【事件の表示】
　平成　６年特許願第１９９５３２号「スパッタリングカソード」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年　３月　５日出願公開、特開平　８−　６０３５３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　
　本願は、平成６年８月２４日の出願であって、平成１５年１２月８日付けで拒絶理由が通知され、平成１６年２月１２日に意見書と同時に補正書が提出され、そして、平成１６年６月２２日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成１６年７月２９日に拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。
　
２．本願発明
　
　本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は平成１６年２月１２日付けの手続補正書により補正された明細書の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された下記のとおりのものである。
「セラミックスターゲットと、該セラミックスターゲットの側端面に接して設置された金属板と、該金属板と空間的に１０ｍｍ以下の空隙を保って該金属板上を蔽っている電気的にフローティング状態のシールド板から成り、該シールド板はセラミックスターゲットの寸法に対して該セラミックスターゲットの側端部よりターゲット中央側方向に２０ｍｍ以下、該セラミックスターゲットの側端部より更に外方向に１０ｍｍ以下の開口部を有することを特徴とするスパッタリングカソード。」
　
３．引用刊行物
　
（１）実願昭６１−１８６６号（実開昭６２−１１４０５８号）のマイクロフィルム（以下、「引用刊行物１」という。）には、次の事項が記載されている。
（ａ）「ターゲットの周縁部を抑えるターゲット抑えをプラズマから遮断するターゲットシールド板の内周端に、前記ターゲットに向かう屈曲部を延設したことを特徴とするスパッタリング装置。」（実用新案登録請求の範囲）
（ｂ）「従来タイプのターゲットシールド板４を使用した場合、その内周端とターゲット１との間の隙間ｈ０を通してプラズマ中のＡｒ＋イオン等がターゲット抑え３の部分に到達し、該ターゲット抑え３をスパッタしてその構成材料であるステンレス鋼の成分元素を飛散させるためである。」（第３頁第３〜８行）
（ｃ）「ターゲットシールド板４は、その中央部にターゲット１よりやや小さい口径の開口部５を有するとともに、その外縁支持部６を介して接地されアース電位に保持されている。」（第４頁第１０〜１３行）
（ｄ）「ターゲットシールド板屈曲部４ａの先端とターゲット１との隙間ｈは０．５〜１ｍｍ程度、またターゲットシールド板屈曲部４ａの先端内面とターゲット抑え３との間隔ｄは３〜５ｍｍ程度にそれぞれ設定される。なお、ターゲットシールド板４の内面とターゲット抑え３との間に必要な隙間ｈ１は３〜６ｍｍで今までと変わらない。」（第５頁第２〜９行）
　
（２）特開平３−２６１６９７号公報（以下、「引用刊行物２」という。）には、次の事項が記載されている。
（ａ）「グロー放電に曝される装置構成物、シャッター４、電極シールド７およびチャンバ内側壁の一部は全てノンドープシリコンでコーティングされており（図中、ハッチングで示される部分）、フローティング電位となっている。」（第３頁右下欄第１１〜１６行）
　
（３）特開昭６１−２６９８０４号公報（以下、「引用刊行物３」という。）には、次の事項が記載されている。
（ａ）「ペロブスカイト形酸化物焼結体をターゲットとし、窒素を含むスパッタガスを用いてスパッタリング法により誘電体膜を形成することを特徴とする誘電体膜の製造方法。」（特許請求の範囲第１項）
　
４．対比・判断
　
　上記引用刊行物１記載（ａ）〜（ｄ）を本願発明に沿って整理すると、「ターゲットと、ターゲットの側端面に接して設置されたステンレス鋼製ターゲット抑えと、該ターゲット抑えと空間的に（ｈ１＝）３〜６ｍｍの空隙を保って該ターゲット抑え上を蔽っているターゲットシールド板から成り、該ターゲットシールド板はターゲットの寸法（表面に露出した部分）に対して該ターゲットの側端部（表面に露出した部分の端部）よりターゲット中央側方向に（ｄ＝）３〜５ｍｍの開口部を有するスパッタリングカソード。」が記載されていると云える（以下、「刊行物１発明」という）。
　そこで、本願発明と刊行物１発明とを対比すると、刊行物１発明の「ステンレス製ターゲット抑え」は本願発明の「金属板」に相当し、刊行物１発明の「ターゲットシールド板」は本願発明の「シールド板」に相当し、刊行物１発明のターゲット抑えとシールド板との間の距離３〜６ｍｍは本願発明の金属板とシールド板との間の距離１０ｍｍ以下と重複し、刊行物１発明の「ターゲットシールド板はターゲットの寸法（表面に露出した部分）に対して該ターゲットの側端部（表面に露出した部分の端部）よりターゲット中央側方向に（ｄ＝）３〜５ｍｍの開口部を有する」と本願発明の「シールド板はセラミックスターゲットの寸法に対して該セラミックスターゲットの側端部よりターゲット中央側方向に２０ｍｍ以下、該セラミックスターゲットの側端部より更に外方向に１０ｍｍ以下の開口部を有する」はどちらもシールド板がセラミックスターゲットの寸法に対して該セラミックスターゲットの側端部よりターゲット中央側方向に所定値以下の開口部を有する点で共通することからして、両者は、
「ターゲットと、該ターゲットの側端面に接して設置された金属板と、該金属板と空間的に３〜６ｍｍの空隙を保って該金属板上を蔽っているシールド板から成り、該シールド板はターゲットの寸法に対して該ターゲットの側端部よりターゲット中央側方向に所定値以下の開口部を有することを特徴とするスパッタリングカソード。」である点で一致し、
　
　本願発明では、ターゲットをセラミックスターゲットと規定しているのに対し、刊行物１発明では、ターゲットの材質を特に限定していない点で相違し（相違点１）、また、
　本願発明では、シールド板を電気的にフローティング状態に保持するのに対し、刊行物１発明では、接地している点で相違し（相違点２）、また、　　本願発明では、シールド板はセラミックスターゲットの寸法に対して該セラミックスターゲットの側端部よりターゲット中央側方向に所定値以下の開口部を有し、ターゲットをターゲット抑え体の内側に支持しているためにターゲット自体の端部をそのまま側端部として寸法の表記をし「該シールド板はセラミックスターゲットの寸法に対して該セラミックスターゲットの側端部よりターゲット中央側方向に２０ｍｍ以下、該セラミックスターゲットの側端部より更に外方向に１０ｍｍ以下の開口部を有する」と規定しているのに対し、刊行物１発明では、シールド板はセラミックスターゲットの寸法に対して該セラミックスターゲットの側端部よりターゲット中央側方向に所定値以下の開口部を有し、ターゲット抑え体の一部がターゲット端部を蔽っているため、ターゲットの有効表面を考慮して「該ターゲットシールド板はターゲットの寸法（表面に露出した部分）に対して該ターゲットの側端部（表面に露出した部分の端部）よりターゲット中央側方向に（ｄ＝）３〜５ｍｍの開口部を有する」と規定している点（相違点３）で相違する。
　
　以下、相違点について検討する。
　
　まず、相違点１についてみるに、引用刊行物３には記載事項（ａ）に「ペロブスカイト形酸化物焼結体をターゲットとし、」と記載され、ペロブスカイト形酸化物焼結体はセラミックであるから、引用刊行物３にはスパッタリング法においてセラミックスをターゲットとして用いて誘電体膜等を製造することが記載されており、刊行物１発明においてターゲットの材料をセラミックとすることは、当業者が容易になしうることである。
　次に、相違点２についてみるに、引用刊行物２の記載事項（ａ）に「フローティング電位となっている。」と記載されており、したがって、シールド部材をフローティング状態とすることは、引用刊行物２から公知の技術であり、刊行物１発明において、シールド部材をフローティング状態とすることに格別の創意を要したものとは認められない。
　さらに、相違点３についてみるに、引用刊行物１の記載事項（ａ）に「ターゲット抑えをプラズマから遮断するターゲットシールド板」と記載されているように、刊行物１発明において、シールド部材は、金属板に相当する押圧部材からの構成元素の飛散を防止するためのものであるから、押圧部材を効果的に覆うために、シールド部材の開口を押圧部材の内側より小さくすることは、当業者とって明らかな事項である。一方、ターゲット材の有効利用を考慮すれば、ターゲットが広範囲で露出するように、シールド部材の開口を設計することも、当業者にとって明らかである。してみると、開口部の大きさは、押圧部材を有効に覆いつつ、ターゲットの有効利用を考慮して、設計するものであるから、その範囲を、「該セラミックスターゲットの側端部よりターゲット中央側方向に２０ｍｍ以下、該セラミックスターゲットの側端部より更に外方向に１０ｍｍ以下」にすることは、単なる設計的事項にすぎない。
　また、シールド板に対するスパッタを防止するとの効果は、発生するプラズマからシールド板を離すことにより生じるものであるから、ターゲットが広範囲で露出するように、シールド部材の開口を大きくすることで当然得られる作用効果にすぎない。
　そして、上記の判断は審判請求書における本願発明の効果についての主張を検討しても変わるものではない。
　さらにいえば、ターゲットの有効表面は、ターゲット抑えで蔽われる部分を除いて対比することが、目的に沿ったものと解されるところから、刊行物１発明の「ターゲットシールド板屈曲部４ａの先端内面とターゲット抑え３との間隔ｄ＝３〜５ｍｍ」は、本願発明の「シールド板はセラミックスターゲットの寸法に対して該セラミックスターゲットの側端部よりターゲット中央側方向に２０ｍｍ以下、該セラミックスターゲットの側端部より更に外方向に１０ｍｍ以下」の範囲に含まれるものとも解され、相違点３は実質的な相違とすることはできない事項ともいえる。
　してみると、本願発明は、上記刊行物１〜３の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５．まとめ
　
　したがって、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。