【事件の表示】
　平成１０年特許願第２３７４６１号「薬液槽および処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　２月２９日出願公開、特開２０００−６１４１１号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本願は、平成１０年８月２４日の出願であって、平成１６年５月２１日付けでなされた拒絶査定に対し、同年６月２４日に審判請求がなされるとともに、同年７月２１日付けで明細書についての手続補正がなされたものである。
　
ＩＩ．平成１６年７月２１日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１６年７月２１日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１．本件補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項７を、特許請求の範囲の請求項２とし、次のように補正するものである。
「フッ素樹脂によりなり、本体液槽とその周囲の一辺もしくは複数辺にわたって設けられたオーバーフロー槽とが一体に成形された薬液槽であって、
　前記本体液槽の上方の開口部から底部に向かって、薬液が前記本体液槽と前記オーバーフロー槽の間を循環する循環パイプが配設され、
　前記オーバーフロー槽の底部に凹部が形成され、
　前記オーバーフロー槽の底部の凹部には前記循環パイプの開口部が配設されてなることを特徴とする薬液槽。」
　
２．補正の目的の適否
　本件補正は、本件補正前の、平成１６年２月２３日付けの手続補正書による、特許請求の範囲の請求項７に記載した、発明を特定するために必要な事項である「フッ素樹脂によりなり、本体液槽とその周囲の一辺もしくは複数辺にわたって設けられたオーバーフロー槽とを有する薬液槽」について、「フッ素樹脂によりなり、本体液槽とその周囲の一辺もしくは複数辺にわたって設けられたオーバーフロー槽と
が一体に成形された
前記本体液槽の上方の開口部から底部に向かって、
　
３．独立特許要件
　そこで、本件補正後の前記請求項２に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
３−１．引用例の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された、実願平１−５５４５２号（実開平２−１４６４２８号）のマイクロフィルム（以下、「引用例」という。）には、図面と共に次の事項が記載されている。
ａ．「半導体ウェハを洗浄する洗浄槽のまわりを包囲するように備えられて該洗浄槽でオーバフローした洗浄用の液体を受けるオーバフロー槽において、前記オーバフロー槽の相対する一対の側壁はその内に配置される前記洗浄槽の頂部より上方に延びて該延長部に配管や器具を取付け得るようになっていることを特徴とする半導体ウェハ洗浄装置のオーバフロー槽。」（実用新案登録請求の範囲）
ｂ．「（産業上の利用分野）
本考案は半導体ウェハの洗浄装置に関し、とくにそのオーバフロー槽の改良に関する。」（明細書１頁１４〜１６行）
ｃ．「（従来の技術）
　従来、半導体ウェハの洗浄装置は薬品の混入した液体で洗浄する薬品槽から純水による最終洗浄槽までの複数の槽は並置され、各洗浄槽ともその周囲をオーバフロー槽で包囲され、洗浄槽でオーバフローした液体はオーバフロー槽で受けられ且つフィルターおよびポンプを通り循環されるようになっている。第４図および第５図は従来の洗浄槽（１）およびそのまわりを包囲するオーバフロー槽（２）を示すものであり、多くの場合、それらの槽はフッ素樹脂または石英などにより一体に構成される。」（明細書１頁１７行〜２頁８行）
ｄ．「（実施例）
　第１図および第２図は本考案の一実施例を示すものであって、図示のように、このオーバフロー槽（１０）も洗浄槽（１）のまわりを包囲し且つ該洗浄槽からオーバフローする洗浄用の液体を受けるように構成されている。なお、オーバフロー槽（１０）に流れた液体は従来と同様にフィルターおよびポンプ（図示せず）を通って循環され、洗浄槽（１）の下部から再び該洗浄槽内に導入される。」（明細書４頁１１〜１９行）
ｅ．「このオーバフロー槽（１０）では第１図および第２図に示すように相対する一対の側壁がその内に在る洗浄槽（１）の頂部より上方に延びており、従ってそれらの側壁はそのまま真直ぐ上方に延びる一体の延長部（１１）（１２）を有する。…各延長部（１１），（１２）はオーバフロー槽（１０）の成形時にそれと共に同時に形成され、従ってそれらの延長部を設けるための特別な手間を要しない。」（明細書５頁２〜１１行）
　
　第１〜６図には、洗浄槽と一体に構成されたオーバフロー槽とで、薬品槽を構成していることが図示されている。第５図には、オーバフローした洗浄用の液体をオーバフロー槽で受け、オーバフロー槽の底部から循環パイプにより、ポンプおよびフィルターを通し洗浄槽に循環していることが図示されている。
　
　これら記載事項及び図示内容を総合すると、引用例には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が、記載されている。
　
「洗浄槽のまわりを包囲するように備えられて洗浄槽でオーバフローした洗浄用の液体を受けるオーバフロー槽と、洗浄槽とがフッ素樹脂により一体に構成された薬品槽において、
オーバフロー槽の底部から洗浄用の液体を循環パイプにより、ポンプおよびフィルターを通し循環している薬品槽。」
　
３−２．対比
　本願補正発明と引用発明を対比すると、後者の「洗浄槽」，「オーバフロー槽」，「薬品槽」，「洗浄用の液体」及び「フッ素樹脂」は、前者の「本体液槽」，「オーバーフロー槽」，「薬液槽」，「薬液」及び「フッ素樹脂」にそれぞれ相当する。
　後者の「洗浄槽のまわりを包囲するように備えられて洗浄槽でオーバフローした洗浄用の液体を受けるオーバフロー槽」は、前者の「本体液槽とその周囲の一辺もしくは複数辺にわたって設けられたオーバーフロー槽」に相当する。
　後者の「オーバフロー槽と、フッ素樹脂により洗浄槽とが一体に構成された薬品槽」は、前者の「フッ素樹脂によりなり、本体液槽と」「オーバーフロー槽とが一体に成形された薬液槽」に相当する。
　後者の「オーバフロー槽の底部から洗浄用の液体を循環パイプにより、ポンプおよびフィルターを通し循環している」と、前者の「前記本体液槽の上方の開口部から底部に向かって、薬液が前記本体液槽と前記オーバーフロー槽の間を循環する循環パイプが配設され、前記オーバーフロー槽の底部に凹部が形成され、
　前記オーバーフロー槽の底部の凹部には前記循環パイプの開口部が配設されてなる」とは、「薬液が前記本体液槽と前記オーバーフロー槽の間を循環する循環パイプが配設され、薬液をオーバフロー槽の底部から循環パイプにより、本体液槽へ循環している」点で共通する。
　
　そこで、本願補正発明の用語を用いて表現すると、両者は次の点で一致する。
「フッ素樹脂によりなり、本体液槽とその周囲の一辺もしくは複数辺にわたって設けられたオーバーフロー槽とが一体に成形された薬液槽であって、
薬液が前記本体液槽と前記オーバーフロー槽の間を循環する循環パイプが配設され、
薬液をオーバフロー槽の底部から循環パイプにより、本体液槽へ循環している薬液槽。」
　
　そして、両者は次の点で相違する。
（相違点１）
　本願補正発明では、循環パイプが前記本体液槽の上方の開口部から底部に向かって配設されているのに対し、引用発明では、そうした事項を備えていない点。
　
（相違点２）
　本願補正発明では、オーバーフロー槽の底部に凹部が形成され、前記オーバーフロー槽の底部の凹部に前記循環パイプの開口部が配設されているのに対し、引用発明では、オーバフロー槽の底部から循環パイプが導かれている点。
　
３−３．相違点の判断
　上記相違点について検討する。
（相違点１について）
　半導体基板の洗浄装置において、オーバーフロー槽と本体液層との間で洗浄液を循環させるのに、循環パイプを本体液槽の上方の開口部から底部に向かって配設させることは、従来周知の技術（例えば、特開平５−２４３２０４号公報参照）であるので、
　引用発明の循環パイプを本体液槽の上方の開口部から底部に向かって配設させるようにすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　
（相違点２について）
　液体槽において、槽の底部を凹ませる、あるいは低くして、液体の少ないときにも効率よくパイプにより回収できるようにすることなどは従来周知の技術（例えば、特開昭５７−１６３６６９号公報、特開平１０−２０３５８８号公報参照）であるので、
　引用発明のオーバーフロー槽の底部に凹部、あるいは低部を形成して、その凹部あるいは低部にパイプの開口部を設けるようにして、本願補正発明の相違点２に係る発明特定事項とすることは当業者が容易に想到し得たことである。
　
　そして、本願補正発明の上記相違点１、２に係る発明特定事項とすることによる効果も格別なものではない。
　
　以上のことから、本願補正発明は、引用発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
３−４．むすび
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、特許法１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
III．本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項７に係る発明（以下、「本願発明」という）は、平成１６年２月２３日付けの手続補正書により補正された、特許請求の範囲の請求項７に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
　
「フッ素樹脂によりなり、本体液槽とその周囲の一辺もしくは複数辺にわたって設けられたオーバーフロー槽とを有する薬液槽であって、
　前記オーバーフロー槽の底部に凹部が形成され、
　前記オーバーフロー槽の底部の凹部には薬液が前記本体液槽と該オーバーフロー槽の間を循環する循環パイプの開口部が配設されてなることを特徴とする薬液槽。」
　
ＩＶ．引用例の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例、及び、その記載事項は、前記
ＩＩ．３−１．に記載したとおりである。
　
Ｖ．対比・判断
　本願発明は、前記ＩＩ．で検討した本願補正発明から、発明特定事項である「フッ素樹脂によりなり、本体液槽とその周囲の一辺もしくは複数辺にわたって設けられたオーバーフロー槽とを有する薬液槽」について、「フッ素樹脂によりなり、本体液槽とその周囲の一辺もしくは複数辺にわたって設けられたオーバーフロー槽と
が一体に成形された
前記本体液槽の上方の開口部から底部に向かって、
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、さらに、他の発明特定事項を付加したものに相当する本願補正発明が、前記ＩＩ．３−３に記載したとおり、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様に、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
ＶＩ．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。