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【手続補正書】
【提出日】平成24年2月14日(2012.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を放射するランプ、当該ランプの光を集光する集光反射鏡、当該集光反射鏡からの光束が入射する透過型インテグレータ光学系、及び、当該透過型インテグレータ光学系を通った光束を平行光化して照射面に照射するコリメーション光学系を備えた照射装置において、
前記集光反射鏡の光束を鋭角に反射する第１ミラーと、前記第１ミラーで反射した光束を鋭角に反射する第２ミラーとを備え、前記コリメーション光学系に球面鏡を設け、
前記第１ミラーと前記第２ミラーとの間の光路に前記透過型インテグレータ光学系を配置し、前記第２ミラーで反射した光束を前記照射面に向けて前記球面鏡が反射する
ことを特徴とする照射装置。
【請求項２】
前記第２ミラーから前記球面鏡に光束を、前記球面鏡の光軸に対し８°〜３０°の範囲の入射角θ１で入射したことを特徴とする請求項１に記載の照射装置。
【請求項３】
前記透過型インテグレータ光学系はフライアイレンズであり、前記第２ミラーと前記球面鏡の反射光の光束との間、及び、前記フライアイレンズと前記第２ミラーとの間のそれぞれに、前記フライアイレンズから照射面に向かう迷光を遮光する遮光板を設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の照射装置。
【請求項４】
前記透過型インテグレータ光学系はフライアイレンズであり、前記フライアイレンズの射出側に、前記フライアイレンズの射出光束よりも小さな径の絞りを設け、前記照射面での光束の平行度を±ψ、前記球面鏡の曲率半径をＲとしたときに、前記絞りの半径ｒを、
ｒ≦Ｒ・ｔａｎ（ψ／２）
としたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の照射装置。
【請求項５】
前記透過型インテグレータ光学系はフライアイレンズであり、前記フライアイレンズからの射出光束の拡がり角θ２が、前記照射面での照射エリアの対角方向の平行度±ψの絶対値ψに対し、（θ２／２）≦１０・ψの関係を満たすことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の照射装置。
【請求項６】
下段側空間と上段側空間の上下２段に仕切られた箱形の筐体と、
前記筐体を載置したステージと、を備え、
前記ステージの片方の端部を前記照射面として構成し、
前記筐体の上段側空間に、前記ランプ、前記集光反射鏡、前記透過型インテグレータ光学系、前記球面鏡を含むコリメーション光学系、前記第１ミラー、及び前記第２ミラーの各々を、前記照射面に前記球面鏡から垂直に前記ランプの光を照射し、なおかつ、前記ランプから前記照射面に至る光路がＭ字状になるように収め、
前記筐体の下段側空間に、前記ランプ、及び前記集光反射鏡を有した装置光源の光軸調整機構を含む電気部品、及び機械部品を配置した
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の照射装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、光を放射するランプ、当該ランプの光を集光する集光反射鏡、当該集光反射鏡からの光束が入射する透過型インテグレータ光学系、及び、当該透過型インテグレータ光学系を通った光束を平行光化して照射面に照射するコリメーション光学系を備えた照射装置において、前記集光反射鏡の光束を鋭角に反射する第１ミラーと、前記第１ミラーで反射した光束を鋭角に反射する第２ミラーとを備え、前記コリメーション光学系に球面鏡を設け、前記第１ミラーと前記第２ミラーとの間の光路に前記透過型インテグレータ光学系を配置し、前記第２ミラーで反射した光束を前記照射面に向けて前記球面鏡が反射することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また本発明は、上記照射装置において、前記透過型インテグレータ光学系はフライアイレンズであり、前記第２ミラーと前記球面鏡の反射光の光束との間、及び、前記フライアイレンズと前記第２ミラーとの間のそれぞれに、前記フライアイレンズから照射面に向かう迷光を遮光する遮光板を設けたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また本発明は、上記照射装置において、前記透過型インテグレータ光学系はフライアイレンズであり、前記フライアイレンズの射出側に、前記フライアイレンズの射出光束よりも小さな径の絞りを設け、前記照射面での光束の平行度を±ψ、前記球面鏡の曲率半径をＲとしたときに、前記絞りの半径ｒを、
ｒ≦Ｒ・ｔａｎ（ψ／２）
としたことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また本発明は、上記照射装置において、前記透過型インテグレータ光学系はフライアイレンズであり、前記フライアイレンズからの射出光束の拡がり角θ２が、前記照射面での照射エリアの対角方向の平行度±ψの絶対値ψに対し、（θ２／２）≦１０・ψの関係を満たすことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明によれば、集光反射鏡の光束を鋭角に反射する第１ミラーと、前記第１ミラーで反射した光束を鋭角に反射する第２ミラーとを備えるとともに、コリメーション光学系に球面鏡を設け、第１ミラーと第２ミラーとの間の光路上に透過型インテグレータ光学系を配置し、第２ミラーで反射した光束を集光反射鏡の光軸と平行に前記照射面に向けて反射するように球面鏡を配置する構成とした。
この構成により、集光反射鏡から照射面に至る光路がＭ字型になって、集光反射鏡と照射面の間の空間が光路として利用されることとなり、装置を小型化しても十分な平行度を得るための長い光路を確保することができる。
さらに、コリメーション光学系に球面鏡を設ける構成としたため、照射面の面積が広くなってもコリメーション光学系が大型化することなく、また放物面鏡に比べて作成が容易であるためコストを抑えることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月25日(2012.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吹出口及び吸込口が形成された筐体と、該筐体に収容された熱交換器と、を備え、
前記熱交換器は該熱交換器の両端部に設けられた固定部材を介して前記筐体に取り付けられ、これら固定部材の間に風路が形成される空気調和機の室内機であって、
前記熱交換器は、所定の間隙を介して配置された複数の第１のフィンと、該第１のフィンを貫通して設けられた複数の扁平管と、を備え、
該扁平管の少なくとも一方の端部には、該扁平管側と反対側の端部が円管形状で、前記固定部材に固定された管継手が設けられ、
該管継手の風下側には、前記第１のフィンと前記固定部材との間の風路を塞ぐ第１の塞ぎ部材が設けられていることを特徴とする空気調和機の室内機。
【請求項２】
前記管継手は、該管継手の円管形状の部分が拡管されることにより、前記固定部材に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の空気調和機の室内機。
【請求項３】
前記第１の塞ぎ部材は、前記第１のフィンの少なくとも一部の風下側端面部と対向して配置される第１のリブが突設されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の空気調和機の室内機。
【請求項４】
前記第１の塞ぎ部材は、風上側へ突設された第２のリブを備えたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の空気調和機の室内機。
【請求項５】
前記第２のリブは、前記管継手が挿入される切欠き部が形成され、
前記第２のリブの風上側端部に、当該管継手が固定された前記固定部材側へ突設された第３のリブを備えたことを特徴とする請求項４に記載の空気調和機の室内機。
【請求項６】
前記第３のリブは前記管継手よりも風上側に配置され、
該第３のリブに、前記第１のフィンと前記固定部材との間の風路を塞ぐ第２の塞ぎ部材が設けられていることを特徴とする請求項５に記載の空気調和機の室内機。
【請求項７】
前記管継手よりも風上側に配置され、前記第１のフィンと前記固定部材との間の風路を塞ぐ第２の塞ぎ部材が設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の空気調和機の室内機。
【請求項８】
前記扁平管に流れる冷媒としてＲ３２が用いられることを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の空気調和機の室内機。
【請求項９】
前記熱交換器は、所定の間隙を介して配置された複数の第２のフィンと、該第２のフィンを貫通して設けられた複数の円管と、を備え、
該円管及び前記第２のフィンは、前記扁平管及び前記第１のフィンの風上側に配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の空気調和機の室内機。
【請求項１０】
請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載の空気調和機の室内機を備えたことを特徴とする空気調和機。
【手続補正書】
【提出日】平成23年12月26日(2011.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技媒体が投入され、各々複数の図柄が表示された複数のリールが回転した後、停止した時に、いずれかの役に対応した前記図柄の組合せが所定の表示位置に停止した場合、当該役に対応する処理が行われて１回の遊技が終了するスロットマシンであって、
外部からの操作に応じて前記遊技の開始指示を行う遊技開始指示手段と、
前記遊技開始指示手段からの開始指示に応じて、前記遊技媒体が投入されることなく次回の遊技を行うための処理がなされる再遊技役を含む複数の役のうち、いずれか１つの役または同時に複数の役に当選したか否かを定める抽選を行う役抽選手段と、
前記抽選における前記複数の役の当選確率を変動させる当選確率制御手段と、
前記複数のリールの各々に対応して設けられ、対応するリールの停止指示を外部からの操作に応じて行うための複数の停止指示手段と、
前記遊技開始指示手段からの開始指示に応じて前記複数のリールを回転させるとともに、前記複数の停止指示手段のいずれかにより前記停止指示が行われた場合、該停止指示を行った停止指示手段に対応するリールを停止させるリール制御手段と
を備え、
前記役抽選手段により同時に複数の役が当選した場合において、該当選した複数の役のうち所定の役について、各々、対応する前記図柄の組合せが前記表示位置に表示されるための、前記複数の停止指示手段に対する操作順序が予め対応付けられており、
前記リール制御手段は、
前記役抽選手段により同時に複数の役が当選したときに、前記複数の停止指示手段が順次操作されると、該当選した複数の役のうち前記複数の停止指示手段に対して行われた操作順序に対応付けられた役に対応する図柄組み合わせが、前記表示位置に表示されるように前記複数のリールを停止させ、
前記当選確率変動手段は、
前記役抽選手段により同時に複数の役が当選し、該当選した複数の役のうち特定の操作順序に対応付けられた特定役に対応する図柄組合せが前記表示位置に停止した場合、前記役抽選手段における前記再遊技役の当選確率が高くなる再遊技役高確率当選状態へ移行させ、
前記再遊技役高確率当選状態へ移行しているときに、前記役抽選手段によって前記複数の停止指示手段に対する所定の操作順序が対応付けられた所定役を含む複数の役が、同時に当選し得る抽選を行い、
前記リール制御手段は、
前記再遊技役高確率当選状態において、前記所定役を含む複数の役が同時に当選し、かつ、前記複数の停止指示手段が前記所定の操作順序で操作された場合、前記所定役に対応する前記図柄組合せが前記表示位置に表示されるように前記複数のリールを停止させ、
前記所定の操作順序と異なる、所定の他の操作順序で操作された場合、前記所定役に対応する前記図柄組合せを前記表示位置に表示せずに、同時に当選した前記所定役とは異なる第１の役を前記表示位置に表示させ、
前記当選確率変動手段は、
前記所定役に対応する前記図柄組合せが表示された場合、前記抽選における前記再遊技役の当選確率を、前記再遊技役高確率当選状態へ移行する前の当選確率に戻し、
前記第１の役に対応する図柄組合せが表示された場合、前記抽選における前記再遊技役の当選確率をそのまま維持するように制御する
ことを特徴とするスロットマシン。
【請求項２】
前記複数の停止指示手段に対する操作順序は複数通りあり、
前記再遊技役高確率当選状態へ移行する前の状態において、前記特定役を含む複数の役が同時に当選した第１の特定抽選結果の場合、前記複数通りの操作順序のうち、前記特定の操作順序の数は、前記特定役の図柄組合せが前記表示位置に停止しないこととなる操作順序の数よりも少なく、
前記再遊技役高確率当選状態において、前記所定役を含む複数の役が同時に当選した第２の特定抽選結果の場合、前記複数通りの操作順序のうち、前記所定の操作順序の数は、前記所定役の図柄組合せが前記表示位置に停止しないこととなる操作順序の数よりも多い、
ことを特徴とする請求項１に記載のスロットマシン。
【請求項３】
所定の報知開始条件を満たした後、前記役抽選手段において同時に複数の役が当選した場合、前記複数の停止指示手段に対する操作が行われる前に、前記特定の操作順序および前記所定の操作順序のうち、少なくとも一方の操作順序を示す情報を報知する特定操作順序報知手段を備える
ことを特徴とする請求項１または２に記載のスロットマシン。
【請求項４】
前記図柄組合せを表示するための複数の表示位置を有し、
前記役抽選手段は、
前記複数の停止指示手段に対する特有の操作順序が対応付けられ、かつ、対応する前記図柄の組合せが表示された表示位置に応じて、異なる前記遊技媒体の数が払い出される小役を含んだ前記役抽選を行い、
前記リール制御手段は、
前記再遊技役高確率当選状態へ移行しているときに、前記役抽選手段により第２の役と第３の役とを含む複数の役が同時に当選し、かつ、前記複数の停止指示手段が前記固有の操作順序で操作された場合、前記第２の役に対応する前記図柄組合せが複数の前記表示位置のいずれかに表示されるように前記複数のリールを停止させるとともに、
前記役抽選手段において前記小役が当選し、かつ、前記複数の停止指示手段が前記特有の操作順序で操作された場合は、前記遊技媒体の払出数が多くなる表示位置に、該小役に対応する図柄の組合せが表示されるように前記複数のリールを停止させ、前記特有の操作順序以外の操作順序で操作された場合は、前記遊技媒体の払出数が少なくなる表示位置に、該小役に対応する図柄の組合せが表示されるように前記複数のリールを停止させ、
前記リール制御手段により、前記複数の表示位置のいずれかに前記第２の役に対応する前記図柄組合せが表示された場合、所定の報知終了条件を満たすまで、前記役抽選手段により前記小役が当選したときに、前記特有の操作順序を示す情報を報知する特有操作順序報知手段を備える
ことを特徴とする請求項３に記載のスロットマシン。
【請求項５】
所定の報知開始条件を満たした後、前記役抽選手段において前記所定役と第１の役とを含む複数の役が同時に当選した場合、前記複数の停止指示手段に対する操作が行われる前に、前記所定の操作順序以外の操作順序を示す情報を報知する所定操作順序報知手段を備える
ことを特徴とする請求項１から４のうちいずれか１項に記載のスロットマシン。
【手続補正書】
【提出日】平成24年8月3日(2012.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体の長手方向の一方に配置した冷却ファンユニットと、長手方向の他方に配置した電解コンデンサと、前記冷却ファンユニット及び前記電解コンデンサの間に配置した冷却フィンとを支持して収納するインバータ装置の筐体構造において、
断面Ｌ字状に形成された板金部材からなり前記冷却ファンユニットを支持する冷却ファン支持フレームと、断面Ｌ字状に形成された板金部材からなり前記電解コンデンサを支持するコンデンサ支持フレームと、フランジを有する一対の板金梁とを備え、
前記筐体は、ウライタ部と、該ウライタ部の両縁部から立ち上がる一対の側面部とを有し、
前記冷却ファン支持フレームを前記筐体の長手方向の一方に配置して固定するとともに、前記コンデンサ支持フレームを前記筐体の長手方向の他方に配置して固定し、
前記筐体の側面部に一対の前記板金梁を対峙して固定し、
前記冷却フィンを前記一対の板金梁のフランジ間に配置して固定することを特徴とするインバータ装置の筐体構造。
【請求項２】
前記コンデンサ支持フレームは門型形状の板金部材からなることを特徴とする請求項１に記載のインバータ装置の筐体構造。
【請求項３】
前記冷却ファン支持フレームは門型形状の板金部材からなることを特徴とする請求項１または２に記載のインバータ装置の筐体構造。
【請求項４】
前記側面部は、第１側面板金と、該第１側面板金の上方に立ち上がる第２側面板金とから構成されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のインバータ装置の筐体構造。
【請求項５】
前記冷却フィンの側面に設けた側面部の一部にメンテナンス開口部を設け、このメンテナンス開口部をメンテナンスプレートで着脱自在に閉塞していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のインバータ装置の筐体構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
また、塵埃などが多い環境でインバータ装置を使用し続け、冷却フィン６の目詰まり除去作業を行う場合、特許文献１の筐体構造では、フレーム板金５ｂ、ウライタ８等、多数の部品を分解して冷却フィン６を外さなければならず、メンテナンス性の面で問題がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、共振を防止するために板金部材の剛性を維持し、冷却フィンのメンテナンス性を向上させることができるとともに、アルミダイカスト支柱を使用せずに強度を上げることができるインバータ装置の筐体構造を提供することを目的としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係るインバータ装置の筐体構造は、筐体の長手方向の一方に配置した冷却ファンユニットと、長手方向の他方に配置した電解コンデンサと、前記冷却ファンユニット及び前記電解コンデンサの間に配置した冷却フィンとを支持して収納するインバータ装置の筐体構造において、断面Ｌ字状に形成された板金部材からなり前記冷却ファンユニットを支持する冷却ファン支持フレームと、断面Ｌ字状に形成された板金部材からなり前記電解コンデンサを支持するコンデンサ支持フレームと、フランジを有する一対の板金梁とを備え、前記筐体は、ウライタ部と、該ウライタ部の両縁部から立ち上がる一対の側面部とを有し、前記冷却ファン支持フレームを前記筐体の長手方向の一方に配置して固定するとともに、前記コンデンサ支持フレームを前記筐体の長手方向の他方に配置して固定し、前記筐体の側面部に一対の前記板金梁を対峙して固定し、前記冷却フィンを前記一対の板金梁のフランジ間に配置して固定する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
この発明によると、従来のインバータ装置のような四隅にアルミダイカスト支柱を使用することなく、比較的安価な部材により筐体強度を確保することができるので、コストアップを抑制することができる。また、断面Ｌ字状に形成された板金部材からなる冷却ファン支持フレーム及びコンデンサ支持フレームと、フランジを有する一対の板金梁は、それぞれ剛性が高い部材なので共振を防止することができ、電解コンデンサや冷却フィンの内蔵部品に悪影響を及ぼすおそれがない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、上記のインバータ装置の筐体構造において、前記冷却フィンの側面に設けた側面部の一部にメンテナンス開口部を設け、このメンテナンス開口部をメンテナンスプレートで着脱自在に閉塞した。
この発明によると、インバータ装置を長期間使用し続け、冷却フィンの多数のフィンに詰まった塵埃を除去する場合には、メンテナンスプレートを取り外し、メンテナンス開口部から清掃を行うことができるので、メンテナンス性を大幅に向上させることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係るインバータ装置の筐体構造によれば、断面Ｌ字状に形成された板金部材からなる冷却ファン支持フレーム及びコンデンサ支持フレームと、フランジを有する一対の板金梁とを備えた比較的安価な部材により筐体強度を確保することができるので、コストアップを抑制することができる。
また、冷却ファン支持フレーム及びコンデンサ支持フレームと、一対の板金梁は、それぞれ剛性が高い部材なので共振を防止することができ、電解コンデンサや冷却フィンの内蔵部品に悪影響を及ぼすおそれがない。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
次いで、冷却ファン支持フレーム１７及びコンデンサ支持フレーム２２の門型形状と直交するように互いに幅方向に離間した、一対の板金梁１２のフランジ１２ｃを、冷却フィン２１の上面及びコンデンサ支持フレーム２２の支持部２２ａにネジ止めにより一体に固定する。
次いで、冷却フィン２１のフィン先端側にウライタ１０をネジ止めし、コンデンサ支持フレーム２２の支持部２２ａ及び一対の一対の板金梁１２のウェブ１２ａに底面カバー１５をネジ止めして一体に固定する。また、冷却ファン支持フレーム１７の第１支持部１７ａに天面カバー１４をネジ止めし、ファンガイド板２０の上部に仕切り板１９をネジ止めし、一対の板金梁１２のウェブ１２ａと天面カバー１４とをネジ止めすることで、図４に示す状態に組立てられる。
【手続補正書】
【提出日】平成24年5月31日(2012.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
患者に呼吸可能な気体の流れを送る患者インターフェイスであって、
第１の側に接着剤と、第２の側に第１の締付手段（２０１２）とを備えている第１の構成要素（２０１０）であって、前記接着剤が前記第１の構成要素を前記患者の顔面に接着させるように構成される、第１の構成要素（２０１０）と、
前記患者の気道を密封係合するように構成された患者インターフェイス構造（２０００）であって、前記患者インターフェイス構造は第２の構成要素（２０１４）を含み、該第２の構成要素（２０１４）は、前記患者インターフェイス構造（２０００）を固定し患者の顔面と密封係合するように、前記第１の構成要素（２０１０）の対応する第１の締付手段（２０１２）を非接着式に係合するように構成された第２の締付手段（２００４）を備える、患者インターフェイス構造（２０００）と、
を備える患者インターフェイスシステム。
【請求項２】
前記患者インターフェイス構造（２０００）は、前記第２の構成要素（２０１４）を前記第１の構成要素（２０１０）から係脱させ、前記第２の構成要素（２０１４）を前記第１の構成要素（２０１０）と再係合することによって再位置決め可能である、請求項１に記載の患者インターフェイスシステム。
【請求項３】
前記第１の構成要素（２０１０）は、ストリップとして構成されており、前記患者の鼻梁にわたって延びるように構成されている、請求項１又は請求項２に記載の患者インターフェイスシステム。
【請求項４】
前記締付手段（２０１２，２００４）は、前記第１の構成要素（２０１０）及び／又は前記第２の構成要素（２０１４）の前記第２の側全体に設けられる、又は前記第１の構成要素（２０１０）及び／又は前記第２の構成要素（２０１４）の前記第２の側上の領域において設けられる、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の患者インターフェイスシステム。
【請求項５】
前記第２の構成要素（２０１４）は、前記患者インターフェイス構造（２０００）に機械的に固定される、且つ／又は前記患者インターフェイス構造（２０００）と一体的に形成される、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の患者インターフェイスシステム。
【請求項６】
前記第１の締付手段（２０１２）及び／又は前記第２の締付手段（２００４）は、フック及び／又はループファスナ材料、機械的締付要素、磁気的締付要素、１つ又は複数のコネクタ材料、静電コネクタ、及び／又は締りばめ要素を備える、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の患者インターフェイスシステム。
【請求項７】
前記第２の構成要素（２０１４）は、前記患者インターフェイス構造（２０００）に接着剤で固定される、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の患者インターフェイスシステム。
【請求項８】
前記第２の構成要素に接続されたワイヤ又は少なくとも１つのばねであって、前記第１の締付手段（２０１２）及び前記第２の締付手段（２００４）が係合される場合に鼻道を拡張させる力を提供するように構成されたワイヤ又は少なくとも１つのばねをさらに備えている、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の患者インターフェイスシステム。
【請求項９】
前記接着剤は、約２５０ｍｍ２〜３０００ｍｍ２の接着面積、好ましくは約５００ｍｍ２〜２５００ｍｍ２の接着面積、より好ましくは約１０００ｍｍ２〜１５００ｍｍ２の接着面積、最も好ましくは約１２５０ｍｍ２の接着面積を有する、請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の患者インターフェイスシステム。
【請求項１０】
前記患者インターフェイス構造（２０００）は、前記患者の鼻孔を密封係合するように構成された１対の鼻突起又はまくら（２００２）を備えており、前記密封は好ましくは、患者の鼻の下側に形成される、請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の患者インターフェイスシステム。
【請求項１１】
前記第２の構成要素（２０１４）は、前記患者インターフェイス構造（２０００）から延びている少なくとも１つのコネクタストリップ又はアーム、好ましくは２つ又は３つのコネクタストリップ又はアームを備える、請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載の患者インターフェイスシステム。
【請求項１２】
前記第２の構成要素（２０１４）は、好ましくは前記患者インターフェイス構造（２０００）の外側端部で、両側に設けられたコネクタストリップ又はアームとして形成される、請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の患者インターフェイスシステム。
【請求項１３】
前記接着剤は、生体適合性、生物分解性、透明、及び／又は肌の色合いとされる、請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載の患者インターフェイスシステム。
【請求項１４】
前記接着剤は、通気を可能にするように構成された少なくとも１つの孔を備えている、請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載の患者インターフェイスシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成24年9月11日(2012.9.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大麦若葉末と、コラーゲンを含有することを特徴とする、コラーゲンの臭い及び味の改善方法。
【請求項２】
大麦若葉末とコラーゲンが１：５〜３：５の範囲の重量比で配合されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記コラーゲンが、豚由来コラーゲンと魚由来のコラーゲンを２：３〜３：２の範囲の重量比で配合したコラーゲンである、請求項１及び２に記載の方法。
【請求項４】
請求項１〜３に記載の方法により、コラーゲンの臭い及び味が改善された飲食品。
【手続補正書】
【提出日】平成24年5月16日(2012.5.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定体積の流体を収容するように構成された容器内の折り畳み可能な袋体を据え付け、持ち上げ、或いは支持する持ち上げアセンブリであって、該持ち上げアセンブリは、
前記容器の上部に接続するよう構成されるアセンブリ支持構造体と、
前記アセンブリ支持構造体上に取り付けられると共に前記アセンブリ支持構造体に対し直立方向に移動可能である持ち上げ部材と、
前記持ち上げ部材を前記アセンブリ支持構造体に対し直立方向に移動させる駆動装置を有し、
ここで、前記容器は、前記容器の底部に配される流入口を備え、該流入口は、前記折り畳み可能な袋体が前記容器内へ入ることを可能にするよう構成され、及び
前記持ち上げ部材は、少なくとも前記流入口の位置まで延出可能であって、及び前記折り畳み可能な袋体が前記容器に据え付けられ、或いは前記容器内に支持或いは持ち上げられるため接続され、及び前記折り畳み可能な袋体の少なくとも上部を持ち上げて、前記折り畳み可能な袋体を折り畳み形状から非折り畳み形状へと変化させると共に前記折り畳み可能な袋体を前記非折り畳み形状で支持するよう構成され配される
ことを特徴とする、持ち上げアセンブリ。
【請求項２】
前記アセンブリ支持構造体は、少なくとも前記容器の上部の両側に接続されることを特徴とする請求項１記載の持ち上げアセンブリ。
【請求項３】
前記持ち上げ部材が持ち上げ棒を備えることを特徴とする請求項１記載の持ち上げアセンブリ。
【請求項４】
前記持ち上げ棒が、前記折り畳み可能な袋体の前記上部の一部と係合するフックを備えることを特徴とする請求項３記載の持ち上げアセンブリ。
【請求項５】
前記持ち上げ部材が複数の持ち上げ棒を備えることを特徴とする請求項１記載の持ち上げアセンブリ。
【請求項６】
前記持ち上げアセンブリがさらにケーブル又はチェーンを備え、前記ケーブル又は前記チェーンは前記持ち上げ部材に直接又は間接的に接続される第１端部と、前記駆動装置に直接又は間接的に接続される第２端部を備えることを特徴とする請求項１記載の持ち上げアセンブリ。
【請求項７】
前記駆動装置がモータを備えることを特徴とする請求項１記載の持ち上げアセンブリ。
【請求項８】
前記駆動装置が滑車システムを備えることを特徴とする請求項１記載の持ち上げアセンブリ。
【請求項９】
前記アセンブリ支持構造体が１以上の支持棒を備え、各支持棒が少なくとも前記容器の上部の両側に接続されることを特徴とする請求項１記載の持ち上げアセンブリ。
【請求項１０】
流入口及び支持構造体を有する容器と、
前記容器の上部に接続されるアセンブリ支持構造体及び前記アセンブリ支持構造体上に取り付けられると共に前記アセンブリ支持構造体に対し直立方向に移動可能な持ち上げ部材を備える持ち上げアセンブリを有するシステムであって、
該流入口は前記容器の底部に配され、折り畳み可能な袋体が前記容器内へ入ることを可能にするよう構成され、
該折り畳み可能な袋体は所定体積の流体を収容するよう構成され、
前記支持構造体は前記折り畳み可能な袋体を取り囲むと共に収容し、
前記持ち上げ部材は、少なくとも前記流入口の位置まで及び前記流入口を介して延出可能であることによって、前記持ち上げ部材の少なくとも一部が、前記容器の内側部分の外側に配され得、部品に接続されることを促進し、前記折り畳み可能な袋体が前記容器に据え付けられ、或いは前記容器内に支持或いは持ち上げられるため接続され、及び前記折り畳み可能な袋体の少なくとも上部を持ち上げて、前記折り畳み可能な袋体を折り畳み形状から非折り畳み形状へと変化させると共に前記折り畳み可能な袋体を前記非折り畳み形状で支持するよう構成され配されることを特徴とするシステム。
【請求項１１】
前記アセンブリ支持構造体は、少なくとも前記容器の上部の両側に接続されることを特徴とする請求項１０記載のシステム。
【請求項１２】
前記持ち上げ部材が少なくとも1つの持ち上げ棒を有することを特徴とする請求項１０記載のシステム。
【請求項１３】
前記流入口が少なくとも１０Ｌの所定体積を有する折り畳み可能な袋体が通過可能な大きさであって、
また前記容器が前記容器に取り外し可能に接続される流入口カバーを有することを特徴とする請求項１０記載のシステム。
【請求項１４】
前記持ち上げアセンブリが、前記持ち上げ部材を前記アセンブリ支持構造体に対し直立方向に移動させるモータを有することを特徴とする請求項１０記載のシステム。
【請求項１５】
前記折り畳み可能な袋体の底面部に接続された複数のロッドを有し、前記ロッドが前記持ち上げアセンブリの持ち上げ部材によって係合するよう構成されて前記持ち上げアセンブリが前記折り畳み可能な袋体の少なくとも前記上面部を持ち上げると共に支持することが可能になることを特徴とする請求項１０記載のシステム。
【請求項１６】
前記折り畳み可能な袋体の前記上面部が複数のスリーブを備え、各スリーブが前記複数のロッドの１つを含むことを特徴とする請求項１５記載のシステム。
【請求項１７】
請求項１記載の容器内の折り畳み可能な袋体を据え付け及び／又は持ち上げる方法であって、
前記容器の上部から底部へ前記持ち上げ部材を延出させる工程と、
前記持ち上げ部材の少なくとも一部が前記流入口或いはその近傍に配されるように、前記持ち上げ部材を前記容器の前記底部に配された前記流入口の方へ方向付ける工程と、
前記持ち上げ部材の少なくとも一部に前記折り畳み可能な袋体を接続する工程と、及び
前記持ち上げ部材及び前記折り畳み可能な袋体を前記容器の前記上部の方へ上昇させる工程を備える方法。
【請求項１８】
前記持ち上げ部材の前記容器の上部から底部への延出が、前記持ち上げ部材に接続されたケーブル又はチェーンの延出を含むことを特徴とする請求項１７記載の方法。
【請求項１９】
前記流入口或いはその近傍に配された前記持ち上げ部材の前記少なくとも一部が前記流入口を介して方向付けられていることにより、前記持ち上げ部材の前記少なくとも一部が、前記持ち上げ部材の少なくとも一部に前記物品を接続する前に、前記容器の内側部分の外側に配されていることを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項２０】
前記アセンブリ支持構造体が、前記アセンブリ支持構造体が接続されている前記容器の外周と略同じ円周を有する輪を備えることを特徴とする請求項１に記載の持ち上げアセンブリ。
【請求項２１】
前記アセンブリ支持構造体が、ドーム型の構造体及び略平面の構造体から選択される形状を有することを特徴とする請求項１に記載の持ち上げアセンブリ。
【手続補正書】
【提出日】平成24年5月10日(2012.5.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
癌の治療に有用な薬理学的な活性を有する薬剤のスクリーニングおよび／または開発のための、肝細胞増殖因子受容体の細胞外ＩＰＴ−３およびＩＰＴ−４ドメインからなるポリペプチドをコードするポリヌクレオチドの使用。
【請求項２】
癌の治療に有用な薬理学的な活性を有する薬剤のスクリーニングおよび／または開発のための、肝細胞増殖因子受容体の細胞外ＩＰＴ−３およびＩＰＴ−４ドメインからなるポリペプチドの使用。
【請求項３】
前記薬理学的な活性を有する薬剤が、肝細胞増殖因子受容体の触媒活性、機能、安定性および／または発現を阻害する、請求項１または２記載の使用。
【請求項４】
前記薬理学的な活性を有する薬剤が、肝細胞増殖因子受容体の触媒活性、機能、安定性および／または発現を下方調節する、請求項１または２記載の使用。
【請求項５】
前記薬理学的な活性を有する薬剤が、肝細胞増殖因子受容体の阻害剤および／または拮抗剤である、請求項１〜４のいずれか１項記載の使用。
【請求項６】
前記薬理学的な活性を有する薬剤が、小分子阻害剤、アプタマー、アンチセンスヌクレオチド、ＲＮＡを基にした阻害剤、ｓｉＲＮＡ、抗体、ペプチドおよびドミナントネガティブ因子から選択される、請求項１〜５のいずれか１項記載の使用。
【請求項７】
癌が、肝細胞増殖因子受容体活性の調節不良を伴う癌である、請求項１〜６のいずれか１項記載の使用。
【請求項８】
癌の治療に有用な肝細胞増殖因子受容体の拮抗剤／阻害剤として作用するテスト薬剤の能力を検出する方法であって、
（ａ）テスト薬剤を、ｉ）肝細胞増殖因子受容体の細胞外ＩＰＴ−３およびＩＰＴ−４ドメインからなるポリペプチドをコードするポリヌクレオチド、ｉｉ）肝細胞増殖因子受容体の細胞外ＩＰＴ−３およびＩＰＴ−４ドメインからなるポリペプチド、またはｉｉｉ）肝細胞増殖因子受容体の細胞外ＩＰＴ−３およびＩＰＴ−４ドメイン、膜貫通ヘリックスならびに全細胞質領域を発現する細胞と接触させ、
（ｂ）肝細胞増殖因子受容体の活性、機能、安定性および／または発現を測定し、次いで
（ｃ）肝細胞増殖因子受容体の活性、機能、安定性および／または発現を減少させる薬剤を選別する：
工程を含む方法。
【請求項９】
前記工程（ｂ）の測定が、細胞シグナル伝達、細胞生存、および細胞増殖を測定することを含む、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
癌を治療する医薬としての使用のための肝細胞増殖因子受容体の細胞外ＩＰＴ−３およびＩＰＴ−４ドメイン。
【請求項１１】
癌を治療するための医薬としての使用のための、肝細胞増殖因子受容体の細胞外ＩＰＴ−３およびＩＰＴ−４ドメインからなるポリペプチドをコードするヌクレオチド配列を含むベクター。
【手続補正書】
【提出日】平成23年12月7日(2011.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ツールマガジンに取り付けられ、加工ツールを着脱可能に保持するツール保持具において、
保持具本体と、
前記保持具本体に対し互いに直交する３つの軸線方向及びこれら軸線方向に沿った軸線の回りに動作可能に弾性体を介して配置され、加工ツールを着脱可能に保持する保持具ソケットと
を備えたことを特徴とするツール保持具。
【請求項２】
前記保持具ソケットは、前記加工ツールを位置決めする位置決め機構を有し、前記位置決め機構が加工ツール着脱側と反対側に前記加工ツールを引き込んで係止する係止部材を含む請求項１に記載のツール保持具。
【請求項３】
前記位置決め機構は、前記加工ツールの位置決め状態において前記係止部材から前記保持具ソケットの加工ツール着脱側と反対側に引き込む引き込み力を受ける テーパ面を有するツール連結部材を含み、前記ツール連結部材が前記加工ツールに取り付けられている請求項２に記載のツール保持具。
【請求項４】
前記ツール連結部材はプルスタットボルトによって形成され、前記係止部材はボールプランジャによって形成されている請求項３に記載のツール保持具。
【請求項５】
前記保持具ソケットは、前記加工ツールの先端部に嵌合可能なテーパ状の凹部を有する請求項１に記載のツール保持具。
【請求項６】
工作機械におけるツール駆動主軸のツール装着面に着脱可能に保持された主軸側の加工ツールと、ツールマガジンにツール保持具を介して着脱可能に保持されたマガジン側の加工ツールとを交換するツール交換装置であって、
前記ツール保持具は、
保持具本体と、
前記保持具本体に対し互いに直交する３つの軸線方向及びこれら軸線方向に沿った軸線の回りに動作可能に弾性体を介して配置され、加工ツールを着脱可能に保持する保持具ソケットと
を備えたことを特徴とするツール交換装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
（１）本発明は、上記目的を達成するために、ツールマガジンに取り付けられ、加工ツールを着脱可能に保持するツール保持具において、保持具本体と、前記保持具本体に対し互いに直交する３つの軸線方向及びこれら軸線方向に沿った軸線の回りに動作可能に弾性体を介して配置され、加工ツールを着脱可能に保持する保持具ソケットとを備えたことを特徴とするツール保持具を提供する。
【手続補正書】
【提出日】平成23年12月7日(2011.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
工作機械におけるツール駆動主軸のツール装着面に着脱可能に保持された主軸側の加工ツールと、ツールマガジンに着脱可能に保持されたマガジン側の加工ツールとを交換するツール交換装置であって、
前記ツールマガジンに取り付けられたクリーニングツールを備え、
前記クリーニングツールは、前記ツール駆動主軸のツール装着面をエアの吸引によって清掃するためのエア吸引器と、前記エア吸引器を保持すると共に前記エア吸引器のエア吸引部に連通するエア吸引路が形成された吸引器ホルダとを有し、
前記吸引器ホルダには、前記ツール駆動主軸のツール装着面に嵌合する嵌合部が設けられ、前記嵌合部が前記ツール駆動主軸のツール装着面に嵌合した状態において、前記吸引器ホルダと前記ツール装着面との間に前記エア吸引路に連通する空間が形成される
ことを特徴とするツール交換装置。
【請求項２】
前記ツール駆動主軸は、前記クリーニングツールに対向するツール嵌合側に開口する截頭円錐形状の空間を有し、
前記ツール装着面は、前記ツール駆動主軸の開口端部における扁平なツール受面と、前記ツール駆動主軸の開口内周面におけるツール嵌合面とによって形成され、
前記空間は、前記吸引器ホルダと前記ツール受面との間に形成される第１の空間と、前記第１の空間に連通し、前記吸引器ホルダと前記ツール嵌合面との間に形成される第２の空間とを含む、
請求項１に記載のツール交換装置。
【請求項３】
前記嵌合部の外周面には、円周方向に並列する複数のリブが形成され、前記複数のリブの間に前記第２の空間が形成されている、
請求項２に記載のツール交換装置。
【請求項４】
前記吸引器ホルダは、前記嵌合部がその先端面に設けられた円柱状の胴部を有し、前記胴部の前記先端面に、前記ツール受面に当接可能な環状の凸部が設けられている、
請求項２又は３に記載のツール交換装置。
【請求項５】
工作機械におけるツール駆動主軸のツール装着面に着脱可能に保持された主軸側の加工ツールと、ツールマガジンに着脱可能に保持されたマガジン側の加工ツールとを交換する方法であって、
前記主軸側の加工ツールを前記ツール駆動主軸との装着を解除して前記ツールマガジンに装着する第１ステップと、
予め前記ツールマガジンに取り付けられたクリーニングツールを前記ツール駆動主軸のツール装着面に相対的に接近させた後、前記クリーニングツールによって前記ツール駆動主軸のツール装着面を清掃する第２ステップと、
前記クリーニングツールを前記ツール駆動主軸のツール装着面から相対的に離間させた後、前記マガジン側の加工ツールを前記ツール駆動主軸のツール装着面に装着する第３ステップとを備え、
前記クリーニングツールは、前記ツール駆動主軸のツール装着面をエアの吸引によって清掃するためのエア吸引器と、前記エア吸引器を保持すると共に前記エア吸引器のエア吸引部に連通するエア吸引路が形成された吸引器ホルダとを有し、
前記吸引器ホルダには、前記ツール駆動主軸のツール装着面に嵌合する嵌合部が設けられ、
前記第２ステップは、前記嵌合部が前記ツール駆動主軸のツール装着面に嵌合し、前記吸引器ホルダと前記ツール装着面との間に前記エア吸引路に連通する空間が形成された状態で、前記エア吸引器によってエアを吸引するステップである、
ツール交換方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ツール交換装置、及びツール交換方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、例えば工作機械におけるツール駆動主軸のツール装着面を清掃するためのクリーニングツールを備えたツール交換装置、及びツール交換方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
従って、本発明の目的は、ツール装着面に対する加工ツールの良好な装着精度を得ることができ、もってワーク加工精度を高めることができるツール交換装置、及びツール交換方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
（１）本発明は、上記目的を達成するために、工作機械におけるツール駆動主軸のツール装着面に着脱可能に保持された主軸側の加工ツールと、ツールマガジンに着脱可能に保持されたマガジン側の加工ツールとを交換するツール交換装置であって、前記ツールマガジンに取り付けられたクリーニングツールを備え、前記クリーニングツールは、前記ツール駆動主軸のツール装着面をエアの吸引によって清掃するためのエア吸引器と、前記エア吸引器を保持すると共に前記エア吸引器のエア吸引部に連通するエア吸引路が形成された吸引器ホルダとを有し、前記吸引器ホルダには、前記ツール駆動主軸のツール装着面に嵌合する嵌合部が設けられ、前記嵌合部が前記ツール駆動主軸のツール装着面に嵌合した状態において、前記吸引器ホルダと前記ツール装着面との間に前記エア吸引路に連通する空間が形成されることを特徴とするツール交換装置を提供する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（２）本発明は、上記目的を達成するために、工作機械におけるツール駆動主軸のツール装着面に着脱可能に保持された主軸側の加工ツールと、ツールマガジンに着脱可能に保持されたマガジン側の加工ツールとを交換する方法であって、前記主軸側の加工ツールを前記ツール駆動主軸との装着を解除して前記ツールマガジンに装着する第１ステップと、予め前記ツールマガジンに取り付けられたクリーニングツールを前記ツール駆動主軸のツール装着面に相対的に接近させた後、前記クリーニングツールによって前記ツール駆動主軸のツール装着面を清掃する第２ステップと、前記クリーニングツールを前記ツール駆動主軸のツール装着面から相対的に離間させた後、前記マガジン側の加工ツールを前記ツール駆動主軸のツール装着面に装着する第３ステップとを備え、前記クリーニングツールは、前記ツール駆動主軸のツール装着面をエアの吸引によって清掃するためのエア吸引器と、前記エア吸引器を保持すると共に前記エア吸引器のエア吸引部に連通するエア吸引路が形成された吸引器ホルダとを有し、前記吸引器ホルダには、前記ツール駆動主軸のツール装着面に嵌合する嵌合部が設けられ、前記第２ステップは、前記嵌合部が前記ツール駆動主軸のツール装着面に嵌合し、前記吸引器ホルダと前記ツール装着面との間に前記エア吸引路に連通する空間が形成された状態で、前記エア吸引器によってエアを吸引するステップである、ツール交換方法を提供する。
【手続補正書】
【提出日】平成24年3月27日(2012.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の研磨中に、該基板の表面に光を照射し、
前記表面からの反射光を受光し、
異なる複数の波長での反射強度を用いて算出された第１の特性値および第２の特性値をモニターし、
前記第１の特性値および前記第２の特性値の極値が所定の時間差内で現われた時点を検出し、
検出された前記時点に基づいて研磨終点を決定すること特徴とする研磨終点検出方法。
【請求項２】
前記研磨終点は、前記第１の特性値および前記第２の特性値の極値が前記所定の時間差内で現われた前記時点であることを特徴とする請求項１に記載の研磨終点検出方法。
【請求項３】
前記研磨終点は、前記第１の特性値および前記第２の特性値の極値が所定の時間差内で現われた前記時点から所定の時間が経過した時点であることを特徴とする請求項１に記載の研磨終点検出方法。
【請求項４】
前記時点を検出した後、前記第１の特性値または前記第２の特性値の所定の極値を検出する工程をさらに含み、
前記所定の極値が検出された時点に基づいて研磨終点を決定することを特徴とする請求項１に記載の研磨終点検出方法。
【請求項５】
前記第１の特性値および前記第２の特性値の極値が前記所定の時間差内で現われた時点は、前記第１の特性値および前記第２の特性値の極値がほぼ同時に現われた時点であることを特徴とする請求項１に記載の研磨終点検出方法。
【請求項６】
前記研磨終点は、前記所定の極値が検出された時点であることを特徴とする請求項４に記載の研磨終点検出方法。
【請求項７】
前記研磨終点は、前記所定の極値が検出された時点から所定の時間が経過した時点であることを特徴とする請求項４に記載の研磨終点検出方法。
【請求項８】
基板の研磨中に、該基板の表面に光を照射し、
前記表面からの反射光を受光し、
異なる波長での第１の反射強度および第２の反射強度をモニターし、
前記第１の反射強度および前記第２の反射強度の極値が所定の時間差内で現われた時点を検出し、
検出された前記時点に基づいて研磨終点を決定すること特徴とする研磨終点検出方法。
【請求項９】
前記研磨終点は、前記第１の反射強度および前記第２の反射強度の極値が前記所定の時間差内で現われた前記時点であることを特徴とする請求項８に記載の研磨終点検出方法。
【請求項１０】
前記研磨終点は、前記第１の反射強度および前記第２の反射強度の極値が前記所定の時間差内で現われた前記時点から所定の時間が経過した時点であることを特徴とする請求項８に記載の研磨終点検出方法。
【請求項１１】
前記時点を検出した後、前記第１の反射強度または前記第２の反射強度の所定の極値を検出する工程をさらに含み、
前記所定の極値が検出された時点に基づいて研磨終点を決定することを特徴とする請求項８に記載の研磨終点検出方法。
【請求項１２】
前記第１の反射強度および前記第２の反射強度の極値が前記所定の時間差内で現われた時点は、前記第１の反射強度および前記第２の反射強度の極値がほぼ同時に現われた時点であることを特徴とする請求項９に記載の研磨終点検出方法。
【請求項１３】
前記研磨終点は、前記所定の極値が検出された時点であることを特徴とする請求項１１に記載の研磨終点検出方法。
【請求項１４】
前記研磨終点は、前記所定の極値が検出された時点から所定の時間が経過した時点であることを特徴とする請求項１１に記載の研磨終点検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上述した目的を達成するために、本発明の一態様は、基板の研磨中に、該基板の表面に光を照射し、前記表面からの反射光を受光し、異なる複数の波長での反射強度を用いて算出された第１の特性値および第２の特性値をモニターし、前記第１の特性値および前記第２の特性値の極値が所定の時間差内で現われた時点を検出し、検出された前記時点に基づいて研磨終点を決定すること特徴とする研磨終点検出方法である。
本発明の好ましい態様は、前記研磨終点は、前記第１の特性値および前記第２の特性値の極値が前記所定の時間差内で現われた前記時点であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨終点は、前記第１の特性値および前記第２の特性値の極値が所定の時間差内で現われた前記時点から所定の時間が経過した時点であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記時点を検出した後、前記第１の特性値または前記第２の特性値の所定の極値を検出する工程をさらに含み、前記所定の極値が検出された時点に基づいて研磨終点を決定することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の他の態様は、基板の研磨中に、該基板の表面に光を照射し、前記表面からの反射光を受光し、異なる波長での第１の反射強度および第２の反射強度をモニターし、前記第１の反射強度および前記第２の反射強度の極値が所定の時間差内で現われた時点を検出し、検出された前記時点に基づいて研磨終点を決定すること特徴とする研磨終点検出方法である。
本発明の好ましい態様は、前記研磨終点は、前記第１の反射強度および前記第２の反射強度の極値が前記所定の時間差内で現われた前記時点であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨終点は、前記第１の反射強度および前記第２の反射強度の極値が前記所定の時間差内で現われた前記時点から所定の時間が経過した時点であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記時点を検出した後、前記第１の反射強度または前記第２の反射強度の所定の極値を検出する工程をさらに含み、前記所定の極値が検出された時点に基づいて研磨終点を決定することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成24年7月4日(2012.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源から出射されたレーザビームを所望の形状で被加工物に照射するために配列された複数の微小可動素子を用いて空間変調する空間変調手段と、
前記空間変調手段によって前記所望の形状に空間変調されたレーザビームの波長を、紫外波長に波長変換する非線形光学手段と、
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
前記レーザ光源から出射されるレーザビームは、近赤外領域または可視領域のレーザビームであり、
前記非線形光学手段は、近赤外領域または可視領域のレーザビームを紫外領域のレーザビームへ波長変換する、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
前記非線形光学手段によって波長変換された後のレーザビームのみを透過する波長選択手段、
を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
前記空間変調手段によって空間変調されたレーザビームの形状と、前記非線形光学手段によって波長変換されたレーザビームが照明光学系を介して前記被加工物に照射された際の形状とが異なる場合、同一形状となるように、前記空間変調手段によって空間変調されたレーザビームを補正する補正手段、
を備えることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のレーザ加工装置。
【請求項５】
前記被加工物を観察するための顕微鏡装置、
を備え、
前記空間変調手段は、前記顕微鏡内部の中間結像位置に配置され、
前記非線形光学手段および前記波長選択手段は、前記顕微鏡装置内部であって、前記レーザビームを前記被加工物に結像されるための決像レンズと前記空間変調手段との間に配置される、
ことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のレーザ加工装置。
【請求項６】
前記空間変調手段は、複数の微小可動素子が縦横方向に配列して構成され、各微小可動素子が所定の２種類の角度の何れかに傾くことによって、前記所望の形状のレーザビームを形成する、
ことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載のレーザ加工装置。
【請求項７】
前記空間変調手段は、縦横方向に配列して構成された複数の微小可動素子を覆うカバーガラスをさらに備えることを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載のレーザ加工装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するため、下記のような構成を採用した。
すなわち、本発明の一態様によれば、本発明のレーザ加工装置は、レーザ光源から出射されたレーザビームを所望の形状で被加工物に照射するために配列された複数の微小可動素子を用いて空間変調する空間変調手段と、前記空間変調手段によって前記所望の形状に空間変調されたレーザビームの波長を、紫外波長に波長変換する非線形光学手段と、
を備えることを特徴とする。