【事件の表示】
　特願２００２−２４５８１１「探針装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　３月１８日出願公開、特開２００４−　８５３２１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯　
　本願は、平成１４年８月２６日の出願であって、平成１６年８月２０日付けで拒絶査定がなされ、同年９月２４日に拒絶査定に対する審判が請求されるとともに、同年１０月２２日付けで手続補正がなされたものである。
     　
２．平成１６年１０月２２日付けの手続補正の適否についての検討
　本件補正は、補正前の特許請求の範囲の請求項１〜３について、
「【請求項１】　試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーを備え、前記カンチレバーを振動させて前記試料の表面構造を測定するタッピングモードと、前記探針を前記試料に接触させて前記試料の電気特性を測定する点接触モードとにより前記試料の構造或いは電気特性が測定可能な探針装置において、前記タッピングモードと、前記点接触モードとを、所定の期間で切り替えながら前記試料の測定を行うと共に、前記タッピングモードから前記点接触モードに切り替えるときに、前記カンチレバーの振動を急速に停止させることを特徴とする探針装置。
　【請求項２】　請求項１に記載の探針装置において、前記カンチレバーの振動を急速に停止するために前記カンチレバーに、励起用信号と逆移相の信号を与えることを特徴とする探針装置。
　【請求項３】　請求項１又は請求項２に記載の探針装置において、前記所定の期間は、１０ｍｓ〜２０ｍｓであることを特徴とする探針装置。」
　を、　
「【請求項１】　試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーを備え、前記カンチレバーを振動させて前記試料の表面構造を測定するタッピングモードと、前記探針を前記試料に接触させて前記試料の電気特性を測定する点接触モードとにより前記試料の構造或いは電気特性が測定可能な探針装置において、前記タッピングモードと、前記点接触モードとを、所定の期間で切り替えながら前記試料の測定を行うと共に、前記タッピングモードから前記点接触モードに切り替えるときに、
前記カンチレバーに、励起用信号と逆移相の信号を与えることにより、
　【請求項２】　
請求項１に記載の探針装置において、前記所定の期間は、１０ｍｓ〜２０ｍｓであることを特徴とする探針装置。
とする補正を含むものである。（下線部は補正箇所を示す。）
　上記補正は、補正前の請求項１を削除し、それに伴い請求項の番号を付与し直したものであるから、特許法第１７条の２第第４項第１号に規定する請求項の削除を目的とするものに該当する。
　
３．本願発明  　
　本願の請求項１，２に係る発明は、平成１６年１０月２２日付けの手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１，２に記載された事項により特定されるものであると認められるところ、請求項１に係る発明は次のとおりである。　
「【請求項１】　試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーを備え、前記カンチレバーを振動させて前記試料の表面構造を測定するタッピングモードと、前記探針を前記試料に接触させて前記試料の電気特性を測定する点接触モードとにより前記試料の構造或いは電気特性が測定可能な探針装置において、前記タッピングモードと、前記点接触モードとを、所定の期間で切り替えながら前記試料の測定を行うと共に、前記タッピングモードから前記点接触モードに切り替えるときに、前記カンチレバーに、励起用信号と逆移相の信号を与えることにより、前記カンチレバーの振動を急速に停止させることを特徴とする探針装置。」（以下、「本願発明」という。）
　
４．引用例
　刊行物１：大塚洋一、内藤泰久、松本卓也、田畑仁、川合知二、ＴＭＣＰＣＩＳによる金属絶縁体有機分子混合表面の観察、日本化学会第８１春季年会（２００２）講演予稿集１、社団法人日本化学会、２００２年３月、４Ｅ４−３４、p.405（以下、「引用例１」という。）
　
　刊行物２：Yoichi OTSUKA, Yasuhisa NAITOH, Takuya MATSUMOTO and Tomoji KAWAI、A Nano Tester: A New Technique for Nanoscale Electrical Characterization by Point-Contact Current-Imaging Atomic Force　Microscopy、Japanese Journal of Applied Physics、The Japan Society of Applied Physics、２００２年７月、第４１巻、Ｐａｒｔ２、第７Ａ号、ｐ．Ｌ７４２−Ｌ７４４（以下、「引用例２」という。）
　
　原査定の拒絶理由で引用された上記刊行物１には、図面とともに以下の事項が記載されているものと認められる。
  　
ア．「これまで、電気伝導測定はＡＦＭにおけるコンタクトモードによって行われてきたが、少数分子が基板上に存在している状態での測定においては試料の変化を伴う。またタッピングモードでは短針と試料の接触が不十分であるため電気伝導測定が困難であった。本研究ではタッピングモードとコンタクトモードを組み合わせた新規な手法を考案し、電極に固定された単層ナノチューブ（ＳＷＮＴ）・ＤＮＡの構造とその電気特性の同時測定を行った。」
　
イ．「実験：試料は絶縁基板上（マイカ）にＳＷＮＴを固定化し、金電極を真空蒸着法で作成した。測定は、タッピングモードで走査中に、瞬間的に短針の振動を停止し短針を試料に近づけてポイントコンタクトの状態での電流電圧測定を縦横１２８ポイントずつ（合計１６３８４ポイント）行った。これにより電極に接続した分子の構造と各部分での電流値をイメージングした。」
　
　上記摘記事項「ア．」「イ．」より、上記引用例１には、
「タッピングモードとコンタクトモードとにより単層ナノチューブ（ＳＷＮＴ）・ＤＮＡの構造あるいは電流電圧測定が可能なＡＦＭにおいて、タッピングモード走査中に、瞬間的に探針の振動を停止し探針を試料に近づけてポイントコンタクトの状態で電流電圧測定を行うＡＦＭ。」（以下「引用例１発明」という。）が開示されていると認められる。
　
　同じく、原査定の拒絶理由に引用された上記引用例２には、図面と共に以下の事項が記載されているものと認められる。（摘記箇所は日本語に翻訳したものである。）
ウ．「上述のような状況に応えるために、ナノスケールにおけるＩ−Ｖ特性測定の新たな方法を開発した。即ち、点接触電流像原子間力顕微鏡（ＰＣＩ−ＡＦＭ）である。Ｔｏｐｏ像を得るためのタッピングモードとＩ−Ｖ特性を測定するための点接触モードとを組み合わせることにより、このＡＦＭ測定法は、高解像度のＴｏｐｏ像と空間分解されたＩ−Ｖ特性の測定を同時に行うことができる。したがって、試料の構造と電気的特性を同時に測定することが可能となるのである。」（Ｌ７４２頁左欄第３６行〜右欄第３行）
　
エ．「Ｆｉｇ．１（ａ）は、ＰＣＩ−ＡＦＭ測定方法の概略図である。Ｔｏｐｏ像はタッピングモード走査により測定され、Ｉ−Ｖ特性はタッピングモードを中断した間に点接触モードによって測定される。」（Ｌ７４２頁右欄第２５−２８行）
　
オ．「Ｆｉｇ．１（ｂ）は、ＰＣＩ−ＡＦＭ測定で用いられた信号のタイミングチャートを示す。フィードバックはＴＴＬ信号により制御される。区間Ｉで示された信号がＨｉｇｈの時はフィードバック制御が行われ、タッピングモードで走査するためにカンチレバーは１５０kHzの共振周波数で振動される。この区間では、Ｚ軸のサーボ電圧はＴｏｐｏ像を得るためにコンピュータのメモリーに記憶される。探針がＩ−Ｖ特性の予め定められた位置に来たときに、横方向の走査は中断されフィードバック信号はＬｏｗとなる。このＨｉｇｈ−Ｌｏｗの切り替えが、区間ＩＩでのＩ−Ｖ特性測定の開始信号となる。この区間では、フィードバック信号は出されず、カンチレバーの振動は停止し、探針と試料とを所定の負荷で接触させるために、探針と試料とが離される。カンチレバーの振動を止めることによって探針と試料との接触を静的とすることができる。そして、バイアス電圧を変化させ、Ｉ−Ｖ特性がコンピュータに記憶される。最後に探針とサンプルとの分離が以前の値にリセットされ、フィードバックシステムが再び動作を開始され、タッピングモード走査が再び開始される。これらの交互の操作が引き続き行われ、ＴｏｐｏデータとＩ−Ｖ特性データが縦横１２８ポイント（合計１６３８４ポイント）得られる。」（Ｌ７４２頁右欄第２５行〜Ｌ７４３頁左欄第１２行）
  　
カ．Ｆｉｇ１（ｂ）には、タッピングモードである区間Ｉと、点接触モードである区間ＩＩが所定の期間で切り替えながら行われる図が記載されている。
　
４．対比
　本願発明と引用例１とを対比すると、引用例１発明の「ＡＦＭ」とは、atomic force microscopeの頭文字を取った原子間力顕微鏡を意味することは明らかであって、原子間力顕微鏡は 試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーを備え、該探針を試料表面上で移動させ，それに作用する力を測定することで表面原子構造の分布図をつくる装置であるから、引用例１発明の「ＡＦＭ」は、本願発明の「探針装置」に相当するものであるとともに、該「ＡＦＭ」が「試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーを備え、」ていることは自明である。さらに、引用例１発明の「単層ナノチューブ（ＳＷＮＴ）・ＤＮＡ」は、本願発明の「試料」に相当することは明らかである。また、引用例１発明の「タッピングモード」は、ＡＦＭにおいて、カンチレバーを振動させて試料の表面構造を測定するモードであることは技術常識である。また、引用例１発明の「コンタクトモード」は、上記摘記事項「イ．」によれば、探針を試料に近づけてポイントコンタクト状態での電流電圧測定を行っていることからみて本願発明の「前記探針を前記試料に接触させて前記試料の電気特性を測定する点接触モード」に相当することは明らかである。また、引用例１発明の「タッピングモード走査中に、瞬間的に探針の振動を停止し探針を試料に近づけてポイントコンタクトの状態で電流電圧測定を行う」とは、タッピングモードからコンタクトモード、即ち点接触モードに切り替えるときに、探針の振動、即ちカンチレバーの振動を急速に停止させていることに他ならないから、本願発明の「前記タッピングモードから前記点接触モードに切り替えるときに、」「前記カンチレバーの振動を急速に停止させる」構成を有するものであることは明らかである。
  　
　そうすると、両者は、「試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーを備え、カンチレバーを振動させて前記試料の表面構造を測定するタッピングモードと、前記探針を前記探針を前記試料に接触させて前記試料の電気特性を測定する点接触モードとにより前記試料の構造あるいは電気特性が測定可能な探針装置において、前記タッピングモードと、前記点接触モードとにより試料の測定を行うと共に、前記タッピングモードから前記点接触モードに切り替えるときに、前記カンチレバーの振動を急速に停止させる探針装置。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
（相違点１）
　本願発明では、タッピングモードから点接触モードとを、所定の期間で切り替えながら試料の測定を行うのに対して、引用例１発明では、タッピングモードと点接触モードとをどのように切り替えながら試料の測定を行っているか明確でない点。
  　
（相違点２）
　カンチレバーの振動を急速に停止させる構成について、本願発明では、カンチレバーに励起用信号と逆位相の信号を与えることにより行っているのに対して、引用例１発明では、具体的な構成については記載されていない点。
　
５．判断　
　上記相違点について検討する。
（相違点１）について。
　上記引用例２の上記摘記事項「オ．」「カ．」には、ＡＦＭを用いて、タッピングモードと点接触モードとを所定の期間で切り替えながら、タッピングモードで試料のＴｏｐｏ像、即ち試料の表面構造を測定するとともに、点接触モードで試料のＩ−Ｖ特性を測定する構成が記載されているから、係る技術思想を引用例１に記載の探針装置に採用し、タッピングモードと点接触モードとを所定の期間で切り替えながら行うようにすることは、当業者が容易に想到しうる事項であると認められる。
　
（相違点２）について。
　振動する物体に対して、振動を急速に停止させるために、逆位相の信号を与えることは、電子機器の制御手法として周知技術であるから（例えば、特開２０００−１４７０９８号公報、特開２０００−５１８０号公報、特開２００１−２０９４３４号公報、特開２０００−４７７３０号公報）、係る周知技術を引用例１に記載の探針装置に採用し、カンチレバーの振動を急速に停止させるために、カンチレバーに励起用信号と逆位相の信号を与えるようにすることは当業者が容易に想到しうる事項であると認められる。
　また、本願請求項１に係る発明の作用効果も、引用例１に記載の発明、引用例２に記載の発明及び上記周知技術に基いて、当業者が予測できる範囲のものである。
　したがって、本願請求項１に係る発明は、引用例１に記載の発明、引用例２に記載の発明及び上記周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．審判請求人の主張について
　請求人は、前置報告の内容についての当審からの審尋に対する回答書を提出し、振動子に逆位相の信号を加え、振動停止後の不要信号を抑制することは広く行われていることを認めるとともに、本願発明は、周波数を変化させるなどナノスケールに基づく高度な制御が必要になるため、逆位相信号を加えるという一般的な周知の技術を適用するだけでは達成し得ないものである旨、主張している。
　しかしながら、特許請求の範囲の請求項１には、逆位相の信号の与え方については「前記カンチレバーに、励起用信号と逆位相の信号を与えることにより、」としか記載されておらず、また、発明の詳細な説明を参酌しても、段落番号【００１７】に「なお、この場合に、タッピングモード測定から点接触測定に切り替えるときに、カンチレバー１０の振動を迅速に停止することが好ましい。そのために、第１の信号発生器４２からカンチレバー１０の励起用信号と逆位相の信号を与えて、カンチレバー１０の振動を強制的に停止させても良い。」と記載されているだけであって、請求人の主張するような高度な制御を行う構成、及びその必要があることに関して何ら記載されていない。振動を急速に停止させるために逆位相の信号を与えるという技術思想が上記（相違点２）で検討したように周知技術であって、係る技術思想を引用例１発明に適用することに格別な困難性を考慮する特段の事情もあるものとは認められない。
　したがって、請求人が縷々主張する点は、特許請求の範囲の記載に基づくものであるとは認められず、また、格別なものであるとも認められない。
　よって、請求人の主張は採用することができない。
　
７．むすび
　以上のとおり、請求項１に係る発明は、引用例１に記載の発明、引用例２に記載の発明、及び、上記周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項を検討するまでもなく、上記のとおり審決する。