【事件の表示】
　特願２０００−１７５１６３号「複層セラミックスヒーター」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年１２月２６日出願公開、特開２００１−３５７９６４号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．本願の経緯
　
　本件出願（以下「本願」という。）は，平成１２年６月１２日の出願であって，平成２０年７月４日付け（発送日：同年７月８日）で拒絶査定がなされ，これに対し，同年８月６日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　　
２．本願発明
　
　本願の請求項１に係る発明は，平成２０年３月１９日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである（以下「本願発明」という。）。
　
「電気絶縁性セラミックス支持基板の表面に導電性発熱体が接合され，該導電性発熱体を覆って電気絶縁性セラミックス保護層を形成した一体型の抵抗加熱方式の複層セラミックスヒーターにおいて，電気絶縁性セラミックス保護層の材質が，赤外線透過率が３０％以下の熱分解窒化硼素であり，前記複層セラミックスヒーターにおける発熱部と非発熱部の表面上での輻射率の差が１０％以内であることを特徴とする複層セラミックスヒーター。」
　
３．引用文献記載の発明
　
　これに対して，原査定の拒絶の理由に引用された，本願の出願前に頒布された刊行物である，特開平１１−１７６５５９号公報（以下「引用文献」という。）には，図面とともに，次の事項が記載されている。
　
ａ．「電気絶縁性セラミックス支持基板の表面に，導電性セラミックスまたは金属からなるヒータパターンが，少なくとも２ゾーン以上に分割された状態で接合され，該ヒータパターンを覆って保護層を形成した一体型の抵抗加熱方式の複層セラミックスヒータにおいて，該２ゾーン以上に分割配置されたヒータパターンのヒータ温度範囲５００〜１５００℃における各ゾーン間の抵抗が５×１０3 〜１×１０16Ωであることを特徴とする複層セラミックスヒータ。」（【特許請求の範囲】の【請求項１】）
　
ｂ．「図１（ａ）および（ｂ）において，本発明の複層セラミックスヒータ１は，円板状の電気絶縁性熱分解窒化硼素から成る支持基板４の表面に，導電性熱分解グラファイトで作られた外ゾーン２および内ゾーン３から成るヒータパターン（１ゾーン当たり２回線並列）を持つヒータ発熱層５が接合され，さらに発熱層５を覆って支持基板４と同じ材質の保護層６が形成され，この発熱部両端には，端子７が設けられ，外部電源とは導線で端子孔を通るボルト・ナットで接続されるようになっている。また，ヒータとして使用する場合の温度制御は外ゾーン２と内ゾーン３の二つの領域をそれぞれ別に行うことができるようになっている。」（段落【００１６】）
　
ｃ．「本発明が適用される複層セラミックスヒータの材質としては，支持基板および保護層の材質が，電気絶縁性の高いセラミックスであるＡｌＮ，ＢＮ，ＡｌＮとＢＮとの複合体，ＰＢＮまたはＳｉＯ2 等が適している。また，ヒータパターンの材質は，耐熱性が高く，適度な抵抗率を有するカーボン（グラファイト），高融点金属（鉄，銅，ニッケル，モリブデン，タンタル，タングステン等），高融点金属合金（Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ等），貴金属（銀，白金，ロジウム等）またはこれら貴金属合金（Ｐｔ−Ｒｈ等）等が好ましい。
　本発明の複層セラミックスヒータは，一部の金属発熱層を除いて，これを構成する支持基板，発熱層及び保護層のいずれも化学気相蒸着法（ＣＶＤ法）により製造されたものである。ＣＶＤ法によれば均一で高密度，高純度の蒸着層が得られ，ヒータとして漏れ電流が少なく，高温まで昇温可能で，各ゾーンの制御性もよく，均熱加熱が容易に行え，長期安定運転が可能となる。」（段落【００２４】−【００２５】）
　
ｄ．「【実施例】以下，本発明の実施例を挙げて具体的に説明するが，本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例１）ＣＶＤ法により，アンモニアと三塩化硼素とを１００Ｔｏｒｒの圧力下に１８００℃で反応させて厚さ２ｍｍの熱分解窒化硼素製支持基材を作製し，その上にメタンガスを１６５０℃，５０Ｔｏｒｒの条件下で熱分解して厚さ１００μｍの熱分解グラファイト層を形成し，図３に示したような外ゾーン２（２回線）と内ゾーン３（２回線）から成るヒータパターンを加工した。ついで，この基板に再びアンモニアと三塩化硼素とを１００Ｔｏｒｒの圧力下に１８００℃で反応させて，厚さ１００μｍの熱分解窒化硼素製保護層で発熱層を覆い，外ゾーン２と内ゾーン３の２ゾーンからなる直径２５０ｍｍの複層セラミックスヒータを製造した。
　そして，図１のように，この支持基材４のゾーン境界部Ａのみに，この基材の全厚さの１／２の深さ（１ｍｍ）でかつこの深さと同寸法の幅（１ｍｍ）の掘り溝８を設けた。この加工によって，シリコンウエーハ温度で８００℃でのゾーン間の絶縁抵抗は，６×１０3 Ωになり（比較例１の約２倍），昇温後のシリコンウエーハ温度で１０００℃まで加熱可能となった。
（比較例１）上記と同様にして，図３に示したような，ゾーン境界部に溝のない従来から用いられている外ゾーン２と内ゾーン３の２ゾーンからなる直径２５０ｍｍの複層セラミックスヒータを作製した。そして，この複層セラミックスヒータを１０-2Ｔｏｒｒの真空下でゾーン制御しながら，シリコンウエーハを５００℃に加熱した。次いで，これを急昇温させようと電力を投入し，シリコンウエーハ温度で８００℃まで昇温したところ，内外ゾーン間の漏れ電流が大きくなり，これ以上の昇温は不可能となった。この時のヒータ温度は１２００℃になっており，その原因は，ゾーン間の絶縁抵抗が下がったためで，その時のゾーン間の抵抗は，３×１０3 であった。」（段落【００２６】−【００２８】）
　
　そこで，これらの記載事項及び図示内容を総合すると，引用文献には，次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
「電気絶縁性熱分解窒化硼素からなる支持基板の表面にヒータパターンが接合され，該ヒータパターンを覆って保護層を形成した一体型の抵抗加熱方式の複層セラミックスヒータにおいて，保護層の材質が，熱分解窒化硼素である複層セラミックヒータ。」
　
４．対比
　
　本願発明と引用発明とを対比する。
　
　引用発明の「電気絶縁性熱分解窒化硼素からなる支持基板」は，本願発明の「電気絶縁性セラミックス支持基板」に相当し，以下同様に，「ヒータパターン」は「導電性発熱体」に，「保護層」は「電気絶縁性セラミックス保護層」に，「複層セラミックスヒータ」は「複層セラミックスヒーター」に，それぞれ相当する。
　
　そうしてみると，両者は，次の点で一致している。
　
［一致点］
　
「電気絶縁性セラミックス支持基板の表面に導電性発熱体が接合され，該導電性発熱体を覆って電気絶縁性セラミックス保護層を形成した一体型の抵抗加熱方式の複層セラミックスヒーターにおいて，電気絶縁性セラミックス保護層の材質が，熱分解窒化硼素である複層セラミックスヒーター。」
　　
　そして，両者は次の点で相違している。
　
［相違点１］
　電気絶縁性セラミックス保護層の材質が，本願発明は「赤外線透過率が３０％以下の熱分解窒化硼素」であるのに対して，引用発明は，赤外線透過率が明らかでない点。
　
［相違点２］
　本願発明は「複層セラミックスヒーターにおける発熱部と非発熱部の表面上での輻射率の差が１０％以内」であるのに対して，引用発明は，この点が明らかでない点。
　
５．判断
　
　上記相違点１について検討する。
　
・相違点１について
　
ａ．熱分解窒化硼素が赤外線を透過しやすい材料であるため，熱分解窒化硼素を加熱装置として用いる場合，温度分布が不均一となるという課題を有することは，周知の技術事項である。
　
ｂ．引用発明における「複層セラミックスヒータ」も「熱分解窒化硼素」からなる「保護層」を形成しており，赤外線が透過することによる温度分布が不均一となるという課題を内在している。
　
ｃ．また，ヒータ表面の温度分布を均一にすることは，本願出願前周知の技術であって，当業者にとって当然考慮すべき技術課題にすぎない（例えば，特開昭６２−７１２１６号公報，特開平７−２４９５７６号公報参照。）。　
ｄ．そして，上記課題を解決するために，赤外線透過率を調整する機能を付加した熱分解窒化硼素を用いて，温度分布を均一にすることは，本願出願前周知の技術事項である（例えば，実公平７−２６１７号公報，特開平１０−７２２９８号公報，特開平１０−１９４８８６号公報参照。）。　
　
ｅ．さらに，上記「赤外線透過率を調整する機能を付加した熱分解窒化硼素」として，その材質を，赤外線透過率を低下させた熱分解窒化硼素とすることは，本願出願前周知の技術事項である（特開平１０−７２２９８号公報，特開平１０−１９４８８６号公報，特開平１０−５９７９４号公報参照。）。
　
ｆ．そして，熱分解窒化硼素の赤外線透過率を「３０％以下」とすることは，その数値限定に臨界的意義は認められず，当業者が適宜選択できる程度の設計的事項である。　　
　
　そうしてみると，電気絶縁性セラミックス保護層の材質として，引用発明の「保護層」の材質を「赤外線透過率が３０％以下の熱分解窒化硼素」とすることは，上記周知技術に倣って，当業者が容易に想到し得たことである。　
・相違点２について
　
ｇ．発熱部と非発熱部の表面上での輻射率の差を「１０％以内」とすることは，その数値限定に臨界的意義は認められず，さらに，ヒータ表面の温度分布を均一にすることは，上記ｃ．のとおり周知技術であって，当業者にとって当然考慮すべき技術課題である。
　加えて，発熱部と非発熱部の表面上での輻射率の差が大きければ，ヒータ表面の温度分布が不均一となることは，明らかであることから，発熱部と非発熱部の表面上での輻射率の差を１０％以内とすることは，当業者が適宜選択できる程度の設計的事項である。　
　
　そうしてみると，引用発明において「複層セラミックスヒーターにおける発熱部と非発熱部の表面上での輻射率の差が１０％以内」とすることは，上記周知技術に倣って，当業者が容易に想到し得たことである。
　
　そして，本願発明の効果も，引用発明及び周知技術から当業者が予測し得た程度のものであって，格別のものとはいえない。　
　
　したがって，本願発明は，引用発明及び周知技術に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものである。　
　
６．むすび
　
　以上のとおり，本願発明は，引用発明及び周知技術に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法２９条第２項の規定により，特許を受けることができない。　
　
　したがって，本願は，他の請求項に係る発明について検討するまでもなく拒絶すべきものである。
　
　よって，結論のとおり審決する。