【事件の表示】
　平成　６年特許願第１８６１５９号「半導体製造装置における搬送装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年　２月２０日出願公開、特開平　８−　５１１３７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成６年８月８日の特許出願であって、同１５年５月１６日付で拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同１５年７月２２日に意見書と共に明細書について手続補正書が提出されたが、同１５年１２月１２日付で拒絶をすべき旨の査定がされ、同１６年１月１５日に本件審判の請求がされ、その後、同１６年２月１２日に明細書について再度手続補正書が提出されたものである。
　
第２　平成１６年２月１２日付の補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１６年２月１２日付の補正を却下する。
［理由］
１　補正の内容の概要
　本件補正は、特許請求の範囲について補正をすると共にそれに関連して発明の詳細な説明の一部について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
（１）補正前
　搬送路と、
　前記搬送路に沿って移動する静電吸着手段及び非接触で電力を受電する非接触受電手段を備えた搬送台と、
　前記非接触受電手段へ非接触で電力を供給する非接触給電手段を備えた電力供給手段と、
　を具備することを特徴とする半導体製造装置における搬送装置。
（２）補正後           
　搬送路と、
　前記搬送路に沿って移動する静電吸着手段及び非接触で電力を受電する非接触受電手段を備えた搬送台と、
　前記非接触受電手段へ非接触で電力を供給する非接触給電手段を備えた電力供給手段と、
　を具備
し、
前記非接触給電手段は、前記搬送路に沿って配置されている第１コアと、該第１コアに巻かれている第１巻線とを有してなり、
前記非接触受電手段は、前記搬送台に設けられているコアであって、前記第１コアとともに磁路をなす第２コアと、該第２コアに巻かれている第２巻線とを有してなる、
　ことを特徴とする半導体製造装置における搬送装置。
２　補正の適否　　　
　本件補正のうち特許請求の範囲の請求項１についての補正は、非接触給電手段について「前記搬送路に沿って配置されている第１コアと、該第１コアに巻かれている第１巻線とを有してなり」という事項を付加し、また、非接触受電手段について「前記搬送台に設けられているコアであって、前記第１コアとともに磁路をなす第２コアと、該第２コアに巻かれている第２巻線とを有してなる」という事項を付加するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とすることが明らかであるので、さらに、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、上記１（２）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「半導体製造装置における搬送装置」であると認める。
（２）引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平５−３１５４２９号公報（以下「引用例」という。）には以下の事項が記載されている。
　ア　明細書の段落番号【０００１】
「【産業上の利用分野】本発明は、導体またはシリコンウエハのような半導体等、微細加工に供される半導体製造装置内、または半導体製造装置間の搬送装置に関する。」
　イ　明細書の段落番号【０００９】〜【００１３】
「図１から図３は本発明の第一の実施例を示す図であり、図１は半導体製造ラインを上からみた図、図２は搬送路の縦断面図の模式図、図３はウエハを運ぶ搬送台及び停止位置での電圧供給装置を備えた搬送路を示す断面図である。
　まず図１から図３において、半導体製造装置における本発明の試料保持装置の使用のされ方について説明する。図１に示された複数台の半導体製造装置８、各装置間を結ぶ搬送路３から成る半導体製造ラインにおいて、ウエハ１は、図示していない搬送ロボットにより、ローダ室２３から搬送路２上に取り付けられた搬送台４に搭載され、落下や位置ずれを防止するために、搬送台４に静電吸着により固定される。そして、エッチングや成膜など処理を行う各装置の入り口まで運ばれ、静電吸着を解除された後、ゲートバルブ７を通して処理室８に入れられて各処理が行われる。
　次に、本発明の搬送装置の詳細な動作について説明する。図３において、９は静電吸着装置を構成する誘電体であり、１１は誘電体９の吸着面と反対側の面に形成された電極、１３はコンデンサ、１４は切り替えスイッチ、１２はウエハ１から導通をとるピン、１８は接点である。以上は全て搬送台４に搭載されている。一方、１５は電圧を発生させる電源、１６は切り替えスイッチ、１７はアース、１９は接点であり、これらは搬送路中の各搬送台停止位置設置された電圧供給装置６に備えられている。
　このように構成された搬送装置において、まず、ウエハ１が乗せられる前に、第一の停止位置、ロード室、図１、２３の前で接点１８，１９は導通され、それと同時にスイッチ１６が接続される。このときスイッチ１４は接続されないままである。この場合、コンデンサ１３に電源１５から充電される。したがって、ウエハ１が移動台１に載せられた後にスイッチ１６を切り放し、スイッチ１４ａを１４ｂに接続すれば電極１１とウエハ１の間にはコンデンサ１３から給電され電位差が生じて、ウエハ１は搬送台に吸着固定される。ウエハの吸着固定後に、すなわち、スイッチ１１，１４の動作後に接点１８，１９を切り放して、搬送台４は次の処理装置へと送られる。すなわち、長い搬送路の中を電力線を引き回したりすることなく搬送が行える。次に、第二の停止位置において、第一の停止位置に置かれた場合と同様に接点１８，１９は導通させ、さらに、スイッチ１４ａを１４ｃに接続すれば、電極１１とウエハ１はアース１７と導通がとられ、速やかに除電、すなわち、ウエハ吸着の解除を行うことができる。このとき同時にスイッチ１６を接続させ、ウエハへの処理時間を利用して、コンデンサ１３への充電を行っておく。このようにコンデンサ１３への充電，ウエハ１の搬送台４への吸着固定，停止位置へのウエハの搬送，停止，ウエハへの吸着力の解除，コンデンサへの充電、という手順で順次ウエハ搬送を行い、全ての処理が終了した後に、ウエハ１はアンロード室２４に戻される。
　このように、本搬送装置によれば、各処理装置前の停止位置において、静電吸着の解除が容易に行え、さらに処理の時間を利用してコンデンサへの充電も行うことができ、長い搬送路の中を電力線を引き回すことなど無く信頼性の高い搬送が行える。」
　ウ　ここで、搬送台４に設けられているコンデンサ１３、電極１１、スイッチ１４、接点１８等は、電力を搬送路２側から受けているので、合わせて「受電手段」ということができる。反対に、搬送路２側に設けられている電源１５、スイッチ１６、接点１９等は、電力を搬送台４側に送っているので、合わせて「給電手段を備えた電力供給手段」ということができる。
　以上、ア、イの記載事項及びウの認定事項を補正発明に照らして整理すると引用例には以下の発明が記載されていると認めることができる。
「搬送路２と、
　前記搬送路２に沿って移動する静電吸着装置及び接点１８を介して電力を受電する受電手段を備えた搬送台４と、
　前記搬送路２に沿って配置され前記受電手段へ接点１９を介して電力を供給する給電手段を備えた電力供給手段と、
　を具備する半導体製造装置における搬送装置。」
（３）対比
　補正発明と引用例記載の発明とを対比すると以下のとおりである。
  引用例記載の発明の「搬送路２」、「静電吸着装置」、「搬送台４」は、それぞれ、補正発明の「搬送路」、「静電吸着手段」、「搬送台」に相当する。
　したがって、補正発明と引用例記載の発明とは、以下の一致点及び相違点を有しているということができる。
ア　一致点　
「搬送路と、
　前記搬送路に沿って移動する静電吸着手段及び電力を受電する受電手段を備えた搬送台と、
　前記受電手段へ電力を供給する給電手段を備えた電力供給手段と、
　を具備する半導体製造装置における搬送装置。」
イ　相違点　
　受電手段及び給電手段に関し、補正発明では、給電手段は、搬送路に沿って配置されている第１コアと、該第１コアに巻かれている第１巻線とを有してなる非接触で電力を供給する非接触給電手段であり、受電手段は、搬送台に設けられているコアであって、前記第１コアとともに磁路をなす第２コアと、該第２コアに巻かれている第２巻線とを有してなる非接触で電力を受電する非接触受電手段であるのに対して、引用例記載の発明では、給電手段及び受電手段はそのようなものではない点。
（４）相違点の検討
  第１コアと、該第１コアに巻かれている第１巻線とを有してなる非接触で電力を供給する非接触給電手段と、前記第１コアとともに磁路をなす第２コアと、該第２コアに巻かれている第２巻線とを有してなる非接触で電力を受電する非接触受電手段とによって電力を供給することは、例えば、平成１５年５月１６日付拒絶理由通知書で引用文献４として挙げられた特開昭６２−１９６０２８号公報の第２図に示されているほか、特開平６−７８４０６号公報の【図１１】、特開昭６３−２１７９３８号公報の第６図に示されているように、種々の技術分野において必要に応じて適宜採用されている従来周知の事項である。
　そして、この従来周知の事項を引用例記載の発明に適用することを妨げる特段の事由も見当たらない。
　そうしてみると、上記従来周知の事項を引用例記載の発明に適用して補正発明のように構成することは、当業者が格別の創意を要することなく容易に想到し得る事項である。
　また、補正発明によってもたらされる効果も、引用例記載の発明及び上記従来周知の事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、補正発明は、引用例記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
３　むすび
　よって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本件発明について
１　本件発明
　平成１６年２月１２日付の補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、平成１５年７月２２日付手続補正書により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項５に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、上記第２の１（１）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの「半導体製造装置における搬送装置」である。
２　引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された引用例及びその記載内容は、上記第２の２（２）に示したとおりである。
３　対比・検討
　本件発明は、上記第２の２で検討した補正発明から、非接触給電手段について「前記搬送路に沿って配置されている第１コアと、該第１コアに巻かれている第１巻線とを有してなり」という事項を、また、非接触受電手段について「前記搬送台に設けられているコアであって、前記第１コアとともに磁路をなす第２コアと、該第２コアに巻かれている第２巻線とを有してなる」という事項を削除したものである。
　そうすると、本件発明を構成する事項の全てを含み、さらに他の事項を付加する補正発明が上記第２の２（４）で示したとおり、引用例記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
４　むすび
　したがって、本件発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、本件出願の請求項２ないし請求項５に係る発明について検討するまでもなく、結論のとおり審決する。
　
　
　なお、本件審判における当審の審尋に対して平成１８年８月９日付回答書で補正案が提示されているので以下これについても検討する。
（１）補正案の発明
　補正案の特許請求の範囲の請求項１の記載は以下のとおりである。
　搬送路と、 
　前記搬送路に沿って移動する静電吸着手段及び非接触で電力を受電する非接触受電手段を備えた搬送台と、 
　前記非接触受電手段へ非接触で電力を供給する非接触給電手段を備えた電力供給手段と、 
　を具備し、 
　前記非接触給電手段は、前記搬送路の略全長にわたって該搬送路に沿った略平行な２つの線をなすように配置されている２つの線部位と、該２つの線部位それぞれの同一側端を接続している接続部位とで、コの字形状をしている第１コアと、該第１コアの接続部位に巻かれている第１巻線とを有してなり、 
　前記非接触受電手段は、前記搬送台に設けられているコアであって、前記第１コアの略平行な２つの線部位を繋ぐように配置されて、該第１コアとともにロの字形状の磁気回路をなす第２コアと、該第２コアに巻かれている第２巻線とを有してなる、 
 　ことを特徴とする半導体製造装置における搬送装置。 （以下、「補正案発明」という。）
（２）引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平５−３１５４２９号公報（以下、「引用例１」という。）に記載された発明は、第２の２（２）に記載されたとおりのものである。
　また、本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である実願昭４７−２１２０７号（実開昭４８−９７８０６号）のマイクロフィルム（以下、「引用例２」という。）には、以下の事項が記載されている。
「略平行な２つの線をなすように配置されているレール３、３と、該レール３、３を接続している磁性体４と、該磁性体４に巻かれている一次巻線５とを有する給電手段と、前記磁性体４に接続された略平行なレール３、３を繋ぐように配置されて、該磁性体４とともに磁気回路をなす車輪１、１及び車軸２と、該車軸２に巻かれている二次巻線６とを有す受電手段とによって電気的に非接触で電力を供給すること。」
（３）対比
　補正案発明と引用例１記載の発明とを対比すると以下のとおりである。
　一致点
「搬送路と、
　前記搬送路に沿って移動する静電吸着手段及び電力を受電する受電手段を備えた搬送台と、
　前記受電手段へ電力を供給する給電手段を備えた電力供給手段と、
　を具備する半導体製造装置における搬送装置。」
　相違点　
　受電手段及び給電手段に関し、補正案発明では、給電手段は、搬送路の略全長にわたって該搬送路に沿った略平行な２つの線をなすように配置されている２つの線部位と、該２つの線部位それぞれの同一側端を接続している接続部位とで、コの字形状をしている第１コアと、該第１コアの接続部位に巻かれている第１巻線とを有してなる非接触で電力を供給する非接触電力供給手段であり、 
　受電手段は、搬送台に設けられているコアであって、前記第１コアの略平行な２つの線部位を繋ぐように配置されて、該第１コアとともにロの字形状の磁気回路をなす第２コアと、該第２コアに巻かれている第２巻線とを有してなる非接触で電力を受電する非接触受電手段であるのに対して、引用例１記載の発明では、給電手段及び受電手段はそのようなものではない点。
（４）相違点の検討
　引用例２に記載された事項において、「レール３、３」、「磁性体４」、「レール３、３及び磁性体４」、「一次巻線５」、「車輪１、１及び車軸２」、「二次巻線６」は、それぞれ、補正案発明の「略平行な２つの線をなすように配置されている２つの線部位」、「接続部位」、「第１コア」、「第１巻線」、「第２コア」、「第２巻線」に相当する。また、引用例２に記載された事項において、「レール３、３」は、補正案発明の「搬送路」とも言いうるものであり、レール３、３の存在するところが車輪１、１が通過できる範囲であることから、「レール３、３」は、補正案発明の「搬送路の略全長」にわたることは明らかである。
　したがって、引用例２には、「搬送路の略全長にわたって該搬送路に沿った略平行な２つの線をなすように配置されている２つの線部位と、該２つの線部位を接続している接続部位とからなる第１コアと、該第１コアの接続部位に巻かれている第１巻線とを有する給電手段と、前記第１コアの略平行な２つの線部位を繋ぐように配置されて、該第１コアとともに磁気回路をなす第２コアと、該第２コアに巻かれている第２巻線とを有する受電手段とによって電気的に非接触で電力を供給すること。」が記載されている。そして、引用例１記載の発明に引用例２記載の事項を適用すると、接続部位が２つの線部位それぞれの同一側端を接続することにより第１コアがコの字形状をなし、受電手段を含めた磁気回路がロの字形状をなしている点を除いて補正案発明と同じ発明が構成される。
　補正案発明において、第１コアがコの字形状をなしているのは、略平行な２つの線をなすように配置されている２つの線部位と、該２つの線部位それぞれの同一側端を接続している接続部位とを同一平面内に配置するようにしたからであり、上記２つの線部位と接続部位とをどのように接続するかは、磁気回路上必要に応じて適宜選定すればよい単なる設計的事項にすぎず、第１コアの形状をコの字形状とすることは、上記適用に当たって適宜なし得る事項である。
　そして、第１コアをコの字形状に設計すれば、磁気回路は、必然的に全体としてロの字形状となる。
  そうしてみると、補正案の請求項１に係る発明は、引用例１記載の発明及び引用例２記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるといわざるを得ない。