【手続補正書】
【提出日】平成24年10月1日(2012.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板を複数備えたインクジェット記録ヘッドであって、
各記録素子基板は、
複数の前記流路と連通しインクを吐出する複数のインク吐出口が配された第１の面と、
前記第１の面と交差して前記記録素子基板の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチングによって形成された第２の面と、を有する、
インクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記記録素子基板は、前記第２の面同士が互いに当接するように配置されている、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記第２の面は、前記記録素子基板間の位置決め基準面として機能する、請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記記録素子基板を支持する支持部材を有し、
各記録素子基板は、前記第２の面同士が当接するように前記支持部材上に配置されている、請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記支持部材は位置決め部を有し、
前記記録素子基板は、前記位置決め部に前記第２の面が当接するように配置されている、請求項１から４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記第２の面はドライエッチングにより形成されている、請求項１から５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板であって、
前記複数の流路と連通しインクを吐出する複数のインク吐出口が配された第１の面と、
前記第１の面と交差して前記記録素子基板の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチングによって形成された第２の面と、を有する、
記録素子基板。
【請求項８】
支持部材上に記録素子基板が形成されたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
主面にインクを吐出するための圧力を発生する吐出圧力発生素子を備え、前記主面と交差する側面の少なくとも一部がエッチングされた前記記録素子基板を用意するステップと、
前記記録素子基板の前記エッチングされた側面の一部を前記記録素子基板の位置決めのための位置決め部に当接させるステップと、
前記記録素子基板と前記位置決め部との当接状態を維持した状態で前記記録素子基板と前記支持部材とを固定するステップと、を有する、
インクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記主面と交差する前記側面の少なくとも一部をエッチングするとともに、前記吐出圧力発生素子にインクを供給するためのインク供給口をエッチングにより形成する、請求項８に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記位置決め部は前記支持部材に形成され、該位置決め部に前記記録素子基板の前記エッチングされた側面の一部を突き当てる、請求項８または９に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記記録素子基板の前記エッチングされた側面の一部を位置決め用の治具の位置決め基準に突き当て、該記録素子基板を位置決めするステップと、
位置決めされた前記記録素子基板を前記支持部材側へ移動するステップと、
前記記録素子基板を前記支持部材上に配置するステップと、を有する、
請求項１０に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記エッチングされた側面の一部は、ドライエッチングにより形成される、請求項８から１１のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路と連通しインクを吐出する複数のインク吐出口が配された第１の面と、該第１の面と交差して該記録素子基板の側面を形成する第２の面と、を有する、記録素子基板の製造方法であって、
前記第２の面の少なくとも一部をエッチングするステップを有する、記録素子基板の製造方法。
【請求項１４】
前記第２の面は、複数の前記記録素子基板間の位置決め基準面として機能する、請求項１３に記載の記録素子基板の製造方法。
【請求項１５】
インクを吐出する吐出口を備える部材と、前記吐出口にインクを供給するための供給口を備える基板と、を夫々備える第１の記録素子基板及び第２の記録素子基板と、
前記第１及び前記第２の記録素子基板を支持する支持部材と、
を有するインクジェット記録ヘッドであって、
互いに対向する、前記第１の記録素子基板の前記基板の面と、前記第２の記録素子基板の前記基板の面は、共にエッチングによって形成された面であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１６】
前記供給口はエッチングによって形成されている、請求項１５に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１７】
前記基板の面及び前記供給口はドライエッチングにより形成されている、請求項１５または１６に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１８】
インクを吐出する吐出口を備える部材と、前記吐出口にインクを供給するための供給口を備え前記部材と第１の面側で当接する基板と、を夫々備える第１の記録素子基板及び前記第２の記録素子基板と、
所定方向に配列される前記第１及び前記第２の記録素子基板各々の前記基板の第１の面の裏面である第２の面を支持する支持部材と、
を有するインクジェット記録ヘッドであって、
前記第１及び前記第２の記録素子基板各々に含まれる前記基板の第１の面及び前記第２の面と交差する面の内、互いに近接する面はエッチングによって形成された面であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１９】
前記第１及び前記第２の記録素子基板各々に含まれる前記基板の前記供給口及び前記互いに近接する面はドライエッチングにより形成されている、請求項１８に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項２０】
インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
インクを吐出するための圧力を発生する素子を備える第１の面と、該第１の面と交差しエッチングにより形成された第２の面と、を備える第１記録素子基板及び第２の記録素子基板を用意する工程と、
前記第２の面同士が対向するように前記第１及び前記第２の記録素子基板を支持基板上に固定する工程と、を有する、
インクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２１】
インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
第１面と第２面とを貫通する、インクを供給するための供給口を備え、前記第１の面と交差する面のうち少なくとも一面がエッチングにより形成された面である基板を備える第１の記録素子基板及び第２の記録素子基板を用意する工程と、
前記エッチングされた面同士が対向するように前記第１及び前記第２の記録素子基板を支持基板上に固定する工程と、を有する、
インクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２２】
前記第１及び前記第２の記録素子基板における前記供給口と、前記エッチングにより形成された面をドライエッチングにより形成する、請求項２１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一態様のインクジェット記録ヘッドは、インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板を複数備えたインクジェット記録ヘッドであって、各記録素子基板は、複数の流路と連通しインクを吐出する複数のインク吐出口が配された第１の面と、第１の面と交差して記録素子基板の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチングによって形成された第２の面と、を有する。本発明の別のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出する吐出口を備える部材と、吐出口にインクを供給するための供給口を備える基板と、を夫々備える第１の記録素子基板及び第２の記録素子基板と、第１及び第２の記録素子基板を支持する支持部材と、を有するインクジェット記録ヘッドであって、互いに対向する、第１の記録素子基板の基板の面と、第２の記録素子基板の基板の面は、共にエッチングによって形成された面である。本発明のさらに別のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出する吐出口を備える部材と、吐出口にインクを供給するための供給口を備え部材と第１の面側で当接する基板と、を夫々備える第１の記録素子基板及び第２の記録素子基板と、所定方向に配列される第１及び第２の記録素子基板各々の基板の第１の面の裏面である第２の面を支持する支持部材と、を有するインクジェット記録ヘッドであって、第１及び第２の記録素子基板各々に含まれる基板の第１の面及び第２の面と交差する面の内、互いに近接する面はエッチングによって形成された面である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の一態様の記録素子基板は、インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板であって、複数の流と連通しインクを吐出する複数のインク吐出口が配された第１の面と、第１の面と交差して記録素子基板の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチングによって形成された第２の面と、を有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の一態様のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、支持部材上に記録素子基板が形成されたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、主面にインクを吐出するための圧力を発生する吐出圧力発生素子を備え、主面の側面の少なくとも一部がエッチングされた記録素子基板を用意するステップと、記録素子基板のエッチングされた側面の一部を記録素子基板の位置決めのための位置決め部に当接させるステップと、記録素子基板と位置決め部との当接状態を維持した状態で記録素子基板と支持部材とを固定するステップと、を有する。本発明の別のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するための圧力を発生する素子を備える第１の面と、該第１の面と交差しエッチングにより形成された第２の面と、を備える第１記録素子基板及び第２の記録素子基板を用意する工程と、第２の面同士が対向するように第１及び第２の記録素子基板を支持基板上に固定する工程と、を有する。本発明のさらに別のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、第１面と第２面とを貫通する、インクを供給するための供給口を備え、第１の面と交差する面のうち少なくとも一面がエッチングにより形成された面である基板を備える第１の記録素子基板及び第２の記録素子基板を用意する工程と、エッチングされた面同士が対向するように第１及び第２の記録素子基板を支持基板上に固定する工程と、を有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の一態様の記録素子基板の製造方法は、インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路と連通しインクを吐出する複数のインク吐出口が配された第１の面と、第１の面と交差して記録素子基板の側面を形成する第２の面と、を有する、記録素子基板の製造方法であって、第２の面の少なくとも一部をエッチングするステップを有する。