【手続補正書】
【提出日】平成24年9月18日(2012.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクの評価すべきパターンを評価するための方法であって、
複数の公称パターンの変更をシミュレートし、複数の変更されたパターンを提供するステップと、
各々が前記複数の変更されたパターンから変更されたパターンの画像を表している前記複数のモーメントのグループを算出するステップと、
前記公称パターンと変更されたパターンとの間の差と、複数の公称モーメントと変更されたパターンの画像を表しているモーメントのグループとの間の差とを各関係がリンクしている複数の関係を決定するステップと、
前記複数の関係からの少なくとも１つの関係に応じてマッピング関数を決定するステップと、
前記マッピング関数を用いて、評価すべきパターンの画像を表している複数のモーメントを受け取り又は算出するステップであって、前記複数のモーメントを表すのに必要な情報のサイズは、前記評価すべきパターンの画像を形成するピクセル情報のサイズより実質的に小さくされている、前記複数のモーメントを受け取り又は算出するステップと、
前記評価すべきパターンの少なくとも１つの形状パラメータを決定するために前記複数のモーメントを処理するステップとを含む方法。
【請求項２】
上記処理するステップは、上記評価すべきパターンの複数のモーメントと、公称パターンの画像を表す複数の公称モーメントとの間のモーメント差を決定することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
上記決定するステップは、上記評価すべきパターンの画像を取得する光学系のモデルを使用する、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
上記処理するステップは、対応するモーメント差に応答して上記評価すべきパターンと上記公称パターンとの間のパターン差を決定することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
モーメント差をパターン差へとマッピングするマッピング関数に応答して上記パターン差を決定するステップを備えた、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
上記マッピング関数は、線形関数である、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
上記処理するステップは、各々のベクトルが公称輪郭により画成される角度を２分するような複数のベクトルを含む上記評価すべきパターンの輪郭の表示を与えることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
あるオブジェクトの複数の評価すべきパターンからの各評価すべきパターンの形状パラメータ間の差を算出するステップを備えた、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
評価すべきパターンの少なくとも１つの形状パラメータを決定するため、異なる評価すべきパターンの複数のモーメント間の比較をするステップを備えた、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
マスクの評価すべきパターンを評価するためのシステムであって、
上記評価すべきパターンの画像を表す複数のモーメントを記憶するように構成されたメモリユニットであって、上記複数のモーメントを表すのに必要とされる情報のサイズは、上記評価すべきパターンの画像を形成するピクセル情報のサイズより実質的に小さいようなメモリユニットと、
複数の変更されたパターンを提供するために前記メモリユニットから前記複数のモーメントを受け付け又は複数の公称パターンの変更をシミュレートするように構成されたプロセッサであって、複数のモーメントのグループを算出し、各モーメントのグループは前記複数の変更されたパターンから変更されたパターンの画像を表しており、各関係が前記公称パターンと変更されたパターンとの間の差と、複数の公称モーメントと変更されたパターンの画像を表しているモーメントのグループとの間の差とをリンクしている複数の関係を決定し、前記複数の関係から少なくとも１つの関係に応じてマッピング関数を決定し、前記マッピング関数を用いて、評価すべきパターンの画像を表す複数のモーメントを算出し、評価すべきパターンの少なくとも１つの形状パラメータを決定するために、前記複数のモーメントを処理するように構成されたプロセッサとを備えたシステム。
【請求項１１】
上記プロセッサは、上記評価すべきパターンの複数のモーメントと、公称パターンの画像を表す複数の公称モーメントとの間のモーメント差を決定するように適応される、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
上記プロセッサは、上記評価すべきパターンの画像を取得する光学系のモデルを使用することにより、上記モーメント差を決定するように適応される、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
上記プロセッサは、上記モーメント差に応答して上記評価すべきパターンと上記公称パターンとの間のパターン差を決定するように適応される、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１４】
上記プロセッサは、モーメント差をパターン差へとマッピングするマッピング関数に応答して上記パターン差を決定するように適応される、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
上記プロセッサは、線形マッピング関数を適用するように適応される、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
上記プロセッサは、各々のベクトルが公称輪郭によって画成される角度を２分するような複数のベクトルを備える上記評価すべきパターンの輪郭の表示を与えるように適応される、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１７】
上記プロセッサは、あるオブジェクトの複数の評価すべきパターンからの各評価すべきパターンの形状パラメータの間の差を算出するように適応される、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１８】
上記プロセッサは、評価すべきパターンの少なくとも１つの形状パラメータを決定するため異なる評価すべきパターンの複数のモーメントの間の比較をするように適応される、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１９】
コンピュータ読み取り可能なプログラムであって、
上記コンピュータ読み取り可能なプログラムは、コンピュータにて実行されるとき、上記コンピュータに、
複数の変更されたパターンを提供するために公称パターンの複数の変更をシミュレートさせ、
各モーメントのグループが、前記複数の変更されたパターンから変更されたパターンの画像を表している複数のモーメントのグループを算出させ、
各関係が、前記公称パターンと変更されたパターンとの間の差と、複数の公称モーメントと変更されたパターンの画像を表しているモーメントのグループとの間の差とをリンクしている複数の関係を決定させ、
前記複数の関係から少なくとも１つの関係に応じてマッピング関数を決定させ、
前記マッピング関数を用いて、評価すべきパターンの画像を表す複数のモーメントを受け付け又は算出させ、
前記複数のモーメントを表すのに必要とされる情報のサイズは、評価すべきパターンの画像を形成するピクセル情報のサイズより実質的に小さいものとし、
評価すべきパターンの少なくとも１つの形状パラメータを決定するために前記複数のモーメントを処理させるものであるコンピュータ読み取り可能なプログラム。
【請求項２０】
上記コンピュータに、上記評価すべきパターンの複数のモーメントと、公称パターンの画像を表す複数の公称モーメントとの間のモーメント差を決定するようにさせる、請求項１９に記載のコンピュータ読み取り可能なプログラム。
【請求項２１】
上記コンピュータに、上記評価すべきパターンを取得する光学系のモデルを使用して上記モーメント差を決定するようにさせる、請求項２０に記載のコンピュータ読み取り可能なプログラム。
【請求項２２】
上記コンピュータに、上記モーメント差に応答して、上記評価すべきパターンと上記公称パターンとの間のパターン差を決定するようにさせる、請求項１９に記載のコンピュータ読み取り可能なプログラム。
【請求項２３】
上記コンピュータに、モーメント差をパターン差へとマッピングするマッピング関数に応答して上記パターン差を決定するようにさせる、請求項２２に記載のコンピュータ読み取り可能なプログラム。
【請求項２４】
上記マッピング関数は、線形関数である、請求項２３に記載のコンピュータ読み取り可能なプログラム。
【請求項２５】
上記コンピュータに、各々のベクトルが公称輪郭によって画成される角度を２分するような複数のベクトルを備える上記評価すべきパターンの輪郭の表示を与えるようにさせる、請求項１９に記載のコンピュータ読み取り可能なプログラム。
【請求項２６】
上記コンピュータに、あるオブジェクトの複数の評価すべきパターンからの各評価すべきパターンの形状パラメータ間の差を算出するようにさせる、請求項１９に記載のコンピュータ読み取り可能なプログラム。
【請求項２７】
上記コンピュータに、評価すべきパターンの少なくとも１つの形状パラメータを決定するため異なる評価すべきパターンの複数のモーメント間の比較をするようにさせる、請求項１９に記載のコンピュータ読み取り可能なプログラム。