【事件の表示】
　特願２００６−５１５０５２「基層取扱いシステム」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年１２月　９日国際公開、ＷＯ２００４／１０６００８、平成１９年　９月　６日国内公表、特表２００７−５２５３８９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、２００４年５月２８日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００３年５月２９日、米国）を国際出願日とする出願であって、特許法第１８４条の６第２項の規定により願書に添付した特許請求の範囲とみなされる、その国際出願に係る国際出願日における請求の範囲の翻訳文について、平成１７年１２月５日付け及び平成２０年１月２４日付けで手続補正書が提出されたが、平成２０年２月１４日付けで拒絶査定がなされ、これを不服として、同年５月２６日に審判請求がなされるとともに、同年６月２５日付けで手続補正書が提出されたものである。
　
２．平成２０年６月２５日付け手続補正についての補正却下の決定
【補正却下の決定の結論】
　平成２０年６月２５日付け手続補正（以下、「本件補正」という）を却下する。
　
【理由】
２−１．本件補正
　本件補正は、補正前の特許請求の範囲の請求項２に、
「基層と空気チャックとの間に空気の薄膜を作るための空気チャック；
　基層を空気チャックに引き寄せるための、空気チャックに関して可動であるように取り付けられた磁石チャック；及び
　交互に基層を取り上げそして基層を解放するように、磁石チャックを空気チャックの近づけそして離すように動かすためのアクチュエーターサブシステム
を備えた基層取扱いシステム。」
　とあるのを、
「基層と空気チャックとの間に空気の薄膜を作るための空気チャック；
　基層を空気チャックに引き寄せるための、空気チャックに関して可動であるように取り付けられ、且つ、空気チャックから作られる空気の薄膜と空気チャックの反対側で空気チャックに取り付けられた、磁石チャック；及び
　交互に基層を取り上げそして基層を解放するように、磁石チャックを空気チャックの近づけそして離すように動かすためのアクチュエーターサブシステム
を備えた基層取扱いシステム。」
　とする補正を含むものである。
　
　補正後の請求項２は、補正前の請求項２の記載において、磁石チャックが「空気チャックから作られる空気の薄膜と空気チャックの反対側で空気チャックに取り付けられた」ことの限定を付加するものである。また、この補正により、発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題を変更するものでもないことは明らかである。
　よって、本件補正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　
　そこで、本件補正後の請求項２に記載された事項によって特定される発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかについて以下に検討する。
　
２−２．本願補正発明
　本件補正後の請求項２に記載された発明（以下、「本願補正発明２」という。）は、本件補正後の明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項２に記載された事項（上記「２−１．本件補正」の補正後の請求項２参照）により特定されたとおりのものと認める。
　
２−３．引用発明
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開平５−７４９１８号公報（以下、「引用例」という）には、以下の各事項及び引用発明が記載されている。
　
（１）「【産業上の利用分野】本発明は、半導体露光装置等において基板等の板状体を搬送する板状体搬送装置に関し、・・・」
（段落【０００１】参照）
　
（２）「【作用】第１および第２の磁気手段の吸引力によって板状体をハンドに吸引するとともに、静圧流体軸受手段による反発力で板状体をハンドから離間させることによって、非接触の状態を保ちつつ板状体を保持するハンドを移動させる。また、第１の磁気手段を回動させることによって板状体とハンドとの間の相対位置関係を非接触の状態で変更することができる。
【０００９】さらに、第１の磁気手段を後退させて第２の磁気手段から遠ざけることによって吸引力を解除することができる。」（段落【０００８】−【０００９】参照）
　
（３）「【実施例】図１は、第１実施例の主要部を示す部分縦断面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿ってとった断面を上半分に、Ｂ−Ｂ線に沿ってとった断面を下半分にそれぞれ示す複合部分断面図であって、・・・
【００１２】ハンド５は、環状部分６およびア−ム部分７からなる気密に密封された中空の匡体８を備えており、該匡体８の環状部分６には、静圧流体軸受手段である複数の静圧流体軸受９が設けられ、各静圧流体軸受９は、図３に示すように、多数のノズル穴９ａを有する。
【００１３】図示しない加圧気体供給源から供給された加圧気体は、配管９ｂを経てノズル穴９ａから下向きに噴出される。環状部分６の内部には、それぞれ静圧流体軸受９の中心部に配置された、第１の磁気手段である複数の永久磁石１０、およびその支持装置、後述する第１、第２の駆動機構、および静圧流体軸受９の配管９ｂが収容されている。・・・
【００１４】板状体であるウエハ１３の裏面には第２の磁気手段である永久磁石１４が接触しており、ウエハ１３は該永久磁石１４およびハンド５の永久磁石１０の磁気作用によってハンド５の下面に吸引され、かつ静圧流体軸受９から噴出される加圧気体の静圧によって非接触の状態で保持される。
・・・しかる後に、第２のパルスモ−タ−１２の駆動により、第２の駆動機構・・・を介して、永久磁石１０を上昇させ、該永久磁石１０をウエハ１３の裏面に接触する永久磁石１４から遠ざけることにより磁気作用による吸引力を解除する。・・・
【００１６】上述のように、ハンド５によってウエハチャック１の上方に搬送されたウエハ１３は、永久磁石１０を上昇させるだけでハンド５から解放され、・・・」（段落【００１１】−【００１６】参照）及び図１−３
　
（４）「次に、・・・永久磁石１０を上下動させるための第２の駆動機構について、図１および図２を参照して詳細に説明する。」（段落【００１８】参照）
　
　以上の記載によると、引用例には、
　「ハンド５の匡体８の環状部分６には、その下面側に複数の静圧流体軸受９が設けられ、
　上記環状部分６の内部には、それぞれ静圧流体軸受９の中心部に配置された複数の永久磁石１０及び該永久磁石１０を上下動させる第２の駆動機構が収容され、
　板状体であるウエハ１３の裏面には第２の磁気手段である永久磁石１４が接触しており、ウエハ１３は該永久磁石１４およびハンド５の永久磁石１０の磁気作用によってハンド５の下面に吸引され、かつ静圧流体軸受９のノズル穴９ａから下向きに噴出される加圧気体の静圧によって非接触の状態で保持され、
第２の駆動機構を介して、永久磁石１０を上昇させ、該永久磁石１０をウエハ１３の裏面に接触する永久磁石１４から遠ざけることにより磁気作用による吸引力を解除し、ウエハ１３は、ハンド５から解放される
　基板等の板状体を搬送する板状体搬送装置」の発明（以下、「引用発明」という）が記載されていると認められる。
　
２−４．対比
　そこで、本願補正発明２と引用発明とを比較すると、
　引用発明の「ウエハ１３」、「静圧流体軸受９」、「永久磁石１０」、「第２の駆動機構」及び「板状体搬送装置」は、それぞれ本願補正発明２の「基層」、「空気チャック」、「磁石チャック」、「アクチュエーターサブシステム」及び「基層取扱いシステム」に相当し、
　本願補正発明２の「空気」は、「気体」に含まれる概念の用語であり、
　引用発明の「ウエハ１３」は、「静圧流体軸受９」のノズル穴９ａから下向きに噴出される加圧気体の静圧によって非接触の状態で保持されることから、「ウエハ１３」と「静圧流体軸受９」との間に気体の薄膜が作られていることは明らかであり、
　また、引用発明の「ウエハ１３」は、その裏面に永久磁石１４が接触しており、該永久磁石１４およびハンド５の永久磁石１０の磁気作用によってハンド５の下面に吸引され、そして、ハンド５の下面側には「静圧流体軸受９」が設けられていることより、「ウエハ１３」は、永久磁石１０によって「静圧流体軸受９」に向かって吸引されることから、両者は、
「基層と気体チャックとの間に気体の薄膜を作るための気体チャック；
　基層を気体チャックに引き寄せるための、気体チャックに関して可動であるように取り付けられた、磁石チャック；及び
　交互に基層を取り上げそして基層を解放するように、磁石チャックを動かすためのアクチュエーターサブシステム
を備えた基層取扱いシステム。」である点で一致し、以下の各点で相違する。
　相違点１；気体チャックにおいて用いる気体が、本願補正発明２では、空気であるのに対し、引用発明では、その種類が特定されていない点。
　
　相違点２；本願補正発明２では、磁石チャックは、空気チャックから作られる空気の薄膜と空気チャックの反対側で空気チャックに取り付けられ、また、アクチュエーターサブシステムが、磁石チャックを空気チャックの近づけそして離すように動かすのに対し、引用発明では、永久磁石１０は、静圧流体軸受９の中心部に配置され、また、第２の駆動機構が、永久磁石１０を上下動させている点。
　
２−５．判断
　そこで、上記各相違点を検討すると、
・相違点１について
　静圧流体軸受において用いる気体を空気とすることは、例を挙げるまでもなく本願出願前周知の技術であるので、
　引用発明において、静圧流体軸受において用いる気体を空気とし、上記相違点１の本願補正発明２のようになすことは、当業者が容易になし得たものである。
　
・相違点２について
　引用発明において、永久磁石１０は、静圧流体軸受９の中心部に配置されているものの、静圧流体軸受９の「ノズル穴９ａ」よりは、静圧流体軸受９から作られる気体の薄膜から離れた位置に配置され、このことは永久磁石１０が静圧流体軸受９から作られる空気の薄膜と静圧流体軸受９の反対側に配置されることと格別な差はないこと、
　引用発明の「永久磁石１０」は、「静圧流体軸受９」の中心部に配置されていることから、「永久磁石１０」を「静圧流体軸受９」に取り付けることに格別な困難性は認められないこと、
　そして、引用発明は、第２の駆動機構が、永久磁石１０を上下動させて、「永久磁石１０」を被吸引体である「永久磁石１４」に対して近づけまたは離すことにより、ウエハ１３を吸引または解放するもので、「永久磁石１０」と「静圧流体軸受９」との位置関係はそのような作用を奏することが可能な範囲で、設計上適宜に決め得るものであると認められることより、
　引用発明において、上記各記載事項を考慮すれば、上記相違点２の本願補正発明２のようになすことは、当業者が容易になし得たものである。
　
　そして、本願補正発明２の作用効果も、引用発明から当業者が予測できる範囲内のものである。
　
　したがって、本願補正発明２は、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
２−６．むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するもので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明
　平成２０年６月２５日付け手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないいし請求項７に係る発明（以下、「本願発明１」ないし「本願発明７」という）は、平成２０年１月２４日付けで補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項７に記載された以下の事項により特定されるとおりのものと認める。
「　【請求項１】
　基層と気体チャックとの間に気体の薄膜を作りこれにより基層の傷つきを防止する気体チャック；及び
　交互に、気体の薄膜に基層を引き寄せそして基層を解放するように構成された磁石チャック
を備えた基層取扱いシステムであって、
　ここで気体チャックが磁石チャックに関して可動であるように取り付けられている、
上記システム。
　　【請求項２】
　基層と空気チャックとの間に空気の薄膜を作るための空気チャック；
　基層を空気チャックに引き寄せるための、空気チャックに関して可動であるように取り付けられた磁石チャック；及び
　交互に基層を取り上げそして基層を解放するように、磁石チャックを空気チャックの近づけそして離すように動かすためのアクチュエーターサブシステム
を備えた基層取扱いシステム。
　　【請求項３】
　基層と板との間に空気の薄膜を作るために内部に気体オリフィスのアレイを有する第１の大面積の板；
　取り付けられた磁石のアレイを有し第１の大面積の板に関して動き得るように取り付けられた第２の大面積の板；及び
　基層を交互に取り上げそして解放するために第１の大面積の板に近づきそして離れるように第２の大面積の板を動かすためのアクチュエーターサブシステム
を備えた基層取扱いシステム。
　　【請求項４】
　基層と空気チャックとの間に空気の薄膜を作るために取付板に取り付けられた空気チャック；
　磁石チャックが空気チャックから近くにそして離れて可動であるように、取付版に取り付けられた磁石チャック；及び
　基層を交互に取り上げそして解放するために空気チャックに近づきそして離れる磁石チャックの運動のためのアクチュエーターサブシステム
を備える基層取扱いシステム。
　　【請求項５】
　取付板に取り付けられた複数の空気チャック；
　複数の対応する磁石が空気チャックに関して可動に取り付けられるように、各々が交差部材に連結されたバーを介して取付板に連結された、複数の対応する磁石；及び
　基層を交互に取り上げそして解放するために空気チャックに近づきそして離れるように磁石チャックを交互に動かしている交差部材を駆動するためのアクチュエーターサブシステム
を備えた基層取扱いシステム。
　　【請求項６】
　基層と板との間に空気の薄膜を作るために内部に気体オリフィスのアレイを有する第１の大面積の板；
　磁石のアレイを有しかつ第１の大面積の板に関して動き得るように取り付けられた第２の大面積の板；
　基層を交互に取り上げそして解放するために第１の大面積の板に近づきそして離れるように第２の大面積の板を動かすためのアクチュエーターサブシステム；及び
　　　間紙を引っ張るための少なくも１個のテープ機構、と
　　　間紙を除去するための少なくも１個のノズル
とを有する間紙除去サブシステム
を備えた基層取扱いシステム。
　　【請求項７】
　傷を受ける基層の取扱い方法であって、
　基層への重力を克服するために基層を空気チャックに磁石で引っ張り；
　基層と空気チャックとの間に空気の薄膜を提供するように空気チャックを作動させ；更に
　基層を解放するように磁力を取り去る
　ことを含む方法。」
　
４．引用発明
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例、その記載事項及び引用発明は、前記「２−３．引用発明」に記載したとおりである。
　
５．対比・判断
＜本願発明２について＞
　本願発明２は、前記「２−２．本願補正発明」で検討した本願補正発明から、「空気チャックから作られる空気の薄膜と空気チャックの反対側で空気チャックに取り付けられた」ことの限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明２を特定するための事項をすべて含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本願補正発明２が、前記「２−４．対比」及び「２−５．判断」に記載したとおり引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明２も同様の理由により、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
＜本願発明７について＞
　引用例には、上記引用発明と対応した方法の発明も記載されていると認められるので、
　本願発明７と上記方法の発明とを比較すると、「２−４．対比」で記載した「相違点１」で相違し、その他の点では一致している。
　そこで、上記「相違点１」について検討すると、「２−５．判断」に記載したとおり、当業者が容易になし得たものであるから、
　本願発明７は、上記方法の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　なお、請求項７について、平成２０年７月９日付けで提出された上申書に記載されている補正案のように、「基層が非接触の様式で扱われ」ていること、「空気チャックが磁力に関して可動的に取り付けられ」ていること、及び、「磁力が空気チャックから作られる空気の薄膜と空気チャックの反対側で空気チャックに取り付けられる」ことを限定する内容の補正がなされたとしても、引用発明も「ウエハ１３」は「非接触の様式で扱われ」ていること、また、「磁石」と「空気チャック」とのどちらを可動とするかは当業者が設計上適宜に選択しうる事項であること、さらに、「磁力が空気チャックから作られる空気の薄膜と空気チャックの反対側で空気チャックに取り付けられる」ことは、本願補正発明２において検討したのと同様に、当業者が容易になし得たものであるから、
　上記補正がなされたとしても、依然として請求項７に係る発明は、上記方法の発明に基づいて、当業者が容易になし得たものである。
　
　また、平成２１年１２月１７日付けで提出された回答書において
　「引用文献１に記載された発明では、ウエハ１３の裏側上に接触して配置されている第２の永久磁石１４が必要とされるものである。・・・また、引用文献１に記載された発明は、永久磁石１４がウエハ１３の裏側で接触するものなので、本願発明のように、非接触の様式で取り扱われるものでもない。
　更には、・・・本願発明の基本原理は図２に示されている通りである。即ち、磁石３０・・・が、少なくも何かの強磁性体、鉄、又は磁性材料を含む基層１２に力Ｆmagneticを加える磁石チャックとして作用する。ある種のフレキソグラフ印刷版については、基層は鋼であり、そして表面２４はフォトポリマー樹脂層で塗装される。・・・
　従って、本願発明において基層を非接触状態に維持する機構は、引用文献１に記載された発明とは全く異なるものである。即ち、本願発明では、磁石チャックを気体チャックとの関係で移動することにより基層が非接触状態に維持されるのに対して、引用文献１に記載された発明では、第１の永久磁石を第２の永久磁石との関係で移動することにより基層が非接触状態に維持されるものである。」との主張をしているが、
　特許請求の範囲において、請求人が主張する磁石により直接力が加えうるような「基層」の材質が特定されているものではないことより、上記主張は採用できない。
　さらに、たとえ、特許請求の範囲において、磁石により直接力が加えうるような「基層」の材質が特定され、また、「永久磁石１４」が無いことが限定されたとしても、引用発明の「板状体搬送装置」をそのような「基層」の取扱いに適用することに格別な困難性は認められないこと、また、その場合には「基層」が磁石により直接吸引され、「永久磁石１４」は必要のないものとなることから、引用発明において「永久磁石１４」を無くす程度のことは、当業者が容易になし得たものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明２及び７は、引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。