【事件の表示】
　特願２００２−５１０２３２「ワークの研磨方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年１２月２０日国際公開、ＷＯ０１／９６０６５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴う平成１３年６月８日（優先日：平成１２年６月１３日、出願番号：特願２０００−１７７１９１号）を国際出願日とする出願であって、その請求項１ないし４に係る発明は、平成１７年４月１４日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりである。
「　【請求項１】　円形状ワークの背面をワーク保持板で保持し、該ワークの表面を研磨布に摺接させて研磨する方法において、前記ワーク背面に、ワーク中央部分より周辺部分で薄いかまたは周辺部分でワーク背面が露出した背面コート膜を形成させ、該背面コート膜が形成されたワークの背面を、前記背面コート膜を介して保持板で保持してワーク表面の研磨を行うことを特徴とするワークの研磨方法。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２．引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された本願の出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平８−２５７８９３号公報（以下、「刊行物」という。）には、以下の事項が記載されている。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（１）特許請求の範囲の請求項８
「表面に研磨パッドが貼付されたプラテンと、研磨すべきウェーハを保持して前記研磨パッドにウェーハを当接させる１または２以上のウェーハ保持ヘッドとを用意し、
前記ウェーハ保持ヘッドに、ウェーハの外周部がウェーハ厚さ方向へ弾性変形可能な状態でウェーハの一面を保持させたうえ、
前記ウェーハ保持ヘッドに保持されたウェーハの他面を前記研磨パッドに当接させ、前記ウェーハ保持ヘッドを前記プラテンに対し相対運動させることにより前記研磨パッドによりウェーハ他面を研磨することを特徴とするウェーハ研磨方法。」
（２）段落【０００１】
「【産業上の利用分野】本発明はウェーハ研磨装置および研磨方法に関し、特にウェーハ表面の研磨量均一性を向上するための改良に関する。」
（３）段落【０００４】〜【０００８】
「【発明が解決しようとする課題】前記テンプレート型のウェーハ研磨装置においては、ウェーハを一定圧力で研磨パッドに押し付けながら研磨を行うため、ウェーハは研磨パッドに僅かに沈み込むことになる。したがって、ウェーハの外周部ではウェーハ中央部に比して研磨パッドとの当接圧力が大きくならざるを得ず、ウェーハ外周部の研磨量が中央部の研磨量に比して大きくなり、研磨量を均一化し難いという問題があった。・・・
　本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ウェーハ外周部における過研磨を防止し、研磨量均一性が高められるウェーハ研磨装置および研磨方法を提供することを課題としている。」
（４）段落【００１７】
「この実施例のキャリア４６の下面（ウェーハ貼付面）の外周部には、外周の全周に亙る円環状の凹部４６Ａが形成されている。この凹部４６Ａは、キャリア半径方向に対して一定幅を有し、キャリア軸線方向に対する深さも全周に亙って一定とされている。このような凹部４６Ａを形成したことにより、ウェーハＷの外周縁から半径方向内方に向けて一定幅Ａ１のウェーハ外周部は、キャリア４６により支持されておらず、凹部４６Ａ内へ向けて弾性変形可能とされている。幅Ａ１はウェーハの弾性変形可能領域の幅を示し、例えば後述するウェーハ付着シートＳの外周縁が凹部４６Ａの内周縁よりも内周側に位置する場合には、幅Ａ１はウェーハ付着シートＳの外周縁からウェーハＷの外周縁までとなる。」
（５）段落【００２０】〜【００２１】
「なお、研磨を行う場合には、キャリア４６の下面に、例えば円形のウェーハ付着シートＳやワックス等を介してウェーハＷが貼り付けられる。本明細書では、このようなウェーハＷをキャリア４６に貼付するための手段も、キャリアの一部を構成するものとする。したがって、以下のような各構成も、本発明の技術的範囲に含まれる。
　（ａ）キャリア本体の下面を平坦面とする一方、ウェーハ付着シートＳとしてウェーハＷよりも直径の小さい肉厚の大きいものを使用することにより、ウェーハＷの外周部をキャリア本体の下面から離間させた構成。この場合には、キャリア本体とウェーハ外周部との間隙が凹部となる。・・・」
（６）段落【００２２】
「・・・前述したとおり、本発明は必ずしもウェーハ付着シートＳを使用しなくてもよく、例えばキャリア４６のウェーハ貼付面にワックスを介してウェーハＷを付着させる構成としてもよいし、他の付着手段を使用してもよい。」
（７）段落【００４６】
「【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るウェーハ研磨装置および研磨方法では、ウェーハ保持ヘッドにより、ウェーハの外周部がウェーハ厚さ方向へ弾性変形可能な状態でウェーハを保持しつつ研磨を行うので、ウェーハの外周部において研磨パッドとの当接圧力が相対的に高くなると、その当接圧力に応じてウェーハ外周部が研磨パッドから逃れる方向へ弾性変形し、ウェーハ外周部の過研磨が緩和される。したがって、ウェーハの研磨量を均一化することが可能である。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　上記記載事項において、ウェーハＷが円形状であって、ウェーハの背面をキャリアで保持すること、また、ワックス等が層を形成することは明らかである。
　そうすると、これらの記載事項及び図面の記載からみて、刊行物には、次の発明（以下、「引用発明」という。） が記載されていると認められる。
「円形状ウェーハＷの背面をキャリア４６で保持し、該ウェーハＷの表面を研磨パッド２４に摺接させて研磨する方法において、前記ウェーハＷの背面を、当該ウェーハＷよりも直径の小さい、キャリア４６の一部を構成するワックス層を介してキャリア４６に貼り付け保持してウェーハＷ表面の研磨を行うウェーハＷの研磨方法。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３．対比
　本願発明と引用発明とを対比すると、引用発明における「ウェーハＷ」は本願発明における「ワーク」に、以下同様に、「キャリア４６」は「ワーク保持板」に、「研磨パッド２４」は「研磨布」に、それぞれ、相当する。
　そして、引用発明において、「ワックス層」は、ワーク保持板（キャリア４６）に塗布されてその一部を構成するものであるから、ワーク保持板（キャリア４６）に形成されたものということができる。また、ワックス層の直径がワーク（ウェーハＷ）よりも小さいことから、当該ワックス層を介してワーク（ウェーハＷ）をワーク保持板（キャリア４６）に貼り付け保持すれば、その周辺部分でワーク（ウェーハＷ）背面が露出することは明らかである。
　また、引用発明における「ワックス層」は、ワーク（ウェーハＷ）をワーク保持板（キャリア４６）に保持するときに両者の間に介在する介在層である限りにおいて、本願発明における「背面コート膜」と共通している。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
［一致点］
「円形状ワークの背面をワーク保持板で保持し、該ワークの表面を研磨布に摺接させて研磨する方法において、前記ワークの背面を、ワーク周辺部分でワーク背面が露出した直径に形成された介在層を介して保持板で保持してワーク表面の研磨を行うワークの研磨方法。」である点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点］
　介在層が、本願発明では、ワーク背面に形成された背面コート膜であるのに対して、
　引用発明では、ワーク保持板に形成されたものである点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
４．当審の判断
　上記相違点について、以下検討する。
　ワークの表面を研磨布に摺接させて研磨する方法において、ワークをワーク保持板に貼り付けるための接着剤やワックス等を、ワーク背面に塗布することは、例えば、特開平６−９１５２３号公報の段落【０００５】，【０００８】，【００１２】、及び特開平１１−３２０３９３号公報の段落【０００３】にも記載されているように、本件出願前に周知な事項である。
　ところで、本願明細書の第９頁第２８行〜第１０頁第７行には、「セラミックスやガラス等のプレートに接着剤やワックス等を介してウエーハを貼り付けて研磨を行う場合には、これらの接着剤やワックスをウエーハ中央部分より周辺部分で薄いかまたは周辺部分でウエーハ背面が露出するようにウエーハ背面に塗布してプレートに貼着させるようにすればよい。
　すなわち、本発明でいう背面コート膜とは、このようなセラミックスやガラス等のプレートにウエーハを貼り付けるためにウエーハ背面に付着される接着剤やワックス等も含むものである。」と記載されていることから、上記周知事項であるワーク背面に接着剤やワックス等を塗布することにより、ワーク背面に接着剤やワックス等を形成することができる。
　そして、引用発明と前記周知の事項とは、ワークの表面を研磨布に摺接させて研磨する際のワークをワーク保持板に貼り付け保持に関する技術として共通しており、しかも、引用発明に前記周知の事項の適用を阻害する特段の事由も認められない。
　したがって、引用発明に前記周知の事項を適用することにより、引用発明における介在層としてのワックス層をワーク保持板に形成することに換えてワーク背面に形成することにより本願発明の相違点に関する特定事項とすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　また、本願発明の奏する効果も、引用発明及び周知の事項から当業者が十分予測できる程度のものであって格別なものでもない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　したがって、本願発明は、引用発明及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
５．むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく本件出願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。