(57)【要約】  本発明による真空複層ガラスの製造方法は、第１の表面を有する第１のベースガラスを含む第１の予備組立体、および第１の表面を有する第２のベースガラスを含む第２の予備組立体を構成するステップであって、前記第１のベースガラスの第１の表面には、平面視で環状の複数の封着層が形成されるステップと、前記第１のベースガラスの第１の表面と前記第２のベースガラスの第１の表面とが互いに対向するように、かつ前記封着層が前記第２の予備組立体と非接触の状態で前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とを積層し、組立体を構成するステップと、前記組立体を減圧環境下に配置した後、前記第２の予備組立体と前記封着層とを接触させ、積層体を構成するステップと、平面視で各封着層を分離するように前記積層体を切断するステップと、を有する。
2015064458.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚のガラス基板が間隙部を介して積層された真空複層ガラスの製造方法であって、
（ａ）第１の表面を有する第１のベースガラスを含む第１の予備組立体、および第１の表面を有する第２のベースガラスを含む第２の予備組立体を構成するステップであって、前記第１のベースガラスの第１の表面には、平面視で環状を有しかつ環状に囲まれる領域が互いに重複しない複数の封着層が形成されるステップと、
（ｂ）前記第１のベースガラスの第１の表面と前記第２のベースガラスの第１の表面とが互いに対向するように、かつ前記封着層が前記第２の予備組立体と非接触の状態で前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とを積層し、組立体を構成するステップと、
（ｃ）前記組立体を減圧環境下に配置した後、該減圧環境下において前記第２の予備組立体と前記封着層とを接触させ、前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とが接合した積層体を構成するステップと、
（ｄ）平面視で各封着層を分離するように前記積層体を切断し、複数の真空複層ガラスを得るステップと、
を有することを特徴とする真空複層ガラスの製造方法。
【請求項２】
前記（ｃ）のステップと前記（ｄ）のステップの間に、
（ｅ）前記積層体に中間膜を介して第３のベースガラスを積層して、合わせガラス組立体を構成するステップと、
（ｆ）前記合わせガラス組立体を加熱、加圧して、前記積層体と第３のベースガラスを結合するステップと、
を有する、請求項１に記載の真空複層ガラスの製造方法。
【請求項３】
前記封着層はガラス固化層で構成され、
前記（ｃ）のステップは、前記組立体を減圧環境下に配置する前または後に前記ガラス固化層を加熱するステップを有し、
その後、軟化した前記ガラス固化層を介して、前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とが接触してから、前記ガラス固化層が冷却固化され、前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とが接合される、請求項１または２に記載の真空複層ガラスの製造方法。
【請求項４】
前記（ａ）のステップにおいて、前記第２のベースガラスの第１の表面には、平面視で環状を有しかつ環状に囲まれる領域が互いに重複しない複数の第２の封着層が形成され、
前記第１の予備組立体の第１の表面に形成される前記封着層は、前記第１のベースガラスの第１の表面に、平面視で環状の複数の第１の接合層を形成した後、それぞれの第１の接合層の上に平面視で環状の第１の金属部材を接合することにより構成され、
前記第２の予備組立体の第１の表面に形成される前記第２の封着層は、前記第２のベースガラスの第１の表面に、前記第１の接合層に対応した同数の、平面視で環状の第２の接合層を形成することにより構成され、
前記（ｃ）のステップは、前記組立体を減圧環境下に配置する前または後に前記第２の接合層を加熱するステップを有し、
その後、軟化した前記第２の接合層を介して、前記第１の金属部材と前記第２の予備組立体とが接触してから、前記第２の接合層が冷却固化され、前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とが接合される、請求項１または２に記載の真空複層ガラスの製造方法。
【請求項５】
前記（ａ）のステップにおいて、前記第２のベースガラスの第１の表面には、平面視で環状を有しかつ環状に囲まれる領域が互いに重複しない複数の第２の封着層が形成され、
前記（ａ）のステップにおいて、前記第１の予備組立体に形成される封着層は、前記第１のベースガラスの第１の表面に、平面視で環状の複数の第１の接合層を形成し、それぞれの第１の接合層の上に平面視で環状の第１の金属部材を接合し、前記第１の金属部材のそれぞれの上に、平面視で環状の第３の接合層を形成することにより構成され、
前記第２の予備組立体の第１の表面に形成される前記第２の封着層は、前記第２のベースガラスの第１の表面に、前記第１の接合層に対応した同数の、平面視で環状の第２の接合層を形成し、さらにそれぞれの第２の接合層の上に、平面視で環状の第２の金属部材を接合することにより構成され、
前記（ｃ）のステップは、前記組立体を減圧環境下に配置する前または後に前記第３の接合層を加熱するステップを有し、
その後、軟化した第３の接合層は、前記第２の金属部材と接触されてから冷却固化され、前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とが接合される、請求項１または２に記載の真空複層ガラスの製造方法。
【請求項６】
前記第３の接合層は、前記第１および第２の接合層よりも低い軟化点を有する材料で構成される、請求項５に記載の真空複層ガラスの製造方法。
【請求項７】
前記第１の金属部材は、単一の板または箔で構成される、請求項４から６のいずれか一つに記載の真空複層ガラスの製造方法。
【請求項８】
前記（ｃ）のステップで得られる前記積層体において、各第２の接合層は、平面視で、対応する各第１の接合層とは位置がずれている、請求項４から７のいずれか一つに記載の真空複層ガラスの製造方法。
【請求項９】
前記第１の接合層および／または第２の接合層は、ガラス固化層を有する、請求項４から８のいずれか一つに記載の真空複層ガラスの製造方法。
【請求項１０】
前記（ｂ）のステップにおける前記組立体において、前記第２の予備組立体は、４つのコーナー部を支持する手段によって、前記第１の予備組立体と非接触の状態とされる、請求項１から９のいずれか一つに記載の真空複層ガラスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空複層ガラスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一対のガラス基板を間隙部を介して積層し、該間隙部を低圧または真空状態に保持して構成される、いわゆる「真空複層ガラス」は、優れた断熱効果を有するため、例えばビルおよび住宅等の建築物用の窓ガラス用途に広く利用されている。【０００３】
そのような真空複層ガラスは、一般に、
−２枚のガラス基板を準備し、ガラス基板の少なくとも一方の表面の周縁に、ガラスフリットを設置する工程（ガラスフリット設置工程）、
−ガラスフリットを挟んで２枚のガラス基板を積層して間隙部を構成した後、ガラスフリットを加熱して軟化させ、該ガラスフリットを介して、２枚のガラス基板を結合させる工程（封止工程）、および
−一方のガラス基板に設けられた排気口を利用して間隙部を減圧状態とした後、この排気口を封止する工程（真空引き工程）、
等を実施することにより製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３８５９７７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
例えば、ビルおよび住宅等の建築物には、各種寸法形状の窓ガラスが使用される。そのような設置場所の要求仕様に対応させるため、真空複層ガラスも、各種寸法および／または形状のものが必要となる。【０００６】
このような各種寸法形状の真空複層ガラスに対するニーズに対応するため、これまで、真空複層ガラスは、いわば「一品生産式」に製造されており、すなわち、一つの真空複層ガラスの製造の度に、前述の各工程が実施されている。【０００７】
しかしながら、このような真空複層ガラスの製造方法では、生産効率の向上を図ることが難しいという問題がある。【０００８】
本発明は、このような背景に鑑みなされたものであり、本発明では、生産効率の高い真空複層ガラスの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明では、２枚のガラス基板が間隙部を介して積層された真空複層ガラスの製造方法であって、
（ａ）第１の表面を有する第１のベースガラスを含む第１の予備組立体、および第１の表面を有する第２のベースガラスを含む第２の予備組立体を構成するステップであって、前記第１のベースガラスの第１の表面には、平面視で環状を有しかつ環状に囲まれる領域が互いに重複しない複数の封着層が形成されるステップと、
（ｂ）前記第１のベースガラスの第１の表面と前記第２のベースガラスの第１の表面とが互いに対向するように、かつ前記封着層が前記第２の予備組立体と非接触の状態で前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とを積層し、組立体を構成するステップと、
（ｃ）前記組立体を減圧環境下に配置した後、該減圧環境下において前記第２の予備組立体と前記封着層とを接触させ、前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とが接合した積層体を構成するステップと、
（ｄ）平面視で各封着層を分離するように前記積層体を切断し、複数の真空複層ガラスを得るステップと、
を有することを特徴とする真空複層ガラスの製造方法が提供される。【００１０】
ここで、本発明による製造方法は、
前記（ｃ）のステップと前記（ｄ）のステップの間に、
（ｅ）前記積層体に中間膜を介して第３のベースガラスを積層して、合わせガラス組立体を構成するステップと、
（ｆ）前記合わせガラス組立体を加熱、加圧して、前記積層体と第３のベースガラスを結合するステップと、
を有しても良い。【００１１】
また、本発明による製造方法において、前記封着層はガラス固化層で構成され、
前記（ｃ）のステップは、前記組立体を減圧環境下に配置する前または後に前記ガラス固化層を加熱するステップを有し、
その後、軟化した前記ガラス固化層を介して、前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とが接触してから、前記ガラス固化層が冷却固化され、前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とが接合されても良い。【００１２】
あるいは、本発明による製造方法では、前記（ａ）のステップにおいて、前記第２のベースガラスの第１の表面には、平面視で環状を有しかつ環状に囲まれる領域が互いに重複しない複数の第２の封着層が形成され、
前記第１の予備組立体の第１の表面に形成される前記封着層は、前記第１のベースガラスの第１の表面に、平面視で環状の複数の第１の接合層を形成した後、それぞれの第１の接合層の上に平面視で環状の第１の金属部材を接合することにより構成され、
前記第２の予備組立体の第１の表面に形成される前記第２の封着層は、前記第２のベースガラスの第１の表面に、前記第１の接合層に対応した同数の、平面視で環状の第２の接合層を形成することにより構成され、
前記（ｃ）のステップは、前記組立体を減圧環境下に配置する前または後に前記第２の接合層を加熱するステップを有し、
その後、軟化した前記第２の接合層を介して、前記第１の金属部材と前記第２の予備組立体とが接触してから、前記第２の接合層が冷却固化され、前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とが接合されても良い。【００１３】
あるいは、本発明による製造方法では、前記（ａ）のステップにおいて、前記第２のベースガラスの第１の表面には、平面視で環状を有しかつ環状に囲まれる領域が互いに重複しない複数の第２の封着層が形成され、
前記（ａ）のステップにおいて、前記第１の予備組立体に形成される封着層は、前記第１のベースガラスの第１の表面に、平面視で環状の複数の第１の接合層を形成し、それぞれの第１の接合層の上に平面視で環状の第１の金属部材を接合し、前記第１の金属部材のそれぞれの上に、平面視で環状の第３の接合層を形成することにより構成され、
前記第２の予備組立体の第１の表面に形成される前記第２の封着層は、前記第２のベースガラスの第１の表面に、前記第１の接合層に対応した同数の、平面視で環状の第２の接合層を形成し、さらにそれぞれの第２の接合層の上に、平面視で環状の第２の金属部材を接合することにより構成され、
前記（ｃ）のステップは、前記組立体を減圧環境下に配置する前または後に前記第３の接合層を加熱するステップを有し、
その後、軟化した第３の接合層は、前記第２の金属部材と接触されてから冷却固化され、前記第１の予備組立体と前記第２の予備組立体とが接合されても良い。【００１４】
この場合、前記第３の接合層は、前記第１および第２の接合層よりも低い軟化点を有する材料で構成されても良い。【００１５】
また、本発明による製造方法において、前記第１の金属部材は、単一の板または箔で構成されても良い。【００１６】
また、本発明による製造方法では、前記（ｃ）のステップで得られる前記積層体において、各第２の接合層は、平面視で、対応する各第１の接合層とは位置がずれていても良い。【００１７】
また、本発明による製造方法において、前記第１の接合層および／または第２の接合層は、ガラス固化層を有しても良い。【００１８】
また、本発明による製造方法では、前記（ｂ）のステップにおける前記組立体において、前記第２の予備組立体は、４つのコーナー部を支持する手段によって、前記第１の予備組立体と非接触の状態とされても良い。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では、生産効率の高い真空複層ガラスの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１の真空複層ガラスの構成を模式的に示した断面図である。
【図２】第２の真空複層ガラスの構成を模式的に示した断面図である。
【図３】第３の真空複層ガラスの構成を模式的に示した断面図である。
【図４】第４の真空複層ガラスの構成を模式的に示した断面図である。
【図５】本発明の真空複層ガラスの第１の製造方法を概略的に示したフロー図である。
【図６】本発明の第１の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【図７】本発明の第１の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【図８】本発明の第１の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【図９】本発明の第１の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【図１０】本発明の真空複層ガラスの第２の製造方法を概略的に示したフロー図である。
【図１１】本発明の真空複層ガラスの第３の製造方法を概略的に示したフロー図である。
【図１２】本発明の真空複層ガラスの第４の製造方法を概略的に示したフロー図である。
【図１３】本発明の第４の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【図１４】本発明の第４の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【図１５】本発明の第４の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【図１６】本発明の第４の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【図１７】本発明の真空複層ガラスの第５の製造方法を概略的に示したフロー図である。
【図１８】本発明の第５の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【図１９】本発明の第５の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【図２０】本発明の第５の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【図２１】本発明の第５の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【図２２】本発明の第５の製造方法の一工程を模式的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００２２】
まず、図面を参照して、本発明による真空複層ガラスの製造方法によって製造され得る、いくつかの真空複層ガラスの構成例について説明する。
【００２３】
（第１の真空複層ガラスの構成）
図１には、本発明による真空複層ガラスの製造方法によって製造され得る第１の真空複層ガラスの概略的な断面図を示す。
【００２４】
図１に示すように、第１の真空複層ガラス１００は、第１のガラス基板１１０と、第２のガラス基板１２０と、両ガラス基板１１０、１２０の間に構成された間隙部１３０と、該間隙部１３０を保持するための複数のピラー１９０と、第１の真空複層ガラス１００の周囲に配置された接合層１６０とを有する。
【００２５】
第１のガラス基板１１０は、第１の表面１１２および第２の表面１１４を有し、第２のガラス基板１２０は、第１の表面１２２および第２の表面１２４を有する。第１のガラス基板１１０は、第２の表面１１４の側が外側となるようにして配置される。同様に、第２のガラス基板１２０は、第２の表面１２４の側が外側となるようにして配置される。従って、間隙部１３０は、第１のガラス基板１１０の第１の表面１１２と、第２のガラス基板１２０の第１の表面１２２との間に形成される。
【００２６】
間隙部１３０内は、真空状態に維持される。ここで、間隙部１３０の真空度は、特に限られず、大気圧よりも低いいかなる圧力であっても良い。一般に、間隙部１３０の圧力は、０．２Ｐａ〜０．００１Ｐａ程度である。
【００２７】
間隙部１３０内には、１または２以上のピラー１９０が設置される。ピラー１９０は、間隙部１３０を所望の形状に維持する役割を有する。ただし、ピラー１９０がなくても、間隙部１３０を所望の形状に維持することができる場合、例えば、間隙部１３０の真空度が低い場合には、ピラー１９０は、省略しても良い。
【００２８】
接合層１６０は、間隙部１３０の周囲にわたって、平面視で環状に配置される。ここで、本願でいう「平面視」とは、真空複層ガラスを厚さ方向（各図のＺ方向）に見た場合を意味する。
【００２９】
接合層１６０は、第１の真空複層ガラス１００の周縁に沿って形成され、間隙部１３０の真空を維持するためのシール材として機能する。接合層１６０は、例えば、ガラス、はんだ、またはろう材等で構成されても良い。
【００３０】
このような構成の第１の真空複層ガラス１００では、間隙部１３０が真空になっているため、優れた断熱特性を発揮することができる。
【００３１】
なお、図１の例では、接合層１６０は、単一の層として示されているが、接合層１６０は、２層構造であっても良い。そのような２層構造の接合層は、例えば、製造過程において、第１のガラス基板１１０と第２のガラス基板１２０のそれぞれに接合層（同種のものであっても異なる種類のものであっても良い）を形成しておき、両ガラス基板１１０、１２０を積層した際に、それぞれの接合層が重ね合わされることにより形成される。
【００３２】
（第２の真空複層ガラスの構成）
次に、本発明による真空複層ガラスの製造方法によって製造され得る第２の真空複層ガラスについて説明する。
【００３３】
図２には、本発明による真空複層ガラスの製造方法によって製造され得る第２の真空複層ガラスの概略的な断面図を示す。
【００３４】
図２に示すように、第２の真空複層ガラス２００は、基本的に、図１に示した第１の真空複層ガラス１００と同様の部材を備える。従って、図２において、図１と同様の部材には、図１の部材の参照符号に１００を加えた参照符号が使用されている。
【００３５】
ただし、第２の真空複層ガラス２００では、シール部の構造が、第１の真空複層ガラス１００とは異なっている。
【００３６】
すなわち、第２の真空複層ガラス２００は、間隙部２３０の周囲に配置されたシール部材２５０を有する。シール部材２５０は、第２の真空複層ガラス２００の周縁に沿って形成される。
【００３７】
シール部材２５０は、第１の接合層２６０、金属部材２５５、および第２の接合層２６５を、この順に積層することにより構成される。
【００３８】
第１の接合層２６０は、第１のガラス基板２１０の第１の表面２１２側に、第１のガラス基板２１０の周囲にわたって、平面視で環状に設置されている。同様に、第２の接合層２６５は、第２のガラス基板２２０の第１の表面２２２側に、第２のガラス基板２２０の周囲にわたって、平面視で環状に設置されている。
【００３９】
また、金属部材２５５は、第１の表面２７０および第２の表面２７２を有し、平面視で環状の形状を有する。金属部材２５５の第１の表面２７０は、少なくとも一部が第１の接合層２６０と結合されており、金属部材２５５の第２の表面２７２は、少なくとも一部が第２の接合層２６５と結合されている。
【００４０】
ここで、図２からは明確ではないが、金属部材２５５の第１の表面２７０は、第１の接合層２６０と結合された結合部分２７５以外の箇所では、他の部材とは結合されておらず、金属部材２５５の第２の表面２７２は、第２の接合層２６５と結合された結合部分２７７以外の箇所では、他の部材とは結合されていない。
【００４１】
なお、図２の例では、金属部材２５５は、断面で見たとき、直線的に折れ曲がった輪郭の「段差」形状を有する。しかしながら、金属部材２５５の形状は、特に限られない。例えば、金属部材２５５は、断面で見たとき、曲線的に湾曲した形状、または直線と曲線の組み合わせで構成された輪郭を有しても良い。あるいは、金属部材２５５は、断面で見たとき、略平坦な形状を有しても良い。
【００４２】
また、図２の例では、平面視で、第１の接合層２６０は、第２の接合層２６５とは設置位置がずれている。しかしながら、これは必ずしも必要ではなく、図２のＺ方向から見たとき、第１の接合層２６０は、一部または全部が第２の接合層２６５と重なっていても良い。
【００４３】
ただし、図２の例のように、第１の接合層２６０と第２の接合層２６５の設置位置をずらしてシール部材２５０を構成した場合、第１のガラス基板２１０と第２のガラス基板２２０との間に温度差が生じても、金属部材２５５の第２のガラス基板２２０の第１の表面２２２と平行な水平方向（図２のＸ方向）における変形機能により、両ガラス基板２１０、２２０の間の熱膨張の差異の影響を緩和することが可能となるという利点が得られる。
【００４４】
第１および第２の接合層２６０、２６５は、例えば、ガラス、はんだ、またはろう材等で構成されても良い。また、第１および第２の接合層２６０、２６５は、同じ材料で構成されても、異なる材料で構成されても良い。
【００４５】
このようなシール部材２５０を間隙部２３０の周囲に配置することにより、間隙部２３０を密閉することができる。
【００４６】
（第３の真空複層ガラスの構成）
次に、本発明による真空複層ガラスの製造方法によって製造され得る第３の真空複層ガラスについて説明する。
【００４７】
図３には、本発明による真空複層ガラスの製造方法によって製造され得る第３の真空複層ガラスの概略的な断面図を示す。
【００４８】
図３に示すように、第３の真空複層ガラス３００は、基本的に、図２に示した第２の真空複層ガラス２００と同様の部材を備える。従って、図３において、図２と同様の部材には、図２の部材の参照符号に１００を加えた参照符号が使用されている。
【００４９】
ただし、第３の真空複層ガラス３００では、シール部の構造が、第２の真空複層ガラス２００とは異なっている。
【００５０】
すなわち、第３の真空複層ガラス３００は、間隙部３３０の周囲に配置されたシール部材３５０を有する。シール部材３５０は、第３の真空複層ガラス３００の周縁に沿って形成される。
【００５１】
シール部材３５０は、第１の接合層３６０、第１の金属部材３５５、第３の接合層３８５、第２の金属部材３８０、および第２の接合層３６５を、この順に積層することにより構成される。
【００５２】
第１の接合層３６０は、第１のガラス基板３１０の第１の表面３１２側に、第１のガラス基板３１０の周囲にわたって、額縁状に設置されている。同様に、第２の接合層３６５は、第２のガラス基板３２０の第１の表面３２２側に、第２のガラス基板３２０の周囲にわたって、平面視で環状に設置されている。
【００５３】
第１の金属部材３５５は、第１の表面３７０および第２の表面３７２を有し、平面視で環状の形状を有する。第１の金属部材３５５の第１の表面３７０は、少なくとも一部が第１の接合層３６０と結合されており、第１の金属部材３５５の第２の表面３７２は、少なくとも一部が第３の接合層３８５と結合されている。
【００５４】
第２の金属部材３８０は、第１の表面３８２および第２の表面３８４を有し、平面視で環状の形状を有する。第３の金属部材３８０の第１の表面３８２は、少なくとも一部が第２の接合層３６５と結合されており、第２の金属部材３８０の第２の表面３８４は、少なくとも一部が第３の接合層３８５と結合されている。
【００５５】
図３の例では、第２の金属部材３８０は、「段差」を有し、第２の金属部材３８０の断面で見たとき、第２の金属部材３８０の第１の表面３８２は、第２のガラス基板３２０の第１の表面３２２とほぼ同じレベルの高さから、第２の接合層３６５の結合部分（以下、「第１の結合部分（３６２ａ）」と呼ぶ）まで変化する輪郭を有する。しかしながら、第２の金属部材３８０は、略平坦な形状であっても良い。
【００５６】
また、図３の例では、平面視で、第１の接合層３６０は、第２の接合層３６５とは設置位置がずれている。しかしながら、これは必ずしも必要ではなく、図３のＺ方向から見たとき、第１の接合層３６０は、一部または全部が第２の接合層３６５と重なっていても良い。
【００５７】
ただし、前述のように、第１の接合層３６０と第２の接合層３６５をずらして配置した場合、第２の金属部材３８０の第２のガラス基板３２０の第１の表面３２２と平行な水平方向（図３のＸ方向）における変形機能により、両ガラス基板３１０、３２０の間の熱膨張の差異の影響を緩和することが可能となる。
【００５８】
一方、平面視で、第３の接合層３８５と第１の接合層３６０の設置位置は、ずれていても良いが、図３の例のように、同じ位置に設置されることが好ましい。このように設置することにより、第１の金属部材３５５の幅を小さくすることができる。
【００５９】
第１〜第３の接合層３６０、３６５、３８５は、例えば、ガラス、はんだ、またはろう材等で構成されても良い。また、第１〜第３の接合層３６０、３６５、３８５は、同じ材料で構成されても、異なる材料で構成されても良い。ただし、第１および第２の接合層３６０、３６５と第３の接合層３８５とは異なる材料で構成され、第３の接合層３８５は、第１および第２の接合層３６０、３６５よりも軟化点の低い材料で構成されることが好ましい。この場合、後述するように、第１の接合層３６０および第１の金属部材３５５を有する第１のガラス部分と、第２の接合層３６５および第２の金属部材３８０を有する第２のガラス部分とを予め準備しておき、真空チャンバー内で両ガラス部分を第３の接合層３８５を介して結合することが可能となるため、製造がより容易となる。
【００６０】
このようなシール部材３５０を間隙部３３０の周囲に配置することにより、間隙部３３０を密閉することができる。
【００６１】
（第４の真空複層ガラスの構成）
次に、本発明による真空複層ガラスの製造方法によって製造され得る第４の真空複層ガラスについて説明する。
【００６２】
図４には、本発明による真空複層ガラスの製造方法によって製造され得る第４の真空複層ガラスの概略的な断面図を示す。
【００６３】
図４に示すように、第４の真空複層ガラス４００は、基本的に、図１に示した第１の真空複層ガラス１００と同様の部材を備える。従って、図４において、図１と同様の部材には、図１の部材の参照符号に３００を加えた参照符号が使用されている。
【００６４】
ただし、第４の真空複層ガラス４００は、さらに、第３のガラス基板および中間膜を有する点が、第１の真空複層ガラス１００とは異なっている。
【００６５】
すなわち、第４の真空複層ガラス３００において、第２のガラス基板４２０の第１のガラス基板４１０とは反対の側には、中間膜４４５を介して、第３のガラス基板４４０が配置される。
【００６６】
中間膜４４５の種類は、特に限られず、一般的な合わせガラスにおいて、従来より使用されているいかなるものを使用しても良い。中間膜４４５は、例えば、ポリビニルブチラールで構成される。
【００６７】
ここで、図４の例では、間隙部４３０は、第４の真空複層ガラス４００の周縁に沿って形成された接合層４６０によって密閉される。しかしながら、これは単なる一例に過ぎない。間隙部４３０は、例えば、前述の図２および図３に示したようなシール部材２５０、３５０によって密閉されても良い。
【００６８】
以上説明したように、真空複層ガラスの構成には、様々な種類が存在し、特に、間隙部の真空を維持するためのシール部材には、多くの構造が存在する。しかしながら、シール部材を構成する各部材に対して、専用の称呼を用いることは煩雑である場合がある。そこで、本願では、真空複層ガラスの製造工程の完了後にシール部材となる部材を、統一して、「封着層」とも称することにする。
【００６９】
（第１の製造方法）
次に、図５〜図９を参照して、本発明の第１実施形態による真空複層ガラスの製造方法（第１の製造方法）について説明する。なお、ここでは、図１に示した構造の真空複層ガラスを製造する場合を例に、第１の製造方法ついて説明する。ただし、説明の明確化および簡略化のため、ここでは、図１におけるピラー１９０に関する説明は、省略する。ピラー１９０の設置方法は、当業者には良く知られている公知の方法を適用できる。
【００７０】
図５には、本発明の第１の製造方法のフローを概略的に示す。また、図６〜図９には、本発明の第１の製造方法の各工程における模式的な組立状態図を示す。
【００７１】
図５に示すように、本発明の第１の製造方法は、
（ｉ）第１のベースガラスおよび第２のベースガラスを準備し、前記第１のベースガラスの第１の表面に、少なくとも２つの額縁状に形成された第１の接合層を配置するステップ（ステップＳ１１０）と、
（ｉｉ）前記第１の接合層を介して対向するように、前記第１のベースガラスと前記第２のベースガラスを積層し、前記第２のベースガラスが前記第１の接合層と非接触の状態の組立体を構成するステップ（ステップＳ１２０）と、
（ｉｉｉ）前記組立体を加熱し、前記第１の接合層を軟化させるステップ（ステップＳ１３０）と、
（ｉｖ）前記組立体を減圧環境下に配置した後、前記第２のベースガラスが前記第１の接合層と接触した状態の積層体を構成するステップ（ステップＳ１４０）と、
（ｖ）各第１の接合層を分離するように前記積層体を切断し、少なくとも２つの真空複層ガラスを得るステップ（ステップＳ１５０）と、
を有する。
【００７２】
以下、各ステップについて詳しく説明する。
【００７３】
（ステップＳ１１０）
まず、第１のベースガラスおよび第２のベースガラスが準備される。また、第１のベースガラスの第１の表面に、少なくとも２つの額縁状の接合層が形成される。
【００７４】
図６には、第１のベースガラス５１０および第２のベースガラス５２０を示す。通常の場合、第１のベースガラス５１０の寸法形状は、第２のベースガラス５２０の寸法形状と同等である。ただし、図６に示すように、第１のベースガラス５１０は、４つのコーナー部５１１が、例えば略三角形形状となるように切除されていても良い。あるいは、第１のベースガラス５１０の寸法は、第２のベースガラス５２０の寸法に比べて、一回り小さく構成されても良い。
【００７５】
第１のベースガラス５１０の第１の表面５１２には、額縁状の接合層５６０ａおよび額縁状の接合層５６０ｂ（以下、これらをまとめて、「第１の接合層」と称する）が形成されている。
【００７６】
なお、図６の例では、第１の接合層の数は、２つであるが、この数は、複数である限り特に限られず、例えば、３つ、４つ、または５つ以上であっても良い。最終的に、第１の接合層の数に応じた数の真空複層ガラスが製造される。
【００７７】
また、図６の例では、第１の接合層５６０ａおよび接合層５６０ｂは、第１のベースガラス５１０の長辺に沿って並列に配列されているが、両接合層５６０ａ、５６０ｂの配置態様は、特に限られない。特に、第１の接合層が３つ以上存在する場合、各第１の接合層は、第１のベースガラス５１０の第１の表面５１２上に、２次元的にいかなる態様で配置されても良い。
【００７８】
また、図６の例では、第１の接合層５６０ａおよび接合層５６０ｂは、それぞれ異なる寸法形状を有するが、両接合層の寸法形状は、略同一であっても良い。
【００７９】
さらに、図６の例では、第２のベースガラス５２０には、接合層が形成されていない。しかしながら、第２のベースガラス５２０の第１の表面５２２にも、第１のベースガラス５１０と同様の複数の額縁状の接合層（第２の接合層）を形成しても良い。この場合、第２のベースガラス５２０に形成される第２の接合層は、両ベースガラス５１０、５２０を両第１の表面５１２、５２２が対向するように積層した際に、第１のベースガラス５１０の第１の接合層５６０ａ、５６０ｂと一致する位置に形成される。これにより、最終的に、前述の図１に示した接合層１６０が２層構造で構成された真空複層ガラスが製造される。ただし、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂと第２の接合層を同材質で形成した場合、両層の境界は、不明瞭となる。
【００８０】
第１の接合層５６０ａ、５６０ｂ（および存在する場合、第２の接合層）は、これに限られるものではないが、例えば、ガラス、はんだ、またはろう材等を含む層で構成されても良い。
【００８１】
以下、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂがガラス固化層である場合を例に、第１のベースガラス５１０の第１の表面５１２に、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂを形成する方法について説明する。
【００８２】
第１のベースガラス５１０の第１の表面５１２に、ガラス固化層を形成する場合、まず、ガラス固化層用のペーストが調製される。通常、ペーストは、ガラスフリット、セラミック粒子、ポリマー、および有機バインダ等を含む。ただし、セラミック粒子は、省略しても良い。ガラスフリットは、最終的に、ガラス固化層を構成するガラス成分となる。
【００８３】
調製されたペーストは、第１のベースガラス５１０の第１の表面５１２に、額縁状に塗布される。この際には、ペーストは、少なくとも２つの額縁状部分が得られるように塗布される。
【００８４】
次に、ペーストが塗布された第１のベースガラス５１０が乾燥処理される。乾燥処理の条件は、ペースト中の有機バインダが除去される条件である限り、特に限られない。乾燥処理は、例えば、第１のベースガラス５１０を、１００℃〜２００℃の温度に、３０分〜１時間程度保持することにより実施されても良い。
【００８５】
次に、ペーストを仮焼成するため、第１のベースガラス５１０が高温で熱処理される。熱処理の条件は、ペースト中に含まれるポリマーが除去される条件である限り、特に限られない。熱処理は、例えば４３０℃〜４７０℃の温度範囲に、第１のベースガラス５１０を３０分〜１時間程度保持することにより実施しても良い。これにより、ペーストが焼成され、複数の額縁状のガラス固化層が形成される。
【００８６】
以下の表１および表２には、一例として、ガラス固化層に含まれるガラス成分の組成を示す。表１の例では、ガラス固化層は、ＺｎＯ−Ｂｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３系のガラスで構成される。また、表２の例では、ガラス固化層は、ＺｎＯ−ＳｎＯ−Ｐ２Ｏ５系のガラスで構成される。その他のガラス組成のガラス固化層が得られても良い。
【００８７】
【表１】
2015064458.tif 000003
【００８８】
【表２】
2015064458.tif 000004
（ステップＳ１２０）
次に、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂを介して対向するように、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０が積層され、組立体が構成される。
【００８９】
ここで、組立体は、第２のベースガラス５２０が第１のベースガラス５１０上の第１の接合層５６０ａ、５６０ｂとは接触しないようにして構成される。第２のベースガラス５２０の第１の表面５２２上に第２の接合層が存在する場合、同様に、組立体は、第１のベースガラス５１０の第１の表面５１２と第２のベースガラス５２０の第１の表面５２２が対向するものの、第１のベースガラス５１０が第２のベースガラス５２０上の第２の接合層とは接触しないようにして構成される。
【００９０】
このように組立体を構成するのは、第１のベースガラス５１０（の第１の接合層５６０ａ、５６０ｂ）と第２のベースガラス５２０とをこの段階で接触させてしまうと、後に、両ベースガラス５１０、５２０の間の間隙部を減圧状態にすることが難しくなるためである。
【００９１】
図７には、形成される組立体の一構成例を概略的に示す。図７（ａ）は、組立体の側面図（断面図）であり、図７（ｂ）は、組立体の底面図である。
【００９２】
図７に示すように、組立体６００は、第１のベースガラス５１０の上部に第２のベースガラス５２０を隙間を空けて配置することにより構成される。また、組立体６００は、さらに隙間形成手段６０２を備える。
【００９３】
隙間形成手段６０２は、第１のベースガラス５１０上に第２のベースガラス５２０を配置した際に、第２のベースガラス５２０が第１の接合層５６０ａ、５６０ｂと接触しないようにする役割を有する。
【００９４】
図７の例では、隙間形成手段６０２は、第２のベースガラス５２０の第１の表面５２２と当接し、これを支持する支持部分６０３を有する。隙間形成手段６０２の支持部分６０３は、組立体６００の各コーナー部４箇所に配置される（図７（ｂ）参照）。
【００９５】
なお、図７に示した組立体６００の構成は、単なる一例に過ぎない。すなわち、第２のベースガラス５２０が第１のベースガラス５１０上の第１の接合層５６０ａ、５６０ｂと接触しない構成を有する限り（および第１のベースガラス５１０が第２のベースガラス５２０上の第２の接合層と接触しない構成を有する限り）、組立体はいかなる構成を有しても良い。例えば、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０は、上下関係が逆になっていても良い。
【００９６】
また、図７の例では、第１のベースガラス５１０は、４箇所のコーナー部５１１が略三角形状に切除された形状を有し、隙間形成手段６０２を配置した際に、第１のベースガラス５１０が隙間形成手段６０２の支持部分６０３と干渉しないようになっている。このため、隙間形成手段６０２の支持部分６０３は、容易に設置することができる。
【００９７】
ただし、第１のベースガラス５１０のこのようなコーナー部５１１の形状加工は、必ずしも必要ではない。例えば、同様の効果を得るため、第１のベースガラス５１０の寸法を、第２のベースガラス５２０に比べて、一回り小さく選定しても良い。
【００９８】
このように、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０の間に、隙間が形成された組立体６００が構成される。
【００９９】
（ステップＳ１３０）
次に、ステップＳ１２０で構成された組立体６００が加熱される。これにより、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂが軟化する。また、第２の接合層が存在する場合、第２の接合層も軟化する。
【０１００】
加熱温度は、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂの種類によって変化する。例えば、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂがガラス固化層の場合、組立体６００の加熱温度は、ガラス固化層の軟化点を少し超えた温度であっても良い。例えば、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂが前述の表１または表２に示したような組成のガラス固化層の場合、組立体６００の加熱温度は、約４７０℃〜約５００℃程度であっても良い。
【０１０１】
なお、この段階では、隙間形成手段６０２により、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０の間には、依然として、隙間が確保された状態が維持される。
【０１０２】
（ステップＳ１４０）
次に、組立体６００は、加熱された状態のまま（すなわち、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂが軟化した状態のまま）、例えば真空チャンバ内に配置され、減圧環境に晒される。
【０１０３】
この減圧環境における真空度は、特に限られないが、高真空環境にするほど、最終的に得られる真空複層ガラス１００の間隙部１３０の真空度が向上する。減圧環境における真空度は、例えば、１×１０−５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲であり、好ましくは、０．１Ｐａ以下である。
【０１０４】
その後、組立体６００およびその周囲が十分に減圧状態に達すると、組立体６００において、隙間形成手段６０２の支持部分６０３が、例えば機械的および／または電気的に、あるいはその他の手段で、第２のベースガラス５２０から取り外される。これにより、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０が第１の接合層５６０ａ、５６０ｂを介して接触され、積層体が構成される。
【０１０５】
図８には、積層体７００の概略的な断面図を示す。図８に示すように、隙間形成手段６０２が水平方向（Ｘ方向）に沿って、組立体から移動されることにより、第２のベースガラス５２０が落下し、第２のベースガラス５２０が第１の接合層５６０ａ、５６０ｂに接触した状態となり、積層体７００が構成される。
【０１０６】
第１の接合層５６０ａ、５６０ｂは、軟化状態にあるため、積層体７００の構成により、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０とが第１の接合層５６０ａ、５６０ｂを介して結合される。これにより、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０との間には、複数の間隙部７３０が形成される。組立体６００の段階から継続されている減圧環境下において間隙部７３０が形成されるため、これらの間隙部７３０は、真空状態となる。
【０１０７】
その後、積層体７００は、高温のまま、または降温後に真空チャンバから取り出される。第１の接合層５６０ａ、５６０ｂが室温まで冷却された後には、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂによって、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０とが完全に結合される。
【０１０８】
（ステップＳ１５０）
次に、積層体７００が切断され、複数の真空複層ガラスが分離形成される。
【０１０９】
例えば、図９に示した底面を有するような積層体７００の場合、接合層５６０ａと接合層５６０ｂの間の線Ｌに沿って、積層体７００を厚さ方向に切断することにより、真空複層ガラス８００ａおよび真空複層ガラス８００ｂを製造することができる。切断手段は、例えば、ウォータージェットを用いることができる。ウォータージェットによって、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０とを同時に切断することができる。
【０１１０】
必要な場合、さらに、各真空複層ガラス８００ａ、８００ｂにおいて、３つの非切断辺を所望の位置で切断し、真空複層ガラス８００ａの第１の接合層５６０ａ、および真空複層ガラス８００ｂの第１の接合層５６０ｂの端面からの位置を適当な寸法に調整しても良い。
【０１１１】
以上の工程により、複数の真空複層ガラス８００ａ、８００ｂが製造される。
【０１１２】
このような本発明による真空複層ガラスの第１の製造方法では、２つ以上の真空複層ガラスを、１回の真空処理工程（ステップＳ１４０の工程）で製造することができる。
【０１１３】
従来のような各種寸法形状の真空複層ガラスを「一品生産式」製造方法では、一つの製品毎に、真空処理工程を１回実施する必要があるため、生産効率の向上および製造コストの抑制を図ることが難しい。
【０１１４】
これに対して、本発明による真空複層ガラスの第１の製造方法では、たとえ、製造する真空複層ガラスの寸法形状が異なっていても、２つ以上の真空複層ガラスを、１回の真空処理工程（ステップＳ１４０の工程）で製造することができる。このため、本発明による真空複層ガラスの第１の製造方法では、生産効率の向上および／または製造コストの抑制が可能となる。
【０１１５】
以上、図１に示した構造の真空複層ガラス１００を製造する場合を例に、第１の製造方法ついて説明した。
【０１１６】
ここで、図４に示したような第４の真空複層ガラス４００を製造する場合は、ステップＳ１４０とステップＳ１５０の間に、さらに、
（ｖｉ）積層体７００に中間膜を介して第３のベースガラスを積層して、合わせガラス組立体を構成するステップ（ステップＳ１６０）、および
（ｖｉｉ）前記合わせガラス組立体を加熱、加圧して、前記積層体７００と第３のベースガラスを結合するステップ（ステップＳ１７０）
が追加されても良い。
【０１１７】
なお、これらのステップＳ１６０およびＳ１７０には、一般的な合わせガラスの製造工程として当業者に知られている方法を用いることができる。例えば、合わせガラス組立体を加熱して仮圧着させた後に、オートクレーブによる加熱加圧する本圧着処理を行う。
【０１１８】
この場合、ステップ１５０において、本圧着後の合わせガラス組立体を平面視で各封着層を分離するように切断し、図４に示す複数の第４の真空複層ガラス４００が得られる。
【０１１９】
（第２の製造方法）
次に、図１０を参照して、本発明の第２実施形態による真空複層ガラスの製造方法（第２の製造方法）について説明する。ここでも、図１に示した構造の真空複層ガラスを製造する場合を例に、第２の製造方法ついて説明する。
【０１２０】
図１０には、本発明の第２の製造方法のフローを概略的に示す。
【０１２１】
図１０に示すように、本発明の第２の製造方法は、
（ｉ）第１のベースガラスおよび第２のベースガラスを準備し、第１のベースガラスの第１の表面に、少なくとも２つの額縁状に形成された第１の接合層を配置するステップ（ステップＳ２１０）と、
（ｉｉ）前記第１の接合層を介して対向するように、前記第１のベースガラスと前記第２のベースガラスを積層し、前記第２のベースガラスが前記第１の接合層と非接触の状態の組立体を構成するステップ（ステップＳ２２０）と、
（ｉｉｉ）前記組立体を減圧環境下に配置した後、前記第２のベースガラスが前記第１の接合層と接触した状態の積層体を構成するステップ（ステップＳ２３０）と、
（ｉｖ）前記積層体を加熱し、前記接合層を軟化させるステップ（ステップＳ２４０）と、
（ｖ）各第１の接合層を分離するように前記積層体を切断し、少なくとも２つの真空複層ガラスを得るステップ（ステップＳ２５０）と、
を有する。
【０１２２】
ここで、ステップＳ２１０およびステップＳ２２０は、それぞれ、前述の第１の製造方法におけるステップＳ１１０およびステップＳ１２０と同様の工程を有する。そのため、ここでは、ステップＳ２３０以降のステップについて説明する。
【０１２３】
（ステップＳ２３０）
例えば前述の図７に示したような組立体６００を、例えば真空チャンバ内に配置することにより、組立体６００を減圧環境下に配置する。
【０１２４】
前述のように、この減圧環境における真空度は、例えば、１×１０−５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲であっても良く、好ましくは、０．１Ｐａ以下である。
【０１２５】
この段階では、隙間形成手段６０２により、組立体６００において、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０の間の空間は、依然として開放された状態となっている。従って、組立体６００を減圧環境下に配置することにより、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０の間の空間を真空状態にすることができる。
【０１２６】
その後、組立体６００において、隙間形成手段６０２の支持部分６０３が、例えば機械的および／または電気的に、あるいはその他の手段で、第２のベースガラス５２０から取り外される。これにより、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０が第１の接合層５６０ａ、５６０ｂを介して接触され、前述の図８に示したような構成の積層体７００が形成される。
【０１２７】
一旦、積層体７００が構成されると、第１のベースガラス５２０と第２のベースガラス５２０の間の間隙部７３０は、外部環境と遮断される。しかしながら、前段の組立体６００の段階で、第１のベースガラス５２０と第２のベースガラス５２０の間の空間は、十分に減圧処理されている。このため、積層体７００においても、間隙部７３０は、真空状態に維持される。
【０１２８】
（ステップＳ２４０）
次に、積層体７００が加熱され、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂが軟化される。
【０１２９】
これにより、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０とが第１の接合層５６０ａ、５６０ｂを介して結合される。
【０１３０】
その後、積層体７００は、高温のまま、または降温後に真空チャンバから取り出される。第１の接合層５６０ａ、５６０ｂが室温まで冷却された後には、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂによって、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０とが完全に結合される。
【０１３１】
（ステップＳ２５０）
その後は、第１の製造方法におけるステップＳ１５０と同様の方法により、積層体７００が所定の位置で切断される。これにより、複数の真空複層ガラスを製造することができる。
【０１３２】
このような本発明による真空複層ガラスの第２の製造方法においても、第１の製造方法の場合と同様の効果、すなわち、２つ以上の真空複層ガラスを、１回の真空処理工程（ステップＳ２３０〜ステップＳ２４０の工程）で製造することができるという効果を得ることができる。このため、本発明による真空複層ガラスの第２の製造方法においても、生産効率の向上および／または製造コストの抑制が可能となる。
【０１３３】
なお、図４に示したような第４の真空複層ガラス４００を製造する場合は、ステップＳ２４０とステップＳ２５０の間に、さらに、
（ｖｉ）積層体７００に中間膜を介して第３のベースガラスを積層して、合わせガラス組立体を構成するステップ、および
（ｖｉｉ）前記合わせガラス組立体を加熱、加圧して、前記積層体７００と第３のベースガラスを結合するステップ
が追加されても良い。
【０１３４】
（第３の製造方法）
次に、図１１を参照して、本発明の第３実施形態による真空複層ガラスの製造方法（第３の製造方法）について説明する。ここでも、図１に示した構造の真空複層ガラスを製造する場合を例に、第３の製造方法ついて説明する。
【０１３５】
図１１には、本発明の第３の製造方法のフローを概略的に示す。
【０１３６】
図１１に示すように、本発明の第３の製造方法は、
（ｉ）第１のベースガラスおよび第２のベースガラスを準備し、前記第１のベースガラスの第１の表面に、少なくとも２つの額縁状に形成された第１の接合層を配置するステップ（ステップＳ３１０）と、
（ｉｉ）前記第１の接合層を介して対向するように、前記第１のベースガラスと前記第２のベースガラスを積層し、前記第２のベースガラスが前記第１の接合層と非接触の状態の組立体を構成するステップ（ステップＳ３２０）と、
（ｉｉｉ）前記組立体を減圧環境下に配置した後、前記組立体を加熱し、前記第１の接合層を軟化させるステップ（ステップＳ３３０）と、
（ｉｖ）前記第２のベースガラスが前記第１の接合層と接触した状態の積層体を構成するステップ（ステップＳ３４０）と、
（ｖ）各第１の接合層を分離するように前記積層体を切断し、少なくとも２つの真空複層ガラスを得るステップ（ステップＳ３５０）と、
を有する。
【０１３７】
ここで、ステップＳ３１０およびステップＳ３２０は、それぞれ、前述の第１の製造方法におけるステップＳ１１０およびステップＳ１２０と同様の工程を有する。そのため、ここでは、ステップＳ３３０以降のステップについて説明する。
【０１３８】
（ステップＳ３３０）
例えば前述の図７に示したような組立体６００を、例えば真空チャンバ内に配置することにより、組立体６００を減圧環境下に配置する。
【０１３９】
前述のように、この減圧環境における真空度は、例えば、１×１０−５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲であっても良く、好ましくは、０．１Ｐａ以下である。
【０１４０】
この段階では、隙間形成手段６０２により、組立体６００において、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０の間の空間は、依然として開放された状態となっている。従って、組立体６００を減圧環境下に配置することにより、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０の間の空間を真空状態にすることができる。
【０１４１】
次に、減圧環境下に配置されたまま、組立体６００が加熱され、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂが軟化される。
【０１４２】
組立体６００の加熱温度は、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂが軟化される温度である限り、特に限られない。前述のように、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂがガラス固化層で構成される場合、組立体６００の加熱温度は、例えば約４７０℃〜約５００℃の範囲であっても良い。
【０１４３】
（ステップＳ３４０）
次に、組立体６００において、隙間形成手段６０２の支持部分６０３が、例えば機械的および／または電気的に、あるいはその他の手段で、第２のベースガラス５２０から取り外される。これにより、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０が第１の接合層５６０ａ、５６０ｂを介して接触され、前述の図８に示したような構成の積層体７００が形成される。
【０１４４】
一旦、積層体７００が構成されると、第１のベースガラス５２０と第２のベースガラス５２０の間の空間は、外部環境と遮断される。これにより、間隙部７３０が形成される。
【０１４５】
ここで、前段の組立体６００の段階で、第１のベースガラス５２０と第２のベースガラス５２０の間の空間は、十分に減圧処理されている。このため、積層体７００においても、間隙部７３０は、真空状態に維持される。
【０１４６】
また、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂは、軟化状態にあるため、積層体７００の構成により、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０とが第１の接合層５６０ａ、５６０ｂを介して結合される。
【０１４７】
その後、積層体７００は、高温のまま、または降温後に真空チャンバから取り出される。第１の接合層５６０ａ、５６０ｂが室温まで冷却された後には、第１の接合層５６０ａ、５６０ｂによって、第１のベースガラス５１０と第２のベースガラス５２０とが完全に結合される。
【０１４８】
（ステップＳ３５０）
その後は、第１の製造方法におけるステップＳ１５０と同様の方法により、積層体７００が所定の位置で切断される。これにより、複数の真空複層ガラスを製造することができる。
【０１４９】
このような本発明による真空複層ガラスの第３の製造方法においても、第１の製造方法の場合と同様の効果、すなわち、２つ以上の真空複層ガラスを、１回の真空処理工程（ステップＳ３３０〜Ｓ３４０の工程）で製造することができるという効果を得ることができる。このため、本発明による真空複層ガラスの第３の製造方法においても、生産効率の向上および／または製造コストの抑制が可能となる。
【０１５０】
なお、図４に示したような第４の真空複層ガラス４００を製造する場合は、ステップＳ３４０とステップＳ３５０の間に、さらに、
（ｖｉ）積層体７００に中間膜を介して第３のベースガラスを積層して、合わせガラス組立体を構成するステップ、および
（ｖｉｉ）前記合わせガラス組立体を加熱、加圧して、前記積層体７００と第３のベースガラスを結合するステップ
が追加されても良い。
【０１５１】
（第４の製造方法）
次に、図１２を参照して、本発明の第４実施形態による真空複層ガラスの製造方法（第４の製造方法）について説明する。なお、ここでは、図２に示した構造の真空複層ガラスを製造する場合を例に、第４の製造方法ついて説明する。ただし、説明の明確化および簡略化のため、ここでも、図２におけるピラー２９０に関する説明は、省略する。
【０１５２】
図１２には、本発明の第４の製造方法のフローを概略的に示す。また、図１３〜図１６には、本発明の第４の製造方法の各工程における模式的な組立状態図を示す。
【０１５３】
図１２に示すように、本発明の第４の製造方法は、
（ｉ）第１のベースガラスおよび第２のベースガラスを準備し、前記第１のベースガラスの第１の表面に、少なくとも２つの第１の接合層を配置し、前記第２のベースガラスの第１の表面に、前記第１の接合層と同数の、第２の接合層を配置するステップであって、各第１の接合層は、中央部が除去された額縁状に形成され、各第２の接合層は、中央部が除去された額縁状に形成される、ステップ（ステップＳ４１０）と、
（ｉｉ）前記第１のベースガラスの第１の接合層と接するように、金属部材を配置するステップであって、前記金属部材は、各第１の接合層の前記中央部に対応する開口を有するステップ（ステップＳ４２０）と、
（ｉｉｉ）前記第１の接合層と前記第２の接合層が前記金属部材を介して対向するように、前記第１のベースガラスと前記第２のベースガラスを積層し、これにより、前記第２の接合層が前記金属部材と非接触の状態の組立体を構成するステップ（ステップＳ４３０）と、
（ｉｖ）前記組立体を加熱し、第１および第２の接合層を軟化させるステップ（ステップＳ４４０）と、
（ｖ）前記組立体を減圧環境下に配置した後、前記金属部材と前記第２の接合層が接触した状態の積層体を構成するステップであって、これにより、前記第１の接合層の前記中央部、前記金属部材の開口、前記第２の接合層の前記中央部により、複数の間隙部が形成されるステップ（ステップＳ４５０）と、
（ｖｉ）各第１の接合層を分離するように前記積層体を切断し、少なくとも２つの真空複層ガラスを得るステップ（ステップＳ４６０）と、
を有する。
【０１５４】
以下、各ステップについて詳しく説明する。
【０１５５】
（ステップＳ４１０）
まず、第１のベースガラスおよび第２のベースガラスが準備される。第１のベースガラスの第１の表面には、少なくとも２つの額縁状の接合層（第１の接合層）が形成される。また、第２のベースガラスの第１の表面には、第１の接合層と同数の、額縁状の第２の接合層が形成される。後述するように、第２の接合層は、第１の接合層と「対応する」位置に設置される。
【０１５６】
図１３には、第１のベースガラスおよび第２のベースガラスを示す。
【０１５７】
図１３に示すように、第１のベースガラス９１０は、第１の表面９１２を有し、この第１の表面９１２には、２つの第１の接合層９６０ａ、９６０ｂが設置されている。同様に、第２のベースガラス９２０は、第１の表面９２２を有し、この第１の表面９２２には、２つの第２の接合層９６１ａ、９６１ｂが設置されている。第１の接合層９６０ａ、９６０ｂおよび第２の接合層９６１ａ、９６１ｂは、例えば、前述のようなガラス固化層で構成されても良い。
【０１５８】
第１のベースガラス９１０の寸法形状は、第２のベースガラス９２０の寸法形状と略同等であっても良い。なお、図１３に示す例では、第１のベースガラス９１０は、４つのコーナー部９１１が略三角形形状となるように切除されている。しかしながら、この形状は、必ずしも必要ではない。
【０１５９】
第２のベースガラス９２０に設置された第２の接合層９６１ａは、以降のステップにおいて、第１のベースガラス９１０と第２のベースガラス９２０を積層した際に、第１のベースガラス９１０に設置された第１の接合層９６０ａと「対応する」位置に配置されている。同様に、第２のベースガラス９２０に設置された第２の接合層９６１ｂは、以降のステップにおいて、第１のベースガラス９１０と第２のベースガラス９２０を積層した際に、第１のベースガラス９１０に設置された第１の接合層９６０ｂと「対応する」位置に配置されている。
【０１６０】
ここで、２つの部材が「対応する」（位置）という表現は、２つの部材を含む構造部が形成された際に、該構造部が適正に機能する位置関係で、２つの部材が相互に対して配置された状態を意味する。例えば、２つの部材が「対応する」位置には、２つの部材を含む構造部が形成された際に、両部材が相互に重なり合う状態が含まれる。
【０１６１】
例えば、図１３の例では、第１の接合層９６０ａおよび第２の接合層９６１ａは、以降のステップＳ４５０において積層体が構成された際、または最終的に真空複層ガラスが製造された際に、適正なシール構造が形成されるような位置関係で、それぞれのベースガラス９１０、９２０上に配置されている。同様に、第１の接合層９６０ｂおよび第２の接合層９６１ｂは、以降のステップＳ４５０において積層体が構成された際に、または最終的に真空複層ガラスが製造された際に、適正なシール構造が形成されるような位置関係で、それぞれのベースガラス９１０、９２０上に配置されている。
【０１６２】
なお、図１３の例では、第１の接合層および第２の接合層は、それぞれ２つしか形成されていないが、第１の接合層および第２の接合層の数は、それぞれ３つ以上であっても良い。第１の接合層および第２の接合層の数によって、最終的に製造される真空複層ガラスの数が定められる。
【０１６３】
（ステップＳ４２０）
次に、第１のベースガラス９１０の第１の接合層９６０ａ、９６０ｂと接するようにして、第１のベースガラス９１０の上に金属部材が配置される。
【０１６４】
金属部材の材料は、例えば、アルミニウム金属もしくは合金、チタン金属もしくは合金、銅金属もしくは合金、またはステンレス鋼等であっても良い。また、金属部材は、板状または箔状であり、５μｍ〜５００μｍの範囲の厚さを有しても良い。
【０１６５】
図１４には、第１のベースガラス９１０の上に金属部材が配置される様子を示す。
【０１６６】
図１４に示すように、金属部材９５５は、第１のベースガラス９１０とほぼ同等の外寸法および形状を有する。
【０１６７】
ここで、金属部材９５５は、第１の接合層９６０ａに対応する開口９５７ａおよび第１の接合層９６０ｂに対応する開口９５７ｂを有する。従って、金属部材９５５は、最終的に真空複層ガラスが製造された際には、図２に示したようなシール構造２５０を構成する、額縁状の金属部材２５５として利用することができる。
【０１６８】
ハンドリングの際に金属部材９５５と第１のベースガラス９１０の間の位置ずれを防止するため、金属部材９５５は、第１の接合層９６０ａ、９６０ｂと仮留めしても良い。
【０１６９】
なお、図１４の例では、金属部材９５５は、単一の一体化部品として提供されている。しかしながら、別の態様として、第１の接合層９６０ａ、９６０ｂのそれぞれに対応した、複数の額縁状の金属部材を準備し、これらを各第１の接合層９６０ａ、９６０ｂ上に配置しても良い。ただし、図１４のような単一の金属部材９５５を使用した場合、一回の配置操作で金属部材の配置が完了するため、金属部材の第１のベースガラス９１０上への設置が容易となる。
【０１７０】
以上の工程により、第１のベースガラス９１０の第１の接合層９６０ａ、９６０ｂの上に、金属部材９５５が配置される。
【０１７１】
（ステップＳ４３０）
次に、第１の接合層９６０ａ、９６０ｂと第２の接合層９６１ａ、９６１ｂとが金属部材９５５を介して対向するように、第１のベースガラス９１０と第２のベースガラス９２０が積層され、組立体が構成される。
【０１７２】
この際には、第２のベースガラス９２０は、第２の接合層９６１ａ、９６１ｂが金属部材９５５と接触しないようにして、第１のベースガラス９１０上に配置される。
【０１７３】
図１５には、組立体の一構成例を概略的に示す。図１５（ａ）は、組立体の断面図であり、図１５（ｂ）は、組立体の底面図である。なお、図１５（ｂ）において、第２の接合層９６１ａ、９６１ｂは、明確化のため、省略されている。
【０１７４】
図１５に示すように、組立体１０００は、金属部材９５５が設置された第１のベースガラス９１０の上部に、第２のベースガラス９２０を隙間を空けて配置することにより構成される。また、組立体１０００は、前述の隙間形成手段６０２を備える。
【０１７５】
隙間形成手段６０２により、第２の接合層９６１ａ、９６１ｂが金属部材９５５と接触しないようにして、第２のベースガラス９２０を第１のベースガラス９１０上に配置することが可能となる。
【０１７６】
図１５の例では、隙間形成手段６０２は、第２のベースガラス９２０の第１の表面９２２と当接し、これを支持する支持部分６０３を有する。隙間形成手段６０２の支持部分６０３は、組立体１０００の各コーナー部４箇所に配置される（図１５（ｂ）参照）。
【０１７７】
なお、図１５の例では、対応する第１の接合層と第２の接合層（例えば、第１の接合層９６０ａと第２の接合層９６１ａ、および第１の接合層９６０ｂと第２の接合層９６１ｂ）は、組立体１０００を厚さ方向から見たとき、相互に重ならないような位置に配置されている。しかしながら、これは一例であって、対応する第１の接合層と第２の接合層は、一部または全部が重なっていても良い。ただし、前述のように、図１５のような関係で第１の接合層と第２の接合層を配置した場合、最終的に製造される真空複層ガラスにおいて、熱応力緩和能を有するシール構造が得られるという効果が得られる。
【０１７８】
また、図１５の例では、第１のベースガラス９１０および金属部材９５５は、４箇所のコーナー部が略三角形状に切除された形状を有し、隙間形成手段６０２を配置した際に、第１のベースガラス９１０および金属部材９５５が隙間形成手段６０２の支持部分６０３と干渉しないようになっている。ただし、第１のベースガラス９１０および金属部材９５５のこのようなコーナー部の形状加工は、必ずしも必要ではない。例えば、同様の効果を得るため、第１のベースガラス９１０および金属部材９５５の寸法を、第２のベースガラス９２０に比べて、一回り小さく選定しても良い。
【０１７９】
このようにして、第１のベースガラス９１０と第２のベースガラス９２０の間に隙間が形成された組立体１０００が構成される。
【０１８０】
（ステップＳ４４０）
次に、ステップＳ４３０で構成された組立体１０００が加熱される。これにより、第１の接合層９６０ａ、９６０ｂ、および第２の接合層９６１ａ、９６１ｂが軟化する。
【０１８１】
加熱温度は、例えば、第１の接合層９６０ａ、９６０ｂ、および第２の接合層９６１ａ、９６１ｂがラス固化層の場合、約４７０℃〜約５００℃程度であっても良い。
【０１８２】
なお、この段階では、隙間形成手段６０２により、金属部材９５５と第２のベースガラス９２０の間には、依然として、開放空間が確保された状態が維持される。
【０１８３】
（ステップＳ４５０）
次に、組立体１０００は、加熱された状態のまま、例えば真空チャンバ内に配置され、減圧環境に晒される。
【０１８４】
この減圧環境における真空度は、例えば、１×１０−５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲であり、好ましくは、０．１Ｐａ以下である。
【０１８５】
その後、組立体１０００の周囲が十分に減圧処理されてから、組立体１０００において、隙間形成手段６０２の支持部分６０３が、例えば機械的および／または電気的に、あるいはその他の手段で、第２のベースガラス９２０から取り外される。これにより、第１のベースガラス９１０と第２のベースガラス９２０が第１の接合層９６０ａ、９６０ｂ、金属部材９５５、および第２の接合層９６１ａ、９６１ｂを介して接触され、積層体が構成される。
【０１８６】
図１６には、得られる積層体１１００の概略的な断面図を示す。図１６に示すように、隙間形成手段６０２が水平方向（Ｘ方向）に沿って、組立体から移動されることにより、第２のベースガラス９２０が落下し、第２のベースガラス９２０の第２の接合層９６１ａ、９６１ｂが金属部材９５５に接触した状態となり、積層体１１００が構成される。
【０１８７】
なお、この際には、第２のベースガラス９２０の落下による加圧により、金属部材９５５は、平坦な断面形状から、段差を有する断面形状に変形しても良い。
【０１８８】
第１の接合層９６０ａ、９６０ｂ、および第２の接合層９６１ａ、９６１ｂは、軟化状態にあるため、積層体１１００の構成により、第１のベースガラス９１０と第２のベースガラス９２０とが、金属部材９５５を介して結合される。
【０１８９】
ここで、金属部材９５５は、それぞれ、第１の接合層９６０ａおよび第２の接合層９６１ａに対応する開口９５７ａ、ならびに第１の接合層９６０ｂおよび第２の接合層９６１ｂに対応する開口９５７ｂを有する。また、第２の接合層９６１ａ、９６１ｂは、それぞれ、第１の接合層９６０ａ、９６０ｂに対応する位置に配置されている。
【０１９０】
このため、積層体１１００が構成された際に、第１のベースガラス９１０と第２のベースガラス９２０との間には、複数の間隙部１１３０が形成される。これらの間隙部１１３０は、組立体１０００の段階から継続される減圧環境下において形成されるため、これらの間隙部１１３０は、真空状態となる。
【０１９１】
その後、積層体１１００は、高温のまま、または降温後に真空チャンバから取り出される。第１の接合層９６０ａ、９６０ｂ、および第２の接合層９６１ａ、９６１ｂが室温まで冷却された後には、両接合層によって、第１のベースガラス９１０と第２のベースガラス９２０とが、金属部材９５５を介して完全に結合される。
【０１９２】
（ステップＳ４６０）
次に、積層体１１００が切断され、複数の真空複層ガラスが分離形成される。
【０１９３】
例えば、図１６に示す積層体１１００の場合、破線Ｌ２の位置で積層体１１００を厚さ方向に切断することにより、２つの真空複層ガラスを製造することができる。
【０１９４】
このように、第４の製造方法により、前述の図２に示したようなシール構造２５０を有する真空複層ガラス２００が複数製造される。
【０１９５】
この第４の製造方法においても、前述の第１〜第３の製造方法と同様の効果が得られることは明らかであろう。
【０１９６】
なお、図１２に示した第４の製造方法では、第１の製造方法の場合と同様、組立体１０００は、ステップＳ４４０において大気環境下で加熱された後、ステップＳ４５０において減圧環境に配置され、この減圧環境下において積層体が構成される。
【０１９７】
しかしながら、この変形例として、組立体１０００は、前述の第２の製造方法のように、室温のまま減圧環境に配置され、ここで積層体とされ（ステップＳ２３０参照）、その後、減圧環境下で加熱されても良い（ステップＳ２４０参照）。
【０１９８】
あるいは、別の変形例として、組立体１０００は、前述の第３の製造方法のように、室温のまま減圧環境に配置され、加熱され（ステップＳ３３０参照）、その後、積層体が構成されても良い（ステップＳ３４０参照）。
【０１９９】
（第５の製造方法）
次に、図１７〜図２２を参照して、本発明の第５実施形態による真空複層ガラスの製造方法（第５の製造方法）について説明する。なお、ここでは、図３に示した構造の真空複層ガラスを製造する場合を例に、第５の製造方法ついて説明する。ただし、説明の明確化および簡略化のため、ここでも、図３におけるピラー３９０に関する説明は、省略する。
【０２００】
図１７には、本発明の第５の製造方法のフローを概略的に示す。また、図１８〜図２２には、本発明の第５の製造方法の各工程における模式的な組立状態図を示す。
【０２０１】
図１７に示すように、本発明の第５の製造方法は、
（ｉ）第１のベースガラスおよび第２のベースガラスを準備し、前記第１のベースガラスの第１の表面に、少なくとも２つの第１の接合層を配置し、前記第２のベースガラスの第１の表面に、前記第１の接合層と同数の、第２の接合層を配置するステップであって、各第１の接合層は、中央部が除去された額縁状に形成され、各第２の接合層は、中央部が除去された額縁状に形成されるステップ（ステップＳ５１０）と、
（ｉｉ）前記第１のベースガラスの第１の接合層と接するように、第１の金属部材を配置し、前記第２のベースガラスの第２の接合層と接するように、第２の金属部材を配置するステップであって、前記第１の金属部材は、各第１の接合層の前記中央部に対応する第１の開口を有し、前記第２の金属部材は、各第２の接合層の前記中央部に対応する第２の開口をするステップ（ステップＳ５２０）と、
（ｉｉｉ）前記第１の金属部材の上に、該第１の金属部材の各第１の開口に対応する開口を有する第３の接合層を配置するステップ（ステップＳ５３０）と、
（ｉｖ）前記第１の金属部材と前記第２の金属部材が前記第３の接合層を介して対向するように、前記第１のベースガラスと前記第２のベースガラスを積層し、これにより、前記第３の接合層が前記第２の金属部材と非接触の状態の組立体を構成するステップ（ステップＳ５４０）と、
（ｖ）前記組立体を加熱し、前記第３の接合層を軟化させるステップ（ステップＳ５５０）と、
（ｖｉ）前記組立体を減圧環境下に配置した後、前記第２の金属部材と前記第３の接合層が接触した状態の積層体を構成するステップであって、これにより、前記第１の接合層の前記中央部、前記第１の金属部材の第１の開口、前記第３の接合層の開口、前記第２の金属部材の第２の開口、および前記第２の接合層の前記中央部により、複数の間隙部が形成されるステップ（ステップＳ５６０）と、
（ｖｉｉ）各第１の接合層を分離するように前記積層体を切断し、少なくとも２つの真空複層ガラスを得るステップ（ステップＳ５７０）と、
を有する。
【０２０２】
以下、各ステップについて詳しく説明する。
【０２０３】
（ステップＳ５１０）
まず、第１のベースガラスおよび第２のベースガラスが準備される。第１のベースガラスの第１の表面には、少なくとも２つの額縁状の第１の接合層が形成される。また、第２のベースガラスの第１の表面には、第１の接合層と同数の、額縁状の第２の接合層が形成される。後述するように、第２の接合層は、第１の接合層と対応する位置に設置される。
【０２０４】
図１８には、第１のベースガラスおよび第２のベースガラスを示す。
【０２０５】
図１８に示すように、第１のベースガラス１２１０は、第１の表面１２１２を有し、この第１の表面１２１２には、２つの第１の接合層１２６０ａ、１２６０ｂが設置される。同様に、第２のベースガラス１２２０は、第１の表面１２２２を有し、この第１の表面１２２２には、２つの第２の接合層１２６１ａ、１２６１ｂが設置される。第１の接合層１２６０ａ、１２６０ｂおよび第２の接合層１２６１ａ、１２６１ｂは、例えば、前述のようなガラス固化層で構成されても良い。
【０２０６】
第１のベースガラス１２１０の寸法形状は、第２のベースガラス１２２０の寸法形状と略同等であっても良い。なお、図１８には示されていないが、前述のように、第１のベースガラス１２１０は、４つのコーナー部が略三角形形状となるように切除されていても良い。
【０２０７】
第２のベースガラス１２２０に設置された第２の接合層１２６１ａは、以降のステップにおいて、第１のベースガラス１２１０と第２のベースガラス１２２０を積層した際に、第１のベースガラス１２１０に設置された第１の接合層１２６０ａと「対応する」位置に配置される。同様に、第２のベースガラス１２２０に設置された第２の接合層１２６１ｂは、以降のステップにおいて、第１のベースガラス１２１０と第２のベースガラス１２２０を積層した際に、第１のベースガラス１２１０に設置された第１の接合層１２６０ｂと「対応する」位置に配置される。
【０２０８】
（ステップＳ５２０）
次に、第１のベースガラス１２１０の第１の接合層１２６０ａ、１２６０ｂと接するようにして、第１のベースガラス１２１０の上に第１の金属部材が配置される。同様に、第２のベースガラス１２２０の第２の接合層１２６１ａ、１２６１ｂと接するようにして、第２のベースガラス１２２０の上に第２の金属部材が配置される。
【０２０９】
第１および第２の金属部材の材料は、例えば、アルミニウム金属もしくは合金、チタン金属もしくは合金、銅金属もしくは合金、またはステンレス鋼等であっても良い。また、第１および第２の金属部材は、板状または箔状であり、５μｍ〜５００μｍの範囲の厚さを有しても良い。
【０２１０】
なお、第１および第２の金属部材は、同じ材料で構成されても、異なる材料で構成されても良い。また、第１および第２の金属部材は、同じ寸法形状を有しても、異なる寸法形状を有しても良い。
【０２１１】
図１９の左図には、第１のベースガラス１２１０の上に第１の金属部材１２５５が配置される様子を示す。また、図１９の右図には、第２のベースガラス１２２０の上に第２の金属部材１２８０が配置される様子を示す。
【０２１２】
図１９の左図に示すように、第１の金属部材１２５５は、第１のベースガラス１２１０とほぼ同等の外寸法および形状を有する。
【０２１３】
第１の金属部材１２５５は、第１の接合層１２６０ａに対応する第１の開口１２５７ａおよび第１の接合層１２６０ｂに対応する第１の開口１２５７ｂを有する。従って、第１の金属部材１２５５は、最終的に真空複層ガラスが製造された際には、図３に示したようなシール構造３５０を構成する、額縁状の第１の金属部材３５５として利用することができる。
【０２１４】
なお、図１９の例では、第１の金属部材１２５５は、単一の一体化部品として提供されている。しかしながら、別の態様として、第１の接合層１２６０ａ、１２６０ｂのそれぞれに対応した、複数の額縁状の金属部材を準備し、これらを各第１の接合層１２６０ａ、１２６０ｂ上に配置しても良い。ただし、図１９のような単一の金属部材１２５５を使用した場合、一回の配置操作で金属部材の配置が完了するため、第１の金属部材１２５５の第１のベースガラス１２１０上への設置が容易となる。
【０２１５】
同様に、第２のベースガラス１２２０上に配置される第２の金属部材１２８０は、第２の接合層１２６１ａに対応する第２の開口１２８１ａおよび第２の接合層１２６１ｂに対応する第２の開口１２８１ｂを有する。従って、第２の金属部材１２８０は、最終的に真空複層ガラスが製造された際には、図３に示したようなシール構造３５０を構成する、額縁状の第２の金属部材３８０として利用することができる。
【０２１６】
本ステップＳ５２０により、第１のベースガラス１２１０の第１の表面１２１２上に、第１の接合層１２６０ａ、１２６０ｂ、および第１の金属部材１２５５が設置された部材（以下、「第１の予備組立体」１２００Ａと称する）が製造される。同様に、第２のベースガラス１２２０の第１の表面１２２２上に、第２の接合層１２６１ａ、１２６１ｂ、および第２の金属部材１２８０が設置された部材（以下、「第２の予備組立体」１２００Ｂと称する）が製造される。
【０２１７】
なお、第１の予備組立体１２００Ａのハンドリングの際に生じ得る、第１の金属部材１２５５と第１のベースガラス１２１０の間の位置ずれを防止するため、第１の予備組立体１２００Ａを焼成して、第１の接合層１２６０ａ、１２６０ｂを介して、第１の金属部材１２５５と第１のベースガラス１２１０を結合させておいても良い。第２の予備組立体１２００Ｂについても、同様のことが言える。
【０２１８】
（ステップＳ５３０）
次に、第１の予備組立体１２００Ａの第１の金属部材１２５５上に、第３の接合層が配置される。第３の接合層は、第１の金属部材１２５５の各第１の開口１２５７ａ、１２５７ｂに対応した開口を有する。
【０２１９】
図２０には、上部に第３の接合層が形成された第１の予備組立体１２００Ａの断面を模式的に示す。
【０２２０】
図２０に示すように、第３の接合層１２８５は、直下の第１の金属部材１２５５の形状に沿って、第１の開口１２５７ａ、１２５７ｂを塞がないようにして配置される。
【０２２１】
なお、第３の接合層１２８５は、２つの開口を有する単一の層として一体化形成されても良く、あるいは別個独立の複数の層として構成されても良い。後者の場合、各第３の接合層１２８５は、第１の金属部材１２５５のそれぞれの第１の開口１２５７ａ、１２５７ｂの周囲に、額縁状に形成される。
【０２２２】
第３の接合層１２８５は、例えば、ガラス、はんだ、またはろう材等を含む層で構成されても良い。
【０２２３】
特に、第３の接合層１２８５は、第１および第２の接合層１２６０ａ、１２６０ｂ、１２６１ａ、１２６１ｂに比べて軟化点が低い材料で構成されることが好ましい。この場合、以降のステップＳ５５０の加熱工程において、第１および第２の接合層１２６０ａ、１２６０ｂ、１２６１ａ、１２６１ｂを変化させずに、第３の接合層１２８５のみを軟化させ、第１の金属部材１２５５と第２の金属部材１２８０を結合することができる。
【０２２４】
なお、以下の説明では、第３の接合層１２８５は、第１の接合層１２６０ａ、１２６０ｂ、および第２の接合層１２６１ａ、１２６１ｂに比べて低い軟化点を有する材料で構成されているものと仮定する。
【０２２５】
（ステップＳ５４０）
次に、以上のステップで製作された、第１の予備組立体１２００Ａおよび第２の予備組立体１２００Ｂが、第３の接合層１２８５を介して積層され、組立体が構成される。ただし、この際には、第２の予備組立体１２００Ｂは、該第２の予備組立体１２００Ｂ（の第２の金属部材１２８０）が第３の接合層１２８５と接触しないようにして、第１の予備組立体１２００Ａ上に配置される。
【０２２６】
図２１には、組立体の一構成例を概略的に示す。
【０２２７】
図２１に示すように、組立体１３００は、第１の予備組立体１２００Ａの上部に、第２の予備組立体１２００Ｂを、空間を空けて配置することにより構成される。第１の予備組立体１２００Ａと第２の予備組立体１２００Ｂは、それぞれの金属部材１２５５および１２８０が相互に対向するようにして、配置される。
【０２２８】
組立体１３００は、さらに、前述の隙間形成手段６０２を備える。
【０２２９】
隙間形成手段６０２により、第２の予備組立体１２００Ｂは、第３の接合層１２８５と接触しないようにして、第１の予備組立体１２００Ａ上に配置することができる。
【０２３０】
図２１の例では、隙間形成手段６０２は、第２の予備組立体１２００Ｂの第２の金属部材１２８０と当接し、これを支持する支持部分６０３を有する。隙間形成手段６０２の支持部分６０３は、前述のように、組立体１３００の各コーナー部４箇所に配置されても良い。
【０２３１】
あるいは、隙間形成手段６０２の支持部分６０３は、第２の予備組立体１２００Ｂを、第２のベースガラス１２２０の第１の表面１２２２で支持しても良い。この場合、支持部分６０３の取り付けを容易にするため、第２の金属部材１２８０の端部は、第２のベースガラス１２２０よりも内側で終端されても良い。
【０２３２】
なお、図２１の例では、対応する第１の接合層と第２の接合層（例えば、第１の接合層１２６０ａと第２の接合層１２６１ａ、および第１の接合層１２６０ｂと第２の接合層１２６１ｂ）は、組立体１３００を厚さ方向から見たとき、相互に重ならないような位置に配置されている。しかしながら、これは一例であって、対応する第１の接合層と第２の接合層は、一部または全部が重なっていても良い。ただし、前述のように、図２１のような関係で第１の接合層と第２の接合層を配置した場合、最終的に製造される真空複層ガラスにおいて、熱応力緩和能を有するシール構造が得られるという効果が得られる。
【０２３３】
このようにして、第１の予備組立体１２００Ａと第２の予備組立体１２００Ｂの間に開放空間が形成された組立体１３００が構成される。
【０２３４】
（ステップＳ５５０）
次に、ステップＳ５４０で構成された組立体１３００が加熱される。これにより、第３の接合層１２８５が軟化する。
【０２３５】
加熱温度は、例えば、第３の接合層１２８５がハンダ材で構成される場合、約２５０℃〜約３５０℃程度であっても良い。
【０２３６】
なお、この段階では、隙間形成手段６０２により、第１の予備組立体１２００Ａと第２の予備組立体１２００Ｂの間には、依然として、開放空間が確保された状態が維持される。
【０２３７】
（ステップＳ５６０）
次に、組立体１３００は、加熱された状態のまま、例えば真空チャンバ内に配置され、減圧環境に晒される。
【０２３８】
この減圧環境における真空度は、例えば、１×１０−５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲であり、好ましくは、０．１Ｐａ以下である。
【０２３９】
その後、組立体１３００の周囲が十分に減圧処理されてから、組立体１３００において、隙間形成手段６０２の支持部分６０３が、例えば機械的および／または電気的に、あるいはその他の手段で、第２の予備組立体１２００Ｂから取り外される。これにより、第１の予備組立体１２００Ａと第２の予備組立体１２００Ｂが第３の接合層１２８５を介して接触され、積層体が構成される。
【０２４０】
図２２には、得られる積層体１４００の概略的な断面図を示す。図２２に示すように、隙間形成手段６０２が水平方向（Ｘ方向）に沿って、組立体１３００から移動されることにより、第２の予備組立体１２００Ｂが落下する。これにより、第２の予備組立体１２００Ｂの第２の金属部材１２８０、および第１の予備組立体１２００Ａの第１の金属部材１２５５は、第３の接合層１２８５と接触した状態となり、積層体１４００が構成される。なお、この際には、第２の予備組立体１２００Ｂの落下による加圧により、第２の金属部材１２８０は、平坦な断面形状から、段差を有する断面形状に変形しても良い。
【０２４１】
第３の接合層は、軟化状態にあるため、積層体１４００の構成により、第１の予備組立体１２００Ａと第２の予備組立体１２００Ｂとが、第３の接合層１２８５を介して結合される。
【０２４２】
ここで、第１の金属部材１２５５は、それぞれ、第１の接合層１２６０ａおよび第２の接合層１２６１ａに対応する第１の開口１２５７ａ、ならびに第１の接合層１２６０ｂおよび第２の接合層１２６１ｂに対応する第１の開口１２５７ｂを有する。同様に、第２の金属部材１２８０は、それぞれ、第１の接合層１２６０ａおよび第２の接合層１２６１ａに対応する第２の開口１２８１ａ、ならびに第１の接合層１２６０ｂおよび第２の接合層１２６１ｂに対応する第２の開口１２８１ｂを有する。また、第３の接合層１２８５は、第１の金属部材１２５５の各第１の開口１２５７ａ、１２５７ｂに対応する開口を有する。
【０２４３】
このため、積層体１４００が構成された際に、第１のベースガラス１２１０と第２のベースガラス１２２０との間には、複数の間隙部１４３０が形成される。これらの間隙部１４３０は、組立体１３００の段階から継続される減圧環境下において形成されるため、間隙部１４３０は、真空状態となる。
【０２４４】
その後、積層体１４００は、高温のまま、または降温後に真空チャンバから取り出される。第３の接合層１２８５が室温まで冷却された後には、この第３の接合層１２８５を介して、第１の予備組立体１２００Ａと第２の予備組立体１２００Ｂとが完全に結合される。
【０２４５】
（ステップＳ５７０）
次に、積層体１４００が切断され、複数の真空複層ガラスが分離形成される。
【０２４６】
例えば、図２２に示す積層体１４００の場合、破線Ｌ３の位置で積層体１４００を厚さ方向に切断することにより、２つの真空複層ガラスを製造することができる。
【０２４７】
以上のように、第５の製造方法により、前述の図３に示したようなシール構造３５０を有する真空複層ガラス３００が複数製造される。
【０２４８】
この第５の製造方法においても、前述の第１〜第３の製造方法と同様の効果が得られることは明らかであろう。
【０２４９】
なお、図１７に示した第５の製造方法では、第１の製造方法の場合と同様、組立体１３００は、ステップＳ５５０において大気環境下で加熱された後、ステップＳ５６０において減圧環境に配置され、この減圧環境下において積層体が構成される。
【０２５０】
しかしながら、この変形例として、組立体１３００は、前述の第２の製造方法のように、室温のまま減圧環境に配置され、ここで積層体とされ（ステップＳ２３０参照）、その後、減圧環境下で加熱されても良い（ステップＳ２４０参照）。
【０２５１】
あるいは、別の変形例として、組立体１３００は、前述の第３の製造方法のように、室温のまま減圧環境に配置され、加熱され（ステップＳ３３０参照）、その後、積層体が構成されても良い（ステップＳ３４０参照）。
【０２５２】
以上、本発明の製造方法の一実施形態について説明した。しかしながら、本発明は、これらの態様に限られるものではなく、上記各実施形態において、各種変更が可能であることは、当業者には明らかである。
【０２５３】
例えば、図１７〜図２２に示した第５の製造方法において、第１の接合層、第２の接合層、および第３の接合層は、同じ材料で構成されても良い。この場合、前述のステップＳ５５０では、第３の接合層の他、第１および第２の接合層も軟化するため、シール部材を構成する各部材の相対位置が変化する可能性がある。しかしながら、真空複層ガラスの製造において、しばしば、そのようなフレキシビリティが必要となる場合もある。
【産業上の利用可能性】
【０２５４】
本発明は、建築物の窓ガラス等に使用される真空複層ガラス等に利用することができる。【０２５５】
また、本願は２０１３年１０月３１日に出願した日本国特許出願２０１３−２２７７２５号に基づく優先権を主張するものであり同日本国出願の全内容を本願に参照により援用する。
【符号の説明】
【０２５６】
１００      第１の真空複層ガラス
１１０      第１のガラス基板
１１２      第１のガラス基板の第１の表面
１１４      第１のガラス基板の第２の表面
１２０      第２のガラス基板
１２２      第２のガラス基板の第１の表面
１２４      第２のガラス基板の第２の表面
１３０      間隙部
１６０      接合層
１９０      ピラー
２００      第２の真空複層ガラス
２１０      第１のガラス基板
２１２      第１のガラス基板の第１の表面
２２０      第２のガラス基板
２２２      第２のガラス基板の第１の表面
２３０      間隙部
２５０      シール部材
２５５      金属部材
２６０      第１の接合層
２６５      第２の接合層
２７０      金属部材の第１の表面
２７２      金属部材の第２の表面
２７５、２７７  結合部分
３００      第３の真空複層ガラス
３１０      第１のガラス基板
３１２      第１のガラス基板の第１の表面
３２０      第２のガラス基板
３２２      第２のガラス基板の第１の表面
３３０      間隙部
３５０      シール部材
３５５      第１の金属部材
３６０      第１の接合層
３６２ａ    第１の結合部分
３６５      第２の接合層
３７０      第１の金属部材の第１の表面
３７２      第１の金属部材の第２の表面
３８０      第２の金属部材
３８２      第２の金属部材の第１の表面
３８４      第２の金属部材の第２の表面
３８５      第３の接合層
４００      第４の真空複層ガラス
４１０      第１のガラス基板
４１２      第１のガラス基板の第１の表面
４１４      第１のガラス基板の第２の表面
４２０      第２のガラス基板
４２２      第２のガラス基板の第１の表面
４２４      第２のガラス基板の第２の表面
４３０      間隙部
４４０      第３のガラス基板
４４５      中間膜
４６０      接合層
４９０      ピラー
５１０      第１のベースガラス
５１１      コーナー部
５１２      第１のベースガラスの第１の表面
５２０      第２のベースガラス
５２２      第２のベースガラスの第１の表面
５６０ａ、５６０ｂ  第１の接合層
６００      組立体
６０２      隙間形成手段
６０３      支持部分
７００      積層体
７３０      間隙部
８００ａ、８００ｂ  真空複層ガラス
９１０      第１のベースガラス
９１１      コーナー部
９１２      第１のベースガラスの第１の表面
９６０ａ、９６０ｂ  第１の接合層
９２０      第２のベースガラス
９２２      第２のベースガラスの第１の表面
９５５      金属部材
９５７ａ、９５７ｂ  開口
９６１ａ、９６１ｂ  第２の接合層
１０００    組立体
１１００    積層体
１１３０    間隙部
１２００Ａ  第１の予備組立体
１２００Ｂ  第２の予備組立体
１２１０    第１のベースガラス
１２１２    第１のベースガラスの第１の表面
１２２０    第２のベースガラス
１２２２    第２のベースガラスの第１の表面
１２６０ａ、１２６０ｂ  第１の接合層
１２６１ａ、１２６１ｂ  第２の接合層
１２５５    第１の金属部材
１２５７ａ、１２５７ｂ  第１の開口
１２８０    第２の金属部材
１２８１ａ、１２８１ｂ  第２の開口
１２８５    第３の接合層
１３００    組立体
１４００    積層体
１４３０    間隙部
【図１】
2015064458.tif 000005
【図２】
2015064458.tif 000006
【図３】
2015064458.tif 000007
【図４】
2015064458.tif 000008
【図５】
2015064458.tif 000009
【図６】
2015064458.tif 000010
【図７】
2015064458.tif 000011
【図８】
2015064458.tif 000012
【図９】
2015064458.tif 000013
【図１０】
2015064458.tif 000014
【図１１】
2015064458.tif 000015
【図１２】
2015064458.tif 000016
【図１３】
2015064458.tif 000017
【図１４】
2015064458.tif 000018
【図１５】
2015064458.tif 000019
【図１６】
2015064458.tif 000020
【図１７】
2015064458.tif 000021
【図１８】
2015064458.tif 000022
【図１９】
2015064458.tif 000023
【図２０】
2015064458.tif 000024
【図２１】
2015064458.tif 000025
【図２２】
2015064458.tif 000026
【国際調査報告】
2015064458.tif 000027
2015064458.tif 000028