【誤訳訂正書】
【提出日】平成24年1月5日(2012.1.5)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つ以上のセンサに応答して、電源が電力を供給する電気負荷の異常な変化を検出するための電気回路であり、各センサが、前記電力に応答したセンサ信号または前記負荷の電磁条件に応答したセンサ信号を生成する電気回路であって、
電気負荷に電力を供給するように構成された出力を有し、調節可能な周波数を有する電源、前記センサ信号の１つは前記周波数を示し、
前記センサ信号を受信し、各センサ信号に対して、対応する比較結果を生成するための比較器回路であって、各比較結果は、正または負のいずれかである値を有し、前記比較器は、前記対応するセンサ信号が、前記センサ信号に関連付けられたしきい値より大きいかまたは小さいかに応じて、各比較結果の値を決定する、比較器回路、及び、
前記比較結果の任意のものが正であれば、電気負荷の異常な変化を知らせるアラートを発信するためのアラート回路、
を備える、回路。
【請求項２】
１つ以上のセンサに応答して、電源が電力を供給する電気負荷の異常な変化を検出するための電気回路であり、各センサが、前記電力に応答したセンサ信号または前記負荷の電磁条件に応答したセンサ信号を生成する電気回路であって、
電気負荷に電力を供給するように構成された出力を有し、調節可能な周波数を有する電源、前記センサ信号の１つは前記周波数を示し、
各センサ導出信号が、前記センサ信号の１つ以上に応じたものであるように、各センサ信号を受信し、１つ以上のセンサ導出信号を生成するためのセンサ信号受信回路、
前記センサ導出信号を受信し、各センサ導出信号に対して、対応する比較結果を生成するための比較器回路であって、各比較結果は、正または負のいずれかである値を有し、前記比較器は、前記対応するセンサ導出信号が、前記センサ導出信号に関連付けられたしきい値より大きいかまたは小さいかに応じて、各比較結果の値を決定する、比較器回路、及び、
前記比較結果の任意のものが正であれば、電気負荷の異常な変化を知らせるアラートを発信するためのアラート回路、
を備える、回路。
【請求項３】
前記センサ導出信号の各々が、前記負荷に異常な変化がない場合に、値の範囲によって特徴付けられ、
前記比較器回路が、前記電気負荷の異常な変化を知らせるアラートを発信するアラート回路に応答して、前記しきい値の少なくとも１つを、前記しきい値に関連付けられた前記センサ導出値の値の前記範囲に近い値に変化させる、請求項２に記載の回路。
【請求項４】
前記比較器回路が、前記電気負荷の異常な変化を知らせる前記アラートに応答して、前記しきい値の少なくとも１つを変化させた後、関連付けられたしきい値にすでに交差したすべてのセンサが、関連付けられたしきい値の元の側へ交わって戻ったときを決定し、次いで、前記電気負荷の異常な変化を知らせる前記アラートに応答して、前記比較器回路が変化させた前記しきい値のすべてを元の値に回復させる、請求項３に記載の回路。
【請求項５】
前記電気負荷が、前記電力を受信するために接続されたプラズマチャンバである、請求項１又は２に記載の回路。
【請求項６】
電源が電力を供給するプラズマチャンバにおいて、電気アークが発生しているかどうかを検出するための電気回路であって、
前記プラズマチャンバに電力を供給するように連結された出力を有し、調節可能な周波数を有する電源、
前記電力に応答したセンサ信号または前記プラズマチャンバの電磁条件に応答して各センサがセンサ信号を生成する１つ以上のセンサ、前記センサ信号の１つは前記周波数を示し、
１つ以上の前記センサ信号を受信し、各センサ信号に対して、対応する比較結果を生成するための比較器回路であって、各比較結果は、正または負のいずれかである値を有し、前記比較器は、前記対応するセンサ信号が、前記センサ信号に関連付けられたしきい値より大きいかまたは小さいかに応じて、各比較結果の値を決定する、比較器回路、及び、
前記比較結果の任意のものが正であれば、前記プラズマチャンバ内の電気アークを知らせるアラートを発信するためのアラート回路、
を備える、回路。
【請求項７】
電源が電力を供給するプラズマチャンバにおいて、電気アークが発生しているかどうかを検出するための電気回路であって、
前記プラズマチャンバに電力を供給するように連結された出力を有し、調節可能な周波数を有する電源、
前記電力に応答したセンサ信号または前記プラズマチャンバの電磁条件に応答して各センサがセンサ信号を生成する１つ以上のセンサ、前記センサ信号の１つは前記周波数を示し、
各センサ導出信号の値が、前記センサ信号の１つ以上に応じたものであるように、各センサ信号を受信し、１つ以上のセンサ導出信号を生成するためのセンサ信号受信回路、
前記センサ導出信号を受信し、各センサ導出信号に対して、対応する比較結果を生成するための比較器回路であって、各比較結果は、正または負のいずれかである値を有し、前記比較器は、前記対応するセンサ導出信号が、前記センサ導出信号に関連付けられたしきい値より大きいかまたは小さいかに応じて、各比較結果の値を決定する、比較器回路、及び、
前記比較結果の任意のものが正であれば、プラズマチャンバにおける電気アークを知らせるアラートを発信するためのアラート回路、
を備える、回路。
【請求項８】
前記センサ導出信号の各々が、前記プラズマチャンバに電気アークがない場合に、値の範囲によって特徴付けられ、
前記比較器回路が、前記プラズマチャンバの電気アークを知らせるアラートを発信するアラート回路に応答して、前記しきい値の少なくとも１つを、前記しきい値に関連付けられた前記センサ導出値の値の前記範囲に近い値に変化させる、請求項７に記載の回路。
【請求項９】
前記比較器回路が、前記プラズマチャンバの電気アークを知らせる前記アラートに応答して、前記しきい値の少なくとも１つを変化させた後、関連付けられたしきい値にすでに交差したすべてのセンサが、関連付けられたしきい値の元の側へ交わって戻ったときを決定し、次いで、前記プラズマチャンバの電気アークを知らせる前記アラートに応答して、前記比較器回路が変化させた前記しきい値のすべてを元の値に回復させる、請求項８に記載の回路。
【請求項１０】
前記電源により供給される前記電力の前記周波数を制御する出力を生成するコントローラをさらに備え、
前記周波数を示す前記センサ信号は、前記コントローラの前記出力である、請求項１、２、６及び７のうちいずれか一項に記載の回路。
【請求項１１】
前記電源の前記出力に接続された入力を有する周波数調整可能な整合網をさらに備える、請求項１０に記載の回路。
【請求項１２】
前記電源の前記出力に接続された入力を有する周波数調整可能な整合網をさらに備える、請求項１、２、６及び７のうちいずれか一項に記載の回路。
【請求項１３】
前記電源が電力設定点信号によって制御され、前記電源によって供給された電力が電力設定点信号に応答するレベルを有しており、
前記比較器回路が、前記電力設定点信号に応答して、前記しきい値の少なくとも１つを調節する、請求項１、２、６及び７のうちいずれか一項に記載の回路。
【請求項１４】
前記比較器回路が、前記電力設定点信号に比例するように、前記しきい値の少なくとも１つを調節する、請求項１３に記載の回路。
【請求項１５】
電力設定点値の複数の範囲を画成し、前記しきい値の１つ以上に対してそれぞれの値を各範囲に関連付ける表が格納されたメモリ回路をさらに備え、
前記比較器回路が、前記しきい値の１つ以上のそれぞれの値を、前記電力設定点信号の現在の値を含む電力設定点値の範囲に関連付けられた表に格納された値に設定する、請求項１３に記載の回路。
【請求項１６】
前記比較器回路および前記アラート回路が、プログラマブルコンピュータであり、
前記センサ導出信号が、前記コンピュータのメモリに格納された値である、請求項２又は７に記載の回路。
【請求項１７】
前記比較器回路および前記アラート回路が、プログラマブルコンピュータである、請求項１又は６に記載の回路。
【請求項１８】
１つ以上のセンサに応答して、電源が電力を供給する電気負荷の異常な変化を検出するための電気回路であり、各センサが、前記電力に応答したセンサ信号または前記負荷の電磁条件に応答したセンサ信号を生成する電気回路であって、
各センサ導出信号が、前記センサ信号の１つ以上に応じたものであるように、各センサ信号を受信し、１つ以上のセンサ導出信号を生成するためのセンサ信号受信回路と、
前記センサ導出信号を受信し、各センサ導出信号に対して、対応する比較結果を生成するための比較器回路であって、各比較結果は、正または負のいずれかである値を有し、前記比較器は、前記対応するセンサ導出信号が、前記センサ導出信号に関連付けられたしきい値より大きいかまたは小さいかに応じて、各比較結果の値を決定する、比較器回路と、
前記比較結果の任意のものが正であれば、電気負荷の異常な変化を知らせるアラートを発信するためのアラート回路と、
を備え、
前記センサ導出信号の各々が、前記負荷に異常な変化がない場合に、値の範囲によって特徴付けられ、
前記比較器回路が、前記電気負荷の異常な変化を知らせるアラートを発信するアラート回路に応答して、前記しきい値の少なくとも１つを、前記しきい値に関連付けられた前記センサ導出値の値の前記範囲に近い値に変化させる、回路。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】発明の名称
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【発明の名称】電気負荷の異常な変化を検出するための電気回路、及び、プラズマチャンバにおいて電気アークが発生しているどうかを検出するための電気回路
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図５】
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【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図６】
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【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図７】
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