【手続補正書】
【提出日】平成24年8月31日(2012.8.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
これまで、インクジェット塗布に用いるＵＶ硬化型塗布材の塗布においては、硬化の可否を考慮する状態として、塗布ヘッド内に蓄えられている吐出前の段階と、塗布ヘッドから吐出されて対象基板に到達する前の吐出中の段階（上記特許文献２での「弾道」に沿って移動することに相当する段階）と、吐出されたＵＶ硬化型塗布材が対象基板に到達した後の段階との３つの段階を挙げている。前者の２つの段階では、ＵＶ硬化型塗布材が硬化しない方が良く、最後のＵＶ硬化型塗布材の滴が基板に到達した段階では、即硬化した方が良いものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
【図１】本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第１の実施形態の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す第１の実施形態の概略構成を示す上面図である。
【図３】図１，図２での１つの塗布ヘッドの部分を拡大して示す斜視図である。
【図４】図１における真空吸引部のＵＶ遮光の機能を持つインクジェット塗布の制御部の構成を示すブロック図である。
【図５】図３に示す真空吸引部の真空吸引の動作の一具体例をフローチャートである。
【図６】本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第２の実施形態の要部の概略構成を示す斜視図である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、各エアシリンダ２３は配管３４に接続されており、これら配管３４はバルブユニット３２を介してシリンダ駆動部としての加圧エア源３１に接続されている。通常、ＵＶシャッタ２２は、通常、バネなどによってこの真空吸引部２１の吸引口を塞ぐように、真空吸引部２１上に位置付けられており、塗布ヘッド１５のノズルの内部を吸引するときには、加圧エア源３１が動作するとともにバルブユニット３２が開き、これによってエアシリンダ２３が動作してＵＶシャッタ２２が移動して真空吸引部２１から外れる。これにより、この真空吸引部２１の吸引口が開放される。これとともに、真空ポンプ２９が作動して真空パルブ３０が開き、真空吸引部２１で吸引が行なわれる。この吸引が終了し、バルブユニット３２が閉じて加圧エア源３１が動作を停止すると、エアシリンダ２３の動作も停止し、バネなどの作用によってＵＶシャッタ２２が真空吸引部２１上に移動し、真空吸引部２１の吸引口が閉じる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
図１，図２において、塗布部１７でフィルム１の所定の塗布対象エリアでの塗布材の塗布が終了すると、巻出側フィルムロール２からフィルム１が巻き出され、また、巻取側フィルムロール３にこのフィルム１が巻き取られ、塗布部１７で次々に連続したフィルム１に塗布材の塗布を繰り返す。このフィルム１の次の塗布対象エリアが塗布部１７で塗布材の塗布ができる位置に配置できるように、フィルム１が巻出側フィルムロール２側から巻取側フィルムロール３側に搬送される。このときには、巻出部１６において、巻出側軸モータ１１によって回転駆動される巻出側フィルムロール２から巻き出されたフィルム１は、ガイドローラ４と昇降ガイドローラ６とによって支持されるが、このとき、昇降ガイドローラ６が吸着テーブル１０の吸着面よりも高い位置に上昇しており、また、巻取部１８では、フィルム１が昇降ガイドローラ７とガイトローラ５とで支持されて巻取側フィルムロール３に巻き取られるが、このとき、昇降ガイドローラ７が吸着テーブル１０の吸着面よりも高い位置に上昇している。これにより、塗布部１７では、フィルム１は持ち上げられて、吸着バー８，９や吸着テーブル１０に接触することなく、Ｘ軸方向に移動する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
塗布ヘッド１５は、撮像カメラ１９と紫外線の光源であるＵＶ光源２０とともに、Ｚ軸駆動手段２５によってＺ軸方向（高さ方向）の移動動作が可能である。Ｚ軸方向の移動動作が可能な構成手段の全ては、Ｘ軸駆動手段２４に取り付けられ、更に、複数のＸ軸駆動手段２４が共通のガントリ構造体をなすＹ軸駆動手段２６のガントリ２７に取り付けられており、全ての塗布ヘッド１５がＸＹ軸平面内で移動動作が可能である。これにより、図２でも説明したように、塗布ヘッド１５のノズルがＸＹ軸平面内を移動し、さらに、Ｚ軸方向の移動動作をし、個別に塗布材３５を射出することにより、フィルム１の塗布面にあらゆるパターンで塗布材３５を精細に塗布することが可能となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
即ち、図３において、搬送されたフィルム１は吸着テーブル１０で位置決め固定されるが、吸着テーブル１０の近傍であって、搬送方向とは直角方向にあたる外側位置に真空吸引部２１が設置されている。真空吸引部２１の上面では、真空ポンプ２９に連結された真空配管３３を通して真空吸引されている。この開放可能な真空吸引部２１の上面で、真空吸引部２１よりもさらに外側からフィルム１の搬送方向とは直角方向にシャッタ駆動用のエアシリンダ２３によって駆動されてＵＶシャッタ２２がスライド移動できる。ここで、ＵＶシャッタ２２の駆動源をエアシリンダとしたが、他のモータやソレノイド等の直線運動による移動を可能にするものであってもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
モータコントローラ３７ｅは、マイクロコンピュータ３７ａの制御のもとに、塗布ヘッド１５を取り付けたＸ軸駆動手段２４（図２）のＸ軸駆動モータを駆動するＸ軸ドライバ２４ｈｘやＺ軸駆動手段２５（図２）のＺ軸駆動モータを駆動するＺ軸ドライバ２５ｈｚを駆動制御し、また、Ｙ軸駆動手段２６のリニアモータあるいは駆動モータを駆動するＹ軸ドライバ２６ｈｙを駆動制御する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
一方、頻繁に真空吸引部２１で塗布ヘッド１５を真空吸引する使い方では、ＵＶ光源２０と一体の塗布ヘッド１５が真空吸引部２１から一定範囲内に入ってきたら、ＵＶシャッタ２２がスライド移動して真空吸引部２１の吸引口を閉じ、真空吸引部２１の内部を光学的に遮光し、範囲外となったらＵＶシャッタ２２が開く動作を行なうようにしており、図５のステップ１６０とステップ２００のＵＶシャッタ２２の開閉タイミングとは異なるが、他の個別の動作は図５と同様である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
以上のように、上記各実施形態では、ＵＶ硬化型塗布材を塗布する塗布ヘッド１５内部の気泡を除去するのに、真空吸引部２１でノズルを吸引するが、吸引しないときは遮光手段を用いることによって、過去の吸引によって飛散したＵＶ硬化型塗布材がＵＶ光３６に曝されることが極端に少なくなり、真空吸引部２１内が閉塞することがなくなり、安定した塗布動作を維持できる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
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