【事件の表示】
　平成１０年特許願第５２０７５６号「細胞分離装置およびインラインオリフィスミキサシステム」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　５月　７日国際公開、ＷＯ９８／１８５１８、平成１３年　７月２４日国内公表、特表２００１−５０９８８４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　本願は，平成９年１０月２９日（パリ条約による優先権主張日　平成８年１０月３０日，米国）を国際出願日とする出願であって，平成２０年２月２９日付けで拒絶査定がされ，これに対し，同年６月９日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに，同日付けで手続補正がなされたものである。
　その後，当審において，平成２１年１０月１９日付けで審判請求人に前置報告書の内容を示し意見を求めるための審尋を行ったが，何らの応答もなかったものである。
　
　
第２　平成２０年６月９日付けの手続補正（以下，「本件補正」という。）についての補正却下の決定 
　
 　［補正却下の決定の結論］ 
 　　平成２０年６月９日付けの手続補正を却下する。 
　
 　［理由］ 
１　補正後の請求項１に記載された発明　
　本件補正は，特許請求の範囲を補正するものであって，そのうち請求項１についてする補正は，補正前の特許請求の範囲（平成１９年８月３０日付けで補正されたもの。以下，同様。）の 
「１．本体部材（ここで，この本体部材は少なくとも一の成分液体を受け入れるための長さおよび入り口を有している）；ならびに
　一般的に液体の流れの方向を横切って本体部材の内部に配置され，本体部材の長手方向に間隔をおいて配置された，少なくとも実質的に平行な，オリフィスを規定する複数の壁体（ここで，前記壁体によって規定された各オリフィスは隣接壁体のオリフィスに対して一直線に配列されていない）
を含む，液体成分を均一に混合するためのインラインミキサー。」
を， 
「【請求項１】
　
液体成分を均一に混合するためのインラインミキサーであって，
本体部材（ここで，この本体部材は少なくとも一の成分液体を受け入れるための長さおよび入り口を有している）；ならびに
一般的に液体の流れの方向を横切って本体部材の内部に配置され，本体部材の長手方向に間隔をおいて配置された，少なくとも実質的に平行な，オリフィスを規定する複数の壁体（ここで，前記壁体によって規定された各オリフィスは隣接壁体のオリフィスに対して一直線に配列されていない）
を含
み
少なくとも一のオリフィス規定壁体が，ミキサーを通過する液体と混合可能な有形物で被覆されている，前記
と補正するものである。
　
　上記補正は，補正前の請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「オリフィスを規定する複数の壁体」について「少なくとも一のオリフィス規定壁体が，ミキサーを通過する液体と混合可能な有形物で被覆されている」との限定を付したものであるから，平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前（以下，「平成１８年改正前」という。）の特許法第１７条の２第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当するものである。 
　
　そこで，補正後の請求項１に係る発明（以下，「補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について，以下検討する。
　
２　引用刊行物の記載事項
　本願優先日前に頒布され，原査定の拒絶の理由において引用された刊行物である特開平８−１１８２３２号公報（以下，「引用例１」という。）には，図面とともに，次の事項が記載されている。なお，以下において，下線は当審にて付与したものである。 
（１−ア）
「【特許請求の範囲】
【請求項１】半導体基板（１３４）を研磨する化学機械式研磨装置（１０）であって：出力口を有する第１供給線（１１３）；出力口を有する第２供給線（１１４）；
インライン混合器（１２３），入力口および出力口を有する混合部（１２）であって：前記インライン混合器（１２３）は，隔壁（４２），ベンチュリ，開口を含むプレート，または螺旋状プレート（１２３１）を有し；前記第１および第２供給線（１１３，１１４）の出力口は，前記混合部の入力口に接続されている，前記混合部（１２）
　
（１−イ）
「【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，半導体基板の化学機械的研磨に関し，特に，研磨流体(polishing fluid)の研磨装置への送出(delivery)に関するものである。」
　
（１−ウ）
「【０００５】
【発明が解決しようとする課題】アルミナ粒子と酸との水溶液を含むタングステン研磨スラリの研磨速度は，混合直後で毎分約３１００オングストローム，混合の１日後で毎分約２０００オングストローム，混合の約３日後で約１１００オングストローム，そして混合の約１５日後からは毎分９００オングストロームに落ち着く。研磨によって１時間当たり約１０枚のウエハを研磨できると仮定すると，４００枚の研磨には１日半かかることになろう。混合後に４００枚のウエハを研磨する場合，最初のウエハは毎分約３１００オングストロームで研磨され，最後のウエハは毎分約１６００オングストロームで研磨されることになる。研磨速度の変動が激しいため，プロセス制御が非常に困難となる。研磨速度は毎分約９００オングストロームで安定するが，この研磨速度では生産には低すぎる。
【０００６】一括混合は他にも問題がある。混合タンクは，溶液を変える毎に浄化しなければならない。また，スラリ用成分のリフティング(lifting)および運搬は，その密度のために困難である。更に，タンク内の流体は，それが混合された状態を保持しゲルの形成を防止するように維持されなければならない。
付加成分が加えられるとき，それらは，既にタンク内に存在する研磨流体と完全に混合される必要がある
【０００７】
複数の供給線を配して，化学機械式研磨装置内のプラテンに直接研磨スラリを分配することもできる。この方法に伴う問題の１つは，成分が適切に混ざり合わず，ある成分が他の成分に対して濃度が高い領域が局所的に形成されることである。
　
（１−エ）
「【００１１】
【実施例】以下，添付図面の図を一例として本発明について説明するが，本発明はこれに限定される訳ではない。また，図面において同様の参照番号は同様の素子を示す。
【００１２】化学機械式研磨装置は，研磨流体を研磨装置の研磨部に導入するのに先だって，研磨流体の成分を混合する混合部を含む。混合が使用現場近くで行われるので，研磨流体の研磨速度は比較的高い。研磨流体は基板に到達する前に混合されるので，研磨流体成分の基板近くの局所的濃度は比較的均一である。本発明は，以下の各章を読んだ後にはよりよく理解されていよう。
研磨実施例
図１は，化学機械式研磨装置１０の一部の構成図を示す。化学機械式研磨装置１０は，供給部１１，混合部１２，および研磨部１３から成る３部分を有する。供給部内には２つの貯蔵部１１１，１１２がある。この２つの貯蔵部１１１，１１２は研磨流体の成分を含んでいる。
例えば，貯蔵部１１１は濃縮された研磨流体を含み，貯蔵部１１２は，水，アルコール，グリコールなどのような希釈剤を含む
【００１３】混合部１２は，各々出力口を有する２本の供給線１１３，１１４を結合するために用いられる，マニフォールド１２１を含む。マニフォールド１２１への入力口は，混合部１２への入力口である。
マニフォールド１２１において供給線１１３，１１４からの成分を結合した後，これら成分は管１２２を通って静止インライン混合器(static in-line mixer)１２３に達する。貯蔵部１１１，１１２からの成分は，静止インライン混合器１２３内で撹拌混合され，研磨流体が形成される。研磨流体は，典型的に液体かスラリである。
【００１４】研磨流体は化学機械的研磨部１３に流れ込む。研磨部１３はタブ１３１，プラテン１３２および研磨パッドを含む。簡略化のために，プラテンと研磨パッドとの組み合わせを，プラテン１３２として示すことにする。プラテン１３２の上には，基板ホルダ１３３と半導体基板１３４とがある。研磨の間，研磨流体は最終的にタブ１３１によって受け取られ，その際研磨流体はリサイクルされるかあるいは廃棄される。
【００１５】静止インライン混合器１２３は，供給線１１３，１１４を通過してきた成分を全て混合し，研磨流体が研磨部に到達するときには完全に混合されているようにする。したがって，供給線１１３，１１４からの成分は，インライン混合器１２３を通過する際乱流となっていなければならない。混合器の設計は，設計された流量で乱流が形成されるようにしなければならない。例えば，研磨流体が毎分１００ないし２００ミリリットルの流速で送出される場合，混合器は，研磨流体の流速が毎分１００ミリリットルの低さのときでも乱流が得られるような設計にしなければならない。通常，研磨流体の流速は毎分５００ミリリットル未満である。」
　
（１−オ）
「【００２０】
他の実施例では，螺旋状プレートを，図４に示すような隔壁(baffle)４２と置き換えてもよい
隔壁４２は，成分が別経路（当審注：蛇行経路(serpentine path)の誤訳である。）でインライン混合器１２３を通過するように離間される。流体蛇行経路(serpentine path)によって，成分は混合器１２３を離れる前混合される
他の実施例では，隔壁を，１台以上のベンチュリまたは開口を有するプレート（即ち，オリフィス板）で置き換えてもよい
　
（１−カ）
　【図４】には，
インライン混合器１２３内において，複数の隔壁４２が，前記インライン混合器１２３の長手方向に間隔をおいて互いに平行に配置され，さらに，隣り合う隔壁４２の延在方向を互い違いとすることで流体経路を蛇行経路にした様子が描かれている
　
　上記記載事項，特に（１−ア）および（１−オ）からみて，引用例１には，以下の発明が記載されていると認められる。
　
「インライン混合器１２３，入力口および出力口を有する混合部１２であって，
　前記インライン混合器１２３は，複数のオリフィス板を有している，前記混合部１２。」
　
　
３　対比・判断
　
（１）対比 
　補正発明と引用発明とを対比する。
　
ア　引用発明の「混合部１２」は「インライン混合器１２３」を含むものであるから，「インラインミキサー」であるといえる。また，上記摘記事項（１−エ）における「例えば，貯蔵部１１１は濃縮された研磨流体を含み，貯蔵部１１２は，水，アルコール，グリコールなどのような希釈剤を含む。」の記載からみて，引用発明の「混合部１２」は，液体成分を混合するものである。また，上記摘記事項（１−ウ）において，発明が解決しようとする課題として，「この方法に伴う問題の１つは，成分が適切に混ざり合わず，ある成分が他の成分に対して濃度が高い領域が局所的に形成されることである。」と記載され，上記摘記事項（１−オ）において，「隔壁４２は，成分が別経路（当審注：蛇行経路(serpentine path)の誤訳である。）でインライン混合器１２３を通過するように離間される。流体蛇行経路(serpentine path)によって，成分は混合器１２３を離れる前混合される。」と記載されていることからみて，引用発明の「混合部１２」は，液体成分を均一に混合するためのものであるといえる。
　そうすると，引用発明の「混合部１２」は，補正発明の「液体成分を均一に混合するためのインラインミキサー」に相当する。
　
イ　引用発明の「インライン混合器１２３」は，「混合部１２」において液体を混合するための主要部であるから「本体部材」であるといえ，少なくとも一の成分液体を受け入れるための長さおよび入力口を有している。
　そうすると，引用発明の「インライン混合器１２３」は，補正発明の「本体部材（ここで，この本体部材は少なくとも一の成分液体を受け入れるための長さおよび入り口を有している）」に相当する。
　
ウ　上記摘記事項（１−オ）の記載からみて，引用発明の「複数のオリフィス板」は，上記摘記事項（１−カ）における隔壁４２を置き換えたものであるから，当該「複数のオリフィス板」は，液体の流れの方向を横切って「インライン混合器１２３」すなわち「本体部材」の内部に配置され，当該本体部材の長手方向に間隔をおいて配置された，少なくとも実質的に平行な，オリフィスを規定する壁体であることが明らかである。
　そうすると，引用発明の「複数のオリフィス板」と，補正発明の「一般的に液体の流れの方向を横切って本体部材の内部に配置され，本体部材の長手方向に間隔をおいて配置された，少なくとも実質的に平行な，オリフィスを規定する複数の壁体（ここで，前記壁体によって規定された各オリフィスは隣接壁体のオリフィスに対して一直線に配列されていない）」とは，「一般的に液体の流れの方向を横切って本体部材の内部に配置され，本体部材の長手方向に間隔をおいて配置された，少なくとも実質的に平行な，オリフィスを規定する複数の壁体」である点において共通する。
　
　してみると，両者は， 
　
（一致点）
「液体成分を均一に混合するためのインラインミキサーであって，　
本体部材（ここで，この本体部材は少なくとも一の成分液体を受け入れるための長さおよび入り口を有している）；ならびに
一般的に液体の流れの方向を横切って本体部材の内部に配置され，本体部材の長手方向に間隔をおいて配置された，少なくとも実質的に平行な，オリフィスを規定する複数の壁体
を含む，インラインミキサー。」
の点で一致し，以下の点で相違する。
　
（相違点１）補正発明では，前記壁体によって規定された各オリフィスは隣接壁体のオリフィスに対して一直線に配列されていないのに対し，引用発明は，そのような構成であるかが不明な点。
　
（相違点２）補正発明では，少なくとも一のオリフィス規定壁体が，ミキサーを通過する液体と混合可能な有形物で被覆されているのに対し，引用発明は，そのような構成でない点。
　
（２）判断
ア　相違点１について
　上記摘記事項（１−ウ）の記載からみて，引用発明は，液体成分をできるだけ均一に混合することを，発明の課題の１つとしているといえ，均一に混合するためには液体の流れを直線状とするより蛇行させた方がよいことが明らかである。そうすると，引用発明において，液体の流れを蛇行させるために，オリフィス板によって規定された各オリフィスを隣接オリフィス板のオリフィスに対して一直線に配列しないようにすること，すなわち，上記相違点１における補正発明のようにすることは，当業者であれば，何ら困難性はなく，容易に想到し得る事項であるといえる。
　
イ　相違点２について
　流体と物質（material）とを混合することは，種々の分野において行われている慣用技術であり，また，引用発明においても，発明が解決しようとする課題に関連して，上記摘記事項（１−ウ）に「付加成分が加えられるとき，それらは，既にタンク内に存在する研磨流体と完全に混合される必要がある。」と記載されているように，流体と「付加成分」すなわち「物質」とを混合することが想定されているといえる。また，流体と物質とを混合するための具体的手段として，流体が流れる流路を規定する壁体等を物質で被覆しておくことは，例えば，特表平４−５０６７６７号公報の請求の範囲１１および１４，ならびに，第２頁１０〜１４行，特表平８−５０８４２１号公報の第８頁２５行〜第９頁２行，および，第９頁１４〜２４行，特表平３−５００１３２号公報の請求の範囲９，および，第３頁右下欄５〜９行に記載されているように，本願優先日前に周知である。
　そうすると，引用発明において，流体と物質とを混合するために，「流体が流れる流路を規定する壁体等を物質で被覆する」という上記周知の技術的事項を採用することは，当業者であれば，何ら困難性はなく，容易に想到し得る事項であるといえる。
　また，流体が流れる流路を規定する壁体等のうち，どの部分を物質で被覆するようにするかは，被覆処理の容易性等を考慮して，当業者が適宜選択し得る事項であるから，引用発明において，上記周知の技術的事項を採用するに際して，物質で被覆する壁体等として，「オリフィスを規定する壁体」を選択し，上記相違点２における補正発明のようにすることは，当業者が適宜なし得る設計的事項であるといえる。
　
　そして，本願明細書に記載された補正発明によってもたらされる効果は，引用例１および周知の技術的事項から，当業者であれば予測することができる程度のものである。  
　
　したがって，補正発明は，引用発明および周知技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により，特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
４　まとめ
　以上のとおりであるから，本件補正は，平成１８年改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので，同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により，却下すべきものである。 
　
　
第３　本願発明について
　
１　本願発明
　以上のとおり，平成２０年６月９日付けの手続補正は，却下されることとなったから，本件特許出願人が特許を受けようとする発明として特定する事項は，平成１９年８月３０日付けの手続補正によって補正された特許請求の範囲の請求項１〜１８に記載されたとおりのものと認められ，その請求項１は，次のとおりである。（以下，「本願発明」という。）
　
「１．本体部材（ここで，この本体部材は少なくとも一の成分液体を受け入れるための長さおよび入り口を有している）；ならびに
　一般的に液体の流れの方向を横切って本体部材の内部に配置され，本体部材の長手方向に間隔をおいて配置された，少なくとも実質的に平行な，オリフィスを規定する複数の壁体（ここで，前記壁体によって規定された各オリフィスは隣接壁体のオリフィスに対して一直線に配列されていない）
を含む，液体成分を均一に混合するためのインラインミキサー。」 
　
２　引用刊行物の記載事項　
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例およびその記載事項は，上記「第２　２　引用刊行物の記載事項」に記載したとおりである。
　
３　対比・判断
　
（１）対比　
　本願発明は，補正発明から，「
少なくとも一のオリフィス規定壁体が，ミキサーを通過する液体と混合可能な有形物で被覆されている
　そうすると，上記「第２　３　（１）対比」で検討のように，本願発明と引用発明とは，
　
「本体部材（ここで，この本体部材は少なくとも一の成分液体を受け入れるための長さおよび入り口を有している）；ならびに
一般的に液体の流れの方向を横切って本体部材の内部に配置され，本体部材の長手方向に間隔をおいて配置された，少なくとも実質的に平行な，オリフィスを規定する複数の壁体
を含む，液体成分を均一に混合するためのインラインミキサー。」
の点で一致し，以下の点で相違する。
　
（相違点）本願発明では，前記壁体によって規定された各オリフィスは隣接壁体のオリフィスに対して一直線に配列されていないのに対し，引用発明は，そのような構成であるかが不明な点。
　
（２）判断
　上記相違点については，上記「第２　３　（２）　ア　相違点１について」において検討のとおりである。
　
　そうすると，本願発明は，引用発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび　
　以上のとおり，本願発明は，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから，その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく，本願は拒絶されるべきものである。　
　
　よって，結論のとおり審決する。