【手続補正書】
【提出日】平成24年1月24日(2012.1.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記一対の支持腕および前記基部を囲むようにして形成された枠体と、
前記支持腕の先端側の一部に接続し、前記一対の支持腕と前記枠体とを接続する接続腕と、を備え、
前記支持腕と前記接続腕と前記枠体とが一体に形成される請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
前記第１工程および前記第２工程とは、同時に前記圧電材料をエッチングすることで形成される請求項８に記載の圧電振動片の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
【図１】（ａ）は、圧電振動片１００の平面図である。  （ｂ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ断面における圧電振動片１００の断面図である。  （ｃ）は、図１（ａ）のＣ−Ｃ断面における圧電振動片１００の断面図である。
【図２】（ａ）は、圧電デバイス１０００の斜視図である。  （ｂ）は、＋Ｚ軸方向より−Ｚ軸方向へ見た圧電デバイス１０００の図である。  （ｃ）は、図２（ｂ）のＤ−Ｄ断面における圧電デバイス１０００の断面図である。
【図３】（ａ）は、圧電材ウエハ５０の平面図である。  （ｂ）は、図３（ａ）の点線の枠６０を拡大した図である。
【図４】金属膜及びフォトレジスト膜形成工程のフローチャート及びその説明のための図である。
【図５】圧電材ウエハ５０のエッチング工程のフローチャート及びその説明のための図である。
【図６】（ａ）は、圧電振動片１１０の概略断面図である。  （ｂ）は、圧電振動片１２０の概略断面図である。  （ｃ）は、圧電振動片１３０の概略断面図である。  （ｄ）は、圧電振動片１４０の概略断面図である。  （ｅ１）は、圧電振動片１５０の平面図である。  （ｅ２）は、図５（ｅ１）のＧ−Ｇ断面における圧電振動片１５０の断面図である。
【図７】圧電振動片１１０の作製方法を示したフローチャート及びその説明の図を示す。
【図８】（ａ）は、圧電振動片２００の平面図である。  （ｂ）は、図８（ａ）のＨ−Ｈ断面における圧電デバイス２０００の分解断面図である。
【図９】（ａ）は、圧電振動片３００の平面図である。  （ｂ）は、図９（ａ）のＩ−Ｉ断面における圧電振動片３００の断面図である。  （ｃ）は、図９（ａ）のＪ−Ｊ断面における圧電振動片３００の断面図である。
【図１０】（ａ）は、＋Ｚ軸方向から−Ｚ軸方向に見たときの圧電デバイス３０００の断面図である。  （ｂ）は、図１０（ａ）のＫ−Ｋ断面における圧電デバイス３０００の断面図である。
【図１１】（ａ）は、圧電振動片３１０の平面図である。  （ｂ）は、図１１（ａ）のＭ−Ｍ断面における圧電振動片３１０の断面図である。  （ｃ）は、圧電振動片３２０の平面図である。  （ｄ）は、図１１（ｃ）のＮ−Ｎ断面における圧電振動片３２０の断面図である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
図３（ａ）は、圧電材ウエハ５０の平面図である。圧電材ウエハ５０の周縁部の一部には結晶方向を特定するためのオリエンテーションフラット５１が形成されている。圧電材ウエハ５０は、例えば厚さ約０．１２ｍｍのＺカットの水晶板からなり、直径は３インチまたは４インチである。圧電材ウエハ５０上には複数の圧電振動片１００が形成される。図３（ａ）には３つの圧電基板ＡＫの形成例を示している。点線の枠６０内には、１つの圧電基板ＡＫが形成されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
ステップＳ１０５では、圧電材ウエハ５０上に残っているフォトレジスト膜ＰＭを除去し、圧電材ウエハ５０の全面に再びフォトレジストを塗布してフォトレジスト膜ＰＭを形成する（図４（ｅ）参照）。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
＜圧電振動片２００の構成＞
図８（ａ）は、圧電振動片２００の平面図である。圧電振動片２００には、図１で説明した圧電振動片１００を取り囲むように枠体２０１が形成されている。枠体２０１と圧電振動片１００の支持腕１３の先端部とは接続腕２０２によって接続されている。圧電振動片２００は、支持腕１３と、接続腕２０２と、枠体２０１と、励振溝部１６とが基部１１よりも厚さが薄くなっている。また、図８（ａ）に示すハッチングは、圧電振動片２００の厚さが薄い領域を示している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
圧電振動片２００の支持腕１３の形状、厚さは図６に示したような形状、厚さを有することができる。また、枠体２０１又は接続腕２０２の厚さは、適度な強度を持てばどのような厚さでも良い。振動腕１２に形成される励振電極ＲＤ（図８（ｂ）参照）と接続されている引出電極ＨＤ（図８（ｂ）参照）は、支持腕１３、枠体２０１を通り、枠体２０１の隅の電極接続部２０３まで引き出され、電極接続部２０３においてベースＢＳに取り付けられた接続電極ＳＤ（図８（ｂ）参照）と接続される。支持腕１３の厚さを振動腕１２よりも薄く形成することによって、支持腕１３で発生するスプリアスの周波数と振動腕１２で発生する主振動の周波数との差を広げることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
図８（ｂ）は、図８（ａ）のＨ−Ｈ断面における圧電デバイス２０００の分解断面図である。圧電デバイス２０００は、圧電振動片２００が凹み付きのリッドＬＤと凹み付きのベースＢＳとに挟まれて形成される。枠体２０１の電極接続部２０３に形成された引出電極ＨＤとベースＢＳに形成されている接続電極ＳＤとが接続される。さらに、接続電極ＳＤとベースＢＳの外側に形成される外部電極ＧＤとは導通部ＣＤを通して電気的に接続されているため、圧電振動片２００の励振電極ＲＤは外部電極ＧＤと電気的に接続される。また、リッドＬＤとベースＢＳと枠体２０１とはシロキサン結合により接続され、圧電デバイス２０００の中が密封される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
圧電振動片３００の支持腕１３の支持腕溝部３０１と、パッケージＰＫの接続電極ＳＤとは、導電性接着材ＤＳを介して互いに接着される。支持腕１３には支持腕溝部３０１が形成されているため、支持腕溝部３０１が形成されていない場合と比べて導電性接着材ＤＳとの接着領域が広くなる。そのため、圧電振動片３００の接着強度を強めることができる。圧電振動片３００の接着強度を高めるために、側壁１９で囲まれる支持腕溝部３０１の大きさが、パッケージＰＫの接続電極ＳＤの大きさよりも若干大きいことが好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
図１１（ｃ）は、圧電振動片３２０の平面図である。圧電振動片３２０は、支持腕１３の厚さが薄く、また、支持腕１３の先端付近に支持腕溝部３０１が形成されている。圧電振動片３２０は、支持腕１３が基部１１よりも薄く形成されることで、支持腕１３のスプリアスの影響を抑えることができる。さらに、支持腕溝部３０１で接続電極ＳＤと接続されることにより、ＣＩ値を下げることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
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