【事件の表示】
　特願２００２−２４７８０２「静電型アクチュエータ及びそれを用いた光スイッチ」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　３月１８日出願公開、特開２００４−　８２２８８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１４年８月２７日の出願であって、同１９年１１月１５日付けで拒絶の理由が通知され、同２０年１月２１日付けで意見書及び手続補正書が提出されが、同２０年４月２１日付けで拒絶をすべき旨の査定がなされ、これに対し、同２０年６月６日付けで本件審判の請求がなされ、同２０年７月７日付けで明細書に対する手続補正書が提出されたものである。
　
　
２．本願発明
　本願の平成２０年７月７日付けの明細書に対する手続補正は、請求項１及び発明の詳細な説明段落【０００８】における「略同一」なる記載を「同一」なる記載に補正するものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであることは明らかである。
　よって、本願の請求項１ないし１５に係る発明は、明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし１５に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりである。
　
[本願発明]
　「固定枠部と、固定枠部の内側に設けられて固定櫛歯電極部分と固定櫛歯連結部分とからなる固定電極部とを、有する固定部材と、
前記固定電極部に対向して静電力により移動するものであって、可動櫛歯電極部分と可動櫛歯連結部分とからなり、固定電極部とは電気的に絶縁されている可動電極部と、前記可動電極部の移動に連動して可動電極部のストロークよりも長い距離を移動する作用部と、
可動電極部と作用部を連結する変位部とを、有する駆動部材と、
前記固定部材の上面と前記駆動部材の下面が同一面にあり、前記駆動部材の作用部と可動電極部とを結ぶ直線の中心位置よりも可動電極部に近い部分を、前記固定枠部に連結して、可動電極部の移動によって変位部が揺動することを支持する回転支持部材と、を有することを特徴とする静電型アクチュエータ。」
　
　
３．引用刊行物及びその記載事項
　拒絶理由には、本件出願前に頒布された刊行物である次の刊行物１ないし３が引用されている。
　
[引用刊行物]
　刊行物１：特開平４−３２５８８１号公報
　刊行物２：特開平４−３２５８８２号公報
　刊行物３：特開２０００−１４７４１９号公報
　　
（１）刊行物１の記載事項
ア．段落【０００１】
　「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、微小駆動機構として用いられる静電アクチュエータに関する。」
　
イ．段落【００１０】〜【００１２】
　「【００１０】
【実施例】まず、請求項１記載の発明の一実施例を図１及び図２に基づいて説明する。ここでは、静電アクチュエータの一例として気体制御素子に応用した場合について述べる。
【００１１】ベース面１３上には一対の梁固定部１４が形成されている。これら一対の梁固定部１４間には、両持ち梁１５が前記ベース面１３に対して平行に張られている。前記両持ち梁１５の中央には、この両持ち梁１５の長手方向と直交しかつ前記ベース面１３に対して平行な状態で棒１６が固定されている。この棒１６の一端ａに位置するベース面１３上には電極部１７が設けられている。この電極部１７と反対側の前記棒１６の他端ｂの下方に位置して弁１８が前記ベース面１３中に形成されている。また、前記梁固定部１４と前記電極部１７との間に静電力を発生させる図示しない棒駆動力発生手段が設けられており、その棒１６を回動させることができる。
【００１２】このような構成において、弁１８には棒１６の端部ｂが接触して密閉状態となっており、これにより気体Ｐと気体Ｑとは遮断された形となっている。そして、今、電極部１７と梁固定部１４との間に電圧を印加すると、静電力により棒１６の端部ａは電極部１７の側に吸引され、これに連れてその反対側に位置する棒１６の端部ｂが回動するため、それまで接触していた弁１８が開き、これにより気体Ｐと気体Ｑとは自由に出入りができるようになる。従って、印加する電圧を制御することによって、気体の流量を自由に調節することが可能となる。また、本実施例では、静電力を用いて棒１６を機械的に動かしているため、弁１８の開閉動作を高速に行うことができる。」
　
ウ．段落【００２５】〜【００２６】
　「【００２５】次に、前述した棒１６と両持ち梁１５と梁固定部１４と電極部１７とからなる構造体をサーフェースマイクロマシンニングの技術を用いて作製する例を、図６〜図８に基づいて説明する。図７は図６のＡ−Ａ断面図の様子を示し、図８は図６のＢ−Ｂ断面図の様子を示すものである。なお、図７（ａ）〜（ｅ）の各工程は、図８（ａ）〜（ｅ）の各工程に対応した形となっている。
【００２６】まず、Ｃ−Ｓｉウェハ２４上にはＳｉＯ２２５とＳｉ３Ｎ４２６とが、それぞれ各０．２μｍずつ積層されている（ａ）。次に、最上面であるＳｉ３Ｎ４２６上にｐｏｌｙ−Ｓｉ２７を２μｍだけ積層してフォトリソエッチング、ＲＩＥ（リアクティブイオンエッチング）を行い、これにより電極領域を形成する（ｂ）。次に、全面に渡ってＳｉＯ２２８を２μｍ積層する（ｃ）。次に、そのＳｉＯ２２８の上部にｐｏｌｙ−Ｓｉ２９を４μｍ積層し、フォトリソエッチング、ＲＩＥを行い、これにより棒、梁、梁固定部を形成する（ｄ）。最後に、犠牲層となるＳｉＯ２２８をＨＦを用いて取り除く。この時、梁固定部１４は他のエッチング領域よりも面積が広いため、その下部に位置するＳｉＯ２２８が残り、これにより梁固定部１４はベース面１３に固定された形となる（ｅ）。従って、このようなことから、棒１６と両持ち梁１５と梁固定部１４と電極部１７とからなる構造体を作製することができる。」
　
　上記摘記事項イ．及び図１ないし２からみて、棒１６が一端ａ及び他端ｂを連結する部材を有し、該部材が回動可能すなわち変位可能であることは明らかであるから、棒１６は変位部を有するということができる。
　また、上記摘記事項ウ．からみて、梁固定部１４はベース面１３にＳｉＯ２  を介して固定されており、ＳｉＯ２ が絶縁性を有することは技術常識であるから、電極部１７と棒１６の一端ａは電気的に絶縁されていることは明らかである。
　そうすると、上記摘記事項ア．ないしウ．を技術常識を勘案しながら本願発明に照らして整理すると、刊行物１には次の発明（以下、「引用発明」という）が記載されていると認められる。
　
[引用発明]
　「電極部１７を、有するベース面１３と、
前記電極部１７に対向して静電力により移動するものであって、電極部１７とは電気的に絶縁されている棒１６の一端ａと、前記棒１６の一端ａの移動に連動して移動する棒１６の他端ｂと、棒１６の一端ａと棒１６の他端ｂを連結する変位部とを、有する棒１６と、
前記棒１６の棒１６の他端ｂと棒１６の一端ａとを結ぶ直線上の部分を、前記ベース面１３に連結して、電極部１７の移動によって変位部が揺動することを支持する両持ち梁１５と、を有する静電アクチュエータ。」
　
（２）刊行物２の記載事項
カ．段落【００１０】〜【００１２】
　「【００１０】
【実施例】まず、請求項１記載の発明の第一の実施例を図１に基づいて説明する。ベース面４上には、一対の梁固定部５が形成されている。この一対の梁固定部５間には前記ベース面４に対して両持ち梁６が平行に張られている。この両持ち梁６の中央には、その両持ち梁６の長手方向と直交しかつ前記ベース面４に対して平行な状態で棒７が固定されている。この棒７の端部ａにはくし歯状をした可動電極８が形成され、また、この可動電極８と対向した左右両側の位置には、くし歯状をした固定電極９が配設されている。これら可動電極８と固定電極９とはアクチュエータ部１０を構成しており、前記棒７の長手方向と直交しかつ前記ベース面４と平行な方向に力を付与する働きがある。この場合、前記棒７と前記両持ち梁６と前記可動電極８とはベース面４から浮いており、その他の部分は前記ベース面４に固定されている。
【００１１】このような構成において、梁固定部５と左側の固定電極９との間に電圧Ｖ１を印加すると、くし歯状の可動電極８とその左側に位置する固定電極９との間に静電力が作用して可動電極８は左方向に引き込まれ、棒７は支点Ｐを中心として回転し、これによりその棒７の端部ｂはＸ１方向に移動する。これと同様な原理により、梁固定部５と右側の固定電極９との間に電圧Ｖ２を印加すると、棒７の端部ｂはＸ２方向に移動する。
【００１２】上述したように、梁固定部５と固定電極９との間に電圧を印加することによって、棒７を支点Ｐとして回転させることができ、これにより棒７の端部ｂから変位や力を取り出すことができる。この場合、電極部分と支点Ｐとの間の距離、棒７の端部ｂと支点Ｐとの間の距離を調節することによって、その端部ｂにおける変位量や力の大きさの制御を行うことも可能である。また、本アクチュエータは、マイクロ領域になるほど有利となる静電力を用いており、しかも、くし歯状の電極を形成することによって力を一段と大きくすることが可能である。」
　
キ．図１
　図１から、両持ち梁６が棒７の端部ｂと可動電極８とを結ぶ直線の中心位置よりも可動電極８に近い部分を連結していることが看取される。
　
　上記摘記事項カ．及びキ．を技術常識を勘案しながら本願発明に照らして整理すると、刊行物２には次の事項が記載されていると認められる。
　
[刊行物２記載の事項]
　「両持ち梁６により、棒７の棒７の端部ｂと可動電極８とを結ぶ直線の中心位置よりも可動電極８に近い部分を連結すること。」
　
（３）刊行物３の記載事項
サ．段落【００１２】〜【００１３】
「【００１２】又、反射ミラー部５５の偏向角（振れ角）を大きくするには、図１７に示すように、反射ミラー部５５と固定電極５７，５８とのギャップ間隔を大きく設定する必要がある。しかし、静電力は、ギャップの２乗に反比例するので、必要な駆動力を得るには非常に大きな電圧を必要とする。
【００１３】一方、前記第２従来例においては、第１従来例と異なり、櫛歯部６１，６２の高さを大きく設定すれば偏向角を大きく取ることができ、櫛歯の数を多くすれば低電圧で大きな駆動力が得られる。しかしながら、反射ミラー部５５の両外端部に櫛歯部６１を設けるために、反射ミラー部５５が大型化するのは避けられない。反射ミラー部５５が大型化すると、反射ミラー部５５の共振周波数が低下するため、高速で揺動させることができない。特に、偏向角を大きく取るため、又は、低電圧で大きな駆動力を得るため、櫛歯部６１，６２の高さを大きく設定したり、櫛歯数を多くすることは反射ミラー部５５の重量の増量となり、さらなる共振周波数の低下を招く。」
　
シ．段落【００２０】〜【００２６】
　「【００２０】図１〜図４において、光偏向器１Ａのベース２は偏平長方形状を有し、このベース２の全外周端には立設部３が一体的に突出形成されており、この立設部３上に振動体５が配置されている。
【００２１】この振動体５は、方形状の外枠部６と、この外枠部６の開口部６ａ内に配置された反射ミラー部７と、この反射ミラー部７の略重心を通る軸上の位置で反射ミラー部７と外枠部６とを連結する一対の支持部８，８とから一体的に構成されている。そして、外枠部６が立設部３上に固定されており、反射ミラー部７は一対の支持部８，８を揺動中心軸ＣＬ（図１，図３に示す）として揺動自在に構成されている。反射ミラー部７の表面には光反射膜が膜付けされて光反射面７ａが形成されている。
【００２２】また、図４に詳しく示すように、反射ミラー部７の裏面には前記揺動中心軸ＣＬに直交する方向に延びる溝９ａと突起部９ｂとから成るミラー側櫛歯部９が一体的に形成されている。この反射ミラー部７のミラー側櫛歯部９に対向するベース２上の位置には左右一対の固定電極１０，１１が配置され、この一対の固定電極１０，１１の上面側にも溝１２ａと突起部１２ｂとから成る電極側櫛歯部１２が一体的に形成されている。そして、ミラー側櫛歯部９と電極側櫛歯部１２とは、一方の溝９ａ，１２ａと他方の突起部９ｂ，１２ｂとが互いに対向する位置関係、つまり、互いに噛み合うように配置されている。各固定電極１０，１１と反射ミラー部７との間には各切替スイッチＳＷ１，ＳＷ２を介して選択的に電圧を印加できるよう構成されており、各切替スイッチＳＷ１，ＳＷ２を交互にオン・オフ制御し、一対の固定電極１１，１２に交互に電圧を印加するように構成されている。
【００２３】また、前記反射ミラー部７はその厚みが薄く形成され、且つ、ミラー側櫛歯部９及び電極側櫛歯１２の高さ、具体的には溝９ａ，１２ａと突起部９ｂ，１２ｂとの噛み合いストロークは広い偏向角を得られるように高く形成されている。つまり、反射ミラー部７は全体として軽量で、共振周波数が高く構成されている。
【００２４】上記構成において、図１（Ｂ）に示すように、一方の固定電極１０と反射ミラー部７との間に電圧が印加されたときには反射ミラー部７の左側が静電力により吸引されて反射ミラー部７が一対の支持部８を揺動中心軸ＣＬとして反時計方向に回転し、又、図３に示すように、他方の固定電極１１と反射ミラー部７との間に電圧が印加されたときには、一方の固定電極１０の吸引力が解除され、捩じられた一対の支持部８が弾性復帰力により反射ミラー部７を元の位置に戻そうとすると共に、反射ミラー部７の右側が静電力により吸引されて反射ミラー部７が一対の支持部８を揺動中心軸ＣＬとして時計方向に回転する。従って、切替スイッチＳＷ１，ＳＷ２を交互にオン・オフ制御されると、一対の固定電極１０，１１に交互に電圧を印加することによって反射ミラー部７が左右に揺動するものである。この反射ミラー部７に照射された光は、反射ミラー部７の揺動によって反射角が変更され、これによって光偏向される。尚、反射ミラー部７への電圧印加は、この反射ミラー部７を接続している外枠部６に印加している。
【００２５】ここで、反射ミラー部７の駆動力は、ミラー側櫛歯部９と電極側櫛歯部１２との間に発生する静電力によって得られ、且つ、双方のギャップ間隔が揺動位置にかかわらず狭く一定であるため、低い電圧で大きな駆動力を得ることができる。尚、駆動力の大きさの程度は下記に詳述する。
【００２６】そして、ミラー側櫛歯部９と電極側櫛歯部１２との高さは、所望の偏向角を得るのに必要な高さに設定され、且つ、反射ミラー部７は軽量で共振周波数が高く構成されているため、低い電圧の下でも高速で、且つ、大きな偏向角で揺動させることができる。特に、反射ミラー部７を共振周波数で振動させると、反射ミラー部７が最大変位で振動するため、低電力で大きな回転力を得ることができる。」
　
　上記摘記事項サ．及びシ．を技術常識を勘案しながら本願発明に照らして整理すると、刊行物３には次の事項が記載されていると認められる。
　
[刊行物３記載の事項]
　「ベース２に立設部３を設けると共に、該立設部３の内側に電極側櫛歯部１２を設け、反射ミラー部７の支持部８を前記立設部３に連結すること。」
　
　
４．対比
　本願発明と引用発明とを対比すると、引用発明の「電極部１７」は本願発明の「固定電極部」に相当し、以下同様に、「ベース面１３」は「固定部材」に、「棒１６」は「駆動部材」に、「両持ち梁１５」は「回転支持部材」に、「静電アクチュエータ」は「静電型アクチュエータ」に、それぞれ相当する。
　また、刊行物１の上記摘記事項イ．段落【００１２】の、「静電力により棒１６の端部ａは電極部１７の側に吸引され、これに連れてその反対側に位置する棒１６の端部ｂが回動するため、それまで接触していた弁１８が開き、これにより気体Ｐと気体Ｑとは自由に出入りすることができるようになる」という記載からみて、引用発明の「棒１６の一端ａ」は本願発明の「可動電極」に相当するということができ、また同様に、「棒１６の他端ｂ」は本願発明の「作用部」に相当するということができる。
　さらに、引用発明の「直線上の部分を、ベース面１３に連結して」と本願発明の「直線の中心位置よりも可動電極に近い部分を、固定枠部に連結して」とは、「直線上の部分を、固定部材に連結して」という限りにおいて共通している。
　そうすると、両者の一致点と相違点は以下のとおりと認められる。
　
[一致点]
　「固定電極部を、有する固定部材と、
前記固定電極部に対向して静電力により移動するものであって、固定電極部とは電気的に絶縁されている可動電極部と、前記可動電極部の移動に連動して移動する作用部と、可動電極部と作用部を連結する変位部とを、有する駆動部材と、
前記駆動部材の作用部と可動電極部とを結ぶ直線上の部分を、固定部材に連結して、可動電極部の移動によって変位部が揺動することを支持する回転支持部材と、を有する静電型アクチュエータ。」である点。
　
[相違点１]
　本願発明は、固定部材が「固定枠部」を有し、該「固定枠部の内側に」固定電極部が設けられると共に、駆動部材の「回転支持部材」が「前記固定枠部に連結」され、「前記固定部材の上面と前記駆動部材の下面が同一面にあ」るのに対し、引用発明は、固定部材が固定枠部を有しておらず、上記各事項に対応する事項を有しない点。
　
[相違点２]
　本願発明は、固定電極部が「固定櫛歯電極部分と固定櫛歯連結部分とからなる」と共に、可動電極部が「可動櫛歯電極部分と可動櫛歯連結部分とからな」るのに対し、引用発明の固定電極部及び可動電極部はそのようなものではない点。
　
[相違点３]
　本願発明は、回転支持部材が「駆動部材の作用部と可動電極部とを結ぶ直線の中心位置よりも可動電極部に近い部分を」連結するものであって、作用部が「可動電極部のストロークよりも長い距離を移動する」ものであるのに対し、引用発明は、それに対応する事項を有するか明らかでない点。
　
５　判断
[相違点１について]
　上記刊行物３記載の事項における「ベース２」は本願発明の「固定部材」に相当し、以下同様に、「立設部３」は「固定枠部」に、「電極側櫛歯部１２」は「固定電極部」に、「反射ミラー部７」は「駆動部材」に、「支持部８」は「回転支持部材」に、それぞれ相当する。
　そうすると、刊行物３記載の事項は「固定部材に固定枠部を設けると共に、該固定部材の内側に固定電極部を設け、駆動部材の回転支持部材を固定枠部に連結すること。」であるということができる。
　そして、引用発明と刊行物３記載の事項とはいずれも、静電型アクチュエータという同一の技術分野に属し、回転支持部材により駆動部材を固定部材に連結して駆動部材を揺動させるという共通の機能を有することから、引用発明においての刊行物３記載の事項を採用することは、当業者が格別の創意を要することなく容易になし得た程度のことである。
　また、上記摘記事項（３）のサ．やシ．の段落【００２３】の記載からみて、アクチュエータの作用部の振れ角は大きい方が望ましく、そのためには駆動部材が下方の部材と干渉しないように、駆動部材下方に空間を設ける必要があることは、当業者であれば容易に理解することができる。
　そうすると、引用発明において刊行物３記載の事項を採用するに際し、駆動部材下方に空間を確保すべく、固定部材の上面と駆動部材の下面を同一面とすることは、当業者が必要に応じて適宜選択し得た設計的事項である。
　
[相違点２について]
　静電型アクチュエータの技術分野において、固定電極部及び可動電極部を、櫛歯電極部分と櫛歯連結部分とで構成することは、上記刊行物２及び３記載のごとく従来周知の技術である。
　よって、引用発明において上記周知技術を適用し、相違点２に係る本願発明のごとく構成することは、当業者にとって容易である。
　
[相違点３について]
　刊行物２記載の事項における「両持ち梁６」は本願発明の「回転支持部材」に相当し、以下同様に、「棒７」は「駆動部材」に、「棒７の端部ｂ」は「作用部」に、「可動電極８」は「可動電極」に、それぞれ相当する。
　よって、刊行物２記載の事項は「回転支持部材により、駆動部材の作用部と可動電極とを結ぶ直線の中心位置よりも可動電極に近い部分を連結すること。」であるということができ、その場合に、作用部が可動電極のストロークよりも長い距離を移動することは、技術常識からみて明らかである。
　そして、上記摘記事項（２）のカ．の段落【００１２】の記載からみて、アクチュエータの作用部の変位量や力は制御する必要があり、そのためには回転支持部材により連結する位置を調節すればよいことも、当業者であれば容易に理解することができる。
　そうすると、引用発明においてもアクチュエータの作用部の変位量や力を制御する必要があることは明らかであり、引用発明において刊行物２記載の技術的事項を採用し、相違点３に係る本願発明のごとく構成することが、当業者にとって格別困難であったとすることはできない。
　
　
６　本願発明の効果について
　本願発明によってもたらされる効果も、刊行物１記載の発明と刊行物２及び３記載の事項並びに周知技術とから、当業者であれば予測できる範囲内のものであって格別顕著なものではない。
　
　
７　結び
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１記載の発明と刊行物２及び３記載の事項並びに周知技術とに基づき、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。