【事件の表示】
　特願２０００−２４３５７４「導波管とアプリケータとの結合構造及びそれを利用した無電極ランプ」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　７月１０日出願公開、特開２００１−１８９１９７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯と本願発明
　本願は、平成１２年８月１１日（パリ条約による優先権主張　１９９９年１２月２９日（ＫＲ）韓国）の出願であって、平成１６年２月２４日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年５月３１日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年６月３０日付けで審判請求時の手続補正がなされたものであり、その特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、前記審判請求時の手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された以下のとおりのものと認める。
（本願発明）
　「電磁波を発生する電磁波発生機と、該電磁波発生機から発生した電磁波を伝送する導波管と、該導波管から伝送される電磁波を負荷に伝達させるアプリケータとから構成され、
　前記導波管と前記アプリケータの壁面に二つ以上のスロットが相互λ／４の間隔を有して順次形成されると共に、前記アプリケータの軸方向に対して直交するように形成され、前記導波管は、前記アプリケータの軸を中心にして、中空円筒形に屈曲形成される導波管とアプリケータとの結合構造において、
　前記二つ以上のスロットは、前記導波管の長手方向に形成され、前記導波管の端部の内部に電磁波吸収手段が備えられることを特徴とする導波管とアプリケータとの結合構造。」
　
　なお、上記審判請求時の補正は、補正前の請求項４を残し他の請求項を削除するとともに、明りょうでない記載の釈明を行う補正であるから、上記のように認定した。
　
２．引用発明及び周知技術
（１）原審の拒絶理由に引用された特開平５−３４５９８２号公報（以下、「引用例」という。）には図面とともに以下の事項が記載されている。
　イ．「【００３５】以下に、本発明者が行った実験について説明する。
【００３６】
【実験１】本実験は、プラズマ発生室内のプラズマ密度分布に関する円筒状マイクロ波導入装置の直線状マイクロ波導入装置に対する優位性を明らかにすることを目的として行った。本実験では、石英製の円筒状プラズマ発生室の外周に従来例の直線状マイクロ波導入装置と円筒状マイクロ波導入装置とを交互に設置し、該マイクロ波導入装置を介して該プラズマ発生室へマイクロ波を導入し、発生したプラズマの周方向の密度分布をプローブ法により測定することにより均一性を比較評価した。本実験で用いた円筒状マイクロ波導入装置を図３に示す。１０１は円筒状導波管、１０２はマイクロ波を円筒状導波管１０１からプラズマ発生室へ導入するために該円筒状導波管１０１の内側に形成された複数のスロット、１０３はマイクロ波を円筒状導波管１０１に導入するためのマイクロ波導入部、２０４はマイクロ波を反射する反射終端ブロック２０４である。円筒状導波管１０１は、内壁断面の寸法がＷＲＴ−２規格導波管と同じ２７ｍｍ×９６ｍｍであって、中心径が３５４ｍｍである。円筒状導波管１０１の材質は、機械的強度を保つためステンレス鋼で構成されていて、その内壁面にはマイクロ波の伝搬損失を抑えるため銅をコーティングした上に更に銀をコーティングした二層メッキが施されている。
【００３７】スロット１０２の形状は長さ６０ｍｍ、幅４ｍｍの矩形であり、管内波長の１／４間隔に形成されている。管内波長は、使用するマイクロ波の周波数と導波管の断面の寸法に依存するが、周波数２．４５ＧＨｚのマイクロ波と上記の寸法の導波管を用いた場合には約１５９ｍｍである。使用した円筒状導波管１０１では、スロットは約４０ｍｍ間隔で２８個形成されている。マイクロ波導入部１０３には、４スタブチューナ、方向性結合器、アイソレータ、２．４５ＧＨｚの周波数を持つマイクロ波電源（不図示）が順に接続されている。
【００３８】（・・・中略・・・）
【００３９】プラズマの発生は以下のようにして行った。排気系（不図示）を介してプラズマ発生室１１１内を真空排気し、１０-6Ｔｏｒｒの値まで減圧させた。続いてプラズマ発生用の窒素ガスをガス導入口１１３を介して１ｓｌｍの流量でプラズマ発生室１１１内に導入した。次に排気系（不図示）に設けられたコンダクタンスバルブ（不図示）を調整し、プラズマ発生室１１１内を５０ｍＴｏｒｒに保持した。ついで２．４５ＧＨｚのマイクロ波電源（不図示）より５００Ｗの電力を円筒状導波管１０１を介してプラズマ発生室１１１内に供給した。これによりプラズマ発生室１１１内にプラズマが発生した。このときの反射電力は４５Ｗであった。」（８頁１４欄、段落３５〜９頁１５欄、段落３９）
　ロ．「【００４３】
【実験２】本実験は、プラズマ発生室内のプラズマ密度分布に関する円筒状マイクロ波導入装置の終端を外す効果を明らかにすることを目的として行った。本実験では、石英製の円筒状プラズマ発生室の外周から接線方向に導入部が向いている反射終端を有しない円筒状マイクロ波導波管を用いて該プラズマ発生室へマイクロ波を導入し、発生したプラズマの周方向の空間的密度分布をプローブ法により測定することにより、実験１の終端がある場合と比較評価した。
【００４４】本実験で用いた円筒状マイクロ波導入装置を図６に示す。１０１は円筒状導波管、１０２はマイクロ波を円筒状導波管１０１からプラズマ発生室へ導入するために該円筒状導波管１０１の内側に形成された複数のスロット、１０３はマイクロ波を円筒状導波管１０１に導入するためのマイクロ波導入部である。
【００４５】本実験で使用した図６に示した円筒状マイクロ波導入装置は実験１で使用した図３に示した円筒状マイクロ波導入装置から反射終端ブロック２０４を外したものであり、他の構成は実験１のところで説明した内容と同様である。プラズマの発生及びプラズマ密度分布の測定は、上記の図６に示したマイクロ波導入装置を図２に示したプラズマ発生装置に組み込んで、実験１で示した方法と同様な方法で行った。プラズマ発生の際の反射電力は、ほぼ０Ｗで実験１よりも良好なマッチングが得られた。」（９頁１６欄、段落４３〜４５）
　
　上記引用例の特に実験１に関する記載及び添付図面ならびにこの分野における技術常識を考慮すると、上記「マイクロ波電源」は電磁波を発生する電磁波発生機のことであり、上記「導波管」は上記「マイクロ波電源（即ち、電磁波発生機）」から発生した「マイクロ波（即ち、電磁波）」を伝送する円筒状の管である。また上記「プラズマ発生室」は、上記「マイクロ波電源」からのマイクロ波エネルギーを消費してプラズマを発生させるものであるから、当該「プラズマ発生室」は「マイクロ波電源」に対する負荷であり、当該「プラズマ発生室」を含む円筒状導波管内の空間は前記「マイクロ波電源」からのマイクロ波エネルギーを負荷に伝送するための負荷収容空間である。
　また、当該「プラズマ発生室（負荷収容空間）」は「円筒状」であるから、当然にいわゆる「軸」を有するものであり、前記「導波管」が「中空」であることは自明のことであるから、前記「導波管」は「プラズマ発生室（負荷収容空間）の軸を中心にして、中空円筒形に屈曲形成され」ており、上記「スロット」は「前記プラズマ発生室（負荷収容空間）の軸方向に対して平行する方向に長く」、かつ「前記導波管の長手方向に」、「二つ以上」設けられている。
　したがって、上記引用例には以下の発明（以下、「引用発明」という。）が開示されている。
（引用発明）
　「電磁波を発生する電磁波発生機と、該電磁波発生機から発生した電磁波を伝送する導波管と、該導波管から伝送される電磁波を負荷に伝達させる負荷収容空間とから構成され、
　前記導波管の壁面に二つ以上のスロットが管内波長の１／４間隔を有して順次形成されると共に、前記負荷収容空間の軸方向に対して平行するように形成され、前記導波管は、前記負荷収容空間の軸を中心にして、中空円筒形に屈曲形成される導波管と負荷収容空間との結合構造において、
　前記二つ以上のスロットは、前記導波管の長手方向に形成され、前記導波管の端部の内部に反射終端ブロックが備えられる導波管と負荷収容空間との結合構造。」
　
　また、上記引用例の実験２によると「円筒状マイクロ波導入装置から反射終端ブロックを外した」ときの「反射電力は、ほぼ０Ｗで実験１よりも良好なマッチングが得られ」るものである。
　
（２）同じく原審の拒絶理由に引用された特開平２−９８０９６号公報（以下、「引用例２」という。）には図面とともに以下の事項が記載されている。
　「第９図は、正方形断面の空胴を使用する場合の本発明の更に別の実施例を示している。この実施例においては、マグネトロン８８からのエネルギーは導波管９２によって結合スロット９４を介して空胴８２へ結合され、一方バルブステム８７はバルブ８６を電界に対して９０度以外の角度で回転自在に支持している。このランプは、第４図に示したものと同様であり、ＴＥ１０１モードで動作させることが可能である。」（５頁左上欄１１〜１９行目）
　
　即ち、上記引用例２には「導波管の長手方向に長く形成されたスリットを介して無電極ランプを配設した空洞（即ち、アプリケータ）と結合する構造」が開示されている。
　
（３）例えば特開昭６１−２１０７０１号公報（以下、「周知例１」という。）には図面とともに以下の事項イが記載されており、また例えば特開昭６３−１４６６０５号公報（以下、「周知例２」という。）には図面とともに以下の事項ロが記載されており、また例えば特開昭６２−７２２０２号公報（以下、「周知例３」という。）には図面とともに以下の事項ハが記載されている、また例えば特開平３−２７２２０１号公報（以下、「周知例４」という。）には図面とともに以下の事項ニ、ホが記載されている。
　イ．「以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の導波管装置の一部断面の構造斜視図である。同図において主導波管２は伝送路と同一の断面形状を有し、伝送路の途中に挿入される。この主導波管の、基本モード（ＴＥ１１○モード）の電界方向１に平行な側面には複数個の結合孔５を介して副導波管３が設けられている。
　この副導波管３の断面形状は、副導波管３のＴＥ１０□モードの管内波長と主導波管２のＴＭ０１○モードの管内波長が等しくなるような寸法を有している。このため、結合孔の数を最適となるように選べば、主導波管２の中に閉じこめられているＴＭ０１○モードのほとんどすべてを副導波管３へ誘導することができる。
　さらにこの副導波管３の両端には無反射終端器４が挿入されており、ここで不要ＴＭ０１○モードを吸収することができる。また基本モード（ＴＥ１１○モード）の副導波管３への漏洩については、結合孔を充分に小さくすることによってほとんど無視することができる。
　さらに、結合孔の間隔を、ＴＥ１１○モードの管内波長の１／４に選ぶことで、結合孔は主導波管のＶＳＷＲ特性に影響を与えることはない。
　一方、同図において基本モード電界方向１に直角な主導波管２の側面には管軸方向に沿って幅の狭くかつ円形導波管の断面形状を変化させない程度の長さを有するスリット７が数カ所設けられている。このスリットは交差偏波成分に対する結合孔として作用する。すなわち、伝送路内に発生した交差偏波成分はこのスリットを介して副導波管６へ誘導される。さらに、誘導された交差偏波成分は副導波管６のスリットとの対面に設けられている電波吸収体８に吸収される。また、前述のようにスリットは基本モードの電界方向に直角に設けられでいることから、この場合もスリットが伝送信号である正偏波のＴＥ１１○モードに与える影響はない。」（周知例１、２頁左下欄１０行目〜３頁左上欄８行目）
　
　ロ．「第３図および第４図に、従来の導波管変調器の一例を示す。第３図は、従来の導波管変調器の一例の横断面図であり、第４図は、第３図の導波管変調器の縦断面図である。
　第３図および第４図において、円筒形の空胴共振器１３の一端面に２つの小さな結合孔１７，１８が穿設されるとともに、円周面に１つの小さな結合孔２３が穿設されている。また、矩形の第１の導波管１４の一端は出力端１９として開口され、他端は無反射終端器２４で閉塞されている。そして、第１の導波管１４の電界と平行な一側壁に空胴共振器１３と対応させて結合孔１７，１８が穿設され、この結合孔１７，１８よりも開口側で第１の導波管１４の内部に発振素子１５がポスト１６を用いて電界と平行に配設されている。この第１の導波管１４と空胴共振器１３とが、双方の結合孔１７，１８を合致させて接続固定されている。さらに、矩形の第２の導波管２２の一端に１つの小さな結合孔２３が穿設され、他端は反射板２５で閉塞され、内部に可変容量素子としてのバラクタダイオード２０がポスト２１を用いて電界と平行に配設されている。この第２の導波管２２と空胴共振器１３とが、双方の結合孔２３を合致させて接続固定されている。なお、発振素子１５にはポスト１６を介して適宜な直流バイアスが与えられ、バラクタダイオード２０にはポスト２１を介して逆バイアス電圧の変調信号が与えられている。」（周知例２、１頁右下欄１７行目〜２頁右上欄２行目）
　
　ハ．「第２図（ａ）及び（ｂ）は、そのような形式のマイクロ波終端器の概略斜視図である。第２図（ａ）に示すマイクロ波終端器は、矩形導波管１の中心線上に沿って且つ電界面に平行に、くさび状の板状マイクロ波吸収板２を配置してなるものであり、第２図（ｂ）に示すマイクロ波終端器は、第２図（ａ）の板状マイクロ波吸収体２の厚さをあたかも矩形導波管の幅までに広げたように、矩形導波管１の中にくさび状のブロック状マイクロ波吸収体３を配置してなるものである。
　これら板状マイクロ波吸収体２やブロック状マイクロ波吸収体３のくさび部分のテーパは、導波管の特性インピーダンスとの整合をとるためのものであり、インピーダンスが不連続になるのを防止しているものである。かかる状態において、マイクロ波はそれら板状マイクロ波吸収体２やブロック状マイクロ波吸収体３に吸収され、無反射終端が実現される。」（周知例３、２頁左上欄４行目〜右上欄１行目）
　
　ニ．「更に、副導波管２に導かれたモード結合波の伝送方向に方向性を持たせるために、第１０図に示すように結合孔３の間隔ｌを管内波長の１／４の長さに選ぶと、結合波のうち前進波５は同位相で合成され、後進波６は逆位相合成となり打ち消され、主導波管１の伝送波と同じ向きで結合波が副導波管２を伝送する。
　以上の動作原理に従えば、可逆定理から特定モードの励振器としても動作する。即ち、副導波管２から方形ＴＥ１０モードを入力すると、−１０ｄＢ〜−２０ｄＢ程度の結合度で円形の特定モードを励振し、主導波管１内に伝送させることができる。」（周知例４、２頁左上欄１２行目〜右上欄３行目）
　ホ．「なお、８は副導波管２の一端に設けられている無反射終端器である。」（周知例４、２頁右下欄１５〜１７行目）
　
　例えば上記周知例１に開示されているように、「導波管の長手方向に形成された複数のスリットの向きは通過させるマイクロ波の伝送モードにより適宜決まる」ものである。上記周知例２の第３図には「導波管の長手方向に長く且つ複数個形成されたスリット」が開示されている。
　したがって、例えば上記周知例１〜２に開示されているように「導波管の長手方向に長く且つ複数個形成されたスリットを介して他の伝送空間に結合する構造」は周知であり、また例えば上記周知例１〜４に開示されているように「必要に応じて導波管の端部の内部に電波吸収体からなる無反射終端器を設置すること」も周知である。
　
３．対比・判断
　本願発明と引用発明とを対比するに、まず、「アプリケータ」に関し、本願の明細書の段落４の「【０００４】又、前記アプリケータ内の負荷は、通常、固体又は液体状態であるが、プラズマ発生器などでは気体状態になることもあり、場合によっては、固定された負荷のみならず、移動する負荷も存在し得る。」という記載によれば、本願発明にかかる「アプリケータ」は引用発明の「負荷」としての「プラズマ発生室」を含む概念であるから、引用発明の「負荷収容空間」と本願発明の「アプリケータ」の間に実質的な差異はない。
　また、「スロット」について検討するに、本願明細書の段落１９の「【００１９】そして、前記中空円筒形アプリケータ５の一方側の壁面と、導波管１２１の一方側の壁面とが相互共有され、それら壁面の一部に二つのスロット１１が所定間隔をおいて穿孔形成されている。（以下省略）」という記載によれば、本願発明の「前記導波管と前記アプリケータの壁面に二つ以上のスロットが」形成される構成は「導波管の壁面とアプリケータの壁面が相互共有され、該共有壁面に所定間隔を置いて二つ以上が形成され」る構成を含むものであるところ、引用発明の「前記導波管の壁面に二つ以上のスロットが」形成される構成においても「導波管の壁面と負荷収容空間（即ち、アプリケータ）の壁面は相互共有され、該共有壁面に所定間隔を置いて二つ以上が形成され」ているのであるから、引用発明の「前記導波管の壁面に二つ以上のスロットが」形成される構成と本願発明の「前記導波管と前記アプリケータの壁面に二つ以上のスロットが」形成される構成の間にも実質的な差異はない。なお、引用発明の「負荷収容空間」の全体的な構成は不明であるが、その点の構成は本願発明の「アプリケータ」の構成にも含まれていないから、その点は相違点とはならないものである。
　また、同じく上記本願明細書の段落２８の「【００２８】且つ、前記各スロット１１間の間隔は、一般の導波管型方向性結合器と同様に、導波管内の波長の約１／４を基本とするが、これに限定されるものでなく、導波管１２２とアプリケータ５との結合構造の形態及び動作方式に従って変更して形成することもできる。」という記載によれば、本願発明の「スロットが相互λ／４の間隔を有して順次形成され」という構成は「前記スロット間の間隔は、導波管内の波長の約１／４を基本とする」構成を含むものであるから、本願発明の当該構成と引用発明の「スロットが管内波長の１／４間隔を有して順次形成され」という構成との間にも実質的な差異はない。
　また引用発明の「負荷収容空間の軸方向に対して平行するように形成され」という構成と本願発明の「アプリケータの軸方向に対して直交するように形成され」という構成はいずれも「アプリケータの軸方向に対して所定の方向に長く形成され」という構成の点で一致している。
　また、引用発明の「導波管の端部の内部に反射終端ブロックが備えられる」構成と本願発明の「導波管の端部の内部に電磁波吸収手段が備えられる」構成はいずれも「導波管の端部の内部に終端が備えられる」構成であるという点で一致している。
　したがって、本願発明と引用発明は、以下の点で一致ないし相違している。
　
　（一致点）
　「電磁波を発生する電磁波発生機と、該電磁波発生機から発生した電磁波を伝送する導波管と、該導波管から伝送される電磁波を負荷に伝達させるアプリケータとから構成され、
　前記導波管と前記アプリケータの壁面に二つ以上のスロットが相互λ／４の間隔を有して順次形成されると共に、前記アプリケータの軸方向に対して所定の方向に長く形成され、前記導波管は、前記アプリケータの軸を中心にして、中空円筒形に屈曲形成される導波管とアプリケータとの結合構造において、
　前記二つ以上のスロットは、前記導波管の長手方向に形成され、前記導波管の端部の内部に終端が備えられる導波管とアプリケータとの結合構造。」
　
　（相違点１）「所定の方向に長く」という構成に関し、本願発明は「（前記アプリケータの軸方向に対して）直交するように」形成されるのに対し、引用発明は「（前記アプリケータの軸方向に対して）平行するように」形成される点。
　（相違点２）「終端」に関し、本願発明の「終端」は「電磁波吸収手段」であるのに対し、引用発明の「終端」は「反射終端ブロック」である点。
　
　そこで、まず、上記相違点１の「所定の方向に長く」という構成について検討するに、例えば上記周知例１に開示されているように、「導波管の長手方向に形成された複数のスリットの向きは通過させるマイクロ波の伝送モードにより適宜決まる」ものであるところ、例えば上記引用例２には「導波管の長手方向に長く形成されたスリットを介して無電極ランプを配設した空洞（即ち、アプリケータ）と結合する構造」が開示されており、また例えば上記周知例１、２に開示されているように「導波管の長手方向に長く且つ複数個形成されたスリットを介して他の伝送空間に結合する構造」も周知であり、これらの技術手段を引用発明に適用する上での阻害要因は何ら見あたらないから、上記引用例２に開示された技術手段ないし前記周知技術に基づいて、スロットの向きを引用発明の「（前記アプリケータの軸方向に対して）平行するように」形成される構成から本願発明のような「（前記アプリケータの軸方向に対して）直交するように」形成される構成とする程度のことは当業者であれば適宜成し得ることである。
　
　ついで、上記相違点２の「終端」について検討するに、上記引用例の実験２によると「円筒状マイクロ波導入装置から反射終端ブロックを外した」ときの「反射電力は、ほぼ０Ｗで実験１よりも良好なマッチングが得られ」るものであるところ、当該「反射電力をほぼ０Ｗとした」構成は導波管の端部を無反射とすることと等価である。一方、例えば上記周知例１〜４に開示されているように「必要に応じて導波管の端部の内部に電波吸収体からなる無反射終端器を設置すること」は周知であるから、当該周知技術に基づいて、引用発明の「反射終端ブロック」を「電波吸収体からなる無反射終端器」として無反射化し、結果として本願発明のような「電磁波吸収手段」に変更する程度のことも当業者であれば適宜成し得ることである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、上記引用発明及び引用例２に記載された技術手段ないし周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。