【事件の表示】
　平成１０年特許願第５０１５８１号「マルチレベル基板処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年１２月１８日国際公開、ＷＯ９７／４８１２６、平成１２年　９月１２日国内公表、特表２０００−５１２０８２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成９年４月２３日の国際出願（パリ条約に基づく優先権主張、１９９６年６月１３日、アメリカ合衆国）であって、平成１９年１月１８日付拒絶理由通知に対して同年７月３０日付で手続補正がなされた後、平成２０年１月３１日付で拒絶査定がなされたものである。そして、平成２０年５月１３日に拒絶査定を不服とする審判が請求され、同年６月１２日付で明細書を補正対象とする手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされている。
　
２．本件補正についての補正却下の決定
【補正却下の決定の結論】
　本件補正を却下する。
　
【理由】
2.1　本件補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲を当該手続補正書に記載のとおりに補正するものであるところ、請求項１は、下記の通り補正されている。
＜補正前＞
「搬送チャンバと、基板を前記搬送チャンバに対して出し入れする搬送機構とを有する基板搬送部と、
　前記搬送チャンバに固定接続されて、第１の処理チャンバは第２の処理チャンバよりも上方の面内に鉛直方向に配置され、前記第１及び第２の処理チャンバは前記搬送チャンバに対して別々且つ独立に取り付けられ
ていて
　前記搬送機構は、前記第１および第２の処理チャンバに対して基板を別々に搬送することを特徴とする基板処理装置。」
＜補正後＞
「搬送チャンバと、基板を前記搬送チャンバに対して出し入れする搬送機構とを有する基板搬送部と、
　前記搬送チャンバに固定接続されて、第１の処理チャンバは第２の処理チャンバよりも上方の面内に鉛直方向に配置され、前記
搬送チャンバ並びに
前記第１及び第２の処理チャンバが
るように鉛直にオフセットする機構を有し、
　前記搬送機構は、前記第１および第２の処理チャンバに対して基板を別々に搬送することを特徴とする基板処理装置。」
　なお、下線は補正箇所を明りょうにする目的で当審が付したものである。
　
2.2　補正の適否の判断
　審判請求人は、平成２０年７月２４日付の手続補正書（方式）の【請求の理由】において、本件補正は明りょうでない記載の釈明を目的とするものであると主張している。しかしながら、本件補正は、拒絶理由通知に係る拒絶の理由に示す事項についてするものではないため、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第４号の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　ただし、本件補正は、請求項１において、発明を特定する事項である「処理チャンバ」について、「鉛直にオフセットする機構を有し、」との限定を付加す　ることにより、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下、「改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当するということもできる。
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下、「本件補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
2.3　本件補正発明
　本件補正発明は、平成２０年６月１２日付手続補正書により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、次のとおりのものである。
「搬送チャンバと、基板を前記搬送チャンバに対して出し入れする搬送機構とを有する基板搬送部と、
　前記搬送チャンバに固定接続されて、第１の処理チャンバは第２の処理チャンバよりも上方の面内に鉛直方向に配置され、前記搬送チャンバ並びに第１及び第２の処理チャンバは前記第１及び第２の処理チャンバが前記搬送チャンバに対して別々且つ独立に取り付けられるように鉛直にオフセットする機構を有し、互いに隔離された基板処理領域を別々且つ独立に形成する複数の基板処理チャンバと、を有し、
　前記搬送機構は、前記第１および第２の処理チャンバに対して基板を別々に搬送することを特徴とする基板処理装置。」
　
2.4　刊行物記載の発明（事項）
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された次の刊行物には、以下の事項が記載されていると認められる。
　
　刊行物：　特開平７−５０３３４号公報
　
ａ．（【特許請求の範囲】）
「【請求項１】　複数の単位処理部がそれぞれ水平方向に配列されてなる複数の処理列が垂直方向に重なるように上段及び下段にそれぞれ配設されて多段処理列とされ、基板搬送手段により該多段処理列の各単位処理部に基板を搬送しつつ該基板に対して一連の処理を行う基板処理装置であって、
　前記基板搬送手段が、
　多段処理列に沿って配置された搬送路に沿って前記基板を水平方向に移送する水平搬送機構と、
　該水平搬送機構によって移送された基板を上下方向に移送するように、水平回転軸回りに回転する垂直回転アームによって構成された垂直搬送機構と、
　該水平搬送機構によって移送された基板を前記搬送路上と単位処理部内との間に搬送するように、垂直回転軸回りに回転する水平回転アームによって構成された基板出入機構とで構成されるとともに、
　上記水平搬送機構の駆動部が前記多段処理列の下段処理列よりも下方側に配置されたことを特徴とする基板処理装置。」
ｂ．（【発明の詳細な説明】、段落【０００２】）
「従来の技術】周知のように、液晶表示基板や半導体基板などの精密電子基板の製造プロセスにおいては、たとえば回転式洗浄装置、回転式塗布装置、回転式現像装置、オーブン（加熱器）などの単位処理部を配列し、被処理基板をその配列に沿って搬送しつつそれら単位処理部に出入れして一連の処理を行う基板処理装置が使用される。」
ｃ．（同段落【００１９】）
「【作用】この発明では、基板搬送手段が被処理基板の縦横の搬送を達成できることから、各単位処理部へのランダムなアクセスが可能である。また、複数の単位処理部が垂直面内において縦横に配置された多段の配列となっており、各従来技術と比較して装置全体としてのサイズが小さくなる。（以下、省略。）」
ｄ．（同段落【００２１】）
「図１において、この装置１は、被処理基板に一連の処理を行う処理ユニット部Ａ１と、この処理ユニット部Ａ１に沿ってＸ方向に被処理基板を搬送する２つの基板搬送ユニット１０１，１０２を備えた搬送部Ａ２とを有している。」
ｅ．（同段落【００２２】）
「この処理ユニット部Ａ１は、上下２段に分けて平行配列されており、図２に示すように、下段には、複数の単位処理部（例えば、紫外線照射ユニットＵＶからなる紫外線照射部や回転式洗浄装置など）ＰＰ1 がＸ方向に配列されて下段処理列Ｃ1 が構成されるとともに、上段にも複数の単位処理部（例えばホットプレートやクールプレートなど）ＰＰ2 がＸ方向に配列されて上段処理列Ｃ2 が構成されている。」
ｆ．（同段落【００２３】）
「また、搬送部Ａ２の側端部（図１の左手側）には、基板の搬入および搬出を行う基板搬入・搬出処理部ＩＤが設けられており、この基板搬入・搬出処理部ＩＤに設けられた不図示のロボットから被処理基板を渡された次に詳説する構成を有する第１および第２の基板搬送ユニット１０１，１０２により、被処理基板が各単位処理部ＰＰ1 ，ＰＰ2 に順次搬送され、一連の処理を受けるようになっている。」
ｇ．（同段落【００４０】）
「以上のように、この実施例によれば、単位処理部ＰＰ1 ，ＰＰ2 が多段に配列されているため、各単位処理部ＰＰ1 ，ＰＰ2 が水平または垂直に１直線に並べられている場合と比較して床面積と高さとの全体が小さく、設置や運用が容易な構成となっている。また、単位処理部が縦横に配列しているため、各単位処理部へのランダムなアクセスが可能である。」
　
　そこで、上記の摘記事項の内容を、技術常識を勘案しつつ、本件発明の記載に沿って整理すると、刊行物には次の発明（以下、「刊行物記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
「基板を出し入れする基板搬送ユニットを有する搬送部と、
　前記搬送部に固定接続されて、単位処理部ＰＰ2は単位処理部ＰＰ1よりも上方の面内に鉛直方向に配置され、単位処理部ＰＰ2及びＰＰ1は互いに隔離された基板処理領域を形成する複数の単位処理部と、を有し、
　前記基板搬送ユニットは、前記単位処理部ＰＰ2及びＰＰ1に対して基板を別々に搬送する基板処理装置。」
　
2.5　対比
　本件補正発明と刊行物記載の発明とを対比すると、後者の「基板搬送ユニット」、「搬送部」、「単位処理部ＰＰ1」、「単位処理部ＰＰ2」、「単位処理部」が、前者の「搬送機構」、「基板搬送部」、「第１の処理チャンバ」、「第２の処理チャンバ」，「基板処理チャンバ」にそれぞれ相当することは明白である。
　したがって、本件発明と刊行物記載の発明とは以下の点において一致及び相違するものと認められる。
【一致点】
「基板を出し入れする搬送機構を有する基板搬送部と、
　前記基板搬送部に固定接続されて、第１の処理チャンバは第２の処理チャンバよりも上方の面内に鉛直方向に配置され、前記第１及び第２の処理チャンバは互いに隔離された基板処理領域を形成する複数の基板処理チャンバと、を有し、
　前記搬送機構は、前記第１および第２の処理チャンバに対して基板を別々に搬送することを特徴とする基板処理装置。」である点。
【相違点１】
　基板搬送部は、前者では、搬送チャンバを有し、搬送機構は搬送チャンバに対して基板を出し入れするのに対し、後者では搬送チャンバについて特定がない点。
【相違点２】
　第１及び第２の処理チャンバは、前者では、搬送チャンバに固定接続されるのに対し、後者ではこのような特定がない点。
【相違点３】
　搬送チャンバ並びに第１及び第２の処理チャンバは、前者では、第１及び第２の処理チャンバが搬送チャンバに対して別々且つ独立に取り付けられるように鉛直にオフセットする機構を有し、互いに隔離された基板処理領域を別々且つ独立に形成するのに対し、後者ではこのような特定がない点。
　
2.6　当審の判断
　以下に、上記各相違点について検討する。
　
2.6.1　【相違点１】について
　刊行物記載の発明の基板処理装置は、摘記事項ｂから理解されるように、半導体基板などの精密電子基板の製造プロセスに使用されるものである。このような製造プロセスに使用される基板処理装置においては、基板搬送部と各基板処理ユニットとを各自、外気及び互いに対して隔離されたチャンバに収納することは、例を挙げるまでもなく、従来より周知かつ慣用の技術である。してみると、刊行物に明記はされていないが、刊行物記載の発明の基板搬送部も「搬送チャンバ」を有し、該搬送チャンバが基板搬送部を収納していることは、当業者にとって自明である。
　刊行物記載の発明においても、搬送機構は搬送チャンバと第１及び第２処理チャンバとの間で基板を出し入れするのであるから、「搬送チャンバに対して」基板を出し入れするということができる。
　したがって、【相違点１】は実質的な相違点ではない。
　
2.6.2　【相違点２】について
　2.6.1項にて述べたとおり、刊行物記載の発明でも基板搬送部が搬送チャンバに収納されているところ、搬送チャンバと各処理チャンバの内部空間を互いに隔離する以上、基板搬送部に第１及び第２の処理チャンバを固定接続するということは、搬送チャンバの外壁に第１及び第２の処理チャンバを固定接続することに外ならない。
　したがって、【相違点２】も実質的な相違点ではない。
　
2.6.3　【相違点３】について
　基板処理装置において、各処理チャンバを搬送チャンバに対して別々且つ独立に、ゲート機構等の取り付け機構を介して取り付けて、互いに隔離された基板処理領域を別々且つ独立に形成することは、原審において周知技術を示す例として挙げた特開平７−１２２６１９号公報、特開平７−２９９６３号公報のほか、特開平３−２７４７４６号公報にも見られるように、従来周知の技術である。
　上記周知技術を、同じく基板処理装置である刊行物記載の発明に適用することは当業者が容易に想到し得るものであるが、刊行物記載の発明のように搬送チャンバに対して複数の処理チャンバが互いに鉛直方向にオフセットして設けられている場合に、搬送チャンバ並びに第１及び第２の処理チャンバの取り付け機構も互いに鉛直方向にオフセットさせることは、当業者が適宜なし得る設計に過ぎない。
　したがって、【相違点３】に係る発明特定事項は当業者が容易に想到し得たものである。
　
2.7　まとめ　
　本件補正発明には、刊行物記載の発明及び従来周知の技術に基いて普通に予測される作用効果を上回る、格別のものを見出すこともできない。したがって、本件補正発明は刊行物記載の発明及び従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものというべきである。
　したがって、本件補正は、改正前特許法第１７条の２第５項で準用する特許法第１２６条第５項の規定にも違反するものであるから、改正前特許法第１５９条第１項で準用する特許法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
3.1　本願発明
　平成２０年６月１２日付の明細書を補正対象書類とする手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし４３に係る発明は、平成１９年７月３１日付手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし４３に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりである。
「搬送チャンバと、基板を前記搬送チャンバに対して出し入れする搬送機構とを有する基板搬送部と、
　前記搬送チャンバに固定接続されて、第１の処理チャンバは第２の処理チャンバよりも上方の面内に鉛直方向に配置され、前記第１及び第２の処理チャンバは前記搬送チャンバに対して別々且つ独立に取り付けられていて互いに隔離された基板処理領域を別々且つ独立に形成する複数の基板処理チャンバと、を有し、
　前記搬送機構は、前記第１および第２の処理チャンバに対して基板を別々に搬送することを特徴とする基板処理装置。」
　
3.2　刊行物記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物とその記載事項は、上記2.4項に記載したとおりである。
　
3.3　対比・判断
　本願発明は、前記２．で検討した本件補正発明から、発明特定事項である「処理チャンバ」について、「鉛直にオフセットする機構を有し、」との限定を除いたものに該当する。
　そうすると、本願発明の構成を全て含む本件補正発明が、上記2.7項に記載したとおり、刊行物記載の発明及び従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同じ理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
3.4　むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、請求項２ないし４３に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。