(57)【要約】      （修正有）【課題】主に半導体にチップの故障解析等において使用されるピンセットにおいて、微小なＩＣチップを取り扱うのに適したピンセットを提供する。【解決手段】ピンセット１は、対向する細長板状の一対の握り部２１、２２、握り部の一方の端部に連続してなる一対の把持部３１、３２、及び、握り部の他方の端部を連結する連結部からなるピンセット本体１と、一対の把持部のうちの少なくともいずれか一方の、握り部と連続している端部とは異なる他方の端部側において、一対の把持部において対向する面である挟持面に設けられた板状の突起である突起板４０とを有する。ＩＣチップを挟持する際には、突起板４０によってＩＣチップの下面が下方から支えられる。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
対向する細長板状の一対の握り部、前記握り部の一方の端部に連続してなる一対の把持部、及び、前記握り部の他方の端部を連結する連結部からなるピンセット本体と、
前記一対の把持部のうちの少なくともいずれか一方の、前記握り部と連続している端部とは異なる他方の端部側において、前記一対の把持部において対向する面である挟持面に設けられた板状の突起である突起板と、
を有するピンセット。
【請求項２】
前記突起板は、その上面が前記挟持面に対して垂直となるように設けられていることを特徴とする請求項１に記載のピンセット。
【請求項３】
前記突起板は、その上面が前記挟持面に対して鈍角をなすように設けられていることを特徴とする請求項１に記載のピンセット。
【請求項４】
前記突起板は、前記把持部の前記挟持面に固定されている側から、対向する他方の把持部側に向かって徐々に肉薄になっていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のピンセット。
【請求項５】
前記突起板は、前記把持部の中心を通る二等分線と平行となるように、かつ、前記把持部の最も端寄りの位置で固定されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のピンセット。
【請求項６】
前記突起板は、前記一対の把持部の前記他方の端部から所定距離入り込んだ位置に設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のピンセット。
【請求項７】
前記突起板は、前記ピンセットの長手方向に延びる直線と平行に設けられていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のピンセット。
【請求項８】
前記突起板は、多角形板状であることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のピンセット。
【請求項９】
前記突起板は、四角形板状であることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のピンセット。
【請求項１０】
前記突起板は、略円形板状であることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のピンセット。
【請求項１１】
前記突起板は、半円形板状であることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のピンセット。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、主に半導体チップの故障解析等において使用されるピンセットであって、微小なICチップを取り扱うのに適したピンセットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
数mm角以下の小さなICチップを取り扱う従来のピンセットは、先端を細くするなどの工夫がなされており、ICチップを摘み上げるような操作には適していた。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来のピンセットは、ICチップをピンセットに把持した状態でICチップにAirを吹きかけて乾燥するような操作には適していなかった。なぜならば、このような操作をすると、ICチップがピンセットから外れる頻度が高く、大切な解析途中のICチップを紛失する危険性が非常に高いという問題点があった。
すなわち、従来のピンセットでICチップを把持した場合、ICチップの両側面のみで支えていたため、Airブロー等によりICチップの上方から下向きに向かう力がICチップに加わると、ICチップが簡単にピンセットから外れてしまうという問題があった。特に大きさが１mm角程度の小さなICチップを取り扱う場合は、ICチップがピンセットから外れるとAirに吹き飛ばされて、解析途中の大切なICチップを紛失してしまう可能性が非常に高かった。
【０００４】
そこで、本考案は、故障解析等で数mm角以下の小さなICチップを研磨や薬液処理した後に水洗したものを、ピンセットで把持してAirブロー乾燥する場合に、ICチップ表面にAirを強く吹き付ける等しても、小さなICチップがピンセットから外れる危険性の低いピンセットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本考案は、対向する細長板状の一対の握り部、前記握り部の一方の端部に連続してなる一対の把持部、及び、前記握り部の他方の端部を連結する連結部からなるピンセット本体と、前記一対の把持部のうちの少なくともいずれか一方の、前記握り部と連続している端部とは異なる他方の端部側において、前記一対の把持部において対向する面である挟持面に設けられた板状の突起である突起板と、を有するピンセットを提案する。
【０００６】
従来のピンセットではICチップを挟持する際にICチップの両側面のみを支えていたが、上記の本考案の構成によれば、ICチップの両側面に加えて、突起板によってICチップの底面の一部又は全部を下方から支えることができる。これにより、Airブロー等よりICチップ上方から下向きにかかる力に対して、耐久性を持たせることができる。すなわち、Airブロー等によってもICチップがずれたり、ICチップがピンセットから外れて紛失する危険性が低減される。
【０００７】
また、前記突起板は、その上面が前記挟持面に対して垂直となるように設けられていてもよい。これにより、ICチップを一対の把持部で挟むと同時に、ICチップの下面を突起板で支えた状態で把持することができる。
また、前記突起板は、その上面が前記挟持面に対して鈍角をなすように設けられていてもよい。また、前記突起板は、前記把持部の前記挟持面に固定されている側から、対向する他方の把持部側に向かって徐々に肉薄になっていてもよい。この構成によれば、力が加えられて把持部どうしが近づけられたとしても、突起板が固定されている一方の把持部とは異なる他方の把持部は突起板の先端に衝突することなく、突起板の先端の上方を通過して一方の把持部に接近することができる。これにより、突起板よりも幅の狭いものを一対の把持部で挟持することが可能である。
【０００８】
また、前記突起板は、前記把持部の中心を通る二等分線と平行となるように、かつ、前記把持部の最も端寄りの位置で固定されていてもよい。これにより、突起板よりも幅の狭いものを一対の把持部で挟持することが可能である。
また、前記突起板は、前記一対の把持部の前記他方の端部から所定距離入り込んだ位置に設けられていてもよい。これにより、把持部の先端部どうしの間に細長い物体などを挟持することが可能である。
【０００９】
また、前記突起板は、前記ピンセットの長手方向に延びる直線と平行に設けられていてもよい。
また、前記突起板は、多角形板状、四角形板状、略円形板状、半円形板状等であってもよい。これらの形状であっても、ICチップは下方から突起板に支えられるようにして挟持されることとなるため、同様の効果が期待できる。
【考案の効果】
【００１０】
本考案のピンセットによれば、設けられた突起板により、挟持したICチップの底面の一部又は全部を下方から支えることができるため、Airブロー等の処理等によりICチップの上方から下向きに力が加えられても、ICチップがピンセットから外れて紛失する危険性が低減される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本考案の一実施形態に係るピンセットの正面図である。
【図２】本考案の一実施形態に係るピンセットの左側面図である。
【図３】本考案の一実施形態に係るピンセットの把持部を示す図である。
【図４】本考案の一実施形態に係るピンセットにおいてICチップが挟持された状態における正面図である。
【図５】本考案の一実施形態に係るピンセットの把持部の拡大斜視図である。
【図６】本考案の一実施形態に係るピンセットにおいてICチップが挟持された状態における把持部を示す図である。
【考案を実施するための形態】
【００１２】
以下、本考案に係る実施の形態について、図面を参照しながら説明する。以下の説明において参照する各図では、他の図と同等部分は同一符号によって示される。
（ピンセットの構造）
図１は本実施形態に係るピンセットの正面図である。図１に示されるように、ピンセット１は、細長板状の第１の本体部２と、これと同一形状の第２の本体部３と、突起板４０とによって構成される。第１の本体部２は、ピンセット１を使用する際にユーザが主に握る部分である細長板状の握り部２１と、ICチップを挟持する部分である細長板状の把持部３１とからなる。同様に、第２の本体部３は、握り部２２と、把持部３２とからなる。
【００１３】
図１に示されるように、第１の本体部２において連結部１０と握り部２１とは曲面で連続し、握り部２１は連結部１０に対して角度をなしている。そして、握り部２１は、その途中で上記曲面とは逆の方向に同じ角度まで湾曲し、その先で把持部３１に連続している。これにより、第１の本体部２は、全体としてゆるやかなＳ字形状となっている。
また、第２の本体部３は第１の本体部２と同一形状であり、第１の本体部２と第２の本体部３とが左右対称となるように連結部１０で張り合わされてピンセット１が構成されている。これにより、外力が加えられない状態では把持部３１と把持部３２は互いに平行となっており、対向する把持部３１、３２の面である挟持面によってICチップを挟持することができるようになっている。ここで、「平行」とは、例えば製造時における誤差等により厳密には平行でない場合もあり、略平行である場合もある。
【００１４】
また、図２は本実施形態に係るピンセットの左側面図である。ピンセット１の連結部１０と握り部２１の幅は同じ幅gになっている。また、把持部３１は、握り部２１と連結する端部において握り部２１の幅gよりも細くなっており、この端部から、他方の端部（ピンセット１の先端）に向かって細くなっていき、全体として把持部３１は、この他方の端部を頂角とした略二等辺三角形状である。なお、上記では第１の本体部２について説明したが、第２の本体部３はこれと同一形状であり、連結部１０から握り部２２および把持部３２までの形状についても同様である。
【００１５】
また、本実施形態のピンセット１は、握り部２１と連結されている把持部３１の一方の端部とは異なる他方の端部側に、ICチップを載置するための板状の突起板４０が備えられている。
図３（ａ）は把持部３１、３２の拡大正面図、図３（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ断面図、図３（ｃ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。なお、図３はピンセット１に外力が加えられて把持部３１と把持部３２とが接近した状態における図である。
【００１６】
突起板４０は、図３（ａ）に示すように、その平面視長方形の薄い板状の部材であり、その長方形状の一方の長辺をなす側面が、把持部３１の先端部から若干（距離ｃだけ）入り込んだ位置において把持部３１の挟持面３５に固定されることで、把持部３１と一体となっている。より具体的には、突起板４０は、その断面形状が、図３（ｂ）に示すように、挟持面３５に固定される側から他方の把持部３２に近づくに従って徐々に肉薄になるように、上面及び下面の両方が同角度で傾斜した斜面となっていて、ピンセット１の先端側（図３（ｂ）側）から見たときの形状としては、厚さ方向の中心線が挟持面３５に直交する姿勢となっている。
【００１７】
また、突起板４０は、図３（ｃ）に示すように、把持部３１の中心を通る二等分線３７と平行な姿勢であって、かつ、把持部３１の強度が保てる範囲で最も端寄りの位置に固定されている。
このため、図３（ｂ）からも判るように、両方の把持部３１、３２をさらに近づけたとしても、把持部３２は突起板４０の先端に衝突することはなく、また、突起板４０の上面に強く擦れることもないから、把持部３２は突起板４０の先端の上方を通過してより把持部３１に接近することができる。これにより、突起板４０よりも幅の狭いものを把持部３１、３２で挟持することが可能である。例えば、把持部３１及び３２の先端部どうしの間には、図３（ａ）の紙面に直交する方向（図３（ｂ）の上下方向、図３（ｃ）の左右方向）に細長い物体などを挟持することも可能となっている。
なお、突起板４０は、把持部３１と一体成形で形成されてもよいし、把持部３１とは別部材として製造し後に接着などにより貼り付けられても構わない。
【００１８】
図４は、図１のピンセット１において、ICチップ５が突起板に載置されて把持部３１、３２の挟持面で挟持されている状態を示す正面図である。また、図５は、把持部３１、３２の拡大斜視図である。図５（ａ）はICチップ５を挟持する前の状態、図５（ｂ）はICチップ５を挟持した状態を示す。また、矢印６は、Airブローの際にICチップ５に加わる力の向きを示している。
【００１９】
例えば、ユーザが突起板４０の面上にICチップ５が載るようにスポンジ等の上に載置されているICチップ５を突起板４０ですくい上げるようにした後、把持部３１、３２の挟持面（図５の挟持面３５、３６）が互いに接近するように握り部２１、２２に指で力を加えることで、図４に示されるように、把持部３１、３２の挟持面においてICチップ５が挟まれて保持される。この時、ICチップ５は、突起板４０によって下方から支えられるようにして挟持されるため、ICチップ５の上方からAirブロー等の処理が行われても、ピンセット１からICチップ５が外れて紛失する危険性が低減される。
【００２０】
また、上述したように、突起板４０は、挟持面３５に固定される側から他方の把持部３２（挟持面３６）に近づくに従って徐々に肉薄になっているため（図５（ａ））、スポンジ等の上に載置されているICチップ５を突起板４０ですくい上げる際に突起板４０の先端がICチップ５の下面に入り込みやすく、簡単にICチップ５をすくい上げることができる。
【００２１】
図６（ａ）はICチップ５が挟持された状態における把持部３１、３２の拡大正面図、図６（ｂ）は同図（ａ）のＹ−Ｙ断面図、図６（ｃ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。なお、この場合、図６（ｂ）に示されるように、把持部３１、３２によってICチップ５が挟持された時には突起板４０のICチップ５との接触面４１と、ICチップ５の下面との間にはわずかな隙間ができる。つまり、通常は把持部３１、３２のみによってICチップ５が挟持され、Airブロー等によりICチップ５の上方から力が加えられた場合やICチップ５を挟んでいる力が緩んでしまった場合等にICチップ５が挟持面からずれた場合であっても、突起板４０によってICチップ５が下方から支えられるので、ICチップ５が紛失する危険性が低減される。
【００２２】
以上説明したように、本実施形態に係るピンセット１によれば、把持部３１に突起板４０が備えられていることにより、ICチップ５がピンセット１に挟持される際には、突起板４０によって下方から支えられるようにして挟持されるため、ICチップ５の上方からAirブロー等の処理が行われても、ピンセット１からICチップ５が外れて紛失する危険性を低減させることができる。
【００２３】
（実施例）
以下、ピンセット１の試作品によりAirブローの試験を行った。
本実施例におけるピンセット１はチタン製であり、図２に示されるように、連結部１０および握り部２１（又は握り部２２）の長手方向の全長hは８５mm、把持部３１（又は把持部３２）の長手方向の長さiは３５mmである。また、連結部１０と握り部２１（又は握り部２２）の幅は同じであり、その幅gは１０mmである。
【００２４】
また、図５に示されるように、突起板４０の大きさは、長辺の長さaが１．５mm、短辺の長さbが１．０mmである。また、突起板４０が接合されている位置から把持部３１の先端までの長さcは０．５mmである。
また、同図（ａ）のＸ−Ｘ切断面における把持部３１、３２の幅dは１．０mm、把持部３１との接合部分における突起板４０の厚さeは０．５mm、把持部３１と接合している長辺と平行な他方の長辺の厚さfは０．３mmである。
【００２５】
上記のようなピンセット１を用いて、大きさ１mm×１mm、厚さ０．３５mmのICチップを薬液処理および水洗した後、このICチップの全部又は一部が突起板に載るように把持して、ICチップの上方からAirブローしてICチップを乾燥させた。同様の操作を１０回繰り返して試験したが、ピンセットからICチップが一度も外れることなく、きれいに乾燥させることができた。
【００２６】
（その他の実施例）
上記の実施形態においては、突起板は長方形状であったが、例えば、正方形状、台形状、等の四角形状であってもよい。また、ICチップが安定して下方から支えられる大きさであれば、四角形状に限らず、例えば、略円形、半円形、三角形状、他の多角形状などであってもよい。この場合であっても、ICチップは下方から突起板に支えられるようにして挟持されることとなるため、同様の効果が期待できる。
【００２７】
また、上記の実施形態においては、突起板は、その上面が、挟持面に固定される側から他方の把持部側に向かって傾斜した斜面となっていたが、挟持面に対して垂直となるように設けられていてもよい。これにより、ICチップを一対の把持部で挟むと同時に、ICチップの下面を突起板で支えた状態で把持することができる。なお、「垂直」とは、例えば製造時における取り付け誤差等により厳密には垂直でない場合もあり、すなわち、略垂直である場合もある。
【００２８】
また、上記の実施形態においては、突起板は一方の把持部のみに設けられていたが（突起板４０）、双方の把持部の端部に設けられていてもよい。すなわち、ユーザが握り部に力を加えて把持部どうしが接近した場合に、各把持部の端部に設けられた各突起板が重なる、もしくは隣接することによって、ICチップの下面が下方から支えられるようになっていてもよい。この場合も同様の効果が期待できる。
【符号の説明】
【００２９】
１  ピンセット
２  第１の本体部
３  第２の本体部
５  ICチップ
１０  連結部
２１、２２  握り部
３１、３２  把持部
３５、３６  挟持面
３７  二等分線
４０  突起板
４１  接触面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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