(57)【要約】【課題】帯電物に対し所定の距離に至った場合、当該帯電物の表面における電荷分布状態を速やかに把握し得るような表示パネル装置の構成を提供すること。【解決手段】個別のセンサー２１を規則的に配列したセンサー部２、個別のセンサー２１の帯電に基づく電位を入力する電位入力部３、当該入力された電位をコンピュータによってデジタル数値に変換する変換部４、当該変換部４からの数値入力に基づいて、個別のセンサー２１の帯電状況を表示する画素５１を規則的に配列した表示部５を備えることによって、前記課題を達成することができる帯電物１の電荷分布表示パネル装置。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
個別のセンサーを規則的に配列したセンサー部、個別のセンサーの帯電に基づく電位を入力する電位入力部、当該入力された電位をコンピュータによってデジタル数値に変換する変換部、当該変換部からの数値入力に基づいて、個別のセンサーの帯電状況を表示する画素を規則的に配列した表示部を備えた帯電物の電荷分布表示パネル装置。
【請求項２】
変換部において、個別のセンサーにつき、所定の順位番号を予め設定しており、当該順位に従って個別のセンサーからの電位入力を順次変換していることを特徴とする帯電物の電荷分布表示パネル装置。
【請求項３】
表示パネルにおいて、数値表示又はカラー表示又は複数個の各画素間の境界ラインのうちの１個の境界ラインの方向の長さを尺度とする幅ラインによるグラフ表示を採用していることを特徴とする請求項１記載の電荷分布表示パネル装置。
【請求項４】
各画素が数値表示とカラー表示の双方を表示し得ることを特徴とする請求項１、２の何れか一項に記載の電荷分布表示パネル装置。
【請求項５】
各画素がグラフ表示とカラー表示の双方を表示し得ることを特徴とする請求項１、２の何れか一項に記載の電荷分布表示パネル装置。
【請求項６】
センサー部、電位測定部、変換部、表示部全てを１個の箱体に収容していることを特徴としている請求項１、２、３、４の何れか一項に記載の電荷分布表示パネル装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、帯電物の各部位における電位を介して、帯電物における電荷分布を一挙に表示できるような表示パネル装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
パワートランジスタ、サイリスタ等を要素としている高電圧発生回路、多種類の回路素子を組み込んだプリント基板回路、更にはこれらの回路を備えた装置又はその部品は、静電気による帯電が生じ易い。
【０００３】
このような帯電が生じた場合には、必然的に各部位においては帯電状況に応じてそれぞれ電位を有することになるが、前記帯電物に対する新たな製造工程又は更なる操作を行う場合には、帯電に基づくアクシデントを防止するため、各表面の部位における電荷の分布状況を把握することが必要であるか、又は極めて有用となる場合が多い。
【０００４】
非特許文献１は、帯電物の区分における静電気分布状況を把握するために、当該帯電物の表面近傍に電位計を走査（スキャニング）することによって表面近傍の各部位における電位を測定したうえで、前記表面近傍の各部位における静電荷の帯電状況を可視化するシステムの構成を開示している。
【０００５】
しかしながら、帯電物の表面近傍において電位計を走査する装置と構成は煩雑であり、しかも当該走査には所定の時間を要するため、前記システムを電荷分布表示のために使用したとしても、電荷の分布状況を速やかに把握することは不可能である。
【０００６】
特許文献１においては、可動片を弾性力を以って回動可能な状態にて支持し、帯電している対象物との物理的な作用に基づく当該可動片の回動状況を反射光の角度変化によって検出する構成を開示している。
【０００７】
しかしながら、前記構成の場合には、単一の可動片の偏位を検出しているだけであって、このような構成では、帯電物の表面における電荷の分布を表示することは客観的に不可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第３０１１１４４号公報
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】鹿児島県工業技術センター研究成果発表会予稿集（２００７）
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【００１０】
本考案は、帯電物に対し所定の距離に至った場合、当該帯電物の表面における電荷分布状態を速やかに把握し得るような表示パネル装置の構成を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するため、本考案の基本構成は、個別のセンサーを規則的に配列したセンサー部、個別のセンサーの帯電に基づく電位を入力する電位入力部、当該入力された電位をコンピュータによってデジタル数値に変換する変換部、当該変換部からの数値入力に基づいて、個別のセンサーの帯電状況を表示する画素を規則的に配列した表示部を備えた帯電物の電荷分布表示パネル装置からなる。
【考案の効果】
【００１２】
前記基本構成によって、本考案においては、帯電物の表面における電荷の分布状況を速やかに表示することができ、しかも必要に応じて、前記帯電物の電位分布の状況をも表示することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本考案の基本構成を示すブロック図であり、（ａ）は個別のセンサーと各画素との対応関係に基づく配置図であり、（ｂ）は各構成部の順序を示す配置図である。
【図２】表示部における表示画面の実施形態を示す平面図であって、（ａ）はカラー表示の場合を示しており（黒色部分、斑点部分、斜線部分及び交差斜線部分はそれぞれ各カラーに基づく表示状態を示す。）、（ｂ）は数値表示の場合を示しており（ａ、ｂ、ｃ、ｄは個別の数値を示す。）、（ｃ）はグラフ表示の場合を示している（各画素の横軸方向の境界ラインに沿った黒色の幅ラインの長さによって、対応する個別のセンサーの電荷密度を示す。）。
【図３】全体の配置関係を示しており、（ａ）は双方を１個の箱体内に配置した実施形態を示しており、（ｂ）は双方の個別の箱体に配置した実施形態を示している（尚、（ａ）、（ｂ）における白線の矢印は、個別のセンサーに基づく電位入力が変換部に伝達されている状況及び変換部から各画素への変換に基づく数値が伝達された状況を示す。）。
【図４】個別のセンサー及びこれに対応する各画素につき、順位番号を設定したうえで、１個のコンピュータによって個別のセンサーに対し、当該順位に従って各画素に伝達するデジタル数への変換を実現するためのフローチャートを示す（但し、ｎは個別のセンサー及び各画素の総数を示す。）。
【考案を実施するための形態】
【００１４】
個別のセンサー２１の近傍に帯電物１を配置し、かつ当該帯電物１の各表面から発生している電界によって個別のセンサー２１が帯電した場合（尚、本考案の装置の通常の実施形態においては、個別のセンサー２１が帯電物１に対し数ｍｍ〜数ｃｍの距離に位置している場合が多い。）には、図１（ａ）に示すように、個別のセンサー２１に対し、帯電物１における帯電状態の影響を受けて、個別のセンサー２１のうち帯電物１側の面には前記対応する位置と反対の極性による帯電状態に至り、帯電物１と反対側の面は、前記対応する位置と同一の極性の帯電状態に至ると共に、帯電の程度は前記対応する位置の帯電量に比例している。
【００１５】
個別のセンサー２１に対応する位置における帯電物１の表面電荷密度をσとした場合には、当該個別のセンサー２１の帯電物１側の面の電荷密度は−σに比例しており、帯電物１と反対側の面の荷電密度はσに比例している。
【００１６】
因みに、個別のセンサー２１は正方形であって、一片の長さをａとした場合、電荷密度σに対応する当該正方形の中心位置における電位は、
【数１】
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と算定することができる。
【００１７】
このような比例関係に基づいて、個別のセンサー２１における電位は前記電荷密度σに比例していることから、結局本考案においては、図１（ａ）に示すように、個別のセンサー２１に基づく電位入力を変換部４に伝達し（但し、図１（ａ）に示すように、増幅器３１０によって増幅される場合が多い。）、当該変換に係るデジタル数に対応して各画素５１が個別のセンサー２１における電荷密度σに対応する表示を行うことができる。
【００１８】
したがって、個別のセンサー２１に対応して各画素５１を設定した場合には、図１（ｂ）に示すように、電荷密度σを反映している個別のセンサー２１に対応している各画素５１を配列している表示部５においては、帯電物１の表面における電荷分布状態を表示することができる。
【００１９】
表示部５における表示形態としては、図２（ａ）に示すようなカラー表示、図２（ｂ）に示すような数値表示、図２（ｃ）に示すように、複数個の各画素５１間の境界ラインのうちの１個の境界ラインの方向に沿った方向の幅ラインの長さを尺度とするグラフ表示を選択することができる。
【００２０】
カラー表示の場合には、変換部４におけるコンピュータが、電位入力に基づいて変換したデジタル数値の各数値範囲に対応するカラーを選択し、当該選択指令に基づいて、各画素５１におけるカラーが表示されることになる。
【００２１】
数値による表示の場合には、個別のセンサー２１が有している電位入力又は当該電位入力を増幅したことによる入力に基づく数値を変換部４が表示部５に対しストレートに入力するのではなく、所定のデジタル数値への変換を行っているが、その根拠は、上記数値の場合には、有効数値の桁数が極めて多く、電荷分布を数値に対する一覧によって把握するのに不都合であることに由来している。
【００２２】
前記数値のデジタル変換の場合には、基準となる電荷密度に対応する基準数値（例えば１００）としたうえで、当該基準数値に対する比率による数字（例えば８０とか１２０等）による表示も可能である。
【００２３】
のみならず、各電荷密度の範囲において、その中間値を設定し（例えば０〜１０Ｖに対応する数値を５と設定し、１０〜２０Ｖに対応する数値を１５と設定する等）、当該中間値を表示することもできる。
【００２４】
グラフ表示の場合には、複数個の境界ラインのうち、特定方向の１個の境界ラインを選択したうえで、電荷密度に比例した長さを尺度とする幅ラインが設定されることになる。
【００２５】
センサー部２と表示部５とは、図３（ａ）に示すように、同一の箱体６に収容することが可能であり、その場合には、電位入力部３及び変換部４もまた当該箱体６中に収容されることになる。
【００２６】
これに対し、センサー部２と表示部５とを図３（ｂ）に示すように、別の箱体６に収容した場合には、電位入力部３及び変換部４は何れか一方の箱体６に収容するが、大抵の場合、電位入力部３はセンサー部２と同一の箱体６に収容し、変換部４は表示部５と同一の箱体６に収容することが多い。
【００２７】
個別のセンサー２１における電位は、それぞれ個別に変換されて各画素５１によって表示されるが、変換部４において、個別のセンサー２１及び各画素５１に対応して個別のコンピュータを設ける実施形態は当然採用可能である。しかしながら、そのような実施形態は設計上極めて煩雑とならざるを得ない。
【００２８】
これに対し、変換部４において、個別のセンサー２１につき、所定の順位番号を予め設定しており、当該順位に従って個別のセンサー２１からの電位入力を順次変換していることを特徴とする実施形態の場合には、上記煩雑性を回避し、１個のコンピュータによって必要な変換を行うことができる。
【実施例１】
【００２９】
実施例１においては、カラー表示と数値表示とを同時に表示することを特徴としている。
【００３０】
帯電物１の帯電状態をカラーによって把握する一方、帯電物１における電位分布をも数値によって把握することが可能となる。
【実施例２】
【００３１】
実施例２においては、カラー表示とグラフ表示とを同時に表示することを特徴としている。
【００３２】
このようなカラー表示の重畳によって、単一色のグラフ表示よりも電荷分布を直感的に把握し易くなっている。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本考案は、高圧処理装置、半導体デバイス等の帯電が生じ易い様々な電気及び電子機器及びその部品につき、製造段階及び使用段階において電荷の分布状態を把握し、その後の工程を効率化するという利用が可能である。
【符号の説明】
【００３４】
１  帯電物
２  センサー部
２１  個別のセンサー
３  電位入力部
３１  個別の電位入力部
３１０  増幅器
４  変換部（変換用コンピュータ）
５  表示部
５１  画素
６  箱体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
0003169319.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成23年5月24日(2011.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
個別のセンサーを規則的に配列したセンサー部、個別のセンサーの帯電に基づく電位を入力する電位入力部、当該入力された電位をコンピュータによってデジタル数値に変換する変換部、当該変換部からの数値入力に基づいて、個別のセンサーの帯電状況を表示する画素を規則的に配列した表示部を備えた帯電物の電荷分布表示パネル装置。
【請求項２】
変換部において、個別のセンサーにつき、所定の順位番号を予め設定しており、当該順位に従って個別のセンサーからの電位入力を順次変換していることを特徴とする請求項１記載の電荷分布表示パネル装置。
【請求項３】
表示パネルにおいて、数値表示又はカラー表示又は複数個の各画素間の境界ラインのうちの１個の境界ラインの方向の長さを尺度とする幅ラインの何れかによるグラフ表示を採用していることを特徴とする請求項１、２の何れか一項に記載の電荷分布表示パネル装置。
【請求項４】
各画素が数値表示とカラー表示の双方を表示し得ることを特徴とする請求項１、２の何れか一項に記載の電荷分布表示パネル装置。
【請求項５】
各画素がグラフ表示とカラー表示の双方を表示し得ることを特徴とする請求項１、２の何れか一項に記載の電荷分布表示パネル装置。
【請求項６】
センサー部、電位測定部、変換部、表示部全てを１個の箱体に収容していることを特徴としている請求項１、２、３、４、５の何れか一項に記載の電荷分布表示パネル装置。