【事件の表示】
　特願２００１−２４１９４６「共焦点走査型顕微鏡及びそのデータ補正方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　２月２６日出願公開、特開２００３−　５７５５３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１３年８月９日に出願した特願２００１−２４１９４６号であって、平成２０年６月１６日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年７月１５日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同日付けで手続補正がなされたものである。
　その後、当審において平成２１年９月１０日付けで平成２０年７月１５日付けの手続補正を却下するとともに、同日付けで拒絶の理由を通知し、これに対して同年１１月１１日付けで意見書が提出され、同日付けで手続補正がなされた。
　
 第２　本願発明  
　本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２１年１１月１１日付け手続補正により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項に特定される次のとおりのものである。
　
「光源からの光を所定の位置に集光させる複数の対物レンズと、
　前記対物レンズにより集光された光束を試料の表面に沿って相対的に走査させる走査機構と、
　前記対物レンズの光軸に沿って前記光束の集光位置と前記試料を相対的に移動させる移動機構と、
　前記集光位置と共役な位置に配置された微小開口と、前記微小開口を通過する光の強度を検出する光検出器と、
　前記光検出器からの信号を画像データとして記憶する第１記憶装置と、前記光検出器からの信号が最大となる前記移動機構の高さ情報を記憶する第２記憶装置とを有する演算装置と、
　前記対物レンズ毎に前記走査機構によって決まる所定の走査範囲で平面試料を走査したときに得られる像面湾曲補正データを予め記憶する像面湾曲補正データ記憶部と、
　前記像面湾曲補正データ記憶部に予め記憶されている前記試料を走査するときの前記対物レンズに対応する前記像面湾曲補正データから、前記試料を走査するときの前記走査機構によって決まる走査範囲に該当するデータを取得し、取得した前記データのデータ数と前記第１記憶装置に記憶された前記試料を走査したときの前記画像データのデータ数とが同じとなるように補間処理して算出される計算用補正データを記憶する計算用補正データ記憶部と、を備え、
　前記演算装置は、前記計算用補正データ記憶部に記憶されている前記計算用補正データによって前記第２記憶装置に記憶された高さ情報を補正することを特徴とする共焦点走査型顕微鏡。」
　
第３　引用例
１　引用例１
　当審で通知した拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２０００−３９５６２号公報（以下、「引用例１」という）には、次の事項が記載されている。（後述の「引用例１に記載された発明の認定」に特に関係する記載に下線を付した。）
　
「【００１８】
【発明の実施の形態】(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図７と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。図１は走査型レーザ顕微鏡の構成図である。
【００１９】
制御部３０は、第１のガルバノミラー３を偏向駆動して光ビーム２を例えばＸ方向に走査するとともに第２のガルバノミラー９を偏向駆動して光ビーム２を例えばＹ方向に走査し、かつ自動合焦の際には、Ｚステージ１９を駆動して対物レンズ４に対して試料１３面とを相対的に光軸方向（Ｚ方向）に移動させ、このときに検出器１７から出力される輝度情報を取り込んで上記図８に示すように反射ビームの強度が最大となるＺ位置を判定し、Ｚステージ１９にＡＦステージ動作情報を発して合焦位置までＺステージ１９をＺ方向で移動制御する機能を有している。
【００２０】又、制御部３０には、試料１３面上の合焦画像を得たい部位に指示するための操作部３１が接続され、かつこの操作部３１で指示された試料１３面上の合焦画像を得たい部位の情報を受け、この指示部位に対応する画像データ上の輝度情報を取得する輝度情報取得部３２の機能が備えられている。
【００２１】この輝度情報取得部３２は、試料１３面上の指示部位に照射する光ビーム２の偏向角の制御を第１及び第２のガルバノミラー３、９の固定制御によって行う機能を有している。詳述すると、第１及び第２のガルバノミラー３、９の各偏向角は、それぞれ図２に示すように印加される正弦波状の交流電圧の電圧値に対応しており、これら交流電圧のゼロクロス点でモニター２２の視野中心に走査されるようになっている。しかるに、操作部３１で指示された試料１３面上の合焦画像を得たい部位の画素位置が例えば（ｉ，ｊ）であれば、輝度情報取得部３２は、この画素位置（ｉ，ｊ）に対応する第１及び第２のガルバノミラー３、９のサンプリングクロック数（Ｉ、Ｊ）を求め、第１のガルバノミラー３に対して交流電圧におけるＩ番目のサンプリングクロック数の電圧値の印加を指示し、かつ第２のガルバノミラー９に対して交流電圧におけるＪ番目のサンプリングクロック数の電圧値の印加を指示して、第１及び第２のガルバノミラー３、９の各偏向角を固定制御する機能を有している。
【００２２】次に上記の如く構成された顕微鏡の作用について説明する。操作部３１に対して顕微鏡視野内の合焦画像を得たい目的の部位例えば試料１３の表面１３ｂ上の画素位置（ｉ，ｊ）が指示されると、制御部３０の輝度情報取得部３２は、操作部３１で指示された試料１３面上の合焦画像を得たい部位の画素位置（ｉ，ｊ）に対応する第１及び第２のガルバノミラー３、９のサンプリングクロック数（Ｉ、Ｊ）を求める。
【００２３】この後、輝度情報取得部３２は、第１のガルバノミラー３に対して交流電圧におけるＩ番目のサンプリングクロック数の電圧値の印加を指示し、かつ第２のガルバノミラー９に対して交流電圧におけるＪ番目のサンプリングクロック数の電圧値の印加を指示する。
【００２４】これにより、第１のガルバノミラー３は、Ｉ番目のサンプリングクロック数の電圧値に対応する偏向角に固定制御されて、合焦画像を得たい部位のＸ座標に光ビーム２を照射する方向に傾き、第２のガルバノミラー３は、Ｊ番目のサンプリングクロック数の電圧値に対応する偏向角に固定制御されて、合焦画像を得たい部位のＹ座標に光ビーム２を照射する方向に傾く。
【００２５】この状態で、ビームスプリッタ１には、レーザ光源（図示せず）から出力された等価的に点光源と考えられる光ビーム２が入射される。この光ビーム２は、ビームスプリッタ１で透過及び反射されるが、このうちの透過した光ビーム２は第１のガルバノミラー３に入射する。
【００２６】第１のガルバノミラー３は、光ビーム２を試料１３面の合焦画像を得たい目的の部位の画素位置（ｉ，ｊ）と同一のＸ座標を照明する方向に固定偏向する。この走査された光ビーム２は、２つの瞳伝送レンズ７、８を通って瞳位置に配置された第２のガルバノミラー９に入射する。この第２のガルバノミラー９は、光ビーム２を試料１３面の合焦画像を得たい目的の部位の画素位置（ｉ，ｊ）と同一のＹ座標を照明する方向に固定偏向する。
【００２７】しかるに、
これら第１及び第２のガルバノミラー３、９によりＸＹ方向に固定偏光された光ビーム２は、瞳投影レンズ１０、結像レンズ１１を通って対物レンズ４の瞳１２に入射し、この対物レンズ４によって試料１３面上に回折によって制限される点状光を生させ、かつこの点状光を試料１３面上の目的の部位のみに照射させる。
【００２８】
この試料１３面からの反射ビームは、試料１３面に入射した光ビーム２と同じ経路を逆に進行してビームスプリッタ１に戻り、このビームスプリッタ１で反射された反射ビームは検出ビーム１４となる。そして、この検出ビーム１４は、集光レンズ１５、ピンホール１６を介して検出器１７により検出される。
【００２９】
制御部３０は、検出器１７から出力される輝度情報を取り込んで反射ビームの強度が最大となるＺ位置を判定し、合焦位置までＺステージ１９を移動させて視野中心において合焦、すなわち試料１３の表面１３ｂ上の合焦画像を得たい目的の部位｛画素位置（ｉ，ｊ）｝に対して合焦した画像２１をモニタ２２に表示する。
【００３０】このように上記第１の実施の形態においては、操作部３１に対して試料１３面上の合焦画像を得たい部位が指示されると、制御部３０の輝度情報取得部３２は、かかる試料１３面上の合焦画像を得たい部位に光ビーム２が照射されるように第１及び第２のガルバノミラー３、９の偏向角を固定制御するので、顕微鏡の任意に指示した試料１３の表面１３ｂ上の部位｛画素位置（ｉ，ｊ）｝において合焦した画像を簡単に得ることができる。このように試料１３の表面１３ｂ上の部位を指示すれば、この部位の合焦した画像を簡単に得ることができるので、測定領域対象が顕微鏡の視野内で小さくなっても試料１３面の中心に位置合わせをする必要がなく、高価な高精度ＸＹステージは必要なく安価な粗動用のＸＹステージがあれば十分である。
【００３１】又、上記第１の実施の形態を応用して試料の段差を素早く測定することができる。例えば図３(a) は段差を有する試料４０の外観図であり、同図(b) は同試料４０を顕微鏡で観察したときの顕微鏡視野内の画像を示す。この試料４０を観察したときの顕微鏡視野４１の中にある任意の２点Ａ、Ｂでの合焦したときのそれぞれのＺステージ１９の位置の差により、これらＡ、Ｂ点間の段差を素早く求めることができる。
【００３２】又、
顕微鏡視野内の像面湾曲収差の大きさが無視できないほどの微小な段差を測定する場合には、予め各対物レンズ毎の像面湾曲量のデータにより段差測定値を補正することでさらに正確な段差測定ができる。
　
２　引用例１に記載された発明の認定
　上記記載から、引用例１には、走査型レーザ顕微鏡に関し、
「第１のガルバノミラー３を偏向駆動して光ビーム２を例えばＸ方向に走査するとともに第２のガルバノミラー９を偏向駆動して光ビーム２を例えばＹ方向に走査し、かつ自動合焦の際には、Ｚステージ１９を駆動して対物レンズ４に対して試料１３面とを相対的に光軸方向（Ｚ方向）に移動させ、このときに検出器１７から出力される輝度情報を取り込んで反射ビームの強度が最大となるＺ位置を判定し、Ｚステージ１９にＡＦステージ動作情報を発して合焦位置までＺステージ１９をＺ方向で移動制御する機能を有する制御部３０を備え、
　第１及び第２のガルバノミラー３、９によりＸＹ方向に固定偏光された光ビーム２は、瞳投影レンズ１０、結像レンズ１１を通って対物レンズ４の瞳１２に入射し、この対物レンズ４によって試料１３面上に回折によって制限される点状光を発生させ、かつこの点状光を試料１３面上の目的の部位のみに照射させ、
　この試料１３面からの反射ビームは、試料１３面に入射した光ビーム２と同じ経路を逆に進行してビームスプリッタ１に戻り、このビームスプリッタ１で反射された反射ビームは検出ビーム１４となり、この検出ビーム１４は、集光レンズ１５、ピンホール１６を介して検出器１７により検出され、
　制御部３０は、検出器１７から出力される輝度情報を取り込んで反射ビームの強度が最大となるＺ位置を判定し、合焦位置までＺステージ１９を移動させて視野中心において合焦、すなわち試料１３の表面１３ｂ上の合焦画像を得たい目的の部位｛画素位置（ｉ，ｊ）｝に対して合焦した画像２１をモニタ２２に表示し、
　顕微鏡視野内の像面湾曲収差の大きさが無視できないほどの微小な段差を測定する場合には、予め各対物レンズ毎の像面湾曲量のデータにより段差測定値を補正することでさらに正確な段差測定する走査型レーザ顕微鏡。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
３　引用例２
　当審で通知した拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開平１−２７０６０５号公報（以下、「引用例２」という）には、次の事項が記載されている。（後述の「第４　対比、判断」において、特に参照する記載に下線を付した。）
　
「〔課題を解決するだめの手段及び作用〕
　本発明による表面形状測定器は、上述の如き表面形状測定器において、光学系の収差によって生じる誤差を補正する手段を設けたことにより、該誤差が補正されるようにしたものである。それは、例えば平面を測定することでその光学系の像面湾曲収差量が測定でき、それを用いて測定値の補正を行うようにしたものである。
［実施例〕
　以下図示した各実施例に基づき上記従来例と同一の部材には同一符号を付して本発明の詳細な説明する。
　第１図は第１実施例の光学系及び処理回路を示しており、１３′は平面度の高いミラー若しくはオプティカルフラットのような平面から成っていて試料１３と同し位置に交換可能に配置される参照平面である。４１は瞳伝送レンズ７及び８間に配置されたスリット、４２，４３は偏光ビームスプリッタ４と瞳分割ミラー１８との間に配置された瞳伝送レンズ、４４は瞳伝送レンズ４２及び４３間に配置されたピンホールであって、スリット４１及びピンホール４４は試料１３からの反射光以外の余分な光を遮断するために配置されている。尚、スリット４１及びピンホール４４は少なくとも一方が配置されていれば良い。又、ピンホール４４が配置されない場合は瞳伝送レンズ４２及び４３は必要がない。４４はコンピュータ３４に接続された外部記憶装置である。そして、ガルバノメータミラー６からポリゴミラー９までが走査光学系４５を構成し、瞳伝送レンズ４２から差動増幅器２９までが焦点検出系４６を構成している。
　本実施例は上述の如く構成されているから、レーザ光源１から出たレーザビームは、空間フィルター２，コリメータレンズ３，偏光ビームスプリッタ４，λ／４板５を通って走査光学系４５に入射する。走査光学系４５を出たレーザビームは対物レンズ１２に入射し、参照平面１３′上に集光する。
参照平面１３′で反射したレーザビームは、入射時の経路を逆に戻り、偏光ビームスプリッタ４で反射されて焦点検出系４６に入射する。焦点検出系４６から出た信号３０′は参照平面１３′を測定した信号であるから、光学系の像面湾曲収差による誤差（以後誤差と呼ぶ。）である。
　次に、形状測定を行いたい試料（以下試料と呼ぶ）１３に対して参照平面１３′を測定した時と同じように測定を行なう。この時焦点検出系４６から得られる信号３０は試料１３の真の形状信号に誤差が加わったものである。信号３０はフレームメモリ３３に格納される。
コンピュータ３４はフレームメモリ３３の測定データを内部メモリに読み込み、該測定データから外部記憶装置４４の誤差データを引き算する。
　
４　引用例３
　当審で通知した拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開平９−５０９５４号公報（以下、「引用例３」という）には、次の事項が記載されている。（後述の「第４　対比、判断」において、特に参照する記載に下線を付した。）
　
「【００３８】ここで、図９及び図１０を参照して
投影光学系ＰＬ１の結像面のフォーカス位置の分布の計測方法の一例につき説明する。
【００３９】図９（ａ）において、投影像ＭＹ（ｉ）はＹ方向に所定ピッチで明部Ｐ１〜Ｐ５が配列されたパターンであり、先ずウエハステージ２のＺ方向の位置を所定の初期値に設定した状態で、図１のウエハステージ２を駆動することにより、結像特性計測用センサ３の矩形の開口部５０ａでその投影像ＭＹ（ｉ）をＹ方向に走査する。その際に図９（ｂ）の光電変換素子５２から出力される検出信号Ｓ１が、信号処理部５３の内部でアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換されて、ウエハステージ２のＹ座標に対応して記憶される。
【００４０】図１０（ａ）は本例の検出信号Ｓ１を示し、本例の開口部５０ａは矩形であるため、その図１０（ａ）に示すように、得られる検出信号Ｓ１は、Ｙ座標に応じて階段状に変化する信号となる。そこで、一例として信号処理部５３では、その検出信号Ｓ１をＹ座標で微分して（実際の処理上では差分演算となる）、図１０（ｂ）に示すような微分信号ｄＳ１／ｄＹを得る。この微分信号ｄＳ１／ｄＹがピークを取るＹ軸上の位置Ｙ１ 〜Ｙ５ がそれぞれ図９（ａ）の評価用マークの投影像ＭＹ（ｉ）の明部Ｐ１〜Ｐ５に対応している。結像特性計測用センサ３の撮像面が結像面のフォーカス位置（ベストフォーカス位置）にあるときに、微分信号ｄＳ１／ｄＹの明部Ｐ１〜Ｐ５に対応する波形のコントラストが最大となり、その明部Ｐ１〜Ｐ５に対応する波形の高さの平均値ΔＳ（図１０（ａ）の検出信号Ｓ１の傾きに対応する）が最大となる。そこで、信号処理部５３ではその微分信号ｄＳ１／ｄＹのピーク部の高さの平均値ΔＳを求める。そして、例えば１６個の投影像の全部についてそれぞれそのピーク部の高さの平均値ΔＳを求める。その後、図１のウエハステージ２のＺ方向への駆動部を介して、結像特性計測用センサ３の表面のＺ方向への位置を所定のステップ幅で変化させながらそれぞれ１６個の投影像についてそのピーク部の高さの平均値ΔＳを求める。
【００４１】その結果、１６個の投影像の内の或る像高の投影像について、図１０（ｃ）に点列示すような計測データが得られる。図１０（ｃ）において、横軸は結像特性計測用センサ３の撮像面のＺ方向の位置、縦軸はそのピーク部の高さの平均値ΔＳである。そして、信号処理部５３では、図１０（ｃ）の点列を例えば２次曲線７１で最小自乗近似し、その２次曲線７１がピークとなるＺ方向の位置ＺＦをその像高での結像面のフォーカス位置とみなす。種々の像高のマークについてそれぞれ結像面のフォーカス位置ＺＦを求めることにより、現在の環境における図８に示すようなフォーカス位置の分布（像面湾曲）を計測できる。また、
計測されるのは像高Ｈ上の所定の複数の計測点でのフォーカス位置であるため、それらの間の像高でのフォーカス位置は前後の計測点でのフォーカス位置を補間して得られる値を使用してもよい。
　
　
５　引用例４
　当審で通知した拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開平１０−９７０８３号公報（以下、「引用例４」という）には、次の事項が記載されている。（なお、丸で囲った数字は、( )で囲んで記載した。また、後述の「第４　対比、判断」において、特に参照する記載に下線を付した。）
　
「【００１８】また、第１工程における測定は、請求項５に記載の発明の如く、感光基板上の少なくとも３点について行なうことが望ましい。この像面湾曲の測定点が少ない場合には、例えば、請求項６に記載の発明の如く、前記第２工程に先立って、前記第１工程で得られたデータを２次ないし６次関数を用いて補間し、前記第２工程においてこの補間後の像面湾曲データと前記可変視野絞りの設定情報とに基づいて、前記露光領域の中心で焦点位置合わせを行なうようにしても良い。このようにすれば、第１工程における測定に時間をあまり掛けることなく、ある程度正確な投影光学系の像面湾曲データを求めることが可能になるので、投影光学系のどの部分を使用して露光を行なう場合であっても像面湾曲の影響による焦点ずれを考慮した焦点位置合わせが可能となる。」
　
「【００７８】ここで、例えば、図７に実線で示される露光可能領域ＳＡの右上の１／４の領域（斜線部）ｓａを露光する場合には、上記の方法によると、実線で示される位置にある露光可能領域ＳＡを一旦二点鎖線（仮想線）で示される位置まで移動し、露光領域ｓａの中心Ｐを露光フィールドＩＦの中心Ｏに位置決めし、ここで焦点位置合わせを行った後、ウエハＷのＺ位置を保持したまま再び領域ＳＡを実線で示される位置に移動させて、露光（焼き付け）が行われることになる。この場合、図７からも明らかなように、可動ブラインド４５Ａ、４５Ｂで設定された露光領域ｓａ中心Ｐにおける焦点位置合わせ動作は投影光学系ＰＬの露光可能領域ＳＡの中心Ｏ部分で行い、露光は可動ブラインド４５Ａ、４５Ｂで設定された露光領域ｓａに対して行なわれることになるので、焼き付け時には投影光学系ＰＬの端の部分が使用されることになる。しかるに、
投影光学系ＰＬには少なからず像面湾曲成分が存在し、焦点検出系（４０、４２）はその検出点が位置している投影光学系ＰＬのベストフォーカス面に合うように調整されている。
【００７９】次に、
この像面湾曲成分よるフォーカスずれの補正も考慮した焦点位置合わせ動作について説明する。
【００８０】(1)第１の方法は、前述したメモリ９６内に記憶されている、焦点検出系（４０、４２）及び第２の焦点検出系３０を用いて予め計測された像面湾曲データを用いる方法である。
【００８１】この場合、不図示のメインコンピュータからブラインド設定情報が入力されると、主制御装置４４ではこのブラインド設定情報に応答してブラインド駆動機構４３Ａ、４３Ｂを介して可動ブラインド４５Ａ、４５Ｂを駆動してウエハＷ上の露光領域の形状（大きさを含む）を設定する。また、主制御装置４４では、ウエハＷ上の各ショット領域を投影光学系ＰＬの下に位置決めするのに先立って、ブラインド設定情報に基づいてメモリ９６内に記憶されている露光領域ｓａ内の中心に対応する像面湾曲データに基づいて、投影光学系ＰＬの露光領域ｓａ内の合焦位置と投影光学系ＰＬの光軸近傍の合焦位置（焦点検出系（４０、４２）の検出中心での合焦位置）との差分を演算してその結果を内部メモリに一時的に記憶する。
【００８２】次に、主制御装置４４では、ブラインド設定情報に基づいて可動ブラインド４５Ａ、４５Ｂで設定した露光領域ｓａの中心部分が焦点検出系（４０、４２）の検出中心に一致する位置まで駆動装置２１を介してＸステージ１２及びＹステージ１６の一方又は両方を駆動して基板テーブル１８を移動させ、その位置で信号処理装置９１からの焦点位置検出信号ＦＳに基づいて駆動装置２１を介して基板テーブル１８のＺ位置を調整して焦点位置合わせを行なうが、この際に、主制御装置４４では、先に演算した差分を用いて焦点検出系の検出信号ＦＳに電気的にオフセットを設定して焦点位置合わせを行なう。
【００８３】そして、その時のウエハＷ表面の光軸方向位置を保持したたまま、露光領域ｓａが露光位置に位置決めされるように、駆動装置２１を介してＸステージ１２及びＹステージ１６の一方又は両方を駆動して基板テーブル１８を露光位置まで移動させ、露光を行なう。
【００８４】この場合において、
メモリ９６内に露光領域ｓａの中心あるいはその近傍の像面湾曲データが存在しない場合には、メモリ９６内に存在するその点に近い点の像面湾曲データを２次ないし６次関数を用いて補間し、この補間後の像面湾曲データとブラインド設定情報とに基づいて露光領域ｓａの中心で上記と同様にして焦点位置合わせを行なうようにすれば良い。
　
第４　対比、判断
（１）ここで、本願発明と引用発明を対比する
　引用発明の「予め各対物レンズ毎の像面湾曲量のデータにより段差測定値を補正する」の事項から、引用発明は、対物レンズを「複数」用意しておいて、各対物レンズ毎に「像面湾曲量のデータにより段差測定値を補正する」ものであることが認定できる。したがって、引用発明が「光源からの光を所定の位置に集光させる複数の対物レンズ」を備えることは明らかである。
　
　引用発明の「第１のガルバノミラー３を偏向駆動して光ビーム２を例えばＸ方向に走査するとともに第２のガルバノミラー９を偏向駆動して光ビーム２を例えばＹ方向に走査し」、「第１及び第２のガルバノミラー３、９によりＸＹ方向に固定偏光された光ビーム２は、瞳投影レンズ１０、結像レンズ１１を通って対物レンズ４の瞳１２に入射し、この対物レンズ４によって試料１３面上に回折によって制限される点状光を発生させ、かつこの点状光を試料１３面上の目的の部位のみに照射させ」る構造が、本願発明の「前記対物レンズにより集光された光束を試料の表面に沿って相対的に走査させる走査機構」に相当する。
　
　引用発明の「自動合焦の際には、Ｚステージ１９を駆動して対物レンズ４に対して試料１３面とを相対的に光軸方向（Ｚ方向）に移動させ」る構造が、本願発明の「前記対物レンズの光軸に沿って前記光束の集光位置と前記試料を相対的に移動させる移動機構」に相当する。
　
　引用発明の「ピンホール１６」が、本願発明の「集光位置と共役な位置に配置された微小開口」に相当し、引用発明の「検出器１７」は、「集光レンズ１５、ピンホール１６を介して」「検出ビーム１４」を検出するものであるから、本願発明の「前記微小開口を通過する光の強度を検出する光検出器」に相当する。
　
　引用発明においては「検出器１７から出力される輝度情報を取り込んで反射ビームの強度が最大となるＺ位置を判定し、合焦位置までＺステージ１９を移動させて視野中心において合焦、すなわち試料１３の表面１３ｂ上の合焦画像を得たい目的の部位｛画素位置（ｉ，ｊ）｝に対して合焦した画像２１をモニタ２２に表示」するから、引用発明の「検出器１７から出力される輝度情報」は、「試料１３の表面１３ｂ上の合焦画像を得たい目的の部位｛画素位置（ｉ，ｊ）｝に対して合焦した画像２１」を得るための情報（データ）である。一方、本願発明の「画像データ」は、本願明細書の【０００４】【００１３】段落の記載からして、スライス像に関するデータであって、複数枚のスライス像の中から、その最大値をとる光軸方向の位置を記憶して、走査した試料の三次元の表面形状画像を得るための「光量」のことと解することができる。上記の点にかんがみれば、引用発明の「検出器１７から出力される輝度情報」が、本願発明の「光検出器からの信号」である「画像データ」に相当するといえる。
　また、引用発明の「自動合焦の際には、Ｚステージ１９を駆動して対物レンズ４に対して試料１３面とを相対的に光軸方向（Ｚ方向）に移動させ、このときに検出器１７から出力される輝度情報を取り込んで反射ビームの強度が最大となるＺ位置」が、本願発明の「光検出器からの信号が最大となる前記移動機構の高さ情報」に相当する。
　したがって、引用発明の「検出器１７から出力される輝度情報を取り込んで反射ビームの強度が最大となるＺ位置を判定」する「制御装置３０」と、本願発明の「前記光検出器からの信号を画像データとして記憶する第１記憶装置と、前記光検出器からの信号が最大となる前記移動機構の高さ情報を記憶する第２記憶装置とを有する演算装置」とは、「前記光検出器からの信号を画像データとして取得し、前記光検出器からの信号が最大となる前記移動機構の高さ情報を算出する演算装置」である点で一致する。
　
　引用発明において「予め各対物レンズ毎の像面湾曲量のデータにより段差測定値を補正する」ためには、「各対物レンズ毎の像面湾曲量のデータ」は、予め測定されて記憶されているものであることは技術常識から考えて当然のことであり、したがって、引用発明が「前記対物レンズ毎に」「得られる像面湾曲補正データを予め記憶する像面湾曲補正データ記憶部」を備えることは明らかである。
　引用発明の「顕微鏡視野内の像面湾曲収差の大きさが無視できないほどの微小な段差を測定する場合には、予め各対物レンズ毎の像面湾曲量のデータにより段差測定値を補正する」ことと、本願発明の「前記対物レンズ毎に前記走査機構によって決まる所定の走査範囲で平面試料を走査したときに得られる像面湾曲補正データを予め記憶する像面湾曲補正データ記憶部と、前記像面湾曲補正データ記憶部に予め記憶されている前記試料を走査するときの前記対物レンズに対応する前記像面湾曲補正データから、前記試料を走査するときの前記走査機構によって決まる走査範囲に該当するデータを取得し、取得した前記データのデータ数と前記第１記憶装置に記憶された前記試料を走査したときの前記画像データのデータ数とが同じとなるように補間処理して算出される計算用補正データを記憶する計算用補正データ記憶部と、を備え、前記演算装置は、前記計算用補正データ記憶部に記憶されている前記計算用補正データによって前記第２記憶装置に記憶された高さ情報を補正する」こととは、「前記対物レンズ毎に得られる像面湾曲補正データを予め記憶する像面湾曲補正データ記憶部と、を備え」、「前記像面湾曲補正データ記憶部に予め記憶されている前記像面湾曲補正データによって前記光検出器からの信号が最大となる前記移動機構の高さ情報を補正する」ことで一致する。
　
（２）一致点
　よって、本願発明と引用発明とは、
「光源からの光を所定の位置に集光させる複数の対物レンズと、
　前記対物レンズにより集光された光束を試料の表面に沿って相対的に走査させる走査機構と、
　前記対物レンズの光軸に沿って前記光束の集光位置と前記試料を相対的に移動させる移動機構と、
　前記集光位置と共役な位置に配置された微小開口と、前記微小開口を通過する光の強度を検出する光検出器と、
　前記光検出器からの信号を画像データとして取得し、また、前記光検出器からの信号が最大となる前記移動機構の高さ情報を取得する演算装置と、
　前記対物レンズ毎に得られる像面湾曲補正データを予め記憶する像面湾曲補正データ記憶部と、を備え、
　各対物レンズ毎の予め記憶された像面湾曲補正データを用いて前記光検出器からの信号が最大となる前記移動機構の高さ情報を補正する共焦点走査型顕微鏡。」の発明である点で一致し、次の各点で相違する。
　
（３）相違点
ア　相違点１
　本願発明は、対物レンズ毎の像面湾曲補正データが「走査機構によって決まる所定の走査範囲で平面試料を走査したときに得」られるものであるのに対して、引用発明においてはそのような限定がなされていない点。
　
イ　相違点２
　両者は、光検出器からの信号を画像データとして取得し、また、光検出器からの信号が最大となる前記移動機構の高さ情報を取得する点で一致しているが、本願発明の演算装置は、上記の取得したデータを、それぞれ、第１記憶装置及び第２記憶装置に記憶するのに対して、引用発明においてはその点について明確でない点。
　
ウ　相違点３
　両者は、「各対物レンズ毎の予め記憶された像面湾曲補正データを用いて、光検出器からの信号が最大となる移動機構の高さ情報の補正」をするものである点では一致するものの、本願発明においては、上記の補正が、「前記像面湾曲補正データから、前記試料を走査するときの前記走査機構によって決まる走査範囲に該当するデータを取得し、取得した前記データのデータ数と前記第１記憶装置に記憶された前記試料を走査したときの前記画像データのデータ数とが同じとなるように補間処理して算出される計算用補正データ」によってなされ、また、「計算用補正データを記憶する計算用補正データ記憶部を備える」のに対し、引用発明ではそのような限定がなされていない点。
　
（４）上記各相違点について検討する。
ア　相違点１について
　引用例２においても、最大測定可能試料サイズの範囲、すなわち、走査機構によって決まる範囲についての「（参照平面１３′を測定した信号である）光学系の像面湾曲収差による誤差データ」を有するものであることは自明といえるから、像面湾曲補正データを「走査機構によって決まる所定の走査範囲で平面試料を走査し」て得ることは、引用例２に記載されているように周知の技術であるといえる。
　引用発明の像面湾曲量のデータに、上記の周知技術を採用し、「走査機構によって決まる所定の走査範囲で平面試料を走査し」て得るものとすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
イ　相違点２について
　演算等に必要な各種データを記憶装置に記憶しておくことは、通常行われている周知の技術であり、引用発明においても、当該周知の技術を採用して、「光検出器からの信号を画像データとして記憶する第１記憶装置及び取得した光検出器からの信号が最大となる前記移動機構の高さ情報を記憶する第２記憶装置を備える」とすることは当業者が容易に想到し得ることである。
　
ウ　相違点３について
　相違点３の本願発明に係る「前記像面湾曲補正データから、前記試料を走査するときの前記走査機構によって決まる走査範囲に該当するデータを取得し、取得した前記データのデータ数と前記第１記憶装置に記憶された前記試料を走査したときの前記画像データのデータ数とが同じとなるように補間処理」することについて、平成２１年１１月１１日付けの意見書において、請求人は、
「本願の出願当初明細書には、測定データを取得する方法と像面湾曲補正データを取得する方法は、Ｚ軸方向の移動ステップ量と二次元走査スキャナの走査範囲を変更する旨の記載はあるが、一方で、他のパラメータの条件（走査ステップ等）の変更をする旨の記載はないのであるから、他のパラメータの条件（走査ステップ等）は、当業者であれば、同じであると判断することは明らかです。
　また、本願の出願当初の明細書における段落［００１６］に記載されているように、画像データａを取得したときの二次元走査スキャナの走査範囲が最大走査範囲の１/２であり、像面湾曲補正データを取得したときの走査範囲と異なる場合、像面湾曲補正データから、画像データａを取得したときの二次元走査スキャナの走査範囲に該当するデータを取り出すが、この時、最大走査範囲で取得する像面湾曲補正データの走査ステップと、最大走査範囲の１/２で取得する画像データａの走査ステップとは、上記で説明した通り同じであるため、取り出したデータの数は、画像データａのデータ数と異なることは明らかです。」（意見書第５ページ第４３行〜第６ページ第６行）と主張している。
　上記主張について検討すると、上記の「最大走査範囲で取得する像面湾曲補正データの走査ステップ」と、「最大走査範囲の１/２で取得する画像データａの走査ステップ」において同じであるとしている「走査ステップ」とは、「走査ステップの数」を意味していて、したがって、各走査ステップのピッチ（走査範囲／走査ステップ数）は異なることになり、それ故に、像面湾曲補正データを「最大走査範囲の１/２」という範囲で取り出した場合には、データ数は、像面湾曲補正データと画像データとで異なるという意味の主張であると解することができる。
　すなわち、像面湾曲補正データを得た位置間隔よりも細かい位置間隔で（小さなステップピッチで）画像データを取得した場合には、像面湾曲補正データが予め取得されていない位置についても、画像データが取得されていることになるので、像面湾曲補正データについて補間処理を行って前記取得されていない位置のデータを算出することによって、両者のデータ数を同じにすることを意味しているものと解することができる。
　そこで、上記のように解した場合に、上記相違点３について検討する。
　引用例３には、「投影光学系ＰＬ１の結像面のフォーカス位置の分布の計測方法」に関して「計測されるのは像高Ｈ上の所定の複数の計測点でのフォーカス位置であるため、それらの間の像高でのフォーカス位置は前後の計測点でのフォーカス位置を補間して得られる値を使用してもよい」ことが記載されている。
　また引用例４には、「投影光学系の像面湾曲データ」の取得に関して、「メモリ９６内に露光領域ｓａの中心あるいはその近傍の像面湾曲データが存在しない場合には、メモリ９６内に存在するその点に近い点の像面湾曲データを２次ないし６次関数を用いて補間し、この補間後の像面湾曲データとブラインド設定情報とに基づいて露光領域ｓａの中心で上記と同様にして焦点位置合わせを行なうように」することが記載されている。
　一般に、必要なデータが足りないときに近隣のデータから補間することは様々な技術分野で広く行われていることであり、また、上記引用例３，４にも記載されているとおり、光学系での像面湾曲データも含めたデータ取得に関しても、必要とする特定位置におけるデータが得られない場合に、近傍の位置のデータを用いて補間処理して、上記の特定位置でのデータを得ることは、周知の技術であるといえる。
　してみると、引用発明に、上記周知技術を採用し、像面湾曲補正データは予め取得されていないが、画像データは取得された位置について、像面湾曲補正データを補間処理をしてデータを取得するよう構成することは当業者が容易に想到し得たことである。
　また、「計算用補正データを記憶する計算用補正データ記憶部を備える」ことは、当業者が必要に応じて適宜なし得ることである。
　よって、引用発明において、上記周知技術を採用し、上記相違点３に係る本願発明の発明特定事項を得ることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　
　なお、上記意見書の主張の解釈に関して、「最大走査範囲で取得する像面湾曲補正データの走査ステップ」と、「最大走査範囲の１/２で取得する画像データａの走査ステップ」において同じであるとしている「走査ステップ」が、走査ステップのピッチのことであると解した場合、画像データのデータ数と、「最大走査範囲の１/２」という範囲で取り出した像面湾曲補正データのデータ数とは、同じになり、像面湾曲補正データを補間処理する必要がなくなるから、上記相違点３が技術的に意味を有しないことになる。したがって、その場合においても、上記相違点３に係る本願発明の発明特定事項によって本願発明が発明の進歩性を有するものとはならない。
　
（５）そして、本願発明によってもたらされる効果は、引用発明、引用例２に記載された発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
（６）したがって、本願発明は、引用発明、引用例２に記載された発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明することができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　
第５　むすび
　以上より、本願発明は、引用例１及び２に記載された発明、並びに、周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。