(57)【要約】  帯状のワークに露光処理を施す場合に、複雑な工程を必要とすることなく、精度よく露光処理を施すことが可能な露光装置を提供する。【解決手段】帯状のワーク１を搬送するワーク搬送手段２０と、露光光を発生させる露光光源３０と、ワーク１の幅方向の端部１ａ，１ｂと対向する位置に配置された透過窓４２ａ〜４２ｃを有するフォトマスク４０と、透過窓４２ａ〜４２ｃを撮像する撮像手段６０ａ〜６０ｃと、ワーク１とフォトマスク４０の位置関係を調整する位置調整手段５１，５２とを備え、撮像手段６０ａ〜６０ｃで撮像することにより得られる、透過窓４２ａ〜４２ｃの位置と、透過窓４２ａ〜４２ｃから認識されるワーク１の端部１ａ，１ｂの位置との関係から、ワーク１とフォトマスク４０の位置関係が目標とする位置関係になるように、ワーク１とフォトマスク４０の位置関係を調整できるように構成する。
2016114178.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光処理対象である帯状のワークを搬送するワーク搬送手段と、
前記ワークの一方の主面に対向するように配設され、前記ワークに照射する露光光を発生させる露光光源と、
前記ワーク搬送手段により搬送される前記ワークと、前記露光光源との間に配設されるフォトマスクであって、前記ワークの幅方向の端部と対向する位置に配置された、光を透過させる複数の透過窓を有するフォトマスクと、
前記ワークの一方の主面または他方の主面に対向するように配設され、前記フォトマスクの複数の前記透過窓を、前記ワークの前記端部が前記透過窓のそれぞれの領域内に位置する態様で撮像する撮像手段と、
前記ワークと前記フォトマスクの位置関係を相対的に調整する位置調整手段と
を備え、
前記撮像手段で撮像することにより得られる、前記透過窓の位置と、前記透過窓から認識される前記ワークの前記端部の位置との関係から、前記ワークと前記フォトマスクの位置関係が目標とする位置関係になるように、前記位置調整手段により、前記ワークと前記フォトマスクの位置関係を相対的に調整することができるように構成されていること
を特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記フォトマスクが、前記ワークの幅方向の一対の端部のそれぞれと対向する透過窓を複数備えているとともに、
前記位置調整手段が、前記ワークと前記フォトマスクの、前記ワークの幅方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されており、
前記撮像手段で撮像することにより得られる、複数の前記透過窓の位置と、複数の前記透過窓から認識される前記ワークの前記一対の端部の位置との関係から、前記ワークと前記フォトマスクの幅方向における位置関係が目標とする位置関係になるように、前記位置調整手段により、前記ワークと前記フォトマスクの前記幅方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されていること
を特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記フォトマスクが、前記ワークの幅方向の一対の端部のうちの一方側端部と対向する透過窓を複数備えているとともに、
前記位置調整手段が、前記ワークと前記フォトマスクの、前記ワークの主面に平行な回転方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されており、
前記撮像手段で撮像することにより得られる、複数の前記透過窓の位置と、複数の前記透過窓から認識される前記ワークの前記一方側端部の位置との関係から、前記ワークと前記フォトマスクの回転方向における位置関係が目標とする位置関係になるように、前記位置調整手段により、前記ワークと前記フォトマスクの前記回転方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されていること
を特徴とする請求項１または２記載の露光装置。
【請求項４】
前記位置調整手段が、前記フォトマスクの位置、および、前記ワークの位置の少なくとも一方を調整するように構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項５】
前記ワークへの露光時には、前記ワークを吸引して所定位置に前記ワークを保持し、前記ワークの搬送時には、気体を噴出して前記ワークを浮かせて搬送することができるように構成されたワーク保持手段を備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状のワークに露光処理を行うための露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
帯状のワークを搬送する場合には、通常、ワークの幅方向に蛇行が生じるので、露光装置で露光処理を行うにあたり、帯状のワークと、ワークに回路パターンを形成するためのフォトマスクとの位置合わせを行うことが必要とされている。
そのような露光装置として、一般的に、帯状のワークとフォトマスクのそれぞれにアライメントマークを設け、それらのアライメントマークの位置情報に基づいて位置合わせを行う方法が採用されている。
そして、特許文献１には、そのような露光装置の一例が開示されている。【０００３】
この特許文献１に開示されている露光装置１１０は、図７に示すように、まず、フォトマスク１４０のアライメントマークＡ２が、ワーク１の幅方向の外縁の外側に位置するように、フォトマスク１４０とワーク１とを対向させて配置するようにしている。
そして、フォトマスク１４０側から照明手段１７０で光を照射しながら、フォトマスク１４０のアライメントマークＡ２とワーク１のアライメントマークＡ１を、カメラ１６０ａ、１６０ｂでそれぞれ確認するようにしている。【０００４】
次に、位置合わせを行う場合は、フォトマスク１４０の２つのアライメントマークＡ２の中点と、ワーク１の２つのアライメントマークＡ１の中点と、露光装置１１０の露光光の中心ＥＰとが重なり合うように、フォトマスク１４０又はワーク１移動させることで位置合わせを行うようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２３５８７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に開示されたような露光装置１１０を用いる場合は、露光処理の前に、ワーク１にアライメントマークＡ１を形成する工程が必要となり、製造工程が多くなるという問題点がある。【０００７】
本発明は、上記課題を解決するものであり、帯状のワークに露光処理を施す場合に、複雑な工程を必要とすることなく、精度よく露光処理を施すことが可能な露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の露光装置は、
露光処理対象である帯状のワークを搬送するワーク搬送手段と、
前記ワークの一方の主面に対向するように配設され、前記ワークに照射する露光光を発生させる露光光源と、
前記ワーク搬送手段により搬送される前記ワークと、前記露光光源との間に配設されるフォトマスクであって、前記ワークの幅方向の端部と対向する位置に配置された、光を透過させる複数の透過窓を有するフォトマスクと、
前記ワークの一方の主面または他方の主面に対向するように配設され、前記フォトマスクの複数の前記透過窓を、前記ワークの前記端部が前記透過窓のそれぞれの領域内に位置する態様で撮像する撮像手段と、
前記ワークと前記フォトマスクの位置関係を相対的に調整する位置調整手段と
を備え、
前記撮像手段で撮像することにより得られる、前記透過窓の位置と、前記透過窓から認識される前記ワークの前記端部の位置との関係から、前記ワークと前記フォトマスクの位置関係が目標とする位置関係になるように、前記位置調整手段により、前記ワークと前記フォトマスクの位置関係を相対的に調整することができるように構成されていること
を特徴としている。  【０００９】
本発明の露光装置においては、前記フォトマスクが、前記ワークの幅方向の一対の端部のそれぞれと対向する透過窓を複数備えているとともに、
前記位置調整手段が、前記ワークと前記フォトマスクの、前記ワークの幅方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されており、
前記撮像手段で撮像することにより得られる、複数の前記透過窓の位置と、複数の前記透過窓から認識される前記ワークの前記一対の端部の位置との関係から、前記ワークと前記フォトマスクの幅方向における位置関係が目標とする位置関係になるように、前記位置調整手段により、前記ワークと前記フォトマスクの前記幅方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されていることが好ましい。【００１０】
複数の透過窓の位置と、複数の透過窓から認識されるワークの一対の端部の位置との関係から、ワークとフォトマスクの幅方向における位置関係が目標とする位置関係になるように調整することができるように構成した場合には、ワークとフォトマスクの幅方向の位置関係について、より精度の高い位置合わせを行うことが可能になる。【００１１】
また、前記フォトマスクが、前記ワークの幅方向の一対の端部のうちの一方側端部と対向する透過窓を複数備えているとともに、
前記位置調整手段が、前記ワークと前記フォトマスクの、前記ワークの主面に平行な回転方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されており、
前記撮像手段で撮像することにより得られる、複数の前記透過窓の位置と、複数の前記透過窓から認識される前記ワークの前記一方側端部の位置との関係から、前記ワークと前記フォトマスクの回転方向における位置関係が目標とする位置関係になるように、前記位置調整手段により、前記ワークと前記フォトマスクの前記回転方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されていることが好ましい。【００１２】
複数の透過窓の位置と、複数の透過窓から認識されるワークの一方側端部の位置との関係から、ワークとフォトマスクの回転方向における位置関係が目標とする位置関係になるように調整することができるように構成した場合には、ワークとフォトマスクの回転方向の位置関係について、より精度の高い位置合わせを行うことが可能になる。【００１３】
また、前記位置調整手段が、前記フォトマスクの位置、および、前記ワークの位置の少なくとも一方を調整するように構成されていることが好ましい。【００１４】
位置調整手段として、フォトマスクおよびワークのいずれか一方の位置を調整するように構成されたものを用いることにより、装置構成の複雑化を招くことなく、確実に上記位置関係を調整することが可能になり、本発明をより実効あらしめることができる。
ただし、場合によっては、フォトマスクおよびワークの両方の位置を調整するように構成することも可能である。【００１５】
また、前記ワークへの露光時には、前記ワークを吸引して所定位置に前記ワークを保持し、前記ワークの搬送時には、気体を噴出して前記ワークを浮かせて搬送することができるように構成されたワーク保持手段を備えていることが好ましい。【００１６】
上記構成を備えることにより、ワークがワーク保持手段と擦れながら搬送されることがなくなるため、ワークにダメージを与えることなく円滑に搬送することが可能な信頼性の高い露光装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の露光装置は、撮像手段で撮像することにより得られる、透過窓の位置と、透過窓から認識されるワークの端部の位置との関係から、ワークとフォトマスクの位置関係が目標とする位置関係になるように、位置調整手段により、ワークとフォトマスクの位置関係を相対的に調整することができるように構成されているので、ワークのアライメントマークを用いずに、帯状のワークの位置調整を行うことができ、ワークにアライメントマークを形成することを不要にして、効率よく精度の高い露光処理を行うことが可能になる。その結果、帯状のワークに露光処理を行う工程を経て製造される電子部品などの製品を効率よく製造することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態にかかる露光装置の概略平面図である。
【図２】図１に示した露光装置の正面図（Ａ−Ａ断面図）である。
【図３】図１に示した露光装置の側面図（Ｂ−Ｂ断面図）である。
【図４】図２に示した露光装置のワークとフォトマスクを矢印Ｃ（図２）側からみた場合の図である。
【図５】本発明の実施形態にかかる露光装置にて、ワークを搬送するときの状態を示す図である。
【図６】本発明の実施形態にかかる露光装置の変形例を示す図である。
【図７】従来の露光装置を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
次に、本発明の実施形態を示して本発明をさらに詳しく説明する。
【００２０】
本発明の実施形態にかかる露光装置１０は、図１〜３に示すように、露光処理を行う領域である露光処理部１１と、露光処理対象である帯状のワーク１を、ワーク１の長手方向（Ｘ方向）に搬送するワーク搬送手段２０とを備えている。
【００２１】
ワーク搬送手段２０は、間欠駆動することで、ワーク１の、次に露光処理が行われるべき領域ｐn+1を露光処理部１１において露光処理を行う所定の領域（すなわち、フォトマスク４０の、露光光を通過させてワーク１への露光を行うための露光パターン部４１に対応する領域）４１ｐに搬送するとともに、ワーク１の、露光パターン部４１に対応する領域４１ｐに搬送され、露光処理が行われた領域ｐnを、露光処理部１１の外側の領域ｐn-1に排出するように構成されている。ワーク搬送手段２０としては、例えば、複数の搬送ローラなどが用いられる。
【００２２】
露光処理部１１には、ワーク保持手段２５が配設されている。
ワーク保持手段２５は、ワーク１を吸引するための吸引孔２６を備えており、ワーク１への露光時には、吸引孔２６から吸引して所定位置にワーク１を保持し、ワーク１の搬送時には、吸引孔２６から気体を噴出してワーク１を浮かせて搬送することができるように構成されている。この構成により、ワーク１がワーク保持手段２５と擦れながら搬送されることがなくなるため、ワーク１にダメージを与えることなく円滑に搬送することが可能となる。
なお、吸引孔２６は、吸引ＯＮ／ＯＦＦの状態を切り替えることのできる電磁弁（図示せず）に接続されている。
ただし、ワーク１が損傷する懸念のないような場合には、ワーク１を浮かせて搬送する必要はなく、ワーク保持手段２５の吸引孔２６から気体を噴射させるように構成する必要もない。
【００２３】
この実施形態の露光処理対象であるワーク１は、例えば、ＰＥＴフィルムに樹脂層、金属層、感光層が順に積層形成されたシートである。このワーク１には、位置合わせをするためのアライメントマークは形成されていない。
【００２４】
露光処理部１１に搬送されたワーク１の一方の主面１ｈ側（図２における上方）には、ワーク１に照射する露光光を発生させる露光光源３０が配設されている。露光光源３０としては、ワーク１の感光層を感光させることのできる波長（例えば、２００ｎｍ〜６００ｎｍ）を発生する光源が用いられる。
【００２５】
ワーク１と露光光源３０の間には、ワーク１の主面１ｈと平行になるようにフォトマスク４０が配設されている。
ワーク１の主面１ｈとフォトマスク４０の間隔は、例えば、０．０１ｍｍ〜０．２ｍｍであり、プロキシミティー露光条件となる間隔で設定されている。
【００２６】
フォトマスク４０は、透光性を有するマスク本体４０ａに、光を遮断する遮光膜４０ｂを所定のパターンで付与することにより形成されている。
すなわち、フォトマスク４０は、透光性材料からなるマスク本体４０ａと、マスク本体４０ａの一方側主面（この実施形態では下面）に形成された遮光膜４０ｂとを備えており、ワーク１に回路パターンを形成するための露光パターン部４１（上述の領域ｐnに対応する領域）と、該露光パターン部４１の外側に位置するマスク外周部４５に設けられた、光を透過させる複数（この実施形態では３つ）の透過窓４２ａ，４２ｂ，４２ｃとを有している。
なお、透過窓４２ａ〜４２ｃは、マスク外周部４５において、マスク本体４０ａに、光を遮断する遮光膜４０ｂを所定の態様（透過窓４２ａ〜４２ｃとなる領域には遮光膜４０ｂを存在させないような態様）で付与することにより形成されている。
【００２７】
３つの透過窓４２ａ〜４２ｃのうち、２つの透過窓４２ａ，４２ｂは、ワーク１の幅方向（Ｙ方向）の一対の端部（一方側端部１ａ，他方側端部１ｂ）のそれぞれと対向する位置に配置されている。
また、３つの透過窓４２ａ〜４２ｃのうち、２つの透過窓４２ａ，４２ｃは、ワーク１の一対の端部１ａ，１ｂのうちの一方側端部１ａと対向する位置に配置されている。
【００２８】
この実施形態における透過窓４２ａ〜４２ｃは、方形であり、ワーク１の幅方向に平行な一対の縁部ｅと、ワーク１の幅方向に直交する一対の縁部ｆとを有している（図４参照）。
【００２９】
フォトマスク４０は、吸引機能を備えたマスク保持手段４７により吸引保持されている（図３参照）。マスク保持手段４７は、支持部材４８を介して、ワーク１の幅方向（Ｙ方向）に、フォトマスク４０の位置を調整することが可能な幅方向の位置調整手段５１と、ワーク１の主面１ｈに平行な回転方向（θ方向）に、フォトマスク４０の位置を調整することが可能な回転方向の位置調整手段５２に取り付けられている。
これにより、フォトマスク４０は、幅方向（Ｙ方向）と回転方向（θ方向）の位置を調整することができるように構成されている。
なお、幅方向の位置調整手段５１としては、例えば、一軸ロボットが用いられ、回転方向の位置調整手段５２としては、例えば、回転型一軸テーブルが用いられる。
【００３０】
露光処理部１１に搬送されたワーク１の他方の主面１ｉ側（図２における下方）には、フォトマスク４０の透過窓４２ａ，４２ｂ，４２ｃに対向する位置に、複数の撮像手段６０ａ，６０ｂ，６０ｃが配設されている。撮像手段６０ａ〜６０ｃには、例えば、ＣＣＤカメラなどが用いられており、各撮像手段６０ａ〜６０ｃが、透過窓４２ａ〜４２ｃのそれぞれを撮像するように構成されている。
そして、図４に示すように、ワーク１の一対の端部１ａ，１ｂのそれぞれを、透過窓４２ａ，４２ｂ，４２ｃのそれぞれの領域内４３ａ，４３ｂ，４３ｃに位置する態様で撮像できるように構成されている。
【００３１】
この露光装置１０は、撮像手段６０ａ，６０ｂで撮像することにより得られる、透過窓４２ａ，４２ｂの位置と、透過窓４２ａ，４２ｂから認識されるワーク１の一対の端部１ａ，１ｂの位置との関係から、ワーク１とフォトマスク４０の幅方向（Ｙ方向）における位置関係を求め、その関係が目標とする位置関係になるよう制御する制御手段（図示せず）を備えている。
そして、この制御手段からの指令によって、幅方向の位置調整手段５１が駆動され、ワーク１とフォトマスク４０の幅方向における位置関係が目標とする位置関係となるように、フォトマスク４０をＹ方向に移動させることにより、ワーク１とフォトマスク４０の幅方向（Ｙ方向）の位置関係を相対的に調整することができるように構成されている。
【００３２】
また、この制御手段は、撮像手段６０ａ，６０ｃで撮像することにより得られる、透過窓４２ａ，４２ｃの位置と、透過窓４２ａ，４２ｃから認識されるワーク１の一方側端部１ａの位置との関係から、ワーク１とフォトマスク４０の回転方向（θ方向）における位置関係を求め、その関係が目標とする位置関係になるように制御することができるように構成されている。
そして、この露光装置１０は、この制御手段からの指令によって、回転方向の位置調整手段５２が駆動され、ワーク１とフォトマスク４０の回転方向における位置関係が目標とする位置関係となるように、フォトマスク４０をθ方向に回転させることにより、ワーク１とフォトマスク４０の回転方向（θ方向）の位置関係を相対的に調整することができるように構成されている。
【００３３】
なお、この露光装置１０は、フォトマスク４０の上方で、撮像手段６０ａ，６０ｂ，６０ｃに対向する位置に、複数の照明手段７０ａ，７０ｂ，７０ｃがそれぞれ配設されている。
照明手段７０ａ〜７０ｃは、フォトマスク４０に近接して配置された発光部７１と、発光部７１よりも露光光源３０側に設けられ、撮像手段６０ａ〜６０ｃに照射される露光光源３０の露光光を遮る遮光部７２とを有している。発光部７１としては、撮像手段６０ａ〜６０ｃによって、ワーク１の端部１ａ，１ｂや透過窓４２ａ〜４２ｃを適切に撮像することができる波長（例えば、４００ｎｍ〜８００ｎｍ）を発生する発光体が用いられる。なお、ワーク１の感光層を感光させることのできる波長と重なる場合は、カットフィルタの追加などにより、発光部７１の光で露光されてしまわないような措置を取ることが好ましい。
【００３４】
次に、上述の露光装置１０を用いてワーク１に露光処理を行う方法について説明する。
【００３５】
まず、ワーク搬送手段２０によって、帯状のワーク１を長手方向（Ｘ方向）に搬送し、露光処理部１１に位置させた状態で、ワーク保持手段２５によって、ワーク１を吸引保持する。
【００３６】
次に、撮像手段６０ａ〜６０ｃによって、フォトマスク４０の透過窓４２ａ〜４２ｃをそれぞれ撮像する。その際、照明手段７０ａ〜７０ｃで、透過窓４２ａ〜４２ｃに照明光を照射する。
【００３７】
そして、撮像することにより得られた、透過窓４２ａ〜４２ｃの位置と、透過窓４２ａ〜４２ｃから認識されるワーク１の一対の端部１ａ，１ｂの位置との関係から、ワーク１とフォトマスク４０の位置関係が目標とする位置関係になるように、ワーク１とフォトマスク４０の位置関係を相対的に調整する。
【００３８】
具体的には、以下に示す方法によって位置関係を調整する。
【００３９】
まず、制御手段によって、撮像して得られたワーク１の幅方向の端部１ａ，１ｂと、方形状の透過窓４２ａ〜４２ｃの幅方向（Ｙ方向）に直交する縁部ｆとの距離ｙ１（ｙ１ａ，ｙ１ｂ，ｙ１ｃ）を、それぞれの透過窓４２ａ〜４２ｃについて求める。
【００４０】
次に、ワーク１の幅方向の一対の端部１ａ，１ｂをそれぞれ認識できるように、幅方向（Ｙ方向）に隣り合って配設された透過窓４２ａ，４２ｂについて求めたそれぞれの距離ｙ１（ｙ１ａ，ｙ１ｂ）が等しくなるように（または距離の差が所定範囲内になるように）、幅方向の位置調整手段５１を駆動させ、ワーク１に対するフォトマスク４０の幅方向（Ｙ方向）の位置を調整する。
また、ワーク１の一方側端部１ａを２箇所において認識できるように、長手方向（Ｘ方向）に隣り合って配設された透過窓４２ａ，４２ｃについて求めたそれぞれの距離ｙ１（ｙ１ａ，ｙ１ｃ）が等しくなるように（または距離の差が所定範囲内になるように）、回転方向の位置調整手段５２を駆動させ、ワーク１に対するフォトマスク４０の回転方向（θ方向）の位置を調整する。
【００４１】
そして、ワーク１に対するフォトマスク４０の位置調整が終了した後、露光光源３０によりワーク１に露光光を照射する。
【００４２】
露光処理を行った後、ワーク１を長手方向に搬送し、ワーク１の露光処理が行われた領域ｐnを露光処理部１１から排出するとともに、ワーク１の次に露光処理が行われるべき領域ｐn+1を露光処理部１１に搬送する。
【００４３】
なお、ワーク１は、ワーク保持手段２５の吸引孔２６から気体が噴出されることにより、ワーク保持手段２５から浮上した状態で搬送される。
このとき、ワーク１が照明手段７０ａ〜７０ｃに接触して損傷するおそれがある場合には、図５に示すように、フォトマスク４０と照明手段７０ａ〜７０ｃを上下移動させるための上下移動手段５３を設け、フォトマスク４０と照明手段７０ａ〜７０ｃを上方に退避させた後、ワーク保持手段２５の吸引孔２６から気体を噴出して、ワーク１を浮かせて搬送するように構成することも可能である。
【００４４】
以降、上述したような工程を繰り返すことにより、露光処理を順次行うことができる。
【００４５】
本発明の一実施形態にかかる上述の露光装置は、撮像手段で撮像することにより得られる透過窓の位置と、透過窓から認識されるワークの端部の位置との関係から、ワークとフォトマスクの位置関係が目標とする位置関係になるように、位置調整手段により、ワークとフォトマスクの位置関係を調整するようにしているので、ワークのアライメントマークに依存することなく帯状のワークとフォトマスクの位置関係を調整することができる。
【００４６】
したがって、ワークにアライメントマークを形成することを不要にして、効率よく精度の高い露光処理を行うことが可能になる。
そして、その結果、帯状のワークに露光処理を行う工程を経て製造される電子部品などの製品を効率よく製造することが可能になる。
【００４７】
なお、上記実施形態では、ワーク１とフォトマスク４０との相対位置関係を調整するために、フォトマスク４０側を移動させる態様を示したが、ワーク１側を移動させる態様とすることも可能である。
すなわち、図６に示すように、ワーク保持手段２５に幅方向の位置調整手段５１と回転方向の位置調整手段５２を取り付け、ワーク保持手段２５に保持されたワーク１を移動させることで、ワーク１とフォトマスク４０との相対位置関係を調整することも可能である。この場合においても、上述した実施形態における効果と同様の効果を得ることができる。
【００４８】
また、上記実施形態では、撮像手段６０ａ〜６０ｃをワーク１の他方の主面１ｉ側に配設するような構成としたが、撮像手段６０ａ〜６０ｃをワーク１の一方の主面１ｈ側に配設して撮像することも可能である（図６参照）。
なお、本発明において、撮像手段をワークの一方または他方の主面に対向するように配置するとは、レンズやセンサを含む撮像手段本体をワークの一方または他方の主面に対向するように配置する場合に限らず、撮像手段を構成するミラーやプリズムなどの部材を、ワークの一方または他方の主面に対向するように配置する場合も含む広い概念である。
【００４９】
また、上記実施形態では、撮像手段６０ａ〜６０ｃで撮像することにより得られた位置関係（透過窓４２ａ〜４２ｃの位置と、ワーク１の幅方向の端部１ａ，１ｂの位置との関係）を用いて、露光処理部１１に搬送されたワーク１に対してフォトマスク４０の位置調整を行い、その後、露光処理を行う態様を示したが、撮像することにより得られた上記位置関係の情報を、次のショットで露光処理を行う際に、使用することも可能である。
すなわち、ワーク１の、次の露光処理が行われるべき領域ｐn+1を、露光処理部１１に搬送する際に、露光処理部１１における上記位置関係が目標とする位置関係になるように事前にフォトマスク４０の位置調整を行い、上記領域ｐn+1が露光処理部１１に搬送された後は、位置調整を行わずに露光処理を実行するように構成することも可能である。この場合においても、上述した実施形態における効果と同様の効果を得ることができる。
【００５０】
また、ワーク１のロスを少なくして、コストの低減を図る見地からは、露光処理が行われる各領域の間隔は、できるだけ小さくすることが好ましい。
なお、具体的には、上記の各領域の間隔を、例えば、０ｍｍ〜４ｍｍとすることが可能である。
【００５１】
また、本発明におけるフォトマスク４０の透過窓４２ａ〜４２ｃの形状に特別の制約はなく、多角形、円形または楕円形とすることも可能である。
また、上記実施形態では、制御手段によって、撮像して得られたワーク１の幅方向の端部１ａ，１ｂと、方形状の透過窓４２ａ〜４２ｃの幅方向（Ｙ方向）に直交する縁部ｆとの距離ｙ１（ｙ１ａ，ｙ１ｂ，ｙ１ｃ）を、それぞれの透過窓４２ａ〜４２ｃについて求めているが、ワークの幅方向の端部と対向する位置であれば、方形状の透過窓４２ａ〜４２ｃの幅方向（Ｙ方向）に直交する縁部ｆ以外のフォトマスク４０の所定の箇所との距離を求めてもよい。
【００５２】
また、本発明において、ワーク１が複数層により構成される多層シートである場合に、撮像手段６０ａ〜６０ｃでワーク１の端部１ａ，１ｂを撮像する際は、複数層のうちの所定の層を撮像対象とすることが可能である。
【００５３】
なお、本発明の露光装置では、露光処理を行うときの露光光を用いて、ワークに回路パターンを形成するとともに、アライメントマークを形成することもできる。その場合、この露光装置を用いて形成したアライメントマークを基準に、例えば、積層、接合、実装工程などの後工程を実行することが可能になる。
【００５４】
本発明はさらにその他の点においても上記の実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１              ワーク
１ａ            ワークの幅方向の端部（一方側端部）
１ｂ            ワークの幅方向の端部（他方側端部）
１ｈ            ワークの一方の主面
１ｉ            ワークの他方の主面
１０            露光装置
１１            露光処理部
２０            ワーク搬送手段
２５            ワーク保持手段
２６            吸引孔
３０            露光光源
４０            フォトマスク
４１            露光パターン部
４１ｐ          露光光を通過させてワークへの露光を行うための露光パターン部に対応する領域
４２ａ，４２ｂ，４２ｃ  フォトマスクの透過窓
４３ａ，４３ｂ，４３ｃ  フォトマスクの透過窓の領域内
４５            マスク外周部
４７            マスク保持手段
４８            支持部材
５１            幅方向の位置調整手段
５２            回転方向の位置調整手段
６０ａ，６０ｂ，６０ｃ  撮像手段
７０ａ，７０ｂ，７０ｃ  照明手段
７１            発光部
７２            遮光部
ｅ              フォトマスクの透過窓の縁部
ｆ              フォトマスクの透過窓の縁部
ｐn-1           ワークの、露光処理部の外側の領域
ｐn             ワークの、露光処理が行われる領域（所定の領域）
ｐn+1           ワークの、次に露光処理が行われるべき領域
Ｘ              ワークの長手方向
Ｙ              ワークの幅方向
Ｚ              ワークの長手方向と幅方向に垂直な方向
θ              ワークの主面に平行な回転方向
ｙ１（ｙ１ａ，ｙ１ｂ，ｙ１ｃ）  ワークの幅方向の端部と、透過窓の縁部ｆとの距離
【図１】
2016114178.tif 000003
【図２】
2016114178.tif 000004
【図３】
2016114178.tif 000005
【図４】
2016114178.tif 000006
【図５】
2016114178.tif 000007
【図６】
2016114178.tif 000008
【図７】
2016114178.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月28日(2017.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の露光装置は、
露光処理対象である帯状のワークを搬送するワーク搬送手段と、
前記ワークの一方の主面に対向するように配設され、前記ワークに照射する露光光を発生させる露光光源と、
前記ワーク搬送手段により搬送される前記ワークと、前記露光光源との間に配設されるフォトマスクであって、前記ワークの幅方向の端部と対向する位置に配置された、光を透過させる複数の透過窓を有するフォトマスクと、
前記ワークの一方の主面または他方の主面に対向するように配設され、前記フォトマスクの複数の前記透過窓を、前記ワークの前記端部が前記透過窓のそれぞれの領域内に位置する態様で撮像する撮像手段と、
前記ワークと前記フォトマスクの位置関係を相対的に調整する位置調整手段と
を備え、
前記撮像手段で撮像することにより得られる、前記透過窓から認識される前記ワークの前記端部の位置と、前記ワークの前記端部と対向する前記透過窓の縁部の位置との関係から、前記ワークと前記フォトマスクの位置関係が目標とする位置関係になるように、前記位置調整手段により、前記ワークと前記フォトマスクの位置関係を相対的に調整することができるように構成されていること
を特徴としている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の露光装置においては、前記フォトマスクが、前記ワークの幅方向の一対の端部のそれぞれと対向する透過窓を複数備えているとともに、
前記位置調整手段が、前記ワークと前記フォトマスクの、前記ワークの幅方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されており、
前記撮像手段で撮像することにより得られる、複数の前記透過窓から認識される前記ワークの前記一対の端部の位置と、前記ワークの前記一対の端部とそれぞれ対向する前記透過窓の縁部の位置との関係から、前記ワークと前記フォトマスクの幅方向における位置関係が目標とする位置関係になるように、前記位置調整手段により、前記ワークと前記フォトマスクの前記幅方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されていることが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
複数の透過窓から認識されるワークの一対の端部の位置と、ワークの一対の端部とそれぞれ対向する透過窓の縁部の位置との関係から、ワークとフォトマスクの幅方向における位置関係が目標とする位置関係になるように調整することができるように構成した場合には、ワークとフォトマスクの幅方向の位置関係について、より精度の高い位置合わせを行うことが可能になる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、前記フォトマスクが、前記ワークの幅方向の一対の端部のうちの一方側端部と対向する透過窓を複数備えているとともに、
前記位置調整手段が、前記ワークと前記フォトマスクの、前記ワークの主面に平行な回転方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されており、
前記撮像手段で撮像することにより得られる、複数の前記透過窓から認識される前記ワークの前記一方側端部の位置と、前記ワークの前記一方側端部と対向する複数の前記透過窓の縁部の位置との関係から、前記ワークと前記フォトマスクの回転方向における位置関係が目標とする位置関係になるように、前記位置調整手段により、前記ワークと前記フォトマスクの前記回転方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されていることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
複数の透過窓から認識されるワークの一方側端部の位置と、ワークの一方側端部と対向する複数の透過窓の縁部の位置との関係から、ワークとフォトマスクの回転方向における位置関係が目標とする位置関係になるように調整することができるように構成した場合には、ワークとフォトマスクの回転方向の位置関係について、より精度の高い位置合わせを行うことが可能になる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の露光装置は、撮像手段で撮像することにより得られる、透過窓から認識されるワークの端部の位置と、ワークの端部と対向する透過窓の縁部の位置との関係から、ワークとフォトマスクの位置関係が目標とする位置関係になるように、位置調整手段により、ワークとフォトマスクの位置関係を相対的に調整することができるように構成されているので、ワークのアライメントマークを用いずに、帯状のワークの位置調整を行うことができ、ワークにアライメントマークを形成することを不要にして、効率よく精度の高い露光処理を行うことが可能になる。その結果、帯状のワークに露光処理を行う工程を経て製造される電子部品などの製品を効率よく製造することが可能になる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光処理対象である帯状のワークを搬送するワーク搬送手段と、
前記ワークの一方の主面に対向するように配設され、前記ワークに照射する露光光を発生させる露光光源と、
前記ワーク搬送手段により搬送される前記ワークと、前記露光光源との間に配設されるフォトマスクであって、前記ワークの幅方向の端部と対向する位置に配置された、光を透過させる複数の透過窓を有するフォトマスクと、
前記ワークの一方の主面または他方の主面に対向するように配設され、前記フォトマスクの複数の前記透過窓を、前記ワークの前記端部が前記透過窓のそれぞれの領域内に位置する態様で撮像する撮像手段と、
前記ワークと前記フォトマスクの位置関係を相対的に調整する位置調整手段と
を備え、
前記撮像手段で撮像することにより得られる、前記透過窓から認識される前記ワークの前記端部の位置と、前記ワークの前記端部と対向する前記透過窓の縁部の位置との関係から、前記ワークと前記フォトマスクの位置関係が目標とする位置関係になるように、前記位置調整手段により、前記ワークと前記フォトマスクの位置関係を相対的に調整することができるように構成されていること
を特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記フォトマスクが、前記ワークの幅方向の一対の端部のそれぞれと対向する透過窓を複数備えているとともに、
前記位置調整手段が、前記ワークと前記フォトマスクの、前記ワークの幅方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されており、
前記撮像手段で撮像することにより得られる、複数の前記透過窓から認識される前記ワークの前記一対の端部の位置と、前記ワークの前記一対の端部とそれぞれ対向する前記透過窓の縁部の位置との関係から、前記ワークと前記フォトマスクの幅方向における位置関係が目標とする位置関係になるように、前記位置調整手段により、前記ワークと前記フォトマスクの前記幅方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されていること
を特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記フォトマスクが、前記ワークの幅方向の一対の端部のうちの一方側端部と対向する透過窓を複数備えているとともに、
前記位置調整手段が、前記ワークと前記フォトマスクの、前記ワークの主面に平行な回転方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されており、
前記撮像手段で撮像することにより得られる、複数の前記透過窓から認識される前記ワークの前記一方側端部の位置と、前記ワークの前記一方側端部と対向する複数の前記透過窓の縁部の位置との関係から、前記ワークと前記フォトマスクの回転方向における位置関係が目標とする位置関係になるように、前記位置調整手段により、前記ワークと前記フォトマスクの前記回転方向の位置関係を相対的に調整することができるように構成されていること
を特徴とする請求項１または２記載の露光装置。
【請求項４】
前記位置調整手段が、前記フォトマスクの位置、および、前記ワークの位置の少なくとも一方を調整するように構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項５】
前記ワークへの露光時には、前記ワークを吸引して所定位置に前記ワークを保持し、前記ワークの搬送時には、気体を噴出して前記ワークを浮かせて搬送することができるように構成されたワーク保持手段を備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の露光装置。
【国際調査報告】
2016114178.tif 000010
2016114178.tif 000011
2016114178.tif 000012
2016114178.tif 000013