【事件の表示】
　平成　７年特許願第１８２２５８号「真空中処理における加工物の高速度移動」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年　７月１２日出願公開、特開平　８−１８１１８９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成７年６月２７日（パリ条約に基づく優先権主張１９９４年６月３０日、アメリカ合衆国）の特許出願であって、同１６年１月１９日付で拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同１６年７月２７日に意見書と共に明細書について手続補正書が提出されたが、同１６年１１月３０日付で拒絶をすべき旨の査定がされ、同１７年３月７日に本件審判の請求がされると共に明細書について再度手続補正書が提出されたものである。
　
第２　平成１７年３月７日付の補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１７年３月７日付の補正を却下する。
［理由］
１　補正の内容
　平成１７年３月７日付の補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲について補正をするものであって、その請求項２３について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
（１）補正前
「真空室と、ウエーハを大気圧中から前記真空室中に受け入れるための第１及び第２エアロックと、前記真空室中に設けた処理部と、前記処理部と前記第１及び第２エアロックとの間に配置した第１及び第２ロボットと、少なくとも２個のウエーハが同時に前記真空室中で移送状態に維持されるように前記第１及び第２ロボットを制御する制御手段とよりなるウエーハの移送装置。」
（２）補正後
「真空室と、ウエーハを大気圧中から前記真空室中に受け入れるための第１及び第２エアロックと、前記真空室中に設けた処理部と、前記処理部と前記第１及び第２エアロックとの間に配置した第１及び第２ロボットと、少なくとも２個のウエーハが同時に前記真空室中で移送状態に維持されるように前記第１及び第２ロボットを制御する制御手段とよりな
り、前記第１及び第２ロボットはすべてのウエーハを前記第１カセットから前記処理部を通して移動させそして第１カセットへ戻し、それに続いて前記第２カセットから前記処理部を通して移動させそして第２カセットへ戻すように動作する、
２　補正の適否
　上記請求項２３の補正は、「前記第１及び第２ロボットはすべてのウエーハを前記第１カセットから前記処理部を通して移動させそして第１カセットへ戻し、それに続いて前記第２カセットから前記処理部を通して移動させそして第２カセットへ戻すように動作する」という事項を付加するものであり特許請求の範囲の減縮を目的とすることが明らかであるので、さらに、補正後の特許請求の範囲の請求項２３に係る発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
（なお、上記付加事項中に「前記第１カセット」及び「前記第２カセット」という記載があるが、各カセットは前記されておらず、それぞれ「前記」を除いた「第１カセット」及び「第２カセット」の明らかな誤記である。）
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、上記した明らかな誤記を除いて上記１（２）に示す特許請求の範囲の請求項２３に記載された事項により特定されるとおりの「ウエーハの移送装置」であると認める。
（２）引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願の優先権主張日前に日本国内において頒布された刊行物である特開平５−１３５４９号公報（以下「引用例」という。）には以下の事項が記載されている。
ア　明細書の段落番号【０００１】
「【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は真空搬送処理装置に関するもので、更に詳細には、例えば半導体ウエハ（以下にウエハという）等の板状の被処理体を真空雰囲気内において効率良く所定の処理部に搬送する真空搬送処理装置に関するものである。」
イ　明細書の段落番号【００１４】〜【００１５】
「【００１４】◎第一実施例
図１はこの発明の第一実施例の真空搬送処理装置を有するＣＶＤ装置の概略平面図、図２はこの発明の第一実施例の真空搬送処理装置をウエハ搬送装置に適用した場合の平断面図が示されている。
【００１５】この発明の真空搬送処理装置は、被処理体であるウエハＡを薄膜処理する複数（図面では３つの場合を示す）処理室１と、例えばモノシラン（ＳｉＨ4 ）等の反応性ガスをウエハＡに供給するガス供給部２と、このガス供給部２から処理室１に所定のガス圧力、流量で処理ガスを供給制御する装置部分とこれらを電気的に制御する電気系統部を有する制御部３と、処理室１を大気に開放しないでウエハの搬送を行えるようにする真空のロードロック室４と、ロードロック室４にゲートバルブ６を介して連通する２つのウエハカセット室５，５とを具備しており、ロードロック室４内にウエハＡの位置合わせ部２０、第１及び第２のウエハ反転手段３０ａ，３０ｂ、ウエハＡの仮置き部４０及び第１及び第２のウエハ搬送手段５０ａ，５０ｂが配設され、また、処理室１とロードロック室４とを連通する真空の搬送室７内に第３のウエハ搬送手段５０ｃが配設されている。なお、符号８は操作盤、９はカセット室５の扉である。」
ウ　明細書の段落番号【００１７】
「【００１７】カセット室５は図示しない排気手段に接続されて真空状態が維持されるようになっており、また、カセット室５の正面側の壁にはカセットＢの出し入れのための窓５ａが開設され、この窓にゲートバルブ６が開閉可能に取り付けられている。更に、このカセット室５内にはカセット室５の外方に配設されたカセット載置台６０上に載置されたカセットＢを搬入・搬出するためのカセット搬入・搬出機構５ｂが配設されている。」
エ　明細書の段落番号【００２８】
「【００２８】一方、ウエハ搬送手段は、ロードロック室４内において位置合せ部２０に関して左右対称位置に配設される第１及び第２のウエハ搬送手段５０ａ及び５０ｂと、処理室１とロードロック室４との間に位置する搬送室７内に配設される第３のウエハ搬送手段５０ｃとで構成されている。この場合、ウエハ搬送手段５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、図２に示すように、回転及び昇降可能な回転中心を有する基部アーム５２の自由端部に軸５４をもって第１のアーム５３ａを枢着すると共に、第１のアーム５３ａの自由端部に軸５４をもって第２のアーム５３ｂを枢着し、そして、第２のアーム５３ｂの自由端部にウエハ把持部５１を枢着した構造となっている。」
オ　明細書の段落番号【００４０】〜【００４９】
「【００４０】◎第二実施例
図９はこの発明の真空搬送処理装置の第二実施例の概略平面図が示されている。
【００４１】第二実施例における真空搬送処理装置は処理室が１つで、かつ、反転手段で反転されたウエハを直接処理室内に搬送するようにした場合である。すなわち、ロードロック室４に連通する２つの窓５ａ，５ａを介して処理室１を配設し、第１及び第２のウエハ搬送手段５０ａ，５０ｂにて第１又は第２の反転手段３０ａ，３０ｂで反転されたウエハＡを直接処理室１内に搬送し、処理後のウエハＡをウエハ搬送手段５０ａ，５０ｂにて反転手段３０ａ，３０ｂに搬送するようにした場合である。なお、図９において、その他の部分は上記第一実施例と同じであるので、同一部分には同一符号を付して、その説明は省略する。
【００４２】次に、第二実施例の作動態様について、図９を参照して説明する。ここでは、上記第一実施例と同様に左側のカセット室７内に収容されたウエハＡの搬送処理について説明する。また、各部の詳細な動作態様は上記第一実施例と同じであるので、ここでは省略して説明する。
【００４３】マル１　ウエハの位置合せ部への搬送
カセット７内に鏡面を上にした状態で収容されたウエハＡは第１のウエハ搬送手段５０ａによって保持された状態で位置合わせ部２０に移動された後、ウエハＡの中心位置合せ及びウエハＡのオリフラの位置決めが行われる。
【００４４】マル２　ウエハの反転手段への搬送
ウエハＡの中心及びオリフラの位置合せが行われた後に、第２のウエハ搬送手段５０ｂによって第２のウエハ反転手段３０ｂに移動され、第２のウエハ反転手段３０ｂの反転体３２の回転によってウエハＡは反転されて鏡面が下向きとなる。
【００４５】マル３　ウエハの処理室への搬送
ウエハＡの反転中に待機していた第２のウエハ搬送手段３０ｂによってウエハＡが処理室１内に搬送された後、処理室１内に供給される反応性ガスによってウエハＡの成膜処理が施される。
【００４６】マル４　ウエハの成膜処理後の反転手段への搬送
成膜処理後のウエハＡは第１のウエハ搬送手段５０ａによって第１のウエハ反転手段３０ａに移動された後、第１のウエハ反転手段３０ａの反転体３２の回転により反転されて鏡面が上向きとなる。
【００４７】マル５　ウエハのカセットへの搬送
第１のウエハ反転手段３０ａによって反転されたウエハＡは第１のウエハ搬送手段５０ａによってカセット室７内の元のカセットＢ内に搬入される。
【００４８】以上のマル１〜マル５の搬送処理が連続的に行われて元のカセットＢ内に処理後のウエハＡが全て収容されると、カセット搬入・搬出機構５ｂによってカセット室７からカセット載置台６０へ搬出される。
【００４９】そして、上記搬送処理中に排気手段によって真空状態に維持された他方（右側）のカセット室７内のウエハＡは、左側のカセット室７内のウエハＡの搬送処理が完了した後に上記と同様に搬送処理がが行われる。」
カ　明細書の段落番号【００５１】
「【００５１】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明の真空搬送処理装置によれば、上記のように構成されているので、未処理の被処理体の位置合せ、表裏面の反転及び処理室への搬入・搬出を効率良く行うことができる。また、被処理体搬送手段を必要最小限の数によって効率良く作動させるようにしたので、装置全体を小型にすることができると共に、被処理体の搬送を迅速に行うことができる。更には、一方の被処理体収容室内の被処理体の搬送処理中に他方の被処理体収容室内を充分真空状態に維持することができるので、一方の被処理体収納室内の被処理体の搬送処理後に連続して他方の被処理体収納室内の被処理体の搬送を行うことができ、多数の被処理体の連続搬送処理及び省エネルギ化を図ることができる。」
キ　ここで、段落番号【００４２】及び【００４７】〜【００４９】に「カセット室７」という記載があるが、図９に示されるどの部材にも「７」という番号は付されておらず、一方、段落番号【００１４】、【００１７】等には、「カセット室５」の記載があることから、これは、「カセット室５」の誤記であると認める。
　以上、アないしカの記載事項、及びキの認定事項を技術常識を考慮に入れながら補正発明に照らして整理すると引用例には以下の発明が記載されていると認める。
「真空のロードロック室４と、ウエハＡを大気圧中から前記ロードロック室４中に受け入れるための２つのウエハカセット室５，５と、２つの窓５ａ，５ａを介して前記ロードロック室４に連通する処理室１と、前記処理室１と前記２つのウエハカセット室５，５との間に配置した、回転及び昇降可能な回転中心を有する基部アーム５２，５２の自由端部に軸５４，５４をもって第１のアーム５３ａ，５３ａを枢着すると共に、第１のアーム５３ａ，５３ａの自由端部に軸５４，５４をもって第２のアーム５３ｂ，５３ｂを枢着し、そして、第２のアーム５３ｂ，５３ｂの自由端部にウエハ把持部５１，５１を枢着した構造となっている第１のウエハ搬送手段５０ａ及び第２のウエハ搬送手段５０ｂとよりなり、前記第１のウエハ搬送手段５０ａ及び第２のウエハ搬送手段５０ｂはすべてのウエハＡを一方のウエハカセット室５のカセットＢから前記処理室１を通して移動させそして同じウエハカセット室５の元のカセットＢへ戻し、それに続いて他方のウエハカセット室５のカセットＢから前記処理室１を通して移動させそして同じウエハカセット室５の元のカセットＢへ戻すように動作する真空搬送処理装置。」
（３）対比
　補正発明と引用例記載の発明とを対比すると、以下のとおりである。
　引用例記載の「真空のロードロック室４」は、補正発明の「真空室」に相当し、以下同様に、「ウエハＡ」は、「ウエーハ」に、「２つのウエハカセット室５，５」は、「第１及び第２エアロック」に、「回転及び昇降可能な回転中心を有する基部アーム５２，５２の自由端部に軸５４，５４をもって第１のアーム５３ａ，５３ａを枢着すると共に、第１のアーム５３ａ，５３ａの自由端部に軸５４，５４をもって第２のアーム５３ｂ，５３ｂを枢着し、そして、第２のアーム５３ｂ，５３ｂの自由端部にウエハ把持部５１，５１を枢着した構造となっている第１のウエハ搬送手段５０ａ及び第２のウエハ搬送手段５０ｂ」は、「第１及び第２ロボット」に、「一方のウエハカセット室５のカセットＢ」は、「第１カセット」に、「他方のウエハカセット室５のカセットＢ」は、「第２カセット」に、それぞれ相当している。
　そして、引用例記載の発明の「処理室１」は、窓５ａ，５ａを介して真空室に相当するロードロック室４と連通しており、ほぼ真空に保たれた室であることから、「処理室１」も真空室を構成するものであると見ることもでき、そうすると、引用例記載の発明の「ロードロック室４に連通する処理室１」は、補正発明の「真空室中に設けた処理部」と表現することもできる。
　また、引用例記載の発明は、「真空搬送処理装置」として表現されているが、補正発明と同様に「ウエーハの移送装置」としても表現できることが明らかである。
　したがって、補正発明と引用例記載の発明とは、以下の点で一致しているということができる。             
「真空室と、ウエーハを大気圧中から前記真空室中に受け入れるための第１及び第２エアロックと、前記真空室中に設けた処理部と、前記処理部と前記第１及び第２エアロックとの間に配置した第１及び第２ロボットとよりなり、前記第１及び第２ロボットはすべてのウエーハを第１カセットから前記処理部を通して移動させそして第１カセットへ戻し、それに続いて第２カセットから前記処理部を通して移動させそして第２カセットへ戻すように動作する、ウエーハの移送装置。」
　そして、補正発明と引用例記載の発明とは、以下の点で相違している。
相違点
　補正発明では、少なくとも２個のウエーハが同時に前記真空室中で移送状態に維持されるように前記第１及び第２ロボットを制御する制御手段を備えているのに対して、引用例記載の発明では、そのような制御手段を備えているのかどうか明らかでない点。
（４）相違点の検討
　一般に、ウエーハを２つのロボットによって移送する際、その作業能率を向上させるために、少なくとも２個のウエーハが同時に移送状態に維持されるように２つのロボットを制御することは、例えば、特開平１−９３０４３号公報（特に、第５頁左下欄第１８行〜同頁右下欄第９行の「尚、以上においては、−枚のウエハ１０に注目してそれを大気側から搬入して処理して大気側に搬出するまでの動作を説明したが、実際は未処理のウエハ１０を大気側から搬入してホルダ６に装着するローディング動作と、ホルダ６上の処理済のウエハ１０を大気側に搬出するアンローディング動作とは並行して行われる。従ってこの装置によれば、ホルダ６に対するウエハ１０の出し入れを同時に並行して行なえるので、ウエハ１０のハンドリング時間が第６図の装置に比べて大幅に短縮でき、その結果当該装置のスループットも向上する。」参照のこと。）、特開平４−２６２５５５号公報（特に、第２頁段落番号【０００７】の「かかる装置では、ピンセット２を２個設けたので、処理機構６６〜７０のいずれかから半導体ウエハ９０を搬出する際に、これと同時に、次に処理を行う半導体ウエハ９０をこの処理機構に搬入して載置することができ、したがって、処理工程に要する時間を削減することができる。」参照のこと。）、特開昭６３−２３６３４２号公報（特に、第２頁左上欄第３〜１２行の「本発明は上記構成を有するので、ローダ部から供給されたウエハをベルト搬送して予備室の中間部に位置させた状態でダブル移動アームを作動させることにより、ウエハ処理部で処理済のウエハを予備室の中間部に取り出すと同時に未処理のウエハをウエハ処理部内供給することができ、予備室の中間部に取り出した処理済ウエハをアンローダ部にベルト搬送する間に次のローダ部から供給されたウエハを中間部に搬送することができ、以上の動作を繰り返すことによりウエハ処理部に対するウエハの搬入・搬出を短時間で能率的に行うことができる。」参照のこと。）等に示されているように従来周知であり、この従来周知の事項を引用例記載の発明に適用して、補正発明のように構成することに格別の困難性は見当たらない。
ウ　補正発明の効果について
　補正発明によってもたらされる効果も、引用例記載の発明及び上記従来周知の事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
エ　したがって、補正発明は、引用例記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
３　むすび
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本件発明について    
１　本件発明
　平成１７年３月７日付の補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、平成１６年７月２７日付手続補正書により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項２３に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、平成１６年１月１９日付の拒絶の理由が通知された請求項の一つである請求項１７に係る発明（以下「本件発明」という。）は、以下のとおりである。
「処理部を有する処理ラインを有する真空室と、
　大気圧にある一組の加工物を受け入れ、減圧して前記真空室に連通する第１及び第２エアロックと、
　加工物を前記第１エアロックと前記処理ラインとの間で移動させる第１移送機構と、
　加工物を前記第２エアロックと前記処理ラインとの間で移動させる第２移送機構と、
　加工物を前記エアロックの一方から前記処理部へ移送する間に、前記エアロックの他方が大気圧にある一組の加工物を受取るか又は放出し、前記真空室中を移送中の加工物が同時に少なくとも２個であるように前記第１及び第２移送機構を同期させる制御手段と、
よりなる、真空サイクルを減じ、加工物の処理を排気と並行して実行するようにした加工物の処理装置。」
２　引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された引用例及びその記載事項は、上記第２の２（２）のアないしキに摘記及び認定したとおりである。
　そこで、引用例の記載事項を技術常識を考慮に入れながら改めて本件発明に照らして整理すると引用例には以下の発明が記載されていると認める。
「処理室１と連通する真空のロードロック室４と、
　大気圧にある一組の加工物であるウエハＡを受け入れ、減圧して前記ロードロック室４に連通する２つのウエハカセット室５，５と、
　ウエハＡを前記２つのウエハカセット室５，５の一方とロードロック室４内の位置合わせ部２０との間、前記位置合わせ部２０と前記処理室１との間及び前記処理室１と前記２つのウエハカセット室５，５の一方との間で移動させる第１のウエハ搬送手段５０ａと、
　ウエハＡを前記２つのウエハカセット室５，５の他方と前記位置合わせ部２０との間、前記位置合わせ部２０と前記処理室１との間及び前記処理室１と前記２つのウエハカセット室５，５の他方との間で移動させる第２のウエハ搬送手段５０ｂと、
　ウエハＡを前記ウエハカセット室５，５の一方から前記処理室１へ移送する間に、前記ウエハカセット室５，５の他方が大気圧にある一組の加工物を受取るか又は放出する手段と、
よりなる、ウエハＡの処理を排気と並行して実行するようにしたウエハＡの真空搬送処理装置。」
３　対比
　本件発明と引用例記載の発明とを対比すると、以下のとおりである。
　引用例記載の発明の「ウエハＡ」は、本件発明の「加工物」に相当し、同様に、「２つのウエハカセット室５，５」は、本件発明の「第１及び第２エアロック」に相当することが明らかである。
　また、引用例記載の発明における真空のロードロック室４内の位置合わせ部２０を含む加工物の移動経路は、「処理ライン」ということができるものであり、引用例記載の発明の「処理室１と連通する真空のロードロック室４」は、本件発明の「処理部を有する処理ラインを有する真空室」に相当する。
　そして、引用例記載の発明の「ウエハＡを前記２つのウエハカセット室５，５の一方とロードロック室４内の位置合わせ部２０との間、前記位置合わせ部２０と前記処理室１との間及び前記処理室１と前記２つのウエハカセット室５，５の一方との間で移動させる第１のウエハ搬送手段５０ａ」及び「ウエハＡを前記２つのウエハカセット室５，５の他方と前記位置合わせ部２０との間、前記位置合わせ部２０と前記処理室１との間及び前記処理室１と前記２つのウエハカセット室５，５の他方との間で移動させる第２のウエハ搬送手段５０ｂ」は、それぞれ本件発明の「加工物を前記第１エアロックと前記処理ラインとの間で移動させる第１移送機構」及び「加工物を前記第２エアロックと前記処理ラインとの間で移動させる第２移送機構」に相当する。
　また、引用例記載の発明は、「ウエハＡの真空搬送処理装置」として表現されているが、本件発明と同様に「加工物の処理装置」としても表現できることが明らかである。
　したがって、本件発明と引用例記載の発明とは、以下の一致点及び相違点を有しているということができる。 
（１）一致点
「処理部を有する処理ラインを有する真空室と、
　大気圧にある一組の加工物を受け入れ、減圧して前記真空室に連通する第１及び第２エアロックと、
　加工物を前記第１エアロックと前記処理ラインとの間で移動させる第１移送機構と、
　加工物を前記第２エアロックと前記処理ラインとの間で移動させる第２移送機構と、
　加工物を前記エアロックの一方から前記処理部へ移送する間に、前記エアロックの他方が大気圧にある一組の加工物を受取るか又は放出させる手段と、
よりなる、加工物の処理を排気と並行して実行するようにした加工物の処理装置。」
（２）相違点
　本件発明では、真空室中を移送中の加工物が同時に少なくとも２個であるように第１及び第２移送機構を同期させる制御手段を有し、真空サイクルを減じるのに対して、引用例記載の発明では、そのようになっているのかどうか明らかでない点。
４　相違点の検討
　上記第２の２（４）イでその旨指摘したように、ウエーハ、すなわち加工物を２つのロボット、すなわち移送機構によって移送する際、その作業能率を向上させるために、移送中の加工物が同時に少なくとも２個であるように各移送機構を同期させることは、特開平１−９３０４３号公報、特開平４−２６２５５５号公報、特開昭６３−２３６３４２号公報等に示されているように従来周知であり、この従来周知の事項を引用例記載の発明に適用して、真空室中を移送中の加工物が同時に少なくとも２個であるように第１及び第２移送機構を同期させる制御手段を有すように構成することに格別の困難性は見当たらない。そして、このように構成することにより真空サイクルを減じることになる。
５　むすび
　したがって、本件発明は、引用例記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その余の請求項について検討するまでもなく、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。
　
　なお、本件出願の平成１６年７月２７日付手続補正書で補正された請求項２３に係る発明は、上記第２の２で検討した補正発明から「前記第１及び第２ロボットはすべてのウエーハを前記第１カセットから前記処理部を通して移動させそして第１カセットへ戻し、それに続いて前記第２カセットから前記処理部を通して移動させそして第２カセットへ戻すように動作する」という事項を削除したものであるところ、上記請求項２３に係る発明を構成する事項の全てを含み、さらに他の事項を付加する補正発明が上記第２の２（４）エで示したとおり、引用例記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、上記請求項２３に係る発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。