【事件の表示】
　特願２００３−　２４６５８「静電チャック装置用電極シート及びこれを用いた静電チャック装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　８月１９日出願公開、特開２００４−２３５５６３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　この出願は、平成１５年１月３１日の特許出願であって、平成１９年８月２９日付の拒絶理由通知に対する同年１１月１日付の手続補正を経て、平成２０年６月２３日付で拒絶査定され、これを不服として同年７月３１日に本件審判の請求がなされ、同年８月２９日に明細書を補正対象書類とする手続補正（以下、「本件補正」という。）がされたものである。そして、当審による平成２１年１０月３０日付審尋に対し、同年１２月２２日付で回答書が提出されている。
　
２．本件補正についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
2.1　補正の内容の概要
　本件補正は、特許請求の範囲と発明の詳細な説明について補正をするものであって、補正前後の請求項１の記載は、補正箇所に下線を付して示すと、以下のとおりである。
ａ．補正前の請求項１
「一対の絶縁性有機フィルムが絶縁性接着剤層を介して貼着され、前記絶縁性接着剤層内に電極が形成された静電チャック装置用電極シートにおいて、
 前記絶縁性接着剤層を構成する絶縁性接着剤が、差電圧５ｋＶ以上の絶縁耐性を有するものであると共に、
 前記絶縁性接着剤層が前記電極よりも厚く形成されていることを特徴とする静電チャック装置用電極シート。」
ｂ．補正後の請求項１
「一対の絶縁性有機フィルムが絶縁性接着剤層を介して貼着され、前記絶縁性接着剤層内に電極が形成された
、絶縁体を吸着するための
 前記絶縁性接着剤層を構成する絶縁性接着剤が、差電圧５ｋＶ以上の絶縁耐性を有するものであると共に、
 前記絶縁性接着剤層が前記電極よりも厚く形成され
、隣接する前記電極の間隔が２ｍｍ以下であると共に、
　前記絶縁性接着剤がアクリロニトリル−ブタジエン共重合体、スチレン系ブロック共重合体、アミン化合物、ビスマレイミド化合物から選択される１種又は２種以上の樹脂を含有する
　
　また、発明の詳細な説明の段落【０００７】が、上記請求項１の補正と整合するように、形式的に補正された。
　
2.2　補正の適否　　　
　請求項１の補正は、発明特定事項について、
ａ．静電チャック装置は、絶縁体を吸着するためのものであること、
ｂ．隣接する電極の間隔は、２ｍｍ以下であること、及び
ｃ．絶縁性接着剤は、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、スチレン系ブロック共重合体、アミン化合物、ビスマレイミド化合物から選択される１種又は２種以上の樹脂を含有すること、
との限定を付加することにより、特許請求の範囲を減縮することを目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下検討する。
　
2.3　補正発明
　補正発明は、本件補正により補正がされた明細書及び図面の記載からみて、上記2.1ｂに記載された事項により特定されるとおりのものと認める。
　
2.4　刊行物記載の発明（事項）
　この出願前に頒布された刊行物であって、原査定の拒絶理由に引用された次の刊行物には、以下のとおり記載されている。
　
　刊行物１：　特開平２−２７７４８号公報
　刊行物２：　特開平１１−２５１４１９号公報
　
2.4.1　刊行物１
ａ．（第２ページ左上欄第８〜１０行）
「本発明は、半導体ウエハ等の導電性物質を真空中で保持できる静電チャック用シートを貼着した静電チャック装置及びその作成方法に関する。」
ｂ．（第３ページ右上欄第８行〜左下欄第３行）
「本発明の静電チャック装置の一つは、金属基盤上に静電チャック用シートを接着剤層を介して接着してなり、該静電チャックシートが、被吸着物を載置する面を有する第１の絶縁層、第１の接着層、第１の絶縁層の被吸着物を載置する面に分極電荷を発生させるための電極層、第２の接着層、及び第２の絶縁層よりなる膜厚30〜400μmの積層体であることを特徴とする。
　第１図及び第２図は、それぞれ本発明の静電チャック装置の模式図である。図中、2は被吸着物の裏面との密着性向上層、31は第１の絶縁層、32は第２の絶縁層、41は第１の接着層、42は第２の接着層、43は静電チャック用シートを金属基盤に接着するための接着剤層（以下、第３の接着層という。）、5は電極層、6は金属基盤、7は空隙、10は真空チャンバ−内部である。」
ｃ．（第３ページ右下欄第１〜１２行）
「第１及び第２の絶縁層31、32は、耐熱性、耐電圧性等の信頼性に優れた材料よりなる。前記式(1)から明らかなように、静電吸着力には、絶縁層31、32の厚さが大きく影響している。したがって、電極間への印加電圧Vに十分に耐える範囲内で、できるかぎり薄い厚さとすることによって、静電吸着力を向上させることを可能になるように、耐電圧特性の優れた高耐熱性プラスチックフィルムを使用することが必要である。この様な点から、本発明においては、5〜75μmの厚さの薄いポリイミドフィルム又は150℃以上の耐熱性があるプラスチックフィルムを用いるのが好ましい。」
ｄ．（第４ページ左上欄第１４〜２０行）
「第１及び第２接着層としては、絶縁層と電極層の両者に対する接着力及び耐熱性に優れた接着剤が必要であり、熱硬化性又は２液硬化型接着剤が使用される。例えば、ポリエステル系、ポリウレタン系、ポリイミド系、エポキシ系、変性ポリアミド系等の接着剤が有効であり、これ等の接着剤は単独で又は混合物として用いることができる。」
ｅ．（第１図）
　電極層5が、第１及び第２の接着層41、42内に形成されていて、接着層41、42は電極層5よりも厚く形成されていることが理解されると認める。
　
　摘記事項ｃより、「絶縁層31、32」はプラスチックフィルムからなることが理解され、「プラスチック」とは通常、有機物であるため、第１の絶縁層31と第２の絶縁層32とは「一対の絶縁性有機フィルム」と表現することができる。また、摘記事項ｄより、第１及び第２の接着層は樹脂からなる接着剤により構成されることが理解され、樹脂は通常、絶縁物であるため、第１及び第２の接着層は「絶縁性接着剤層」と表現することができる。
　そこで、上記摘記事項を補正発明の記載に沿って整理すると、刊行物１には次の事項が記載されていると認められる。
「一対の絶縁性有機フィルムが絶縁性接着剤層を介して貼着され、前記絶縁性接着剤層内に電極が形成された、導電性物質を吸着するための静電チャック装置用電極シートにおいて、
  前記絶縁性接着剤層が前記電極よりも厚く形成されている静電チャック装置用電極シート。」（以下、「刊行物1記載の発明」という。）
　
2.4.2　刊行物２
ａ．（明細書段落【００１７】）
「本発明の静電チャックの電極層を形成するための基体構成材料としては、基体表面に電極層を形成できる絶縁性材料であってウエハが処理される温度条件下に於いて充分な耐熱性と強度を有する成形材であれば特に限定されるものではないが、電極層形成材である金属層との密着性が良好で、若干の柔軟性を有し、且つ熱膨張率が電極金属とあまり解離しない材料であることがより好ましい。このような材料として、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、耐熱性ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂あるいはシリコーンゴム、フッ素ゴム、ニトリルゴム等の高分子系材料またはアルミナ、窒化アルミニウム、ＰＢＮ（パイロリティック・ボロンナイトライド）、窒化珪素、炭化珪素等のセラミック系材料を例示できる。既に述べたように、この基体構成材として前記誘電体層に用いる材料と同一の材料を用いて基体を構成しても良い。本発明の静電チャックは、この基体上に電極層を配設した後、誘電体層を形成しても良く、あるいは誘電体層に電極層を形成してから基体と接合するようにしても良い。本発明の電極層に於いて、交互に配設される第一電極と第二電極の櫛の歯形状部分の電極間の間隔は、その絶縁性が十分に保てる限度内に於いては、狭いほど吸着力が増加する。本発明においては、通常、この間隔は０．５乃至５ｍｍ程度、特に好ましくは１乃至２ｍｍに設定することが、発現吸着力と装置絶縁耐久性等との兼ね合いから好ましい。また、電極幅は、通常０．５乃至５ｍｍ程度とすることが好ましい。」
ｂ．（同段落【００２０】）
「「実施例１」ガラスエポキシ樹脂基板の表面に厚さ３５μｍの銅箔をプリントしたプリント基板をエッチング加工し、図２に示したような第一電極部と第二電極部が交互に配列した櫛形双極電極タイプの静電チャック電極層を製作した（電極層面積：１００ｍｍ×１００ｍｍ、正方形、電極幅：１ｍｍ、電極間隔：１ｍｍ）。この電極層上に５０μｍの厚さのポリエチレンシートを誘電体層として積層し、両電極間とポリエチレンシート層との空隙にシリコーン油を注入し、静電チャックを用意した。このチャックを図５に示した電圧ー電流測定回路に接続し、電極に１Ｈｚ〜１０Ｈｚの範囲で周波数を変えた正弦波交流電圧２．６ｋＶを印加し、１０ｋΩの抵抗を介して電流を測定した。また、誘電体（ポリエチレンシート）上に４インチのシリコンウエハを載置し、吸着力測定装置により通電時にウエハを水平方向に引っ張った場合の吸着力及び通電停止時の残留吸着力を測定した。なお、図５における符号１１は直流電源、９はオシロスコ−プ、１０は高圧電源アンプ、ＦＧは周波数発生器を示し、該電圧−電流測定回路はスイッチａにより、直流電源と交流電源を切り替えることができるように構成されている。上記結果を図６に示す。」
ｃ．（同段落【００２４】）
「「実施例２」実施例１の静電チャックに周波数１Ｈｚ（正弦波）及び１０Ｈｚ（正弦波）の交流電圧を電圧を変化させて印加し、実施例１と同様にして吸着力を測定した。その結果を図８に示す。なお、図中、周波数１Ｈｚの場合を黒三角印で示し、周波数１０Ｈｚの場合を黒四角印で示す。」
ｄ．（同段落【００２５】）
「「比較例３」実施例１の静電チャックに直流電圧を変化させて印加し、実施例１と同様にして吸着力を測定した。その結果を図８に示す。なお、図中、直流電圧を変化させて場合を白丸で示す。」
ｅ．（同段落【００２７】）
「本発明の基板保持用静電チャック及び基板保持方法は、半導体製造における半導体ウエハ基板の保持用に限定されるものではなく、その発明の趣旨を逸脱しな範囲において、広くその他の基板処理における被処理基板の保持用に適用することができるものであり、例えば、液晶製造工程における液晶ガラス基板の保持用にも適用することができるものである。」
ｆ．（図８）
　電極の間隔が１mmの場合において、電極間に最大５kVの電圧を印加することが可能であることが理解されると認める。
　
　摘記事項ｅにおいて、「液晶ガラス基板」が絶縁体であることは当業者間の常識であるから、刊行物２には次の技術事項が記載されていると認められる。
「絶縁体を吸着するための静電チャックであって、電極の間隔を１mmとして電極間に最大５kVの電圧を印加可能とすること。」（以下。「刊行物２記載の事項」という。）
　
2.5　対比
　補正発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、両者は以下の点で一致及び相違すると認められる。
＜一致点＞
「一対の絶縁性有機フィルムが絶縁性接着剤層を介して貼着され、前記絶縁性接着剤層内に電極が形成された、静電チャック装置用電極シートにおいて、
  前記絶縁性接着剤層が前記電極よりも厚く形成されている静電チャック装置用電極シート。」である点。
＜相違点１＞
　静電チャック装置用電極シートは、前者では絶縁体を吸着するためのものであるのに対し、後者では導電性物質を吸着するためのものである点。
＜相違点２＞
　絶縁性接着剤が、前者では差電圧５ｋＶ以上の絶縁耐性を有するものであるのに対し、後者ではこのような特定がない点。
＜相違点３＞
　隣接する前記電極の間隔が、前者では２ｍｍ以下であるのに対し、後者ではこのような特定がない点。
＜相違点４＞
　絶縁性接着剤が、前者ではアクリロニトリル−ブタジエン共重合体、スチレン系ブロック共重合体、アミン化合物、ビスマレイミド化合物から選択される１種又は２種以上の樹脂を含有するのに対し、後者ではこのようなものでない点。
　
2.6　相違点の検討
　上記各相違点について、以下検討する。
　
2.6.1　＜相違点１＞について
　刊行物２には、静電チャックによって絶縁体を吸着することが記載されているところ、刊行物１記載の発明の静電チャック装置用電極シートを、絶縁体を吸着するために適用することを妨げる事由は見当たらないため、刊行物１記載の発明を、絶縁体を吸着することに適用することは、当業者が容易に想到し得たものである。
　
2.6.2　＜相違点２＞について
　刊行物２には、摘記事項ａに、「交互に配設される第一電極と第二電極の櫛の歯形状部分の電極間の間隔は、その絶縁性が十分に保てる限度内に於いては、狭いほど吸着力が増加する。」との記載があり、また、吸着力が電極間の印加電圧に依存することも技術常識であることから、十分な吸着力を得るために狭い電極間隔に高電圧を印加したときに電極間の絶縁体がその高電圧に耐える絶縁耐性を必要とすることは、当業者であれば容易に理解し得るものである。しかるに、刊行物２には、電極間に最大５kVの電圧を印加可能とすることが記載されており、このことはすなわち、電極間の絶縁物の絶縁耐性が最低５kV以上なければならないことを意味することは、当業者にとって自明である。
　したがって、刊行物１記載の発明の静電チャック装置用電極シートを絶縁体の吸着に適用する場合に、十分な吸着力を得るために必要な電極間電圧に耐えるよう、絶縁性接着剤層の絶縁性接着剤を、５kV以上の絶縁耐性を有するものとすることは、当業者が容易に想到し得るものである。
　           
2.6.3　＜相違点３＞について
　刊行物２には、摘記事項ａに、「交互に配設される第一電極と第二電極の櫛の歯形状部分の電極間の間隔は、その絶縁性が十分に保てる限度内に於いては、狭いほど吸着力が増加する。」との記載があることから、十分な吸着力を得るためには電極間の間隔を狭くすることが必要であることは当業者が容易に理解し得る。しかるに、隣接する前記電極の間隔を１ｍｍとすることが刊行物２に記載されているため、刊行物１記載の発明の静電チャック装置用電極シートを絶縁体の吸着に適用する場合にも、電極間の間隔を２ｍｍ以下とすることは、当業者が容易に想到し得るものである。
　
2.6.4　＜相違点４＞について
　静電チャックにおいて、内部に電極が形成された絶縁性接着剤層を、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体を含む接着剤により構成することは、例えば、特開２００２−３２４８３４号公報（明細書段落【００２４】参照。）、特開２００１−２３０３１１号公報（明細書段落【０００３】参照。）、特開２０００−１１４３５８号公報（明細書段落【０００７】、【００１５】参照。）に示されるように、従来周知の技術である。
　静電チャック装置が絶縁体を吸着するためのものである場合にも、必要とされる電極間の間隔及び印加電圧に対して、従来周知の絶縁接着剤が十分な絶縁耐性を有するものであることが確認されれば、これを採用することは当業者が容易に想到し得るものである。
　
2.7　まとめ
　補正発明には、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項、並びに従来周知の技術に基づいて普通に予測される範囲を超える格別の作用効果を見出すこともできないから、補正発明は刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項、並びに従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものというべきであり、特許出願の際に独立して特許を受けることができないものである。
　以上のとおりであるので、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきである。
　
３．本願発明について 
3.1　本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし５に係る発明は平成１９年１１月１日付手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項によって特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は上記2.1ａに記載されたとおりのものである。
　
3.2　刊行物記載事項
　原査定の拒絶の理由には上記刊行物１及び２が引用されており、その記載事項は、上記2.4に示したとおりである。
　
3.3　対比・判断
　本願発明は、上記2.2で述べたとおり、補正発明の発明特定事項から、限定事項が省かれたものである。
　そうすると、上記2.6、2.7で検討したとおり、補正発明は、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項、並びに従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、補正発明の発明特定事項から上記限定事項が省かれた本願発明についても、同様の理由により、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項、並びに従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項、並びに従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願の請求項２ないし５に係る発明について判断するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。