【手続補正書】
【提出日】平成24年6月6日(2012.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であるロボットアームとを含み、
基台に連結されたアーム部は、基台に対して上下方向に延びる旋回軸線まわりに旋回可能であり、
前記旋回軸線が、上方から見て基台の中心からオフセットした位置に設けられ、
予め定める前後方向に配置される２つの壁を備え、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる基板搬送装置において、前記２つの壁および前記開閉装置を含む外部の物体の間に配置される基板搬送ロボットであって、
前記旋回軸線が上方から見て基台の中心からオフセットしている方向に存在する基台の側面が、前記予め定める前後方向において、前記外部の物体寄りに配置された状態において、前記一方の壁に設けられた複数の基板収容容器から基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項２】
基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であるロボットアームとを含み、
基台に連結されたアーム部は、基台に対して上下方向に延びる旋回軸線まわりに旋回可能であり、
基台に連結されたアーム部の基台に対する予め定める旋回範囲において、基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部と、基台の側面の一部とが、上方から見て略一致した位置に配置され、
予め定める前後方向に配置される２つの壁を備え、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる基板搬送装置において、前記２つの壁および前記開閉装置を含む外部の物体の間に配置される基板搬送ロボットであって、
基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部に対して上方から見て略一致した位置に配置される基台の側面が、前記予め定める前後方向において、前記外部の物体寄りに配置された状態において、前記一方の壁に設けられた複数の基板収容容器から基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項３】
基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が壁に複数設けられた基板搬送装置に設けられ、前記複数の基板収容容器から基板を搬送することが可能な基板搬送ロボットであって、
基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であるロボットアームとを含み、
基台に連結されたアーム部は、基台に対して上下方向に延びる旋回軸線まわりに旋回可能であり、
前記旋回軸線が、上方から見て基台の中心からオフセットした位置に設けられ、
基台に連結されたアーム部の基台に対する予め定める旋回範囲において、基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部と、基台の側面の一部とが、上方から見て略一致した位置に配置され、
前記旋回軸線が上方から見て基台の中心からオフセットしている方向に存在する基台の側面が、基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部に対して上方から見て略一致した位置に配置される基台の側面に一致していることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項４】
基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であり、各アーム部は内部空間を有するロボットアームと、
減速機を有し、互いに連結されたアーム部を互いに相対的に旋回駆動する駆動手段とを含み、
前記減速機は、前記複数のアーム部のうちのいずれかのアーム部の内部空間に収容され、
予め定める前後方向に配置される２つの壁を備え、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる基板搬送装置において、前記２つの壁および前記開閉装置を含む外部の物体の間に配置される基板搬送ロボットであって、
前記外部の物体寄りに配置された状態において、前記一方の壁に設けられた複数の基板収容容器から基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項５】
前記駆動手段は、前記アーム部に固定されることを特徴とする請求項４に記載の基板搬送ロボット。
【請求項６】
前記駆動手段は、回転部と該回転部以外の部分とから成るモータを有し、少なくとも前記回転部が前記アーム部の内部空間に存在することを特徴とする請求項４に記載の基板搬送ロボット。
【請求項７】
複数並べられた基板収容容器から基板を搬送することができる基板搬送ロボットであって、
基台と、
延在して形成され、一端が基台に連結された第１アーム部と、
延在して形成され、一端が第１アーム部に連結された第２アーム部と、
第２アーム部に連結される、基板を把持するためのロボットハンドとを有し、
第１アーム部の長手方向の長さと、第２アーム部の長手方向の長さと、基板を把持した状態のロボットハンドの長手方向の長さとが略同一であることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項８】
予め定める前後方向に配置される２つの壁であって、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる２つの壁と、基板搬送ロボットとを含む基板搬送装置であって、
前記基板搬送ロボットは、
基台と、
延在して形成され、一端が基台に連結された第１アーム部と、
延在して形成され、一端が第１アーム部に連結された第２アーム部と、
第２アーム部に連結される、基板を把持するためのロボットハンドとを有し、
前記基板搬送ロボットは、前記２つの壁の間に配置され、
前記基板搬送ロボットの第１アーム部の長手方向の長さと、第２アーム部の長手方向の長さと、基板を把持した状態のロボットハンドの長手方向の長さとが、前記前後方向における前記２つの壁の間隔よりわずかに小さな長さに設定されていることを特徴とする基板搬送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板搬送ロボットおよび基板搬送装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ウェハなどの基板を搬送するための基板搬送ロボットおよび基板搬送装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の目的は、位置決め精度を向上するとともに、外部の物体との干渉を防ぐことができる基板搬送ロボットおよび基板搬送装置を提供することである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明は、基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であるロボットアームとを含み、
基台に連結されたアーム部は、基台に対して上下方向に延びる旋回軸線まわりに旋回可能であり、
前記旋回軸線が、上方から見て基台の中心からオフセットした位置に設けられ、
予め定める前後方向に配置される２つの壁を備え、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる基板搬送装置において、前記２つの壁および前記開閉装置を含む外部の物体の間に配置される基板搬送ロボットであって、
前記旋回軸線が上方から見て基台の中心からオフセットしている方向に存在する基台の側面が、前記予め定める前後方向において、前記外部の物体寄りに配置された状態において、前記一方の壁に設けられた複数の基板収容容器から基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボットである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また本発明は、基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であるロボットアームとを含み、
基台に連結されたアーム部は、基台に対して上下方向に延びる旋回軸線まわりに旋回可能であり、
基台に連結されたアーム部の基台に対する予め定める旋回範囲において、基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部と、基台の側面の一部とが、上方から見て略一致した位置に配置され、
予め定める前後方向に配置される２つの壁を備え、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる基板搬送装置において、前記２つの壁および前記開閉装置を含む外部の物体の間に配置される基板搬送ロボットであって、
基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部に対して上方から見て略一致した位置に配置される基台の側面が、前記予め定める前後方向において、前記外部の物体寄りに配置された状態において、前記一方の壁に設けられた複数の基板収容容器から基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボットである。
また本発明は基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が壁に複数設けられた基板搬送装置に設けられ、前記複数の基板収容容器から基板を搬送することが可能な基板搬送ロボットであって、
基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であるロボットアームとを含み、
基台に連結されたアーム部は、基台に対して上下方向に延びる旋回軸線まわりに旋回可能であり、
前記旋回軸線が、上方から見て基台の中心からオフセットした位置に設けられ、
基台に連結されたアーム部の基台に対する予め定める旋回範囲において、基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部と、基台の側面の一部とが、上方から見て略一致した位置に配置され、
前記旋回軸線が上方から見て基台の中心からオフセットしている方向に存在する基台の側面が、基台に連結されたアーム部の基台側端部の側面の一部に対して上方から見て略一致した位置に配置される基台の側面に一致していることを特徴とする基板搬送ロボットである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また本発明は、基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
一連に連結される複数のアーム部を有し、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結された２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能であり、各アーム部は内部空間を有するロボットアームと、
減速機を有し、互いに連結されたアーム部を互いに相対的に旋回駆動する駆動手段とを含み、
前記減速機は、前記複数のアーム部のうちのいずれかのアーム部の内部空間に収容され、
予め定める前後方向に配置される２つの壁を備え、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる基板搬送装置において、前記２つの壁および前記開閉装置を含む外部の物体の間に配置される基板搬送ロボットであって、
前記外部の物体寄りに配置された状態において、前記一方の壁に設けられた複数の基板収容容器から基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボットである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また本発明は、前記駆動手段は、前記アーム部に固定されることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また本発明は、前記駆動手段は、回転部と該回転部以外の部分とから成るモータを有し、少なくとも前記回転部が前記アーム部の内部空間に存在することを特徴とする。
また本発明は、複数並べられた基板収容容器から基板を搬送することができる基板搬送ロボットであって、
基台と、
延在して形成され、一端が基台に連結された第１アーム部と、
延在して形成され、一端が第１アーム部に連結された第２アーム部と、
第２アーム部に連結される、基板を把持するためのロボットハンドとを有し、
第１アーム部の長手方向の長さと、第２アーム部の長手方向の長さと、基板を把持した状態のロボットハンドの長手方向の長さとが略同一であることを特徴とする基板搬送ロボットである。
また本発明は、予め定める前後方向に配置される２つの壁であって、一方の壁に、基板が収容される基板収容容器を開閉する開閉装置が複数設けられる２つの壁と、基板搬送ロボットとを含む基板搬送装置であって、
前記基板搬送ロボットは、
基台と、
延在して形成され、一端が基台に連結された第１アーム部と、
延在して形成され、一端が第１アーム部に連結された第２アーム部と、
第２アーム部に連結される、基板を把持するためのロボットハンドとを有し、
前記基板搬送ロボットは、前記２つの壁の間に配置され、
前記基板搬送ロボットの第１アーム部の長手方向の長さと、第２アーム部の長手方向の長さと、基板を把持した状態のロボットハンドの長手方向の長さとが、前記前後方向における前記２つの壁の間隔よりわずかに小さな長さに設定されていることを特徴とする基板搬送装置である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明によれば、基板搬送ロボットと外部の物体との干渉を防ぐことができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】