【手続補正書】
【提出日】平成24年2月23日(2012.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気可能になされた処理容器内に設けられて処理すべき被処理体を載置するための載置台構造において、
前記被処理体を載置するために少なくとも加熱手段が設けられた誘電体よりなる載置台と、
前記処理容器の底部側より起立させて設けられると共に、上端部が前記載置台の下面に接合されて前記載置台を支持する誘電体よりなる複数の保護支柱管と、
前記保護支柱管内に挿通されて上端が前記載置台に届くように設けられた機能棒体とを備え、
前記載置台は、前記加熱手段が設けられると共に石英よりなる載置台本体と、前記載置台本体の上面側に設けられて前記載置台本体の形成材料とは異なる不透明な誘電体であるセラミック材よりなる熱拡散板と、前記載置台本体の下面及び側面に設けられたセラミック材よりなる保護板とを有することを特徴とする載置台構造。
【請求項２】
前記保護板は、中央側保護板と周辺側保護板とに分割されていることを特徴とする請求項１記載の載置台構造。
【請求項３】
前記周辺側保護板の内周部には係合段部が形成されており、前記係合段部により前記中央側保護板の周囲を保持するように構成したことを特徴とする請求項２記載の載置台構造。
【請求項４】
前記周辺側保護板は、前記載置台本体と前記熱拡散板とを連結するボルトとナットにより取り付け固定されていることを特徴とする請求項２又は３記載の載置台構造。
【請求項５】
前記加熱手段は、内周ゾーン発熱体と外周ゾーン発熱体とを有し、前記中央側保護板と前記周辺側保護板との境界は、前記内周ゾーン発熱体と前記外周ゾーン発熱体との境界に一致されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか一項に記載の載置台構造。
【請求項６】
前記熱拡散板内には、チャック電極、高周波電極及び兼用電極の内のいずれか１つが設けられることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の載置台構造。
【請求項７】
前記載置台本体と前記熱拡散板とは、セラミック材よりなる締結具により一体的に固定されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の載置台構造。
【請求項８】
前記載置台本体と前記熱拡散板との間には、不活性ガスが供給されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の載置台構造。
【請求項９】
前記載置台と前記保護支柱管とは同一の誘電体により形成されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の載置台構造。
【請求項１０】
前記保護支柱管内へは不活性ガスが供給されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の載置台構造。
【請求項１１】
前記保護支柱管の下端部は封止されて、内部に不活性ガスが封入されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の載置台構造。
【請求項１２】
前記載置台には、前記被処理体を載置する時に昇降される押し上げピンを挿通するピン挿通孔が形成されており、
前記ピン挿通孔内へピン挿通孔用パージガスを流すピン挿通孔用パージガス供給手段が設けられると共に前記保護支柱管は、前記ピン挿通孔用パージガス供給手段のピン挿通孔用ガス通路の一部として兼用されることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の載置台構造。
【請求項１３】
前記ピン挿通孔を区画する区画壁は、前記載置台本体と前記熱拡散板とを締結するために前記載置台に着脱可能に取り付けられて中心部に貫通孔が形成されたセラミック材製のボルトよりなることを特徴とする請求項１２記載の載置台構造。
【請求項１４】
前記貫通孔の形成されたボルトの長さ方向の途中には、前記ピン挿通孔用ガス通路に連通されるガス噴射孔が形成されていることを特徴とする請求項１３記載の載置台構造。
【請求項１５】
前記ガス噴射孔は、前記ボルトの長さ方向の上部に位置されていることを特徴とする請求項１４記載の載置台構造。
【請求項１６】
前記ボルトの外周側には、前記ピン挿通孔用ガス通路の一部を形成する隙間が形成されていることを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか一項に記載の載置台構造。
【請求項１７】
前記載置台本体と前記熱拡散板との接合部には、不活性ガスを一時的に貯留して前記接合部の隙間より外周に向けて不活性ガスを放出させるガス貯留空間が形成されており、前記ガス貯留空間は前記ピン挿通孔用ガス通路の一部として兼用されていることを特徴とする請求項１６記載の載置台構造。
【請求項１８】
被処理体に対して処理を施すための処理装置において、
排気が可能になされた処理容器と、
前記被処理体を載置するために請求項１乃至１７のいずれか一項に記載の載置台構造と、
前記処理容器内へガスを供給するガス供給手段と、
を備えたことを特徴とする処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項１に係る発明は、排気可能になされた処理容器内に設けられて処理すべき被処理体を載置するための載置台構造において、前記被処理体を載置するために少なくとも加熱手段が設けられた誘電体よりなる載置台と、前記処理容器の底部側より起立させて設けられると共に、上端部が前記載置台の下面に接合されて前記載置台を支持する誘電体よりなる複数の保護支柱管と、前記保護支柱管内に挿通されて上端が前記載置台に届くように設けられた機能棒体とを備え、前記載置台は、前記加熱手段が設けられると共に石英よりなる載置台本体と、前記載置台本体の上面側に設けられて前記載置台本体の形成材料とは異なる不透明な誘電体であるセラミック材よりなる熱拡散板と、前記載置台本体の下面及び側面に設けられたセラミック材よりなる保護板とを有することを特徴とする載置台構造である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この場合、例えば前記保護支柱管は前記載置台の中心部に接合されている。
また例えば１本の前記保護支柱管内には１本又は複数本の前記機能棒体が収容されている。
また例えば前記機能棒体は、前記加熱手段側に電気的に接続されるヒータ給電棒である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また例えば前記載置台には、静電チャック用のチャック電極が設けられており、前記機能棒体は前記チャック電極に電気的に接続されるチャック用給電棒である。
また例えば前記載置台には、高周波電力を印加するための高周波電極が設けられており、前記機能棒体は前記高周波電極に電気的に接続される高周波給電棒である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また例えば前記載置台には、静電チャック用のチャック電極と高周波電力を印加するための高周波電極とが兼用される兼用電極が設けられており、前記機能棒体は前記兼用電極に電気的に接続される兼用給電棒である。
また例えば前記機能棒体は、前記載置台の温度を測定するための熱電対である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また例えば前記載置台は、前記加熱手段が設けられた載置台本体と、前記載置台本体の上面側に設けられて前記載置台本体の形成材料とは異なる不透明な誘電体よりなる熱拡散板とよりなり、前記熱拡散板内には板状の金属製の接合板が埋め込んで設けられており、前記接合板には前記熱電対の上端部がろう付けされている。
また例えば前記熱拡散板の下面には、前記熱電対を挿入するための接続用穴が形成されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また例えば前記載置台は、前記加熱手段が設けられた載置台本体と、前記載置台本体の上面側に設けられて前記載置台本体の形成材料とは異なる不透明な誘電体よりなる熱拡散板とよりなり、前記熱拡散板内には板状の金属製の接合板が埋め込んで設けられており、前記接合板には、その下部が前記熱拡散板の下面よりも下方へ突出した金属製の熱伝導補助部材がろう付けにより接合されると共に前記熱伝導補助部材には前記熱電対の上端部が接触させて設けられている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また例えば前記熱伝導補助部材には、前記熱電対の先端部を挿入するための熱電対用穴が形成されている。
また例えば前記熱拡散板の下面には、前記熱伝導補助部材を挿入するための接続用穴が形成されている。
また例えば前記熱電対の上端部は、付勢力により前記熱伝導補助部材に押圧接触されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また例えば前記機能棒体は、前記載置台の温度を測定するための放射温度計の光ファイバである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また例えば請求項２に記載したように、前記保護板は、中央側保護板と周辺側保護板とに分割されている。
また例えば請求項３に記載したように、前記周辺側保護板の内周部には係合段部が形成されており、前記係合段部により前記中央側保護板の周囲を保持するように構成する。
また例えば請求項４に記載したように、前記周辺側保護板は、前記載置台本体と前記熱拡散板とを連結するボルトとナットにより取り付け固定されている。
また例えば請求項５に記載したように、前記加熱手段は、内周ゾーン発熱体と外周ゾーン発熱体とを有し、前記中央側保護板と前記周辺側保護板との境界は、前記内周ゾーン発熱体と前記外周ゾーン発熱体との境界に一致されている。
また例えば請求項６に記載したように、前記熱拡散板内には、チャック電極、高周波電極及び兼用電極の内のいずれか１つが設けられる。
また例えば請求項７に記載したように、前記載置台本体と前記熱拡散板とは、セラミック材よりなる締結具により一体的に固定される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また例えば請求項８に記載したように、前記載置台本体と前記熱拡散板との間には、不活性ガスが供給されている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また例えば請求項９に記載したように、前記載置台と前記保護支柱管とは同一の誘電体により形成されている。
また例えば請求項１０に記載したように、前記保護支柱管内へは不活性ガスが供給されている。
また例えば請求項１１に記載したように、前記保護支柱管の下端部は封止されて、内部に不活性ガスが封入されている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また例えば請求項１２に記載したように、前記載置台には、前記被処理体を載置する時に昇降される押し上げピンを挿通するピン挿通孔が形成されており、前記ピン挿通孔内へピン挿通孔用パージガスを流すピン挿通孔用パージガス供給手段が設けられると共に前記保護支柱管は、前記ピン挿通孔用パージガス供給手段のピン挿通孔用ガス通路の一部として兼用される。
また例えば請求項１３に記載したように、前記ピン挿通孔を区画する区画壁は、前記載置台本体と前記熱拡散板とを締結するために前記載置台に着脱可能に取り付けられて中心部に貫通孔が形成されたセラミック材製のボルトよりなる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また例えば請求項１４に記載したように、前記貫通孔の形成されたボルトの長さ方向の途中には、前記ピン挿通孔用ガス通路に連通されるガス噴射孔が形成されている。
また例えば請求項１５に記載したように、前記ガス噴射孔は、前記ボルトの長さ方向の上部に位置されている。
また例えば請求項１６に記載したように、前記ボルトの外周側には、前記ピン挿通孔用ガス通路の一部を形成する隙間が形成されている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また例えば請求項１７に記載したように、前記載置台本体と前記熱拡散板との接合部には、不活性ガスを一時的に貯留して前記接合部の隙間より外周に向けて不活性ガスを放出させるガス貯留空間が形成されており、前記ガス貯留空間は前記ピン挿通孔用ガス通路の一部として兼用されている。
請求項１８に係る発明は、被処理体に対して処理を施すための処理装置において、排気が可能になされた処理容器と、前記被処理体を載置するために請求項１乃至１７のいずれか一項に記載の載置台構造と、前記処理容器内へガスを供給するガス供給手段と、を備えたことを特徴とする処理装置である。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
そして、この取付台座９２上に、上記各保護支柱管６０を固定する管固定台９６が設けられる。上記管固定台９６は、上記各保護支柱管６０と同じ材料、すなわちここでは石英により形成されており、各保護支柱管６０に対応させて貫通孔９８が形成されている。そして、上記各保護支柱管６０の下端部側は、上記管固定台９６の上面側に熱溶着等によって接続固定されている。従って、ここには、熱溶着接合部６０Ｂが形成されることになる。