(57)【要約】  コストをかけることなく、実際の測定光の状態を測定中に良好に観察することができる屈折率測定装置を提供する。検出器により検出される測定光の検出強度を表すグラフ３１１、及び、カメラによる撮像画像３１２を、１つの表示画面３０１にリアルタイムで表示させる。これにより、カメラの撮像画像３１２を表示させるための表示部を別途設ける必要がなく、コストがかからない。また、グラフ３１１とともに１つの表示画面３０１にリアルタイムで表示されるカメラの撮像画像３１２を確認することにより、実際の測定光の状態を測定中に良好に観察することができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定する屈折率測定装置であって、
試料を透過した測定光を検出する検出器と、
試料を透過した測定光を撮像するカメラと、
前記検出器により検出される測定光の検出強度を表すグラフ、及び、前記カメラにより撮像される測定光の画像を、１つの表示画面にリアルタイムで表示させる表示処理部とを備えたことを特徴とする屈折率測定装置。
【請求項２】
試料から出射する測定光を受光する角度、又は、試料に入射する測定光の角度を変化させることにより走査を行う走査処理部をさらに備え、
前記表示処理部は、前記走査処理部による走査に伴い変化する前記検出器の検出強度をグラフとして連続的に描画するように前記表示画面にリアルタイムで表示させるとともに、前記カメラにより撮像される画像を前記表示画面上で走査に伴い移動するようにリアルタイムで表示させることを特徴とする請求項１に記載の屈折率測定装置。
【請求項３】
前記表示処理部は、前記表示画面に対する前記カメラにより撮像される画像の表示を開始又は停止させるための撮像切替キーを前記表示画面に表示させることを特徴とする請求項１又は２に記載の屈折率測定装置。
【請求項４】
前記表示処理部は、前記カメラにより撮像される画像を前記表示画面に別画面で拡大表示させるための拡大表示キーを前記表示画面に表示させることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の屈折率測定装置。
【請求項５】
前記表示処理部は、前記走査処理部による走査を停止させるための中止キーを前記表示画面に表示させることを特徴とする請求項２に記載の屈折率測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定する屈折率測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
屈折率測定装置の一例であるＶブロック方式の屈折率測定装置では、Ｖブロックプリズムに形成されているＶ字状の溝に試料が載置され、Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより、試料を透過した測定光を検出器で検出して試料の屈折率を測定することができるようになっている（例えば、下記特許文献１参照）。【０００３】
この種の屈折率測定装置では、試料を透過して検出器へと導かれる測定光の一部が、例えばビームスプリッタにより分離され、接眼部（図示せず）に導かれる。作業者は、Ｖブロックプリズムの位置調整を行う際などに、接眼部から装置内を覗くことにより、測定光の状態を目視しながら作業を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−９９７９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような従来のＶブロック方式の屈折率測定装置では、測定中に接眼部から装置外の光が入射し、検出器による検出結果に影響を与えるのを防止するため、測定中は接眼部にキャップが被せられる。そのため、実際の測定光の状態を測定中に観察することができないという問題があった。【０００６】
そこで、接眼部にカメラを装着し、接眼部からの装置外の光の入射を防止するとともに、接眼部において測定光をカメラで撮像することにより、測定中にカメラで撮像した画像を観察することができるような構成が考えられる。しかしながら、このようにカメラを屈折率測定装置に後付けする場合には、カメラで撮像した画像を表示させるための表示部を別途設ける必要があり、コストがかかるとともに、検出器による検出結果とカメラで撮像した画像とが別々の表示画面に表示されるため、円滑に観察を行うことができないおそれがある。【０００７】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、コストをかけることなく、実際の測定光の状態を測定中に良好に観察することができる屈折率測定装置を提供することを目的とする。また、本発明は、良好に測定を行うことができる屈折率測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る屈折率測定装置は、試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定する屈折率測定装置であって、試料を透過した測定光を検出する検出器と、試料を透過した測定光を撮像するカメラと、前記検出器により検出される測定光の検出強度を表すグラフ、及び、前記カメラにより撮像される測定光の画像を、１つの表示画面にリアルタイムで表示させる表示処理部とを備えたことを特徴とする。【０００９】
このような構成によれば、検出器により検出される測定光の検出強度を表すグラフ、及び、カメラにより撮像される測定光の画像が、１つの表示画面にリアルタイムで表示されるため、カメラの撮像画像を表示させるための表示部を別途設ける必要がなく、コストがかからない。また、グラフとともに１つの表示画面にリアルタイムで表示されるカメラの撮像画像を確認することにより、実際の測定光の状態を測定中に良好に観察することができる。【００１０】
例えば、Ｖブロックプリズムの位置調整を行う際などには、表示画面にリアルタイムで表示されるカメラの撮像画像を確認しながら作業を行うことができる。このように、カメラによる撮像画像を表示画面に表示させることにより、接眼部を設ける必要がないため、測定中に接眼部から装置外の光が入射し、検出器による検出結果に影響を与えるのを防止することができ、良好に測定を行うことができる。【００１１】
また、測定中においては、表示画面にリアルタイムで表示されるカメラの撮像画像を確認することにより、測定光のぼやけ具合を観察することができる。試料の設置態様が適当でない場合や、試料が散乱しやすい性質を有する場合などには、測定光がぼやけやすいため、測定光のぼやけ具合をグラフとともにリアルタイムで確認することにより、良好に測定を行うことができる。【００１２】
前記屈折率測定装置は、試料から出射する測定光を受光する角度、又は、試料に入射する測定光の角度を変化させることにより走査を行う走査処理部をさらに備えていてもよい。この場合、前記表示処理部は、前記走査処理部による走査に伴い変化する前記検出器の検出強度をグラフとして連続的に描画するように前記表示画面にリアルタイムで表示させるとともに、前記カメラにより撮像される画像を前記表示画面上で走査に伴い移動するようにリアルタイムで表示させることが好ましい。【００１３】
このような構成によれば、走査に伴い表示画面に連続的に描画されるグラフを確認しながら、そのときのカメラによる撮像画像を同じ表示画面においてリアルタイムで確認することができる。したがって、検出器により検出される測定光の検出強度と、カメラの撮像画像との関係が分かりやすいため、より良好に測定を行うことができる。【００１４】
前記表示処理部は、前記表示画面に対する前記カメラにより撮像される画像の表示を開始又は停止させるための撮像切替キーを前記表示画面に表示させることが好ましい。【００１５】
このような構成によれば、必要に応じて撮像切替キーを選択することにより、表示画面に対するカメラの撮像画像の表示を開始又は停止させることができる。したがって、測定中などのような必要なときにのみ、グラフ及びカメラの撮像画像を１つの表示画面にリアルタイムで表示させ、良好に測定を行うことができる。【００１６】
前記表示処理部は、前記カメラにより撮像される画像を前記表示画面に別画面で拡大表示させるための拡大表示キーを前記表示画面に表示させることが好ましい。【００１７】
このような構成によれば、必要に応じて拡大表示キーを選択することにより、カメラの撮像画像を表示画面に別画面で拡大表示させることができる。したがって、例えばＶブロックプリズムの位置調整をより正確に行いたい場合や、測定光のぼやけ具合をより正確に観察したい場合などには、カメラの撮像画像を拡大表示で確認することにより、良好に作業を行うことができる。【００１８】
前記表示処理部は、前記走査処理部による走査を停止させるための中止キーを前記表示画面に表示させることが好ましい。【００１９】
このような構成によれば、必要に応じて中止キーを選択することにより、走査処理部による走査を停止させ、測定を中止させることができる。したがって、走査に伴い表示画面に連続的に描画されるグラフを確認しながら、そのときのカメラによる撮像画像を同じ表示画面においてリアルタイムで確認しているときに、異常を発見した場合などには、直ちに測定を中止させることができるため、より良好に測定を行うことができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、カメラの撮像画像を表示させるための表示部を別途設ける必要がなく、コストがかからない。また、本発明によれば、グラフとともに１つの表示画面にリアルタイムで表示されるカメラの撮像画像を確認することにより、実際の測定光の状態を測定中に良好に観察することができる。さらに、本発明によれば、測定中に接眼部から装置外の光が入射することがなく、かつ、測定光のぼやけ具合をグラフとともにリアルタイムで確認することができるため、良好に測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係る屈折率測定装置の構成例を示す概略平面図である。
【図２】図１の屈折率測定装置における制御部の構成例を示すブロック図である。
【図３】表示部の表示画面の一例を示す図である。
【図４】表示部の表示画面における表示態様の変化の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態に係る屈折率測定装置の構成例を示す概略平面図である。この屈折率測定装置は、Ｖブロックプリズム１を介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置である。
【００２３】
試料としては、例えばガラス、プラスチック又は液体などを挙げることができる。試料は、Ｖブロックプリズム１に形成されているＶ字状の溝１１（図１では溝１１を真上から見た図を示している。）に載置され、試料を透過した測定光を検出器２で検出することにより試料の屈折率を測定することができるようになっている。
【００２４】
この屈折率測定装置には、上述のＶブロックプリズム１及び検出器２に加えて、測定光を照射する光源部３と、光源部３からの測定光をＶブロックプリズム１に導く第１光学系４と、Ｖブロックプリズム１を透過した測定光を検出器２に導く第２光学系５とが備えられている。
【００２５】
光源部３には、複数の光源３１が備えられている。光源３１としては、例えばヘリウムランプ、水素ランプ及び水銀ランプが用いられ、ヘリウムｄ線、水素Ｃ線、水素Ｆ線、水銀ｅ線、水銀ｇ線及び水銀ｈ線などの異なる波長の測定光を光源部３から照射することができるようになっている。光源３１からの測定光は、ミラー３２で反射され、光源部３から水平方向に照射される。ミラー３２は、垂直方向（図１における紙面前後方向）に延びる回転軸３２１を中心に回転可能となっており、ミラー３２の回転位置に応じた光源３１からの測定光を第１光学系４に導くことができる。ただし、光源３１は、上記のような種類に限られるものではない。
【００２６】
第１光学系４には、レンズ４１、ミラー４２，４３，４４、干渉フィルタ４５、スリット４６及びコリメータレンズ４７などが備えられている。光源部３からの測定光は、レンズ４１を通過し、ミラー４２，４３で順次に反射した後、干渉フィルタ４５に入射する。
【００２７】
干渉フィルタ４５は複数設けられており、光源３１の種類に応じて選択された干渉フィルタ４５が光路中に挿入されることにより、その干渉フィルタ４５に対応する特定波長の測定光（単色光）のみが干渉フィルタ４５を透過し、ミラー４４側へと導かれる。ミラー４４で反射した測定光は、スリット４６を通過し、コリメータレンズ４７で平行光とされた後、Ｖブロックプリズム１に入射する。Ｖブロックプリズム１に対して一方の端面１２から入射した測定光は、Ｖ字状の溝１１に載置されている試料を透過した後、再びＶブロックプリズム１を通り、Ｖブロックプリズム１と試料の屈折率差に応じた角度で他方の端面１３から出射する。
【００２８】
第２光学系５には、ミラー５１，５２、テレメータレンズ５３及びビームスプリッタ５４などが備えられている。第２光学系５は、モータ６の回転軸６１に取り付けられた円板７に固定されている。具体的には、ミラー５１，５２及びテレメータレンズ５３が、回転軸６１に対して偏心した位置で回転軸６１に平行に並び、ミラー５２及びビームスプリッタ５４が、回転軸６１に対して垂直方向に並ぶように、それぞれ円板７に固定されている。
【００２９】
ミラー５１は、測定光の入射方向に対して反射面が４５°傾斜するように配置されることにより、当該ミラー５１で反射した測定光は、進行方向が９０°変換されてテレメータレンズ５３に導かれる。テレメータレンズ５３は、Ｖブロックプリズム１からの測定光を集光させてミラー５２に導き、ミラー５２で反射した測定光は、ビームスプリッタ５４を透過して、円板７に固定された検出器２により検出される。
【００３０】
ミラー５１及びテレメータレンズ５３は、Ｖブロックプリズム１からの測定光の入射方向に対して垂直方向に１列に配置され、回転軸６１に対して偏心した位置で、テレメータ部５０として一体的に円板７に保持されている。したがって、モータ６を回転させることにより、回転軸６１を中心に円板７を回転させれば、Ｖブロックプリズム１に対するテレメータ部５０の位置を変化（走査）させ、Ｖブロックプリズム１からの測定光を異なる角度から受光して検出器２に導くことができる。モータ６は、例えばエンコーダ付きのサーボモータからなり、モータ６の回転角を正確に把握することができる。
【００３１】
一方、ビームスプリッタ５４で反射した測定光は、ミラー８で反射した後、レンズ９を通過してカメラ２００へと導かれ、当該カメラ２００により試料を透過した測定光を撮像することができる。ビームスプリッタ５４及びミラー８は、回転軸６１上に設けられており、Ｖブロックプリズム１の位置調整を行う際には、ビームスプリッタ５４とミラー８との間の光路上にオートコリメーションプリズム１０を挿入可能となっている。
【００３２】
カメラ２００は、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラにより構成することができる。カメラ２００は、上記のような位置に設けられた構成に限らず、例えば円板７に取り付けられ、ビームスプリッタ５４とは別に設けられたビームスプリッタを介して、当該カメラ２００に測定光が導かれるような構成であってもよいし、カメラ２００が２つ以上設けられた構成であってもよい。
【００３３】
図２は、図１の屈折率測定装置における制御部１００の構成例を示すブロック図である。この屈折率測定装置の動作は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を含む制御部１００により制御される。制御部１００は、ＣＰＵがプログラムを実行することにより、走査処理部１０１、屈折率測定処理部１０２及び表示処理部１０３などとして機能する。
【００３４】
走査処理部１０１は、モータ６を回転させることにより、Ｖブロックプリズム１に対してテレメータ部５０を走査させる。試料の屈折率を測定する際には、走査処理部１０１が一定速度でモータ６を回転させることにより、試料から出射する測定光を受光する角度を変化させる。これにより、Ｖブロックプリズム１から検出器２に導かれる測定光の光量が変化するため、モータ６の回転に伴い、検出器２における検出強度が変化することとなる。
【００３５】
屈折率測定処理部１０２は、走査処理部１０１により回転されるモータ６の回転角と検出器２における検出強度とに基づいて、試料の屈折率を測定するための処理を行う。具体的には、モータ６を回転させて、各回転角におけるＶブロックプリズム１からの測定光を検出器２で検出することにより、検出強度が最も高くなる回転角を特定し、その回転角とＶブロックプリズム１の屈折率とに基づいて試料の屈折率を測定することができる。
【００３６】
表示処理部１０３は、表示部３００の表示画面への表示に関する処理を行う。表示部３００は、例えば液晶表示器からなり、屈折率測定装置に備えられていてもよいし、屈折率測定装置とは別に設けられていてもよい。表示処理部１０３は、例えば走査処理部１０１により回転されるモータ６の回転角と、検出器２における検出強度との関係を、表示部３００の表示画面にグラフで表示させることができる。また、表示処理部１０３は、カメラ２００により撮像される測定光の画像を、表示部３００の表示画面に表示させることができる。
【００３７】
図３は、表示部３００の表示画面３０１の一例を示す図である。図３に示すように、本実施形態では、検出器２により検出される測定光の検出強度を表すグラフ３１１と、カメラ２００による撮像画像３１２とが、１つの表示画面３０１にリアルタイムで表示されるようになっている。
【００３８】
グラフ３１１は、例えばモータ６の回転角を横軸、検出器２における検出強度を縦軸として表示画面３０１に表示される。カメラ２００による撮像画像３１２は、スリット４６を通過した測定光の画像であるため、図３に示すように、例えばスリット４６の形状に対応する線状の画像として表示画面３０１に表示される。
【００３９】
この例では、カメラ２００による撮像画像３１２として１本の測定光の画像が表示されているが、例えば試料が複屈折する材料である場合などには、試料を透過した測定光が複数の方向に出射することにより、複数本の測定光の画像が表示される場合もある。また、オートコリメーションプリズム１０を用いてＶブロックプリズム１の位置調整を行う際には、Ｖブロックプリズム１の位置に対応して表示位置が変化するオートコリメーション像及び標線が撮像画像３１２内に現れ、このオートコリメーション像と標線の表示が所定の配置となるように調整することによって、Ｖブロックプリズム１の位置と光軸とが垂直になるように調整を行うことができる。
【００４０】
表示処理部１０３の処理により、表示画面３０１には、撮像切替キー３１３、拡大表示キー３１４、開始キー３１５及び中止キー３１６などが表示される。撮像切替キー３１３及び拡大表示キー３１４は、例えばカメラ２００による撮像画像３１２の近傍に表示される。これらのキー３１３〜３１６は、例えばマウス又はキーボードなどにより構成される操作部（図示せず）を操作することにより選択することができる。
【００４１】
撮像切替キー３１３は、表示画面３０１に対するカメラ２００による撮像画像３１２の表示を開始又は停止させるために選択される。図３に示すように、カメラ２００による撮像画像３１２が表示画面３０１に表示されているときには、撮像切替キー３１３は表示停止キーとして表示され、当該表示停止キーを選択することにより、撮像画像３１２の表示を停止させることができる。一方、カメラ２００による撮像画像３１２が表示画面３０１に表示されていないときには、撮像切替キー３１３は表示開始キーとして表示され、当該表示開始キーを選択することにより、撮像画像３１２の表示を開始させることができる。
【００４２】
拡大表示キー３１４は、カメラ２００による撮像画像３１２を表示画面３０１に別画面で拡大表示させるために選択される。拡大表示キー３１４が選択された場合には、例えば表示画面３０１にポップアップ画面が表示され、当該ポップアップ画面に、縦横比を保持した状態で拡大されたカメラ２００による撮像画像３１２が表示される。
【００４３】
開始キー３１５は、走査処理部１０１による走査を開始させるために選択される。開始キー３１５が選択されることにより測定が開始された場合には、走査処理部１０１による走査に伴って、グラフ３１１及びカメラ２００による撮像画像３１２が表示画面３０１にリアルタイムで表示される。なお、測定中は、開始キー３１５を選択できないように構成されていてもよい。
【００４４】
中止キー３１６は、走査処理部１０１による走査を停止させるために選択される。測定中に中止キー３１６が選択された場合には、測定が中止され、表示画面３０１に対するグラフ３１１及びカメラ２００による撮像画像３１２の表示が停止される。なお、測定中でないときには、中止キー３１６を選択できないように構成されていてもよい。
【００４５】
本実施形態では、検出器２により検出される測定光の検出強度を表すグラフ３１１、及び、カメラ２００による撮像画像３１２が、１つの表示画面３０１にリアルタイムで表示されるため、カメラ２００の撮像画像３１２を表示させるための表示部を別途設ける必要がなく、コストがかからない。また、グラフ３１１とともに１つの表示画面３０１にリアルタイムで表示されるカメラ２００の撮像画像３１２を確認することにより、実際の測定光の状態を測定中に良好に観察することができる。
【００４６】
例えば、Ｖブロックプリズム１の位置調整を行う際などには、表示画面３０１にリアルタイムで表示されるカメラ２００の撮像画像３１２を確認しながら作業を行うことができる。このように、カメラ２００による撮像画像３１２を表示画面３０１に表示させることにより、接眼部を設ける必要がないため、測定中に接眼部から装置外の光が入射し、検出器２による検出結果に影響を与えるのを防止することができ、良好に測定を行うことができる。
【００４７】
また、測定中においては、表示画面３０１にリアルタイムで表示されるカメラ２００の撮像画像３１２を確認することにより、測定光のぼやけ具合を観察することができる。試料の設置態様が適当でない場合や、試料が散乱しやすい性質を有する場合などには、測定光がぼやけやすいため、測定光のぼやけ具合をグラフ３１１とともにリアルタイムで確認することにより、良好に測定を行うことができる。
【００４８】
特に、本実施形態では、必要に応じて撮像切替キー３１３を選択することにより、表示画面３０１に対するカメラ２００の撮像画像３１２の表示を開始又は停止させることができる。したがって、測定中などのような必要なときにのみ、グラフ３１１及びカメラ２００の撮像画像３１２を１つの表示画面３０１にリアルタイムで表示させ、良好に測定を行うことができる。
【００４９】
また、本実施形態では、必要に応じて拡大表示キー３１４を選択することにより、カメラ２００の撮像画像３１２を表示画面３０１に別画面で拡大表示させることができる。したがって、例えばＶブロックプリズム１の位置調整をより正確に行いたい場合や、測定光のぼやけ具合をより正確に観察したい場合などには、カメラ２００の撮像画像３１２を拡大表示で確認することにより、良好に作業を行うことができる。
【００５０】
図４は、表示部３００の表示画面３０１における表示態様の変化の一例を示す図である。図４では、試料の屈折率を測定する際に表示画面３０１にリアルタイムで表示されるグラフ３１１及びカメラ２００による撮像画像３１２の一例を段階的に示している。
【００５１】
表示処理部１０３は、走査処理部１０１による走査に伴い変化する検出器２の検出強度をグラフ３１１として連続的に描画するように表示画面３０１にリアルタイムで表示させる。すなわち、走査処理部１０１による走査に伴い、検出器２における検出強度は変化することとなるが、測定開始からその時点までの検出強度の変化の軌跡が、グラフ３１１として連続的に表示画面３０１に描画される。
【００５２】
したがって、図４（ａ）のような測定開始後の初期の段階では、グラフ３１１として表される部分は少ないが、図４（ｂ）のように検出器２の検出強度が最も高くなったときには、グラフ３１１にピークが現れる。その後、図４（ｃ）のように検出器２の検出強度が徐々に下がることにより、ピークを有する曲線状のグラフ３１１が連続的に描画される。
【００５３】
また、表示処理部１０３は、カメラ２００による撮像画像３１２を表示画面３０１上で走査に伴い移動するようにリアルタイムで表示させる。すなわち、走査処理部１０１による走査に伴い、試料から出射する測定光を受光する角度が変化するため、カメラ２００に入射する測定光の位置も変化し、図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、カメラ２００による撮像画像３１２が表示画面３０１上で移動することとなる。
【００５４】
なお、走査処理部１０１による走査が終了した後は、検出器２の検出強度が最も高くなったときの位置にテレメータ部５０が移動されることにより、カメラ２００による撮像画像３１２は、図４（ｂ）の場合と同じ状態で維持される。このとき、グラフ３１１は、図４（ｃ）の場合と同じ状態で維持されてもよいし、非表示とされてもよい。
【００５５】
本実施形態では、走査に伴い表示画面３０１に連続的に描画されるグラフ３１１を確認しながら、そのときのカメラ２００による撮像画像３１２を同じ表示画面３０１においてリアルタイムで確認することができる。したがって、検出器２により検出される測定光の検出強度と、カメラ２００の撮像画像３１２との関係が分かりやすいため、より良好に測定を行うことができる。
【００５６】
また、本実施形態では、図３において説明したように、必要に応じて中止キー３１６を選択することにより、走査処理部１０１による走査を停止させ、測定を中止させることができる。したがって、走査に伴い表示画面３０１に連続的に描画されるグラフ３１１を確認しながら、そのときのカメラ２００による撮像画像３１２を同じ表示画面３０１においてリアルタイムで確認しているときに、異常を発見した場合などには、直ちに測定を中止させることができるため、より良好に測定を行うことができる。
【００５７】
以上の実施形態では、測定光が水平方向に沿って光源部３から検出器２まで導かれるような構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、光源部３から検出器２に至る測定光の光路の少なくとも一部が、水平方向に対して傾斜していてもよい。この場合、モータ６の回転軸６１は、水平方向に延びるような構成に限らず、水平方向に対して傾斜した方向に延びるような構成であってもよい。
【００５８】
また、光源部３から検出器２に至る測定光の光路中に設けられた光学部材の構成は、上記実施形態において例示した構成に限らず、他の光学部材が設けられていてもよいし、一部の光学部材が省略されていてもよい。
【００５９】
走査処理部１０１は、試料から出射する測定光を受光する角度を変化させることにより走査を行うような構成に限らず、試料に入射する測定光の角度を変化させることにより走査を行うような構成であってもよい。この場合、例えばコリメータレンズを保持するコリメータ部（図示せず）を円板に固定し、当該円板をモータで回転させることにより、Ｖブロックプリズム１に対するコリメータ部の角度を変化させて走査を行うことができるような構成であってもよい。
【００６０】
以上の実施形態では、本発明をＶブロック方式の屈折率測定装置に適用した場合について説明したが、本発明は、Ｖブロック方式の屈折率測定装置に限らず、アッベ方式などの他の方式の屈折率測定装置にも適用可能である。
【符号の説明】
【００６１】
１  Ｖブロックプリズム
２  検出器
３  光源部
４  第１光学系
５  第２光学系
６  モータ
７  円板
８  ミラー
９  レンズ
１０  オートコリメーションプリズム
３１  光源
３２  ミラー
４１  レンズ
４２，４３，４４  ミラー
４５  干渉フィルタ
４６  スリット
４７  コリメータレンズ
５０  テレメータ部
５１，５２  ミラー
５３  テレメータレンズ
５４  ビームスプリッタ
６１  回転軸
１００  制御部
１０１  走査処理部
１０２  屈折率測定処理部
１０３  表示処理部
２００  カメラ
３００  表示部
３０１  表示画面
３１１  グラフ
３１２  撮像画像
３１３  撮像切替キー
３１４  拡大表示キー
３１５  開始キー
３１６  中止キー
【図１】
2014207809.tif 000003
【図２】
2014207809.tif 000004
【図３】
2014207809.tif 000005
【図４】
2014207809.tif 000006
【国際調査報告】
2014207809.tif 000007
2014207809.tif 000008
2014207809.tif 000009
2014207809.tif 000010