Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成24年2月13日(2012.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
なお、本発明は本実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。また上記した実施形態によれば、以下の発明が開示されている。
（付記１）
光学電子部品が搭載されている導電性のステム部材と、
前記光学電子部品と光学結合される光学レンズを支持して前記ステム部材と導通状態で接続される導電性のレンズキャップと、
前記光学レンズに対向する開口孔が形成されていて前記レンズキャップと前記ステム部材からなるＣＡＮ部材に絶縁性樹脂により絶縁状態で固定されている導電性の円筒ホルダと、
前記円筒ホルダの前記開口孔と対向する位置に配置されて前記光学電子部品および前記光学レンズと光学結合される光レセプタクルと、
前記光レセプタクルと前記円筒ホルダとをスポット溶接で固定しているＺ軸スリーブと、
を有する光通信モジュール。
（付記２）
前記円筒ホルダは前記レンズキャップを覆うよう配置されている付記１に記載の光通信モジュール。
（付記３）
前記ステム部材に搭載されている前記光学電子部品が受光素子からなる付記１ないし２に記載の光通信モジュール。
（付記４）
前記ステム部材に搭載されている前記光学電子部品が発光素子からなる付記１ないし２に記載の光通信モジュール。
（付記５）
付記１に記載の光通信モジュールの製造方法であって、
前記ＣＡＮ部材に前記円筒ホルダを前記絶縁性樹脂により絶縁状態で固定し、
前記円筒ホルダに前記光レセプタクルを前記Ｚ軸スリーブによりスポット溶接で固定する光通信モジュールの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学電子部品が搭載されている導電性のステム部材と、
前記光学電子部品と光学結合される光学レンズを支持して前記ステム部材と導通状態で接続される導電性のレンズキャップと、
前記光学レンズに対向する開口孔が形成されていて前記レンズキャップと前記ステム部材からなるＣＡＮ部材に絶縁性樹脂により絶縁状態で固定されている導電性の円筒ホルダと、
前記円筒ホルダの前記開口孔と対向する位置に配置されて前記光学電子部品および前記光学レンズと光学結合される光レセプタクルと、
前記光レセプタクルと前記円筒ホルダとをスポット溶接で固定しているＺ軸スリーブと、
を有する光通信モジュール。
【手続補正書】
【提出日】平成24年5月30日(2012.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
また、本発明に係る回転レーザ出射装置１０では、レーザ出射部４１が出射する測定用レーザ光線Ｌｍに、一対のチルトセンサ３２により検出された絶対傾斜信号と、スロープセンサ４８により検出された相対傾斜信号と、を重畳させている。この駆動制御部（駆動制御基板５３）には、上述したように、一対のチルトセンサ３２から絶対傾斜信号が入力されるとともに、スロープセンサ４８から相対傾斜信号が入力される。駆動制御部は、この取得した相対傾斜信号および絶対傾斜信号を測定用レーザ光線Ｌｍに重畳すべくＬＤ５０を駆動制御する。本実施例では、駆動制御部は、ＰＳＫ（Ｐｈａｓｅ  Ｓｈｉｆｔ  Ｋｅｙｉｎｇ）方式（位相偏移変調方式）を用いて、相対傾斜信号および絶対傾斜信号を測定用レーザ光線Ｌｍに重畳すべくＬＤ５０を駆動制御している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
上記した実施例では、相対傾斜信号および絶対傾斜信号をＰＳＫ方式で測定用レーザ光線Ｌｍに重畳させる構成とされていたが、少なくとも相対傾斜信号としての情報を外部へ伝達することができる送信手段を備えるものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。例えば、図示は略すが、回転レーザ出射装置に、送信手段として無線通信装置を搭載して、回転レーザ出射装置における制御部（上記した実施例ではメイン基板２０または駆動制御基板５３）にスロープセンサからの相対傾斜信号が入力される構成とするとともに、当該制御部の制御下で、上記した無線通信装置が相対傾斜信号としての情報を伝達するものであってもよい。この場合、それに合わせて、受光器にも無線通信装置を設け、受光器の演算機構は、回転レーザ出射装置の設置された既知点に対する受光器の設置箇所での高低角を算出する際、無線通信装置からの相対傾斜信号としての情報に基づいて受光信号（測定用レーザ光線）（そこからの算出結果でもよい）を補正する構成とする必要がある。これにより、正確な測量を行わせることができる。このとき、より正確な測量のために、上記した双方の無線通信装置において、絶対傾斜信号としての情報も合わせて伝達するものとすることが望ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成23年12月13日(2011.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像データに対して実行する画像処理のパラメータを設定する設定手段と、
画像が形成されるシートを複数枚搬送する場合に、当該複数枚のシートを第１の間隔、又は前記第１の間隔よりも短い第２の間隔で搬送させる搬送手段と、
前記搬送手段によって搬送されたシートに対して、前記設定手段によって設定されたパラメータに基づき処理された画像データに基づいて画像を形成する画像形成手段と、
前記搬送手段によって前記複数枚のシートを前記第１の間隔で搬送させて前記画像形成手段によって画像を形成させる場合に、前記設定手段によってパラメータの設定を実行し、
前記搬送手段によって前記複数枚のシートを前記第２の間隔で搬送させて前記画像形成手段によって画像を形成させる場合に、前記設定手段によって前記パラメータの一部を設定するよう制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記設定手段は、前記複数枚のシートに含まれるシートとシートの搬送間で、前記パラメータを設定することを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記設定手段は、操作部を介してユーザから受付けた設定に基づいて、前記パラメータを設定し、また前記画像形成手段によって画像を形成させる動作の実行中であっても前記操作部を介して前記ユーザから受付けた設定に基づいて、前記パラメータを設定可能であることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記画像形成装置を、通常モードと、前記通常モードよりも消費電力が小さい省電力モードのいずれかで動作させる動作制御手段を更に備え、
前記搬送手段は、前記画像形成装置が前記通常モードで動作している場合に、前記複数枚のシートを前記第１の間隔で搬送させ、前記画像形成装置が前記省電力モードで動作している場合に、前記複数枚のシートを前記第２の間隔で搬送させることを特徴とする請求項１又は２に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記設定手段によって前記パラメータの一部が設定される場合、当該一部に含まれないパラメータが設定されない旨を、表示部に表示させる表示制御手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記画像処理のパラメータは、画像の濃度値であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項７】
画像データに対して実行する画像処理の第１パラメータまたは第２のパラメータを設定する設定手段と、
画像が形成されるシートを複数枚搬送する場合に、当該複数枚のシートを第１の間隔、又は前記第１の間隔よりも短い第２の間隔で搬送させる搬送手段と、
前記搬送手段によって搬送されたシートに対して、前記設定手段によって設定された前記第１のパラメータまたは前記第２のパラメータに基づき処理された画像データに基づいて画像を形成する画像形成手段と、
前記搬送手段によって前記複数枚のシートを前記第１の間隔で搬送させて前記画像形成手段によって画像を形成させる場合に、前記設定手段によって前記第１のパラメータまたは前記第２のパラメータの設定を実行し、
前記搬送手段によって前記複数枚のシートを前記第２の間隔で搬送させて前記画像形成手段によって画像を形成させる場合に、前記設定手段によって前記第１のパラメータを設定するよう制御し、かつ前記設定手段によって前記第２のパラメータを設定しないようよう制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする画像形成装置。
【請求項８】
画像データに対して実行する画像処理のパラメータを設定する設定工程と、
画像が形成されるシートを複数枚搬送する場合に、当該複数枚のシートを第１の間隔、または前記第１の間隔よりも短い第２の間隔で搬送させる搬送工程と、
前記搬送工程にて搬送されたシートに対して、前記設定工程にて設定されたパラメータに基づき処理された画像データに基づいて画像を形成する画像形成工程と、
前記搬送工程によって前記複数枚のシートを前記第１の間隔で搬送させて前記画像形成工程にて画像を形成させる場合に、前記設定工程にてパラメータの設定を実行し、
前記搬送工程にて前記複数枚のシートを前記第２の間隔で搬送させて前記画像形成工程にて画像を形成させる場合に、前記設定工程にて前記パラメータの一部を設定するよう制御する制御工程と、
を備えることを特徴とする画像形成装置の制御方法。
【請求項９】
請求項８に記載された制御方法を、コンピュータに実行させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明の一態様に係る画像形成装置は以下のような構成を備える。即ち、
画像データに対して実行する画像処理のパラメータを設定する設定手段と、
画像が形成されるシートを複数枚搬送する場合に、当該複数枚のシートを第１の間隔、又は前記第１の間隔よりも短い第２の間隔で搬送させる搬送手段と、
前記搬送手段によって搬送されたシートに対して、前記設定手段によって設定されたパラメータに基づき処理された画像データに基づいて画像を形成する画像形成手段と、
前記搬送手段によって前記複数枚のシートを前記第１の間隔で搬送させて前記画像形成手段によって画像を形成させる場合に、前記設定手段によってパラメータの設定を実行し、
前記搬送手段によって前記複数枚のシートを前記第２の間隔で搬送させて前記画像形成手段によって画像を形成させる場合に、前記設定手段によって前記パラメータの一部を設定するよう制御する制御手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
リーダ部１２０では、原稿給送ユニット１２１に積層された原稿が、その積層順に従って先頭から順次１枚ずつプラテンガラス２１１上へ給送される。スキャナユニット２１０で所定の読み取り動作が終了した後、読み取られた原稿は排出トレイ２１９に排出される。また原稿がプラテンガラス２１１に搬送されるとランプ２１２を点灯し、次いで光学ユニット２１３の図面左右方向への移動を開始させ、原稿を下方から照射し走査する。そして、原稿からの反射光は、複数のミラー２１４，２１５，２１６、及び、レンズ２１７を介してＣＣＤイメージセンサ（以下、ＣＣＤ）２１８へ導かれ、ＣＣＤ２１８から原稿の画像に応じた画像データが生成される。ＣＣＤ２１８で得られた画像データは、所定の処理が施された後、制御部１１０に転送される。
【手続補正書】
【提出日】平成24年2月10日(2012.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（１）で表されるジヒドロキシ化合物に由来する構成単位を含むポリカーボネート樹脂からなることを特徴とする遮音部材。
【化１】
2011002586.tif 000001
【請求項２】
ポリカーボネート樹脂が、更に脂環式ジヒドロキシ化合物に由来する構成単位を含むものである請求項１に記載の遮音部材。
【請求項３】
ポリカーボネート樹脂中の前記一般式（１）で表されるジヒドロキシ化合物に由来する構成単位と脂環式ジヒドロキシ化合物に由来する構成単位との比率（モル％）が、９９：１〜３０：７０の範囲である請求項２に記載の遮音部材。
【請求項４】
ポリカーボネート樹脂が、更に芳香族ジヒドロキシ化合物に由来する構成単位を含むものである請求項１乃至３にいずれかに記載の遮音部材。
【請求項５】
ポリカーボネート樹脂中の芳香族ジヒドロキシ化合物に由来する構成単位の比率が、全ジヒドロキシ化合物に対して５〜４０モル％の範囲である請求項４に記載の遮音部材。
【請求項６】
ポリカーボネート樹脂の密度が１．３０ｇ／ｃｍ３  以上である請求項１乃至５のいずれかに記載の遮音部材。
【請求項７】
ポリカーボネート樹脂のガラス転移温度が８０℃以上である請求項１乃至６のいずれかに記載の遮音部材。 
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
又、本発明におけるポリカーボネート樹脂は、密度が１．３０ｇ／ｃｍ３  以上であるのが好ましく、１．３２ｇ／ｃｍ３  以上であるのが特に好ましい。 
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
これらブルーイング剤の含有量は、通常、ポリカーボネート樹脂１００重量部に対して、０. １×１０−４〜２×１０−４重量部が好ましい。 
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
実施例１
イソソルビド（ロケットフルーレ社製、蟻酸含有量５ｐｐｍ）２７．７重量部（０．５１６モル）に対して、１，４−シクロヘキサンジメタノール（イーストマン社製）１３．０重量部（０．２２１モル）、ジフェニルカーボネート（三菱化学社製）５９．２重量部（０．７５２モル）、及び触媒として、炭酸セシウム（和光純薬社製）２．２１×１０−４重量部（１．８４×１０−６モル）を反応容器に投入し、窒素雰囲気下にて、反応の第１段目の工程として、加熱槽温度を１５０℃に加熱し、必要に応じて攪拌しながら、原料を溶解させた（約１５分）。次いで、圧力を常圧から１３．３ｋＰａにし、加熱槽温度を１９０℃まで１時間で上昇させながら、発生するフェノールを反応容器外へ抜き出した。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月13日(2012.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
伸縮動作可能なアクチュエータと、
前記アクチュエータと接続された駆動部材と、
前記駆動部材に摩擦係合された被駆動部材と、
前記駆動部材の中心軸線に直交する面に沿って動作する光学絞り部と、
前記駆動部材に沿う前記被駆動部材の進退動作を前記中心軸線に直交する前記面内での前記光学絞り部の動作に変換する動力変換機構と、
を備える絞り駆動機構。
【請求項２】
前記光学絞り部は、
前記面に沿って配置された支持体と、
前記支持体との前記光軸回りの相対回転動作によって光通過口の大きさを変化させる遮光部材と、
を有し、
前記動力変換機構は、
前記被駆動部材の前記進退移動を前記面に沿う回転動作に変換して前記光学絞り部に伝達するカム部を有する、
請求項１に記載の絞り駆動機構。
【請求項３】
前記光学絞り部は、
前記面内で前記光軸に直交する一直線方向の対向動作によって光通過口の大きさを変化させる遮光部材を有し、
前記動力変換機構は、
前記被駆動部材の前記進退移動を前記対向動作に変換して前記光学絞り部に伝達するカム部を有する、
請求項１に記載の絞り駆動機構。
【請求項４】
前記アクチュエータは、
前記駆動部材の中心軸線方向に伸縮動作するものである
請求項１〜３のいずれか一項に記載の絞り駆動機構。
【請求項５】
前記アクチュエータは、
側面視して長手方向と短手方向とを有する圧電素子を備え、該圧電素子の前記長手方向を利用するものである
請求項１〜４のいずれか一項に記載の絞り駆動機構。
【請求項６】
前記アクチュエータを伸縮動作させる制御部をさらに備え、
前記制御部は、
前記アクチュエータの伸縮動作速度を漸次変化させる
請求項１〜５のいずれか一項に記載の絞り駆動機構。
【請求項７】
遠位端と近位端とを有し軸線方向に延びるシースと、
前記シースの遠位端に配置され対象物の映像を撮像する撮像機構と、
前記シースの近位端に配置されて前記撮像装置を操作するための操作部と、
を備え、
前記撮像機構は、
請求項１〜６のいずれか一項に記載の絞り駆動機構と、
前記光軸と同軸上に配置された固体撮像素子と、
前記駆動部材の軸線に平行に配置された第二駆動部材と、
伸縮動作可能な第二アクチュエータと、
前記第二駆動部材に摩擦係合されて前記絞り駆動機構と前記固体撮像素子との間で前記光軸と同軸上に配置され、前記光通過口から前記固体撮像素子へと進む光の焦点を変化させる移動光学系と、
を有する、内視鏡装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の絞り駆動機構は、前記アクチュエータを伸縮動作させる制御部をさらに備え、前記制御部は、前記アクチュエータの伸縮動作速度を漸次変化させることが好ましい。
この場合、伸縮に速度差がつくことで摩擦係合された被駆動部材が所定方向に移動する。連続動作させれば圧電素子の微小な変位でも被駆動部材を連続的に移動できるため必要なストローク分動作可能となる。また伸縮で逆の速度差を与えれば方向を逆に変えることもできる。
【手続補正書】
【提出日】平成24年5月31日(2012.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
図３、図４の実施例３、４の光学素子ＯＥは、回折光学部１２の境界面（光入出射面）の両側に屈折光学部１３が密着した構成の接合部１４を有している。図３の回折光学部１２の構成は密着２層構造である。図４の回折光学部１２は２積層構造である。この回折光学部１２の構成もこれに限るものではなく、所望の高い回折効率を得られる構成であれば何であっても良い。また屈折光学部１３を回折光学部１２の両側に配置することによって、片側に配置した場合に比べ、１つの面に関する成形性がよりし易くなる。また屈折光学部１３の厚さｄａｎｍ１及びｄａｎｍ２は同じでも異なっていても良い。各実施例において、屈折光学部13を構成する固体材料は、紫外線硬化樹脂若しくは無機微粒子を樹脂材料に分散させた混合体から成っている。また回折光学部１２を構成する材料は、異なる２つ以上の紫外線硬化樹脂若しくは無機微粒子を樹脂材料に分散させた混合体から成っている。そして、屈折光学部材１３の固体材料と回折光学部１２を構成する材料は、全て異なる材料から成っていても良く、又少なくとも１つが同じ材料から成っていても良い。
【手続補正書】
【提出日】平成24年3月22日(2012.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力された映像信号のフレームレートを高めるハイフレームレート信号生成部と、
前記ハイフレームレート信号生成部から出力されたハイフレームレート映像信号に対し、所定周期で非発光のフレームを設けてフレームレートを調整するフレームレート調整部と、
前記フレームレート調整部から出力された映像信号に基づいて映像を表示する表示パネルと、
を備える画像表示装置。
【請求項２】
前記フレームレート調整部は、非発光としたフレームの直前のフレームの発光時間を非発光としたフレームのフィールドまで延長する発光制御部を含む、請求項１に記載の画像表示装置。
【請求項３】
前記フレームレート調整部は、
前記ハイフレームレート信号生成部で生成されたハイフレームレート映像信号の映像同期信号を解析する同期信号解析部と、
前記映像同期信号の解析結果に基づいて、非発光とするフレームの前記映像同期信号を削除する制御タイミング生成部と、
を備える、請求項１又は２に記載の画像表示装置。
【請求項４】
入力された映像信号のフレームレートを高めるステップと、
前記ハイフレームレート信号生成部から出力されたハイフレームレート映像信号に対し、所定周期で非発光のフレームを設けてフレームレートを調整するステップと、
前記フレームレート調整部から出力された映像信号に基づいて映像を表示するステップと、
を備える画像表示方法。
【請求項５】
入力された映像信号のフレームレートを高める手段、
前記ハイフレームレート信号生成部から出力されたハイフレームレート映像信号に対し、所定周期で非発光のフレームを設けてフレームレートを調整する手段、
前記フレームレート調整部から出力された映像信号に基づいて映像を表示させる手段、
としてコンピュータを機能させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月8日(2012.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明の請求項６に係る一方向クラッチは、請求項１又は２に記載の一方向クラッチにおいて、前記弾性部材によって付勢された前記ローラを介して該ローラに２カ所以上の接触点を有するローラ脱落防止部が設けられたことを特徴としている。
また、本発明の請求項７に係る一方向クラッチは、請求項６に記載の一方向クラッチにおいて、前記ローラ脱落防止部は、前記平板部の外周縁部から外方にＬ字状に突出した第１の突片と、前記平板部の外周縁部から外方に突出した第２の突片とを、折り曲げることによって形成されることを特徴としている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明の請求項８に係る一方向クラッチは、請求項６に記載の一方向クラッチにおいて、前記ローラ脱落防止部は、前記平板部の外周縁部から外方にＬ字状に突出した第１の突片の先端部を２回折り曲げてなることを特徴としている。
また、本発明の請求項９に係る一方向クラッチは、請求項１又は２に記載の一方向クラッチにおいて、弾性体つぶれ防止部が、前記収納部と一体に形成されたことを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円周方向に沿って凹凸形状をなすカム面を内周面に形成した外輪と、
該外輪の内側に配置される内輪の外周面と前記カム面との間に円周方向に沿って配置された複数のローラと、
前記内輪の外周面と前記カム面との間隔が狭くなる方向に前記複数のローラをそれぞれ押圧する複数の弾性部材と、
前記外輪と前記内輪との間に配置され、円環状の平板部と、前記複数の弾性部材のそれぞれの弾性力を支承可能な複数の受部と、各受部同士の間部分を、前記各ローラ及び前記各弾性部材を収納する収納部とを有する保持器と、を備えた一方向クラッチであって、
板金よりなる前記平板部の外周縁部及び内周縁部に突出して一体に設けられた複数の突片を前記平板部に対してそれぞれ折り曲げることにより前記複数の受け部及び前記収納部が形成されたことを特徴とする一方向クラッチ。
【請求項２】
前記カム面は、金属よりなる外輪の内周面を塑性変形させてなることを特徴とする請求項１に記載の一方向クラッチ。
【請求項３】
前記保持器が、前記外輪の内周の直線部に対して位相決めされ、前記外輪の内周面に対して係合する係合面を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の一方向クラッチ。
【請求項４】
前記係合面には、外輪の内周面に係合する爪部が形成されたことを特徴とする請求項３に記載の一方向クラッチ。
【請求項５】
前記爪部の一端が前記保持器を前記外輪の内周面に挿入する方向と反対方向を向くように前記保持器の外周縁部から突出していることを特徴とする請求項４に記載の一方向クラッチ。
【請求項６】
前記弾性部材によって付勢された前記ローラを介して該ローラに２カ所以上の接触点を有するローラ脱落防止部が設けられたことを特徴とする請求項１又は２に記載の一方向クラッチ。
【請求項７】
前記ローラ脱落防止部は、前記平板部の外周縁部から外方にＬ字状に突出した第１の突片と、前記平板部の外周縁部から外方に突出した第２の突片とを、折り曲げることによって形成されることを特徴とする請求項６に記載の一方向クラッチ。
【請求項８】
前記ローラ脱落防止部は、前記平板部の外周縁部から外方にＬ字状に突出した第１の突片の先端部を２回折り曲げてなることを特徴とする請求項６に記載の一方向クラッチ。
【請求項９】
弾性体つぶれ防止部が、前記収納部と一体に形成されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の一方向クラッチ。
【請求項１０】
前記弾性体つぶれ防止部に、折り曲げられた第１の突片に荷重がかけられた際の変形抵抗となる補強部が設けられたことを特徴とする請求項９に記載の一方向クラッチ。
【請求項１１】
前記補強部がリブ構造をなすことを特徴とする請求項１０に記載の一方向クラッチ。
【請求項１２】
前記平板部の周縁部に形成される複数の突片のうち、前記収納部を形成する第１の突片と、前記弾性体を保持する保持部を形成する第３の突片と、該第３の突片と共に前記保持部を形成し、かつ前記受部を形成する第４の突片とが接触していることを特徴とする請求項１又は２に記載の一方向クラッチ。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月7日(2012.6.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動油を一方向に供給可能なポンプであって、作動油を油圧アクチュエータに供給する高圧ポンプと、作動油を正逆二方向に供給可能であって、且つ、前記二方向の何れの方向からも作動油を前記高圧ポンプに供給できる低圧ポンプと、前記高圧ポンプから前記油圧アクチュエータへ作動油を供給する経路を開閉するパイロットチェック弁を備え、前記低圧ポンプから前記高圧ポンプに供給される作動油の圧力により前記パイロットチェック弁の開閉状態が切り換わる高圧油圧システム用油圧回路において、
前記高圧ポンプの吐出側から分岐してバイパスパイロットラインを設け、前記バイパスパイロットラインに、前記高圧ポンプの圧力を前記低圧ポンプの圧力にまで減圧する減圧弁を設け、減圧された前記バイパスパイロットラインの作動油の圧力を、前記パイロットチェック弁を開閉する前記低圧ポンプからの作動油の圧力に付加することを特徴とする高圧油圧システム用油圧回路。
【請求項２】
前記減圧弁により前記高圧ポンプの圧力を減圧し、減圧された前記バイパスパイロットラインの作動油の圧力のみによって前記パイロットチェック弁を開閉することを特徴とする、請求項１に記載の高圧油圧システム用油圧回路。
【請求項３】
前記高圧ポンプから前記油圧アクチュエータへ作動油を供給する経路は、前記油圧アクチュエータが備えた２つの圧力室に対応して２つの経路に分岐しており、前記２つの経路のそれぞれにパイロットチェック弁が設けられていると共に、前記低圧ポンプからの作動油の供給方向に応じて、前記２つの経路の何れか一方の経路のパイロットチェック弁が開状態になることを特徴とする、請求項１または２に記載の高圧油圧システム用油圧回路。
【請求項４】
作動油を前記低圧ポンプによって前記高圧ポンプに供給する経路にリリーフ弁が設けられていることを特徴とする、請求項１から３の何れか１つに記載の高圧油圧システム用油圧回路。
【請求項５】
前記低圧ポンプから吐出された作動油を油タンクに戻す経路に設けられたチェック弁としてクラッキング圧の高いものを使用することを特徴とする、請求項１から４の何れか１つに記載の高圧油圧システム用油圧回路。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月19日(2012.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記第１算出手段は、前記実像の中心を中心とする第１ウィンドウと該第１ウィンドウを前記回折格子のスリットと垂直な方向へ移動させた第２ウィンドウとを設定し、
前記第１ウィンドウにおける輝度分布と前記第２ウィンドウにおける輝度分布との相関を計算し、該相関がピークとなる前記第２ウィンドウの中心位置を求め、前記第１ウィンドウの中心位置と前記相関がピークとなる第２ウィンドウの中心位置とに基づき前記実像と前記虚像との距離を決定することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成24年4月12日(2012.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
従来の検査装置は、例えば図３に示すように、互いに隣接するローダ室１及びプローバ室２を備えている。ローダ室１は、複数枚のウエハＷをカセット単位で収納するカセット収納部と、カセットからウエハＷを一枚ずつ搬出入するウエハ搬送機構と、ウエハ搬送機構によってウエハＷを搬送する間にウエハＷをプリアライメントするプリアライメント機構と、を備えている。プローバ室２は、図３に示すように、ウエハＷを保持しＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動可能に構成されたウエハチャック３と、このウエハチャック３上のウエハＷに形成された複数の電極パッドに接触する複数のプローブ４Ａを有するプローブカード４と、このプローブカード４をカードホルダ（図示せず）によって固定する固定機構５と、プローブカード４とテストヘッドＴとを電気的に接続する接続リング６と、を備え、制御装置の制御下でウエハＷに形成された各デバイスの電気的特性検査を行なうように構成されている。尚、図３において、７はウエハチャック３と協働してウエハＷとプローブカード４との位置合わせを行うアライメント機構で、７Ａは上カメラ、７Ｂは下カメラであり、８はプローブカード４の固定機構５が装着されたヘッドプレートである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、第２の貫通孔１３Ｂは、図２の（ａ）、（ｂ）に示すように、第１のネジ部材１５の雄ネジが貫通する小径孔１３Ｂ１と、小径孔１３Ｂ１から拡径し、第１のネジ部材１５の頭部が収納される大径孔１３Ｂ２と、からなり、小径孔１３Ｂ１と大径孔１３Ｂ２の境界に第１のネジ部材１５の頭部が係止される段部が形成されている。そして、小径孔１３Ｂ１は、第１のネジ部材１５の雄ネジが螺合するようにチャックトップ２１に形成された雌ネジに対応して形成されている。第１のネジ部材１５の頭部が収められた第２の貫通孔１３Ｂの大径孔１３Ｂ２の残余の空間には耐熱、耐寒性、耐衝撃性等に優れた樹脂、例えばＲＴＶ(Room Temperature Vulcanizing Rubber)ゴムが充填されている。また、ＲＴＶゴムは、固定用ブロック１３の表面にコーティングされていると共に固定用ブロック１３とチャックトップ２１を接着している。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月21日(2012.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光体を帯電する工程と、帯電した感光体に静電潜像を形成する工程と、該静電潜像をトナーにより現像して感光体上にトナー像を形成する工程と、感光体上のトナー像を転写材に転写する工程と、転写工程後に感光体上の残留トナーを除去する工程とを有する画像形成方法であって、
該感光体は表面に凹部を有しており、該凹部の個数が１００μｍ四方あたり４０個以上４００００個以下であり、該凹部の開口の平均長軸径が０．５μｍ以上１５．０μｍ以下であり、
該トナーは、着色剤と結着樹脂とを有するトナー粒子と、無機微粉体Ａとを有するトナーであって、
該無機微粉体Ａは、
（１）一次粒子の個数平均粒径が８０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であり、
（２）真密度が２．４ｇ／ｃｍ３以上３．０ｇ／ｃｍ３以下であり、
粉体流動性分析装置を用いて測定した、圧縮後７回目測定時の
（３）トータルエネルギーＴＥが２０００ｍＪ以上３２００ｍＪ以下であり、
（４）流速指標ＦＲＩが０．８以上１．８以下である
ことを特徴とする画像形成方法。
【請求項２】
前記無機微粉体Ａが金属炭酸塩であることを特徴とする請求項１に記載の画像形成方法。
【請求項３】
前記無機微粉体Ａが炭酸カルシウムであることを特徴とする請求項１または２に記載の画像形成方法。
【請求項４】
前記無機微粉体Ａが、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、ベヘニン酸、モンタン酸、及び前記脂肪酸のアルミニウム、亜鉛、カルシウム、マグネシウム、ストロンチウムの塩からなる群より選択される脂肪酸或いは脂肪酸金属塩によって表面処理されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の画像形成方法。
【請求項５】
前記脂肪酸または脂肪酸金属塩は、前記Ｒが直鎖アルキル基であるものを７０質量％以上含有することを特徴とする請求項４に記載の画像形成方法。
【請求項６】
前記無機微粉体Ａがシランカップリング剤で表面処理されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の画像形成方法。
【請求項７】
前記トナーは、一次粒子の個数平均粒径が３ｎｍ以上２５ｎｍ以下、かつ真密度が０．５ｇ／ｃｍ３以上４．５ｇ／ｃｍ３以下の微粉体Ｂを有し、前記無機微粉体Ａの添加量が該微粉体Ｂの添加量の０．３倍以上１．５倍以下であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の画像形成方法。
【請求項８】
前記トナーは、一次粒子の個数平均粒径が２５ｎｍ以上７０ｎｍ以下、かつ真密度が１．５ｇ／ｃｍ３以上２．３ｇ／ｃｍ３以下の無機微粉体Ｃを有し、該無機微粉体Ｃの添加量は、前記無機微粉体Ａの添加量の２０質量％以上８０質量％以下であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の画像形成方法。
【手続補正書】
【提出日】平成24年2月14日(2012.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＥＥＰＲＯＭエミュレーションを行うためのＥＥＰＲＯＭ代替領域を有するフラッシュメモリと、
ＣＰＵと、
前記ＥＥＰＲＯＭ代替領域における任意のブロックに書き込まれたデータに対応する電圧レベルと、所定のデータレベルチェック電圧とを比較するためのデータレベルチェック回路と
を具備し、
前記ＣＰＵは、前記データに対応する電圧レベルが、前記データレベルチェック電圧を下回った場合に、前記データを前記任意のブロックから読み出して他のブロックに書き込むブロックチェンジを実行する
半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月14日(2012.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データベースに登録されたデータを検索キーと比較して検索処理を行う検索処理装置であって、
検索すべきデータが登録され、入力されたアドレスに応じて、前記登録されたデータを出力する検索データベースと、
前記検索データベース内のアドレスを区分するアドレス区分情報と、ビット位置を区分するビット区分情報とが登録され、前記登録された情報を出力する検索区分データベースと、
前記検索データベースに登録されたデータのうち、前記アドレス区分情報により特定されるアドレス範囲に登録され、かつ、前記ビット区分情報により特定されるビット範囲に登録されたデータを、前記検索キーと比較して比較結果を出力する比較手段と、
を有することを特徴とする検索処理装置。
【請求項２】
前記検索データベースの同一アドレスに異なる検索区分のデータを配置し、前記検索区分を示す情報に基づいて前記配置されたデータを検索区分毎に検索することを特徴とする請求項１に記載の検索処理装置。
【請求項３】
前記比較手段を少なくとも２つ有し、同一の検索区分に属する複数の検索を同時に行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の検索処理装置。
【請求項４】
データベースに登録されたデータを検索キーと比較して検索処理を行う検索処理装置における検索処理方法であって、
読み出す手段が、検索すべきデータが登録された検索データベース内のアドレスを区分するアドレス区分情報により特定されるアドレス範囲に登録されたデータを前記検索データベースから読み出す工程と、
出力する手段が、前記読み出されたデータのうち、前記検索すべきデータが登録された検索データベース内のビット区分情報により特定されるビット範囲のデータを、前記検索キーと比較して比較結果を出力する工程と、
を有することを特徴とする検索処理方法。
【請求項５】
コンピュータを請求項１乃至３の何れか１項に記載の検索処理装置の各手段として機能させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月13日(2012.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の給紙手段のいずれかにセットされた記録紙を用いて画像を印刷させるための印刷制御装置であって、
記録紙のタイプ毎の使用量及び／又は使用日時を取得する取得手段と、
印刷ジョブを入力する入力手段と、
前記入力手段で入力した印刷ジョブで使用すべき記録紙が前記複数の給紙手段のいずれにもセットされていない場合に、前記取得手段で取得した使用量及び／又は使用日時に基づき、前記入力手段で入力した印刷ジョブで使用すべき記録紙と交換すべき記録紙を決定する決定手段と、を有することを特徴とする印刷制御装置。
【請求項２】
前記取得手段は、記録紙の使用量を取得し、前記決定手段は、使用量の少ないタイプの記録紙を、交換すべき記録紙と決定することを特徴とする請求項１に記載の印刷制御装置。
【請求項３】
前記取得手段は、記録紙の使用日時を取得し、前記決定手段は、最後に使用した日時が最も古いタイプの記録紙を、交換すべき記録紙と決定することを特徴とする請求項１に記載の印刷制御装置。
【請求項４】
前記決定手段は、前記使用量又は前記使用日時の履歴がないタイプの記録紙以外の記録紙を前記交換すべき記録紙として決定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の印刷制御装置。
【請求項５】
前記取得手段は、さらに、記憶手段に記憶された後続の１以上の印刷ジョブの記録紙のタイプを取得し、前記決定手段は、前記記憶手段に記憶されている後続の１以上の印刷ジョブのいずれもが使用しない記録紙が前記複数の給紙手段のいずれかにセットされている場合、当該使用しない記録紙を交換すべき記録紙と決定することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の印刷制御装置。
【請求項６】
複数の給紙手段のいずれかにセットされた記録紙を用いて画像を印刷させるための印刷制御装置の制御方法であって、
記録紙のタイプ毎の使用量及び／又は使用日時を取得する取得工程と、
印刷ジョブを入力する入力工程と、
前記入力工程で入力した印刷ジョブで使用すべき記録紙が前記複数の給紙手段のいずれにもセットされていない場合に、前記取得工程で取得された使用量及び／又は使用日時に基づき、前記入力工程で入力した印刷ジョブで使用すべき記録紙と交換すべき記録紙を決定する決定工程とを有することを特徴とする印刷制御装置の制御方法。
【請求項７】
請求項６に記載の制御方法をコンピュータにより実行することを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上述の問題点を解消するため、本発明の印刷制御装置は、複数の給紙手段のいずれかにセットされた記録紙を用いて画像を印刷させるための印刷制御装置であって、記録紙のタイプ毎の使用量及び／又は使用日時を取得する取得手段と、印刷ジョブを入力する入力手段と、前記入力手段で入力した印刷ジョブで使用すべき記録紙が前記複数の給紙手段のいずれにもセットされていない場合に、前記取得手段で取得した使用量及び／又は使用日時に基づき、前記入力手段で入力した印刷ジョブで使用すべき記録紙と交換すべき記録紙を決定する決定手段と、を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成23年11月14日(2011.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）カルボキシル基を含有するモノマーがモノマー組成比で０．５質量％を超えるアクリル系重合体と、（Ｂ）活性エネルギー線硬化型化合物を含み、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の含有割合が、質量比で１００：５〜１００：５０である粘着性材料に、活性エネルギー線を照射してなり、無アルカリガラスに対して接着面積１００ｍｍ2（１０ｍｍ×１０ｍｍ）にて貼り合わせ、せん断速度０．１ｍｍ／ｍｉｎでせん断荷重を測定したときの、ひずみ４０００％以内での最大せん断荷重が５０Ｎ以上であり、２３℃における貯蔵弾性率（Ｇ’）が、０．３〜１５ＭＰａであることを特徴とする光学機能性フィルム貼合用粘着剤。
【請求項２】
８０℃における貯蔵弾性率（Ｇ’）が、０．３Ｍ〜１０ＭＰａである請求項１に記載の光学機能性フィルム貼合用粘着剤。
【請求項３】
光学機能性フィルムが偏光板であって、偏光板を液晶ガラスセルに貼合させるのに用いられる請求項１又は２に記載の光学機能性フィルム用粘着剤。
【請求項４】
光学機能性フィルムが偏光板及び／又は位相差板であり、偏光板と位相差板の貼合又は位相差板と位相差板の貼合に用いられる請求項１又は２に記載の光学機能性フィルム貼合用粘着剤。
【請求項５】
カルボキシル基を含有するモノマーが（メタ）アクリル酸である請求項１〜４のいずれかに記載の光学機能性フィルム貼合用粘着剤。
【請求項６】
（Ｂ）成分の活性エネルギー線硬化型化合物が、分子量１０００未満の多官能（メタ）アクリレート系モノマーである請求項１〜５のいずれかに記載の光学機能性フィルム用粘着剤。
【請求項７】
多官能（メタ）アクリレート系モノマーが環状構造を有する請求項６に記載の光学機能性フィルム用粘着剤。
【請求項８】
多官能（メタ）アクリレート系モノマーがイソシアヌレート構造を有する請求項７に記載の光学機能性フィルム貼合用粘着剤。
【請求項９】
粘着性材料が、さらに（Ｃ）アクリル共重合体中の官能基と反応し得る架橋剤及び（Ｄ）シランカップリング剤を含む粘着性材料を含む請求項１〜８のいずれかに記載の光学機能性フィルム用粘着剤。
【請求項１０】
光学機能性フィルムの少なくとも片面に請求項１〜９のいずれかに記載の粘着剤からなる層を有することを特徴とする粘着剤付き光学機能性フィルム。
【請求項１１】
光学機能性フィルムが偏光板又は位相差板である請求項１０に記載の粘着剤付き光学機能性フィルム。
【請求項１２】
無アルカリガラスに対する粘着力が、貼合後、２４時間経過後において０．２Ｎ／２５ｍｍ以上であり、かつ貼合後、７日間経過後において４０Ｎ／２５ｍｍ以上である請求項１０又は１１に記載の粘着剤付き光学機能性フィルム。
【請求項１３】
剥離シートの剥離層上に設けられた粘着性材料層に光学機能性フィルムを貼合した後、剥離シート側から活性エネルギー線を照射することを特徴とする請求項１０〜１２のいずれかに記載の粘着剤付き光学機能性フィルムの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成24年9月12日(2012.9.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に導電性構造体を作製する方法であって、
基材の表面上に、充填可能チャネルのパターン状に放射線硬化性相変化ゲルマーキング材料を印刷し、
前記放射線硬化性相変化ゲルマーキング材料は、随意の着色剤、並びに放射線硬化性モノマー又はプレポリマー、光開始剤、反応性ワックス及びゲル化剤を含む相変化インク展色剤を含み、
前記放射線硬化性相変化ゲルマーキング材料を硬化し、
前記充填可能チャネル内に導電性材料を堆積させ、
前記導電性材料をアニールし、
随意に、前記放射線硬化性相変化ゲルマーキング材料を除去する
ステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記導電性構造体が、無線識別タグを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成24年3月5日(2012.3.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出光によって位置座標が検出されるアライメントマークが搭載された半導体装置において、
前記アライメントマークは、前記検出光の走査方向に沿って所定の間隔で配置された複数の棒状マークを備え、
前記複数の棒状マークの各々は、前記走査方向に直交する第１方向に沿って所定の間隔で配置された複数の配線マークによって形成され、
互いに隣接する前記配線マークの間隔は、半導体装置の設計制約の範囲内において前記検出光の波長より短い
半導体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置
【手続補正書】
【提出日】平成24年5月21日(2012.5.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
内部にプラズマが生成される真空容器と、前記真空容器内に設けられ被加工試料を載置する下部電極と、前記下部電極に対向して設けられた上部電極と、前記上部電極に接続されたガス導入手段と、前記上部電極に接続されたプラズマ生成用高周波電源と、磁場発生用ソレノイドコイルとを有し、前記プラズマにより前記被加工試料の表面処理を行うプラズマ処理装置において、前記上部電極は、第一のガス孔が施されたシャワープレートと、このシャワープレートの前記下部電極に面する側と反対の背面に配置され第二のガス孔が施された導体板と、前記シャワープレートの背面側でこのシャワープレートと前記導体板との間に挟まれて前記導体板の中心部に配置され第三のガス孔が施された絶縁板と、前記導体板の背面に配置され温度制御機能及びガス分散部を有するアンテナ基材部からなり、前記シャワープレートと前記絶縁板との界面には、径方向に第一の微小隙間を有し、前記絶縁板と前記導体板との界面には、径方向に第二の微小隙間を有し、前記第一のガス孔と前記第三のガス孔の中心が周方向または径方向にずれている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
内部にプラズマが生成される真空容器と、前記真空容器内に設けられ被加工試料を載置する下部電極と、前記下部電極に対向して設けられた上部電極と、前記上部電極に接続されたガス導入手段と、前記上部電極に接続されたプラズマ生成用高周波電源と、磁場発生用ソレノイドコイルとを有し、前記プラズマにより前記被加工試料の表面処理を行うプラズマ処理装置において、前記上部電極は、第一のガス孔が施されたシャワープレートと、このシャワープレートの前記下部電極に面する側と反対の側の背面に配置され第二のガス孔が施された導体板と、この導体板と前記シャワープレートとの間に挟まれて配置された第一の絶縁板及び第二の絶縁板であって前記シャワープレートの背面に面して前記導体板の中心部に配置され第三のガス孔が施された第一の絶縁板及び前記第一の絶縁板の背面に配置され第四のガス孔が施された第二の絶縁板と、前記導体板の背面に配置され温度制御機能及びガス分散部を有するアンテナ基材部からなり、前記シャワープレートと前記第一の絶縁板との界面には、径方向に第一の微小隙間を有し、前記第二の絶縁板と前記導体板との界面には、径方向に第二の微小隙間を有し、前記第一の絶縁板と前記第二の絶縁板との界面には、径方向に第三の微小隙間を有し、前記第一のガス孔と前記第三のガス孔と前記第四のガス孔の中心が周方向または径方向にずれている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にプラズマが生成される真空容器と、前記真空容器内に設けられ被加工試料を載置する下部電極と、前記下部電極に対向して設けられた上部電極と、前記上部電極に接続されたガス導入手段と、前記上部電極に接続されたプラズマ生成用高周波電源と、磁場発生用ソレノイドコイルとを有し、前記プラズマにより前記被加工試料の表面処理を行うプラズマ処理装置において、
前記上部電極は、第一のガス孔が施されたシャワープレートと、このシャワープレートの前記下部電極に面する側と反対の背面に配置され第二のガス孔が施された導体板と、前記シャワープレートの背面側でこのシャワープレートと前記導体板との間に挟まれて前記導体板の中心部に配置され第三のガス孔が施された絶縁板と、前記導体板の背面に配置され温度制御機能及びガス分散部を有するアンテナ基材部からなり、
前記シャワープレートと前記絶縁板との界面には、径方向に第一の微小隙間を有し、前記絶縁板と前記導体板との界面には、径方向に第二の微小隙間を有し、
前記第一のガス孔と前記第三のガス孔の中心が周方向または径方向にずれていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
請求項１記載のプラズマ処理装置において、前記絶縁板の形状は、円錐台であることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項３】
内部にプラズマが生成される真空容器と、前記真空容器内に設けられ被加工試料を載置する下部電極と、前記下部電極に対向して設けられた上部電極と、前記上部電極に接続されたガス導入手段と、前記上部電極に接続されたプラズマ生成用高周波電源と、磁場発生用ソレノイドコイルとを有し、前記プラズマにより前記被加工試料の表面処理を行うプラズマ処理装置において、
前記上部電極は、第一のガス孔が施されたシャワープレートと、このシャワープレートの前記下部電極に面する側と反対の側の背面に配置され第二のガス孔が施された導体板と、この導体板と前記シャワープレートとの間に挟まれて配置された第一の絶縁板及び第二の絶縁板であって前記シャワープレートの背面に面して前記導体板の中心部に配置され第三のガス孔が施された第一の絶縁板及び前記第一の絶縁板の背面に配置され第四のガス孔が施された第二の絶縁板と、前記導体板の背面に配置され温度制御機能及びガス分散部を有するアンテナ基材部からなり、
前記シャワープレートと前記第一の絶縁板との界面には、径方向に第一の微小隙間を有し、前記第二の絶縁板と前記導体板との界面には、径方向に第二の微小隙間を有し、前記第一の絶縁板と前記第二の絶縁板との界面には、径方向に第三の微小隙間を有し、
前記第一のガス孔と前記第三のガス孔と前記第四のガス孔の中心が周方向または径方向にずれていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項４】
請求項３記載のプラズマ処理装置において、前記第一及び第二の絶縁板の形状は、円錐台であることを特徴とするプラズマ処理装置。