(57)【要約】従来と比べて少ない工程数で接合面がなく注入口も存在しない略円形の断面をもつマイクロ流路を製造する方法を提供する。マイクロ流路の製造方法は、基板（１）の上に未硬化の硬化性樹脂（２）の層を形成する工程と、液体（４）を注入可能な針体（３）を硬化性樹脂内に差し込む工程と、針体を移動させながら、針体を介して硬化性樹脂内に管状に液体を注入する工程と、針体を硬化性樹脂内から抜き取る工程と、硬化性樹脂を硬化させることにより、液体が注入された管状の領域に流路（４Ａ）を形成する工程とを有する。
2014103842.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上に未硬化の硬化性樹脂の層を形成する工程と、
液体を注入可能な針体を前記硬化性樹脂内に差し込む工程と、
前記針体を移動させながら、当該針体を介して当該硬化性樹脂内に管状に液体を注入する工程と、
前記針体を前記硬化性樹脂内から抜き取る工程と、
前記硬化性樹脂を硬化させることにより、前記液体が注入された管状の領域に流路を形成する工程と、
を有することを特徴とする、マイクロ流路の製造方法。
【請求項２】
前記流路は、接合面がなく断面が略円形の流路である、請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
硬化させた前記硬化性樹脂の一部を切除して当該硬化性樹脂内に閉じ込められている前記液体を抜き取る工程をさらに含む、請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記液体は液晶である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の製造方法で製造されたマイクロ流路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ流路の製造方法およびマイクロ流路に関する。
【背景技術】
【０００２】
直径が数μｍ〜数百μｍ程度のマイクロ流路に液体などを流して、生化学的な反応または物理化学的な分離操作などを行うマイクロ流体デバイスが知られている。こうしたマイクロ流体デバイスでは、半円形または円形の断面をもつ流路が必要とされる。しかしながら、マイクロ流体デバイスの作製に広く用いられているフォトリソグラフィー工程では、作製された流路の断面が矩形になることが多いため、半円形または円形の断面をもつ流路の製造方法が提案されている。【０００３】
特許文献１には、長尺な板状をなし、その片面に形成され、一端面に半円形状に開口する溝を有する一対の半割体で構成され、その半割体同士を接合してなるマイクロ流路デバイスを製造する方法が記載されている。【０００４】
非特許文献１には、円形断面流路の作製方法が記載されている。この方法では、電子機材作製時に使う接着剤等を自動塗布するディスペンサーロボットを用いて、基板上に紫外線硬化性樹脂等を流路パターン状に直接描画して鋳型作製を行う。次に、作成した鋳型を用いてＰＤＭＳ（polydimethylsiloxane）で型取りを行うことで、半円形断面流路を作成する。そして、半円形断面流路同士を貼り合わせることで、円形断面流路を作製する。【０００５】
非特許文献２には、共焦点μＰＩＶ／ＰＴＶ（Particle Image Velocimetry／Particle Tracking Velocimetry）などのミクロな流れの可視化に適した、生体内の微小血管を模擬する円形のＰＤＭＳマイクロ流路を製造する方法が記載されている。この方法では、ワイヤーを埋め込んだ状態でＰＤＭＳを固めて、その後でワイヤーを引き抜くことによって円形の流路を形成する。【０００６】
非特許文献３には、ポリスチレンシートから断面が円形の微小血管網を構成する方法が記載されている。この方法では、電気めっき工程によりシリコンの半円状のマスターを構成し、ポリスチレンシートに型押しして、得られた２枚のシートを接合することで断面が円形の流路を形成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１２−１３７３２５号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】東京大学  藤井輝夫研究室、“ディスペンサーを用いたマイクロ流路作製と流量制御機構への応用”、［online］、［平成２４年１２月１７日検索］、インターネット<URL:http://www.microfluidics.iis.u-tokyo.ac.jp/r11016_j.html>
【非特許文献２】Rui Lima et al., “Axisymmetric PDMS microchannels for in vitro haemodynamic studies”, Biofbrication, 2009, vol. 1
【非特許文献３】Jeffery T. Borenstain et al., “Functional endothelialized microvascular networks with circular cross-sections in a tissue culture substrate”, Biomed Microdevices, 2010, vol. 12, p.71-79
【発明の概要】
【０００９】
しかしながら、断面が半円形の流路を複数形成してからそれらの流路を貼り合わせると、工程数が多い煩雑な製造方法になる。また、空洞を貼り合わせるため、きれいな円形を保ったまま流路を形成することが難しい。
【００１０】
非特許文献２の方法では、断面が半円形の流路を貼り合わせずに円形流路が形成されるが、ワイヤーを引き抜く工程があるため、注入口のない流路を形成することはできず、直線状などの簡単な構造の流路しか形成することができない。また、非特許文献２の方法では、内部に液体が注入された状態の流路を得るためには、流路が形成された後でその内部に液体を注入する工程が必要になる。
【００１１】
そこで、本発明は、従来と比べて少ない工程数で接合面がなく注入口も存在しない略円形の断面をもつマイクロ流路を製造する方法を提供することを目的とする。
【００１２】
マイクロ流路の製造方法は、基板の上に未硬化の硬化性樹脂の層を形成する工程と、液体を注入可能な針体を硬化性樹脂内に差し込む工程と、針体を移動させながら、針体を介して硬化性樹脂内に管状に液体を注入する工程と、針体を硬化性樹脂内から抜き取る工程と、硬化性樹脂を硬化させることにより、液体が注入された管状の領域に流路を形成する工程とを有することを特徴とする。
【００１３】
上記の製造方法では、流路は、接合面がなく断面が略円形の流路であることが好ましい。
【００１４】
上記の製造方法では、硬化させた硬化性樹脂の一部を切除して硬化性樹脂内に閉じ込められている液体を抜き取る工程をさらに含むことが好ましい。
【００１５】
上記の製造方法では、液体は液晶であることが好ましい。
【００１６】
また、マイクロ流路は、上記のいずれかの製造方法で製造されたことを特徴とする。
【００１７】
本発明によれば、従来と比べて少ない工程数で、接合面がなく注入口も存在しない、略円形の断面をもつマイクロ流路を製造することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】（Ａ）〜（Ｃ）は、マイクロ流路の製造方法を説明するための模式図である。
【図２】マイクロ流路の製造方法を示したフローチャートである。
【図３】（Ａ）および（Ｂ）は、図２の製造方法による実験結果を示す写真である。
【図４】図３（Ｂ）に示した流路の形成位置および大きさを説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して、マイクロ流路の製造方法について詳細に説明する。ただし、本発明の技術的範囲はそれらの実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された発明とその均等物に及ぶ点に留意されたい。
【００２０】
図１（Ａ）〜図１（Ｃ）は、マイクロ流路の製造方法を説明するための模式図である。図２は、マイクロ流路の製造方法を示したフローチャートである。図１（Ａ）〜図２を用いて本製造方法の各工程を説明する。
【００２１】
まず、図１（Ａ）に示すように、基板１を用意し、基板１の上に未硬化の硬化性樹脂２の層を形成する（Ｓ１）。未硬化の状態では硬化性樹脂２には流動性があるため、周囲を囲う枠体（図示せず）を用意し、その内部に硬化性樹脂２を注入する。硬化性樹脂２としては、例えば、アクリル樹脂またはエポキシ樹脂などの紫外線硬化樹脂を用いる。あるいは、硬化性樹脂２は、尿素樹脂、メラミン樹脂またはフェノール樹脂などの熱硬化性樹脂でもよい。なお、直径が数百μｍ程度のマイクロ流路を形成する際は、硬化性樹脂２の厚さｄは１０００μｍ程度あればよい。
【００２２】
続いて、液体を注入可能なニードル（針体）３を硬化性樹脂２の中に差し込む（Ｓ２）。ニードル３は、注射針のように中空で先端に向けて尖った形状を有し、先端に開口部（図示せず）を有する。その際、ニードル３を差し込む深さは、例えば硬化性樹脂２の厚さｄの半分程度とする。なお、この開口部が先端付近の側面に設けられたニードルを用いてもよい。
【００２３】
次に、図１（Ｂ）に示すように、ニードル３を移動させながら、ニードル３を介して硬化性樹脂２の中に管状に液体４を注入する（Ｓ３）。例えば、直線状の流路を形成したい場合は、図１（Ｂ）に示すＸ方向に沿って、ニードル３を平行移動させる。そして、ニードル３を移動させながら、ニードル３の上部から圧力をかけることにより、ニードル３の先端の開口部から硬化性樹脂２の層内に液体４を注入する。硬化性樹脂２の層内では、液体４は、表面張力によりＸ方向に垂直な断面が略円形になる。
【００２４】
液体４の例としては液晶が挙げられる。ここでいう「液晶」とは、液体のような流動性があり、分子の配向に結晶のような一定の規則性がある物質である。他にも、液体４として、形成する流路の用途に応じた液体を用いてもよい。ただし、硬化性樹脂２の粘度、または硬化性樹脂２と液体４の密度の差によっては、注入された液体４が樹脂層の表面に浮き出てしまうことがある。このため、液体４としては、粘度と密度の関係で、硬化性樹脂２の内部に管状に注入可能な液体を選択する必要がある。
【００２５】
液体４を注入し終わったら、ニードル３を硬化性樹脂２内から抜き取る（Ｓ４）。このとき硬化性樹脂２はまだ硬化してないため、ニードル３を抜き取ると、ニードル３によって硬化性樹脂２にできていた穴がふさがる。これにより、硬化性樹脂２の中に液体４が閉じ込められ、管状に配置された状態になる。
【００２６】
そして、図１（Ｃ）に示すように、硬化性樹脂２を硬化させて硬化性樹脂２内に液体４を閉じ込めることにより、液体４が存在する部分を液体の流路４Ａとする（Ｓ５）。硬化性樹脂２として紫外線硬化樹脂を用いる場合は、紫外線を照射させて、硬化性樹脂２を硬化させる。硬化性樹脂２として熱硬化性樹脂を用いる場合は、加熱することにより硬化性樹脂２を硬化させる。これにより、液体４が注入された管状の領域に、断面が略円形である流路４Ａが形成される。
【００２７】
なお、液体４の種類によっては、硬化性樹脂２を硬化させると液体４が樹脂層に染み込んで、流路４Ａが空洞になることがある。硬化性樹脂２を硬化させた後も流路４Ａ内に液体４が残っている場合に空洞の流路が必要なときは、硬化させた硬化性樹脂の一部を切除して、硬化性樹脂２内に閉じ込められている液体４を抜き取ってもよい。これにより、空洞の流路が得られる。
【００２８】
以上説明した本製造方法によれば、半円形の断面をもつ流路を貼り合わせなくても断面が略円形の流路が形成される。このため、本製造方法では、本構成を含まない従来の製造方法と比べて少ない工程で、接合面がなく平滑な内壁をもつ円形流路を形成することが可能である。また、流路が形成されたときは開口部が存在しないことから、注入口が存在しない閉流路を形成することが可能である。
【００２９】
また、上記の通り、硬化性樹脂２の層内に注入された液体４は、表面張力により液体４が延在する方向に垂直な断面が略円形になる。これにより、最終的に得られる流路の断面も凹みも尖った部分もない略円形になる。なお上述の「略円形」とは、矩形のように尖って突出した部分がなく、最大径に対する最大径と最小径との差の比率が例えば１０％以下である形状をいう。
【００３０】
バイオセンサまたはμＴＡＳ（Total Analysis System）などのバイオ関連システムでは、例えば血管などの生体内構造における挙動をより正確に再現するためには、実際の生体構造に近い円形流路が好ましい。本製造方法により得られる流路は、そうしたバイオ関連システムにも利用可能である。
【００３１】
また、液体が充填された状態の流路が必要な場合、本構成を含まない製造方法では、空洞の流路を形成した後、その内部に液体を注入しなければならない。一方、本製造方法では、内部に液体を含んだ状態で流路が形成されるため、流路の形成と液体の充填とが一工程で行われる。このため、本製造方法では、本構成を含まない製造方法と比べて少ない工程で、液体が充填された状態の流路を形成することが可能である。
【００３２】
また、流路の内部に閉じ込められた液体を流出させることで空洞の流路も形成でき、液体を流出させた上で別の液体を注入することもできる。このため、形成された流路の内部には、硬化性樹脂２の粘度および硬化性樹脂２と液体４の密度差によらず、任意の液体を充填することが可能である。
【実施例】
【００３３】
硬化性樹脂としてアクリル樹脂を使用し、注入される液体としてメルク製のＰ型液晶であるＭＬＣ−７０１８およびＭＤＡ−００３４６１を使用して、図２の製造方法により流路を形成する実験を行った。図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、図２の製造方法による実験結果を示す写真である。図３（Ａ）は、上記の２種類のＰ型液晶１４がそれぞれ注入（ディスペンス）された状態のアクリル樹脂１２を上から見た写真である。図３（Ｂ）は、紫外線の照射によりアクリル樹脂１２を硬化させた後に撮った流路４Ａの断面写真である。この実験では、アクリル樹脂１２の内部に、Ｐ型液晶１４を互いに平行な２本の直線状にディスペンスした。【００３４】
図４は、図３（Ｂ）に示した流路４Ａの形成位置および大きさを説明するための模式図である。上記の実験では、アクリル樹脂１２の厚さを１０００μｍの層状に形成し、そのアクリル樹脂１２の中に、ニードル３を５００μｍの深さまで差し込んだ。そして、ニードル３をアクリル樹脂１２の面方向に沿って速度２０ｍｍ／秒で直線状に移動させながら、１０ｋＰａのディスペンス圧を加えて、断面が直径２００μｍの円形になるように、Ｐ型液晶１４をディスペンスした。【００３５】
ニードル３を抜き取った後でアクリル樹脂１２を紫外線硬化させることにより、図３（Ｂ）に示すような断面をもつ流路４Ａが得られた。図３（Ｂ）では、流路４Ａの断面の輪郭も併せて示している。この断面は、最大径と最小径の差が２０μｍ程度であり、断面の最大径に対する最大径と最小径との差の比率が数％程度に収まっている。このように、本製造方法により、断面が略円形の流路４Ａが形成されることが確かめられた。
【符号の説明】
【００３６】
１    基板
２    硬化性樹脂
３    ニードル
４    液体
４Ａ    流路
【図１】
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【図２】
2014103842.tif 000004
【図４】
2014103842.tif 000005
【図３】
2014103842.tif 000006
【国際調査報告】
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2014103842.tif 000008