(57)【要約】  主として、測定精度に対する信頼性の低下を防止することができる、リード付き電子部品の抵抗測定装置を提供することである。  多数のリード付きサーミスタＷを整列させた状態で、リード部分ｂを保持するワークホルダ１２と、サーミスタ部分ａが突出するようにワークホルダ１２を支持した状態で、リード付きサーミスタＷを所定の方向に搬送可能とする支持部１４と、サーミスタ部分ａを浸漬させる熱媒体を収納した浸漬槽２６と、リード部分ｂの長手方向で見て、サーミスタ部分ａと反対側のリード部分ｂの先端部に測定端子４６を雰囲気中で接触させ、リード付きサーミスタＷの抵抗値を測定する測定部４０とを含み、支持部１４には、浸漬槽２６の熱媒体ｈと同じ熱媒体が循環される循環流路２４が内蔵され、浸漬槽２６で加熱されるサーミスタ部分ａの温度と、循環流路２４内を循環する熱媒体ｈを介して加熱されるリード部分ａの温度とが、略同じ温度になるように設定される。
2016006269.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の温度特性を有するリード付きサーミスタか否かを判定するために用いられ、前記リード付きサーミスタのリード部分に測定端子を接触させることにより、前記リード付きサーミスタの抵抗値を測定する抵抗測定装置であって、
多数個のリード付きサーミスタを整列させた状態で、前記リード部分を保持するワークホルダ、
端縁からリード付きサーミスタのサーミスタ部分が突出するように前記ワークホルダを支持した状態で、前記多数個のリード付きサーミスタを所定の方向に搬送可能とする支持部、
前記サーミスタ部分に浸漬される所定の温度の熱媒体を収納した浸漬槽、および
前記リード部分の長手方向で見て、前記サーミスタ部分と反対側の前記リード部分の先端部に前記測定端子を雰囲気中で接触させ、前記リード付きサーミスタの抵抗値を測定する測定部を含み、
前記支持部には、前記浸漬槽の熱媒体と同じ熱媒体が循環される循環流路が内蔵され、
前記浸漬槽の熱媒体に浸漬されて加熱される前記サーミスタ部分の温度と、前記支持部の循環流路内を循環する熱媒体を介して加熱される前記リード部分の温度とが、略同じ温度になるようにしたことを特徴とする、リード付きサーミスタの抵抗測定装置。
【請求項２】
前記ワークホルダは、前記リード部分を保持する帯状のワークホルダを含み、
前記支持部は、対向する端縁を有し、一方の前記端縁から前記サーミスタ部分が突出し、且つ、他方の前記端縁から前記リード部分の先端側が突出するように、前記ワークホルダを支持した状態で、前記多数個のリード付きサーミスタを所定の方向に搬送可能とする支持部を含み、
前記浸漬槽の熱媒体を前記浸漬槽と前記支持部の循環流路との間に循環させて、前記サーミスタ部分の温度と前記リード部分の温度とが、略同じ温度になるようにしたことを特徴とする、請求項１に記載のリード付きサーミスタの抵抗測定装置。
【請求項３】
前記抵抗測定装置は、
測定対象となる前記多数のリード付きサーミスタとは別に、基準サンプルとなる所定の温度特性および抵抗値が判明している基準サンプル用のリード付きサーミスタのリード部分を保持する基準サンプル用ワークホルダを支持する基準サンプル用支持部、および
前記基準サンプル用支持部に内蔵される流路を含み、
前記浸漬槽の熱媒体を前記浸漬槽と前記支持部の循環流路と前記基準サンプル用支持部の流路との間に循環させて、前記測定対象となる前記多数のリード付きサーミスタのサーミスタ部分およびリード部分の温度と、前記基準サンプル用のリード付きサーミスタのサーミスタ部分の温度およびリード部分の温度とが、略同じ温度になるようにし、前記基準サンプル用のリード付きサーミスタの抵抗値を参照して、前記測定対象となる多数のリード付きサーミスタの測定された抵抗値を補正することを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のリード付きサーミスタの抵抗測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リード付きサーミスタの抵抗測定装置に関し、当該リード付きサーミスタが所定の温度特性を有するか否か判定するために用いられ、リード付きサーミスタの抵抗値を測定する、リード付きサーミスタの抵抗測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明の背景となる従来技術の一例としては、多数のサーミスタをそれぞれ保持する貫通孔を備えたエンドレスベルトと、このエンドレスベルトが浸漬して走行する絶縁性溶剤を収納した高低温の複数の液槽と、液槽中で各サーミスタの両端に測定電極を接触させてサーミスタの抵抗値を測定する測定装置と、前記ベルトの貫通孔にサーミスタを嵌入させるサーミスタ供給装置と、前記測定装置からの指令に基いて前記ベルトの貫通孔からサーミスタを脱出させて分別する排出装置とを備えたサーミスタ抵抗値測定選別装置があった（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２２２４４１号公報（図１，図２，図３，図８，図９）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この従来技術に用いられる「サーミスタの抵抗値を測定する測定装置」では、多数のチップ型のサーミスタが保持されたエンドレスベルトを、絶縁性溶剤が収納された温度の異なる複数の液槽に浸漬し、液槽中で各チップ型サーミスタに測定電極を接触させて各チップ型サーミスタの抵抗値測定を行う構成となっているので、この測定装置による測定で、特に、リード部を有するサーミスタ等のリード付き電子部品（以下、「ワーク」という。）の抵抗値を測定する場合、種々、問題を有するものであった。
すなわち、このワークでは、当該ワークの抵抗値を測定する前工程およびワークの抵抗値を測定した後の後工程におけるワークの搬送に資するように、紙製の固定用シートまたは固定用テープ等のホルダで固定された態様を採用すると、当該ワークの抵抗値を上記した従来技術の「サーミスタの抵抗値を測定する測定装置」により測定した場合、一旦、紙製のホルダからワークを取り外してエンドレスベルトに移し替え、ワークの抵抗値を測定した後、再度、ホルダに保持させる必要があり、手間が掛かるものとなって、測定時間の短縮化に支障を来たすという問題があった。
また、紙製のホルダまたはエンドレスベルトにワークを保持した状態で当該ホルダまたはエンドレスベルトを液槽に浸漬させると、液槽中の絶縁性溶剤が紙製のホルダに付着するため、たとえば出荷用のワークを保持するホルダとしては用いることができないという問題があった。この場合、絶縁性溶剤が付着したホルダからワークを取り外して当該ワークを別途出荷用のホルダに移し替えることも考えられるが、移し替える工程が追加され、その分、工程数が多くなるという問題が生じる。しかも、ワーク全体を液槽中に浸漬した場合、ワークの一部分を液槽中に浸漬する場合に比べて、液槽中の絶縁性溶剤がより多く消費されるため、コストも高く付くという問題も生じるものであった。
そこで、上記した種々の問題を解消するために、紙製のホルダまたはエンドレスベルトにワークを保持した状態で当該ホルダまたはエンドレスベルトを液槽に浸漬させることなく、ワークの一部分（例えば、リード付きサーミスタのサーミスタ部分）だけを液槽に浸漬させることが考えられる。
しかしながら、ワーク（例えば、リード付きサーミスタ）の一部分（例えば、サーミスタ部分）のみを液槽中に浸漬させた場合、ワークの一部分とそれ以外の部分（例えば、リード部分）とに温度差が発生するので、当該ワークの一部分の温度が安定せずに、抵抗値の測定誤差の要因となる。そのため、測定精度に対する信頼性の低下を招く虞があった。【０００５】
それゆえに、本発明の主たる目的は、測定精度に対する信頼性の低下を防止することができ、且つ、測定時間の短縮化および測定コストの低減化を図ることができる、リード付き電子部品の抵抗測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に係る本発明は、所定の温度特性を有するリード付きサーミスタか否かを判定するために用いられ、リード付きサーミスタのリード部分に測定端子を接触させることにより、リード付きサーミスタの抵抗値を測定する抵抗測定装置であって、多数個のリード付きサーミスタを整列させた状態で、リード部分を保持するワークホルダと、端縁からリード付きサーミスタのサーミスタ部分が突出するようにワークホルダを支持した状態で、多数個のリード付きサーミスタを所定の方向に搬送可能とする支持部と、サーミスタ部分に浸漬される所定の温度の熱媒体を収納した浸漬槽と、リード部分の長手方向で見て、サーミスタ部分と反対側のリード部分の先端部に測定端子を雰囲気中で接触させ、リード付きサーミスタの抵抗値を測定する測定部とを含み、支持部には、浸漬槽の熱媒体と同じ熱媒体が循環される循環流路が内蔵され、浸漬槽の熱媒体に浸漬されて加熱されるサーミスタ部分の温度と、支持部の循環流路内を循環する熱媒体を介して加熱されるリード部分の温度とが、略同じ温度になるようにしたことを特徴とする、リード付きサーミスタの抵抗測定装置である。
請求項１に係る本発明では、上記した構成を有することにより、浸漬槽の熱媒体と同じ熱媒体が支持部の循環流路内を循環することで、浸漬槽と支持部の温度差を極めて小さくすることができる。そのため、本発明では、支持部に支持されているリード付きサーミスタのリード部分からの熱伝達による温度低下を防ぎ、測定精度に対する信頼性の低下を防止することができる。また、本発明では、ワークホルダ全体を熱媒体に浸漬させるのではなく、特に、リード付きサーミスタのサーミスタ部分に浸漬させているので、熱媒体の消費量を節約することができる。さらに、ワークホルダをたとえば紙で形成した場合、測定後のリード付きサーミスタの後工程での出荷／搬送等に資するように、当該ワークホルダをワーク保持具として使用することもできるので、従来技術（例えば、特許文献１参照。）のように、エンドレスベルトから別途ワークホルダに移し替える手間を省力化することができる。
すなわち、本発明では、熱伝達影響を極力少なくすることができると共に、熱媒体の消費量を削減することができ、且つ、ワークホルダを出荷用のワーク保持具として使用することができるため、測定精度に対する信頼性の低下を防止することができ、且つ、測定時間の短縮化および測定コストの低減化を図ることができる。
請求項２に係る本発明は、請求項１に係る発明に従属する発明であって、ワークホルダは、リード部分を保持する帯状のワークホルダを含み、支持部は、対向する端縁を有し、一方の端縁からサーミスタ部分が突出し、且つ、他方の端縁からリード部分の先端側が突出するように、ワークホルダを支持した状態で、多数個のリード付きサーミスタを所定の方向に搬送可能とする支持部を含み、浸漬槽の熱媒体を浸漬槽と支持部の循環流路との間に循環させて、サーミスタ部分の温度とリード部分の温度とが、略同じ温度になるようにしたことを特徴とする、リード付きサーミスタの抵抗測定装置である。
請求項２に係る本発明は、上記した構成を有することにより、特に、浸漬槽の熱媒体を浸漬槽と支持部の循環流路との間に循環させて、この熱媒体によって、サーミスタ部分の温度とリード部分の温度とが、略同じ温度になるようにしているので、サーミスタ部分の温度とリード部分の温度との温度差を極めて小さくすることができる。そのため、本発明では、当該温度差によるリード付きサーミスタの抵抗値の測定誤差を極力小さくして測定精度に対する信頼性の低下を防止することができる。
請求項３に係る本発明は、請求項１または請求項２に係る発明に従属する発明であって、抵抗測定装置は、測定対象となる多数のリード付きサーミスタとは別に、基準サンプルとなる所定の温度特性および抵抗値が判明している基準サンプル用のリード付きサーミスタのリード部分を保持する基準サンプル用ワークホルダを支持する基準サンプル用支持部と、基準サンプル用支持部に内蔵される流路とを含み、浸漬槽の熱媒体を浸漬槽と支持部の循環流路と基準サンプル用支持部の流路との間に循環させて、測定対象となる多数のリード付きサーミスタのサーミスタ部分およびリード部分の温度と、基準サンプル用のリード付きサーミスタのサーミスタ部分の温度およびリード部分の温度とが、略同じ温度になるようにし、基準サンプル用のリード付きサーミスタの抵抗値を参照して、測定対象となる多数のリード付きサーミスタの測定された抵抗値を補正することを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のリード付きサーミスタの抵抗測定装置である。
請求項３に係る本発明では、上記した構成を有することにより、浸漬槽の熱媒体の温度が変動したとしても、測定対象となる多数のリード付きサーミスタと、基準サンプル用のリード付きサーミスタ基準サンプルとは、同様に温度変動する。このとき、本発明では、所定の温度特性および抵抗値が判明している基準サンプル用のリード付きサーミスタの測定値を参照して、測定対象となる多数のリード付きサーミスタの測定された抵抗値を補正することができる。そのため、本発明では、浸漬槽の熱媒体が外部影響等による温度変動があったとしても、測定精度の悪化を防止することができる。
なお、上記した発明において、多数個のリード付きサーミスタを整列させた状態で、リード部分を保持するワークホルダは、紙または合成樹脂で形成されることが好ましく、特に、紙で形成されることがさらに好ましい。また、支持部の循環流路は、支持部の外観態様に応じた環状の循環流路に形成されることがより好ましい。さらに、リード付きサーミスタのサーミスタ部分を浸漬槽の熱媒体に浸漬させる位置は、浸漬槽と支持部の循環流路との間で熱媒体を循環させる出入り口の位置は、互いに近接した位置よりも遠く離れた位置となっていることが好ましい。なぜならば、両者の位置が近接していると、互いの作用に起因する渦流や撹拌流等が浸漬槽に悪影響を及ぼして、浸漬槽内の熱媒体の温度が当該浸漬槽の場所の違いによる温度変化が生じる虞があるためである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、測定精度に対する信頼性の低下を防止することができ、且つ、測定時間の短縮化および測定コストの低減化を図ることができる、リード付き電子部品の抵抗測定装置が得られる。【０００８】
この発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係るリード付きサーミスタの抵抗測定装置の一実施の形態の要部を    示す概略正面図である。
【図２】（Ａ）は、支持部の一例を示す要部平面図解図であり、（Ｂ）は、その要部    縦断面図解図であり、（Ｃ）は、その要部底面図解図である。
【図３】図１のリード付きサーミスタの抵抗測定装置の他の要部を示す概略正面図で    ある。
【図４】図３の一点鎖線で囲まれたｘ部の拡大図である。
【図５】本発明に係るリード付きサーミスタの抵抗測定装置の他の実施の形態を示す    概略正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本発明に係るリード付きサーミスタの抵抗測定装置の一実施の形態の要部を示す概略正面図である。
このリード付きサーミスタの抵抗測定装置１０は、所定の温度特性を有するリード付きサーミスタか否かを判定するために用いられ、リード付きサーミスタの抵抗値を測定する抵抗測定装置である。そこで、先ず、この抵抗測定装置１０で測定されるリード付きサーミスタＷについて、簡単に説明する。リード付きサーミスタＷは、たとえば図１および図４に示すように、セラミック材料等を主成分とするサーミスタ部分ａと、はんだ（図示せず）を介して、サーミスタ部分ａに接続され、平行状に配される一対のリード部分ｂとを含む、リード付きサーミスタである。図１に示す抵抗測定装置１０では、たとえばリード付きＮＴＣサーミスタの測定値が測定される。
【００１１】
リード付きサーミスタの抵抗測定装置１０は、たとえば図１に示すように、多数個のリード付きサーミスタ（以下、ワークＷと言う。）を整列させた状態で、ワークＷの一対のリード部分ｂ，ｂを保持するワークホルダ１２を支持する支持部１４を含む。支持部１４は、図１および図２に示すように、たとえば円板状の固定円板１６および回転円板１８を含む。固定円板１６および回転円板１８は、それぞれ、その中央部に平面視たとえば円形の貫通孔１７および１９を有する。固定円板１６および回転円板１８は、アルミ等の熱伝導率の高い材料で形成され、その外表面には、絶縁性確保のための表面処理が施されている。
【００１２】
一方、固定板１６は、図２の（Ａ），（Ｂ）に示すように、たとえば平面視円形環状の溝部２０を有し、この固定板１６には、図２の（Ｂ）に示すように、回転円板１８が重ね合わせられる。このとき、固定板１６の貫通孔１７および回転板１８の貫通孔１９が連通され、支持部１４の貫通孔１５となり、さらに、溝部２０は、図２の（Ａ）に示すように、支持部１４内に循環流路２４を形成するものとなる。
また、回転円板１８は、固定円板１６に回動自在に支持されていて、回転円板１８は、回転軸Ｓを介して接続されたモータＭの駆動により回転自在となっている。
【００１３】
この支持部１４によって、図１に示すように、当該支持部１４の回転円板１８の外周面に沿って、たとえば帯状のワークホルダ１２が支持されている。ワークホルダ１２は、たとえば紙または合成樹脂で形成され、図１に示すように、各ワークＷの一対のリード部分ｂ，ｂの一部、例えば、当該リード部分ｂ，ｂの長手方向の略中央部が挿入されるスリット部（図示せず）を有し、当該スリット部によって、各ワークＷの一対のリード部分ｂ，ｂの長手方向の中間部を保持している。
支持部１４は、図１に示すように、当該支持部１４の外周面において、当該支持部１４の半径方向に直交する方向に対向する端縁１４Ａ，１４Ｂを有し、一方の端縁１４Ａからサーミスタ部分ａが突出し、且つ、他方の端縁１４Ｂから一対のリード部分ｂ，ｂの先端側が突出するように、ワークホルダ１２を支持した状態で、多数個のワークＷを所定の方向、この場合、支持部１４の円周方向に搬送可能としている。
【００１４】
このリード付きサーミスタの抵抗測定装置１０は、図１に示すように、上記した支持部１４の下方に配置される浸漬槽２６をさらに含む。浸漬槽２６には、各ワークＷのサーミスタ部分ａに所定の温度の熱媒体を浸漬させる熱媒体ｈが収納されている。この熱媒体ｈは、たとえばオイルが用いられ、熱源（図示せず）により所定の温度に設定されている。熱媒体ｈは、配管２８を介し、ポンプＰでポンプアップされる。ポンプアップされた熱媒体ｈは、送入管３０を経由して、支持部１４の循環流路２４に送入される。循環流路２４に送入された熱媒体ｈは、当該循環流路２４を周回した後、さらに、送出管３２を経由し、再び、浸漬槽２６に送出されるものとなっている。すなわち、浸漬槽２６に収納された熱媒体ｈは、送入管３０および送出管３２を介して、浸漬槽２６および支持部１４の循環流路２４を循環されるものとなっている。
なお、熱媒体としては、オイル以外にも、優れた電気絶縁性と熱特性を有するフッ素系不活性液体等の絶縁性液体が用いられてもよい。
【００１５】
さらに、このリード付きサーミスタの抵抗測定装置１０は、図３および図４に示すように、ワークＷの抵抗値を測定する測定部４０を含む。この測定部４０は、特に、図４に示すように、支持部１４の固定円板１６に固定されるブロック状のベース部４２を含み、ベース部４２には、エアシリンダ等のアクチュエータ４４が配設されている。アクチュエータ４４の軸方向の先端側には、測定端子となるたとえば複数のプローブ４６を取り付ける取付け部材４８が設けられている。この取付け部材４８の先端面に取り付けられた複数のプローブ４６の前方には、当該複数のプローブ４６との間に所定の間隔を隔てて、たとえば横長矩形板状の挟持部材５０が配置されている。挟持部材５０は、たとえば断面矩形状の２つの支持棒５２，５４で支持されている。この場合、２つの支持棒５２，５４は、互いに並行に配置され、それぞれ、その長手方向の一端がベース部４２に固定され、その長手方向の他端が挟持部材５０に固定されている。
この測定部４０では、ワークＷの一対のリード部分ｂ，ｂの長手方向で見て、ワークＷのサーミスタ部分ａと反対側のリード部分ｂ，ｂの先端部が、上記した複数のプローブ４６および挟持部材５０間で挟持され、複数のプローブ４６と接触されることによって、当該ワークＷの抵抗値が測定される。この場合、ワークＷの抵抗値は、雰囲気中で測定されるものとなっている。
【００１６】
次に、上記した抵抗測定装置１０を用いた抵抗測定方法の一例について説明する。
先ず、多数個のワークＷを整列させた状態で、ワークＷの一対のリード部分ｂ，ｂを保持するワークホルダ１２が、支持部１４の回転円板１８の外周面に取外し自在に取り付けられて支持される。次に、支持部１４の回転円板１８が所定の方向に搬送され、ワークＷのサーミスタ部分ａが浸漬槽２６の熱媒体ｈ中に浸漬される。それから、サーミスタ部分ａに熱媒体ｈが付着されたワークＷは、測定部４０に搬送され、複数のプローブ４６と接触されることによって、当該ワークＷの抵抗値が測定される。
この抵抗測定装置１０では、特に、浸漬槽２６の熱媒体ｈを浸漬槽２６と支持部１４の循環流路２４との間に循環させて、ワークＷのサーミスタ部分ａの温度とワークＷの一対のリード部分ｂ，ｂの温度とが、略同じ温度になるように構成されている。
【００１７】
この実施の形態に係る抵抗測定装置１０およびそれを用いた抵抗測定方法では、浸漬槽２６の熱媒体ｈを浸漬槽２６と支持部１４の循環流路２４との間に循環させて、当該熱媒体ｈによって、ワークＷのサーミスタ部分ａの温度と、一対のリード部分ｂ，ｂの温度とが、略同じ温度になるようにしているので、当該サーミスタ部分ａの温度と一対のリード部分ｂ，ｂの温度との温度差を極めて小さくすることができる。したがって、この温度差によるワークＷの抵抗値の測定誤差を極力小さくして、測定精度に対する信頼性の低下を防止することができる。
【００１８】
上述した各実施の形態に係る抵抗測定装置１０では、１つの浸漬槽２６に収納された熱媒体ｈを循環させることによって、浸漬槽２６でワークＷのサーミスタ部分ａを加熱し、支持部１４の循環流路２４でワークＷの一対のリード部分ｂ，ｂを加熱したが、例えば、支持部１４の循環流路２４を循環する熱媒体ｈを別の液槽からポンプアップするようにしてもよい。
【００１９】
図５は、本発明に係るリード付きサーミスタの抵抗測定装置の他の実施の形態を示す概略正面図である。図５に示す抵抗測定装置６０は、上述した抵抗測定装置１０と比べて、特に、温度特性が既に判明している基準サンプル（測定対象となるワークＷと同じ物品）を用いて、基準サンプルをワークＷと同様に加熱し、基準サンプルの抵抗値を用いて、ワークＷの測定された抵抗値を補正することができるようにした点が相違するものであり、それ以外は、図１〜図４を参照して、説明した上述の抵抗測定装置１０と同じ構成を有するものである。
【００２０】
すなわち、図５に示すリード付きサーミスタの抵抗測定装置６０は、測定対象となる多数のワークＷとは別に、基準サンプルとなる所定の温度特性および抵抗値が判明している基準サンプル用のリード付きサーミスタ６２の一対のリード部分ｂ，ｂを保持する基準サンプル用ワークホルダ６４を支持する基準サンプル用支持部６６を含む。基準サンプル用支持部６６は、たとえば固定円板６８を含み、固定円板６８の端縁から基準サンプル用のリード付きサーミスタ６２のサーミスタ部分ａが突出するように、サンプル用ワークホルダ６４を支持する。この支持態様は、上記した抵抗測定装置１０と同様の支持構造と同様の支持態様となっている。また、基準サンプル用支持部６６には、その中に流路（図５では、図示せず）が内蔵されるものとなっている。
さらに、この抵抗測定装置６０では、送入管３０から分岐させた分岐管３４が、基準サンプル用支持部６６と接続され、さらに、基準サンプル用支持部６６と浸漬槽２６とが、配管３６を介して接続されている。
【００２１】
したがって、この抵抗測定装置６０では、浸漬槽２６の熱媒体ｈを浸漬槽２６と支持部１４の循環流路２４と基準サンプル用支持部６６の流路との間に循環させて、測定対象となる多数のワークＷのサーミスタ部分ａおよび一対のリード部分ｂ，ｂの温度と、基準サンプル用のリード付きサーミスタ６２のサーミスタ部分ａの温度および一対のリード部分ｂ，ｂの温度とが、略同じ温度になるようにし、基準サンプル用のリード付きサーミスタ６２の抵抗値を参照して、測定対象となる多数のワークＷの測定された抵抗値を補正することができるものとなっている。そのため、この抵抗測定装置６０では、浸漬槽２６の熱媒体ｈが外部影響等による温度変動があったとしても、多数のワークＷの抵抗値の測定精度の悪化を防止することができる。
【００２２】
この抵抗測定装置６０において、基準サンプル用支持部６６の流路は、上述の抵抗測定装置１０の循環流路２４と同様に、基準サンプル用支持部６６の外観態様に応じた環状の流路であってもよく、また、基準サンプル用支持部６６も、固定円板および回転円板を含むものであってもよい。なお、補正する際の計算式の一例としては、基準サンプル用のリード付きサーミスタ６２の抵抗値をαとし、測定対象となる多数のワークＷの測定された抵抗測定値をβとしたとき、測定対象となる多数のワークＷの抵抗測定値と基準サンプル用のリード付きサーミスタ６２の抵抗値との差（％）＝（β／α）−１となる。
【００２３】
なお、本発明は、上記した各実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変形され得る。
【符号の説明】
【００２４】
１０，６０  リード付きサーミスタの抵抗測定装置
１２  ワークホルダ
１４  支持部
１４Ａ，１４Ｂ  対向する端縁
１５，１７，１９  貫通孔
１６  固定板
１８  回転板
２０  溝部
２４  循環流路
２６  浸漬槽
２８，３６  配管
３０  送入管
３２  送出管
３４  分岐管
４０  測定部
４２  ベース部
４４  アクチュエータ
４６  プローブ
５０  挟持部材
５２，５４  支持棒
６２  基準サンプル用のリード付きサーミスタ
６４  基準サンプル用ワークホルダ
６６  基準サンプル用支持部
６８  基準サンプル用支持部の固定円板
Ｗ  リード付きサーミスタ（ワーク）
ａ  リード付きサーミスタのサーミスタ部分
ｂ  リード付きサーミスタの一対のリード部分
【図１】
2016006269.tif 000003
【図２】
2016006269.tif 000004
【図３】
2016006269.tif 000005
【図４】
2016006269.tif 000006
【図５】
2016006269.tif 000007
【国際調査報告】
2016006269.tif 000008
2016006269.tif 000009
2016006269.tif 000010
2016006269.tif 000011