【事件の表示】
　特願２００１−３８６３８２「基板検知装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　７月　４日出願公開、特開２００３−１８８２３９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成１３年１２月１９日の出願であって、同１７年１１月３０日付けで拒絶の理由が通知され、同１８年１月３１日に意見書とともに手続補正書が提出されたが、同１８年２月２０日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同１８年３月３０日に拒絶査定に対する審判の請求がなされるとともに、同１８年４月２４日に明細書を補正対象書類とする手続補正（以下、「本件補正」という。）がされたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［理由］
１　補正の内容の概要
　本件補正は特許請求の範囲を含む明細書について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
１−１　補正前の請求項１
「　【請求項１】
　光透過性の基板を熱処理する熱処理炉の搬入口近傍の外部又は搬出口近傍の外部に設けられ、当該外部に基板が到達したことを検知する反射型の光電スイッチと、
　前記光電スイッチの投受光部上を光軸と直交する方向へ吹き抜けるように、清浄化され、かつ、除湿された気体を吹き出すノズルと
　を備えたことを特徴とする基板検知装置。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
１−２　補正後の請求項１
「　【請求項１】
　光透過性の基板を熱処理する熱処理炉の搬入口近傍の外部又は搬出口近傍の外部に設けられ、当該外部に基板が到達したことを検知する反射型の光電スイッチと、
　
前記光電スイッチと離れて配置され、
基板の種類に応じて変化する昇華物の量に応じて流量調整され
して、当該投受光部を覆う清浄空気層を形成する
　を備えたことを特徴とする基板検知装置。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２　補正の適否
　上記請求項１についての補正は、ノズルについて「光電スイッチと離れて配置され、」及び「投受光部を覆う清浄空気層を形成する」と限定し、また、ノズルから吹き出す気体について「基板の種類に応じて変化する昇華物の量に応じて流量調整され」と限定するものであって、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−１　本願補正発明
　本願補正発明は、本件補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、前記１−２に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「基板検知装置」であると認められる。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−２　引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用され、本件出願前に日本国内で頒布された刊行物である特開２００１−６８５３３号公報（以下、「刊行物１」という。）及び実願昭６０−１４８３６９号（実開昭６２−５７１８１号）のマイクロフィルム（以下、「刊行物２」という。）、また、前置審査において提示された特開平４−２５１８３４号公報（以下、「刊行物３」という。）には、以下の事項が記載されている。　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（１）刊行物１
ア　段落【０００１】
「【発明の属する技術分野】この発明は、・・・、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、・・・などの各種の基板を光学的に検出するための光学式基板検出装置、ならびにそれを用いた基板処理装置・・・に関する。」
イ　段落【０００４】〜【０００９】
「【発明が解決しようとする課題】ウエハの検出は、水滴やミストが大量に存在する湿潤な環境においても必要とされる場合がある。たとえば、ウエハの表面（ウエハ自体の表面またはその表面に形成された薄膜の表面）を化学的機械的に研磨するＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）処理の後に、ウエハ上に残留する研磨剤（スラリー）を除去するための基板洗浄装置においては、スラリーの乾燥を防止するために、いわゆる水中ローダが用いられる。・・・
・・・中略・・・。
　しかし、水中ローダ内のような湿潤な環境では、上述のような構成の透過型フォトビームセンサを用いても、必ずしもウエハの検出を良好に行うことができない。すなわち、水滴が投光部に付着すると、水滴がレンズの作用をして、光軸が拡散し、受光部への入射光量が減少する。そのため、ウエハの有無に対応した必要な感度差が得られず、ウエハにより遮光されていない状態でも、遮光状態と誤検知されるおそれがある。・・・
・・・中略・・・。
　同様に、水滴が受光部に付着すると、水滴がレンズの作用をして、入射光量が減少するため、必要な感度差が得られなくなり、ウエハによる遮光がないにも拘わらず、遮光状態と誤検知されるおそれがある。・・・
・・・中略・・・。
　また、この発明の他の目的は、湿潤な環境においても基板を良好に検出して、基板に対する処理を良好に行うことができる基板処理装置・・・を提供することである。」
ウ　段落【００１０】〜【００１３】
「【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板検出位置における基板の有無を光学的に検出するための基板検出装置であって、発光部または光検出部を収容するとともに、前記発光部から基板検出位置に向かう出射光または基板検出位置から前記光検出部に向かう入射光が通る開口が形成されたケースと、このケース内に気体を供給して、前記ケース内から前記開口を通って外部に吹き出す気流を生じさせる気体供給手段とを含むことを特徴とする光学式基板検出装置である。
　この構成によれば、発光部または光検出部が収容されたケースには、光を通すための開口が形成されていて、気体供給手段の働きにより、ケース内から当該開口を通って吹き出す気流が形成される。これにより、開口からケース内に液滴やミストが進入するおそれがなく、発光部または光検出部の近傍に液滴が付着することがない。これにより、湿潤な環境においても、基板の光学的検出が妨げられるおそれがない。
　なお、気体供給手段は、たとえば、クリーンエアや不活性ガス（窒素ガスなど）を供給するものであることが好ましい。・・・
　・・・中略・・・
　なお、・・・投光部から発生して基板から反射した反射光を受光部で検出する反射型の光学式基板検出装置が構成されてもよい。この発明では、投光部および受光部のケースには、光が通る開口が形成されており、この開口からは、ケース内から気流が吹き出すようになっている。したがって、請求項１の発明の場合と同じく、ケース内に収容された発光部または光検出部の近傍に液滴が付着するおそれがなく、湿潤な環境においても、基板の光学的検出を確実に行える。」
エ　段落【００４４】〜【００４６】
「図６および図７を参照して、ビームセンサ８０の構成についてさらに詳説する。・・・
　・・・中略・・・
　投光部８１および受光部８２には、さらに、エアポンプ８６（気体供給手段）から、エア供給パイプ８７，８８，８９を介して、クリーンエア（または、窒素ガスなどの不活性ガスでもよい。）が供給されている。図７(a)および(b)は、それぞれ、投光部８１および受光部８２の共通の内部構造を示す斜視図および断面図である。投光部８１および受光部８２は、円柱状の外ケース１００（特許請求の範囲における「ケース」に対応する。）を備えている。外ケース１００には、下方からエア供給パイプ８８，８９が挿入される気体流通路１０１と、同じく下方から光ファイバ８４，８５が挿入されるファイバ挿入孔１０２とが形成されている。光ファイバ８４，８５の先端には、発光部（投光部８１の場合）または光検出部（受光部８２の場合）としての光学部品１０３が取り付けられている。光学部品１０３は、たとえば、ステンレス製の円筒状の内ケース１０４と、この内ケース１０４内に収容され、光ファイバ８４，８５に対する光の入出射のためのレンズ１０５と、光の進行方向を変更するための反射鏡１０６とを有している。内ケース１０４には、反射鏡１０６の近傍の位置に、光の入出射のための開口１０７が形成されている。
　一方、外ケース１００の側壁には、開口１１０が形成されている。光学部品１０３の内ケース１０４は、開口１０７を開口１１０に対向させた状態で外ケース１００に取り付けられている。そして、外ケース１００内の気体流通路１０１は、開口１１０に連通している。この構成により、エア供給パイプ８８，８９から外ケース１００内にクリーンエアが供給されることによって、気体流通路１０１を通って開口１１０から吹き出すクリーンエアの気流が発生する。したがって、水中ローダ１０の近傍の湿潤な雰囲気中でも、水滴やミストが光学部品１０３に達することはない。」　
オ　段落【００５１】
「・・・上述の実施形態では、投光部から受光部に至る光軸を基板Ｗが遮光するか否かに応じて基板Ｗの有無を検出するいわゆる透過型のセンサについて説明したが、投光部から出射して基板Ｗにより反射された反射光を受光部で検出する形式の反射型のセンサに本発明を適用してもよい。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　上記記載事項の記載からみて、図７（ｂ）を参照して本願補正発明に照らして整理すると、刊行物１には次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「液晶表示装置用ガラス基板を洗浄する洗浄処理装置の水中ローダ近傍の水滴やミストが大量に存在する湿潤な環境に設けられ、当該環境における検出位置で基板の有無を検知する反射型のセンサと、前記反射型のセンサの投受光部上を吹き抜けるように、クリーンエアを吹き出す気体流通路とを備えた光学式基板検出装置。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（２）刊行物２
ア　第１頁第１０〜１３行
「〔産業上の利用分野〕
  本考案は、光を利用して物体の存在の有無や寸法、変位量、表面処理状態等を検出するようにした光センサーの改良に関するものである。」
イ　第２頁第１７行〜第３頁第１２行
「塵挨の多い場所に設置した光センサーの場合、投光面や受光面に塵挨が付着しやすいため、投光面に塵挨が付着することによつて投射光の強さが規定量より低下したり、極端な場合は全く投射されなかつたり、或いは受光面に塵挨が付着することによつて光の受光が阻害されたりすることがあり、このように投光・受光作用が阻害されることによつて電気変換が不完全になり、検出機能の低下や誤作動をもたらすと言う問題があつた。・・・
  本考案は、投光面及び受光面への塵挨の付着を簡単且つ確実に防止できるようにした光センサーを提供することを目的とするものである。」
ウ　第５頁第１８行〜第６頁第１３行
「ヘツド４には、一端をその先端面４ａに開口させた貫通孔５を穿設しており、該貫通孔５の基部には継手６を介してエアーチューブ７の一端を接続する一方、ヘッド４の先端面４ａにおける貫通孔５近傍部位には、前記投光面２ａと受光面３ａとに臨んだ一面のみを開口させたカバー体８を固着しており、これによって、投光面２ａと受光面３ａに向けて開口した空気噴出口９を形成する。・・・
  なお、空気噴出口９を形成するに当っては、実施例のように別体のカバー体８を固着する手段に限らず、ヘッド４に一体成形するなど他の手段で形成しても良い。」
エ　第６頁第１４〜２０行
「この構成において、エアーチューブ７から圧縮空気を送り込むと、圧縮空気は空気噴出口９から投光面２ａと受光面３ａの方向に向かって放出され、ヘッド先端面４ａの近傍に浮遊する塵挨を投光面２ａや受光面３ａに付着させることなく吹き飛ばし、且つ、投光面２ａ及び受光面３ａに一旦付着した塵挨も吹き飛ばすことになる。 」
オ　図２，３
　空気噴出口９は、投光面２ａや受光面３ａと所定距離だけ離れて配置され、投光面２ａや受光面３ａ上を光軸と直交する方向へ吹き抜けるように圧縮空気を吹き出すことが看取される。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　上記記載事項及び図２，３の記載からみて、刊行物２には次の発明（以下、「刊行物２記載の事項」という。）が記載されていると認められる。
「塵埃の多い場所に設置された反射式の光センサーにおいて、前記反射式の光センサーの投光面２ａと受光面３ａが設けられたヘッド４に空気噴出口９が形成されたカバー体８を固着し、前記空気噴出口９は、前記投光面２ａや受光面３ａと所定距離だけ離れて配置され、前記光センサーの投受光面上を光軸と直交する方向へ吹き抜けるように圧縮空気を吹き出すこと。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（３）刊行物３
ア　段落【０００６】
「・・・セルフォックレンズの表面に汚れが付着するのを防止でき、常時良好なコピー画像を得ることができる画像形成装置を提供することを目的とする。」
イ　段落【００１６】〜【００１８】
「・・・このＬＥＤプリンタにはＬＥＤヘッド４に装置されるセルフォックレンズ４０の表面を常時クリーンな状態に維持するクリーニング装置９が装置される。図２はこのクリーニング装置９を示しており、・・・ホルダ４１内のセルフォックレンズ４０に隣接する図上左側部には適当な大きさの空洞４２が形成され、該空洞４２に送風パイプ９１の他端が連通した構造になっている。空洞４２の下端はホルダ４１の下面に開口している。また、ホルダ４１の下面における空洞４２の左側方に相当する部分には、風向調整部材４３が突出形成されている。・・・
　このような構成において、ファン９０より送風パイプ９１を通して空洞４２に空気を吹き込むと、風向調整部材４３に案内されて空気がセルフォックレンズ４０の表面を通って右側方に流通する。従って、例えば、ＬＥＤプリンタの使用中にファン９０を常時駆動するものとすると、セルフォックレンズ４０の表面層に常時空気層が形成されることになり、トナーや塵埃等の異物がセルフォックレンズ４０の表面に付着することがない。」
ウ　図２
　風向調整部材４３がセルフォックレンズ４０の表面と所定距離だけ離れて配置され、前記風向調整部材４３から空気がセルフォックレンズの表面に対して直交する方向へ吹き抜けるように吹き出されていることが看取される。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　上記記載事項及び図２の記載からみて、刊行物３には次の事項（以下、「刊行物３記載の事項」という。）が記載されていると認められる。
「風向調整部材４３がセルフォックレンズ４０の表面と所定距離だけ離れて配置され、前記風向調整部材４３から空気が前記セルフォックレンズ４０の表面に対して直交する方向へ吹き抜けるように吹き出して、当該表面を覆う空気層が形成され、トナーや塵埃等の異物が付着するのを防止すること。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−３　対比
　本願補正発明と引用発明とを対比すると、後者の「液晶表示装置用ガラス基板」は前者の「光透過性の基板」に、以下同様に、「基板の有無を検知する反射型のセンサ」は「基板が到達したことを検知する反射型の光電スイッチ」に、「クリーンエア」は「清浄化された空気」に、「気体流通路」は「ノズル」に、「光学式基板検出装置」は「基板検知装置」に、それぞれ、相当する。
　そして、後者における「光透過性の基板を洗浄する洗浄処理装置の水中ローダ１０近傍の水滴やミストが大量に存在する湿潤な環境」は、「光透過性の基板を処理する基板処理装置の付着物が浮遊する雰囲気の環境」である限りにおいて、前者における「光透過性の基板を熱処理する熱処理炉の搬入口近傍の外部又は搬出口近傍の外部」と共通している。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
［一致点］
　光透過性の基板を処理する基板処理装置の付着物が浮遊する雰囲気の環境に設けられ、当該環境において前記光透過性の基板を検知する反射型の光電スイッチと、前記光電スイッチの投受光部上を吹き抜けるように、清浄化された気体を吹き出すノズルとを備えた基板検知装置。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点１］
　反射型の光電スイッチが、
　本願補正発明では、熱処理する熱処理炉の搬入口近傍の外部又は搬出口近傍の外部に設けられ、当該外部に基板が到達したことを検知するのに対して、
　引用発明では、洗浄処理装置の水中ローダ近傍である水滴やミストが大量に存在する湿潤な環境に設けられ、当該環境における検出位置で基板の有無を検知する点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点２］
　本願補正発明では、ノズルが、光電スイッチの投受光部上を光軸と直交する方向へ吹き抜けるように、清浄化され除湿された気体を吹き出しているのに対して、
　引用発明では、ノズルの気体を吹き出す方向が光電スイッチの投受光部上を光軸と直交する方向ではなく、清浄化されてはいるが除湿された気体とはされていない点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点３］
　本願補正発明では、ノズルが光電スイッチと離れて配置され、かつ、基板の種類に応じて変化する昇華物の量に応じて流量調整された気体を吹き出して、前記光電スイッチの投受光部を覆う清浄空気層を形成するものであるのに対して、
　引用発明では、ノズルが光電スイッチと離れて配置されたものではなく、かつ、基板の種類に応じて変化する昇華物の量に応じて流量調整された気体を吹き出して、前記光電スイッチの投受光部を覆う清浄空気層を形成するものとはされていない点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−４　相違点についての判断
［相違点１について］
　熱処理する熱処理炉からガラス基板を取り出すとき、般入出口から処理の際に生じた昇華物を含む雰囲気が流出してその近傍に設けられた光電スイッチを汚染するおそれがあることは、例示するまでもなく周知の事項であることから、引用発明を熱処理する熱処理炉の搬入口近傍の外部又は搬出口近傍の外部に設けられた光電スイッチに適用することに格別の創意を要するということはできない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点２について］
　一般に光センサの技術分野において、浮遊する付着物が付着するのを防止するために、前記光電スイッチの投受光部上を光軸と直交する方向へ吹き抜けるように気体を吹き出すことは、周知の事項である（例えば、上記刊行物２記載の事項参照。）。また、吹き出す気体として清浄化され除湿された気体を用いることも例示するまでもなく周知の事項である。
　してみると、引用発明に上記各周知の事項を採用して、相違点２に関する本願補正発明の特定事項とすることは当業者であれば容易になし得た設計的事項にすぎないことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点３について］
　一般に光センサの技術分野において、ノズルが光電スイッチの投受光面と所定距離だけ離れて配置されることは周知の事項であり（例えば、上記刊行物２記載の事項参照。）、これにより、前記光電スイッチの投受光面を覆う清浄空気層が形成されることは自明の事項である（必要であれば、上記刊行物３記載の事項参照。）。
　また、基板処理装置において、浮遊物の進入を阻止するためにエアーの流量を調整することも周知の事項である（例えば、特開平９−２８３４８２号公報の段落【００３４】参照。）。
　してみると、引用発明に上記各周知の事項を適用して、相違点３に関する本願補正発明の特定事項とすることは当業者であれば容易に想到し得たことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　そして、本願補正発明によってもたらされる効果も、引用発明及び上記各周知の事項から当業者であれば十分予測できるものであって格別なものとはいえない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　したがって、本願補正発明は、引用発明及び周知の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　なお、請求人は平成１９年５月１４日付け回答書において、多数の先行技術は、いずれも光電スイッチ等の光学要素とノズルとを一体的に構成したものを開示しており、本願補正発明は、ノズルが光電スイッチと離れて配置されていることにより、投受光部を覆う空気層を広く形成して、昇華物を寄せ付けないようにすることができる（昇華物を吹き飛ばすのではなく）旨主張している。
　しかしながら、本願補正発明では、ノズルが光電スイッチからどれくらい離れているのかが特定されてなく、上記２−２において示したように刊行物２ないし３には、ノズルと光電スイッチの投受光面（光学要素）とを所定距離だけ離して配置したことが開示されており、しかも、上記各刊行物には、付着物を付着させることがないように、即ち、付着物を寄せ付けないようにする旨のことが記載されている。
　そして、本願補正発明のようにノズルと光電スイッチとを離れて配置することに格別な技術的意義を見出せない以上、請求人の上記主張は採用することができない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３　むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
第３　本願発明について
１　本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１８年１月３１日付けの手続補正書により補正がされた明細書の特許請求の範囲の請求項１記載された事項により特定される前記第２の１−１に示したとおりのものと認められる。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２　引用刊行物
　これに対し、原査定の拒絶の理由に引用され、また、本件出願前に日本国内で頒布された刊行物１ないし２及びその記載内容は、前記第２の２−２に示したとおりである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３　対比・判断
　本願発明と引用発明とを対比すると、両者は前記相違点１及び相違点２で相違し、その余の点で一致する。
　そして、相違点１及び相違点２についての判断は、前記第２の２−４で検討したとおりである。
　したがって、本願発明も、引用発明及び上記各周知の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件出願は拒絶するべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。