【手続補正書】
【提出日】平成24年6月13日(2012.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】  本発明によれば、前記装置は、第２の特定の放射角度で前記材料に放射線を照射する（第２の）放射装置と、前記材料に対して第２の受光角度で配置され、前記第２の放射装置により前記材料に照射され前記材料より後方散乱された前記放射線の少なくとも一部を受光する（第２の）放射線検出装置とを有する第２の測定装置を備え、前記第２の放射線検出装置は、入射した前記放射線の局所的分解による評価を可能にし、前記第２の放射線検出装置に当たる前記放射線に特有の少なくとも１つの第２の特徴信号を発する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】  別の有利な実施形態において、前記装置は、前記第１の特徴信号および前記第２の特徴信号を考慮して前記表面に特有の少なくとも１つの値を出力する処理装置を備える。ここで、ある特定の測定において、第１の信号または第２の信号のみを考慮して特徴値を発してもよい。一方、たとえば上述したように、屈折率の違いにより発生する歪みを考慮するため、ある特定の測定において、両信号を考慮して特徴値を出力してもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】  別の有利な実施形態において、前記装置は、いくつかの異なる要素を特定して前記第２の特徴信号を分析する評価手段を備える。たとえば、ある特定の画像をフーリエ分析などにより分析してもよく、このために異なるフィルタを用いてもよい。たとえば、ある特定の表面においていくつかの測定値を取得してもよく、これらは検査対象となる表面の異なる空間領域または距離ごとにさらに細分化される。これらの各測定値に対して、それぞれの場合について標準偏差などの統計値を出力し、この細分化に基づいて表面を評価することができる。この方法は独国特許出願公開第１０２００６０３２４０４Ａ１号明細書に詳述されており、その内容全体が本出願の開示において参照により包含される。ここで上記装置は、いくつかの異なる要素、特に局所的なフィルタ要素を特定して第２の信号を分析する評価手段を備えることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】  別の有利な実施形態において、前記装置は、前記第１の特徴信号および前記第２の特徴信号を考慮して前記材料の屈折率に特有の値を出力する処理手段を備える。たとえば、ある特定の第１の信号に対応する屈折率を割り当てる表を作成またはベースとして用いてもよく、それぞれ第２の信号を割り当てに考慮し、たとえば、これは２つの異なる表面で変わらないと判定され、光学的印象は同じであるが屈折率は異なるという結論を導くことができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】  別の有利な実施形態においては、両測定装置による測定が同一平面内で行われるように放射線検出装置が配置される。言い換えれば、第１の放射装置により表面に照射され放射線検出装置に戻ってきた光線の光路の面が、第２の放射装置より表面に当たり第２の放射線検出装置上に表面より後方散乱された光線が形成する光路の面と同一とされる。ただし、異なる平面で測定を行ってもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】  図１は、第１の測定方法、より正確にはいわゆる光沢測定の概略図を示す。この場合、第１の放射装置４が配置され、これにより放射線が表面１０に照射される。表面１０より後方散乱された放射線Ｓ１は、第１の放射線検出装置６に投影される。この第１の放射線検出装置６は、入射強度の全体値を出力する。この第１の放射線検出装置６の上流には、絞り９が配置されている。この測定方法は、実質的に平行光である光路を備え、光沢測定とすることが好ましい。それに応じて、参照番号３２は絞り、参照番号３４は絞り３２の下流に配置されたレンズを示し、これらを併用して平行光が生成される。受光側にも、レンズ３６が配置されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】  当然ながら、表面の特性により、すべての光が放射線検出装置６に到達するわけではなく、放射線領域Ｋに示されるように、あらゆる方向に散乱される。このように、放射線検出装置６に到達する放射線と表面１０に入射する放射線との比に基づいて、表面１０の性質または光沢に関する結論を導くことができる。上述のように、絞り９はソフトウェア絞りとして実装してもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】  図２ａは第２の測定方法を示す。ここで、放射装置１４が配置され、これにより放射線Ｓ２が表面１０または検査対象となる材料に照射される。この放射線Ｓ２は、表面１０で反射され、放射線検出装置または画像受光装置１６に到達する。参照番号３８は、レンズを示す。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】  参照番号８は絞りユニットを示し、ここでは第２の放射装置１４の下流に配置されている。この絞りユニット８は、表面１０を介して放射線検出装置１６に投影される。表面に構造がある場合、表面１０に照射された光の一部が正確に反射されないため、不鮮明な画像が受光される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】  図３は、本発明に係る装置１の概略図を示す。この装置は、一般的に２として識別される第１の測定装置と一般的に１２として識別される第２の測定装置とが内部に配置される筐体２０を備える。この筐体２０は実質的に封止され、表面１０を検査可能な開口２２を１つのみ有する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】  第１の測定装置２は、ここでは第１の放射装置４と第１の放射線検出装置６とを有する。第１の放射装置４と第１の放射線検出装置６は、ここでは平均垂線Ｍに対して対称に配置される。すなわち、表面１０に当たり表面１０より反射された光は、放射線検出装置６に到達する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】  急峻な測定角度は第１の測定方法よりも第２の測定方法に適しているため、図３に示される配置では、平均垂線Ｍに対して第１の測定装置２の内側に第２の測定装置１２が配置される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】  ただし、各放射装置４、１４および各放射線検出装置６、１６は、各測定が互いに影響を与えないように配置されることが好ましい。すなわち、第１の放射装置４からの光が第２の放射線検出装置１６に到達せず、また第２の放射装置１４からの光が第１の放射線検出装置６に到達しないことが好ましい。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】  参照番号２４は、２つの放射線検出装置６、１６から出力された信号または測定値を記憶し、その測定値に基づいて表面１０の特徴測定値を出力する処理装置を示す。さらに装置は、異なる屈折率に特有の第１の信号値を記憶できる記憶装置２６を備える。このように、第１および第２の放射線検出装置６、１６からの間の比較に基づいて、各材料の屈折率に関する結論を導くことができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料の光学的特性を特定する装置であって、第１の特定の放射角度で前記材料に放射線を照射する第１の放射装置と、前記材料に対して第１の受光角度で配置され、前記第１の放射装置により前記材料に照射され前記材料より後方散乱された前記放射線の少なくとも一部を受光する第１の放射線検出装置とを有する第１の測定装置を備え、前記第１の放射線検出装置は、前記第１の放射線検出装置に入射した前記放射線の強度に特有の第１の特徴信号を発し、  前記装置は、第２の特定の放射角度で前記材料に放射線を照射する第２の放射装置と、前記材料に対して第２の受光角度で配置され、前記第２の放射装置により前記材料に照射され前記材料より後方散乱された前記放射線の少なくとも一部を受光する第２の放射線検出装置とを有する第２の測定装置を備え、前記第２の放射線検出装置は、入射した前記放射線の局所的分解による評価を可能にし、前記第２の放射線検出装置に入射した前記放射線に特有の少なくとも１つの第２の特徴信号を発することを特徴とする装置。
【請求項２】
前記装置は、前記第１の特徴信号および前記第２の特徴信号を考慮して前記材料に特有の値を出力する処理手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１の放射角度および前記第１の受光角度は、前記材料に対して伸びる平均垂線に対して実質的に鏡面反転とされることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記材料は表面であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項５】
前記装置は、前記第１の測定装置および前記第２の測定装置の一部である放射線検出装置を備えることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項６】
前記装置は、前記第１の測定装置および前記第２の測定装置の一部である放射装置を備えることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記第１の放射線検出装置の上流に絞りユニットが配置されることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記装置は、いくつかの異なる要素を特定して前記第２の特徴信号を分析する評価ユニットを備えることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
前記装置は、前記第１の特徴信号および前記第２の特徴信号を考慮して前記材料の屈折率に特有の値を発する処理手段を備えることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
前記第１の放射装置および前記第２の放射装置は、前記材料の同じ領域に前記放射線を照射することを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１１】
前記装置は、前記第１の測定装置および前記第２の測定装置に異なる時点で測定を行わせる制御ユニットを備えることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の装置（１）。
【請求項１２】
前記装置は、前記第１の放射装置、前記第２の放射装置、前記第１の放射線検出装置および前記第２の放射線検出装置がともに内部に配置される筐体を備え、前記筐体は、前記第１の放射装置および前記第２の放射装置が前記材料に照射を行う開口を１つのみ有することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１３】
材料の光学的特性を特定する方法であって、第１の測定装置は、第１の放射装置を用いて第１の特定の放射角度で前記材料に放射線を照射し、前記材料に対して第１の受光角度で配置された第１の放射線検出装置を用いて、前記第１の放射装置より前記材料に照射され前記材料より後方散乱された前記放射線の少なくとも一部を受光し、前記第１の放射線検出装置は、前記第１の放射線検出装置に入射した前記放射線の強度に特有の第１の特徴信号を発し、  第２の測定装置は、第２の放射装置を用いて第２の特定の放射角度で前記材料に放射線を照射し、前記材料に対して第２の受光角度で配置された第２の放射線検出装置を用いて、前記第２の放射装置により前記材料に照射され前記材料より後方散乱された前記放射線の少なくとも一部を受光し、前記第２の放射線検出装置は、入射した前記放射線の局所的分解による評価を可能にし、前記第２の放射線検出装置に入射した前記放射線に特有の少なくとも１つの第２の特徴信号を発することを特徴とする方法。
【請求項１４】
前記第１の特徴信号および／または前記第２の特徴信号を考慮して前記材料に特有の少なくとも１つの値が出力されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記第１の測定装置による測定および前記第２の測定装置による測定が異なる時点で行われることを特徴とする請求項１３または１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記第１の測定装置による測定および前記第２の測定装置による測定が前記材料の実質的に同じ領域に対して行われることを特徴とする請求項１３から１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
少なくとも２つの検出器領域が少なくとも１つの方法により評価され、所定の比において互いに関連して測定値を求めるのに用いられることを特徴とする請求項１３から１６のいずれか一項に記載の方法。