【手続補正書】
【提出日】平成24年8月2日(2012.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバを有する真空処理装置であって、
前記真空チャンバの内部に設けられ、前記真空チャンバの排気口に対して近接する方向または離間する方向に移動することにより前記排気口を開閉する弁体と、当該弁体に接続したロッドを介して当該弁体を移動させる駆動手段と、を有するゲートバルブと、
前記真空チャンバの排気口と一の端部が接続され、前記弁体の移動方向に対して傾斜された方向に構成された接続部と、
前記接続部の他の端部と接続され、当該接続部の内部の排気が可能な排気ポンプと、を備え、
前記ゲートバルブの前記駆動手段の前記ロッドの一部は、前記接続部の前記一の端部と前記接続部の前記他の端部との間に設けられ、かつ、前記駆動手段は当該接続部の外側に設けられていることを特徴とする真空処理装置。
【請求項２】
真空チャンバを有する真空処理装置であって、
前記真空チャンバの内部に設けられ、前記真空チャンバの排気口に対して近接する方向または離間する方向に移動することにより前記排気口を開閉する弁体と、当該弁体を移動させる駆動手段と、を有するゲートバルブと、
前記真空チャンバの排気口と一の端部が接続され、前記弁体の移動方向に対して傾斜された方向に構成された接続部と、
前記接続部の他の端部と接続され、当該接続部の内部の排気が可能な排気ポンプと、を備え、
前記駆動手段は、前記弁体を排気口に対して近接させる方向、または前記排気口から離間させる方向に駆動する駆動軸としてのロッドと、前記ロッドを駆動するためのシリンダとを有し、
前記ロッドは、前記弁体の移動方向に対して平行な方向に延設されており、
前記弁体は、前記ロッドの一端に支持されており、
前記接続部は、前記ロッドの軸方向に対して所定の角度、傾斜された方向に接続されており、
前記シリンダは、前記接続部の外側に配置され、前記ロッドの他端に連結されていることを特徴とする真空処理装置。
【請求項３】
真空チャンバを有する真空処理装置であって、
前記真空チャンバの内部に設けられ、前記真空チャンバの排気口に対して近接する方向または離間する方向に移動することにより前記排気口を開閉する弁体と、ロッドとシリンダを有し当該弁体を移動させる駆動手段と、を有するゲートバルブと、
前記真空チャンバの排気口と一の端部が接続され、前記弁体の移動方向に対して傾斜された方向に構成された接続部と、
前記接続部の他の端部と接続され、当該接続部の内部の排気が可能な排気ポンプと、を備え、
前記接続部の内部において、前記ゲートバルブの前記駆動手段の前記ロッドの一部は、前記接続部の前記一の端部と前記接続部の側面で前記ロッドを支持する軸支持部との間に設けられ、かつ、前記ゲートバルブの前記駆動手段の前記シリンダは当該接続部の外側に設けられていることを特徴とする真空処理装置。
【請求項４】
前記弁体は、前記接続部の前記一の端部の開口面積よりも大きく形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の真空処理装置。
【請求項５】
前記弁体は、前記真空チャンバの前記排気口の開口面積よりも小さく形成され、
前記接続部の前記一の端部には、前記弁体との接触によって前記真空チャンバ内に形成された気密の状態を保持するためのシール部が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の真空処理装置。
【請求項６】
前記ロッドの一端は前記弁体に接続され、前記ロッドの他端は前記シリンダに接続されており、
前記シリンダは前記ロッドを駆動し、
前記軸支持部は、前記弁体の移動方向に前記ロッドが移動できるように前記ロッドを支持し、
前記軸支持部は、前記接続部の前記一の端部と前記他の端部との間の前記接続部の側面に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の真空処理装置。
【請求項７】
真空チャンバを有する真空処理装置であって、
前記真空チャンバの内部に設けられ、前記真空チャンバの排気口に対して近接する方向または離間する方向に移動することにより前記排気口を開閉する弁体と、当該弁体に接続したロッドを介して当該弁体を移動させる駆動手段と、を有するゲートバルブと、
前記弁体の移動方向に対して傾斜された方向に構成された第１の接続部と、
前記真空チャンバの排気口と一の端部が接続され、他の端部が前記第１の接続部の一の端部と接続され、前記弁体の移動方向に対して平行な方向に構成された第２の接続部と、
前記第１の接続部の他の端部と接続され、当該第１の接続部の内部及び前記第２の接続部の内部の排気が可能な排気ポンプと、を備え、
前記ゲートバルブの前記駆動手段の前記ロッドの一部は、前記第２の接続部の前記一の端部と前記第１の接続部の前記他の端部との間に設けられ、かつ、前記駆動手段は当該第１および第２の接続部の外側に設けられていることを特徴とする真空処理装置。
【請求項８】
真空チャンバを有する真空処理装置であって、
前記真空チャンバの内部に設けられ、前記真空チャンバの排気口に対して近接する方向または離間する方向に移動することにより前記排気口を開閉する弁体と、当該弁体を移動させる駆動手段と、を有するゲートバルブと、
前記弁体の移動方向に対して傾斜された方向に構成された第１の接続部と、
前記真空チャンバの排気口と一の端部が接続され、他の端部が前記第１の接続部の一の端部と接続され、前記弁体の移動方向に対して平行な方向に構成された第２の接続部と、
前記第１の接続部の他の端部と接続され、当該第１の接続部の内部及び前記第２の接続部の内部の排気が可能な排気ポンプと、を備え、
前記駆動手段は、前記弁体を排気口に対して近接させる方向、または前記排気口から離間させる方向に駆動する駆動軸としてのロッドと、前記ロッドを駆動するためのシリンダとを有し、
前記ロッドは、前記弁体の移動方向に対して平行な方向に延設されており、
前記弁体は、前記ロッドの一端に支持されており、
前記第１の接続部は、前記ロッドの軸方向に対して所定の角度、傾斜された方向に接続されており、
前記シリンダは、前記第１および第２の接続部の外側に配置され、前記ロッドの他端に連結されていることを特徴とする真空処理装置。
【請求項９】
真空チャンバを有する真空処理装置であって、
前記真空チャンバの内部に設けられ、前記真空チャンバの排気口に対して近接する方向または離間する方向に移動することにより前記排気口を開閉する弁体と、ロッドとシリンダを有し当該弁体を移動させる駆動手段と、を有するゲートバルブと、
前記弁体の移動方向に対して傾斜された方向に構成された第１の接続部と、
前記真空チャンバの排気口と一の端部が接続され、他の端部が前記第１の接続部の一の端部と接続され、前記弁体の移動方向に対して平行な方向に構成された第２の接続部と、
前記第１の接続部の他の端部と接続され、当該第１の接続部の内部及び前記第２の接続部の内部の排気が可能な排気ポンプと、を備え、
前記第１および第２の接続部の内部において、前記ゲートバルブの前記駆動手段のロッドの一部は、前記第２の接続部の前記一の端部と前記第１の接続部の側面で前記ロッドを支持する軸支持部との間に設けられ、かつ、前記ゲートバルブの前記駆動手段の前記シリンダは前記第１および第２の接続部の外側に設けられていることを特徴とする真空処理装置。
【請求項１０】
前記弁体は、前記第２の接続部の前記一の端部の開口面積よりも大きく形成されていることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の真空処理装置。
【請求項１１】
前記弁体は、前記真空チャンバの前記排気口の開口面積よりも小さく形成され、
前記第２の接続部の前記一の端部には、前記弁体との接触によって前記真空チャンバ内に形成された気密の状態を保持するためのシール部が設けられていることを特徴とする請求項１０に記載の真空処理装置。
【請求項１２】
前記ロッドの一端は前記弁体に接続され、前記ロッドの他端は前記シリンダに接続されており、
前記シリンダは前記ロッドを駆動し、
前記軸支持部は、前記弁体の移動方向に前記ロッドが移動できるように前記ロッドを支持し、
前記軸支持部は、前記第１の接続部の前記一の端部と前記他の端部との間の前記第１の接続部の側面に設けられていることを特徴とする請求項９に記載の真空処理装置。
【請求項１３】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の真空処理装置の制御方法であって、
前記真空チャンバの排気口と、前記弁体の移動方向に対して傾斜された方向に構成された接続部を介して接続された排気ポンプを駆動して、前記接続部の内部を排気する排気工程と、
前記排気工程により前記接続部の内部が排気された後に、前記ゲートバルブの前記駆動手段を駆動して、前記弁体を移動させる移動工程と、
を有することを特徴とする真空処理装置の制御方法。
【請求項１４】
請求項７乃至１２のいずれか１項に記載の真空処理装置の制御方法であって、
前記真空チャンバの排気口と、前記弁体の移動方向に対して傾斜された方向に構成された前記第１の接続部の前記他の端部を介して接続された排気ポンプを駆動して、前記第１の接続部の内部を排気する排気工程と、
前記排気工程により前記第１の接続部の内部が排気された後に、前記ゲートバルブの前記駆動手段を駆動して、前記弁体を移動させる移動工程と、
を有することを特徴とする真空処理装置の制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係る真空処理装置は、真空チャンバを有する真空処理装置であって、
前記真空チャンバの内部に設けられ、前記真空チャンバの排気口に対して近接する方向または離間する方向に移動することにより前記排気口を開閉する弁体と、当該弁体に接続したロッドを介して当該弁体を移動させる駆動手段と、を有するゲートバルブと、
前記真空チャンバの排気口と一の端部が接続され、前記弁体の移動方向に対して傾斜された方向に構成された接続部と、
前記接続部の他の端部と接続され、当該接続部の内部の排気が可能な排気ポンプと、を備え、
前記ゲートバルブの前記駆動手段の前記ロッドの一部は、前記接続部の前記一の端部と前記接続部の前記他の端部との間に設けられ、かつ、前記駆動手段は当該接続部の外側に設けられていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】真空処理装置および真空処理装置の制御方法