【事件の表示】
　特願２００１−　６０１７０「基板保持装置及び該基板保持装置を備えたポリッシング装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　４月１６日出願公開、特開２００２−１１３６５３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　この出願は、平成１３年３月５日（優先権主張平成１２年７月３１日）の特許出願であって、平成２０年１月２４日付で拒絶の理由が通知され、同年３月２８日に意見書及び手続補正書が提出されたが、同年７月２９日付で拒絶をすべき旨の査定がされ、これに対し、同年９月３日に本件審判の請求がされ、同年１０月２日に手続補正がされて明瞭でない記載の釈明を目的として特許請求の範囲を含む明細書が補正されたものである。
　本願の請求項１ないし８に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１ないし８に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりである。
「ポリッシング対象物である基板を保持して研磨テーブル上の研磨面に押圧する基板保持装置において、
　前記基板を保持するトップリング本体と、前記トップリング本体に固定されるか又は一体に設けられ基板の外周縁を保持するリテーナリングと、トップリング本体内に設けられるとともに前記基板を吸着する弾性膜と、前記トップリング本体内に設けられるとともに前記弾性膜を支持する支持部材と、前記トップリング本体と前記支持部材との間に張設されるとともに該支持部材を上下方向に移動可能となるように支持するゴム材からなる加圧シートと、前記弾性膜で覆われ流体が供給される流体室と、前記トップリング本体及び前記リテーナリングに対する前記支持部材の上下方向への移動を所定範囲に規制する規制部材を備え、前記流体室内に加圧流体を供給することにより前記基板を前記弾性膜を介して前記研磨面に押圧し、前記トップリング本体に押圧力を加えることにより前記リテーナリングを前記研磨面に押圧するようにしたことを特徴とする基板保持装置。」
　
２．引用例記載事項
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物であって、本願の優先日前に頒布された特開平１１−２２６８６５号公報（以下「引用例」という。）には、以下のとおり記載されている。
(１)　２１欄１４−１９行
「（第１の実施形態）図１は、この発明の第１の実施形態に係るＣＭＰ装置を一部破断して示す正面図である。図１に示すように、このＣＭＰ装置では、研磨パッド１１１が表面に張り付けられた定盤１１０と、キャリア１と、回転駆動手段としての回転駆動機構８と、流体供給手段としてのエアポンプ９とを具備している。」
(２)　２１欄３０−４０行
「【００２８】回転駆動機構８は、キャリア１を押圧しながら回転させるための機構であり、シリンダ８０とモータ８４とを備えている。図２は回転駆動機構８を示す断面図である。図２に示すように、シリンダ８０は、シリンダ本体８１を貫通するピストンロッド８２と、ピストンロッド８２の外側に固着された状態でシリンダ本体８１内に気密に嵌められたピストン８３とで構成されている。これにより、シリンダ本体８１内の空気圧を調整することで、ピストンロッド８２をピストン８３と一体に上下動させ、キャリア１への押圧力を調整することができる。」
(３)　２２欄４−８行
「図３及び図４に示すように、キャリア１はハウジング１０とキャリアベース１１とリテーナリング１２とシートサポータ１３と硬質シート１８及び軟質バッキングシート１９とを具備している。」
(４)　２３欄４１行−２４欄１０行
「【００３５】次に、この実施形態のＣＭＰ装置が示す動作について説明する。ウエハＷをキャリア１で保持して定盤１１０の研磨パッド１１１上に運ぶには、図５に示すように、ウエハＷを軟質バッキングシート１９の下面に当接させた状態でエアポンプ９を吸引駆動させる。すると、図３に示すキャリア１の圧力室Ｒ及び吸着用孔１７内の空気がエアホース９０に吸い出され、圧力室Ｒ内が負圧なり、ウエハＷが吸着用孔１７を介して軟質バッキングシート１９に吸着される。この状態で、シリンダ８０を駆動してウエハＷが研磨パッド１１１に接触するまでピストンロッド８２を下降させた後、図６に示すように、ウエハＷを所定の押圧力Ｆで研磨パッド１１１上に押さえる。
【００３６】しかる後、エアポンプ９を供給駆動させ、空気をエアホース９０から圧力室Ｒ内に送り、圧力室Ｒ内を正圧状態にする。すると、図７に示すように、硬質シート１８及び軟質バッキングシート１９と研磨パッド１１１とがウエハＷの凹凸等に追従して変形し、均一な空気圧ＰがウエハＷの上面の略全体に加わると共に、研磨パッド１１１がウエハＷ下面の凹凸等に追従する。」
(５)　２６欄３０−４３行
「【００４２】（第２の実施形態）図１１は、この発明の第２の実施形態に係るＣＭＰ装置の要部を示す断面図である。この実施形態は、ダイアフラム１５に対する空気圧の影響を除き且つウエハＷの初期突出量を略零にして使用する点が上記第１の実施形態と異なる。具体的には、図１１に示すように、エッジリング１６の外周面に、エッジリング１６の上下動を許すＯ−リング１３ａ（シール部材）を装着して、リテーナリング１２とエッジリング１６との間を気密にすることにより、ダイアフラム１５の上側に空間部Ｓ１を画成した。そして、ダイアフラム１５に小孔１５ａを穿設して、空間部Ｓ１と圧力室Ｒとを連通した。これにより、圧力室Ｒ内の圧力と空間部Ｓ１内の圧力とが等しくなり、ダイアフラム１５の上下面の空気圧が等しくなる。」
(６)　２７欄８−３２行
「しかし、上記第１の実施形態では、図１２に示すように、圧力室Ｒ内の空気圧Ｐがダイアフラム１５を上方に押すように加わるため、ダイアフラム１５が薄いと、ダイアフラム１５が上方に容易に変形し、硬質シート１８及び軟質バッキングシート１９の外周縁部がエッジリング１６により上方に引っ張られた状態となる。この結果、ウエハＷの外周縁部に空気圧Ｐが作用しなくなり、外周縁部の研磨が不可能となる。これに対して、この実施形態では、ダイアフラム１５に小孔１５ａを穿設したので、ダイアフラム１５上下面の圧力が等しくなり、ダイアフラム１５が圧力室Ｒ内の空気圧Ｐの影響を受けない。この結果、外周縁部も含めてウエハＷ全面に均一な空気圧Ｐが加わることとなり、ウエハＷの全面の均一な研磨が可能となる。そして、図１３に示すように、リテーナリング１２が摩耗すると、エッジリング１６がウエハＷからの力を受け、ダイアフラム１５がリテーナリング１２の摩耗量に応じて凹状に変形する。すなわち、ダイアフラム１５がリテーナリング１２の摩耗で生じるエッジリング１６への押圧力の増分を逃がすように機能することとなる。
【００４４】このように、この実施形態のＣＭＰ装置によれば、ダイアフラム１５の厚さを小さくして、リテーナリング１２の摩耗量のマージンを大きくすることができると共に、圧力室Ｒ内の空気圧ＰのみによるウエハＷ全面の押圧が可能となる。」
(７)　２７欄４３−４９行
「なお、この実施形態では、シール部材として、Ｏ−リング１３ａを適用して気密な空間部Ｓ１を画成したが、図１４に示すように、可撓性有するリング状のダイアフラム１３ｂをキャリアベース１１とリテーナリング１２とで狭持し、エッジリング１６の上面をダイアフラム１３ｂの下面に固定して、気密な空間部Ｓ１を画成するようにしても良い。」
(８)　図１４
　第２の実施形態の変形例を示す断面図。
　
　以上のとおりであるので、引用例には、次の事項が記載されていると認める。
「ウエハ（Ｗ）を保持して定盤（１１０）上の研磨面に押圧するキャリア（１）において、
　前記ウエハ（Ｗ）を保持するハウジング（１０）及びハウジング（１０）に固定されたキャリアベース（１１）と、前記キャリアベース（１１）に固定されウエハ（Ｗ）の外周縁を保持するリテーナリング（１２）と、キャリアベース（１１）の下方に設けられるとともに前記ウエハ（Ｗ）を吸着する硬質シート（１８）及び軟質バッキングシート（１９）と、前記キャリアベース（１１）の下方に設けられるとともに前記硬質シート（１８）及び軟質バッキングシート（１９）を支持するエッジリング（１６）と、前記キャリアベース（１１）と前記エッジリング（１６）との間に設けられるとともに該エッジリング（１６）を上下方向に移動可能となるように支持するダイアフラム（１３ｂ）と、前記硬質シート（１８）及び軟質バッキングシート（１９）で覆われ空気が供給される空間部（Ｓ１）及び圧力室（Ｒ）と、ハウジング（１０）、キャリアベース（１１）及びリテーナリング（１２）に対する前記エッジリング（１６）の上方向への移動を所定範囲に規制する規制部材を備え、前記空間部（Ｓ１）及び圧力室（Ｒ）内に加圧空気を供給することにより前記ウエハ（Ｗ）を前記硬質シート（１８）及び軟質バッキングシート（１９）を介して前記研磨面に押圧し、前記ハウジング（１０）及びキャリアベース（１１）に押圧力を加えることにより前記リテーナリング（１２）を前記研磨面に押圧するようにしたキャリア。」（以下「引用例記載の発明」という。）
　
３．対比
　本願発明と引用例記載の発明とを対比すると、引用例記載の発明の「ウエハ」は、本願発明の「ポリッシング対象物である基板」に相当しており、以下同様に、「定盤」は「研磨テーブル」に、「キャリア」は「基板保持装置」に、「ハウジング及びキャリアベース」は「トップリング本体」に、「硬質シート及び軟質バッキングシート」は「弾性膜」に、「エッジリング」は「支持部材」に、「空気」は「流体」に、「空間部及び圧力室」は「流体室」にそれぞれ相当していることが明らかである。
　また、引用例記載の発明の「前記キャリアベースと前記エッジリングとの間に設けられるとともに該エッジリングを上下方向に移動可能となるように支持するダイアフラム」と、本願発明の「前記トップリング本体と前記支持部材との間に張設されるとともに該支持部材を上下方向に移動可能となるように支持するゴム材からなる加圧シート」とは、「前記トップリング本体と前記支持部材との間に設けられるとともに該支持部材を上下方向に移動可能となるように支持する加圧部材」であることに限り一致し、引用例記載の発明の「キャリアベースの下方に設けられる」と、本願発明の「トップリング本体内に設けられる」とは、「トップリング本体に設けられる」ことに限り一致している。
　以上のとおりであるので、両者は、次の「基板保持装置」で一致している。
＜一致点＞
「ポリッシング対象物である基板を保持して研磨テーブル上の研磨面に押圧する基板保持装置において、
　前記基板を保持するトップリング本体と、前記トップリング本体に固定され基板の外周縁を保持するリテーナリングと、トップリング本体に設けられるとともに前記基板を吸着する弾性膜と、前記トップリング本体に設けられるとともに前記弾性膜を支持する支持部材と、前記トップリング本体と前記支持部材との間に設けられるとともに該支持部材を上下方向に移動可能となるように支持する加圧部材と、前記弾性膜で覆われ流体が供給される流体室と、前記トップリング本体及び前記リテーナリングに対する前記支持部材の上方向への移動を所定範囲に規制する規制部材を備え、前記流体室内に加圧流体を供給することにより前記基板を前記弾性膜を介して前記研磨面に押圧し、前記トップリング本体に押圧力を加えることにより前記リテーナリングを前記研磨面に押圧するようにした基板保持装置。」である点。
　そして、両者は、次の点で相違している。
＜相違点１＞
　本願発明では、弾性膜及び支持部材がトップリング本体内に設けられているのに対し、引用例記載の発明では、トップリング本体の下方に設けられている点。
＜相違点２＞
　加圧部材が、本願発明では、トップリング本体と支持部材との間に張設されたゴム材からなる加圧シートであるのに対し、引用例記載の発明では、トップリング本体と支持部材との間に設けられたダイアフラムである点。
＜相違点３＞
　本願発明では、トップリング本体及びリテーナリングに対する支持部材の上下方向への移動を所定範囲に規制する規制部材を備えているのに対し、引用例記載の発明では、そのような規制部材を備えていない点。
　
４．相違点についての検討
　上記各相違点について以下検討する。
　
4.1　＜相違点１＞について 
　トップリング本体をどのような形状にするか、弾性膜及び支持部材をトップリング本体のどのような位置に設けるかは、それぞれ必要に応じて適宜決定する設計的事項であって、弾性膜及び支持部材をトップリング本体内に設けることに格別の困難性はない。
　
4.2　＜相違点２＞について
　ダイアフラムをゴム材で形成することは、例えば原査定で周知例として示した特開平１０−１９３２５３号公報（４欄２８、２９行、７欄４１−４３行参照）、特開２０００−５２２３９号公報（５欄３３−３５行参照）等に記載されているように、従来周知であるので、引用例記載の発明のダイアフラムをトップリング本体と支持部材との間に張設されたゴム材からなる加圧シートとすることに格別の困難性はない。
　
4.3　＜相違点３＞について
　引用例記載の発明において、図１４より、エッジリング１６は、ダイアフラム１３ｂが変形することにより上下方向へ移動することができるが、エッジリング１６の上面に固定したダイアフラム１３ｂの上面がキャリアベース１１の下面に接する位置より高く移動することができず、上方向への移動が規制されるものであることは、当業者が容易に理解し得るので、引用例記載の発明にも、エッジリング１６の上方向への移動を所定範囲に規制する規制部材が実質的に設けられているということができる。
　一方、本願発明の「支持部材」はトップリング本体及びリテーナリングに対して上下方向へ移動するものであるが、このような移動する部材に対して規制部材を設けてその移動を規制することは、例えば原査定において周知例として挙げた特開平１０−１９３２５３号公報に、ダイアフラム（２９）を取付けた固定リング（３５Ｂ）の下方向への移動を固定リング（３５Ｂ）のフランジ部が保持部材（４２）に保持されることにより規制することが記載されている（図２及び４欄４８行−５欄４行参照）ように、従来周知の技術である。
　したがって、引用例記載の発明のエッジリングに上記従来周知の事項を採用して、エッジリングの下方向への移動も規制することは、当業者であれば容易に想到し得るものである。してみると、引用例記載の発明において、トップリング本体及びリテーナリングに対するエッジリングの上下方向への移動を所定範囲に規制する規制部材を設けることに格別の困難性はない。
　
4.4　まとめ
　本願発明の奏する作用効果は、引用例記載の発明及び上記従来周知の各事項より当業者が予測できる程度のものであって、格別のものではない。
　したがって、本願発明は引用例記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、引用例記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許をすることができない。
　したがって、この出願の請求項２ないし８に係る発明について判断するまでもなく、この出願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。