【手続補正書】
【提出日】平成24年7月26日(2012.7.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行なＸ線を試料に斜め方向から照射するＸ線照射手段と、
該Ｘ線照射手段によりＸ線が照射された試料で回折したＸ線のうち平行な成分の回折Ｘ線を集光して検出する回折Ｘ線検出手段と、
前記回折Ｘ線を検出した前記回折Ｘ線検出手段から出力される信号を処理する信号処理手段と、
を備えたことを特徴とする可搬型Ｘ線回折装置。
【請求項２】
前記試料の前記Ｘ線を照射する箇所を撮像する撮像手段と
該撮像して得た画像を表示する表示手段と
を更に備えたことを特徴とする請求項１記載の可搬型Ｘ線回折装置。
【請求項３】
前記Ｘ線照射手段は、
連続波長のＸ線を発生するＸ線管と、
該Ｘ線管で発生させたＸ線の光路を開閉するシャッタ手段と、
前記Ｘ線管で発生させたＸ線を平行化して試料に斜め方向から照射する照射光学手段と、
前記Ｘ線管と前記シャッタ手段と前記照射光学手段とを内装するＸ線照射部筐筒と
を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の可搬型Ｘ線回折装置。
【請求項４】
前記照射光学手段は、スリットまたはポリキャピラリで形成されていることを特徴とする請求項３記載の可搬型Ｘ線回折装置。
【請求項５】
前記回折Ｘ線検出手段は、
前記Ｘ線照射手段によりＸ線が照射された前記試料で回折したＸ線を入射させて平行な成分を集光する受光光学素子と、
該受光光学素子で集光された回折Ｘ線を検出する検出光学素子と、
前記受光光学素子と前記検出光学素子とを内装するＸ線検出部筐体と
を備えたことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の可搬型Ｘ線回折装置。
【請求項６】
前記受光光学素子はポリキャピラリで構成され、該ポリキャピラリの前記試料からの回折Ｘ線が入射する側は平行に形成され、前記回折Ｘ線を出射する側はその断面が前記入射する側の断面よりも小さく形成されていることを特徴とする請求項５記載の可搬型Ｘ線回折装置。
【請求項７】
前記検出光学素子はエネルギー分散型の検出器で構成されていることを特徴とする請求項５記載の可搬型Ｘ線回折装置。
【請求項８】
前記エネルギー分散型の検出器は、シリコンドリフト型半導体検出器（ＳＤＤ）であることを特徴とする請求項７記載の可搬型Ｘ線回折装置。
【請求項９】
平行な連続波長のＸ線を試料に照射し、
該Ｘ線が照射された前記試料で回折した回折Ｘ線から平行な成分を選択して該選択した回折Ｘ線の平行な成分を集光し、
該集光した回折Ｘ線をエネルギー分散型の検出素子で検出し、
該検出素子で検出して得た信号を処理する
ことを特徴とするＸ線回折方法。
【請求項１０】
前記平行な連続波長のＸ線を、スリットまたはポリキャピラリを用いて形成することを特徴とする請求項９記載のＸ線回折方法。
【請求項１１】
試料のＸ線を照射する箇所を撮像し、
該撮像された試料のＸ線を照射する箇所の画像を表示し、
Ｘ線管で連続波長のＸ線を発生し、
該Ｘ線管で発生させたＸ線を平行化して前記画像が表示された試料のＸ線を照射する箇所に斜め方向から照射し、
該Ｘ線が照射された試料で回折したＸ線から平行な成分を選択して集光させ、
該選択して集光させた回折Ｘ線を検出素子で検出し、
該検出素子で検出した信号を処理する、
ことを特徴とするＸ線回折方法。
【請求項１２】
前記Ｘ線管で発生させたＸ線を平行化することを、スリットまたはポリキャピラリを用いて行うことを特徴とする請求項１１記載のＸ線回折方法。
【請求項１３】
前記試料で回折したＸ線から平行な成分を選択して集光させることを、前記試料で回折したＸ線をポリキャピラリに入射させ、該ポリキャピラリに入射させた回折Ｘ線のうち平行な成分の回折Ｘ線を前記ポリキャピラリの前記回折Ｘ線が入射する側よりも径が小さい出射側から出射させることにより行うことを特徴とする請求項９または１１に記載のＸ線回折方法。
【請求項１４】
前記選択して集光させた回折Ｘ線をエネルギー分散型の検出素子で検出することを特徴とする請求項１１記載のＸ線回折方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記した目的を達成するために、本発明では、可搬型Ｘ線回折装置を、平行なＸ線を試
料に斜め方向から照射するＸ線照射手段と、このＸ線照射手段によりＸ線が照射された試料で回折したＸ線のうち平行な成分の回折Ｘ線を集光して検出する回折Ｘ線検出手段と、回折Ｘ線を検出した前記回折Ｘ線検出手段から出力される信号を処理する信号処理手段とを備えて構成した。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
上記した構成において、Ｘ線発生用Ｘ線管１で発生したＸ線を、シャッタ開閉スイッチ
１４によりＸ線シャッタ２の開閉を行うことによって試料への照射のOn/Offを行う。シャ
ッタ開閉スイッチ１４によりシャッタ２が開の状態でＸ線発生用Ｘ線管１で発生したＸ線
は試料照射用Ｘ線光学素子３を透過して試料２００に照射される。  
試料照射用Ｘ線光学素子３は、Ｘ線発生用Ｘ線管１で発生したＸ線を平行化して試料２
００に照射する役割をもち、本実施例ではＸ線発生用Ｘ線管１のＸ線焦点１６と同様なサ
イズの開口をもつスリットを用いた。この試料照射用Ｘ線光学素子３には平行管タイプの
モノキャピラリであっても良いし、平行管タイプのモノキャピラリを複数束ねて形成した
ポリキャピラリ型の素子としてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
Ｘ線検出器５でＸ線を検出して得られたアナログ信号は検出器信号処理部８でデータ処
理可能なデジタル化され、データ処理及び表示制御部１０で処理され、その結果が折り畳
み式データ表示部１５に表示する。また、本実施例による可搬型Ｘ線回折計測装置１００
のＸ線回折計測のＸ線の光軸中心を図中の１点鎖線ａ及びｂで示す。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
次に図７を用いて、本実施例を用いたＸ線回折測定について詳細を説明する。図７（ａ
）に示すように、Ｘ線発生用Ｘ線管１のＸ線焦点１６で発生したＸ線は試料照射用Ｘ線光
学素子３を通過するとともに、図７（ｂ）に示す防Ｘ線シールド部４０の試料面側に設け
られた試料照射Ｘ線透過窓２２を通して、試料２００に照射される。このとき試料２００
との接触部４１はタングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）や鉛（Ｐｂ）等の重金属で構成
されており、試料と密着させることにより、Ｘ線の漏洩が無いようにできている。更に、
使用時の安全性を高めるため、試料の形状に合わせて図に記載の無い重金属入りプラスチ
ック片がその外側に設置され、Ｘ線漏洩を防止している。更に、図に記載の無い近接スイ
ッチと試料観察用開口４２を通して光学的な計測を行う試料観察部６によるデータから防
Ｘ線シールド部４０の接触部４１が試料に接触しているかを確認した上で、シャッタ開閉
スイッチ１４のOn/OffによりＸ線の照射が制御される安全機構となっている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
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【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
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