(57)【要約】  硬質長を短くできる改善された光走査用アクチュエータを提供する。  光ファイバ１１の射出端部１１ａを変位可能に支持する支持部１７と、射出端部１１ａに結合されて、射出端部１１ａを光ファイバ１１の光軸方向と垂直な方向に変位させる圧電素子１４と、圧電素子１４に電圧を印加するリード線１５が電気的に結合される接続部１６と、を備え、射出端部１１ａは、接続部１６において支持部１７に変位可能に支持される。
2016084116.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバの射出端部を変位可能に支持する支持部と、
前記射出端部に結合されて、該射出端部を前記光ファイバの光軸方向と垂直な方向に変位させる圧電素子と、
前記圧電素子に電圧を印加するリード線が電気的に結合される接続部と、を備え、
前記射出端部は、前記接続部において前記支持部に変位可能に支持される、光走査用アクチュエータ。
【請求項２】
前記接続部は、前記圧電素子の表面に形成されている、請求項１に記載の光走査用アクチュエータ。
【請求項３】
前記圧電素子は、前記光ファイバを保持するフェルールに装着されている、請求項１又は２に記載の光走査用アクチュエータ。
【請求項４】
前記圧電素子は、前記光ファイバの前記射出端部に装着される、請求項１又は２に記載の光走査用アクチュエータ。
【請求項５】
光ファイバと、
該光ファイバの射出端部を変位可能に支持して、前記射出端部を前記光ファイバの光軸方向と垂直な方向に変位させる請求項１〜４のいずれか一項に記載の光走査用アクチュエータと、
前記光ファイバに光源からの照明光を入射させる光入力部と、
前記光ファイバの射出端面から射出される前記照明光を対象物に照射する照明光学系と、を備え、
前記圧電素子に印加する電圧を制御して、前記対象物に照射される前記照明光を所望の走査軌跡となるように走査する、光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査用アクチュエータ及びこれを用いる光走査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、光ファイバの射出端部を変位させながら光ファイバから被観察物に向けて光を照射して被観察物を走査する走査型光ファイバが知られている（例えば、特許文献１参照）。【０００３】
特許文献１に開示の走査型光ファイバは、光ファイバの射出端部を保持して該射出端部を変位させる筒状の圧電アクチュエータを備える。圧電アクチュエータは、光ファイバの射出端部側が変位可能に固定部材に固定される。固定部材は、導電性のケーシングに結合される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５２７１８１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記の走査型光ファイバは、圧電アクチュエータの後端部、すなわち光ファイバの射出端面側とは反対側の端部が、固定部材による圧電アクチュエータの固定部分から突出し、その突出部分において圧電アクチュエータに電源ケーブルが半田付けされている。また、固定部材は、圧電アクチュエータと電源ケーブルとの半田付け部分がケーシングに接触するのを防止するため、半田付け部分の周囲を覆うように、圧電アクチュエータの固定部分から圧電アクチュエータの後端部側に突出され、その突出部分と圧電アクチュエータとの間に接着剤が充填されている。【０００６】
そのため、上記の走査型光ファイバは、固定部材による圧電アクチュエータの固定部分から圧電アクチュエータの後端側における硬質部分の長さ（硬質長）が長くなって、例えば体腔内への挿入性の低下を招くことが懸念される。また、走査型光ファイバを例えばプロジェクタに応用する場合を想定すると、装置の大型化を招くことになる。【０００７】
したがって、かかる点に鑑みてなされた本発明の目的は、硬質長を短くできる改善された光走査用アクチュエータ及びこれを用いる光走査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成する本発明に係る光走査用アクチュエータは、
光ファイバの射出端部を変位可能に支持する支持部と、
前記射出端部に結合されて、該射出端部を前記光ファイバの光軸方向と垂直な方向に変位させる圧電素子と、
前記圧電素子に電圧を印加するリード線が電気的に結合される接続部と、を備え、
前記射出端部は、前記接続部において前記支持部に変位可能に支持されるものである。【０００９】
前記接続部は、前記圧電素子の表面に形成されているとよい。【００１０】
前記圧電素子は、前記光ファイバを保持するフェルールに装着されているとよい。【００１１】
前記圧電素子は、前記光ファイバの前記射出端部に装着されてもよい。【００１２】
さらに、上記目的を達成する本発明に係る光走査装置は、
光ファイバと、
該光ファイバの射出端部を変位可能に支持して、前記射出端部を前記光ファイバの光軸方向と垂直な方向に変位させる請求項１〜４のいずれか一項に記載の光走査用アクチュエータと、
前記光ファイバに光源からの照明光を入射させる光入力部と、
前記光ファイバの射出端面から射出される前記照明光を対象物に照射する照明光学系と、を備え、
前記圧電素子に印加する電圧を制御して、前記対象物に照射される前記照明光を所望の走査軌跡となるように走査するものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、硬質長を短くできる改善された光走査用アクチュエータ及びこれを用いる光走査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１Ａ】第１実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。
【図１Ｂ】図１Ａの光走査用アクチュエータを光ファイバの射出端面側から見た拡大図である。
【図２】第１実施の形態の変形例を示す図である。
【図３】第２実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。
【図４】第３実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。
【図５】第４実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。
【図６Ａ】第５実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。
【図６Ｂ】図６Ａの光走査用アクチュエータを光ファイバの射出端面側から見た拡大図である。
【図７】第６実施の形態に係る光走査装置の要部の概略構成を示す図である。
【図８】図７のスコープを概略的に示す概観図である。
【図９】図８のスコープの先端部を拡大して示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して説明する。
【００１６】
（第１実施の形態）
図１Ａ及び図１Ｂは、第１実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る光走査用アクチュエータ１０は、光ファイバ１１の射出端部１１ａを貫通させて保持するフェルール１２を備える。光ファイバ１１は、フェルール１２に接着固定される。フェルール１２には、光ファイバ１１の射出端面１１ｂ側の端面（先端面）１２ａに、光ファイバ１１の周囲を覆うように緩衝部材１３が設けられている。なお、図１Ｂは、図１Ａの光走査用アクチュエータ１０を光ファイバ１１の射出端面１１ｂ側からから見た拡大図を示している。
【００１７】
フェルール１２は、例えばニッケル等の金属からなる。フェルール１２は、外形が四角柱状、円柱状等の任意の形状とすることができるが、本実施の形態では外形が四角柱状からなる場合を例示している。フェルール１２には、光ファイバ１１の光軸方向と平行な方向をｚ方向とするとき、ｚ方向と直交する面内で互いに直交するｘ方向及びｙ方向にそれぞれ対向する側面に圧電素子１４が装着される。すなわち、本実施の形態では、４つの圧電素子１４がフェルール１２を介して光ファイバ１１の射出端部１１ａに結合される。
【００１８】
圧電素子１４は、ｚ方向に長い矩形状からなり、厚さ方向の両面に金メッキや蒸着等により形成された電極を有し、該電極を介して厚さ方向に電圧が印加されるとｚ方向に伸縮可能に構成される。圧電素子１４は、一方の電極側が例えば導電性接着剤等を介してフェルール１２に装着される。フェルール１２は、４つの圧電素子１４に対する共通電極としても作用する。圧電素子１４の他方の電極すなわち圧電素子１４の表面には、フェルール１２と協働して当該圧電素子１４に電圧を印加するリード線１５が電気的に結合される接続部１６が形成されている。接続部１６は、半田、金バンプ、導電性接着剤等からなり、光ファイバ１１の射出端面１１ｂとは反対側の端部（後端部）に形成される。本実施の形態において、リード線１５は、接続部１６に直接電気的に結合される。フェルール１２にも、図示しないが先端面１２ａとは反対側の端部（後端部）にリード線が接続される。
【００１９】
フェルール１２は、後端部が支持部１７の四角形状の開口部１７ａに結合されて、支持部１７に揺動可能に片持ち支持される。支持部１７は、外形が円形状、多角形状等の任意の形状の絶縁部材からなる平行平板で形成可能であるが、本実施の形態は外形が円形状の平行平板からなる場合を示している。本実施の形態において、フェルール１２は、４つの圧電素子１４の接続部１６において支持部１７の開口部１７ａに結合される。フェルール１２は、接続部１６が開口部１７ａの内周面に機械的に当接して、すなわち直接結合されても良いし、接続部１６が絶縁性の接着剤を介して開口部１７ａの内周面に結合（接着）されてもよい。また、接続部１６を介してフェルール１２を支持部１７に支持する際に、支持部１７の外周をかしめてもよい。また、接続部１６を含む該接続部１６から後端部の開口部１７ａ内には、例えば粘度の高いフィラー入りの絶縁性の接着剤を充填してもよい。なお、本実施の形態において、フェルール１２は、後端部の端面（後端面）１２ｂが支持部１７の開口部１７ａ内に位置している。同様に、圧電素子１４は、後端面が支持部１７の開口部１７ａ内に位置している。
【００２０】
ｘ方向に対向する２つの圧電素子１４には、対応するリード線１５を介して例えば振幅が徐々に増加する同相のｘ駆動用交流電圧が印加される。また、ｙ方向に対向する２つの圧電素子１４には、対応するリード線１５を介して例えばｘ駆動用交流電圧とは位相が９０°異なり振幅が徐々に増加する同相のｙ駆動用交流電圧が印加される。これにより、ｘ方向に対向する２つの圧電素子１４は、一方が伸張すると他方が縮小して、フェルール１２がｘ方向に湾曲振動する。同様に、ｙ方向に対向する２つの圧電素子１４は、一方が伸張すると他方が縮小して、フェルール１２がｙ方向に湾曲振動する。その結果、光ファイバ１１の射出端部１１ａは、ｘ方向及びｙ方向の振動が合成されたスパイラル状に偏向される。したがって、光ファイバ１１に照明光を入射させると、射出端面１１ｂから射出される照明光により被観察物をスパイラル状に走査することが可能となる。
【００２１】
本実施の形態によると、フェルール１２は、支持部１７の開口部１７ａ内において、圧電素子１４の後端部表面に形成された接続部１６を介して支持部１７に変位可能に支持され、接続部１６が開口部１７ａから突出しない。したがって、光走査用アクチュエータ１０の硬質長を短くできるので、例えば内視鏡に用いる場合は、体腔内への挿入性を向上することが可能となり、プロジェクタに応用する場合は、装置の小型化が図れる、改善された光走査用アクチュエータ１０を実現することができる。しかも、本実施の形態においては、フェルール１２の後端面１２ｂが開口部１７ａ内に位置しているとともに、圧電素子１４の後端面も開口部１７ａ内に位置しているので、硬質長をより短くでき、その効果は顕著となる。
【００２２】
なお、圧電素子１４上の接続部１６や支持部１７を保護するため、例えば支持部１７の開口部１７ａの内周面と接続部１６との間にポリイミド等からなる絶縁シートを介在させてもよい。また、支持部１７の開口部１７ａから突出する光ファイバ１１、フェルール１２及び圧電素子１４の周囲を保護する場合は、例えば図２に示すように、光ファイバ１１の射出端面１１ｂ側の支持部１７の端面周囲に段差部１７ｂを形成し、この段差部１７ｂに中空の保護ケース１８の一端部を固定するとよい。保護ケース１８は、導電性でも又は絶縁性でもよく、形状も円筒でも又は角筒でもよい。
【００２３】
（第２実施の形態）
図３は、第２実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る光走査用アクチュエータ１０は、図２に示した構成において、支持部１７を省略し、保護ケース１８を支持部としても機能させたものである。本実施の形態において、保護ケース１８は絶縁性部材、あるいは内周面が絶縁処理された導電性部材からなる。フェルール１２は、圧電素子１４の後端部表面に形成された接続部１６を介して保護ケース１８の後端部内周面に変位可能に支持される。その他の構成は、第１実施の形態と同様である。
【００２４】
フェルール１２は、接続部１６が保護ケース１８の内周面に機械的に当接して、すなわち直接結合されても良いし、接続部１６が絶縁性の接着剤を介して保護ケース１８の内周面に結合（接着）されてもよい。また、接続部１６を介してフェルール１２を保護ケース１８の内周面に支持する際に、保護ケース１８の後端部外周をかしめてもよい。また、接続部１６を含む該接続部１６から後端部の開口部１７ａ内には、例えば粘度の高いフィラー入りの絶縁性の接着剤を充填してもよい。
【００２５】
本実施の形態によると、第１実施の形態と同様の効果が得られる他、図２の構成と比較して支持部１７が不要となるので、部品点数を削減でき、コストダウンが図れる利点がある。なお、図３において、フェルール１２は、後端部が保護ケース１８から若干突出しているが、該後端部を保護ケース１８内に位置させることで、硬質長をより短くすることもできる。
【００２６】
（第３実施の形態）
図４は、第３実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る光走査用アクチュエータ１０は、第２実施の形態において、保護ケース１８が導電性部材からなる。また、保護ケース１８の内周面には、圧電素子１４と保護ケース１８との電気的接触を防止するフレキシブル基板１９が配置される。
【００２７】
フレキシブル基板１９は、フェルール１２の少なくとも圧電素子１４が位置する部分に延在して配置される。本実施の形態において、フレキシブル基板１９は、フェルール１２の先端部が位置する部分から保護ケース１８を若干突出して配置される。フレキシブル基板１９には、フェルール１２側の表面に、４つの圧電素子１４の接続部１６に対応する導電パターンが形成される。導電パターンは、圧電素子１４と対向してフレキシブル基板１９の先端から後端まで延在して形成されてもよいし、接続部１６が位置する部分から後端まで延在して形成されてもよい。
【００２８】
フェルール１２は、圧電素子１４の接続部１６がフレキシブル基板１９の対応する導電パターンに接触（接続）して保護ケース１８に変位可能に支持される。導電パターンには、後端部において当該導電パターンに接続された圧電素子１４に対応するリード線１５が接続される。したがって、本実施の形態において、リード線１５は、フレキシブル基板１９の導電パターンを介して対応する接続部１６に電気的に結合（接続）される。その他の構成は、図３と同様である。
【００２９】
本実施の形態によると、第２実施の形態と同様の効果が得られる他、図３の構成と比較して金属等の導電性部材の保護ケース１８を絶縁処理することなく使用できるので、設計の自由度を向上できる利点がある。
【００３０】
（第４実施の形態）
図５は、第４実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る光走査用アクチュエータ１０は、第１実施の形態において、光ファイバ１１の射出端面１１ｂ側とは反対側の支持部１７の端面周囲に段差部１７ｂを有する。段差部１７ｂには、開口部１７ａに貫通してフェルール１２に装着された４つの圧電素子１４に対応する４つのスルーホール１７ｃが形成されている。
【００３１】
フェルール１２は、圧電素子１４の接続部１６がスルーホール１７ｃに当接して支持部１７に変位可能に支持される。これにより、接続部１６はスルーホール１７ｃの一端に電気的に接続される。スルーホール１７ｃの他端には、段差部１７ｂにおいて当該スルーホール１７ｃに接続された圧電素子１４に対応するリード線１５が例えば半田付けや導電性接着剤等の接続材２０により電気的に接続される。したがって、本実施の形態において、リード線１５は、支持部１７に形成されたスルーホール１７ｃを介して対応する接続部１６に電気的に結合（接続）される。その他の構成は、図１と同様である。
【００３２】
本実施の形態によると、第１実施の形態と同様の効果が得られる他、リード線１５は支持部１７のスルーホール１７ｃに接続材２０を介して接続すればよいので、接続作業を容易にできる利点がある。
【００３３】
（第５実施の形態）
図６Ａ及び図６Ｂは、第５実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る光走査用アクチュエータ１０は、第１実施の形態において、４つの圧電素子１４がフェルールを介することなく、光ファイバ１１の射出端部１１ａに接着剤２１により直接装着したものである。すなわち、光ファイバ１１の射出端部１１ａには、４つの圧電素子１４が直接結合される。なお、４つの圧電素子１４の光ファイバ１１に接着される側の電極は、共通電極として互いに接続される。光ファイバ１１は、圧電素子１４の後端部において、接続部１６を介して支持部１７の開口部１７ａに結合されて、射出端部１１ａが揺動可能に支持される。その他の構成は、第１実施の形態と同様である。なお、図６Ｂは、図６Ａの光走査用アクチュエータ１０を光ファイバ１１の射出端面１１ｂ側から見た拡大図である。
【００３４】
本実施の形態によると、圧電素子１４が光ファイバ１１の射出端部１１ａに直接装着されて、圧電素子１４の接続部１６を介して射出端部１１ａが支持部１７に揺動可能に支持されるので、硬質長を最小限にすることができる。したがって、例えば内視鏡に用いる場合は、体腔内への挿入性をより向上することが可能となり、プロジェクタに応用する場合は、装置のより小型化が図れる。
【００３５】
（第６実施の形態）
図７は、第６実施の形態に係る光走査装置の要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る光走査装置は、光走査型内視鏡装置３０を構成するものである。光走査型内視鏡装置３０は、スコープ（内視鏡）５０と、制御装置本体７０と、ディスプレイ９０と、を備える。
【００３６】
制御装置本体７０は、光走査型内視鏡装置３０の全体を制御する制御部７１と、発光タイミング制御部７２と、光源を構成するレーザ７３Ｒ、７３Ｇ、７３Ｂ及び結合器７４とを含んで構成される。レーザ７３Ｒは赤のレーザ光を、レーザ７３Ｇは緑のレーザ光を、レーザ７３Ｂは青のレーザ光をそれぞれ射出するものである。発光タイミング制御部７２は、制御部７１の制御の下で、３つのレーザ７３Ｒ、７３Ｇ、７３Ｂの発光タイミングを制御する。レーザ７３Ｒ、７３Ｇ、７３Ｂとしては、例えばＤＰＳＳレーザ（半導体励起固体レーザ）やレーザダイオードが使用可能である。レーザ７３Ｒ、７３Ｇ、７３Ｂから出射されるレーザ光は、結合器７４により合波され、白色の照明光としてシングルモードファイバからなる照明用光ファイバ５１に入射される。結合器７４は、例えばダイクロイックプリズム等を有して構成される。光走査型内視鏡装置３０の光源の構成はこれに限られず、一つのレーザ光源を用いるものであっても、他の複数の光源を用いるものであっても良い。また、光源は、制御装置本体７０と信号線で結ばれた制御装置本体７０とは別の筐体に収納されていても良い。
【００３７】
照明用光ファイバ５１は、第１〜５実施の形態で説明した光ファイバ１１に相当するもので、スコープ５０の先端部まで延在している。照明用光ファイバ５１は、入射端部に結合された例えば光コネクタからなる光入力部５２を備える。光入力部５２は、光源（図７では結合器７４）に着脱自在に結合されて、光源からの照明光を照明用光ファイバ５１に入射させる。照明用光ファイバ５１に入射された照明光は、スコープ５０の先端部まで導光されて対象物１００に向けて照射される。その際、照明用光ファイバ５１の射出端部は、第１〜５実施の形態で説明した光走査用アクチュエータ１０により振動駆動される。具体的には、光走査用アクチュエータ１０の駆動が、後述する制御装置本体７０の駆動制御部７８によって、対象物１００に照射される照明光が所望の二次元走査軌跡となるように制御される。これにより、対象物１００は、照明用光ファイバ５１から射出される照明光によって観察表面上が二次元走査される。照明光の照射により対象物１００から得られる反射光、散乱光、蛍光などの信号光は、スコープ５０内に延在されたマルチモードファイバからなる検出用光ファイババンドル５３の先端面に入射されて制御装置本体７０まで導光される。
【００３８】
制御装置本体７０は、信号光を処理するための光検出器７５、ＡＤＣ（アナログ−デジタル変換器）７６、画像処理部７７及び駆動制御部７８をさらに備える。光検出器７５は、検出用光ファイババンドル５３により導光された信号光をスペクトル成分に分解し、フォトダイオード等により、それぞれのスペクトル成分を電気信号に変換する。なお、検出用光ファイババンドル５３は、射出端部に結合された例えば光コネクタからなる光出力部５４を備える。光出力部５４は、光検出器７５に着脱自在に結合されて対象物１００からの信号光を光検出器７５に導光する。ＡＤＣ７６は、光検出器７５から出力されるアナログの電気信号をデジタル信号に変換して画像処理部７７に出力する。制御部７１は、駆動制御部７８により印加した振動電圧の振幅及び位相などの情報から、レーザ照明光の走査経路上の走査位置の情報を算出して画像処理部７７に供給する。画像処理部７７は、ＡＤＣ７６から出力されたデジタル信号及び制御部７１からの走査位置情報に基づいて対象物１００の画素データ（画素値）を順次メモリに格納し、走査終了後又は走査中に補間処理等の必要な処理を行って対象物１００の画像を生成してディスプレイ９０に表示する。
【００３９】
上記の各処理において、制御部７１は、発光タイミング制御部７２、光検出器７５、駆動制御部７８、及び、画像処理部７７を同期制御する。
【００４０】
図８は、スコープ５０を概略的に示す概観図である。スコープ５０は、操作部５５及び挿入部５６を備える。照明用光ファイバ５１、検出用光ファイババンドル５３、及び、配線ケーブル５７は、制御装置本体７０にそれぞれ着脱自在に接続されて、操作部５５から挿入部５６の先端部５８（図８に破線で示す部分）まで延在している。なお、配線ケーブル５７は、光走査用アクチュエータ１０を構成する上述した４つの圧電素子１４にそれぞれ接続された４本のリード線と共通電極に接続されたリード線とを含んでいる。配線ケーブル５７は、図７に示すように接続コネクタ５９を介して駆動制御部７８に着脱自在に接続される。
【００４１】
図９は、図８のスコープ５０の先端部５８を拡大して示す断面図である。先端部５８は、光走査用アクチュエータ１０と、照明光学系を構成する投影用レンズ６１ａ、６１ｂと、スコープ５０の中心部を通る照明用光ファイバ５１と、スコープ５０の外周部を通る検出用光ファイババンドル５３とを含んで構成される。
【００４２】
光走査用アクチュエータ１０は、第１〜５実施の形態で説明した何れかの構成を有する。本実施の形態では、便宜上、図１Ａ及び図１Ｂに示した構成の光走査用アクチュエータ１０を備えるものとする。光走査用アクチュエータ１０は、フェルール１２と、フェルール１２の外側面に装着された４つの圧電素子１４と、圧電素子１４の後端部表面に形成された接続部を介してフェルール１２を揺動可能に片持ち支持する支持部１７とを含んで構成される。照明用光ファイバ５１は、フェルール１２に保持されて、射出端部１１ａがフェルール１２と一体に揺動可能となっている。一方、検出用光ファイババンドル５３は、挿入部５６の外周部を通って先端部５８の先端まで延在して配置されている。さらに、検出用光ファイババンドル５３の各ファイバの先端部５３ａには、図示しない検出用レンズが配置されている。
【００４３】
投影用レンズ６１ａ、６１ｂ及び検出用レンズは、先端部５８の最先端に配置される。投影用レンズ６１ａ、６１ｂは、照明用光ファイバ５１の射出端面５１ｂから射出されるレーザ光が所定の焦点位置に集光させるように構成されている。また、検出用レンズは、対象物１００上に照射されたレーザ光が、対象物１００により反射、散乱、屈折等をした光（対象物１００と相互作用した光）又は蛍光等を信号光として取り込み、検出用レンズの後に配置された検出用光ファイババンドル５３に集光、結合させるように配置される。なお、投影用レンズは、二枚構成に限られず、一枚や三枚以上のレンズにより構成されてもよい。
【００４４】
本実施の形態に係る光走査型内視鏡装置３０によると、第１〜５実施の形態で説明した何れかの光走査用アクチュエータ１０を備えるので、光走査用アクチュエータ１０の硬質長が短くなり、スコープ５０の体腔内への挿入性の向上が図れる改善された光走査型内視鏡装置３０を実現することができる。
【００４５】
なお、本発明は、上記実施の形態にのみ限定されるものではなく、幾多の変形または変更が可能である。例えば、第１〜４実施の形態において、フェルール１２を絶縁性部材で構成して、該フェルール１２の表面に４つの圧電素子１４の共通電極となる導電パターンと圧電素子１４ごとの導電パターンとを形成する。そして、導電パターン上にリード線１５が電気的に結合される接続部１６を形成して、該接続部１６においてフェルール１２を支持部１７や保護ケース１８に変位可能に支持してもよい。
【００４６】
また、第１及び４実施の形態において、フェルール１２及び／又は圧電素子１４の後端部は、支持部１７の開口部１７ａから若干突出してもよい。同様に、第５実施の形態において、圧電素子１４の後端部は、支持部１７の開口部１７ａから若干突出してもよい。また、第２及び３実施の形態において、硬質長をより短くするために、フェルール１２の後端を保護ケース１８の内部に位置させて、保護ケース１８に支持してもよい。これにより、硬質長をより短くすることが可能となる。
【００４７】
また、第１〜４実施の形態において、フェルール１２の支持作業を容易にするため、例えば第１及び４実施の形態においては、支持部１７の開口部１７ａをフェルール１２の先端部側が拡開したテーパ形状としてもよい。同様に、第２及び３実施の形態においては、保護ケース１８の開口をフェルール１２の先端部側が拡開したテーパ形状としてもよい。また、第５実施の形態においては、圧電素子１４の支持作業を容易にするため、支持部１７の開口部１７ａをフェルール１２の先端部側が拡開したテーパ形状としてもよい。
【００４８】
また、第６実施の形態で説明した光走査型内視鏡装置３０において、光走査用アクチュエータ１０により変位される照明用光ファイバ５１は、シングルモード光ファイバに限らず、マルチモードファイバとすることもできる。さらに、本発明に係る光走査装置は、光走査型内視鏡装置に限らず、光走査型顕微鏡や光走査型のプロジェクタ装置にも適用することが可能である。また、本発明は、一つの圧電素子の駆動により光ファイバを一次元方向に変位させる場合にも有効に適用することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１０  光走査用アクチュエータ
１１  光ファイバ
１１ａ  射出端部
１１ｂ  射出端面
１２  フェルール
１４  圧電素子
１５  リード線
１６  接続部
３０  光走査型内視鏡装置
５０  スコープ
５１  照明用光ファイバ
５２  光入力部
７０  制御装置本体
７１  制御部
７３Ｒ、７３Ｇ、７３Ｂ  レーザ
７４  結合器
７８  駆動制御部
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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