【事件の表示】
　上記当事者間の特許第４０１５３２９号発明「正イオン出力と負イオン出力とを平衡させる方法、および電気イオン化装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第４０１５３２９号の請求項１及び２に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第４０１５３２９号の請求項１及び２に係る発明についての出願は、平成１１年９月２０日（パリ条約による優先権主張１９９８年９月１８日、米国）に出願され、平成１９年９月２１日にその発明についての特許の設定登録がされ、その後、平成２０年７月２８日に株式会社キーエンスより本件無効審判の請求がなされ、平成２１年１月９日付けで被請求人より答弁書が提出され、同年２月１３日付けで被請求人に無効理由が通知され、同年４月８日付けで被請求人から意見書が提出され、同年６月５日に請求人及び被請求人のそれぞれから、口頭審理陳述要領書のファクシミリが相手方及び特許庁に対して送信され、同年７月８日に請求人及び被請求人のそれぞれから口頭審理陳述要領書が提出されるとともに、同日に口頭審理が行われた。
　
第２　当事者の主張及び無効理由通知について
　
１．請求人の主張
　審判請求書及び口頭審理陳述要領書の記載を総合すると、請求人は、「特許第４０１５３２９号の請求項１及び２に係る特許を無効とする。審判費用は被請求人の負担とする。」との審決を求め、その理由として以下の事項を主張している。
（１）本件特許の願書に添付した明細書又は図面（以下「本件特許明細書等」という。）の特許請求の範囲の請求項１及び請求項２の記載は、その意味内容を明確に把握できないから、特許法第３６条第６項第２号の規定に違反するものであり、本件特許は特許法第１２３条第１項第４号に該当し無効とされるべきものである。
（２）本件特許出願における平成１７年６月２８日付け手続補正及び平成１８年４月１９日付け手続補正は、本件特許の願書に最初に添付した明細書又は図面に開示された範囲を逸脱した技術的事項を特許請求の範囲に取り入れるもの（新規事項追加）であるから、特許法第１７条の２第３項の規定に違反するものであり、本件特許は特許法第１２３条第１項第１号に該当し無効とされるべきものである。
（３）本件特許の請求項２に係る発明は、オペレータという人を特定要素として含むものであり、産業上の利用可能性を欠き、特許法第２９条第１項柱書の「発明」に該当しないから、特許法第１２３条第１項第２号に該当し無効とされるべきものである。また、仮に、請求項２に係る発明が人を特定要素としないものであれば、本件特許明細書等の発明の詳細な説明の欄には、そのような開示がないから、特許法第３６条第６項第１号の規定に違反するものであり、本件特許は特許法第１２３条第１項第４号に該当し無効とされるべきものである。
（４）本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に係る発明は、甲第５号証又は甲第６号証を主引用例とし、甲第５号証ないし甲第１１号証にそれぞれ記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、特許法第１２３条第１項第２号に該当し無効とされるべきものである。
　そして、請求人は、証拠方法として、以下の甲第５号証ないし甲１１号証を提出している。
　
　甲第５号証：特開平４−３０８６９４号公報
　甲第６号証：特開平３−２６６３９８号公報
　甲第７号証：特開平８−７８１８３号公報
　甲第８号証：特開昭６３−１４３９５４号公報
　甲第９号証：特開平２−１５９２７９号公報
　甲第１０号証：特開平４−２０６３７８号公報
　甲第１１号証：特開平８−３２１３９４号公報
　
　
２．被請求人の主張
　答弁書、意見書及び口頭審理陳述要領書の記載を総合すると、被請求人は、本件「特許無効審判の請求は、理由がないものとする。審判費用は請求人の負担とする。」との審決を求め、その理由として、以下の事項を主張している。
（１）本件特許第４０１５３２９号の特許請求の範囲の請求項１及び請求項２の記載は、いずれも当業者がその意味内容を明確に把握できるものであるから、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしており、本件特許は特許法第１２３条第１項第４号に該当しない。
（２）本件特許出願における平成１７年６月２８日付け手続補正及び平成１８年４月１９日付け手続補正は、本件特許の願書に最初に添付した明細書又は図面に開示された範囲を逸脱した技術的事項を特許請求の範囲に取り入れるものではないから、特許法第１７条の２第３項の規定に違反するものではなく、本件特許は特許法第１２３条第１項第１号に該当しない。
（３）本件特許の請求項２に係る発明は、特許法第２９条第１項柱書の「発明」に該当するものであり、特許法第１２３条第１項第２号に該当せず、また、請求項２に係る発明が人を特定要素としないものであっても、自動的に判定することは周知であるから、本件特許の特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第１号の規定する要件を満たしており、本件特許は特許法第１２３条第１項第４号に該当しない。
（４）本件特許の請求項１及び請求項２に係る発明は、甲第５号証又は甲第６号証に記載された発明を主引用例とし、甲第５号証ないし甲第１１号証にそれぞれ記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないから、特許法第２９条第２項の規定に違反するものではなく、特許法第１２３条第１項第２号に該当しない。
　
３．平成２１年２月１３日付けで通知した無効理由は、以下のとおりである。
（１）本件特許の請求項１及び２に係る発明は、その優先権主張日前に日本国内において頒布された刊行物１及び２（甲第５号証及び６号証）に記載された発明に基づいて、その優先権主張日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反するものであり、特許法第１２３条第１項第２号に該当し無効とされるべきものである。
（２）本件特許は、明細書の記載に不備があるため、特許法第３６条第６項第１号及び第２号に規定する要件を満たしていないから、特許法第１２３条第１項第４号に該当し無効とされるべきものである。
（３）本件特許に係る特許出願について、平成１７年６月２８日付けでなされた手続補正は、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていないから、本件特許は、特許法第１２３条第１項第１号に該当し無効とされるべきものである。
　
　
第３　本件特許発明
　本件特許の請求項１に係る特許発明（以下「本件発明１」という。）及び請求項２に係る特許発明（以下「本件発明２」という。）は、本件特許明細書等の記載からみて、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
　
「【請求項１】
　イオン放射源と、前記イオン放射源に関連付けられている正の高電圧電源と負の高電圧電源とを有する電気イオン化装置において正イオン出力と負イオン出力とを平衡させる方法であって、
　ソフトウェア調整可能なメモリ内に、調整可能な平衡基準値を記憶するステップ（ａ）と、
　前記電気イオン化装置の動作中に、前記平衡基準値を、前記イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサによって測定される平衡測定値と比較するステップ（ｂ）と、
　前記平衡基準値が前記平衡測定値に等しくない場合には、前記正の高電圧電源と前記負の高電圧電源の少なくとも一方を自動的に調整し、前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくなるように前記調整を行なうステップ（ｃ）と、
　前記電気イオン化装置の動作時に、電気イオン化装置付近の作業空間内で実際のイオン平衡値を実測イオン平衡値として測定するステップ（ｄ）と、
　前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくかつ前記実測イオン平衡値がゼロでない場合に前記平衡基準値を調整し、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように前記調整を行うステップ（ｅ）と、
を備え、
　前記平衡基準値の調整は、遠隔制御およびワイヤレス制御のうちの１つを用いて実行されることを特徴とする正イオン出力と負イオン出力とを平衡させる方法。」
　
「【請求項２】
　イオン放射源と、前記イオン放射源に関連付けられている正の高電圧電源および負の高電圧電源とを有する電気イオン化装置であって、
　（ａ）調整可能な平衡基準値を記憶するためのソフトウェア調整可能なメモリであって、前記平衡基準値は、平衡測定値が前記平衡基準値に等しく、かつ、前記電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡値がゼロではない場合に、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように調整手段によって調整される、ソフトウェア調整可能なメモリと、
　（ｂ）前記イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサによって測定される前記平衡測定値に対して前記平衡基準値を比較するコンパレータと、
　（ｃ）前記平衡基準値が前記平衡測定値とは等しくない場合に、前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源の少なくとも一方を調整する自動平衡調整回路であって、その調整が、前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくなるように行われる自動平衡調整回路と、を備え、
　前記平衡基準値の調整は、遠隔制御およびワイヤレス制御のうちの１つを用いて実行されることを特徴とする電気イオン化装置。」
　
　
第４　請求人が提出した主な証拠方法の記載事項
　
　請求人が提出した証拠方法のうち、主要なものの記載事項は以下のとおりである。
　
１．　甲第５号証：特開平４−３０８６９４号公報
　本件特許に係る出願の優先権主張の日前に日本国内において頒布された刊行物である特開平４−３０８６９４号公報（以下「刊行物１」という。）
には、図１及び図２とともに以下の記載がある。
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品や電子機器等を損傷する原因となる静電気の帯電を防止する帯電防止用イオン発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、各種の電子部品や電子機器自体、或はそれらを製造する工場や使用する場所等においては、周囲の環境に応じて静電気が発生し易くなったり、静電気が多量に帯電することがあった。そして、この帯電した静電気によって、機器の誤動作が生じたり、場合によっては多くの静電気が瞬間的に流れて電子部品や電子機器が損傷することがあった。
【０００３】そのため、近年では、電子部品や電子機器等を扱う工場などでは、帯電した電気を徐々に除去する目的で、工場内にイオンを放出するイオン発生装置（イオナイザー）を配置することが行われている。
【０００４】このイオン発生装置は、所定の間隔を隔てて配置された二つの放電電極にそれぞれ高い正電圧、負電圧をかけることで、陽イオンおよび陰イオンを放出させ、各イオンの発生量をコントロールすることで、電子機器の周囲等に帯電した電荷を中和して静電気を除去するものであり、通常は、作業を行なう部屋の天井や壁面等に取り付けられていた。」
　
「【００１１】図１は、本発明の一実施例の帯電防止用イオン発生装置を示す斜視図である。図１に示すように、帯電防止用イオン発生装置１は、直径が　　　　ｍ〜　　　　ｍの円形箱状の筐体２を備える。筐体２の外面である底表面３には円錐形状のイオン発生器４が設けられる。イオン発生器４には、陽イオンを放射するものと、陰イオンを放射するものとがあり、上記底表面３の周辺にそれぞれが交互に配置される。図１に示す装置では、陽イオンを発生するイオン発生器４ａと陰イオンを発生するイオン発生器４ｂとが静電気を有効に除去するために、　　　　ｍ〜　　　　ｍの間隔で配置されている。
【００１２】各イオン発生器４の中央には、先端が尖った（例えばタングステン，ニッケル，ステンレス等からなる）放電電極５が突設されている。この電極５に、筐体２に内蔵された後述の電源部から間欠的に正または負の高電圧がかけられることによって、陽イオンまたは陰イオンが間欠的に放出される。つまり、イオン発生器４ａの電極５からは、陽イオンが発生され、イオン発生器４ｂの電極５からは、陰イオンが発生される。
【００１３】１対のイオン発生器４の間には、陽イオンおよび陰イオンの濃度を検出するセンサ６が設けられている。筐体２の底表面３の中央には、イオン発生器４から放射されたイオンを拡散するためのファン７が設けられる。
【００１４】また、底表面３には、イオン発生装置１の動作を遠隔制御するための信号を受信する受信部８が設けられる。イオン発生装置１は、吊紐９により、工場の天井に取り付けられたフック等に取り付けられ、コンセント１０から屋内電源が装置内に供給される。
【００１５】図２は、図１に示すイオン発生装置１の電気的構成を示す概略ブロック図である。図２において、上述したように、筐体２内にはイオン発生器４への電源を供給する高電圧電源としての電源部１１が設けられる。コンセント１０からの低電圧の屋内電源は電源部１１に供給され、イオン発生器４に供給すべき正および負の高電圧直流パルスが作られる。電源部１１で作られた正の高電圧直流パルスは、イオン発生器４ａに供給され、負の高電圧直流パルスは、イオン発生器４ｂに供給される。
【００１６】電源部１１は、また、その動作を制御するコントローラ１２およびファンモータ１３への電源を作り出している。コントローラ１２には、センサ６からの正イオンおよび負イオンの濃度に応じた信号が与えられる。コントローラ１２はセンサ６からの信号に基づいて、予め設定されているイオン濃度になるように、電源部１１から供給される正の高電圧直流パルスおよび負の高電圧直流パルスのレベルを　　　　ｋＶ〜　　　　ｋＶの範囲で変更する。
【００１７】イオン発生装置１を遠隔操作するための送信部１４には、イオン発生装置１の電源をオンオフするためのスイッチ，ファンモータ１３を作動・停止するためのスイッチおよび陽イオン，陰イオンの発生量を調節するためのキーが設けられている。上述のスイッチおよびキーの操作に対応した信号は送信部１４から受信部８へ送信される。
【００１８】コントローラ１２は受信部８の受信信号に基づいて、正あるいは負の高電圧パルスのレベルの変更、ファンモータ１３のオンオフおよびイオン発生装置１の電源のオンオフを制御する。」
　
　ここで、刊行物１の図１及び図２には、１つのイオン発生装置において、イオン発生器４ａ及びイオン発生器４ｂと一体にセンサ６を設けたものが示されている。
　また、「正あるいは負の高電圧パルスのレベルの変更」によって、「陽イオン，陰イオンの発生量を調節する」ことは明らかである。
　また、「センサ６からの正イオンおよび負イオンの濃度に応じた信号が与えられる。コントローラ１２はセンサ６からの信号に基づいて、予め設定されているイオン濃度になるように、電源部１１から供給される正の高電圧直流パルスおよび負の高電圧直流パルスのレベルを　　　　ｋＶ〜　　　　ｋＶの範囲で変更する」ことが、イオン発生装置１の動作中に行われることは自明であり、また、「高電圧直流パルスのレベル」が「ｋＶ」を単位とする電圧として表されることも明らかである。
　
　したがって、刊行物１には、以下の発明（以下「刊行物発明１」という。）が記載されている。
「陽イオンが発生されるイオン発生器４ａ、及び陰イオンが発生されるイオン発生器４ｂ、並びにこれらイオン発生器４ａ，４ｂにそれぞれ正及び負の高電圧直流パルスを供給する電源部１１、
　１対の前記イオン発生器４ａ，４ｂの間に、イオン発生器４ａ及びイオン発生器４ｂと一体に設けられ、陽イオン及び陰イオンの濃度を検出するセンサ６、
　イオン発生装置１を遠隔操作するためのものであって、イオン発生装置１の電源をオンオフするためのスイッチ、及び、陽イオン及び陰イオンの発生量を調節するためのキーを有する送信部１４、
　前記送信部１４からの信号を受信するための受信部８、及びコントローラ１２を備える、帯電防止用のイオン発生装置１を動作させる方法であって、
　イオン発生装置１の動作中に、前記センサ６によって陽イオン及び陰イオンの濃度を検出し、
　前記コントローラ１２によって、前記センサ６からの陽イオン及び陰イオンの濃度に応じた信号に基づいて、あらかじめ設定されているイオン濃度になるように、前記電源部１１から供給される正の高電圧直流パルス及び負の高電圧直流パルスの電圧を変更するとともに、前記受信部８の受信信号に基づいて、イオン発生装置１の電源のオンオフ、及び、正あるいは負の高電圧パルスの電圧を変更させることを通じて、陽イオン及び陰イオンの発生量の調節を行う、イオン発生装置１を動作させる方法。」
　
　また、刊行物１の記載事項について、物の発明としての構成に着目すると、刊行物１には、以下の発明（以下「刊行物発明２」という。）も記載されている。
「陽イオンが発生されるイオン発生器４ａ、及び陰イオンが発生されるイオン発生器４ｂ、並びにこれらイオン発生器４ａ，４ｂにそれぞれ正及び負の高電圧直流パルスを供給する電源部１１、
１対の前記イオン発生器４ａ，４ｂの間に、イオン発生器４ａ及びイオン発生器４ｂと一体に設けられ、陽イオン及び陰イオンの濃度を検出するセンサ６、
　イオン発生装置１を遠隔操作するためのものであって、イオン発生装置１の電源をオンオフするためのスイッチ、及び、陽イオン及び陰イオンの発生量を調節するためのキーを有する送信部１４、
　前記送信部１４からの信号を受信するための受信部８、及びコントローラ１２を備える、帯電防止用のイオン発生装置１であって、
　前記センサ６によって陽イオン及び陰イオンの濃度を検出し、
　前記コントローラ１２によって、前記センサ６からの陽イオン及び陰イオンの濃度に応じた信号に基づいて、あらかじめ設定されているイオン濃度になるように、前記電源部１１から供給される正の高電圧直流パルス及び負の高電圧直流パルスの電圧を変更するとともに、前記受信部８の受信信号に基づいて、イオン発生装置１の電源のオンオフ、及び、正あるいは負の高電圧パルスの電圧を変更させることを通じて、陽イオン及び陰イオンの発生量の調節を行う、イオン発生装置１。」
　
２．　甲第６号証：特開平３−２６６３９８号公報
　本件特許に係る出願の優先権主張の日前に日本国内において頒布された刊行物である特開平３−２６６３９８号公報（以下「刊行物２」という。）には、第１図ないし第１３図とともに以下の記載がある。
　
（１）「【産業上の利用分野】
　本発明は、プラス電極とマイナス電極にそれぞれプラスとマイナスの高電圧を印加してプラス・マイナスのイオンを発生させる除電器において、プラス・マイナスのイオンを等量に発生させるためのイオンバランス制御装置に関する。」（第１頁右下欄第９行ないし第１４行）
　
（２）「【作　　用】
　プラス電極とマイナス電極との間に配置された電流検出電極は、プラス電極とマイナス電極との間に流れるイオン電流を直接検出する。そのイオン電流は、プラスイオンが多いとプラスに、マイナスイオンが多いとマイナスに推移し、しかもプラス・マイナスのイオン量の差に応じたものとなる。そこで、この検出されたイオン電流をイオン電流測定回路で測定すると、その極性及びイオン量の差を検知でき、その測定値に応じて、プラス電極とマイナス電極のうちの少なくとも一方の電極に印加する電圧またはパルス幅を調整回路で自動調整すれば、自動的にプラス・マイナスのイオンバランスが図れる。」（第２頁右上欄第１７行ないし同頁左下欄第１０行）
　
（３）「【実　施　例】
　以下、本発明の一実施例を図面に基づき詳細に説明する。
　第１図において除電器自体は、いずれも針状のプラス電極１とマイナス電極２とを所定の間隔で対向配置し、プラス・マイナスそれぞれの高圧発生回路３，４で発生したプラス高電圧とマイナス高電圧を各整流回路５，６で整流してプラス電極１とマイナス電極２とにそれぞれ印加し、プラスイオンとマイナスイオンを発生させて帯電物体を除電する公知の構造である。かかる除電器において、本発明によるイオンバランス制御装置８は、プラス電極１とマイナス電極２との中間に針状の電流検出電極９を配置し、該電流検出電極９でイオン電流を検出してマイクロコンピュータによりデジタル的に測定し、その測定値に応じてプラスマイナスの高圧発生回路３，４を自動制御するもので、第２図に本イオンバランス制御装置８を具体的に示す。
　第２図において、電流検出電極９で検出されたイオン電流は２段の増幅回路１０，１１で増幅され、増幅回路１１の出力側のａ点に両極性のイオンの多少に応じて第３図に示すような特性の電圧が生ずる。すなわち、プラス・マイナス両電極１，２間のプラスイオンとマイナスイオンとが同じ時は実線、プラスイオンが多い時は一点鎖線、マイナスイオンが多い時は点線となる。
　増幅回路１１の出力は、次のアナログ・デジタル変換のためにレベルシフト回路１２により第４図に示すようにレベルシフトされた後、サンプルホールド回路１３を介しＡ−Ｄ変換回路１４によって数値データに変換される。
Ａ−Ｄ変換されたｃ点の数値データは、プラスイオンが多い時の最大値で例えばＦＦＨ（１６進）、プラスイオンとマイナスイオンが同じ時で８０Ｈ、マイナスイオンが多い時の最小値で００Ｈとなるように定められる。Ａ−Ｄ変換された数値データはＩ／Ｏポート１５の入力端子Ｄ１からマイクロコンピュータへ取り込まれ、そのＣＰＵ１６の制御に従いＲＡＭ１７に後述のように記憶され、電流検出電極９で検出されたイオン電流の極性及び数値がＣＰＵ１６により最終的に測定される。そして、その測定値から上記プラス・マイナスの高圧発生回路３，４の制御量が演算され、その数値データがＩ／Ｏポート１５の出力端子Ｄ２から出力される。なお、符号１８はＲＯＭである。
　出力端子Ｄ２から出力された制御量（数値データ）はＤ−Ａ変換回路１９によってアナログの電圧に変換され、増幅回路２０によって増幅された後、レベルシフト回路２１によってレベルシフトされる。いま、Ｄ−Ａ変換前のｄ点の数値データを、プラスイオンが多い時の最大値に対する制御量でＦＦＨ、プラスイオンとマイナスイオンが同じ時の制御量で８０Ｈ、マイナスイオンが多い時の最小値に対する制御量で００Ｈとすると、増幅回路２０で増幅されたｅ点の３つの場合の電圧はそれぞれ例えば１０Ｖ、５Ｖ、０Ｖとなり、レベルシフトされたｆ点の電圧はそれぞれ１１Ｖ、１６Ｖ、２１Ｖとなる。
　上記プラス・マイナスの高圧発生回路３，４は、それぞれに対応する電圧レギュレータ２２，２３で調整されてそれぞれの電極１，２に印加する電圧値を決定されるが、本例においては、マイナス電極２の印加電圧は一定とし、プラス電極１のみ印加電圧を可変としてイオンバランスを図ろうとするもので、そのためレベルシフト回路２１の出力はプラス側の電圧レギュレータ２２に入力されるが、マイナス側の電圧レギュレータ２３には入力されない。プラス側の電圧レギュレータ２２の出力は、レベルシフト回路２１からの電圧に従い例えば１５Ｖがら２４Ｖの範囲で変化するが、マイナス側の電圧レギュレータ２３は一定（例えば１８Ｖ）である。」（第２頁左下欄第１１行ないし第３頁左下欄第２行）
　
（４）「ところで、本イオンバランス制御装置では、プラス・マイナスの電極１，２に第５図に示すようにそれぞれプラス・マイナスの直流高電圧を印加する直流除電モードと、第６図に示すようにプラス電極１にプラスのパルス電圧、マイナス電極２にマイナスのパルス電圧をプラス・マイナス交互に印加するパルス除電モードとを、直流・パルス除電切換スイッチ２４により切り換えることができ、パルス除電モードの場合には、両電圧レギュレータ２２，２３とも０Ｖと上記の電圧値とを交互に繰り返すようになっている。スイッチ２４のオン・オフ信号はＩ／Ｏポート１５の入力端子Ｄ３を通じてＣＰＵ１６へ入力される。
　上記のような構成において、プラスまたはマイナスの電極１，２に例えばゴミ等が付着すると、プラスのイオン電流の変化量とマイナスのイオン電流の変化量とが違うため、プラス・マイナスのイオンがアンバランスとなり、前述したような特性の電圧がａ点に生じ、数値データに変換されてマイクロコンピュータに取り込まれる。その数値データが例えばバランス点の８０Ｈより多い８５Ｈであれば、プラスのイオンが多いと判断してＤ−Ａ変換回路１９へは８０Ｈより大きい数値データが出力される。これによりｆ点の電圧は低い方へ変化し、電圧レギュレータ２２の出力電圧は低下する。これが低下するとそれに応じてプラス高圧発生回路３の電圧も低下する。このときマイナス高圧発生回路４の電圧は一定であるため、イオンバランスがとれることになる。」（第３頁左下欄第３行ないし同頁右下欄第１１行）
　
（５）「電流検出電極９で検出されたイオン電流を一定周期で測定するため、第７図（Ｅ）のパルス除電制御信号（ｋ点の信号）は一定の周期（例えば１時間間隔または数分間隔で出力される。これがＨＩＧＨになると、同図（Ｃ）及び（Ｄ）のパルスが電圧レギュレータ２２，２３に入力され、プラスマイナスの電極１，２へのプラス・マイナスの高電圧印加が交互にオン・オフされパルス除電が行われる。
　この場合、ＣＰＵ１６は同図（Ｂ）のパルスの反転を確認してＨＩＧＨのときにＡ−Ｄ変換回路１４からの数値データ（イオン電流）を取り込んでＲＡＭ１７に記憶する。また、同図（Ｃ）のパルスも取り込み、それがＨＩＧＨであるかＬＯＷであるかによりＡ−Ｄ変換回路１４からの数値データ（イオン電流）が、プラス高電圧印加時のものであるかマイナス高電圧印加時のものであるかを判断する。そして、ＣＰＵ１６はその数値データをバランス点の８０Ｈと比較し、その差に応じた制御量を上記のようにＤ−Ａ変換回路１９へ出力し、イオンバランス制御を行う。
　プラス・マイナスの電極１，２の汚れ等によりイオン電流が減少するに従い、Ａ−Ｄ変換回路１４からの数値データはバランス点の８０Ｈから次第に離れるため、初期より何パーセント減少したかの経時的変化を判断できる。例えば、第８図に示すようにプラス・マイナスのイオン電流のバランス点を８０Ｈ、初期のプラスイオン電流の最大値をＦＦＨ、初期のマイナスイオン電流の最大値を００Ｈとし、プラスイオン電流がＣ０Ｈ、マイナスイオン電流が４０Ｈとなったとき（最大値より５０パーセント減少）をクリーニング警報点、プラスイオン電流がＡ０Ｈ、マイナスイオン電流が６０Ｈになったとき（最大値より７０パーセント減少）を強制停止点とすると、クリーニング警報点以下に減少したときＩ／Ｏポート１５の出力端子Ｄ９からクリーニング警報信号を出力してランプ３２を点滅させ、さらに強制停止点以下に減少したとき出力端子Ｄ４から停止信号、出力端子Ｄ９から性能低下警報信号を出力してプラス・マイナスの電極１，２の高電圧印加を停止すると同時にブザー３１を鳴動させることができる。」（第４頁左下欄第３行ないし第５頁左上欄第４行）
　
（６）「次のステップ６２でタイマをセット（例えば３０分）した後、ステップ６３で第１２図の測定サブルーチンをコールする。
　これがコールされると第１２図において、先ずステップ８０で入力端子Ｄ６の入力はＨＩＧＨか、つまりサンプルホールド区間であるかどうか判断し、サンプルホールド区間であればステップ８１で入力端子Ｄ１の入力、つまりＡ−Ｄ変換回路１４からの数値データを取り込み、第２メモリに記憶する。次に、ステップ８２で入力端子Ｄ７の入力はＬＯＷか、つまりプラス高電圧印加時であるかどうか判断し、プラス高電圧印加時であればステップ８３で再びサンプルホールド区間であるかどうか判断し、サンプルホールド区間であればステップ８４でＡ−Ｄ変換回路１４からの数値データを再び取り込み、これを別に第３メモリに記憶する。この後、ステップ８５で入力端子Ｄ７の入力はＨＩＧＨか、つまりマイナス高電圧印加時であるかどうか判断し、マイナス高電圧印加時であればステップ８６に進み、プラス・マイナス両極についてバランス点からの偏差、つまり第２メモリの内容からバランス点である８０Ｈを差し引く計算、及び８０Ｈから第３メモリの内容を差し引く計算をする。いま、（第２メモリの内容）−８０Ｈ＝Ａ、８０Ｈ−（第３メモリの内容）＝Ｂとする。
　次のステップ８７１でＡ＝Ｂかどうか判断し、Ａ＝Ｂであればリターンし、そうでなければステップ８７２でＡ＞ＢであるかＡ＜Ｂであるか判断し、Ａ＞Ｂのときはステップ８８で第１メモリの内容をカウントダウンしてリターンし、Ａ＜Ｂのときはステップ８９で第１メモリの内容をカウントアツプしてリターンする。
　このようにして測定サブルーチンを経て第１０図のステップ６３からステップ６４に進み、第１メモリの内容、つまり制御量を出力端子Ｄ２からＤ−Ａ変換回路１９へ出力して上記のように電圧レギュレータ２２を制御する。次に、ステップ６５でＡ＝Ｂかどうか判断し、Ａ＝Ｂであれば、つまりバランス点との偏差がプラス・マイナス同じであれば、第１３図の検査サブルーチンをコールしてステップ６２に戻り、タイマの設定時間周期でステップ６３からステップ６６までを繰り返す。」（第５頁右上欄第６行ないし同頁右下欄第８行）
　
　また、第１２図（特にステップ８６ないし８７２）と上記（６）の記載とを併せて見ると、「Ａ−Ｄ変換回路１４からの数値データ（イオン電流）」は、正負について、常に「８０Ｈ」との差を取り、比較されることが示されている。
　
　以上の各記載から、刊行物２には、帯電防止に用いられるイオン発生装置において、正負両イオンを等量発生させること、すなわち正負両イオン発生量をバランスさせるために、「プラス電極１とマイナス電極２との中間に設けられた針状の電流検出電極９で検出電流からプラス・マイナス各イオンの量を測定し、該測定値を、プラス・マイナス両電極１，２間のプラスイオンとマイナスイオンとが同じ時（バランス点）の値である８０Ｈと比較し、その差に応じた制御量をＤ−Ａ変換回路１９へ出力し、電極に印加する電圧を変化させることによりイオンバランス制御を行う」ことが記載されている。
　また、特に上記（２）及び（４）の記載から、刊行物２には、プラス電極とマイナス電極との間に配置された電流検出電極によって、プラスイオンが多いとプラスに、マイナスイオンが多いとマイナスに推移し、しかもプラス・マイナスのイオン量の差に応じたイオン電流を測定し、この検出されたイオン電流をイオン電流測定回路で測定すると、その極性及びイオン量の差を測定値として得ることができ、その測定値に応じて、プラス電極とマイナス電極のうちの少なくとも一方の電極に印加する電圧又はパルス幅を調整回路で自動調整することが記載されている。ここで、前記測定値は、正負のイオンのバランス、すなわち平衡の程度を表すものであるから、「平衡測定値」ということができ、刊行物２には「電流検出電極」及び「イオン電流測定回路」からなる「イオン平衡センサ」が記載されていると言える。
　
３．　甲第７号証：特開平８−７８１８３号公報
　本件特許に係る出願の優先権主張の日前に日本国内において頒布された刊行物である特開平８−７８１８３号公報（以下「刊行物３」という。）には、第５図とともに以下の記載がある。
（１）「【０００２】
【従来の技術】帯電体の除電を行う除電装置は、例えば正側放電電極に正側高電圧生成回路から正側トランスを介して正の高電圧を付与すると共に、正側放電電極と並設された負側放電電極に負側高電圧生成回路から負側トランスを介して負の高電圧を付与し、これにより各放電電極を放電させて正負のイオンを大気中に生成し、その正負の生成イオンにより帯電体を除電する。かかる除電装置にあっては、各高電圧生成回路やトランスは、金属等の導体材料あるいはプラスチック等の絶縁材料から成る筐体に収納され、その筐体から各放電電極が外方に突出される。また、筐体の内部に収納した高電圧生成回路やトランス等の回路は、通常、筐体外部の適所に設けた外部接地部に接地され、特に、筐体が導電材料から成る場合には、該筐体を介して外部接地部に接地される。
【０００３】この種の除電装置を用いて帯電体の除電を確実に行うためには、各放電電極の放電による正負のイオン生成量のバランス（所謂、イオンバランス）をとる必要があるが、正負のイオン生成量は、各放電電極に付与する高電圧を一定としても、一般に、各放電電極の汚れの程度や、大気状態等の環境条件、あるいは筐体が導電材料であるか絶縁材料であるか等によって変化する。このため、何等かの手法により正負のイオン生成量を時々刻々把握し、それに応じて各高電圧生成回路により各放電電極に付与する高電圧を制御してイオンバランスを制御する必要がある。」
　
（２）「【０１６９】本実施例の除電装置においては、まず、正側設定器２３を操作することで、正側有効除電電流Ｉ1+の設定値を示す設定電圧Ｖ1S+ が比較器５１に設定され、また、負側設定器２４の可変抵抗６８の抵抗値を調整することで、負側有効除電電流Ｉ1-の設定値が正側有効除電電流Ｉ1+に対して可変抵抗６８の抵抗値により定まる比率でもって比較器４５に設定される。このとき、可変抵抗６８の抵抗値の調整に際しては、正側有効除電電流Ｉ1+の設定値を設定した状態で、本実施例の除電装置を実際に稼働させる共に、正負のイオンの生成量を両放電電極１，２の前方で図示しない帯電プレートモニタを用いて確認し、正負のイオンの生成量のバランスがとれるように可変抵抗６８の抵抗値の調整する。
・・・
【０１７６】また、上記のようにピークホールド器６０により得られた電圧信号Ｖ1+（有効除電電流Ｉ1+の検出値）が減算器６２に与えられると共に、有効電流差分検出手段１７の差動増幅器３８から得られた電圧信号Ｖａ（電流Ｉａ）がフィルタ６３を介して減算器６２に与えられ、この時、該減算器６２は、前記（２２）式に従って減算演算を行うことで、負側有効除電電流Ｉ1-の検出値を示す電圧信号Ｖ2-を出力し、これにより有効除電電流Ｉ1-が検出される。そして、該電圧信号Ｖ2-は可変抵抗６８を介して比較器４５に与えられる。」（審決注：【０１７６】段落における「電圧信号Ｖ2-」は、「電圧信号Ｖ１-」の誤記と認められる。）
「【０１７７】このとき、比較器４５には、ピークホールド器６０から電圧信号Ｖ1+（有効除電電流Ｉ1+の検出値）も付与されており、このため、負側指示値生成手段４６は、有効除電電流Ｉ1-の検出値を示す電圧信号Ｖ1-のレベルが、正側有効除電電流Ｉ1+の検出値を示す電圧信号Ｖ1+に可変抵抗６８の抵抗値により定まる所定の比率でもって合致するように負側高電圧指示値信号ＶC1- を生成する。そして、該信号ＶC1- が加算器５０を介して負側高電圧生成回路４に付与される。これにより、放電電極２に付与される高電圧Ｖ- は、負側有効除電電流Ｉ1-が正側有効除電電流Ｉ1+に対して所定の比率でもって合致するように、換言すれば、負側有効除電電流Ｉ1-により生成される除電に寄与する負のイオンの生成量が有効除電電流Ｉ1+により生成される除電に寄与する正のイオンの生成量とバランスするように、高電圧Ｖ- が制御される。尚、一般に、負側有効除電電流Ｉ1-と正側有効除電電流Ｉ1+とが同じであっても、正のイオンは負のイオンに較べて除電に寄与する効果が小さく、このため、負側有効除電電流Ｉ1-を正側有効除電電流Ｉ1+よりも小さく設定することで正負のイオンがバランスする。」
　
　上記（１）の記載から、刊行物３には、帯電防止用のイオン発生装置において、正負両イオン発生量をバランスさせることが記載されている。
　また、上記（２）の記載から、刊行物３には、イオンバランスを図る装置である除電装置において、放射源に係る、「負側有効除電電流Ｉ1-により生成される除電に寄与する負のイオンの生成量が有効除電電流Ｉ1+により生成される除電に寄与する正のイオンの生成量とバランスするように、高電圧Ｖ-」を制御するとともに、放射源前方の帯電プレートで測定した値に基づいて、正負のイオンのバランスがとれるように、すなわち、正負のイオンの「平衡」がとれるように、放射源について可変抵抗６８を通じて調整を行うものが記載されている。ここで、前記「負側有効除電電流Ｉ1-により生成される除電に寄与する負のイオンの生成量が有効除電電流Ｉ1+により生成される除電に寄与する正のイオンの生成量とバランスするように、高電圧Ｖ-」を制御する部分が、フィードバック制御のための制御ループを構成することは明らかである。
　
４．　甲第９号証：特開平２−１５９２７９号公報
　本件特許に係る出願の優先権主張の日前に日本国内において頒布された刊行物である特開平２−１５９２７９号公報（以下「刊行物４」という。）には、以下の記載がある。
「静電蓄積を抑制するための空気イオン化装置は正および負イオンの両方を発生するよう通常構成されている。物品上の電荷蓄積はいずれの極性のイオンでも可能である。これには各極性のイオンの出力を正確に調整する必要がある。
　正および負イオンの所望の発生量は特定のクリーン室の静電荷蓄積傾向によって等しくするか、または他の比率とすることができる。いずれの場合においても、電極の劣化その他の理由によってもたらされる正および負イオン出力の比率の変化は悪い影響を及ぼし得る。イオン化装置は、静電荷を抑制するよりもむしろ物品に静電荷を帯電させる傾向がある。このような理由から、正および負イオンの組合せ出力割合の変化は悪い影響をも有する。
　特定の電極における空気イオン発生割合は電極に印加される高電圧の大きさを調整することによって制御することができ、電極に印加される電圧を高くすれば、イオン出力が増大し、電圧が低くなればイオン出力が低減する。このように電圧を制御して所望のイオン発生量を維持するにはイオン出力を監視してイオン発生量を検出することが必要である。
　このような目的の従来の監視系統はイオン化電極から離して静電荷を抑制しようとする物品の区域に通常設置されたイオン検出装置を用いる。イオンセンサーはその近くの空気中のイオンの量の変化を示す信号を出力する。この信号を計器に入力してイオン量を読取って電極電圧を手動調整することができ、あるいは、電圧を自動調整するための高電圧発生器のサーボコントローラにフィードバックすることができる。」（第４頁左下欄第１９行ないし第５頁左上欄第１０行）
　
５．　甲第１０号証：特開平４−２０６３７８号公報
　本件特許に係る出願の優先権主張の日前に日本国内において頒布された刊行物である特開平４−２０６３７８号公報（以下「刊行物５」という。）には、第４図とともに以下の記載がある。
「また、第４図に示すように、帯電体Ｘの電位を検出する電位センサ２０と、該電位センサ２０に接続された後述の比較制御器２１と、該比較制御器２１の信号によって前記第１可変抵抗１４と第２可変抵抗１６とを個別に駆動するサーボモータ２２，２３とによって構成される制御手段２４を設けてもよい。
　前記電位センサ２０は、第４図に示すように、帯電体Ｘの近傍に設置されており、帯電体の電位を検出する。この検出値の信号はリード線２５を介して前記比較制御器２１に送られる。該比較制御器２１は、設定値と、前記電位センサ２０の検出した検出値との比較を行う。このとき、設定値と検出値とに差が生じた場合には、比較制御器２１は夫々のサーボモータ２２，２３を駆動し、該サーボモータ２２，２３によって第１可変抵抗１４及び第２可変抵抗１６の抵抗値を変化させる。このようにして、イオンバランスを設定値に一致させて帯電体Ｘの帯電状態に応じた除電が行われる。」（第５頁左上欄第９行ないし同頁右上欄第６行）
　
　
第５　当審の判断
　
１．　本件発明１の特許法第２９条第２項についての判断
　
（１）無効理由として通知した特許法第２９条第２項についての判断
　ア．本件発明１と刊行物発明１との対比
　本件発明１と刊行物発明１とを対比する。
　刊行物発明１における「イオン発生装置１」は、本件発明１における「電気イオン化装置」に相当する。
　刊行物発明１における「陽イオン」及び「陰イオン」は、それぞれ本件発明１における「正イオン」及び「負イオン」に相当する。
　刊行物発明１における「陽イオンが発生されるイオン発生器４ａ、及び陰イオンが発生されるイオン発生器４ｂ」は、本件発明１における「イオン放射源」に相当する。
　刊行物発明１における「陽イオン及び陰イオンの発生量」は、本件発明１における「正イオン」及び「負イオン」の「出力」に相当する。
　刊行物発明１における「イオン発生器４ａ，４ｂにそれぞれ正及び負の高電圧直流パルスを供給する電源部１１」は、本件発明１における「前記イオン放射源に関連付けられている正の高電圧電源と負の高電圧電源」に相当する。
　刊行物発明１における「陽イオン及び陰イオンの濃度を検出するセンサ６」は、「一対の前記イオン発生器４ａ，４ｂの間に、イオン発生器４ａ及びイオン発生器４ｂと一体に設けられ」ており、「一対の前記イオン発生器４ａ，４ｂ」に近接していると認められるから、本件発明１における「前記イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサ」とは、「前記イオン放射源に近接した位置にあるイオンセンサ」である点で共通する。
　本件発明１における「平衡測定値」と、刊行物発明１における「センサ６」によって検出された「陽イオン及び陰イオンの濃度」とは、「測定値」である点で共通する。
　刊行物発明１における「コントローラ１２によって、前記センサ６からの陽イオン及び陰イオンの濃度に応じた信号に基づいて、あらかじめ設定されているイオン濃度になるように、前記電源部１１から供給される正の高電圧直流パルス及び負の高電圧直流パルスの電圧を変更する」ことは、「イオン発生装置１」の動作中に自動的に行われることは明らかであるから、本件発明１における「前記電気イオン化装置の動作中に、前記平衡基準値を、前記イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサによって測定される平衡測定値と比較するステップ（ｂ）と、　前記平衡基準値が前記平衡測定値に等しくない場合には、前記正の高電圧電源と前記負の高電圧電源の少なくとも一方を自動的に調整し、前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくなるように前記調整を行なうステップ（ｃ）」とは、「前記電気イオン化装置の動作中に、基準値と、前記イオン放射源に近接した位置にあるイオンセンサによって測定される測定値に基づいて、前記正の高電圧電源と前記負の高電圧電源の少なくとも一方を自動的に調整し、前記測定値が前記基準値に等しくなるように前記調整を行なう」点で共通する。
　すなわち、刊行物発明１における「あらかじめ設定されているイオン濃度」と、本件発明１における「平衡基準値」とは、共に「基準値」である点で共通する。
　また、本件発明１における「平衡させる」ことも、刊行物発明１における「変更する」及び「調節」することも、いずれも調整することの一種であることは明らかである。
　
　したがって、刊行物発明１と本件発明１とは、
「イオン放射源と、前記イオン放射源に関連付けられている正の高電圧電源と負の高電圧電源とを有する電気イオン化装置において正イオン出力と負イオン出力とを調整する方法であって、
　前記電気イオン化装置の動作中に、基準値と、前記イオン放射源に近接した位置にあるイオンセンサによって測定される測定値に基づいて、前記正の高電圧電源と前記負の高電圧電源の少なくとも一方を自動的に調整し、前記測定値が前記基準値に等しくなるように前記調整を行うステップ、
を備えることを特徴とする正イオン出力と負イオン出力とを調整する方法。」
の点で一致し、以下の各点で相違する。
　
・相違点１
　「基準値」に関して、本件発明１は、「ソフトウェア調整可能なメモリ内に、調整可能な」「基準値を記憶するステップ（ａ）」を備えているのに対し、刊行物発明１は、「基準値」の保持がどのようになされているか明らかでなく、また、「基準値」が「あらかじめ設定されている」ものであり、「調整可能」なものであるか否かも明らかでない点。
・相違点２
　本件発明１は、「基準値」が「平衡基準値」である、「正イオン出力と負イオン出力とを平衡させる方法」であるのに対して、刊行物発明１は、「基準値」が「あらかじめ設定されているイオン濃度」である、「陽イオン及び陰イオンの発生量の調節を行う」方法である点。
・相違点３
　「イオン放射源に近接した位置にあるイオンセンサ」について、本件発明１においては、「平衡測定値」を測定する「イオン平衡センサ」であるのに対して、刊行物発明１においては、「陽イオン及び陰イオンの濃度を検出するセンサ」である点。
・相違点４
　「前記正の高電圧電源と前記負の高電圧電源の少なくとも一方を自動的に調整」する場合について、本件発明１においては、「前記平衡基準値を」「平衡測定値と比較するステップ（ｂ）」を経て、「前記平衡基準値が前記平衡測定値に等しくない場合」であるとするのに対し、刊行物発明１においては、「あらかじめ設定されている」「基準値」と「イオン濃度」の「測定値」に基づくものの、どのような場合であるのかが明らかではない点。
・相違点５
　本件発明１は、「前記電気イオン化装置の動作時に、電気イオン化装置付近の作業空間内で実際のイオン平衡値を実測イオン平衡値として測定するステップ（ｄ）と、
　前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくかつ前記実測イオン平衡値がゼロでない場合に前記平衡基準値を調整し、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように前記調整を行うステップ（ｅ）」とを備えるのに対し、刊行物発明１は、そのような構成を備えていない点。
・相違点６
　本件発明１は、「遠隔制御及びワイヤレス制御のうちの１つ」を用いて、「平衡基準値の調整」を実行しているのに対し、刊行物発明１は、遠隔操作するための構成である送信部１４、受信部８、及びコントローラ１２を用いて、「イオン発生装置１の電源のオンオフ、及び、正あるいは負の高電圧パルスの電圧を変更させることを通じて、陽イオン及び負イオンの発生量の調節を行う」ものの、「基準値の調整」を実行することは明らかでない点。
　
　イ．相違点についての判断
　
・相違点２〜４について
　一般に帯電防止用のイオン発生装置において、正負両イオン発生量をバランスさせることは、前記刊行物２（特に【産業上の利用分野】の欄を参照）のほか、前記刊行物３にも示されているように周知技術である。
　それゆえ、刊行物発明１においても、正負両イオン発生量をバランスさせるべく、「基準値」である「あらかじめ設定されているイオン濃度」として、「正負両イオン発生量をバランス」した状態、すなわち「平衡基準値」を設定し、「正イオン出力と負イオン出力を平衡させる方法」とすることは当業者が適宜になし得たことである。
　また、その具体的方法として、イオンセンサによって正イオン及び負イオンそれぞれの濃度を測定し、これに基づいて平衡状態となるようにするか、あるいは、刊行物２に記載されているように、イオン平衡センサによって正イオンと負イオンのバランスの程度を測定し「平衡測定値」を得て、これに基づいて平衡状態となるようにするかは、当業者が適宜に選択し得たことである。
　そして、測定値と設定値を比較し、差があれば調節を行いながら最終的に設定値に到達させるようにすることは、一般にフィードバック制御技術として周知であり、また、センサによって測定されたイオン濃度と、あらかじめ設定されている基準値とを比較し、差があれば正あるいは負の電源を調節して所定のイオン濃度とすることが、刊行物２にも示されている。
　よって、刊行物発明１において、「センサ６からの陽イオン及び陰イオンの濃度に応じた信号」に「イオン平衡センサ」からの「平衡測定値」を採用するとともに、「あらかじめ設定されているイオン濃度」に「平衡基準値」を採用して、「平衡基準値」と「平衡測定値」とを比較し、「差があれば」「電源部１１から供給される正の高電圧直流パルス及び負の高電圧直流パルスの電圧を変更」することを通じて、「平衡測定値」が「平衡基準値」に等しくなるようにすることは、当業者が適宜になし得たことである。
　したがって、相違点２〜４については、当業者が適宜になし得たことである。
　
・相違点５について
　刊行物発明１に係る、帯電防止用のイオン発生装置は、帯電を防止しようとする対象物の電荷を中和するものであるから、該対象物がおかれた環境において正負両イオンのバランスがとれた状態とする必要があることは、前記刊行物３（特に【０００３】段落「大気状態等の環境条件」）にも記載されているように、周知の事項である。また、正負両イオン発生器近傍ではなく、帯電を防止しようとする対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランスを測定し、この測定結果に基づいて、前記イオン発生装置が発生する正負両イオンの量を制御することは、前記刊行物４及び５にも示されているように周知技術である。
　
　ところで、フィードバック制御の分野において、目的とする制御対象の実測値を得てフィードバックする主たる制御ループ（外側制御ループ）内に、操作対象の状態を検知してフィードバックする従たる制御ループ（内側制御ループ）を組み入れ、前記実測値と主たる制御ループにおける目標値の差を基にして従たる制御ループにおける目標値を設定する、いわゆる「カスケード制御」を行うことにより、より細かくかつ安定した制御とすることは、いずれも本件特許に係る出願の優先権主張の日前に日本国内において頒布された、以下の刊行物６及び７にも示されているように周知技術である。
・刊行物６：特開平７−１０４８０５号公報には、図６ないし９とともに以下の記載がある。
「【０００２】
　【従来の技術】半導体製造装置の電気加熱炉等の温度制御を行う制御装置としては、ＤＤＣ（Direct Digital Control）の１種であるカスケード制御によるものがあった。従来の電気加熱炉の温度制御を行う制御装置及びその制御方法について図６を用いて説明する。図６は、従来の半導体製造装置の制御装置の概略構成ブロック図である。
【０００３】従来の電気加熱炉の制御装置としては、１次制御を行うＰＩＤ（比例＋積分＋微分）制御系の１次演算部（ＰＩＤ）１と、２次制御を行うＰＩＤ制御系の２次演算部（ＰＩＤ）２と、ヒータ３と、炉内４とを、図６に示すように直列に接続し、炉内４の温度の実測値を１次演算部１にフィードバックし、ヒータ３の温度を２次演算部２にフィードバックするように接続したカスケード制御系があった。
【０００４】ここで、１次演算部１には目標値と炉内４からフィードバックされた１次系制御量との差（偏差）が入力され、１次演算部１からは１次系操作量（＝２次系目標値）が出力され、２次演算部２には２次系目標値とヒータ３からフィードバックされた２次系制御量との差（偏差）が入力され、２次演算部２からは２次系操作量が電力としてヒータ３に出力され、ヒータ３では２次系制御量として温度が制御されて炉内４の温度を調整している。
【０００５】１次制御系は、予め設定された目標値と実測した炉内４の温度を比較して、ヒータ３の温度を上下させることにより炉内４の温度を調整するものであり、２次制御系は、１次制御系の操作量を目標値として、ヒータ３への供給電力を制御することにより、ヒータ３の温度を調整するものである。このように、カスケード制御では、１次制御系の操作量を２次制御系の目標値に反映させることにより、細かい制御を可能にし、炉内４の温度を目標値に安定化させるようになっていた。」
・刊行物７：実願昭６２−９７６９７号(実開昭６４−３９２７号)の願書に添付した明細書及び図面の内容を記録したマイクロフィルムには、第３図とともに、以下の記載がある。
「第３図は従来技術の一例を示すカスケード制御装置の一例を示す構成図であり、反応缶の内温を一定に制御するための制御系である。
　・・・
　７は主調節計であり、測定値ＰＶ１と内温の目標温度の設定値ＳＶ１を入力してその偏差に制御演算を施した操作出力ＭＶ１を従調節計８のカスケード設定値ＳＶ２として発信する。
　８は従調節計であり、外温の測定値ＰＶ２とカスケード設定値ＳＶ２を入力してその偏差に制御演算を施した操作出力ＭＶ２を温水供給管路４に挿入された流量制御弁９又は冷却水供給管路５に挿入された流量制御弁１０に供給して、ジャケット３内の外温をカスケード設定値ＳＶ２に調節する。」（明細書第２頁第８行ないし第３頁第８行）
　
　刊行物発明１に係るイオン発生装置においても、イオンバランスを保つために、より細かくかつ安定した制御が求められることは自明な課題であり、また、前記カスケード制御技術は、特定の分野や製品のみにおいて利用されるものではなく、フィードバック制御がなされる製品において普遍的に利用されるものである。それゆえ、刊行物発明１に係るイオン発生装置においても、前記カスケード制御技術を採用し得ることは、当業者に明らかである。その際、主たる制御ループ（すなわち、被請求人が答弁書において論じている「外側制御ループ」）においては、最終的な目標である、帯電を防止しようとする対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランスを検出、すなわち「電気イオン化装置付近の作業空間内で実際のイオン平衡値を実測イオン平衡値として測定」し、「実測イオン平衡値がゼロでない場合に」これを基に従たる制御ループの目標値を設定するとともに、従たる制御ループ（すなわち、被請求人が答弁書において論じている「内側制御ループ」）においては、操作対象であるイオン放射器近傍における正負両イオンのバランスを検出し、これが前記目標値となるように制御を行うことにより、全体として「前記実測イオン平衡値がゼロに達するように前記調整を行う」ことは、当業者が適宜になし得たことである。
　この制御にあっては、「前記実測イオン平衡値がゼロでない場合に前記平衡基準値を調整」するのであるから、「前記平衡測定値が前記平衡基準値に等し」い場合においても、「前記実測イオン平衡値がゼロで」なければ「前記平衡基準値を調整」することは当然である。したがって、この制御が、「前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくかつ前記実測イオン平衡値がゼロでない場合に前記平衡基準値を調整し、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように前記調整を行うステップ」を「備える」ことは明らかである。
　そして、上記のように制御を行うことにより、カスケード制御の採用に伴い当業者が通常予測し得る効果を超える、格別な作用・効果が得られるものとも認められない。
　
　なお、刊行物３(甲第７号証)には、イオンバランスを図る装置である除電装置において、放射源に係る、「負側有効除電電流Ｉ1-により生成される除電に寄与する負のイオンの生成量が有効除電電流Ｉ1+により生成される除電に寄与する正のイオンの生成量とバランスするように、高電圧Ｖ-」を制御する制御ループ（すなわち内側制御ループ）とともに、放射源前方の帯電プレートで測定した値に基づいて、正負のイオンのバランスがとれるように、すなわち、正負のイオンの「平衡」がとれるように、放射源について可変抵抗６８を通じて調整を行うものが示されているところ、可変抵抗６８を通じて調整を行うことについて、同刊行物の【０００３】段落に記載された「大気状態等の環境条件」を考慮すると、初期の可変抵抗６８の設定によって永続的に正負のイオンの「平衡」が保持できるとは限らないから、放射源について可変抵抗６８を通じて調整を定期的に行うことは、当業者が適宜になし得たことである。これを換言すれば、放射源について可変抵抗６８を通じて調整を行う制御ループ（すなわち外側制御ループ）が存在すると言うことができ、また、前記可変抵抗６８は、正負のイオンの「平衡」がとれるように設定されることに着目すれば、この外側制御ループにおいて設定されるのは「平衡基準値」であると言うことができる。
　この点から見ても、イオン発生装置に対して、内側及び外側の各制御ループを有する、周知のカスケード技術を適用することに、格別な困難性は見いだせない。
　
　被請求人は、平成２１年４月８日付け意見書において、主たる制御ループは人が介在してなされるとしているが、仮にそうであるとしても、前記主たる制御ループに対応する動作を装置自身が行うことに代えて、人が行うこととし、人が「電気イオン化装置付近の作業空間内で実際のイオン平衡値を実測イオン平衡値として測定」し、「前記実測イオン平衡値がゼロでない場合に前記平衡基準値を調整」することも、当業者が適宜になし得たことである。
　
・相違点１について
　上記「・相違点５について」において検討したとおり、カスケード制御の採用に伴い、刊行物発明１は、「実測イオン平衡値がゼロでない場合に」これを基に従たる制御ループの目標値を設定し、従たる制御ループにおいては、操作対象であるイオン放射器近傍における正負両イオンのバランスを検出し、これが前記目標値となるように制御を行うことになる。この際、目標値である「基準値」は、「実測イオン平衡値」に応じて変動する値であるから、これを調整可能なものとすることは、当然になされる事項である。
　そして、刊行物２にも示されているように、イオン発生装置の動作制御を、マイクロコンピュータを用い、数値データの比較演算を通じて行うことは周知技術であり、該周知技術において、制御における目標値（例えば、刊行物２においては「バランス点の８０Ｈ」）をメモリに記憶させることは常とう手段であるところ、前述のカスケード制御を行うに当たり目標値を調整可能なものとすることに対応して、「ソフトウェア調整可能なメモリ内に、調整可能な平衡基準値を記憶する」ことは、当業者が適宜になし得たことである。
　
・相違点６について
　刊行物発明１においては、送信部に設けられたスイッチ及びキーの操作を通じて、イオン発生装置１の電源をオンオフ、及び、陽イオン・陰イオンの発生量の調節を含めた、イオン発生装置１の各動作を遠隔操作している。ここで、コントローラ１２は「センサ６からの信号に基づいて、あらかじめ設定されているイオン濃度になるように、電源部１１から供給される正の高電圧直流パルス及び負の高電圧直流パルスの電圧を」変更するから、陽イオン・陰イオンの発生量を、前記キーの操作を通じて入力された値とする際に、それに併せて「あらかじめ設定されているイオン濃度」、すなわち「平衡基準値」の調整を行うものとすることは、当然のことである。なぜならば、コントローラ１２は、「あらかじめ設定されているイオン濃度になるように、電源部１１から供給される正の高電圧直流パルス及び負の高電圧直流パルスの電圧を」変更する動作を行うものであるから、陽イオン・陰イオンの発生量を前記キーの操作によって変更しても、「あらかじめ設定されているイオン濃度」が変更されなければ、前記コントローラの動作により、結局「あらかじめ設定されているイオン濃度」に戻ってしまうことになるからである。
　また、仮にそうでないとしても、刊行物発明１において、前記キーの操作を通じて「あらかじめ設定されているイオン濃度」、すなわち「平衡基準値」の調整を行うものとすることは、当業者が適宜になし得たことである。
　
　ウ．まとめ
　したがって、本件発明１は、刊行物１及び２に記載された発明、並びに、従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである。
　
　
（２）請求人が主張する無効理由の特許法第２９条第２項についての判断
　
　ア．本件発明１と刊行物発明１との対比
　前記第５　１．（１）ア．「本件発明１と刊行物発明１との対比」で検討したとおり、本件発明１と刊行物発明１とは、前記の点で一致し、前記相違点１〜６の点で相違する。
　
　イ．相違点についての判断
　
・相違点２〜４について
　前記第５　１．（１）イ．「相違点についての判断」における「・相違点２〜４について」に記したとおりである。
　なお、ここで、「平衡基準値」と「平衡測定値」を比較し、「差があれば」「電源部１１から供給される正の高電圧直流パルス及び負の高電圧直流パルスの電圧を変更」することを通じて、「平衡測定値」が「平衡基準値」に等しくなるようにすることは、被請求人が答弁書において論じている「内側制御ループ」に相当する。
　
・相違点５及び６について（その１）
　刊行物発明１に係る、帯電防止用のイオン発生装置は、帯電を防止しようとする対象物の電荷を中和するものであるから、該対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランスがとれた状態とする必要があることは、前記刊行物３（特に【０００３】段落「大気状態等の環境条件」）にも記載されているように、周知の事項である。また、正負両イオン発生器近傍ではなく、帯電を防止しようとする対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランスを測定し、この測定結果に基づいて、前記イオン発生装置が発生する正負両イオンの量を制御することは、前記刊行物４及び５にも示されているように周知技術である。ここで、刊行物４に記載されているように、「イオン量を読取って電極電圧を手動調整」することは、前記周知技術を具体化するに当たり、ごく普通に採用される構成であり、そのような構成を「監視系統」として用いること、すなわち装置の動作の監視に用いることも自明なことである。
　一方、刊行物発明１においては、「イオン発生装置１を遠隔操作するためのものであって、イオン発生装置１の電源をオンオフするためのスイッチ、及び、陽イオン及び陰イオンの発生量を調節するためのキーを有する送信部１４」のキーの操作により「送信部１４からの信号を受信するための受信部８」「の受信信号に基づいて、イオン発生装置１の電源のオンオフ、及び、正あるいは負の高電圧パルスの電圧を変更させることを通じて、陽イオン及び負イオンの発生量の調節を行う」ものである。そして、前述のとおり、刊行物発明１においても、帯電を防止しようとする対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランスがとれた状態とする必要があることは明らかであるから、前記周知技術を適用して、イオン発生装置の動作時に、帯電を防止しようとする対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランスを測定し、この測定結果に基づいて、正負両イオンのバランスがとれた状態となるように、すなわち、「電気イオン化装置付近の作業空間内で実際のイオン平衡値を実測イオン平衡値として測定」し、「実測イオン平衡値がゼロでない場合に」は実測イオン平衡値がゼロとなるように、「陽イオン及び陰イオンの発生量を調節するためのキーを有する送信部１４」のキーの操作により正あるいは負の高電圧パルスの電圧を変更させることを通じて、陽イオン及び負イオンの発生量の調節を行うことは、当業者が適宜になし得たことである。
　ここで、前記第５　１．（１）イ．「相違点についての判断」における「・相違点６について」において記したように、刊行物発明１においては、コントローラ１２は「センサ６からの信号に基づいて、あらかじめ設定されているイオン濃度になるように、電源部１１から供給される正の高電圧直流パルス及び負の高電圧直流パルスの電圧を」変更するから、陽イオン・陰イオンの発生量を、前記キーの操作を通じて入力された値とする際に、それに併せて「あらかじめ設定されているイオン濃度」、すなわち「平衡基準値」を調整するようにすることは、当然のことである。また、仮にそうでないとしても、刊行物発明１において、前記キーの操作を通じて「あらかじめ設定されているイオン濃度」、すなわち「平衡基準値」を調整するようにすることは、当業者が適宜になし得たことである。
　そうすると、刊行物発明１に前記周知技術を適用したものは、結局「前記実測イオン平衡値がゼロでない場合に」「陽イオン・陰イオンの発生量」及び「前記平衡基準値を調整」するものとなるから、「前記平衡測定値が前記平衡基準値に等し」い場合においても、「前記実測イオン平衡値がゼロで」なければ「陽イオン・陰イオンの発生量」及び「前記平衡基準値を調整」することは当然である。それゆえ、「前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくかつ前記実測イオン平衡値がゼロでない場合に前記平衡基準値を調整し、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように前記調整を行うステップ」（すなわち、被請求人が答弁書において論じている「外側制御ループ」に相当）を「備える」ものであることは明らかである。したがって、相違点５については、当業者が適宜になし得たことである。
　また、上述のとおり、「平衡基準値」の調整は、結局、「陽イオン及び陰イオンの発生量を調節するためのキーを有する送信部１４」のキーの操作を通じてなされることになるところ、「送信部１４」のキーの操作は、「イオン発生装置１を遠隔操作するためのもの」を用いることであり、遠隔制御を用いることと言えるから、相違点６についても、当業者が適宜になし得たことである。
　
　ところで、相違点５及び６については、上述の理由とは別の、以下の理由により当業者が適宜になし得たことであると言うこともできる。
　
・相違点５及び６について（その２）
　上記「・相違点５及び６について（その１）」において記したように、刊行物発明１に係る、帯電防止用のイオン発生装置は、帯電を防止しようとする対象物の電荷を中和するものであるから、該対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランスがとれた状態とする必要があることは、明らかである。また、正負両イオン発生器近傍ではなく、帯電を防止しようとする対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランスを測定し、この測定結果に基づいて、前記イオン発生装置が発生する正負両イオンの量を制御することは、周知技術である。ここで、刊行物４に記載されているように、「この信号を計器に入力してイオン量を読取って電極電圧を手動調整する」、「あるいは、電圧を自動調整するための高電圧発生器のサーボコントローラにフィードバックする」ことは、前記周知技術を具体化するにあたり、ごく普通に採用される構成であり、そのような構成を「監視系統」として用いること、すなわち装置の動作の監視に用いることも自明なことである。
　また、前記第５　１．（１）イ．「相違点についての判断」における「・相違点５について」に、なお書きとして記したとおり、刊行物３(甲第７号証)には、さらに、イオンバランスを図る装置である除電装置において、放射源に係る、「負側有効除電電流Ｉ1-により生成される除電に寄与する負のイオンの生成量が有効除電電流Ｉ1+により生成される除電に寄与する正のイオンの生成量とバランスするように、高電圧Ｖ-」を制御する制御ループ（すなわち内側制御ループ）とともに、放射源前方の帯電プレートで測定した値に基づいて、正負のイオンのバランスがとれるように、すなわち、正負のイオンの「平衡」がとれるように、放射源について可変抵抗６８を通じて調整を行うものが示されているところ、可変抵抗６８を通じて調整を行うことについて、同刊行物の【０００３】段落に記載された「大気状態等の環境条件」を考慮すると、初期の可変抵抗６８の設定によって永続的に正負のイオンの「平衡」が保持できるとは限らないから、放射源について可変抵抗６８を通じて調整を定期的に行うことは、当業者が適宜になし得たことである。これを換言すれば、放射源について可変抵抗６８を通じて調整を行う制御ループ（すなわち外側制御ループ）が存在すると言うことができ、また、前記可変抵抗６８は、正負のイオンの「平衡」がとれるように設定されることに着目すれば、この外側制御ループにおいて設定されるのは「平衡基準値」であると言うことができる。
　そして、前述のとおり、刊行物発明１においても、帯電を防止しようとする対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランスがとれた状態とする必要があることは明らかであるから、前記刊行物３に記載された技術を適用して、イオン発生装置の動作時に、帯電を防止しようとする対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランスを測定し、この測定結果に基づいて、正負両イオンのバランスがとれた状態となるように、すなわち、「電気イオン化装置付近の作業空間内で実際のイオン平衡値を実測イオン平衡値として測定」し、「実測イオン平衡値がゼロでない場合に」は実測イオン平衡値がゼロとなるように、「あらかじめ設定されているイオン濃度」を「平衡基準値」として調整するようにすることは、当業者が適宜になし得たことである。したがって、相違点５については、当業者が適宜になし得たことである。
　また、一般に、機器の制御を、遠隔制御又はワイヤレス制御により行うことは、周知技術であるから、上記したように、「あらかじめ設定されているイオン濃度」を「平衡基準値」として調整するに当たり、遠隔制御又はワイヤレス制御を用いることは、当業者が適宜になし得たことである。したがって、相違点６についても、当業者が適宜になし得たことである。
　
　なお、被請求人が答弁書において、「ＢACTUALがゼロでない場合、ＢREF1の増減調整を行ってＢACTUALをゼロにすることは、フィードバック制御によって行うことができることは周知であ」ると主張するように、仮に、該外側制御ループが装置自身によりなされるものであるとしても、例えば前記刊行物４に、「この信号を計器に入力してイオン量を読取って電極電圧を手動調整する」、「あるいは、電圧を自動調整するための高電圧発生器のサーボコントローラにフィードバックする」、とあるように、人が行うことも、装置自身が行うことも、いずれも普通になされることであるから、人が「電気イオン化装置付近の作業空間内で実際のイオン平衡値を実測イオン平衡値として測定」し、「前記実測イオン平衡値がゼロでない場合に前記平衡基準値を調整」することに代えて、これらを装置自身が行うようにすることは、当業者が適宜になし得たことである。
　
　上記「相違点５及び６について（その１）」及び「相違点５及び６について（その２）」で検討したとおり、いずれにしても、相違点５及び６は、当業者が適宜になし得たことである。
　
・相違点１について
　上記第５　１．（２）イ．「相違点についての判断」の「・相違点５及び６について（その１）」及び「・相違点５及び６について（その２）」において検討したとおり、刊行物発明１において、「あらかじめ設定されているイオン濃度」として「実測イオン平衡値」に基づいて調整された「平衡基準値」を採用するに当たり、該「平衡基準値」を調整可能とすることは、当然になされる事項である。
　そして、前記刊行物２にも示されているように、イオン発生装置の動作制御を、マイクロコンピュータを用い、数値データの比較演算を通じて行うことは周知技術であり、ここで、制御における目標値（例えば、刊行物２においては「バランス点の８０Ｈ」）をメモリに記憶させることは常とう手段であるところ、上述のごとく制御及び調整を行うに当たり、「あらかじめ設定されているイオン濃度」、すなわち「平衡基準値」を調整可能なものとすることに対応して、「ソフトウェア調整可能なメモリ内に、調整可能な平衡基準値を記憶する」ことは、当業者が適宜になし得たことである。
　
　ウ．まとめ
　したがって、本件発明１は、刊行物１〜５に記載された発明、並びに、従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである。
　
　
２．　本件発明２の特許法第２９条第２項についての判断
　
（１）無効理由として通知した特許法第２９条第２項についての判断
　
　ア．本件発明２と刊行物発明２との対比
　本件発明２と刊行物発明２とを対比する。
　刊行物発明２における「イオン発生装置１」は、本件発明２における「電気イオン化装置」に相当する。
　刊行物発明２における「陽イオン」及び「陰イオン」は、それぞれ本件発明２における「正イオン」及び「負イオン」に相当する。
　刊行物発明２における「陽イオンが発生されるイオン発生器４ａ、及び陰イオンが発生されるイオン発生器４ｂ」は、本件発明２における「イオン放射源」に相当する。
　刊行物発明２における「イオン発生器４ａ，４ｂにそれぞれ正及び負の高電圧直流パルスを供給する電源部１１」は、本件発明２における「前記イオン放射源に関連付けられている正の高電圧電源と負の高電圧電源」に相当する。
　本件発明２における「前記イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサ」と、刊行物発明２における「一対の前記イオン発生器４ａ，４ｂの間に、イオン発生器４ａ及びイオン発生器４ｂと一体に設けられ、陽イオン及び陰イオンの濃度を検出するセンサ６」とは、「前記イオン放射源に近接した位置にあるイオンセンサ」である点で共通する。
　本件発明２における「平衡測定値」と、刊行物発明２における「センサ６」によって検出された「陽イオン及び陰イオンの濃度」とは、「測定値」である点で共通する。
　刊行物発明２における「コントローラ１２」は、自動的に「前記センサ６からの陽イオン及び陰イオンの濃度に応じた信号に基づいて、あらかじめ設定されているイオン濃度になるように、前記電源部１１から供給される正の高電圧直流パルス及び負の高電圧直流パルスの電圧を変更する」ものであることは明らかであるから、本件発明２における「（ｃ）前記平衡基準値が前記平衡測定値とは等しくない場合に、前記正の高電圧電源及び前記負の高電圧電源の少なくとも一方を調整する自動平衡調整回路であって、その調整が、前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくなるように行われる自動平衡調整回路」とは、「前記測定値及び基準値に基づいて、前記正の高電圧電源及び前記負の高電圧電源の少なくとも一方を調整する自動調整部であって、その調整が、前記測定値が前記基準値に等しくなるように行われる自動調整部」である点で共通する。
　すなわち、刊行物発明２における「あらかじめ設定されているイオン濃度」と、本件発明２における「平衡基準値」は、共に「基準値」である点で共通する。
　
　したがって、刊行物発明２と本件発明２とは、
「イオン放射源と、前記イオン放射源に関連付けられている正の高電圧電源及び負の高電圧電源とを有する電気イオン化装置であって、
　前記イオン放射源に近接した位置にあるイオンセンサによって測定される前記測定値及び基準値に基づいて、前記正の高電圧電源及び前記負の高電圧電源の少なくとも一方を調整する自動調整部であって、その調整が、前記測定値が前記基準値に等しくなるように行われる自動調整部を備えることを特徴とする電気イオン化装置。」
の点で一致し、以下の各点で相違する。
　
・相違点１
　本件発明２は、「（ａ）調整可能な平衡基準値を記憶するためのソフトウェア調整可能なメモリ」を備えているのに対して、刊行物発明２は、「基準値」の保持がどのようになされているのか明らかでなく、また「基準値」が「あらかじめ設定されている」ものであり、「調整可能」なものであるか否かも明らかでない点。
・相違点２
　本件発明２においては、「基準値」が「平衡基準値」であって、「前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくなるように」調整が「行われる自動平衡調整回路」を備えるのに対して、刊行物発明２においては、「基準値」が「あらかじめ設定されているイオン濃度」であって、「陽イオン及び陰イオンの発生量の調節」が「あらかじめ設定されているイオン濃度になるように」なされるものである点。
・相違点３
　「イオン放射源に近接した位置にあるイオンセンサ」について、本件発明２においては、「平衡測定値」を測定する「イオン平衡センサ」であるのに対して、刊行物発明２においては、「陽イオン及び陰イオンの濃度を検出」する「センサ」である点。
・相違点４
　本件発明２は、「前記イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサによって測定される前記平衡測定値に対して前記平衡基準値を比較するコンパレータ」を備えるとともに、「自動平衡調整回路」が「前記正の高電圧電源および前記負の高電圧電源の少なくとも一方を調整する」のは「前記平衡基準値が前記平衡測定値とは等しくない場合」であるとする構成を備えているのに対し、刊行物発明２は、そのような構成を備えていることが明らかではない点。
・相違点５
　本件発明２は、「前記平衡基準値は、平衡測定値が前記平衡基準値に等しく、かつ、前記電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡値がゼロではない場合に、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように調整手段によって調整される」ものであるのに対し、刊行物発明２は、そのような構成を備えていない点。
・相違点６
　本件発明２は、「平衡基準値の調整は、遠隔制御及びワイヤレス制御のうちの１つを用いて実行される」ものであるのに対し、刊行物発明２は、遠隔操作するための構成である送信部１４、受信部８、及びコントローラ１２を用いて、「イオン発生装置１の電源のオンオフ、及び、正あるいは負の高電圧パルスの電圧を変更させることを通じて、陽イオン及び負イオンの発生量の調節を行う」ものの、「基準値を調整」するものであることが明らかではない点。
　
　イ．相違点についての判断
　
・相違点２〜４について
　前記第５　１．（１）イ．「相違点についての判断」の「・相違点２〜４について」において記載した理由と同じ理由により、刊行物発明２においても、「センサ６からの陽イオン及び陰イオンの濃度に応じた信号」に「イオン平衡センサ」からの「平衡測定値」を採用するとともに、「あらかじめ設定されているイオン濃度」に「平衡基準値」を採用して、「前記平衡測定値に対して前記平衡基準値を比較」し、「前記平衡基準値が前記平衡測定値とは等しくない場合に、」「正の高電圧電源および」「負の高電圧電源の少なくとも一方を調整する自動平衡調整」をするものであって、「その調整が、前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくなるように行われる」ものを備えるようにすることは、当業者が適宜になし得たことである。ここで、値を比較する手段を「コンパレータ」と呼称することは普通になされることである。また、「イオン発生装置」の動作を電気回路を用いて行うことは当然の事項であるから、上記自動平衡調整を行うものを「自動平衡調整回路」とすることは、当業者に明らかである。
　したがって、相違点２〜４については、当業者が適宜になし得たことである。
　
・相違点５について
　前記第５　１．（１）イ．「相違点についての判断」の「・相違点５について」において記載した理由と同じ理由により、刊行物発明２に係るイオン発生装置においても、イオンバランスを保つために、より細かくかつ安定した制御が求められることは自明な課題であり、前記周知のカスケード制御技術を採用し得ることは、当業者に明らかである。その際、主たる制御ループにおいては、最終的な目標である、帯電を防止しようとする対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランス、すなわち「電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡値がゼロではない場合に」、これを基に従たる制御ループの目標値を設定するとともに、従たる制御ループにおいては、操作対象であるイオン放射器近傍における正負両イオンのバランスを検出し、これが前記目標値となるように制御を行うものとすることにより、全体として「前記実測イオン平衡値がゼロに達するように調整手段によって調整される」ものとすることは、当業者が適宜になし得たことである。
　この制御にあっては、「実測イオン平衡値がゼロではない場合に」「前記平衡基準値」を「調整」するのであるから、「平衡測定値が前記平衡基準値に等し」い場合においても、「実測イオン平衡値がゼロで」なければ「平衡基準値」を「調整」することは当然である。したがって、この制御においては、「平衡測定値が前記平衡基準値に等しく、かつ、」前記「実測イオン平衡値がゼロではない場合に、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように調整手段によって調整される」ものとなることは明らかである。
　そして、上記のように構成することにより、カスケード制御の採用に伴い当業者が通常予測し得る効果を超える、格別な作用・効果が得られるものとも認められない。
　
　被請求人は、平成２１年４月８日付け意見書において、主たる制御ループは人が介在してなされるとしているが、仮にそうであるとしても、前記主たる制御ループに対応する動作を装置自身が行うことに代えて、人が行うこととし、人によって「平衡基準値」が、「電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡値がゼロではない場合に、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように調整手段によって調整される」ものとすることも、当業者が適宜になし得たことである。
　
・相違点１について
　上記「・相違点５について」において検討したとおり、カスケード制御の採用に伴い、刊行物発明２は、「実測イオン平衡値がゼロではない場合に」これを基に従たる制御ループの目標値を設定し、従たる制御ループにおいては、操作対象であるイオン放射器近傍における正負両イオンのバランスを検出し、これが前記目標値となるように制御を行うものとなる。この際、目標値である「基準値」は、「実測イオン平衡値」に応じて変動する値であるから、これを調整可能なものとすることは当然になされる事項である。
　そして、前記第５　１．（１）イ．「相違点についての判断」の「・相違点１について」において記載した理由と同じ理由により、「調整可能な平衡基準値を記憶するためのソフトウェア調整可能なメモリ」を備えるものとすることは、当業者が適宜になし得たことである。
　
・相違点６について
　前記第５　１．（１）イ．「相違点についての判断」の「・相違点６について」において記載した理由と同じ理由により、刊行物発明２において、陽イオン・陰イオンの発生量を、送信部に設けられたスイッチ及びキーの操作を通じて入力された値とする際に、それに併せて「あらかじめ設定されているイオン濃度」、すなわち「平衡基準値」の調整を行うものとすることは、当然のことである。また、仮にそうでないとしても、刊行物発明２において、前記キーの操作を通じて「あらかじめ設定されているイオン濃度」、すなわち「平衡基準値」の調整を行うものとすることは、当業者が適宜になし得たことである。
　
　ウ．まとめ
　したがって、本件発明２は、刊行物１及び２に記載された発明、並びに従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである。
　
（２）請求人が主張する無効理由の特許法第２９条第２項についての判断
　
　ア．本件発明２と刊行物発明２との対比
　前記第５　２．（１）ア．「本件発明２と刊行物発明２との対比」で検討したとおり、本件発明２と刊行物発明２とは、前記の点で一致し、前記相違点１〜６の点で相違する。
　
　イ．相違点についての判断
　
　・相違点２〜４について
　前記第５　２．（１）イ．「相違点についての判断」における「・相違点２〜４について」に記したとおりである。
　
・相違点５及び６について（その１）
　前記第５　１．（２）イ．「相違点についての判断」の「・相違点５及び６について（その１）」において記載した理由と同じ理由により、刊行物発明２に周知技術を適用して、イオン発生装置の動作時に、帯電を防止しようとする対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランスを測定し、この測定結果に基づいて、正負両イオンのバランスがとれた状態となるように、すなわち、「電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡値がゼロではない場合に」は実測イオン平衡値がゼロとなるように、「陽イオン及び陰イオンの発生量を調節するためのキーを有する送信部１４」のキーの操作により、正あるいは負の高電圧パルスの電圧を変更させることを通じて、陽イオン及び負イオンの発生量の調節を行うものとすることは、当業者が適宜になし得たことである。
　ここで、前記第５　２．（１）イ．「相違点についての判断」の「・相違点６について」において記載した理由と同じ理由により、刊行物発明２において、陽イオン・陰イオンの発生量を、送信部に設けられたスイッチ及びキーの操作を通じて入力された値とする際に、それに併せて「あらかじめ設定されているイオン濃度」、すなわち「平衡基準値」の調整を行うものとすることは、当然のことである。また、仮にそうでないとしても、刊行物発明２において、前記キーの操作を通じて「あらかじめ設定されているイオン濃度」、すなわち「平衡基準値」の調整を行うものとすることは、当業者が適宜になし得たことである。
　そして、刊行物発明２に前記周知技術を適用したものは、「実測イオン平衡値がゼロではない場合に」「前記平衡基準値」を「調整」するものであるから、「平衡測定値が前記平衡基準値に等し」い場合においても、「実測イオン平衡値がゼロで」なければ「前記平衡基準値」を「調整」するものであることは当然である。したがって、「平衡測定値が前記平衡基準値に等しく、かつ、」前記「実測イオン平衡値がゼロではない場合に、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように調整手段によって調整される」ものとなることは明らかである。したがって、相違点５については、当業者が適宜になし得たことである。
　また、上述のとおり、「平衡基準値」の調整は、結局、「陽イオン及び陰イオンの発生量を調節するためのキーを有する送信部１４」のキーの操作を通じて実行するものになるところ、「送信部１４」のキーの操作は、「イオン発生装置１を遠隔操作するためのもの」を用いることであり、遠隔制御を用いて実行するものと言えるから、相違点６についても、当業者が適宜になし得たことである。
　
　ところで、相違点５及び６については、上述の理由とは別の、以下の理由により当業者が適宜になし得たことであると言うこともできる。
　
・相違点５及び６について（その２）
　前記第５　１．（２）イ．「相違点についての判断」の「・相違点５及び６について（その２）」において記載した理由と同じ理由により、刊行物発明２に前記刊行物３に記載された技術を適用して、イオン発生装置の動作時に、帯電を防止しようとする対象物がおかれた環境における正負両イオンのバランスを測定し、この測定結果に基づいて、正負両イオンのバランスがとれた状態となるように、すなわち、「電気イオン化装置付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡値がゼロではない場合に、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように」、「あらかじめ設定されているイオン濃度」を「平衡基準値」として調整するようにすることは、当業者が適宜になし得たことである。したがって、相違点５については、当業者が適宜になし得たことである。
　また、一般に、機器の制御を、遠隔制御又はワイヤレス制御により行うことは、周知技術であるから、「あらかじめ設定されているイオン濃度」を「平衡基準値」として調整するに当たり、遠隔制御又はワイヤレス制御を用いることは、当業者が適宜になし得たことである。したがって、相違点６についても、当業者が適宜になし得たことである。
　
　なお、被請求人が答弁書において、「ＢACTUALがゼロでない場合、ＢREF1の増減調整を行ってＢACTUALをゼロにすることは、フィードバック制御によって行うことができることは周知であ」ると主張するように、仮に、該外側制御ループが装置自身によりなされるものであるとしても、人によって「平衡基準値」が、「電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡値がゼロではない場合に、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように調整手段によって調整される」ものとすることに代えて、これらを装置自身が行うようにすることは、当業者が適宜になし得たことである。
　
　上記「相違点５及び６について（その１）」及び「相違点５及び６について（その２）」で検討したとおり、いずれにしても、相違点５及び６は、当業者が適宜になし得た事項である。
　
・相違点１について
　上記第５　２．（２）イ．「相違点についての判断」の「・相違点５及び６について（その１）」及び「・相違点５及び６について（その２）」において検討したとおり、刊行物発明２において、「あらかじめ設定されているイオン濃度」として「実測イオン平衡値」に基づいて調整された「平衡基準値」を採用するに当たり、該「平衡基準値」を調整可能なものとすることは、当然の事項である。
　また、前記第５　１．（２）イ．「相違点についての判断」の「・相違点１について」において記載した理由と同じ理由により、「調整可能な平衡基準値を記憶するためのソフトウェア調整可能なメモリ」を備えるものとすることは、当業者が適宜になし得たことである。
　
ウ．まとめ
　したがって、本件発明２は、刊行物１〜５に記載された発明、並びに従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである。
　
　
３．特許法第１７条の２第３項について
　本件特許に係る特許出願について、平成１７年６月２８日付けでなされた手続補正が特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしているか否かについて検討する。
　
（１）補正前の請求項１の記載
　本件特許に係る特許出願について、平成１７年６月２８日付けの手続補正により補正される前の特許請求の範囲の請求項１には、以下の記載がなされていた。
「【請求項１】　正イオン放射源と負イオン放射源と、前記正イオン放射源と前記負イオン放射源とに別々に関連付けられている正の高電圧電源と負の高電圧電源とを有する電気イオン化装置において正イオン出力と負イオン出力とを平衡させる方法であって、
　ソフトウェアで調整可能なメモリ内に平衡基準値を記憶するステップ（ａ）と、
　前記電気イオン化装置の動作中に、前記平衡基準値を、前記イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサによって測定される平衡測定値と比較するステップ（ｂ）と、
　前記平衡基準値が前記平衡測定値に等しくない場合には、前記正の高電圧電源と前記負の高電圧電源の少なくとも一方を自動的に調整し、前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくなるように前記調整を行なうステップ（ｃ）と、
　前記電気イオン化装置の動作時に、電気イオン化装置付近の作業空間内で実際のイオン平衡を実測イオン平衡として測定するステップ（ｄ）と、
　前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくかつ前記実測イオン平衡がゼロでない場合に前記平衡基準値を調整し、前記実測イオン平衡がゼロに等しくなるように前記調整を行うステップ（ｅ）と、
を備えることを特徴とする正イオン出力と負イオン出力とを平衡させる方法。」
　
（２）補正後の請求項１の記載
　次に、平成１７年６月２８日付けでなされた手続補正により、本件特許に係る特許出願の特許請求の範囲の請求項１は以下のとおりに補正された。
「【請求項１】　イオン放射源と、前記イオン放射源に関連付けられている正の高電圧電源と負の高電圧電源とを有する電気イオン化装置において正イオン出力と負イオン出力とを平衡させる方法であって、
　ソフトウェア調整可能なメモリ内に、調整可能な平衡基準値を記憶するステップ（ａ）と、
　前記電気イオン化装置の動作中に、前記平衡基準値を、前記イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサによって測定される平衡測定値と比較するステップ（ｂ）と、
　前記平衡基準値が前記平衡測定値に等しくない場合には、前記正の高電圧電源と前記負の高電圧電源の少なくとも一方を自動的に調整し、前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくなるように前記調整を行なうステップ（ｃ）と、
　前記電気イオン化装置の動作時に、電気イオン化装置付近の作業空間内で実際のイオン平衡を実測イオン平衡として測定するステップ（ｄ）と、
　前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくかつ前記実測イオン平衡がゼロでない場合に前記平衡基準値を調整し、前記実測イオン平衡がゼロに達するように前記調整を行うステップ（ｅ）と、
を備えることを特徴とする正イオン出力と負イオン出力とを平衡させる方法。」
　
（３）補正事項の整理
　この補正による、請求項１に係る補正事項を整理すると、以下のとおりとなる。
・補正事項１−１
　補正前の、「正イオン放射源と負イオン放射源」を、補正後の「イオン放射源」とする（補正事項１−１−１）とともに、補正前の「前記正イオン放射源と前記負イオン放射源とに別々に関連付けられている正の高電圧電源と負の高電圧電源」を、補正後の「前記イオン放射源に関連付けられている正の高電圧電源と負の高電圧電源」とする（補正事項１−１−２）こと。
・補正事項１−２
　補正前の「ソフトウェアで調整可能なメモリ内に平衡基準値を記憶するステップ（ａ）」を、補正後の「ソフトウェア調整可能なメモリ内に、調整可能な平衡基準値を記憶するステップ」とすること。
・補正事項１−３
　補正前の「前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくかつ前記実測イオン平衡がゼロでない場合に前記平衡基準値を調整し、前記実測イオン平衡がゼロに等しくなるように前記調整を行うステップ（ｅ）」を、補正後の「前記平衡測定値が前記平衡基準値に等しくかつ前記実測イオン平衡がゼロでない場合に前記平衡基準値を調整し、前記実測イオン平衡がゼロに達するように前記調整を行うステップ（ｅ）」とすること。
　
（４）補正事項についての検討
　そこで、前記補正事項１−１について検討すると、補正前にあっては、「正イオン放射源と負イオン放射源」とあり、「正イオン放射源」と「負イオン放射源」が明確に別個のものとして記載され、これら正負各イオン放射源に「別々に関連付けられている正の高電圧電源と負の高電圧電源」を有していたものが、補正後には、単に「イオン放射源」と記載され、例えば、一つのイオン放射源を、正イオン放射源として用いるとともに、負イオン放射源としても用いるもの、すなわち、一つのイオン放射源に、正の高電圧電源と負の高電圧電源の双方が共に関連付けられたものも含まれる記載となった。しかしながら、そのようなものは、本件特許に係る特許出願の願書に最初に添付した明細書又は図面には記載されておらず、自明なものとも認められない。
　仮に、上述の「一つのイオン放射源を、正イオン放射源として用いるとともに、負イオン放射源としても用いるもの、すなわち、一つのイオン放射源に、正の高電圧電源と負の高電圧電源の双方が共に関連付けられたもの」が周知のものであるとしても、本件特許に係る特許出願の願書に最初に添付した明細書又は図面においては、例えば、【００３４】段落及び図６に「センサアンテナ６６は、正放射源モジュール６２と負放射源モジュール６４との間に、この間の各モジュールから等距離の位置に配置されている。」と記載されているように、正放射源モジュール６２、すなわち「正イオン放射源」と負放射源モジュール６４、すなわち「負イオン放射源」が明確に別個のものとして記載されていることから、「正イオン放射源」及び「負イオン放射源」を別個のものとしない構成は読み取ることができない。
　それゆえ、補正事項１−１は、願書に最初に添付した明細書又は図面のすべてを総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものであるから、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてなされたものではなく、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。
　
（５）むすび
　上記のとおり、補正事項１−１以外の補正事項、及び、他の請求項についての補正について検討するまでもなく、本件特許に係る特許出願について、平成１７年６月２８日付けでなされた手続補正は、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。
　また、上記と同様の理由により、平成１８年４月１９日付けでなされた手続補正、及び平成１９年７月１８日付けでなされた手続補正は、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。
　したがって、本件特許は、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない補正をした特許出願に対して特許されたものである。
　
　
４．特許法第３６条第６項第２号について
　本件特許明細書の特許請求の範囲請求項１及び２の記載が特許法第３６条第６項第２号に適合するか否かについて検討する。
　
（１）　「ソフトウェア調整可能なメモリ」について
　請求人は、請求項１及び２に記載された「ソフトウェア調整可能なメモリ」との用語について、「メモリ」がハードウェア構成中のデータ格納領域を意味する用語であることから、「メモリ」を「ソフトウェア」で「調整可能」に構成することは技術的に意味をなさないと主張している。また、請求人は、本件特許明細書等の記載から見て、「調整」されるのは「値」であり、「メモリ」が「ソフトウェア調整」されるものではないとも主張する。
　しかしながら、メモリに記憶された値をソフトウェアにより調整することは技術常識である一方、メモリというハードウェアそのものをソフトウェアにより調整することは、当業者にとって考慮の対象とはなり得ない事項と認められるから、「ソフトウェア調整可能なメモリ」との用語に接した当業者は、メモリに記憶された値をソフトウェアによって調整することが可能なメモリを意味することを普通に解しうるものと認められる。
　したがって、「ソフトウェア調整可能なメモリ」との用語の意義が不明確であるとは言えない。
　
（２）　「イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサ」について
　請求人は、「イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサ」について、どの程度の配置をもって、「イオン放射源に近接」することを意味するのか、その基準が不明確である旨を主張する。
　しかしながら、本件特許明細書等には、【００３４】段落に「センサアンテナ６６は、正放射源モジュール６２と負放射源モジュール６４との間に、この間の各モジュールから等距離の位置に配置されている。放射源モジュール２４において非平衡がある場合には、センサアンテナ６６上に電荷が蓄積するだろう。」との記載があり、この記載から見て、イオン平衡センサに相当する「センサアンテナ６６」が「正放射源モジュール６２と負放射源モジュール６４との間に」あって、しかも「放射源モジュール２４において非平衡」があるときに「センサアンテナ６６上に電荷が蓄積」される位置に配されるものであり、そのような配置を有するものをもって、「イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサ」を意味することは、当業者に明らかである。
　したがって、「イオン放射源に近接した位置にあるイオン平衡センサ」との記載の意義が不明確であるとは言えない。
　
（３）　まとめ
　以上のとおりであるから、請求人が主張する、本件特許明細書の特許請求の範囲請求項１及び２の記載が特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を欠くとの理由は当たらない。
　
　
５．特許法第２９条第１項柱書及び特許法第３６条第６項第１号について
　本件特許の請求項２に係る発明が、特許法第２９条第１項柱書の「発明」に該当しないものであるか否かについて、さらに、本件特許の請求項２の記載が、特許法第３６条第６項第１号の規定に違反するものであるか否かについて検討する。
　
（１）本件特許の請求項２に係る発明が、特許法第２９条第１項柱書の「発明」に該当しないものであるか否かについて
　請求人は、本件特許の請求項２に係る発明の特定事項である、「（ａ）調整可能な平衡基準値を記憶するためのソフトウェア調整可能なメモリであって、前記平衡基準値は、平衡測定値が前記平衡基準値に等しく、かつ、前記電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡値がゼロではない場合に、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように調整手段によって調整される、ソフトウェア調整可能なメモリ」における、「前記電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡値がゼロではない場合」であることを判断する主体が、本件特許の請求項２に係る発明に係る装置自体であるのか、あるいはオペレータという人であるのか明記はないが、本件特許明細書等には、「前記実測イオン平衡値がゼロに達するように調整手段によって調整」することに相当する「ＢREF1」の「増減調整」が人によりなされる旨が記載されており、「前記電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡値がゼロではない場合」に相当する「ＢACTUALがゼロである」ことの判定も人によりなされるものということができるから、請求項２に係る発明は「人」による判断を必須の特定事項とするものであり、装置という物の発明において「人」を特定要素とするものであるから、産業上利用可能な発明に該当しないと主張する。
　この主張について検討すると、確かに、本件特許の請求項２に係る発明は、その動作において、「前記電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡値がゼロではない場合」であるか否かが人によって判断されるものも含まれると認められ、本件特許の請求項２に係る発明は、その動作において「人による判断」が必要とされるが、装置と常時一体化した「人」を必要とするものではないことは明らかである。また、本件特許の請求項２に係る発明が、「人による判断」そのものを主眼とする発明でないことも明らかである。そうすると、「・・・ゼロではない場合に、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように調整手段によって調整される・・・」なる記載を含む請求項２は、人によって判断・調整できるように構成された装置を単に記載したものと言うことができる。一方、利用するに当たって、人による判断・操作が要求される装置は、例えば自動車を始め、枚挙にいとまがなく、しかも、それらが産業上利用可能な発明となり得ることには何ら疑いがない。本件特許の請求項２に係る発明についても、そのような、人による判断・操作を前提とした装置であると言うことができるから、請求人の前記主張は当たらない。
　
（２）本件特許の請求項２の記載が、特許法第３６条第６項第１号の規定に違反するものであるか否かについて
　
　特許法第３６条第６項第１号の規定に違反するものであるか否かについて検討を進めるに当たり、まず請求項２の記載を検討すると、請求項２には、人を特定要素とするか否かにつき格段の記載はないから、文言上、人を特定要素としないものも含まれると解される。
　そこで、以下においては、請求項２に係る発明のうち、人を特定要素としないものについて検討を進める。
　
　本件特許の請求項２には、
「（ａ）調整可能な平衡基準値を記憶するためのソフトウェア調整可能なメモリであって、前記平衡基準値は、平衡測定値が前記平衡基準値に等しく、かつ、前記電気イオン化装置の付近の作業空間内で測定される実測イオン平衡値がゼロではない場合に、前記実測イオン平衡値がゼロに達するように調整手段によって調整される、ソフトウェア調整可能なメモリ」
とともに、
「前記平衡基準値の調整は、遠隔制御およびワイヤレス制御のうちの１つを用いて実行されることを特徴とする電気イオン化装置。」
との記載がなされている。
　前記請求項２の記載には、「前記平衡基準値の調整」が、具体的にどのようになされるかが明記されていないので、文言上、「前記平衡基準値の調整」が、人手が介在することなく、装置自身により「遠隔制御およびワイヤレス制御のうちの１つを用いて」実行されることも含まれる。
　ここで、本件特許明細書等には、前記請求項２の記載のうち、特に「前記平衡基準値の調整」が遠隔制御及びワイヤレス制御のうちの１つを用いて実行されることに関して、以下の記載がある。
「【００２５】
（２）平衡調整とイオン出力調整とが遠隔制御によって行われてもよい。したがって、較正時および設定時にはユーザが「立ち入り禁止」区域の外側に立っている間に、および、荷電プレート監視装置を読み取るのに十分に近い距離に立っている間に、個々の放射源モジュール２４を調整することができる。」
「【００４５】
図１３および１４は、システムコントローラのマイクロプロセッサ１１０に関連付けられているソフトウェアの簡明なフローチャートである。
図９は、放射源モジュール２４１の平衡制御回路１３８の概略的なブロック線図である。（演算増幅器とＡ／Ｄ変換器とを含む）イオン平衡センサ１４０が、放射源モジュール２４１の放射源に比較的近くで測定される平衡測定値ＢMEASを出力する。マイクロコントローラ４４内に記憶されている平衡基準値１４２であるＢREF1が、比較器１４４においてＢMEASと比較される。これらの値が互いに等しい場合には、正または負の高電圧電源１４６の調整は行われない。これらの値が互いに等しくない場合には、これらの値が等しくなるまで電源１４６に対して適切な調整が行われる。このプロセスは、放射源モジュール２４１の動作中に連続的にかつ自動的に生じる。較正または初期セットアップの際に、放射源モジュール２４１の付近の作業空間内で実際平衡測定値ＢACTUALを得るために、荷電プレート監視装置から平衡測定値が求められる。比較器の出力が、ＢREF1がＢMEASと等しいことを示し、かつ、ＢACTUALがゼロである場合には、放射源モジュール２４１が平衡しており、さらに別の処置は行われない。しかし、比較器の出力が、ＢREF1がＢMEASと等しいことを示しており、かつ、ＢACTUALがゼロでない場合には、放射源モジュール２４１が非平衡である。したがって、遠隔制御送信機３０またはシステムコントローラ２８を使用して、ＢACTUALがゼロに戻されるまでＢREF1が増減調整される。例えば、製造許容差と経時的なシステム劣化とのために、各々の放射源モジュール２４が、異ったＢREF値を有する可能性があるだろう。」
　
　これらの記載のうち、【００２５】段落については、『ユーザが』「立ち入り禁止」区域の外側に立っている間に、及び、『荷電プレート監視装置を読み取るのに十分に近い距離に立っている間』に、個々の放射源モジュール２４を調整する、との記載から、ユーザ（つまり人）が荷電プレート監視装置を読み取りつつ、調整を行うことを含むとは解しうるものの、装置自身により自動的に調整がなされることは読み取れない。
　また、【００４５】段落については、「比較器の出力が、ＢREF1がＢMEASと等しいことを示しており、かつ、ＢACTUALがゼロでない場合には、放射源モジュール２４１が非平衡である」場合に、「放射源モジュール２４１が非平衡である」情報がどのようにして伝達され、「遠隔制御送信機３０またはシステムコントローラ２８」をして「ＢACTUALがゼロに戻されるまでＢREF1が増減調整」させるかについて、具体的な記載がなされていない。すなわち、前述の【００２５】段落の場合と同様に、人が介在して「ＢACTUALがゼロに戻されるまでＢREF1が増減調整」されるとは解しうるものの、装置自身により自動的に調整がなされることは読み取れない。
　また、前記【００２５】段落及び【００４５】段落を含む本件特許明細書等の全記載を見ても、「前記平衡基準値の調整」が、人手が介在することなく、装置自身により「遠隔制御およびワイヤレス制御のうちの１つを用いて」実行されることが、自明な事項であるとも認められない。
　
　したがって、「前記平衡基準値の調整」が、人手が介在することなく、装置自身により「遠隔制御およびワイヤレス制御のうちの１つを用いて」実行されること、すなわち、人を特定要素としないものは、本件特許明細書等には記載されておらず、また、本件特許明細書等の記載から自明な事項であるとも認められないから、この点について、本件特許の請求項２に係る発明は、本件特許明細書等の発明の詳細な説明に記載したものではない。
　
（３）まとめ
　よって、本件特許の請求項２に係る発明は、特許法第２９条第１項柱書の「発明」に該当しないものであるということはできないが、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対して特許されたものである。
　
　
第６　むすび
　したがって、本件特許の特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、特許法第１２３条第１項第２号に該当する。また、本件特許に係る特許出願について、平成１７年６月２８日付け、平成１８年４月１９日付け、及び平成１９年７月１８日付けでそれぞれなされた手続補正は、いずれも特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていないから、本件特許は、特許法第１２３条第１項第１号に該当する。また、本件特許の請求項２に係る発明は、本件特許明細書等の発明の詳細な説明に記載したものではないから、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしておらず、特許法第１２３条第１項第４号に該当する。
　以上のとおりであるから、本件特許の特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に係る発明についての特許は無効とすべきものである。
　
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　
　よって、結論のとおり、審決する。