【手続補正書】
【提出日】平成23年12月21日(2011.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み方向に電圧信号が印加されたとき厚みすべり振動を発生する圧電基板を用意する工程と、
前記圧電基板の表面に耐蝕防止膜を形成する工程と、
前記耐蝕防止膜をパターニングして、前記圧電基板に梁形成領域を画定する工程と、
前記耐蝕防止膜をマスクとして、前記圧電基板をエッチングして、前記梁形成領域の前記圧電基板を薄くする薄肉化工程と、
前記梁形成領域の前記圧電基板に、厚み方向の前記電圧信号を印加して厚みすべり振動を発生させ、当該厚みすべり振動の周波数を測定する周波数測定工程と、
前記耐蝕防止膜を除去する工程と、
前記梁形成領域の前記圧電基板をパターニングして、前記圧電基板から突出し互いに離間して並列された３本以上の奇数本の片持ち梁を形成する工程と、
を含み、
前記薄肉化工程および前記周波数測定工程は、前記周波数測定工程で測定される前記厚みすべり振動の周波数が所定の値に達するまで、交互に繰り返される、振動片の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、
さらに、各前記片持ち梁の上面に薄膜圧電素子を形成する工程を含む、振動片の製造方法。
【請求項３】
厚み方向に電圧信号が印加されたとき厚みすべり振動を発生する圧電基板を用意する工程と、
前記圧電基板をエッチングして、前記圧電基板を薄くする薄肉化工程と、
前記圧電基板に厚み方向の前記電圧信号を印加して厚みすべり振動を発生させ、当該厚みすべり振動の周波数を測定する周波数測定工程と、
前記圧電基板をパターニングして、前記圧電基板から突出し互いに離間して並列された３本以上の奇数本の片持ち梁を形成する工程と、
を有し、
前記薄肉化工程および前記周波数測定工程は、前記周波数測定工程で測定される前記厚みすべり振動の周波数が所定の値に達するまで、交互に繰り返される、振動片の製造方法。
【請求項４】
請求項３において、
さらに、各前記片持ち梁の上面および下面の少なくとも一方に薄膜圧電素子を形成する工程を含む、振動片の製造方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項において、
前記金属膜は、Ｃｒ層およびＡｕ層を積層して形成される、振動片の製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項において、
前記薄肉化工程は、ウエットエッチングおよびドライエッチングの少なくとも一方により行われ、
複数の前記薄肉化工程のうち、少なくとも最後の前記薄肉化工程は、ドライエッチングにより行われる、振動片の製造方法。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項において、
前記薄肉化工程は、前記圧電基板の片面側からエッチングすることにより行われる、振動片の製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項において、
前記圧電基板は、水晶基板である、振動片の製造方法。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれか一項において、
前記圧電基板は、ＡＴカットの水晶基板である、振動片の製造方法。
【請求項１０】
互いに直交するＸ方向およびＹ方向によって張られるＸＹ平面に展開され、前記ＸＹ平面に直交するＺ方向に厚みを有する基体と、
前記基体の前記Ｘ方向に平行な辺から前記Ｙ方向に突出し、前記Ｘ方向に互いに離間して並列して設けられた３本以上の奇数本の片持ち梁と、
前記片持ち梁のそれぞれに設けられ、励振信号が印加されたときに前記Ｙ方向に伸縮成分を有して伸縮する薄膜圧電素子と、
を有し、
前記基体および前記片持ち梁は、前記Ｚ方向に電圧信号が印加されたときに厚みすべり振動を生じるカット角の水晶で形成され、
前記薄膜圧電素子は、前記片持ち梁の前記Ｚ方向に垂直な表面の一方の上に設けられ、
前記薄膜圧電素子に励振信号が印加されたとき、前記片持ち梁は、前記ＸＹ平面の面外方向に、かつ、隣り合う前記片持ち梁と互いに逆方向に振動する、振動片。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記基体の前記Ｚ方向の厚みは、前記片持ち梁の前記Ｚ方向の厚みよりも大きい、振動片。
【請求項１２】
請求項１０または請求項１１において、
前記基体および前記片持ち梁は、カット角がＡＴカットである、振動片。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】振動片およびその製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、振動片およびその製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明にかかる振動片の製造方法は、厚み方向に電圧信号が印加されたとき厚みすべり振動を発生する圧電基板を用意する工程と、前記圧電基板の表面に耐蝕防止膜を形成する工程と、前記耐蝕防止膜をパターニングして、前記圧電基板に梁形成領域を画定する工程と、前記耐蝕防止膜をマスクとして、前記圧電基板をエッチングして、前記梁形成領域の前記圧電基板を薄くする薄肉化工程と、前記梁形成領域の前記圧電基板に、厚み方向の前記電圧信号を印加して厚みすべり振動を発生させ、当該厚みすべり振動の周波数を測定する周波数測定工程と、前記耐蝕防止膜を除去する工程と、前記梁形成領域の前記圧電基板をパターニングして、前記圧電基板から突出し互いに離間して並列された３本以上の奇数本の片持ち梁を形成する工程と、を含み、前記薄肉化工程および前記周波数測定工程は、前記周波数測定工程で測定される前記厚みすべり振動の周波数が所定の値に達するまで、交互に繰り返される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
このようにすれば、非常に小型でかつ精度の高い振動片を容易に製造することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の振動片の製造方法において、さらに、各前記片持ち梁の上面に薄膜圧電素子を形成する工程を含むことができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明にかかる振動片の製造方法は、厚み方向に電圧信号が印加されたとき厚みすべり振動を発生する圧電基板を用意する工程と、前記圧電基板をエッチングして、前記圧電基板を薄くする薄肉化工程と、前記圧電基板に厚み方向の前記電圧信号を印加して厚みすべり振動を発生させ、当該厚みすべり振動の周波数を測定する周波数測定工程と、前記圧電基板をパターニングして、前記圧電基板から突出し互いに離間して並列された３本以上の奇数本の片持ち梁を形成する工程と、を有し、前記薄肉化工程および前記周波数測定工程は、前記周波数測定工程で測定される前記厚みすべり振動の周波数が所定の値に達するまで、交互に繰り返される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
このようにすれば、小型でかつ精度の高い振動片を容易に製造することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の振動片の製造方法において、さらに、各前記片持ち梁の上面および下面の少なくとも一方に薄膜圧電素子を形成する工程を含むことができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の振動片の製造方法において、前記耐蝕防止膜は、Ｃｒ層およびＡｕ層を積層した金属膜、およびその上面に形成されたレジストから形成されることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の振動片の製造方法において、前記薄肉化工程は、ウエットエッチングおよびドライエッチングの少なくとも一方により行われることができ、複数の前記薄肉化工程のうち、少なくとも最後の前記薄肉化工程は、ドライエッチングにより行われることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の振動片の製造方法において、前記薄肉化工程は、前記圧電基板の片面側からエッチングすることにより行われることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の振動片の製造方法において、前記圧電基板は、水晶基板であることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の振動片の製造方法において、前記圧電基板は、ＡＴカットの水晶基板であることができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明にかかる振動片は、互いに直交するＸ方向およびＹ方向によって張られるＸＹ平面に展開され、前記ＸＹ平面に直交するＺ方向に厚みを有する基体と、  前記基体の前記Ｘ方向に平行な辺から前記Ｙ方向に突出し、前記Ｘ方向に互いに離間して並列して設けられた３本以上の奇数本の片持ち梁と、前記片持ち梁のそれぞれに設けられ、励振信号が印加されたときに前記Ｙ方向に伸縮成分を有して伸縮する薄膜圧電素子と、を有し、前記基体および前記片持ち梁は、前記Ｚ方向に電圧信号が印加されたときに厚みすべり振動を生じるカット角の水晶で形成され、前記薄膜圧電素子は、前記片持ち梁の前記Ｚ方向に垂直な表面の一方の上に設けられ、前記薄膜圧電素子に励振信号が印加されたとき、前記片持ち梁は、前記ＸＹ平面の面外方向に、かつ、隣り合う前記片持ち梁と互いに逆方向に振動する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
このような振動片は、小型化が容易である。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の振動片において、前記基体の前記Ｚ方向の厚みは、前記片持ち梁の前記Ｚ方向の厚みよりも大きいことができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の振動片において、前記基体および前記片持ち梁は、カット角がＡＴカットであることができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の振動片の製造方法によれば、厚みすべり振動を利用して梁を形成するため、小型でかつ精度の高い振動片を製造することができる。本発明の振動片は、厚みすべりを生じるカット角の水晶で形成された梁を有するため、小型化が容易でかつ精度が高い。