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　平成　７年特許願第５２４５１２号「二次電子の偏向ユニットを有する粒子光学機器」拒絶査定不服審判事件〔平成　７年　９月２８日国際公開、ＷＯ９５／２６０４１、平成　８年１１月　５日国内公表、特表平　８−５１０５９６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本願は、平成７年３月７日（パリ条約による優先権主張１９９４年３月１８日、欧州特許機構）を国際出願日とする出願であって、平成１７年９月２６日付け（発送日同年１０月４日）で拒絶査定がなされ、これに対し、平成１７年１２月２９日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同日付けで手続補正がなされたものである。
　
　
２．平成１７年１２月２９日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）について
　本件補正は、特許請求の範囲の
　
「　【請求項１】
　機器の光軸（４）に沿った第１方向に生じる荷電粒子のビーム（３４）を発生する粒子源を有し、当該粒子源は当該粒子ビーム（３４）により試験される試料（１４）を走査するために配置されたものであり、さらに、前記試料が配置された領域の範囲にビーム焦点を焦点合わせする焦点合わせレンズ（６）と、走査される前記試料の焦点合わせ領域から発生する荷電粒子（３２）を検出する検出素子（２４、２６）とを有し、当該検出素子（２４，２６）は、電気双極子（２４）及び検出器（２５）を有し、前記電気双極子の電界は前記光軸を横切り、交差した形で延在し、それ故、前記光軸に対する前記電界の合成領域を規定する粒子光学機器において、
　前記検出素子（２４，２６）は、少なくとも一つの更なる電気双極子（３）であって、その更なる電気双極子の位置は第１の双極子の位置に対応する光軸の方向にずらされ、当該光軸の領域におけるその更なる電気双極子の電界は当該第１の双極子の電界と反対であり、前記第１方向に生じる荷電粒子のビーム（３４）が正味の角度偏向を有しないようなかつ前記検出素子の全ての双極子の前記光軸に沿って合成領域の代数和が実質的にゼロであるような強度を持つ、少なくとも一つの更なる電気双極子（３）を有することを特徴とする粒子光学機器。
　　【請求項２】
　請求項１に記載の粒子光学機器において、前記検出素子（２４）は三つの電気双極子（３６，３８，４０，４２）を有し、それらの三つの電気双極子は相互に対応して前記光軸の方向にずらされており、中央双極子（３８，４０）の電界は前記対向方向に整合され、 前記光軸に沿った前記中央双極子（３８，４０）の合成領域は他の二つの双極子（３６，４２）の各々の合成領域の二倍の大きさであることを特徴とする粒子光学機器。
　　【請求項３】
　請求項１または２に記載の粒子光学機器において、 少なくとも一つの双極子に、光軸を中心として略々120度の角度で納められた電極（４４，４６）が設けられたことを特徴とする粒子光学機器。
　　【請求項４】
　請求項１乃至３の何れか一項に記載の粒子光学機器において、 前記検出器の双極子を構成する全ての電極が、周囲から電気的に絶縁されることを特徴とする粒子光学機器。
　　【請求項５】
　請求項１乃至４の何れか一項に記載の粒子光学機器において、少なくとも一つの前記双極子の前記電極の一つが、荷電粒子が通過するように伝達することを特徴とする粒子光学機器。
　　【請求項６】
請求項１乃至５の何れか一項に記載の粒子光学機器において、 前記検出素子の前記双極子が、界浸レンズ（８）の穴に設けられることを特徴とする粒子光学機器。」
を、
　
「　【請求項１】
　機器の光軸に沿った第１方向に生じる荷電粒子のビームを発生する粒子源を有し、当該粒子源は当該粒子ビームにより試験される試料を走査するために配置されたものであり、さらに、前記試料が配置された領域の範囲にビーム焦点を焦点合わせする焦点合わせレンズと、走査される前記試料の焦点合わせ領域から発生する荷電粒子を検出する検出素子とを有し、当該検出素子は、電気双極子及び検出器を有し、前記電気双極子の電界は前記光軸を横切り、交差した形で延在し、それ故、前記光軸に対する前記電界の合成領域を規定する粒子光学機器において、
　前記検出素子は、少なくとも一つの更なる電気双極子であって、その更なる電気双極子の位置は第１の双極子の位置に対応する光軸の方向にずらされ、当該光軸の領域におけるその更なる電気双極子の電界は当該第１の双極子の電界と反対であり、前記第１方向に生じる荷電粒子のビームが正味の角度偏向を有しないようなかつ前記検出素子の全ての双極子の前記光軸に沿って合成領域の代数和が実質的にゼロであるような強度を持つ、少なくとも一つの更なる電気双極子を有することを特徴とする粒子光学機器。
　　【請求項２】
　請求項１に記載の粒子光学機器において、前記検出素子は三つの電気双極子を有し、それらの三つの電気双極子は相互に対応して前記光軸の方向にずらされており、中央双極子の電界は前記対向方向に整合され、 前記光軸に沿った前記中央双極子の合成領域は他の二つの双極子の各々の合成領域の二倍の大きさであることを特徴とする粒子光学機器。
　　【請求項３】
　請求項１または２に記載の粒子光学機器において、 少なくとも一つの双極子に、光軸を中心として略々120度の角度で納められた電極が設けられたことを特徴とする粒子光学機器。
　　【請求項４】
　請求項１乃至３の何れか一項に記載の粒子光学機器において、 前記検出器の双極子を構成する全ての電極が、周囲から電気的に絶縁されることを特徴とする粒子光学機器。
　　【請求項５】
　請求項１乃至４の何れか一項に記載の粒子光学機器において、一つの前記双極子の前記電極の少なくとも一つが、荷電粒子を通過するようにすることを特徴とする粒子光学機器。
　　【請求項６】
請求項１乃至５の何れか一項に記載の粒子光学機器において、 前記検出素子の前記双極子が、界浸レンズの穴に設けられることを特徴とする粒子光学機器。」
　
と補正するものである。
　
　上記補正は、補正前の特許請求の範囲に括弧を用いて記載し、発明の詳細な説明中のものと一部整合のとれていなかった符号をすべて削除し、請求項５に記載した「少なくとも一つの前記双極子の前記電極の一つが、」及び「が通過するように伝達する」を、それぞれ、「一つの前記双極子の前記電極の少なくとも一つが、」及び「を通過するようにする」に補正するものであって、これらは、平成６年改正前特許法第１７条の２第３項第４号の明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当し、新規事項を追加するものでもないから、上記補正を認める。
　
　
３．本願発明について
　平成１７年１２月２９日付けの手続補正は上記のとおり認められたので、本願の請求項１〜６に係る発明は、上記手続補正書により補正された明細書及び図面の記載から見て、その特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は次のとおりである。
　
「【請求項１】機器の光軸に沿った第１方向に生じる荷電粒子のビームを発生する粒子源を有し、当該粒子源は当該粒子ビームにより試験される試料を走査するために配置されたものであり、さらに、前記試料が配置された領域の範囲にビーム焦点を焦点合わせする焦点合わせレンズと、走査される前記試料の焦点合わせ領域から発生する荷電粒子を検出する検出素子とを有し、当該検出素子は、電気双極子及び検出器を有し、前記電気双極子の電界は前記光軸を横切り、交差した形で延在し、それ故、前記光軸に対する前記電界の合成領域を規定する粒子光学機器において、
　前記検出素子は、少なくとも一つの更なる電気双極子であって、その更なる電気双極子の位置は第１の双極子の位置に対応する光軸の方向にずらされ、当該光軸の領域におけるその更なる電気双極子の電界は当該第１の双極子の電界と反対であり、前記第１方向に生じる荷電粒子のビームが正味の角度偏向を有しないようなかつ前記検出素子の全ての双極子の前記光軸に沿って合成領域の代数和が実質的にゼロであるような強度を持つ、少なくとも一つの更なる電気双極子を有することを特徴とする粒子光学機器。」
　
　
４．引用例に記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された本願の優先権主張の日前である昭和６１年１２月１５日に頒布された刊行物である特開昭６１−２８４０３９号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面とともに、
　
（１−１）「高集積回路内の欠陥位置を突き止めるために特に有用なことは、検査すべきデバイスの選定された接続点における電位の時間的変化を定量的に測定することである。この場合、たとえば変動形走査電子顕微鏡の電気光学的カラム内で作られた一次電子が測定点上に位置決めされ、測定点から放出された二次電子のエネルギー分布の、デバイスの電位に依存するずれがスペクトロメータにて測定される。」（２頁右下欄１行〜９行）
　
（１−２）「試料たとえば集積回路の電位を定量的に測定するために、電子ビーム式測定装置の電子光学的カラム内で発生された一次電子ビームは検査すべき測定点に位置決めされ、その測定点の電位に依存する二次電子のエネルギー分布のずれが逆静電界型スペクトロメータによつて測定される。」（３頁右上欄８行〜１３行）
　
（１−３）「このポテンシヤル障壁の上部において運動エネルギーを備えた二次電子は逆静電界電極Ｇ２を通過し、二次電子スペクトロメータの偏向要素内へ到達し、ここでその二次電子はたとえば１２０ボルトの電位ＶＧ３を印加されている平坦状格子電極Ｇ３の電界内へ偏向され、第８図には図示されていない検出器ＤＴに向かつて矢印の方向へ横方向に加速される。」（３頁左下欄１２行〜１９行）
　
（１−４）「第１図および第２図は本発明による逆静電界型スペクトロメータの第１の実施例の要部である偏向要素を示す。この偏向要素は第８図に基づく逆静電界型スペクトロメータに組込まれる。本発明によれば、この偏向要素は正電位ＶＧＮ（当審注：「ＶＤＮ」の誤記。）を印加されている網電極ＤＮを有する。この網電極ＤＮは、この網電極に対して対称配置されて負電位ＶＤＥを印加されている偏向電極ＤＥと、網電極ＤＮおよび偏向電極ＤＥの間に配置されたケース部品ＧＨと共に、ビーム軸に対して同心的に位置する中空円筒体の套面を形成し、それにより偏向要素の対称軸と光学軸ＯＡとが一致するようになる。逆静電界電極Ｇ２を通つて偏向要素内へ到達した二次電子の全部を出来る限り検出器の方向に向けて偏向するために、円筒体の套面の一部をなす偏向電極ＤＥおよび網電極ＤＮが光学軸ＯＡから見てそれぞれ形成する角度２αは１００〜１４０°の間の大きさにすべきである。」（３頁右下欄１２行〜４頁左上欄１０行）
　
（１−５）「偏向電極ＤＥと網電極ＤＮとに逆極性の同一電位（ＶＤＥ＝−ＶＤＮ）を印加すると、特に有利である。この場合には、偏向要素内の電界は逆対称になり、光学軸ＯＡの周囲における電界の２つの四極子成分が消失する。さらに、角度α＝６０°に選定すると、電界の３つの六極子成分が消失し、それにより一次電子ビームの２つまたは３つの非点収差が充分に回避され得る。このような条件の下に本発明による偏向要素の内部に構成された電位分布は第３図および第４図に示されている。」（４頁右上欄１５行〜左下欄６行）
　
が記載されている。
　
　そして、引用例１に記載された、変動形走査電子顕微鏡が、電子源と、試料が配置された領域の範囲に一次電子ビーム焦点を焦点合わせする焦点合わせレンズとを有することは、走査電子顕微鏡として当然である。
　さらに、本願発明１における「合成領域」は、「field integral（電界積分）」の訳と認められ、このような「field integral（電界積分）」は、引用例１に記載された、変動形走査電子顕微鏡においても、偏向要素内に光学軸ＯＡを横切り、交差した形で電界が延在していることが明らかであるから、光学軸ＯＡを積分路とした偏向要素の電界の電界積分として定義できる。
　したがって、これらの事項によると、引用例１には、つぎのとおりの発明、
　
「変動形走査電子顕微鏡の光学軸ＯＡに沿った第１方向に生じる一次電子ビームを発生する電子源を有し、当該電子源は当該一次電子ビームにより試験される試料を走査するために配置されたものであり、さらに、前記試料が配置された領域の範囲に一次電子ビーム焦点を焦点合わせする焦点合わせレンズと、走査される前記試料の焦点合わせ領域から発生する二次電子を検出する偏向要素および検出器ＤＴとを有し、当該偏向要素および検出器ＤＴは、網電極ＤＮおよび偏向電極ＤＥからなる偏向要素及び検出器ＤＴを有し、前記偏向要素の電界は前記光学軸ＯＡを横切り、交差した形で延在し、それ故、前記光学軸ＯＡに対する前記電界の電界積分を規定することを特徴とする変動形走査電子顕微鏡。」（以下、これを「引用例１に記載の発明」という。）
　　
が記載されているものと認める。
　
（２）対比・判断
　本願発明１と引用例１に記載の発明とを対比する。
　引用例１に記載の発明における「変動形走査電子顕微鏡」、「光学軸ＯＡ」、「一次電子ビーム」、「電子源」、「一次電子ビーム」、「試料」、「一次電子ビーム」、「焦点合わせレンズ」、「二次電子」、「偏向要素および検出器ＤＴ」、「網電極ＤＮおよび偏向電極ＤＥからなる偏向要素」、「検出器ＤＴ」、「電界」、「変動形走査電子顕微鏡」は、それぞれ、
　本願発明１における「機器」、「光軸」、「荷電粒子のビーム」、「粒子源」、「粒子ビーム」、「試料」、「ビーム」、「焦点合わせレンズ」、「荷電粒子」、「検出素子」、「電気双極子」、「検出器」、「電界」、「粒子光学機器」に相当する。
　また、引用例１に記載の発明における「電界積分」は、光学軸ＯＡを積分路とした偏向要素の電界の電界積分であるから、本願発明１における「合成領域」に相当する。
　
　したがって、両者は、
　
【一致点】
「機器の光軸に沿った第１方向に生じる荷電粒子のビームを発生する粒子源を有し、当該粒子源は当該粒子ビームにより試験される試料を走査するために配置されたものであり、さらに、前記試料が配置された領域の範囲にビーム焦点を焦点合わせする焦点合わせレンズと、走査される前記試料の焦点合わせ領域から発生する荷電粒子を検出する検出素子とを有し、当該検出素子は、電気双極子及び検出器を有し、前記電気双極子の電界は前記光軸を横切り、交差した形で延在し、それ故、前記光軸に対する前記電界の合成領域を規定することを特徴とする粒子光学機器。」
で一致し、
　
【相違点】
　「本願発明１では、検出素子は、少なくとも一つの更なる電気双極子であって、その更なる電気双極子の位置は第１の双極子の位置に対応する光軸の方向にずらされ、当該光軸の領域におけるその更なる電気双極子の電界は当該第１の双極子の電界と反対であり、前記第１方向に生じる荷電粒子のビームが正味の角度偏向を有しないようなかつ前記検出素子の全ての双極子の前記光軸に沿って合成領域の代数和が実質的にゼロであるような強度を持つ、少なくとも一つの更なる電気双極子を有するのに対して、
　引用例１に記載の発明では、偏向要素および検出器ＤＴは、そもそも、少なくとも一つの更なる電気双極子を有していない点」
で相違する。
　　
　そこで、上記【相違点】について検討する。
　例えば、原査定の拒絶の理由に引用された本願の優先権主張の日前である昭和６０年１１月６日に頒布された刊行物である実願昭５９−５３３５０号（実開昭６０−１６６９６７号）のマイクロフィルム（以下、「引用例２」という。）に、
　
（２−１）「従来のＳＥＭは、信号検出器が対物レンズの下部の試料との間に配置されているが最近では、対物レンズとコンデンサーレンズの間に配置した二次電子検出方式が用いられ、検出部に印加する後段加速電界により電子光学軸が軸外に偏向され軸ズレになる欠点がある。」（明細書１頁１９行〜２頁４行）
　
（２−２）「本考案の目的は、二次電子検出器の後段加速電圧の電界により電子線が光学軸よりズレた分を補正する偏向装置により光学軸に戻せるようにすることが目的である。」（明細書２頁８行〜１１行）
　
（２−３）「本考案の動作原理を説明すると、ウエーネルト３、アノード４で加速された電子線は光軸上Ｏを通り試料１８に照射される。このとき、二次電子検出器１２に印加されている＋１０ＫＶの電圧の電界によりΔｒだけ検出器側に引き寄せられる。」（明細書４頁３行〜７行）
　
（２−４）「本考案の実施によれば、二次電子検出器１２の後段加速電圧の電界で軸ズレがあらかじめ補正してあるためなくなる。」（明細書５頁４行〜６行）
　
と記載されているように、
　「従来のＳＥＭには、二次電子検出器の電界で電子線が偏向され軸ズレになる欠点があること、そして、ズレた分を補正する偏向装置により電子線を光学軸に戻して、軸ズレをなくすことが必要である」という技術課題が、本願の優先権主張の日前周知である。
　なお、この周知の技術課題は、特開平３−１０５８３７号公報にも、「この原因は検出器電界による偏向作用により一次電子線の軌道が変化し、レンズの軸外収差を受けるからである。」（２頁左上欄１６行〜１８行）、「以上は本発明の一実施例であるが、低倍率で分解能の低下が分かるほど一次電子線に影響を与えている場合には、この影響を補正することもできる。すなわち、倍率設定器１０に連動して補正信号発生器１３から電子線軸補正器１４に信号を与えて、常にレンズ３の軸上を一次電子線が通過するようにすれば分解能低下を防止することができる。」（２頁左下欄１７行〜同右上欄４行）のように記載されている。
　
　そして、原査定の拒絶の理由に引用された本願の優先権主張の日前である昭和６３年９月１２日に頒布された刊行物である特開昭６３−２１８１３６号公報（以下、「引用例３」という。）に、
　
（３−１）「第３図は本発明の実施例第１図において、第２電極の後方に更にブランキング第３電極２３（以下第３電極）を配設した本発明の実施例である。
　第３電極２３への電圧印加は電源３３によって行なわれ、電源３３は制御装置４によって制御される。
　第４図ａは、第３図において光軸（Ｚ軸）１を含むＹＺ平面での当該荷電ビームブランキング装置主要部の断面図を示したものである。
　動作原理は前述の第１図の実施例とほぼ同様であり、第３電極３１の作用の有無が異なる。
　先ず第４図ｂにおいて、第１電極２１に印加される電圧により、第１電極２１内に静電界Ｅ１が−Ｙ方向に形成されると、電子ビームは＋Ｙ方向に偏向されるが、当該電界Ｅ１は該電子ビームを絞り部材５で遮断するには不十分な強度であるので、当該電子ビームは絞り部材５の開孔部を通過して第２電極２２へ入射する。第２電極２２内では＋Ｙ方向に形成されている電界Ｅ２により当該電子ビームは−Ｙ方向に偏向され第３電極２３へ入射する。第３電極２３内では電界Ｅ３を−Ｙ方向に形成すれば、当該電子ビームは＋Ｙ方向に偏向され、光軸１上をＺ軸方向（光軸方向）に沿って試料６に至る。
　以上の如く、第１電極２１内に形成される電界Ｅ１が当該電子ビームを絞り部材５によって遮断するに及ばないときにおいても、第２電極２２内に形成される電界Ｅ２、第３電極２３内に形成される電界Ｅ３を適切に選定すれば、当該電子ビームは、第３電極２３を出射したとき、即ち当該荷電ビームブランキング装置を出射したときには、光軸１上を光軸方向（Ｚ軸方向）に進行しており、試料６上の所定の照射位置６０を照射しており、所定外の位置を照射することはない。」（３頁右上欄４行〜左下欄１７行）
　
（３−２）「第３の実施例の場合は、当該荷電ビームブランキング装置を出射した荷電ビームは、光軸１上を光軸１に沿って進行するようにできるので、集束レンズに対しても光軸１上より入射し品質低下という問題は生ぜず、適用範囲が拡大するという特徴を有している。」（３頁右下欄１６行〜４頁左上欄１行）
　
と記載されているように、
　電子ビームの軸ズレをなくすための、少なくとも一つの更なる電気双極子である、複数の電極２２，２３であって、これらの電極の位置は電極２１の位置に対応する光軸１の方向にずらされ、光軸１の領域における電極２２の電界は電極２１の電界と反対であり、電極２１の電界強度に対して、電極２３を出射した電子ビームが光軸１上を光軸１に沿って進行するような電界強度を持つ、すなわち、電極２１の電界強度に対して、電子ビームが正味の角度偏向を有しないようなかつ全ての電極２１，２２，２３の光軸１に沿っての電界積分の代数和が実質的にゼロとなるような電界強度を持つ、複数の電極２２，２３が、本願の優先権主張の日前公知である。
　
　したがって、引用例１に記載の発明における、偏向要素および検出器ＤＴに対して、引用例２に記載の周知の技術課題を解決すべく、引用例３に記載の複数の電極２２，２３を付加し、本願発明１のごとく構成することは、当業者が容易になし得ることである。
　
　そして、本願発明１の効果は、引用例１に記載された発明、引用例２に記載された周知の技術課題、及び、引用例３に記載された発明に基づいて当業者が予測可能な範囲内のものである。
　
　したがって、本願発明１は、引用例１に記載された発明、引用例２に記載された周知の技術課題、及び、引用例３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明１は、引用例１に記載された発明、引用例２に記載された周知の技術課題、及び、引用例３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願発明１が特許を受けることができないものであるから、その余の請求項２〜６に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。