【事件の表示】
　特願２００５−３７００９５「走査プローブ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年　７月　５日出願公開、特開２００７−１７１０２２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件は、平成１７年１２月２２日の特許出願（２００５年特許願第３７００９５号。「以下、「本件出願」という。）につき、平成２０年１２月１９日付けで拒絶査定（発送日：平成２１年１月６日）がなされたところ、これに対し、平成２１年２月５日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同年３月９日付けで手続補正がなされたものである。
　
第２　平成２１年３月９日付けの手続補正についての補正却下の決定
　１　補正却下の決定の結論
　平成２１年３月９日付けの手続補正を却下する。
　　
　２　補正却下の決定の理由
　（１）平成２１年３月９日付けの手続補正書による手続補正（以下、「本件補正」という。）の内容
　本件補正は、本件出願の明細書の特許請求の範囲の請求項１を以下のとおり補正することを含むものである。
　　　　　　　　
　ア　本件補正前の特許請求の範囲の請求項１（平成２０年６月１８日付け手続補正書によるもの）
「【請求項１】
　探針と、試料を保持する試料ステージと、を有し、前記探針と前記試料とを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は試料の加工を行う走査プローブ装置において、
　前記試料ステージは、試料保持台を移動させるための駆動素子と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、を有し、
　前記試料ステージは、前記試料保持台と前記駆動素子と前記可動部とが一体的に、装置本体に対して、交換可能に構成されていることを特徴とする走査プローブ装置。」
　　　　　　　　　　　
　イ　本件補正後の特許請求の範囲の請求項１
「【請求項１】
　探針と
、試
ステージ
前記
　前記試料ステージは、
前記試料を保持する試料保持台と、該
３次元方向に
前記試料保持台と前記駆動素子と前記可動部とを支持する支持部と、
　前記試料ステージは、装置本体に対して、
一体的に
（なお、下線部は補正箇所を示す。）　
　　　　　　　
　（２）　本件補正の適否について
（２−１）本件補正において、本件補正前の請求項１に係る発明について、「前記試料ステージは、試料保持台を移動させるための駆動素子と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、を有し」を「前記試料ステージは、前記試料を保持する試料保持台と、該試料保持台を３次元方向に移動させるための駆動素子と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、前記試料保持台と前記駆動素子と前記可動部とを支持する支持部と、を有し」と補正することは、本件補正前の「試料ステージ」が、「前記試料を保持する試料保持台」と「前記試料保持台と前記駆動素子と前記可動部とを支持する支持部」とをさらに含むことを減縮して特定するとともに、「試料保持台を移動させるための駆動素子」が、「３次元方向に」移動することを減縮して特定するものである。
（２−２）上記（２−１）で検討したように、試料ステージが「試料を保持する試料保持台」を有すると補正したことにより、試料ステージが、試料を保持することが明らかであることから、本件補正において、本件補正前の請求項１に係る発明について、「試料を保持する試料ステージ」を「試料ステージ」と補正することは、「試料を保持する」点を削除して、不明りょうな記載を明確にしたものであり、明りょうでない記載の釈明にあたるものである。
（２−３）上記（２−２）で検討したように、「試料を保持する試料ステージ」を「試料ステージ」と補正したことにより、「前記探針と前記試料とを相対的に移動させながら」の構成要件の記載の前文に、「試料」という構成要件が削除されていることから、本件補正において、本件補正前の請求項１に係る発明について、「前記探針と前記試料とを相対的に移動させながら」を「前記探針と前記試料ステージとを相対的に移動させながら」と補正することは」、「試料」という構成要件が、削除されたことに伴う不明りょうな記載を明確にするものであり、明りょうでない記載の釈明にあたるものである。
（２−４）上記（２−１）で検討したように、「前記試料ステージ」は、「前記試料を保持する試料保持台と、該試料保持台を３次元方向に移動させるための駆動素子と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、前記試料保持台と前記駆動素子と前記可動部とを支持する支持部と、を有」する補正したことにより、試料ステージが、「前記試料保持台と前記駆動素子と前記可動部と」を含むことは明らかであり、本件補正において、本件補正前の請求項１に係る発明について、「前記試料ステージは、前記試料保持台と前記駆動素子と前記可動部とが一体的に、装置本体に対して、交換可能に構成されている」を「前記試料ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成されている」と補正することは、「試料ステージ」が、「前記試料を保持する試料保持台と、該試料保持台を３次元方向に移動させるための駆動素子と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、前記試料保持台と前記駆動素子と前記可動部とを支持する支持部と、を有」すると補正したことに伴う、不明りょうな記載を明確にするものであり、明りょうでない記載の釈明にあたるものである。
（２−５）そうすると、上記（２−１）〜（２−４）で検討したように、本件補正は、明りょうでない記載の釈明及び減縮を含む補正を含む補正であり、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例とされる同法による改正前（以下「平成１８年改正前」という。）の特許法第１７条の２第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮及び同法同条同項第４号に規定する明りょうでない記載の釈明に該当する。
　　
　（３）　独立特許要件について
　そこで、本件補正は減縮する補正を含む補正であるから、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下、「本願補正発明」という）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
　（ア）引用刊行物記載の発明
（３Ａ）原査定の拒絶の理由に引用され、本件出願前に頒布された特開２００４−３３３３５０号公報（以下、引用刊行物Ａ」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている。（下線は当審で付与したものである。以下、同様である。）
　　
（３Ａ−１）「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、
走査型プローブ顕微鏡の走査機構
　　　
（３Ａ−２）「【０００２】
【従来の技術】
米国特許第６３２３４８３Ｂ１号は、
走査型プローブ顕微鏡の走査機構
【０００３】
図９に示されるように、この走査機構１１４は、支持部１２２に片持ち支持されたｘｙ方向に変位するｘｙスキャナ１３０と、ｘｙスキャナ１３０の自由端部に固定されたｚ方向に変位する二本のｚスキャナ１３４と１３６とを有している。二本のｚスキャナ１３４と１３６は、例えば積層型圧電体で構成され、ｚスキャナ固定部１３２からｚ軸に沿って上下に対称的に延びている。下側のｚスキャナ１３４の下端にはカンチレバー固定部１０２が固定されている。カンチレバー固定部１０２には、自由端にプローブ１１０を有するカンチレバー１０８が取り付けられる。
【０００４】
走査機構１１４は、ｘｙスキャナ１３０によりサンプル１０４に対してプローブ１１０をｘｙ方向に移動させると共に、ｚスキャナ１３４を伸縮させ、例えばサンプル１０４からプローブ１１０までの距離を一定に保つようにプローブ１１０をｚ方向に移動させる
走査型プローブ顕微鏡測定を可能にする
　　
（３Ａ−３）「【００２２】
図１と図２に示されるように、本実施形態の
走査型プローブ顕微鏡の走査機構１０
サンプル等の被走査物１８をｚ軸に沿って移動させるためのｚスキャナ１２と、ｚ軸に沿って変位し得る一つのｚスキャナ１４と、ｚスキャナ１２とｚスキャナ１４をｘ軸とｙ軸に沿って移動させるためのｘｙスキャナ１６とを備えている
【００２３】
ｚスキャナ１４は、図１に示されるように、ｚスキャナ１２を取り囲む形状を有している。ｚスキャナ１４は、ｚスキャナ１２の中心軸すなわちｚスキャナ１２の中心を通りｚ軸に平行な軸に対して対称性良く位置している。より詳しくは、ｚスキャナ１４は、ｚスキャナ１２の中心軸に対して軸対称な形状を有している。
【００２４】
被走査物１８はｚスキャナ１２に取り付けられる
ｚスキャナ１２は、
積層型圧電素子で構成される
【００２５】
ｘｙスキャナ１６は、これに限定されないが、例えば、特開２００１−３３０４２５号公報に開示されている一体切り抜きバネを利用したスキャナで構成される。ｘｙスキャナ１６はｘ軸とｙ軸に沿って移動し得る可動部を有し、ｚスキャナ１２とｚスキャナ１４は共にｘｙスキャナ１６の可動部に保持されている。つまり、ｘｙスキャナ１６の可動部は、ｚスキャナ１２とｚスキャナ１４とを共に保持するスキャナ保持部を構成している。ｚスキャナ１２とｚスキャナ１４は共に、ｘｙスキャナ１６の可動部から同じ側に延出している。
【００２６】
本実施形態の走査機構１０では、被走査物１８を移動させるために、ｚスキャナ１２に適宜電圧が印加される。ｚスキャナ１２は電圧印加に応じてｚ軸に沿って伸縮する。その結果、ｚスキャナ１２に取り付けられた被走査物１８がｚ軸に沿って移動される。
【００２７】
ｚスキャナ１２への電圧印加に対応して、ｚスキャナ１４にも適宜電圧が印加される。印加電圧の時間的変化に注目すると、ｚスキャナ１４には、ｚスキャナ１２に印加される電圧波形に対して、周波数が同じで位相が逆の波形の電圧が印加される。更に、ｚスキャナ１４に印加される電圧波形の振幅は、ｚスキャナ１２の伸縮によりｘｙスキャナ１６の可動部が受ける衝撃を打ち消すように調整される。
【００２８】
ｚスキャナ１２は電圧印加に応じてｚ軸に沿って伸縮する。ｚスキャナ１２の伸縮は、これを保持している部材、すなわち、ｘｙスキャナ１６の可動部をｚ軸に沿って振動させる。また、ｚスキャナ１４も電圧印加に応じてｚ軸に沿って伸縮する。ｚスキャナ１４の伸縮は、ｚスキャナ１２の伸縮に対して逆となるため、ｚスキャナ１２の伸縮によって引き起こされたｘｙスキャナ１６の可動部の動を減衰させる。
【００２９】
予め、ｚスキャナ１２やｚスキャナ１４やｘｙスキャナ１６の諸特性を考慮して、ｚスキャナ１４に印加する電圧の波形を調整しておくことにより、理想的には、ｚスキャナ１２の伸縮によって引き起こされたｘｙスキャナ１６の可動部の振動が打ち消される。つまり、ｘｙスキャナ１６の可動部の不所望な振動を無くすことが可能となる。
【００３０】
本実施形態の走査機構１０では、ｚスキャナ１２とｚスキャナ１４は共に、ｘｙスキャナ１６に対して同じ側に配置されている。このため、走査機構１０のｚ軸に沿った寸法を比較的小さく抑えることが可能である。これにより、走査機構１０は、ｚ軸に沿った寸法の狭い空間に対しても、比較的容易に設置することが可能である。
【００３１】
また、ｚスキャナ１２とｚスキャナ１４が共にｘｙスキャナ１６に対して同じ側に位置するため、走査機構１０の組立が比較的容易に行なわれ得る。これは、走査機構１０の諸特性の向上にとって有利である。」
　　　
（３Ａ−４）「【００３２】
第二実施形態
本実施形態は、
走査型プローブ顕微鏡
査機構
【００３３】
図３は、本発明の第二実施形態の走査機構の平面図である。図４は、図３に示された走査機構のIV−IV線に沿った断面図である。図５は、図３と図４に示されたチューブスキャナの側面図である。図３〜図５において、図１と図２に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明の
走査機構２０は、ｚスキャナ１２と、ｘｙスキャナ１６と、ｚスキャナ１２を取り囲んでいるチューブスキャナ２２とを備えている。ｚスキャナ１２とチューブスキャナ２２は共にｘｙスキャナ１６の可動部に保持されている
【００３５】
チューブスキャナ２２は、円筒形状をしており、ｚスキャナ１２の中心軸に対して軸対称に配置されている。つまり、チューブスキャナ２２は、ｚスキャナ１２の中心軸に対して対称性良く位置している。
【００３６】
チューブスキャナ２２は、例えば、走査型プローブ顕微鏡においてよく使用される円筒型圧電素子であり、ｚ軸に沿ってだけでなく、ｘ軸とｙ軸に沿っても変位し得る。チューブスキャナ２２すなわち円筒型圧電素子は、図５に示されるように、円筒形状の圧電体２４と、円筒の外周面に四つの駆動電極２６と、円筒の内周面に設けられた（図示しない）一つの共通電極とで構成されている。四つの駆動電極２６は、互いに離れており、円筒の中心軸周りに、角度的に等間隔に位置している。
【００３７】
このようなチューブスキャナ２２は、例えば、円筒の内側の共通電極が接地され、円筒の外側の四つの駆動電極２６に電圧が適宜印加されることで駆動される。例えば、チューブスキャナ２２は、円筒の中心軸に対して反対側に位置する二つの駆動電極２６に逆極性の電圧が印加されると、その二つの駆動電極２６を横切る方向に湾曲する。従って、チューブスキャナ２２は、軸対称に位置する二つの駆動電極２６への印加電圧を制御することにより、その自由端がｘ軸あるいはｙ軸に沿って変位される。また、四つの駆動電極２６に同じ電圧が印加されると、チューブスキャナ２２はｚ軸に沿って伸縮する。
【００３８】
本実施形態の走査機構２０では、第一実施形態の走査機構１０と同様に、ｚスキャナ１２の伸縮に対して逆にチューブスキャナ２２を伸縮させることにより、ｚスキャナ１２の伸縮によって引き起こされるｘｙスキャナ１６の可動部の不所望な振動を減衰させる、理想的には無くすことが可能となる。
【００３９】
本実施形態の走査機構２０では、チューブスキャナ２２がｚ軸に沿ってだけでなくｘ軸とｙ軸に沿っても変位し得るので、ｘｙスキャナ１６の可動部のｘ軸とｙ軸に沿った変位を無くすことが可能である。言い換えれば、ｘｙスキャナ１６の可動部のｘ軸とｙ軸に沿った振動をも減衰させることが可能である。
【００４０】
走査機構２０の組立においては、ｚスキャナ１２をｘｙスキャナ１６の可動部に対して完全に垂直に取り付けることは、言い換えれば、ｘｙスキャナ１６のｘ軸とｙ軸に対してｚスキャナ１２の中心軸を完全に直交させてｘｙスキャナ１６に取り付けることは非常に難しい。これは、本実施形態の走査機構２０に限らず、通常の走査機構の組立についても一般的に言えることである。
【００４１】
のため、走査機構２０は、ｚスキャナ１２の中心軸がｘｙスキャナ１６のｘ軸とｙ軸に対して傾いて組み立てられることがある。このような走査機構２０においては、ｚスキャナ１２の伸縮は、ｚ軸に沿った成分だけでなく、ｘ軸やｙ軸に沿った成分をも含むものとなる。この場合、ｚスキャナ１２の伸縮は、ｘｙスキャナ１６の可動部をｘ軸やｙ軸に沿って変位（振動）させる。
【００４２】
また、ｚスキャナ１２の製造時のバラツキにより、ｚスキャナ１２の伸縮の方向が中心軸に対して傾いている場合もある。この場合も、ｚスキャナ１２の伸縮は、ｘｙスキャナ１６の可動部をｘ軸やｙ軸に沿って変位（振動）させる。
【００４３】
本実施形態においては、ｚスキャナ１２のｚ軸に沿った伸縮に応じて発生するｘｙスキャナ１６の可動部のｘ軸やｙ軸に沿った変位を予め測定しておき、ｚスキャナ１２のｘ軸やｙ軸に沿った変位により引き起こされるｘｙスキャナ１６の可動部のｘ軸やｙ軸に沿った振動を打ち消すように、チューブスキャナ２２をｘ軸とｙ軸に沿って変位させるとよい。これにより、ｘｙスキャナ１６の可動部の振動を、ｚ軸に沿った成分についてだけでなく、ｘ軸とｙ軸に沿った成分についても、減衰させることが、理想的には無くすが可能となる。
【００４４】
ｚスキャナ１２の伸縮によって引き起こされるｘｙスキャナ１６の可動部のｘ軸やｙ軸に沿った変位は、どのような手法によって測定されてもよい。例えば、ｘｙスキャナ１６の近くに変位センサを設置して測定しても、あるいは、ｘｙスキャナ１６に歪みゲージを設けて測定してもよい。
【００４５】
これまでの説明から分かるように、本実施形態の
走査機構２０
第一実施形態の走査機構１０
キャナ１２とチューブスキャナ２２が共にｘｙスキャナ１６に対して同じ側に配置されている
【００４６】
さらに、チューブスキャナ２２は、ｚ軸に沿ってだけでなく、ｘ軸とｙ軸に沿っても変位し得るため、走査機構２０においては、ｚスキャナ１２の伸縮により引き起こされるｘ軸とｙ軸に沿った成分を含む不所望な振動をも減衰させたり、理想的には打ち消したりすることも可能となる。」
　　　
　上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−１）〜（３Ａ−４）の記載のうち、（３Ａ−１）及び（３Ａ−４）の記載を特に参照すると、上記引用刊行物Ａには、
「走査機構２０を有する走査型プローブ顕微鏡において、
　走査機構２０は、サンプル等の被走査物１８をｚ軸に沿って移動させるための積層型圧電素子からなるｚスキャナ１２と、ｚスキャナ１２を取り囲んでいるチューブスキャナ２２と、ｚスキャナ１２とチューブスキャナ２２を可動部に保持し、ｘ軸とｙ軸に沿って移動させるためのｘｙスキャナ１６と、を備えている走査型プローブ顕微鏡。」
　の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認める。
　　　　　　　　　　
（３Ｂ）原査定の拒絶の理由に引用され、本件出願前に頒布された特開２００５−２３３６６９号公報（以下、引用刊行物Ｂ」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている。
　
（３Ｂ−１）「【技術分野】
【０００１】本発明は、
主として試料表面の３次元形状を観察するために用いられる走査型プローブ顕微鏡
　　　　　　　　　　　　　
（３Ｂ−２）「【０００３】
　従来から知られている原子間力顕微鏡の検出部の原理的構成を図６に示す（例えば特許文献１など参照）。すなわち、
スキャナ１００の上部に取り付けられた試料ホルダ１１
【０００４】
　図６の構成においては、カンチレバー１３の変位を検出するために、その上部に測光部が設けられている。すなわち、レーザダイオード１５から出射したレーザ光をレンズ１６で集光した後にビームスプリッタ１７で反射させ、カンチレバー１３の先端付近に照射する。そして、その反射光をミラー１８を介して光検出器１９で検出する。光検出器１９はカンチレバー１３の変位方向（Ｚ軸方向）に複数（通常２つ）に分割された受光面を有する。したがって、カンチレバー１３が上下に変位すると複数の受光面に入射する光量の割合が変化するから、その複数の受光光量に応じた検出信号を演算処理することでカンチレバー１３の変位量を算出することができる。
【０００５】
　
スキャナ１００はピエゾ素子を含む略円筒形状体であり、外部から印加される電圧によってＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸方向にそれぞれ所定範囲で自在に変位する
」
　　
（３Ｂ−３）「【００２１】
　図１において、上述したピエゾ素子を含んで成るスキャナ１００は顕微鏡本体２０に対して着脱自在なスキャナユニット１０の一部であり、
スキャナユニット１０はスキャナ１００以外に、このスキャナ１００を
固定するための台座部１０１
ケーブルコネクタ１０３と
ケーブル線１０２と、を含む
【００２２】
　スキャナユニット１０には、
観察対象である試料の種類や観察目的等に応じて
スキャナユニットを選定して交換する
【００２３】
　上述したようにプローブ１４の先端を試料１２に近接させて表面観察を行うとき、Ｚ軸方向に２分割された光検出器１９からの検出信号は変位量算出部３０に入力され、変位量算出部３０は両受光面における受光光量の差や比などからカンチレバー１３の変位量を算出して制御部３１に入力する。制御部３１は、プローブ１４と試料１２表面との間の原子間力が常に一定になるように、つまり
プローブ１４と試料１２表面との間の距離が常に一定になるように、カンチレバー１３の変位量に基づいてスキャナ１００をＺ軸方向に変位させる
【００２４】
　制御部３１が上述したようにスキャナ１００を三軸方向に独立に微動させる際に、スキャナ１００への印加電圧（スキャナ電圧）とそれに対応したスキャナ１００の変位量との関係を示す制御用パラメータが必要となる。そこで、本実施例の走査型プローブ顕微鏡では、次のようにしてスキャナ駆動のための制御用パラメータを制御部３１に設定するようにしている。
【００２５】
　すなわち、各スキャナユニット１０は予めそのスキャナ１００に応じた制御用パラメータが書き込まれた例えばフラッシュメモリなどのＩＣメモリ１０４を備えている。一方、顕微鏡本体２０にはコネクタ１０３、２２を介してスキャナユニット１０のＩＣメモリ１０４からデータを読み出すためのデータ読み出し部３３が設けられ、読み出されたデータが制御部３１に与えられるようになっている。
【００２６】
　この実施例の走査型プローブ顕微鏡では、電源投入時などの初期設定の際に、データ読み出し部３３によりベース２１上に装着されているスキャナユニット１０のＩＣメモリ１０４に記憶されているデータつまり制御用パラメータを読み出し、制御部３１の内部メモリにこの制御用パラメータを設定する。制御用パラメータは、例えばＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向毎の単位印加電圧当たりの変位量である。一旦、制御部３１の内部メモリに保存された制御用パラメータは電源が遮断されるまで保持され、上記のようなスキャナ駆動制御の際に利用される。
【００２７】
　上述したようにスキャナユニットが他の種類のものに交換される際には、顕微鏡本体２０の電源は遮断されるから、電源投入時毎にスキャナユニット１０のＩＣメモリ１０４から新たにデータを読み込むことによって、試料観察に使用されるスキャナユニット１０に対応した制御用パラメータを確実に且つ自動的に制御部３１に設定することができる。
【００２８】
　この第１実施例の走査型プローブ顕微鏡における制御用パラメータ設定方法の特徴は、個々のスキャナユニット１０がそれぞれ制御用パラメータをデータとして保持している点にある。そのため、同種類のスキャナユニットであっても、製造ロットの相違などに起因する個体差を反映した正確な制御用パラメータをそれぞれのスキャナユニット１０に保持させることができ、これに基づいて非常に高い精度で以てスキャナの駆動制御を行うことができる。
【００２９】
　なお、上記実施例ではケーブル線１０２を介してデータ読み出し部３３がＩＣメモリ１０４のデータを読み出すようにしていたが、例えば無線式のＩＣタグなどを利用することによって非接触でデータの読み出しを行うようにしてもよい。また、ケーブル線を用いる場合でも、スキャナ駆動部３２からの電力供給用のケーブル線とは別にケーブル線を設けてもよい。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　（イ）本願補正発明と引用発明との対比・判断
　（イ−１）本願補正発明と引用発明とを対比する。
（i）引用発明の「走査機構２０」は、ｚスキャナ１２と、ｘｙスキャナ１６と、チューブスキャナ２２とを備え、また、上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−３）の段落【００２４】に「被走査物１８はｚスキャナ１２に取り付けられる。」と記載されているように、ｚスキャナ１２はサンプル等の被走査物１８を載置する台、すなわち、ステージを伴っていることから、本願補正発明の「試料ステージ」に相当し、さらに、引用発明の「走査型プローブ顕微鏡」は、その機能・構成からみて、本願補正発明の「走査プローブ装置」に相当する。
　　
（ii）上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−２）には、従来例として、カンチレバーのプローブとサンプルのＺ方向の距離を一定にしながらｘｙ方向に移動させる走査機構を有する走査型プローブ顕微鏡が記載され、さらに、上記引用刊行物Ｂの摘記事項（３Ｂ−２）の段落【０００３】には、カンチレバーに取り付けられたプローブの試料からの距離（Ｚ軸方向高さ）が常に一定になるようにフィードバックする走査型プローブ顕微鏡が記載されていることから、引用発明の走査型プローブ顕微鏡においても、本願補正発明の走査プローブ装置と同様にカンチレバーのプローブ、すなわち探針と試料ステージを有することは明らかである。
　そうすると、引用発明の走査型プローブ顕微鏡の走査機構２０は、サンプル等の被走査物１８をｚ軸に沿って移動させるｚスキャナ１２と、ｘ軸とｙ軸に沿って移動させるためのｘｙスキャナ１６を備えていることから、引用発明の走査型プローブ顕微鏡は、カンチレバーのプローブと走査機構２０とを相対的に移動させているものといえ、さらに、上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−２）及び上記引用刊行物Ｂの摘記事項（３Ｂ−１）に、それぞれ、走査型プローブ顕微鏡によりサンプルの測定をすること、及び、走査型プローブ顕微鏡により試料表面の３次元形状を観察することが記載されているように、走査型プローブ顕微鏡が、サンプルを測定して、サンプルの情報を得ることは技術常識であることから、引用発明の走査型プローブ顕微鏡は、本願補正発明の走査プローブ装置と同様に、「前記探針と前記試料ステージとを相対的に移動させながら、試料の情報を取得する」「走査プローブ装置」であることは明らかである。
　　　　
（iii）上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−３）には「被走査物１８はｚスキャナ１２に取り付けられる。」ことが記載されていることから、引用発明の「走査機構２０」では、被走査物１８がｚスキャナ１２に設置されることになる。
　他方、本願補正発明の「試料ステージ」では、試料が試料保持台で保持されることから、引用発明の「走査機構２０」と本願補正発明の「試料ステージ」とは、「試料を設置する手段」を備えている点で共通する。
　　　
（iv）引用発明の「走査機構２０」は、サンプル等の被走査物１８をｚ軸に沿って移動させるためのｚスキャナ１２と、ｚスキャナ１２を可動部に保持し、ｘ軸とｙ軸に沿って移動させるためのｘｙスキャナ１６とを備えていることから、ｚスキャナ１２と、ｘｙスキャナ１６とを駆動することにより、３次元方向に移動することは明らかである。
　そうすると、引用発明の「ｚスキャナ１２、ｘｙスキャナ１６」と本願補正発明の「駆動素子」とは、「試料を設置する手段を３次元方向に移動させるための駆動手段」である点で共通する。
　　
（v）上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−４）の【００４６】には、「チューブスキャナ２２は、ｚ軸に沿ってだけでなく、ｘ軸とｙ軸に沿っても変位し得るため、走査機構２０においては、ｚスキャナ１２の伸縮により引き起こされるｘ軸とｙ軸に沿った成分を含む不所望な振動を・・・理想的には打ち消したりすることも可能となる。」ことが記載されており、このことは、例えば、上記引用刊行物Ｃの摘記事項（３Ｃ−２）に「（３）・・・前記複数の可動部における一方の可動部を、他方の可動部に対して相対的に駆動し、それぞれの可動部の生じる慣性力が、互いに打ち消し合うように構成することにより、作用反作用の法則により、上記のバネ支持された一方の可動部と他方の可動部が互いに逆方向に駆動されるために、それぞれの慣性力が打ち消し合う」ことが記載されている点からも明らかなように、引用発明の「ｚスキャナ１２を取り囲んでいるチューブスキャナ２２」が、ｚスキャナ１２の伸縮により引き起こされるｘ軸とｙ軸に沿った成分を含む不所望な振動からくる慣性力を打ち消すように駆動されることは、物理的にみて自明な事項である。
　よって、引用発明の「ｚスキャナ１２を取り囲んでいるチューブスキャナ２２」と本願補正発明の「可動部」とは、「該試料設置手段の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部」である点で共通する。
　　　
　そうすると、本願補正発明と引用発明とは、
「探針と、試料ステージと、を有し、前記探針と前記試料ステージとを相対的に移動させながら、試料の情報を取得する走査プローブ装置において、
　前記試料ステージは、前記試料を設置する手段と、該試料を設置する手段を３次元方向に移動させるための駆動手段と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、を有する走査プローブ装置。」である点で一致し、次の相違点（あ）〜相違点（え）において相違する。
　　　　　　　
・相違点（あ）
　本願補正発明では、試料ステージが有する試料を設置する手段が、「試料を保持する試料保持台」であるのに対して、引用発明では、走査機構２０が有する試料を設置する手段が、ｚスキャナ１２である点。
　
・相違点（い）
　３次元方向に移動させるための駆動手段が、本願補正発明では、「駆動素子」であるのに対して、引用発明では、積層型圧電素子からなるｚスキャナ１２とｘ軸とｙ軸に沿って移動させるためのｘｙスキャナ１６である点。
　
・相違点（う）
　本願補正発明では、試料ステージが、「試料保持台と駆動素子と可動部とを支持する支持部」を有するのに対して、引用発明では、走査機構２０がそのような構成を有しない点。
　　　　　　　　　　　
・相違点（え）
　本願補正発明では、「試料ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成されている」のに対して、引用発明では、走査機構２０がそのような構成を有しない点。　　　　　　　
　　　　　　　
　（イ−２）当審の判断
　そこで、上記相違点（あ）〜相違点（え）について判断する。
　
・相違点（あ）について
　走査型プローブ顕微鏡において、走査機構に試料を設置する際に、試料を保持する試料保持台を用いることは、例えば、上記引用刊行物Ｂの摘記事項（３Ｂ−２）に記載されている試料ホルダ１１や、例えば特開２０００−８８９８３号公報の９頁１５欄の段落【００２５】に記載されている移動台７０５のように周知（他に、特開２００４−３２５０７５号公報の３頁１〜２行に記載の試料台１０３を参照）であることから、引用発明において、サンプル等の被走査物１８を、走査機構２０のｚスキャナ１２に取り付ける代わりに試料保持台に取り付ける周知の構成を採用して、本願補正発明のごとく構成することは当業者が容易になし得るものである。
　　
・相違点（い）について
　引用発明のｚスキャナ１２は、積層型圧電素子からなることから、本願補正発明と同様に駆動素子であることは明らかである。そして、ｚスキャナと同様にｘｙスキャナを駆動素子を用いて構成することは、例えば、上記引用刊行物Ｂの摘記事項（３Ｂ−２）の段落【０００５】に記載されているピエゾ素子や、例えば特開２０００−８８９８３号公報の８頁１３欄の段落【００２１】に記載されている圧電素子５００のように周知（他に、特開２００４−３２５０７５号公報の３頁８〜１０行に記載の円筒型圧電素子１０２を参照）であることから、引用発明において、ｚスキャナ１２と同様にｘｙスキャナ１６を周知の構成のごとく駆動素子で構成することは当業者が容易になし得るものである。
　
・相違点（う）について
　走査機構２０に試料保持台を設けることは、上記「相違点（あ）について」で検討したとおりであり、さらに、ｚスキャナ１２と同様にｘｙスキャナ１６を駆動素子で構成することは、上記「相違点（い）について」で検討したとおりである。
　そして、走査機構を構成する際に、試料保持台とスキャナを構成する駆動素子と支持部で支持することは、上記引用刊行物Ｂの摘記事項（３Ｂ−２）の段落【０００３】、及び（３Ｂ−３）の段落【００２１】に記載されている台座部１０１や、例えば特開２０００−８８９８３号公報の９頁１５欄の段落【００２５】に記載されている固定台７０１のごとく周知（他に、特開２００１−３３０４２５号公報の６頁５頁７欄４〜６行、９欄４８行〜１０欄６行、図５の走査機構保持台５０１参照）であり、さらに、引用発明のチューブスキャナ２２も走査機構２０が備える構成要素であることから、引用発明において、走査機構２０に試料保持台を設けるとともに、ｚスキャナ１２と同様にｘｙスキャナ１６を駆動素子で構成した際に、周知の走査機構の構成を採用して、走査機構２０を構成する、試料保持台、駆動素子で構成したｚスキャナ１２とｘｙスキャナ１６、及びチューブスキャナ２２を、支持部で支持するように構成することは当業者が容易になし得るものである。
　　　
・相違点（え）について
　上記引用刊行物Ｂの摘記事項（３Ｂ−３）には、観察対象である試料の種類や観察目的等に応じて、スキャナ１００、台座部１０１、ケーブルコネクタ１０３、及びケーブル線１０２とを含むスキャナユニット１０を、走査型プローブ顕微鏡本体２０に対して、一体的に交換可能に構成することが記載されており、このスキャナユニット１０は、引用発明の、ｚスキャナ１２、チューブスキャナ２２、及びｘｙスキャナ１６を含む走査機構２０と同様に、走査型プローブ顕微鏡の走査機構を構成することは明らかである。
　そして、走査機構を構成する際、引用発明のごとく、ｚスキャナ１２とｘｙスキャナ１６、及びチューブスキャナ２２で構成する場合や、上記引用刊行物Ｂのごとく、スキャナのほかに、支持部を含んで構成する場合や、上記周知例の特開２００１−３３０４２５号公報の図２や図５に記載されているように、スキャナのほかに支持部や試料保持台を含む場合があることから、走査機構としてどのような構成要素を含むように構成するかは当業者が適宜選択しうる設計的事項にすぎないものである。
　そうすると、引用発明の走査機構２０も上記引用刊行物Ｂに記載された発明のスキャナユニット１０もともに走査型プローブ顕微鏡の走査機構である点で共通することから、引用発明の走査型プローブ顕微鏡において、上記「相違点（あ）について」及び「相違点（う）について」で検討したように、ｚスキャナ１２とｘｙスキャナ１６、及びチューブスキャナ２２を含む走査機構２０に、さらに試料保持台や支持部を含んだ場合においても、上記引用刊行物Ｂに記載された発明の構成を採用して、観察対象である試料の種類や観察目的等に応じて、走査機構２０を、走査型プローブ顕微鏡本体２０に対して、一体的に交換可能に構成すること、すなわち、本願補正発明のごとく「試料ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成されている」ようにすることは当業者が容易になし得るものである。
　　　
　そして、本願補正発明によってもたらされる効果は、引用発明、上記引用刊行物Ｂに記載された発明及び周知の技術事項から予測される範囲内のものであって、格別のものではない。
　　
　したがって、本願補正発明は、引用発明、上記引用刊行物Ｂに記載された発明及び周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
  　　　　　　　　　　　　
　（４）　補正却下の決定についてのむすび
　以上のとおりであるから、本件補正は、平成１８年改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下しなければならないものである。　
　　　　　　　　　　　　　　
第３　本願発明について
　１．本願発明
　平成２１年３月９日付けの手続補正は上記のとおり却下されることとなったので、本願の請求項１〜１０に係る発明は、平成２０年６月１８日付け手続き補正書で補正された特許請求の範囲の請求項１〜１０に記載された事項により特定されるとおりのものであって、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、上記「第２　２　（１）」の「ア　本件補正前の特許請求の範囲の請求項１」に記載したように、以下のとおりのものである。
　　　　　　　　　
「【請求項１】
　探針と、試料を保持する試料ステージと、を有し、前記探針と前記試料とを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は試料の加工を行う走査プローブ装置において、
　前記試料ステージは、試料保持台を移動させるための駆動素子と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、を有し、
　前記試料ステージは、前記試料保持台と前記駆動素子と前記可動部とが一体的に、装置本体に対して、交換可能に構成されていることを特徴とする走査プローブ装置。」
　　　　　　
　２．引用刊行物の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された引用刊行物の記載事項は上記「第２　２　（３）」の（ア）に記載したとおりである。
　　　　　　　　　
　３．本願発明と引用発明との対比・判断
　上記「第２　２　（３）」の（イ）で検討した本願補正発明は、上記本願発明の「走査プローブ装置」の構成要件の「試料ステージ」に、「前記試料を保持する試料保持台」と「前記試料保持台と前記駆動素子と前記可動部とを支持する支持部」の構成を付加するとともに、「試料保持台を移動させるための駆動素子」に、「３次元方向に」の構成を付加することにより、「走査プローブ装置」の構成要件を減縮して特定するものであり、言い換えれば本願発明の構成要件にさらなる構成要件を付加したものである。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、上記「第２　２　（３）」の（イ）において検討したとおり、引用発明、上記引用刊行物Ｂに記載された発明及び周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであることから、本願発明も同様の理由により、引用発明、上記引用刊行物Ｂに記載された発明及び周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　４．むすび
　以上のとおり、本願発明は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるので、本件出願は、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、拒絶をすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。