(57)【要約】  アクチュエータ（１２）を構成するリニアガイド装置（１０Ａ）は、ベース部（２０）と、ベース部（２０）にスライド可能に設けられたスライダ（２６）と、スライダ（２６）のスライド方向に延在した状態でベース部（２０）とスライダ（２６）との間に配設されたガイド部（２８ａ、２８ｂ）とを備える。ガイド部（２８ａ、２８ｂ）には、ＤＬＣ皮膜（９２ａ、９２ｂ）が形成され、ガイド部（２８ａ、２８ｂ）は、ＤＬＣ皮膜（９２ａ、９２ｂ）がベース部（２０）に対して所定の予圧を掛けた状態で摺動可能なようにスライダ（２６）に係止される。
2016038720.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部（２０、１０２）と、
前記ベース部（２０、１０２）にスライド可能に設けられたスライダ（２６、１０８）と、
前記スライダ（２６、１０８）のスライド方向に延在した状態で前記ベース部（２０、１０２）と前記スライダ（２６、１０８）との間に配設されたガイド部（２８ａ、２８ｂ、１１０ａ〜１１０ｄ）と、を備えるリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）であって、
前記ガイド部（２８ａ、２８ｂ、１１０ａ〜１１０ｄ）には、ダイヤモンドライクカーボン皮膜（９２ａ、９２ｂ、１３６ａ〜１３６ｄ）が形成され、前記ガイド部（２８ａ、２８ｂ、１１０ａ〜１１０ｄ）は、前記ダイヤモンドライクカーボン皮膜（９２ａ、９２ｂ、１３６ａ〜１３６ｄ）が前記ベース部（２０、１０２）に対して所定の予圧を掛けた状態で摺動可能なように前記スライダ（２６、１０８）に係止されている、
ことを特徴とするリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）。
【請求項２】
請求項１記載のリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）において、
前記スライダ（２６、１０８）には、前記ガイド部（２８ａ、２８ｂ、１１０ａ〜１１０ｄ）が配設される配設溝（７２ａ、７２ｂ、１３０ａ〜１３０ｄ）が形成され、
前記ガイド部（２８ａ、２８ｂ、１１０ａ〜１１０ｄ）は、ばね変形可能に構成されると共にばねの復元力により前記配設溝（７２ａ、７２ｂ、１３０ａ〜１３０ｄ）を構成する壁面に係止されていることを特徴とするリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）。
【請求項３】
請求項２記載のリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）において、
前記ガイド部（２８ａ、２８ｂ、１１０ａ〜１１０ｄ）は、断面Ｃ字状に形成されたばね鋼で構成されていることを特徴とするリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）。
【請求項４】
請求項３記載のリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）において、
前記ガイド部（２８ａ、２８ｂ、１１０ａ〜１１０ｄ）の外周面には、前記ダイヤモンドライクカーボン皮膜（９２ａ、９２ｂ、１３６ａ〜１３６ｄ）が形成されていることを特徴とするリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）。
【請求項５】
請求項４記載のリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）において、
前記ベース部（２０、１０２）には、前記ガイド部（２８ａ、２８ｂ、１１０ａ〜１１０ｄ）の形状に対応した形状の摺動溝（４０ａ、４０ｂ、１１４ａ〜１１４ｄ）が形成されていることを特徴とするリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）。
【請求項６】
請求項５記載のリニアガイド装置（１０Ｂ）において、
前記ガイド部（１１０ａ〜１１０ｄ）の内孔には、潤滑剤が収容されており、
前記ガイド部（１１０ａ〜１１０ｄ）は、当該ガイド部（１１０ａ〜１１０ｄ）の外周面に開口する側孔が前記摺動溝（１１４ａ〜１１４ｄ）内に位置するように前記ベース部（１０２）と前記スライダ（１０８）との間に配設されていることを特徴とするリニアガイド装置（１０Ｂ）。
【請求項７】
請求項６記載のリニアガイド装置（１０Ｂ）において、
前記摺動溝（１１４ａ〜１１４ｄ）を構成する壁面のうち前記側孔に対向する部位には切欠部（１１６ａ〜１１６ｄ）が形成されていることを特徴とするリニアガイド装置（１０Ｂ）。
【請求項８】
請求項５記載のリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）において、
前記摺動溝（４０ａ、４０ｂ、１１４ａ〜１１４ｄ）を構成する壁面には、潤滑剤が収容された切欠部（９４ａ、９４ｂ、１１６ａ〜１１６ｄ）が形成されていることを特徴とするリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）。
【請求項９】
リニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）と、
前記リニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）を構成するスライダ（２６、１０８）を駆動させる駆動部（１４）と、を備えるアクチュエータ（１２、１００）であって、
前記リニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）は、請求項１〜８のいずれか１項に記載のリニアガイド装置（１０Ａ、１０Ｂ）であることを特徴とするアクチュエータ（１２、１００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ベース部にガイド部を介してスライド可能にスライダを設けたリニアガイド装置及びそれを備えたアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、モータの作用下に送りねじ軸を回転させてリニアガイド装置のベース部に対してスライダをスライドさせる電動アクチュエータが広汎に利用されている。この種のリニアガイド装置において、例えば、特開２０１０−１３３４３８号公報には、アルミニウム製のベース部とスライダとの間に円筒状のガイド部を設置し、ベース部とガイド部との間（スライダとガイド部との間）に所定の隙間を形成する技術的思想が開示されている。【０００３】
また、例えば、特開２０１４−５９０００号公報には、アルミニウム合金の摺動面にダイヤモンドライクカーボン（DLC：Diamond-Like Carbon）皮膜を形成することにより摩耗を低減する技術的思想が開示されている。
【発明の概要】
【０００４】
上述した特開２０１０−１３３４３８号公報のような従来技術では、ベース部とガイド部との間（スライダとガイド部との間）に所定の隙間が形成されるため、スライダにガタツキが発生することがある。このようなガタツキを抑制するために前記隙間が形成されないようにガイド部を設置すると、ガイド部とベース部の摺動抵抗が増大するため、スライダをベース部に対して円滑にスライドさせることができないという問題がある。ここで、このような摺動抵抗を低減するために、特開２０１４−５９０００号公報に記載のダイヤモンドライクカーボン皮膜をベース部の摺動面に形成すると、ベース部の略全長に亘ってダイヤモンドライクカーボン皮膜を形成しなければならないためコストが高騰化してしまう。
【０００５】
本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、スライダをベース部に対してガタツクことなく円滑にスライドさせることができると共に低コスト化を図ることができるリニアガイド装置及びアクチュエータを提供することを目的とする。
【０００６】
上記の目的を達成するため、本発明に係るリニアガイド装置は、ベース部と、前記ベース部にスライド可能に設けられたスライダと、前記スライダのスライド方向に延在した状態で前記ベース部と前記スライダとの間に配設されたガイド部と、を備えるリニアガイド装置であって、前記ガイド部には、ダイヤモンドライクカーボン皮膜が形成され、前記ガイド部は、前記ダイヤモンドライクカーボン皮膜が前記ベース部に対して所定の予圧を掛けた状態で摺動可能なように前記スライダに係止されていることを特徴とする。
【０００７】
このような構成によれば、ガイド部に形成されたダイヤモンドライクカーボン皮膜がベース部に対して所定の予圧を掛けた状態で摺動可能なようにガイド部をスライダに係止するので、スライダをベース部に対してガタツクことなく円滑にスライドさせることができると共に低コスト化を図ることができる。
【０００８】
上記のリニアガイド装置において、前記スライダには、前記ガイド部が配設される配設溝が形成され、前記ガイド部は、ばね変形可能に構成されると共にばねの復元力により前記配設溝を構成する壁面に係止されているのが好ましい。このような構成によれば、ガイド部をばねの復元力を用いてスライダに確実に係止させることができる。
【０００９】
上記のリニアガイド装置において、前記ガイド部は、断面Ｃ字状に形成されたばね鋼で構成されているのが好ましい。このような構成によれば、ガイド部を簡易な構成でばね変形させることができるため、一層の低コスト化を図ることができる。
【００１０】
上記のリニアガイド装置において、前記ガイド部の外周面には、前記ダイヤモンドライクカーボン皮膜が形成されているのが好ましい。このような構成によれば、ダイヤモンドライクカーボン皮膜をベース部の摺動面に確実に接触させることができる。
【００１１】
上記のリニアガイド装置において、前記ベース部には、前記ガイド部の形状に対応した形状の摺動溝が形成されているのが好ましい。このような構成によれば、スライダをベース部に対して一層円滑にスライドさせることができる。
【００１２】
上記のリニアガイド装置において、前記ガイド部の内孔には、潤滑剤が収容されており、前記ガイド部は、当該ガイド部の外周面に開口する側孔が前記摺動溝内に位置するように前記ベース部と前記スライダとの間に配設されていてもよい。このような構成によれば、ガイド部の内孔に収容された潤滑剤をダイヤモンドライクカーボン皮膜と摺動溝を構成する壁面との間に供給することができるので、摺動抵抗をより低減させてスライダをベース部に対して一層円滑にスライドさせることができる。
【００１３】
上記のリニアガイド装置において、前記摺動溝を構成する壁面のうち前記側孔に対向する部位には切欠部が形成されていてもよい。このような構成によれば、切欠部を介してガイド部の内孔に収容された潤滑剤をダイヤモンドライクカーボン皮膜と摺動溝を構成する壁面との間に効率的に供給することができる。また、側孔を構成する壁面とガイド部の外周面との境界部に形成された角部（エッジ部）が摺動溝を構成する壁面に当たり傷がつくことを好適に抑えることができる。
【００１４】
上記のリニアガイド装置において、前記摺動溝を構成する壁面には、潤滑剤が収容された切欠部が形成されていてもよい。切欠部に収容された潤滑剤をダイヤモンドライクカーボン皮膜と摺動溝を構成する壁面との間に供給することができるので、摺動抵抗を一層低減させてスライダをベース部に対してさらに円滑にスライドさせることができる。
【００１５】
本発明に係るアクチュエータは、リニアガイド装置と、前記リニアガイド装置を構成するスライダを駆動させる駆動部と、を備えるアクチュエータであって、前記リニアガイド装置は、上述したリニアガイド装置であることを特徴とする。このような構成によれば、上述したリニアガイド装置と同様の効果を奏するアクチュエータを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。
【図２】図１に示すアクチュエータの分解斜視図である。
【図３】図２に示すガイド部及びスライダの分解斜視図である。
【図４】図３に示すガイド部の拡大斜視図である。
【図５】図１のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。
【図６】第１実施形態の変形例に係るアクチュエータの断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。
【図８】図７に示すアクチュエータの分解斜視図である。
【図９】図８に示すガイド部及びスライダの分解斜視図である。
【図１０】図７のＸ−Ｘ線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係るリニアガイド装置及びそれを備えたアクチュエータについて好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。
【００１８】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態に係るアクチュエータ１２は、リニアガイド装置１０Ａを備えたリニアアクチュエータとして構成されている。本実施形態では、アクチュエータ１２は、電動アクチュエータとして構成された例について説明するが、油圧アクチュエータ又は空気圧アクチュエータ等であっても構わない。
【００１９】
図１及び図２に示すように、アクチュエータ１２は、駆動部としてのモータ１４と、モータ１４の回転駆動力を伝達する送りねじ軸１６と、モータ１４にハウジング１８を介して設けられたリニアガイド装置１０Ａとを備える。
【００２０】
モータ１４は、例えば、ブラシ付ＤＣモータ、ブラシレスＤＣモータ、ステッピングモータ等のサーボモータによって構成されるとよい。また、モータ１４は、ソレノイド等のリニアモータであってもよい。
【００２１】
送りねじ軸１６は、モータ軸と図示しないカップリングを介して連結されている。本実施形態では、送りねじ軸１６をモータ軸として共通化することによりカップリングを省略してもよい。
【００２２】
リニアガイド装置１０Ａは、送りねじ軸１６の軸線方向に沿って延在したベース部（フレーム）２０と、ベース部２０の両端に設けられた一組のエンドプレート２２、２４と、ベース部２０に対してスライド可能に設けられたスライダ２６と、ベース部２０とスライダ２６との間に配設された複数（本実施形態では２つ）のガイド部（ガイドピン）２８ａ、２８ｂとを有している。
【００２３】
ベース部２０は、任意の材料で構成可能であるが、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金で構成されている。ベース部２０は、断面略Ｕ字状に形成されたベース部本体３４と、ベース部本体３４の全長に亘って延在すると共にベース部本体３４の両側部から立設して互いに近接する方向に屈曲した横断面が略Ｌ字状の一対の保護壁３６ａ、３６ｂとを含む。すなわち、ベース部２０には、ベース部本体３４の凹部と一対の保護壁３６ａ、３６ｂとでスライダ２６及びガイド部２８ａ、２８ｂが配設される空間Ｓが形成されている。
【００２４】
ベース部本体３４の内側面には、その全長に亘ってガイド部２８ａ、２８ｂの形状に対応した形状の摺動溝４０ａ、４０ｂが形成されている。これら摺動溝４０ａ、４０ｂは、ベース部本体３４の各内側面に１つずつ高さ方向の略中央において互いに対向して設けられている。
【００２５】
一対の保護壁３６ａ、３６ｂの間には、送りねじ軸１６の軸線方向に沿って延びてベース部２０の空間Ｓに連通する長尺な開口部４４が形成されている。なお、図１から諒解されるように、この開口部４４は、板状のカバー部４６によって覆われる。これにより、前記空間Ｓへの塵埃の流入を抑制することができる。
【００２６】
モータ１４側のエンドプレート２２は、送りねじ軸１６が挿通すると共にハウジング１８が内嵌される貫通孔４８が形成されている。モータ１４とは反対側のエンドプレート２４は、ベース部２０の空間Ｓの開口を閉塞する。各エンドプレート２２、２４は、その幅広の底部の両側に形成された取付孔５０にねじ部材５２（図１参照）を通してベース部２０の端面に形成されたねじ孔５４に締め付けることによりベース部２０に連結される。また、各エンドプレート２２、２４には、カバー部４６を固定する固定ねじ５６を締め付けるためのねじ孔５８が形成されている。
【００２７】
図３〜図５に示すように、スライダ２６は、ベース部２０の空間Ｓに配設されたブロック状（直方体状）のスライダ本体６２と、スライダ本体６２に設けられた状態で送りねじ軸１６に螺合するナット６４と、ベース部２０の開口部４４に挿通するようにスライダ本体６２から延出したくびれ部６６と、くびれ部６６の先端に設けられたテーブル６８とを有している。
【００２８】
スライダ本体６２には、ナット６４が配設される円形状のナット配設孔７０が形成されている。スライダ本体６２の両側面のうち摺動溝４０ａ、４０ｂに対向する部位には、ガイド部２８ａ、２８ｂが配設される配設溝７２ａ、７２ｂが形成されている。各配設溝７２ａ、７２ｂは、スライダ本体６２の全長に亘って延在しており、その溝壁面の横断面が円弧状に形成されている。
【００２９】
ナット６４は、円筒状に形成されており、送りねじ軸１６の回転に伴ってその軸線方向に変位する。ナット６４は、ナット配設孔７０に配設された状態でピン７６及び止めねじ７８によってスライダ本体６２に固定されている。ピン７６は、ナット６４の外周面に形成された穴部７９とナット配設孔７０を構成する壁面に形成された孔部８０とで構成されるピン孔８１に配置される。止めねじ７８は、ピン孔８１に連通してテーブル６８の外面に開口するねじ孔８２に螺合されることにより、ピン７６の位置ずれを防止する。
【００３０】
テーブル６８は、スライダ本体６２よりも幅広に形成されている。テーブル６８には、カバー部４６が挿通する挿通孔８４が形成されている。これにより、スライダ２６がベース部２０に対してスライドする際にカバー部４６と干渉することはない。テーブル６８には、図示しないワーク等を装着するための複数の装着孔８６が形成されている。
【００３１】
ガイド部２８ａ、２８ｂは、ばね変形可能に構成されると共にばねの復元力により配設溝７２ａ、７２ｂを構成する壁面に係止されている。具体的には、ガイド部２８ａ、２８ｂは、断面Ｃ字状に形成されたばね鋼で構成されている。これにより、ガイド部２８ａ、２８ｂを簡易な構成で確実にばね変形させることができる。ただし、ガイド部２８ａ、２８ｂは、ばね変形可能であってばねの復元力により配設溝７２ａ、７２ｂを構成する壁面に係止可能であれば、任意の形状及び材質を用いることが可能である。ガイド部２８ａ、２８ｂは、配設溝７２ａ、７２ｂと略同じ長さ延在しており、その両端は、スライダ本体６２の軸線方向の両端面に設けられた（固着された）一対のストッパ８８、９０に接触又は近接している。これにより、ガイド部２８ａ、２８ｂが、配設溝７２ａ、７２ｂに対して送りねじ軸１６の軸線方向にずれることを好適に抑制することができる。
【００３２】
ガイド部２８ａ、２８ｂの外周面には、ダイヤモンドライクカーボン皮膜（以下、ＤＬＣ皮膜９２ａ、９２ｂと称する。）が形成されている。そのため、ＤＬＣ皮膜９２ａはベース部２０の摺動溝４０ａを構成する壁面に接触し、ＤＬＣ皮膜９２ｂはベース部２０の摺動溝４０ｂを構成する壁面に接触する。すなわち、ガイド部２８ａは、ＤＬＣ皮膜９２ａがベース部２０に対して所定の予圧を掛けた状態で摺動可能なようにスライダ２６に係止され、ガイド部２８ｂは、ＤＬＣ皮膜９２ｂがベース部２０に対して所定の予圧を掛けた状態で摺動可能なようにスライダ２６に係止されている。
【００３３】
ＤＬＣ皮膜９２ａ、９２ｂは、炭化水素又は炭素の同素体からなる非晶質の硬質膜であって潤滑性、耐摩耗性、耐焼付き性等が優れている。そのため、ＤＬＣ皮膜９２ａ、９２ｂをベース部２０に対して所定の予圧を掛けた状態で摺動させた場合であっても、摺動抵抗を比較的低く抑えられる。これにより、スライダ２６をベース部２０に対してガタツクことなく円滑にスライドさせることができる。
【００３４】
ＤＬＣ皮膜９２ａ、９２ｂは、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：化学気相成長）法又はＰＶＤ（Physical Vapor Deposition：物理気相成長）法等によって形成することができる。また、ＤＬＣ皮膜９２ａ、９２ｂは、基材（ガイド部２８ａ、２８ｂ）との密着性を良好にするために、基材とＤＬＣ皮膜９２ａ、９２ｂとの間に中間層を形成してもよい。中間層は、例えば、基材とＤＬＣとの複合層で構成することができる。この場合、中間層は、基材に近接するにつれて金属の組成比が大きくなる一方でＤＬＣの組成比が小さくなり、基材から離間するにつれて金属の組成比が小さくなる一方でＤＬＣの組成比が大きくなる。このような中間層を用いることにより、ＤＬＣ皮膜９２ａ、９２ｂの基材から剥離が好適に抑えられる。
【００３５】
本実施形態に係るアクチュエータ１２は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその作用効果について説明する。
【００３６】
本実施形態に係るアクチュエータ１２では、図示しない電源からモータ１４に対して電流を供給することにより送りねじ軸１６を回転させると、ナット６４（スライダ２６）及びガイド部２８ａ、２８ｂが一体的に送りねじ軸１６の軸線方向に変位する。このとき、ガイド部２８ａ、２８ｂの外表面に形成されたＤＬＣ皮膜９２ａ、９２ｂがベース部２０に対して所定の予圧を掛けた状態で摺動可能なようにガイド部２８ａ、２８ｂをスライダ２６に係止しているので、スライダ２６をベース部２０に対してガタツクことなく円滑にスライドさせることができると共に低コスト化を図ることができる。
【００３７】
また、ガイド部２８ａ、２８ｂを断面Ｃ字状に形成されたばね鋼で構成しているので、ガイド部２８ａ、２８ｂを簡易な構成でばね変形させてばねの復元力を用いてスライダ２６の配設溝７２ａ、７２ｂを構成する壁面に係止させることができる。これにより、一層の低コスト化を図ることができる。
【００３８】
さらに、ガイド部２８ａ、２８ｂの外周面にＤＬＣ皮膜９２ａ、９２ｂを形成しているので、ＤＬＣ皮膜９２ａ、９２ｂをベース部２０の摺動溝４０ａ、４０ｂを構成する壁面（摺動面）に確実に接触させることができる。
【００３９】
さらにまた、摺動溝４０ａ、４０ｂをガイド部２８ａ、２８ｂの形状に対応した形状に形成しているので、スライダ２６をベース部２０に対して一層円滑にスライドさせることができる。
【００４０】
図６に示すように、摺動溝４０ａ、４０ｂを構成する壁面には、グリース（潤滑剤）が収容された切欠部９４ａ、９４ｂが形成されていてもよい。この場合、切欠部９４ａ、９４ｂに収容されたグリースをＤＬＣ皮膜９２ａ、９２ｂと摺動溝４０ａ、４０ｂを構成する壁面との間に供給することができるので、摺動抵抗を低減させてスライダ２６をベース部２０に対してさらに円滑にスライダさせることができる。
【００４１】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るアクチュエータ１００について図７〜図１０を参照しながら説明する。なお、第２実施形態に係るアクチュエータ１００において、第１実施形態に係るアクチュエータ１２と同一又は同様な機能及び効果を奏する要素には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００４２】
図７〜図１０に示すように、本実施形態に係るアクチュエータ１００は、リニアガイド装置１０Ｂの構成が上述したアクチュエータ１２のリニアガイド装置１０Ａと異なる。具体的には、リニアガイド装置１０Ｂは、ベース部１０２と、一組のエンドプレート１０４、１０６と、ベース部１０２に対してスライド可能に設けられたスライダ１０８と、ベース部１０２とスライダ１０８との間に配設された複数（本実施形態では４つ）のガイド部（ガイドピン）１１０ａ〜１１０ｄとを有している。
【００４３】
ベース部１０２を構成するベース部本体１１２の内側面には、その全長に亘って複数（図１０では４つ）の摺動溝１１４ａ〜１１４ｄが形成されている。これら摺動溝１１４ａ〜１１４ｄは、ベース部本体１１２の各内側面に２つずつ設けられている。摺動溝１１４ａ及び摺動溝１１４ｂがベース部本体１１２の底面側において互いに対向し、摺動溝１１４ｃ及び摺動溝１１４ｄが底面とは反対側において互いに対向している。各摺動溝１１４ａ〜１１４ｄを構成する壁面は、横断面が円弧状に形成されており、その溝底面には、切欠部１１６ａ〜１１６ｄが全長に亘って形成されている（図１０参照）。
【００４４】
ベース部１０２を構成する各保護壁１１８ａ、１１８ｂには、スライダ１０８に設けられたマグネット１２０の磁気を検出するオートスイッチ１２２が装着されるオートスイッチ溝１２４ａ、１２４ｂが全長に亘って形成されている。これらオートスイッチ溝１２４ａ、１２４ｂは、スライダ１０８のくびれ部６６を挟むように互いに対向している。
【００４５】
各オートスイッチ溝１２４ａ、１２４ｂは、オートスイッチ１２２の形状に対応した形状に形成されており、溝底面側（くびれ部６６側）の溝幅が開口部側の溝幅よりも大きくなっている。具体的には、各オートスイッチ溝１２４ａ、１２４ｂは、溝底面側の横断面が円弧状に形成されている。
【００４６】
これにより、オートスイッチ１２２がオートスイッチ溝１２４ａ又はオートスイッチ溝１２４ｂから離脱することを抑えることができる。なお、図７及び図８から諒解されるように、エンドプレート１０６には、オートスイッチ溝１２４ａ、１２４ｂと同じ形状の挿通溝１２６ａ、１２６ｂが各オートスイッチ溝１２４ａ、１２４ｂに連通するように形成されている。これにより、挿通溝１２６ａ、１２６ｂを介してオートスイッチ溝１２４ａ、１２４ｂに対するオートスイッチ１２２の着脱を容易に行うことができる。
【００４７】
スライダ１０８を構成するスライダ本体１２８のうち保護壁１１８ａ、１１８ｂと対向する部位は、ナット６４の外周面に沿って湾曲すると共にその一部が切り欠かれている。これにより、オートスイッチ溝１２４ａ、１２４ｂを設けることによるリニアガイド装置１０Ｂの大型化を抑えつつスライダ１０８の軽量化を図ることができる。
【００４８】
スライダ本体１２８の両側面のうち摺動溝１１４ａ〜１１４ｄに対向する部位には、ガイド部１１０ａ〜１１０ｄが配設される配設溝１３０ａ〜１３０ｄが形成されている。各配設溝１３０ａ〜１３０ｄは、上述した配設溝７２ａと同様に構成されている。スライダ１０８を構成するテーブル１３２のうちオートスイッチ溝１２４ａ、１２４ｂに対向する部位には、マグネット１２０が装着されるマグネット装着溝１３４ａ、１３４ｂが形成されている。これにより、マグネット１２０の磁気をオートスイッチ１２２にて効率的に検出することができる。
【００４９】
各ガイド部１１０ａ〜１１０ｄは、上述したガイド部２８ａと同様に構成されている。図１０から諒解されるように、ガイド部１１０ａ〜１１０ｄは、その外周面に開口する側孔が摺動溝１１４ａ〜１１４ｄ内に位置するようにベース部本体１１２とスライダ１０８との間に配設されている。具体的には、ガイド部１１０ａ〜１１０ｄの側孔は、切欠部１１６ａ〜１１６ｄに対向している。
【００５０】
これにより、側孔を構成する壁面とガイド部１１０ａ〜１１０ｄの外周面との境界部に形成された角部（エッジ部）が摺動溝１１４ａ〜１１４ｄを構成する壁面に接触することが抑えられる。なお、ガイド部１１０ａ〜１１０ｄは、ＤＬＣ皮膜１３６ａ〜１３６ｄがベース部１０２に対して所定の予圧を掛けた状態で摺動可能なようにガイド部１１０ａ〜１１０ｄ自体のばね変形の作用（ばねの復元力）によって配設溝１３０ａ〜１３０ｄを構成する壁面に係止されている。
【００５１】
また、本実施形態では、ガイド部１１０ａ〜１１０ｄの内孔及び切欠部１１６ａ〜１１６ｄがグリース溜まり（油溜まり）として機能する。すなわち、各ガイド部１１０ａ〜１１０ｄの内孔及び切欠部１１６ａ〜１１６ｄに収容されたグリース（潤滑剤）が摺動溝１１４ａ〜１１４ｄを構成する壁面とＤＬＣ皮膜１３６ａ〜１３６ｄとの間に供給される。これにより、スライダ１０８がベース部１０２に対して一層円滑にスライドすることとなる。
【００５２】
本実施形態によれば、第１実施形態に係るリニアガイド装置１０Ａ及びアクチュエータ１２と同様の作用効果を奏する。また、ガイド部１１０ａ〜１１０ｄの外周面に開口する側孔が摺動溝１１４ａ〜１１４ｄ内に位置すると共にガイド部１１０ａ〜１１０ｄの内孔にグリースが収容されているので、ベース部１０２に対してスライダ１０８をスライドさせる際に、ＤＬＣ皮膜１３６ａ〜１３６ｄと摺動溝１１４ａ〜１１４ｄを構成する壁面との間にグリースを供給して摺動抵抗を低下させることができる。これにより、スライダ１０８をベース部１０２に対して一層円滑にスライドさせることができる。
【００５３】
さらに、摺動溝１１４ａ〜１１４ｄを構成する壁面のうち側孔に対向する部位に切欠部１１６ａ〜１１６ｄを形成しているので、切欠部１１６ａ〜１１６ｄを介してガイド部１１０ａ〜１１０ｄの内孔に収容されたグリースをＤＬＣ皮膜１３６ａ〜１３６ｄと摺動溝１１４ａ〜１１４ｄを構成する壁面との間に効率的に供給することができる。また、側孔を構成する壁面とガイド部１１０ａ〜１１０ｄの外周面との境界部に形成された角部が摺動溝１１４ａ〜１１４ｄを構成する壁面に当たり傷がつくことを好適に抑えることができる。
【００５４】
本発明に係るリニアガイド装置及びアクチュエータは、上述の実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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