【事件の表示】
　平成　７年特許願第２６２２００号「マイクロ波プラズマ・システム用の液体冷却マイクロ波プラズマ・アプリケータおよび液体冷却誘電体窓」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年　８月３０日出願公開、特開平　８−２２２３９７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯
　本願は、平成７年９月１４日（パリ条約による優先権主張１９９５年２月１６日、米国）の出願であって、平成１７年８月３０日付けで拒絶査定がなされ、この拒絶査定に対して平成１７年１２月１日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、平成１７年１２月２７日付けで手続補正がなされたものである。
　
２　平成１７年１２月２７日付け手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
平成１７年１２月２７日付け手続補正を却下する。
［理由］目的制限違反、独立特許要件違反
（１）補正後の本願発明
平成１７年１２月２７日付け手続補正（以下「本件補正」という。）により、特許請求の範囲の請求項１は、補正前の
「【請求項１】マイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の放電管と、（ｉ）冷却部材の内表面に沿うように形成され、管の外表面を覆っている、マイクロ波または無線波吸収冷却液を管の外表面上に運ぶためのチャネル、および（ｉｉ）電界が管に入り、液体がチャネルを流れている間、管内のプラズマを持続させることを可能にするチャネルに隣接した媒体を画定する、その外表面が管に熱的に結合されている管を覆っている冷却部材とを備えることを特徴とする、液体冷却プラズマ・アプリケータ。」から
「【請求項１】マイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の放電管と、（ｉ）冷却部材の内部に形成され、放電管には接触せず、放電管の外表面を覆っている、冷却液を運ぶためのチャネル、および（ｉｉ）電界が放電管に入り、液体がチャネルを流れている間、放電管内のプラズマを持続させることを可能にするチャネルに隣接した媒体を画定する、放電管の外表面に熱的に結合されている放電管を覆っている金属製の冷却部材とを備えることを特徴とする、液体冷却プラズマ・アプリケータ。」
に補正された。
　
（２）目的要件制限違反
本件補正による補正前後の発明特定事項を対比してみると、以下のとおりである。
ア　「内表面に沿うように形成され」が「内部に形成され」と補正された（以下「補正ア」という。）。
イ　「管」が「放電管には接触せず、放電管」と補正された（以下「補正イ」という。）。
ウ　「マイクロ波または無線波吸収冷却液を管の外表面上に運ぶための」が「冷却液を運ぶための」と補正された（以下「補正ウ」という。）。
エ　「電界が管に入り」が「電界が放電管に入り」と補正された（以下「補正エ」という。）。
オ　「管内のプラズマ」が「放電管内のプラズマ」と補正された（以下「補正オ」という。）。
カ　「その外表面が管に熱的に結合されている管」が「放電管の外表面に熱的に結合されている放電管」と補正された（以下「補正カ」という。）。
キ　「冷却部材」が「金属製の冷却部材」と補正された（以下「補正キ」という。）。
　
　そこで、上記補正ア〜キについて検討する。
　補正イ、エ、オ、カ、キは、特許請求の範囲を減縮する目的、又は明りようでない記載の釈明を目的とする補正に該当する。
　
　しかしながら、以下に述べるように、補正ア及びウは、特許法第１７条の２第４項に規定する事項を目的とする補正ではない。
　
（補正アについて）
　補正前の「内表面に沿うように形成され」及び補正後の「内部に形成され」は、いずれも「チャンネル」に係る事項であるが、補正前の「内表面に沿うように形成され」なる記載自体は、明りようであり、また、誤記されていたともいえない。
　更には、仮に補正前の「内表面に沿うように形成され」を補正しない場合、補正後の請求項１の記載に矛盾が生じるとか、その請求項１の記載の意味が明りようでなくなってしまうとか、発明の詳細な説明の記載と請求項の記載が整合しない等の記載不備が生じる恐れがあったとはいえない。
　よって、補正アは、明りようでない記載の釈明を目的とする補正ではないことは明らかである。
　また、補正アは、誤記の訂正を目的とする補正ではないことは明らかである。
　
　なお、補正後の「内部に形成され」は、補正前の発明特定事項である「内表面に沿うように形成され」を限定するものでないことは明らかである。
　また、補正アは、請求項の削除を目的とする補正ではないことは明らかである。
　
　したがって、補正アは、特許法第１７条の２第４項に規定する事項を目的とする補正ではない。
　
（補正ウについて）
（ア）補正前の「マイクロ波または無線波吸収冷却液を管の外表面上に運ぶための」から、「管の外表面上に運ぶため」という事項を削除する補正について
　上記事項が記載されていることにより、補正前の請求項１の記載が明りようでないことは明らかであるので、上記事項を削除する補正は、明りようでない記載の釈明を目的とする補正に該当する。
　
（イ）補正前の「マイクロ波または無線波吸収冷却液を管の外表面上に運ぶための」から、「マイクロ波または無線波吸収」という事項を削除する補正について
　
　補正前の「マイクロ波または無線波吸収冷却液」なる記載自体は、明りようであり、また、誤記されていたともいえない。
　更には、仮に補正前の「マイクロ波または無線波吸収冷却液」から「マイクロ波または無線波吸収」という事項を削除する補正しない場合、補正後の請求項１の記載に矛盾が生じるとか、その請求項１の記載の意味が明りようでなくなってしまう恐れがあったとはいえない。
　
　また、上記削除する補正しない場合、発明の詳細な説明の記載と請求項の記載が整合しない等の記載不備があったとはいえない。
　すなわち、発明の詳細な説明には、本件補正に関連して以下の記載がある。
（１）「本発明の主要な目的は、水またはその他の望ましいマイクロ波吸収液体を利用して、プラズマ放電管を冷却することにある」【０００７】
（２）「冷却部材は、化学的に不活性であり、マイクロ波に対して透過性であるポリテトラフルオロエチレンで作成することができる。部材内のチャネルは、液体を管の外表面上に送るポンプに接続可能である。液体は、熱伝導率が高く、使いやすい水でよい。」【００１２】
（３）「冷却部材は、化学的に不活性であり、マイクロ波に対して透過性であるポリテトラフルオロエチレン、またはマイクロ波に対して透過性であるか、またはマイクロ波を反射する高熱伝導率材料でできている場合もある。部材の外表面を管に熱的に結合することが可能である。」【００１３】
（４）「本発明の原理は、無線波（RF）エネルギー源を使用する場合にも適用されることに留意されたい。また、本発明では、マイクロ波吸収冷却液の使用を指定しているが、本発明を組み込んだシステムは、非吸収冷却液も利用できることに留意されたい。」【００２１】
（５）「従来の液体冷却マイクロ波プラズマ・アプリケータには、マイクロ波エネルギーをあまり吸収しない液体だけが使用される。」【００２６】
（６）「チャネルは、管の外表面上に直接にマイクロ波吸収冷却液を運ぶための導管となる。液体は、容易に入手でき、熱伝導率が高く、化学的に不活性であるため便利な水でよい。」【００２８】
（７）「マイクロ波電界は、管９２の中心を通って延びる縦軸９０に平行な方向を向いている。この向きにより、マイクロ波エネルギーが、液体によってほとんど減衰されずに、らせんチャネルのループ間の管内に容易に浸透することが可能になり」【００３２】
（８）「冷却管は、金属でも非金属でもよく」【００３３】
　
　これらの記載によれば、発明の詳細な説明に以下の事項が記載されている。
（１）冷却部材は、マイクロ波に対して透過性の観点又は金属か非金属の観点では、特に限定されない。
（２）冷却部材内のチャネルに流す液体は、マイクロ波吸収液体でもマイクロ波非吸収液体でもよい。
　
　してみると、補正前の請求項１において、冷却液を「マイクロ波吸収液体」と限定した記載が、発明の詳細な説明の記載と整合しないとはいえないことは明らかであり、また、上記削除する補正しない場合、補正後の請求項１の記載が、発明の詳細な説明と整合しなくなるともいえない。
　
　なお、請求人は、合議体からの審尋に対する平成１９年３月２８日付けＦＡＸの第２頁第３〜９行において「請求項１では、冷却部材を金属製に限定しました（この限定は、拒絶理由を回避するためです）。したがって、補正クレームでは、チャネル中の冷却液は、マイクロ波や無線波エネルギーからシールドされていることになりますから、マイクロ波や無線波エネルギーがチャネルを透過することもありませんし、冷却液がそれらに曝されることもありません。よって、補正後クレームにおいては、「マイクロ波または無線波吸収冷却液」では不りょうになりますから、「マイクロ波または無線波吸収」を削除しました。」と回答した。
　
　しかしながら、「マイクロ波または無線波吸収冷却液」からマイクロ波または無線波吸収の限定を削除しても、補正後の冷却液には、マイクロ波または無線波吸収冷却材が依然として含まれ、釈明されたことにならないので、補正ウの（イ）は、請求人がいう明りようでない記載の釈明に該当しない。
　　
　よって、補正ウは、明りようでない記載の釈明を目的とする補正に該当しない。
　また、補正ウは、誤記の訂正を目的とする補正ではないことは明らかである。
　
　なお、補正後の「冷却液」は、補正前の発明特定事項である「マイクロ波または無線波吸収冷却液」を限定するものでないことは明らかであり、補正ウは、特許請求の範囲の減縮を目的とする補正ではないことは明らかである。
　また、補正ウは、請求項の削除を目的とする補正ではないことは明らかである。
　
　したがって、補正ウは、特許法第１７条の２第４項に掲げる事項を目的とする補正ではない。
　
　よって、本件補正は、特許法第１７条の２第４項の各号に掲げるいずれの事項を目的とするものにも該当しないから、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
（３）独立特許要件違反
　本件補正は、請求項１について特許請求の範囲を減縮する補正を含む補正がされているので、補正された請求項１に係る発明が、独立特許要件を満たすか、念のため検討する。
　
ア　本件補正発明
　本願の請求項１に係る発明は、平成１７年１２月２７日付けの手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される以下のとおりのものと認める。（以下「本願補正発明」という。）
【請求項１】マイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の放電管と、（ｉ）冷却部材の内部に形成され、放電管には接触せず、放電管の外表面を覆っている、冷却液を運ぶためのチャネル、および（ｉｉ）電界が放電管に入り、液体がチャネルを流れている間、放電管内のプラズマを持続させることを可能にするチャネルに隣接した媒体を画定する、放電管の外表面に熱的に結合されている放電管を覆っている金属製の冷却部材とを備えることを特徴とする、液体冷却プラズマ・アプリケータ。
　
イ　引用例
　本願の優先日前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された特開昭５３−６０８８２号公報（以下「引用刊行物１」という。）には、「活性化ガス発生装置」の発明に関して、以下の事項が記載されている。
＜記載事項１＞
「　本発明は減圧下のガスにマイクロ波電力を照射して活性化されたガスを発生する装置に関する。」（第１ページ右下欄第１０〜１１行）
＜記載事項２＞
「この種の装置ではガスの活性化過程、特性等にまだ解明されていな点が多いが放電に利用するエネルギーが従来の高周波（主に周波数１３．５６ＭＨｚ）からマイクロ波（周波数３００ＭＨｚ以上、主に２４５０ＭＨｚ）に移行しつつあり高効率の活性化ガス発生装置が開発されている。
マイクロ波電力が照射され放電し活性化ガスを発生するガス活性室壁は実験により一定条件において３００℃以上にも達することが明らかになった。」（第１ページ右下欄第１７〜第２ページ左上欄第２行）
＜記載事項３＞
「本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、ガス活性室壁を効率良く冷却し、マイクロ波電力の照射に対しては影響の極めて少ない冷却構造を具備した活性化ガス発生装置を提供するものである。」（第２ページ右上欄第１１〜１５行）
＜記載事項４＞
「以下図面によりその実施例を説明する。
第２図および第３図は本発明のマイクロ波電力を用いた活性化ガス発生装置の実施例を示す図である。マグネトロン等のマイクロ波発振管を具備したマイクロ波電力発生装置（１）からのマイクロ波電力は、矩形導波管（２）へTE１波で給電され、アイソレータ（３）、反射電力を監視するパワーモニター（４）、整合器（５）を通過し照射炉（６）へ送られる。（略）壁が石英製のガス活性化室（８）は二重円筒構造としてあり、内側円筒（９）内には原料ガス（例えば、酸素、窒素、アルゴン、水素フレオン等やそれらの混合気体）が原料ガスタンク（図示せず）から送られ、真空度は１０２〜１０Torr程度に設定される。」（第２ページ右上欄第１６行〜同左下欄第１０行）
＜記載事項５＞
「二重管構造のガス活性化室（８）の内側円筒（９）と外側円筒（１０）との間の冷却液体通過域の間隙（１３）には冷却液体がタンク（１４）、弁（１４）、送り管（１６）を通り供給されるようになっており、内側円筒（９）を冷却した液体は排出管（１７）から排出されるようになっている。本構造では冷却液体（水、油、液化ガス等）が直接内側円筒壁に接触して冷却を行うためきわめて効率の良い冷却を行うことができる。」（第２ページ左下欄第１４行〜同右下欄第１行）
＜記載事項６＞
「第５図は別の実施例を示したもので原料ガスが供給され、マイクロ波電力を吸収して活性化させるガス活性化室を構成する筒壁（９）に冷却用パイプ（３２）がらせん状にまかれて密着させられているため、照射炉内へ挿入される冷却液体量が少なくてよく、従って冷却液体のマイクロ波吸収を少なくできる。又この構造では照射炉内の電界Eの方向と冷却液体（らせん内）との方向（ａ）とが直角に近いため冷却液体のマイクロ波吸収をさらに低く抑えることができる。」（第３ページ左上欄第１６行〜同右上欄第６行）
　
　そして、引用例１の第５図に記載された活性化ガス発生装置は、冷却用パイプ（３２）以外の構成要素が、第２図に示されたものと同一であることは明らかである。
　
　してみると、記載事項１ないし６及び図面によれば、引用例１には、
「マイクロ波電力が照射され放電し活性化ガスを発生する石英製ガス活性化室を構成する筒壁（９）と、筒壁（９）にらせん状にまかれ、かつ冷却液体のマイクロ波吸収を少なくするために部分的に密着させられている冷却用パイプ（３２）を備えた、活性化ガス発生装置。」の発明（以下「引用発明」）が記載されている。
　
ウ　対比
　本願補正発明と引用発明とを比較する。
（ア）石英は、マイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の材料であるので、引用発明の「マイクロ波電力が照射され放電し活性化ガスを発生する石英製ガス活性化室を構成する筒壁（９）」は、本願補正発明の「マイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の放電管」に相当する。
　
（イ）引用発明の「冷却用パイプ（３２）」は、筒壁（９）にらせん状にまかれ、かつ冷却液体のマイクロ波吸収を少なくするために部分的に密着させられているから、引用発明の「冷却用パイプ（３２）」の内部に形成された空間は、本願補正発明と同様に冷却用パイプ（３２）（冷却部材）の内部に形成され、筒壁（９）（放電管）には接触せず、筒壁（９）（放電管）の外表面を覆っている、冷却液体（冷却液）を運ぶためのものであることは明らかである。
　したがって、引用発明の「冷却用パイプ（３２）」は本願補正発明の「冷却部材」に相当し、また、引用発明の「冷却用パイプ（３２）」の内部に形成された空間は、本願補正発明の「チャネル」に相当する。
　
（ウ）引用発明の「筒壁（９）にらせん状にまかれて、かつ冷却液体のマイクロ波吸収を少なくするために部分的に密着させられている冷却用パイプ（３２）」と本願補正発明の「放電管の外表面に熱的に結合されている放電管を覆っている金属製の冷却部材」とは、放電管の外表面に熱的に結合されている放電管を覆っている冷却部材の点で一致する。
　
（エ）引用刊行物１に記載された「活性化ガス」は、「本発明は減圧下のガスにマイクロ波電力を照射して活性化されたガスを発生する装置に関する。」記載事項１）との記載からみても明らかように、本願補正発明でいう「プラズマ」に相当する。
　また、引用発明の対象である「活性化ガス発生装置」は、冷却液体が流れる冷却用パイプ（３２）を備えているから、本願補正発明の対象である「液体冷却プラズマ・アプリケータ」に相当する。
　
　したがって、本願補正発明と引用発明とは、
「マイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の放電管と、（ｉ）冷却部材の内部に形成され、放電管には接触せず、放電管の外表面を覆っている、冷却液を運ぶためのチャネル、および（ｉｉ）放電管の外表面に熱的に結合されている放電管を覆っている冷却部材とを備えることを特徴とする、液体冷却プラズマ・アプリケータ。」の点で一致し、以下の点で相違する。
（ア）相違点１
　冷却部材の機能に関し、本願補正発明は、電界が放電管に入り、液体がチャネルを流れている間、放電管内のプラズマを持続させることを可能にするチャネルに隣接した媒体を画定するのに対して、引用発明は、その限定がされていない点。
（イ）相違点２
　冷却部材の材料に関し、本願補正発明は、金属製であるのに対して、引用発明は、その限定がされていない点。
　
エ　当審の判断
（ア）相違点１について
　引用発明の「冷却用パイプ（３２）」は、らせん状にまかれ、かつ冷却液体のマイクロ波吸収を少なくするために部分的に密着させられているので、冷却用パイプ（３２）における、らせん状のある部分と該部分に隣接するらせん状の他の部分との領域には、本願補正発明でいう「チャネルに隣接した媒体」が存在する。
　そして、引用刊行物１には、「第５図は別の実施例を示したもので原料ガスが供給され、マイクロ波電力を吸収して活性化されるガス活性化室を構成する筒壁（９）に冷却用パイプ（３２）がらせん状にまかれて密着させられているため、照射炉内へ挿入される冷却液体量が少なくてもよく、従って冷却液体のマイクロ波吸収を少なくできる。」（記載事項６）と記載されている。
　この記載及び第５図に図示された引用発明の「ガス活性化室の筒壁」に対する「冷却用パイプ（３２）」の取り付け状況からみて、引用発明も、電界が放電管（ガス活性化室の筒壁）に入り、冷却液体がチャネル（冷却用パイプ（３２）の内部）を流れている間、放電管内のプラズマを持続させることを可能にするチャネルに隣接する媒体を画定することは明らかである。
　
　したがって、相違点１に係る本願補正発明の発明特定事項は格別なものではない。
　
（イ）相違点２について
　引用発明の「冷却用パイプ（３２）」を金属製とすることは、「ガス活性化室の筒壁」を冷却用パイプ（３２）により冷却する効率、ガス活性化室の筒壁へ入射するマイクロ波の冷却用パイプ（３２）による吸収度合い、ガス活性化室の筒壁への装着の容易性等を考慮して、適宜に決定し得る事項に過ぎない。
　
　そして、本願補正発明の効果は、引用刊行物１の記載から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　
　よって、本願補正発明は、引用刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
（４）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第４項の規定に違反し、また、特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に違反するので、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３　本願発明について
　平成１７年１２月２７日付け手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明は、平成１６年７月２０日付けの手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される以下のとおりのものと認める。（以下「本願発明」という。）
「マイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の放電管と、（ｉ）冷却部材の内表面に沿うように形成され、管の外表面を覆っている、マイクロ波または無線波吸収冷却液を管の外表面上に運ぶためのチャネル、および（ｉｉ電界が管に入り、液体がチャネルを流れている間、管内のプラズマを持続させることを可能にするチャネルに隣接した媒体を画定する、その外表面が管に熱的に結合されている管を覆っている冷却部材とを備えることを特徴とする、液体冷却プラズマ・アプリケータ。」
　
４　引用刊行物に記載された発明
　引用刊行物１に記載された発明は、前記「２（３）イ」に記載されたとおりである。
　
５　対比
　本願発明と引用発明とを比較する。
　本願発明と引用発明とは、
「マイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の放電管と、（ｉ）冷却部材の内部に形成され管の外表面を覆っている、冷却液を管の外表面上に運ぶためのチャネル、および（ｉｉ）その外表面が管に熱的に結合されている管を覆っている冷却部材とを備えることを特徴とする、液体冷却プラズマ・アプリケータ。」の点で一致し、以下の点で相違する。
（１）相違点１
　冷却部材の内部に形成されるチャネルが、本願発明は、冷却部材の内表面に沿うように形成されているのに対して、引用発明は、その限定がされていない点。
（２）相違点２
　冷却液が、本願発明は、マイクロ波または無線波吸収冷却液であるのに対して、引用発明は、その限定がされていない点。
（３）相違点３
　冷却部材が、本願補正発明は、電界が管に入り、液体がチャネルを流れている間、管内のプラズマを持続させることを可能にするチャネルに隣接した媒体を画定するのに対して、引用発明は、その限定がされていない点。
　
６　判断
（１）相違点１
　本願発明の「冷却部材の内表面に沿うように形成されている」ことは格別ではなく、引用発明の「冷却部材の内部に形成されている」を「冷却部材の内表面に沿うように形成されている」と限定することは、容易である。
（２）相違点２
　引用刊行物１には、冷却液体（冷却液）として、「水、油、液化ガス」（記載事項５）が記載され、その内の水は、マイクロ波または無線波吸収することは明らかであるので、相違点２に係る本願発明の発明特定事項は、引用刊行物１の記載から容易である。
（３）相違点３
　相違点３は、本願補正発明と引用発明との相違点１と同一であるから、相違点３に係る本願発明の発明特定事項は、「２（３）エ　当審の判断　（ア）相違点１について」の項で述べたように、格別なものではない。
　
　そして、本願発明の効果は、引用刊行物１の記載から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　
７　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。