(57)【要約】  エア室（１３５）へのエアの供給・排出により、ピストン（１０６）を移動させ、そのピストン（１０６）の移動を利用して、複数の爪（６７）が接近・離間する部品把持具（６６）において、エア室（１３５）からのエアの漏れ量が、調整弁によって調整される。このため、例えば、エア室（１３５）からのエアの漏れ量を０、若しくは、少なくすることで、ピストン（１０６）の移動する力は大きくなり、複数の爪（６７）による把持力も大きくなる。一方、エア室（１３５）からのエアの漏れ量を多くすることで、ピストン（１０６）の移動する力は小さくなり、複数の爪（６７）による把持力も小さくなる。このように、本発明に記載の部品把持具（６６）によれば、エア室（１３５）からのエアの漏れ量を調整することで、複数の爪（６７）による把持力を任意の大きさに変更することが可能となる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の爪の接近・離間により部品を把持・離脱する部品把持具において、  当該部品把持具が、  エア室へのエアの供給・排出により移動するピストンと、  ピストンの移動方向の力を、前記複数の爪が接近・離間する方向の力に変換する変換機構と、  前記エア室からのエアの漏れ量を調整する調整弁と  を備えることを特徴とする部品把持具。
【請求項２】
前記調整弁が、  前記エア室から当該部品把持具の外殻部材の表面に貫通する第１貫通穴と、  前記第１貫通穴を塞ぐとともに、前記外殻部材に移動可能に配設された閉塞部材と、  前記閉塞部材に形成された第２貫通穴と  を有し、  前記閉塞部材が移動された際の前記第１貫通穴と前記第２貫通穴との重なり量に応じて、前記エア室からのエアの漏れ量を調整することを特徴とする請求項１に記載の部品把持具。
【請求項３】
前記閉塞部材が、  前記外殻部材に回転可能に配設された調整つまみであって、  前記調整弁が、  前記調整つまみが手動で回転操作された際の前記第１貫通穴と前記第２貫通穴との重なり量に応じて、前記エア室からのエアの漏れ量を調整することを特徴とする請求項２に記載の部品把持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、複数の爪の接近・離間により部品を把持・離脱する部品把持具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  部品把持具には、複数の爪の接近・離間により部品を把持・離脱するものがある。このような部品把持具では、部品を確実に把持するべく、部品把持具による部品の把持力は、高いことが望まれる。一方で、強度の低い部品が、部品把持具により把持される場合には、部品の破損，変形等を防止するべく、部品把持具による部品の把持力は、低いことが望まれる。このようなことに鑑みて、把持力を任意に変更することが可能な部品把持具の開発が進められている。具体的には、例えば、下記特許文献に記載されているように、電磁モータの駆動力により、複数の爪を接近・離間させることで、部品を把持・離脱する部品把持具では、電磁モータへの印加電流を調整することで、部品把持具の把持力が調整される。【０００３】
【特許文献１】特開昭６０−２４２９２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  上記特許文献に記載の部品把持具によれば、把持力を任意に変更することが可能となる。しかしながら、部品把持具には、エア圧を利用して、複数の爪を接近・離間させることで、部品を把持・離脱する部品把持具が存在する。具体的には、部品把持具が、エア室へのエアの供給・排出により移動するピストンを有しており、ピストンの移動方向の力が、複数の爪を接近・離間させる方向の力に変換されることで、部品が複数の爪により把持・離脱される。このように、エア圧を利用して、複数の爪を接近・離間させる構造の部品把持具では、上記特許文献に記載の技術を用いることができず、把持力を任意に変更することができない。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、エア圧を利用して、複数の爪を接近・離間させる構造の部品把持具において、把持力を任意に変更することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  上記課題を解決するために、本発明に記載の部品把持具は、複数の爪の接近・離間により部品を把持・離脱する部品把持具であって、当該部品把持具が、エア室へのエアの供給・排出により移動するピストンと、ピストンの移動方向の力を、前記複数の爪が接近・離間する方向の力に変換する変換機構と、前記エア室からのエアの漏れ量を調整する調整弁とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】  本発明に記載の部品把持具では、エア室へのエアの供給・排出により、ピストンを移動させ、そのピストンの移動を利用して、複数の爪が接近・離間する。そして、エア室からのエアの漏れ量が、調整弁によって調整される。このため、例えば、エア室からのエアの漏れ量を０、若しくは、少なくすることで、ピストンの移動する力は大きくなり、複数の爪による把持力も大きくなる。一方、エア室からのエアの漏れ量を多くすることで、ピストンの移動する力は小さくなり、複数の爪による把持力も小さくなる。このように、本発明に記載の部品把持具によれば、エア室からのエアの漏れ量を調整することで、複数の爪による把持力を任意の大きさに変更することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】部品実装機を示す斜視図である
【図２】部品実装機の部品装着装置を示す斜視図である。
【図３】１対の爪が離間した状態の部品把持具を示す断面図である。
【図４】１対の爪が接近した状態の部品把持具を示す断面図である。
【図５】部品把持具を示す外観図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】  以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。【０００９】  ＜部品実装機の構成＞  図１に、部品実装機１０を示す。部品実装機１０は、回路基材１２に対する部品の実装作業を実行するための装置である。部品実装機１０は、装置本体２０、基材搬送保持装置２２、部品装着装置２４、撮像装置２６，２８、部品供給装置３０、ばら部品供給装置３２を備えている。なお、回路基材１２として、回路基板、三次元構造の基材等が挙げられ、回路基板として、プリント配線板、プリント回路板等が挙げられる。【００１０】  装置本体２０は、フレーム部４０と、そのフレーム部４０に上架されたビーム部４２とによって構成されている。基材搬送保持装置２２は、フレーム部４０の前後方向の中央に配設されており、搬送装置５０とクランプ装置５２とを有している。搬送装置５０は、回路基材１２を搬送する装置であり、クランプ装置５２は、回路基材１２を保持する装置である。これにより、基材搬送保持装置２２は、回路基材１２を搬送するとともに、所定の位置において、回路基材１２を固定的に保持する。なお、以下の説明において、回路基材１２の搬送方向をＸ方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ方向と称し、鉛直方向をＺ方向と称する。つまり、部品実装機１０の幅方向は、Ｘ方向であり、前後方向は、Ｙ方向である。【００１１】  部品装着装置２４は、ビーム部４２に配設されており、２台の作業ヘッド６０，６２と作業ヘッド移動装置６４とを有している。各作業ヘッド６０，６２の下端面には、図２に示すように、部品把持具６６が着脱可能に設けられている。部品把持具６６は、１対の爪６７を有しており、それら１対の爪６７を接近させることで、部品を把持し、１対の爪６７を離間させることで、把持した部品を離脱する。また、作業ヘッド移動装置６４は、Ｘ方向移動装置６８とＹ方向移動装置７０とＺ方向移動装置７２とを有している。そして、Ｘ方向移動装置６８とＹ方向移動装置７０とによって、２台の作業ヘッド６０，６２は、一体的にフレーム部４０上の任意の位置に移動させられる。また、各作業ヘッド６０，６２は、スライダ７４，７６に着脱可能に装着されており、Ｚ方向移動装置７２は、スライダ７４，７６を個別に上下方向に移動させる。つまり、作業ヘッド６０，６２は、Ｚ方向移動装置７２によって、個別に上下方向に移動させられる。【００１２】  撮像装置２６は、下方を向いた状態でスライダ７４に取り付けられており、作業ヘッド６０とともに、Ｘ方向，Ｙ方向およびＺ方向に移動させられる。これにより、撮像装置２６は、フレーム部４０上の任意の位置を撮像する。撮像装置２８は、図１に示すように、フレーム部４０上の基材搬送保持装置２２と部品供給装置３０との間に、上を向いた状態で配設されている。これにより、撮像装置２８は、作業ヘッド６０，６２の部品把持具６６に把持された部品を撮像する。【００１３】  部品供給装置３０は、フレーム部４０の前後方向での一方側の端部に配設されている。部品供給装置３０は、トレイ型部品供給装置７８とフィーダ型部品供給装置（図示省略）とを有している。トレイ型部品供給装置７８は、トレイ上に載置された状態の���品を供給する装置である。フィーダ型部品供給装置は、テープフィーダ、スティックフィーダ（図示省略）によって部品を供給する装置である。【００１４】  ばら部品供給装置３２は、フレーム部４０の前後方向での他方側の端部に配設されている。ばら部品供給装置３２は、ばらばらに散在された状態の複数の部品を整列させて、整列させた状態で部品を供給する装置である。つまり、任意の姿勢の複数の部品を、所定の姿勢に整列させて、所定の姿勢の部品を供給する装置である。なお、部品供給装置３０および、ばら部品供給装置３２によって供給される部品として、電子回路部品，太陽電池の構成部品，パワーモジュールの構成部品等が挙げられる。また、電子回路部品には、リードを有する部品，リードを有さない部品等が有る。【００１５】  ＜部品実装機の作動＞  部品実装機１０では、上述した構成によって、基材搬送保持装置２２に保持された回路基材１２に対して部品の装着作業が行われる。具体的には、回路基材１２が、作業位置まで搬送され、その位置において、クランプ装置５２によって固定的に保持される。次に、撮像装置２６が、回路基材１２の上方に移動し、回路基材１２を撮像する。これにより、回路基材１２の保持位置の誤差に関する情報が得られる。また、部品供給装置３０若しくは、ばら部品供給装置３２は、所定の供給位置において、部品を供給する。そして、作業ヘッド６０，６２の何れかが、部品の供給位置の上方に移動し、部品把持具６６によって部品を保持する。続いて、部品を保持した作業ヘッド６０，６２が、撮像装置２８の上方に移動し、撮像装置２８によって、部品把持具６６に保持された部品が撮像される。これにより、部品の保持位置の誤差に関する情報が得られる。続いて、部品を保持した作業ヘッド６０，６２が、回路基材１２の上方に移動し、保持している部品を、回路基材１２の保持位置の誤差，部品の保持位置の誤差等を補正する。そして、部品把持具６６が部品を離脱することで、回路基材１２に部品が装着される。【００１６】  ＜部品把持具の構造＞  上述したように、部品実装機１０では、部品把持具６６が、１対の爪６７の接近により部品を把持し、１対の爪６７の離間により部品を離脱することで、装着作業が行われている。このため、部品を確実に把持するべく、部品把持具６６による部品の把持力は、高いことが望まれる。一方で、強度の低い部品が、部品把持具６６により把持される場合には、部品の破損，変形等を防止するべく、部品把持具６６による部品の把持力は、低いことが望まれる。このようなことに鑑みて、部品実装機１０では、把持力を任意に変更することが可能な部品把持具６６が採用されている。以下に、部品把持具６６の具体的な構造に関して説明する。【００１７】  部品把持具６６は、図３に示すように、アウターハウジング１００と、アタッチメント１０２と、インナーハウジング１０４と、ピストン１０６と、リンク機構１０８と、押え部材１１０と、１対の爪６７とを含む。【００１８】  アウターハウジング１００は、概して、有蓋円筒状をなし、アウターハウジング１００の蓋部１１２の中央部に、アウターハウジング１００の内部に向かって延び出すエア流通管１１４が配設されている。エア流��管１１４の内部には、それの軸方向に貫通する貫通穴１１６が形成されている。また、アタッチメント１０２は、概して円板状をなし、それの中央には、エア流通管１１４の貫通穴１１６と同径の貫通穴１１８が形成されている。そして、２つの貫通穴１１６，１１８が連通するように、アタッチメント１０２が、アウターハウジング１００の蓋部１１２に固定されている。なお、部品把持具６６は、アタッチメント１０２において作業ヘッド６０，６２の下端面に装着される。【００１９】  インナーハウジング１０４は、概して、有蓋円筒状をなし、インナーハウジング１０４の蓋部１２０の中央部に、上方に突出する凸部１２２が形成されている。凸部１２２の中央部には、上下方向に貫通する貫通穴１２４が形成されており、その貫通穴１２４の径は、アウターハウジング１００のエア流通管１１４の外径より僅かに大きくされている。また、インナーハウジング１０４の外径は、アウターハウジング１００の内径より僅かに小さくされている。そして、インナーハウジング１０４の蓋部１２０が、アウターハウジング１００の蓋部１１２と向かい合うように、アウターハウジング１００内に挿入されている。さらに、インナーハウジング１０４の凸部１２２の貫通穴１２４に、アウターハウジング１００のエア流通管１１４が挿入されている。これにより、インナーハウジング１０４の蓋部１２０が、アウターハウジング１００の内部において、上下方向に移動する。【００２０】  また、アウターハウジング１００の蓋部１１２とインナーハウジング１０４の蓋部１２０との間には、コイルスプリング１２６が圧縮された状態で配設されている。これにより、インナーハウジング１０４は、コイルスプリング１２６の弾性力により下方に向かって付勢されている。なお、インナーハウジング１０４の外周面には、径方向に突出する大径部１２８が形成されており、アウターハウジング１００の下端面には、円環状のストッパ１３０が取り付けられている。そのストッパ１３０の内径は、インナーハウジング１０４の大径部１２８の外径より僅かに小さくされており、その大径部１２８は、ストッパ１３０の上方に位置している。このため、コイルスプリング１２６により付勢されたインナーハウジング１０４の下方への移動は、大径部１２８がストッパ１３０に接触することにより、規制される。【００２１】  また、ピストン１０６は、概して、有底円筒状をなし、ピストン１０６の底部１３２の中央部に、凹部１３４が形成されている。ピストン１０６の外径は、インナーハウジング１０４の内径より僅かに小さくされており、ピストン１０６は、底部１３２を下方に向けた状態で、インナーハウジング１０４内に嵌入されている。これにより、ピストン１０６とインナーハウジング１０４とによって、エア室１３５が区画され、ピストン１０６は、インナーハウジング１０４の内部において、上下方向に移動する。また、インナーハウジング１０４の凸部１２２とピストン１０６の凹部１３４との間に、コイルスプリング１３６が圧縮された状態で配設されている。これにより、ピストン１０６は、コイルスプリング１３６の弾性力により下方に向かって付勢されている。【００２２】  また、リンク機構１０８は、ベース１３８と、１対のスライダ１４０と、１対のブラケット１４２と、１対のアーム１４４と、ストッパ１４６とを含む。ベース１３８は、概して板状をなし、インナーハウジング１０４の下端部に固定されている。そのベース１３８の下端面には、インナーハウジング１０４の径方向に延びるようにレール１４８が形成されており、そのレール１４８に、１対のスライダ１４０がスライド可能に嵌合されている。なお、１対のスライダ１４０は、レール１４８の中央部を中心に対称的に配設されている。【００２３】  また、１対のブラケット１４２は、ピストン１０６の凹部１３４の下端面に、僅かに離間した状態で並んで固定されている。なお、１対のブラケット１４２の並ぶ方向は、レール１４８の延びる方向と一致している。それら１対のブラケット１４２には、１対のアーム１４４の一端部が回動可能に連結されており、１対のアーム１４４の他端部は、互いに離れる方向に回動している。そして、それら１対のアーム１４４の他端部に、１対のスライダ１４０が回動可能に連結されている。これにより、ピストン１０６が上下方向に移動することで、１対のアーム１４４が回動し、１対のスライダ１４０が接近・離間する。【００２４】  詳しくは、図４に示すように、ピストン１０６が上昇すると、１対のブラケット１４２に連結されている１対のアーム１４４の一端部も上昇する。その際、１対のアーム１４４の他端部が互いに接近し、１対のアーム１４４の他端部に連結されている１対のスライダ１４０も接近する。一方、ピストン１０６が下降すると、図３に示すように、１対のブラケット１４２に連結されている１対のアーム１４４の一端部も下降する。その際、１対のアーム１４４の他端部が互いに離間し、１対のアーム１４４の他端部に連結されている１対のスライダ１４０も離間する。【００２５】  ちなみに、ピストン１０６は、上述したように、コイルスプリング１３６の弾性力によって下方に付勢されている。このため、通常、１対のブラケット１４２に連結されている１対のアーム１４４の一端部が下降し、他端部が離間することで、１対のスライダ１４０は離間している。なお、下降した状態の１対のアーム１４４の一端部の間には、ストッパ１４６が配設されている。このため、１対のアーム１４４の一端部が、最も接近する状態まで下降した際に、それら１対のアーム１４４の一端部は、ストッパ１４６に接触し、アーム１４４の回動が規制される。つまり、コイルスプリング１３６により付勢されたピストン１０６の下方への移動は、１対のアーム１４４の一端部がストッパ１４６に接触することにより、規制される。【００２６】  また、１対の爪６７は、１対のスライダ１４０の下端面に、下方に延び出すように固定されている。そして、それら１対の爪６７の間に位置するように、押え部材１１０がベース１３８の下端面に、固定されている。【００２７】  上記構造とされた部品把持具６６では、エア室１３５からエアが吸引されることで、１対の爪６７により、部品が把持され、エア室１３５にエアが供給されることで、１対の爪６７に把持された部品が離脱する。詳しくは、エア室１３５にエアが供給されていない場合には、図３に示すように、ピストン１０６は、コイ��スプリング１３６の弾性力により、下方に移動している。この際、上述したリンク機構１０８の動きにより、１対のスライダ１４０は離間しているため、１対の爪６７も離間している。【００２８】  そして、１対の爪６７が離間した状態の部品把持具６６が、把持対象の部品に向かって押し付けられることで、把持対象の部品に、押え部材１１０が接触する。なお、押え部材１１０が把持対象の部品に接触した際に、コイルスプリング１２６の弾性力に抗して、インナーハウジング１０４がアウターハウジング１００の内部に移動するため、部品への押え部材１１０の接触の衝撃が緩和される。【００２９】  押え部材１１０が把持対象の部品に接触すると、エア室１３５からエアが吸引される。詳しくは、アウターハウジング１００のエア流通管１１４には、アタッチメント１０２の貫通穴１１６を介して、正負圧供給装置（図示省略）が接続されている。そして、正負圧供給装置により、エア流通管１１４に負圧が供給されることで、エア室１３５からエアが吸引され、図４に示すように、ピストン１０６が上方に移動する。この際、上述したリンク機構１０８の動きにより、１対のスライダ１４０が接近し、１対の爪６７も接近する。これにより、１対の爪６７が、把持対象の部品を把持する。【００３０】  そして、部品把持具６６により把持された部品が、回路基材１２上に装着される際には、正負圧供給装置により、エア流通管１１４に僅かに正圧が供給される。これにより、エア室１３５にエアが供給され、図３に示すように、ピストン１０６が下方に移動する。この際、上述したリンク機構１０８の動きにより、１対のスライダ１４０が離間し、１対の爪６７も離間する。これにより、１対の爪６７により把持された部品が、離脱され、回路基材１２上に部品が装着される。【００３１】  上述した部品把持具６６の作動により、部品の把持・離脱が行われるが、部品把持具６６には、図５に示すように、調整つまみ１６０が設けられており、作業者により調整つまみ１６０が調整されることで、１対の爪６７による把持力が調整される。詳しくは、アウターハウジング１００とインナーハウジング１０４とピストン１０６の各々の側壁には、互いに重なるように貫通穴（図５には、アウターハウジング１００の側壁に形成された貫通穴１６２のみが図示されている）が形成されており、それら３つの貫通穴を介して、エア室１３５と部品把持具６６の外部とが連通している。【００３２】  また、アウターハウジング１００の外周面には、貫通穴１６２を覆うように、円盤状の調整つまみ１６０が配設されており、その調整つまみ１６０は、それの中央部を中心に回転可能とされている。調整つまみ１６０には、貫通穴１６２と略同形状の貫通穴１６４が形成されており、調整つまみ１６０が回転された際に、調整つまみ１６０の貫通穴１６４と、アウターハウジング１００の貫通穴１６２とが重なる。なお、調整つまみ１６０の裏面には、板状のパッキン（図示省略）が貼着されており、アウターハウジング１００の貫通穴１６２が、調整つまみ１６０の貫通穴１６４と重なっていない場合には、板状のパッキンにより塞がれる。【００３３】  このような構造により、作業者が、調整つまみ１６０を回転させる��とで、１対の爪６７による把持力が調整される。具体的には、把持対象の部品が、強度の高い部品である場合には、調整つまみ１６０の貫通穴１６４と、アウターハウジング１００の貫通穴１６２とが重ならないように、調整つまみ１６０が作業者により調整される。この際、アウターハウジング１００の貫通穴１６２は、調整つまみ１６０のパッキンにより密閉されるため、エア室１３５からエアは漏れない。このため、エア室１３５内の圧力は、エアの吸引により、比較的低くなり、ピストン１０６は、比較的大きな力で上方に向かって引っ張られる。これにより、１対の爪６７による把持力は高くなり、把持対象の部品が確実に把持される。【００３４】  また、把持対象の部品が、強度の低い部品である場合には、調整つまみ１６０の貫通穴１６４と、アウターハウジング１００の貫通穴１６２との少なくとも一部が重なるように、調整つまみ１６０が作業者により調整される。この際、調整つまみ１６０の貫通穴１６４と、アウターハウジング１００の貫通穴１６２とが重なっている面積に応じて、エア室１３５からエアが漏れる。このため、エア室１３５からエアが吸引された際のエア室１３５内の圧力は、ある程度しか低くならず、ピストン１０６は、比較的小さな力で上方に向かって引っ張られる。これにより、１対の爪６７による把持力は低くなり、部品の破損，変形等を防止しつつ、把持対象の部品が把持される。【００３５】  つまり、部品把持具６６では、作業者が調整つまみ１６０を調整し、エア室１３５からのエアの漏れ量を調整することで、部品把持具６６の把持力を調整することが可能となっている。これにより、部品に応じて、容易に部品把持具６６の把持力を調整することが可能となり、非常に便利である。【００３６】  また、部品把持具６６では、エア室１３５に貫通する貫通穴１６２を形成し、その貫通穴１６２を塞ぐ調整つまみ１６０を配設するだけで、エア室１３５からのエアの漏れ量を調整することが可能となっている。つまり、既存の部品把持具に、非常にシンプルな構造を追加するだけで、部品把持具６６の把持力を調整することが可能となる。【００３７】  さらに、部品把持具６６では、調整つまみ１６０に三角印１６６が記され、アウターハウジング１００には、その三角印１６６に対応する位置に目盛り１６８が記されている。目盛り１６８には、０％，２５％，５０％，１００％の数値（図示省略）が記されており、三角印１６６が目盛り１６８に一致するように、調整つまみ１６０が回転されると、三角印１６６に一致する目盛り１６８の数値に応じて、調整つまみ１６０の貫通穴１６４と、アウターハウジング１００の貫通穴１６２とが重なる。つまり、三角印１６６が０％の目盛り１６８に一致するように、調整つまみ１６０が回転されると、調整つまみ１６０の貫通穴１６４と、アウターハウジング１００の貫通穴１６２との重なり量が０％、つまり、２つの貫通穴１６２，１６４は、全く重ならない。また、三角印１６６が１００％の目盛り１６８に一致するように、調整つまみ１６０が回転されると、調整つまみ１６０の貫通穴１６４と、アウターハウジング１００の貫通穴１６２との重なり量が１００％、つまり、２つの貫通穴１６２，１６４は完全に重なる。これにより、作業者は、エア室１３５からの漏れ量を適切に調整することで、部品把持具６６の把持力を適切に調整することが可能となる。【００３８】  なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、貫通穴１６２の開度を調整つまみ１６０により調整することで、エア室１３５からのエアの漏れ量を調整しているが、種々の部材を用いて、エア室１３５からのエアの漏れ量を調整することが可能である。具体的には、例えば、流量を調整可能な圧力弁，逆止弁，リニア弁等を用いて、エア室１３５からのエアの漏れ量を調整してもよい。【００３９】  また、上記実施例では、貫通穴１６２を塞ぐ部材として、回転調整される調整つまみ１６０が採用されているが、貫通穴１６２を塞いだ状態で移動可能であれば、種々の形態の部材を採用することが可能である。具体的には、例えば、貫通穴１６２を塞いだ状態でスライド可能な部材等を採用することが可能である。【００４０】  また、上記実施例では、エア室１３５からのエアの漏れ量が、手動で調整されているが、自動で調整することも可能である。具体的には、例えば、調整つまみ１６０をステッピングモータ等により任意の角度に回転させる機構を設けることが可能である。【００４１】  また、上記実施例では、ピストン１０６の移動方向の力を、１対の爪６７の接近・離間する方向の力に変換する機構として、リンク機構１０８が採用されているが、歯車等を利用した機構，油圧等を利用した機構等、種々の機構を採用することが可能である。
【符号の説明】
【００４２】  ６６：部品把持具    ６７：爪    １００：アウターハウジング（外殻部材）    １０６：ピストン    １０８：リンク機構（変換機構）    １３５：エア室    １６０：調整つまみ（閉塞部材）（調整弁）    １６２：貫通穴（第１貫通穴）（調整弁）    １６４：貫通穴（第２貫通穴）（調整弁）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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