(57)【要約】  本発明は、移動部が傾動する際の可動櫛歯電極の変位を大きくし、移動部の変位を静電容量の変化に基づいて精度良く検出することを目的とする。  本発明のミラーデバイス（３００）は、ベース部（３０２）と、ミラー（３０５）と、アクチュエータ（３０６）と、ミラー（３０５）のＸ軸に対してアクチュエータ（３０６）とは反対側に設けられた延長部（３０４）と、固定櫛歯電極（３０８）と、ミラー（３０５）のうちＸ軸に対してアクチュエータ（３０６）とは反対側に設けられた可動櫛歯電極（３０７）とを備えている。可動櫛歯電極（３０７）は、ヒンジ（３７３）を介してミラー（３０５）に連結されたビーム部（３７１）と、ビーム部（３７１）に設けられた電極指（３７２）とを有する。延長部（３０４）は、ヒンジ（３４１）を介してベース部（３０２）に連結されている。ミラー（３０５）は、ヒンジ（３４１）を通る主軸回りに傾動する。
2015146146.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部と、  移動部と、  前記移動部のうち、該移動部の中心を通る直線に対して一方側に設けられ、該移動部を傾動させるアクチュエータと、  前記移動部のうち、前記直線に対して前記アクチュエータとは反対側に設けられ、該移動部を前記ベース部に連結する延長部と、  前記ベース部に設けられ、電極指を有する固定櫛歯電極と、  前記移動部のうち、前記直線に対して前記アクチュエータとは反対側に設けられ、前記固定櫛歯電極と対向する可動櫛歯電極とを備え、  前記可動櫛歯電極は、弾性変形する移動部側接続部を介して前記移動部に連結されたビーム部と、該ビーム部に設けられ、前記固定櫛歯電極の電極指と対向する電極指とを有し、  前記延長部は、該延長部よりも剛性が低く、弾性変形する延長側接続部を介して前記ベース部に連結され、  前記移動部は、前記延長側接続部を通る主軸回りに傾動する駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動装置において、  前記延長部は、前記移動部から前記ビーム部に沿って延びている駆動装置。
【請求項３】
請求項１に記載の駆動装置において、  前記ビーム部は、前記主軸に直交する軸回りに比べて該主軸と平行な軸回りに傾動しやすい状態で前記ベース部に連結されている駆動装置。
【請求項４】
請求項３に記載の駆動装置において、  前記ビーム部は、弾性変形するベース側接続部を介して前記ベース部に連結されており、  前記ベース側接続部は、前記主軸に直交する軸回りに比べて該主軸と平行な軸回りに湾曲しやすいように構成されている駆動装置。
【請求項５】
請求項３に記載の駆動装置において、  前記ビーム部は、弾性変形する複数のベース側接続部を介して前記ベース部に連結されており、  前記複数のベース側接続部は、前記主軸の方向に並列されている駆動装置。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか１つに記載の駆動装置において、  前記移動部側接続部は、前記主軸に直交する軸回りに比べて該主軸と平行な軸回りに湾曲しやすい第１接続部と、前記主軸と平行な軸回りに比べて該主軸に直交する軸回りに湾曲しやすい第２接続部とを有している駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  ここに開示された技術は、駆動装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来より、様々な駆動装置が知られている。例えば、特許文献１に開示されたミラーデバイスは、ベース部と、ベース部に支持された移動部としてのミラーと、ミラーを駆動するアクチュエータとを備えている。このミラーデバイスにおいては、ミラーは、アクチュエータとは反対側の部分がヒンジを介してベース部に連結されており、アクチュエータを傾動させることによってミラーがヒンジを中心に傾動する。【０００３】  また、傾動するミラーの傾動量を検出するために、櫛歯電極が設けられたミラーデバイスが知られている。例えば、特許文献２に開示されたミラーデバイスは、ミラーをアクチュエータによって所定の軸回りに傾動させ、そのときのミラーの変位を櫛歯電極によって検出している。櫛歯電極は、ミラーに連結された可動櫛歯電極と、フレームに設けられ、可動櫛歯電極と対向する固定櫛歯電極とを有している。これら可動櫛歯電極と固定櫛歯電極との間の静電容量の変化に基づいてミラーの変位が検出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−８８７０３号公報
【特許文献２】特開２０１３−１６０９５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  ところで、特許文献１に示すようなミラーデバイスにおいて、ミラーの変位を検出するために特許文献２に示すような櫛歯電極を設けることが考えられる。その際に、特許文献２の可動櫛歯電極とは異なり、可動櫛歯電極を、弾性変形する接続部を介してミラーに連結する構成も考え得る。例えば、ミラーの変位の一部を接続部で吸収することによって、可動櫛歯電極を所望の方向にだけ変位させることができる。【０００６】  しかしながら、可動櫛歯電極を弾性変形する接続部を介してミラーに連結する構成においては、ミラーの変位が接続部に吸収されるため、ミラーの変位を静電容量の変化に基づいて適切に検出することが難しくなる場合がある。例えば、ミラーにおいて、アクチュエータとは反対側に可動櫛歯電極を配置し、該可動櫛歯電極を弾性変形する接続部を介してミラーに連結した場合、可動櫛歯電極がミラーの変位を静電容量の変化として精度良く検出することが難しくなる。詳しくは、ミラーは、アクチュエータと反対側の部分においてベース部に連結され、この連結された部分を中心に傾動する。そのため、ミラーのうちアクチュエータと反対側の部分は、ミラーが傾動する際に大きくは変位しない。つまり、ミラーのうちアクチュエータとは反対側の部分に可動櫛歯電極を弾性的に連結すると、ミラーが傾動しても、可動櫛歯電極があまり変位せず、静電容量の変動が小さくなってしまう。【０００７】  ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、可動櫛歯電極を弾性変形する接続部を介して移動部に連結する構成において、移動部の変位を静電容量の変化に基づいて精度良く検出することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】  ここに開示された技術は、駆動装置であって、ベース部と、移動部と、前記移動部のうち、該移動部の中心を通る直線に対して一方側に設けられ、該移動部を傾動させるアクチュエータと、前記移動部のうち、前記直線に対して前記アクチュエータとは反対側に設けられ、該移動部を前記ベース部に連結する延長部と、前記ベース部に設けられ、電極指を有する固定櫛歯電極と、前記移動部のうち、前記直線に対して前記アクチュエータとは反対側に設けられ、前記固定櫛歯電極と対向する可動櫛歯電極とを備え、前記可動櫛歯電極は、弾性変形する移動部側接続部を介して前記移動部に連結されたビーム部と、該ビーム部に設けられ、前記固定櫛歯電極の電極指と対向する電極指とを有し、前記延長部は、該延長部よりも剛性が低く、弾性変形する延長側接続部を介して前記ベース部に連結され、前記移動部は、前記ベース側接続部を通る主軸回りに傾動する。【０００９】  この構成によれば、移動部の中心を通る直線に対して一方側にアクチュエータが設けられ、反対側に延長部が設けられている。そして、延長部は、弾性変形する延長側接続部を介してベース部に連結されている。アクチュエータが移動部を駆動すると、移動部は、ベース側接続部を通る主軸回りに傾動する。つまり、移動部のうちアクチュエータが設けられた側は変位が相対的に大きく、移動部のうち延長部が設けられた側は変位が相対的に小さい。【００１０】  可動櫛歯電極は、前記直線に対してアクチュエータと反対側、即ち、延長部と同じ側に設けられている。すなわち、可動櫛歯電極は、移動部のうち変位が相対的に小さい部分に設けられている。それに加えて、可動櫛歯電極のビーム部は、弾性変形する移動部側接続部を介して移動部に連結されているので、移動部が傾動する際に、移動部の変位は、一部が移動部側接続部に吸収されてビーム部に伝わる。このように、移動部が傾動する際の可動櫛歯電極の変位は、小さくなりやすい。【００１１】  このような構成において、移動部に延長部を設け、弾性変形する延長側接続部を介して延長部をベース部に連結している。これにより、移動部を傾動時の主軸から離すことができ、傾動する際の移動部の変位を大きくすることができる。その結果、移動部のうち可動櫛歯電極が連結された部分の変位も大きくなり、移動部の変位の一部が移動部側接続部に吸収されるとしても、可動櫛歯電極の変位を大きくすることができる。これにより、移動部が傾動する際の可動櫛歯電極及び固定櫛歯電極の静電容量の変動幅が大きくなり、移動部の変位を静電容量の変化に基づいて精度良く検出することができる。
【発明の効果】
【００１２】  前記駆動装置によれば、移動部の変位を静電容量の変化に基づいて精度良く検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、ミラーアレイの平面図である。
【図２】図２は、ミラーアレイの、図２のII−II線における断面図である。
【図３】図３は、ミラーが傾動する際の可動櫛歯電極の変位を説明する概略説明図であり、（Ａ）はミラーデバイスであり、（Ｂ）は比較のためにミラーデバイスの一部を変更したものである。
【図４】図４は、その他の実施形態に係るミラーアレイの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】  以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１５】  図１は、ミラーアレイ３０００の平面図を、図２は、ミラーアレイ３０００の、図１のII−II線における断面図を示す。
【００１６】  ミラーアレイ３０００は、複数のミラーデバイス３００，３００，…が一列に配列されている。ミラーアレイ３０００は、ＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板３０１を用いて製造されている。ＳＯＩ基板３０１は、単結晶シリコンで形成された第１シリコン層３０１ａと、ＳｉＯ２で形成された酸化膜層３０１ｂと、単結晶シリコンで形成された第２シリコン層３０１ｃとがこの順で積層されて構成されている。
【００１７】  ミラーデバイス３００は、ベース部３０２と、ベース部３０２に連結された２つのアクチュエータ３０６，３０６と、２つのアクチュエータ３０６，３０６に連結されたミラー３０５と、ミラー３０５をベース部３０２に連結する延長部３０４と、ミラー３０５に連結された２つの可動櫛歯電極３０７，３０７と、ベース部３０２に設けられ、可動櫛歯電極３０７，３０７と対向する２つの固定櫛歯電極３０８，３０８と、制御部３１０とを有している。尚、２つのアクチュエータ３０６，３０６を区別するときには、それぞれ第１アクチュエータ３０６Ａ、第２アクチュエータ３０６Ｂと称する。ミラーデバイス３００は、駆動装置の一例である。
【００１８】  ベース部３０２は、概略長方形の枠状に形成されている。ベース部３０２は、第１シリコン層３０１ａ、酸化膜層３０１ｂ及び第２シリコン層３０１ｃで形成されている。
【００１９】  ミラー３０５は、平面視方形状に形成されている。ミラー３０５は、ミラー本体３５１と、ミラー本体３５１の表面に積層された鏡面層３５２とを有している。ミラー本体３５１は、第１シリコン層３０１ａで形成され、鏡面層３５２は、Ａｕ／Ｔｉ膜で形成されている。尚、ミラー本体３５１の裏面にも、鏡面層３５２と同様の鏡面層３５３が積層されている。鏡面層３５３は、ミラー本体３５１の表面において生じる、鏡面層３５２に起因する膜応力を相殺させる機能を有する。これにより、ミラー本体３５１、ひいては、鏡面層３５２の平面度を向上させることができる。ミラー３０５は、移動部の一例である。
【００２０】  ここで、非動作時のミラー３０５の中心Ｃを通り、ベース部３０２の表面（ＳＯＩ基板３０１の表面）に沿って、ミラーデバイス３００，３００，…の配列方向に延びる軸をＸ軸とする。そして、非動作時のミラー３０５の中心ＣにおいてＸ軸に直交し、ベース部３０２の表面に沿って延びる軸をＹ軸とする。また、非動作時のミラー３０５の中心Ｃを通り、Ｘ軸及びＹ軸の両方に直交する軸をＺ軸とする。すなわち、Ｘ軸は、全てのミラーデバイス３００で共通であり、Ｙ軸及びＺ軸は、ミラーデバイス３００ごとに規定される。
【００２１】  アクチュエータ３０６は、アクチュエータ本体３６４と、アクチュエータ本体３６４の表面に積層された圧電素子３６５とを有している。
【００２２】  アクチュエータ本体３６４は、平面視長方形の板状に形成されている。アクチュエータ本体３６４は、一端部がベース部３０２に連結され、Ｙ軸方向に延びている。アクチュエータ本体３６４は、第１シリコン層３０１ａで形成されている。ここで、〜軸方向とは、〜軸と平行な方向を意味する。
【００２３】  圧電素子３６５は、アクチュエータ本体３６４の表側（ミラー３０５の鏡面層３５２と同じ側）に設けられている。図２に示すように、アクチュエータ本体３６４の表面にはＳｉＯ２層３６９が積層されており、圧電素子３６５は、ＳｉＯ２層３６９上に積層されている。圧電素子３６５は、アクチュエータ本体３６４と同様に、平面視長方形の板状に形成されている。圧電素子３６５は、下部電極３６６と、上部電極３６８と、これらに挟持された圧電体層３６７とを有する。下部電極３６６、圧電体層３６７、上部電極３６８は、ＳｉＯ２層３６９上にこの順で積層されている。圧電素子３６５は、ＳＯＩ基板３０１とは別の部材で形成されている。詳しくは、下部電極３６６は、Ｐｔ／Ｔｉ膜で形成されている。圧電体層３６７は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で形成されている。上部電極３６８は、Ａｕ／Ｔｉ膜で形成されている。
【００２４】  ベース部３０２には、第１アクチュエータ３０６Ａの上部電極３６８に電気的に接続された第１上部端子３２２と、第２アクチュエータ３０６Ｂの上部電極３６８に電気的に接続された第２上部端子３２３と、アクチュエータ３０６Ａの下部電極３６６及び第２アクチュエータ３０６Ｂの下部電極３６６の両方に電気的に接続された下部端子３２４とが設けられている。つまり、第１上部端子３２２は、１つの第１アクチュエータ３０６Ａにつき１つ設けられている。第２上部端子３２３は、１つの第２アクチュエータ３０６Ｂにつき１つ設けられている。下部端子３２４は、全ての下部電極３６６にとって共通の検出端子である。
【００２５】  第１上部端子３２２と下部端子３２４を介して第１アクチュエータ３０６Ａの圧電素子３６５に電圧が印加される。第２上部端子３２３と下部端子３２４を介して第２アクチュエータ３０６Ｂの圧電素子３６５に電圧が印加される。各アクチュエータ３０６は、圧電素子３６５に電圧が印加されると、アクチュエータ本体３６４のうち圧電素子３６５が積層された表面が伸縮し、アクチュエータ本体３６４の先端がＺ軸方向へ変位する。
【００２６】  アクチュエータ３０６の先端は、ヒンジ３０３を介してミラー３０５に連結されている。２つのアクチュエータ３０６，３０６は、ミラー３０５のうちＸ軸に平行な短辺３０５ａに連結されている。第１アクチュエータ３０６Ａは、短辺３０５ａの一端部に連結され、第２アクチュエータ３０６Ｂは、短辺３０５ａの他端部に連結されている。
【００２７】  ヒンジ３０３は、弾性的に変形可能に構成されている。具体的には、ヒンジ３０３は、複数の直線部と、隣り合う直線部の端部同士を連結する折り返し部とを有し、全体として蛇行した形状をしている。ヒンジ３０３は、直線部がＸ軸方向に延びる第１ヒンジ３０３ａと、直線部がＹ軸方向に延びる第２ヒンジ３０３ｂとを有している。第１ヒンジ３０３ａは、Ｘ軸方向に延びる軸回りに湾曲しやすくなっている。一方、第２ヒンジ３０３ｂは、Ｙ軸方向に延びる軸回りに湾曲しやすくなっている。第１ヒンジ３０３ａは、アクチュエータ３０６に連結され、第２ヒンジ３０３ｂは、ミラー３０５に連結されている。
【００２８】  延長部３０４は、ミラー３０５のうち、ヒンジ３０３，３０３が連結された短辺３０５ａと対向する短辺３０５ｂに設けられている。延長部３０４は、短辺３０５ｂの略中央からＹ軸方向に延びている。延長部３０４は、ミラー３０５に固定的に連結されている。詳しくは、延長部３０４は、ミラー本体３５１と同じ第１シリコン層３０１ａで形成されている。
【００２９】  延長部３０４は、ヒンジ３４１を介してベース部３０２に連結されている。ヒンジ３４１は、延長部３０４よりも剛性が低く、弾性的に変形可能に構成されている。具体的には、ヒンジ３４１は、複数の直線部と、隣り合う直線部の端部同士を連結する折り返し部とを有し、全体として蛇行した形状をしている。ヒンジ３４１は、直線部がＸ軸方向に延びる第１ヒンジ３４１ａと、直線部がＹ軸方向に延びる第２ヒンジ３４１ｂとを有している。第１ヒンジ３４１ａは、Ｘ軸方向に延びる軸回りに湾曲しやすくなっている。一方、第２ヒンジ３４１ｂは、Ｙ軸方向に延びる軸回りに湾曲しやすくなっている。第１ヒンジ３４１ａは、延長部３０４に連結され、第２ヒンジ３４１ｂは、ベース部３０２に連結されている。ヒンジ３４１は、延長側接続部の一例である。
【００３０】  また、ミラー３０５の短辺３０５ｂには、２つの可動櫛歯電極３０７，３０７が連結されている。可動櫛歯電極３０７は、Ｙ軸方向に延びるビーム部３７１と、ビーム部３７１に設けられた３つの電極指３７２，３７２，…とを有している。ビーム部３７１は、ミラー３０５においてＸ軸に対して延長部３０４と同じ側、即ち、アクチュエータ３０６と反対側に設けられている。ビーム部３７１は、延長部３０４に沿ってＹ軸方向に延びている。ビーム部３７１の一端部は、ヒンジ３７３を介してミラー３０５に連結されている。一方の可動櫛歯電極３０７のビーム部３７１は、ミラー３０５の短辺３０５ｂの一端部に連結され、他方の可動櫛歯電極３０７のビーム部３７１は、ミラー３０５の短辺３０５ｂの他端部に連結されている。ビーム部３７１の他端部は、Ｌ字状に屈曲し、２つのヒンジ３７４，３７４を介してベース部３０２に連結されている。こうして、２本のビーム部３７１，３７１とその間に挟まれた延長部３０４とが、ミラー３０５の短辺３０５ｂからＹ軸方向へ平行に延びている。
【００３１】  ３つの電極指３７２，３７２，…は、ビーム部３７１において延長部３０４とは反対側に設けられている。電極指３７２，３７２，…は、互いに平行にＹ軸方向に延び、櫛歯状に形成されている。尚、電極指３７２の個数は、３つに限られるものではない。
【００３２】  ヒンジ３７３は、ヒンジ３０３と同様の構成をしている。すなわち、ヒンジ３７３は、弾性的に変形可能に構成されている。具体的には、ヒンジ３７３は、複数の直線部と、隣り合う直線部の端部同士を連結する折り返し部とを有し、全体として蛇行した形状をしている。ヒンジ３７３は、直線部がＸ軸方向に延びる第１ヒンジ３７３ａと、直線部がＹ軸方向に延びる第２ヒンジ３７３ｂとを有している。第１ヒンジ３７３ａは、Ｘ軸方向に延びる軸回りに湾曲しやすくなっている。一方、第２ヒンジ３７３ｂは、Ｙ軸方向に延びる軸回りに湾曲しやすくなっている。第１ヒンジ３７３ａは、ミラー３０５に連結され、第２ヒンジ３７３ｂは、ビーム部３７１に連結されている。ヒンジ３７３は、ミラー側接続部の一例であり、第１ヒンジ３７３ａは、第１接続部の一例であり、第２ヒンジ３７３ｂは、第２接続部の一例である。
【００３３】  ヒンジ３７４は、第１ヒンジ３７３ａと同様の構成をしている。すなわち、ヒンジ３７４は、弾性的に変形可能に構成されている。具体的には、ヒンジ３７４は、Ｘ軸方向に延びる複数の直線部と、隣り合う直線部の端部同士を連結する折り返し部を有し、全体として蛇行した形状をしている。ヒンジ３７４は、Ｘ軸方向に延びる軸回りに湾曲しやすくなっている。２つのヒンジ３７４，３７４は、Ｘ軸方向に並んで配置されている。ヒンジ３７４は、ベース側接続部の一例である。
【００３４】  尚、２つの可動櫛歯電極３０７，３０７を区別するときには、ミラー３０５の短辺３０５ｂにおいて第１アクチュエータ３０６Ａと対向する端部に連結された可動櫛歯電極３０７を第１可動櫛歯電極３０７Ａと称し、短辺３０５ｂにおいて第２アクチュエータ３０６Ｂと対向する端部に連結された可動櫛歯電極３０７を第２可動櫛歯電極３０７Ｂと称する。
【００３５】  固定櫛歯電極３０８は、Ｙ軸方向に延びるビーム部３８１と、ビーム部３８１に設けられた４つの電極指３８２，３８２，…とを有している。ビーム部３８１は、ベース部３０２の内周縁からＹ軸方向に延びている。
【００３６】  ４つの電極指３８２，３８２，…は、互いに平行にＹ軸方向に延び、櫛歯状に形成されている。電極指３８２，３８２，…の間に、可動櫛歯電極３０７の電極指３７２，３７２，…が入り込んでいる。つまり、可動櫛歯電極３０７の電極指３７２，３７２，…と固定櫛歯電極３０８の電極指３８２，３８２，…とは、Ｘ軸方向において交互に配列され、互いに接触しない状態で対向している。尚、電極指３８２の個数は、４つに限られるものではない。
【００３７】  尚、２つの固定櫛歯電極３０８，３０８を区別するときには、第１可動櫛歯電極３０７Ａに対応する固定櫛歯電極３０８を第１固定櫛歯電極３０８Ａと称し、第２可動櫛歯電極３０７Ｂに対応する固定櫛歯電極３０８を第２固定櫛歯電極３０８Ｂと称する。
【００３８】  ベース部３０２には、可動櫛歯電極３０７と固定櫛歯電極３０８との静電容量を検出するための検出端子が設けられている。詳しくは、ベース部３０２には、可動櫛歯電極３０７と電気的に接続された可動端子３２５と、第１固定櫛歯電極３０８Ａに電気的に接続された第１固定端子３２６と、第２固定櫛歯電極３０８Ｂに電気的に接続された第２固定端子３２７とが設けられている。つまり、可動端子３２５は、全ての可動櫛歯電極３０７にとって共通の検出端子である。第１固定端子３２６は、１つの第１固定櫛歯電極３０８Ａにつき１つ設けられている。第２固定端子３２７は、１つの第２固定櫛歯電極３０８Ｂにつき１つ設けられている。
【００３９】  可動端子３２５は、ベース部３０２の第１シリコン層３０１ａのうち全ての可動櫛歯電極３０７，３０７，…と電気的に導通している部分の表面に設けられている。第１固定端子３２６は、ベース部３０２の第１シリコン層３０１ａのうち各第１固定櫛歯電極３０８Ａと電気的に導通している部分の表面に設けられている。第２固定端子３２７は、ベース部３０２の第１シリコン層３０１ａのうち各第２固定櫛歯電極３０８Ｂと電気的に導通している部分の表面に設けられている。第１シリコン層３０１ａのうち、第１固定端子３２６及び第２固定端子３２７が設けられた部分はそれぞれ、第１シリコン層３０１ａのその他の部分と絶縁されている。
【００４０】  このように構成されたミラーアレイ１は、ＳＯＩ基板３０１をエッチングしたり、その表面に成膜することにより製造される。例えば、ＳＯＩ基板３０１の表面にＳｉＯ２層３６９を成膜し、ＳｉＯ２層３６９の上に、Ｐｔ／Ｔｉ膜（下部電極３６６）、チタン酸ジルコン酸鉛（圧電体層３６７）及びＡｕ／Ｔｉ膜（上部電極３６８）を順に成膜して、フォトリソグラフィ及びエッチングにより圧電素子３６５を形成する。次に、第１シリコン層３０１ａをＩＣＰ−ＲＩＥ等の異方性エッチングを行うことによりミラー本体３５１及びアクチュエータ本体３６４等を形成する。続いて、ミラー本体３５１の表面にＡｕ／Ｔｉ膜を成膜して、鏡面層３５２を形成する。その後、圧電素子３６５に所定の電圧を印加して分極処理を施す。
【００４１】  −ミラーデバイスの動作−  次に、このように構成されたミラーデバイス３００の動作について説明する。
【００４２】  制御部３１０は、所望のミラーデバイス３００に駆動電圧を印加して、ミラー３０５の傾動を制御する。制御部３１０が第１上部端子３２２と下部端子３２４とに駆動電圧を印加すると、駆動電圧に応じて第１アクチュエータ３０６Ａの圧電素子３６５が収縮する。第１アクチュエータ３０６Ａは、基端部がベース部３０２に連結されているので、第１アクチュエータ３０６Ａは、その基端部を通り且つＸ軸に平行な軸Ｃ３回りに傾動する。それと共に、制御部３１０が第２上部端子３２３と下部端子３２４とに駆動電圧を印加すると、駆動電圧に応じて第２アクチュエータ３０６Ｂの圧電素子３６５が収縮する。第２アクチュエータ３０６Ｂも、第１アクチュエータ３０６Ａと同様に、基端部がベース部３０２に連結されているので、第１アクチュエータ３０６Ａは、その基端部を通り且つＸ軸に平行な軸Ｃ３回りに傾動する。制御部３１０は、第１アクチュエータ３０６Ａの駆動電圧と第２アクチュエータ３０６Ｂの駆動電圧とを独立に出力している。つまり、制御部３１０は、第１アクチュエータ３０６Ａの傾動量と第２アクチュエータ３０６Ｂの傾動量とを独立に制御している。
【００４３】  第１アクチュエータ３０６Ａが傾動すると、それに応じて、第１アクチュエータ３０６Ａの先端部が変位し、ミラー３０５のうちヒンジ３０３Ａが連結された部分が変位する。同様に、第２アクチュエータ３０６Ｂが傾動すると、それに応じて、第２アクチュエータ３０６Ｂの先端部が変位し、ミラー３０５のうちヒンジ３０３Ｂが連結された部分が変位する。尚、アクチュエータ３０６の傾動量は微小なので、アクチュエータ３０６の先端部の変位は、Ｚ軸方向への変位とみなすことができる。
【００４４】  ミラー３０５は延長部３０４及びヒンジ３４１を介してベース部３０２に連結されているので、ミラー３０５は、ヒンジ３４１を支点として全体的に傾動する。詳しくは、ミラー３０５は、ヒンジ３４１を通り且つＸ軸に平行な主軸Ｃ１回りに傾動すると共に、ヒンジ３４１及びミラー３０５の中心Ｃを通る副軸Ｃ２回りに傾動する。副軸Ｃ２は、ミラー３０５の非動作時においてはＹ軸と一致している。
【００４５】  ここで、第１アクチュエータ３０６Ａの傾動量と第２アクチュエータ３０６Ｂの傾動量とが同じであれば、ミラー３０５の短辺３０５ａのうちヒンジ３０３Ａが連結された部分とヒンジ３０３Ｂが連結された部分のＺ軸方向への変位量は同じになる。その結果、ミラー３０５は、主軸Ｃ１回りに傾動することになる。
【００４６】  一方、第１アクチュエータ３０６Ａの傾動量と第２アクチュエータ３０６Ｂの傾動量とが異なれば、ミラー３０５の短辺３０５ａのうちヒンジ３０３Ａが連結された部分とヒンジ３０３Ｂが連結された部分のＺ軸方向への変位量は異なるようになる。その結果、ミラー３０５は、副軸Ｃ２回りに傾動することになる。
【００４７】  こうして、制御部３１０は、第１アクチュエータ３０６Ａの傾動量と第２アクチュエータ３０６Ｂの傾動量とを調整することによって、ミラー３０５の主軸Ｃ１回りの傾動とミラー３０５の副軸Ｃ２回りの傾動とを組み合わせて、ミラー３０５を任意の方向へ傾動させる。
【００４８】  制御部３１０は、ミラー３０５を傾動させる際に、可動櫛歯電極３０７と固定櫛歯電極３０８との間の静電容量に基づいてミラー３０５の傾動量を検出している。
【００４９】  詳しくは、アクチュエータ３０６を作動させてミラー３０５が傾動すると、それに伴って可動櫛歯電極３０７も傾動する。ここで、可動櫛歯電極３０７のビーム部３７１の一端部は、ヒンジ３７３を介してミラー３０５に連結され、ビーム部３７１の他端部は、２つのヒンジ３７４，３７４を介してベース部３０２に連結されている。そのため、ミラー３０５が傾動すると、ビーム部３７１は、ヒンジ３７３が連結された部分がミラー３０５の変位に従って変位し、全体的に２つのヒンジ３７４，３７４を支点として傾動軸Ｃ４回りに傾動する。その結果、可動櫛歯電極３０７の電極指３７２，３７２，…と固定櫛歯電極３０８の電極指３８２，３８２，…との対向している部分の面積が変化し、可動櫛歯電極３０７及び固定櫛歯電極３０８の静電容量が変化する。
【００５０】  第１可動櫛歯電極３０７Ａは、ヒンジ３７３を介してミラー３０５の短辺３０５ｂの一端部に連結されているので、第１可動櫛歯電極３０７Ａと第１固定櫛歯電極３０８Ａとの間の静電容量に基づいて、短辺３０５ｂの一端部のＺ軸方向への変位を検出することができる。一方、第２可動櫛歯電極３０７Ｂは、ヒンジ３７３を介して短辺３０５ｂの他端部に連結されているので、第２可動櫛歯電極３０７Ｂと第２固定櫛歯電極３０８Ｂとの間の静電容量に基づいて、短辺３０５ｂの他端部のＺ軸方向への変位を検出することができる。
【００５１】  制御部３１０は、第１可動櫛歯電極３０７Ａ及び第１固定櫛歯電極３０８Ａの静電容量を可動端子３２５と第１固定端子３２６とを介して検出している。また、制御部３１０は、第２可動櫛歯電極３０７Ｂ及び第２固定櫛歯電極３０８Ｂの静電容量を可動端子３２５と第２固定端子３２７とを介して検出している。制御部３１０は、第１アクチュエータ３０６Ａへの印加電圧及び第２アクチュエータ３０６Ｂへの印加電圧を第１可動櫛歯電極３０７Ａと第１固定櫛歯電極３０８Ａの静電容量、及び第２可動櫛歯電極３０７Ｂと第２固定櫛歯電極３０８Ｂの静電容量に基づいて調整し、ミラー３０５の傾動量を制御する。
【００５２】  ここで、ミラー３０５は、２軸回りに傾動するため、ミラー３０５の短辺３０５ｂの両端部は、主軸Ｃ１回りだけでなく、副軸Ｃ２回りにも傾動する。それに対し、可動櫛歯電極３０７は、ビーム部３７１の一端部が弾性変形するヒンジ３７３を介してミラー３０５の短辺３０５ｂの端部に連結されているので、ミラー３０５の変位は、その一部がヒンジ３７３に吸収されて、可動櫛歯電極３０７に伝達される。そのため、短辺３０５ｂの端部の変位のうち、より支配的なＺ軸方向への変位が可動櫛歯電極３０７に主に伝達され、副軸Ｃ２回りの変位は可動櫛歯電極３０７へほとんど伝達されない。その結果、可動櫛歯電極３０７のＹ軸回りの傾動が抑制され、可動櫛歯電極３０７は、ビーム部３７１のうちヒンジ３７３が連結された部分が実質的にＺ軸方向にのみ変位するように傾動する。
【００５３】  これにより、可動櫛歯電極３０７と固定櫛歯電極３０８との間の静電容量を精度良く検出することができる。詳しくは、可動櫛歯電極３０７の電極指３７２，３７２，…と固定櫛歯電極３０８の電極指３８２，３８２，…とは、Ｘ軸方向において交互に配列され、互いに接触しない状態で対向している。この状態から、可動櫛歯電極３０７が傾動軸Ｃ４回りに傾動、即ち、ＹＺ平面内で変位することによって、電極指３７２，３７２，…と電極指３８２，３８２，…との対向する面積が変化し、その結果、可動櫛歯電極３０７と固定櫛歯電極３０８との間の静電容量が変化する。しかし、可動櫛歯電極３０７が傾動軸Ｃ４の方向に変位したり、Ｙ軸と平行な軸回りに傾動したりすると、電極指３７２，３７２，…と電極指３８２，３８２，…との隙間が変化し、傾動軸Ｃ４回りの可動櫛歯電極３０７の傾動以外の理由で静電容量が変化してしまう。さらには、電極指３７２，３７２，…と電極指３８２，３８２，…とが接触してしまうと、静電容量を検出できなくなってしまう。それに対し、可動櫛歯電極３０７を実質的にＺ軸方向にのみ変位するように傾動させることによって、電極指３７２，３７２，…と電極指３８２，３８２，…との隙間の大きさを維持したまま、両者が対向する面積を変化させることができる。これにより、傾動軸Ｃ４回りの可動櫛歯電極３０７の傾動に起因する可動櫛歯電極３０７と固定櫛歯電極３０８との間の静電容量の変化を精度良く検出することができる。
【００５４】  また、可動櫛歯電極３０７のビーム部３７１の他端部は、傾動軸Ｃ４の方向に並ぶ、少なくとも２箇所においてベース部３０２に連結されている。具体的には、傾動軸Ｃ４の方向に並ぶ２つのヒンジ３７４，３７４を介して、ビーム部３７１がベース部３０２に連結されている。これにより、ビーム部３７１は、傾動軸Ｃ４回りに相対的に傾動しやすく、傾動軸Ｃ４以外の軸回りに相対的に傾動しにくくなっている。
【００５５】  さらに、ヒンジ３７４の直線部はＸ軸方向（即ち、傾動軸Ｃ４方向）に延びているので、ヒンジ３７４は、傾動軸Ｃ４に直交する軸回りに比べて該傾動軸Ｃ４と平行な軸回りに湾曲しやすい形状をしている。このことによっても、ビーム部３７１は、傾動軸Ｃ４回りに相対的に傾動しやすく、傾動軸Ｃ４以外の軸回りに相対的に傾動しにくくなっている。
【００５６】  それに加えて、ビーム部３７１とミラー３０５とを連結するヒンジ３７３は、Ｙ軸と平行な軸回りにも傾動しやすく構成されている。そのため、ヒンジ３７３は、ミラー３０５の変位をビーム部３７１に伝える際に、Ｙ軸と平行な軸回りの傾動を吸収することができる。その結果、ミラー３０５が副軸Ｃ２回りに傾動したとしても、可動櫛歯電極３０７を実質的に、傾動軸Ｃ４回りにのみ傾動させることができる。
【００５７】  これらによって、可動櫛歯電極３０７を実質的に、傾動軸Ｃ４回りにのみ傾動させることができ、傾動軸Ｃ４回りの可動櫛歯電極３０７の傾動に起因する可動櫛歯電極３０７と固定櫛歯電極３０８との間の静電容量の変化を精度良く検出することができる。
【００５８】  このように、可動櫛歯電極３０７がミラー３０５にヒンジ３７３を介して連結される構成においては、ミラー３０５の変位がヒンジ３７３に吸収され過ぎると、ミラー３０５の変位を静電容量の変化に基づいて適切に検出することが難しくなる。それに対し、ミラー３０５からベース部３０２に向かって延長部３０４を延ばし、延長部３０４のベース部３０２側の端部をヒンジ３４１を介してベース部３０２に連結している。これにより、ミラー３０５の傾動を可動櫛歯電極３０７及び固定櫛歯電極３０８の静電容量の変化に基づいて精度良く検出することができる。この点について、図３を参照しながら説明する。図３は、ミラー３０５が傾動する際の可動櫛歯電極３０７の変位を説明する概略説明図であり、（Ａ）はミラーデバイス３００であり、（Ｂ）は比較のためにミラーデバイス３００の一部を変更したものである。
【００５９】  図３（Ｂ）に示すミラーデバイス３００’は、延長部３０４’がベース部３０２に固定的に連結され、延長部３０４’のミラー３０５側の端部がヒンジ３４１’を介してミラー３０５に連結されている。この構成においては、ミラー３０５は、ヒンジ３４１’付近の傾動軸を中心に傾動する。そのため、ミラー３０５が傾動する際に、延長部３０４’がベース部３０２の表面と平行なまま変位しないので、短辺３０５ｂは、Ｚ軸方向に少ししか変位しない。そのため、可動櫛歯電極３０７も少ししか傾動しない。その結果、ミラー３０５が傾動しても、可動櫛歯電極３０７及び固定櫛歯電極３０８の静電容量の大きな変化が得られず、ミラー３０５の傾動を静電容量の変化に基づいて適切に検出することが難しくなる。
【００６０】  それに対し、図３（Ａ）に示すように、延長部３０４は、ミラー３０５に固定的に連結され、ベース部３０２側の端部がヒンジ３４１を介してベース部３０２に連結されている。この構成においては、ミラー３０５は、ヒンジ３４１を通る主軸Ｃ１回りに傾動することになる。短辺３０５ｂは、図３（Ｂ）の場合と比べてミラー３０５の傾動軸から離れることになるので、ミラー３０５が傾動する際に、短辺３０５ｂのＺ軸方向の変位が図３（Ｂ）の構成と比較して大きくなる。これにより、ミラー３０５が傾動する際の可動櫛歯電極３０７の傾動も大きくなる。その結果、ミラー３０５が傾動する際に、可動櫛歯電極３０７及び固定櫛歯電極３０８の静電容量の変化が大きくなり、ミラー３０５の傾動を静電容量の変化に基づいて精度良く検出することができる。
【００６１】  このように、可動櫛歯電極３０７の、傾動軸Ｃ４回り以外の変位を低減しつつ、可動櫛歯電極３０７の、傾動軸Ｃ４回りの変位を大きくすることができる。その結果、可動櫛歯電極３０７と固定櫛歯電極３０８との接触を防止しつつ、可動櫛歯電極３０７及び固定櫛歯電極３０８の静電容量の変動幅を大きくでき、ミラー３０５の傾動を精度良く検出することができる。
【００６２】  また、ミラーアレイ３０００のように、複数のミラーデバイス３００，３００，…を所定の配列方向（この例ではＸ軸方向）に配列する構成においては、各ミラーデバイス３００の配列方向への寸法を小型化する必要がある。そのような場合には、ミラー３０５に連結されるアクチュエータ３０６及び可動櫛歯電極３０７を、ミラー３０５に対し、配列方向と直交する方向（この例ではＹ軸方向）に配置することが好ましい。ミラーデバイス３００では、ミラー３０５に対して、配列方向と直交する方向における一方側にアクチュエータ３０６を配置し、他方側に可動櫛歯電極３０７を配置している。これにより、ミラーデバイス３００の配列方向への寸法を小型にすることができると共に、ミラー３０５の、配列方向と直交する方向におけるスペースを有効に活用することができる。
【００６３】  そして、このような構成において、延長部３０４を、ミラー３０５から可動櫛歯電極３０７と同じ側に延ばし、ヒンジ３４１を介してベース部３０２に連結することによって、前述のように、可動櫛歯電極３０７と固定櫛歯電極３０８との接触の防止と、ミラー３０５の傾動の高精度の検出とを実現することができる。
【００６４】  以上のように、ミラーデバイス３００は、ベース部３０２と、ミラー３０５と、前記ミラー３０５のうち、該ミラー３０５の中心を通る直線（即ち、Ｘ軸）に対して一方側に設けられ、該ミラー３０５を傾動させるアクチュエータ３０６と、前記ミラー３０５のうち、Ｘ軸に対して前記アクチュエータ３０６とは反対側に設けられ、該ミラー３０５を前記ベース部３０２に連結する延長部３０４と、前記ベース部３０２に設けられ、電極指３８２，３８２，…を有する固定櫛歯電極３０８と、前記ミラー３０５のうち、Ｘ軸に対して前記アクチュエータ３０６とは反対側に設けられ、前記固定櫛歯電極３０８と対向する可動櫛歯電極３０７とを備え、前記可動櫛歯電極３０７は、弾性変形するヒンジ３７３を介して前記ミラー３０５に連結されたビーム部３７１と、該ビーム部３７１に設けられ、前記固定櫛歯電極３０８の電極指３８２，３８２，…と対向する電極指３７２，３７２，…とを有し、前記延長部３０４は、該延長部３０４よりも剛性が低く、弾性変形するヒンジ３４１を介して前記ベース部３０２に連結され、前記ミラー３０５は、前記ヒンジ３４１を通る主軸Ｃ１回りに傾動する。
【００６５】  この構成によれば、ミラー３０５の中心Ｃを通るＸ軸に対して一方側にアクチュエータ３０６が設けられ、反対側に延長部３０４が設けられている。そして、延長部３０４は、弾性変形するヒンジ３４１を介してベース部３０２に連結されている。そのため、アクチュエータ３０６がミラー３０５を駆動すると、ミラー３０５は、ヒンジ３４１を通る主軸Ｃ１回りに傾動する。ここで、可動櫛歯電極３０７は、Ｘ軸に対してアクチュエータ３０６と反対側、即ち、延長部３０４と同じ側に設けられている。可動櫛歯電極３０７のビーム部３７１は、弾性変形するヒンジ３７３を介してミラー３０５に連結されているので、ミラー３０５が傾動する際に、ミラー３０５の変位は、一部がヒンジ３７３に吸収されてビーム部３７１に伝わる。
【００６６】  このような構成において、ミラー３０５に延長部３０４を設け、延長部３０４を弾性変形するヒンジ３４１を介してベース部３０２に連結することによって、ミラー３０５を主軸Ｃ１から離すことができる。それにより、傾動する際のミラー３０５の変位が大きくなる。そのため、ミラー３０５の変位の一部がヒンジ３７３に吸収されたとしても、可動櫛歯電極３０７の変位を大きくすることができる。その結果、ミラー３０５が傾動する際の可動櫛歯電極３０７及び固定櫛歯電極３０８の静電容量の変動幅を大きくすることができ、ミラー３０５の変位を静電容量の変化に基づいて精度良く検出することができる。
【００６７】  また、前記延長部３０４は、前記ミラー３０５から前記ビーム部３７１に沿って延びている。
【００６８】  この構成によれば、Ｙ軸方向においてミラー３０５の片側に延長部３０４及び可動櫛歯電極をコンパクトに配置することができる。
【００６９】  また、前記ビーム部３７１は、前記主軸Ｃ１に直交する軸回りに比べて該主軸Ｃ１と平行な軸回りに傾動しやすい状態で前記ベース部３０２に連結されている。
【００７０】  この構成によれば、ミラー３０５のＹ軸回りの傾動をヒンジ３７３によって吸収することに加えて、ビーム部３７１のベース部３０２への支持構造が、主軸Ｃ１と平行な軸以外の軸回りに傾動しにくい構成となっている。これにより、可動櫛歯電極３０７のＹ軸回りの傾動を抑制し、可動櫛歯電極３０７を実質的にＺ軸方向にのみ変位するように傾動させることができる。その結果、Ｘ軸に平行な軸回りの可動櫛歯電極３０７の傾動に起因する可動櫛歯電極３０７と固定櫛歯電極３０８との間の静電容量の変化を精度良く検出することができる。
【００７１】  具体的には、前記ビーム部３７１は、弾性変形するヒンジ３７４を介して前記ベース部３０２に連結されており、前記ヒンジ３７４は、前記主軸Ｃ１に直交する軸回りに比べて該主軸Ｃ１と平行な軸回りに湾曲しやすいように構成されている。より詳しくは、ヒンジ３７４は、Ｘ軸方向に延びる複数の直線部と、隣り合う直線部の端部同士を連結する折り返し部を有し、全体として蛇行した形状をしている。
【００７２】  これにより、ビーム部３７１のＹ軸回りの傾動を抑制することができる。
【００７３】  また、前記ビーム部３７１は、弾性変形する複数のヒンジ３７４，３７４を介して前記ベース部３０２に連結されており、前記複数のヒンジ３７４，３７４は、前記主軸の方向に並列されている。
【００７４】  このように、ビーム部３７１を、主軸の方向に並列された複数のヒンジ３７４，３７４によってベース部３０２に連結することによって、ビーム部３７１のＹ軸回りの傾動が抑制される。
【００７５】  さらに、前記ヒンジ３７３は、前記主軸に直交する軸回りに比べて該主軸と平行な軸回りに湾曲しやすい第１ヒンジ３７３ａと、前記主軸と平行な軸回りに比べて該主軸に直交する軸回りに湾曲しやすい第２ヒンジ３７３ｂとを有している。
【００７６】  この構成によれば、ヒンジ３７３は、少なくとも第２ヒンジ３７３ｂを有するので、ミラー３０５のＹ軸回りの傾動を吸収し、可動櫛歯電極３０７に伝わる該傾動を抑制することができる。
【００７７】  《その他の実施形態》  以上のように、本出願において開示する技術の例示として、前記実施形態を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、上記実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。また、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、上記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。
【００７８】  前記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
【００７９】  前記実施形態では、ミラーアレイについて説明したが、ミラーデバイスを１つだけ有する場合にも前記構成を採用することができる。
【００８０】  また、前記実施形態における形状、寸法、材質は、例示に過ぎず、これらに限られるものではない。例えば、ミラー３０５は、平面視方形でなくてもよく、平面視円形であっても、方形以外の多角形であってもよい。
【００８１】  また、各ヒンジの構成も、前記実施形態に係る構成に限られるものではない。例えば、各ヒンジは、連結される部材よりも剛性が低く、弾性変形する構成であれば、任意の構成を採用することができる。ヒンジ３４１は、第１ヒンジ３４１ａ及び第２ヒンジ３４１ｂの何れか一方だけであってもよい。ヒンジ３７３は、第１ヒンジ３７３ａ及び第２ヒンジ３７３ｂの何れか一方だけであってもよい。ヒンジ３７４は、２つではなく、１つ又は３つ以上であってもよい。また、ヒンジ３７４は、ヒンジ３４１，３７３のように、Ｘ軸方向に延びる軸回りに湾曲しやすいヒンジと、Ｙ軸方向に延びる軸回りに湾曲しやすいヒンジとを有する構成であってもよい。
【００８２】  アクチュエータ３０６は、前記の構成に限られるものではない。また、アクチュエータ３０６は、圧電素子３６５を有しているがこれに限られるものではない。例えば、静電引力を用いてミラーを駆動するアクチュエータであってもよい。さらに、圧電素子３６５は、圧電体層として、ＰＺＴの代わりに非鉛圧電材料であるＫＮＮ（（Ｋ，Ｎａ）ＮｂＯ３）等を用いてもよい。さらに、ミラーデバイス３００においては、アクチュエータは１つだけであってもよい。
【００８３】  また、アクチュエータ３０６は、ミラー３０５の短辺３０５ａ以外の部分に連結されていてもよい。同様に、延長部３０４及び可動櫛歯電極３０７は、ミラー３０５の短辺３０５ｂ以外の部分に連結されていてもよい。すなわち、ミラー３０５の中心Ｃを通る直線に対して一方側にアクチュエータ３０６が設けられ、他方側に延長部３０４及び可動櫛歯電極３０７が設けられていればよい。また、前記実施形態では、ミラー３０５のＸ軸方向には、アクチュエータ３０６や延長部３０４及び可動櫛歯電極３０７が配置されていないが、ミラー３０５のＸ軸方向のスペースにアクチュエータ３０６や延長部３０４及び可動櫛歯電極３０７の一部が配置されていてもよい。
【００８４】  前記可動櫛歯電極３０７及び固定櫛歯電極３０８の構成は、一例であって、それ以外の構成であってもよい。例えば、可動櫛歯電極３０７は、ミラー３０５の長辺からＹ軸方向に延びるビーム部に設けられていてもよい。可動櫛歯電極３０７は、その位置や電極指の延びる方向は、任意に設定することができる。例えば、可動櫛歯電極３０７の電極指３７２，３７２，…及び固定櫛歯電極３０８の電極指３８２，３８２，…は、Ｙ軸方向以外、例えば、Ｘ軸方向に延びていてもよい。
【００８５】  また、ミラーデバイス３００において、ミラー３０５は、延長部３０４を介してベース部３０２に連結されているが、これに限られるものではない。例えば、図４に示すように、延長部３０４及びヒンジ３４１が省略されてもよい。その場合、ミラー３０５は、可動櫛歯電極３０７，３０７を介してベース部３０２に連結されていることになる。延長部３０４及びヒンジ３４１を省略し、可動櫛歯電極３０７を利用してミラー３０５をベース部３０２に連結することによって、ミラーデバイス３００の配列方向の寸法を小型化することができる。
【００８６】  また、ミラーデバイス３００は、駆動装置の一例である。駆動装置は、ミラーを駆動するものに限られない。例えば、駆動装置は、移動部としてのブレード又はプレートをアクチュエータで駆動するシャッタ装置であってもよい。
【００８７】  尚、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【００８８】  以上説明したように、ここに開示された技術は、駆動装置について有用である。
【符号の説明】
【００８９】３０００    ミラーアレイ３００      ミラーデバイス（駆動装置）３０２      ベース部３０４      延長部３４１      ヒンジ（延長側接続部）３０５      ミラー（移動部）３０６      アクチュエータ３０７      可動櫛歯電極３７１      ビーム部３７２      電極指３７３      ヒンジ（移動部側接続部）３７３ａ    第１ヒンジ（第１接続部）３７３ｂ    第２ヒンジ（第２接続部）３７４      ヒンジ（ベース側接続部）３０８      固定櫛歯電極３８２      電極指
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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