【手続補正書】
【提出日】平成24年4月23日(2012.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物面（３）の物体視野（１４）を像面（９）の像視野（１７）内に結像するための結像光学器械（１３；１８；１９；２７）であって、
−像視野（１７）が、小さい方の視野寸法（ｙ）及び垂直な大きい方の視野寸法（ｘ）によって形成され、該大きい方の視野寸法（ｘ）は、７５ｍｍよりも大きく、
−倍率βが１であり、
−結像光（１５）が偶数回の反射を受けるようなミラー配列を有し、
−全てのミラー（Ｍ１からＭ４；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ８）が、湾曲反射面を有する、
ことを特徴とする結像光学器械。
【請求項２】
少なくとも４つのミラーを有することを特徴とする請求項１に記載の結像光学器械。
【請求項３】
最も大きい最大光学面寸法を有する前記ミラー（Ｍ１）は、球面であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の結像光学器械。
【請求項４】
前記ミラー（Ｍ１、Ｍ６）のうちの少なくとも２つは、球面ミラーであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項５】
前記ミラー（Ｍ１からＭ４；Ｍ２からＭ５；Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６）のうちの少なくとも１つは、非球面ミラーであることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項６】
前記ミラーのうちの少なくとも１つは、回転非対称非球面ミラーであることを特徴とする請求項５に記載の結像光学器械。
【請求項７】
全てのミラー（Ｍ１からＭ４；Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６）が、非球面ミラーであることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の結像光学器械。
【請求項８】
前記結像光（１５）は、反射手段だけによって誘導されることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項９】
前記結像光（１５）を誘導する光学構成要素の前記配列は、前記物体視野（１４）から始まる中心主光線（１６ｃ）の結像光学器械の光路の半分に達する点によって定められる該中心主光線（１６ｃ）の中間点（Ｐ）に関して点対称であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項１０】
前記対物面（３）と前記像面（９）の間に２つの中間像面（２３、２５）を有することを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項１１】
前記結像光（１５）を誘導する光学構成要素の前記配列は、中心主光線（１６ｃ）の中間点（Ｐ）に関して非対称であることを特徴とする請求項１から請求項８、又は請求項１０のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項１２】
前記対物面（３）と前記像面（９）の間に１つの中間像面（２９）を有することを特徴とする請求項１１に記載の結像光学器械。
【請求項１３】
瞳面（３０）に又はそれに隣接して配列された少なくとも１つの瞳ミラー（Ｍ５）を有することを特徴とする請求項１１又は請求項１２に記載の結像光学器械。
【請求項１４】
前記瞳ミラー（Ｍ５）は、非球面ミラーであることを特徴とする請求項１３に記載の結像光学器械。
【請求項１５】
対物面（３）の物体視野（１４）を像面（９）の像視野（１７）内に結像するための結像光学器械（８；３１；４２；４４；４７；４９）であって、
−像視野（１７）が、小さい方の視野寸法（ｙ）及び垂直な大きい方の視野寸法（ｘ）によって形成され、該大きい方の視野寸法（ｘ）は、７５ｍｍよりも大きく、
−テレセントリックであり、
−結像光（１５）を誘導する少なくとも最初のミラー（Ｍ１）及び最後のミラー（Ｍ５；Ｍ６；Ｍ４）が、湾曲反射面を有し、
−前記結像光（１５）を誘導する湾曲ミラーの視野関連の対（３５、３６；４５、４６；４８；５０、５１）を有し、
−前記ミラー対は、結像光学器械の全トラック長（Ｔ）の６０％よりも小さい前記関連視野（１４、１７）からの距離（ＤP）のところに配列された視野対面ミラー（Ｍ１、Ｍ５；Ｍ１、Ｍ６；Ｍ６；Ｍ１、Ｍ４）を有し、
−前記結像光（１５）のビーム経路が前記対物面（３）又は前記像面（９）と交差する唯一の位置が、一方では前記物体視野（１４）及び他方では前記像視野（１７）であるように設計される、
ことを特徴とする結像光学器械。
【請求項１６】
ミラーの光学面の最も大きい最大寸法を有する前記ミラー（Ｍ４）は、球面であることを特徴とする請求項１５に記載の結像光学器械。
【請求項１７】
前記ミラー（Ｍ１、Ｍ５）のうちの少なくとも２つは、球面ミラーであることを特徴とする請求項１５に記載の結像光学器械。
【請求項１８】
前記ミラー（Ｍ３、Ｍ２からＭ４、Ｍ１からＭ４、Ｍ１からＭ３）のうちの少なくとも１つは、非球面ミラーであることを特徴とする請求項１５から請求項１７のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項１９】
前記ミラーのうちの少なくとも１つは、回転非対称非球面ミラーであることを特徴とする請求項１８に記載の結像光学器械。
【請求項２０】
全てのミラーが、非球面ミラーであることを特徴とする請求項１８又は請求項１９に記載の結像光学器械。
【請求項２１】
湾曲ミラーの前記視野関連の対は、前記物体視野（１４）から来る前記結像光（１５）を誘導するミラーの物体関連の対（３５；４５；５０）であり、この物体関連の対は、結像光学器械の前記全トラック長（Ｔ）の６０％よりも小さい該物体視野からの距離（ＤP）のところに配列された物体視野対面ミラー（Ｍ１）を有することを特徴とする請求項１６から請求項２０のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項２２】
ミラーの前記物体関連の対のうちの少なくとも一方のミラー（Ｍ１）は、球面ミラーであることを特徴とする請求項２１に記載の結像光学器械。
【請求項２３】
湾曲ミラーの前記視野関連の対は、前記像視野（１７）に前記結像光（１５）を誘導するミラーの像関連の対（３６；４６；４８；５１）であり、ミラーの該像関連の対は、結像光学器械の前記全トラック長（Ｔ）の６０％よりも小さい該像視野（１７）からの距離（ＤP）のところに配列された像視野対面ミラー（Ｍ５；Ｍ６；Ｍ４）を有し、
ミラーの前記像関連の対のうちの少なくとも１つのミラー（Ｍ５；Ｍ６；Ｍ４）は、球面ミラーであることを特徴とする請求項１５から請求項２２のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項２４】
前記結像光（１５）は、反射手段だけによって誘導されることを特徴とする請求項１５から請求項２３のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項２５】
瞳面（３８）の近くに屈折要素（３９から４１；５３から５７）の群（３７；５２）を有することを特徴とする請求項１５から請求項２３のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項２６】
屈折要素の前記群（３７；５２）の焦点距離が、結像光学器械の前記トラック長（Ｔ）よりも大きいことを特徴とする請求項２５に記載の結像光学器械。
【請求項２７】
屈折要素の前記群（３７；５２）は、少なくとも１つの非球面レンズを含むことを特徴とする請求項２５又は請求項２６に記載の結像光学器械。
【請求項２８】
瞳面（３８）に又はそれに隣接して配列された少なくとも１つの瞳ミラー（Ｍ３）を有することを特徴とする請求項１５から請求項２７のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項２９】
前記瞳ミラー（Ｍ３）は、非球面ミラーであることを特徴とする請求項２８に記載の結像光学器械。
【請求項３０】
前記結像光（１５）を反射する奇数個のミラーを有することを特徴とする請求項１５から請求項２９のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項３１】
１の倍率を有することを特徴とする請求項１５から請求項３０のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項３２】
前記結像光（１５）を誘導する光学構成要素の前記配列は、前記対物面（３）に対して垂直であると同時に結像光学器械の子午面（ｙｚ）に対して垂直であって前記物体視野（１４）から始まる中心主光線（１６ｃ）の結像光学器械の光路の半分に達する点によって定められる該主光線（１６ｃ）の中間点（Ｐ）を有する対称面（ＭＰ）に関して鏡面対称であることを特徴とする請求項１５から請求項３１のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項３３】
前記結像光を反射する偶数個のミラーを有することを特徴とする請求項１５から請求項２９のいずれか１項に記載の結像光学器械。
【請求項３４】
１よりも大きい倍率を有することを特徴とする請求項３３に記載の結像光学器械。
【請求項３５】
請求項１から請求項３４のいずれか１項に記載の結像光学器械を含む投影露光装置。