(57)【要約】  コストの上昇を抑えながら、容易にノズル配列の位置精度を高く保つことが出来るインクジェットヘッドの製造方法、及び、インクジェットヘッドを提供する。単一部材により構成され、一面にインクチャンネルとなる溝が形成されその反対側の面に前記溝が形成されていない形状のチャンネル部材のこの一面に第一の接着剤層を介し、チャンネル部材と線膨張率の異なる単一部材により構成されるカバー部材を積層すると共に、反対側の面に第二の接着剤層を介し、チャンネル部材と線膨張率の異なる単一部材により構成され、チャンネル部材とカバー部材との線膨張率の違いにより発生する熱変形を抑制する第一熱変形抑制部材を積層する第一積層工程と、第一、第二の接着剤層を同時に加熱して硬化させ、カバー部材、チャンネル部材、及び、第一熱変形抑制部材を接合する第一接合工程とを含む。
2014077261.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクチャンネル内のインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドの製造方法であって、
単一部材により構成され、一面にインクチャンネルとなる溝が形成されその反対側の面に前記溝が形成されていない形状のチャンネル部材の前記一面に、第一の接着剤層を介し、当該チャンネル部材とは線膨張率の異なる単一部材により構成されるカバー部材を積層すると共に、前記反対側の面に、第二の接着剤層を介し、前記チャンネル部材とは線膨張率の異なる単一部材により構成され、前記チャンネル部材と前記カバー部材との線膨張率の違いにより発生する熱変形を抑制する第一熱変形抑制部材を積層する第一積層工程と、
前記第一の接着剤層と前記第二の接着剤層とを同時に加熱して硬化させ、前記カバー部材、前記チャンネル部材、及び、前記第一熱変形抑制部材を接合する第一接合工程と
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記カバー部材の線膨張率及び前記第一熱変形抑制部材の線膨張率は、何れも前記チャンネル部材の線膨張率よりも大きいことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記カバー部材の線膨張率及び前記第一熱変形抑制部材の線膨張率は、何れも前記チャンネル部材の線膨張率よりも小さいことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第一熱変形抑制部材の線膨張率は、前記カバー部材の線膨張率と同一であることを特徴とする請求項２又は３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第一熱変形抑制部材は、前記カバー部材と同一形状であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記カバー部材には、前記インクチャンネルに連通し、前記インクチャンネルにインクを供給する貫通孔が設けられ、
前記第一熱変形抑制部材には、前記インクチャンネルに連通しないダミーの貫通孔が設けられている
ことを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記第一積層工程の後に、前記カバー部材と前記チャンネル部材と前記第一熱変形抑制部材との積層体において前記インクチャンネルが開放されている一端面に前記ノズルが設けられたノズル形成部材を接合するノズル接合工程を含むことを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記ノズル接合工程は、加熱硬化型接着剤を含む接着剤を用いて前記ノズル形成部材を前記積層体に接着する工程を含むことを特徴とする請求項７記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記ノズルは、前記カバー部材に設けられていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記第一接合工程の後に、
前記カバー部材の前記チャンネル部材と接合される面とは反対側の面に、第三の接着剤層を介し、単一部材により構成され、外部から供給されたインクを前記貫通孔を介して前記インクチャンネルに供給するインク供給路となる凹部が形成されたインク供給部材を積層すると共に、前記第一熱変形抑制部材の前記チャンネル部材と接合される面とは反対側の面に、第四の接着剤層を介し、前記インク供給部材と線膨張率の等しい単一部材により構成され、前記インクチャンネルへのインク供給に寄与しないダミー凹部が形成された第二熱変形抑制部材を積層する第二積層工程と、
前記第三の接着剤層と前記第四の接着剤層とを同時に加熱して硬化させ、前記カバー部材と前記インク供給部材、及び、前記第一熱変形抑制部材と前記第二熱変形抑制部材をそれぞれ接合する第二接合工程と
を含むことを特徴とする請求項６〜８の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
インクチャンネル内のインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドであって、
単一部材により構成され、一面にインクチャンネルとなる溝が形成されその反対側の面に前記溝が形成されていない形状のチャンネル部材と、
当該チャンネル部材とは線膨張率の異なる単一部材により構成され、前記チャンネル部材の前記一面に接合されたカバー部材と、
前記チャンネル部材とは線膨張率の異なる単一部材により構成され、前記チャンネル部材の前記反対側の面に接合されて前記チャンネル部材と前記カバー部材との線膨張率の違いにより発生する熱変形を抑制する第一熱変形抑制部材と、
を備えることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１２】
前記カバー部材の線膨張率及び前記第一熱変形抑制部材の線膨張率は、何れも前記チャンネル部材の線膨張率よりも大きいことを特徴とする請求項１１記載のインクジェットヘッド。
【請求項１３】
前記カバー部材の線膨張率及び前記第一熱変形抑制部材の線膨張率は、何れも前記チャンネル部材の線膨張率よりも小さいことを特徴とする請求項１１記載のインクジェットヘッド。
【請求項１４】
前記第一熱変形抑制部材の線膨張率は、前記カバー部材の線膨張率と同一であることを特徴とする請求項１２又は１３記載のインクジェットヘッド。
【請求項１５】
前記第一熱変形抑制部材は、前記カバー部材と同一形状であることを特徴とする請求項１１〜１４の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１６】
前記カバー部材には、前記インクチャンネルに連通し、前記インクチャンネルにインクを供給する貫通孔が設けられ、
前記第一熱変形抑制部材には、前記インクチャンネルに連通しないダミーの貫通孔が設けられている
ことを特徴とする請求項１１〜１５の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１７】
前記チャンネル部材、前記カバー部材、及び、前記第一熱変形抑制部材が接合された積層体において前記インクチャンネルが開放されている一端面に、前記ノズルが設けられたノズル形成部材が接合されていることを特徴とする請求項１１〜１６の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１８】
前記ノズル形成部材は、加熱硬化型接着剤を含む接着剤を用いて前記積層体に接着されていることを特徴とする請求項１７記載のインクジェットヘッド。
【請求項１９】
前記ノズルは、前記カバー部材に設けられていることを特徴とする請求項１１〜１６の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項２０】
単一部材により構成され、外部から供給されたインクを前記貫通孔を介して前記インクチャンネルに供給するインク供給路となる凹部が形成されて、前記カバー部材の前記チャンネル部材と接合される面とは反対側の面に接合されたインク供給部材と、
当該インク供給部材と線膨張率の等しい単一部材により構成され、前記インクチャンネルへのインク供給に寄与しないダミー凹部が形成されて、前記第一熱変形抑制部材の前記チャンネル部材と接合される面とは反対側の面に接合された第二熱変形抑制部材と、
を備えることを特徴とする請求項１６〜１８の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットプリンターは、複数のノズルが配列されたインクジェットヘッドを有し、これらのノズルからインクを並列的に吐出させるタイミングを制御して画像を形成している。インクジェットヘッドには、各ノズルと対応するインク流路（チャンネル）が設けられ、このインク流路の少なくとも一部を変形させるといった所定の駆動動作により圧力室内のインクに圧力を加えてノズルから吐出させる。【０００３】
このインクジェットヘッドの製造方法として、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）といった圧電部材を用いることで、電圧を印加することにより変形可能とされた基板（チャンネル基板）に複数の溝を設け、これらの溝の上面及び下面にそれぞれ非圧電部材のカバー部材（蓋部材）及びベース部材（底部材）を積層、接合することで溝に蓋をして、インク流路を形成する方法がある。カバー部材やベース部材の接合には、加熱硬化型の接着剤がしばしば用いられている。このように、カバー部材やベース部材を非圧電部材とすることで、コストの低減を図ることが出来る。【０００４】
しかしながら、このような方法でインクジェットヘッドが製造される場合、チャンネル部材の材質と、カバー部材及びベース部材の材質とが互いに異なることで、その膨張率、特に線膨張率も異なることとなり、インクの吐出動作の際の温度上昇によりインクジェットヘッドが撓んでしまう。その結果、このインクジェットヘッドでは、ノズルが所望の位置からずれてしまうという問題があった。そこで、特許文献１には、リブが設けられたカバー部材を用い、リブの一部を切除することでカバー部材、チャンネル部材、及び、ベース部材の間の温度特性の違いを調整して反りを抑制する技術が開示されている。また、本願発明に関連する技術として、特許文献２には、インクジェットヘッドの流路部材（チャンネル基板）に対し、その一方の面に接合される複数のノズルが配列されたノズルユニットと、他方の面に接合されて流路部材の各流路のインクに圧力を加えるアクチュエーターユニットとを同時に加圧接着することで、確実に接着させる技術について記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−０６９４７５号公報
【特許文献２】特開２００７−２４５３９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、片面にインク流路となる溝が設けられ、反対側の面には溝が設けられていないチャンネル部材に対し、この溝が設けられた面にのみ異なる材質のカバー部材を接合したインクジェットヘッドチップでは、従来の手法では、反りを抑えることが出来ずにノズル配列の位置精度が低下しやすいという課題がある。【０００７】
この発明の目的は、コストの上昇を抑えながら、容易にノズル配列の位置精度を高く保つことが出来るインクジェットヘッドの製造方法、及び、インクジェットヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、
インクチャンネル内のインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドの製造方法であって、
単一部材により構成され、一面にインクチャンネルとなる溝が形成されその反対側の面に前記溝が形成されていない形状のチャンネル部材の前記一面に、第一の接着剤層を介し、当該チャンネル部材とは線膨張率の異なる単一部材により構成されるカバー部材を積層すると共に、前記反対側の面に、第二の接着剤層を介し、前記チャンネル部材とは線膨張率の異なる単一部材により構成され、前記チャンネル部材と前記カバー部材との線膨張率の違いにより発生する熱変形を抑制する第一熱変形抑制部材を積層する第一積層工程と、
前記第一の接着剤層と前記第二の接着剤層とを同時に加熱して硬化させ、前記カバー部材、前記チャンネル部材、及び、前記第一熱変形抑制部材を接合する第一接合工程と
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記カバー部材の線膨張率及び前記第一熱変形抑制部材の線膨張率は、何れも前記チャンネル部材の線膨張率よりも大きいことを特徴としている。【００１０】
請求項３記載の発明は、請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記カバー部材の線膨張率及び前記第一熱変形抑制部材の線膨張率は、何れも前記チャンネル部材の線膨張率よりも小さいことを特徴としている。【００１１】
請求項４記載の発明は、請求項２又は３記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記第一熱変形抑制部材の線膨張率は、前記カバー部材の線膨張率と同一であることを特徴としている。【００１２】
請求項５記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記第一熱変形抑制部材は、前記カバー部材と同一形状であることを特徴としている。【００１３】
請求項６記載の発明は、請求項１〜５の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記カバー部材には、前記インクチャンネルに連通し、前記インクチャンネルにインクを供給する貫通孔が設けられ、
前記第一熱変形抑制部材には、前記インクチャンネルに連通しないダミーの貫通孔が設けられている
ことを特徴としている。【００１４】
請求項７記載の発明は、請求項１〜６の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記第一積層工程の後に、前記カバー部材と前記チャンネル部材と前記第一熱変形抑制部材との積層体において前記インクチャンネルが開放されている一端面に前記ノズルが設けられたノズル形成部材を接合するノズル接合工程を含むことを特徴としている。【００１５】
請求項８記載の発明は、請求項７記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ノズル接合工程は、加熱硬化型接着剤を含む接着剤を用いて前記ノズル形成部材を前記積層体に接着する工程を含むことを特徴としている。【００１６】
請求項９記載の発明は、請求項１〜６の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ノズルは、前記カバー部材に設けられていることを特徴としている。【００１７】
請求項１０記載の発明は、請求項６〜８の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記第一接合工程の後に、
前記カバー部材の前記チャンネル部材と接合される面とは反対側の面に、第三の接着剤層を介し、単一部材により構成され、外部から供給されたインクを前記貫通孔を介して前記インクチャンネルに供給するインク供給路となる凹部が形成されたインク供給部材を積層すると共に、前記第一熱変形抑制部材の前記チャンネル部材と接合される面とは反対側の面に、第四の接着剤層を介し、前記インク供給部材と線膨張率の等しい単一部材により構成され、前記インクチャンネルへのインク供給に寄与しないダミー凹部が形成された第二熱変形抑制部材を積層する第二積層工程と、
前記第三の接着剤層と前記第四の接着剤層とを同時に加熱して硬化させ、前記カバー部材と前記インク供給部材、及び、前記第一熱変形抑制部材と前記第二熱変形抑制部材をそれぞれ接合する第二接合工程と
を含むことを特徴としている。【００１８】
請求項１１記載の発明は、
インクチャンネル内のインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドであって、
単一部材により構成され、一面にインクチャンネルとなる溝が形成されその反対側の面に前記溝が形成されていない形状のチャンネル部材と、
当該チャンネル部材とは線膨張率の異なる単一部材により構成され、前記チャンネル部材の前記一面に接合されたカバー部材と、
前記チャンネル部材とは線膨張率の異なる単一部材により構成され、前記チャンネル部材の前記反対側の面に接合されて前記チャンネル部材と前記カバー部材との線膨張率の違いにより発生する熱変形を抑制する第一熱変形抑制部材と、
を備えることを特徴とするインクジェットヘッドである。【００１９】
請求項１２記載の発明は、請求項１１記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記カバー部材の線膨張率及び前記第一熱変形抑制部材の線膨張率は、何れも前記チャンネル部材の線膨張率よりも大きいことを特徴としている。【００２０】
請求項１３記載の発明は、請求項１１記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記カバー部材の線膨張率及び前記第一熱変形抑制部材の線膨張率は、何れも前記チャンネル部材の線膨張率よりも小さいことを特徴としている。【００２１】
請求項１４記載の発明は、請求項１２又は１３記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記第一熱変形抑制部材の線膨張率は、前記カバー部材の線膨張率と同一であることを特徴としている。【００２２】
請求項１５記載の発明は、請求項１１〜１４の何れか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記第一熱変形抑制部材は、前記カバー部材と同一形状であることを特徴としている。【００２３】
請求項１６記載の発明は、請求項１１〜１５の何れか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記カバー部材には、前記インクチャンネルに連通し、前記インクチャンネルにインクを供給する貫通孔が設けられ、
前記第一熱変形抑制部材には、前記インクチャンネルに連通しないダミーの貫通孔が設けられている
ことを特徴としている。【００２４】
請求項１７記載の発明は、請求項１１〜１６の何れか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記チャンネル部材、前記カバー部材、及び、前記第一熱変形抑制部材が接合された積層体において前記インクチャンネルが開放されている一端面に、前記ノズルが設けられたノズル形成部材が接合されていることを特徴としている。【００２５】
請求項１８記載の発明は、請求項１７記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズル形成部材は、加熱硬化型接着剤を含む接着剤を用いて前記積層体に接着されていることを特徴としている。【００２６】
請求項１９記載の発明は、請求項１１〜１６の何れか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズルは、前記カバー部材に設けられていることを特徴としている。【００２７】
請求項２０記載の発明は、請求項１６〜１８の何れか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
単一部材により構成され、外部から供給されたインクを前記貫通孔を介して前記インクチャンネルに供給するインク供給路となる凹部が形成されて、前記カバー部材の前記チャンネル部材と接合される面とは反対側の面に接合されたインク供給部材と、
当該インク供給部材と線膨張率の等しい単一部材により構成され、前記インクチャンネルへのインク供給に寄与しないダミー凹部が形成されて、前記第一熱変形抑制部材の前記チャンネル部材と接合される面とは反対側の面に接合された第二熱変形抑制部材と、
を備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２８】
本発明に従うと、コストの上昇を抑え、且つ、容易にノズル配列の位置精度を高く保ちながらインクジェットヘッドを製造することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１Ａ】本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドの構成を示す分解図である。
【図１Ｂ】本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドの構成を示す図である。
【図２Ａ】第１実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を説明する図である。
【図２Ｂ】第１実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を説明する図である。
【図２Ｃ】第１実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を説明する図である。
【図２Ｄ】第１実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を説明する図である。
【図３Ａ】変形例１のインクジェットヘッドの構造を示す斜視図である。
【図３Ｂ】変形例１のインクジェットヘッドの構造を示す断面図である。
【図４Ａ】変形例１のインクジェットヘッドの製造方法を説明する図である。
【図４Ｂ】変形例１のインクジェットヘッドの製造方法を説明する図である。
【図４Ｃ】変形例１のインクジェットヘッドの製造方法を説明する図である。
【図４Ｄ】変形例１のインクジェットヘッドの製造方法を説明する図である。
【図５Ａ】変形例２のインクジェットヘッドの構成及び製造方法を説明する図である。
【図５Ｂ】変形例２のインクジェットヘッドの構成及び製造方法を説明する図である。
【図５Ｃ】変形例２のインクジェットヘッドの構成及び製造方法を説明する図である。
【図５Ｄ】変形例２のインクジェットヘッドの構成及び製造方法を説明する図である。
【図６Ａ】変形例３のインクジェットヘッドの構成及び製造方法を説明する図である。
【図６Ｂ】変形例３のインクジェットヘッドの構造を説明する断面図である。
【図６Ｃ】変形例３のインクジェットヘッドの構成及び製造方法を説明する図である。
【図６Ｄ】変形例３のインクジェットヘッドの構成及び製造方法を説明する図である。
【図７Ａ】第２実施形態のインクジェットヘッドの構成を示す図である。
【図７Ｂ】第２実施形態のインクジェットヘッドの構成を示す図である。
【図７Ｃ】第２実施形態のインクジェットヘッドの構成を示す図である。
【図８】ノズル配列の評価方法を説明する図である。
【図９】ノズル配列の評価結果を示す図表である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
［第１実施形態］
図１Ａ、図１Ｂは、第１実施形態のインクジェットヘッド１００の構成を示す図である。【００３１】
図１Ａは、インクジェットヘッド１００の構成を分解して示す図である。また、図１Ｂは、インクジェットヘッド１００の上記構成を接合した状態を示す図である。【００３２】
このインクジェットヘッド１００は、それぞれ板状のチャンネル部材１０と、カバー部材２０と、補助部材３０（第一熱変形抑制部材）と、ノズルプレート６０（ノズル形成部材）などを備える。【００３３】
本実施形態のインクジェットヘッド１００において、チャンネル部材１０は、厚さに比して長さ及び幅が大きい板状部材であり、チャンネル部材１０の一方の面、即ち、板面の表裏のうち片面には、インクチャンネルとなる複数の溝１１が平行に設けられている。ここでは、説明のため、例として６本の溝が設けられたチャンネル部材１０を図示しているが、チャンネル部材１０は、必要な溝の本数（例えば、２５６本）及びインクの吐出量、吐出速度、解像度などに合わせて、その長さ（板面の短辺方向）と幅（板面の長辺方向）、溝１１それぞれの深さ（厚さ方向）と幅、隣接する溝の間隔といった値が定められる。このインクジェットヘッド１００では、複数の溝１１は、それぞれチャンネル部材１０の板面において長さ方向に延びるように設けられる。この複数の溝１１が設けられた面上にカバー部材２０が接合されることで、それぞれの溝１１が孔状のインク流路１１ａ（圧力室）となる。チャンネル部材１０は、圧電部材（例えば、チタン酸ジルコン酸鉛）で形成されており、本実施形態のインクジェットヘッド１００では、インク流路１１ａの両側壁に沿って電極を形成し、隣接するインク流路１１ａの間の壁面を挟んだ電極間に電圧を印加することで各インク流路１１ａの形状を変形させることが可能となっている。チャンネル部材１０においてカバー部材２０が接合された面とは反対側の面には、補助部材３０が接合される。カバー部材２０、チャンネル部材１０、及び、補助部材３０が積層された積層体の一の側面には、ノズルプレート６０が接合される。【００３４】
カバー部材２０は、本実施形態ではセラミック基板であり、特に限られないが、例えば、ジルコニア（ＺｒＯ２）、シリカ／アルミナ化合物（ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３）、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）などの中から単一部材が選択されて用いられる。【００３５】
ノズルプレート６０は、例えば、シリコン製のものであり、インク流路１１ａの開放端が設けられた積層体の側面のうちの一方に接合される。ノズルプレート６０には、幅方向に配列された複数のインク流路１１ａの開口位置に合わせてそれぞれノズル開口部６１が設けられている。即ち、複数のノズル開口部６１は、インクジェットヘッド１００の幅方向（長手方向）に配列される。本実施形態のインクジェットヘッド１００では、インクは、ノズルプレート６０が接合されていない他の開放端から各インク流路１１ａに供給され、当該インク流路１１ａ（圧力室）の変形に伴い圧縮加圧されてこのノズル開口部６１から外部に吐出される。【００３６】
補助部材３０としては、本実施形態のインクジェットヘッド１００では、次の基準により一の材料が選択されて用いられる。即ち、カバー部材２０の線膨張率がチャンネル部材１０の線膨張率よりも大きい場合には、補助部材３０には、チャンネル部材１０よりも線膨張率の大きい材質が選択され、カバー部材２０の線膨張率がチャンネル部材１０の線膨張率よりも小さい場合には、補助部材３０には、チャンネル部材１０よりも線膨張率の小さい材質が選択される。【００３７】
この条件において、更に、補助部材３０の線膨張率をカバー部材２０の線膨張率と略同一となるように材料を選択することが出来る。また、更に、補助部材３０の材質をカバー部材２０の材質と同一にすることができる。【００３８】
また、本実施形態のインクジェットヘッド１００では、補助部材３０は、カバー部材２０と同一形状としている。【００３９】
この補助部材３０は、インクジェットヘッド１００において、電圧供給などの配線、圧力室の変形、或いは、インク流路の形成やインクの供給には一切寄与しないが、チャンネル部材１０とカバー部材２０の線膨張率の違いにより生じる反りを抑える熱変形抑制部材として機能するものである。【００４０】
次に、第１実施形態のインクジェットヘッド１００の製造方法について説明する。
図２Ａ〜図２Ｄは第１実施形態のインクジェットヘッド１００の製造方法について説明する図である。【００４１】
本実施形態のインクジェットヘッド１００の製造では、先ず、溝１１が形成されたチャンネル部材１０、カバー部材２０、及び、補助部材３０を用意し、常温で、カバー部材２０とチャンネル部材１０との接合面に接着剤１５（第一の接着剤層）を塗布し、また、チャンネル部材１０と補助部材３０との接合面に接着剤２５（第２の接着剤層）を塗布する（工程１、図２Ａ）。本実施形態のインクジェットヘッド１００の製造で用いられる接着剤１５、２５は、何れも加熱硬化型の接着剤である。次いで、これらを補助部材３０、チャンネル部材１０、カバー部材２０の順に積層した積層体を形成する（工程２、図２Ｂ）。それから、この積層体を一体的に加熱して接着剤１５、２５を同時に硬化させ、チャンネル部材１０に対し、補助部材３０及びカバー部材２０を接着層１５ａ、２５ａにより接合する（工程３、図２Ｃ）。続いて、各部材が接合された積層体の側面部とノズルプレート６０の接合面に常温で接着剤３５を塗布した後、インク流路１１ａの開口部とノズル開口部６１の位置を合わせながら接触させる。本実施形態のインクジェットヘッド１００の製造で用いられるこの接着剤３５も、加熱硬化型の接着剤である。最後に、この積層体とノズルプレート６０とを加熱して接着剤３５を硬化させることで、ノズルプレート６０が接着層３５ａを介して積層体に接合されて（工程４、図２Ｄ）、インクジェットヘッド１００が形成される。
以上の各製造工程のうち、（工程１）、（工程２）により第一積層工程が構成され、（工程３）により第一接合工程が構成される。また、（工程４）によりノズル接合工程が構成される。【００４２】
以上のように、第１実施形態のインクジェットヘッド１００では、一方の面に溝１１が設けられ、この面とは反対側の面には溝が設けられていないチャンネル部材１０に対して、溝１１を塞いでインク流路１１ａ（圧力室）を形成するカバー部材２０が接合される面とは反対側の面に、配線、圧力室の変形、インク流路の形成やインクの供給に寄与しない補助部材３０が接合されて、熱変形抑制部材として機能する。即ち、カバー部材２０とチャンネル部材１０のみの接合で生じる大きな反りを、反対側に設けられた補助部材３０により抑制するので、インクジェットヘッド１００を使用する際の温度変化があっても、インクジェットヘッド１００全体として反りが小さく精度の高いノズル配列を得ることが出来る。【００４３】
また、チャンネル部材１０、カバー部材２０、及び、補助部材３０が積層された積層体を形成した後、この積層体の側面に加熱硬化型接着剤を用いてノズルプレート６０を加熱接着する際に、この積層体全体での反りが抑えられ、最終的に製造されたインクジェットヘッド１００において、ノズルプレート６０が歪んでノズル配列の精度が低下することを防ぐことが出来る。【００４４】
また、カバー部材２０、チャンネル部材１０、及び、補助部材３０を常温で接着剤１５、２５を挟んで積層した後、加熱して同時に接着させるので、積層体の接合時にも大きな反りを生じさせない。【００４５】
また、この補助部材３０としては、カバー部材２０とチャンネル部材１０の線膨張率の大小関係と、補助部材３０とチャンネル部材１０の線膨張率の大小関係とが同一となるように選択された単一部材が用いられるので、加熱硬化型接着剤を加熱硬化させる際にチャンネル部材１０との線膨張率の大小関係により生じる反りの向きがチャンネル部材１０に対して対称な向きになり、全体として反りを相殺することが出来る。【００４６】
また、カバー部材２０にチャンネル部材１０と同じ高価な圧電部材を用いる必要が無いので、コストの上昇を抑えつつノズル配列位置の精度を維持、向上させることができる。【００４７】
また、インクジェットヘッド１００全体として生じる反りを抑えるので、カバー部材２０及び補助部材３０の各々には、廉価な部材を適宜選択して用いることが出来る。【００４８】
また、安定性及び確実性の高い加熱硬化型接着剤を用いても大きな反りを生じさせないので、高精度且つ耐久性の高いインクジェットヘッド１００を得ることが出来る。【００４９】
また、このとき、チャンネル部材１０の線膨張率がカバー部材２０及び補助部材３０の線膨張率より大きくても小さくても良いが、接着剤の強度やカバー部材２０、補助部材３０のサイズ、ヤング率などに基づいて耐久性を高くすることが期待できるように定めることで、長期間の高精度な利用に対応することができる。【００５０】
また、特に、カバー部材２０及び補助部材３０に同一の部材を用いることで、反りの特性を略同一とすることが出来るので、接合された積層体全体としての反りを更に小さくすることができる。【００５１】
また、更に、カバー部材２０及び補助部材３０の形状を同一とすることで、反りの大きさ自体を略同一にすることが出来るので、チャンネル部材１０の両側にバランスよく反りを起こす力がかかることになり、積層体全体としての反りを抑えることが出来る。
［変形例１］
図３Ａ、図３Ｂには、変形例１のインクジェットヘッド１００ａの構造を示す。【００５２】
この変形例１のインクジェットヘッド１００ａは、カバー部材２０ａの形状及びインク供給口２１ａの有無を除き、第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同一であり、同一部分については、詳しい説明を省略する。【００５３】
図３Ａには、インクジェットヘッド１００ａの各構成を接合した図を示す。インクジェットヘッド１００ａを構成するカバー部材２０ａは、補助部材３０及びチャンネル部材１０とは長さ（チャンネル部材１０におけるインク流路方向の長さ）が異なる形状を有している。また、このカバー部材２０ａには、インク供給口２１ａ（貫通孔）が設けられている。【００５４】
図３Ｂには、図３Ａにおけるインク流路１１ａの一本を含む断面Ａ−Ａで切断した断面図を示す。この断面図には、図３Ａに示した各構成に加え、インク供給部材４０（マニホールド）を併せて表示することでインクの流れを分かりやすくしている。インク供給部材４０は、例えば、樹脂などの単一部材で構成されており、カバー部材２０ａのチャンネル部材１０と接合されている面とは反対側の面に接合されている。このインクジェットヘッド１００ａでは、インクは、インク供給部材４０に設けられてインク供給路となるインク室用凹部４１から、インク供給口２１ａを介して各インク流路１１ａに供給され、ノズル開口部６１から外部に吐出される。【００５５】
図４Ａ〜図４Ｄには、変形例１のインクジェットヘッド１００ａの製造方法を示す。
先ず、常温で、これらのカバー部材２０ａ、チャンネル部材１０、及び、補助部材３０の接合面にそれぞれ未硬化の接着剤１５、２５を塗布し（図４Ａ）、順番に積層して積層体を形成する（図４Ｂ）。次いで、全体をまとめて加熱して、接着剤１５、２５を硬化させた接着層１５ａ、２５ａを介してチャンネル部材１０にカバー部材２０ａ及び補助部材３０を同時に接着する。そして、この積層体の側面のうち、インク流路１１ａが開放されている一端面に接着剤３５を塗布した後（図４Ｃ）、インク流路１１ａの位置とノズル開口部６１の位置とを合わせながらノズルプレート６０を貼り合わせ、接着剤３５を加熱硬化させることで、接着層３５ａを介して積層体とノズルプレート６０とを接合する（図４Ｄ）。【００５６】
以上のように、変形例１のインクジェットヘッド１００ａでは、カバー部材２０ａ及び補助部材３０のサイズが異なるものを用いている。インクジェットヘッドでは、インク供給部材４０の配置上の問題など、サイズ、機能、或いは、デザインの各面から、必ずしも対称な形状とすることが出来ない場合があるが、このような場合でも、補助部材３０を用いることで全体としての反りを低減させることが出来る。また、例えば、一の非対称性を相殺するように他の形状や材質を非対称に設定することで、更に効率よく全体としての反りを抑え、高精度なノズル配列がなされたインクジェットヘッドを得ることが出来る。【００５７】
［変形例２］
図５Ａ〜図５Ｄには、変形例２のインクジェットヘッド１００ｂの構成と製造方法を示す。【００５８】
この変形例２のインクジェットヘッド１００ｂは、カバー部材２０ｂ及び補助部材３０ｂのサイズが何れもチャンネル部材１０のサイズと異なり、また、何れにも複数の貫通穴（貫通孔）が設けられている点を除き、変形例１のインクジェットヘッド１００ａと同一である。同一の構成については同一の符号を付して詳しい説明を省略する。【００５９】
図５Ａに示すように、カバー部材２０ｂには、チャンネル部材１０の溝１１にそれぞれ対応して個別にインクを供給するためのインク供給口２１ｂが設けられている。一方、補助部材３０ｂにも貫通穴３１ｂが設けられている。この貫通穴３１ｂの数、配置や形状は、特に限られないが、チャンネル部材１０に対して対称に設けるといった形でインクジェットヘッド１００ｂの温度が変化する際のカバー部材２０ｂに設けられたインク供給口２１ｂによる反りの影響を効果的に相殺できることがより望ましい。本実施形態のインクジェットヘッド１００ｂでは、貫通穴３１ｂは、カバー部材２０ｂと同一形状の補助部材３０ｂにおいて、カバー部材２０ｂにおけるインク供給口２１ｂの位置と同一の位置にそれぞれ設けられている。【００６０】
この変形例２のインクジェットヘッド１００ｂの製造においては、先ず、常温で、カバー部材２０ｂ及び補助部材３０ｂとチャンネル部材１０との接合面に接着剤１５、２５を塗布し（図５Ａ）。次いで、これらを順に積層した積層体を形成する（図５Ｂ）。その後、接着剤１５、２５を同時に加熱硬化させて、接着層１５ａ、２５ａをそれぞれ挟んでカバー部材２０ｂ及び補助部材３０ｂをチャンネル部材１０に接合する。そして、この積層体の側面のうち、インク流路１１ａが開放されている一端に常温で接着剤３５を塗布してノズルプレート６０を貼付し（図５Ｃ）、接着剤３５を加熱硬化させることで接着層３５ａを介して積層体とノズルプレート６０を接合する（図５Ｄ）。以上の手順により、インクジェットヘッド１００ｂが形成される。【００６１】
このインクジェットヘッド１００ｂでは、変形例１のインクジェットヘッド１００ａと同様に、カバー部材２０ｂの外側に設けられた図示略のインク供給部材４０からインク供給口２１ｂのみを介して各インク流路１１ａにインクが供給されて、ノズルプレート６０から吐出される。補助部材３０ｂに設けられた貫通穴３１ｂは、チャンネル部材１０の底面によってインク流路１１ａに連通しないように封鎖される形状となっており、インクの供給に寄与しないダミーの貫通穴である。【００６２】
以上のように、変形例２のインクジェットヘッド１００ｂは、インクの供給には寄与しないダミーの貫通穴３１ｂが補助部材３０ｂに形成され、カバー部材２０ｂ及び補助部材３０ｂにおける加熱時の伸縮特性を略同一のものとしているので、インクジェットヘッド１００ｂが加熱された際の積層体の反りを更に抑えることが出来る。従って、ノズルプレート６０の接着時や、インクジェットヘッド１００ｂの動作時にノズル列を高精度で配置することが出来る。【００６３】
［変形例３］
図６Ａ〜図６Ｄには、変形例３のインクジェットヘッド１００ｃの構成及び製造方法を示す。【００６４】
この変形例３のインクジェットヘッド１００ｃは、変形例１のインクジェットヘッド１００ａのチャンネル部材１０に設けられた溝１１の形状が変更されていると共に、補助部材３０のサイズをカバー部材２０ａと一致させ、また、ダミー部材５０（第二熱変形抑制部材）が設けられている。その他の点については、変形例１のインクジェットヘッド１００ａと変形例３のインクジェットヘッド１００ｃとは同一であり、同一の符号を付して詳しい説明を省略する。【００６５】
図６Ａの分解図に示すように、溝１１ｃは、板状のチャンネル部材１０ｃの一側面でのみ開放されており、溝１１ｃの上面がカバー部材２０ａにより塞がれることで形成されるインク経路１１ｄ（図６Ｂの断面図参照）と、インク供給口２１ａとが連通するように形成されている。【００６６】
また、図６Ｂの断面図に示すように、補助部材３０ｃのチャンネル部材１０ｃとの接合面とは反対側の面には、更に、ダミー部材５０が接合される。このダミー部材５０には、凹部５１（ダミー凹部）が設けられており、この凹部５１がチャンネル部材１０ｃに面して配置される。しかしながら、ダミー部材５０は、インク供給部材４０の温度変化に伴う変形の特性を打ち消すためのものであり、この凹部５１は、各部へのインクの供給には寄与しない。ダミー部材５０は、特には限られないが、この変形例３では、インク供給部材４０とは同一のサイズ及び材質であり、チャンネル部材１０ｃに対して対称の形状である。即ち、凹部５１の形状も、特には限られないが、この変形例３では、インク室用凹部４１と同一形状及びサイズで形成されている。【００６７】
この変形例３のインクジェットヘッド１００ｃは、次のように製造される。
即ち、図６Ｃに示すように、変形例１と同様の手順で接合済みのカバー部材２０ａ、チャンネル部材１０ｃ、補助部材３０ｃ、及び、ノズルプレート６０に対し、インク供給部材４０との接合面に接着剤４５（第三の接着剤層）を塗布し、また、ダミー部材５０との接合面に接着剤５５（第四の接着剤層）を塗布する（工程５）。ここで、本変形例３のインクジェットヘッド１００ｃにおいて、接着剤４５、５５には、加熱硬化型接着剤が用いられる。それから、インク室用凹部４１及び凹部５１が接合面側に向くようにこれらの各部材を積層する。その後、全体を一体的に加熱し、接着剤４５、５５を同時に加熱硬化させた接着層４５ａ、５５ａを介してインク供給部材４０及びダミー部材５０が接合されることで、図６Ｄに示すインクジェットヘッド１００ｃが形成される（工程６）。
上述の工程５が第二積層工程を構成し、工程６が第二接合工程を構成する。【００６８】
このように、変形例３のインクジェットヘッド１００ｃは、カバー部材２０ａの反りを相殺する補助部材３０ｃと共に、インク供給部材４０の反りを相殺するダミー部材５０を備えているので、製造の際、及び、使用の際、更に、ノズル配列の位置を高精度に維持することが可能であり、且つ、インクジェットヘッド１００ｃの使用中に生じる反りを小さく抑えることが出来る。【００６９】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態のインクジェットヘッド１００ｄについて説明する。【００７０】
図７Ａ、図７Ｂは、第２実施形態のインクジェットヘッド１００ｄの構成及び製造方法を説明する図である。
第２実施形態のインクジェットヘッド１００ｄは、図７Ａの分解図に示すように、チャンネル部材１０の溝１１の位置に対応してカバー部材２０ｄにインク吐出用のノズル開口部２１ｄ（ノズル）が設けられており、ノズルプレートとして機能する。即ち、このインクジェットヘッド１００ｄでは、インクは、インク流路１１ａがそれぞれ延びている方向に対して垂直方向に吐出され、積層体の側面部にノズルプレート６０が設けられない。その他の構成は、第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同一であり、同一の符号を付して詳しい説明を省略する。【００７１】
次に、第２実施形態のインクジェットヘッド１００ｄの製造方法について説明する。
インクジェットヘッド１００ｄの製造においては、図７Ｂに示すように、先ず、カバー部材２０ｄ、チャンネル部材１０、及び、補助部材３０を、常温でそれぞれ接着剤１５、２５を挟んで積層し、積層体を形成する。そして、加熱により接着剤１５、２５を同時に硬化させた接着層１５ａ、２５ａを介し、図７Ｃに示すように、カバー部材２０ｄ及び補助部材３０をチャンネル部材１０に接合させる。なお、形成、接合された積層体の側面で開放されているインク流路１１ａの一端は、図示略のインク供給部材に接合されてインクの供給口となり、他方は封鎖される。【００７２】
以上のように、第２実施形態のインクジェットヘッド１００ｄは、カバー部材２０ｄにノズル開口部２１ｄが設けられており、このカバー部材２０ｄが接合されるチャンネル部材１０の当該接合面と反対側の面に補助部材３０が接合され、カバー部材２０ｄの反りの向きと補助部材３０の反りの向きとがチャンネル部材１０に対して対称になるように線膨張率の大小関係が定められる範囲でこれらカバー部材２０ｄと補助部材３０の材質が選択されているので、インクジェットヘッド１００ｄの動作時に温度が上昇してもカバー部材２０ｄに大きな反りが生じるのを抑えることが出来、高精度なノズル配列を維持することが出来る。【００７３】
また、これらのカバー部材２０ｄと補助部材３０とが同時にチャンネル部材１０に対して加熱硬化型の接着剤１５、２５により接着されるので、インクジェットヘッド１００ｄの製造時にも全体として反りの少ない高精度なノズル配列を得ることができる。【００７４】
なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。
例えば、上記実施の形態では、カバー部材２０と補助部材３０の形状や材質を等しくして対称性により反りを抑える例を挙げたが、更に、チャンネル部材１０自体がその板面の片方の面にのみ溝１１が設けられた非対称な形状となっている点を考慮して、この影響を補完するようにカバー部材２０と補助部材３０の形状や材質を微調整しても良い。【００７５】
また、上記実施の形態では、カバー部材２０の線膨張率とチャンネル部材１０の線膨張率との大小関係を、補助部材３０の線膨張率とチャンネル部材１０の線膨張率との大小関係と等しくすることで反りを抑える場合について説明したが、補助部材３０として機能させることが可能な部材の選択は、この基準に限られない。例えば、補助部材３０としてチャンネル部材１０の線膨張率との差が小さく、且つ、ヤング率が大きく曲がり難い部材を用いることで、当該部材とチャンネル部材１０との線膨張率の差に起因する反りを小さく抑え、且つ、カバー部材２０とチャンネル部材１０との線膨張率の差に起因した反る力に対抗する力を大きくして、全体として反りを増大させないといった、線膨張率以外のパラメーターに基づく材質の選択が可能である。【００７６】
また、上記実施の形態では、接着剤１５、２５を加熱硬化させる際に同一温度で硬化させることを前提として説明したが、各接着剤の加熱温度を異なるものとしても良い。例えば、カバー部材２０の線膨張率がチャンネル部材１０の線膨張率より大きく、且つ、補助部材３０の線膨張率がチャンネル部材１０の線膨張率よりも小さい場合、接着剤１５、２５を加熱硬化させる際に、チャンネル部材１０の温度が補助部材３０の温度より低く、且つ、カバー部材２０の温度がチャンネル部材１０の温度より低くなるように制御して大きな反りを生じさせないようにしても良い。或いは、反対に、カバー部材２０の線膨張率がチャンネル部材１０の線膨張率よりも小さく、且つ、補助部材３０の線膨張率がチャンネル部材１０の線膨張率よりも大きい場合、接着剤１５、２５を加熱硬化させる際に、チャンネル部材１０の温度がカバー部材２０の温度より低く、且つ、補助部材３０の温度がチャンネル部材１０の温度より低くなるように制御することでも、大きな反りを生じさせ得ないようにすることが出来る。このような方法により、インクジェットヘッド１００の製造時における反りの発生を全体として抑えることが出来、カバー部材２０及び補助部材３０の材料選択の幅を更に広げることが出来る。また、このような異なる熱硬化温度に合わせて異なる接着剤１５、２５を選択しても良い。同様に、接着剤３５、４５についても、加熱温度を異ならせたり、異なる接着剤を選択したりしてもよい。【００７７】
また、上記実施の形態では、各部材が加熱硬化型接着剤を用いて接合されることとしたが、他の接着剤を用いた場合であっても良い。常温で接着可能な接着剤を用いた場合でも、インクジェットヘッド１００の使用時における発熱（温度上昇）に応じた反りを抑えて高精度なノズル列の配置を保つことが出来る。また、加熱硬化による接合を行う場合であっても、接着剤は、加熱硬化型接着剤だけではなく、他の種類の接着剤、例えば、ＵＶ硬化型接着剤と混合されたものであっても良い。【００７８】
また、上記実施の形態では、板状部材であるチャンネル部材１０の長手方向にノズル列が配列されるように溝１１やノズル開口部６１を設けたが、このような配置に限られない。また、溝１１が設けられた面の反対側の面に溝や孔部といったインク供給に寄与する構成が設けられない限り、これらの構成の配置は適宜設定可能である。【００７９】
また、上記実施の形態では、複数のノズルを一枚のノズルプレート６０に配列して設けたが、チャンネル部材１０における各インク流路１１ａの末端に各々ノズルを形成する場合であっても、同様にノズル配列位置の精度を維持、向上させることが出来る。【００８０】
また、上記実施の形態では、圧力室内の側壁に沿って電極を配置したが、電極の配置は、これに限られない。例えば、圧力室間の側壁とカバー部材との間に設けられる形でも良い。
その他、上記実施の形態で示した具体的な構成、形状、配置、数値、材質などの細部は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、適宜変更可能である。
【実施例１】
【００８１】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明は、これらに限定されるものではない。【００８２】
［インクジェットヘッドの作製］
（実施例１）
インクジェットヘッドのチャンネル部材としては、厚さ０．９ｍｍ、幅４２ｍｍ、長さ１７ｍｍの板状のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を用いた。チャンネル部材には、深さ３１０μｍ、幅８０μｍの溝が、溝の中心線同士の間隔（ピッチ）を１４１μｍとして平行に２５６本形成されている。ＰＺＴの線膨張率（［μｍ・ｍ−１・Ｋ−１］、以下、［ｐｐｍＫ−１］と記す）は、２０℃を基準として６．７［ｐｐｍＫ−１］である。【００８３】
また、カバー部材として、厚さ０．８ｍｍ、幅４２ｍｍ、長さ１２ｍｍの窒化ケイ素（線膨張率は２０℃を基準として２．６［ｐｐｍＫ−１］）、補助部材（熱変形抑制部材）として、厚さ０．８ｍｍ、幅４２ｍｍ、長さ１２ｍｍの窒化アルミニウムと窒化ホウ素の化合物（ＡｌＮ／ＢＮ、線膨張率は２０℃を基準として４．４［ｐｐｍＫ−１］）をそれぞれ用いた。【００８４】
補助部材、チャンネル部材、カバー部材の順番に常温（２０℃）でそれぞれエポキシ樹脂層を挟んで積層した後、一体的に加熱して両エポキシ樹脂層を同温で硬化させ、接着した。それから、この積層体の側面に、エポキシ樹脂を挟んで厚さ０．２ｍｍ、幅４２ｍｍ、長さ２．５ｍｍのシリコン製ノズルプレートを接触させ、再度加熱してエポキシ樹脂を硬化させて接着することで、実施例１のインクジェットヘッドを作製した。【００８５】
（実施例２）
実施例１のインクジェットヘッドの作製において、カバー部材としてジルコニア（線膨張率は１０．５［ｐｐｍＫ−１］）を用い、補助部材としてシリカ／アルミナ化合物（ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３、線膨張率は８．５［ｐｐｍＫ−１］）を用いた他は同様の実施例２のインクジェットヘッドを作製した。【００８６】
（実施例３）
実施例１のインクジェットヘッドの作製において、カバー部材及び補助部材として、何れもＡｌＮ／ＢＮを用いた他は同様の実施例３のインクジェットヘッドを作製した。【００８７】
（比較例１）
実施例１のインクジェットヘッドの作製において、カバー部材に窒化ケイ素を用いると共に、熱変形抑制部材として用いる補助部材を設けずに比較例１のインクジェットヘッドを作製した。【００８８】
（比較例２）
比較例１のインクジェットヘッドの作製において、カバー部材にジルコニアを用いた他は同様である比較例２のインクジェットヘッドを作製した。【００８９】
（比較例３）
実施例１のインクジェットヘッドの作製において、カバー部材にジルコニアを用い、補助部材（材質はＡｌＮ／ＢＮ）を同位置に接着させて比較例３のインクジェットヘッドを作製した。【００９０】
（比較例４）
比較例３のインクジェットヘッドの作製において、カバー部材に窒化ケイ素を用い、補助部材としてジルコニアを用いた他は同様の比較例４のインクジェットヘッドを作製した。【００９１】
［インクジェットヘッドの評価］
上記のように作製した実施例１〜３、比較例１〜４のインクジェットヘッドについて、下記の方法に従って評価した。【００９２】
［ノズル列直進性］
ノズルプレートに設けられた２５６個のノズル開口部に係るノズル列の厚さ方向の位置の最大ずれ幅Δｈ（図８）を計測した。評価結果を図９に示す。【００９３】
評価結果から示されているように、補助部材が設けられていない場合には（比較例１、２）、ノズル列直進性の評価値は、それぞれ１６μｍ、２０μｍとチャンネル部材とカバー部材の線膨張率の大小関係に関わらない値を示している。そして、これに対し、カバー部材と補助部材の線膨張率が、チャンネル部材の線膨張率に対し、何れも大きい値か、又は、何れも小さい値となるように補助部材（熱変形抑制部材）を選択した場合には（実施例１、２）、比較例１、２と比較して１／５程度の値にまで改善されることが分かる。【００９４】
また、カバー部材と熱変形抑制部材に同一の部材を用いた場合には（実施例３）、実施例１、２と同程度、若しくは、更に僅かに改善された値が得られている。【００９５】
一方、チャンネル部材の線膨張率に対するカバー部材の線膨張率の大小関係と補助部材の線膨張率の大小関係とが反対となっている場合には（比較例３、４）、補助部材を用いない場合（比較例１、２）と比較して全く改善されていないことが分かる。
従って、チャンネル部材の一の面にしか溝が設けられておらず、片面にしかカバー部材が必要ではない場合でも、チャンネル部材の線膨張率との大小関係がカバー部材のものと同一の熱変形抑制部材を選択し、この熱変形抑制部材をカバー部材と反対側の面に、カバー部材と同時に接着することで、ノズル列直進性が改善されるといえる。
【産業上の利用の可能性】
【００９６】
本発明は、インクを吐出させるインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドに利用することが出来る。
【符号の説明】
【００９７】
１０   チャンネル部材
１０ｃ チャンネル部材
１１   溝
１１ａ インク流路（圧力室）
１１ｃ 溝
１１ｄ インク経路
１５   接着剤
１５ａ 接着層
２０   カバー部材
２０ａ カバー部材
２０ｂ カバー部材
２０ｄ カバー部材
２１ａ インク供給口
２１ｂ インク供給口
２１ｄ ノズル開口部
２５   接着剤
２５ａ 接着層
３０   補助部材
３０ｂ 補助部材
３０ｃ 補助部材
３１ｂ 貫通穴
３５   接着剤
３５ａ 接着層
４０   インク供給部材
４１   インク室用凹部
４５   接着剤
４５ａ 接着層
５０   ダミー部材
５１   凹部
５５   接着剤
５５ａ 接着層
６０   ノズルプレート
６１   ノズル開口部
１００ インクジェットヘッド
１００ａ      インクジェットヘッド
１００ｂ      インクジェットヘッド
１００ｃ      インクジェットヘッド
１００ｄ      インクジェットヘッド
【図１Ａ】
2014077261.tif 000003
【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図３Ａ】
2014077261.tif 000009
【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
2014077261.tif 000011
【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５Ａ】
2014077261.tif 000015
【図５Ｂ】
2014077261.tif 000016
【図５Ｃ】
2014077261.tif 000017
【図５Ｄ】
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【図６Ａ】
2014077261.tif 000019
【図６Ｂ】
2014077261.tif 000020
【図６Ｃ】
2014077261.tif 000021
【図６Ｄ】
2014077261.tif 000022
【図７Ａ】
2014077261.tif 000023
【図７Ｂ】
2014077261.tif 000024
【図７Ｃ】
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【図８】
2014077261.tif 000026
【図９】
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【国際調査報告】
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