(57)【要約】  複数の個片基板１１を載置したパレット１２をコンベア１３，１４により作業位置に搬入して複数の個片基板１１を位置決めする際に、複数の吸着ノズル２０を上昇させてパレット１２の各基板載置スペース１７に形成された開口部１８を通して各吸着ノズル２０で各個片基板１１を吸着した状態で各個片基板１１を基板位置決めプレート５５の高さ位置まで上昇させて各個片基板１１を各位置決め穴５６内に遊挿して各個片基板１１の上面の高さを基板位置決めプレート５５の上面の高さに一致させた状態で停止させる。この後、ＸＹ移動機構２２を動作させて各吸着ノズル２０を各位置決め穴５６に対して斜め方向に移動させることで、各位置決め穴５６内の各個片基板１１を斜め方向に移動させて各位置決め穴５６の２辺部に各個片基板１１の２辺部を当接させて位置決めする。
2014083605.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の個片基板を載置したパレットをコンベアにより印刷マスクの下方の作業位置に搬入し、前記複数の個片基板を位置決めして各個片基板に所定のパターンを一括して印刷する基板印刷装置において、
前記作業位置に搬入された前記パレットの各基板載置スペースの下方にそれぞれ配置され、前記各基板載置スペースに形成された開口部を通して前記各基板載置スペースの個片基板を吸着する複数の吸着ノズルと、
前記作業位置に搬入された前記パレットの上方に配置され、該パレットに載置した複数の個片基板を遊挿して位置決めするための複数の矩形状の位置決め穴が形成された基板位置決めプレートと、
前記複数の吸着ノズルを一体的に昇降させる昇降機構と、
前記複数の吸着ノズルを前記昇降機構と一体的にＸ方向及びＹ方向に移動させるＸＹ移動機構と、
前記昇降機構及び前記ＸＹ移動機構を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記各個片基板の位置決め動作時に、前記昇降機構を動作させて前記複数の吸着ノズルを上昇させて前記パレットの各基板載置スペースに形成された開口部を通して前記各吸着ノズルで前記各個片基板を吸着した状態で前記各個片基板を前記基板位置決めプレートの高さ位置まで上昇させて前記各個片基板を前記各位置決め穴内に遊挿して前記各個片基板の上面の高さを前記基板位置決めプレートの上面の高さに一致させた状態で停止させた後、前記ＸＹ移動機構を動作させて前記各吸着ノズルを前記各位置決め穴に対して斜め方向に移動させることで、前記各位置決め穴内の各個片基板を前記斜め方向に移動させて前記各位置決め穴の２辺部に前記各個片基板の２辺部を当接させて位置決めするように制御することを特徴とする基板印刷装置。
【請求項２】
前記複数の吸着ノズルは、それぞれノズル支持ベースに回転可能且つＸ，Ｙ方向に変位可能に支持されていると共に、付勢手段により前記ノズル支持ベースの中心方向に付勢されていることを特徴とする請求項１に記載の基板印刷装置。
【請求項３】
前記基板位置決めプレートをＸ，Ｙ方向に動かないように拘束した状態で載置するプレート置き台と、
前記基板位置決めプレートを吸着した状態で前記昇降機構によって昇降されるプレート吸着部と、
前記基板位置決めプレートの上面の認識マーク又は前記個片基板の認識マークと前記印刷マスクの下面の認識マークを撮像するカメラとを備え、
前記制御手段は、前記各個片基板の位置決め動作終了後に、前記カメラの撮像画像を処理して前記印刷マスクに対する前記基板位置決めプレートの位置ずれ量を計測すると共に、前記基板位置決めプレートを前記プレート吸着部で吸着して前記昇降機構により前記プレート置き台から上昇させて離脱させた状態で、前記ＸＹ移動機構により前記基板位置決めプレートの位置ずれ量を補正した後、前記各個片基板に所定のパターンを一括して印刷することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板印刷装置。
【請求項４】
前記ＸＹ移動機構は、Ｘ軸とＹ軸の少なくとも一方が２軸に構成され、当該２軸を互いに逆方向に駆動することで前記基板位置決めプレートの水平回転方向のずれを補正するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の個片基板に所定のパターンを一括して印刷する基板印刷装置に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板印刷装置の公知例としては、特許文献１（特開２００９−１３５２１５号公報）に記載されたものがある。このものは、複数の基板載置スペースにそれぞれ個片基板を載置したパレットを作業位置に搬入するコンベアと、前記作業位置に搬入された前記パレットの各基板載置スペースの下方にそれぞれ配置された複数の吸着ユニットと、前記作業位置に搬入されたパレットの上方に配置され、該パレットに載置した複数の個片基板を遊挿して位置決めするための複数の矩形状の位置決め穴が形成された基板位置決めプレートと、前記複数の吸着ユニットを保持する吸着ユニット保持体と、前記吸着ユニット保持体を上下方向に移動させる吸着ユニット保持体昇降機構と、前記吸着ユニット保持体を前記各個片基板のほぼ対角線方向に移動させる位置決め専用の駆動機構とを備え、各個片基板の位置決め動作時に、前記吸着ユニット保持体昇降機構を動作させて前記吸着ユニット保持体を上昇させて前記パレットの各基板載置スペースに形成された開口部を通して前記各吸着ユニットで前記各個片基板を吸着した状態で前記各個片基板を前記基板位置決めプレートの高さ位置まで上昇させて前記各個片基板を前記各位置決め穴内に遊挿して前記各個片基板の上面の高さを前記基板位置決めプレートの上面の高さに一致させた状態で停止させた後、前記位置決め専用の駆動機構を動作させて前記吸着ユニット保持体を前記各個片基板のほぼ対角線方向に移動させることで、前記各位置決め穴内の各個片基板をほぼ対角線方向に移動させて前記各位置決め穴の２辺部に前記各個片基板の２辺部を当接させて位置決めするようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１３５２１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１の構成では、パレットに載置した複数の個片基板を位置決めする際に各位置決め穴内の各個片基板をほぼ対角線方向に移動させる位置決め専用の駆動機構を新たに設ける必要があり、その分、コストアップする欠点があった。しかも、個片基板専用の印刷装置となるため、通常の１枚ずつの回路基板の印刷には使用できず、汎用性に劣るという欠点もあった。【０００５】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、個片基板の位置決め専用の駆動機構を新たに設ける必要がなく、しかも、複数の個片基板の一括印刷と通常の１枚ずつの回路基板の印刷の両方に対応でき、低コスト化と汎用性向上とを実現できる基板印刷装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、複数の個片基板を載置したパレットをコンベアにより印刷マスクの下方の作業位置に搬入し、前記複数の個片基板を位置決めして各個片基板に所定のパターンを一括して印刷する基板印刷装置において、前記作業位置に搬入された前記パレットの各基板載置スペースの下方にそれぞれ配置され、前記各基板載置スペースに形成された開口部を通して前記各基板載置スペースの個片基板を吸着する複数の吸着ノズルと、前記作業位置に搬入された前記パレットの上方に配置され、該パレットに載置した複数の個片基板を遊挿して位置決めするための複数の矩形状の位置決め穴が形成された基板位置決めプレートと、前記複数の吸着ノズルを一体的に昇降させる昇降機構と、前記複数の吸着ノズルを前記昇降機構と一体的にＸ方向及びＹ方向に移動させるＸＹ移動機構と、前記昇降機構及び前記ＸＹ移動機構を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記各個片基板の位置決め動作時に、前記昇降機構を動作させて前記複数の吸着ノズルを上昇させて前記パレットの各基板載置スペースに形成された開口部を通して前記各吸着ノズルで前記各個片基板を吸着した状態で前記各個片基板を前記基板位置決めプレートの高さ位置まで上昇させて前記各個片基板を前記各位置決め穴内に遊挿して前記各個片基板の上面の高さを前記基板位置決めプレートの上面の高さに一致させた状態で停止させた後、前記ＸＹ移動機構を動作させて前記各吸着ノズルを前記各位置決め穴に対して斜め方向に移動させることで、前記各位置決め穴内の各個片基板を前記斜め方向に移動させて前記各位置決め穴の２辺部に前記各個片基板の２辺部を当接させて位置決めするように制御することを特徴とするものである。【０００７】
この構成では、パレットに載置した複数の個片基板を位置決めする際に各個片基板を各位置決め穴に対して斜め方向に移動させる手段としてＸＹ移動機構を用いるため、個片基板の位置決め専用の駆動機構を新たに設ける必要がない。しかも、複数の個片基板を載置するパレットに代えて、大型の回路基板を１枚ずつコンベアに投入すれば、通常の１枚ずつの回路基板の印刷も可能であり、複数の個片基板の一括印刷と通常の１枚ずつの回路基板の印刷の両方に対応でき、低コスト化と汎用性向上とを実現できる。【０００８】
この場合、複数の吸着ノズルを、それぞれノズル支持ベースに回転可能且つＸ，Ｙ方向に変位可能に支持させると共に、付勢手段により前記ノズル支持ベースの中心方向に付勢する構成としても良い。このようにすれば、各個片基板のＸ，Ｙ，θ方向（水平回転方向）のずれ量にばらつきがあっても、各個片基板の２辺部を各位置決め穴の２辺部に確実に当接させることができて、各個片基板のＸ，Ｙ，θ方向のずれ量を精度良く修正することができる。【０００９】
更に、本発明は、前記基板位置決めプレートをＸ，Ｙ方向に動かないように拘束した状態で載置するプレート置き台と、前記基板位置決めプレートを吸着した状態で前記昇降機構によって昇降されるプレート吸着部と、前記基板位置決めプレートの上面の認識マーク又は前記個片基板の認識マークと前記印刷マスクの下面の認識マークを撮像するカメラとを備え、前記各個片基板の位置決め動作終了後に、前記カメラの撮像画像を処理して前記印刷マスクに対する前記基板位置決めプレートの位置ずれ量を計測すると共に、前記基板位置決めプレートを前記プレート吸着部で吸着して前記昇降機構により前記プレート置き台から上昇させて離脱させた状態で、前記ＸＹ移動機構により前記基板位置決めプレートの位置ずれ量を補正した後、前記各個片基板に所定のパターンを一括して印刷するようにすれば良い。このようにすれば、印刷マスクに対する基板位置決めプレートの位置ずれを補正して各個片基板に所定のパターンを精度良く印刷することができる。【００１０】
この場合、ＸＹ移動機構のＸ軸とＹ軸の少なくとも一方を２軸に構成し、当該２軸を互いに逆方向に駆動することで基板位置決めプレートのθ方向のずれを補正するように構成すると良い。このようにすれば、ＸＹ移動機構は、θ回転機構としても機能し、ＸＹ移動機構によって基板位置決めプレートのＸ方向、Ｙ方向のずれだけでなく、θ方向のずれも補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は本発明の一実施例における基板印刷装置の平面図である。
【図２】図２は基板印刷装置の右側面図である。
【図３】図３はパレットに載置した複数の個片基板の位置決め動作を説明する図２相当図である。
【図４】図４（ａ）、（ｂ）は個片基板を基板位置決めプレートの位置決め穴内に遊挿して位置決めする動作を説明する平面図である。
【図５】図４は個片基板を基板位置決めプレートの位置決め穴内に遊挿して位置決めする動作を説明する右側面図である。
【図６】図６は複数の吸着ノズルの配列を説明する斜視図である。
【図７】図７は吸着ノズルの拡大斜視図である。
【図８】図８は基板印刷装置を用いて通常サイズの回路基板を１枚ずつ印刷する場合の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を説明する。
まず、基板印刷装置の構成を説明する。
【００１３】
複数の個片基板１１を載置したパレット１２（図２参照）は、コンベア１３，１４により印刷マスク６５（図５参照）の下方の作業位置に搬入される。コンベア１３，１４は、固定側サイドプレート１５の上部と可動側サイドプレート１６の上部に平行に設けられている。搬入するパレット１２の幅寸法に応じて、可動側サイドプレート１６を送りねじ機構（図示せず）等によってＹ方向（パレット１２の搬送方向とは直角の方向）に移動させることで、固定側サイドプレート１５と可動側サイドプレート１６との間隔を調整して、パレット１２を搬送するコンベア１３，１４間の幅を調整するように構成されている。
【００１４】
パレット１２には、複数の個片基板１１を１個ずつ収納するための複数の矩形凹部形状の基板載置スペース１７が所定の配列ピッチで形成され、各基板載置スペース１７の内周縁と各個片基板１１の外周縁との間のクリアランスは、各個片基板１１の嵌合作業性と個片基板１１の外形寸法の製造ばらつきを考慮して設定されている（つまり製造ばらつき範囲の中で最も大きいサイズの個片基板１１を嵌合するのに必要なクリアランスが確保されている）。各基板載置スペース１７の底面部には、開口部１８が形成され、この開口部１８を通して基板載置スペース１７内の個片基板１１を下方から後述する吸着ノズル２０に吸着して持ち上げるようにしている。尚、パレット１２は、予め基板載置スペース１７のサイズが異なる複数種類のパレット１２が用意され、印刷しようとする個片基板１１のサイズに有ったサイズの基板載置スペース１７を持つパレット１２が使用される。
【００１５】
作業位置に搬入されたパレット１２の各基板載置スペース１７の下方には、それぞれ空気吸引力（バキューム）で個片基板１１を吸着する吸着ノズル２０が配置されている。これら複数の吸着ノズル２０を支持する昇降テーブル２１は、昇降機構（図示せず）によって上下方向（Ｚ方向）に移動し、且つ、ＸＹ移動機構２２によってＸ方向（パレット１２の搬送方向）とその直角方向であるＹ方向に移動するように構成されている。
【００１６】
ＸＹ移動機構２２は、１つのＸ軸送りねじ機構２３と、２つのＹ軸送りねじ機構２４，２５（図１参照）とから構成され、２つのＹ軸送りねじ機構２４，２５を互いに逆方向に駆動することで、昇降テーブル２１をθ方向（水平回転方向）に回転させるθ回転機構としても機能し、昇降テーブル２１のθ方向のずれを補正できるように構成されている。昇降テーブル２１は、Ｘ軸送りねじ機構２３とＹ軸送りねじ機構２４，２５にそれぞれ軸２６，２７，２８（図１参照）を介してθ方向に回転可能（水平回転可能）に支持されている。
【００１７】
図６及び図７に示すように、各吸着ノズル２０は、それぞれ段付き筒状のノズル支持ベース３１を介して昇降テーブル２１上に着脱可能に取り付けられている。本実施例では、ノズル支持ベース３１は、その下端に固定したマグネット３２の磁力によって、鉄板等の磁性材料で形成した昇降テーブル２１の上面に吸着保持されている。昇降テーブル２１上には、複数のノズル支持ベース３１を位置決めするための複数の位置決め孔３３が形成されたノズル位置決めプレート３４が載置され、このノズル位置決めプレート３４の各位置決め孔３３に各ノズル支持ベース３１の下端部を嵌合することで、各ノズル支持ベース３１が位置決めされるようになっている。従って、予め、昇降テーブル２１上に取り付ける吸着ノズル２０の数や配列ピッチに応じて、位置決め孔３３の数や配列ピッチの異なる複数のノズル位置決めプレート３４を用意しておき、搬入するパレット１２の基板載置スペース１７の数や配列ピッチに対応するノズル位置決めプレート３４を選択して、昇降テーブル２１上に複数の吸着ノズル２０を取り付けるようにすれば良い。尚、ノズル支持ベース３１の外径寸法が異なる複数種類の吸着ノズル２０が用意されている場合は、使用するノズル支持ベース３１の外径寸法に応じた内径寸法の位置決め孔３３が形成されたノズル位置決めプレート３４を使用するようにすれば良い。
【００１８】
各吸着ノズル２０は、それぞれノズル支持ベース３１にθ方向（水平方向）に回転可能且つＸ，Ｙ方向に変位可能に支持されている。具体的には、吸着ノズル２０の下部側に形成された厚肉筒状のノズル本体２０ａの外周部にフランジ部３５が形成され、このフランジ部３５がその上下両側から複数の剛球３６で挟み付けられ、該剛球３６が２個のリング状の球受けプレート３７，３８で挟み付けられている。下側の球受けプレート３８は、ノズル支持ベース３１の上面部に固定され、ノズル支持ベース３１の上部に取り付けられたカバー３９と上側の球受けプレート３７との間にリング状の弾性体４０が挟み込まれて、該弾性体４０の弾性力により上側の球受けプレート３７が剛球３６に押し付けられている。これにより、２個の球受けプレート３７，３８の間に支持された複数の剛球３６の間に吸着ノズル２０のフランジ部３５が挟み込まれて支持され、吸着ノズル２０に作用するθ方向の回転力やＸ，Ｙ方向の外力に応じて各剛球３６が転がることで、吸着ノズル２０がθ方向に回転したり、Ｘ，Ｙ方向に変位できるようになっている。球受けプレート３７，３８は、剛球３６が転がる面の摩耗を少なくするために焼き入れ金属等の金属系すべり軸受材料で形成されている。
【００１９】
吸着ノズル２０のノズル本体２０ａの下端部には、複数のマグネット４３が所定ピッチ（例えば１２０°ピッチ）で固定され、ノズル支持ベース３１の上端部には、複数のマグネット４４がノズル本体２０ａの複数のマグネット４３と対向するように固定されている。マグネット４３，４４は、両者間に作用する磁気吸引力により吸着ノズル２０をノズル支持ベース３１の中心方向に付勢する付勢手段として機能し、吸着ノズル２０に外力が作用しない状態では、マグネット４３，４４間に作用する磁気吸引力により吸着ノズル２０がノズル支持ベース３１の中心位置に保持されるように構成されている。
【００２０】
吸着ノズル２０のノズル本体２０ａの内径部には、ウレタンチューブ４６が下方に突出した状態で接着固定され、該ノズル本体２０ａから下方に突出したウレタンチューブ４６には、ゴムパッキン４７（シール部材）が挿通され、該ウレタンチューブ４６の外周面とノズル支持ベース３１の内周面との間の隙間がゴムパッキン４７でシールされ、該ゴムパッキン４７とマグネット３２との間に負圧を導入する空間４８が形成されている。
【００２１】
ノズル支持ベース３１には、負圧導入ホース（図示せず）を接続する継手４９が設けられ、該継手４９がノズル支持ベース３１内の負圧導入空間４８に連通している。これにより、負圧導入ホースを通して供給される負圧が継手４９からノズル支持ベース３１内の負圧導入空間４８に導入され、その負圧により吸着ノズル２０内の空気が負圧導入空間４８内に吸引されることで該吸着ノズル２０の上端に負圧吸引力が発生するようになっている。負圧導入ホースは、電磁弁（図示せず）を介して負圧発生源（図示せず）に接続され、該電磁弁の切り換えにより負圧導入（吸引）と大気開放（吸引解除）との切り換えを行うようになっている。
【００２２】
ノズル支持ベース３１の外周部の片側には、ノズル取外し補助板５１がねじ５２等により取り付けられ、該ノズル取外し補助板５１の下端がノズル位置決めプレート３４に接近した状態となっている。前述したように、昇降テーブル２１上への複数の吸着ノズル２０の取り付けは、マグネット３２の磁力であるため、複数の吸着ノズル２０は取り外し可能となっている。昇降テーブル２１上から複数の吸着ノズル２０を一括して取り外す場合は、昇降テーブル２１上に載置したノズル位置決めプレート３４を真上に持ち上げることで、ノズル位置決めプレート３４がノズル取外し補助板５１の下端に当接した状態となり、その状態で、ノズル位置決めプレート３４を更に持ち上げると、ノズル取外し補助板５１が持ち上げられることでノズル支持ベース３１が徐々に傾いてマグネット３２が昇降テーブル２１から徐々に引き剥がされて吸着ノズル２０のノズル支持ベース３１が昇降テーブル２１から取り外される。これにより、昇降テーブル２１上から複数の吸着ノズル２０を一括して取り外しやすくなる。
【００２３】
図２及び図３に示すように、作業位置に搬入されたパレット１２の上方には、基板位置決めプレート５５が配置されている。この基板位置決めプレート５５には、パレット１２に載置した複数の個片基板１１を遊挿して位置決めするための複数の矩形状の位置決め穴５６が形成されている。ここで、「遊挿」とは、個片基板１１を位置決め穴５６に嵌め込んだ状態（挿入した状態）において、個片基板１１の外周縁と位置決め穴５６の内周縁との間に隙間ができることである。
【００２４】
この基板位置決めプレート５５は、作業位置の４つのコーナ部に設置された載置台５７上に載置され、各載置台５７の上面に上向きに固定した固定ピン５８に、基板位置決めプレート５５の４つのコーナ部に形成した嵌合孔５９を差し込むことで、基板位置決めプレート５５がＸ，Ｙ，θ方向に動かないように拘束した状態で載置台５７上に載置されるようになっている。尚、各載置台５７の上面に、固定ピン５８に代えて、吸着穴又はマグネットを設けて、負圧吸引力又は磁力で基板位置決めプレート５５を吸着固定するようにしても良い。
【００２５】
一方、固定側サイドプレート１５と可動側サイドプレート１６の上端面には、それぞれ基板位置決めプレート５５を下面側から吸着保持するための吸着ブロック６１，６２（プレート吸着部）が設けられ、図５に示すように、基板位置決めプレート５５を載置台５７から持ち上げて該基板位置決めプレート５５のＸ，Ｙ，θ方向の位置ずれを補正するときに、各吸着ブロック６１，６２で基板位置決めプレート５５を吸着保持するようになっている。各サイドプレート１５，１６（各吸着ブロック６１，６２）は、昇降テーブル２１とは別々に、昇降機構（図示せず）によって上下方向（Ｚ方向）に移動し、且つ、ＸＹ移動機構２２によってＸ，Ｙ，θ方向に移動するように構成されている。各サイドプレート１５，１６（各吸着ブロック６１，６２）と昇降テーブル２１（吸着ノズル２０）とは、両者が別々に昇降し、両者が一体的にＸ，Ｙ，θ方向に移動するように構成されている。
【００２６】
図５に示すように、基板位置決めプレート５５の上方には、印刷マスク６５（スクリーンマスク）が水平に設置され、この印刷マスク６５の上方にスキージ６６が配置されている。このスキージ６６は、スキージ移動装置（図示せず）によって印刷マスク６５の上面に沿って移動される。
【００２７】
印刷マスク６５には、パレット１２に載置した複数の個片基板１１に半田パターン等の印刷パターンを一括してスクリーン印刷するマスク開口（図示せず）が形成され、更に、印刷マスク６５の下面に、Ｘ，Ｙ，θ方向の基準位置を認識するための認識マーク（図示せず）が形成されている。
【００２８】
一方、パレット１２（又は個片基板１１）の上面に、Ｘ，Ｙ，θ方向の基準位置を認識するための認識マーク（図示せず）が形成されている。基板印刷装置には、パレット１２（又は個片基板１１）の認識マークとパレット１２の認識マーク等の撮像対象部位を撮像するカメラ６７が設けられている。このカメラ６７は、カメラ移動装置（図示せず）によってＸ，Ｙ方向に移動されると共に、該カメラ６７のレンズ側には、パレット１２側と、印刷マスク６５側の両方を撮像するためのプリズム６８が装着されている。
【００２９】
基板印刷装置の稼働中は、スクリーン印刷前にパレット１２と印刷マスク６５との間隔をあけた状態で、カメラ６７をパレット１２と印刷マスク６５との間に移動させてパレット１２（又は個片基板１１）の認識マークと印刷マスク６５の認識マークを順番に撮像して各々の基準位置を認識した後、印刷マスク６５に対する基板位置決めプレート５５のＸ，Ｙ，θ方向の位置ずれを補正すると共に、カメラ６７をパレット１２の外側へ退避させてから、該基板位置決めプレート５５上に印刷マスク６５を重ね合わせた状態にして該基板位置決めプレート５５の複数の位置決め穴５６内の個片基板１１に半田パターン等の印刷パターンを一括してスクリーン印刷する。
【００３０】
一方、複数の個片基板１１を載置するパレット１２に代えて、図８に示すように、通常サイズの回路基板７１を１枚ずつコンベア１３，１４に投入すれば、通常の１枚ずつの回路基板７１の印刷も可能である。この際、昇降テーブル２１上の複数の吸着ノズル２０を、回路基板７１を受け支えるバックアップピンとして使用して、スクリーン印刷時の回路基板７１の下方への湾曲を複数の吸着ノズル２０によって防止するようにしても良い。或は、昇降テーブル２１から複数の吸着ノズル２０を取り外して、該昇降テーブル２１上に、回路基板７１を受け支える複数のバックアップピンを取り付けるようにしても良い。
【００３１】
以上説明した本実施例の基板印刷装置を用いて、パレット１２に載置した複数の個片基板１１に半田パターン等の印刷パターンを一括してスクリーン印刷する方法を説明する。以下に説明する各工程の動作は、基板印刷装置の制御コンピュータ（制御手段）によって制御される。
【００３２】
まず、図２に示すように、複数の基板載置スペース１７にそれぞれ個片基板１１を載置したパレット１２をコンベア１３，１４によって作業位置に搬入して停止させる。この作業位置で停止したパレット１２の各基板載置スペース１７の真下には、それぞれ昇降テーブル２１上の各吸着ノズル２０が位置した状態となる。
【００３３】
この後、可動側サイドプレート１６を移動させて、パレット１２を固定側サイドプレート１５と可動側サイドプレート１６とで挟み込んで位置決め固定する。パレット１２を固定する理由は、後述するスクリーン印刷後に個片基板１１をパレット１２の基板載置スペース１７に戻すときに個片基板１１が基板載置スペース１７内に正しく収まるようにするためである。
【００３４】
この後、図３に示すように、昇降テーブル２１を上昇させて各吸着ノズル２０をパレット１２の各基板載置スペース１７の開口部１８を通して各基板載置スペース１７内の個片基板１１を下方から各吸着ノズル２０で吸着して上昇させる。これにより、各個片基板１１を基板位置決めプレート５５の高さ位置まで上昇させて各個片基板１１を該基板位置決めプレート５５の各位置決め穴５６内に遊挿して各個片基板１１の上面の高さを基板位置決めプレート５５の上面の高さに一致させた状態で停止させる。
【００３５】
この後、基板位置決めプレート５５の各位置決め穴５６内の個片基板１１を位置決めするために、ＸＹ移動機構２２を動作させて、図４（ａ）に示すように、各吸着ノズル２０を各位置決め穴５６に対して斜め方向（例えば位置決め穴５６のほぼ対角線方向）に移動させることで、各位置決め穴５６内の各個片基板１１を斜め方向に移動させて、図４（ｂ）に示すように、各個片基板１１の２辺部を各位置決め穴５６の２辺部に押し付けて各個片基板１１のＸ，Ｙ，θ方向のずれを修正して、各個片基板１１の２辺部を各位置決め穴５６の２辺部に当接させる。これにより、各個片基板１１が各位置決め穴５６の２辺部を基準にして位置決めされる。
【００３６】
この場合、各吸着ノズル２０は、それぞれノズル支持ベース３１にθ方向に回転可能且つＸ，Ｙ方向に変位可能に支持されているため、各個片基板１１のＸ，Ｙ，θ方向のずれ量にばらつきがあっても、各個片基板１１の２辺部を各位置決め穴５６の２辺部に押しつける際に、その押し付け力により、各位置決め穴５６に対する各個片基板１１のＸ，Ｙ，θ方向のずれ量を各個片基板１１毎に独立して自動修正することができて、各個片基板１１の２辺部を各位置決め穴５６の２辺部に確実に当接させることができ、各位置決め穴５６の２辺部を基準にして全ての個片基板１１を同時に精度良く位置決めすることができる。
【００３７】
この後、両側のサイドプレート１５，１６を吸着ブロック６１，６２と一体的に上昇させて該吸着ブロック６１，６２で基板位置決めプレート５５を吸着保持し、図５に示すように、基板位置決めプレート５５を載置台５７から持ち上げて、該基板位置決めプレート５５の嵌合孔５９を載置台５７の固定ピン５８から上方に外した位置で該基板位置決めプレート５５の上昇を停止させる。この状態では、基板位置決めプレート５５の上方に印刷マスク６５が水平に配置されている。
【００３８】
この後、基板位置決めプレート５５と印刷マスク６５との間にカメラ６７を移動させてパレット１２（又は個片基板１１）の認識マークと印刷マスク６５の認識マークを順番に撮像して、それらの撮像画像を処理して基板位置決めプレート５５の基準位置と印刷マスク６５の基準位置を認識して、その認識結果に基づいて、印刷マスク６５に対する基板位置決めプレート５５のＸ，Ｙ，θ方向の位置ずれ量を算出する。この後、ＸＹ移動機構２２を動作させて、基板位置決めプレート５５のＸ，Ｙ，θ方向の位置ずれ量に応じて基板位置決めプレート５５の位置をＸ，Ｙ，θ方向に調整して、基板位置決めプレート５５のＸ，Ｙ，θ方向の位置ずれを補正する。
【００３９】
その後、カメラ６７をパレット１２の外側へ退避させた後、昇降テーブル２１を上昇させて基板位置決めプレート５５と各個片基板１１の上面を印刷マスク６５の下面に軽く接触させた位置で該基板位置決めプレート５５の上昇を停止した後、スキージ６６を印刷マスク６５の上面に沿って移動させて該基板位置決めプレート５５の複数の位置決め穴５６内の個片基板１１に半田パターン等の印刷パターンを一括してスクリーン印刷する。
【００４０】
この際、各個片基板１１は、基板位置決めプレート５５と印刷マスク６５との間に挟み込まれた状態でスクリーン印刷されるため、スクリーン印刷時に各個片基板１１が位置ずれすることを防止できると共に、スキージ６６の押圧力が作用する印刷マスク６５を基板位置決めプレート５５で受け支えることができ、スキージ６６の押圧力によって印刷マスク６５が下方へ湾曲変形することを防止できる。
【００４１】
スクリーン印刷後は、基板位置決めプレート５５を下降させて該基板位置決めプレート５５を載置台５７に載置すると共に、各吸着ノズル２０を下降させて各個片基板１１をパレット１２の各基板載置スペース１７に載置した状態に戻し、各吸着ノズル２０の吸着を解除した後、可動側サイドプレート１６を広げてパレット１２の固定を開放して、コンベア１３，１４を動作させて該パレット１２を基板印刷装置から搬出する。尚、基板位置決めプレート５５を載置台５７に載置する際に、基板位置決めプレート５５の嵌合孔５９が載置台５７の固定ピン５８から位置ずれしている場合は、ＸＹ移動機構２２を動作させて基板位置決めプレート５５の位置をＸ，Ｙ，θ方向に調整して、基板位置決めプレート５５のＸ，Ｙ，θ方向の位置ずれを補正した上で、基板位置決めプレート５５を下降させて該基板位置決めプレート５５の嵌合孔５９を載置台５７の固定ピン５８に嵌合する。
【００４２】
以上説明した本実施例によれば、パレット１２に載置した複数の個片基板１１を位置決めする際に、各個片基板１１を各位置決め穴５６に対して斜め方向に移動させる手段としてＸＹ移動機構２２を用いるため、個片基板１１の位置決め専用の駆動機構を新たに設ける必要がない。しかも、複数の個片基板１１を載置するパレット１２に代えて、大型の回路基板７１を１枚ずつコンベア１３，１４に投入すれば、大型の回路基板７１を１枚ずつ印刷することも可能であり、複数の個片基板１１の一括印刷と通常の１枚ずつの回路基板７１の印刷の両方に対応でき、低コスト化と汎用性向上とを実現できる。
【００４３】
しかも、複数の吸着ノズル２０を、それぞれノズル支持ベース３１にθ方向に回転可能且つＸ，Ｙ方向に変位可能に支持させると共に、マグネット４３，４４により吸着ノズル２０をノズル支持ベース３１の中心方向に付勢するように構成したので、各個片基板１１のＸ，Ｙ，θ方向のずれ量にばらつきがあっても、各個片基板１１の２辺部を各位置決め穴５６の２辺部に確実に当接させることができて、各個片基板１１のＸ，Ｙ，θ方向のずれ量を精度良く修正することができる。
【００４４】
尚、本発明は上記実施例に限定されず、例えば、吸着ノズル２０の支持構造を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４５】
１１…個片基板、１２…パレット、１３，１４…コンベア、１５…固定側サイドプレート、１６…可動側サイドプレート、１７…基板載置スペース、１８…開口部、２０…吸着ノズル、２１…昇降テーブル、２２…ＸＹ移動機構、２３…Ｘ軸送りねじ機構、２４，２５…Ｙ軸送りねじ機構、３１…ノズル支持ベース、３２…マグネット、３３…位置決め孔、３４…ノズル位置決めプレート、３６…剛球、３７，３８…球受けプレート、４０…弾性体、４３，４４…マグネット、４８…負圧導入空間、５１…ノズル取外し補助板、５５…基板位置決めプレート、５６…位置決め穴、５７…載置台、５８…固定ピン、５９…嵌合孔、６１，６２…吸着ブロック（プレート吸着部）、６５…印刷マスク、６６…スキージ、６７…カメラ、６８…プリズム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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