Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成24年5月31日(2012.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
昇降可能な積載部を有する荷役装置を車体の前部に備えた荷役車両において、
運転座席を含み、上記車体によって上記運転座席を回転中心として回転可能に支持されたユニットと、
上記ユニットを上記回転中心回りに回転させる駆動機構と、
車両の前進を検出するための前進検出手段と、
車両の後退を検出するための後退検出手段と、
上記駆動機構を制御する制御部と、を備え、
上記制御部は、上記後退検出手段によって車両の後退が検出されたときに、上記ユニットを、上記運転座席が車両前方に向く第１の位置から上記回転中心の回りに所定の回転角度回転させた第２の位置に変位させるように、上記駆動機構を制御し、また、上記前進検出手段によって車両の前進が検出されたときに、上記ユニットが上記第２の位置にあることを条件として、上記ユニットを上記第１の位置に戻すように上記駆動機構を制御することを特徴とする荷役車両。
【請求項２】
請求項１において、上記ユニットの位置をロックするロック機構を備えることを特徴とする荷役車両。
【請求項３】
請求項１または２において、上記ユニットは、運転者が手または足で操作するための複数の操作要素および確認ミラーのうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする荷役車両。
【請求項４】
請求項１から３の何れか１項において、上記ユニットは操舵部材を含み、上記操舵部材と転舵輪との間の機械的な連結が断たれている荷役車両。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明は、昇降可能な積載部（１７）を有する荷役装置（３）を車体（２）の前部に備えた荷役車両（１）において、運転座席（１０）を含み、上記車体によって上記運転座席を回転中心（Ｃ１）として回転可能に支持されたユニット（１１）と、上記ユニットを上記回転中心回りに回転させる駆動機構（１２）と、車両の前進を検出するための前進検出手段（６１）と、車両の後退を検出するための後退検出手段（６１）と、上記駆動機構を制御する制御部（１３）と、を備え、上記制御部は、上記後退検出手段によって車両の後退が検出されたときに、上記ユニットを、上記運転座席が車両前方に向く第１の位置から上記回転中心の回りに所定の回転角度回転させた第２の位置に変位させるように、上記駆動機構を制御し、また、上記前進検出手段によって車両の前進が検出されたときに、上記ユニットが上記第２の位置にあることを条件として、上記ユニットを上記第１の位置に戻すように上記駆動機構を制御することを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、車両の後退を検出するための後退検出手段（６１）を備え、上記制御部は、上記後退検出手段によって車両の後退が検出されたときに、上記ユニットを、上記運転座席が車両前方に向く第１の位置から上記回転中心の回りに所定の回転角度回転させた第２の位置に変位させるように、上記駆動機構を制御するので、下記の利点がある。すなわち、車両が後退するときに、ユニットを第２の位置に変位させることにより、運転者は、無理に上半身を捩じったりしなくても車両の後方を容易に視認することができる。しかも、第１の位置から第２の位置に変位するときに、運転者が受ける回転慣性を格段に少なくすることができ、運転者の作業負担を十分に軽減することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、車両の前進を検出するための前進検出手段（６１）を備え、上記制御部は、上記前進検出手段によって車両の前進が検出されたときに、上記ユニットが上記第２の位置にあることを条件として、上記ユニットを上記第１の位置に戻すように上記駆動機構を制御するので、下記の利点がある。すなわち、車両が後退した後、前進するときに、ユニットを、運転座席が車両前方を向く第１の位置に戻すことにより、走行方向の前方の視認性を確保することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、上記ユニットの位置をロックするロック機構（５２）を備える場合がある（請求項２）。この場合、ユニットの位置のロックにより運転座席の向きが固定されるので、運転者の姿勢が安定し、操縦や車両駆動の操作がし易くなる。
また、上記ユニットは、運転者が手または足で操作するための複数の操作要素（２４，３６，３７，３８，４１，４２，４３）および確認ミラー（３９）のうちの少なくとも１つを含む場合がある（請求項３）。この場合、操作要素等を運転座席を回転中心として運転座席とともに回転変位させるので、運転者の運転し易さが格段に向上する。操作要素としては、ステアリングホイール等の操舵部材、荷役装置の載置部を昇降操作するための昇降操作レバー、荷役装置を傾動させるためのチルト操作レバー、車両の前進／後進を切り替える前進／後進切替レバー、アクセルペダル、ブレーキペダル、クラッチペダルおよび各種スイッチを例示することができる。操舵部材、各種レバーおよび各種スイッチは、手によって操作され、アクセルペダル、ブレーキペダル、クラッチペダルは、足によって操作される。確認ミラーは、主に後方を確認するためのミラーである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記ユニットは操舵部材（２４）を含み、上記操舵部材と転舵輪（６）との間の機械的な連結が断たれている場合がある（請求項４）。この場合、ユニットの位置が変更されたときに、運転者が操舵部材を容易に操作することができる。また、操舵部材と転舵輪との間の機械的な連結が断たれているので、操舵部材を運転座席とともに回転させることに困難性がない。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
上記ユニット１１は、車体２上に載置されたユニット本体３４を備えている。そのユニット本体３４の前部には、操作スタンド３５が設けられており、ユニット本体３４の後部には、上記の運転座席１０が固定されている。運転座席１０は、座部１０ａと、背もたれ部１０ｂとを有している。
上記操作スタンド３５には、運転者が手で操作するための複数の操作要素として、上記操舵部材２４と、フォーク１７を昇降させるための昇降操作レバー３６と、アウターマスト１４を揺動させるためチルト操作レバー３７と、前進／後進切替レバー３８とが設けられている。また、操作スタンド３５には、主に後方を確認するための確認ミラー３９が固定されている。また、操作スタンド３５には、図示しない各種のスイッチ類が設けられている。
【手続補正書】
【提出日】平成24年7月23日(2012.7.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
空気調和対象の部屋に設置された空気調和機において、
前記空気調和対象の部屋の範囲における空間情報を取得するセンサと、
前記空間情報の範囲の中から人体の存在する範囲を判定する人体検出判定部と、
前記人体検出判定部が判定した人体の存在する範囲の空間情報を解析することにより人体の状態を判定する人体状態判定部と、
前記人体状態判定部が判定した人体の状態を基に空気調和機から吹き出す気流を制御する気流制御部と
を備えたことを特徴とする空気調和機。
【手続補正書】
【提出日】平成24年2月8日(2012.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
食品を収納する食品収納部と、
前記食品収納部に収納された食品と非接触に配置されるセンサ電極を有する電界センサと、
前記電界センサの測定値に基づいて食品の有無を検出し、
食品の検出結果と食品に対する前記電界センサの測定値に基づいて食品の管理情報を算出する制御部と、
を備える冷蔵庫。
【請求項２】
前記制御部は、食品の水分量変化を電界センサの測定値から検出し、
食品に対する前記電界センサの現在の測定値と、１つまたは複数の過去の測定値との比較に基づき、前記比較により得られる差が所定の範囲内である場合は、同一の食品が収納されていると判定する請求項１に記載の冷蔵庫。
【請求項３】
前記制御部は、食品の水分量変化を電界センサの測定値から検出し、
前記食品の水分量の変化に基づき、該食品の鮮度を算出する請求項１または２のいずれか１つに記載の冷蔵庫。
【請求項４】
前記冷蔵庫は、前記食品収納部の温度と湿度の内、少なくともいずれか一方を検出する検出部を備え、
前記検出部により検出される測定値に基づき、前記制御部は前記電界センサの測定値の変化量を補正する請求項１乃至３のいずれか１つに記載の冷蔵庫。
【請求項５】
前記冷蔵庫は、開閉ドアの開閉を検出するドアスイッチを備え、
前記制御部は前記ドアスイッチが前記開閉ドアの開放を検出した場合には、前記電界センサの測定を停止させる請求項１乃至４のいずれか１つに記載の冷蔵庫。
【請求項６】
前記電界センサの測定値が、食品が無いと判定される状態で所定の時間以上継続した場合に、前記制御部は食品が無いと判定する請求項１乃至５のいずれか１つに記載の冷蔵庫。
【請求項７】
前記冷蔵庫は、
冷媒を圧縮する圧縮機と、
圧縮された前記冷媒により冷却された冷気を庫内に循環させるファンと、
前記電界センサの測定値に重畳されるノイズを測定するノイズ検出手段と、を備え、
前記ノイズ検出手段が所定値を超えるノイズを検出した場合には、前記制御部は、前記ファンの運転、または、前記圧縮機および前記ファンの運転を停止させてから、前記電界センサに測定させる請求項１乃至６のいずれか１つに記載の冷蔵庫。
【請求項８】
前記食品の管理情報は、食品の有無、収納されている食品の数、収納期間、鮮度のうち少なくとも１つを含む情報とすることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１つに記載の冷蔵庫。
【請求項９】
前記電界センサは、冷蔵庫本体に充填される断熱材によって全部または一部を被覆されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１つに記載の冷蔵庫。
【請求項１０】
前記電界センサのセンサ電極は、シート状導電部材であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１つに記載の冷蔵庫。
【請求項１１】
前記冷蔵庫はさらに管理情報を出力する出力部を備え、
前記出力部は画像若しくは文字によって前記管理情報を表示する表示手段、音若しくは声によって前記管理情報を発音する発音手段、または、無線若しくは有線によって外部の端末に管理情報を送信する通信手段、のうち少なくとも１つを備える請求項１乃至１０のいずれか１つに記載の冷蔵庫。
【請求項１２】
収納された食品と非接触に配置されるセンサ電極を有する電界センサにより、該食品を測定する測定ステップと、
前記電界センサの測定値に基づいて食品の有無を検出する食品検出ステップと、
前記食品検出ステップの検出結果と、食品に対する前記電界センサの測定値に基づいて管理情報を算出する管理情報算出ステップと、
を有する食品管理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明にかかる冷蔵庫は、食品を収納する食品収納部と、前記食品収納部に収納された食品と非接触に配置されるセンサ電極を有する配置電界センサと、前記電界センサの測定値に基づいて食品を検出し、食品の検出情報と食品に対する前記電界センサの測定値に基づいて食品の管理情報を算出する制御部と、を備える。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月18日(2012.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明に係る熱交換器は、アルミニウム又はアルミニウム合金で形成された伝熱管と、伝熱管から流入する冷媒又は伝熱管へ流入する冷媒が通る接続配管とを備え、空気調和機に設けられる熱交換器であって、接続配管はガス冷媒が通るガス配管と液冷媒又は気液二相冷媒が通る液配管とを有するものである。また、ガス配管及び液配管はそれぞれ、アルミニウム又はアルミニウム合金で形成され、一方の端部が伝熱管に接続されたアルミニウム配管と、銅又は銅合金で形成され、一方の端部がアルミニウム配管の他方の端部に接続された銅配管と、を備えているものである。また、ガス配管及び液配管のそれぞれには、銅配管がアルミニウム配管よりも重力方向における下方に配置された立ち下がり部が形成されているものである。そして、アルミニウム配管と銅配管との接続部は立ち下がり部の直線部分に配置され、立ち下がり部の直線部分においては、アルミニウム配管の方が銅配管よりも長くなっているものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明においては、接続配管におけるアルミニウム配管（アルミニウム又はアルミニウム合金で形成された冷媒配管）と銅配管（銅又は銅合金で形成された冷媒配管）との接続部が、立ち下がり部の直線部分に配置されている。そして、立ち下がり部の直線部分においては、アルミニウム配管の方が銅配管よりも長くなっている。このため、接続配管が捻られて、接続配管に負荷がかかった場合でも、接続配管が破損してしまうことを防止できる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
接続配管２０は、ガス配管３０及び液配管４０を備えている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム又はアルミニウム合金で形成された伝熱管と、
前記伝熱管から流入する冷媒又は前記伝熱管へ流入する冷媒が通る接続配管と、
を備え、空気調和機に搭載される熱交換器であって、
前記接続配管は、ガス冷媒が通るガス配管と、液冷媒又は気液二相冷媒が通る液配管と、を有し、
前記ガス配管及び前記液配管はそれぞれ、アルミニウム又はアルミニウム合金で形成され、一方の端部が前記伝熱管に接続されたアルミニウム配管と、銅又は銅合金で形成され、一方の端部が前記アルミニウム配管の他方の端部に接続された銅配管と、を備え、
前記ガス配管及び前記液配管のそれぞれには、前記銅配管が前記アルミニウム配管よりも重力方向における下方に配置された立ち下がり部が形成されており、
前記アルミニウム配管と前記銅配管との接続部は、前記立ち下がり部の直線部分に配置され、
前記立ち下がり部の直線部分においては、前記アルミニウム配管の方が前記銅配管よりも長くなっていることを特徴とする熱交換器。
【請求項２】
前記ガス配管は、前記立ち下がり部の下部に、前記ガス配管の変形を抑制するスプリングが被せられ、
当該熱交換器が搭載された空気調和機が設置された状態においては、
前記接続部は、前記スプリングの上端部よりも上方に配置されることを特徴とする請求項１に記載の熱交換器。
【請求項３】
当該熱交換器が搭載された空気調和機が設置された状態においては、
前記液管の前記接続部は、前記ガス管に被せられた前記スプリングの上端部よりも上方に配置されることを特徴とする請求項２に記載の熱交換器。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の熱交換器が搭載されたことを特徴とする空気調和機。
【手続補正書】
【提出日】平成24年3月6日(2012.3.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の光源ユニットは、励起光を発する励起光照射装置と、基材に蛍光発光領域を有し、前記励起光照射装置からの励起光が前記蛍光発光領域に照射されることにより所定波長帯域の蛍光光を発する蛍光板と、前記蛍光板から発せられる蛍光光と異なる波長帯域光を発する光源装置と、前記励起光照射装置と前記光源装置との発光を個別に制御する光源制御手段と、を備え、前記蛍光板は、ホイールモータにより回転駆動される基材から成る蛍光ホイールであり、前記蛍光発光領域は前記蛍光板の全周に亘って環状に配置されており、前記光源制御手段が、前記励起光照射装置と前記光源装置の発光を個別に制御することで、合成光又は単色光を射出することを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
そして、本発明のプロジェクタは、上記光源ユニットと、表示素子と、前記光源ユニットからの光を前記表示素子に導光する導光光学系と、前記表示素子から射出された画像をスクリーンに投影する投影側光学系と、前記光源ユニットや表示素子を制御するプロジェクタ制御手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明によれば、発光ダイオードなどの半導体発光素子を有する光源装置と、励起光を受けて所定波長帯域光を生成する蛍光体の層を有する蛍光板と、該蛍光板の蛍光体に励起光を照射する励起光照射装置と、を有する光源ユニットであって、励起光照射装置により励起光の照射された蛍光板からの蛍光光と光源装置の夫々から射出された光源光とによって各色の光を当該光源ユニットから射出可能な構成として、半導体発光素子において高輝度を得ることが比較的難しい緑色などの所定波長帯域光を発する発光ダイオードなどを設けることなく輝度向上を図ることのできる光源ユニットと、この光源ユニットを備えたプロジェクタと、を提供することができる。そして、光源制御手段が、独立して配設される励起光照射装置及び光源装置の発光を個別に制御することで、単色光のみならず合成光を射出して輝度向上を図ることのできる光源ユニットと、この光源ユニットを備えたプロジェクタと、を提供することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明によれば、励起光照射装置及び光源装置の発光を個別に制御することができるため、蛍光発光領域を有する蛍光板の回転制御を行う必要がなく、簡易なモータにより蛍光ホイールを回転させる構成とすることができる、あるいは蛍光板を固定配置してモータを省略することもできるため、光源ユニット及びプロジェクタのコスト低減を図ることもできる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
さらに、励起光照射装置の励起光源や光源装置の半導体発光素子をオンオフさせるデューティ駆動が可能であるため、励起光源や半導体発光素子をオン状態とする励起光源及び半導体発光素子発光時における出力を高めて、明るい蛍光光などの可視光を生成することのできる光源ユニットと、この光源ユニットを備えたプロジェクタと、を提供することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励起光を発する励起光照射装置と、
基材に蛍光発光領域を有し、前記励起光照射装置からの励起光が前記蛍光発光領域に照射されることにより所定波長帯域の蛍光光を発する蛍光板と、
前記蛍光板から発せられる蛍光光と異なる波長帯域光を発する光源装置と、
前記励起光照射装置と前記光源装置との発光を個別に制御する光源制御手段と、を備え、
前記蛍光板は、ホイールモータにより回転駆動される基材から成る蛍光ホイールであり、
前記蛍光発光領域は前記蛍光板の全周に亘って環状に配置されており、
前記光源制御手段が、前記励起光照射装置と前記光源装置の発光を個別に制御することで、合成光又は単色光を射出することを特徴とする光源ユニット。
【請求項２】
前記蛍光板から発せられる蛍光光と前記光源装置から発せられる光とを、所定の一面に集光する光源側光学系を備えることを特徴とする請求項１に記載の光源ユニット。
【請求項３】
前記光源側光学系は、前記励起光照射装置と前記蛍光板との間に介在され、前記励起光を透過させ前記蛍光光を反射させるダイクロイックミラーを含み、
前記励起光照射装置から照射された励起光が前記ダイクロイックミラーを透過して前記蛍光板に入射し、前記蛍光板から発せられた蛍光光が前記ダイクロイックミラーにより反射されて前記所定の一面に導かれることを特徴とする請求項２に記載の光源ユニット。
【請求項４】
前記励起光照射装置は、青色波長帯域の励起光を発する励起光源を備え、
前記光源装置は、赤色の波長帯域光を発する半導体発光素子を有する赤色光源装置と、青色の波長帯域光を発する半導体発光素子を有する青色光源装置と、を含み、
前記蛍光板の蛍光発光領域は、前記励起光照射装置からの励起光を受けて緑色の波長帯域光を発することを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の光源ユニット。
【請求項５】
前記光源制御手段は、緑色、赤色及び青色波長帯域の光を別々に射出させる期間を含むように、前記励起光照射装置、前記赤色光源装置及び前記青色光源装置を別々に点灯させ、且つ、緑色、赤色及び青色波長帯域の光が合成されて生成される白色波長帯域の光を射出させる期間を含むように、前記励起光照射装置、前記赤色光源装置及び前記青色光源装置の全てを点灯させることを特徴とする請求項４に記載の光源ユニット。
【請求項６】
前記光源制御手段は、緑色、赤色及び青色波長帯域の光を別々に射出させる期間を含むように、前記励起光照射装置、前記赤色光源装置及び前記青色光源装置を別々に点灯させ、且つ、緑色及び赤色波長帯域の光が合成されて生成される黄色波長帯域の光を射出させる期間を含むように、前記励起光照射装置及び前記赤色光源装置を点灯させることを特徴とする請求項４に記載の光源ユニット。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６の何れかに記載の光源ユニットと、表示素子と、前記光源ユニットからの光を前記表示素子に導光する導光光学系と、前記表示素子から射出された画像をスクリーンに投影する投影側光学系と、前記光源ユニットや表示素子を制御するプロジェクタ制御手段と、を備えることを特徴とするプロジェクタ。
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月19日(2012.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料が載置される試料載置面を有する試料載置ステージと、
前記試料載置面に対向するよう配置され、前記試料載置面上の撮像対象エリア内の各部を順次撮像する撮像部と、
前記撮像部と前記試料載置面との間に配置され、前記撮像対象エリアのうち前記撮像部の撮像可能エリアの局所顕微鏡画像を前記撮像部に結像するための対物レンズと、
前記試料載置ステージをスキャン平面に沿って移動させることにより、前記試料載置ステージ及び前記対物レンズの相対位置を調節する第１駆動機構と、
前記対物レンズを前記対物レンズの光軸方向に沿って移動させることにより、前記試料載置ステージ及び前記対物レンズの相対位置を調節する第２駆動機構と、そして、
前記第１及び第２駆動機構を制御することで、前記撮像対象エリアにおける前記撮像部の焦点位置を調節しながら前記撮像部の撮像可能エリアを所定のスキャン方向に沿って相対的に移動させる制御部と、を備え、
前記試料載置ステージの試料載置面は、前記スキャン平面に対して傾いており、
前記制御部は、
前記撮像対象エリアに対して複数の焦点計測位置を設定し、
設定された前記複数の焦点計測位置における合焦点位置に基づいて、フォーカスマップを作成し、
前記撮像対象エリア内において前記撮像部の撮像可能エリアが前記所定のスキャン方向に相対的に移動している間、作成された前記フォーカスマップに基づいて、前記対物レンズをその光軸方向に沿って移動させる
ことを特徴とする顕微鏡画像撮像装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記撮像対象エリア内において前記撮像部の撮像可能エリアが前記所定のスキャン方向に相対的に移動している間、前記撮像部の焦点位置が前記対物レンズの光軸方向に沿って一方向のみに単調に調節されるよう、前記第１駆動機構を制御することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡画像撮像装置。
【請求項３】
前記試料載置ステージの試料載置面は、前記対物レンズの光軸と交差する該試料載置面上の直線が前記スキャン平面と所定角度で交差する程度の傾きを有することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡画像撮像装置。
【請求項４】
前記複数の焦点測定位置は、前記撮像エリアを構成する撮像単位ごとに設定されることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡画像撮像装置。
【請求項５】
前記試料載置ステージの前記試料載置面は、前記試料載置面上に試料が載置されたとき、該試料の前記対物レンズを介して前記撮像部に対面する面を前記スキャン平面に対して傾斜させる程度の傾きを有することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡画像撮像装置。
【手続補正書】
【提出日】平成23年10月13日(2011.10.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第２の材料の表面と化学的に相互作用できる支持骨格官能基を含み重合した支持骨格ナノコンポジット（ＰＳＮ）を備えるハイブリッド無機／有機材料。
【手続補正書】
【提出日】平成24年5月14日(2012.5.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリアルデータインターフェースを介して複数の論理データストリームのそれぞれに対応するデータを送信する方法であって、
前記論理データストリームの少なくともいくつかについてのデータをステージングすることと、
各論理データストリームについてステージングされた前記データのデータ準備完了を判断することと、
複数のメッセージを生成することであって、該メッセージのそれぞれはヘッダを有し、該メッセージの少なくともいくつかは、前記データのいくつかを搬送し、データを搬送する前記メッセージの前記ヘッダは、それらのメッセージのデータが関連する前記論理データストリームを識別する、複数のメッセージを生成することと、
ｉ）各論理データストリームについてステージングされた前記データの前記データ準備完了と、ｉｉ）前記論理データストリームの優先方式とを使用することであって、前記論理データストリームのうちのアクティブな1つを定期的に指定する、ｉ）及びｉｉ）を使用することと、
前記シリアルデータインターフェースを介して、前記複数の論理データストリームのうちの前記アクティブな１つに対応するメッセージを送信し、該複数の論理データストリームのうちの他のものに対応するメッセージを送信しないことと、
を含む、方法。
【請求項２】
方法であって、
前記シリアルデータインターフェースを介してフロー制御情報を受信することであって、該フロー制御情報は、リモート受信機がデータを受信する準備が完了していることを示す、フロー制御情報を受信することと、
また、前記フロー制御情報を使用することであって、前記論理データストリームのうちの前記アクティブな1つを定期的に指定する、前記フロー制御情報を使用することと、
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
方法であって、
前記シリアルデータインターフェースを介してメッセージを受信することと、
前記受信されたメッセージのヘッダを処理することであって、前記フロー制御情報を抽出する、前記受信されたメッセージのヘッダを処理することと、
をさらに含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
装置であって、
シリアルデータインターフェースを介して、複数の論理データストリームのうちのアクティブな１つに対応するメッセージを送信するが、前記複数の論理データストリームのうちの他のものに対応するメッセージを送信しないように構成されるシリアルデータ送信機、
を備え、該シリアルデータ送信機は、
前記論理データストリームの少なくともいくつかについてのデータをステージングするように構成されると共に、該論理データストリームのそれぞれについてステージングされた前記データのデータ準備完了インジケータをセットするように構成されるデータステージングメカニズムと、
複数のメッセージを生成するように構成されるメッセージ生成メカニズムであって、該メッセージのそれぞれはヘッダを有し、該メッセージの少なくともいくつかは、前記データのいくつかを搬送し、データを搬送する前記メッセージの前記ヘッダは、それらのメッセージのデータが関連する前記論理データストリームを識別する、メッセージ生成メカニズムと、
ｉ）前記論理データストリームの前記データ準備完了インジケータと、ｉｉ）該論理データストリームの優先方式とを使用するように構成されて、該論理データストリームのうちの前記アクティブな１つを定期的に指定する、アービトレーションメカニズムと、
を有する、装置。
【請求項５】
装置であって、
前記シリアルデータインターフェースを介してフロー制御情報を受信するように構成されるシリアルデータ受信機であって、前記フロー制御情報は、リモート受信機がデータを受信する準備が完了していることを示す、シリアルデータ受信機をさらに備え、
前記アービトレーションメカニズムは、前記フロー制御情報をさらに使用するように構成されて、前記論理データストリームのうちの前記アクティブな1つを定期的に指定する、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
装置であって、
前記シリアルデータインターフェースを介してメッセージを受信するように構成されるシリアルデータ受信機をさらに備え、該シリアルデータ受信機は、
第２の複数の論理データストリームについて受信されたデータをバッファリングするように構成される複数のデータバッファと、
ｉ）前記シリアルデータインターフェースを介して受信された前記メッセージのヘッダを処理するように構成され、もしあれば、前記メッセージが関連する前記第２の複数の論理データストリームの１つ又は複数を識別し、ｉｉ）前記メッセージに含まれるデータを、前記第２の論理データストリームの前記識別された１つ又は複数に対応する前記データバッファの１つ又は複数へルーティングするように構成されるメッセージルータと、
前記データバッファのそれぞれを監視するように構成され、前記シリアルデータ受信機が前記第２の論理データストリームのそれぞれについて追加のデータを受信する準備が完了していることを示すフロー制御情報を生成するように構成されるメカニズムと、
を有し、
前記シリアルデータ送信機は、前記メッセージの前記ヘッダの１つ又は複数で前記フロー制御情報をリモート受信機へ送信するようにさらに構成される、請求項４に記載の装置。
【請求項７】
装置であって、前記シリアルデータ送信機は、前記シリアルデータインターフェースを介して、ヘッダのみを有するメッセージを送信するようにさらに構成され、該ヘッダのみのメッセージは、前記フロー制御情報の少なくともいくつかを搬送するが、前記ステージングされたデータのいずれも搬送しない、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
シリアルデータインターフェースを介して複数の論理データストリームのそれぞれに対応するデータを送信する方法であって、添付された図面のいずれかまたはいずれかの組み合わせに関して、及び／または、添付された図面のいずれかまたはいずれかの組み合わせにおいて実質的に示された、実質的に上記に記載された方法。
【請求項９】
添付された図面のいずれか、またはいずれかの組み合わせに関して、及び／または、添付された図面のいずれかまたはいずれかの組み合わせにおいて実質的に示された、実質的に上記に記載された装置。
【手続補正書】
【提出日】平成24年3月12日(2012.3.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のマクロブロックを含むスライスを受信し、
前記マクロブロックのセキュア送信の相対的な重要度が最低でない場合には、前記マクロブロックのセキュア送信の前記相対的な重要度の少なくとも一部分に基づいて暗号鍵を選択し、
前記暗号鍵は、
前記相対的な重要度が高い場合、マスタ鍵から構成され、
前記相対的な重要度が中である場合、一方向関数を前記マスタ鍵に適用することによって導出される第１の鍵から構成され、
前記相対的な重要度が低い場合、前記一方向関数を前記第１の鍵に適用することによって導出される第２の鍵から構成され、
前記暗号鍵を用いて前記スライスを暗号化し、
前記暗号化後に、前記スライスを送信すること、
を含み、
Ｉフレームスライス及びヘッダ、第１の所定量（α）を超えるＩマクロブロックを含むＰフレームスライス、並びに第２の所定量（β）を超えるＩマクロブロックを含むＢフレームスライスのセキュア送信の前記相対的な重要度はそれぞれ高、中、及び低であり、他のスライスの前記相対的な重要度は最低であることを特徴とする方法。
【請求項２】
１＞α＞β＞０である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記受信の前に、一つ以上の前記マスタ鍵を受信器にセキュアに送信することをさらに含む、請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項４】
複数のマクロブロックを含む暗号化されたスライスを受信し、
マスタ鍵を使用して前記スライスの、前記マクロブロックのセキュア送信の相対的な重要度の指示を含むヘッダを復号化し、
前記マクロブロックのセキュア送信の相対的な重要度が最低でない場合には、前記指示の少なくとも一部分に基づいて復号鍵を選択し、
当該復号鍵は、
前記相対的な重要度が高い場合、前記マスタ鍵から構成され、
前記相対的な重要度が中である場合、一方向関数を前記マスタ鍵に適用することによって導出される第１の鍵から構成され、
前記相対的な重要度が低い場合、前記一方向関数を前記第１の鍵に適用することによって導出される第２の鍵から構成され、
前記復号鍵を使用して前記スライスを復号化し、
前記復号化後に、前記スライスを送信すること、
を含み、
Ｉフレームスライス及びヘッダ、第１の所定量（α）を超えるＩマクロブロックを含むＰフレームスライス、並びに第２の所定量（β）を超えるＩマクロブロックを含むＢフレームスライスのセキュア送信の前記相対的な重要度はそれぞれ高、中、及び低であり、他のスライスの前記相対的な重要度は最低であることを特徴とする方法。
【請求項５】
前記暗号化されたスライスを受信する前に、セキュア送信を介して前記マスタ鍵を受信し、
前記マスタ鍵に一方向関数を適用して、前記第１の鍵を導出し、
前記第１の鍵に前記一方向関数を適用して、前記第２の鍵を導出すること、
をさらに含む、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
複数の鍵シードを決定することであって、該鍵シードのそれぞれは、複数のスライスがストリーミングされる複数の間隔のうちの特定の一つに対応し、当該決定は、前の間隔に対応する前の鍵シードを取得するために第２の一方向関数を最後の間隔に対応する最後の鍵シードに適用すること、及び前記複数の間隔のすべてに対応する、すべての鍵シードが取得されるまで、前記第２の一方向関数を決定された各前記鍵シードに適用し続けることを含み、
複数のマクロブロックを含むスライスを受信し、
前記スライスが現在の間隔の最初のスライスを含む場合、当該現在の間隔に対応する現在の鍵シードを一以上の受信器にセキュアに送信し、
前記マクロブロックのセキュア送信の相対的な重要度が最低でない場合には、前記マクロブロックのセキュア送信の前記相対的な重要度の少なくとも一部分に基づいて、暗号鍵を選択し、
当該暗号鍵は、
前記相対的な重要度が高い場合、第１の一方向関数を前記鍵シードに適用することによって導出されるマスタ鍵から構成され、
前記相対的な重要度が中である場合、前記第１の一方向関数を前記マスタ鍵に適用することによって導出される第１の鍵から構成され、
前記相対的な重要度が低い場合、前記第１の一方向関数を前記第１の鍵に適用することによって導出される第２の鍵から構成され、
前記暗号鍵を使用して前記スライスを暗号化し、
前記暗号化後に、前記スライスを送信すること、
を含み、
Ｉフレームスライス及びヘッダ、第１の所定量（α）を超えるＩマクロブロックを含むＰフレームスライス、並びに第２の所定量（β）を超えるＩマクロブロックを含むＢフレームスライスのセキュア送信の前記相対的な重要度はそれぞれ高、中、及び低であり、他のスライスの前記相対的な重要度は最低であることを特徴とする方法。
【請求項７】
暗号化されていない間隔数及び暗号化された間隔数を前記マスタ鍵に付与することをさらに含む、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
受信器が、
前記現在の間隔に対応する前記現在の鍵シードを受信し、
前記暗号化されたスライスを受信し、
一方向関数を前記鍵シードに適用することによって導出されるマスタ鍵を使用して、前記スライスの、前記マクロブロックのセキュア送信の相対的な重要度の指示を含む、ヘッダを復号化し、
前記マクロブロックのセキュア送信の相対的な重要度が最低でない場合には、前記指示の少なくとも一部分に基づいて復号鍵を選択し、
当該復号鍵は、
前記相対的な重要度が高い場合、前記マスタ鍵から構成され、
前記相対的な重要度が中である場合、前記一方向関数を前記マスタ鍵に適用することによって導出される第１の鍵から構成され、
前記相対的な重要度が低い場合、前記一方向関数を前記第１の鍵に適用することによって導出される第２の鍵から構成され、
前記復号鍵を使用して前記スライスを解読すること、
をさらに含む、請求項６又は請求項７に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年8月1日(2011.8.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンに偏光光を照射する照明部と、
前記パターンで反射した前記偏光光の偏光の方向と交差する方向の偏光を透過する偏光部材を介して、前記パターンの像を結像する結像光学系と、
前記偏光光の偏光の方向と前記偏光部材を透過する偏光の方向との関係を保った状態で、前記偏光光の偏光の方向と前記パターンとの相対角度を変更する変更部とを有し、
前記像に基づいて前記パターンの検査を行うことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記偏光光の偏光の方向と前記偏光部材を透過する偏光の方向とが略直交していることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記パターンの像を撮像する撮像部を有することを特徴とする請求項１もしくは２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記結像光学系が、前記パターンで正反射した前記偏光光を結像していることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記像に基づいて前記パターンの良否を判定する判定部を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記照明部が、光源と直線偏光フィルターを備えることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記照明部と前記偏光部材との少なくとも一方が波長板を含むことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項８】
パターンに偏光光を照射し、
前記パターンで反射した前記偏光光の偏光の方向と交差する方向の偏光を透過する偏光部材を介して、前記パターンの像を検出する第１の検出を行い、
前記交差の状態を保ったまま前記偏光の方向と前記パターンの方向との相対角度を変更して前記パターンの像を検出する第２の検出を行い、
第１の検出結果と第２の検出結果を比較して前記パターンを検査する前記偏光光の偏光の方向と前記パターンとの相対角度を決めることを特徴とする検査方法。
【請求項９】
前記パターンを作製する条件を変更した複数のパターンを準備し、
前記複数のパターンについて、前記第１の検出と前記第２の検出を行い、前記条件の変更の影響を強く受ける前記相対角度を求めることを特徴とする請求項８に記載の検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】検査装置および検査方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ等に代表される基板の表面を観察するための検査装置および検査方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、パターンの微細化が進んでも従来波長の照明を用いてホールパターンを観察可能な検査装置および検査方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
このような目的達成のため、本発明に係る検査装置は、パターンに偏光光を照射する照明部と、前記パターンで反射した前記偏光光の偏光の方向と交差する方向の偏光を透過する偏光部材を介して、前記パターンの像を結像する結像光学系と、前記偏光光の偏光の方向と前記偏光部材を透過する偏光の方向との関係を保った状態で、前記偏光光の偏光の方向と前記パターンとの相対角度を変更する変更部とを有し、前記像に基づいて前記パターンの検査を行うように構成される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
なお、上述の発明において、前記偏光光の偏光の方向と前記偏光部材を透過する偏光の方向とが略直交していることが好ましい。また、前記パターンの像を撮像する撮像部を有することが好ましい。さらに、前記結像光学系が、前記パターンで正反射した前記偏光光を結像していることが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、上述の発明において、前記像に基づいて前記パターンの良否を判定する判定部を有することが好ましい。なお、前記照明部が、光源と直線偏光フィルターを備えることが好ましい。さらには、前記照明部と前記偏光部材との少なくとも一方が波長板を含むことが好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明に係る検査方法は、パターンに偏光光を照射し、前記パターンで反射した前記偏光光の偏光の方向と交差する方向の偏光を透過する偏光部材を介して、前記パターンの像を検出する第１の検出を行い、前記交差の状態を保ったまま前記偏光の方向と前記パターンの方向との相対角度を変更して前記パターンの像を検出する第２の検出を行い、第１の検出結果と第２の検出結果を比較して前記パターンを検査する前記偏光光の偏光の方向と前記パターンとの相対角度を決める。なお、上記検査方法において、前記パターンを作製する条件を変更した複数のパターンを準備し、前記複数のパターンについて、前記第１の検出と前記第２の検出を行い、前記条件の変更の影響を強く受ける前記相対角度を求めることが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成23年12月28日(2011.12.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【特許文献１】特開平７−１１４３４９号公報
【特許文献２】特開２００２−８２１３３号公報
【特許文献３】特開２０００−１４６６２８号公報
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
コピー履歴を参照して、図６の例で言えば第１３計測データまでコピー済みであれば、それ以降の第１５計測データまで収容した既存の第３計測データファイル００３の他に、ファイル化されていない計測データの有無が判定され（Ｓ２４）、ＹＥＳ、つまり図６の例で言えば、ＵＳＢメモリ３５からのコピー指令を受け取った時点において、バッファメモリ３０に一時保存中の第１６計測データ及び最新の第１７計測データが存在していれば、次のステップＳ２５で、波形観測装置１の本体メモリ３１に新規の計測データファイルを作成すると共に当該新規の計測データファイルに連番（００４）を含むファイル名が付与され、そして、この第４計測データファイルに第１６、第１７計測データが収容される。そして、次のステップＳ２６において、第３計測データファイル００３及び第４計測データファイル００４のコピーがＵＳＢメモリ３５に供給されてＵＳＢメモリ３５に書き込みが実行される。
【手続補正書】
【提出日】平成24年8月30日(2012.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のレイヤ及び第２のレイヤを含む合成レイヤにおいて階層的に変調された第１の通信チャネル及び第２の通信チャネルを受信することと、
前記第１のレイヤを復号化することと、
前記第１のレイヤの復号化の後の直列的な復号化または前記第１のレイヤの復号化と同時の並列的な復号化のうちの少なくとも一方によって前記第２のレイヤを復号化することと
を具備し、
階層的変調コンスタレーションは、第１のコンスタレーション及び第２のコンスタレーションの組み合わせであり、
前記組み合わせは、前記第１のコンスタレーション及び前記第２のコンスタレーションの重み付き重ね合わせであり、
第１の重み及び第２の重みが設定可能であり、
前記第１の重み（α）及び前記第２の重み（β）は、設定可能な制御パラメータ（ε）を通じて設定可能であり、
前記設定可能な制御パラメータは、前記第１の通信チャネルの符号化されたＰ個の情報ビットまたは前記第２の通信チャネルの符号化されたＱ個の情報ビットのうちの少なくとも一方の消失レートを決定する、
無線通信において利用される方法。
【請求項２】
前記第１のレイヤの後の直列的な復号化は、前記第１のレイヤの復号化の後に軟シンボルをキャンセルすることを含む、請求項１の方法。
【請求項３】
前記第１の通信チャネルは、ＡＣＫ（アクナリッジ）またはＮＡＣＫ（非アクナリッジ）のうちの一方である、請求項１の方法。
【請求項４】
前記第２の通信チャネルは、ＣＱＩ（チャネル品質表示）チャネルである、請求項１の方法。
【請求項５】
階層的に変調された第１の通信チャネル及び第２の通信チャネルの情報ビットの第１のレイヤを復号化するための手段と、
前記第１のレイヤの復号化の後に直列的に第２のレイヤを復号化するための手段と
を具備し、
前記第２のレイヤを復号化することは、前記第１のレイヤにおいて復号化された軟シンボルをキャンセルするための手段を含み、
階層的変調コンスタレーションは、第１のコンスタレーション及び第２のコンスタレーションの組み合わせであり、
前記組み合わせは、前記第１のコンスタレーション及び前記第２のコンスタレーションの重み付き重ね合わせであり、
第１の重み及び第２の重みが設定可能であり、
前記第１の重み（α）及び前記第２の重み（β）は、設定可能な制御パラメータ（ε）を通じて設定可能であり、
前記設定可能な制御パラメータは、前記第１の通信チャネルの符号化されたＰ個の情報ビットまたは前記第２の通信チャネルの符号化されたＱ個の情報ビットのうちの少なくとも一方の消失レートを決定する、
無線通信システムにおいて作動する装置。
【請求項６】
階層的に変調された第１のチャネル及び第２の通信チャネルの情報ビットの第１のレイヤを復号化するための手段は、階層的コンスタレーションシンボルのセットについて対数尤度比を計算するための手段を含む、請求項５の装置。
【請求項７】
第１のレイヤの復号化の後に直列的に第２のレイヤを復号化するための手段は、階層的コンスタレーションシンボルのサブセットについて対数尤度比を計算するための手段を含む、請求項５の装置。
【請求項８】
前記第１の通信チャネルは、ＡＣＫ（アクナリッジ）チャネルまたはＮＡＣＫ（非アクナリッジ）チャネルのうちの一方である、請求項５の装置。
【請求項９】
前記第２の通信チャネルは、ＣＱＩ（チャネル品質表示）チャネルである、請求項５の装置。
【請求項１０】
階層的に変調された第１の通信チャネル及び第２の通信チャネルの情報ビットの第１のレイヤを復号化し、前記第１のレイヤの復号化の後に直列的に第２のレイヤを復号化するように構成されたプロセッサと、
前記プロセッサに結合されたメモリと、
を具備し、
前記第２のレイヤを復号化することは、前記第１のレイヤにおいて復号化された軟シンボルをキャンセルするための手段を含み、
階層的変調コンスタレーションは、第１のコンスタレーション及び第２のコンスタレーションの組み合わせであり、
前記組み合わせは、前記第１のコンスタレーション及び前記第２のコンスタレーションの重み付き重ね合わせであり、
第１の重み及び第２の重みが設定可能であり、
前記第１の重み（α）及び前記第２の重み（β）は、設定可能な制御パラメータ（ε）を通じて設定可能であり、
前記設定可能な制御パラメータは、前記第１の通信チャネルの符号化されたＰ個の情報ビットまたは前記第２の通信チャネルの符号化されたＱ個の情報ビットのうちの少なくとも一方の消失レートを決定する、
無線通信環境において作動する電子デバイス。
【請求項１１】
階層的に変調された第１のチャネル及び第２の通信チャネルの情報ビットの第１のレイヤを復号化することは、階層的コンスタレーションシンボルのセットについて対数尤度比を計算することを含む、請求項１０の電子デバイス。
【請求項１２】
第１のレイヤの復号化の後に直列的に第２のレイヤを復号化することは、階層的コンスタレーションシンボルのサブセットについて対数尤度比を計算することを含む、請求項１１の電子デバイス。
【請求項１３】
前記第１の通信チャネルは、ＡＣＫ（アクナリッジ）チャネルまたはＮＡＣＫ（非アクナリッジ）チャネルのうちの一方である、請求項１０の電子デバイス。
【請求項１４】
少なくとも１つのコンピュータに、第１のレイヤ及び第２のレイヤを含む合成レイヤにおいて階層的に変調された第１の通信チャネル及び第２の通信チャネルを受信させるためのコードと、
少なくとも１つのコンピュータに、前記第１のレイヤを復号化させるためのコードと、
少なくとも１つのコンピュータに、前記第１のレイヤの復号化の後の直列的な復号化または前記第１のレイヤの復号化と同時の並列的な復号化のうちの少なくとも一方によって前記第２のレイヤを復号化させるためのコードと
を具備し、
前記第１のレイヤの復号化の後の直列的な復号化は、前記第１のレイヤの復号化の後に軟シンボルをキャンセルすることを含み、
階層的変調コンスタレーションは、第１のコンスタレーション及び第２のコンスタレーションの組み合わせであり、
前記組み合わせは、前記第１のコンスタレーション及び前記第２のコンスタレーションの重み付き重ね合わせであり、
第１の重み及び第２の重みが設定可能であり、
前記第１の重み（α）及び前記第２の重み（β）は、設定可能な制御パラメータ（ε）を通じて設定可能であり、
前記設定可能な制御パラメータは、前記第１の通信チャネルの符号化されたＰ個の情報ビットまたは前記第２の通信チャネルの符号化されたＱ個の情報ビットのうちの少なくとも一方の消失レートを決定する、
コンピュータプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成24年9月13日(2012.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の有機膜と、この有機膜の上に積層されたSiO2からなる中間膜と、前記中間膜の上に積層されたレジストパターンが開口したレジスト膜とを備える複数層レジストを、基板に形成された被エッチング膜上に積層されるように形成する膜形成工程と、
前記中間膜を前記レジスト膜をマスクとして処理室内においてプラズマによりエッチングして、当該中間膜に下端側が上端側よりも狭まるテーパ状の第１の開口部を形成する第１のエッチング工程と、
次いで、前記第１のエッチング工程を行った処理室と同一の処理室内において、前記有機膜を、二酸化炭素と水素とを含む処理ガスをプラズマ化して得たプラズマにより前記第１の開口部に沿ってエッチングし、当該有機膜に第２の開口部を形成する第２のエッチング工程と、
前記第２の開口部に沿って前記被エッチング膜をプラズマによりエッチングして、当該被エッチング膜に第３の開口部を開口する第３のエッチング工程と、
を含むことを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
例えば前記膜形成工程、第１のエッチング工程、第２のエッチング工程及び第３のエッチング工程は、順次繰り返して行われ、前記第３のエッチング工程後、次に膜形成工程が行われるまでの間に、被エッチング膜上に残留する前記複数層レジストを構成する膜を除去する膜除去工程が行われ、各第３のエッチング工程で前記第３の開口部を被エッチング膜の互いに横方向にずれた位置に形成するために、各膜形成工程において前記レジストパターンは互いに横方向にずれた位置に形成される。また、例えば前記第２のエッチング工程において、前記処理室内に供給される二酸化炭素の流量と、水素の流量とは互いに等しく、前記第２のエッチング工程において、前記処理ガスの総流量に対する二酸化炭素及び水素の合計の流量比が２／３であってもよい。有機膜は、例えば基板に形成されたシリコン、炭素、酸素及び水素を含む低誘電率膜に埋め込まれており、その場合前記有機膜は、犠牲膜であり、また前記凹部は多層配線構造における上層と下層との配線同士を接続する電極を埋め込むためのビアホールであってもよい。前記有機膜は例えば炭素を主成分とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明によれば、複数層レジストにおける中間膜に下端側が上端側よりも狭まるテーパ状の第１の開口部を形成し、さらに二酸化炭素及び水素を含む処理ガスをプラズマ化して得たプラズマを用いて、複数層レジストにおける前記中間膜の下層に設けられた有機膜のエッチングを行うことで、複数層レジストを構成する有機膜に垂直性が高く、微細なマスクパターンを得ることができる。