【手続補正書】
【提出日】平成24年7月2日(2012.7.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、
（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び、
（Ｃ）極性変換基を少なくとも１つと、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかとを有する繰り返し単位（ｃ）を有する樹脂を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【請求項２】
前記繰り返し単位（ｃ）が下記一般式（ＫＡ−１）及び（ＫＢ−１）で表される部分構造の少なくとも１つを有し、前記極性変換基が前記一般式（ＫＡ−１）又は（ＫＢ−１）で表される部分構造中のＸで表されることを特徴とする請求項１に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【化１】
2011002805.tif 000001
Ｘは、カルボン酸エステル、酸無水物、酸イミド、カルボン酸チオエステル、炭酸エステル、硫酸エステル、スルホン酸エステルのいずれかを表す。
Ｙ１及びＹ２は、それぞれ同一でも異なっても良く、電子求引性基を表す。
【請求項３】
樹脂（Ｃ）の繰り返し単位が、下記一般式（ＫＡ−１−１）〜（ＫＡ−１−１７）で表される部分構造の少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【化２】
2011002805.tif 000002
【請求項４】
樹脂（Ｃ）の繰り返し単位（ｃ）が、一般式（Ｆ２）〜（Ｆ４）及び一般式（ＣＳ−１）〜（ＣＳ−３）のいずれかで表される基の少なくとも１つを有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【化３】
2011002805.tif 000003
一般式（Ｆ２）〜（Ｆ４）中、
Ｒ５７〜Ｒ６８は、各々独立に、水素原子、フッ素原子又はアルキル基を表す。但し、Ｒ５７〜Ｒ６１、Ｒ６２〜Ｒ６４及びＲ６５〜Ｒ６８のそれぞれにおいて、少なくとも１つは、フッ素原子又はフルオロアルキル基を表す。Ｒ６２とＲ６３は、互いに連結して環を形成してもよい。
【化４】
2011002805.tif 000004
一般式（ＣＳ−１）〜（ＣＳ−３）中、
Ｒ１２〜Ｒ２６は、各々独立に、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。
Ｌ３〜Ｌ５は、単結合又は２価の連結基を表す。
ｎは、１〜５の整数を表す。
【請求項５】
樹脂（Ａ）が、一般式（３）で表される繰り返し単位を含有する請求項１〜４のいずれか１項に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【化５】
2011002805.tif 000005
一般式（３）中、
Ａは、エステル結合（−ＣＯＯ−）又はアミド結合（−ＣＯＮＨ−）を表す。
Ｒ０は、アルキレン基、シクロアルキレン基、又はその組み合わせを表し、複数ある場合は、同じでも異なっていてもよい。
Ｚは、エーテル結合、エステル結合、カルボニル結合、アミド結合、ウレタン結合、又はウレア結合を表し、複数ある場合は、同じでも異なっていてもよい。
Ｒ８は、ラクトン構造を有する１価の有機基を表す。
ｎ０は、一般式（３）で表わされる繰り返し単位内における−Ｒ０−Ｚ−で表される構造の繰り返し数であり、１〜５の整数を表す。
Ｒ７は、水素原子、ハロゲン原子又はアルキル基を表す。
【請求項６】
化合物（Ｂ）における活性光線又は放射線の照射により発生する酸の分子量が３００以上であり、かつ、該酸が、ヘテロ原子を含んでも良い、単環若しくは多環の、脂環又は芳香環を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【請求項７】
樹脂（Ｃ）の含有率が、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物の全固形分に対して０．１〜１０質量％である請求項１〜６のいずれか１項に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【請求項８】
該感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物により形成した感光性膜について、水との後退接触角が７０度以上であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物により形成されたレジスト膜。
【請求項１０】
請求項９に記載のレジスト膜を液浸露光、現像する工程を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、下記に示す本発明に到達したものである。
＜１＞（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、
（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び、
（Ｃ）極性変換基を少なくとも１つと、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかとを有する繰り返し単位（ｃ）を有する樹脂を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
＜２＞前記繰り返し単位（ｃ）が下記一般式（ＫＡ−１）及び（ＫＢ−１）で表される部分構造の少なくとも１つを有し、前記極性変換基が前記一般式（ＫＡ−１）又は（ＫＢ−１）で表される部分構造中のＸで表されることを特徴とする上記＜１＞に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
＜３＞樹脂（Ｃ）の繰り返し単位が、下記一般式（ＫＡ−１−１）〜（ＫＡ−１−１７）で表される部分構造の少なくともいずれかを含むことを特徴とする上記＜１＞又は＜２＞に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
＜４＞樹脂（Ｃ）の繰り返し単位（ｃ）が、一般式（Ｆ２）〜（Ｆ４）及び一般式（ＣＳ−１）〜（ＣＳ−３）のいずれかで表される基の少なくとも１つを有することを特徴とする上記＜１＞〜＜３＞のいずれかに記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
＜５＞樹脂（Ａ）が、一般式（３）で表される繰り返し単位を含有する上記＜１＞〜＜４＞のいずれかに記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
＜６＞化合物（Ｂ）における活性光線又は放射線の照射により発生する酸の分子量が３００以上であり、かつ、該酸が、ヘテロ原子を含んでも良い、単環若しくは多環の、脂環又は芳香環を有することを特徴とする上記＜１＞〜＜５＞のいずれかに記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
＜７＞樹脂（Ｃ）の含有率が、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物の全固形分に対して０．１〜１０質量％である上記＜１＞〜＜６＞のいずれかに記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
＜８＞該感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物により形成した感光性膜について、水との後退接触角が７０度以上であることを特徴とする上記＜１＞〜＜７＞のいずれかに記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
＜９＞上記＜１＞〜＜８＞のいずれかに記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物により形成されたレジスト膜。
＜１０＞上記＜９＞に記載のレジスト膜を液浸露光、現像する工程を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２０】
［３］極性変換基を少なくとも１つと、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかと有する繰り返し単位を有する樹脂（Ｃ）
本発明の感活性光線又は感放射線樹脂組成物は、極性変換基を少なくとも１つと、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかとを有する繰り返し単位（ｃ）を有する樹脂（Ｃ）を含有する。樹脂（Ｃ）は疎水性を有するものであるが、樹脂（Ｃ）の添加は、特に現像欠陥の低減の点で好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２５０】
繰り返し単位（ｃ）が、１つの側鎖上に、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかと、極性変換基とを有する繰り返し単位（ｃ’）であっても、極性変換基を有し、かつ、フッ素原子及び珪素原子を有さない繰り返し単位（ｃ＊）であっても、１つの側鎖上に極性変換基を有し、かつ、同一繰り返し単位内の前記側鎖と異なる側鎖上に、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する繰り返し単位（ｃ”）であってもよいが、樹脂（Ｃ）は繰り返し単位（ｃ）として繰り返し単位（ｃ’）を有することがより好ましい。
なお、樹脂（Ｃ）が、繰り返し単位（ｃ＊）を有する場合、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する繰り返し単位（後述する繰り返し単位（ｃ１））とのコポリマーであることが好ましい。また、繰り返し単位（ｃ”）における、極性変換基を有する側鎖とフッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する側鎖とは、主鎖中の同一の炭素原子に結合している、すなわち下記式（Ｋ１）のような位置関係にあることが好ましい。
式中、Ｂ１は極性変換基を有する部分構造、Ｂ２はフッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する部分構造を表す。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２５４】
本発明の樹脂（Ｃ）は、少なくとも２つ以上の極性変換基と、フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかとを有する繰り返し単位（ｃ）を有する樹脂（Ｃ１）であることが好ましい。