【事件の表示】
　平成１０年特許願第　２９１５９号「ターボ分子ポンプ」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　８月　３日出願公開、特開平１１−２１０６７４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本件出願は、平成１０年１月２７日の出願であって、平成１７年２月１６日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年３月２４日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同年１７年４月２０日付けで手続補正がされたものである。
　
第２．平成１７年４月２０日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１７年４月２０日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１．補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「ポンプケーシング内部にステータと該ステータに非接触で支持された
ロータが設けられ、これにより、回転翼と固定翼によって構成される翼排気部と、回転筒状部と固定筒状部の少なくとも一方にねじ溝が形成された溝排気部とが構成されたターボ分子ポンプにおいて、
　前記ロータには、同一の素材を加工することによって前記回転翼と複数の前記回転筒状部が一体に形成され、
　前記複数の回転筒状部で挟まれた領域に固定筒状部が配置されて該回転筒状部と固定筒状部との間に多段のねじ溝排気部が形成され、
　前記多段のねじ溝排気部の各段の溝排気流路は、下流に行くに従って溝排気流路の間隔が徐々に狭くなるように構成され
、
　
前記ポンプケーシングは、前記翼排気部を内部に収容する吸気側ケーシングと、該吸気側ケーシングと別体で前記溝排気部を内部に収容する排気側ケーシングから構成され
　と補正された。
　
２．上記補正の内容について
　上記補正は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「ポンプケーシング」について、「ポンプケーシングは、翼排気部を内部に収容する吸気側ケーシングと、該吸気側ケーシングと別体で溝排気部を内部に収容する排気側ケーシングから構成され」との限定を付加するものであるから、平成１８年改正前特許法１７条の２第４項２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか、即ち平成１８年改正前特許法１７条の２第５項において準用する特許法１２６条５項の規定に適合するか、について以下に検討する。
　
３．刊行物
（１）原査定の拒絶の理由に引用された登録実用新案第３０３４６９９号公報（以下「引用刊行物１」という。平成９年２月２５日発行。）には、「複合分子ポンプ」と題して、図面と共に次の記載がある。
　
・　「【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　本考案が、上記課題を解決するために講じた技術的手段は、吸気口２及び排気口３とを有するケーシーング１内に、多段状の複数の動翼11を有するロータ９が回転自在に支持され、該動翼11と、動翼11間に嵌入される静翼13とからターボ分子ポンプ段６が構成され、しかも、前記ロータ９の動翼11よりも排気口３側には筒状ロータ部15が形成され、該筒状ロータ部15と筒状ロータ部15に対面するように設けられたステータ部24との少なくとも一方の周面にはねじ溝23が形成され、筒状ロータ部15とステータ部24とからねじ溝ポンプ段７が構成されている複合分子ポンプにおいて、前記動翼11及び静翼13における排気口３側の一部の対向面と、前記筒状ロータ部15及びステータ部24の対向面には、熱放射率の高い物質からなる被膜30がコーティングされていることにある。」
・　「   【００１１】
　【考案の実施の形態】
　以下、本考案の実施の形態について図面に従って説明する。
　図１において、１はケーシングで、その上部には真空用チャンバー４に取付けられるフランジ1aを有するアルミニウム合金製等の本体ケーシング5aと該本体ケーシング5aの下方にシール25を介して嵌合されハウジング5bとからなり、本体ケーシング5aのフランジ1aには吸気口２が、ハウジング5bには排気口３がそれぞれ形成されている。
    【００１２】
　また、本体ケーシング5aの下端とハウジング5bとの間には、間隙８が形成されており、本体ケーシング5aのベーキング時に、本体ケーシング5aの熱がハウジング5b側に伝わり難くなっている。
    【００１３】
　６は吸気口２側のターボ分子ポンプ段で、７は該ターボ分子ポンプ段６よりも下方（下流側）に配置されたねじ溝ポンプ段をそれぞれ示し、回転自在なロータ９は、吸気口２側の動翼11と排気口３側の筒状ロータ部15とを一体に形成した複合型のものであり、筒状ロータ部15は、外側の筒状ロータ部15ｂ及び内側の筒状ロータ部15ａの内外２重筒状に形成されている。
    【００１４】
　ロータ９は、ハウジング5b側に支持された駆動装置12を構成するモータのシャフト12ａにボルト16を介して回転自在に取付けられている。また、ロータ９の上面には凹部9aが形成され、該凹部9aの底面には、前記シャフト12ａの上端及びボルト16を気密状に覆うロータカバー18が、複数のボルト19により固定されている。
    【００１５】
　前記本体ケーシング5a内周には、前記多段の動翼11間に嵌入される静翼13、各静翼13間に介在されたディスタンスピース13a が設けられ、前記動翼11及び静翼13により前記ターボ分子ポンプ段６が構成されている。
    【００１６】
　また、前記筒状のロータ部15のそれぞれの内外面に対向するように、ねじ溝ステータ部（ステータ部）24が配置されている。即ち、ねじ溝ステータ部24は、外側の筒状ロータ部15ｂの外面と対向するように本体ケーシング5aの内面に設けられた円筒状の外ステータ部24ａと、外側の筒状ロータ部15ｂ及び内側の円筒ロータ部15ａの間に位置するように、ハウジング5bに固定された円筒状の中ステータ部24ｂと、更に、内側の円筒ロータ部15ａの内側に位置する内ステータ部24ｃとからなる。
    【００１７】
　外ステータ部24ａの内周面、中ステータ部24ｂの内外周面及び内ステータ部24ｃの外周面には、螺旋状のねじ溝23がそれぞれ形成され、筒状のロータ部15及びねじ溝ステータ24により前記ねじ溝ポンプ段７が構成されている。従って、通常の高流量対応型複合分子ポンプでは、ねじ溝ロータは単体の円筒で、その外面のみをねじ溝ポンプとして用いるが、本実施の形態では約４倍のねじ溝流路長を持つこととなる。
　尚、ねじ溝ポンプ段７において、ねじ溝は筒状のロータ部15側にも形成しても、あるいは、筒状のロータ部15側にのみ形成することも可能である。
　また、ロータ９、静翼13及び筒状のロータ部15はアルミニウム合金等からなる。」
・　図１には、多段のねじ溝２３が示されている。
　
　これらの記載事項及び図示内容を総合すると、引用刊行物１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認めることができる。
　
「ケーシング５ａ内にモータと該モータのシャフト１２ａに取付けられたロータ９が設けられ、これにより、動翼１１と静翼１３によって構成されるターボ分子ポンプ段６と、筒状ロータ部１５とねじ溝ステータ部２４との少なくとも一方にねじ溝が形成されたねじ溝ポンプ段とが構成された複合分子ポンプにおいて、
　前記ロータ９には、アルミニウム合金からなる、前記動翼１１と内側の筒状ロータ部１５ａと外側の筒状ロータ部１５ｂが一体に形成され、
　前記内側の筒状ロータ部１５ａと前記外側の筒状ロータ部１５ｂの間に位置するように、ハウジング５ｂに固定された円筒状の中ステータ部２４ｂが配置されて、該筒状ロータ部と中ステータ部２４との間に多段のねじ溝ポンプ段が形成された、複合分子ポンプ。」
　
（２）　同じく、原査定の拒絶の理由に引用された実願平１−９９３０６号（実開平３−４１１９３号）のマイクロフィルム（以下「引用刊行物２」という。）には、「多段式ネジ溝形真空ポンプ」と題して、図面と共に次の記載がある。
　
・　「回転しない同心二重円筒の内・外周にネジ溝を形成し、該二重円筒の内・外周間隙に回転する同心二重円筒を挿入して、回転する同心二重円筒と回転しない円心二重円筒のネジ溝作用により、空気を排気することを特徴とした多段式ネジ溝形真空ポンプ。」（明細書１頁４ないし９行）
・　「ネジ溝の大きさはロータの吸い込み入口側から大きく、だんだん小さくして圧縮比を大きくして到達圧力の向上を図っている。」（同書３頁５ないし７行）
・　第１図には、下流に行くに従ってネジ溝の間隔を徐々に狭くする点が示されている。
　
４．対比
（１）　本願補正発明と引用発明とを対比する。
　（ア）　引用発明の「ケーシング５ａ内に」は、本願補正発明の「ポンプケーシング内部に」に相当し、以下同様に、「動翼１１」は「回転翼」に、「静翼１３」は「固定翼」に、「ターボ分子ポンプ段６」は「翼排気部」に、「筒状ロータ部１５」は「回転筒状部」に、「ねじ溝ステータ部２４」は「固定筒状部」に、「ねじ溝が形成されたねじ溝ポンプ段」は「ねじ溝が形成された溝排気部」または「ねじ溝排気部」に、それぞれ相当する。また、「シャフト」を有する「モータ」は、固定子、即ち「ステータ」をその構成に含むことは、自明である。
　（イ）　引用発明の「アルミニウム合金からなる、動翼１１と内側の筒状ロータ部１５ａと外側の筒状ロータ部１５ｂが一体に形成され」は、本願補正発明の「同一の素材を加工することによって回転翼と複数の回転筒状部が一体に形成され」に相当する。
　（ウ）　引用発明の「内側の筒状ロータ部１５ａと外側の筒状ロータ部１５ｂの間に、ハウジング５ｂに固定された円筒状の中ステータ部２４ｂが配置されて、該筒状ロータ部と中ステータ部との間に多段のねじ溝ポンプ段が形成され」は、本願補正発明の「複数の回転筒状部で挟まれた領域に固定筒状部が配置されて該回転筒状部と固定筒状部との間に多段のねじ溝排気部が形成され」に相当する。
　（エ）　引用発明の「複合型分子ポンプ」は、その作用・機能からみて、本願補正発明の「ターボ分子ポンプ」に相当するといえる。
　
　すると、本願補正発明と引用発明との一致点、相違点は以下のとおりとなる。
　
（２）　一致点
「ポンプケーシング内部にステータとロータが設けられ、これにより、回転翼と固定翼によって構成される翼排気部と、回転筒状部と固定筒状部の少なくとも一方にねじ溝が形成された溝排気部とが構成されたターボ分子ポンプにおいて、
　前記ロータには、同一の素材を加工することによって前記回転翼と複数の前記回転筒状部が一体に形成され、
　前記複数の回転筒状部で挟まれた領域に固定筒状部が配置されて該回転筒状部と固定筒状部との間に多段のねじ溝排気部が形成され、
（た）ターボ分子ポンプ。」
　
（３）　相違点
　（ア）　相違点１
　ロータに関して、本願補正発明のものは「ステータに非接触で支持された」構成であるのに対し、引用発明のものは、かかる構成が明確でない点。
　（イ）　相違点２
　ねじ溝排気部に関して、本願補正発明のものは、「多段のねじ溝排気部の各段の溝排気流路は、下流に行くに従って溝排気流路の間隔が徐々に狭くなるように構成され」ているのに対し、引用発明のものは、かかる構成が明確ではない点。
　（ウ）　相違点３
　ポンプケーシングに関し、本願補正発明のものは、「翼排気部を内部に収容する吸気側ケーシングと、吸気側ケーシングと別体で溝排気部を内部に収容する排気側ケーシングから構成され」ているのに対し、引用発明のものは一体である点。
　
５．判断
（１）　相違点１について
　例えば、特開平９−１１２４８２号公報、特開平９−１５８８４７号公報にもあるように、ターボ分子ポンプにおいて、ロータが支持された回転軸に磁気軸受を設ける点は、出願前周知の技術である。
　すると、上記周知の技術を踏まえ、引用発明のシャフトの軸受を磁気軸受として、上記相違点１に係る本願補正発明の構成をなすことは、当業者であれば適宜なし得たことである。
　
（２）　相違点２について
　引用刊行物２には、円筒形のネジ溝形ポンプにおいて、ネジ溝は下流に行くに従って溝の間隔をだんだん狭くする技術が開示されている。
　すると、引用発明のねじ溝ポンプ段において、引用刊行物２に記載された技術を適用し、上記相違点２に係る本願補正発明の構成を想到することは、当業者に容易である。　
　
（３）　相違点３について　
　例えば、特公昭４７−３３４４６号公報（第３図）、特表平２−５０３７０３号公報（３頁右上欄４ないし６行、ＦＩＧ１参照。）にもあるように、ターボ分子ポンプにおいて、翼排気部分と溝排気部分のケーシングを別体とすることは、出願前周知の技術である。
　すると、引用発明において、上記周知の技術に基づき、上記相違点３に係る構成とすることは、当業者が容易に想到し得たことというべきである。
　
（４）　そして、本願補正発明の全体構成により奏される効果も、引用刊行物１、２に記載された発明及び周知の技術から当業者であれば予測し得る範囲内のものである。
　
　したがって、本願補正発明は、引用刊行物１、２に記載された発明及び周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
　なお、請求人は、審判請求書において、本願補正発明の有利な効果として、溝排気部の固定筒状部を排気ケーシングと一体に構成することにより、組立て時の寸法精度を向上させ、同心精度を向上させる旨主張している。しかしながらこの主張は、本願補正発明の構成に基づくものとはいえず、採用することはできない。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、本件補正は、平成１８年改正前特許法１７条の２第５項において準用する特許法１２６条５項の規定に違反するものであり、同法１５９条１項において準用する同法５３条１項の規定により却下を免れない。
　
第３．本願発明について
１．本願発明
　平成１７年４月２０日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１に係る発明（以下、同項記載の発明を「本願発明」という。）は、平成１６年４月１５日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、次のとおりのものである。
「ポンプケーシング内部にステータと該ステータに非接触で支持されたロータが設けられ、これにより、回転翼と固定翼によって構成される翼排気部と、回転筒状部と固定筒状部の少なくとも一方にねじ溝が形成された溝排気部とが構成されたターボ分子ポンプにおいて、
　前記ロータには、同一の素材を加工することによって前記回転翼と複数の前記回転筒状部が一体に形成され、
　前記複数の回転筒状部で挟まれた領域に固定筒状部が配置されて該回転筒状部と固定筒状部との間に多段のねじ溝排気部が形成され、
　前記多段のねじ溝排気部の各段の溝排気流路は、下流に行くに従って溝排気流路の間隔が徐々に狭くなるように構成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。」
  　
２．刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された上記刊行物及びその開示事項は、前記「第２．３」に記載されたとおりである。
　
３．対比・判断
　本願発明は、本願補正発明から、「ポンプケーシング」について、「ポンプケーシングは、翼排気部を内部に収容する吸気側ケーシングと、該吸気側ケーシングと別体で溝排気部を内部に収容する排気側ケーシングから構成され」との限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明についても、本願補正発明と同様の理由により、引用刊行物１、２に記載された発明及び周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明については、特許法２９条２項により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。