【事件の表示】
　特願２００３−３１８７００「シリコン体処理用アルカリ溶液」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　３月３１日出願公開、特開２００５−　８６１０７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．　手続の経緯
　本願は、平成１５年９月１０日の出願であって、平成１９年１１月７日付け拒絶理由の通知に対して、平成２０年１月８日付けで手続補正がなされたが、平成２０年１月３１日付で拒絶査定され、これに対し、平成２０年３月６日付けで拒絶査定不服の審判が請求されたものである。
　
　
２．　本願発明
　本願の請求項１に係る発明は、平成２０年１月８日付け手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される以下のとおりのものである（以下、「本願発明１」という。）。
「シリコン体をアルカリ処理するときに使用されるアルカリ溶液において、
　０．２５ｇ／リットル以上のシリコンと、
　０．１〜１．０ｇ／リットルの亜ジチオン酸塩とを溶解させたシリコン体処理用アルカリ溶液。」
　
　
３．　刊行物の記載事項
　原査定の拒絶の理由で引用された本願出願前に頒布された刊行物である特開２００１−２５０８０７号公報（以下「刊行物」という。）には、以下の技術事項が記載されている。
　
（刊ａ）「【請求項１】  アルカリ水溶液にステンレス鋼を１０時間以上浸漬して調製されることを特徴とする半導体材料のエッチング液。」
　
（刊ｂ）「【０００４】
【発明が解決しようとする課題】シリコンウェーハのアルカリエッチングにおいては、一般に水酸化ナトリウムの水溶液が用いられるが、工業用或いは電子工業用の水酸化ナトリウムの水溶液中には、工業用で数ｐｐｍ〜十数ｐｐｍ、電子工業用グレードの水溶液であっても数十ｐｐｂ〜数ｐｐｍの金属不純物を含んでいるのが現状である。
【０００５】このアルカリ水溶液に含まれる金属不純物としては鉄、ニッケル、クロム、銅等が挙げられる。」
　
（刊ｃ）「【００１３】本発明によるアルカリエッチング液では、ＳＵＳ３０４又はＳＵＳ３１６を浸漬しないアルカリエッチング液に比べて、液中の鉄、ニッケル、クロム、銅の濃度が減少する。その結果として、エッチングの際のエッチング対象物、たとえば半導体ウェーハの金属汚染が低減できる。」
　
（刊ｄ）「【００１４】本発明によるアルカリエッチング液は、アルカリ水溶液中に存在している金属イオンの可逆電位に比べ卑な酸化電位をもつ還元剤を溶解することにより、アルカリ水溶液中に存在する金属イオンを非イオン化することができる。すなわち、金属イオンの溶液中の酸化還元電位がこれら還元剤の酸化還元電位より卑となるため金属イオンは還元され、液中にイオンとして残存する金属の量が低減され、ウェーハ表面への付着が抑制される。・・・
【００１５】上記還元剤としては、・・・亜二チオン酸塩、・・・を挙げることができ、・・・
【００１６】上記還元剤の添加量は還元剤の種類によって異なり、本発明の効果が達成される限り特別の限定はないが、亜二チオン酸塩の場合２．５ｇ／リットル以上が好適である。この溶解量が少なすぎると本発明の効果が充分でなくなり、溶解量が多すぎると経済的観点から不利である。」
　
（刊ｅ）「【００１７】本発明のアルカリエッチング液は、・・・ケイ素が溶解されているものとすることができる。・・・
【００１８】・・・ケイ素のアルカリ水溶液中の溶解量は本発明の効果が達成される限り特別の限定はないが、２ｇ／リットル以上が好適である。この溶解量が少なすぎると本発明の効果が充分でなくなり、溶解量が多すぎると経済的観点から不利である。
【００１９】このアルカリエッチング液では、ケイ素材料が溶解される際に発生する水素又はシリケート等の反応生成物により、液中の金属イオンが還元されるか、或いはシリケート等に結合して、液中にイオンとして残存する量が低下し、・・・」
　
（刊ｆ）「【００２３】
【発明の実施の形態】
【実施例】１．  エッチング液の調製方法
（１）エッチング液へのステンレス鋼浸漬処理
水酸化ナトリウム（工業用４５質量％）・２０リットルをポリプロピレン製のタンク内に入れ、・・・その中に、新鮮な金属表面を有するＳＵＳ３１６の板（長さ３０ｃｍ，幅１０ｃｍ，厚さ０．２ｍｍ）を、・・・浸漬し、所定の時間経過後ＳＵＳ３１６を取り出した。
（２）亜二チオン酸塩の添加
前記（１）で調製したＳＵＳ浸漬処理をした水酸化ナトリウム水溶液に所定量（１００ｇ）の亜二チオン酸ナトリウムを添加溶解した。
（３）ケイ素の溶解
前記（１）で調製したＳＵＳ浸漬処理をした水酸化ナトリウム水溶液に所定量（１００ｇ）のＳｉを添加溶解した。・・・」
　
（刊ｇ）「【００３０】・・・図２（ａ）より、液中に残存する金属イオン濃度で、水酸化ナトリウム液中にＳＵＳを浸漬することによって金属イオン濃度が低下する。さらにＮａ2Ｓ2Ｏ4又はＳｉを添加することによってＳＵＳの浸漬効果と相まって、Ｎａ2Ｓ2Ｏ4又はＳｉのみの効果でより一段と低減効果が認められ、重金属イオンの濃度を質量基準で３×１０-6％（３０質量ppb）以下とすることができる。Ｎａ2Ｓ2Ｏ4とＳｉの両者を添加するとさらに効果は著しく、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃｕのいずれをも質量基準で５×１０-7％（５質量ppb）以下とすることができる。・・・」
　
　
４．　当審の判断
４．１　刊行物に記載された発明
　刊行物には、記載事項（刊ａ）、（刊ｃ）によれば、アルカリエッチング液に関する発明が記載されており、特に記載事項（刊ｄ）、（刊ｅ）、（刊ｆ）、（刊ｇ）によれば、該アルカリエッチング液には、亜二チオン酸塩及びケイ素を溶解させている。
　
　刊行物に記載のアルカリエッチング液は、記載事項（刊ａ）、（刊ｃ）、（刊ｆ）、（刊ｇ）によれば、ステンレス鋼の浸漬処理を経ているが、当該ステンレス鋼の浸漬処理は、記載事項（刊ｃ）、（刊ｇ）によれば、アルカリエッチング液中の鉄、ニッケル、クロム、銅の濃度を低減させるためのものである。そして、記載事項（刊ｂ）によれば、液中の鉄、ニッケル、クロム、銅は、不純物に過ぎないから、ステンレス鋼の浸漬処理を経たアルカリエッチング液は、高純度化を行ってはいるものの通常のアルカリエッチング液であることに変わりはない。
　
　これらを踏まえて、上記記載事項（刊ａ）〜（刊ｇ）を整理すると、刊行物には次の発明が記載されている（以下、「刊行物発明」という）
「シリコンウェーハのアルカリエッチングに用いられるアルカリエッチング液であって、好適には２ｇ／リットル以上のケイ素と、２．５ｇ／リットル以上の亜二チオン酸塩とを溶解させたシリコンウェーハのアルカリエッチング液」
　
４．２　対比
　本願発明１と刊行物発明とを対比すると、刊行物発明における「シリコンウェーハ」、「アルカリエッチング」、「アルカリエッチング液」、「ケイ素」及び「亜ニチオン酸塩」は、本願発明における「シリコン体」、「アルカリ処理」、「アルカリ溶液」、「シリコン」及び「亜ジチオン酸塩」にそれぞれ相当する。
　してみれば、本願発明１と刊行物発明とは、
「シリコン体をアルカリ処理するときに使用されるアルカリ溶液において、
　シリコンと、
　亜ジチオン酸塩とを溶解させたシリコン体処理用アルカリ溶液。」
の点で一致し、以下の点で相違する。
　
（相違点）本願発明１では、０．２５ｇ／リットル以上のシリコンと、０．１〜１．０ｇ／リットルの亜ジチオン酸塩を溶解させるのに対して、刊行物発明では、好適には２ｇ／リットル以上のケイ素と２．５ｇ／リットル以上の亜二チオン酸塩とを溶解させる点。
　
４．３　相違点についての判断
（ア）刊行物発明は、記載事項（刊ｄ）、（刊ｅ）、（刊ｇ）によれば、ケイ素及び亜二チオン酸塩を溶解することにより、アルカリエッチング液中の金属不純物イオンを非イオン化して、不純物のシリコンウェーハ表面への付着を防止するものである。この点において、本願発明１も、本願明細書【０００９】によれば、アルカリ溶液中のＮｉイオンを非イオン化して、シリコン体への吸着を抑制するものであり、両者は共通する。
　
（イ）刊行物の記載事項（刊ｄ）によれば、アルカリエッチング液の亜二チオン酸塩溶解量をシリコンを添加しなくても、「２．５ｇ／リットル以上が好適」としており、必ずしも「２．５ｇ／リットル以上が必須である」とはしていない。また、ケイ素についても、刊行物の記載事項（刊ｅ）によれば、亜二チオン酸を添加しなくても、「２ｇ／リットル以上が好適」としており、必ずしも「２ｇ／リットル以上が必須である」とはしていない。さらに、刊行物の記載事項（刊ｇ）によれば、亜二チオン酸塩とケイ素の両者を添加すれば効果が著しく上がることも説明されている。その上、本願発明１においてシリコンの上限が設定されていない。
　
（ウ）刊行物の記載事項（刊ｂ）によれば、シリコンウェーハのアルカリエッチング液に用いられる水酸化ナトリウム水溶液中の金属不純物量自体に、数十ｐｐｂから十数ｐｐｍと幅があり、さらには、ステンレス鋼浸漬による金属不純物の低減の程度によっても、アルカリエッチング液の不純物金属イオンの量が変わる。
　
（エ）上記（ア）乃至（ウ）に照らして、刊行物発明において、シリコン及び亜ジチオン酸塩の両者を溶解したことによる金属不純物イオンの低減効果やアルカリ溶液中の不純物金属イオンの含有レベルに応じて、例えば、シリコン及び亜ジチオン酸塩の溶解量を低減させる等の調整を行うことは当業者が適宜なし得る設計的事項に過ぎないから、シリコンを０．２５ｇ／リットル以上とし、亜ジチオン酸塩を０．１〜１．０ｇ／リットルという範囲とすることは、当業者が容易になし得たことである。
　なお、当該数値範囲としたことによる臨界的意義も見いだせない。
　
４．４　結論　
　したがって、本願発明１は、刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　
５．　むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本願の請求項２に係る発明については検討するまでもなく、本願を拒絶すべきものである。