【手続補正書】
【提出日】平成24年5月11日(2012.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主配管と、
前記主配管上に設けられた混合器と、第１液を前記混合器へ供給する第１液供給管と、第２液を前記混合器へ供給する第２液源と、を有し、前記第１液と前記第２液とを前記混合器で混合してなる混合液を、前記主配管に一側から供給する液供給機構と、
前記主配管に設けられ、前記主配管を前記液供給機構に対して他側から閉鎖し得る主開閉弁と、
前記液供給機構と前記主開閉弁との間の区間において前記主配管からそれぞれ分岐した複数の分岐管と、
各分岐管にそれぞれ対応して設けられた複数の処理ユニットであって、対応する分岐管を通じて供給される混合液を用いて被処理体を処理するように構成された、複数の処理ユニットと、を有し、
前記主開閉弁は、前記処理ユニットのいずれかにおいて被処理体が処理されている際、前記主配管を前記液供給機構に対して他側から閉鎖する、液処理装置。
【請求項２】
前記液供給機構は、前記第１液と前記第２液とを混合してなる前記混合液を、前記複数の処理ユニットのすべてへ同時に供給し得る圧力で、前記主開閉弁によって他側から閉鎖された前記主配管へ、前記主配管の一側から供給するように構成されている、請求項１に記載の液処理装置。
【請求項３】
前記第１液供給管は、前記複数の処理ユニットのすべてへ前記第１液を同時に供給し得る圧力で、前記主配管に前記第１液を供給するように構成され、
前記第２液源からは、被処理体を処理している処理ユニットの数に応じた量の前記第２液を、前記主配管に供給するようになっている、請求項１または２に記載の液処理装置。
【請求項４】
前記処理ユニットにおいて被処理体の処理が開始される前に、前記混合液が前記主配管および前記分岐管に充填されるようになっている、請求項１〜３のいずれか一項に記載の液処理装置。
【請求項５】
複数の処理ユニットへそれぞれ通じている複数の分岐管が延び出している主配管内に、第１液供給管から供給される第１液と第２液源から供給される第２液とを混合してなる混合液を、前記主配管の一側から充填する工程と、
前記主配管内の混合液が各分岐管を通じて各処理ユニットへ供給され、当該混合液を用いて各処理ユニット内で被処理体の処理が実施される工程と、を有し、
前記主配管から供給される混合液を用いて各処理ユニット内で処理が行われている間、前記主配管は主開閉弁によって他側から閉鎖されている、液処理方法。
【請求項６】
前記主配管から供給される混合液を用いて各処理ユニット内で処理が行われている間、前記第１液と前記第２液とを混合してなる前記混合液を、前記複数の処理ユニットのすべてへ同時に供給し得る圧力で、前記主開閉弁によって他側から閉鎖された前記主配管へ、前記主配管の一側から供給する、請求項５に記載の液処理方法。
【請求項７】
前記混合液を前記主配管に充填する工程は、
前記主開閉弁が閉鎖され、且つ、前記複数の分岐管の各々に一つずつ設けられた分岐管用開閉弁の少なくともいずれかが開放されている状態で、前記主配管に混合液を一側から供給する工程と、
その後、前記主開閉弁を閉鎖し且つ前記複数の分岐管用開閉弁をすべて閉鎖した状態にする工程と、を有し、
前記主開閉弁が閉鎖され且つ前記分岐管用開閉弁の少なくともいずれかが開放されている状態で前記主配管に混合液を供給する工程において、各分岐管用開閉弁は当該工程中の少なくとも一期間開放される、請求項５または６に記載の液処理方法。
【請求項８】
前記混合液を前記主配管に充填する工程は、
前記複数の分岐管の各々に一つずつ設けられた分岐管用開閉弁がすべて閉鎖され且つ前記主開閉弁が開放されている状態で、前記主配管に混合液を一側から供給する工程と、
その後、前記主開閉弁が閉鎖され、且つ、前記複数の分岐管用開閉弁の少なくともいずれかが開放されている状態で、前記主配管に混合液を一側から供給する工程と、
その後、前記主開閉弁を閉鎖し且つ前記複数の分岐管用開閉弁をすべて閉鎖した状態にする工程と、を有し、
前記主開閉弁が閉鎖され且つ前記分岐管用開閉弁の少なくともいずれかが開放されている状態で前記主配管に混合液を供給する工程において、各分岐管用開閉弁は当該工程中の少なくとも一期間開放される、請求項５または６に記載の液処理方法。
【請求項９】
前記主配管から供給される混合液を用いて各処理ユニット内で処理が行われている間、
前記第１液供給管は、前記複数の処理ユニットのすべてへ前記第１液を同時に供給し得る圧力で、前記主配管に前記第１液を供給し、
前記第２液源からは、被処理体を処理している処理ユニットの数に応じた量の前記第２液が、前記主配管に供給される、請求項５〜８のいずれか一項に記載の液処理方法。
【請求項１０】
前記主配管に混合液を充填する際に、前記分岐管にも混合液が充填される、請求項５〜９のいずれか一項に記載の液処理方法。
【請求項１１】
液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムであって、
前記制御装置によって実行されることにより、請求項５〜１０のいずれか一項に記載された液処理方法を、液処理装置に実施させる、プログラム。
【請求項１２】
液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムが記録された記録媒体であって、
前記プログラムが前記制御装置によって実行されることにより、請求項５〜１０のいずれか一項に記載された液処理方法を、液処理装置に実施させる、記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本実施の形態においては、水、とりわけ純水が、第１液源４１ａから第１液として供給され、高濃度薬液が、第２液源４２ａから第２液として供給される。液供給機構４０は、第１液供給管４１ｂからの水と第２液源４２ａからの高濃度薬液とを混合して、所望の濃度に調節した薬液としての混合液を主配管２０内に供給することができるようになっている。なお、第２液源４２ａから供給される高濃度薬液（第２液）として、ウエハＷを洗浄処理するために用いられ得る種々の薬液を採用することができる。例えば、第２液源４２ａから、希フッ酸、アンモニア過水（ＳＣ１）、または、塩酸過水（ＳＣ２）が供給されるようにしてもよい。また、第１液源４１ａは、液処理装置１０が設置される場所に設備された水源、例えば工場の用力であってもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
以上のようにして主配管２０およびすべての分岐管２５に混合液が充填されると、分岐管用開閉弁２７のすべておよび主開閉弁２２が閉鎖する。そしてこのように主配管２０が密閉された状態になると、第１液の供給が停止する。このようにして、準備工程としての、主配管２０に混合液を充填する工程と、分岐管２５に混合液を充填する工程と、が終了する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
１０  液処理装置
１２  制御装置
１３  記録媒体
２０  主配管
２１ａ，２１ｂ  管路
２２  主開閉弁
２５  分岐管
２６ａ  吐出開口
２７  分岐管用開閉弁
４０  液供給機構
４１ａ  第１液源
４２ａ  第２液源
４３  混合器
５０  処理ユニット
５２  保持機構
５４  支持部材