(57)【要約】      （修正有）【課題】基板研磨装置に利用されるためのマグネットストレーナの中の磁石に付着した異物が容易に確認できるマグネットストレーナ及びそれを用いた研磨装置を提供する。【解決手段】研磨スラリータンクから循環供給される研磨スラリーを用いて、研磨機でガラス基板を研磨するに際して、研磨スラリーの循環経路内にマグネットストレーナ１を設ける。マグネットストレーナは、内挿された磁石１０を確認できる覗き窓９を有する。又は、マグネットストレーナは透明な容器を有する。よって、磁石に付着した金属異物を容易に確認できる。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
研磨スラリーを用いて被研磨表面を研磨するための研磨装置に用いるマグネットストレーナにおいて、
前記マグネットストレーナは、
前記研磨スラリーを通過させるための容器で、透明な材料からなり、内部の状況を外部から目視するための覗き窓を備えたマグネットストレーナ容器と、
前記研磨スラリーが前記マグネットストレーナ容器の内部を流れて通過するとき、前記研磨スラリーに含まれる磁性金属を吸着するためのもので、前記マグネットストレーナ容器に内挿された磁石と
からなることを特徴とするマグネットストレーナ。
【請求項２】
請求項１に記載のマグネットストレーナにおいて、
前記覗き窓は、前記マグネットストレーナ容器に前記研磨スラリーを導入するための前記マグネットストレーナ容器の通水入口の付近に、設置されている
ことを特徴とするマグネットストレーナ。
【請求項３】
研磨スラリーを用いてガラス基板を研磨するための研磨装置に用いるマグネットストレーナにおいて、
前記マグネットストレーナは、
前記研磨スラリーを通過させるための容器で、透明な材質からなるマグネットストレーナ容器、及び、
前記研磨スラリーが前記マグネットストレーナ容器の内部を流れて通過するとき、前記研磨スラリーに含まれる磁性金属を吸着するためのもので、前記マグネットストレーナ容器に内挿された磁石
からなることを特徴とするマグネットストレーナ。
【請求項４】
請求項１乃至３の中から選択される１項に記載のマグネットストレーナにおいて、
前記磁石は、前記鉄粉を清掃するために、磁性材料の除鉄リング又は円筒形状の非磁性材料からなるスクレーパを取り付けている
ことを特徴とするマグネットストレーナ。
【請求項５】
請求項４に記載のマグネットストレーナにおいて、
前記磁石は、チューブの軸線方向に永久磁石である磁石要素と磁性体であるスペーサを交互に配置し、かつ、前記磁石要素の同極が対向して反発するように並べられて前記チューブに内装されているものである
ことを特徴とするマグネットストレーナ。
【請求項６】
請求項４又は５に記載のマグネットストレーナにおいて、
前記磁石は、ホルダーを有し、
前記ホルダーの外周面は、作業者が把持し易くするために、ローレット加工された凹凸が形成されている
ことを特徴とするマグネットストレーナ。
【請求項７】
請求項１乃至６の中から選択される１項に記載のマグネットストレーナにおいて、
前記被研磨表面は、ガラス又は石英の基板であり、
前記研磨スラリーが酸化セリウム系スラリーである
ことを特徴とするマグネットストレーナ。
【請求項８】
請求項１乃至７の中から選択される１項に記載の前記マグネットストレーナを用いた前記研磨装置は、
前記マグネットストレーナと、
前記研磨スラリーを一時格納するための研磨スラリータンクと、
前記研磨スラリーを用いて前記被研磨表面を研磨するための研磨機と、
前記研磨スラリータンクと前記マグネットストレーナの間、前記マグネットストレーナと前記研磨機の間、前記研磨機と前記研磨スラリータンクの間それぞれに前記研磨スラリーを輸送するためのパイプと
からなり、
前記研磨スラリータンク、前記マグネットストレーナ、前記研磨機、及び前記パイプからなる閉鎖循環経路を前記研磨スラリーが循環する
ことを特徴とする研磨装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、磁気ディスク用基板及び磁気ディスク等の平面状の基板を研磨する研磨装置で使用する加工液（クーラント）に用いるマグネットストレーナ及びそれを用いた研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造、液晶画面の製造にとっては、その材料であるガラス、石英、シリコンウエハーの研磨が重要な技術である。特に、石英ガラスであるガラス基板を研磨する技術は、磁気ディスク装置の製造を始め工業的に幅広く利用されている。石英ガラスの研磨では、研磨パッドをガラス基板の表面に当てて、研磨パッドと基板の間に、酸化セリウム研摩材を含んだ研磨スラリーを供給しながら研磨パッドでガラス基板の表面を擦りながら研磨している。研磨スラリーは、砥粒を含む研磨液である。
【０００３】
このように、研磨スラリーで研磨する場合、その中に含まれる異物、ガラス表面に付着していた異物、ガラス表面から剥がれた異物が原因で、ガラス基板表面に傷が発生する可能性がある。研磨スラリーの中の磁性異物を除去するためにマグネットストレーナを用いる方法が提案されている。例えば、特許文献１には、磁気ディスク用基板を研磨する磁気ディスク用基板の製造方法が開示されており、この方法によると、研磨スラリーの循環経路の中、研磨装置と研磨スラリータンクの間に、マグネットストレーナを設置している。
【０００４】
マグネットストレーナは、内部に磁石を装着したステンレス鋼の金属管である。研磨スラリーがマグネットストレーナを通過する際に、研磨スラリー中の金属異物が磁石に付着して除去される。このマグネット付きのストレーナ装置は、特許文献２にも開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−０９９９４４号公報
【特許文献２】実用新案登録第３００２５２７号
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
しかながら、これらのマグネットストレーナは、基本的にステンレス等からなる密閉の容器であり、磁石に金属異物が付着した度合いを目視で確認することは難しい。オペレータが磁石に金属異物が付着していている状況を確認し、金属異物等が付着して汚れていれば、それを掃除するためには、定期的に金属管を開けて確認する必要がある。このために、マグネットストレーナの中の磁石に付着した異物を容易に確認でき、かつ清掃が容易な技術が求められている。
【０００７】
本考案は上述のような技術背景のもとになされたものであり、下記の目的を達成する。
本考案の目的は、マグネットストレーナの中の磁石に付着した異物が容易に確認でき、かつ清掃が容易なマグネットストレーナ及びそれを用いた研磨装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本考案は、前記目的を達成するため、次の手段を採る。
本考案は、研磨スラリーを用いて被研磨表面を研磨するための研磨装置に用いるマグネットストレーナ、それを用いた研磨装置を提供する。
【０００９】
本考案のマグネットストレーナは、研磨スラリーを通過させるための容器で、透明な材料からなり、内部の状況を外部から目視するための覗き窓を備えたマグネットストレーナ容器と、研磨スラリーがマグネットストレーナ容器の内部を流れて通過するとき、研磨スラリーに含まれる磁性金属を吸着するためのもので、マグネットストレーナ容器に内挿された磁石とからなることを特徴とする。覗き窓は、マグネットストレーナ容器に研磨スラリーを導入するためのマグネットストレーナ容器の通水入口の付近に、設置される。
【００１０】
また、本考案のマグネットストレーナは、研磨スラリーを通過させるための容器で、透明な材質からなるマグネットストレーナ容器、及び、研磨スラリーがマグネットストレーナ容器の内部を流れて通過するとき、研磨スラリーに含まれる磁性金属を吸着するためのもので、マグネットストレーナ容器に内挿された磁石からなることを特徴とする。
【００１１】
本考案のマグネットストレーナは、次の特徴を更に有する。
上述のマグネットストレーナの磁石は、鉄粉を清掃するために、磁性材料の除鉄リング又は円筒形状の非磁性材料からなるスクレーパを取り付けていると良い。また、磁石は、チューブの軸線方向に永久磁石である磁石要素と磁性体であるスペーサを交互に配置し、かつ、磁石要素の同極が対向して反発するように並べられてチューブに内装されているものであると良い。更に、磁石は、ホルダーを有し、ホルダーの外周面は、作業者が把持し易くするために、ローレット加工された凹凸が形成されていると良い。前記被研磨表面は、ガラス又は石英の基板であると良い。前記研磨スラリーが酸化セリウム系スラリーであると良い。
【００１２】
本考案の研磨装置は、上述のマグネットストレーナと、研磨スラリーを一時格納するための研磨スラリータンクと、研磨スラリーを用いて被研磨表面を研磨するための研磨機と、研磨スラリータンクとマグネットストレーナの間、マグネットストレーナと研磨機の間、研磨機と研磨スラリータンクの間それぞれに研磨スラリーを輸送するためのパイプとからなり、研磨スラリータンク、マグネットストレーナ、研磨機、及びパイプからなる閉鎖循環経路を研磨スラリーが循環することを特徴とする。
【考案の効果】
【００１３】
本考案のマグネットストレーナ及びそれを用いた研磨装置によると、次の効果が奏される。マグネットストレーナ容器に透明な覗き窓を設置又は、マグネットストレーナ容器を透明な材料にすることで、その中の磁石に付着した金属異物を容易に確認できるようになり、その交換や清掃等をする時期を容易に決定できるようになった。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本考案の第１の実施の形態のマグネットストレーナを図示した概略図である。
【図２】図２は、本考案の第１の実施の形態のマグネットストレーナの磁石を図示した概略図である。
【図３】図３は、本考案の実施の形態の研磨装置の概要を示す概念図である。
【考案を実施するための形態】
【００１５】
本考案のマグネットストレーナ１の第１の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図１は、マグネットストレーナ１の外観を示す正面図である。図２は、マグネットストレーナ１の磁石ストレーナ３を示す正面図である。マグネットストレーナ１は、マグネットストレーナ容器２及び、このマグネットストレーナ容器２内に収納されている磁石ストレーナ３から構成される。マグネットストレーナ容器２は、内部が中空の細長い円筒状の容器である。マグネットストレーナ容器２の一方の上端（図示上）は開口している。
【００１６】
図１に示すように、マグネットストレーナ容器２の上部の開口にはへルール５が接続されている。へルール５は、配管用の継手であり、磁石ストレーナ３に付けたヘルール１３とはクランプ１５によって固定するためのものである（詳しくは後述する。）。マグネットストレーナ容器２の一方の下端、即ち、図１でいうとマグネットストレーナ容器２の下部には、ドレン抜き６で密閉されている。ドレン抜き６は、マグネットストレーナ容器２の底部に溶接されたメネジ６ａと、メネジ６ａに嵌められた六角穴付きプラグ６ｂからなる。
【００１７】
この六角穴に六角レンチを挿入して、これを回して、六角穴付きプラグ６ｂを抜き取る。これにより、マグネットストレーナ容器２の中の異物をメネジ６ａの孔から取り出し、研磨スラリー等の液体を排出す。マグネットストレーナ容器２は、研磨スラリーを通して、そこから排出された研磨スラリーは、研磨機に供給される。そのために、マグネットストレーナ容器２は、マグネットストレーナ容器２内に研磨スラリーを受け入れるための通水入口７と、マグネットストレーナ容器２内の研磨スラリーを排出するための通水出口８を有する。
【００１８】
図中、通水入口７はマグネットストレーナ容器２の底部に、通水出口８はマグネットストレーナ容器２の上部に設置されている。通水入口７と通水出口８は、任意の固着手段でマグネットストレーナ容器２に設置される。例えば、通水入口７と通水出口８は、マグネットストレーナ容器２に溶接されても良い。マグネットストレーナ容器２は、その中を外部から目視できるように、覗き窓９を有する。図１の例では、覗き窓９は、マグネットストレーナ容器２の下部、通水入口７の付近に設置されている。マグネットストレーナ容器２は、既知の任意の材料でできる。
【００１９】
汎用のステンレス製のヘルールとの接続し易さを考慮すると、マグネットストレーナ容器２はステンレス製が好ましい。マグネットストレーナ容器２は、不透明な材質でできているので、覗き窓９を設け、その中の様子を確認している。覗き窓９は、マグネットストレーナ容器２に開けた孔を透明な材質の蓋で塞いでいる構造である。この蓋の透明な材質は、基本的に、可視光に透明であることが好ましいが、可視光の一部の周波数に対しても透明材質であることもできる。
【００２０】
兎に角、マグネットストレーナ容器２内の磁石に付着した金属等を目視できるものであれば、既知の任意の材質が利用できる。例えば、このような材料としては、ガラス、透明なアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂（ＰＣ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリブチレンテレフタレート樹脂（ＰＢＴ）等を利用する。無論、この蓋の透明な材質は、研磨スラリーに影響なく、研磨スラリーと化学反応を起こさず、研磨スラリーを供給、排出するときの圧力に耐える必要がある。
【００２１】
覗き窓９の蓋は、マグネットストレーナ容器２に、接着剤、溶接等の公知の接合手段で接合されている。磁石ストレーナ３は、後述するように細長いバー形状の磁石１０、除鉄リング１１からなる。磁石１０は、研磨スラリーの中の磁性金属を吸着するための磁石で、複数の磁石要素（図示せず。）からなる。磁石３の片端には、ホルダー１２がついている。ホルダー１２は、磁石ストレーナ３を、マグネットストレーナ容器２内に挿入、取り出すために利用されるものである。
【００２２】
ホルダー１２は、磁石１０を清掃するときも利用される。ホルダー１２の外周面は、編み目状の細かい凹凸であるギザギサ面がローレット加工で形成されている。作業者は、このローレット加工されているホルダー１２のギザギザ面を片手で持ち、除鉄リング１１を他の手で持って移動させて、磁石１０を清掃する。磁石１０に付着した磁性体の様子は、研磨スラリーがストレーナ容器２の外部から覗き窓９を通して確認できる。磁石１０に付着した磁性体が一定量になったら、磁石ストレーナ３をストレーナ容器２から取り出して、清掃する。
【００２３】
この清掃は、除鉄リング１１を、図２の矢印で示したように、磁石１０の長さ方向に、磁石１０と除鉄リング１１を相対移動させることによって行われる（詳しくは後述する。）。また、磁石１０に付着した磁性体が一定量になったら、磁石１０を、既に清掃された又は新規の磁石１０で交換しても良い。磁石ストレーナ３に磁性体が一番付着し易い場所は、通水入口７の付近であり、覗き窓９は、この通水入口７の付近に設置されることが好ましい。磁石１０は、任意の長さにすることができるが、マグネットストレーナ容器２の全体に沿って設置される長さであるものが好ましい。
【００２４】
特に、研磨スラリーは、主に、通水入口７と通水出口８の間に流れるので、磁石１０は通水入口７と通水出口８の間に設置されているものが好ましい。磁石ストレーナ３と、マグネットストレーナ容器２の種類、形状等は、特に制限されないが、本実施例では、細長い円筒状の形状にしている。磁石１０は、その種類が特に制限されないが、例えば、ネオジム、フェライト、希土類コバルト、パーマロイ等の磁石が利用できる。特に、磁石１０は、ネオジム・鉄・ホウ素などを主成分とするネオジム系の永久磁石であることが好ましい。
【００２５】
除鉄リング１１は、軟鋼等の鋼材で作られた磁性体である。磁石１０は、チューブの中に永久磁石の磁石要素とスペーサを入れた構造である。図示しないが、磁石要素とスペーサを、磁石１０のチューブの軸性方向に、交互に配置した構造で、隣接する磁石要素同士は同じ磁極を向きあうように配置している。つまり、隣接する磁石要素は、同極が対向して反発するように並べられて、チューブに内装されている（例えば、特開２００２−１９５２１２号、特開２００１−９３２２号参照）。
【００２６】
このような構造にすると、隣接する磁石要素の磁極同士が反発しあい、磁石１０の周囲に強い磁界を発生させ、この部分は磁界が強いので、ステンレス破片や鉄片等が集中して吸着される。除鉄リング１１は、細長い円筒状の形状をし、その両側は開口されている。除鉄リング１１は、磁石１０に嵌められて、磁石１０を相対的に上下移動可能なものである。除鉄リング１１はその片方にへルール１３を有する。へルール１３は、上述のヘルール５と同じく配管用の継手である。
【００２７】
除鉄リング１１は、磁石１０に嵌められると、除鉄リング１１の内側と磁石要素の間には、若干の隙間が生じる構造にしている。除鉄リング１１が磁石１０を長い軸線方向に相対移動するとき、磁石１０の磁石要素間の磁力線は、除鉄リング１１の磁性体に流れるようになり、除鉄リング１１の中に入った磁石１０のスペーサは磁力を失い、従って、磁石１０の外周に付着した金属異物が除鉄リング１１の前端面に移る。最終的に、磁石１０の外周に付着した金属異物が除鉄リング１１の前端面に集まり、除鉄リング１１の移動と同時に、磁石１０から取り除かれる。この様子は、図１中の点線１８で示している。
【００２８】
本考案の出願人は、日本国特許第３５２５０９３号に、バーマグネットに付着した金属異物を磁性材料のリングで除去するための、着磁金属異物の除去方法とその装置を開示している。この特許内容は、本考案の磁石ストレーナ３に適応する。除鉄リング１１のへルール１３は、上述のへルール５の上に装着される。へルール１３とへルール５は、その間にガスケット１４を介して、クランプ１５で固定される。このように、マグネットストレーナ容器２内が密閉になる。
【００２９】
へルール５とヘルール１３は、任意のヘルール(ferrule)が利用できる。例えば、ＩＳＯ（国際標準化機構）規格、ＪＩＳ規格（日本工業規格）、ＩＤＦ（国際酪農連盟）規格等で規格化されたサニタリー継手のヘルールを利用することができる。磁石１０は、ホルダー１２にネジ１６等によって固定されている。ホルダー１２は、除鉄リング１１の固定のネジ等が装着するキャップ式でも良い。磁石ストレーナ３がストレーナ容器２内に内挿され、ヘルール５の上にガスケット１４を置き、その上に、ヘルール１３を付けて、上述のクランプ１５でヘルール５とヘルール１３を固定する。
【００３０】
その後、通水入口７から研磨スラリーが注入され、研磨スラリーがストレーナ容器２を流れて、通水出口８から排出される。研磨スラリーがマグネットストレーナ容器２を流れるとき、磁石１０の周囲を流れ、その間は、研磨スラリーに含まれる鉄分等の磁性体が磁石１０に付着する。マグネットストレーナ容器２の中の磁石ストレーナ３を取り出すときは、クランプ１５を外し、ホルダー１２を持って、磁石ストレーナ３を取り出す。
【００３１】
図３に図示されたように、本考案のマグネットストレーナ１を用いた研磨装置１００の概略を図示している。研磨装置１００は、研磨機１００、研磨スラリータンク１０１、マグネットストレーナ１、及び、それらの間に、研磨スラリーをこれらの装置間に流して輸送するためのパイプからなる。これらのパイプは、図３の中では、実線で図示し、この閉鎖循環経路中の研磨スラリーの流れ方向を矢印で図示している。無論、図示しないが、研磨スラリーを強制的に循環させるためのポンプ等の他の機器もある。
【００３２】
図３に図示されたように、研磨スラリーは、研磨機１０１、研磨スラリータンク１０２、マグネットストレーナ１、及び、研磨機１０１という順番で循環して再利用される。
研磨スラリータンク１０２は、研磨機１０１で研磨に利用されて排出された研磨スラリーを、一時的に格納する。研磨機１０１は、研磨スラリータンク１０２から供給される研磨スラリーを用いて、ガラス基板（図示せず。）を研磨する。その後、研磨に利用された研磨スラリーは、研磨スラリータンク１０２に再び戻される。
【００３３】
ここでは、マグネットストレーナ１は、研磨スラリータンク１０２と研磨装置１０１との間に設置されているが、この研磨スラリーの閉鎖循環経路内であれば、任意の場所に設置できる。研磨スラリーがマグネットストレーナ１を通過する際に、研磨スラリー中の鉄等の金属異物が磁石に付着して除去される。研磨機１０１は、研磨パッド（図示せず。）を自動制御しながら被研磨面を研磨する。このとき、研磨機１０１は、研磨スラリーを被研磨面と研磨パッドの間に供給しながら、研磨を行う。
【００３４】
被研磨面としては、ガラス基板等が例示できる。ガラス基板としては、通常磁気ディスク基板として用いられるアモルファス、化学強化もしくは結晶化ガラスを用いることができ、例えばソーダライム、アルミノシリケート、リチウムシリケート、リチウムアルミノシリケート、アルミノホウケイ酸、等のガラスが挙げられる。研磨スラリーは、被研磨面の材質よって、その研磨に最適な液体を利用する。例えば、ガラス基板の研磨には、酸化セリュウム系の研磨剤が好ましい。研磨パッド、研磨スラリー、研磨機１０１、研磨スラリータンク１０２等は、本考案の主な趣旨ではないので、詳細な説明は、省略する。
【００３５】
本考案のマグネットストレーナ１を利用すると、磁石を清掃する又は交換する時期が容易に確認し、推定することができ、従って、研磨機の作業効率が上がった。最終的には、研磨のコスト削減が可能になる。研磨機１０１は、研磨スラリーを用いて被研磨表面を研磨するが、この研磨は、ラッピング又はポリシングを意味する。研磨スラリーは、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の微粒子を水等に分散させた研磨液である。特に、ガラス基板の研磨において、酸化セリウムを用いる研磨スラリーは、研磨速度が速く、望ましい。
【００３６】
〔その他〕
磁石１０に付着する鉄等の異物は、サブミリメーターオーダーやミリメーターオーダーのように大きな大きさの場合は、簡単に肉眼でみることができる。磁石１０に付着する鉄等の異物は、循環している研磨スラリーに利用されているので、基本的に、マイクロメータオーダーかそれ以下の大きさの微粒子である。よって、磁石１０に付着した異物は、磁石１０の外側のチューブを少し色変更させて見える程度である。このような磁石１０を手で触ると、ぬるぬるした感じがする。
【００３７】
そのため、上述の除鉄リング１１の代わりに、スクレーパを使用することができる。このスクレーパは、除鉄リング１１と同じ、円筒形状（リング状）のものを使用することができる。スクレーパは、ＭＣナイロンやフッ素樹脂等の非磁性材質で作られる。研磨用の研磨スラリーに混入した磁性体の異物は、磁力が小さいので、スクレーパで磁石１０を擦って、それに吸着した鉄粉等の異物を除去する。
【００３８】
除鉄リング１１は、除鉄リング１１と磁石との間に、わずかな隙間を有していたが、スクレーパを利用すると、その隙間が無くて済む。また、極端な場合は、異物の磁力が小さいので、磁石１０を布等でふき取ることも可能である。通水入口７がマグネットストレーナ容器２の上部に設置されている場合、例えば、図１の通水出口８の替わりに通水入口７が設置されている場合は、覗き窓は、図１で点線図した覗き窓９ａのように、マグネットストレーナ容器２の上部に設置される。まとめると、覗き窓は、通水入口の付近に設置される。
【００３９】
〔第２の実施の形態〕
以下、本考案の第２の実施の形態のマグネットストレーナ及びそれを用いた研磨装置を説明する。本考案の第２の実施の形態のマグネットストレーナ及びそれを用いた研磨装置は、上述の第１の実施の形態のマグネットストレーナ１及び研磨装置１００と構造と機能は、基本的に同じであり、ここで、異なる部分だけを説明する。第２の実施の形態のマグネットストレーナは、図１と図２に図示したマグネットストレーナ１と同じであり、マグネットストレーナ容器２は、透明な材料からできている。
【００４０】
よって、第１の実施の形態の覗き窓９をマグネットストレーナ容器に設ける必要はない。本第２の実施の形態のマグネットストレーナ容器は、ガラス、ポリメタクリル酸メチル樹脂（ＰＭＭＡ）等の透明なアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂（ＰＣ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリブチレンテレフタレート樹脂（ＰＢＴ）等を利用する。しかし、研磨スラリーの種類によって、マグネットストレーナ容器の材料を選択する。例えば、研磨スラリーは、通常、水溶液で、マグネットストレーナ容器内に圧力も余りかからないので、ＰＣ、アクリル樹脂等の材料を利用することができる。
【００４１】
研磨スラリーが酸性の場合は、酸性に耐えるポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）等の材料がマグネットストレーナ容器に好ましい。マグネットストレーナ容器の材料は、マグネットストレーナ容器の形状変更やその他の部品を接合するために、加工性があることが好ましい。本第２の実施の形態のマグネットストレーナは、透明なマグネットストレーナ容器を、既知の任意の製造法で製造する。マグネットストレーナの各部品を別々に製造し、最後は組み立てても良い。また、図１に図示した、マグネットストレーナ容器２、へルール５、通水出口８、通水入口７、メネジ６ａは、一体的に射出成型で製造することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本考案のマグネットストレーナは、半導体デバイス製造、液晶画面製造の分野、特に、ガラス、石英、シリコンウエハー等の研磨分野で利用すると良い。
【符号の説明】
【００４３】
１…マグネットストレーナ
２…マグネットストレーナ容器
３…磁石ストレーナ
７…通水入口
８…通水出口
９…覗き窓
１０…磁石
１１…除鉄リング
１００…研磨装置
１０１…研磨機
１０２…研磨スラリータンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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