【手続補正書】
【提出日】平成24年9月24日(2012.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の位置に設けられ、入射する光と平行な光を反射する第１の再帰反射体と、被測定物に取り付けられる第２の再帰反射体と、前記第１の再帰反射体にレーザ光源から出射される光を導くとともに、前記第１の再帰反射体にて反射された光を出射する本体部と、前記第１の再帰反射体を中心として前記本体部を回転させる回転機構と、前記本体部から出射され、前記第２の再帰反射体にて反射される光に基づいて、前記回転機構を制御する制御装置とを備え、前記第２の再帰反射体を追尾しながら前記各再帰反射体間の距離を測定する追尾式レーザ干渉測長計であって、
前記本体部は、
前記第１の再帰反射体にて反射された光を受光し、受光した光の位置を検出する受光素子を備え、
前記制御装置は、
前記回転機構の回転角度を取得する角度取得部と、
前記受光素子にて検出される光の位置に基づいて、前記回転機構の運動誤差を補正する補正部とを備えることを特徴とする追尾式レーザ干渉測長計。
【請求項２】
請求項１に記載の追尾式レーザ干渉測長計において、
前記制御装置は、
前記補正部にて補正された前記回転機構の運動誤差と、前記各再帰反射体間の距離とに基づいて、前記第２の再帰反射体の位置を算出する位置算出部を備えることを特徴とする追尾式レーザ干渉測長計。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の追尾式レーザ干渉測長計は、所定の位置に設けられ、入射する光と平行な光を反射する第１の再帰反射体と、被測定物に取り付けられる第２の再帰反射体と、前記第１の再帰反射体にレーザ光源から出射される光を導くとともに、前記第１の再帰反射体にて反射された光を出射する本体部と、前記第１の再帰反射体を中心として前記本体部を回転させる回転機構と、前記本体部から出射され、前記第２の再帰反射体にて反射される光に基づいて、前記回転機構を制御する制御装置とを備え、前記第２の再帰反射体を追尾しながら前記各再帰反射体間の距離を測定する追尾式レーザ干渉測長計であって、前記本体部は、前記第１の再帰反射体にて反射された光を受光し、受光した光の位置を検出する受光素子を備え、前記制御装置は、前記回転機構の回転角度を取得する角度取得部と、前記受光素子にて検出される光の位置に基づいて、前記回転機構の運動誤差を補正する補正部とを備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
したがって、本発明によれば、本体部は、第１の再帰反射体にて反射された光を受光し、受光した光の位置を検出する受光素子を備えるので、受光素子にて検出される光の位置は、回転機構に運動誤差が生じない場合には変位せず、回転機構に運動誤差が生じる場合には変位することになる。
そして、制御装置は、回転機構の回転角度を取得する角度取得部と、受光素子にて受光される光の位置に基づいて、回転機構の運動誤差を補正する補正部とを備えるので、回転機構の回転角度を適切に取得することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明では、前記制御装置は、前記補正部にて補正された前記運動誤差の回転角度と、前記各再帰反射体間の距離とに基づいて、前記第２の再帰反射体の位置を算出する位置算出部を備えることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
このような構成によれば、制御装置は、補正部にて補正された回転機構の運動誤差に基づいて、第２の再帰反射体の位置を算出する位置算出部を備えるので、被測定物の位置を適切に算出することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
制御装置６は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）や、メモリ等を備えて構成され、追尾式レーザ干渉測長計１を制御するものであり、図１に示すように、追尾制御部６１と、距離算出部６２と、角度取得部６３と、補正部６４と、位置算出部６５とを備える。
追尾制御部６１は、ターゲット３にて反射される光に基づいて、回転機構５を制御することでターゲット３を追尾する。具体的に、ターゲット３は、再帰反射体であるので、被測定物Ｗの移動に伴ってターゲット３が移動すると、ターゲット３にて反射され、二次元ＰＳＤ９３にて検出される光の位置は変位することになる。したがって、追尾制御部６１は、二次元ＰＳＤ９３にて検出される光の位置に基づいて、回転機構５を制御することで本体部４から出射される光の進行方向を制御してターゲット３を追尾することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
補正部６４は、二次元ＰＳＤ９２にて検出される光の位置に基づいて、回転機構５の運動誤差を補正する。具体的に、測定基準器２は、再帰反射体であるので、回転機構５に運動誤差が生じる場合には、二次元ＰＳＤ９２にて検出される光の位置は変位することになる。したがって、補正部６４は、二次元ＰＳＤ９２にて検出される光の位置に基づいて、回転機構５の回転角度を補正することができる。
位置算出部６５は、補正部６４にて補正された回転機構５の運動誤差と、距離算出部６２にて算出される測定基準器２、及びターゲット３の間の距離Ｄとに基づいて、ターゲット３の位置を算出する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
このような本実施形態によれば以下の効果がある。
（１）制御装置６は、回転機構５の回転角度を取得する角度取得部６３と、二次元ＰＳＤ９２にて受光される光の位置に基づいて、回転機構５の運動誤差を補正する補正部６４とを備えるので、回転機構５の回転角度を適切に取得することができる。
（２）制御装置６は、補正部６４にて補正された回転機構５の運動誤差に基づいて、ターゲット３の位置を算出する位置算出部６５を備えるので、被測定物Ｗの位置を適切に算出することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、制御装置６は、ターゲット３の位置を算出する位置算出部６５を備えていた。これに対して、制御装置は、位置算出部を備えていなくてもよい。要するに、制御装置は、角度取得部と、補正部とを備えていればよい。
前記実施形態では、受光素子は、二次元ＰＳＤ９２で構成されていた。これに対して、受光素子は、４分割フォトダイオードなどで構成されていてもよい。要するに、受光素子は、受光した光の位置を検出するものであればよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
１…追尾式レーザ干渉測長計
２…測定基準器（第１の再帰反射体）
３…ターゲット（第２の再帰反射体）
４…本体部
５…回転機構
６…制御装置
６３…角度取得部
６４…補正部
６５…位置算出部
９２…二次元ＰＳＤ（受光素子）
ＬＳ…レーザ光源
Ｗ…被測定物
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2011064610.tif 000001