【事件の表示】
　平成　９年特許願第　９９３５１号「表面分析装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年１０月２７日出願公開、特開平１０−２８８６１８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯  
　本願は、平成９年４月１６日の出願であって、平成１６年１１月１２日付けで拒絶理由が通知され（発送日：同年１１月１６日）、その指定期間内である平成１７年１月７日に意見書及び手続補正書が提出されたが、同年３月１７日付けで拒絶査定がなされ（発送日：同年３月２９日）、これに対し、同年４月２８日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同年５月１９日付けで手続補正がなされたものである。
　
II．平成１７年５月１９日付けの手続補正についての補正却下の決定
 ［補正却下の決定の結論］  
 　平成１７年５月１９日付けの手続補正を却下する。
 ［理由］
１．平成１７年５月１９日付け手続補正（以下「本件補正」という。）
　本件補正は、補正前の特許請求の範囲の記載（平成１７年１月７日付けで補正、以下同じ。）：
「【請求項１】　試料と試料から受ける原子間力等の物理量を検出する検出部を３次元的に相対移動させる、粗い位置決め粗動ステ−ジ及び微細な位置決め微動機構と、前記試料と前記原子間力等の物理量を検出する検出部との距離を一定に保つ制御手段と、設置環境からくる振動伝達を低減させる除振台と、装置の粗動および微動を行う機構、原子間力等の物理量を検出する検出部等を制御する制御電装部及び制御用のコンピュータを有した構成からなる、試料表面の形状及び状態等を観察、評価するステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡において、
前記除振台が床振動等の設置環境からくる振動に対し、除振台定盤の変動量を検出する手段と前記振動変動に対し、逆位相の振動を付加することで強制的に変動を低減させる制御可能な除振台と、前記除振台及び前記除振台上に構成されたプロ−ブ顕微鏡要素の音響振動を低減する防音カバ−で覆うことを特徴とするステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項２】　前記原子間力等の物理量を検出する検出部を前記微動機構側に配置した構成からなる、ステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡において、前記除振台の構成が床振動等の設置環境からくる振動に対し、除振台定盤の変動量を検出する手段と前記振動変動に対し逆位相の振動を付加することで強制的に変動を低減させる制御可能な除振台を構成要素として有した請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項３】　前記制御可能な除振台の構成が振動変動に対し逆位相の振動が付加されるようにするために、空気圧を制御することで除振台定盤の変動量を制御できるようにした請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項４】　前記制御可能な除振台の構成が振動変動に対し逆位相の振動が付加されるようにするために、磁気力を制御することで除振台定盤の変動量を制御できるようにした請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項５】　ｂ前記制御可能な除振台の構成が振動変動に対し逆位相の振動が付加されるようにするために、電圧により変形するする圧電素子体を制御することで除振台定盤の変動量を制御できるようにした請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項６】　前記制御可能な除振台の構成において、鉛直方向及び回転方向に対しては空気圧の変化を制御し、面内方向及び回転方向に対しては磁気力の変化を制御した除振台を設けてなる請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項７】　前記除振台の振動に対する除振台定盤の変動量の検出対象が除振台定盤と除振台架台、または設置場所の床との相対変位であるところの請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項８】　前記除振台の振動に対する除振台定盤の変動量の検出対象が除振台定盤及び除振台架台、または設置場所の床の加速度であるところの請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項９】　環境からの振動に対する除振台定盤の変動量の検出手段として静電容量型の変位計を設けてなる請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項10】　環境からの振動に対する除振台定盤の変動量の検出手段として電磁検出型の変位計を設けてなる請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項11】　環境からの振動に対する除振台定盤の変動量の検出手段として光学検出型の変位計を設けてなる請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項12】　環境からの振動に対する除振台定盤の変動量の検出手段としてサ−ボ型の加速度計を設けてなる請求項１項に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項13】　環境からの振動に対する除振台定盤の変動量の検出手段として圧電型の加速度計を設けてなる請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。」
を、
「【請求項１】　試料と該試料から受ける原子間力等の物理量を検出する検出部を３次元的に相対移動させる粗い位置決め粗動ステ−ジ及び微細な位置決め微動機構と、
　前記試料と前記原子間力等の物理量を検出する検出部との距離を一定に保つ制御手段と、
　設置環境からくる振動伝達を低減させる除振台と、
　装置の粗動および微動を行う機構、原子間力等の物理量を検出する検出部等を制御する制御電装部及び制御用のコンピュータを有した構成からなる、試料表面の形状及び状態等を観察、評価するステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡において、
　
前記
の
　前記除振台が床振動等の設置環境から
の低周波成分の
高周波数成分を有する
前記除振台を含めた装置全体を
構成にした
【請求項２】　前記原子間力等の物理量を検出する検出部を前記微動機構側に配置した構成からなる、ステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡において、前記除振台の構成が床振動等の設置環境からくる振動に対し、除振台定盤の変動量を検出する手段と前記振動変動に対し逆位相の振動を付加することで強制的に変動を低減させる制御可能な除振台を構成要素として有した請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項３】　前記制御可能な除振台の構成が振動変動に対し逆位相の振動が付加されるようにするために、空気圧を制御することで除振台定盤の変動量を制御できるようにした請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項４】　前記制御可能な除振台の構成が振動変動に対し逆位相の振動が付加されるようにするために、磁気力を制御することで除振台定盤の変動量を制御できるようにした請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項５】　ｂ前記制御可能な除振台の構成が振動変動に対し逆位相の振動が付加されるようにするために、電圧により変形するする圧電素子体を制御することで除振台定盤の変動量を制御できるようにした請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項６】　前記制御可能な除振台の構成において、鉛直方向及び回転方向に対しては空気圧の変化を制御し、面内方向及び回転方向に対しては磁気力の変化を制御した除振台を設けてなる請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項７】　前記除振台の振動に対する除振台定盤の変動量の検出対象が除振台定盤と除振台架台、または設置場所の床との相対変位であるところの請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項８】　前記除振台の振動に対する除振台定盤の変動量の検出対象が除振台定盤及び除振台架台、または設置場所の床の加速度であるところの請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項９】　環境からの振動に対する除振台定盤の変動量の検出手段として静電容量型の変位計を設けてなる請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項10】　環境からの振動に対する除振台定盤の変動量の検出手段として電磁検出型の変位計を設けてなる請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項11】　環境からの振動に対する除振台定盤の変動量の検出手段として光学検出型の変位計を設けてなる請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項12】　環境からの振動に対する除振台定盤の変動量の検出手段としてサ−ボ型の加速度計を設けてなる請求項１項に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。
【請求項13】　環境からの振動に対する除振台定盤の変動量の検出手段として圧電型の加速度計を設けてなる請求項１に記載のステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。」（下線は補正箇所を示す。）
と補正するものである。
　
２．補正の目的について
　上記の本件補正において、補正前の特許請求の範囲の請求項１における、
「前記除振台が床振動等の設置環境からくる振動に対し、除振台定盤の変動量を検出する手段と前記振動変動に対し、逆位相の振動を付加することで強制的に変動を低減させる制御可能な除振台と、前記除振台及び前記除振台上に構成されたプロ−ブ顕微鏡要素の音響振動を低減する防音カバ−で覆うことを特徴とする」
を、
「
前記
の
　前記除振台が床振動等の設置環境から
の低周波成分の
高周波数成分を有する
前記除振台を含めた装置全体を
構成にした
と補正する点は、(a)「床振動等の設置環境からくる振動」及び「音響振動」の成分を限定し、(b)「防音カバー」で覆うものを、「除振台を含めた装置全体」であると限定するものである。
　したがって、本件補正は特許法第１７条の２第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。　
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下「本件補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について検討する。　
　
３．独立特許要件違反について
（１）本件補正発明の認定
　本件補正発明は、平成１７年５月１９日付け手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次の事項により特定されるとおりのものと認める。
　
「試料と該試料から受ける原子間力等の物理量を検出する検出部を３次元的に相対移動させる粗い位置決め粗動ステ−ジ及び微細な位置決め微動機構と、
　前記試料と前記原子間力等の物理量を検出する検出部との距離を一定に保つ制御手段と、
　設置環境からくる振動伝達を低減させる除振台と、
　装置の粗動および微動を行う機構、原子間力等の物理量を検出する検出部等を制御する制御電装部及び制御用のコンピュータを有した構成からなる、試料表面の形状及び状態等を観察、評価するステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡において、
　前記除振台の定盤の変動量を検出する手段と、
　前記除振台が床振動等の設置環境からの低周波成分の振動に対して、逆位相の振動を付加することで強制的に変動を低減させる制御可能な構成であり、前記除振台及び前記除振台上に構成されたプロ−ブ顕微鏡要素の高周波数成分を有する音響振動を低減する防音カバ−で前記除振台を含めた装置全体を覆う構成にしたことを特徴とするステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。」
　　
（２）引用刊行物記載の発明
（２−１）原査定の拒絶の理由に引用した、本願出願日前に頒布された刊行物である M. Yasutake, S. Wakiyama, M. Kitamura, N. Fujino, I. Karino, M. Oumori、Instrumentation of a wafer inspection large sample atomic force microscope、Thin Solid Films、Elsevier Science S. A.、１９９６年、第２８１−２８２巻、第１−２号、第５７６−５７９ページ（以下「引用刊行物１」という。）には、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）の発明が記載されており、その構成に関して日本語訳すると次の事項が記載されている。
　
（ア）「２．機器
２．１．機器の構成
　図１は、８インチまでの直径を有する大きな試料の全体表面を観察可能なＡＦＭ機器を示す。この機器は次のものから構成されている：除振動基台上の非常に剛性のあるアーム、アーム上に一定の距離（オフセット距離）をおいて配置される、試料観察のための光学顕微鏡（ＯＭ）及びＡＦＭスキャナ。このＯＭは最大倍率２０００倍で、試料観察用のＣＣＤカメラと、粒子から散乱した光を検知するために高感度のイメージ・インテンシファイアが取り付けられたＣＣＤ（ＩＩＣＣＤ）が取り付けられている。このＡＦＭスキャナは、レバーを走査する形式であり[2]（走査範囲は３０μｍ）、ピエゾスキャナの先端に接続された小さな光レバー偏差探知システムを備えている。この機器は、コンタクトモード又はノン・コンタクトモードのどちらを利用しても動作可能である[3]。ステージと非常に剛性のあるアームは、どちらも低膨張の鋳造金属（熱膨張率：５ｐｐｍ）でできており、これによって像の熱ドリフトが減少される。全てのシステムは、空気乱流と同様に可聴音ノイズを低下させる防音ケースの中に入っている。
２．２　位置整合方法
　位置整合は、８インチウェーハの全表面上で短時間で微細粒子（０．１μｍ）を検知するのに使用される重要な技術である。粒子を測定するステップは次のとおりである。第１に、粒子の位置と大きさを検知するために、ウェーハはＯＰＩＳを使用して測定される。この情報は、測定されたウェーハ試料とともにＡＦＭシステム中に送り込まれる。次に、ＯＰＩＳとＯＭを装備したＡＦＭとの間の座標結合が実行される。最後に、粒子の位置が暗視野光散乱システムで検知され、ＡＦＭを使用して画像測定される。光学顕微鏡の光軸とＡＦＭのチップ位置との位置整合は、事前に特別な座標目盛を備えた標準試料を使用して実行された[4]。この整合の精度はおよそ±２μｍである。」（第５７６ページ右欄第４行−第５７７ページ左欄第１８行）
（イ）図１の原子間力顕微鏡のシステムブロック図には、空気テーブル（air table）10の上に、支持アーム9とｚｘｙステージ6,7,8があり、ｚｘｙステージ6,7,8の上に、試料と試料ホルダ5があることが記載されている。また、空気テーブルの台の下方に脚が記載されている。
　
　ここで、引用刊行物１記載の原子間力顕微鏡は、ｚｘｙステージ、ＡＦＭスキャナが設置される「除振動基台」を備えたものであり、図１には、ｚｘｙステージ、ＡＦＭスキャナが設置される台の下方に脚も記載されていることから、引用刊行物１記載の原子間力顕微鏡が、除振動基台を含む除振台を有していることは明らかであって、また、この除振台が除振動基台上に設置されるｚｘｙステージ、ＡＦＭスキャナへ伝わる床振動を低減させるものであることも明らかである。そうすると、引用刊行物１には、次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。
　
「床振動を低減させる除振動基台を備えた除振台と、該除振動基台上に設置される試料が載置されるｚｘｙステージと、ＡＦＭスキャナとを備え、該ＡＦＭスキャナはピエゾスキャナと、該ピエゾスキャナの先端に接続された光レバー偏差探知システムを備えた、システム全体が可聴音ノイズを低下させる防音ケースの中に入っている、試料表面を観察可能な原子間力顕微鏡。」
　
（２−２）原査定の拒絶の理由に引用した、本願出願日前に頒布された刊行物である特開平５−９９２７１公報（以下「引用刊行物２」という。）には、「除振台のアクテイブ制御方法」に関する発明が記載されており、図面とともに次の事項が記載されている。
　
（ア）「【０００２】
【従来の技術】除振台本体上に載置されて使用される精密機器の精度が飛躍的に向上している現在、前記製造装置の持てる能力を最大限に発揮させるために除振台に対してもその制振能力の大幅向上が要求されて来ている。
【０００３】そこで、除振台の能力向上の一手法として除振台本体に生ずる振動をセンシングし、これを演算装置などで瞬時に演算処理してアクチュエータの制振量を求め、これにより振動を制御するという能動制振の手法が新たに取り入れられて来た。
【０００４】そこで、図６に示すように床面に設置された変位センサ(Sh)にて除振台本体(Gp)と床面との相対変位量(Xr)を検出し、同時に除振台本体(Gp)の振動そのものを、除振台本体(Gp)に設置した加速度センサ(Sk)を用いて検出し、これら検出信号によって除振台本体(Gp)の制振を行うアクチュエータ(Ga)を制御して除振台本体(Gp)の変位や振動に対する加速度制御、速度制御、位置制御などを行っていたが、この場合、除振台本体(Gp)は、前後、左右、上下並びに回転(＝傾斜)するため、水平方向の加速度検出に３つ、垂直方向の加速度検出に３つ、合計６つの加速度センサ(Sk)が必要となり、又、変位検出には水平方向３点、垂直方向３点の検出のために６つの変位センサ(Sh)を必要とするなど合計12個という多くのセンサを必要とするだけでなく、その演算並びに制御も非常に複雑となり、制御の精度もそれだけ低下するだけでなく装置コストがかさむという問題があった。尚、本装置が制御の対象とする振動には地動外乱(床の微振動)と直動外乱(除振台上に設置された機器の稼働による振動)の２つがある。」
（イ）「【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜３に従って説明する。除振台はホログラフィーセット、電子顕微鏡、半導体製造機器など精密機器を載置するための定盤部分である除振台本体(Gp)と、除振台本体(Gp)を支持するために除振台本体(Gp)の４隅に配置された４個の能動アクチュエータセット(A)〜(D)、センサー(Sh)(Sk)群並びに前記能動アクチュエータセット(A)〜(D)を能動制御するための演算回路(cont)とで構成されている。又、除振台全体の構造は、センサ関係並びにその制御関係を除き従来例と同じであるので、同一部分は従来例図である図６を用いて説明する。
【００１０】本実施例に使用する能動アクチュエータセット(A)〜(D)は、垂直能動アクチュエータ(A2)〜(D2)と水平能動アクチュエータ(A1)〜(D1)とを一体として組み込まれたブロック状のものである。勿論、垂直能動アクチュエータ(A2)〜(D2)と水平能動アクチュエータ(A1)〜(D1)とを別々に分けた単能型の能動アクチュエータを使用してもよい。能動アクチュエータセット(A)〜(D)の配置は、図１に示すように隣接せる能動アクチュエータセット(A)〜(D)の水平方向の制御方向が互いに直角方向になるように風車型に配置されているものである。
【００１１】本発明に係る能動アクチュエータセット(A)〜(D)には、空気ばねを使用したもの、ピエゾ素子を使用したもの又はリニヤモータを利用したものなどがある。以下、垂直方向能動アクチュエータ(A2)〜(D2)並びに水平方向能動アクチュエータ(A1)〜(D1)として空気ばねを使用した場合を中心に説明する。又、垂直方向支持体(7)はゴム板と金属板とを交互に積層した積層体を使用するものとし、除振台本体(Gp)と水平方向能動アクチュエータ(A1)〜(D1)とをそれぞれ接続する水平方向支持体(8)には線材を使用した場合を中心に説明する。
【００１２】図２,３に示す能動アクチュエータセット(A)〜(D)は垂直並びに水平の２方向制御である。能動アクチュエータセット(A)『他の能動アクチュエータに付いても同様である。』は、垂直空気ばね(3e)、垂直方向支持体(7)並びに一対の水平空気ばね(3a)(3b)などでそれぞれ構成されている。従来例では、水平方向の加速度センサ(11)や垂直方向の加速度センサ(10)などの加速度センサ(Sk)が除振台本体(Gp)に装着されていたが、本発明では除振台本体(Gp)にはこれら加速度センサ(Sk)が装着されておらず、床面乃至アクチュエータの床面と一体となって振動する部分に(X)(Y)(Z)方向の床面の振動加速度を測定する加速度センサ(Sk)(勿論、速度センサでもよいが、ここでは加速度センサに統一して説明する。)が設置されている。床面からの除振台本体(Gp)の垂直方向の相対変位及び基準点に対する除振台本体(Gp)の水平方向の相対変位を測定する６個の変位センサ(Sh)は本発明及び従来例のいずれにも床面に装着されている。(尚、相対変位を測定するのであるから本来どちらに装着してもよい。)変位センサ(Sh)には、通常、非接触アナログ出力型の近接センサが用いられているが、精度を上げるためにはレーザーなどの利用も考えられる。
【００１３】垂直空気ばね(3e)並びに水平空気ばね(3a)(3b)は、いずれもゴム製ばね部(5)とこれに連通するエアタンク(4)とで構成された既知の構造である。
【００１４】水平空気ばね(3a)(3b)のエアタンク(4)は、中央の仕切り板(26')を介して左右に独立して配設されている。本実施例において水平空気ばね(3a)(3b)には制御側と基準側とがあり、基準側水平空気ばね(3a)には、精密なレギュレータ(19)を介して一定圧の空圧源(16)に接続してある。(図６参照)
【００１５】一方、制御側水平空気ばね(3b)は、制御弁(6a)を介して前記空圧源(16)が接続してあり、この制御弁(6a)は後述する演算装置(cont)で制御される。演算回路(cont)としては、本発明では位置制御器(Gl)、加速度制御器(Gac)、フィードフォワード制御器(Gf)、微分器(S2)などが含まれる。
【００１６】又、水平空気ばね(3a)(3b)は、図２から分かるように、ケーシング(30)に囲繞されており、ケーシング(30)と除振台本体(Gp)とは細い線材(8)で接続されている。
【００１７】垂直空気ばね(3e)は、固定基台(25)上に載置された垂直方向支持体(7)上に載設されている。このように組み立てられた能動アクチュエータ(A)〜(D)は、図１のようにベース(28)の４隅に装着されて使用される。装着方向は図１の矢印(A1)〜(D1)で示すように、隣接する水平空気ばね(3a)(3b)の伸縮制御方向が互いに直交するように風車型に配置する。
【００１８】次に本発明の第１制御法を説明する。図４は、第１制御法のブロック図で、図中、除振台本体は(Gp)、アクチュエータ(正確にはアクチュエータの特性)は(Ga)、地動外乱は(Xo)、地動外乱による力の伝達機構 (即ち、除振台本体(Gp)を支持している垂直方向支持体(7)などアクチュエータ(Ga)の振動伝達部分)は(Gd)、直動外乱は(f)、位置制御器(＝電気回路)は(Gl)、加速度制御器(＝電気回路)は(Gac)、フィードフォワード制御器(＝電気回路)は(Gf)、微分器(＝電気回路)は(S2)で表される。センサ類は床面乃至アクチュエータの床面と一体になって振動する部分に設置される(X)(Y)(Z)の３方向の地動振動の加速度を検出する３つの加速度センサと、床面からの除振台本体(Gp)の垂直方向の相対変位及び基準点に対する除振台本体(Gp)の水平方向の相対変位を測定する６個の変位センサ(Sh)がある。
【００１９】地動外乱は、アクチュエータ(Ga)の振動伝達部分(Gd)を通って除振台本体(Gp)に伝達される。この除振台本体(Gp)の垂直方向並びに水平方向の相対変位(Xr)は３つのレベルセンサ(9)と３つの位置センサ(1)とで構成される変位センサ(Sh)で測定されている。この測定値(Xr)は除振台本体(Gp)の絶対変位量から床面の振動(X0)の差である相対変位である。ここで、変位センサ(Sh)は前述のように６つあるが、ここでは説明を簡単にするために方向を(X)方向だけに付いて説明するが、他の方向も同様である。変位センサ(Sh)による出力は以下の通り表される。
Xr＝X−X0……………(1)式
この変位センサ出力(Xr)は、分岐されて位置制御器(Gl)と微分器(S2)とに入力され、微分器(S2)では２回微分されて(Xr''＝X''-Xo'')、(X)方向の相対加速度信号とされ、次に述べる地動振動の加速度センサ(Sk)の出力(X0'')と物理量が一致するようにされる。
【００２０】同時に床面に設置された加速度センサ(Sk)によって検出された地動振動の加速度信号(X0'')が微分器(S2)の出力に加算され、２回微分値(Xr''＝X''-Xo'')から地動振動による加速度成分(X0'')が除去され、除振台本体(Gp)の絶対加速度信号(X'')として絶対振動制御器(Gac)に入力される。
【００２１】然る後、位置制御器(Gl)の出力と絶対振動制御器(Gac)の出力とが加算反転されてアクチュエータ(Ga)に入力され、アクチュエータ(Ga)の振動伝達部分(Gd)を伝わって来る地動振動を変位並びに加速度の２要素(必要ならば速度制御を加えた３要素でも可能)にてフィードバック制御によりキャンセルする。直動外乱(f)が入力する場合も同様である。
【００２２】図５は、前記第１法の性能を高めるためにフィードフォワード制御を付加したもので、フィードフォワード制御器(Gf)により地動振動の加速度信号(X0'')を位置制御器(Gl)の出力と絶対振動制御器(Gac)の出力との加算反転値(−Gl・Xr,−Gac・X'')に加算したもので、これにより、アクチュエータ(Ga)の振動伝達部分(Gd)を伝わって来る振動をフィードフォワード信号(X0'')で直接キャンセルする。
【００２３】図７は、本発明による制御方法の効果を示す比較グラフで、最上段のグラフは制振を行わなかった場合の除振台本体(Gp)の振動、中段のグラフは請求項１に示すフィードバック制御のみの場合、最下段のグラフは請求項２に示すフィードバックとフィードフォワード制御とを同時に適用した場合であり、制振効果が顕著に表れている事が分かる。」
　
（３）対比
　本件補正発明と引用発明１とを対比する。
　原子間力顕微鏡はプローブ顕微鏡の一種であって、原子間力顕微鏡の技術常識を考慮すると、引用発明１の、
(a)「ＡＦＭスキャナ」の「光レバー偏差探知システム」、(b)「試料が載置されるｚｘｙステージ」、(c)「ＡＦＭスキャナ」の「ピエゾスキャナ」、(d)「床振動を低減させる・・除振台」、(e)「除振動基台」、(f)「ｚｘｙステージ」を備えた「試料表面を観察可能な原子間力顕微鏡」
は、それぞれ本件補正発明の、
(a)「試料から受ける原子間力等の物理量を検出する検出部」、(b)「試料と該試料から受ける原子間力等の物理量を検出する検出部を３次元的に相対移動させる粗い位置決め粗動ステ−ジ」，「装置の粗動・・を行う機構」、(c)「試料と該試料から受ける原子間力等の物理量を検出する検出部を３次元的に相対移動させる・・微細な位置決め微動機構」，「装置の・・微動を行う機構」、(d)「設置環境からくる振動伝達を低減させる除振台」、(e)「除振台の定盤」、(f)「試料表面の形状及び状態等を観察、評価するステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡」
に相当することは明らかである。
　また、引用発明１の「可聴音ノイズを低下させる防音ケース」は、「可聴音」（人の可聴帯域の下限は１６〜２０Ｈｚ、上限は１６〜２０ｋＨｚ程度である。）という、一般に床振動と比べて高い周波数成分を含む音を低下させるものであって、かつ、可聴音には低周波数成分も高周波数成分も含まれているのであるから、この防音ケースは、高周波成分を有する音響振動を低減するものといえる。そして、この防音ケースの中には「システム全体」が入っているのであるから、引用発明１の、（g)「システム全体が可聴音ノイズを低下させる防音ケースの中に入っている」は、本件補正発明の、(g)「前記除振台及び前記除振台上に構成されたプロ−ブ顕微鏡要素の高周波数成分を有する音響振動を低減する防音カバ−で前記除振台を含めた装置全体を覆う構成にした」に相当する。
　
　したがって、両者は、
「試料と該試料から受ける原子間力等の物理量を検出する検出部を３次元的に相対移動させる粗い位置決め粗動ステ−ジ及び微細な位置決め微動機構と、
　設置環境からくる振動伝達を低減させる除振台と、
からなる、試料表面の形状及び状態等を観察、評価するステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡において、
　前記除振台及び前記除振台上に構成されたプロ−ブ顕微鏡要素の高周波数成分を有する音響振動を低減する防音カバ−で前記除振台を含めた装置全体を覆う構成にしたことを特徴とするステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。」
である点で一致し、次の点で相違する。
　
　相違点１
　本件補正発明が、試料と原子間力等の物理量を検出する検出部との距離を一定に保つ制御手段と、装置の粗動および微動を行う機構、原子間力等の物理量を検出する検出部等を制御する制御電装部及び制御用のコンピュータを有した構成からなるのに対し、引用刊行物１には、これらについての記載がない点。
　相違点２
　除振台が、本件補正発明では、除振台の定盤の変動量を検出する手段を備え、除振台が床振動等の設置環境からの低周波成分の振動に対して、逆位相の振動を付加することで強制的に変動を低減させる制御可能な構成であるのに対し、引用発明１は、このような構成を備えていない点。
　
（４）判断  
　上記各相違点について検討する。  
（４−１）相違点１について 
　プローブ顕微鏡において、試料と原子間力等の物理量を検出する検出部との距離を一定に保つように制御することは、特開平６−２８８７５９号公報（段落【０００２】−【００１０】参照。）、特開平８−１５２４３０号公報（段落【０００４】参照。）にも記載されたとおり周知である。また、プローブ顕微鏡において、粗動機構、微動機構、原子間力等の物理量を検出する検出部を制御する制御電装部及び制御用のコンピュータを備えることは、特開平５−２３２０８１号公報（段落【００２７】−【００２８】［：粗動機構、微動機構、検出部の制御に関して］、図２（ａ）参照。）、特開平６−２８８７５９号公報（段落【００１３】−【００２２】［：微動機構、検出部の制御に関して］参照。）、特開平９−５４０９９号公報（段落【００２６】−【００２７】［：粗動機構、微動機構の制御に関して］、【００５９】−【００６１】［：検出部の制御に関して］参照。）にも記載されたとおり周知である。
　よって、プローブ顕微鏡の一種である原子間力顕微鏡である引用発明１において、試料と原子間力を検出する検出部との距離を一定に保つ制御手段と、装置の粗動および微動を行う機構、原子間力等の物理量を検出する検出部等を制御する制御電装部及び制御用のコンピュータを有した構成とすることは、当業者が上記周知技術に倣って容易になし得ることである。
　
（４−２）相違点２について
　引用刊行物２には、制振能力が向上した除振台として、精密機器を載置するための定盤部分である除振台本体の変動量を検出し、この検出結果によって除振台本体を支持するアクチュエータを制御して振動をキャンセルする能動型の除振台が記載されている。この除振台は、地動外乱（床の微振動）を制御対象とすることも記載されており（第２ページ左欄第４６−４９行）、床振動という設置環境からの低周波成分を制御対象とすることは明らかである。そして、引用刊行物２の除振台の定盤部分に載置される精密機器としては電子顕微鏡も記載されており（第２ページ右欄第４０−４２行）、電子顕微鏡と引用発明１のプローブ顕微鏡とは、共に制振が要求される高解像度の顕微鏡という点で一致するものである。
　よって、引用発明１のプローブ顕微鏡において、制振能力を向上させるために、除振台として引用刊行物２に記載された能動型の除振台を採用して、除振台の定盤の変動量を検出する手段を備え、除振台が床振動等の設置環境からの低周波成分の振動に対して、逆位相の振動を付加することで強制的に変動を低減させる制御可能な構成とすることは、当業者が容易に想到し得ることである。
　　
　そして、本件補正発明の作用効果も、引用刊行物１，２に記載された発明及び周知技術から当業者であれば予測できる範囲のものである。　
　したがって、本件補正発明は、引用刊行物１，２に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。  
　
（５）むすび  
　以上のとおりであるから、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
III．本願発明について  
１．本願発明
　平成１７年５月１９日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１−１３に係る発明は、本件補正前の、平成１７年１月７日付け手続補正書により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１−１３に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
　
「試料と試料から受ける原子間力等の物理量を検出する検出部を３次元的に相対移動させる、粗い位置決め粗動ステ−ジ及び微細な位置決め微動機構と、前記試料と前記原子間力等の物理量を検出する検出部との距離を一定に保つ制御手段と、設置環境からくる振動伝達を低減させる除振台と、装置の粗動および微動を行う機構、原子間力等の物理量を検出する検出部等を制御する制御電装部及び制御用のコンピュータを有した構成からなる、試料表面の形状及び状態等を観察、評価するステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡において、
前記除振台が床振動等の設置環境からくる振動に対し、除振台定盤の変動量を検出する手段と前記振動変動に対し、逆位相の振動を付加することで強制的に変動を低減させる制御可能な除振台と、前記除振台及び前記除振台上に構成されたプロ−ブ顕微鏡要素の音響振動を低減する防音カバ−で覆うことを特徴とするステ−ジ付プロ−ブ顕微鏡。」
　
２．引用刊行物
　原査定の拒絶の理由で引用された引用刊行物及びその記載事項は、上記「II．３．（２）」の（２−１），（２−２）に記載したとおりである。 
　
３．対比，判断 
　本願発明は、上記「II」で検討した本件補正発明から、(a)「床振動等の設置環境からくる振動」及び「音響振動」の成分の限定、(b)「防音カバー」で覆うものの限定、を外したものである。
　
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、更に他の要件を付加したものに相当する本件補正発明が上記「II．３．（４）判断」に記載したとおり、引用刊行物１，２に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用刊行物１，２に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、請求項２−１３について論及するまでもなく、本願は、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。