(57)【要約】  本開示の一例は、レーザ装置である。レーザ装置は、パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光の光路上に配置され、パルスレーザ光を順次増幅する複数の光増幅器とを含んでもよい。レーザ装置は、さらに、パルスレーザ光を通過させ複数の光増幅器のいずれかで発生した自励発振光を反射する光反射体と、光反射体によって反射された自励発振光を受光し吸収する光吸収体と、を含んでもよい。
2015045102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、
前記マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光の光路上に配置され、前記パルスレーザ光を順次増幅する複数の光増幅器と、
前記パルスレーザ光を通過させ前記複数の光増幅器のいずれかで発生した自励発振光を反射する光反射体と、
前記光反射体によって反射された自励発振光を受光し吸収する光吸収体と、を含むレーザ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ装置であって、
前記光反射体は、前記パルスレーザ光を通過させる孔を有する筒状体であり、
前記光反射体の内周面及び外周面の少なくとも一方は、前記自励発振光を反射する反射面である、レーザ装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレーザ装置であって、
前記光吸収体は、前記パルスレーザ光を通過させる孔を有する筒状体であり、前記光反射体と同軸上に配置される、レーザ装置。
【請求項４】
請求項１に記載のレーザ装置であって、
前記光反射体は板状であり、前記パルスレーザ光の光路から外れた位置に配置されている、レーザ装置。
【請求項５】
請求項４に記載のレーザ装置であって、
前記光吸収体は板状であり、前記パルスレーザ光の光路に対して前記光反射体と反対側に配置されている、レーザ装置。
【請求項６】
パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、
前記マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光の光路上に配置され、前記パルスレーザ光を増幅する光増幅器と、
前記光増幅器により増幅されたパルスレーザ光が照射されることでプラズマ化され、極端紫外光を生成するドロップレットを供給するドロップレット供給器と、
前記マスタオシレータと前記光増幅器との間に配置され、前記パルスレーザ光を透過させる透過光学素子と、を含み、
前記透過光学素子は、前記光増幅器からの自然放出光の前記ドロップレットによる反射光を、前記ドロップレットを避ける方向に反射するように配置されている、極端紫外光生成システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、レーザ装置及び極端紫外光生成システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体プロセスの微細化に伴って、半導体プロセスの光リソグラフィにおける転写パターンの微細化が急速に進展している。次世代においては、７０ｎｍ〜４５ｎｍの微細加工、さらには３２ｎｍ以下の微細加工が要求されるようになる。このため、例えば３２ｎｍ以下の微細加工の要求に応えるべく、波長１３ｎｍ程度の極端紫外（ＥＵＶ）光を生成するための装置と縮小投影反射光学系（ｒｅｄｕｃｅｄ  ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ  ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ  ｏｐｔｉｃｓ）とを組み合わせた露光装置の開発が期待されている。【０００３】
ＥＵＶ光生成装置としては、ターゲット物質にレーザ光を照射することによって生成されるプラズマを用いたＬＰＰ（Ｌａｓｅｒ  Ｐｒｏｄｕｃｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）方式の装置と、放電によって生成されるプラズマを用いたＤＰＰ（Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ  Ｐｒｏｄｕｃｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）方式の装置と、軌道放射光を用いたＳＲ（Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ  Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）方式の装置との３種類の装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第７０６８３６７号明細書
【特許文献２】米国特許第７５８９３３７号明細書
【特許文献３】米国特許出願公開第２０１２／００８０５８４号明細書
【概要】
【０００５】
本開示の一例のレーザ装置は、パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光の光路上に配置され、パルスレーザ光を順次増幅する複数の光増幅器と、パルスレーザ光を通過させ複数の光増幅器のいずれかで発生した自励発振光を反射する光反射体と、光反射体によって反射された自励発振光を受光し吸収する光吸収体と、を含んでもよい。
【０００６】
本開示の一例の極端紫外光生成システムは、パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光の光路上に配置され、パルスレーザ光を増幅する光増幅器と、光増幅器により増幅されたパルスレーザ光が照射されることでプラズマ化され、極端紫外光を生成するドロップレットを供給するドロップレット供給器と、マスタオシレータと光増幅器との間に配置され、パルスレーザ光を透過させる透過光学素子と、を含み、透過光学素子は、光増幅器からの自然放出光のドロップレットによる反射光を、ドロップレットを避ける方向に反射するように配置されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
【図１】図１は、例示的なＬＰＰ方式のＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示す。
【図２Ａ】図２Ａはレーザ装置の構成例を示している。
【図２Ｂ】図２Ｂは、光増幅器の構成例を示す。
【図３】図３は、自励発振光の、光増幅器のゲインと光増幅器のパルスレーザ光出力に対する影響を模式的に示している。
【図４】図４は、実施形態１におけるレーザ装置の一部の構成例を模式的に示している。
【図５Ａ】図５Ａは、実施形態２におけるレーザ装置の一部の構成例を模式的に示している。
【図５Ｂ】図５Ｂは、図５Ａにおける光反射体及び光吸収体の斜視図を示す。
【図６】図６は、実施形態３におけるレーザ装置の一部の構成例を模式的に示している。
【図７Ａ】図７Ａは、実施形態４におけるレーザ装置の一部の構成例を模式的に示している。
【図７Ｂ】図７Ｂは、第１光反射体の外周面と内周面との間における、開き角度を模式的に示している。
【図７Ｃ】図７Ｃは、第１光反射体の外周面と内周面との間における、開き角度を模式的に示している。
【図８】図８は、実施形態５におけるレーザ装置の一部の構成例を模式的に示している。
【図９Ａ】図９Ａは、光吸収体の構成例を模式的に示している。
【図９Ｂ】図９Ｂは、光吸収体の構成例を模式的に示している。
【図１０Ａ】図１０Ａは、光路が交差するスラブ型増幅器の構成例を模式的に示している。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、図１０ＡにおけるＸＢ−ＸＢ断面図を示す。
【図１１Ａ】図１１Ａは、光路が交差しないスラブ型増幅器の構成例を模式的に示している。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、図１１ＡにおけるＸＩＢ−ＸＩＢ断面図を示す。
【図１２Ａ】図１２Ａは、同軸型スラブ増幅器の構成例を模式的に示している。
【図１２Ｂ】図１２Ｂは、同軸型スラブ増幅器の構成例を模式的に示している。
【図１３Ａ】図１３Ａは、高速軸流型増幅器の斜視図を示している。
【図１３Ｂ】図１３Ｂは、高速軸流型増幅器の上面図を示している。
【図１３Ｃ】図１３Ｃは、図１３ＢにおけるＸＩＩＩＣ−ＸＩＩＩＣ断面図を示している。
【図１４Ａ】図１４Ａは、３軸直交型増幅器の構成例を模式的に示している。
【図１４Ｂ】図１４Ｂは、図１４ＡにおけるＸＩＶＢ−ＸＩＶＢ断面図を示している。
【図１５】図１５は、光アイソレータの構成例を模式的に示している。
【図１６】図１６は、ドロップレットによって反射された自然放出光による自励発振光の生成例を模式的に示している。
【図１７Ａ】図１７Ａは、他の実施形態のレーザ装置及びターゲット供給部を模式的に示している。
【図１７Ｂ】図１７Ｂは、図１７ＡにおけＸＶＩＩＢ−ＸＶＩＩＢ断面図を示している。
【図１８Ａ】図１８Ａは、他の実施形態において、レーザ装置の透過光学素子の例として、平凸レンズ及び波長板を示している。
【図１８Ｂ】図１８Ｂは、他の実施形態において、球面レンズの配置方法の例を示している。
【実施形態】
【０００８】
＜内容＞
１．概要
２．用語の説明
３．ＥＵＶ光生成システムの全体説明
３．１  構成
３．２  動作
４．マスタオシレータと光増幅器を含むレーザ装置
４．１  構成
４．２  動作
４．３  自励発振の課題
５．実施形態１
５．１  構成
５．２  動作
５．３  効果
５．４  その他
６．実施形態２
６．１  構成
６．２  動作
６．３  効果
７．実施形態３
７．１  構成
７．２  動作
７．３  効果
８．実施形態４
８．１  構成
８．２  動作
８．３  開き角度
８．４  効果
９．実施形態５
９．１  構成
９．２  動作
９．３  効果
１０．光反射体及び光吸収体の構成要素
１０．１  光反射材料
１０．２  光反射面の表面処理
１０．３  光吸収材料
１０．４  吸収面の表面処理
１０．５  光吸収体温度調節機構
１１．光増幅器
１１．１  光路が交差するスラブ型増幅器
１１．２  光路が交差しないスラブ型増幅器
１１．３  同軸型スラブ型増幅器
１１．４  高速軸流型増幅器
１１．５  ３軸直交型増幅器
１２．光スイッチ
１３．他の実施形態
１３．１  課題
１３．２  構成及び動作
１３．３  効果
【０００９】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
【００１０】
１．概要
ＬＰＰ方式のＥＵＶ光生成システムは、ターゲット物質にパルスレーザ光を照射してプラズマ化することでＥＵＶ光を生成してもよい。レーザ光を出力するレーザ装置は、種光を出力するマスタオシレータと、出力された種光を増幅する光増幅器とを含んでもよい。複数の光増幅器が配置されてもよい。
【００１１】
レーザ装置において、光増幅器から出力された自然放出光（ＡＳＥ）が、例えば、他の光増幅器によって増幅されることにより、自励発振光が発生し得る。自励発振光は、光増幅器の増幅ゲインを消費して増幅率の低下を招き、レーザ光の出力を低下させ得る。また、自励発振光によってレーザ光路の部品が損傷を受け得る。損傷により自励発振が助長され得る。
【００１２】
本開示の１つの観点のレーザ装置は、マスタオシレータと複数の光増幅器とを含んでもよい。レーザ装置は、光増幅器からの自励発振光路上に配置され、パルスレーザ光を遮ることなく自励発振光を反射する光反射体と、光反射体によって反射された自励発振光を受光し吸収する光吸収体と、を含んでもよい。
【００１３】
光反射体及び光吸収体によって、レーザ装置における自励発振光の伝搬を抑制し得る。このため、光増幅器の増幅率の低下を抑え、高い増幅効率でレーザ光を増幅し得る。また、レーザ出力の変動を抑制し、安定した増幅動作を実現し得る。また、レーザ光路の光学部品の損傷を少なくし得る。
【００１４】
２．用語の説明
本開示において使用される用語を以下に説明する。プラズマ生成領域は、ＥＵＶ光を生成するためのプラズマの生成が開始される領域を意味し得る。プラズマ生成領域においてプラズマの生成が開始されるためには、プラズマ生成領域にターゲットが供給され、かつ、ターゲットがプラズマ生成領域に到達するタイミングでプラズマ生成領域にパルスレーザ光が集光される必要があり得る。光スイッチは、光シャッタ及び光アイソレータを含み得る。光スイッチは一方向の光の透過及び遮蔽を制御し得る。光アイソレータは双方向の光の透過及び遮蔽を制御し得る。
【００１５】
３．ＥＵＶ光生成システムの全体説明
３．１  構成
図１に、例示的なＬＰＰ方式のＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示す。ＥＵＶ光生成装置１は、少なくとも１つのレーザ装置３と共に用いられてもよい。本願においては、ＥＵＶ光生成装置１及びレーザ装置３を含むシステムを、ＥＵＶ光生成システム１１と称する。図１に示し、かつ、以下に詳細に説明するように、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２、ターゲット供給部２６を含んでもよい。
【００１６】
チャンバ２は、密閉可能であってもよい。ターゲット供給部２６は、例えば、チャンバ２の壁を貫通するように取り付けられてもよい。ターゲット供給部２６から供給されるターゲット物質の材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、又は、それらの内のいずれか２つ以上の組合せを含んでもよいが、これらに限定されない。
【００１７】
チャンバ２の壁には、少なくとも１つの貫通孔が設けられていてもよい。その貫通孔には、ウインドウ２１が設けられてもよく、ウインドウ２１をレーザ装置３から出力されるパルスレーザ光３２が透過してもよい。チャンバ２の内部には、例えば、回転楕円面形状の反射面を有するＥＵＶ集光ミラー２３が配置されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、第１及び第２の焦点を有し得る。
【００１８】
ＥＵＶ集光ミラー２３の表面には、例えば、モリブデンとシリコンとが交互に積層された多層反射膜が形成されていてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、例えば、その第１の焦点がプラズマ生成領域２５に位置し、その第２の焦点が中間集光点（ＩＦ）２９２に位置するように配置されるのが好ましい。ＥＵＶ集光ミラー２３の中央部には貫通孔２４が設けられていてもよく、貫通孔２４をパルスレーザ光３３が通過してもよい。
【００１９】
ＥＵＶ光生成装置１は、ＥＵＶ光生成制御部５、ターゲットセンサ４等を含んでもよい。ターゲットセンサ４は、撮像機能を有してもよく、ターゲット２７の存在、軌跡、位置、速度の少なくとも一つを検出するよう構成されてもよい。
【００２０】
また、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２の内部と露光装置６の内部とを連通させる接続部２９を含んでもよい。接続部２９内部には、アパーチャが形成された壁２９１が設けられてもよい。壁２９１は、そのアパーチャがＥＵＶ集光ミラー２３の第２の焦点位置に位置するように配置されてもよい。
【００２１】
さらに、ＥＵＶ光生成装置１は、レーザ光進行方向制御部３４、レーザ光集光ミラー２２、ターゲット２７を回収するためのターゲット回収部２８等を含んでもよい。レーザ光進行方向制御部３４は、レーザ光の進行方向を規定するための光学素子と、この光学素子の位置、姿勢等を調整するためのアクチュエータとを備えてもよい。
【００２２】
３．２  動作
図１を参照すると、レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３１は、レーザ光進行方向制御部３４を経て、パルスレーザ光３２としてウインドウ２１を透過してチャンバ２内に入射してもよい。パルスレーザ光３２は、少なくとも１つのレーザ光経路に沿ってチャンバ２内を進み、レーザ光集光ミラー２２で反射されて、パルスレーザ光３３として少なくとも１つのターゲット２７に照射されてもよい。
【００２３】
ターゲット供給部２６は、ターゲット２７をチャンバ２内部のプラズマ生成領域２５に向けて出力するよう構成されてもよい。ターゲット２７には、パルスレーザ光３３に含まれる少なくとも１つのパルスが照射されてもよい。パルスレーザ光が照射されたターゲット２７はプラズマ化し、そのプラズマから放射光２５１が放射され得る。
【００２４】
放射光２５１に含まれるＥＵＶ光２５２は、ＥＵＶ集光ミラー２３によって選択的に反射されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３によって反射されたＥＵＶ光２５２は、中間集光点２９２で集光され、露光装置６に出力されてもよい。なお、１つのターゲット２７に、パルスレーザ光３３に含まれる複数のパルスが照射されてもよい。
【００２５】
ＥＵＶ光生成制御部５は、ＥＵＶ光生成システム１１全体の制御を統括するよう構成されてもよい。ＥＵＶ光生成制御部５は、ターゲットセンサ４によって撮像されたターゲット２７のイメージデータ等を処理するよう構成されてもよい。また、ＥＵＶ光生成制御部５は、例えば、ターゲット２７が供給されるタイミング、ターゲット２７の出力方向等を制御するよう構成されてもよい。
【００２６】
さらに、ＥＵＶ光生成制御部５は、例えば、レーザ装置３の発光タイミングの制御、パルスレーザ光３２の進行方向の制御および、パルスレーザ光３３の集光位置の制御の内少なくとも１つを行うよう構成されてもよい。上述の様々な制御は単なる例示に過ぎず、必要に応じて他の制御が追加されてもよい。
【００２７】
４．マスタオシレータと光増幅器を含むレーザ装置
４．１  構成
図２Ａはレーザ装置３の構成例を示している。レーザ装置３は、マスタオシレータ（ＭＯ）３５０と、光増幅器（ＰＡ）３５１＿１〜３５１＿Ｎと、光アイソレータ（ＯＩ）３５２＿０〜３５２＿Ｎと、を含んでもよい。レーザ装置３は、光アイソレータの代わりに光スイッチとして例えば、光シャッタを含んでもよい。
【００２８】
マスタオシレータ３５０は、例えば、Ｑスイッチを含むＣＯ２レーザ発振器、又は、ＣＯ２レーザガスの増幅波長域で発振する量子カスケードレーザ（ＱＣＬ）であってもよい。マスタオシレータ３５０から出力されるパルスレーザ光は、直線偏光であってもよい。
【００２９】
光増幅器３５１＿１〜３５１＿Ｎは、マスタオシレータ３５０から出力されるパルスレーザ光の光路上に直列に配置され、マスタオシレータ３５０から出力されるパルスレーザ光を順次増幅してもよい。光増幅器３５１＿１〜３５１＿Ｎは、第１段から第Ｎ段の光増幅器であり得る。光増幅器の段数は、設計により変化し得る。
【００３０】
図２Ｂは、光増幅器３５１＿Ｌ（Ｌは１〜Ｎの任意数）の構成例を示す。光増幅器３５１＿Ｌは、ＣＯ２レーザガスを含む放電励起式の増幅器であってもよい。光増幅器３５１＿Ｌは、入力ウインドウ３５１１と、出力ウインドウ３５１２と、１対の電極３５１３、３５１４と、放電領域３５１５に密封されたレーザガスと、を含んでもよい。
【００３１】
ＲＦ電源３５１６からの電圧が、電極３５１３、３５１４間に印加され、レーザガスが励起され得る。入力ウインドウ３５１から入射したパルスレーザ光は、励起されたレーザガスにおいて増幅され、出力ウインドウ３５２から出力されてもよい。
【００３２】
マスタオシレータ３５０がＱＣＬのような小出力（数十ｍＷ）の装置である場合、第１段の光増幅器３５１＿１は、光共振器、ＥＯ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｏｐｔｉｃ）ポッケルスセル、及び、偏光子を含む、再生増幅器であってもよい。
【００３３】
光アイソレータ３５２＿０〜３５２＿Ｎは、マスタオシレータ３５０と光増幅器３５１＿１との間と、二つの連続する光増幅器のそれぞれの間と、光増幅器３５１＿Ｎの下流側と、のどこかの光路上、またはそれぞれの光路上に配置されていてもよい。光アイソレータ３５２＿０〜３５２＿Ｎは、バーストパルスを生成し、ターゲット２７からの反射光がマスタオシレータ３５０に到達するのを抑制し得る。
【００３４】
光アイソレータ３５２＿０〜３５２＿Ｎの一部は、省略されていてもよい。例えば、光増幅器３５１＿Ｌから下流側の全ての光アイソレータは、パルスレーザ光に対して耐性がない場合、省略されていてもよい。少なくとも一つの光アイソレータを、パルスエネルギが低い上流側の一箇所、例えば、マスタオシレータ３５０と光増幅器３５１＿１との間、光増幅器３５１＿１と光増幅器３５１＿２との間又は光増幅器３５１＿２と光増幅器３５１＿３と間の光路上に配置してもよい。
【００３５】
４．２  動作
光増幅器３５１＿１〜３５１＿Ｎは、それぞれ、ＲＦ電源３５１６によって電極３５１３、３５１４に電圧を加え、放電領域３５１５でレーザガスを励起しもよい。マスタオシレータ３５０は、所定の繰り返し周波数で、レーザ発振してもよい。光増幅器３５１＿１〜３５１＿Ｎは、マスタオシレータ３５０からパルスレーザ光が入射していない時においても、ＲＦ電源３５１６によって放電してレーザガスを励起し得る。
【００３６】
マスタオシレータ３１から出力されたパルスレーザ光は、光増幅器３５１＿１に入射し、光増幅器３５１＿１を通過することによって増幅され得る。光増幅器３５１＿１から出力された増幅されたパルスレーザ光は、光増幅器３５１＿２に入射し、光増幅器３５１＿２を通過することによってさらに増幅され得る。
【００３７】
このように、光増幅器３５１＿Ｋ−１（Ｋは２からＮの任意数）から出力されたパルスレーザ光は、光増幅器３５１＿Ｋに入射し、光増幅器３５１＿Ｋを通過することによってさらに増幅され得る。増幅されたパルスレーザ光は、レーザ集光ミラー２２によってターゲット２７に集光され得る。パルスレーザ光が集光されたターゲット２７はプラズマ化し、プラズマからＥＵＶ光が放射され得る。
【００３８】
４．３  自励発振の課題
例えば、光増幅器３５１＿Ｋで発生した自然放出光がマスタオシレータ３５０に向かって進行し、複数の光増幅器によって増幅され、自励発振光となり得る。また、光増幅器で発生した自然放出光及び自然放出光に起因する自励発振光は、レーザ装置３の光学素子に反射され、光学素子の反射面によってはいずれの方向にも進み得る。
【００３９】
図３は、自励発振光の、光増幅器３５１＿Ｌのゲインと光増幅器３５１＿Ｌのパルスレーザ光出力に対する影響を模式的に示している。図３において、破線３８１は、自励発振が存在しない場合のゲインを示し、実線３８２は、自励発振が存在する場合のゲインを示す。また、破線３８５は、自励発振が存在しない場合の光増幅器のパルスレーザ光出力を示し、実線３８６は、自励発振が存在する場合の光増幅器のパルスレーザ光出力を示す。図３に示すように、自励発振は、光増幅器３５１＿Ｌの増幅ゲインを消費して増幅率を低下させ、パルスレーザ光の出力を低下させ得る。
【００４０】
また、自励発振光がマスタオシレータ３５０に入射した場合、自励発振光によってマスタオシレータ３５０の光学部品が損傷を受け得る。このほか、自励発振光により、光アイソレータ３５２＿０〜３５２＿Ｎの端面が損傷し得る。光アイソレータ３５２＿０〜３５２＿Ｎの端面が損傷すると、損傷部周辺のパルスレーザ光透過率が低下してパルスレーザ光が減衰してしまう上、損傷部周辺のパルスレーザ光吸収率が上がり素子の加熱を招き得る。
【００４１】
５．実施形態１
５．１  構成
図４は、本実施形態におけるレーザ装置３の一部の構成例を模式的に示している。光増幅器３５１＿１は、チャンバ３５１７内に、各構成要素を含んでもよい。チャンバ３５１７に、入力ウインドウホルダ３５１８及び出力ウインドウホルダ３５１９が固定されていてもよい。入力ウインドウホルダ３５１８及び出力ウインドウホルダ３５１９は、それぞれ、入力ウインドウ３５１１及び出力ウインドウ３５１２を保持していてもよい。
【００４２】
光増幅器３５１＿１において、入力ウインドウ３５１１及び出力ウインドウ３５１２、図示しないコリメート光学系を構成する光学素子は、パルスレーザ光４５１の光軸に対して９０度以外の角度で光が入射するよう配置されてもよい。これにより、光増幅器３５１＿１前後の光アイソレータ３５２＿０、３５２＿１に、自励発振光が直接入射するのを抑制し得る。入力ウインドウ３５１１及び出力ウインドウ３５１２は、パルスレーザ光４５１の光軸に対して異なる角度を有していてもよい。他の光増幅器も同様の構成を有していてもよい。
【００４３】
図４は、自励発振光の一例４５２を示している。光反射体４０１は、光増幅器３５１＿１からの自励発振光４５２の進行経路上に配置されてもよい。光反射体４０１は、自励発振光４５２の少なくとも一部を反射し得る。図４に示すように、光反射体４０１は、光アイソレータ３５０＿０と光増幅器３５１＿１との間に配置されてもよい。
【００４４】
光反射体４０１は、パルスレーザ光４５１の進行を阻害しない位置に配置されてもよい。図４の例のように、光反射体４０１は、パルスレーザ光４５１の光路から完全に外れた位置に配置されてもよい。
【００４５】
光反射体４０１は、板状であって、平面状の反射面４０１１を有していてもよい。反射面４０１１は曲面であってもよい。反射面４０１１は、自励発振光４５２を出力する光増幅器３５１＿１側に傾いていてもよい。反射面４０１１の中心における法線方向とパルスレーザ光４５１進行方向が形成する角度は、０度より大きく９０度より小さい鋭角であってもよい。光反射体４０１及び反射面４０１１の構造についての詳細は後述する。
【００４６】
光吸収体４０２は、光反射体４０１によって反射された自励発振光４５２を受光する位置に配置されていてもよい。光吸収体４０２は、光反射体４０１によって反射された自励発振光４５２を直接受光してもよい。光反射体４０１によって反射された自励発振光４５２は、他の素子に反射されることも他の素子を透過することもなく、光吸収体４０２に入射してもよい。光吸収体４０２は、光反射体４０１によって反射された自励発振光４５２を、他の素子を介して間接的に受光してもよい。
【００４７】
図４に示すように、光吸収体４０２は、光アイソレータ３５０＿０と光反射体４０１との間に配置されてもよい。光吸収体４０２は、パルスレーザ光４５１の光路に対して、図４に示すように光反射体４０１と反対側に配置されていてもよい。光吸収体４０２は、パルスレーザ光４５１の光路に対して、光反射体４０１と同じ側に配置されていてもよい。
【００４８】
光吸収体４０２は、パルスレーザ光４５１の進行を阻害しない位置に配置されてもよい。図４の例のように、光吸収体４０２は、パルスレーザ光４５１の光路から完全に外れた位置に配置されてもよい。
【００４９】
光吸収体４０２は、板状であって、平面又は曲面の吸収面４０２１を有していてもよい。吸収面４０２１は、光反射体４０１で反射された自励発振光４５２の少なくとも一部を吸収し得る。吸収体４０２及び吸収面４０２１の詳細は後述する。
【００５０】
５．２  動作
マスタオシレータ３５０から出力されたパルスレーザ光４５１は、光アイソレータ３５２＿０の出力口３５２１を通過して、光増幅器３５１＿１にて増幅され得る。例えば、出力ウインドウ３５１２によって反射された自然放出光や出力ウインドウ３５１２を通過して入射した自然放出光は、励起されたレーザガスによって増幅され自励発振光４５２となり得る。
【００５１】
自励発振光４５２の一部は、入力ウインドウ３５１１を通過し、光アイソレータ３５２＿０側に出力され得る。入力ウインドウ３５１１を通過した自励発振光４５２は、光反射体４０１に向かって進み、反射面４０１１で反射され得る。図４の例において、反射面４０１１は、光増幅器３５１＿１からの自励発振光４５２を、光アイソレータ３５２＿０の出力口３５２１から外れた方向に反射し得る。
【００５２】
反射面４０１１は、自励発振光４５２を光吸収体４０２に向けて反射し得る。光吸収体４０２の吸収面４０２１は、反射面４０１１で反射された自励発振光４５２を吸収し得る。
【００５３】
５．３  効果
光増幅器３５１＿１からの自励発振光４５２を光反射体４０１で反射し、反射された自励発振光４５２を光吸収体４０２で吸収することで、自励発振光４５２によって光アイソレータ３５２＿０の端面が損傷するのを抑制し得る。特に、自励発振光４５２の進行経路が予め予測できる場合、当該経路上に板状の光反射体４０１を配置することで、板状の光反射体４０１と板状の光吸収体４０２を用いる簡単な構成で自励発振光の伝達を抑制し得る。光反射体４０１及び光吸収体４０２は、光増幅器３５１＿１からの自励発振光４５２の他、自然放出光の伝播も抑制し得る。光吸収体は、光反射体で反射された光がいずれかの光増幅器の放電領域（増幅領域）に入射するのを抑制し得る。
【００５４】
５．４  その他
本実施形態の光反射体４０１及び光吸収体４０２は、他の光増幅器３５１＿２〜３５１＿Ｎからの自励発振光を反射及び吸収する位置に配置し得る。光反射体４０１及び光吸収体４０２は、例えば、光増幅器の出力側と光アイソレータの入力側との間、光アイソレータが存在しない構成における光増幅器の間、光アイソレータが存在しない構成における光増幅器とマスタオシレータとの間、に配置し得る。この点は他の実施形態において同様であり得る。
【００５５】
６．実施形態２
以下において、実施形態２を説明する。本実施形態においては、主に、実施形態１との差異を説明する。
【００５６】
６．１  構成
図５Ａは、本実施形態におけるレーザ装置３の一部構成の例を模式的に示している。図５Ｂは、図５Ａにおける光反射体５０１及び光吸収体５０２の斜視図を示す。図５Ａ及び図５Ｂに示すように、光反射体５０１及び光吸収体５０２は一体的に形成されていてもよい。光反射体５０１及び光吸収体５０２は分離されていてもよい。
【００５７】
光反射体５０１は、筒状の円錐形状を有していてもよい。光反射体５０１は、上端孔５０１２及び下端孔５０１３を有していてもよい。下端孔５０１３から上端孔５０１２に向かって、光反射体５０１の内径及び外径が漸減してもよい。光反射体５０１の外周面５０１１は、自励発振光４５２を反射する反射面であってもよい。光反射体５０１の外周面５０１１は、光増幅器３５１＿１に向いていてもよい。光反射体５０１の内周面５０１５は、光アイソレータ３５２＿０に向いていてもよい。
【００５８】
光反射体５０１の中心軸は、パルスレーザ光４５１の光軸に沿っていてもよい。上端孔５０１２は、光増幅器３５１＿１に向いていてもよい。下端孔５０１３は、光アイソレータ３５２＿０に向いていてもよい。上端孔５０１２及び下端孔５０１３は、パルスレーザ光４５１を通過させ得る。
【００５９】
光吸収体５０２は、円筒形状を有していてもよい。光吸収体５０２は、円筒形状と異なる筒形状を有していてもよい。光吸収体５０２は、内部に光反射体５０１を収容していてもよい。光吸収体５０２の中心軸は、光反射体５０１の中心軸と一致していてもよい。
光吸収体５０２の内周面５０２１は、吸収面であってもよい。吸収面５０２１は、光反射体５０１の反射面５０１１に向いていてもよい。吸収面５０２１は、光反射体５０１の反射面５０１１で反射された自励発振光４５２を吸収してもよい。
【００６０】
光反射体５０１の内径は、下端孔５０１３から上端孔５０１２に向けて漸減しなくてもよい。例えば、光反射体５０１の内径は、中心軸方向において一定でもよい。光反射体５０１の中心軸に垂直な断面は、外周面５０１１において、真円と異なる形状を有していてもよい。例えば、楕円形状を有していてもよい。同様に、光吸収体５０２の中心軸に垂直な断面は、内周面５０２１において、真円と異なる形状を有していてもよい。例えば、楕円形状を有していてもよい。光吸収体５０２の内径は、中心軸方向において変化してもよい。
【００６１】
６．２  動作
マスタオシレータ３５０から出力されたパルスレーザ光４５１は、光反射体５０１の下端孔５０１３及び上端孔５０１２を通過して、光増幅器３５１＿１に入射し得る。光増幅器３５１＿１からの自励発振光４５２は、入力ウインドウ３５１１を通過し、光アイソレータ３５２＿０側に出力され得る。入力ウインドウ３５１１を通過した自励発振光４５２は、光反射体５０１の反射面５０１１で反射され得る。
【００６２】
凸面である外周面５０１１で反射された自励発振光４５２は、円錐の径方向において広がりながら、光反射体５０１の周囲に進行し得る。光反射面５０１１で反射された自励発振光４５２は、光吸収体５０２の内周面５０２１で吸収され得る。
【００６３】
６．３  効果
本実施形態は、筒状の光反射体５０１及び光吸収体５０２を使用することで、様々な方向に進む自励発振光４５２をより確実に吸収し得る。さらに、本実施形態は、吸収面５０２１の損傷を低減し得る。具体的には、円錐形状を有する光反射体５０１の外周面５０１１は曲面である。円錐の外周面５０１１で反射された自励発振光４５２は、円錐の径方向において広がりながら、光反射体５０１の周囲に進行する。これにより自励発振光４５２のエネルギ密度が低下し、吸収面５０２１の損傷を低減し得る。これにより、光吸収体５０２により反射され得る自励発振光４５２を低減し得る。
【００６４】
７．実施形態３
以下において、実施形態３を説明する。本実施形態においては、主に、上記他の実施形態との差異を説明する。
【００６５】
７．１  構成
図６は、本実施形態におけるレーザ装置３の一部の構成例を模式的に示している。図６に示すように、光反射体６０１及び光吸収体６０２は分離されていてもよい。光反射体６０１及び光吸収体６０２は一体的に形成されていてもよい。
【００６６】
光反射体６０１は、筒状の円錐形状を有していてもよい。光反射体６０１は、上端孔６０１２及び下端孔６０１３を有していてもよい。上端孔６０１２の径は、下端孔６０１３の径よりも小さくてもよい。光反射体６０１の内周面６０１１は、自励発振光４５２を反射する反射面であってもよい。光反射体６０１の内周面６０１１は、光増幅器３５１＿１に向いていてもよい。光反射体６０１の外周面６０１５は、光アイソレータ３５２＿０に向いていてもよい。
【００６７】
光反射体６０１の中心軸は、パルスレーザ光４５１の光軸に沿っていてもよい。上端孔６０１２は、光アイソレータ３５２＿０に向いていてもよい。下端孔６０１３は、光増幅器３５１＿１に向いていてもよい。上端孔６０１２及び下端孔６０１２は、パルスレーザ光４５１を通過させ得る。
【００６８】
光吸収体６０２は、光反射体６０１と光アイソレータ３５２＿０との間に配置されていてもよい。光吸収体６０２は、光反射体６０１に近接して配置されていてもよい。光吸収体６０２は、円筒形状を有していてもよい。光吸収体６０２は、円筒形状と異なる筒形状を有していてもよい。光吸収体６０２の孔６０２２は、光反射体６０１の上端孔６０１２に向いていてもよい。光吸収体６０２の中心軸は、パルスレーザ光４５１の光軸に沿っていてもよい。パルスレーザ光４５１は、光吸収体６０２内を通過し得る。
【００６９】
光吸収体６０２の内周面６０２１は、吸収面であってもよい。吸収面６０２１は、光反射体６０１の反射面６０１１で反射された自励発振光４５２を吸収してもよい。光吸収体６０２が光反射体６０１からの反射光をより確実に受けるように、光吸収体６０２の孔６０２２の径は、光反射体６０１の孔６０１２の径よりも大きくてもよい。
【００７０】
光反射体６０１の外径は、下端孔６０１３から上端孔６０１２に向けて漸減しなくてもよい。例えば、光反射体６０１の外径は、中心軸方向において一定でもよい。光反射体６０１の中心軸に垂直な断面は、内周面６０１１において、真円形状でなく、楕円形状を有していてもよい。光吸収体６０２の中心軸に垂直な断面は、内周面６０２１において、真円形状でなく、楕円形状を有していてもよい。光吸収体６０２の内径は、中心軸方向において変化してもよい。
【００７１】
７．２  動作
マスタオシレータ３５０から出力されたパルスレーザ光４５１は、光吸収体６０２内及び光反射体６０１内を通過して、光増幅器３５１＿１に入射し得る。光増幅器３５１＿１からの自励発振光４５２は、入力ウインドウ３５１１を通過し、光アイソレータ３５２＿０側に出力され得る。入力ウインドウ３５１１を通過した自励発振光４５２は、光反射体６０１の内周面である反射面６０１１で反射され得る。
【００７２】
凹面である光反射体６０１の内周面６０１１で反射された自励発振光４５２は、円錐の径方向において収束した後に、広がりながら進行し得る。光反射面６０１１で反射された自励発振光４５２は、光吸収体６０２の内周面６０２１で吸収され得る。
【００７３】
７．３  効果
本実施形態は、筒状の光反射体６０１及び光吸収体６０２を使用することで、様々な方向に進む自励発振光４５２をより確実に吸収し得る。さらに、本実施形態は、吸収面６０２１の損傷を低減し得る。具体的には、円錐形状を有する光反射体６０１の内周面６０１１は曲面である。円錐の内周面６０１１で反射された自励発振光４５２は、円錐の径方向において収束した後に、広がりながら進行し得る。これにより自励発振光４５２のエネルギ密度が低下し、吸収面６０２１の損傷を低減し得る。
【００７４】
８．実施形態４
以下において、実施形態４を説明する。本実施形態においては、主に、上記他の実施形態との差異を説明する。
【００７５】
８．１  構成
図７Ａは、本実施形態におけるレーザ装置３の一部の構成例を模式的に示している。図７Ａに示すように、第１光増幅器３５１＿Ａ及び第２光増幅器３５１＿Ｂの間に、第１光反射体７０１Ａ、第２光反射体７０１Ｂ及び光吸収体７０２が配置されていてもよい。第１光反射体７０１Ａ、第２光反射体７０１Ｂ及び光吸収体７０２は分離されていてもよく、一体で形成されていてもよい。
【００７６】
第１光増幅器３５１＿Ａの入力側には、レンズ７５０が配置されていてもよい。第１光増幅器３５１＿Ａ及び第２増幅器３５１＿Ｂの間には、光アイソレータは配置されていなくてもよい。第１光増幅器３５１＿Ａ及び第２光増幅器３５１＿Ｂの構成は、上記他の実施形態と同様でよく、説明を省略する。
【００７７】
第１光反射体７０１Ａは、第１光増幅器３５１＿Ａと第２光反射体７０１Ｂとの間に配置されていてもよい。第１光反射体７０１Ａは、筒状の円錐形状を有していてもよい。第１光反射体７０１Ａは、上端孔７０１２Ａ及び下端孔７０１３Ａを有していてもよい。下端孔７０１３Ａから上端孔７０１２Ａに向かって、第１光反射体７０１Ａの内径及び外径が漸減してもよい。
【００７８】
第１光反射体７０１Ａの内周面７０１１Ａ及び外周面７０１５Ａは、自励発振光４５２を反射する反射面であってもよい。第１光反射体７０１Ａの外周面７０１５Ａは、第２光増幅器３５１＿Ｂに向いていてもよい。第１光反射体７０１Ａの内周面７０１１Ａは、第１光増幅器３５１＿Ａに向いていてもよい。
【００７９】
第１光反射体７０１Ａの中心軸は、パルスレーザ光４５１の光軸に沿っていてもよい。上端孔７０１２Ａは、第２光増幅器３５１＿Ｂに向いていてもよい。下端孔７０１３Ａは、第１光増幅器３５１＿Ａに向いていてもよい。上端孔７０１２Ａ及び下端孔７０１３Ａは、パルスレーザ光４５１を通過させ得る。
【００８０】
第２光反射体７０１Ｂは、第１光反射体７０１Ａと第２光増幅器３５１＿Ｂとの間に配置されていてもよい。第２光反射体７０１Ｂは、筒状の円錐形状を有していてもよい。第２光反射体７０１Ｂは、上端孔７０１２Ｂ及び下端孔７０１３Ｂ有していてもよい。下端孔７０１３Ｂから上端孔７０１２Ｂに向かって、第２光反射体７０１Ｂの内径及び外径が漸減してもよい。
【００８１】
第２光反射体７０１Ｂの内周面７０１１Ｂ及び外周面７０１５Ｂは、自励発振光４５２を反射する反射面であってもよい。第２光反射体７０１Ｂの外周面７０１５Ｂは、第１光増幅器３５１＿Ａに向いていてもよい。第２光反射体７０１Ｂの内周面７０１１Ｂは、第２光増幅器３５１＿Ｂに向いていてもよい。
【００８２】
第２光反射体７０１Ｂの中心軸は、パルスレーザ光４５１の光軸に沿っていてもよい。上端孔７０１２Ｂは、第１光増幅器３５１＿Ａに向いていてもよい。下端孔７０１３Ｂは、第２光増幅器３５１＿Ｂに向いていてもよい。上端孔７０１２Ｂ及び下端孔７０１３Ｂは、パルスレーザ光４５１を通過させ得る。
【００８３】
光吸収体７０２は、円筒形状を有していてもよい。光吸収体７０２は、円筒形状と異なる筒形状を有していてもよい。光吸収体７０２は、内部に第１光反射体７０１Ａ及び第２光反射体７０１Ｂを収容していてもよい。光吸収体７０２の中心軸は、第１光反射体７０１Ａ及び第２光反射体７０１Ｂの中心軸と一致していてもてよい。
【００８４】
光吸収体７０２の内周面７０２１は、吸収面であってもよい。吸収面７０２１は、第１光反射体７０１Ａの外周面７０１５Ａ及び第２光反射体７０１Ｂの外周面７０１５Ｂに向いていてもよい。吸収面７０２１は、第１光反射体７０１Ａの反射面７０１１Ａ、７０１５Ａで反射された自励発振光４５２を吸収してもよい。吸収面７０２１は、第２光反射体７０１Ｂの反射面７０１１Ｂ、７０１５Ｂで反射された自励発振光４５２を吸収し得る。
【００８５】
第１光反射体７０１Ａ及び第２光反射体７０１Ｂの中心軸に垂直な断面は、それぞれ、外内周面において、真円と異なる形状を有していてもよい。例えば、楕円形状を有していてもよい。同様に、光吸収体７０２の中心軸に垂直な断面は、内周面７０２１において、真円と異なる形状を有していてもよい。例えば、楕円形状を有していてもよい。光吸収体７０２の内径は、中心軸方向において変化してもよい。
【００８６】
８．２  動作
第１光増幅器３５１＿Ａからのパルスレーザ光４５１は、第１及び第２光反射体７０１Ａ、７０１Ｂ及び光吸収体７０２内を通過して、第２光増幅器３５１＿Ｂに入射し得る。第１光増幅器３５１＿Ａから第２光増幅器３５１＿Ｂに向かう自励発振光４５２は、第１光反射体７０１Ａの内周面７０１１Ａ又は第２光反射体７０１Ｂの外周面７０１５Ｂに反射され得る。第２光増幅器３５１＿Ｂから第１光増幅器３５１＿Ａに向かう自励発振光４５２は、第２光反射体７０１Ｂの内周面７０１１Ｂ又は第１光反射体７０１Ａの外周面７０１５Ａに反射され得る。
【００８７】
凸面である第１光反射体７０１Ａの外周面７０１５Ａ又は第２光反射体７０１Ｂの外周面７０１５Ｂで反射された自励発振光４５２は、広がりながら進行し得る。凹面である第１光反射体７０１Ａの内周面７０１１Ａ又は第２光反射体７０１Ｂの内周面７０１１Ｂで反射された自励発振光４５２は、収束した後に、広がりながら進行し得る。第１光反射体７０１Ａ及び第２光反射体７０１Ｂで反射された自励発振光４５２は、光吸収体７０２の内周面７０２１で吸収され得る。
【００８８】
８．３  開き角度
図７Ｂ及び７Ｃは、第１光反射体７０１Ａの外周面７０１５Ａと内周面７０１１Ａとの間における、開き角度の関係を模式的に示している。図７Ｂに示すように、内周面７０１１Ａの開き角度７０１６Ａは、外周面７０１５Ａの開き角度７０１７Ａと一致していてもよい。
【００８９】
図７Ｃに示すように、内周面７０１１Ａの開き角度７０１６Ａは、外周面７０１５Ａの開き角度７０１７Ａと異なっていてもよい。具体的には、内周面７０１１Ａの開き角度７０１６Ａは、外周面７０１５Ａの開き角度７０１７Ａよりも小さくてもよい。図７Ｃに示すように、第１光反射体７０１Ａの厚みは、下端孔７０１３Ａから上端孔７０１２Ａに向かって、漸減してもよい。つまり、外径の減少率は内径の減少率より大きくてもよい。
【００９０】
図７Ｃに示すように、第１光反射体７０１Ａの上端孔７０１２Ａの周縁部は、鋭角であってもよい。同様に、第１光反射体７０１Ａの下端孔７０１３Ａの周縁部は、鋭角であってもよい。なお、図７Ｂ及び図７Ｃを参照して説明した構成は、第２光反射体７０１Ｂに適用し得る。
【００９１】
８．４  効果
本実施形態は、第１光増幅器３５１＿Ａ及び第２光増幅器３５１＿Ｂからの自励発振光４５２の伝播を効果的に抑制することができる。また、本実施形態は、光反射体７０１Ａ、７０１Ｂの内周面７０１１Ａ、７０１１Ｂの開き角を、外周面７０１５Ａ、７０１５Ｂの開き角より小さくすることで、光反射体７０１Ａ、７０１Ｂの内周面７０１１Ａ、７０１１Ｂに入射する自励発振光の入射角を大きくし得る。これにより、下端孔７０１３Ａ、７０１３Ｂを通過して内周面７０１１Ａ、７０１１Ｂで反射した、より多くの自励発振光４５２が、上端孔７０１２Ａ、７０１２Ｂを通過し得る。
【００９２】
光反射体７０１Ａ、７０１Ｂの上端孔７０１２Ａ、７０１２Ｂ及び／又は下端孔７０１３Ａ、７０１３Ｂの周縁部を鋭角に形成することで、光反射体７０１Ａ、７０１Ｂの端面で０度に近い入射角で自励発振光４５２が反射されて第１光増幅器３５１＿Ａ及び第２光増幅器３５１＿Ｂに入射されるのを抑制し、自励発振光４５２の反射方向をより効果的に制御し得る。
【００９３】
９．実施形態５
以下において、実施形態５を説明する。本実施形態においては、主に、上記他の実施形態との差異を説明する。
【００９４】
９．１  構成
図８は、本実施形態におけるレーザ装置３の一部の構成例を模式的に示している。図８に示すように、第１光増幅器３５１＿Ａと第２光増幅器３５１＿Ｂとの間に、第１光反射体８０１Ａ、第２光反射体８０１Ｂ、第１光吸収体８０２Ａ、第２光吸収体８０２Ｂが配置されていてもよい。第１光反射体８０１Ａ及び第１光吸収体８０２Ａは、一体的又は分離して形成されていてもよい。第２光反射体８０１Ｂ及び第２光吸収体８０２Ｂは、一体的又は分離して形成されていてもよい。
【００９５】
第１光吸収体８０２Ａは、第１光増幅器３５１＿Ａと第１光反射体８０１Ａとの間に配置されていてもよい。第１光反射体８０１Ａは、第１光吸収体８０２Ａと第２光反射体８０１Ｂとの間に配置されていてもよい。第２光反射体８０１Ｂは、第１光反射体８０１Ａと第２光吸収体８０２Ｂとの間に配置されていてもよい。第２光吸収体８０２Ｂは、第２光反射体８０１Ｂと第２光増幅器３５１＿Ｂとの間に配置されていてもよい。
【００９６】
第１光吸収体８０２Ａは、第１光増幅器３５１＿Ａの出力ウインドウ３５１２に近接して配置されていてもよい。第１光反射体８０１Ａは、第１光吸収体８０２Ａに近接して配置されていてもよい。第２光吸収体８０２Ｂは、第２光増幅器３５１＿Ｂの入力ウインドウ３５１１に近接して配置されていてもよい。第２光反射体８０１Ｂは、第２光吸収体８０２Ｂに近接して配置されていてもよい。
【００９７】
第１光反射体８０１Ａは、筒状の円錐形状を有していてもよい。第１光反射体８０１Ａの内径は、下端孔から上端孔に向かって漸減してもよい。第１光反射体８０１Ａの内周面８０１１Ａは、自励発振光４５２を反射する反射面であってもよい。第１光反射体８０１Ａの内周面８０１１Ａは、第２光増幅器３５１＿Ｂに向いていてもよい。第１光反射体８０１Ａの中心軸は、パルスレーザ光４５１の光軸に沿っていてもよい。第１光反射体８０１Ａの下端孔は、第２光増幅器３５１＿Ｂに向いていてもよい。
【００９８】
第１光吸収体８０２Ａは、円筒形状を有していてもよい。第１光吸収体８０２Ａは、円筒形状と異なる筒形状を有していてもよい。第１光吸収体８０２Ａの中心軸は、パルスレーザ光４５１の光軸に沿っていてもよい。第１光吸収体８０２Ａの内周面８０２１Ａは、吸収面であってもよい。第１光反射体８０１Ａと第１光吸収体８０２Ａとの関係は、実施形態３における光反射体６０１と光吸収体６０２との関係に類似し得る。
【００９９】
第２光反射体８０１Ｂは、筒状の円錐形状を有していてもよい。第２光反射体８０１Ｂの内周面８０１１Ｂは、自励発振光４５２を反射する反射面であってもよい。第２光反射体８０１Ｂの内径は、下端孔から上端孔に向かって漸減してもよい。第２光反射体８０１Ｂの内周面８０１１Ｂは、第１光増幅器３５１＿Ａに向いていてもよい。第２光反射体８０１Ｂは、パルスレーザ光４５１の光軸に沿っていてもよい。第２光反射体８０１Ｂの下端孔は、第１光増幅器３５１＿Ａに向いていてもよい。
【０１００】
第２光吸収体８０２Ｂは、円筒形状を有していてもよい。第２光吸収体８０２Ｂは、円筒形状と異なる筒形状を有していてもよい。第２光吸収体８０Ｂの中心軸は、パルスレーザ光４５１の光軸に沿っていてもよい。第２光吸収体８０２Ｂの内周面８０２１Ｂは、吸収面であってもよい。第２光反射体８０１Ｂ及び第２光吸収体８０２Ｂは、第１光反射体８０１Ａ及び第１光吸収体８０２Ａと対称であり得る。
【０１０１】
光反射体８０１Ａ、８０１Ｂの外径は、下端孔から上端孔向けて漸減しなくてもよく、例えば、中心軸方向において一定でもよい。光反射体８０１Ａ、８０１Ｂの中心軸に垂直な断面は、内周面において、真円でなく、楕円形状を有していてもよい。光吸収体８０２Ａ、８０２Ｂの中心軸に垂直な断面は、内周面において、真円でなく、楕円形状を有していてもよい。光吸収体８０２Ａ、８０２Ｂの内径は、中心軸方向において変化してもよい。
【０１０２】
９．２  動作
第１光増幅器３５１＿Ａからのパルスレーザ光４５１は、第１光吸収体８０２Ａ、第１光反射体８０１Ａ、第２光反射体８０１Ｂ、第２光吸収体８０２Ｂ内を通過して、第２光増幅器３５１＿Ｂに入射し得る。第１光増幅器３５１＿Ａから第２光増幅器３５１＿Ｂに向かう自励発振光４５２は、第２光反射体８０１Ｂの内周面８０１１Ｂに反射され得る。第２光増幅器３５１＿Ｂから第１光増幅器３５１＿Ａに向かう自励発振光４５２は、第１光反射体８０１Ａの内周面８０１１Ａに反射され得る。
【０１０３】
凹面である第１光反射体８０１Ａの内周面８０１１Ａ又は第２光反射体８０１Ｂの内周面８０１１Ｂで反射された自励発振光４５２は、収束した後に、広がりながら進行し得る。第１光反射体８０１Ａで反射された自励発振光４５２は、第１光吸収体８０２Ａの内周面８０２１Ａで吸収され得る。第２光反射体８０１Ｂで反射された自励発振光４５２は、第２光吸収体８０２Ｂの内周面８０２１Ｂで吸収され得る。第１光吸収体８０２Ａ及び第２光吸収体８０２Ｂは、それぞれ、第１光増幅器３５１＿Ａ及び第２光増幅器３５１＿Ｂから直接入射した自励発振光４５２を吸収し得る。
【０１０４】
９．３  効果
本実施形態においては、光反射体８０１Ａ、８０１Ｂの端面が、第１光増幅器３５１＿Ａ及び第２光増幅器３５１＿Ｂからの自励発振光４５２に照射されにくいため、自励発振光４５２の反射方向をより効果的に制御し得る。
【０１０５】
１０．光反射体及び光吸収体の構成要素
１０．１  光反射材料
光反射体は、全体が自励発振光を反射する光反射材料で形成されていてもよく、本体表面に自励発振光を反射する反射材料で形成された反射層を有していてもよい。自励発振光の光反射材料としては、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ等金属を使用することができる。光反射材料は、自励発振光の少なくとも一部の波長の光を反射し得る。
【０１０６】
１０．２  光反射面の表面処理
光反射体の反射面は、研磨された面でもよい。反射面は、反射率を高めるコーティングが施されてもよい。コーティングは、屈折率の異なる２種類の材料を交互に積層した膜によって構成されてもよい。例えば、膜は高屈折率材料としてＺｎＳｅ、ＺｎＳ、低屈折率材料としてＴｈＦ４、ＰｂＦ２を使用してもよい。高屈折率材料と低屈折率材料の膜厚を制御することによって、所望の分光反射率特性を実現してもよい。コーティングを施す場合、光反射体の基板材としてはＺｎＳｅ、ダイヤモンド等を使用してもよい。また、自励発振光の入射角が大きい場合、表面研磨されたＺｎＳｅ、ダイヤモンド等を光反射材料として使用してもよい。
【０１０７】
１０．３  光吸収材料
光吸収体は、全体が自励発振光を吸収する光吸収材料で形成されていてもよく、本体表面に自励発振光を吸収する光吸収材料で形成された吸収層を有していてもよい。光吸収材料としては、Ａｌ、Ｃｕ等金属のほかＳｉ、ＧａＡｓ、ＺｎＳｅ、ダイヤモンド等を使用することができる。光吸収材料は、自励発振光の少なくとも一部の波長の光を吸収し得る。
【０１０８】
１０．４  吸収面の表面処理
図９Ａ及び図９Ｂは、光吸収体９０１の構成例を示す。光吸収体９０１は、基板９１２と、光吸収材料で形成された吸収面９１０を有していてもよい。吸収面９１０にはフィン９１１を形成してもよい。フィン９１１により、反射光の拡散を抑制し得る。吸収面９１０は、サンドブラストによって所定の表面粗さを持った表面に仕上げられてもよい。これにより、吸収率を高め得る。
【０１０９】
吸収面９１０は、吸収率を高めるコーティングが施されてもよい。コーティングは、例えば、アルマイトでもよい。若しくは、コーティングは屈折率の異なる２種類の材料を交互に積層した膜でもよい。例えば、高屈折率材料としてＺｎＳｅ又はＺｎＳ、低屈折率材料としてＴｈＦ４又はＰｂＦ２を使用してもよい。高屈折率材料と低屈折率材料の膜厚を調整することによって、反射防止膜を実現してもよい。
【０１１０】
１０．５  光吸収体温度調節機構
図９Ａ及び図９Ｂに示すように、光吸収体９０１は温度調節機構を備えてもよい。図９Ａに示すように、温度調節機構は、光吸収体９０１に形成された温度調節媒体通路９１３と、温度調節媒体循環装置９３１と、温度調節器９３２とを含んでもよい。温度調節機構は光の吸収による光吸収体９０１の熱を排出し、光吸収体９０１の過熱を抑制し得る。若しくは、図９Ｂに示すように、温度調節機構は、吸収面９１０と異なる面に、空冷フィン９３３を有していてもよい。
【０１１１】
１１．光増幅器
以下において、光増幅器３５１＿Ｌのバリエーションを説明する。レーザ装置３は、以下に説明するいずれの構成の光増幅器も使用し得る。
【０１１２】
１１．１  光路が交差するスラブ型増幅器
図１０Ａ及び図１０Ｂは、光路が交差するスラブ型増幅器３５１＿Ｌの構成例を模式的に示している。図１０Ｂは、図１０ＡにおけるＸＢ−ＸＢ断面図を示す。スラブ型増幅器３５１＿Ｌは、他の構成要素を収容するチャンバ３５１７を含んでもよい。スラブ型増幅器３５１＿Ｌは、さらに、ＣＯ２を含むレーザガスと、放電によりレーザガスを励起する電極３５１３、３５１４と、電極３５１３、３５１４にＲＦ電圧を供給するＲＦ電源３５１６と、を含んでもよい。
【０１１３】
スラブ型増幅器３５１＿Ｌは、シードレーザ光４５１１をチャンバ３５１７内に導入する入力ウインドウ３５１１と、増幅されたレーザ光４５１２を出力する出力ウインドウ３５１２と、チャンバ３５１７内部でレーザ光を反射する入力側ミラー３５５１及び出力側ミラー３５５２とを含んでもよい。
【０１１４】
レーザ光は、励起されたレーザガス内において、入力側ミラー３５５１と出力側ミラー３５５２と間で、反射を繰り返し、増幅され得る。レーザガス内で反射を繰り返すレーザ光の光路は、交差し得る。
【０１１５】
１１．２  光路が交差しないスラブ型増幅器
図１１Ａ及び１１Ｂは、スラブ型増幅器３５１＿Ｌの他の構成例を模式的に示している。図１１Ｂは、図１１ＡにおけるＸＩＢ−ＸＩＢ断面図を示す。本例のスラブ型増幅器３５１＿Ｌにおいて、ミラー３５５１、３５５２は、凹面ミラーであり得る。レーザ光は、励起されたレーザガス内において、入力側凹面ミラー３５５１と出力側凹面ミラー３５５２と間で、反射を繰り返し、増幅され得る。レーザガス内で反射を繰り返すレーザ光の光路は、交差しなくともよい。
【０１１６】
１１．３  同軸型スラブ型増幅器
図１２Ａ及び図１２Ｂは、同軸型スラブ増幅器３５１＿Ｌの構成例を模式的に示している。図１２Ａは、同軸型スラブ増幅器３５１＿Ｌの斜視図を示しており、一部構成要素が透視されている。図１２Ｂは、同軸型スラブ増幅器３５１＿Ｌを出力側から見た図を示している。
【０１１７】
同軸型スラブ増幅器３５１＿Ｌは、チャンバ３５１７内に、同軸状に配置された２つの円筒電極３５１３、３５１４を有し得る。同軸型スラブ増幅器３５１＿Ｌは、ＲＦ電源３５１６によって、電極円筒電極３５１３、３５１４間の空間に放電を生じさせ、レーザガスを励起させて、増幅媒体に変化させ得る。
【０１１８】
同軸型スラブ増幅器３５１＿Ｌは、入力側ミラー１１０１Ａ〜１１０１Ｄ及び出力側ミラー１１０２Ａ〜１１０２Ｄを有していてもよい。入力側ミラー１１０１Ａ〜１１０１Ｄは円状に配置されていてもよい。出力側ミラー１１０２Ａ〜１１０２Ｄは、円状に配置されていてもよい。
【０１１９】
入力ウインドウ３５１１から入射したシードレーザ光４５１１は、励起されたレーザガス内において、入力側ミラー１１０１Ａ〜１１０１Ｄと出力側ミラー１１０２Ａ〜１１０２Ｄとの間で往復を繰り返し得る。増幅レーザ光４５１２は、出力ウインドウ３５１２から出射し得る。
【０１２０】
具体的には、増幅器３５１＿Ｌ内において、レーザ光は、出力側ミラー１１０２Ｃ、入力側ミラー１１０１Ｂ、出力側ミラー１１０２Ｂ、入力側ミラー１１０１Ａ、出力側ミラー１１０２Ａ、入力側ミラー１１０１Ｄ、出力側ミラー１１０２Ｄ、入力側ミラー１１０１Ｃ、の順で反射され得る。
【０１２１】
１１．４  高速軸流型増幅器
図１３Ａ〜図１３Ｃは、高速軸流型増幅器３５１＿Ｌの構成例を模式的に示している。図１３Ａは、高速軸流型増幅器３５１＿Ｌの斜視図を示しており、一部構成要素が透視されている。図１３Ｂは、高速軸流型増幅器３５１＿Ｌの上面図を示しており、一部構成要素が透視されている。図１３Ｃは、図１３ＢにおけるＸＩＩＩＣ−ＸＩＩＩＣ断面図である。
【０１２２】
図１３Ａに示すように、高速軸流型増幅器３５１＿Ｌは、ミラー１３０１＿１〜１３０１＿８、上段の放電管１３０２＿１〜１３０２＿４、下段の放電管１３０２＿５〜１３０２＿８を含んでもよい。レーザ光は、放電管１３０２＿１〜１３０２＿８において増幅され得る。
【０１２３】
図１３Ｂに示すように、高速軸流型増幅器３５１＿Ｌは、ブロア１３０５を含んでもよい。ブロア１３０５は、放電管１３０２＿１〜１３０２＿８にレーザガスを循環させ得る。図１３Ｂにおいて、破線矢印は循環するレーザガスを示している。
【０１２４】
放電管１３０２＿１〜１３０２＿８は、それぞれ、一対の電極を含んでもよい。例えば、図１３Ｃに示すように、放電管１３０２＿１は電極１３０６＿１、１３０６＿２を含んでもよい。また、放電管１３０２＿８は電極１３０６＿３、１３０６＿４を含んでもよい。
【０１２５】
ＲＦ電源３５１６は、放電管１３０２＿１〜１３０２＿８のそれぞれにＲＦ電圧を供給して放電管１３０２＿１〜１３０２＿８内のレーザガスに放電を生じさせてもよい。放電管１３０２＿１〜１３０２＿８内でレーザガスが励起し、増幅媒体として働き得る。
【０１２６】
入力ウインドウ３５１１から入射したレーザ光は、放電管１３０２＿１を通過した後、ミラー１３０１＿１に反射され、放電管１３０２＿２を通過してもよい。レーザ光は、ミラー１３０１＿２で反射され、放電管１３０２＿３を通過してもよい。レーザ光は、ミラー１３０１＿３で反射され、放電管１３０２＿４を通過してもよい。
【０１２７】
レーザ光は、ミラー１３０１＿４及びミラー１３０１＿５で反射され、放電管１３０２＿５を通過してもよい。レーザ光は、ミラー１３０１＿６で反射され、放電管１３０２＿６を通過してもよい。レーザ光は、ミラー１３０１＿７で反射され、放電管１３０２＿７を通過してもよい。レーザ光は、ミラー１３０１＿８で反射され、放電管１３０２＿８を通過し、出力ウインドウ３５１２から出射してもよい。
【０１２８】
１１．５  ３軸直交型増幅器
図１４Ａ及び図１４Ｂは、３軸直交型増幅器３５１＿Ｌの構成例を模式的に示している。図１４Ａは３軸直交型増幅器３５１＿Ｌの側面図を示している。一部構成要素は透視されている。図１４Ｂは、図１４ＡにおけるＸＩＶＢ−ＸＩＶＢ断面図を示している。
【０１２９】
３軸直交型増幅器３５１＿Ｌは、一対の電極３５１３、３１５４と、一対のミラー３５５１、３５５２と、ＲＦ電源３５１６と、クロスフローファン１４０３と、モータ１４０１と、熱交換器１４０２と、を備えてもよい。
【０１３０】
モータ１４０１は、クロスフローファン１４０３を回転させ、電極間３５１３、３１５４にレーザガスを循環させてもよい。熱交換器１４０２は、レーザガスを冷却し得る。ＲＦ電源３５１６は、電極３５１３、３１５４にＲＦ電圧を供給し、放電領域３５１５においてレーザガスに放電を生じさせ得る。放電領域３５１５のレーザガスは、励起され、増幅媒体となり得る。
【０１３１】
入力ウインドウ３５１１から入射したレーザ光は、ミラー３５５１、３５５２に反射されて、放電領域３５１５を通過してもよい。レーザ光は、放電領域３５１５において増幅され得る。増幅されたレーザ光は、出力ウインドウ３５１２から出射してもよい。
【０１３２】
１２．光スイッチ
図１５は、光スイッチの一つである光アイソレータ３５２＿Ｌ（Ｌは０〜Ｎの任意数）の構成例を模式的に示している。光アイソレータ３５２＿Ｌは、高電圧電源３９３と、ＥＯポッケルスセル３９４と、第１偏光子３９６と、第２偏光子３９７と、λ／２板３９８と、を含んでもよい。ＥＯポッケルスセル３９４は、電気光学結晶３９９を挟んで対向する位置に設けられた一対の電極３９５Ａ、３９５Ｂ含んでもよい。
【０１３３】
第２偏光子３９７と、λ／２板３９８とは、ＥＯポッケルスセル３９４の入力側の光路に配置されていてもよい。第１偏光子３９６は、ＥＯポッケルスセル３９４の出力側の光路に配置されていてもよい。
【０１３４】
高電圧電源３９３は、ＥＯポッケルスセル３９４の制御電圧を出力してもよい。高電圧電源３９３は、レーザ装置３に含まれるワンショット回路から、パルス信号を受信してもよい。
【０１３５】
高電圧電源３９３は、制御信号としてのパルス信号がＯＮである場合に０Ｖとは異なる所定の電圧を生成し、その電圧をＥＯポッケルスセル３９４の一対の電極３９５Ａ、３９５Ｂ間に印加してもよい。高電圧電源３９３は、パルス信号がＯＦＦである場合に、ＥＯポッケルスセル３９４の一対の電極３９５Ａ、３９５Ｂ間に約０Ｖの電圧を印加してもよい。
【０１３６】
レーザ装置３の光増幅器３５１＿Ｌから出力されたパルスレーザ光は、偏光方向が紙面に平行な直線偏光であってもよい。第２偏光子３９７は、偏光方向が紙面に平行な直線偏光であるパルスレーザ光を高い透過率で透過させ、偏光方向が紙面に垂直な直線偏光を入射光路と異なる方向に反射してもよい。λ／２板３９８は、パルスレーザ光の偏光方向を９０度回転させて透過させてもよい。つまり、λ／２板３９８から出力されたパルスレーザ光は、偏光方向が紙面に垂直な直線偏光であってもよい。
【０１３７】
ＥＯポッケルスセル３９４は、一対の電極３９５Ａ、３９５Ｂ間に所定の高電圧が印加されている時に、パルスレーザ光の直交する偏光成分の位相差を１８０度変えて透過させてもよい。つまり、パルスレーザ光の偏光方向を９０度回転させて透過させてもよい。ＥＯポッケルスセル３９４は、一対の電極３９５Ａ、３９５Ｂ間に電圧が印加されていないときに、パルスレーザ光の直交する偏光成分の位相差を変えずに透過させてもよい。つまり、パルスレーザ光の偏光方向を変えずに透過させてもよい。
【０１３８】
第１偏光子３９６は、パルスレーザ光における偏光方向が紙面に平行な直線偏光を透過させ、偏光方向が紙面に垂直な直線偏光をパルスレーザ光の光路と異なる方向に反射してもよい。
【０１３９】
すなわち、第１偏光子３９６は、制御信号がＯＮである場合に、ＥＯポッケルスセル３９４によって偏光方向が回転させられたパルスレーザ光を透過させてもよい。第１偏光子３９６は、制御信号がＯＦＦである場合に、ＥＯポッケルスセル３９４によって偏光方向が回転させられなかったパルスレーザ光を入射光路と異なる方向に反射してもよい。
【０１４０】
このように、光アイソレータ３５２＿Ｌは、ＥＯポッケルスセル３９４に高電圧が印加されている場合は上流及び下流からの光を高透過し、高電圧が印加されず印加電圧が約０Ｖのとき、上流及び下流からの双方向の光の透過を抑制し、光アイソレータとしての機能を示し得る。
【０１４１】
高電圧電源３９３は高電圧側と接続される充電スイッチとＧＮＤと接続された放電スイッチをそれぞれ高速で切り替えることによって、パルス状に一対の電極３９５Ａ、３９５Ｂに高電圧を印加し得る。
【０１４２】
光スイッチとして、光シャッタを使用してもよい。光シャッタは、図１５に示す光アイソレータ３５２＿Ｌの構成から、第２偏光子３９７と、λ／２板３９８とを省略した構成を有し得る。
【０１４３】
１３．他の実施形態
１３．１  課題
本実施形態は、光増幅器３５１＿Ｌの自然放出光がドロップレット２７によって反射されることによる課題及びその解決手段を説明する。マスタオシレータ３５０がパルスレーザ光を出力していない時でも、光増幅器３５１＿Ｌの自然放出光は、ドロップレット２７に入射し得る。ドロップレット２７は、入射光を反射し得る。また、レーザ装置３内の透過光学素子は、ドロップレット２７によって反射された光を反射し得る。そのため、連続して放出されるドロップレット２７とレーザ装置３の光学素子との間において、光共振が起こり得る。
【０１４４】
図１６は、ドロップレット２７によって反射された自然放出光による自励発振光の生成例を模式的に示している。図１６において、左右方向に延びる軸をＺ軸、上下方向に延び軸をＹ軸、紙面に垂直な方向の延びる軸をＸ軸とする。ドロップレット２７の軌道は、Ｙ軸に平行である。図１６の構成例において、光アイソレータ３５２＿Ｋ−１の出力側には、他の光アイソレータは配置されていないものとする。入力側の光アイソレータ３５２＿０〜３５２Ｋ−２は、図１６において省略されているものとする。
【０１４５】
例えば、図１６に示すように、光増幅器３５１＿Ｎの自然放出光が、ドロップレット２７に入射し得る。ドロップレット２７からの反射光は、光増幅器３５１＿Ｎ〜３５１＿Ｋによって増幅され、光アイソレータ３５２＿Ｋ−１のＥＯポッケルスセル３９４における、電気光学結晶３９９の面に入射し得る。電気光学結晶３９９は、入射した増幅光を反射し得る。
【０１４６】
電気光学結晶３９９で反射された光は、再び光増幅器３５１＿Ｋ〜３５１＿Ｎによって増幅され、さらに、ドロップレット２７に照射され得る。連続して放出されるドロップレット２７と電気光学結晶３９９の反射面との間で増幅光の反射が繰り返され、光共振が起こり得る。また、光共振は、ドロップレット２７と他のＥＯポッケルスセルとの間、又は、ドロップレット２７と電気光学結晶３９９以外の透過光学素子との間においても起こり得る。
【０１４７】
その結果、マスタオシレータ３５０からパルスレーザ光が出力されていない時でも、光共振によるレーザ光がドロップレット２７に照射され、光共振が発生している光増幅器のゲインが低下し得る。
【０１４８】
１３．２  構成及び動作
図１７Ａ及び図１７Ｂは、本実施形態のレーザ装置３の構成例を模式的に示している。図１７Ａは、図１６と同様に、Ｘ軸方向において見た、レーザ装置３及びターゲット供給部２６を示している。図１７Ｂは、図１７ＡにおけるＸＶＩＩＢ−ＸＶＩＩＢ断面図を示し、ドロップレット２７の軌道と平行なＹ軸方向において見た、レーザ装置３及びドロップレット２７を示している。
【０１４９】
図１７Ａ及び図１７Ｂは、光増幅器３５１＿Ｎからの自然放出光の例を示している。光増幅器３５１＿Ｎからの自然放出光は、ドロップレット２７で反射され、ＥＯポッケルスセル３９４における電気光学結晶３９９の出力側面に入射し得る。図１７Ｂに示すように、ＥＯポッケルスセル３９４は、ドロップレット２７からの反射光が電気光学結晶３９９の出力側面に入射し、その反射光がドロップレット２７に照射されない角度で、配置されていてもよい。好ましくは、電気光学結晶３９９の面からの反射光が光増幅器３５１＿Ｎ〜３５１＿Ｋによって増幅され、レーザ光集光ミラー２２により集光されるスポットが、ドロップレット２７の軌道から外れるように、電気光学結晶３９９の出力側面の角度が調整されて配置されていてもよい。
【０１５０】
電気光学結晶３９９で反射された光は、ドロップレット２７に照射され得ない。このため、電気光学結晶３９９とドロップレット２７との間で光共振は起こり得ない。
【０１５１】
図１７Ｂに示すように、ＥＯポッケルスセル３９４以外の透過光学素子も、ドロップレット２７との間で光共振が発生しないように傾いて固定されていてもよい。例えば、図１７Ｂに示すように、各光増幅器の入力ウインドウ３５１１及び出力ウインドウ３５１２は、反射光がドロップレット２７の軌道から外れるように、ドロップレット２７からの反射光に対して傾けて配置されていてもよい。
【０１５２】
レーザ装置３において、ドロップレット２７との間で光共振を発生させ得る全ての透過光学素子が、上述のように配置されていてもよい。レーザ装置３におけるパルスレーザ光の透過光学素子の全て又は一部が、上述のように配置されていてもよい。
【０１５３】
図１８Ａは、レーザ装置３の透過光学素子の例として、平凸レンズ１８０１及び波長板１８０２を示している。平凸レンズ１８０１及び波長板１８０２の出力側面は、平面であってもよい。平凸レンズ１８０１及び波長板１８０２からの反射光が、光増幅器３５１＿Ｎ〜３５１＿Ｋによって増幅され、レーザ光集光ミラー２２により集光されるスポットが、ドロップレット２７の軌道から外れるように、平凸レンズ１８０１及び波長板１８０２の出力側面の角度が調整されていてもよい。
【０１５４】
図１８Ｂは、レーザ装置３の透過光学素子の例として、球面レンズ１８０３を示している。出力側面が球面の透過光学素子の傾き角度については、以下のように調整されていてもよい。球面レンズ１８０３の光軸１８５２は、第１面の曲率半径Ｒ１の中心点Ｃ１と第２面の曲率半径Ｒ２の中心点Ｃ２とを結んだ直線で定義され得る。球面レンズ１８０３の光軸１８５２と、ドロップレット２７からの反射光１８５１の光軸とが一致しないように、球面レンズ１８０３を傾けて配置してもよい。
【０１５５】
１３．３  効果
本実施形態によれば、光増幅器３５１＿Ｌからの自然放出光が、レーザ装置３における透過光学素子とドロップレット２７との間で反射を繰り返し、光共振を発生させることを抑制し得る。
【０１５６】
上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えてもよいことは、当業者には明らかであろう。
【０１５７】
ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換え得る。ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加え得る。各実施形態の構成の一部について、削除、他の構成の追加、他の構成による置換をし得る。
【０１５８】
本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書及び添付の特許請求の範囲に記載される修飾句「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。
【図１】
2015045102.tif 000003
【図２Ａ】
2015045102.tif 000004
【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
2015045102.tif 000009
【図６】
2015045102.tif 000010
【図７Ａ】
2015045102.tif 000011
【図７Ｂ】
2015045102.tif 000012
【図７Ｃ】
2015045102.tif 000013
【図８】
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【図９Ａ】
2015045102.tif 000015
【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
2015045102.tif 000017
【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
2015045102.tif 000020
【図１２Ａ】
2015045102.tif 000021
【図１２Ｂ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
2015045102.tif 000024
【図１３Ｃ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
2015045102.tif 000027
【図１５】
2015045102.tif 000028
【図１６】
2015045102.tif 000029
【図１７Ａ】
2015045102.tif 000030
【図１７Ｂ】
2015045102.tif 000031
【図１８Ａ】
2015045102.tif 000032
【図１８Ｂ】
2015045102.tif 000033
【国際調査報告】
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