【事件の表示】
　平成１１年特許願第１９６８４８号「基板回転乾燥装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　１月２６日出願公開、特開２００１−　２３９４３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯 
　本件の出願（以下、「本願」という。）は、平成１１年７月１２日の特許出願であって、平成１６年１０月１５日付け手続補正書により明細書を対象とした補正がされ、平成１６年１２月２７日付けで拒絶査定がされ（発送日：平成１７年１月５日）、これに対し、平成１７年２月３日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同年３月１日付け手続補正書により明細書を対象とした補正がされたものである。　 
　　
 　 
第２．平成１７年３月１日付け手続補正書による補正の却下の決定 　 
［結論］
　平成１７年３月１日付け手続補正書による補正を却下する。
　　
［理由］　
１．本件補正発明 
　平成１７年３月１日付け手続補正書による補正（以下、「本件補正」という。）により、特許請求の範囲の請求項１は、次のとおりに補正された。
　　　　　
「基板を保持して回転する基板回転保持手段と、
　前記基板回転保持手段を囲むチャンバと、
　前記チャンバの周壁下部に備わり前記チャンバ内を排気するチャンバ排気部とを備え、
　前記チャンバが、基板を出し入れする開閉可能な基板出入口と、基板出入口を閉じた状態でも内部と外部が連通して外気を吸い込む吸気口とを有する基板回転乾燥装置であって、
　時間をカウントするタイマー部を内部に有する制御部を備え、
　チャンバ排気部による排気を停止させてからチャンバ内外の気圧差がない状態が実現されるまでに要する所定時間が経過したと前記制御部が判断した後に、前記チャンバの基板出入口が開くようにしたことを特徴とする基板回転乾燥装置。」　 
  
 　上記補正は、請求項１に係る発明を特定するために必要な事項である「チャンバ排気部」に対して「チャンバの周壁下部に備わり」なる事項を限定的に付加するものである。
　したがって、上記補正は、限定的減縮を目的とするものであり、平成１８年改正前特許法第１７条の２第４項第２号に該当する。
　　 
 　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本件補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否か（平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか否か）につき以下に検討する。　  　 
２．刊行物
　原審の拒絶の理由で示された、本願の出願前に日本国内で頒布された刊行物である「特開平７−２２３７８号公報」（以下、「公知刊行物」という。）には、図面とともに明細書に次の事項が記載されている。　
　
ア．「【請求項１】基板を保持する回転保持部と、開閉可能な基板出入口を有しかつ前記回転保持部を覆うチャンバとを備えた基板回転乾燥装置の排気装置であって、
前記チャンバ内を排気する排気部と、
前記基板出入口が開いているとき、前記排気部による排気を停止する停止手段と、を備えた基板回転乾燥装置の排気装置。」（【特許請求の範囲】）　　　　　　　　　　　　　　
イ．「【作用】本発明に係る排気装置では、排気部がチャンバ内を排気する。そして基板出入口が開いているときには、停止手段が排気部を停止する。ここでは、基板出入口が開き、チャンバ内が外気に開放されている状態では、排気部による排気が停止するので、チャンバ内が負圧にならず外気が流入しにくい。このため、外気に含まれるパーティクルがチャンバ内に侵入しにくい。したがってチャンバ内のパーティクルを低減できる。」（段落【０００７】）
　　　　　　　　　　　　　
ウ．「チャンバ１５の周壁上部には基板出入口２３が、また周壁下部には排気口２４がそれぞれ形成されている。基板出入口２３は開閉自在のチャンバ開閉蓋１８で閉止されている。チャンバ開閉蓋１８の上部には、外気を取り入れるための吸入口２６が設けられており、吸入口２６にはフィルタ２５が装着されている。・・・（中略）・・・排気口２４には、ダクト接続部１５ａが形成されており、このダクト接続部１５ａに槽排気ダクト２８（図５）が接続されている。」（段落【０００９】）　　
　　　　　　　　　　
エ．「基板処理装置１は、図６に示すマイクロコンピュータからなる制御部６０を有している。制御部６０には、エアシリンダ３９、モータ１７、槽排気ダンパー５２、軸排気ダンパー５３、静電気除去装置２７、ガス供給弁５５及び他の入出力部が接続されている。次に、上述の実施例の動作を、図７に示す制御フローチャート及び図８に示すタイミングチャートに従って説明する。」（段落【００１７】）　　
　　　
オ．「乾燥装置５では、運ばれてきた基板を検出する（ステップＳ１）と、開閉蓋１８を開く（ステップＳ２）。そして、保持具昇降部２０により基板保持具１９を上昇させ、基板搬送ロボット６のアーム１１から基板を一括して受け取る。なおこのとき、ダンパー５２，５３はともに閉じている。基板保持具１９で基板を受け取ると、保持具昇降部２０を下降させることにより保持具１９を下降させ、基板を所定の位置に配置する。そして基板及び保持具１９を各クランプ装置２１，２２によりクランプする（ステップＳ３）。クランプが完了すると、エアシリンダ３９を退入させ、位置決めリング３８と位置決め部材３９ａとの係合を解除し、ロータ１６をロック状態からアンロック状態にする（ステップＳ４）。」（段落【００１９】）　　　
　　　
カ．「そしてモータ１７に所定の電流を流し、ロータ１６を１速（たとえば１０００ｒｐｍ）で回転させる（ステップＳ５）。続いて、排気ダンパー５２，５３を共に開く（ステップＳ６）。また、ガス供給弁５５を開き、ラビリンスシール４４の周囲に窒素ガスを供給する（ステップＳ７）。またこれより僅かに遅れて、静電気除去装置２７をＯＮする（ステップＳ８）。　　　ここでは、ガス供給弁５５が開くことで、ガス供給口４６を介して加圧空間４５に加圧された窒素ガスが充満し、さらに連絡孔４８からラビリンスシール４４側へ侵入する。侵入した窒素ガスは、ラビリンスシール４４の外周に沿って、一部が排気空間４９にまた他の一部が軸排気チャンバ３６に流れる。排気空間４９に流れた窒素ガスは、ガス排出口５０を介してガス排気ダクト５１に排出される。そして槽排気ダクト２８に合流し、槽排気ダンパー５２を介して設備排気ダクトに排出される。また軸排気チャンバ３６に流れた窒素ガスは、チャンバ内部の空気とともに、軸排気ダクト３７に排出される。そして軸排気ダンパー５３及びブロア５４を介して設備排気ダクトに排出される。」（段落【００２０】〜【００２１】）　　　
　　　　　　　　　　　　
キ．「所定時間経過後、２速（たとえば１２００ｒｐｍ）でロータ１６を回転させ（ステップＳ９）、さらに所定時間後に３速（たとえば１５００ｒｐｍ）で回転させる（ステップＳ１０）。所定の乾燥時間が経過すると、ロータ１６を位置決め速度（たとえば１０ｒｐｍ）に減速する（ステップＳ１１）と共に、静電気除去装置２７をＯＦＦする（ステップＳ１２）。次に、槽排気ダクト２８をダンパー５２により閉じる（ステップＳ１３）。そして、フォトインタラプタ４１が検出ドッグ４０を検出すると（ステップＳ１４）、モータ１７を停止してロータ１６の回転を停止する（ステップＳ１５）。続いて軸排気ダクト３７をダンパー５３により閉じ（ステップＳ１６）、ガス供給弁５５を閉じて窒素ガスの供給を停止する（ステップＳ１７）。これにより、チャンバ内が大気圧と略同圧になる。そしてエアシリンダ３９を進出し、位置決めリング３８に位置決め部材３９ａを係合させる。これによりロータ１６が基準位置でロック状態となる（ステップＳ１８）。」（段落【００２２】）　　　
　　　　　　　　　　　　
ク．「ロータ１６が基準位置でロックされると開閉蓋１８を開き（ステップＳ１９）、各クランプ装置２１，２２によりクランプされた基板及び保持具１９の保持を解除する。そして保持具昇降部２０を上昇させることにより、保持具１９を所定の受渡し位置まで上昇させる（ステップＳ２０）、基板搬送ロボット６のアーム１１に基板を一括して渡す。」（段落【００２３】）　　　
　　　　　　　　　　　
ケ．「乾燥が終了した基板は、基板搬送ロボット６によりさらに基板移載装置３に搬送され、この基板移載装置３において基板がキャリアＣ内に収納される。キャリアＣは、基板移載ロボット１０によって基板移載装置３から搬入・搬出部２に搬送される。ここでは、ラビリンスシール４４の外周側から加圧された窒素ガスを供給しているので、軸受３４ａ，３４ｂで発生したパーティクルは、チャンバ１５側へは流れない。また、基板の出入りの際には、槽排気ダクト２８及び軸排気ダクト３７をともにダンパー５２，５３により閉じて排気を停止しているので、チャンバ１５内が略大気圧となる。この結果、基板出入口２３から外気がチャンバ１５内に流入しにくい。したがって外気に含まれるパーティクルがチャンバ内に入りにくい。」（段落【００２４】）　　　
　　　
　これらの記載事項及び図面の記載内容からして、公知刊行物には、次の発明（以下、「公知刊行物記載の発明」という。）が記載されていると認める。 
　　　　 　
「基板を保持する回転保持部と、
　開閉可能な基板出入口を有しかつ前記回転保持部を覆うチャンバと、
　前記チャンバ内を排気する排気部とを備え、
　前記チャンバが、基板を出し入れする開閉可能な基板出入口と、基板出入口を閉じた状態でも内部と外部が連通して外気を吸い込む吸気口とを有する基板回転乾燥装置であって、
　制御部を備え、
　前記基板出入口が開いているとき、前記排気部による排気を停止する停止手段を備えた基板回転乾燥装置。」　
　　　　　
３．対比 
 　本件補正発明と公知刊行物記載の発明を対比する。
　公知刊行物記載の発明の「回転保持部」は、基板を保持するのみならず回転させるものでもあるから、本件補正発明の「基板回転保持手段」に相当する。
　公知刊行物記載の発明の「排気部」は、チャンバの周壁下部に備わるものである（公知刊行物の摘記事項「ウ．」参照）から、本件補正発明の「チャンバ排気部」に相当する。
　そうしてみると、両者の一致点及び相違点は、次のとおりである。　
　　　
 〈一致点〉 
「基板を保持して回転する基板回転保持手段と、
　前記基板回転保持手段を囲むチャンバと、
　前記チャンバの周壁下部に備わり前記チャンバ内を排気するチャンバ排気部とを備え、
　前記チャンバが、基板を出し入れする開閉可能な基板出入口と、基板出入口を閉じた状態でも内部と外部が連通して外気を吸い込む吸気口とを有し、制御部を備えた基板回転乾燥装置。」　　 　　　　　
　　　　　　　　　
〈相違点〉 
　本件補正発明では、制御部が時間をカウントするタイマー部を内部に有しており、チャンバ排気部による排気を停止させてからチャンバ内外の気圧差がない状態が実現されるまでに要する所定時間が経過したと前記制御部が判断した後に、前記チャンバの基板出入口が開くようにしたのに対して、公知刊行物記載の発明では、基板出入口が開いているときチャンバ排気部による排気を停止する停止手段を設けた点。
　　　　
４．判断 
　上記相違点について検討する。
　　
　公知刊行物の摘記事項「キ．」、「ク．」からすると、公知刊行物記載の発明は、チャンバ排気部による排気を停止させてチャンバ内が大気圧と略同圧になってから、基板回転保持手段のロータをロックし、次いで基板開閉口の開閉蓋を開くといった動作を順に実施するものということができる。
　ところで、本件補正発明も公知刊行物記載の発明も、チャンバ内の実際の圧力の大きさを検知するセンサのような手段を用いて、チャンバ内外の圧力差がないことを確認してからチャンバの基板出入口を開けるものではない。本件補正発明も公知刊行物記載の発明も、それぞれの制御部が基本的にタイミングチャートに沿って動作を自動的に進行させていくものと理解できる。タイミングチャートに沿って動作を進行させていく場合に、他のセンサ等からの信号がなければ「所定時間」が経過すると次の動作を開始させることは、当業者が適宜採用する技術的事項である。
　また、公知刊行物記載の発明は、公知刊行物の摘記事項「キ．」に「所定時間」経過後に次のステップに移行することが記載されていること等からみても、その制御部に本件補正発明と同様のタイマー部が備えられていると解することができる。　　
　そうしてみると、公知刊行物記載の発明において、チャンバ排気部による排気を停止させてから「所定時間」が経過したと制御部が判断した後にチャンバの基板出入口が開くようにすること自体に、当業者にとっての格別の創意工夫が見いだせるものではない。
　そして、公知刊行物記載の発明も、基板出入口が開いて基板が出入りする際に、チャンバ内が負圧であることに起因して外気がチャンバ内に流入することに対処したものであるから、「所定時間」としてチャンバ排気部による排気を停止させてからチャンバ内外の気圧差がない状態が実現されると目される時間を設定することも、当業者が通常発揮する範囲内の創作行為といえる。
　　　　　　　　　　　
　したがって、本件補正発明の構成は、公知刊行物記載の発明に基づいて当業者が容易に想到し得たものである。　　　
　しかも、本件補正発明の構成により、公知刊行物記載の発明から予期される以上の格別顕著な効果がもたらされるということもできない。　
　
 　よって、本件補正発明は、公知刊行物記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　 　
５．むすび 
 　以上をふまえると、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　　　 
　　 
第３．本願発明について 
 　平成１７年３月１日付け手続補正書による補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１、２に係る発明は、平成１６年１０月１５日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１、２に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりである。
　　
 「基板を保持して回転する基板回転保持手段と、
　前記基板回転保持手段を囲むチャンバと、
　前記チャンバ内を排気するチャンバ排気部とを備え、
　前記チャンバが、基板を出し入れする開閉可能な基板出入口と、基板出入口を閉じた状態でも内部と外部が連通して外気を吸い込む吸気口とを有する基板回転乾燥装置であって、
　時間をカウントするタイマー部を内部に有する制御部を備え、
　チャンバ排気部による排気を停止させてからチャンバ内外の気圧差がない状態が実現されるまでに要する所定時間が経過したと前記制御部が判断した後に、前記チャンバの基板出入口が開くようにしたことを特徴とする基板回転乾燥装置。」
 　 
１．刊行物 
　公知刊行物に記載された事項及び公知刊行物記載の発明は、既に前記「第２．２．」で述べたとおりのものである。
 
２．対比・判断
　本願発明は、前記「第２．」で検討した本件補正発明からその発明を特定するために必要な事項たる「チャンバ排気部」についての「チャンバの周壁下部に備わり」なる事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明を特定するために必要な事項を全て含み、さらに他の事項を発明を特定するために必要な事項として付加したものに相当する本件補正発明が、前記「第２．」に記載したとおり、公知刊行物記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、公知刊行物記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものといえる。　 
 　
３．むすび 
 　以上のとおり、本願発明は、公知刊行物記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　　
　よって、 結論のとおり審決する。