【事件の表示】
　特願２００２−１８１１５１号「基板処理装置及びその処理方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　１月２９日出願公開、特開２００４−　３１４００号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　
　本件に係る出願（以下「本願」という。）は，平成１４年６月２１日の特許出願であって，平成１９年６月８日付けで拒絶査定がなされ（発送日：同年６月１２日），これに対し，平成１９年７月１２日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに，平成１９年７月３１日付けで手続補正がなされたものである。　
　
２．平成１９年７月３１日付け手続補正についての補正却下の決定
　
［補正却下の結論］
　
　平成１９年７月３１日付け手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
　
（１）補正後の本願発明
　
　本件補正により，特許請求の範囲の請求項１は，次のように補正された。　
「被処理基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段で保持された被処理基板を回転させる基板回転手段と、
前記被処理基板上に複数の処理液を供給する処理液供給手段と、
前記基板保持手段で保持された被処理基板の周囲に配置され、前記被処理基板から飛散した前記処理液をその種類毎に分離回収するように設けられた複数の回収槽を有する処理液回収手段とを備え、
　前記処理液回収手段は、前記複数の処理液のうち、回収しようとする処理液に対応する回収槽のみを開口し、他の回収槽の入り口を閉じた状態で当該処理液を回収するものであり、　
　且つ、前記処理液回収手段は、前記複数の回収槽における各回収槽を画定する複数のフェンスを有しており、前記複数の処理液をそれぞれ対応する前記各回収槽で回収する際に、前記複数のフェンスをそれぞれ上方に駆動させることによって前記複数の処理液をその種類毎に分離回収する前記各回収槽の導路を形成し、
　さらに、前記処理液回収手段は、前記複数の処理液のいずれの処理液も回収していないときには、前記複数の回収槽の全ての回収槽の入り口を閉じた状態とすることを特徴とする基板処理装置。」
　　
（２）補正の適否
　
ａ．補正の目的要件
　
　本件補正は，「処理液回収手段」について，「前記複数の処理液のいずれの処理液も回収していないときには、前記複数の回収槽の全ての回収槽の入り口を閉じた状態とする」と限定を付加するものである。
　そして，補正後の請求項１に記載された発明は，補正前の請求項１に記載された発明と，産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるので，本件補正は，平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　
ｂ．独立特許要件
　
　そこで，本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下「本件補正発明」という。）が，特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について，検討する。
　　
（３）引用文献
　
（３−１）原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である，特開２０００−１８３０１０号公報（以下「引用文献１」という。）には，次の事項が記載されている。　
　
１ａ．「基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、前記両カップを隔てる昇降自在の中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて、基板周縁から振り切られた薬液が前記薬液回収用カップの開口に到達するのを許容する一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて、前記基板周縁から振り切られたリンス液を受け止めて前記リンス液回収用カップの開口に案内する中間カップ壁昇降手段と、前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。」（特許請求の範囲の【請求項５】）
　
１ｂ．「請求項４または５に記載の基板処理装置において、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものである基板処理装置。」（特許請求の範囲の【請求項６】）
　
１ｃ．「【発明の属する技術分野】
　本発明は、半導体ウエハや液晶表示器用のガラス基板などの基板を回転させながら基板上に薬液やリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置に係り、特に、基板周縁から振り切られた薬液やリンス液を分離して回収する技術に関する。」（段落【０００１】）
　
１ｄ．「請求項６に記載の発明によれば、リンス液処理時に中間カップ壁が上昇したときに、この中間カップ壁が薬液回収用カップの開口を閉塞するので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。」（段落【００１８】）
　
１ｅ．「＜第３実施例＞図４は本発明に係る基板処理装置の第３実施例の概略構成を示した縦断面図である。図４において図１ないし図３中の各符号と同一の符号で示した構成部分は第１および第２実施例と同様であるので、ここでの説明は省略する。　本実施例装置は、第１および第２実施例装置と同様に、基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けられ、基板周縁から振り切られた薬液を取り込む開口１５ａが基板Ｗの回転軸芯に沿った上側にある薬液回収用カップ１５と、基板Ｗの回転軸芯周りの内側に設けられ、基板周縁から振り切られたリンス液を取り込む開口１６ａが基板Ｗの回転軸芯に沿った下側にあるリンス液回収用カップ１６とを備えている。そして、本実施例の特徴として、両カップ１５および１６を隔てる中間カップ壁３０が昇降自在に構成されている。
　具体的には、中間カップ壁３０は、上端部が内側に傾斜するように絞り込まれた筒状体であって、その基端部には２重のリング状の裾部３０ａ、３０ｂが形成されている。この裾部３０ａ、３０ｂが、カップ１５、１６の底面に２重に形成されたリング状の案内壁３１ａ、３１ｂの外側に緩く嵌め込まれている。中間カップ壁３０の裾部３０ａ、３０ｂの内側中程に複数個のエアーシリンダ３２のロッド３２ａが連結されている。各エアーシリンダ３２のロッド３２ａの周囲はベローズ３３で遮蔽されており、カップ１５、１６内の雰囲気が装置外へ漏れたり、あるいは装置外からカップ１５、１６内へパーティクルが侵入しないようになっている。これらのエアーシリンダ３２が伸縮することにより中間カップ壁３０が昇降する。このエアーシリンダ３２は本発明における中間カップ壁昇降手段に相当する。
　なお、本実施例装置は薬液およびリンス液を個別に供給する２つのノズル１４ａおよび１４ｂを備えている。また、モータ１２の下部には、装置内へ基板Ｗを搬入するときにスピンチャック１１を基板搬入位置にまで上昇させるためのエアーシリンダ３４が設けられている。さらに、リンス液回収用カップ１６の内側には、カップ１５、１６内を排気するための排気口３５（ただし、図１ないし図３では図示を省略してある）が設けられている。
　次に上述した構成を備えた第３実施例装置の動作を説明する。
　まず、基板Ｗを装置内に搬入するためにエアーシリンダ３４が伸張してスピンチャック１１が上昇する。スピンチャック１１に基板Ｗが搭載されると、エアーシリンダ３４が収縮して基板Ｗを処理位置（図４中に実線で示す基板Ｗの位置）にまで下降させる。
　薬液処理のときエアーシリンダ３２は収縮し、中間カップ壁３０は下降位置にある。その結果、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが大きく開いて基板Ｗの周縁に対向する。この状態で基板Ｗを回転させながら、ノズル１４ａから薬液を基板Ｗ上に供給することにより薬液処理が行われる。基板Ｗの回転に伴って基板周縁から振り切られた薬液は開口１５ａを通って薬液回収用カップ１５に回収される。回収された薬液は第１および第２実施例装置と同様に循環されてノズル１４ａに戻される。
　薬液処理が終わると薬液の供給が停止されてリンス液処理に移る。リンス液処理では、エアーシリンダ３２が伸張して中間カップ壁３０が上昇する。図５に示すように、中間カップ壁３０が上昇してその上端部が薬液回収用カップ１５の上部内壁に当接することにより、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉塞されるとともに、リンス液回収用カップ１６の開口１６ａが大きく開いて基板Ｗの周縁に対向する。この状態で基板Ｗを回転させながら、ノズル１４ｂからリンス液を基板Ｗ上に供給することによりリンス液処理が行われる。基板Ｗの回転に伴って基板周縁から振り切られたリンス液は開口１６ａを通ってリンス液回収用カップ１６に回収される。リンス液処理が終わるとリンス液の供給が停止されるとともに、開口１６ａを大きく開いた状態のままで基板Ｗが高速回転されて基板Ｗが乾燥される。
　リンス液処理および乾燥処理のとき、上昇した中間カップ壁３０によって薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉塞され、また中間カップ壁３０の上端部と薬液回収用カップ１５の上部内壁との突き合わせ部は基板Ｗよりも高い位置にあるので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップ１５と中間カップ壁３０との隙間から薬液回収用カップ１５に侵入することがない。また、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉塞されているので、薬液回収用カップ１５から漏れ出た薬液雰囲気によってリンス液処理あるいは乾燥処理を受けている基板Ｗが汚染されることがない。
　なお、中間カップ壁３０が下降しているときに、中間カップ壁３０でリンス液回収用カップ１６の開口１６ａを閉塞するように構成すれば、薬液処理のときにリンス液回収用カップ１６に入り込む薬液の量が軽減されるので、その分だけ薬液を節約することもできる。」（段落【００３２】−【００４０】）
　
１ｆ．「本発明は上述の各実施例に限らず次のように変形実施することもできる。上述した各実施例では、薬液回収用カップ１５とリンス液回収用カップ１６の２つのカップを備えた基板処理装置を例に採ったが、複数種類の薬液を用いて各薬液を分離して循環利用するような場合には、３つ以上のカップを基板の回転軸芯周りに同芯状に配置して構成することもできる。このような場合もリンス液回収用カップを基板の回転軸芯に最も近い内側に配置し、その外側に各薬液に対応した複数個のカップを同芯状に配置すればよい。」（段落【００４５】）
　
１ｇ．図４及び５には，薬液回収用カップ，リンス液回収用カップ及び中間カップ壁とにより形成された「複数の回収槽」が図示されている。
　
１ｈ．記載１ｅ及び１ｆからみて，薬液回収用カップ，リンス液回収用カップ及び中間カップ壁が，薬液・リンス液回収手段であることは，明らかである。
　　
　そこで，これらの記載事項及び図面の図示内容を総合すると，引用文献１には，次の発明（以下「引用文献１発明」という。）が記載されている。
　
「基板を保持するスピンチャックと，
前記スピンチャックで保持された基板を回転させるモータと，
前記基板上に薬液やリンス液を供給するノズルと，
前記スピンチャックで保持された基板の周囲に配置され，前記基板から飛散した前記薬液やリンス液をその種類毎に分離回収するように設けられた複数の回収槽を有する薬液・リンス液回収手段とを備え，
　前記薬液・リンス液回収手段は，前記薬液やリンス液のうち，回収しようする薬液やリンス液に対応する回収槽のみを開口し，他の回収槽の入り口を閉じた状態で，当該薬液やリンス液を回収するものであり，
　且つ，前記薬液・リンス液回収手段は，前記複数の回収槽における各回収槽を画定する，薬液回収用カップ，リンス液回収用カップ及び中間カップ壁とを有しており，前記薬液やリンス液をそれぞれ対応する前記各回収槽で回収する際に，前記中間カップ壁を昇降駆動させることによって前記薬液やリンス液をその種類毎に分離回収する前記各回収槽の導路を形成する基板処理装置。」
　
（３−２）本願の出願前に頒布された刊行物である，特開２００１−１６０５４６号公報（以下「引用文献２」という。）には，図面とともに，次の事項が記載されている。
　
２ａ．「基板を処理する装置であって，基板の表面に複数の処理液を供給する供給手段と，基板を保持する保持手段と，前記保持手段を収納する容器とを備え，前記容器は複数の処理室を備え，これら各処理室の開口部を多段に設け，前記保持手段に保持された基板の周囲に前記各処理室の開口部のそれぞれを移動させるべく前記保持手段と前記容器とを相対的に昇降自在に構成し，前記各処理室の底面に処理液の排液が行われる回路をそれぞれ接続し，これら排液された各処理液の少なくとも一つの処理液を前記供給手段から再び基板の表面に供給するように構成したことを特徴とする，基板処理装置。」（特許請求の範囲の【請求項１】）
　　
２ｂ．「【発明の属する技術分野】この発明は，例えば半導体ウェハやＬＣＤ用ガラス板等の基板を処理する基板処理装置に関するものである。」（段落【０００１】）
　
２ｃ．「次に，ウェハ洗浄装置５，６，８，９，１１，１２は，いずれも同様の構成を有しているので，ウェハ洗浄装置５を代表として説明する。図２に示すように，ウェハ洗浄装置５のケーシング５ａ内に，中央に設けられた環状の容器３０と，この容器３０内に収納され，保持手段として例えば，ウェハＷを回転自在に保持するスピンチャック３１と，このスピンチャック３１を回転させるモータ３２を容器３０の内部雰囲気から保護し，容器３０の底面３０ａに形成された開口部（図示せず）を介して容器３０内に突出している台座３３と，スピンチャック３１により保持されるウェハＷの表面にＡＰＭ及び純水を供給する供給ノズル３４とが設けられている。なお，スピンチャック３１の下面にモータ３２の回転軸３５が接続されている。この回転軸３５は，台座３３の上面を貫通している。また，壁面に，ウェハＷをウェハ洗浄装置５に出し入れする際に上下動して開閉する開閉ドア（図示せず）が設けられている。なお，スピンチャック３１は，遠心力チャック等からなる保持部３１ａを用いてウェハＷを水平姿勢で保持するように構成されている。
　容器３０は，ウェハＷの周囲を包囲し，ウェハＷの表面に供給したＡＰＭ及び純水等が周囲に飛散するのを防止するようになっている。容器３０は，上カップ３６（天板）と下カップ３７（容器本体）とを備えている。下カップ３７は，容器３０の底面３０ａに環状壁４０を立設し，この環状壁４０の上端に整流壁４１を配設している。整流壁４１は，内側に行くに従って高くなるように傾斜していると共に上端部４１ａを水平姿勢にしている。これら環状壁４０，整流壁４１により容器３０内を，内処理室４２と外処理室４３というように複数（２つ）の処理室にしている。
　ウェハＷの周縁に移動する内処理室４２の開口部４４と，ウェハＷの周縁に移動する外処理室４３の開口部４５とが多段に設けられている。上カップ３６は，最上段の開口部４５の上縁となる天板としても機能する。上カップ３６は，昇降機構（図示せず）により昇降自在である。一方，下カップ３７は，外周面３７ａにブラケット４６を取り付け，このブラケット４６にシリンダ４７のピストンロッド４８を接続させている。従って，シリンダ４７の稼働により下カップ３７は昇降自在であり，昇降する際には，下カップ３７の内周面３７ｂを台座３３の外周面３３ａに摺動させるようになっている。　また，ウェハ洗浄装置５は，内処理室４２でＳＣ１洗浄を行い，外処理室４３内でリンス洗浄を行うようになっている。何れも，スピンチャック３１を回転させてウェハＷに供給された洗浄液を遠心力によりウェハＷの表面全体に拡散させ，均一な洗浄を行う回転式の洗浄方法が採用されている。また，内処理室４２における底面３０ａに第１の排出回路５０が接続され，ＡＰＭの排液及び室内雰囲気の排気が行われ，外処理室４３における底面３０ａに第２の排出回路５１が接続され，純水の排液及び室内雰囲気の排気が行われる。
　ここで，容器３０にウェハＷを搬入出する場合，図３に示すように，昇降機構により上カップ３６が下降すると共に，シリンダ４７の稼働により下カップ３７が下降し，上カップ３６と下カップ３７の両方がスピンチャック３１より下方で待機した状態となる。このとき，上カップ３６と整流壁４１が接近し，開口部４５の幅を短縮するか，若しくは開口部４５を閉じた状態にする。また，整流壁４１の上端部４１ａと台座３３とを密着させて開口部４４を閉じた状態にし，内処理室４２の室内雰囲気を密閉する。スピンチャック３１が外部に露出し，開閉ドアを介して進入してきた搬送アーム４のアーム２３ｂ，２３ｃが，スピンチャック３１に洗浄前のウェハＷを受け渡したり，搬送アーム４のアーム２３ｃが，スピンチャック３１から洗浄後のウェハＷを受け取れるようになっている。」（段落【００２８】−【００３２】）　
２ｄ．「排気ファン５６は，内処理室４２及び外処理室４３の何れからも排気を行える。また処理中の排気ファン５６の出力は，一定である。図２に示すＳＣ１洗浄時の状態では，開口部４４が開いた状態となり，主に内処理室４２を通じてＳＣ１洗浄時の薬液（ＡＰＭ）雰囲気を外部に拡散しないように排気する。さらに開口部４５も開いた状態となっているので，外処理室４３を通じて薬液雰囲気を排気することも可能である。このように，内処理室４２，外処理室４３を用いて排気ゾーンを最大限にとり，容器３０内の排気量を多くとる。一方，図４に示すリンス洗浄及びスピン乾燥時の状態では，内処理室４２の室内雰囲気を密閉し，排気ゾーンを外処理室４３のみにとり，室内雰囲気の排気を行う。内処理室４２の密閉により，内処理室４２内に薬液雰囲気が残存することがあっても，リンス洗浄時及びウェハ搬入出時に薬液雰囲気が外部に拡散することを防止できる構成となっている。さらに，図３に示すウェハ搬入出時の状態では，排気ゾーンを最小限にとるか，若しくは排気ゾーンを全くとらないようにしている。このように，排気ファン５６の排気ゾーンを，内処理室４２，外処理室４３の間で自在に設定することができるようになっている。」（段落【００４３】）
　
　そこで，これらの記載事項及び図面の図示内容を総合すると，引用文献２には，次の発明（以下「引用文献２発明」という。）が記載されている。
　
「基板を保持する保持手段と，
前記保持手段で保持された基板を回転させるモータと，
前記基板上に複数の処理液を供給する供給手段と，
前記保持手段で保持された基板の周囲に配置され，前記基板から飛散した前記処理液をその種類毎に分離回収するように設けた複数の処理室を有する容器とを備え，
　前記容器は，前記処理室を画定する上カップと，環状壁と環状壁の上端に整流壁を配設した下カップとを有しており，前記複数の処理液を回収する際に，上カップ及び環状壁と環状壁の上端に整流壁を配設した下カップをそれぞれ上方に駆動させることで，処理室の導路を形成し，
　さらに，前記容器は，前記基板を搬入出するときには，前記複数の処理室のすべての処理室の開口部を閉じた状態とする基板処理装置。」
　
（４）対比
　
　本件補正発明と引用文献１発明とを対比すると，引用文献１発明の「基板」は，本件補正発明の「被処理基板」に相当し，以下同様に，「スピンチャック」は「基板保持手段」に，「モータ」は「基板回転手段」に，「薬液」及び「リンス液」はそれぞれ「処理液」に，「ノズル」は「処理液供給手段」に，「薬液回収用カップ」，「リンス液回収用カップ」及び「中間カップ壁」はそれぞれ「フェンス」に，「昇降駆動」は「上方に駆動」に，それぞれ相当する。　
　
　そして，本件補正発明の「処理液回収手段」と，引用文献１発明の「薬液・リンス液回収手段」は，ともに「処理液回収部」である点で共通している。　　
　そうしてみると，両者は，
　
「被処理基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段で保持された被処理基板を回転させる基板回転手段と、
前記被処理基板上に複数の処理液を供給する処理液供給手段と、
前記基板保持手段で保持された被処理基板の周囲に配置され、前記被処理基板から飛散した前記処理液をその種類毎に分離回収するように設けられた複数の回収槽を有する処理液回収部とを備え、
　前記処理液回収部は、前記複数の処理液のうち、回収しようとする処理液に対応する回収槽のみを開口し、他の回収槽の入り口を閉じた状態で当該処理液を回収するものであり，
　且つ，前記処理液回収部は，前記複数の回収槽における各回収槽を画定する，複数のフェンスを有しており，前記複数の処理液をそれぞれ対応する前記各回収槽で回収する際に，前記複数の処理液をその種類毎に分離回収する前記各回収槽の導路を形成する基板処理装置。」
　
である点で一致し，以下の点で相違している。　
　
＜相違点１＞
　処理液回収部において，複数の処理液をその種類毎に分離回収する各回収槽の導路を形成するに際し，本件補正発明では「複数のフェンスをそれぞれ上方に駆動」させるのに対して，引用文献１発明では，「中間カップ壁を昇降駆動」させる点。
　
＜相違点２＞
　処理液回収部は，本件補正発明では「複数の処理液のいずれの処理液も回収していないときには、複数の回収槽の全ての回収槽の入り口を閉じた状態とする」のに対して，引用文献１発明では，このような構成を有していない点。
　
（５）判断
　
　上記相違点について検討する。
　
［相違点１及び２について］
　
　引用文献２発明の「基板」は，本件補正発明の「被処理基板」に相当し，以下同様に，「保持手段」は「基板保持手段」に，「モータ」は「基板回転手段」に，「供給手段」は「処理液供給手段」に，「処理室」は「回収槽」に，「容器」は「処理液回収手段」に，「上カップ」及び「環状壁と環状壁の上端に整流壁を配設した下カップ」はそれぞれ「フェンス」に，「基板を搬入出するとき」は，「複数の処理液のいずれの処理液も回収していないとき」に，「開口部」は「入り口」に，それぞれ相当する。
　
　したがって，引用文献２発明は，次のように言い換えることができる。　　
「被処理基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段で保持された被処理基板を回転させる基板回転手段と、
前記被処理基板上に複数の処理液を供給する処理液供給手段と、
前記基板保持手段で保持された被処理基板の周囲に配置され、前記被処理基板から飛散した前記処理液をその種類毎に分離回収するように設けられた複数の回収槽を有する処理液回収手段とを備え、
　前記処理液回収手段は、前記複数の回収槽における各回収槽を画定する複数のフェンスを有しており、前記複数の処理液をそれぞれ対応する前記各回収槽で回収する際に、前記複数のフェンスをそれぞれ上方に駆動させることによって前記複数の処理液をその種類毎に分離回収する前記各回収槽の導路を形成し、
　さらに、前記処理液回収手段は、前記複数の処理液のいずれの処理液も回収していないときには、前記複数の回収槽の全ての回収槽の入り口を閉じた状態とする基板処理装置。」
　
　そして，引用文献１発明と引用文献２発明は，ともに，処理液を回収する基板処理装置であって，同一の技術分野に属するものである。
　
　そうしてみると，引用文献１発明に，引用文献２発明を適用して，処理液回収部を，複数の処理液をその種類毎に分離回収する各回収槽の導路を形成するに際し，「中間カップ壁」のみならず，回収槽を画定する「薬液回収用カップ」も上方に駆動することで，「複数のフェンスをそれぞれ上方に駆動」させるようにし，さらに，「複数の処理液のいずれの処理液も回収していないときは，複数の回収槽の全ての回収槽の入り口を閉じた状態とする」することは，当業者が容易に想到し得たことである。　
　
　そして，本件補正発明の奏する効果も，引用文献１発明及び引用文献２発明から当業者が予測し得た程度のものであって，格別なものとはいえない。　
　よって，本件補正発明は，引用文献１発明及び引用文献２発明に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　したがって，本件補正発明は，引用文献１発明及び引用文献２発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により，特許出願の際独立して特許を受けることができない。　
（６）むすび
　
　以上のとおり，本件補正は，平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので，同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
　
（１）本願発明
　
　平成１９年７月３１日付け手続補正は，上記のとおり却下されたので，本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は，平成１９年５月１８日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される，次のとおりのものである。
　
「被処理基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段で保持された被処理基板を回転させる基板回転手段と、
前記被処理基板上に複数の処理液を供給する処理液供給手段と、
前記基板保持手段で保持された被処理基板の周囲に配置され、前記被処理基板から飛散した前記処理液をその種類毎に分離回収するように設けられた複数の回収槽を有する処理液回収手段とを備え、
　前記処理液回収手段は、前記複数の処理液のうち、回収しようとする処理液に対応する回収槽のみを開口し、他の回収槽の入り口を閉じた状態で当該処理液を回収するものであり、
　且つ、前記処理液回収手段は、前記複数の回収槽における各回収槽を画定する複数のフェンスを有しており、前記複数の処理液をそれぞれ対応する前記各回収槽で回収する際に、前記複数のフェンスをそれぞれ上方に駆動させることによって前記複数の処理液をその種類毎に分離回収する前記各回収槽の導路を形成することを特徴とする基板処理装置。」
　
（２）引用文献
　
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である，引用文献１，引用文献１の記載事項及び引用文献１発明は，前記「２．［理由］（３）引用文献」に記載したとおりである。
　
（３）対比　
　
　本願発明と引用文献１発明とを対比する。
　
　本願発明と引用文献１発明とを対比すると，引用文献１発明の「基板」は，本願発明の「被処理基板」に相当し，以下同様に，「スピンチャック」は「基板保持手段」に，「モータ」は「基板回転手段」に，「薬液」及び「リンス液」はそれぞれ「処理液」に，「ノズル」は「処理液供給手段」に，「薬液回収用カップ」，「リンス液回収用カップ」及び「中間カップ壁」はそれぞれ「フェンス」に，「昇降駆動」は「上方に駆動」に，それぞれ相当する。　
　そして，本願発明の「処理液回収手段」と，引用文献１発明の「薬液・リンス液回収手段」は，ともに「処理液回収部」である点で共通している。　　
　そうしてみると，両者は，
　
「被処理基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段で保持された被処理基板を回転させる基板回転手段と、
前記被処理基板上に複数の処理液を供給する処理液供給手段と、
前記基板保持手段で保持された被処理基板の周囲に配置され、前記被処理基板から飛散した前記処理液をその種類毎に分離回収するように設けられた複数の回収槽を有する処理液回収部とを備え、
　前記処理液回収部は、前記複数の処理液のうち、回収しようとする処理液に対応する回収槽のみを開口し、他の回収槽の入り口を閉じた状態で当該処理液を回収するものであり，
　且つ，前記処理液回収部は，前記複数の回収槽における各回収槽を画定する，複数のフェンスを有しており，前記複数の処理液をそれぞれ対応する前記各回収槽で回収する際に，前記複数の処理液をその種類毎に分離回収する前記各回収槽の導路を形成する基板処理装置。」
　
である点で一致し，以下の点で相違している。　
　
＜相違点＞
　処理液回収部において，複数の処理液をその種類毎に分離回収する各回収槽の導路を形成するに際し，本願発明では「複数のフェンスをそれぞれ上方に駆動」させるのに対して，引用文献１発明では，「中間カップ壁を昇降駆動」させる点。
　
（４）判断
　
　上記相違点について検討する。
　
　基板処理装置の処理液回収部において，複数の処理液をその種類毎に分離回収する各回収槽の導路を形成するに際し，回収槽を画定する「複数のフェンスをそれぞれ上方に駆動」させることは，本願出願前周知の技術である（例えば，特開２００１−１６０５４６号公報，特開２００１−２６７２７８号公報参照。）。　
　
　そうしてみると，引用文献１発明において，処理液回収部を，複数の処理液をその種類毎に分離回収する各回収槽の導路を形成するに際し，「中間カップ壁」のみならず，回収槽を画定する「薬液回収用カップ」も上方に駆動することで，「複数のフェンスをそれぞれ上方に駆動」させることは，上記周知技術に倣って，当業者が容易に想到し得たことである。
　
　そして，本願発明の奏する効果も，引用文献１発明及び周知技術から当業者が予測し得た程度のものであって，格別なものとはいえない。
　
　よって，本願発明は，引用文献１発明及び周知技術に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（５）むすび
　
　以上のとおりであるから，本願発明は，引用文献１発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり，特許法第２９条第２項の規定により，特許を受けることができない。
　
　したがって，本願のその他の請求項に係る発明について検討するまでもなく，本願は拒絶すべきものである。
　
　よって，結論のとおり審決する。