【事件の表示】
　特願２００１−　３０２９２「温度制御された熱シールドを有するリソグラフィ投影装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　９月　７日出願公開、特開２００１−２４４１９６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１３年(２００１年)２月７日(パリ条約による優先権主張　平成１２年２月１０日、欧州特許庁)の出願（特願２００１−３０２９２号）であって、平成１９年１月２９日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年４月２５日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同年５月２２日付けで手続補正がなされたものである。
　その後、当審において平成２１年１０月２１日付けで拒絶理由の通知をし、これに対して平成２２年１月２１日付けで意見書が提出され、同日付けで手続補正がなされた。
　
第２　特許法第３６条第６項第１号及び２号並びに第１７条の２第３項の規定の違反について
１　当審の拒絶理由
　当審から平成２１年１０月２１日付けで通知した、特許法第３６条第６項第１号及び２号並びに第１７条の２第３項の規定の違反に関する拒絶理由として次のものが記載されている。
　
「（３）本願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で不備のため、特許法第３６条第６項第１，２号に規定する要件を満たしていない。
（４）平成１８年９月４日付け、同年１０月１７日付け及び平成１９年５月２２日付けでした手続補正は、下記の点で、願書に最初に添付した特許請求の範囲、明細書及び図面に記載した事項の範囲内においてしたものでないから、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。
 　 
 　　　　　　　　　　　　　　　　　記 
 　 
・・・・・。
第２　理由（３）について
１　請求項１の「熱シールドであって、前記マスク・テーブルと前記基板テーブルの少なくとも一方を前記モータから遮蔽するように配置された熱シールド」の記載について、
　本願の明細書の発明の詳細な説明には、実施例の記載においては、「リニアモータ」と「測定ビーム３０が進行するガス中」との間に「熱シールド３００」を配置したもの（実施形態１）、「リニアモータ」と「基板ホルダＷＨ」との間に「熱シールド５４０，５４１」を配置したもの（実施形態２）、及び、「レーザ・ユニット６００」と「測定学フレームＭＦ」との間に「熱シールド７００，８００」を配置したもの（実施形態３）が記載されているのみで、「マスク・テーブルと基板テーブルの少なくとも一方を前記モータから遮蔽するように配置された熱シールド」は実施例のどこにも記載されていない。
　したがって、請求項１に係る発明、及び、請求項１を引用する請求項２−７に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものではない。また、それ故に、発明を明確に把握できないから、請求項１、及び、請求項１を引用する請求項２−７に係る発明は明確でない。
・・・・・。
第３　理由（４）について
　平成１８年９月４日付け、同年１０月１７日付け及び平成１９年５月２２日付けで手続補正された請求項１の「熱シールドであって、前記マスク・テーブルと前記基板テーブルの少なくとも一方を前記モータから遮蔽するように配置された熱シールド」について、願書に最初に添付された特許請求の範囲、明細書及び図面のどこにも記載されていない。（「第２　理由（３）について」の１の項の記載参照）
　したがって、請求項１の「熱シールドであって、前記マスク・テーブルと前記基板テーブルの少なくとも一方を前記モータから遮蔽するように配置された熱シールド」は、願書に最初に添付された特許請求の範囲、明細書及び図面に記載した事項の範囲内であるということはできない。」
　
２　審判請求人の応答
　上記の当審からの特許法第３６条第６項第１号及び２号並びに第１７条の２第３項の規定の違反に関する拒絶理由に対し、平成２２年１月２１日付けで審判請求人から手続補正書が提出されて、特許請求の範囲の請求項１について下記（１）のように補正されるとともに、意見書において下記（２）のような主張がなされた。
　
（１）手続補正について
　平成２２年１月２２日付けの手続補正による補正（以下、「本件補正」という。）により、特許請求の範囲の請求項１は次のように補正された。
「【請求項１】　マスクのマスク・パターンを基板上に結像するためのリソグラフィ投影装置であって、
　放射の投影ビームを供給するように構成され、配置された照明システムと、
　マスクを保持するように構成されたマスク・ホルダを備えるマスク・テーブルと、
　基板を保持するように構成された基板ホルダを備える基板テーブルと、
　投影ビームによって照射されるマスクの一部分を基板のターゲット部分上に結像するように構成され、配置された投影システムと、
　固定子及び可動子を備えるリニアモータであって、前記マスク・テーブルと前記基板テーブルの少なくとも一方を前記投影装置のフレームに対して移動させるように構成され、配置されたリニアモータと、
　前記固定子及び前記可動子の両方を実質的に遮蔽する熱シールドであって、前記基板ホルダを前記リニアモータから遮蔽するように配置された熱シールドと、
　前記熱シールドの温度を所望温度に制御するように構成され、配置された熱シールド温度制御手段とを備えたリソグラフィ投影装置。」
　
（２）意見書における審判請求人の主張
　上記意見書において上記拒絶理由に対して、次の主張がなされた。
「４　理由（３），（４）について
　本願明細書の段落００３１〜００３４及び図４〜図５には、リニアモータと基板ホルダＷＨとの間に熱シールド５４０，５４１を配置する構成が開示されている。請求項１に記載の「前記基板ホルダを前記リニアモータから遮蔽するように配置された熱シールド」は、出願当初の明細書又は図面に開示されているから、理由（３）１，理由（４）は解消したものと思料する。」
　
３　当審の判断
　上記「２（２）」で示すように、請求人は、「本願明細書の段落００３１〜００３４及び図４〜図５には、リニアモータと基板ホルダＷＨとの間に熱シールド５４０，５４１を配置する構成が開示されている。」と主張する。
　しかし、請求項１に記載された「前記基板ホルダを前記リニアモータから遮蔽するように配置された熱シールド」における「前記リニアモータ」は、「前記マスク・テーブルと前記基板テーブルの少なくとも一方を前記投影装置のフレームに対して移動させるように構成され」た「リニアモータ」である。そして、平成１８年１０月１７日付の手続補正により補正された明細書（以下、「現行明細書」という。）の発明の詳細な説明の【００２８】〜【００３１】段落（願書に最初に添付された明細書（以下、「当初明細書」という。）の【００３１】〜【００３４】段落）、及び、【図４】〜【図５】には、上記の「前記マスク・テーブルと前記基板テーブルの少なくとも一方を前記投影装置のフレームに対して移動させるように構成され」た「リニアモータ」は、記載されていないから、「リニアモータと基板ホルダＷＨとの間に熱シールド５４０，５４１を配置する構成が開示されている。」ということはできない。したがって、上記の請求人の主張は採用できない。
　これに対して、請求項１の上記の「前記マスク・テーブルと前記基板テーブルの少なくとも一方を前記投影装置のフレームに対して移動させるように構成され」た「リニアモータ」は、現行明細書の【００１６】段落、及び、【００１８】〜【００２７】段落（当初明細書の【００１９】段落、及び、【００２１】〜【００３０】段落）並びに【図２】及び【図３】に記載されているといえる。この場合、請求項１の「前記固定子及び前記可動子の両方を実質的に遮蔽する熱シールドであって、前記基板ホルダを前記リニアモータから遮蔽するように配置された熱シールド」に対応する「熱シールド」としては、「熱シールド３００，４００」が想定され得る。ところが、発明の詳細な説明の「Ｘ方向スライダ２２０の温度変動は、測定ビーム３０が進行するガス中の温度変動および乱流をもたらし、基板ホルダＷＨおよび基板Ｗの位置決め精度を制限する可能性がある。温度変動および乱流をさらに制御するために、熱シールド３００が、熱的に接触しないようにＸ方向スライダ２２０の上方に小さな距離だけ離して配置される。」（現行明細書の【００２３】段落（当初明細書の【００２６】段落））及び「図２は、熱シールド４００がＹ方向ビーム１１０の上方にも提供されていることを示す。Ｙ方向リニア・モータ１００およびそれらの熱シールド４００は、Ｘ方向リニア・モータに関して記述したのと同様に構成される。」（現行明細書の【００２６】段落（当初明細書の【００２９】段落））等の記載から、「熱シールド３００，４００」は本来の目的として「前記基板ホルダを前記リニアモータから遮蔽するように配置され」るように設けられたものではなく、また、【図２】及び【図３】を参酌しても、熱シールドはリニアモータ１００，２００の上方部分のみを覆うものであるから、基板ホルダをリニアモータから遮蔽するものとはいえない。なお、発明の詳細な説明には現行明細書の【００２７】段落（当初明細書の【００３０】段落）に「必要であれば、熱シールド３００、４００が、より多くの側面でビーム１１０、２１０を囲むこともできる。」と記載されているが、ビーム１１０、２１０がリニアモータの固定子のみを指すことは現行明細書の【００１８】〜【００１９】段落（当初明細書の【００２１】〜【００２２】段落）から明らかであり、リニアモータの基板テーブル側の側面は、基板テーブルをスライダ１２０、２２０に対して支持する部材が移動する場所であるから、「前記固定子及び前記可動子の両方（特に可動子）」を覆うことができない。
　よって、現行明細書の発明の詳細な説明の【００１８】〜【００２７】段落（当初明細書の発明の詳細な説明の【００２１】〜【００３０】段落）並びに【図２】及び【図３】の記載を参酌しても、請求項１の「固定子及び可動子を備えるリニアモータであって、前記マスク・テーブルと前記基板テーブルの少なくとも一方を前記投影装置のフレームに対して移動させるように構成され、配置されたリニアモータと、前記固定子及び前記可動子の両方を実質的に遮蔽する熱シールドであって、前記基板ホルダを前記リニアモータから遮蔽するように配置された熱シールド」は、明細書の発明の詳細な説明に記載されたものではない。また、それ故に、発明を明確に把握できないから、請求項１に係る発明は明確でない。
　すなわち、当審から平成２１年１０月２１日付けで通知した、特許法第３６条第６項第１号及び２号の規定の違反に関する拒絶理由（理由（３））は解消されていない。したがって、本件出願は特許を受けることができない。
　同様に、請求項１の「固定子及び可動子を備えるリニアモータであって、前記マスク・テーブルと前記基板テーブルの少なくとも一方を前記投影装置のフレームに対して移動させるように構成され、配置されたリニアモータと、前記固定子及び前記可動子の両方を実質的に遮蔽する熱シールドであって、前記基板ホルダを前記リニアモータから遮蔽するように配置された熱シールド」は、願書に最初に添付された特許請求の範囲、明細書及び図面に記載した事項の範囲内であるということはできないから、当審から平成２１年１０月２１日付けで通知した、特許法第１７条の２第３号の規定の違反に関する拒絶理由（理由（４））は解消されておらず、平成２２年１月２２日付けの手続補正によりなされた補正は、願書に最初に添付した特許請求の範囲、明細書及び図面に記載した事項の範囲内においてしたものでないから、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。したがって、本件出願は特許を受けることができない。
　
第３　特許法第２９条第１項第３号又は第２９条第２項の違反について
１　上記「第２　特許法第３６条第６項第１号及び２号並びに第１７条の２第３項の規定の違反について」において述べたように、本件出願は、特許法第３６条第６項第１号及び２号の規定に違反するから、特許を受けることができないものであり、また、特許法第１７条の２第３号の規定に違反するから特許を受けることができない。
　しかしながら、請求項１の「前記固定子及び前記可動子の両方を実質的に遮蔽する熱シールド」における「実質的に遮蔽する」の意味するところが必ずしも明確であるとはいえないところ、「実質的に遮蔽する」が、（基板ホルダをリニアモータから）少しでも遮蔽する部分があれば、「実質的に遮蔽する」ことを意味すると解釈することができるとすれば、上記「第２　特許法第３６条第６項第１号及び２号並びに第１７条の２第３項の規定の違反について」で述べた拒絶理由は解消し得ることになる。
　そこで、念のため、請求項１の「前記固定子及び前記可動子の両方を実質的に遮蔽する熱シールド」における「実質的に遮蔽する」が、（基板ホルダをリニアモータから）少しでも遮蔽する部分があるという意味であると解釈して、特許法第２９条第１項第３号又は第２９条第２項の違反について検討する。
　
２　本願の請求項１に係る発明について
　本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２２年１月２１日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものである。 （上記「第２　特許法第３６条第６項第１号及び２号並びに第１７条の２第３項の規定の違反について」の「２　審判請求人の応答」の「（１）手続補正について」の記載参照。）
 　 
 ３　引用例 
 （１）当審で通知した拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平１１−１７６７３０号公報（以下「引用例１」という。）には、次の事項が記載されている。 （下記の「（２）引用例１に記載された発明」において直接引用された記載に下線を付した。）
 「【００２１】 
 【発明の実施の形態】以下、本発明による露光装置の一実施例について図面を参照して説明する。図１は、本発明による装置の第１の実施例について、主な構成をブロック図で示したものである。本装置は、露光装置の本体が収容された環境チャンバ１と、環境チャンバ１内の温度を検出する温度センサ４と、温度センサ４の検出結果に基づいて環境チャンバ１内の空気の温度制御する空調装置２と、露光装置内のウエハテーブル２１を駆動するテーブルモータ部１２を冷却する温調パネル１１と、温調パネル１１に熱媒体である温調用の流体を流す温調装置６と、温調用の流体の温度を空調装置２から送られる空気の温度と同じ温度にする熱交換器７とにより構成されている。 
 【００２２】露光装置は、ウエハを載置するウエハテーブル２１と、ウエハテーブル２１の位置を測定するレーザ干渉計である干渉計ＬＭと、ウエハテーブル２１を駆動するテーブルモータ部１２と、干渉計ＬＭの測定結果に基づきテーブルモータ部１２を制御するテーブル制御部１３と、テーブルモータ部１２を冷却する温調パネル１１とを含む構成となっている。 
 【００２３】空調装置２は、温調装置６からの温調用の流体と熱交換を行う熱交換器７を経て環境チャンバ１に空気を送る。送風された空気の温度は、温度センサ４により検出された信号が空調制御部２ａに送られ制御される。熱交換器７は、一例として車のラジエータのような熱交換の作用を有する。簡単に説明すると温調装置６から送られてきた温調用の流体は、ラジエータ状の熱交換器７のフィン部が取り付けられた配管を通る。また空調装置２から送られてきた空気は、熱交換器のフィン部とフィン部の間を通るよう構成される。 
 【００２４】これにより熱交換器７を経た流体の温度は、空気の温度と熱平衡状態のフィン部とそれに接続された配管を流れることにより、空気の温度と同じ温度になる。温調パネル１１は、温調用の流体が温調装置６から熱交換器７を経て送られ、温調用の流体によってテーブルモータ部１２を冷却する。また、温調装置６から送られてきた温調用の流体の温度と空調装置２から送られてきた空気の温度とが異なる場合には、環境チャンバ１に送風される空気の温度も温調用の流体の温度と同様に変化するが、この送風される空気の温度の変化は温度センサ４で検出され、環境チャンバ１内の空気の設定温度となるように空調制御部２ａで温度制御される。 
 【００２５】したがって、温調装置６から熱交換器７を経て温調パネル１１に送られる温調用の流体の温度は、常に温度センサ４で検出された空気の温度と同じになるように制御される。つまり、温調パネル１１は、環境チャンバ１の空気の設定温度となるように制御されることとなる。なお、温調パネル１１に送られてテーブルモータ部１２を冷却する温調用の流体としては、例えば住友スリーエム（株）から市販されているフロリナート（商品名）や徳山曹達（株）から市販されているペルフロード（商品名）が一般的に知られている。 
 【００２６】図２は、本発明を適用した半導体露光装置の構成について詳細に示したものである。図２では、
半導体露光装置は、感光材が塗布されたウエハが載置されるウエハテーブル２１と、ウエハに原板であるマスクのパターンを投影する投影レンズ４３と、マスクを載置するマスクテーブル４２と、マスクのパターンを照明する照明部４１とで主に構成され、環境チャンバ１内に収容されている。 
 【００２７】
ウエハテーブル２１は、感光剤が塗布されたウエハを吸着保持するウエハホルダ２８があり、ウエハの露光動作を行うにあたり、ウエハ面と平行な水平面内を移動することによりウエハにマスクのパターンを露光するようにテーブル制御部１３により制御されるウエハテーブル２１は、その水平面内の直交座標系をＸ軸、及びＹ軸とに沿って駆動され、それぞれの軸には、駆動用モータとしてのＸリニアモータとＹリニアモータとが設けられ、これらのリニアモータによりＸおよびＹ方向に駆動される。
 【００２８】
投影レンズ４３は、マスクテーブル４２に載置されたマスクのマスクパターンを、マスクホルダ（当審注：ウエハホルダの誤り）２８に吸着保持されたウエハの感光剤が塗布された感光面に転写する。
 【００２９】照明部４１は、マスクパターンを照明する照明系で、水銀ランプやエキシマレーザ（例えばＫｒＦ、ＡｒＦ、Ｆ２などが上げられる。）からの照明光を発生する光源部（不図示）と、マスクのパターン面での照明光の照度を均一にするためのフライアイレンズ（不図示）と、マスクのパターン面での照明領域を規定する可動ブラインド（不図示）とにより構成される。 
 【００３０】ここで、
ウエハテーブル２１の駆動を行なうリニアモータの構成および動作を詳しく説明すると、ウエハテーブル２１は、Ｙリニアモータ可動子２２上に設置され、Ｙリニアモータ可動子２２とＹリニアモータ固定子２３との動作によりY方向に移動する。Ｙリニアモータ固定子２３は、Ｘリニアモータ可動子２４上に設置され、Ｘリニアモータ可動子２４とＸリニアモータ固定子２５との動作によりＸ方向に移動する。
 【００３１】本実施例では、一例としてＹリニアモータ固定子２３及びＸリニアモータ固定子２５がモータコイル側であり、 Ｙリニアモータ可動子２２及びＸリニアモータ可動子２４はマグネット側として示している。ウエハテーブル２１を駆動する際には、テーブル制御部１３からテーブルモータ部１２（図１参照）に制御電流が流れる。つまり、ウエハテーブル２１は、テーブルモータ部１２（図１参照）の一部であるＸリニアモータ固定子２５及びＹリニアモータ固定子２３側のモータコイルに電流が流され、各軸の固定子と可動子との磁力の関係で駆動制御される。 
 【００３２】したがって、ウエハテーブル２１は、ウエハをウエハホルダ２８上に載置する際やウエハにマスクのパターンを転写する際に、移動動作を行なったり位置決め動作を行なうことになる。これらの動作に伴ない、ウエハテーブル２１を駆動するためにＸリニアモータ固定子２５及びＹリニアモータ固定子２３に電流が流され、これによりＸリニアモータ固定子２５及びＹリニアモータ固定子２３で発熱することになる。 
 【００３３】Ｘリニアモータ固定子２５及びＹリニアモータ固定子２３とチャンバ１内の空気とが直接接する部分では、空気が暖められ部分的に温度分布が不均一となり、空気の揺らぎが発生することとなる。この空気の揺らぎとレーザ干渉計の光軸とが交差するようになった場合、レーザ干渉計での値に不安定な要因が誤差として含まれるようになる。 
 【００３４】したがって、
温調パネル１１は、各リニアモータ固定子での発熱が環境チャンバ１内の空気に対して影響を与えないように、Ｘリニアモータ固定子２５及びＹリニアモータ固定子２３の表面と環境チャンバ１の空気とが接する各リニアモータ固定子の表面を覆うように取り付けられる。温調パネル１１には、図１でも説明したように環境チャンバ１内に送風される温調装置２で温度制御された空気の温度と同じ温度になるように熱交換器７でその空気と温調用の流体との間で熱交換を行ない、その空気の温度と同じ温度に制御された温調用の流体が供給される。
 【００３５】Ｘリニアモータ固定子２５及びＹリニアモータ固定子２３の温度は、各リニアモータ固定子と温調パネル１１との接触面で熱交換を行なうことにより、環境チャンバ１内に送風される空気の温度と同じ温度に調整される。テーブル制御部１３は、ウエハテーブル２１の位置をＸ軸干渉計及びＹ軸干渉計により測定し、これらのレーザ干渉計の測定値に基づいてＸ及びＹリニアモータを駆動制御して、ウエハテーブル２１の位置制御を行う。
 【００３６】Ｘ軸干渉計は、ウエハテーブル２１上面に設置され、Ｘ軸方向にほぼ垂直な反射面を有するＸ移動鏡２６、投影レンズ鏡筒４３に設置されているＸ固定鏡３２と、Ｘ軸干渉計ユニット３０とにより構成されている。同様にＹ軸干渉計は、ウエハテーブル２１上面に設置され、Ｙ軸方向にほぼ垂直な反射面を有するＹ移動鏡２７、投影レンズ鏡筒４３に設置されているＹ固定鏡（不図示）と、Ｙ軸干渉計ユニット３１とにより構成されている。」 
 　 
「【００５１】図６は、本発明の第３の実施例の露光装置のウエハテーブル２１近傍を示したものである。又、第１、２の実施例の説明と重複する部分については、説明を省略する。図６では、第１、２の実施例と異なる部分について簡単に述べると、
ウエハテーブル２１の周りに温調パネル１１であるテーブル温調パネル１１ａが設けられる。このテーブル温調パネル１１ａには、温調装置からウエハテーブル近傍の空気の温度と同様な温度の温調用の流体が流される
【００５２】つまり、ウエハテーブル２１についても温調パネル１１ａを装着してウエハテーブル２１と環境チャンバ１内の空気との温度差を発生しにくくする。特に干渉計の移動鏡であるＸ移動鏡２６及びＹ移動鏡２７近傍における
ウエハテーブル２１と環境チャンバ１内の空気との温度差を少なくする為にテーブル温調パネル１１ａを設けて温度制御する
【００５３】
ウエハテーブル２１への熱の供給となるのは、先に延べたテーブルモータ部１２（図１参照）の一部であるＸリニアモータ固定子２５及びＹリニアモータ固定子２３によりテーブルの温度が加熱されたり、
【００５４】このように
ウエハテーブル２１における温度の上昇の結果、環境チャンバ１内の空気の温度と若干温度差が発生し、それによりウエハテーブル２１近傍で空気の揺らぎが発生することとなる。この対策として、ウエハテーブル２１と環境チャンバ内の空気とが直接接しないようにテーブル温調パネル１１ａで遮断することにより、接触面での空気揺らぎは起こりにくくなる。つまり、ウエハテーブル２１やウエハホルダーの表面に断熱材を張り巡らすことに近い作用を得ることができる。
【００５５】又、テーブル温調パネル１１ａは、加熱されたウエハテーブル２１の温度を環境チャンバの空気の温度に近づけるように温度制御するように、ウエハテーブル２１に取り付けられており、ウエハテーブル２１とテーブル温調パネル１１ａとの間で熱交換が行われることにより熱が蓄積されることなく、ウエハテーブル２１を環境チャンバ１内の空気の温度と同じ温度に制御されることとなる。
【００５６】特にレーザ干渉計の測定誤差の発生を少なくすることについてのみ注目すると、レーザ干渉計の移動鏡２６、２７の下側の側面のみに、同様なテーブル温調パネル１１ａを設置することで上記と同様の効果が得られる。本実施例では、このテーブル温調パネル１１ａを干渉計の移動鏡の下のウエハテーブル２１の側面に取り付けたものであるが、ウエハテーブル２１側に可動子としてモータコイルが取り付けられた場合には、ウエハテーブル２１の移動に伴いウエハテーブル２１が加熱されるが、干渉計の移動鏡２６、２７近傍の温度上昇に対して対しては、テーブル温調パネル１１ａの作用により温度上昇を抑えることができる。
【００５７】テーブル温調パネル１１ａに温調用の流体を通す際には、レーザ干渉計の移動鏡側から送るようにしてウエハテーブル２１の移動鏡２６、２７の設置されていない側から排出するようにすることにより、移動鏡近傍では、常に空気の温度と温調パネルの温度が同一になるため、レーザ干渉計近傍での空気揺らぎを効果的に抑えることが可能となる。
【００５８】これによりウエハテーブル２１と環境チャンバ１の空気とがレーザ干渉計の移動鏡２６、２７のすぐ下の位置で接触しないため、レーザ干渉計のレーザ光束近傍の空気揺らぎを抑えることができ、レーザ干渉計を用いた測定による誤差の要因を抑えることが可能となる。」
　
 （２）引用例１に記載された発明 
 　上記記載事項から引用例１には、 
 「感光材が塗布されたウエハが載置されるウエハテーブル２１と、ウエハに原板であるマスクのパターンを投影する投影レンズ４３と、マスクを載置するマスクテーブル４２と、マスクのパターンを照明する照明部４１とで主に構成され、環境チャンバ１内に収容されている半導体露光装置であって、
 　ウエハテーブル２１は、感光剤が塗布されたウエハを吸着保持するウエハホルダ２８があり、ウエハの露光動作を行うにあたり、ウエハ面と平行な水平面内を移動することによりウエハにマスクのパターンを露光するようにテーブル制御部１３により制御されるウエハテーブル２１は、その水平面内の直交座標系をＸ軸、及びＹ軸とに沿って駆動され、それぞれの軸には、駆動用モータとしてのＸリニアモータとＹリニアモータとが設けられ、これらのリニアモータによりＸおよびＹ方向に駆動され、
　ウエハテーブル２１は、Ｙリニアモータ可動子２２上に設置され、Ｙリニアモータ可動子２２とＹリニアモータ固定子２３との動作によりY方向に移動し、Ｙリニアモータ固定子２３は、Ｘリニアモータ可動子２４上に設置され、Ｘリニアモータ可動子２４とＸリニアモータ固定子２５との動作によりＸ方向に移動し、
 　投影レンズ４３は、マスクテーブル４２に載置されたマスクのマスクパターンを、ウエハホルダ２８に吸着保持されたウエハの感光剤が塗布された感光面に転写し、 
 　各リニアモータ固定子での発熱が環境チャンバ１内の空気に対して影響を与えないように、Ｘリニアモータ固定子２５及びＹリニアモータ固定子２３の表面と環境チャンバ１の空気とが接する各リニアモータ固定子の表面を覆うように温調パネル１１が取り付けられ、 
 　温調パネル１１には、環境チャンバ１内に送風される温調装置２で温度制御された空気の温度と同じ温度になるように熱交換器７でその空気と温調用の流体との間で熱交換を行ない、その空気の温度と同じ温度に制御された温調用の流体が供給され、
　さらに、ウエハテーブル２１の周りに温調パネル１１であるテーブル温調パネル１１ａが設けられ、このテーブル温調パネル１１ａには、温調装置からウエハテーブル近傍の空気の温度と同様な温度の温調用の流体が流され、
　ウエハテーブル２１と環境チャンバ１内の空気との温度差を少なくする為にテーブル温調パネル１１ａを設けて温度制御し、
　Ｘリニアモータ固定子２５及びＹリニアモータ固定子２３によるウエハテーブル２１における温度の上昇の結果、環境チャンバ１内の空気の温度と若干温度差が発生し、それによりウエハテーブル２１近傍で空気の揺らぎが発生することとなるが、この対策として、ウエハテーブル２１と環境チャンバ内の空気とが直接接しないようにテーブル温調パネル１１ａで遮断することにより、ウエハテーブル２１やウエハホルダーの表面に断熱材を張り巡らすことに近い作用を得ることができる半導体露光装置。」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。 
 　 
 　 
 ４　対比 
 （１）対比 
 　本願発明と引用発明とを対比する。 
 　 
 　引用発明の「感光材が塗布されたウエハが載置されるウエハテーブル２１と、ウエハに原板であるマスクのパターンを投影する投影レンズ４３と、マスクを載置するマスクテーブル４２と、マスクのパターンを照明する照明部４１とで主に構成され、環境チャンバ１内に収容されている半導体露光装置」が、本願発明の「マスクのマスク・パターンを基板上に結像するためのリソグラフィ投影装置」に相当する。 
 　 
 　引用発明の「マスクのパターンを照明する照明部４１」が、本願発明の「放射の投影ビームを供給するように構成され、配置された照明システム」に相当する。 
 　 
 　引用発明の「マスクテーブル４２」は、マスクのマスクパターンを載置するものであるから、引用発明の「マスクテーブル４２」と、本願発明の「マスクを保持するように構成されたマスク・ホルダを備えるマスク・テーブル」とは、「マスクを保持するように構成されたマスク・テーブル」である点で一致する。 
 　 
 　引用発明の「感光剤が塗布されたウエハを吸着保持するウエハホルダ２８」を有する「ウエハテーブル２１」が、本願発明の「基板を保持するように構成された基板ホルダを備える基板テーブル」に相当する。 
 　 
 　引用発明の「マスクテーブル４２に載置されたマスクのマスクパターンを、ウエハホルダ２８に吸着保持されたウエハの感光剤が塗布された感光面に転写」する「投影レンズ４３」が、本願発明の「投影ビームによって照射されるマスクの一部分を基板のターゲット部分上に結像するように構成され、配置された投影システム」に相当する。 
 　 
 　引用発明の「ウエハテーブル２１」を、「Ｘ軸、及びＹ軸とに沿って駆動」する「駆動用モータとしてのＸリニアモータとＹリニアモータ」であって、「Ｙリニアモータ可動子２２とＹリニアモータ固定子２３との動作によりY方向に移動」する「Ｙリニアモータ」及び「Ｘリニアモータ可動子２４とＸリニアモータ固定子２５との動作によりＸ方向に移動」する「Ｘリニアモータ」が、本願発明の「固定子及び可動子を備えるリニアモータであって、前記マスク・テーブルと前記基板テーブルの少なくとも一方を前記投影装置のフレームに対して移動させるように構成され、配置されたリニアモータ」に相当する。 
 　 
 　上記１で述べたように、本願発明の「前記固定子及び前記可動子の両方を実質的に遮蔽する熱シールド」における「実質的に遮蔽する」が、（基板ホルダをリニアモータから）少しでも遮蔽する部分があるという意味であると解釈できるのであるから、引用発明の「ウエハテーブル２１の周りに」「設けられ」た「温調パネル１１であるテーブル温調パネル１１ａ」であって、「ウエハテーブル２１と環境チャンバ内の空気とが直接接しないように」「遮断することにより、ウエハテーブル２１やウエハホルダーの表面に断熱材を張り巡らすことに近い作用を得ることができる」「テーブル温調パネル１１ａ」が、本願発明の「前記固定子及び前記可動子の両方を実質的に遮蔽する熱シールドであって、前記基板ホルダを前記リニアモータから遮蔽するように配置された熱シールド」に相当するといえる。
 　 
 　引用発明は、「温調装置からウエハテーブル近傍の空気の温度と同様な温度の温調用の流体が流され、ウエハテーブル２１と環境チャンバ１内の空気との温度差を少なくする為にテーブル温調パネル１１ａを設けて温度制御」するのであるから、引用発明は、本願発明の「前記熱シールドの温度を所望温度に制御するように構成され、配置された熱シールド温度制御手段」を備えるものであることは明らかである。
 　 
 （２）一致点 
 　したがって、本願発明と引用発明とは、 
 「マスクのマスク・パターンを基板上に結像するためのリソグラフィ投影装置であって、
 　放射の投影ビームを供給するように構成され、配置された照明システムと、
 　マスクを保持するように構成されたマスク・テーブルと、
 　基板を保持するように構成された基板ホルダを備える基板テーブルと、
 　投影ビームによって照射されるマスクの一部分を基板のターゲット部分上に結像するように構成され、配置された投影システムと、
 　固定子及び可動子を備えるリニアモータであって、前記マスク・テーブルと前記基板テーブルの少なくとも一方を前記投影装置のフレームに対して移動させるように構成され、配置されたリニアモータと、
 　前記固定子及び前記可動子の両方を実質的に遮蔽する熱シールドであって、前記基板ホルダを前記リニアモータから遮蔽するように配置された熱シールドと、
 　前記熱シールドの温度を所望温度に制御するように構成され、配置された熱シールド温度制御手段とを備えたリソグラフィ投影装置。」の発明である点で一致し、次の点で一応相違する。 
 　 
 （３）相違点 
 　本願発明のマスク・テーブルが「マスクホルダ」を備えているのに対して、引用発明のマスクテーブルはマスクホルダを備えているかどうかは明確でない点。 
 　 
５　当審の判断 
 　マスクテーブルがマスクホルダを備えることは、周知の技術的事項であり、本願発明は、当該周知の技術的事項を明確にしたものに過ぎないから、上記の相違点は、実質的な相違点であるということはできない。よって、本願発明は、実質的に引用発明であるといえる。 
 　また、例え、本願発明は、引用発明であるということができないとしても、引用発明に上記周知技術を適用して、本願発明に係る上記相違点を得ることは当業者が容易に想到し得ることである。 
 　したがって、本願発明は、実質的に引用発明であるということができ、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。また、仮に相違点を有するとしても、本願発明は、引用発明に基いて当業者が容易に想到し得たものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない 
　すなわち、当審から平成２１年１０月２１日付けで通知した、特許法第２９条第１項第３号及び第２９条第２項の規定に関する拒絶理由（理由（１）（２））は解消されていない。したがって、本件出願は特許を受けることができない。
　
第５　まとめ
　以上のとおり、本願は、明細書の特許請求の範囲の請求項１の記載が 上記のとおり不備のため、特許法第３６条第６項第１，２号に規定する要件を満たしていないから特許を受けることができない。 
　また、平成１８年９月４日付け、同年１０月１７日付け、平成１９年５月２２日付け及び平成２２年１月２１日付けでした手続補正は、願書に最初に添付した特許請求の範囲、明細書及び図面に記載した事項の範囲内においてしたものでないから、特許法第１７条の２第３項に規定に違反し、本願は特許を受けることができない。
 さらに、本願の請求項１に係る発明は、実質的に引用発明であるということができ、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。また、仮に相違点を有するとしても、本願発明は、引用発明に基いて当業者が容易に想到し得たものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。