(57)【要約】  本発明は、一対の搬送物を同時に搬送可能な搬送装置において、位置決め作業を容易にするとともに、基板搬送の際のスループットを向上させる技術を提供するものである。本発明は、回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられた、第１及び第２の伸縮駆動軸（１１）、（１２）と、第１及び第２の旋回駆動軸（１５）、（１６）とを備える。第１及び第２の搬送機構は、回転軸を挟んで搬送物搬送方向の両側に配置され、第１及び第２の伸縮駆動軸（１１）、（１２）によって駆動されて伸縮し、搬送物搬送方向に沿って搬送物を搬送する。第１及び第２の搬送機構は、第１及び第２の旋回駆動部材（３１）、（３２Ｚ）によって回転軸を中心としてそれぞれ微小旋回するように構成されている。
2016035837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、第１及び第２の搬送機構を伸縮駆動するための第１及び第２の伸縮駆動軸と、
前記第１及び第２の伸縮駆動軸と同心状に配置され、前記第１及び第２の搬送機構を旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸とを備え、
前記第１の搬送機構は、前記第１の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するとともに、前記第２の搬送機構は、前記第２の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するように構成され、
前記第１及び第２の搬送機構は、前記第１及び第２の旋回駆動軸によってそれぞれ駆動され、当該第１及び第２の搬送機構を前記回転軸を中心としてそれぞれ旋回させる第１及び第２の旋回駆動部材を有し、
前記第１の搬送機構と、前記第２の搬送機構とが、前記回転軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されている搬送装置。
【請求項２】
前記第１及び第２の搬送機構が、同じ高さ位置に配置されている請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
第１の搬送装置と、第２の搬送装置とを有する搬送装置であって、
前記第１の搬送装置は、所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、第１及び第２の搬送機構を伸縮駆動するための第１及び第２の伸縮駆動軸と、前記第１及び第２の伸縮駆動軸と同心状に配置され、前記第１及び第２の搬送機構を旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸とを備え、前記第１の搬送機構は、前記第１の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するとともに、前記第２の搬送機構は、前記第２の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するように構成され、前記第１及び第２の搬送機構は、前記第１及び第２の旋回駆動軸によってそれぞれ駆動され、当該第１及び第２の搬送機構を前記回転軸を中心としてそれぞれ旋回させる第１及び第２の旋回駆動部材を有し、前記第１の搬送機構と、前記第２の搬送機構とが、前記回転軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されており、
前記第２の搬送装置は、前記回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、前記第１及び第２の搬送機構に対応する第３及び第４の搬送機構をそれぞれ伸縮駆動するための第３及び第４の伸縮駆動軸を有し、前記第３及び第４の搬送機構は、前記第１及び第２の搬送機構に対して異なる高さ位置で、かつ、前記回転軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されるとともに、前記第３及び第４の伸縮駆動軸によってそれぞれ駆動されて伸縮し、第３及び第４の搬送部を搬送物搬送方向に沿ってそれぞれ搬送するように構成され、前記第１及び第２の搬送機構に設けられた前記第１及び第２の旋回駆動部材にそれぞれ連結されたリンク機構を有し、当該リンク機構によって前記第３及び第４の搬送機構を前記回転軸を中心としてそれぞれ旋回させるように構成されている搬送装置。
【請求項４】
前記第１及び第２の搬送機構と、前記第３及び第４の搬送機構とが、それぞれ同じ高さ位置に配置されている請求項３記載の搬送装置。
【請求項５】
真空槽と、
前記真空槽内に設けられた搬送装置とを有し、
前記搬送装置は、所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、第１及び第２の搬送機構を伸縮駆動するための第１及び第２の伸縮駆動軸と、前記第１及び第２の伸縮駆動軸と同心状に配置され、前記第１及び第２の搬送機構を旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸とを備え、前記第１の搬送機構は、前記第１の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するとともに、前記第２の搬送機構は、前記第２の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するように構成され、前記第１及び第２の搬送機構は、前記第１及び第２の旋回駆動軸によってそれぞれ駆動され、当該第１及び第２の搬送機構を前記回転軸を中心としてそれぞれ旋回させる第１及び第２の旋回駆動部材を有し、前記第１の搬送機構と、前記第２の搬送機構とが、前記回転軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されている真空装置。
【請求項６】
前記真空槽内に設けられた複数のセンサからなり、前記第１及び第２の搬送機構によって搬送される一対の搬送物をそれぞれ検出する一対の搬送物検出センサと、前記一対の搬送物検出センサによって検出された結果に基づいて前記一対の搬送物が一対の搬送物配置部にそれぞれ配置されるように前記第１及び第２の旋回駆動軸の動作をそれぞれ制御する制御部とを有する請求項５記載の真空装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば基板等の搬送物を搬送する搬送装置に関し、特に、半導体製造装置等における真空装置に好適な搬送装置の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１７及び図１８は、従来技術の課題を説明するためのものである。
従来、真空装置としては、図１７（ａ）に示すように、四角形の搬送室の各辺に二つの処理室を有するものが知られている。【０００３】
例えば、図１７（ａ）に示すように、この真空処理装置１０１では、搬送室１００の周囲の辺に、一対の処理室１０２及び１０３、１０４及び１０５、１０８及び１０９が設けられている（符合１０６、１０７は、仕込み取り出し室である）。
一方、この種の搬送装置としては、基板搬送のスループットを向上させるため、一対の基板載置部１２１、１２２を有する搬送装置１２０が知られている。【０００４】
しかし、このような従来技術では、例えば処理室１０２、１０３の間隔、すなわち、基板１１０、１１１と、搬送装置１２０の基板載置部１２１、１２２との間隔が等しくないことが多々あり、位置決め作業が困難であるという課題がある。【０００５】
また、基板１１０、１１１と、搬送装置１２０の基板載置部１２１、１２２との間隔が大きいと、例えば図１７（ｂ）に示すように、二つの基板１１０、１１１を搬送装置１２０の基板載置部１２１、１２２上に同時に載置できない。【０００６】
この場合には、例えば図１８（ａ）（ｂ）に示すように、搬送装置１２０を旋回させて基板載置部１２１、１２２を傾けることにより、二つの基板１１０、１１１を１個毎基板載置部１２１、１２２上に載置することも行われている。
しかし、このような作業を行うと、スループットが低下してしまうという課題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１３−０８４８２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、一対の搬送物を同時に搬送可能な搬送装置において、位置決め作業を容易にするとともに、基板搬送の際のスループットを向上させる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するためになされた本発明は、所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、第１及び第２の搬送機構を伸縮駆動するための第１及び第２の伸縮駆動軸と、前記第１及び第２の伸縮駆動軸と同心状に配置され、前記第１及び第２の搬送機構を旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸とを備え、前記第１の搬送機構は、前記第１の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するとともに、前記第２の搬送機構は、前記第２の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するように構成され、前記第１及び第２の搬送機構は、前記第１及び第２の旋回駆動軸によってそれぞれ駆動され、当該第１及び第２の搬送機構を前記回転軸を中心としてそれぞれ旋回させる第１及び第２の旋回駆動部材を有し、前記第１の搬送機構と、前記第２の搬送機構とが、前記回転軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されている搬送装置である。
また、本発明は、前記第１及び第２の搬送機構が、同じ高さ位置に配置されている搬送装置である。
また、本発明は、第１の搬送装置と、第２の搬送装置とを有する搬送装置であって、前記第１の搬送装置は、所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、第１及び第２の搬送機構を伸縮駆動するための第１及び第２の伸縮駆動軸と、前記第１及び第２の伸縮駆動軸と同心状に配置され、前記第１及び第２の搬送機構を旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸とを備え、前記第１の搬送機構は、前記第１の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するとともに、前記第２の搬送機構は、前記第２の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するように構成され、前記第１及び第２の搬送機構は、前記第１及び第２の旋回駆動軸によってそれぞれ駆動され、当該第１及び第２の搬送機構を前記回転軸を中心としてそれぞれ旋回させる第１及び第２の旋回駆動部材を有し、前記第１の搬送機構と、前記第２の搬送機構とが、前記回転軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されており、前記第２の搬送装置は、前記回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、前記第１及び第２の搬送機構に対応する第３及び第４の搬送機構をそれぞれ伸縮駆動するための第３及び第４の伸縮駆動軸を有し、前記第３及び第４の搬送機構は、前記第１及び第２の搬送機構に対して異なる高さ位置で、かつ、前記回転軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されるとともに、前記第３及び第４の伸縮駆動軸によってそれぞれ駆動されて伸縮し、第３及び第４の搬送部を搬送物搬送方向に沿ってそれぞれ搬送するように構成され、前記第１及び第２の搬送機構に設けられた前記第１及び第２の旋回駆動部材にそれぞれ連結されたリンク機構を有し、当該リンク機構によって前記第３及び第４の搬送機構を前記回転軸を中心としてそれぞれ旋回させるように構成されている搬送装置である。
また、本発明は、前記第１及び第２の搬送機構と、前記第３及び第４の搬送機構とが、それぞれ同じ高さ位置に配置されている搬送装置である。
また、本発明は、真空槽と、前記真空槽内に設けられた搬送装置とを有し、前記搬送装置は、所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、第１及び第２の搬送機構を伸縮駆動するための第１及び第２の伸縮駆動軸と、前記第１及び第２の伸縮駆動軸と同心状に配置され、前記第１及び第２の搬送機構を旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸とを備え、前記第１の搬送機構は、前記第１の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するとともに、前記第２の搬送機構は、前記第２の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するように構成され、前記第１及び第２の搬送機構は、前記第１及び第２の旋回駆動軸によってそれぞれ駆動され、当該第１及び第２の搬送機構を前記回転軸を中心としてそれぞれ旋回させる第１及び第２の旋回駆動部材を有し、前記第１の搬送機構と、前記第２の搬送機構とが、前記回転軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されている真空装置である。
また、本発明は、前記真空槽内に設けられた複数のセンサからなり、前記第１及び第２の搬送機構によって搬送される一対の搬送物をそれぞれ検出する一対の搬送物検出センサと、前記一対の搬送物検出センサによって検出された結果に基づいて前記一対の搬送物が一対の搬送物配置部にそれぞれ配置されるように前記第１及び第２の旋回駆動軸の動作をそれぞれ制御する制御部とを有する真空装置である。 
【００１０】
本発明の場合、第１及び第２の搬送機構をそれぞれ旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸を、第１及び第２の搬送機構をそれぞれ伸縮駆動する第１及び第２の伸縮駆動軸と同心状に配置し、これら第１及び第２の旋回駆動軸によって第１及び第２の旋回駆動部材をそれぞれ駆動して第１及び第２の搬送機構を回転軸を中心としてそれぞれ旋回させるようにしたことから、回転軸を挟んで搬送物搬送方向の両側に例えば同じ高さ位置に配置されている第１及び第２の搬送機構の搬送物載置部を離間し、かつ、近接させてそれらの間隔を調整することができる。
その結果、本発明によれば、二つの搬送物が並べて配置される場合において、これらの搬送物に対し、また当該搬送物を配置する部分に対して第１及び第２の搬送機構の基板載置部を正確に位置決めすることができるので、位置決め作業を容易に行うことができ、また、基板搬送の際のスループットを向上させることができる。【００１１】
また、第１の搬送装置として上述した搬送装置と、第２の搬送装置として、回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、第１及び第２の搬送機構に対応する第３及び第４の搬送機構をそれぞれ伸縮駆動するための第３及び第４の伸縮駆動軸とを有し、第３及び第４の搬送機構は、第１及び第２の搬送機構に対して異なる高さ位置で、かつ、回転軸を挟んで搬送物搬送方向の両側に配置されるとともに、第３及び第４の伸縮駆動軸によってそれぞれ駆動されて伸縮し、第３及び第４の搬送部を搬送物搬送方向に沿ってそれぞれ搬送するように構成され、第１及び第２の搬送機構に設けられた第１及び第２の旋回駆動部材にそれぞれ連結されたリンク機構を有し、リンク機構によって第３及び第４の搬送機構を回転軸を中心としてそれぞれ旋回させるように構成されている場合には、第３及び第４の伸縮駆動軸によって第３及び第４の搬送機構を伸縮させるとともに、第３及び第４の搬送機構の基板載置部を離間し、かつ、近接させてそれらの間隔を調整することができる。
その結果、本発明によれば、第１及び第２の搬送機構と、第３及び第４の搬送機構によって基板の搬送を行うことができるので、更に基板搬送の際のスループットを向上させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、一対の搬送物を同時に搬送可能な搬送装置において、位置決め作業を容易にするとともに、基板搬送の際のスループットを向上させる技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（ａ）（ｂ）：本発明に係る搬送装置の実施の形態の下側搬送装置を示す平面図
【図２】（ａ）（ｂ）：同実施の形態の上側搬送装置を示す平面図
【図３】（ａ）：同搬送装置の構成を示すもので、搬送方向下流側から見た図（ｂ）：同搬送装置の構成を示す平面図（ｃ）：同搬送装置の構成を示すもので、搬送方向上流側から見た図
【図４】下側搬送機構の伸長動作を示す平面図
【図５】上側搬送機構の伸長動作を示す平面図
【図６】（ａ）（ｂ）：本実施の形態における上側搬送装置及び下側搬送装置の微小旋回動作を示す説明図（その１）
【図７】（ａ）（ｂ）：本実施の形態における上側搬送装置及び下側搬送装置の微小旋回動作を示す説明図（その２）
【図８】（ａ）（ｂ）：本実施の形態における上側搬送装置及び下側搬送装置の微小旋回動作を示す説明図（その３）
【図９】（ａ）（ｂ）：本実施の形態における上側搬送装置及び下側搬送装置の微小旋回動作を示す説明図（その４）
【図１０】本発明に係る真空装置の実施の形態を示す平面図（その１）
【図１１】本発明に係る真空装置の実施の形態を示す平面図（その２）
【図１２】本発明に係る真空装置の実施の形態を示す平面図（その３）
【図１３】本発明に係る真空装置の他の実施の形態の構成を示す平面図
【図１４】本発明に係る真空装置の他の実施の形態の要部構成を示す説明図
【図１５】本発明に係る真空装置の他の実施の形態の回路系の構成を示すブロック図
【図１６】（ａ）〜（ｅ）：本実施の形態における基板の位置検出動作を示す説明図
【図１７】（ａ）（ｂ）：従来技術の課題を説明するための図（その１）
【図１８】（ａ）（ｂ）：従来技術の課題を説明するための図（その２）
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１（ａ）（ｂ）は、本発明に係る搬送装置の実施の形態の下側搬送装置を示す平面図、図２（ａ）（ｂ）は、同実施の形態の上側搬送装置を示す平面図である。
【００１５】
図３（ａ）〜（ｃ）は、同搬送装置の構成を示すもので、図３（ａ）は、搬送方向下流側から見た図、図３（ｂ）は平面図、図３（ｃ）は、搬送方向上流側から見た図である。
【００１６】
本発明の搬送装置１は、例えば真空槽（図示せず）内において基板等の搬送物の搬送を行うもので、図１（ａ）（ｂ）に示す第１の搬送装置である下側搬送装置１Ａと、図２（ａ）（ｂ）に示す第２の搬送装置である上側搬送装置１Ｂとを有している。
図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、下側搬送装置１Ａと、上側搬送装置１Ｂとは、それぞれ重ねて上下に配置されている。
【００１７】
図１（ａ）（ｂ）に示すように、本実施の形態では、独立した駆動源（図示せず）からそれぞれ時計回り方向又は反時計回り方向の回転動力が伝達される同心状の第１、第２、第３及び第４の伸縮駆動軸１１、１２、１３、１４並びに第１及び第２の旋回駆動軸１５、１６を有している。
ここで、第１、第２、第３及び第４の伸縮駆動軸１１〜１４並びに第１及び第２の旋回駆動軸１５、１６は、例えば鉛直方向に延びるように設けられている。
【００１８】
図１（ａ）（ｂ）に示すように、下側搬送装置１Ａは、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｖ（搬送物搬送方向）に延びる直線Ｙの両側、すなわち、ここでは左側に設けられた左下側搬送機構２Ｌと、右側に設けられた右下側搬送機構２Ｒとを有している。
【００１９】
左下側搬送機構２Ｌは、左下側駆動アーム２１と、第１の旋回駆動部材３１と、第１の左下側従動アーム２２と、第２の左下側従動アーム２３によって構成される第１の左下側平行クランク機構３ａを有している。
【００２０】
ここで、左下側駆動アーム２１は、回転軸Ｏを中心として水平方向に回転するように、その一方の端部（基端部）が第１の伸縮駆動軸１１に連結されている。
そして、左下側駆動アーム２１は、回転軸Ｏを通り基板搬送方向Ｖと平行に延びる直線Ｙに対して左側方側に位置するようにその動作範囲が制御されるようになっている。
【００２１】
一方、第１の旋回駆動部材３１は、例えば平板状の座部材から構成され、回転軸Ｏに対して基板搬送方向Ｖの下流側に延びるように設けられている。
この第１の旋回駆動部材３１は、左下側駆動アーム２１の下方に設けられ、回転軸Ｏを中心として水平方向に所定角度回転するように、その一方の端部（基端部）が第１の旋回駆動軸１５に連結されている。
【００２２】
左下側駆動アーム２１の他方の端部（先端部）には、第１の左下側従動アーム２２の一方の端部（基端部）が、左下側駆動アーム２１の上部において支軸Ａを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００２３】
また、第１の旋回駆動部材３１の他方の端部（先端部）には、第２の左下側従動アーム２３の一方の端部（基端部）が、第１の旋回駆動部材３１の上部において支軸Ｂを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００２４】
この支軸Ｂは、連結部材３１ａを介して鉛直方向に延びるように設けられ、後述する第２の右上側従動アーム６３と連結してリンク機構を構成するようになっている（図３（ａ）参照）。
さらに、第２の左下側従動アーム２３の他方の端部（先端部）は、第１の左下側従動アーム２２の下部において支軸Ｃを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００２５】
本実施の形態の場合、支軸ＡＣ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｂ間の軸間距離と同一となるように設定されている。また、支軸ＢＣ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ａ間の軸間距離と同一となるように設定されている。
なお、支軸ＡＣ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ｂ間の軸間距離が、支軸ＢＣ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ａ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
【００２６】
第１の左下側平行クランク機構３ａの先端部即ち動作側端部には、第２の左下側平行クランク機構３ｂが連結されている。
この第２の左下側平行クランク機構３ｂは、第１の左下側平行クランク機構３ａの第１の左下側従動アーム２２と、第３の左下側従動アーム２５と、第４の左下側従動アーム２６と、左下側エンドエフェクタ３０Ｌの支持部３５Ｌによって構成されている。
【００２７】
ここで、第１の左下側従動アーム２２の左下側駆動アーム２１側の端部には、第１の左下側従動アーム２２の上部において、第３の左下側従動アーム２５の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ａを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００２８】
また、第１の左下側従動アーム２２の第２の左下側従動アーム２３側の端部には、第１の左下側従動アーム２２の上部において、第４の左下側従動アーム２６の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ｃを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００２９】
さらに、第３及び第４の左下側従動アーム２５、２６の他方の端部（先端部）は、基板載置部３６Ｌを有する左下側エンドエフェクタ３０Ｌの支持部３５Ｌの下部において、支軸ＡＣ間の軸間距離と同一の軸間距離だけ離間した位置に設けられた支軸Ｄ、支軸Ｅを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。これら第３及び第４の左下側従動アーム２５、２６は、それぞれの支軸Ｄ、支軸Ｅが、支軸Ａ、支軸Ｃに対し、回転軸Ｏを通り基板搬送方向Ｖと平行に延びる直線Ｙ側に位置するように構成されている。
【００３０】
本実施の形態では、第１の左下側従動アーム２２に、左下側駆動アーム２１と第４の左下側従動アーム２６の回転方向が反対方向で且つ同一の角度となるように構成されたギアボックスからなる動力伝達機構２４が設けられている。すなわち、左下側駆動アーム２１の動力が第１の左下側従動アーム２２の動力伝達機構２４を介して伝達され、第４の左下側従動アーム２６が左下側駆動アーム２１と同一角度で反対方向に回転するように構成されている。
【００３１】
本実施の形態の場合、支軸ＡＣ間の軸間距離は、支軸ＤＥ間の軸間距離と同一となるように設定されている。また、支軸ＡＤ間の軸間距離は、支軸ＣＥ間の軸間距離と同一となるように設定されている。
なお、支軸ＤＥ間の軸間距離と支軸ＡＣ間の軸間距離が、支軸ＡＤ間の軸間距離と支軸ＣＥ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
【００３２】
その一方で、本実施の形態では、支軸ＡＤ並びに支軸ＣＥ間の軸間距離が、回転軸Ｏ及び支軸Ａ間の軸間距離、並びに、支軸ＢＣ間の軸間距離より短くなるようにそれぞれの軸間距離が設定されている。
【００３３】
そして、このような構成により、左下側搬送機構２Ｌを基板搬送方向Ｖ又は反対方向に沿って動作させた場合に、左下側エンドエフェクタ３０Ｌが第１〜第４の伸縮駆動軸１１〜１４及び支軸Ｂ、Ｆに接触しないようになっている。
【００３４】
他方、本実施の形態の右下側搬送機構２Ｒは、右下側駆動アーム４１と、第２の旋回駆動部材３２と、第１の右下側従動アーム４２と、第２の右下側従動アーム４３によって構成される第１の右下側平行クランク機構４ａを有している。
【００３５】
ここで、右下側駆動アーム４１は、回転軸Ｏを中心として水平方向に回転するように、その一方の端部（基端部）が第２の伸縮駆動軸１２に連結されている。
そして、右下側駆動アーム４１は、回転軸Ｏを通り基板搬送方向Ｖと平行に延びる直線Ｙに対して右側方側に位置するようにその動作範囲が制御されるようになっている。
【００３６】
一方、第２の旋回駆動部材３２は、例えば平板状の座部材から構成され、回転軸Ｏに対して基板搬送方向Ｖの上流側に延びるように設けられている。
この第２の旋回駆動部材３２は、上述した第１の旋回駆動部材３１の下方に設けられ、回転軸Ｏを中心として水平方向に所定角度回転するように、その一方の端部（基端部）が第２の旋回駆動軸１６に連結されている。
【００３７】
右下側駆動アーム４１の他方の端部（先端部）には、第１の右下側従動アーム４２の一方の端部（基端部）が、右下側駆動アーム４１の上部において支軸Ｈを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００３８】
また、第２の旋回駆動部材３２の他方の端部（先端部）には、第２の右下側従動アーム４３の一方の端部（基端部）が、第２の旋回駆動部材３２の上部において支軸Ｆを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００３９】
この支軸Ｆは、連結部材３２ａを介して鉛直方向に延びるように設けられ、後述する第２の左上側従動アーム５３と連結するように構成されている（図３（ｃ）参照）。
さらに、第２の右下側従動アーム４３の他方の端部（先端部）は、第１の右下側従動アーム４２の下部において支軸Ｇを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００４０】
本実施の形態の場合、支軸ＨＧ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｆ間の軸間距離と同一となるように設定されている。また、支軸ＦＧ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｈ間の軸間距離と同一となるように設定されている。
なお、支軸ＨＧ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ｆ間の軸間距離が、支軸ＦＧ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ｈ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
【００４１】
第１の右下側平行クランク機構４ａの先端部即ち動作側端部には、第２の右下側平行クランク機構４ｂが連結されている。
この第２の右下側平行クランク機構４ｂは、第１の右下側平行クランク機構４ａの第１の右下側従動アーム４２と、第３の右下側従動アーム４４と、第４の右下側従動アーム４５と、右下側エンドエフェクタ３０Ｒの支持部３５Ｒによって構成されている。
【００４２】
ここで、第１の右下側従動アーム４２の右下側駆動アーム４１側の端部には、第１の右下側従動アーム４２の上部において、第３の右下側従動アーム４４の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ｈを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００４３】
また、第１の右下側従動アーム４２の第２の右下側従動アーム４３側の端部には、第１の右下側従動アーム４２の上部において、第４の右下側従動アーム４５の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ｇを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００４４】
さらに、第３及び第４の右下側従動アーム４４、４５の他方の端部（先端部）は、基板載置部３６Ｒを有する右下側エンドエフェクタ３０Ｒの支持部３５Ｒの下部において、支軸ＨＧ間の軸間距離と同一の軸間距離だけ離間した位置に設けられた支軸Ｊ、支軸Ｉを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
これら第３及び第４の右下側従動アーム４４、４５は、それぞれの支軸Ｊ、支軸Ｉが、支軸Ｈ、支軸Ｇに対し、回転軸Ｏを通り基板搬送方向Ｖと平行に延びる直線Ｙ側に位置するように構成されている。
【００４５】
本実施の形態では、第１の右下側従動アーム４２に、右下側駆動アーム４１と第４の右下側従動アーム４５の回転方向が反対方向で且つ同一の角度となるように構成されたギアボックスからなる動力伝達機構４６が設けられている。
【００４６】
すなわち、右下側駆動アーム４１の動力が第１の右下側従動アーム４２の動力伝達機構４６を介して伝達され、第４の右下側従動アーム４５が右下側駆動アーム４１と同一角度で反対方向に回転するように構成されている。本実施の形態の場合、支軸ＧＨ間の軸間距離は、支軸ＩＪ間の距離と等しくなるように構成されている。また、支軸ＧＩ間の軸間距離は、支軸ＨＪ間の軸間距離と等しくなるように構成されている。
【００４７】
なお、本実施の形態では、支軸ＩＪ間の軸間距離と支軸ＧＨ間の軸間距離が、支軸ＧＩ間の軸間距離と支軸ＨＪ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
その一方で、支軸ＧＩ並びに支軸ＨＪ間の軸間距離が、回転軸Ｏ及び支軸Ｈ間の軸間距離、並びに、支軸ＦＧ間の軸間距離より短くなるようにそれぞれの軸間距離が設定されている。
【００４８】
そして、このような構成により、右下側搬送機構２Ｒを基板搬送方向Ｖに沿って動作させた場合に、右下側エンドエフェクタ３０Ｒが第１〜第４の伸縮駆動軸１１〜１４及び支軸Ｂ、Ｆに接触しないようになっている。
【００４９】
なお、本実施の形態の場合、左下側搬送機構２Ｌの第１の左下側平行クランク機構３ａと、右下側搬送機構２Ｒの第１の右下側平行クランク機構４ａとは、それぞれ対応するアームの軸間距離が同一となるように構成されている。
【００５０】
また、左下側搬送機構２Ｌの第２の左下側平行クランク機構３ｂと、右下側搬送機構２Ｒの第２の右下側平行クランク機構４ｂとは、それぞれ対応するアームの軸間距離が同一となるように構成されている。
【００５１】
本実施の形態の右下側エンドエフェクタ３０Ｒは、回転軸Ｏに対する基板載置部３６Ｒの距離が、左下側エンドエフェクタ３０Ｌにおける回転軸Ｏに対する基板載置部３６Ｌの距離と等しくなるように、基板搬送方向Ｖについての支持部３５Ｒの長さが左下側エンドエフェクタ３０Ｌの支持部３５Ｌの長さより長くなるように構成されている。
【００５２】
さらに、本実施の形態では、左下側エンドエフェクタ３０Ｌの高さ位置と、右下側エンドエフェクタ３０Ｒの高さ位置が等しくなるように左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒの各部材の形状並びに配置構成が定められている。
【００５３】
図２（ａ）（ｂ）に示すように、上側搬送装置１Ｂは、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｖに延びる直線Ｙの両側、すなわち、ここでは左側に設けられた左上側搬送機構７Ｌと、右側に設けられた右上側搬送機構７Ｒとを有している。
【００５４】
左上側搬送機構７Ｌは、左上側駆動アーム５１と、上述した第２の旋回駆動部材３２と、第１の左上側従動アーム５２と、第２の左上側従動アーム５３によって構成される第１の左上側平行クランク機構５ａを有している。
【００５５】
ここで、左上側駆動アーム５１は、回転軸Ｏを中心として水平方向に回転するように、その一方の端部（基端部）が第４の伸縮駆動軸１４に連結されている。
そして、左上側駆動アーム５１は、回転軸Ｏを通り基板搬送方向Ｖと平行に延びる直線Ｙに対して左側方側に位置するようにその動作範囲が制御されるようになっている。
【００５６】
左上側駆動アーム５１の他方の端部（先端部）には、第１の左上側従動アーム５２の一方の端部（基端部）が、左上側駆動アーム５１の下部において支軸Ｋを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００５７】
また、第２の旋回駆動部材３２の他方の端部（先端部）には、第２の左上側従動アーム５３の一方の端部（基端部）が、第２の旋回駆動部材３２の上方において支軸Ｆを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００５８】
ここで、支軸Ｆは、上述したように鉛直方向に延びる連結部材３２ａを介して設けられており、第２の左上側従動アーム５３は、左上側駆動アーム５１と同じ高さとなるように支軸Ｆに取り付けられている。
そして、第２の左上側従動アーム５３の他方の端部（先端部）は、第１の左上側従動アーム５２の上部において支軸Ｌを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００５９】
本実施の形態の場合、支軸ＫＬ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｆ間の軸間距離と同一となるように設定されている。また、支軸ＦＬ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｋ間の軸間距離と同一となるように設定されている。
なお、支軸ＫＬ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ｆ間の軸間距離が、支軸ＦＬ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ｋ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
【００６０】
第１の左上側平行クランク機構５ａの先端部即ち動作側端部には、第２の左上側平行クランク機構５ｂが連結されている。
この第２の左上側平行クランク機構５ｂは、第１の左上側平行クランク機構５ａの第１の左上側従動アーム５２と、第３の左上側従動アーム５５と、第４の左上側従動アーム５６と、左上側エンドエフェクタ７０Ｌの支持部７５Ｌによって構成されている。
【００６１】
ここで、第１の左上側従動アーム５２の左上側駆動アーム５１側の端部には、第１の左上側従動アーム５２の下部において、第４の左上側従動アーム５６の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ｋを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００６２】
また、第１の左上側従動アーム５２の第２の左上側従動アーム５３側の端部には、第１の左上側従動アーム５２の下部において、第３の左上側従動アーム５５の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ｌを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００６３】
さらに、第３及び第４の左上側従動アーム５５、５６の他方の端部（先端部）は、基板載置部７６Ｌを有する左上側エンドエフェクタ７０Ｌの支持部７５Ｌの下部において、支軸ＬＫ間の軸間距離と同一の軸間距離だけ離間した位置に設けられた支軸Ｍ、支軸Ｐを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。これら第３及び第４の左上側従動アーム５５、５６は、それぞれの支軸Ｍ、支軸Ｐが、支軸Ｌ、支軸Ｋに対し、回転軸Ｏを通り基板搬送方向Ｖと平行に延びる直線Ｙ側に位置するように構成されている。
【００６４】
本実施の形態では、第１の左上側従動アーム５２に、左上側駆動アーム５１と第３の左上側従動アーム５５の回転方向が反対方向で且つ同一の角度となるように構成されたギアボックスからなる動力伝達機構５４が設けられている。すなわち、左上側駆動アーム５１の動力が第１の左上側従動アーム５２の動力伝達機構５４を介して伝達され、第３の左上側従動アーム５５が左上側駆動アーム５１と同一角度で反対方向に回転するように構成されている。
【００６５】
本実施の形態の場合、支軸ＫＬ間の軸間距離は、支軸ＰＭ間の軸間距離と同一となるように設定されている。また、支軸ＫＰの軸間距離は、支軸ＬＭ間の軸間距離と同一となるように設定されている。
【００６６】
なお、支軸ＰＭ間の軸間距離と支軸ＫＬ間の軸間距離が、支軸ＬＭ間の軸間距離と支軸ＫＰ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
その一方で、本実施の形態では、支軸ＬＭ並びに支軸ＫＰ間の軸間距離が、回転軸Ｏ及び支軸Ｋ間の軸間距離、並びに、支軸ＦＬ間の軸間距離より短くなるようにそれぞれの軸間距離が設定されている。
【００６７】
さらに、本実施の形態の左上側エンドエフェクタ７０Ｌは、その上面の高さ位置が、第１の左上側平行クランク機構５ａの左上側駆動アーム５１及び第２の左上側従動アーム５３の下部の高さ位置より下方に位置するように配置構成されている。
【００６８】
そして、このような構成により、左上側搬送機構７Ｌを基板搬送方向Ｖ又は反対方向に沿って動作させた場合に、左上側エンドエフェクタ７０Ｌが、左上側駆動アーム５１及び第２の左上側従動アーム５３の下方を通過し、かつ、第１〜第４の伸縮駆動軸１１〜１４並びに支軸Ｂ、Ｆに接触しないようになっている。
【００６９】
他方、本実施の形態の右上側搬送機構７Ｒは、右上側駆動アーム６１と、第１の旋回駆動部材３１と、第１の右上側従動アーム６２と、第２の右上側従動アーム６３によって構成される第１の右上側平行クランク機構６ａを有している。
【００７０】
ここで、右上側駆動アーム６１は、回転軸Ｏを中心として水平方向に回転するように、その一方の端部（基端部）が第３の伸縮駆動軸１３に連結されている。
そして、右上側駆動アーム６１は、回転軸Ｏを通り基板搬送方向Ｖと平行に延びる直線Ｙに対して右側方側に位置するようにその動作範囲が制御されるようになっている。
【００７１】
右上側駆動アーム６１の他方の端部（先端部）には、第１の右上側従動アーム６２の一方の端部（基端部）が、右上側駆動アーム６１の下部において支軸Ｑを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００７２】
また、第１の旋回駆動部材３１の他方の端部（先端部）には、第２の右上側従動アーム６３の一方の端部（基端部）が、第１の旋回駆動部材３１の上方において支軸Ｂを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００７３】
ここで、支軸Ｂは、上述したように鉛直方向に延びる連結部材３１ａを介して設けられており、第２の右上側従動アーム６３は、右上側駆動アーム６１と同じ高さとなるように支軸Ｂに取り付けられている。
さらに、第２の右上側従動アーム６３の他方の端部（先端部）は、第１の右上側従動アーム６２の上部において支軸Ｒを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００７４】
本実施の形態の場合、支軸ＲＱ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｂ間の軸間距離と同一となるように設定されている。また、支軸ＢＲ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｑ間の軸間距離と同一となるように設定されている。
なお、支軸ＱＲ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ｂ間の軸間距離が、支軸ＢＲ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ｑ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
【００７５】
第１の右上側平行クランク機構６ａの先端部即ち動作側端部には、第２の右上側平行クランク機構６ｂが連結されている。
この第２の右上側平行クランク機構６ｂは、第１の右上側平行クランク機構６ａの第１の右上側従動アーム６２と、第３の右上側従動アーム６４と、第４の右上側従動アーム６５と、右上側エンドエフェクタ７０Ｒの支持部７５Ｒによって構成されている。
【００７６】
ここで、第１の右上側従動アーム６２の右上側駆動アーム６１側の端部には、第１の右上側従動アーム６２の下部において、第４の右上側従動アーム６５の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ｑを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００７７】
また、第１の右上側従動アーム６２の第２の右上側従動アーム６３側の端部には、第１の右上側従動アーム６２の下部において、第３の右上側従動アーム６４の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ｒを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００７８】
さらに、第３及び第４の右上側従動アーム６４、６５の他方の端部（先端部）は、右上側エンドエフェクタ７０Ｒの支持部７５Ｒの下部において、支軸ＱＲ間の軸間距離と同一の軸間距離だけ離間した位置に設けられた支軸Ｔ、支軸Ｓを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００７９】
これら第３及び第４の右上側従動アーム６４、６５は、それぞれの支軸Ｓ、支軸Ｔが、支軸Ｒ、支軸Ｑに対し、回転軸Ｏを通り基板搬送方向Ｖと平行に延びる直線Ｙ側に位置するように構成されている。
【００８０】
本実施の形態では、第１の右上側従動アーム６２に、右上側駆動アーム６１と第３の右上側従動アーム６４の回転方向が反対方向で且つ同一の角度となるように構成されたギアボックスからなる動力伝達機構６６が設けられている。すなわち、右上側駆動アーム６１の動力が第１の右上側従動アーム６２の動力伝達機構６６を介して伝達され、第３の右上側従動アーム６４が右上側駆動アーム６１と同一角度で反対方向に回転するように構成されている。
本実施の形態の場合、支軸ＲＱ間の軸間距離は、支軸ＳＴ間の軸間距離と等しくなるように構成されている。また、支軸ＱＴ間の軸間距離は、支軸ＲＳ間の軸間距離と等しくなるように構成されている。
【００８１】
なお、本実施の形態では、支軸ＳＴ間の軸間距離と支軸ＲＱ間の軸間距離が、支軸ＱＴ間の軸間距離と支軸ＲＳ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
【００８２】
その一方で、本実施の形態では、支軸ＱＴ並びに支軸ＲＳ間の軸間距離が、回転軸Ｏ及び支軸Ｑ間の軸間距離、並びに、支軸ＢＲ間の軸間距離より短くなるようにそれぞれの軸間距離が設定されている。
【００８３】
さらに、本実施の形態の右上側エンドエフェクタ７０Ｒは、その上面の高さ位置が、第１の右上側平行クランク機構６ａの右上側駆動アーム６１及び第２の右上側従動アーム６３の下部の高さ位置より下方に位置するように配置構成されている。
【００８４】
そして、このような構成により、右上側搬送機構７Ｒを基板搬送方向Ｖ又は反対方向に沿って動作させた場合に、右上側エンドエフェクタ７０Ｒが、右上側駆動アーム６１及び第２の右上側従動アーム６３の下方を通過し、かつ、第１〜第４の伸縮駆動軸１１〜１４並びに支軸Ｂ、Ｆに接触しないようになっている。
【００８５】
なお、本実施の形態の場合、左上側搬送機構７Ｌの第１の左上側平行クランク機構５ａと、右上側搬送機構７Ｒの第１の右上側平行クランク機構６ａとは、それぞれ対応するアームの軸間距離が同一となるように構成されている。
【００８６】
また、左上側搬送機構７Ｌの第２の左上側平行クランク機構５ｂと、右上側搬送機構７Ｒの第２の右上側平行クランク機構６ｂとは、それぞれ対応するアームの軸間距離が同一となるように構成されている。
【００８７】
本実施の形態の右上側エンドエフェクタ７０Ｒは、回転軸Ｏに対する基板載置部７６Ｒの距離が、左上側エンドエフェクタ７０Ｌにおける回転軸Ｏに対する基板載置部７６Ｌの距離と等しくなるように、基板搬送方向Ｖについての支持部７５Ｒの長さが左上側エンドエフェクタ７０Ｌの支持部７５Ｌの長さより短くなるように構成されている。
【００８８】
以下、本実施の形態の動作について説明する。
まず、下側搬送装置１Ａを伸長させる場合について説明する。
この場合は、図１（ｂ）及び図３（ｂ）に示すホームポジションから、第１の伸縮駆動軸１１を時計回り方向に所定角度回転させるとともに、第２の伸縮駆動軸１２を反時計回り方向に所定角度（例えば同一の大きさの角度）回転させる。
【００８９】
これにより、第１の伸縮駆動軸１１に連結された下側搬送装置１Ａの左下側駆動アーム２１の回転動力によって、第１の左下側平行クランク機構３ａと第２の左下側平行クランク機構３ｂが基板搬送方向Ｖに付勢されて同方向に移動するとともに、第２の伸縮駆動軸１２に連結された下側搬送装置１Ａの右下側駆動アーム４１の回転動力によって、第１の右下側平行クランク機構４ａと第２の右下側平行クランク機構４ｂが基板搬送方向Ｖに付勢されて同方向に移動する。
【００９０】
そして、以上の動作により、図１（ａ）及び図４に示すように、下側搬送装置１Ａの左下側エンドエフェクタ３０Ｌと右下側エンドエフェクタ３０Ｒが共に回転軸Ｏに対して基板搬送方向Ｖの下流側に配置される。
【００９１】
一方、上側搬送装置１Ｂに対しては、第３及び第４の伸縮駆動軸１３、１４を動作させないことから、回転動力が与えらず静止したままである。
以上より、図４に示すように、下側搬送装置１Ａの左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒを伸長させた状態にすることができる。
【００９２】
一方、下側搬送装置１Ａの左下側搬送機構２Ｌと右下側搬送機構２Ｒをホームポジションに戻す場合には、上述した動作と逆の動作、すなわち、第１の伸縮駆動軸１１を反時計回り方向に回転させるとともに、第２の伸縮駆動軸１２を時計回り方向に回転させることにより行うことができる。
【００９３】
一方、上側搬送装置１Ｂを伸長させる場合には、図２（ｂ）及び図３（ｂ）に示すホームポジションから、第４の伸縮駆動軸１４を時計回り方向に所定角度回転させるとともに、第３の伸縮駆動軸１３を反時計回り方向に所定角度（例えば同一の大きさの角度）回転させる。
【００９４】
これにより、第４の伸縮駆動軸１４に連結された上側搬送装置１Ｂの左上側駆動アーム５１の回転動力によって、第１の左上側平行クランク機構５ａと第２の左上側平行クランク機構５ｂが基板搬送方向Ｖに付勢されて同方向に移動するとともに、第３の伸縮駆動軸１３に連結された上側搬送装置１Ｂの右上側駆動アーム６１の回転動力によって、第１の右上側平行クランク機構６ａと第２の右上側平行クランク機構６ｂが基板搬送方向Ｖに付勢されて同方向に移動する。
【００９５】
そして、以上の動作により、図２（ａ）及び図５に示すように、上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒが共に回転軸Ｏに対して基板搬送方向Ｖの下流側に配置される。
【００９６】
一方、下側搬送装置１Ａに対しては、第１及び第２の伸縮駆動軸１１、１２を動作させないことから、回転動力が与えらず静止したままである。
以上より、図５に示すように、上側搬送装置１Ｂの左上側搬送機構７Ｌ及び右上側搬送機構７Ｒを伸長させた状態にすることができる。
【００９７】
一方、下側搬送装置１Ａの左下側搬送機構２Ｌと右下側搬送機構２Ｒをホームポジションに戻す場合には、上述した動作と逆の動作、すなわち、第１の伸縮駆動軸１１を反時計回り方向に回転させるとともに、第２の伸縮駆動軸１２を時計回り方向に回転させることにより行うことができる。
【００９８】
図６（ａ）（ｂ）〜図９（ａ）（ｂ）は、本実施の形態における上側搬送装置及び下側搬送装置の微小旋回動作を示す説明図である。
なお、以下の説明では、動作の理解を容易にするため下側搬送装置１Ａ又は上側搬送装置１Ｂを伸ばした状態で微小旋回動作を行う場合を例にとって説明するが、本発明はこれに限られず、上述した下側搬送装置１Ａ又は上側搬送装置１Ｂの伸長させる動作の際に微小旋回動作を行うことも可能である。
【００９９】
図６（ａ）は、下側搬送装置１Ａの離間動作を示す説明図であり、図６（ｂ）は、これに伴う上側搬送装置１Ｂの動作を示す説明図である。
この場合は、下側搬送装置１Ａを伸ばした状態（図４参照）で、第１の旋回駆動軸１５からの回転動力によって第１の旋回駆動部材３１を回転軸Ｏを中心として反時計回り方向に所定の微小角度（例えば５度程度）回転させるとともに、第２の旋回駆動軸１６からの回転動力によって第２の旋回駆動部材３２を回転軸Ｏを中心として時計回り方向に所定の微小角度（例えば５度程度）回転させる。
【０１００】
これにより、第１の旋回駆動部材３１からの回転動力によって、第１の左下側平行クランク機構３ａが回転軸Ｏを中心として反時計回り方向に回転移動するとともに、第２の左下側平行クランク機構３ｂが支軸Ａを中心として反時計回り方向に回転移動する。
その結果、図６（ａ）に示すように、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｖに延びる直線Ｙに対して左下側エンドエフェクタ３０Ｌが離間する方向へ左下側搬送機構２Ｌが微小角度旋回する。
【０１０１】
他方、第２の旋回駆動部材３２からの回転動力によって、第１の右下側平行クランク機構４ａが回転軸Ｏを中心として時計回り方向に回転移動するとともに、第２の右下側平行クランク機構４ｂが支軸Ｈを中心として時計回り方向に回転移動する。
その結果、図６（ａ）に示すように、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｖに延びる直線Ｙに対して右下側エンドエフェクタ３０Ｒが離間する方向へ右下側搬送機構２Ｒが旋回する。
以上の動作により、下側搬送装置１Ａの左下側エンドエフェクタ３０Ｌと右下側エンドエフェクタ３０Ｒを離間させる（開く）動作を行うことができる。
【０１０２】
その一方で、本実施の形態においては、図３（ａ）（ｂ）に示すように、下側搬送装置１Ａの第２の左下側従動アーム２３が、鉛直方向に延びる連結部材３１ａを介して、上側搬送装置１Ｂの第２の右上側従動アーム６３と連結され、これら第２の左下側従動アーム２３と第２の右上側従動アーム６３は支軸Ｂと中心として水平方向に回転可能に取り付けられていることから、第１の旋回駆動部材３１の回転に伴い、上側搬送装置１Ｂの第１の右上側平行クランク機構６ａが回転軸Ｏを中心として反時計回り方向に回転移動するとともに、第２の右上側平行クランク機構６ｂが支軸Ｑを中心として反時計回り方向に回転移動する。
その結果、図６（ｂ）に示すように、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｖに延びる直線Ｙに対して上側搬送装置１Ｂの右上側エンドエフェクタ７０Ｒが近接する方向へ右上側搬送機構７Ｒが旋回する。
【０１０３】
さらに、図３（ｂ）（ｃ）に示すように、下側搬送装置１Ａの第２の右下側従動アーム４３が、鉛直方向に延びる連結部材３２ａを介して、上側搬送装置１Ｂの第２の左上側従動アーム５３と連結され、これら第２の右下側従動アーム４３と第２の左上側従動アーム５３は支軸Ｆを中心として水平方向に回転可能に取り付けられていることから、第２の旋回駆動部材３２の回転に伴い、上側搬送装置１Ｂの第１の左上側平行クランク機構５ａが回転軸Ｏを中心として時計回り方向に回転移動するとともに、第２の左上側平行クランク機構５ｂが支軸Ｋを中心として時計回り方向に回転移動する。
その結果、図６（ｂ）に示すように、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｖに延びる直線Ｙに対して上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌが近接する方向へ左上側搬送機構７Ｌが旋回する。
【０１０４】
上述した動作においては、下側搬送装置１Ａの左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒの動作に伴い、上側搬送装置１Ｂの左上側搬送機構７Ｌ及び右上側搬送機構７Ｒも同時に近接するように動作してしまうことになるが、上側搬送装置１Ｂは縮んだ状態にありホームポジションに位置しているため、特に問題が生ずることはない。
【０１０５】
図７（ａ）は、下側搬送装置１Ａの近接動作を示す説明図であり、図７（ｂ）は、これに伴う上側搬送装置１Ｂの動作を示す説明図である。
この場合は、下側搬送装置１Ａを伸ばした状態で、第１の旋回駆動軸１５からの回転動力によって第１の旋回駆動部材３１を回転軸Ｏを中心として時計回り方向に微小角度（例えば５度程度）回転させるとともに、第２の旋回駆動軸１６からの回転動力によって第２の旋回駆動部材３２を回転軸Ｏを中心として反時計回り方向に微小角度（例えば５度程度）回転させる。
【０１０６】
これにより、上述した下側搬送装置１Ａの離間動作と逆方向の動力が伝達され（詳細は省略する）、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｖに延びる直線Ｙに対して下側搬送装置１Ａの左下側エンドエフェクタ３０Ｌ及び右下側エンドエフェクタ３０Ｒが近接する方向へ左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒが旋回する。
その結果、下側搬送装置１Ａの左下側エンドエフェクタ３０Ｌと右下側エンドエフェクタ３０Ｒを近接させる（閉じる）動作を行うことができる。
【０１０７】
なお、この動作に伴う上側搬送装置１Ｂの左上側搬送機構７Ｌ及び右上側搬送機構７Ｒの離間動作については、上述したように、上側搬送装置１Ｂは縮んだ状態にありホームポジションに位置しているため、特に問題が生ずることはない（図７（ｂ）参照）。
【０１０８】
図８（ａ）は、上側搬送装置１Ｂの離間動作を示すものである。
この場合は、上側搬送装置１Ｂを伸ばした状態（図５参照）で、第１の旋回駆動軸１５からの回転動力によって第１の旋回駆動部材３１を回転軸Ｏを中心として時計回り方向に所定の微小角度（例えば５度程度）回転させるとともに、第２の旋回駆動軸１６からの回転動力によって第２の旋回駆動部材３２を回転軸Ｏを中心として反時計回り方向に所定の微小角度（例えば５度程度）回転させる。
【０１０９】
これにより、第１の旋回駆動部材３１からの回転動力によって、第１の右上側平行クランク機構６ａが回転軸Ｏを中心として時計回り方向に回転移動するとともに、第２の右上側平行クランク機構６ｂが支軸Ｑを中心として時計回り方向に回転移動する。
その結果、図８（ａ）に示すように、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｖに延びる直線Ｙに対して右上側エンドエフェクタ７０Ｒが離間する方向へ右上側搬送機構７Ｒが旋回する。
【０１１０】
他方、第２の旋回駆動部材３２からの回転動力によって、第１の左上側平行クランク機構５ａが回転軸Ｏを中心として反時計回り方向に回転移動するとともに、第２の左上側平行クランク機構５ｂが支軸Ｋを中心として反時計回り方向に回転移動する。
その結果、図８（ａ）に示すように、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｖに延びる直線Ｙに対して左上側エンドエフェクタ７０Ｌが離間する方向へ左上側搬送機構７Ｌが旋回する。
以上の動作により、上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒを離間させる動作を行うことができる。
【０１１１】
その一方で、本実施の形態においては、図３（ａ）（ｂ）に示すように、上側搬送装置１Ｂの第２の右上側従動アーム６３が、鉛直方向に延びる連結部材３１ａを介して、下側搬送装置１Ａの第２の左下側従動アーム２３と連結され、これら第２の右上側従動アーム６３と第２の左下側従動アーム２３は支軸Ｂを中心として水平方向に回転可能に取り付けられていることから、第１の旋回駆動部材３１の回転に伴い、下側搬送装置１Ａの第１の左下側平行クランク機構３ａが回転軸Ｏを中心として時計回り方向に回転移動するとともに、第２の左下側平行クランク機構３ｂが支軸Ａを中心として時計回り方向に回転移動する。
その結果、図８（ｂ）に示すように、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｖに延びる直線Ｙに対して下側搬送装置１Ａの左下側エンドエフェクタ３０Ｌが近接する方向へ左下側搬送機構２Ｌが旋回する。
【０１１２】
さらに、図３（ｂ）（ｃ）に示すように、上側搬送装置１Ｂの第２の左上側従動アーム５３が、鉛直方向に延びる連結部材３２ａを介して、下側搬送装置１Ａの第２の右下側従動アーム４３と連結され、これら第２の左上側従動アーム５３と第２の右下側従動アーム４３は支軸Ｆを中心として水平方向に回転可能に取り付けられていることから、第２の旋回駆動部材３２の回転に伴い、下側搬送装置１Ａの第１の右下側平行クランク機構４ａが回転軸Ｏを中心として反時計回り方向に回転移動するとともに、第２の右下側平行クランク機構４ｂが支軸Ｈを中心として反時計回り方向に回転移動する。
その結果、図８（ｂ）に示すように、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｖに延びる直線Ｙに対して下側搬送装置１Ａの右下側エンドエフェクタ３０Ｒが近接する方向へ右下側搬送機構２Ｒが旋回する。
【０１１３】
なお、この動作に伴う下側搬送装置１Ａの左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒの近接動作については、上述したように、下側搬送装置１Ａは縮んだ状態にありホームポジションに位置しているため、特に問題が生ずることはない。
【０１１４】
図９（ａ）は、上側搬送装置の近接動作を示すものである。
この場合は、上側搬送装置１Ｂを伸ばした状態で、第１の旋回駆動軸１５からの回転動力によって第１の旋回駆動部材３１を回転軸Ｏを中心として反時計回り方向に所定の微小角度（例えば５度程度）回転させるとともに、第２の旋回駆動軸１６からの回転動力によって第２の旋回駆動部材３２を回転軸Ｏを中心として時計回り方向に所定の微小角度（例えば５度程度）回転させる。
【０１１５】
これにより、上述した上側搬送装置１Ｂの離間動作の場合と逆方向の動力が伝達され（詳細は省略する）、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｖに延びる直線Ｙに対して上側搬送装置１Ｂの右上側エンドエフェクタ７０Ｒ及び左上側エンドエフェクタ７０Ｌが近接する方向へ右上側搬送機構７Ｒ及び左上側搬送機構７Ｌが旋回する。
その結果、上側搬送装置１Ｂの右上側エンドエフェクタ７０Ｒと左上側エンドエフェクタ７０Ｌを近接させる動作を行うことができる。
【０１１６】
なお、この動作に伴う下側搬送装置１Ａの左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒの離間動作については、上述したように、下側搬送装置１Ａは縮んだ状態にありホームポジションに位置しているため、特に問題が生ずることはない（図９（ｂ）参照）。
【０１１７】
以上述べた本実施の形態においては、下側搬送機構１Ａの左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒをそれぞれ旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸１５、１６を、第１及び第２の伸縮駆動軸１１、１２と同心状に配置し、これら第１及び第２の旋回駆動軸１５、１６によって第１及び第２の旋回駆動部材３１、３２をそれぞれ駆動して左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒを回転軸Ｏを中心としてそれぞれ旋回させるようにしたことから、回転軸Ｏを挟んで基板搬送方向Ｖの両側に同じ高さ位置に配置されている左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒの左下側エンドエフェクタ３０Ｌと右下側エンドエフェクタ３０Ｒを離間し、かつ、近接させてそれらの間隔を調整することができる。
【０１１８】
その結果、本実施の形態によれば、二つの基板が並べて配置される場合において、これらの基板に対して下側搬送装置１Ａの左下側エンドエフェクタ３０Ｌと右下側エンドエフェクタ３０Ｒを正確に位置決めすることができるので、位置決め作業を容易に行うことができ、また、基板搬送の際のスループットを向上させることができる。
【０１１９】
また、本実施の形態においては、下側搬送装置１Ａと、下側搬送装置１Ａの上方に設けた上側搬送装置１Ｂとによって以下のような搬送装置１が構成されている。
すなわち、本実施の形態では、回転軸Ｏを中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能な第３及び第４の伸縮駆動軸１３、１４を設けるとともに、上側搬送装置１Ｂは、下側搬送装置１Ａの左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒの上方で回転軸Ｏを挟んで基板搬送方向Ｖの両側に配置した右上側搬送機構７Ｒ及び左上側搬送機構７Ｌを有し、これら右上側搬送機構７Ｒ及び左上側搬送機構７Ｌは、第３及び第４の伸縮駆動軸１３、１４によって伸縮移動するように構成されている。
【０１２０】
そして、第１及び第２の旋回駆動部材３１、３２にそれぞれ連結されたリンク機構によって、上側搬送装置１Ｂの右上側搬送機構７Ｒ及び左上側搬送機構７Ｌを回転軸Ｏを中心としてそれぞれ旋回させるように構成されている。
【０１２１】
このような構成を有する本実施の形態によれば、第３及び第４の伸縮駆動軸１３、１４によって上側搬送装置１Ｂの右上側搬送機構７Ｒ及び左上側搬送機構７Ｌを伸縮させるとともに、左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒを離間し、かつ、近接させてそれらの間隔を調整することができ、その結果、下側搬送装置１Ａと上側搬送装置１Ｂによって基板の搬送を行うことができるので、更に基板搬送の際のスループットを向上させることができる。
【０１２２】
なお、本発明の搬送装置は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上記実施の形態では、下側搬送装置１Ａと上側搬送装置１Ｂとにおいて、左下側搬送機構２Ｌ（左上側搬送機構７Ｌ）と右下側搬送機構２Ｒ（右上側搬送機構７Ｒ）に対し、離間及び近接動作を行うようにしたが、下側搬送装置１Ａの左下側搬送機構２Ｌと右下側搬送機構２Ｒ、並びに、上側搬送装置１Ｂの左上側搬送機構７Ｌと右上側搬送機構７Ｒは、それぞれ独立して伸縮及び旋回させることが可能であるため、一対の基板の配置に応じて種々の動作を行うように構成することもできる。
【０１２３】
図１０〜図１２は、本発明に係る真空装置の実施の形態を示す平面図である。
図１０に示すように、本実施の形態の真空装置１０は、図示しない真空排気系に接続された真空槽である矩形状の搬送室８０を有している。
そして、この搬送室８０の周囲の三辺に、それぞれ図示しない真空排気系に接続された真空槽である、一対の処理室８１及び８２、８３及び８４、並びに、８７及び８８がそれぞれ設けられ、残りの一辺に、一対の仕込み室８５及び取り出し室８６が設けられている。
【０１２４】
これら処理室８１及び８２、８３及び８４、８７及び８８、並びに、仕込み室８５及び取り出し室８６内には、搬送物配置部である基板配置部２０Ｌ、２０Ｒがそれぞれ設けられている。
搬送室８０の内部には、上述した搬送装置１が設けられている。
ここで、搬送装置１は、搬送室８０内において旋回可能に設けられ、搬送室８０内において下側搬送装置１Ａ及び上側搬送装置１Ｂを伸縮可能に構成されている。
【０１２５】
すなわち、図１０〜図１２に示すように、例えば上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒの基板載置部７６Ｌ、７６Ｒ上に処理前の基板２０をそれぞれ載置し、上側搬送装置１Ｂを伸長させることにより、これら一対の基板２０を一対の処理室８１、８２内の基板配置部２０Ｌ、２０Ｒに配置した（図１１参照）後、上側搬送装置１Ｂを縮ませることにより、上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒを元の位置に戻す動作を行うように構成されている（下側搬送装置１Ａについても同一の動作を行うように構成されている。また、他の一対の処理室８３及び８４、８７及び８８、並びに、一対の仕込み室８５及び取り出し室８６について搬送を行う場合も同様である）。
【０１２６】
このような構成を有する本実施の形態の真空装置１０では、搬送装置１の伸長動作の際、上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒを離間・近接させて間隔を調整することにより、また、下側搬送装置１Ａの左下側エンドエフェクタ３０Ｌと右下側エンドエフェクタ３０Ｒを離間・近接させて間隔を調整することにより、一対の処理室内の基板配置部（例えば処理室８１、８２の基板配置部２０Ｌ、２０Ｒ）に対し、上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒ並びに下側搬送機構１Ａの左下側エンドエフェクタ３０Ｌと右下側エンドエフェクタ３０Ｒを正確に位置決めすることができるので、基板２０の位置決め作業を容易に行うことができるとともに、基板２０の各室への搬入及び搬出の際のスループットを向上させることができる。
【０１２７】
図１３〜図１５は、本発明に係る真空装置の他の実施の形態の構成を示すもので、図１３は平面図、図１４は、要部の配置構成を示す説明図、図１５は回路系の構成を示すブロック図である。以下、上記実施の形態と対応する部分には同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
【０１２８】
図１３に示すように、本実施の形態の真空装置１０Ａでは、上述した処理室８１及び８２、８３及び８４、８７及び８８、並びに、仕込み室８５及び取り出し室８６内に、複数（本実施の形態では３個）の位置センサ９１〜９３（搬送物検出センサ）が設けられている。
これらの位置センサ９１〜９３は、例えば光学式の検出素子からなるもので、各室内において、搬送室８０と基板配置部２０Ｌ又は基板配置部２０Ｒとの間に配置されている。
ここで、位置センサ９１〜９３は、図１４に示す基板搬送方向Ｖに対して交差する方向に所定の間隔をおいて配置されている。
【０１２９】
図１４に示すように、位置センサ９１〜９３のうち両側の位置センサ９１、９３は、基板２０の幅より小さい間隔で、かつ、上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌの基板載置部７６Ｌ並びに右上側エンドエフェクタ７０Ｒの基板載置部７６Ｒの幅より大きい間隔をおいて設けられている。
そして、このような構成により左上側エンドエフェクタ７０Ｌ及び右上側エンドエフェクタ７０Ｒを基板搬送方向Ｖに搬送した場合に、位置センサ９１、９３によって基板２０の両側部の端縁部が検出されるようになっている（下側搬送装置１Ａの左下側エンドエフェクタ３０Ｌと右下側エンドエフェクタ３０Ｒに関しても同一の構成を有している）。
【０１３０】
一方、上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒには、位置センサ９２によって基板２０の位置並びに左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒの位置を検出するための検出用孔部７０ａがそれぞれ設けられている（下側搬送装置１Ａの左下側エンドエフェクタ３０Ｌと右下側エンドエフェクタ３０Ｒにも図示しない同一の検出用孔部が設けられている）。
【０１３１】
この検出用孔部７０ａは、例えば基板搬送方向Ｖに伸びる形状に形成され、左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒの基板載置部７６Ｌ，７６Ｒの縁部を跨るように設けられている（下側搬送装置１Ａの左下側エンドエフェクタ３０Ｌと右下側エンドエフェクタ３０Ｒの検出用孔部も同一の構成を有している）。
【０１３２】
一方、位置センサ９１〜９３のうち中央に配置された位置センサ９２は、基板搬送方向Ｖと平行で、かつ、左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒの検出用孔部７０ａをそれぞれ通る直線上に設けられ、これにより左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒを基板搬送方向Ｖに搬送した場合に、位置センサ９２によって基板２０の中央部分の端縁部と左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒの検出用孔部７０ａの基板搬送方向上流側の端部がそれぞれ検出されるように構成されている（下側搬送装置１Ａの左下側エンドエフェクタ３０Ｌと右下側エンドエフェクタ３０Ｒに関しても同一の構成を有している）。
【０１３３】
図１５に示すように、本実施の形態の位置センサ９１〜９３は、コンピュータを有する制御部９４に接続され、位置センサ９１〜９３にて検出した結果をそれぞれ制御部９４に送出するように構成されている。
この制御部９４には、予め定めた特定の基板２０を上記各室の基板配置部２０Ｌ、２０Ｒに搬送する際に当該基板２０が通る軌跡のデータが記憶されている。
さらに、制御部９４には、上述した第１及び第２の旋回駆動軸１５、１６を駆動するための駆動源９５、９６がそれぞれ接続されており、位置センサ９１〜９３から送出された情報に基づき制御部９４からの命令によってこれら駆動源９５、９６の動作を制御するように構成されている。
【０１３４】
図１６（ａ）〜（ｅ）は、本実施の形態における基板の位置検出動作を示す説明図である。
以下、図１６（ａ）〜（ｅ）においては、上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌの基板載置部７６Ｌ上に基板２０を載置して搬送を行う場合を例にとって説明する。
【０１３５】
上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌの基板載置部７６Ｌ上に基板２０を載置し、左上側搬送機構７Ｌを動作させて左上側エンドエフェクタ７０Ｌを基板搬送方向Ｖに搬送すると、図１６（ａ）に示すように、まず、基板２０の中央部分の基板搬送方向下流側の端縁部が、中央の位置センサ９２によって検出される。そこで、位置センサ９２にて得られた結果を制御部９４に送出し、制御部９４において位置座標に変換して制御部９４に記憶させる（検出位置座標１）。
【０１３６】
引き続き左上側エンドエフェクタ７０Ｌの搬送を継続すると、図１６（ｂ）に示すように、基板２０の両側部の基板搬送方向下流側の端縁部が、両側の位置センサ９１、９３によってそれぞれ検出されるから、それぞれの検出結果を制御部９４に送出し、制御部９４においてそれぞれ位置座標に変換して制御部９４に記憶させる（検出位置座標２、３）。
【０１３７】
さらに、左上側エンドエフェクタ７０Ｌの搬送を継続すると、図１６（ｃ）に示すように、基板２０の両側部の基板搬送方向上流側の端縁部が、両側の位置センサ９１、９３によってそれぞれ検出されるから、それぞれの検出結果を制御部９４に送出し、制御部９４においてそれぞれ位置座標に変換して制御部９４に記憶させる（検出位置座標４、５）。
【０１３８】
さらに、左上側エンドエフェクタ７０Ｌの搬送を継続すると、図１６（ｄ）に示すように、基板２０の中央部分の基板搬送方向上流側の端縁部が、検出用孔部７０ａを介して中央の位置センサ９２によって検出されるから、その検出結果を制御部９４に送出し、制御部９４において位置座標に変換して制御部９４に記憶させる（検出位置座標６）。
【０１３９】
引き続き左上側エンドエフェクタ７０Ｌの搬送を継続すると、図１６（ｅ）に示すように、左上側エンドエフェクタ７０Ｌの検出用孔部７０ａの基板搬送方向上流側の端部が、中央の位置センサ９２によって検出されるから、その検出結果を制御部９４に送出し、制御部９４において位置座標に変換して制御部９４に記憶させる（検出位置座標７）。
この検出位置座標７は、検出位置座標１〜６の原点座標を特定させるためのものである。
【０１４０】
以上の動作によって制御部９４に記憶された検出位置座標１〜７に基づき基板２０が例えば位置センサ９１〜９３を通過した時点の位置座標を算出し、この基板２０の位置座標のデータと、予め制御部９４に記憶された位置座標のデータとを比較することにより、当該搬送中の基板２０について、基板配置部２０Ｌに搬送する際に本来通るべき軌跡に対する差分（位置座標のずれ分）のデータを算出する。
【０１４１】
そして、この算出された位置座標のずれ分のデータに基づいて駆動源９５を動作させ、上述した図８、図９に示すように、第１の旋回駆動軸１５を駆動して第１の旋回駆動部材３１を回転軸Ｏを中心として時計回り方向又は反時計回り方向に所定の微小角度回転させ、上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌの基板載置部７６Ｌ上に載置された基板２０を基板搬送の際に本来通るべき軌跡上に位置させる。
その後、予め定められたシーケンスに従って上側搬送装置１Ｂの左上側搬送機構７Ｌを動作させることにより、当該基板２０を搬送して処理室８１内の基板配置部２０Ｌに配置する。
【０１４２】
一方、上側搬送装置１Ｂの右上側エンドエフェクタ７０Ｒについても、左上側エンドエフェクタ７０Ｌの場合と実質的に同一の動作を行う。
すなわち、右上側エンドエフェクタ７０Ｒについて、左上側エンドエフェクタ７０Ｌの場合と同様に基板載置部７６Ｒ上に基板２０を載置して搬送し、位置センサ９１〜９３によって基板２０の各端縁部及び検出用孔部７０ａの基板搬送方向上流側の端部をそれぞれ検出してその結果を制御部９４に送出し、制御部９４において変換された各位置座標のデータに基づき当該基板２０の位置座標のデータを算出し、予め記憶された位置座標と比較処理を行うことにより、当該搬送中の基板２０について、基板配置部２０Ｒに搬送する際に本来通るべき軌跡に対する位置座標のずれ分のデータを算出する。
【０１４３】
そして、この算出された位置座標のずれ分のデータに基づいて駆動源９６を動作させ、上述した図８、図９に示すように、第２の旋回駆動軸１６を駆動して第２の旋回駆動部材３２を回転軸Ｏを中心として時計回り方向又は反時計回り方向に所定の微小角度回転させ、上側搬送装置１Ｂの右上側エンドエフェクタ７０Ｒの基板載置部７６Ｒ上に載置された基板２０を基板搬送の際に本来通るべき軌跡上に位置させる。
【０１４４】
その後、予め定められたシーケンスに従って上側搬送装置１Ｂの右上側搬送機構７Ｒを動作させることにより、当該基板２０を搬送して処理室８２内の基板配置部２０Ｒに配置する。
【０１４５】
以上は上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒの基板載置部７６Ｌ、７６Ｒ上に基板２０を載置して搬送を行う場合を例にとって説明したが、下側搬送装置１Ａの左上側エンドエフェクタ３０Ｌと右上側エンドエフェクタ３０Ｒの基板載置部３６Ｌ、３６Ｒ上に基板２０を載置して搬送を行う場合についても実質的に同一の動作を行うことにより、一対の基板２０を一対の処理室８１、８２内の各基板配置部２０Ｌ、２０Ｒに配置することができる。
【０１４６】
以上述べた本実施の形態の真空装置１０Ａにおいては、基板２０を搬送して一対の例えば処理室８１、８２内の基板配置部２０Ｌ、２０Ｒに配置する際、位置センサ９１〜９３によって検出された結果に基づき算出された基板２０の位置座標と、予め制御部９４に記憶された位置座標とを比較することによって当該基板２０が本来通るべき軌跡に対する位置座標のずれ分を算出し、この算出された位置座標のずれ分に基づき例えば上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒの基板載置部７６Ｌ、７６Ｒ上の基板２０をそれぞれ基板搬送の際に本来通るべき軌跡上に位置させるようにしたことから、上側搬送装置１Ｂによって搬送される一対の基板２０を各処理室８１、８２内の基板配置部２０Ｌ、２０Ｒにそれぞれ正確に配置することができ、これにより基板２０の各室への搬入及び搬出の際のスループットを向上させることができる。
【０１４７】
また、本実施の形態によれば、上側搬送装置１Ｂの左上側エンドエフェクタ７０Ｌと右上側エンドエフェクタ７０Ｒの基板載置部７６Ｌ、７６Ｒ上に載置された一対の基板２０をそれぞれ移動してそれぞれ本来通るべき軌跡上に位置させることができるので、一対の基板に対して同時に位置ずれを修正することができない従来技術と比較して、一対の基板２０を正確な位置に迅速に配置することができる。
【０１４８】
一方、上述した説明から理解されるように、上側搬送装置１Ｂと実質的に同一の構成を有する下側搬送装置１Ａの左上側エンドエフェクタ３０Ｌと右上側エンドエフェクタ３０Ｒの基板載置部３６Ｌ、３６Ｒ上に基板２０を載置して搬送及び配置を行う場合についても上述した効果を奏することは勿論である。
【０１４９】
なお、本発明の真空装置は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば搬送物の位置を検出する搬送物検出センサの数、配置については、上述した３個の位置センサ９１〜９３に限られず、種々の数で異なる配置のものを用いることができ、また、搬送物の位置座標の算出方法についても種々の方法を適用することができる。
【０１５０】
また、上記実施の形態においては、各基板２０の位置座標を算出した後、基板搬送の際に本来通るべき軌跡上に位置させるようにしたが、本発明はこれに限られず、基板配置部２０Ｌ、２０Ｒの近傍まで各基板２０を搬送した後に各基板２０を移動させて基板配置部２０Ｌ、２０Ｒに配置することも可能である。
【符号の説明】
【０１５１】
１…搬送装置
１Ａ…下側搬送装置（第１の搬送装置）
１Ｂ…上側搬送装置（第２の搬送装置）
２Ｌ…左下側搬送機構（第１の搬送機構）
２Ｒ…右下側搬送機構（第２の搬送機構）
３ａ…第１の左下側平行クランク機構
３ｂ…第２の左下側平行クランク機構
４ａ…第１の右下側平行クランク機構
４ｂ…第２の右下側平行クランク機構
５ａ…第１の左上側平行クランク機構
５ｂ…第２の左上側平行クランク機構
６ａ…第１の右上側平行クランク機構
６ｂ…第２の右上側平行クランク機構
７Ｌ…左上側搬送機構（第３の搬送機構）
７Ｒ…右上側搬送機構（第４の搬送機構）
１０…真空装置
１１…第１の伸縮駆動軸
１２…第２の伸縮駆動軸
１３…第３の伸縮駆動軸
１４…第４の伸縮駆動軸
１５…第１の旋回駆動軸
１６…第２の旋回駆動軸
２０…基板（搬送物）
２０Ｌ、２０Ｒ…基板配置部（搬送物配置部）
３１…第１の旋回駆動部材
３１ａ…連結部材
３２…第２の旋回駆動部材
３２ａ…連結部材
８０…搬送室（真空槽）
８１、８２、８３、８４、８７、８８…処理室
Ｏ…回転軸
Ｖ…基板搬送方向（搬送物搬送方向）
【図１】
2016035837.tif 000003
【図２】
2016035837.tif 000004
【図３】
2016035837.tif 000005
【図４】
2016035837.tif 000006
【図５】
2016035837.tif 000007
【図６】
2016035837.tif 000008
【図７】
2016035837.tif 000009
【図８】
2016035837.tif 000010
【図９】
2016035837.tif 000011
【図１０】
2016035837.tif 000012
【図１１】
2016035837.tif 000013
【図１２】
2016035837.tif 000014
【図１３】
2016035837.tif 000015
【図１４】
2016035837.tif 000016
【図１５】
2016035837.tif 000017
【図１６】
2016035837.tif 000018
【図１７】
2016035837.tif 000019
【図１８】
2016035837.tif 000020
【手続補正書】
【提出日】平成28年10月11日(2016.10.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するためになされた本発明は、真空槽と、前記真空槽内に設けられた搬送装置とを有し、前記搬送装置は、所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、第１及び第２の搬送機構を伸縮駆動するための第１及び第２の伸縮駆動軸と、前記第１及び第２の伸縮駆動軸と同心状に配置され、前記第１及び第２の搬送機構を旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸とを備え、前記第１の搬送機構は、前記第１の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するとともに、前記第２の搬送機構は、前記第２の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するように構成され、前記第１及び第２の搬送機構は、前記第１及び第２の旋回駆動軸によってそれぞれ駆動され、当該第１及び第２の搬送機構を前記回転軸を中心としてそれぞれ旋回させる第１及び第２の旋回駆動部材を有し、前記第１の搬送機構と、前記第２の搬送機構とが、前記回転軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されている真空装置であって、前記第１及び第２の旋回駆動軸の動作をそれぞれ制御する制御部と、前記制御部に接続され且つ前記真空槽内に設けられた複数のセンサからなり、前記第１及び第２の搬送機構の伸長によって前記搬送物搬送方向に沿って一対の搬送物配置部に向ってそれぞれ搬送される一対の搬送物の位置をそれぞれ検出する一対の搬送物検出センサとを有し、前記制御部は、前記一対の搬送物検出センサによって検出された前記一対の搬送物の位置情報と、予め前記制御部に記憶された前記一対の搬送物の位置情報とを比較して算出された前記一対の搬送物の位置座標のずれ分に基づき前記第１及び第２の旋回駆動軸を駆動して前記第１及び第２の旋回駆動部材を前記回転軸を中心としてそれぞれ微小角度回転させることにより、前記一対の搬送物を本来通るべき軌跡上に位置させて同時に位置ずれの修正を行った後、前記一対の搬送物を前記一対の搬送物配置部にそれぞれ配置するように制御する真空装置である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の場合、搬送装置の第１及び第２の搬送機構をそれぞれ旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸を、第１及び第２の搬送機構をそれぞれ伸縮駆動する第１及び第２の伸縮駆動軸と同心状に配置し、これら第１及び第２の旋回駆動軸によって第１及び第２の旋回駆動部材をそれぞれ駆動して第１及び第２の搬送機構を回転軸を中心としてそれぞれ旋回させるようにしたことから、回転軸を挟んで搬送物搬送方向の両側に例えば同じ高さ位置に配置されている第１及び第２の搬送機構の搬送物載置部を離間し、かつ、近接させてそれらの間隔を調整することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の真空装置は、第１及び第２の旋回駆動軸の動作をそれぞれ制御する制御部と、この制御部に接続され且つ真空槽内に設けられた複数のセンサからなり、第１及び第２の搬送機構の伸長によって搬送物搬送方向に沿って一対の搬送物配置部に向ってそれぞれ搬送される一対の搬送物の位置をそれぞれ検出する一対の搬送物検出センサとを有しており、上記制御部は、一対の搬送物検出センサによって検出された一対の搬送物の位置情報と、予め制御部に記憶された一対の搬送物の位置情報とを比較して算出された一対の搬送物の位置座標のずれ分に基づき第１及び第２の旋回駆動軸を駆動して第１及び第２の旋回駆動部材を回転軸を中心としてそれぞれ微小角度回転させることにより、一対の搬送物を本来通るべき軌跡上に位置させて同時に位置ずれの修正を行った後、一対の搬送物を一対の搬送物配置部にそれぞれ配置するように制御するものである。
このような構成を有する本発明によれば、第１及び第２の搬送機構によって搬送される一対の搬送物を一対の搬送物配置部にそれぞれ正確に配置することができ、これにより搬送物の例えば処理室への搬入及び搬出の際のスループットを向上させることができる。
また、本発明によれば、一対の搬送物配置部に向ってそれぞれ搬送される一対の搬送物を同時に位置ずれの修正をしてそれぞれ本来通るべき軌跡上に位置させることによって、一対の搬送物に対して同時に位置ずれを修正することができない従来技術と比較して、一対の搬送物を正確な位置に迅速に配置することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽と、
前記真空槽内に設けられた搬送装置とを有し、
前記搬送装置は、所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、第１及び第２の搬送機構を伸縮駆動するための第１及び第２の伸縮駆動軸と、前記第１及び第２の伸縮駆動軸と同心状に配置され、前記第１及び第２の搬送機構を旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸とを備え、前記第１の搬送機構は、前記第１の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するとともに、前記第２の搬送機構は、前記第２の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するように構成され、前記第１及び第２の搬送機構は、前記第１及び第２の旋回駆動軸によってそれぞれ駆動され、当該第１及び第２の搬送機構を前記回転軸を中心としてそれぞれ旋回させる第１及び第２の旋回駆動部材を有し、前記第１の搬送機構と、前記第２の搬送機構とが、前記回転軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されている真空装置であって、
前記第１及び第２の旋回駆動軸の動作をそれぞれ制御する制御部と、前記制御部に接続され且つ前記真空槽内に設けられた複数のセンサからなり、前記第１及び第２の搬送機構の伸長によって前記搬送物搬送方向に沿って一対の搬送物配置部に向ってそれぞれ搬送される一対の搬送物の位置をそれぞれ検出する一対の搬送物検出センサとを有し、
前記制御部は、前記一対の搬送物検出センサによって検出された前記一対の搬送物の位置情報と、予め前記制御部に記憶された前記一対の搬送物の位置情報とを比較して算出された前記一対の搬送物の位置座標のずれ分に基づき前記第１及び第２の旋回駆動軸を駆動して前記第１及び第２の旋回駆動部材を前記回転軸を中心としてそれぞれ微小角度回転させることにより、前記一対の搬送物を本来通るべき軌跡上に位置させて同時に位置ずれの修正を行った後、前記一対の搬送物を前記一対の搬送物配置部にそれぞれ配置するように制御する真空装置。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月13日(2017.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するためになされた本発明は、真空槽と、前記真空槽内に設けられた搬送装置とを有し、前記搬送装置は、所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、第１及び第２の搬送機構を伸縮駆動するための第１及び第２の伸縮駆動軸と、前記第１及び第２の伸縮駆動軸と同心状に配置され、前記第１及び第２の搬送機構を旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸とを備え、前記第１の搬送機構は、前記第１の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の載置部に第１の搬送物を載置して第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するとともに、前記第２の搬送機構は、前記第２の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の載置部に第２の搬送物を載置して第２の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するように構成され、前記第１及び第２の搬送機構は、前記第１及び第２の旋回駆動軸によってそれぞれ駆動され、当該第１及び第２の搬送機構を前記回転軸を中心として時計回り方向又は反時計回り方向にそれぞれ旋回させる第１及び第２の旋回駆動部材を有し、前記第１の搬送機構と、前記第２の搬送機構とが、前記回転軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されている真空装置であって、前記第１及び第２の旋回駆動軸の動作をそれぞれ制御する制御部と、前記制御部に接続され且つ前記真空槽内に設けられた複数のセンサからなり、前記第１及び第２の搬送機構の伸長によって前記搬送物搬送方向に沿って一対の搬送物配置部に向ってそれぞれ搬送される前記第１及び第２の搬送物の位置をそれぞれ検出する一対の搬送物検出センサとを有し、前記制御部は、前記一対の搬送物検出センサによって検出された前記第１及び第２の搬送物の位置情報と、予め前記制御部に記憶された前記第１及び第２の搬送物の位置情報とを比較して算出された前記第１及び第２の搬送物の位置座標のずれ分に基づき前記第１及び第２の旋回駆動軸を駆動して前記第１及び第２の旋回駆動部材を前記回転軸を中心としてそれぞれ微小角度反対方向に回転させて前記第１及び第２の載置部を離間又は近接させることにより、前記第１及び第２の搬送物を本来通るべき軌跡上に位置させて同時に位置ずれの修正を行った後、前記第１及び第２の搬送物を前記一対の搬送物配置部にそれぞれ配置するように制御する真空装置である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の真空装置は、第１及び第２の旋回駆動軸の動作をそれぞれ制御する制御部と、制御部に接続され且つ真空槽内に設けられた複数のセンサからなり、第１及び第２の搬送機構の伸長によって搬送物搬送方向に沿って一対の搬送物配置部に向ってそれぞれ搬送される第１及び第２の搬送物の位置をそれぞれ検出する一対の搬送物検出センサとを有し、制御部は、一対の搬送物検出センサによって検出された第１及び第２の搬送物の位置情報と、予め制御部に記憶された第１及び第２の搬送物の位置情報とを比較して算出された第１及び第２の搬送物の位置座標のずれ分に基づき第１及び第２の旋回駆動軸を駆動して第１及び第２の旋回駆動部材を回転軸を中心としてそれぞれ微小角度反対方向に回転させて第１及び第２の載置部を離間又は近接させることにより、第１及び第２の搬送物を本来通るべき軌跡上に位置させて同時に位置ずれの修正を行った後、第１及び第２の搬送物を一対の搬送物配置部にそれぞれ配置するように制御するものである。
このような構成を有する本発明によれば、第１及び第２の搬送機構によって搬送される第１及び第２の搬送物を一対の搬送物配置部にそれぞれ正確且つ迅速に配置することができ、これにより搬送物の例えば処理室への搬入及び搬出の際のスループットを向上させることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽と、
前記真空槽内に設けられた搬送装置とを有し、
前記搬送装置は、所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられ、第１及び第２の搬送機構を伸縮駆動するための第１及び第２の伸縮駆動軸と、前記第１及び第２の伸縮駆動軸と同心状に配置され、前記第１及び第２の搬送機構を旋回させるための第１及び第２の旋回駆動軸とを備え、前記第１の搬送機構は、前記第１の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の載置部に第１の搬送物を載置して第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するとともに、前記第２の搬送機構は、前記第２の伸縮駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の載置部に第２の搬送物を載置して第２の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送するように構成され、前記第１及び第２の搬送機構は、前記第１及び第２の旋回駆動軸によってそれぞれ駆動され、当該第１及び第２の搬送機構を前記回転軸を中心として時計回り方向又は反時計回り方向にそれぞれ旋回させる第１及び第２の旋回駆動部材を有し、前記第１の搬送機構と、前記第２の搬送機構とが、前記回転軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されている真空装置であって、
前記第１及び第２の旋回駆動軸の動作をそれぞれ制御する制御部と、前記制御部に接続され且つ前記真空槽内に設けられた複数のセンサからなり、前記第１及び第２の搬送機構の伸長によって前記搬送物搬送方向に沿って一対の搬送物配置部に向ってそれぞれ搬送される前記第１及び第２の搬送物の位置をそれぞれ検出する一対の搬送物検出センサとを有し、
前記制御部は、前記一対の搬送物検出センサによって検出された前記第１及び第２の搬送物の位置情報と、予め前記制御部に記憶された前記第１及び第２の搬送物の位置情報とを比較して算出された前記第１及び第２の搬送物の位置座標のずれ分に基づき前記第１及び第２の旋回駆動軸を駆動して前記第１及び第２の旋回駆動部材を前記回転軸を中心としてそれぞれ微小角度反対方向に回転させて前記第１及び第２の載置部を離間又は近接させることにより、前記第１及び第２の搬送物を本来通るべき軌跡上に位置させて同時に位置ずれの修正を行った後、前記第１及び第２の搬送物を前記一対の搬送物配置部にそれぞれ配置するように制御する真空装置。
【国際調査報告】
2016035837.tif 000021
2016035837.tif 000022
2016035837.tif 000023
2016035837.tif 000024