【手続補正書】
【提出日】平成24年5月7日(2012.5.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（Ｉ）で表される酸分解性繰り返し単位及び下記一般式（ＩＩ）で表される非酸分解性繰り返し単位を有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂（Ａ）、および活性光線又は放射線の照射により酸を発生する下記一般式（ＺＩ）、（ＺＩＩ）又は（ＺＩＩＩ）で表される化合物（Ｂ）を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
【化１】
2012108527.tif 000001
一般式（Ｉ）に於いて、
Ｘａ１は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ａ１は、単結合又は２価の連結基を表す。
ＡＬＧは、酸脱離性炭化水素基を表す。
一般式（ＩＩ）に於いて、
Ｘａ２は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ａ２は、単結合又は２価の連結基を表す。
ＡＣＧは、非酸脱離性炭化水素基を表す。
【化２】
2012108527.tif 000002
上記一般式（ＺＩ）、（ＺＩＩ）及び（ＺＩＩＩ）において、
Ｒ２０１、Ｒ２０２及びＲ２０３は、各々独立に、有機基を表す。
Ｒ２０４〜Ｒ２０７は、各々独立に、アリール基、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
Ｘ−は、下記一般式（ＡＮ１）又は（ＡＮ２）で表される非求核性アニオンを表す。
【化３】
2012108527.tif 000003
上記一般式（ＡＮ１）及び（ＡＮ２）に於いて、
Ｒｃ１は、下記一般式で表される有機基を表す。
【化４】
2012108527.tif 000004
上記一般式に於いて、
Ｒｃ６は、炭素数４以下のパーフロロアルキレン基、１〜４個のフッ素原子及び／又は１〜３個のフロロアルキル基で置換されたフェニレン基を表す。
Ａｘは、−Ｏ−、−ＣＯ２−、−Ｓ−、−ＳＯ３−又は−ＳＯ２Ｎ（Ｒｄ１）−を表す。Ｒｄ１は、水素原子又はアルキル基を表し、Ｒｃ７と結合して環構造を形成してもよい。
Ｒｃ７は、フッ素原子を置換基として有さない直鎖状若しくは分岐状アルキル基、フッ素原子を置換基として有さない単環若しくは多環環状アルキル基、又はフッ素原子を置換基として有さないアリール基を表す。
【請求項２】
樹脂（Ａ）が、一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位及び一般式（ＩＩ）で表される繰り返し単位の内の少なくとも一方が多環炭化水素構造を有さない樹脂（Ａ１）であることを特徴とする請求項１に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項３】
一般式（Ｉ）で表される酸分解性繰り返し単位が、下記一般式（Ｉ−１）で表される酸分解性繰り返し単位であることを特徴とする請求項１または２に記載のポジ型感光性組成物。
【化５】
2012108527.tif 000005
一般式（Ｉ−１）に於いて、
Ｘａ１は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ｒｘ１〜Ｒｘ３は、それぞれ独立に、直鎖若しくは分岐状アルキル基又は単環若しくは多環環状アルキル基を表す。Ｒｘ１〜Ｒｘ３の内の少なくとも２つが結合して、単環若しくは多環環状アルキル基を形成してもよい。
【請求項４】
樹脂（Ａ）が、ラクトン基を有する繰り返し単位を更に有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項５】
一般式（Ｉ）で表される酸分解性繰り返し単位が、下記一般式（Ｉ−１ｂ）で表される酸分解性繰り返し単位であることを特徴とする請求項１または２に記載のポジ型感光性組成物。
【化６】
2012108527.tif 000006
一般式（Ｉ−１ｂ）に於いて、
Ｘａ１は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ｒｘ１は、直鎖若しくは分岐状アルキル基又は単環若しくは多環環状アルキル基を表す。
Ｒｘ４は、直鎖若しくは分岐状アルキル基又は単環環状アルキル基を表す。
ｎ１は、４又は５を表す。
ｎ２は、０〜３を表す。
【請求項６】
一般式（ＩＩ）で表される非酸分解性繰り返し単位が、下記一般式（ＩＩ−１）で表される非酸分解性繰り返し単位であることを特徴とする請求項１または２に記載のポジ型感光性組成物。
【化７】
2012108527.tif 000007
一般式（ＩＩ−１）に於いて、
Ｘａ２は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ｒｘ５は、直鎖若しくは分岐状アルキル基又は単環環状アルキル基を表す。
ｎ３は、４又は５を表す。
ｎ４は、０〜３を表す。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のポジ型感光性組成物により形成された感光性膜。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれかに記載のポジ型感光性組成物により、感光性膜を形成し、該感光性膜を露光、現像する工程を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項９】
液浸媒体を介して露光を行うことを特徴とする請求項８に記載のパターン形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
即ち、上記課題は下記の構成によって達せられた。
（１）
下記一般式（Ｉ）で表される酸分解性繰り返し単位及び下記一般式（ＩＩ）で表される非酸分解性繰り返し単位を有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂（Ａ）、および活性光線又は放射線の照射により酸を発生する下記一般式（ＺＩ）、（ＺＩＩ）又は（ＺＩＩＩ）で表される化合物（Ｂ）を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
【化１】
2012108527.tif 000008
一般式（Ｉ）に於いて、
Ｘａ１は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ａ１は、単結合又は２価の連結基を表す。
ＡＬＧは、酸脱離性炭化水素基を表す。
一般式（ＩＩ）に於いて、
Ｘａ２は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ａ２は、単結合又は２価の連結基を表す。
ＡＣＧは、非酸脱離性炭化水素基を表す。
【化２】
2012108527.tif 000009
上記一般式（ＺＩ）、（ＺＩＩ）及び（ＺＩＩＩ）において、
Ｒ２０１、Ｒ２０２及びＲ２０３は、各々独立に、有機基を表す。
Ｒ２０４〜Ｒ２０７は、各々独立に、アリール基、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
Ｘ−は、下記一般式（ＡＮ１）又は（ＡＮ２）で表される非求核性アニオンを表す。
【化３】
2012108527.tif 000010
上記一般式（ＡＮ１）及び（ＡＮ２）に於いて、
Ｒｃ１は、下記一般式で表される有機基を表す。
【化４】
2012108527.tif 000011
上記一般式に於いて、
Ｒｃ６は、炭素数４以下のパーフロロアルキレン基、１〜４個のフッ素原子及び／又は１〜３個のフロロアルキル基で置換されたフェニレン基を表す。
Ａｘは、−Ｏ−、−ＣＯ２−、−Ｓ−、−ＳＯ３−又は−ＳＯ２Ｎ（Ｒｄ１）−を表す。Ｒｄ１は、水素原子又はアルキル基を表し、Ｒｃ７と結合して環構造を形成してもよい。
Ｒｃ７は、フッ素原子を置換基として有さない直鎖状若しくは分岐状アルキル基、フッ素原子を置換基として有さない単環若しくは多環環状アルキル基、又はフッ素原子を置換基として有さないアリール基を表す。
（２）
樹脂（Ａ）が、一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位及び一般式（ＩＩ）で表される繰り返し単位の内の少なくとも一方が多環炭化水素構造を有さない樹脂（Ａ１）であることを特徴とする（１）に記載のポジ型感光性組成物。
（３）
一般式（Ｉ）で表される酸分解性繰り返し単位が、下記一般式（Ｉ−１）で表される酸分解性繰り返し単位であることを特徴とする（１）または（２）に記載のポジ型感光性組成物。
【化５】
2012108527.tif 000012
一般式（Ｉ−１）に於いて、
Ｘａ１は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ｒｘ１〜Ｒｘ３は、それぞれ独立に、直鎖若しくは分岐状アルキル基又は単環若しくは多環環状アルキル基を表す。Ｒｘ１〜Ｒｘ３の内の少なくとも２つが結合して、単環若しくは多環環状アルキル基を形成してもよい。
（４）
樹脂（Ａ）が、ラクトン基を有する繰り返し単位を更に有することを特徴とする（１）〜（３）のいずれか１項に記載のポジ型感光性組成物。
（５）
一般式（Ｉ）で表される酸分解性繰り返し単位が、下記一般式（Ｉ−１ｂ）で表される酸分解性繰り返し単位であることを特徴とする（１）または（２）に記載のポジ型感光性組成物。
【化６】
2012108527.tif 000013
一般式（Ｉ−１ｂ）に於いて、
Ｘａ１は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ｒｘ１は、直鎖若しくは分岐状アルキル基又は単環若しくは多環環状アルキル基を表す。
Ｒｘ４は、直鎖若しくは分岐状アルキル基又は単環環状アルキル基を表す。
ｎ１は、４又は５を表す。
ｎ２は、０〜３を表す。
（６）
一般式（ＩＩ）で表される非酸分解性繰り返し単位が、下記一般式（ＩＩ−１）で表される非酸分解性繰り返し単位であることを特徴とする（１）または（２）に記載のポジ型感光性組成物。
【化７】
2012108527.tif 000014
一般式（ＩＩ−１）に於いて、
Ｘａ２は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。
Ｒｘ５は、直鎖若しくは分岐状アルキル基又は単環環状アルキル基を表す。
ｎ３は、４又は５を表す。
ｎ４は、０〜３を表す。
（７）
（１）〜（６）のいずれかに記載のポジ型感光性組成物により形成された感光性膜。
（８）
（１）〜（６）のいずれかに記載のポジ型感光性組成物により、感光性膜を形成し、該感光性膜を露光、現像する工程を含むことを特徴とするパターン形成方法。
（９）
液浸媒体を介して露光を行うことを特徴とする（８）に記載のパターン形成方法。
本発明は、上記（１）〜（９）に記載の構成を有するものであるが、以下、他の事項も含めて記載している。
＜１＞下記一般式（Ｉ）で表される酸分解性繰り返し単位及び下記一般式（ＩＩ）で表される非酸分解性繰り返し単位を有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂（Ａ）、および活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物（Ｂ）を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３３１】
以下、実施例により本発明を詳細に説明するが、本発明は、これに限定されるものではない。
但し、実施例１〜２０、２２〜２５及び実施例２Ｂ、３Ｂ、６Ｂ〜１６Ｂは、それぞれ、参考例１〜２０、２２〜２５及び参考例２Ｂ、３Ｂ、６Ｂ〜１６Ｂに読み替えるものとする。