【事件の表示】
　特願２００２−２４５８１０「探針装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　３月１８日出願公開、特開２００４−　８５３２０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
　
１．手続の経緯　
　
　本願は、平成１４年８月２６日の出願であって、平成１７年２月１０日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成１７年３月２４日に拒絶査定不服の審判請求が行われるとともに、同年４月２５日付けで手続補正が行われたものである。　
　
２．平成１７年４月２５日付け手続補正についての補正却下の決定　
　
［補正却下の決定の結論］　
　
　平成１７年４月２５日付け手続補正を却下する。　
　
［理由］　
　
（１）平成１７年４月２５日付け手続補正（本件補正）　
　
　本件補正は、補正の内容として、特許請求の範囲の請求項１について、補正前（平成１６年５月２８日付け手続補正書）の
　
「【請求項１】　試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーと、
前記カンチレバーの振動振幅値をフィードバックすることにより所定の周波数で前記カンチレバーを自励振動させる手段と、
前記試料又は前記探針にバイアスを印加する手段と、
前記カンチレバーと前記試料間に働く電荷移動力に起因する周波数シフトを測定する手段と、
前記探針と前記試料との距離を一定に保ちながら、前記探針と前記試料とのいずれか一方を相対的に移動する移動手段と、
前記試料の画像を取得する手段とを具備することを特徴とする探針装置。」を、　
　
「【請求項１】　試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーと、
　前記カンチレバーの振動振幅値をフィードバックすることにより所定の周波数で前記カンチレバーを自励振動させる手段と、
　前記試料又は前記探針にバイアスを印加する手段と、
　前記カンチレバーと前記試料間に働く電荷移動力に起因する周波数シフトを測定する手段と、
　前記探針と前記試料との距離を一定に保ちながら、前記探針と前記試料とのいずれか一方を
、試料の表面と略平行な平面内で
　
前記移動手段により前記探針と前記試料とのいずれか一方を相対的に移動しながら前記周波数シフトを測定することにより、
　
　この補正は、補正前の請求項１に記載した発明を特定するための事項である「相対的に移動する移動手段」の構成について、「
試料の表面と略平行な平面内で
前記移動手段により前記探針と前記試料とのいずれか一方を相対的に移動しながら前記周波数シフトを測定することにより、
　
　そこで、本願補正発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について検討する。　
　
（２）引用例　
　
（２−１）原査定の拒絶の理由に引用した、本願出願日前に頒布された刊行物である内藤泰久、前田泰、松本卓也、川合知二、“ＤＮＡ及び単一分子のナノスケール電子物性計測”、日本化学会第８１春季年会（２００２）講演予稿集I、社団法人日本化学会、２００２年３月、２Ｓ７−１５、ｐ．６８９（以下、「引用刊行物１」という。）には、「電荷移動力顕微鏡」に関する発明が記載されており、図面とともに次の記載がある（下線は、当審にて付加）。　
　
ア．右上欄第１３〜１６行
「
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を利用して、サンプルの電子状態を電荷移動力として評価する電荷移動力顕微鏡／分光（ＣＴＦＭ／Ｓ）を提案する。電荷移動力はフォースカーブにおけるジャンプインフォースの解釈として提案された。
　
イ．右上欄第１６〜２０行
「
この原理をダイナミックモードＡＦＭにおけるカンチレバーの振幅の各周期に対応させることにより、２次元情報の取得を可能にしたものである。測定は窒素雰囲気中でカンチレバーを自励発振させ、振動振幅でフィードバックをおこないチップサンプル間距離を一定にし、この時の自励発振の周波数シフトにより力の検出をおこなう。
　
ウ．右上欄第２０〜３２行
「
このような手法で周波数シフトのバイアス電圧依存性を取ると、
　
エ．図２
図２には、還元ＳＴＯ基板上における周波数シフトの
サンプルバイアス
　
　
　そして、これらの記載から、引用刊行物１には「原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を利用して、サンプルの電子状態を電荷移動力として評価する電荷移動力顕微鏡であって、サンプルバイアスを印加する手段を有し、ダイナミックモードＡＦＭにより２次元情報の取得を可能にしたものにおいて、測定は窒素雰囲気中でカンチレバーを自励発振させ、振動振幅でフィードバックをおこないチップサンプル間距離を一定にし、このときの自励発振の周波数シフトにより力の検出を行う電荷移動力顕微鏡。」（引用刊行物１記載の発明）が記載されているものと認められる。
　
（２−２）原査定の拒絶の理由に引用した、本願出願日前に頒布された刊行物である特開２０００−２８６２５号公報（以下、「引用刊行物２」という。）には、「電荷移動力検出装置及び電荷移動力検出方法」に関する発明が記載されており、図面とともに次の記載がある。（下線は、当審にて付加。）　
　
オ．「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料表面と探針に作用する分子間力、特に、電荷移動力を検出する電荷移動力検出装置及びこれを用いた試料表面と探針間の電荷移動力を検出する電荷移動力検出方法に関する。
　
カ．「【０００７】
分子間力としての力は、
電荷移動力がある。電荷移動力とは、電子供与体から電子受容体へ電子が部分的に移動することにより生じる分子間の結合力である。
　
キ．「【００１４】また、本発明の電荷移動力検出方法は、
試料表面の電荷移動力により変位しうる板バネ等の弾性体の先端に配置され、先端を易電荷移動物質により被覆された検出用探針と、検出用探針に電位を供給する電位供給手段と、検出用探針の変位を検出する変位検出手段と、を備えた測定系を用いて、試料を該測定系より実質的に絶縁しうる試料保持部材上に配置し、該検出用探針に電位を付加させることにより、試料表面と探針との間に電荷移動を誘起させ、該電荷移動力を、該検出用探針の変位を検出することにより測定する
　
ク．「【００１６】こうした本発明の電荷移動力検出装置は、探針先端で感度良く電荷移動力を検出することで、探針の高さ制御に電荷移動力を用いることが可能になる。したがって、
電荷移動力の
空間分布を検出するのに、特に適する。
　
ケ．「【００４０】探針の先端部の電位が特定のしきい値を越えると、先端部と試料の間で電荷移動が容易になり、電荷移動力が増大する。
この電荷移動力を探針と試料との引力として検出し、通常の原子間力顕微鏡と同様に、探針の高さを制御する信号として用いれば、試料表面の電荷移動力分布を測定することが可能になる。この場合、探針を左右に走査させ、その検出した力の差分を測定した方が、電荷移動力の分布を得やすい。
図２はケイ素単結晶（１００）を試料とした場合の探針と試料との距離と両者に掛かる引力との関係を示したグラフである。
具体的には、図２に示すように、探針の先端部の電位が特定のしきい値に達するまでのグラフの延長線（図２中に破線で示す）と特定のしきい値に達した時のグラフのピークとの差（図２中に↑印で示す）が電荷移動力を表す。
　
コ．「【００４３】また、
特定位置に探針を固定し、探針先端部の電位を走査させることにより、電荷移動力が変化する。電荷移動力と探針先端の電位の関係から、試料のイオン化エネルギー、電子親和力、仕事関数、禁制帯のエネルギーギャップ等の測定ができる。
　
サ．「【００５５】また、
この電荷移動力検出機構を公知の原子間力顕微鏡に付加させ、探針による走査を可能にすることにより、所定の箇所での電荷移動力の測定におけるのと同様に、電荷移動力の空間的な分布を求めることができる。
即ち、探針を走査することにより、電荷移動力の差から、局所的に試料表面での物質の違いを識別することができる。
【００５７】
この方法によれば電荷移動力の分布が測定できるようになり、従来原子間力顕微鏡によっては不可能であった汎用性の高い分子認識や物質の化学構造の同定が、その装置をわずかに改良した本発明の電荷移動力測定装置により、局所的に可能となった。
　そして、これらの記載から、引用刊行物２には「試料表面の電荷移動力により変位しうる板バネ等の弾性体の先端に配置され、先端を易電荷移動物質により被覆された検出用探針と、検出用探針に電位を供給する電位供給手段と、検出用探針の変位を検出する変位検出手段と、を備えた測定系を用いて、試料を該測定系より実質的に絶縁しうる試料保持部材上に配置し、該検出用探針に電位を付加させることにより、試料表面と探針との間に電荷移動を誘起させ、該電荷移動力を、該検出用探針の変位を検出することにより測定し、前記探針を左右に走査させ、その検出した力の差分を測定して、電荷移動力の分布を得る電荷移動力検出機構」（引用刊行物２記載の発明）が記載されているものと認められる。
　
（３）対比・判断　
　
　本願補正発明と上記引用刊行物１記載の発明とを対比する。　
　
　引用刊行物１記載の発明の「サンプル」、「チップ」、「カンチレバー」、「振動振幅」、「フィードバック」、「自励発振」、「サンプルバイアスを印加する手段」、「電荷移動力」、「周波数シフト」及び「電荷移動力検出機構」が、それぞれ本願補正発明の「試料」、「探針」、「カンチレバー」、「振動振幅値」、「フィードバック」、「自励振動」、「前記試料又は前記探針にバイアスを印加する手段」、「電荷移動力」、「周波数シフト」及び「探針装置」に相当することは明らかである。　
　
　また、引用刊行物１記載の発明が取得する「２次元情報」がどのような情報であるのか引用刊行物１には明記されていないが、周波数シフトにより検出される電荷移動力と結びつきのある２次元情報が取得されることは明らかであり、その意味で本願補正発明の「画像」と共通する。
　
　したがって、両者は「試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーと、
　前記カンチレバーの振動振幅値をフィードバックすることにより所定の周波数で前記カンチレバーを自励振動させる手段と、
　前記試料又は前記探針にバイアスを印加する手段と、
　前記カンチレバーと前記試料間に働く電荷移動力に起因する周波数シフトを測定する手段と、
　前記探針と前記試料との距離を一定に保ちながら、前記周波数シフトを測定することにより、前記試料の電荷移動力と結びつきのある２次元情報を取得する手段とを具備する探針装置。」である点で一致し、次の点で相違すると認められる。
　
（相違点１）　
　上記電荷移動力と結びつきのある２次元情報を取得するために、本願補正発明が、「前記探針と前記試料との距離を一定に保ちながら、前記探針と前記試料とのいずれか一方を、試料の表面と略平行な平面内で相対的に移動する移動手段」を有し、前記探針と前記試料とのいずれか一方を相対的に移動しながら前記周波数シフトを測定することにより、前記試料の画像を取得するために、前記移動手段により前記探針とのいずれか一方を試料の表面と略平行な平面内で相対的に移動するのに対して、引用刊行物１には、上記２次元情報を取得するための具体的な移動手段が明確には記載されていない点。
　
（相違点２）
　上記電荷移動力と結びつきのある２次元情報が、本願補正発明においては、「画像」であるのに対して、引用刊行物１には、上記２次元情報がどのような情報であるか具体的な記載がない点。
　
　上記相違点について検討する。
　
相違点１について
　
　引用刊行物１記載の発明は、走査型プローブ顕微鏡の一種として周知の技術であるダイナミックモードＡＦＭを利用している。該ダイナミックモードＡＦＭとして、カンチレバーの振動振幅でフィードバックをおこない、前記カンチレバーの振動の周波数シフトをＦＭ復調手段を用いて検出するものが周知であり（例えば、T. R. Albrecht, et al.「Frequency modulation detection using high-Q cantilevers for enhanced force microscope sensitivity」Journal of Applied Physics, Vol.69, No.2, 1991年1月15日, pp.668-673, Hitoshi UEYAMA, et al.「Atomically Resolved InP(110) Surface Observed with Noncontact Ultrahigh Vacuum Atomic Force Microscope」Japanese Journal of Applied Physics, Vol.34, Part 2, No.8B, 1995年8月15日, pp.L1086-1088、 Masami KAGESHIMA, et al.「Nature of Tip-Sample Interaction in Dynamic Mode Atomic Force Microscopy」Japanese Journal of Applied Physics, Vol.36, Part 1, No.12A, 1997年12月15日, pp.7354-7357、上山 仁司、他「530a-YF-5 ダイナミックモードAFMによる原子スケールでのエネルギー散逸の観察」日本物理学会講演概要集、Vol.53, No.1-2, 1998年3月10日, p. 298, 北村真一、他「超高真空ＳＰＭによる原子レベルの電位像観察」表面科学、Vol.22, No.5, 2001年5月10日, pp.292-300等参照）、その必須の構成としてカンチレバーの先端に設けられた探針と試料とを該試料の表面と略平行な平面内で相対的に移動させて走査を行う移動手段を有し、前記カンチレバーを振動させながら試料表面上を該試料の表面と略平行な平面内で相対的に移動させて走査する移動手段を有することが技術常識である。
　
　そして、引用刊行物１記載の発明において上記２次元情報を取得するために、上記技術常識であるダイナミックＡＦＭの移動手段を用いて走査を行うことは当業者が容易に想到し得ることである。
　
相違点２について
　
　引用刊行物２には、試料表面の電荷移動力を検出し、該検出された電荷移動力の分布を得る電荷移動力検出装置が記載されており、電荷移動力の検出を行い２次元情報を得るものである点で引用刊行物１に記載された電荷移動力顕微鏡と共通するから、引用刊行物１記載の発明における電荷移動力と結びつきのある２次元情報として、引用刊行物２記載の発明のように電荷移動力の分布を得るように構成することは当業者が容易に想到し得ることである。そして、検出された原子間力等の力の分布を「画像」とすることは、ダイナミックモードＡＦＭにおける周知の技術である以上、同様の力の分布である上記の電荷移動力の分布が画像とされることは明らかである。
　
　なお、引用刊行物１記載の発明における「２次元情報」を引用刊行物１記載の発明における図２のグラフを意味するものであってサンプル表面を走査した情報ではないと解する可能性も排除されないが、仮にこのように解したとしても、上記「（２−２）カ．」に摘記したように、引用刊行物２には、探針先端部の電位（バイアス）を走査させることにより、電荷移動力と探針先端の電位の関係から、試料の禁制帯のエネルギーギャップの測定ができることも記載されており、該試料の禁制帯のエネルギーギャップは引用刊行物１記載の図２の不連続な点の幅（バンドギャップ）と共通するものであることを踏まえれば、サンプルの電荷移動力を検出する引用刊行物１記載の発明において、前記試料の禁制帯のエネルギーギャップと電荷移動力の分布の両者の情報を取得する引用刊行物２記載の発明のように、試料の禁制帯のエネルギーギャップの他に電荷移動力の分布をも取得するようにすることは当業者が容易に想到することである。
　
　そして、本願補正発明の作用効果も、引用刊行物１記載の発明、引用刊行物２記載の発明及び上記周知技術から当業者であれば予測できる範囲のものである。
　
（４）むすび
　
　以上のとおり、本願補正発明は、引用刊行物１記載の発明、引用刊行物２記載の発明及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際に独立して特許を受けることができないものである。　
　
　したがって、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。　
　
３．本願発明について　
　
（１）本願発明　
　
　平成１７年４月２５日付け手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明は、平成１６年５月２８日付け手続補正書で補正された明細書の特許請求の範囲請求項１に記載された、上記２．（１）に記載のとおりのものである。（以下、平成１６年５月２８日付け手続補正書で補正された請求項１に記載された発明を「本願発明」という。）　
　
（２）引用例　
　
　原査定の拒絶の理由に引用した引用刊行物及びその記載事項は上記「２．（２）引用例」に記載したとおりである。　
　
（３）対比・判断　
　
　本願発明は、前記２．で検討した本願補正発明から、「相対的に移動する移動手段」の構成について、「試料の表面と略平行な平面内で」との限定を省き、「前記試料の画像を取得する手段」の構成について、「前記移動手段により前記探針と前記試料とのいずれか一方を相対的に移動しながら前記周波数シフトを測定することにより、」との限定を省いたものである。
　
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、上記「２．（３）対比・判断」に記載したとおり、引用刊行物１記載の発明、引用刊行物２記載の発明及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用刊行物１記載の発明、引用刊行物２記載の発明及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）むすび　
　
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物１記載の発明、引用刊行物２記載の発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　
　したがって、請求項２〜４に係る発明について審理するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。　
  　
　よって、結論のとおり審決する。