【手続補正書】
【提出日】平成24年4月5日(2012.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物体に設けられたマークの像を結像する結像系と、前記結像系の一部を介して光源から射出された照明光でマークを照明する照明系と、前記結像系により結像された前記マークの像を検出する第１像検出素子とを備え、前記第１像検出素子により検出されたマークの像の位置に基づいて前記被検物体の位置を検出する位置検出装置であって、
前記照明系は、その回転によって照明光の光路上で且つ前記結像系の結像開口絞りと前記光源との間の前記照明系の瞳面にそれぞれ配置することができる第１照明開口絞りと第２照明開口絞りとを有する回転盤を含み、
前記位置検出装置は、
前記結像開口絞りの像と前記第１照明開口絞りの像とを撮像する第２像検出素子と、
制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記瞳面に配置させた第２照明開口絞りを通過した照明光を用いて前記結像系の結像開口絞りの像を前記第２像検出素子に撮像させ、
次に、前記回転盤を回転させて前記瞳面に前記第１照明開口絞りを配置させ、前記第１照明開口絞りを通過した照明光を用いて前記第１照明開口絞りの像を前記第２像検出素子に撮像させ、
前記撮像された前記結像開口絞りの像と前記第１照明開口絞りの像とに基づいて、前記結像開口絞りに対する前記第１照明開口絞りの位置ずれの影響を低減するように前記第１照明開口絞りの補正処理を行い、
前記位置検出装置において、前記被検物体の位置は、前記補正処理が行われた前記第１照明開口絞りを通過した照明光を用いて検出されることを特徴とする位置検出装置。
【請求項２】
前記照明系は、照明光の光軸に垂直な軸の回りに回転可能で、且つ前記第１照明開口絞りを通過した照明光を透過させる平行平面板をさらに含み、
前記制御部は、前記回転盤の回転と前記平行平面板の回転とを制御して前記補正処理を行うことを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項３】
前記照明系は、照明光の光軸に垂直な平面において互いに直交する２つの軸の回りにそれぞれ回転可能で、且つ前記第１照明開口絞りを通過した照明光をそれぞれ透過させる２つの平行平面板をさらに含み、
前記制御部は、前記２つの平行平面板の回転を制御して前記補正処理を行うことを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項４】
前記回転盤は、前記第１照明開口絞りを複数有し、前記制御部は、前記複数の中から選択された前記第１照明開口絞りに応じて前記補正処理を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の位置検出装置。
【請求項５】
レチクルに対する基板の位置合わせを行った後に、前記レチクルを介して前記基板を露光する露光装置であって、
前記位置合わせのための位置検出装置として請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の位置検出装置を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項６】
請求項５に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項７】
被検物体に設けられたマークの像を結像する結像系と、前記結像系の一部を介して光源から射出された照明光でマークを照明する照明系と、前記結像系により結像された前記マークの像を検出する第１像検出素子とを備え、前記第１像検出素子により検出されたマークの像の位置に基づいて前記被検物体の位置を検出する位置検出装置を用いた位置検出方法であって、
前記照明系は、その回転によって照明光の光路上で且つ前記結像系の結像開口絞りと前記光源との間の前記照明系の瞳面にそれぞれ配置することができる第１照明開口絞りと第２照明開口絞りとを有する回転盤を含み、
前記位置検出方法は、
前記結像開口絞りの像と前記第１照明開口絞りの像とを撮像可能な第２像検出素子を用意する工程と、
前記瞳面に配置させた第２照明開口絞りを通過した照明光を用いて前記結像系の結像開口絞りの像を前記第２像検出素子に撮像させる工程と、
前記回転盤を回転させて前記瞳面に前記第１照明開口絞りを配置し、前記第１照明開口絞りを通過した照明光を用いて前記第１照明開口絞りの像を前記第２像検出素子に撮像させる工程と、
前記撮像された前記結像開口絞りの像と前記第１照明開口絞りの像とに基づいて、前記結像開口絞りに対する前記第１照明開口絞りの位置ずれの影響を低減するように前記第１照明開口絞りの補正処理を行う工程と、
を含み、
前記位置検出装置において、前記補正処理が行われた前記第１照明開口絞りを通過した照明光を用いて前記被検物体の位置を検出することを特徴とする位置検出方法。
【請求項８】
前記照明系は、照明光の光軸に垂直な軸の回りに回転可能で、且つ前記第１照明開口絞りを通過した照明光を透過させる平行平面板をさらに含み、
前記回転盤の回転と前記平行平面板を回転させて前記補正処理を行うことを特徴とする請求項７に記載の位置検出方法。
【請求項９】
前記照明系は、照明光の光軸に垂直な平面において互いに直交する２つの軸の回りにそれぞれ回転可能で、且つ前記第１照明開口絞りを通過した照明光をそれぞれ透過させる２つの平行平面板をさらに含み、
前記２つの平行平面板を回転させて前記補正処理を行うことを特徴とする請求項７に記載の位置検出方法。
【請求項１０】
前記回転盤は、前記第１照明開口絞りを複数有し、
前記複数の中から選択された前記第１照明開口絞りに応じて前記補正処理を行うことを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれか１項に記載の位置検出方法。
【請求項１１】
レチクルに対する基板の位置合わせを行った後に、前記レチクルを介して前記基板を露光する露光方法であって、
前記位置合わせのための位置検出方法として請求項７乃至請求項１０のいずれか１項に記載の位置検出方法を含むことを特徴とする露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】位置検出装置、露光装置、位置検出方法、露光方法及びデバイス製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の第１の側面は、被検物体に設けられたマークの像を結像する結像系と、前記結像系の一部を介して光源から射出された照明光でマークを照明する照明系と、前記結像系により結像された前記マークの像を検出する第１像検出素子とを備え、前記第１像検出素子により検出されたマークの像の位置に基づいて前記被検物体の位置を検出する位置検出装置であって、前記照明系は、その回転によって照明光の光路上で且つ前記結像系の結像開口絞りと前記光源との間の前記照明系の瞳面にそれぞれ配置することができる第１照明開口絞りと第２照明開口絞りとを有する回転盤を含み、前記位置検出装置は、前記結像開口絞りの像と前記第１照明開口絞りの像とを撮像する第２像検出素子と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記瞳面に配置させた第２照明開口絞りを通過した照明光を用いて前記結像系の結像開口絞りの像を前記第２像検出素子に撮像させ、次に、前記回転盤を回転させて前記瞳面に前記第１照明開口絞りを配置させ、前記第１照明開口絞りを通過した照明光を用いて前記第１照明開口絞りの像を前記第２像検出素子に撮像させ、前記撮像された前記結像開口絞りの像と前記第１照明開口絞りの像とに基づいて、前記結像開口絞りに対する前記第１照明開口絞りの位置ずれの影響を低減するように前記第１照明開口絞りの補正処理を行い、前記位置検出装置において、前記被検物体の位置は、前記補正処理が行われた前記第１照明開口絞りを通過した照明光を用いて検出されることを特徴とする。
本発明の第２の側面は、被検物体に設けられたマークの像を結像する結像系と、前記結像系の一部を介して光源から射出された照明光でマークを照明する照明系と、前記結像系により結像された前記マークの像を検出する第１像検出素子とを備え、前記第１像検出素子により検出されたマークの像の位置に基づいて前記被検物体の位置を検出する位置検出装置を用いた位置検出方法であって、前記照明系は、その回転によって照明光の光路上で且つ前記結像系の結像開口絞りと前記光源との間の前記照明系の瞳面にそれぞれ配置することができる第１照明開口絞りと第２照明開口絞りとを有する回転盤を含み、前記位置検出方法は、前記結像開口絞りの像と前記第１照明開口絞りの像とを撮像可能な第２像検出素子を用意する工程と、前記瞳面に配置させた第２照明開口絞りを通過した照明光を用いて前記結像系の結像開口絞りの像を前記第２像検出素子に撮像させる工程と、前記回転盤を回転させて前記瞳面に前記第１照明開口絞りを配置し、前記第１照明開口絞りを通過した照明光を用いて前記第１照明開口絞りの像を前記第２像検出素子に撮像させる工程と、前記撮像された前記結像開口絞りの像と前記第１照明開口絞りの像とに基づいて、前記結像開口絞りに対する前記第１照明開口絞りの位置ずれの影響を低減するように前記第１照明開口絞りの補正処理を行う工程と、を含み、前記位置検出装置において、前記補正処理が行われた前記第１照明開口絞りを通過した照明光を用いて前記被検物体の位置を検出することを特徴とする。