(57)【要約】      （修正有）【課題】非検査物へのコンタクト針を簡便に交換すること可能としたプローブを提供する。【解決手段】一端に穴を開け、穴の中に組み込まれた板バネで保持することで、極細の金属丸棒を差し込み、電気的接触をとり、引き抜く事ができる極小型の電気コンタクトターミナルと、樹脂の丸棒の一端に電気コンタクトターミナルを保持する穴を有し、もう一端にコンタクト針に合わせた大きさの穴を有し、表面に凹を有する樹脂部品と、両端にオスネジを刻まれたメス−メスの高周波ケーブルコネクターを備える。穴内面にメスネジ及び凸を刻まれた金属ナットを用いて、上記３つの部品が一体として保持される。【選択図】図１
0003167056.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
サーキットボード等に用いられるコンタクトターミナル、およびテフロン加工部品、コネクター部品等を複合的に機能させ組み合わせることで、被検査物へのコンタクト針を交換可能としたプローブ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本考案は半導体デバイス評価等の際に被検査物と測定器への経路で電気的コンタクトを取るためのプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】小型デバイス、もしくはウェーファー上のデバイスの検杳、特性評価にあたってプローバーと通称される検査機器が汎用されている。これらの機器において、従来からある小型の、ケーブルと接続、分離可能なプローブでは、コンタクト針からケーブル接続のコネクターまで一体となっていた。したがって、コンタクト針にダメージがあった際にプローブ本体まで破棄されていた。
【考案の開示】
【解決する課題】
【０００３】コンタクト針以外の部分に特に不具合は無いが、一体として加工されているため、問題なく利用できる部分まで破棄することになり、不経済、否エコロジカルであった。
【解決の手段】
【０００４】本考案では既存のサーキットボードコンタクトターミナルを利用する事でコンタクト針を簡便にプローブ本体から着脱可能とし、またテフロン加工部品を複合的に利用する事で、接続部分に剛性を持たせてプローブ本体に接続できるようにした。
【考案の効果】
【０００５】したがって、不具合の出たコンタクト針は用意に、経済的に交換が可能となった。
また、デバイスのターミナルに応じてのコンタクト針の使い分けなどにも自由度を増やす事が出来、測定にあたっても一体型と同等のしっかりとした半導体デバイスのターミナルへの接触を実現した。
【考案の形態】
【０００６】添付図１にその構造を示す。サーキットボードコンタクトターミナル▲５▼はテフロン、アルミニウムで構成されるチューブ▲１▼の中に固定され、さらに、テフロンから作られたキャップ▲２▼の中に固定されている。そして、このテフロンのキャップは（公序良俗違反につき、不掲載）ナット▲６▼でＪａｃｋ−Ｊａｃｋのアダプター▲３▼に固定され、プローブ本体を構成する。コンタクト針▲４▼はテフロンキャップ▲２▼の細穴に固定されてコンタクトターミナル▲５▼と接続される。この構造によって電気コンタクトをとりかつ剛性を持たせてプローブ本体とコンタクト針が一体化され、かつ、簡便な交換を実現している。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本考案のコンタクト針交換型プローブの断面図である。
【符号の説明】
【０００８】▲１▼  テフロン絶縁アルミニウムチューブ▲２▼  テフロンキャップ▲３▼  （公序良俗違反につき、不掲載）  Ｊａｃｋ−Ｊａｃｋアダプター▲４▼  コンタクト針▲５▼  コンタクトターミナル▲６▼  （公序良俗違反につき、不掲載）ナット
0003167056.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成22年6月1日(2010.6.1)
【手続補正３】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
極小型の電気コンタクトターミナル、樹脂加工部品、高周波ケーブルコネクター部品を組み合わせることで、コンタクト針が電気的接触を取り、かつ剛性を持つてプローブ本体と一体化し、あわせて簡便に交換すること可能としたプローブ。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】本考案では既存のサーキットボード用コンタクトターミナルを利用する事でコンタクト針を簡便にプローブ本体から着脱可能とし、また合成樹脂加工部品を複合的に利用する事で、接続部分に剛性を持たせてプローブ本体に接続できるようにした。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】添付図１にその構造を示す。サーキットボードコンタクトターミナル▲５▼は合成樹脂、アルミニウムで構成されるチューブ▲１▼の中に固定され、さらに、合成樹脂がら作られたキャップ▲２▼の中に固定されている。
そして、この合成樹脂のキャップはキャップ固定用ナット▲６▼で高周波ケーブル接続ジャック−ジャックアダプター▲３▼に固定され、プローブ本体を構成する。
コンタクト針▲４▼は合成樹脂のキャップ▲２▼の細穴に固定されてコンタクトターミナル▲５▼と接続される。
この構造によって電気コンタクトをとりかつ剛性を持たせてプローブ本体とコンタクト針が一体化され、かつ、簡便な交換を実現している。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】▲１▼  合成樹脂、アルミニウムで構成されるチューブ
▲２▼  合成樹脂から作られたキャップ
▲３▼  高周波ケーブル接続ジャック−ジャックアダプター
▲４▼  コンタクト針
▲５▼  サーキットボードコンタクトターミナル
▲６▼  キャップ固定用ナット
【手続補正書】
【提出日】平成22年7月8日(2010.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
0003167056.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成22年10月12日(2010.10.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
一端を、極細の金属丸棒を差し込み、引き抜く事ができる形状に加工された極小型の電気コンタクトターミナルを、高周波ケーブルコネクターに接続し安定した電気的コンタクト取る事が可能なように保持するべく加工された樹脂部品とを、金属ナットを用いて、高周波ケーブルコネクターと一体に保持することでプローブ本体部品を形成する。これによって、非検査物へのコンタクト針が電気的接触を取り、かつ剛性を持ってプローブ本体と一体化し、あわせて簡便に交換すること可能としたプローブ。
【手続補正書】
【提出日】平成23年1月7日(2011.1.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
●一端に穴を開け、穴の中に組み込まれた板バネで保持することで、極細の金属丸棒を差し込み、電気的接触をとり、引き抜く事ができる形状に加工された極小型の電気コンタクトターミナル
●樹脂の丸棒の一端に上記部品を保持する穴を明け、もう一端にコンタクト針に合わせた大きさの穴を開ける事で、コンタクト針を剛性を持って保持しつつ上記電気コンタクトターミナルとの接続を可能にし、表面に後記金属ナットと一体化させるための凹を有する樹脂部品
●両端にオスネジを刻まれたメス−メスの高周波ケーブルコネクター
●穴内面に高周波コネクターに合わせたメスネジ及び他部品への接続のための凸を刻まれた金属ナットを用いて、上記の３つの部品が一体として保持される
以上の構成からなることを特徴とする、非検査物へのコンタクト針を簡便に交換すること可能としたプローブ。