【事件の表示】
　平成　７年特許願第２８３９１９号「ＸＹテーブル装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　５月１３日出願公開、特開平　９−１２３０３４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成７年１０月３１日の出願であって、同１６年８月２日付けで拒絶の理由が通知され、同１６年１０月８日に意見書とともに手続補正書が提出されたが、同１７年３月１８日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同１７年４月２８日に拒絶査定に対する審判の請求がなされるとともに、同１７年５月３０日に明細書を補正対象書類とする手続補正（以下、「本件補正」という。）がされたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［理由］
１．補正の内容の概要
　本件補正は特許請求の範囲を含む明細書について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
１−１　補正前の請求項１
「　　【請求項１】　ベースと、該ベース上に互いに平行に配置された複数のリニアガイド装置からなる第１のテーブル支持機構と、該第１のテーブル支持機構によりＸ方向に移動可能に支持されたＸ軸テーブルと、該Ｘ軸テーブルをＸ方向に駆動する第１の走行駆動装置と、前記第１のテーブル支持機構のリニアガイド装置に対して水平面内で直角に且つ互いに平行に配置された複数のリニアガイド装置からなる第２のテーブル支持機構と、該第２のテーブル支持機構によりＹ方向に移動可能に支持され、前記Ｘ軸テーブルと垂直方向に積み重ねることなく水平方向にずらして配置されたＹ軸テーブルと、該Ｙ軸テーブルをＹ方向に駆動する第２の走行駆動装置と、前記Ｘ軸テーブル上に前記第１のテーブル支持機構のリニアガイド装置と直交するように配置された複数のリニアガイド装置からなる第３のテーブル支持機構と、該第３のテーブル支持機構を介して前記Ｘ軸テーブル上に配置され、前記Ｘ軸テーブル及び前記Ｙ軸テーブルに連繋してＸＹ方向に移動することにより所定位置に位置決めされる出力テーブルとを備えたＸＹテーブル装置において、
　前記第１及び第２の走行駆動装置をリニアモータから構成するとともに、前記出力テーブルと前記Ｙ軸テーブルとを直動案内装置を介して連繋し、当該直動案内装置の案内レールはＹ軸テーブル側に、スライダは出力テーブル側に固定したことを特徴とするＸＹテーブル装置。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
１−２　補正後の請求項１
「　【請求項１】　ベースと、該ベース上に互いに平行に配置された複数のリニアガイド装置からなる第１のテーブル支持機構と、該第１のテーブル支持機構
のリニアガイド装置上に設けられた
前記Ｘ軸テーブルと重なり合うことなく前記第２のテーブル支持機構のリニアガイド装置上に設けられた
Ｘ軸カップリング
Ｘ軸カップリングのリニアガイド装置上に設けられた矩形状の
、前記Ｙ軸テーブルと前記出力テーブルと
　前記第１及び第２の走行駆動装置をリニアモータから構成するとともに、前記
Ｙ軸カップリングを直動案内装置から構成し、該直動案内装置の案内レールを前記Ｙ軸テーブルの一端面部に固定するとともに、前記直動案内装置のスライダを前記出力テーブルの一端面中央部に固定した
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２．補正の適否
　上記補正は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項であるＸ軸テーブル及びＹ軸テーブルについて、それぞれ、「リニアガイド装置上に設けられた」と限定し、第３のテーブル支持機構について「Ｘ軸カップリング」と限定し、出力テーブルについて「Ｘ軸カップリングのリニアガイド装置上に設けられた矩形状の」と限定し、そして、出力テーブルとＹ軸テーブルとを連繋する直動案内装置について「Ｙ軸カップリングを直動案内装置から構成し、該直動案内装置の案内レールを前記Ｙ軸テーブルの一端面部に固定するとともに、前記直動案内装置のスライダを前記出力テーブルの一端面中央部に固定した」と限定するものであって、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−１　本願補正発明
　本願補正発明は、本件補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、前記１−２に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「ＸＹテーブル装置」であると認められる。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−２　引用刊行物記載の発明（事項）
　これに対し、原査定の拒絶の理由に引用され、本件出願前に日本国内で頒布された刊行物である特開昭５７−６１４３６号公報（以下、「刊行物１」という。）及び特開昭６２−９９０３８号公報（以下、「刊行物２」という。）には、以下の事項が記載されている。　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（１）刊行物１
ア．第１頁左下欄第４〜１３行
「  第１の駆動体で一方向の直進駆動を与えられ平面移動する下部テーブルとこの下部テーブルに載置され第２の駆動体で上記下部テーブルの移動と交差する移動を与えられて二次元方向の平面運動する上部テーブルとからなるXYテーブルにおいて、上記第２の駆動体は上記上部テーブルおよび下部テーブル外に設置されかつ上記上部テーブルとの係合部を上記下部テーブルの移動方向に対して平行移動自在の摺動案内部としたことを特徴とするXYテーブル。」
イ．第１頁左下欄第１５行
「 この発明はXYテーブルに関する。」
ウ．第２頁左上欄第４行〜同頁右上欄第１１行
「 図において、基台(1)を有し、この基台(1)の基準面である上面(2)には固定台(3)が設置されている。この固定台(3)上の両端部には下部テーブル(4)の移動のために、上面(2)に平行でかつ図中(Y)方向に延在する一対のＹ軸案内部(5)がそれぞれ設けられている。このＹ軸案内部(5)は固定台(3)に固着される固定案内体(6)とこれにコロ（図示せず）を介して摺動する移動案内体(7)とからなつていて、上記下部テーブル(4)は移動案内体(7)に固着している。下部テーブル(4)の一方の側面には係合板(8)が取り付けられ、基台(1)の上面(2)に設置されたＹ軸用駆動装置である第１のリニアモータ(9)のムービングコア(10)が上記係合板(8)の中央に接続されている。
　一方、下部テーブル(4)上には、上記Ｙ軸案内部(5)と同様の構成になり、かつ直交する方向を示す図中(X)方向に延在する一対のＸ軸案内部(11)が設けられ、上部テーブル(12)が下部テーブル(4)に載置された状態で、これらＸ軸案内部(11)に沿つて往復動自在にされている。上部テーブル(12)のＸ方向側になる一端部は張出し部(13)にされていて、この下面に(Y)方向に延在する移動体(14)が固定案内体(6)と平行に設けられている。上記張出し部(13)側において、第１のリニアモータ(9)と同じく第２のリニアモータ(15)が上面に設置され、そのムービングコア(16)の先端部には支持台(17)が取り付けられている。この支持台(17)上に案内体(14)にコロ（図示せず）を介して摺接自在に係合している摺接体(18)が固着されている。」
エ．第２頁右上欄第１２行〜同頁左下欄第６行
「 上記の構成により、たとえば(Y)方向への移動は次のように行われる。すなわち、第１のリニアモータ(9)の作動でムービングコア(10)が移動すると、下部テーブル(4)がムービングコア(10)の移動に同期して(Y)方向に移動するとともに、下部テーブル(4)に載置されている上部テーブル(12)も、上記移動に同期して移動する。この上部テーブル(12)の(Y)方向への移動においては、張出し部(13)の下面に設けられた移動体(14)が摺接体(18)に沿つて移動するので、第２のリニアモータ(15)に全く影響を与えることはない。また、(X)方向への移動は、第２のリニアモータ(15)の作動によるムービングコア(16)の動きが移動体(14)、摺接体(18)を介し、下部テーブル(4)の移動に関係なく上部テーブル(12)のみに与えられて行われる。」
オ．第１，２図
　上部テーブル(12)が矩形状であること、
　また、摺動案内部の移動体（14）を前記上部テーブル（12）の張出し部（13）の下面に固定するとともに、前記摺動案内部の摺接体（18），（18）を第２のリニアモータ(15)のムービングコア(16)の一端面中央部に設けられた支持台（17）端部上面の案内方向に関して全幅部に固定していることが看取される。
カ．第３図
　Ｘ軸案内部(11)，(11)が、Ｙ軸案内部(5)，(5)と同様に固定案内体(6),(6)及びこれにコロを介して摺動する移動案内体(7),(7)からなっていることが看取される。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　そうすると、上記摘記事項ア〜カ及び第１〜３図の記載からみて、本願補正発明に照らして整理すると、刊行物１には次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「固定台(3)と、
　該固定台(3)上に互いに平行に配置された複数の固定案内体(6),(6)とこれにコロを介して摺動する移動案内体(7),(7)）からなるＹ軸案内部(5),(5)と、該Ｙ軸案内部(5),(5)の固定案内体(6),(6)とこれにコロを介して摺動する移動案内体(7),(7)上に設けられた下部テーブル(4)と、該下部テーブル(4)をＹ方向に駆動する第１のリニアモータ(9)と、前記Ｙ軸案内部(5),(5)の固定案内体(6),(6)とこれにコロを介して摺動する移動案内体(7),(7)に対して水平面内で直角に配置された第２のリニアモータ(15)のムービングコア(16)と、前記下部テーブル(4)と重なり合うことなく第２のリニアモータ(15)のムービングコア(16)に設けられた支持台（17）と、該第２のリニアモータ(15)のムービングコア(16)に設けられた支持台（17）をＸ方向に駆動する第２のリニアモータ(15)と、前記下部テーブル(4)上に前記Ｙ軸案内部(5),(5)の固定案内体(6),(6)及びこれにコロを介して摺動する移動案内体(7),(7)と直交するように配置された複数の固定案内体(6),(6)及びこれにコロを介して摺動する移動案内体(7),(7)からなるＸ軸案内部（11），（11）と、該Ｘ軸案内部（11），（11）の固定案内体(6),(6)とこれにコロを介して摺動する移動案内体(7),(7)上に設けられた矩形状の上部テーブル（12）と、前記第２のリニアモータ(15)のムービングコア(16)に設けられた支持台（17）と前記上部テーブル（12）とを連結する係合部とを備えたＸＹテーブルにおいて、
　前記第１のリニアモータ(9)，第２のリニアモータ（15）をリニアモータから構成するとともに、前記係合部を摺動案内部から構成し、該摺動案内部の移動体（14）を前記上部テーブル（12）の張出し部（13）の下面に固定するとともに、前記摺動案内部の摺接体（18），（18）を前記第２のリニアモータ(15)のムービングコア(16)の一端面中央部に設けられた支持台（17）の端部上面の案内方向に関して全幅部に固定したＸＹテーブル。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（２）刊行物２
ア．第１頁左下欄第１５行〜右下欄第７行
「〔発明の利用分野〕
　本発明は半導体製造装置に用いる位置決めステージに係り、特にステップアンドリピート焼付装置に好適な位置決めステージに関する。
〔発明の背景〕
　焼付装置において半導体ウエハの位置を所定の位置に位置決めする位置決めステージは・・・面内で直交する２方向の100mmないし300mm程度の平行移動（これをＸ方向及びＹ方向とする）・・・を行なう。」
イ．第２頁左下欄第９〜１３行
「ステージ１０は・・・ベース３に固定したＸ方向駆動装置２及びベース３に固定したＹ方向駆動装置５と接続している。これによりステージ１０に乗せたウエハを任意の位置に位置決めすることができる。」
ウ．第２頁右下欄第３〜１４行
「第３図にステージ10とＸ方向駆動装置２及びＹ方向駆動装置との接続例を第１図に矢印22の方向より見た図により示す。モータ23に接続したボールネジ24により直線ガイド25に接続したナツト26を駆動し、これに接続したガイドバー27を平行に移動させる。なおガイドバーの長手方向は、その移動方向に対して直角になっている。ステージ10に固定した２個のローラ28によりガイドバーをはさんでガイドバー27の移動をステージ10に伝える。
　同様の構成が、上記と直角方向にも配置されている。」
エ．第３図
　ガイドバー27をナット26の一端面部に固定するとともに、ガイドバー27をはさんでガイドバー27の移動をステージ10に伝える２個のローラ28,28をステージ10の一端面中央部に形成された突出部に固定したことが看取される。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　したがって、上記摘記事項ア〜エ及び第３図の記載からみて刊行物２には次の事項（以下、「刊行物２記載の事項」という。）が記載されていると認められる。
「直線ガイド25に設けられたナット26と、該ナット26をＹ方向に駆動するモータ25と、前記ナット26とステージ10とを連結するガイドバー27及びローラ28,28と、Ｘ方向駆動装置２とを備えた位置決めステージにおいて、
　前記ガイドバー27を前記ナット26の一端面部に固定するとともに、前記ローラ28,28を前記ステージ10の一端面中央部に形成された突出部に固定した位置決めステージ。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−３　対比
　本願補正発明と引用発明とを対比すると、引用発明の「固定台(3)」は本願補正発明の「ベース」に、以下同様に、「固定案内体(6),(6)とこれにコロを介して摺動する移動案内体(7),(7)」は「複数のリニアガイド装置」に、「Ｙ軸案内部(5),(5)」は「第１のテーブル支持機構」に、「下部テーブル(4)」は「Ｘ軸テーブル」に、「Ｙ方向」は「Ｘ方向」に、「Ｘ方向」は「Ｙ方向」に、「第１のリニアモータ」は「第１の走行駆動装置」に、「上部テーブル（12）」は「出力テーブル」に、「Ｘ軸案内部（11），（11）」は「Ｘ軸カップリング」に、「第２のリニアモータ」は「第２の走行駆動装置」に、「第１のリニアモータ(9)，第２のリニアモータ（15）」は「第１及び第２の走行駆動装置を構成するリニアモータ」に、「摺動案内部」は「直動案内装置」に、「移動体（14）」は「案内レール」に、「摺接体（18），（18）」は「スライダ」に、それぞれ、相当することは明らかである。
　また、引用発明の「支持台（17）」は、摺動案内部（本願補正発明の「直動案内装置」に相当する）が設けられ、第２のリニアモータ（同「第２の走行駆動装置」）により下部テーブル(4)（同「Ｘ軸テーブル」）に対して水平面内で直交する方向に駆動されるから、本願補正発明の「Ｙ軸テーブル」に相当することも明らかである。
　そして、引用発明の「第２のリニアモータのムービングコア(16)」は、「支持台（17）（同「Ｙ軸テーブル」）」が設けられ、該「支持台（17）」（同「Ｙ軸テーブル」）を支持していることから、「支持手段」である限りにおいて、本願補正発明の「第２のテーブル支持機構」と共通しており、また、引用発明の「係合部」は、「支持台（17）」（同「Ｙ軸テーブル」）と「上部テーブル(12)」（同「出力テーブル」）とを連結する「摺動案内部」（同「直動案内装置」）から構成された「連結手段」である限りにおいて、本願補正発明の「Ｙ軸カップリング」と共通している。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
［一致点］
「ベースと、該ベース上に互いに平行に配置された複数のリニアガイド装置からなる第１のテーブル支持機構と、該第１のテーブル支持機構のリニアガイド装置上に設けられたＸ軸テーブルと、該Ｘ軸テーブルをＸ方向に駆動する第１の走行駆動装置と、前記第１のテーブル支持機構のリニアガイド装置に対して水平面内で直角に配置された支持手段と、前記Ｘ軸テーブルと重なり合うことなく前記支持手段に設けられたＹ軸テーブルと、該Ｙ軸テーブルをＹ方向に駆動する第２の走行駆動装置と、前記Ｘ軸テーブル上に前記第１のテーブル支持機構のリニアガイド装置と直交するように配置された複数のリニアガイド装置からなるＸ軸カップリングと、該Ｘ軸カップリングのリニアガイド装置上に設けられた矩形状の出力テーブルと、前記Ｙ軸テーブルと前記出力テーブルとを連結する連結手段とを備えたＸＹテーブル装置において、
　前記第１及び第２の走行駆動装置をリニアモータから構成するとともに、前記連結手段を直動案内装置から構成したＸＹテーブル装置。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点１］
　本願補正発明では、連結手段を構成する直動案内装置の案内レールをＹ軸テーブルの一端面部に固定するとともに、前記直動案内装置のスライダを出力テーブルの一端面中央部に固定しているのに対して、
　引用発明では、連結手段を構成する直動案内装置の移動体（本願補正発明の「案内レール」に相当する）を上部テーブルの張出し部（同「出力テーブルの一端面部」）の下面に固定するとともに、前記直動案内装置の摺接体（同「スライダ」）をリニアモータのムービングコアの一端面中央部に設けられた支持台（同「Ｙ軸テーブル」）の端部上面の案内方向に関して全幅部に固定している点。
［相違点２］
　本願補正発明では、支持手段が互いに平行に配置された複数のリニアガイド装置からなり、Ｙ軸テーブルが前記複数のリニアガイド装置上に設けられているのに対して、
　引用発明では、支持手段がリニアモータのムービングコアからなり、支持台（同「Ｙ軸テーブル」）がムービングコアに設けられている点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−４　相違点についての判断
［相違点１について］
　刊行物２記載の事項の「直線ガイド25に設けられたナット26」、「ステージ10」及び「位置決めステージ」は、それぞれ、本願補正発明の「リニアガイド装置に設けられたＹ軸テーブル」、「出力テーブル」及び「ＸＹテーブル装置」に相当することは明らかである。
　また、刊行物２記載の事項の「ローラ28,28が固定されたステージ10の一端面中央部に形成された突出部」は「ガイドバー27」に案内され、前記「ガイドバー27」及び「ローラ28,28が固定されたステージ10の突出部」は、「直線ガイド25に設けられたナット26」と「ステージ10」とを連結することから、それぞれ、本願補正発明の「Ｙ軸カップリングを構成する直動案内装置の案内レール」及び「Ｙ軸カップリングを構成する直動案内装置のスライダ」に相当することも明らかである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　そうすると刊行物２記載の事項は、
「リニアガイド装置に設けられたＹ軸テーブルと、該Ｙ軸テーブルをＹ方向に駆動するモータと、前記Ｙ軸テーブルと出力テーブルとを連結するＹ軸カップリングと、Ｘ方向駆動装置とを備えたＸＹテーブル装置において、
　前記Ｙ軸カップリングを直動案内装置から構成し、該直動案内装置の案内レールを前記Ｙ軸テーブルの一端面部に固定するとともに、前記直動案内装置のスライダを前記出力テーブルの一端面中央部に固定したＸＹテーブル装置。」といい換えることができる。
　そして、引用発明と刊行物２記載の事項とは、ＸＹテーブルの駆動に関する点で技術分野が共通している。しかも、引用発明に刊行物２記載の事項の適用を阻害する特段の事由も認められない。
　したがって、引用発明のＹ軸テーブルと出力テーブルとの連結手段に刊行物２記載の事項である直動案内装置で構成したＹ軸カップリングを適用することに困難性はなく、引用発明の直動案内装置のスライダがリニヤモータのムービングコアの中央部に固定されていることを勘案すると、Ｙ軸テーブルと出力テーブルに対する案内レールとスライダの固定関係を逆にすることにより相違点１に係る特定事項とすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点２について］
　リニアモータにより駆動される部材を互いに平行に配置された複数のリニヤガイド装置上に設けることは本件出願前に、例えば、引用発明においても、第１のリニヤモータ(9)で駆動される下部テーブル(4)がＹ軸案内部(5)上に設けられているように、周知の事項である。
　したがって、前記周知の事項を引用発明の支持手段に適用することにより相違点２に関する本願補正発明の特定事項とすることは当業者が適宜なし得た設計的事項にすぎないことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　そして、本願補正発明によってもたらされる効果も、引用発明、刊行物２記載の事項及び周知の事項から当業者であれば十分予測できるものであって格別なものとはいえない。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　したがって、本願補正発明は、引用発明、刊行物２記載の事項及び周知の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３．むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
第３　本願発明について
１．本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１６年１０月８日付けの手続補正書により補正がされた明細書の特許請求の範囲の請求項１記載された事項により特定される前記第２の１−１に示したとおりのものと認められる。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２．引用刊行物
　これに対し、原査定の拒絶の理由に引用され、また、本件出願前に日本国内で頒布された刊行物及びその記載内容は、前記第２の２−２に示したとおりである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３．対比・判断
　本願発明は、前記第２の２．で検討したように、本願補正発明の特定事項から前記限定事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の特定事項を全て含み、さらに他の特定事項を付加したものに相当する本願補正発明が、前記第２の２−４に記載したとおり、引用発明及び刊行物２記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明及び刊行物２記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく本件出願は拒絶するべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。