(57)【要約】      （修正有）【課題】収納ケースの非移動性と容易移動性を簡単な構成で両立させ、しかも移動させる場合には、従来移動に必要な力の半分以下の少ない力で自在に動かすことのできるプローブカード収納ケースを提供する。【解決手段】本プローブカード収納ケースは、本体ケース１の載置面に振動吸収部材を兼用する非移動部材１０を設け、また、上記本体ケースの載置面または、載置面と側面とのコーナ部に移動用ローラ９を設ける。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
下側ケース部と上側ケース部とによりプローブカードを収納する本体ケースと、上記本体ケースの一側面に設けた把手と、上記本体ケースの載置面に夫々設けた移動用ローラ及び非移動部材とよりなることを特徴とするプローブカード収納ケース。
【請求項２】
下側ケース部と上側ケース部とによりプローブカードを収納する本体ケースと、上記本体ケースの一側面に設けた把手と、上記本体ケースの載置面と他側面とのコーナ部に設けた移動用ローラと、上記本体ケースの載置面に設けた非移動部材とよりなり、上記移動用ローラは斜め下方向に傾斜して設けられていることを特徴とするプローブカード収納ケース。
【請求項３】
上記載置面が、上記下側本体ケース部の底面であることを特徴とする請求項１または２記載のプローブカード収納ケース。
【請求項４】
上記非移動部材が、上記移動用ローラよりも把手側に設けられており、また、上記非移動部材が、上記移動用ローラより高く設けられていることを特徴とする請求項１、２または３記載のプローブカード収納ケース。
【請求項５】
上記非移動部材が１又は複数であることを特徴とする請求項１、２、３または４記載のプローブカード収納ケース。
【請求項６】
上記非移動部材が振動吸収部材を兼用することを特徴とする請求項１、２、３、４または５記載のプローブカード収納ケース。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、半導体ウエハの検査治具であるプローブカードの収納ケース、特に、専用棚（ストッカー）上などに置かれた場合には、振動あるいは衝撃に対しても容易に移動せず、他方、移動させる場合には、従来移動に必要な力の半分以下の少ない力で自在に動かすことのできるプローブカード収納ケースに関するものである。また、薄型を実現できるプローブカード収納ケースに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１１は従来のプローブカード収納ケースの平面図、図１２は図１１のＡ−Ａ線断面部端面図、図１３は、上側ケース部を除いたプローブカード収納ケースの平面図である。
【０００３】
図１１〜図１３は、従来のプローブカード収納ケースを示し、１は主にジュラルミン製の本体ケースを示し、この本体ケース１は、プローブカードが収納される一面が開口した箱状の下側ケース部２と、この下側ケース部２の一面を開閉自在に塞ぐ上側ケース部３とよりなる。
【０００４】
また、４は上記下側ケース部２の内部に固定したプローブカード、５は上記下側ケース２と上記上側ケース部３とを開閉自在に連結するヒンジ部を示し、このヒンジ部５は、上記本体ケース１の右側面（一側面）に設けられている。
【０００５】
また、６は、上記下側ケース部２内に設けた、収納されたプローブカード４を固定するための固定具、７ａ、７ｂは上記下側ケース部２及び上側ケース部３の左側面（他側面）にそれぞれ設けたロック部を示す。
【０００６】
また、８ａ、８ｂは上記下側ケース部２及び上側ケース部３の左側面（他側面）にそれぞれ設けた把手であり、上記ヒンジ部６とは相対する側に設けられている。
【０００７】
上記プローブカード収納ケースにおいては、プローブカード４を上記下側ケース部２内に載置し、上記固定具６により、上記プローブカード４を固定し、上記上側ケース部４を閉じて、上記ロック部７ａ、７ｂにより上記下側ケース部２と上側ケース部３とをロックして、上記プローブカード４を上記本体ケース１に収納していた。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００８】
上記プローブカードが入った収納ケースは、一般に、専用棚に載置して保管され、プローブカードを使用する度に、上記専用棚から出入庫される。この作業は主に作業員の手によって行われていた。しかしながら、近年シリコンウエハは次第に大口径となり、プローブカードの大型化が進み、それに伴い収納ケースも大型化し、プローブカードを収納した収納ケースの重量も２０Ｋｇ以上となり、近い将来更に大型化することが確実になってきている。従った、プローブカードを収納した上記収納ケースを作業員の手作業で移動するには限界が生じてきている。
【０００９】
また、例えば、専用棚において、時には頭上での作業もあり、振動等による予期しない収納ケースの移動は危険であり、専用棚から収納ケースを出入庫させるための専用機が要求されるようにもなってきている。
【００１０】
以上のように、収納ケースについて、専用棚からの搬出・格納や、載置台上等での移動を、作業員の手作業で、安全かつ容易に、そして正確に行えるかが課題になっていた。
【００１１】
他方、プローブカードは高精密で、非常に高価であるため、プローブカードを収納した収納ケースを、専用棚上などに置いた場合には、振動あるいは衝撃に対して容易に移動しないことも必要とされる。また、収納ケースを支持する専用棚等からの振動が、内部のプローブカードに伝わるのを防ぐ必要もある。
【００１２】
本考案は、収納ケースの非移動性と容易移動性を簡単な構成で両立させ、しかも移動させる場合には、従来移動に必要な力の半分以下の少ない力で自在に動かすことのできるプローブカード収納ケースを提供するものである。また、薄型を実現できるプローブカード収納ケースを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本考案のプローブカード収納ケースは、下側ケース部と上側ケース部とによりプローブカードを収納する本体ケースと、上記本体ケースの一側面に設けた把手と、上記本体ケースの載置面に夫々設けた移動用ローラ及び非移動部材とよりなることを特徴とする。
【００１４】
また、下側ケース部と上側ケース部とによりプローブカードを収納する本体ケースと、上記本体ケースの一側面に設けた把手と、上記本体ケースの載置面と他側面とのコーナ部に設けた移動用ローラと、上記本体ケースの載置面に設けた非移動部材とよりなり、上記移動用ローラは斜め下方向に傾斜して設けられていることを特徴とする。
【００１５】
また、上記載置面が、上記下側ケース部の底面であることを特徴とする。
【００１６】
また、上記非移動部材が、上記移動用ローラよりも把手側に設けられており、また、上記非移動部材が、上記移動用ローラより高く設けられていることを特徴とする。
【００１７】
また、上記非移動部材は、１又は複数であることを特徴とする。
【００１８】
また、上記非移動部材は、上記非移動部材が振動吸収部材を兼用することを特徴とする。
【考案の効果】
【００１９】
本考案のプローブカード収納ケースは、収納ケースの載置面に非移動部材（ストッパー）を設けたので、専用棚（ストッカー）上や、載置台上や、床上などに置いた場合には、振動あるいは衝撃に対しても容易に移動しない。
【００２０】
また、収納ケースの載置面又はコーナ部に移動ローラを設けたので、収納ケースの把手を持ち上げて、非移動部材を支承面から離し、上記収納ケースを傾斜させて支承面に移動用ローラのみが接するようにすれば、従来移動に必要な力の半分以下の少ない力で、プローブカード収納ケースを専用棚上等を前後左右自在に移動させることができる。これにより、簡単な操作で、収納ケースを極めて簡単に移動させることができ、作業員の手作業で、重量のあるプローブカード収納ケースを安全かつ容易に、そして正確に移動することができるようになる。
【００２１】
また、コーナ部に斜め下方向に傾斜して移動ローラを設けた場合には、移動ローラの載置面からの突出高さを抑えることができ、プローブカード収納ケースの薄型を実現することができる。
【００２２】
また、非移動部材は振動吸収材を兼ねるため、外部からの衝撃をプローブカード収納ケースにより吸収でき、内部のプローブカードに対する衝撃を少なくできる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本考案のプローブカード収納ケースの第１実施例の正面図である。
【図２】本考案のプローブカード収納ケースの第１実施例の縦断正面図である。
【図３】本考案のプローブカード収納ケースの第１実施例の底面図である。
【図４】本考案のプローブカード収納ケースの第１実施例の移動状態説明図である。
【図５】本考案のプローブカード収納ケースの第１実施例の移動状態説明図である。
【図６】本考案のプローブカード収納ケースの第１実施例の他の移動状態説明図である。
【図７】従来のプローブカード収納ケースの操作荷重の説明図である。
【図８】本考案のプローブカード収納ケースの第１実施例の操作荷重の説明図である。
【図９】本考案のプローブカード収納ケースの第２実施例の正面図である。
【図１０】本考案のプローブカード収納ケースの第２実施例の底面図である。
【図１１】従来のプローブカード収納ケースの平面図である。
【図１２】図１１のＡ−Ａ線断面図である。
【図１３】上側ケース部を除いた図１１に示すプローブカード収納ケースの平面図である。
【考案を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下図面によって本考案の実施例を説明する。なお、図１〜図１０において図１１〜図１３に示すものと同一のものには同一の符号を示し、その説明は省略する。
【実施例１】
【００２５】
本考案の第１実施例においては、プローブカード収納ケースの本体ケース１を樹脂製とし、図１〜図３に示すように下側ケース部２の底面２ａの、把手８ａ、８ｂと相対する右側面側（一側面２ｂ側）に、例えば高さ２０ｍｍの前後左右移動自在な移動用ローラ９を設ける。また、上記下側ケース部２の底面２ａの、上記移動用ローラ９よりも把手８ａ、８ｂ側（他側面２ｃ側）に、上記移動用のローラ９より若干高い、例えば高さ２５ｍｍのゴムなどの弾性部材からなる、振動吸収部材を兼用する非移動部材１０を設ける。
【００２６】
なお、１１は、上記上側ケース３の天井部に形成した、円板状の透明部材又は半透明部材からなる窓部であり、この窓部１１を介して、内部に収納されたプローブカード４の種類等を確認することができる。
【００２７】
本考案の第１実施例のプローブカード収納ケースは上記のような構成であるから、上記プローブカード収納ケースを専用棚や載置台や床等の棚上、床面上（支承面１２）などに置いた場合には、上記非移動部材１０により、振動あるいは衝撃に対しても容易に移動しないようになる。また、プローブカード収納ケースを支持する棚等からの振動は振動吸収部材を兼用する非移動部材１０によって吸収され、プローブカード収納ケース内のプローブカード４に伝達されることはない。
【００２８】
また、プローブカード収納ケースの移動に際しては図４に示すように把手８ａ、８ｂを持って、プローブカード収納ケースを上記移動用ローラ９を支点として上方に持ち上げ、例えば１０度前後傾斜せしめ、非移動部材１０の下端を棚等の支承面１２から上方に離間せしめれば、図５又は図６に示すように、少ない力で、プローブカード収納ケースを棚上等を前後左右自在に移動させることができるようになる。
【００２９】
なお、図５において、１３は、収納ケースの専用棚を示し、１４は、作業員を示し、図５は、作業員１４が上記収納ケースの把手を持ち上げて、上記収納ケースを傾斜させて、手前に引っ張っている図を示す。また、図６において、１５は、収納ケースの載置台を示し、図６は、作業員１４が、上記収納ケースの把手を持ち上げて、上記収納ケースを傾斜させて、横方向に移動させる図を示す。
【００３０】
表１は、図７に示すように、プローブカードを収納した従来のジュラルミン製収納ケース（重量１９．３ｋｇ）を移動させるのに必要な操作荷重と、図８に示すように、プローブカードを収納した本考案の樹脂製収納ケース（重量１７．８ｋｇ）を移動させるのに必要な操作荷重とを比較した表を示す。
【００３１】
【表１】
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【００３２】
上記表１から分かるように、プローブカードを収納した従来の収納ケースにおいては、持ち上げて移動させる必要があるので操作荷重が１９．３ｋｇも必要であるのに対して、本考案の収納ケースにおいては、移動用ローラを支点として収納ケースを傾けて、手前側に引っ張れば良いので、僅か８ｋｇの力で移動させることができ、従来よりも明らかに小さな力で、収納ケースを引き出すことができるようになる。
【００３３】
以上のように、従来の収納ケースであれば、その収納ケースの重量程の力がなければ、収納ケースを手前に引っ張ったり、横方向に移動させることができなかったが、本考案の収納ケースによれば、その半分以下の力で収納ケースを手前に引っ張ったり、横方向に移動させることができる。これにより、プローブカード収納ケース１を極めて容易かつ安全に、そして正確に移動できるようになる。
【００３４】
即ち、本考案の収納ケースによれば、収納ケースの非移動性と容易移動性を簡単な構成で両立させ、しかも移動においては、従来移動に必要な力の半分以下の少ない力で自在に動かすことのできるプローブカード収納ケースを提供することができる。
【００３５】
なお、上記移動用ローラ９としては例えば、球状、円筒状、一般ベアリング、キャスター等の回転体を用い得る。また、上記移動用ローラ９は前後左右ではなく、例えば、前後のみなど一方向にのみ移動自在であってもよい。
【００３６】
また、本実施例においては、上記移動用ローラ９を２つ設けた例を示したが、上記移動ローラ９を１個または２以上の複数個設けてもよい。また、本実施例においては、非移動部材１０を４つ設けた例を示したが、上記非移動部材１０を１個または２以上の複数個設けるようにしてもよい。
【実施例２】
【００３７】
本考案のプローブカード収納ケースの第２実施例においては、第１実施例のように移動用ローラ９を下側ケース部２の底面２ａに設ける代わりに、図９及び図１０に示すように、下側ケース部２の底面２ａと一側面２ｂとの境界部分にあたるコーナ部１６に設ける。また、上記移動用ローラ９を上記底面２ａの鉛直下方向に対して、例えば４５度、斜め下方向に傾斜させて設ける。
【００３８】
この第２の実施例によれば、移動用ローラ９の底面２ａからの突出高さを抑えることができるので、非移動部材１０の高さも抑えることができ、これによりプローブカード収納ケースの薄型を実現することができる。
【符号の説明】
【００３９】
１    本体ケース
２    下側ケース部
２ａ  底面
２ｂ  一側面
２ｃ  他側面
３    上側ケース部
４    プローブカード
５    ヒンジ部
６    固定具
７ａ  ロック部
７ｂ  ロック部
８ａ  把手
８ｂ  把手
９    移動用ローラ
１０  非移動部材
１１  窓部
１２  支承面
１３  専用棚
１４  作業員
１５  載置台
１６  コーナ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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