【事件の表示】
　平成　８年特許願第１４９０５０号「感光性ポリイミドシロキサン組成物および絶縁膜」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　４月１５日出願公開、特開平　９−１００３５０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、平成８年６月１１日（優先権主張　平成７年７月２８日）の特許出願であって、平成１６年２月２０日付けで拒絶理由が通知され、平成１６年４月２３日に意見書とともに手続補正書が提出され、平成１６年８月１３日付けで拒絶理由（最後）が通知され、平成１６年１０月２２日に意見書とともに手続補正書が提出され、平成１６年１２月１０日付けで平成１６年１０月２２日付け手続補正に対する補正却下の決定とともに同日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成１７年２月１０日に拒絶査定に対する審判請求書が提出され、平成１７年３月１１日に手続補正書が提出され、平成１７年５月１７日に審判請求書の手続補正書（方式）が提出され、平成１７年６月２１日付けで前置報告がなされ、平成１８年１２月７日付けで当審で審尋がなされ、平成１９年２月１３日に回答書が提出されたものである。
　
第２．平成１７年３月１１日付け手続補正について
　
１．補正却下の決定の結論
　平成１７年３月１１日付け手続補正を却下する。
　
２．理由
（１）平成１７年３月１１日付け手続補正の内容
　平成１７年３月１１日付け手続補正（以下、「本件手続補正」という。）は、特許請求の範囲の記載を次のように補正するものである。
補正前の　
「【請求項１】２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と一般式（２）で表される感光基を含有する芳香族ジアミン化合物１５〜８０モル％
【化１】
　
（ただし、式中、Ｒ３は炭化水素不飽和基を有する感光性基を含有する芳香族残基を示す。）および一般式（３）で示されるジアミノポリシロキサン８５〜２０モル％
【化２】
　
（ただし、式中、Ｒ４は２価の炭化水素残基を示し、Ｒ５は独立に炭素数１〜３のアルキル基またはフェニル基を示し、ｌは３〜３０の整数を示す。）からなるジアミン成分との実質的に等モル量を重合およびイミド化してなる有機溶媒可溶性の感光性ポリイミドシロキサンを有機溶媒に溶解してなり、該ポリイミドシロキサンからなる固形分濃度が２０〜５０重量％であり、該ポリイミドシロキサン１００重量部に対して、合計で１〜５０重量％の増感剤および光重合開始剤と１０〜１００重量部の微細な無機充填剤とが含有されてなることを特徴とする感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物。
【請求項２】請求項１に記載の感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物を乾燥、光硬化することを特徴とする厚みが２〜５０μｍである絶縁膜。
【請求項３】請求項１に記載の感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物の光硬化物が、基板に設けた回路の絶縁膜として形成されており、膜の厚みが２〜５０μｍで、少なくとも１０μｍまで解像力があり、耐半田耐熱性が２５０〜３００℃であることを特徴とする絶縁膜。
【請求項４】一般式（１）で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物成分と、
【化３】（式省略）
（ただし、式中、Ｒ１、Ｒ２はそれぞれ酸無水物基を有する１核の芳香族残基、ＸはＣＯ、Ｏまたは直接結合を示す。）一般式（２）で表される感光基を含有する芳香族ジアミン化合物１５〜８０モル％
【化４】（式省略）
（ただし、式中、Ｒ３は炭化水素不飽和基を有する感光性基を含有する芳香族残基を示す。）および一般式（３）で示されるジアミノポリシロキサン８５〜２０モル％
【化５】（式省略）
（ただし、式中、Ｒ４は２価の炭化水素残基を示し、Ｒ５は独立に炭素数１〜３のアルキル基またはフェニル基を示し、ｌは３〜３０の整数を示す。）からなるジアミン成分との実質的に等モル量を重合およびイミド化してなる有機溶媒可溶性の感光性ポリイミドシロキサンを有機溶媒に溶解してなり、該ポリイミドシロキサンからなる固形分濃度が２０〜５０重量％であり、該ポリイミドシロキサン１００重量部に対して、合計で１〜５０重量％の増感剤および光重合開始剤と１０〜１００重量部の微細な無機充填剤とが含有されてなることを特徴とする感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物を基板上に厚み１０〜１００μｍに塗布し、乾燥、光硬化して回路の絶縁膜として形成されており、厚みが２〜５０μｍで、少なくとも１０μｍまで解像力があり、耐半田耐熱性が２５０〜３００℃であることを特徴とする高密度フレキシブル基板用の絶縁膜。」を、
「【請求項１】２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と一般式（２）で表される感光基を含有する芳香族ジアミン化合物１５〜８０モル％
【化１】
　
（ただし、式中、Ｒ３は炭化水素不飽和基を有する感光性基を含有する芳香族残基を示す。）および一般式（３）で示されるジアミノポリシロキサン８５〜２０モル％
【化２】
　
（ただし、式中、Ｒ４は２価の炭化水素残基を示し、Ｒ５は独立に炭素数１〜３のアルキル基またはフェニル基を示し、ｌは３〜３０の整数を示す。）からなるジアミン成分との実質的に等モル量を重合およびイミド化してなる有機溶媒可溶性の感光性ポリイミドシロキサンを有機溶媒に溶解してなり、該ポリイミドシロキサンからなる固形分濃度が２０〜５０重量％であり、該ポリイミドシロキサン１００重量部に対して、合計で１〜５０重量％の増感剤および光重合開始剤と１０〜１００重量部の微細な無機充填剤とが含有されてなることを特徴とする感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物であって、該感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物から得られる厚み２〜５０μｍの絶縁膜が、該感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物の乾燥膜に超高圧水銀灯（２ＫＷ）照射して光硬化し、光硬化フィルムをトリグライム溶媒中に浸漬し未硬化部分を洗い流し、メタノ−ルで表面を洗浄してポリイミドフィルムに密着したレリ−フパタ−ンを得て、１６０℃で１２０分間後加熱処理してパタ−ンの解像力を測定した解像力が少なくとも１０μｍである感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物。
【請求項２】請求項１に記載の感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物を乾燥、光硬化して得られる厚みが２〜５０μｍである絶縁膜。
【請求項３】半田耐熱性が２５０〜３００℃である請求項２に記載の絶縁膜。」と補正するものである。
　
（２）本件手続補正の適否について
　本件手続補正の請求項１に係る補正は、補正前の請求項１に記載された感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物について「該感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物から得られる厚み２〜５０μｍの絶縁膜が、該感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物の乾燥膜に超高圧水銀灯（２ＫＷ）照射して光硬化し、光硬化フィルムをトリグライム溶媒中に浸漬し未硬化部分を洗い流し、メタノ−ルで表面を洗浄してポリイミドフィルムに密着したレリ−フパタ−ンを得て、１６０℃で１２０分間後加熱処理してパタ−ンの解像力を測定した解像力が少なくとも１０μｍである」との限定を付加するものである。
　しかしながら、補正前の特許請求の範囲の請求項１には、当該感光性ポリイミドシロキサン組成物の光硬化により得られるレリーフパターンの解像力については何ら記載されていないから、当該限定は、補正前の請求項における発明を特定するために必要な事項を限定するものとはいえない。
　したがって、請求項１に係る補正は、特許請求の範囲の限定的減縮を目的とするものではない。
　また、当該補正は、請求項の削除、誤記の訂正、明りょうでない記載の釈明のいずれも目的とするものではない。
　したがって、当該補正は、特許法第１７条の２第４項各号に規定するいずれも目的とするものではない。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、本件手続補正は、特許法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
　
第３．本件審判請求について
１．本願発明
　上記のように平成１７年３月１１日付け手続補正は、決定をもって却下された。
　また、平成１６年１０月２２日付け手続補正は、平成１６年１２月１０日付けで決定をもって却下された。
　したがって、本願の請求項１〜４に係る発明は、平成１６年４月２３日付けの手続補正書により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された事項により特定されたとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明は次のとおりである。
「【請求項１】２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と一般式（２）で表される感光基を含有する芳香族ジアミン化合物１５〜８０モル％
【化１】
　
（ただし、式中、Ｒ３は炭化水素不飽和基を有する感光性基を含有する芳香族残基を示す。）および一般式（３）で示されるジアミノポリシロキサン８５〜２０モル％
【化２】
　
（ただし、式中、Ｒ４は２価の炭化水素残基を示し、Ｒ５は独立に炭素数１〜３のアルキル基またはフェニル基を示し、ｌは３〜３０の整数を示す。）からなるジアミン成分との実質的に等モル量を重合およびイミド化してなる有機溶媒可溶性の感光性ポリイミドシロキサンを有機溶媒に溶解してなり、該ポリイミドシロキサンからなる固形分濃度が２０〜５０重量％であり、該ポリイミドシロキサン１００重量部に対して、合計で１〜５０重量％の増感剤および光重合開始剤と１０〜１００重量部の微細な無機充填剤とが含有されてなることを特徴とする感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物。」（以下、「本願発明」という。）
　
２．刊行物に記載された事項
　これに対して、原査定の拒絶理由（最後）で引用された刊行物は次のとおりである。
刊行物１：特開平０６−０４１０３３号公報
刊行物２：特開昭６２−１４５８０１号公報
刊行物３：特開平０１−１２１３６４号公報
刊行物４：特開平０６−１０２６６７号公報
　
　そして、上記刊行物１〜４には、次の事項が記載されている。
（１）刊行物１（特開平０６−０４１０３３号公報）の記載事項
（１−１）　
「【請求項１】  下記一般式で表わされる芳香族架橋性ジアミン。
（ＮＨ２）２Ａ−Ｙｎ（式中、Ａは少くとも１個の芳香族環を有する基であり、各Ｙは独立して−COOR、−CONRR ′、及び−ORから成る群から選択され、Ｒは少くとも１個のオレフィン不飽和基を含む基であり、Ｒ′は水素、Ｃ２５までのアルキル、アリール、又はＲであり、ｎは１乃至４であり、各Ｙ中のオレフィン基の数は、各Ｙが−COORの場合には少くとも３であり、その他の場合には少くとも２である。）
【請求項２】  前記Ａが
【化１】（式省略）
である請求項１記載のジアミン。
【請求項３】  前記Ｙが−COORである請求項１記載のジアミン。
【請求項４】  前記Ｙが−CONRR ′である請求項１記載のジアミン。
【請求項５】  前記Ｒがトリアリルペンタエリトリトール、ペンタエリトリチルトリメタクリレート、ペンタエリトリチルトリアクリレート、ジペンタエリトリチルペンタアクリレート、ジペンタエリトリチルペンタメタクリレート及びそれらの混合物から形成される基である請求項１記載のジアミン。
・・・。
【請求項８】  請求項１記載のジアミンを二無水物と反応させることを含むポリアミック酸を製造する方法。
【請求項９】  繰返し単位が下記一般式で表わされるポリアミック酸。
【化２】（式省略）
（式中、Ａは少くとも１個の芳香族環を有する三価の基であり、各Ｂは独立して少くとも１個の芳香族環を有する四価の基から選択され、Ｄはシロキサンを含む二価の基であり、Ｅはオレフィン不飽和側基を含まない二価の基であり、各Ｙは独立して−COOR、−CONRR ′、及び−ORから成る群から選択され、Ｒは少くとも１個のオレフィン不飽和基を含む基であり、Ｒ′は水素、Ｃ２５までのアルキル、アリール又はＲであり、ｎは１乃至４であり、各Ｙ中のオレフィン基の数は、各Ｙが−COORの場合には少くとも３であり、その他の場合には少くとも２であり、ｑはＤが AYnの０乃至５０重量％であるように選択された数であり、ｒはＥがAYnの０乃至４０重量％であるように選択された数である。）
・・・
【請求項１２】  請求項９記載のポリアミック酸をイミド化がおこるのに十分な温度に加熱することを含むポリイミドを形成する方法。
【請求項１３】  (A) 請求項９記載のポリアミック酸；
(B) ポリアミック酸の重量に対して約１乃至約１０重量％の増感剤；
(C) ポリアミック酸の重量に対して約0.１乃至約２０重量％の架橋剤；及び
(D) 約７０乃至約９０重量％の溶媒；を含む溶液。
【請求項１４】  前記架橋剤が式：
【化４】（式省略）
（式中、Ａ′は少くとも１個の芳香族環を含む基である。）を有する請求項１３記載の溶液。
【請求項１５】  前記架橋剤が式：
【化５】（式省略）
（式中、Ｙ′は−OR又は−NRR ′であり、Ｒは少くとも１個のオレフィン不飽和基を含む基であり、Ｒ′は水素、Ｃ２５までのアルキル、アリール、又はＲであり、Ａ″は芳香族又は脂環式基である。）を有する請求項１３記載の溶液。
【請求項１６】  支持体上にポリイミド塗膜を形成する方法であって、前記支持体上に請求項１３記載の溶液を塗布し、前記溶媒を蒸発させ、前記ポリアミック酸の少くとも一部を光に暴露させて架橋させ、前記光に暴露されたポリアミック酸を不溶化させ、前記光に暴露されていないポリアミック酸を可溶化させて除去し、前記支持体上に残存するポリアミック酸を加熱して前記ポリイミド塗膜を形成することを含む方法。
【請求項１７】  前記支持体が半導体材料である請求項１６記載の方法。
【請求項１８】  繰返し単位が下記一般式で表わされるポリイミド。
【化６】
　
（式中、Ａは少くとも１個の芳香族環を有する三価の基であり、Ｂは少くとも１個の芳香族環を有する四価の基であり、Ｄはシロキサンを含む二価の基であり、Ｅはオレフィン不飽和側基を含まない二価の基であり、各Ｙは独立して−COOR、−COR 、−CONRR ′、及び−ORから成る群から選択され、Ｒは少くとも１個のオレフィン不飽和基を含む基であり、Ｒ′は水素、Ｃ２５までのアルキル、アリール又はＲであり、ｎは１乃至４であり、各Ｙ中のオレフィン基の数は、各Ｙが−COORの場合には少くとも３であり、その他の場合には少くとも２であり、ｑはＤがAYnの０乃至５０重量％であるように選択された数であり、ｒはＥが AYnの０乃至４０重量％であるように選択された数である。）
【請求項１９】  可溶性である請求項１８記載のポリイミド。
【請求項２０】 （Ａ）請求項１９記載のポリイミド；
（Ｂ）ポリイミドの重量に対して約１乃至約１０重量％の増感剤；
（Ｃ）ポリイミドの重量に対して約０．１乃至約２０重量％の架橋剤；及び
（Ｄ）約７０乃至約９０重量％の溶媒；を含む溶液。」（特許請求の範囲請求項１〜２０）　
（１−２）
「【０００２】
【発明が解決しようとする課題】感光性ポリアミック酸及び感光性ポリイミドの製造に非常に有用なある種の芳香族ジアミンが発見された。感光性ポリアミック酸及びポリイミドの製造に使用される先行技術のジアミンとは異なり、本発明のジアミンは複数個のオレフィン架橋基を含む側基を含有する。これらの複数個のオレフィン基のために、本発明のジアミンは先行技術のジアミンよりずっと架橋性が良く、そのため架橋密度の高いポリマー及び解像力の高いパターンが得られる。当業者は、一個の側基上に複数のオレフィン基が存在すると分子間架橋より分子内架橋を生じうると予期するが、そのような分子上の架橋はジアミンを注意深く調製することにより回避することができ、ジアミンは安定であることが見い出された。また、ポリアミドの合成に用いる二無水物（又は二無水物の混合物）を注意深く選択することにより、並びに含シロキサンジアミンを用いることにより及びジアミン中のシロキサン基の長さにより可溶性である感光性ポリイミドを得ることができることが見い出された。その結果、米国特許第4,321,319 号に開示されている方法と同様に、感光性ポリイミドの溶液から支持体上に塗膜を形成することができる。溶液中の溶媒を蒸発させ、ポリイミド塗料の一部を光で架橋させると不溶性のパターンが形成される。次いでポリイミドの暴露されていない部分を溶媒又は混合溶媒中に溶解させうる。ポリイミドがすでに形成されているので、イミド環が閉じる時に生ずる縮合水は塗料中には形成されず、縮合水の蒸発時に生ずるふくれ、ピンホール、及びボイドは回避される。結局、添付図面に関する記載において明らかなように、本発明のポリイミド及びポリアミック酸はそれ自体が感光性であるため、従来の方法におけるようにポリイミド塗料のエッチングのためのマスクを形成するためにフォトレジスト塗料を使用することはもはや必要ない。そして、ポリイミドは安定で都合のよい電気的性質を有するため、電気デバイスの永久部分として残留しうる。その結果、従来の方法における複数の工程は除去される。更に、光によるポリイミドの架橋により従来の方法においてポリイミドのエッチング又は溶解により得られるエッジより鋭いエッジがパターンに製造される。鋭いエッジは高解像力パターンを意味する。本発明の物質及び方法のその他の利点は多分当業者には明らかであろう。」（段落【０００２】）
（１−３）
「【００１９】ポリアミック酸の調製
感光性ポリアミック酸は本発明の架橋性芳香族ジアミンを用いて調製しうる。ジアミン、二無水物、及び溶媒の溶液を調製する。良好な熱的性質を有するポリイミドを提供するため、芳香族二無水物が好ましい。適する芳香族二無水物の例には：・・・３，３′，４，４′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物（ＢＴＤＡ）；２，２′，３，３′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物；２，３，３′，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物；３，３′，４，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物（ＢＰＤＡ）・・・；ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エーテル二無水物又はオキシジフタル酸無水物（ＯＤＰＡ）・・・ピロメリット酸二無水物（ＰＭＤＡ）；テトラヒドロフランテトラカルボン酸二無水物；及び５，５−［２，２，２−トリフルオロ−１−（トリフルオロメチル）エチリデン］ビス−１，３−イソベンゾフランジオン（６ＦＤＡ）が含まれる。
【００２２】得られるポリイミドの溶解性を増大させるために好ましい二無水物はＰＭＤＡ、ＢＰＤＡ、ＢＴＤＡ、ＯＤＰＡ、及び６ＦＤＡである。二無水物の混合物から製造されるポリイミトは、いずれか一方の二無水物のみから製造されるポリイミドより可溶性であるため、溶解性の向上が望まれる場合には二無水物の混合物が好ましい。」（段落【００１９】〜【００２２】）
（１−４）
「【００２４】溶液は、存在する全ジアミンの総量が使用する二無水物の量とほぼ化学量論量であれば、架橋性ではないシロキサンジアミン及び／又はジアミンを任意に含有しうる。シロキサンジアミンは使用するジアミンの総重量の約５０重量％まで可能であり、好ましくはシロキサンジアミンの重量は約５乃至約２５重量％である。シロキサンジアミンは、好ましくはポリイミドの溶解性を増大させ、その吸水量を減少させ、良好な付着性及び低い誘電定数を付与するために存在する。一般的には、存在するシロキサンジアミンの量が多ければ多いほどポリイミドは可溶性であろう。・・・有用なシロキサンジアミンは一般式：
H2N−R2−［Si(R1)2O］m −Si(R1)2 −R2−NH2【００２５】（式中、各Ｒ1 は各々独立して１乃至１２個の炭素原子を有する一価の置換又は未置換脂肪族基又は６乃至１２個の炭素原子を有する一価の置換又は未置換芳香族基から選択され、シロキサン基の繰返し数であるｍは０乃至２００であり、好ましくは１乃至約１２である。）を有する。（用語“Ｇmは繰返し数がｍであるシロキサンジアミンを示すのに使用される。）・・・。適するシロキサンジアミンの例はα，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサン：
H2N(CH2)3−Si(CH3)2−[OSi(CH3)2] m −(CH2)3NH2である。・・・」（段落【００２４】〜【００２５】）
（１−５）
「【００４２】以下の実施例により本発明を更に説明する。
実施例１    不飽和ジアミンの調製
精製したペンタエリトリチルトリアクリレートを、メチレンクロライド中トリエチルアミン触媒を用いて約２０乃至２５℃において３，５−ジニトロベンゾイルクロライドと反応させた。沈澱したトリエチルアミン塩酸塩を濾過し、真空下でメチレンクロライドをストリッピングすると粗３，５−ジニトロエステルが得られた。Ｆe 粉末及び氷酢酸（ジニトロエステル１モル当り約１０モル）及び２５℃の水を用いてニトロ基を還元してアミン基とした。
【００４３】酢酸エチルにより洗浄し、次いで水及び NaHCO3 水溶液により洗浄して真空下でストリッピングすることにより生成物を回収した。粗ペンタエリトリチルトリアクリレート３，５−ジアミノベンゾエートを、ヘキサン／酢酸エチル溶離剤を用いたシリカゲルカラムで精製し、核磁気共鳴（ＮＭＲ）及び赤外（ＩＲ）により特性決定した。同様にして、トリアリルペンタエリトリトール３，５−ジアミノベンゾエート（ＴＡＰ）、ペンタエリトリチルトリメタクリレート３，５−ジアミノベンゾエート（ＰＥＴＭ）及びジアリル３，５−ジアミノベンズアミド（ＤＡＡ）を調製した。表１は反応体及び製造されたジアミンを示す。
【００４４】
【表１】
                        表１
                    不飽和ジアミン
      ジアミン生成物          不飽和反応体
        ＰＥＴＡ          ペンタエリトリチルトリアクリレート
        ＴＡＰ            トリアリルペンタエリトリトール
        ＰＥＴＭ          ペンタエリトリチルトリメタクリレート
        ＤＡＡ            ジアリルアミン
【００４５】実施例２    ポリアミック酸の調製及び試験
上方に乾燥窒素流の入口がある冷却器（圧力開放）、温度計、及び電磁攪拌器を具備するきれいな乾燥した１００mlの三口フラスコに、1.７６６７ｇのＴＡＰ、0.８９７５ｇのＧ５ （α，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサン、滴定によりＭw ＝５４４）、１0.７mlの乾燥ＮＭＰ、及び1.２mlのトルエンを入れた。溶液に1.８１８５ｇのＢＰＤＡを添加し、室温において約２３時間攪拌を継続するとポリアミック酸が形成された。この溶液は非常に透明で中程度の粘性であった。
【００４６】この溶液に、６重量％のゾンゾフェノン−４重量％のミヒラーケトンから成る増感剤を混合した。珪素基板上に溶液をスピンコートした。基板を、マスクを通して水銀アーク灯に３分間暴露させ、容量比が１：６のトリグリム及びメチルイソブチルケトンの混合物中で６０秒現像した。
【００４７】最後にキシレンで洗浄し、マイクロエレクトロニクスの用途に有用な優れたパターンを形成した。表２はポリアミック酸の成分及び結果を示す。」（段落【００４２】〜【００４７】
　
（２）刊行物２（特開昭６２−１４５８０１号公報）の記載事項
（２−１）
「（１）ビフェニルテトラカルボン酸類を主成分とする芳香族テトラカルボン酸成分と、感光基を有する芳香族ジアミン化合物を含有する芳香族ジアミン成分とから得られた有機溶媒可溶性の感光性芳香族ポリイミドを主成分とする感光性芳香族ポリイミド組成物からなる薄膜を光硬化して得られた防湿保護層で被覆された金属薄膜抵抗体。
」（特許請求の範囲請求項１）
（２−２）
「次に、上記防湿保護層４の形成に用いられる感光性芳香族ポリイミド組成物について詳しく説明する。
　上記感光性芳香族ポリイミド組成物の主成分である感光性芳香族ポリイミドは、ビフェニルテトラカルボン酸類を好ましくは７０モル％以上含有する芳香族テトラカルボン酸成分と、感光基を有する芳香族ジアミン化合物を好ましくは５０〜９０モル％含有する芳香族ジアミン成分とを、例えば、略等モル、有機極性溶媒中で１００℃以下、好ましくは８０℃以下の温度下に重合して芳香族ポリアミック酸（芳香族ポリイミドの前駆体）を製造し、該芳香族ポリアミック酸を適当な条件下にイミド化して製造される。
　上記ビフェニルテトラカルボン酸類としては、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸又はその酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸又はその酸二無水物、２，２’，３，３’−ビフェニルテトラカルボン酸又はその酸二無水物、及びこれらのビフェニルテトラカルボン酸のエステル化物、塩等を挙げることができる。」（第３頁左上欄１０行〜右上欄１１行）
　
（３）刊行物３（特開平０１−１２１３６４号公報）の記載事項
（３−１）
「（１）ビフェニルテトラカルボン酸類を主成分とする芳香族テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを重合及びイミド化して得られる可溶性芳香族ポリイミド１００重量部、シリカ粒子１〜２０重量部、界面活性剤０．２〜５重量部を、上記可溶性芳香族ポリイミドの溶剤中に分散させてなる、印刷用ポリイミド組成物。
（２）シリカ粒子が、１次粒子径５０ミリミクロン以下の乾式法シリカである、特許請求の範囲第（１）項記載の印刷用ポリイミド組成物。」（特許請求の範囲請求項１、２）
（３−２）
「本発明で用いられる芳香族ポリイミドは、ビフェニルテトラカルボン酸類を好ましくは８０モル％以上含有している芳香族テトラカルボン酸成分と、ジアミン成分とを、略等モル、有機極性溶媒中で、かなり高温（好ましくは約１００〜３００℃の温度、特に好ましくは１４０〜２５０℃の温度）に加熱して、−段で重合及びイミド化することによって製造されるか、あるいは、前記の二成分を、略等モル、有機極性溶媒中で、好ましくは約８０℃以下の温度、特に０〜６０℃の温度で重合して芳香族ポリアミック酸（芳香族ポリイミドの前駆体）を製造し、その芳香族ポリアミック酸を適当な条件でイミド化して製造される透明な可溶性芳香族ポリイミドである。
　前記のビフェニルテトラカルボン酸類としては、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸又はその酸二無水物、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸又はその酸二無水物、あるいは上記の芳香族テトラカルボン酸のエステル化物又は塩などでもよい。本発明では、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸又はその酸二無水物が、得られる芳香族ポリイミドの溶解性などが優れているので、最適である。」（第２頁左下欄１行〜右下欄３行）
（３−３）
「本発明で用いられるシリカ粒子としては、四塩化ケイ素の高温気相加水分解により得られるもので、１次粒子径５０ミリミクロン以下の乾式法シリカが好ましく、かかる乾式法シリカとしては、日本アエロジル（株）製のアエロジル２００、アエロジル３００などが挙げられる。」（第３頁右上欄１９行〜左下欄４行）
　
（４）刊行物４（特開平０６−１０２６６７号公報）の記載事項
（４−１）
「【請求項１】（ａ）分子末端の少なくとも一方がアルコールの酸エステルとなっているポリアミド酸、（ｂ）光反応性を有する炭素−炭素不飽和結合を含む化合物、および（ｃ）光重合開始剤を含有してなることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。
【請求項２】ポリアミド酸の分子末端の少なくとも一方が不飽和アルコールの酸エステルとなっていることを特徴とする請求項１記載の感光性ポリイミド前駆体組成物。
【請求項３】不飽和アルコールがアルコール性水酸基を有するアクリル酸エステルであることを特徴とする請求項２記載の感光性ポリイミド前駆体組成物。
【請求項４】光反応性を有する炭素−炭素不飽和結合を含む化合物が、アミノ基を有することを特徴とする請求項１〜３記載のいずれかである感光性ポリイミド前駆体組成物。
【請求項５】テトラカルボン酸二無水物にアルコールを開環付加させてテトラカルボン酸エステル無水物を形成し、次いで、該テトラカルボン酸エステル無水物、または、該テトラカルボン酸エステル無水物とテトラカルボン酸二無水物の混合物に、ジアミンを開環付加させることによって末端エステル化ポリアミド酸を形成し、その後、光反応性を有する炭素−炭素不飽和結合を含む化合物、および、光重合開始剤を混合することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物の製造方法。」（特許請求の範囲）
（４−２）
「【００３１】また、本発明の感光性ポリイミド前駆体組成物に、ポリイミド膜の硬度を向上させるために、無機微粒子のコロイド状物を添加してもよい。無機微粒子のコロイド状物の具体的な例としては、シリカゾル、チタニアゾル、ジルコニアゾルなどが挙げられるが、特にこれらに限定されない。無機微粒子のコロイド状物を添加する場合その添加量は、ポリアミド酸の１〜５０重量％が好ましく、２〜３０重量％がさらに好ましい。添加量が大きすぎれば、ポリイミド前駆体膜のパターン加工性が悪くなり、添加量が小さすぎれば、ポリイミド膜の硬度を向上させる効果が発揮されない。」（段落【００３１】）
　
３．対比・判断
（１）刊行物１に記載された発明
　刊行物１には、感光性ポリイミドの製造を目的として（摘示記載（１−２））、
「（Ａ）可溶性の、繰返し単位が下記一般式で表わされるポリイミド；
【化６】
　
（式中、Ａは少くとも１個の芳香族環を有する三価の基であり、Ｂは少くとも１個の芳香族環を有する四価の基であり、Ｄはシロキサンを含む二価の基であり、Ｅはオレフィン不飽和側基を含まない二価の基であり、各Ｙは独立して−COOR、−COR 、−CONRR ′、及び−ORから成る群から選択され、Ｒは少くとも１個のオレフィン不飽和基を含む基であり、Ｒ′は水素、Ｃ２５までのアルキル、アリール又はＲであり、ｎは１乃至４であり、各Ｙ中のオレフィン基の数は、各Ｙが−COORの場合には少くとも３であり、その他の場合には少くとも２であり、ｑはＤがAYnの０乃至５０重量％であるように選択された数であり、ｒはＥが AYnの０乃至４０重量％であるように選択された数である。）
（Ｂ） ポリイミドの重量に対して約１乃至約１０重量％の増感剤；
（Ｃ） ポリイミドの重量に対して約０．１乃至約２０重量％の架橋剤；及び
（Ｄ） 約７０乃至約９０重量％の溶媒；を含む溶液。」（摘示記載（１−１）、請求項２０）が記載されている。
　そして、当該可溶性のポリイミドは、感光性であること（摘示記載（１−２））および対応するポリアミック酸をイミド化して得られるものであること（摘示記載（１−１）、請求項９、１２）、当該ポリアミック酸は対応する一般式（ＮＨ２）２Ａ−Ｙｎの架橋性ジアミン、二無水物を用いて製造すること（摘示記載（１−１）、請求項１、８）、その際に全ジアミンの総量が使用する二無水物とほぼ化学量論量であれば、架橋性ジアミンとともにシロキサンジアミンをジアミンの総量の約５０重量％まで使用可能であること（摘示記載（１−４））が記載されている。
　そうであるから、刊行物１には、
「（Ａ）一般式で表される芳香族ジアミン化合物とシロキサンジアミンおよび二無水物とを、ジアミン成分の量と二無水物の量が化学量論量となるように用いてポリアミック酸を製造し、これをイミド化した可溶性ポリイミド；
（Ｂ） ポリイミドの重量に対して約１乃至約１０重量％の増感剤；
（Ｃ） ポリイミドの重量に対して約０．１乃至約２０重量％の架橋剤；及び
（Ｄ） 約７０乃至約９０重量％の溶媒；を含む感光性ポリイミド溶液組成物。」の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されている。　　
　
（２）対比
　本願発明と刊行物１発明とを対比する。
　刊行物１発明の（Ａ）の芳香族ジアミン化合物は、Ｙとしてオレフィン不飽和基を含むものであり、本願発明の一般式（２）で表される感光基を含有する芳香族ジアミン化合物に相当する。
　また、刊行物１に有用なシロキサンジアミンとして記載されている、一般式H2N−R2−［Si(R1)2O］m −Si(R1)2 −R2−NH2（式中、各Ｒ1 は各々独立して１乃至１２個の炭素原子を有する一価の置換又は未置換脂肪族基又は６乃至１２個の炭素原子を有する一価の置換又は未置換芳香族基から選択され、シロキサン基の繰返し数であるｍは０乃至２００であり、好ましくは１乃至約１２である。）（摘示記載（１−４））のシロキサンジアミンは本願発明の一般式（３）で示されるジアミノポリシロキサンを包含するものであり、その中でも適するシロキサンジアミンとして記載され、実施例にも用いられているα，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサン（摘示記載（１−４）、（１−５））は、本願発明の一般式（３）で示されるジアミノポリシロキサンに含まれるものである。
　そして、刊行物１発明のポリイミドは、シロキサンをその骨格に含むものであるから、ポリイミドシロキサンといえるものである。
　さらに、その組成物の配合量について次に検討する。
　刊行物１発明において、
（Ａ）成分１００重量部として換算すると、
（Ｂ）成分は１〜１０重量部、
（Ｃ）成分は０．１〜２０重量部であるから、　
固形分の総量は１０１．１〜１３０重量部となる。
　そして、（Ｄ）成分は約７０乃至約９０重量％の溶媒であるから、溶液組成物の固形分は約３０〜１０重量％であり、固形分のうちのポリイミドの量は（１００／１３０〜１００／１０１．１）×１００＝７７〜９９重量％であるから、結局、溶液組成物全体ににおけるポリイミド固形分濃度は７．７〜２９．７重量％となり、本願発明のポリイミドシロキサン固形分と重複一致する。
　また、ジアミン成分の量と二無水物の量については、化学量論量であるから、実質的に当モル量といえる。
　一方、本願発明は、「・・・とが含有されてなることを特徴とする感光性ポリイミドシロキサン組成物」であるから、その他の成分を排除するものではないし、また、増感剤と光重合開始剤は区別されて記載されていないから（明細書段落【００２４】）、増感剤あるいは光重合開始剤と同様の意味と解するのが相当である。
　
　以上を踏まえて、本願発明と刊行物１発明とを対比する。
　両者は、
「二無水物と一般式（２）で表される感光基を含有する芳香族ジアミン化合物
【化１】
　
（ただし、式中、Ｒ３は炭化水素不飽和基を有する感光性基を含有する芳香族残基を示す。）および一般式（３）で示されるジアミノポリシロキサン
【化２】
　
（ただし、式中、Ｒ４は２価の炭化水素残基を示し、Ｒ５は独立に炭素数１〜３のアルキル基またはフェニル基を示し、ｌは３〜３０の整数を示す。）からなるジアミン成分との実質的に等モル量を重合およびイミド化してなる有機溶媒可溶性の感光性ポリイミドシロキサンを有機溶媒に溶解してなり、該ポリイミドシロキサンからなる固形分濃度が２０〜５０重量％であり、該ポリイミドシロキサン１００重量部に対して、合計で１〜５０重量％の増感剤および光重合開始剤とが含有されてなることを特徴とする感光性ポリイミドシロキサン溶液組成物。」点で一致し、相違点２で一応相違し、相違点１、３で相違する。
　
【相違点１】
　本願発明の二無水物は、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と特定されているのに対し、刊行物１発明では、かかる特定はなされていない点。
　
【相違点２】
　本願発明では、ジアミン成分について、芳香族ジアミン化合物が１５〜８０モル％で、ジアミノポリシロキサンが８５〜２０モル％と限定されているのに対し、刊行物１発明では、かかる限定はなされていない点。
　
【相違点３】
　本願発明では、さらに１０〜１００重量部の微細な無機充填剤を含有するのに対し、刊行物１発明では、かかる限定はなされていない点。
　
（３）相違点についての判断
ア．相違点１について
　刊行物１には、二無水物として、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸（ＢＰＤＡ）とともに、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸が例示されており、また、得られるポリイミドの溶解性を増大させるために好ましい二無水物としてＢＰＤＡが挙げられている（摘示記載（１−３））。
　また、刊行物２、３には感光性芳香族ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸の製造に用いる芳香族テトラカルボン酸成分として、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物が挙げられることが記載されており（摘示記載（２−２）、（３−２））、両者は感光性芳香族ポリイミドの製造に用いる二無水物として周知の物である。さらに、刊行物３には、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物が、得られる芳香族ポリイミドの溶解性が優れているので、最適であることが記載されている（摘示記載（３−２））。
　そして、刊行物１発明のポリイミドは、可溶性ポリイミドであって、溶解性を目的とするものであるから、これを製造するに際して、得られるポリイミドが溶解性の優れたものとなるように原料を選択することは当然の事項である。
　そうであれば、これら刊行物１〜３の記載を勘案し、刊行物１に溶解性のために好ましい二無水物として例示されているＢＰＤＡと極めて類似の構造を有し、かつ、感光性芳香族ポリイミドの製造に用いる二無水物としてＢＰＤＡとともに周知の２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を採用してみることは当業者が容易に想到し得る事項である。
　また、その効果も格別顕著とはいえない。
　
　なお、審判請求人は、平成１９年２月１３日付け回答書において、「刊行物１には、アミック酸に用いられる二無水物として例示した多数の二無水物のうちで、ポリイミドとして溶解性が高くて好適に用いる二無水物としては、ＰＭＤＡ、ＢＰＤＡ、ＢＴＤＡ、ＯＤＰＡ及び６ＦＤＡを示唆し、実施例としてＯＤＰＡ、６ＦＤＡ（混合物としてＢＴＤＡ）を開示しているに過ぎません。」旨主張している。
　しかしながら、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物は、ポリイミドとして溶解性が高くて好適に用いる二無水物として挙げられているＢＰＤＡとそのカルボン酸の置換位置が異なるのみの、極めて類似の構造を有する異性体であり、ＢＰＤＡに代えて、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を用いてみることに格別な困難は認められないし、それによって格別顕著な効果を奏することも何ら裏付けられていない。
　したがって、審判請求人の主張は採用できない。
　　                           
イ．相違点２について
　刊行物１には、「シロキサンジアミンは使用するジアミンの総重量の約５０重量％まで可能であり、好ましくはシロキサンジアミンの重量は約５乃至約２５重量％である。」（摘示記載（１−４））と記載されているから、芳香族ジアミン化合物が約５０〜１００重量％、ジアミノポリシロキサンが約５０〜０重量％の範囲をとりうるものである。
　これを、仮にジアミン成分を実施例２（摘示記載（１−５））のＴＡＰ（分子量３８９）とα，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサン（分子量５４４）として、モル％に換算すると、約５９〜１００モル％：約４１〜０モル％であり、本願発明の範囲と重複一致する。
　したがって、この点は実質的な相違点とはいえない。
　
ウ．相違点３について
　刊行物３には、感光性芳香族ポリイミド１００重量部にシリカ粒子１〜２０重量部添加した組成物（摘示記載（３−１）、（３−３））が記載されており、刊行物４には、感光性ポリイミド前駆体組成物に、ポリイミド膜の硬度を向上させるために、無機微粒子のコロイド状物をポリアミド酸の１〜５０重量％添加することが記載されている（摘示記載（４−１）、（４−２））。ポリアミド酸とポリイミドとはその分子量は大きく変化するものではないことから、無機微粒子の量はポリイミドに対しても１〜５０重量％程度となるものと解するのが相当である。
　そうであるから、刊行物１発明においても、さらに無機微粒子を添加し、その添加量については刊行物３、４の配合量を勘案して、最適な範囲を決定することは当業者が適宜なし得る事項である。
　また、その効果についても、格別なものとは認められない。
　
　なお、審判請求人は審判請求書において、「本願発明は特定の感光性ポリイミドシロキサンと感光性ポリイミドにおいて周知の手段とはいえない特定割合の微細な無機無機充填剤とを組合わせることが必須の要件であり、これによって均一な膜厚の絶縁膜を光硬化してトリグライム溶媒で現像したパタ−ンの解像力が少なくとも１０μｍの良好な解像力、後加熱膜が３００℃以上の耐熱性を有するという引用文献１に記載の発明では達成することができない顕著な効果を奏するのである。」旨主張している。
　しかしながら、本願明細書には、均一な膜厚の絶縁膜を光硬化してトリグライム溶媒で現像したパタ−ンの解像力が少なくとも１０μｍの良好な解像力、後加熱膜が３００℃以上の耐熱性を有するという効果が、特定の感光性ポリイミドシロキサンと特定割合の微細な無機充填剤とを組合わせることにより奏されることについては記載されていないし、実施例、比較例の記載から当該事項が自明のこととも認められない。
　したがって、審判請求人の主張は明細書の記載に基づかないものである。
　
４．まとめ
　したがって、本願発明は、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第４．むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものである。
　よって、結論のとおり審決する。