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　特願２００１−３９８６０７「被処理体の搬送システム及び被処理体の搬送方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　７月１１日出願公開、特開２００３−１９７７１１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯・本願発明
　本願は、平成１３年１２月２７日の出願であって、その請求項１ないし１２に係る発明は、当審に提出された平成２１年８月７日付けの手続補正書によって補正された明細書及び願書に添付された図面の記載からみて、本願の特許請求の範囲の請求項１ないし１２に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項９に記載された発明は、次のとおりである。（以下「本願発明」という。）
「クリーンルーム内で被処理体の電気的特性検査を行うために互いに所定の間隔を隔てて配設された複数の検査装置の要求に応じて、複数の自動搬送装置が上記各検査装置へ上記被処理体を一枚ずつ供給するために、上記被処理体が複数収納された筐体を搭載して同一軌道に沿って上記複数の被処理体をそれぞれ搬送する被処理体の搬送方法であって、上記各検査装置において上記被処理体を一枚ずつ検査する際に、上記クリーンルームより高い清浄度に保たれた環境下で上記各自動搬送装置によって上記被処理体を搬送する工程と、上記各自動搬送装置と上記各検査装置との間で検査前後の上記被処理体を、受け渡し機構の真空着脱可能で昇降可能な支持体を介して一枚ずつ受け渡す工程と、上記各検査装置と上記各自動搬送装置それぞれの位置関係を含む搬送情報に基づいて上記各自動搬送装置を上記軌道上で運用するための運用スケジュールを決定する工程と、上記運用スケジュールに基づいて上記各自動搬送装置それぞれの最適な搬送経路を決定する工程と、上記各自動搬送装置をそれぞれの最適な搬送経路に割り当てる工程と、を備え、更に、上記検査の結果不良品となった上記被処理体を上記自動搬送装置によって回収するまで一時的に上記受け渡し機構の収納部に保管する工程と、上記検査装置のメンテナンス時に上記軌道に上記自動搬送装置の搬送禁止区域を設定する工程と、を備えたことを特徴とする被処理体の搬送方法。」
　
２　引用刊行物記載の発明
　これに対して、当審での平成２１年６月１０日付けの拒絶の理由に引用された、本願の出願前である平成６年６月１４日に頒布された特開平６−１６８９９３号公報（以下「引用例１」という。）、同じく本願の出願前である平成８年９月３日に頒布された特開平８−２２５１０７号公報（以下、「引用例２」という。）には、以下の発明、あるいは事項が記載されている。
２−１　引用例１の記載事項
（１）特許請求の範囲の請求項１
「【請求項１】  半導体ウエハ（１００）上に形成されたチップの電気的特性を検査するための触針を前記チップの電極パッドに接触させるプローバであって、搬送アーム（２）に前記半導体ウエハ（１００）を保持して給排動作を行なうウエハ給排機構を備えるプローバにおいて、
前記ウエハ給排機構は、当該プローバの外部での前記半導体ウエハの受け渡しが可能であるように前記搬送アーム（２）が当該プローバの外部まで伸ることを特徴とするプローバ。」
（２）段落【０００１】
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の検査で使用されるプローバに関し、特に検査対象の半導体ウエハを外部との間で受け渡すローダ部分を改良したプローバに関する。」
（３）段落【００１５】〜【００２０】
「【００１５】
【実施例】図２は本発明の第１実施例の全体構成を示す図である。図２は検査システムにおいて複数個設置されたプローバと、プローバとの間でウエハの供給及び回収を行なうウエハ自動搬送装置を示している。２１１ ，２１２，２１３ …はプローバであり、多数のプローバが配置され一元的に管理されている。プローバ２１１には、２２１１と２２２１とで構成される搬送アームと、ウエハチャック２４１１と、一時格納箱２５１１，２５２１とが設けられており、これは他のプローバも同様である。
【００１６】２６は各プローバとの間でウエハの供給及び回収を行なうための自走式自動搬送装置である。これには、ウエハの受け渡しを行なうための搬送アーム２７と、搬送アーム２７が取り付けられ回転と上下方向の移動を行なう移動台２８と、ウエハが格納される格納箱２９を有している。図３はプローバ２１の上面図である。搬送アームは第１アーム部２２１と第２アーム部２２２で構成され、第２アーム部２２２が第１アーム部２２１に沿って伸縮する。第２アーム部２２２の先端部分はウエハを保持するための真空チャックになっている。搬送アームは回転台２３に取り付けられており、回転可能である。必要に応じて上下移動機構を付加して搬送アームが上下移動できるようにしてもよい。
【００１７】２４はウエハチャックであり、図示の位置でウエハを受け取った後、プローブカード２０の下に移動させる。検査終了後は再び図示の位置に移動して検査済ウエハを渡し、未検査のウエハを受け取る。上記の動作中ウエハは真空吸着により、ウエハチャック２４に固定されている。２５１と２５２はウエハを一時的に格納する格納箱であり、本実施例では２５１が未検査のウエハを格納し、２５２が検査済のウエハを格納しているが、一方の格納箱に未検査と検査済の両方のウエハを格納してもよく、また未検査と検査済のウエハをそれぞれ複数枚格納できるようにしてもよい。
【００１８】外部とのウエハの受け渡しは、図示のようにプローバ本体２１の外部で行なわれ、そのため搬送アームの先端が外部にまで伸びるようになっている。図２に戻って、自走式自動搬送装置との間のウエハの受け渡しについて説明する。１枚のウエハの検査が終了したプローバは、全体の制御部に終了したことを報知し、それと同時に検査済のウエハの検査済格納箱への格納と未検査格納箱からの未検査ウエハの取り出しとチャックを行なう。これに応じて全体制御部は自走式自動搬送装置２６が次に検査するウエハを格納箱２９に格納してそのプローバとのウエハの受け渡しを行なうように指示する。これに応じて自走式自動搬送装置２６はウエハを格納した後で、そのプローバとの受け渡し位置に移動し、移動位置に来たことを全体制御部又はプローバに報知する。プローバに報知するのであれば、例えば光信号を使用して行なう。
【００１９】受け渡し位置では、搬送装置の搬送アーム２７が未検査のウエハを格納箱２９より取り出した後受け渡し位置に移動させる。プローバの搬送アーム２２２も受け渡位置に移動し、搬送アーム２７を降下させて受け渡しを行なう。そしてプローバの搬送アーム２２２は受け取ったウエハを未検査格納箱に格納した後、検査済格納箱からウエハを取り出して受け渡し位置に移動する。搬送アーム２７は上昇してウエハを受け取ると格納箱２９に格納する。
【００２０】自走式自動搬送装置は、検査済ウエハを回収する位置に移動して格納してあるウエハを渡して受け渡し動作を終了する。上記の説明では各プローバとのウエハの受け渡し毎に一旦所定位置まで戻ってウエハの回収と供給を行なうが、格納箱２９を複数枚格納できるものにして、複数のプローバに対するウエハの受け渡しを連続して行なうようにしてもよい。」
（４）ここで、図面の図２を参照すると、プローバ２１１ ，２１２，２１３ …が互いに所定の間隔を隔てて複数配設されていることが見て取れる。
　上記摘記事項（３）のうち、段落【００１８】に「そのプローバ」とあるが、「その」とは、段落【００１８】の前半に記載されている「１枚のウエハの検査が終了し全体の制御部に終了したことを報知したプローバ」を意味するものであることは明らかである。
　上記摘記事項（３）のうち、段落【００１９】の記載から、自走式自動搬送装置２６が各プローバ２１１ ，２１２，２１３ …に半導体ウエハを一枚ずつ供給するものであることは明らかである。
　上記摘記事項（３）のうち、段落【００１６】の「搬送アームは第１アーム部２２１と第２アーム部２２２で構成され、第２アーム部２２２が第１アーム部２２１に沿って伸縮する。第２アーム部２２２の先端部分はウエハを保持するための真空チャックになっている。搬送アームは回転台２３に取り付けられており、回転可能である。必要に応じて上下移動機構を付加して搬送アームが上下移動できるようにしてもよい。」の記載から、第１アーム部２２１と第２アーム部２２２で構成される搬送アームは、半導体ウエハ１００を真空吸着可能で、かつ、上下移動機構を有するものである。
　以上（１）ないし（３）の記載事項、及び（４）の認定事項から、引用例１には、「半導体ウエハ１００上に形成されたチップの電気的特性の検査を行うために互いに所定の間隔を隔てて配設された複数のプローバ２１１ ，２１２，２１３ …は、１枚の半導体ウエハ１００の検査が終了したことを全体の制御部に報知し、これに応じて全体制御部は自走式自動搬送装置２６が次に検査する半導体ウエハ１００を格納箱２９に格納して、１枚のウエハの検査が終了し全体の制御部に終了したことを報知したプローバ２１１ ，２１２，２１３ …との半導体ウエハ１００の受け渡しを行うように指示することにより、自走式自動搬送装置２６が上記各プローバ２１１ ，２１２，２１３ …へ上記半導体ウエハ１００を一枚ずつ供給するために、上記半導体ウエハ１００が複数格納された格納箱２９を有し上記複数の半導体ウエハ１００をそれぞれ搬送する半導体ウエハ１００の搬送方法であって、上記各プローバ２１１ ，２１２，２１３ …において上記半導体ウエハ１００を一枚ずつ検査する際に、上記自走式自動搬送装置２６によって上記半導体ウエハ１００を搬送する工程と、上記自走式自動搬送装置２６と上記各プローバ２１１ ，２１２，２１３ …との間で検査前後の上記半導体ウエハ１００を、第１アーム部２２１と第２アーム部２２２で構成され、上下移動できる上下移動機構を有し、半導体ウエハを真空吸着可能である搬送アームを介して一枚ずつ受け渡す工程と、を備えた半導体ウエハ１００の搬送方法。」の発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。
２−２　引用例２の記載事項
（１）段落【０００１】
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動倉庫の入出庫方法に係り、詳しくは自動倉庫とステーションとの間で入出庫作業を行う複数の無人搬送車に対して作業を効率良く割り当てるための無人搬送車の搬送制御方法及び搬送制御装置に関するものである。」
（２）段落【００１５】
「【００１５】本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は無人搬送車の作業終了位置からの搬送作業があれば優先的に与えることにより、搬送効率を向上させることができる無人搬送車の搬送制御方法及び搬送制御装置を提供することにある。」
（３）段落【００２７】〜【００２８】
「【００２７】搬送システムＴＳには、３機の自動倉庫１，２，３が並設されている。各自動倉庫１，２，３には、荷が収納される多数の収納部４ａを有する収納棚４が２列ずつ立設され、その収納棚４間に敷設されたレール５上をスタッカクレーン６ａ，６ｂ，６ｃが走行可能に装備されている。スタッカクレーン６ａ，６ｂ，６ｃは収納棚４に対して荷の入出庫作業を行う。荷は品番毎に各自動倉庫１〜３に適宜な割合に割り当てられて収納されている。
【００２８】自動倉庫１〜３の前側（図１の左側）には、スタッカクレーン６ａ，６ｂ，６ｃと無人搬送車ＡＶ１〜ＡＶ４との間で荷の受渡しをする電動台車１ａ，１ｂ，…３ａ，３ｂがレール上を走行可能に装備されている。搬送システムＴＳには、３箇所に搬送ステーションＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３が設置され、各搬送ステーションＳＴ１〜ＳＴ３と自動倉庫１〜３とを結ぶように経由するループをなす軌道線Ｖが敷設されている。この軌道線Ｖ上を４台の無人搬送車（以下、単に無人車という）ＡＶ１〜ＡＶ４が走行するように配備されている。無人車ＡＶ１〜ＡＶ４は軌道線Ｖに沿って図１の矢印方向に巡回する。」
（４）段落【００２９】〜【００３０】
「【００２９】各搬送ステーションＳＴ１〜ＳＴ３には端末装置Ｔ１〜Ｔ３が設けられ、各搬送ステーションＳＴ１〜ＳＴ３において自動倉庫１〜３に入庫したい荷がある場合や自動倉庫１〜３から出庫したい荷がある場合には、作業者により端末装置Ｔ１〜Ｔ３を用いて入出庫データＤｉｎ, Ｄｏｕｔが入力される。この搬送システムＴＳには統括コンピュータ７、搬送車地上制御盤８が設置され、さらに自動倉庫１〜３の近傍にはクレーン地上制御盤９ａ〜９ｃ及び台車地上制御盤１０が設置されている。クレーン地上制御盤９ａ〜９ｃは各自動倉庫１〜３毎にスタッカクレーン６ａ〜６ｃと対向する位置にそれぞれ設置されている。また、軌道線Ｖには各搬送ステーションＳＴ１〜ＳＴ３及び移載場所Ｂ１〜Ｂ３毎の無人車ＡＶ１〜ＡＶ４の各停止位置と走行経路上の所定位置とに送受信器１１（図２参照）を備えたホームステーションＨＳ，ＨＳ１が設置されている。
【００３０】無人車ＡＶ１〜ＡＶ４、電動台車１ａ〜３ｂ及びスタッカクレーン６ａ〜６ｂは、統括コンピュータ７により各制御盤８，９ａ〜９ｂ，１０を介して運行制御され、端末装置Ｔ１〜Ｔ３からの入出庫要求に基づく入出庫作業を行うようになっている。ここで、入庫作業とは所定の搬送ステーションＳＴ１〜ＳＴ３にある荷を自動倉庫１〜３まで搬送して所定の収納部４ａに収納する作業を意味し、出庫作業とは所定の収納部４ａより荷を取出して所定の搬送ステーションＳＴ１〜ＳＴ３まで搬送する作業を意味する。無人搬送車ＡＶ１〜ＡＶ４は、スタッカクレーン６ａ〜６ｃにより出庫された荷を電動台車１ａ〜３ｂから受取って所定の搬送ステーションＳＴ１〜ＳＴ３まで搬送する出庫搬送と、所定の搬送ステーションＳＴ１〜ＳＴ３で受取った荷を所定の収納部４ａに収納すべく電動台車１ａ〜３ｂに引き渡す入庫搬送とを行う。」
（５）段落【００３１】〜【００３２】
「【００３１】次に、電気的構成について説明する。図２に示すように、端末装置Ｔ１〜Ｔ３は統括コンピュータ７に接続されており、統括コンピュータ７は端末装置Ｔ１〜Ｔ３から入力した入出庫データＤｉｎ，Ｄｏｕｔに基づき各制御盤８，９ａ〜９ｃ，１０に出力する作業指示データＳＤ，ＳＤｃ，ＳＤｄを作成する。統括コンピュータ７は無人搬送車地上制御盤８、クレーン地上制御盤９ａ〜９ｃ、台車地上制御盤１０と接続されている。
【００３２】無人搬送車地上制御盤８（以下、無人車地上制御盤という）は各ホームステーションＨＳ，ＨＳ１の送受信器１１を介して無人車ＡＶ１〜ＡＶ４に装備された搬送車コントローラＣ１〜Ｃ４と送受信可能となっている。無人車地上制御盤８は統括コンピュータ７より入力した作業指示データＳＤに基づき所定の無人車ＡＶ１〜ＡＶ４に入庫搬送作業または出庫搬送作業を指令する。また、無人車地上制御盤８は送受信器１１を介して無人車ＡＶ１〜ＡＶ４の位置、進行方向、荷の有無などの位置情報を検知し、位置情報データＤｘとして統括コンピュータ７に出力する。さらに、無人搬送車ＡＶ１〜ＡＶ４が入出庫搬送を終えたホームステーションＨＳの送受信器１１を介してその作業終了を認知すると、統括コンピュータ７に対して作業指示要求信号を出力する。この作業指示要求信号は無人車ＡＶ１〜ＡＶ４がホームステーションＨＳ１で作業待ちの待機中にあるときにも出力される。・・・」
（６）段落【００３４】
「【００３４】統括コンピュータ７はメモリ７ａを備えており、メモリ７ａには各収納棚４に保管された荷の品番を管理する品番管理データ、入出庫データに基づき作成した各種作業指示データＳＤ，ＳＤｃ，ＳＤｄ、各無人車の運行情報に関するデータを車別毎に管理する運行管理データＶＤなどの各種データを記憶する記憶領域が設定されている。」
（７）段落【００３５】〜【００３８】
「【００３５】端末装置Ｔ１〜Ｔ３より作業者が入出庫要求をする場合、入庫・出庫の区別、荷の品番、数量をデータとして入力する。そのため、「入庫・出庫−品番−個数」というデータ形態である入出庫データＤｉｎ，Ｄｏｕｔと品番管理データとに基づき作業指示データＳＤを作成する。作業指示データＳＤは「作業開始位置−作業終了位置−データ番号」というデータ形態をとる。入庫要求の場合、まず品番管理データより空棚を検索して自動倉庫を引き当てそれに対応する移載場所Ｂ１〜Ｂ３を作業開始位置（荷載せ位置）とし、入庫要求元の搬送ステーションＳＴ１〜ＳＴ３を作業終了位置（荷卸し位置）とする。出庫要求の場合、まず品番管理データより要求品番を検索して自動倉庫を引き当てそれに対応する移載場所Ｂ１〜Ｂ３を作業終了位置（荷卸し位置）とし、出庫要求元の搬送ステーションＳＴ１〜ＳＴ３を作業開始位置（荷載せ位置）とする。データ番号は作成順に付与される。作成された作業指示データＳＤは図５に示す作業管理データＲＤに作成順に格納される。
・・・
【００３７】メモリ７ａには、無人車ＡＶ１〜ＡＶ４に割り当てる作業指示データＳＤを決定する図３，図４にフローチャートで示すプログラムデータが記憶されている。このデータ割り当て処理の実行中に図６に示す運行管理データＶＤに各種データがセットされる。図６の運行管理データＶＤは、無人車ＡＶ１〜ＡＶ４の運行情報に関するデータを車別毎に管理し、車別毎に位置情報データＤｘ，処理中の作業指示データＳＤ，運行データＤｆ，待機フラグＦを管理する。
【００３８】位置情報データＤｘは無人車の号機、位置、進行方向、荷の有無など無人車の運行状態を把握するために必要なデータで構成され、その入力がある度に更新する。作業指示データＳＤは、無人車に割り当てた現在処理中の作業指示データである。運行データＤｆは、位置情報データＤｘと作業指示データＳＤとにより算出され、位置データｘと停止時間データｔｓで構成される。待機フラグＦは、待機信号の入力に基づきセットされ、無人車が出庫搬送作業を終えたときの待機中に「１」が立てられる。」
（８）段落【００３９】〜【００４０】
「【００３９】図７は無人車の搬送作業中における位置と時刻の関係を示すグラフである。無人車は作業指示を受けた位置Ｓ０から作業開始位置Ｓ１まで移動して荷載せをし、作業開始位置Ｓ１から作業終了位置Ｓ２まで移動して荷卸しして一つの搬送作業を完了する。そのため、図７に示すような軌跡線Ｌを描く。無人車の移動経路（移動距離）はその作業内容により異なり、３つの位置Ｓ０，Ｓ１，Ｓ２が決まると一義的に決まる。移動経路上における位置ｘと、荷載せ・荷卸し中のときの停止経過時間ｔｓとが分かれば、無人車の刻々と変化する運行状態は把握される。すなわち、（ｘ，ｔｓ）＝（Ｓ１，ｔｓ）というデータＤｆを得れば図７のＡ点にあることが分かり、（ｘ，ｔｓ）＝（ｘ０，０）というデータＤｆを得れば図７のＢ点にあることが分かる。運行データＤｆは、この位置ｘと停止経過時間ｔｓとを、無人車がホームステーションＨＳ，ＨＳ１を通る度に更新される位置情報データＤｘに基づいてリアルタイムに演算した算出値データである。なお、位置ｘは、作業指示を受けた位置Ｓ０を原点とし、その原点から作業開始位置Ｓ１を経由して作業終了位置Ｓ２に至る全経路上における位置座標として算出される。
【００４０】また、プログラムデータには、運行データＤｆ＝（ｘ，ｔｓ）を用いて無人車の作業終了時刻ＴＥを算出するための演算式ＴＥ＝Ｆ（ｘ，ｔｓ，ｔｐ，Ｓ０，Ｓ１，Ｓ２）が用意されている。ここで、ｔｐは現在時刻、Ｓ０，Ｓ１，Ｓ２は、それぞれ作業指示データを受け取った位置、作業開始位置、作業終了位置の位置データである。位置データＳ０，Ｓ１，Ｓ２により図７の軌跡線Ｌが定まり、時刻ｔｐにおける軌跡線Ｌ上の位置がデータＤｆ＝（ｘ，ｔｓ）により分かれば予定終了時刻ＴＥは算出される。この演算式は、入庫・出庫別に設定されており、出庫搬送の場合は待機時間まで含んで一つの搬送作業とみなされる。また、プログラムデータには、軌道線Ｖ上の任意の２点Ｐ１，Ｐ２間を無人車が移動する所要時間ΔＴを算出するための演算式ΔＴ＝Ｇ（Ｐ１，Ｐ２）が用意されている。無人車が作業を終了して次の作業開始位置Ｓ１に到達し得る予定到達時刻ＴＡは、その作業終了時刻ＴＥにその作業終了位置Ｓ０から次の作業開始位置Ｓ１までの移動にかかる所要時間ΔＴを加算して算出される。」
（９）段落【００４１】〜【００７２】
「【００４１】次に、搬送システムＴＳにおける運行制御処理を図３，図４のフローチャートに従って説明する。搬送システムＴＳの立ち上げ時には、各無人車ＡＶ１〜ＡＶ４はホームステーションＨＳ１で停止している。搬送システムＴＳが起動されると、統括コンピュータ７はまず無人車地上制御盤８から各搬送車の位置情報データＤｘと作業指示要求信号とを入力する。その後、必要に応じて作業者が各搬送ステーションＳＴ１〜ＳＴ３の端末装置Ｔ１〜Ｔ３を用いて入出庫要求データＤｉｎ，Ｄｏｕｔを入力する。
【００４２】搬送システムＴＳが立ち上がると、まずステップＳ１でデータ作成処理を行う。データ作成処理は図４のフローチャートに従って実行される。図４に示すように、ステップＳ２１で入出庫要求データＤｉｎ，Ｄｏｕｔの入力がなければステップＳ２３に進む。ステップＳ２３で位置情報データＤｘを入力すると、ステップＳ２４で位置情報データＤｘをセットし（図６）、ステップＳ２５でその位置情報データＤｘに基づいて各無人車ＡＶ１〜ＡＶ４の運行データＤｆを作成する。位置情報データＤｘは位置データＤｐ、移動・停止データＤｍｓ，進行方向データＤｄ、荷有無データＤｎなどよりなる。立ち上げ時には、各無人車ＡＶ１〜ＡＶ４に作業指示データＳＤをまだ与えておらず、無人車管理データＶＤ中に作業指示データＳＤがセットされていないので、運行データＤｆもセットされない。ステップＳ２６では待機フラグが「１」であるか否かを判断する。立ち上げ時は待機フラグが「０」であるため、このデータ作成処理を終了してステップＳ２（図３）に進む。
【００４３】ステップＳ２で作業指示要求信号を入力すると、ステップＳ３に進み作業管理データＲＶ中に作業指示データＳＤがあるか否かを判断する。作業指示データＳＤが無いのでステップＳ４に進み、ホームステーションＨＳ１にて待機するよう待機指令信号を出力する。従って、無人車ＡＶ１〜ＡＶ４はホームステーションＨＳ１にて待機する。
【００４４】その後、端末装置Ｔ１〜Ｔ３から入出庫要求データＤｉｎ，Ｄｏｕｔを入力すると（Ｓ２１）、ステップＳ２２で作業指示データＳＤを作成する。例えば、端末装置Ｔ２から出庫要求データＤｏｕｔ２（＝「出庫−Ａ−１」）、入庫要求データＤｉｎ２（＝「入庫−Ｂ−１」を入力するとともに、端末装置Ｔ３から出庫要求データＤｏｕｔ３（＝「出庫−Ｃ−１」）、入庫要求データＤｉｎ３（＝「入庫−Ｃ−２」）を順次に入力したとする。統括コンピュータ７はこれらの入出庫要求データＤｉｎ，Ｄｏｕｔに基づいて作業指示データＳＤを作成する。
【００４５】すなわち、出庫要求データＤｏｕｔ２に基づいて、その品番「Ａ」の荷が収納された収納部４ａを検索して自動倉庫を引当て、その自動倉庫の出庫側の電動台車を選んで作業開始位置Ｂｙを設定し、入力元の端末装置Ｔ２に対応する搬送ステーションＳＴ２を選んで作業終了位置ＳＴ２を設定する。この処理を荷の個数分（１回）行い、例えば作業指示データ「Ｂ１−ＳＴ２−１」を作成する。また、入庫要求データＤｉｎ２に基づいて、空棚４ａを検索して自動倉庫を引当て、その自動倉庫の入庫側の電動台車を選んで作業終了位置Ｂｙを設定し、入力元の端末装置Ｔ２に対応する搬送ステーションＳＴ２を選んで作業開始位置ＳＴ２を設定する。この処理を荷の個数分（１回）行い、例えば作業指示データ「ＳＴ２−Ｂ２−２」を作成する。さらに、出庫要求データＤｏｕｔ３に基づいて同様に作業指示データ「Ｂ３−ＳＴ３−３」を作成し、出庫要求データＤｉｎ３に基づいて作業指示データ「ＳＴ３−Ｂ１−４」「ＳＴ３−Ｂ２−５」を作成する。このとき検索対象とされる自動倉庫は１回毎に倉庫番号を巡回するように選ばれ、選ばれる移載場所Ｂ１〜Ｂ３ができるだけばらつくようにし、入出庫の対象となる自動倉庫が偏らないようにしている。
【００４６】作業指示データＳＤは、入出庫要求データＤｉｎ，Ｄｏｕｔの入力順に作成され、図５（ａ）に示すようにその作成順にメモリ７ａの所定記憶領域に格納されて作業管理データＲＤとされる。・・・
【００４７】作業指示データＳＤ，ＳＤｃ，ＳＤｄの作成後に、無人車地上制御盤８から作業指示要求信号を入力すると、その作業指示要求信号に応答して待機中の無人車ＡＶ１〜ＡＶ４に作業指示データＳＤを割り当てる。以下、その割り当て処理について説明する。
【００４８】ステップＳ２で作業指示要求信号を入力すると、ステップＳ３に進み作業指示データＳＤがあるのでステップＳ５に進む。ステップＳ５ではその作業指示要求の対象となる例えば無人車ＡＶ１が作業終了車であるか否かを判断する。作業終了車とは搬送作業を終えて荷卸し位置で作業指示を待つ無人車のことである。ここではホームステーションＨＳ１にて待機中であるためステップＳ１０に進む。ステップＳ１０では作業開始位置（荷載せ位置）が最も近い作業指示データＳＤを検索して読出す。まず図５（ａ）の作業管理データＲＤ中の各作業指示データSD1 〜SD5 の作業開始位置を順次に読出し、無人車ＡＶ１が位置するホームステーションＨＳ１から各作業開始位置までの距離（または移動所要時間）を順次に演算して求め、その中で最も距離（または移動所要時間）の短い作業指示データＳＤを読出す。作業開始位置が最短となる作業指示データＳＤが複数存在する場合は全てを読出す。例えば、ホームステーションＨＳ１からの距離が、作業開始位置Ｂ１，ＳＴ２，Ｂ３，ＳＴ３の順番で短いとすると、ここでは作業指示データSD1 （＝「Ｂ１−ＳＴ２−１」）が読出される。
【００４９】次にステップＳ１１では、その読出しデータを実行させると待ち時間が発生するか否かを判断する。すなわち、無人車ＡＶ１に作業指示データ「Ｂ１−ＳＴ１−１」を実行させたときに、その搬送作業過程で他の無人車と同時刻に作業位置が重なり他の無人車が作業を終えるまで停止して待つ待ち時間が発生するか否かを判断する。待ち時間の発生の有無は、その作業開始位置及び作業終了位置のいずれかが他の３台の作業終了位置に重なるか否かをまず調べ、いずれかと重なる場合にはさらにそれが同時刻であるか否かを調べることにより行われる。このとき運行管理データＶＤ中の作業指示データＳＤ及び運行データＤｆを用いて判断処理を行うが、まだデータＳＤ，Ｄｆがセットされておらず、他の３台はホームステーションＨＳ１にて待機中であり待ち時間が発生しえないのでステップＳ１５に進む。このとき読出しデータＳＤが複数ある場合には待ち時間が発生しないものが一つでもあればステップＳ１５に進む。
【００５０】ステップＳ１５ではその読出した作業指示データSD1 （＝「Ｂ１−ＳＴ２−１」）を無人車地上制御盤８に対して出力する。そして、図６の無人車管理データＶＤに無人車ＡＶ１に割り当てた作業指示データSD1 をセットするとともに、作業管理データＲＤから出力したデータSD1 を削除する。・・・
【００５１】各地上制御盤８，９ａ，１０は、入力した作業指示データＳＤ，ＳＤｃ，ＳＤｄに基づいて無人車ＡＶ１、スタッカクレーン９ａ、電動台車１ｂの運行制御を開始する。このとき無人車地上制御盤８はホームステーションＨＳ１の送受信器１１を介して無人車ＡＶ１に対して作業指示指令を出力すると同時に、統括コンピュータ７に対して位置情報データＤｘを出力する。こうして無人車ＡＶ１は移載場所Ｂ１で荷載せして搬送ステーションＳＴ２で荷卸しする出庫搬送作業を開始する。
【００５２】統括コンピュータ７は、ステップＳ２３（図４）で位置情報データＤｘを入力するとステップＳ２４でその位置情報データＤｘを更新し、ステップＳ２５で運行データＤf を作成する。この搬送作業の起点では、（ｘ１，ｔｓ）＝（０，０）とセットされる。ステップＳ２６で待機フラグＦが「０」であるためステップＳ２に進む。
【００５３】ステップＳ２で次の作業指示対象車（例えば無人車ＡＶ２）の作業指示要求信号を入力すると、ステップＳ３，Ｓ５を経てステップＳ１０に移り、図５（ａ）の作業管理データＲＤから移動距離（又は移動所要時間）が最短となる作業指示データSD2 を読出す。ステップＳ１１では待ち時間の発生の有無を判断する。まず図６の運行管理データＶＤの中に作業指示データSD2 の作業開始位置「ＳＴ２」及び作業終了位置「Ｂ２」のいずれかと作業終了位置が一致する作業指示データＳＤの有無を調べると、先にセットした作業指示データSD1 の作業開始位置「ＳＴ２」がその作業開始位置「ＳＴ２」に一致するので、次にそれが同一時刻に重なるか否かを調べる。無人車ＡＶ１は作業開始時の状態であり、同一時刻に重なりえないのでステップＳ１５に進み、読出した作業指示データSD2 を出力するとともに、運行管理データＶＤにセットし、作業管理データＲＤから削除する。・・・
【００５４】以下、同様にステップＳ１のデータ作成処理をするとともに、無人車ＡＶ３，ＡＶ４を作業指示対象車とする作業指示要求信号の入力に応答して同様の処理を繰り返し、各無人車ＡＶ３，ＡＶ４に対して作業指示データSD3 ，作業指示データSD4 を割り当てる。その結果、図５（ａ）の作業管理データＲＤから作業指示データSD3 ，SD4 が削除されるとともに、運行管理データＶＤには位置情報データＤｘ、作業指示データＳＤ、運行データＤｆが図６に示すようにセットされる。
【００５５】こうして無人車ＡＶ１〜ＡＶ４は、割り当てられた搬送作業を順次にホームステーションＨＳ１を起点として開始する。すなわち、無人車ＡＶ１は移載場所Ｂ１から搬送ステーションＳＴ２までの出庫搬送、無人車ＡＶ２は搬送ステーションＳＴ２から移載場所Ｂ１までの入庫搬送、無人車ＡＶ３は移載場所Ｂ３から搬送ステーションＳＴ３までの出庫搬送、無人車ＡＶ４は搬送ステーションＳＴ３から移載場所Ｂ１までの入庫搬送をそれぞれ開始する。無人車ＡＶ１〜ＡＶ４のいずれかがその搬送作業を終了するまでは次の作業指示要求信号は入力されず、この搬送作業中、統括コンピュータ７はステップＳ１のデータ作成処理を繰り返し実行する。
【００５６】各無人車ＡＶ１〜ＡＶ４がホームステーションＨＳ，ＨＳ１を通る度に車別毎の位置情報データＤｘ１〜Ｄｘ４が無人車地上制御盤８から統括コンピュータ７に対して出力される。図６の運行管理データＶＤ中の位置情報データＤｘは、統括コンピュータ７が位置情報データＤｘ１〜Ｄｘ４を入力する度に更新される（Ｓ２３，Ｓ２４）。統括コンピュータ７は運行管理データＶＤ中の位置情報データＤｘ１〜Ｄｘ４とそのセット時刻ｔ１ 〜ｔ４とに基づいて車別毎の運行データＤｆ１〜Ｄｆ４をリアルタイムに作成する（Ｓ２５）。つまり、ホームステーションＨＳ１を原点とし、作業開始位置を経由して作業終了位置に至る経路上における位置座標ｘ１〜ｘ４を演算して求め、その位置座標ｘ１〜ｘ４と荷載せ又は荷卸し時にタイマ７ｂが計時する停止経過時間ｔｓ１〜ｔｓ４とにより、車別毎に図７の軌道線Ｌ上の点で示される各運行データＤｆ＝（ｘ１，ｔｓ１），…，（ｘ４，ｔｓ４）を作成する。車別毎の軌道線Ｌは運行管理データＶＤにセットされた作業指示データSD1〜SD4 の作業開始位置及び作業終了位置を用いて決められる。運行データＤｆ＝（ｘ１，ｔｓ１），…，（ｘ４，ｔｓ４）は作成する度にセットされる。こうして逐次更新される運行データＤｆにより各無人車ＡＶ１〜ＡＶ４の運行状態がリアルタイムに把握されることになる。
【００５７】この間、端末装置Ｔ１〜Ｔ３から入出庫要求データＤｉｎ，Ｄｏｕｔの入力があると、作業指示データＳＤを逐次作成し（Ｓ２１，Ｓ２２）、作業管理データＳＤに格納する。例えば次の作業指示要求信号の入力前に図５（ｂ）に示すように作業指示データSD6，SD7 が追加されたとし、以下、作業終了後の無人車に次の作業指示データＳＤを割り当てるデータ割り当て処理について説明する。
【００５８】まず無人車ＡＶ１が搬送ステーションＳＴ２に到着して搬送した荷を卸すと、無人車地上制御盤８から統括コンピュータ７に対して作業指示要求信号が出力される。出庫搬送の終了時には荷卸しした搬送ステーションＳＴ２にて所定時間（例えば１０秒）だけ待機する。ステップＳ２で作業指示要求信号を入力すると、その無人車ＡＶ１が搬送ステーションＳＴ２に位置することを認知してその待機フラグＦに「１」をセットするとともにタイマ７ｂに待機時間の計時を開始させる。作業管理データＲＤに作業指示データＳＤがあり（Ｓ３）、無人車ＡＶ１が作業終了車である（Ｓ５）のでステップＳ６に進む。ステップＳ６では、作業管理データＲＤ中にその無人車Ｖ１の作業終了位置「ＳＴ２」を作業開始位置とする作業指示データＳＤがあるか否かを判断する。すなわち、図５（ｂ）の作業管理データＲＤを検索し、作業開始位置「ＳＴ２」の有無を調べる。
【００５９】例えば図５（ｂ）に鎖線で囲む作業指示データSD8 （＝「ＳＴ２−Ｂ２−８」）が無人車ＡＶ１の作業終了前に記憶されていたとすると、この作業指示データSD8 が検索され、ステップＳ８でその作業指示データSD8 を読出す。もし、該当する作業指示データＳＤが複数存在すれば全て読出す。
【００６０】次のステップＳ９では、読出したその作業指示データSD8 （＝「ＳＴ２−Ｂ２−８」）を無人車ＡＶ１に実行させると、待ち時間が発生するか否かを判断する。まず無人車ＡＶ１にその作業指示データSD8 を実行させるものとして、作業指示データSD8 の作業開始位置「ＳＴ２」と作業終了位置「Ｂ２」のいずれかが図６の運行管理データＶＤにセットされた他の３台が処理中の各作業指示データＳＤの作業終了位置「Ｂ２」「ＳＴ３」「Ｂ１」に一致するか否かを調べる。作業終了位置「Ｂ２」が無人車ＡＶ２に対してセットされた作業指示データＳＤの作業終了位置「Ｂ２」に一致する。そのため、次にそれが同一時刻に重なるか否かを調べる。ここで、読出しデータＳＤが複数ある場合は、一つずつ他の３台の作業終了位置との一致を調べ、読出した全ての作業指示データＳＤに対して他の３台の作業終了位置と一致した場合のみ同時刻に重なるか否かを調べる。
【００６１】まず無人車ＡＶ２に対する運行データＤｆ＝（ｘ２，ｔｓ２）及び作業指示データ「ＳＴ２−Ｂ２−２」を用いて演算式ＴＥ＝Ｆ（ｘ，ｔｓ，ｔｃ，Ｓ０，Ｓ１，Ｓ２）により無人車ＡＶ２の作業終了時刻ＴＥ２を演算し、その作業終了時刻ＴＥ２の前後所定時間（ＴＥ２−Δｔ１, ＴＥ２＋Δｔ２）内に作業指示データSD8 を実行させたときの無人車ＡＶ１の作業終了時刻ＴＥ１が入るか否かを調べる。作業終了時刻ＴＥ２は、出庫用の演算式ＴＥ＝Ｆ（ｘ，ｔｓ，ｔｃ，Ｓ０，Ｓ１，Ｓ２）を用いてＴＥ１＝Ｆ（０，０，ｔｃ，B3，B3，ST3)で算出される。また、作業終了時刻ＴＥ２は、出庫用の演算式ＴＥ１＝Ｆ（ｘ３，ｔｓ３，ｔｃ，HS1 ，B3，ST3)で算出される。現在時刻ｔｃは、タイマ７ｂより得たその演算時の時刻を近似的に使用する。そして、ＴＥ２−Δｔ１≦ＴＥ１≦ＴＥ２＋Δｔ２が成立するか否かを判断する。
【００６２】例えばＴＥ２−Δｔ１≦ＴＥ１≦ＴＥ２＋Δｔ２が成立しない場合、待ち時間が発生しないと判断してステップＳ１５に進み、作業指示データSD8 を出力するとともに、作業指示データSD8 を無人車管理データＶＤにセットする。また、作業指示データSD8 に対応する作業指示データＳＤｃ，ＳＤｄを各制御盤９ｂ，１０に出力する（Ｓ１６）。その結果、無人車ＡＶ１は出庫搬送先の搬送ステーションＳＴ２で次の荷を載せてそのまま次の入庫搬送を開始する。ここで、複数の作業指示データに対して同時刻での重なりを調べる場合、待ち時間が発生しない作業指示データＳＤが一つでもあればステップＳ１５に進み、待ち時間発生なしと判断した作業指示データＳＤが複数あるときはその搬送先が他の３台の搬送先と一致しないものを優先させて出力する。
【００６３】また、例えばＴＥ２−Δｔ１≦ＴＥ１≦ＴＥ２＋Δｔ２が成立する場合、待ち時間が発生すると判断し、ステップＳ１２に進み、早く開始できる他データが存在するか否かを判断する。すなわち、他データを実行させた場合にその作業開始位置からの作業を開始できる時刻を４台の無人車ＡＶ１〜ＡＶ４に対して算出していき、４台のうち無人車ＡＶ１に作業を行わせることが最も早く、且つ先の待ち時間を待ってから作業開始するよりその開始時刻を早くし得る他データが存在するか否かを調べる。このとき待ち時間の発生の有無も調べ、待ち時間が発生するものに対しては待ち時間経過後の時刻を作業開始時刻として処理する。つまり、４台の無人車に対して各作業指示データSD5 〜SD8 毎に予定終了時刻ＴＥ、待ち時間ｔｗ、次の作業開始位置までの移動所要時間ΔＴを算出し、各予定作業開始時刻ＴｓをＴｓ＝ＴＥ＋ΔＴ＋ｔｗより求める。そして、４台のうち無人車ＡＶ１の予定作業開始時刻Ｔｓが最も早く、且つその予定作業開始時刻Ｔｓが先の待ち時間を待ってから作業開始する時刻より早くなる作業指示データを捜す。
【００６４】このとき、待ち時間を待つよりも早く作業開始できる他の作業指示データＳＤが存在しなければ、ステップＳ１４に進み、待ち時間が発生しないように待機時間Ｔ０を指定する。待機時間Ｔ０はＴ０＝ＴＥ２＋Δｔ２−ＴＥ１として算出される。そして、ステップＳ１５で作業指示データSD8 を待機時間Ｔ０を指定して出力するとともに、作業指示データSD8 を運行管理データＶＤにセットする。また、作業指示データSD8 に対応する作業指示データＳＤｃ，ＳＤｄを各制御盤９ｂ，１０に出力する（Ｓ１６）。その結果、無人車ＡＶ１は搬送ステーションＳＴ２で荷を卸すと、そこから荷載せをし、その状態で指定された待機時間Ｔ０だけ待機した後、次に指定された入庫搬送を開始する。
【００６５】また、このとき待ち時間を待つよりも早く作業開始できる他の作業指示データＳＤが存在すれば、ステップＳ１３に進み、その作業指示データＳＤを読出す。このとき待ち時間を待つよりも早く作業開始できる他の作業指示データＳＤが複数存在すれば予定作業開始時刻Ｔｓが最も早いものを読出すか、あるいはその搬送先が他の３台の搬送先と一致しないものを優先して読出す。そしてステップＳ１５で、読出した作業指示データＳＤを出力するとともに、運行管理データＶＤにセットする。また、その作業指示データＳＤに対応する作業指示データＳＤｃ，ＳＤｄを出力する（Ｓ１６）。その結果、無人車ＡＶ１は搬送ステーションＳＴ２で荷を卸すと、その作業終了位置で待機時間Ｔ０を待って作業開始するよりも早く作業開始できる搬送作業の作業開始位置まで移動してそこで荷載せをして次の搬送作業を開始する。
【００６６】一方、無人車ＡＶ１が最初の搬送作業を終了するまでに作業管理データＲＤ中に作業指示データSD8 が記憶されていない場合、ステップＳ６で作業終了位置から作業開始できる作業指示データＳＤはないと判断される。そのため、ステップＳ７に進む。ステップＳ７では、待機フラグＦが「１」であるか否かを判断する。待機フラグＦが「１」であるので、ステップＳ２１（図４）に移行し、図４のデータ作成処理を実行する。つまり、入出庫要求データＤｉｎ，Ｄｏｕｔの入力があれば作業指示データＳＤを作成し（Ｓ２１，Ｓ２２）、最新の位置情報データＤｘを用いて運行データＤｆを逐次更新する（Ｓ２３〜Ｓ２５）。このときステップＳ２６で待機フラグＦが「１」であると判断され、図３のステップＳ６に再び戻る。以下、ステップＳ７で待機フラグＦが「０」となるまで図４のデータ作成処理を繰り返して待機する。
【００６７】この待機中、端末装置Ｔ２から新たな入庫要求データＤｉｎの入力があると（Ｓ２１）、ステップＳ２２で「ＳＴ２」を作業開始位置とする例えば作業指示データSD8 を作成する。こうして次のステップＳ６で新たに作成した作業指示データSD8 が「ＳＴ２」を作業開始位置とするものとして見出され、ステップＳ８に進む。そして、ステップＳ８でその作業指示データSD8 を読出し、読出したデータSD8 について待ち時間が発生するか否かを判断する（Ｓ９）。待ち時間が発生しなければその作業指示データSD8 を出力する（Ｓ１５）。また、待ち時間が発生すればステップＳ１２に進んで早く開始できる他データの有無を判断し、早く開始できる他データＧＡければ待機時間Ｔ０を指定してその作業指示データSD8 を出力し（Ｓ１４，１５）、早く開始できる他データがあればその作業指示データＳＤを読出して出力する（Ｓ１３，１５）。そして、出力したその作業指示データＳＤに対応する作業指示データＳＤｃ，ＳＤｄを出力する（Ｓ１６）。
【００６８】一方、待機中に端末装置Ｔ２から新たな入庫要求データＤｉｎが入力されないまま、ステップＳ７で待機フラグＦが「０」と判断されると、ステップＳ１０に進み作業管理データＲＤ中から最も移動距離（または移動所要時間）の短い作業開始位置となる作業指示データＳＤを読出す。この場合、搬送ステーションＳＴ２からの距離が「ＳＴ３」「ＳＴ１」「Ｂ３」の順番で近いとすると、「ＳＴ３」を作業開始位置とする作業指示データSD5 が読出される。このとき、移動距離（または移動所要時間）が最短となる作業指示データＳＤが複数存在する場合はその全てを読出す。
【００６９】そして、ステップＳ１１でその作業指示データSD5 について待ち時間が発生するか否かを判断する。待ち時間が発生しなければその読出しデータＳＤを出力する（Ｓ１５）。このとき待ち時間が発生しない読出しデータＳＤが複数あるときはその搬送先が他の３台の搬送先と一致しないものを優先させて出力する。また、ステップＳ１１で待ち時間が発生するようであればステップＳ１２に進み、待ち時間を待つよりも早く作業開始できる他データの有無を調べ、該当する作業指示データＳＤがなければ待機時間Ｔ０を指定して読出しデータＳＤを出力し（Ｓ１４，Ｓ１５）、該当する作業指示データＳＤがあればそれを読出して出力する（Ｓ１３，Ｓ１５）。このときも該当する作業指示データＳＤが複数存在するときはその搬送先が他の３台の搬送先と一致しないものを優先させる。そして、出力したその作業指示データＳＤに対応する作業指示データＳＤｃ，ＳＤｄを出力する（Ｓ１６）。
【００７０】以下、無人車ＡＶ２〜ＡＶ４が作業を終了してそれらを対象とする作業指示要求信号を入力すると、図３，図４の各フローチャートに従って同様の処理を行い、それぞれに作業指示データＳＤが割り当てられる。なお、入庫搬送を終了したときには、同一移載場所Ｂ１〜Ｂ３からの開始作業であっても荷卸しを入庫側の電動台車１ａ，２ａ，３ａに対して行い、荷載せは出庫側の電動台車１ｂ，２ｂ，３ｂに対して行う。そのため、入庫側の電動台車１ａ，２ａ，３ａから出庫側の電動台車１ｂ，２ｂ，３ｂまでの移動所要時間も加味して作業終了時間ＴＥ、待機時間Ｔ０が演算される。
【００７１】こうして各無人車ＡＶ１〜ＡＶ４に対して、その作業終了位置から作業を開始できる作業が優先的に割り当てられる。つまり、入庫搬送を終えた無人車ＡＶ１〜ＡＶ４に対しては、その荷卸しした移載場所Ｂ１〜Ｂ３から開始できる出庫搬送作業が優先的に与えられ、出庫搬送を終えた無人車ＡＶ１〜ＡＶ４に対しては、その荷卸した搬送ステーションＳＴ１〜ＳＴ３から開始できる入庫搬送作業が優先的に与えられる。
【００７２】また、作業終了位置から作業を開始させると待ち時間が発生し、待ち時間を待つよりも早く作業開始できる搬送作業があればそちらを優先させる。また、作業を終えた時点でその作業終了位置から荷載せできる搬送作業がない場合でも、待機時間があればその作業終了位置からの作業要求の入力を待って、入力があればそれを優先させる。さらに荷卸し位置からそのまま荷載せできる作業指示データＳＤ、待ち時間を待つよりも早く作業開始できる作業指示データＳＤが複数存在する場合は、搬送先が他の３台の搬送先に一致しないものから優先させる。これによってその搬送先、さらに出庫の場合は搬送元までも極力一致しないようにばらつかせることができる。」
（１０）ここで、摘記事項（５）の段落【００３２】に「無人車ＡＶ１〜ＡＶ４の位置、進行方向、荷の有無などの位置情報を検知し、位置情報データＤＸとして統括コンピュータ７に出力する。」と記載されているように、無人搬送車ＡＶ１〜ＡＶ４は、位置情報を統括コンピュータ７に出力するものである一方、摘記事項（９）の段落【００４８】、【００５３】、【００６８】に「最も移動距離の短い作業開始位置となる作業指示データを読出す」等と記載されているように、無人搬送車ＡＶ１〜ＡＶ４の移動距離を読み込んでいるものであるから、統括コンピュータ７は、各無人搬送車ＡＶ１〜ＡＶ４及び各無人搬送車ＡＶ１〜ＡＶ４の移動目的地である自動倉庫１、２、３、複数の搬送ステーションＳＴ１、ＳＴ２、ＳＴ３の位置関係を含む情報を有しており、その情報に基づいて各無人搬送車ＡＶ１〜ＡＶ４の作業指示データＳＤを作成していることは明らかである。
　以上（１）〜（９）の記載、及び（１０）の認定事項から、引用例２には、「複数の無人搬送車ＡＶ１、ＡＶ２、ＡＶ３、ＡＶ４が軌道線Ｖに沿って巡回するようにされた複数の自動倉庫１、２、３と複数の搬送ステーションＳＴ１、ＳＴ２、ＳＴ３の間における荷の搬送方法であって、端末装置Ｔ１〜Ｔ３から入出庫要求データＤｉｎ，Ｄｏｕｔの入力により作業指示データＳＤを作成し、複数の自動倉庫１、２、３と複数の搬送ステーションＳＴ１、ＳＴ２、ＳＴ３と複数の無人搬送車ＡＶ１、ＡＶ２、ＡＶ３、ＡＶ４それぞれの位置関係を含む情報に基づいて各無人搬送車ＡＶ１〜ＡＶ４に最も距離の短い作業指示データＳＤを割り当てる工程と、を有する荷の搬送方法。」の発明（以下、「引用発明２」という。）が記載されていると認められる。
　
３　対比
　本願発明と引用発明１を対比すると、引用発明１の「半導体ウエハ１００」、「プローバ２１１ ，２１２，２１３ …」、「自走式自動搬送装置２６」、「格納箱２９」は、それぞれ、本願発明の「被処理体」、「検査装置」、「自動搬送装置」、「筐体」に相当する。
　引用発明１の「複数のプローバ２１１ ，２１２，２１３ …は、１枚の半導体ウエハ１００の検査が終了したことを全体の制御部に報知し、これに応じて全体制御部は自走式自動搬送装置２６が次に検査する半導体ウエハ１００を格納箱２９に格納して、１枚のウエハの検査が終了し全体の制御部に終了したことを報知したプローバ２１１ ，２１２，２１３ …との半導体ウエハ１００の受け渡しを行うように指示する」ことは、プローバ２１１ ，２１２，２１３ …が検査の終了を全体の制御部に伝え、これにより半導体ウエハ１００の受け渡しを行うよう指示するものであるので、本願発明の「検査装置の要求に応じて」に相当するものであることは明らかである。
　引用発明１の「格納」が「収納」とも言い得るものであることは明らかである。
　引用発明１の「格納箱２９を有し」は、本願発明の「筐体を搭載して」に相当する。
　引用発明１の「第１アーム部２２１と第２アーム部２２２で構成され、上下移動できる上下移動機構を有し、半導体ウエハを真空吸着可能である搬送アーム」は、真空吸着が着脱可能なことが明らかで、かつ、上下移動できる上下移動機構が昇降可能な支持体とも言い得るものであるので、本願発明の「受け渡し機構の真空着脱可能で昇降可能な支持体」に相当する。
　以上の点から、本願発明と引用発明１とは、以下の一致点を有し、また、相違点を有している。
＜一致点＞
「被処理体の電気的特性検査を行うために互いに所定の間隔を隔てて配設された複数の検査装置の要求に応じて、自動搬送装置が上記各検査装置へ上記被処理体を一枚ずつ供給するために、上記被処理体が複数収納された筐体を搭載して上記複数の被処理体をそれぞれ搬送する被処理体の搬送方法であって、上記各検査装置において上記被処理体を一枚ずつ検査する際に、上記自動搬送装置によって上記被処理体を搬送する工程と、上記自動搬送装置と上記各検査装置との間で検査前後の上記被処理体を、受け渡し機構の真空着脱可能で昇降可能な支持体を介して一枚ずつ受け渡す工程と、を備えた被処理体の搬送方法。」
＜相違点１＞
　電気的特性検査を行う環境及び搬送環境に関して、本願発明では、被処理体の電気的特性検査を行うのを「クリーンルーム内」と特定し、また、被処理体を搬送するのに「クリーンルームより高い清浄度に保たれた環境下」と特定しているのに対して、引用発明１では、プローバ２１１ ，２１２，２１３ …により電気的特性検査を行う環境、及び搬送環境について不明な点。
＜相違点２＞
　自動搬送装置に関して、本願発明では、「複数」用いており、「同一軌道に沿って」搬送しているのに対して、引用発明１では、自動搬送装置に相当する自走式自動搬送装置２６を何台用いているのか不明であり、また、自走式であって軌道に沿って走行するものではない点。
＜相違点３＞
　自動搬送装置の運行に関して、本願発明では、「各検査装置と各自動搬送装置それぞれの位置関係を含む搬送情報に基づいて上記各自動搬送装置を軌道上で運用するための運用スケジュールを決定する工程と、上記運用スケジュールに基づいて上記各自動搬送装置それぞれの最適な搬送経路を決定する工程と、上記各自動搬送装置をそれぞれの最適な搬送経路に割り当てる工程と」、を備えると特定しているのに対して、引用発明１では、自動搬送装置に相当する自走式自動搬送装置２６をどのように運行しているのか不明な点。
＜相違点４＞
　検査の結果の不良品処理に関して、本願発明では、「検査の結果不良品となった被処理体を自動搬送装置によって回収するまで一時的に受け渡し機構の収納部に保管する工程」を有しているのに対して、引用発明１では、検査の結果の不良品処理について不明な点。
＜相違点５＞
　検査装置のメンテナンス時の処理に関して、本願発明では、「検査装置のメンテナンス時に軌道に自動搬送装置の搬送禁止区域を設定する工程」を有しているのに対して、引用発明１では、プローバ２１１ ，２１２，２１３ …のメンテナンス時の処理について不明な点。
　
４　当審の判断
　上記相違点について検討する。
（１）＜相違点１＞について
　半導体ウエハ上に形成されたチップの電気的特性の検査をクリーンルーム内で行うことは例示するまでもなく従来周知の事項であり、また、半導体製造装置において、搬送装置による搬送を通常のクリーンルームよりも高い清浄度に保たれた環境で行うことは、例えば、特開平９−２６０２２６号公報（段落【００１３】、【００１４】参照。）、特開平５−２９９３１４号公報（段落【００２２】、【００２３】参照。）に見られるように従来周知の事項であることからすれば、引用発明１において、半導体ウエハ１００の電気的特性検査をクリーンルーム内で行い、半導体ウエハ１００の搬送を、該クリーンルームよりも高い清浄度に保たれた環境下で行うようにすることは、当業者が容易になし得たものである。
（２）＜相違点２＞について
　搬送を複数の自動搬送装置を用いて行うこと、及び、自動搬送装置を同一軌道に沿って搬送するものとすることは、ともに、例示するまでもなく従来周知の事項であることからすれば、引用発明１において、自動搬送装置である自走式自動搬送装置２６を複数用い、また、軌道を設けて同一軌道に沿って搬送するものとすることは、当業者が容易になし得たものである。
（３）＜相違点３＞について
　引用発明２は、「複数の無人搬送車ＡＶ１、ＡＶ２、ＡＶ３、ＡＶ４が軌道線Ｖに沿って巡回するようにされた複数の自動倉庫１、２、３と複数の搬送ステーションＳＴ１、ＳＴ２、ＳＴ３の間における荷の搬送方法であって、端末装置Ｔ１〜Ｔ３から入出庫要求データＤｉｎ，Ｄｏｕｔの入力により作業指示データＳＤを作成し、複数の自動倉庫１、２、３と複数の搬送ステーションＳＴ１、ＳＴ２、ＳＴ３と複数の無人搬送車ＡＶ１、ＡＶ２、ＡＶ３、ＡＶ４それぞれの位置関係を含む情報に基づいて各無人搬送車ＡＶ１〜ＡＶ４に最も距離の短い作業指示データＳＤを割り当てる工程と、を有する荷の搬送方法。」である。ここで、本願発明と引用発明２とを対比すると、引用発明２の「無人搬送車ＡＶ１、ＡＶ２、ＡＶ３、ＡＶ４」、「軌道線Ｖ」はそれぞれ本願発明の「自動搬送装置」、「軌道」に相当し、また、引用発明２の「複数の自動倉庫１、２、３と複数の搬送ステーションＳＴ１、ＳＴ２、ＳＴ３の位置」と本願発明の「各検査装置の位置」とは、「各移動目的地の位置」という限りで共通する。そして、引用発明２の無人搬送車ＡＶ１、ＡＶ２、ＡＶ３、ＡＶ４は軌道上を移動するものであり、引用発明２の「各無人搬送車ＡＶ１〜ＡＶ４に最も距離の短い作業指示データＳＤを割り当てる」ことは、本願発明の「各自動搬送装置を運用するための運用スケジュールを決定する」ことに相当する。また引用発明２も無人搬送車による搬送方法であるから、引用発明２の「位置関係を含む情報」は本願発明の「位置関係を含む搬送情報」に相当する。したがって、引用発明２は、「各移動目的地と各自動搬送装置それぞれの位置関係を含む搬送情報に基づいて、各自動搬送装置を軌道上で運用するための運用スケジュールを決定する」工程であると言い換えることができる。そして、引用発明１も引用発明２も移動する搬送装置を用いた搬送方法に関わる技術であり、しかも、引用発明２の搬送方法を引用発明１に適用できないとする阻害理由も格別見当たらないことからすれば、引用発明２を引用発明１に適用することは当業者が容易になし得たものである。そして、引用発明１において自走式自動搬送装置２６を複数台用い、しかも軌道に沿って搬送させるものとすることは相違点２で言及したとおり、当業者が容易になし得たものであるから、そのような引用発明１に引用発明２を適用した場合には、その移動目的地である各プローバ２１１ ，２１２，２１３ …と軌道上にある複数の自走式自動搬送装置２６それぞれの位置関係を含む搬送情報に基づいて各自走式自動搬送装置２６を軌道上で運用するための運用スケジュールを決定する工程を有するものとすることは、当業者にとって格別の困難性を要するものではない。
　なお、本願発明における相違点３では、さらに、「運用スケジュールに基づいて各自動搬送装置それぞれの最適な搬送経路を決定する工程と、各自動搬送装置をそれぞれの最適な搬送経路に割り当てる工程」を備えるものと特定している。
　しかしながら、引用発明２では、複数の無人搬送車ＡＶ１、ＡＶ２、ＡＶ３、ＡＶ４が軌道線Ｖに沿って巡回するようにされたものであって、搬送径路が複数存在するものではないため、そのような工程を有しないものであり、軌道が複雑に形成されていて、複数の搬送径路が考えられる場合には、さらに搬送径路を選択する工程が必要なことは当然の技術的事項である。そして、引用発明２においても、「各無人搬送車ＡＶ１〜ＡＶ４に最も距離の短い作業指示データＳＤを割り当て」ているものであることからすれば、搬送径路となる軌道が複数考えられる場合には、各自動搬送装置それぞれに最も距離の短い最適な搬送決定し、当該搬送径路を割り当てる工程を付加することは、当然の設計変更にすぎない。
（４）＜相違点４＞について
　半導体ウエハ上に形成されたチップの電気的特性を検査した場合、当然不良品は発生する。そして、検査装置の近くに収納部を設け、検査の結果、不良品となった半導体ウエハを一時的に当該収納部に保管することは、例えば、特開２０００−７７２９０号公報（段落【００２８】、【００２９】、及び図面の図５参照。）、特開平１１−１２９１７４号公報（段落【００１８】、【００２６】、及び図面の図６参照。）に見られるように、従来周知の事項であることから、引用発明１においても、不良品となった半導体ウエハの収納部を設け、プローバ２１１ ，２１２，２１３ …による電気的特性検査で不良品となった半導体ウエハ１００を当該収納部に一時的に保管しておくことは、当業者が容易になし得たものである。
　なお、相違点４は、さらに、不良品となった被処理体を自動搬送装置によって回収するまで保管すると特定し、また、不良品の収納部は受け渡し機構にあると特定している。
　しかしながら、上記特定事項のうち、不良品となった被処理体を自動搬送装置によって回収するまで保管すると特定する点については、引用発明１も、被処理体である半導体ウエハ１００の搬送は自動搬送装置である自走式自動搬送装置２６が行っているものであることから、不良品となった半導体ウエハ１００の回収も、搬送装置である自走式自動搬送装置２６に行わせることは、製造工程の設計上自然である。
　また、不良品の収納部を受け渡し機構にあるものと特定することについては、不良品の収納部は検査装置の近傍に設けるべきことは当然で、かつ、不良品の収納部を設ける場所を特に受け渡し機構であると特定しても、その特定による特別な作用ないし効果が見当たらないことからすれば、不良品の収納部を受け渡し機構にあるものと特定することは、単なる設計的事項にすぎない。
（５）＜相違点５＞について
　メンテナンス時等において、移動する装置の走行路に走行禁止区域を設定することは、例えば、特開平３−３０００３号公報（第１頁右下欄第１５行〜第２頁左上欄第６行、第３頁左下欄第４行〜第４頁左上欄第１１行、及び図面の第２図参照。）に見られるように従来周知の事項であることからすれば、引用発明１においても、プローバ２１１ ，２１２，２１３ …のメンテナンス時に移動する装置である自走式自動搬送装置２６の走行禁止区域である搬送禁止区域を設定することは、当業者が容易になし得たものである。
　そして、搬送装置を軌道上を移動するものとした場合には、上記走行禁止区域は軌道に設定すべきことは、当然の設計変更にすぎない。
（６）＜作用ないし効果＞について
　本願発明によってもたらされる作用ないし効果についても、引用発明１、引用発明２、及び従来周知の事項から当業者が予測可能なものであって、それ以上に格別の作用ないし効果は格別見当たらない。
　
５　むすび
　したがって、本願発明は、引用例１ないし２に記載された発明および従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、本願の請求項１ないし８及び１０ないし１２に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。