【事件の表示】
　平成５年特許願第２５８６０５号「偏平物品の取扱い装置」拒絶査定不服審判事件〔平成６年７月１２日出願公開、特開平６−１９１６３９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成５年１０月１５日（パリ条約による優先権主張、１９９２年１０月１６日、フランス国）の出願であって、本願の請求項１ないし１０に係る発明は、平成１２年８月２８日付け、平成１５年８月５日付け、平成１６年９月２日付け及び平成１７年１月２６日付けの各手続補正書によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし１０に記載されているところ、本願の請求項１に係る発明は、
　「【請求項１】　偏平な物品（１０）を、内部が特別な雰囲気にされた作業ステーション（６，６Ａ，６Ｂ）内へ送込むように個別のボックス（１）内の超清浄の雰囲気中に閉込めた該偏平物品（１０）を取扱う装置において、内部が超清浄の雰囲気にされた個別のボックス（１）と、これらボックス（１）を通常の雰囲気中で搬送する装備（３）と、その内において該ボックス（１）が開かれ、ボックスから該偏平物品（１０）が引出され、該偏平物品が該作業ステーション（６，６Ａ，６Ｂ）内に滞留する全期間中特別な雰囲気下に保持される、該偏平物品（１０）のための該作業ステーション（６，６Ａ，６Ｂ）と搬送装備（３）との間に設けられるインターフェイス（５）と、該偏平物品
（１０）
（１０）
　該偏平物品（１０）がシリコン・ウェファであり、該個別ボックス（１）が超偏平であり、そして隠蔽ドアを有し、該インターフェイス（５）が、アクセス・トンネルを構成し、且つアクセス・トンネル内に偏平物品（１０）を通過させるようにアクセス・トンネル内で作動する
取上げ及び設置ロボット（１２）
（１０）
であるものと認める。
　なお、上記平成１７年１月２６日付けの手続補正書によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１において、上記のアンダーライン箇所は、“偏平物品（１）”、また、“取上げ及びロボット（１２）”と記載されているが、明細書全体の記載からみると、符号の“（１）”は“
（１０）
取上げ及び設置ロボット（１２）
　
２．引用例とその記載事項
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先権主張の日前に頒布された刊行物である、特開昭６４−４４０３６号公報（以下、「第１引用例」という。）、特開昭６１−１７０５８３号公報（以下、「第２引用例」という。）、特開平４−１５７７４９号公報（以下、「第３引用例」という。）、特開昭６４−４４０３５号公報（以下、「第４引用例」という。）、特開平３−１８８６４６号公報（以下、「第５引用例」という。）には、それぞれ、図面とともに次の事項が記載されている。
　
（１）第１引用例（特開昭６４−４４０３６号公報）の記載事項
　（イ）「本発明は、半導体製造設備における装置間ウエハ授受機構に係り、特にウエハの授受工程における発塵、およびウエハへの塵埃の付着を防止するために好適な装置間ウエハ授受機構に関する。」（第１頁右下欄第３〜６行）
　（ロ）「 本発明では、クリーンボックスに配備されたクリーンユニットよりクリーンガスを吹き出し、クリーンボックス内をクリーン状態に保つ。前記クリーンガスには、エアやＮ２ガス等が使用される。」（第２頁右上欄第１４〜１７行）
　（ハ）「クリーンボックスとウエハキャリッジ間でウエハの授受を行う時は、クリーンボックスに形成されたウエハ出入口に向かってウエハキャリッジを移動させ、」（第２頁右上欄第１８行〜左下欄第１行）
　（ニ）「クリーンボックス１の内部には、クリーンロボット２と、ウエハ１９を搬入，搬出するためのローダステージ４およびアンローダステージ５と、クリーンユニット６とが設置されている。また、クリーンボックス１の側壁には、キャリアステージ２１に搭載されたウエハキャリア１０を接続すべき位置にウエハ出入口８が形成されている。
　前記クリーンロボット２には、ウエハハンドリング部３が設けられている。
　前記クリーンユニット６からは、クリーンガス７を吹き出すようになっている。そして、クリーンボックス１の内部は、クリーンユニット６から吹き出されるクリーンガス７を層流状態に保ち、クリーン度を維持するようになっている。」（第３頁右上欄第６〜１９行）
　（ホ）「ウエハ出入口８には、第３図に示すように、第１のゲートバルブ９が設けられており、この第１のゲートバルブ９によりウエハ出入口８は密閉されている。」（第３頁右上欄第２０行〜左下欄第３行）
　（ヘ）「ウエハキャリア１０の開口部１１には、第３図に示すように、第２のゲートバルブ１２が設けられており、この第２のゲートバルブ１２によりウエハキャリア１０は密閉されている。」（第３頁左下欄第４〜７行）
　（ト）「ウエハキャリア１０の内部には、第２図〜第８図に示すように、ウエハ１９が収納されている。そして、この実施例ではウエハキャリア１０に収納されているウエハ１９を前記クリーンボックス１内のクリーンロボット２に設けられたウエハハンドリング部３により、クリーンボックス１内に取り込み、予め決められた処理を施した後、ウエハキャリア１０内に戻すようになっている。」（第３頁右下欄第８〜１５行）
　（チ）「第１，第２のゲートバルブ９，１２を開くと同時に、クリーンボックス１の内部からウエハ出入口８を通って第５図に示すように、クリーンガス７が噴出し、このクリーンガス７はウエハキャリア１０の内部と、第１，第２のゲートバルブ９，１２周辺の間隙３２，３３から吹き出す。その結果、ウエハ出入口８とウエハキャリア１０の開口部１１間の空間部がクリーンガス７により外気と遮断され、クリーン状態に保たれる。」（第５頁右上欄第２〜１０行）
　（リ）「ウエハ出入口８にウエハキャリア１０の開口部１１を接続した後、第７図に示すように、クリーンロボット２のウエハハンドリング部３を伸長させ、このウエハハンドリング部３をウエハ出入口８からウエハキャリア１０の内部に挿入し、ウエハキャリア１０からウエハ１９を受け取る。ついで、ウエハハンドリング部３を収縮させ、ウエハ１９をクリーンボックス１内に取り込み、続いてクリーンロボット２を旋回させ、ウエハ１９を第２図に示すローダステージ４に引き渡す。
　その後、ウエハ１９はローダステージ４により処理装置（図示せず）に送られ、予め決められた処理が順次施される。
　処理が終了したウエハ１９は、第２図に示すアンローダステージ５に位置決めされ、クリーンロボット２によりウェハキャリア１０の内部に戻される。
　ついで、前述の動作と逆順序に動作させ、ウエハ出入口８を第１のゲートバルブ９で密閉し、ウエハキャリア１０の開口部１１を第２のゲートバルブ１２により密閉し、ウエハキャリア１０をウエハ出入口８から切り離して原位置に戻し、ウエハ授受の１ストロークを終了する。」（第５頁左下欄第７行〜右下欄第８行）
　
　ところで、記載事項（ハ）でいう「ウエハキャリッジ」は「ウエハキャリア１０」を指すことが明らかであるから、図面に開示されている技術事項をも参酌するとともに記載事項（イ）〜（リ）を総合すると、第１引用例には、実質的に、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　「ウエハ１９を、処理装置内へ送込むように個別のウエハキャリア１０内のクリーン状態の中に閉込めた該ウエハ１９を取扱う装置において、内部がクリーン状態にされた個別のウエハキャリア１０と、クリーンボックス１に形成されたウエハ出入口８に向かってこれらウエハキャリア１０を移動させる手段と、開かれたウエハキャリア１０からクリーンボックス１内に該ウエハ１９が引出され、該ウエハ１９が該処理装置内に滞留する全期間中クリーン状態に保持される、該ウエハ１９のための該処理装置とウエハキャリア１０を移動させる手段との間に設けられるクリーンボックス１とを備えて成り、
　該ウエハキャリア１０が超偏平であり、そしてウエハキャリア１０を密閉する第２のゲートバルブ１２を設けており、該クリーンボックス１が、クリーンボックス１内にウエハ１９を通過させるようにクリーンボックス１内で作動するクリーンロボット２をクリーンボックス１内に装備する体部を有し、体部内は、その中を該ウエハ１９がクリーンロボット２により移送されている時に、送られた空気或いは窒素の流れにより清掃を行なわれるウエハ取扱い装置。」
　
（２）第２引用例（特開昭６１−１７０５８３号公報）の記載事項
　（ヌ）「第２図に示したように、エツチング用の半導体製造処理装置のモジユール１と１′との間に真空結合装置３を取付けた。この結合装置は第４図あるいは第５図の構成でベルト６を駆動する軸５は、外部モータ等によつて必要な時駆動される。」（第２頁左上欄第１４〜１８行）
　
（３）第３引用例（特開平４−１５７７４９号公報）の記載事項
　（ル）「簡易クリーン室１０には台車１２等に搭載された真空クリーンボックス１５が移動自在に配置される。」（第３頁右上欄第１８〜２０行）
　
（４）第４引用例（特開昭６４−４４０３５号公報）の記載事項
　（ヲ）「ウエハ受取口１６のキャリアスライドガイド２０に枚葉キャリア１９を着装する。着装した枚葉キャリア１９は、スライドガイド２０上をクリーンボックス１２の中へ送られる。送られた枚葉キャリア１９は、ウエハ１８を取り出すために、枚葉キャリア１９の前蓋を取出せる位置でウエハ１８を取出す準備に入る。」（第３頁左下欄第２〜８行）
　（ワ）「該工程で処理する必要があると判断した時は、プッシャ３９により工程間搬送装置３７から装置間搬送装置３５へ枚葉キャリア１９を分岐する。」（第４頁右上欄第４〜７行）
　（カ）「ウエハを保持・格納した枚葉キャリア１９は、装置間搬送装置３５を経由して合流装置３６で工程間搬送装置３７に合流させて、次工程へ送る。」（第４頁左下欄第９〜１２行）
　
（５）第５引用例（特開平３−１８８６４６号公報）の記載事項
　（ヨ）「第６図は……、筐体３Ａの出し専用の出し入れ口４Ａと自動洗浄装置１２の入れ専用の出し入れ口１２Ａとをコンベア１３Ａで連結し、同様に筐体３Ａの入れ専用の出し入れ口４Ｂと自動洗浄装置１２の出し専用の出し入れ口１２Ｂとをコンベア１３Ｂで連結した状態である。」（第６頁左上欄第１６行〜右上欄第４行）
　
３．発明の対比 
　本願発明と引用発明とを対比するに、一般に、ウエハとしてシリコン・ウエハは自明であるから、引用発明の「ウエハ１９」は本願発明の「偏平な物品（１０）；シリコン・ウェファ」に相当し、以下同様に、「処理装置」は「作業ステーション（６，６Ａ，６Ｂ）」に、「ウエハキャリア１０」は「ボックス（１）」に、「クリーンボックス１」は「インターフェイス（５）」に、「第２のゲートバルブ１２」は「隠蔽ドア」に、「クリーンロボット２」は「取上げ及び設置ロボット（１２）」に相当する。そして、引用発明の「クリーン状態」とは、この種の半導体製造設備の一般常識からみて、本願発明の「超清浄の雰囲気」「特別な雰囲気」、「超清浄雰囲気」に相当する状態をいうものと認められる。また、引用発明の「クリーンボックス１に形成されたウエハ出入口８に向かってこれらウエハキャリア１０を移動させる手段」は、本願発明の「搬送装備（３）」の一種であるといえる。
　よって、本願発明と引用発明とは、
【一致点】
「偏平な物品を、作業ステーション内へ送込むように個別のボックス内の超清浄の雰囲気中に閉込めた該偏平物品を取扱う装置において、内部が超清浄の雰囲気にされた個別のボックスと、開かれたボックスから該偏平物品が引出され、該偏平物品が該作業ステーション内に滞留する全期間中特別な雰囲気下に保持される、該偏平物品のための該作業ステーションと搬送装備との間に設けられるインターフェイスとを備えて成り、
　該偏平物品がシリコン・ウェファであり、該個別ボックスが、超偏平であり、そして隠蔽ドアを有し、該インターフェイスが、偏平物品を通過させるように作動する取上げ及び設置ロボットを装備する体部を有し、体部内は、その中を該扁平物品が該ロボットにより移送されている時に、送られた空気或いは窒素の流れにより清掃を行なわれる偏平物品取扱い装置」である点で一致し、次の点で相違する。
【相違点】
　（１）本願発明は、作業ステーション（６，６Ａ，６Ｂ）の内部が「特別な雰囲気にされ」ているのに対し、引用発明は、このような構成についてまで限定していない点。
　（２）本願発明は、「ボックス（１）を通常の雰囲気中で搬送する装備（３）」と、「該ボックスの搬送の操作と制御を行う装備」とを備えているのに対し、引用発明は、「クリーンボックス１に形成されたウエハ出入口８に向かってこれらウエハキャリア１０を移動させる手段」を備えていることまではいえるものの、この相違点でいう本願発明の具体的な構成についてまでは限定していない点。
  （３）本願発明は、「その内において該ボックス（１）が開かれ、ボックスから該偏平物品（１０）が引出され」というように、インターフェイス（５）内においてボックス（１）が開かれ、この開かれたボックス（１）から偏平物品（１０）が引出される構成としているのに対し、引用発明は、単に、開かれたウエハキャリア１０（ボックス）からクリーンボックス１（インターフェイス）内にウエハ１９（偏平物品）が引出されるという構成にとどまる点。
 （４）本願発明は、「偏平物品（１０）を超清浄雰囲気下に保持したまま２つの作業ステーション（６Ａ，６Ｂ）を剛性結合する該偏平物品（１０）の移送トンネル（４）」を備えているのに対し、引用発明は、このような構成を具備していない点。
 （５）本願発明では、インターフェイス（５）が、「アクセス・トンネル」を構成し、且つ「アクセス・トンネル」内に偏平物品（１０）を通過させるように「アクセス・トンネル」内で作動する取上げ及び設置ロボット（１２）を「アクセス・トンネル」内に装備する体部（１１）を有するのに対し、引用発明では、クリーンボックス１（インターフェイス）の具体的構成を表現するに当たって「アクセス・トンネル」という用語を用いていない点。
　
４．当審の判断 
　（１）相違点（１）について
　この種の作業ステーションが、特別な雰囲気にされることは技術常識であるから、相違点（１）でいう本願発明の構成事項に格別の創意を見出すことができない。
　
　（２）相違点（２）について
  引用発明の「クリーンボックス１に形成されたウエハ出入口８に向かってこれらウエハキャリア１０を移動させる手段」は、本願発明の「搬送する設備（３）」の一種であるといえるし、また、引用発明においてウエハキャリア１０の移動は、技術常識からみて本願発明と同様に、通常の雰囲気中で行われるということができるから、本願発明の「搬送する装備（３）」と本質的な違いはない。
　しかも、ウエハ等の処理作業に当たり、本願発明の「搬送する装備（３）」に相当する部材を備えることは、第３引用例の記載事項（ル）、第４引用例の記載事項（ワ）（カ）、第５引用例の記載事項（ヨ）にも記載されているように従来周知の技術であるし、このような装備において搬送の操作及び制御を行うことは自明な事項である。
　よって、相違点（２）でいう本願発明の構成事項に格別の創意を見出すことができない。
　
　（３）相違点（３）について 
　引用発明も、クリーンボックス１（インターフェイス）内にウエハ１９（偏平物品）を引出す点において本願発明と技術的に変わるところがないばかりでなく、第４引用例の記載事項（ヲ）には、「枚葉キャリア１９は、スライドガイド２０上をクリーンボックス１２の中へ送られる。送られた枚葉キャリア１９は、ウエハ１８を取り出すために、枚葉キャリア１９の前蓋を取出せる位置でウエハ１８を取出す準備に入る。」と記載されているように、「クリーンボックス１２（インターフェイス）内において枚葉キャリア１９（ボックス）を開いてウエハ１８（扁平物品）を引出す」という事項が実質的に開示されている。
　そして、上記第４引用例記載の事項が、引用発明と共通の技術分野に属するものである以上、当該事項を引用発明に採り入れることに格別困難性は認められないから、引用発明に第４引用例記載の事項を適用することにより、相違点（３）でいう本願発明の構成事項とすることは、当業者であれば容易に想到することができたものである。
　
　（４）相違点（４）について
　第２引用例において、「半導体製造処理装置のモジユール１と１′との間に真空結合装置３を取付けた。」と記載されているように、“２つの作業ステーション（半導体製造処理装置のモジユール１と１′）を真空結合する”という技術事項が開示され、この結合部は、真空結合装置ということからみて、当然、超清浄雰囲気下に保持したままモジユール１と１′とを剛性結合するものといえるし、また、同引用例において、「ベルト６を駆動する軸５は、外部モータ等によつて必要な時駆動される。」と記載されているように、実質的に、移送トンネルを備えることも開示されているといえる。
　そして、上記第２引用例記載の技術事項が、引用発明と共通の技術分野に属するものである以上、当該技術事項を引用発明に採り入れることに格別困難性は認められないから、引用発明に第２引用例記載の技術事項を適用することにより、相違点（４）でいう本願発明の構成事項とすることは、当業者であれば容易に想到することができたものである。
　
　（５）相違点（５）について 
　本願発明の「インターフェイス（５）」に相当する引用発明の「クリーンボックス１」についてみると、ウエハ１９がクリーンボックス１内に設けられたローダステージ４により処理装置に送られる（第１引用例の記載事項（ニ）、（リ）を参照）ことからして、このクリーンボックス１は、実質的に、処理装置への「アクセス・トンネル」を構成しているということができるから、相違点（５）でいう本願発明と引用発明との相違点は、単なる表現上の相違にすぎない。
　
　（６）作用効果について
　そして、本願発明の作用効果も、引用発明、第２引用例〜第５引用例に記載された発明及び上記周知の技術から、当業者であれば予測できる程度のものであって、格別なものとはいえない。
　
５．むすび
　したがって、本願発明（請求項１に係る発明）は、引用発明、第２引用例〜第５引用例に記載された発明及び上記周知の技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。