【手続補正書】
【提出日】平成24年11月2日(2012.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面、および前記第１の面に対して裏側の第２の面を有している第１の基板と、
前記第２の面と対向している第３の面、前記第３の面に対して裏側の第４の面、および前記第４の面に配置されている第１の外部端子並びに第２の外部端子を有している第２の基板と、
前記第２の面と前記第３の面との間に配置されており、前記第１の基板と前記第２の基板と共に収容空間を構成している枠部、前記収容空間内に配置されている振動部、前記振動部と前記枠部とを連結している接続部、前記第２の面と対向して前記振動部に配置されている第１の振動用の電極、および前記第３の面と対向して前記振動部に配置されている第２の振動用の電極、を有している中間基板と、
前記第２の面の前記接続部と対向している所と、前記第２の面の前記収容空間内の所と、前記枠部の外周の側面とを伝って配置されており、前記第１の振動用の電極と前記第１の外部端子とを導通している第１の配線と、
前記接続部の前記第３の面と対向している所と、前記第２の基板の側面とを伝って配置されており、前記第２の振動用の電極と前記第２の外部端子とを導通している第２の配線と、を含むデバイス。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１の配線は、さらに前記第２の基板の側面を伝って配置されているデバイス。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記枠部の前記外周の側面は、前記第１の配線が配置されている第１の溝部を有し、
前記第２の基板の側面は、前記第２の配線が配置されている第２の溝部を有しているデバイス。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記デバイスは略直方体であり、前記第１の配線が配置されている前記枠部の前記外周の側面と、前記第２の配線が配置されている前記第２の基板の側面とは、表裏の関係であるデバイス。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記第２の面には前記収容空間の一部を構成している凹部があるデバイス。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項において、
前記振動部は圧電振動部であるデバイス。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】デバイス
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
第１の面、および前記第１の面に対して裏側の第２の面を有している第１の基板と、
前記第２の面と対向している第３の面、前記第３の面に対して裏側の第４の面、および前記第４の面に配置されている第１の外部端子並びに第２の外部端子を有している第２の基板と、前記第２の面と前記第３の面との間に配置されており、前記第１の基板と前記第２の基板と共に収容空間を構成している枠部、前記収容空間内に配置されている振動部、前記振動部と前記枠部とを連結している接続部、前記第２の面と対向して前記振動部に配置されている第１の振動用の電極、および前記第３の面と対向して前記振動部に配置されている第２の振動用の電極、を有している中間基板と、前記第２の面の前記接続部と対向している所と、前記第２の面の前記収容空間内の所と、前記枠部の外周の側面とを伝って配置されており、前記第１の振動用の電極と前記第１の外部端子とを導通している第１の配線と、前記接続部の前記第３の面と対向している所と、前記第２の基板の側面とを伝って配置されており、前記第２の振動用の電極と前記第２の外部端子とを導通している第２の配線と、を含む。
［適用例２］
上記適用例に係るデバイスにおいて、前記第１の配線は、さらに前記第２の基板の側面を伝って配置されていてもよい。
［適用例３］
上記適用例に係るデバイスにおいて、前記枠部の前記外周の側面は、前記第１の配線が配置されている第１の溝部を有し、前記第２の基板の側面は、前記第２の配線が配置されている第２の溝部を有していてもよい。
［適用例４］
上記適用例に係るデバイスにおいて、前記デバイスは略直方体であり、前記第１の配線が配置されている前記枠部の前記外周の側面と、前記第２の配線が配置されている前記第２の基板の側面とは、表裏の関係であってもよい。
［適用例５］
上記適用例に係るデバイスにおいて、前記第２の面には前記収容空間の一部を構成している凹部があってもよい。
［適用例６］
上記適用例に係るデバイスにおいて、前記振動部は圧電振動部であってもよい。
本参考例の第１の形態に係る圧電デバイスは、
下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含む圧電デバイスであって、
前記中間基板は、
圧電振動部と、
前記圧電振動部の周囲を囲む枠部と、
前記圧電振動部と前記枠部とを接続する接続部と、
前記圧電振動部の上面に設けられた第１の励振電極と、
前記圧電振動部の下面に設けられた第２の励振電極と、
を有し、
前記下側基板は、その下面に設けられた第１の外部端子および第２の外部端子を有し、
当該圧電デバイスは、
前記上側基板の下面において、前記接続部の上方から、当該接続部から最も離れた側面に沿った位置まで延び、かつ前記位置から当該側面を通ることにより、前記第１の励振電極と前記第１の外部端子とを電気的に接続する第１の配線と、
前記接続部の下面から前記下側基板の側面を通ることにより、第２の励振電極と前記第２の外部端子とを電気的に接続する第２の配線と、
をさらに含む。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本参考例の第２の形態に係る圧電デバイスは、
下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含む圧電デバイスであって、
前記中間基板は、
複数の圧電振動部と、
前記複数の圧電振動部の各々を囲む複数の枠部と、
前記複数の圧電振動部の各々と前記枠部とを接続する複数の接続部と、
前記複数の圧電振動部の各々の上面に設けられた複数の第１の励振電極と、
前記複数の圧電振動部の各々の下面に設けられた複数の第２の励振電極と、
前記枠部に設けられた第１の貫通穴と、を有し、
前記上側基板は、その下面において前記接続部の上方から前記第１の貫通穴の上方に延びている第１の配線を有し、
前記下側基板は、
前記第１の貫通穴の下方に設けられた第２の貫通穴と、
前記隣り合う接続部の間の下方に設けられた第３の貫通穴と、を有し、
当該圧電デバイスは、
前記複数の圧電振動部の各々を分離するために前記枠部上に設けられた複数のダイシングラインをさらに含み、
前記複数のダイシングラインのうち、前記接続部の最も近い一のダイシングラインは、前記第３の貫通穴を通り、
他のダイシングラインは、前記第１の貫通穴および前記第２の貫通穴を通り、
互いに隣り合う前記複数の圧電振動部および前記複数の接続部は、前記一または他のダイシングラインに対して対称に設けられている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本参考例の第３の形態に係る圧電デバイスの製造方法は、
下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含む圧電デバイスの製造方法であって、
複数の圧電振動部と、前記複数の圧電振動部の各々を囲む複数の枠部と、前記複数の圧電振動部の各々と前記枠部とを接続する複数の接続部と、前記複数の圧電振動部の各々の上面に設けられた複数の第１の励振電極と、前記複数の圧電振動部の各々の下面に設けられた複数の第２の励振電極と、前記枠部に設けられた第１の貫通穴と、を有する中間基板と、下面に第１の配線を有する上側基板と、第２の貫通穴および第３の貫通穴を有する下側基板と、を準備する工程と、
前記第１の貫通穴と前記第２の貫通穴とが重複するように、前記下側基板および上側基板と、中間基板とを接合する工程と、
前記第３の貫通穴を通る一のダイシングラインと、前記第１の貫通穴および前記第２の貫通穴を通る他のダイシングラインとに沿って前記上側基板、前記中間基板、および前記下側基板を切断することによって、前記複数の圧電振動部を分離する工程と、
前記第１の貫通穴と前記第２の貫通穴の形成領域に、第１の配線と接する一の導電膜を形成する工程と、
前記第３の貫通穴の形成領域に、他の導電膜を形成する工程と、
を含む。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本参考例の第３の形態に係る圧電デバイスにおいて、
互いに隣り合う前記複数の圧電振動部および前記複数の接続部は、前記一または他のダイシングラインに対して対称に設けられていることができる。