【手続補正書】
【提出日】平成24年8月30日(2012.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ発振する露光用のレーザ装置の状態を監視する監視端末と、データベースを有するサーバ装置と、前記データベースの内容に基づく出力情報をオペレータに対して画面表示する表示手段を有する表示端末とが通信回線を介して接続され、
前記通信回線を介して、少なくとも、前記監視端末と表示端末と前記サーバ装置との間でデータ通信を実施し、前記レーザ装置を管理するレーザ装置管理システムであって、
前記監視端末は、
前記レーザ装置で所定の放電パルス数に達するごとに、当該レーザ装置の状態を示す状態情報を、当該レーザ装置から取得して前記サーバ装置へ送信する処理手段を具備し、
前記サーバ装置は、
前記処理手段から送信された前記所定の放電パルス数に達したレーザ装置の状態情報を前記データベースに保存する保存手段と、
前記データベースの内容に基づき、前記所定の放電パルス数に達したレーザ装置の状態情報のトレンド表示を含む出力情報を生成して前記表示端末へ送信する生成手段とを具備した
ことを特徴とするレーザ装置管理システム。
【請求項２】
複数のレーザ装置を管理するレーザ装置管理システムであって、
前記レーザ装置で前記所定の放電パルス数に達すると、当該レーザ装置の識別情報が、前記監視端末、前記サーバ装置を経由して前記表示端末に送られる
ことを特徴とする請求項１記載のレーザ装置管理システム。
【請求項３】
前記レーザ装置を制御するとともに、当該レーザ装置から当該レーザ装置の状態を示す状態情報を取得するレーザ制御装置が設けられ、
前記レーザ制御装置から前記レーザ装置の状態情報が外部記憶媒体を介して前記監視端末に転送されること
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項４】
前記レーザ装置を制御するとともに、当該レーザ装置から当該レーザ装置の状態を示す状態情報を取得するレーザ制御装置が設けられ、
前記レーザ制御装置と前記監視端末とが通信回線によって接続され、
前記レーザ制御装置から前記レーザ装置の状態情報が前記通信回線を介して前記監視端末に転送されること
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項５】
前記レーザ装置を制御するとともに、当該レーザ装置から当該レーザ装置の状態を示す状態情報を取得するレーザ制御装置が設けられ、  
前記監視端末と前記表示端末が同一の監視・表示端末として構成され、  
前記レーザ制御装置と前記監視・表示端末とが通信回線によって接続され、
前記レーザ制御装置から前記レーザ装置の状態情報が前記通信回線を介して前記監視・表示端末に転送されること
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項６】
前記監視端末、前記サーバ装置、前記表示端末は、送信すべきデータを暗号化する暗号化処理手段をそれぞれ具備するとともに、受信したデータを復号化する復号化処理手段をそれぞれ具備すること
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項７】
前記通信回線に複数の監視端末と複数の表示端末が接続され、  
前記サーバ装置は、複数の監視端末からのアクセスを制御するとともに、複数の表示端末からのアクセスを制御するアクセス制御手段を具備する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項８】
前記サーバ装置は、前記監視端末で実行すべき監視端末プログラムおよび前記表示端末で実行すべき表示端末プログラムを格納する記憶手段を備え、
前記監視端末は、前記サーバ装置から送信された前記監視端末プログラムを実行する監視端末プログラム実行手段を備えるとともに、
前記表示端末は、前記サーバ装置から送信された前記表示端末プログラムを実行する表示端末プログラム実行手段を備える
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項９】
前記レーザ装置を制御するとともに、当該レーザ装置から当該レーザ装置の状態を示す状態情報を取得するレーザ制御装置が設けられ、
前記サーバ装置は、前記レーザ制御装置で実行すべき装置プログラムを格納する記憶手段を備え、
前記監視端末は、前記サーバ装置から送信された前記装置プログラムを前記レーザ制御装置に転送する転送手段を備え、
前記レーザ制御装置は、前記監視端末から転送された前記装置プログラムを実行する装置プログラム実行手段を備える
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１０】
前記レーザ装置を制御するとともに、当該レーザ装置から当該レーザ装置の状態を示す状態情報を取得するレーザ制御装置が設けられ、
前記監視端末は、
前記レーザ装置で所定の放電パルス数に達するごとに、当該レーザ装置の前記状態情報として、動作電圧および動作ガス圧を、当該レーザ装置から前記レーザ制御装置を介して取得して前記サーバ装置へ送信する処理手段を具備する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１１】
前記監視端末と前記サーバ装置は、
同一の工場内に設けられること
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１２】
前記監視端末と露光機が通信回線によって接続されている
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１３】
複数のレーザ装置を管理するレーザ装置管理システムであって、
前記サーバ装置は、前記監視端末で実行すべき監視端末プログラムを、前記レーザ装置の識別情報に対応して複数種類格納するとともに、前記表示端末で実行すべき表示端末プログラムを、前記レーザ装置の識別情報に対応して複数種類格納する記憶手段と、
前記複数種類の監視端末プログラムの中から、前記レーザ装置の識別情報に対応する監視端末プラグラムを選択して、当該識別情報で示されるレーザ装置を監視する監視端末に送信するとともに、前記複数種類の表示端末プログラムの中から、前記レーザ装置の識別情報に対応する表示端末プログラムを選択して、当該識別情報で示されるレーザ装置に関する表示を行う表示端末に送信する配布手段とを備え、
前記監視端末は、前記サーバ装置から送信された前記監視端末プログラムを実行する監視端末プログラム実行手段を備えるとともに、
前記表示端末は、前記サーバ装置から送信された前記表示端末プログラムを実行する表示端末プログラム実行手段を備える
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１４】
前記サーバ装置の生成手段は、
前記データベースに保存されている状態情報のうち、過去一定時間の状態情報に基づいて、前記レーザ装置の状態を診断し、該診断結果を示す出力情報を生成して前記表示端末へ送信する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１５】
前記サーバ装置の生成手段は、
前記データベースに保存されている最新の状態情報と予め設定された診断基準とに基づいて、前記レーザ装置の状態を診断し、該診断結果を示す出力情報を生成して前記表示端末へ送信する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１６】
前記監視端末の処理手段は、
前記レーザ装置がガスレーザ装置であった場合に、当該ガスレーザ装置における放電パルスの回数を示す情報を状態情報として取得して、前記サーバ装置へ送信し、
前記サーバ装置の前記生成手段は、
前記データベースに記憶されている最新の放電パルスの回数を示す情報に基づいて、前記ガスレーザ装置の状態の異常を予測し、該予測結果を示す出力情報を生成して前記表示端末へ送信する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。
【請求項１７】
前記監視端末の処理手段は、
前記レーザ装置がガスレーザをレーザ発振するガスレーザ装置であった場合に、当該ガスレーザ装置に使用されている部品の寿命に影響を与える当該ガスレーザ装置の放電パルスの回数を含む稼働状況を示す情報を、前記状態情報として取得して前記サーバ装置へ送信し、
前記サーバ装置の生成手段は、
前記データベースに記憶されている状態情報に基づいて、前記部品の寿命を予測し、該予測結果を示す出力情報を生成して前記表示端末へ送信する
ことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ装置管理システム。