【事件の表示】
　特願２００２−３０５０５８「狭帯域化レーザ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　５月１３日出願公開、特開２００４−１４０２６５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１４年１０月１８日の特許出願であって、平成１９年８月２１日付け及び平成２０年１月３１日付けで手続補正がなされたところ、同年５月２９日付けで前記平成２０年１月３１日付けの手続補正が却下されるとともに同日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年７月１日に拒絶査定不服審判請求がなされるとともに同日付けで手続補正がなされたものである。
　
　
第２　平成２０年７月１日付けの手続補正についての補正却下の決定
　
［補正却下の決定の結論］
　平成２０年７月１日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
１．補正の内容
　平成２０年７月１日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）は、補正前の請求項１を、以下のように補正することを含むものである。 
　
「グレーティング（３３）を含む狭帯域化ユニット（３０）によってレーザ光の波長を狭帯域化し、波長を狭帯域化した出射レーザ光（２１Ｃ）を発振する狭帯域化レーザ装置において、
　励起領域よりも出射側に、出射レーザ光（２１Ｃ）のビーム幅のうち当該出射レーザ光（２１Ｃ）の光軸及び前記励起領域における放電方向に対して平行な平面と直交する方向のビーム幅のみを拡大するビームエキスパンダ（３５）を設けた
　ことを特徴とする狭帯域化レーザ装置。」
　
　本件補正は、補正前の請求項１の「出射レーザ光（２１Ｃ）のビーム幅を拡大するビームエキスパンダ（３５）」について、「出射レーザ光（２１Ｃ）のビーム幅のうち当該出射レーザ光（２１Ｃ）の光軸及び前記励起領域における放電方向に対して平行な平面と直交する方向のビーム幅のみを拡大する」との限定を行うものであるから、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 
　
２．独立特許要件
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（１）引用刊行物記載の発明
ア　引用刊行物１及び引用発明１
　本願の出願前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開平６−５３５９４号公報（以下「引用刊行物１」という。）には、図とともに以下の事項が記載されている。
　 
（ア）　「【特許請求の範囲】
【請求項１】  レーザを狭帯域化する共振器と、狭帯域化したレーザを増幅する増幅器とからなり、レーザ発振出力２０Ｗ以上、レーザ発振波長幅５ｐｍ以下を得る発振器において、共振器側のレーザ発振空間をアパーチャーにより直径３ｍｍ以下に抑え、共振器長１．５ｍ以下とすると共にエタロンにビームを入射して狭帯域発振光を得て、該狭帯域発振光を直径８ｍｍ以上、１２ｍｍ以下に拡大して増幅器へ注入する共に共振器と増幅器の間に戻り光防止用アパーチャーを配置したことを特徴とする狭帯域エキシマレーザ高出力化方法。」
　
（イ）　「【０００８】
【実施例】以下、本発明について、図面に示す一実施例を参照して詳細に説明する。図１に、本発明の一実施例を示す。同図に示すように、本実施例では、狭帯域発振により狭帯域小出力光１６を得る共振器２と、狭帯域小出力光１６を増幅して狭帯域増幅光１７とする増幅器１３とを主要な構成要素としている。
【０００９】即ち、共振器側には、全反射鏡１、アパーチャー５、共振器２、アパーチャー６、エタロン３，４、部分透過鏡９が配置されている。・・・」
　
（ウ）　「【００１２】一方、増幅器側には、アパーチャー１０、ビームエキスパンダー用レンズ１１，１２、増幅器１３が順に配置されている。増幅器１３は、共振器２と同様のＬＵＭＯＮＩＣＳ社製エキシマレーザ発振器ＥＸ−６００を用いた。
【００１３】ビームエキスパンダー用レンズ１１，１２としては、ｆ＝−５０ｍｍ，ｆ＝１５０ｍｍの望遠系を用いた。これにより、ビーム径は８ｍｍ以上、１２ｍｍ以下に拡大し、増幅器内の利得媒質を有効利用することにより、狭帯域化発振したレーザの増幅高出力を図ることができる。ここで、増幅器１３に入射する光を、増幅器の電極間距離いっぱいに広げれば、増幅率が増大するが、一般に市販されているレーザ発振器の電極間距離は、８〜１２ｍｍであることから、この値を一応の目安とした。
【００１４】このように、本実施例の狭帯域エキシマレーザ発振器は、狭帯域化する共振器と２、これを増幅する増幅器１３とから構成されているため、共振器２において、エタロン３，４、アパーチャー５，６、部分透過鏡９、全反射鏡１との間で狭帯域発振により狭帯域小出力光１６が得られ、この狭帯域小出力光１６が増幅器１３へ注入され、ビームエキスパンダー用レンズ１１，１２によりビーム径８ｍｍ以上、１２ｍｍ以下に拡大され、増幅器１３内の利得媒質を有効利用することができ、増幅された狭帯域増幅光１７を得て、出力光１８とする。・・・」
　
（エ）　「【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る狭帯域エキシマレーザ発振器の構造図である。」
　
　上記摘記事項の記載を総合すると、引用刊行物１には、次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。 
　 
「レーザを狭帯域化する共振器と、狭帯域化したレーザを増幅する増幅器とからなり、レーザ発振出力２０Ｗ以上、レーザ発振波長幅５ｐｍ以下を得る狭帯域エキシマレーザ発振器において、共振器側のレーザ発振空間をアパーチャーにより直径３ｍｍ以下に抑え、共振器長１．５ｍ以下とすると共にエタロンにビームを入射して狭帯域発振光を得て、該狭帯域発振光を直径８ｍｍ以上、１２ｍｍ以下に拡大して増幅器へ注入する共に共振器と増幅器の間に戻り光防止用アパーチャー、ビームエキスパンダー用レンズ、をこの順に配置した、狭帯域エキシマレーザ発振器。」
　
イ　引用刊行物２及び引用発明２
　本願の出願前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開平３−２５０７７７号公報（以下「引用刊行物２」という。）には、図とともに以下の事項が記載されている。
　 
（ア）　「２．特許請求の範囲
　グレーティングを含む光共振器を有し、放電励起された光を前記光共振器によって放電チャンバ内を往復させて発振レーザ光を出力する狭帯域発振エキシマレーザにおいて、
前記光共振器のフロントミラーから射出された光を放電チャンバ内に向けて折り返して、前記放電チャンバ内を通り出力させる折り返し手段を設けるとともに、
前記グレーティングを、その線引方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように配置したことを特徴とする狭帯域発振エキシマレーザ。」（第１頁左下欄第４〜１６行）
　
（イ）　「第２図はこの発明に係わる狭帯域発振エキシマレーザの他の実施例を示したものであり、同図に示した実施例は第１図に示した実施例においてフロントミラー１０と４５度直角プリズム５０との間にビームエキスパンダを構成するプリズム４３、４４を配置するようにしている。他の部分は第１図に示したものと同一である。第２図の実施例においてもフロントミラー１０とグレーティング３０とで光共振器が構成される。
　・・・グレーティング３０で反射された光は放電チャンバ２０内を通過し、フロントミラー１０から発振レーザ光として出力されることになるが、この光はプリズム４３、４４によるビームエキスパンダにより光ビームが拡大されて上記４５度直角プリズム５０に入射される。・・・」（第４頁左上欄第４行〜左下欄第１１行）
　
（ウ）　「４．図面の簡単な説明
・・・第２図は、第１図に示すフロントミラーと４５度直角プリズムとの間にビームエキスパンダとしてのプリズムを挿入配置したこの発明の他の実施例を示す図・・・である。」（第７頁右上欄第６〜１７行）
　
　上記摘記事項の記載を総合すると、引用刊行物２には、次の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されていると認められる。 
　
「グレーティングを含む光共振器を有し、放電励起された光を前記光共振器によって放電チャンバ内を往復させて発振レーザ光を出力する狭帯域発振エキシマレーザにおいて、前記光共振器のフロントミラーから出力される発振レーザ光は、プリズムによるビームエキスパンダにより光ビームが拡大される、狭帯域発振エキシマレーザ。」
　
ウ　引用刊行物３及び引用発明３
　本願の出願前に頒布された刊行物である特開平２−９８９１９号公報（以下「引用刊行物３」という。）には、図とともに以下の事項が記載されている。
　
（ア）　「２．特許請求の範囲
（１）　レーザビームを発生するレーザ源と、該ビームの光路上に該レーザ源を挟んで前後に配置されて共振器を成す第１反射部材と第２反射部材とを有し、該第１反射部材に透過性をもたせ前記レーザビームを取り出すようにしたレーザ装置において、
　前記ビームの断面形状を変換する光学系を、前記レーザ源と前記第１反射部材との間に設けたことを特徴とするレーザ装置。
（２）　レーザビームのスペクトル幅を狭帯域化する波長狭帯化素子を、前記第１反射部材と前記第２反射部材との間の前記光路上に設けたことを特徴とする請求項（１）記載のレーザ装置。
・・・
（４）　前記レーザ源がエキシマレーザビームを発生させるレーザ源であり、
　前記ビーム断面形状変換光学系が、断面形状の縦横比が１：１以外の矩形となるエキシマレーザビームの短手方向の寸法を拡大整形する円柱状レンズを含む光学系であることを特徴とする請求項（１）、（２）又は（３）に記載のレーザ装置。」（第１頁左下欄第４行〜右下欄第１１行）
　
（イ）　「レーザ装置のうち例えばエキシマレーザを露光装置の光源として用いる場合には、投影レンズの仕様上、スペクトル幅が狭帯域化されたエキシマレーザを用いる。
　通常、この狭帯化は外部ミラー共振器内にエタロン、グレーティング、プリズム等を入れることによって行なう。」（第１頁右下欄下から１行目〜第２頁左上欄第６行）
　
（ウ）　「ここで、特にエキシマレーザのビーム断面形状は放電電極方向に長い長方形であるため、露光装置に至る光路中において、該ビームをビームエキスパンダー等で拡大し正方形に整形する必要がある。」（第３頁右上欄第１０〜１４行）
　
（エ）　「［実施例］
　第１図は、本発明の実施例の全体を表わす概略図である。１はレーザのＧａｓチャンバー（レーザ源）、２ａ，２ｂはウィンドウである。４は反射率１００％のリアミラー（第２反射部材）、６は段差をつけた反射率の低いフロントミラーである。
　レーザの狭帯化はエタロン（波長狭帯化素子）３ａ，３ｂで行なっており、５ａ，５ｂはレーザビームの短辺方向のみ拡大しビームを正方形に整形するエクスパンダＢＸＰ（ビーム断面形状変換光学系）である。
・・・
　フロントウィンド２ａ、リアウィンド２ｂ（石英）の間には、光軸ＡＸに沿って平行な２枚の電極１ｃ，１ｄが配置され、電極１ｃ，１ｄ間に高電圧の放電を起すことによって、エキシマレーザビームＬＢ０がパルス発生する。
・・・
　ウィンドウ２ａからのビームＬＢ０はビーム断面のｘ方向に長い矩形断面をしている。これは電極ｌｃ，ｌｄの配置形状によって決まるが、通常ビームＬＢ０の断面形状を正方形にすることは難しく、縦横比は１：１以外の値になる。
　５ａは凹のシリンドリカルレンズ（円柱状レンズ）、５ｂは凸のシリンドリカルレンズで、ビームＬＢ０の短手方向（ｙ方向）の幅を拡大して、ほぼ正方形断面のビームＬＢ１に変換する。
　ビームＬＢ１は、はぼ平行光束となるように定められるが、これは必ずしも厳密である必要はなく、特にビームＬＢ１のｘ方向については、シリンドリカルレンズ５ａ，５ｂによって何らの整形も受けないため、レーザチャンバ１から出たビームＬＢ０の発散角がそのまま保存されている。」（第５頁左上欄第１３行〜左下欄第２０行）
　
（オ）　「４．図面の簡単な説明
　第１図は、本発明による装置の実施例の全体を示す概略図・・・である。」（第７頁左上欄第９行〜右上欄第８行）
　
（カ）第１図に照らしながら、上記（ア）の請求項（４）の記載、及び上記（エ）の実施例におけるエクスパンダＢＸＰ（ビーム断面形状変換光学系）及び該エクスパンダを構成するシリンドリカルレンズ５ａ，５ｂに関する記載を合わせ見れば、請求項（４）の上記ビーム断面形状変換光学系は、断面形状の縦横比が１：１以外の矩形となり放電電極方向に長いエキシマレーザビームの短手方向（ｙ方向）の寸法を拡大整形するとともに前記ビームの長手方向（ｘ方向）については何らの整形もしない円柱状レンズを含む光学系であるといえる。
　
　上記摘記事項の記載を総合すると、引用刊行物３には、次の発明（以下「引用発明３」という。）が記載されていると認められる。 
　
「エキシマレーザビームを発生するレーザ源と、該ビームの光路上に該レーザ源を挟んで前後に配置されて共振器を成す第１反射部材と第２反射部材とを有し、該第１反射部材に透過性をもたせ前記レーザビームを取り出すようにしたレーザ装置において、
　前記ビームの断面形状を変換する光学系を、前記レーザ源と前記第１反射部材との間に設け、
　レーザビームのスペクトル幅を狭帯域化する波長狭帯化素子を、前記第１反射部材と前記第２反射部材との間の前記光路上に設け、
　前記ビーム断面形状変換光学系が、断面形状の縦横比が１：１以外の矩形となり放電電極方向に長いエキシマレーザビームの短手方向（ｙ方向）の寸法を拡大整形するとともに前記ビームの長手方向（ｘ方向）については何らの整形もしない円柱状レンズを含む光学系である、
レーザ装置。」
　
（２）対比 
　本願補正発明と引用発明１とを対比する。 
　
ア　引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ発振器」は、「レーザを狭帯域化する共振器」を備えており、本願補正発明の「狭帯域化レーザ装置」に相当する。
　
イ　引用発明１は、「エタロンにビームを入射して狭帯域発振光を得」ていることから、本願補正発明の「狭帯域化ユニットによってレーザ光の波長を狭帯域化し」との事項を備える。
　
ウ　引用発明１は、「共振器と増幅器の間に」「ビームエキスパンダー用レンズ」を配置し、共振器において得られた「狭帯域発振光を直径８ｍｍ以上、１２ｍｍ以下に拡大して増幅器へ注入する」ものであるから、引用発明１は、本願補正発明の「励起領域よりも出射側に、出射レーザ光のビーム幅」「を拡大するビームエキスパンダを設けた」との事項を備える。
　
　よって、本願補正発明と引用発明１とは、 
「狭帯域化ユニットによってレーザ光の波長を狭帯域化し、波長を狭帯域化した出射レーザ光を発振する狭帯域化レーザ装置において、
　励起領域よりも出射側に、出射レーザ光のビーム幅を拡大するビームエキスパンダを設けた、狭帯域化レーザ装置。」
である点で一致し、以下の点で相違する。 
　 
相違点
［相違点１］
　狭帯域化ユニットが、本願補正発明では「グレーティングを含む」ものであるのに対し、引用発明１では「エタロン」を含むものである点。
　
［相違点２］
　ビームエキスパンダが、本願補正発明では、「出射レーザ光のビーム幅のうち当該出射レーザ光の光軸及び前記励起領域における放電方向に対して平行な平面と直交する方向のビーム幅のみを拡大する」ものであるのに対して、引用発明１では、ビーム幅を拡大する方向が限定されていない点。
　
（３）判断 
　上記相違点について検討する。 
ア　相違点１について
　狭帯域化レーザ装置の狭帯域化ユニットとして、グレーティング（回折格子）を含むものは本願の出願時において周知である（上記（１）イに示したとおり、引用刊行物２にも、発振レーザ光がプリズムによるビームエキスパンダにより光ビームが拡大される狭帯域発振エキシマレーザにおいて、その光共振器をグレーティングを含む引用発明２が記載されるところでもある。）。
　したがって、引用発明１において、上記周知の技術を適用し、ビームエキスパンダ用レンズを配置した狭帯域エキシマレーザ発振器の狭帯域化ユニットとしてグレーティングを含むものを採用して、上記相違点１に係る本願補正発明の特定事項を備えることは、当業者が容易になし得たことである。
　
イ　相違点２について
　引用刊行物３には、上記（１）ウに示したとおりの引用発明３が記載され、その「ビーム断面形状変換光学系」は本願補正発明の「ビームエキスパンダ」に相当し、かつ、引用発明３の「ビーム断面形状変換光学系」が「断面形状の縦横比が１：１以外の矩形となり放電電極方向に長いエキシマレーザビームの短手方向（ｙ方向）の寸法を拡大整形するとともに前記ビームの長手方向（ｘ方向）については何らの整形もしない円柱状レンズを含む光学系である」との事項は、本願補正発明の「出射レーザ光のビーム幅のうち当該出射レーザ光の光軸及び前記励起領域における放電方向に対して平行な平面と直交する方向のビーム幅のみを拡大する」との事項に相当するところ、引用発明１と引用発明３とは、狭帯域化ユニットによってレーザ光の波長を狭帯域化し、波長を狭帯域化した出射レーザ光を発振する狭帯域化レーザ装置において、励起領域よりも出射側に、出射レーザ光のビーム幅を拡大するビームエキスパンダを設け、かつ、励起領域を構成するレーザー発振器としてエキシマレーザを用いる点で共通するものであるから、引用発明１におけるビームエキスパンダとして、上記引用発明３の「ビーム断面形状変換光学系」を採用して、上記相違点２に係る本願補正発明の特定事項を備えるものとすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
　そして、本願補正発明によってもたらされる効果は、引用発明１乃至３及び周知技術から予測し得る程度のものである。
　
　したがって、本願補正発明は、引用刊行物１乃至３に記載の発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。  
　
（４）むすび 
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年改正前法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　
第３　本願発明について
１．本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項に係る発明は、平成１９年８月２１日付け手続補正後の特許請求の範囲の請求項１〜８に記載された事項によって特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明は次のとおりのものである。
　
「グレーティング（３３）を含む狭帯域化ユニット（３０）によってレーザ光の波長を狭帯域化し、波長を狭帯域化した出射レーザ光（２１Ｃ）を発振する狭帯域化レーザ装置において、
　励起領域よりも出射側に、出射レーザ光（２１Ｃ）のビーム幅を拡大するビームエキスパンダ（３５）を設けた
　ことを特徴とする狭帯域化レーザ装置。」（以下「本願発明」という。）
　
２．引用刊行物記載の発明
　本願の出願前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された引用刊行物１、２及び引用発明１、２は、上記第２の２（１）に記載したとおりである。
　
３．対比・判断
　本願発明と引用発明１とを対比する。
　本願発明は、上記第２の２で検討した本願補正発明において、出射レーザ光（２１Ｃ）のビーム幅を拡大するビームエキスパンダ（３５）について、「当該出射レーザ光の光軸及び前記励起領域における放電方向に対して平行な平面と直交する方向のビーム幅のみ」を拡大するとの限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明と引用発明１とは、上記第２の２（２）での対比に照らして上記相違点１においてのみ相違するものと認められるから、上記第２の２（３）アにおいて検討したとおり、本願発明は引用刊行物１に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物１に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。