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　特願２００２−１３２６３８「微小電気機械システム装置および電子装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　１月　８日出願公開、特開２００３−　　４４８１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、２００２年５月８日（パリ条約による優先権主張２００１年５月３１日、米国）の出願であって、平成１８年１２月２１日付け（平成１９年１月９日発送）で拒絶査定がなされ、これに対し、平成１９年４月６日に拒絶査定不服審判が請求されたものである。
　本願の請求項１ないし６に係る発明は、平成１８年１１月１３日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明は、次のとおりである。 
「【請求項１】
　微小電気機械システム装置において、
　カウンタ電極を有する第１の層と、
　前記第１の層に隣り合うように配置された第２の層と、
　キャパシタンス検出器と、
を備え、
　前記第２の層は、前記第１の層に接続される中間ウェーハと、前記中間ウェーハに取り付けられ、前記中間ウェーハおよび前記第１の層に対して３次元に移動する可動子とから構成され、
　前記可動子は前記カウンタ電極と隣り合うように配置された可動子電極を有し、
　前記可動子電極は前記カウンタ電極との間で前記キャパシタンスを生成し、前記可動子の動きにより前記カウンタ電極に対して移動し、
　前記キャパシタンスは前記可動子の位置に応じて変化し、前記キャパシタンス検出器によって検出され、
　前記カウンタ電極はｘ−ｙカウンタ電極とｚカウンタ電極とを有し、前記可動子電極はｘ−ｙ可動子電極とｚ可動子電極とを有し、前記可動子は互いに直交するｘ方向とｙ方向とｚ方向とを含む3次元の動きが可能で、前記動きは前記中間ウェーハに概ね平行なｘ−ｙ平面を定義する前記ｘ方向及び前記ｙ方向と該ｘ−ｙ平面と直交する前記ｚ方向とで定められ、前記ｘ方向あるいは前記ｙ方向の前記動きにより前記ｘ−ｙ可動子電極と前記ｘ−ｙカウンタ電極間の前記キャパシタンスが変化し、前記ｚ方向の前記動きにより前記ｚカウンタ電極と前記ｚ可動子電極間の前記キャパシタンスが変化して前記ｚカウンタ電極と前記ｚ可動子電極とが前記ｚ方向での前記動きの検出に用いられるとともに前記ｚカウンタ電極と前記ｚ可動子電極間の前記キャパシタンスは前記可動子が少なくとも前記ｘ方向と前記ｙ方向とを含む前記ｘ−ｙ平面内の任意の方向で動いても概ね変化しない、ことを特徴とする微小電気機械システム装置。」（以下、「本願発明」という。）
　
２．引用例の記載事項・引用発明
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用され、本願優先日前に頒布された刊行物である、特開平６−３４６５４号公報（以下、「引用例」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
　
＜記載事項１＞ 
「【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、例えば車両等の加速状態，振動状態等を検出するのに用いて好適な静電容量式加速度センサに関する。」
　
＜記載事項２＞ 
「【００１２】
　【発明が解決しようとする課題】
　ところで、上述した如く、第１の従来技術による加速度センサにおいては、上，下方向の加速度を検出でき、第２の従来技術による加速度センサにおいては、左，右方向の加速度を検出することができるものの、それぞれ１軸方向の加速度しか検出できず、上，下、左，右、前，後の３軸方向の加速度、即ち任意の方向の加速度を検出することができない。そして、３軸方向の任意の加速度を検出しようとする場合には、それぞれの方向に加速度センサを組合せて設けるため、複数の素子を必要としコスト高になるという問題がある。
　【００１３】
　また、１個の加速度センサで前記各従来技術の構造の加速度センサを製造する場合には、製造プロセスを複雑にして大幅な改良しなければならず、簡単な改良では、任意の方向の加速度を検出することは不可能であるという問題がある。
　【００１４】
　本発明は上述した従来技術の問題に鑑みなされたもので、複数の軸方向の加速度を精度良く検出でき、しかもコンパクトに形成できるようにした静電容量式加速度センサを提供することを目的とする。」
　
＜記載事項３＞  
「【００３１】
　次に、図４に基づいて、本実施例による静電容量式加速度センサの検出動作を説明する。なお、説明の便宜上、各固定電極２５，２６，２７，２８および可動電極部３３のみを１個づつ示している。また、可動電極部３３と上側固定電極２５との離間距離をｄ1 ，有効面積をＳ1 、可動電極部３３と上側固定電極２６との離間距離をｄ2 ，有効面積をＳ2 、可動電極部３３と下側固定電極２７との離間距離をｄ3 ，有効面積をＳ3 、可動電極部３３と下側固定電極２８との離間距離をｄ4 ，有効面積をＳ4 とする。図４の中心の図は、静電容量式加速度センサにどの方向からも加速度を加えていないときの状態を示し、この場合には、後述する数１を満足するようになっている。
【００４１】
　さらに、図４の左下に、センサに対して右向きの加速が加わった場合を示す。
　このときには、可動電極部３３は慣性力により左側に移動する。そして、可動電極部３３と上側固定電極２５，下側固定電極２７との有効面積Ｓ1 ，Ｓ3 が大きくなり、上側固定電極２６，下側固定電極２８との有効面積Ｓ3（当審注：この「Ｓ3」は「Ｓ2」の誤記と認める），Ｓ4 が小さくなる。なお、離間距離ｄ1 ，ｄ2 ，ｄ3 ，ｄ4 は変化しないから、次の数６が成り立つ。
【００４２】
【数６】
　　　　　Ｃ1 ＝Ｃ3 ＞Ｃ2 ＝Ｃ4 
【００４３】　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　一方、図４の右下に、センサに対して左向きの加速が加わった場合を示す。このときには、可動電極部３３は慣性力により右側に移動する。そして、可動電極部３３と上側固定電極２５，下側固定電極２７との有効面積Ｓ1 ，Ｓ3 が小さくなり、上側固定電極２６，下側固定電極２８との有効面積Ｓ3 （当審注：この「Ｓ3」は「Ｓ2」の誤記と認める），Ｓ4 が大きくなる。なお、離間距離ｄ1 ，ｄ2 ，ｄ3 ，ｄ4 は変化しないから、次の数７が成り立つ。
【００４４】
【数７】
　　　　　Ｃ1 ＝Ｃ3 ＜Ｃ2 ＝Ｃ4 」
　
＜記載事項４＞
「【００４９】
　次に、本発明の第２の実施例を図５ないし図７に基づいて説明するに、本実施例の特徴は、前述した第１の実施例の静電容量式加速度センサにおける固定電極および可動電極のような配置のものを、左右方向、前後方向に向けてそれぞれ交互に配設したことにある。なお、前記第１の実施例と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。さらに便宜上、固定電極は下側の基板に形成したものについてのみ説明し、上側の基板に形成した固定電極等については、符号にダッシュ（′）を付けて説明を省略する。
【００５０】
　図中、４１は下側に位置した基板２２の酸化膜２４内の上面側のうち、図６の左上部に位置して形成された第１の固定電極郡を示し、該第１の固定電極郡４１はそれぞれ３本づつ交互に合計６本配設された各固定電極４２，４３とから構成され、該各固定電極４２，４３は第１の実施例で示した各上側固定電極２５，２６と同様に、前後方向に向けて伸長するようにＣｒ等により長方形状に形成されている。
【００５１】
　４４は下側に位置した基板２２の酸化膜２４内の上面側のうち、図６の右下部に位置して形成された第２の固定電極郡を示し、該第２の固定電極郡４４はそれぞれ３本づつ交互に合計６本配設された各固定電極４５，４６とから構成され、該各固定電極４５，４６は前記各固定電極４２，４３と同様に、前後方向に向けて伸長するようにＣｒ等により長方形状に形成されている。
【００５２】　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　４７は下側に位置した基板２２の酸化膜２４内の上面側のうち、図６の右上部に位置して形成された第３の固定電極郡を示し、該第３の固定電極郡４７はそれぞれ３本づつ交互に合計６本配設された各固定電極４８，４９とから構成され、該各固定電極４８，４９は前記各固定電極４２，４３，４５，４６に対し直交する左右方向に向けて伸長するようにＣｒ等により長方形状に形成されている。
【００５３】
　５０は下側に位置した基板２２の酸化膜２４内の上面側のうち、図６の左下部に位置して形成された第４の固定電極郡を示し、該第４の固定電極郡５０はそれぞれ３本づつ交互に合計６本配設された各固定電極５１，５２とから構成され、該各固定電極５１，５２は前記各固定電極４８，４９と同様に、左右方向に向けて伸長するようにＣｒ等により長方形状に形成されている。
【００５４】
　５３，５４，５５，５６は配線パターンをそれぞれ示し、該配線パターン５３は第１の固定電極郡４１の各固定電極４２および第２の固定電極郡４４の各固定電極４５にそれぞれ接続され、信号を導出する。配線パターン５４は第１の固定電極郡４１の各固定電極４３および第２の固定電極郡４４の各固定電極４６にそれぞれ接続され、信号を導出する。配線パターン５５は第３の固定電極郡４７の各固定電極４８および第４の固定電極郡５０の各固定電極５１にそれぞれ接続され、信号を導出する。配線パターン５６は第３の固定電極郡４７の各固定電極４９および第４の固定電極郡５０の各固定電極５２にそれぞれ接続され、信号を導出するようになっている。
【００５５】
　そして、前記各固定電極郡４１，４４，４７，５０は固定電極の方向が同じ方向を向くものが対角線上に配置されている。なお、上側に位置した基板２１に形成される固定電極も同様に配置されているから、上側の基板２１の固定電極においては、ダッシュ（′）を付すことにより、説明を省略する。
【００５６】
　次に、可動電極について図７に基づいて説明する。
【００５７】　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　図中、５７は第１の実施例と同様に支持枠２９内に各支持梁３１を介して設けられた可動電極を示し、該可動電極５７は前述した第１の実施例と同様にポリシリコンにより形成されている。
【００５８】
　５８，５８，…は可動電極５７内に位置し、図７の左上部に形成された第１の貫通穴を示し、該各第１の貫通穴５８は前述した第１の実施例の各貫通穴３２と同様に前後方向に向けて伸びるような長方形状に貫通して穿設されている。そして、該各第１の貫通穴５８により形成された残りの部分が、３本の第１の可動電極部５９，５９，…となり、該各第１の可動電極部５９は前記第１の固定電極郡４１，４１′間に配置され、各固定電極４２，４２′および４３，４３′に等しい離間距離と等しい有効面積で合わさるようになっている。
【００５９】
　６０，６０，…は可動電極５７内に位置し、図７の右下部に形成された第２の貫通穴を示し、該各第２の貫通穴６０は前述した第１の実施例の各貫通穴３２と同様に前後方向に向けて伸びるような長方形状に貫通して穿設されている。そして、該各第２の貫通穴６０により形成された残りの部分が、３本の第２の可動電極部６１，６１，…となり、該各第２の可動電極部６１は前記第２の固定電極郡４４，４４′間に配置され、各固定電極４５，４５′および４６，４６′に等しい離間距離と等しい有効面積で合わさるようになっている。
【００６０】
　６２，６２，…は可動電極５７内に位置し、図７の右上部に形成された第３の貫通穴を示し、該各第３の貫通穴６２は前述した第１の実施例の各貫通穴３２と直交する左右方向に向けて伸びるような長方形状に貫通して穿設されている。そして、該各第３の貫通穴６２により形成された残りの部分が、３本の第３の可動電極部６３，６３，…となり、該各第３の可動電極部６３は前記第３の固定電極郡４７，４７′間に配置され、各固定電極４８，４８′および４９，４９′に等しい離間距離と等しい有効面積で合わさるようになっている。
【００６１】
　６４，６４，…は可動電極５７内に位置し、図７の左下部に形成された第４の貫通穴を示し、該各第４の貫通穴６４は前記各第３の貫通穴６２と同様に左右方向に向けて伸びるような長方形状に貫通して穿設されている。そして、該各第４の貫通穴６４により形成された残りの部分が、３本の第４の可動電極部６５，６５，…となり、該各第４の可動電極部６５は前記第４の固定電極郡５０，５０′　間に配置され、各固定電極５１，５１′および５２，５２′に等しい離間距離と等しい有効面積で合わさるようになっている。
【００６２】
　６６は可動電極５７の各可動電極部５９，６１，６３，６５からの信号を導出する配線パターンである。
【００６３】
　なお、製造方法については、第１の実施例と同様の行程により製造することができる。」
　
＜記載事項５＞ 
「【００６４】
　次に、本実施例による静電容量式加速度センサの検出動作を説明する。なお、可動電極５７の配線パターン６６から導出される信号を信号ａ、下側に位置した基板２２の各配線パターン５３，５４，５５，５６から導出される信号を信号ｂ，ｃ，ｄ，ｅ、上側に位置した基板２１の各配線パターン５３′，５４′，５５′，５６′から導出される信号を信号ｂ′，ｃ′，ｄ′，ｅ′とすると、本実施例によるセンサにおいては、信号ａと各信号ｂ〜ｅおよびｂ′〜ｅ′から８種類の静電容量を検出することができる。
【００６５】
　そして、この静電容量により、本実施例によるセンサにおいても、第１の実施例の図４に示したような検出を行う。
【００６６】
　即ち、センサに対して上，下方向の加速度が加わった場合には、可動電極５７は基板２１，２２に対して上，下に移動し、各可動電極部５９，６１，６３，６５と各固定電極郡４１，４４，４７，５０および各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′の離間距離が変化する。そして、信号ａ，ｂ〜ｅ，ｂ′〜ｅ′からの静電容量の変化により上，下方向の加速度を検出することができる。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　【００６７】
　また、センサに対して左，右方向（図７の紙面上の左，右方向）の加速度が加わった場合には、可動電極５７は基板２１，２２に対して左，右に移動し、各可動電極部５９，６１，６３，６５と各固定電極郡４１，４４，４７，５０および各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′との有効面積が変化する。このときには、各第３の固定電極郡４７，４７′および各第４の固定電極郡５０，５０′と、これに対応した各可動電極部６３，６５による有効面積の変化量は小さいから、各第１の固定電極郡４１，４１′および各第２の固定電極郡４４，４４′と、これに対応した各可動電極部５９，６１による有効面積の変化のみで検出する。そして、信号ａ，ｂ，ｂ′，ｃ，ｃ′からの静電容量の変化により左，右方向の加速度を検出することができる。
【００６８】
　さらに、センサに対して前，後方向（図７の紙面上の上，下方向）の加速度が加わった場合には、可動電極５７は基板２１，２２に対して前，後に移動し、各可動電極部５９，６１，６３，６５と各固定電極郡４１，４４，４７，５０および各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′との有効面積が変化する。このときには、各第１の固定電極郡４１，４１′および各第２の固定電極郡４４，４４′と、これに対応した各可動電極部５９，６３による有効面積の変化量は小さいから、各第３の固定電極郡４７，４７′および各第４の固定電極郡５０，５０′と、これに対応した各可動電極部６３，６５による有効面積の変化のみで検出する。そして、信号ａ，ｄ，ｄ′，ｅ，ｅ′からの静電容量の変化により前，後方向の加速度を検出することができる。
　
＜記載事項６＞ 
「【００６９】
　従って、本実施例による静電容量式加速度センサにおいては、上，下、左，右、前，後の３軸方向の加速度を高精度に検出することができる。
【００７０】
　かくして、本実施例による静電容量式加速度センサにおいては、可動電極の平面上の左，右、前，後の移動方向に対して、固定電極および可動電極部が伸びる形状に形成したから、前記第１の実施例では高精度に検出することのできなかったセンサに対する前，後方向の加速度も精度良く検出することができる。そして、上，下、左，右、前，後の３軸方向の加速度を正確に検出することができ、任意の方向（３次元方向）の加速度も容易に検出することができる。従って、車輌に設けた場合には、進行方向の加速度、振動加速度等を容易に検出することができる。」
　
（ａ）上記＜記載事項５＞の「信号ａと各信号ｂ〜ｅおよびｂ′〜ｅ′からの静電容量の変化により加速度を検出する」旨の記載から、引用例は、明記されていないものの「静電容量検出器を備えている」というべきである。
　
（ｂ）上記＜記載事項５＞の「左，右方向（図７の紙面上の左，右方向）」、「前，後方向（図７の紙面上の上，下方向）」及び「上，下方向」の３方向はそれぞれ互いに直交するから、3次元座標系でそれぞれ「ｘ方向」、「ｙ方向」及び「ｚ方向」とおくことができる。
　
（ｃ）図５〜図７によれば、「各可動電極部５９，６１，６３，６５」は、ｙ方向に向けて伸長する「各可動電極部５９，６１」とｘ方向に向けて伸長する「各可動電極部６３，６５」とを有していると共に、「各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′」は、ｙ方向に向けて伸長する「各固定電極郡４１′，４４′」とｘ方向に向けて伸長する「各固定電極郡４７′，５０′」とを有している。
　そして、上記＜記載事項５＞の【００６７】、【００６８】の記載によれば、ｙ方向に向けて伸長する「各可動電極部５９，６１」と「各固定電極郡４１′，４４′」間の静電容量は、ｘ方向の動きによる両者の有効面積の変化によって、変化すると共に、ｘ方向に向けて伸長する「各可動電極部６３，６５」と「各固定電極郡４７′，５０′」間の静電容量は、ｙ方向の動きによる両者の有効面積の変化によって、変化するものである。
　
（ｄ）上記＜記載事項５＞の【００６６】の記載によれば、ｚ方向の動きにより、「各可動電極部５９，６１，６３，６５」と「各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′」間の静電容量は、両者間の離間距離の変化により、変化するものであって、信号ａ，ｂ〜ｅ，ｂ′〜ｅ′からの静電容量の変化によりｚ方向の加速度を検出するものである。すなわち、ｚ方向の動きにより「各可動電極部５９，６１，６３，６５」と「各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′」間の静電容量が変化して「各可動電極部５９，６１，６３，６５」と「各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′」とがｚ方向での動きの検出に用いられているものである。
　
　以上（ａ）〜（ｄ）を勘案し、上記記載事項１〜６、及び図面に基づけば、引用例には、 
 「静電容量式加速度センサにおいて、
　各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′を有するシリコン基板２１と、
　前記シリコン基板２１に隣り合うように配置された支持枠２９の層と、
　静電容量検出器と、
を備え、
　前記支持枠２９の層は、前記シリコン基板２１に接続される支持枠２９と、前記支持枠２９に取り付けられ、前記支持枠２９および前記シリコン基板２１に対して３次元に移動する可動電極５７とから構成され、
　前記可動電極５７は前記各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′と隣り合うように配置された各可動電極部５９，６１，６３，６５を有し、
　前記各可動電極部５９，６１，６３，６５は前記各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′との間で前記静電容量を生成し、前記可動電極５７の動きにより前記各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′に対して移動し、
　前記静電容量は前記可動電極５７の位置に応じて変化し、前記静電容量検出器によって検出され、
　前記可動電極５７は互いに直交するｘ方向とｙ方向とｚ方向とを含む3次元の動きが可能で、前記動きは前記支持枠２９に概ね平行なｘ−ｙ平面を定義する前記ｘ方向及び前記ｙ方向と該ｘ−ｙ平面と直交する前記ｚ方向とで定められ、
　前記ｘ方向の前記動きにより前記各可動電極部５９，６１と前記各固定電極郡４１′，４４′，間の有効面積が変化して静電容量が変化し、
　前記ｙ方向の前記動きにより前記各可動電極部６３，６５と前記各固定電極郡４７′，５０′間の有効面積が変化して静電容量が変化し、
　前記ｚ方向の前記動きにより前記各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′と前記各可動電極部５９，６１，６３，６５間の離間距離が変化し、静電容量が変化して前記各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′と前記各可動電極部５９，６１，６３，６５とが前記ｚ方向での前記動きの検出に用いられる
静電容量式加速度センサ。」
の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 
　
３．対比
　本願発明と引用発明とを対比すると、引用発明の「静電容量式加速度センサ」は本願発明の「微少電気機械システム装置」に相当し、同様に、「シリコン基板２１」は「第1の層」に、「支持枠２９の層」は「第2の層」に、「静電容量」は「キャパシタンス」に、「支持枠２９」は「中間ウェーハ」に、それぞれ相当する。
　そして、引用発明の「可動電極５７」は、上記＜記載事項４＞の【００５７】の記載や図５、図７によれば、支持枠２９内に各支持梁３１を介して設けられ、ポリシリコンにより形成される板体であり、上記＜記載事項５＞の【００６６】、【００６７】、【００６８】の記載によれば、上下（ｙ方向）、左右（ｘ方向）、前後（ｚ方向）の３次元に移動するものであるから、本願発明の「可動子」に相当するといえる。
　次に、引用発明のｙ方向に向けて伸長する「各可動電極部５９，６１」と「各固定電極郡４１′，４４′」間の静電容量はｘ方向の動きにより変化すると共に、ｘ方向に向けて伸長する「各可動電極部６３，６５」と「各固定電極郡４７′，５０′」間の静電容量はｙ方向の動きにより変化するものである。
　よって、引用発明のｙ方向に向けて伸長する「各可動電極部５９，６１」とｘ方向に向けて伸長する「各可動電極部６３，６５」とを合わせた構成、即ち「各可動電極部５９，６１，６３，６５」は、本願発明の「ｘ−ｙ可動子電極」に相当ということができ、また、引用発明のｙ方向に向けて伸長する「各固定電極郡４１′，４４′」とｘ方向に向けて伸長する「各固定電極郡４７′，５０′」とを合わせた構成、即ち「各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′」は、本願発明の「ｘ−ｙカウンタ電極」に相当するということができる。
　さらに、引用発明では、ｚ方向の動きにより「各可動電極部５９，６１，６３，６５」と「各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′」間の静電容量は変化して「各可動電極部５９，６１，６３，６５」と「各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′」とがｚ方向での動きの検出に用いられているものである。
　してみると、引用発明の「各可動電極部５９，６１，６３，６５」は、本願発明の「ｘ−ｙ可動子電極」のみならず「ｚ可動子電極」にも相当し、また、引用発明の「各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′」は、本願発明の「ｘ−ｙカウンタ電極」のみならず「ｚカウンタ電極」にも相当するということができる。
　
　ところで、可動電極５７がｘ方向、ｙ方向に動いたときの各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′と各可動電極部５９，６１，６３，６５間のｚ方向の静電容量の変化について検討する。
　まず、可動電極５７がｘ方向に動いたときについて検討する。
ｘ方向に向けて伸長する固定電極郡４７′，５０′とｘ方向に向けて伸長する可動電極部６３，６５については、ともにｘ方向という同じ長手方向に向けて伸長するものどうしがその同じ長手方向に動くときであるから、上記＜記載事項５＞の【００６７】の「このときには、各第３の固定電極郡４７，４７′および各第４の固定電極郡５０，５０′と、これに対応した各可動電極部６３，６５による有効面積の変化量は小さいから、」という記載からも明らかなように、固定電極郡４７′，５０′と可動電極部６３，６５間の静電容量は、その変化量はごく小さく、換言すれば、概ね変化しないというべきである。
　また、ｙ方向に向けて伸長する固定電極郡４１′，４４′とｙ方向に向けて伸長する可動電極部５９，６１については、ともにｙ方向という同じ長手方向に向けて伸長するものどうしがその長手方向と直交するｘ方向に動くときであって、これら両者間の静電容量は、固定電極４２′，４５′と可動電極５９，６１間の静電容量と、固定電極４３′，４６′と可動電極５９，６１間の静電容量との合計である。ここで、上記＜記載事項５＞の【００４１】〜【００４４】の有効面積Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４に関する記載や図３，図４によれば、有効面積Ｓ１、Ｓ３の増加（減少）分と有効面積Ｓ２、Ｓ４の減少（増加）分は同じであり、それぞれ相殺するものであることが技術的に明らかであるから、同様に、固定電極４２′，４５′と可動電極５９，６１間の静電容量の増加（減少）分と、固定電極４３′，４６′と可動電極５９，６１間の静電容量の減少（増加）分も、それぞれ相殺するものであるといえる。そして可動電極部３３のｘ方向での通常動作における最大移動範囲は、図３，図４（特に左下と右下の図）をみても、可動電極部３３が左に移動しても上側固定電極２５の左端より左にはみ出ず、可動電極部３３が右に移動しても上側固定電極２６の右端より右にはみ出ない範囲にあるとみるべきである。そうすると、固定電極郡４１′，４４′と可動電極部５９，６１間の静電容量は全体としては変化しないといわねばならない。
　よって、可動電極５７がｘ方向に動いたときについては、ｘ方向に向けて伸長する固定電極郡４７′，５０′とｘ方向に向けて伸長する可動電極部６３，６５間の静電容量と、ｙ方向に向けて伸長する固定電極郡４１′，４４′とｙ方向に向けて伸長する可動電極部５９，６１間の静電容量の合計である、各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′と各可動電極部５９，６１，６３，６５間の静電容量は、ｘ方向に向けて伸長する固定電極郡４７′，５０′とｘ方向に向けて伸長する可動電極部６３，６５間の静電容量の変化量のみであって、上述したとおり、その変化量はごく小さく、換言すれば、概ね変化しないというべきである。
　
　次に、可動電極５７がｙ方向に動いたときについて検討する。
　このときも、可動電極５７がｘ方向に動いたときの上記検討と同様の検討により、ｘ方向に向けて伸長する固定電極郡４７′，５０′とｘ方向に向けて伸長する可動電極部６３，６５間の静電容量と、ｙ方向に向けて伸長する固定電極郡４１′，４４′とｙ方向に向けて伸長する可動電極部５９，６１間の静電容量の合計である、各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′と各可動電極部５９，６１，６３，６５間の静電容量は、ｙ方向に向けて伸長する固定電極郡４１′，４４′とｙ方向に向けて伸長する可動電極部５９，６１間の静電容量の変化量のみであって、その変化量はごく小さく、換言すれば、概ね変化しないというべきである。
　
　したがって、各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′と各可動電極部５９，６１，６３，６５間のＺ方向の静電容量は、ｘ方向とｙ方向とを含むｘ−ｙ平面内の任意の方向で動いても、概ね変化しないものであるというべきである。
　
　よって、引用発明の
「前記ｘ方向の前記動きにより前記各可動電極部５９，６１と前記各固定電極郡４１′，４４′，間の有効面積が変化して静電容量が変化し、
前記ｙ方向の前記動きにより前記各可動電極部６３，６５と前記各固定電極郡４７′，５０′間の有効面積が変化して静電容量が変化し、
　前記ｚ方向の前記動きにより前記各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′と前記各可動電極部５９，６１，６３，６５間の離間距離が変化し、静電容量が変化して前記各固定電極郡４１′，４４′，４７′，５０′と前記各可動電極部５９，６１，６３，６５とが前記ｚ方向での前記動きの検出に用いられる」
は、本願発明の
「前記ｘ方向あるいは前記ｙ方向の前記動きにより前記ｘ−ｙ可動子電極と前記ｘ−ｙカウンタ電極間の前記キャパシタンスが変化し、
　前記ｚ方向の前記動きにより前記ｚカウンタ電極と前記ｚ可動子電極間の前記キャパシタンスが変化して前記ｚカウンタ電極と前記ｚ可動子電極とが前記ｚ方向での前記動きの検出に用いられる
　とともに前記ｚカウンタ電極と前記ｚ可動子電極間の前記キャパシタンスは前記可動子が少なくとも前記ｘ方向と前記ｙ方向とを含む前記ｘ−ｙ平面内の任意の方向で動いても概ね変化しない」
に相当するということができる。
　
　してみると、両者は
　
（一致点）
「微小電気機械システム装置において、
　カウンタ電極を有する第１の層と、
　前記第１の層に隣り合うように配置された第２の層と、
　キャパシタンス検出器と、
を備え、
　前記第２の層は、前記第１の層に接続される中間ウェーハと、前記中間ウェーハに取り付けられ、前記中間ウェーハおよび前記第１の層に対して３次元に移動する可動子とから構成され、
　前記可動子は前記カウンタ電極と隣り合うように配置された可動子電極を有し、
　前記可動子電極は前記カウンタ電極との間で前記キャパシタンスを生成し、前記可動子の動きにより前記カウンタ電極に対して移動し、
　前記キャパシタンスは前記可動子の位置に応じて変化し、前記キャパシタンス検出器によって検出され、　
　前記可動子は互いに直交するｘ方向とｙ方向とｚ方向とを含む3次元の動きが可能で、前記動きは前記中間ウェーハに概ね平行なｘ−ｙ平面を定義する前記ｘ方向及び前記ｙ方向と該ｘ−ｙ平面と直交する前記ｚ方向とで定められ、前記ｘ方向あるいは前記ｙ方向の前記動きによりｘ−ｙ可動子電極とｘ−ｙカウンタ電極間のキャパシタンスが変化し、前記ｚ方向の前記動きによりｚカウンタ電極とｚ可動子電極間のキャパシタンスが変化して前記ｚカウンタ電極と前記ｚ可動子電極とが前記ｚ方向での前記動きの検出に用いられるとともに前記ｚカウンタ電極と前記ｚ可動子電極間の前記キャパシタンスは前記可動子が少なくとも前記ｘ方向と前記ｙ方向とを含む前記ｘ−ｙ平面内の任意の方向で動いても概ね変化しない、微小電気機械システム装置。」
　
である点で一致し、以下の点で相違している。
　
（相違点）
　本願発明では、「カウンタ電極はｘ−ｙカウンタ電極とｚカウンタ電極とを有し、可動子電極はｘ−ｙ可動子電極とｚ可動子電極とを有」するのに対し、引用発明では、カウンタ電極はｘ−ｙカウンタ電極とｚカウンタ電極を兼用し、可動子電極はｘ−ｙ可動子電極とｚ可動子電極を兼用している点。　
　
４．当審の判断
　上記相違点について検討する。
　ｘｙｚ三次元座標系の加速度を検出する静電容量式加速度センサの技術分野において、ｘ−ｙカウンタ電極とは別にｚカウンタ電極を設け、ｘ−ｙ可動子電極とは別にｚ可動子電極を設けることは、例えば、原査定の拒絶の理由に引用された特開２０００−２４９６０９号公報にみられるように周知技術にすぎず、引用発明において、兼用せずに、ｘ−ｙカウンタ電極、ｘ−ｙ可動子電極とは別に、ｚカウンタ電極とｚ可動子電極を設けることは当業者が容易に想到し得ることである。
　そして、本願発明の作用効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測可能なものであって、格別なものではない。
　
５．むすび
　したがって、本願発明は引用発明と周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　以上のとおりであるから、他の請求項に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。