【手続補正書】
【提出日】平成24年3月19日(2012.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨部材を研磨対象物に押し当てながら相対移動させることにより、前記研磨対象物の表面を研磨する研磨装置において、
前記研磨対象物の研磨状態を反映した画像データを作成するデータ設定部と、
前記データ設定部により作成された前記画像データに基づいて、前記研磨対象物の研磨状態を示す画像を表示する表示部とを備えることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記データ設定部は、前記研磨対象物の前記研磨状態を色で表した画像データを作成し、
前記表示部は、前記データ設定部により作成された前記画像データに基づいて、前記研磨対象物の研磨状態に応じて色が付された画像を表示することを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記データ設定部は、前記研磨対象物の前記研磨状態に応じて色が変化するように、前記画像データを作成することを特徴とする請求項１または２に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記データ設定部は、前記研磨対象物の前記研磨状態に応じて色の濃淡が変化するように、前記画像データを作成することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項５】
前記色の濃淡は、前記研磨対象物の前記研磨状態に応じて段階別に表示されることを特徴とする請求項４に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記色の濃淡は、前記研磨対象物の前記研磨状態に応じて０〜２５５までの段階別に表示されることを特徴とする請求項４または５に記載の研磨装置。
【請求項７】
前記データ設定部は、それぞれ異なる色の濃淡があてがわれた複数種類の研磨情報を用いて、１枚の画像で前記研磨対象物の前記研磨状態を示すように、前記画像データを作成することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項８】
前記データ設定部は、それぞれ表示用画像を構成する各画素の色を表すＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の値があてがわれた３種類の研磨情報を用いて、１枚の画像で前記研磨対象物の前記研磨状態を示すように、前記画像データを作成することを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項９】
前記複数の研磨情報は、前記研磨対象物の表面高さ、表面の材質および研磨量であることを特徴とする請求項７または８に記載の研磨装置。
【請求項１０】
前記データ設定部は、前記画像データをビットマップデータに変換することを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１１】
前記複数の研磨情報は、研磨荷重、スラリー量および前記研磨部材の摺動時間であることを特徴とする請求項７、８または１０のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１２】
前記研磨状態を検出する検出部を備え、前記データ設定部は、前記検出部により検出された前記研磨状態に対応する画像データを設定する請求項１〜１１のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１３】
前記研磨対象物を保持する保持部と、
前記研磨部材を前記保持部により保持された前記研磨対象物に押し当てながら移動させる移動機構と、
前記移動機構による前記研磨部材の移動を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記データ設定部により作成された前記画像データに基づいて、前記研磨対象物の研磨状態が目標値に到達するための研磨条件を算出し、算出した前記研磨条件に基づいて前記研磨部材を前記保持部により保持された前記研磨対象物に押し当てながら移動させることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１４】
加工対象物を加工する対象物加工部と、
前記加工対象物の加工状態に対応する画像データを設定するデータ設定部と、
前記画像データに基づいて、前記加工状態を示す画像を表示する表示部と、
を備える加工装置。
【請求項１５】
前記対象物加工部の作動を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記加工状態に基づいて前記加工対象物を加工するための加工条件を算出し、算出した前記加工条件に基づいて前記対象物加工部の作動を制御する請求項１４に記載の加工装置。
【請求項１６】
研磨部材を研磨対象物に押し当てながら相対移動させることにより、前記研磨対象物の表面を研磨する研磨方法であって、
前記研磨対象物の研磨状態を反映した画像データを作成するデータ設定ステップと、
前記データ設定部により作成された前記画像データに基づいて、前記研磨対象物の研磨状態を示す画像を表示する表示ステップとを含むことを特徴とする研磨方法。
【請求項１７】
前記データ設定ステップでは、前記研磨対象物の前記研磨状態を色で表した画像データを作成し、
前記表示ステップでは、前記データ設定ステップにて作成された前記画像データに基づいて、前記研磨対象物の研磨状態に応じて色が付された画像を表示することを特徴とする請求項１６に記載の研磨方法。
【請求項１８】
前記データ設定ステップでは、前記研磨対象物の前記研磨状態に応じて色が変化するように、前記画像データを作成することを特徴とする請求項１６または１７に記載の研磨方法。
【請求項１９】
前記データ設定ステップでは、前記研磨対象物の前記研磨状態に応じて色の濃淡が変化するように、前記画像データを作成することを特徴とする請求項１６〜１８のいずれか一項に記載の研磨方法。
【請求項２０】
前記色の濃淡は、前記研磨対象物の前記研磨状態に応じて段階別に表示されることを特徴とする請求項１９に記載の研磨方法。
【請求項２１】
前記色の濃淡は、前記研磨対象物の前記研磨状態に応じて０〜２５５までの段階別に表示されることを特徴とする請求項１９または２０に記載の研磨方法。
【請求項２２】
前記データ設定ステップでは、それぞれ異なる色の濃淡があてがわれた複数種類の研磨情報を用いて、１枚の画像で前記研磨対象物の前記研磨状態を示すように、前記画像データを作成することを特徴とする請求項１６〜２１のいずれか一項に記載の研磨方法。
【請求項２３】
前記データ設定ステップでは、それぞれ表示用画像を構成する各画素の色を表すＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の値があてがわれた３種類の研磨情報を用いて、１枚の画像で前記研磨対象物の前記研磨状態を示すように、前記画像データを作成することを特徴とする請求項１６〜２２のいずれか一項に記載の研磨方法。
【請求項２４】
前記複数の研磨情報は、前記研磨対象物の表面高さ、表面の材質および研磨量であることを特徴とする請求項２２または２３に記載の研磨方法。
【請求項２５】
前記データ設定ステップでは、前記画像データをビットマップデータに変換することを特徴とする請求項１６〜２４のいずれか一項に記載の研磨方法。
【請求項２６】
前記複数の研磨情報は、研磨荷重、スラリー量および前記研磨部材の摺動時間であることを特徴とする請求項２２、２３または２５のいずれか一項に記載の研磨方法。
【請求項２７】
前記研磨状態を検出する検出ステップを含み、前記データ設定ステップでは、前記検出ステップにより検出された前記研磨状態に対応する画像データを設定する請求項１８〜２６のいずれか一項に記載の研磨方法。
【請求項２８】
前記データ設定ステップにより作成された前記画像データに基づいて、前記研磨対象物の研磨状態が目標値に到達するための研磨条件を算出し、算出した前記研磨条件に基づいて前記研磨部材を前記研磨対象物に押し当てながら移動させる制御ステップを含むことを特徴とする請求項１６〜２７のいずれか一項に記載の研磨方法。
【請求項２９】
加工対象物を加工する対象物加工ステップと、
前記加工対象物の加工状態に対応する画像データを設定するデータ設定ステップと、
前記画像データに基づいて、前記加工状態を示す画像を表示する表示ステップと、
を含む加工方法。
【請求項３０】
前記加工状態に基づいて前記加工対象物を加工するための加工条件を算出し、算出した前記加工条件に基づいて前記対象物加工物を加工する対象物加工部の作動を制御するステップを含む請求項２９に記載の加工方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】研磨装置、加工装置、研磨方法および加工方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、研磨装置、加工装置、研磨方法および加工方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、加工条件の設定が不要となるとともに加工中にリアルタイムでワークの情報を取得することが可能な研磨装置、加工装置、研磨方法および加工方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
このような目的達成のため、本発明に係る研磨装置は、研磨部材を研磨対象物に押し当てながら相対移動させることにより、研磨対象物の表面を研磨する研磨装置において、研磨対象物の研磨状態を反映した画像データを作成するデータ設定部（例えば、実施形態における画像生成装置６３）と、データ設定部により作成された画像データに基づいて、研磨対象物の研磨状態を示す画像を表示する表示部とを備えて構成される。
また、本発明に係る加工装置は、加工対象物を加工する対象物加工部と、前記加工対象物の加工状態に対応する画像データを設定するデータ設定部と、前記画像データに基づいて、前記加工状態を示す画像を表示する表示部とを備えて構成される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そして、本発明に係る研磨方法は、研磨部材を研磨対象物に押し当てながら相対移動させることにより、研磨対象物の表面を研磨する研磨方法であって、研磨対象物の研磨状態を反映した画像データを作成するデータ設定ステップと、データ設定部により作成された画像データに基づいて、研磨対象物の研磨状態を示す画像を表示する表示ステップとを含んで構成される。
また、本発明に係る加工方法は、加工対象物を加工する対象物加工ステップと、前記加工対象物の加工状態に対応する画像データを設定するデータ設定ステップと、前記画像データに基づいて、前記加工状態を示す画像を表示する表示ステップとを含んで構成される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明に係る研磨装置、加工装置、研磨方法および加工方法によれば、予めレシピファイルの内容を手動で設定する必要がなくなるとともに、研磨加工中にリアルタイムで研磨対象物の情報を取得することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
Ｗ    ワーク（研磨対象物）          １０  保持機構（保持部）
２０  パッド回転機構（移動機構）    ２３  研磨パッド（研磨部材）
３０  ヘッド移動機構（移動機構）    ５１  制御部（制御部）
５３  表示部                        ６１  測定装置（検出部）
６３  画像生成装置（データ設定部）