【事件の表示】
　平成　７年特許願第１６２７２１号「ライトバルブ均等照射装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年　９月１３日出願公開、特開平　８−２３４１０９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
　
１．　手続の経緯
　
　本願は、平成７年６月２８日（パリ条約による優先権主張　１９９４年６月２８日　（ＵＳ）アメリカ合衆国）の出願であって、平成１８年５月３０日付で拒絶査定がなされ、これに対して、平成１８年９月４日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
　
２．　本願発明について
　本願の請求項１から１３に係る発明は、平成１７年１１月３０日付の手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、明細書の特許請求の範囲の請求項１から１３に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、特に、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、その請求項１に記載された次のとおりのものである。
「光源と、
　光透過トンネルであって、反射壁と、トンネル内の短い辺の長さがNである矩形断面形状と、長さＬと、入射端と、出射端とからなる光透過トンネルと、
　前記光源からの光を前記入射端上に光点の形に集束させる手段であって、当該集束手段の開口角はuで、前記光点の最大断面寸法はＤで、この寸法Ｄは前記短い辺の長さＮ以下で、前記長さＬ、トンネル内の短い辺の長さＮ、開口角uは次式
　　　　Ｌ＝ｋ＊Ｎ/tan(u)
で表されるもので、ここでｋは約1.5 - 3の範囲内の定数である集束手段と、
　前記出射端に配置されていて、前記光透過トンネルを透過した光が入射する有効領域を備えたライトバルブとから構成されていることを特徴とするライトバルブ均等照射装置。」
　
　
３．　引用例に記載の発明
　
　これに対して、原査定の拒絶理由で引用された、本願特許出願前に頒布された刊行物である特開平２−４８６２７号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面の図示とともに次の事項が記載されている。
　
（１）「２．特許請求の範囲
（１）コリメートされた光束を供給する光源手段と、該コリメートされた光束中に配置された第１のオプティカルインテグレータと、該第１オプティカルインテグレータの射出光側に配置されたリレーレンズと、該リレーレンズの射出側に配置された第２オプティカルインテグレータとを有する照明光学装置において、前記第１オプティカルインテグレータとして複数の正レンズが並列配置されたフライアイ型インテグレータを用い、該各正レンズの後側焦点位置を該正レンズの外部の後側空間内となるように構成し、前記第２オプティカルインテグレータとして角柱状の内面反射型インテグレータを用い、前記リレーレンズは前記フライアイ型インテグレータの射出側空間に形成される複数の集光点と前記内面反射型インテグレータの入射面とをほぼ共役に形成したことを特徴とする照明光学装置。」（第１頁左欄第４行から同右欄第１行）
（２）「〔産業上の利用分野〕
　本発明は、対象物を均一に照明するための照明光学装置、特にＩＣ、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ等の半導体チップを製造するための露光装置に適した照明光学装置に関する。」（第２頁左上欄第１２行から第１６行）
　
（３）「　ここで、角柱状の内面反射型インテグレータ２０について説明する。内面反射型インテグレータとは、四角形や六角形の如き角柱形状の各側面の内面が反射面に形成された光トンネルともいうべき光学部材である。
　第３図には角柱状の内面反射型インテグレータ２０として、断面が正方形の内面反射型インテグレータの斜視図を示し、第４図には正レンズ１３によって集光された平行光束が内面反射型インテグレータによって反射されて射出する様子を示すために光軸に沿う断面光路の概要を示した。図示の如く、四角柱状の各側面は内面が反射面に形成され、内面反射型インテグレータの入射面２０ａの近傍に形成される光源像Ｓ０から入射する光束のうち、光軸に沿って進む光束はそのまま射出面２０ｂを射出して行く。図中の上方側面２０ｃで反射される光束は、上方側面２０ｃに関して集光点Ｓ０と共役な虚の集光点Ｓ１から供給されるようにして射出し、同様に、下方側面２０ｄで反射される光束は下方側面２０ｄに関して集光点Ｓ０と共役な虚の集光点Ｓ−１から供給されるごとく射出する。そして、下方側面２０ｄで反射された後に上方側面２０ｃで反射される光束は、あたかも虚集光点Ｓ２から供給される如くに射出し、上方側面２０ｃで反射された後に下方側面２０ｄで反射される光束は、あたかも虚集光点Ｓ−２から供給されるごとくに射出する。
　従って、角柱状の内面反射型インテグレータ２０に入射する集光点Ｓ０からの発散光束は、側面での１回または複数回の反射によって、実質的に多数の光源像から供給されているように射出する。
例えば、第３図の斜視図に示した如き断面が正方形の角柱状である場合には、各側面での反射により射出面からみた集光点の様子は、第５図の平面図の如く、格子状に分布した多数の集光点からの光束によって射出面２０ｂが照明されるようになり、これら多数の虚集光点の形成される面Ｓに実質的面光源が形成される。」（第３頁右上欄第１６行から同右下欄第１２行）
　
（４）「〔実　施　例〕
　以下、本発明を図示した実施例に基づいて説明する。
　第１図は本発明による第１実施例の概略光路を示す図であり、この第１実施例は第１段のオプティカルインテグレータとして複数の正レンズを並列配置して構成されたフライアイ型インテグレータを用いた照明光学装置である。光源手段１１から供給される光束は実質的にコリメートされており、フライアイ型インテグレータ１０によって複数の集光点が射出側空間のＡ１面に形成される。光源手段１１としては、レーザに加えてレーザからの光束の断面形状を所望の大きさに拡大するためのビームエキスパンダーや、非等方的形状を等方的に変換するためのシリンドリカルレンズを有するビームエキスパンダー等の光学手段を含んでいる。Ａ１面上の集光点群は、リレーレンズ１２，１３によって、角柱状の内面反射型インテグレータ２０の入射面Ａ２にほぼ共役に形成されている。この実施例における角柱状の内面反射型インテグレータ２０は、第３図及び第４図に示した中空の角柱状内面反射型インテグレータである。リレーレンズ１２，１３によるＡ１面上の集光点群と内面反射型インテグレータ２０の入射面Ａ２との共役関係は厳密である必要はないが、Ａ１面上の集光点群から供給される光束を効率良く角柱状内面反射型インチブレーク２０に取り込むためには上記の如き共役関係に配置することが最適である。
　内面反射型インテグレータ２０に入射した光束は、前記第３図乃至第５図に示した如く側面での内面反射を繰り返し、内面反射型インテグレータ２０の入射面Ａ２の近傍に実質的面光源が形成される。このとき、入射面Ａ２の近傍に形成される集光点の数は、フライアイ型インテグレータ１０を構成するレンズ要素の数と角柱状内面反射型インテグレータ２０の側面での内面反射によって形成される集光点の虚像の数の積に等しくなり、極めて均一な面光源となる。
　角柱状内面反射型インテグレータ２０によって入射面Ａ２の近傍に形成される実質的面光源のからの光束は、正レンズ１４によって一旦集光された後、コンデンサーレンズ１５によって被照射面Ｏ上に導かれる。すなわち、正レンズ１４とコンデンサーレンズ１５とによって、角柱状内面反射型インテグレータ２０の射出面Ｂ２と被照射面Ｏとがほぼ共役に形成され、これによって被照射面Ｏが均一に照明される。
　上記第１実施例の構成において、照明光の開口数（ＮＡ）を調節するための絞りＤ１を、正レンズ１４とコンデンサーレンズ１５との間の面Ａ３上に配置することが可能である。そして、照明光の光量を変化するための絞りＤ２を、フライアイ型インテグレータ１０によって集光点群が形成される面Ａ１上又はそれと共役な内面反射型インテグレータ２０の入射面Ａ２の近傍に配置することが可能である。
従って、絞りＤ１の開口を変化することによって照明光の開口数を変えることができ、一方絞りＤ２の開口を変化することによって、照明の開口数を変えることなく光量のみを独立に変化させることが可能となる。
　尚、第１図においては、集光点の形成される面にＡ１の符合を付し、この面と共役関係にある面にはＡ１，Ａ３の符号を付し、被照射面Ｏと共役関係にある面にはＢｌ，Ｂ２の符号を付した。図示のようにＢ１面とＢ２面とは共に被照射面とほぼ共役な構成となっているが、必ずしもこの関係は必要ではない。ただＢ１面とＢ２面とが共役である場合には、フライアイ型１０から射出する多数光束の各中心光線が内面反射型インテグレータ２０の射出面の中央を目指すようにすることができるため、光量のロスが少なくより均一な面光源を形成するのに有効である。
　第２図は本発明による第２実施例を示す概略光路図であり、この実施例は第１段のオプティカルインテグレータとして、複数の負レンズ１０ｂを並列配置して成るフライアイ型インテグレータ１０を用いた照明光学装置である。
　フライアイ型インテグレータ１０により、レーザ光源を含む光源手段１１からの平行光束が、このインテグレータ１０を構成する負レンズ１０ｂの数に等しい数の発散光束に変換され、面Ａｌ上に負レンズの数に等しい数の虚の集光点が形成される。本実施例ではフライアイ型インテグレータによる複数の集光点が虚であるため、その虚の集光位置はレンズ内部に位置する場合でも、集光熱によるレンズの破損の恐れがない。このため、この虚の集光点群は、第２図では負レンズの入射光側空間に形成されているが、並列配置された負レンズの中心厚を厚くして接合を容易とする場合には、虚の集光点が負レンズ内に形成される如く構成しても良い。
　そして、本実施例においてはフライアイ型インテグレータ１０による集光点が虚であるが、フライアイ型インテグレータ１０としての機能の点から見ると実質的に等価な役割を果たしている。そして、リレーレンズ１２，１３や第２インテグレータとしての角柱状内面反射インテグレータ２０等の後続の光学構成は前記第１図に示した第１実施例の構成と同一である。従って、第２実施例の如き構成においも、照明光の開口数（ＮＡ）を調節するための絞りＤ１は正レンズ１４とコンデンサーレンズ１５との間の面光源との共役面（Ａ４）に設けることが可能であり、照明光の開口数（ＮＡ）を一定に維持しつつ光量を調節するための絞りＤ２は、内面反射型インテグレータ２０の入射側の近傍に設けることが可能である。」（第４頁左下欄第７行から第５頁右下欄第１３行）
　
（５）「ところで、上記の各実施例の如く、内面反射型インテグレータの入射面の近傍にはいずれも実または虚の光源像を形成することが好ましく、実の光源像の位置を内面反射型インテグレータの入射面に一致させる場合に、内面反射型インテグレータの口径を最も小さくすることが可能である。」（第６頁右上欄第１０行から第１５行）
　
（６）「また、本発明による照明光学装置を投影型露光装置に用いる場合には、上記の実施例における被照射面Ｏをレチクル面とし、図示なき投影対物レンズによってウエハ面へレチクルの像を投影転写する構成とし、本発明によって形成される実質的面光源の像を投影対物レンズの入射瞳面上に形成することが有効である。」（第６頁右下欄第４行から第１０行）
　
　したがって、引用例１の上記摘記事項及び各図面の記載からみて、引用例１には、
「コリメートされた光束を供給する光源手段と、該コリメートされた光束中に配置された第１のオプティカルインテグレータと、該第１オプティカルインテグレータの射出光側に配置されたリレーレンズと、該リレーレンズの射出側に配置された第２オプティカルインテグレータとを有する照明光学装置において、前記第１オプティカルインテグレータとして複数の正レンズが並列配置されたフライアイ型インテグレータを用い、該各正レンズの後側焦点位置を該正レンズの外部の後側空間内となるように構成し、前記第２オプティカルインテグレータとして、角柱形状の各側面の内面が反射面に形成され、入射面、射出面を備える四角柱の如き角柱状の内面反射型インテグレータを用い、前記リレーレンズは前記フライアイ型インテグレータの射出側空間に形成される複数の集光点と前記内面反射型インテグレータの入射面とをほぼ共役に形成し、光源像を前記角柱状の内面型インテグレータの入射面に一致させ、対象物の被照射面が均一に照明される照明光学装置。」（以下、「引用例１発明」という。）の発明の記載が認められる。
　
　
４．　対比
　
　そこで、本願発明と引用例１発明とを対比すると、
　
　引用例１発明の「光源手段」は、本願発明の「光源」に相当する。
　
　引用例１発明の「角柱形状の各側面の内面が反射面」、「入射面」、「射出面」及び「角柱状の内面型インテグレータ」は、それぞれ、本願発明の「反射壁」、「入射端」、「射出端」及び「光透過トンネル」に相当する。
　
　そして、引用例１発明の四角柱の如き角柱状の内面反射型インテグレータにおいて、四角柱の断面形状は矩形断面形状であることは自明であるので、引用例１発明の四角柱の如き角柱状の内面反射型インテグレータは、本願発明の光透過トンネルと同様に矩形断面形状を備えているといえる。
　
　引用例１発明の光源手段からの光が、「第１のオプティカルインテグレータ」と「リレーレンズ」により光源像を形成し、前記光源像の位置を角柱状の内面型インテグレータの入射面を一致させているので、引用例１発明の「第１のオプティカルインテグレータ」及び「該第１オプティカルインテグレータの射出光側に配置されたリレーレンズ」の両者が、本願発明の「前記光源からの光を前記入射端上に交点の形に集束させる手段」、「集束手段」に相当する。
　
　引用例１発明の「対象物」と、本願発明の「有効領域を備えたライトバルブ」は、両者とも光源からの光が照射される被照射物である点で共通しているので、引用例１発明の「対象物」と、本願発明の「有効領域を備えたライトバルブ」とは共に、被照射物の点で一致する。
　
　そして、引用例１発明の「対象物」は、「角柱状の内面反射型インテグレータ」の射出面側に配置されていることは明白であり、一方、本願発明の「有効領域を備えたライトバルブ」の配置関係を特定している「前記射出端に配置されていて、」という事項に関して、本願の請求項１の引用請求項である請求項４の記載では、射出端とライトバルブとの間に光学装置をさらに具備する態様を含んでおり、実施例や図１の記載からみて、ライトバルブが光透過トンネルの射出端からある程度間隔で配置されていることは読み取れるので、上述の「射出端に」は、射出端の近傍に限らず、実質的に射出端側に、という意味で用いられていると解することができるので、引用例１発明の「対象物」と、本願発明の「前記出射端に配置されていて、前記光透過トンネルを透過した光が入射する有効領域を備えたライトバルブ」とは共に、「前記出射端に配置されていて、前記光透過トンネルを透過した光が入射する被照射物」の点で一致する。
　
　引用例１発明の「対象物の被照射面が均一に照明される照明光学装置」と、本願発明の「ライトバルブ均等照明装置」とは共に、「均等照明装置」の点で一致する。
　
　したがって、両者は、
「光源と、
　光透過トンネルであって、反射壁と、矩形断面形状と、入射端と、出射端とからなる光透過トンネルと、
　前記光源からの光を前記入射端上に光点の形に集束させる手段である集束手段と、
　前記出射端に配置されていて、前記光透過トンネルを透過した光が入射する被照射物とから構成されている均等照射装置。」
　の点で一致し、以下の各点で相違する。
　
相違点１：本願発明は、光源からの光を光透過トンネルの入射端上に光点の形で集束させた際の、前記光点の最大断面寸法はＤで、この寸法Ｄは、トンネルの短い面の辺の長さＮ以下であるのに対し、引用例１発明は、そのような記載がない点。
　
相違点２：本願発明は、光透過トンネルの長さＬ、光透過トンネル内の短い辺の長さＮ、集束手段の開口角uは次式
　　　　Ｌ＝ｋ＊Ｎ/tan(u)
で表されるもので、ここでｋは約1.5 - 3の範囲内の定数を満たすものであるのに対して、引用例１発明では、そのような記載がない点。
　
相違点３：被照射物及び均等照明装置が、本願発明は、有効領域を備えたライトバルブ及びライトバルブ均等照明装置であるのに対して、引用例１発明は、被照射物を有効領域を備えたライトバルブとする記載はなく、また、均等照明装置もライトバルブ均等照明装置とする記載はない点。
　
　
５．　判断
　
（相違点１）について
　引用例１の第１図、第２図の記載からみても、光源手段１１からの光の全ての光が角柱状の内面反射型インテグレータ２０内に案内されていることが読み取れる（第１図、第２図において光源手段１１からの破線の軌跡等を参照）。
　そうすると、引用例１発明においても、光源手段から光線の光束断面が角柱状の内面反射型インテグレータ２０の入射面内に入るものが実質的に記載されているといえるものであり、また、光の有効利用の観点からみても、光源手段からの光線の光束断面が角柱状の内面反射型インテグレータの入射面内に入るようにすることは光量の効率的利用の観点から技術的に当然のことであるので、光源手段からの光線の光束断面が角柱状の内面反射型インテグレータの入射面内に入るように、照明装置を構成する各部材の設定を行い、相違点１に係る発明特定事項を得ることは、当業者が適宜なし得る設計事項にすぎない。
　
（相違点２）について
　光源からの光の照度分布を均一化する光均一化手段として光透過トンネルを備え、被照射物に光を均一に照射する照明装置において、前記光透過トンネルの長さの増大や前記長さの応じて決まる光透過トンネル内での光の反射回数の増加に応じて、前記光透過トンネルの射出面での光の均一性が向上するという相関関係があることは、光透過トンネルによる光を均一化する原理からみて当業者にとって自明であり、また、従来周知の技術でもある（周知例１：米国特許第５０５９０１３号明細書、第３段落第５９行から第６０行、周知例２：特開平５−７２６２８号公報、特に段落【００４０】、周知例３：特開昭６２−１７８９０４号公報）。
　実際、周知例３には、本願発明のトンネルの長さＬとトンネルの矩形断面の短い辺の長さＮとの比であるｋの実質的に対応するパラメータである光トンネルの縦横比Ｒ（光トンネルの等価長さＬを等価幅Ｗで割ったもの）を最小横断比Ｒｍｉｎとする例が記載され、前記最小横断比Ｒｍｉｎは、光源からの集束点が光トンネルの入射面にある場合、Ｒｍｉｎ＝ｃｏｔθ（θは光トンネル内の光の発散角度で光トンネル内に入射する光の開口角と同等である）、本願発明のｋに換算するとｋ＝ｃｏｔθ／ｔａｎθ＝１に相当するものである。そして、さらに、前記最小横断比に対して約５０％大きい縦横比又は約１５０％大きい縦横比とする点、すなわち、ｋに換算すると、約１．５又は約２．５にすることが記載されている。
　したがって、光透過トンネルとして、トンネルの長さＬとトンネルの矩形断面の短い辺の長さＮとの比であるｋに実質的に対応するパラメータを、本願発明に規定の１．５から３程度の値に対応する値に設定することは従来から採用されているものであり何ら格別の値ではない。
　そして、照明装置、液晶ディスプレイ等のライトバルブを備えた投射型表示装置において、小型化、コンパクト化が望まれることはきわめて一般的に知られた技術的課題である。
　したがって、光透過トンネルの長さの程度や光透過トンネルの長さや、光透過トンネルの入射面の断面の長さとの比の値をどの程度にするかは、当業者が要求する均一化の程度や、照明装置において要求される小型化の程度やその他の種々の設計上の要請とを勘案して当業者が適宜決定する事項にすぎず、相違点２に係る発明特定事項は当業者が適宜なし得る事項にすぎない。
　
（相違点３）について
　光源を備えた照明装置、前記光源からの光を照射する液晶ディスプレイを備える投射型表示装置において、前記照明装置中に、光源からの光の照度分布を均一にする、本願発明の光透過トンネルに相当する、ロッドインテグレータ、導光パイプ等の光学素子を設ける技術は、従来周知の技術である（周知例２：特開平５−７２６２８号公報、特に、請求項１、段落【００２４】から段落【００２７】、段落【００３９】、図１、周知例４：特開平３−２１０５４８号公報、特に、特許請求の範囲、第１図から第７図、周知例５：実願平４−７６５４０号（実開平６−４１００１号）のＣＤ−ＲＯＭ、特に、請求項５、図２）。
　したがって、引用例１発明の照明光学装置を、光透過トンネルを用いて光源からの光の照度分布を均一化して被照射物に照射する際の当該被照射物として上記従来周知の液晶ディスプレイを備える投射型表示装置の照明装置に適用することは当業者であれば何ら困難ではなく、相違点３に係る発明特定事項は何ら格別なものではない。
　
　そして、本願発明の効果は、引用例１発明及び従来周知の技術から当業者が予測できる範囲内のものである。
　
　したがって、本願発明は、引用例１発明及び従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
６．　むすび
　
　以上のとおり、本願発明は、引用例１に記載された発明及び従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。