(57)【要約】基板収納容器は、容器本体と、蓋体と、ボトムプレート（６）と、溝部材（７）と、を備える。ボトムプレート（６）は、板状を有し下壁（２４）の外面に対向して配置され係止部（６１２）を有する。溝部材（７）は、下方へ向けて開口する溝（７０１）が形成された溝形成部（７１）と、溝形成部（７１）に接続され溝形成部（７１）の周囲を周回するように配置された周回壁部（７２）と、周回壁部（７２）に接続され、弾性変形可能であり、弾性変形することにより、ボトムプレート（６）の係止部に係止される被係止部（７３）と、を有し、下壁（２４）及びボトムプレート（６）に支持され固定される。
2014196011.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
板状を有し前記下壁の外面に対向して配置され係止部を有するボトムプレートと、
下方へ向けて開口する溝が形成された溝形成部と、前記溝形成部に接続され前記溝形成部の周囲を周回するように配置された周回壁部と、前記周回壁部に接続され、弾性変形可能であり、弾性変形することにより、前記ボトムプレートの前記係止部に係止される被係止部と、を有し、前記下壁及び前記ボトムプレートに支持され固定される溝部材と、を備える基板収納容器。
【請求項２】
前記溝形成部は、前記周回壁部の周回方向に対する軸方向における前記周回壁部の一端部に接続され、前記溝は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部において開口し、
前記被係止部は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の他端部に接続されている請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記被係止部は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の他端部から、前記周回壁部の外面に沿って、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部の方へ延出する片持ちバネにより構成されている請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記ボトムプレートには、前記溝部材を挿入可能な挿入貫通孔が形成され、前記ボトムプレートの前記係止部は、前記ボトムプレートの部分であって前記挿入貫通孔の周囲の周縁部分により構成され、
前記片持ちバネは、前記片持ちバネの延出端部に位置する板状部と、前記板状部よりも前記片持ちバネの基端部側に位置し前記周回壁部から離間する方向へ前記板状部よりも突出する被係止凸部と、を有し、
前記被係止凸部は、前記周縁部分に係止される請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記溝部材は、前記周回壁部の内面の一部分と、前記内面の一部分とは異なる前記周回壁部の内面の他の部分と、前記溝形成部と、に接続されたリブ部を備え、前記リブ部の上端面は前記溝部材の上端面を構成し、
前記リブ部の上端面には、前記リブ部の上端面から上方へ突出し前記下壁に当接する高さ調整凸部が存在する請求項１〜請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記溝形成部の部分であって前記溝の底部を形成している溝底形成部は、直線状を有し、前記溝底形成部の両端には、前記溝底形成部の両端から突出する位置決め凸部が存在し、
前記下壁の下面には、前記下壁の下面に沿って平行に延びる２本のレールが下方へ向けて突出して存在し、
前記２本のレール間に前記位置決め凸部は嵌合可能である請求項１〜請求項５のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記溝形成部は、前記周回壁部の周回方向に対する軸方向における前記周回壁部の一端部の全体にわたって接続され、前記溝は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部において開口し、
前記周回壁部の一端部における前記溝形成部と前記周回壁部との接続部分には、前記周回壁部の内側空間と前記周回壁部の外側空間とを連通する水抜き貫通孔が形成されている請求項１〜請求項６のいずれかに記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と、蓋体と、溝部材とを備える構成のものが、従来より知られている。【０００３】
容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。基板支持板状部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。基板支持板状部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。【０００４】
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。【０００５】
容器本体の壁部は、奥壁と、上壁と、下壁と、第１側壁と、第２側壁と、を有している。下壁には、溝部材が固定されている。溝部材はＶ字状の溝を有しており、溝には、基板収納容器を支持する支持部材が係合する。溝への支持部材の係合により、支持部材によって基板収納容器が支持された状態で基板収納容器は搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−４０６１２号公報
【特許文献２】国際公開第２０１３／０２５６２９号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
溝部材は、溝形成部と爪部材とを有している。溝形成部は、溝を形成する。爪部材は、溝形成部に接続されており、下壁に対して固定されたボトムプレート、又は、下壁に係止される。爪部材は弾性変形することにより、下壁に対して固定されたボトムプレート及び／又は下壁に係止される。【０００８】
近年、基板の大型化に伴い、基板収納容器も大型化し、基板を収納した基板収納容器の重量が大きくなる傾向にある。これにより、溝部材にかかる荷重は大きくなり、溝部材の強度を高めることが要求されている。【０００９】
本発明は、大型化した基板収納容器の荷重に耐えることができ、且つ、耐久性が高い溝部材を有する基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、板状を有し前記下壁の外面に対向して配置され係止部を有するボトムプレートと、下方へ向けて開口する溝が形成された溝形成部と、前記溝形成部に接続され前記溝形成部の周囲を周回するように配置された周回壁部と、前記周回壁部に接続され、弾性変形可能であり、弾性変形することにより、前記ボトムプレートの前記係止部に係止される被係止部と、を有し、前記下壁及び前記ボトムプレートに支持され固定される溝部材と、を備える基板収納容器に関する。【００１１】
また、前記溝形成部は、前記周回壁部の周回方向に対する軸方向における前記周回壁部の一端部に接続され、前記溝は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部において開口し、前記被係止部は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の他端部に接続されていることが好ましい。【００１２】
また、前記被係止部は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の他端部から、前記周回壁部の外面に沿って、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部の方へ延出する片持ちバネにより構成されていることが好ましい。【００１３】
また、前記ボトムプレートには、前記溝部材を挿入可能な挿入貫通孔が形成され、前記ボトムプレートの前記係止部は、前記ボトムプレートの部分であって前記挿入貫通孔の周囲の周縁部分により構成され、前記片持ちバネは、前記片持ちバネの延出端部に位置する板状部と、前記板状部よりも前記片持ちバネの基端部側に位置し前記周回壁部から離間する方向へ前記板状部よりも突出する被係止凸部と、を有し、前記被係止凸部は、前記周縁部分に係止されることが好ましい。【００１４】
また、前記溝部材は、前記周回壁部の内面の一部分と、前記内面の一部分とは異なる前記周回壁部の内面の他の部分と、前記溝形成部と、に接続されたリブ部を備え、前記リブ部の上端面は前記溝部材の上端面を構成し、前記リブ部の上端面には、前記リブ部の上端面から上方へ突出し前記下壁に当接する高さ調整凸部が存在することが好ましい。【００１５】
また、前記溝形成部の部分であって前記溝の底部を形成している溝底形成部は、直線状を有し、前記溝底形成部の両端には、前記溝底形成部の両端から突出する位置決め凸部が存在し、前記下壁の下面には、前記下壁の下面に沿って平行に延びる２本のレールが下方へ向けて突出して存在し、前記２本のレール間に前記位置決め凸部は嵌合可能であることが好ましい。【００１６】
また、前記溝形成部は、前記周回壁部の周回方向に対する軸方向における前記周回壁部の一端部の全体にわたって接続され、前記溝は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部において開口し、前記周回壁部の一端部における前記溝形成部と前記周回壁部との接続部分には、前記周回壁部の内側空間と前記周回壁部の外側空間とを連通する水抜き貫通孔が形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、大型化した基板収納容器の荷重に耐えることができ、且つ、耐久性が高い溝部材を有する基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。
【図２Ａ】本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す底面図である。
【図２Ｂ】本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す拡大底面図である。
【図３Ａ】図２ＢのＡ−Ａ線に沿った要部拡大断面図である。
【図３Ｂ】図２ＢのＢ−Ｂ線に沿った要部拡大断面図である。
【図４Ａ】本発明の実施形態に係る基板収納容器１の溝部材７を示す下方斜視図である。
【図４Ｂ】本発明の実施形態に係る基板収納容器１の溝部材７を示す上方斜視図である。
【図４Ｃ】本発明の実施形態に係る基板収納容器１の溝部材７を示す底面図である。
【図４Ｄ】本発明の実施形態に係る基板収納容器１の溝部材７を示す平面図である。
【図４Ｅ】本発明の実施形態に係る基板収納容器１の溝部材７を示す側面図である。
【図４Ｆ】本発明の実施形態に係る基板収納容器１の溝部材７を示す正面図である。
【図５Ａ】本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２から溝部材７が取外された様子を示す底面図である。
【図５Ｂ】本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２から溝部材７が取外された様子を示す拡大底面図である。
【図６Ａ】本発明の実施形態に係る基板収納容器１のボトムプレート６に対して溝部材７を取付けている様子を示す斜視図である。
【図６Ｂ】本発明の実施形態に係る基板収納容器１のボトムプレート６に対して溝部材７を取付けている様子を示す拡大斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。図２Ａは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す底面図である。図２Ｂは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す拡大底面図である。図３Ａは、図２ＢのＡ−Ａ線に沿った要部拡大断面図である。図３Ｂは、図２ＢのＢ−Ｂ線に沿った要部拡大断面図である。
【００２０】
図４Ａは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の溝部材７を示す下方斜視図である。図４Ｂは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の溝部材７を示す上方斜視図である。図４Ｃは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の溝部材７を示す底面図である。図４Ｄは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の溝部材７を示す平面図である。図４Ｅは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の溝部材７を示す側面図である。図４Ｆは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の溝部材７を示す正面図である。
【００２１】
図５Ａは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２から溝部材７が取外された様子を示す底面図である。図５Ｂは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２から溝部材７が取外された様子を示す拡大底面図である。図６Ａは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のボトムプレート６に対して溝部材７を取付けている様子を示す斜視図である。図６Ｂは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のボトムプレート６に対して溝部材７を取付けている様子を示す拡大斜視図である。
【００２２】
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における左下方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における左上方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。
【００２３】
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径４５０ｍｍのシリコンウェーハである。
【００２４】
図１に示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、溝部材７（図２Ａ等参照）とを有している。
【００２５】
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、複数の基板Ｗを収納可能である。
【００２６】
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において左右方向Ｄ３に対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部（図示せず）が設けられている。奥側基板支持部（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
【００２７】
蓋体３は、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分（図１に示す蓋体３の裏側の面）には、フロントリテーナ（図示せず）が設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、奥側基板支持部（図示せず）と対をなすように配置されている。
【００２８】
フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。
【００２９】
図２Ａに示すように、溝部材７は、下方に開口するＶ字状の溝７０１を有しており、容器本体２の下部に３つ配置されている。Ｖ字状の溝７０１には、基板収納容器１を支持する支持部材（図示せず）が係合可能である。
【００３０】
図１に示すように、壁部２０を構成する後述する一対の側壁２５、２６には、側壁２５、２６の外面に沿うように、ハンドリング部材８がそれぞれ一対の側壁の外面に対向して配置されて設けられている。ハンドリング部材８のリブ８２の下部がフォークリフト（図示せず）のフォークにより支持されることによって、基板収納容器１はフォークリフトにより持ち上げることができる。以下、各部について、詳細に説明する。
【００３１】
図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。
【００３２】
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
【００３３】
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを、基板Ｗの上面及び下面が略水平となる位置関係で収納可能である。
【００３４】
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
【００３５】
図１に示すように、上壁２３の外面においては、フランジ固定部（図示せず）及びリブ２３５Ａ、２３５Ｂが、上壁２３と一体成形されて設けられている。フランジ固定部（図示せず）は、上壁２３の中央部に配置されている。フランジ固定部（図示せず）には、図１に示すように、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、上壁２３の中央部に配置されている。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、吊り上げ部材としてのこれらの機械のアーム（図示せず）に掛けられ、これにより基板収納容器１は、アームに吊り下げられる。
【００３６】
上壁には、リブ２３５Ａ、２３５Ｂが設けられている。リブ２３５Ａは、トップフランジ２３６から左前方向、右前方向にそれぞれ複数本延びている。また、リブ２３５Ｂは、トップフランジ２３６から前方向Ｄ１１に複数本延びており、また、トップフランジ２３６から後方向Ｄ１２に複数本延びている。
【００３７】
下壁２４には、ボトムプレート６が固定されている。ボトムプレート６は、下壁２４の外面を構成する下面２４２（図３Ａ等参照）の略全面に対向して配置される略長方形状の板状を有しており、図２Ａに示すように、ネジ２４３によって下壁２４に固定されている。ボトムプレート６と下壁２４との間には、空間２４４（図３Ａ等参照）が形成されている。なお、下壁２４へのボトムプレート６の固定は、ネジ２４３に限定されない。ネジ２４３での固定の他に、ネジ２４３に代えて接着や溶着等により固定してもよい。
【００３８】
図６Ａ等に示すように、ボトムプレート６には、挿入貫通孔６１が形成されている。挿入貫通孔６１は、略長円形状を有しており、挿入貫通孔６１には、溝部材７を挿入可能である。なお、図６Ａ及び図６Ｂにおいては、便宜上ボトムプレート６及び溝部材７のみを図示している。挿入貫通孔６１は、図２Ａに示すように、ボトムプレート６の中央を中心として、ボトムプレート６の周方向に１２０°間隔で位置している。挿入貫通孔６１は、ボトムプレート６の中央を中心として長手方向が放射状となる位置関係を有している。
【００３９】
図５Ｂに示すように、挿入貫通孔６１の長手方向における挿入貫通孔６１の幅方向の両端部分には、被係止部挿入部６１１が形成されている。被係止部挿入部６１１が形成されていることにより、被係止部挿入部６１１が形成されている部分の挿入貫通孔６１の幅は広く形成されている。被係止部挿入部６１１には、後述の溝部材７の被係止部７３を挿入可能である。ボトムプレート６の部分により構成されている挿入貫通孔６１の周囲の周縁部分であって被係止部挿入部６１１を形成している部分は、係止部を構成しており、上方向へ突出する係止部凸部６１２（図３Ａ等参照）を有している。
【００４０】
図５Ｂに示すように、ボトムプレート６の挿入貫通孔６１に対向する下壁２４の下面２４２の部分には、２本のレール２４５が存在している。２本のレール２４５は、下壁２４の下面２４２に沿って、挿入貫通孔６１の長手方向へ平行に延びており、下方向Ｄ２２へ向けて突出している。底面視で２本のレール２４５の一端及び他端から更に、２本のレール２４５をそれぞれ延長するように、一対のレール延長部２４６が下壁２４の下面２４２に沿って存在している。底面視で一対のレール延長部２４６は、それぞれ湾曲しており、下壁２４の下面２４２に沿って互いに離間するように延びている。
【００４１】
レール延長部２４６の下方向Ｄ２２への突出量は、２本のレール２４５の同方向への突出量よりも小さい。また、２本のレール２４５に接続されている一対のレール延長部２４６の部分には、それぞれ、２本のレール２４５の延びる方向に直交する方向へ延びる直交延出部２４７が存在している。直交延出部２４７の下方向Ｄ２２への突出量は、レール延長部２４６の同方向への突出量と同一である。
【００４２】
図４Ｂ等に示すように、溝部材７は、溝形成部７１と、周回壁部７２と、被係止部７３と、リブ部としての一対の平行壁部７４と、を有しており、下壁２４及びボトムプレート６に支持され固定される。また、溝部材７は、図４Ｃに示す底面視における中央位置を中心とする点対称形状を有している。なお、図４Ａ〜図４Ｆにおいては、図２Ａ中に図示した３つの溝部材７のうちの最も後方向（Ｄ１２）に位置している溝部材７を図示している。
【００４３】
図４Ａ、図４Ｂ等に示すように、周回壁部７２は、略筒状を有しており、周回壁部７２の軸方向としての上下方向Ｄ２に直交する断面は、挿入貫通孔６１よりも僅かに小さい長円形状を有している。周回壁部７２の径方向における厚さは、４ｍｍ程度であり、厚肉に構成されている。周回壁部７２は、溝形成部７１の周囲を周回して取囲むように配置されている。長円形状の周回壁部７２の長手方向における中央部には、周回壁部７２の軸方向における上端から下端へ向かって形成された矩形の切欠き７２３が一対形成されている。
【００４４】
溝形成部７１は、切妻状部７１１と、一対の半円錐状部７１２と、を有する。一対の半円錐状部７１２は、あたかも１つの円錐がその軸心を含む面により半分に切断されたような形状を有する。但し、実際には、一対の半円錐状部７１２は、１つの円錐が切断されて形成されたのではなく、切妻状部７１１、周回壁部７２、被係止部７３、及び平行壁部７４と一体的成形されて形成されている。
【００４５】
切妻状部７１１は、切妻屋根形状を有している。切妻状部７１１の長手方向における端面は、前述のように、あたかも１つの円錐が半分に切断されて構成されたかのような形状を有する一対の半円錐状部７１２の端面であって、当該切断面に相当する端面に一体成形されて接続されている。従って切妻状部７１１は、溝形成部７１の中央部を構成している。
【００４６】
切妻状部７１１の下面により、下方へ向けて開口するＶ字状の溝７０１が形成されている。切妻状部７１１の長手方向において、Ｖ字状の溝７０１の端部は、半円錐状部７１２の下面により閉じられている。切妻状部７１１の下端部７１３は、周回壁部７２の下端部７２１と一体成形されて接続されており、また、半円錐状部７１２の下端部７１４は、周回壁部７２の下端部７２１と一体成形されて接続されている。従って、略筒状を有する周回壁部７２の一端部としての下端部７２１の全体は、溝形成部７１を構成する切妻状部７１１及び半円錐状部７１２に接続されている。Ｖ字状の溝７０１は、周回壁部７２の軸方向（上下方向Ｄ２）における、周回壁部７２の一端部としての下端部７２１において開口している。切妻状部７１１及び半円錐状部７１２の厚さは、周回壁部７２の厚さと同様に、４ｍｍ程度であり、厚肉に構成されている。
【００４７】
図４Ｂ、図４Ｄに示すように、溝７０１の底部を形成している切妻状部７１１の溝底形成部７１５は直線状を有している。溝底形成部７１５の長手方向における両端部には、それぞれ平面視で略コの字状の位置決め凸部７１６が存在している。位置決め凸部７１６は、切妻状部７１１の溝底形成部７１５の端部を略コの字状に取囲むようにして位置しており、溝底形成部７１５の上端面よりも上方に突出している。溝底形成部７１５の長手方向における一端部の位置決め凸部７１６と、溝底形成部７１５の長手方向における他端部の位置決め凸部７１６とは、それぞれ２本のレール２４５の間に嵌合可能である。この嵌合により、溝部材７は、２本のレール２４５に直交する方向において位置決めされる。
【００４８】
図４Ｂ、図４Ｄに示すように、リブ部としての一対の平行壁部７４は、切妻状部７１１と半円錐状部７１２との接続部分において、切妻状部７１１及び半円錐状部７１２に一体成形されて接続されている。一対の平行壁部７４は、切妻状部７１１及び半円錐状部７１２の上側に位置しており、切妻状部７１１の長手方向に直交する方向に、平行な位置関係を有している。一対の平行壁部７４の上端面７４１と、位置決め凸部７１６の上端面と、周回壁部７２の上端面とは、面一の位置関係を有している。一対の平行壁部７４の上端面７４１は、溝部材７の上端面を構成している。
【００４９】
図４Ｂに示すように、切妻状部７１１の長手方向に直交する方向における一対の平行壁部７４の両端部は、周回壁部７２の内面７２４の一部分と、当該内面７２４の一部分とは異なる周回壁部７２の内面７２４の他の部分とに、それぞれ一体成形されて接続されている。一対の平行壁部７４の端部の下端部は、切妻状部７１１の長手方向における両端部の上面に一体成形されて接続されている。互いに対向する一対の平行壁部７４の側面には、２本のレール２４５の長手方向における両端がそれぞれ当接可能である。この当接により、溝部材７は、２本のレール２４５の長手方向において位置決めされる。
【００５０】
一対の平行壁部７４の上端面７４１であって、位置決め凸部７１６と、周回壁部７２に接続されている平行壁部７４の端部との間の部分には、高さ調整凸部７４２が存在している。高さ調整凸部７４２は、平行壁部７４の上端面７４１と一体成形されて接続されている。高さ調整凸部７４２は、平行壁部７４の上端面７４１から上方向Ｄ２１へ突出しており、下壁２４の直交延出部２４７（図５Ｂ参照）の下端面に当接可能である。この当接により、ガタが発生しない状態で、溝部材７が下壁２４及びボトムプレート６に固定される。
【００５１】
図４Ｃ、図４Ｅに示すように、周回壁部７２の一端部における溝形成部７１と周回壁部７２との接続部分には、水抜き貫通孔７０２が形成されている。水抜き貫通孔７０２は、平行壁部７４の下端部を挟むように対をなして、平行壁部７４の下端部に隣接して、計８つ形成されている。水抜き貫通孔７０２が形成されている周回壁部７２の部分には、周回壁部７２の下端部７２１から上端部７２２へ向かうように形成された矩形状の水抜き用切欠き７２５が形成されており、対をなす水抜き貫通孔７０２は、それぞれ水抜き用切欠き７２５に連通している。そして、水抜き貫通孔７０２は、周回壁部７２の内側空間と周回壁部７２の外側空間とを連通する。
【００５２】
図４Ｄに示すように、より具体的には、水抜き貫通孔７０２は、周回壁部７２の内面７２４と半円錐状部７１２の上面と平行壁部７４とによって囲まれる空間７０３、又は、周回壁部７２の内面７２４と切妻状部７１１の上面と一対の平行壁部７４とによって囲まれる空間７０４と、周回壁部７２の外側空間とを連通する。水抜き貫通孔７０２は、基板収納容器１を洗浄する際に、周回壁部７２の内面７２４と半円錐状部７１２の上面と平行壁部７４とによって囲まれる空間７０３、又は、周回壁部７２の内面７２４と切妻状部７１１の上面と一対の平行壁部７４の端部とによって囲まれる空間７０４に溜まった洗浄液を、周回壁部７２の外側空間へ排出する。
【００５３】
被係止部７３は、弾性変形可能な片持ちバネにより構成されている。図４Ｆ等に示すように、被係止部７３の基部７３１は、周回壁部７２の軸方向（上下方向Ｄ２）における周回壁部７２の他端部としての上端部７２２に一体成形されて接続されている。被係止部７３は、周回壁部７２の軸方向における周回壁部７２の上端部７２２から、周回壁部７２の外面に沿って、周回壁部７２の軸方向における周回壁部７２の一端部としての下端部７２１の方へ延出している。被係止部７３の自由端７３２は、上下方向Ｄ２において周回壁部７２の下端部７２１よりも僅かに上方位置している。
【００５４】
図４Ｅに示すように、側方視で被係止部７３には、切欠き７２３と一致する位置関係を有するバネ切欠き７３３が、形成されている。バネ切欠き７３３が形成されていることにより、被係止部７３の上半分の部分は、下半部に対して二股に分岐する形状を有している。被係止部７３の下半分の部分は、板状部７３４と被係止凸部７３５とを有している。板状部７３４は、被係止部７３の延出端部に位置しており、片持ちバネの自由端の部分を構成している。
【００５５】
被係止凸部７３５は、板状部７３４よりも、片持ちバネにより構成される被係止部７３の基部側であって、二股に分岐する被係止部７３の上半分の部分よりも下側位置に存在している。被係止凸部７３５は、周回壁部７２から離間する方向へ、板状部７３４よりも突出している。図４Ｆに示すように、溝部材７の正面視で被係止凸部７３５は、上方向Ｄ２１へ向かうにつれて、周回壁部７２に近づくような略直角二等辺三角形状を有している。溝部材７が、挿入貫通孔６１（図５Ａ等参照）に挿入されてゆくにつれて、被係止部７３は、弾性変形してゆく。そして被係止凸部７３５の下端面７３６が係止部凸部６１２（図３Ａ等参照）の上端面６１３に当接して、被係止部７３は、係止部に係止される。
【００５６】
図１に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なＰＯＥ（ポリオキシエチレン）製、ＰＥＥ製をはじめ、ポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等である。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
【００５７】
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、前述した段差の部分の面（シール面）と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
【００５８】
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
【００５９】
蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出しない状態とさせることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
【００６０】
蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。
【００６１】
フロントリテーナは、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
【００６２】
上記構成による基板収納容器１において、下壁２４及びボトムプレート６に対する溝部材７の着脱は、以下のようにして行われる。
【００６３】
先ず、図６Ａ、図６Ｂに示すように、溝部材７を溝７０１が下方に開口する位置関係として、挿入貫通孔６１に溝部材７を挿入してゆく。すると、被係止凸部７３５（図３Ａ等参照）の突出端は、ボトムプレート６の部分により構成されている被係止部挿入部６１１を形成している部分に当接する。これにより、片持ちバネにより構成される被係止部７３が弾性変形して、溝部材７の長手方向に直交する幅方向において、被係止部７３が周回壁部７２にそれぞれ接近した状態となる。
【００６４】
更に、挿入貫通孔６１に溝部材７を挿入してゆくと、図３Ａに示すように、被係止凸部７３５が係止部凸部６１２の上端面６１３よりも上方へ位置し、ボトムプレート６の部分により構成されている被係止部挿入部６１１を形成している部分に板状部７３４が当接する。これと同時に、被係止凸部７３５の下端面７３６が係止部凸部６１２の上端面６１３に当接して、被係止部７３が係止部凸部６１２に係止される。この係止により、溝部材７は、ボトムプレート６に支持され、ボトムプレート６に対して固定される。
【００６５】
これと同時に、高さ調整凸部７４２は、下壁２４の直交延出部２４７の下端面に当接する。このとき、溝底形成部７１５の長手方向における一端部の位置決め凸部７１６と、溝底形成部７１５の長手方向における他端部の位置決め凸部７１６とは、図３Ｂに示すように、同時にそれぞれ２本のレール２４５の間に嵌合する。これらにより、溝部材７は、下壁２４に支持され、下壁２４に対して固定される。
【００６６】
溝部材７を下壁２４及びボトムプレート６から取外す際には、先ず、一対の被係止部７３の板状部７３４を周回壁部７２に接近させるように、板状部７３４を押圧して、被係止部７３を弾性変形させる。これにより、ボトムプレート６の部分により構成されている被係止部挿入部６１１を形成している部分から、板状部７３４が離間する。そして、被係止凸部７３５の下端面７３６が係止部凸部６１２の上端面６１３に対向しない位置関係となったときに、溝部材７を挿入貫通孔６１から引き抜く。これにより、溝部材７は、ボトムプレート６及び下壁２４から取外される。
【００６７】
上記構成の第１実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
【００６８】
溝部材７は、下方へ向けて開口する溝７０１が形成された溝形成部７１と、溝形成部７１に接続され溝形成部７１の周囲を周回するように配置された周回壁部７２と、周回壁部７２に接続され、弾性変形可能であり、弾性変形することにより、ボトムプレート６の係止部（挿入貫通孔６１の周囲の周縁部分であって被係止部挿入部６１１を形成している部分）に係止される被係止部７３と、を有する。
【００６９】
このため、溝形成部７１及び周回壁部７２を肉厚に構成して、強固な周回壁部７２により強固な溝形成部７１を取囲んで溝部材７を頑丈な構成とすることができる。この結果、大型化した基板収納容器１の荷重に耐えることができる溝部材７を有する基板収納容器１とすることができる。また、溝部材７を頑丈な構成とすることができるため、溝形成部７１や周回壁部７２の変形を極力抑えることができ、溝部材７を高い精度でボトムプレート６及び下壁２４に対して位置決めをして固定することができる。
【００７０】
また、溝形成部７１は、周回壁部７２の周回方向に対する軸方向における周回壁部７２の一端部（下端部７２１）に接続され、溝７０１は、周回壁部７２の軸方向における周回壁部７２の一端部（下端部７２１）において開口し、被係止部７３は、周回壁部７２の軸方向における周回壁部７２の他端部（上端部７２２）に接続されている。このため、溝部材７にかかる荷重を、周回壁部７２の軸方向における周回壁部７２の一端部と他端部とに（下端部７２１と上端部７２２とに）分散させることができ、溝部材７の耐久性を高めることができる。
【００７１】
また、被係止部７３は、周回壁部７２の軸方向における周回壁部７２の他端部（上端部７２２）から、周回壁部７２の外面に沿って、周回壁部７２の軸方向における周回壁部７２の一端部（下端部７２１）の方へ延出する片持ちバネにより構成されている。このため、片持ちバネの付勢力に抗して片持ちバネを弾性変形させて、係止部に被係止部７３を係合させたり、係止部から被係止部７３を係合解除させたりすることができる。従って、被係止部７３の係止部に対する着脱を容易とすることができる。
【００７２】
また、ボトムプレート６には、溝部材７を挿入可能な挿入貫通孔６１が形成され、ボトムプレート６の係止部は、ボトムプレート６の部分であって挿入貫通孔６１の周囲の周縁部分により構成され、片持ちバネは、片持ちバネの延出端部に位置する板状部７３４と、板状部７３４よりも片持ちバネの基端部側に位置し周回壁部７２から離間する方向へ突出する被係止凸部７３５と、を有し、被係止凸部７３５は、周縁部分に係止される。
【００７３】
このため、板状部７３４を押圧することにより、容易に被係止部７３を弾性変形させることができ、被係止部７３の係止部に対する着脱を容易とすることができる。この結果、圧入等により溝部材７を下壁２４やボトムプレート６に固定しなくてよいため、摩耗や破損が生ずることを極力抑えることができる。
【００７４】
また、溝部材７が挿入貫通孔６１内に挿入されてボトムプレート６と下壁２４との間に形成される空間２４４内に収容されることにより、ボトムプレート６の外側に露出される溝部材７の部分を、主としてＶ字状の溝７０１を形成している部分（溝形成部７１）のみとすることきができ、溝部材７の大部分をボトムプレート６により保護することができる。この結果、溝部材７に他の部材が接触することにより溝部材７がボトムプレート６及び下壁２４から外れてしまうことを極力抑えることができる。
【００７５】
また、前記リブ部を構成する平行壁部７４の上端面７４１には、平行壁部７４の上端面から上方へ突出し前記下壁２４に当接する高さ調整凸部７４２が存在する。このため、高さ調整凸部７４２を適切な高さに設定することで、溝部材７をガタ付きなく下壁２４及びボトムプレート６に固定することができる。
【００７６】
また、溝形成部７１の部分であって溝７０１の底部を形成している溝底形成部７１５は、直線状を有し、溝底形成部７１５の両端には、溝底形成部７１５の両端から突出する位置決め凸部７１６が存在する。下壁２４の下面２４２には、下壁２４の下面２４２に沿って平行に延びる２本のレール２４５が下方へ向けて突出して存在している。そして、２本のレール２４５間に位置決め凸部７１６は嵌合可能である。この嵌合により、溝部材７を下壁２４に対して容易に位置決めすることができる。
【００７７】
また、溝形成部７１は、周回壁部７２の周回方向に対する軸方向における周回壁部７２の一端部の全体にわたって接続され、溝７０１は、周回壁部７２の軸方向における周回壁部７２の一端部（下端部７２１）において開口し、周回壁部７２の一端部（下端部７２１）における溝形成部７１と周回壁部７２との接続部分には、周回壁部７２の内側空間と周回壁部７２の外側空間とを連通する水抜き貫通孔７０２が形成されている。このため、基板収納容器１を洗浄する際に、水抜き貫通孔７０２を通して、溝形成部７１の上面と周回壁部７２とにより囲まれる空間に流入した洗浄液等を当該空間外へ排出することができる。この結果、溝形成部７１の上面と周回壁部７２とにより囲まれる空間に洗浄液等が溜まることを防止することができる。
【００７８】
また、溝部材７は、図４Ｃに示す底面視における中央位置を中心とする点対称形状を有している。このため、溝部材７をボトムプレート６及び下壁２４に取付ける際に、溝部材７の方向を気にせずに、取付けを容易とすることができる。
【００７９】
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、基板収納容器１の形状や構成は、上述した実施形態の形状や構成に限定されない。具体的には、例えば、被係止凸部７３５の下端面７３６は、係止部凸部６１２の上端面に当接して、被係止部７３は、係止部に係止されたが、この構成に限定されない。例えば、ボトムプレート６の部分であって挿入貫通孔６１の周囲の周縁部分には係止部凸部６１２が設けられておらず、被係止凸部７３５は、当該周縁部分に係止される構成であってもよい。
【符号の説明】
【００８０】
１  基板収納容器
２  容器本体
３  蓋体
６  ボトムプレート
７  溝部材
２０  壁部
２１  容器本体開口部
２２  奥壁
２３  上壁
２４  下壁
２５  第１側壁
２６  第２側壁
２７  基板収納空間
６１  挿入貫通孔
７１  溝形成部
７２  周回壁部
７３  被係止部
７４  平行壁部（リブ部）
２４５  レール
７０１  溝
７０２  水抜き貫通孔
７１５  溝底形成部
７１６  位置決め凸部
７２４  内面
７３４  板状部
７３５  被係止凸部
７４２  高さ調整凸部
Ｗ  基板
【図１】
2014196011.tif 000003
【図２Ａ】
2014196011.tif 000004
【図２Ｂ】
2014196011.tif 000005
【図３Ａ】
2014196011.tif 000006
【図３Ｂ】
2014196011.tif 000007
【図４Ａ】
2014196011.tif 000008
【図４Ｂ】
2014196011.tif 000009
【図４Ｃ】
2014196011.tif 000010
【図４Ｄ】
2014196011.tif 000011
【図４Ｅ】
2014196011.tif 000012
【図４Ｆ】
2014196011.tif 000013
【図５Ａ】
2014196011.tif 000014
【図５Ｂ】
2014196011.tif 000015
【図６Ａ】
2014196011.tif 000016
【図６Ｂ】
2014196011.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月11日(2016.11.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
板状を有し前記下壁の外面に対向して配置され係止部を有するボトムプレートと、
下方へ向けて開口する溝が形成された溝形成部と、前記溝形成部に接続され前記溝形成部の周囲を周回するように配置された周回壁部と、前記周回壁部に接続され、弾性変形可能であり、弾性変形することにより、前記ボトムプレートの前記係止部に係止される被係止部と、前記溝形成部の部分であって前記溝の底部を形成している溝底形成部と、を有し、前記周回壁部の上端面は、前記溝底形成部の上端面よりも上方に突出し、前記下壁及び前記ボトムプレートに支持され固定される溝部材と、を備える基板収納容器。
【請求項２】
前記溝形成部は、前記周回壁部の周回方向に対する軸方向における前記周回壁部の一端部に接続され、前記溝は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部において開口し、
前記被係止部は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の他端部に接続されている請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記被係止部は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の他端部から、前記周回壁部の外面に沿って、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部の方へ延出する片持ちバネにより構成されている請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記ボトムプレートには、前記溝部材を挿入可能な挿入貫通孔が形成され、前記ボトムプレートの前記係止部は、前記ボトムプレートの部分であって前記挿入貫通孔の周囲の周縁部分により構成され、
前記片持ちバネは、前記片持ちバネの延出端部に位置する板状部と、前記板状部よりも前記片持ちバネの基端部側に位置し前記周回壁部から離間する方向へ前記板状部よりも突出する被係止凸部と、を有し、
前記被係止凸部は、前記周縁部分に係止される請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記溝部材は、前記周回壁部の内面の一部分と、前記内面の一部分とは異なる前記周回壁部の内面の他の部分と、前記溝形成部と、に接続されたリブ部を備え、前記リブ部の上端面は前記溝部材の上端面を構成し、
前記リブ部の上端面には、前記リブ部の上端面から上方へ突出し前記下壁に当接する高さ調整凸部が存在する請求項１〜請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記溝底形成部は、直線状を有し、前記溝底形成部の両端には、前記溝底形成部の両端から突出する位置決め凸部が存在し、
前記下壁の下面には、前記下壁の下面に沿って平行に延びる２本のレールが下方へ向けて突出して存在し、
前記２本のレール間に前記位置決め凸部は嵌合可能である請求項１〜請求項５のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記溝形成部は、前記周回壁部の周回方向に対する軸方向における前記周回壁部の一端部の全体にわたって接続され、前記溝は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部において開口し、
前記周回壁部の一端部における前記溝形成部と前記周回壁部との接続部分には、前記周回壁部の内側空間と前記周回壁部の外側空間とを連通する水抜き貫通孔が形成されている請求項１〜請求項６のいずれかに記載の基板収納容器。
【国際調査報告】
2014196011.tif 000018
2014196011.tif 000019