【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３６４４９９７号「レーザ加工装置」の特許無効審判事件についてされた平成１８年８月１５日付け審決に対し、知的財産高等裁判所において審決取消の決定（平成１８年（行ケ）第１０４３２号平成１９年１月３１日決定言渡）があったので、さらに審理のうえ、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３６４４９９７号の請求項１乃至４に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯 
１　本件特許第３６４４９９７号の請求項１乃至６に係る発明についての出願は、平成７年３月６日に特許出願され、平成１７年２月１０日に特許の設定登録がなされた。
２　これに対して平成１７年１０月２１日に請求人レーザーテック株式会社より請求項１乃至６に係る発明の特許について無効審判の請求がなされ、被請求人から平成１８年１月２０日付けで答弁書及び訂正請求書が提出され、平成１８年４月２４日付けで請求人及び被請求人より口頭審理陳述要領書が提出され、平成１８年４月２４日に第１回口頭審理が実施された。
３　その後書面審理とされ、平成１８年５月２４日付けで被請求人より、平成１８年６月６日付けで請求人より、それぞれ上申書が提出された。
４　平成１８年８月１５日に本件請求項１乃至６に係る特許を無効とする旨の審決（以下「一次審決」という。）がされた。 
５　平成１８年９月２２日に当該審決の取消しを求める訴（平成１８年（行ケ）第１０４３２号）が知的財産高等裁判所に提起されたところ、平成１８年１２月２０日に、訂正審判（訂正２００６−３９２００号、平成１９年２月２６日にその取下登録がされた。）が請求され、それを受けて、平成１９年１月３１日に、知的財産高等裁判所において一次審決を取り消すとの決定がなされた。 
６　平成１９年２月１９日付けで訂正請求がなされた。
７　これに対して、請求人から平成１９年３月１６日付けで審判事件弁駁書が提出され、被請求人から平成１９年５月７日付けで審判事件答弁書（第２回）が提出されたものである。 
 　 
第２　訂正について
１　訂正の内容 
　平成１９年２月１９日付けの訂正請求（以下「本件訂正」という。）は、本件特許第３６４４９９７号の願書に添付した明細書（以下「本件特許明細書」という。）を、訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正することを求めるものであり、その内容は以下のとおりである。
　なお、下線は対比の便宜のために当審で付したものである。 
（１）訂正事項ａ 
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された、 
「試料の欠陥を顕微鏡で観察し、該試料上の欠陥に高出力エネルギーの加工用レーザ光を照射して該欠陥を加工するレーザ加工装置において、 
　前記試料を高解像度で観察する観察用対物レンズと前記高出力エネルギーの加工用レーザ光により損傷し難いレーザ加工用対物レンズとを同一光軸上に切換え可能に配置する対物レンズ切換え手段と、 
　この対物レンズ切換え手段により前記光軸上に位置された前記観察用対物レンズを介して前記試料の欠陥を検出する顕微鏡手段と、 
　この顕微鏡手段により検出された前記試料の欠陥に対し、前記対物レンズ切換え手段により前記光軸上の位置された前記レーザ加工用対物レンズを介して高出力エネルギーの加工用レーザ光を照射してレーザ加工を施すレーザ加工手段とを具備したことを特徴とするレーザ加工装置」を、 
「試料の欠陥を顕微鏡で観察し、該試料上の欠陥に該欠陥を加工する高出力エネルギーを有する加工用レーザ光を照射して該欠陥を加工するレーザ加工装置において、 
　前記試料を高解像度で観察する観察用対物レンズと、
　前記高出力エネルギーの加工用レーザ光により損傷し難いレーザ加工用対物レンズと、
　
前記観察用対物レンズを介して前記試料の欠陥を検出するときの光軸、前記レーザ加工用対物レンズを介してレーザ加工を施すときの光軸及び前記レーザ加工用対物レンズを介して前記試料の状態をモニタするときの光軸が交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなす共通
て前記観察用対物レンズと前記加工用対物レンズとを
　この対物レンズ切換え手段により前記
共通
共焦点レーザ
観察
 　この
共焦点レーザ
観察
共通
に
前記
を具備したことを特徴とするレーザ加工装置
。
と訂正する。 
 　 
（２）訂正事項ｂ 
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項２に記載された、 
「前記レーザ加工手段は、前記欠陥に前記加工用レーザ光を照射するレーザ光源と、前記欠陥の位置を確認するする可視照明光を出射する照明光源と、前記加工用レーザ光と前記可視照明光の照射範囲を設定するスリットとを備え、前記対物レンズ切換え手段により前記光軸上に前記観察用対物レンズに切換えて前記顕微鏡手段により欠陥を検出し、この欠陥に対し前記スリットの開口幅を可変して前記可視照明光を照射して加工範囲を設定した後、前記対物レンズ切換え手段により前記観察用対物レンズから前記レーザ加工用対物レンズに切換えて前記欠陥に対し前記加工用レーザ光を照射することを特徴とする請求項１記載のレーザ加工装置。」を、 
「前記レーザ加工手段は、前記欠陥に前記加工用レーザ光を照射するレーザ光源と、前記欠陥
に対する前記加工用レーザ光の照射位置
る可
スリット用
共通
共焦点レーザ
観察
前記試料上の前記
と訂正する。 
　 
（３）訂正事項ｃ 
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項３を削除する。
　 
（４）訂正事項ｄ 
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項４を削除する。
 　 
（５）訂正事項ｅ
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５に記載された、
「前記共焦点レーザ顕微鏡は、観察用レーザ光源と、この観察用レーザ光源から出射された観察用レーザ光を二次元走査させる二次元走査機構と、この二次元走査機構により走査された前記観察用レーザ光を前記観察用対物レンズで微小スポットに絞り込み前記試料の表面で反射された前記観察用レーザ光を検出する光検出器とを備えたことを特徴とする請求項４記載のレーザ加工装置。」を、
「前記共焦点レーザ顕微鏡
観察手段
１又は２
と訂正するとともに、これを請求項３とする。
　
（６）訂正事項ｆ
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項６に記載された、
「前記対物レンズ切換え手段は、前記観察用対物レンズと前記加工用対物レンズを前記同一光軸上に切換え可能に回転するレボルバからなり、高倍率から低倍寧までの倍率の異なる複数の観察用対物レンズと前記試料上の加工の大きさに合う一つ以上の前記レーザ加工用対物レンズを備えていることを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ加工装置。」を、
「前記対物レンズ切換え手段は、前記観察用対物レンズと前記加工用対物レンズを前記
共通
率
と訂正するとともに、これを請求項４とする。
　
（７）訂正事項ｇ 
　本件特許明細書の発明の詳細な説明の段落【０００６】に記載された、 
「本発明は、試料の欠陥を顕微鏡で観察し、該試料上の欠陥に高出力エネルギーの加工用レーザ光を照射して該欠陥を加工するレーザ加工装置において、前記試料を高解像度で観察する観察用対物レンズと前記高出力エネルギーの加工用レーザ光により損傷し難いレーザ加工用対物レンズとを同一光軸上に切換え可能に配置する対物レンズ切換え手段と、この対物レンズ切換え手段により前記光軸上に位置された前記観察用対物レンズを介して前記試料の欠陥を検出する顕微鏡手段と、この顕微鏡手段により検出された前記試料の欠陥に対し、前記対物レンズ切換え手段により前記光軸上の位置された前記レーザ加工用対物レンズを介して高出力エネルギーの加工用レーザ光を照射してレーザ加工を施すレーザ加工手段とにより構成している。」を、 
「本発明は、試料の欠陥を顕微鏡で観察し、該試料上の欠陥に該欠陥を加工する高出力エネルギーを有する加工用レーザ光を照射して該欠陥を加工するレーザ加工装置において、
前記試料を高解像度で観察する観察用対物レンズと、前記高出力エネルギーの加工用レーザ光により損傷し難いレーザ加工用対物レンズと、
前記観察用対物レンズを介して前記試料の欠陥を検出するときの光軸、前記レーザ加工用対物レンズを介してレーザ加工を施すときの光軸及び前記レーザ加工用対物レンズを介して前記試料の状態をモニタするときの光軸が交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなす共通
て前記観察用対物レンズと前記加工用対物レンズとを
共通
共焦点レーザ
観察
共焦点レーザ
観察
共通
に
　
（８）訂正事項ｈ
　本件特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００３４】中の２箇所の「第３実施例」、及び【００４０】中の「第３実施例」を、「
参考例
　
（９）訂正事項ｉ
　【図面の簡単な説明】における、「【図３】本発明の第３実施例の概略構成を示す図。」を、「【図３】本発明の
参考例
　
（１０）訂正事項ｊ
　本件特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００４１】中の「以上、実施例に基づいて説明したが、本発明中には以下の発明が含まれる。」を、「
以上述べた実施例及び参考例の特徴を簡潔にまとめると以下のようになる。
　
２　訂正の目的の適否、特許請求の範囲の拡張・変更の存否、及び新規事項の有無 
（１）訂正事項ａについて 
ア　「同一光軸上に切換え」を「
前記観察用対物レンズを介して前記試料の欠陥を検出するときの光軸、前記レーザ加工用対物レンズを介してレーザ加工を施すときの光軸及び前記レーザ加工用対物レンズを介して前記試料の状態をモニタするときの光軸が交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなす共通
て前記観察用対物レンズと前記加工用対物レンズとを
　また、本件特許明細書の段落【００２８】、【００４２】、【００４３】の記載内容からみて、光軸が試料と垂直をなすことは、入射光と反射光とがまったく同一の経路を通ることから自明な事項である。そして、観察用対物レンズと加工用対物レンズとを「同一光軸上に切換え」るものであるから、前記三つの光軸が交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなす「共通光軸」上にて切換えるものであることも自明である。したがって、上記訂正事項は本件特許明細書及び図面に記載した事項の範囲内のものであって、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。 
イ　「顕微鏡手段」を「
共焦点レーザ
観察
　また、上記訂正事項は、本件特許明細書の段落【００２２】、【００２５】の記載に基づいてなされたものであるから、本件特許明細書及び図面に記載した事項の範囲内のものであって、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。 
ウ　「前記光軸上に位置された」を「前記
共通
　同様に、「前記光軸上の位置された」を「前記
共通
に
　また、「高出力エネルギーの加工用レーザ光を照射して」を「
前記
　末尾の「レーザ加工装置」を「レーザ加工装置
。
　そして、上記訂正事項は、本件特許明細書及び図面に記載した事項の範囲内のものであって、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
　なお、請求人は、平成１９年３月１６日付け審判事件弁駁書において、明細書又は図面には、共通光軸が、「前記観察用対物レンズを介して前記試料の欠陥を検出するときの光軸、前記レーザ加工用対物レンズを介してレーザ加工を施すときの光軸及び前記レーザ加工用対物レンズを介して前記試料の状態をモニタするときの光軸が交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなす」ものである点について記載されておらず、また明細書から明らかなものではない旨主張している（弁駁書第３頁第８〜２０行参照）。　 
　しかしながら、本件特許明細書には請求項１に、観察用対物レンズと加工用対物レンズとを「同一光軸上に切換え可能」にすることが記載されているから、上述のとおり、観察用対物レンズと加工用対物レンズとを前記三つの光軸が交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなす共通光軸上にて切換えるものであることも自明であり、上記事項が本件特許明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものではないとすることはできない。
　
（２）訂正事項ｂについて 
ア　「前記欠陥の位置を確認するする可視照明光」を「前記欠陥
に対する前記加工用レーザ光の照射位置
る可
　また、当該訂正は「可視照明光」の技術的意義を、本件特許明細書中において明りょうに記載されている「加工用レーザ光の照射位置を確認する」との事項に特定するためのものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。 
　そして、「可視照明光」が確認を行う対象である位置として「欠陥の位置」を、「欠陥に対する加工用レーザ光の照射位置」とすることは、文言上その対象が変わっているが、訂正前の「欠陥の位置」を確認することが、実質的に発明の詳細な説明に整合していないことから、発明の詳細な説明に整合するようにした結果としての表現上の差異であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものとまでいうことはできない。 
　なお、「確認するする」を「確認する」とする訂正事項は、誤記の訂正を目的とする訂正に該当する。
イ　「照明光源」を「
スリット用
　また、上記訂正事項は、本件特許明細書の段落【００１５】の記載に基づいてなされたものであるから、本件特許明細書及び図面に記載した事項の範囲内のものであって、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。 
ウ　「前記光軸上」を「前記
共通
エ　「顕微鏡手段」を「
共焦点レーザ
観察
オ　「欠陥を検出し」を「
前記試料上の前記
 　 
　なお、請求人は、上記審判事件弁駁書において、概略、「出願時の明細書では、欠陥の検出、対物レンズの切換え（加工用対物レンズを光軸上に配置）、可視照明光による加工範囲の設定、加工用レーザ光の照射の順番で実施されているのに対して、訂正発明２では、欠陥の検出、可視照明光による加工範囲の設定、対物レンズの切換え（加工用対物レンズを光軸上に配置）、加工用レーザ光の照射の順番で実施されており、明細書と訂正発明２とで対物レンズを切換える順序が異なっております。従いまして、出願時の明細書には、「前記試料上の前記欠陥を検出し、この欠陥に対し前記スリットの開口幅を可変して前記可視照明光を照射して加工範囲を設定した後、前記対物レンズ切換え手段により前記観察用対物レンズから前記レーザ加工用対物レンズに切換えて前記欠陥に対し前記加工用レーザ光を照射すること」については、開示されておりません。」（弁駁書第７頁第１５〜２４行参照）として、訂正発明２は出願時の明細書に対して新規事項の追加に該当する旨を主張している。
　しかしながら、請求人が主張する上記記載部分は、本件訂正の訂正事項には含まれておらず、また、本件特許明細書には記載されている事項であるから、上記訂正事項ｂが、本件特許明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものでないとすることはできない。
　
（３）訂正事項ｃについて 
　訂正事項ｃは、請求項を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
 　 
（４）訂正事項ｄについて 
　訂正事項ｄは、請求項を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
　 
（５）訂正事項ｅについて
　「共焦点レーザ顕微鏡」を「共焦点レーザ顕微鏡
観察手段
１又は２
　したがって、訂正事項ｅは、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
（６）訂正事項ｆについて
「前記光軸上に切換え」を「前記
共通
率
　
（７）訂正事項ｇ〜ｊについて 
　訂正事項ｇ〜ｊは、特許請求の範囲の訂正に伴い、特許請求の範囲と、発明の詳細な説明との整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当し、本件特許明細書及び図面に記載した事項の範囲内のものであって、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。 
 　 
　以上のとおり、本件訂正は、平成６年改正前特許法第１３４条第２項ただし書に適合し、特許法第１３４条の２第５項の規定により準用する平成６年改正前特許法第１２６条第２項及び第３項の規定を満たすから、当該訂正を認める。 
 　 
第３　請求人の主張の概要
　請求人は、下記の甲第１号証乃至甲第７号証を提出し、本件特許の請求項１乃至６に係る発明は、甲第１号証乃至甲第７号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであると主張している（以下「無効理由１」という。）。
　また、請求人は、本件特許請求の範囲の記載は特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていないと主張している（以下「無効理由２」という。）。
　
［甲号各証］ 
　甲第１号証：米国特許第４７２８７７０号明細書 
　甲第２号証：特開平５−１８８３１８号公報 
　甲第３号証：特開平６−３３１９４５号公報 
　甲第４号証：特開平４−２５３５８６号公報 
　甲第５号証：特開平６−３１３８４９号公報 
　甲第６号証：特開平５−２２８６７８号公報 
　甲第７号証：特開平４−４９６８０号公報 
　 
第４　被請求人の主張の概要 
　被請求人は、上記主張に対して、本件特許の請求項１乃至４に係る発明は、甲第１号証乃至甲第７号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではなく、また、本件特許請求の範囲の記載が特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たすものである旨を反論している。
　
第５　本件発明 
　本件の請求項１乃至４に係る発明（以下「本件発明１」乃至「本件発明４」という。）は、平成１９年２月１９日付けの訂正請求書によって訂正された明細書及び図面からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載された次のとおりのものである。 
「【請求項１】
　試料の欠陥を顕微鏡で観察し、該試料上の欠陥に該欠陥を加工する高出力エネルギーを有する加工用レーザ光を照射して該欠陥を加工するレーザ加工装置において、 
　前記試料を高解像度で観察する観察用対物レンズと、
　前記高出力エネルギーの加工用レーザ光により損傷し難いレーザ加工用対物レンズと、
　前記観察用対物レンズを介して前記試料の欠陥を検出するときの光軸、前記レーザ加工用対物レンズを介してレーザ加工を施すときの光軸及び前記レーザ加工用対物レンズを介して前記試料の状態をモニタするときの光軸が交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなす共通光軸上にて前記観察用対物レンズと前記加工用対物レンズとを切換え可能に配置する対物レンズ切換え手段と、 
　この対物レンズ切換え手段により前記共通光軸上に位置された前記観察用対物レンズを介して前記試料の欠陥を検出する共焦点レーザ顕微鏡観察手段と、 
　この共焦点レーザ顕微鏡観察手段により検出された前記試料の欠陥に対し、前記対物レンズ切換え手段により前記共通光軸上に位置された前記レーザ加工用対物レンズを介して前記加工用レーザ光を照射してレーザ加工を施すレーザ加工手段と、
を具備したことを特徴とするレーザ加工装置。
 【請求項２】
　前記レーザ加工手段は、前記欠陥に前記加工用レーザ光を照射するレーザ光源と、前記欠陥に対する前記加工用レーザ光の照射位置を確認する可視照明光を出射するスリット用照明光源と、前記加工用レーザ光と前記可視照明光の照射範囲を設定するスリットとを備え、前記対物レンズ切換え手段により前記共通光軸上に前記観察用対物レンズに切換えて前記共焦点レーザ顕微鏡観察手段により前記試料上の前記欠陥を検出し、この欠陥に対し前記スリットの開口幅を可変して前記可視照明光を照射して加工範囲を設定した後、前記対物レンズ切換え手段により前記観察用対物レンズから前記レーザ加工用対物レンズに切換えて前記欠陥に対し前記加工用レーザ光を照射することを特徴とする請求項１記載のレーザ加工装置。
 【請求項３】 
　前記共焦点レーザ顕微鏡観察手段は、観察用レーザ光源と、この観察用レーザ光源から出射された観察用レーザ光を二次元走査させる二次元走査機構と、この二次元走査機構により走査された前記観察用レーザ光を前記観察用対物レンズで微小スポットに絞り込み前記試料の表面で反射された前記観察用レーザ光を検出する光検出器とを備えたことを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ加工装置。
 【請求項４】 
　前記対物レンズ切換え手段は、前記観察用対物レンズと前記加工用対物レンズを前記共通光軸上に切換え可能に回転するレボルバからなり、高倍率から低倍率までの倍率の異なる複数の観察用対物レンズと前記試料上の加工の大きさに合う一つ以上の前記レーザ加工用対物レンズを備えていることを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ加工装置。」
　 
第６　無効理由１について 
１　甲号各証に記載された発明（事項）
　請求人の提出した証拠方法のうち、甲第１号証、甲第６号証、甲第７号証、甲第３号証及び甲第４号証の記載内容は以下のとおりである。
　
（１）甲第１号証（米国特許第４７２８７７０号明細書）
　甲第号証には、以下の事項が記載されている。なお、明細書の記載については、請求人が提出した審判請求書に添付された甲第１号証の翻訳文を使用した。 
ア　発明の名称「２軸光学システム」 
イ　明細書第３欄第６０行〜第５欄第１４行 
「Ｙキャリッジ上には、レーザビームによって修正される対象となるターゲット、例えば集積回路ウエハ２４が載置される。キャリッジ１４の上にあるのは、ステージの上下動のためのマイクロメータスクリュー２８が設けられている鉛直移動ステージ２６である。ステージ２６に取り付けられ、鉛直方向に移動するプレート３０は、可視観察システム３２及びレーザシステム３４の２つのそれぞれの光学システムの一部である。図１及び図２に示されている観察システムは、例えば、倍率２０倍、ワーキングディスタンス１０ｍｍ、開口数０．４０を有するニコン　ＲＥＬＤＷ２０×のような、高倍率、高開口数、高解像度、長ワーキングディスタンスの顕微鏡対物レンズ３６を備えている。ターゲットの観察される領域は、ランプ３８、コンデンサーレンズ４０、ビームスプリッタ４２によって、対物レンズ３６を介して照明される。ターゲットから反射されて戻ってきた光は、対物レンズ、ビームスプリッタを通って、ペンタプリズム４６に入射するようミラー４４で反射される。ペンタプリズム４６によってその方向を変えた光は視野レンズ４８に入射し、好ましくは１０〜３０倍の線形倍率でターゲット領域の一次像が形成される。この像は、レンズ５０によってコリメートされ、光はミラー５２によって反射され、ビデオスクリーン５７上に像を生成するビデオカメラ５６のレンズ５４に入射する。ビデオカメラが示されているが、フィルムの像が要求されるときに、写真カメラを使用できることは明白である。
　なお、レンズ５０からの光はコリメートされるため、対物レンズ３６の焦点をターゲット上にはっきりと合わせるために必要とされる要素３６〜５０を備えている可視観察システムの上下方向の移動は、レンズ５０、５４の再フォーカスを必要としない。さらに、このように配置された要素３６〜５４を備える光学系及びカメラ５６により、ビデオレシーバ５７上に表示される像は鉛直方向で左右に正しいものとなる。 
　図２、３に示されているレーザあるいはエネルギーシステムは、レーザ光源５８を含んでいる。レーザ光源５８は、集積回路ウエハを取り扱うなどの用途においては、Ｑｕｅｓｔｅｋ　Ｒ　２０００のような１９３ｎｍのエキシマレーザである。レーザ光源からの出力は、コンデンサレンズ６０により集光され、ピンホール６２を通り、ミラー６４に入射する。これらの３つの要素は、ハウジング１０に対して固定されている。ＵＶビームは、ミラー６４によって下方に向けられ、ビームを対象物２４上に集光させるＵＶ対物レンズ６６に受光される。焦点距離４０ｍｍのＵＶ対物レンズを使い、ピンホールと対物レンズ間を３６０ｍｍとしたとき、対象物上で１０μｍのスポットを生成するため、例えば、ピンホールの直径は８０μｍにすることができる。対物レンズの比ロ径は、望ましくは約ｆ／１である。ＵＶ対物レンズはプレート３０上に取り付けられ、顕微鏡対物レンズ３６及びそれに関連する光学要素とともに、同時に移動する。 
　図２は、パルスＵＶエネルギーを受けるために予め選択されたスポットの上に配置されたＵＶ対物レンズとともに、最も左側の位置にあるキャリッジ１４と光学系３２、３４を示している。この位置は、Ｎｅｗｐｏｒｔ　ＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎのモデルＤＭ−１３のような差動マイクロメータ６８によって、始めに設置されている。最初に観察システムを通じて選択スポットを観察するため、キャリッジ１４は第２の差動マイクロメータ７０に対して接する位置１４’になるよう手動又は電動で右側に移動される。最も左側の位置から最も右側の位置までのキャリッジ１４の移動距離は、観察システムの可動部の鉛直軸とＵＶ対物レンズの鉛直軸の間の距離である。マイクロメータの精度は、２つの軸が１μｍ以内でターゲットのスポット上に位置することができる程度である。 
　検査及び処理を行なうためのウエハ２４や他の対象物体はキャリッジ２２上に配置され、観察システムの対物レンズ３６によりターゲット上の関心ある領域に近接して焦点合わせするため、観察システムが最も右側にあるときの観察領域に移動させられる。ターゲットが載置されたＸ−Ｙ移動器は、検査され、及び／又はエネルギービームを用いて処理される領域の中心を発見するため操作された後、保持される。そのような領域が発見されたとき、キャリッジは、ＵＶ対物レンズの焦点が同じ中心に正確に合う位置に、手動又は電動で移動させられる。レーザは所定のパルス数動作し、追加の放出エネルギーが必要か否かを決定するため、キャリッジは初期の観察位置に戻り、関心ある領域の中心の像がビデオスクリーン上で検査される。ターゲット上の選択された部分は、示されていない、マイクロマニピュレータ上に運ばれた道具や他の装置によって処理が行われ、他の関心ある領域に対して処理が繰り返される。」 
ウ　図１〜図３の記載によれば、キャリッジ１４は、集積回路ウエハ２４と垂直をなす光軸上にて、顕微鏡観察レンズ３６からレンズ５０に到る光学システムとＵＶ対物レンズ６６とを切換え可能に配置していることが看取できる。
　
　上記ア、イの摘記事項及び図１〜図３の記載からみて、甲第１号証には、以下の発明（以下、「引用発明１」乃至「引用発明２」という。）が記載されていると認められる。 
　 
［引用発明１］ 
「修正される対象である集積回路ウエハ２４の関心ある領域を観察し、レーザシステム３４により該集積回路ウエハ２４上の関心ある領域に該関心ある領域を処理するレーザビームを照射して該関心ある領域を処理する２軸光学システムにおいて、 
　前記集積回路ウエハ２４を高解像度で観察する顕微鏡観察レンズ３６と、
　ＵＶ対物レンズ６６と、
　前記集積回路ウエハ２４と垂直をなす光軸上にて、顕微鏡観察レンズ３６からレンズ５０に到る光学システムとＵＶ対物レンズ６６とを切換え可能に配置するキャリッジ１４と、 
　このキャリッジ１４により前記集積回路ウエハ２４と垂直をなす光軸上に位置された前記顕微鏡観察レンズ３６を介して前記集積回路ウエハ２４の関心ある領域を検出する可視観察システム３２と、
　検出された前記集積回路ウエハ２４の関心ある領域に対し、前記キャリッジ１４により前記集積回路ウエハ２４と垂直をなす光軸上に位置された前記ＵＶ対物レンズ６６を介してレーザビームを照射して処理を施す手段とを具備した２軸光学システム。」 
［引用発明２］ 
「引用発明１において、 
　前記関心ある領域に前記レーザビームを照射するレーザ光源５８を備え、前記キャリッジ１４により前記集積回路ウエハ２４と垂直をなす光軸上に前記顕微鏡観察レンズ３６に切換えて前記集積回路ウエハ２４上の前記関心ある領域を検出した後、前記キャリッジ１４により前記顕微鏡観察レンズ３６から前記ＵＶ対物レンズ６６に切換えて前記関心ある領域に対し前記レーザビームを照射する２軸光学システム。」 
　 
（２）甲第６号証（特開平５−２２８６７８号公報）
ア　段落【０００２】 
「【従来の技術】レーザリペア装置は、図３に示すように、波長１．０６μm 、出力エネルギ１パルス当り数mJから数十mJ、パルス幅数nsのレーザ光を出射するレーザ発振器１、エキスパンダ２、ダイクロイックミラー３、スリット４、スリット照明光源５、ダイクロイックミラー６、対物レンズ７、落射照明光源９、ＣＣＤカメラ１０、ディスプレイ１１、ＸＹステージ１４等から構成されている。」 
イ　段落【０００４】〜【０００５】 
「スリット４は４枚のミラー研磨されたナイフエッジを直角に組み合わせた構造となっており、開口部は矩形となるようにしてある。ステッピングモータによりナイフエッジが平行移動し、開口サイズが任意の大きさに変えられるようになっている。また、レーザ光軸を中心としてスリット４が回転できるようになっている。 
　このスリット４により任意の矩形状に整形されたレーザ光とスリット照明光源５から出射したスリット照明光は、レーザ光を１００％近く反射し、可視域の波長のスリット光を５０％程度反射させる特性を有するダイクロイックミラー６で反射されて、対物レンズ７に入射し、試料１２上に集光される。」 
ウ　段落【０００７】〜【０００８】 
「落射照明光源９は試料１２を反射像として観察するための光源である。試料１２の反射像はＣＣＤカメラ１０で撮像され、ディスプレイ１１で試料１２を観察することができる。
 　次に、レーザリペア装置による欠陥を修正加工する方法について述べる。図４に欠陥を修正加工する時の操作フロー及びそれに伴う動作フローを示す。図５（ａ）に示すような欠陥２１の全体がディスプレイ上の視野内に見えていると想定する。まずスリット４の開口サイズ（以後スリットサイズと呼ぶ）を欠陥の大きさより少し大きめのサイズに調整する。次にＸＹステージを微調して、欠陥２１をスリット像２０の位置に目合せする。この時、試料１２のパターンエッジ２３とスリット像２０のエッジが平行になっていなければスリット４を回転させて平行になる様にする。この様な欠陥２１への目合せ操作が完了したら、レーザを出射させ修正加工する。最大スリットサイズより大きい欠陥を修正加工する場合は、欠陥へのスリット像目合せ、レーザの出射という操作を繰り返して行う。」
　 
　上記ア〜ウの摘記事項及び図３の記載からみて、甲第６号証には、次の事項が記載されていると認められる。
「欠陥２１にレーザ光を照射するレーザ発振器１と、スリット照明光を出射するスリット照明光源５と、前記レーザ光と前記スリット照明光の照射範囲を設定するスリット４とを備え、スリット４の開口サイズを欠陥の大きさより少し大きめのサイズに調整し、欠陥２１をスリット像２０位置に目合わせした後、前記欠陥に対し前記レーザ光を照射すること。」 
 　 
（３）甲第７号証（特開平４−４９６８０号公報）
ア　第３頁右上欄第５〜６行 
「第１図は、請求項１の発明のレーザ加工方法を実現するレーザ加工装置の一例」 
イ　第３頁右上欄第１１行〜左下欄第１３行 
「そして、走査用レーザ１２からの半導体ウェハ１の上記のレーザ加工点２ａで反射するレーザ光１３ａをビームエキスパンダ１４およびＸＹ偏向手段１５を介してミラー１６で反射させたのちビームスプリッタ１７．１８および対物レンズ１９を介して半導体ウェハ１のパターン面１ａに入射させ、そのパターン面１ａからの反射光１３ｂを対物レンズ１９およびビームスプリッタ１８．１７を介して対物レンズ１９の共焦点位置に配したピンホール２１を通過させたのち受光器２２に入射させ、受光器２２の出力を検出制御部２３に供給して、まず、走査用レーザ１２からのレーザ光１３ａが半導体ウェハ１のパターン面ｌａ上に焦点を結ぶように駆動機構２４によりＸＹＺステージ１１を対物レンズ１９の光軸方向であるＺ方向に動かした上で、検出制御部２３からＸＹ偏向手段１５にＸＹ偏向信号を供給することにより走査用レーザ１２からのレーザ光１３ａを半導体ウェハ１のパターン面ｌａ上においてＺ方向に垂直なＸＹ力方向走査させて、検出制御部２３において受光器２２の出力と上記のＸＹ偏向信号とから半導体ウェハ１上の上記のレーザ加工点２ａの位置を検出する。」 
ウ　第３頁右下欄第１〜５行 
「その動かした位置で加工用レーザ２５からのレーザ加工点２ａで吸収されるレーザ光２６をビームスプリンタ１８および対物レンズ１９を介してレーザ加工点２ａに照射してレーザ加工点２ａに所期の加工を施す。」 
エ　第３頁右下欄第１８〜１９行 
「第２図は、請求項２の発明のレーザ加工方法を実現するレーザ加工装置の一例である。」
オ　第４頁左上欄第２〜１３行 
「照明用光源２７からの照明光２８ａをミラー１６で反射させたのちビームスプリッタ１７．１８および対物レンズ１９を介して半導体ウェハ１のパターン面ｌａ上に照射し、そのパターン面１ａからの反射光２８ｂを対物レンズ１９およびビームスプリッタ１８．１７を介してＣＯＤカメラなどのビデオカメラ２９に入射させることによってパターン面１ａをビデオカメラ２９により撮影し、そのビデオカメラ２９の出力をパターン認識部３１に供給することによってパターン認識部３１において半導体ウェハ１上の上記のレーザ加工点２ａの位置を検出する。」 
カ　第４頁左上欄第１９行〜右上欄第３行 
「その動かした位置で加工用レーザ２５からのレーザ加工点２ａで吸収されるレーザ光２６をビームスプリッタ１８および対物レンズ１９を介してレーザ加工点２ａに照射してレーザ加工点２ａに所期の加工を施す。」 
　 
　上記ア〜カの摘記事項及び第１図の記載からみて、甲第７号証には、次の事項が記載されていると認められる。
「走査用レーザ１２と、この走査用レーザ１２から出射されたレーザ光１３ａをＸＹ方向に走査させるＸＹ偏向手段１５と、このＸＹ偏向手段１５により走査された前記レーザ光１３ａを対物レンズ１９を介して半導体ウエハ１のパターン面１ａに入射させ、そのパターン面１ａからの反射光１３ｂを検出する受光器２２とを備えているレーザ加工装置。」
　 
（４）甲第３号証（特開平６−３３１９４５号公報）
ア　段落【０００６】 
「図１６及び図１７に基づいて、欠陥箇所の検査・修正を行う従来の欠陥修正装置の一例を説明すると、装置本体１上には、検査すべき液晶表示パネル（以下、単にパネルと略記する）２を支持すると共に、所定位置に固定させるパネル固定部３が設けられている。このパネル固定部３は、装置本体１の水平面における所定の直交方向に移動可能な、Ｘ−Ｙステージ４上に設けられており、欠陥観察修正部８’におけるレーザ照射用顕微鏡システム１３の下方を、パネル２のサイズ分だけ自由に動けるようになっている。Ｘ−Ｙステージ４には、ジョイスティック２５からの信号が入力されるステージ制御部２４が備えられており、作業者はジョイスティック２５を操作することで、Ｘ−Ｙステージ４をＸＹ方向に操作できるようになっている。このようなＸ−Ｙステージ４、ジョイスティック２５、ステージ制御部２４等にて移動手段が構成されている。」 
イ　段落【００１０】 
「上記レーザ照射用顕微鏡システム１３は、反射照明１３ｂ、例えば２．５倍及び５０倍の対物レンズ１３ｇ・１３ｃ、これら対物レンズ１３ｇ・１３ｃの視野を映すＣＣＤカメラ１３ａを有しており、対物レンズ１３ｇ・１３ｃにて拡大された視野画像は、このＣＣＤカメラ１３ａを通し、装置本体１の上に設けられた画像モニタ１７に表示されるようになっている。」 
ウ　段落【００１２】 
「このような装置において、検査・修正を行う際、作業者は、まず、パネル２を点灯させると共に透過照明４１を点灯させ、パネル２を目視して点灯不良箇所を検出し、この検出箇所をサインペン等にてマーキングする。次いで、マーキングを目印に、点灯不良箇所を、ジョイスティック２５を使い、勘に頼り、試行錯誤に周囲を模索しながら、対物レンズ１３ｇの視野（約φ１ｍｍ）内に追い込む。このようにして、低倍率の視野内に追い込んだならば、５０倍（視野φ１８０μｍ）の対物レンズ１３ｃの視野位置に対応する中央部に移動させた後、レンズレボルバを回転させて対物レンズ１３ｇから対物レンズ１３ｃに切り換える。そして、点灯不良を引き起こしている原因である配線パターンのショート等の欠陥箇所を観察し、不良原因の解析や、レーザを用いた修正を行う。」 
　
　上記ア〜ウの摘記事項及び図面の記載からみて、甲第３号証には、次の事項が記載されていると認められる。  
「点灯不良箇所を２．５倍の対物レンズ１３ｇの視野内に追い込み、５０倍の対物レンズ１３ｃの視野位置に対応する中央部に移動させた後、レンズレボルバを回転させて対物レンズ１３ｇから対物レンズ１３ｃに切り換え、点灯不良を引き起こしている原因である欠陥箇所を観察すること。」
　 
（５）甲第４号証（特開平４−２５３５８６号公報）
ア　段落【００１１】〜【００１２】 
「図２に示すように、レーザ加工装置は、被加工物２３を搭載・固定し、必要な加工形状の軌跡を描いて移動するテーブルを有するワークステーション２４と、このワークステーション２４の動作を制御するワークステーション制御装置２７と、加工用レーザ光を出射するレーザ発振器１１とを備えている。レーザ発振器１１から出射された加工用レーザ光は、第１のハーフミラー１３を透過し、スリット１４を通過し、第２のハーフミラー１５で反射され、集光レンズ２０によって被加工物２３に集光照射されるようになっている。なお、集光レンズ２０としては、倍率の異なる複数の集光レンズ２０ａ，２０ｂ，２０ｃが用意されており、符号２０はこれらを代表して表わすものとする。これらの集光レンズ２０ａ，２０ｂ，２０ｃは、レボルバ３７に収納され、そのうちの１つが選択的に加工用レーザ光の光路上に挿入されるようになっている。また、レボルバ３７は昇降駆動器２２によって加工用レーザ光の光軸方向に移動されるようになっている。また、レーザ発振器１１はレーザ制御装置２５によって制御されるようになっている。 
　また、レーザ加工装置は、照明手段として、スリット照明用光源１２と通常照明用光源１６とを備えている。スリット照明用光源１２の出射照明光は、第１のハーフミラー１３で反射され、スリット１４、第２のハーフミラー１５、集光レンズ２０を経て被加工物２３に照射されるようになっている。また、通常照明用光源１６の出射照明光は、第３のハーフミラー１７で反射され、第２のハーフミラー１５を透過し、集光レンズ２０を経て被加工物２３に照射されるようになっている。」 
　 
　上記アの摘記事項及び図１、２の記載からみて、甲第４号証には、次の事項が記載されていると認められる。 
「スリット照明用光源１２の出射照明光、通常照明用光源１６の出射照明光、加工用レーザ光は、集光レンズ２０を経て被加工物２３に照射されるようになっており、集光レンズ２０は、倍率の異なる３つの集光レンズ２０ａ，２０ｂ，２０ｃが用意されており、該集光レンズ２０ａ，２０ｂ，２０ｃを選択的に加工用レーザの同一光路上挿入するレボルバ２１を備えていること。」 
　 
２　対比・判断 
（１）本件発明１について 
　本件発明１と引用発明１とを対比すると、引用発明１の「集積回路ウエハ２４」は本件発明１の「試料」に、以下同様に「レーザビーム」は「加工用レーザ光」に、「顕微鏡観察レンズ３６」は「観察用対物レンズ」に、「ＵＶ対物レンズ６６」は「レーザ加工用対物レンズ」に、「レーザシステム３４」は「レーザ加工手段」に、「２軸光学システム」は「レーザ加工装置」に、それぞれ相当する。 
　第１回口頭審理において、被請求人は顕微鏡に対物レンズが含まれ撮像ユニットがある場合はモニターも含まれる旨陳述していることから、甲第１号証における「顕微鏡観察レンズ３６」から「ビデオスクリーン５７」に至る光学システムは、本件発明１の「顕微鏡」に相当するものと解される。
　また、引用発明１の「可視観察システム３２」は、顕微鏡観察手段という限りにおいて本件発明１の「共焦点レーザ顕微鏡観察手段」と共通しており、引用発明１の「関心ある領域」と本件発明１の「欠陥」は、共に観察されレーザ加工を施される対象であるから、「関心ある領域」である点で共通している。
　そして、引用発明１の「集積回路ウエハ２４と垂直をなす光軸上」は、試料と垂直をなす光軸上である限りにおいて本件発明１の「前記観察用対物レンズを介して前記試料の欠陥を検出するときの光軸、前記レーザ加工用対物レンズを介してレーザ加工を施すときの光軸及び前記レーザ加工用対物レンズを介して前記試料の状態をモニタするときの光軸が交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなす共通光軸上」と共通している。 
　さらに、引用発明１における「集積回路ウエハ２４と垂直をなす光軸上にて顕微鏡観察レンズ３６からレンズ５０に到る光学システムとＵＶ対物レンズ６６とを切換え可能に配置するキャリッジ１４」は、試料と垂直をなす光軸上にて観察用対物レンズとレーザ加工用対物レンズとを切換え可能に配置する対物レンズ切換え手段という限りにおいて、本件発明１における「対物レンズ切り換え手段」と共通している。
　そうすると、両者の一致点及び相違点は次のとおりと認められる。 
［一致点１］
「試料の関心ある領域を顕微鏡で観察し、該試料上の関心ある領域に加工用レーザ光を照射して該欠陥を加工するレーザ加工装置において、 
　前記試料を高解像度で観察する観察用対物レンズと、
　レーザ加工用対物レンズと、
　前記試料と垂直をなす光軸上にて前記観察用対物レンズと前記加工用対物レンズとを切換え可能に配置する対物レンズ切換え手段と、 
　この対物レンズ切換え手段により前記光軸上に位置された前記観察用対物レンズを介して前記試料の関心ある領域を検出する顕微鏡観察手段と、 
　この顕微鏡観察手段により検出された前記試料の関心ある領域に対し、前記対物レンズ切換え手段により前記光軸上に位置された前記レーザ加工用対物レンズを介して前記加工用レーザ光を照射してレーザ加工を施すレーザ加工手段と、
を具備したレーザ加工装置。」である点。
［相違点１］
　本件発明１では、レーザ加工される試料上の関心ある領域が、欠陥であるのに対して、引用発明１では、そのように特定されていない点。 
［相違点２］ 
　本件発明１では、加工用レーザ光が、高出力エネルギーを有するものであり、レーザ加工用対物レンズが、前記高出力エネルギーの加工用レーザ光により損傷し難いものであるのに対し、引用発明１では、そのように特定されていない点。 
［相違点３］ 
　本件発明１では、対物レンズ切換え手段が、前記観察用対物レンズを介して前記試料の欠陥を検出するときの光軸、前記レーザ加工用対物レンズを介してレーザ加工を施すときの光軸及び前記レーザ加工用対物レンズを介して前記試料の状態をモニタするときの光軸が交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなす共通光軸上にて前記観察用対物レンズと前記加工用対物レンズとを切換え可能に配置するのに対して、引用発明１では、観察用対物レンズとレーザ加工用対物レンズとを前記試料と垂直をなす光軸上にて切換え可能に配置しているものの、切換え可能に配置している光軸上がそのような共通光軸上とはされていない点。 
［相違点４］
　本件発明１では、顕微鏡観察手段が、共焦点レーザ顕微鏡観察手段であるのに対して、引用発明１では、そのように特定されていない点。
 
　上記相違点１〜４について検討する。 
［相違点１について］ 
　甲第１号証には「レーザビームによって修正される対象となるターゲット」（第３欄第６１〜６２行、翻訳文第１頁第４行）、「ターゲット上の関心ある領域」（第４欄第６７〜６８行、翻訳文第２頁第１０行）、「エネルギービームを用いて処理される領域」（第５欄第２〜３行、翻訳文第２頁第１２〜１３行）と記載されており、これらの記載を総合して勘案すると、「処理される領域」は、修正されるものであると認められる。 
　そして、試料の欠陥をレーザ光により修正することは、従来周知の事項（例えば、甲第５号証の段落【０００２】〜【０００３】、甲第６号証の段落【０００８】参照）である。
　そうすると、引用発明１に上記従来周知の事項を適用して相違点１に係る本件発明１の構成とすることは当業者が容易になし得たことである。 
 　 
［相違点２について］ 
　甲第１号証には「レーザ光源５８は、集積回路ウエハを取り扱うなどの用途においては、Ｑｕｅｓｔｅｋ　Ｒ　２０００のような１９３ｎｍのエキシマレーザである。」（明細書第４欄第３１〜３３行、翻訳文第１頁第２５〜２６行）と記載されていることから、用途に適したレーザ光を用いていることは明らかである。 
　そうすると、引用発明１において、レーザ光によって欠陥を加工しようとするならば、欠陥に加工を施すことができる程度の高出力エネルギーを有するものを採用することは当業者が容易になし得たことである。 
　また、甲第１号証において、図１から「顕微鏡観察レンズ３６」と「ＵＶ対物レンズ６６」とが別体であることは明らかであり、「観察システムは、例えば、倍率２０倍、ワーキングディスタンス１０ｍｍ、開口数０．４０を有するニコン　ＲＥＬＤＷ２０×のような、高倍率、高開口数、高解像度、長ワーキングディスタンスの顕微鏡対物レンズ３６を備えている。」（明細書第４欄第２〜６行、翻訳文第１頁第８〜１０行参照）、「焦点距離４０ｍｍのＵＶ対物レンズを使い、ピンホールと対物レンズ間を３６０ｍｍとしたとき、対象物上で１０μｍのスポットを生成するため、例えば、ピンホールの直径は８０μｍにすることができる。対物レンズの比ロ径は、望ましくは約ｆ／１である。」（明細書第４欄第３９〜４４行、翻訳文第１頁第３０〜３３行参照）との記載から「顕微鏡観察レンズ３６」と「ＵＶ対物レンズ６６」とは異なる性能を持つものであると解される。 
　そして、レーザ加工用対物レンズが観察用対物レンズを兼用しないものであるなら、観察用対物レンズに求められる性能を具備する必要性はないから、レーザ光により損傷し難いものを選択することは当業者にとって容易になし得たことである。 
 　 
［相違点３について］
　まず、本件発明１における「共通光軸」について検討する。
　本件発明１において、共通光軸とは、前記観察用対物レンズを介して前記試料の欠陥を検出するときの光軸（以下「光軸Ａ」という。）、前記レーザ加工用対物レンズを介してレーザ加工を施すときの光軸（以下「光軸Ｂ」という。）及び前記レーザ加工用対物レンズを介して前記試料の状態をモニタするときの光軸（以下「光軸Ｃ」という。）が交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなすものとされている。
　上記光軸Ａ〜Ｃに関して、平成１９年５月７日付け審判事件答弁書（第２回）の第４頁第２４行〜第５頁第１７行には、
「（イ）しかしながら、訂正発明１には、「光軸Ａ、光軸Ｂ及び光軸Ｃが交わって合流し得る位置」とあるのみで、ミラー３１で光軸を合流させることについては一切記載されていない。この点について、請求人は、第１及び第２の実施例に記載されているミラー３１を挿脱させるものと一方的に解釈しているにすぎない。第１及び第２の実施例は、あくまで全反射ミラーを使用した−実施例にすぎず、例えば第３の実施例（参考例）に示すようにハーフミラーを使用することも勿論可能であり、全反射ミラーをハーフミラーにすることについては、当業者にとっては周知の技術である。そして、例えば、全反射ミラー３１に代えて、ハーフミラーを使用すれば、ミラーの挿脱は必要ないため、顕微鏡観察、レーザ加工、モニタとしての機能が失われることもなく、光が試料まで到達するかどうかは問題とならない。
　また、今回の訂正は、観察用対物レンズと加工用対物レンズとが切り換わる位置を明確に特定すべくなされたものであり、それは、
時間的に同時期にそれぞれの光軸がそれぞれ光軸として機能していたかどうかということはそもそも問題としていない
　訂正発明１には、
光軸Ａについて
試料の欠陥を検出するときに光軸として機能していればよく
光軸Ｂも
レーザ加工を施すときに光軸として機能しておればよく、光軸Ｃについても同様である
　以上のように、訂正発明１では、あくまで共通光軸の「位置」を特定したにすぎず、ミラー３１によって、レーザ光が試料まで到達するとか、実際に交わって合流するかどうかといったことを意味するものではない。」 
と記載されている（下線は当審で付与）。 
　上記記載によれば、光軸Ａ、光軸Ｂ及び光軸Ｃは、いずれも、それぞれが光軸として機能しているときの光軸であると解され、光軸Ａ〜Ｃのいずれかが光軸として機能しているときには、他はその光軸として機能しないことを許容するものと解される。
　そして、光軸Ａ〜Ｃが交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなす共通光軸と試料との位置関係は、どの光軸が光軸として機能しているかによらず一定で変化しないものである。
　これに対して、甲第１号証では、観察用対物レンズを介して試料を観察するときは、キャリッジ１４を、キャリッジ１４上の可視観察システム３２とビデオカメラ５６のレンズ５４との光軸が一致する位置に移動させて観察を行う。したがって、引用発明１における「観察用対物レンズを介して試料を観察するときの光軸」は、試料上の観察される位置からキャリッジ１４上の顕微鏡観察レンズ３６、ミラー４４、レンズ５０と、ミラー５２を経てビデオカメラ５６のレンズ５４に到る光軸ということができる。一方、ＵＶ対物レンズを介してレーザ加工を照射するときは、キャリッジ１４を、キャリッジ１４上のＵＶ対物レンズとレーザ光源５８との光軸が一致する位置に移動させて照射を行う。したがって、引用発明１における「レーザ加工用対物レンズを介してレーザ加工を施すときの光軸」は、レーザ光源５８からコンデンサレンズ６０、ピンホール６２、ミラー６４からＵＶ対物レンズ６６を経て試料上の照射される位置に到る光軸ということができる。
　そして、試料上の観察される位置と照射される位置とは同位置であるから、引用発明１においても、試料を観察するときの光軸として機能しているときの「観察用対物レンズを介して試料を観察するときの光軸」と、レーザ加工を施すときの光軸として機能しているときの「レーザ加工用対物レンズを介してレーザ加工を施すときの光軸」とは、甲第１号証の図１〜３の記載を参照すれば、試料上の観察される位置（照射される位置）と該位置に垂直な軸線上のミラー４４が挿入される位置との間で交わって合流し得るということができる。
　また、前記交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなす光軸と試料との位置関係は、試料を観察するとき及びレーザ加工を施すときによらず一定で変化しないものである。
　そうすると、引用発明１も、前記交わって合流し得る位置と前記試料との間に存在し、かつ、前記試料と垂直をなす光軸上にて前記観察用対物レンズと前記加工用対物レンズとを切換え可能に配置するものであるということができ、この光軸を共通光軸とすることは単に表現上の差異にすぎない。
　また、本件発明１は、さらに、レーザ加工用対物レンズを介して前記試料の状態をモニタするときの光軸と交わって合流し得る位置と規定されているが、レーザ加工用対物レンズを介して試料の状態をモニタすることは従来周知の事項であり（必要であれば、甲第６号証を参照）、引用発明１に上記従来周知の事項を付加することにより、前記交わって合流し得る位置を、さらに、レーザ加工用対物レンズを介して前記試料の状態をモニタするときの光軸と交わって合流し得る位置とすることは当業者が容易になし得たことである。
　
　なお、被請求人は上記答弁書（第２回）の第６頁下から３行〜第７頁第１０行において、
「これに対して、甲第１号証は、可視観察システムとレーザシステムの各光学系とがそれぞれ別個独立に構成されており、観察時からレーザ加工時への切換えにおいては、可視観察システムの光軸を構成する光学要素、すなわち４２と４４と４６と４８と５０との全てが移動してしまう。したがって、例えば、甲第１号証における観察用光軸は、レーザ加工時では、レーザ加工用光軸の外側に存在することになる（甲第１号証、Ｆｉｇ．２）。言い換えると、甲第１号証は、レーザ加工時には、観察用の光軸は別のところに存在する。このため、甲第１号証では、レーザ加工時には、観察時の光軸とレーザ加工時の光軸とが合流することなどありえず、ゆえに、訂正発明１でいう共通光軸なるものは存在しない。
　このように、レーザ加工時であっても、顕微鏡観察時であっても、或いはモニタ時であっても、合流し得る位置が決して変わることのない（その位置以外に存在することはない）共通光軸を有する訂正発明１と、レーザ加工時には合流し得る位置が存在しない甲第１号証とはそもそも大きく異なる。」と主張している。 
　しかしながら、上述のとおり、引用発明１においても、試料を観察するときの光軸として機能しているときの「観察用対物レンズを介して試料を観察するときの光軸」と、レーザ加工を施すときの光軸として機能しているときの「レーザ加工用対物レンズを介してレーザ加工を施すときの光軸」とは、試料上の観察される位置（照射される位置）と該位置に垂直な軸線上のミラー４４が挿入される位置との間で交わって合流し得るということができるものである。
　被請求人は、甲第１号証はレーザ加工時には観察用の光軸は別のところに存在すると主張するが、甲第１号証の可視観察システムは、レーザ加工時には、試料と垂直をなす光軸から外れた位置にあって観察システムとして機能していないのであるから、レーザ加工時における可視観察システムの光軸は被請求人が主張するところの観察用の光軸とはいえないものである。したがって、レーザ加工時には観察用の光軸が別のところに存在するということはできない。
　また、本件発明１も、被請求人が主張するように、時間的に同時期にそれぞれの光軸がそれぞれ光軸として機能していたかどうかということは問題としていないのであるから、引用発明１における、試料を観察するときの光軸として機能する光軸、及びレーザ加工を施すときの光軸として機能する光軸が、レーザ加工時であっても、顕微鏡観察時であっても合流し得る位置が決して変わることがないことについては本件発明１と同じである。したがって、甲第１号証はレーザ加工時には合流し得る位置が存在しないということはできない。
　よって、被請求人の上記主張は採用することができない。
　
［相違点４について］
　甲第７号証に記載された、走査用レーザ１２から出射されたレーザ光１３ａをＸＹ偏向手段１５によりＸＹ方向に走査させ、この走査された前記レーザ光１３ａを対物レンズ１９を介して半導体ウェハ１のパターン面１ａに入射させ、そのパターン面１ａからの反射光１３ｂを共焦点位置に配したピンホール２１を通過させて受光器２２で検出するようにした観察用の光学系は、「共焦点レーザ顕微鏡」と表現できるものである。
　そうすると、甲第７号証には、顕微鏡観察手段を共焦点レーザ顕微鏡観察手段とすることが記載されているとすることができ、引用発明１に甲第７号証に記載された事項を適用して上記相違点４に係る本件発明１の構成とすることは当業者が容易になし得たことである。
　
　また、本件発明１の作用効果についてみても、引用発明１、甲第７号証に記載された事項及び従来周知の事項から当業者が十分予測しうる範囲内のものであって、格別顕著なものとはいえない。
　
　よって、本件発明１は、引用発明１、甲第７号証に記載された事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（２）本件発明２について 
　本件発明２と引用発明２とを対比すると、両者の構成には、上記２（１）に示したのと同様の対応関係があり、また、引用発明２の「レーザ光源５８」は本件発明２の「レーザ光源」に相当する。
　そうすると、本件発明２と引用発明２とは、上記一致点１に加えて、以下の点で一致する。
［一致点２］ 
「前記レーザ加工手段は、前記関心ある領域に前記加工用レーザ光を照射するレーザ光源を備え、前記対物レンズ切換え手段により前記光軸上に前記観察用対物レンズに切換えて前記顕微鏡観察手段により前記試料上の前記関心ある領域を検出した後、前記対物レンズ切換え手段により前記観察用対物レンズから前記レーザ加工用対物レンズに切換えて前記関心ある領域に対し前記加工用レーザ光を照射すること。」 
　そして、上記相違点１〜４に加えて、以下の点で相違する。 
［相違点５］ 
　本件発明２では、レーザ加工手段が、前記欠陥に対する前記加工用レーザ光の照射位置を確認する可視照明光を出射するスリット用照明光源と、前記加工用レーザ光と前記可視照明光の照射範囲を設定するスリットとを備え、この欠陥に対し前記スリットの開口幅を可変して前記可視照明光を照射して加工範囲を設定した後、前記対物レンズ切換え手段により前記観察用対物レンズから前記レーザ加工用対物レンズに切換えるものであるのに対し、引用発明２では、そのように特定されていない点。 
 　 
　上記相違点１〜４については、上記２（１）で検討したとおりである。
　そこで、上記相違点５について検討する。 
［相違点５について］ 
　本件発明２と甲第６号証に記載された事項とを対比すると、後者の「試料１２」は前者の「試料」に、以下同様に、「欠陥２１」は「欠陥」に、「レーザ光」は「加工用レーザ光」に、「レーザ発振器１」は「レーザ光源」に、「スリット照明光」は「可視照明光」に、「スリット照明光源５」は「スリット用光源」に、「スリット４」は「スリット」に、それぞれ相当する。
　また、「スリット４の開口サイズを欠陥の大きさより少し大きめのサイズに調整し、欠陥２１をスリット像２０位置に目合わせした後、前記欠陥に対し前記レーザ光を照射すること」ことから、スリット照明光が欠陥に対するレーザ光の照射位置を確認するものであり、欠陥に対しスリットの開口幅を可変してスリット照明光を照射して加工範囲を設定した後、欠陥に対しレーザ光を照射していることは明らかである。 
　してみると、甲第６号証には、「欠陥に加工用レーザ光を照射するレーザ光源と、前記欠陥に対する前記加工用レーザ光の照射位置を確認する可視照明光を出射するスリット用照明光源と、前記加工用レーザ光と前記可視照明光の照射範囲を設定するスリットとを備え、前記欠陥に対し前記スリットの開口幅を可変して前記可視照明光を照射して加工範囲を設定した後、前記欠陥に対し前記加工用レーザ光を照射すること。」が記載されているとすることができる。
　そして、対物レンズ切換え手段によりどのタイミングで観察用対物レンズからレーザ加工用対物レンズに切換えるかは、レーザ加工前であれば当業者が適宜選択し得る事項であって、加工範囲を設定した後とすることも適宜選択できた事項にすぎない。 
　したがって、引用発明２に甲第６号証に記載された事項を適用して上記相違点５に係る本件発明２の構成とすることは当業者が容易になし得たことである。
　 
　また、本件発明２の作用効果についてみても、引用発明２、甲第６、７号証に記載された事項及び従来周知の事項から当業者が十分予測しうる範囲内のものであって、格別顕著なものとはいえない。
　
　よって、本件発明２は、引用発明２、甲第６、７号証に記載された事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
 　 
（３）本件発明３について 
　本件発明３と引用発明２とを対比すると、両者は、上記相違点１〜５に加えて次の点で相違し、その余の点では一致する。
［相違点６］ 
　本件発明３では、共焦点レーザ顕微鏡観察手段が、観察用レーザ光源と、この観察用レーザ光源から出射された観察用レーザ光を二次元走査させる二次元走査機構と、この二次元走査機構により走査された前記観察用レーザ光を前記観察用対物レンズで微小スポットに絞り込み前記試料の表面で反射された前記観察用レーザ光を検出する光検出器とを備えたものであるのに対し、引用発明２では、そのように特定されていない点。 
 　 
　上記相違点１〜５については、上記２（１）、（２）にて検討したとおりである。
　そこで、上記相違点６について検討する。 
［相違点６について］
　本件発明３と甲第７号証に記載された事項とを対比すると、後者の「走査用レーザ１２」は前者の「観察用レーザ光源」に、以下同様に、「レーザ光１３ａ」及び「反射光１３ｂ」は「観察用レーザ光」に、「ＸＹ方向に走査させるＸＹ偏向手段１５」は「二次元走査させる二次元走査機構」に、「受光器２２」は「光検出器」に、それぞれ相当する。 
　また、甲第７号証記載の「対物レンズ１９」が、レーザ光を微小スポットに絞り込むためのものであることは明らかであり、観察用レーザ光を絞り込むという点に限り、本件発明３の「観察用対物レンズ」と共通している。 
　してみると、甲第７号証には、「共焦点レーザ顕微鏡観察手段は、観察用レーザ光源と、この観察用レーザ光源から出射された観察用レーザ光を二次元走査させる二次元走査機構と、この二次元走査機構により走査された前記観察用レーザ光を対物レンズで微小スポットに絞り込み前記試料の表面で反射された前記観察用レーザ光を検出する光検出器とを備えるレーザ加工装置。」が記載されているとすることができる。
　したがって、引用発明２に甲第７号証に記載された事項を適用して上記相違点６に係る本件発明３の構成とすることは当業者が容易になし得たことである。 
 　 
　また、本件発明３の作用効果についてみても、引用発明２、甲第６、７号証に記載された事項及び従来周知の事項から当業者が十分予測しうる範囲内のものであって、格別顕著なものとはいえない。
　
　よって、本件発明３は、引用発明２、甲第６、７号証に記載された事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）本件発明４について 
　本件発明４と引用発明２とを対比すると、両者は、上記相違点１〜６に加えて次の点で相違し、その余の点では一致する。
［相違点７］ 
　本件発明では、対物レンズ切換え手段が、回転するレボルバからなり、高倍率から低倍率までの倍率の異なる複数の観察用対物レンズと前記試料上の加工の大きさに合う一つ以上の前記レーザ加工用対物レンズを備えているのに対し、引用発明２では、そのように特定されていない点。 
 　 
　上記相違点１〜６については、上記２（１）〜（３）にて検討したとおりである。
　そこで、上記相違点７について検討する。
［相違点７について］ 
　本件発明４と甲第３号証に記載された事項とを対比すると、後者の回転する「レボルバ」は、対物レンズを切り換える手段である限りにおいて、前者の「対物レンズ切換え手段」と共通し、同様に、本件発明６と甲第４号証に記載された事項とを対比すると、後者の「レボルバ」は、対物レンズを切り換える手段である限りにおいて、前者の「対物レンズ切換え手段」と共通するものである。 
　してみると、引用発明２における対物レンズ切換え手段としてのキャリッジ１４の移動態様として回転するものを採用し、レボルバとなすことには格別困難性はない。
　また、本件発明４と甲第３号証に記載された事項とを対比すると、後者の「２．５倍の対物レンズ１３ｇ」及び「５０倍の対物レンズ１３ｃ」は、倍率の異なる複数の観察用対物レンズである限りにおいて、前者の「高倍率から低倍率までの倍率の異なる複数の観察用対物レンズ」と共通し、本件発明６と甲第４号証に記載された事項とを対比すると、後者の「倍率の異なる複数の集光レンズ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ」は、倍率の異なる複数の対物レンズである限りにおいて、前者の「高倍率から低倍率までの倍率の異なる複数の観察用対物レンズ」及び「前記試料上の加工の大きさに合う一つ以上の前記レーザ加工用対物レンズ」と共通している。 
　したがって、甲第３号証乃至甲第４号証には、観察及びレーザ加工に用いる「倍率の異なる複数の対物レンズ」が記載されているとすることができる。 
　そして、観察に用いる「倍率の異なる複数の対物レンズ」において、その倍率をどの程度のものとするかは当業者が適宜選択し得る事項にすぎず、また、レーザ加工に用いる「倍率の異なる複数の対物レンズ」として、加工の大きさに合うものを選択することも設計的事項にすぎない。 
　そうすると、引用発明２に甲第３号証乃至甲第４号証に記載された事項を適用して相違点７に係る本件発明４の構成とすることは当業者が容易になし得たことである。 
　
　また、本件発明４の作用効果についてみても、引用発明２、甲第３、４、６、７号証に記載された事項及び従来周知の事項から当業者が十分予測しうる範囲内のものであって、格別顕著なものとはいえない。
　
　よって、本件発明４は、引用発明２、甲第３、４、６、７号証に記載された事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　 
第７　無効理由２について 
　無効理由２の概要は、本件特許の特許請求の範囲の請求項１に記載された「高出力エネルギーの加工用レーザ光により損傷し難いレーザ加工用対物レンズ」及び「前記試料を高解像度で観察する対物レンズ」については、特許を受けようとする発明が不明確であるというものである。
　
　上記無効理由２について検討する。
　本件発明１における「加工用レーザ光により損傷し難いレーザ加工用対物レンズ」及び「前記試料を高解像度で観察する対物レンズ」との記載は、対物レンズがレーザ加工用と観察用の両方の性質を有する必要性のないことに起因して、レーザ加工用対物レンズ及び観察用対物レンズとして求められる一般的な性能を表現したものにすぎない。
　したがって、上記請求項１の記載により特許を受けようとする発明が明確でないとまでいうことはできない。
　
第８　むすび 
　以上のとおり、本件発明１乃至４は、引用発明１乃至２、甲第６号証、甲第７号証、甲第３号証及び甲第４号証に記載された事項、並びに従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
　したがって、本件発明１乃至４についての特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とされるべきである。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。 
　よって、結論のとおり審決する。