(57)【要約】  走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置１は、複数の測定データをグループごとに管理・記憶するグループ情報記憶部３７と、グループ情報記憶部３７から、使用者が指定した測定データである指定データを取得する指定データ取得手段３２と、前記指定データを表示部の画面上に画像として表示させる表示制御手段３４と、前記指定データの決定をトリガとして、グループ情報記憶部３７から、前記指定データが含まれるグループに属する他の測定データを取得し、該他の測定データが前記画面上に表示される際の画像である予備画像を生成する予備画像生成手段３３と、前記指定データが前記画面上に表示されているときになされた前記使用者による第１の所定の入力操作に従って、前記予備画像を前記画面上の所定領域内で切り替えて表示させる第１の表示切替手段３６とを備えることにより、使用者に煩雑な操作を強いることなく複数の測定データを簡易に閲覧可能とする。
2016079879.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査型プローブ顕微鏡を用いて取得された所定の物理量の分布をそれぞれ示す複数の測定データに基づき、該物理量の分布を示す複数の画像を作成して表示部の画面上に表示させる走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置であって、
a)複数の測定データをグループごとに管理・記憶するグループ情報記憶部と、
b)前記グループ情報記憶部から、使用者が指定した測定データである指定データを取得する指定データ取得手段と、
c)前記指定データ取得手段が取得した前記指定データを前記画面上に画像として表示させる表示制御手段と、
d)前記指定データの決定をトリガとして、前記グループ情報記憶部から、前記指定データ取得手段が取得した前記指定データが含まれるグループに属する他の測定データを取得し、該他の測定データが前記画面上に表示される際の画像である予備画像を生成する予備画像生成手段と、
e)前記指定データが前記画面上に表示されているときになされた、前記使用者による第１の所定の入力操作に従って、前記予備画像生成手段が生成した前記予備画像を前記画面上の所定領域内で切り替えて表示させる第１の表示切替手段と、
を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置。
【請求項２】
前記予備画像生成手段は、前記指定データが含まれるグループに属する他の測定データを全て取得することを特徴とする請求項１に記載の走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置。
【請求項３】
前記所定領域は、前記表示制御手段が前記指定データを画像として表示した領域であることを特徴とする請求項１又は２に記載の走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置。
【請求項４】
前記表示制御手段はさらに、前記予備画像の表示中になされた前記使用者による確定操作に従って、当該予備画像と紐付けられた前記他の測定データを、前記指定データの表示領域と異なる領域にて画像として表示させることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置。
【請求項５】
前記第１の表示切替手段はさらに、各測定データに付随する情報を前記予備画像に付して表示させることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置。
【請求項６】
f)前記複数の測定データの各々について、当該の測定データで表示可能な１又は複数の表示形式を紐付けて記憶する表示形式記憶部と、
g)前記表示形式記憶部を参照し、該指定データと紐付けられた表示形式のうち、前記画面上に現在表示されていない又は表示が指示されていない表示形式を特定し、該特定した表示形式で前記指定データが表示される際の画像である形式別予備画像を生成する形式別予備画像生成手段と、
h)前記指定データが前記画面上に表示されているときになされた、前記使用者による第２の所定の入力操作に従って、前記形式別予備画像生成手段が生成した前記形式別予備画像を前記画面上の所定領域内で切り替えて表示させる第２の表示切替手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置。
【請求項７】
走査型プローブ顕微鏡を用いて取得された所定の物理量の分布をそれぞれ示す複数の測定データに基づき、該物理量の分布を示す複数の画像を作成して表示部の画面上に表示させる走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理方法であって、
a)複数の測定データをグループごとに管理・記憶するグループ情報記憶部から、使用者が指定した測定データである指定データを取得する指定データ取得ステップと、
b)前記指定データの決定をトリガとして、前記グループ情報記憶部から、前記指定データ取得ステップにて取得した前記指定データが含まれるグループに属する他の測定データを取得し、該他の測定データが前記画面上に表示される際の画像である予備画像を生成する予備画像生成ステップと、
c)前記指定データ取得ステップにて取得した前記指定データを前記画面上に画像として表示させる表示制御ステップと、
d)前記指定データが前記画面上に表示されているときになされた、前記使用者による第１の所定の入力操作に従って、前記予備画像生成ステップにて生成した前記予備画像を前記画面上の所定領域内で切り替えて表示させる表示切替ステップと、
を含むことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理方法。
【請求項８】
コンピュータを請求項１〜６のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置の各手段として機能させるための制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Atomic Force Microscope）などの走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ：Scanning Probe Microscope）により取得される測定データ、より詳しくは各種物理量の分布を示すデータ、を処理して画像表示する走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＡＦＭを代表とするＳＰＭは一般に、垂直（ｚ軸）方向に振動可能なカンチレバーの自由端に設けられた探針（プローブ）で、水平（ｘ−ｙ平面）及び垂直方向に可動な台上に載置された試料表面を走査することで該試料表面の状態を観察するものである（例えば特許文献１）。【０００３】
通常のＳＰＭで観察可能な試料表面に関する情報としては形状（凹凸）の他、様々な物性（粘弾性、吸着力、導電率及び磁化率等）が挙例され、データ解析用ソフトウェア（以下「解析ソフト」と称す）ではこれらの各々について個別の測定データが生成される（例えば非特許文献１）。また、これらの測定データは往復の走査方向ごとに生成されるため、一度の測定で１つの試料に関し多数の測定データが得られることとなる。これらの測定データは上記の解析ソフト上で１つのグループとして管理される。ＳＰＭデータ用解析ソフトによる画面表示の一例を図１０に示す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平5-157554号公報
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】「SPM-9700  カタログ」、株式会社島津製作所、2010年12月1日、ｐ．８−１５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
こうした解析ソフトにおいては、１つのグループに属する測定データ群についてユーザが画面上に画像として表示させたい測定データが複数存在する場合、該ユーザは複数の測定データを明示的に指定する必要がある。ここで「明示的に指定する」とは、表示させたい複数の測定データの各々を個別に選択することと、該複数の測定データを一括に選択することとの両者を含む。【０００７】
図１０（ａ）を参照して具体例を示す。同図では「データ選択画面」なるウィンドウ内に複数のグループが試料と対応する形で表示されており、そのそれぞれについて１又は複数の測定データがサムネイルで表示されている。このとき、「試料４」のように多数の測定データが含まれるグループから２以上の測定データを詳細に閲覧したい場合、ユーザは凡そ次の２通りの操作のいずれかを行う。まず１つは、測定データのサムネイル上でのダブルクリック等の操作を所望の測定データの各々について個別に行うものである。もう１つは、所望する複数の測定データのサムネイルと重畳する矩形領域を画定するよう、マウスの左ボタンを押下したままカーソルを移動させて該左ボタンを離し（又は所定のショートカットキー操作を伴って）複数のサムネイルを仮選択状態にした上で、右クリック等により表示を指示するものである。これらのようにして指定された複数の測定データは、図１０（ｂ）に示す「データ表示画面」なるウィンドウ内に所定の解像度（例えば512画素×512画素）を有する画像として個別に（例えば同図のように独立のウィンドウとして）表示される。【０００８】
しかしながら、上述した２通りのうち前者の操作では、ユーザがデータ選択画面とデータ表示画面とを交互に見たり、モニタの解像度によっては表示ウィンドウの切り替えを頻繁に行ったりする必要があり、視点やカーソルの移動が多く煩雑である。また、後者についても、一括指定によってデータ表示画面内に複数の測定データを表示させた後、グループ内の別の測定データを追加で表示させたい場合は、ユーザは当該別の測定データを改めて指定する必要があり、上記前者と同じ問題を抱えることとなる。【０００９】
また、上述した従来の構成は、指定時にユーザが測定データの内容を正しく把握していることを前提としている。しかしながら、グループ内には、測定によって得られたままの状態の「元の」測定データだけでなく、該元の測定データに対し補正等の種々の編集が施された測定データも蓄積されてゆく。従って、ユーザの目的次第では１グループに含まれる測定データの数が膨大化する場合がある。しかも、編集前と編集後の測定データの外観が類似している場合には、データ選択画面に表示されているサムネイルから所望の測定データを識別することは困難である。このとき、目的の測定データのファイル名等をユーザが把握していないと、該目的の測定データを見つけるために、サムネイルから外観が類似している測定データを順に、又は一括に指定して表示させる必要がある。前者の操作が煩雑であるのはもちろんのこと、例え後者の場合であってもデータ表示画面内に表示された多数のウィンドウから目的の測定データを探し出す作業は頻繁なウィンドウの切り替えを伴い、ユーザを煩わせるものである。【００１０】
本発明は上記の事情に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、ＳＰＭにより取得される種々の物理量を示す測定データを表示部の画面上に画像として表示させる際に、使用者に煩雑な操作を強いることなく複数の測定データを簡易に閲覧可能とする、走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために成された第１の発明は、走査型プローブ顕微鏡を用いて取得された所定の物理量の分布をそれぞれ示す複数の測定データに基づき、該物理量の分布を示す複数の画像を作成して表示部の画面上に表示させる走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置であって、
a)複数の測定データをグループごとに管理・記憶するグループ情報記憶部と、
b)前記グループ情報記憶部から、使用者が指定した測定データである指定データを取得する指定データ取得手段と、
c)前記指定データ取得手段が取得した前記指定データを前記画面上に画像として表示させる表示制御手段と、
d)前記指定データの決定をトリガとして、前記グループ情報記憶部から、前記指定データ取得手段が取得した前記指定データが含まれるグループに属する他の測定データを取得し、該他の測定データが前記画面上に表示される際の画像である予備画像を生成する予備画像生成手段と、
e)前記指定データが前記画面上に表示されているときになされた、前記使用者による第１の所定の入力操作に従って、前記予備画像生成手段が生成した前記予備画像を前記画面上の所定領域内で切り替えて表示させる第１の表示切替手段と、
を備えることを特徴とする。【００１２】
ここで、「使用者による第１の所定の入力操作」としては、例えばマウスホイールの回転、及び方向キーやエンターキーの押下等が挙げられる。また、不所望の切り替え表示を防ぐために、通常時は上記のような入力操作が検出されても表示の切り替えを行わず、所定のトリガイベントによって、上記入力操作に従い表示を切り替える予備画像の切替モードに移行する構成としてもよい。上記トリガイベントとしては、例えば指定データの表示領域内でのダブルクリックや複数キーの同時押下等が挙げられる。
別の例として、指定データの表示領域内（例えば左右の縁部近傍）に矢印等のマークを表示させておき、該マーク上でのクリック操作（第１の所定の入力操作）を検出した場合に画像の切り替えを行ってもよい。【００１３】
上記の構成によれば、或るグループに属する複数の測定データのうち特定のものを使用者が指定すると、指定データ取得手段が該測定データ（指定データ）をグループ情報記憶部から取得する。指定データ取得手段が取得した指定データは、表示制御手段によって通常通りに表示部の画面上に表示される。また、予備画像生成手段は、該指定データが属するグループ内の他の測定データを取得し、該取得した測定データが表示部の画面上に画像として表示される際の画像を予備画像として生成する。そして、上記指定データが画面上に表示されているときに使用者が第１の所定の入力操作を行うと、第１の表示切替手段によって、予備画像生成手段によって生成された予備画像が画面上の所定領域内で切り替わって表示される。
これにより使用者は、表示対象として指定した測定データと、該指定した測定データと同じグループに属する他の測定データとを、テレビのチャネルをザッピングするように画面上で切り替えて閲覧することができ、視点を大きく移動させる必要がないことから操作の煩雑性が抑えられる（以下、このような切替閲覧をザッピングと称す）。また、上記他の測定データの表示画像を予備画像として予め作っておくことで、素早い切り替えが可能となる。さらに、例えば、切り替え表示される予備画像を各測定データが画面上に表示される際の初期態様にすれば、該予備画像から所望の測定データを（例えば図１０（ａ）に示すデータ選択画面中のサムネイルを参照することで）特定しやすくなるという利点もある。
なお、使用者が指定する測定データ（すなわち指定データ）は１つに限られず、複数であってもよい。また、指定データと同じグループに属する他の測定データの全てについて予備画像が生成されることは必須ではなく、例えば指定データに対する編集前及び／又は編集後のデータが存在する場合に、同一の元データから作成された測定データ（及び該元データ）についてのみ予備画像を生成してもよい。【００１４】
前記予備画像生成手段は、前記指定データが含まれるグループに属する他の測定データを全て取得する構成とすることもできる。
これにより、使用者は或る測定データを指定した後は、上記第１の所定の入力操作により、同じグループに属する測定データの全てを切り替え表示により閲覧することが可能となる。従って例えば、グループ内に使用者が認識していない測定データが含まれている場合、従来の構成であれば、グループ内の測定データ数が多いと、図１０（ａ）に示すようなデータ選択画面（すなわちサムネイル画像の一覧）で使用者が当該の測定データを見落としてしまう可能性が高かったところ、上記のように予備画像をザッピングすることにより、該測定データの存在を見落としにくくなる。よって使用者による測定データの種類や数の誤認の防止・是正に寄与する。【００１５】
前記所定領域は、前記表示制御手段が前記指定データを画像として表示した領域であることが好ましい。
これにより、ユーザの視点移動量はさらに抑えられる。【００１６】
前記表示制御手段はさらに、前記予備画像の表示中になされた前記使用者による確定操作に従って、当該予備画像と紐付けられた前記他の測定データを、前記指定データの表示領域と異なる領域にて画像として表示させることが好ましい。
上記の構成によれば、使用者は確定操作を行うことで所望の測定データを指定データと異なる領域にて表示させ、これらを画面上で比較することが可能となる。本構成の好ましい具体例としては、指定データと上記確定操作を行った後の測定データとを異なるウィンドウにて表示させる態様（図１０（ｂ）に類似する）が挙げられる。【００１７】
好ましくは、前記第１の表示切替手段はさらに、各測定データに付随する情報を前記予備画像に付して表示させる。
測定データに付随する情報とは、例えばファイル名、種類、走査方向、並びに編集処理の種類及び回数等である。
これにより、使用者はグループ内の測定データをザッピングしながら、各測定データの内容を詳細に把握することができ、所望の測定データの特定により一層寄与する。【００１８】
前記走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置はさらに、
f)前記複数の測定データの各々について、当該の測定データで表示可能な１又は複数の表示形式を紐付けて記憶する表示形式記憶部と、
g)前記表示形式記憶部を参照し、該指定データと紐付けられた表示形式のうち、前記画面上に現在表示されていない又は表示が指示されていない表示形式を特定し、該特定した表示形式で前記指定データが表示される際の画像である形式別予備画像を生成する形式別予備画像生成手段と、
h)前記指定データが前記画面上に表示されているときになされた、前記使用者による第２の所定の入力操作に従って、前記形式別予備画像生成手段が生成した前記形式別予備画像を前記画面上の所定領域内で切り替えて表示させる第２の表示切替手段と、
を備えることが好ましい。【００１９】
ここで、「使用者による第２の所定の入力操作」としては、上記第１の所定の入力操作と同じであってもよいし、該第１の所定の入力操作として挙例した操作の中から異なる操作が割り当てられてもよい。本構成でも所定のトリガイベントにより表示形式の切替モードに移行可能な構成とする場合は、上述した予備画像の切替モードとの混同を避けるために、異なる操作（例えば押下すべきキーが異なる）をトリガイベントとすればよい。
また、指定データの表示領域内にクリック操作を受け付けるマークを表示させる場合についても、該マークを測定データの切替時と変更することで切替対象の種別（測定データ／表示形式）が分かるようにしてもよい。【００２０】
上記の構成によれば、形式別予備画像生成手段は表示形式記憶部に保存された情報に基づき、指定データに係る形式別予備画像を生成する。そして、該指定データが画面上に表示されているときに使用者が第２の所定の入力操作を行うと、第２の表示切替手段によって、上記形式別予備画像が画面上の所定領域内で切り替わって表示される。これにより使用者は指定データに関して複数の表示形式の画像をザッピングすることができるため、例えば解析ソフトの操作に不慣れな使用者でも目的に合致した形式を目視により特定しやすくなり、ユーザビリティの向上に寄与する。【００２１】
上記課題を解決するために成された第２の発明は、走査型プローブ顕微鏡を用いて取得された所定の物理量の分布をそれぞれ示す複数の測定データに基づき、該物理量の分布を示す複数の画像を作成して表示部の画面上に表示させる走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理方法であって、
a)複数の測定データをグループごとに管理・記憶するグループ情報記憶部から、使用者が指定した測定データである指定データを取得する指定データ取得ステップと、
b)前記指定データの決定をトリガとして、前記グループ情報記憶部から、前記指定データ取得ステップにて取得した前記指定データが含まれるグループに属する他の測定データを取得し、該他の測定データが前記画面上に表示される際の画像である予備画像を生成する予備画像生成ステップと、
c)前記指定データ取得ステップにて取得した前記指定データを前記画面上に画像として表示させる表示制御ステップと、
d)前記指定データが前記画面上に表示されているときになされた、前記使用者による第１の所定の入力操作に従って、前記予備画像生成ステップにて生成した前記予備画像を前記画面上の所定領域内で切り替えて表示させる表示切替ステップと、
を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、ＳＰＭにより取得される種々の物理量を示す測定データを表示部の画面上に画像として表示させる際に、使用者に煩雑な操作を強いることなく複数の測定データが簡易に閲覧可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るＳＰＭ用データ表示処理装置を含む測定システムの概略構成図。
【図２】同実施形態に係るＳＰＭ用データ表示処理装置が実行するデータ切替処理の流れの一例を示すフローチャート。
【図３】同実施形態に係るＳＰＭ用データ表示処理装置による、測定データの選択画面の表示例。
【図４】同実施形態に係るＳＰＭ用データ表示処理装置による、指定データの表示画面の表示例。
【図５】同実施形態に係るＳＰＭ用データ表示処理装置による、データ切替モードにおける画面表示例。
【図６】図５に示すデータ切替モードにおいて、ユーザによる確定操作がなされた場合の画面表示例（ａ）及びその後データ切替モードの終了操作がなされた場合の画面表示例（ｂ）。
【図７】本発明の第２の実施形態に係るＳＰＭ用データ表示処理装置を含む測定システムの概略構成図。
【図８】同実施形態に係るＳＰＭ用データ表示処理装置が実行する表示形式切替処理の流れの一例を示すフローチャート。
【図９】同実施形態に係るＳＰＭ用データ表示処理装置による、表示形式切替モードにおける画面表示例。
【図１０】従来のＳＰＭデータ解析ソフトによる測定データの選択画面の表示例（ａ）及び指定データの表示画面の表示例（ｂ）。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の記載において、先に説明した図面と同一の機能を有する部材には同一の番号を付し、その説明を省略する。
【００２５】
〔第１の実施形態〕
図１は本発明の第１の実施形態に係るＳＰＭ用データ表示処理装置を含む測定システムの概略構成を示すブロック図である。本測定システムは、ＳＰＭ１００と、ＳＰＭ１００が行う測定を管理したりＳＰＭ１００による測定結果を解析・編集したりするための、ＳＰＭ１００と接続されたワークステーション１（本発明のＳＰＭ用データ表示処理装置に相当）とを備える。
【００２６】
ＳＰＭ１００は、試料表面の形状や種々の物性を測定するためのものである。
観察対象である試料１１１は、略円筒形状を有するスキャナ１１３上に設けられた試料台１１２にて保持される。試料１１１の上方には先端に探針１１５を有するカンチレバー１１４が配置され、図示しない圧電素子を含む励振部が該カンチレバー１１４を振動させる。スキャナ１１３は圧電素子を備えた微動機構であり、スキャナ駆動部１１６からの印加電圧に応じて、互いに直交する３軸（ｘ、ｙ、ｚ）の各方向に試料台１１２を微動させる。スキャナ駆動部１１６による印加電圧はワークステーション１から発せられる制御信号により制御される。
【００２７】
カンチレバー１１４の上方には、カンチレバー１１４のｚ軸（垂直）方向の変位を検出するために、レーザ光源１１７、レンズ１１８、ビームスプリッタ１１９、ミラー１２０及び光検出器１２１を含む変位検出機構が設けられている。レーザ光源１１７が出射したレーザ光（一点鎖線で図示）はレンズ１１８による集光、及びビームスプリッタ１１９による反射を経てカンチレバー１１４の先端付近に到達する。カンチレバー１１４の上面（探針１１５が設けられた面と反対側の面）は金やアルミニウム等でコーティングされており、該カンチレバー１１４上面で反射されたレーザ光はミラー１２０で反射され、ｚ軸方向に複数に分割された受光面を有する光検出器１２１に到達する。
【００２８】
ＤＦＭ（Dynamic Force Microscope）モードによる通常観察を行う際には、カンチレバー１１４はその共振点付近の周波数ｆでｚ軸方向に振動する。このとき探針１１５と試料１１１の表面との間に原子間力などによる引力（又は斥力）が作用すると、カンチレバー１１４の振動振幅が変化する。カンチレバー１１４が上下に変位すると、光検出器１２１が有する複数の受光面に入射する光量の割合が変化する。変位量算出部１２２は、これら複数の受光面の各々の受光量に応じた検出信号を演算処理することにより、カンチレバー１１４の変位量を算出し、ワークステーション１に送信する。
【００２９】
ワークステーション１は、変位量算出部１２２からのフィードバックを受け、カンチレバー１１４の変位量がゼロとなるように、つまり探針１１５と試料１１１表面との間の距離が一定になるように、スキャナ１１３をｚ軸方向に変位させる電圧値を算出し、スキャナ駆動部１１６を制御してスキャナ１１３をｚ軸方向に微動させる。また、ワークステーション１は予め決められた走査パターンに従って、試料１１１がｘ−ｙ平面内で探針１１５に対して相対移動するようにｘ軸、ｙ軸方向の電圧値を算出し、スキャナ駆動部１１６を介してスキャナ１１３をｘ軸及びｙ軸方向に微動させる。スキャナ駆動部１１６への制御信号及び変位量算出部１２２からのフィードバック信号の各値はワークステーション１に逐次保存される。ワークステーション１ではこれらの信号値が時系列情報とともに参照され、試料１１１上のｘ−ｙ平面内の各座標におけるカンチレバー１１４のｚ軸方向の変位量に基づき、測定位置ごとの高さ、すなわち試料１１１表面の凹凸に対応する測定データが作成される。
【００３０】
上記のような試料１１１表面の凹凸の他にも、ＳＰＭ１００とワークステーション１とを含む測定システムでは様々な物理量を測定することができる。一例として、カンチレバー１１４を振動させるための上記励振部への制御信号の位相と、変位量算出部１２２からのフィードバック信号の位相との間の時間的ずれから該試料１１１表面の各部位の粘弾性や吸着力を求めたり、カンチレバー１１４に交流電気信号を印加し、試料１１１表面とカンチレバー１１４との間に作用する静電気力を検出することにより試料１１１表面の各部位の電位を求めたりできる。その他、偏差（縦）、偏差（横）、振幅、ｓｉｎδ、ｃｏｓδ及び電流等の物理量があり、各物理量に基づく測定データがワークステーション１側で作成される。さらに、これらのそれぞれについて、試料１１１表面に対する探針１１５の走査方向（往路及び復路）ごとにトレースとリトレースとの２種の測定データが作成され、１つのグループとして管理される。
【００３１】
ワークステーション１の構成について詳細に説明する。
ワークステーション１の実態はコンピュータであり、中央演算処理装置であるＣＰＵ（Central Processing Unit）１０にメモリ１２、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等から成るモニタ１４（本発明の表示部に相当）、キーボードやマウス等から成る入力部１６及び記憶部２０が互いに接続されている。このうち、上記のメモリ１２はＲＡＭ（Random Access Memory）等の揮発性記憶装置、記憶部２０はＲＯＭ（Read only Memory）・フラッシュメモリ・ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable ROM）・ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）（Electrically EPROM）・ＨＤＤ（Hard Disc Drive）・ＳＳＤ（Solid State Drive）等の不揮発性記憶装置によって構成される。記憶部２０には測定制御プログラム２１、解析・表示プログラム２２が設けられている。解析・表示プログラム２２が備える後述の各要素は、ＣＰＵ１０がこのプログラムをメモリ１２に読み出して実行することで実現される機能手段である。記憶部２０にはまた、ＯＳ（Operating System）２９も記憶されている。
【００３２】
ワークステーション１は、外部装置との直接的な接続や、外部装置等とのＬＡＮ（Local Area Network）などのネットワークを介した接続を司るためのインターフェース（Ｉ／Ｆ）１８を備えており、該Ｉ／Ｆ１８よりネットワークケーブルＮＷ（又は無線ＬＡＮ）を介してＳＰＭ１００に接続されている。なお、ワークステーション１と接続されるＳＰＭは複数台であっても構わない。
【００３３】
測定制御プログラム２１は、ＳＰＭ１００による測定を制御するためのアプリケーションソフトウェアである。具体的には、上述したワークステーション１の機能のうち、励振部やスキャナ駆動部１１６への制御信号の送出、変位量算出部１２２からのフィードバック信号の取得、並びにこれら制御信号及びフィードバック信号の各値の記憶部２０への保存等は、測定制御プログラム２１の実行により実現される動作である。測定する物理量や測定対象領域等といった各種パラメータを、入力部１６を介してなされたユーザ入力に基づいて設定するといった機能も測定制御プログラム２１が担う。
【００３４】
解析・表示プログラム２２は、測定制御プログラム２１が記憶部２０に保存した各種信号値に基づき、ＳＰＭ１００による測定結果を解析し、該解析結果をモニタ１４の画面上に画像として表示させるためのアプリケーションソフトウェアである。
図１においては、解析・表示プログラム２２に係るように、操作取得・判定部３１、指定データ取得部３２、初期表示画像生成部３３（本発明の予備画像生成手段に相当）、表示制御部３４、測定データ編集部３５、データ切替部３６（本発明の第１の表示切替手段に相当）及びグループ情報データベース（ＤＢ）３７（本発明のグループ情報記憶部に相当）が示されている。なお、解析・表示プログラム２２は必ずしも測定制御プログラム２１と別個のプログラムである必要はなく、二者が一体にパッケージングされたアプリケーションソフトウェアとして提供されても構わない。
【００３５】
操作取得・判定部３１は、入力部１６を介してなされたユーザによる入力操作を取得し、その指示内容を判定するものである。例えば、入力部１６が検知したクリック操作やキー入力と、モニタ１４の画面上に現在表示されているＧＵＩ（Graphical User Interface）等の情報を参照して指示の内容を特定し、特定結果に応じて指定データ取得部３２、測定データ編集部３５及びデータ切替部３６等への通知を行う。
【００３６】
指定データ取得部３２は、ユーザが指定した測定データを、後述のグループ情報ＤＢ３７から取得するものである。ここで「指定する」とは、モニタ１４の画面上に画像として表示させるべき測定データを、クリックやファイル名入力等の操作により手動で選択することを意味している。以下、ユーザにより指定された測定データを「指定データ」と称す。
【００３７】
初期表示画像生成部３３は、指定データが含まれるグループに属する他の測定データ全てをグループ情報ＤＢ３７から取得するとともに、該取得した他の測定データのそれぞれについて初期表示画像を生成する。本実施形態における初期表示画像とは、或る測定データが通常のモードにおいて表示対象として選択された場合にモニタ１４の画面上に表示される際の初期態様の画像であり、典型的には512画素×512画素のトップビュー画像である。この表示形式は多くの一般的な解析ソフトにおいてサムネイルの元画像となることからも好適と言える。
【００３８】
表示制御部３４は、モニタ１４に対し、解析・表示プログラム２２によって処理された各種情報の映像信号を出力するものである。本実施形態では特に、図３に示すように、グループ３１０に含まれる８個の測定データのサムネイル３１１〜３１８をデータ選択画面３００内にて表示させたり、図４に示すように、指定データ取得部３２が取得した指定データ画像４１３をデータ表示画面４００にて表示させたりする。
【００３９】
測定データ編集部３５は、ユーザの指示に応じて測定データに対し種々の編集処理を施すものである。例えば、モニタ１４の画面上に画像として表示された指定データを補正したり、所定の２点を結ぶ線分上の凹凸形状のラインを抽出したり、複数の表示形式を組み合わせた画像を生成したりする。
【００４０】
データ切替部３６は、モニタ１４の画面上に表示させる測定データの画像を切り替えるものである。具体的には、後述する指定データ画像の表示領域において、初期表示画像生成部３３が生成した初期表示画像をユーザによる切替操作（本発明における第１の所定の入力操作に相当）に従って表示させるよう、表示制御部３４に指示信号を出力する。
【００４１】
グループ情報ＤＢ３７は、複数の測定データの情報をグループごとに保存するものである。各測定データには作成日時、対応するファイル名、並びに施された編集処理の種類及び回数等が関連付けられており、ユーザによる指示に応じて各グループについて測定データの追加・削除・変更等がなされる。
【００４２】
＜データ切替処理の流れ＞
ここで、フローチャートである図２、及び必要に応じて図３〜図６を参照しつつ、本実施形態の解析・表示プログラム２２によるデータ切替処理の流れについて説明を行う。
【００４３】
まず、操作取得・判定部３１が、ユーザによる測定データの指定の有無を判定する（ステップＳ１０１）。具体的には、図３に示すデータ選択画面３００上に表示された複数の測定データのサムネイル（例えば３１１〜３１８）の表示領域上でのダブルクリック操作が検出されたか否かを判定する。
【００４４】
ここで、ユーザが「試料１」のグループ３１０に属する測定データ「高さトレース_傾き補正2」のサムネイル３１３上にカーソルＣを移動させダブルクリックを行ったとする。これにより操作取得・判定部３１は該測定データが指定されたと判定し（ステップＳ１０１でＹｅｓ）、該判定結果を指定データ取得部３２及び初期表示画像生成部３３に通知する。
【００４５】
すると、指定データ取得部３２が指定データを取得する（ステップＳ１０２）。具体的には、操作取得・判定部３１から通知された判定結果に基づき、測定データ「高さトレース_傾き補正2」をグループ情報ＤＢ３７に照会し、これを指定データとして取得する。
【００４６】
さらに、初期表示画像生成部３３が上記指定データと同じグループ３１０に属する他の測定データを全て取得する（ステップＳ１０３）。具体的には、操作取得・判定部３１から通知された判定結果に基づき、指定データである測定データ「高さトレース_傾き補正2」をグループ情報ＤＢ３７に照会し、該指定データ以外の７個の測定データを全て取得する。初期表示画像生成部３３はさらに、これら７個の測定データのそれぞれについて、上述したような初期表示画像を生成する（ステップＳ１０４）。
なお、ステップＳ１０２とＳ１０３とは同時に実行されてもよい。別の例として、ステップＳ１０１にて操作取得・判定部３１は指定データ取得部３２にのみ通知を行う構成としてもよく、この場合、指定データ取得部３２は、指定データの取得後に該指定データに対応する測定データの識別子を初期表示画像生成部３３に通知すればよい。
【００４７】
次に、表示制御部３４が指定データを画面上にウィンドウ表示する（ステップＳ１０５）。具体的には、表示制御部３４は、図４に示すデータ表示画面４００にてウィンドウ４１０を新規に作成し、該ウィンドウ４１０内に測定データ「高さトレース_傾き補正2」に対応する指定データ画像４１３を表示させる。なお、本ステップより前の段階でデータ表示画面４００がモニタ１４の画面上に表示されていなければ、本ステップにてデータ表示画面４００も表示させればよい。
【００４８】
次に、操作取得・判定部３１が指定データに対する編集操作の有無を判定する（ステップＳ１０６）。具体的には、例えばデータ表示画面４００のメニューバー４０１の「編集」メニューから種々のデータ編集処理が可能となっている場合、当該編集処理に割り当てられたＧＵＩの表示領域におけるクリック等の操作が検出されたか否かを判定する。
【００４９】
上記のような編集操作が検出された場合（ステップＳ１０６でＹｅｓ）、操作取得・判定部３１が該編集操作内容を測定データ編集部３５に通知し、測定データ編集部３５は、該通知内容に応じた編集処理を指定データに施す（ステップＳ１０７）。
なお、図４に示す指定データ画像４１３は、同じ「試料１」のグループ３１０に含まれる測定データ「高さトレース」（図３中のサムネイル３１１に対応）に対しｚ軸方向の傾き補正を２回行うことで得られた画像である。すなわち、指定データ画像４１３が得られる前に、元データである「高さトレース」を指定データとした一連の編集・保存処理が行われている。
【００５０】
その後、操作取得・判定部３１がユーザによる保存指示操作を検出すれば（ステップＳ１０８でＹｅｓ）、測定データ編集部３５からの入力を受け、グループ情報ＤＢ３７において、ステップＳ１０７での編集処理が施された指定データが「試料１」のグループ３１０に追加される（ステップＳ１０９）。
一方、保存指示がなければ（ステップＳ１０８でＮｏ）、ステップＳ１０６に戻る。
【００５１】
ステップＳ１０６において編集操作が検出されなければ（ステップＳ１０６でＮｏ）、次に操作取得・判定部３１はデータ切替モードへの移行操作の有無を判定する（ステップＳ１１０）。データ切替モードへの移行操作の具体例としては、指定データ画像４１３の表示領域内でのダブルクリック、ウィンドウ４１０を最前面にした状態での複数キーの押下、及び所定キーの押下と上記表示領域内でのクリックとの組み合わせ等が挙げられる。移行操作はプログラムの開発時に予め設定されていることが好ましく、ユーザによる変更が可能であってもよい。こうした移行操作が検出されなければ（ステップＳ１１０でＮｏ）ステップＳ１０６に戻る。
【００５２】
一方、移行操作が検出されれば（ステップＳ１１０でＹｅｓ）、解析・表示プログラム２２はデータ切替モードに移行する（ステップＳ１１１）。
このときのモニタ１４による画面表示例を図５（ａ）に示す。図４と比較すると、指定データ画像４１３の左右の縁部近傍に切替マーク５００が表示されている。切替マーク５００は前マーク５０１と次マーク５０２とから成る。別の例として、切替マーク５００の表示位置は指定データ画像４１３の上下の縁部近傍であってもよく、また指定データ画像４１３の外側であっても構わない。
なお、データ切替モードにあることが分かるよう、また後述の切り替え後の画像の情報とユーザに誤認されないよう、指定データに固有の情報（例えばウィンドウ４１０右下のヒストグラム等）が提示された領域の画素値を変更してこれらの視認性を低下させておくことが好ましい。
【００５３】
まず、操作取得・判定部３１がデータ切替モードの終了操作の有無を判定する（ステップＳ１１２）。データ切替モードの終了操作は、データ切替モードへの移行操作と同じ操作であってもよいし、異なる操作であってもよい。但し、後述の切替操作や確定操作と混同されない操作である必要がある。この終了操作もユーザが任意に変更可能であってもよい。終了操作が検出されれば（ステップＳ１１２でＹｅｓ）、解析・表示プログラム２２はデータ切替モードを終了し（ステップＳ１１７）、ステップＳ１０６に戻る。
【００５４】
終了操作が検出されなければ（ステップＳ１１２でＮｏ）、次に操作取得・判定部３１が切替操作の有無を判定する（ステップＳ１１３）。具体的には、図５（ａ）に示す例では前マーク５０１及び次マーク５０２のいずれかの表示領域（及びその近傍）におけるクリック操作が検出されたか否かを判定する。別の例として、切替操作は左右又は上下の方向キーの押下であってもよいし、マウスホイールの回転であってもよい。こうした切替操作が検出されなければ（ステップＳ１１３でＮｏ）、ステップＳ１１２に戻る。
【００５５】
切替操作が検出されれば（ステップＳ１１３でＹｅｓ）、データ切替部３６が、ウィンドウ４１０において測定データの画像を切替表示させる（ステップＳ１１４）。ここで、「測定データの画像」とは、指定データ以外に関してはステップＳ１０４にて生成した初期表示画像である。従って例えば、図５（ａ）に示す状態で次マーク５０２上でのクリック操作が検出されると、データ切替部３６は、グループ３１０において「高さトレース_傾き補正2」の次に当たる測定データ「高さリトレース」（図３中のサムネイル３１４に対応）の初期表示画像５１４を指定データ画像４１３から切り替えて表示させるよう、表示制御部３４に指示を出す。これにより得られる画面表示例を図５（ｂ）に示す（簡略化のためウィンドウ４１０内のみ図示）。この状態でさらに次マーク５０２上でのクリック操作が検出されれば、さらに次の測定データ「電位トレース」（図３中のサムネイル３１５に対応）の初期表示画像５１５を初期表示画像５１４から切り替えて表示させる（図５（ｃ））。同様に、図５（ａ）に示す状態で前マーク５０１上でのクリック操作が検出されれば、グループ３１０において「高さトレース_傾き補正2」の前に当たる測定データ「高さトレース_傾き補正1」（図３中のサムネイル３１２に対応）の初期表示画像を指定データ画像４１３から切り替わって表示されることとなる（図示は省略）。
なお、一方向への切替表示の繰り返しによりグループ３１０内の最初／最後の測定データに達した場合は、切替マーク５００のうち前マーク５０１／次マーク５０２を非表示にして切替不可能にしてもよいし、ループ式にしてグループ３１０内の最後／最初の測定データに切替可能にしてもよい。
【００５６】
ここで、切替表示された初期表示画像がそれぞれどの測定データに対応する画像であるのかをユーザに通知するため、図５（ｂ）及び（ｃ）に示すように、初期表示画像５１４、５１５に測定データの種類等を示す付加情報５１４ｉ、５１５ｉ（本発明の各測定データに付随する情報に相当）をそれぞれ付して表示させることが好ましい。こうした情報はステップＳ１０３においてグループ情報ＤＢ３７から取得した測定データに基づいて作成すればよい。付加情報５１４ｉ、５１５ｉの例としては測定データの種類及び走査方向の他に、測定データが作成された日時、対応するファイル名、並びにグループ３１０内の全測定データ数及び当該測定データがそのうち何番目か等が挙げられる。さらに、当該の測定データが作成されるまでに施された編集処理の種類及びその回数（すなわち編集履歴）等を付してもよい。編集履歴は、例えば同一の元データから作成された編集後の測定データが複数存在する場合、ユーザが該編集後の測定データを切替表示させて比較する際に、ノイズが少ない、視認性が高いといった観点から好ましい測定データ（及びその作成方法）を特定する際の識別情報となり得る。なお、同図では付加情報５１４ｉ、５１５ｉは初期表示画像５１４、５１５に重畳するよう表示されているが、表示態様はこれに限定されず、例えばウィンドウ４１０の余白領域に表示してもよいし、付加情報５１４ｉ、５１５ｉを初期表示画像５１４、５１５に画像として埋め込んでもよい。
【００５７】
次に、操作取得・判定部３１が確定操作の有無を判定する（ステップＳ１１５）。ここでの「確定」とは、測定データの簡易閲覧用に表示されている初期表示画像について、該初期表示画像に対応する測定データを新たな指定データとすることを意味する。確定操作の例としては、例えば、初期表示画像の表示領域内の、切替マーク及びその近傍以外の領域におけるクリック操作やエンターキーの押下等が挙げられる。こうした確定操作が検出されなければ（ステップＳ１１５でＮｏ）、ステップＳ１１２に戻る。
【００５８】
確定操作が検出されれば（ステップＳ１１５でＹｅｓ）、表示制御部３４が、確定した測定データをモニタ１４の画面上にて新規ウィンドウで表示させる（ステップＳ１１６）。具体的には、指定データ取得部３２が、ステップＳ１１５にてＹｅｓと判定された時点でウィンドウ４１０内に表示されている初期表示画像に対応する測定データについて、ステップＳ１０２及びＳ１０５の処理を実行する。同一のグループ３１０内で新たに測定データを指定する場合、ステップＳ１０３及びＳ１０４は省略することができる。先の指定データの初期表示画像は、前回のステップＳ１０５にて表示された画像を用いればよい。そしてウィンドウ４１０に関する処理はステップＳ１１２に戻る。
【００５９】
このときのモニタ１４による画面表示例を図６（ａ）に示す。ここでは、図５（ｂ）に示した初期表示画像５１４の表示中に確定操作がなされたものとする。これにより、測定データ「高さリトレース」が新たな指定データとして決定され、新規ウィンドウ４２０内に該測定データの指定データ画像４１４が表示されている。ここで、この指定データ画像４１４と、先の指定データである「高さトレース_傾き補正2」の指定データ画像４１３との比較が所望される場合には、ユーザはウィンドウ４１０を選択し、データ切替モードの終了操作を行えばよい。これにより得られる画面表示例を図６（ｂ）に示す。別の例として、ステップＳ１１５における確定操作をステップＳ１１２における終了操作に代えて、ウィンドウ４１０のデータ切替モードを終了させてもよい。
【００６０】
なお、上述のとおりステップＳ１１５にて確定した測定データは新たな指定データとなり、この指定データの画像を表示する新たなウィンドウもステップＳ１０６〜Ｓ１１７の適用対象である。すなわち、図６に示すウィンドウ４２０でも測定データの画像を切り替えて表示させることができる。
また、図２においてステップＳ１０６〜Ｓ１０９とステップＳ１１０〜Ｓ１１７との順序は逆であってもよい。
【００６１】
以上説明した処理によれば、ユーザが所望の測定データを表示対象として指定すると、該指定された測定データ（指定データ）が含まれるグループ３１０に属する全ての測定データがグループ情報ＤＢ３７から取得され、指定データについては指定データ画像４１３がデータ表示画面４００内のウィンドウ４１０にて表示され、指定データ以外の測定データについては、該測定データが表示対象として選択された（すなわち指定データとなった）場合に最初に表示される画像である初期表示画像が生成される。そして、指定データ画像４１３の表示中にユーザが所定の移行操作を行うことでウィンドウ４１０はデータ切替モードに移行し、ユーザは指定データ画像４１３の表示領域内（又は近傍）に表示された切替マーク５００をクリックする等の簡易な操作により、ウィンドウ４１０内で指定データ画像４１３及び７個の初期表示画像を切り替えて表示させることができる。換言すれば、グループ３１０内の全測定データのザッピング（切替閲覧）が可能となり、各測定データを簡易に目視確認することができる。また、上述のように切替操作を視点移動の少ない簡易な操作とすることで、複数の測定データの閲覧時の煩雑さを大幅に低減することができる。
さらに、ザッピング中に所望の測定データが見つかった場合には、該測定データの初期表示画像表示中に所定の確定操作を行うことで該測定データが新たな指定データとして別のウィンドウ４２０で表示される。これにより、２つの異なるウィンドウ４１０、４２０で異なる測定データを表示させて比較することが容易となり、ユーザにとっての利便性が高まる。
また、本実施形態のように指定データと同一のグループ３１０に属する全測定データを閲覧可能とすることにより、ユーザ自らも認識していなかった測定データの存在が見落とされる危険性を低減することができる。
【００６２】
〔第２の実施形態〕
上記第１の実施形態では、測定データごとに１つの初期表示画像を生成し、これを切替表示させる構成について説明した。本実施形態ではさらに、複数の表示形式による指定データの画像を簡易にザッピング可能とする構成について説明する。
通常、ＳＰＭ用の解析ソフトでは１つの測定データは複数の表示形式に対応している。例えば、トップビュー、高低（２Ｄ）、ライン（２Ｄ）、メッシュ（２Ｄ）、等高線、陰影、ミックス、高低（３Ｄ）、ライン（３Ｄ）、メッシュ（３Ｄ）等の表示形式があり、測定データの種類によって対応可能な表示形式が異なる場合もある。従来は、表示中の測定データについて表示形式を変更しようとする場合、例えば図４に示したデータ表示画面４００において、メニューバー４０１の「表示」メニューからユーザが表示形式を設定する必要があった。しかし、設定した表示形式が所望のものと異なっていた場合、再度の設定が必要となり、目的の表示形式がユーザにとって明確でない場合の探索作業が煩雑であった。本実施形態は上述したとおりザッピングによってこの問題を解決するものである。
【００６３】
図７は本発明の第２の実施形態に係るＳＰＭ用データ表示処理装置を含む測定システムの概略構成を示すブロック図である。本測定システムは、ＳＰＭ１００とワークステーション１ａとを備える。ＳＰＭ１００の内部構成については上記第１の実施形態と同様であるため図示を省略する。
ワークステーション１ａは、上記第１の実施形態に係るワークステーション１において、解析・表示プログラム２２に代えて解析・表示プログラム２２ａを備えた構成である。解析・表示プログラム２２ａは、解析・表示プログラム２２が備える各要素に加え、対応形式画像生成部７１（本発明の形式別予備画像生成手段に相当）と表示形式切替部７２（本発明の第２の表示切替手段に相当）とを備えている。また、本実施形態におけるグループ情報ＤＢ３７は本発明の表示形式記憶部にも相当する。
【００６４】
対応形式画像生成部７１は、指定データ取得部３２が取得した指定データの情報に基づき、該指定データが対応している他の表示形式を全て特定するとともに、該特定した表示形式のそれぞれについて、モニタ１４の画面上に表示される際の初期態様の画像である形式別初期表示画像を生成する。ここでの初期態様とは、具体的には例えば色や輝度、及び３Ｄにあっては俯瞰・回転角度等の各種パラメータについて、各表示形式を選択した場合に最初に適用される値が反映された態様であることを意味する。また、「他の表示形式」とは、指定データに対応可能な全表示形式から、現在画面上に表示されている（又は表示が指示された）表示形式を除いたものを意味する。
【００６５】
表示形式切替部７２は、モニタ１４の画面上に表示されている指定データの表示形式を切り替えるものである。具体的には、上記第１の実施形態で示したような指定データ画像の表示領域において、対応形式画像生成部７１が生成した形式別初期表示画像をユーザによる切替操作（本発明における第２の所定の入力操作に相当）に従って表示させるよう、表示制御部３４に指示信号を出力する。
【００６６】
＜表示形式切替処理の流れ＞
ここで、フローチャートである図８、及び必要に応じて図９を参照しつつ、本実施形態の解析・表示プログラム２２ａによる表示形式切替処理の流れについて説明を行う。なお、本実施形態では、上記第１の実施形態におけるデータ切替モードと同様に、指定データ画像の表示後に所定の移行操作がなされることで表示形式切替モードが開始する。表示形式切替モードへの移行操作は、上記第１の実施形態におけるデータ切替モードへの移行操作や該モードの終了操作と重複しない操作とする。
説明の簡略化のため、図８では本実施形態に特徴的な処理のみを示す。本実施形態においても、上記第１の実施形態と同じグループ３１０（図３参照）から測定データ「高さトレース_傾き補正2」が指定データとして選択され、少なくともステップＳ１０１〜Ｓ１０５（図２参照）が実行されたものとする。表示形式切替モードが開始する前又は終了後にステップＳ１０６以降が実行されても構わない。
【００６７】
表示形式切替モードにおけるモニタ１４による画面表示例を図９に示す（ウィンドウ４１０内のみ図示）。本モードでは、図５（ａ）に示したデータ切替モードにおける切替マーク５００とは異なる切替マーク９００（前マーク９０１及び次マーク９０２）を表示させることが好ましい。切替マーク９００の表示位置については切替マーク５００と同様である。
【００６８】
まず、対応形式画像生成部７１が、指定データに対応可能な他の表示形式を全て特定する（ステップＳ２０３）。具体的には、図２に示すステップＳ１０２にて取得した指定データ「高さトレース_傾き補正2」をグループ情報ＤＢ３７に照会し、該指定データに関連付けられている、現在表示中の形式以外の表示形式を特定する。対応形式画像生成部７１はさらに、該特定した表示形式の各々について、上述のような形式別初期表示画像を生成する（ステップＳ２０４）。
【００６９】
次に、操作取得・判定部３１が表示形式切替モードの終了操作の有無を判定する（ステップＳ２１２）。この終了操作は、データ切替モードの終了操作と同じ操作であってもよく、ユーザが任意に変更可能であることが好ましい。但し、上記第１の実施形態と同様、後述の切替操作や確定操作と混同しない操作である必要がある。終了操作が検出されれば（ステップＳ２１２でＹｅｓ）、解析・表示プログラム２２は表示形式切替モードを終了する。
【００７０】
終了操作が検出されなければ（ステップＳ２１２でＮｏ）、次に操作取得・判定部３１が切替操作の有無を判定する（ステップＳ２１３）。本ステップにおける処理は上記第１の実施形態におけるステップＳ１１３と同様であり、切替操作も同一であっても構わない。こうした切替操作が検出されなければ（ステップＳ２１３でＮｏ）、ステップＳ２１２に戻る。
【００７１】
切替操作が検出されれば（ステップＳ２１３でＹｅｓ）、表示形式切替部７２が、ウィンドウ４１０にて異なる形式の画像を切替表示させる（ステップＳ２１４）。ここで、「異なる形式の画像」とは、図９に示すトップビュー形式以外に関してはステップＳ２０４にて生成した形式別初期表示画像である。従って例えば、図９に示す状態で次マーク９０２上でのクリック操作が検出されると、表示形式切替部７２は、グループ３１０において「トップビュー」の次に当たる表示形式「高低２Ｄ」の初期態様の画像（図示は省略）を指定データ画像４１３（トップビュー形式）から切り替えて表示させるよう、表示制御部３４に指示を出す。切替表示の態様については、上記第１の実施形態と同様であり、測定データの初期表示画像に代えて指定データの形式別初期表示画像が切り替わって表示される。
【００７２】
次に、操作取得・判定部３１が確定操作の有無を判定する（ステップＳ２１５）。本ステップにおける処理は上記第１の実施形態におけるステップＳ１１５と同様であり、確定動作も同一であっても構わない。こうした確定操作が検出されなければ（ステップＳ２１５でＮｏ）、ステップＳ２１２に戻る。
【００７３】
確定操作が検出されれば（ステップＳ２１５でＹｅｓ）、表示制御部３４が、確定した表示形式の指定データ画像をモニタ１４の画面上にて新規ウィンドウで表示させる（ステップＳ２１６）。具体的には、表示制御部３４が、ステップＳ２１５にてＹｅｓと判定された時点でウィンドウ４１０内に表示されている形式別初期表示画像に対応する表示形式で指定データ画像を表示させる。そしてウィンドウ４１０に関する処理はステップＳ２１２に戻る。
【００７４】
確定した表示形式をトップビュー画像と比較したい場合には、上記第１の実施形態と同様、上述した終了操作をウィンドウ４１０において行えばよい。また、当該新規ウィンドウにて表示形式切替モードへの移行操作がなされれば、該新規ウィンドウでステップＳ２１２〜Ｓ２１６が実行される。トップビューに関する形式別初期表示画像は、図２に示すステップＳ１０５にて表示された画像を利用すればよい。
なお、本実施形態において、ステップＳ２０３及びＳ２０４が実行されるタイミングは、図８に示すように表示形式切替モードの開始後に限定せずともよい。例えば、図２に示すステップＳ１０２とＳ１０５との間にステップＳ２０３及びＳ２０４が実行されてもよい。
【００７５】
以上説明した処理によれば、上記第１の実施形態に加え、ユーザが指定データ画像４１３の表示中に、表示形式切替モードへ移行するための所定の操作を行うことで、当該指定データについて対応可能な他の表示形式が全て特定され、それら各々について形式別初期表示画像が生成される。この形式別初期表示画像は、上記第１の実施形態における初期表示画像と類似した概念を有しており、すなわち、その表示形式が選択された場合に最初に表示される画像である。そして、該第１の実施形態と同様の簡易な切替操作によって、指定データを画像として表示する際の様々な表示形式をザッピングすることが可能となる。
また、確定された表示形式を別ウィンドウで表示することにより、複数の表示形式間での比較が容易となる。さらに、対応する全ての表示形式をザッピング可能としたことにより、例えば解析ソフトの操作に不慣れなユーザであっても、自身の目的に最も合致する表示形式を目視により特定しやすくなり、ユーザビリティの向上に寄与する。
【００７６】
〔変更例〕
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で適宜変更が許容される。以下、本発明の変更例の極一部について記載する。
【００７７】
上述の各実施形態では入力部１６をマウスやキーボードとして説明を行ったが、入力部１６はタッチパネルであってもよい。入力部１６がタッチパネルによって実現される場合には、データ切替モード又は表示形式切替モードへの移行トリガを、指定データ画像４１３上でのマルチタッチ（例えば３点以上）としてもよい。
【００７８】
また、上述の各実施形態ではデータ／表示形式切替モードにおいて確定操作がなされた後に新規ウィンドウで確定された測定データ／表示形式を表示させる構成として説明を行った。別の例として、データ／表示形式切替モードへの移行時に新規ウィンドウを表示し、該新規ウィンドウ内で他の測定データを切替表示させ、確定操作により該新規ウィンドウで該確定した測定データの指定データ画像を表示させる構成とすることもできる。さらに別の例として、ウィンドウを分けずに、すなわちウィンドウ４１０のみで切替表示と新たな指定データ画像の表示を行ってもよい。切替表示の目的が測定データの探索であり比較が不要である場合には、本構成を適用することで表示領域を省スペース化できる。
【００７９】
上記第１の実施形態においては、ステップＳ１０３にて初期表示画像生成部３３がグループ３１０に属する他の測定データを全て取得することにより、該グループ３１０内の全測定データをザッピング可能とした。しかし、指定データと同じグループに属する他の測定データを全て取得することは、本発明において必須の機能ではない。具体的には、例えば指定データが、グループ内の別の測定データを元にした編集後のデータである場合、初期表示画像生成部３３は、該指定データと同一の元データから作成された他の測定データ群及び該元データをグループ情報ＤＢ３７から取得し、これらについてのみ初期表示画像を生成してもよい。別の状況として、指定データを元にした編集後のデータがグループ内に存在する場合には、該指定データを元に作成された測定データ群を取得し、各々の初期表示画像を生成してもよい。これらの構成は、或る物理量を反映した元の測定データについて多数の編集処理を施した後に最も見栄えのよい測定データを探索するような状況で有用である。
【００８０】
また、本発明に係るＳＰＭ用データ表示処理装置の一例として、解析・表示プログラム２２、２２ａを備えたワークステーション１、１ａを挙げたが、本発明のＳＰＭ用データ表示処理装置は当該プログラムが搭載されたＰＣによっても実現可能である。
【符号の説明】
【００８１】
１、１ａ…ワークステーション
１０…ＣＰＵ
１００…ＳＰＭ
１１１…試料
１１２…試料台
１１３…スキャナ
１１４…カンチレバー
１１５…探針
１１６…スキャナ駆動部
１１７…レーザ光源
１１８…レンズ
１１９…ビームスプリッタ
１２…メモリ
１２０…ミラー
１２１…光検出器
１２２…変位量算出部
１４…モニタ
１６…入力部
１８…Ｉ／Ｆ
２０…記憶部
２１…測定制御プログラム
２２、２２ａ…解析・表示プログラム
３００…データ選択画面
３１…操作取得・判定部
３１０…グループ
３１１、３１２、３１３、３１４、３１５、３１６、３１７、３１８…測定データのサムネイル
３２…指定データ取得部
３３…初期表示画像生成部
３４…表示制御部
３５…測定データ編集部
３６…データ切替部
３７…グループ情報ＤＢ
４００…データ表示画面
４０１…メニューバー
４１０…ウィンドウ
４１０…該ウィンドウ
４１３、４１４…指定データ画像
４２０…新規ウィンドウ
５００、９００…切替マーク
５０１、９０１…前マーク
５０２、９０２…次マーク
５１４、５１５…初期表示画像
５１４ｉ、５１５ｉ…付加情報
７１…対応形式画像生成部
７２…表示形式切替部
Ｃ…カーソル
【図１】
2016079879.tif 000003
【図２】
2016079879.tif 000004
【図３】
2016079879.tif 000005
【図４】
2016079879.tif 000006
【図５】
2016079879.tif 000007
【図６】
2016079879.tif 000008
【図７】
2016079879.tif 000009
【図８】
2016079879.tif 000010
【図９】
2016079879.tif 000011
【図１０】
2016079879.tif 000012
【国際調査報告】
2016079879.tif 000013
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