(57)【要約】  光学装置は、入射する光を波長に応じて分離可能な第１光学素子及び第２光学素子を備える。第１光学素子は、第１の波長帯域の光を反射し、第２の波長帯域の光を透過させ、第３の波長帯域の光を部分透過及び部分反射する第１光学特性を有する第１分離部を備える。第２光学素子は、第１の波長帯域又は第２の波長帯域と、第３の波長帯域との２つの波長帯域を有して入射される入射光を、波長に応じて第１の波長帯域の光又は第２の波長帯域の光と、第３の波長帯域の光とに分離する第２光学特性を有する第２分離部を備える。
2015087824.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射する光を波長に応じて分離可能な第１光学素子及び第２光学素子を備え、
前記第１光学素子は、第１の波長帯域の光を反射し、第２の波長帯域の光を透過させ、第３の波長帯域の光を部分透過及び部分反射する第１光学特性を有する第１分離部を備え、
前記第２光学素子は、前記第１の波長帯域又は前記第２の波長帯域と、前記第３の波長帯域との２つの波長帯域を有して入射される入射光を、波長に応じて前記第１の波長帯域の光又は前記第２の波長帯域の光と、前記第３の波長帯域の光とに分離する第２光学特性を有する第２分離部を備える、
光学装置。
【請求項２】
前記第１分離部は、前記第１の波長帯域の光を反射し、前記第２の波長帯域の光を透過させる第１多層膜と、前記第３の波長帯域の光を部分透過及び部分反射する第２多層膜と、を備える、
請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
前記第２光学素子は、前記入射光に含まれる前記第１の波長帯域の光又は前記第２の波長帯域の光を第１の光路に導き、前記入射光に含まれる前記第３の波長帯域の光を第２の光路に導くことを含む、
請求項１又は請求項２に記載の光学装置。
【請求項４】
前記第１分離部における前記第３の波長帯域の光の透過率は、前記第１分離部における前記第１の波長帯域の光の透過率より高い、
請求項１から請求項３の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項５】
前記第１の波長帯域の光又は前記第２の波長帯域の光は蛍光であり、前記第３の波長帯域の光は明視野光である、
請求項１から請求項４の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項６】
前記第１の波長帯域の光と前記第２の波長帯域の光とのうち短波長側の光が前記第１分離部に入射した後、前記第１の波長帯域の光と前記第２の波長帯域の光とのうち長波長側の光が前記第１分離部に入射する、
請求項１から請求項５の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項７】
入射する光を波長に応じて分離可能な第１光学素子、第２光学素子および第３光学素子を１つの光路に備え、
前記第１光学素子は、第１の波長帯域の励起光を反射し第２の波長帯域の蛍光を透過させる又は前記第１の波長帯域の励起光を透過し前記第２の波長帯域の蛍光を反射することと、第３の波長帯域の明視野光を部分透過及び部分反射することと、第４の波長帯域の励起光を反射し第５の波長帯域の蛍光を透過させる又は前記第４の波長帯域の励起光を透過し前記第５の波長帯域の蛍光を反射することと、を有する第１分離部を備え、
前記第２光学素子は、前記第２の波長帯域の蛍光及び前記第５の波長帯域の蛍光を透過し前記第３の波長帯域の明視野光を反射させること、又は前記第２の波長帯域の蛍光及び前記第５の波長帯域の蛍光を反射し前記第３の波長帯域の明視野光を透過させること、を有する第２分離部を備え、
前記第３光学素子は、前記第２の波長帯域の蛍光を反射し前記第５の波長帯域の蛍光を透過させること、又は前記第２の波長帯域の蛍光を透過し前記第５の波長帯域の蛍光を反射させること、を有する第３分離部を備える、
光学装置。
【請求項８】
入射する光を波長に応じて分離可能な第１光学素子、第２光学素子および第３光学素子を１つの光路に備え、
前記第１光学素子は、第１の波長帯域の励起光を反射し第２の波長帯域の蛍光を透過させる又は前記第１の波長帯域の励起光を透過し前記第２の波長帯域の蛍光を反射することと、第３の波長帯域の明視野光を部分透過及び部分反射することと、第４の波長帯域の励起光を反射し第５の波長帯域の蛍光を透過させる又は前記第４の波長帯域の励起光を透過し前記第５の波長帯域の蛍光を反射することと、を有する第１分離部を備え、
前記第２光学素子は、前記第３の波長帯域の明視野光及び前記第５の波長帯域の蛍光を透過し前記第２の波長帯域の蛍光を反射させること、又は前記第３の波長帯域の明視野光及び前記第５の波長帯域の蛍光を反射し前記第２の波長帯域の蛍光を透過させること、を有する第２分離部を備え、
前記第３光学素子は、前記第３の波長帯域の明視野光を反射し前記第５の波長帯域の蛍光を透過させること、又は前記第３の波長帯域の明視野光を透過し前記第５の波長帯域の蛍光を反射させること、を有する第３分離部を備える、
光学装置。
【請求項９】
第６の波長帯域の焦点検出光をセンサへ導く第４光学素子を備え、
前記第４光学素子は、前記第３の波長帯域の明視野光を透過し前記第６の波長帯域の焦点検出光を反射させて前記焦点検出光を前記センサへ導くこと、又は前記第３の波長帯域の明視野光を反射し前記第６の波長帯域の焦点検出光を透過させて前記焦点検出光を前記センサへ導くこと、を有する第４分離部を備える、
請求項７又は請求項８に記載の光学装置。
【請求項１０】
前記第１分離部は、前記第１の波長帯域の励起光を反射し前記第２の波長帯域の蛍光を透過させる又は前記第１の波長帯域の励起光を透過し前記第２の波長帯域の蛍光を反射させる第１多層膜と、前記第３の波長帯域の明視野光を部分透過及び部分反射する第２多層膜と、を備える、
請求項７から請求項９の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項１１】
前記第２の波長帯域の蛍光と前記第３の波長帯域の明視野光とは、前記第２光学素子に同時に入射される、
請求項７から請求項１０の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項１２】
入射する光を波長に応じて分離可能な第１光学素子及び第２光学素子と、入射する光をセンサに結像させる結像光学系とを１つの光路に備え、
前記第１光学素子は、第１の波長帯域の光を反射し、第２の波長帯域の光を透過させ、第３の波長帯域の光を部分透過及び部分反射する第１光学特性を有する第１分離部を備え、
前記第２光学素子は、前記第１光学素子からの光を波長に応じて分離する第２光学特性を有する第２分離部を備え、
前記第２光学素子は、前記光路において前記結像光学系より像側に配置されている
光学装置。
【請求項１３】
前記光路において前記結像光学系及び前記第２光学素子より像側に配置される第３光学素子を備え、
前記第３光学素子は、前記第２光学素子からの光を波長に応じて分離する第３光学特性を有する第３分離部を備える、
請求項１２に記載の光学装置。
【請求項１４】
前記第２分離部は、前記第１光学素子からの複数の波長帯域の光のうち、一つの波長帯域の光を第１方向に出射させ、他の波長帯域の光を第２方向に出射させることを含み、
前記第２光学特性における前記第１光学素子からの光の出射方向が前記第１方向と前記第２方向との間で切り替わる波長は、前記第１光学特性における前記第１の波長帯域と前記第２の波長帯域とが切り替わる波長と同一である、
請求項１２又は請求項１３に記載の光学装置。
【請求項１５】
前記第２分離部は、多層膜を含む、
請求項１２から請求項１４の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項１６】
前記第１分離部は、前記第３の波長帯域で入射した光を少なくとも透過光と反射光とに分離する
請求項１２から請求項１５の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項１７】
前記第１の波長帯域と前記第２の波長帯域とは連続している波長帯域である
請求項１２から請求項１６の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項１８】
前記第１の波長帯域で入射する第１の光と、前記第２の波長帯域で入射する第２の光とのうち、前記第２の光より短波長側の前記第１の光は、前記第２の光より先に前記第１分離部に入射し、
前記第２の光は、前記第１の光の入射後に、前記第１分離部に入射する、
請求項１２から請求項１７の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項１９】
前記第１の波長帯域の光と前記第２の波長帯域の光とのうちの一方の光と、前記第３の波長帯域の光とを選択的に前記第１分離部に入射可能とする第１波長選択部を備える
請求項１２から請求項１８の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項２０】
前記第１分離部に入射した後に該第１分離部を介して出射する、前記第１の波長帯域の光と前記第２の波長帯域の光とのうちの一方の光と、前記第３の波長帯域の光とを選択的に透過可能とする第２波長選択部を備える
請求項１２から請求項１９の何れか一項に記載の光学装置。
【請求項２１】
請求項１から請求項１１の何れか一項に記載の光学装置と、
前記光学装置を介して被照射体を照明する光を射出する光源部と、
前記被照射体を介した光を受光するセンサと、
を備える測定装置。
【請求項２２】
請求項１２から請求項２０の何れか一項に記載の光学装置と、
前記光学装置を介して被照射体を照明する光を射出する光源部と、
前記被照射体を介した光を受光するセンサと、
を備える測定装置。
【請求項２３】
前記センサは、前記被照射体を介した後に前記第１分離部から出射する光の波長毎に複数備えられる
請求項２１又は請求項２２に記載の測定装置。
【請求項２４】
前記第１光学素子と前記第２光学素子との間の光路に配置され、前記被照射体の像を結像する結像光学系を備える、
請求項２１又は請求項２３に記載の測定装置。
【請求項２５】
前記複数のセンサ毎にそれぞれ設けられ、前記被照射体の像を結像する結像光学系を備える、
請求項２１又は請求項２３に記載の測定装置。
【請求項２６】
前記複数のセンサ及び前記複数の結像光学系は、前記光源部から前記センサに入射するまでの前記光の光路長が互いに同一となる位置に配置される
請求項２４又は請求項２５に記載の測定装置。
【請求項２７】
前記光源部は、前記被照射体から蛍光を発生させる励起光と、前記被照射体を観察する明視野光とを同時に射出可能である
請求項２１から請求項２６の何れか一項に記載の測定装置。
【請求項２８】
前記光源部から射出され前記第１光学素子に入射した光のうち、前記被照射体に向かわない光が入射し該光に関する情報を検出する光情報検出装置を備える
請求項２１から請求項２７の何れか一項に記載の測定装置。
【請求項２９】
前記光情報検出装置は、入射した前記光の光量を検出する
請求項２８記載の測定装置。
【請求項３０】
前記光源部からの前記励起光及び前記照明光の出射を制御するとともに、前記光源部から出射された光の波長に応じた前記センサに、前記被照射体を介した光を受光させるように制御する制御部を備える
請求項２１から請求項２９の何れか一項に記載の測定装置。
【請求項３１】
前記制御部は、前記光源部から前記励起光及び前記照明光を同時に出射させる
請求項３０記載の測定装置。
【請求項３２】
前記制御部は、前記光源部から出射された光の波長に応じて、前記センサの受光時間を変えるように制御する請求項３０又は請求項３１に記載の測定装置。
【請求項３３】
バイオアッセイ装置と、
請求項２１から請求項３２の何れか一項に記載の測定装置と、
を備えるスクリーニング装置。
【請求項３４】
請求項１から請求項２０の何れか一項に記載の光学装置を介して被照射体を照明する光を射出することと、
前記被照射体を介した光を複数のセンサによって受光することと、
を備える測定方法。
【請求項３５】
前記被照射体を介した光を波長毎に個別に同じタイミングで受光する
請求項３４記載の測定方法。
【請求項３６】
前記被照射体を介した第１の光と第２の光とを同時に受光する
請求項３４記載の測定方法。
【請求項３７】
前記被照射体を介した第１の光と第２の光とを時系列的に受光する
請求項３４記載の測定方法。
【請求項３８】
入射する光の波長に応じて前記センサの受光時間を変えることを含む
請求項３４から請求項３７の何れか一項に記載の測定方法。
【請求項３９】
バイオチップを用いてバイオアッセイすることと、
請求項３４から請求項３８の何れか一項に記載の測定方法により前記バイオチップを測定することと、
を含むスクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学装置、測定装置、測定方法、スクリーニング装置及びスクリーニング方法に関するものである。
本願は、２０１３年１２月９日に出願された日本国特願２０１３−２５３９７６号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、一つの試料に対して明視野観察と蛍光観察とを時系列で行う測定装置が知られている。
この測定装置においては、明視野観察用の光を第１光路で導光して試料を照明して、試料の像を撮像装置で撮像し、蛍光観察用の励起光を第２光路で導光して試料を照明し、試料で生じた蛍光を同じ撮像装置で撮像している。そして、この測定装置は、フィルターターレットを操作して、第１光路と第２光路とが重複する位置において蛍光キューブの非配置と配置を切り替えることにより、明視野観察と蛍光観察とを切り替えている。また、特許文献１の測定装置では、所定波長の光を透過させる励起フィルタを備えるミラーユニットが円周方向に沿って配置されたターレットを回転させ、所望波長の光を透過させる励起フィルタを備えるミラーユニットを照明光の光路に位置決めすることで、測定に用いる光を切り替える技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−０９０６３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
例えば、試料に複数の測定対象がアレイ状に配置されていて、明視野観察での撮像結果と蛍光観察での撮像結果とを比較することで蛍光が発生した測定対象を測定する場合、試料における撮像領域が両方の撮像結果で対応している必要がある。ところが、上記の従来技術では、明視野観察と蛍光観察とを切り替える際に、ターレットの回転及びターレットの回転方向の位置決めが必要になるため、蛍光キューブあるいはミラーユニットの配置誤差や動作誤差等により、試料における撮像領域が両方の撮像結果で対応せずに測定精度が低下する可能性がある。特に、視野の大きさの関係で、撮像領域における測定対象が全測定対象の一部である場合には、両方の撮像結果の間で試料における撮像領域の対応（例、位置）が厳しく求められる。例えば、上記両方の撮像結果の間で試料における撮像領域の対応がほとんどずれていない、又は完全に一致する、ことが求められる。【０００５】
本発明に係る態様は、測定精度の低下を抑制することが可能な光学装置、測定装置、測定方法、スクリーニング装置及びスクリーニング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る第１の態様の光学装置は、入射する光を波長に応じて分離可能な第１光学素子及び第２光学素子を備え、第１光学素子は、第１の波長帯域の光を反射し、第２の波長帯域の光を透過させ、第３の波長帯域の光を部分透過及び部分反射する第１光学特性を有する第１分離部を備え、第２光学素子は、第１の波長帯域又は第２の波長帯域と、第３の波長帯域との２つの波長帯域を有して入射される入射光を、波長に応じて第１の波長帯域の光又は第２の波長帯域の光と、第３の波長帯域の光とに分離する第２光学特性を有する第２分離部を備える。【０００７】
本発明に係る第２の態様の光学装置は、入射する光を波長に応じて分離可能な第１光学素子、第２光学素子および第３光学素子を１つの光路に備え、第１光学素子は、第１の波長帯域の励起光を反射し第２の波長帯域の蛍光を透過させる又は第１の波長帯域の励起光を透過し第２の波長帯域の蛍光を反射することと、第３の波長帯域の明視野光を部分透過及び部分反射することと、第４の波長帯域の励起光を反射し第５の波長帯域の蛍光を透過させる又は第４の波長帯域の励起光を透過し第５の波長帯域の蛍光を反射することと、を有する第１分離部を備え、第２光学素子は、第２の波長帯域の蛍光及び第５の波長帯域の蛍光を透過し第３の波長帯域の明視野光を反射させること、又は第２の波長帯域の蛍光及び第５の波長帯域の蛍光を反射し第３の波長帯域の明視野光を透過させること、を有する第２分離部を備え、第３光学素子は、第２の波長帯域の蛍光を反射し第５の波長帯域の蛍光を透過させること、又は第２の波長帯域の蛍光を透過し第５の波長帯域の蛍光を反射させること、を有する第３分離部を備える。【０００８】
本発明に係る第３の態様の光学装置は、入射する光を波長に応じて分離可能な第１光学素子、第２光学素子および第３光学素子を１つの光路に備え、第１光学素子は、第１の波長帯域の励起光を反射し第２の波長帯域の蛍光を透過させる又は第１の波長帯域の励起光を透過し第２の波長帯域の蛍光を反射することと、第３の波長帯域の明視野光を部分透過及び部分反射することと、第４の波長帯域の励起光を反射し第５の波長帯域の蛍光を透過させる又は第４の波長帯域の励起光を透過し第５の波長帯域の蛍光を反射することと、を有する第１分離部を備え、第２光学素子は、第３の波長帯域の明視野光及び第５の波長帯域の蛍光を透過し第２の波長帯域の蛍光を反射させること、又は第３の波長帯域の明視野光及び第５の波長帯域の蛍光を反射し第２の波長帯域の蛍光を透過させること、を有する第２分離部を備え、第３光学素子は、第３の波長帯域の明視野光を反射し第５の波長帯域の蛍光を透過させること、又は第３の波長帯域の明視野光を透過し第５の波長帯域の蛍光を反射させること、を有する第３分離部を備える。【０００９】
本発明に係る第４の態様の光学装置は、入射する光を波長に応じて分離可能な第１光学素子及び第２光学素子と、入射する光をセンサに結像させる結像光学系とを１つの光路に備え、第１光学素子は、第１の波長帯域の光を反射し、第２の波長帯域の光を透過させ、第３の波長帯域の光を部分透過及び部分反射する第１光学特性を有する第１分離部を備え、第２光学素子は、第１光学素子からの光を波長に応じて分離する第２光学特性を有する第２分離部を備え、第２光学素子は、光路において結像光学系より像側に配置されている。【００１０】
本発明に係る第５の態様の測定装置は、上記第１の態様の光学装置と、光学装置を介して被照射体を照明する光を射出する光源部と、被照射体を介した光を受光するセンサと、を備える。【００１１】
本発明に係る第６の態様の測定装置は、上記第２の態様の光学装置と、光学装置を介して被照射体を照明する光を射出する光源部と、被照射体を介した光を受光するセンサと、を備える。【００１２】
本発明に係る第７の態様のスクリーニング装置は、バイオアッセイ装置と、上記第５の態様又は上記第６の態様の測定装置と、を備える。【００１３】
本発明に係る第８の態様の測定方法は、上記第１の態様又は上記第２の態様の光学装置を介して被照射体を照明する光を射出することと、被照射体を介した光を複数のセンサによって受光することと、を備える。【００１４】
本発明に係る第９の態様のスクリーニング方法は、バイオチップを用いてバイオアッセイすることと、上記第８の態様の測定方法によりバイオチップを測定することと、を含む。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る態様では、被照射体の測定に係る測定精度の低下を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施形態に係る測定装置の構成を示す図。
【図２Ａ】第１実施形態に係る第１フィルタ３８の、光の波長に対する透過率を示す図。
【図２Ｂ】第１実施形態に係るダイクロイックミラー３９の、光の波長に対する透過率を示す図。
【図２Ｃ】第１実施形態に係る第２フィルタ４０の、光の波長に対する透過率を示す図。
【図３】第１実施形態に係るダイクロイックミラー５３の、光の波長に対する透過率を示す図。
【図４】第１実施形態に係るダイクロイックミラー５４の、光の波長に対する透過率を示す図。
【図５Ａ】第１実施形態に係る第１多層膜の、光の波長に対する透過率を示す図。
【図５Ｂ】第１実施形態に係る第２多層膜の、光の波長に対する透過率を示す図。
【図６Ａ】第１実施形態に係る被照射体１の一例を示す図。
【図６Ｂ】第１実施形態に係る被照射体１の一例を示す拡大断面図。
【図７】第１実施形態に係る測定方法のフローチャート。
【図８】第１実施形態に係るセンサ２８Ａの視野を示す図。
【図９】第１実施形態に係るセンサ２８Ｂの視野を示す図。
【図１０】測定に係るセンサ２８Ａ、２８Ｂ及び２８Ｃのタイミングチャート。
【図１１】測定に係るセンサ２８Ａ、２８Ｂ及び２８Ｃのタイミングチャート。
【図１２】測定に係るセンサ２８Ａ、２８Ｂ及び２８Ｃのタイミングチャート。
【図１３】測定に係るセンサ２８Ａ、２８Ｂ及び２８Ｃのタイミングチャート。
【図１４】測定に係るセンサ２８Ａ、２８Ｂ及び２８Ｃのタイミングチャート。
【図１５】測定に係るセンサ２８Ａ、２８Ｂ及び２８Ｃのタイミングチャート。
【図１６】測定に係るセンサ２８Ａ、２８Ｂ及び２８Ｃのタイミングチャート。
【図１７】第２実施形態に係る測定装置の一例を示す概略構成図。
【図１８】実施形態に係る測定システム（スクリーニング装置）を示す図。
【図１９】別の実施形態に係る測定装置の一例を示す概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の光学装置、測定装置、測定方法、スクリーニング装置及びスクリーニング方法の実施の形態を、図１から図１９を参照して説明する。
以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内の所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。
【００１８】
＜第１実施形態＞
光学装置、測定装置の第１実施形態について、図１から図１６を参照して説明する。
まず、本実施形態に係る測定装置２０について説明する。
図１は、測定装置２０の一例を示す概略構成図である。測定装置２０は、被照射体１に対して測定を行うための装置である。測定装置２０は、光源３１と、ステージ２６と、光学装置２５と、センサ２８Ａと、センサ２８Ｂと、センサ２８Ｃと、検出部３２と、センサ（光情報検出装置）５５と、制御部２２と、表示部２３と、本体（不図示）とを備えている。光源３１、ステージ２６、光学装置２５、センサ２８Ａ、センサ２８Ｂ、センサ２８Ｃ、検出部３２、センサ５５、制御部２２、表示部２３及び本体（不図示）は、例えば一体で構成されている。
【００１９】
光源３１は、被照射体１から蛍光を発生させるための励起光と、被照射体１から反射光を発生させるための明視野光とを射出可能である。一例として、光源３１は、波長λ１の第１励起光と、波長λ２の第２励起光と、波長λ３の明視野光とを射出可能である。光源３１は、多波長の光を射出可能である。波長λ１と波長λ２と波長λ３とは、互いに異なる波長である。光源３１は、波長λ１として例えば波長４８８ｎｍの第１励起光と、波長λ２として例えば波長６４８ｎｍの第２励起光と、波長λ３として例えば波長４３６ｎｍの明視野光とを射出可能である。光源３１は、制御部２２からの信号に基づいて、第１励起光と第２励起光と明視野光とを選択的に切り替えて射出したり、第１励起光と第２励起光と明視野光とのうち２つの光を同時に射出したり、第１励起光と第２励起光と明視野光との３つの光を同時に射出したりすることが可能な構成を備えている。
【００２０】
光学装置２５は、対物レンズ３５と、フィルタブロック３７と、光学素子５１と、光学素子５２と、波長選択フィルタ４２と、結像光学系３３Ａと、結像光学系３３Ｂと、結像光学系３３Ｃとを備えている。光学装置２５の詳細については、後述する。
【００２１】
ステージ２６は、支持部材５０を支持する。ステージ２６は、支持部材５０を支持した状態で移動可能である。ステージ２６は、例えばＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向それぞれに支持部材５０を支持した状態で移動可能である。ステージ２６は、例えばＺ軸まわりに支持部材５０を支持した状態で回転移動可能である。ステージ２６は、対物レンズ３５の物体側に配置されている。
支持部材５０は、被照射体１を支持する。支持部材５０は、例えばプレートである。支持部材５０は、被照射体１の表面１８が対物レンズ３５と対向するように、ステージ２６により支持される。ステージ２６により支持された支持部材５０の被照射体１は、光源３１から射出され光学装置２５を介した光が照射される。
【００２２】
センサ２８Ａは、光学装置２５を介して被照射体１からの光を受光し、受光した光量に応じた信号を画像信号として制御部２２へ出力する。センサ２８Ａは、例えば光検出器、撮像素子等で構成されている。光検出器は、例えばＰＭＴ（photomultiplier tube）が挙げられる。撮像素子は、例えばＣＣＤ（charge coupled device）、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等が挙げられる。
センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃは、センサ２８Ａと同様の構成である。
なお、本実施形態において、センサ２８Ａ、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃとして、撮像素子（例えば２０４８画素×２０４８画素のｓＣＭＯＳ）を挙げて説明する。
なお、測定装置２０は、センサ２８Ａ、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃを冷却するための冷却部を備えていてもよい。冷却部は、例えばペルチェ素子や、冷媒を有する装置等が挙げられる。冷却部は、センサ２８Ａ、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃの温度上昇に起因するノイズ（例えば暗電流）を低減するために、センサ２８Ａ、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃを冷却する。
【００２３】
検出部３２は、ステージ２６により支持された支持部材５０の被照射体１に対する測定装置２０の焦点状態を検出するための装置である。検出部３２は、光源３２Ａと、センサ３２Ｂとを備えている。
光源３２Ａは、焦点検出光を射出可能である。光源３２Ａは、例えば波長７７０ｎｍの赤外光を焦点検出光として射出する。焦点検出光は、光源３１から射出される第１励起光と、光源３１から射出される第２励起光と、光源３１から射出される明視野光と、第１励起光により被照射体１から発生する第１蛍光と、第２励起光により被照射体１から発生する第２蛍光とのいずれの波長帯域とも異なる波長帯域の光である。光源３２Ａから射出された焦点検出光は、光学装置２５を介して被照射体１に照射される。
センサ３２Ｂは、光源３１Ａから射出された焦点検出光に対する被照射体１の反射光を光学装置２５経由で受光し、受光した光量に応じた信号を制御部２２へ出力する。
【００２４】
センサ５５は、測定を行う場合に光源３１が出力する光量を調節するために、光源３１から出力された光をモニタ（確認）するためのセンサである。センサ５５は、光源３１から射出されダイクロイックミラー３９を透過した明視野光を受光し、受光した光量に基づいた信号を出力する。制御部２２は、センサ５５から出力された信号に基づいて、測定の場合に光源３１が出力する光量を調節することで被照射体１に照射される光量を調節したり、測定の場合のセンサ２８Ａ、２８Ｂ及びセンサ２８Ｃの露光時間（シャッター速度、受光時間）設定したりすることができる。なお、センサ５５は、光量以外にも、例えば波長や光軸位置等を検出するようにしてもよい。
【００２５】
制御部２２は、光源３１と、ステージ２６と、光学装置２５と、センサ２８Ａと、センサ２８Ｂと、センサ２８Ｃと、検出部３２と、センサ５５と、表示部２３とを制御する。
一例として、制御部２２は、光源３１の光の射出、検出部３２の検出結果に基づくステージ２６のＺ軸方向位置制御、ステージ２６の駆動制御等の制御が挙げられる。制御部２２は、センサ２８Ａ、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃからから出力されたそれぞれの画像信号に対してシェーディング補正等の画像処理を施して画像データを生成する。制御部２２は、生成した画像データに基づく画像を表示部２３に表示するよう、画像データを制御部２２へ出力する。制御部２２は、例えばＣＰＵである。
表示部２３は、例えば液晶ディスプレイのようなフラットパネルディスプレイである。
表示部２３は、制御部２２により生成された画像データに基づいて画像を表示する。
【００２６】
光学装置２５、ステージ２６、センサ２８Ａ、センサ２８Ｂ、センサ２８Ｃ、光源３１、検出部３２、センサ５５、制御部２２及び表示部２３はいずれも、本体（不図示）に取り付けられている。
【００２７】
なお、光源３１と、ステージ２６と、光学装置２５と、センサ２８Ａと、センサ２８Ｂと、センサ２８Ｃと、検出部３２と、センサ５５と、制御部２２と、表示部２３と、本体とが一体に構成された例で説明したが、これに限るものではなく、例えば制御部２２及び表示部２３が測定装置２０と別体で構成されてもよい。一例として、制御部２２として例えばデスクトップコンピュータ等のコンピュータを、表示部２３として例えば液晶ディスプレイ等のディスプレイ（モニタ）を例示することができる。一例として、制御部２２及び表示部２３として例えばラップトップコンピュータ等のコンピュータ（すなわちディスプレイ（モニタ）を有するコンピュータ端末）を例示することができる。
【００２８】
光学装置２５について説明する。
光学装置２５は、対物レンズ３５と、フィルタブロック（第１光学素子）３７と、光学素子（第２光学素子）５１と、光学素子（第３光学素子）５２と、波長選択フィルタ（第４光学素子、第４分離部）４２と、結像光学系３３Ａと、結像光学系３３Ｂと、結像光学系３３Ｃとを備えている。
【００２９】
対物レンズ３５は、光学装置２５を構成する光学系のうち最も物体側に位置する光学系である。対物レンズ３５は、ステージ２６に支持されている被照射体１の表面１８と対向可能に構成されている。対物レンズ３５は、例えば被照射体１のＺ軸プラス側（上方）に配置されている。対物レンズ３５は、例えば無限系の対物レンズである。対物レンズ３５は、例えば、後述の第１の波長帯域の光から第５の波長帯域の光（例、波長帯域λＢ１１Ｂの光、波長帯域λＢ１２Ｂの光、波長帯域λＢ２１Ｂの光、波長帯域λＢ２２Ｂの光など）が入射可能な光路に配置される。
【００３０】
フィルタブロック３７は、第１フィルタ（第１波長選択部）３８と、ダイクロイックミラー（第１分離部）３９と、第２フィルタ（第２波長選択部）４０とを備えている。一例として、フィルタブロック３７は、励起フィルタと、ダイクロイックミラーと、吸収フィルタとが一体で構成される蛍光フィルタブロックである。蛍光フィルタブロックは、蛍光キューブ、蛍光用ミラーユニット、蛍光フィルターセットと呼ぶ場合がある。光源３１が射出した光は、フィルタブロック３７に入射する。
なお、測定装置２０は、フィルタブロック３７とは別の第２フィルタブロックを備えていてもよい。一例として、第２フィルタブロックは、励起フィルタと、ダイクロイックミラーと、吸収フィルタとが一体で構成される蛍光フィルタブロック（蛍光キューブ、蛍光用ミラーユニット、蛍光フィルターセット）である。第２フィルタブロックは、例えば第３蛍光による蛍光画像と、第４蛍光による蛍光画像とを取得するために用いる。第１蛍光、第２蛍光、第３蛍光及び第４蛍光は、互いに波長が異なる。第２フィルタブロックが有するダイクロイックミラーは、少なくとも明視野光の波長λ１に対してはフィルタブロック３７と同様の分光感度特性を備えている。一例として、第２フィルタブロックが有するダイクロイックミラーは、少なくとも明視野光の波長λ１（例えば波長４３６ｎｍ）を含む波長帯域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対しては例えば透過率３５％から６５％の間の透過率（例えば透過率５０％）を備えている。フィルタブロック３７と第２フィルタブロックとは、例えばターレットのような切替部により切り替えられる。これにより、光源３１が射出した光が入射する位置（光源３１と対物レンズ３５との間の光路）に、フィルタブロック３７と第２フィルタブロックとのうちいずれかのフィルタブロックを配置することができる。
【００３１】
光源３１が射出した光は、第１フィルタ３８に入射する。第１フィルタ３８は、波長選択光学素子である。第１フィルタ３８は、特定の波長の光を選択的に透過する。第１フィルタ３８は、光源３１から射出された光のうち、特定の波長帯域の光のみを選択的に透過させ、特定の波長帯域以外の光を例えば反射や吸収によって遮断する。第１フィルタ３８は、例えば光源３１から射出された明視野光と第１励起光と第２励起光とを選択的に透過する。第１フィルタ３８は、励起フィルタである。
【００３２】
図２Ａは、光の波長に対する第１フィルタ３８の透過率を示す図である。
一例として、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する波長λ３の明視野光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する波長λ３の明視野光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ａの例では、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する波長λ３の明視野光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する波長λ１の第１励起光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する波長λ１の第１励起光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ａの例では、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する波長λ１の第１励起光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する波長λ２の第２励起光に対して８０％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する波長λ２の第２励起光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ａの例では、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する波長λ２の第２励起光に対して１００％の透過率を有している。
第１フィルタ３８は、光源３１が射出する明視野光の波長λ３を含む波長帯域λＢ３２Ａの光と、光源３１が射出する第１励起光の波長λ１を含む波長帯域λＢ１１Ａの光と、光源３１が射出する第２励起光の波長λ２を含む波長帯域λＢ２１Ａの光とを選択的に透過する。
【００３３】
第１フィルタ３８は、波長帯域λＢ３１Ａの光を透過し、明視野光の波長λ３を含む波長帯域λＢ３２Ａの光を透過し、第１励起光の波長λ１を含む波長帯域λＢ１１Ａの光を透過し、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ａの光を反射し、第２励起光の波長λ２を含む波長帯域λＢ２１Ａの光を透過し、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ａの光を反射し、赤外光の波長を含む波長帯域λＢ４Ａの光を反射する。
【００３４】
一例として、第１フィルタ３８は、波長帯域λＢ３１Ａの光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第１フィルタ３８は、波長帯域λＢ３１Ａの光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ａの例では、第１フィルタ３８は、波長帯域λＢ３１Ａの光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する明視野光の波長λ３を含む波長帯域λＢ３２Ａの光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する明視野光の波長λ３を含む波長帯域λＢ３２Ａの光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ａの例では、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する明視野光の波長λ３を含む波長帯域λＢ３２Ａに対して１００％の透過率を有している。
一例として、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する第１励起光の波長λ１を含む波長帯域λＢ１１Ａの光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する第１励起光の波長λ１を含む波長帯域λＢ１１Ａの光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ａの例では、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する第１励起光の波長λ１を含む波長帯域λＢ１１Ａの光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、第１フィルタ３８は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ａの光に対して０％から２５％までの間の透過率を有している。一例として、第１フィルタ３８は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ａの光に対して、多くても２５％、２０％、１５％、１０％、５％又は０％の透過率を有している。図２Ａの例では、第１フィルタ３８は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ａの光に対して１０％の透過率を有している。
【００３５】
一例として、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する第２励起光の波長λ２を含む波長帯域λＢ２１Ａの光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する第２励起光の波長λ２を含む波長帯域λＢ２１Ａの光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ａの例では、第１フィルタ３８は、光源３１が射出する第２励起光の波長λ２を含む波長帯域λＢ２１Ａの光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、第１フィルタ３８は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ａの光に対して０％から２５％までの間の透過率を有している。一例として、第１フィルタ３８は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ａの光に対して、多くても２５％、２０％、１５％、１０％、５％又は０％の透過率を有している。図２Ａの例では、第１フィルタ３８は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ａの光に対して１０％の透過率を有している。
一例として、第１フィルタ３８は、光源３２Ａが射出する焦点検出光の波長を含む波長帯域λＢ４Ａの光に対して０％から２５％までの間の透過率を有している。一例として、第１フィルタ３８は、光源３２Ａが射出する焦点検出光の波長を含む波長帯域λＢ４Ａの光に対して、多くても２５％、２０％、１５％、１０％、５％又は０％の透過率を有している。図２Ａの例では、第１フィルタ３８は、光源３２Ａが射出する焦点検出光の波長を含む波長帯域λＢ４Ａに対して１０％の透過率を有している。
【００３６】
波長帯域λＢ３１Ａは、例えば波長０ｎｍ以上４２５ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ３２Ａは、波長帯域λＢ３１Ａと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ３２Ａは、例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ１１Ａは、波長帯域λＢ３２Ａと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ１１Ａは、例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ１２Ａは、波長帯域λＢ１１Ａと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ１２Ａは、例えば波長５０５ｎｍ以上６１５ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ２１Ａは、波長帯域λＢ１２Ａと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ２１Ａは、例えば波長６１５ｎｍ以上６５０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ２２Ａは、波長帯域λＢ２１Ａと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ２２Ａは、例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ４Ａは、波長帯域λＢ２２Ａと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ４Ａは、例えば波長７００ｎｍ以上である。
【００３７】
一例として、第１フィルタ３８は、０ｎｍ以上４２５ｎｍ未満の波長帯域λＢ３１Ａの光を透過し、４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満の波長帯域λＢ３２Ａの光を透過し、４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満の波長帯域λＢ１１Ａの光を透過し、５０５ｎｍ以上６１５ｎｍ未満の波長帯域λＢ１２Ａの光を反射し、６１５ｎｍ以上６５０ｎｍ未満の波長帯域λＢ２１Ａの光を透過し、６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満の波長帯域λＢ２２Ａの光を反射し、７００ｎｍ以上の波長帯域λＢ４Ａの光を反射する光学特性を備えている。
第１フィルタ３８は、所定波長帯域の光（第１励起光、第２励起光及び明視野光）を透過し、他の波長帯域の光を透過しないバンドパスフィルタを含む。
【００３８】
光源３１から射出され第１フィルタ３８を透過した光は、ダイクロイックミラー３９に入射する。ダイクロイックミラー３９は、主として励起光と蛍光とを分離する分離光学素子である。ダイクロイックミラー３９は、第１フィルタ３８で選択された励起光を反射し、被照射体１から発せられた蛍光を透過させるミラーである。ダイクロイックミラー３９は、例えば光軸に対して４５度傾けて配置されている。
ダイクロイックミラー３９は、励起光を反射し、蛍光を透過し、明視野光を部分反射及び部分透過する。
ダイクロイックミラー３９は、第１励起光及び第２励起光を反射し、第１蛍光及び第２蛍光を透過し、明視野光を部分反射及び部分透過する。ダイクロイックミラー３９は、焦点検出光を透過する。
ダイクロイックミラー３９は、第１励起光の波長を含む波長帯域（第１の波長帯域）の光と第２励起光の波長を含む波長帯域（第４の波長帯域）の光とを反射し、第１蛍光の波長を含む波長帯域（第２の波長帯域）の光と第２蛍光の波長を含む波長帯域（第５の波長帯域）の光とを透過し、明視野光の波長を含む波長帯域（第３の波長帯域）の光を部分反射及び部分透過する。ダイクロイックミラー３９は、焦点検出光の波長を含む波長帯域（第６の波長帯域）を透過する。
ダイクロイックミラー３９は、励起光に対して第１の透過率を有し、蛍光に対して第１の透過率よりも高い第２の透過率を有し、明視野光に対して第１の透過率よりも高く且つ第２の透過率よりも低い第３の透過率を有する。
ダイクロイックミラー３９は、第１励起光及び第２励起光に対して第１の透過率を有し、第１蛍光及び第２蛍光に対して第１の透過率よりも高い第２の透過率を有し、明視野光に対して第１の透過率よりも高く第２の透過率よりも低い第３の透過率を有する。ダイクロイックミラー３９は、焦点検出光に対して第２の透過率を有する。
ダイクロイックミラー３９は、第１励起光の波長を含む波長帯域（第１の波長帯域）の光と第２励起光の波長を含む波長帯域（第４の波長帯域）の光とに対して第１の透過率を有し、第１蛍光の波長を含む波長帯域（第２の波長帯域）の光と第２蛍光の波長を含む波長帯域（第５の波長帯域）の光とに対して第１の透過率よりも高い第２の透過率を有し、明視野光の波長を含む波長帯域（第３の波長帯域）の光に対して第１の透過率よりも高く且つ第２の透過率よりも低い第３の透過率を有する。ダイクロイックミラー３９は、焦点検出光の波長を含む波長帯域（第６の波長帯域）に対して第２の透過率を有する。
ダイクロイックミラー３９は、第１励起光の波長を含む波長帯域（第１の波長帯域）全域の光と第２励起光の波長を含む波長帯域（第４の波長帯域）全域の光とに対して第１の透過率を一定値として有し、第１蛍光の波長を含む波長帯域（第２の波長帯域）全域の光と第２蛍光の波長を含む波長帯域（第５の波長帯域）全域の光とに対して第１の透過率よりも高い第２の透過率を一定値として有し、明視野光の波長を含む波長帯域（第３の波長帯域）全域の光に対して第１の透過率よりも高く且つ第２の透過率よりも低い第３の透過率を一定値として有する。ダイクロイックミラー３９は、焦点検出光の波長を含む波長帯域（第６の波長帯域）全域に対して第２の透過率を一定値として有する。
例えば、これらの光学特性は、ダイクロイックミラー３９が備える多層膜（不図示、光学特性については図５Ａおよび５Ｂ参照（後述））によって得られるものである。
【００３９】
図２Ｂは、光の波長に対するダイクロイックミラー３９の透過率を示す図である。
一例として、ダイクロイックミラー３９は、波長λ３の明視野光に対して３５％から６５％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、波長λ３の明視野光に対して、少なくとも３５％以上、４０％以上又は４５％以上の透過率を有し、且つ、多くても６５％以下、６０％以下又は５５％以下の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、波長λ３の明視野光に対して、３５％、４０％、４５％、５０％、５５％、６０％及び６５％のいずれかの透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、波長λ３の明視野光に対して５０％の透過率を有している。
一例として、ダイクロイックミラー３９は、第１励起光に対して０％から２５％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、第１励起光に対して、多くても２５％、２０％、１５％、１０％、５％又は０％の透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、第１励起光に対して１０％の透過率を有している。
一例として、ダイクロイックミラー３９は、第１蛍光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、第１蛍光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、第１蛍光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、ダイクロイックミラー３９は、第２励起光に対して０％から２５％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、第２励起光に対して、多くても２５％、２０％、１５％、１０％、５％又は０％の透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、第２励起光に対して１０％の透過率を有している。
一例として、ダイクロイックミラー３９は、第２蛍光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、第２蛍光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、第２蛍光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、ダイクロイックミラー３９は、焦点検出光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、焦点検出光に対して、少なくても７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、焦点検出光に対して１００％の透過率を有している。
【００４０】
一例として、ダイクロイックミラー３９は、波長帯域λＢ３１Ｂの光に対して３５％から６５％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、波長帯域λＢ３１Ｂの光に対して、少なくとも３５％以上、４０％以上又は４５％以上の透過率を有し、且つ、多くても６５％以下、６０％以下又は５５％以下の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、波長帯域λＢ３１Ｂの光に対して、３５％、４０％、４５％、５０％、５５％、６０％、６５％のいずれかの透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、波長帯域λＢ３１Ｂの光に対して５０％の透過率を有している。
一例として、ダイクロイックミラー３９は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｂの光に対して３５％から６５％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｂの光に対して、少なくとも３５％以上、４０％以上又は４５％以上の透過率を有し、且つ、多くても６５％以下、６０％以下又は５５％以下の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｂの光に対して、３５％、４０％、４５％、５０％、５５％、６０％、６５％のいずれかの透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｂの光に対して５０％の透過率を有している。
一例として、ダイクロイックミラー３９は、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｂの光に対して０％から２５％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｂの光に対して、多くても２５％、２０％、１５％、１０％、５％又は０％の透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｂの光に対して１０％の透過率を有している。
一例として、ダイクロイックミラー３９は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｂの光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｂの光に対して、少なくても７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｂの光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、ダイクロイックミラー３９は、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｂの光に対して０％から２５％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｂの光に対して、多くても２５％、２０％、１５％、１０％、５％又は０％の透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｂの光に対して１０％の透過率を有している。
一例として、ダイクロイックミラー３９は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｂの光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｂの光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｂの光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、ダイクロイックミラー３９は、焦点検出光の波長を含む波長帯域λＢ４Ｂの光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、ダイクロイックミラー３９は、焦点検出光の波長を含む波長帯域λＢ４Ｂの光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９は、焦点検出光の波長を含む波長帯域λＢ４Ｂの光に対して１００％の透過率を有している。
【００４１】
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｂ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対して一定の透過率（例えば３５％、４０％、４５％、５０％、５５％、６０％、６５％）を有している。
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、波長帯域λＢ３１Ｂ及び波長帯域λＢ３２Ｂの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対して、一定の透過率（例えば３５％、４０％、４５％、５０％、５５％、６０％、６５％）を有している。
【００４２】
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｂ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対する透過率が、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｂ全域（例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満）の光に対する透過率よりも高い。
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｂ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対する透過率が、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｂ全域（例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満）の光に対する透過率よりも高い。
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｂ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対する透過率が、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｂ全域（例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満）の光に対する透過率と第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｂ全域（例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満）の光に対する透過率とのいずれの透過率よりも高い。
【００４３】
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｂ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対する透過率が、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｂ全域（例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満）の光に対する透過率よりも低い。
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｂ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対する透過率が、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｂ全域（例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満）の光に対する透過率よりも低い。
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｂ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対する透過率が、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｂ全域（例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満）の光に対する透過率と第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｂ全域（例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満）の光に対する透過率とのいずれの透過率よりも低い。
【００４４】
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、波長帯域λＢ３１Ｂ及び波長帯域λＢ３２Ｂの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対する透過率が、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｂ全域（例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満）の光に対する透過率よりも高い。
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、波長帯域λＢ３１Ｂ及び波長帯域λＢ３２Ｂの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対する透過率が、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｂ全域（例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満）の光に対する透過率よりも高い。
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、波長帯域λＢ３１Ｂ及び波長帯域λＢ３２Ｂの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対する透過率が、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｂ全域（例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満）の光に対する透過率と第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｂ全域（例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満）の光に対する透過率とのいずれの透過率よりも高い。
【００４５】
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、波長帯域λＢ３１Ｂ及び波長帯域λＢ３２Ｂの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対する透過率が、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｂ全域（例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満）の光に対する透過率よりも低い。
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、波長帯域λＢ３１Ｂ及び波長帯域λＢ３２Ｂの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対する透過率が、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｂ全域（例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満）の光に対する透過率よりも低い。
図２Ｂに示したように、ダイクロイックミラー３９は、波長帯域λＢ３１Ｂ及び波長帯域λＢ３２Ｂの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）の光に対する透過率が、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｂ全域（例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満）の光に対する透過率と第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｂ全域（例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満）の光に対する透過率とのいずれの透過率よりも低い。
【００４６】
なお、ダイクロイックミラー３９における波長帯域λＢ１１Ｂの透過率と波長帯域λＢ２１Ｂの透過率とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９における波長帯域λＢ１１Ｂの透過率と波長帯域λＢ２１Ｂの透過率とは、いずれも１０％で同じである。
なお、ダイクロイックミラー３９における波長帯域λＢ１２Ｂの透過率と波長帯域λＢ２２Ｂの透過率と波長帯域λＢ４Ｂの透過率とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。図２Ｂの例では、ダイクロイックミラー３９における波長帯域λＢ１２Ｂの透過率と波長帯域λＢ２２Ｂの透過率と波長帯域λＢ４Ｂの透過率とは、いずれも１００％で同じである。
【００４７】
波長帯域λＢ３１Ｂは、例えば波長０ｎｍ以上４２５ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ３２Ｂは、波長帯域λＢ３１Ｂと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ３２Ｂは、例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ１１Ｂは、波長帯域λＢ３２Ｂと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ１１Ｂは、例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ１２Ｂは、波長帯域λＢ１１Ｂと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ１２Ｂは、例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ２１Ｂは、波長帯域λＢ１２Ｂと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ２１Ｂは、例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ２２Ｂは、波長帯域λＢ２１Ｂと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ２２Ｂは、例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ４Ｂは、波長帯域λＢ２２Ｂと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ４Ｂは、例えば波長７００ｎｍ以上である。
【００４８】
ダイクロイックミラー３９を透過した被照射体１からの光は、第２フィルタ４０に入射する。第２フィルタ４０は、波長選択光学素子である。第２フィルタ４０は、特定の波長の光を選択的に透過する。第２フィルタ４０は、被照射体１から発せられた光のうち、特定の波長帯域の光を透過させ、特定の波長帯域以外の光を例えば反射や吸収によって遮断する。第２フィルタ４０は、例えば明視野光と第１蛍光と第２蛍光とを選択的に透過する。第２フィルタ４０は、吸収フィルタである。吸収フィルタは、エミッションフィルタやバリアフィルタと呼ぶ場合がある。
【００４９】
図２Ｃは、光の波長に対する第２フィルタ４０の透過率を示す図である。
一例として、第２フィルタ４０は、波長λ３の明視野光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第２フィルタ４０は、波長λ３の明視野光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｃの例では、第２フィルタ４０は、波長λ３の明視野光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、第２フィルタ４０は、第１蛍光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第２フィルタ４０は、第１蛍光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｃの例では、第２フィルタ４０は、第１蛍光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、第２フィルタ４０は、第２蛍光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第２フィルタ４０は、第２蛍光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｃの例では、第２フィルタ４０は、第２蛍光に対して１００％の透過率を有している。
第２フィルタ４０は、明視野光の波長λ３を含む波長帯域λＢ３２Ｃの光と、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｃの光と、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｃの光とを選択的に透過する。
【００５０】
第２フィルタ４０は、波長帯域λＢ３１Ｃの光を透過し、明視野光の波長λ３を含む波長帯域λＢ３２Ｃの光を透過し、第１励起光の波長λ１を含む波長帯域λＢ１１Ｃの光を反射し、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｃの光を透過し、第２励起光の波長λ２を含む波長帯域λＢ２１Ｃの光を反射し、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｃの光を透過し、赤外光の波長を含む波長帯域λＢ４Ｃの光を透過する。
一例として、第２フィルタ４０は、波長帯域λＢ３１Ｃの光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第２フィルタ４０は、波長帯域λＢ３１Ｃの光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｃの例では、第２フィルタ４０は、波長帯域λＢ３１Ｃの光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、第２フィルタ４０は、明視野光の波長λ３を含む波長帯域λＢ３２Ｃの光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第２フィルタ４０は、明視野光の波長λ３を含む波長帯域λＢ３２Ｃの光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｃの例では、第２フィルタ４０は、明視野光の波長λ３を含む波長帯域λＢ３２Ｃの光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、第２フィルタ４０は、第１励起光の波長λ１を含む波長帯域λＢ１１Ｃの光に対して０％から２５％までの間の透過率を有している。一例として、第２フィルタ４０は、第１励起光の波長λ１を含む波長帯域λＢ１１Ｃの光に対して、多くても２５％、２０％、１５％、１０％、５％又は０％の透過率を有している。図２Ｃの例では、第２フィルタ４０は、第１励起光の波長λ１を含む波長帯域λＢ１１Ｃの光に対して１０％の透過率を有している。
一例として、第２フィルタ４０は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｃの光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第２フィルタ４０は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｃの光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｃの例では、第２フィルタ４０は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｃの光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、第２フィルタ４０は、第２励起光の波長λ２を含む波長帯域λＢ２１Ｃの光に対して０％から２５％までの間の透過率を有している。一例として、第２フィルタ４０は、第２励起光の波長λ２を含む波長帯域λＢ２１Ｃの光に対して、高くても２５％、２０％、１５％、１０％、５％又は０％の透過率を有している。図２Ｃの例では、第２フィルタ４０は、第２励起光の波長λ２を含む波長帯域λＢ２１Ｃの光に対して１０％の透過率を有している。
一例として、第２フィルタ４０は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｃの光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第２フィルタ４０は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｃの光に対して、少なくても７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｃの例では、第２フィルタ４０は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｃの光に対して１００％の透過率を有している。
一例として、第２フィルタ４０は、焦点検出光の波長を含む波長帯域λＢ４Ｃの光に対して７５％から１００％までの間の透過率を有している。一例として、第２フィルタ４０は、焦点検出光の波長を含む波長帯域λＢ４Ｃの光に対して、少なくとも７５％、８０％、８５％、９０％、９５％又は１００％の透過率を有している。図２Ｃの例では、第２フィルタ４０は、焦点検出光の波長を含む波長帯域λＢ４Ｃの光に対して１００％の透過率を有している。
【００５１】
波長帯域λＢ３１Ｃは、例えば波長０ｎｍ以上４２５ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ３２Ｃは、波長帯域λＢ３１Ｃと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ３２Ｃは、例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ１１Ｃは、波長帯域λＢ３２Ｃと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ１１Ｃは、例えば波長４４０ｎｍ以上５１５ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ１２Ｃは、波長帯域λＢ１１Ｃと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ１２Ｃは、例えば波長５１５ｎｍ以上５６５ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ２１Ｃは、波長帯域λＢ１２Ｃと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ２１Ｃは、例えば波長５６５ｎｍ以上６６０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ２２Ｃは、波長帯域λＢ２１Ｃと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ２２Ｃは、例えば波長６６０ｎｍ以上７００ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ４Ｃは、波長帯域λＢ２２Ｃと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ４Ｃは、例えば波長７００ｎｍ以上である。
一例として、第２フィルタ４０は、０ｎｍ以上４２５ｎｍ未満の波長帯域λＢ３１Ｃの光を透過し、４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満の波長帯域λＢ３２Ｃの光を透過し、４４０ｎｍ以上５１５ｎｍ未満の波長帯域λＢ１１Ｃの光を反射し、５１５ｎｍ以上５６５ｎｍ未満の波長帯域λＢ１２Ｃの光を透過し、５６５ｎｍ以上６６０ｎｍ未満の波長帯域λＢ２１Ｃの光を反射し、６６０ｎｍ以上７００ｎｍ未満の波長帯域λＢ２２Ｃの光を透過し、７００ｎｍ以上の波長帯域λＢ４Ｃの光を透過する光学特性を備えている。
第２フィルタ４０は、所定波長帯域の光（第１蛍光、第２蛍光及び明視野光）を透過し、他の波長帯域の光を透過しないバンドパスフィルタを含む。
【００５２】
被照射体１を介してフィルタブロック３７を透過した光は、光学素子５１に入射する。
光学素子５１は、主として明視野光と蛍光とを分離する分離光学素子である。光学素子５１は、ダイクロイックミラー（第２分離部）５３を備えている。ダイクロイックミラー５３は、主として明視野光と蛍光とを分離する。ダイクロイックミラー５３は、明視野光を結像光学系３３Ａ経由でセンサ２８Ａに向かう光路（第２の光路）に導き、蛍光を光学素子５２に向かう光路（第１の光路）に導く。一例として、ダイクロイックミラー５３は、明視野光を反射し、第１蛍光と第２蛍光と赤外光とを透過する。なお、ダイクロイックミラー５３に代えて、第１蛍光と第２蛍光と赤外光とを反射し、明視野光を透過するダイクロイックミラーを用いてもよい。この場合、ダイクロイックミラーが反射した第１蛍光と第２蛍光と赤外光とが光学素子５２へ向かい、ダイクロイックミラーが反射した明視野光が結像光学系３３Ａへ向かうように、測定装置２０を構成する。
【００５３】
図３は、光の波長に対するダイクロイックミラー５３の透過率を示す図である。図３に示すように、ダイクロイックミラー５３は、第２フィルタ４０を透過した明視野光の波長λ３を含む波長帯域λＢ３Ｄの光に対して第４の透過率（例えば０％から２５％の間、例えば１０％、例えば０％）を有し、第２フィルタ４０を透過した第１蛍光と第２蛍光と赤外光とのそれぞれの波長を含む波長帯域λＢ１２Ｄの光に対して第４の透過率より高い第５の透過率（例えば７５％から１００％の間、例えば１００％）を有する。ダイクロイックミラー５３の光学特性において、波長帯域λＢ３Ｄと波長帯域λＢ１２Ｄとが切り替わる波長（透過率が切り替わる波長）、すなわちダイクロイックミラー５３に入射した光の反射と透過が切り替わる波長は、ダイクロイックミラー３９の光学特性において、波長帯域λＢ１１Ｂと波長帯域λＢ１２Ｂとが切り替わる波長と同一に設定されている。例えば、これらの光学特性は、ダイクロイックミラー３９と同様に、ダイクロイックミラー５３が備える多層膜（不図示）によって得られるものである。
【００５４】
波長帯域λＢ３Ｄは、例えば波長０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満である。波長帯域λＢ１２Ｄは、例えば波長５０５ｎｍ以上である。
【００５５】
被照射体１を介して光学素子５１を透過した光は、光学素子５２へ入射する。光学素子５２は、主として互いに波長が異なる複数の蛍光を分離する分離光学素子である。光学素子５２は、ダイクロイックミラー（第３分離部）５４を備えている。ダイクロイックミラー５４は、主として第１蛍光と第２蛍光とを分離する。ダイクロイックミラー５４は、第１蛍光を結像光学系３３Ｂ経由でセンサ２８Ｂに向かう光路に導き、第２蛍光を波長選択フィルタ４２、結像光学系３３Ｃ経由でセンサ２８Ｃに向かう光路に導く。一例として、ダイクロイックミラー５４は、第１蛍光を反射し、第２蛍光と赤外光とを透過する。なお、ダイクロイックミラー５４に代えて、第１蛍光を透過し、第２蛍光と赤外光とを反射するダイクロイックミラーを用いてもよい。この場合、ダイクロイックミラーが反射した第２蛍光と赤外光とが波長選択フィルタ４２へ向かい、ダイクロイックミラーが透過した第１蛍光が結像光学系３３Ｂへ向かうように、測定装置２０を構成する。
【００５６】
図４は、光の波長に対するダイクロイックミラー５４の透過率を示す図である。図４に示すように、ダイクロイックミラー５４は、光学素子５１のダイクロイックミラー５３を透過した第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｅの光に対して第６の透過率（例えば０％から２５％の間、例えば１０％、例えば０％）を有し、光学素子５１のダイクロイックミラー５３を透過した第２蛍光と赤外光とのそれぞれの波長を含む波長帯域λＢ２２Ｅの光に対して第６の透過率より高い第７の透過率（例えば７５％から１００％の間、例えば１００％）を有する。例えば、これらの光学特性は、ダイクロイックミラー３９、ダイクロイックミラー５３と同様に、ダイクロイックミラー５４が備える多層膜（不図示）によって得られるものである。
【００５７】
波長帯域λＢ２１Ｅは、例えば波長０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満である。波長帯域λＢ２２Ｅは、例えば波長６５０ｎｍ以上である。
【００５８】
結像光学系３３Ａは、光学素子５１と対向する位置に配置され、倍率変換光学系、結像系の対物レンズ等、複数の光学素子を含む。結像光学系３３Ａは、ダイクロイックミラー５３で反射された被照射体１の像を、センサ２８Ａの近傍に形成する。結像光学系３３Ｂは、光学素子５２と対向する位置に配置され、倍率変換光学系、結像系の対物レンズ等、複数の光学素子を含む。結像光学系３３Ｂは、ダイクロイックミラー５４で反射された被照射体１の像を、センサ２８Ｂの近傍に形成する。結像光学系３３Ｃは、光学素子５２と対向する位置に配置され、倍率変換光学系、結像系の対物レンズ等、複数の光学素子を含む。結像光学系３３Ｃは、ダイクロイックミラー５４を透過した被照射体１の像を、センサ２８Ｃの近傍に形成する。
【００５９】
被照射体１を介した光は、対物レンズ３５及びフィルタブロック３７を介して、波長に対応するセンサ２８Ａ、センサ２８Ｂ、センサ２８Ｃに入射する。結像光学系３３Ａ、結像光学系３３Ｂ及び結像光学系３３Ｃはいずれも、対物レンズ３５を中心として考えた場合、光学素子５１（ダイクロイックミラー（第２分離部）５３）及び光学素子５２（ダイクロイックミラー（第３分離部）５４）いずれよりも像側に配置されている。対物レンズ３５及びフィルタブロック３７を介した被照射体１の像は、結像光学系３３Ａによりセンサ２８Ａに形成され、結像光学系３３Ｂによりセンサ２８Ｂに形成され、結像光学系３３Ｃによりセンサ２８Ｃに形成される。これにより、センサ２８Ａ、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃはそれぞれ、被照射体１の像情報を取得可能である。
【００６０】
センサ２８Ａの分光感度特性は、明視野光の波長と第１蛍光の波長と第２蛍光の波長とのいずれの波長に対しても感度を有していてもよいし、明視野光の波長と第１蛍光の波長と第２蛍光の波長とのうち第１の蛍光の波長及び第２の蛍光の波長に対する感度を有することなく明視野光の波長に対する感度を有するようにしてもよい。
センサ２８Ｂの分光感度特性は、明視野光の波長と第１蛍光の波長と第２蛍光の波長とのいずれの波長に対しても感度を有していてもよいし、明視野光の波長と第１蛍光の波長と第２蛍光の波長とのうち明視野光の波長及び第２の蛍光の波長に対する感度を有することなく第１の蛍光の波長に対する感度を有するようにしてもよい。
センサ２８Ｃの分光感度特性は、明視野光の波長と第１蛍光の波長と第２蛍光の波長とのいずれの波長に対しても感度を有していてもよいし、明視野光の波長と第１蛍光の波長と第２蛍光の波長とのうち明視野光の波長及び第１の蛍光の波長に対する感度を有することなく第２の蛍光の波長に対する感度を有するようにしてもよい。
【００６１】
被照射体１からセンサ２８Ａまでの光路長と、被照射体１からセンサ２８Ｂまでの光路長と、被照射体１からセンサ２８Ｃまでの光路長とはいずれも、同一に設定されている。
すなわち、対物レンズ３５、フィルタブロック３７、光学素子５１及び結像光学系３３Ａを介してセンサ２８Ａに入射する被照射体１からの光の光路長と、対物レンズ３５、フィルタブロック３７、光学素子５１、光学素子５２及び結像光学系３３Ｂを介してセンサ２８Ｂに入射する被照射体１からの光の光路長と、対物レンズ３５、フィルタブロック３７、光学素子５１、光学素子５２、波長選択フィルタ４２及び結像光学系３３Ｃを介してセンサ２８Ｃに入射する被照射体１からの光の光路長とが同一の長さとなるように、センサ２８Ａ、センサ２８Ｂ、センサ２８Ｃ、結像光学系３３Ａ、結像光学系３３Ｂ及び結像光学系３３Ｃは配置されている。
【００６２】
次に、ダイクロイックミラー３９の多層膜について、図５Ａおよび５Ｂを参照して説明する。
ダイクロイックミラー３９は、上述したように、第１励起光の波長を含む波長帯域の光、第２の励起光の波長を含む波長帯域の光を反射し、第１励起光の照明により被照射体１から発生した第１蛍光を透過させるとともに、第２励起光の照明により被照射体１から発生した第２蛍光を透過させる光学特性と、明視野光の波長を含む波長帯域の光を部分透過及び部分反射する光学特性とを備え、また、検出部３２から射出された赤外光を透過させる光学特性とを備えている。ダイクロイックミラー３９のこれらの光学特性は、例えば、ダイクロイックミラー３９の一面（複数の面のうち一つの面、又は一対の面のうち一方の面）に設けられる膜（例、多層膜）によって発現される構成とした。本実施形態においては、ダイクロイックミラー３９の二面（複数の面のうち二つの面、又は一対の面のうち両方の面）にそれぞれ設けた膜により上記の光学特性を発現させる例について説明する。
【００６３】
図５Ａは、光の波長に対するダイクロイックミラー３９の第１面、例えば、光源３１から射出された光が入射する面に設けられた第１多層膜の透過率を示す図である。図５Ｂは、光の波長に対するダイクロイックミラー３９の第２面、例えば、被照射体１から発生した蛍光がダイクロイックミラー３９を透過して射出する面に設けられた第２多層膜の透過率を示す図である。
【００６４】
図５Ａに示すように、第１多層膜は、明視野光の波長λ１に対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、明視野光の波長λ１に対して１００％の透過率を有している。
第１多層膜は、第１励起光の波長に対して例えば０％から２５％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、第１励起光の波長に対して１０％の透過率を有している。
第１多層膜は、第１蛍光の波長に対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、第１蛍光の波長に対して１００％の透過率を有している。
第１多層膜は、第２励起光の波長に対して例えば０％から２５％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、第２励起光の波長に対して１０％の透過率を有している。
第１多層膜は、第２蛍光の波長に対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、第２蛍光の波長に対して１００％の透過率を有している。
第１多層膜は、赤外光の波長に対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、赤外光の波長に対して１００％の透過率を有している。
【００６５】
第１多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｆに対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｆに対して１００％の透過率を有している。
第１多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｆに対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｆに対して１００％の透過率を有している。
第１多層膜は、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｆに対して例えば０％から２５％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｆに対して１０％の透過率を有している。
第１多層膜は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｆに対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｆに対して１００％の透過率を有している。
第１多層膜は、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｆに対して例えば０％から２５％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｆに対して１０％の透過率を有している。
第１多層膜は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｆに対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｆに対して１００％の透過率を有している。
第１多層膜は、赤外光の波長を含む波長帯域λＢ４Ｆに対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ａでは、第１多層膜は、赤外光の波長を含む波長帯域λＢ４Ｆに対して１００％の透過率を有している。
【００６６】
図５Ａに示したように、第１多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｆ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対して一定の透過率（例えば１００％）を有している。
図５Ａに示したように、第１多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｆ及び波長帯域λＢ３２Ｆの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対して、一定の透過率（例えば１００％）を有している。
【００６７】
図５Ａに示したように、第１多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｆ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｆ全域（例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満）に対する透過率よりも高い。
図５Ａに示したように、第１多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｆ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｆ全域（例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満）に対する透過率よりも高い。
図５Ａに示したように、第１多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｆ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｆ全域（例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満）に対する透過率と第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｆ全域（例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満）に対する透過率とのいずれの透過率よりも高い。
【００６８】
図５Ａに示したように、第１多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｆ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｆ全域（例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満）に対する透過率と同等である。
図５Ａに示したように、第１多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｆ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｆ全域（例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満）に対する透過率と同等である。
図５Ａに示したように、第１多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｆ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｆ全域（例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満）に対する透過率と第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｆ全域（例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満）に対する透過率とのいずれの透過率と同等である。
【００６９】
図５Ａに示したように、第１多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｆ及び波長帯域λＢ３２Ｆの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｆ全域（例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満）に対する透過率よりも高い。
図５Ａに示したように、第１多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｆ及び波長帯域λＢ３２Ｆの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｆ全域（例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満）に対する透過率よりも高い。
図５Ａに示したように、第１多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｆ及び波長帯域λＢ３２Ｆの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｆ全域（例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満）に対する透過率と第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｆ全域（例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満）に対する透過率とのいずれの透過率よりも高い。
【００７０】
図５Ａに示したように、第１多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｆ及び波長帯域λＢ３２Ｆの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｆ全域（例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満）に対する透過率と同等である。
図５Ａに示したように、第１多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｆ及び波長帯域λＢ３２Ｆの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｆ全域（例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満）に対する透過率と同等である。
図５Ａに示したように、第１多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｆ及び波長帯域λＢ３２Ｆの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｆ全域（例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満）に対する透過率と第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｆ全域（例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満）に対する透過率とのいずれの透過率と同等である。
【００７１】
波長帯域λＢ３１Ｆは、例えば波長０ｎｍ以上４２５ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ３２Ｆは、波長帯域λＢ３１Ｆと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ３２Ｆは、例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ１１Ｆは、波長帯域λＢ３２Ｆと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ１１Ｆは、例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ１２Ｆは、波長帯域λＢ１１Ｆと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ１２Ｆは、例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ２１Ｆは、波長帯域λＢ１２Ｆと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ２１Ｆは、例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ２２Ｆは、波長帯域λＢ２１Ｆと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ２２Ｆは、例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ４Ｆは、波長帯域λＢ２２Ｆと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ４Ｆは、例えば波長７００ｎｍ以上である。
【００７２】
図５Ｂに示すように、第２多層膜は、明視野光の波長λ１に対して例えば３５％から６５％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、明視野光の波長λ１に対して５０％の透過率を有している。
第２多層膜は、第１励起光の波長に対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、第１励起光の波長に対して１００％の透過率を有している。
第２多層膜は、第１蛍光の波長に対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、第１蛍光の波長に対して１００％の透過率を有している。
第２多層膜は、第２励起光の波長に対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、第２励起光の波長に対して１００％の透過率を有している。
第２多層膜は、第２蛍光の波長に対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、第２蛍光の波長に対して１００％の透過率を有している。
第２多層膜は、赤外光の波長に対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、赤外光の波長に対して１００％の透過率を有している。
【００７３】
第２多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｇに対して例えば３５％から６５％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｇに対して５０％の透過率を有している。
第２多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｇに対して例えば３５％から６５％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｇに対して５０％の透過率を有している。
第２多層膜は、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｇに対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｇに対して１００％の透過率を有している。
第２多層膜は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｇに対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｇに対して１００％の透過率を有している。
第２多層膜は、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｇに対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｇに対して１００％の透過率を有している。
第２多層膜は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｇに対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｇに対して１００％の透過率を有している。
第２多層膜は、赤外光の波長を含む波長帯域λＢ４Ｇに対して例えば７５％から１００％までの間の透過率を有している。図５Ｂでは、第２多層膜は、赤外光の波長を含む波長帯域λＢ４Ｇに対して１００％の透過率を有している。
【００７４】
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｇ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対して一定の透過率（例えば５０％）を有している。
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｇ及び波長帯域λＢ３２Ｇの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対して、一定の透過率（例えば５０％）を有している。
【００７５】
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｇ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｇ全域（例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満）に対する透過率よりも低い。
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｇ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｇ全域（例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満）に対する透過率よりも低い。
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｇ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｇ全域（例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満）に対する透過率と第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｇ全域（例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満）に対する透過率とのいずれの透過率よりも低い。
【００７６】
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｇ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｇ全域（例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満）に対する透過率よりも低い。
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｇ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｇ全域（例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満）に対する透過率よりも低い。
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、明視野光の波長を含む波長帯域λＢ３２Ｇ全域（例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｇ全域（例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満）に対する透過率と第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｇ全域（例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満）に対する透過率とのいずれの透過率よりも低い。
【００７７】
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｇ及び波長帯域λＢ３２Ｇの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｇ全域（例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満）に対する透過率よりも低い。
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｇ及び波長帯域λＢ３２Ｇの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｇ全域（例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満）に対する透過率よりも低い。
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｇ及び波長帯域λＢ３２Ｇの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１励起光の波長を含む波長帯域λＢ１１Ｇ全域（例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満）に対する透過率と第２励起光の波長を含む波長帯域λＢ２１Ｇ全域（例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満）に対する透過率とのいずれの透過率よりも低い。
【００７８】
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｇ及び波長帯域λＢ３２Ｇの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｇ全域（例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満）に対する透過率よりも低い。
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｇ及び波長帯域λＢ３２Ｇの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｇ全域（例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満）に対する透過率よりも低い。
図５Ｂに示したように、第２多層膜は、波長帯域λＢ３１Ｇ及び波長帯域λＢ３２Ｇの波長帯域全域（例えば波長０ｎｍ以上４４０ｎｍ未満）に対する透過率が、第１蛍光の波長を含む波長帯域λＢ１２Ｇ全域（例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満）に対する透過率と第２蛍光の波長を含む波長帯域λＢ２２Ｇ全域（例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満）に対する透過率とのいずれの透過率よりも低い。
【００７９】
波長帯域λＢ３１Ｇは、例えば波長０ｎｍ以上４２５ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ３２Ｇは、波長帯域λＢ３１Ｇと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ３２Ｇは、例えば波長４２５ｎｍ以上４４０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ１１Ｇは、波長帯域λＢ３２Ｇと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ１１Ｇは、例えば波長４４０ｎｍ以上５０５ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ１２Ｇは、波長帯域λＢ１１Ｇと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ１２Ｇは、例えば波長５０５ｎｍ以上５７０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ２１Ｇは、波長帯域λＢ１２Ｇと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ２１Ｇは、例えば波長５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ２２Ｇは、波長帯域λＢ２１Ｇと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ２２Ｇは、例えば波長６５０ｎｍ以上７００ｎｍ未満である。
波長帯域λＢ４Ｇは、波長帯域λＢ２２Ｇと連続した波長帯域である。波長帯域λＢ４Ｇは、例えば波長７００ｎｍ以上である。      
【００８０】
光源３１から射出され第１フィルタ３８を透過した明視野光は、ダイクロイックミラー３９において第１多層膜を透過した後に、第２多層膜で部分反射及び部分透過し、部分反射した明視野光が対物レンズ３５を透過した後に、被照射体１の表面１８を照明する。被照射体１の表面１８で反射した明視野光は、対物レンズ３５を透過した後に、ダイクロイックミラー３９において第１多層膜を透過した後に、第２多層膜で部分反射及び部分透過し、部分透過した明視野光が第２フィルタ４０を透過する。
【００８１】
光源３１から射出され第１フィルタ３８を透過した第１励起光は、ダイクロイックミラー３９において第１多層膜で反射（全反射）し、対物レンズ３５を透過した後に、被照射体１の表面１８を照明する。第１励起光の照明により被照射体１に発生した第１蛍光は、対物レンズ３５を透過した後に、ダイクロイックミラー３９において第１多層膜及び第２多層膜を透過した後に、第２フィルタ４０を透過する。
【００８２】
光源３１から射出され第１フィルタ３８を透過した第２励起光は、ダイクロイックミラー３９において第１多層膜で反射（全反射）し、対物レンズ３５を透過した後に、被照射体１の表面１８を照明する。第２励起光の照明により被照射体１に発生した第２蛍光は、対物レンズ３５を透過した後に、ダイクロイックミラー３９において第１多層膜及び第２多層膜を透過した後に、第２フィルタ４０を透過する。
このように、ダイクロイックミラー３９は、第１多層膜及び第２多層膜が協働することにより、図２Ｂに示した光学特性を発現することができる。
【００８３】
第１多層膜及び第２多層膜は、いずれも、屈折率の異なる誘電体膜を積層した多層膜である。多層膜を構成する誘電体膜の組み合わせとしては、シリコン酸化膜とタンタル酸化膜、シリコン酸化膜とニオブ酸化膜、シリコン酸化膜とチタン酸化膜などが挙げられる。
誘電体膜を成膜する方法としては、スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法などの公知の成膜法を用いることができる。第１多層膜及び第２多層膜の光学特性は、光学特性を計算するソフトウェアを利用して設計することができる。光学特性を計算するソフトウェアとしては、例えば、ＴＦＣａｌｃ（Software Spectra社製）、Ｏｐｔｉｌａｙｅｒ（Optilayer社製）などを用いることができる。
【００８４】
図６Ａは、被照射体１を模式的に示す図である。図６Ｂは、被照射体１及び支持部材５０の断面を一部拡大した断面図である。
被照射体１は、例えばバイオチップである。バイオチップは、プローブＢとして生体分子が基板ＣＰ上に固定されている。バイオチップは、マイクロアレイと呼ぶ場合がある。
生体分子は、検体（全血、血清等）に含まれる標的（ターゲット）と特異的に反応する。
バイオチップは、ターゲットを検出するためのデバイスであるとも言える。バイオチップは、プローブとして生体分子が固定されたスポットＳを複数有している。スポットＳは、平面視で例えば円形に形成されている。バイオチップには、スポットＳがライン状に配置されたスポット列ＳＲが複数形成されている。よって、バイオチップには、基板ＣＰの表面において複数のスポットＳがマトリクス状に形成されている。各スポットＳには、当該スポットＳを識別できるようにアドレスが設定されている。当該アドレスは、例えば制御部２２の記憶部に記憶されている。基板ＣＰは、例えば板状の部材である。基板ＣＰは、例えば矩形（正方形、長方形）で形成されている。被照射体１であるバイオチップは、支持部材５０により支持されている。
【００８５】
ターゲットが蛍光色素で蛍光標識されている場合、プローブ（生体分子）の物質とターゲット（検体）の物質とが結合したスポットＳは、励起光が照射されることで蛍光を発生する。
蛍光標識は、例えば、第１蛍光、第２蛍光、第３蛍光及び第４蛍光を発生する。第１蛍光、第２蛍光、第３蛍光及び第４蛍光は、互いに波長が異なる。
【００８６】
バイオチップには、アライメントマークＡＭが形成されている。センサ２８Ａで撮像可能なバイオチップの範囲は、対物レンズ３５の視野、センサ２８Ａの撮像面の寸法等により限定される。よって、バイオチップに形成されているスポットＳすべての像がセンサ２８Ａに形成される場合は、バイオチップに形成されているスポットＳすべてを一回で撮像可能であるが、バイオチップに形成されているスポットＳすべての像がセンサ２８Ａに形成されない場合は、バイオチップに形成されているスポットＳすべてを一回で撮像することができず、バイオチップに形成されたスポットＳすべてを撮像するためには複数回の撮像が必要となる。これは、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃでも同様である。
そのため、バイオチップには、複数回の撮像それぞれの撮像範囲にアライメントマークＡＭが含まれるようアライメントマークＡＭが配置されている。アライメントマークＡＭは、複数回の撮像それぞれの画像データを合成した画像を生成する場合の指標として利用することができる。
【００８７】
次に、測定装置２０が被照射体１を測定する方法について、図７に示すフローチャートを参照して説明する。図７に示すフローチャートは、例えば制御部２２に保持されたプログラムによって実行されるシーケンスである。ここでは、被照射体１をバイオチップとし、バイオチップを４つの部位（第１の部位、第２の部位、第３の部位及び第４の部位）に分割して撮像する場合について説明する。
【００８８】
最初に、測定装置２０は、検出部３２の光源３２Ａが射出する焦点検出光を用いて、Ｚ（光軸）方向における被照射体１の表面１８の位置情報を検出する。検出部３２の光源３２Ａから射出された焦点検出光は、波長選択フィルタ４２での反射、光学素子５２のダイクロイックミラー５４の透過、光学素子５１のダイクロイックミラー５３の透過、フィルタブロック３７の第２フィルタ４０の透過、ダイクロイックミラー３９の透過、対物レンズ３５の透過を経た後に、被照射体１の表面１８で反射し、検出部３２の光源３２Ａが射出した赤外光が被照射体１に到達するまでと同じ光路を辿って検出部３２のセンサ３２Ｂに受光される。制御部２２は、検出部３２で検出されたＺ軸方向の位置情報に基づいて、ステージ２６（すなわち、被照射体１の表面１８）をＺ軸方向の所定位置に移動するよう制御する（ステップＳ１）。
【００８９】
そして、測定装置２０は、被照射体１の表面１８をＺ軸方向の所定位置に移動させると、所定（所定数）のスポットＳを含む被照射体１における第１部位が測定可能となる第１の撮像領域に、被照射体１（ステージ２６）をＸＹ平面内で移動させる（ステップＳ２）。
【００９０】
測定装置２０における制御部２２は、光源３１から明視野光、第１励起光及び第２励起光を同時に射出させ、被照射体１の表面１８を照明する（ステップＳ３）。光源３１から射出された明視野光は、第１フィルタ３８を透過した後に、ダイクロイックミラー３９で反射光（部分反射光）と透過光（部分透過光）とに分離されて、部分反射及び部分透過し、部分反射した明視野光が対物レンズ３５を透過した後に、被照射体１の表面１８を照明する。被照射体１の表面１８で反射した明視野光は、対物レンズ３５の透過、ダイクロイックミラー３９での部分透過、第２フィルタ４０の透過を順次経て光学素子５１に入射する。
【００９１】
光源３１から射出された第１励起光は、第１フィルタ３８を透過した後に、ダイクロイックミラー３９で反射し、対物レンズ３５を透過した後に、被照射体１の表面１８を照明する。第１励起光で照明されたスポットＳのうちプローブ（生体分子）の物質とターゲット（検体）の物質とが結合したスポットＳにおいて、波長帯域λＢ１２Ｂ（λＢ１２Ｆ）に含まれる波長で発生した第１蛍光は、対物レンズ３５の透過、フィルタブロック３７のダイクロイックミラー３９での透過、第２フィルタ４０の透過を順次経て光学素子５１に入射する。
【００９２】
光源３１から射出された第２励起光は、第１フィルタ３８を透過した後に、ダイクロイックミラー３９で反射し、対物レンズ３５を透過した後に、被照射体１の表面１８を照明する。第２励起光で照明されたスポットＳのうちプローブ（生体分子）の物質とターゲット（検体）の物質とが結合したスポットＳにおいて、波長帯域λＢ２２Ｂ（λＢ２２Ｆ）に含まれる波長で発生した第２蛍光は、対物レンズ３５の透過、フィルタブロック３７のダイクロイックミラー３９での透過、第２フィルタ４０の透過を順次経て光学素子５１に入射する。
【００９３】
光学素子５１に入射した上記明視野光、第１蛍光及び第２蛍光を含む入射光のうち、明視野光はダイクロイックミラー５３で反射された後に、結像光学系３３Ａに導かれてセンサ２８Ａに入射する。
【００９４】
センサ２８Ａは、明視野光を用いてバイオチップの一部分である第１部位を撮像して明視野データを生成する（ステップＳ４）。センサ２８Ａは、光源３１が射出した明視野光に対する被照射体１の反射光を受光して明視野データを生成する。そのため、明視野データには、第１部位に含まれる全スポットＳの位置情報及び輝度情報と、第１部位に含まれる全アライメントマークＡＭの位置情報及び輝度情報とが含まれる。センサ２８Ａで生成された明視野データは、例えば制御部２２に記憶される。
図８は、明視野画像の一例を示す図である。明視野画像は、明視野データに基づいて生成した画像である。スポットには生体分子が形成されているので、明視野光に対するスポットの反射率と明視野光に対する基板の反射率とが異なり、スポットの輝度値と基板の輝度値とが異なる。そのため、明視野データに基づいて生成した明視野画像では、スポットに対応する領域が基板に対応する領域よりも暗くなる。図８に示したように、明視野画像は、バイオチップの第１部位に含まれる全スポットＳ及び全アライメントマークＡＭが認識できるように表示されることになる。
【００９５】
また、光学素子５１に入射した上記明視野光、第１蛍光及び第２蛍光を含む入射光のうち、第１蛍光は、ダイクロイックミラー５３の透過、ダイクロイックミラー５４での反射を順次経た後に、結像光学系３３Ｂに導かれてセンサ２８Ｂに入射する。
【００９６】
そして、明視野光によるスポットＳの測定と同様に、第１蛍光を発生したスポットＳの像は、図９に示されるように、センサ２８Ｂの視野ＦＡ内に形成される。センサ２８Ｂは、第１蛍光を発生したスポットＳの像情報（スポットＳの受光情報）を取得する。
【００９７】
また、光学素子５１に入射した上記明視野光、第１蛍光及び第２蛍光を含む入射光のうち、第２蛍光は、ダイクロイックミラー５３の透過、ダイクロイックミラー５４の透過、波長選択フィルタ４２の透過を順次経た後に、結像光学系３３Ｃに導かれてセンサ２８Ｃに入射する。
【００９８】
第１励起光によるスポットＳの測定と同様に、第２蛍光を発生したスポットＳの像は、センサ２８Ｃの視野ＦＡ内に形成される。センサ２８Ｃは、第２蛍光を発生したスポットＳの像情報（スポットＳの受光情報）を取得する。
【００９９】
被照射体１からの明視野光、第１蛍光及び第２蛍光がそれぞれセンサ２８Ａ、２８Ｂ及び２８Ｃに入射するまでの光路長は同一であるため、明視野光はセンサ２８Ａに、第１蛍光はセンサ２８Ｂに、第２蛍光はセンサ２８Ｃに、同時に入射して同じタイミングで受光されることになる。
【０１００】
センサ２８Ｂは、第１蛍光を用いてバイオチップの一部分である第１部位を撮像して第１蛍光データを生成する（ステップＳ５）。センサ２８Ｂは、光源３１が射出した第１励起光に基づいて被照射体１から発せられた第１蛍光を受光して第１蛍光データを生成する。そのため、第１蛍光データには、第１部位に含まれる全スポットＳのうち第１蛍光を発生したスポットＳのみの位置情報及び輝度情報が含まれる。センサ２８Ｂで生成された第１蛍光データは、例えば制御部２２に記憶される。
図９は、第１蛍光画像の一例を示す図である。第１蛍光画像は、第１蛍光データに基づいて生成した画像である。そのため、第１蛍光データに基づいて生成した第１蛍光画像には、第１蛍光を発生したスポットＳに対応する領域が基板に対応する領域よりも明るくなる。図９に示したように、第１蛍光画像において、バイオチップの第１部位に含まれる全スポットＳのうち第１蛍光を発生したスポットＳのみが認識できるように表示されることになる。バイオチップの第１部位に含まれる全スポットＳのうち第１蛍光を発生しないスポットＳ’（図９の二点鎖線で示したスポット）については、第１蛍光画像において認識することができない。
【０１０１】
センサ２８Ｂが第１蛍光を受光した場合と同様に、センサ２８Ｃは、第２蛍光を用いてバイオチップの一部分である第１部位を撮像して第２蛍光データを生成する（ステップＳ６）。センサ２８Ｃは、光源３１が射出した第２励起光に基づいて被照射体１から発せられた第２蛍光を受光して第２蛍光データを生成する。そのため、第２蛍光データには、第１部位に含まれる全スポットＳのうち第２蛍光を発生したスポットＳのみの位置情報及び輝度情報が含まれる。センサ２８Ｃで生成された第２蛍光データは、例えば制御部２２に記憶される。
【０１０２】
測定装置２０は、図８に示した、明視野光によりスポットＳを撮像した結果（明視野光結果）と、図９に示した第１蛍光を発生したスポットＳをセンサ２８Ｂによって撮像した結果（蛍光結果）とを対応付けることにより、第１蛍光を発生したスポットＳの被照射体１におけるアドレス、すなわち、プローブの物質とターゲットの物質とが結合したスポットＳの被照射体１におけるアドレスを測定することができる。同様に、測定装置２０は、図８に示した、明視野光によりスポットＳを撮像した結果（明視野光結果）と、第２蛍光を発生したスポットＳをセンサ２８Ｃによって撮像した結果（蛍光結果）とを対応付けることにより、第２蛍光を発生したスポットＳの被照射体１におけるアドレス、すなわち、プローブの物質とターゲットの物質とが結合したスポットＳの被照射体１におけるアドレスを測定することができる。
【０１０３】
このとき、明視野光を用いたスポットＳの像測定と、第１蛍光を用いたスポットＳの像測定と、第２蛍光を用いたスポットＳの像測定とにおいて、明視野光における光源３１からセンサ２８Ａまでの光路長は、第１励起光における光源３１から被照射体１までの光路長、及び第１励起光の照射で発生した第１蛍光における被照射体１からセンサ２８Ｂまでの光路長と、第２励起光における光源３１から被照射体１までの光路長、及び第２励起光の照射で発生した第２蛍光における被照射体１からセンサ２８Ｃまでの光路長と同一である。そのため、明視野光によりスポットＳを撮像した結果と、第１蛍光を発生したスポットＳを撮像した結果と、第２蛍光を発生したスポットＳを撮像した結果とは、光路長の差に起因する悪影響が抑制された状態で対応付けられる。
【０１０４】
測定装置２０の制御部２２は、被照射体１における第１の部位の測定が完了すると、被照射体１の全ての部位（第１の部位から第４の部位まで）の撮像が完了したかを判断する（ステップＳ７）。制御部２２は、被照射体１において未撮像処理の部位が残存している場合には、第１の部位から第４の部位までの全ての部位が撮像されるまで上記のステップＳ１からステップＳ６を繰り返し実行させる。このとき、制御部２２は、撮像処理が完了した部位と隣り合う部位を撮像するようにステージ２６を介して被照射体１を移動させる。ここで、新たに撮像処理される部位は、直前に撮像処理で撮像したアライメントマークＡＭの一部がセンサ２８の視野ＦＡで撮像される位置に設定される。そして、測定装置２０は、上記第１の部位に対する撮像処理と同様に、明視野光を用いたスポットＳ及びアライメントマークＡＭの測定及び第１蛍光、第２蛍光を用いたスポットＳの測定を実施する。各部位で生成された明視野データ、第１蛍光データ及び第２蛍光データは、部位毎に、例えば制御部２２に記憶される。
【０１０５】
上記の撮像処理において、明視野光の光量は、第１蛍光の光量及び第２蛍光の光量よりも大きいため、明視野光を用いた測定に要する時間は第１蛍光を用いた測定に要する時間、あるいは第２蛍光を用いた測定に要する時間よりも短時間となり、第１蛍光を用いた測定及び第２蛍光を用いた測定よりも早く完了する。
【０１０６】
図１０は、被照射体１であるバイオチップの測定に係るセンサ２８Ａ、２８Ｂ及び２８Ｃのタイミングチャートである。
図１０に示す時間Ｔのうち、時刻Ｔ１は、例えば、第１の部位の撮像開始時刻である。
時刻Ｔ２は、例えば、第２の部位の撮像開始時刻である。時刻Ｔ３は、例えば、第３の部位の撮像開始時刻である。時刻Ｔ４は、例えば、第４の部位の撮像開始時刻である。図１０においては、センサ２８Ａによる第１の部位で要する撮像時間ｔａ１と、センサ２８Ａによる第２の部位で要する撮像時間ｔａ２と、センサ２８Ａによる第３の部位で要する撮像時間ｔａ３と、センサ２８Ａによる第４の部位で要する撮像時間ｔａ４とは同一であるものとする。センサ２８Ｂによる第１の部位で要する撮像時間ｔｂ１と、センサ２８Ｂによる第２の部位で要する撮像時間ｔｂ２と、センサ２８Ｂによる第３の部位で要する撮像時間ｔｂ３と、センサ２８Ｂによる第４の部位で要する撮像時間ｔｂ４とは同一であるものとする。センサ２８Ｃによる第１の部位で要する撮像時間ｔｃ１と、センサ２８Ｃによる第２の部位で要する撮像時間ｔｃ２と、センサ２８Ｃによる第３の部位で要する撮像時間ｔｃ３と、センサ２８Ｃによる第４の部位で要する撮像時間ｔｃ４とは同一であるものとする。また、撮像時間ｔａ１は、撮像時間ｔｂ１及び撮像時間ｔｃ１のそれぞれよりも短いものとする。撮像時間ｔａ２は、撮像時間ｔｂ２及び撮像時間ｔｃ２のそれぞれよりも短いものとする。撮像時間ｔａ３は、撮像時間ｔｂ３及び撮像時間ｔｃ３のそれぞれよりも短いものとする。撮像時間ｔａ４は、撮像時間ｔｂ４及び撮像時間ｔｃ４のそれぞれよりも短いものとする。
【０１０７】
図１０に示すように、センサ２８Ａによる撮像時間ｔａ１は、センサ２８Ｂによる撮像時間ｔｂ１の撮像時間よりも短い。センサ２８Ａによる撮像時間ｔａ１は、センサ２８Ｃによる撮像時間ｔｃ１の撮像時間よりも短い。そのため、センサ２８Ａによる第１の部位の撮像が完了した後に、撮像時間ｔａ１と撮像時間ｔｂ１との差分時間や、撮像時間ｔａ１と撮像時間ｔｃ１との差分時間を利用して、例えば、明視野光の測定に係るキャリブレーション等を実施することが可能となる。
同様に、センサ２８Ａによる撮像時間ｔａ２は、センサ２８Ｂによる撮像時間ｔｂ２の撮像時間よりも短い。センサ２８Ａによる撮像時間ｔａ２は、センサ２８Ｃによる撮像時間ｔｃ２の撮像時間よりも短い。そのため、センサ２８Ａによる第２の部位の撮像が完了した後に、撮像時間ｔａ２と撮像時間ｔｂ２との差分時間や、撮像時間ｔａ２と撮像時間ｔｃ２との差分時間を利用して、例えば、明視野光の測定に係るキャリブレーション等を実施することが可能となる。
同様に、センサ２８Ａによる撮像時間ｔａ３は、センサ２８Ｂによる撮像時間ｔｂ３の撮像時間よりも短い。センサ２８Ａによる撮像時間ｔａ３は、センサ２８Ｃによる撮像時間ｔｃ３の撮像時間よりも短い。そのため、センサ２８Ａによる第３の部位の撮像が完了した後に、撮像時間ｔａ３と撮像時間ｔｂ３との差分時間や、撮像時間ｔａ３と撮像時間ｔｃ３との差分時間を利用して、例えば、明視野光の測定に係るキャリブレーション等を実施することが可能となる。
同様に、センサ２８Ａによる撮像時間ｔａ４は、センサ２８Ｂによる撮像時間ｔｂ４の撮像時間よりも短い。センサ２８Ａによる撮像時間ｔａ４は、センサ２８Ｃによる撮像時間ｔｃ４の撮像時間よりも短い。そのため、センサ２８Ａによる第４の部位の撮像が完了した後に、撮像時間ｔａ４と撮像時間ｔｂ４との差分時間や、撮像時間ｔａ４と撮像時間ｔｃ４との差分時間を利用して、例えば、明視野光の測定に係るキャリブレーション等を実施することが可能となる。なお、上記差分時間（空き時間）に行う、例えば、キャリブレーションは部位毎に行うのではなく、バイオチップ毎に一度行う手順としてもよい。
【０１０８】
なお、センサ２８Ａによる撮像開始のタイミングは、図１１に示すように、センサ２８Ａ、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃの撮像処理がいずれも同時に完了するタイミングとしてもよい。この場合、センサ２８Ａとセンサ２８Ｂとの撮像に要する時間の差の空き時間は、センサ２８Ａでの撮像開始前に形成される。そのため、例えば、センサ２８Ａでの撮像開始前にセンサ２８Ａに関するキャリブレーションを実施した後にセンサ２８Ａでの撮像処理を実施することが可能となり、測定精度の向上を図ることができる。
なお、図１２に示すように、センサ２８Ａによる撮像処理をセンサ２８Ｂの撮像処理の中間のタイミングとしてもよい。同様に、センサ２８Ａによる撮像処理をセンサ２８Ｃの撮像処理の中間のタイミングとしてもよい。この場合、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃによる撮像開始と撮像終了との少なくとも一方で、例えば、仮に励起光の光量が安定せずに撮像処理が不安定になるおそれがあったとしても、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃによる撮像処理の中間のタイミングでセンサ２８Ａによる撮像処理を実施することで、上記不安定の要因の影響を抑えることが可能である。
【０１０９】
なお、センサ２８Ａによる撮像処理と、センサ２８Ｂによる撮像処理及びセンサ２８Ｃによる撮像処理とを並列に実施できればよい。そのため、センサ２８Ａによる撮像処理のすべてを、センサ２８Ｂによる撮像処理及びセンサ２８Ｃの撮像処理と並列に実施しなくてもよく、センサ２８Ａによる撮像処理の一部と、センサ２８Ｂによる撮像処理の一部及びセンサ２８Ｃによる撮像処理の一部とを並列に実施してもよい。
一例として、図１３に示すように、センサ２８Ｂによる撮像処理及びセンサ２８Ｃによる撮像処理を開始する前にセンサ２８Ａによる撮像処理を開始した場合、センサ２８Ｂによる撮像処理及びセンサ２８Ｃによる撮像処理は、センサ２８Ａによる撮像処理が終了する前に開始する。
一例として、図１４に示すように、センサ２８Ａによる撮像処理を開始する前にセンサ２８Ｂによる撮像処理及びセンサ２８Ｃによる撮像処理を開始した場合、センサ２８Ａによる撮像処理は、センサ２８Ｂによる撮像処理及びセンサ２８Ｃによる撮像処理が終了する前に開始する。
【０１１０】
なお、所定の部位に対して、センサ２８Ａによる撮像時間とセンサ２８Ｂによる撮像時間との差ある場合や、所定の部位に対して、センサ２８Ａによる撮像時間とセンサ２８Ｃによる撮像時間との差がある場合、センサ２８Ａは、所定の部位に対する１回目の撮像処理が終了した後に、１回目の撮像処理で撮像した部位と同じ部位に対する撮像処理を再度実施することも可能である。
例えば、図１５に示すように、センサ２８Ｂの撮像時間ｔｂ１の間及びセンサ２８Ｃの撮像時間ｔｃ１の間に、センサ２８Ａが撮像時間ｔａ１−１及び撮像時間ｔａ１−２の２回の撮像を実施することも可能である（（撮像時間ｔａ１−１＋撮像時間ｔａ１−２）≦（撮像時間ｔｂ１及び撮像時間ｔｃ１のうち長い時間）の場合）。
センサ２８Ｂの撮像時間ｔｂ２の間及びセンサ２８Ｃの撮像時間ｔｃ２の間に、センサ２８Ａが撮像時間ｔａ２−１及び撮像時間ｔａ２−２の２回の撮像を実施することも可能である（（撮像時間ｔａ２−１＋撮像時間ｔａ２−２）≦（撮像時間ｔｂ２及び撮像時間ｔｃ２のうち長い時間）の場合）。
センサ２８Ｂの撮像時間ｔｂ３の間及びセンサ２８Ｃの撮像時間ｔｃ３の間に、センサ２８Ａが撮像時間ｔａ３−１及び撮像時間ｔａ３−２の２回の撮像を実施することも可能である（（撮像時間ｔａ３−１＋撮像時間ｔａ３−２）≦（撮像時間ｔｂ３及び撮像時間ｔｃ３のうち長い時間）の場合）。
センサ２８Ｂの撮像時間ｔｂ４の間及びセンサ２８Ｃの撮像時間ｔｃ４の間に、センサ２８Ａが撮像時間ｔａ４−１及び撮像時間ｔａ４−２の２回の撮像を実施することも可能である（（撮像時間ｔａ４−１＋撮像時間ｔａ４−２）≦（撮像時間ｔｂ４及び撮像時間ｔｃ４のうち長い時間）の場合）。
【０１１１】
また、図１６に示すように、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃが所定の部位を撮像している間に、センサ２８Ａが３回撮像することも可能である。例えば、センサ２８Ｂの撮像時間ｔｂ１の間及びセンサ２８Ｃの撮像時間ｔｃ１の間に、センサ２８Ａが撮像時間ｔａ１−１、撮像時間ｔａ１−２及び撮像時間ｔａ１−３の３回の撮像を実施することも可能である（（撮像時間ｔａ１−１＋撮像時間ｔａ１−２＋撮像時間ｔａ１−３）≦（撮像時間ｔｂ１及び撮像時間ｔｃ１のうち長い時間）の場合）。
センサ２８Ｂの撮像時間ｔｂ２の間及びセンサ２８Ｃの撮像時間ｔｃ２の間に、センサ２８Ａが撮像時間ｔａ２−１、撮像時間ｔａ２−２及び撮像時間ｔａ２−３の３回の撮像を実施することも可能である（（撮像時間ｔａ２−１＋撮像時間ｔａ２−２＋撮像時間ｔａ２−３）≦（撮像時間ｔｂ２及び撮像時間ｔｃ２のうち長い時間）の場合）。
センサ２８Ｂの撮像時間ｔｂ３の間及びセンサ２８Ｃの撮像時間ｔｃ３の間に、センサ２８Ａが撮像時間ｔａ３−１、撮像時間ｔａ３−２及び撮像時間ｔａ３−３の３回の撮像を実施することも可能である（（撮像時間ｔａ３−１＋撮像時間ｔａ３−２＋撮像時間ｔａ３−３）≦（撮像時間ｔｂ３及び撮像時間ｔｃ３のうち長い時間）の場合）。
センサ２８Ｂの撮像時間ｔｂ４の間及びセンサ２８Ｃの撮像時間ｔｃ４の間に、センサ２８Ａが撮像時間ｔａ４−１、撮像時間ｔａ４−２及び撮像時間ｔａ４−３の３回の撮像を実施することも可能である（（撮像時間ｔａ４−１＋撮像時間ｔａ４−２＋撮像時間ｔａ４−３）≦（撮像時間ｔｂ４及び撮像時間ｔｃ４のうち長い時間）の場合）。
【０１１２】
このように、一つの部位について複数回の撮像を行った場合には、得られた複数の撮像結果を平均化することにより、各回の撮像結果に含まれる誤差要因を平均化効果で低減でき、測定精度を高めることが可能となる。
【０１１３】
制御部２２は、第１の部位から第４の部位の明視野データにおけるアライメントマークＡＭの測定結果を用いて明視野光によるスポットＳの測定結果を画面合成する。制御部２２は、第１の部位から第４の部位の明視野データを画面合成する際の相対位置関係を、同一のアライメントマークＡＭを撮像した複数の部位間で求める（ステップＳ８）。制御部２２は、求めた部位間の相対位置関係を用いて、第１の部位から第４の部位の第１蛍光データを画面合成するとともに、第１の部位から第４の部位の第２蛍光データを画面合成する（ステップＳ９）。
制御部２２は、画面合成された結果を比較することにより、プローブの物質とターゲットの物質とが結合したスポットＳの被照射体１におけるアドレスを測定して（ステップＳ１０）、被照射体１の測定を終了（エンド）とする。
【０１１４】
以上説明したように、本実施形態では、ダイクロイックミラー３９が、入射した第１励起光及び第２励起光を反射し、入射した第１蛍光及び第２蛍光を透過させるとともに、入射した明視野光を部分透過及び部分反射する光学特性を備えているため、光源３１から射出される光を切り替えることで生じる光路変動等の悪影響を排除することができる。そのため、本実施形態では、明視野光を用いた測定結果と蛍光を用いた測定結果とを高精度に対応付けることができ、光路中に配置する光学素子を光の波長帯域に応じて挿抜した場合のように、スポットＳの測定精度が低下することを抑制できる。
【０１１５】
本実施形態では、フィルタブロック３７から明視野光、第１蛍光及び第２蛍光が同時に出射した場合でも、光学素子５１及び光学素子５２によって、波長に応じて光を分離し、分離した光をそれぞれセンサ２８Ａから２８Ｃに入射させるため、明視野光、第１蛍光及び第２蛍光により測定を同時に実行することができ、各光を順次測定する場合と比較して測定時間の短縮化を図ることができる。また、本実施形態では、明視野光、第１蛍光及び第２蛍光がそれぞれセンサ２８Ａから２８Ｃに入射するまでの光路長が同一であるため、光路長の差に起因する悪影響を抑制して測定結果を得ることができる。
【０１１６】
本実施形態では、ダイクロイックミラー３９が備える多層膜で光学特性が設定されているため、第１、第２励起光を反射するとともに、第１、第２励起光の照射で生じた第１、第２蛍光を透過させ、さらに明視野光を部分透過及び部分反射する光学特性を備える膜を二面で構成することによって、容易に当該光学特性を発現させることが可能になる。本実施形態によれば、測定動作の高速化を図ることができる。本実施形態では、光源３１から射出されダイクロイックミラー３９に入射し、被照射体１に向かわない明視野光をセンサ５５により受光することにより、光源３１が出力する光量調節、センサ２８Ａ、２８Ｂ及びセンサ２８Ｃの露光時間設定等を実施する等、測定精度の向上を図ることができる。
【０１１７】
＜第２実施形態＞
光学装置、測定装置の第２実施形態について、図１７を参照して説明する。
これらの図において、図１乃至図１６に示す第１実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
【０１１８】
図１７は、第２実施形態に係る測定装置２０Ａの一例を示す概略構成図である。
測定装置２０Ａは、フィルタブロック３７からの光を波長に応じて分離するために、光学素子５１Ａ及び光学素子５２Ａを備えている。また、測定装置２０Ａは、フィルタブロック３７からの光の光路におけるフィルタブロック３７と光学素子５１Ａとの間に配置された結像光学系３３Ｄを備えている。上記光路において結像光学系３３Ｄの像側に光学素子５１Ａ及び光学素子５２Ａが配置されている。測定装置２０Ａにおける波長選択フィルタ４２は、フィルタブロック３７からの光の光路におけるフィルタブロック３７と結像光学系３３Ｄとの間に配置されている。
【０１１９】
光学素子５１Ａは、波長分離膜（第２分離部）５３Ａが設けられたダイクロイックプリズムで構成されている。波長分離膜５３Ａは、主として明視野光と蛍光とを分離する。波長分離膜５３Ａは、光の波長に対する透過率が上述したダイクロイックミラー５３と同様である。波長分離膜５３Ａは、結像光学系３３Ｄ経由で入射した明視野光をセンサ２８Ａに向かう光路（第２の光路）に導き、蛍光を光学素子５２Ａに向かう光路（第１の光路）に導く。一例として、波長分離膜５３Ａは、明視野光を反射し、第１蛍光と第２蛍光とを透過する。なお、波長分離膜５３Ａに代えて、第１蛍光と第２蛍光とを反射し、明視野光を透過する波長分離膜を用いてもよい。この場合、波長分離膜が反射した第１蛍光と第２蛍光とが光学素子５２Ａへ向かい、波長分離膜が反射した明視野光がセンサ２８Ａへ向かうように、測定装置２０を構成する。
【０１２０】
被照射体１を介して光学素子５１Ａを透過した光は、光学素子５２Ａへ入射する。光学素子５２Ａは、主として互いに波長が異なる複数の蛍光を分離する分離光学素子である。
光学素子５２Ａは、波長分離膜（第３分離部）５４Ａが設けられたダイクロイックプリズムで構成されている。波長分離膜５４Ａは、主として第１蛍光と第２蛍光とを分離する。
波長分離膜５４Ａは、光の波長に対する透過率が上述したダイクロイックミラー５４と同様である。波長分離膜５４Ａは、第１蛍光をセンサ２８Ｂに向かう光路に導き、第２蛍光をセンサ２８Ｃに向かう光路に導く。一例として、波長分離膜５４Ａは、第１蛍光を反射し、第２蛍光を透過する。なお、波長分離膜５４Ａに代えて、第１蛍光を透過し、第２蛍光を反射する波長分離膜を用いてもよい。この場合、波長分離膜が反射した第２蛍光がセンサ２８Ｃへ向かい、波長分離膜が透過した第１蛍光がセンサ２８Ｂへ向かうように、測定装置２０を構成する。
【０１２１】
センサ２８Ａは、波長分離膜５３Ａで反射され結像光学系３３Ｄによって被照射体１の像が形成される位置の近傍に配置されている。センサ２８Ｂは、波長分離膜５４Ａで反射され結像光学系３３Ｄによって被照射体１の像が形成される位置の近傍に配置されている。センサ２８Ｃは、波長分離膜５４Ａを透過し結像光学系３３Ｄによって被照射体１の像が形成される位置の近傍に配置されている。
他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【０１２２】
上記構成の測定装置２０Ａにおいて、光源３１から射出された明視野光は、第１フィルタ３８を透過した後に、ダイクロイックミラー３９で反射光（部分反射光）と透過光（部分透過光）とに分離されて、部分反射及び部分透過し、部分反射した明視野光が対物レンズ３５を透過した後に、被照射体１の表面１８を照明する。被照射体１の表面１８で反射した明視野光は、対物レンズ３５の透過、ダイクロイックミラー３９での部分透過、第２フィルタ４０の透過、波長選択フィルタ４２の透過を順次経て、結像光学系３３Ｄに導かれて光学素子５１Ａに入射する。測定装置２０Ａにおいて、光源３１から射出された第１励起光は、第１フィルタ３８を透過した後に、ダイクロイックミラー３９で反射し、対物レンズ３５を透過した後に、被照射体１の表面１８を照明する。第１励起光で照明されたスポットＳのうちプローブ（生体分子）の物質とターゲット（検体）の物質とが結合したスポットＳにおいて、波長帯域λＢ１２Ｂ（λＢ１２Ｆ）に含まれる波長で発生した第１蛍光は、対物レンズ３５の透過、フィルタブロック３７のダイクロイックミラー３９での透過、第２フィルタ４０の透過、波長選択フィルタ４２の透過を順次経て、結像光学系３３Ｄに導かれて光学素子５１Ａに入射する。測定装置２０Ａにおいて、光源３１から射出された第２励起光は、第１フィルタ３８を透過した後に、ダイクロイックミラー３９で反射し、対物レンズ３５を透過した後に、被照射体１の表面１８を照明する。第２励起光で照明されたスポットＳのうちプローブ（生体分子）の物質とターゲット（検体）の物質とが結合したスポットＳにおいて、波長帯域λＢ２２Ｂ（λＢ２２Ｆ）に含まれる波長で発生した第２蛍光は、対物レンズ３５の透過、フィルタブロック３７のダイクロイックミラー３９での透過、第２フィルタ４０の透過、波長選択フィルタ４２の透過を順次経て、結像光学系３３Ｄに導かれて光学素子５１Ａに入射する。
【０１２３】
光学素子５１Ａに入射した上記明視野光、第１蛍光及び第２蛍光を含む入射光のうち、明視野光は波長分離膜５３Ａで反射された後に、センサ２８Ａに入射する。センサ２８Ａは、入射した明視野光を用いて上述した明視野データを生成する。光学素子５１Ａに入射した上記明視野光、第１蛍光及び第２蛍光を含む入射光のうち、第１蛍光は、波長分離膜５３Ａの透過、波長分離膜５４Ａでの反射を順次経た後に、センサ２８Ｂに入射する。センサ２８Ｂは、入射した第１蛍光を用いて上述した第１蛍光データを生成する。光学素子５１Ａに入射した上記明視野光、第１蛍光及び第２蛍光を含む入射光のうち、第２蛍光は、波長分離膜５３Ａの透過、波長分離膜５４Ａの透過を順次経た後に、センサ２８Ｃに入射する。センサ２８Ｃは、入射した第２蛍光を用いて上述した第２蛍光データを生成する。
【０１２４】
上述したように、制御部２２は、明視野データ、第１蛍光データ及び第２蛍光データ（撮像を複数の部位に分割して行う場合には、各部位の明視野データ、第１蛍光データ及び第２蛍光データを画面合成した結果）を用いて、第１蛍光を発生したスポットＳの被照射体１におけるアドレス、及び第２蛍光を発生したスポットＳの被照射体１におけるアドレスをそれぞれ測定することができる。また、制御部２２は、センサ２８Ａ、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃの撮像時間に差分が存在する場合に、差分時間を利用して、例えば、明視野光の測定に係るキャリブレーション等を実施する。
【０１２５】
このように、本実施形態では、結像光学系３３Ｄの像面側に明視野光、第１蛍光及び第２蛍光を分離するための光学素子としてダイクロイックプリズムを配置しているため、色収差等の収差を抑制することが可能になる。
【０１２６】
なお、上述した第１実施形態と第２実施形態は、以下のように変形することができる。
【０１２７】
例えば、上述した第１実施形態及び第２実施形態では、ダイクロイックミラー３９において第１励起光及び第２励起光が反射した後に被照射体１を照明し、被照射体１で発生した第１蛍光及び第２蛍光がダイクロイックミラー３９を透過する構成を例示したが、これに限定されるものではなく、ダイクロイックミラー３９における第１励起光、第２励起光、第１蛍光及び第２蛍光の反射・透過の関係が逆であってもよい。例えば、図１９に示すように、光学装置２５がＹ方向（水平方向）に沿って配置される測定装置２０Ｂを用いる場合には、第１励起光及び第２励起光がダイクロイックミラー３９を透過した後に被照射体１を照明し、被照射体１で発生した第１蛍光及び第２蛍光がダイクロイックミラー３９で反射される構成としてもよい。
【０１２８】
この場合、ダイクロイックミラー３９の透過率は、上述した波長帯域λＢ３１Ｂ及び波長帯域λＢ３２Ｂに対して、例えば３５％から６５％までの間の透過率（例えば、５０％の透過率）を有する構成であればよい。ダイクロイックミラー３９の透過率は、上述した波長帯域λＢ１１Ｂに対して、例えば７５％から１００％までの間の透過率（例えば、１００％の透過率）を有する構成であればよい。ダイクロイックミラー３９の透過率は、上述した波長帯域λＢ１２Ｂに対して、例えば０％から２５％までの間の透過率（例えば、０％の透過率）を有する構成であればよい。ダイクロイックミラー３９の透過率は、上述した波長帯域λＢ２１Ｂに対して、例えば７５％から１００％までの間の透過率（例えば、１００％の透過率）を有する構成であればよい。ダイクロイックミラー３９の透過率は、上述した波長帯域λＢ２２Ｂに対して、例えば０％から２５％までの間の透過率（例えば、０％の透過率）を有する構成であればよい。ダイクロイックミラー３９の透過率は、上述した波長帯域λＢ４Ｂに対して、例えば０％から２５％までの間の透過率（例えば、０％の透過率）を有する構成であればよい。
【０１２９】
そして、ダイクロイックミラー３９に設けられた第１多層膜の透過率は、上述した波長帯域λＢ３１Ｆ及び波長帯域λＢ３２Ｆに対して、例えば４０％から６０％までの間の透過率（例えば、５０％の透過率）を有する構成であればよい。第１多層膜の透過率は、上述した波長帯域λＢ１１Ｆに対して、例えば８０％から１００％までの間の透過率（例えば、１００％の透過率）を有する構成であればよい。第１多層膜の透過率は、上述した波長帯域λＢ１２Ｆに対して、例えば０％から２０％までの間の透過率（例えば、０％の透過率）を有する構成であればよい。第１多層膜の透過率は、上述した波長帯域λＢ２１Ｆに対して、例えば８０％から１００％までの間の透過率（例えば、１００％の透過率）を有する構成であればよい。第１多層膜の透過率は、上述した波長帯域λＢ２２Ｆに対して、例えば０％から２０％までの間の透過率（例えば、０％の透過率）を有する構成であればよい。第１多層膜の透過率は、上述した波長帯域λＢ４Ｆに対して、例えば０％から２０％までの間の透過率（例えば、０％の透過率）を有する構成であればよい。また、ダイクロイックミラー３９に設けられた第２多層膜の透過率は、図５Ｂに示した透過率と同一の透過率でよい。
このように、ダイクロイックミラー３９の光学特性は、装置構成等に応じて適宜任意に設定することができる。
【０１３０】
また、上述した第１実施形態及び第２実施形態では、光学装置２５において、明視野光、第１蛍光及び第２蛍光を含む入射光のうち、まず第１蛍光及び第２蛍光を含む光と、明視野光を含む光とに光学素子５１（５１Ａ）で分離し、次に第１蛍光を含む光と、第２蛍光を含む光とに光学素子５２（５２Ａ）で分離する構成を例示したが、これに限るものではない。一例として、光学装置２５において、明視野光、第１蛍光及び第２蛍光を含む入射光のうち、まず明視野光及び第１蛍光を含む光と、第２蛍光を含む光とに光学素子５２（５２Ａ）で分離し、次に明視野光を含む光と、第１蛍光を含む光とに光学素子５１（５１Ａ）で分離する構成としてもよい。また、明視野光、第１蛍光及び第２蛍光を含む入射光のうち、まず明視野光及び第２蛍光を含む光と、第１蛍光を含む光とに光学素子で分離し、次に明視野光を含む光と、第２蛍光を含む光とに光学素子で分離するよう、光学素子及び光学装置を構成してもよい。
【０１３１】
また、上述した第１実施形態及び第２実施形態では、明視野光、第１励起光及び第２励起光を光源３１が射出して、第１蛍光及び第２蛍光を用いて蛍光測定を行う場合を例示したが、これに限るものではない。一例として、明視野光及び第１励起光を光源３１が射出し、第１蛍光を用いて蛍光測定する構成としてもよい。この場合、光学素子５２（５２Ａ）、結像光学系３３Ｃ、センサ２８Ｃを設けなくてもよいし、光源３１は第２励起光を射出しなくてもよい。
【０１３２】
また、光源３１としては、明視野光、第１励起光及び第２励起光を同時に射出するよう制御可能なものを用いる構成に代えて、明視野光、第１励起光及び第２励起光の射出をそれぞれ個別に射出するよう制御可能なものを用いる構成等を採用できる。
また、上記実施形態では、被照射体１からの光をセンサ２８Ａ、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃそれぞれが同じタイミングで受光する構成としたが、この構成の他に、例えば、センサ２８Ａ、センサ２８Ｂ及びセンサ２８Ｃが順次被照射体１からの光を時系列的に受光する構成としてもよい。
【０１３３】
また、上述した第１実施形態及び第２実施形態において、ダイクロイックミラー３９は、ダイクロイックプリズムで構成するようにしてもよい。
また、上述した第１実施形態及び第２実施形態において、ダイクロイックミラー３９は、明視野光に対して３５％から６５％までの間の透過率を有しているものと説明したが、明視野光に対して部分反射及び部分透過の特性を有していればよい。一例として、ダイクロイックミラー３９は、明視野光に対して、５％、１０％、１５％、２０％、２５％、３０％、７０％、７５％、８０％、８５％、９０％又は９５％の透過率を有していてもよい。一例として、ダイクロイックミラー３９は、明視野光に対して部分透過及び部分反射の特性を有していることに加えて、明視野光に対する透過率が励起光に対する透過率より高い特性を有していてもよい。
また、上述した第１実施形態において、ダイクロイックミラー５３は、ダイクロイックプリズム（例えば明視野光と蛍光とを分離する波長分離膜を有している。）で構成するようにしてもよい。
また、上述した第１実施形態において、ダイクロイックミラー５４は、ダイクロイックプリズム（例えば互いに波長が異なる複数の蛍光を分離する波長分離膜を有している。）で構成するようにしてもよい。
また、上述した第２実施形態において、波長分離膜５３Ａが設けられたダイクロイックプリズムは、ダイクロイックミラーで構成するようにしてもよい。
また、上述した第２実施形態において、波長分離膜５４Ａが設けられたダイクロイックプリズムは、ダイクロイックミラーで構成するようにしてもよい。
【０１３４】
＜測定システム（スクリーニング装置）＞
図１８は、上述した測定装置２０、上述した測定装置２０Ａ又は上述した測定装置２０Ｂを備える測定システム（スクリーニング装置）を示す図である。図１８に示す測定システム（スクリーニング装置）１００は、前処理装置（バイオアッセイ装置）１０１と、搬送装置１０２と、測定装置１０３とを備えている。
【０１３５】
前処理装置１０１は、被照射体１の測定対象を用意するバイオアッセイ装置である。一例として、スポットＳ内に配置されたプローブ（生体分子）Ｂに対して、標識された標的を含む検体（ターゲット）を注入して、生体分子と標的とに特異的な反応を行わせる装置である。前処理装置１０１は、例えば、スポットＳがマトリクス状に配置された被照射体１を支持するステージ装置と、各スポットＳに対して検体を注入する分注ノズルを備えた分注装置と、検体注入後の被照射体１を洗浄する洗浄装置と、を備える。前処理装置１０１には、洗浄後の被照射体１を乾燥させる乾燥装置が設けられていてもよい。前処理装置１０１は、被照射体１を１つずつ処理する構成でも、複数同時に処理する構成であってもよい。
【０１３６】
搬送装置１０２は、被照射体（生体分子）１を前処理装置１０１から測定装置１０３へ搬送する搬送機構である。搬送装置１０２としては、例えば搬送アームを有するロボット装置を用いたり、プレートローダを用いたりすることができる。搬送装置１０２は、前処理装置１０１のステージ装置から被照射体１を搬出し、測定装置１０３へ搬入する。搬送装置１０２は、前処理装置１０１から搬出した被照射体１を測定装置１０３へ搬入するまで一時的に待機させる機構が設けられていてもよい。
【０１３７】
測定装置１０３は、上述した測定装置２０、上述した測定装置２０Ａ又は上述した測定装置２０Ｂを備えている。測定装置１０３は、搬送装置１０２によりステージ２６上に配置された被照射体１の測定を行う。測定装置１０３による測定は、上述した測定装置２０、測定装置２０Ａ又は測定装置２０Ｂで説明したとおりである。搬送装置１０２は、測定装置１０３による測定が終了した被照射体１をステージ２６から搬出し、所定の位置へ搬送する。
【０１３８】
以上の測定システム１００によれば、被照射体１に対する前処理（バイオアッセイ）と、前処理後の被照射体１の測定処理とを連携して行い生体分子アレイをスクリーニングすることができる。
【０１３９】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【符号の説明】
【０１４０】
１…被照射体、  ２０…測定装置、  ２０Ａ…測定装置、  ２０Ｂ…測定装置、  ２２…制御部、  ２３…表示部、  ２５…光学装置、  ２６…ステージ、  ２８Ａ…センサ、  ２８Ｂ…センサ、  ２８Ｃ…センサ、  ３１…光源、  ３２…検出部、  ３２Ａ…光源、  ３２Ｂ…センサ、  ３３Ａ…結像光学系、  ３３Ｂ…結像光学系、  ３３Ｃ…結像光学系、  ３３Ｄ…結像光学系、  ３５…対物レンズ、  ３７…フィルタブロック、  ３８…第１フィルタ、  ３９…ダイクロイックミラー、  ４０…第２フィルタ、  ４２…波長選択フィルタ、  ５１…光学素子、  ５１Ａ…光学素子、  ５２…光学素子、  ５２Ａ…光学素子、  ５３…ダイクロイックミラー、  ５３Ａ…波長分離膜、  ５４…ダイクロイックミラー、  ５４Ａ…波長分離膜、  ５５…センサ、  １００…測定システム、  １０１…前処理装置、  １０２…搬送装置、  １０３…測定装置
【図１】
2015087824.tif 000003
【図２Ａ】
2015087824.tif 000004
【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2015087824.tif 000018
【図１３】
2015087824.tif 000019
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
2015087824.tif 000023
【図１８】
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【図１９】
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【国際調査報告】
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