(57)【要約】  本発明は、平坦塗布性に優れると共に、その表面に模様の発生が抑制された赤外光カットフィルタを形成することができ、耐乾燥性に優れる赤外光遮蔽組成物、および、赤外光カットフィルタ、固体撮像素子を提供する。本発明の赤外光遮蔽組成物は、金属含有タングステン酸化物粒子、樹脂バインダー、１気圧における沸点が１７０℃以上２００℃以下の溶剤Ａ、および、溶剤Ａとは異なる溶剤Ｂ、を少なくとも含み、溶剤Ａの含有量が、赤外光遮蔽組成物全質量に対して、０．１〜２０質量％である。
2016035633.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤外光遮蔽組成物であって、
金属含有タングステン酸化物粒子、樹脂バインダー、１気圧における沸点が１７０℃以上２００℃以下の溶剤Ａ、および、前記溶剤Ａとは異なる溶剤Ｂ、を少なくとも含み、
前記溶剤Ａの含有量が、赤外光遮蔽組成物全質量に対して、０．１〜２０質量％である、赤外光遮蔽組成物。
【請求項２】
前記溶剤Ａの沸点が１８０℃以上１９３℃以下である、請求項１に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項３】
前記溶剤Ａが分子内に３つ以上の酸素原子を含む、請求項１または２に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項４】
前記溶剤Ａがジプロピレングリコールモノメチルエーテルを含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項５】
前記溶剤Ｂが、１気圧における沸点が１００℃以上１３０℃以下の溶剤Ｂ１、および、１気圧における沸点が１３０℃超１７０℃未満の溶剤Ｂ２からなる群から選択される少なくとも１種を含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項６】
前記溶剤Ｂが、前記溶剤Ｂ１および前記溶剤Ｂ２の両方を含む、請求項５に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項７】
前記溶剤Ｂ１と前記溶剤Ｂ２との質量比が０．０１０〜０．２００である、請求項６に記載の赤外光遮蔽組成物。なお、上記質量比は、溶剤Ｂ１の質量／溶剤Ｂ２の質量を表す。
【請求項８】
前記溶剤Ｂ１の１気圧における沸点が１２０℃以上１３０℃以下である、請求項５〜７のいずれか１項に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項９】
前記溶剤Ｂ１が、酢酸ブチルを含む、請求項５〜８のいずれか１項に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項１０】
前記溶剤Ａの含有量が、赤外光遮蔽組成物全質量に対して、０．７〜５．０質量％である、請求項１〜９のいずれか１項に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項１１】
さらに、重合性化合物、重合開始剤、界面活性剤、および、紫外線吸収剤からなる群から選択される少なくとも１つを含む、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項１２】
前記重合開始剤が、オキシム化合物またはα−アミノケトン化合物を含む、請求項１１に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項１３】
前記樹脂バインダーが、アルカリ可溶性バインダーを含む、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項１４】
前記アルカリ可溶性バインダーが酸基を有する、請求項１３に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項１５】
前記アルカリ可溶性バインダーが重合性基を有する、請求項１３または１４に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項１６】
さらに、前記界面活性剤を含み、
前記界面活性剤の含有量が、赤外光遮蔽組成物全質量に対して、０．００１〜０．０７０質量％である、請求項１１に記載の赤外光遮蔽組成物。
【請求項１７】
請求項１〜１６のいずれか１項に記載の赤外光遮蔽組成物を用いて形成された赤外光カットフィルタ。
【請求項１８】
４００ｎｍ〜１３００ｎｍにおける最大透過率が６０％以上であり、９００〜１３００ｎｍにおける最大透過率が２０％以下である、請求項１７に記載の赤外光カットフィルタ。
【請求項１９】
請求項１７または１８に記載の赤外光カットフィルタを有する固体撮像素子。
【請求項２０】
赤色の波長領域の光を透過するカラーフィルタ、緑色の波長領域の光を透過するカラーフィルタ、青色の波長領域の光を透過するカラーフィルタ、および、赤外光を透過するカラーフィルタからなる群から選択される少なくとも一つを含むフィルタ層と、
前記フィルタ層よりも光入射側に配置される請求項１７または１８に記載の赤外光カットフィルタと、を有する固体撮像素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、赤外光遮蔽組成物、赤外光カットフィルタ、および、固体撮像素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、カメラ機能付き携帯電話などにはカラー画像の固体撮像素子である、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）や、ＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide-Semiconductor）が用いられている。これら固体撮像素子は、その受光部において赤外線（赤外光）に感度を有するシリコンフォトダイオードを使用しているために、視感度補正を行うことが必要であり、赤外光カットフィルタを用いることが多い。
例えば、特許文献１においては、赤外光カットフィルタを形成するための組成物として、所定のタングステン酸化物および／または複合タングステン酸化物を含む感光性樹脂組成物が開示されている。特に、特許文献１の実施例欄においては、感光性樹脂組成物中に含まれる溶剤として、ジアセトンアルコールやγ−ブチロラクトンなどが使用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１１／０６７９９８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
固体撮像素子内に赤外光カットフィルタを配置する際、微細な段差がある場所に配置することが望まれる場合がある。このような場合、形成される赤外光カットフィルタが微細な段差に関わらず、平坦に塗布されることが必要となる。なお、平坦に塗布とは、微細な段差の上に配置される塗膜の表面が平坦となることを意図する。
本発明者らは、特許文献１に具体的に記載されている組成物（溶剤としてジアセトンアルコール（沸点：１６８℃）が使用される組成物）を用いて、微細な段差がある部分に赤外光カットフィルタの製造を試みたところ、得られた赤外光カットフィルタの平坦塗布性は十分でなく、さらなる改良が必要であった。
また、上記組成物を所定時間保管すると、組成物を入れる容器の壁面などに固形物の付着が生じる場合があることが確認された。固形分は溶剤の揮発によって生じていると予想され、このような固形分が組成物中に含まれると、形成される赤外光カットフィルタ内において欠陥が生じるおそれがある。【０００５】
さらに、特許文献１に具体的に記載される組成物（溶剤としてγ−ブチロラクトン（沸点：２０４℃）が使用される組成物）を用いたところ、形成された赤外光カットフィルタの表面において、円環状（リング状）の模様が生じることが確認された。このような模様があると、面状検査の際に不具合としてエラー認識されるおそれがあり、望ましくない。なお、このように赤外光カットフィルタ表面において模様が発生し、面状検査において不具合がでることを、面状特性が悪いとも称する。【０００６】
本発明は、上記実情に鑑みて、平坦塗布性に優れると共に、その表面に模様の発生が抑制された赤外光カットフィルタを形成することができ、耐乾燥性に優れる赤外光遮蔽組成物を提供することを課題とする。
また、本発明は、赤外光遮蔽組成物を用いて形成される赤外光カットフィルタ、および、赤外光カットフィルタを含む固体撮像素子も提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、従来技術の問題点について鋭意検討した結果、所定の沸点の溶剤を使用することにより、上記課題を解決できることを見出した。
すなわち、以下の構成により上記目的を達成することができることを見出した。【０００８】
（１）  赤外光遮蔽組成物であって、
金属含有タングステン酸化物粒子、樹脂バインダー、１気圧における沸点が１７０℃以上２００℃以下の溶剤Ａ、および、溶剤Ａとは異なる溶剤Ｂ、を少なくとも含み、
溶剤Ａの含有量が、赤外光遮蔽組成物全質量に対して、０．１〜２０質量％である、赤外光遮蔽組成物。
（２）  溶剤Ａの沸点が１８０℃以上１９３℃以下である、（１）に記載の赤外光遮蔽組成物。
（３）  溶剤Ａが分子内に３つ以上の酸素原子を含む、（１）または（２）に記載の赤外光遮蔽組成物。
（４）  溶剤Ａがジプロピレングリコールモノメチルエーテルを含む、（１）〜（３）のいずれかに記載の赤外光遮蔽組成物。
（５）  溶剤Ｂが、１気圧における沸点が１００℃以上１３０℃以下の溶剤Ｂ１、および、１気圧における沸点が１３０℃超１７０℃未満の溶剤Ｂ２からなる群から選択される少なくとも１種を含む、（１）〜（４）のいずれかに記載の赤外光遮蔽組成物。
（６）  溶剤Ｂが、溶剤Ｂ１および溶剤Ｂ２の両方を含む、（５）に記載の赤外光遮蔽組成物。
（７）  溶剤Ｂ１と溶剤Ｂ２との質量比が０．０１０〜０．２００である、（６）に記載の赤外光遮蔽組成物。なお、上記質量比は、溶剤Ｂ１の質量／溶剤Ｂ２の質量を表す。
（８）  溶剤Ｂ１の１気圧における沸点が１２０℃以上１３０℃以下である、（５）〜（７）のいずれかに記載の赤外光遮蔽組成物。
（９）  溶剤Ｂ１が、酢酸ブチルを含む、（７）または（８）に記載の赤外光遮蔽組成物。
（１０）  溶剤Ａの含有量が、赤外光遮蔽組成物全質量に対して、０．７〜５．０質量％である、（１）〜（９）のいずれかに記載の赤外光遮蔽組成物。
（１１）  さらに、重合性化合物、重合開始剤、界面活性剤、および、紫外線吸収剤からなる群から選択される少なくとも１つを含む、（１）〜（１０）のいずれかに記載の赤外光遮蔽組成物。
（１２）  重合開始剤が、オキシム化合物またはα−アミノケトン化合物を含む、（１１）に記載の赤外光遮蔽組成物。
（１３）  樹脂バインダーが、アルカリ可溶性バインダーを含む、（１）〜（１２）のいずれかに記載の赤外光遮蔽組成物。
（１４）  アルカリ可溶性バインダーが酸基を有する、（１３）に記載の赤外光遮蔽組成物。
（１５）  アルカリ可溶性バインダーが重合性基を有する、（１３）または（１４）に記載の赤外光遮蔽組成物。
（１６）  さらに、界面活性剤を含み、界面活性剤の含有量が、赤外光遮蔽組成物全質量に対して、０．００１〜０．０７０質量％である、（１１）に記載の赤外光遮蔽組成物。
（１７）  （１）〜（１６）のいずれかに記載の赤外光遮蔽組成物を用いて形成された赤外光カットフィルタ。
（１８）  ４００ｎｍ〜１３００ｎｍにおける最大透過率が６０％以上であり、９００〜１３００ｎｍにおける最大透過率が２０％以下である、（１７）に記載の赤外光カットフィルタ。
（１９）  （１７）または（１８）に記載の赤外光カットフィルタを有する固体撮像素子。
（２０）  赤色の波長領域の光を透過するカラーフィルタ、緑色の波長領域の光を透過するカラーフィルタ、青色の波長領域の光を透過するカラーフィルタ、および、赤外光を透過するカラーフィルタからなる群から選択される少なくとも一つを含むフィルタ層と、
フィルタ層よりも光入射側に配置される（１７）または（１８）に記載の赤外光カットフィルタと、を有する固体撮像素子。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、平坦塗布性に優れると共に、その表面に模様の発生が抑制された赤外光カットフィルタを形成することができ、耐乾燥性に優れる赤外光遮蔽組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、赤外光遮蔽組成物を用いて形成される赤外光カットフィルタ、および、赤外光カットフィルタを含む固体撮像素子も提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の固体撮像素子の一実施形態の構成を示す概略断面図である。
【図２】本発明の固体撮像素子を適用した撮像装置の機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明の赤外光遮蔽組成物（赤外光遮光層形成用組成物）、赤外光カットフィルタ、および、固体撮像素子の好適態様について詳述する。
本明細書に於ける基（原子団）の表記に於いて、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。本明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書中において、“（メタ）アクリレート”はアクリレートおよびメタクリレートを表し、“（メタ）アクリル”はアクリルおよびメタクリルを表し、“（メタ）アクリロイル”はアクリロイルおよびメタクリロイルを表す。
また、本明細書中において、“単量体”と“モノマー”とは同義である。単量体は、オリゴマーおよびポリマーと区別され、重量平均分子量が２，０００以下の化合物をいう。
本明細書中において、重合性化合物とは、重合性官能基を有する化合物のことをいい、単量体であっても、ポリマーであってもよい。重合性官能基とは、重合反応に関与する基をいう。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全組成から溶剤を除いた成分の総質量をいう。本発明における固形分は、２５℃における固形分である。
【００１２】
まず、本発明の特徴点としては、１気圧における沸点が１７０℃以上２００℃以下の溶剤を使用している点が挙げられる。具体的には、まず、微細な段差のある表面上に赤外光遮蔽組成物を塗布すると徐々に溶剤が揮発していくが、溶剤の沸点を所定値以上にすることで、乾燥の最終段階においても溶剤が残存しやすく、結果として塗布物の流動性が保たれ易い。そのため、表面の平坦性に優れる赤外光カットフィルタが形成されやすい。また、上記沸点の溶剤であれば組成物から揮発が抑制され、結果として乾燥固形物などの発生が抑制される。さらに、本発明者らは赤外光カットフィルタの面上に模様ができる要因として、溶剤の沸点が影響していることを知見した。つまり、溶剤の沸点が高すぎると、上記のような模様が生じることを見出し、所定の沸点以下の溶剤を使用することにより、上記課題が解決できることを見出している。
【００１３】
赤外光遮蔽組成物には、金属含有タングステン酸化物粒子、樹脂バインダー、１気圧における沸点が１７０℃以上２００℃以下の溶剤Ａ、および、上記溶剤Ａとは異なる溶剤Ｂが少なくとも含有される。
以下、赤外光遮蔽組成物（以後、単に「組成物」とも称する）に含まれる各成分について詳述する。
【００１４】
（金属含有タングステン酸化物粒子）
金属含有タングステン酸化物粒子（以後、単にタングステン酸化物微粒子、または、微粒子とも称する）とは、金属原子が含まれるタングステン酸化物粒子である。
このタングステン酸化物微粒子は、結晶構造によっては赤外光（波長が約８００〜１２００ｎｍの光）を選択的に遮蔽するため、赤外線吸収剤としての効能を有する。よって、このような微粒子をフィルタに含有させることで、赤外領域における遮光性が高く、可視光領域における透光性が高い赤外光カットフィルタを形成することができる。また、タングステン酸化物微粒子は、画像形成に用いられる、高圧水銀灯、ＫｒＦ、ＡｒＦなどの露光に用いられる可視域より短波の光に対しても吸収が小さい。よって、後述するように、このような組成物は優れたパターン形成性を有し、赤外光カットフィルタの形状を微細に制御することができる。
【００１５】
タングステン酸化物微粒子に含まれる金属原子の種類は特に制限されないが、赤外光の遮蔽性により優れる点で、アルカリ金属が挙げられる。
上記タングステン酸化物微粒子は、下記一般式（組成式）（Ｉ）で表されることが好ましい。
ＭｘＷｙＯｚ・・・（Ｉ）
Ｍはアルカリ金属、Ｗはタングステン、Ｏは酸素を表す。
０．００１≦ｘ／ｙ≦１．１
２．２≦ｚ／ｙ≦３．０
【００１６】
Ｍのアルカリ金属は１種でも２種以上でもよい。
Ｍのアルカリ金属としては、ＲｂまたはＣｓであることが好ましく、Ｃｓであることがより好ましい。
ｘ／ｙが０．００１以上であることにより、赤外光を十分に遮蔽することができ、１．１以下であることにより、タングステン酸化物微粒子中に不純物相が生成されることをより確実に回避することできる。
ｚ／ｙが２．２以上であることにより、材料としての化学的安定性をより向上させることができ、３．０以下であることにより赤外光をより遮蔽することができる。
【００１７】
上記一般式（Ｉ）で表されるアルカリ金属を含有するタングステン酸化物微粒子の具体例としては、Ｃｓ0.33ＷＯ3、Ｒｂ0.33ＷＯ3、Ｋ0.33ＷＯ3などを挙げることができ、Ｃｓ0.33ＷＯ3またはＲｂ0.33ＷＯ3であることが好ましく、Ｃｓ0.33ＷＯ3であることが更に好ましい。
【００１８】
タングステン酸化物微粒子の平均粒子径は特に制限されないが、８００ｎｍ以下であることが好ましく、４００ｎｍ以下であることがより好ましく、２００ｎｍ以下であることが更に好ましい。平均粒子径がこのような範囲であることによって、タングステン酸化物微粒子が光散乱によって可視光を遮断しにくくなることから、可視光領域における透光性をより確実にすることができる。光散乱を回避する観点からは、平均粒子径は小さいほど好ましいが、製造時における取り扱い容易性などの理由から、タングステン酸化物微粒子の平均粒子径は、１ｎｍ以上であることが好ましい。
なお、平均粒子径の測定方法としては、公知の電子顕微鏡（例えば、透過型電子顕微鏡）にて、少なくとも５０個の微粒子の粒子径（直径）を測定し、それらを算術平均した値である。なお、微粒子が真円でない場合は、長径を粒子径として測定する。
【００１９】
組成物中におけるタングステン酸化物微粒子の含有量は特に制限されないが、赤外光の遮蔽性がより優れる点で、組成物全質量に対して、１〜２０質量％が好ましく、３〜１５質量％がより好ましい。
また、タングステン酸化物微粒子は２種以上を使用することが可能であり、その場合、合計含有量が上記範囲であることが好ましい。
【００２０】
タングステン酸化物微粒子は市販品として入手可能であるが、アルカリ金属を含有するタングステン化合物を不活性ガス雰囲気または還元性ガス雰囲気中で熱処理する方法により得ることができる（特許４０９６２０５号参照）。
また、例えば、住友金属鉱山株式会社製のＹＭＦ−０２Ａ、ＹＭＳ−０１Ａ−２、ＹＭＦ−１０Ａ−1などのアルカリ金属を含有するタングステン酸化物の微粒子の分散物としても、入手可能である。
【００２１】
（樹脂バインダー）
樹脂バインダーとしては、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、または（メタ）アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリアミド、ポリエステル、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾールなどを挙げることができ、（メタ）アクリル系樹脂、または、ウレタン系樹脂などが好ましく挙げられる。また、樹脂バインダーとしては、アルカリ可溶性バインダー（アルカリ可溶性樹脂）であることが好ましい。アルカリ可溶性バインダーを含有することにより、組成物から得られる硬化膜にパターン形成をするべく、露光を行った場合、未露光部をアルカリ現像液で除去することができ、アルカリ現像によって優れたパターンを形成できる。
アルカリ可溶性バインダーとしては、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、（メタ）アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリアミド、ポリエステル、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾールまたはそれらの前駆体などを挙げることができ、（メタ）アクリル系樹脂、または、ウレタン系樹脂であることが好ましい。
ポリイミド、ポリベンゾオキサゾールまたはそれらの前駆体としては、ＷＯ２０１１/０６７９９８号公報の００１２〜００４６欄の記載や、特開２０１３−０５０５９３号公報の段落００２０〜００５４に記載のポリイミド樹脂の説明を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【００２２】
アルカリ可溶性バインダーは、酸基を有することが好ましい。
酸基としては、カルボン酸基、スルホン酸基、ホスホン酸基、リン酸基、スルホンアミド基等が挙げられるが、原料入手の点からカルボン酸基が好ましい。
酸基を有するアルカリ可溶性バインダーの種類は特に限定されないが、モノマー成分として、酸基を有する重合性化合物を用いて得られた重合体であることが好ましく、酸価の調節の観点から、酸基を有する重合性化合物と、酸基を有さない重合性化合物とを共重合することよって得られた共重合体であることがより好ましい。
酸基を有する重合性化合物としては特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、インクロトン酸、マレイン酸、ｐ−カルボキシルスチレン等が挙げられ、これらの中でも、アクリル酸、メタクリル酸、ｐ−カルボキシルスチレンが好ましい。これらは、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２３】
酸基を有さない重合性化合物としては特に制限はないが、例えば、（メタ）アクリル酸エステル（アルキルエステル、アリールエステル、アラルキルエステルなど）を好適に挙げることができる。
（メタ）アクリル酸エステルのアルキルエステル部位におけるアルキル基は、直鎖状であっても分枝状であってもよく、炭素数１〜１０のアルキル基であることが好ましく、炭素数１〜６のアルキル基であることがより好ましい。
（メタ）アクリル酸エステルのアリールエステル部位におけるアリール基は、炭素数６〜１４のアリール基であることが好ましく、炭素数６〜１０のアリール基であることがより好ましい。
（メタ）アクリル酸エステルのアラルキルエステル部位におけるアラルキル基は、炭素数７〜２０のアラルキル基であることが好ましく、炭素数７〜１２のアラルキル基であることがより好ましい。
【００２４】
酸基を有する重合性化合物に対応するモノマーと酸基を有さない重合性化合物に対応するモノマーとのモル比は、通常、１：９９〜９９：１であり、１：９９〜６５：３５であることが好ましく、５：９５〜３０：７０であることがより好ましい。
アルカリ可溶性バインダー中における酸基の含有量は、特に制限はないが、０．５ｍｅｑ／ｇ〜４．０ｍｅｑ／ｇであることが好ましく、０．５ｍｅｑ／ｇ〜３．０ｍｅｑ／ｇであることがより好ましい。含有量が０．５ｍｅｑ／ｇ以上であることによりアルカリ現像性が十分に得られ、優れたパターンをより確実に得ることができる。含有量が４．０ｍｅｑ／ｇ以下であることにより、パターンが形成された赤外光カットフィルタの強度が損なわれるおそれを確実に回避できる。
【００２５】
アルカリ可溶性バインダーは、更に架橋性基を有することが好ましく、これにより、特に露光部の硬化性と未露光部のアルカリ現像性の双方を向上させることができ、また、耐久性の高いパターンが得られる点で好ましい。
ここで架橋性基とは、組成物から得られた塗布層を露光または加熱した際に、塗布層中で起こる重合反応の過程で樹脂バインダーを架橋させる基のことである。このような機能の基であれば特に限定されないが、例えば、重合性基（例えば、付加重合反応し得る官能基としてエチレン性不飽和結合基）、アミノ基、エポキシ基等が挙げられる。また、光照射によりラジカルになり得る官能基であってもよく、そのような架橋性基としては、例えば、チオール基、ハロゲン基等が挙げられる。なかでも、エチレン性不飽和結合基が好ましい。エチレン性不飽和結合基としては、スチリル基、（メタ）アクリロイル基、アリル基が好ましく、露光前の架橋性基の安定性と、パターン形成された赤外光カットフィルタの強度との両立の観点からは、（メタ）アクリロイル基であることがより好ましい。
【００２６】
アルカリ可溶性バインダーは、例えば、その架橋性基にフリーラジカル（重合開始ラジカルまたは重合性化合物の重合過程の生長ラジカル）が付加し、ポリマー間で直接にまたは重合性化合物の重合連鎖を介して付加重合して、ポリマー分子間に架橋が形成されて硬化することが好ましい。または、ポリマー中の原子（例えば、官能性架橋基に隣接する炭素原子上の水素原子）がフリーラジカルにより引き抜かれてポリマーラジカルが生成し、それが互いに結合することによって、ポリマー分子間に架橋が形成されて硬化することが好ましい。
【００２７】
アルカリ可溶性バインダー中における架橋性基の含有量は、特に制限はないが、０．５〜３．０ｍｅｑ／ｇが好ましく、１．０〜３．０ｍｅｑ／ｇがより好ましく、１．５〜２．８ｍｅｑ／ｇが特に好ましい。含有量が０．５ｍｅｑ／ｇ以上であることにより、硬化反応量が充分であり、高い感度が得られ、３．０ｍｅｑ／ｇ以下であることにより、組成物の耐乾燥性を高くすることができる。
ここで、含有量（ｍｅｑ／ｇ）は、例えば、ヨウ素価滴定により測定することができる。
架橋性基を有するアルカリ可溶性バインダーは、特開２００３−２６２９５８号公報に詳細に記載され、ここに記載の化合物を本発明にも使用することができる。
【００２８】
アルカリ可溶性バインダーの好適態様の一つとして、下記一般式（ＥＤ）で表される化合物（以下「エーテルダイマー」と称することもある。）を含む単量体成分を重合してなる重合体が挙げられる。この重合体を使用すれば、赤外光カットフィルタのパターン形成性がより優れる。
【００２９】
【化１】
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【００３０】
一般式（ＥＤ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基を表す。
Ｒ1およびＲ2で表される置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基としては、直鎖状または分岐状のアルキル基；アリール基；脂環式基；アルコキシで置換されたアルキル基；ベンジル等のアリール基で置換されたアルキル基；等が挙げられる。これらの中でも特に、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基、ベンジル基等のような酸や熱で脱離しにくい１級または２級炭素の置換基が耐熱性の点で好ましい。
【００３１】
エーテルダイマーの具体例としては、特開２０１２−２０８４９４号の段落［０５６５］（対応する米国特許出願公開第２０１２／２３５０９９号明細書の［０６９４］）に記載のエーテルダイマーの具体例が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。これらの中でも特に、ジメチル−２，２’−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジエチル−２，２’−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジシクロヘキシル−２，２’−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジベンジル−２，２’−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエートが好ましい。これらエーテルダイマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。一般式（ＥＤ）で示される化合物由来の構造体は、その他の単量体を共重合させてもよい。
【００３２】
本発明では、エーテルダイマー由来の構成単位が全体の１〜５０モル％であることが好ましく、１〜２０モル％であることがより好ましい。
エーテルダイマーと共に、その他の単量体を共重合させてもよい。
エーテルダイマーと共に共重合しうるその他の単量体としては、例えば、酸基を導入するための単量体、ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体、エポキシ基を導入するための単量体、および、これら以外の他の共重合可能な単量体が挙げられる。このような単量体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を用いてもよい。
【００３３】
酸基を導入するための単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸やイタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー、Ｎ−ヒドロキシフェニルマレイミド等のフェノール性水酸基を有するモノマー、無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー等が挙げられる。これらの中でも特に、（メタ）アクリル酸が好ましい。
また、酸基を導入するための単量体は、重合後に酸基を付与しうる単量体であってもよく、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の水酸基を有する単量体、グリシジル（メタ）アクリレート等のエポキシ基を有する単量体、２−イソシアナートエチル（メタ）アクリレート等のイソシアネート基を有する単量体等が挙げられる。重合後に酸基を付与しうる単量体を用いる場合、重合後に酸基を付与する処理を行う必要がある。重合後に酸基を付与する処理は、単量体の種類によって異なり、例えば、次の処理が挙げられる。水酸基を有する単量体を用いる場合であれば、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させる処理が挙げられる。エポキシ基を有する単量体を用いる場合であれば、例えば、Ｎ−メチルアミノ安息香酸、Ｎ−メチルアミノフェノール等のアミノ基と酸基を有する化合物を付加させか、または、例えば（メタ）アクリル酸のような酸を付加させた後に生じた水酸基に、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させる処理が挙げられる。イソシアネート基を有する単量体を用いる場合であれば、例えば、２−ヒドロキシ酪酸等の水酸基と酸基を有する化合物を付加させる処理が挙げられる。
【００３４】
一般式（ＥＤ）で表される化合物を含む単量体成分を重合してなる重合体が、酸基を導入するための単量体を含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全単量体成分中、５〜７０質量％が好ましく、より好ましくは１０〜６０質量％である。
【００３５】
ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸、イタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー；グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−（またはｍ−、またはｐ−）ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を有するモノマー；等が挙げられる。ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体を用いる場合、重合後にラジカル重合性二重結合を付与するための処理を行う必要がある。重合後にラジカル重合性二重結合を付与するための処理は、用いるラジカル重合性二重結合を付与しうるモノマーの種類によって異なり、例えば、次の処理が挙げられる。（メタ）アクリル酸やイタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマーを用いる場合であれば、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−（またはｍ−、またはｐ−）ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基とラジカル重合性二重結合とを有する化合物を付加させる処理が挙げられる。無水マレイン酸や無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマーを用いる場合であれば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の水酸基とラジカル重合性二重結合とを有する化合物を付加させる処理が挙げられる。グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−（またはｍ−、またはｐ−）ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を有するモノマーを用いる場合であれば、（メタ）アクリル酸等の酸基とラジカル重合性二重結合とを有する化合物を付加させる処理が挙げられる。
【００３６】
一般式（ＥＤ）で表される化合物を含む単量体成分を重合してなる重合体が、ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体を含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全単量体成分中、５〜７０質量％が好ましく、より好ましくは１０〜６０質量％である。
【００３７】
エポキシ基を導入するための単量体としては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−（またはｍ−、またはｐ−）ビニルベンジルグリシジルエーテル等が挙げられる。
一般式（ＥＤ）で表される化合物を含む単量体成分を重合してなる重合体が、エポキシ基を導入するための単量体を含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全単量体成分中、５〜７０質量％が好ましく、より好ましくは１０〜６０質量％である。
【００３８】
他の共重合可能な単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸メチル２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル等の（メタ）アクリル酸エステル類；スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物；Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等のＮ−置換マレイミド類；ブタジエン、イソプレン等のブタジエンまたは置換ブタジエン化合物；エチレン、プロピレン、塩化ビニル、アクリロニトリル等のエチレンまたは置換エチレン化合物；酢酸ビニル等のビニルエステル類；等が挙げられる。これらの中でも、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸ベンジル、スチレンが、透明性が良好で、耐熱性を損ないにくい点で好ましい。
【００３９】
一般式（ＥＤ）で表される化合物を含む単量体成分を重合してなる重合体が、他の共重合可能な単量体を含む場合、その含有割合は特に制限されないが、９５質量％以下が好ましく、８５質量％以下であるのがより好ましい。
【００４０】
一般式（ＥＤ）で表される化合物を含む単量体成分を重合してなる重合体の重量平均分子量は特に制限されないが、組成物により形成される塗膜の耐熱性の観点から、好ましくは２０００〜２０００００、より好ましくは５０００〜１０００００であり、更に好ましくは５０００〜２００００である。
また、一般式（ＥＤ）で表される化合物を含む単量体成分を重合してなる重合体が酸基を有する場合には、酸価が、好ましくは３０〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇ、より好ましくは５０〜４００ｍｇＫＯＨ／ｇであるのがよい。
【００４１】
一般式（ＥＤ）で表される化合物を含む単量体成分を重合してなる重合体は、少なくとも、エーテルダイマーを必須とする単量体を重合することにより、容易に得ることができる。このとき、重合と同時にエーテルダイマーの環化反応が進行してテトラヒドロピラン環構造が形成される。
一般式（ＥＤ）で表される化合物を含む単量体成分を重合してなる重合体の合成に適用される重合方法としては、特に制限はなく、従来公知の各種重合方法を採用することができるが、特に、溶液重合法によることが好ましい。詳細には、例えば、特開２００４−３００２０４号公報に記載されるポリマー（ａ）の合成方法に準じて、一般式（ＥＤ）で表される化合物を含む単量体成分を重合してなる重合体を合成することができる。
【００４２】
以下、一般式（ＥＤ）で表される化合物を含む単量体成分を重合してなる重合体の例示化合物を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。下記に示す例示化合物の組成比はモル％である。市販品としては、例えばアクリキュアーＲＤ−Ｆ８（アクリル系樹脂）（日本触媒社製）などが挙げられる。
【００４３】
【化２】
2016035633.tif 000004
【００４４】
【化３】
2016035633.tif 000005
【００４５】
組成物中における樹脂バインダー（特に、アルカリ可溶性バインダー）の含有量は特に制限されないが、赤外光カットフィルタの強度がより優れ、フォトリソ性および残渣の改善の点で、組成物全質量に対して、５〜５０質量％が好ましく、１０〜２５質量％がより好ましい。
【００４６】
（溶媒Ａ）
溶媒Ａは、１気圧における沸点が１７０℃以上２００℃以下の溶剤である。
溶媒Ａの沸点は１７０℃以上２００℃以下であり、赤外光カットフィルタの平坦塗布性、赤外光カットフィルタの表面特性、および、組成物の耐乾燥性の少なくとも一つがより優れる点（以後、単に「本発明の効果がより優れる点」とも称する）で、１８０℃以上１９３℃以下が好ましい。
溶媒Ａの沸点が１７０℃未満の場合、赤外光カットフィルタの平坦塗布性、または、組成物の耐乾燥性に劣る。また、溶媒Ａの沸点が２００℃超の場合、赤外光カットフィルタの表面にて模様が発生しやすい。
【００４７】
溶剤Ａの好適態様の一つとして、本発明の効果がより優れる点で、溶剤Ａ中に分子内に３つ以上の酸素原子を含むことが好ましく、酸素原子の数は３〜５であることがより好ましく、３がさらに好ましい。
溶剤Ａの好適態様としては、以下の式（Ｘ）または式（Ｙ）で表される溶剤が挙げられる。
式（Ｘ）      Ｒ１Ｏ−（Ｌ−Ｏ）ｎ−Ｒ２
式（Ｙ）      Ｒ１Ｏ−（Ｌ−Ｏ）ｍ−ＣＯ−Ｒ２
式（Ｘ）および式（Ｙ）中、Ｒ１は、水素原子またはアルキル基を表す。アルキル基に含まれる炭素数は特に制限されないが、１〜３が好ましく、１がより好ましい。
Ｒ２は、アルキル基を表す。アルキル基に含まれる炭素数は特に制限されないが、１〜３が好ましく、１がより好ましい。
Ｌは、アルキレン基を表す。アルキレン基に含まれる炭素数は特に制限されないが、３〜５が好ましく、３がより好ましい。
ｎは、２〜４の整数を表す。
ｍは、１〜２の整数を表す。
溶剤Ａの具体例としては、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル（沸点１８８℃）、シクロヘキサノールアセテート（沸点１７３℃）、ジプロピレングリコールジメチルエーテル（沸点１７１℃）、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（沸点１９２℃）、ジエチレングリコールジエチルエーテル（沸点１８９℃）、ジエチレングリコールモノメチルエーテル（沸点１９４℃）、プロピレングリコールジアセテート（沸点１９０℃）、３−メトキシブチルアセテート（沸点１７１℃）、プロピレングリコール−ｎ−ブチルエーテル（沸点１７０℃）、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル（沸点１７６℃）、ジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテル（沸点１７９℃）が挙げられる。
なお、溶剤Ａの好適態様の一つとして、溶剤Ａ中において、上記式（Ｘ）または式（Ｙ）で表される溶剤が主成分として含まれていることが好ましい。主成分とは、溶剤Ａ全質量に対して、式（Ｘ）または式（Ｙ）で表される溶剤の含有量が５０質量％超であることを意図する。
なお、溶剤Ａの他の好適態様の一つとして、溶剤Ａ中において、上記溶剤Ａの具体例として挙げた溶剤（例えば、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル）が主成分として含まれていることが好ましい。主成分とは、溶剤Ａ全質量に対して、上記溶剤Ａの具体例として挙げた溶剤の含有量が５０質量％超であることを意図する。
【００４８】
赤外光遮蔽組成物全質量に対する溶剤Ａの含有量は、０．１〜２０質量％であり、本発明の効果がより優れる点で、０．３〜５．０質量％が好ましく、０．７〜５．０質量％がより好ましく、２．０〜４．０質量％がさらに好ましい。
溶剤Ａの含有量が０．１質量％未満の場合、赤外光カットフィルタの平坦塗布性、または、組成物の耐乾燥性に劣る。また、溶剤Ａの含有量が２０質量％超の場合、赤外光カットフィルタ表面にて上述の模様が発生しやすい。
【００４９】
（溶剤Ｂ）
溶剤Ｂは、上記溶剤Ａとは異なる溶剤である。溶剤Ａと溶剤Ｂと異なる２種の溶剤を混合することで、組成物の均一性が向上し、環状の模様の発生を抑制していると予想される。溶剤Ｂの好適態様の一つとしては、１気圧における沸点が１７０℃未満である態様が挙げられる。
溶剤Ｂとしては、本発明の効果がより優れる点で、１気圧における沸点が１００℃以上１３０℃以下の溶剤Ｂ１、または、１気圧における沸点が１３０℃超１７０℃未満の溶剤Ｂ２が挙げられる。
溶剤Ｂ１の１気圧における沸点は１００℃以上１３０℃以下であり、１２０〜１３０℃が好ましい。
溶剤Ｂ２の１気圧における沸点は１３０℃超１７０℃未満であり、１４０〜１５０℃が好ましい。
なお、組成物の乾燥の終局状態においても流動性を保持することが好ましいため、同一の温度近傍で溶剤が一律に蒸発するよりは、徐々に揮発する方が良いと考えられる。従って、溶剤Ａの沸点と溶剤Ｂ２の沸点との差は２０℃以上があることが好ましい。同様に、溶剤Ｂ２の沸点と溶剤Ｂ１の沸点との差は１０〜４５℃であることが好ましく、１５〜３０℃であることがより好ましい。
【００５０】
溶剤Ｂ１の具体例としては、酢酸ブチル（沸点１２６℃）、エチレングリコールモノメチルエーテル（沸点１２５℃）、メチル−ｎ−ブチルケトン（沸点１２７℃）、テトラヒドロフラン（沸点１２６℃）などが挙げられる。
溶剤Ｂ２の具体例としては、プロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセタート（沸点１４５℃）、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート（沸点１４５℃）、乳酸エチル（沸点１５５℃）、ジエチレングリコールジメチルエーテル（沸点１６２℃）、３−メトキシブタノール（沸点１６１℃）、プロピレングリコール−ｎ−プロピルエーテル（沸点１５０℃）などが挙げられる。
【００５１】
赤外光遮蔽組成物全質量に対する溶剤Ｂの含有量は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、２０〜９０質量％が好ましく、４０〜７０質量％がより好ましい。
赤外光遮蔽組成物中における溶剤Ａと溶剤Ｂとの質量比（溶剤Ａの質量／溶剤Ｂの質量）は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、０．００５〜０．５００が好ましく、０．０１０〜０．２００がより好ましい。
赤外光遮蔽組成物に溶剤Ｂ１が含まれる場合、赤外光遮蔽組成物全質量に対する溶剤Ｂ１の含有量は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、０．１〜１０質量％が好ましく、０．５〜５．０質量％がより好ましい。
赤外光遮蔽組成物に溶剤Ｂ２が含まれる場合、赤外光遮蔽組成物全質量に対する溶剤Ｂ２の含有量は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、２０〜８０質量％が好ましく、３０〜７０質量％がより好ましい。
溶剤Ｂは１種のみを使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。なかでも、本発明の効果がより優れる点で、上記溶剤Ｂ１および上記溶剤Ｂ２を併用することが好ましい。
溶剤Ｂ１および溶剤Ｂ２を併用する場合、溶剤Ｂ１と溶剤Ｂ２との質量比（溶剤Ｂ１の質量／溶剤Ｂ２の質量）は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、０．００５〜０．５００が好ましく、０．０１０〜０．２００がより好ましい。
【００５２】
（その他成分）
上記組成物には、タングステン酸化物微粒子、樹脂バインダー、溶剤Ａおよび溶剤Ｂ以外の他の成分が含まれていてもよく、例えば、重合性化合物、界面活性剤、分散剤、重合開始剤、重合禁止剤、紫外線吸収剤、増感剤、架橋剤、硬化促進剤、フィラー、エラストマーなどが挙げられる。
以下、それぞれの成分について詳述する。
【００５３】
（重合性化合物）
重合性化合物としては、重合性基（酸、ラジカル、および、熱の少なくとも１種により反応する基）を分子内に有する化合物であればいずれを用いてもよく、好ましくは、分子内に複数の重合性基を有する多官能重合性化合物であることが好ましい。
好適に用いられる、酸、ラジカル、および、熱の少なくともいずれかに反応する重合性の官能基を有する重合性化合物としては、不飽和エステル官能基、不飽和アミド基、ビニルエーテル基、アリル基等のエチレン性不飽和基を有するエチレン性不飽和基含有化合物；メチロール化合物、ビスマレイミド化合物、ベンゾシクロブテン化合物、ビスアリルナジイミド化合物、およびベンゾオキサジン化合物などが挙げられる。
【００５４】
重合性化合物としては、一般的なラジカル重合性化合物が挙げられ、産業分野においてエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として広く知られる化合物を特に限定なく用いることができる。
これらは、例えば、モノマー、プレポリマー、すなわち２量体、３量体およびオリゴマー、またはそれらの混合物並びにそれらの共重合体などの化学的形態をもつ。
モノマーおよびその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸（例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など）、そのエステル類、アミド類、およびこれらの共重合体が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸エステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。
特に、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステルは、露光部において高い疎水性を発現できるので、アルカリ現像によって所望の形状を有するパターンを形成しやすく、また、耐久性の高いパターンが得られる点で好ましい。
また、ヒドロキシル基、アミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応物、または、上記不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。
【００５５】
また、イソシアネート基、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更に、ハロゲン基、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
【００５６】
不飽和カルボン酸エステルとしては、メタクリル酸エステルが好ましく、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、１，３−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔ｐ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔ｐ−（メタクリルオキシエトキシ）フェニル〕ジメチルメタン等、およびこれらのＥＯ（エチレンオキサイド）変性体、ＰＯ（プロピレンオキサイド）変性体が挙げられる。
【００５７】
また、不飽和カルボン酸エステルとしては、イタコン酸エステルも好ましく、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、１，３−ブタンジオールジイタコネート、１，４−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。
【００５８】
脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、（メタ）アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、１，３−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー等がある。また、これらの化合物のＥＯ変性体、または、ＰＯ変性体も挙げられる。
【００５９】
その他のエステルの例として、例えば、特公昭５１−４７３３４号公報、特開昭５７−１９６２３１号公報に記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭５９−５２４０号公報、特開昭５９−５２４１号公報、特開平２−２２６１４９号公報に記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平１−１６５６１３号公報に記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。更に、前述のエステルモノマーは混合物としても使用することができる。
【００６０】
また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭５４−２１７２６号に記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。
【００６１】
また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭４８−４１７０８号公報中に記載されている１分子に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に、下記一般式（Ｅ）で示される水酸基を含有するビニルモノマーを付加させた１分子中に２個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。
【００６２】
ＣＨ2＝Ｃ（Ｒ4）ＣＯＯＣＨ2ＣＨ（Ｒ5）ＯＨ  （Ｅ）
〔ただし、Ｒ4およびＲ5は、各々独立に、ＨまたはＣＨ３を示す。〕
【００６３】
また、特開昭５１−３７１９３号、特公平２−３２２９３号、特公平２−１６７６５号に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭５８−４９８６０号、特公昭５６−１７６５４号、特公昭６２−３９４１７号、特公昭６２−３９４１８号に記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭６３−２７７６５３号、特開昭６３−２６０９０９号、特開平１−１０５２３８号に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることもできる。
【００６４】
その他の例としては、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号、各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭４６−４３９４６号、特公平１−４０３３７号、特公平１−４０３３６号に記載の特定の不飽和化合物や、特開平２−２５４９３号に記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、ある場合には、特開昭６１−２２０４８号に記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。更に日本接着協会誌ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７、３００〜３０８ページ（１９８４年）に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。
【００６５】
本発明において、ラジカル重合性化合物を添加する場合、硬化感度の観点から、２個以上のエチレン性不飽和結合を含有する多官能重合性化合物を用いることが好ましく、３個以上の含有することが更に好ましい。なかでも、（メタ）アクリル酸エステル構造を２個以上含有することが好ましく、３個以上含有することがより好ましく、４個以上含有することが最も好ましい。
また、硬化感度、および、未露光部の現像性の観点からは、ＥＯ変性体を含有する化合物が好ましく、硬化感度、および、露光部強度の観点からは、ウレタン結合を含む化合物も好ましく用いられる。更に、パターン形成時の現像性の観点からは、酸基を有する化合物が好ましく用いられる。
【００６６】
以上の観点より、本発明における重合性化合物としては、ビスフェノールＡジアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレートＥＯ変性体、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートＥＯ変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートＥＯ変性体、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートなどが好ましく挙げられ、また、市販品としては、ウレタンオリゴマーＵＡＳ−１０、ＵＡＢ−１４０（以上、山陽国策パルプ社製）が好ましい。
【００６７】
なかでも、ビスフェノールＡジアクリレートＥＯ変性体、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートＥＯ変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートＥＯ変性体などが、市販品としては、ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬社製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社製）、Ａ−ＤＣＰ（新中村化学工業社製）がより好ましい。
また、酸基を有するエチレン性不飽和化合物類も好適であり、市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製のカルボキシル基含有３官能アクリレートを含むＴＯ−７５６、およびカルボキシル基含有５官能アクリレートを含むＴＯ−１３８２などが挙げられる。
その他、高耐熱性の重合性化合物として、例えば、ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）、ビスアリルナジイミド（ＢＡＮＩ）、ベンゾオキサジン、メラミンおよびその類縁体などが挙げられる。
【００６８】
このような重合性化合物のうち、２官能のものとしては、新中村化学社製ＮＫエステル Ａ−ＢＰＥ−２０、共栄化学社製ライトアクリレートＤＣＰ−Ａが挙げられ、３官能および４官能の混合物としては、東亞合成社製アロニックスＭ−３０５、Ｍ−５１０が挙げられ、４官能のものとしては日本化薬社製ＫＡＹＡＲＡＤ ＲＰ−１０４０、新中村科学社製ＮＫエステル Ａ−ＴＭＭＴが挙げられ、５官能体および６官能体の混合物としては日本化薬社製ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡが挙げられ、６官能体としては日本化薬社製ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＣＡ−２０、新中村科学社製ＮＫエステル Ａ−ＤＰＨ−１２Ｅが挙げられる。また、東亞合成社製アロニックスＴＯ−７５６も挙げられる。
また、重合性化合物は２種以上を使用することが可能である。
【００６９】
組成物中における重合性化合物の含有量は特に制限されないが、赤外光カットフィルタの強度がより優れる点で、組成物全質量に対して、１〜２０質量％が好ましく、３〜１０質量％がより好ましい。
【００７０】
（界面活性剤）
組成物には、塗布性をより向上させる観点から、界面活性剤が含まれていてもよい。
界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。特に、組成物は、フッ素系界面活性剤、およびシリコーン系界面活性剤の少なくともいずれかを含有することで、塗布液として調製したときの液特性（特に、流動性）がより向上する。これによって、塗布厚の均一性や省液性がより改善する。
即ち、フッ素系界面活性剤およびシリコーン系界面活性剤の少なくともいずれかを含有する組成物をする場合、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μｍ程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。
【００７１】
フッ素系界面活性剤のフッ素含有率は、３〜４０質量％が好適であり、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率が上記範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、組成物中における溶解性も良好である。
【００７２】
フッ素系界面活性剤として具体的には、例えば、メガファックＦ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７６、同Ｆ１７７、同Ｆ１４１、同Ｆ１４２、同Ｆ１４３、同Ｆ１４４、同Ｒ３０、同Ｆ４３７、同Ｆ４７５、同Ｆ４７９、同Ｆ４８２、同Ｆ５５４、同Ｆ７８０、同Ｆ７８１、同Ｆ７８１Ｆ（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、同ＦＣ４３１、同ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ１０６８、同ＳＣ−３８１、同ＳＣ−３８３、同Ｓ３９３、同ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）、ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。また、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落０５５２（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の［０６７８］）等に記載の界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
ノニオン系界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリルエーテル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、グリセリン脂肪酸エステル、オキシエチレンオキシプロピレンブロックコポリマー、アセチレングリコール系界面活性剤、アセチレン系ポリオキシエチレンオキシド等が挙げられる。これらは単独あるいは２種以上を用いることができる。
具体的な商品名としては、サーフィノール６１、８２、１０４、１０４Ｅ、１０４Ｈ、１０４Ａ、１０４ＢＣ、１０４ＤＰＭ、１０４ＰＡ、１０４ＰＧ−５０、１０４Ｓ、４２０、４４０、４６５、４８５、５０４、ＣＴ−１１１、ＣＴ−１２１、ＣＴ−１３１、ＣＴ−１３６、ＣＴ−１４１、ＣＴ−１５１、ＣＴ−１７１、ＣＴ−３２４、ＤＦ−３７、ＤＦ−５８、ＤＦ−７５、ＤＦ−１１０Ｄ、ＤＦ−２１０、ＧＡ、ＯＰ−３４０、ＰＳＡ−２０４、ＰＳＡ−２１６、ＰＳＡ−３３６、ＳＥ、ＳＥ−Ｆ、ＴＧ、ＧＡ、ダイノール６０４（以上、日信化学（株）およびＡｉｒＰｒｏｄｕｃｔｓ＆Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ社）、オルフィンＡ、Ｂ、ＡＫ−０２、ＣＴ−１５１Ｗ、Ｅ１００４、Ｅ１０１０、Ｐ、ＳＰＣ、ＳＴＧ、Ｙ、３２Ｗ、ＰＤ−００１、ＰＤ−００２Ｗ、ＰＤ−００３、ＰＤ−００４、ＥＸＰ．４００１、ＥＸＰ．４０３６、ＥＸＰ．４０５１、ＡＦ−１０３、ＡＦ−１０４、ＳＫ−１４、ＡＥ−３（以上、日信化学（株））アセチレノールＥ００、Ｅ１３Ｔ、Ｅ４０、Ｅ６０、Ｅ８１、Ｅ１００、Ｅ２００（以上全て商品名、川研ファインケミカル（株）社製）等を挙げることができる。
その他、ノニオン系界面活性剤として具体的には、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落０５５３（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の[０６７９]）等に記載のノニオン系界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
カチオン系界面活性剤として具体的には、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落０５５４（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の[０６８０]）に記載のカチオン系界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
アニオン系界面活性剤として具体的には、Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）社製）等が挙げられる。
【００７３】
シリコーン系界面活性剤としては、例えば、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落０５５６（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の［０６８２］）等に記載のシリコーン系界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。また、東レ・ダウコーニング（株）製「トーレシリコーンＳＦ８４１０」、「同ＳＦ８４２７」、「同ＳＨ８４００」、「ＳＴ８０ＰＡ」、「ＳＴ８３ＰＡ」、「ＳＴ８６ＰＡ」、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製「ＴＳＦ−４００」、「ＴＳＦ−４０１」、「ＴＳＦ−４１０」、「ＴＳＦ−４４４６」、信越シリコーン株式会社製「ＫＰ３２１」、「ＫＰ３２３」、「ＫＰ３２４」、「ＫＰ３４０」、「ＫＦ６００１」、「ＫＦ６００２」、「ＫＦ６００３」等も例示される。
【００７４】
組成物中における界面活性剤の含有量は特に制限されないが、赤外光カットフィルタの強度がより優れる点で、組成物全質量に対して、０．０００１〜０．１０００質量％が好ましく、０．００１０〜０．０７００質量％がより好ましい。
【００７５】
（分散剤）
組成物には、分散剤が含まれていてもよい。分散剤が含まれることにより、タングステン酸化物微粒子の組成物中での分散安定性が向上する。なお、分散剤は、上述したバインダーとしても機能する。
分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、および、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等の界面活性剤等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
【００７６】
表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子としては、例えば、特開平３−１１２９９２号公報、特表２００３−５３３４５５号公報等に記載の末端にりん酸基を有する高分子、特開２００２−２７３１９１号公報等に記載の末端にスルホン酸基を有する高分子、特開平９−７７９９４号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有する高分子、特開２００８−２９９０１号公報等に記載の片末端に水酸基またはアミノ基を有するオリゴマーまたはポリマーと酸無水物で変性して製造される高分子などが挙げられる。また、特開２００７−２７７５１４号公報に記載の高分子末端に２個以上のタングステン酸化物微粒子表面へのアンカー部位（酸基、塩基性基、有機色素の部分骨格やヘテロ環等）を導入した高分子も分散安定性に優れ好ましい。
【００７７】
表面へのアンカー部位を有するグラフト型高分子としては、例えば、特開昭５４ー３７０８２号公報、特表平８−５０７９６０号公報、特開２００９−２５８６６８号公報等に記載のポリ（低級アルキレンイミン）とポリエステルの反応生成物、特開平９−１６９８２１号公報等に記載のポリアリルアミンとポリエステルの反応生成物、特開２００９−２０３４６２号公報に記載の塩基性基と酸性基を有する両性分散樹脂、特開平１０−３３９９４９号、特開２００４−３７９８６号公報等に記載のマクロモノマーと、窒素原子モノマーとの共重合体、特開２００３−２３８８３７号公報、特開２００８−９４２６号公報、特開２００８−８１７３２号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有するグラフト型高分子、特開２０１０−１０６２６８号公報等に記載のマクロモノマーと酸基含有モノマーの共重合体等が挙げられる。
【００７８】
表面へのアンカー部位を有するグラフト型高分子をラジカル重合で製造する際に用いるマクロモノマーとしては、公知のマクロモノマーを用いることができ、東亜合成（株）製のマクロモノマーＡＡ−６（末端基がメタクリロイル基であるポリメタクリル酸メチル）、ＡＳ−６（末端基がメタクリロイル基であるポリスチレン）、ＡＮ−６Ｓ（末端基がメタクリロイル基であるスチレンとアクリロニトリルの共重合体）、ＡＢ−６（末端基がメタクリロイル基であるポリアクリル酸ブチル）、ダイセル化学工業（株）製のプラクセルＦＭ５（メタクリル酸２−ヒドロキシエチルのε−カプロラクトン５モル当量付加品）、ＦＡ１０Ｌ（アクリル酸２−ヒドロキシエチルのε−カプロラクトン１０モル当量付加品）、および特開平２−２７２００９号公報に記載のポリエステル系マクロモノマー等が挙げられる。これらの中でも、特に柔軟性かつ親溶剤性に優れるポリエステル系マクロモノマーが、組成物におけるタングステン酸化物微粒子の分散性、および分散安定性の観点から特に好ましく、更に、特開平２−２７２００９号公報に記載のポリエステル系マクロモノマーで表されるポリエステル系マクロモノマーが最も好ましい。
表面へのアンカー部位を有するブロック型高分子としては、特開２００３−４９１１０号公報、特開２００９−５２０１０号公報等に記載のブロック型高分子が好ましい。
【００７９】
分散剤としては、例えば、公知の分散剤や界面活性剤を適宜選択して用いることができる。
そのような具体例としては、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０１（ポリアミドアミン燐酸塩）、１０７（カルボン酸エステル）、１１０（酸基を含む共重合物）、１３０（ポリアミド）、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１７０（高分子共重合物）」、「ＢＹＫ−Ｐ１０４、Ｐ１０５（高分子量不飽和ポリカルボン酸）」、ＥＦＫＡ社製「ＥＦＫＡ４０４７、４０５０、４０１０（ポリウレタン系）、ＥＦＫＡ４３３０、４３４０（ブロック共重合体）、４４００〜４４０２（変性ポリアクリレート）、５０１０（ポリエステルアミド）、６２２０（脂肪酸ポリエステル）、６７４５（フタロシアニン誘導体）」、味の素ファンテクノ社製「アジスパーＰＢ８２１、ＰＢ８２２、ＰＢ８８０、ＰＢ８８１」、共栄社化学社製「フローレンＴＧ−７１０（ウレタンオリゴマー）」、「ポリフローＮｏ．５０Ｅ、Ｎｏ．３００（アクリル系共重合体）」、楠本化成社製「ディスパロンＫＳ−８６０、８７３ＳＮ、８７４、＃２１５０（脂肪族多価カルボン酸）、＃７００４（ポリエーテルエステル）、ＤＡ−７０３−５０、ＤＡ−７０５、ＤＡ−７２５」、花王社製「デモールＲＮ、Ｎ（ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物）、ＭＳ、Ｃ、ＳＮ−Ｂ（芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物）」、「ホモゲノールＬ−１８（高分子ポリカルボン酸）」、「エマルゲン９２０、９３０、９３５、９８５（ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル）」、「アセタミン８６（ステアリルアミンアセテート）」、日本ルーブリゾール（株）製「ソルスパース５０００（フタロシアニン誘導体）、１３２４０（ポリエステルアミン）、３０００、１７０００、２７０００（末端部に機能部を有する高分子）、２４０００、２８０００、３２０００、３８５００（グラフト型高分子）」、日光ケミカル社製「ニッコールＴ１０６（ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート）、ＭＹＳ−ＩＥＸ（ポリオキシエチレンモノステアレート）」、川研ファインケミカル（株）製  ヒノアクトＴ−８０００Ｅ等、信越化学工業（株）製  オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１、裕商（株）製「Ｗ００１：カチオン系界面活性剤」、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤、「Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７」等のアニオン系界面活性剤、森下産業（株）製「ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０」、サンノプコ（株）製「ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００」等の高分子分散剤、（株）ＡＤＥＫＡ製「アデカプルロニックＬ３１、Ｆ３８、Ｌ４２、Ｌ４４、Ｌ６１、Ｌ６４、Ｆ６８、Ｌ７２、Ｐ９５、Ｆ７７、Ｐ８４、Ｆ８７、Ｐ９４、Ｌ１０１、Ｐ１０３、Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３」、およ��三洋化成（株）製「イオネット（商品名）Ｓ−２０」等が挙げられる。
【００８０】
これらの分散剤は、単独で使用してもよく、２種以上を組み合わせて使用してもよい。また、分散剤は、アンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、またはブロック型高分子と伴に、アルカリ可溶性樹脂と併用して用いてもよい。アルカリ可溶性樹脂としては、（メタ）アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を変性した樹脂が挙げられるが、特に（メタ）アクリル酸共重合体が好ましい。また、特開平１０−３００９２２号公報に記載のＮ位置換マレイミドモノマー共重合体、特開平７−３１９１６１号公報に記載の重合性基を含有するアルカリ可溶性樹脂、特開２０１２−１２２０４５号公報の０１７３欄以降（対応する米国特許出願公開第２０１３／００７２６１５の０３１６欄以降）に記載される分散樹脂（具体例としては、特開２０１０−１０６２６８号公報の段落００７９（対応する米国特許出願公開第２０１１／０１２４８２４号明細書の[０１２１]）以降の例示化合物１〜７１）も好ましい。
【００８１】
分散剤を用いる場合には、まず、タングステン酸化物微粒子（および必要に応じて、その他の赤外光遮蔽剤）と分散剤と、適切な溶媒により分散組成物を調製した後、他の成分と配合することが分散性向上の観点から好ましい。
組成物は、分散剤を含んでいてもいなくてもよいが、含む場合、タングステン酸化物微粒子の総質量に対して、１０〜７０質量％が好ましく、３０〜６０質量％がより好ましい。
【００８２】
（重合開始剤）
組成物には、重合開始剤が含まれていてもよい。重合開始剤が含まれる場合、重合性化合物などの重合がより効率的に進行し、膜強度に優れた赤外光カットフィルタが得られる。
重合開始剤としては、光、熱のいずれか或いはその双方により重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、光重合開始剤であることが好ましい。光で重合を開始させる場合、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましい。
また、熱で重合を開始させる場合には、１５０℃〜２５０℃で分解する開始剤が好ましい。
【００８３】
重合開始剤としては、少なくとも芳香族基を有する化合物であることが好ましく、例えば、アシルホスフィン化合物、アセトフェノン化合物、α−アミノケトン化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾインエーテル化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物、オキシム化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、トリハロメチル化合物、アゾ化合物、有機過酸化物、ジアゾニウム化合物、ヨードニウム化合物、スルホニウム化合物、アジニウム化合物、ベンゾインエーテル化合物、ケタール誘導体化合物、メタロセン化合物等のオニウム塩化合物、有機硼素塩化合物、ジスルホン化合物などが挙げられる。
感度の観点から、オキシム化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、アシルホスフィン化合物、α−アミノケトン化合物、トリハロメチル化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、および、チオール化合物が好ましい。なかでも、オキシム化合物またはα−アミノケトン化合物がより好ましく、オキシム化合物がさらに好ましい。
ヒドロキシアセトフェノン化合物としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ−１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９，ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１２７（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。アミノアセトフェノン化合物としては、市販品であるＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９、および、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。アシルホスフィン化合物としては市販品であるＩＲＧＡＣＵＲＥ−８１９やＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。
オキシム化合物の市販品としては、ＢＡＳＦ社製 ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ ０１（１．２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）］）、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ ０２（エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（ｏ−アセチルオキシム））等が好適なものとして挙げられる。
オキシム化合物としては、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落０５１３（対応する米国特許出願公開第２０１２／２３５０９９号明細書の[０６３２]）以降の式（ＯＸ−１）、（ＯＸ−２）または（ＯＸ−３）で表される化合物の説明を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【００８４】
オキシム化合物の例としては、特開２０１２−１１３１０４号公報の段落［００９２］から［００９６］に記載されている重合開始剤が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
また、オキシム化合物の市販品としては、ＴＲＯＮＬＹ ＴＲ−ＰＢＧ−３０４、ＴＲＯＮＬＹ ＴＲ−ＰＢＧ−３０９、ＴＲＯＮＬＹ ＴＲ−ＰＢＧ−３０５（常州強力電子新材料有限公司（CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD）製）などが挙げられる。
【００８５】
組成物中における重合開始剤の含有量は特に制限されないが、耐乾燥性に優れる点で、組成物全質量に対して、０．１〜１０質量％が好ましく、０．５〜５．０質量％がより好ましい。
【００８６】
（重合禁止剤）
組成物には、重合禁止剤が含まれていてもよい。重合禁止剤が含まれると、組成物の製造中または保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止することができる。
重合禁止剤としては公知の化合物が使用でき、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
組成物中における重合禁止剤の含有量は特に制限されないが、全固形分質量に対して、０．０５〜０．０００１質量％が好ましく、０．０１〜０．０００５質量％がより好ましい。
【００８７】
（紫外線吸収剤（ＵＶ吸収剤））
組成物には、紫外線吸収剤が含まれていてもよい。紫外線吸収剤が含まれることにより、基板上に残る残渣を低減することができる。
紫外線吸収剤は、光や熱により重合性化合物の重合を開始する機能を持たない（すなわち、重合開始剤には該当しない）ものを指す。ここで、「重合性化合物の重合を開始する機能を持たない」とは、実質的には、紫外線吸収剤が、光や熱のエネルギーを受けても、重合性化合物の重合を開始するための活性種を発生しないことを意味する。
より具体的には、紫外線吸収剤は、紫外線または可視光線（より具体的には、波長３００〜４５０ｎｍの波長の光）に対して感光性を有さず、また、熱（より具体的には、例えば、１５０℃〜２５０℃の熱）に対する感熱性を有さないものが好ましい。ここで、「感光性」、「感熱性」とは、紫外線または可視光線、あるいは、熱により、化学構造の変化を伴って目的の機能を発現することを意味する。
【００８８】
更に、紫外線吸収剤は、重合性化合物の重合を開始する機能を持たないのみならず、後述の増感剤の特性も持たないものが好ましい。ここで、増感剤の特性とは、自らが光を吸収して得たエネルギーを他の物質（重合開始剤など）に渡すことで、重合を開始させる特性を言う。
【００８９】
紫外線吸収剤は、特に波長３００ｎｍから４３０ｎｍの間に極大吸収波長を有するものが好ましく、中でも３３０ｎｍから４２０ｎｍの間に極大吸収波長を有するものが特に好ましい。
紫外線吸収剤は、より好ましくは、（Ｉ）波長３４０ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲、（ＩＩ）波長３８０ｎｍ〜４２０ｎｍの範囲、および、（ＩＩＩ）波長４２０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲、のいずれか少なくとも１つの範囲に、極大吸収波長を有することが好ましい。
【００９０】
紫外線吸収剤の種類は特に制限されないが、例えば、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、置換アクリロニトリル系、トリアジン系などの紫外線吸収剤を好適に使用することができる。
サリシレート系紫外線吸収剤の例としては、フェニルサリシレート、ｐ−オクチルフェニルサリシレート、ｐ−ｔ−ブチルフェニルサリシレートなどが挙げられ、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤の例としては、２，２’−ジヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２，２’−ジヒドロキシ−４，４’−ジメトキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２，４−ジヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−オクトキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤の例としては、２−（２’−ヒドロキシ−３’，５’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’−ｔｅｒｔ−ブチル−５’−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’−ｔｅｒｔ−アミル−５’−イソブチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’−イソブチル−５’−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’−イソブチル−５’−プロピルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’，５’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−５’−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−［２’−ヒドロキシ−５’−（１，１，３，３−テトラメチル）フェニル］ベンゾトリアゾールなどが挙げられる。
【００９１】
置換アクリロニトリル系紫外線吸収剤の例としては、２−シアノ−３，３−ジフェニルアクリル酸エチル、２−シアノ−３，３−ジフェニルアクリル酸２−エチルヘキシルなどが挙げられる。更に、トリアジン系紫外線吸収剤の例としては、２−［４−［（２−ヒドロキシ−３−ドデシルオキシプロピル）オキシ］−２−ヒドロキシフェニル］−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−［４−［（２−ヒドロキシ−３−トリデシルオキシプロピル）オキシ］−２−ヒドロキシフェニル］−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−（２，４−ジヒドロキシフェニル）−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジンなどのモノ（ヒドロキシフェニル）トリアジン化合物；２，４−ビス（２−ヒドロキシ−４−プロピルオキシフェニル）−６−（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（２−ヒドロキシ−３−メチル−４−プロピルオキシフェニル）−６−（４−メチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（２−ヒドロキシ−３−メチル−４−ヘキシルオキシフェニル）−６−（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジンなどのビス（ヒドロキシフェニル）トリアジン化合物；２，４−ビス（２−ヒドロキシ−４−ブトキシフェニル）−６−（２，４−ジブトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４，６−トリス（２−ヒドロキシ−４−オクチルオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４，６−トリス［２−ヒドロキシ−４−（３−ブトキシ−２−ヒドロキシプロピルオキシ）フェニル］−１，３，５−トリアジンなどのトリス（ヒドロキシフェニル）トリアジン化合物等が挙げられる。
他にジエチルアミノ−フェニルスルホニル−ペンタジエノエイト系紫外線吸収剤（富士フイルムファインケミカル製、商品名：ＤＰＯ）なども好適に用いられる。
また、特開２０１２−３２５５６号公報の段落０１０３（対応するＷＯ２０１２／０１５０７６号明細書の３０頁目））以降の一般式（１）〜（８）のいずれかで表される化合物やその具体例（１−１）〜（８−３）を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【００９２】
組成物中における紫外線吸収剤の含有量は特に制限されないが、耐乾燥性に優れ、残渣抑制の点で、組成物全質量に対して、０．０１〜１０．０質量％が好ましく、０．０５〜１．５０質量％がより好ましい。
【００９３】
（増感剤）
組成物には、増感剤が含まれていてもよい。
増感剤としては、上述した光重合開始剤に対し、電子移動機構またはエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。
使用される増感剤の種類は特に制限されないが、例えば、特開２０１２−１２２０４５号公報の段落［０２０２］に例示される化合物が挙げられる。
組成物中における増感剤の含有量は特に制限されないが、組成物中の全固形分に対して、０．０１〜１０．０質量％が好ましく、０．１０〜４．００質量％がより好ましい。
【００９４】
（架橋剤）
組成物には、架橋剤が含まれていてもよい。架橋剤が含まれることにより、赤外光カットフィルタの強度の向上が期待できる。
架橋剤は、架橋性基を有する化合物であることが好ましく、架橋性基を２個以上で有する化合物であることがより好ましい。架橋性基の具体例としては、オキセタン基、シアネート基、および、アルカリ可溶性バインダーが有していてもよい架橋性基について挙げたものと同様の基を好適に挙げることができ、中でも、エポキシ基、オキセタン基またはシアネート基であることが好ましい。すなわち、架橋剤は、特にエポキシ化合物、オキセタン化合物またはシアネート化合物が好ましい。
使用される架橋剤の種類は特に制限されないが、例えば、特開２０１２−１２２０４５号公報の段落［０２０４］〜［０２０９］に例示される化合物が挙げられる。
【００９５】
（硬化促進剤）
組成物には、硬化促進剤が含まれていてもよい。
使用される硬化促進剤の種類は特に制限されないが、例えば、特開２０１２−１２２０４５号公報の段落［０２１１］に例示される化合物が挙げられる。
【００９６】
（フィラー）
組成物には、フィラーが含まれていてもよい。組成物にフィラーが含まれることにより、耐傷性、耐摩耗性の高い赤外光カットフィルタが得られる。
フィラーとしては、シランカップリング剤で表面処理された球状のシリカが好適に挙げられる。
使用されるフィラーの種類は特に制限されないが、例えば、特開２０１２−１２２０４５号公報の段落［０２１２］〜［０２２２］に例示されるフィラーが挙げられる。
【００９７】
（エラストマー）
組成物には、エラストマーが含まれていてもよい。組成物にエラストマーが含まれることにより、赤外光カットフィルタの密着性が向上すると共に、耐熱性、耐熱衝撃性、柔軟性および強靭性をより向上させることができる。
使用されるエラストマーの種類は特に制限されないが、例えば、特開２０１２−１２２０４５号公報の段落［０２２５］〜［０２３５］に例示されるエラストマーが挙げられる。
【００９８】
組成物には、上記必須成分や上記好ましい添加剤に加え、本発明の効果を損なわない限りにおいて、目的に応じてその他の成分を適宜選択して用いてもよい。
併用可能なその他の成分としては、例えば、熱硬化促進剤、可塑剤、着色剤（着色顔料あるいは染料）などが挙げられ、更に基材表面への密着促進剤およびその他の助剤類（例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など）を使用してもよい。
【００９９】
上述した使用可能な顔料としては、例えば、赤色有機顔料、黄色有機顔料、紫色有機顔料、および橙色有機顔料の群から選ばれる有機顔料の少なくとも１種が挙げられる。上記顔料を併用することにより、色味が改善される。
有機顔料としては、例えば、ジケトピロロピロール系顔料、ペリレン系顔料、ベンズイミダゾロン系顔料、ペリノン系顔料、ナフトールＡＳ系顔料、アンスラキノン系顔料、ピラゾロン系顔料、またはイソインドリノン系顔料が挙げられる。より具体的には、特開２０１１−０５７９６４号公報の段落００３１〜００３３（対応する米国特許出願公開第２０１２/０１０４５２９号明細書においては段落００４５〜００５１）に記載の顔料が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【０１００】
また、組成物には、近赤外線の遮光性を向上させるために、近赤外線吸収色素を使用してもよい。
近赤外線吸収色素の好適態様としては、第１の波長領域：８００〜８６９ｎｍに極大吸収波長を有する色素、第２の波長領域：８７０〜９０９ｎｍに極大吸収波長を有する色素、第３の波長領域：９１０〜９４９ｎｍに極大吸収波長を有する色素、または、第４の波長領域：９５０〜１０００ｎｍに極大吸収波長を有する色素が好ましい。
第１の波長領域に極大吸収波長を有するフタロシアニン系色素としては、日本触媒社製の商品名で、「イーエクスカラーＩＲ−１４」（λｍａｘ：８１９ｎｍ）、「イーエクスカラーＩＲ−１０Ａ」（λｍａｘ：８４９ｎｍ）等が挙げられる。なお、商品名の後ろの括弧内に示すλｍａｘは極大吸収波長である。
第２の波長領域に極大吸収波長を有するフタロシアニン系色素としては、「イーエクスカラーＩＲ−２８」（λｍａｘ：８８０ｎｍ）、「イーエクスカラーＩＲ−１２」（λｍａｘ：８８３ｎｍ）、「ＴＸ−ＥＸ−８２０」（λｍａｘ：８９１ｎｍ）等が挙げられる。
第３の波長領域に極大吸収波長を有するフタロシアニン系色素としては、「ＴＸ−ＥＸ−９０６」（λｍａｘ：９２２ｎｍ）等が挙げられる。
第４の波長領域に極大吸収波長を有するフタロシアニン系色素としては、「イーエクスカラーＩＲ−９１５」（λｍａｘ：９６３ｎｍ）、「イーエクスカラーＩＲ−９１０」（λｍａｘ：９６８ｎｍ）、「イーエクスカラーＩＲ−９０６」（λｍａｘ：９６８ｎｍ）等が挙げられる。
なお、８５０〜９５０ｎｍの光を遮光するためには、日本触媒のExcolor IR-28, Excolor 815K（フタロシアニン系顔料）が好適に挙げられる。
【０１０１】
本発明の組成物は、上記各成分を混合して調製できる。
本発明の組成物の用途は、特に限定されないが、赤外光遮蔽層を形成することができ、例えば、赤外光カットフィルタに用いることができる。例えば、固体撮像素子の受光側における赤外光カットフィルタ、固体撮像素子の裏面側（受光側とは反対側）における赤外光カットフィルタなどに用いることもできる。
また、本発明の組成物を、カラーフィルタ上または平坦化層上に直接塗布し塗膜形成して用いてもよい。
本発明の組成物は、塗布可能な状態で供給できることから、固体撮像素子の所望の部材や位置に赤外光カットフィルタを容易に形成できる。
【０１０２】
＜赤外光カットフィルタ＞
次に、本発明の赤外光カットフィルタについて説明する。
本発明の赤外光カットフィルタは、上述した本発明の組成物を用いて形成される。
赤外光カットフィルタの膜厚は、目的に応じて適宜選択することができるが、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、遮光能を維持するため、例えば、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上がより好ましい。本発明によれば、高い赤外光遮蔽性を有することから、赤外光カットフィルタの膜厚を薄くすることができる。
赤外光カットフィルタの波長４００〜１３００ｎｍにおける最大透過率は特に制限されないが、６０％以上が好ましく、６５％以上がより好ましい。
また、赤外光カットフィルタの波長９００〜１３００ｎｍにおける最大透過率は特に制限されないが、２０％以下が好ましく、１０％以下がより好ましく、５％以下が最も好ましい。
【０１０３】
赤外光カットフィルタは、赤外光を吸収・カットする機能を有するレンズ（デジタルカメラや携帯電話や車載カメラ等のカメラ用レンズ、ｆ−θレンズ、ピックアップレンズ等の光学レンズ）および半導体受光素子用の光学フィルタ、近接照度センサ用赤外光カットフィルタ、省エネルギー用に熱線を遮断する赤外光カットフィルタや赤外光吸収板、太陽光の選択的な利用を目的とする農業用コーティング剤、赤外光の吸収熱を利用する記録媒体、電子機器用や写真用近赤外光カットフィルタ、保護めがね、サングラス、熱線遮断フィルム、光学文字読み取り記録、機密文書複写防止用、電子写真感光体、レーザー溶着、などに用いられる。またＣＣＤカメラ用ノイズカットフィルター、ＣＭＯＳイメージセンサ用フィルタとしても有用である。
【０１０４】
赤外光カットフィルタの製造方法は特に制限されないが、本発明の組成物を支持体に適用（好ましくは滴下法、塗布または印刷）することにより膜を形成する工程、膜を乾燥する工程を経て製造できる。膜厚、積層構造などについては、目的に応じて適宜選択することができる。また、更に、後述するように、パターンを形成する工程を行ってもよい。
【０１０５】
膜を形成する工程は、例えば、本発明の組成物を、支持体に滴下法（ドロップキャスト）、スピンコーター、スリットスピンコーター、スリットコーター、スクリーン印刷、アプリケータ塗布等を用いることにより実施できる。
本発明の組成物を適用する支持体は、ガラスなどからなる透明基板であってもよい。また、固体撮像素子中の各基材であってもよい。また、固体撮像素子の受光側に設けられた別の基板であってもよい。また、固体撮像素子の受光側に設けられた平坦化層等の層であってもよい。
【０１０６】
パターン状の赤外光カットフィルタを製造する手順は特に制限されないが、例えば、本発明の組成物を支持体上に適用して膜状の組成物層を形成する工程と、組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部を現像除去してパターンを形成する工程とを含む方法などが挙げられる。パターンの形成方法としては、フォトリソグラフィ法でパターン形成してもよいし、ドライエッチング法でパターンを形成してもよい。
赤外光カットフィルタの製造方法において、その他の工程を含んでいてもよい。その他の工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、基材の表面処理工程、前加熱工程（プリベーク工程）、硬化処理工程、後加熱工程（ポストベーク工程）などが挙げられる。
【０１０７】
前加熱工程および後加熱工程における加熱温度は、通常、８０℃〜２００℃であり、９０℃〜１５０℃であることが好ましい。前加熱工程および後加熱工程における加熱時間は、通常、ホットプレートを用いた場合に３０秒〜２４０秒であり、６０秒〜１８０秒であることが好ましい。
硬化処理工程は、必要に応じ、形成された上記膜に対して硬化処理を行う工程であり、この処理を行うことにより、赤外光カットフィルタの機械的強度が向上する。
上記硬化処理としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、露光処理、全面加熱処理などが好適に挙げられる。ここで、本発明において「露光」とは、各種波長の光のみならず、電子線、Ｘ線などの放射線照射をも包含する意味で用いられる。
露光は放射線の照射により行うことが好ましく、露光に際して用いることができる放射線としては、特に、電子線、ＫｒＦ、ＡｒＦ、ｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線や可視光が好ましく用いられる。
露光方式としては、ステッパー露光や、高圧水銀灯による露光などが挙げられる。
露光量は５〜３０００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、１０〜２０００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、５０〜１０００ｍＪ／ｃｍ２が特に好ましい。
露光処理の方法としては、例えば、形成された上記膜の全面を露光する方法が挙げられる。本発明の組成物が重合性化合物を含有する場合、露光により、膜中の重合成分の硬化が促進され、上記膜の硬化が更に進行し、機械的強度、耐久性が改良される。
上記露光を行う装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、超高圧水銀灯などのＵＶ露光機が好適に挙げられる。
また、全面加熱処理の方法としては、形成された上記膜の全面を加熱する方法が挙げられる。全面加熱により、パターンの膜強度が高められる。
全面加熱における加熱温度は、１２０℃〜２５０℃が好ましく、１６０℃〜２２０℃がより好ましい。加熱温度が１２０℃以上であれば、加熱処理によって膜強度が向上し、２５０℃以下であれば、膜成分の分解を抑制できる。
全面加熱における加熱時間は、３分〜１８０分が好ましく、５分〜１２０分がより好ましい。
全面加熱を行う装置としては、特に制限はなく、公知の装置の中から、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ドライオーブン、ホットプレート、ＩＲ（赤外線）ヒーターなどが挙げられる。
【０１０８】
＜固体撮像素子＞
上記赤外光カットフィルタは、固体撮像素子に好適に適用できる。
以下、本発明の固体撮像素子の一実施形態について、図１を用いて説明する。
図１に示す固体撮像素子（赤外光センサ）１００において、図番１１０は、固体撮像素子基板である。
固体撮像素子基板１１０上には、赤外光カットフィルタ１１１とカラーフィルタ１１２とが配置される。
赤外光透過フィルタ（赤外光を透過するカラーフィルタ）１１３と固体撮像素子基板１１０との間には領域１１４が設けられている。領域１１４には、赤外光透過フィルタ１１３を透過した波長の光が透過可能な樹脂層（例えば、透明樹脂層など）が配置されている。領域１１４に赤外光透過フィルタ１１３を形成してもよい。すなわち、固体撮像素子基板１１０上に、赤外光透過フィルタ１１３を形成してもよい。
カラーフィルタ１１２および赤外光透過フィルタ１１３の入射光ｈν側には、マイクロレンズ１１５が配置されている。マイクロレンズ１１５を覆うように平坦化層１１６が形成されている。
図１では、カラーフィルタ１１２の膜厚と、赤外光透過フィルタ１１３の膜厚が同一であるが、両者の膜厚は異なっていてもよい。
図１では、カラーフィルタ１１２が、赤外光カットフィルタ１１１よりも入射光ｈν側に設けられているが、赤外光カットフィルタ１１１と、カラーフィルタ１１２との順序を入れ替えて、赤外光カットフィルタ１１１を、カラーフィルタ１１２よりも入射光ｈν側に設けてもよい。赤外光カットフィルタ１１１と、カラーフィルタ１１２との間に他の層が形成されてもよい。
カラーフィルタ１１２としては、赤色の波長領域の光を透過するカラーフィルタ、緑色の波長領域の光を透過するカラーフィルタ、および、青色の波長領域の光を透過するカラーフィルタからなる群から選択される少なくとも１つが含まれることが好ましい。
なお、カラ−フィルタ１１２に赤外光吸収物質を含有させて、カラ−フィルタ１１２に赤外光カットフィルタとしての機能を持たせてもよい。
【０１０９】
本発明の固体撮像素子は、赤外光カットフィルタを内部に備えることからカメラモジュールの部材としての赤外光カットフィルタが不要となり、カメラモジュールの部品点数を減らすことができ、カメラモジュールの小型化を図ることができる。
【０１１０】
カラーフィルタ１１２としては、特に限定はなく、従来公知の画素形成用のカラーフィルタを用いることができ、例えば、特開２０１４−０４３５５６号公報の段落０２１４〜０２６３の記載を参酌することができ、この内容は本願明細書に組み込まれる。
赤外光透過フィルタ１１３は、光源の発光波長によりその特性は選択される。
【０１１１】
固体撮像素子の好適態様の一つとしては、赤色の波長領域の光を透過するカラーフィルタ（赤色カラーフィルタ）、緑色の波長領域の光を透過するカラーフィルタ（緑色カラーフィルタ）、青色の波長領域の光を透過するカラーフィルタ（青色カラーフィルタ）、および、赤外光を透過するカラーフィルタ（赤外光透過フィルタ）からなる群から選択される少なくとも一つを含むフィルタ層と、フィルタ層よりも光入射側に配置される赤外光カットフィルタとを備えることが好ましい。
例えば、赤色カラーフィルタ、緑色カラーフィルタ、青色カラーフィルタおよび赤外光透過フィルタを同一平面上に有するフィルタ層と、フィルタ層よりも光入射側に配置され、フィルタ層全面配置される赤外光カットフィルタとを備える固体撮像素子などが挙げられる。
なお、赤外光カットフィルタは、固体撮像素子基板１１０よりも光入射側に配置されていればよい。例えば、赤色カラーフィルタ上、緑色カラーフィルタ上、および、青色カラーフィルタ上に赤外光カットフィルタが配置され、赤外光透過フィルタ上に赤外光カットフィルタが配置されていてもよい。
また、上記フィルタ層と赤外光カットフィルタとの間には、平坦化層が配置されていてもよい。
【０１１２】
次に、本発明の固体撮像素子を適用した例として撮像装置（カメラシステム）について説明する。
図２は、撮像装置の機能ブロック図である。撮像装置は、レンズ光学系１と、固体撮像素子１０と、信号処理部２０と、信号切替部３０と、制御部４０と、信号蓄積部５０と、発光制御部６０と、赤外光を発光する発光素子の赤外ＬＥＤ７０と、画像出力部８０および８１とを備える。なお、固体撮像素子１０としては、上述した固体撮像素子１００を用いることができる。また、固体撮像素子１０とレンズ光学系１以外の構成は、そのすべてが、または、その一部が、同一の半導体基板に形成することもできる。撮像装置の各構成については、特開２０１１−２３３９８３号公報の段落００３２〜００３６を参酌することができ、この内容は本願明細書に組み込まれる。
撮像装置としては、モーションセンサ、近接センサ、ジェスチャーセンサなどが存在する。
【実施例】
【０１１３】
以下、本発明の実施例を説明するが、本発明は、これらの実施例に何ら限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。＜組成物（赤外光遮蔽組成物）の調製＞
下記表１に示す成分を同表に示す溶剤に溶解させて、赤外光遮蔽組成物を調製した。表１中の「質量部」欄での、「Ａ／Ｂ」という記載は使用されている各成分の質量部を意図する。例えば、実施例２１の「樹脂バインダー」では、「樹脂Ａ」と「樹脂Ｂ」とがそれぞれ１４．７質量部および０．８質量部使用されることを意図する。【０１１４】
【表１】
2016035633.tif 000006
【０１１５】
【表２】
2016035633.tif 000007
【０１１６】
【表３】
2016035633.tif 000008
【０１１７】
【表４】
2016035633.tif 000009
【０１１８】
【表５】
2016035633.tif 000010
【０１１９】
【表６】
2016035633.tif 000011
【０１２０】
上記表１中で使用した各種成分を以下にまとめて示す。 【０１２１】
（樹脂バインダー）
樹脂Ａ：日本触媒製アクリキュアーＲＤ−Ｆ８【０１２２】
樹脂Ｂ：富士フイルムファインケミカルズ社製Ｂ−１０５０Ｋ（以下式）
【化４】
2016035633.tif 000012
【０１２３】
樹脂Ｃ：藤倉化成株式会社製アクリベースＦＦ−４２６（以下式）
【化５】
2016035633.tif 000013
【０１２４】
樹脂Ｄ：富士フイルムファインケミカルズ社製ＤＢ−１３０５（以下式）
【化６】
2016035633.tif 000014
【０１２５】
ポリアミック酸１：特開２０１３−５０５９３号公報の実施例１（段落０１１３）に記載のポリアミック酸
ポリアミック酸２：特開２０１３−５０５９３号公報の実施例２（段落０１１８）に記載のポリアミック酸
ポリヒドロキシアミド：特開２００７−１９９６０６号公報の段落０１０６に記載の方法で得たポリヒドロキシアミド【０１２６】
（重合性化合物）
ＤＰＨＡ：ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ（日本化薬社製）
モノマーＡ：ライトアクリレートＤＣＰ−Ａ（共栄社化学社製）
モノマーＢ：アロニックスＴＯ−７５６（東亞合成株式会社製）
トリメチロールプロパントリアクリレート：Ａ−ＴＭＰＴ（新中村化学社製）
モノアクリレートＭＯＩ−ＢＰ（昭和電工株式会社製）
（重合開始剤）
ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ３６９：ＩＲＧＡＣＵＲＥ ３６９（ＢＡＳＦ社製）
ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ−０２：ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ−０２（ＢＡＳＦ社製）
（増感剤）
ＤＥＴＸ−Ｓ：Ｋａｙａｃｕｒｅ ＤＥＴＸ-Ｓ（２，４−ジエチルチオキサントン）（荘司産業株式会社製）
（溶剤）
ＰＧＭＥＡ：１−メトキシ−２−プロパノールアセテート
ＰＧＭＥ：１−メトキシ−２−プロパノール
ＥＥＰ：エチル−３−エトキシプロピオネート（界面活性剤）
Ｍｅｇａｆａｃ  Ｆ−７８１−Ｆ（ＤＩＣ社製）
Ｍｅｇａｆａｃ  Ｒ−３０（ＤＩＣ社製）
Ｍｅｇａｆａｃ  Ｆ−４７５（ＤＩＣ社製）
ＫＦ−６００３（信越シリコーン社製）
オルフィンＥ１０１０（日信化学工業社製）
ｐｏｌｙｆｏｘ  ＰＦ６５６（ＢＡＳＦ社製）
ｐｏｌｙｆｏｘ  ＰＦ６３２０（ＢＡＳＦ社製）
ｐｏｌｙｆｏｘ  ＰＦ６５２０（ＢＡＳＦ社製）【０１２７】
（ＵＶ吸収剤（紫外線吸収剤））
ＵＶ吸収剤Ａ：以下化合物
【化７】
2016035633.tif 000015
ＤＰＯ：ＤＰＯ（富士フイルムファインケミカル製）【０１２８】
なお、表１中のタングステン酸化物微粒子はＹＭＳ−０１Ａ−２（住友金属鉱山株式会社製）を用いて供給され、上記ＹＭＳ−０１Ａ−２には所定量の分散剤が含まれる。
また、実施例３４では日本触媒のExcolor IR-28を、実施例３５ではExcolor 815K（フタロシアニン系顔料）をタングステン酸化物微粒子と共に併用した。【０１２９】
上記で得られた組成物を用いて、以下の各種測定を実施した。結果は上記表１にまとめて示す。【０１３０】
＜平坦塗布性＞
開口部の形状が正方形（一辺の長さ：５μｍ）である凹部（深さ：２.２μｍ）が５μｍの間隔で一方向に４個配置されたシリコン基板を用意し、このシリコン基板上に各実施例および比較例の組成物をそれぞれ塗布して、１００℃で２分間乾燥処理を施した後、露光装置ＵＸ３１００−ＳＲ（ウシオ電機（株）製）を用いて光照射（露光量：５００ｍＪ／ｃｍ２）を行い、赤外光遮蔽層（厚み：２．７μｍ）を形成した。
シリコン基板の凹部が並んだ一方向に沿って、シリコン基板の凹部上に配置される赤外光遮光層の表面を原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）（日本Ｖｅｃｃｏ社製、Ｄ３１００）にて測定し、最大高低差（ｎｍ）を求め、以下の基準に沿って評価した。実用上、「Ａ」または「Ｂ」であることが望ましい。
「Ａ」：最大高低差が２００ｎｍ以内である場合
「Ｂ」：最大高低差が２００ｎｍ超４００ｎｍ以下である場合
「Ｃ」：最大高低差が４００ｎｍ超である場合【０１３１】
＜面状特性＞
シリコン基板上に各実施例および比較例の組成物をそれぞれ塗布して、１００℃で２分間乾燥処理を施した後、露光装置ＵＸ３１００−ＳＲ（ウシオ電機（株）製）を用い、フォトマスク（マスクパターン：５０μｍラインアンドスペース）を介して光照射（露光量：５００ｍＪ／ｃｍ２）を行った。パターン露光された塗布膜は、有機アルカリ性現像液ＣＤ−２０００（富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の６０％水溶液を用いて、室温にて６０秒間、パドル現像した後、さらに２０秒間スピンシャワーにて純水でリンスを行なった。その後更に、純水にて水洗を行なった。その後、水滴を高圧のエアーで飛ばし、基板を自然乾燥させ、２２０℃で３００秒間、ホットプレートでポストベーク処理し、ライン部として赤外光遮蔽層（厚み：２．７μｍ）を形成した。
得られた赤外光遮蔽層表面の任意の５か所を光学顕微鏡（倍率２００倍）にて測定し、以下の基準に沿って評価した。実用上、「Ａ」または「Ｂ」であることが望ましい。
「Ａ」：いずれの箇所においても、円環状の模様が確認されない場合
「Ｂ」：いずれの箇所においても、円環状の模様は確認できないが、表面にやや荒れがある場合
「Ｃ」：いずれかの箇所において、円環状の模様が確認できる場合、または、表面に著しい塗布ムラ（広範囲における線状の模様、光学ムラ）が確認できる場合【０１３２】
＜耐乾燥性＞
上記実施例および比較例に記載の組成物１０ｍＬを、１００ｍＬディスコカップに入れ、室温下で１日放置した。
液表面が変化しないものを「Ａ」、液表面周辺部にわずかに固形物は見えるが、膜ができていないものを「Ｂ」、乾燥により液上部に膜ができているものを「Ｃ」とした。実用上、「Ａ」または「Ｂ」であることが望ましい。【０１３３】
なお、上記実施例の組成物を用いて形成された赤外光カットフィルタは、４００ｎｍ〜１３００ｎｍにおける最大透過率が６０％以上であり、９００〜１３００ｎｍにおける最大透過率で２０％以下であった。
なお、赤外光カットフィルタの製造方法としては、ガラス基板上に各実施例および比較例の組成物をそれぞれ塗布して、１００℃で２分間乾燥処理を施した後、露光装置ＵＸ３１００−ＳＲ（ウシオ電機（株）製）を用いて光照射（露光量：１０００ｍＪ／ｃｍ２）を行うことにより作製した。【０１３４】
表１に示すように、本発明の赤外光遮蔽組成物を用いた場合は、平坦塗布性、面状特性、および、耐乾燥性に優れていた。
なお、実施例１〜６の比較より、溶剤Ａの沸点が１８０℃以上１９３℃以下である場合、より優れた効果が得られることが確認された。
また、実施例１２〜１４の比較より、界面活性剤の含有量が、赤外光遮蔽組成物全質量に対して、０．００１〜０．０７０質量％である場合、より優れた効果が得られることが確認された。
また、実施例１７と実施例１８との比較より、溶剤Ｂ１の沸点が１２０〜１３０℃である場合、より優れた効果が得られることが確認された。
また、実施例１８と実施例１９との比較より、溶剤Ｂ１と溶剤Ｂ２との質量比（溶剤Ｂ１の質量／溶剤Ｂ２の質量）が０．０１０〜０．２００の場合、より優れた効果が得られることが確認された。
一方、所定の溶剤Ａを使用していない比較例に記載の組成物では、所望の効果が得られなかった。
【符号の説明】
【０１３５】
１：レンズ光学系、１０：固体撮像素子、２０：信号処理部、３０：信号切替部、４０：制御部、５０：信号蓄積部、６０：発光制御部、７０：赤外ＬＥＤ、８０、８１：画像出力部、１００：固体撮像素子、１１０：固体撮像素子基板、１１１：赤外光カットフィルタ、１１２：カラ−フィルタ、１１３：赤外光透過フィルタ、１１４：領域、１１５：マイクロレンズ、１１６：平坦化層、ｈν：入射光
【図１】
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【図２】
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【国際調査報告】
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