【事件の表示】
　平成１０年特許願第５１２６８７号「小さな入射ビームスポットを生成するための原子間力顕微鏡」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　３月１２日国際公開、ＷＯ９８／１０４５８、平成１２年１２月２６日国内公表、特表２０００−５１７４３３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、１９９７年８月２０日（パリ条約による優先権主張外国庁受理　１９９６年９月６日　米国）を国際出願日とする出願であって、平成２０年３月１３日付けで拒絶査定がされ、これに対し、同年６月２３日に拒絶査定不服審判の請求がされるとともに、同年７月１４日付けで手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされたものである。
　
　
第２　本件補正の補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成２０年７月１４日付けの手続補正を却下する。
［理由］
１　補正後の本願発明
　本件補正は、特許請求の範囲を補正するものであって、平成１９年１１月１５日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１を以下のとおり、補正するものである。（下線部は補正箇所を示す。）
「　少なくとも１つのカンチレバーが取り付けられており光学検出器を含む、高速走査を可能とするための改良された原子間力顕微鏡であって、
　長さが３０μｍ未満である、前記カンチレバーと、
　小さな入射ビームスポットを生成するための、光源、及び焦点合わせされた入射ビームを生成する手段を含む光学系と、
　前記焦点合わせされた入射ビームを前記カンチレバー上に向かわせ、前記カンチレバーから前記検出器へ
前記焦点合わせされた入射ビームを干渉無しに
　を含み、
　前記光学系は前記光源からの光の波長に対して十分な開口数を有し、これにより、前記焦点合わせされたビームは少なくとも一次元で８μｍ又は８μｍ未満のサイズを有するスポットを前記カンチレバー上に形成する、
　原子間力顕微鏡。」（以下、「本願補正発明」という。）
　
　上記本件補正は、発明特定事項である「反射させる手段」について「
前記焦点合わせされた入射ビームを干渉無しに
　
　そこで、本願補正発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
２　引用刊行物記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先権主張の日前に頒布された刊行物である特開平５−７９８３４号公報（以下、「引用例」という。）には、以下の記載がある。
［ａ］「【特許請求の範囲】
【請求項１】  被測定物表面に極近傍まで接近させ前記被測定物表面との間に原子間力を発生させるための探針と、上記探針と被測定物表面との間に原子間力が発生可能な距離内に接近させて支持する片持ちばりと、上記被測定物を走査させる走査手段とを備え、原子間力により生じる上記片持ちばりのたわみを光学的に検出する原子間力顕微鏡において、
互いに偏波面が直交し、周波数が僅かに異なる２種類の直線偏光を含むレーザ光を出力するレーザ光源装置と、
前記レーザ光源装置によって出力された２種類の直線偏光のうちの一方を平行光、他方を収束光とさせる二重焦点レンズを含み、一方の直線偏光を前記片持ちばりの背面上に集光させるとともに、他方の直線偏光を平行光とし、かつ前記被測定物の表面上に該一方の直線偏光の照射径よりも十分大きい照射径にて照射する光学系と、
前記２種類の直線偏光の反射光を前記光学系によって干渉させ、その干渉のビート周波数から前記片持ちばりのたわみ量を検出する検出手段と、を備えることを特徴とする原子間力顕微鏡。」
［ｂ］「【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、原子間力による片持ちばりのたわみ量は極微小であるため、上記従来方法では探針と被測定物表面との間に外部振動の影響を受け易く、測定結果に外部振動の成分が含まれてしまうという欠点があった。
【０００７】本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、外部振動の影響のない測定ができる原子間力顕微鏡の実現にある。」
［ｃ］「【００１２】図１、図２は本発明の一実施例を説明する構成図である。レーザ光源装置１０には、偏波面が互いに直交し、かつ周波数が僅かに異なる２種類の直線偏光、たとえばＰ偏光ＬＰとＳ偏光ＬＳとを含むレーザ光Ｌを出力するゼーマンレーザが用いられる。このレーザ光源１０と無偏光ビームスプリッタ１２と検光子１４と基準用光センサ１６とはＺ軸と平行な直線上に配置されている。前記レーザ光源装置１０から出力されたレーザ光Ｌは、無偏光ビームスプリッタ１２により２本に分割され、そのうちの無偏光ビームスプリッタ１２を透過したレーザ光は基準用光センサ１６により検出され、基準ビート信号ＦＢが出力される。上記Ｐ偏光ＬＰ、Ｓ偏光ＬＳの周波数をそれぞれｆＰ、ｆＳとすると、基準ビート信号ＦＢの周波数ｆＢは、｜ｆＰ−ｆＳ｜となる。」
［ｄ］「【００１８】ミラー２０からのレーザ光Ｌは二重焦点レンズ２２に入射する。二重焦点レンズ２２は、光学ガラスと複屈折性材料とから構成されており、入射する光線の偏波面の方向によって屈折率が異なるという性質を持っている。そのため、二重焦点レンズ２２に入射したレーザ光ＬのうちＰ偏光ＬＰは平行光、Ｓ偏光ＬＳは収束光となって対物レンズ２４に入射する。また前述の通り対物レンズ２４はその前焦点が二重焦点レンズ２２の後焦点に位置するように構成されている。このため、収束光として入射したＳ偏光ＬＳは平行光とされて被測定物３０の表面の比較的広い範囲に照射される。一方、平行光として対物レンズ２４に入射したＰ偏光ＬＰは収束光として片持ちばり２６の背面上であってかつ、探針２８の真上の位置の一点に集光される。
【００１９】レーザ光ＬがＨｅＮｅレーザであって対物レンズの倍率が１５０倍の場合、片持ちばり２６の背面上に集光されるＰ偏光ＬＰの直径は約０．８μｍ、被測定物３０の表面上に照射されるＳ偏光ＬＳの直径は約６０μｍである。」
［ｅ］「【００２１】片持ちばり２６の背面上に集光させられたＰ偏光ＬＰの反射光は、片持ちばり２６の上下動に伴ってその光路長が変化させられるので、これによる周波数シフトΔｆｓを受けている。また、測定の際のＸＹステージ４４の振動その他の外乱による周波数シフトΔｆｄも受けるため、Ｐ偏光ＬＰの反射光の周波数はｆＰ＋Δｆｄ＋Δｆｓとなる。これに対し、円形平行ビームの状態で被測定物３０の表面の比較的広い範囲に照射されるＳ偏光ＬＳは、被測定物３０の表面の微小凹凸による影響が平均化されて全体として相殺されるため、外乱による周波数シフトΔｆｄの影響を受けるだけで、その反射光の周波数はｆＳ＋Δｆｄとなる。上記Ｐ偏光ＬＰは計測光であり、Ｓ偏光ＬＳは参照光である。
【００２２】片持ちばり２６の背面で反射されたＰ偏光ＬＰと、被測定物３０の表面で反射されたＳ偏光ＬＳは、それぞれ入射経路と逆の光路を辿って無偏光ビームスプリッタ１２に入射させられ、これを透過し計測用光センサ３６で受光されて、計測ビート信号ＦＤが出力される。この計測ビート信号ＦＤはＰ偏光ＬＰとＳ偏光ＬＳとの干渉によるうなりに対応するもので、その周波数ｆＤは、｜（ｆＰ＋Δｆｄ＋Δｆｓ）−（ｆＳ＋Δｆｄ）｜＝｜ｆＰ−ｆＳ＋Δｆｓ｜であり、前記外乱による周波数シフトΔｆｄは相殺される。」
　上記［ａ］〜［ｅ］の記載によれば、引用例には、
「被測定物表面に極近傍まで接近させ前記被測定物表面との間に原子間力を発生させるための探針と、上記探針と被測定物表面との間に原子間力が発生可能な距離内に接近させて支持する片持ちばりと、上記被測定物を走査させる走査手段とを備え、原子間力により生じる上記片持ちばりのたわみを光学的に検出する原子間力顕微鏡において、互いに偏波面が直交し、周波数が僅かに異なるＰ偏光ＬＰとＳ偏光ＬＳとを含むレーザ光Ｌを出力するレーザ光源装置と、二重焦点レンズを含み、Ｐ偏光ＬＰを前記片持ちばりの背面上であってかつ、探針２８の真上の位置の一点に直径約０．８μｍで集光させるとともに、Ｓ偏光ＬＳを平行光とし、かつ前記被測定物の表面上に該一方の直線偏光の照射径よりも十分大きい照射直径約６０μｍにて照射する光学系と、片持ちばりの背面で反射されたＰ偏光ＬＰと被測定物の表面で反射されたＳ偏光ＬＳを受光する計測用光センサと、上記Ｐ偏光ＬＰは計測光であり、Ｓ偏光ＬＳは参照光であり、上記Ｐ偏光ＬＰ、Ｓ偏光ＬＳの周波数をそれぞれｆＰ、ｆＳとすると、Ｐ偏光ＬＰの反射光の周波数は、片持ちばりの上下動に伴ってその光路長が変化させられるので、これによる周波数シフトΔｆｓを受けて、ｆＰ＋Δｆｄ＋Δｆｓとなるのに対し、円形平行ビームの状態で被測定物の表面の比較的広い範囲に照射されるＳ偏光ＬＳは、被測定物の表面の微小凹凸による影響が平均化されて全体として相殺されるため、外乱による周波数シフトΔｆｄの影響を受けるだけで、その反射光の周波数はｆＳ＋Δｆｄとなり、前記外乱による周波数シフトΔｆｄは相殺されることとなり、前記２種類の直線偏光の反射光を前記光学系によって干渉させ、その干渉のビート周波数から前記片持ちばりのたわみ量を検出する検出手段と、を備える、測定結果に外部振動の成分が含まれてしまうという欠点を解決するための原子間力顕微鏡。」の発明（以下、「引用例発明」という。）が記載されていると認められる。
　
３　対比
　本願補正発明と引用例発明とを対比する。
（ア）引用例発明の「上記探針と被測定物表面との間に原子間力が発生可能な距離内に接近させて支持する片持ちばり」は、本願補正発明の「少なくとも１つのカンチレバー」に相当する。
（イ）引用例発明の「片持ちばりの背面で反射されたＰ偏光ＬＰと被測定物の表面で反射されたＳ偏光ＬＳを受光する計測用光センサ」は、本願補正発明の「光学検出器」に相当する。
（ウ）引用例発明の「互いに偏波面が直交し、周波数が僅かに異なるＰ偏光ＬＰとＳ偏光ＬＳとを含むレーザ光Ｌを出力するレーザ光源装置」は、本願補正発明の「光源」に相当する。また、引用例発明の「二重焦点レンズを含み、Ｐ偏光ＬＰを前記片持ちばりの背面上であってかつ、探針２８の真上の位置の一点に直径約０．８μｍで集光させるとともに、Ｓ偏光ＬＳを平行光とし、かつ前記被測定物の表面上に該一方の直線偏光の照射径よりも十分大きい照射直径約６０μｍにて照射する光学系」は、計測光であるＰ偏光ＬＰを集光させるものであるから、本願補正発明の「焦点合わせされた入射ビームを生成する手段」に包含されるものである。
　そして、引用例発明の上記「レーザ光源装置」と「光学系」は、計測光であるＰ偏光ＬＰを前記片持ちばりの背面上に直径約０．８μｍで集光させるものであるから、本願補正発明の「小さな入射ビームスポットを生成するための、光源、及び焦点合わせされた入射ビームを生成する手段を含む光学系」に相当するものといえる。
　また、引用例発明の上記「光学系」が「Ｐ偏光ＬＰを前記片持ちばりの背面上であってかつ、探針２８の真上の位置の一点に直径約０．８μｍで集光させる」ことと本願補正発明の「前記光学系は前記光源からの光の波長に対して十分な開口数を有し、これにより、前記焦点合わせされたビームは少なくとも一次元で８μｍ又は８μｍ未満のサイズを有するスポットを前記カンチレバー上に形成する」こととは、「前記光学系により、前記焦点合わせされたビームは少なくとも一次元で８μｍ又は８μｍ未満のサイズを有するスポットを前記カンチレバー上に形成する」点で共通する。
（エ）引用例発明のレーザ光源装置からのＰ偏光ＬＰを計測用光センサへ反射させる「片持ちばりの背面」と本願補正発明の「前記焦点合わせされた入射ビームを前記カンチレバー上に向かわせ、前記カンチレバーから前記検出器へ前記焦点合わせされた入射ビームを干渉無しに反射させる手段」とは、「前記焦点合わせされた入射ビームを前記カンチレバー上に向かわせ、前記カンチレバーから前記検出器へ前記焦点合わせされた入射ビームを反射させる手段」である点で共通する。
　したがって、両者は、
「少なくとも１つのカンチレバーが取り付けられており光学検出器を含む原子間力顕微鏡であって、小さな入射ビームスポットを生成するための、光源、及び焦点合わせされた入射ビームを生成する手段を含む光学系と、前記焦点合わせされた入射ビームを前記カンチレバー上に向かわせ、前記カンチレバーから前記検出器へ前記焦点合わせされた入射ビームを反射させる手段と、を含み、前記光学系により、前記焦点合わせされたビームは少なくとも一次元で８μｍ又は８μｍ未満のサイズを有するスポットを前記カンチレバー上に形成する、原子間力顕微鏡。」である点で一致し、以下の点で相違する。
［相違点１］本願補正発明では、原子間力顕微鏡が「高速走査を可能とするための改良された」ものであって、カンチレバーの「長さが３０μｍ未満である」のに対し、引用例発明では、高速走査を可能とするための改良がされたものではなく、片持ちばりの長さを特定していない点。
［相違点２］反射させる手段が、本願補正発明は、「干渉無しに」反射させているのに対し、引用例発明は、測定結果に外部振動の成分が含まれてしまうという欠点を解決するために、計測光であるＰ偏光と参照光であるＳ偏光の２種類の直線偏光の反射光を前記光学系によって干渉させている点。
［相違点３］光学系が、本願補正発明では、「前記光源からの光の波長に対して十分な開口数を有」するのに対し、引用例発明では、開口数を特定していない点。
　
４　判断
　上記相違点について検討する。
［相違点１］について
　原子間力顕微鏡において、高速走査を可能とすることは周知の課題であり、カンチレバーの共振周波数を高くすることにより高速走査を可能とすることも周知技術である。例えば、特開平８−２１１０７８号公報の段落【００１８】には、「したがってより高速な測定をするためには厚さｔを厚くするか、長さＬを短くして基本共振周波数の高いカンチレバーを製作する必要があった。」と記載されている。また、実願平３−１０４９５４号（実開平５−５２７１１号）のＣＤ−ＲＯＭの段落【０００３】には、「カンチレバーは作り易さや、原子間力の大きさを検知できる程度の小さいばね定数をもち、また高速走査が可能なように固有共振周波数を高くする点からＳｉ3 Ｎ4 で構成される場合が多い。」と記載されている。
　そして、カンチレバーの長さを短くすることにより共振周波数が高くなることは、上記特開平８−２１１０７８号公報の段落【００１８】にも記載されているように、当業者にとって自明であり、カンチレバーの長さとして、数十μｍ程度のものも、例えば実願平３−１０４９５４号（実開平５−５２７１１号）のＣＤ−ＲＯＭの段落【０００７】、特開平４−３３７４０３号公報の段落【００２４】や特開平６−１８２５７号公報の段落【０００５】に記載されているように周知であるから、カンチレバーの長さをどの程度とするかは、必要とする共振周波数に応じて当業者が適宜設定しうる事項である。
　したがって、引用例発明において、高速走査を可能とするという原子間力顕微鏡において周知の課題を解決するために、片持ちばりの長さを３０μｍ未満とし、本願補正発明の上記相違点１に係る構成とすることは、当業者が容易に想到しうることである。
　
［相違点２］について
　本願明細書には、発明の背景として、以下の記載がある。
「光梃子検出を最適に行うためには、スポットはカンチレバーを実質上満たすべきである。満たし方が不十分であると、反射ビームが必要以上に多く発するため、光梃子検出の効率が失われてしまう。挺子の満たし方が大きすぎると、試料から反射される光により、光が失われ不都合な干渉縞ができてしまう。」（公表公報第８頁第８〜１２行）
「例えば、タンパク質の挙動を非常に低いノイズで測定するには、ショットノイズの制限を受けない、即ち検出信号誤差を許容限度内にするのに十分な光強度があると想定して、カンチレバーの満たし方を大きくし、最もよい低ノイズ操作を行うことが望まれる。反射性の試料を大規模に測定するには、カンチレバーの満たし方を小さくし、試料により反射される光からの干渉効果を最小化することが望まれる。」（公表公報第８頁第１３〜１８行）
　上記記載箇所には、検出信号を得るためのカンチレバーを満たすスポットが試料により反射されてしまうと不都合な干渉縞ができてしまうことが記載されているといえ、本願補正発明の「入射ビームを干渉無しに反射させる」とは、検出信号を得るためのスポットが試料により反射されることによる不都合な干渉縞ができないことを規定しているものと理解できる。
　一方、引用例発明は、Ｓ偏光を参照光として円形平行ビームの状態で被測定物の表面の比較的広い範囲に照射させ、測定光であるＰ偏光と干渉させることにより、前記外乱による周波数シフトΔｆｄを相殺するものであるが、引用例発明における測定光であるＰ偏光は、前記片持ちばりの背面上であってかつ、探針２８の真上の位置の一点に直径約０．８μｍで集光され、反射されるものであるから、引用例発明の測定光自体では、試料により反射されることによる不都合な干渉縞ができないよう、つまり干渉無しに反射されているものである。
　そして、引用例発明において、測定光を参照光と干渉させているのは、測定結果に外部振動の成分が含まれてしまうという欠点を解決するという課題を解決するためであるといえるが、原子間力顕微鏡においては、外部振動の影響を除くために様々な手段が知られており、例えば、特開平６−２４１７７５号公報の段落【０００８】や、特開平４−８３１３８号公報の第１頁右下欄第１８行〜第２頁左上欄第１行に記載されるように、カンチレバーの固有振動数を大きく（高く）することにより外部振動の影響を防ぐことも周知である。そして、上記特開平６−２４１７７５号公報の段落【０００８】には、固有振動数を大きくするためには、カンチレバーの大きさを相対的に小さくする必要があることも記載されている。
　したがって、引用例発明において、外部振動の成分が含まれてしまうという欠点を解決するために、測定光を参照光と干渉させる代わりに、固有振動数の高いカンチレバーを採用し、本願補正発明の上記相違点２に係る構成とすることは、当業者が容易に想到しうることである。
　
［相違点３］について
　本願明細書には、以下の記載がある。
「  本発明は、小さな入射ビームスポットを生成することにより前記のニーズに見合うＡＦＭを提供する。該ＡＦＭは、焦点を合わせた入射ビームを生成する光源を含む光学系、及び焦点を合わせたビームをカンチレバーに向けそこから検出器に反射させる手段を備える。このシステムは光源からの光の波長に対する十分な開口数（ＮＡ）を有し、これにより焦点を合わせたビームは、少なくとも一次元で８μｍ又は８μｍ未満のスポット直径ＷOを形成する。μｍ単位でのスポット直径ＷOは一般に２×λ/(π×ＮＡ)と定義され、ここでλはμｍ単位での波長である。また、ＮＡはｎ×sinθと定義され、ここでθは（l/e2点における）遠フィールド光円錐の角度の１／２であり、ｎは（空気中では１である）屈折率である。λ＝６７０ｎｍの赤色光の場合、ＮＡは０．０５よりも大きくなければならない。λ＝４００ｎｍの青色光の場合、ＮＡは０．０３よりも大きくなければならない。紫外光の場合には、最小ＮＡはより小さくなるであろう。」（公表公報第９頁第１〜１２行）
　上記記載によれば、「前記光源からの光の波長に対して十分な開口数を有し」ているとは、２×λ/(π×ＮＡ)と定義されるスポット直径ＷOが８μｍ又は８μｍ未満となるという条件を十分に満たすように、波長λに応じて開口数ＮＡが設定されることを規定しているといえる。
　一方、引用例発明の測定光であるＰ偏光は、探針２８の真上の位置の一点に直径約０．８μｍで集光されているため、スポット直径は０．８μｍである。Ｐ偏光の波長は開示されていないものの、スポット直径が８μｍ又は８μｍ未満となるという条件を十分に満たしているため、引用例発明の光学系の開口数は光源からの光の波長に対して十分な開口数を有しているといえるものであり、上記相違点３は実質的な相違点であるとはいえない。
　
　次に、本願補正発明の効果について検討すると、上記周知技術に記載されているように、原子間力顕微鏡においてカンチレバーの長さを短くすることにより高速走査を可能とすることは周知である。そして、本願の明細書の記載を参酌しても、カンチレバーの長さを３０μｍ未満としたことにより、臨界的な効果の差異が生じるとはいえない。
　したがって、本願補正発明の効果は、引用例発明および上記周知技術から当業者が予測できる範囲のものであって、格別なものであるとはいえない。
　
　したがって、本願補正発明は、引用例発明および上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
５　まとめ
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　
第３　本願発明
１　本願発明の認定
　本件補正は上記のとおり却下されることとなったので、本願の請求項１〜２２に係る発明は、平成１９年１１月１５日付けの手続補正書の特許請求の範囲の請求項１〜２２に記載された事項により特定されるとおりのものと認められ、その請求項１に係る発明は以下のとおりである。
「　少なくとも１つのカンチレバーが取り付けられており光学検出器を含む、高速走査を可能とするための改良された原子間力顕微鏡であって、
　長さが３０μｍ未満である、前記カンチレバーと、
　小さな入射ビームスポットを生成するための、光源、及び焦点合わせされた入射ビームを生成する手段を含む光学系と、
　前記焦点合わせされた入射ビームを前記カンチレバー上に向かわせ、前記カンチレバーから前記検出器へ反射させる手段と、
　を含み、
　前記光学系は前記光源からの光の波長に対して十分な開口数を有し、これにより、前記焦点合わせされたビームは少なくとも一次元で８μｍ又は８μｍ未満のサイズを有するスポットを前記カンチレバー上に形成する、
　原子間力顕微鏡。」（以下、「本願発明」という。）
　
２　引用刊行物記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物およびその記載事項は、前記「第２　２　引用刊行物記載の発明」に記載したとおりである。
　
３　対比・判断
　本願発明は、本願補正発明における「
前記焦点合わせされた入射ビームを干渉無しに
　そうすると、本願発明の構成要件をすべて含み、さらに限定を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「第２　４　判断」に記載したとおり、引用例発明および上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例発明および上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その他の請求項に係る発明について言及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。