(57)【要約】有機ＥＬ層への水分の透過をより一層抑制することができる有機ＥＬ装置等を提供することを目的とする。そのため、有機ＥＬ装置は、有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられた吸湿層５とを備え、吸湿層５は、母材２９中に吸湿剤２７を含む吸湿膜２３と、吸湿膜２３をその膜厚方向の両側から被覆する一対の被覆膜２１，２５とを有し、吸湿膜２３は、当該吸湿膜２３中に含まれる吸湿剤２７の平均含有率よりも低い吸湿剤含有率である領域２３ｂを、一対の被覆膜２１，２５の内、有機ＥＬ層に近い側の被覆膜２５と接触する状態で有する。
2015136581.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられた吸湿層とを備える有機ＥＬ装置において、
前記吸湿層は、
母材中に吸湿剤を含む吸湿膜と、
前記吸湿膜をその膜厚方向の両側から被覆する一対の被覆膜と
を有し、
前記吸湿膜は、当該吸湿膜中に含まれる前記吸湿剤の平均含有率よりも低い吸湿剤含有率である領域を、前記一対の被覆膜の内、前記有機ＥＬ層に近い側の被覆膜と接触する状態で有する
有機ＥＬ装置。
【請求項２】
前記領域は、前記有機ＥＬ層に近い被覆膜の全領域で接触する
請求項１に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項３】
前記領域の厚みは、前記吸湿剤の平均粒径よりも大きい
請求項１又は２に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項４】
前記領域の前記吸湿剤の含有率は、５ｖｏｌ％以下である
請求項１〜３の何れか１項に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項５】
前記領域の前記吸湿剤の含有率は、０ｖｏｌ％である
請求項４に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項６】
前記吸湿剤がゼオライトである
請求項１〜５の何れか１項に記載の有機ＥＬ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ層と吸湿層とを備える有機ＥＬ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ装置として、例えば、アノード電極とカソード電極との間に有機ＥＬ層を有する表示部をガラス基板上に備える有機ＥＬ表示装置がある。【０００３】
近年、デザイン性やモバイル性に優れた有機ＥＬ表示装置が要求されている。デザイン性に優れた装置は、例えば、表示部が湾曲しているような装置である。モバイル性に優れた装置は、例えば、より軽量化された装置である。【０００４】
上記要求に対して、有機ＥＬ表示装置のガラス基板に変わって、折り曲げ可能な柔軟性を有する樹脂基板（樹脂フィルム）を利用する技術が提案されている（例えば、特許文献１）。しかしながら、樹脂基板は水分に対するバリア性が低いので、樹脂基板を用いると、その樹脂基板を介して有機ＥＬ層に水分が侵入する。それによって、発光色が変色したり、ひどい場合には発光しなくなったりする。【０００５】
これに対し、樹脂基板と表示部（有機ＥＬ層）との間に吸湿層を配し、表示部への侵入しようとする水分を吸湿して水分の透過を抑制する技術が提案されている（例えば、特許文献２、３）。【０００６】
特許文献２に記載の吸湿層は、吸湿膜が一対の無機物膜によって挟まれた構造をしている。そして、無機物膜として、水分透過の度合いを示す水蒸気透過率が低い材料を用い、吸湿層の水分透過を抑えつつ、無機物膜を透過した水分を吸湿膜が吸湿している。【０００７】
特許文献３に記載の吸湿層は、吸湿剤を有機材料中に含み、吸湿剤は有機ＥＬ層側に多く存在するような構造を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−０３１７６１号公報
【特許文献２】特表２０１２−５３３１５２号公報
【特許文献３】特開２００１−０６８２６６号公報
【発明の概要】
【０００９】
しかしながら、上記の特許文献２のような低い水蒸気透過率の無機物膜を用いて、有機ＥＬ側に吸湿剤を多く配しても、有機ＥＬ層の寿命が向上しないことが判明した。つまり、吸湿層の水分透過抑制特性が不十分であることが判明した。
【００１０】
本発明は、有機ＥＬ層への水分の透過をより一層抑制することができる有機ＥＬ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様に係る有機ＥＬ装置は、有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられた吸湿層とを備える有機ＥＬ装置において、前記吸湿層は、母材中に吸湿剤を含む吸湿膜と、前記吸湿膜をその膜厚方向の両側から被覆する一対の被覆膜とを有し、前記吸湿膜は、当該吸湿膜中に含まれる前記吸湿剤の平均含有率よりも低い吸湿剤含有率である領域を、前記一対の被覆膜の内、前記有機ＥＬ層に近い側の被覆膜と接触する状態で有する。
【発明の効果】
【００１２】
上記態様に係る有機ＥＬ装置は、吸湿層における吸湿剤の含有率が、有機ＥＬ層側の被覆膜と接触する領域で、平均含有率よりも低くなっている。これにより、吸湿層における吸湿剤の平均含有率は同等に保ちながら、有機ＥＬ層側に露出する吸湿剤を少なくすることによって、被覆膜に生じる欠陥を少なくできる。従って、有機ＥＬ層への水分の透過をより抑制することができる。また、有機ＥＬ層と吸湿剤との平均的な距離が大きくなるので、吸湿剤により吸湿された水分が有機ＥＬ層に達し難くできる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施形態を示す機能装置の断面図である。
【図２】吸湿層の断面を示す図である。
【図３】ベースに吸湿層を形成した状態の断面図である。
【図４】検討した吸湿層の構造を説明するための図である。
【図５】検討した吸湿層を備える有機ＥＬ装置の製造工程中の吸湿層の状態の変化を説明するための図である。
【図６】第１の実施形態に係る吸湿層を備える有機ＥＬ装置の製造工程中の吸湿層の状態の変化を説明するための図である。
【図７】第２の実施形態に係る有機ＥＬ表示装置の概略構成を示す模式ブロック図である。
【図８】有機ＥＬ表示パネルにおけるサブピクセルの配置形態を示す模式平面図である。
【図９】図７におけるＡ−Ａ断面を矢印方向から見た図である。
【図１０】有機ＥＬ表示パネルの１サブピクセル部分の断面図である。
【図１１】吸湿膜に２つの非含有領域が存在する吸湿層をベース上に形成した状態の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［本発明の態様］
本発明の一態様に係る有機ＥＬ装置は、有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられた吸湿層とを備える有機ＥＬ装置において、前記吸湿層は、母材中に吸湿剤を含む吸湿膜と、前記吸湿膜をその膜厚方向の両側から被覆する一対の被覆膜とを有し、前記吸湿膜は、当該吸湿膜中に含まれる前記吸湿剤の平均含有率よりも低い吸湿剤含有率である領域を、前記一対の被覆膜の内、前記有機ＥＬ層に近い側の被覆膜と接触する状態で有する。
【００１５】
また、前記領域は、前記有機ＥＬ層に近い被覆膜の全領域で接触する。これにより、有機ＥＬ層側の全範囲で露出する吸湿剤が少なくなり、被覆膜の全範囲で欠陥を少なくできる。また、吸湿剤により吸湿された水分が有機ＥＬ層の全範囲で達し難くできる。
【００１６】
また、前記領域の厚みは、前記吸湿剤の平均粒径よりも大きい。あるいは、前記領域の前記吸湿剤の含有率は、５ｖｏｌ％以下である。これにより、有機ＥＬ層に近い被覆膜における有機ＥＬ層側の面を平坦にできる。
【００１７】
前記領域の前記吸湿剤の含有率は、０ｖｏｌ％である。これにより、有機ＥＬ層に近い被覆膜における有機ＥＬ層側の面の平坦性を向上させることができる。
【００１８】
また、前記吸湿剤がゼオライトである。これにより容易に実施できる。
［第１の実施形態］
第1の実施形態では、水分吸湿により機能低下を招く機能層を有する装置の概略を説明する。
【００１９】
なお、ここでは、機能層として有機ＥＬ層を利用した有機ＥＬ装置について説明する。
１．全体構造
図１は、第１の実施形態を示す有機ＥＬ装置の断面図である。
【００２０】
有機ＥＬ装置１は、アノード電極とカソード電極との間に有機ＥＬ層を有する表示部７を有する。
【００２１】
有機ＥＬ装置１は、表示部７の少なくとも一方の主面、本実施形態では両主面に吸湿層５，９を有している。つまり、表示部７が吸湿層５，９によりサンドイッチされている。
【００２２】
以下、具体的に説明する。
【００２３】
有機ＥＬ装置１は、図1に示すように、ベース３、吸湿層５、表示部７、吸湿層９をこの順で備える。ここでは、有機ＥＬ装置１は、吸湿層９における表示部７と反対側に表面被覆層１１を有している。なお、有機ＥＬ装置１の表側は、表面被覆層１１側であり、裏側はベース３側である。
（１）ベース
ベース３は、表示部７等を支持する機能を有する。つまり、ベース３の上面に、吸湿層５、表示部７、吸湿層９及び表面被覆層１１が設けられている（積層されている）。
【００２４】
ベース３の材料としては、樹脂材料、セラミック材料、金属材料等を利用できる。本実施形態に係る有機ＥＬ装置１は、折り曲げ可能な柔軟性を有している。このため、ベース３として、柔軟性を有する樹脂材料が好ましく利用される。
【００２５】
ベース３は、有機ＥＬ層への水分影響を考慮すると水分の透過率（以下、「水蒸気透過率」という。）の低い材料により構成されるのが好ましいが、柔軟性を持たせるために、樹脂材料からなる樹脂フィルムがベース３に好適に利用される。
（２）吸湿層
吸湿層５，９は、有機ＥＬ装置１の表面・裏面から表示部７への水分侵入に対して障壁となる機能（水分透過抑制機能）を有している。この吸湿層５，９の詳細は後述する。
（３）表示部
表示部７は、有機ＥＬ層に侵入した水分や有機ＥＬ層で吸湿された水分によって発光性能が低下する。具体的には、有機ＥＬ層を構成している有機材料の特性変化である。
（４）表面被覆層
表面被覆層１１は、表示部７を被覆する。正確には、表面被覆層１１は、吸湿層９の上面に層状に形成され、間接的に表示部７を被覆する。
【００２６】
表面被覆層１１は、有機ＥＬ装置１に機械的衝撃が作用した際に、表示部７に直接的な破損が発生するのを防止する保護機能を有している。表面被覆層１１は、表示部７への水分や酸素等のガスの進入を、完全ではないものの、防止する機能を有する。
【００２７】
表面被覆層１１の材料としては、例えば、樹脂材料から構成される樹脂膜や、窒化シリコン等の窒化膜、酸化シリコン等の酸化膜、金属膜等が利用される。有機ＥＬ装置１は、上述したように柔軟性を有する。このため、表面被覆層１１は、柔軟性を有する樹脂材料が利用される。
【００２８】
表面被覆層１１は、有機ＥＬ層への水分影響を考慮すると水蒸気透過率の低い材料により構成されるのが好ましいが、柔軟性を持たせるために、樹脂材料が表面被覆層１１に好適に利用される。
２．吸湿層について
図２は、吸湿層の断面を示す図であり、図３は、ベースに吸湿層を形成した状態の断面図である。
（１）全体
吸湿層５，９は、同じ構成であってもよいし、異なる構成であってもよい。本実施形態では、同じ構成である。吸湿層５，９は、図２に示すように、第１被覆膜２１、吸湿膜２３及び第２被覆膜２５を有する。第１被覆膜２１、吸湿膜２３及び第２被覆膜２５は、互いに密着する状態で積層されている。つまり、吸湿膜２３の両主面（表面・裏面）が一対の被覆膜２１，２５により被覆されている。
【００２９】
第１被覆膜２１は外気に近い側（ベース３や表面被覆層１１が存在する側である。）に配され、第２被覆膜２５は表示部７に近い側に配されている。つまり、吸湿層５，９においては、第２被覆膜２５が表示部７に近い側である。
【００３０】
第１被覆膜２１は、外気側からの吸湿層５，９内の水分侵入を抑制する。吸湿膜２３は、第１被覆膜２１により抑制できずに当該被覆膜２１を透過した水分を吸湿する。第２被覆膜２５は、第１被覆膜２１を透過した水分や吸湿膜２３により吸湿されていた水分が表示部７側に侵入するのを抑制する。この構成により、吸湿層５，９は、外気から表示部７に水分が侵入するのを抑制している。つまり、吸湿層５，９は、防水層としての機能も有する。
（２）被覆膜
第１及び第２被覆膜２１，２５は、同じ構成であってもよいし、異なる構成であってもよい。本実施形態では、同じ構成である。このため、被覆膜の配置等に関係なく、両者を区別する必要がないときは、第１及び第２被覆膜２１，２５として以下説明する。
【００３１】
第１及び第２被覆膜２１，２５は、低水蒸気透過率の材料から構成される。具体的には、ベース３や表面被覆層１１の水蒸気透過率よりも低い材料が第１及び第２被覆膜２１，２５の材料として利用される。具体的には、第１及び第２被覆膜２１，２５の水蒸気透過率は、４０℃、９０％ＲＨの雰囲気下で、１×１０-4ｇ／ｍ2／ｄａｙ以上１×１０-6ｇ／ｍ2／ｄａｙ以下である。なお、第１及び第２被覆膜２１，２５の水蒸気透過率はなるべく小さい方が良い。
【００３２】
低水蒸気透過率を有する材料として、例えば、無機膜がある。無機膜として、例えば、窒化シリコン等の窒化膜、酸化シリコン等の酸化膜、酸窒化シリコン等の酸窒化膜や、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）及び酸化銀等の金属酸化膜等がある。これらの無機膜は、例えば、ＣＶＤ、スパッタ等の真空成膜法により形成される。
【００３３】
しかしながら、無機膜で構成される第１及び第２被覆膜２１，２５は、図３に示すように、製造上排除することができない微小な欠陥３１が存在する。また、この欠陥３１の発生する箇所は製造工程で管理することは困難であり、欠陥３１の発生箇所に対応して部分的に吸湿膜を設けることは難しい。
【００３４】
ここでいう欠陥３１は、水分を透過させてしまうようなものである。例えば、無機膜を真空成膜法で成膜した場合、局所的に生じたピンホール等が欠陥３１に相当する。
（３）吸湿膜
吸湿膜２３は、主に第１被覆膜２１の欠陥３１を介して吸湿層５，９内に侵入してきた水分を吸湿する。これにより、第１の被覆膜２１の欠陥３１から侵入してきた水分が表示部７へ到達するのが抑制される。
【００３５】
吸湿膜２３は、吸湿剤２７を含有する材料により構成される。具体的には、吸湿膜２３は、図２及び図３に示すように、母材の一例である有機材料２９に吸湿剤２７が混合されて構成されている。
【００３６】
吸湿剤２７として、粒状をし、化学的乾燥剤や物理的乾燥剤等が利用される。化学的乾燥剤は、化学物質の固有の性質（化学反応や潮解）を利用するもので、例えば、酸化カルシウム（ＣａＯ）、塩化カルシウム（ＣａＣｌ）、酸化バリウム（ＢａＯ）、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）等がある。物理的乾燥剤は、多孔質表面に水分子が吸着しやすい性質を利用するもので、例えば、シリカゲル、酸化アルミニウム、モレキュラーシーブ、アロフェン、ゼオライト等がある。
【００３７】
有機材料２９は、例えば、アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂等がある。
【００３８】
有機材料２９は、表示部７の使用用途によって適宜選択される。例えば、表示部７（吸湿層５）に柔軟性が要求される場合は、低弾性率の材料が好ましく選択される。吸湿層５に透光性が必要とされる場合は、透光性を有する材料が選択される。安価に製造する場合は、汎用の材料が選択される。
【００３９】
吸湿膜２３は、含有する吸湿剤２７の量が吸湿膜２３の膜厚方向に異なる状態で、吸湿剤２７を有機材料２９中に有する。つまり、吸湿膜２３は、吸湿膜２３中に含まれる吸湿剤２７の平均含有率よりも低い吸湿剤２７の含有率の領域を、表示部（有機ＥＬ層）７に近い第２被覆膜２５と接触する状態で有する。
【００４０】
吸湿剤の含有率（ｖｏｌ％）は、
含有率＝（単位体積中に含有されている吸湿剤の質量／単位体積の吸湿膜の質量）×１００
で定義されるが、以下の式によって算出してもよい。
【００４１】
含有率＝吸湿膜の断面積中に観察される吸湿剤の面積／吸湿膜の断面積
吸湿膜２３は、図３に示すように、吸湿剤２７を多く含有する高含有領域２３ａと、吸湿剤２７をあまり含有していない低含有領域２３ｂとを層状に備える。この低含有領域２３ｂが、「吸湿膜２３中に含まれる吸湿剤２７の平均含有率よりも低い吸湿剤２７の含有率の領域」に相当する。
【００４２】
低含有領域２３ｂは、吸湿剤２７が全く存在していない場合も含むものとする。なお、低含有領域２３ｂにおける吸湿剤２７の含有率は、第２被覆膜２５と接する面の平坦性や欠陥発生を考慮すると、吸湿剤２７の平均含有率の半分以下が好ましい。
【００４３】
本実施形態では、吸湿膜２３は、１つの低含有領域２３ｂと１つの高含有領域２３ａとを有している。この場合、１つの目安としては、吸湿膜２３の膜厚の略中央を通り、吸湿膜２３の主面と平行な仮想面を基準にできる。具体的には、上記仮想面よりも表示部７に近い側（第２被覆膜２５に近い側である。）に位置する部分（低含有領域２３ｂに相当する。）の吸湿剤２７の含有率が、仮想面に対よりも表示部７から遠い側（第１被覆膜２１に近い側である。）に位置する部分（高含有領域２３ａに相当する。）の吸湿剤２７の含有率よりも低い。
【００４４】
このように、吸湿膜２３において、吸湿剤２７の含有率の高低を形成するには、例えば、第１被覆膜２１が下側にある場合は、吸湿剤２７と有機材料２９との比重の違いを利用して、吸湿剤２７の沈降中又は沈降後に有機材料（樹脂材料）２９を硬化させることで実施できる。この場合、吸湿膜２３の下部に位置する領域が高含有領域２３ａに相当し、上部に位置する領域が低含有領域２３ｂに相当する。
【００４５】
逆に、第１被覆膜２１が上側にある場合は、吸湿剤２７を含まない有機材料（樹脂材料）２９のみからなる樹脂層（低含有領域２３ｂに相当する）を先に形成した後、有機材料２９中に吸湿剤２７を含む層を形成することで実施できる。この場合、先に形成した樹脂層が低含有領域２３ｂに相当し、後で形成した層が高含有領域２３ａに相当する。
３．製造方法
有機ＥＬ装置１の製造方法について説明する。なお、以下の説明は、有機ＥＬ装置１の製造方法の一例である。
【００４６】
有機ＥＬ装置１は、
（１）ベース３を準備し（ベース準備工程）、
（２）ベース３の上面に吸湿層５を形成し（下吸湿層形成工程）、
（３）吸湿層５の上面に表示部７を形成し（表示部形成工程）、
（４）表示部７の上面に吸湿層９を形成し（上吸湿層形成工程）、
（５）吸湿層９の上面に表面被覆層１１を形成して（表面被覆層形成工程）
製造される。なお、表示部７中に有機ＥＬ層を含む。
【００４７】
以下、各工程について説明する
（１）ベース準備工程
ベース３として、樹脂材料を利用する場合は、当該樹脂材料の樹脂フィルムを準備する。
（２）下吸湿層形成工程
ここでは、第１及び第２被覆膜２１，２５として無機膜（窒化シリコン膜）が利用され、吸湿膜２３の吸湿剤２７として酸化アルミニウムが、有機材料２９としてアクリル系樹脂材料がそれぞれ利用される場合を例にする。
【００４８】
下吸湿層形成工程は、
（ｉ）ベース３上に第１被覆膜２１に相当する窒化シリコン膜を形成し、
（ｉｉ）窒化シリコン膜上に吸湿膜を形成し、
（ｉｉｉ）吸湿膜上に第２被覆膜２５に相当する窒化シリコン膜を形成する
ことで行われる。
【００４９】
上記の（ｉ）、（ｉｉｉ）の窒化シリコン膜の形成は、例えば、真空蒸着法（例えば、化学気相堆積法である。）を利用して行われる。
【００５０】
上記（ｉｉ）の吸湿膜２３は、吸湿剤２７を含んだ硬化前の有機材料（樹脂材料）２９を窒化シリコン膜（２１）上に、例えば、スピンコート法を利用して塗布し、所定時間経過後に乾燥・硬化させる。ここでの所定時間は、吸湿剤２７が硬化前の有機材料（樹脂材料）２９中を沈降するのに必要な時間である。これにより、膜厚方向に吸湿剤２７の含有率が異なる吸湿膜２３が得られる。
（３）表示部形成工程
表示部７は、周知の技術を利用して形成される。
【００５１】
アノードは例えば真空蒸着法（例えばスパッタ法である。）により形成され、有機ＥＬ層は、例えば有機発光材料を含有するインクが印刷法で塗布された後に乾燥することで形成でき、カソードも例えば、真空蒸着法により形成される。
（４）上吸湿層形成
ここでも、第１及び第２被覆膜２１，２５として無機膜（窒化シリコン膜）が利用され、吸湿膜２３の吸湿剤２７として酸化アルミニウムが、有機材料２９としてアクリル系樹脂材料がそれぞれ利用される。
【００５２】
上吸湿層形成工程は、
（ｉ）表示部７上に第２被覆膜２５に相当する窒化シリコン膜を形成し、
（ｉｉ）窒化シリコン膜上に吸湿膜２３を形成し、
（ｉｉｉ）吸湿膜２３上に第１被覆膜２１に相当する窒化シリコン膜を形成する
ことで行われる。
【００５３】
上記の（ｉ）、（ｉｉｉ）の窒化シリコン膜の形成は、例えば、真空蒸着法を利用して行われる。
【００５４】
上記（ｉｉ）の吸湿膜２３は、吸湿剤２７を含有していない硬化前の有機材料（樹脂材料）２９を窒化シリコン膜（２５）上に、例えば、スピンコート法を利用して塗布した後に乾燥・硬化させる。そして、吸湿剤２７を含有する硬化前の有機材料（樹脂材料）２９を、吸湿剤２７を含有していない樹脂層上に、例えば、スピンコート法を利用して塗布した後に乾燥・硬化させる。これにより、膜厚方向に吸湿剤の含有率が異なる吸湿膜２３が得られる。
（５）表面被覆層形成工程
表面被覆層１１は、ここでは、樹脂材料、例えば、アクリル系樹脂が利用されている。形成は、例えば、スピンコート法に樹脂材料を塗布した後硬化することで行われる。
４．製造工程における水分
（１）検討
発明者は、有機ＥＬ層への水分侵入を抑えることができる吸湿層を検討している。ここでは、被覆膜と、当該被覆膜の上面に配され且つ吸湿剤が樹脂材料中に分散されてなる吸湿膜と、当該吸湿膜の上面に配された被覆膜とを有する三層構造の吸湿層について検討している。
【００５５】
種々検討の結果、三層構造の吸湿層において、吸湿膜中の吸湿剤が有機ＥＬ層に近い側に多く存在すると、有機ＥＬ層の劣化が早いことが判明した。
【００５６】
この理由について、図４及び図５を用いて説明する。
【００５７】
図４は、検討した吸湿層の構造を説明するための図であり、図５は、検討した吸湿層を備える有機ＥＬ装置の製造工程中の吸湿層の状態の変化を説明するための図である。
【００５８】
吸湿層９０５は、図４に示すように、樹脂フィルムにより構成されたベース９０３の上面に形成されている。具体的には、吸湿層９０５は、上述のように、第１被覆膜９２１、吸湿膜９２３及び第２被覆膜９２５をこの順で備える。第１被覆膜９２１はベース９０３の上面に、吸湿膜９２３は第１被覆膜９２１の上面に、第２被覆膜９２５は吸湿膜９２３の上面にそれぞれ形成されている。
【００５９】
図４では示していないが、第２被覆膜９２５の上面に有機ＥＬ層を含む表示部９０７が形成される（図５参照）。また、第１被覆膜９２１，９２５には、製造上生じてしまう欠陥９３１（例えばピンホールである。）が存在する。
【００６０】
吸湿膜９２３は、粒子状の吸湿剤９２７と樹脂材料９２９とから構成されている。吸湿剤９２７は、吸湿膜９２３内に多く存在し、その分布が略均一で全体に亘っている。この構成の場合、吸湿剤９２７が吸湿膜９２３の上面に露出したり、吸湿膜９２３の上面の平坦性が悪かったり（図４には現れていない）する。これにより、第２被覆膜９２５に発生する欠陥９３１が多くなる傾向にある。なお、吸湿膜９２３の上面に露出する吸湿剤９２７に起因して発生した欠陥を、図４において符号「９３１ａ」で示す。
【００６１】
次に製造工程中の防止膜の状態を説明する。
【００６２】
ベース９０３上に吸湿層９０５が形成された直後の状態が、図５中の（ａ）である。ベース９０３上の吸湿層９０５は、大気中の雰囲気で次工程へと供給されたり保管されたりする。この際に、外気から欠陥９３１（欠陥９３１ａも含む）を介して吸湿膜９２３の内部に水分が侵入する。侵入した水分は、第２被覆膜９２５側（大気側）に多く存在する吸湿剤９２７により吸湿される。つまり、吸湿膜９２３における第２被覆膜９２５に近い部分に水分が吸湿される。この状態が、図５中の（ｂ）であり、ハッチングを施した領域９３９に水分が多く吸湿されている。
【００６３】
その後、第２被覆膜９２５の上面に表示部９０７が形成される。この形成された直後の状態が、図５中の（ｃ）である。そして、表示部９０７の形成後に、例えば表面被覆層の樹脂材料を硬化するために、吸湿層９０５、表示部９０７が形成されているベース９０３ごと加熱する。この加熱状態が、図５中の（ｄ）である。
【００６４】
加熱された状態では、水分を吸湿している吸湿剤９２７が多く存在する領域９３９から水分が欠陥９３１を介して有機ＥＬ層が存在する表示部９０７の内部の領域９０７ａへと拡散する。
【００６５】
このように、吸湿層９０５を備えているにも関わらず、有機ＥＬ装置の水分侵入による劣化が効果的に抑制されないのである。
（２）実施形態品
上述した第１の実施形態に係る吸湿層５を備える有機ＥＬ装置１では水分侵入による劣化を抑制できる。以下、その理由について説明する。
【００６６】
図６は、第１の実施形態に係る吸湿層を備える有機ＥＬ装置の製造工程中の吸湿層の状態の変化を説明するための図である。
【００６７】
吸湿層５は、図３に示すように、第１被覆膜２１、吸湿膜２３及び第２被覆膜２５をこの順で備え、この吸湿層５上に、図３では示していないが、図１に示すように有機ＥＬ層を含む表示部７が形成される。なお、第１及び第２被覆膜２１，２５には、上述したように製造上生じてしまう欠陥３１が存在する。
【００６８】
吸湿膜２３は、第２被覆部２５と接する領域を含む上部に存在する吸湿剤２７の含有率が下部に存在する吸湿剤２７の含有率や吸湿膜２３における吸湿剤２７の平均含有率よりも低い状態で、有機材料２９中に吸湿剤２７が含有されてなる。
【００６９】
この構成の場合、吸湿剤２７が第２被覆膜２５と接触する領域にあまり存在しないため、吸湿膜２３の上面に吸湿剤２７が露出することも少なく、また、吸湿膜２３の上面の平坦性も確保される。これにより、吸湿剤２７に起因して発生する第２被覆膜２５の欠陥３１を少なくできる。なお、欠陥３１を少なくできると、当然、吸湿膜２３に侵入する水分量を少なくできる。
【００７０】
次に製造工程中の吸湿層５の状態を説明する。
【００７１】
ベース３上に吸湿層５が形成された直後の状態が、図６中の（ａ）である。ベース３上の吸湿層５は、上述したように、大気中の雰囲気に晒されるため、欠陥３１を介して水分が吸湿膜２３の内部に侵入する。侵入した水分は、表示部７から離れた方の第１被覆膜２１側に多く存在する吸湿剤２７により吸湿される。つまり、吸湿膜２３における第１被覆膜２１に近い部分に水分が吸湿される。この状態が、図６中の（ｂ）であり、ハッチングを施した領域３９に水分が多く吸湿されている。
【００７２】
その後、第２被覆膜２５の上面に表示部７が形成される。この形成された直後の状態が、図６中の（ｃ）である。そして、表示部７の形成後に、例えば表面被覆層１１の樹脂材料を硬化させるために加熱した状態が、図６中の（ｄ）である。
【００７３】
加熱された状態では、水分を吸湿している吸湿剤２７が多く存在する領域３９から水分が拡散され、図６中の（ｄ）のように、水分が存在する領域３９ａが拡がる。しかしながら、もともと水分を吸湿する吸湿剤２７は、第１被覆膜２１に近い部分（すなわち第２被覆膜２５から遠い部分）に多く存在するため、加熱されて吸湿剤２７から水分が拡散しても、第２被覆膜２５までの距離が遠い。従って、第２被覆膜２５を超えて表示部７側へと水分が拡散するのを少なくできる。
【００７４】
このように、吸湿層５における吸湿膜２３は、吸湿剤２７が表示部７から離れた部分に多く存在する構成を備えているため、一旦吸湿した水分が表示部７側に拡散するのを抑制できる。これにより、有機ＥＬ装置１の劣化を抑制することができる。
５．吸湿膜
（１）平坦性
上述したように、吸湿膜２３は、膜内において表示部７から遠い部分に吸湿剤２７を多く有している。これにより、吸湿膜２３における有機ＥＬ層が存在する側の面（この面を、「有機ＥＬ側面」とする。）を平坦できる。
【００７５】
吸湿膜２３の有機ＥＬ側面は、低含有領域２３ｂにおける吸湿剤２７の含有率が、５ｖｏｌ％以下であれば、欠陥３１発生に寄与しない程度の平坦性は確保されると考えられる。吸湿剤２７の含有率が５ｖｏｌ％以下の低含有領域２３ｂの膜厚が、吸湿剤２７の平均粒径よりも大きいことが好ましく、さらには吸湿剤２７の最大粒径よりも大きいことが好ましい。
【００７６】
ここでいう「平均粒径」や「最大粒径」は、少なくとも１００個以上の数百個の粒子について、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）等で粒子径を測定し、その平均値や最大値である。
【００７７】
これは、吸湿剤２７が低含有領域２３ｂに存在していた場合でも、吸湿剤２７が有機ＥＬ側面に露出するのを少なくできるためである。
【００７８】
吸湿膜２３の有機ＥＬ側面は、吸湿剤２７をあまり含有しない低含有領域よりも、吸湿剤２７を全く含有しない非含有領域の方が平坦性を確保しやすい。
【００７９】
特に、吸湿剤２７を含有しない非含有領域の厚みを、吸湿剤２７の平均粒径よりも大きくすることで向上する。これは、高含有領域２３ａから一粒単位の吸湿剤２７の大部分が露出していた場合でも、吸湿剤２７の平均粒径よりも大きい膜厚で形成された樹脂層（非含有領域である。）により、露出している吸湿剤２７が埋まる可能性が高くなるからである。
【００８０】
さらに、吸湿剤２７を含有しない非含有領域の厚みを、吸湿剤２７の最大粒径よりも大きくすることで、吸湿膜２３の有機ＥＬ側面の平坦性はさらに向上する。これは、高含有領域２３ａから露出している１粒単位の吸湿剤２７の大部分が、吸湿剤２７の最大粒径よも大きい膜厚の樹脂層（非含有領域である。）により、確実に埋まるからである。
【００８１】
なお、吸湿膜２３の有機ＥＬ側面の平坦性が向上すると、第２被覆膜２５の有機ＥＬ側面の凹凸に起因した欠陥３１を少なくすることができ、第２被覆膜２５の防水性は向上する。
（２）水分拡散
上述したように、吸湿膜２３は、膜内において表示部７から遠い部分に吸湿剤２７を有している。このような吸湿層５に熱負荷が作用した場合、吸湿剤２７に吸湿されていた水分が吸湿膜２３の内部を拡散する。しかしながら、吸湿剤２７は、有機ＥＬ側面から離れているため、第２被覆膜２５を超えて表示部７側へと拡散することを少なくできる。
【００８２】
表示部７への水分の拡散は、吸湿剤２７と有機ＥＬ側面との距離が大きい程抑制できる。また、有機ＥＬ側面と高含有領域２３ａとの間に存在する低含有領域２３ｂは、吸湿剤２７を含有しない非含有領域である方が好ましい。
【００８３】
この場合の非含有領域の厚みは、吸湿剤２７の平均粒径よりも大きいことが好ましい。これは、高含有領域２３ａから一粒単位の吸湿剤２７の大部分が露出していた場合でも、当該吸湿剤２７との間に樹脂材料が存在する可能性が高くなり、第２被覆膜２５に水分が達するのを抑制できる。
【００８４】
さらに、吸湿剤２７を含まない非含有領域の厚みは、吸湿剤２７の最大粒径の２倍以上が好ましい。これは、高含有領域２３ａから露出している１粒単位の吸湿剤２７の大部分が、吸湿剤２７の最大粒径の２倍の膜厚の樹脂層（非含有領域である。）により、確実に埋まり、さらに、この吸湿剤２７と有機ＥＬ側面との間に、吸湿剤２７の最大粒径に相当する間隔が確実に生じるからである。
［第２の実施形態］
第２の実施形態では、有機ＥＬ表示装置について説明する。
１．概略構成
第２の実施形態に係る有機ＥＬ表示装置１０１の概略構成について、図７及び図８を用い説明する。
【００８５】
図７は、第２の実施形態に係る有機ＥＬ表示装置１０１の概略構成を示す模式ブロック図である。図８は、有機ＥＬ表示パネル１１０におけるサブピクセル１１０ａ〜１１０ｃの配置形態を示す模式平面図である。
【００８６】
図７に示すように、有機ＥＬ表示装置１０１は、有機ＥＬ表示パネル１１０と、これに接続された駆動・制御部１２０とを備えている。有機ＥＬ表示パネル１１０は、有機材料の電界発光現象を利用した有機ＥＬパネルである。ここでは、有機ＥＬ表示パネル１１０の表示面は湾曲している。
【００８７】
図８に示すように、複数のサブピクセル（副画素部）１１０ａ〜１１０ｃがＸ軸方向及びＹ軸方向に二次元配置されている。第２の実施形態においては、例えば、サブピクセル１１０ａが赤色光（Ｒ）を出射し、サブピクセル１１０ｂが緑色光（Ｇ）を出射し、サブピクセル１１０ｃが青色光（Ｂ）を出射する。
【００８８】
そして、Ｘ軸方向に隣接する３つのサブピクセル１１０ａ〜１１０ｃの組み合わせを以って、表示機能としての１つのピクセル（画素部）が構成されている。但し、構造的には、アノード、有機ＥＬ層、カソードを含んだ１ユニット、つまり、サブピクセルが１画素部となる。
【００８９】
なお、有機ＥＬ表示パネル１１０は、図８に示すように、井桁状のバンク（所謂、「ピクセルバンク」である。）１５７を有し、有機ＥＬ層がバンク１５７によって区画された領域に形成されている（図８において、本来平面視において有機ＥＬ層は見えないが、バンク１５７に区画された領域を表すためにハッチングを施している。）。
【００９０】
図７に戻って、駆動・制御部１２０は、４つの駆動回路１２１〜１２４と制御回路１２５とから構成されている。なお、有機ＥＬ表示装置１０１における有機ＥＬ表示パネル１１０と駆動・制御部１２０との配置関係については、図７の形態には限定されない。
【００９１】
また、表示機能としてのピクセルの構成については、図８に示すような３つのサブピクセル１１０ａ〜１１０ｃの組み合わせからなる形態に限定されず、４つ以上のサブピクセルの組み合わせを以って１つのピクセルが構成されるとしてもよい。
２．有機ＥＬ表示パネル１１０の構成
図９は、図８におけるＡ−Ａ断面を矢印方向から見た図である。
【００９２】
有機ＥＬ表示パネル１１０は、図９に示すように、一対の吸湿層１３３，１３５によって表示部１３１が挟まれた状態でベース１３７上に配されている。複数のサブピクセル１１０ａ〜１１０ｃは、表示部１３１内において平面視２次元的に設けられている。各サブピクセル１１０ａ〜１１０ｃが形成されるサブピクセル領域は、図８に示すように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にマトリクス状に開口が設けられ、全体形状が井桁状をするバンク１５７により例えば矩形状に区画された領域である。
【００９３】
表示部１３１は、図９に示すように、ＴＦＴ基板１５１上に絶縁層１５３が積層されている。絶縁層１５３のＺ軸方向上面は、略平坦となるように形成されている。なお、ＴＦＴ基板１５１については、ＴＦＴ層などの図示を省略し、簡略化した図としている。絶縁層１５３のＺ軸方向上面のサブピクセル領域には、アノード１５５が積層形成されている。
【００９４】
次に、絶縁層１５３上及びアノード１５５のＸ軸方向両縁上を覆うようにバンク１５７が形成されている。バンク１５７に区画されたサブピクセル領域には有機ＥＬ層１５９がアノード１５５の上面に積層形成されている。
【００９５】
有機ＥＬ層１５９上ならびにバンク１５７の側面上部及び頂面上を覆うように、カソード１６１が形成されている。カソード１６１の上面には、吸湿層１３５が形成されている。吸湿層１３５は、第２被覆膜１４５、吸湿膜１４３及び第１被覆膜１４１を有している。
【００９６】
吸湿層１３５の上面には、表面被覆層１６３が形成されている。表面被覆層１６３は、表示部１３１を被覆して保護する機能を有する。
【００９７】
本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１１０は、トップエミッション型であり、図９の矢印のようにＺ軸方向上向きの光を出射する。
３．有機ＥＬ表示パネル１１０の各構成材料
（１）ベース
ベース１３７は、折り曲げ可能な柔軟性を有する必要がある。ベース１３７は第１の実施形態のベース３と同様に、柔軟性を有する材料として、例えば樹脂材料が好ましく利用されている。ここでは、ベース１３７として、ポリカーボネートフィルムが利用されている。
（２）吸湿層
吸湿層１３３は、第１の実施形態と同様に、第１被覆膜１４１と吸湿膜１４３と第２被覆膜１４５とを有し、これらが積層された構造を有する。換言すると、吸湿層１３３は、一対の被覆膜１４１，１４５により吸湿膜１４３がサンドイッチされた（挟まれた）構造を有する。
【００９８】
第１及び第２被覆膜１４１，１４５は、低水蒸気透過率の材料からなる。水蒸気透過率は、４０℃、９０％ＲＨの雰囲気下で、１×１０-4ｇ／ｍ2／ｄａｙ以上１×１０-6ｇ／ｍ2／ｄａｙ以下程度であるが、小さい方が好ましい。なお、第１及び第２被覆膜１４１，１４５には、製造上排除することができない局所的な欠陥が存在する。
【００９９】
第１及び第２被覆膜１４１，１４５は、無機材料からなる無機膜が利用される。無機膜は、例えば、窒化シリコン（ＳｉＮ）、酸化シリコン（ＳｉＯ２）、酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）等の薄膜や、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の金属膜等である。ここでは、第１被覆膜１４１，１４５は窒化シリコン（ＳｉＮ）膜が利用されている。
【０１００】
吸湿膜１４３は、第１及び第２被覆膜１４１，１４５の欠陥を介して侵入してきた水分を吸湿する。吸湿膜１４３は、有機材料内に吸湿剤が混合されてなる。ここでは、吸湿剤としては酸化アルミニウムが、有機材料としてはアクリル系樹脂がそれぞれ利用されている。
（３）表示部
（３−１）ＴＦＴ基板
ＴＦＴ基板１５１は、基板と、当該基板のＺ軸方向上面に形成されたＴＦＴ層とから構成されている。ＴＦＴ層については、図示を省略しているが、ゲート、ソース、ドレインの３電極と、半導体層、パッシベーション膜などを含み構成されている。
【０１０１】
ＴＦＴ基板１５１のベースとなる基板は、樹脂基板等を用い形成されている。樹脂基板としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂いずれの樹脂を用いてもよい。例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のポリオレフィン、環状ポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド（ＰＩ）、ポリアミドイミド、ポリカーボネート、ポリ−（４−メチルベンテン−１）、アイオノマー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリオ共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、プリシクロヘキサンテレフタレート（ＰＣＴ）等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド、ポリアセタール、ポリフェニレンオキシド、変形ポリフェニレンオキシド、ポリアリレート、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、又はこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうち１種、又は２種以上を積層した積層体を用いることができる。
（３−２）絶縁層
絶縁層１５３は、例えば、ポリイミド、ポリアミド、アクリル系樹脂材料などの有機化合物を用い形成されている。ここで、絶縁層１５３は、有機溶剤耐性を有することが好ましい。
【０１０２】
また、絶縁層１５３は、製造工程中において、エッチング処理、ベーク処理等が施されることがあるので、それらの処理に対して過度に変形や変質などを生じない高い耐性を有する材料を用い形成されることが望ましい。
（３−３）アノード
アノード１５５は、銀（Ａｇ）又はアルミニウム（Ａｌ）を含む金属材料から構成されている。トップエミッション型の本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１１０の場合には、その表面部が高い反射性を有することが好ましい。
【０１０３】
なお、アノード１５５については、上記のような金属材料からなる単層構造だけではなく、金属層と透明導電層との積層体を採用することもできる。透明導電層の構成材料としては、例えば、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）や酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）などを用いることができる。
（３−４）バンク
バンク１５７は、樹脂等の有機材料を用い形成されており絶縁性を有する。バンク１５７の形成に用いる有機材料の例としては、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等があげられる。
（３−５）有機ＥＬ層
有機ＥＬ層１５９は、ホールと電子とが注入され再結合されることにより励起状態が生成され発光する機能を有する。有機ＥＬ層１５９の形成に用いる材料は、湿式印刷法を用い製膜できる発光性の有機材料である。
【０１０４】
具体的には、例えば、特許公開公報（日本国・特開平５−１６３４８８号公報）に記載のオキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、アンスラセン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体などの蛍光物質で形成されることが好ましい。
（３−６）カソード
カソード１６１は、例えば、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）若しくは酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）などを用い形成される。本実施形態のように、トップエミッション型の本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが必要となる。
（４）吸湿層
吸湿層１３５は、吸湿層１３３と同じ材料で構成してもよいし、別の材料で構成してもよい。ここでは、吸湿層１３５は、上述の吸湿層１３３と同じ材料で構成されている。なお、吸湿層１３５は、トップエミッション型である有機ＥＬ表示パネル１１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが必要となる。
（５）表面被覆層
表面被覆層１６３は、表示部１３１を被覆する。表面被覆層１６３は、表示部１３１が衝撃等により破損するのを防止する保護機能や、表示部１３１が直接水分や空気に晒されることを抑制する機能を有する。
【０１０５】
表面被覆層１６３は、例えば、窒化シリコン（ＳｉＮ）、酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）などの材料を用い形成される。また、窒化シリコン（ＳｉＮ）、酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）などの材料を用い形成された層の上に、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂などの樹脂材料をさらに形成した多層構造としてもよい。
【０１０６】
表面被覆層１６３は、トップエミッション型である本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが必要となる。
［第３の実施形態］
吸湿層は、水分の吸湿により何らかの性能低下を招いてしまう機能部に対して有効である。第２の実施形態では、ベース１３７として可撓性を有する樹脂フィルムを用いたが、ベースの材料として従来からのガラス材料を利用してもよい。第３の実施形態では、ベースにガラス材料を用い、表層に吸湿層を設けた有機ＥＬ装置（有機ＥＬ表示装置）について説明する。
１．全体構造
図１０は、有機ＥＬ表示パネル２０１の１サブピクセル部分の断面図である。
【０１０７】
有機ＥＬ表示パネル２０１は、ベース２０３上に設けられた表示部２０５が吸湿層２０７により被覆された構造を有する。なお、複数のサブピクセルは、第２の実施形態と同様に、表示部２０５内において平面視２次元的に設けられている。第３の実施形態でも、第２の実施形態と同様に、各色サブピクセルは、基本構成が同じであるため、各色の区別なくサブピクセルについて説明する。
【０１０８】
以下、より具体的に説明する。
２．各部構成
（１）ベース
ベース２０３は、第２の実施形態のベース１３７と異なり、湾曲自在でない、つまり、実施レベルで可撓性を有しない材料により構成されている。ベース２０３は、ここでは、ガラス材料により構成されている。ガラス材料は、第２の実施形態で説明した樹脂材料のベース１３７と異なり水蒸気透過率が低い。このため、ベース２０３と表示部２０５との間には、吸湿層を設ける必要はない。但し、ベース２０３と表示部２０５との間に吸湿層を設けてもよく、その場合は、表示部２０５の寿命を長くできたり、ベース２０３の膜厚が薄くできたりする。
（２）表示部
表示部２０５は、ＴＦＴ基板２１１をベースとして、その上に絶縁層２１３が積層されている。絶縁層２１３の上面のサブピクセル領域には、アノード２１５が形成されている。絶縁層２１３上及びアノード２１５のＸ軸方向両縁上を覆うようにバンク２１７が形成され、当該バンク２１７により区画された領域に有機ＥＬ層２１９が形成されている。
【０１０９】
有機ＥＬ層２１９上ならびにバンク２１７の側面上部及び頂面上を覆うように、カソード２２１が形成されている。
（３）吸湿層
吸湿層２０７は、第２の実施形態と同様に、第１被覆膜２３１、吸湿膜２３３及び第２被覆膜２３５を有する構造をしている。
【０１１０】
ここでは、第１及び第２被覆膜２３１，２３５は、無機材料から構成され、例えば、窒化シリコン膜が利用されている。吸湿膜２３３は、吸湿剤としてゼオライトの粒子が利用され、樹脂材料としてポリカーボネートが利用されている。
【０１１１】
なお、ここでは、表示部２０５に接する（又は表示部２０５に近い側に配された）第１被覆膜２３１の膜厚が、第２被覆膜２３５の膜厚よりも厚くしている。
（４）表面被覆層
表面被覆層２０９は、ここでは、無機材料、例えば、窒化シリコン膜により構成されている。なお、吸湿層の第２被覆膜２３５を無機材料で構成してもよく、その場合、第２被覆膜２３５を当該被覆層により構成してもよい。
［変形例］
１．有機ＥＬ層
第２及び第３の実施形態では、有機ＥＬ層１５９，２１９について説明しているが、吸湿層は有機ＥＬ層以外の機能層への水分侵入を防止するのに適用できる。つまり、機能層は、本来有している機能が水分吸湿より低下してしまうようなものであればよい。
【０１１２】
機能層を含むような例としては、ＴＦＴ層、薄膜コイル、薄膜トランジスタ、有機トランジスタ、薄膜フィルタ等の電子部品他、電子ペーパ、太陽電池、薄膜リチウムイオン電池等の電子デバイスの機能部等がある。
２．吸湿層
（１）構造
各実施形態の吸湿層５，９，１３３，１３５，２０７は、表示部７，１３１，２０５の一主面に対して、一層だけ設けられていたが、例えば、表示部等の主面に対して多層に吸湿層を設けてもよい。これにより、防水特性を向上させることができる。
【０１１３】
さらに、吸湿層５，９，１３３，１３５，２０７は、１つの吸湿膜２３，１４３，２３３に対して第１被覆膜２１，１４１，２３１と第２被覆膜２５，１４５，２３５を備えている。しかしながら、吸湿膜の両主面に１以上の被覆膜があればよく、吸湿膜の各主面に複数の被覆膜があってもよい。このとき、両主面側の被覆膜の層数は同じでもよいし、異なってもよい。さらには、各被覆膜が同じ構成でもよいし、異なる構成でもよい。
【０１１４】
さらに、吸湿層は、複数の吸湿膜を備えてもよく、例えば、被覆膜、吸湿膜、被覆膜、吸湿膜、被覆膜のように構成してもよい。このとき、複数の吸湿膜は、同じ構成でもよいし、異なる構成でもよい。
（２）吸湿膜
吸湿膜２３（１４３，２３３）は、一種類の吸湿剤２７を含んでいる。しかしながら、吸湿膜は、１つの膜内に複数種類の吸湿剤を含んでもよい。また、吸湿膜を多層用いる場合、各層において、同じ種類の吸湿剤を用いて、異なる種類の有機材料を用いてもよいし、逆に、各層において、異なる吸湿剤を用いて、同じ種類の有機材料を用いてもよい。なお、この場合でも、有機ＥＬ層側に近い第２被覆膜と接する領域の吸湿剤の量を少なくする必要はある。
【０１１５】
また、第１の実施形態における吸湿膜２３は、大別して、１つの高含有領域２３ａと１つの低含有領域２３ｂとを有している。しかしながら、吸湿膜は、有機ＥＬ層に近い第２被覆膜と接する領域において吸湿剤の量が少なければよく、複数の高含有領域と複数の低含有領域（又は／及び非含有領域）とが交互に積層されたような構造で、第２被覆膜と接する領域が低含有領域（又は非含有領域）であればよい。
【０１１６】
なお、この場合も、低含有領域（又は非含有領域）の厚みは、吸湿剤の平均粒径よりも大きいことが好ましく、吸湿剤の最大粒径よりも厚いことがさらに好ましく、さらに吸湿剤の最大粒径の２倍以上の厚みがより一層好ましい。
【０１１７】
図１１は、吸湿膜に２つの非含有領域が存在する吸湿層をベース上に形成した状態の断面図である。
【０１１８】
本例における吸湿層３０１は、ベース３の上面に形成されている。吸湿層３０１は、ベース３側から、第１被覆膜３０３、吸湿膜３０５、第２被覆膜３０７を有している。吸湿膜３０５は、有機材料である樹脂材料３１１中に吸湿剤３１３が含有する構造を有する。
【０１１９】
吸湿膜３０５は、吸湿剤３１３をあまり含有していない低含有領域３０５ａと、低含有領域３０５ａに含有されている吸湿剤３１３の量よりも多く吸湿剤３１３を含有する高含有領域３０５ｂとを有している。なお、低含有領域３０５ａは、吸湿剤３１３を含有していない非含有領域であってもよい。
【０１２０】
ここでは、吸湿膜３０５は、第１被覆膜３０３側から、低含有領域３０５ａ、高含有領域３０５ｂ、低含有領域３０５ａの３つの領域を層状に有している。
（３）吸収剤
実施の形態での吸湿剤２７は、水分を吸収（吸湿）するものである。しかしながら、他のガス（酸素等）を吸収するものであってもよい。この場合においても、吸収すべき対象物の吸着性能を実験等により把握することで、被覆膜の欠陥を考慮した寿命設計が可能となる。
３．デバイス
第１〜第３の実施形態における有機ＥＬ装置１及び有機ＥＬ表示装置１１０，２０１は、表示部７，１３１，２０５に対して、１又は２つの吸湿層５，９，１３３，１３５，２０７を備えている。しかしながら、有機ＥＬ装置は、表示部の一部の構成を、吸湿層における表示部に近い側の第２被覆膜と兼用することもできる。
【０１２１】
例えば、第２の実施形態の表示部１３１は、カソード１６１を有している。このカソード１６１を、例えば、スパッタリングによって形成される酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）や酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）の金属酸化膜とした場合、この金属酸化膜を吸湿層における機能部に近い側の第２被覆膜として利用することもできる。
４．表示部
第２及び第３の実施形態における表示部１３１，２０５について、基本的な構成を説明したが、表示部は、例えば、ホール注入層、ホール輸送層、電子輸送層、電子注入層等を備えてもよい。
【０１２２】
また、第２及び第３の実施形態における表示部１３１，２０５は、トップエミッションタイプであったが、ボトムエミッションタイプであってもよい。この場合、ベースに透光性材料を用い、ベースに近い側の電極（下部電極）として透明電極を、ベースに遠い側の電極（上部電極）として反射電極をそれぞれ用いる必要がある。
【０１２３】
第２及び第３の実施形態では、ベース１３７，２０３側にアノード１５５，２１５を配したが、例えば、ベース側にカソードを配してもよい。
【０１２４】
第２の実施形態では、有機ＥＬ表示装置をカラー有機ＥＬ表示装置として説明している。しかしながら、有機ＥＬ表示装置は、例えば単色表示の有機ＥＬ表示装置にも適用することができる。
【０１２５】
さらに、第２及び第３の実施形態での有機ＥＬ表示装置のサブピクセル構造を利用して、調光・調色機能を有する有機ＥＬ発光装置に適用もできる。つまり、実施形態での有機ＥＬ層を利用できる装置として、有機ＥＬ表示装置、有機ＥＬ発光装置等の有機ＥＬ装置がある。
【産業上の利用可能性】
【０１２６】
本発明は、水分吸湿によって機能低下を生じる有機ＥＬ層への水分侵入を防止するのに有用である。
【符号の説明】
【０１２７】
１    機能装置
５    吸湿層
７    表示部
９    吸湿層
２１    第１被覆膜
２３    吸湿膜
２５    第２被覆膜
【図１】
2015136581.tif 000003
【図２】
2015136581.tif 000004
【図３】
2015136581.tif 000005
【図４】
2015136581.tif 000006
【図５】
2015136581.tif 000007
【図６】
2015136581.tif 000008
【図７】
2015136581.tif 000009
【図８】
2015136581.tif 000010
【図９】
2015136581.tif 000011
【図１０】
2015136581.tif 000012
【図１１】
2015136581.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成28年8月25日(2016.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ層と吸湿層とを備える有機ＥＬ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ装置として、例えば、アノード電極とカソード電極との間に有機ＥＬ層を有する表示部をガラス基板上に備える有機ＥＬ表示装置がある。
【０００３】
近年、デザイン性やモバイル性に優れた有機ＥＬ表示装置が要求されている。デザイン性に優れた装置は、例えば、表示部が湾曲しているような装置である。モバイル性に優れた装置は、例えば、より軽量化された装置である。
【０００４】
上記要求に対して、有機ＥＬ表示装置のガラス基板に変わって、折り曲げ可能な柔軟性を有する樹脂基板（樹脂フィルム）を利用する技術が提案されている（例えば、特許文献１）。しかしながら、樹脂基板は水分に対するバリア性が低いので、樹脂基板を用いると、その樹脂基板を介して有機ＥＬ層に水分が侵入する。それによって、発光色が変色したり、ひどい場合には発光しなくなったりする。
【０００５】
これに対し、樹脂基板と表示部（有機ＥＬ層）との間に吸湿層を配し、表示部への侵入しようとする水分を吸湿して水分の透過を抑制する技術が提案されている（例えば、特許文献２、３）。
【０００６】
特許文献２に記載の吸湿層は、吸湿膜が一対の無機物膜によって挟まれた構造をしている。そして、無機物膜として、水分透過の度合いを示す水蒸気透過率が低い材料を用い、吸湿層の水分透過を抑えつつ、無機物膜を透過した水分を吸湿膜が吸湿している。
【０００７】
特許文献３に記載の吸湿層は、吸湿剤を有機材料中に含み、吸湿剤は有機ＥＬ層側に多く存在するような構造を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−０３１７６１号公報
【特許文献２】特表２０１２−５３３１５２号公報
【特許文献３】特開２００１−０６８２６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記の特許文献２のような低い水蒸気透過率の無機物膜を用いて、有機ＥＬ側に吸湿剤を多く配しても、有機ＥＬ層の寿命が向上しないことが判明した。つまり、吸湿層の水分透過抑制特性が不十分であることが判明した。
【００１０】
本発明は、有機ＥＬ層への水分の透過をより一層抑制することができる有機ＥＬ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様に係る有機ＥＬ装置は、有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられた吸湿層とを備える有機ＥＬ装置において、前記吸湿層は、母材中に吸湿剤を含む吸湿膜と、前記吸湿膜をその膜厚方向の両側から被覆する一対の被覆膜とを有し、前記吸湿膜は、当該吸湿膜中に含まれる前記吸湿剤の平均含有率よりも低い吸湿剤含有率である領域を、前記一対の被覆膜の内、前記有機ＥＬ層に近い側の被覆膜と接触する状態で有する。
【発明の効果】
【００１２】
上記態様に係る有機ＥＬ装置は、吸湿層における吸湿剤の含有率が、有機ＥＬ層側の被覆膜と接触する領域で、平均含有率よりも低くなっている。これにより、吸湿層における吸湿剤の平均含有率は同等に保ちながら、有機ＥＬ層側に露出する吸湿剤を少なくすることによって、被覆膜に生じる欠陥を少なくできる。従って、有機ＥＬ層への水分の透過をより抑制することができる。また、有機ＥＬ層と吸湿剤との平均的な距離が大きくなるので、吸湿剤により吸湿された水分が有機ＥＬ層に達し難くできる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施形態を示す機能装置の断面図である。
【図２】吸湿層の断面を示す図である。
【図３】ベースに吸湿層を形成した状態の断面図である。
【図４】検討した吸湿層の構造を説明するための図である。
【図５】検討した吸湿層を備える有機ＥＬ装置の製造工程中の吸湿層の状態の変化を説明するための図である。
【図６】第１の実施形態に係る吸湿層を備える有機ＥＬ装置の製造工程中の吸湿層の状態の変化を説明するための図である。
【図７】第２の実施形態に係る有機ＥＬ表示装置の概略構成を示す模式ブロック図である。
【図８】有機ＥＬ表示パネルにおけるサブピクセルの配置形態を示す模式平面図である。
【図９】図７におけるＡ−Ａ断面を矢印方向から見た図である。
【図１０】有機ＥＬ表示パネルの１サブピクセル部分の断面図である。
【図１１】吸湿膜に２つの非含有領域が存在する吸湿層をベース上に形成した状態の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［本発明の態様］
本発明の一態様に係る有機ＥＬ装置は、有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられた吸湿層とを備える有機ＥＬ装置において、前記吸湿層は、母材中に吸湿剤を含む吸湿膜と、前記吸湿膜をその膜厚方向の両側から被覆する一対の被覆膜とを有し、前記吸湿膜は、当該吸湿膜中に含まれる前記吸湿剤の平均含有率よりも低い吸湿剤含有率である領域を、前記一対の被覆膜の内、前記有機ＥＬ層に近い側の被覆膜と接触する状態で有する。
【００１５】
また、前記領域は、前記有機ＥＬ層に近い被覆膜の全領域で接触する。これにより、有機ＥＬ層側の全範囲で露出する吸湿剤が少なくなり、被覆膜の全範囲で欠陥を少なくできる。また、吸湿剤により吸湿された水分が有機ＥＬ層の全範囲で達し難くできる。
【００１６】
また、前記領域の厚みは、前記吸湿剤の平均粒径よりも大きい。あるいは、前記領域の前記吸湿剤の含有率は、５ｖｏｌ％以下である。これにより、有機ＥＬ層に近い被覆膜における有機ＥＬ層側の面を平坦にできる。
【００１７】
前記領域の前記吸湿剤の含有率は、０ｖｏｌ％である。これにより、有機ＥＬ層に近い被覆膜における有機ＥＬ層側の面の平坦性を向上させることができる。
【００１８】
また、前記吸湿剤がゼオライトである。これにより容易に実施できる。
［第１の実施形態］
第1の実施形態では、水分吸湿により機能低下を招く機能層を有する装置の概略を説明する。
【００１９】
なお、ここでは、機能層として有機ＥＬ層を利用した有機ＥＬ装置について説明する。
１．全体構造
図１は、第１の実施形態を示す有機ＥＬ装置の断面図である。
【００２０】
有機ＥＬ装置１は、アノード電極とカソード電極との間に有機ＥＬ層を有する表示部７を有する。
【００２１】
有機ＥＬ装置１は、表示部７の少なくとも一方の主面、本実施形態では両主面に吸湿層５，９を有している。つまり、表示部７が吸湿層５，９によりサンドイッチされている。
【００２２】
以下、具体的に説明する。
【００２３】
有機ＥＬ装置１は、図1に示すように、ベース３、吸湿層５、表示部７、吸湿層９をこの順で備える。ここでは、有機ＥＬ装置１は、吸湿層９における表示部７と反対側に表面被覆層１１を有している。なお、有機ＥＬ装置１の表側は、表面被覆層１１側であり、裏側はベース３側である。
（１）ベース
ベース３は、表示部７等を支持する機能を有する。つまり、ベース３の上面に、吸湿層５、表示部７、吸湿層９及び表面被覆層１１が設けられている（積層されている）。
【００２４】
ベース３の材料としては、樹脂材料、セラミック材料、金属材料等を利用できる。本実施形態に係る有機ＥＬ装置１は、折り曲げ可能な柔軟性を有している。このため、ベース３として、柔軟性を有する樹脂材料が好ましく利用される。
【００２５】
ベース３は、有機ＥＬ層への水分影響を考慮すると水分の透過率（以下、「水蒸気透過率」という。）の低い材料により構成されるのが好ましいが、柔軟性を持たせるために、樹脂材料からなる樹脂フィルムがベース３に好適に利用される。
（２）吸湿層
吸湿層５，９は、有機ＥＬ装置１の表面・裏面から表示部７への水分侵入に対して障壁となる機能（水分透過抑制機能）を有している。この吸湿層５，９の詳細は後述する。
（３）表示部
表示部７は、有機ＥＬ層に侵入した水分や有機ＥＬ層で吸湿された水分によって発光性能が低下する。具体的には、有機ＥＬ層を構成している有機材料の特性変化である。
（４）表面被覆層
表面被覆層１１は、表示部７を被覆する。正確には、表面被覆層１１は、吸湿層９の上面に層状に形成され、間接的に表示部７を被覆する。
【００２６】
表面被覆層１１は、有機ＥＬ装置１に機械的衝撃が作用した際に、表示部７に直接的な破損が発生するのを防止する保護機能を有している。表面被覆層１１は、表示部７への水分や酸素等のガスの進入を、完全ではないものの、防止する機能を有する。
【００２７】
表面被覆層１１の材料としては、例えば、樹脂材料から構成される樹脂膜や、窒化シリコン等の窒化膜、酸化シリコン等の酸化膜、金属膜等が利用される。有機ＥＬ装置１は、上述したように柔軟性を有する。このため、表面被覆層１１は、柔軟性を有する樹脂材料が利用される。
【００２８】
表面被覆層１１は、有機ＥＬ層への水分影響を考慮すると水蒸気透過率の低い材料により構成されるのが好ましいが、柔軟性を持たせるために、樹脂材料が表面被覆層１１に好適に利用される。
２．吸湿層について
図２は、吸湿層の断面を示す図であり、図３は、ベースに吸湿層を形成した状態の断面図である。
（１）全体
吸湿層５，９は、同じ構成であってもよいし、異なる構成であってもよい。本実施形態では、同じ構成である。吸湿層５，９は、図２に示すように、第１被覆膜２１、吸湿膜２３及び第２被覆膜２５を有する。第１被覆膜２１、吸湿膜２３及び第２被覆膜２５は、互いに密着する状態で積層されている。つまり、吸湿膜２３の両主面（表面・裏面）が一対の被覆膜２１，２５により被覆されている。
【００２９】
第１被覆膜２１は外気に近い側（ベース３や表面被覆層１１が存在する側である。）に配され、第２被覆膜２５は表示部７に近い側に配されている。つまり、吸湿層５，９においては、第２被覆膜２５が表示部７に近い側である。
【００３０】
第１被覆膜２１は、外気側からの吸湿層５，９内の水分侵入を抑制する。吸湿膜２３は、第１被覆膜２１により抑制できずに当該被覆膜２１を透過した水分を吸湿する。第２被覆膜２５は、第１被覆膜２１を透過した水分や吸湿膜２３により吸湿されていた水分が表示部７側に侵入するのを抑制する。この構成により、吸湿層５，９は、外気から表示部７に水分が侵入するのを抑制している。つまり、吸湿層５，９は、防水層としての機能も有する。
（２）被覆膜
第１及び第２被覆膜２１，２５は、同じ構成であってもよいし、異なる構成であってもよい。本実施形態では、同じ構成である。このため、被覆膜の配置等に関係なく、両者を区別する必要がないときは、第１及び第２被覆膜２１，２５として以下説明する。
【００３１】
第１及び第２被覆膜２１，２５は、低水蒸気透過率の材料から構成される。具体的には、ベース３や表面被覆層１１の水蒸気透過率よりも低い材料が第１及び第２被覆膜２１，２５の材料として利用される。具体的には、第１及び第２被覆膜２１，２５の水蒸気透過率は、４０℃、９０％ＲＨの雰囲気下で、１×１０-4ｇ／ｍ2／ｄａｙ以上１×１０-6ｇ／ｍ2／ｄａｙ以下である。なお、第１及び第２被覆膜２１，２５の水蒸気透過率はなるべく小さい方が良い。
【００３２】
低水蒸気透過率を有する材料として、例えば、無機膜がある。無機膜として、例えば、窒化シリコン等の窒化膜、酸化シリコン等の酸化膜、酸窒化シリコン等の酸窒化膜や、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）及び酸化銀等の金属酸化膜等がある。これらの無機膜は、例えば、ＣＶＤ、スパッタ等の真空成膜法により形成される。
【００３３】
しかしながら、無機膜で構成される第１及び第２被覆膜２１，２５は、図３に示すように、製造上排除することができない微小な欠陥３１が存在する。また、この欠陥３１の発生する箇所は製造工程で管理することは困難であり、欠陥３１の発生箇所に対応して部分的に吸湿膜を設けることは難しい。
【００３４】
ここでいう欠陥３１は、水分を透過させてしまうようなものである。例えば、無機膜を真空成膜法で成膜した場合、局所的に生じたピンホール等が欠陥３１に相当する。
（３）吸湿膜
吸湿膜２３は、主に第１被覆膜２１の欠陥３１を介して吸湿層５，９内に侵入してきた水分を吸湿する。これにより、第１の被覆膜２１の欠陥３１から侵入してきた水分が表示部７へ到達するのが抑制される。
【００３５】
吸湿膜２３は、吸湿剤２７を含有する材料により構成される。具体的には、吸湿膜２３は、図２及び図３に示すように、母材の一例である有機材料２９に吸湿剤２７が混合されて構成されている。
【００３６】
吸湿剤２７として、粒状をし、化学的乾燥剤や物理的乾燥剤等が利用される。化学的乾燥剤は、化学物質の固有の性質（化学反応や潮解）を利用するもので、例えば、酸化カルシウム（ＣａＯ）、塩化カルシウム（ＣａＣｌ）、酸化バリウム（ＢａＯ）、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）等がある。物理的乾燥剤は、多孔質表面に水分子が吸着しやすい性質を利用するもので、例えば、シリカゲル、酸化アルミニウム、モレキュラーシーブ、アロフェン、ゼオライト等がある。
【００３７】
有機材料２９は、例えば、アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂等がある。
【００３８】
有機材料２９は、表示部７の使用用途によって適宜選択される。例えば、表示部７（吸湿層５）に柔軟性が要求される場合は、低弾性率の材料が好ましく選択される。吸湿層５に透光性が必要とされる場合は、透光性を有する材料が選択される。安価に製造する場合は、汎用の材料が選択される。
【００３９】
吸湿膜２３は、含有する吸湿剤２７の量が吸湿膜２３の膜厚方向に異なる状態で、吸湿剤２７を有機材料２９中に有する。つまり、吸湿膜２３は、吸湿膜２３中に含まれる吸湿剤２７の平均含有率よりも低い吸湿剤２７の含有率の領域を、表示部（有機ＥＬ層）７に近い第２被覆膜２５と接触する状態で有する。
【００４０】
吸湿剤の含有率（ｖｏｌ％）は、
含有率＝（単位体積中に含有されている吸湿剤の質量／単位体積の吸湿膜の質量）×１００
で定義されるが、以下の式によって算出してもよい。
【００４１】
含有率＝吸湿膜の断面積中に観察される吸湿剤の面積／吸湿膜の断面積
吸湿膜２３は、図３に示すように、吸湿剤２７を多く含有する高含有領域２３ａと、吸湿剤２７をあまり含有していない低含有領域２３ｂとを層状に備える。この低含有領域２３ｂが、「吸湿膜２３中に含まれる吸湿剤２７の平均含有率よりも低い吸湿剤２７の含有率の領域」に相当する。
【００４２】
低含有領域２３ｂは、吸湿剤２７が全く存在していない場合も含むものとする。なお、低含有領域２３ｂにおける吸湿剤２７の含有率は、第２被覆膜２５と接する面の平坦性や欠陥発生を考慮すると、吸湿剤２７の平均含有率の半分以下が好ましい。
【００４３】
本実施形態では、吸湿膜２３は、１つの低含有領域２３ｂと１つの高含有領域２３ａとを有している。この場合、１つの目安としては、吸湿膜２３の膜厚の略中央を通り、吸湿膜２３の主面と平行な仮想面を基準にできる。具体的には、上記仮想面よりも表示部７に近い側（第２被覆膜２５に近い側である。）に位置する部分（低含有領域２３ｂに相当する。）の吸湿剤２７の含有率が、仮想面に対よりも表示部７から遠い側（第１被覆膜２１に近い側である。）に位置する部分（高含有領域２３ａに相当する。）の吸湿剤２７の含有率よりも低い。
【００４４】
このように、吸湿膜２３において、吸湿剤２７の含有率の高低を形成するには、例えば、第１被覆膜２１が下側にある場合は、吸湿剤２７と有機材料２９との比重の違いを利用して、吸湿剤２７の沈降中又は沈降後に有機材料（樹脂材料）２９を硬化させることで実施できる。この場合、吸湿膜２３の下部に位置する領域が高含有領域２３ａに相当し、上部に位置する領域が低含有領域２３ｂに相当する。
【００４５】
逆に、第１被覆膜２１が上側にある場合は、吸湿剤２７を含まない有機材料（樹脂材料）２９のみからなる樹脂層（低含有領域２３ｂに相当する）を先に形成した後、有機材料２９中に吸湿剤２７を含む層を形成することで実施できる。この場合、先に形成した樹脂層が低含有領域２３ｂに相当し、後で形成した層が高含有領域２３ａに相当する。
３．製造方法
有機ＥＬ装置１の製造方法について説明する。なお、以下の説明は、有機ＥＬ装置１の製造方法の一例である。
【００４６】
有機ＥＬ装置１は、
（１）ベース３を準備し（ベース準備工程）、
（２）ベース３の上面に吸湿層５を形成し（下吸湿層形成工程）、
（３）吸湿層５の上面に表示部７を形成し（表示部形成工程）、
（４）表示部７の上面に吸湿層９を形成し（上吸湿層形成工程）、
（５）吸湿層９の上面に表面被覆層１１を形成して（表面被覆層形成工程）
製造される。なお、表示部７中に有機ＥＬ層を含む。
【００４７】
以下、各工程について説明する
（１）ベース準備工程
ベース３として、樹脂材料を利用する場合は、当該樹脂材料の樹脂フィルムを準備する。
（２）下吸湿層形成工程
ここでは、第１及び第２被覆膜２１，２５として無機膜（窒化シリコン膜）が利用され、吸湿膜２３の吸湿剤２７として酸化アルミニウムが、有機材料２９としてアクリル系樹脂材料がそれぞれ利用される場合を例にする。
【００４８】
下吸湿層形成工程は、
（ｉ）ベース３上に第１被覆膜２１に相当する窒化シリコン膜を形成し、
（ｉｉ）窒化シリコン膜上に吸湿膜を形成し、
（ｉｉｉ）吸湿膜上に第２被覆膜２５に相当する窒化シリコン膜を形成する
ことで行われる。
【００４９】
上記の（ｉ）、（ｉｉｉ）の窒化シリコン膜の形成は、例えば、真空蒸着法（例えば、化学気相堆積法である。）を利用して行われる。
【００５０】
上記（ｉｉ）の吸湿膜２３は、吸湿剤２７を含んだ硬化前の有機材料（樹脂材料）２９を窒化シリコン膜（２１）上に、例えば、スピンコート法を利用して塗布し、所定時間経過後に乾燥・硬化させる。ここでの所定時間は、吸湿剤２７が硬化前の有機材料（樹脂材料）２９中を沈降するのに必要な時間である。これにより、膜厚方向に吸湿剤２７の含有率が異なる吸湿膜２３が得られる。
（３）表示部形成工程
表示部７は、周知の技術を利用して形成される。
【００５１】
アノードは例えば真空蒸着法（例えばスパッタ法である。）により形成され、有機ＥＬ層は、例えば有機発光材料を含有するインクが印刷法で塗布された後に乾燥することで形成でき、カソードも例えば、真空蒸着法により形成される。
（４）上吸湿層形成
ここでも、第１及び第２被覆膜２１，２５として無機膜（窒化シリコン膜）が利用され、吸湿膜２３の吸湿剤２７として酸化アルミニウムが、有機材料２９としてアクリル系樹脂材料がそれぞれ利用される。
【００５２】
上吸湿層形成工程は、
（ｉ）表示部７上に第２被覆膜２５に相当する窒化シリコン膜を形成し、
（ｉｉ）窒化シリコン膜上に吸湿膜２３を形成し、
（ｉｉｉ）吸湿膜２３上に第１被覆膜２１に相当する窒化シリコン膜を形成する
ことで行われる。
【００５３】
上記の（ｉ）、（ｉｉｉ）の窒化シリコン膜の形成は、例えば、真空蒸着法を利用して行われる。
【００５４】
上記（ｉｉ）の吸湿膜２３は、吸湿剤２７を含有していない硬化前の有機材料（樹脂材料）２９を窒化シリコン膜（２５）上に、例えば、スピンコート法を利用して塗布した後に乾燥・硬化させる。そして、吸湿剤２７を含有する硬化前の有機材料（樹脂材料）２９を、吸湿剤２７を含有していない樹脂層上に、例えば、スピンコート法を利用して塗布した後に乾燥・硬化させる。これにより、膜厚方向に吸湿剤の含有率が異なる吸湿膜２３が得られる。
（５）表面被覆層形成工程
表面被覆層１１は、ここでは、樹脂材料、例えば、アクリル系樹脂が利用されている。形成は、例えば、スピンコート法に樹脂材料を塗布した後硬化することで行われる。
４．製造工程における水分
（１）検討
発明者は、有機ＥＬ層への水分侵入を抑えることができる吸湿層を検討している。ここでは、被覆膜と、当該被覆膜の上面に配され且つ吸湿剤が樹脂材料中に分散されてなる吸湿膜と、当該吸湿膜の上面に配された被覆膜とを有する三層構造の吸湿層について検討している。
【００５５】
種々検討の結果、三層構造の吸湿層において、吸湿膜中の吸湿剤が有機ＥＬ層に近い側に多く存在すると、有機ＥＬ層の劣化が早いことが判明した。
【００５６】
この理由について、図４及び図５を用いて説明する。
【００５７】
図４は、検討した吸湿層の構造を説明するための図であり、図５は、検討した吸湿層を備える有機ＥＬ装置の製造工程中の吸湿層の状態の変化を説明するための図である。
【００５８】
吸湿層９０５は、図４に示すように、樹脂フィルムにより構成されたベース９０３の上面に形成されている。具体的には、吸湿層９０５は、上述のように、第１被覆膜９２１、吸湿膜９２３及び第２被覆膜９２５をこの順で備える。第１被覆膜９２１はベース９０３の上面に、吸湿膜９２３は第１被覆膜９２１の上面に、第２被覆膜９２５は吸湿膜９２３の上面にそれぞれ形成されている。
【００５９】
図４では示していないが、第２被覆膜９２５の上面に有機ＥＬ層を含む表示部９０７が形成される（図５参照）。また、第１被覆膜９２１，９２５には、製造上生じてしまう欠陥９３１（例えばピンホールである。）が存在する。
【００６０】
吸湿膜９２３は、粒子状の吸湿剤９２７と樹脂材料９２９とから構成されている。吸湿剤９２７は、吸湿膜９２３内に多く存在し、その分布が略均一で全体に亘っている。この構成の場合、吸湿剤９２７が吸湿膜９２３の上面に露出したり、吸湿膜９２３の上面の平坦性が悪かったり（図４には現れていない）する。これにより、第２被覆膜９２５に発生する欠陥９３１が多くなる傾向にある。なお、吸湿膜９２３の上面に露出する吸湿剤９２７に起因して発生した欠陥を、図４において符号「９３１ａ」で示す。
【００６１】
次に製造工程中の防止膜の状態を説明する。
【００６２】
ベース９０３上に吸湿層９０５が形成された直後の状態が、図５中の（ａ）である。ベース９０３上の吸湿層９０５は、大気中の雰囲気で次工程へと供給されたり保管されたりする。この際に、外気から欠陥９３１（欠陥９３１ａも含む）を介して吸湿膜９２３の内部に水分が侵入する。侵入した水分は、第２被覆膜９２５側（大気側）に多く存在する吸湿剤９２７により吸湿される。つまり、吸湿膜９２３における第２被覆膜９２５に近い部分に水分が吸湿される。この状態が、図５中の（ｂ）であり、ハッチングを施した領域９３９に水分が多く吸湿されている。
【００６３】
その後、第２被覆膜９２５の上面に表示部９０７が形成される。この形成された直後の状態が、図５中の（ｃ）である。そして、表示部９０７の形成後に、例えば表面被覆層の樹脂材料を硬化するために、吸湿層９０５、表示部９０７が形成されているベース９０３ごと加熱する。この加熱状態が、図５中の（ｄ）である。
【００６４】
加熱された状態では、水分を吸湿している吸湿剤９２７が多く存在する領域９３９から水分が欠陥９３１を介して有機ＥＬ層が存在する表示部９０７の内部の領域９０７ａへと拡散する。
【００６５】
このように、吸湿層９０５を備えているにも関わらず、有機ＥＬ装置の水分侵入による劣化が効果的に抑制されないのである。
（２）実施形態品
上述した第１の実施形態に係る吸湿層５を備える有機ＥＬ装置１では水分侵入による劣化を抑制できる。以下、その理由について説明する。
【００６６】
図６は、第１の実施形態に係る吸湿層を備える有機ＥＬ装置の製造工程中の吸湿層の状態の変化を説明するための図である。
【００６７】
吸湿層５は、図３に示すように、第１被覆膜２１、吸湿膜２３及び第２被覆膜２５をこの順で備え、この吸湿層５上に、図３では示していないが、図１に示すように有機ＥＬ層を含む表示部７が形成される。なお、第１及び第２被覆膜２１，２５には、上述したように製造上生じてしまう欠陥３１が存在する。
【００６８】
吸湿膜２３は、第２被覆部２５と接する領域を含む上部に存在する吸湿剤２７の含有率が下部に存在する吸湿剤２７の含有率や吸湿膜２３における吸湿剤２７の平均含有率よりも低い状態で、有機材料２９中に吸湿剤２７が含有されてなる。
【００６９】
この構成の場合、吸湿剤２７が第２被覆膜２５と接触する領域にあまり存在しないため、吸湿膜２３の上面に吸湿剤２７が露出することも少なく、また、吸湿膜２３の上面の平坦性も確保される。これにより、吸湿剤２７に起因して発生する第２被覆膜２５の欠陥３１を少なくできる。なお、欠陥３１を少なくできると、当然、吸湿膜２３に侵入する水分量を少なくできる。
【００７０】
次に製造工程中の吸湿層５の状態を説明する。
【００７１】
ベース３上に吸湿層５が形成された直後の状態が、図６中の（ａ）である。ベース３上の吸湿層５は、上述したように、大気中の雰囲気に晒されるため、欠陥３１を介して水分が吸湿膜２３の内部に侵入する。侵入した水分は、表示部７から離れた方の第１被覆膜２１側に多く存在する吸湿剤２７により吸湿される。つまり、吸湿膜２３における第１被覆膜２１に近い部分に水分が吸湿される。この状態が、図６中の（ｂ）であり、ハッチングを施した領域３９に水分が多く吸湿されている。
【００７２】
その後、第２被覆膜２５の上面に表示部７が形成される。この形成された直後の状態が、図６中の（ｃ）である。そして、表示部７の形成後に、例えば表面被覆層１１の樹脂材料を硬化させるために加熱した状態が、図６中の（ｄ）である。
【００７３】
加熱された状態では、水分を吸湿している吸湿剤２７が多く存在する領域３９から水分が拡散され、図６中の（ｄ）のように、水分が存在する領域３９ａが拡がる。しかしながら、もともと水分を吸湿する吸湿剤２７は、第１被覆膜２１に近い部分（すなわち第２被覆膜２５から遠い部分）に多く存在するため、加熱されて吸湿剤２７から水分が拡散しても、第２被覆膜２５までの距離が遠い。従って、第２被覆膜２５を超えて表示部７側へと水分が拡散するのを少なくできる。
【００７４】
このように、吸湿層５における吸湿膜２３は、吸湿剤２７が表示部７から離れた部分に多く存在する構成を備えているため、一旦吸湿した水分が表示部７側に拡散するのを抑制できる。これにより、有機ＥＬ装置１の劣化を抑制することができる。
５．吸湿膜
（１）平坦性
上述したように、吸湿膜２３は、膜内において表示部７から遠い部分に吸湿剤２７を多く有している。これにより、吸湿膜２３における有機ＥＬ層が存在する側の面（この面を、「有機ＥＬ側面」とする。）を平坦できる。
【００７５】
吸湿膜２３の有機ＥＬ側面は、低含有領域２３ｂにおける吸湿剤２７の含有率が、５ｖｏｌ％以下であれば、欠陥３１発生に寄与しない程度の平坦性は確保されると考えられる。吸湿剤２７の含有率が５ｖｏｌ％以下の低含有領域２３ｂの膜厚が、吸湿剤２７の平均粒径よりも大きいことが好ましく、さらには吸湿剤２７の最大粒径よりも大きいことが好ましい。
【００７６】
ここでいう「平均粒径」や「最大粒径」は、少なくとも１００個以上の数百個の粒子について、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）等で粒子径を測定し、その平均値や最大値である。
【００７７】
これは、吸湿剤２７が低含有領域２３ｂに存在していた場合でも、吸湿剤２７が有機ＥＬ側面に露出するのを少なくできるためである。
【００７８】
吸湿膜２３の有機ＥＬ側面は、吸湿剤２７をあまり含有しない低含有領域よりも、吸湿剤２７を全く含有しない非含有領域の方が平坦性を確保しやすい。
【００７９】
特に、吸湿剤２７を含有しない非含有領域の厚みを、吸湿剤２７の平均粒径よりも大きくすることで向上する。これは、高含有領域２３ａから一粒単位の吸湿剤２７の大部分が露出していた場合でも、吸湿剤２７の平均粒径よりも大きい膜厚で形成された樹脂層（非含有領域である。）により、露出している吸湿剤２７が埋まる可能性が高くなるからである。
【００８０】
さらに、吸湿剤２７を含有しない非含有領域の厚みを、吸湿剤２７の最大粒径よりも大きくすることで、吸湿膜２３の有機ＥＬ側面の平坦性はさらに向上する。これは、高含有領域２３ａから露出している１粒単位の吸湿剤２７の大部分が、吸湿剤２７の最大粒径よも大きい膜厚の樹脂層（非含有領域である。）により、確実に埋まるからである。
【００８１】
なお、吸湿膜２３の有機ＥＬ側面の平坦性が向上すると、第２被覆膜２５の有機ＥＬ側面の凹凸に起因した欠陥３１を少なくすることができ、第２被覆膜２５の防水性は向上する。
（２）水分拡散
上述したように、吸湿膜２３は、膜内において表示部７から遠い部分に吸湿剤２７を有している。このような吸湿層５に熱負荷が作用した場合、吸湿剤２７に吸湿されていた水分が吸湿膜２３の内部を拡散する。しかしながら、吸湿剤２７は、有機ＥＬ側面から離れているため、第２被覆膜２５を超えて表示部７側へと拡散することを少なくできる。
【００８２】
表示部７への水分の拡散は、吸湿剤２７と有機ＥＬ側面との距離が大きい程抑制できる。また、有機ＥＬ側面と高含有領域２３ａとの間に存在する低含有領域２３ｂは、吸湿剤２７を含有しない非含有領域である方が好ましい。
【００８３】
この場合の非含有領域の厚みは、吸湿剤２７の平均粒径よりも大きいことが好ましい。これは、高含有領域２３ａから一粒単位の吸湿剤２７の大部分が露出していた場合でも、当該吸湿剤２７との間に樹脂材料が存在する可能性が高くなり、第２被覆膜２５に水分が達するのを抑制できる。
【００８４】
さらに、吸湿剤２７を含まない非含有領域の厚みは、吸湿剤２７の最大粒径の２倍以上が好ましい。これは、高含有領域２３ａから露出している１粒単位の吸湿剤２７の大部分が、吸湿剤２７の最大粒径の２倍の膜厚の樹脂層（非含有領域である。）により、確実に埋まり、さらに、この吸湿剤２７と有機ＥＬ側面との間に、吸湿剤２７の最大粒径に相当する間隔が確実に生じるからである。
［第２の実施形態］
第２の実施形態では、有機ＥＬ表示装置について説明する。
１．概略構成
第２の実施形態に係る有機ＥＬ表示装置１０１の概略構成について、図７及び図８を用い説明する。
【００８５】
図７は、第２の実施形態に係る有機ＥＬ表示装置１０１の概略構成を示す模式ブロック図である。図８は、有機ＥＬ表示パネル１１０におけるサブピクセル１１０ａ〜１１０ｃの配置形態を示す模式平面図である。
【００８６】
図７に示すように、有機ＥＬ表示装置１０１は、有機ＥＬ表示パネル１１０と、これに接続された駆動・制御部１２０とを備えている。有機ＥＬ表示パネル１１０は、有機材料の電界発光現象を利用した有機ＥＬパネルである。ここでは、有機ＥＬ表示パネル１１０の表示面は湾曲している。
【００８７】
図８に示すように、複数のサブピクセル（副画素部）１１０ａ〜１１０ｃがＸ軸方向及びＹ軸方向に二次元配置されている。第２の実施形態においては、例えば、サブピクセル１１０ａが赤色光（Ｒ）を出射し、サブピクセル１１０ｂが緑色光（Ｇ）を出射し、サブピクセル１１０ｃが青色光（Ｂ）を出射する。
【００８８】
そして、Ｘ軸方向に隣接する３つのサブピクセル１１０ａ〜１１０ｃの組み合わせを以って、表示機能としての１つのピクセル（画素部）が構成されている。但し、構造的には、アノード、有機ＥＬ層、カソードを含んだ１ユニット、つまり、サブピクセルが１画素部となる。
【００８９】
なお、有機ＥＬ表示パネル１１０は、図８に示すように、井桁状のバンク（所謂、「ピクセルバンク」である。）１５７を有し、有機ＥＬ層がバンク１５７によって区画された領域に形成されている（図８において、本来平面視において有機ＥＬ層は見えないが、バンク１５７に区画された領域を表すためにハッチングを施している。）。
【００９０】
図７に戻って、駆動・制御部１２０は、４つの駆動回路１２１〜１２４と制御回路１２５とから構成されている。なお、有機ＥＬ表示装置１０１における有機ＥＬ表示パネル１１０と駆動・制御部１２０との配置関係については、図７の形態には限定されない。
【００９１】
また、表示機能としてのピクセルの構成については、図８に示すような３つのサブピクセル１１０ａ〜１１０ｃの組み合わせからなる形態に限定されず、４つ以上のサブピクセルの組み合わせを以って１つのピクセルが構成されるとしてもよい。
２．有機ＥＬ表示パネル１１０の構成
図９は、図８におけるＡ−Ａ断面を矢印方向から見た図である。
【００９２】
有機ＥＬ表示パネル１１０は、図９に示すように、一対の吸湿層１３３，１３５によって表示部１３１が挟まれた状態でベース１３７上に配されている。複数のサブピクセル１１０ａ〜１１０ｃは、表示部１３１内において平面視２次元的に設けられている。各サブピクセル１１０ａ〜１１０ｃが形成されるサブピクセル領域は、図８に示すように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にマトリクス状に開口が設けられ、全体形状が井桁状をするバンク１５７により例えば矩形状に区画された領域である。
【００９３】
表示部１３１は、図９に示すように、ＴＦＴ基板１５１上に絶縁層１５３が積層されている。絶縁層１５３のＺ軸方向上面は、略平坦となるように形成されている。なお、ＴＦＴ基板１５１については、ＴＦＴ層などの図示を省略し、簡略化した図としている。絶縁層１５３のＺ軸方向上面のサブピクセル領域には、アノード１５５が積層形成されている。
【００９４】
次に、絶縁層１５３上及びアノード１５５のＸ軸方向両縁上を覆うようにバンク１５７が形成されている。バンク１５７に区画されたサブピクセル領域には有機ＥＬ層１５９がアノード１５５の上面に積層形成されている。
【００９５】
有機ＥＬ層１５９上ならびにバンク１５７の側面上部及び頂面上を覆うように、カソード１６１が形成されている。カソード１６１の上面には、吸湿層１３５が形成されている。吸湿層１３５は、第２被覆膜１４５、吸湿膜１４３及び第１被覆膜１４１を有している。
【００９６】
吸湿層１３５の上面には、表面被覆層１６３が形成されている。表面被覆層１６３は、表示部１３１を被覆して保護する機能を有する。
【００９７】
本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１１０は、トップエミッション型であり、図９の矢印のようにＺ軸方向上向きの光を出射する。
３．有機ＥＬ表示パネル１１０の各構成材料
（１）ベース
ベース１３７は、折り曲げ可能な柔軟性を有する必要がある。ベース１３７は第１の実施形態のベース３と同様に、柔軟性を有する材料として、例えば樹脂材料が好ましく利用されている。ここでは、ベース１３７として、ポリカーボネートフィルムが利用されている。
（２）吸湿層
吸湿層１３３は、第１の実施形態と同様に、第１被覆膜１４１と吸湿膜１４３と第２被覆膜１４５とを有し、これらが積層された構造を有する。換言すると、吸湿層１３３は、一対の被覆膜１４１，１４５により吸湿膜１４３がサンドイッチされた（挟まれた）構造を有する。
【００９８】
第１及び第２被覆膜１４１，１４５は、低水蒸気透過率の材料からなる。水蒸気透過率は、４０℃、９０％ＲＨの雰囲気下で、１×１０-4ｇ／ｍ2／ｄａｙ以上１×１０-6ｇ／ｍ2／ｄａｙ以下程度であるが、小さい方が好ましい。なお、第１及び第２被覆膜１４１，１４５には、製造上排除することができない局所的な欠陥が存在する。
【００９９】
第１及び第２被覆膜１４１，１４５は、無機材料からなる無機膜が利用される。無機膜は、例えば、窒化シリコン（ＳｉＮ）、酸化シリコン（ＳｉＯ2）、酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）等の薄膜や、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の金属膜等である。ここでは、第１被覆膜１４１，１４５は窒化シリコン（ＳｉＮ）膜が利用されている。
【０１００】
吸湿膜１４３は、第１及び第２被覆膜１４１，１４５の欠陥を介して侵入してきた水分を吸湿する。吸湿膜１４３は、有機材料内に吸湿剤が混合されてなる。ここでは、吸湿剤としては酸化アルミニウムが、有機材料としてはアクリル系樹脂がそれぞれ利用されている。
（３）表示部
（３−１）ＴＦＴ基板
ＴＦＴ基板１５１は、基板と、当該基板のＺ軸方向上面に形成されたＴＦＴ層とから構成されている。ＴＦＴ層については、図示を省略しているが、ゲート、ソース、ドレインの３電極と、半導体層、パッシベーション膜などを含み構成されている。
【０１０１】
ＴＦＴ基板１５１のベースとなる基板は、樹脂基板等を用い形成されている。樹脂基板としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂いずれの樹脂を用いてもよい。例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のポリオレフィン、環状ポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド（ＰＩ）、ポリアミドイミド、ポリカーボネート、ポリ−（４−メチルベンテン−１）、アイオノマー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリオ共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、プリシクロヘキサンテレフタレート（ＰＣＴ）等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド、ポリアセタール、ポリフェニレンオキシド、変形ポリフェニレンオキシド、ポリアリレート、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、又はこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうち１種、又は２種以上を積層した積層体を用いることができる。
（３−２）絶縁層
絶縁層１５３は、例えば、ポリイミド、ポリアミド、アクリル系樹脂材料などの有機化合物を用い形成されている。ここで、絶縁層１５３は、有機溶剤耐性を有することが好ましい。
【０１０２】
また、絶縁層１５３は、製造工程中において、エッチング処理、ベーク処理等が施されることがあるので、それらの処理に対して過度に変形や変質などを生じない高い耐性を有する材料を用い形成されることが望ましい。
（３−３）アノード
アノード１５５は、銀（Ａｇ）又はアルミニウム（Ａｌ）を含む金属材料から構成されている。トップエミッション型の本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１１０の場合には、その表面部が高い反射性を有することが好ましい。
【０１０３】
なお、アノード１５５については、上記のような金属材料からなる単層構造だけではなく、金属層と透明導電層との積層体を採用することもできる。透明導電層の構成材料としては、例えば、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）や酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）などを用いることができる。
（３−４）バンク
バンク１５７は、樹脂等の有機材料を用い形成されており絶縁性を有する。バンク１５７の形成に用いる有機材料の例としては、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等があげられる。
（３−５）有機ＥＬ層
有機ＥＬ層１５９は、ホールと電子とが注入され再結合されることにより励起状態が生成され発光する機能を有する。有機ＥＬ層１５９の形成に用いる材料は、湿式印刷法を用い製膜できる発光性の有機材料である。
【０１０４】
具体的には、例えば、特許公開公報（日本国・特開平５−１６３４８８号公報）に記載のオキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、アンスラセン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体などの蛍光物質で形成されることが好ましい。
（３−６）カソード
カソード１６１は、例えば、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）若しくは酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）などを用い形成される。本実施形態のように、トップエミッション型の本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが必要となる。
（４）吸湿層
吸湿層１３５は、吸湿層１３３と同じ材料で構成してもよいし、別の材料で構成してもよい。ここでは、吸湿層１３５は、上述の吸湿層１３３と同じ材料で構成されている。なお、吸湿層１３５は、トップエミッション型である有機ＥＬ表示パネル１１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが必要となる。
（５）表面被覆層
表面被覆層１６３は、表示部１３１を被覆する。表面被覆層１６３は、表示部１３１が衝撃等により破損するのを防止する保護機能や、表示部１３１が直接水分や空気に晒されることを抑制する機能を有する。
【０１０５】
表面被覆層１６３は、例えば、窒化シリコン（ＳｉＮ）、酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）などの材料を用い形成される。また、窒化シリコン（ＳｉＮ）、酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）などの材料を用い形成された層の上に、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂などの樹脂材料をさらに形成した多層構造としてもよい。
【０１０６】
表面被覆層１６３は、トップエミッション型である本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが必要となる。
［第３の実施形態］
吸湿層は、水分の吸湿により何らかの性能低下を招いてしまう機能部に対して有効である。第２の実施形態では、ベース１３７として可撓性を有する樹脂フィルムを用いたが、ベースの材料として従来からのガラス材料を利用してもよい。第３の実施形態では、ベースにガラス材料を用い、表層に吸湿層を設けた有機ＥＬ装置（有機ＥＬ表示装置）について説明する。
１．全体構造
図１０は、有機ＥＬ表示パネル２０１の１サブピクセル部分の断面図である。
【０１０７】
有機ＥＬ表示パネル２０１は、ベース２０３上に設けられた表示部２０５が吸湿層２０７により被覆された構造を有する。なお、複数のサブピクセルは、第２の実施形態と同様に、表示部２０５内において平面視２次元的に設けられている。第３の実施形態でも、第２の実施形態と同様に、各色サブピクセルは、基本構成が同じであるため、各色の区別なくサブピクセルについて説明する。
【０１０８】
以下、より具体的に説明する。
２．各部構成
（１）ベース
ベース２０３は、第２の実施形態のベース１３７と異なり、湾曲自在でない、つまり、実施レベルで可撓性を有しない材料により構成されている。ベース２０３は、ここでは、ガラス材料により構成されている。ガラス材料は、第２の実施形態で説明した樹脂材料のベース１３７と異なり水蒸気透過率が低い。このため、ベース２０３と表示部２０５との間には、吸湿層を設ける必要はない。但し、ベース２０３と表示部２０５との間に吸湿層を設けてもよく、その場合は、表示部２０５の寿命を長くできたり、ベース２０３の膜厚が薄くできたりする。
（２）表示部
表示部２０５は、ＴＦＴ基板２１１をベースとして、その上に絶縁層２１３が積層されている。絶縁層２１３の上面のサブピクセル領域には、アノード２１５が形成されている。絶縁層２１３上及びアノード２１５のＸ軸方向両縁上を覆うようにバンク２１７が形成され、当該バンク２１７により区画された領域に有機ＥＬ層２１９が形成されている。
【０１０９】
有機ＥＬ層２１９上ならびにバンク２１７の側面上部及び頂面上を覆うように、カソード２２１が形成されている。
（３）吸湿層
吸湿層２０７は、第２の実施形態と同様に、第１被覆膜２３１、吸湿膜２３３及び第２被覆膜２３５を有する構造をしている。
【０１１０】
ここでは、第１及び第２被覆膜２３１，２３５は、無機材料から構成され、例えば、窒化シリコン膜が利用されている。吸湿膜２３３は、吸湿剤としてゼオライトの粒子が利用され、樹脂材料としてポリカーボネートが利用されている。
【０１１１】
なお、ここでは、表示部２０５に接する（又は表示部２０５に近い側に配された）第１被覆膜２３１の膜厚が、第２被覆膜２３５の膜厚よりも厚くしている。
（４）表面被覆層
表面被覆層２０９は、ここでは、無機材料、例えば、窒化シリコン膜により構成されている。なお、吸湿層の第２被覆膜２３５を無機材料で構成してもよく、その場合、第２被覆膜２３５を当該被覆層により構成してもよい。
［変形例］
１．有機ＥＬ層
第２及び第３の実施形態では、有機ＥＬ層１５９，２１９について説明しているが、吸湿層は有機ＥＬ層以外の機能層への水分侵入を防止するのに適用できる。つまり、機能層は、本来有している機能が水分吸湿より低下してしまうようなものであればよい。
【０１１２】
機能層を含むような例としては、ＴＦＴ層、薄膜コイル、薄膜トランジスタ、有機トランジスタ、薄膜フィルタ等の電子部品他、電子ペーパ、太陽電池、薄膜リチウムイオン電池等の電子デバイスの機能部等がある。
２．吸湿層
（１）構造
各実施形態の吸湿層５，９，１３３，１３５，２０７は、表示部７，１３１，２０５の一主面に対して、一層だけ設けられていたが、例えば、表示部等の主面に対して多層に吸湿層を設けてもよい。これにより、防水特性を向上させることができる。
【０１１３】
さらに、吸湿層５，９，１３３，１３５，２０７は、１つの吸湿膜２３，１４３，２３３に対して第１被覆膜２１，１４１，２３１と第２被覆膜２５，１４５，２３５を備えている。しかしながら、吸湿膜の両主面に１以上の被覆膜があればよく、吸湿膜の各主面に複数の被覆膜があってもよい。このとき、両主面側の被覆膜の層数は同じでもよいし、異なってもよい。さらには、各被覆膜が同じ構成でもよいし、異なる構成でもよい。
【０１１４】
さらに、吸湿層は、複数の吸湿膜を備えてもよく、例えば、被覆膜、吸湿膜、被覆膜、吸湿膜、被覆膜のように構成してもよい。このとき、複数の吸湿膜は、同じ構成でもよいし、異なる構成でもよい。
（２）吸湿膜
吸湿膜２３（１４３，２３３）は、一種類の吸湿剤２７を含んでいる。しかしながら、吸湿膜は、１つの膜内に複数種類の吸湿剤を含んでもよい。また、吸湿膜を多層用いる場合、各層において、同じ種類の吸湿剤を用いて、異なる種類の有機材料を用いてもよいし、逆に、各層において、異なる吸湿剤を用いて、同じ種類の有機材料を用いてもよい。なお、この場合でも、有機ＥＬ層側に近い第２被覆膜と接する領域の吸湿剤の量を少なくする必要はある。
【０１１５】
また、第１の実施形態における吸湿膜２３は、大別して、１つの高含有領域２３ａと１つの低含有領域２３ｂとを有している。しかしながら、吸湿膜は、有機ＥＬ層に近い第２被覆膜と接する領域において吸湿剤の量が少なければよく、複数の高含有領域と複数の低含有領域（又は／及び非含有領域）とが交互に積層されたような構造で、第２被覆膜と接する領域が低含有領域（又は非含有領域）であればよい。
【０１１６】
なお、この場合も、低含有領域（又は非含有領域）の厚みは、吸湿剤の平均粒径よりも大きいことが好ましく、吸湿剤の最大粒径よりも厚いことがさらに好ましく、さらに吸湿剤の最大粒径の２倍以上の厚みがより一層好ましい。
【０１１７】
図１１は、吸湿膜に２つの非含有領域が存在する吸湿層をベース上に形成した状態の断面図である。
【０１１８】
本例における吸湿層３０１は、ベース３の上面に形成されている。吸湿層３０１は、ベース３側から、第１被覆膜３０３、吸湿膜３０５、第２被覆膜３０７を有している。吸湿膜３０５は、有機材料である樹脂材料３１１中に吸湿剤３１３が含有する構造を有する。
【０１１９】
吸湿膜３０５は、吸湿剤３１３をあまり含有していない低含有領域３０５ａと、低含有領域３０５ａに含有されている吸湿剤３１３の量よりも多く吸湿剤３１３を含有する高含有領域３０５ｂとを有している。なお、低含有領域３０５ａは、吸湿剤３１３を含有していない非含有領域であってもよい。
【０１２０】
ここでは、吸湿膜３０５は、第１被覆膜３０３側から、低含有領域３０５ａ、高含有領域３０５ｂ、低含有領域３０５ａの３つの領域を層状に有している。
（３）吸収剤
実施の形態での吸湿剤２７は、水分を吸収（吸湿）するものである。しかしながら、他のガス（酸素等）を吸収するものであってもよい。この場合においても、吸収すべき対象物の吸着性能を実験等により把握することで、被覆膜の欠陥を考慮した寿命設計が可能となる。
３．デバイス
第１〜第３の実施形態における有機ＥＬ装置１及び有機ＥＬ表示装置１１０，２０１は、表示部７，１３１，２０５に対して、１又は２つの吸湿層５，９，１３３，１３５，２０７を備えている。しかしながら、有機ＥＬ装置は、表示部の一部の構成を、吸湿層における表示部に近い側の第２被覆膜と兼用することもできる。
【０１２１】
例えば、第２の実施形態の表示部１３１は、カソード１６１を有している。このカソード１６１を、例えば、スパッタリングによって形成される酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）や酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）の金属酸化膜とした場合、この金属酸化膜を吸湿層における機能部に近い側の第２被覆膜として利用することもできる。
４．表示部
第２及び第３の実施形態における表示部１３１，２０５について、基本的な構成を説明したが、表示部は、例えば、ホール注入層、ホール輸送層、電子輸送層、電子注入層等を備えてもよい。
【０１２２】
また、第２及び第３の実施形態における表示部１３１，２０５は、トップエミッションタイプであったが、ボトムエミッションタイプであってもよい。この場合、ベースに透光性材料を用い、ベースに近い側の電極（下部電極）として透明電極を、ベースに遠い側の電極（上部電極）として反射電極をそれぞれ用いる必要がある。
【０１２３】
第２及び第３の実施形態では、ベース１３７，２０３側にアノード１５５，２１５を配したが、例えば、ベース側にカソードを配してもよい。
【０１２４】
第２の実施形態では、有機ＥＬ表示装置をカラー有機ＥＬ表示装置として説明している。しかしながら、有機ＥＬ表示装置は、例えば単色表示の有機ＥＬ表示装置にも適用することができる。
【０１２５】
さらに、第２及び第３の実施形態での有機ＥＬ表示装置のサブピクセル構造を利用して、調光・調色機能を有する有機ＥＬ発光装置に適用もできる。つまり、実施形態での有機ＥＬ層を利用できる装置として、有機ＥＬ表示装置、有機ＥＬ発光装置等の有機ＥＬ装置がある。
【産業上の利用可能性】
【０１２６】
本発明は、水分吸湿によって機能低下を生じる有機ＥＬ層への水分侵入を防止するのに有用である。
【符号の説明】
【０１２７】
１    機能装置
５    吸湿層
７    表示部
９    吸湿層
２１    第１被覆膜
２３    吸湿膜
２５    第２被覆膜
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられた吸湿層とを備える有機ＥＬ装置において、
前記吸湿層は、
母材中に吸湿剤を含む吸湿膜と、
前記吸湿膜をその膜厚方向の両側から被覆する一対の被覆膜と
を有し、
前記吸湿膜は、当該吸湿膜中に含まれる前記吸湿剤の平均含有率よりも低い吸湿剤含有率である領域を、前記一対の被覆膜の内、前記有機ＥＬ層に近い側の被覆膜と接触する状態で有する
有機ＥＬ装置。
【請求項２】
前記領域は、前記有機ＥＬ層に近い被覆膜の全領域で接触する
請求項１に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項３】
前記領域の厚みは、前記吸湿剤の平均粒径よりも大きい
請求項１又は２に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項４】
前記領域の前記吸湿剤の含有率は、５ｖｏｌ％以下である
請求項１〜３の何れか１項に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項５】
前記領域の前記吸湿剤の含有率は、０ｖｏｌ％である
請求項４に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項６】
前記吸湿剤がゼオライトである
請求項１〜５の何れか１項に記載の有機ＥＬ装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2015136581.tif 000014
【図２】
2015136581.tif 000015
【図３】
2015136581.tif 000016
【図４】
2015136581.tif 000017
【図５】
2015136581.tif 000018
【図６】
2015136581.tif 000019
【図７】
2015136581.tif 000020
【図８】
2015136581.tif 000021
【図９】
2015136581.tif 000022
【図１０】
2015136581.tif 000023
【図１１】
2015136581.tif 000024
【国際調査報告】
2015136581.tif 000025
2015136581.tif 000026
2015136581.tif 000027