(57)【要約】      （修正有）【課題】メインロール部に対し、切断用ワイヤを無駄に巻き付けることなく切断できるようにしたワイヤ式切断装置を提供する。【解決手段】ワイヤ繰出し機構から繰出された切断用のワイヤを、入口ガイドロール３９を介してメインロール部に送って巻き付けたのち、このメインロール部から送り出されるワイヤを出口ガイドロール４９を介してワイヤ巻取り機構に巻取らせることにより、ワークを切断するワイヤ式切断装置において、入口及び出口のガイドロール３９，４９をワークの長さに応じてメインロール部の幅方向に沿って移動させる移動機構５１，５２を備える。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤ繰出し機構から繰出された切断用のワイヤを、入口ガイドロールを介してメインロール部に送って巻き付けたのち、このメインロール部から送り出される前記ワイヤを出口ガイドロールを介してワイヤ巻取り機構に巻取らせることにより、被切断材を切断するワイヤ式切断装置において、
前記入口及び出口のガイドロールを前記被切断材の長さに応じて前記メインロール部の幅方向に沿って移動させる移動機構を備えたことを特徴とするワイヤ式切断装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案の実施形態は、半導体材料、磁性材料、セラミックス、プリント配線基板等のいわゆる脆性材料をウエハ状、その他の形状に切断するのに適したワイヤ式切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤ式切断装置はワイヤソーとも呼ばれ、メインロール部の複数の平行に配置された溝ロールに張設された切断用ワイヤを走行させ、この走行する切断用ワイヤに被切断材を押し付けることにより被切断材を切断するものである。
【０００３】
切断用ワイヤはワイヤ繰出し機構から繰出されて入口ガイドロールを介してメインロール部に供給され、さらにメインロール部から出口ガイドロールを介してワイヤ巻取り機構に送られ、その巻取りボビンに巻取られる。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記した被切断材の長さには、長いもの、或いは短いもの等各種のものがある。
【０００５】
しかしながら、従来においては、上記したメインロール部の幅方向の一端部側に入口ガイドロール、他端部側に出口ガイドロールが配設され、入口及び出口のガイドロールの位置は微調整しかできなかった。
【０００６】
このため、切断用ワイヤはメインロール部の全幅に亘って巻き付けられ、被切断材が短いものである場合には、切断用ワイヤがメインロール部に無駄に巻き付けられていた。従って、切断用ワイヤの使用長さが長くなりコスト高になるとともに、作業効率も低下するという問題があった。
【０００７】
本考案は上記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、切断用ワイヤの使用長さを短縮化してコストを低減するとともに、作業効率も向上できるようにしたワイヤ式切断装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、請求項１記載の考案は、ワイヤ繰出し機構から繰出された切断用のワイヤを、入口ガイドロールを介してメインロール部に送って巻き付けたのち、このメインロール部から送り出される前記ワイヤを出口ガイドロールを介してワイヤ巻取り機構に巻取らせることにより、被切断材を切断するワイヤ式切断装置において、前記入口及び出口のガイドロールを前記被切断材の長さに応じて前記メインロール部の幅方向に沿って移動させる移動機構を備える。
【考案の効果】
【０００９】
本考案によれば、切断用ワイヤの使用長さを短縮化してコストを低減するとともに、作業効率も向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本考案の一実施の形態であるワイヤ式切断装置を示す概要的構成図。
【図２】図１のメインロール部、及び入口及び出口のガイドロールの配置構成を示す平面図。
【図３】図２の入口及び出口のガイドロールの移動機構を示すもので、（a）はその上面図、（b）はその正面図、（ｃ）はその側断面図。
【図４】図２のメインロール部における切断用ワイヤの広い巻付幅を示す図。
【図５】図２のメインロール部における切断用ワイヤの狭い巻付幅を示す図。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
以下、本考案の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】
図１は本考案の一実施の形態であるワイヤ式切断装置を示すものである。
【００１３】
ワイヤ式切断装置はメインロール部20を備え、このメインロール部20は２つの溝ロール21、22を備えている。溝ロール21、22の周面には、その軸方向に一定間隔で、周方向に沿う溝が形成されている。溝ロール21、22は互いに平行に回転自在に支持されている。一方の溝ロールを駆動ロールとしてもよいし、両方を従動ロールとしてもよい。
【００１４】
メインロール部20の上方にはワーク送り装置25が設けられている。ワーク送り装置25のロッドの先端にはワーク（被切断材）Ｗが保持されている。ワークＷはワ−ク送り装置25によって矢印で示すようにメインロール部20に対し進退する方向に移動されるようになっている。
【００１５】
また、ワイヤ式切断装置には、切断用ワイヤ10の繰出し、巻取りのために２台の繰出し巻取り機構30、40が設けられている。これらの繰出し巻取り機構30、40は同じ構造のもので、一方が繰出し側となったときには他方は巻取り側となり、一方が巻取り側となったときには他方が繰出し側となる。図１に示す状態では機構30が繰出し側、機構40が巻取り側となっている。
【００１６】
切断用ワイヤ10は、繰出し側の機構30から繰出され、ガイドシーブ（ガイドロール）31、35を経てダンサ機構32のダンサロール34に掛けられたのち、ガイドシーブ（ガイドロール）36、37、38、さらに入口ガイドロール39を経てメインロール部20に到達する。メインロール部20では、切断用ワイヤ10が図２に示すように、溝ロール21，22の溝に順次掛けられている。
【００１７】
メインロール部20から出た切断用ワイヤ10は出口ガイドロール49、ガイドシーブ（ガイドロール）48、47、46を経て、ダンサ機構42のダンサ−ロール44に掛けられ、さらにガイドシーブ（ガイドロール）45、41を経て、巻取り側の機構40によって巻取られる。
【００１８】
ワーク送り装置25に保持されたワークＷは、ワーク送り装置25によってメインロール部20の方向に送られ、走行する切断用ワイヤ10に押し付けられることにより、ワークＷが切断される。
【００１９】
ダンサ機構32、42は、一端で枢着されたアーム33、43と、このアーム33、43の他端に回転自在に取付けられたダンサロール34、44とをそれぞれ含み、繰出し側の機構30から繰出される切断用ワイヤ10の張力、巻取り側の機構40に巻取られる切断用ワイヤ10の張力をそれぞれ調整するものである。なお、上述したガイドシーブは適当な支持部材にそれぞれ回転自在に支持されている。
【００２０】
図３（a）〜（c）は、上記した入口ガイドロール39及び出口ガイドロール49の移動機構51，52を示すものである。なお、移動機構51，52は、同様に構成されるため、入口ガイドロール39の移動機構51を代表して説明する。
【００２１】
移動機構51は、移動台53を備えている。この移動台53には支持体55が設けられ、この支持体55に支軸55ａを介して上記した入口ガイドロール39が回転自在に支持されている。移動台53はガイド体60に取り付けられている。ガイド体60は機台または床に設けられ、このガイド体60には、切断用ワイヤ10の走行方向に直交する方向に沿って長穴60aが形成されている。また、移動台53には所定間隔を存して一対のガイドピン61が突設されている。これらガイドピン61はガイド体60の長穴60a内にスライド自在に挿入され、移動台53は長穴60aに沿って、即ち、切断用ワイヤ10の走行方向に直交する方向に沿って移動できるようになっている。
【００２２】
さらに、移動台53には一対のガイドピン61間に位置してネジ孔53aが穿設され、このネジ孔53a内には上記したガイド体60の長穴60aを介して固定ボルト63が螺挿されている。移動台53は、固定ボルト63を緩めることにより長穴60aの長さの範囲内、即ち、メインロール部20の幅寸法の略１／２以上往復移動することができ、固定ボルト63を締め付けることによりその移動位置で固定可能となっている。
【００２３】
次に、切断するワークＷの長さに応じて入口ガイドロール39及び出口ガイドロール49の位置を可変する場合について説明する。
【００２４】
例えば、図４に示すように、長さの長いワークＷ１がワーク送り装置25のロッドの先端に保持された場合には、オペレータは、移動機構51（52）の移動台53の固定ボルト63をそれぞれ緩めて移動台53の固定を解除したのち、移動台53を矢印ａ方向、即ち、入口及び出口のガイドロール39，49が互いに離れる方向に移動させる。これにより、入口ガイドロール39がメインロール部20の幅方向一端部側に移動し、出口ガイドロール49がメインロール部20の幅方向他端部側に移動する。従って、メインロール部20に対する切断用ワイヤ10の巻付幅をワークＷ１の長さに応じて広く（寸法Ｈ）することができる。このように、移動台53を移動させたのち、固定ボルト63を締め付けて移動台53を固定する。
【００２５】
一方、例えば、図５に示すように、長さの短いワークＷ２がワーク送り装置25のロッドの先端に保持された場合には、オペレータは、移動機構51（52）の移動台53の固定ボルト63をそれぞれ緩めて移動台53の固定を解除したのち、移動台53を矢印b方向、即ち、入口及び出口のガイドロール39，49が互いに近接する方向に移動させる。これにより、入口及び出口のガイドロール39，49がメインロール部20の幅方向中央側に移動する。従って、メインロール部20に対する切断用ワイヤ10の巻付幅をワークＷ２の長さに応じて狭く（寸法ｈ）することができる。このように、移動台53を移動させたのち、固定ボルト63を締め付けて移動台53を固定する。
【００２６】
上記したように、この実施の形態によれば、ワークの長さに応じて入口及び出口のガイドロール39，49の位置を可変するため、ワークの長さに適したワイヤ巻付け幅を得ることができる。
【００２７】
従って、メインロール部20に対し、切断用ワイヤ10を無駄に巻き付けることがなく、切断用ワイヤ10の使用量を削減してコストダウンできるとともに、作業効率を向上することができる。
【００２８】
なお、上記した実施形態は、例として提示したものであり、考案の範囲を限定することは意図していない。この新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、考案の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、考案の範囲や要旨に含まれるとともに、実用新案登録請求の範囲に記載された考案とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００２９】
Ｗ，Ｗ１，Ｗ２…ワーク（被切断材）、10…切断用ワイヤ、20…メインロール部、30…ワイヤ繰出し機構、39…入口ガイドロール、40…ワイヤ巻取り機構、49…出口ガイドロール、51，52…移動機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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