【事件の表示】
　平成１０年特許願第３２１８７０号「現像装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　５月２６日出願公開、特開２０００−１４７７８５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯 
　本願は、平成１０年１１月１２日の出願であって、平成１７年１月１３日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年３月１０日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年４月６日付けで手続補正がなされたものである。 
 　　　　　　　　　　　　　 
II．平成１７年４月６日付の手続補正についての補正却下の決定 
 　　　　　　　　　　　　　　 
［補正却下の決定の結論］ 
　平成１７年４月６日付の手続補正を却下する。 
 　　　　　　　　　　　　　　　　 
［理由］ 
１．補正後の本願発明 
　平成１７年４月６日付の手続補正には、特許請求の範囲を次のように補正しようとする補正事項が含まれている。
　　　　　　　　　　　　　　　　　
（補正前）
「　【請求項１】　選択的な露光処理を施したホトレジスト（感光性樹脂）を現像処理する装置において、この現像装置は現像液中に溶解したホトレジストの濃度を測定するホトレジスト濃度測定手段と、現像液中のホトレジスト濃度を設定した範囲内に収めるホトレジスト濃度調整手段と、現像液のアルカリ濃度を測定するアルカリ濃度測定手段と、現像液のアルカリ濃度を設定した範囲内に収めるアルカリ濃度調整手段を備え、前記ホトレジスト濃度測定手段は現像液の屈折率に基づいてホトレジスト濃度を算出するものであり、前記ホトレジスト濃度調整手段はホトレジスト濃度が規定値より高い場合に現像液の一部を廃棄するか現像新液を補給するものであり、前記アルカリ濃度調整手段はアルカリ濃度が設定値より低い場合に高濃度現像液を供給しアルカリ濃度が設定値より高い場合に純水を供給するものであることを特徴とする現像装置。
　　【請求項２】　請求項１に記載の現像装置において、前記アルカリ濃度測定手段は、現像液の導電率に基づいてアルカリ濃度を算出するものであることを特徴とする現像装置。
　　【請求項３】　請求項１または請求項２に記載の現像装置において、前記ホトレジスト濃度測定手段は、測定波長２１０〜１２６０ｎｍにおける現像液の屈折率に基づいてホトレジスト濃度を算出するものであることを特徴とする現像装置。
　　【請求項４】　請求項３に記載の現像装置において、前記ホトレジスト濃度測定手段は、測定波長４３０〜６６０ｎｍにおける現像液の屈折率に基づいてホトレジスト濃度を算出するものであることを特徴とする現像装置。
　　【請求項５】　請求項１乃至請求項４の何れかに記載の現像装置において、当該現像装置は、現像液を貯留する現像液貯留タンクを備え、当該現像液貯留タンクはロードセルにより支持されていることを特徴とする現像装置。
　　【請求項６】　請求項１乃至請求項５の何れかに記載の現像装置において、当該現像装置は、現像液を貯留する現像液貯留タンクを備え、当該現像液貯留タンク内の上部空間は高湿度かつ不活性ガス雰囲気にされていることを特徴とする現像装置。」
　　　　　　　　　　　　　　　
（補正後）
「【請求項１】　選択的な露光処理を施したホトレジスト（感光性樹脂）を現像処理する装置において、この現像装置は、ロードセルに支持される現像液貯留タンクと、この現像液貯留タンクに超純水、高濃度現像液及び現像新液を供給する配管と、この配管にバルブを介して接続される超純水供給源、高濃度現像液タンクおよび現像新液タンクと、現像液貯留タンク内の現像液中に溶解したホトレジストの濃度を屈折率に基づいて測定するホトレジスト濃度測定手段と、現像液中のホトレジスト濃度を設定した範囲内に収める屈折率制御装置と、現像液のアルカリ濃度を導電率に基づいて測定するアルカリ濃度測定手段と、現像液のアルカリ濃度を設定した範囲内に収めるべくアルカリ濃度測定手段の測定結果のみに基づいて制御を行う導電率制御装置を備え、
　ホトレジスト濃度が規定値より高い場合には、前記屈折率制御装置から現像液貯留タンクのドレン用配管のバルブに開信号が出力されて設定量の現像液が廃棄されるとともに前記現像新液タンクのバルブに開信号が出力されて現像液が現像液貯留タンクに供給され、　アルカリ濃度が規定値より低い場合には、前記導電率制御装置から前記高濃度現像液タンクのバルブに開信号が出力されて高濃度現像液が現像液貯留タンクに供給され、
　アルカリ濃度が規定値より高い場合には、前記導電率制御装置から前記超純水供給源のバルブに開信号が出力されて超純水が現像液貯留タンクに供給されることを特徴とする現像装置。
　【請求項２】　請求項１に記載の現像装置において、当該現像装置は、回収した現像液を貯留するタンクを備え、このタンク内の上部空間は高湿度かつ不活性ガス雰囲気にされていることを特徴とする現像装置。」 
 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 
　請求人は請求書において、上記補正において「旧請求項６を新請求項２に繰り上げています。」と主張するが、上記補正後の請求項２に係る発明は、補正前の請求項６に係る発明を特定するために必要な事項である「現像液を貯留する現像液貯留タンク」（図２の番号５のタンク）を、「回収した現像液を貯留するタンク」（図２の番号２５のタンク）に変更しようとするものであるから、請求項の削除、特許請求の範囲の減縮、誤記の訂正または明りょうでない記載の釈明の何れかを目的とするものに該当しない。
　したがって、上記手続補正は、特許法第１７条の２第４項の規定に違反するものであるから、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 
III．本願発明について 
１．本願の請求項１に係る発明 
　平成１７年４月６日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし６に係る発明は、平成１４年３月６日付け及び平成１６年３月１７日付けの手続補正書によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された事項により特定されるとおりのものと認められ、そのうち請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は次のとおりのものである。
　なお、平成１６年１０月１３日付けの手続補正は、平成１７年１月１３日付けで決定を以て却下された。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　
「【請求項１】　選択的な露光処理を施したホトレジスト（感光性樹脂）を現像処理する装置において、この現像装置は現像液中に溶解したホトレジストの濃度を測定するホトレジスト濃度測定手段と、現像液中のホトレジスト濃度を設定した範囲内に収めるホトレジスト濃度調整手段と、現像液のアルカリ濃度を測定するアルカリ濃度測定手段と、現像液のアルカリ濃度を設定した範囲内に収めるアルカリ濃度調整手段を備え、前記ホトレジスト濃度測定手段は現像液の屈折率に基づいてホトレジスト濃度を算出するものであり、前記ホトレジスト濃度調整手段はホトレジスト濃度が規定値より高い場合に現像液の一部を廃棄するか現像新液を補給するものであり、前記アルカリ濃度調整手段はアルカリ濃度が設定値より低い場合に高濃度現像液を供給しアルカリ濃度が設定値より高い場合に純水を供給するものであることを特徴とする現像装置。」 
 　　　　　　　　　　　　　　 
２．刊行物の記載事項 
（１）原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開平７−１１０５８０号公報（以下、「刊行物１」という。）には、以下の事項が記載されている。 
（１ａ）「【請求項１】感光性樹脂が塗布されかつ所定のパターンに露光された基板をアルカリ現像液により現像する基板現像装置であって、
前記基板が収容される現像処理部と、
前記アルカリ現像液が貯溜される現像液貯溜部と、
前記現像処理部と前記現像液貯溜部との間で前記アルカリ現像液を循環させる循環手段と、
前記現像液貯溜部内のアルカリ現像液に溶解した前記感光性樹脂の溶解樹脂濃度を測定する溶解樹脂濃度測定手段と、
前記現像液貯溜部内のアルカリ現像液のアルカリ濃度を測定するアルカリ濃度測定手段と、
前記現像液貯溜部内のアルカリ現像液の溶解樹脂濃度測定手段の測定結果に応じて、前記溶解樹脂濃度を制御する溶解樹脂濃度制御手段と、
前記現像液貯溜部内のアルカリ現像液の溶解樹脂濃度測定手段及び前記アルカリ濃度測定手段の測定結果に応じて、前記アルカリ濃度を制御するアルカリ濃度制御手段と、を備えた基板現像装置。」
（１ｂ）「【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の構成では、現像液中のアルカリ濃度を検出し、それに基づいて現像液中のアルカリ濃度を調整するようになっている。また、現像液中のフォトレジスト濃度を検出し、その検出結果に基づいて現像液中のフォトレジスト濃度を調整するようになっており、アルカリ濃度とフォトレジスト濃度の相関関係については考慮されていない。
【０００５】ところが、本発明者が見出した知見によれば、同一のアルカリ濃度であっても、フォトレジスト濃度の大小によって現像液の現像能力が変化する。すなわち、フォトレジスト濃度が低い場合には、アルカリ濃度がそれ程高くなくても比較的高い現像能力が発揮され、逆にフォトレジスト濃度が高くなれば現像能力が低下する。
【０００６】したがって、前記従来の構成では、現像液中のアルカリ濃度の制御をアルカリ濃度の測定結果にのみ基づいて行っているため、正確な現像制御が行えない。すなわち、フォトレジスト濃度の低い状態で適切な現像が行えるようにアルカリ濃度を設定すれば、フォトレジスト濃度が高くなったときに現像が不充分になる。一方、フォトレジスト濃度が高い状態で良好な現像が行えるようにアルカリ濃度を設定すれば、フォトレジスト濃度が低いときに現像が進みすぎてしまう。
【０００７】本発明の目的は、アルカリ現像液による基板現像をより正確に行えるようにすることにある。」
（１ｃ）「【００１１】
【実施例】図１において、本発明の一実施例による現像装置は、たとえばＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド）等のアルカリ現像液が貯溜される現像液貯溜槽１と、現像液貯溜槽１から送られた現像液によりガラス基板２に対して現像処理を施すための現像処理部３と、標準濃度あるいはそれより低濃度の新鮮な現像液または純水を現像液貯溜槽１に供給するための新鮮現像液貯溜部４と、現像原液（標準濃度の現像液の２〜１０倍の濃厚液）を現像液貯溜槽１に供給するための濃厚現像液貯溜部５と、現像液貯溜槽１内の現像液のアルカリ濃度及びフォトレジスト濃度を測定するための現像液測定部６とを主として有している。」
（１ｄ）「【００１４】現像液測定部６には、現像液供給管１６の途中から分岐する測定配管１７と、オーバーフローした液を戻し管１２に戻すオーバーフロー管１８とが接続されている。現像液測定部６には、現像液のアルカリ濃度を測定するための導電率計１９と、現像液中に溶解したフォトレジストの濃度を測定するための光学センサ（たとえば吸光度計、透過率計または濁度計）２０とが配置されている。測定配管１７の途中にはポンプＰ３が配置されている。ここでは、測定配管１７が現像液供給管１１の途中から分岐しているので、現像処理部３に送られる途中の現像液のアルカリ濃度及びフォトレジスト濃度を測定できる。このため、貯溜槽１内の現像液のアルカリ濃度やフォトレジスト濃度を測定する場合に比べて測定精度が高い。」
（１ｅ）「【００１８】…この現像装置は、制御部２１を有している。制御部２１には、アラーム２２、ポンプＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４、排液弁ＳＶ、液面計１４、導電率計１９、光学センサ２０等が接続されている。制御部２１は、マイクロコンピュータからなり、導電率計１９によって測定された導電率からアルカリ濃度を算出する。また、光センサ２０の検出結果により、透過率を求め、透過率からレジスト濃度を算出する。」
（１ｆ）「【００１９】この制御部２１は、図２に示す制御フローチャートにしたがった制御動作（後述）を実行して現像装置全体を制御するが、特に現像液中のフォトレジスト濃度とアルカリ濃度とに関しては、図５に示す斜線領域内にあるように制御する。この結果、アルカリ現像液中の溶解樹脂濃度ｘ（グラム／リットル）は
０．０≦ｘ≦０．２
の範囲内にあるように制御され、アルカリ濃度ｙ（重量％）は
Ｙ×（ｘ／１０＋０．９８）≦ｙ≦Ｙ×（ｘ／１０＋１．０２）
の範囲内にあるように制御される。ただし、Ｙは未使用アルカリ現像液のアルカリ濃度であり、図５の例ではＹは２．３８（重量％）である。
【００２０】図５の斜線領域内にレジスト濃度とアルカリ濃度とがあるように制御するのは、以下の実験結果に基づいている。」
（１ｇ）【００２８】〜【００２９】「現像処理部３では、収容された基板２に対して現像処理が施される。また、測定部６において現像液のアルカリ濃度及びレジスト濃度が測定される。…導電率計１９及び光センサ２０の測定結果により、現像液中のアルカリ濃度ｙ（重量％）がＹ×（ｘ／１０＋０．９８）以上であるか否かを判断する。アルカリ濃度ｙがこの下限値以下の場合には、…アルカリ濃度が低すぎるので、ポンプＰ２をＯＮし、濃厚現像液貯溜部５から濃厚現像液を貯溜槽１に補給する。…導電率計１９及び光センサ２０の測定結果により、アルカリ濃度ｙ（重量％）がＹ×（ｘ／１０＋１．０２）に達したか否かを判断する。アルカリ濃度ｙが上限に至った場合には…ポンプＰ２をＯＦＦする。」
（１ｈ）「【００３０】…光センサ２０の透過率の測定結果により、レジスト濃度ｘ（ｇ／ｌ）が０．２（上限）以上となっているか否かを判断する。フォトレジスト濃度ｘが上限に達している場合には、…ポンプＰ１をＯＮする。これにより新鮮現像液貯溜部４から新鮮な現像液が貯溜槽１に補給される。」
（１ｉ）「【００３５】〔他の実施例〕…
（ｂ）  新鮮現像液貯溜部４及び濃厚現像液貯溜部５に加えて純水貯溜部を設け、３種類の液により濃度管理を行う構成としてもよい。」
（１ｊ）図１には、以下の図面が記載されている。
 　　　　　　　　　　 
（２）原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開昭６２−１８６２６６号公報（以下、「刊行物２」という。）には、以下の事項が記載されている。 
（２ａ）「（１）被加工物の表面に塗布されたパターン形成剤を露光後、現像液を用いて現像する現像装置において、前記現像液中に溶解した前記パターン形成剤の濃度を測定する測定手段を設けることを特徴とする現像装置。
（２）前記測定手段が可視・紫外の光度計、屈折率計、ＣＯＤ測定装置、ＤＯＣ測定装置であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の現像装置。
（３）前記測定手段による前記パターン形成剤の濃度に応じて、前記現像液を自動交換する自動交換手段を設けることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の現像装置。」（特許請求の範囲第１〜３項）
（２ｂ）「フォトリソグラフィー技術を用いて被加工物の表面をエツチングする事により各種製品を製造する事が工業上特に電子工業の分野において広く利用されている。このエツチングの際には被加工物表面にパターン形成剤たる感光性樹脂（フォトレジスト）を塗布した後、該レジストを所望パターンにて露光後現像する事が行われる」（第１頁左下欄第７〜１３行）
（２ｃ）「溶解したパターン形成剤の濃度を測定する測定手段としては…屈折率計…等があり、…これ等の測定手段の検出部たるセンサ５…により検出された前記パターン形成剤の濃度により現像液２の使用可否が判断され液管理が行われる。」（第２頁右上欄第１０〜１７行）
 　　　　　　　　　　　　　　 
（３）原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特許第２５６１５７８号公報（以下、「刊行物３」という。）には、以下の事項が記載されている。
（３ａ）「【請求項１】  感光性有機樹脂用アルカリ系現像液の溶解樹脂濃度を吸光光度計（１６）により検出してアルカリ系現像液を排出する現像液排出手段と、アルカリ系現像液の液面レベルを液面レベル計（３）により検出してアルカリ系現像原液と純水とを補給する第一補給手段と、アルカリ系現像液のアルカリ濃度を導電率計（１５）により検出してアルカリ系現像原液又は純水を補給する第二補給手段とを備えたことを特徴とする現像液管理装置。
【請求項２】  第一補給手段において、アルカリ系現像原液と純水とを補給する代わりに、アルカリ系現像原液と純水とを予め調合したアルカリ系現像新液を補給するようにしたことを特徴とする請求項１記載の現像液管理装置。」
（３ｂ）「【０００６】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、現像処理槽のアルカリ系現像液中に溶解した樹脂濃度は、その吸光度と密接な関係（高度な直線関係）にあることを実験により確認したことから、樹脂濃度を吸光度測定することにより調整、制御し、さらにアルカリ系現像液中のアルカリ濃度が、その導電率との間に密接な関係（使用濃度付近においては、高度な直線関係）にあることを実験によって確認したことから、アルカリ濃度を導電率測定により調整、制御するようにしたものであり、アルカリ濃度と樹脂濃度の両方を同時に管理するようにしたものである。すなわち、上記の目的を達成するために、本発明の現像液管理装置は、図１に示すように、感光性有機樹脂用アルカリ系現像液の溶解樹脂濃度を吸光光度計１６により検出してアルカリ系現像液を排出する現像液排出手段と、アルカリ系現像液の液面レベルを液面レベル計３により検出してアルカリ系現像原液と純水とを補給する第一補給手段と、アルカリ系現像液のアルカリ濃度を導電率計１５により検出してアルカリ系現像原液又は純水を補給する第二補給手段とを備えたことを特徴としている。また、本発明の現像液管理装置は、第一補給手段において、アルカリ系現像原液と純水とを補給する代わりに、図２に示すように、アルカリ系現像原液と純水とを予め調合したアルカリ系現像新液を補給するようにしたことを特徴としている。」
（３ｃ）「【０００９】図２は、本発明の他の実施例を示す装置系統図である。本実施例は、アルカリ系現像液の液面レベルを液面レベル計３により検出してアルカリ系現像原液と純水とを補給する代わりに、図２に示すように、アルカリ系現像液の液面レベルを液面レベル計３により検出してアルカリ系現像原液と純水とを予め混合して調合したアルカリ系現像新液を補給するように構成したものである。２７は現像新液供給缶、２８は新液流量調節弁である。他の構成は図１の場合と同様である。」
（３ｄ）「【００１１】本発明者は、アルカリ系現像液のアルカリ濃度と導電率の関係を実験により検討し、図６に示す如く使用濃度付近においては、導電率に対してアルカリ濃度が支配的で高度な直線相関をもって測定できることを確認した。…管路１０から導入した試料液の導電率測定値は、導電率制御器２５に入力して、その値が目標値になるように、出力信号によりアルカリ系現像原液又は純水を流量調節弁２１、２２により、それぞれ自動制御してアルカリ濃度を目標値に調整するまで補給する。」
（３ｅ）「【００１２】…図１に示す実施例装置が意図した制御系統の機能的関連について述べる。…
【００１３】…現像処理が開始されると、アルカリ濃度低下、基板の持ち出しによる液の減量及び溶解樹脂濃縮が進行する。アルカリ濃度低下の場合は、導電率計１５がアルカリ系現像液の導電率を連続測定して、導電率制御器２５の出力信号によりアルカリ系現像原液を適正な微少流量において、流量調節弁２１により弁開度を調節して送液され、目標値のアルカリ濃度になるよう自動制御される。…溶解樹脂濃度が濃縮されて劣化限界値に達した場合は、吸光光度計１６が、アルカリ系現像液の溶解樹脂濃度を連続測定して劣化限界値を超えたことを検出し、吸光度制御器２６の出力信号により排出ポンプ１８が作動し、劣化したアルカリ系現像液を現像処理槽１より抜き出してドレン管に廃棄するか、または直接系外に廃棄する。その結果、液面レベルが低下し、液面レベル計３が下降した液面レベルを検出して、液面レベル制御器２４の出力信号により、アルカリ系現像原液及び純水を適正な流量比において、流量調節弁２１、２２により弁開度を調節して送液される。新鮮なアルカリ系現像液が補給されるので、溶解樹脂濃度は劣化限界値に希釈されることで現像性能が回復し、排出ポンプ１８は停止する。」
（３ｆ）図１には、以下の図面が記載されている。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（３ｇ）図２には、以下の図面が記載されている。
 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 
３．対比・判断 
　上記摘記事項（１ａ）〜（１ｊ）より、刊行物１には下記の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されている。 
　「感光性樹脂が塗布されかつ所定のパターンに露光された基板をアルカリ現像液により現像する基板現像装置であって、前記アルカリ現像液が貯溜される現像液貯溜部と、前記現像液貯溜部内のアルカリ現像液に溶解した前記感光性樹脂の溶解樹脂濃度を測定するための光学センサ、たとえば吸光度計、透過率計または濁度計からなる溶解樹脂濃度測定手段と、前記現像液貯溜部内のアルカリ現像液のアルカリ濃度を測定するための導電率計からなるアルカリ濃度測定手段と、前記現像液貯溜部内のアルカリ現像液の溶解樹脂濃度測定手段の測定結果において、実験結果に基づいて予め設定されたレジスト濃度範囲の上限値以上となっている場合には、新鮮現像液貯溜部から新鮮な現像液を現像液貯溜部に補給することで、前記溶解樹脂濃度を制御する溶解樹脂濃度制御手段と、前記現像液貯溜部内のアルカリ現像液の溶解樹脂濃度測定手段及び前記アルカリ濃度測定手段の測定結果において、測定したアルカリ濃度が、実験に基づいて予め設定された式より算出される、測定したホトレジスト濃度の値に適したアルカリ濃度範囲の下限値以下の場合には、濃厚現像液貯溜部から濃厚現像液を現像液貯溜部に補給することで、前記アルカリ濃度を制御するアルカリ濃度制御手段と、を備えた基板現像装置。」
 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　そこで、本願発明１と、刊行物１発明とを対比する。 
　まず、後者における「感光性樹脂の溶解樹脂濃度」、「溶解樹脂濃度測定手段」、「溶解樹脂濃度制御手段」、「アルカリ濃度制御手段」、「新鮮な現像液」、「濃厚現像液」は、前者における「溶解したホトレジストの濃度」、「ホトレジスト濃度測定手段」、「ホトレジスト濃度調整手段」、「アルカリ濃度調整手段」、「現像新液」、「高濃度現像液」にそれぞれ相当する。 
　してみると、本願発明１と刊行物１発明とは、 
「選択的な露光処理を施したホトレジスト（感光性樹脂）を現像処理する装置において、この現像装置は現像液中に溶解したホトレジストの濃度を測定するホトレジスト濃度測定手段と、現像液中のホトレジスト濃度を設定した範囲内に収めるホトレジスト濃度調整手段と、現像液のアルカリ濃度を測定するアルカリ濃度測定手段と、現像液のアルカリ濃度を設定した範囲内に収めるアルカリ濃度調整手段を備え、前記ホトレジスト濃度測定手段は現像液の光学的特性に基づいてホトレジスト濃度を算出するものであり、前記ホトレジスト濃度調整手段はホトレジスト濃度が規定値より高い場合に現像新液を補給するものであり、前記アルカリ濃度調整手段はアルカリ濃度が設定値より低い場合に高濃度現像液を供給するものであることを特徴とする現像装置。」 
である点で一致し、以下の点で相違する。 
 　　　　　　　　　　　　　　　　　 
［相違点１］ 
　ホトレジスト濃度を測定するための現像液の光学的特性について、本願発明１では、「屈折率」と特定しているのに対して、刊行物１発明では、吸光度、透過率、濁度を挙げている点。
　　　　　　　　　　　　　　
［相違点２］
　アルカリ濃度の設定値について、本願発明１では、設定値の算出方法を特定していないものの、具体的にはアルカリ濃度のみから設定しているのに対して、刊行物１発明では、実験に基づいて予め設定された式より算出される、測定したホトレジスト濃度の値に適したアルカリ濃度から設定している点。
　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点３］
　本願発明１では、アルカリ濃度が設定値より高い場合に純水を供給すると特定しているのに対して、刊行物１発明では、かかる特定がない点。
　　　　　　　　　　　　　　　　
　そこで、まず相違点１について検討する。 
　屈折率計を用いて、現像液中に溶解したホトレジスト濃度（パターン形成剤の濃度）を測定し、測定された濃度により、現像液の使用可否を判断し、液管理することは、刊行物２に記載されている（２ａ〜２ｃ参照）。
　本願明細書には、現像液の屈折率を測定することにより、現像液の変色や濁りに影響されず、吸光光度計で測定したものよりも精度良い測定ができると記載されているところ、刊行物２には、光度計も屈折率計も同等の測定手段として記載されているにすぎない。
　しかし、吸光光度計で用いる波長は、測定しようとするレジストの種類に応じて選択されるものであり、その波長が他の影響を受ける場合に、公知の他の測定方法を試み、より精度の高い測定方法を採用しようとすることは、当業者が容易になし得ることであり、刊行物１発明のホトレジスト濃度を測定するための現像液の光学的特性として、刊行物２に示されている屈折率を採用することは、当業者にとって格別困難ではない。
　　　　　　　　　　　　　　　
　次に、相違点２について検討する。
　そもそも本願発明１では、アルカリ濃度の設定値の算出方法を特定していないのだから、相違点２は、実質的な差異とはいえないが、請求人は請求書において、刊行物１（引用文献１）は、アルカリ濃度を制御するための濃厚現像液の供給は、溶解樹脂アルカリ濃度測定手段（導電率計）の測定結果だけでなく溶解樹脂濃度測定手段の測定結果の両方に基づいて行うのに対して、本願発明では、アルカリ濃度制御手段がアルカリ濃度測定手段の測定結果のみに基づいて制御を行う点で、基本的に刊行物１と本願発明は異なる旨主張しているから、一応検討する。
　刊行物１には、測定したホトレジスト濃度の値に適したアルカリ濃度を、予め実験的に求めた式により算出し、測定したアルカリ濃度が、その算出された値の範囲内になるように、濃厚現像液を供給する等してアルカリ濃度を調整し、現像能力の高い現像液を調整できる手段が記載されているが、刊行物１には、従来技術として、現像液中のアルカリ濃度を検出し、それに基づいて現像液中のアルカリ濃度を調整する点が記載され（１ｂ参照）、刊行物３には、アルカリ系現像液のアルカリ濃度を導電率計１５により検出してアルカリ系現像原液又は純水を補給する点が記載されているように（３ｂ参照）、アルカリ濃度制御手段がアルカリ濃度測定手段の測定結果のみに基づいて制御を行うことも、本願出願前に周知の事項である。
　確かに、上記周知技術のように、アルカリ濃度の測定結果のみに基づいて制御する方が、現像能力が多少劣る現像液が調整されるかもしれない。しかし、ホトレジスト濃度の影響は、ホトレジストやアルカリの種類によっても異なるから、ホトレジスト濃度の影響が少ない場合、または厳密な制御が要求されない場合に、従来より周知のアルカリ濃度の測定結果のみに基づいてアルカリ濃度の設定値を決めることは、当業者にとって適宜なし得る程度のことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　
　最後に相違点３について検討する。
　刊行物３には、測定したアルカリ濃度が目標値になるまで、アルカリ系現像原液又は純水を補給する点が記載されている（３ｄ参照）。
　ここで、刊行物３には、測定したアルカリ濃度が、目標値に対してどのような状態であった場合に、純水を補給するのか明記されていないが、純水を補給すると、現像液のアルカリ濃度が低下するのは自明である。
　よって、アルカリ濃度が目標値になるまで、純水を補給するということは、現像液のアルカリ濃度が目標値より高いことを示しており、刊行物３においては、測定したアルカリ濃度が高い時に、純水を補給しているものと認められる。
　そして、刊行物１には、新鮮現像液貯溜部４及び濃厚現像液貯溜部５に加えて純水貯溜部を設け、３種類の液により濃度管理を行う構成としてもよい点が示唆されているのだから（１ｊ参照）、刊行物１発明において、純水貯溜部を設け、測定したアルカリ濃度が設定値より高い時に純水を補給することは、当業者にとって容易に想到し得ることである。
 　　　　　　　　　　　 
　なお、請求人は請求書において、「引用文献３には本願の現像新液タンク１に相当するタンクは開示されていません。したがって、引用文献１に引用文献３を組み合わせた場合には、『屈折率制御装置１３から現像液貯留タンク５のドレン用配管のバルブ９に開信号が出力されて設定量の現像が廃棄されるとともに現像新液タンク１のバルブ１ａに開信号が出力されて現像液が現像液貯留タンク５に供給される』という発明特定事項が成立しなくなります。」と主張する。
　しかし、刊行物３（引用文献３）には、アルカリ系現像液の溶解樹脂濃度が濃縮されて劣化限界値に達した場合、アルカリ系現像液を廃棄し、アルカリ系現像原液及び純水を適正な流量比で補給する点（３ｅ参照）、上記補給する際に、アルカリ系現像原液と純水とを予め混合して調合したアルカリ系現像新液を補給するようにし、現像新液供給缶２７、新液流量調節弁２８を設けても良い点（３ｂ、３ｃ参照）が記載されているから、上記主張は採用できない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　そして、本願明細書及び図面の記載、及び請求書の記載を検討しても、ホトレジスト濃度測定手段、ホトレジスト濃度調整手段、アルカリ濃度測定手段、アルカリ濃度調整手段がすべて本願発明１で特定した範囲内であるものを現像装置としたことによる作用効果は、格別顕著なものであるとは認められない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　
IV．むすび 
　以上のとおり、本願発明１は、刊行物１ないし刊行物３に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、他の請求項について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。