【事件の表示】
　特願２００２−　６４６７３「半導体装置及びその検査方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年１２月　６日出願公開、特開２００２−３５３３２９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成６年１２月１９日に出願した特願平６−３１４３９６号（以下、「原出願」という。）の一部を平成１４年３月１１日に新たな特許出願としたものであって、平成１７年１０月３１日付けで明細書又は図面についての手続補正がなされ、平成１９年１０月１日付け（送達：同年同月９日）で拒絶査定がなされ、これに対し、同年１１月８日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同年同月２８日付けで明細書又は図面についての手続補正（以下「本件補正」という。）がなされたものである。
　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　　本件補正を却下する。
［理由］
１　本件補正の内容
　本件補正は、以下の（１）に示される本件補正前の特許請求の範囲を、以下の（２）に示される本件補正後の特許請求の範囲に補正するものである。
（１）本件補正前の特許請求の範囲
　「【請求項１】　半導体基板上に形成された、同時に検査される複数の半導体集積回路装置よりなる半導体装置において、
　前記複数の半導体集積回路装置のそれぞれは、
　半導体集積回路と、
　外部から基準電圧が入力される基準電圧入力端子と、
　外部から前記複数の半導体集積回路装置のそれぞれに共通の電源供給線を介して供給された第１の電源電圧が入力される電源供給端子と、
　前記半導体集積回路に供給される第２の電源電圧が印加される内部電源端子と、
　前記第１の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御し、前記第２の電源電圧として前記内部電源端子を介して前記半導体集積回路に供給する電圧制御回路とを備え、
　前記電圧制御回路は、前記共通の電源供給線が持つ抵抗によって前記電源供給線に生じる電圧降下に起因して、前記複数の半導体集積回路の配置部位によって異なる大きさで印加される前記第１の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】　省略
【請求項３】　省略
【請求項４】　半導体基板上に形成された複数の半導体集積回路装置を同時に検査する半導体装置の検査方法において、
　前記複数の半導体集積回路装置のそれぞれは、
　半導体集積回路と、内部電源端子と、基準電圧入力端子と、電源供給端子と、電圧制御回路とを備え、
　前記基準電圧入力端子に外部から基準電圧が入力され、
　前記電源供給端子に、外部から前記複数の半導体集積回路装置のそれぞれに共通の電源供給線を介して供給された第１の電源電圧が入力され、
　前記電圧制御回路は、前記共通の電源供給線が持つ抵抗によって前記電源供給線に生じる電圧降下に起因して、前記複数の半導体集積回路の配置部位によって異なる大きさで印加される前記第１の電源電圧を、前記基準電圧に一致するように制御して第２の電源電圧として前記内部電源端子を介して前記半導体集積回路に供給し、
　前記半導体集積回路を検査することを特徴とする半導体装置の検査方法。
【請求項５】　省略
【請求項６】　省略」
　
（２）本件補正後の特許請求の範囲
　「【請求項１】
　半導体基板上に形成された、同時に検査される複数の半導体集積回路装置よりなる半導体装置において、
　前記複数の半導体集積回路装置のそれぞれは、
　半導体集積回路と、
　外部から基準電圧が入力される基準電圧入力端子と、
　外部から前記複数の半導体集積回路装置のそれぞれに共通の電源供給線を介して供給された第１の電源電圧が入力される電源供給端子と、
　前記半導体集積回路に供給される第２の電源電圧が印加される内部電源端子と、
　前記第１の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御し、前記第２の電源電圧として前記内部電源端子を介して前記半導体集積回路に供給する電圧制御回路とを備え、
　前記電圧制御回路は、
前記検査時に、
【請求項２】　省略
【請求項３】　省略
【請求項４】
　半導体基板上に形成された複数の半導体集積回路装置を同時に検査する半導体装置の検査方法において、
　前記複数の半導体集積回路装置のそれぞれは、
　半導体集積回路と、内部電源端子と、基準電圧入力端子と、電源供給端子と、電圧制御回路とを備え、
　前記基準電圧入力端子に外部から基準電圧が入力され、
　前記電源供給端子に、外部から前記複数の半導体集積回路装置のそれぞれに共通の電源供給線を介して供給された第１の電源電圧が入力され、
　前記電圧制御回路は、
前記検査時に、
【請求項５】　省略
【請求項６】　省略」
　
　なお、アンダーラインは、補正箇所を示すために請求人が付したものである。
　
２　本件補正についての当審の判断
　本件補正は、補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「前記電圧制御回路は、前記共通の電源供給線が持つ抵抗によって前記電源供給線に生じる電圧降下に起因して、前記複数の半導体集積回路の配置部位によって異なる大きさで印加される前記第１の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御する」に関して、「前記電圧制御回路は、」の後に「前記検査時に、」を挿入することによって上記事項を限定することを含むものである。
　したがって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものと認められる。
　
（１）本願補正発明
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された事項により特定される発明（以下、「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかどうか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するか）について、以下検討する。
　ところで、本件補正の前後を通じてその請求項１には、「電圧制御回路」に関して、「前記第１の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御し」、「前記第１の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御する」と記載されている。
　これらの記載によると、「電圧制御回路」は「第１の電源電圧」を「基準電圧に一致するように制御」することになる。
　しかしながら、「第１の電源電圧」は、「外部から・・・供給された」ものであるから、そもそも「電圧制御回路」がこのような「第１の電源電圧」を制御することは不可能である。
　そこで、この点について本願明細書の発明の詳細な説明及び図面の記載を参照すると、図２に示された電圧制御回路に関して、「【００３９】バーンイン用電源供給端子２１に印加された電源電圧は、第２のｎ型ＭＯＳＦＥＴ２６・・・を介して内部電源端子２８に供給される。この内部電源端子２８の電位は第１の比較器２３によって基準電圧入力端子２２に入力された基準電圧と比較される。・・・該第１の比較器２３からの出力電圧は第１のｎ型ＭＯＳＦＥＴ２５を介して第２のｎ型ＭＯＳＦＥＴ２６のゲート電極に供給される。第１の比較器２３からの出力電圧は、Ｈｉｇｈレベルのときには第２のｎ型ＭＯＳＦＥＴ２６のゲートを開いて内部電源端子２８の電位を引き上げるように働き、Ｌｏｗレベルのときには第２のｎ型ＭＯＳＦＥＴ２６のゲートを閉じて内部電源端子１８の電位を引き下げるように働くので、内部電源端子１８に印可される電圧は常に基準電圧と一致するようになる。」と記載されている。
　この記載及び図２の回路構成からみて、電圧制御回路は、バーンイン用電源供給端子２１に印加された電源電圧、すなわち、「第１の電源電圧」を受けて、内部電源端子１８に印加される電圧、すなわち、「第２の電源電圧」を基準電圧と一致するように制御するのであるから、電圧制御回路が基準電圧と一致するように制御する対象は「第２の電源電圧」であって、「第１の電源電圧」ではない。
　したがって、請求項１の「電圧制御回路」に関する上記各記載は、それぞれ、本来正しくは、「前記第１の電源電圧を受けて第２の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御し」、「前記第１の電源電圧を受けて第２の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御する」と記載すべきところを、誤って、それぞれ、「前記第１の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御し」、「前記第１の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御する」と記載したものと認められる。
　よって、以上の点を踏まえ、本願補正発明を以下のとおり認定する。
　
　「【請求項１】
　半導体基板上に形成された、同時に検査される複数の半導体集積回路装置よりなる半導体装置において、
　前記複数の半導体集積回路装置のそれぞれは、
　半導体集積回路と、
　外部から基準電圧が入力される基準電圧入力端子と、
　外部から前記複数の半導体集積回路装置のそれぞれに共通の電源供給線を介して供給された第１の電源電圧が入力される電源供給端子と、
　前記半導体集積回路に供給される第２の電源電圧が印加される内部電源端子と、
　前記第１の電源電圧を受けて第２の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御し、前記第２の電源電圧として前記内部電源端子を介して前記半導体集積回路に供給する電圧制御回路とを備え、
　前記電圧制御回路は、前記検査時に、前記共通の電源供給線が持つ抵抗によって前記電源供給線に生じる電圧降下に起因して、前記複数の半導体集積回路の配置部位によって異なる大きさで印加される前記第１の電源電圧を受けて第２の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御することを特徴とする半導体装置。」
　
（２）引用例の記載事項・引用発明
　原査定の拒絶の理由に引用され、原出願の出願前に頒布された刊行物である特開平５−２３２１９７号公報（以下、「引用例」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　
（ａ）　「【０００１】【産業上の利用分野】本発明は電源電圧レギュレータ回路内蔵の集積回路およびその集積回路の高電圧スクリーニング試験方法、電源電圧マージン試験方法に関するものである。」
　
（ｂ）　「【０００２】【従来の技術】集積回路本体と集積回路本体に電源電圧を供給するための電源電圧レギュレータ回路とを内蔵する集積回路を図５に示す。図５の電源電圧レギュレータの従来の回路例を図６に示す。ＶEXT は集積回路に外部から印加する電源電圧で、ＶINT は内蔵している電源電圧レギュレータの出力電圧で集積回路本体の電源電圧として印加される。ＶREF0は基準電圧である。この回路ではＶINT は次式のように一定電圧となる。
【０００３】
【数１】　ＶINT ＝（１＋Ｒ２／Ｒ１）ＶREF0　（当審注：分数の記号を「／」で代替した。以下、同様。）
　
（ｃ）　「【０００７】通常、集積回路本体へ電源電圧を供給するための電源電圧レギュレータを内蔵する集積回路では、集積回路の外部から印加する電源電圧の変動による悪影響を受けないように、内蔵している電源電圧レギュレータ回路から常に一定の電圧を集積回路本体に供給している。集積回路の使用状態では以上のように一定電源電圧を集積回路本体に供給することが望ましい。
【０００８】ところが、定格電源電圧以上の電圧で実施する高電圧スクリーニングを実施する際および電源電圧マージンを評価する際に集積回路本体へ印加する電源電圧を変化させる必要がある。このため、集積回路の使用状態では集積回路本体に一定電源電圧を供給し、かつ内蔵している電源電圧レギュレータの出力電圧を集積回路の外部から可変できることが必要となる。」
　
（ｄ）　「【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の欠点を改善するために提案されたもので、その目的は集積回路本体の高電圧印加スクリーニングおよび集積回路本体の電源電圧マージンを評価できるように電源電圧レギュレータ回路の出力電圧を集積回路の外部から可変できる集積回路およびその集積回路の高電圧スクリーニング試験方法、電源電圧マージン試験方法を提供することにある。」
　
（ｅ）　「【００１３】
【課題を解決するための手段】上記の目的達成のため本発明では、集積回路に内蔵している電源電圧レギュレータ回路の出力電圧を変化させる端子を集積回路の外部に取り出し、その端子電圧を変化させるか或いはその端子と電源端子間に抵抗を接続することにより、電源電圧レギュレータ回路の出力電圧を変化させる手段を採用した。
【００１４】従って、本発明の構成は下記に示す通りである。即ち、本発明は集積回路本体と電源電圧レギュレータ回路を内蔵し、通常の状態では前記電源電圧レギュレータは一定の電圧を前記集積回路本体の電源電圧として供給する集積回路において、前記電源電圧レギュレータ回路の出力電圧を集積回路の外部から可変できることを特徴とする集積回路としての構成を有するものである。
【００１５】或いはまた、集積回路本体および集積回路本体に電源電圧を供給するための出力電圧可変の電源電圧レギュレータ回路を内蔵する集積回路について、欠陥を内在する製品を除去するスクリーニング試験を実施する際に前記集積回路のレギュレータ出力電圧を集積回路本体の定格電源電圧より高電圧に設定して高電圧で故障しやすい欠陥を内在している集積回路をスクリーニングすることを特徴とする集積回路の試験方法としての構成を有するものである。」
　
（ｆ）　「【００１８】【実施例１】図１に本発明の集積回路に内蔵する電源電圧レギュレータ回路の第１の実施例を示す。この回路を用いた本発明の全体構成は図５と同様の形式であり、図２に示す通りである。図１の回路で集積回路の外部に設けたＶREF の端子を開放状態にすれば、図６と同じ従来の回路になり(1) 式の一定電圧が出力される。集積回路の外部から基準電圧ＶREF を強制的に入力すると、内蔵している基準電圧発生回路の出力ノードの電圧はＶREF となる。このため、ＶINT は次式のようになる。
【００１９】
【数２】　ＶINT ＝（１＋Ｒ２／Ｒ１）ＶREF　  
【００２０】このようにＶINT は集積回路の外部から入力するＶREF に追従して変化できるようになる。
【００２１】本実施例の集積回路を用いると集積回路本体に対する高電圧スクリーニングの実施および電源電圧のマージン評価が可能となる。」
　
　・上記（ａ）、（ｄ）、（ｅ）及び（ｆ）から、
（ア）「高電圧スクリーニング試験が実施される集積回路」との技術事項が読み取れる。
　
　・図面の図１には、電源電圧レギュレータからの出力ＶINTが印加される端子が○印で示されており、該端子は図２の記載も勘案すると集積回路内の内部端子である。
　したがって、上記（ｆ）の記載、図面の図１及び図２の記載から、
（イ）「集積回路は、集積回路本体と、外部から基準電圧ＶREF が入力される第１の端子と、ＶEXT が入力される第２の端子と、集積回路本体に供給される電源電圧レギュレータの出力ＶINTが印加される内部端子と、出力ＶINTを基準電圧ＶREF に追従して変化させる電源電圧レギュレータとを備える」との技術事項が読み取れる。
　
　・　上記（ｆ）の「図１の回路で集積回路の外部に設けたＶREF の端子を開放状態にすれば、図６と同じ従来の回路になり(1) 式の一定電圧が出力される。」、上記（ｂ）の「図５の電源電圧レギュレータの従来の回路例を図６に示す。ＶEXT は集積回路に外部から印加する電源電圧で、ＶINT は内蔵している電源電圧レギュレータの出力電圧で集積回路本体の電源電圧として印加される。」との記載、図面の図１、図６の記載からみて、
（ウ）「ＶEXT は外部から集積回路に供給される電源電圧であり、該電源電圧ＶEXT を受けて電源電圧レギュレータは出力電圧ＶINT を集積回路本体の電源電圧ＶINT として集積回路本体に供給する」との技術事項が読み取れる。
　
　・したがって、上記（イ）及び（ウ）を併せて勘案すると、
（エ）「集積回路は、集積回路本体と、外部から基準電圧ＶREF が入力される第１の端子と、外部から前記集積回路に供給される電源電圧ＶEXT が入力される第２の端子と、前記集積回路本体に供給される電源電圧ＶINTが印加される内部端子と、前記電源電圧ＶEXT を受けて電源電圧INTを前記基準電圧ＶREF に追従して変化させ、前記電源電圧ＶINT として前記内部端子を介して前記集積回路本体に供給する電源電圧レギュレータとを備える」との技術事項が読み取れる。
　
　・上記（ｃ）の「高電圧スクリーニングを実施する際・・・に集積回路本体へ印加する電源電圧を変化させる必要がある。このため、集積回路の使用状態では集積回路本体に一定電源電圧を供給し、かつ内蔵している電源電圧レギュレータの出力電圧を集積回路の外部から可変できることが必要となる。」、上記（ｅ）の「スクリーニング試験を実施する際に前記集積回路のレギュレータ出力電圧を集積回路本体の定格電源電圧より高電圧に設定して高電圧で故障しやすい欠陥を内在している集積回路をスクリーニングする」、上記（ｆ）の「集積回路の外部から基準電圧ＶREF を強制的に入力すると、・・・ＶINT は次式のようになる。
【００１９】
【数２】　ＶINT ＝（１＋Ｒ２／Ｒ１）ＶREF  　
【００２０】このようにＶINT は集積回路の外部から入力するＶREF に追従して変化できるようになる。【００２１】本実施例の集積回路を用いると集積回路本体に対する高電圧スクリーニングの実施および電源電圧のマージン評価が可能となる」との記載及び図２の回路構成から、「電源電圧レギュレータは、高電圧スクリーニング試験を実施する際に、ＶINT を基準電圧ＶREF に追従して変化させる」との技術事項が読み取れ、上記（ウ）も併せて勘案すると、
（オ）「電源電圧レギュレータは、高電圧スクリーニングを実施する際に、電源電圧ＶEXT を受けてＶINT を基準電圧ＶREF に追従して変化させる」との技術事項が読み取れる。
　
　以上のことから、引用例には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
　「高電圧スクリーニング試験が実施される集積回路において、
　前記集積回路は、
　集積回路本体と、
　外部から基準電圧ＶREF が入力される第１の端子と、
　外部から前記集積回路に供給された電源電圧ＶEXT が入力される第２の端子と、
　前記集積回路本体に供給される電源電圧ＶINTが印加される内部端子と、
　前記電源電圧ＶEXT を受けて電源電圧ＶINT を前記基準電圧ＶREF に追従して変化させ、前記電源電圧ＶINT として前記内部端子を介して前記集積回路本体に供給する電源電圧レギュレータとを備え、
　前記電源電圧レギュレータは、前記高電圧スクリーニング試験を実施する際に、前記電源電圧ＶEXT を受けて電源電圧ＶINT を前記基準電圧ＶREF に追従して変化させる集積回路。」
　
（３）対比
　本願補正発明と引用発明とを対比する。
　・引用発明における「高電圧スクリーニング試験」、「集積回路」、「集積回路本体」、「基準電圧ＶREF 」、「第１の端子」、「電源電圧ＶEXT 」、「第２の端子」、「電源電圧ＶINT」、「内部端子」、「電源電圧レギュレータ」は、それぞれ、
本願補正発明における「検査」、「半導体集積回路装置」、「半導体集積回路」、「基準電圧」、「基準電圧入力端子」、「第１の電源電圧」、「電源供給端子」、「第２の電源電圧」、「内部電源端子」、「電圧制御回路」に相当する。
　・引用発明における「前記電源電圧ＶEXT を受けて電源電圧ＶINT を前記基準電圧ＶREF に追従して変化させ」と、本願補正発明における「前記第１の電源電圧を受けて第２の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御し（する）」とは、ともに、「前記第１の電源電圧を受けて第２の電源電圧を前記基準電圧に応じて制御し（する）」の点で共通する。
　・引用発明における「集積回路」（前者）は、本願補正発明における「半導体装置」（後者）を構成する「複数の半導体集積回路装置」のうちの１つに相当するから、前者と後者とは、ともに、「半導体集積回路装置」の点で共通する。
　
　してみると、両者は
［一致点］
　「検査される半導体集積回路装置において、
　前記半導体集積回路装置は、
　半導体集積回路と、
　外部から基準電圧が入力される基準電圧入力端子と、
　外部から前記半導体集積回路装置に供給された第１の電源電圧が入力される電源供給端子と、
　前記半導体集積回路に供給される第２の電源電圧が印加される内部電源端子と、
　前記第１の電源電圧を受けて第２の電源電圧を前記基準電圧に応じて制御し、前記第２の電源電圧として前記内部電源端子を介して前記半導体集積回路に供給する電圧制御回路とを備え、
　前記電圧制御回路は、前記検査時に、前記第１の電源電圧を受けて第２の電源電圧を前記基準電圧に応じて制御する半導体集積回路装置。」
で一致し、次の相違点１、２で相違する。
　
［相違点１］
　検査の対象が、本願補正発明では半導体基板上に形成された複数の半導体集積回路装置であるのに対し、引用発明では単独の集積回路であり、それに伴い、本願補正発明が、半導体基板上に形成された、同時に検査される複数の半導体集積回路装置よりなる半導体装置に係るものであり、第１の電源電圧は、複数の半導体集積回路装置のそれぞれに共通の電源供給線を介して供給され、前記共通の電源供給線が持つ抵抗によって前記電源供給線に生じる電圧降下に起因して、前記複数の半導体集積回路の配置部位によって異なる大きさで印加されるのに対し、引用発明は、単独の集積回路に係るものであり、電源電圧ＶEXT が、上記共通の電源供給線を介して供給されるものではない点。
［相違点２］
　電源電圧レギュレータの制御に関して、本願補正発明が、第２の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御するのに対し、引用発明は、電源電圧ＶINT を基準電圧ＶREF に追従して変化させる点。
　
（４）判断
　上記相違点について検討する。
　［相違点１］について
　半導体集積回路のスクリーニング試験において、ウェハ状態で試験するために、すなわち、半導体基板上に形成された複数の半導体集積回路装置よりなる半導体装置の各半導体集積回路装置を同時に試験するために、複数の半導体集積回路装置のそれぞれに共通の電源供給線を介して電源電圧を供給することは、例えば、原査定の拒絶の理由に引用された特開平３−３４５５５号公報、特開平５−５２９００号公報に示されるように周知である。
　引用発明に係る集積回路もウェハ単位で通常製造されるものであり、スクリーニング試験をウエハ状態で実施すれば効率的であることは明らかであるから、引用発明の集積回路もウェハ状態で複数同時に試験できるようにすべく、上記周知技術に示されるように、半導体基板上に形成された複数の集積回路のそれぞれに共通の電源供給線を介して電源電圧ＶEXT を供給するようにすることは当業者が容易に想到し得たことである。
　その場合には、上記共通の電源供給線には抵抗があるため（上記特開平３−３４５５５号公報の図面の第５図、第６図及びそれに関する「Ｒ，・・・は共通配線１２，１３の抵抗分である」（第６頁左上欄第１５行〜第１６行）との記載参照。）、その電圧降下により複数の集積回路にはその配置部位によって異なる大きさの電源電圧ＶEXT が印加されることになるから、上記相違点１に係る本願補正発明の構成は引用発明に上記周知技術を適用することにより必然的に得られることになる。
　そして、該構成によれば、各集積回路が内蔵する電源電圧レギュレータにはそれぞれ外部から基準電圧ＶREF が入力されるから、各集積回路の集積回路本体には安定化された電源電圧ＶINT が供給されることになり、上記共通の電源供給線の抵抗に起因して生じる集積回路の配置部位によって異なる大きさの電源電圧ＶEXT の影響を受けることはない。
　したがって、本願補正発明の目的、効果、すなわち、本願明細書に記載の「【００１５】・・・ウェハ上における半導体集積回路装置が配置される部位に拘らず供給される電圧が等しくなるようにする」との目的、「【００４７】・・・半導体集積回路装置が形成されている部位とは無関係に、一定の電源電圧が各半導体集積回路に供給されるので、電圧降下等の電圧変動の影響を受けることなく各半導体集積回路装置に対して同時に検査又はバーンインを行なうことができる。」との効果も、引用発明に上記周知技術を適用した結果必然的に達成されるものであり、格別のものではない。
　［相違点２］について
　引用例の上記「（２）」の「（ｆ）」の記載からみて、引用発明の「前記電源電圧レギュレータは、・・・電源電圧ＶINT を前記基準電圧ＶREF に追従して変化させる」が、次の（ｉ）、（ｉｉ）のうちのいずれか一方の制御を電源電圧レギュレータに行わせることを意味していることは明らかである。
（ｉ）電源電圧ＶINT を前記基準電圧ＶREF に一致するように変化させる、
　すなわち、引用例の上記記載（ｂ）、（ｆ）の式【数１】、【数２】でＲ２＝０とする。
（ｉｉ）電源電圧ＶINT を前記基準電圧ＶREF に比例するように変化させる、
　すなわち、上記【数１】、【数２】でＲ２＞０とする。
　そして、（ｉ）、（ｉｉ）のいずれを選択するかは、外部から与えることができる基準電圧ＶREF の大きさ、必要とする電源電圧ＶINTの大きさ等に応じて当業者が適宜決定すればよいから、上記（ｉ）の制御を選択して、電源電圧ＶINT を前記基準電圧ＶREF に一致するように制御することは当業者が容易になし得ることである。
　
　そして、本願補正発明の効果は、上述したように、引用発明に周知技術を適用することにより必然的に達成されるものであり、格別のものではない。
　
　したがって、本願補正発明は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし６は、平成１７年１０月３１日付けの手続補正により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし６（上記「第２」の「１」の「（１）本件補正前の特許請求の範囲」の請求項１ないし６）のとおりのものと認められるところ、本願の請求項１には、上記「第２」の「２」の「（１）本願補正発明」において指摘した誤記と同様の誤記があると認められるので、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）を以下のとおり認定する。
　
　「【請求項１】　半導体基板上に形成された、同時に検査される複数の半導体集積回路装置よりなる半導体装置において、
　前記複数の半導体集積回路装置のそれぞれは、
　半導体集積回路と、
　外部から基準電圧が入力される基準電圧入力端子と、
　外部から前記複数の半導体集積回路装置のそれぞれに共通の電源供給線を介して供給された第１の電源電圧が入力される電源供給端子と、
　前記半導体集積回路に供給される第２の電源電圧が印加される内部電源端子と、
　前記第１の電源電圧を受けて第２の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御し、前記第２の電源電圧として前記内部電源端子を介して前記半導体集積回路に供給する電圧制御回路とを備え、
　前記電圧制御回路は、前記共通の電源供給線が持つ抵抗によって前記電源供給線に生じる電圧降下に起因して、前記複数の半導体集積回路の配置部位によって異なる大きさで印加される前記第１の電源電圧を受けて第２の電源電圧を前記基準電圧に一致するように制御することを特徴とする半導体装置。」
　
第４　引用例の記載事項・引用発明
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例の記載事項及び引用発明は、上記「第２」の「２」の「（２）」に記載したとおりのものである。
　
第５　本願発明と引用発明との対比・判断
　本願発明は、上記「第２」で検討した本願補正発明の発明特定事項から発明を特定するために必要な事項についての上記限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、さらに他の限定事項を付加したものに相当する本願補正発明が前記「第２」の「２」の「（４）」に記載したとおり、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第６　むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　そして、本願発明（請求項１に係る発明）が特許を受けることができないものであるから、その余の請求項２ないし６に係る発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。