【事件の表示】
　平成９年特許願第７７４０号「カップ式めっき装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年８月４日出願公開、特開平１０−２０４６７９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成９年１月２０日に出願されたものであって、平成１７年７月１５日付で拒絶査定がなされ、これに対し、平成１７年８月１９日に拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。
　そして、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１７年６月１６日付手続補正書によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項によって特定された次のとおりのものである。
　「【請求項１】カップ状のめっき槽の上部開口に沿って支持部が設けられるとともに、この支持部の下側位置にめっき槽の内部から外部に貫通するめっき液流出路が設けられ、さらにめっき槽の内部にめっき液供給部が設けられ、そしてめっき液供給部から上昇流で供給されるめっき液にめっき液流出路からめっき槽の外部へ流出する流れを形成させ、このめっき液に支持部に載置のめっき対象物の被めっき面を接触させることで、めっきを施すようになっているカップ式めっき装置において、
　めっき液流出路の入口に沿って導流壁を設け、該導流壁の上端をめっき液流出路の入口の上端よりも支持部に近接させるとともに、該導流壁上端と被めっき面との隙間を支持部厚みより小さくすることにより、
　被めっき面及び支持部内周面と導流壁との間に形成される隙間がめっき液流出路の入口よりも小さくし、めっき液流出路の入口に向けてのめっき液の流れに強制的な蛇行流を与えるようにし、被めっき面とめっき液流出路との間にある段差部に気泡が滞留することを防止したことを特徴とするカップ式めっき装置。」
　
２．引用例及びその記載事項
　原査定の拒絶理由に引用された特開平６−４５２８２号公報（以下、「引用例」という。）には、次の事項が記載されている。
（ａ）「【請求項２】前記ウェーハ（１）を水平に支持するウェーハ支持リング（１２）と、
　該ウェーハ支持リング（１２）に支持され、且つ表面を下に向けた該ウェーハ（１）の側面若しくは裏面に接触するカソード端子（１６）とを有し、
　該ウェーハ（１）の表面を噴流方式で電気メッキするように構成されていることを特徴とする半導体装置の製造装置。」（特許請求の範囲）
（ｂ）「【００１２】【実施例】本発明に基づく半導体装置の製造方法及び製造装置の実施例を図１を参照しながら説明する。図１は本発明の実施例の説明図であり、製造装置（噴流式電気メッキ装置）の要部を断面図で示している。」
（ｃ）「【００１４】１１はカップであり、外側三個所に高さ調整ネジ１１ａを備えている。１２はウェーハ支持リングであり、リング状のウェーハ支持部を有し、ウェーハ１を所定の高さで水平に支持する。そのレベリングはウェーハ支持リング１２を支持する三個の高さ調整ネジ１１ａの調整による。１３はアノードであり、メッシュ状をなし、カップ１１内の中間部に固定されており、アノード端子１３ａが接続されている。
　【００１５】１４は上蓋であり、回動自在のアーム（図示は省略）に固着されており、カップ１１上方に接近及び離隔する。１５はカソード端子保持部であり、上蓋１４に嵌合して上下動する。１６はカソード端子であり、複数個（例えば四個）がカソード端子保持部１５に固着されており、カソード端子保持部１５を降下させた状態で、それぞれウェーハ支持リング１２上に載置されたウェーハ１の裏面周縁部に接触する。この接触部付近はバネ性を有している。これらのカソード端子１６の少なくとも一個は他と電気的に絶縁されてそれぞれ導通チェック手段（図示は省略）に接続されており、これらをウェーハ１を介して通電することによりウェーハ１とのオーミックコンタクトの確認が出来る。尚、カソード端子１６の接触部の下方にウェーハ１のオリエンテイションフラットが来ることがないように、ウェーハ支持リング１２には位置決めガイド（図示は省略）が設けられている。
　【００１６】・・・
　【００１７】この他、本装置は噴流ポンプ（図示は省略）等を有しており、メッキ液をカップ１１の底部から噴き上げる。メッキ液はメッシュ状のアノード１３を通過してカソードとなっているウェーハ１に達してウェーハ１をメッキし、カップ１１外にオーバーフローする。」
（ｄ）図１（ａ）の装置要部断面図には、カップ１１の上部開口に沿ってウェーハ１を支持するウェーハ支持リング１２が設けられるとともに、このウェーハ支持リング１２の下側にカップの内部から外部に貫通するメッキ液流出路が設けられ、さらにカップ１１内部にメッキ液供給部が設けられ、そしてメッキ液供給部から上昇流で供給されるメッキ液にメッキ液流出路からカップの外部へ流出する流れを形成させ、このメッキ液にウェーハ支持リング１２に載置されたウェーハ１の被メッキ面を接触させることで、メッキを施すようになっている噴流式電気メッキ装置が示され、
（ｅ）図１（ａ）には、更に上記噴流式電気メッキ装置において、メッキ液流出路の入口（高さ調節ネジ１１ａで示される箇所）に沿って凸状部を設け、該凸状部の上端をメッキ液流出路の入口（高さ調節ネジ１１ａで示される箇所）の上端よりもウェーハ支持リング１２に近接させるとともに、該凸状部の上端とウェーハ１の被メッキ面との隙間をウェーハ支持リング１２の厚み（１２のウェーハ１を支持する箇所から高さ調節ネジ１１ａまでの高さ）より小さくし、ウェーハ１の被メッキ面及びウェーハ支持リング１２内周面と該凸状部との間に形成される隙間が、メッキ液流出路の入口（高さ調節ネジ１１ａで示される箇所）より小さく、該隙間において、該凸状部の上端とウェーハ１との間に下方向に向かう「流れの矢印」と、メッキ液流出路の入口（高さ調節ネジ１１ａで示される箇所）付近に更に下方向に向かう「流れ矢印」が蛇行していることが示されている。
　
３．当審の判断
３−１．引用例記載の発明
　引用例１の上記摘記（ｃ）段落【００１４】によれば、１１はカップであり、外側三個所に高さ調整ネジ１１ａを備え、１２はウェーハ支持リングであり、リング状のウェーハ支持部を有し、ウェーハ１を所定の高さで水平に支持することが記載され、上記摘記（ｅ）によれば、図１（ａ）に、ウェーハ１の被メッキ面及びウェーハ支持リング１２内周面と該凸状部との間に形成される隙間において、該凸状部の上端とウェーハ１との間に下方向に向かう「流れの矢印」と、メッキ液流出路の入口（高さ調節ネジ１１ａで示される箇所）付近に更に下方向に向かう「流れ矢印」が蛇行していることが示されており、該２つの「流れの矢印」が蛇行していることは、メッキ液の流れに強制的な蛇行流を与えていることが示されているものである。
　そうすると、引用例の図１（ａ）に示されたことを中心にして、上記摘記（ａ）〜（ｅ）を総合すると、引用例１には、
「カップの上部開口に沿ってウェーハを水平に支持するウェーハ支持リングが設けられるとともに、このウェーハ支持リングの下側位置にカップの内部から外部に貫通するメッキ液流出路が設けられ、さらにカップの内部にメッキ液供給部が設けられ、そしてメッキ液供給部から上昇流で供給されるメッキ液にメッキ液流出路からカップの外部へ流出する流れを形成させ、このメッキ液にウェーハ支持リングに載置したウェーハの被メッキ面を接触させることで、メッキを施すようになっている噴流式電気メッキ装置において、
　メッキ液流出路の入口に沿って凸状部を設け、該凸状部の上端をメッキ液流出路の入口の上端よりもウェーハ支持リングに近接させるとともに、該凸状部上端とウェーハの被メッキ面との隙間をウェーハ支持リング厚みより小さくすることにより、
　該被メッキ面及びウェーハ支持リング内周面と凸状部との間に形成される隙間をメッキ液流出路の入口よりも小さくし、メッキ液流出路の入口に向けてのメッキ液の流れに強制的な蛇行流を与えるようにした噴流式電気メッキ装置。」（以下、「引用例発明」という。）が記載されているといえる。
　
３−２．対比・判断
　そこで、本願発明と引用例発明とを対比すると、引用例発明の「カップ」、「ウェーハ」、「ウェーハ支持リング」、「噴流式電気メッキ装置」及びメッキ液流出路の入口に沿って設けられた「凸状部」は、上記メッキ装置の機能からみて、それぞれ本願発明の「カップ状のめっき槽」、「めっき対象物」、「支持部」、「カップ式めっき装置」及び「導流壁」に相当している。
　したがって、両者は、
  「カップ状のめっき槽の上部開口に沿って支持部が設けられるとともに、この支持部の下側位置にめっき槽の内部から外部に貫通するめっき液流出路が設けられ、さらにめっき槽の内部にめっき液供給部が設けられ、そしてめっき液供給部から上昇流で供給されるめっき液にめっき液流出路からめっき槽の外部へ流出する流れを形成させ、このめっき液に支持部に載置のめっき対象物の被めっき面を接触させることで、めっきを施すようになっているカップ式めっき装置において、
　めっき液流出路の入口に沿って導流壁を設け、該導流壁の上端をめっき液流出路の入口の上端よりも支持部に近接させるとともに、該導流壁上端と被めっき面との隙間を支持部厚みより小さくすることにより、
　被めっき面及び支持部内周面と導流壁との間に形成される隙間がめっき液流出路の入口よりも小さくし、めっき液流出路の入口に向けてのめっき液の流れに強制的な蛇行流を与えるようにしたカップ式めっき装置。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
　相違点：本願発明は、被めっき面とめっき液流出路との間にある段差部に気泡が滞留することを防止したとしているのに対し、引用例発明は、この点が明らかでない点。
　
　そこで、上記相違点について以下検討する。
　引用例発明は、上述したとおりめっき装置としての構成において本願発明と特に相違するものではなく、特にめっき液の流れにおいても本願発明において特定された条件を満たすものであって、めっき液の流れに強制的な蛇行流を与えるようにしたものである。
　そして、カップ式めっき装置において、滞留した気泡がメッキ不良を起こすことは次に示すとおり周知である。
　周知例１：実願平４−７７５６５号（実開平６−３７３５５号）のＣＤ−ＲＯＭ（段落【０００８】）
　周知例２：特開平６−１４０４０７号公報（段落【０００４】）
　周知例３：特開平８−１２０４８０号公報（段落【０００５】）
　更に、カップ式めっき装置において、めっき液の流れに澱みが生じ気泡が滞留することによる、めっき形成の阻害を防止することは当然のことであって、流れに澱みが発生するのも流れがスムーズでない箇所、例えば段差がある箇所であることも自明なことであるから、引用例発明においても被めっき面とめっき液流出路との間にある段差部に気泡が滞留することを防止することは、当業者が当然考慮すべき事項であって、上記の強制的な蛇行流を与えることに伴い、該蛇行流を気泡が滞留しないように調整することは、当業者ならば容易に想到し得ることである。
　そして、本願発明の奏する効果も、引用例の記載及び上記周知技術から予測できる範囲内のものであって、格別顕著なものとは認められない。
　
４．むすび
  以上のとおり、本願発明は、引用例に記載された発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。