【手続補正書】
【提出日】平成23年12月27日(2011.12.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】流路形成部材、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光学系と液体とを介して露光光を基板上に照射することによって、前記基板を露光する露光装置に備えられる流路形成部材であって、
前記投影光学系の終端部の光学素子を配置可能な開口部と、
前記投影光学系の像面側に配置された物体の表面が対向するように配置される下面に設けられた第１液体供給口と、
前記下面に設けられた第１液体回収口と、
前記開口部に配置される前記光学素子との間に間隙を形成する内側面に設けられた第２液体供給口と、を有する流路形成部材。
【請求項２】
前記基板の露光処理をしてないときに、前記第２液体供給口から前記間隙に液体が供給される請求項１記載の流路形成部材。
【請求項３】
前記基板の露光中に、前記第２液体供給口から前記間隙に液体が供給される請求項１又は２記載の流路形成部材。
【請求項４】
前記基板の露光中に、前記第１液体供給口と前記第２液体供給口から、液体供給が行われる請求項３記載の流路形成部材。
【請求項５】
前記第２液体供給口からの液体供給により、前記投影光学系と前記投影光学系の像面側に配置された物体との間に保持された液体の圧力が調整される請求項１〜４のいずれか一項記載の流路形成部材。
【請求項６】
前記第２液体供給口からの液体供給により、前記間隙から液体が除去される請求項１〜４のいずれか一項記載の流路形成部材。
【請求項７】
前記第２液体供給口から供給された液体は、前記液体回収口から回収される請求項１〜６のいずれか一項記載の流路形成部材。
【請求項８】
前記第２液体供給口は、前記間隙から液体を回収する液体回収口としても機能する請求項１〜７のいずれか一項記載の流路形成部材。
【請求項９】
投影光学系と液体とを介して露光光を基板上に照射することによって、前記基板を露光する露光装置に備えられる流路形成部材であって、
前記投影光学系の終端部の光学素子を配置可能な開口部と、
前記投影光学系の像面側に配置された物体の表面が対向するように配置される下面に設けられた第１液体供給口と、
前記下面に設けられた第１液体回収口と、
前記開口部に配置される前記光学素子との間に間隙を形成する内側面に設けられた第２液体回収口と、を有する流路形成部材。
【請求項１０】
前記間隙の液体が前記第２液体回収口から除去される請求項９記載の流路形成部材。
【請求項１１】
前記第２液体回収口からの液体回収により、前記投影光学系と前記投影光学系の像面側に配置された物体との間に保持された液体の圧力が調整される請求項９記載の流路形成部材。
【請求項１２】
前記第２液体回収口は、前記間隙に液体を供給する液体供給口としても機能する請求項９〜１１のいずれか一項記載の流路形成部材。
【請求項１３】
前記投影光学系の投影領域の両側から液体供給が行われるように前記第１液体供給口が設けられている請求項１〜１２のいずれか一項記載の流路形成部材。
【請求項１４】
前記下面において、前記第１液体回収口は、前記第１液体供給口を囲むように配置されている請求項１〜１３のいずれか一項記載の流路形成部材。
【請求項１５】
前記第１液体回収口は、気体とともに液体を回収する請求項１〜１４のいずれか一項記載の流路形成部材。
【請求項１６】
前記下面において、前記第１液体回収口を囲むように設けられた補助液体回収口をさらに有する請求項１〜１５のいずれか一項記載の流路形成部材。
【請求項１７】
前記補助液体回収口は、気体とともに液体を回収する請求項１６記載の流路形成部材。
【請求項１８】
前記下面に設けられた凹部を有し、
前記第１液体回収口は、前記下面において、前記凹部の周囲に配置されている請求項１〜１７のいずれか一項記載の流路形成部材。
【請求項１９】
前記第１液体供給口は、前記下面において、前記凹部と前記第１液体回収口の間に配置されている請求項１８記載の流路形成部材。
【請求項２０】
前記凹部は、前記投影光学系の光軸とほぼ垂直な平坦面を有する請求項１８又は１９記載の流路形成部材。
【請求項２１】
前記下面は、親液性である請求項１〜２０のいずれか一項記載の流路形成部材。
【請求項２２】
前記内側面は、撥液性である請求項１〜２１のいずれか一項記載の流路形成部材。
【請求項２３】
前記内側面は、撥液性材料を塗布する、あるいは撥液性材料の薄膜を添付する撥液化処理によって撥液性を有している請求項２２記載の流路形成部材。
【請求項２４】
投影光学系と、
請求項１〜２３のいずれか一項に記載の流路形成部材とを備え、
前記流路形成部材を用いて前記基板上の一部に液浸領域を形成するとともに、前記液浸領域の液体を介して前記投影光学系からの露光光を前記基板に照射する露光装置。
【請求項２５】
液体を介して露光光を基板上に照射することによって、前記基板を露光する露光装置であって、
投影光学系と、
前記投影光学系の終端部の光学素子を配置可能な開口部と、前記投影光学系の像面側に配置された物体の表面が対向するように配置される下面に設けられた第１液体供給口と、前記下面に設けられた第１液体回収口と、前記開口部に配置される前記光学素子との間に間隙を形成する内側面に設けられた第２液体供給口と、を有する流路形成部材と、備え、
前記流路形成部材を用いて前記基板上の一部に液浸領域を形成するとともに、前記液浸領域の液体を介して前記投影光学系からの露光光を前記基板に照射する露光装置。
【請求項２６】
前記基板の露光処理をしてないときに、前記第２液体供給口から前記間隙に液体が供給される請求項２５記載の露光装置。
【請求項２７】
前記基板の露光中に、前記第２液体供給口から前記間隙に液体が供給される請求項２５又は２６記載の露光装置。
【請求項２８】
前記基板の露光中に、前記第１液体供給口と前記第２液体供給口から、液体供給が行われる請求項２７記載の露光装置。
【請求項２９】
前記流路形成部材は、環状の部材であり、
前記投影光学系の終端部の光学素子を囲むように配置される請求項２４〜２８のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項３０】
前記流路形成部材の内側面と対向する、前記光学素子の対向面は、撥液性である請求項２９記載の露光装置。
【請求項３１】
前記対向面は、撥液性材料を塗布する撥液化処理によって撥液性を有している請求項３０記載の露光装置。
【請求項３２】
前記対向面は、撥液性材料の薄膜を添付する撥液化処理によって撥液性を有している請求項３０記載の露光装置。
【請求項３３】
前記流路形成部材の第１液体回収口から回収された液体と気体とを分離する気液分離器をさらに備える請求項２４〜３２のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項３４】
前記基板を基板ホルダに保持する基板ステージを備える請求項２４〜３３のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項３５】
前記基板ステージは、前記基板ホルダに保持された前記基板を囲むように設けられた平坦面を有する請求項３４記載の露光装置。
【請求項３６】
前記平坦面は、撥液性の領域を含む請求項３５記載の露光装置。
【請求項３７】
前記基板ステージの前記撥液性の領域は、撥液性材料を塗布する、あるいは撥液性材料の薄膜を貼付する撥液化処理によって形成される請求項３６記載の露光装置。
【請求項３８】
前記平坦面は、前記基板ホルダに保持された前記基板の表面とほぼ面一である請求項３５〜３７のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項３９】
前記基板ステージには、基準部材が配置され、
前記基準部材の上面は、前記基板ホルダに保持された前記基板の表面とほぼ面一である請求項３４〜３８のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４０】
前記基板上のアライメントマークを検出する基板アライメント系を備え、
前記基準部材には、前記基準アライメント系で検出される基準マークが設けられている請求項３９記載の露光装置。
【請求項４１】
前記基準部材に設けられた基準マークを前記投影光学系を介して検出するマスクアライメント系を備えた請求項３９又は４０記載の露光装置。
【請求項４２】
前記基板ステージには、光学センサの上板が設けられ、
前記光学センサの上板の上面は、前記基板ホルダに保持された前記基板の表面とほぼ面一である請求項３４〜４１のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４３】
前記光学センサの前記上板は光透過部を有する請求項４２記載の露光装置。
【請求項４４】
前記基板ステージを制御する制御装置を備え、
前記制御装置は、前記基板ステージを第１位置から第２位置へ移動する場合に、前記投影光学系の像面側の液体が流出しないように、前記第１位置と前記第２位置との間隔に基づいて前記基板ステージの移動速度を制御する請求項２４〜４３のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４５】
前記基板ステージを制御する制御装置を備え、
前記制御装置は、前記基板ステージを第１位置から第２位置へ移動する場合に、前記投影光学系の像面側の液体中に気体部分が生成されないように、前記第１位置と前記第２位置との間隔に基づいて前記基板ステージの移動速度を制御する請求項２４〜４４のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４６】
前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間隔に基づいて、前記第１位置から前記第２位置への前記基板ステージの移動速度を制御する請求項４４又は４５記載の露光装置。
【請求項４７】
前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間隔が所定量以上の場合には、前記第１位置と前記第２位置との間隔が前記所定量より短い場合に比べて、前記基板ステージの速度を遅くする請求項４４〜４６のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４８】
前記制御装置は、前記第１位置から前記第２位置への前記基板ステージの移動方向に基づいて前記基板ステージの移動速度を制御する請求項４４〜４７のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４９】
液体を介して基板に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置であって：
投影光学系と；
前記液体を供給するための液体供給機構と；
前記液体を回収するための液体回収機構と；
前記基板を保持する基板ステージとを備え；
前記液体供給機構と前記液体回収機構とによって前記基板ステージ上に局所的に液浸領域が形成されている状態で、前記基板ステージが第１位置から第２位置へほぼ直線的に移動するときに、前記第１位置と前記第２位置との間隔に応じて前記基板ステージの移動速度が異なる露光装置。
【請求項５０】
前記第１位置と前記第２位置との間隔が所定量以上の場合には、前記第１位置と前記第２位置との間隔が前記所定量よりも短い場合に比べて、前記基板ステージの移動速度を小さくする請求項４９に記載の露光装置。
【請求項５１】
液体を介して基板に露光光を照射して、前記基板を露光する露光装置であって：
投影光学系と；
前記液体を供給するための液体供給機構と；
前記液体を回収するための液体回収機構と；
前記基板を保持する基板ステージとを備え；
前記液体供給機構と前記液体回収機構とによって前記基板ステージ上に局所的に液浸領域が形成されている状態で、前記基板ステージが第１位置から第２位置へほぼ直線的に移動するときに、前記第１位置から前記第２位置への前記基板ステージの移動方向に応じて前記基板ステージの移動速度が異なる露光装置。
【請求項５２】
前記基板ステージを前記液体回収機構による液体回収力が弱い所定方向へ移動させる場合には、前記基板ステージを前記所定方向とは異なる方向へ移動させる場合に比べて、前記基板ステージの移動速度を小さくする請求項５１に記載の露光装置。
【請求項５３】
前記液体回収機構による液体回収力が弱い所定方向には、前記液体回収機構の液体回収口が配置されていない請求項５２に記載の露光装置。
【請求項５４】
請求項２４〜請求項５３のいずれか一項記載の露光装置を用いることを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項５５】
請求項１〜２３のいずれか一項記載の流路形成部材を用いて、基板上の一部に液浸領域を形成することと、
前記液浸領域の液体を介して投影光学系からの露光光を前記基板に照射することと、を含む露光方法。
【請求項５６】
液体を介して基板に露光光を照射して前記基板を露光する露光方法であって：
液体を介して基板に露光光を照射して基板を露光することと；
基板を露光していないときに、基板上に液体を保持したまま基板を第１位置から第２位置へ移動することと；
前記第１位置と前記第２位置との位置関係に応じて、前記第１位置から前記第２位置への前記基板の移動速度を調整することを含む露光方法。
【請求項５７】
前記移動の距離が所定距離以上の場合には、所定距離未満の場合よりも前記基板の移動速度を小さくする請求項５６に記載の露光方法。
【請求項５８】
さらに基板上から液体を回収することを含み、液体の回収力が弱い所定方向へ基板を移動させる場合には、前記基板を前記所定方向とは異なる方向へ移動させる場合に比べて、前記基板の移動速度を小さくする請求項５６又は５７に記載の露光方法。
【請求項５９】
請求項５５〜５８のいずれか一項に記載の露光方法を用いるデバイス製造方法。