      無線通信部収容チャンバ
Ａ（Ａ１，Ａ２，Ａ３）    温度検出ツール
Ｂ                        真空機器（真空成膜装置）
５１                      処理前室
【図１】
2015005093.tif 000003
【図２】
2015005093.tif 000004
【図３】
2015005093.tif 000005
【図４】
2015005093.tif 000006
【図５】
2015005093.tif 000007
【図６】
2015005093.tif 000008
【図７】
2015005093.tif 000009
【図８】
2015005093.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成28年10月31日(2016.10.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物の温度を測定するための温度検出ツールに関し、詳しくは、真空機器の内部において被測定物の温度を測定するために用いられる温度検出ツールに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空下で成膜を行う成膜装置の一つに、例えば、図７および図８にその要部構成を示すようなＭＯＣＶＤ装置がある（特許文献１参照）。なお、図７はＩｎ系材料を用いるＭＯＣＶＤ装置の構成を示す図、図８はその要部構成を拡大して示す図である。
【０００３】
このＭＯＣＶＤ装置は、以下に説明するような構成を備えている。
円筒形のチャンバ１０４は、回転ディスク１０９を収容し、回転ディスク１０９はその上面に複数のウェハ１０１を搭載している。回転ディスク１０９はその中心を下方から中空シャフト１１０によって水平に支持され、中空シャフト１１０は図示しないモータに機械的に接続され、そのモータによって回転ディスク１０９が水平に矢印Ａ方向に回転するように構成されている。また、チャンバ１０４は内部を外部から観察できるように周壁の少なくとも一部が透明に構成されている。回転ディスク１０９には熱電対１０６が埋設され、図８に示すように、その先端３０１は、ウェハ１０１の裏面に近接又は接触するようにディスク１０９の表面から突出して設置されている。
【０００４】
ところで、Ｉｎ系材料は分解しやすい特性を有するため、材料ガス導入口１０５から導入されるＩｎ系ガスは、なるべくウェハ１０１の直近で分解させる必要がある。したがって、回転ディスク１０９の表面中央部に導入される材料ガスの温度上昇を抑制するために、中空シャフト１１０内部に冷却水２０１を循環させ回転ディスク１０９の中央部を裏面から冷却するようにしている。
【０００５】
熱電対１０６の起動力を測定温度に比例する温度データに変換する温度測定部１０７と、測定部１０７からの温度データを表示データに変換して測定温度を表示する表示部４００とが、回転ディスク１０９の下側の中空シャフト１１０の近傍に設置され、冷却水２０１により冷却されるように構成されている。
【０００６】
なお、温度測定部１０７と表示部４００は内蔵する電池により駆動される。また、抵抗発熱体からなるヒータ１０３が、チャンバ１０４内の天井近傍に設置され、チャンバ１０４の外部に設けられたヒータ電源１０８に電気的に接続されている。ヒータ電源１０８は手動式コントローラ１１１に接続され、使用者がコントローラ１１１を操作することにより、ヒータ１０３の出力を制御できるようになっている。さらに、チャンバ１０４の天井の中央には、材料ガス導入口１０５が設けられている。なお、表示部４００は、ＬＣＤやＬＥＤ表示装置によって構成される。
【０００７】
このような構成において、ヒータ電源１０８が駆動されると、チャンバ１０４内はヒータ１０３により加熱される。そして、表示装置４００の表示するウェハ１０１の温度が約６００℃になると、回転ディスク１０９が回転し、Ｉｎ材料ガス、例えばトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）ガスが所定時間だけ材料ガス導入口１０５からチャンバ１０４内へ導入され、ＩｎＰなどの薄膜がウェハ１０１上に成膜される。
【０００８】
そして、この特許文献１のＭＯＣＶＤ装置では、成膜工程中において、使用者がチャンバ１０４の側壁の透明部分を介して表示部４００の表示内容を観察しながら、コントローラ１１１を手動操作することにより、ウェハ１０１の温度が所定の温度プロファイルに従って変化するように管理するようにしている。
【０００９】
その結果、特許文献１のＭＯＣＶＤ装置によれば、所望の特性を有するＩｎ材料膜を製造することができるとされている。
【００１０】
しかしながら、特許文献１のＭＯＣＶＤ装置においては、温度測定部１０７や、測定部１０７からの温度データを表示データに変換して測定温度を表示する表示部４００などの機器や部材が真空にさらされることになるため、それらの機器や部材として、耐真空性を備えたものを用いることが必要になり、設備コストが増大するという問題点がある。
さらに、上記の機器や部材は、特に高温に対する処置がされていないことから、耐熱性を備えている機器や部材を用いることが必要になり、コストの増大を招いたり、機器や部材を設置する場所に制約が生じ、設備構成の自由度が制限されたりするという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００４−２０７６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、上記課題を解決するものであり、耐真空性を備えた高価な構成部材を用いることを必要とせずに、真空機器内において被測定物の温度を確実に検出することが可能な温度検出ツールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため、本発明の温度検出ツールは、
真空機器内に配設され、前記真空機器内の被測定物の温度を検出するために用いられる温度検出ツールであって、
前記被測定物の温度データを取得するための熱電対部と、
前記熱電対部により取得された前記温度データを蓄積するロガー部と、
気密性を有し、内部に前記ロガー部が収容された状態で密閉されたロガー収容チャンバと、
前記熱電対部と前記ロガー収容チャンバ内に収容された前記ロガー部とを結ぶハーメチック結線と
を具備し、
前記真空機器が、真空下で成膜を行うための真空成膜装置であり、
温度を検出すべき前記被測定物が、前記真空機器内で取り扱われるワークであり、かつ、前記真空機器内において前記ワークを保持するための治具であって、前記ワークを保持するための複数の保持部が設けられているワーク保持治具を備えている場合において、前記保持部に保持されるように構成されていることを特徴としている。
【００１４】
また、本発明の温度検出ツールは、前記保持部から取り外すことができるような態様で前記ワーク保持冶具に固定されていることが好ましい。
【００１５】
また、本発明の温度検出ツールは、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなり、前記ロガー収容チャンバを覆うように配設される被覆部材をさらに備えていることが好ましい。
【００１６】
ロガー収容チャンバを覆うように配設される被覆部材を備えた構成とすることにより、ロガー収容チャンバへの熱を遮断することが可能になり、ロガー部への熱影響を抑えて、信頼性を向上させることが可能になる。
【００１７】
また、被覆部材を備えた構造（２重構造）にすることにより、ロガー収容チャンバへの異物（汚染物質）の付着や、着膜の発生を抑制、防止することが可能になる。また、被覆部材に付着した異物や膜は、被覆部材のみをエッチング処理するなどして、容易に除去することが可能で、複雑なメンテナンス作業を必要とすることなく、温度検出ツールを良好なコンディションに保つことが可能になる。
【００１８】
また、本発明の温度検出ツールにおいては、温度検出ツールを作動させるため電池を、気密性を有する電池収容チャンバに収容し、密閉した電池パックをさらに備えていることが好ましい。
【００１９】
上述のような電池パックを備えた構成とすることにより、全体として十分な電池容量を備えた温度検出ツールを構成することが可能になり、長時間連続して稼働させることが可能な温度検出ツールを提供することが可能になる。
【００２０】
なお、電池収容チャンバも、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなり、電池収容チャンバを覆うように配設される被覆部材を備えた構成とすることが望ましい。
【００２１】
また、本発明の温度検出ツールにおいては、前記ロガー部に蓄積された前記温度データを外部に無線で発信するための無線通信部を、気密性を有する無線通信部収容チャンバに収容し、密閉した無線通信部パックをさらに備えていることが好ましい。
【００２２】
上述のような無線通信部パックを備えた構成とすることにより、ロガー部を取り出すことなく、無線により温度データを外部に発信することが可能になり、リアルタイムに温度データを得ることができる。
また、得られる温度データにより、真空機器内の温度をリアルタイムに制御することが可能になる。
【００２３】
なお、無線通信部収容チャンバも、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなり、電池収容チャンバを覆うように配設される被覆部材を備えた構成とすることが望ましい。
【００２４】
前記保持部は、前記ワークを保持するための段部を備えた貫通孔として形成されていてもよい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の温度検出ツールは、真空機器の内部において被測定物の温度データを取得するための熱電対部と、熱電対部により取得された温度データを蓄積するロガー部と、気密性を有し、内部にロガー部が収容された状態で密閉されたロガー収容チャンバと、ロガー部とを結ぶハーメチック結線とを備えており、気密性を有するロガー収容チャンバ内に収容されたロガー部は、真空機器内において真空にさらされることがないため、ロガー部自体が耐真空性を備えていることが不要になる。
その結果、耐真空性を備えた高価なロガー部を用いることが不要になり、コストの増大を招くことなく、真空機器中で被測定物の温度測定を確実に行うとともに、得られる温度データを蓄積することが可能な温度検出ツールを提供することが可能になる。
真空機器が、真空下で成膜を行うための真空成膜装置である場合、ロガー部に着膜を生じ、性能の劣化などを引き起こすおそれがあるが、本発明の温度検出ツールでは、ロガー部が上述のようにロガー収容チャンバに収容されているため、ロガー部に直接に着膜することを防止して、特性が劣化したり、耐久性の低下を招いたりすることを防止して、信頼性を向上させることが可能になり、特に有意義である。
また、真空機器が、ワークを保持するワーク保持治具を備えている場合に、このワーク保持治具に温度検出ツールを保持させることにより、温度検出ツールを真空機器内に設置するための特別の治具や部材が不要になるとともに、ワークをハンドリングしたり、搬送したりするためのデバイスを利用して、温度検出ツールのハンドリングや搬送を行うことが可能になり、温度検出ツールの取り扱い性や、取り出して搬送する際の搬送性などを向上させることができる。
特に、温度検出ツールが保持部に保持されるように構成されていることにより、ワーク保持治具として、それまで使用していたものをそのまま使用することが可能で、新たにワーク保持治具を用意することを必要とせずに、温度検出ツールを真空機器内に設置することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態（実施形態１）にかかる温度検出ツールの要部構成を示す図である。
【図２】本発明の実施形態（実施形態１）にかかる温度検出ツールが内部に配設された真空機器（この実施形態１では真空成膜装置）の構成を模式的に示す図である。
【図３】本発明の他の実施形態（実施形態２）にかかる温度検出ツールの要部構成を示す図である。
【図４】本発明の他の実施形態（実施形態３）にかかる温度検出ツールの要部構成を示す図である。
【図５】本発明の他の実施形態（実施形態４）において、温度検出ツールをワーク保持部材に保持させた状態を示す図である。
【図６】ワーク保持部材に保持された温度検出ツールの流れを説明する図である。
【図７】従来のＭＯＣＶＤ装置の構成を示す図である。
【図８】図７のＭＯＣＶＤ装置の要部構成を拡大して示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【００２８】
［実施形態１］
図１は本発明の実施形態にかかる温度検出ツールの要部構成を示す図、図２は本発明の実施形態にかかる温度検出ツールが内部に配設されている真空機器（この実施形態１では真空成膜装置）の構成を示す図である。
【００２９】
この実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）は、図２に示すような真空機器（真空成膜装置）Ｂの内部に配設されて被測定物（その表面に成膜が行われるワーク）５の温度を検出するために用いられるものである。
なお、温度を検出する対象となるワーク５としては、例えば、シリコン基板やアルミナ基板、所定のセラミック成形体を焼成したセラミック素体などが例示される。
【００３０】
また、温度検出ツールＡ（Ａ１）がその内部に配設される真空成膜装置Ｂは、図２に示すように、円筒形の真空チャンバ（成膜室）１と、その内部に回転可能に配設された円板状のワーク保持治具２とを備えている。
ワーク保持治具２は、回転軸３に取り付けられており、回転軸３は回転駆動手段（図示せず）により回転されるように構成されている。
【００３１】
また、ワーク保持治具２には、その表面（下側主面）に成膜が行われるべきワーク５を保持するための保持部４が設けられている。なお、この実施形態１において、保持部４は、内周にワーク５を保持するための段部４ａを備えた貫通孔として形成されている。
なお、ワーク保持治具２の構成材料としては、特に制約はないが、例えば、ステンレス、アルミニウム、鉄などを用いることが可能である。
【００３２】
なお、上記真空成膜装置Ｂは、さらにワーク５や真空チャンバ（成膜室）１内を所定の温度に加熱するためのヒータや、成膜用材料を供給するための材料ガス導入部などを備えているがここでは図示を省略している。
【００３３】
この実施形態１において、温度検出ツールＡ（Ａ１）は、上述のように構成された真空成膜装置Ｂ（詳しくは、真空チャンバ（成膜室）１）の内部に配設されている。
【００３４】
温度検出ツールＡ（Ａ１）は、ワーク５の温度データを取得するための熱電対部１１と、熱電対部１１により取得された温度データを蓄積しておくロガー部１２とを備えている。
さらに温度検出ツールＡ（Ａ１）は、気密性を有し、内部にロガー部１２が収容された状態で密閉されたロガー収容チャンバ１４と、上記熱電対部１１とロガー収容チャンバ１４内に収容されたロガー部１２とを結ぶハーメチック結線１３とを備えている。なお、特に図示しないが、ロガー部１２は駆動用の電池を備えている。
なお、ロガー部１２としては、温度データを蓄積することが可能な種々の構成のものを用いることが可能である。
【００３５】
さらに、この実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）は、図１，２に示すように、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなる被覆部材１５を備えており、被覆部材１５は、ロガー収容チャンバ１４を覆うように配設されている。被覆部材１５は、気密であることまでは必要とされないが、できるだけロガー収容チャンバ１４を覆うことができるように構成されていることが望ましい。
【００３６】
また、ロガー収容チャンバ１４は、上述のように気密性を有し、かつ、ロガー部１２の収納や取り出しの際に開閉することが可能な構成とされている。
【００３７】
また、被覆部材１５の構成材料としては、例えば、ステンレスなどを用いることが可能であるが、さらに他の材料を用いることも可能である。
【００３８】
また、この実施形態１において、温度検出ツールＡ（Ａ１）は、図１に示すように、ワーク保持治具２のワーク５を保持するための保持部４に配設され、取り外すことができるような態様でワーク保持治具２に固定されている。
【００３９】
この実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）は、上述のように構成されており、気密性を有するロガー収容チャンバ１４内にロガー部１２が収容、密閉されているため、ロガー部１２が真空機器（真空成膜装置）Ｂ内の真空にさらされることがなく、ロガー部１２に耐真空性を持たせることが不要になり、コストの増大を招くことなく、真空機器（真空成膜装置）Ｂ内でワーク５の温度測定を行うとともに、得られる温度データをロガー部１２に蓄積することが可能になる。
【００４０】
また、ロガー収容チャンバ１４が、遮熱性を備えた被覆部材１５により覆われているので、ロガー収容チャンバ１４およびその内部のロガー部１２が好ましくない熱影響を受けることを抑えることが可能になる。
【００４１】
また、被覆部材１５を備えた構造とすることにより、ロガー収容チャンバ１４への着膜を抑制、防止することが可能になるとともに、被覆部材１５に付着した膜は、被覆部材１５を例えば酸性のエッチング液を用いてエッチング処理することにより効率よく除去することが可能で、複雑なメンテナンス作業を必要とすることなく、温度検出ツールを良好なコンディションに保つことができる。
【００４２】
また、温度検出ツールＡ（Ａ１）を、ワーク保持治具２に保持させるようにしているので、温度検出ツールＡ（Ａ１）を真空チャンバ（成膜室）１内に設置するための治具や部材を別途用意することが不要になる。
また、温度検出ツールＡ（Ａ１）を、ワーク５を保持した状態のワーク保持治具２とともにハンドリングしたり、搬送したりすることが可能になることから、特に温度検出ツールＡ（Ａ１）のハンドリングや搬送のために特別の治具や部材を用意することなく、温度検出ツールＡ（Ａ１）の取り扱い性や、取り出して搬送する際の搬送性などを向上させることができる。
【００４３】
また、この実施形態１では、温度検出ツールＡ（Ａ１）を、ワーク保持治具２のワーク５を保持するための保持部４に保持させるようにしているので、ワーク保持治具２として、それまで使用していたものをそのまま使用することが可能で、新たにワーク保持治具を用意することを必要とせずに、温度検出ツールＡ（Ａ１）を真空チャンバ（成膜室）１内に設置することができるようになる。
【００４４】
なお、この実施形態１では、内周に段部４ａを設けた貫通孔を、ワークを保持するための保持部４とし、この保持部４に温度検出ツールＡ（Ａ１）を保持させるようにしているが、温度検出ツールをワーク保持部材に保持させる態様に特別の制約はなく、さらに他の部材を用いて温度検出ツールをワーク保持治具に保持させることも可能である。
【００４５】
［実施形態２］
図３は、本発明の他の実施形態（実施形態２）にかかる温度検出ツールＡ（Ａ２）の要部構成を模式的に示す図である。
この実施形態２の温度検出ツールＡ（Ａ２）も、上記実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）の場合と同様に、真空機器（真空成膜装置）Ｂ（図２参照）の内部に配設されて用いられるものである。
なお、図３において、図１と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示している。
【００４６】
この実施形態２の温度検出ツールＡ（Ａ２）は、基本的に、上記実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）と同様の構成を備えており、さらに、温度検出ツールＡ（Ａ２）を作動させるために用いられる電池２１を、気密性を有する電池収容チャンバ２４内に収容し、密閉した電池パック２２を備えている。
そして、この電池パック２２を構成する電池収容チャンバ２４も、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなる被覆部材１５ａを備えており、被覆部材１５ａは、電池収容チャンバ２４を覆うように配設されている。
また、電池収容チャンバ２４内の電池２１と、ロガー収容チャンバ１４内のロガー部１２とはハーメチック結線１３ａにより接続されている。
【００４７】
なお、電池収容チャンバ２４は、上述のように、気密性を有し、かつ、電池２１の収納や取り出し、あるいは取り換えの際などには開閉することが可能な構成とされている。
この実施形態２の温度検出ツールＡ（Ａ２）のその他の構成は、実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）と同様である。
この実施形態２のように、電池パック２２を備えた構成とすることにより、全体として十分な電池容量を備え、長時間連続して稼働させることが可能な温度検出ツールを実現することができる。
【００４８】
また、電池収容チャンバ２４も、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなる被覆部材１５ａにより被覆されているので、電池収容チャンバ２４への着膜を抑制、防止することができるとともに、被覆部材１５ａに付着した膜は、被覆部材１５ａを例えば酸性のエッチング液を用いてエッチング処理することにより効率よく除去することが可能で、複雑なメンテナンス作業を必要とすることなく、温度検出ツール全体を良好なコンディションに保つことができる。
【００４９】
［実施形態３］
図４は、本発明の他の実施形態（実施形態３）にかかる温度検出ツールＡ（Ａ３）の要部構成を模式的に示す図である。
この実施形態３の温度検出ツールＡ（Ａ３）も、上記実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）と同様に、真空機器（真空成膜装置）Ｂ（図２参照）の内部に配設されて用いられるものである。
なお、図４において、図１と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示している。
【００５０】
この実施形態３の温度検出ツールＡ（Ａ３）は、基本的に、上記実施形態１の温度検出ツールＡ１と同様の構成を備えており、さらに、ロガー部１２に蓄積された温度データを無線で外部に発信するための無線通信部３１を、気密性を有する無線通信部収容チャンバ３４内に収容し、密閉した無線通信部パック３２を備えている。
また、無線通信部収容チャンバ３４内の無線通信部３１と、ロガー収容チャンバ１４内のロガー部１２とはハーメチック結線１３ｂにより接続されている。
【００５１】
なお、無線通信部収容チャンバ３４は、上述のように気密性を有し、かつ、無線通信部３１の収納や取り出し、あるいは取り換えの際などには開閉することが可能な構成とされている。
【００５２】
また、この無線通信部パック３２を構成する無線通信部収容チャンバ３４も、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなる被覆部材１５ｂを備えており、被覆部材１５ｂは、無線通信部収容チャンバ３４を覆うように配設されている。
この実施形態３の温度検出ツールＡ（Ａ３）のその他の構成は、実施形態１の温度検出ツールＡ（Ａ１）と同様である。
【００５３】
この実施形態３のように、無線通信部パック３２を備えた構成とすることにより、ロガー部１２を真空機器（真空成膜装置）Ｂから取り出すことなく、無線により温度データを外部に発信することが可能になり、リアルタイムに温度データを得ることができる。また、得られる温度データにより、真空機器（真空成膜装置）Ｂ（図２参照）内の温度をリアルタイムに制御して、高品質の成膜を行うことができる。
【００５４】
なお、無線通信部収容チャンバ３４も、遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなる被覆部材１５ｂにより被覆されているので、無線通信部収容チャンバ３４への着膜を抑制、防止することができるとともに、被覆部材１５ｂに付着した膜は、被覆部材１５ｂを例えば酸性のエッチング液を用いてエッチング処理することにより効率よく除去することが可能で、複雑なメンテナンス作業を必要とすることなく、温度検出ツール全体を良好なコンディションに保つことができる。
【００５５】
［実施形態４］
この実施形態４では、例えば、図５に示すように、温度検出ツールＡ（Ａ２）をワーク保持部材２の保持部４に保持させた場合における、ワーク５や温度検出ツールＡ（Ａ２）の流れ（取り扱い方法）について説明する。
【００５６】
（１）図６に示すように、処理前室５１に搬送される前の段階で、ワーク保持部材２の保持部４にワーク５を設置するとともに、温度検出ツールＡ（Ａ２）を設置する（図５）。
このとき、温度検出ツールＡ（Ａ２）を構成するロガー収容チャンバ１４の内部にはロガー部１２が収容されており、ロガー収容チャンバ１４は、常温で内部が大気圧になるような状態で密閉されている。
また、温度検出ツールＡ（Ａ２）を構成する電池収容チャンバ２４の内部には、電池２１が収容されており、電池収容チャンバ２４は、常温で内部が大気圧になるような状態で密閉されている。
【００５７】
（２）それから、上記（１）のように、保持部４にワーク５と温度検出ツールＡ（Ａ２）とが設置された状態のワーク保持治具２を処理前室５１に搬送する。
【００５８】
（３）次に、保持部４にワーク５と温度検出ツールＡ（Ａ２）とが設置された状態のワーク保持治具２を、処理前室５１から、真空成膜装置Ｂに搬入し、所定の条件（圧力条件（真空条件）や温度条件）の下で、ワーク５への成膜を行う。
【００５９】
（４）成膜が終了した後、保持部４にワーク５と温度検出ツールＡ（Ａ２）とが設置された状態のワーク保持治具２を、処理室（真空成膜装置Ｂ）から外部に搬出する。そして、成膜されたワーク５を後工程に供給したり、温度検出ツールＡ（Ａ２）をワーク保持治具２から取り外して蓄積されたデータを解析したりするなどの必要な処理を行う。
【００６０】
この実施形態４のように構成することにより、温度検出ツールを真空機器（真空成膜装置）の内部に配置するにあたって、特別な治具などを必要とすることなく、容易に温度検出ツールを真空機器の内部に配設することが可能になるとともに、温度検出ツールをワークやそれを保持するワーク保持治具とともに取り扱うことが可能になり、真空機器内部への搬入や、真空機器からの搬出などのハンドリング、さらにはその前後の搬送などを効率よく行うことが可能になる。
【００６１】
なお、上記の実施形態では示していないが、温度検出ツールが、ロガー部、電池パック、および、無線通信部パックのすべてを備えた構成とすることも可能である。
【００６２】
また、上記実施形態では、温度を測定すべき対象である被測定物が、その表面に成膜が行われるワークである場合を例にとって説明したが、本願発明の温度検出ツールにおいて被測定物の種類に特別の制約はない。
例えば、特に成膜の対象となるワークではなく、被測定物が、他の目的のために所定の温度に加熱されるようなワークである場合にも、本発明を適用することが可能である。
【００６３】
また、本発明は、例えば、真空機器の内壁温度や雰囲気温度を測定する場合などにも適用することが可能である。
【００６４】
本発明はさらにその他の点においても上記実施形態に限定されるものではなく、ロガー収容チャンバや、ワークを保持するためのワーク保持部材の具体的な構成などに関し、発明の範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１                        真空チャンバ（成膜室）
２                        ワーク保持治具
３                        回転軸
４                        保持部
４ａ                      段部
５                        ワーク（被測定物）
１１                      熱電対部
１２                      ロガー部
１３，１３ａ，１３ｂ      ハーメチック結線
１４                      ロガー収容チャンバ
１５                      被覆部材
１５ａ                    電池収容チャンバ用の被覆部材
１５ｂ                    無線通信部収容チャンバ用の被覆部材
２１                      電池
２２                      電池パック
２４                      電池収容チャンバ
３１                      無線通信部
３２                      無線通信部パック
３４                      無線通信部収容チャンバ
Ａ（Ａ１，Ａ２，Ａ３）    温度検出ツール
Ｂ                        真空機器（真空成膜装置）
５１                      処理前室
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空機器内に配設され、前記真空機器内の被測定物の温度を検出するために用いられる温度検出ツールであって、
前記被測定物の温度データを取得するための熱電対部と、
前記熱電対部により取得された前記温度データを蓄積するロガー部と、
気密性を有し、内部に前記ロガー部が収容された状態で密閉されたロガー収容チャンバと、
前記熱電対部と前記ロガー収容チャンバ内に収容された前記ロガー部とを結ぶハーメチック結線と
を具備し、
前記真空機器が、真空下で成膜を行うための真空成膜装置であり、
温度を検出すべき前記被測定物が、前記真空機器内で取り扱われるワークであり、かつ、前記真空機器内において前記ワークを保持するための治具であって、前記ワークを保持するための複数の保持部が設けられているワーク保持治具を備えている場合において、前記保持部に保持されるように構成されていることを特徴とする温度検出ツール。
【請求項２】
前記保持部から取り外すことができるような態様で前記ワーク保持冶具に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の温度検出ツール。
【請求項３】
遮熱性と、耐エッチング洗浄性を備えた材料からなり、前記ロガー収容チャンバを覆うように配設される被覆部材をさらに備えていることを特徴とする請求項１または２記載の温度検出ツール。
【請求項４】
温度検出ツールを作動させるため電池を、気密性を有する電池収容チャンバに収容し、密閉した電池パックをさらに備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の温度検出ツール。
【請求項５】
前記ロガー部に蓄積された前記温度データを外部に無線で発信するための無線通信部を、気密性を有する無線通信部収容チャンバに収容し、密閉した無線通信部パックをさらに備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の温度検出ツール。
【請求項６】
前記保持部は、前記ワークを保持するための段部を備えた貫通孔として形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の温度検出ツール。
【国際調査報告】
2015005093.tif 000011
2015005093.tif 000012
2015005093.tif 000013
2015005093.tif 000014