【事件の表示】
　平成　９年特許願第１２１１３４号「ウェーハ面取り部の加工装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年１１月２４日出願公開、特開平１０−３０９６５８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯
　本件出願は、平成９年５月１２日の特許出願であって、平成１６年６月２２日付けで拒絶の理由が通知され、平成１６年８月３０日に意見書とともに手続補正書が提出され、平成１７年１月２４日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、平成１７年３月３日に本件審判の請求がされたものである。
　
２．本願発明
　本件出願の請求項１、２に係る発明は、出願当初明細書の特許請求の範囲の請求項１、２に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明は、次のとおりのものと認められる。（以下、「本願発明」という。）
「ウェーハのオリフラ部、外周部及び角部の面取り部に押接させる回転砥石あるいは回転バフから構成される加工体と、この加工体が付設され前記ウェーハに対して接離する方向に移動可能な支承体と、この支承体を前記ウェーハに対して接離させる方向に送る螺進式移動手段と、この支承体に取り付けられ前記加工体を駆動させる駆動モータとを備え、前記加工体は、前記ウェーハに対して接離する方向に移動可能となるように前記支承体に付設されると共に、前記支承体とはシリンダ装置を介して連結されていて該シリンダ装置の作動流体圧によって前記ウェーハの面取り部に押接されるようになっていることを特徴とする、ウェーハ面取り部の加工装置。」
　
３．刊行物記載の発明及び事項
　原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に国内において頒布された刊行物である特開平６−１５５２６３号公報（以下、「刊行物１」という。）、及び特開平６−２２６６２５号公報（以下、「刊行物２」という。）には、以下のとおり記載されている。
　
（１）刊行物１
ア．段落【０００１】 
「【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエーハ（以下、単にウエーハと略称す）の面取部を研磨するための研磨装置に関する。」 
イ．段落【００１５】〜【００１７】 
「本発明に係るウエーハ面取部研磨装置において、１はその中間部を支軸２で回動自在に枢着されたアームであって、該アーム１の一端には円柱状の研磨用バフ３が回転軸４によって軸支されている。尚、バフ３は発泡ウレタン樹脂で成形され、図２及び図３に示すように、その外周には総形溝３ａが全周に亘って形成されている。
　又、図２及び図３に示すように、前記回転軸４のアーム１の上方に突出する上端部にはプーリ５が結着されている。
　他方、前記アーム１の他端上には、モータ６が固設されており、該モータ６の出力軸に結着されたプーリ７と前記プーリ５の間にはベルト８が巻装されている。又、アーム１の他端の側方には押圧手段であるエアシリンダ９が設置されており、該エアシリンダ９のシリンダ９ａ内はピストン９ｂにて室Ｓ１とＳ２とに区画されており、ピストン９ｂに連結されたロッド９ｃの先部は図示のようにアーム１の側部に当接している。」 
ウ．段落【００４３】
「以上のように、本実施例では、ウエーハＷのオリフラ部Ｗ１、外周部Ｗ２、Ｒ部Ｗ３の研磨においてアーム１を押圧する力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の大きさを、オリフラ部Ｗ１、外周部Ｗ２、Ｒ部Ｗ３の曲率半径Ｒ１（＝∞），Ｒ２，Ｒ３に応じて、Ｆ１＞Ｆ２＞Ｆ３に設定したため、接触圧力σ１，σ２，σ３ の値を略等しく（σ１≒σ２≒σ３）することができ、この結果、特にＲ部Ｗ３での過大な接触圧力の発生が防がれ、ウエーハＷのバフ３への食い込みが効果的に防がれる。」
 　 
　以上の記載及び図１〜３の記載から、刊行物１記載のものが、研磨用バフ３から構成される加工体を有していること、及び、アーム１を軸支する支軸２及びエアシリンダ９のシリンダ９ａが取り付けられている基台ともいうべき「支承体」を有していることは明らかであり、また、研磨用バフ３は、付設されたアーム１が支軸２を支点として回動することにより、ウェーハに接離する構造であることも明らかである。
　したがって、刊行物１には、次の発明が記載されているものと認める。（以下、「刊行物１記載の発明」という。） 
「ウェーハＷのオリフラ部Ｗ１、外周部Ｗ２及びＲ部Ｗ３の面取部に押接させる研磨用バフ３から構成される加工体と、この加工体が付設されるアーム１と、このアーム１に取り付けられ前記加工体を駆動させるモータ６とを備え、前記加工体は、前記ウェーハに対して接離する方向に回動可能となるように前記支承体に付設されると共に、前記支承体とはエアシリンダ９を介して連結されていて該エアシリンダ９の作動流体圧によって前記ウェーハの面取り部に押接されるようになっているウェーハ面取部の加工装置。」
　
（２）刊行物２
ア．段落【０００１】 
「【産業上の利用分野】本発明は、１軸制御から３軸制御の倣い加圧力制御の面取り、バリ取り、研削等の軽切削用の曲面研削加工機（バリ取り機）に関し、新規な加圧力制御方式としたものである。」 
イ．段落【０００８】 
「先ず、図１において、本発明の曲面研削加工機（バリ取り機）１００を示し、先端に砥石（ツール）１を持つエアグラインダ２がツールヘッド３に取付けられている。このツールヘッド３は、前側移動体８に保持されている。即ち、機台４の上部に設置した摺動面５に２組のスライダ６，７によって各々載置した前側移動体８と後側移動体９とを前後関係で係合させている。また、上記後側移動体９は機台４の後部配置したサーボモータＳＭの送り棒１１と螺合し、モータＳＭの正逆転駆動により摺動面５上を前後移動する。更に、上記２つの移動体８，９の対面板８ａ，９ａ間には、両体８，９の離接に反発する加圧力付与部材１２（図示のものは、バネ、弾性体等）で連結している。そして、両移動体の離接を感知する近接センサＳ１，Ｓ２を備え、その隙間Ｘを最小読み取りギャツプ変位、０．０２から０．０４ｍｍまで検出する。この近接センサＳ１，Ｓ２は、光学センサでも磁気センサでも良く、その検出信号（ＯＮ，ＯＦＦ）は、サーボモータＳＭを正逆転駆動するコントローラＣＥに入力し、サーボモータＳＭは、センサＳ１，Ｓ２がＯＮ（接近したとき）のとき、逆転して移動体９をモータ側へ後退させ、センサＳ１，Ｓ２がＯＦＦ（離れたとき）のとき、正転して移動体９を砥石１側へ前進する。この作用により、加圧力付与部材１２が移動体８を介して砥石１からワークＷに付与する加圧力Ｆを所定の設定値Ｆ0に高精度に制御される。」 
ウ．段落【００１１】
「【他の実施例】本発明は、上記一実施例に限定されることなく発明の要旨内での設計変更が可能であること勿論である。例えば、図４のように加圧力付与部材１２をエアシリンダ又は油圧シリンダＣ０に変更しても良く。・・・。」
エ．段落【００１２】
「【効果】本発明は、上記のように構成したから、ワークをその中心位置で回転すると砥石がワークの凹凸に従って移動する両移動体の離接寸法を所定値に保持させ、この両板間に介装した加圧力付与部材で砥石のワークに対応する加圧力を低圧力から高圧力まで広範囲にわたって高精度に制御できる。」
 　 
　以上の記載から、刊行物２には、次の事項が記載されているものと認める。（以下、「刊行物２記載の事項」という。） 
「ワークＷの面取り加工を行う曲面研削加工機において、加圧力を広範囲にわたって高精度に制御するために、エアグラインダ２が付設されワークＷに対して接離する方向に移動可能な後側移動体９と、この後側移動体９を前記ワークＷに対して接離させる方向に送る送り棒１１と、前記エアグラインダ２は、前記ワークＷに対して接離する方向に移動可能となるように前記後側移動体９に付設されると共に、前記後側移動体９とはエアシリンダ１２を介して連結されていて該エアシリンダ１２の作動流体圧によって前記ウェーハの面取り部に押接する機構を設ける」点。
　
４．対比
　そこで、本願発明と刊行物記載の発明とを対比するに、後者の「Ｒ部Ｗ３」は前者の「角部」に相当し、同様に、後者の「面取部」は前者の「面取り部」に、後者の「研磨用バフ３」は前者の「回転バフ」に、後者の「モータ６」は前者の「駆動モータ」に、後者の「回動可能」は前者の「移動可能」に、後者の「エアシリンダ９」は前者の「シリンダ装置」に、相当する。
　
　したがって、本願発明と刊行物１記載の発明との一致点及び相違点は、次のとおりである。 
＜一致点＞ 
「ウェーハのオリフラ部、外周部及び角部の面取り部に押接させる回転バフから構成される加工体と、前記加工体を駆動させる駆動モータとを備え、前記加工体は、前記ウェーハに対して接離する方向に移動可能となるように前記支承体に付設されると共に、前記支承体とはシリンダ装置を介して連結されていて該シリンダ装置の作動流体圧によって前記ウェーハの面取り部に押接されるようになっているウェーハ面取部の加工装置。」である点。
　
＜相違点＞ 
　加工体をウェーハの面取り部に押接する機構に関して、前者では、「加工体が付設され前記ウェーハに対して接離する方向に移動可能な支承体と、この支承体を前記ウェーハに対して接離させる方向に送る螺進式移動手段と」、「前記加工体は、前記ウェーハに対して接離する方向に移動可能となるように前記支承体に付設されると共に、前記支承体とはシリンダ装置を介して連結されていて該シリンダ装置の作動流体圧によって前記ウェーハの面取り部に押接されるようになって」おり、駆動モータが、「支承体に取り付けられ」ているに対して、後者では、「加工体は、前記ウェーハに対して接離する方向に移動可能となるように前記支承体に付設されると共に、前記支承体とはシリンダ装置を介して連結されていて該シリンダ装置の作動流体圧によって前記ウェーハの面取り部に押接されるようになって」いるが、支承体をさらにウェーハに対して接離させる方向に送る螺進式移動手段を有しておらず、そして、駆動モータが、支承体でなく、加工体が付設されたアーム１に取り付けられている点。 
　
５．判断
　上記相違点について検討する。
　刊行物２記載の事項の「エアグラインダ２」、「後側移動体９」、「送り棒１１」、「エアシリンダ１２」は、それぞれ本願発明の「加工体」、「支承体」、「螺進式移動手段」、「シリンダ装置」にそれぞれ相当し、刊行物２記載の事項の「面取り加工を行う曲面研削加工機」は面取り部の加工装置とも表現しうるものであることから、刊行物２記載の事項は、「ワークＷの面取り部の加工装置において、加圧力を広範囲にわたって高精度に制御するために、加工体が付設されワークＷに対して接離する方向に移動可能な支承体と、この支承体を前記ワークＷに対して接離させる方向に送る螺進式移動手段と、前記加工体は、前記ワークＷに対して接離する方向に移動可能となるように前記支承体に付設されると共に、前記支承体とはシリンダ装置を介して連結されていて該シリンダ装置の作動流体圧によって前記ワークＷの面取り部に押接する機構を設ける」点が記載されていると言える。
　さらに、基台上を動く移動体において、制御追従性や動作安定性を向上させるために、移動体を軽量に設計することは慣用手段である。
　そうすると、刊行物２に記載の事項も刊行物１と同様、曲面形状のワークの面取りを行う際に、加圧力を広範囲にわたって高精度に制御するための機構であるから、刊行物１記載の発明において、加工体をウェーハの面取り部に押接する機構に換えて刊行物２記載の事項を適用するに際して、前記慣用手段を勘案して、重量物である駆動モータを移動の最先部である加工体ではなく、支承体に設けることは、当業者が容易に想到し得たことというべきものである。
　
  そして、本願発明の作用効果も、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び前記慣用手段から、当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものでない。
　
　したがって、本願発明は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び前記慣用手段に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は、拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。