(57)【要約】      （修正有）【課題】ハウジング内の構成部材に発生する熱を良好に放熱し得るようにハウジングの放熱構成に工夫を凝らして、余分な構成に依存することなく、簡単な放熱構成でもってハウジング内に生ずる熱を放熱するようにした電動弁を提供する。【解決手段】ハウジングの前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁が、複数の放熱凹部６２とともに、凹凸状放熱部を構成している。ここで、複数の放熱凹部６２は、中側ハウジング部材Ｈａの各前側壁部１０ａ、２０ａ、３０ａ及び４０ａ毎に、４条ずつ、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁の周方向には所定間隔をおいて、前側ハウジング部Ｈａｆの前後方向には互いに平行となるように形成されている。【選択図】図３
0003165083.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
筒状に形成されたハウジングと、
このハウジングの軸方向一側収容部内に同軸的に収容される電動機と、
前記ハウジングの軸方向他側収容部内に収容される弁機構と、
運動方向変換軸部材とを備えており、
前記弁機構は、
前記軸方向他側収容部内にて前記電動機から離れる方向へ軸方向に移動可能に延出するように支持される軸状弁体と、
前記軸方向他側収容部内にて前記軸状弁体の延出端部と共に弁部を構成するように流入路と流出路との境界部に設けられる弁座とを備えており、
前記運動方向変換軸部材は、前記軸状弁体から前記電動機に向け同軸的に延出されて、その延出側軸部位にて、当該電動機の回転を軸方向移動に変換するように前記電動機のロータに同軸的に軸方向に移動可能に螺合されており、
前記軸状弁体は、前記軸方向他側収容部内にてその周方向には回転不能に軸方向には同軸的に移動可能となるように前記軸方向他側収容部との間にて構成されており、
前記軸方向他側収容部は、その外周部にて、凹凸状放熱部として形成されてなる電動弁。
【請求項２】
筒状に形成されたハウジングと、
このハウジングの軸方向一側収容部内に同軸的に収容される電動機と、
前記ハウジングの軸方向他側収容部内に収容される弁機構と、
運動方向変換軸部材とを備えており、
前記弁機構は、
前記軸方向他側収容部内にて前記電動機から離れる方向へ軸方向に移動可能に延出する軸状弁体であってその延出基部の外周部に軸方向に延在するように周方向に沿い間隔をおいて複数のスプライン歯部を突設してなる軸状弁体と、
前記軸方向他側収容部内にて前記軸状弁体の延出端部と共に弁部を構成するように流入路と流出路との境界部に設けられる弁座とを備えており、
前記運動方向変換軸部材は、前記軸状弁体から前記電動機に向け同軸的に延出されて、その延出側軸部位にて、前記電動機の回転を軸方向移動に変換するように前記電動機のロータに軸方向にかつ移動可能に螺合されており、
前記軸方向他側収容部は、その前記延出基部に対する対応中空部位から軸方向に延在するように周方向に沿い間隔をおいて複数の摺動溝部を凹設してなり、
前記軸状弁体は、前記延出基部にて、前記軸方向他側収容部の前記対応中空部位内に同軸的に挿入されて、前記複数のスプライン歯部にて、前記複数の摺動溝部内に軸方向に摺動可能に位置しており、
前記軸方向他側収容部は、その前記対応中空部位に対する対応外周部にて、凹凸状放熱部として形成されてなる電動弁。
【請求項３】
前記ハウジングの前記軸方向一側収容部は、その外周部にて、凹凸状放熱部として形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の電動弁。
【請求項４】
前記ハウジングの前記軸方向一側収容部の前記凹凸状放熱部は、前記軸方向一側収容部の少なくとも一部に軸方向に延在するように周方向に間隔をおいて形成してなる複数の凹部を有することを特徴とする請求項３に記載の電動弁。
【請求項５】
前記ハウジングの前記軸方向他側収容部の前記凹凸状放熱部は、前記軸方向他側収容部の前記対応外周部の少なくとも一部に軸方向に延在するように周方向に間隔をおいて溝状に形成してなる複数の凹部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の電動弁。
【請求項６】
前記ハウジングの前記軸方向他側収容部の前記凹凸状放熱部は、前記ハウジングの前記軸方向他側収容部の前記対応外周部の少なくとも一部に格子状に分散して凹状に形成してなる複数の凹部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の電動弁。
【請求項７】
前記ハウジングの前記軸方向他側収容部の前記凹凸状放熱部は、前記軸方向他側収容部の前記対応外周部の少なくとも一部に周方向に延在するように軸方向に間隔をおいて溝状に形成してなる複数の凹部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の電動弁。
【請求項８】
前記ハウジングは、その外周壁にて、上壁、左右両壁及び下壁を有するように断面矩形状に形成されており、
前記ハウジングの前記上壁、左右両壁及び下壁のうち少なくとも前記上壁及び左右両壁が、その前記軸方向一側収容部及び前記軸方向他側収容部に対する各対応壁部にて、それぞれ、前記各対応の凹凸状放熱部を形成してなることを特徴とする請求項３〜７のいずれか１つに記載の電動弁。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、電動弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の電動弁としては、下記特許文献１に記載の流量制御弁が提案されている。この流量制御弁におけるミドルカバーの略四角筒状の外壁部には、当該流量制御弁の上部カバー及びミドルカバーにより形成される空間内に不活性ガスを供給する供給部と、上記空間内に供給された不活性ガスを排出する排出部とが設けられている。
【０００３】
このように構成した流量制御弁によれば、不活性ガスが供給部に供給されると、当該不活性ガスは、ミドルカバー内に流入して、このミドルカバーと上部カバーとにより形成された空間内を循環して、上部カバー及びミドルカバー内に収容してなるリニアステッピングモータの発生熱の影響を受ける部品を冷却して、排出部から排出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１４２６０号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述のように構成した流量制御弁によれば、リニアステッピングモータの発生熱の影響を受ける部品を冷却するにあたり、上述のようにミドルカバーの略四角筒状の外壁部に対し供給部及び排出部を設け、かつ、上述のように流動する不活性ガスを採用するという余分な構成を、別途、必要とし、その結果、ミドルカバーの構成、ひいては、流量制御弁の構成が複雑になるという不具合が生ずる。さらには、上述の冷却を適正に維持するためには、不活性ガスを供給部に供給し続けなければならず、その結果、不活性ガスの無駄な消費を招くという不具合も生ずる。
【０００６】
そこで、本考案は、以上のようなことに対処するため、ハウジング内の構成部材に発生する熱を良好に放熱し得るようにハウジングの放熱構成に工夫を凝らして、余分な構成に依存することなく、簡単な放熱構成でもってハウジング内に生ずる熱を放熱するようにした電動弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題の解決にあたり、本考案に係る電動弁は、請求項１の記載によれば、
筒状に形成されたハウジング（Ｈ）と、
このハウジングの軸方向一側収容部（７０）内に同軸的に収容される電動機（Ｍ）と、
ハウジングの軸方向他側収容部（６０）内に収容される弁機構（Ｖ）と、
運動方向変換軸部材（８０）とを備えており、
弁機構は、
上記軸方向他側収容部内にて電動機から離れる方向へ軸方向に移動可能に延出するように支持される軸状弁体（９０）と、
上記軸方向他側収容部内にて軸状弁体の延出端部（９０ｂ）と共に弁部を構成するように流入路（１５０ａ）と流出路（１５０ｂ）との境界部に設けられる弁座（１５６）とを備えており、
運動方向変換軸部材は、軸状弁体から電動機に向け同軸的に延出されて、その延出側軸部位にて、当該電動機の回転を軸方向移動に変換するように電動機のロータ（１３０）に同軸的に軸方向に移動可能に螺合されており、
軸状弁体は、上記軸方向他側収容部内にてその周方向には回転不能に軸方向には同軸的に移動可能となるように上記軸方向他側収容部との間にて構成されており、
上記軸方向他側収容部は、その外周部にて、凹凸状放熱部として形成されてなるものである。
【０００８】
これによれば、上述のようにハウジングを構成する軸方向両側収容部のうちの軸方向他側収容部が、その外周部にて、凹凸状放熱部として形成されている。このため、軸方向他側収容部の外周壁の表面積が、凹凸状放熱部の凹凸表面の面積の総和分だけ増大する。
【０００９】
従って、電動機を回転するとともにこの電動機の回転のもとに運動方向変換軸部材が軸状弁体側への軸方向移動及びその逆方向への移動を繰り返すことにより、電動機が発熱するとともに摩擦熱が軸状弁体と軸方向他側収容部との間で発生しても、電動機により発生される熱とともに上記摩擦熱は軸方向他側収容部の外周壁の凹凸状放熱部を介し良好に放熱され得る。その結果、電動弁の温度が適正に維持され得る。
【００１０】
また、本考案に係る電動弁は、請求項２の記載によれば、
筒状に形成されたハウジング（Ｈ）と、
このハウジングの軸方向一側収容部（７０）内に同軸的に収容される電動機（Ｍ）と、
ハウジングの軸方向他側収容部（６０）内に収容される弁機構（Ｖ）と、
運動方向変換軸部材（８０）とを備えており、
弁機構は、
上記軸方向他側収容部内にて電動機から離れる方向へ軸方向に移動可能に延出する軸状弁体であってその延出基部（９１）の外周部に軸方向に延在するように周方向に沿い間隔をおいて複数のスプライン歯部（９１ａ）を突設してなる軸状弁体（９０）と、
上記軸方向他側収容部内にて軸状弁体の延出端部（９０ｂ）と共に弁部を構成するように流入路（１５０ａ）と流出路（１５０ｂ）との境界部に設けられる弁座（１５６）とを備えており、
運動方向変換軸部材は、軸状弁体から電動機に向け同軸的に延出されて、その延出側軸部位にて、電動機の回転を軸方向移動に変換するように電動機のロータ（１３０）に軸方向にかつ移動可能に螺合されており、
上記軸方向他側収容部は、その上記延出基部に対する対応中空部位から軸方向に延在するように周方向に沿い間隔をおいて複数の摺動溝部（６１）を凹設してなり、
軸状弁体は、上記延出基部にて、上記軸方向他側収容部の上記対応中空部位内に同軸的に挿入されて、上記複数のスプライン歯部にて、上記複数の摺動溝部内に軸方向に摺動可能に位置しており、
上記軸方向他側収容部は、その上記対応中空部位に対する対応外周部にて、凹凸状放熱部として形成されてなるものである。
【００１１】
これによれば、電動機の回転のもとに複数のスプライン歯部が、複数の摺動溝部に沿い運動方向変換軸部材と同一方向への摺動を繰り返すことで、電動機が発熱するとともに上述した摩擦熱が発生することとなっても、電動機からの熱及び上記摩擦熱が、軸方向他側収容部の外周壁の凹凸状放熱部を介し良好に放熱され得る。その結果、電動弁の温度が適正に維持され得る。
【００１２】
なお、請求項２の記載において、運動方向変換軸部材の延出側軸部位の外周部に雄ねじ部を形成し、ロータに雌ねじ穴部を同軸的に形成して、運動方向変換軸部材の雄ねじ部を、ロータの雌ねじ穴部内に軸方向に移動可能に螺合させることで、運動方向変換軸部材をロータに軸方向にかつ移動可能に螺合するようにしてもよい。
【００１３】
また、本考案は、請求項３に記載のように、請求項１または２に記載の電動弁において、
ハウジングの上記軸方向一側収容部は、その外周部にて、凹凸状放熱部として形成されていることを特徴とする。
【００１４】
これによれば、電動機からの発熱が、軸方向他側収容部の外周壁の凹凸状放熱部だけでなく、軸方向一側収容部の外周壁の凹凸状放熱部からも放熱され得る。其の結果、請求項１または２に記載の考案の作用効果がより一層向上され得る。
【００１５】
ここで、本考案は、請求項４に記載のように、ハウジングの上記軸方向一側収容部の上記凹凸状放熱部は、上記軸方向一側収容部の少なくとも一部に軸方向に延在するように周方向に間隔をおいて形成してなる複数の凹部（６３）を有していてもよい。これによっても、請求項３に記載の考案と同様の作用効果を達成することができる。
【００１６】
また、本考案は、請求項５に記載のように、ハウジングの上記軸方向他側収容部の上記凹凸状放熱部が、ハウジングの上記軸方向他側収容部の上記対応外周部の少なくとも一部に軸方向に延在するように周方向に間隔をおいて溝状に形成してなる複数の凹部（６２）を有していてもよく、請求項６に記載のように、ハウジングの上記軸方向他側収容部の上記凹凸状放熱部が、ハウジングの上記軸方向他側収容部の上記対応外周部の少なくとも一部に格子状に分散して凹状に形成してなる複数の凹部（６４）を有していてもよく、また、請求項７に記載のように、ハウジングの上記軸方向他側収容部の上記凹凸状放熱部が、ハウジングの上記軸方向他側収容部の上記対応外周部の少なくとも一部に周方向に延在するように軸方向に間隔をおいて溝状に形成してなる複数の凹部（６５）を有していてもよい。
【００１７】
しかして、請求項５、請求項６或いは請求項７に記載の上記構成によれば、軸方向他側収容部の外周壁の表面積が、軸方向の複数の溝状の凹部、複数の格子状の凹部或いは周方向の溝状の凹部の内面の総面積分だけ、増大することとなり、その結果、請求項１〜４のいずれか１つに記載の考案の作用効果がより一層具体的に達成され得る。
【００１８】
また、本考案は、請求項８の記載のように、
ハウジングが、その外周壁にて、上壁（３０）、左右両壁（１０、２０）及び下壁（４０）を有するように断面矩形状に形成されており、かつ、ハウジングの上記上壁、左右両壁及び下壁のうち少なくとも上記上壁及び左右両壁が、その前上記軸方向他側収容部に対する対応壁部にて、上記凹凸状放熱部を形成していてもよい。これによっても、請求項３〜７のいずれか１つに記載の考案と実質的に同様の作用効果が達成され得る。
【００１９】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本考案に係る電動弁の第１実施形態を示す平面図である。
【図２】図１の電動弁の要部縦断面図である。
【図３】図２にてＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図４】図２にてＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図５】本考案の第２実施形態の要部を示す部分破断側面図である。
【図６】図５或いは図７にてＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図７】本考案の第３実施形態の要部を示す部分破断側面図である。
【考案を実施するための形態】
【００２１】
以下、本考案の各実施形態を図面により説明する。
（第１実施形態）
図１は、本考案に係る電動弁の第１実施形態を示している。この電動弁は、本第１実施形態では、例えば、半導体製造装置において適用可能な流量制御弁として用いられるもので、当該電動弁は、図１或いは図２にて示すごとく、直方体形状のハウジングＨと、このハウジングＨ内に組み付けてなるステップモータＭ及び弁機構Ｖとを備えている。
【００２２】
なお、図１において、図示左側及び図示右側が、それぞれ、当該電動弁の右側及び左側に対応し、また、図示上側、図示下側、図示手前側及び図示奥側が、それぞれ、当該電動弁の後側、前側、上側及び下側に対応する。
【００２３】
ハウジングＨは、中側ハウジング部材Ｈａと、この中側ハウジング部材Ｈａにその軸方向前後両側から組み付けてなる前後両側ハウジング部材Ｈｂ、Ｈｃとにより構成されている。なお、本実施形態においては、当該電動弁が半導体製造装置に適用されることを前提として、ハウジングＨは、耐薬液性合成樹脂でもって形成されている。
【００２４】
中側ハウジング部材Ｈａは、図１〜図４から分かるように、左右両壁１０、２０及び上下両壁３０、４０でもって、横断面矩形状の外周壁を有する筒状に形成されている。
【００２５】
当該中側ハウジング部材Ｈａは、前後両側収容部６０、７０を有しており、前側収容部６０は、左右上下の各壁１０、２０、３０及び４０のうち各前側壁部１０ａ、２０ａ、３０ａ及び４０ａにより包囲形成されている。また、後側収容部７０は、左右上下の各壁１０、２０、３０及び４０のうち各後側壁部１０ｂ、２０ｂ、３０ｂ及び４０ｂにより包囲形成されている。
【００２６】
しかして、各前側壁部１０ａ、２０ａ、３０ａ及び４０ａは、中側ハウジング部材Ｈａのうちの前側ハウジング部Ｈａｆを構成しており、当該前側ハウジング部Ｈａｆは、その内部にて、上述の前側収容部６０を、段付き中央穴部として形成している。
【００２７】
一方、各後側壁部１０ｂ、２０ｂ、３０ｂ及び４０ｂは、中側ハウジング部材Ｈａのうちの後側ハウジング部Ｈａｒを構成しており、当該後側ハウジング部Ｈａｒは、その内部にて、上述の後側収容部７０を、矩形状中空部として形成している。
【００２８】
前側ハウジング部Ｈａｆの上記段付き中央穴部である前側収容部６０は、図２〜図４のいずれかにて示すごとく、小径穴部６０ａ及び大径穴部６０ｂを有しており、これら小径穴部６０ａ及び大径穴部６０ｂは、前後に位置して前側ハウジング部Ｈａｆ内に同軸的に形成されている。
【００２９】
ここで、小径穴部６０ａは、図２にて示すごとく、前側ハウジング部Ｈａｆの前端部からその前方へ筒状に延出されている。また、大径穴部６０ｂは、図２或いは図４にて示すごとく、複数の摺動溝部６１を有しており、これら複数の摺動溝部６１は、図１〜図４のいずれかにて示すごとく、大径穴部６０ｂの内周面に沿いその周方向に所定角度間隔にて横断面台形状に形成されている。
【００３０】
また、前側ハウジング部Ｈａｆは、複数の溝状放熱凹部６２を有しており、当該複数の溝状放熱凹部６２は、図３或いは図４にて示すごとく、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁（前側収容部６０の外周壁）に沿い、その周方向に形成されている。
【００３１】
詳細には、複数の溝状放熱凹部６２は、中側ハウジング部材Ｈａの各前側壁部１０ａ、２０ａ、３０ａ及び４０ａ毎に、４条ずつ、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁の周方向には所定間隔をおいて、前側ハウジング部Ｈａｆの前後方向には互いに平行となるように形成されている。このことは、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁が、複数の放熱凹部６２とともに、前側凹凸状放熱部を構成することを意味する。なお、複数の溝状放熱凹部６２は、それぞれ、図２にて破線により例示するごとく、その底部にて、前後方向にクランク状に形成されている。
【００３２】
また、後側ハウジング部Ｈａｒは、図１にて例示するごとく、複数の放熱凹部６３を有しており、当該複数の放熱凹部６３は、後側ハウジング部Ｈａｒの外周壁に沿い、その軸方向には帯状となるようにその周方向には断面湾曲凹状となるように形成されている。
【００３３】
詳細には、複数の放熱凹部６３は、中側ハウジング部材Ｈａの各後側壁部１０ｂ、２０ｂ、３０ｂ及び４０ｂ毎に、複数の溝状放熱凹部６２に軸方向にて対応するように形成されている。このことは、後側ハウジング部Ｈａｒの外周壁が、複数の放熱凹部６３とともに後側凹凸状放熱部を構成することを意味する。
【００３４】
弁機構Ｖは、図２にて示すごとく、運動方向変換軸部材８０によりステップモータＭに連結されており、当該弁機構Ｖは、後述のごとく、ステップモータＭの回転運動に対する運動方向変換軸部材８０による直線運動（軸方向運動）への変換のもとに、電動弁としての弁開度を調整する。ここで、運動方向変換軸部材８０は、軸状弁体９０の後端部から同軸的にステップモータＭに向けて一体的に延出されており、当該運動方向変換軸部材８０は、鉄等の金属により形成されている。
【００３５】
弁機構Ｖは、図２にて示すごとく、軸状弁体９０を有しており、この軸状弁体９０は、段付き軸９０ａと、ニードル状弁体部９０ｂとにより構成されている。段付き軸９０ａは、その基部である大径部９１と、この大径部９１から前方へ同軸的に延出する小径部９２とを有している。
【００３６】
大径部９１は、その後端中央部（軸状弁体９０の後端中央部）から運動方向変換軸部材８０をステップモータＭに向けて同軸的に延出してなるもので、当該大径部９１は、複数のスプライン歯部９１ａを有している。ここで、複数のスプライン歯部９１ａは、大径部９１の外周部にその周方向に沿い形成されて、前側ハウジング部Ｈａｆの大径穴部６０ｂ内において複数の摺動溝部６１内に前後方向に摺動可能に位置している。
【００３７】
小径部９２は、大径部９１から前方へ同軸的に延出して、前側収容部６０の小径穴部６０ａ内に同軸的にかつ前後方向に摺動可能に挿通されている。
【００３８】
弁体部９０ｂは、その基端部から同軸的に突出するロッド部９３にて、段付き軸９０ａの小径部９２の前端部に形成した軸孔部に同軸的に嵌着されている。これにより、弁体部９０ｂは、段付き軸９０ａに同軸的に支持されて、前側ハウジング部Ｈａｆの小径穴部６０ａから前方へ延出して、弁座１５６（後述する）と共に、弁機構Ｖの弁部を構成する。なお、弁体部９０ｂは、段付き軸９０ａの小径部９２から前方に向け末すぼまり状に形成されている。
【００３９】
また、弁機構Ｖは、図２にて示すごとく、環状のダイヤフラム１００及びコイルスプリング１１０を有している。ダイヤフラム１００は、その中空部にて、段付き軸９０ａの前端部に嵌着されており、当該ダイヤフラム１００の外周縁部は、中側ハウジング部材Ｈａと後側ハウジング部材Ｈｂとの間に後述のごとく挟持されている。
【００４０】
また、コイルスプリング１１０は、図２にて示すごとく、前側ハウジング部Ｈａｆに形成した環状凹所９４内に同軸的に収容されており、当該コイルスプリング１１０は、当該環状凹所９４の底部と軸状弁体９０の大径部９１の外周部との間に挟持されて軸状弁体９０を後方に向けて付勢する。
【００４１】
ここで、環状凹所９４は、前側ハウジング部Ｈａｆのうちの小径穴部６０ａ側の外周部に対し、小径穴部６０ａと各溝状放熱凹部６２との間にて、同軸的にかつ軸方向に凹状となるように切り欠き形成されている。なお、本実施形態では、弁機構Ｖのうちコイルスプリング１１０を除く構成部材は、ハウジングＨと同様に、耐薬液性合成樹脂でもって形成されている。
【００４２】
ステップモータＭは、図２にて示すごとく、中側ハウジング部材Ｈａの後側ハウジング部Ｈａｒの中空部である後側収容部７０内に同軸的に収容されている。当該ステップモータＭは、横断面矩形状の外壁を有する筒状のステータ１２０と、ロータ１３０とを有しており、ロータ１３０は、ステータ１２０内に同軸的にかつ回転自在に支持されている。
【００４３】
ここで、ロータ１３０は、雌ねじ穴部１３１を有しており、この雌ねじ穴部１３１は、ロータ１３０に同軸的に形成されている。当該雌ねじ穴部１３１には、運動方向変換軸部材８０が、軸状弁体９０からの延出側部位の外周部に形成した雄ねじ部にて、軸方向に移動可能に螺合している。
【００４４】
これにより、ステップモータＭは、その一方向への回転に伴い、運動方向変換軸部材８０を前方に移動させ、また、他方向への回転に伴い、運動方向変換軸部材８０を後方に移動させる。
【００４５】
換言すれば、軸状弁体９０が、運動方向変換軸部材８０の前方への移動に伴い、弁部９０ｂを弁座１５６に向けて移動させて、上記弁部の開度を減少させる。また、軸状弁体９０が、運動方向変換軸部材８０の後方への移動に伴い、弁部９０ｂを弁座１５６から離れる方向に移動させて、上記弁部の開度を増大させる。なお、弁部９０ｂは、弁座１５６に対する着座により上記弁部を閉じる。
【００４６】
前側ハウジング部材Ｈｂは、図２にて示すごとく、矩形柱状のもので、この前側ハウジング部材Ｈｂは、凹状開口部１４０、流入路１５０ａ及び流出路１５０ｂを有している。
【００４７】
凹状開口部１４０は、図２にて示すごとく、前側ハウジング部材Ｈｂの後端部に前方に向け凹状にかつ同軸的に形成されており、当該凹状開口部１４０には、前側ハウジング部Ｈａｆの前端部からの小径穴部６０ａが、その延出筒部にて、ダイヤフラム１００の外周縁部を介し嵌着されている。なお、この嵌着は、前側ハウジング部Ｈａｆの前端部を前側ハウジング部材Ｈｂの後端部に同軸的に組み付けることでなされる。
【００４８】
流入路１５０ａは、図２にて示すごとく、前側ハウジング部材Ｈｂ内にてその左壁から凹状開口部１４０の底部にかけて「へ」の字状に形成されている。しかして、当該流入路１５０ａは、その外端開口部１５１にて、流入ポート１５２を通して外部に開口しており、この流入路１５０ａの内端開口部１５３は、凹状開口部１４０内にその底部から開口している。
【００４９】
また、流出路１５０ｂは、図２にて示すごとく、前側ハウジング部材Ｈｂ内にて凹状開口部１４０の底部中央から前側ハウジング部材Ｈｂの右壁にかけてＬ字状に折れ曲がるようにして形成されている。しかして、当該流出路１５０ｂは、その外端開口部１５４にて、流出ポート１５５を通して外部に開口しており、この流出路１５０ｂの内端開口部１５６は、凹状開口部１４０内にその底部中央を介し開口している。本実施形態において、流出路１５０ｂの内端開口部１５６は、上記弁部の弁座（以下、弁座１５６ともいう）としての役割を果たす。なお、弁座１５６は、弁機構Ｖの一構成部材として把握してもよい。
【００５０】
後側ハウジング部材Ｈｃは、縦断面Ｕ字状のもので、この後側ハウジング部材Ｈｃは、その開口部にて、中側ハウジング部材Ｈａの後側ハウジング部Ｈａｒの後端開口部にその後方からネジの締着により同軸的に組み付けられている。
【００５１】
後側ハウジング部材Ｈｃ内には、制御回路板１６０が組み付けられており、この制御回路板１６０の回路接続端部には、ステップモータＭのステータ１２０の出力端子が接続されている。なお、図２にて、符号１６１は、センサーを示す。また、符号１６２は、外部回路に接続するためのケーブルを示す。
【００５２】
以上のように構成した本第１実施形態において、当該電動弁がその弁部の開度を減少させる場合には、運動方向変換軸部材８０が、ステップモータＭの上記一方向への回転に伴い、前方へ移動し、軸状弁体９０が、弁座１５６に向けて移動して上記弁部の開度を減少させる。
【００５３】
一方、当該電動弁がその弁部の開度を増大させる場合には、運動方向変換軸部材８０が、ステップモータＭの上記他方向への回転に伴い、後方へ移動し、軸状弁体９０が、弁座１５６から離れる方向に移動して上記弁部の開度を増大させる。
【００５４】
上述のような運動方向変換軸部材８０の前方或いは後方への移動の際、軸状弁体９０が、上述のごとく、段付き軸９０ａの複数のスプライン歯部９１ａにて、前側ハウジング部Ｈａｆの大径穴部６０ｂ内において複数の摺動溝部６１内に前後方向に摺動可能に位置している。
【００５５】
また、運動方向変換軸部材８０の前方或いは後方への移動が繰り返されると、段付き軸９０ａの複数のスプライン歯部９１ａが、前側ハウジング部Ｈａｆの大径穴部６０ｂ内にて複数の摺動溝部６１に沿う前後方向への摺動を繰り返して、摩擦熱を発生することになる。
【００５６】
これに対し、上述のごとく、複数の溝状放熱凹部６２が、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁（前側収容部６０の外周壁）に沿い、その周方向に形成されている。このため、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁の表面積が、各溝状放熱凹部６２の内面の面積の総和分だけ増大する。
【００５７】
従って、上述のように摩擦熱が発生しても、当該摩擦熱は、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁を介し各溝状放熱凹部６２の内面を中心として良好に放熱され得る。
【００５８】
また、ステップモータＭが、その運転時間の長期化により、熱を発生すると、この熱は、後側ハウジング部材Ｈａｒの後側凸状放熱部を介し各放熱凹部６３の凹面を中心として放熱されるだけでなく、前側ハウジング部材Ｈａｆの前側凹凸状放熱部を介し各溝状放熱凹部６２の内面を中心として放熱され得る。
【００５９】
これにより、当該電動弁におけるステップモータＭや弁体９０を中心とする温度上昇が良好に抑制され得る。その結果、当該電動弁が、例えば、半導体製造装置の洗浄装置やエッチング装置等の各種装置における薬液流路内に介装されることで、当該薬液流路に流れる薬液が当該電動弁内を流動しても、この薬液の温度上昇が良好に抑制され、その結果、当該薬液を検出する流量センサー等の各種のセンサーの温度上昇が良好に抑制されて、当該電動弁の開度を精度よく維持することができる。
（第２実施形態）
図５は、本考案の第２実施形態の要部を示している。この第２実施形態では、上記第１実施形態にて述べたハウジングＨの中側ハウジング部材Ｈａにおける前側ハウジング部Ｈａｆにおいて、複数の格子状放熱凹部６４が、複数の溝状放熱凹部６２に代えて、採用されている。
【００６０】
複数の格子状放熱凹部６４は、図５及び第６図にて例示するごとく、上記第１実施形態にて述べた前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁に、格子状に分散してピン穴状等の深穴状に形成されている。このことは、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁が、複数の放熱凹部６４とともに、前側凹凸状放熱部を構成することを意味する。その他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００６１】
このように構成した本第２実施形態おいては、複数の格子状放熱凹部６４が、上述のごとく、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁に格子状に形成されている。このため、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁の表面積が、各格子状放熱凹部６４の内面の面積の総和分だけ増大する。
【００６２】
従って、上記第１実施形態にて述べたような摩擦熱やステップモータＭの発生熱が、本第２実施形態にいう前側凹凸状放熱部を介し各格子状放熱凹部６４の内面を中心として良好に放熱され得る。その他の作用効果は上記第１実施形態と同様である。
【００６３】
なお、上記第２実施形態において、各格子状凹部にピンを突出させるように嵌装してもよい。これによれば、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁の表面積が、各ピンの表面の面積の総和分だけ増大する。その結果、上記第２実施形態と同様に摩擦熱やステップモータＭの発生熱が前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁を介し上記ピンの表面を中心として良好に放熱され得る。
（第３実施形態）
図７は、本考案の第３実施形態の要部を示している。この第３実施形態では、上記第１実施形態にて述べたハウジングＨの中側ハウジング部材Ｈａにおける前側ハウジング部Ｈａｆにおいて、複数の溝状放熱凹部６５が、複数の溝状放熱凹部６２に代えて、採用されている。
【００６４】
複数の溝状放熱凹部６５は、図７及び第６図にて例示するごとく、上記第１実施形態にて述べた中側ハウジング部材Ｈａの各前側壁部１０ａ、２０ａ、３０ａ及び４０ａ毎に、４条ずつ、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁の前後方向には所定間隔をおいて、前側ハウジング部Ｈａｆの周方向には互いに平行となるように形成されている。このことは、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁が、複数の溝状放熱凹部６５とともに、前側凹凸状放熱部を構成することを意味する。その他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００６５】
このように構成した本第３実施形態おいては、複数の放熱凹部６５が、上述のごとく、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁に形成されているため、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁の表面積が、各放熱凹部６５の内面の面積の総和分だけ増大する。
【００６６】
従って、上記第１実施形態にて述べたような摩擦熱やステップモータＭの発生熱が、本第３実施形態にいう前側凹凸状放熱部を介し各放熱凹部６５の内面を中心として良好に放熱され得る。その他の作用効果は上記第１実施形態と同様である。
【００６７】
なお、本考案の実施にあたり、上記実施形態に限ることなく、次のような種々の変形例が挙げられる。
（１）前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁に複数の放熱フィンを突設するようにしてもよい。これによれば、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁が複数の放熱フィンと共に凹凸状放熱部を構成する。これによっても、上記各実施形態と同様の作用効果を達成し得る。また、凹凸状放熱部は、上記各実施形態にて述べたものや放熱フィンに限ることなく、前側ハウジング部Ｈａｆの外周壁の少なくとも一部を断面凹凸状に形成したものであればよい。
（２）ハウジングＨの中側ハウジング部材Ｈａは、上記実施形態とは異なり、円筒状であってもよい。なお、これにあわせて、ステップモータＭのステータ１２０としては、円筒状の外壁を有するステータを採用する。
（３）ステップモータＭに代えて、直流電動機その他の各種の電動機を採用してもよい。
（４）上記各実施形態にて述べた前側凹凸状放熱部は、中側ハウジング部材Ｈａの各前側壁部１０ａ、２０ａ、３０ａ及び４０ａのうち、例えば、各前側壁部１０ａ、２０ａ、３０ａのみに形成されていてもよい。
（５）上記各実施形態にて述べた流入路１５０ａ及び流出路１５０ｂは、それぞれ、流出路及び流入路としてもよい。
（６）上記各実施形態にて述べた電動弁は、半導体製造装置に適した流量制御弁に限ることなく、開閉弁として用いてもよい。
（７）上記各実施形態にて述べた電動弁は、半導体製造装置に限ることなく、液晶パネル製造装置その他各種装置における薬液その他各種の液体の流量を制御するにあたり、適用してもよい。
（８）上記各実施形態にて述べた電動弁においてハウジングや軸状弁体の形成材料としては、耐薬液性合成樹脂に限ることなく、各種の合成樹脂を採用してもよい。
（９）上記各実施形態にて述べたハウジングＨの後側ハウジング部Ｈａｒの後側凹凸状放熱部は、複数の凹部６３に限ることなく、放熱フィン等の凸部を有するようにしてもよい。
（１０）本考案の実施にあたり、複数の溝状放熱凹部６２は、中側ハウジング部材Ｈａの各前側壁部１０ａ、２０ａ、３０ａ及び４０ａ毎に、４条ずつに限ることなく、３条或いは５条毎等に形成するようにしてもよい。
（１１）本考案の実施にあたり、軸状弁体９０の複数のスプライン歯部９１ａを、例えば、軸状弁体９０の大径部９１の外周部から径方向に外方へ等角度間隔にて突出する一対のピンでもって代用し、前側ハウジング部Ｈａｆの大径穴部６０ｂの複数の摺動溝部６１を、例えば、上記一対のピンに対応する一対の溝部でもって代用して、軸状弁体９０の軸方向への移動を、上記一対のピンを上記一対の溝部内にて前後方向にのみ移動させることで確保するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００６８】
Ｈ…ハウジング、Ｍ…ステップモータ、Ｖ…弁機構、１０…左壁、２０…右壁、
３０…上壁、４０…下壁、６０…前側収容部、６１…摺動溝部、
６２、６３、６４、６５…放熱凹部、７０…後側収容部、８０…運動方向変換軸部材、
８２…後側軸部位、９０…軸状弁体、９０ｂ…弁体部、９１…大径部、
９１ａ…スプライン歯部、１３０…ロータ、１５０ａ…流入路、
１５０ｂ…流出路、１５６…弁座。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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