【事件の表示】
　平成１１年特許願第３７５３４４号「検査装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　７月１０日出願公開、特開２００１−１８８０５１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　　
　本願は，平成１１年１２月２８日の出願であって，平成２０年１２月２５日付けで拒絶査定がされ，これに対し，平成２１年２月５日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに，同年３月５日付けで手続補正がされたものである。
  　
第２　平成２１年３月５日付けの手続補正についての補正却下の決定
  　
１　補正却下の決定の結論
　　
　　平成２１年３月５日付けの手続補正を却下する。
  　
２　理由
　　
（１）本願補正発明
　　
　本件補正は，特許請求の範囲の請求項１を，
「被検査物の画像を撮像し，この画像を処理して解析することにより，被検査物の検査を行う検査装置において，
　上記被検査物の画像を撮像する撮像手段と，
　照明光により照明された上記被検査物の像を上記撮像手段の撮像素子上に結像させる結像レンズと，
　上記被検査物の画像が取り込まれる上記撮像手段の前面に一体に設けられ，上記結像レンズを透過した被検査物の像を上記撮像手段の前面へと導く密閉された覆いとを備え，
　
上記撮像手段は，可視光用ＣＣＤカメラ及び紫外光用ＣＣＤカメラであり，可視光により照明された上記被検査物の画像を撮像した後，紫外光により照明された上記被検査物の画像を撮像する
とする補正を含むものである（下線部は補正箇所を示す。）。
　
　上記請求項１についての補正は，補正前の請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「撮像手段」について，「可視光用ＣＣＤカメラ及び紫外光用ＣＣＤカメラであり，可視光により照明された上記被検査物の画像を撮像した後，紫外光により照明された上記被検査物の画像を撮像する」との限定を付加するものであるから，特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　
　したがって，上記請求項１についての補正は，平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前（以下，「平成１８年改正前」という。）の特許法１７条の２第４項２号の，特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　
　そこで，上記請求項１に記載された発明（以下，「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年改正前の特許法１７条の２第５項において準用する同法１２６条５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
  　
（２）刊行物およびその記載事項
  　
　ア　本願出願前に頒布され，原査定の拒絶の理由において引用された刊行物である特開平１１−３４４４４７号公報（以下，「刊行物１」という。）には，図面とともに，次の事項が記載されている（下線は当審において付記したもの）。 
  　
　（ア−１）
「【請求項１】繰り返しパターンを有する検査対象に対し，検査対象部を照射するための照明系と，該照明系からの反射光像を結像する検出光学系と，該光学系の像を電気信号に変換するイメージセンサと，イメージセンサからのアナログ出力信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換部と，該検出画像信号を参照用画像と比較をして欠陥部を検出する欠陥検出手段を備えたものにおいて，イメージセンサとして裏面照射型ＣＣＤイメージセンサを用いたＴＤＩセンサを使用することを特徴とする光学式欠陥検査装置。」
　
　（ア−２）
「【請求項５】前記の冷却装置において，イメージセンサの局所領域毎に冷却可能な構成とし，
イメージセンサ内の
ＣＣＤ素子
　
　（ア−３）
「【０００１】【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウェーハや位相シフタ付レチクルやＴＦＴ基板等のように，繰り返しパターンを有する基板を対象とし，その対象基板上の異物等の欠陥を高速かつ高感度に検査する検査方法およびその装置に関するものである。」
  　
　（ア−４）
「【００１４】・・・本発明の実施例として照明光源として紫外光を使用した外観検査装置を，図２を用いて説明する。光源６０は紫外光を発生する重水素または水銀ランプであり，発光した光をコンデンサレンズ６１ａで開口絞り６２に集光する。開口絞り６２を通過した光は，レンズ６１ｂを介して分光フィルタ６３により紫外光のみが通過して視野絞り６４に到達する。」
　　
　（ア−５）
「【００１５】この視野絞り６４を通過した光は，レンズ６１ｃ，ハーフミラー６５，対物レンズ６６を透過して被検査対象５を落射照明する。被検査対象５を反射，回折，散乱した光は，再び対物レンズ６６に取り込まれ，ハーフミラー６４で検出系光路に反射され，
結像レンズ６７に結像されて，イメージセンサ３１に結像し，被検査対象５の検出画像を得る
　　
　（ア−６）
「【００１７】本発明では，該短波長照明の画像を検出するための一手法として，裏面照射型（Ｂａｃｋ Ｔｈｉｎｎｅｄ）イメージＣＣＤセンサ１を用いる。」
　　
　（ア−７）
「【００１８】短波長照明光を検出するための他の手法として，
ＣＣＤイメージセンサのカバーガラス３５
　
　（ア−８）
「【００３０】冷却した場合，
ＣＣＤイメージセンサ内側
図９
カバーガラス３５
  　
　（ア−９）
「【００３１】他の結露防止方法を説明する。結露により検出に悪影響を及ぼす所として，
ＣＣＤセンサの窓部のカバーガラス３５
　　
　（ア−１０）
　第９図は，冷却装置により結露する恐れのある部分を説明するための図であり，ここには，イメージセンサ３１の光入射側に，イメージセンサ３１自体を構成する形態でイメージセンサ３１に配置されたカバーガラス３５が記載されている。
 　
　以上の記載事項（ア−１）〜（ア−１０）を総合すると，刊行物１には次の発明が記載されているものと認められる。
　　
「被検査対象５の検出画像を得て，検出画像信号を参照用画像と比較して欠陥部を検出する欠陥検査装置において，内部にＣＣＤ素子を備えたイメージセンサ３１であり，被検査対象５の像が結像されて被検査対象５の検出画像を得るイメージセンサ３１と，光源６０により照明された被検査対象５の像をイメージセンサ３１に結像する結像レンズ６７と，イメージセンサ３１の光入射側に，イメージセンサ３１自体を構成する形態でイメージセンサ３１に配置されたカバーガラス３５とを備えた欠陥検査装置。」（以下，「刊行物１発明」という。）
  　
（３）当審の判断 
  　
　ア　対比・判断　　
　本願補正発明と刊行物１発明を対比する。
 
　（ア）刊行物１発明の「被検査対象５」，「検出画像を得」ることは，それぞれ，本願補正発明の「被検査物」，「画像を撮像」することに相当する。
　本願補正発明の「画像を処理して解析すること」及び「被検査物の検査」について，その具体的な内容は本願補正発明において特定されていないが，本願明細書の【００９５】〜【０１１７】に記載された検査手順を参酌すると，欠陥画像と参照画像と撮像し，それぞれを比較して欠陥を検出することが記載されており，本願補正発明の「画像を処理して解析すること」及び「被検査物の検査」の具体的内容として，このような手順が把握される。そして，上記手順は刊行物１発明の「被検査対象５の検出画像を得て，検出画像信号を参照用画像と比較して欠陥部を検出する」ことと実質的に同じものであるといえる。
　よって，刊行物１発明の「被検査対象５の検出画像を得て，検出画像信号を参照用画像と比較して欠陥部を検出する欠陥検査装置」は，本願補正発明の「被検査物の画像を撮像し，この画像を処理して解析することにより，被検査物の検査を行う検査装置」に相当する。
　　
　（イ）刊行物１発明の「内部にＣＣＤ素子を備えたイメージセンサ３１であり，被検査対象５の像が結像されて被検査対象５の検出画像を得るイメージセンサ３１」は，本願補正発明の「被検査物の画像を撮像する撮像手段」に相当する。
　
　（ウ）刊行物１発明において，被検査対象５の像が結像されるのは，イメージセンサ３１の内部のＣＣＤ素子上であるのは明らかであるから，刊行物１発明の「光源６０により照明された被検査対象５の像をイメージセンサ３１に結像する結像レンズ６７」は，本願補正発明の「照明光により照明された上記被検査物の像を上記撮像手段の撮像素子上に結像させる結像レンズ」に相当する。
　　
　（エ）刊行物１発明の「イメージセンサ３１の光入射側」は，本願補正発明の「被検査物の画像が取り込まれる上記撮像手段の前面」に相当する。
　また，刊行物１の記載事項（ア−５），（ア−１０）から，結像レンズ６７を通過した像がカバーガラス３５を介してイメージセンサ３１へ導かれるのは明らかである。
　よって，刊行物１発明の「イメージセンサ３１の光入射側に，イメージセンサ３１自体を構成する形態でイメージセンサ３１に配置されたカバーガラス３５」と，本願補正発明の「被検査物の画像が取り込まれる上記撮像手段の前面に一体に設けられ，上記結像レンズを透過した被検査物の像を上記撮像手段の前面へと導く密閉された覆い」は，「被検査物の画像が取り込まれる上記撮像手段の前面に設けられ，上記結像レンズを透過した被検査物の像を上記撮像手段の前面へと導く覆い」である点で共通する。
　　
　以上より，刊行物１発明と本願補正発明とは，
「被検査物の画像を撮像し，この画像を処理して解析することにより，被検査物の検査を行う検査装置において，上記被検査物の画像を撮像する撮像手段と，照明光により照明された上記被検査物の像を上記撮像手段の撮像素子上に結像させる結像レンズと，上記被検査物の画像が取り込まれる上記撮像手段の前面に設けられ，上記結像レンズを透過した被検査物の像を上記撮像手段の前面へと導く覆いとを備えた検査装置。」である点において一致し，以下の点で相違する。
　　
（相違点１）
　本願補正発明の「覆い」は，「撮像手段の前面に一体に設けられ」「密閉された」ものであるのに対して，刊行物１発明の「カバーガラス」については，そのような特定がされていない点。
　　
（相違点２）
　本願補正発明の「撮像手段」は，「可視光用ＣＣＤカメラ及び紫外光用ＣＣＤカメラであり，可視光により照明された上記被検査物の画像を撮像した後，紫外光により照明された上記被検査物の画像を撮像する」ものであるのに対して，刊行物１発明の「イメージセンサ３１」については，そのような特定がされていない点。
　　
　以下，上記相違点について検討する。
　　
（相違点１）
　本願補正発明の「覆い」は，「被検査物の画像が取り込まれる上記撮像手段の前面に一体に設けられ，上記結像レンズを透過した被検査物の像を上記撮像手段の前面へと導く密閉された」ものであるが，「撮像手段の前面に一体に設けられ」，「密閉された」との記載は，「一体」とする対象や「密閉」の対象を特定するものではなく，「覆い」の具体的形態としてさまざまなものを含んでいる。
　そして，カバーとは，株式会社岩波書店　広辞苑第六版によれば「カバー【cover】物をおおうもの。おおい。「枕−」「−をかける」」と定義されており，刊行物１発明の「カバーガラス」が本願補正発明の「覆い」に含まれることは明白である。
　また，一般的に販売されているＣＣＤは，ＣＣＤ本体にカバーガラスが一体化して，カバーガラスによりＣＣＤ本体の受光面が密閉されているものである（例えば特開平１１−２４３１８７号公報の【０００２】には「
【従来の技術】
一体化されたものが，一般にＣＣＤとして供給される。このパッケージ部材２及びカバーガラス３は，ＣＣＤ本体１に露呈している受光面４にゴミが付着するのを防止するために，受光面４を密閉している。
　よって，相違点１は表現上の差異にすぎない。
　
　仮に，刊行物１発明の「カバーガラス」が，本願補正発明の「覆い」に相当しないとした場合についても，以下に検討する。
　本願補正発明の「覆い」の具体的形状について，本願明細書の【０１２７】，【０１３０】，図８，図９を参酌すると，本願補正発明の「撮像手段」としてＣＣＤカメラ７１が記載され、このＣＣＤカメラ７１とは独立した「覆い」として，ＣＣＤカメラ７１の前面に接触して配置された「透過ボックス７０」であり，密閉され略箱型形状の「透過ボックス７０」が，本願補正発明の「覆い」として記載されている。
　他方，撮像手段を用いた検査・分析装置において，撮像手段の前面に防塵や撮像素子の保護などの目的で覆いを配置することは，本願出願前における周知技術であり，例えば，特開平１１−３０４５８３号公報の【０００１】，【００３０】には，光学式読取装置において，レンズ群４１により結像された光を受光する撮像素子４２を取り囲む透明部材について記載され，上記透明部材により撮像素子４２の素子面への塵埃などの浸入を防ぐことについて記載されており，特開平１０−２１５３９５号公報の【０００１】，【０００７】，【０００８】，図２には，画像生成装置において，カメラレンズ１７後段に配置された冷却ＣＣＤカメラ１であり，カメラレンズ１７を通過した像が入射する開口部がガラス板１４により閉じられた構成について記載されている。
　さらに，撮像手段の前面に防塵や撮像素子の保護などの目的で，撮像手段とは独立した「覆い」となる部材を配置することも，以下に示すとおり，本願出願前に周知であり，例えば，特開平７−１７４７０７号公報の【請求項１】，【請求項２】，【０００１】，【００１５】，【００１８】，図１には，光学的検査装置のカメラ・ハウジング１４の前面に，直方体形状であり内部が封止されたレンズ装置ハウジング１２を配置し，これにより，カメラ・ハウジングの光入射面を実質的に覆うことについて記載されており，特開平１０−１９５３３号公報の【０００１】，【００２２】，【００２３】，図３には，欠陥等の検査装置において，第二の外観検査機構Ｂ２の，カメラＣ２が収容される筐体Ｅ２の撮像孔Ｈ２に，防塵透明体ＣＡを取り付けることについて記載され，【００３６】には，筐体Ｅ２と撮像孔Ｈ２と防塵ボックスとの嵌合部を完全密閉とすることについて記載され，【００４１】には，防塵透明体がタルクなど粉塵・検査対象物品・他の異物などが筐体内へ進入することを防止するという効果について記載されている。
　よって，刊行物１発明において，上記周知の覆いを適用して，イメージセンサに対して独立し，イメージセンサに一体に設けられた覆いであって，密閉された覆いを用いるよう想到することは，当業者が容易になし得ることである。
　
　以上より，相違点１に係る構成は，表現上の差異にすぎず実質的な相違点ではないといえ，また仮にそうでないとしても，上記周知技術から当業者が容易に想到し得るものである。
　
（相違点２）
　外観検査装置において，検査精度を向上させるために，可視光源と紫外光源とを併用して，可視画像及び紫外画像を検出可能とすることは，本願出願前における周知技術であり，例えば，特開平４−１６５６４１号公報の特許請求の範囲，第２頁右上欄第１４行〜第３頁左上欄第１６行，図１，図３には，ウェーハ外観検査装置において，可視光源１３と紫外光源９を用いて可視画像及び紫外画像を取り込むこと，可視画像と紫外画像とを異なるタイミングで取り込むこと，これにより透明状異物でも検出可能となりパターン解像性も向上することについて記載され，特開平７−３１１１６０号公報の【０００１】，【００１０】，【００１３】，【００１４】，【００２９】には，偏光フィルムの外観検査装置において，紫外光源および可視光源を併用して紫外画像と可視画像を撮像すること，可視画像を得た後に紫外画像を得ること，これにより保護フィルムの外観不良の影響を受けずに偏光フィルムの外観検査が可能となることについて記載されている。ここで，紫外画像及び可視画像の取得タイミングは，検査条件などに応じて適宜設定し得るものといえる。
　さらに，上記特開平７−３１１１６０号公報の【００１７】，【００１９】，【００２０】に，可視画像をＣＣＤカメラ７で撮像し，紫外画像をＣＣＤカメラ８で撮像することについて記載されているように，可視画像や紫外画像を撮像する手段としてＣＣＤカメラは，本願出願前に周知である。
　そして，刊行物１発明において，検査精度を向上させることは当然に要請されることであるから，そのために可視画像と紫外画像とを撮像するよう想到すること，その際，可視光用ＣＣＤカメラ及び紫外光用ＣＣＤカメラを用いて，適宜のタイミングでそれぞれの撮像を行うよう想到することは，当業者が容易になし得ることである。
　　
　イ　本願補正発明の効果について
　本願補正発明の有する，被検査物の像への塵埃等による影響を抑え，被検査物のより微細な欠陥の検出や分類分け等を適切に行うことができるという効果は，刊行物１の記載事項及び周知技術から当業者が予測できる範囲のものであり，格別顕著なものとはいえない。
　
　したがって，本願補正発明は，刊行物１に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから，本願補正発明は特許法２９条２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
 　
（４）小括
　　
　以上のとおり，本件補正は，平成１８年改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので，同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　　
第３　本願発明について
  　
　平成２１年３月５日付けの手続補正は上記のとおり却下されることとなったので，本願の請求項１ないし請求項３に係る発明は，願書に添付された明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項３に記載された事項により特定されるとおりのものと認められ，その請求項１に係る発明は以下のとおりのものである。
  　
「被検査物の画像を撮像し，この画像を処理して解析することにより，被検査物の検査を行う検査装置において，
　上記被検査物の画像を撮像する撮像手段と，
　照明光により照明された上記被検査物の像を上記撮像手段の撮像素子上に結像させる結像レンズと，
　上記被検査物の画像が取り込まれる上記撮像手段の前面に一体に設けられ，上記結像レンズを透過した被検査物の像を上記撮像手段の前面へと導く密閉された覆いとを備えることを特徴とする検査装置。」（以下，「本願発明」という。）　
  　
１　刊行物およびその記載事項
　　
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である刊行物１の記載事項は，前記「第２　２（２）」に記載したとおりである。　
  　
２　対比・判断
  　
　本願発明は，前記「第２　２」で検討した本願補正発明から，「撮像手段」についての「可視光用ＣＣＤカメラ及び紫外光用ＣＣＤカメラであり，可視光により照明された上記被検査物の画像を撮像した後，紫外光により照明された上記被検査物の画像を撮像する」との限定事項を省くものである。
　
　そうすると，本願発明の構成要件をすべて含み，さらに他の構成要件を付加し限定したたものに相当する本願補正発明が，前記「第２　２（３）」にて述べたとおり，刊行物１に記載された発明及び周知技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，本願発明も同様の理由により，刊行物１に記載された発明及び周知技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　
３　むすび
　
　以上のとおり，本願発明は，刊行物１に記載された発明及び周知技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって，その他の請求項に係る発明についての判断を示すまでもなく，本願は拒絶すべきものである。
　　
　よって，結論のとおり審決する。