【手続補正書】
【提出日】平成23年11月28日(2011.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ノズル部材、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光学系と液体とを介して露光光を基板上に照射することによって、前記基板を露光する露光装置に備えられるノズル部材であって、
液体供給口と、
液体回収口と、
前記投影光学系の像面側に配置された前記基板の表面が対向するように、かつ前記基板の表面との距離が、前記投影光学系の端面と前記基板の表面との距離よりも小さくなるように配置される下面と、を有し、
前記下面が、撥液性の領域を含むノズル部材。
【請求項２】
前記領域は、前記投影光学系の端面よりも撥液性である請求項１記載のノズル部材。
【請求項３】
投影光学系と液体とを介して露光光を基板上に照射することによって、前記基板を露光する露光装置に備えられるノズル部材であって、
液体供給口と、
液体回収口と、
前記投影光学系の像面側に配置された前記基板の表面が対向するように、かつ前記基板の表面との距離が、前記投影光学系の端面と前記基板の表面との距離よりも小さくなるように配置される下面と、を有し、
前記下面は、前記投影光学系の端面よりも撥液性の領域を含むノズル部材。
【請求項４】
前記領域の前記液体との接触角は、前記投影光学系の端面の前記液体との接触角よりも大きい請求項１〜３のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項５】
投影光学系と液体とを介して露光光を基板上に照射することによって、前記基板を露光する露光装置に備えられるノズル部材であって、
液体供給口と、
液体回収口と、
前記投影光学系の像面側に配置された前記基板の表面が対向するように、かつ前記基板の表面との距離が、前記投影光学系の端面と前記基板の表面との距離よりも小さくなるように配置される下面と、を有し、
前記下面は、前記液体との接触角が、前記投影光学系の端面の前記液体との接触角よりも大きい領域を含むノズル部材。
【請求項６】
前記領域の前記液体との接触角は、８０〜１２０度である請求項１〜５のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項７】
前記領域は、撥液性材料を塗布する、あるいは撥液性材料の薄膜を貼付する撥液化処理によって形成される請求項１〜６のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項８】
前記投影光学系の端面は、親液性である請求項１〜７のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項９】
前記投影光学系の端面の前記液体との接触角は、５〜２０度である請求項１〜８のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項１０】
前記投影光学系の終端部の光学素子を配置可能な穴部を有する請求項１〜９のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項１１】
前記下面は、前記投影光学系の端面を囲むように配置される請求項１〜１０のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項１２】
凹部を有し、
前記下面が、前記凹部の周囲に設けられている請求項１〜１１のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項１３】
前記凹部は、前記投影光学系の像面側に配置された前記基板の表面が対向する面を有する請求項１２記載のノズル部材。
【請求項１４】
前記凹部の前記面は、前記投影光学系の光軸に垂直な面とほぼ平行に配置される請求項１３記載のノズル部材。
【請求項１５】
前記液体供給口は、前記凹部の壁部に設けられている請求項１２〜１４のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項１６】
前記液体回収口は、前記下面に設けられている請求項１〜１５のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項１７】
前記液体回収口は、前記領域の外側に配置されている請求項１６記載のノズル部材。
【請求項１８】
前記液体回収口は、前記投影光学系の投影領域を囲むように形成されている請求項１６又は１７記載のノズル部材。
【請求項１９】
前記液体回収口は、前記液体供給口を囲むように形成されている請求項１６〜１８記載のノズル部材。
【請求項２０】
前記液体回収口は多孔部材を介して液体回収を行う請求項１〜１９のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項２１】
前記液体回収が、第１の多孔部材と第２の多孔部材とを介して行われる請求項２０記載のノズル部材。
【請求項２２】
前記液体回収口に接続された環状流路と、
前記環状流路に接続されたマニホールド流路と、を有する請求項１〜２１のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項２３】
前記投影光学系の像面側の気体を排出するための吸引口を有する請求項１〜２２のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項２４】
前記液体供給口は、前記投影光学系の光軸に垂直な面とほぼ並行に液体を吹き出す請求項１〜２３のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項２５】
前記液体供給口とは別に、前記投影光学系の像面側に配置された前記基板の表面に向かって下向きに液体を供給する液体供給口を有する請求項２４記載のノズル部材。
【請求項２６】
前記液体供給口は、前記投影光学系の像面側に配置された前記基板の表面に向かって下向きに液体を供給する請求項１〜２３のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項２７】
投影光学系と、
請求項１〜２６のいずれか一項に記載のノズル部材と、を備え、
前記ノズル部材を用いて前記基板上の一部に液浸領域を形成するとともに、前記液浸領域の液体を介して前記投影光学系からの露光光を前記基板に照射する露光装置。
【請求項２８】
前記ノズル部材は、環状の部材であり、
前記投影光学系の終端部の光学素子を囲むように配置される請求項２７記載の露光装置。
【請求項２９】
前記ノズル部材と前記光学素子との間隙に配置されたシール部材を備える請求項２８記載の露光装置。
【請求項３０】
前記ノズル部材の液体回収口から回収された液体と気体とを分離する気液分離器をさらに備える請求項２７〜２９のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項３１】
投影光学系と液体とを介して露光光を基板上に照射することによって、前記基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系の端面を含み、前記液体に接触する第１面と、前記第１面を取り囲むように設けられ、前記液体に接触する第２面とを有し、
前記第１面と前記第２面とは、前記投影光学系の像面側に配置された物体表面と前記第１面との距離が、前記物体表面と前記第２面との距離よりも長くなるように配置され、
前記第１面における前記液体の接触角は、前記第２面における前記液体の接触角よりも小さい露光装置。
【請求項３２】
前記第１面と前記第２面との間で前記液体の供給を行う請求項３１記載の露光装置。
【請求項３３】
投影光学系と液体とを介して露光光を基板上に照射することによって、前記基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系の像面側に液体を供給する液体供給機構と、
前記投影光学系の端面を含み、前記液体に接触する第１面と、
前記第１面を取り囲むように設けられ、前記液体に接触する第２面と、を備え、
前記第１面と前記第２面とのそれぞれは、前記投影光学系の像面側に配置された前記基板表面に対して間隙が形成されるように配置され、
前記液体供給機構は、前記第１面と前記第２面との間に液体の供給口を有する露光装置。
【請求項３４】
前記第２面は、前記第１面を囲むように設けられた第１領域と、前記第１面に対して前記第１領域の外側に前記第１領域を囲むように設けられた第２領域とを有し、 
前記第１領域における前記液体の接触角は、前記第２領域における前記液体の接触角よりも大きい請求項３１〜３３のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項３５】
前記投影光学系の像面側の液体を回収する回収口を有する液体回収機構を備え、
前記回収口には、複数の孔が形成された多孔部材が複数枚重ねて配置されている請求項３１〜３４のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項３６】
前記多孔部材は、メッシュ部材を含む請求項３５記載の露光装置。
【請求項３７】
前記複数枚の多孔部材には、それぞれ同形状の孔が複数形成されており、それぞれの孔の位置がずれるように、前記多孔部材は重ねて前記回収口に配置されている請求項３５又は３６記載の露光装置。
【請求項３８】
前記複数枚の多孔部材のうちの第１多孔部材に形成されている孔は、第２多孔部材に形成されている孔とは大きさが異なる請求項３５〜３７のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項３９】
前記回収口は、前記投影光学系の像面側に配置される前記基板と対向するように、且つ前記投影光学系の投影領域を取り囲むように配置されている請求項３５〜３８のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４０】
前記基板を基板ホルダに保持する基板ステージを備え、
前記基板ステージは、前記基板ホルダに保持された前記基板の表面とほぼ面一の上面を有する請求項２７〜３９のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４１】
前記基板ステージの前記上面は、前記基板ホルダに保持された前記基板を囲むように設けられた平坦部を含む請求項４０記載の露光装置。
【請求項４２】
前記基板ステージの前記上面は、撥液性の領域を含む請求項４０又は４１記載の露光装置。
【請求項４３】
前記基板ステージの前記撥液性の領域の前記液体との接触角は、９０〜１３０度である請求項４２記載の露光装置。
【請求項４４】
前記基板ステージの前記撥液性の領域は、撥液性材料を塗布する、あるいは撥液性材料の薄膜を貼付する撥液化処理によって形成される請求項４２又は４３記載の露光装置。
【請求項４５】
請求項２７〜４４のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
【請求項４６】
請求項１〜２６のいずれか一項記載のノズル部材を用いて、基板上の一部に液浸領域を形成することと、
前記液浸領域の液体を介して投影光学系からの露光光を前記基板に照射することと、
を含む露光方法。