(57)【要約】【課題】研磨端子が、揺動しても、基板の内外周面上でぶれることなく、高精度で、その内外周面を研磨することができる研磨装置を提供する。【解決手段】円環状をなす磁気記録媒体用の基板１を周方向に回転させながら基板１の内外周面にテープ状研磨材を接触させて研磨を行う場合に、研磨端子４０が基板１の厚み方向に突き出す状態で、この研磨端子４０の側面と基板１の内外周面との接点が基板１の厚み幅の中心を通る直線上に位置するようにし、かかる接点を中心として研磨端子４０を揺動させるようにしてある。【選択図】図３
0003171625.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
周方向に回転している円環状の磁気記録媒体用基板の内外周面に、テープ状研磨材を接触させて研磨する研磨ヘッドユニットを備える磁気記録媒体用基板の研磨装置において、
前記研磨ヘッドユニットは、
一方側に腕状に突き出し、突き出した腕の基端側と先端側との間で前記テープ状研磨材を引張支持している研磨端子と、
引張支持している前記テープ状研磨材を介在させて前記研磨端子の側面を前記基板の内外周面に押圧するアクチュエータと
を備え、
前記研磨端子が前記基板の厚み方向に突き出す状態で、前記研磨端子の側面と前記基板の内外周面との接点が、少なくとも、前記基板の厚み幅の中心を通る直線上に位置するように前記研磨ヘッドユニットを移動させる移動手段と、
前記研磨端子の側面と前記基板の内外周面との接点を中心として、前記研磨端子が前記基板の厚み方向に対して傾斜するように前記研磨ヘッドユニットを揺動自在に軸支する回転支持手段と
を備えることを特徴とする磁気記録媒体用基板の研磨装置。
【請求項２】
前記アクチュエータは、前記研磨ヘッドユニットの揺動角度に応じて前記テープ状研磨材の前記基板の内外周面に対する押圧力を補正する補正手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体用基板の研磨装置。
【請求項３】
前記研磨ヘッドユニットは、前記テープ状研磨材を、前記研磨端子の基端部と先端部との間で連続的又は間欠的に移動させる搬送手段を更に備えることを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の磁気記録媒体用基板の研磨装置。
【請求項４】
前記研磨ヘッドユニットを前記基板との相対位置が変化するように移動させる移動手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の磁気記録媒体用基板の研磨装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、円環状をなす磁気記録媒体用基板を周方向に回転させながら、この基板の内外周面にテープ状研磨材を押し当てて研磨する磁気記録媒体用基板の研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスクなどに用いられる磁気記録媒体用基板は、切り出し工程、形状加工工程、祖面化工程、精ラッピング工程、内外周面研磨工程及び主表面研磨工程を経て完成する。これらの工程のうち、内外周面研磨工程は、基板の内外周面の仕上がりが磁気記録媒体としての信頼に大きな影響を与えることから、重要視されている。
【０００３】
また、市場においては、磁気ヘッドを基板の表面すれすれに設けることにより磁気記録媒体の記録容量を増大させた高密度の磁気記録媒体が要望されている。
【０００４】
そこで、従来の研磨装置は、基板の内外周研磨の精度を上げるため、様々な工夫がなされている。例えば、従来の研磨装置は、基板を砥石で研磨した後、研磨した基板を３００枚程度積み重ね、積み重ねた基板の内外周面に硬質ウレタンからなる研磨材を押し付け、押し付けた面との抵抗を酸化セリウムなどの砥粒を含んだスラリーにより低減させながら研磨するようにしてあることにより、基板の内外周面を傷つけることがなく、基板の仕上げを良くしようとしている。
【０００５】
また、別の研磨装置にあっては、枚葉式で基板を真空吸着して固定し、固定した基板の内外周面に硬質ウレタンからなる研磨材を押し付け、押し付けた面との抵抗を酸化セリウムなどの砥粒を含んだスラリーにより低減させながら研磨するようにしてあることにより、基板の内外周面を傷つけることなく、基板の仕上げを良くしようとしている。
【０００６】
しかし、いずれの研磨装置であっても、基板の仕上げを良くしようとすれば、大量のスラリーが必要となる。スラリーには、希少金属であって高価な酸化セリウムが含まれているため、従来の研磨装置を用いて基板の仕上がりを良くしようとする場合、研磨に要する費用が高くなる。
【０００７】
そこで、近年、テープ状研磨材を巻き出すことにより研磨面を常に好適な状態に保つようにしながら基板の内外周面を研磨する研磨装置が提案されている（例えば、特許文献１）。この研磨装置は、好適な状態となる研磨材が、常に、基板の内外周面を研磨するので、大量のスラリーを用いることなく、基板の内外周面の仕上がりを良くすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−２１９６４２号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載された研磨装置は、テープ状研磨材の基板内外周面への接触角度が固定された構造となっているため、利用者が希望する角度や形状に変更して面取りなどの研磨加工することができず、利用者が希望する加工に容易に対応することができない。
【００１０】
また、近年、特許文献１に記載された研磨装置の他に、薬品に浸透させることにより基板表面を熔解させて化学研磨する装置が提案されている。化学研磨は、研磨部材が基板に物理的に接触することがないため、基板を傷つけるおそれがない。しかし、化学研磨は、これに用いる薬品が高価であるため、研磨に要する費用が高くなる。また、薬品を基板に浸透させる時間が長時間となるため、研磨作業の効率が悪くなる。従って、基板の研磨は、化学研磨より物理的に研磨する方が費用及び作業効率の観点から好適である。
【００１１】
本考案は、かかる事情を鑑みてなされたものであり、研磨端子が基板の厚み方向に突き出す状態で、この研磨端子の側面と基板の内外周面との接点が基板の厚み幅の中心を通る直線上に位置するように移動させ、かかる接点を中心として研磨端子を揺動させることにより、研磨端子が揺動しても基板の内外周面上で位置ぶれすることなく、高精度でその内外周面を研磨することができる研磨装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本考案に係る研磨装置は、周方向に回転している円環状の磁気記録媒体用基板の内外周面に、テープ状研磨材を接触させて研磨する研磨ヘッドユニットを備える磁気記録媒体用基板の研磨装置において、前記研磨ヘッドユニットは、一方側に腕状に突き出し、突き出した腕の基端側と先端側との間で前記テープ状研磨材を引張支持している研磨端子と、引張支持している前記テープ状研磨材を介在させて前記研磨端子の側面を前記基板の内外周面に押圧するアクチュエータとを備え、前記研磨端子が前記基板の厚み方向に突き出す状態で、前記研磨端子の側面と前記基板の内外周面との接点が、少なくとも、前記基板の厚み幅の中心を通る直線上に位置するように前記研磨ヘッドユニットを移動させる移動手段と、前記研磨端子の側面と前記基板の内外周面との接点を中心として、前記研磨端子が前記基板の厚み方向に対して傾斜するように前記研磨ヘッドユニットを揺動自在に軸支する回転支持手段とを備えることを特徴とする。
【００１３】
本考案にあっては、テープ状研磨材を用いて研磨することにより、高価なスラリーの仕様を極力抑えることができ、研磨に要する費用を抑えることができる。また、研磨端子が基板の厚み方向に突き出す状態で、この研磨端子の側面と基板の内外周面との接点が基板の厚み幅の中心を通る直線上に位置するように移動させ、かかる接点を中心として研磨端子を揺動させることにより、利用者が希望する角度や形状に変更して面取りなどの研磨加工を容易に行うことができる。また、研磨端子が揺動しても基板の内外周面上で位置ぶれすることなく、高精度でその内外周面を研磨することができる。なお、研磨端子が基板の厚み方向に突き出す状態で、この研磨端子の側面と基板の内外周面との接点が基板の厚み幅の中心を通る直線上に位置するように移動させ、かかる接点を中心として研磨端子を揺動させることにより、研磨端子の位置ぶれを抑えることができるとしたのは、シリコンウェーハーなどを研磨する研磨装置の利用実績に基づく。
【考案の効果】
【００１４】
本考案にあっては、研磨端子が揺動しても基板の内外周面上で位置ぶれすることなく、高精度でその内外周面を研磨することができ、基板の仕上げを良くすることができ、高密度の磁気記録媒体を製造することができる。また、市場の要望に応じて、利用者が希望する角度や形状に変更して面取りなどの研磨加工を容易に行うことができる。また、研磨に要する費用を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本考案に係る磁気記録媒体用基板の研磨装置の主要構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す磁気記録媒体用基板の研磨装置の構成のうち、研磨ヘッドユニットの構成を示す斜視図である。
【図３】図２に示す研磨ヘッドユニットの動作を説明する図であり、（ａ）は研磨ヘッドユニットが垂直状態となるように回転する動作を説明する図、（ｂ）は研磨ヘッドユニットが所定の揺動角度となるように回転する動作を説明する図、（ｃ）は研磨ヘッドユニットが所定の揺動角度となるように回転する動作を説明する図である。
【図４】図１に示す磁気記録媒体用基板の研磨装置がテープ状研磨材を引張支持する状態を説明する図である。
【図５】図４とは異なる、図１に示す磁気記録媒体用基板の研磨装置がテープ状研磨材を引張支持する状態を説明する図である。
【図６】図１に示す磁気記録媒体用基板の研磨装置に洗浄ユニットを取り付けた構成を示す斜視図である。
【考案を実施するための形態】
【００１６】
実施の形態１.
（研磨装置について）
本考案に係る磁気記録媒体用基板の研磨装置を本実施の形態を示す図面に基づいて以下説明する。図面に示すように、１は、磁気記録媒体用基板（以下「基板１」という。）である。基板１は、円環状に形成され、円環状の盤面１０の外側周縁をなす外周面１１と、盤面１０の内側周縁をなす内周面１２とを備える。また、基板１は、ガラス又はアルミニウムの母材上に、各種膜（膜厚が数十Å〜数百Å）が積層され、その表面に磁気ヘッドとの摩擦係数を低下させるための円滑膜が塗布されている。
なお、ガラス製基板とアルミニウム製基板とを比較した場合、ガラス製基板は、アルミニウム製基板より軽量であって強度及び耐衝撃性に優れており、高密度の記録に適している。そこで、以下、ガラス製基板を一例として説明する。
【００１７】
図４及び図５に示すように、２は、テープ状研磨材である。テープ状研磨材２は、基板１の外周面１１及び内周面１２を、チッピングのような欠陥が起こりえない高品質な面に仕上げることができ、且つ、基板１の盤面１０を傷つけることがないような材質により形成され、例えば、ダイヤモンド、酸化アルミニウム、酸化セリウム、シリコーンカーバイド及びコロイダルシリカなどの研磨砥粒を含む材質により形成されている。また、テープ状研磨材２は、水を吸収することがない材質であって、追従性のある可撓性を有する材質により形成されている。
【００１８】
図面に示すように、研磨装置は、基板１を固定しながら回転させる固定ユニット３と、回転する基板１を研磨する研磨ヘッドユニット４と、研磨ヘッドユニット４を回転させるヘッド回転支持ユニット５と、研磨ヘッドユニット４を移動させる移動ユニット６とを備える。
【００１９】
固定ユニット３は、図１、図４及び図５に示すように、基板１を固定するチャック部３０と、基板１を回転させる基板回転部３１とを備える。チャック部３０は、載置面３００に設けられた吸引通路（図示せず）を介して、この載置面３００に載せられた基板１に吸着作用を及ぼす真空吸着式による支持部材である。載置面３００は、水平方向な平面であり、少なくとも、載置可能な基板１の直径より小径な円盤状をなしている。また、載置面３００は、面の中央に凹部３０１を備えており、後述する研磨端子４０が基板１の内周面１２を研磨する際、研磨端子４０の動きを阻害しないようにしてある。凹部３０１は、凹みの周壁に水抜き孔が開けられている。
【００２０】
なお、チャック部３０は、上述する真空吸着に限らず、他の方式による支持部材であってもよい。但し、チャック部３０は、少なくとも、磁気を用いた吸着方式を採用することなく、基板１の品質に悪影響を及ぼすことがないようにしてある。
【００２１】
基板回転部３１は、チャック部３０を支える回転台であり、別途設けた動力（図示せず）により回転する。基板回転部３１は、載置面３００の載せられた基盤１を、これの中心軸を中心として周方向に回転させる。また、基板回転部３１は、後述する制御基板（図示せず）から出力された制御信号に基づいて、回転速度及び回転方向などが制御される。
【００２２】
研磨ヘッドユニット４は、図２に示すように、基板１を接触させる研磨端子４０と、テープ状研磨材２を搬送するテープ搬送部４１と、研磨ヘッドユニット４全体を支持する研磨ヘッドユニット支持部４２と、研磨ヘッドユニット４全体を回転可能に支える軸支持部４３と、研磨端子４０に押圧力を付与するアクチュエータ４４とを備える。
【００２３】
研磨端子４０は、図２乃至図５に示すように、後述するテープ搬送部４１の下端部から下方に突き出た腕状部材であり、第１支持板４０２と、第２支持板４０３と、取り付けねじ４０４と、基端ガイドローラ４０５と、先端ガイドローラ４０６と、加圧パッド４０７と、パッドホルダ４０８とを備える。
【００２４】
第１支持板４０２は、金属製のへら形状の平板部材であり、へらの扁平な板状部分が基端４００側となるようにして、テープ搬送部４１の下端部に取り付けられている。第１支持板４０２には、基端４００側から先端４０１側にかけて順番に、基端ガイドローラ４０５、加圧パッド４０７、パッドホルダ４０８及び先端ガイドローラ４０６が取り付けられ、これらの部材を挟み込むように同形の第２支持板４０３が重ね合わされる。第１支持板４０２及び第２支持板４０３は、取り付けねじ４０４によりテープ搬送部４１の下端部に固定されている。なお、研磨端子４０は、図２に示すように、第２支持板４０３が取り付けられた状態が通常であり、図３乃至図５に示す研磨端子４０は、本実施の形態において説明するため、第２支持板４０３が外されている。
【００２５】
基端ガイドローラ４０５及び先端ガイドローラ４０６は、テープ状研磨材２を所定の経路に沿って案内する部材であり、取付軸を中心に円滑に回転自在となっており、外周面にはテープ状研磨材２との摩擦係数を上げるためのウレタン樹脂が巻き付けられている。また、基端ガイドローラ４０５及び先端ガイドローラ４０６は、基端４００側と先端４０１側との間でテープ状研磨材２を引っ張り支える部材である。
【００２６】
加圧パッド４０７は、テープ状研磨材２を基板１の内外周面に押し付ける際の緩衝となる部材であり、シリコンゴム又はウレタン樹脂などの弾性部材によって形成された蒲鉾状部材である。加圧パッド４０７は、蒲鉾の湾曲面がテープ状研磨材２を介して基板１の内外周面と接触するとともに、蒲鉾の背面がパットホルダ４０８により支えられるように、基端ガイドローラ４０５と先端ガイドローラ４０６との間に嵌め込まれる。なお、加圧パッド４０７は、使用より劣化していくため、研磨端子４０から脱着できるようになっている。
【００２７】
テープ搬送部４１は、図２乃至図５に示すように、金属板状の本体を備える。この本体には、下端側から上端側にかけて順番に、巻き出しリール４１７と、テープ送りモータ４１６と、テープ駆動ローラ４１５と、支持腕４１４と、ニップローラ４１３と、第３搬送ガイドローラ４１２と、第２搬送ガイドローラ４１１と、第１搬送ガイドローラ４１０とが取り付けられている。
【００２８】
巻き出しリール４１７は、外周面に未使用のテープ状研磨材２が幾重にも巻き付けられ、巻き付けられた未使用のテープ状研磨材２が、後述するテープ駆動ローラ４１５により、研磨端子４０に向かって巻き出される。また、巻き出しリール４１７は、本体と着脱可能に取り付けられており、全てのテープ状研磨材２が巻き出された場合、新しいものに交換される。
【００２９】
テープ送りモータ４１６は、本体の裏側に取り付けられ、テープ駆動ローラ４１５を回転させる。テープ送りモータ４１６は、制御基板から出力された制御信号に基づいて、テープ駆動ローラ４１５を連続的に回転させるか又は間欠的に回転させるかの制御、並びに、回転速度及び回転方向などが制御される。テープ駆動ローラ４１５は、外周面にテープ状研磨材２との摩擦係数を上げるためのウレタン樹脂が巻き付けられている。
【００３０】
支持腕４１４は、本体の側面に突き出るように揺動自在に取り付けられて、その先端部にニップローラ４１３が本体の正面に突き出るように取り付けられている。ニップローラ４１３は、支持腕４１４に取り付けられた引張ばね（図示せず）により、常に、その外周面がテープ駆動ローラ４１５の外周面に押し付けられた状態になっている。ニップローラ４１３は、外周面にテープ状研磨材２との摩擦係数を上げるためのウレタン樹脂が巻き付けられている。
【００３１】
テープ駆動ローラ４１５及びニップローラ４１３は、テープ状研磨材２を挟み込み、巻き出しリール４１７から研磨端子４０に向かって未使用のテープ状研磨材２を巻き出し、研磨端子４０で使用された使用済みテープ状研磨材２を、後述する巻き取りリール６００へと送り出す部材である。
【００３２】
第３搬送ガイドローラ４１２、第２搬送ガイドローラ４１１及び第１搬送ガイドローラ４１０は、研磨端子４０から送られてきた使用済みテープ状研磨材２を後述する巻き取りリール６００へと円滑に案内する部材であり、取付軸と中心に回転自在となっている。第１搬送ガイドローラ４１０及び第２搬送ガイドローラ４１１は、図４及び図５に示すように、研磨ヘッドユニット４の回転方向に応じて、テープ状研磨材２の案内を排他的に行う。
【００３３】
研磨ヘッドユニット支持部４２は、図１及び図２に示すように、テープ搬送部４１を支える第１研磨ヘッドユニット支持板４２０と、アクチュエータ４４を支える第２研磨ヘッドユニット支持板４２１と、これらをスライド連結させるスライドガイド４２２とを備える。
【００３４】
第１研磨ヘッドユニット支持板４２０は、金属製の略Ｌ字形状の部材であり、先端側でテープ搬送部４１を研磨端子４０が下向くように支え、基端側の裏側に引っ掛け爪（図示せず）が突き出ている。
【００３５】
第２研磨ヘッドユニット支持板４２１は、金属製の略Ｌ字形状の部材であり、基端側の表側にスライドガイド４２２が取り付けられている。また、第２研磨ヘッドユニット支持板４２１は、基端側の裏側から、後述する軸支持部４３のヘッド回転軸４３０が伸び出ている。更にまた、第２研磨ヘッドユニット支持板４２１は、先端側で、アクチュエータ４４のロッド４４１がスライドガイド４２２を向くように支えている。スライドガイド４２２は、第１研磨ヘッドユニット支持板４２０の引っ掛け爪がスライド自在に嵌り込む溝を備える。
【００３６】
軸支持部４３は、図１及び図２に示すように、研磨ヘッドユニット４を軸支するヘッド回転軸４３０と、ヘッド回転軸４３０をヘッド回転支持ユニット５に連結する軸受け４３１とを備える。ヘッド回転軸４３０は、金属製の直棒であり、軸心４３２の延長線上に、研磨端子４０の側面と基板１の内外周面との接点（以下「ワークコンタクトポイント」という。）が来るように第２研磨ヘッドユニット支持板４２１の基端側の裏側から伸び出ている。なお、本考案において、ワークコンタクトポイントは、研磨端子４０が基板１の厚み方向を向いた状態で、基板１の厚み幅の中心を通る直線上に位置する。
【００３７】
アクチュエータ４４は、加圧シリンダ４４０と、ロッド４４１とを備える。加圧シリンダ４４０は、外部から供給された空気が内部に充填される。ロッド４４１は、加圧シリンダ４４０に進退するように取り付けられ、先端が第１研磨ヘッドユニット支持板４２０に連結している。ロッド４４１は、加圧シリンダ４４０内の空気圧が上がった場合、加圧シリンダ４４０から伸び出して第１研磨ヘッドユニット支持板４２０を押し、加圧シリンダ４４０内の空気圧が下がった場合、加圧シリンダ４４０へ向かって縮んで第１研磨ヘッドユニット支持板４２０を引く。アクチュエータ４４は、加圧シリンダ４４０内の空気圧が供給ポンプ（図示せず）により増減される。供給ポンプは、制御基板から出力された制御信号に基づいて動作する。アクチュエータ４４は、ロッド４４１が伸び縮みすることにより、第１研磨ヘッドユニット支持板４２０を押し引きして、第１研磨ヘッドユニット支持板４２０をスライドガイド４２２上でスライドさせる。
【００３８】
ヘッド回転支持ユニット５は、図１及び図２に示すように、回転モータ５０を備える。回転モータ５０は、軸受け４３１と連結しており、この軸受け４３１を介してヘッド回転軸４３０を軸心４３２を中心として軸回転させる。回転モータ５０は、制御基板から出力された制御信号に基づいて、回転速度、回転方向及び回転角度などが制御される。
【００３９】
移動ユニット６は、図１、図４及び図５に示すように、第１移動ユニット支持板６０と、第２移動ユニット支持板６２と、スライドガイド盤６１とを備える。
【００４０】
第１移動ユニット支持板６０は、金属製の横長矩形状の部材であり、巻き取りリール６００と、第４搬送ガイドローラ６０１と、第５搬送ガイドローラ６０２と、巻き取りモータ６０３とが取り付けられている。
【００４１】
巻き取りリール６００は、研磨ヘッドユニット４から送り出された使用済みのテープ状研磨材２を外周面に幾重にも巻き付ける部材である。巻き取りリール６００は、巻き取りモータ６０３により回転する。巻き取りモータ６０３は、回転速度及び回転方向などがテープ送りモータ４１６の動作に連動するように制御基板から出力される制御信号により制御される。巻き取りリール６００は、巻き取りモータ６０３から着脱できるようにしてあり、使用済みのテープ状研磨材２を巻き取った後、新しい巻き取りリール６００に交換される。
【００４２】
第４搬送ガイドローラ６０１及び第５搬送ガイドローラ６０２は、研磨ヘッドユニット４から送り出された使用済みのテープ状研磨材２を受け付けて、巻き取りリール６００へと案内する部材であり、取付軸を中心に回転自在となっており、外周面にはテープ状研磨材２との摩擦係数を上げるためのウレタン樹脂が巻き付けられている。
【００４３】
第２移動ユニット支持板６２は、金属製の縦長矩形状の部材であり、表面側に取り付けられた連結柱６２０と、厚み方向に開けられた軸受け孔６２１とを備える。第２移動ユニット支持板６２は、連結柱６２０を介して、第１移動ユニット支持板６０に直交するように取り付けられている。また、第２移動ユニット支持板６２は、裏面側に、引っ掛け爪（図示せず）が突き出ている。
【００４４】
スライドガイド盤６１は、垂直方向に沿って取り付けられた第１ガイドレール６１０と、補強レール６１１と、水平方向に沿って取り付けられた第２ガイドレール６１２と、ヘッド左右移動ハンドル６１３とを備える。第１ガイドレール６１０及び第２ガイドレール６１１には、第２移動ユニット支持板６２の引っ掛け爪が、スライド移動するように掛けられている。
【００４５】
第２移動ユニット支持板６２は、ヘッド左右移動ハンドル６１３の回転方向及び回転量に応じて、第２ガイドレール６１２に沿って水平移動する。また、第２移動ユニット支持板６２は、スライドガイド盤の裏面側に設置されたヘッド昇降用アクチュエータ（図示せず）により、第１ガイドレール６１０に沿って垂直移動する。ヘッド昇降用アクチュエータは、制御基板から出力された制御信号に基づいて動作する。また、第２移動ユニット支持板６２の軸受け孔６２１には、ヘッド回転軸４３０が通されて軸受け４３１が嵌り込んでいる。
【００４６】
（研磨端子４０の移動）
研磨ヘッドユニット４は、図１に示すように、第２移動ユニット支持板６２が第１ガイドレール６１０及び第２ガイドレール６１２に沿って移動することにより、垂直方向及び水平方向に移動する。研磨ヘッドユニット４は、例えば、水平方向に移動することにより、研磨端子４０がワークコンタクトポイントの上方に来るように位置する。また、研磨ヘッドユニット４は、垂直方向に移動することにより、少なくとも、研磨端子４０の側面がワークコンタクトポイントに位置する。
【００４７】
（研磨端子４０の回転）
研磨ヘッドユニット４は、図１及び図３に示すように、回転軸４３０の軸回転に応じて、研磨端子４０のワークコンタクトポイントを中心として揺れ動く。研磨ヘッドユニット４は、例えば、基板１の内外周面を厚み方向に研磨する場合、研磨端子４０が垂直状態となるように回転する（図３（ａ）参照）。また、研磨ヘッドユニット４は、基板１の内外周面と表側の盤面１０とがなす角を研磨する場合、研磨端子４０が所定の揺動角度（厚み方向に対して傾斜したときの角度）となるように回転する（図３（ｂ）参照）。更にまた、研磨ヘッドユニット４は、基板１の内外周面と裏側の盤面１０とがなす角を研磨する場合、研磨端子４０が所定の揺動角度となるように回転する（図３（ｃ）参照）。
【００４８】
（研磨端子４０の押し付け）
研磨端子４０は、図２及び図３に示すように、アクチュエータ４４のロッド４４１が第１研磨ヘッドユニット支持板４２０を押し引きすることにより、基板１の内外周面に押し付けられる。このとき、アクチュエータ４４は、少なくとも、加圧パッド４０７の蒲鉾の湾曲面が平たくなる程度の所定の押圧力で、研磨端子４０を基板１の内外周面に押し付ける。アクチュエータ４４は、例えば、自重で押し付ける方向に研磨ヘッドユニット４を回転させる場合（図３（ｂ）参照）、研磨ヘッドユニット４の重量を含んで所定の押圧力となるように補正する。また、アクチュエータ４４は、自重で引っ張る方向に研磨ヘッドユニット４を回転させる場合（図３（ｃ）参照）、研磨ヘッドユニット４の重量を差し引いて所定の押圧力となるように補正する。
【００４９】
（テープ状研磨材２の取り付け）
テープ状研磨材２は、図４及び図５に示すように、巻き出しリール４１７から巻き取りリール６００までの間で引っ張り支えられている。特に、研磨端子４０の基端４００と先端４０１との間において、弛みがないよう強く引っ張り支えられている。
【００５０】
（基板１の製造方法）
基板１の製造方法について、各工程を追って説明する。基板１は、切り出し工程、形状加工工程、祖面化工程、精ラッピング工程、内外周面研磨工程及び主表面研磨工程を経て加工製造される。
【００５１】
切り出し工程において、フロート法により製造された略１ｍｍ程度の厚みを有するアルミノシリケートガラスからなる板状ガラス素材を、所定の大きさの四角形に切断する。次に、切断した板状ガラス素材の上面に、基板１の外周面１１及び内周面１２となる周縁を描く真円形の切り筋をガラスカッタを用いて形成する。次に、切り筋を形成した板状ガラス素材の上面側全体を、ヒータで加熱し、切り筋を下面側にまで進行させて所定の直径を有する未加工状態の基板１を形成する。
【００５２】
次に、形状加工工程及び内外周面研磨工程において、本考案に係る研磨装置とは異なる、砥石による研磨装置を用いて、未加工状態の基板１の外周面１１及び内周面１２を粗研磨する。このとき、適宜スラリーを滴下して研磨接触面を滑らかにしながら砥石による研磨を行う。砥石を用いて粗研磨をした後、本考案に係る研磨装置を用いて、基板１を周方向に回転させながら、この基板１の外周面１１及び内周面１２にテープ状研磨材２を押し当てて研磨しつつ端面加工を施す。なお、本考案に係る研磨装置が基板１を内外周面を研磨する動作について上述にて説明したとおりである。
【００５３】
祖面化工程において、本考案に係る研磨装置と異なる、平面研磨装置を用いて、遊離砥粒研磨を行い、基板１の盤面１０の全体が略均一の表面粗さとなるように研磨加工を施す。
【００５４】
精ラッピング工程において、盤面１０が祖面化された基板１を、固定砥粒研磨パッドを用いて研削を行う。
【００５５】
主表面研磨工程において、精ラッピング工程で残留した傷や歪みを取り除くために、硬質ウレタンの研磨パッド及び酸化セリウム砥粒を含む研磨材を用いて、基板１の盤面１０の研磨を行い、その後、硬質ポリシャの研磨パッド及びシリカ砥粒を用いて、基板１の盤面１０の研磨を行う。その結果、基板１の加工が完了する。
【００５６】
最後に、磁気記録媒体製造工程において、加工済みの基板１の表裏の盤面１０に、シード層、下地層、磁性層及び保護層を成膜するとともに、潤滑層を形成して磁気記録媒体を製造する。
【００５７】
実施の形態２
本考案に係る研磨装置は、上述した実施の形態１で述べる構成に加えて、基板１の削りかすを洗い落とす洗浄ユニット７を備えてもよい。洗浄ユニット７は、フレキシブルホース７０と、給水管７１とを備える。給水管７１は、給水ポンプ（図示せず）により送水された洗浄水をフレキシブルホース７０に送り出す。フレキシブルホース７０は、基端側が給水管７１に接続され、接続された給水管７１から流入する洗浄水を先端側の放水口へと送り出す。フレキシブルホース７０は、力が加わることにより基端から先端にかけて多方向に曲がり、その状態を保持することができる。フレキシブルホース７０は、例えば、先端側の放水口が基板１の研磨箇所を向く状態で保持され、放水口から放出された洗浄水で、基板１に付着する削りかすを洗い落とす。なお、その他の構成及び作用については、実施の形態１で述べた構成及び作用と同様であるから、対応する部分に同一の符号を付して、その説明を省略する。
【符号の説明】
【００５８】
１  基板
１０  盤面
１１  外周面
１２  内周面
２  テープ状研磨材
３  固定ユニット
４  研磨ヘッドユニット
４０  研磨端子
４００  基端
４０１  先端
４３  軸支持部
４３０  ヘッド回転軸
４３２  軸心
４４  アクチュエータ
５  ヘッド回転支持ユニット
６  移動ユニット
【図１】
0003171625.tif 000003
【図２】
0003171625.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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