(57)【要約】  この基板搬送装置（１００）は、基板（ＣＢ）を搬送方向に搬送するコンベア部（１）と基板幅方向に間隔を隔てて設けられた第１ガイドレール（２）および第２ガイドレール（３）と、モータ（４）と、レール間隔を第１間隔（Ｄ１）にして基板搬送を行うとともに、モータの検出値に基づいて、レール間隔を第２間隔（Ｄ２）にして基板の傾きを矯正するように、第１ガイドレールを第２ガイドレールに対して相対移動させる制御を行うように構成された制御部（６）とを備える。
2015052763.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板（ＣＢ）を搬送方向に搬送するコンベア部（１）と、
前記搬送方向と直交する基板幅方向に間隔を隔てて互いに平行に設けられた第１ガイドレール（２）および第２ガイドレール（３）と、
前記基板幅方向に、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに対して相対的に平行移動させるモータ（４）と、
前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとの間のレール間隔を前記基板の幅よりも大きい第１間隔（Ｄ１）にして前記コンベア部により基板搬送を行うとともに、前記モータの検出値に基づいて、前記レール間隔を前記第１間隔よりも小さい第２間隔（Ｄ２）にして前記基板の傾きを矯正するように、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに対して相対移動させる制御を行うように構成された制御部（６）とを備える、基板搬送装置。
【請求項２】
前記モータは、エンコーダ（４１）を含むサーボモータであり、
前記制御部は、前記サーボモータの前記エンコーダの出力値に基づいて、前記基板の幅寸法と前記第１間隔との差分量だけ前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに近づけるように相対移動させることにより、前記レール間隔を前記第２間隔にするように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに近づけるように相対移動させ、前記モータの電流値が第１閾値（Ｔｈ１）以上か否かに基づいて前記第１ガイドレールの相対移動を停止させることにより、前記レール間隔を前記第２間隔にするように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに近づけるように相対移動させ、前記モータの電流値を、前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとにより前記基板を所定圧力で押圧するための第２閾値（Ｔｈ２）近傍に維持することにより、前記基板を固定する制御を行うように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールの少なくとも一方に設けられ、前記基板との接触圧力を検出する圧力検出部（３１０）をさらに備え、
前記制御部は、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに近づけるように相対移動させ、前記モータの検出値および前記圧力検出部の検出値に基づいて、前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとにより前記基板を所定圧力で押圧して固定する制御を行うように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールの少なくとも一方は、前記搬送方向の所定の作業領域（Ａ）における前記レール間隔が前記作業領域以外における前記レール間隔よりも小さくなるように、前記作業領域において前記基板幅方向内側に突出する突出部（４１０）を有する、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記基板の搬入位置から前記作業領域までの搬入領域（Ｅｎ）と、前記作業領域から前記基板の搬出位置までの搬出領域（Ｅｘ）とにおけるレール間隔は、前記突出部を有する前記作業領域における前記レール間隔よりも大きい、請求項６に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記突出部は、前記突出部以外の部分との境界が滑らかに連続するように形成されている、請求項６に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
前記第１ガイドレールは、前記搬送方向の所定の作業領域を含むとともに、前記作業領域以外の部分とは別個に設けられた作業レール部（５２１）を有し、
前記モータは、前記作業レール部と前記作業レール部以外の部分とにそれぞれ設けられるとともに、前記作業レール部と前記作業レール部以外の部分とを前記基板幅方向に個別に移動させるように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項１０】
前記第１ガイドレールは、前記基板の搬入位置から前記作業領域までの搬入領域を含む搬入レール部（５２２）と、前記作業領域から前記基板の搬出位置までの搬出領域を含む搬出レール部（５２３）とをさらに有し、
前記モータ（５４１、５４２、５４３）は、前記作業レール部と、前記搬入レール部と、前記搬出レール部とにそれぞれ設けられるとともに、前記作業レール部と、前記搬入レール部と、前記搬出レール部とを前記基板幅方向に個別に移動させるように構成されている、請求項９に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板搬送装置に関し、特に、ガイドレールに沿って電子回路基板を搬送する基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子回路基板の製造ラインにおいてガイドレールに沿って基板搬送を行う基板搬送装置が知られている。このような基板搬送装置は、たとえば、特許第５０８４６６１号公報に開示されている。【０００３】
上記特許第５０８４６６１号公報には、搬送方向と直交する基板幅方向に対向する一対のガイドレールと、一対のガイドレールにそれぞれ設けられ、搬送方向に基板を搬送する一対のコンベアとを備えた基板搬送装置が開示されている。一対のガイドレールは、固定レールと可動レールとからなり、可動レールがエアシリンダによって固定レール側に移動されるように構成されている。これにより、上記特許第５０８４６６１号公報の基板搬送装置は、可動レールと固定レールとの間に基板を挟み込むことにより、基板の水平面内の傾きや基板幅方向の位置ずれを矯正して位置決めを行うように構成されている。【０００４】
また、この基板搬送装置は、可動レールが基板の側端面を均等に押圧する（基板を平行に挟み込む）ことを可能とするために、複数のエアシリンダと複数の変位センサとを設けて、各変位センサの検出結果に基づいて複数のエアシリンダの各々の空気圧を精密に調整するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５０８４６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の基板搬送装置では、搬送される基板の幅に合わせて一対のガイドレール（および一対のコンベア）の間隔を可変にする構成が採用される場合があり、その場合には、上記特許第５０８４６６１号公報では、レール間隔の可変機構に加えて、さらに可動レールを移動させるための機構（エアシリンダや変位センサなど）を設ける必要があるため、部品点数が増加して装置構成が複雑化するという問題点がある。また、上記特許第５０８４６６１号公報の基板搬送装置において複数のエアシリンダおよび複数の変位センサを設ける必要があることから分かるように、空気圧制御によって可動レールを移動させる構成では、基板を平行に押圧するのが難しく、基板の水平面内の傾きを精度よく矯正するのが困難であるという問題点もある。【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、装置構成を複雑化することなく、基板の傾き矯正を容易に行うことが可能な基板搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面における基板搬送装置は、基板を搬送方向に搬送するコンベア部と、搬送方向と直交する基板幅方向に間隔を隔てて互いに平行に設けられた第１ガイドレールおよび第２ガイドレールと、基板幅方向に、第１ガイドレールを第２ガイドレールに対して相対的に平行移動させるモータと、第１ガイドレールと第２ガイドレールとの間のレール間隔を基板の幅よりも大きい第１間隔にしてコンベア部により基板搬送を行うとともに、モータの検出値に基づいて、レール間隔を第１間隔よりも小さい第２間隔にして基板の傾きを矯正するように、第１ガイドレールを第２ガイドレールに対して相対移動させる制御を行うように構成された制御部とを備える。【０００９】
この発明の一の局面による基板搬送装置では、上記のように、第１ガイドレールと第２ガイドレールとの間のレール間隔を基板の幅よりも大きい第１間隔にしてコンベア部により基板搬送を行うとともに、モータの検出値に基づいて、レール間隔を第１間隔よりも小さい第２間隔にして基板の傾きを矯正するように、第１ガイドレールを第２ガイドレールに対して相対移動させる制御を行うように構成された制御部を設けることによって、基板搬送時には、レール間隔を搬送される基板の幅に対応させた搬送用の第１間隔にしながら、モータの検出値に基づいてレール間隔を第２間隔に調整する制御によって基板の傾き矯正を実施することができる。これにより、搬送される基板幅に合わせてレール間隔を調整するためのモータ（レール間隔調整用モータ）および機構と、基板の傾き矯正を行うためのモータおよび機構とを共用することができるので、装置構成を複雑化することがない。また、モータの検出値に基づいてレール間隔を制御する本発明によれば、空気圧を用いるような精密な位置制御が困難なレール移動手段を用いる構成とは異なり、基板の傾き矯正を容易に行うことができる。以上から、本発明によれば、装置構成を複雑化することなく、基板の傾き矯正を容易に行うことができる。【００１０】
上記一の局面による基板搬送装置において、好ましくは、モータは、エンコーダを含むサーボモータであり、制御部は、サーボモータのエンコーダの出力値に基づいて、基板の幅寸法と第１間隔との差分量だけ第１ガイドレールを第２ガイドレールに近づけるように相対移動させることにより、レール間隔を第２間隔にするように構成されている。このように構成すれば、サーボモータの位置検出値（エンコーダの出力値）に基づいて、容易に、レール間隔を基板の幅寸法（第２間隔）に合わせて基板の傾き矯正を行うことができる。【００１１】
上記一の局面による基板搬送装置において、好ましくは、制御部は、第１ガイドレールを第２ガイドレールに近づけるように相対移動させ、モータの電流値が第１閾値以上か否かに基づいて第１ガイドレールの相対移動を停止させることにより、レール間隔を第２間隔にするように構成されている。ここで、相対移動によって第１ガイドレールと第２ガイドレールとの間に基板が挟まれると、それ以上第１ガイドレールが第２ガイドレール側に近づけなくなることから、より大きいトルクを発生させるためにモータの電流値が上昇する。そのため、このモータ電流値が第１閾値に達することに基づいて、第１ガイドレールと第２ガイドレールとの間に基板が挟まれたこと（基板の傾きが矯正されたこと）を確実に検知することができる。これにより、たとえば個々の基板の寸法が製造上の誤差に起因してばらつく場合でも、確実に基板をレール間に挟み込んで傾き矯正を行うことが可能となる。【００１２】
上記一の局面による基板搬送装置において、好ましくは、制御部は、第１ガイドレールを第２ガイドレールに近づけるように相対移動させ、モータの電流値を、第１ガイドレールと第２ガイドレールとにより基板を所定圧力で押圧するための第２閾値近傍に維持することにより、基板を固定する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、基板をレール間に挟み込んで傾き矯正を行うだけでなくさらにレール間で基板を押圧して基板を固定する際に発生するモータの電流値を第２閾値として用いることにより、容易に基板を固定することができる。これにより、基板搬送装置上で回路基板の製造工程上の各種作業（部品実装や、外観検査など）が行われる場合に、基板を固定するための固定機構を設けることなく、作業中の基板の位置ずれを防止することができる。【００１３】
上記一の局面による基板搬送装置において、好ましくは、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの少なくとも一方に設けられ、基板との接触圧力を検出する圧力検出部をさらに備え、制御部は、第１ガイドレールを第２ガイドレールに近づけるように相対移動させ、モータの検出値および圧力検出部の検出値に基づいて、第１ガイドレールと第２ガイドレールとにより基板を所定圧力で押圧して固定する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、モータの検出値に加えて、基板とレールとの接触圧力をも検出して監視することができるので、たとえば薄型の回路基板などの搬送を行う場合にも、レール間に挟み込んだ基板を撓ませることなく基板の傾き矯正および固定を行うことができる。【００１４】
上記一の局面による基板搬送装置において、好ましくは、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの少なくとも一方は、搬送方向の所定の作業領域におけるレール間隔が作業領域以外におけるレール間隔よりも小さくなるように、作業領域において基板幅方向内側に突出する突出部を有する。このように構成すれば、作業領域でのレール間隔を第２間隔にして基板の傾き矯正を行った状態で、作業領域以外におけるレール間隔を、第２間隔よりも大きくすることができる。これにより、作業領域以外では、基板と第１ガイドレールおよび第２ガイドレールとの間に十分な隙間を設けることができるので、作業領域において基板の傾き矯正を行いながら、作業領域以外において後続する基板の搬入や、先行する基板の搬出を行うことができる。この結果、レール間隔を変更して基板の傾き矯正を行う構成においても、基板の搬入搬出に要する時間を短縮して、いわゆるタクトタイムの短縮を図ることができる。【００１５】
この場合、好ましくは、基板の搬入位置から作業領域までの搬入領域と、作業領域から基板の搬出位置までの搬出領域とにおけるレール間隔は、突出部を有する作業領域におけるレール間隔よりも大きい。このように構成すれば、作業領域において基板の傾き矯正を行いながら作業領域の直前まで後続の基板を搬入して待機させることができるとともに、作業領域において基板の傾き矯正を行いながら先行する基板の搬出を行うことができる。【００１６】
上記突出部を設ける構成において、好ましくは、突出部は、突出部以外の部分との境界が滑らかに連続するように形成されている。このように構成すれば、作業領域におけるレール間隔を小さくするために突出部を設ける場合にも、レール間を搬送される基板が突出部に引っかかることがなく、突出部が基板搬送の妨げになることを防止することができる。【００１７】
上記一の局面による基板搬送装置において、好ましくは、第１ガイドレールは、搬送方向の所定の作業領域を含むとともに、作業領域以外の部分とは別個に設けられた作業レール部を有し、モータは、作業レール部と作業レール部以外の部分とにそれぞれ設けられるとともに、作業レール部と作業レール部以外の部分とを基板幅方向に個別に移動させるように構成されている。このように構成すれば、作業領域でのレール間隔を第２間隔にして基板の傾き矯正を行った状態で、作業領域以外におけるレール間隔を、第２間隔よりも大きくすることができるので、作業領域において基板の傾き矯正を行いながら、作業領域以外において後続する基板の搬入や、先行する基板の搬出を行うことができる。これにより、レール間隔を変更して基板の傾き矯正を行う構成においても、基板の搬入搬出に要する時間を短縮して、いわゆるタクトタイムの短縮を図ることができる。【００１８】
この場合、好ましくは、第１ガイドレールは、基板の搬入位置から作業領域までの搬入領域を含む搬入レール部と、作業領域から基板の搬出位置までの搬出領域を含む搬出レール部とをさらに有し、モータは、作業レール部と、搬入レール部と、搬出レール部とにそれぞれ設けられるとともに、作業レール部と、搬入レール部と、搬出レール部とを基板幅方向に個別に移動させるように構成されている。このように構成すれば、作業領域において基板の傾き矯正を行いながら作業領域の直前まで後続の基板を搬入して待機させることができるとともに、作業領域において基板の傾き矯正を行いながら先行する基板の搬出を行うことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、上記のように、装置構成を複雑化することなく、基板の傾き矯正を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１および第２実施形態による基板搬送装置の全体構成を概略的に示した上面図である。
【図２】本発明の第１および第２実施形態による基板搬送装置を搬送方向上流側から見た模式的な側面図である。
【図３】本発明の第１および第２実施形態による基板搬送装置の傾き矯正動作を説明するための図である。
【図４】本発明の第１実施形態による基板搬送装置の基板の搬入出処理を説明するためのフロー図である。
【図５】本発明の第２実施形態による基板搬送装置におけるモータ電流値に基づく制御を説明するための図である。
【図６】本発明の第２実施形態による基板搬送装置の基板の搬入出処理を説明するためのフロー図である。
【図７】本発明の第３実施形態による基板搬送装置の全体構成を概略的に示した上面図である。
【図８】本発明の第３実施形態による基板搬送装置におけるモータ電流値に基づく制御を説明するための図である。
【図９】本発明の第３実施形態による基板搬送装置の基板の搬入出処理を説明するためのフロー図である。
【図１０】本発明の第４実施形態による基板搬送装置の全体構成を概略的に示した上面図である。
【図１１】本発明の第５実施形態による基板搬送装置の全体構成を概略的に示した上面図である。
【図１２】本発明の第５実施形態による基板搬送装置の傾き矯正動作を説明するための図である。
【図１３】本発明の第５実施形態による基板搬送装置の基板の搬入出処理を説明するためのフロー図である。
【図１４】本発明の第６実施形態による基板搬送装置の全体構成を概略的に示した上面図である。
【図１５】本発明の第７実施形態による基板搬送装置を備えた外観検査装置の全体構成を概略的に示した上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
（第１実施形態）
まず、図１〜図３を参照して、本発明の第１実施形態による基板搬送装置１００の構造について説明する。
【００２３】
図１に示すように、本実施形態による基板搬送装置１００は、基板製造ラインの一部として設けられ、基板製造プロセスにおける製造中のプリント回路基板（以下、「基板」という）ＣＢを搬送する装置である。
【００２４】
基板製造プロセスの概要としては、まず、配線パターンが形成された基板ＣＢ上に、ハンダ印刷装置（図示せず）によって所定のパターンでハンダペーストの印刷（塗布）が行われる（ハンダ印刷工程）。続いて、ハンダ印刷後の基板ＣＢに、表面実装機（図示せず）によって電子部品が搭載（実装）される（実装工程）。その後、実装済みの基板ＣＢがリフロー炉（図示せず）に搬送されてハンダの溶融および硬化（冷却）が行われる（リフロー工程）ことにより、電子部品の端子部が基板ＣＢの配線に対して半田接合される。これにより、電子部品が配線に対して電気的に接続された状態で基板ＣＢ上に固定され、基板製造が完了する。また、これらの各工程の前後では、基板検査装置（図示せず）によって基板ＣＢの検査が行われることがある。たとえば、ハンダ印刷工程後の基板上のハンダの印刷状態の検査や、実装工程後における電子部品の実装状態の検査や、リフロー工程後における電子部品の実装状態の検査などである。
【００２５】
基板搬送装置１００は、上記の各工程を担当するハンダ印刷装置、表面実装機および基板検査装置などの基板搬送部として組み込まれ、各装置における基板ＣＢの搬入搬出を行うほか、各工程の作業（ハンダ印刷、部品実装、検査）実施時において基板ＣＢを所定の作業領域に位置決めして保持（固定）する機能を有する。すなわち、これらの装置において、基板搬送装置１００は、基板搬入、基板保持（各装置による作業実施）および基板搬出からなる一連の動作を単位として、基板製造ラインに供給される基板ＣＢを順次搬送する機能を果たす。
【００２６】
図１に示すように、基板搬送装置１００は、基板ＣＢを搬送方向Ｘに搬送するコンベア部１と、基板搬送をガイドする一対のガイドレール（可動レール２および固定レール３）と、搬送方向Ｘと直交する基板幅方向Ｙに可動レール２を移動させるモータ４および駆動機構５と、モータ４を含む各部の制御を行う制御部６とを主として備えている。また、基板搬送装置１００は、基板ＣＢを作業領域Ａに停止させるストッパ機構７と、作業領域Ａに配置された基板ＣＢを固定するクランプ機構８とを備えている。以下、基板搬送装置１００の具体的な構造を説明する。なお、可動レール２および固定レール３は、それぞれ、本発明の「第１ガイドレール」および「第２ガイドレール」の一例である。
【００２７】
コンベア部１は、たとえばモータ（図示せず）駆動のベルトコンベアなどからなり、基板ＣＢのＹ方向の両端を載せて（支持して）搬送方向Ｘに搬送するように、一対設けられている。これらの一対のコンベア部１は、それぞれ、可動レール２と固定レール３とに設けられている。コンベア部１は、上流端（Ｘ１方向端部）の搬入位置で、基板製造ラインの上流側の装置から基板ＣＢを受け取り搬入する。そして、コンベア部１は、下流端（Ｘ２方向端部）の搬出位置から基板ＣＢを搬出し、基板製造ラインの下流側の装置へ基板ＣＢを受け渡す。
【００２８】
一対のガイドレールを構成する可動レール２および固定レール３は、搬送方向Ｘと直交する基板幅方向Ｙに間隔を隔てて互いに平行に設けられている。これらの可動レール２および固定レール３は、共に、搬送方向Ｘに沿って直線状に延びるように形成されている。可動レール２および固定レール３は、図２に示すように、基板ＣＢをガイドするガイド部分のみならず、設置面に対して直立するように設けられた脚部を含んでいる。そして、これらの可動レール２および固定レール３には、上述の一対のコンベア部１が設けられている。
【００２９】
可動レール２は、図１および図２に示すように、基板搬送装置１００の一方側（Ｙ１方向側）に配置され、基板幅方向Ｙ（Ｙ方向）に移動可能に構成されている。具体的には、可動レール２は、設置面上に設けられたＹ方向に延びるスライドレール２１とスライダ２２とから構成される直動機構上（スライダ２２上）に設置されている。また、固定レール３は、基板搬送装置１００の他方側（Ｙ２方向側）に配置され、設置面上に固定的に設置されている。これらの可動レール２および固定レール３には、それぞれ、クランプ機構８が設けられている。
【００３０】
クランプ機構８は、搬送方向に沿って延びるように設けられた昇降部８１と、ガイドレール（可動レール２および固定レール３）の上面上でＹ方向内側に向けて突出するように設けられた係止部８２とを含んでいる。昇降部８１は、エアシリンダ（図示せず）などにより昇降可能に構成され、コンベア部１上の基板ＣＢのＹ方向両縁部を下方から上方に押し上げるクランプ動作を行うように構成されている。昇降部８１により押し上げられた基板ＣＢは、上面側が係止部８２に当接し、昇降部８１と係止部８２とによって上下方向（Ｚ方向）に挟み込まれるようにして、クランプ（固定）される。
【００３１】
また、固定レール３には、ストッパ機構７が設けられている。ストッパ機構７は、エアシリンダ（図示せず）などにより昇降可能に構成され、下降位置ではコンベア部１上を搬送される基板ＣＢと非接触となり、上昇位置ではコンベア部１上を搬送される基板ＣＢと接触するように構成されている。これにより、ストッパ機構７を上昇させると、基板ＣＢはＸ２方向側端面の固定レール３側（Ｙ２方向側）の位置でストッパ機構７と接触して、基板ＣＢの搬送方向の位置が作業領域Ａ内に位置決めされる。なお、第１実施形態では、ストッパ機構７は可動レール２には設けられておらず、固定レール３にのみ設けられている。
【００３２】
モータ４は、基板幅方向Ｙに、可動レール２を固定レール３に対して相対的に平行移動させる機能を有する。このモータ４は、エンコーダ４１を有するサーボモータであり、制御部６によってエンコーダ４１の出力値に基づく位置制御が行われるように構成されている。また、駆動機構５は、ベルト５１およびプーリ５２を有するベルト−プーリ機構からなる。
【００３３】
具体的には、モータ４の出力軸が、プーリ５２間に掛け渡されたベルト５１を介して、一対のボールネジ軸５３に連結されている。一対のボールネジ軸５３は、Ｙ方向に沿って互いに平行に延びるように設けられており、可動レール２に固定されたボールナット（図示せず）と螺合している。なお、図示していないが、固定レール３はボールネジ軸５３を逃がすように形成されている。このような構成により、モータ４は、駆動機構５を介して一対のボールネジ軸５３を回転駆動することにより、ボールネジ軸５３と螺合する可動レール２をＹ方向に平行移動（直線移動）させるように構成されている。
【００３４】
制御部６は、モータの駆動制御を行うモータコントローラユニットであり、コンベア部１の駆動用モータ（コンベア軸）の駆動制御を行うとともに、可動レール２の駆動用のモータ４（レール間隔調整軸）の駆動制御を行う機能を有する。本実施形態では、制御部６は、搬入される各種の基板ＣＢの幅寸法Ｗ（Ｙ方向寸法）に対応したレール間隔（Ｙ方向の間隔）となるように可動レール２をＹ方向移動させる制御を行うほか、可動レール２のＹ方向移動によって、作業領域Ａに搬送された基板ＣＢの水平面内（Ｘ−Ｙ面内）の傾きを矯正する制御を行うように構成されている。したがって、基板搬送装置１００は、基板ＣＢの幅寸法Ｗに応じたレール間隔調整と、基板ＣＢの傾き矯正との両方を共通のモータ４によって行うように構成されている。
【００３５】
具体的には、制御部６は、図１に示すように、可動レール２と固定レール３との間のレール間隔を基板ＣＢの幅よりも大きい第１間隔Ｄ１にしてコンベア部１により基板搬送を行うように可動レール２を移動させるように構成されている。第１間隔Ｄ１は、搬送される基板ＣＢの幅寸法Ｗに、予め設定された所定量Ｃを加えた間隔（Ｄ１＝Ｗ＋Ｃ）である。この所定量は、基板搬送をスムーズに行うために基板ＣＢとガイドレール（可動レール２および固定レール３）との間に設けられる隙間であり、たとえばＣ＝０．５ｍｍ程度（片側０．２５ｍｍ程度）に設定される。制御部６は、基板搬送時には、レール間隔が搬送される幅寸法Ｗに応じた第１間隔Ｄ１となるように、可動レール２を移動させる。なお、図面上では、便宜的に、所定量Ｃの大きさを誇張して示している。
【００３６】
ここで、上記の通り、ストッパ機構７が固定レール３側にのみ設けられているため、基板ＣＢがストッパ機構７に接触すると、基板ＣＢはストッパ機構７を中心として水平面内で回動するように傾く（図１の二点鎖線参照）。基板搬送時にはレール間隔が第１間隔Ｄ１となっておりＹ方向に余裕があるため、基板ＣＢは、第１間隔Ｄ１の状態の可動レール２および固定レール３にそれぞれ接触する状態を限度として、傾斜し得ることになる。
【００３７】
そこで、第１実施形態では、図３に示すように、制御部６は、モータ４の検出値に基づいて、レール間隔を第１間隔Ｄ１よりも小さい第２間隔Ｄ２にして基板ＣＢの傾きを矯正するように、可動レール２を固定レール３に対して移動させる制御を行うように構成されている。より詳細には、第１実施形態では、制御部６は、モータ４のエンコーダ４１の出力値に基づいて、基板ＣＢの幅寸法Ｗと第１間隔Ｄ１との差分量（すなわち、所定量Ｃ）だけ可動レール２を固定レール３に近づけるように移動させることにより、レール間隔を第２間隔Ｄ２にするように構成されている。レール間隔が基板ＣＢの幅寸法Ｗに略一致する第２間隔Ｄ２になるまで狭められる結果、可動レール２および固定レール３の間で基板ＣＢがレールと略平行な状態になるように基板ＣＢの傾斜が矯正される。
【００３８】
次に、図４を参照して、本発明の第１実施形態による基板搬送装置１００の傾き矯正動作を含む一連の搬入出の処理について説明する。
【００３９】
図４のステップＳ１に示すように、まず、搬送方向上流端の搬入位置から、基板ＣＢがコンベア部１に搬入される。この際、制御部６は、搬入される基板ＣＢの幅寸法Ｗに合わせて、予めレール間隔を第１間隔Ｄ１にする。
【００４０】
次に、ステップＳ２において、制御部６は、基板ＣＢを作業領域Ａまで搬送して停止させる。すなわち、上昇位置のストッパ機構７と当接するまで基板ＣＢを搬送する。これにより、基板ＣＢの搬送方向の位置が作業領域Ａ内の所定位置に位置決めされる。また、ストッパ機構７との当接によって、基板ＣＢは、ストッパ機構７を中心に回動して傾いた姿勢となる（図１の二点鎖線参照）。
【００４１】
ステップＳ３において、制御部６は、エンコーダ４１の出力値に基づく位置制御によって、可動レール２を基板ＣＢの幅寸法Ｗと第１間隔Ｄ１との差分量（すなわち、所定量Ｃ）だけＹ２方向に移動させるとともに、所定量Ｃだけ移動させた後、ステップＳ４において、可動レール２を停止させる。この結果、図３に示すように、レール間隔は基板ＣＢの幅寸法Ｗに略等しい第２間隔Ｄ２となり、基板ＣＢの傾きが矯正される。
【００４２】
その後、図４のステップＳ５において、クランプ機構８が動作され、基板ＣＢが作業領域Ａ内の所定位置で固定される。ステップＳ６では、制御部６により、搬出を開始するか否かが判断される。たとえば、基板搬送装置１００が表面実装機や基板検査装置に組み込まれている場合には、所定の作業（部品実装や検査）が終了した後に、搬出開始を指示する制御信号が制御部６に出力される。制御部６は、ステップＳ６において制御信号が入力されるのを待機し、制御信号を受信すると、搬出開始と判断して、ステップＳ７以降の処理に進む。
【００４３】
ステップＳ７では、クランプ機構８による固定（クランプ）が解除される。そして、ステップＳ８において、コンベア部１によって基板ＣＢが搬送方向下流端の搬出位置から搬出される。以上により、基板搬送装置１００の一連の搬入出処理が実施される。
【００４４】
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００４５】
第１実施形態では、上記のように、可動レール２と固定レール３との間のレール間隔を基板ＣＢの幅よりも大きい第１間隔Ｄ１にしてコンベア部により基板ＣＢ搬送を行うとともに、モータ４の検出値に基づいて、レール間隔を第１間隔Ｄ１よりも小さい第２間隔Ｄ２にして基板ＣＢの傾きを矯正するように、可動レール２を固定レール３に対して相対移動させる制御を行うように構成された制御部６を設けることによって、基板搬送時には、レール間隔を搬送される基板ＣＢの幅寸法Ｗに対応させた搬送用の第１間隔Ｄ１となるようにモータ４を制御しながら、モータ４の検出値に基づいてレール間隔を第２間隔Ｄ２に調整する制御によって基板の傾き矯正を実施することができる。これにより、搬送される基板ＣＢの幅寸法Ｗに合わせてレール間隔を調整するためのモータ（レール間隔調整用モータ）および機構（駆動機構５）と、基板の傾き矯正を行うためのモータおよび機構とを共用することができるので、装置構成を複雑化することがない。また、モータ４の検出値に基づいてレール間隔を制御する第１実施形態の基板搬送装置１００によれば、空気圧を用いるような精密な位置制御が困難なレール移動手段を用いる構成とは異なり、基板ＣＢの傾き矯正を容易に行うことができる。以上から、第１実施形態の基板搬送装置１００では、装置構成を複雑化することなく、基板ＣＢの傾き矯正を容易に行うことができる。
【００４６】
また、第１実施形態では、上記のように、エンコーダ４１を含むサーボモータによりモータ４を構成し、モータ４のエンコーダ４１の出力値に基づいて、基板ＣＢの幅寸法Ｗと第１間隔Ｄ１との差分量（所定量Ｃ）だけ可動レール２を固定レール３に近づけるように移動させることにより、レール間隔を第２間隔Ｄ２にするように制御部６を構成する。これにより、（サーボ）モータ４の位置検出値（エンコーダ４１の出力値）に基づいて、容易に、レール間隔を基板ＣＢの幅寸法Ｗ（第２間隔Ｄ２）に合わせて基板ＣＢの傾き矯正を行うことができる。
【００４７】
（第２実施形態）
次に、図１〜３、図５および図６を参照して、本発明の第２実施形態による基板搬送装置２００について説明する。第２実施形態では、エンコーダ４１の出力値に基づいて所定量Ｃだけ可動レール２を移動させることにより、レール間隔を第２間隔Ｄ２に変更するように構成した上記第１実施形態とは異なり、モータの電流値に基づいてレール間隔を第２間隔Ｄ２に変更する制御を行う基板搬送装置の例について説明する。なお、第２実施形態において、装置構成は上記第１実施形態と同様であるので、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
【００４８】
第２実施形態では、基板搬送装置２００の制御部１０６（図１参照）は、モータ４の駆動時の電流値を監視して、モータ４の検出値としての電流値に基づいて、基板ＣＢの傾き矯正の制御を行うように構成されている。具体的には、制御部１０６は、傾き矯正を行う際に、可動レール２を固定レール３に近づけるように移動させ、モータ４の電流値が第１閾値Ｔｈ１以上か否かに基づいて可動レール２の相対移動を停止させることにより、レール間隔を第２間隔Ｄ２にするように構成されている。
【００４９】
電流値の第１閾値Ｔｈ１は、可動レール２と固定レール３との間に基板ＣＢが挟まれた（接触した）状態で、可動レール２をさらに固定レール３側に移動させようとするときに発生する電流値の立ち上がりの開始直後の値として設定されている。この第１閾値Ｔｈ１について、図５のグラフを用いて説明する。
【００５０】
まず、傾き矯正を行う際に、制御部１０６は可動レール２がたとえば所定の一定速度でＹ２方向に移動するようにモータ４を駆動する。基板幅方向Ｙへの移動時のモータ４の負荷は略一定であるので、所定速度に達した後で電流値は略一定値になる。その後、可動レール２の移動によってレール間隔が基板幅Ｗと一致すると、可動レール２と固定レール３との間に基板ＣＢが挟まれることにより、基板ＣＢの傾きはレール間で完全に矯正されるとともに、可動レール２のＹ２方向への移動が基板ＣＢによって妨げられる（モータ４の負荷が増大する）ようになる。これ以降、可動レール２をさらにＹ２方向側に移動させようとすると、より大きな駆動トルクを発生させるためにモータ４の電流値が上昇する。なお、図５のグラフにおいて、第１閾値Ｔｈ１以降の点線の部分は、電流値が第１閾値Ｔｈ１に達した後もモータ４の駆動を継続した場合のモータ電流値の変化を参考として示している。
【００５１】
したがって、可動レール２と固定レール３との間に基板ＣＢが挟まれた後のモータ４の電流値の立ち上がりに基づいて、可動レール２と固定レール３との間に基板ＣＢが挟まれたこと（基板の傾きが矯正されたこと）を検知することが可能である。第１閾値Ｔｈ１は、この制御を実際に行った試験結果などに基づいて決定することができ、確実に基板の傾きを矯正することが可能な電流値として設定される。そして、制御部１０６は、モータ４の電流値が第１閾値Ｔｈ１以上になった場合に、レール間隔が第２間隔Ｄ２になったと判断して、可動レール２の移動（モータ４の駆動）を停止するように構成されている。
【００５２】
第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００５３】
次に、図６を参照して、本発明の第２実施形態による基板搬送装置２００の傾き矯正動作を含む一連の搬入出の処理について説明する。なお、図６において、図４に示した上記第１実施形態と同様の処理については、説明を省略する。
【００５４】
図６のステップＳ１で基板搬入、ステップＳ２で基板停止が行われた後、制御部１０６は、ステップＳ１１で可動レール２を固定レール３側（Ｙ２方向）に移動させる。そして、ステップＳ１２において、制御部１０６は、モータ４の電流値を監視して、電流値が第１閾値Ｔｈ１以上になったか否かを判断する。制御部１０６は、電流値が第１閾値Ｔｈ１に達するまで可動レール２の移動を継続する。上記のように、可動レール２のＹ２方向移動によって可動レール２と固定レール３との間に基板ＣＢが挟まれる（レール間隔が第２間隔Ｄ２になる）と、モータ４の電流値が上昇し、第１閾値Ｔｈ１に達する。
【００５５】
電流値が第１閾値Ｔｈ１以上になった場合、制御部１０６はレール間隔が第２間隔Ｄ２になったと判断し、ステップＳ１３において、可動レール２を停止させる。これにより、基板ＣＢの傾き矯正が完了する。その後のステップＳ５〜Ｓ８の処理は、上記第１実施形態と同様である。
【００５６】
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００５７】
第２実施形態では、上記のように、可動レール２を固定レール３に近づけるように移動させ、モータ４の電流値が第１閾値Ｔｈ１以上か否かに基づいて可動レール２の移動を停止させることにより、レール間隔を第２間隔Ｄ２にするように制御部１０６を構成する。これにより、モータ電流値が第１閾値Ｔｈ１に達することに基づいて、可動レール２と固定レール３との間に基板ＣＢが挟まれたこと（基板ＣＢの傾きが矯正されたこと）を確実に検知することができる。その結果、たとえば個々の基板ＣＢの寸法が製造上の誤差に起因してばらつく場合でも、確実に基板ＣＢをレール間に挟み込んで傾き矯正を行うことが可能となる。
【００５８】
第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００５９】
（第３実施形態）
次に、図７〜図９を参照して、本発明の第３実施形態による基板搬送装置３００について説明する。第３実施形態では、モータ４の電流値が第１閾値Ｔｈ１以上か否かに基づいて可動レール２の移動を停止させることにより、レール間隔を第２間隔Ｄ２にするように構成した上記第２実施形態とは異なり、レール間隔を第２間隔Ｄ２にした後、さらに可動レール２と固定レール３とによって基板ＣＢの固定（クランプ）を行う制御を行う基板搬送装置の例について説明する。なお、第３実施形態において、上記第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
【００６０】
図７に示すように、第３実施形態による基板搬送装置３００には、上記第１（第２）実施形態の基板搬送装置１００（２００）とは異なり、クランプ機構８（図１および図２参照）が設けられていない。第３実施形態による基板搬送装置３００は、このクランプ機構８の代わりに、可動レール２と固定レール３とによって基板ＣＢの固定（クランプ）を行うように構成されている。
【００６１】
具体的には、制御部２０６は、レール間隔を第２間隔Ｄ２にした状態で、モータ４の電流値を所定の第２閾値Ｔｈ２近傍に維持することにより、基板ＣＢを固定する制御を行うように構成されている。すなわち、制御部２０６は、レール間隔を第２間隔Ｄ２にして基板ＣＢをレール間に挟み込んだ後もモータ４による可動レール２の駆動を継続し、可動レール２によって基板ＣＢを固定レール３側（Ｙ２方向）に押圧させる制御を行う。これにより、基板ＣＢは、可動レール２と固定レール３とによって挟まれて水平方向（Ｙ方向）に押圧されることにより、作業領域Ａにおいて固定（クランプ）される。したがって、第３実施形態では、基板ＣＢの端面をＹ方向に挟み込んでクランプする方式（エッジクランプ）でのクランプとなる。
【００６２】
第２閾値Ｔｈ２は、可動レール２と固定レール３とにより基板ＣＢを所定圧力で押圧することが可能な所定値として設定される。図８に示すように、電流値が第１閾値Ｔｈ１に達した場合（レール間隔が第２間隔Ｄ２になった場合）に、可動レール２をさらにＹ２方向側に移動させようとすると、モータ４の電流値の上昇（駆動トルクの増大）に伴って、可動レール２を介して基板ＣＢに加えられる押圧力が大きくなる。そのため、モータ４の電流値を第２閾値Ｔｈ２の近傍に維持する（可動レール２をＹ２方向に駆動し続ける）ことによって、基板ＣＢに押圧力を継続的に加えることができるので、この押圧力によって基板ＣＢを固定（クランプ）することが可能である
【００６３】
第２閾値Ｔｈ２は、この制御を実際に行った試験結果などに基づいて決定することができ、確実に基板を固定（クランプ）することが可能な電流値として設定される。そして、制御部２０６は、モータ４の電流値が第２閾値Ｔｈ２に達すると、基板搬出を開始するまで（作業領域Ａでの作業が終了するまで）の間、電流値をこの第２閾値Ｔｈ２の近傍に維持して基板ＣＢを固定状態に維持するように構成されている。なお、図８では、説明のために第１閾値Ｔｈ１を図示しているが、この第３実施形態では、モータ電流値が第２閾値Ｔｈ２に達した場合には確実に基板ＣＢがレール間に挟み込まれて、基板ＣＢの傾き矯正が完了した状態となっていることが分かるため、電流値が第１閾値Ｔｈ１以上になったか否かを判断する必要はない。
【００６４】
第３実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００６５】
次に、図９を参照して、本発明の第３実施形態による基板搬送装置３００のクランプ動作を含む一連の搬入出の処理について説明する。なお、図９において、図４に示した上記第１実施形態と同様の処理については、説明を省略する。
【００６６】
図９のステップＳ１で基板搬入、ステップＳ２で基板停止が行われた後、制御部２０６は、ステップＳ２１で可動レール２を固定レール３側（Ｙ２方向）に移動させる。そして、ステップＳ２２において、制御部２０６は、モータ４の電流値を監視して、電流値が第２閾値Ｔｈ２に達したか否かを判断する。制御部２０６は、電流値が第２閾値Ｔｈ２に達するまで可動レール２の移動を継続する。したがって、可動レール２と固定レール３との間に基板ＣＢが挟まれる（レール間隔が第２間隔Ｄ２になる）ことにより基板ＣＢの傾きが矯正された後、基板ＣＢを固定可能な押圧力が基板ＣＢに加えられる第２閾値Ｔｈ２までモータ４の電流値が上昇すると、処理がステップＳ２３に進む。
【００６７】
ステップＳ２３では、制御部２０６は、モータ４の電流値を第２閾値Ｔｈ２近傍に維持して、可動レール２（モータ４）を駆動し続けることにより、基板ＣＢを固定（クランプ）する。その後、ステップＳ５において基板ＣＢの搬出を開始すると判断されるまで、クランプは継続される。基板ＣＢの搬出を開始する場合、ステップＳ２４において、制御部２０６は、第２閾値Ｔｈ２近傍での可動レール２（モータ４）の駆動を停止し、レール間隔を第１間隔Ｄ１に戻すことにより、クランプを解除する。その後、ステップＳ８で基板ＣＢが搬出される。
【００６８】
第３実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００６９】
第３実施形態では、上記のように、可動レール２を固定レール３に近づけるように移動させ、モータ４の電流値を第２閾値Ｔｈ２近傍に維持することにより、基板ＣＢを固定する制御を行うように制御部２０６を構成する。これにより、基板ＣＢをレール間に挟み込んで傾き矯正を行うだけでなくさらにレール間で基板ＣＢを押圧して基板ＣＢを固定（クランプ）する際に発生するモータ４の電流値を第２閾値Ｔｈ２として用いることにより、容易に基板ＣＢを固定することができる。この結果、基板ＣＢの傾き矯正に加えて、基板ＣＢを固定するためのクランプ機構８（図１参照）を設けることなく、作業中の基板ＣＢの位置ずれを防止することができる。
【００７０】
第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００７１】
（第４実施形態）
次に、図１０を参照して、本発明の第４実施形態による基板搬送装置４００について説明する。第４実施形態では、モータの電流値に基づき可動レール２を駆動することによって、可動レール２と固定レール３とによる基板ＣＢの固定（クランプ）を行う制御を行うように構成した上記第３実施形態に加えて、さらに圧力検出部の検出値にも基づいて基板ＣＢの固定（クランプ）を行う制御を行う基板搬送装置の例について説明する。なお、第４実施形態において、上記第３実施形態と同様の構成については、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
【００７２】
図１０に示すように、第４実施形態による基板搬送装置４００は、可動レール２に圧力検出部３１０が設けられている。圧力検出部３１０は、ロードセルや歪みセンサなどからなり、搬送方向Ｘに沿って間隔を隔てて並ぶように、可動レール２に複数（第４実施形態では、２つ）設けられている。圧力検出部３１０は、可動レール２の内側（Ｙ２方向側）に設けられており、レール間隔を第２間隔Ｄ２にした場合に基板ＣＢの端面と接触して、基板ＣＢとの接触圧力を検出するように構成されている。圧力検出部３１０の検出値は、制御部３０６に出力される。
【００７３】
そして、第４実施形態では、制御部３０６は、モータ４の検出値（エンコーダ出力値またはモータ電流値）に加えて、さらに圧力検出部３１０の検出値にも基づいて、基板ＣＢの傾き矯正および固定（クランプ）を行うように構成されている。すなわち、制御部３０６は、可動レール２を固定レール３に近づけるように移動させ、モータ４の検出値および圧力検出部３１０の検出値に基づいて、可動レール２と固定レール３とにより基板ＣＢを所定圧力で押圧して固定する制御を行うように構成されている。
【００７４】
なお、圧力検出部３１０の検出値に基づく可動レール２（モータ４）の駆動制御は、たとえば上記第２実施形態や第３実施形態と同様に行うことができる。すなわち、基板ＣＢの傾き矯正を行う場合、モータ電流値の第１閾値Ｔｈ１に対応する圧力検出値の第１閾値を設定し、圧力検出値が第１閾値以上となったか否かを考慮して、傾き矯正を行う。また、基板ＣＢのクランプを行う場合、モータ電流値の第２閾値Ｔｈ２に対応する圧力検出値の第２閾値を設定し、圧力検出値が第２閾値近傍となるように維持する制御を行う。
【００７５】
ここで、基板搬送装置４００が搬送する基板ＣＢは、厚み１ｍｍ〜２ｍｍ程度の比較的硬いもののほか、厚み０．５ｍｍ程度の薄型で柔軟なものが存在する。そのため、たとえば薄型の基板ＣＢについては、レール間隔を狭めて基板ＣＢを挟み込む際に、可動レール２の押圧力によって撓んでしまう可能性がある。そのため、モータ電流値だけでなく、圧力検出値にも基づいて傾き矯正や固定（クランプ）を行うことによって、基板ＣＢを撓ませることなく傾き矯正や固定（クランプ）を行うことが可能である。
【００７６】
第４実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００７７】
第４実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００７８】
第４実施形態では、上記のように、モータ４の検出値（エンコーダ出力値またはモータ電流値）および圧力検出部３１０の検出値に基づいて、可動レール２と固定レール３とにより基板ＣＢを固定する制御を行うように制御部３０６を構成する。これにより、モータ４の検出値に加えて、基板ＣＢとレールとの接触圧力をも検出して監視することができるので、たとえば薄型の回路基板などの搬送を行う場合にも、レール間に挟み込んだ基板ＣＢを撓ませることなく基板ＣＢの傾き矯正および固定を行うことができる。
【００７９】
第４実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００８０】
（第５実施形態）
次に、図１１〜図１３を参照して、本発明の第５実施形態による基板搬送装置５００について説明する。第５実施形態では、直線状のガイドレール（可動レール２および固定レール３）を設けた上記第１実施形態とは異なり、基板幅方向Ｙの内側に突出する突出部をガイドレールに設けた例について説明する。なお、第５実施形態において、上記第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
【００８１】
図１１に示すように、第５実施形態による基板搬送装置５００の可動レール４０２および固定レール４０３は、搬送方向Ｘの作業領域Ａにおけるレール間隔が作業領域Ａ以外におけるレール間隔よりも小さくなるように、作業領域Ａにおいて基板幅方向Ｙの内側に突出する突出部４１０を有する。第５実施形態では、基板搬送装置５００は、作業領域Ａと、基板ＣＢの搬入位置（Ｘ１方向端部）から作業領域Ａまでの搬入領域Ｅｎと、作業領域Ａから基板ＣＢの搬出位置（Ｘ２方向端部）までの搬出領域Ｅｘとに分けられる。そして、可動レール４０２および固定レール４０３は、搬入領域Ｅｎと、搬出領域Ｅｘとにおけるレール間隔が、それぞれ、突出部４１０を有する作業領域Ａにおけるレール間隔よりも大きくなるように形成されている。なお、可動レール４０２および固定レール４０３は、それぞれ、本発明の「第１ガイドレール」および「第２ガイドレール」の一例である。
【００８２】
可動レール４０２および固定レール４０３の突出部４１０は、突出部４１０以外の内側表面４２１（４３１）に対して、突出部４１０における内側表面が所定量だけ突出するように形成されている。突出部４１０の突出量は、レール幅を第１間隔Ｄ１にする際に、搬送される基板ＣＢの幅寸法Ｗに加えられる所定量Ｃと等しい。つまり、第５実施形態の場合、一対の突出部４１０の突出量の合計が所定量Ｃと等しくなるように、突出部４１０の突出量が設定されている。このため、図１２に示すように、突出部４１０が設けられた作業領域Ａにおけるレール間隔を第２間隔Ｄ２にして基板ＣＢの基板幅Ｗと一致させた場合に、搬入領域Ｅｎおよび搬出領域Ｅｘでは、レール間隔が基板幅Ｗ（第２間隔Ｄ２）に所定量Ｃを加えた大きさ（Ｗ＋Ｃ）となり、第１間隔Ｄ１と等しくなる。
【００８３】
また、突出部４１０は、可動レール４０２および固定レール４０３にそれぞれ一体的に形成されており、構造上は、突出部４１０以外の部分のレール幅（Ｙ方向の幅）を突出部４１０のレール幅よりも小さくすることにより、形成されている。また、突出部４１０は、突出部４１０以外の部分との境界（作業領域Ａと、搬入領域Ｅｎおよび搬出領域Ｅｘとのそれぞれの境界）が滑らかに連続するように形成されている。具体的には、突出部４１０は、なだらかに傾斜した傾斜面４１１を含み、この傾斜面４１１によって、作業領域Ａと搬入領域Ｅｎおよび搬出領域Ｅｘとの境界部分が滑らかに接続されている。
【００８４】
以上の構成により、作業領域Ａにおいて実装作業などの対象となる基板ＣＢに対して傾き矯正や基板固定を行っている場合でも、これらと並行して、搬入領域Ｅｎへの基板搬入や、搬出領域Ｅｘからの基板搬出を行うことが可能である。このために、第５実施形態では、搬入領域Ｅｎの搬送方向Ｘの長さを基板ＣＢよりも大きくしている。これにより、次の基板ＣＢを搬入領域Ｅｎ内の待機位置まで搬送して先行する基板ＣＢに対する作業終了まで待機させておくことが可能であり、作業領域Ａでの作業終了後に次の基板搬入を行う場合と比較して、搬送効率を向上させること（搬送に要する時間の短縮）が可能となっている。なお、搬入領域Ｅｎ内に待機位置を設定したことに伴い、第５実施形態では、ストッパ機構７が作業位置と待機位置とにそれぞれ１つずつ配置されている。
【００８５】
第５実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００８６】
次に、図１３参照して、本発明の第５実施形態による基板搬送装置５００の一連の搬入出の処理について説明する。なお、図１３において、図４に示した上記第１実施形態と同様の処理については、説明を省略する。
【００８７】
図１３のステップＳ１で基板搬入、ステップＳ２で作業領域Ａへの基板停止が行われた後、制御部４０６は、ステップＳ３１で基板ＣＢの傾き矯正を行う。なお、傾き矯正の処理は、上記各実施形態において示した制御のいずれによって行ってもよい。その後、ステップＳ５において、基板ＣＢが固定（クランプ）される。この基板固定の処理も、上記各第３または第４実施形態で説明した制御によってもよいし、上記第１および第２実施形態において示したクランプ機構８によってもよい。これにより、基板ＣＢがクランプされ、基板ＣＢに対して所定の作業（部品実装など）が実施される。
【００８８】
次に、ステップＳ３２において、制御部４０６は、図１２に示すように、コンベア部１を駆動して、後続する次の基板ＣＢの搬入を行う。後続の基板ＣＢは、搬入領域Ｅｎのストッパ機構７によって、搬入領域Ｅｎ内の所定の待機位置まで搬送されて停止される。なお、作業領域Ａの基板ＣＢは、ストッパ機構７によって係止されているため、ステップＳ５のクランプの前に後続の基板搬入を開始してもよい。
【００８９】
その後、図１３のステップＳ６において搬出を開始すると判断されると、制御部４０６は、ステップＳ７において作業領域Ａの基板ＣＢに対する基板固定を解除し、ステップＳ３３において、基板搬出および次基板ＣＢの作業領域Ａへの搬送とを同時に行う。なお、図１１に示すように、作業領域Ａにおけるレール間隔を第１間隔Ｄ１にした場合、搬入領域Ｅｎおよび搬出領域Ｅｘでは、第１間隔Ｄ１よりもさらに所定量Ｃの分だけレール間隔が大きくなるが、この所定量Ｃは基板搬送をスムーズに行うのに必要なだけの十分小さい値（Ｃ＝０．５ｍｍ程度）であるので、基板搬送を行う上で問題はない。
【００９０】
第５実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００９１】
第５実施形態では、上記のように、可動レール４０２および固定レール４０３に、それぞれ、作業領域Ａにおいて基板幅方向Ｙの内側に突出する突出部４１０を設ける。これにより、作業領域Ａでのレール間隔を第２間隔Ｄ２にして基板ＣＢの傾き矯正を行った状態で、作業領域Ａ以外におけるレール間隔を、第２間隔Ｄ２よりも大きくすることができる。その結果、作業領域Ａ以外では、基板ＣＢと可動レール４０２および固定レール４０３との間に十分な隙間を設けることができるので、作業領域Ａにおいて基板ＣＢの傾き矯正を行いながら、作業領域Ａ以外において後続する基板ＣＢの搬入や、先行する基板ＣＢの搬出を行うことができる。
【００９２】
また、第５実施形態では、上記のように、搬入領域Ｅｎと搬出領域Ｅｘとにおけるレール間隔が、突出部４１０を有する作業領域Ａにおけるレール間隔よりも大きくなるように、基板搬送装置５００を構成する。これにより、作業領域Ａにおいて基板ＣＢの傾き矯正を行いながら作業領域Ａの直前まで後続の基板ＣＢを搬入して待機位置に待機させておくことができるとともに、作業領域Ａにおいて基板ＣＢの傾き矯正を行いながら先行する基板ＣＢの搬出を行うことができる。その結果、タクトタイムの短縮を図ることができる。
【００９３】
また、第５実施形態では、上記のように、突出部４１０以外の部分との境界が滑らかに連続するように突出部４１０を形成する。これにより、作業領域Ａにおけるレール間隔を小さくするために突出部４１０を設ける場合にも、レール間を搬送される基板ＣＢが突出部４１０に引っかかることがなく、突出部４１０が基板搬送の妨げになることを防止することができる。
【００９４】
第５実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００９５】
（第６実施形態）
次に、図１４を参照して、本発明の第６実施形態による基板搬送装置６００について説明する。第６実施形態では、ガイドレール（可動レール４０２および固定レール４０３）に突出部４１０を設けることにより傾き矯正および基板固定中にも基板の搬入出を行えるように構成した上記第５実施形態とは異なり、可動レールおよび固定レールを分割することにより、傾き矯正および基板固定中の基板搬入出を可能にした例について説明する。なお、第６実施形態において、上記第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
【００９６】
図１４に示すように、第６実施形態による基板搬送装置６００の可動レール５０２および固定レール５０３は、それぞれ、搬送方向Ｘに沿って分割されている。すなわち、可動レール５０２は、それぞれ、搬送方向Ｘの所定の作業領域Ａを含むとともに、作業領域Ａ以外の部分とは別個に設けられた作業レール部５２１を有している。より具体的には、第６実施形態では、可動レール５０２は、搬入領域Ｅｎを含む搬入レール部５２２と、搬出領域Ｅｘを含む搬出レール部５２３と、作業領域Ａを含む作業レール部５２１とに３分割されており、それぞれのレール部が別個に設けられている。また、固定レール５０３は、可動レール５０２に対応して、作業レール部５３１と、搬入レール部５３２と、搬出レール部５３３とを個別に有している。固定レール５０３の作業レール部５３１と搬入レール部５３２とには、それぞれ、基板ＣＢを作業位置と待機位置とに停止させるためのストッパ機構７が設けられている。また、コンベア部５０１が各レール部にそれぞれ設けられ、個別に駆動可能となっている。なお、可動レール５０２および固定レール５０３は、それぞれ、本発明の「第１ガイドレール」および「第２ガイドレール」の一例である。
【００９７】
また、モータは、作業レール部５２１と作業レール部以外の部分とにそれぞれ設けられるとともに、作業レール部５２１と作業レール部以外の部分とを基板幅方向Ｙに個別に移動させるように構成されている。すなわち、第６実施形態では、モータ５４１と、モータ５４２と、モータ５４３とが、可動レール５０２の作業レール部５２１と、搬入レール部５２２と、搬出レール部５２３とに対応してそれぞれ設けられるとともに、作業レール部５２１と、搬入レール部５２２と、搬出レール部５２３とを基板幅方向Ｙに個別に移動させるように構成されている。これらのモータ５４１〜５４３は、制御部５０６によって個別に制御される。
【００９８】
以上の構成により、基板搬送装置６００は、作業領域Ａ、搬入領域Ｅｎおよび搬出領域Ｅｘのそれぞれにおいて、独立してレール間隔を変更することが可能なように構成されている。これにより、作業領域Ａにおいて、レール間隔を第２間隔Ｄ２にして実装作業などの対象となる基板ＣＢに対して傾き矯正や基板固定を行っている場合でも、これらと並行して、搬入領域Ｅｎおよび搬出領域Ｅｘでは、レール間隔を第１間隔Ｄ１にして基板搬入および基板搬出を行うことが可能である。また、第６実施形態においても、上記第５実施形態と同様、作業位置に配置された基板ＣＢに後続する次の基板ＣＢを搬入領域Ｅｎ内の待機位置まで搬送して待機させておくことが可能である。
【００９９】
第６実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【０１００】
第６実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【０１０１】
第６実施形態では、上記のように、搬送方向Ｘの所定の作業領域Ａを含むとともに、作業領域Ａ以外の部分とは別個に設けられた作業レール部５２１を可動レール５０２に設ける。そして、作業レール部５２１と作業レール部５２１以外の部分とを基板幅方向Ｙに個別に移動させる。これにより、作業領域Ａでのレール間隔を第２間隔Ｄ２にして基板ＣＢの傾き矯正を行った状態で、作業領域Ａ以外におけるレール間隔を、第２間隔Ｄ２よりも大きくすることができるので、作業領域Ａにおいて基板ＣＢの傾き矯正を行いながら、作業領域Ａ以外において後続する基板ＣＢの搬入や、先行する基板ＣＢの搬出を行うことができる。
【０１０２】
また、第６実施形態では、上記のように、可動レール５０２に搬入レール部５２２と搬出レール部５２３とをさら設ける。そして、作業レール部５２１と、搬入レール部５２２と、搬出レール部５２３とを基板幅方向Ｙに個別に移動させる。これにより、作業領域Ａにおいて基板ＣＢの傾き矯正を行いながら作業領域Ａの直前まで後続の基板ＣＢを搬入して待機させることができるとともに、作業領域Ａにおいて基板ＣＢの傾き矯正を行いながら先行する基板ＣＢの搬出を行うことができる。その結果、レール間隔を変更して基板ＣＢの傾き矯正を行う構成においても、基板ＣＢの搬入搬出に要する時間を短縮して、いわゆるタクトタイムの短縮を図ることができる。
【０１０３】
第６実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【０１０４】
（第７実施形態）
次に、図１５を参照して、本発明の第７実施形態による外観検査装置７００について説明する。第７実施形態では、基板搬送装置の適用例として、基板ＣＢの検査を行う基板検査装置の一種である外観検査装置７００の基板搬送部として、上記第１実施形態による基板搬送装置１００を設けた例について説明する。なお、第７実施形態において、上記第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
【０１０５】
図１５に示すように、第７実施形態による外観検査装置７００は、基板ＣＢの上面画像を撮像して画像認識を行うことにより、基板ＣＢに対するハンダの印刷状態や電子部品の実装状態の検査、および、基板ＣＢに付着する異物の検出などの外観検査を行う装置である。
【０１０６】
外観検査装置７００は、基板ＣＢを搬送および保持するための基板搬送部６０１と、基板搬送部６０１の上方（矢印Ｚ１方向、図２参照）をＸＹ方向（水平方向）およびＺ方向（上下方向）に移動可能なヘッド移動機構６０２と、ヘッド移動機構６０２によって保持された撮像ヘッド部６０３と、外観検査装置７００の制御を行う制御装置６０４とを備えている。
【０１０７】
基板搬送部６０１は、上記第１実施形態による基板搬送装置１００からなり、外観検査装置７００の基台６０５上に設置されている。
【０１０８】
ヘッド移動機構６０２は、基板搬送部６０１の上方に設けられ、たとえばボールネジ軸とサーボモータとを用いた直交３軸（ＸＹＺ軸）ロボットにより構成されている。直交３軸ロボットの構成自体は公知であるので、詳細な説明は省略する。ヘッド移動機構６０２は、撮像ヘッド部６０３を、基板搬送部６０１（基板ＣＢ）の上方でＸＹ方向（水平方向）およびＺ方向（上下方向）に移動させることが可能なように構成されている。
【０１０９】
撮像ヘッド部６０３は、撮像部６３１と、照明部（図示せず）とを備えている。この撮像ヘッド部６０３が基板ＣＢおよび基板ＣＢ上の電子部品などの外観検査のための撮像を行うように構成されている。したがって、基板搬送部６０１が基板ＣＢを作業領域Ａ内の所定の作業位置で固定（クランプ）すると、基板ＣＢに対する作業として、この撮像ヘッド部６０３による基板ＣＢの撮像動作が実施される。
【０１１０】
制御装置６０４は、外観検査装置７００の全体の制御を行う。制御装置６０４は、基板搬送部６０１（基板搬送装置１００）の制御部６に制御信号を出力することにより、基板搬送部６０１に、基板搬送および基板ＣＢの傾き矯正や、基板ＣＢの固定（クランプ）および基板搬出などを実行させる。
【０１１１】
第７実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【０１１２】
この第７実施形態のように、上記第１〜第６実施形態による基板搬送装置１００〜６００は、基板製造ラインを構成する各種の基板作業装置（外観検査装置７００のほか、表面実装機など）に組み込まれる基板搬送部６０１として、好適に用いることができる。すなわち、第７実施形態の外観検査装置７００では、撮像ヘッド部６０３により撮像された基板ＣＢの撮像画像において基板ＣＢが傾いている場合には、その角度補正のためのデータ処理を制御装置６０４により実行する必要がある。そのため、基板ＣＢが傾いている場合には、基板ＣＢの傾斜角度補正のための処理時間が余分に必要になり、作業効率が低下してしまう。これに対して、上記第１〜第６実施形態による基板搬送装置１００〜６００によれば、装置構成を複雑化することなく、基板ＣＢの傾き矯正を容易に行うことができるので、外観検査装置７００において余計な処理時間が発生することを抑制し、作業効率の向上を図ることが可能である。
【０１１３】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【０１１４】
たとえば、上記第１〜第６実施形態では、可動レールと固定レールとを備えた基板搬送装置の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、固定レールに代えて可動レールを設けてもよい。この場合、基板の傾き矯正の際には、両方の可動レールを同時に移動させてもよいし、片側の可動レールのみを移動させてもよい。本発明では、少なくとも１つのガイドレールが可動レールとなっていればよい。
【０１１５】
また、上記第５実施形態では、可動レールおよび固定レールの両方に突出部を設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、可動レールおよび固定レールの一方のみに突出部を設けてもよい。
【０１１６】
また、上記第５実施形態では、直線状の可動レールおよび固定レールに、内側に突出する凸状の突出部４１０を設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、可動レールおよび固定レールを内側に屈曲させることにより、突出部を形成してもよい。
【０１１７】
また、上記第６実施形態では、可動レールを３分割したのに対応して、固定レールも３分割した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、可動レールを３分割した場合に、固定レール側が直線状の単一のガイドレールであってもよい。
【０１１８】
また、上記第６実施形態では、可動レールの作業レール部と、搬入レール部と、搬出レール部とにそれぞれ対応するモータを設けて、各レール部を個別に移動可能に構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可動レールのうち、搬入レール部と、搬出レール部とは、共通のモータによって駆動してもよい。この場合、搬入領域と搬出領域とのレール間隔は、常に同じ間隔となる。
【０１１９】
また、上記第６実施形態では、可動レールを３分割して個別に移動するように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、可動レールを作業領域と作業領域以外の領域とで２分割してもよい。
【符号の説明】
【０１２０】
１、５０１  コンベア部
２、４０２、５０２  可動レール（第１ガイドレール）
３、４０３、５０３  固定レール（第２ガイドレール）
４、５４１、５４２、５４３  モータ
６、１０６、２０６、３０６、４０６、５０６  制御部
４１  エンコーダ
１００、２００、３００、４００、５００、６００  基板搬送装置
３１０  圧力検出部
４１０  突出部
５２１  作業レール部
５２２  搬入レール部
５２３  搬出レール部
Ａ  作業領域
ＣＢ  基板
Ｄ１  第１間隔
Ｄ２  第２間隔
Ｅｎ  搬入領域
Ｅｘ  搬出領域
【図１】
2015052763.tif 000003
【図２】
2015052763.tif 000004
【図３】
2015052763.tif 000005
【図４】
2015052763.tif 000006
【図５】
2015052763.tif 000007
【図６】
2015052763.tif 000008
【図７】
2015052763.tif 000009
【図８】
2015052763.tif 000010
【図９】
2015052763.tif 000011
【図１０】
2015052763.tif 000012
【図１１】
2015052763.tif 000013
【図１２】
2015052763.tif 000014
【図１３】
2015052763.tif 000015
【図１４】
2015052763.tif 000016
【図１５】
2015052763.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成26年4月21日(2014.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板（ＣＢ）を搬送方向に搬送するコンベア部（１）と、
前記搬送方向と直交する基板幅方向に間隔を隔てて互いに平行に設けられた第１ガイドレール（２）および第２ガイドレール（３）と、
前記基板幅方向に、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに対して相対的に平行移動させるモータ（４）と、
前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとの間のレール間隔を前記基板の幅よりも大きい第１間隔（Ｄ１）にして所定の作業が行われる作業位置まで前記コンベア部により基板搬送を行うとともに、前記作業位置での作業の際に、前記モータの検出値に基づいて、前記レール間隔を前記第１間隔よりも小さい第２間隔（Ｄ２）にして前記基板の傾きを矯正するように、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに対して相対移動させる制御を行うように構成された制御部（６）とを備える、基板搬送装置。
【請求項２】
前記モータは、エンコーダ（４１）を含むサーボモータであり、
前記制御部は、前記サーボモータの前記エンコーダの出力値に基づいて、前記基板の幅寸法と前記第１間隔との差分量だけ前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに近づけるように相対移動させることにより、前記レール間隔を前記第２間隔にするように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに近づけるように相対移動させ、前記モータの電流値が第１閾値（Ｔｈ１）以上か否かに基づいて前記第１ガイドレールの相対移動を停止させることにより、前記レール間隔を前記第２間隔にするように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに近づけるように相対移動させ、前記モータの電流値を、前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとにより前記基板を所定圧力で押圧するための第２閾値（Ｔｈ２）近傍に維持することにより、前記基板を固定する制御を行うように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールの少なくとも一方に設けられ、前記基板との接触圧力を検出する圧力検出部（３１０）をさらに備え、
前記制御部は、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに近づけるように相対移動させ、前記モータの検出値および前記圧力検出部の検出値に基づいて、前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとにより前記基板を所定圧力で押圧して固定する制御を行うように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールの少なくとも一方は、前記搬送方向の所定の作業領域（Ａ）における前記レール間隔が前記作業領域以外における前記レール間隔よりも小さくなるように、前記作業領域において前記基板幅方向内側に突出する突出部（４１０）を有する、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記基板の搬入位置から前記作業領域までの搬入領域（Ｅｎ）と、前記作業領域から前記基板の搬出位置までの搬出領域（Ｅｘ）とにおけるレール間隔は、前記突出部を有する前記作業領域における前記レール間隔よりも大きい、請求項６に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記突出部は、前記突出部以外の部分との境界が滑らかに連続するように形成されている、請求項６に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
前記第１ガイドレールは、前記搬送方向の所定の作業領域を含むとともに、前記作業領域以外の部分とは別個に設けられた作業レール部（５２１）を有し、
前記モータは、前記作業レール部と前記作業レール部以外の部分とにそれぞれ設けられるとともに、前記作業レール部と前記作業レール部以外の部分とを前記基板幅方向に個別に移動させるように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項１０】
前記第１ガイドレールは、前記基板の搬入位置から前記作業領域までの搬入領域を含む搬入レール部（５２２）と、前記作業領域から前記基板の搬出位置までの搬出領域を含む搬出レール部（５２３）とをさらに有し、
前記モータ（５４１、５４２、５４３）は、前記作業レール部と、前記搬入レール部と、前記搬出レール部とにそれぞれ設けられるとともに、前記作業レール部と、前記搬入レール部と、前記搬出レール部とを前記基板幅方向に個別に移動させるように構成されている、請求項９に記載の基板搬送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
［０００６］
しかしながら、従来の基板搬送装置では、搬送される基板の幅に合わせて一対のガイドレール（および一対のコンベア）の間隔を可変にする構成が採用される場合があり、その場合には、上記特許第５０８４６６１号公報では、レール間隔の可変機構に加えて、さらに可動レールを移動させるための機構（エアシリンダや変位センサなど）を設ける必要があるため、部品点数が増加して装置構成が複雑化するという問題点がある。また、上記特許第５０８４６６１号公報の基板搬送装置において複数のエアシリンダおよび複数の変位センサを設ける必要があることから分かるように、空気圧制御によって可動レールを移動させる構成では、基板を平行に押圧するのが難しく、基板の水平面内の傾きを精度よく矯正するのが困難であるという問題点もある。
［０００７］
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、装置構成を複雑化することなく、基板の傾き矯正を容易に行うことが可能な基板搬送装置を提供することである。
課題を解決するための手段
［０００８］
上記目的を達成するために、この発明の一の局面における基板搬送装置は、基板を搬送方向に搬送するコンベア部と、搬送方向と直交する基板幅方向に間隔を隔てて互いに平行に設けられた第１ガイドレールおよび第２ガイドレールと、基板幅方向に、第１ガイドレールを第２ガイドレールに対して相対的に平行移動させるモータと、第１ガイドレールと第２ガイドレールとの間のレール間隔を基板の幅よりも大きい第１間隔にしてコンベア部により所定の作業が行われる作業位置まで基板搬送を行うとともに、作業位置での作業の際に、モータの検出値に基づいて、レール間隔を第１間隔よりも小さい第２間隔にして基板の傾きを矯正するように、第１ガイドレールを第２ガイドレールに対して相対移動させる制御を行うように構成された制御部とを備える。
［０００９］
この発明の一の局面による基板搬送装置では、上記のように、第１ガイドレールと第２ガイドレールとの間のレール間隔を基板の幅よりも大きい第１間隔にしてコンベア部により基板搬送を行うとともに、モータの検出値に基づいて、レール間隔を第１間隔よりも小さい第２間隔にして基板の傾きを矯
【手続補正書】
【提出日】平成28年10月24日(2016.10.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送方向に搬送するコンベア部と、
前記搬送方向と直交する基板幅方向に間隔を隔てて互いに平行に設けられた第１ガイドレールおよび第２ガイドレールと、
前記基板幅方向に、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに対して相対的に平行移動させるモータと、
前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとの間のレール間隔を前記基板の幅よりも大きい第１間隔にして所定の作業が行われる作業位置まで前記コンベア部により基板搬送を行うとともに、前記作業位置での作業の際に、前記モータの検出値に基づいて、前記レール間隔を前記第１間隔よりも小さい第２間隔にして前記基板の傾きを矯正するように、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに対して相対移動させる制御を行うように構成された制御部とを備え、
前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールの少なくとも一方は、前記搬送方向の所定の作業領域における前記レール間隔が前記作業領域以外における前記レール間隔よりも小さくなるように、前記作業領域において前記基板幅方向内側に突出する突出部を有する、基板搬送装置。
【請求項２】
前記モータは、エンコーダを含むサーボモータであり、
前記制御部は、前記サーボモータの前記エンコーダの出力値に基づいて、前記基板の幅寸法と前記第１間隔との差分量だけ前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに近づけるように相対移動させることにより、前記レール間隔を前記第２間隔にするように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに近づけるように相対移動させ、前記モータの電流値が第１閾値以上か否かに基づいて前記第１ガイドレールの相対移動を停止させることにより、前記レール間隔を前記第２間隔にするように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに近づけるように相対移動させ、前記モータの電流値を、前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとにより前記基板を所定圧力で押圧するための第２閾値近傍に維持することにより、前記基板を固定する制御を行うように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールの少なくとも一方に設けられ、前記基板との接触圧力を検出する圧力検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記第１ガイドレールを前記第２ガイドレールに近づけるように相対移動させ、前記モータの検出値および前記圧力検出部の検出値に基づいて、前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとにより前記基板を所定圧力で押圧して固定する制御を行うように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記基板の搬入位置から前記作業領域までの搬入領域と、前記作業領域から前記基板の搬出位置までの搬出領域とにおけるレール間隔は、前記突出部を有する前記作業領域における前記レール間隔よりも大きい、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記突出部は、前記突出部以外の部分との境界が滑らかに連続するように形成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記第１ガイドレールは、前記搬送方向の所定の作業領域を含むとともに、前記作業領域以外の部分とは別個に設けられた作業レール部を有し、
前記モータは、前記作業レール部と前記作業レール部以外の部分とにそれぞれ設けられるとともに、前記作業レール部と前記作業レール部以外の部分とを前記基板幅方向に個別に移動させるように構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
前記第１ガイドレールは、前記基板の搬入位置から前記作業領域までの搬入領域を含む搬入レール部と、前記作業領域から前記基板の搬出位置までの搬出領域を含む搬出レール部とをさらに有し、
前記モータは、前記作業レール部と、前記搬入レール部と、前記搬出レール部とにそれぞれ設けられるとともに、前記作業レール部と、前記搬入レール部と、前記搬出レール部とを前記基板幅方向に個別に移動させるように構成されている、請求項８に記載の基板搬送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面における基板搬送装置は、基板を搬送方向に搬送するコンベア部と、搬送方向と直交する基板幅方向に間隔を隔てて互いに平行に設けられた第１ガイドレールおよび第２ガイドレールと、基板幅方向に、第１ガイドレールを第２ガイドレールに対して相対的に平行移動させるモータと、第１ガイドレールと第２ガイドレールとの間のレール間隔を基板の幅よりも大きい第１間隔にして所定の作業が行われる作業位置までコンベア部により基板搬送を行うとともに、作業位置での作業の際に、モータの検出値に基づいて、レール間隔を第１間隔よりも小さい第２間隔にして基板の傾きを矯正するように、第１ガイドレールを第２ガイドレールに対して相対移動させる制御を行うように構成された制御部とを備え、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの少なくとも一方は、搬送方向の所定の作業領域におけるレール間隔が作業領域以外におけるレール間隔よりも小さくなるように、作業領域において基板幅方向内側に突出する突出部を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【国際調査報告】
2015052763.tif 000018
2015052763.tif 000019
2015052763.tif 000020
2015052763.tif 000021