【事件の表示】
　平成１１年特許願第２０７５３７号「ハーフトーン位相シフトマスクの特性補正方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　２月　９日出願公開、特開２００１−　３３９３８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．本願は、平成１１年７月２２日の出願であって、平成１６年８月１８日付で拒絶査定がなされ、これに対し、同年９月２４日に拒絶査定に対する審判請求がなされ、当審において平成１８年６月９日付けで拒絶理由通知がなされ、同年８月１４日付で手続補正がなされたものである。
　本願請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１８年８月１４日付け明細書及び図面の記載からみて、請求項１に記載された次のとおりのものである。
【請求項１】　基板上にハーフトーン膜が形成されたハーフトーン位相シフトマスクの透過率を予め定めた透過率にするための酸性溶液の浸漬時間及び前記酸性溶液の種類を含む処理条件と、前記ハーフトーン膜の透過率との対応関係を予め定めて記憶し、
　前記ハーフトーン膜の透過率を測定し、
　前記対応関係に基づいて、測定した透過率に対応する前記処理条件を求め、
　求めた処理条件に基づいて、前記ハーフトーン位相シフトマスクの透過率が予め定めた透過率になるように少なくとも前記ハーフトーン膜を酸性溶液に浸漬するハーフトーン位相シフトマスクの特性補正方法。
　
２．原審の拒絶の理由に引用した引用例
　引用例１　特開平７−４３８８７号公報
　引用例２　特開平１０−２０４７１号公報
　引用例３　特開平１０−１４８９２９号公報
２．１　引用例の記載内容
・引用例１の記載１
　引用例１の【特許請求の範囲】の請求項７及び８には、
「【請求項７】　透明基板上にハーフトーン位相シフト層を有するハーフトーン位相シフトフォトマスクにおいて、その製造工程と分離された別工程により、前記ハーフトーン位相シフト層の開口部の透過率を１００％としたときの、ハーフトーン位相シフト部の露光光に対する透過率を、１％から５０％の間に含まれる範囲内で変えることができることを特徴とするハーフトーン位相シフトフォトマスク。
【請求項８】　請求項７において、前記別工程が、前記ハーフトーン位相シフトフォトマスクを１５０℃以上の温度雰囲気中にさらす工程を含むことを特徴とするハーフトーン位相シフトフォトマスク。」
と記載されている。
・引用例１の記載２
　引用例１の【００１４】段落には、
「【００１４】…この露光光透過率の変化量は、加熱温度、加熱時間、雰囲気等によって変わるので、これらを制御することによって、露光光透過率も制御することができる。…」
と記載されている。
・引用例１の記載３
　引用例１の【００２６】段落には、
「【００２６】
【作用】本発明においては、ハーフトーン位相シフト層の露光光透過率を、…１％から５０％の間に含まれる範囲内で任意に変えることができるので、ブランクス又はフォトマスク製造後に所望の露光光透過率に調節できる…。」
と記載されている。
・引用例１の記載４
　引用例１の【００３１】段落には、
「【００３１】次に、このハーフトーン位相シフトフォトマスク３０９を空気雰囲気の対流式オーヴンで２００℃に加熱したところ、ハーフトーン位相シフト部の波長３６５ｎｍ光の透過率は図５に示すように、加熱時間に応じて変化して行った。」
と記載されている。
・引用例１の記載５
　引用例１の【００３３】ないし【００３８】段落には、
「【００３３】〔実施例２〕露光光透過率を変えることができるハーフトーン位相シフトフォトマスクの別の実施例を図２の製造工程を説明するための図を参照にして説明する。…波長３６５ｎｍ光の透過率が約１２％である多層ハーフトーン位相シフトフォトマスク用ブランクス５０６を得た。
…
【００３７】この多層ハーフトーン位相シフトフォトマスク５０７を以下の条件で１０分間酸素プラズマにさらしたところ、ハーフトーン位相シフト部の波長３６５ｎｍ光透過率は約１２％から約１７％へと変化した。　
【００３８】…この多層ハーフトーン位相シフトフォトマスク５０７も、透過率変化の前後で、…透過率分布…等は全て実用に供することができるものであった。」
と記載されている。
・引用例１の記載６
　引用例１の第５図には、ハーフトーン位相シフト部の、加熱時間に対する光透過率の変化を示す図が記載されている。
　
　引用例２の【０００６】段落には、
「【０００６】…位相シフトマスクの露光、さらには酸、アルカリ等の薬品に浸すことによっても、理想的な位相差及び透過率比からずれてしまう…。」
と記載されている。
　
　引用例３の【００１３】段落には、
「【００１３】…位相シフトマスクの光半透過部の構成要素である酸化モリブデンシリサイド膜あるいは酸化窒化モリブデンシリサイド膜は、マスク製造工程における洗浄及びマスク使用時の洗浄等の前処理又は洗浄液として使用される硫酸等の酸に弱く、特に、光半透過部の透過率及び位相差の値をＫｒＦエキシマレーザー光（２４８ｎｍ）用に設定した場合、消衰係数（Ｋ）を小さくする必要があり、この手段として酸化度又は酸化窒化度を十分に上げなくてはならないが、…設定した透過率、位相差にずれが生じてしまう…。」
と記載されている。
　
２．２　引用例１記載の発明の認定
　上記引用例１の記載から、引用例１には、「透明基板上にハーフトーン位相シフト層を有するハーフトーン位相シフトフォトマスクにおいて、前記ハーフトーン位相シフト層の開口部の透過率を１００％としたときの、ハーフトーン位相シフト部の露光光に対する透過率を、１５０℃以上の温度雰囲気中にさらす処理をすることにより、１％から５０％の間に含まれる範囲内で変え、所望の露光光透過率を得るハーフトーン位相シフトフォトマスク」が記載されている。
　
３．　対比・判断
　本願発明と引用例１記載の発明を対比する。
　引用例１記載の発明の「透明基板」、「ハーフトーン位相シフト層」及び「所望の露光光透過率」は、本願第１発明の「基板」、「ハーフトーン膜」及び「予め定めた透過率」に相当する。
　また、引用例１記載の発明のハーフトーン位相シフトフォトマスクは、「ハーフトーン位相シフト部の露光光に対する透過率を、１５０℃以上の温度雰囲気中にさらすことにより、１％から５０％の間に含まれる範囲内で変えることができ、所望の露光光透過率に調節」することを含むから、本願発明の「透過率が予め定めた透過率になるようにする特性補正方法」に実質的に相当する構成を有する。　
　
　そうすると、両者は、
「基板上にハーフトーン膜が形成されたハーフトーン位相シフトマスクの透過率を予め定めた透過率にするため、
　ハーフトーン位相シフトマスクの透過率が予め定めた透過率になるようにしたハーフトーン位相シフトマスクの特性補正方法。」
において一致し、以下の点で相違する。
　
　相違点１
　本願発明では、ハーフトーン位相シフトマスクの透過率を予め定めた透過率にするため、ハーフトーン位相シフトマスクを酸性溶液に浸漬するのに対し、引用例１記載の発明では、ハーフトーン位相シフトマスク部を１５０°以上の温度雰囲気中にさらす点。
　
　相違点２
　本願発明では、「酸性溶液の浸漬時間及び前記酸性溶液の種類を含む処理条件と、前記ハーフトーン膜の透過率との対応関係を予め定めて記憶」するのに対し、引用例１記載の発明では、当該記載がない点。
　
　相違点３
　本願発明では、「ハーフトーン膜の透過率を測定」するのに対し、引用例１記載の発明では、当該記載がない点。
　
　相違点４
　本願発明では、「対応関係に基づいて、測定した透過率に対応する前記処理条件を求め、求めた処理条件に基づいて、少なくともハーフトーン膜を酸性溶液に浸漬する」構成であるのに対し、引用例１記載の発明では、当該記載がない点。
　
　以下、相違点について検討する。
　相違点１について
　ハーフトーン位相シフトマスクの透過率が、酸性溶液に浸すことにより、変化することは、引用例２，３に示されるように周知事項であるから、ハーフトーン位相シフトマスクの透過率を変えるため、引用例１記載の手段に代えて、酸性溶液に浸す手段を用いることは、当業者が容易に想到できたことであり、相違点１については、当業者が容易に想到できた程度のことである。
　
　相違点２について
　引用例１の記載４を参照すると、引用例１の第５図には、ハーフトーン位相シフト部の、加熱時間に対する光透過率の変化を示す図が記載されているから、引用例１には、処理条件と、ハーフトーン膜の透過率との対応関係を予め定めて記憶することが実質的に記載され、また、酸性溶液を用いることは上記相違点１で述べたように周知事項から容易に想到できたことであるから、相違点２については、当業者が容易に想到できた程度のことである。
　
　相違点３について
　引用例１の記載５を参照すると、引用例１には、露光透過率を処理することによって変える前のハーフトーン位相シフトフォトマスクブランクス５０６の露光透過率を測定し、その後、フォトマスクブランクス５０６をエッチングしフォトマスクを得て、その後、酸素プラズマにさらすことにより露光透過率が約１２％から約１７％へ変化したことが記載され、実用に供することができる露光透過率が得られたことが記載されている。
　上記記載は、露光透過率を変える処理が、１５０°以上の温度雰囲気にさらす実施例に関するものではないが、当該１５０°以上の温度雰囲気にさらす実施例においても、露光透過率を処理することによって変える前のハーフトーン位相シフトフォトマスクブランクスの露光透過率を測定することはことは、当業者が容易になし得たことであるから、相違点３については、当業者が容易に想到できたことである。
　
　相違点４について
　相違点２についての検討で述べたように引用例１には、処理条件と、ハーフトーン膜の透過率との対応関係を予め定めて記憶することが実質的に記載され、また透過率を測定していることを考慮すると、前記対応関係を用いて、測定した透過率に対応する処理条件を求めることは、引用例１の第５図の処理時間と透過率の対応関係から、当業者が容易に想到できたことであるから、相違点４については、当業者が容易に想到できたことである。
 
　また、本願発明が有する効果についても引用例１に記載された発明及び周知事項から予測できた程度のものにすぎない。
　　
４．むすび
　そうすると、本願請求項１に係る発明は、引用例１に記載された発明及び周知事項に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって結論のとおり審決する。