【事件の表示】
　特願２００４−　１０９５７「容量式湿度センサ」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　７月２８日出願公開，特開２００５−２０１８７２〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は，成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は，平成１６年１月１９日の出願であって， 平成２０年３月２８日付けで拒絶理由通知書が出され，同年５月２９日意見書が提出され，同年６月２７日付けで拒絶査定がなされ，同年７月３０日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
２．本願発明
　本願の請求項１ないし７に係る発明は，その特許請求の範囲の請求項１ないし７に記載された技術的事項により特定されるものと認められるところ，請求項１は次のとおりである。
「【請求項１】
　基板と，
　前記基板上の同一平面に離間して対向配置された一対の電極と，
　前記一対の電極及び前記一対の電極間を覆うように前記基板上に形成され，湿度に応じて誘電率が変化するポリイミド系感湿膜とを備える容量式湿度センサにおいて，
　前記ポリイミド系感湿膜の膜厚が３μｍ以上８μｍ以下であることを特徴とする容量式湿度センサ。」（以下，「本願発明」という。）
　なお，請求項１には，「請求項１に記載の」と記載されているが，請求項１において請求項１を引用することはあり得ないから，かかる記載は，明らかな誤記と認め，上記のように認定した。
　
３．引用刊行物の記載事項
（１）　原査定の拒絶の理由に引用された本出願前に頒布された刊行物である特開２００３−２７０１８９号公報（以下，「刊行物１」という。）には，図面と共に次の記載がある。（なお，下線は，当審にて付記したものでる。）
（１−１）「【要約】【課題】  容量式湿度センサにおいて，センサを構成する基板サイズをより小さな面積としつつ，必要な容量変化量を効率的に確保できるようにする。
【解決手段】  半導体基板１０の一面上には，
一対の櫛歯状の電極３１，３２が同一平面上にて離間して対向するように形成され，一対の電極３１，３２を覆うように感湿膜５０が形成されており
（１−２）「【請求項１】
  基板と，
前記基板上の同一平面に，所定の間隔を隔てて配置された第１及び第２の電極と，
前記第１及び第２の電極と，その第１及び第２の電極間とを覆うように前記基板上に形成される保護膜と，
前記保護膜上において，少なくとも前記第１及び第２の電極の間における領域の上方に形成され，
湿度に応じて誘電率が変化する感湿膜とを備える容量式湿度センサ
前記第１及び第２の電極の間隔が，前記保護膜の厚さの少なくとも２倍以上に設定されていることを特徴とする容量式湿度センサ。」
（１−３）「【０００２】【従来の技術】従来の容量式湿度センサとして，例えば実開平５−２３１２４号公報や特開平１１−１０１７６６号公報に記載されたものが知られている。これらのものは，基板上の同一平面に，櫛歯型に形成した一対の電極を，それぞれの櫛歯電極部がかみ合うように配置している。そして，このように配置された一対の電極を覆うように，例えばポリイミド系ポリマーからなる感湿膜を基板に形成する。これにより，一対の電極間に感湿膜を介在させ，感湿膜における湿度変化に伴う誘電率の変化を，一対の電極間の静電容量の変化として検出する。」
（１−４）「【０００７】図３は，シリコン基板上の同一平面に，一対の櫛歯型電極をアルミ等の金属材料によって形成し，その一対の櫛歯型電極及び電極間を覆うように，シリコン窒化膜からなる保護膜及び
ポリイミド系ポリマーからなる感湿膜を形成するこ
（１−５）「【０００５】本発明は，上記の問題を解決し，一対の電極上に保護膜を形成した場合であっても，ヒステリシスを低減した容量式湿度センサを提供することを目的とする。」
（１−６）「【００２３】そして，感湿膜５０において，膜中に水分子が侵入すると，水分子は誘電率が大きいので侵入した水分量に応じて感湿膜５０の誘電率も大きく変化し，結果，両電極３１，３２間の容量値も変化するようになっている。」
（１−７）そして，図１，図２には，電極３１及び電極３２が間隔を隔てて設けられ，感湿膜５０で覆われている容量式湿度センサが図示されている。
　
　これらの記載事項及び図面を勘案すると，刊行物１には，次の発明（以下，「刊行物１発明」という。）が記載されていると認められる。
「基板と，
　前記基板上の同一平面に離間して対向配置された一対の櫛歯状の電極と，
　前記一対の電極及び前記一対の電極間を覆うように前記基板上に形成され，湿度に応じて誘電率が変化するポリイミド系感湿膜とを備える容量式湿度センサ。」
　
（２）原査定の拒絶の理由に引用された本出願前に頒布された刊行物である特開昭４９−７４５８８号公報（以下，「刊行物２」という。）には，容量性湿度変換器とその製造方法に関して，図面と共に次の記載がある。
（２−１）「（１）　誘電体材料が吸収した水分の量の関数である誘電率を持つ重合体膜である容量性湿度変換器において，ガラス板のような水の吸収に対して不活性である支持基部上に薄い重合体膜が設けられ，また上記支持基部上に変換器の容量を形成するため必要な導電性接点パターンが設けられ，この必要な導電性接点パターンが板コンデンサ構造に要求されるような重合体膜の表面に形成された水に対して浸透性の薄い導電性接点パターンと同様に水の吸収に対して不活性でありそして例えば金属被覆によって形成されることを特徴とする容量性湿度変換器。」（特許請求の範囲（１頁左下欄））
（２−２）「上記英国特許明細書には，コンデンサの電極が例えば黒鉛から成る導電性粒子を前記電極層に加えることによって
吸水性の活性コアを構成するそれぞれの誘電体材料
（２−３）「
変換器における活性物質は薄い（１０μｍ以下の）重合体膜３である。
（２−４）「第４，５，６図に示す構造では，水に対して浸透性の表面接点は全く必要でなく，すなわち測定すべき容量ｃは非吸水性である互いにかつ合つた下部接点２間に形成される。」（３頁左上欄３行〜６行）
　そして，第４，５，６図には，対応する容量性湿度変換器構造が示されている。
（２−５）「上記で述べた全ての変換器構造はまた，下部接点２を薄い絶縁層（図示していない）で被覆するようにして実施することもでき，その場合には変換器として働く容量は上記絶縁層で構成された容量と直列に接続される。従って重合体膜３を，それがもはや電気的に接続しないように薄くすることができる。
こうして膜を薄くすることによって，変換器の応答速度をなお一層改善することができる
　
４．対比・検討
（１）一致点・相違点
　本願発明と上記刊行物１発明とを対比すると，刊行物１発明の「一対の櫛歯状の電極」は，「一対の電極」に含まれる態様であるから，刊行物１発明の「一対の櫛歯状の電極」は，本願発明の「一対の電極」に相当する。
　そして，両者は，次の点で一致する。
（一致点）
「基板と，
　前記基板上の同一平面に離間して対向配置された一対の電極と，
　前記一対の電極及び前記一対の電極間を覆うように前記基板上に形成され，湿度に応じて誘電率が変化するポリイミド系感湿膜とを備える容量式湿度センサ。」
（相違点）
　また，両者は，前記ポリイミド系感湿膜の膜厚が，本願発明では「３μｍ以上８μｍ以下である」のに対し，刊行物１発明では，膜厚が不明な点で相違する。
　
（２）相違点についての検討
　（応答時間と膜厚について）
　刊行物１発明の容量式湿度センサの動作原理は，摘記事項（１−３）に「一対の電極間に感湿膜を介在させ，感湿膜における湿度変化に伴う誘電率の変化を，一対の電極間の静電容量の変化として検出する。」と記載されているように，感湿膜における湿度変化に伴う誘電率の変化を，一対の電極間の静電容量の変化として検出するものである。
　そして，摘記事項（１−６）に「感湿膜５０において，
膜中に水分子が侵入すると，水分子は誘電率が大きいので侵入した水分量に応じて感湿膜５０の誘電率も大きく変化
　刊行物１発明は，感湿膜の水分子侵入による誘電率変化を検出するものであるから，感湿膜が厚ければ，それだけ膜全体に水分子が侵入するのに時間がかかるし，膜が薄ければ，わずかな時間で膜全体に水分子が侵入する。このように，膜厚が応答時間に影響を与えることは，第１発明のセンサの作動原理から当業者が導き得る事項といえる。
　しかも，膜厚が応答時間に影響を与えることは，以下の周知例にも記載されているとおり技術常識でもある。
　たとえば，上記刊行物２には，「膜を薄くすることによって，変換器の応答速度をなお一層改善することができる。」（摘記事項（２−５））
と記載されている。
　刊行物２には，容量性湿度変換器に関するものが記載されており，吸水性の重合体膜の厚さを薄くすることで，応答速度が向上することが把握できる。
　
特開平６−２９４７６５号公報（以下，「刊行物Ａ」という。）
（Ａ−１）「【０００１】【産業上の利用分野】本発明は，湿度センサに係り，特に
高分子容量型湿度センサ
（Ａ−２）「【０００７】この後，３００〜４００℃の熱処理を行うことにより，ポリイミド前駆体１０３ｐに縮合反応を生ぜしめ，
ポリイミド薄膜からなる感湿膜１０３を形成する
（Ａ−３）「【００２６】かりに
上部電極が存在しないと考えると，この応答時間は感湿膜の膜厚ｘ（μm ）により決まる
（Ａ−４）「
　と記載されている。
　刊行物Ａに記載のものは，上部電極と下部電極の間に感湿膜を設けたサンドイッチ型のセンサであるものの，摘記事項（Ａ−３）に「上部電極が存在しないと考えると・・・」と記載されているから，上部電極が存在しない状態において，応答時間と膜厚との関係について，応答時間が感湿膜の膜厚により決まることが読み取れる。
　
特開平２−３０９２３８号公報（以下，「刊行物Ｂ」という。）
（Ｂ−１）「従来より，
静電容量変化型の感湿素子の感湿膜
　しかしながら，これらの感湿膜は多くの場合応答速度が遅く，速いものでも９０％応答が３０秒程度である。その主な原因の一つとして，感湿膜中における吸湿水分の拡散速度の遅いことが挙げられる。即ち，湿度の変化に応じて，膜と外部雰囲気との間で吸・脱湿が行われる際，膜中の水分の拡散時間の遅れが応答の遅れとなって現われるのである。
　
このような拡散時間を短縮する最も簡便な方法としては，水分の拡散移動距離，即ち感湿膜の膜厚を薄くすることが考えられる
膜厚を薄くしすぎると，今度は吸湿量が減少し，感度の低下を招くばかりではなく，膜強度の劣化，更にはピンホールによるサンドウィッチ型対向電極間の短絡といった好ましくない事態を発生させるようになる。
と記載されている。
　刊行物Ｂ記載のものは，サンドウィッチ型対向電極に感湿膜を有するものであるが，感湿膜に水分が拡散するという現象自体は，電極の構造と関係していない現象であって，感湿膜の膜厚が薄くなると応答速度が短縮されることが把握できる。
　
特開２００３−２３２７６５号公報（以下，「刊行物Ｃ」という。）
（Ｃ−１）「【００３３】次に感湿膜であるポリイミド３を形成する。・・・（中略）・・・硬化後の膜厚は１〜５μmが適当である。その理由は，
薄すぎると下地の段差による段切れの発生によるショートの可能性があり
厚すぎるとポリイミド感湿膜中に吸湿する水の拡散が遅くなり
応答性が遅くなる原因となりうるからである
（Ｃ−２）「【００３６】本実施例では，ポリイミド感湿膜を上下にサンドイッチした構造について説明したが，
この構造に限られるものではなく，例えば絶縁基板上，もしくは導電性基板に絶縁膜を形成した上に１組のくし歯電極を形成し，その上にポリイミド感湿膜を形成して，くし歯電極間の横方向の静電容量を検出する構造でもなんら支障は無い
と記載されている。
　刊行物Ｃ記載のものは，刊行物１発明と同様の構造である「絶縁基板上，もしくは導電性基板に絶縁膜を形成した上に１組のくし歯電極を形成し，その上にポリイミド感湿膜を形成して，くし歯電極間の横方向の静電容量を検出する構造」についても言及があり，その記載事項のとおり，「厚すぎるとポリイミド感湿膜中に吸湿する水の拡散が遅くなり，応答性が遅くなる」ということが把握できる。
　
　そうすると，膜厚が厚いほど，応答時間が長くなり，薄くすると応答時間が短くなるということは技術常識であって，刊行物１発明において，感湿膜の膜厚を決める際に，応答時間を考慮して，感湿膜の膜厚を薄くしようとすることは，当業者が適宜なし得たことといえる。
　
（膜厚のバラツキについて）
　また，刊行物１発明は，上記「（応答時間と膜厚について）」で言及したとおり，感湿膜中に水分子が侵入すると，水分子は誘電率が大きく，侵入した水分量に応じて感湿膜５０の誘電率も大きく変化する」ことをセンサの作動原理としており，センサにとって重要な感湿膜の膜厚のバラツキが，センサの特性に影響することは，自明なことであって，この重要な感湿膜の膜厚をバラツキ無く均一にするということは，センサ製造上の当然の課題である。
　そして，膜厚が薄くなると，バラツキが問題となることは，以下の周知例にも記載されているとおり技術常識でもある。
特開２００２−７１６１２号公報（以下，「刊行物Ｄ」という。）
（Ｄ−１）「【００１２】従って，発泡性材料による枠部材の存在で，湿度センサの小型化が図れるだけでなく，
感湿膜を充分な膜厚にできるのに伴って，感湿膜の膜厚のばらつきも少なくできるので，湿度センサの特性が安定化されて歩留りが高まり
（Ｄ−２）「【００１６】【発明の実施の形態】以下，図面を参照しつつ本発明に係る湿度センサの一実施の形態を説明することにより，本発明を明らかにする。図１から図３は本実施の形態に係る湿度センサ１０を示す図である。本実施の形態では，それぞれ複数のくし歯が形成された検出部１４Ａを先端側に有した
一対のくし形電極１４が，セラミック基板１２上に備えられた構造とされている
（Ｄ−３）「【０００２】【従来の技術】気体中の相対湿度の変化を例えば電気抵抗の変化として湿度の値を測定する湿度センサが，エアコン等に広く使用されている。・・・略・・・」
（Ｄ−４）「【請求項１】  電極が形成された基板の表面を感湿膜が覆っている湿度センサであって，前記電極の周囲に発泡性材料による枠部材を配置し，この枠部材の内側全域を感湿膜で覆うようにしたことを特徴とする湿度センサ。」
と記載されている。
　刊行物Ｄからは，感湿膜の膜厚のばらつきが，十分な膜厚にすれば少なくできること，即ち，膜厚を厚くすることで，ばらつきを少なくできるとする事項が把握できる。刊行物Ｄ記載のものは，摘記事項（Ｄ−３）に記載の如く，電気抵抗の変化を検出することが，従来技術として例示されているが，摘記事項（Ｄ−４）の如く，特許請求の範囲においては，特段，検出手段についての特定はなく，しかも，感湿膜の膜厚自体のばらつきは，検出手段と関連していないから，検出手段と関連しない技術的事項として，前記した事項が把握できる。
　
特開２００２−３２８１１０号公報（以下，「刊行物Ｅ」という。）
（Ｅ−１）「【０００１】【発明の属する技術分野】本発明は
静電容量センサ
（Ｅ−２）「【００２３】これらのうち，腐食環境下でも変質を起こしづらく，感湿特性の長期安定性が良好であるという点で
架橋ポリイミド
高分子膜２Ｂの厚み
逆に，あまり薄くすると，膜としての均質性と絶縁性が劣化して得られる検出信号の信頼性の低下を招く
通常，０.５〜１０μｍ程度に設定される
と記載されている。
　刊行物Ｅからは，感湿特性を有する高分子膜の厚さについて，膜が薄くなると，均質性が低下し，得られる検出信号の信頼性の低下，即ち，感度のバラツキが起きることが把握できる。
　
　上記刊行物Ｃには，摘記事項（Ｃ−１）及び（Ｃ−２）が記載されている。刊行物Ｃには，刊行物１発明と同様の構造である「絶縁基板上，もしくは導電性基板に絶縁膜を形成した上に１組のくし歯電極を形成し，その上に
ポリイミド感湿膜
くし歯電極間の横方向の静電容量を検出する構
１〜５μmが適当である
薄すぎると下地の段差による段切れの発生によるショートの可能性があり
　
　したがって，刊行物１発明において，上記膜厚が薄くなると，バラツキが問題となるという技術常識に接した当業者であれば，バラツキの問題が解消できる程度の膜厚とすることは，当業者が容易になし得たものといえる。
　
　以上のことを総合すると，技術常識として，膜厚と応答時間の観点からは，膜厚は薄い方が良いが，バラツキの観点からは，膜厚は厚い方がよいことが把握できる。
　そして，本願発明において，膜厚の下限である「３μｍ」と膜厚の上限である「８μｍ」という数値に，臨界的な技術的意義があるとも認められない。
　そうすると，刊行物１発明において，相違点に記載の本願発明の特定事項である「前記ポリイミド系感湿膜の膜厚が３μｍ以上８μｍ以下」とすることは，上記技術常識を加味しつつ数値を最適化にしたものにすぎず，当業者が容易に発明することができたものといえる。
　
　また，本願発明の作用効果も，刊行物１及び上記技術常識から当業者が予測し得るものであって，格別顕著な作用効果が奏されるともいえない。　
　
５．むすび
　以上のとおり，本願発明は，刊行物１に記載された発明及び技術常識に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって，本願は，他の請求項に係る発明について検討するまでもなく拒絶すべきものである。
　よって，結論のとおり審決する。