【手続補正書】
【提出日】平成24年6月28日(2012.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置、及び液体除去方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置であって、
前記基板を載置して前記投影光学系下を移動するステージと、
供給口を介して前記投影光学系下に液体を供給し、前記供給された液体により形成される液浸領域から回収口を介して液体を回収する液浸装置と、
前記供給口が一端である供給路の液体の除去に用いられる除去部材と、を備える露光装置。
【請求項２】
前記供給路の液体は、前記投影光学系下に供給されず前記供給路に残留する液体である請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記供給路に残留する液体が、前記供給路につながる除去部材を通じて除去される請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記供給路に残留する液体の除去に先立って、前記除去部材と前記供給路をつなぐための開閉部材が開いて前記供給路と前記除去部材とが接続される請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
前記投影光学系下への前記液体の供給を行なうことなく前記供給路に残留する液体が前記除去部材を用いて除去される請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記供給路に残留する液体が前記除去部材を通って除去される請求項３に記載の露光装置。
【請求項７】
前記供給路に残留する液体の除去に先立って、前記供給路に残留する液体を吸引するための吸引装置に前記除去部材が接続される請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記供給路に残留する液体が気体とともに前記除去部材を流れて除去される請求項７に記載の露光装置。
【請求項９】
前記除去部材を通じて除去された液体と前記気体とを分離する分離装置を有する請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記分離装置は、前記供給路に前記除去部材が接続される接続位置と、前記吸引装置との間で、前記除去部材に配置される請求項９に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記分離された気体を乾燥する乾燥装置を有する請求項９に記載の露光装置。
【請求項１２】
前記除去部材を通じて前記供給路内に気体を流すことにより、前記供給路に残留する液体が除去される請求項３に記載の露光装置。
【請求項１３】
前記供給路に残留する液体が除去に先立って、前記気体を生成するための加圧装置に前記除去部材が接続される請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１４】
前記供給路に残留する液体が除去に先立って、前記投影光学系下に前記ステージが位置付けられる請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１５】
前記供給路に残留する液体の除去に先立って、前記供給路に配置された開閉部材が前記供給路の流れを遮断する請求項３に記載の露光装置。
【請求項１６】
前記供給路に配置された開閉部材は、前記除去部材と前記供給路をつなぐための開閉部材を兼ねる請求項１５に記載の露光装置。
【請求項１７】
前記供給口と前記供給路に配置された開閉部材との間で、前記除去部材が前記供給路と接続される請求項１５に記載の露光装置。
【請求項１８】
前記液浸装置は、前記供給路に配置された開閉部材を有する請求項１５に記載の露光装置。
【請求項１９】
前記基板の露光とは異なる期間に前記供給路に残留する液体の除去が行われる請求項１〜１８のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２０】
前記投影光学系下への液体供給が停止した後、前記供給路に残留する液体の除去が終了する請求項１９に記載の露光装置。
【請求項２１】
前記投影光学系下への液体供給が停止した後、前記供給路に残留する液体の除去が開始される請求項２０に記載の露光装置。
【請求項２２】
前記液浸領域から液体の回収が停止した後、前記供給路に残留する液体の除去が開始される請求項２０に記載の露光装置。
【請求項２３】
前記供給路に残留する液体の除去が開始された後に、前記液浸領域からの液体の回収が停止される請求項２０に記載の露光装置。
【請求項２４】
前記液浸領域からの液体の回収と、前記供給路に残留する液体の除去とが、一部並行して行なわれる請求項２０に記載の露光装置。
【請求項２５】
前記投影光学系下への液体供給が停止した後、前記液浸領域からの液体の回収が継続される請求項２０〜２４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２６】
前記供給路の液体が気体とともに前記供給路から除去される請求項１〜２５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２７】
前記供給路の液体が前記気体とともに前記除去部材を流れることにより、前記供給路の液体が除去される請求項２６に記載の露光装置。
【請求項２８】
前記供給路の液体の除去に先立って、前記供給路の液体を吸引するための吸引装置に前記除去部材が接続される請求項２７に記載の露光装置。
【請求項２９】
前記供給路から前記除去部材に流れた前記液体と前記気体とを分離する分離装置を有する請求項２７に記載の露光装置。
【請求項３０】
前記分離装置は、前記供給路に前記除去部材が接続される接続位置と、前記吸引装置との間で、前記除去部材に配置される請求項２９に記載の露光装置。
【請求項３１】
前記分離された気体を乾燥する乾燥装置を有する請求項２９に記載の露光装置。
【請求項３２】
前記除去部材を通じて前記供給路内に前記気体を流すことにより、前記供給路の液体が除去される請求項２６に記載の露光装置。
【請求項３３】
前記供給路の液体が除去に先立って、前記気体を生成するための加圧装置に前記除去部材が接続される請求項３２に記載の露光装置。
【請求項３４】
前記供給路の液体が除去に先立って、前記投影光学系下に前記ステージが位置付けられる請求項２６〜３３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項３５】
前記除去部材により除去される液体は、前記投影光学系下への液体供給の停止によって前記供給口から供給されずに前記供給路に残留する液体である請求項３４に記載の露光装置。
【請求項３６】
前記供給路に配置された開閉部材により前記供給路の流れが遮断されることにより、前記液体供給の停止が行われる請求項３５に記載の露光装置。
【請求項３７】
投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置であって、
前記基板を載置して前記投影光学系下を移動するステージと、
供給路の供給口を介して前記投影光学系下に前記液体を供給し、前記供給された液体により形成される液浸領域から回収路の回収口を介して液体を回収する液浸装置と、を備え、
前記液浸装置は、前記投影光学系下に供給されることなく前記供給路に残留する液体を、除去するように構成される露光装置。
【請求項３８】
前記供給路に残留する液体は、前記投影光学系下への液体供給の停止により前記供給路に残留する液体である請求項３７に記載の露光装置。
【請求項３９】
前記供給路への液体の供給を行うことなく、前記供給路に残留する液体が除去される請求項３８に記載の露光装置。
【請求項４０】
気体を生成するための加圧装置を用いて前記供給路内に前記気体を流すことにより、前記供給路に残留する液体が前記供給路から除去される請求項３８に記載の露光装置。
【請求項４１】
前記供給路に残留する液体の除去に先立って前記供給路と吸引装置がつながり、前記供給路に残留する液体が吸引される請求項３８に記載の露光装置。
【請求項４２】
前記供給路に残留する液体が気体とともに吸引される請求項４１に記載の露光装置。
【請求項４３】
吸引した前記液体と前記気体とを分離する分離装置を有する請求項４２の記載の露光装置。
【請求項４４】
前記分離した気体を乾燥する乾燥装置を有する請求項４３に記載の露光装置。
【請求項４５】
前記供給路に残留する液体が除去に先立って、前記投影光学系下に前記ステージが位置付けられる請求項３７〜４４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項４６】
前記基板の露光とは異なる期間に前記供給路に残留する液体の除去が行われる請求項３７〜４５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項４７】
前記投影光学系下への液体供給が停止した後、前記供給路に残留する液体の除去が終了する請求項４６に記載の露光装置。
【請求項４８】
前記投影光学系下への液体供給が停止した後、前記供給路に残留する液体の除去が開始される請求項４７に記載の露光装置。
【請求項４９】
前記液浸領域から液体の回収が停止した後、前記供給路に残留する液体の除去が開始される請求項４７に記載の露光装置。
【請求項５０】
前記供給路に残留する液体の除去が開始された後に、前記液浸領域からの液体の回収が停止される請求項４７に記載の露光装置。
【請求項５１】
前記液浸領域からの液体の回収と、前記供給路に残留する液体の除去とが、一部並行して行なわれる請求項４７に記載の露光装置。
【請求項５２】
前記投影光学系下への液体供給が停止した後、前記液浸領域からの液体の回収が継続される請求項４７に記載の露光装置。
【請求項５３】
前記供給路に残留する液体が除去に先立って、前記投影光学系下に前記ステージが位置付けられる請求項４６〜５２のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項５４】
前記投影光学系下に供給された液体が周囲の気体とともに前記回収口を介して回収される請求項１〜５３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項５５】
前記回収口を介して回収した前記液体から前記気体を分離する分離装置を備える請求項５４に記載の露光装置。
【請求項５６】
前記回収路は吸引装置と接続され、
前記分離装置は、前記回収口と前記吸引装置の間で、前記回収路に配置される請求項５５に記載の露光装置。
【請求項５７】
前記分離した気体を乾燥させる乾燥装置を備える請求項５５に記載の露光装置。
【請求項５８】
前記基板は前記ステージの上面の一部に載置され、
前記ステージの上面と前記載置された前記基板のエッジとの隙間に流入する液体を回収する流路が、前記ステージに形成されている請求項１〜５７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項５９】
前記基板は、その表面が前記ステージの上面と同じ高さとなるように、前記ステージに載置される請求項５８に記載の露光装置。
【請求項６０】
前記隙間に流入した前記液体が周囲の気体とともに回収される請求項５８に記載の露光装置。
【請求項６１】
前記隙間を介して回収した前記液体と前記気体とを分離する分離装置を備える請求項６０に記載の露光装置。
【請求項６２】
前記投影光学系下に供給された液体の一部が多孔部材を介して回収される請求項１〜６１のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項６３】
前記多孔部材は前記ステージに配置され、
前記液体の一部が前記多孔部材に流入する請求項６２に記載の露光装置。
【請求項６４】
前記基板が前記ステージに載置され、
前記ステージは前記基板の一部に前記液浸領域が位置するように移動し、
前記液浸領域を介して前記基板が露光される請求項１〜６３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項６５】
投影光学系下を移動するステージに載置された基板に液体を介して露光光を照射する露光装置に用いられる液体除去方法であって、
前記投影光学系下に位置づけられた前記ステージ上に、供給路を介して前記液体を供給することと、
前記投影光学系下への前記液体の供給が停止された後、前記供給路の液体を除去すること、
を含む液体除去方法。
【請求項６６】
前記供給路の液体は、前記投影光学系下に供給されず前記供給路に残留する液体である請求項６５に記載の液体除去方法。
【請求項６７】
前記基板の露光とは異なる期間に前記供給路に残留する液体の除去が行われる請求項６６に記載の液体除去方法。
【請求項６８】
前記投影光学系下への液体供給が停止した後、前記供給路に残留する液体の除去が開始される請求項６７に記載の液体除去方法。
【請求項６９】
前記供給路を介して前記ステージ上に供給された前記液体の液浸領域から、回収路を介して液体を回収することを含み、
前記液浸領域から液体の回収が停止した後、前記供給路に残留する液体の除去が開始される請求項６８に記載の液体除去方法。
【請求項７０】
前記供給路を介して前記ステージ上に供給された前記液体の液浸領域から、回収路を介して液体を回収することを含み、
前記供給路に残留する液体の除去が開始された後に、前記液浸領域からの液体の回収が停止される請求項６８に記載の液体除去方法。
【請求項７１】
前記供給路を介して前記ステージ上に供給された前記液体の液浸領域から、回収路を介して液体を回収することを含み、
前記液浸領域からの液体の回収と、前記供給路に残留する液体の除去とが、一部並行して行なわれる請求項６８に記載の液体除去方法。
【請求項７２】
前記供給路を介して前記ステージ上に供給された前記液体の液浸領域から、回収路を介して液体を回収することを含み、
前記投影光学系下への液体供給が停止した後、前記液浸領域からの液体の回収が継続される請求項６８に記載の液体除去方法。
【請求項７３】
前記投影光学系下への液体供給が停止した後、前記供給路に残留する液体の除去が終了する請求項６７〜７２のいずれか一項に記載の液体除去方法。
【請求項７４】
前記供給路の液体が除去部材を用いて除去される請求項６５〜７３のいずれか一項に記載の液体除去方法。
【請求項７５】
前記投影光学系下への前記液体供給を行なうことなく前記供給路の液体が前記除去部材を用いて除去される請求項７４に記載の液体除去方法。
【請求項７６】
前記供給路に前記除去部材をつなげて前記供給路の液体が除去される請求項７４に記載の液体除去方法。
【請求項７７】
前記供給路の液体が除去に先立って、前記除去部材と前記供給路をつなぐための開閉部材が開いて前記供給路と前記除去部材とが接続される請求項７６に記載の液体除去方法。
【請求項７８】
前記供給路に配置された開閉部材により記供給路の液体の流れが遮断されて、前記供給路の液体が除去される請求項７６に記載の液体除去方法。
【請求項７９】
前記供給路の液体が前記除去部材を通って除去される請求項７４に記載の液体除去方法。
【請求項８０】
前記供給路の液体の除去に先立って、前記供給路の液体を吸引するための吸引装置に前記除去部材が接続される請求項７９に記載の液体除去方法。
【請求項８１】
前記供給路の液体が、気体とともに前記除去部材を流れて除去される請求項８０に記載の液体除去方法。
【請求項８２】
前記除去部材を通じて除去された液体と前記気体とを分離する請求項８１に記載の液体除去方法。
【請求項８３】
前記分離された気体を乾燥する請求項８２に記載の液体除去方法。
【請求項８４】
前記除去部材を通じて前記供給路内に気体を流すことにより、前記供給路の液体が除去される請求項７４に記載の液体除去方法。
【請求項８５】
前記供給路の液体が除去に先立って、前記気体を生成するための加圧装置に前記除去部材が接続される請求項８４に記載の液体除去方法。
【請求項８６】
前記供給路の液体の除去に先立って、前記供給路に配置された開閉部材が前記供給路の流れを遮断する請求項７４〜８５のいずれか一項に記載の液体除去方法。
【請求項８７】
前記供給路に配置された開閉部材は、前記除去部材と前記供給路をつなぐための開閉部材を兼ねる請求項８６に記載の液体除去方法。
【請求項８８】
前記供給路の供給口と前記供給路に配置された開閉部材との間で前記除去部材が前記供給路と接続される請求項８６に記載の液体除去方法。
【請求項８９】
前記供給路の液体が、気体とともに前記供給路から除去される請求項６５〜８８のいずれか一項に記載の液体除去方法。
【請求項９０】
前記供給路の液体の除去に先立って、前記投影光学系下に前記ステージが位置付けられる請求項８９に記載の液体除去方法。
【請求項９１】
前記供給路から除去された液体と前記気体とを分離する請求項８９に記載の液体除去方法。
【請求項９２】
前記分離した気体を乾燥する請求項９１に記載の液体除去方法。
【請求項９３】
前記供給路の液体の除去に先立って前記供給路と吸引装置がつながり、前記供給路に残留する液体が吸引される請求項８９〜９２のいずれか一項に記載の液体除去方法。
【請求項９４】
前記供給路を介して前記ステージ上に供給された前記液体の液浸領域から、回収路を介して液体を回収することを含み、
前記投影光学系下に供給された前記液体が周囲の気体とともに前記回収路を介して回収される請求項６５〜９３のいずれか一項に記載の液体除去方法。
【請求項９５】
前記回収路を介して回収した液体から前記気体を分離する請求項９４に記載の液体除去方法。
【請求項９６】
前記ステージの上面と前記ステージに載置された基板のエッジとの隙間に流入する液体を回収することをさらに含む請求項６５〜９５のいずれか一項に記載の液体除去方法。
【請求項９７】
前記隙間に流入する液体を回収する流路が、前記ステージに形成されている請求項９６に記載の液体除去方法。
【請求項９８】
前記基板は、その表面が前記ステージの上面と同じ高さとなるように、前記ステージに載置される請求項９６に記載の液体除去方法。
【請求項９９】
前記隙間に流入した前記液体が周囲の気体とともに回収される請求項９６に記載の液体除去方法。
【請求項１００】
前記隙間を介して回収した前記液体と前記気体とを分離する請求項９９に記載の液体除去方法。
【請求項１０１】
前記供給路を介して前記ステージ上に供給された前記液体の液浸領域から、回収路を介して液体を回収することを含み、
前記投影光学系下に供給された液体の一部が多孔部材を介して回収される請求項６５〜１００のいずれか一項に記載の液体除去方法。
【請求項１０２】
前記多孔部材は前記ステージに配置され、
前記液体の一部が前記多孔部材に流入する請求項１０１に記載の液体除去方法。
【請求項１０３】
前記ステージは前記基板の一部に前記液浸領域が位置するように移動し、
前記液浸領域を介して前記基板が露光される請求項６５〜１０２のいずれか一項に記載の液体除去方法。