【事件の表示】
　特願２００４−２６６４６８「除振台装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　３月３０日出願公開、特開２００６−　８３８８３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１６年９月１４日の出願であって、平成２０年１２月１７日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２１年１月２２日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
２．本願発明
　本願の請求項１〜６に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」〜「本願発明６」という。）は、平成２０年６月１６日付け手続補正により補正された明細書、特許請求の範囲、及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定される次のとおりである。
「【請求項１】
　除振対象物に直接または間接的に敷設され、除振対象物の除振を行う除振台装置であって、
　該除振台装置は、除振対象物に直接または間接的に接する天井板と、この天井板の周縁から垂下する垂下板と、これらの天井板と垂下板に被される基台部とを備え、
　前記天井板の内側面と基台部との間には、基台部から天井板の内側面に向けてローリング作動膜構造を有するダイヤフラムと、当該ダイヤフラムに当接するとともに載置された状態にある流体ベアリングが順次設けられており、
　前記少なくとも１つの垂下板の内側面と基台部との間には、水平方向流体バネが設けられており、
　前記流体ベアリングは、内部に中空部を備える略円柱形状をなし、天井板の内側面と接することのある一方の略円形平面は多孔質焼結面から構成されており、この一方の略円形平面と反対側に位置する他方の略円形平面は前記ダイヤフラムと実質的に当接しており、前記中空部には外部から流体ベアリング用の圧力流体が注入されるように構成されており、　
　前記ダイヤフラムによって天井板と垂下板を浮上させて水準出しを行なった後に、前記流体ベアリングによって、天井板を非接触で浮上させる操作が行なえるようになっていることを特徴とする除振台装置。
【請求項２】
　前記天井板と前記垂下板は一体化され浮遊部としての機能を有し、前記基台部は固定部としての機能を有してなる請求項１に記載の除振台装置。
【請求項３】
　前記基台部は、流体室が形成されたベース本体と、このベース本体の上に流体室と連通した状態で被着されるフランジ部材と、このフランジ部材の周縁部と固着一体化されるシリンダ構成部材とを有し、
　前記フランジ部材とシリンダ構成部材の組み合わせによって、ダイヤフラムの周縁フランジ部が固着されるとともにローリング作動膜のシリンダ部が形成され、
　前記流体ベアリングがローリング作動膜のピストン部として形成されてなる請求項１または請求項２に記載の除振台装置。
【請求項４】
　前記ベース本体に形成された流体室には外部から流体バネ用の圧力流体が注入されるように構成されており、圧力流体の注入によりローリング作動膜がローリング移動して流体ベアリングが上下動するように構成されてなる請求項３に記載の除振台装置。
【請求項５】
　前記少なくとも１つの垂下板の内側面と基台部との間に形成されている水平方向流体バネは、ローリング作動膜構造を有するダイヤフラム、ベローズ、又はピストン構造体である請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の除振台装置。
【請求項６】
　前記少なくとも１つの垂下板の内側面と基台部との間には、基台部から垂下板の内側面に向けて水平方向流体バネおよび流体ベアリングが順次設けられており、前記流体ベアリングによって、垂下板との非接触状態が形成されてなる請求項５に記載の除振台装置。」
　
３．本願発明１について
（１）本願発明１
　本願発明１は、上記「２．本願発明」に記載したとおりである。
（２）引用例
（２−１）引用例１
　特開２００３−５６６４０号公報（以下、「引用例１」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（あ）「【０００４】
【発明の目的】本発明は、圧力室のベローズ形状等によることなく、特に水平方向の固有振動数を低下させることのできる除振装置を得ることを目的とする。」
（い）「【０００８】
【発明の実施形態】図１ないし図４は、本発明による除振装置の第一の実施形態を示している。基礎１０上に固定される直方体状の固定台３０の上には、垂直方向に拡縮可能な大ベローズ４１によって形成された垂直方向圧力室４２を介して中間可動台（水平可動基板）４０が支持されている。すなわち、大ベローズ４１の下端部は固定台３０に固定され、上端部は中間可動台４０に固定されている。
【０００９】中間可動台４０及び固定台３０の外周には、除振可動台５０が位置している。この除振可動台５０は、中間可動台４０に対向する水平基板（被除振物載置面）５０ａと、直方体状の固定台３０の各垂直面に対向する四枚の垂直基板５０ｂを有する、下面の開放された箱状をなしている。
【００１０】中間可動台４０には、その中心部に、大ベローズ４１（垂直方向圧力室４２）の中心部に延びる有底筒状部（筒状体）４３が設けられており、除振可動台５０の水平基板５０ａには、この有底筒状部４３内に延びるサポートロッド５１が固定されている。このサポートロッド５１の先端部（下端部）には、その軸線上に位置させて円錐状凹部５１ａ（図２）が形成されている。一方、有底筒状部４３内には、円錐状凹部５１ａと対をなす円錐状の凹部４４ａを有する軸受板４４が固定されており、この円錐状凹部５１ａと４４ａとの間に、スチールボール４５が挿入されている。この構成によると、除振可動台５０はスチールボール４５の球面を介して中間可動台４０と係合し、揺動可能に支持されることとなる。
【００１１】固定台３０と除振可動台５０との間にはそれぞれ、平面的に見て直交する位置関係で位置する合計４個の小ベローズ３１により、対をなす水平方向圧力室３２（Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）が形成されている。すなわち、各小ベローズ３１は、固定台３０の四垂直壁と除振可動台５０の四垂直基板５０ｂとの間に位置し、その内側端部が固定台３０に固定され、外側端部が垂直基板５０ｂに固定されて、水平方向圧力室３２を形成している。ベローズ３１、４１は、全体として円筒状をなし少なくとも一つの断面半円状部（作動膜部）を有する弾性部材である。
【００１２】以上の４つの水平方向圧力室３２（Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）と１つの垂直方向圧力室４２は、図４に示すように、第一ないし第四の水平圧力制御系３３（Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）と、垂直圧力制御系５４に接続されており、これらの制御系はそれぞれ、共通のマニホルド５５を介して、圧縮空気源５６に接続されている。
【００１３】上記構成の本除振装置は、中間可動台４０、除振可動台５０及び除振可動台５０上の被除振装置の重量に応じ、圧縮空気源５６の加圧空気をマニホルド５５及び第一ないし第四の水平圧力制御系３３（Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）を介して水平方向圧力室３２（Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）に導入し、同時に垂直圧力制御系５４を介して垂直方向圧力室４２に導入することにより、中間可動台４０、除振可動台５０及び除振可動台５０上の被除振装置を浮上状態に保持することができ、基礎１０（固定台３０）に加わる振動が被除振装置に伝達されるのを防ぐことができる。
【００１４】加えて、除振可動台５０は、中間可動台４０上にあって、スチールボール４５の球面を介して、揺動可能に支えられている。このように、除振可動台５０が中間可動台４０上に揺動可能に支えられていると、水平方向の固有振動数が低下することが確かめられた。また、固有振動数は、サポートロッド５１の長さが長い程（揺動支点が下方にある程）低下する。揺動支点を下方に下げるということは、有底筒状部４３の長さが長くなることを意味し、その結果、有底筒状部４３の垂直方向圧力室４２内の体積が増えて垂直方向圧力室４２の内容積が減る。垂直方向圧力室４２の内容積は、大きいほど垂直方向の固有振動数の低下には好ましいが、揺動支点を下げることによる固有振動数低下の効果は、垂直方向圧力室４２の内容積の減少による垂直方向の固有振動数上昇の効果を上回る。一方、圧力室４２の内容積が減少（変化）しても、水平方向の固有振動数には影響を与えない。
【００１５】ちなみに、従来の除振装置では、中間可動台４０が最終的な除振目的物であり、この中間可動台４０上に被除振装置（例えば描画装置）が載置されていた。本実施形態は、除振装置の固有振動数、特に水平方向の固有振動数を低下させるために、この中間可動台４０を最終的な除振目的物とせず、さらに、中間可動台４０上に揺動可能に除振可動台５０を支持させたのである。」
（う）「【００１８】図８、図９は、サポートロッド５１と有底筒状部４３を用いることなく、除振可動台５０を中間可動台４０上に揺動可能に支持した実施形態である。図８では、平面状をなす中間可動台４０と除振可動台５０の対向面にそれぞれ、大ベローズ４１（垂直方向圧力室４２）の中心部に位置させて、円錐状凹部４０ａと５０ｃを形成し、この円錐状凹部４０ａと５０ｃの間にスチールボール４７を介在させている。また図９では、平面状をなす中間可動台４０と除振可動台５０の対向面に、ボール支持プレート４０ｂ、５０ｄを固定し、このボール支持プレート４０ｂと５０ｂの間に、多数のボール４８を介在させている。図９の例では、中間可動台４０（大ベローズ４１）に対して、除振可動台５０の大きい揺動作用を得ることができる。」
　以上の記載事項及び図面（特に図９）からみて、引用例１には、下記の発明（以下、「引用例１発明」という。）が記載されているものと認められる。
「除振装置であって、
　該除振装置は、水平基板（被除振物載置面）５０ａと四枚の垂直基板５０ｂを有し、下面の開放された箱状をなしている除振可動台５０と、中間可動台４０及び直方体状の固定台３０とを備え、中間可動台４０及び固定台３０の外周には除振可動台５０が位置しており、
　基礎１０上に固定される固定台３０の上には、垂直方向に拡縮可能な大ベローズ４１によって形成された垂直方向圧力室４２を介して中間可動台（水平可動基板）４０が支持されているとともに、平面状をなす中間可動台４０と除振可動台５０の対向面に、ボール支持プレート４０ｂ、５０ｄを固定し、このボール支持プレート４０ｂと５０ｄの間に、多数のボール４８を介在させており、
　固定台３０と除振可動台５０との間にはそれぞれ、平面的に見て直交する位置関係で位置する合計４個の小ベローズ３１により、対をなす水平方向圧力室３２（Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）が形成されている除振装置。」
（２−２）引用例２
　特開平９−１４３３９号公報（以下、「引用例２」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（か）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、地震等による揺れのエネルギーが棚、展示ケース、テーブル、台、容器、パレット、すのこ、家庭的に使用される装飾台などの物品の載置設備へ伝達されることを極力抑えることにより、収納物や展示品などが損傷することのない安全性に優れた免震装置に関するものであり、特に文化財や美術品などの保管・展示や、化学薬品などの危険物、メディアなどの精密機械など衝撃を嫌うものの保管・展示に有効なものである。」
（き）「【００２６】次に、本発明にかかる別の実施例について図７を用いて説明する。なお、上記図１、２に示した実施例と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。図７において、展示ケース２１は、その底面に磁石が取り付けられていない点を除き、図１の例で示したものと同様の展示ケースである。一方、床面１０には凹部９が形成されており、この凹部９内には浮上手段としてのエアーを導き、噴出するホース２０が配置されている。ホース２０の上端部には、このホース２０に連通し、ホース２０によって送られてきたエアーを噴出するための細管２０ａが多数形成されている。この細管２０ａは展示ケース１の底面よりも広い範囲にわたって形成されており、展示ケース１が移動してもエアーの噴出している範囲から外れないようになっている。また、凹部９の開口部にはこの開口部を塞ぐようにして板２７が取り付けられている。この板２７には多数の孔が形成されており、この孔に上記細管２１ａの開口が位置するようになっている。」
（２−３）引用例３
　特開２０００−１３６０２４号公報（以下、「引用例３」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（さ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に用いられる液晶ガラス基板やシリコンウェハーなどの物品を空中に浮上させた状態で保持する装置に関する。」
（し）「【００１５】本実施例の浮上装置１においては、一対のベース材２上に４本のエアー供給管３が互いに平行に配置され、浮上対象物であるガラス基板４の下面にほぼ均等に配置されるよう各エアー供給管３に３個づつ通気性セラミックス材５が分散配置されている。」
（２−４）引用例４
　特開２０００−６２９５１号公報（以下、「引用例４」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（た）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ガラス基板やシリコンウエハーなどを浮上状態で搬送する装置に関する。」
（ち）「【００２７】ここで、図４，５を参照して、搬送装置４１，４２における浮上機構について説明する。図４は搬送機構を示す斜視図、図５は図４のＡ−Ａ線における断面図
である。
【００２８】搬送装置４１，４２の浮上機構１０においては、ベース材１５上に複数のエア供給管１３が平行に配置され、浮上対象物であるガラス基板１１の形状に合わせて複数の通気性セラミックス材１２がこれらのエア供給管１３に分散配置されている。また、エア供給管１３には、エアホース１４を経由して圧縮空気が供給され、この圧縮空気が通気性セラミックス材１２を通して上方ヘ噴出される。さらに、ベース材１５はレール２０にスライド自在に係止されている。なお、通気性セラミックス材１２は、エア供給管１３に形成された空気吹出口１３ａにそれぞれ取り付けられている。」
（２−５）引用例５
　特開平９−７９３１９号公報（以下、「引用例５」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（な）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、除振装置に関し、より詳細には、ばね定数を低減させて低固有振動数として振動伝達率を小さくすることができるばね手段を用いた除振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡，三次元測定器，ステッパ等、静止状態で微小長さを観察又は計測する精密機器は、使用中に微弱な振動が加わっても影響されて性能が損われ、本来の精度を得ることができなくなる。このため、精密機器を使用するときは、設置される床の振動が機器に伝わらないように、精密機器は除振装置上に搭載されることが多い。除振装置としては、防振ゴムを用いたもの，金属ばねを用いたもの，空気ばねを用いたもの等が実用に供されている。」
（に）「【０００７】空気ばねの種類には、ベローズ型，ダイヤフラム型，およびローリングシール型があげられる。ベローズ型の空気ばねは、最も汎用性があるが、鉄道，自動車の懸架装置用，精密機械の除振用などには、ゴム膜のダイヤフラムの外周と内周とを金属部品で固定して、空気ばね室を構成したダイヤフラム型の空気ばねが用いられる。しかし、精密機械の除振用としては、円筒形のゴム膜の内外に、円筒形の金属部品を接合して空気ばね室を構成したローリングシール型の空気ばねが用いられる。」
（３）対比
　本願発明１と引用例１発明とを比較すると、後者の「除振装置」は前者の「除振対象物に直接または間接的に敷設され、除振対象物の除振を行う除振台装置」に相当し、以下同様に、「水平基板（被除振物載置面）５０ａ」は「除振対象物に直接または間接的に接する天井板」に、「四枚の垂直基板５０ｂ」は、「除振可動台５０」が「下面の開放された箱状をなしている」ことから「この天井板の周縁から垂下する垂下板」に、「直方体状の固定台３０」は、「中間可動台４０及び固定台３０の外周には除振可動台５０が位置して」いることから「これらの天井板と垂下板に被される基台部」に、「小ベローズ３１」は、「固定台３０と除振可動台５０との間にはそれぞれ、平面的に見て直交する位置関係で位置する合計４個の小ベローズ３１により、対をなす水平方向圧力室３２（Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）が形成されている」ことから「前記少なくとも１つの垂下板の内側面と基台部との間」に設けられている「水平方向流体バネ」に、それぞれ相当する。
　また、引用例１発明の「垂直方向に拡縮可能な大ベローズ４１」と本願発明１の「ローリング作動膜構造を有するダイヤフラム」とは「作動膜」である限りで一致し、同じく、後者の「ボール支持プレート４０ｂと５０ｂ」及びその間に介在される「多数のボール４８」と前者の「流体ベアリング」とは「支持手段」である限りで一致するから、引用例１発明の「基礎１０上に固定される固定台３０の上には、垂直方向に拡縮可能な大ベローズ４１によって形成された垂直方向圧力室４２を介して中間可動台（水平可動基板）４０が支持されているとともに、平面状をなす中間可動台４０と除振可動台５０の対向面に、ボール支持プレート４０ｂ、５０ｄを固定し、このボール支持プレート４０ｂと５０ｄの間に、多数のボール４８を介在させており、」という事項と前者の「前記天井板の内側面と基台部との間には、基台部から天井板の内側面に向けてローリング作動膜構造を有するダイヤフラムと、当該ダイヤフラムに当接するとともに載置された状態にある流体ベアリングが順次設けられており、」という事項は「前記天井板の内側面と基台部との間には、基台部から天井板の内側面に向けて作動膜と支持手段が順次設けられており、」という事項に関する限りで一致する。
　したがって、本願発明１の用語に倣って整理すると、両者は、
「除振対象物に直接または間接的に敷設され、除振対象物の除振を行う除振台装置であって、
　該除振台装置は、除振対象物に直接または間接的に接する天井板と、この天井板の周縁から垂下する垂下板と、これらの天井板と垂下板に被される基台部とを備え、
　前記天井板の内側面と基台部との間には、基台部から天井板の内側面に向けて作動膜と支持手段が順次設けられており、
　前記少なくとも１つの垂下板の内側面と基台部との間には、水平方向流体バネが設けられている除振台装置。」である点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点１］
　本願発明１は、「前記天井板の内側面と基台部との間には、基台部から天井板の内側面に向けてローリング作動膜構造を有するダイヤフラムと、当該ダイヤフラムに当接するとともに載置された状態にある流体ベアリングが順次設けられて」いるのに対し、引用例１発明は、「基礎１０上に固定される固定台３０の上には、垂直方向に拡縮可能な大ベローズ４１によって形成された垂直方向圧力室４２を介して中間可動台（水平可動基板）４０が支持されているとともに、平面状をなす中間可動台４０と除振可動台５０の対向面に、ボール支持プレート４０ｂ、５０ｄを固定し、このボール支持プレート４０ｂと５０ｄの間に、多数のボール４８を介在させて」いるという事項を備え、「流体ベアリング」を設けていない点。
［相違点２］
　本願発明１は、「流体ベアリング」について、「前記流体ベアリングは、内部に中空部を備える略円柱形状をなし、天井板の内側面と接することのある一方の略円形平面は多孔質焼結面から構成されており、この一方の略円形平面と反対側に位置する他方の略円形平面は前記ダイヤフラムと実質的に当接しており、前記中空部には外部から流体ベアリング用の圧力流体が注入されるように構成されて」いるという事項を具備するのに対し、引用例１発明は、上記のとおり、そもそも「流体ベアリング」を設けていない点。
［相違点３］
　本願発明１は、「前記ダイヤフラムによって天井板と垂下板を浮上させて水準出しを行なった後に、前記流体ベアリングによって、天井板を非接触で浮上させる操作が行なえるようになっている」のに対し、引用例１発明はそのようになっていない点。
（４）判断
［相違点１］について
　まず、「作動膜」の点について検討する。
　引用例１発明の除振装置は、垂直方向に拡縮可能な大ベローズ４１によって形成された垂直方向圧力室４２を介して中間可動台（水平可動基板）４０を支持しているが、このような空気ばねとしてどのようなものを採用するかは、その除振装置の用途、想定する振動源の振動態様・特性、除振装置の使用条件、所要の除振特性等に応じて適宜設計する事項にすぎない。引用例５には「円筒形のゴム膜の内外に、円筒形の金属部品を接合して空気ばね室を構成したローリングシール型の空気ばね」が記載されており、引用例１発明の「垂直方向に拡縮可能な大ベローズ４１」を用いた空気ばねを引用例５に記載された上記の空気ばねとすることは、上記のような適宜の設計として当業者が容易に想到し得たものと認められる。
　次に、「支持手段」の点について検討する。
　引用例１発明の除振装置における「ボール支持プレート４０ｂと５０ｄ」及びその間に介在される「多数のボール４８」について、引用例１には上記に摘記したとおり「【００１８】…中間可動台４０（大ベローズ４１）に対して、除振可動台５０の大きい揺動作用を得ることができる。」と記載されており、また、図９に記載された形状・構造を合わせ考えると、「ボール支持プレート４０ｂと５０ｄ」及びその間に介在される「多数のボール４８」は「除振可動台５０」を支持する一種の「ベアリング手段」であるということができる。このような「ベアリング手段」としてどのようなものを採用するかは、用途や所要のベアリング特性等に応じて適宜設計する事項にすぎない。「ベアリング手段」の１つとして「静圧気体軸受」があることはいうまでもなく、また、例えば特開平５−３２１９７９号公報（特に【０００４】、【０００８】、【０００９】、【００１６】）に示されているように、除振装置において「エアベアリング」を使用することも広く知られている。
　そして、上記に摘記した引用例１の「【００１５】ちなみに、従来の除振装置では、中間可動台４０が最終的な除振目的物であり、この中間可動台４０上に被除振装置（例えば描画装置）が載置されていた。本実施形態は、除振装置の固有振動数、特に水平方向の固有振動数を低下させるために、この中間可動台４０を最終的な除振目的物とせず、さらに、中間可動台４０上に揺動可能に除振可動台５０を支持させたのである。」の記載にかんがみると、中間可動台４０上に揺動可能に除振可動台５０を支持する手段としての、「ボール支持プレート４０ｂと５０ｄ」及びその間に介在される「多数のボール４８」からなる「ベアリング手段」に替えて、従来周知の「静圧気体軸受」を採用することは、上記のような適宜の設計として当業者が容易に想到し得たものと認められる。
［相違点２］について
　引用例１発明の「垂直方向に拡縮可能な大ベローズ４１」を用いた空気ばねを引用例５に記載された上記の空気ばねとすること、及び、引用例１発明の「ボール支持プレート４０ｂと５０ｂ」及びその間に介在される「多数のボール４８」からなる「ベアリング手段」を「静圧気体軸受」とすることが、当業者が容易に想到し得たものであることは上記のとおりである。そのとき、「静圧気体軸受」の具体的形状・構造をどのようにするかは所要の機能や構造の簡素化等を考慮した上での適宜の設計的事項であって、引用例１発明では大ベローズ４１の上端部を固定する中間可動台４０の上面に「ベアリング手段」を設けているのであるから、引用例５に記載された「ローリングシール型の空気ばね」の上端部を固定する「円筒形の金属部品」の上面を「静圧気体軸受」の軸受面とするのが自然に導出される設計ないし容易に想起し得る設計であるということができる。そして、引用例２のほか、特開昭５８−５０３１４号公報（特に第１、２図。以下、「周知例Ａ」という。）、実願昭５８−１３６８５２号（実開昭６０−４３７２４号）のマイクロフィルム（特に第１、４〜７図。以下、「周知例Ｂ」という。）、特開平２−２１２６２５号公報（第１、６図。以下、「周知例Ｃ」という。）に示されているように、一般に静圧気体軸受で支持する場合にはその空気を供給する「中空部」が設けられるから、上記の「円筒形の金属部品」の内部に形成される中空部に静圧軸受用の気体を供給することが必然的ないし好適な構成であることは明らかである。静圧軸受面を「多孔質焼結面」とすることは、引用例３、引用例４のほか周知例Ａ〜Ｃに示されているように周知事項にすぎない。
［相違点３］について
　引用例１発明の「垂直方向に拡縮可能な大ベローズ４１」を用いた空気ばねを引用例５に記載された上記の空気ばねとすること、及び、引用例１発明の「ボール支持プレート４０ｂと５０ｄ」及びその間に介在される「多数のボール４８」からなる「ベアリング手段」を「静圧気体軸受」とすることが、当業者が容易に想到し得たものであることは上記のとおりである。そのとき、浮上と水準出しをどのような手順で行うかは、作業性等を考慮して適宜設計する事項にすぎず、本願発明１のようにすることは当業者が容易に想到し得たものと認められる。
　なお、この点について補足すると、本願発明１は「…操作が行なえるようになっている」と限定しているにすぎず、特定の手順で行うことまで限定しているとはいえない。そうであれば、上記のようにしたものは、通常、「…操作が行なえるようになっている」ということができる。
　そして、本願発明１の奏する作用効果も、引用例１〜５に記載された発明に基づいて当業者が予測できる程度のものである。
　
　なお、審判請求人は審判請求の理由において、「しかしながら、引用文献１には、本願発明１の流体ベアリングに関する記載は一切ありません。さらに、引用文献１には、ローリング作動膜構造を有するダイヤフラムと、このダイヤフラムに当接するように載置された状態にある流体ベアリングとの組合せの開示はありません。本願発明では、この組合せによる２段位置決め浮上操作によって、位置決めの安定性が極めて優れるのです。さらに、ローリング作動膜構造を有するダイヤフラムと、このダイヤフラムに当接するように載置された状態にある流体ベアリングとの組合せによってのみ、鉛直方向および水平方向に軟らかいバネ特性を備えることができ、除振効果も極めて優れています。ベローズと流体ベアリングとの組合せでは本願発明のレベルまで到達できません。」と主張している。確かに、「引用文献１には、本願発明１の流体ベアリングに関する記載は一切ありません。さらに、引用文献１には、ローリング作動膜構造を有するダイヤフラムと、このダイヤフラムに当接するように載置された状態にある流体ベアリングとの組合せの開示はありません。」との主張はその限りではそのとおりであるが、引用例１発明の「垂直方向に拡縮可能な大ベローズ４１」を用いた空気ばねを引用例５に記載された上記の空気ばねとすること、及び、引用例１発明の「ボール支持プレート４０ｂと５０ｄ」及びその間に介在される「多数のボール４８」からなる「ベアリング手段」を「静圧気体軸受」とすることが、当業者が容易に想到し得たものであることは上記のとおりである。また、「…組合せによってのみ、鉛直方向および水平方向に軟らかいバネ特性を備えることができ、除振効果も極めて優れています。」と主張するが、種々の構成・組み合わせに応じて「バネ特性」や「除振効果」に差異がみられるとしても、「軟らかい」か否か、及び「優れている」か否かを識別する明確かつ客観的な基準が特に説明されておらず、かつこのような基準があるとは認められない。そして、本願発明１の奏する作用効果が引用例１〜５に記載された発明に基づいて当業者が予測できる程度のものであることは上記のとおりである。
　同じく、「さらに、引用文献１における図９に示される実施形態は、平面状をなす中間可動台４０と除振可動台５０の対向面に、ボール支持プレート４０ｂ、５０ｄを固定し、このボール支持プレート４０ｂと５０ｄの間に多数のボール４８を介在させた実施形態が示されています。図９からも分るように多数のボール４８は、ボール支持プレート４０ｂにびっしりと充填されており、図面の水平左右方向への自由な動きはできず、縦軸を回動軸として固定した回動運動のみが可能と思われます。従って、引用文献１の図９に示される実施形態は、本願発明の横方向のスライド移動を含み自在に動くことができる浮遊距離間βを形成する流体ベアリングと同等の作用をするものではありません。」と主張している。確かに、「浮遊距離間βを形成する流体ベアリングと同等の作用をするものではありません。」との主張はその限りではそのとおりであるが、引用例１発明の「ボール支持プレート４０ｂと５０ｄ」及びその間に介在される「多数のボール４８」からなる「ベアリング手段」を「静圧気体軸受」とすることが、当業者が容易に想到し得たものであることは上記のとおりである。
　同じく、「支点的な作用の開示しかなされていない引用文献１に記載されたスチールボールを、敢えて、エアー浮上手段に置換する必然性はまったくないからです。本願発明１があたかも、拒絶査定で言及されているように、引用文献１〜２から容易になし得た構成であると錯誤するのは、本願の明細書から得た知識を前提にして事後的に引用文献を分析しているからです。引用文献１の図２、図５〜９と、引用文献２の図７〜８に記載された構造をイメージとして組合わせつつ、本願発明１の図４に開示された構造を見比べてください。引用文献１および引用文献２の所定の図面から本願発明１の図４の構成は容易には想起できないと思料いたします。」と主張している。しかし、一般に、「容易に発明をすることができた」とは複数の発明の組合せが必然的な場合に限るものではない。例えば、「最適材料の選択・設計変更、単なる寄せ集め」の場合、通常は、その発明は当業者が容易に想到することができたものと考えられるとされている。また、本願発明１（請求項１に係る発明）は「本願発明１の図４に開示された構造」と同一ではなく、仮に、「本願発明１の図４に開示された構造」が「容易に想起できない」としても、それが直ちに、本願発明１が容易に想到し得たものではないことの根拠になるものではない。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本願発明１は、引用例１〜５に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願発明１が特許を受けることができないものである以上、本願発明２〜６について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。