【手続補正書】
【提出日】平成24年4月17日(2012.4.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一軸方向に関する絶対位置情報を計測するアブソリュートエンコーダであって、
前記一軸方向を単位パターンの配列方向とするアブソリュートパターンが設けられた第１領域と、前記アブソリュートパターンと組をなすインクリメンタルパターンが設けられた第２領域と、が前記一軸方向に関して異なる位置に併設された符号板と；
前記第１及び第２領域にそれぞれ対向する第１及び第２検出器を有するヘッドと；を備えるアブソリュートエンコーダ。
【請求項２】
前記アブソリュートパターンの前記一軸に垂直な方向に関する有効幅は、少なくとも、前記アブソリュートパターンの前記一軸方向に関する有効長と同程度である請求項１に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項３】
前記第１及び第２検出器の前記一軸方向に関する中心間距離は、前記第１及び第２領域の間の前記一軸方向に関する相対距離にほぼ等しく、前記中心間距離と前記相対距離の差は、前記アブソリュートパターンの前記一軸方向に関する有効長以下である請求項１又は２に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項４】
前記第１及び第２検出器は、前記一軸に垂直な方向に離間し、
前記一軸に垂直な方向に関する前記第１及び第２検出器の中心間距離は、前記一軸に垂直な方向に関する前記第１及び第２領域の間の相対距離にほぼ等しく、前記中心間距離と前記相対距離の差は、前記アブソリュートパターンの前記一軸に垂直な方向に関する有効幅以下である請求項１〜３のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項５】
前記第１及び第２検出器は、それぞれ前記第１及び第２領域に計測光を投射して、前記アブソリュートパターン及び前記インクリメンタルパターンを読み取り、
前記第１及び第２検出器の読み取り結果から、前記符号板と前記ヘッドとの間の前記一軸方向に関する絶対位置情報を求める請求項１〜４のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項６】
前記第１及び第２領域は、前記一軸方向に所定間隔毎に配置されている請求項１〜５のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項７】
前記符号板には、さらに、前記一軸に垂直な方向を単位パターンの配列方向とする別のアブソリュートパターンが設けられた第３領域と、前記別のアブソリュートパターンと組をなす別のインクリメンタルパターンが設けられた第４領域とが、前記第１及び第２領域と異なる位置に併設され、
前記ヘッドは、さらに、前記第３及び第４領域にそれぞれ対向する第３及び第４検出器を有する請求項１〜５のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項８】
前記第３及び第４領域は、前記一軸に垂直な方向に関して異なる位置に併設され、
前記第３及び第４検出器の前記一軸に垂直な方向に関する中心間距離は、前記第３及び第４領域の間の前記一軸に垂直な方向に関する相対距離にほぼ等しく、前記中心間距離と前記相対距離の差は、前記別のアブソリュートパターンの前記一軸に垂直な方向に関する有効長以下である請求項７に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項９】
前記第３及び第４領域は、前記一軸方向に関して異なる位置に併設され、
前記第３及び第４検出器の前記一軸方向に関する中心間距離は、前記第３及び第４領域の間の前記一軸方向に関する相対距離にほぼ等しく、前記中心間距離と前記相対距離の差は、前記別のアブソリュートパターンの前記一軸方向に関する有効幅以下である請求項７に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項１０】
前記第３及び第４検出器は、それぞれ前記第３及び第４領域に計測光を投射して、前記別のアブソリュートパターン及び前記別のインクリメンタルパターンを読み取り、
前記第３及び第４検出器の読み取り結果から、前記符号板と前記ヘッドとの間の前記一軸に垂直な方向に関する絶対位置情報を求める請求項７〜９のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項１１】
前記第１、第２、第３、及び第４領域は、前記一軸方向と前記一軸に垂直な方向との少なくとも一方に、所定間隔毎に配置されている請求項７〜１０のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項１２】
前記符号板には、さらに、前記インクリメンタルパターンと組をなす前記一軸に垂直な方向を単位パターンの配列方向とする別のアブソリュートパターンが設けられた第３領域が、前記第１及び第２領域と異なる位置に設けられ、
前記ヘッドは、さらに、前記第３及び第２領域にそれぞれ対向する第３及び第４検出器を有する請求項１〜５のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項１３】
前記インクリメンタルパターンは、前記一軸方向と前記一軸に垂直な方向とを周期方向とする請求項１２に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項１４】
前記第３領域は、前記第２領域と前記一軸に垂直な方向に関して異なる位置に設けられ、
前記第３及び第４検出器の前記一軸に垂直な方向に関する中心間距離は、前記第３及び第２領域の間の前記一軸に垂直な方向に関する相対距離にほぼ等しく、前記中心間距離と前記相対距離の差は、前記別のアブソリュートパターンの前記一軸に垂直な方向に関する有効長以下である請求項１２又は１３に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項１５】
前記第３領域は、前記第２領域と前記一軸方向に関して異なる位置に設けられ、
前記第３及び第４検出器の前記一軸方向に関する中心間距離は、前記第３及び第２領域の間の前記一軸方向に関する相対距離にほぼ等しく、前記中心間距離と前記相対距離の差は、前記別のアブソリュートパターンの前記一軸方向に関する有効幅以下である請求項１２又は１３に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項１６】
前記第３及び第４検出器は、それぞれ前記第３及び第２領域に計測光を投射して、前記別のアブソリュートパターン及び前記インクリメンタルパターンを読み取り、
前記第３及び第４検出器の読み取り結果から、前記符号板と前記ヘッドとの間の前記一軸に垂直な方向に関する絶対位置情報を求める請求項１２〜１５のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項１７】
前記第１、第２、及び第３領域は、前記一軸方向と前記一軸に垂直な方向との少なくとも一方に、所定間隔毎に配置されている請求項１２〜１６のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項１８】
前記符号板には、さらに、前記第２領域と同様の構成の第４領域が、前記第３領域と前記一軸方向に関して異なる位置に設けられている請求項１２〜１７のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項１９】
前記ヘッドが複数設けられ、
前記複数のヘッドが、その一面に所定の位置関係で取り付けられたヘッド取り付け部材をさらに備える請求項１〜１８のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項２０】
前記複数のヘッドは、前記一軸方向に、前記アブソリュートパターンの前記一軸方向に関する有効長以下の間隔を隔てて、前記ヘッド取り付け部材の一面に配置されている請求項１９に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項２１】
前記複数のヘッドは、前記一軸に垂直な方向に、前記アブソリュートパターンの前記一軸に垂直な方向に関する有効幅以下の間隔を隔てて、前記ヘッド取り付け部材の一面に配置されている請求項１９又は２０に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項２２】
前記複数のヘッドと前記符号板との位置関係に応じて、使用する前記ヘッドが切り換えられる請求項１９〜２１のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
【請求項２３】
所定平面に沿って移動する移動体と；
前記符号板が、前記所定平面に平行な面上と前記移動体上との一方に設置され、前記ヘッドが、前記所定平面に平行な面上と前記移動体上との他方に設置され、前記移動体の前記所定平面内の位置情報を計測する請求項１〜１８のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダと；を備える移動体装置。
【請求項２４】
所定平面に沿って移動する移動体と；
請求項１９〜２２のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダと；を備え、
前記アブソリュートエンコーダの一部を構成する前記ヘッド取り付け部材が、前記移動体と前記移動体外部との一方に設置され、前記移動体と前記移動体外部との他方に前記符号板が前記複数のヘッドに対向して設置された移動体装置。
【請求項２５】
移動体の移動方向に関する位置情報を計測するエンコーダであって、
前記移動方向に関する前記位置情報を示すパターンが設けられた少なくとも２つの計測領域を有する符号板と、
前記２つの計測領域の前記パターンをそれぞれ検出する第１及び第２検出手段と、を備え、
前記２つの計測領域は、前記移動方向に沿って配置されており、
前記パターンは、前記移動方向に関する前記位置情報を計測可能な長さより前記移動方向に垂直な方向における長さの方が長く形成されていることを特徴とするエンコーダ。
【請求項２６】
前記垂直な方向は、前記符号板の前記パターンが設けられた面において、前記移動方向に対して垂直な一方向である
ことを特徴とする請求項２５に記載のエンコーダ。
【請求項２７】
前記パターンは、前記移動方向を周期方向として形成され、
前記第１及び第２検出手段は、前記２つの計測領域にそれぞれ対向し、前記周期方向に互いに離間して配置される
ことを特徴とする請求項２５又は２６に記載のエンコーダ。
【請求項２８】
前記第１及び第２検出手段の前記移動方向に関する中心間距離は、前記２つの計測領域の間の前記移動方向に関する相対距離にほぼ等しい
ことを特徴とする請求項２５〜２７のいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項２９】
請求項２５〜２８のいずれか一項に記載のエンコーダと、
所定平面に沿って移動する前記移動体と、
を備える移動体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】アブソリュートエンコーダ及びエンコーダ、並びに移動体装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明はアブソリュートエンコーダ及びエンコーダ並びに移動体装置に係り、更に詳しくは、少なくとも一軸方向に関する絶対位置情報を計測するアブソリュートエンコーダ及び移動体の移動方向に関する位置情報を計測するエンコーダ、並びに前記アブソリュートエンコーダ又は前記エンコーダを備える移動体装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、第３の観点からすると、所定平面に沿って移動する移動体と；複数のヘッドが、その一面に所定の位置関係で取り付けられたヘッド取り付け部材を備える本発明のアブソリュートエンコーダと；を備え、前記アブソリュートエンコーダの一部を構成する前記ヘッド取り付け部材が、前記移動体と前記移動体外部との一方に設置され、前記移動体と前記移動体外部との他方に前記符号板が前記複数のヘッドに対向して設置された第２の移動体装置である。
本発明は、第４の観点からすると、移動体の移動方向に関する位置情報を計測するエンコーダであって、前記移動方向に関する前記位置情報を示すパターンが設けられた少なくとも２つの計測領域を有する符号板と、前記２つの計測領域の前記パターンをそれぞれ検出する第１及び第２検出手段と、を備え、前記２つの計測領域は、前記移動方向に沿って配置されており、前記パターンは、前記移動方向に関する前記位置情報を計測可能な長さより前記移動方向に垂直な方向における長さの方が長く形成されていることを特徴とするエンコーダである。
本発明は、第５の観点からすると、上記エンコーダと、所定平面に沿って移動する前記移動体と、を備える移動体装置である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
スケール１１Ａは、図６に示されるように、表面（＋Ｚ側の面）に４つのパターン領域ＰＡ１〜ＰＡ４が形成された板状部材（以下、便宜上スケール部材と呼ぶ）から成る。すなわち、スケール部材の上面には、Ｘ軸方向を単位パターンの配列方向とするアブソリュートパターンＡＸが設けられた第１領域ＰＡ１と、アブソリュートパターンＡＸと組１１ＸをなすインクリメンタルパターンＩＸが設けられた第２領域ＰＡ２とが、Ｘ軸方向に離間して併設されている。また、Ｙ軸方向を単位パターンの配列方向とするアブソリュートパターンＡＹが設けられた第３領域ＰＡ３と、アブソリュートパターンＡＹと組１１ＹをなすインクリメンタルパターンＩＹが設けられた第４領域ＰＡ４とが、Ｙ軸方向に離間して併設されている。この場合、インクリメンタルパターンＩＸ，ＩＹは、それぞれ組を成すアブソリュートパターンＡＸ，ＡＹに対して、前述と同様の位相差を設けて配置されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
ヘッド２０Ａは、図４及び図６に示されるように、正方形板状の取り付け部材４６と、該取り付け部材４６の−Ｘ側、＋Ｘ側、＋Ｙ側及び−Ｙ側の面にそれぞれ一端が固定された長方形板状の支持部材４８ａ、４８ｂ、４８ｃ及び４８ｄと、該支持部材４８ａ、４８ｂ、４８ｃ及び４８ｄそれぞれの他端部の下面（−Ｚ側の面）に固定されたアブソリュート信号用検出器２１Ｘ１、インクリメンタル信号用検出器２１Ｘ２、アブソリュート信号用検出器２１Ｙ１、及びインクリメンタル信号用検出器２１Ｙ２とを有している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２０】
本発明のアブソリュートエンコーダは、移動する物体の位置を計測するのに適している。また、本発明のエンコーダは、移動する物体の位置を計測するのに適している。また、本発明の移動体装置は移動体を精度良く駆動するのに適している。