【事件の表示】
　特願２００５−３７３６８５「液体冷却マイクロ波プラズマ・アプリケータ」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　６月２２日出願公開、特開２００６−１６４９９１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯
　本願は、平成７年９月１４日（パリ条約による優先権主張１９９５年２月１６日、米国）に出願された特願平７−２６２２００号の一部を新たな特許出願として、平成１７年１２月２７日に出願された、いわゆる分割出願であって、平成１９年３月１２日付けで拒絶理由が通知され、同年９月１０日付けで特許請求の範囲について手続補正がなされるとともに意見書が提出された後、同年１１月８日付けで拒絶理由が通知され、同年１２月１８日付けで特許請求の範囲ならびに明細書について手続補正がなされるとともに意見書が提出された。その後、さらに平成２０年７月１６日付けで拒絶理由が通知され、平成２１年１月１５日付けで意見書が提出されたものの、同年８月１３日に、平成２０年７月１６日付け拒絶理由通知書に記載した理由によって拒絶べきものとして拒絶査定がなされた。
　本件は、前記拒絶査定を不服として、平成２１年１２月１６日に請求された拒絶査定不服審判事件である。
　
２　本願発明
　本願の請求項１ないし１１に係る発明は、平成１９年１２月１８日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１１に記載された技術的事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりである。 
「マイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の放電管、
冷却管内側に形成された放電管とは隔離されたらせん経路で放電管の外表面を間隔をもって巻き付けている冷却液を運ぶためのチャネルを画定する、その外表面が放電管に熱的に結合されている放電管を間隔をもって巻き付けている金属製の冷却管、
及び、電界が放電管に入り、液体がチャネルを流れている間、放電管内のプラズマを持続させることを可能にするらせん経路のループ間の間隔
を備えることを特徴とする、液体冷却プラズマ・アプリケータ。」
　
３　刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開昭５３−６０８８２号公報（以下、「引用例」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
（ａ）第１頁左下欄第３行〜同右下欄第８行
「２．特許請求の範囲
（１）マイクロ波電力発生装置と、このマイクロ波電力発生装置からのマイクロ波電力が供給される照射炉と、この照射炉内に備えられたガス活性化室と、このガス活性化室へ原料ガスを供給する手段とを備えた活性化ガス発生装置において、上記ガス活性化室を形成する壁に冷却液体通過域としうる冷却手段を密着して取付け、この冷却液体通過域に冷却用液体を供給する手段を具備したことを特徴とする活性化ガス発生装置。
……（中略）……
（５）ガス活性化室壁にらせん状に冷却液体通過域を設けた特許請求の範囲第１項記載の活性化ガス発生装置。」
（ｂ）第１頁右下欄第１０行〜第２頁左上欄第１１行
「本発明は減圧下のガスにマイクロ波電力を照射して活性化されたガスを発生する装置に関する。
　減圧下におかれたガスを高周波を用いて放電させ、この時生成される活性化されたガスを利用して、シリコンウエーハーのエツチングやフオトレジストの灰化、フイルムの親水性、接着性の改善等、化学反応を用いて処理する装置が開発されつつある。この種の装置ではガスの活性化過程、特性等にまだ解明されていな点が多いが放電に利用するエネルギーが従来の高周波（主に周波数１３．５６ＭＨｚ）からマイクロ波（周波数３００ＭＨｚ以上、主に２４５０ＭＨｚ）に移行しつつあり高効率の活性化ガス発生装置が開発されている。 
　マイクロ波電力が照射され放電し活性化ガスを発生するガス活性室壁は実験により一定条件において３００℃以上にも達することが明らかになった。しかも一般にガス活性化室を構成する壁に用いられる誘電体は過度上昇に伴って誘電体損失が増大し更に温度が上昇するという過程（昇温→誘電体損失増加→マイクロ波電力吸収→昇温）を繰り返すことになる。」
（ｃ）第２頁右上欄第１１〜１５行
「本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、ガス活性室壁を効率良く冷却し、マイクロ波電力の照射に対しては影響の極めて少ない冷却構造を具備した活性化ガス発生装置を提供するものである。」
（ｄ）第２頁右上欄第１６行〜同左下欄第１０行
「以下図面によりその実施例を説明する。
第２図および第３図は本発明のマイクロ波電力を用いた活性化ガス発生装置の実施例を示す図である。マグネトロン等のマイクロ波発振管を具備したマイクロ波電力発生装置（１）からのマイクロ波電力は、矩形導波管（２）へTE１波で給電され、アイソレータ（３）、反射電力を監視するパワーモニター（４）、整合器（５）を通過し照射炉（６）へ送られる。照射炉（６）には整合を容易にするための可動短絡板（７）が短絡面を移動可能に具備している。壁が石英製のガス活性化室（８）は二重円筒構造としてあり、内側円筒（９）内には原料ガス（例えば、酸素、窒素、アルゴン、水素フレオン等やそれらの混合気体）が原料ガスタンク（図示せず）から送られ、真空度は１０２〜１０Torr程度に設定される。」
（ｅ）第２頁左下欄第１４行〜同右下欄第１行
「二重管構造のガス活性化室（８）の内側円筒（９）と外側円筒（１０）との間の冷却液体通過域の間隙（１３）には冷却液体がタンク（１４）、弁（１４）、送り管（１６）を通り供給されるようになっており、内側円筒（９）を冷却した液体は排出管（１７）から排出されるようになっている。本構造では冷却液体（水、油、液化ガス等）が直接内側円筒壁に接触して冷却を行うためきわめて効率の良い冷却を行うことができる。」
（ｆ）第３頁左上欄第１６行〜同右上欄第６行
「第５図は別の実施例を示したもので原料ガスが供給され、マイクロ波電力を吸収して活性化させるガス活性化室を構成する筒壁（９）に冷却用パイプ（３２）がらせん状にまかれて密着させられているため、照射炉内へ挿入される冷却液体量が少なくてよく、従って冷却液体のマイクロ波吸収を少なくできる。又この構造では照射炉内の電界Ｅの方向と冷却液体（らせん内）との方向（ａ）とが直角に近いため冷却液体のマイクロ波吸収をさらに低く抑えることができる。」
（ｇ）第５図
　第５図には、上記（ｆ）の記載に即し、マイクロ波電力を吸収して活性化させるガス活性化室を構成する筒壁（９）に、冷却用パイプ（３２）が、隣接するパイプ同士が所定の間隔を隔ててらせん状にまかれている図が図示されている。
　
　これら（ａ）〜（ｇ）の記載からして、引用例には、 
「マイクロ波電力が照射されて放電し、活性化ガスを発生する石英製ガス活性化室を構成する筒壁（９）と、前記筒壁（９）に、隣接するパイプ同士が所定の間隔を隔ててらせん状にまかれて密着させられた冷却用パイプ（３２）による冷却液体通過域を設け、前記ガス活性化室を構成する筒壁（９）を効率良く冷却できる、活性化ガス発生装置。」の発明（以下「引用発明」）が記載されている。 
　
４　対比 
　本願発明と引用発明とを対比する。 
　引用発明の「ガス活性化室を構成する筒壁（９）」が、本願発明の「放電管」に相当することは明らかであり、石英がマイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の材料であることは、本願の明細書の【００１２】にも記載されているように、当業者の技術常識に属する事項であるので、引用発明の「マイクロ波電力が照射されて放電し、活性化ガスを発生する石英製ガス活性化室を構成する筒壁（９）」は、本願発明の「マイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の放電管」に相当する。また、当業者の技術常識を勘案すると、引用発明の「活性化ガス」が、「プラズマ」ガスを意味することは明らかであるので、引用発明の「活性化ガス発生装置」は、本願発明の「プラズマ・アプリケータ」に相当する。
　引用発明の「冷却用パイプ（３２）」は、「筒壁（９）に、隣接するパイプ同士が所定の間隔を隔ててらせん状にまかれて密着させられ」て「冷却液体通過域」となり、「ガス活性室を構成する筒壁（９）を効率良く冷却できる」ものであることからして、引用発明の「筒壁（９）」は、「冷却用パイプ（３２）」の内側に設けられていて、引用発明の「冷却用パイプ（３２）」は、「筒壁（９）」に間隔をもってらせん状に密着してまきつけられることにより、「筒壁（９）」を「冷却」することは明らかであるので、引用発明の「冷却用パイプ（３２）」と「筒壁（９）」とは、熱的に結合しているといえる。また、パイプが壁を有する中空管状体を意味することからして、引用発明の「冷却用パイプ（３２）」が、「筒壁（９）」と隔離された、冷却液の流路となる中空部を形成することも明らかである。
　そうすると、本願発明と引用発明とは、「冷却管内側に形成された放電管とは隔離されたらせん経路で放電管の外表面を間隔をもって巻き付けている冷却液を運ぶためのチャネルを画定する、その外表面が放電管に熱的に結合されている放電管を間隔をもって巻き付けている冷却管」を具備する点で一致するといえる。
　そして、上記（ｂ）の「マイクロ波電力が照射され放電し活性化ガスを発生するガス活性室壁は実験により一定条件において３００℃以上にも達することが明らかになった。しかも一般にガス活性化室を構成する壁に用いられる誘電体は過度上昇に伴って誘電体損失が増大し更に温度が上昇するという過程（昇温→誘電体損失増加→マイクロ波電力吸収→昇温）を繰り返す」との記載からして、引用発明の装置は、マイクロ波電力が継続してガス活性化室に入力され、その間のガス活性化室を構成する壁に用いられる誘電体の温度上昇を避けるために冷却用パイプ（３２）を用いて冷却を行う装置であることが明らかであるので、本願発明と引用発明とは、「電界が放電管に入り、液体がチャネルを流れている間、放電管内のプラズマを持続させること」が「可能」な装置である点で一致することも明らかである。
　
　したがって、本願発明と引用発明とは、 
「マイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の放電管、
冷却管内側に形成された放電管とは隔離されたらせん経路で放電管の外表面を間隔をもって巻き付けている冷却液を運ぶためのチャネルを画定する、その外表面が放電管に熱的に結合されている放電管を間隔をもって巻き付けている冷却管を備え、
電界が放電管に入り、液体がチャネルを流れている間、放電管内のプラズマを持続させることが可能な、
液体冷却プラズマ・アプリケータ。」の点で一致し、以下の点で相違する。
　
［相違点１］ 
　「冷却管」が、本願発明は「金属製」であるのに対し、引用発明は、材質が不明な点。
［相違点２］ 
　「らせん経路のループ間の間隔」が、本願発明は「電界が放電管に入り、液体がチャネルを流れている間、放電管内のプラズマを持続させることを可能とする」のに対し、引用発明は、らせん経路のループ間の間隔を特定していない点。
　
５　検討・判断
　上記各相違点について検討する。
５−１　相違点１について
　引用発明は、マイクロ波をガス活性化室に照射して放電を生起させつつ、ガス活性化室を構成する筒壁を効率良く冷却するものであることからして、引用発明が、「筒壁（９）に、隣接するパイプ同士が所定の間隔を隔ててらせん状にまかれて密着させられた冷却用パイプ（３２）」を介した状態で、マイクロ波が「活性化ガスを発生する石英製ガス活性化室」に照射されて放電を生起させるとともに、「ガス活性化室を構成する筒壁（９）を効率良く冷却」するものであることは明らかである。
　ところで、一般的に、金属、非金属（誘電体）の熱的、電磁波的特性について、金属は、高熱伝導性材料であって、金属を介在させることによって熱的結合が良好になる一方で、マイクロ波や無線波を反射する（透過しない）材質であること、逆に、非金属は、金属ほど熱伝導性に優れず、非金属を介在させることによって熱的結合が低下する一方で、マイクロ波や無線波を透過させる材質であることは、当業者の技術常識に属する事項であり、また、マイクロ波や無線波は、金属の隙間を通って伝搬し得ることも、同じく当業者の技術常識に属する事項である。
　すると、引用発明の「冷却用パイプ（３２）」の材質を非金属とした場合には、筒壁の冷却効率は低下するものの、石英製ガス活性化室へのマイクロ波や無線波の照射効率が向上する一方で、金属とした場合には、筒壁の冷却効率は向上するものの、石英製ガス活性化室へのマイクロ波や無線波の照射効率が低下するであろうことは、当業者が容易に想定し得る事項であり、引用発明の「冷却用パイプ（３２）」にどのような特性の材質を用いるかは、「筒壁（９）を効率良く冷却」する性能を優先させるか、あるいは、「活性化ガスを発生する石英製ガス活性化室」に「マイクロ波電力」を「照射」する効率を優先させるか等の条件に応じて、当業者が適宜選定し得る事項であって、前記材質に「金属」を選択することに格別の困難性を見いだすことはできない。
　ここで、冷却管を金属製とすること関して、本願の明細書には、「他の実施例では、液体冷却プラズマ・アプリケータは、マイクロ波エネルギーに対してほぼ透過性の材料でできたプラズマ放電管を備えている。外表面が管に接触しており、かつ内表面がマイクロ波吸収冷却液を運ぶためのチャネルを画定する細長い冷却部材が管を覆っている。冷却部材は、化学的に不活性であり、マイクロ波に対して透過性であるポリテトラフルオロエチレン、またはマイクロ波に対して透過性であるか、またはマイクロ波を反射する高熱伝導率材料でできている場合もある。部材の外表面を管に熱的に結合することが可能である。冷却部材に隣接した媒体により、マイクロ波電界が管の中に入り、液体が冷却部材の中を流れている間、管内のプラズマを持続させることが可能になる。媒体は、空気でもよい。」（段落【００１４】参照）、ならびに、「図３は、冷却ジャケットの他の実施例の断面図である。入口８２および出口８４を備えた冷却管８０は、放電管のまわりに巻き付けられている。冷却管は、経路のループ間に小さい間隔８８ができるように、放電管８６の外表面をらせん経路で覆っていることが望ましい。マイクロ波電界は、管９２の中心を通って延びる縦軸９０に平行な方向を向いている。この向きにより、マイクロ波エネルギーが、液体によってほとんど減衰されずに、らせんチャネルのループ間の管内に容易に浸透することが可能になり、したがってプラズマを形成し、持続させることが可能になる。
　冷却管は、金属でも非金属でもよく、放電管の外表面に熱的に結合されている。この実施例は、液体と管の外表面との間が直接接触することが望ましくない状況に有用である。」（段落【００３３】、【００３４】参照）との記載がなされているにすぎず、上記の記載以外に、金属製の冷却管を用いる際の格別の創意工夫や条件、作用効果について、本願の明細書には何ら記載がない。
　そうすると、本願発明において、「冷却管」を「金属製」としたことによる作用効果は、上述の技術常識から導き出せる範囲内のものにすぎず、前記範囲を超える格別の作用効果を見いだすことはできない。
　したがって、相違点１に格別の進歩性を見いだすことはできない。
　
５−２　相違点２について
　引用例について摘記した上記（ｆ）は、冷却用パイプ（３２）を筒壁（９）にらせん状にまいて密着させた態様について、「第５図は別の実施例を示したもので原料ガスが供給され、マイクロ波電力を吸収して活性化されるガス活性化室を構成する筒壁（９）に冷却用パイプ（３２）がらせん状にまかれて密着させられているため、照射炉内へ挿入される冷却液体量が少なくてもよく、従って冷却液体のマイクロ波吸収を少なくできる。」と記載されている。
　また、前記４で既に述べたとおり、上記（ｂ）の「マイクロ波電力が照射され放電し活性化ガスを発生するガス活性室壁は実験により一定条件において３００℃以上にも達することが明らかになった。しかも一般にガス活性化室を構成する壁に用いられる誘電体は過度上昇に伴って誘電体損失が増大し更に温度が上昇するという過程（昇温→誘電体損失増加→マイクロ波電力吸収→昇温）を繰り返す」との記載からして、引用発明の装置は、マイクロ波電力が継続してガス活性化室に入力され、その間のガス活性化室を構成する壁に用いられる誘電体の温度上昇を避けるために冷却用パイプ（３２）を用いて冷却を行う装置であることが明らかであるので、引用発明の「筒壁（９）にらせん状にまかれて密着させられた冷却用パイプ（３２）」は、ガス活性化室を構成する壁に用いられる誘電体の温度上昇を避けるために冷却用パイプ（３２）を用いて冷却が行われている間にあっても、「マイクロ波電力が照射されて放電し、活性化ガスを発生する」よう、すなわち、「電界が放電管に入り、液体がチャネルを流れている間、放電管内のプラズマを持続させることを可能」となるように設けられることが必要不可欠であることは明らかである。
　そして、前述のとおり、マイクロ波や無線波は金属の隙間を通って伝搬し得るものではあるが、さらに当業者の技術常識に照らすと、前記隙間が小さい場合は、前記マイクロ波や無線波は遮蔽されて伝搬し得ないことも明らかである。
　そうすると、引用発明の「冷却用パイプ（３２）」を金属製とした場合、「隣接するパイプ同士」の「所定の間隔」を、マイクロ波電力が伝搬しうる間隔としなければならないことは、当業者に自明な事項である。
　してみると、引用発明におけるらせん状にまかれた冷却用パイプの間隔を、冷却用パイプの材質を勘案した上で、「電界が放電管に入り、液体がチャネルを流れている間、放電管内のプラズマを持続させることを可能とする」ような間隔とすることは、技術常識に照らして、当業者が格別の困難なくなし得る事項である。
　したがって、相違点２に係る本願発明の発明特定事項は格別なものではない。
　
　なお、請求人は、平成１９年９月１０日付け意見書で、上記引用例と本願発明とを対比し、マイクロ波場において金属製冷却部材を用いることの困難性、金属製冷却部材と放電管との熱的結合態様の特徴に関する主張をしている。しかしながら、金属製のらせんであっても、らせん間隔を所定以上とすることによりマイクロ波等の電磁波が伝搬し得ることは技術常識に属する事項であることは上述のとおりであるし、金属製の冷却管を用いる際の格別の創意工夫や条件、作用効果について、本願の明細書には何ら記載がないことは上述のとおりである。
　したがって、請求人の上記主張を採用することはできない。
　
　以上のとおりであるので、本願発明は、引用発明ならびに技術常識に基いて当業者が容易に発明できたものである。
　
６　むすび
　上記のとおり、本願の請求項１に係る発明は、本願の優先日前に頒布された刊行物である引用例に記載された発明、ならびに技術常識に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。