【事件の表示】
　特願２０００−３３５２２５「極めて狭い帯域を有するリソグラフィー用種注入Ｆ２レーザ」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年１１月３０日出願公開、特開２００１−３３２７９４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．本願発明
　本願は、平成１２年９月２７日（パリ条約による優先権主張１９９９年９月２７日、同年１２月２８日、米国）の出願であって、その請求項に係る発明は、平成１６年６月２日付けで補正された明細書の請求項１ないし１４に記載される事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりである。
「【請求項１】　波長可変で狭帯域のＦ2種注入レーザシステムであって、
　Ａ）約１５７．６ｎｍの波長を中心とした狭帯域の種ビームを発生させるための第１利得媒体と、少なくとも１つのエタロン出力カプラとを有する波長可変種レーザ、及び
　Ｂ）少なくとも１つのビーム増幅器を備え、前記少なくとも１つのビーム増幅器の各々は、約１５７．６ｎｍの波長で０．８ｐｍ未満の帯域幅を持つ出力レーザビームを生成するように前記種ビームを増幅するための第２利得媒体を有し、
　前記ビーム増幅器が、
　　　１）ａ）少なくとも２つの細長い電極、
　　　　　ｂ）ｉ）フッ素と、
　　　　　　　ｉｉ）バッファガス混合気体と
　　　　　　　を含むレーザガス、及び
　　　　　ｃ）少なくとも２ｃｍ／ミリ秒の速度で、前記電極の間に
　　　　　　　前記ガスを循環するためのガス循環器
　　　　を含むレーザ室を有するレーザ室モジュール、
　　　２）少なくとも約１０００Ｈｚの繰り返し周波数で前記電極を
　　　　横切る少なくとも１４，０００ボルトの高電圧電気パルス生
　　　　成するための、電源回路とパルス圧縮回路と増幅回路とパル
　　　　ス電力制御装置とを含むパルス電力システム、及び
　　　３）前記パルス電力システムにより供給される電圧を制御するためのレーザパルスエネルギ制御システム、を備え、
　前記制御システムが、レーザパルスエネルギモニタと、少なくとも最新のパルスのパルスエネルギとバーストにおける以前の全てのパルスのパルスエネルギを含む過去のパルスエネルギデータに基づいて計算するようにプログラムされたコンピュータプロセッサとを有し、
　次のレーザパルスを生成するのに必要な高電圧電気パルスの電圧が、パルス間及びバースト間のエネルギ変化を最小にするパルスエネルギを有する、ことを特徴とするレーザシステム。」
　
２．拒絶理由通知
　これに対して、当審は、平成１８年１１月８日付けで次の拒絶理由を通知した。
『本願請求項１における「パルス間及びバースト間のエネルギ変化を最小にするパルスエネルギを有する」「次のレーザパルスを生成するのに必要な高電圧電気パルスの電圧」を「少なくとも最新のパルスのパルスエネルギとバーストにおける以前の全てのパルスのパルスエネルギを含む過去のパルスエネルギデータに基づいて」どのような手順により算出すればよいのかが、本願明細書の発明の詳細な説明に記載されていない。 
 　したがって、本願請求項１及びこれを引用する請求項２ないし１４に係る発明について、本願明細書の発明の詳細な説明に当業者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に、記載されているとはいえず、本願明細書は、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない。』 
　
３．意見書
　請求人は、平成１９年５月１４日付けで次の意見書を提出した。
『上記拒絶理由にてご指摘のとおり、本願明細書には、本願請求項に記載されている発明に使用することのできるアルゴリズムについての具体的な記載はない。
　しかしながら、本願明細書には、本願請求項に記載されている発明が採用する制御システムを構成するにあたり、当該制御システムがいかなる計算に基づいてＦ2種注入レーザシステムにおけるパルスエネルギを制御すべきかについての記載は、ある。すなわち、本願明細書によれば、上記制御システムは、少なくとも最新のパルスのパルスエネルギと、（同一の）バーストにおける以前の全てのパルスのパルスエネルギを含む過去のパルスエネルギデータに基づいて、上記計算を行うものである。
　そして、本願請求項に記載されている発明は、特定のアルゴリズムを採用している点で従来技術と差別化されるのではなく、アルゴリズムが「最新のパルスのパルスエネルギとバーストにおける以前の全てのパルスのパルスエネルギ」を考慮するものである点で、直前のパルスにおいて観察されたパルスエネルギのみを考慮するような従来技術とは明確に差別化されるのである。
　したがって、当業者であれば、本願明細書の開示内容にしたがって上記本願請求項に記載されている発明と従来技術との相違を理解することにより、本件出願時の技術常識と本願明細書の記載に基づいて、本願請求項に記載されている発明を実施することは可能であるものと思料する。
　なお、本願明細書［０００１］段落に記載されている「米国特許出願番号０９／４３８，２４９」は、米国特許第６，３３０，２６０号に対応するものであって、同米国特許の明細書には、本願請求項に記載されている発明に使用することのできるアルゴリズムについて、具体的に記載されている。』
　
４．検討
　請求人は、意見書において「すなわち、本願明細書によれば、上記制御システムは、少なくとも最新のパルスのパルスエネルギと、（同一の）バーストにおける以前の全てのパルスのパルスエネルギを含む過去のパルスエネルギデータに基づいて、上記計算を行うものである。」と主張するが、「上記計算」がいかなる計算であるか不明である。
　さらにいえば、「上記計算」は、単に「少なくとも最新のパルスのパルスエネルギと、（同一の）バーストにおける以前の全てのパルスのパルスエネルギを含む過去のパルスエネルギデータ」を用いるものでありさえすればよいというものではなく、「次のレーザパルスを生成するのに必要な高電圧電気パルスの電圧が、パルス間及びバースト間のエネルギ変化を最小にするパルスエネルギを有する」ものでなければならないところ、このような「次のレーザパルスを生成するのに必要な高電圧電気パルスの電圧」を「少なくとも最新のパルスのパルスエネルギと、（同一の）バーストにおける以前の全てのパルスのパルスエネルギを含む過去のパルスエネルギデータ」からどのような計算により得るのかについての記載が本願明細書中にあるとは到底いえない。
　本願明細書は、本願発明の「パルス電力システムにより供給される電圧を制御するためのレーザパルスエネルギ制御システム」について、段落【００９２】に
「【００９２】
　パルスエネルギの制御
　フォトダイオード９２からの信号は、制御盤１００中のプロセッサー１０２に伝達され、プロセッサーは、次の及び／又は未来のパルス用のコマンド電圧を設定するために、このエネルギ信号及び好ましくは他の過去のパルスエネルギデータ（パルスエネルギ制御アルゴリズムと題する章で後述する）を使用する。レーザが一連の短いバースト（約０．１秒の不感時間で分離した２０００Ｈｚで１００パルス、０．５秒のバースト）で動作するようなこの好ましい実施形態において、制御盤１００内のプロセッサー１０２は、連続パルスに対しパルス・ツー・パルス・エネルギ変化を最小にするとともにバースト・ツー・バースト・エネルギ変化を最小にするように制御電圧を選択するため、他の過去のパルスプロファイルデータとともにバーストにおける以前の全てのパルスに関するエネルギ信号を使用し更に最新のパルスエネルギ信号も使用する特別なアルゴリズムでプログラムされる。この計算は、制御盤内プロセッサー１０２により約３５ｓの周期間にこのアルゴリズムを使用し実行される。レーザパルスは、図８Ｆ３に示されるＩＧＢＴスイッチ４６のＴ0発射に続き約５ｓ起り、約２０ｓがレーザパルスエネルギデータを収集するため必要とされる。（スイッチ４６の発射の開始はＴ0と呼ばれる。）従って、新たな制御電圧値は、（図８Ｆ１に示されるように）以前のパルス（２０００Ｈｚで発射周期は５００ｓ）に対しＩＧＢＴスイッチ４６の発射後約７０マイクロ秒で準備が完了する。エネルギ制御アルゴリズムの特性は以下に記述され、本明細書で参照文献として援用する米国特許出願番号０９／０３４，８７０に更に詳細に記述されている。」
と記載するだけであって、後述するとされる「パルスエネルギ制御アルゴリズムと題する章」は本願明細書中になく、「特別なアルゴリズム」がどういうものであるかは不明である。
　
　なお、請求人は意見書において『なお、本願明細書［０００１］段落に記載されている「米国特許出願番号０９／４３８，２４９」は、米国特許第６，３３０，２６０号に対応するものであって、同米国特許の明細書には、本願請求項に記載されている発明に使用することのできるアルゴリズムについて、具体的に記載されている。』と記載し、また、本願明細書は上記のとおり「エネルギ制御アルゴリズムの特性は以下に記述され、本明細書で参照文献として援用する米国特許出願番号０９／０３４，８７０に更に詳細に記述されている。」と記載しているが、米国特許出願番号０９／４３８，２４９や米国特許出願番号０９／０３４，８７０に記載された内容が、本願の優先権主張日において、当該技術分野における通常の知識であったと認めることはできない。
　
　結局、本願明細書中に、「少なくとも最新のパルスのパルスエネルギとバーストにおける以前の全てのパルスのパルスエネルギを含む過去のパルスエネルギデータ」に基づいて、どのような手順により「次のレーザパルスを生成するのに必要な高電圧電気パルスの電圧」を算出すればよいのかの記載がない以上、本願発明の「少なくとも最新のパルスのパルスエネルギとバーストにおける以前の全てのパルスのパルスエネルギを含む過去のパルスエネルギデータに基づいて計算するようにプログラムされたコンピュータプロセッサ」を実現することは困難であり、本願発明について、発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に、発明の詳細な説明に記載されているとはいえない。
　
５．むすび
　したがって、本願は、平成１４年改正前特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていないから、拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。