(57)【要約】      （修正有）【課題】小型化・高精度化を図り、かつ操作が容易な画像位置決め測定装置を提供する。【解決手段】顕微鏡２、オートフォーカスユニット４、門型のステージ計測ユニット、パソコン、防振台、直動用基準スケール、直動用基準スケール治具７、回転用基準スケール、回転用基準スケール治具で構成する。使用時には、計測したい製品を門型のステージ計測ユニットに載置し、基準スケールと基準スケール治具をステージの上に置く。ステージを動かしながら基準スケール治具で基準スケールとステージの平行出しを行ない、基準スケールに記載されている目盛線のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決める。それに基づきステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」などの測定する。【選択図】図１
0003171563.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡、オートフォーカスユニット、門型のステージ計測ユニット、パソコン、画像位置決め、防振台、基準スケール、基準スケール用治具で構成される画像位置決め測定装置を用い、計測したい製品を門型ステージ計測ユニット６に載置し、直動用基準スケール９と直動用基準スケール治具７をステージの上に置き、ステージを動かしながら直動用基準スケール治具７で直動用基準スケール９とステージの平行出しを行ない、直動用基準スケール９に記載されている目盛線５のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、それに基づきステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」などの測定をし、測定項目ごとに画像処理により連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置。
【請求項２】
顕微鏡、オートフォーカスユニット、門型のステージ計測ユニット、パソコン、画像位置決め、防振台、基準スケール、基準スケール用治具で構成される画像位置決め測定装置を用い、計測したい製品を門型ステージ計測ユニット６に載置し、回転用基準スケール１６と回転用基準スケール治具１３をステージの上に置き、回転ステージと連動しながら回転方向調整用つまみ１１とＸＹ方向調整用回転つまみ１２を動かし、回転基準スケール治具１３で回転用基準スケール１６と平行出しを行い回転中心ターゲット１４に合わせている。ついで、回転用基準スケール１６に記載されている目盛線５のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、それに基づき、角度ごとの座標求めて角度を計算し、ステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」などの測定をし、測定項目ごとに画像処理により連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置。
【請求項３】
顕微鏡、オートフォーカスユニット、門型のステージ計測ユニット、パソコン、画像位置決め、防振台、基準スケール、基準スケール用治具で構成される画像位置決め測定装置において防振台を取り付け自在とした画像位置決め測定装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本願の画像位置決め測定装置は、自動ステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」などの測定に特化し、レーザ測長のように屈折率の影響を受けず、低コストで、簡単かつ安全に計測できるというコンセプトから生まれた画像位置決め測定装置である。
【背景技術】
【０００２】  従来の位置決め測定技術は、レーザの特性を評価してレーザ応用計測が登場しており、普通の光に比べて空間的、時間的な規則性が格段と高く、コヒーレンシーがよく、輝度が高く、単色性がよく、光の周波数変調、位相変調、光高調波発生などの特性が活用されて実用化が進んできたが、レーザ測長機はレーザを使用しているので、測定前には数分開の暖機運転が必要となっていた。そのための暖機運転は、精度の誤差が生じてしまうため、レーザ測長機での画像位置決め測定の場合、必ず暖機運転をやらなければならない項目であった。【０００３】  また、画像位置決め測定装置は画像による計測であるので基本的には照明の安定性において精度誤差が出るのでこれもまた安定が求められるが、実験の結果、μｍ単位での照明による位置決め測定の変動は見られなかった。したがって、μｍ単位の計測をする画像位置決め測定装置は暖機運転は不要となっている。【０００４】  また、レーザ応用測距技術として、レーザ干渉測距装置、光学結晶による光変調測距装置、半導体レーザの直接変調測距装置などもあるが、いずれも装置が大型化し、操作が複雑で、コストも高いという欠点もあった。【０００５】  そのほか、オートコリメータで計測されているが、オートコリメータは望遠鏡とコリメ−タの機能を組み合わせ、それ自身の視準光によって反射鏡の小さな角度偏移を検出するが、分解能はレーザ測長機とともにあることが明らかであり、位置決め精度などを測定するのに、μｍ単位で計測できれば十分であると考えられている。【０００６】  その根拠としては、実際ボールねじ及び摩擦がある移動機構に関しては、実際に測定するのに、測定値はμｍ単位以下になることはなく、膨張係数に関してもガイドやボール螺子は鉄材が使用されており、ステージ本体は他の素材を使っているので、係数として値を導くことは難しいと考えられ、温度に関しても、上記の事柄から膨張係数が異なった製品の組み合わせで形成されている自動ステージにはある程度の誤差が生じている。【０００７】  これらのことから、画像位置決め測定に当たっては、自動ステージの測定には本考案の装置が最適という結論に達し、本願の画像位置決め測定装置を開発したものである。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００８】  本願考案は、前記した従来技術の欠点を解消し、改善しようとしたものであり、画像処理技術を駆使して、装置もコンパクトに纏めており、操作が簡単で、コストも大きく低減されるようになっている。【０００９】  また、画像処理技術の採用により、従来使用されていたレーザ測長機やオートコリメータと同様の測定ができ、直動用基準スケール用治具７と回転用基準スケール治具１３を用いることにより、簡単に操作・測定ができるようになった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】  本考案の画像位置決め測定装置１を図１、図２に従って概略説明すると、顕微鏡（照明、ＣＣＤカメラを含む。）２、オートフォーカスユニット（自動Ｚ軸ステージ用コントローラを含む。）４、門型ステージ測定ユニット６、防振台３、直動用基準スケール９、直動用基準スケール治具７やその他パソコンなどで構成されている。【００１１】  具体的に画像位置決め測定装置１を用い、計測したい製品（例えばお客様の測定ステージ８）を門型ステージ計測ユニット６に載置し、直動用基準スケール９と直動用基準スケール治具７をステージの上に置き、ステージを動かしながら直動用基準スケール治具７で直動用基準スケール９とステージの平行出しを行ない、直動用基準スケール９に記載されている目盛線５のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、それに基づきステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」などの測定をし、測定項目ごとに連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置である。【００１２】  第２の画像位置決め測定装置について述べると、顕微鏡２、オートフォーカス（ＡＦ）ユニット４、門型ステージ計測ユニット６、防振台３、回転用基準スケール１６、回転用基準スケール治具１３やその他パソコンなどで構成される画像位置決め測定装置１を用い、計測したい製品を門型ステージ計測ユニット６に載置し、回転用基準スケール１６と回転用基準スケール治具１３をステージの上に置き、回転ステージと連動しながら回転方向調整用つまみ１１とＸＹ方向調整回転つまみ１２を動かし、回転用基準スケール治具１３で回転用基準スケール１６と平行出しを行い回転中心ターゲット１４に合わせている。ついで、回転用基準スケール１６に記載されている目盛線５のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、それに基づき、角度ごとの座標求めて角度を計算し、ステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」などの測定をし、測定項目ごとに連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置である。【００１３】  本発明に用いている顕微鏡（照明、ＣＣＤカメラを含む。）２は、装置組み込み型ＡＦ（オートフォーカス）顕微鏡が用いられ、ＡＦユニット（自動Ｚ軸ステージ用コントローラを含む。）・照明・ＣＣＤカメラ・フォーカスステージすべてが一体化されており、照明はライトガイドアダプタ付きとなっている。【００１４】  顕微鏡２による画像計測のため製品により近い位置での計測が出来るので、累積誤差が少ないという利点があり、画像処理を利用して計測しているので、画像処理による面積測定、粒子測定、エッジ検出、寸法計測などの用途でも合わせた展開も可能となっている。【００１５】  ステージ面に置いた直動用基準スケール９と回転用基準スケール１６を測定するものであって、ステージ本来の精度測定が出来るようになり、位置決め精度の範囲を設定しておけば、合否判定・場所の特定が出来るようになっている。直動用基準スケール９と回転用基準スケール１６は、各種測定機器の構成、また上位の校正装置、基準器とのトレーサビリティ確認に使われている。【００１６】  ＡＦ（オートフォーカス・自動焦点調節機構）ユニット４については、２方向に移動しながら、各画面でコントラストを計算一番、コントラストが高いところを合焦点位置とするもので、コントラスト計算に当たっては、点線位置において、Ｘ座標での輝度をＸｉとし、隣の位置の輝度との差を計算し、これを１ライン積算し、コントラスト値としている。【００１７】  本考案の画像位置決め測定装置を図１、図２、図３、図４、図５、図６、図７に従って詳細に説明すると、お客様の測定ステージ８など計測したい製品を門型ステージ計測ユニット６に載置し、顕微鏡２を用いて、直動用基準スケール９とお客様の測定ステージ８が平行になるように平行出しを行い、直動用基準スケール９に記載されている目盛線５のメモリーのピッチ間の寸法を画像処理により簡単かつ安全に計測するものである。【００１８】  つぎに、直動用基準スケール９（校正されたもの）を画像処理により計測して、１画素の基準寸法を計測して、それに基づき自動ステージの測定項目（「繰り返し位置決め精度」、「位置決め精度」、「バックラッシュ（Ｂａｃｋｌａｓｈ・部品間の緩みによる機械のがたつき）」、「Ｘ−Ｙ直交度（回転用治具を使用する。）」、「平行度」）ごとに連動もしくは手動操作で計測を行なうものである。バックラッシュでは、部品間の隙間による駆動と駆動素子との間の無駄な動きを計測している。【００１９】  本測定は、日本規格協会発行のＪＩＳＢ６１９０−２（ＩＳＯ−２３０−２）に準じた測定を行なっている。【００２０】  同じ製品を複数台測定する場合、一度の初期計測でよいので測定作業が短時間で済むようになっている。計測したデータはエクセルのグラフに即時表示できるようになっている。【００２１】  測定ステージは、直動ステージ、回転ステージなどがあり、ステージをそれぞれ組み付けた型での計測も可能となっている。【００２２】  防振台３は、精密検査に最適な防振ゴム式防振台が用いられるが、剛性の高いスチールハニカム定盤を使用しており、そのほか、空気ばね式の除振装置が用いられるが、取り外し自在にしており、需要者が保持している場合にはオプションとされることもある。【００２３】  門型ステージ計測ユニット６がなくても、設置可能な場所があれば計測可能となっている。【００２４】  画像処理による独自のアルゴリズム（コンピュータがどのように処理するかを示し、正確に定義づけられた一連のステップ）によるオートフォーカスを使っているので機械もコンパクトになっている。
【考案の効果】
【００２５】  本考案の画像位置決め測定装置１は、レーザ測長機やオートコリメータと同様の測定が可能ばかりか、直動用基準スケール用治具７を用いることにより簡単に測定できるようになり、また、構造が単純であるため、安価であることが特徴である。【００２６】  一度初期計測した自動ステージは、同じ製品を何台も計測する場合には、初期計測は必要でなくなり、短時間で同じ製品を何台も計測するのに時間が短縮できるようになった。【００２７】  直動用基準スケール９と回転用基準スケール１６の２個を用意すれば、レーザ測長機やオートコリメータと両方の機能をもたせることができるようになった。【００２８】  本考案の画像位置決め測定方法は、レーザを用いた測長機と違い、画像処理による計測のため、測定前の数分間の暖機運転は不要になったばかりか、画像計測のためレーザ波長に対する空気の屈折率の影響がなく、安全であり、環境にやさしい商品となっている。【００２９】  また、直動用基準スケール用治具７と回転用基準スケール１６を使用しているので、測定準備に時間がかからず、誰にでも簡単に操作できるようになった。さらに、顕微鏡２による画像計測のため製品により近い位置での計測が出来るので、累積誤差が少ないという利点があり、画像処理を利用して計測しているので、画像処理による面積測定、粒子測定、エッジ検出、寸法計測などの用途でも合わせた展開も可能となっている。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】画像位置決め測定装置の実施例側面図。
【図２】門型ステージ測定ユニットの正面図。
【図３】直動用基準スケール治具平面図。
【図４】回転用基準スケールＡの正面図。
【図５】回転用基準スケールＡの側面図。
【図６】回転用基準スケールＡの平面図。
【図７】回転用基準スケールＢの正面図。
【符号の説明】
【００３１】  １：画像位置決め測定装置
２：顕微鏡
３：防振台
４：オートフォーカスユニット
５：目盛線
６：門型ステージ測定ユニット
７：直動用基準スケール用治具
８：お客様の測定ステージ
９：直動用基準スケール
１０：直動用調整つまみ
１１：回転方向調整用のつまみ
１２：ＸＹ方向調整用回転つまみ
１３：回転用基準スケール治具
１４：回転中心ターゲット
１５：直線方向目盛
１６：回転用基準スケール
【図１】
0003171563.tif 000003
【図２】
0003171563.tif 000004
【図３】
0003171563.tif 000005
【図４】
0003171563.tif 000006
【図５】
0003171563.tif 000007
【図６】
0003171563.tif 000008
【図７】
0003171563.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成22年10月25日(2010.10.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
自動ステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」の測定をする画像位置決め測定装置１であって、防振台３を画像位置決め測定装置１の本体に取り付け自在に固定させ、計測したい製品を門型ステージ計測ユニット６に載置して画像位置決め測定を開始する。
まず第一に顕微鏡（照明、ＣＣＤカメラを含む。）２に内蔵するＣＣＤカメラにより１画素何μｍになるかを直動用基準スケール９のメモリを測り、記録させるためにパソコン（図示せず）が用いられる。オートフォーカスユニット４については、２方向に移動しながら各画面でコントラストを計算し、コントラストの高いところを合焦点位置としている。
これを基準値として、直動用基準スケール９の誤差を計測してパソコンにその値を読み込ませて、「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」をエクセルにより計算させ、グラフ化及び値を導くためにパソコンが用いられている。
直動用基準スケール９と直動用基準スケール治具７をステージの上に置き、ステージを動かしながら直動用基準スケール治具７で直動用基準スケール９とステージの平行出しを行なうために、直動用基準スケール９に記載されている目盛線５のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、直動用基準スケール治具７を用いることで簡単に測定できるようにし、それに基づき測定項目ごとに画像処理により連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置。
【請求項２】
自動ステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」の測定をする画像位置決め測定装置１であって、防振台３を画像位置決め測定装置１の本体に取り付け自在に固定させ、計測したい製品を門型ステージ計測ユニット６に載置して、画像位置決め測定を開始する。
まず第１に、顕微鏡（照明、ＣＣＤカメラを含む。）２に内蔵するＣＣＤカメラにより１画素何μｍになるかを回転用基準スケール１６のメモリを測り、記録させるためにパソコンが用いられる。オートフォーカスユニット４については、２方向に移動しながら各画面でコントラストを計算し、コントラストの高いところを合焦点位置としている。
これを基準値として、回転用基準スケール１６の誤差を計測してパソコンにその値を読み込ませて、「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」をエクセルにより計算させ、グラフ化及び値を導くためにパソコンが用いられている。
回転用基準スケール１６と回転用基準スケール治具１３をステージの上に置き、ステージを動かしながら回転用基準スケール治具１３で回転用基準スケール１６とステージの平行出しを行なうために、回転用基準スケール１６に記載されている目盛線５のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、回転用基準スケール治具１３を用いることで簡単に測定できるようにし、それに基づき測定項目ごとに画像処理により連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置。
【請求項３】
自動ステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」の測定をする画像位置決め測定装置１であって、防振台３を画像位置決め測定装置１の本体に取り付け自在に固定させ、計測したい製品を門型ステージ計測ユニット６に載置して、画像位置決め測定を開始する。
まず第１に、顕微鏡（照明、ＣＣＤカメラを含む。）２に内蔵するＣＣＤカメラにより１画素何μｍになるかを基準スケール（直動用、回転用）のメモリを測り、記録させるためにパソコンが用いられる。オートフォーカスユニット４については、２方向に移動しながら各画面でコントラストを計算し、コントラストの高いところを合焦点位置としている。
これを基準値として、基準スケール（直動用、回転用）の誤差を計測してパソコンにその値を読み込ませて、「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」をエクセルにより計算させ、グラフ化及び値を導くためにパソコンが用いられている。
基準スケールと基準スケール治具をステージの上に置き、ステージを動かしながら基準スケール治具で基準スケールとステージの平行出しを行なうために、基準スケールに記載されている目盛線５のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、基準スケール治具を用いることで簡単に測定できるようにし、それに基づき測定項目ごとに画像処理により連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】  本考案の画像位置決め測定装置１を図１、図２に従って概略説明すると、顕微鏡（照明、ＣＣＤカメラを含む。）２、オートフォーカスユニット（自動Ｚ軸ステージ用コントローラを含む。）４、門型ステージ測定ユニット６、防振台３、基準スケール（直動用基準スケール９、回転用基準スケール１６）、直動用基準スケール治具７、回転用基準スケール１３、パソコンで構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】  具体的に画像位置決め測定装置１を用い、計測したい製品（例えばお客様の測定ステージ８）を門型ステージ計測ユニット６に載置し、直動用基準スケール９と直動用基準スケール治具７をステージの上に置き、ステージを動かしながら直動用基準スケール治具７で直動用基準スケール９とステージの平行出しを行ない、直動用基準スケール９に記載されている目盛線５のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、それに基づきステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」の測定をし、測定項目ごとに連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】  防振台３は、μｍで測定する場合、外部の振動などにより測定値に影響を及ぼすのを防止するために使用するものであって、精密検査に最適な防振ゴム式防振台が用いられるが、剛性の高いスチールハニカム定盤を使用しており、そのほか、空気ばね式の除振装置が用いられるが、画像位置決め測定装置１本体に取り外し自在に固定しており、需要者が保持している場合にはオプションとされることもある。
【手続補正書】
【提出日】平成23年1月26日(2011.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
画像位置決め測定装置の本体に載置される自動ステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」の測定をする画像位置決め測定装置１であって、防振台３を画像位置決め測定装置１の本体に取り付け自在に固定させ、計測したい製品を画像位置決め測定装置１の本体に固定した門型ステージ計測ユニット６に載置して画像位置決め測定を開始し、本体正面に配置する顕微鏡（照明、ＣＣＤカメラを含む。）２に内蔵するＣＣＤカメラにより１画素何μｍになるかを直動用基準スケール９のメモリを測り、記録させるためにパソコン（図示せず）が用いられ、顕微鏡２に隣接するオートフォーカスユニット４については、２方向に移動しながら各画面でコントラストを計算し、コントラストの高いところを合焦点位置とし、これを基準値として、お客様の測定ステージ８に載置する直動用基準スケール９の誤差を計測してパソコン（図示せず）にその値を読み込ませて、「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」をエクセルにより計算させ、グラフ化及び値を導くためにパソコン（図示せず）が用いられ、お客様の測定ステージ８に載置する直動用基準スケール９と直動用基準スケール治具７をステージの上に置き、ステージを動かしながら直動用基準スケール治具７で直動用基準スケール９とステージの平行出しを行なうために、直動用基準スケール９に記載されている目盛線５のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、直動用基準スケール治具７を用いることで簡単に測定できるようにし、それに基づき測定項目ごとに画像処理により連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置。
【請求項２】
画像位置決め測定装置の本体に載置される自動ステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」の測定をする画像位置決め測定装置１であって、防振台３を画像位置決め測定装置１の本体に取り付け自在に固定させ、計測したい製品を画像位置決め測定装置の本体に固定した門型ステージ計測ユニット６に載置して、画像位置決め測定を開始し、本体正面に配置する顕微鏡（照明、ＣＣＤカメラを含む。）２に内蔵するＣＣＤカメラにより１画素何μｍになるかを回転用基準スケール１６のメモリを測り、記録させるためにパソコン（図示せず）が用いられ、顕微鏡２に隣接するオートフォーカスユニット４については、２方向に移動しながら各画面でコントラストを計算し、コントラストの高いところを合焦点位置とし、これを基準値として、回転用基準スケール１６の誤差を計測してパソコン（図示せず）にその値を読み込ませて、「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」をエクセルにより計算させ、グラフ化及び値を導くためにパソコンが用いられ、回転用基準スケール１６と回転用基準スケール治具１３をステージの上に置き、ステージを動かしながら回転用基準スケール治具１３で回転用基準スケール１６とステージの平行出しを行なうために、回転用基準スケール１６に記載されている目盛線５のメモリのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、回転用基準スケール治具１３を用いることで測定できるようにし、それに基づき測定項目ごとに画像処理により連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置。
【請求項３】
画像位置決め測定装置の本体に載置される自動ステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」の測定をする画像位置決め測定装置１であって、防振台３を画像位置決め測定装置１の本体に取り付け自在に固定させ、計測したい製品を画像位置決め測定装置の本体に固定化した門型ステージ計測ユニット６に載置して、画像位置決め測定を開始し、まず第１に本体正面に配置する顕微鏡（照明、ＣＣＤカメラを含む。）２に内蔵するＣＣＤカメラにより１画素何μｍになるかを基準スケール（直動用、回転用）のメモリを測り、記録させるためにパソコン（図示せず）が用いられ、顕微鏡２に隣接するオートフォーカスユニット４については、２方向に移動しながら各画面でコントラストを計算し、コントラストの高いところを合焦点位置とし、これを基準値として、基準スケール（直動用、回転用）の誤差を計測してパソコン（図示せず）にその値を読み込ませて、「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」をエクセルにより計算させ、グラフ化及び値を導くためにパソコン（図示せず）が用いられ、基準スケールと基準スケール治具をステージの上に置き、ステージを動かしながら基準スケール治具で基準スケールとステージの平行出しを行なうために、基準スケールに記載されている目盛線５のメモリのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、基準スケール治具を用いることで簡単に測定できるようにし、それに基づき測定項目ごとに画像処理により連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】  本考案の画像位置決め測定装置１を図１、図２に従って概略説明すると、本体正面に配置する顕微鏡（照明、ＣＣＤカメラを含む。）２に内蔵するＣＣＤカメラ、顕微鏡２に隣接するオートフォーカスユニット（自動Ｚ軸ステージ用コントローラを含む。）４、画像位置決め装置の本体に固定化した門型ステージ測定ユニット６、画像位置決め装置の底面に取り付け自在に固定化させた防振台３、基準スケールとしての直動用基準スケール９、回転用基準スケール１６、基準スケール用の直動用基準スケール治具７、回転用基準スケール１３、パソコン（図示せず）で構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】  具体的に画像位置決め測定装置１を用い、計測したい製品（例えばお客様の測定ステージ８）を門型ステージ計測ユニット６に載置し、直動用基準スケール９と直動用基準スケール治具７をステージの上に置き、ステージを動かしながら直動用基準スケール治具７で直動用基準スケール９とステージの平行出しを行ない、直動用基準スケール９に記載されている目盛線５のメモリのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、それに基づきステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」の測定をし、測定項目ごとに連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】  防振台３は、μｍで測定する場合、外部の振動などにより測定値に影響を及ぼすのを防止するために使用するものであって、精密検査に最適な防振ゴム式防振台が用いられるが、剛性の高いスチールハニカム定盤を使用しており、そのほか、空気ばね式の除振装置が用いられるが、画像位置決め測定装置１本体に取り外し自在に固定しており、需要者が保持している場合にはオプションとされることもある。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月28日(2011.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
防振台３を画像位置決め測定装置１の本体下部に取り付け自在に固定し、該画像位置決め測定装置１の本体に門型ステージ測定ユニット６、顕微鏡２、オートフォーカスユニット４を固定し、前記顕微鏡２に隣接してＣＣＤカメラ、パソコンを併設し、前記画像位置決め測定装置１の台部にお客様の測定ステージ８を載置し、直動用基準スケール９と直動用基準スケール治具７をお客様の測定ステージ８の上に置くことを特徴とする画像位置決め測定装置。
【請求項２】
防振台３を画像位置決め測定装置１の本体下部に取り付け自在に固定し、該画像位置決め測定装置の本体に門型ステージ測定ユニット６、顕微鏡２、オートフォーカスユニット４を固定し、前記顕微鏡２に隣接してＣＣＤカメラ、パソコンを併設し、前記画像位置決め測定装置１の台部に測定ステージ（直動ステージ、回転ステージなど）を載置し、直動用基準スケール９と直動用基準スケール治具７を測定ステージ８上に置くことを特徴とする画像位置決め測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】  本考案の画像位置決め測定装置１を図１、図２，図７に従って概略説明すると、防振台３を画像位置決め測定装置１の本体下部に取り付け自在に固定し、画像位置決め測定装置１の本体に門型ステージ測定ユニット６、顕微鏡に内蔵するＣＣＤカメラ、顕微鏡２に隣接するオートフォーカスユニット４、画像位置決め測定装置１の本体に固定化した門型ステージ測定ユニット６、画像位置決め測定装置１の底面に取り付け自在に固定化させた防振台３、基準スケールとしての直動用基準スケール９、回転用基準スケール１６、基準スケール用の直動用基準スケール治具７、回転用基準スケール１３、パソコンで構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】  具体的に画像位置決め測定装置１を用い、測定したい製品（例えばお客様の測定ステージ８を門型ステージ測定ユニット６に載置し、直動用基準スケール９と直動用基準スケール治具７を上に置き、測定ステージを動かしながら直動用基準スケール治具７で直動用基準スケール９と測定ステージの平行出しを行ない、直動用基準スケール９に記載されている目盛線５のメモリのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、それに基づき測定ステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」の測定をし、測定項目ごとに連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】  防振台３は、μｍで測定する場合、外部の振動などにより測定値に影響を及ぼすのを防止するために使用するものであって、精密検査に最適な防振ゴム式防振台が用いられるが、剛性の高いスチールハニカム定盤を使用しており、そのほか、空気ばね式の除振装置が用いられるが、画像位置決め測定装置１本体に取り外し自在に固定しており、需要者が保持している場合にはオプションとされることもある。
【手続補正書】
【提出日】平成23年8月22日(2011.8.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
防振台３を画像位置決め測定装置１の本体下部に取り付け自在に固定し、該画像位置決め測定装置１の本体に門型ステージ測定ユニット６、顕微鏡２、オートフォーカスユニット４を固定し、前記顕微鏡２に隣接してＣＣＤカメラを併設し、前記画像位置決め測定装置１の台部に予備測定ステージ８を載置し、直動用基準スケール９と直動用基準スケール治具７を予備測定ステージ８の上に置くことを特徴とする画像位置決め測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】  本考案の画像位置決め測定装置１を図１、図２，図７に従って概略説明すると、防振台３を画像位置決め測定装置１の本体下部に取り付け自在に固定し、画像位置決め測定装置１の本体に門型ステージ測定ユニット６、顕微鏡に内蔵するＣＣＤカメラ、顕微鏡２に隣接するオートフォーカスユニット４、画像位置決め測定装置１の本体に固定化した門型ステージ測定ユニット６、画像位置決め測定装置１の底面に取り付け自在に固定化させた防振台３、基準スケールとしての直動用基準スケール９、回転用基準スケール１６、基準スケール用の直動用基準スケール治具７、回転用基準スケール１３で構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】  具体的に画像位置決め測定装置１を用い、測定したい製品（例えば予備測定ステージ８）を門型ステージ測定ユニット６に載置し、直動用基準スケール９と直動用基準スケール治具７を上に置き、測定ステージを動かしながら直動用基準スケール治具７で直動用基準スケール９と測定ステージの平行出しを行ない、直動用基準スケール９に記載されている目盛線５のメモリのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、それに基づき測定ステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」の測定をし、測定項目ごとに連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】  防振台３は、μｍで測定する場合、外部の振動などにより測定値に影響を及ぼすのを防止するために使用するものであって、精密検査に最適な防振ゴム式防振台が用いられるが、剛性の高いスチールハニカム定盤を使用しており、そのほか、空気ばね式の除振装置が用いられるが、画像位置決め測定装置１本体に取り外し自在に固定しており、需要者が保持している場合にはオプションとされることもある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】  １：画像位置決め測定装置
２：顕微鏡
３：防振台
４：オートフォーカスユニット
５：目盛り線
６：門型ステージ測定ユニット
７：直動用基準スケール用治具
８：予備測定ステージ
９：直動用基準スケール
１０：直動用調整つまみ
１１：回転方向調整用のつまみ
１２：ＸＹ方向調整用回転つまみ
１３：回転用基準スケール治具
１４：回転中心ターゲット
１５：直線方向目盛
１６：回転用基準スケール