【事件の表示】
　平成１０年特許願第９５８９３号「除振装置、これを用いた露光装置およびデバイス製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年１０月２９日出願公開、特開平１１−２９４５２０号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１０年４月８日の出願であって、平成２１年１月２６日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２１年３月５日に審判請求がなされるとともに、平成２１年４月６日付けで明細書について手続補正がなされたものである。
　
２．平成２１年４月６日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成２１年４月６日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
（１）本件補正
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「【請求項１】　力を発生することで物体の振動を能動的に軽減する除振装置であって、鉛直方向および水平方向に力を発生する
ベローズ構造の
鉛直方向および水平方向
とを備え、
　
前記空気圧駆動式アクチュエータは、それぞれ鉛直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアクチュエータを含み、
　
前記電磁駆動リニアモータは、それぞれ鉛直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアクチュエータを含み、
　
前記除振装置が設置される基礎に締結される部材に、前記４つのアクチュエータがユニットとして設けられることを特徴とする除振装置。
　上記補正は、請求項１についてみると、実質的に、本件補正前の請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「空気圧駆動式アクチュエータ」について「ベローズ構造の」ものと限定し、「電磁駆動リニアモータ」について「鉛直方向および水平方向の少なくとも一方に力を発生する」とあったのを「鉛直方向および水平方向に力を発生する」と限定し、さらに、「空気圧駆動式アクチュエータ」及び「電磁駆動式リニアモータ」について「前記空気圧駆動式アクチュエータは、それぞれ鉛直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアクチュエータを含み、前記電磁駆動リニアモータは、それぞれ鉛直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアクチュエータを含み、前記除振装置が設置される基礎に締結される部材に、前記４つのアクチュエータがユニットとして設けられる」と限定するものであって、これは、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用例
　引用例１：特開平１０−８９４０３号公報（以下、「引用例１」という。）
　引用例２：特開平５−３４０４４４号公報（以下、「引用例２」という。）
　
（２−１）引用例１
　上記引用例１には、「防振装置」に関して、下記の事項が図面とともに記載されている。
　
（あ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばマスクパターンを感光基板上に露光するための露光装置の防振台に適用して好適な防振装置に関する。」
（い）「【０００４】・・・略・・・これに対して最近は、外部又は内部の振動状態をリアルタイムに加速度計又は変位計等のセンサによって検出し、能動的に防振装置の性能を変化させる「アクティブ型防振装置」も使用されるようになっている。
【０００５】・・・略・・・これに対してアクティブ型防振装置であればそれら２つの機能を満足できるため、最近は露光装置用の防振装置としてそのアクティブ型防振装置が注目されている。」
（う）「【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この空圧式アクチュエータは応答周波数が１０Ｈｚ程度と低く、露光装置のようにステージ等の高い加速度で移動する物体を有する装置を搭載した防振装置では、十分な制振効果が得られない。そこで、露光装置用の防振装置では、ステージ等の加減速による高周波数領域の振動を高い追従速度で抑制するため、空圧式アクチュエータに代えて高周波数領域の振動に対する応答速度に優れた電磁式駆動機構のアクチュエータ（電磁式アクチュエータ）を使用する例が多くなっている。」
（え）「【０００８】ところが、この電磁式アクチュエータで低周波数領域から高周波数領域までの振動を抑制しようとすると、ステージ等の位置に対応する露光装置の傾きや、設置面としての床の変位による露光装置の傾き、又は露光装置の周辺に引き回された配線や配管等の移動に伴う露光装置の回転のような、殆どオフセット成分（周波数が０の変位や回転）と見なせるような極めて低い周波数の振動（変位）を抑制しようとすると、・・・略・・・」
（お）「【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明による防振装置の実施の形態の一例につき、図面を参照して説明する。本例は、ステッパー型の投影露光装置の防振台に本発明を適用したものである。図１は、本例の投影露光装置の正面図を示し、この図１において、設置面としての床１の上に４個の台座１４Ａ，１４Ｂ，…（図１では１４Ａ，１４Ｂのみが現れている、以下同様）が設置され、これら４個の台座１４Ａ，１４Ｂ，…上にそれぞれ空圧式駆動機構からなるアクチュエータ（以下、「空圧式アクチュエータ」という）１０Ａ〜１０Ｄ（図２参照）が設置され、これら空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ上に投影露光装置の定盤１８が設置されている。本例の空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄはそれぞれ空気ばね（エアーダンパ）を兼用しており、その空気ばね中の空気の圧力を調整することによって、オフセット的な変位から周波数が１０Ｈｚ程度までの振動を抑制する機能を有する。ここで、後述のように本例では投影光学系５が使用されているため、投影光学系５の光軸に平行にＺ軸を取り、Ｚ軸に垂直な平面内で図１の紙面に平行にＸ軸を、図１の紙面に垂直にＹ軸を取る。」
（か）「【００１９】図２に戻り、他の空圧式アクチュエータ１０Ｂ〜１０Ｄも空圧式アクチュエータ１０Ａと同様の構成であり、空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄには空圧式アクチュエータ駆動系２６から圧力調整された空気が専用配管（図１ではその内、配管２７Ａ，２７Ｂを示す）を介してそれぞれ供給されている。また、図１において、台座１４Ａと定盤１８との間に空圧式アクチュエータ１０Ａと並列に電磁式アクチュエータとしてのボイスコイルモータ（ＶＣＭ）方式のアクチュエータ（以下、「ＶＣＭアクチュエータ」という）１１Ａが設置されている。ＶＣＭアクチュエータ１１Ａは、台座１４Ａ上に固定された固定子５０Ａと定盤１８の底面に固定された可動子５１Ａとより構成され、制御装置１１からの指示に応じて、電磁式アクチュエータ駆動系２８を介して台座１４Ａから定盤１８の底面に対するＺ方向への付勢力、又は定盤１８の底面から台座１４Ａに向かう吸引力を発生する。他の空圧式アクチュエータ１０Ｂ〜１０Ｄにおいても、空圧式アクチュエータ１０Ａと同様にそれぞれ並列にＶＣＭアクチュエータ１１Ｂ〜１１Ｄが設置され、これらＶＣＭアクチュエータ１１Ｂ〜１１Ｄも電磁式アクチュエータ駆動系２８を介して制御装置２５により制御されている。本例のＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄは１０Ｈｚ程度以上の周波数の振動を抑制するために使用される。」
（き）「【００２１】図２において、本例では空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ及びＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄよりなる４組のアクチュエータで、定盤１８のＺ方向への振動、Ｘ軸の周りの回転振動、及びＹ軸の周りの回転振動よりなる３自由度の振動を抑制する。理論的には、３組のアクチュエータで３自由度の振動を抑制できるが、定盤１８をより安定に支持するため４組のアクチュエータを用いている。また、空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄは低周波振動を抑制し、ＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄは高周波振動を抑制するために使用されている。」
（く）「【００２４】図２に示すように、第１コラム１９は４本の脚部１９Ａ〜１９Ｄが定盤６上に植設されている。また、定盤１８上のウエハステージ８の周囲の３箇所に定盤１８の加速度を検出するための加速度センサ１７Ａ〜１７Ｃが設置されている。加速度センサ１７Ａ〜１７Ｃからの各計測方向の加速度に対応した検出信号は、その検出信号から高周波信号と低周波信号とを抽出するフィルタ回路を含む制御装置２５に供給されている。この場合、加速度センサ１７Ａは、Ｚ方向及びＸ方向の加速度を検出し、加速度センサ１７Ｂ及び１７ＣはそれぞれＺ方向、及びＹ方向の加速度を検出する。制御装置２５では、３つの加速度センサ１７Ａ〜１７ＣのＺ方向の加速度より、定盤１８のＺ方向の加速度、Ｘ軸の周りの角加速度、及びＹ軸の周りの角加速度を求め、２つの加速度センサ１７Ｂ，１７ＣのＹ方向の加速度より定盤１８のＹ方向の加速度、及びＺ軸の周りの角加速度を求める。即ち、加速度センサ１７Ａ〜１７Ｃの検出信号より、定盤１８のＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向への加速度の他に、ピッチング（ＸＺ平面内の回転）、ヨーイング（ＹＺ平面内の回転）、及びＸＹ平面内での回転方向の加速度（角加速度）が検出される。即ち、加速度センサ１７Ａ〜１７Ｃによって、並進方向に３個で回転方向に３個の６自由度を有する加速度が検出される。」
（け）「【００３０】次に本例の防振装置の動作につき説明する。露光装置においては、前述のように、床１及び定盤１８等の緩やかな傾斜、定盤１８の緩やかな横ゆれ、及び露光装置の周辺に引き回された配線及び配管等の移動に伴う定盤１８の回転等の低い周波数の振動成分と、ウエハステージ８等の高速な移動時に発生する高い周波数の振動成分とがある。以下では、定盤１８のＸ方向への振動を抑制する動作について説明する。本例では、図３に示すように高い周波数の振動成分と低い周波数の振動成分とを別々に抽出し、高い周波数の振動成分に対しては、高い周波数の振動を高い応答速度で抑制するＶＣＭアクチュエータ１４を使用し、低い周波数の振動成分に対しては、低い周波数の振動を低い発熱量で抑制できる空圧式アクチュエータ１５を使用している。即ち、加速度センサ１７Ａ中のＸ軸の加速度センサ１７ＡＸからの検出信号は図３に示すように、ＨＰＦ２５ａ及びＬＰＦ２５ｂに供給されている。
【００３１】図７（ａ）は、加速度センサ１７ＡＸの検出信号Ｉを示し、横軸は時間ｔ、縦軸は検出信号Ｉを表す。この図７（ａ）に示すように、検出信号Ｉは低周波数帯の信号と高い周波数帯の信号とが合成された信号である。これに対応して、図３のＨＰＦ２５ａでは図７（ｂ）に示すように高周波信号ＩＨを抽出し、ＬＰＦ２５ｂでは図７（ｃ）に示すように低周波信号ＩＬを抽出する。」
（こ）「【００３３】なお、電磁式アクチュエータとしてＶＣＭアクチュエータの代わりに、リニアモータ方式のアクチュエータを使用してもよい。・・・略・・・」
（さ）「【００３４】・・・略・・・また、上述の実施の形態ではセンサとして加速度センサ１７Ａ〜１７Ｃが使用されているが、その代わりに変位センサや速度センサ等を使用してもよい。」
（し）「【符号の説明】
１  床
・・・略・・・
１０Ａ〜１０Ｄ  空圧式アクチュエータ（Ｚ方向用）
１１Ａ〜１１Ｄ  ＶＣＭアクチュエータ（Ｚ方向用）
１２Ａ，１２Ｂ  ＶＣＭアクチュエータ（Ｙ方向用）
１３Ａ，１３Ｂ  空圧式アクチュエータ（Ｙ方向用）
１４  ＶＣＭアクチュエータ（Ｘ方向用）
１５  空圧式アクチュエータ（Ｘ方向用）
１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ  加速度センサ
１８  定盤
・・・略・・・」
（す）図１，２から、床１（床上の支柱１６を含む）と定盤１８（定盤上の第１コラム１９を含む）との間に、空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ，１３Ａ，１３Ｂ，１５及びＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄ，１２Ａ，１２Ｂ，１４が設けられていることが看取される。
　
　以上の記載事項及び図面からみて、引用例１には、次の発明（以下、「引用例１発明」という。）が記載されていると認められる。
　
「力を発生することで定盤１８の振動をアクティブに抑制する防振装置であって、ＸＹＺ方向に力を発生する空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ，１３Ａ，１３Ｂ，１５と、ＸＹＺ方向に力を発生するＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄ，１２Ａ，１２Ｂ，１４と、前記定盤１８の高周波振動及び低周波振動が抽出される振動を検出する加速度センサ１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃと、前記空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ，１３Ａ，１３Ｂ，１５が前記低周波振動を抑制し、ＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄ，１２Ａ，１２Ｂ，１４が前記高周波振動を抑制する制御装置２５とを備え、
　前記空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ，１３Ａ，１３Ｂ，１５は、ＸＹＺ方向に力を発生する複数のアクチュエータを備え、
　前記ＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄ，１２Ａ，１２Ｂ，１４は、ＸＹＺ方向に力を発生する複数のアクチュエータを備え、
　床１（床上の支柱１６を含む）と定盤１８（定盤上の第１コラム１９などを含む）との間に、空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ，１３Ａ，１３Ｂ，１５及びＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄ，１２Ａ，１２Ｂ，１４が設けられている防振装置。」
　
（２−２）引用例２
　上記引用例２には、「防振装置及びその制御方法」に関して、下記の事項が図面とともに記載されている。
　
（せ）「【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、種々の産業機械の防振に利用される防振装置及びその制御方法に関する。」
（そ）「【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した第二の研究論文でも指摘しているように、電子顕微鏡、レーザ装置や半導体関係などの精密加工機械の高精度、高速化に行なって、測定精度や加工精度は１ｎｍが現実の目標とされ、微小振動の影響が直接機器の性能を左右するまでとなっている。」
（た）「【００２６】図１は第一実施例の防振装置の主要断面図である。この実施例は空気ばね１の内部に電磁力振動吸収体としてのボイスコイルモータ２を内蔵した例を示す。」
（ち）「【００２７】空気ばね１としては、通常のものと同様に上板３、下板４の間に強力なタイヤコードで補強された気密性の秀れたゴム膜（ゴムベローズ）から成る断面長円状の袋体５を取付けたものであり、内部の空気室６には圧縮空気が封入され、その弾性を利用して空気ばねを形成している。」
（つ）「【００３０】１３は加速度センサ、１４は変位センサである。」
（て）「【００３４】以上のように構成した２つの実施例のいずれの場合も、防振装置として使用するときは空気ばね１、１’に圧縮空気が送り込まれ空気圧を適宜調節し、かつボイスコイルモータ２、２’には電磁力を及ぼして防振装置の上部に設置される機器の振動が防止される。」
（と）「【００３８】上記構成の防振装置においても、静的な高さは変位センサ１４から得られる変位情報に基づいて空気ばね１の空気圧を調整して行なう。振動の減衰は加速度センサ１３の加速度信号に基づいて電磁石ユニット２”の電磁力を調整して振動を打ち消すように作用させる。」
　
（３）対比
　本願補正発明と引用例１発明とを対比すると、それぞれの機能や技術常識などからみて、引用例１発明の「定盤１８」は本願補正発明の「物体」に相当し、以下同様に、「アクティブ」は「能動的」に、「抑制」は「軽減」に、「防振装置」は「除振装置」に、「ＸＹＺ方向」は「鉛直方向および水平方向」に、「空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ，１３Ａ，１３Ｂ，１５」は「空気圧駆動式アクチュエータ」に、「ＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄ，１２Ａ，１２Ｂ，１４」は「電磁駆動リニアモータ」に、「制御装置２５」は「制御手段」に、それぞれ相当する。また、「複数のアクチュエータを備え」ることは、「２つのアクチュエータを含み」との事項を包含するものであるから、引用例１発明の「前記空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ，１３Ａ，１３Ｂ，１５は、ＸＹＺ方向に力を発生する複数のアクチュエータを備え、」は本願補正発明の「前記空気圧駆動式アクチュエータは、それぞれ鉛直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアクチュエータを含み、」に相当し、同様に、「前記ＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄ，１２Ａ，１２Ｂ，１４は、ＸＹＺ方向に力を発生する複数のアクチュエータを備え、」は「前記電磁駆動リニアモータは、それぞれ鉛直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアクチュエータを含み、」に相当する。
　また、引用例１発明の「前記定盤１８の高周波振動及び低周波振動が抽出される振動を検出する加速度センサ１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃと、前記空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ，１３Ａ，１３Ｂ，１５が前記低周波振動を抑制し、ＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄ，１２Ａ，１２Ｂ，１４が前記高周波振動を抑制する制御装置２５とを備え」ることと、本願補正発明の「前記物体の変位を検出する変位検出手段と、前記物体の振動を検出する振動検出手段と、前記変位検出手段の出力にもとづいて前記空気圧駆動式アクチュエータを制御し、前記振動検出手段の出力にもとづいて前記電磁駆動リニアモータを制御する制御手段とを備え」ることとは、検出手段と制御の相違については下記に相違点で挙げるが、少なくとも、「検出手段と、前記検出手段の出力にもとづいて前記空気圧駆動式アクチュエータを制御し、前記検出手段の出力にもとづいて前記電磁駆動リニアモータを制御する制御手段とを備え」ている点では共通している。
　
　したがって、本願補正発明の記載ぶりに倣って整理すると、両者は、
「力を発生することで物体の振動を能動的に軽減する除振装置であって、鉛直方向および水平方向に力を発生する空気圧駆動式アクチュエータと、鉛直方向および水平方向に力を発生する電磁駆動リニアモータと、検出手段と、前記検出手段の出力にもとづいて前記空気圧駆動式アクチュエータを制御し、前記検出手段の出力にもとづいて前記電磁駆動リニアモータを制御する制御手段とを備え、
　前記空気圧駆動式アクチュエータは、それぞれ鉛直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアクチュエータを含み、
　前記電磁駆動リニアモータは、それぞれ鉛直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアクチュエータを含む、除振装置。」である点で一致し、以下の点で相違している。
　
［相違点１］
　本願補正発明は、空気圧駆動式アクチュエータを「ベローズ構造の」ものとしているのに対し、引用例１発明は、空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ，１３Ａ，１３Ｂ，１５がベローズ構造であるか不明である点。
［相違点２］
　検出手段と、制御手段による制御に関して、本願補正発明は、「前記物体の変位を検出する変位検出手段と、前記物体の振動を検出する振動検出手段」を備え、制御手段により「前記変位検出手段の出力にもとづいて前記空気圧駆動式アクチュエータを制御し、前記振動検出手段の出力にもとづいて前記電磁駆動リニアモータを制御する」のに対し、引用例１発明は、定盤１８の高周波振動及び低周波振動が抽出される振動を検出する加速度センサ１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃを備え、制御装置２５により空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ，１３Ａ，１３Ｂ，１５が前記低周波振動を抑制し、ＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄ，１２Ａ，１２Ｂ，１４が前記高周波振動を抑制するよう制御を行っている点。
［相違点３］
　本願補正発明は、「前記除振装置が設置される基礎に締結される部材に、前記４つのアクチュエータがユニットとして設けられる」ものであるのに対して、引用例１発明は、床１（床上の支柱１６を含む）と定盤１８（定盤上の第１コラム１９などを含む）との間に、空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ，１３Ａ，１３Ｂ，１５及びＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄ，１２Ａ，１２Ｂ，１４が設けられている点。
　
（４）判断
　上記各相違点について検討する。
　
（４−１）相違点１について
　空気圧駆動式アクチュエータを「ベローズ構造」とすることは従来周知の技術（例えば、上記引用例２の記載事項（ち）を参照。）であり、引用例１発明における空圧式アクチュエータの構造として、ベローズ構造のものを選択することは、当業者が容易になし得たものである。
　
（４−２）相違点２について
　前述したとおり、引用例１発明は、定盤の高周波振動及び低周波振動が抽出される振動を検出する加速度センサを備え、制御装置により空圧式アクチュエータが低周波振動を抑制し、ＶＣＭアクチュエータが高周波振動を抑制するよう制御を行っているものであり、そして、引用例１の特に上記記載事項の（え）（お）によれば、上記低周波振動には変位が含まれているのであるから、空圧式アクチュエータが変位を抑制し、ＶＣＭアクチュエータが振動を抑制するよう制御することは引用例１に示唆されているということができるところであるが、さらには、同一技術分野に属する引用例２（特に、上記記載事項（と）を参照）には、防振装置において、変位検出手段（変位センサ１４；括弧内には対応する引用例２の用語を記載。以下同様。）と、振動検出手段（加速度センサ１３）を備え、変位検出手段の出力にもとづいて空気圧駆動式アクチュエータ（空気ばね１）を制御し、振動検出手段の出力にもとづいて電磁駆動リニアモータ（ボイスコイルモータ２）を制御する発明が開示されているから、同一技術分野に属する引用例１発明及び引用例２発明を組み合わせて、相違点２に係る本願補正発明の構成とすることは、当業者が容易になし得たものである。
　
（４−３）相違点３について
　能動的に振動を抑制する防振装置において、防振装置及びセンサをどこにいくつ設けるかは、防振対象物の構成や配置、要求する防振の方向（上下左右、回転等）、防振性能、小型化等の一般的な技術課題などを考慮して適宜設計されるものであり、また、機械分野においてユニット化は従来から一般的に行われていることにすぎないものといえるところであるが、さらには、防振装置の技術分野においても、基礎又は基礎に固定されている部材に、異なる種類の複数の防振アクチュエータをユニットとして設けることは従来周知の技術（例えば、上記引用例２の記載事項（た）及び図１を参照）であるし、防振方向の異なる複数の防振アクチュエータをユニットとして設けることも従来周知の技術（例えば、特開平５−９９２７１号公報の第３頁第３欄第２０〜２５行（段落【００１２】）及び図３、特開平３−２１９１４１号公報の第３頁右上欄第９〜１１行及び第３図を参照。）であるから、引用例１発明に上記従来周知の技術を考慮すれば、空圧式アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄ，１３Ａ，１３Ｂ，１５及びＶＣＭアクチュエータ１１Ａ〜１１Ｄ，１２Ａ，１２Ｂ，１４のうちの適宜なものを、床１又は床１に固定されている部材にユニットとして設けることは当業者が容易になし得たものであるから、結局、相違点３に係る本願補正発明の構成は、引用例１発明及び上記従来周知の技術に基づいて当業者が容易になし得たものである。
　
　そして、本願補正発明の作用効果も、引用例１及び引用例２に記載された発明並びに従来周知の技術に基づいて当業者が予測し得たものである。
　
　なお、審判請求人は、審判請求の理由を補正する平成２１年４月６日付け手続補正書の「（３）引用文献に記載される発明との差異」欄において、「補正後の請求項１に係る発明は、鉛直方向および水平方向に力を発生するベローズ構造の空気圧駆動式アクチュエータが、引用文献１に記載されるように鉛直方向と水平方向とでそれぞれ別の部材（台座１４Ａ、１６Ｂ）に取り付けられるのではなく、同じ部材にユニットとして取り付けられる点で相違します。」及び「引用文献２に記載されるのは鉛直方向のみに駆動するアクチュエータであり、鉛直方向と水平方向の両方のアクチュエータを開示するものでない以上、引用文献１に記載されていない上記特徴を補足するものとは成り得ません。」と主張するが、ベローズ構造の空気圧駆動式アクチュエータ、及び、鉛直方向と水平方向のアクチュエータとを同じ部材にユニットとして取り付けることについては、上記「（４−１）相違点１について」及び「（４−３）相違点３について」で示したとおり、従来周知の技術にすぎないものであり、審判請求人の主張は採用できない。
　
　よって、本願補正発明は、引用例１及び引用例２に記載された発明並びに従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（５）むすび 
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　
　
３．本願発明
（１）平成２１年４月６日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜３３に係る発明は、平成１９年２月５日付け及び平成２０年６月１６日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１〜３３に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は、以下のとおりである。
　
「【請求項１】　力を発生することで物体の振動を能動的に軽減する除振装置であって、鉛直方向および水平方向に力を発生する空気圧駆動式アクチュエータと、鉛直方向および水平方向の少なくとも一方に力を発生する電磁駆動リニアモータと、前記物体の変位を検出する変位検出手段と、前記物体の振動を検出する振動検出手段と、前記変位検出手段の出力にもとづいて前記空気圧駆動式アクチュエータを制御し、前記振動検出手段の出力にもとづいて前記電磁駆動リニアモータを制御する制御手段と、を備えることを特徴とする除振装置。」
　
（２）引用例
　引用例１及び引用例２と、その記載事項は上記「２．平成２１年４月６日付けの手続補正についての補正却下の決定」「（２）引用例」に記載したとおりである。
　
（３）対比・判断
　本願発明１は、実質的に、上記「２．平成２１年４月６日付けの手続補正についての補正却下の決定」で検討した本願補正発明から、「空気圧駆動式アクチュエータ」について、「ベローズ構造の」との限定を削除して拡張し、「電磁駆動リニアモータ」について「鉛直方向および水平方向に力を発生する」を「鉛直方向および水平方向の少なくとも一方に力を発生する」と拡張し、さらに、「空気圧駆動式アクチュエータ」及び「電磁駆動式リニアモータ」について「前記空気圧駆動式アクチュエータは、それぞれ鉛直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアクチュエータを含み、前記電磁駆動リニアモータは、それぞれ鉛直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアクチュエータを含み、前記除振装置が設置される基礎に締結される部材に、前記４つのアクチュエータがユニットとして設けられる」との限定を削除して拡張したものに相当する。
　
　そうすると、本願発明１の特定事項をすべて含み、さらに本願発明１より限定したものに相当する本願補正発明が、上記「２．平成２１年４月６日付けの手続補正についての補正却下の決定」「（３）対比」及び「（４）判断」に記載したとおり、引用例１及び引用例２に記載された発明並びに従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明１も、実質的に同様の理由により、引用例１及び引用例２に記載された発明並びに従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明（本願発明１）は、引用例１及び引用例２に記載された発明並びに従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　
　そして、本願の請求項１に係る発明（本願発明１）が特許を受けることができないものである以上、請求項２〜３３に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。