【事件の表示】
　特願２０００−１６１５６２「電子部品の評価方法および評価装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年１２月１４日出願公開、特開２００１−３４３３３２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
　
１．手続の経緯　
　
　本願は、平成　１２年　５月３１日の出願であって、平成１７年　２月　９日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成１７年　３月１６日に拒絶査定不服の審判請求が行われるとともに、同年４月１４日付けで手続補正が行われたものである。　
　
　
　
２．平成１７年　４月１４日付け手続補正についての補正却下の決定　
　
［補正却下の決定の結論］　
　
　平成１７年　４月１４日付け手続補正を却下する。　
　
［理由］　
　
（１）平成１７年　４月１４日付け手続補正（本件補正）　
　
　本件補正は、補正の内容として、特許請求の範囲の請求項１について、補正前（平成１７年　１月２１日付け手続補正書）の　
　
「【請求項１】　基板に光を照射して、その基板からの反射光をライン状の光として取り込んで分光分析して、前記基板の検査を行い評価するとき、
前記基板からの反射光をスリットを介してライン状に取り込み、そのライン状反射光の各部分について分光分析し、検査し、
前記分光分析において、取り込んだ反射光をプリズムと回折格子との組品を用いて行なう、電子部品の評価方法。」を、　
　
「【請求項１】　
液晶表示装置の
液晶表示装置の
　前記基板からの反射光をスリットを介してライン状に取り込み、そのライン状反射光の各部分について分光分析し、検査し、
　前記分光分析において、取り込んだ反射光をプリズムと回折格子との組品を用いて行な
い、　前記基板に光を照射する際に、前記基板の幅方向に延びる出射面を有するライトガイドを用い、　前記ライトガイドの端に、重水素ランプおよび赤外領域カットフィルタを含むハロゲンランプを配置して、前記基板の評価対象に応じて前記ハロゲンランプまたは重水素ランプを用いる
　
　この補正は、補正前の請求項１に記載した発明を特定するための事項である「基板」について「液晶表示装置の基板」との限定を付加し、「基板に光を照射して」について「前記基板に光を照射する際に、前記基板の幅方向に延びる出射面を有するライトガイドを用い、前記ライトガイドの端に、重水素ランプおよび赤外領域カットフィルタを含むハロゲンランプを配置して、前記基板の評価対象に応じて前記ハロゲンランプまたは重水素ランプを用いる」との限定を付加するものであって、特許法第１７条の２第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。　
　
　そこで、本願補正発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について検討する。　
　
（２）引用例　
　
　原査定の拒絶の理由に引用した、本願出願日前に頒布された刊行物である特開平６−３４５２５号公報（以下、「引用刊行物１０」という。）には、「高速分光測光装置」に関する発明が記載されており、図面とともに次の記載がある。（下線は、当審にて付加。）　
　
ア．「【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、例えば液晶ディスプレィ用カラーフィルターや液晶素子の分光透過率測定、半導体の残留レジストや塵埃の蛍光分析解析、膜厚測定などのための分光測定を高速に実行するための高速分光測光装置に関する。
　
イ．「【０００２】
【従来の技術】
液晶基板等の製造工程では、液晶ディスプレィ用カラーフィルターや液晶素子の分光透過率測定がなされている。また、ＩＣウェハなどの半導体デバイスの製造工程では、手垢、化粧品、繊維などの塵埃や残留レジストの検査のための蛍光分析解析、或いは分光測光による酸化シリコン等の膜厚測定がなされている。
このような測定検査に使用される一般的な分光測光装置では、光導入部として
光ファイバーが用いられ、
【０００４】図５に一般的な分光測光装置の光学系を示す。超高圧水銀灯などの照明ランプ３２より出射された光は、絞り３６を含む照明レンズ系３４により適宜な径にされ、ハーフミラー３８で反射し、対物レンズ４０により標本４２の面上の測光ポイント、即ち点状の領域を落射照明する。
【０００５】測光ポイントからの反射光は、測光ポイントの様々な情報を含んだ干渉反射光であり、この反射光は、対物レンズ４０、ハーフミラー３８、レンズ４２、測光鏡筒部４４及び測光絞り４６を順次に透過して、二次光カットフィルタ４８により二次元光が除去され、レンズ５０を透過して凹面回折格子５２に導かれる。回折格子５２で分光された光は、ミラー５４で反射してラインセンサー５６に検出される。ラインセンサー５６は、検出光の分光強度に応じた信号を演算処理装置（図示せず）へ出力する。
演算処理装置が、ラインセンサー５６の出力信号に基づいて、各分光波長の分光強度を解析する結果、測光ポイントについての膜厚、塵埃情報等が測定される。
　
ウ．「【０００９】従って、この発明の目的は、一次元的に長さを持った一次元領域に亘る分光測光を一度に実行でき、更に、二次元領域に亘る高速な分光測光にも適用可能な高速分光測光装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、
この発明の高速分光測光装置は、標本の一面の一次元領域に向けて光を出射する光源と、一次元領域からの光から一次元像を分離する分離手段と、分離された一次元像を分光する分光手段と、分光された一次元像の分光強度を検出する検出手段と、検出された分光強度に基づいて、一次元像上の分光分布を解析する解析手段と、を備える。
　
エ．「【００１３】
【実施例】図１は、この発明に係る高速分光測光装置を示す。
棒状の光源、例えば水銀ランプ２は、標本４を落射照明するために、標本４の上方において、標本４からの反射光を検出するための光路を遮蔽しない位置に配置されている。この光源２からの光は、標本４の一面上の線状の測定領域６を均一に照明する。
　
オ．「【００１４】
測定領域６からの反射光は、レンズ８によりスリット１０上に集光され、
フィルター１２の上方に配置された凹面回折格子１４には、測定領域６の一次元像が導かれる。回折格子１４で分光された光は、ミラー１６で反射して、分光データとしてフォトセンサー、好ましくは二次元フォトセンサー１８上に分光結像される。この分光データは図２に示すような強度分布として表される。
　
カ．「【００１５】二次元フォトセンサー１８は、この分光データをＣＰＵを含む演算処理装置２０へ与える。
演算処理装置２０が、分光データから各分光波長の分光強度を解析することにより、一次元像上の分光分布が一度に測定される。演算処理装置２０は、この分光分布に基づいて、例えば液晶ディスプレィ用カラーフィルターや液晶素子の分光特性、透過率などを測定することができる。
上記の分光分布に基づいて、演算処理装置２０に薄厚の膜厚ｄを算出させることも可能である。
　
キ．「【００２０】或いは、
光源２として紫外線ランプを用い、標本上の蛍光測光を行うことにより、標本面上に存在する有機物質等の有無の検出及びその物質の同定が行える。
　
ク．「【００２３】
標本６の面が、蒸着や塗布等による薄膜を有する場合、上述のような二次元測定に対応した高速分光測光装置を膜厚測定に応用することにより、標本面全面の面膜厚測定、または面膜厚のむらの測定を高速に実行可能である。また同様に、標本面全面に亘る塵埃測定も高速に実行可能である。
　
ケ．「【００２７】
【発明の効果】
請求第１項に記載の高速分光測光装置によれば、一次元的な長さを持った一次元領域についての分光測光を実行可能なため、膜厚、塵埃、透過率、分光特性の一次元的な分布を瞬時に測定できる。
　
　そして、これらの記載から、引用刊行物１０には「液晶基板の製造工程における液晶ディスプレィ用カラーフィルター及び液晶素子の分光透過率測定並びに半導体デバイスの製造工程における塵埃や残留レジストの検査のための蛍光分析解析及び分光測光による酸化シリコン等の膜厚測定のための分光測光装置を用いた測定検査方法であって、
　標本に光を照射して、その標本からの反射光を一次元像の光として取り込んで分光測定し、前記標本の膜厚、塵埃、透過率、分光特性の測定検査を行うとき、
　前記標本からの反射光をスリットを介して一次元像の光として取り込み、その一次元像の反射光の各部分について分光測定し、測定検査し、
　前記分光測定において、取り込んだ反射光の分光を回折格子を用いて行ない、
　前記標本に光を照射する際に、前記標本の一面上の線状の測定領域に沿って延びる棒状の水銀ランプを用い、
　標本上の蛍光測光を行い、標本面上に存在する有機物質等の有無の検出及びその物質の同定を行うとき、光源として紫外線ランプを用いる、測定検査方法。」（引用刊行物１０記載の発明）が記載されているものと認められる。
　
（３）対比・判断　
　
　本願補正発明と上記引用刊行物１０記載の発明とを対比する。　
　
　引用刊行物１０記載の発明の「一次元像の光」、「分光測定」及び「測定検査」が、それぞれ本願補正発明の「ライン状の光」、「分光分析」及び「検査」に相当することは明らかである。
　
　また、引用刊行物１０記載の発明の「標本」は、液晶基板の製造工程において液晶ディスプレィ用カラーフィルターや液晶素子が形成された液晶基板を含むものであるから、本願補正発明の「液晶表示装置の基板」に相当するものである。
　
　また、引用刊行物１０記載の発明の「測定検査方法」は、液晶基板の製造工程における液晶ディスプレィ用カラーフィルター及び液晶素子の分光透過率測定並びに半導体デバイスの製造工程における塵埃や残留レジストの検査のための蛍光分析解析及び分光測光による酸化シリコン等の膜厚測定のための分光測光装置を用いた測定検査方法であるから、本願補正発明の「電子部品の評価方法」に相当する。　
　
　また、引用刊行物１０記載の発明の「回折格子」と本願補正発明の「プリズムと回折格子との組品」とは、分光分析を行う分光器であるという意味で共通する。
　
　また、引用刊行物１０記載の発明の「水銀ランプ」及び「紫外線ランプ」と、本願補正発明の「重水素ランプ」及び「赤外領域カットフィルタを含むハロゲンランプ」とは、評価対象に応じて用いられる別種の複数の光源であるという意味で共通する。
　
　したがって、両者は「液晶表示装置の基板に光を照射して、その基板からの反射光をライン状の光として取り込んで分光分析して、前記液晶表示装置の基板の検査を行い評価するとき、
　前記基板からの反射光をスリットを介してライン状に取り込み、そのライン状反射光の各部分について分光分析し、検査し、
　前記分光分析において、取り込んだ反射光を分光器を用いて行ない、
　前記基板に光を照射する際に、前記基板の幅方向に光を照射し、
　前記基板の評価対象に応じて別種の複数の光源を用いる、電子部品の評価方法。」である点で一致し、次の点で相違すると認められる。
　
（相違点１）　
　分光分析に用いられる分光器が、本願補正発明においては、プリズムと回折格子との組品であるのに対して、引用刊行物１０記載の発明においては、回折格子である点。
　
（相違点２）　
　検査の評価対象に応じて別種の複数の光源を用いて基板の幅方向に光を照射するために、本願補正発明においては、基板の幅方向に延びる出射面を有するライトガイドを用い、前記ライトガイドの端に、重水素ランプおよび赤外領域カットフィルタを含むハロゲンランプを配置して、前記基板の評価対象に応じて前記ハロゲンランプまたは重水素ランプを用いるのに対して、引用刊行物１０記載の発明においては、棒状の水素ランプと紫外線ランプとを用いている点。
　
　
　上記相違点について検討する。　
　
　相違点１について
　
　分光分析において、分光器としてプリズムと回折格子との組品を用いることは、周知の技術であり（長田典子、久保田洋孝、真鍋佳嗣、築山誠、井口征士「イメージ分光器を用いたスペクトル画像とその応用」電気学会研究会資料：Vol.IIS-98-54、1998年11月26日、７〜１２ページ、2.1イメージ分光器の概要、図１．イメージ分光器の構成、守屋進「イメージング分光器『ImSpector』基本特性とその応用」光アライアンス、1999年11月1日、４〜９ページ、１．（２）「ImSpector」の光学系、図２．Imspector基本構造、図３．PGPエレメントの基本原理）、引用刊行物１０記載の発明における分光分析を行う分光器として、上記回折格子に代えて、上記周知の技術であるプリズムと回折格子との組品を用いることは、当業者が容易になし得ることである。
　
　相違点２について
　
　引用刊行物１０（上記２．（２）イ．参照）には、分光測光装置では、従来から光導入部として光ファイバーが用いられることが記載されている上に、分光分析において、検査の評価対象に応じて別種の複数の光源を用いて基板の幅方向に光を照射するために、幅方向に延びる出射面を有するライトガイドを用い、前記ライトガイドの端に、別種の複数の光源を配置して、評価対象に応じて用いることは周知の技術であるから（特開平９−１５０４６号公報【００３３】、【００３６】及び第８図、守屋進「イメージング分光器『ImSpector』基本特性とその応用」光アライアンス、1999年11月1日、４〜９ページ、２．ImSpectorによる平面分光測定の基本構成、図７．平面分光測定の基本構成）、検査の評価対象に応じて別種の複数の光源を用いる検査方法である引用刊行物１０記載の発明において、上記周知の技術を採用することは、当業者が容易に想到し得ることである。
　
　そして、上記のように別種の複数の光源をライトガイドの端に具体的に配置する際に、分光装置において周知の光源である重水素ランプ（特開平７−３１８４８５号公報【００１７】、特開平１１−３４４４４７号公報【００１４】、特開２０００−１２１５６２号公報【００４２】、中原勝儼編，日本分光学会測定法シリーズ１３　分光測定入門，株式会社学会出版センター，1987年2月10日，初版，５９〜６１ページ）及び赤外領域カットフィルタを含むハロゲンランプ（特開平６−５０８８９号公報【００１０】及び【００１２】、特開平６−３１７５３２号公報【００１３】及び【００１５】、特開平１０−１７１９７４号公報【００３９】）を選択することは、検査対象に応じた光源の選択肢の中から当業者が適宜採用してなし得ることである。
　
　そして、本願補正発明の作用効果も、引用刊行物１０記載の発明及び上記周知技術から当業者であれば予測できる範囲のものである。
　
（４）むすび
　
　以上のとおり、本願補正発明は、引用刊行物１０記載の発明及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際に独立して特許を受けることができないものである。　
　
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。　
　
　
３．本願発明について　
　
（１）本願発明　
　
　平成１７年　４月１４日付け手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明は、平成１７年　１月２１日付け手続補正書で補正された明細書の特許請求の範囲請求項１に記載された、上記２．（１）に記載のとおりのものである。（以下、平成１７年　１月２１日付け手続補正書で補正された請求項１に記載された発明を「本願発明」という。）　
　
（２）引用例　
　
　原査定の拒絶の理由に引用した、本願出願日前に頒布された刊行物である特開平８−１９３９１６号公報（以下、「引用刊行物１」という。）には、「カラー試料の検査装置」に関する発明が記載されており、図面とともに次の記載がある。（下線は、当審にて付加。）　
　
ア．「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ用カラーフィルタ、カラーテレビカメラ用カラーフィルタ等のカラー試料を検査する装置に係り、詳しくは赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）のうちの少なくとも１色以上の着色画素を形成した後のカラー試料の検査する装置に関するものである。」
　
イ．「【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、本発明に係る第１の検査装置は、１色以上の着色材料でパターン状の着色画素が形成されてなるカラー試料を照射するための光源を有する光源部と、前記カラー試料の透過光もしくは反射光を検出して認識する画像入力部と、認識した画像を基準値と比較して欠陥の有無を判別する検査処理部とを備えたカラー試料の検査装置において、カラー試料の画像を入力する２台で１組のカメラを前記画像入力部に配置するとともに、この２台のカメラをカラー試料の幅に合わせて相対的に移動させる第１の制御手段と、この２台のカメラをカラー試料に対して近づいたり離れたりする方向に移動させる第２の制御手段とを設けたことを特徴としている。
【０００６】また、本発明に係る第２の検査装置は、１色以上の着色材料でパターン状の着色画素が形成されてなるカラー試料を照射するための光源を有する光源部と、前記カラー試料の透過光もしくは反射光を検出して認識する画像入力部と、認識した画像を基準値と比較して欠陥の有無を判別する検査処理部とを備えたカラー試料の検査装置において、前記光源部に透過光源と反射光源とを配置し、これらを切替え可能にしたことを特徴としている。
【０００７】そして、上記第１，２の検査装置において、前記光源と前記カラー試料の間に、或いは前記カラー試料と前記画像入力部の間に、カラー試料の中の検査すべき着色画素とは異なる分光透過率または分光反射率のピークを持つ光学フィルタを配置した構成にしてもよい。また、光源そのものに前記した光学フィルタと同様の光学特性を持つ分光光源を使用してもよい。」
　
ウ．「【００１３】光源部１は、カラーフィルタ基板を下側から照射する透過光源１１とカラーフィルタ基板を上側から照射する反射光源１２とを配置してあり、これらは切り替えて使用するようになっている。」
　
エ．「【００１４】画像入力部２は、カラーフィルタ基板上に形成された着色画素の画像を入力する２台のラインセンサカメラ２１，２２と、これら２台のカメラ２１，２２をカラーフィルタ基板の幅（検査したい領域でもよい）に合わせて相対的に近づけたり遠ざけたりする幅方向モータ２３ａと、２台のカメラ２１，２２をカラーフィルタ基板に近づけたり遠ざけたりする前後進モータ２３ｂと、一方のカメラ２１の焦点を調整するための焦点用モータ２３ｃと、他方のカメラ２の焦点を調整するための焦点用モータ２３ｄと、これら４種類のモータを制御するセンサ指示機構制御部２４と、光源部１の反射式ファイバー光源１１と透過式ファイバー光源１２をそれぞれ駆動するための駆動装置２５，２６とから構成される。」
　
オ．「【００２１】図３は図１の検査装置において反射光源を用いた場合を説明するための要部の斜視図である。この反射光源を用いて行う検査では、突起、ピンホール、汚れ等の欠陥が検出しやすい構成となる。」
　
カ．「【００２６】撮影された画像は画像処理装置３３，３４に送信され、積算処理、１次微分処理、２次微分処理等が行われる。そして、これらの処理結果に対してスライスレベル（基準値）との比較が行われて欠陥の有無が判別される。その判定結果は検査用のホストパーソナルコンピュータ３１からインターフェース３５を経由してホストコンピュータ４、または図示していないブザー等の警報器やカラーフィルタ基板ＣＦの自動排出装置等に出力される。」
　
　そして、これらの記載から、引用刊行物１には「液晶ディスプレイ用カラーフィルタ試料に光を照射して、その試料からの反射光を一列状態の光として取り込んで画像処理し、前記試料の検査を行うとき、
　前記試料からの反射光をラインセンサにより一列状態の光として取り込み、その一列状態の反射光の各部分について画像処理し、検査し、
　前記画像処理において、前記一列状態の反射光の分光を光学フィルタを用いて行なう、液晶ディスプレイ用カラーフィルタ試料の検査装置を用いた検査方法。」（引用刊行物１記載の発明）が記載されているものと認められる。
　
（３）対比・判断　
　
　本願発明と上記引用刊行物１記載の発明とを対比する。　
　
　引用刊行物１記載の発明の「一列状態の光」及び「検査」が、それぞれ本願発明の「ライン状の光」及び「検査」に相当することは明らかである。
　
　また、引用刊行物１記載の発明の「液晶ディスプレイ用カラーフィルタ試料」は、液晶表示装置の基板に該当するから、本願発明の「基板」及び「電子部品」に相当するものである。
　
　また、引用刊行物１記載の発明の「画像処理」は、分光された反射光を用いた処理であるから、本願発明の「分光分析」に相当する。
　
　また、引用刊行物１記載の発明の「光学フィルタ」と本願発明の「プリズムと回折格子との組品」とは、分光器であるという意味で共通する。　
　
　
　したがって、両者は「基板に光を照射して、その基板からの反射光をライン状の光として取り込んで分光分析して、前記基板の検査を行い評価するとき、
　前記基板からの反射光をライン状に取り込み、そのライン状反射光の各部分について分光分析し、検査し、
　前記分光分析において、取り込んだ反射光を分光器を用いて行なう、電子部品の評価方法。」である点で一致し、次の点で相違すると認められる。
　
（相違点）　
　基板からのライン状反射光の各部分について分光分析するために、本願発明が基板からの反射光をスリットを介してライン状に取り込み、その取り込んだ反射光をプリズムと回折格子との組品で分光しているのに対して、引用刊行物１記載の発明においては、試料からの反射光を一列状態の光として取り込む際にスリットを介しておらず、光学フィルタで分光された反射光を一列状態の光として取り込み画像処理している点。
　
　
　上記相違点について検討する。　
　
　分光分析において、スリットを介して反射光をライン状に取り込み、その取り込んだ反射光をプリズムと回折格子との組品を用いて分光を行い撮像素子で受光する分光技術は、周知の技術であり（上記、長田典子、久保田洋孝、真鍋佳嗣、築山誠、井口征士「イメージ分光器を用いたスペクトル画像とその応用」電気学会研究会資料：Vol.IIS-98-54、1998年11月26日、７〜１２ページ、2.1イメージ分光器の概要、図１．イメージ分光器の構成、守屋進「イメージング分光器『ImSpector』基本特性とその応用」光アライアンス、1999年11月1日、４〜９ページ、１．（２）「ImSpector」の光学系、図２．Imspector基本構造、図３．PGPエレメントの基本原理）、引用刊行物１記載の発明において基板からのライン状反射光の各部分について分光分析するために、上記光学フィルタ及びラインセンサにより一列状態の反射光として取り込み画像処理を行う分光技術に代えて、上記周知の技術であるスリット及びプリズムと回折格子との組品を用いてライン状の反射光を分光する分光技術を採用することは当業者が容易になし得ることである。
　
　そして、本願発明の作用効果も、引用刊行物１記載の発明及び上記周知技術から当業者であれば予測できる範囲のものである。
　
（４）むすび　
　
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物１記載の発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　
　したがって、請求項２〜１８に係る発明について審理するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。　
　
　よって、結論のとおり審決する。