(57)【要約】  最上層のシート材と他のシート材との間に空隙を形成し、最上層のシート材を分離することが可能なシート材分離方法を提供する。  吸引ノズル（３０）により、最上層のシート材（１０ａ）を吸引して、シート材（１０ａ）を吸引口（３１）の減圧空間（３１ａ）に向けて変形させ、シート材（１０ａ）とその直下に位置する他のシート材（１０ｂ）との間に空隙（ＡＳ）を生じさせる。次に、最上層のシート材（１０ａ）を吸引した状態で、吸引ノズル（３０）間の距離が小さくなるように移動させ、異なる他の領域において空隙（ＡＳ）を生じさせる。これにより、シート材（１０ａ）を、他のシート材（１０ｂ）から分離して取り出すことができる状態とする。
2016039045.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
積み重ねられた複数のシート材を最上層から順に分離するためのシート材分離方法であって、  前記シート材の積み重ね方向からみて互いに所定の間隔をおいて配設され、それぞれが減圧空間を有する容器状の吸引口を備えた複数の吸引ノズルにより、前記シート材における最上層のシート材を吸引して、前記最上層のシート材を前記吸引口の減圧空間に向けて変形させ、前記最上層のシート材とその直下に位置する他のシート材との間に空隙を生じさせるノズル吸引工程と、  前記最上層のシート材を吸引した状態で、前記複数の吸引ノズル間の距離が小さくなるように、前記複数の吸引ノズルを前記シート材の主面に沿った方向に移動させ、前記吸引ノズルにより吸引されている領域とは異なる他の領域において、前記最上層のシート材と前記他のシート材との間に空隙を生じさせるノズル移動工程と、  前記最上層のシート材を持ち上げ、前記最上層のシート材を前記他のシート材から分離して取り出す取り出し工程と  を備えることを特徴とするシート材分離方法。
【請求項２】
前記ノズル移動工程と前記取り出し工程の間に、前記複数の吸引ノズル間の距離が元に戻るように前記吸引ノズルを移動させる工程を備えることを特徴とする請求項１に記載のシート材分離方法。
【請求項３】
前記シート材の位置を所定の位置に保持するための複数の位置規制手段を有するマガジン上に積み重ねられた複数のシート材を分離するためのシート材分離方法であって、  前記ノズル移動工程の、前記複数の吸引ノズル間の距離が小さくなるように前記吸引ノズルを移動させたときの前記吸引ノズルの位置は、前記シート材の積み重ね方向からみて、前記複数の位置規制手段を結ぶ仮想線により囲まれた領域の内側であることを特徴とする請求項１または２に記載のシート材分離方法。
【請求項４】
積み重ねられた複数のシート材を最上層から順に分離するためのシート材分離装置であって、  シート材を積み重ねた状態で収容し、上方から前記シート材を取り出すことができるように構成されたマガジンと、  前記シート材の積み重ね方向からみて互いに所定の間隔をおいて配設され、それぞれが減圧空間を有する容器状の吸引口を備えた複数の吸引ノズルであって、最上層のシート材に前記吸引口を当接させて吸引したときに、前記最上層のシート材を前記吸引口の減圧空間に向けて変形させ、前記最上層のシート材とその直下に位置する他のシート材との間に空隙を生じさせる吸引ノズルと、  前記最上層のシート材を吸引した状態で、前記複数の吸引ノズル間の距離が小さくなるように、前記複数の吸引ノズルを前記シート材の主面に沿った方向に移動させ、前記吸引ノズルにより吸引されている領域とは異なる他の領域において、前記最上層のシート材と前記他のシート材との間に空隙を生じさせる吸引ノズル移動手段と、  前記最上層のシート材を持ち上げ、前記最上層のシート材を前記他のシート材から分離して取り出すシート材取り出し手段と、  を備えることを特徴とするシート材分離装置。
【請求項５】
前記マガジンは、前記シート材の位置を所定の位置に保持するための位置規制手段を備えていることを特徴とする請求項４に記載のシート材分離装置。
【請求項６】
前記シート材は、複数の孔を有しており、  前記マガジンは、前記位置規制手段として、前記シート材の前記孔に挿入する位置規制ピンを備えていること  を特徴とする請求項５に記載のシート材分離装置。
【請求項７】
前記シート材の取り出し手段として、前記吸引ノズルを兼用するように構成されていることを特徴とする請求項４〜６のいずれかに記載のシート材分離装置。
【請求項８】
前記シート材取り出し手段として、前記シート材の主面の主要部を吸着保持することができる吸着板を備えた構成のものを用いることを特徴とする請求項４〜６のいずれかに記載のシート材分離装置。
【請求項９】
前記シート材の側面側から、前記最上層のシート材と前記他のシート材との間に形成された前記空隙に向けてエアーを噴射する複数の噴射ノズルを備えることを特徴とする請求項４〜８のいずれかに記載のシート材分離装置。
【請求項１０】
前記複数の噴射ノズルの少なくとも一部は、前記シート材の側面側から、前記空隙を経て、前記位置規制手段に向かうように構成されていることを特徴とする請求項９に記載のシート材分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、積み重ねられた複数のシート材を最上層から順に分離するためのシート材分離方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  積み重ねられた複数のシート材を最上層から順に分離する方法として、例えば、図６に示すようなシート材の分離方法が提案されている（特許文献１）。  図６に示す特許文献１のシート材の分離方法では、シート材（合紙）１１０ａと液晶パネル１１０ｂが交互に積み重ねられた積層体からシート材１１０ａを取り除くのに際し、最上層のシート材１１０ａに吸着パッド１３１を吸着させ、次いでその吸着パッド１３１を互いに接近する方向（内側方向）に移動させてそのシート材１１０ａを歪ませ、シート材１１０ａを分離している。  その際、このシート材１１０ａを歪ませた部分から、シート材１１０ａと液晶パネル１１０ｂとの間に空気を導入し、液晶パネル１１０ｂとの密着状態を解除している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１８８９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  しかし、特許文献１のシート材の分離方法は、液晶パネル１１０ｂのように剛性を有する板材から柔軟性を有するシート材１１０ａを分離する方法であり、例えば、柔軟性を有するシート材のみで構成された積層体から最上層のシート材のみを分離しようとすると、吸着パッド１３１を互いに接近する方向に移動させたときに他のシート材も同じように歪んでしまい、シート材の間に空気が導入されないという問題がある。【０００５】  本発明は、上記課題を解決するものであり、最上層のシート材と他のシート材との間に確実に空隙を形成し、最上層のシート材を分離することが可能な、シート材分離方法およびその装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  上記課題を解決するため、本願発明のシート材分離方法は、  積み重ねられた複数のシート材を最上層から順に分離するためのシート材分離方法であって、  前記シート材の積み重ね方向からみて互いに所定の間隔をおいて配設され、それぞれが減圧空間を有する容器状の吸引口を備えた複数の吸引ノズルにより、前記シート材における最上層のシート材を吸引して、前記最上層のシート材を前記吸引口の減圧空間に向けて変形させ、前記最上層のシート材とその直下に位置する他のシート材との間に空隙を生じさせるノズル吸引工程と、  前記最上層のシート材を吸引した状態で、前記複数の吸引ノズル間の距離が小さくなるように、前記複数の吸引ノズルを前記シート材の主面に沿った方向に移動させ、前記吸引ノズルにより吸引されている領域とは異なる他の領域において、前記最上層のシート材と前記他のシート材との間に空隙を生じさせるノズル移動工程と、  前記最上層のシート材を持ち上げ、前記最上層のシート材を前記他のシート材から分離して取り出す取り出し工程と  を備えることを特徴としている。【０００７】  本発明のシート材分離方法においては、前記ノズル移動工程と前記取り出し工程の間に、前記複数の吸引ノズル間の距離が元に戻るように前記吸引ノズルを移動させる工程を備えることが好ましい。【０００８】  複数の吸引ノズル間の距離が元に戻るように吸引ノズルを移動させているので、分離したシート材を平らな状態で取り出すことが可能になり、例えば、取り出し後のシート材を位置精度よく次工程に送るなど、取り扱い性を向上させることが可能になる。【０００９】  また、前記シート材の位置を所定の位置に保持するための複数の位置規制手段を有するマガジン上に積み重ねられた複数のシート材を分離する場合においては、  前記ノズル移動工程の、前記複数の吸引ノズル間の距離が小さくなるように前記吸引ノズルを移動させたときの前記吸引ノズルの位置は、前記シート材の積み重ね方向からみて、前記複数の位置規制手段を結ぶ仮想線により囲まれた領域の内側であることが好ましい。【００１０】  吸引ノズルで、複数の位置規制手段を結ぶ仮想線により囲まれた領域の内側に向けて、シート材を引き寄せるので、位置規制手段の付近におけるシート材の密着を解除することができる。【００１１】  上記課題を解決するため、本願発明のシート材分離装置は、  積み重ねられた複数のシート材を最上層から順に分離するためのシート材分離装置であって、  シート材を積み重ねた状態で収容し、上方から前記シート材を取り出すことができるように構成されたマガジンと、  前記シート材の積み重ね方向からみて互いに所定の間隔をおいて配設され、それぞれが減圧空間を有する容器状の吸引口を備えた複数の吸引ノズルであって、最上層のシート材に前記吸引口を当接させて吸引したときに、前記最上層のシート材を前記吸引口の減圧空間に向けて変形させ、前記最上層のシート材とその直下に位置する他のシート材との間に空隙を生じさせる吸引ノズルと、  前記最上層のシート材を吸引した状態で、前記複数の吸引ノズル間の距離が小さくなるように、前記複数の吸引ノズルを前記シート材の主面に沿った方向に移動させ、前記吸引ノズルにより吸引され���いる領域とは異なる他の領域において、前記最上層のシート材と前記他のシート材との間に空隙を生じさせる吸引ノズル移動手段と、  前記最上層のシート材を持ち上げ、前記最上層のシート材を前記他のシート材から分離して取り出すシート材取り出し手段と、  を備えることを特徴としている。【００１２】  本発明のシート材分離装置においては、前記マガジンが、前記シート材の位置を所定の位置に保持するための位置規制手段を備えていることが好ましい。【００１３】  位置規制手段によりシート材の位置を所定の位置に保持しているので、吸引ノズル移動手段やシート材取り出し手段による分離動作を行っても、他のシート材の位置が所定の範囲内におさまり必要以上にずれることがないので、次のシート材の分離を適切に行うことができる。【００１４】  また、前記シート材は、複数の孔を有しており、  前記マガジンは、前記位置規制手段として、前記シート材の前記孔に挿入する位置規制ピンを備えていることが好ましい。【００１５】  位置規制ピンによりシート材の位置を所定の位置に保持しているので、吸引ノズル移動手段やシート材取り出し手段による分離動作を行っても、他のシート材の端が裏返ったり折れ曲がったりすることを防止することができる。【００１６】  前記シート材の取り出し手段として、前記吸引ノズルを兼用するように構成されていることが好ましい。【００１７】  シート材取り出し手段として、吸引ノズルを兼用することにより、装置の構成を簡略化することが可能になるとともに、設備コストの低減を図ることができる。【００１８】  また、前記シート材取り出し手段として、前記シート材の主面の主要部を吸着保持することができる吸着板を備えた構成のものを用いることが好ましい。【００１９】  シート材取り出し手段として、シート材の主面の主要部を吸着保持することができる吸着板を備えた構成のものを用いることにより、分離したシート材が垂れたり折れたりすることを防止して、確実に平らな状態で取り出すことができる。なお、吸着板を備えた構成のものとしては、例えば、上述の吸引ノズルと、この吸着板を併用した構成のものが例示される。【００２０】  また、前記シート材の側面側から、前記最上層のシート材と前記他のシート材との間に形成された前記空隙に向けてエアーを噴射する複数の噴射ノズルを備えることが好ましい。【００２１】  空隙に向けてエアーを噴射することにより、最上層のシート材と他のシート材との間に生じる空隙を広げるとともに、シート材と他のシート材とが再度密着することを抑制して、シート材を分離しやすくすることができる。【００２２】  また、上記の複数の噴射ノズルの少なくとも一部は、前記シート材の側面側から、前記空隙を経て、前記位置規制手段に向かうように構成されていることが好ましい。【００２３】  シート材の側面側から前記空隙を経て、位置規制手段に向かうようにエアーを噴射することで、位置規制手段とシート材と係合して密着状態が解除されにくい、位置規制手段の周辺に、前記空隙を伝搬させ、位置規制手段の周辺での空隙を形成しやすくすることができる。  なお、位置規制手段として、上述のような位置規制ピンが用いられている場合、密着状態が解除されにくい位��規制ピンの周辺領域に空隙を形成しやすくなり、特に有意義である。
【発明の効果】
【００２４】  本願発明のシート材分離方法は、ノズル吸引工程により、最上層のシート材とその直下に位置する他のシート材との間に空隙を生じさせ、ノズル移動工程により、この空隙をシート材の主面に沿った方向に伝搬させるようにしているので、最上層のシート材と他のシート材との間の分離の起点を広げることができる。その結果、取り出し工程により、最上層のシート材を他のシート材から確実に分離して取り出すことが可能になる。【００２５】  本願発明のシート材分離装置は、吸引ノズルの吸引により、最上層のシート材とその直下に位置する他のシート材との間に空隙を生じさせ、吸引ノズル移動手段により、この空隙をシート材の主面に沿った方向に伝搬させるようにしているので、最上層のシート材と他のシート材との間の分離の起点を広げることができる。その結果、シート取り出し手段により、最上層のシート材を他のシート材から確実に分離して取り出すことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態にかかるシート材分離装置を正面からみたときの図である。
【図２】図１に示したシート材分離装置の吸引ノズル、吸着板、噴射ノズル、位置規制ピン、および、この実施形態で用いられるシート材を上方からみたときの図である。
【図３】本発明の実施形態にかかるシート材分離方法を説明するための図であり、（ａ）はノズル吸引工程、（ｂ）はノズル移動工程を示した図である。
【図４】本発明の実施形態にかかるシート材分離方法を説明するための図であり、（ａ）および（ｂ）は取り出し工程を順に示した図である。
【図５】図３（ａ）に示したノズル吸引工程のＡ部拡大図である。
【図６】従来のシート材分離装置を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】  図１〜５を参照しつつ、本発明の実施形態にかかるシート材分離装置１および分離方法について説明する。この実施形態で用いられるシート材１０は、矩形状であり、４隅に位置規制用の孔１１が設けられている（図２参照）。シート材１０は、柔軟性および弾性を有しており、ＰＥＴフィルムや低摩擦ゴムシートなどの樹脂シート、電池用セパレータシートなどが例として挙げられる。シート材１０の厚みは、例えば、０．０１ｍｍ〜０．０５ｍｍである。
【００２８】  シート材分離装置１は、積み重ねられたシート材１０を収容するマガジン２０と、最上層のシート材１０ａの下に空隙ＡＳ（図５参照）を形成するための吸引ノズル３０と、空隙ＡＳをシート材１０の主面に沿う方向に移動させる吸引ノズル移動手段４０と、シート材１０を取り出すシート材取り出し手段５０を備えている。この実施形態では、シート材１０をマガジン２０から取り出す方向が鉛直（上下）方向となる。
【００２９】  マガジン２０は、複数のシート材１０を載置するためのマガジンベース２１と、シート材１０をその主面方向に位置規制するための位置規制手段２２を有する。マガジン２０の上方は、後述する吸引ノズル３０やシート材取り出し手段５０が出入りできるように、開口を有する構成となっている。なお、マガジンベース２１の下部には、最上層となるシート材１０ａを常に一定の高さに配置させるための上下駆動装置（不図示）を有していてもよい。
【００３０】  位置規制手段２２は、具体的には先端がテーパ形状を有した円柱状の位置規制ピン２２ａであり、シート材１０の孔１１の位置と対応するように、マガジンベース２１の主面に垂直に設けられている。そして、マガジン２０は、シート材１０の孔１１のそれぞれに位置規制ピン２２ａを挿入しながら、シート材１０を積み重ねた状態で収容する。例えば、シート材１０の孔１１の直径が４ｍｍで、位置規制ピン２２ａの直径が３．５ｍｍである場合、孔１１と位置規制ピン２２ａとには、０．５ｍｍの隙間があり、シート材１０は、この隙間の範囲内で、シート材１０の主面方向に位置規制されていることになる。
【００３１】  なお、シート材１０を位置規制する方法としては、上述したような孔１１に位置規制ピン２２ａを挿入する方法に限られず、シート材１０の外辺に角柱状の位置規制手段２２を当接させる方法であってもよい。
【００３２】  吸引ノズル３０は、積み重ね方向からみて互いに所定の間隔をおいて配設されている。具体的には、吸引ノズル３０は、図２に示すように、シート材１０のそれぞれの辺の内側であって、隣り合う孔１１の間に配設されている。
【００３３】  吸引ノズル３０は、複数の吸引ノズル３０の高さばらつきを逃すために、把持部材４３に上下摺動可能に取り付けられている。また、吸引ノズル３０を下方に付勢するためのばね３３が設けられている。この吸引ノズル３０は、シリンダ取り付けベース５３、スペーサ５４およびＬ字状金具５５を介して上下駆動機構５６に取り付けられている。上下駆動機構５６は、例えば、一軸ロボットである。上下駆動機構５６を作動させ、吸引ノズル３０を降下させることにより、吸引ノズル３０の先端が最上層のシート材１０ａに当接する。
【００３４】  吸引ノズル３０は、その先端に、減圧空間を有する容器状の吸引口３１を備えている。吸引ノズル３０の後端には、図１には示されていない開閉弁と減圧源が接続されている。図３（ａ）に示すように、最上層のシート材１０ａに吸引口３１を当接させた後、吸引ＯＮすると、シート材１０ａが吸引口３１の減圧空間３１ａに向けて変形する（図５参照）。そして、シート材１０ａとその直下に位置する他のシート材１０ｂとの間に空隙ＡＳが生じる。この空隙ＡＳが、最上層のシート材１０ａと他のシート材１０ｂとの分離の起点となる。
【００３５】  吸引口３１は、減圧空間３１ａ内に引き込まれたシート材１０を収容することができる所定の容積を要している。吸引口３１の内径は、例えば、３ｍｍであり、減圧空間の高さは、例えば、３ｍｍである。また、吸引口３１は剛性を有しており、吸引口３１内に減圧空間が形成されても変形しないような構成となっている。吸引口３１の肉厚は、例えば、２ｍｍであり、吸引口３１の材質としては、例えば、金属、セラミックスなどが挙げられる。
【００３６】  吸引ノズル移動手段４０は、吸引ノズル３０をシート材１０の主面に沿う方向に移動させることにより、上述した空隙ＡＳを主面方向に伝搬させ、分離の起点を広げる手段である。すなわち、吸引ノズル３０により吸引されている領域とは異なる他の領域において、最上層のシート材１０ａと他のシート材１０ｂとの間に空隙ＡＳを形成し、シート材１０ａを持ち上げた場合に、他のシート材１０ｂから分離して、シート材１０ａのみを取り出すことが可能な状態とするための手段である。
【００３７】  吸引ノズル移動手段４０は、吸引ノズル３０を上下摺動可能に把持するための把持部材４３と、吸引ノズル３０を主面方向に移動させるための水平シリンダ４１と、主面方向への移動精度を確保するためのスライドベアリング４２を備える。具体的な動作としては、図３（ｂ）に示すように、まず、吸引ノズル３０にて最上層のシート材１０ａを吸引した状態で、複数の吸引ノズル３０間の距離が小さくなるように、それぞれの吸引ノズル３０を移動させる。そのときの吸引ノズル３０の中心位置は、シート材１０の積み重ね方向からみて、複数の位置規制ピン２２ａの中心を結ぶ仮想線ＶＬにより囲まれた領域の内側である（図２参照）。
【００３８】  その後、複数の吸引ノズル３０間の距離を大きくして、元の位置（最初に吸引口３１とシート材１０ａが当接した位置）に戻るように移動させる。この間の往復動作の距離は、例えば、０．５ｍｍ〜４ｍｍである。シート材１０の孔１１と位置規制ピン２２ａには先述したとおりの隙間があり、また、シート材１０は弾性を有しているので、吸引ノズル３０を所定の距離だけ動かすことが可能となっている。
【００３９】  なお、この往復動作は、１回にかぎらず、複数回であってもよい。また、複数回とした場合における、吸引ノズル３０間の距離を大きくする際の距離は、複数回の動作のそれぞれにおいて異なっていてもよく、例えば、元の位置よりもいったん外側に移動させてから元の位置に戻るようにしてもよい。
【００４０】  また、上述した吸引ノズル移動手段４０の作動中に、複数の噴射ノズル６１を用いて、最上層のシート材１０ａと他のシート材１０ｂとの間に形成された空隙ＡＳに向けてエアーを噴射してもよい。噴射ノズル６１の先端は、空隙ＡＳの位置に対応するように、積み重ねられたシート材１０の側面の外側に配置されている。噴射ノズル６１の後端は、図１には示されていない開閉弁および圧縮エアー源に接続されている。エアーの噴射は、断続でもよいし連続でもよい。
【００４１】  シート取り出し手段５０は、最上層のシート材１０ａを持ち上げ、シート材１０ａを他のシート材１０ｂから分離して取り出すための手段である。シート取り出し手段５０は、シート材１０の主面を吸着保持することのできる吸着板５１と、吸着板５１を上下移動させるための吸着板移動手段５２を有する。吸着板移動手段５２は、例えば、垂直シリンダまたは直動サーボモータである。
【００４２】  吸着板５１には、シート材１０を吸引保持するための複数の吸引孔が設けられており、図１には示されていない開閉弁と減圧源が接続されている。また、図２に示すように、吸着板５１は、吸引ノズル３０と位置規制ピン２２ａを避けるための切り欠き５１ａ、５１ｂが設けられており、シート材１０が製品として実際に使用される領域であるシート材１０の主要部を吸引している。なお、吸着板５１は、多孔質材料により構成されていてもよいし、静電吸着により吸着できるように構成されていてもよい。
【００４３】  シート材１０を取り出すための動作としては、図４（ａ）に示すように、吸引ノズル３０を元の位置（最初に吸引口３１とシート材１０ａが当接した位置）に戻した状態で、吸着板５１を吸着板移動手段５２により下降させる。そして、吸着板５１にてシート材１０を保持した後、図４（ｂ）に示すように、上下駆動機構５６により吸着板５１および吸引ノズル３０を上昇させて、シート材１０ａを他のシート材１０ｂから分離する。なお、吸引ノズル３０の吸引は、吸着板５１にてシート材１０を保持した後に吸引ＯＦＦとしてもよいし、シート材１０を分離して次のステージに載置したときに吸引ＯＦＦとしてもよい。
【００４４】  また、噴射されたエアーが、シート材１０の側面側から、側面の内側に形成された空隙ＡＳを経て、位置規制ピン２２ａに当たるように構成された噴射ノズル６１（６１ａ）を備えていてもよい。噴射ノズル６１ａはシート材１０の側面の外側に配置され、その先端が反対側の側面の近傍にある位置規制ピン２２ａに向くように配置されている（図２参照）。噴射ノズル６１ａの後端は、図１には示されていない開閉弁および圧縮エアー源に接続されている。エアーは断続的に噴射することが好ましい。これにより、シート材１０の孔１１が位置規制ピン２２ａに引っ掛かることを低減することができる。
【００４５】  この実施形態にかかるシート材分離方法および装置では、吸引ノズル３０により、最上層のシート材１０ａを吸引して、シート材１０ａを吸引口３１の減圧空間３１ａに向けて変形させ、シート材１０ａとその直下に位置する他のシート材１０ｂとの間に空隙ＡＳを生じさせている。そして、最上層のシート材１０ａを吸引した状態で、吸引ノズル３０間の距離が小さくなるように移動させ、異なる他の領域において空隙ＡＳを生じさせている。これにより、最上層のシート材１０ａと他のシート材１０ｂとの間の分離の起点を広げることができ、シート材１０ａを分離しやすくすることができる。
【００４６】  なお、本発明のシート材取り出し手段５０は、吸着板５１を使って取り出す構成ではなく、吸引ノズル３０でシート材１０の取り出しを兼用するように構成されていてもよい。
【００４７】  本発明はさらにその他の点においても上記の実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能である。
【符号の説明】
【００４８】  １              シート材分離装置  １０            シート材  １０ａ          最上層のシート材  １０ｂ          他のシート材  １１            孔  ２０            マガジン  ２２            位置規制手段  ２２ａ          位置規制ピン  ３０            吸引ノズル  ３１            吸引口  ３１ａ          減圧空間  ３３            ばね  ４０            吸引ノズル移動手段  ４１            水平シリンダ  ４２            スライドベアリング  ４３            把持部材  ５０            シート材取り出し手段  ５１            吸着板  ５１ａ          切り欠き  ５２            吸着板移動手段  ５６            上下駆動機構  ６１（６１ａ）  噴射ノズル  ＡＳ            空隙
【図１】
2016039045.tif 000003
【図２】
2016039045.tif 000004
【図３】
2016039045.tif 000005
【図４】
2016039045.tif 000006
【図５】
2016039045.tif 000007
【図６】
2016039045.tif 000008
【国際調査報告】
2016039045.tif 000009
2016039045.tif 000010
2016039045.tif 000011
2016039045.tif 000012