【事件の表示】
　平成１０年特許願第　４８７９８号「マスキング装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　８月２４日出願公開、特開平１１−２２９１１７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本願は、平成１０年２月１２日に出願した特許出願であって、平成１５年９月１１日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年１０月２２日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年１１月１８日付けで手続補正がなされたものである。
２．平成１５年１１月１８日付けでなされた手続補正（以下、「本件補正」という。）について
〔１〕本件補正により、平成１５年５月２７日付けで提出された手続補正書（以下、「手続補正書１」という。）により補正された本願明細書の【特許請求の範囲】が下記（ａ）のように補正された。
（ａ）【請求項１】パターンマスク板にマスク窓の内周全体にわたってその先端部を前記パターンマスク板の厚みよりも薄くした開口部を備えるマスキング装置であって、前記パターンマスク板は、金属板によって形成された一枚ものであり、前記マスク窓の内周先端部の厚みは、前記パターンマスク板の厚みのほぼ１／２程度とし、前記マスク窓の内周先端部の厚みの薄い部分の張り出し長さを、前記パターンマスク板の厚みよりも長くしたことを特徴とするマスキング装置。
〔２〕上記補正（ａ）について
　上記本件補正後の本願請求項１に係る発明の構成は、上記手続補正書１により補正された本願明細書の特許請求の範囲請求項１に記載のマスキング装置の発明の特定事項に「前記パターンマスク板は、金属板によって形成された一枚ものであり」との構成を追加したものである。
　そして、この本件補正後の本願請求項１に係る発明の構成は、上記手続補正書１により補正された本願明細書の特許請求の範囲請求項２の「前記パターンマスク板が、金属板によって形成された一枚ものであることを特徴とする、請求項１に記載のマスキング装置」という記載からみて、上記の請求項２に記載された発明の構成と同一のもので、上記補正（ａ）は、手続補正書１により補正された本願明細書の特許請求の範囲請求項１に記載された発明を削除し、該明細書の特許請求の範囲請求項２に記載された発明を請求項番号を繰り上げて請求項１としたものといえる。
　そうすると、上記補正（ａ）は、特許法第１７条の２第４項第１号に規定する請求項の削除を目的とするものに該当する。
３．本願発明
　本願発明は、上記補正（ａ）により補正された、平成１５年１１月１８日付けで提出された手続補正書（以下、「手続補正書２」という。）により補正された本願明細書の特許請求の範囲請求項１に記載された事項により特定される上記のとおりのものである（以下、「本願発明１」という。）。
４．引用文献の記載事項
（１）特開平９−２７０６５３号公報（以下、「引用文献１」という。）
　本願の原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１には、次の事項が記載されている。
（ア）「真空槽内で、複数個の圧電材の振動片を複数個の小孔を有する薄板状の蒸着ホルダーに収納し、該薄板状の蒸着ホルダーの表裏に、前記蒸着ホルダーの小孔より小さい開口部を有する一対の複数個の薄板状の蒸着マスクを重ねて前記振動片を挟持し、該振動片の表裏に電極膜を形成する製造方法において、前記表裏の薄板状蒸着マスクの開口部の外周縁の厚みを蒸着マスクの板厚より薄く設定して電極膜を形成することを特徴とする電極膜の製造方法。」（【特許請求の範囲】【請求項１】）
（イ）「前記表裏の薄板状蒸着マスクの開口部の外周縁の断面の形状を開口部の中心に向かって開口部が萎むように傾斜を設定して電極膜を形成することを特徴とする請求項１記載の電極膜の製造方法。」(【特許請求の範囲】【請求項２】）
（ウ）「前記表裏の薄板状蒸着マスクの開口部の外周縁の断面の形状を開口部の中心に向かって薄くなるように段差を設定して電極膜を形成することを特徴とする請求項１記載の電極膜の製造方法。（【特許請求の範囲】【請求項３】）
（エ）「図１（Ｂ）において、本発明による表蒸着サブマスク１２ａの開口部１１の外周縁１５の断面１３は開口部１１の中心に向かって傾斜角が約３０°になるように例えばエッチング後の片面押しなどで形成される。」（第３頁右欄３７〜４１行、段落【００１９】）
（オ）「同図（Ｃ）は本発明の他の実施例であり、表蒸着サブマスク１２ｂの開口部１１の外周縁１５の断面は表蒸着サブマスク１２ｂの厚みのほぼ１／２となるように段差１４がハーフエッチングなどで形成される。」（第３頁右欄４２〜４５行。段落【００２０】）
（カ）「本発明の図１（Ｂ）によれば、マウント部１６、１７には前記開口部１１の側壁によって陰は生じないないのでマウント部１６、１７には電極膜が均一に付着する。」（第３頁右欄４６〜４９行、段落【００２１】）
（キ）「図２は図１（Ｃ）のマウント部１６の詳細説明図である。振動片１０上の表蒸着サブマスク１２ｂの開口部１１の外周縁１５の断面は段差１４を有しているので、従来の蒸着サブマスク１８と比較して、蒸着角度が約３０°としても蒸着マスクによる陰が半減してマウント部１６周縁を含むクロム電極膜１９の厚みは１００〜２００オングストロームに形成することができる。」（第３頁右欄末行〜第４頁左欄６行、段落【００２２】）
（ク）【図２】には蒸着サブマスク全体が同一のハッチング模様で表示されている。
（２）特開平４−２３６７５８号公報（以下、「引用文献２」という。）
　本願の原査定の拒絶の理由に引用された引用文献２には、次の事項が記載されている。
（ア）「【従来の技術】従来の蒸着用マスクを図９の概略構成断面図により説明する。図に示す蒸着用マスク５１は、厚さが２５μｍないし５０μｍの鋼製または厚さがおよそ１００μｍのステンレス製の平板５２で形成されている。」（第２頁左欄１３〜１７行、段落【０００２】）
（イ）「従来の蒸着用マスクは、スチールまたはステンレスで形成され
ている・・・蒸着用マスクの厚さが厚く、蒸着パターンの側壁が急な傾斜面になっているために、斜め方向より入射してくる蒸発した蒸着原料は、蒸着パターンの蒸着原料側のエッジ部分近傍で遮られる。このため、蒸着パターンの試料面に蒸着原料が到達しない部分が生じて、蒸着パターンの形状を転写した状態に蒸着膜を形成することが困難になる。また設計通りの量に蒸着原料が到達しないために蒸着膜の組成比，膜厚等が設計通りにならない。」（第２頁左欄４９行〜右欄１０行、段落【０００７】）
（ウ）【図９】（「従来例の概略構成断面図」、第４頁）に記載されている蒸着マスク全体が同一のハッチング模様で表示されている。
５．対比・判断
　引用文献１の記載事項ア、ウ、オ、キを本願発明の記載振りに整理すると、「薄板状蒸着マスクの開口部の外周縁の厚みを蒸着マスクの板厚より薄く設定して成るマスキング装置であって、表裏の薄板状蒸着マスクの開口部の外周縁の厚みを蒸着マスクの板厚のほぼ１／２で蒸着角度が約３０°としても蒸着マスクによる陰が半減となるように段差をハーフエッチングなどで形成したことを特徴とするマスキング装置」の発明（以下、「引用１発明」という。）が記載されているといえる。
　そして、本願発明１と引用１発明を対比すると、引用１発明の「蒸着マスク」、「開口部」、「開口部の外周縁」及び「開口部の外周縁の厚みを蒸着マスクの板厚より薄く設定した後の開口部」が、それぞれ、本願発明１の「パターンマスク板」、「マスク窓」、「マスク窓の内周先端部」、「マスク窓の内周全体にわたってその先端部をパターンマスク板の厚みよりも薄くした開口部」に相当し、「段差」は、本願発明１と同様にハーフエッチングで形成され「パターンマスク板は、一枚もの」であるということができるから、両者は、「パターンマスク板にマスク窓の内周全体にわたってその先端部を前記パターンマスク板の厚みよりも薄くした開口部を備えるマスキング装置であって、前記パターンマスク板は、一枚ものであり、前記マスク窓の内周先端部の厚さは、前記パターンマスク板の厚みのほぼ１／２程度としたことを特徴とするマスキング装置」である点で一致し、以下の点で相違する。
（ａ）相違点ａ：本願発明１は「パターンマスク板が金属板によって形成された」ものであるのに対して、引用１発明は具体的な材料について記載のない点、
（ｂ）相違点ｂ：本願発明１は「マスク窓の内周先端部の厚みの薄い部分の張り出し長さをパターンマスク板の厚みよりも長くした」ものであるのに対して、引用１発明は、段差の張り出し長さを蒸着角度が約３０°としても蒸着マスクによる陰が半減となるように構成した点。
　そこで、上記相違点について検討する。
（ｉ）相違点ａについて
　「マスキング装置のパターンマスク板を金属板によって形成する」ことは本願発明の出願前から周知の技術である（もしも必要ならば、例えば引用文献２の記載事項ア、イ及び特公平３−１３３０４号公報（本願の原査定の拒絶の理由に引用された文献）第１頁左欄２０行〜右欄２行「従来、この所定形状の孔を有するマスクとしては、金属板をプレス加工あるいはフォトエッチング技術を用いて腐食抜き（エッチング）加工したものが一般的に用いられている。」参照。）。
　そして、金属が成膜時の温度変化に耐え、セラミックスよりも強度に優れ且つ加工がし易い点で成膜用のマスク材に適していること及び成膜用マスク板として１枚ものの金属板を使用する場合には「温度変化に伴う内部応力（熱応力）によってマスク板が反ったり歪んだりすることがなく、薄膜のパターン精度を維持することができ、さらに、マスク板のコストも貼り合わせ品のように高価になることもないとの効果がもたらされる」ことは当業者であれば容易に予想し得ることである。
　そうすると、引用１発明に対して「パターンマスク板が金属板によって形成されたものとする」ことは当業者であれば容易になし得ることである。
（ｉｉ）相違点ｂについて
　パターンマスク板を用いて成膜する際に、基板の表面に堆積させる金属材料をパターンマスク板の側壁の遮蔽による陰が生じないようにして基板表面に到達させることは本願出願前から薄膜形成技術分野における一般的な技術課題であり（もしも必要ならば、例えば引用文献１の記載事項カ及び引用文献２の記載事項イ参照。）、引用文献１の記載事項イ、クに段差１４の幅が蒸着角度約３０°でマスクの厚みの約√３／２≒０．８７であることが示されているといえること、及び、その際に蒸着用マスクとしての機能が果たせるような強度をもたせるためには張り出し長さをむやみに長くはできないことを勘案すれば、引用１発明においては、マスクの板厚の０．８７程度であった段差の張り出し長さを１．０程度まで長くすることは当業者であれば、蒸着方法や装置の配置に応じて適宜なし得る設計事項の限定にすぎないものといえる。
　そして、相違点ａ，ｂの構成を採用することによって奏する効果も、当業者であれば予測の範囲内のことである。
６．審判請求人の主張について
  審判請求人は、審判請求書（第２頁４８〜第３頁６行）において「本願発明においては、マスク窓の内周先端部の厚みの薄い領域の張り出し長さをパターンマスク板の厚みより長くすることにより、成膜効率を最良に維持できることを、実験により見出しました。」と主張しているが、審判請求人が実験によって「成膜効率を最良の状態に維持できるようにする際の条件の下限値はパターンマスク板の厚みに対する上記張り出し長さの比で両者が等しい場合である」との見解に至ったのは、実験が実施例に示されるマスク窓の構造や形状や寸法の条件だけで行われたもので、蒸着方法をはじめとしてマスキング装置以外に何らの特定のない本件発明１において、成膜効率に対する張り出し長さの臨界的意義を示す根拠とは認められないので、採用することはできない。
７．むすび
　以上のとおりであるから、本願発明１は、本願の出願前に頒布された刊行物である上記引用文献１に記載された発明及び上記の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。