【事件の表示】
　平成１０年特許願第２５３７４４号「小口径基板の固定装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　３月３１日出願公開、特開２０００−　９１４０７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯及び本願発明
　本件出願は、平成１０年９月８日の出願であって、同１７年１０月２６日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同１７年１１月３０日に本件審判の請求がされ、同１７年１２月２８日付けで明細書について手続補正がなされた。前記手続補正は、明りょうでない記載の釈明及び請求項の削除を目的とするものに該当するから、適法な補正である。
　したがって、本件出願の請求項１乃至５に係る発明は、平成１７年１２月２８日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至５に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
「【請求項１】
　加工される小口径基板（２０）を保持し、前記小口径基板より大きな標準口径基板（３０）を有する小口径基板の固定装置において、
　前記小口径基板対向面に形成された複数の線条溝（３２）と、
　この線条溝と交差する方向に形成された複数の交差線条溝（３４）と、
　前記線条溝と前記交差線条溝の交点に形成される貫通孔（３６）と
を有する前記標準口径基板を備え、
　前記貫通孔より真空引きして、前記小口径基板を前記標準口径基板に吸着することを特徴とする小口径基板の固定装置。」
　
２　引用刊行物
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に頒布された刊行物である、特開平２−１７４２４５号公報（以下「刊行物１」という。）、及び、特開平８−１３９１６８号公報（以下「刊行物２」という。）には、以下の技術的事項が記載されている。
（１）刊行物１　
（１−ア）特許請求の範囲
「１．チャックトップの表面に設けられた吸引溝の全部を覆うとともに測定物の大きさに応じたエリアに吸着用の貫通孔が設けられた吸着板をチャックトップの表面に置き、このチャックトップの吸引溝と吸着板に設けられた貫通孔を介して測定物の真空吸着を行うことを特徴とする測定物の吸着法。」
　
（１−イ）第１頁右下欄第２〜５行
「［産業上の利用分野］
　この発明は、測定物の吸着法とそれに用いられる吸着板に関し、例えば半導体ウェハプローバに利用して有効な技術に関するものである。」
　
（１−ウ）第２頁左上欄第２行〜左下欄第４行
「［発明が解決しようとする課題］
・・・・・そこで、チャックトップの表面に設けられる吸着溝を中心部のみに設けて小さな半導体ウェハから大きな半導体ウェハまでを吸着可能とすることが考えられる。しかし、このようにすると、大きなサイズの半導体ウェハに対しては、その中心部のみで吸引固定することになるため、必要な吸着力が得られず半導体ウェハが動いてしまうという問題が生じる。
　この発明の目的は、簡単な構成で測定物の大きさや形状に無関係に確実な吸着を可能にした測定物の吸着法を提供することにある。
　・・・・（中略）・・・・
［作用］
　上記した手段によれば、最大の測定物が搭載可能な大きさとそれに対応した吸着溝が形成されたチャックトップに対して、測定物の大きさに応じた貫通孔を持つ吸着板を介して測定物を載せることにより測定物の確実な吸着が可能になる。」
　
（１−エ）第２頁右下欄第１２行〜第３頁左上欄第１６行
「このチャックにより、第１図に示すような比較的小さな測定物を吸着する時、上記チャックの表面に直接に測定物を載せたのでは、第２図に点線で示すような測定物に対して外側の２つの円形溝が測定物からはみ出してしまう。これによって、連結溝においてエアー漏れが生じて十分な測定物の真空吸着ができない。
　そこで、吸着板が用いられる。この吸着板は、第２図に波線で示すように、チャックに設けられた全ての円形吸着溝及び連結溝を覆うような大きさとされ、第１図に示すように、測定物に対応したエリアに貫通孔が設けられる。これにより、チャックに設けられた複数の円形吸着溝のうち、測定物の大きさに対応した吸引孔及びそれと結合された円形吸着溝が、吸着板の貫通孔を介して測定物の裏面と結合されて確実な真空吸着を行うものとなる。上記吸着板は上記測定物よりはみ出した円形吸着溝に対応した部分に貫通孔が設けられない。それ故、チャック表面の上記測定物よりはみ出した各円形吸着溝は、吸着板を真空吸着するために作用することとなりエアー漏れを起こさない。言い換えるならば、上記吸着板は、一方において測定物の実質的な吸引溝を形成するとともに、上記測定物からはみ出した各円形吸着溝を密閉するように作用する。」
　
（１−オ）第３頁右上欄第１２行〜左下欄第１１行
「上記吸着板は、第４図に点線で示す四角の測定物に対応した部分に、長円形をした複数の貫通孔が同図のように適宜配列されて設けられる。これらの貫通孔は、同図に点線で示したようなチャックの表面に設けられる円形吸着溝や連結溝を考慮することなく適当に配置される。
　このように多数の貫通孔を設けると、そのうち、同図に点線で示した円形吸着溝や連結溝と重ね合わさったものが、実質的な貫通孔として測定物の真空吸着を行うよう作用する。そして、残りの貫通孔は、両面側でチャックトップの表面と、測定物の裏面とで塞がれてしまうことになるため、エアー漏れの原因にはならない。
　それ故、吸着板に設けられる貫通孔は、測定物の大きさな形状（当審注、「大きさや」の誤記と認められる。）に対応した位置に設けられるものであれば、その形状や位置がチャックの表面に設けられた円形吸着溝や連結溝に対して正しく合わされて形成される必要がない。それ故、上記貫通孔の形状は、渦巻やジグザグといったような１つの溝として構成してもよい。」
　
（１−カ）第３頁左下欄第１２〜２０行
「上記の場合とは、逆にチャックの形状が方形の場合でも、それに対応した方形の吸着板を用い、半導体ウェハのような円形の測定物を吸引固定することができることはいうまでもないであろう、例えば半導体ウェハの測定用のプローバを用いて、小型の液晶表示装置といったような方形の測定物の試験が可能になる。逆に液晶表示装置用のプローバを用いて、比較的大型の半導体ウェハの試験が可能になる。」
　
（１−キ）第３頁左下欄第１〜１１行
「上記の実施例から得られる作用効果は、下記のとおりである。すなわち、
（１）チャックトップの表面に設けられた吸引溝の全部を覆うとともに測定物の大きさに応じたエリアに吸着用の貫通孔が設けられた吸着板を介在させて測定物の真空吸着を行うようにする吸着法を採ることによって、１つのチャックトップを用いて測定物に対応した上記の吸着板を用意するという簡単な構成によりそれより小さな大きさの半導体ウェハ等の測定物を確実に真空吸着することができるという効果が得られる。」
　
（１−ク）図１〜４の記載によれば、吸着板は測定物より大きな口径を有することが看取できる。
　
　上記記載事項を技術常識を勘案しながら本願発明に照らして整理すると、刊行物１には次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「半導体ウェハ等の測定物を保持し、前記測定物より大きな口径の吸着板を有する測定物の吸着装置において、
　前記測定物の対向面に形成された複数の貫通孔を有する前記吸着板を備え、
　前記貫通孔より真空引きして、前記測定物を前記吸着板に吸着する測定物の吸着装置。」
　
（２）刊行物２
（２−ア）段落【０００１】
「【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置のガラス基板などの板状をなす透明被処理物を露光時に保持する露光用保持治具に関する。」
　
（２−イ）段落【０００９】
「本発明の実施例に係る真空チャック１は、図１及び図２に示すように、略円盤状をなし、中央部には真空ポンプ等につながる孔２を穿設している。また、ガラス等の透明被処理物Ｗを載置する表面には前記孔２につながる溝３が形成されている。この溝３は、格子状あるいは同心円状のものに限らず、不規則な形状の凹部であってもよい。」
　
（２−ウ）図２の記載によれば、チャック本体の表面に複数の溝と、この溝と交差する方向に複数の交差溝が形成され、前記溝と前記交差溝の交点に真空ポンプ等へつながる孔２が形成されることが看取できる。
　
　上記記載事項及び図面の記載からみて、刊行物２には次の発明が記載されていると認められる。
「基板を保持する真空チャックにおいて、チャック本体の表面に形成された複数の溝と、この溝と交差する方向に複数の形成された交差溝と、前記溝と前記交差溝の交点に真空ポンプ等へつながる孔２が形成されること。」
　
３　対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
　引用発明における「半導体ウェハ等の測定物」は、「吸着板」との比較において小口径基板ということができる。また、引用発明における「吸着板」は、「測定物」より大きな口径の板状体という限りにおいて本願発明における「標準口径基板」と共通している。
　そして、引用発明における「測定物の吸着装置」は小口径基板の固定装置と表現することもできるものである。
　したがって、両者の一致点と相違点は次のとおりと認められる。
［一致点］
「小口径基板を保持し、前記小口径基板より大きな口径の板状体を有する小口径基板の固定装置において、
　前記小口径基板対向面に形成された貫通孔を有する前記板状体を備え、
　前記貫通孔より真空引きして、前記小口径基板を前記板状体に吸着する小口径基板の固定装置。」である点。
［相違点１］
　本願発明では、小口径基板が「加工される小口径基板」であり、板状体が「前記小口径基板より大きな標準口径基板」であるのに対し、引用発明では、そのように特定されていない点。
［相違点２］
　本願発明では、板状体が「小口径基板対向面に形成された複数の線条溝（３２）と、この線条溝と交差する方向に形成された複数の交差線条溝（３４）と、前記線条溝と前記交差線条溝の交点に形成される貫通孔（３６）とを有する」ものであるのに対し、引用発明では、貫通孔を有しているが、複数の線条溝及び交差線条溝を有するとはされていない点。
　
４　相違点についての検討
（１）相違点１について
　基板を吸着固定して加工を施すこと、及び、標準口径の基板を吸着装置に固定することはいずれも従来周知の事項である。
　そして、刊行物１には、［発明が解決しようとする課題］として、「小さな半導体ウェハから大きな半導体ウェハまでを吸着可能とすることが考えられる。・・・・この発明の目的は、簡単な構成で測定物の大きさや形状に無関係に確実な吸着を可能にした測定物の吸着法を提供することにある。」と記載され、［作用］として「最大の測定物が搭載可能な大きさとそれに対応した吸着溝が形成されたチャックトップに対して、測定物の大きさに応じた貫通孔を持つ吸着板を介して測定物を載せることにより測定物の確実な吸着が可能になる。」と記載されており（摘記事項（１−ウ）参照）、上記記載を勘案すれば、引用発明における吸着対象物を加工される小口径基板とすること、及び、引用発明における吸着板を標準口径の基板とすることは当業者が容易になし得た事項である。
　
（２）相違点２について
　引用発明における吸着板について、刊行物１には、「吸着板に設けられる貫通孔は、測定物の大きさや形状に対応した位置に設けられるものであれば、その形状や位置がチャックの表面に設けられた円形吸着溝や連結溝に対して正しく合わされて形成される必要がない。それ故、上記貫通孔の形状は、渦巻やジグザグといったような１つの溝として構成してもよい。」（上記摘記事項（１−オ）参照）と記載されている。上記記載からみて、吸着板には、長円形の貫通孔に限らず、溝を含む適宜の形状のものを形成できることは明らかである。
　一方、刊行物２には、上記２（２）に示したとおりの事項が記載されており、刊行物２に記載の発明において、「チャック本体の表面」は基板対向面であり、「真空ポンプ等へつながる孔２」は貫通孔ということができる。また、刊行物２に記載の発明における「溝」及び「交差溝」は線条をなしているといえる。そうすると、刊行物２には、「基板を保持する真空チャックにおいて、基板対向面に形成された複数の線条溝と、この線条溝と交差する方向に複数の形成された交差線条溝と、前記線条溝と前記交差線条溝の交点に貫通孔が形成されること」が記載されているとすることができる。
　そして、引用発明及び刊行物２に記載の発明はいずれも基板を吸着固定する技術として共通するものであるから、引用発明における吸着板の基板対向面に刊行物２に記載の発明を採用することにより上記相違点２に係る本願発明の特定事項とすることは業者が容易になし得た事項である。
　
（３）本願発明の作用効果について
　本願発明の奏する作用効果についてみても、引用発明、刊行物２に記載の発明及び従来周知の事項から当業者が十分予測しうる範囲内のものであって、格別顕著なものとはいえない。
　
　したがって、本願発明は、引用発明、刊行物２に記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　なお、請求人は平成１７年１２月２８日付け手続補正書において、概略、「（ハ）引用文献２は、チャックトップの表面に、直線上に交差した吸引溝を設ける構成が示されていますが、引用文献１に示されるチャックトップの表面の吸引溝の形状を円形状から直線状にしたものであり、標準口径基板に線条溝を設け、この線条溝に真空引き用の貫通孔を設けることにより線状溝全体で小口径基板を真空吸着する構成は示されておりません。すなわち、引用文献２を引用文献１に適用したとしても、本願発明を導き出すことはできません。」として、本願発明は上記刊行物１，２に記載された発明から、当業者が容易に発明をすることができたものではないとと主張している。
　しかしながら、上述のとおり、刊行物２には「基板を保持する真空チャックにおいて、基板対向面に形成された複数の線条溝と、この線条溝と交差する方向に複数の形成された交差線条溝と、前記線条溝と前記交差線条溝の交点に貫通孔が形成されること」が記載されているとすることができるから、引用発明における吸着板の基板対向面に刊行物２に記載の発明を採用することにより上記相違点２に係る本願発明の特定事項とすること当業者が容易になし得た事項というべきである。そして、基板対向面に設けた複数の線条溝及び交差線条溝とにより基板を均一な真空吸着圧で吸着できることは自明の事項にすぎないものである。
　よって、請求人の上記主張は採用することができない。
　
５　むすび
　以上のとおり、本件出願の請求項１に係る発明は、引用発明、刊行物２に記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。