(57)【要約】  振動による影響を排除すべき装置の振動を低減するアクティブ制振装置を簡便に提供できる制振装置および設計方法。  振動を低減すべき対象の構造体にとりつける制振装置であって、対象の一部分の振動を検出する振動検出手段と、対象の一部分にひずみを生じさせる振動発生手段と、上記振動検出手段からの信号により、上記振動発生手段の駆動力を決定する制御信号を発生する制御手段と、制御手段と信号の授受を行う信号入出力手段とを備え、外部から信号入出力手段を介して駆動力発生信号を受取り、それに応じた駆動力を上記制御手段によって発生し、これにより選択された上記振動発生手段を駆動し、一方、選択された上記振動検出手段から得られた振動状態情報を上記制御手段から信号入出力手段を介して外部に出力することを特徴とする。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動を低減すべき対象の構造体にとりつける制振装置であって、
対象の一部分の振動を検出する振動検出手段と、
対象の一部分にひずみを生じさせる振動発生手段と、
前記振動検出手段からの信号により、前記振動発生手段の駆動力を決定する制御信号を発生する制御手段と、
前記制御手段と信号の授受を行う信号入出力手段とを備え、
外部から前記信号入出力手段を介して駆動力発生信号を受取り、それに応じた駆動力を前記制御手段によって発生し、これにより選択された前記振動発生手段を駆動し、
一方、選択された前記振動検出手段から得られた振動状態情報を前記制御手段から前記信号入出力手段を介して外部に出力することを特徴とする制振装置。
【請求項２】
請求項１に記載の制振装置において、
前記信号入出力手段の先に設けた信号解析手段と、
前記信号解析手段による計算結果を表示する表示装置とを備え、
前記駆動力発生信号と前記振動状態情報を元に、前記駆動力発生信号から前記振動状態情報への伝達特性を計算し、その結果を表示装置に表示することを特徴とする制振装置。
【請求項３】
振動を低減すべき対象の構造体にとりつける制振装置の設計方法であって、
対象の一部分の振動を検出する複数の振動検出手段と、
対象の一部分にひずみを生じさせる複数の振動発生手段と、
前記振動検出手段からの信号により、前記振動発生手段の駆動力を決定する制御信号を発生する制御手段と、
前記制御手段と信号の授受を行う信号入出力手段と、
前記信号入出力手段の先に設けた信号解析手段と、
前記信号解析手段による計算結果を表示する表示装置とを備えた制振装置の設計方法において、
複数の振動検出手段と複数の振動発生手段を切り替えて、その各々の組み合わせに対して駆動力発生信号と振動状態情報を測定し、信号解析手段によって伝達特性を計算した結果を、前記表示装置上に一覧表示し、その中から操作者がもっとも適切と思われる振動検出手段と振動発生手段の組み合わせを選択する制振装置の設計方法。
【請求項４】
請求項３に記載の制振装置の設計方法において、
選択した振動検出手段と振動発生手段の組み合わせに対して、前記制御手段における制御パラメータを操作者が変更できることを特徴とする制振装置の設計方法。
【請求項５】
請求項３あるいは４に記載の制振装置の設計方法において、
前記表示装置上に、複数の駆動力発生信号と振動状態情報の組み合わせによって得られた伝達特性を振動数軸を合わせて並列に表示することを特徴とする制振装置の設計方法。
【請求項６】
請求項３あるいは４に記載の制振装置の設計方法において、
前記表示装置上に、複数の駆動力発生信号と振動状態情報の組み合わせによって得られた伝達特性を重ねて表示することを特徴とする制振装置の設計方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクティブ制振装置およびその設計方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
本技術の背景技術として、特開２００７−１２０７１１号公報が知られている。この公報には、制振対象振動数範囲において複数の振動数を選択して、それぞれの振動数毎の制御系を予め事前に設計しておき、この中から制振対象物の固有振動数に一番近い振動数で設計された制御系を選択し、選択した制御系をアクティブ制振装置のコントローラに組み込むことが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１２０７１１号公報
【特許文献２】ＰＣＴ／ＪＰ２０１３／０６４８３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
振動による影響を排除すべき装置の振動を抑えること。【０００５】
例えば、複数の記録装置を搭載する情報記憶装置を例にして、振動によって生じる情報記憶装置の性能低下につながる障害を説明する。ここでは一般的に用いられる記録装置としてＨＤＤ（ハードディスクドライブ）を搭載した記憶装置を用いて説明する。ＨＤＤは、内部のアクチュエータやディスクのスピンドルが稼働することによって、それ自体が振動を発生させる。この振動は、記憶装置の筺体を介して、記憶装置に取り付けられた、別の入出力をしていないＨＤＤに伝わり、入出力をしていないＨＤＤも振動する。この入出力をしていないＨＤＤからの振動が多重に重なり合って、入出力をしているＨＤＤに外部振動として伝わることにより、入出力をしているＨＤＤの動作に影響を与え、入出力の量に悪影響を及ぼしてしまう。また、装置を冷却するために、空気を強制的に循環させて放熱するためのファンを搭載していることが多い。この場合、ファンの動作によって生じる振動が記憶装置の筺体を介して、入出力をしているＨＤＤに外部振動として伝わるケースもある。【０００６】
この他にも、極微小領域の画像を高精度に撮像する必要がある、電子顕微鏡などの計測機器や、超微細加工を行う製造機器など、振動によって装置の性能が低下するために、振動を排除すべき装置においては、振動を抑えることは重要な課題となる。この他にも構造体の振動は騒音の発生源となり、装置の付加価値を下げることがある。【０００７】
振動を低減する手法としては特許文献１に開示されているような、対象の振動を検出し、その振動を抑制するような制御信号を発生させて、振動発生手段を駆動させて、振動を低減するような能動的（アクティブ）振動制御装置を適用する方法がある。以下、この装置をアクティブ制振装置と呼ぶ。このようなアクティブ制振装置は従来から広く用いられている、受動的（パッシブ）制振装置に比べて、高い制振性能を持つことが知られている。一方で、アクティブ制振装置は設計が難しいため、適用対象に対して特別に設計する必要があり、制振装置としてのコストは高くなる。【０００８】
上記公報に示された内容では、あらかじめ用意された制御系を対象振動数に応じて適用あるいは修正して適用することが示されている。この方法はアクティブ制振器を設計する際に生じる工数を低減することができる一方で、用意されていない対象に対しては十分にその利点を生かせず、事前に用意する制御系が多いほど、その段階での開発工数が増えてしまうという問題がある。さらにアクティブ制振においては、制振装置の設計は単に振幅を低減したい振動数を把握すればよいわけではなく、対象物のどの部分に設置するか、どういった構成にするかなど設計に必要な項目は多岐にわたり、これが上記に記した設計が難しいとされる所以である。【０００９】
これに対して、特許文献２に示すアクティブ制振器では、「振動を低減すべき対象の構造体にとりつける制振装置であって、対象の一部分のひずみを検出する複数の同一の振動検出手段と、対象の、異なる場所である一部分にひずみを生じさせる複数の同一の振動発生手段と、上記振動検出手段からの信号により、上記振動発生手段の駆動力を決定する制御信号を発生する制御手段を有」する構成としている。この構成では、振動を検出する振動検出手段と対象振動を低減させる駆動力を発生する振動発生手段を、対象物の任意の位置に設置することができ、その振動を抑える上でもっと効率的な位置に配置することができる。アクティブ制振器を設計するにあたり、対象となる振動数を速やかに発見し、振動検出手段や振動発生手段を効率的な位置を少ない労力で特定することができれば、制振器の設計に要する工数を大幅に低減できる。【００１０】
そこで、本発明は、振動による影響を低減したい装置であり、さらには内部の振動源によって筺体が加振されるような装置に対して付加される、低コストで高い制振性能を有する制振装置を効率的に設計する手法を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本願は振動を低減すべき対象の構造体に、対象の一部分の振動を検出する複数の振動検出手段と、対象の一部分にひずみを生じさせる複数の振動発生手段と、上記振動検出手段からの信号により、上記振動発生手段の駆動力を決定する制御信号を発生する制御手段と、制御手段と信号の授受を行う信号入出力手段と、信号入出力手段の先に設けた信号解析手段と、上記信号解析手段による計算結果を表示する表示装置とを備えた制振装置を提供することであり、さらには、複数の振動検出手段と複数の振動発生手段を切り替えて、その各々の組み合わせに対して駆動力発生信号と振動状態情報を測定し、信号解析手段によって伝達特性を計算した結果を、表示装置上に一覧表示し、その中から操作者がもっとも適切と思われる振動検出手段と振動発生手段の組み合わせを選択する上記制振装置の設計方法を提供することである。
【発明の効果】
【００１２】
従来、個別の装置に合わせて特別に設計されるアクティブ制振装置においては、対象に合わせた構成や制御方法を検討して設計するため、設計に時間がかかり、また専門的知識を要する設計者が必要となる。これにより制振装置のコストは高くなる。さらには、実物の対象装置の振動特性は設計時に仮定したものと異なることもあり得る。これに対して本発明では、ほぼ同一規格によって形状や性質を揃えた振動検出手段を複数備えることで、対象の振動状態をより良く計測することができ、一方で振動発生手段も同一規格によって、形状や性能を揃えることにより、対象の特性に応じて振動発生手段の数と配置を事前に決めることで、効率的に対象の振動を低減できる駆動力を発生することができる。これらを制御する制御手段に繋がった信号入出力手段を介して、制振装置の外部に振動検出手段からの振動状態情報を出力でき、逆に外部から駆動力発生信号を入力して、これに応じた駆動力を振動発生手段に生じさせて、対象物を加振することができる。このようにすることで、対象物それ自体の振動特性を把握することができ、さらには他に加振器や振動計測器などの付加設備を必要としないので、迅速な振動現象の把握が可能である。【００１３】
信号入出力手段の先に信号解析手段を設けることにより、振動検出手段からの振動状態情報と、振動発生手段に生じる駆動力と一対一の関係にある駆動力発生信号とから、対象物における、ある振動発生手段からある振動検出手段までの伝達特性を計算することができる。これを組み合わせ毎に計算した結果を表示することで、操作者（＝設計者）は視覚的に対象物の振動状態を把握することができ、その中でもっとも適切と思われる振動発生手段と振動検出手段の組み合わせを選択することができ、さらにその際の制御手段の制御パラメータを調整することで制振装置の設計を完了し、簡便にかつ迅速に振動問題に対処することができる。【００１４】
また、振動発生手段から振動検出手段までの伝達特性を表示手段において複数表示することで、操作者は全般的な振動状態を把握することができるが、この際に表示される複数の伝達特性が周波数軸を合わせて並行に表示されるようにすれば、問題となっている振動数がどこにあるかを強調表示することで、各伝達特性における振動の大きさを把握しやすくすることができ、設計がしやすい。あるいは伝達特性を重ねて表示することでも問題となる振動数における振動の大小を把握しやすくすることができる。【００１５】
以上により従来設計が難しく、適用障壁が高いアクティブ制振装置を安価で簡便な設計によって導入することができ、振動問題が生じた装置に対して迅速に対処することができ、性能を保障して対象装置の付加価値を高めることができる。【００１６】
上に記した以外の課題、構成及び効果の詳細は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例１を示す模式図である。
【図２】実施例１の動作を示す模式図である。
【図３】実施例１のブロック線図である。
【図４】実施例２を示す模式図である。
【図５】実施例２の設計方法を従来と比較したフロー図である。
【図６】実施例２の表示例を示す模式図である。
【図７】実施例２を他の表示例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下実施例の説明では、振動を低減すべき対象を情報記憶装置として、例えばＲＡＩＤ装置を用いて説明する。
【実施例１】
【００１９】
図１は、実施例１を示す模式図である。図１は、対象となる記憶装置２に本発明のアクティブ制振装置１を搭載した例である。記憶装置２の筺体側面の構造板６に圧電センサ３ａ、３ｂが貼り付けられている。また、構造板６の他の部分には板状圧電アクチュエータ４ａ、４ｂ、４ｃが貼り付けられており、圧電センサ３ａ、３ｂおよび圧電アクチュエータ４ａ、４ｂ、４ｃはコントローラ５と結線されている。記憶装置２の構造板６の振動を低減するしくみについて、図２を用いて説明する。図２は構造板６が曲げ振動を生じた場合を簡略化して描いたものである。この図の点線は記憶装置２の元の形状を表す。記憶装置２が振動することにより、実線で示す変形が生じ、構造板６が曲がることにより、圧電センサ３ａ、３ｂは構造板６の変形につれて変形し、ひずみ量に応じた電圧出力７を出力する。これがコントローラ５への入力となる。コントローラ５において、この対象となる振動数においてこの電圧出力７が零になるように、図３に示すフィードバック回路が形成されており、これによって圧電アクチュエータ４ａ、４ｂ、４ｃに制御出力８が送られる。制御出力８に応じて圧電アクチュエータ４ａ〜４ｃはひずみを発生させ、構造板６に対して振動を抑制するように変形する。これにより構造板６に生じる振動を低減させる。【００２０】
圧電センサ３ａ、３ｂのように、この例では２つのセンサを用いているが、対象とする振動の数が多いほど、すなわち記憶装置２において対処しなくてはいけない振動モードの数が多い場合には、圧電センサ３の数を増やすことで複数の振動を検出することができるので好ましい。なぜなら振動モードによって、どの部位が大きく振動するかは異なるため、従来の様にひとつのセンサでこれを検出しようとしても、センサの位置によって検出しにくい振動モードが存在してしまうからである。さらに本例の記憶装置２のように概略箱型の筺体である場合には、振動モードは複雑な様相を呈する（図２は説明のため簡略化して描いている）。したがって、ひとつの構成部品である構造板６に限らず、他の構成部品にも圧電センサ３を貼り付けることが望ましい。【００２１】
同様に、振動を低減させるように構造板６を変形させる役目を持つ圧電アクチュエータ４に関しても、対象となる振動モードに対して構造板６に変形を生じさせるほど大きな駆動力を得るためには、より大きな面積の板状圧電素子を用いることが望ましい。しかし
大面積の板状圧電素子を貼る場所を確保するのが難しい場合がある、という問題があり、また大面積の圧電素子は製造上の難度からコストが高くなる。そこで本発明の装置では、板状圧電アクチュエータ４を、同一規格によって形状や性能を揃えており、これを複数用いることで、全体としての駆動力を確保するとともに、対象の特性に応じて振動発生手段の数と配置を事前に決めることで、効率的に対象の振動を低減できる駆動力を発生することができる。【００２２】
ここでは振動検出手段として圧電センサを用いているが、他の振動検出手段、例えば加速度を検出するセンサや変位、速度を検出するセンサなどを用いることができる。一方、振動発生手段として圧電アクチュエータを用いているが、例えばおもりを電磁式アクチュエータで動かすような慣性力を用いるタイプの振動発生手段を用いても良い。【００２３】
図１および図２において、コントローラ５に接続された信号入出力インタフェース９はコントローラ５の中で、圧電センサ３ａ、３ｂから送られてくる電圧出力７に比例した信号状態信号１３を外部に出力することができる。また外部から入力された駆動力発生信号１４を制御入力８に重畳させて圧電アクチュエータ４ａ〜４ｃに送ることができる。このような構成にすることで、制振装置１に含まれるセンサおよびアクチュエータを用いることができるので、他に新たに振動を計測するためのセンサや対象物を加振するためのアクチュエータ（加振器）等を用意する必要がなくなる。このことは振動問題が顕在化した場合に直ちに対象物の振動状態を把握すると共に、制振装置の設計・調整に必要なデータを収集できるということであり、問題の解決に要する時間を大幅に短縮することが可能である。従来のアクティブ制振装置においては、対象の装置に対してまず振動状態（どの振動数が問題になるか、どの部位の振動振幅が大きいか）を把握するために、加振器と計測器を用意し、測定を行い、その結果を元に制振装置の設計を開始するという手順であり、時間的、設備的な余裕が必要であった。【００２４】
また、このような外部との信号入出力インタフェース９を備えることで、制振装置１が稼働中であっても、その動作状態を監視する用途にも用いることができる。このことは制振装置の動作状態の変化や、対象の大幅な特性変化が生じた際など、設計時だけでなく、それを適用した後でも容易にメンテナンスすることができるので、サービスも服円多製品価値の向上につながる。【００２５】
本実施例により、従来のアクティブ制振装置において、設計に要する時間を短縮し、また制振装置自体が持つセンサやアクチュエータを用いることで、他に設備を必要としない簡便な設計を可能とすることができる。広く用いられているパッシブ制振装置に比べて、高い制振性能を有しているにも関わらず、コストや設計工数の観点で導入が難しいアクティブ制振装置を、広く様々な機器に適用が可能となることは、本実施例を参考に明らかとなるであろう。
【実施例２】
【００２６】
図４は本発明の第２の実施例である。圧電センサ３ａ、３ｂおよび圧電アクチュエータ４ａ〜４ｃとコントローラ５、そして信号入出力インタフェース９に関する構成は実施例１と同じである。本実施例では制振装置１の設計時に好適な構成として、信号入出力インタフェース９の先に解析装置１１とその解析結果を表示する表示装置１２を含めた、アクティブ制振装置設計システム１０を示している。【００２７】
解析装置１１および表示装置１２は一般のパーソナルコンピュータをベースに信号入出力インタフェース９との信号をやり取りするインタフェースを設置し、ソフトウェアによって信号入出力インタフェース９から送られてくる振動状態信号１３や駆動力発生信号１４を送出する機能を持っている。【００２８】
さらに、ソフトウェア上で、任意の圧電センサ３ａ、３ｂからの信号を選択することができ、圧電アクチュエータ４ａ〜４ｃに送る駆動力信号も選択することができる。このようにすることで、あるアクチュエータにおいて駆動力を発生させ、その時に対象物（記憶装置２）上の、あるセンサで生じた振動状態を計測することができる。この時、次の式（１）の要領で、そのアクチュエータからそのセンサまでの対象物の伝達特性を解析装置１１内で計算することができる。
【００２９】
（フーリエ変換後の対象物の伝達特性）
＝（フーリエ変換後の振動状態情報）
／（フーリエ変換後の対象物への駆動力発生信号）          （１）
この伝達特性は、対象物の振動振幅と位相が振動数に応じてどのように変化するかを示しており、一般には振動振幅が大きいところ（振動ピーク）が問題となる振動を表している。センサやアクチュエータの搭載位置が異なると、どの振動モードに影響するかが異なってくるので、伝達特性は選択したセンサとアクチュエータの組み合わせによって変化する。【００３０】
一般に振動問題を解決する際には、問題となる振動数が決まっている。それは他の振動ピークに比べて特に大きい振動ピークを持つ振動数であったり、他の重要な部品がその振動数に対して過剰に反応しやすいような振動数である場合など、場合によって異なる。したがって制振装置の設計者は、その問題となる振動数に着目して伝達特性を検討することにより、制振装置の設計を行う。本実施例では上記のように複数のセンサおよびアクチュエータの各組み合わせの全て、あるいは一部を測定し、例えばその中で問題となる振動数における振動ピークが大きくなっている組み合わせを探す。この振動ピークが最大になっているセンサとアクチュエータの組み合わせは、実際に制振装置１が稼働した際に、アクチュエータからの駆動力が効果的に対象物に作用しているか、対象物の振動を効果的に計測できている点に、アクチュエータやセンサが設置されているということなので、この位置を以てセンサとアクチュエータの搭載位置を確定することができる。もちろん複数のセンサ（本実施例では圧電センサ３ａ、３ｂ）や、複数のアクチュエータ（本実施例では圧電アクチュエータ４ａ〜４ｃ）を駆動させた場合の特性を検討することも可能である。【００３１】
また、問題となる振動数における振動ピークが大きくなっている組み合わせを選ぶ場合を例に挙げたが、設計者の意図により必ずしも振動ピークが最大になるところを選ばない場合もあり得る。これは対象物それ自体を計測して、その振動低減を図る場合であるが、同一設計の他の個体に同様の制振装置１を適用するにあたって、全体として好適な選択をする場合などがそれにあたるであろう。【００３２】
図５に対象物の振動問題が生じた場合の、従来のアクティブ制振装置の設計方法と本実施例における設計方法を示す。図５に示すように、従来のアクティブ制振装置の設計方法においては、対象物の振動特性把握、モデル化、センサ、アクチュエータの選定あるいは設計、その設置位置の検討、制御系の設計といった流れになり、場合によっては前の過程に戻る場合も含めて相応の時間がかかる。一方本発明では、複数のセンサ３ａ、３ｂとアクチュエータ４ａ〜４ｃを仮設置し、これらを切り替えて、そのセンサとアクチュエータの各々の組み合わせに対して駆動力発生信号と振動状態情報を測定し、解析装置１１によって式（１）から伝達特性を計算する。これによって対象の振動特性を把握することができ、その結果を表示装置１２に一覧表示し、その中から操作者がもっとも適切と思われるセンサとアクチュエータの組み合わせを選択する。この際に制御系の調整を同時に行えばより簡便である。そしてセンサやアクチュエータを適切と思われる位置に設置し、例えば絶縁処理や保護処理などを行い、アクティブ制振器の設計が完了する。従来の設計方法に比べて単純なだけでなく、一連の業務を、本実施例のアクティブ制振装置設計システム１０だけで進めることができ、他の設備を必要としない。すなわち他に計測機材等の設備を用意するという図５には描かれない手間を考慮すれば、本発明の設計方法が時間的に有用であることが明らかである。これによって設計に要する工数やコストを大幅に低減可能である。【００３３】
図６に表示装置１２に表示される伝達特性の一覧および制御系パラメータの調整画面の一例を示す。アクチュエータからセンサまでの伝達特性を式（１）によって解析した後、各々の組み合わせの伝達特性１５（例えば図６中のＡ−ａ、Ａ−ｂ、Ａ−ｃで表される曲線が伝達特性である）を、表示装置１２上において複数表示することで、操作者は全般的な振動状態を把握することができる。この際に表示される複数の伝達特性１５が周波数軸１７を合わせて例えば図６中のＡ−ａとＡ−ｂとＡ−ｃのように並行に表示されるようにすれば、問題となっている振動数がどこにあるかを強調表示１６とすることで、各伝達特性１５における振動の大きさを把握しやすくすることができ、設計がしやすい。あるいは図７に示すように、伝達特性１５を、例えば図７中のＡ−ａ、Ａ−ｂ、Ａ−ｃで表される伝達特性を表す曲線を重ねて表示することでも、全体の振動数の中で問題となる振動数をより把握しやすくなると共に、その問題となる振動数における振動の大小を比較しやすくすることができる。【００３４】
図６および７において、対象の振動数やどの伝達特性１５に注目するかが明らかになった後に、コントローラ５の制御パラメータ、例えばコントローラのゲインや対象振動数の前後何Ｈｚを低減できるようにするか、等を調整できるように、制御パラメータの調整画面１８を表示できるようにするとさらに設計に好適である。【００３５】
図６および７の画面は一例であり、他にも状態を表す情報や制御パラメータの設計に必要な情報などを表示させることができる。
以上により本実施例にて、従来よりも簡便かつ迅速にアクティブ制振装置１の設計が可能になり、対象物の振動問題を迅速に解決することで、製品開発や調整などの工数を低減することができる。【００３６】
なお、本発明は上記した実施例１、２に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例１、２は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【符号の説明】
【００３７】
１  アクティブ制振装置
２  記憶装置
３  圧電センサ
４  板状圧電アクチュエータ
５  コントローラ
６  構造板
７  電圧出力
８  制御信号
９  信号入出力インタフェース
１０  アクティブ制振装置設計システム
１１  解析装置
１２  表示装置
１３  振動状態信号
１４  駆動力発生信号
１５  伝達特性
１６  強調表示
１７  周波数軸
１８  制御パラメータの調整画面
【図１】
2015162772.tif 000003
【図２】
2015162772.tif 000004
【図３】
2015162772.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2015162772.tif 000008
【図７】
2015162772.tif 000009
【国際調査報告】
2015162772.tif 000010
2015162772.tif 000011
2015162772.tif 000012