【手続補正書】
【提出日】平成24年8月23日(2012.8.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する素子を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法において、
絶縁性材料からなる絶縁層と、該絶縁層の上に設けられた抵抗層と、該抵抗層の上に設けられ、導電性材料からなる導電層と、が設けられた基板を用意する工程と、
前記素子を駆動するための電流を前記素子に供給する導電配線と、該導電配線と電気的に分離され前記液体吐出ヘッド用基板を加熱するための熱を発生する発熱体と、を前記導電層によって形成する工程と、
前記導電配線の一部を除去し、前記導電配線を第一の配線と、該第一の配線から離間した第二の配線とに分離し、前記一部に対応する前記抵抗層の領域によって前記素子を形成する工程と、を有する、液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
【請求項２】
前記導電配線及び前記発熱体を形成する工程では、前記導電配線を前記導電層によって形成するのと同時に、前記基板の厚み方向から見て前記導電配線と同一形状の抵抗線を前記抵抗層によって形成する、請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
【請求項３】
液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する素子を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法において、
絶縁性材料からなる絶縁層と、該絶縁層の上に設けられ、導電性材料からなる導電層と、が設けられた基板を用意する工程と、
第一の配線部分と、該第一の配線部分から離間した第二の配線部分とが、前記導電層の一部を除去することにより設けられ、前記素子を駆動するための電流を前記素子に供給する導電配線と、該導電配線と電気的に分離され前記液体吐出ヘッド用基板を加熱するための熱を発生する発熱体と、を前記導電層によって形成する工程と、
前記導電層よりも電気抵抗が高い材料からなる抵抗層を、前記第一の配線部分、前記第二の配線部分、及び前記第一の配線部分と前記第二の配線部分との間に対応する前記絶縁層の上に設け、該絶縁層の上に設けられた前記抵抗層の領域によって前記素子を形成する工程と、を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
【請求項４】
前記基板を用意する工程は、
前記基板の厚み方向の一方の面から離れた位置に、前記導電層とは別の他の導電層を形成する工程と、
前記素子に対応して設けられ前記素子の駆動制御を行う複数の駆動回路と接続する駆動回路信号配線と、前記液体吐出ヘッド用基板を加熱するための熱を発生する前記発熱体とは別の他の発熱体と、前記他の導電層によって形成する工程と、
前記駆動回路信号配線の上及び前記他の発熱体の上に前記絶縁層を形成する工程と、
前記発熱体と、前記他の発熱体とを電気的に接続するための貫通孔を、前記絶縁層に形成する工程と、を有する、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
【請求項５】
前記導電層はアルミニウムを含む、請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
【請求項６】
前記抵抗層は、タンタルと、窒素と、を含む、請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
【請求項７】
絶縁性材料からなる絶縁層が設けられた基板と、
前記絶縁層の上に設けられ、電気抵抗を有する第一の材料からなる、第一の抵抗線及び該第一の抵抗線と電気的に分離した第二の抵抗線と、
前記第一の抵抗線の上に設けられ、前記第一の材料よりも導電性が高い第二の材料からなり、液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する素子を駆動する電流を前記素子に供給する一対の導電配線と、を備え、
前記一対の導電配線の間に対応する、前記第一の抵抗線の領域が、前記素子として用いられ、
前記第二の抵抗線の上には、前記導電配線と電気的に分離され、前記第二の材料からなる、前記液体吐出ヘッド用基板を加熱するための熱を発生する発熱体が設けられている液体吐出ヘッド用基板。
【請求項８】
複数の前記素子が列状に設けられ、
前記発熱体は、前記素子の配列方向に沿って設けられている、請求項７に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項９】
前記基板は、前記基板を貫通して設けられた、前記素子に液体を供給するための複数の供給口を有し、
前記発熱体は、隣接する前記供給口同士の間の領域と、前記基板の端部に最近接の供給口と前記端部との間の領域と、にそれぞれ設けられている、請求項７に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１０】
前記素子に対応して設けられ、前記素子の駆動制御を行う駆動回路と電気的に接続された第三の材料からなる駆動回路信号配線と、
前記液体吐出ヘッド用基板を加熱するための熱を発生する、前記第三の材料からなる、前記発熱体とは別の他の発熱体とが、
前記基板と前記絶縁層との間に設けられている、請求項７ないし９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１１】
前記発熱体は、前記絶縁層を貫通して形成された開口部を介して前記他の発熱体と電気的に接続されている、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１２】
複数の前記素子が列状に設けられ、
前記発熱体は、前記素子の配列方向に沿って設けられ、
前記他の発熱体は、前記発熱体と交差する方向に沿って設けられている、請求項１０または１１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１３】
前記導電配線と前記他の発熱体とは、前記基板に垂直な方向において互いに一部が重なる位置に設けられている、請求項１０ないし１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１４】
外部から電圧が印加される外部接続電極を更に備え、
前記発熱体は、前記外部接続電極と電気的に接続されている、請求項８ないし１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１５】
前記第一の材料は、タンタルと、窒素と、を含み、
前記第二の材料は、アルミニウムを含む、請求項８ないし１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１６】
絶縁性材料からなる絶縁層が設けられた基板と、
前記絶縁層の上に設けられ、導電性材料からなり、液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する素子を駆動する電流を前記素子に供給する一対の導電配線と、
前記一対の導電配線の上に設けられ、前記導電性材料よりも電気抵抗が高い抵抗材料からなる抵抗層と、を備え、
前記一対の導電配線の間に対応する、前記抵抗層の領域が、前記素子として用いられ、前記絶縁層の上には、前記導電配線と電気的に分離され、前記導電性材料からなる、前記液体吐出ヘッド用基板を加熱するための熱を発生する発熱体が設けられている液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１７】
前記抵抗層はタングステンを含む、請求項１６に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１８】
請求項７ないし１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板と、
前記素子に対応して設けられた液体の吐出口と、を備える液体吐出ヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上述した目的を達成するため、本発明に係る液体吐出ヘッド用基板の製造方法は、液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する素子を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。この製造方法は、絶縁性材料からなる絶縁層と、絶縁層の上に設けられた抵抗層と、抵抗層の上に設けられ、導電性材料からなる導電層と、が設けられた基板を用意する工程を有する。また、この製造方法は、素子を駆動するための電流を素子に供給する導電配線と、導電配線と電気的に分離され液体吐出ヘッド用基板を加熱するための熱を発生する発熱体と、を導電層によって形成する工程を有する。また、この製造方法は、導電配線の一部を除去し、導電配線を第一の配線と、第一の配線から離間した第二の配線とに分離し、前記一部に対応する抵抗層の領域によって素子を形成する工程を有する。