(57)【要約】  複数のノズル管理装置１１２を備えたノズル管理システム１１０において、制御装置１１４が、複数のノズル管理装置に収容されている全ての吸着ノズルに関する情報を取得する収容ノズル情報取得部３５２と、ノズルトレイに移載すべき必要吸着ノズルの全てが、所定のノズル収容装置に収容されているか否かを判定する第１判定部３５４と、必要吸着ノズルのうちの所定のノズル収容装置に収容されていない非収容吸着ノズルが、他の吸着ノズル収容装置に収容されているか否かを判定する第２判定部３５６とを有している。これにより、複数のノズル収容装置に必要吸着ノズルの全てが収容されている場合には、ノズルトレイに移載すべき必要吸着ノズルの全てを揃えることが可能となる。また、複数のノズル収容装置に必要吸着ノズルの全てが収容されていない場合には、非収容吸着ノズルの存在を認識し、非収容吸着ノズルの発注等を行うことが可能となる。
2014196002.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を吸着保持するための吸着ノズルを収容する収容部と、前記収容部に収容されている吸着ノズルをノズルトレイに移載する移載機構とを有する複数のノズル収容装置と、
ノズルトレイに移載すべき１以上の吸着ノズルである必要吸着ノズルに関する情報を取得する移載情報取得部を有する制御装置と
を備えたノズル管理システムにおいて、
前記制御装置が、
前記複数のノズル収容装置の各々の前記収容部に収容されている吸着ノズルに関する情報を取得する収容ノズル情報取得部と、
前記複数のノズル収容装置のうちの所定のノズル収容装置の前記収容部に収容されている吸着ノズルがノズルトレイに移載される際に、前記移載情報取得部によって取得される情報に応じた前記必要吸着ノズルの全てが、前記所定のノズル収容装置の前記収容部に収容されているか否かを判定する第１判定部と、
前記必要吸着ノズルの全てが前記所定のノズル収容装置の前記収容部に収容されていない場合に、前記必要吸着ノズルのうちの前記所定のノズル収容装置の前記収容部に収容されていない非収容吸着ノズルが、前記複数のノズル収容装置のうちの前記所定のノズル収容装置以外の前記収容部に収容されているか否かを、前記収容ノズル情報取得部によって取得されている情報に基づいて判定する第２判定部と
を有することを特徴とするノズル管理システム。
【請求項２】
前記制御装置が、
前記非収容吸着ノズルが、前記複数のノズル収容装置のうちの前記所定のノズル収容装置以外の前記収容部に収容されていない場合に、前記非収容吸着ノズルに関する情報を任意の装置に通知する情報通知部を有することを特徴とする請求項１に記載のノズル管理システム。
【請求項３】
前記制御装置が、
前記非収容吸着ノズルが、前記複数のノズル収容装置のうちの前記所定のノズル収容装置以外の前記収容部に収容されている場合に、前記複数のノズル収容装置のうちの前記非収容吸着ノズルを収容するノズル収容装置に、前記非収容吸着ノズルをノズルトレイに移載する旨の指令を出力する指令出力部を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のノズル管理システム。
【請求項４】
前記指令出力部が、
前記所定のノズル収容装置に、前記必要吸着ノズルのうちの前記非収容吸着ノズル以外の収容吸着ノズルをノズルトレイに移載する旨の指令を出力し、前記複数のノズル収容装置のうちの前記非収容吸着ノズルを収容するノズル収容装置に、前記収容吸着ノズルが移載されたノズルトレイに前記非収容吸着ノズルを移載する旨の指令を出力することを特徴とする請求項３に記載のノズル管理システム。
【請求項５】
前記指令出力部が、
前記複数のノズル収容装置のうちの前記非収容吸着ノズルを収容するノズル収容装置に、前記必要吸着ノズルの全てが収容されている場合に、そのノズル収容装置に、前記非収容吸着ノズルを含む前記必要吸着ノズルの全てをノズルトレイに移載する旨の指令を出力することを特徴とする請求項３に記載のノズル管理システム。
【請求項６】
前記制御装置が、
前記収容部に収容されている吸着ノズルの劣化を推定する劣化推定部を有し、
前記第１判定部と前記第２判定部との少なくとも一方が、
前記劣化推定部によって劣化していると判定された吸着ノズルは前記収容部に収容されていないとみなして、判定を行うことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載のノズル管理システム。
【請求項７】
前記移載情報取得部が、
所定期間の生産計画に応じた前記必要吸着ノズルに関する情報を取得することを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１つに記載のノズル管理システム。
【請求項８】
前記複数のノズル収容装置のうちの少なくとも１つは、
前記収容部に収容されている吸着ノズルの検査を行う検査機構と、前記収容部に収容されている吸着ノズルの洗浄を行う洗浄機構との少なくとも一方を有することを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載のノズル管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を吸着保持するための吸着ノズルを収容する収容部と、収容部に収容されている吸着ノズルをノズルトレイに移載する移載機構とを有する複数のノズル収容装置によって構成されるノズル管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品装着機では、電子部品を吸着ノズルによって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、電子部品装着機での精度の高い装着作業を担保するべく、適切な吸着ノズルを用いることが望まれている。そこで、適切な吸着ノズルを用いるために、吸着ノズルを洗浄するための装置，吸着ノズルの検査を行うための装置等の開発が進められており、下記特許文献には、そのような装置の一例が記載されている。【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１１４２３７号公報
【特許文献２】特開２０１２−４３０６号公報
【特許文献３】特開２０１０−２５８１８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
適切な吸着ノズルの使用を目的として、上記特許文献に記載されているように、吸着ノズルを洗浄するための装置，吸着ノズルの検査を行うための装置等を用いることは望ましい。一方で、洗浄，検査等が行われても、管理が不適切であると、適切な吸着ノズルを用い難くなる。このため、近年では、電子部品を吸着保持するための吸着ノズルを収容する収容部と、収容部に収容されている吸着ノズルをノズルトレイに移載する移載機構とを有するノズル収容装置の開発が進められている。このようなノズル収容装置によれば、吸着ノズルを収容部で適切に保管するとともに、保管されている吸着ノズルから、任意の吸着のノズルをノズルトレイに移載することが可能となり、効率的に吸着ノズルの管理を行うことが可能となる。さらに、ノズル収容装置を複数備えることで、相当数の吸着ノズルを管理することが可能となり、利便性が飛躍的に向上する。しかしながら、複数のノズル収容装置の各々に収容されている吸着ノズルの種類，任意の吸着ノズルの収納箇所等を管理することは困難であり、それらを適切に管理することで、複数の吸着ノズル収容装置を備えたノズル管理システムの実用性が向上すると考えられる。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高いノズル管理システムの提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本願に記載のノズル管理システムは、電子部品を吸着保持するための吸着ノズルを収容する収容部と、前記収容部に収容されている吸着ノズルをノズルトレイに移載する移載機構とを有する複数のノズル収容装置と、ノズルトレイに移載すべき１以上の吸着ノズルである必要吸着ノズルに関する情報を取得する移載情報取得部を有する制御装置とを備えたノズル管理システムであって、前記制御装置が、前記複数のノズル収容装置の各々の前記収容部に収容されている吸着ノズルに関する情報を取得する収容ノズル情報取得部と、前記複数のノズル収容装置のうちの所定のノズル収容装置の前記収容部に収容されている吸着ノズルがノズルトレイに移載される際に、前記移載情報取得部によって取得される情報に応じた前記必要吸着ノズルの全てが、前記所定のノズル収容装置の前記収容部に収容されているか否かを判定する第１判定部と、前記必要吸着ノズルの全てが前記所定のノズル収容装置の前記収容部に収容されていない場合に、前記必要吸着ノズルのうちの前記所定のノズル収容装置の前記収容部に収容されていない非収容吸着ノズルが、前記複数のノズル収容装置のうちの前記所定のノズル収容装置以外の前記収容部に収容されているか否かを、前記収容ノズル情報取得部によって取得されている情報に基づいて判定する第２判定部とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本願に記載のノズル管理システムでは、制御装置が、複数のノズル収容装置に収容されている全ての吸着ノズルに関する情報を記憶している。そして、ノズルトレイに移載すべき必要吸着ノズルの全てが、所定のノズル収容装置に収容されているか否かを、制御装置が判定する。さらに、必要吸着ノズルのうちの所定のノズル収容装置に収容されていない非収容吸着ノズルが、他の吸着ノズル収容装置に収容されているか否かを、判定する。これにより、複数のノズル収容装置に必要吸着ノズルの全てが収容されている場合には、ノズルトレイに移載すべき必要吸着ノズルの全てを揃えることが可能となる。また、複数のノズル収容装置に必要吸着ノズルの全てが収容されていない場合には、非収容吸着ノズルの存在を認識し、非収容吸着ノズルの発注等を行うことが可能となる。このように、本願に記載のノズル管理システムによれば、ノズル管理システムにおいて、複数のノズル収容装置の各々に収容されている吸着ノズルの種類，任意の吸着ノズルの収納箇所等を適切に管理することが可能となり、ノズル管理システムの実用性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の実施例のノズル管理システムの管理対象の吸着ノズルが使用される電子部品装着装置を示す斜視図である。
【図２】電子部品装着装置が備える装着ヘッドを示す斜視図である。
【図３】本発明の実施例のノズル管理システムの管理対象の吸着ノズルを示す斜視図である。
【図４】電子部品装着装置において吸着ノズルが載置されるノズルトレイを示す平面図である。
【図５】図４に示すノズルトレイの断面図である。
【図６】本発明の実施例のノズル管理システムを概略的に示す図である。
【図７】ノズル管理システムを構成するノズル管理装置の内部構造を右前方からの視点で示す斜視図である。
【図８】ノズル管理システムを構成するノズル管理装置の内部構造を左前方からの視点で示す斜視図である。
【図９】ノズル管理装置において吸着ノズルが載置されるノズルパレットを示す平面図である。
【図１０】図９に示すノズルパレットの断面図である。
【図１１】ノズル管理装置の備えるノズル移載装置を示す斜視図である。
【図１２】ノズル管理装置の備える第１ノズル検査装置を示す斜視図である。
【図１３】ノズル管理装置の備える第２ノズル検査装置を示す斜視図である。
【図１４】ノズル管理装置の備えるノズル洗浄装置を示す斜視図である。
【図１５】ハウジングを取り除いた状態のノズル洗浄装置を示す斜視図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。【０００９】
＜電子部品装着装置の構成＞
図１に、電子部品装着装置（以下、「装着装置」と略す場合がある）１０を示す。装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。【００１０】
各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。【００１１】
搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって固定的に保持される。【００１２】
移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータ５２，５４の作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。【００１３】
装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６は、図２に示すように、棒状の装着ユニット６０を複数有しており、それら複数の装着ユニット６０の各々の下端部には、吸着ノズル６２が装着されている。吸着ノズル６２は、図３に示すように、胴体筒６４とフランジ部６６と吸着管６８と掛止ピン７０とによって構成されている。胴体筒６４は、円筒状をなし、フランジ部６６は、胴体筒６４の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管６８は、細いパイプ状をなし、胴体筒６４の下端部から下方に向かって延び出している。吸着管６８と胴体筒６４との間には、ばね（図示省略）が圧縮された状態で配設されており、吸着管６８は、ばねの弾性力によって、胴体筒６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。つまり、吸着管６８の先端に、ばねの弾性力に抗した力が加えられることで、吸着管６８は、胴体筒６４の内部に向かって後退する。また、掛止ピン７０は、胴体筒６４の径方向に延びるように、胴体筒６４の上端部に設けられている。吸着ノズル６２は、掛止ピン７０を利用して、装着ユニット６０の下端部にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。掛止ピン７０を利用した吸着ノズル６２の装着ユニット６０への取り付けは、公知の手法であることから、説明は省略する。また、フランジ部６６の外縁には、切欠部７２が形成されており、フランジ部６６の上面には、２Ｄコード７４が記されている。なお、２Ｄコード７４は、吸着ノズル６２の固有情報を識別するための識別記号である。【００１４】
吸着ノズル６２の胴体筒６４は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。このため、吸着ノズル６２の吸着管６８は、先端部において、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。棒状の装着ユニット６０は、図２に示すように、ユニット保持体７６の外周部に、等角度ピッチで、軸方向が垂直となる状態に保持されている。そして、各吸着ノズル６２が、ユニット保持体７６の下面から下方に向かって延び出している。【００１５】
また、ユニット保持体７６は、保持体回転装置７８によって、装着ユニット６０の配設角度ピッチに等しい角度ずつ間欠回転させられる。これにより、装着ユニット６０の１つの停止位置である昇降ステーションに、複数の装着ユニット６０が、順次停止する。昇降ステーションに停止した装着ユニット６０は、ユニット昇降装置８０によって昇降する。また、昇降ステーションに停止した装着ユニット６０は、ユニット自転装置８２によって自転する。【００１６】
供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、フレーム部３２の前方側の端部に配設されている。供給装置２８は、テープフィーダ８６を有している。テープフィーダ８６は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ８６は、送出装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。【００１７】
ノズルステーション３０は、複数の吸着ノズル６２を収容するものであり、ノズルトレイ８８を有している。ノズルトレイ８８は、図４に示すように、ベースプレート９０とカバープレート９２とを有しており、カバープレート９２は、ベースプレート９０の上にスライド可能に配設されている。なお、ベースプレート９０とカバープレート９２とは、略同じ寸法とされており、カバープレート９２がベースプレート９０に対してスライドした状態（図４（ａ）に示す状態）において、ベースプレート９０の端部に記された２Ｄコード９４は露出する。一方、ベースプレート９０とカバープレート９２とが全体的に重なっている状態（図４（ｂ）に示す状態）では、２Ｄコード９４は、カバープレート９２によって覆われる。なお、２Ｄコード９４は、ノズルトレイ８８の固有情報を識別するための識別記号である。【００１８】
ベースプレート９０には、図４および、ノズルトレイ８８の断面図である図５に示すように、複数の載置穴９６が形成されている。載置穴９６は、段付形状の貫通穴であり、吸着ノズル６２を載置することが可能である。詳しくは、段付形状の載置穴９６の段差面９８の内径は、吸着ノズル６２のフランジ部６６の外径より僅かに大きく、その段差面９８に、図５（ｂ）に示すように、吸着ノズル６２のフランジ部６６が載置される。また、段差面９８には、ピン（図４（ｂ）参照）１００が立設されており、そのピン１００に、フランジ部６６の切欠部７２が係合する。これにより、載置穴９６に載置された吸着ノズル６２の軸回りの回転が禁止される。なお、載置穴９６には、小さな径の載置穴９６ａと大きな径の載置穴９６ｂとがあり、小さな径の載置穴９６ａには、小さなサイズの吸着ノズル６２が載置され、大きな径の載置穴９６ｂには、大きなサイズの吸着ノズル６２が載置される。【００１９】
また、カバープレート９２にも、ベースプレート９０の複数の載置穴９６に対応して、抜穴１０２が形成されている。抜穴１０２は、円穴部１０４とスロット部１０６とによって構成されている。円穴部１０４は、円形をなし、対応する載置穴９６の段差面９８より僅かに大きな内径である。また、スロット部１０６は、円穴部１０４の縁に切り欠かれた部分であり、吸着ノズル６２の胴体筒６４の外径より僅かに大きな切欠部である。【００２０】
上記構造のノズルトレイ８８では、カバープレート９２をベースプレート９０に対してスライドさせることで、図４（ａ）に示すように、抜穴１０２を介して載置穴９６の一部が露出する状態（以下、「一部露出状態」という場合がある）と、図４（ｂ）に示すように、抜穴１０２を介して載置穴９６の全体が露出する状態（以下、「全露出状態」という場合がある）とで切換可能である。【００２１】
詳しくは、全露出状態では、図４（ｂ）に示すように、載置穴９６の中心と抜穴１０２の円穴部１０４の中心とが一致しており、載置穴９６の段差面９８が完全に露出する。このため、全露出状態において、載置穴９６に吸着ノズル６２を載置すること、若しくは、載置穴９６から吸着ノズル６２を取り出すことが可能である。つまり、全露出状態において、ノズルトレイ８８に吸着ノズル６２を収容すること、若しくは、ノズルトレイ８８から吸着ノズル６２を取り出すことが可能である。【００２２】
一方、一部露出状態では、図４（ａ）に示すように、載置穴９６の中心と抜穴１０２の円穴部１０４の中心とは一致しておらず、載置穴９６の段差面９８の一部は、カバープレート９２によって覆われている。このため、一部露出状態では、載置穴９６に吸着ノズル６２を載置すること、若しくは、載置穴９６から吸着ノズル６２を取り出すことができない。つまり、一部露出状態では、ノズルトレイ８８に吸着ノズル６２を収容すること、若しくは、ノズルトレイ８８から吸着ノズル６２を取り出すことができない。ただし、一部露出状態では、載置穴９６の中心と抜穴１０２のスロット部１０６の中心とは一致しており、図５（ｂ）に示すように、載置穴９６に載置された吸着ノズル６２の胴体筒６４は、スロット部１０６からカバープレート９２の上方に延び出している。【００２３】
また、カバープレート９２は、ベースプレート９０に対して、全露出状態と一部露出状態との間でスライド可能であり、スプリング（図示省略）によって、一部露出状態となる方向に付勢されている。つまり、通常は、ノズルトレイ８８への吸着ノズル６２の収容、若しくは、ノズルトレイ８８からの吸着ノズル６２の取出しが禁止されている。ただし、ノズルステーション３０は、カバープレート９２を、スプリングの弾性力に抗して、全露出状態となる方向にスライドさせるプレート移動機構（図示省略）を有しており、そのプレート移動機構の作動によりカバープレート９２がスライドすることで、ノズルトレイ８８への吸着ノズル６２の収容、若しくは、ノズルトレイ８８からの吸着ノズル６２の取出しが可能となる。なお、ノズルトレイ８８は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルステーション３０に収容された吸着ノズル６２の回収，ノズルステーション３０への吸着ノズル６２の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。【００２４】
＜装着機による装着作業＞
装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって固定的に保持される。また、テープフィーダ８６は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６２によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。【００２５】
＜ノズルステーションでの吸着ノズルの交換＞
装着機１４では、上述したように、テープフィーダ８６によって供給された電子部品を、吸着ノズル６２によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このように構成された装着機１４では、電子部品の大きさ，種類等に応じて、吸着ノズル６２が変更される。つまり、例えば、大きな電子部品を吸着保持する際には、径の大きな吸着ノズル６２が用いられ、小さな電子部品を吸着保持する際には、径の小さな吸着ノズル６２が用いられる。このため、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル６２を用いる必要が有り、ノズルステーション３０には、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル６２が収容されている。そして、装着ヘッド２６の装着ユニット６０に取り付けられている吸着ノズル６２と、ノズルステーション３０の収容されている吸着ノズル６２との交換等が、必要に応じて行われる。なお、装着ユニット６０に取り付けられている吸着ノズル６２と、ノズルステーション３０の収容されている吸着ノズル６２との交換等は、公知の手法であることから、説明は省略する。【００２６】
上述したように、ノズルステーション３０には、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル６２が収容されている。このため、例えば、製造対象の回路基板の種類が変更される場合には、ノズルステーション３０からノズルトレイ８８が取り外され、ノズル管理システムを用いて、ノズルトレイ８８に収容されている吸着ノズル６２が交換される。以下に、ノズル管理システムについて、詳しく説明する。【００２７】
＜ノズル管理システムの構成＞
ノズル管理システム１１０は、図６に示すように、複数のノズル管理装置１１２と制御装置１１４とを有している。制御装置１１４は、複数のノズル管理装置１１２の各々とケーブル１１６により接続されており、情報の送受信を行うことが可能である。各ノズル管理装置１１２は、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ８８をノズル管理装置１１２内に収納、若しくは、ノズル管理装置１１２からノズルトレイ８８を取り出すための引出１１８が設けられている。その引出１１８の上方には、各種情報を表示するパネル１２０、情報等の入力を行うための操作スイッチ１２２等が配設されている。【００２８】
各ノズル管理装置１１２は、図７および図８に示すように、パレット収容装置１３０、トレイ収容装置１３２、ノズル移載装置１３４、第１ノズル検査装置１３６、第２ノズル検査装置１３８、ノズル洗浄装置１４０を有している。なお、図７は、ノズル管理装置１１２の右前方からの視点におけるノズル管理装置１１２の内部構造を示す斜視図であり、図８は、ノズル管理装置１１２の左前方からの視点におけるノズル管理装置１１２の内部構造を示す斜視図である。【００２９】
（ａ）パレット収容装置
パレット収容装置１３０は、図９に示すノズルパレット１５２を収容するものである。ノズルパレット１５２は、ノズルトレイ８８と同様に、ベースプレート１５４とカバープレート１５６とを有しており、カバープレート１５６は、ベースプレート１５４の上にスライド可能に配設されている。ベースプレート１５４とカバープレート１５６とは、略同じ寸法とされており、カバープレート１５６がベースプレート１５４に対してスライドした状態（図９（ａ）に示す状態）において、ベースプレート１５４の端部に記された２Ｄコード１５７は露出する。一方、ベースプレート１５４とカバープレート１５６とが全体的に重なっている状態（図９（ｂ）に示す状態）では、２Ｄコード１５７は、カバープレート１５６によって覆われる。なお、２Ｄコード１５７は、ノズルパレット１５２の固有情報を識別するための識別記号である。【００３０】
また、ベースプレート１５４の角部には、基準ノズル１７２と基準パイプ１７４とが配置されている。基準ノズル１７２と基準パイプ１７４とは、ベースプレート１５４を貫通しており、基準ノズル１７２と基準パイプ１７４との下端部は、ベースプレート１５４の下方に延び出している。なお、カバープレート１５６の角部には、切欠部１７６が形成されており、ベースプレート１５４とカバープレート１５６とが全体的に重なっている状態であっても、基準ノズル１７２と基準パイプ１７４とは、露出する。【００３１】
ベースプレート１５４には、複数の載置穴１５８が形成されており、それら複数の載置穴１５８には、小さな径の載置穴１５８ａと大きな径の載置穴１５８ｂとがある。小さな径の載置穴１５８ａは、ノズルトレイ８８の小さな径の載置穴９６ａと同じ形状であり、載置穴９６ａに載置可能な吸着ノズル６２が載置される。一方、大きな径の載置穴１５８ｂは、ノズルトレイ８８の大きな径の載置穴９６ｂと略同じ形状であるが、図９および、ノズルパレット１５２の断面図である図１０に示すように、２つの段差面１６０，１６２を有する段付形状の穴である。第１の段差面１６０の内径は、ノズルトレイ８８の大きな径の載置穴９６ｂの内径と同じであり、図１０（ａ）に示すように、載置穴９６ｂに載置可能な吸着ノズル６２が載置される。第２の段差面１６２の内径は、第１の段差面１６０の内径より小さくなっており、図１０（ｂ）に示すように、第１の第１の段差面１６０に載置可能な吸着ノズル６２より小さなサイズの吸着ノズル６２が載置される。なお、各段差面１６０，１６２にも、ピン（図９（ｂ）参照）１６４が立設されており、吸着ノズル６２のフランジ部６６の切欠部７２と係合する。【００３２】
また、カバープレート１５６にも、ベースプレート１５４の複数の載置穴１５８に対応して、抜穴１６６が形成されている。抜穴１６６は、ノズルトレイ８８の抜穴１０２と同形状であり、円穴部１６８とスロット部１７０とによって構成されている。このため、ノズルパレット１５２でも、ノズルトレイ８８と同様に、一部露出状態と、全露出状態とで切換可能である。【００３３】
詳しくは、全露出状態では、図９（ｂ）に示すように、載置穴１５８の段差面１６０等が完全に露出し、載置穴１５８に吸着ノズル６２を載置すること、若しくは、載置穴１５８から吸着ノズル６２を取り出すことが可能である。一方、一部露出状態では、図９（ａ）に示すように、載置穴１５８の段差面１６０等の一部は、カバープレート１５６によって覆われており、載置穴１５８に吸着ノズル６２を載置すること、若しくは、載置穴１５８から吸着ノズル６２を取り出すことができない。ただし、一部露出状態では、図１０に示すように、載置穴１５８に載置された吸着ノズル６２の胴体筒６４は、スロット部１７０からカバープレート１５６の上方に延び出している。【００３４】
また、カバープレート１５６は、ベースプレート１５４に対して、全露出状態と一部露出状態との間でスライド可能であり、スプリング（図示省略）によって、一部露出状態となる方向に付勢されている。このため、通常は、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の収容、若しくは、ノズルパレット１５２からの吸着ノズル６２の取出しが禁止されている。ただし、ノズルトレイ８８と同様に、カバープレート１５６を、スプリングの弾性力に抗して、全露出状態となる方向にスライドさせることで、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の収容、若しくは、ノズルパレット１５２からの吸着ノズル６２の取出しが可能となる。【００３５】
パレット収容装置１３０は、上記構造のノズルパレット１５２を収容する装置である。パレット収容装置１３０は、図７および図８に示すように、複数のパレットキャリア１８０とキャリア循環機構１８２とを有している。パレットキャリア１８０は、チャンネル形状、つまり、断面がコの字型をなす形状であり、チャンネル形状の開口が下方を向いた状態で配設されている。パレットキャリア１８０の内側の側面には、レール１８３が形成されており、そのレール１８３によって、ノズルパレット１５２が保持される。なお、ノズルパレット１５２は、パレットキャリア１８０の前方から挿入されることで、パレットキャリア１８０に保持され、ノズルパレット１５２を前方に引き出すことで、パレットキャリア１８０から取り出される。【００３６】
キャリア循環機構１８２は、１対のスプロケット軸１８４を有しており、１対のスプロケット軸１８４は、前後方向に延びた状態で上下に配設されている。各スプロケット軸１８４の両端には、スプロケット１８６が取り付けられている。１対のスプロケット軸１８４の前端のスプロケット１８６同士が、チェーン１８８によって連結され、１対のスプロケット軸１８４の後端のスプロケット１８６同士が、チェーン１９０によって連結されている。【００３７】
チェーン１８８，１９０には、複数のブラケット１９２が取り付けられており、各ブラケット１９２は、チェーン１８８，１９０と直角な状態で外側に向かって延び出している。チェーン１８８に取り付けられたブラケット１９２と、チェーン１９０に取り付けられたブラケット１９２とは、それぞれの先端部において、パレットキャリア１８０を揺動可能に支持している。そして、電磁モータ（図示省略）の駆動により、スプロケット軸１８４が制御可能に回転する。このような構造により、複数のパレットキャリア１８０、つまり、パレットキャリア１８０に保持されたノズルパレット１５２は、キャリア循環機構１８２によって、ノズル管理装置１１２の内部において上下方向に循環する。なお、パレットキャリア１８０は、循環時において、常に、チャンネル形状の開口が下方を向いた状態が維持されることから、パレットキャリア１８０に保持されたノズルパレット１５２は、常に、水平な状態で循環する。【００３８】
（ｂ）トレイ収容装置
トレイ収容装置１３２は、ノズルトレイ８８を収容する装置であり、パレット収容装置１３０の前方に配設されている。トレイ収容装置１３２は、複数のトレイキャリア２００とキャリア循環機構２０２とを有している。トレイキャリア２００は、パレットキャリア１８０と同様に、チャンネル形状をなし、チャンネル形状の開口が下方を向いた状態で配設されている。また、トレイキャリア２００は、内側の側面に形成されたレール２０４によって、ノズルトレイ８８を保持する。なお、ノズルトレイ８８は、トレイキャリア２００の前方から挿入されることで、トレイキャリア２００に保持され、ノズルトレイ８８を前方に引き出すことで、トレイキャリア２００から取り出される。【００３９】
キャリア循環機構２０２は、キャリア循環機構１８２と同様にスプロケット軸，スプロケット，チェーン，ブラケット（符号省略）等を有しており、キャリア循環機構１８２と同様に作動する。このため、複数のトレイキャリア２００、つまり、トレイキャリア２００に保持されたノズルトレイ８８は、キャリア循環機構２０２によって、ノズル管理装置１１２の内部において上下方向に循環する。なお、トレイキャリア２００は、循環時において、常に、チャンネル形状の開口が下方を向いた状態が維持されることから、トレイキャリア２００に保持されたノズルトレイ８８は、常に、水平な状態で循環する。【００４０】
（ｃ）ノズル移載装置
ノズル移載装置１３４は、ノズルトレイ８８とノズルパレット１５２との間で吸着ノズル６２を移載するための装置であり、図１１に示すように、引出１１８内のテーブル２０５上に配設されている。ノズル移載装置１３４は、移載ヘッド２０６とヘッド移動装置２０７とを有している。移載ヘッド２０６の下端面には、下方を向いた状態のカメラ２０８と、吸着ノズル６２を保持するための保持チャック（図７、図８参照）２０９とが取り付けられている。また、ヘッド移動装置２０７は、移載ヘッド２０６をテーブル２０５の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である。【００４１】
また、引出１１８内のテーブル２０５には、ノズルトレイ８８をセットするための固定ステージ２１０および、可動ステージ２１２が設けられている。固定ステージ２１０は、テーブル２０５に固定されている。一方、可動ステージ２１２は、ステージ移動機構２１４によって前後方向にスライドする。ステージ移動機構２１４は、前後方向に延びるようにテーブル２０５に配設されたレール２１６を有しており、可動ステージ２１２を、レール２１６に沿って制御可能にスライドさせる。レール２１６の後端部は、キャリア循環機構２０２によって所定の位置に循環したトレイキャリア２００のレール２０４と連結する。このため、可動ステージ２１２のスライドにより、可動ステージ２１２にセットされたノズルトレイ８８をトレイキャリア２００に収納すること、および、トレイキャリア２００に収容されているノズルトレイ８８を可動ステージ２１２上にセットすることが可能である。【００４２】
また、固定ステージ２１０および、可動ステージ２１２には、セットされたノズルトレイ８８に対して、カバープレート９２を全露出状態となる方向に移動させるためのプレート移動機構（図示省略）が設けられている。なお、図には、固定ステージ２１０にセットされたノズルトレイ８８が図示されている。【００４３】
また、引出１１８内のテーブル２０５には、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、ノズル移載装置１３４による吸着ノズル６２の移載が可能な位置（以下、「ノズル移載位置」と略す場合がある）との間で、ノズルパレット１５２を移動させる第１パレット移動機構２２０が配設されている。第１パレット移動機構２２０は、前後方向に延びるようにテーブル２０５に配設されたレール２２２を有しており、ノズルパレット１５２を、レール２２２に沿って制御可能にスライドさせる。レール２２２の後端部は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環したパレットキャリア１８０のレール１８３と連結する。このため、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、ノズル移載位置との間で、ノズルパレット１５２を移動させることが可能である。なお、図には、ノズル移載位置に移動したノズルパレット１５２が図示されている。【００４４】
ノズル移載位置に移動したノズルパレット１５２の前方側には、載置プレート２２４が配設されている。載置プレート２２４には、ノズルパレット１５２のベースプレート１５４に形成された載置穴１５８と同形状の載置穴２２６が複数形成されている。複数の載置穴２２６には、載置穴１５８と同様に、大きな径の載置穴２２６と小さな径の載置穴２２６とが有り、種々のサイズの吸着ノズル６２を載置することが可能である。また、引出１１８内のテーブル２０５の前端部には、廃棄ボックス２２８が配設されている。廃棄ボックス２２８は、４つの空間に仕切られており、正常でないと判断された吸着ノズル６２、つまり、不良ノズルが、それら４つの空間に区別して廃棄される。【００４５】
上記構成のノズル移載装置１３４によって、ノズルトレイ８８とノズルパレット１５２との間で吸着ノズル６２が移載される際には、ノズルパレット１５２が、第１パレット移動機構２２０によって、ノズル移載位置に移動され、ノズルトレイ８８が、固定ステージ２１０若しくは、可動ステージ２１２にセットされる。なお、可動ステージ２１２にノズルトレイ８８がセットされる際には、作業者が、ノズルトレイ８８を可動ステージ２１２にセットしてもよく、トレイキャリア２００に収容されているノズルトレイ８８を、ステージ移動機構２１４によって、可動ステージ２１２にセットしてもよい。【００４６】
次に、ノズル移載位置に移動したノズルパレット１５２および、固定ステージ２１０若しくは、可動ステージ２１２にセットされたノズルトレイ８８が、プレート移動機構により、全露出状態とされる。続いて、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、ノズルトレイ８８および、ノズルパレット１５２の上方に移動し、ノズルトレイ８８，ノズルパレット１５２の各々の２Ｄコード９４，１５７が、カメラ２０８によって撮像される。これにより、ノズルトレイ８８および、ノズルパレット１５２のＩＤナンバー等の固有情報が得られる。【００４７】
続いて、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、吸着ノズル６２の移載元となるノズルトレイ８８またはノズルパレット１５２の上方に移動し、移載対象の吸着ノズル６２の２Ｄコード７４が、カメラ２０８によって撮像される。これにより、移載対象の吸着ノズル６２のＩＤナンバー等の固有情報が得られる。そして、移載対象の吸着ノズル６２が、保持チャック２０９によって保持される。【００４８】
移載対象の吸着ノズル６２が保持チャック２０９に保持されると、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、吸着ノズル６２の移載先となるノズルトレイ８８またはノズルパレット１５２の上方に移動し、保持された吸着ノズル６２が、ノズルトレイ８８またはノズルパレット１５２の載置穴９６，１５８に載置される。これにより、ノズルトレイ８８とノズルパレット１５２との間で吸着ノズル６２が移載される。なお、吸着ノズル６２移載時には、移載先のノズルトレイ８８またはノズルパレット１５２のＩＤナンバーと、移載された吸着ノズル６２のＩＤナンバーと、移載先のノズルトレイ８８またはノズルパレット１５２の移載位置とが関連付けて記憶される。【００４９】
また、吸着ノズル６２が移載される際に、移載先のノズルトレイ８８またはノズルパレット１５２の載置穴９６，１５８に空きが無い場合、つまり、全ての載置穴９６，１５８に吸着ノズル６２が載置されている場合には、吸着ノズル６２を保持した保持チャック２０９が、ヘッド移動装置２０７の作動により、載置プレート２２４の上方に移動し、吸着ノズル６２は、載置プレート２２４の載置穴２２６に仮載置される。【００５０】
また、例えば、保持チャック２０９によって保持されている吸着ノズル６２が、後に詳しく説明する第１ノズル検査装置１３６，第２ノズル検査装置１３８により不良ノズルと判定されている場合には、吸着ノズル６２を保持している保持チャック２０９が、ヘッド移動装置２０７の作動により、廃棄ボックス２２８の上方に移動し、不良ノズルは、廃棄ボックス２２８に廃棄される。【００５１】
（ｄ）第１ノズル検査装置
第１ノズル検査装置１３６は、吸着ノズル６２の先端部、つまり、吸着管６８の状態の検査（以下、「先端部検査」と略す場合がある）と、吸着ノズル６２の先端部を後退させるために必要な力、つまり、吸着管６８を胴体筒６４の内部に向かって後退させるために必要な力の検査（以下、「後退力検査」と略す場合がある）とを実行する装置であり、ノズル移載装置１３４の下方に配設されている。【００５２】
第１ノズル検査装置１３６は、図１２に示すように、検査ユニット２３０とユニット移動装置２３２とを有している。検査ユニット２３０は、基台２３４とカメラ装置２３６と荷重測定装置２３８とを有している。カメラ装置２３６は、上方を向いた状態で基台２３４の上に配設されている。荷重測定装置２３８は、ロードセル２４０を有しており、ロードセル２４０は、基台２３４の上に露出した状態で配設されている。【００５３】
ユニット移動装置２３２は、固定ビーム２５０と可動ビーム２５２と第１スライダ２５４と第２スライダ２５６を有している。固定ビーム２５０は、ノズル管理装置１１２の躯体に、前後方向に延びるように配設されている。可動ビーム２５２は、左右方向に延びるように固定ビーム２５０に支持されており、前後方向にスライド可能である。その可動ビーム２５２は、第１移動機構２５８の作動により、前後方向の任意の位置に移動する。第１スライダ２５４は、可動ビーム２５２に左右方向にスライド可能に支持されており、第２移動機構２６０の作動により、左右方向の任意の位置に移動する。第２スライダ２５６は、第１スライダ２５４に上下方向にスライド可能に支持されており、第３移動機構２６２の作動により、上下方向の任意の位置に移動する。その第２スライダ２５６の上端に、検査ユニット２３０の基台２３４が固定されている。これにより、ユニット移動装置２３２は、検査ユニット２３０を、上下、左右、前後方向の任意の位置に移動させるＸＹＺ型移動装置として機能する。【００５４】
また、第１ノズル検査装置１３６の上方には、第２パレット移動機構２６６が配設されている。第２パレット移動機構２６６は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、第１ノズル検査装置１３６による先端部検査および後退力検査を行うことが可能な位置（以下、「第１検査位置」と略す場合がある）との間で、ノズルパレット１５２を移動させる機構である。詳しくは、第２パレット移動機構２６６は、前後方向に延びるように配設されたレール２６８を有しており、ノズルパレット１５２を、レール２６８に沿って制御可能にスライドさせる。レール２６８の後端部は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環したパレットキャリア１８０のレール１８３と連結する。このため、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、第１検査位置との間で、ノズルパレット１５２を移動させることが可能である。なお、図には、第１検査位置に移動したノズルパレット１５２が図示されている。【００５５】
上記構成の第１ノズル検査装置１３６によって、先端部検査が行われる際には、ノズルパレット１５２が、第２パレット移動機構２６６によって、第１検査位置に移動する。そして、検査ユニット２３０のカメラ装置２３６が、ユニット移動装置２３２によって、検査対象の吸着ノズル６２の下方に移動し、検査対象の吸着ノズル６２の吸着管６８が、カメラ装置２３６によって撮像される。これにより、吸着ノズル６２の吸着管６８の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着管６８の状態が検査される。撮像データに基づく検査により、吸着管６８の曲がり，先端欠け，先端潰れ等の異常が発見された場合には、第１ノズル検査装置１３６の検定が行われる。【００５６】
詳しくは、撮像データに基づく検査により吸着管６８の異常が発見された場合には、カメラ装置２３６が、ユニット移動装置２３２によって、ノズルパレット１５２の基準パイプ１７４の下方に移動し、基準パイプ１７４が、カメラ装置２３６によって撮像される。そして、その撮像データに基づいて、基準パイプ１７４の状態が検査される。基準パイプ１７４の下端部には、正常な吸着管６８が取り付けられており、第１ノズル検査装置１３６が正常であれば、当然、基準パイプ１７４の撮像データに基づく検査において、基準パイプ１７４の吸着管６８は、正常であると判断される。このため、検査対象の吸着ノズル６２の撮像データに基づく検査により吸着管６８の異常が発見され、さらに、基準パイプ１７４の撮像データに基づく検査により吸着管６８が正常であると判断された場合に、検査対象の吸着ノズル６２の吸着管６８の異常発生が確定し、検査対象の吸着ノズル６２が不良ノズルと認定される。一方、検査対象の吸着ノズル６２の撮像データに基づく検査により吸着管６８の異常が発見され、さらに、基準パイプ１７４の撮像データに基づく検査により吸着管６８が異常であると判断された場合には、第１ノズル検査装置１３６が正常な検査を行うことができないとみなされ、検査対象の吸着ノズル６２は不良ノズルと認定されない。【００５７】
また、第１ノズル検査装置１３６によって、後退力検査が行われる際には、検査ユニット２３０のロードセル２４０が、ユニット移動装置２３２によって、検査対象の吸着ノズル６２の下方に移動し、吸着ノズル６２の吸着管６８の下端部に当接するように、検査ユニット２３０が上方に移動する。この際、吸着ノズル６２の吸着管６８が、胴体筒６４の内部に向かって設定量、後退するように、検査ユニット２３０は上方に移動する。ロードセル２４０は、吸着管６８が胴体筒６４の内部に向かって設定量、後退した際の荷重を検出し、その検出値が、閾値より大きいか否かが判断される。ロードセル２４０による検出値は、吸着管６８を胴体筒６４の内部に向かって後退させるために必要な力を指標するものであり、その値が閾値より大きい場合には、異物の吸着ノズル６２内への混入、吸着ノズル６２，吸着管６８等の破損により、吸着管６８が胴体筒６４の内部に向かって後退し難くなっていると考えられる。このため、ロードセル２４０による検出値が、閾値より大きいと判定された吸着ノズル６２は、不良ノズルと認定される。【００５８】
なお、後退力検査が行われる前には、ロードセル２４０の調整が行われる。詳しくは、後退力検査が行われる前に、ロードセル２４０は、ユニット移動装置２３２によって、基準パイプ１７４の下方に移動し、基準パイプ１７４の吸着管６８の下端部に、当接するように、検査ユニット２３０が、上方に移動する。この際、基準パイプ１７４の吸着管６８が、胴体筒６４の内部に向かって設定量、後退するように、検査ユニット２３０は上方に移動する。ロードセル２４０は、基準パイプ１７４の吸着管６８が胴体筒６４の内部に向かって設定量、後退した際の荷重を検出する。そして、その検出された荷重が、基準パイプ１７４の吸着管６８が胴体筒６４の内部に向かって設定量、後退する際の実際の荷重となるように、ロードセル２４０の調整が行われる。【００５９】
（ｅ）第２ノズル検査装置
第２ノズル検査装置１３８は、吸着ノズル６２内を流れるエアの流量の検査（以下、「エア流量検査」と略す場合がある）と、吸着ノズル６２のフランジ部６６に記された２Ｄコード７４の読み取り検査（以下、「コード読取検査」と略す場合がある）とを実行する装置であり、第１ノズル検査装置１３６の下方に配設されている。【００６０】
第２ノズル検査装置１３８は、図１３に示すように、検査ヘッド２７０とヘッド移動装置２７２とを有している。検査ヘッド２７０は、カメラ２７４とエア供給装置２７６とを有している。カメラ２７４は、下方を向いた状態で検査ヘッド２７０の下端部に取り付けられている。エア供給装置２７６は、エアジョイント２７８と空気圧センサ２８０とジョイント昇降機構２８２とを有している。エアジョイント２７８は、エア流量検査実行時に吸着ノズル６２の胴体筒６４に接続されるものであり、エアジョイント２７８を介して、エア流量検査実行時に吸着ノズル６２にエアが供給される。空気圧センサ２８０は、エアジョイント２７８の上端部に設けられており、吸着ノズル６２に供給されるエア圧を測定する。ジョイント昇降機構２８２は、エアジョイント２７８を、空気圧センサ２８０とともに昇降させる。【００６１】
ヘッド移動装置２７２は、可動ビーム２８４とスライダ２８６とを有している。可動ビーム２８４は、上述した第１ノズル検査装置１３６の固定ビーム２５０によって、左右方向に延びるように支持されており、前後方向にスライド可能である。その可動ビーム２８４は、第１移動機構２８８の作動により、前後方向の任意の位置に移動する。スライダ２８６は、可動ビーム２８４に左右方向にスライド可能に支持されており、第２移動機構２９０の作動により、左右方向の任意の位置に移動する。そのスライダ２８６の側面に、検査ヘッド２７０が固定されている。これにより、ヘッド移動装置２７２は、検査ヘッド２７０を、上下、左右方向の任意の位置に移動させるＸＹ型移動装置として機能する。【００６２】
また、第２ノズル検査装置１３８の下方には、第３パレット移動機構２９６が配設されている。第３パレット移動機構２９６は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、第２ノズル検査装置１３８によるエア流量検査およびコード読取検査を行うことが可能な位置（以下、「第２検査位置」と略す場合がある）との間で、ノズルパレット１５２を移動させる機構である。詳しくは、第３パレット移動機構２９６は、前後方向に延びるように配設されたレール２９８を有しており、ノズルパレット１５２を、レール２９８に沿って制御可能にスライドさせる。レール２９８の後端部は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環したパレットキャリア１８０のレール１８３と連結する。このため、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、第２検査位置との間で、ノズルパレット１５２を移動させることが可能である。なお、図には、第２検査位置に移動したノズルパレット１５２が図示されている。【００６３】
上記構成の第２ノズル検査装置１３８によって、エア流量検査が行われる際には、ノズルパレット１５２が、第３パレット移動機構２９６によって、第２検査位置に移動する。そして、検査ヘッド２７０のエア供給装置２７６が、ヘッド移動装置２７２によって、検査対象の吸着ノズル６２の上方に移動する。エア供給装置２７６は、ジョイント昇降機構２８２によって、エアジョイント２７８を下降させ、検査対象の吸着ノズル６２の胴体筒６４と接続させる。エアジョイント２７８が胴体筒６４と接続すると、エア供給装置２７６は、接続された胴体筒６４にエアを供給する。そして、エア供給時のエア圧が、空気圧センサ２８０によって測定され、そのエア圧が、第１閾圧より大きいか否かが判断される。正常な吸着ノズル６２にエアが供給される際には、吸着ノズル６２内をエアが通り抜けていくため、空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧は、比較的低い。一方、詰まり等の生じた吸着ノズル６２にエアが供給される際には、吸着ノズル６２内をエアが通り抜け難いため、空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧は、比較的高くなる。このため、空気圧センサ２８０によって測定されたエア圧が第１閾圧より大きい吸着ノズル６２は、不良ノズルと認定される。【００６４】
なお、エア流量検査では、不良ノズルの認定だけでなく、不良ノズルとなる可能性の高い吸着ノズル６２、つまり、劣化の進んだ吸着ノズル（以下、「劣化ノズル」と略す場合がある）の認定も行われる。詳しくは、第１閾圧より低い圧力の第２閾圧が設定されている。そして、空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧が、第２閾圧より大きいか否かが判断され、そのエア圧が第２閾圧より大きい吸着ノズル６２が、劣化ノズルと認定される。つまり、不良ノズルほどではないが、ある程度、吸着ノズル６２内をエアが通り抜け難い吸着ノズル６２が、劣化ノズルと認定される。【００６５】
ちなみに、エア流量検査時には、コンプレッサ（図示省略）からエア供給装置２７６に送り出されたエアが吸着ノズル６２に供給されるが、コンプレッサの作動状況に応じて、空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧は変化する。このため、エア流量検査が行われる前には、基準パイプ１７４にエアを供給し、その際に空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧に基づいて、第１閾圧および第２閾圧の設定が行われる。【００６６】
また、コード読取検査が行われる際には、検査ヘッド２７０のカメラ２７４が、ヘッド移動装置２７２によって、検査対象の吸着ノズル６２の上方に移動し、検査対象の吸着ノズル６２のフランジ部６６に記された２Ｄコード７４が、カメラ２７４によって撮像される。これにより、検査対象の吸着ノズル６２の２Ｄコード７４の撮像データが得られ、通常は、その撮像データに基づいて、吸着ノズル６２のＩＤナンバー等の固有情報が得られる。しかし、２Ｄコード７４に汚れ等が付着していると、撮像データに基づいて、吸着ノズル６２の固有情報が得られない場合がある。このため、撮像データに基づいて、吸着ノズル６２の固有情報を取得できない吸着ノズル６２は、不良ノズルと認定されることが好ましい。【００６７】
ただし、２Ｄコード７４に汚れ等が付着していなくても、カメラ２７４等に異常が発生している場合にも、撮像データに基づいて、吸着ノズル６２の固有情報を取得できない虞がある。このため、撮像データに基づいて、吸着ノズル６２の固有情報を取得できない場合には、カメラ２７４等の検定が行われる。【００６８】
詳しくは、カメラ２７４により基準ノズル１７２のフランジ部６６に記された２Ｄコード７４を撮像し、その撮像データに基づいて、基準ノズル１７２の固有情報が取得されるか否かを判定する。基準ノズル１７２の２Ｄコード７４には、汚れ等は付着しておらず、カメラ２７４等に異常が発生していない限り、基準ノズル１７２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、基準ノズル１７２の固有情報は取得される。このため、検査対象の吸着ノズル６２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、固有情報を取得できず、さらに、基準ノズル１７２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、固有情報が取得された場合に、検査対象の吸着ノズル６２が不良ノズルと認定される。一方、検査対象の吸着ノズル６２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、固有情報を取得できず、さらに、基準ノズル１７２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、固有情報が取得されない場合には、カメラ２７４等に異常が発生しているとみなされ、検査対象の吸着ノズル６２が不良ノズルと認定されない。【００６９】
（ｆ）ノズル洗浄装置
ノズル洗浄装置１４０は、吸着ノズル６２の洗浄および乾燥を行う装置であり、第２ノズル検査装置１３８の下方に配設されている。ノズル洗浄装置１４０は、図１４に示すように、ハウジング３００を有しており、ハウジング３００内で、吸着ノズル６２の洗浄および乾燥が行われる。ノズル洗浄装置１４０の構造を説明するべく、ハウジング３００を除いたノズル洗浄装置１４０を、図１５に示す。【００７０】
ノズル洗浄装置１４０は、図１５に示すように、ノズル洗浄機構３０２とノズル乾燥機構３０４とを有している。ノズル洗浄機構３０２は、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８とによって構成されている。上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８とは、略同じ構造であり、上下方向において、互いに向かい合うように配置されている。各ユニット３０６，３０８は、支持フレーム３１０と噴射ノズル３１２と噴射ノズル移動機構３１４とを有している。【００７１】
上部洗浄ユニット３０６の支持フレーム３１０ａは、ハウジング３００の上面に固定されており、下部洗浄ユニット３０８の支持フレーム３１０ｂは、ハウジング３００内の下面に固定されている。上部洗浄ユニット３０６の噴射ノズル３１２ａは、左右方向に延びるようにハウジング３００内の上端部に配設されており、支持フレーム３１０ａによって、ハウジング３００の上面を介して、前後方向にスライド可能に支持されている。その噴射ノズル３１２ａは、上部洗浄ユニット３０６の噴射ノズル移動機構３１４ａにより、前後方向に制御可能にスライドする。下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル３１２ｂは、左右方向に延びるようにハウジング３００内の下端部に配設されており、支持フレーム３１０ｂによって、ハウジング３００の下面を介して、前後方向にスライド可能に支持されている。その噴射ノズル３１２ｂは、下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル移動機構３１４ｂにより、前後方向に制御可能にスライドする。なお、噴射ノズル３１２ａの下面には、複数の噴射穴（図示省略）が形成されており、噴射ノズル３１２ｂの上面には、複数の噴射穴３１６が形成されている。【００７２】
ノズル乾燥機構３０４は、ノズル洗浄機構３０２の後方に配設されており、複数の送風管３２０を有している。複数の送風管３２０は、ハウジング３００の上面および下面に、左右方向に延びるように配設されている。送風管３２０は、送風装置（図示省略）に加温器（図示省略）を介して接続されており、送風管３２０には、温風が吹き込まれる。また、送風管３２０には、ハウジング３００への取付部に複数の送風穴（図示省略）が形成されており、送風穴に対応して、ハウジング３００の上面および下面には、貫通穴が形成されている。これにより、ハウジング３００には、ノズル乾燥機構３０４によって、温風が吹き込まれる。【００７３】
また、ハウジング３００内には、第４パレット移動機構３３０が配設されている。第４パレット移動機構３３０は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、ノズル洗浄機構３０２による吸着ノズル６２の洗浄を行うことが可能な位置（以下、「洗浄位置」と略す場合がある）との間で、ノズルパレット１５２を移動させる機構である。詳しくは、第４パレット移動機構３３０は、前後方向に延びるようにハウジング３００の内壁面に配設されたレール３３２を有しており、ノズルパレット１５２を、レール３３２に沿って制御可能にスライドさせる。レール３３２の前端部は、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８との間に位置している。一方、レール３３２の後端部は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環したパレットキャリア１８０のレール１８３と連結する。このため、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、洗浄位置との間で、ノズルパレット１５２を移動させることが可能である。なお、図には、洗浄位置に移動したノズルパレット１５２が図示されている。【００７４】
上記構成のノズル洗浄機構３０２によって、吸着ノズル６２の洗浄が行われる際には、ノズルパレット１５２が、第４パレット移動機構３３０によって、洗浄位置に移動する。そして、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８との各々の噴射ノズル３１２に高圧水が供給され、その高圧水が、噴射ノズル３１２の噴射穴３１６から、ノズルパレット１５２に向かって、吹きつけられる。この際、噴射ノズル３１２は、噴射ノズル移動機構３１４によって前後方向に移動する。これにより、ノズルパレット１５２に収容されている全ての吸着ノズル６２に、高圧水が吹きつけられ、吸着ノズル６２の洗浄が行われる。【００７５】
吸着ノズル６２の洗浄が終了すると、ノズルパレット１５２は、第４パレット移動機構３３０によって、ノズル乾燥機構３０４の配設位置（以下、「乾燥位置」と略す場合がある）に移動する。そして、送風管３２０に温風が供給され、ノズルパレット１５２に収容されている吸着ノズル６２に温風が吹きつけられる。これにより、高圧水により洗浄された吸着ノズル６２の乾燥が行われる。【００７６】
＜ノズル管理装置による吸着ノズルの管理＞
上記構成のノズル管理装置１１２では、ノズルトレイ８８に搭載された吸着ノズル６２のノズル管理装置１１２への収納作業、ノズル管理装置１１２に収納されている吸着ノズル６２のノズルトレイ８８への搭載作業、吸着ノズル６２の検査作業、吸着ノズル６２の洗浄・乾燥作業が行われる。以下に、各作業実行時におけるノズル管理装置１１２の作動態様について説明する。【００７７】
（ａ）吸着ノズルのノズル管理装置への収納作業
吸着ノズルのノズル管理装置への収納作業時において、作業者は、吸着ノズル６２が搭載されたノズルトレイ８８を、ノズル管理装置１１２の引出１１８内の固定ステージ２１０、若しくは、可動ステージ２１２にセットする。また、ノズル管理装置１１２では、キャリア循環機構１８２の作動により、吸着ノズル６２を搭載可能なノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、第１パレット移動機構２２０に対応する位置に移動する。【００７８】
続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第１パレット移動機構２２０の作動により、ノズル移載位置に移動する。そして、ノズルトレイ８８に搭載されている吸着ノズル６２が、上述したように、ノズル移載装置１３４によって、ノズル移載位置に移動したノズルパレット１５２に移載される。ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の移載が完了すると、そのノズルパレット１５２は、第１パレット移動機構２２０の作動により、パレットキャリア１８０に収容される。これにより、吸着ノズル６２のノズル管理装置１１２への収納作業が終了する。【００７９】
なお、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の移載により、空となったノズルトレイ８８は、固定ステージ２１０または可動ステージ２１２から、作業者により回収される。若しくは、ノズルトレイ８８が可動ステージ２１２にセットされている場合には、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の移載により、空となったノズルトレイ８８を、ステージ移動機構２１４の作動により、トレイキャリア２００に収容することも可能である。【００８０】
（ｂ）ノズル管理装置によるノズルトレイへの搭載作業
ノズル管理装置１１２に収納されている吸着ノズル６２のノズルトレイ８８への搭載作業時には、作業者が、吸着ノズル６２を搭載可能なノズルトレイ８８を、固定ステージ２１０または可動ステージ２１２にセットする。若しくは、吸着ノズル６２を搭載可能なノズルトレイ８８が、ステージ移動機構２１４の作動により、可動ステージ２１２にセットされる。また、ノズル管理装置１１２では、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、第１パレット移動機構２２０に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、ノズルトレイ８８への搭載予定の吸着ノズル６２が収容されている。【００８１】
続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第１パレット移動機構２２０の作動により、ノズル移載位置に移動する。そして、ノズルパレット１５２に搭載されている吸着ノズル６２が、上述したように、ノズル移載装置１３４によって、ノズルトレイ８８に移載される。これにより、吸着ノズル６２のノズルトレイ８８への収納作業が終了する。なお、ノズルトレイ８８への吸着ノズル６２の移載が完了したノズルパレット１５２は、第１パレット移動機構２２０の作動により、パレットキャリア１８０に収容される。【００８２】
（ｃ）吸着ノズルの検査作業
吸着ノズル６２の検査作業時には、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、第２パレット移動機構２６６、若しくは、第３パレット移動機構２９６に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、検査対象の吸着ノズル６２が収容されている。【００８３】
続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第２パレット移動機構２６６、若しくは、第３パレット移動機構２９６の作動により、第１検査位置、若しくは、第２検査位置に移動する。そして、ノズルパレット１５２に搭載されている吸着ノズル６２に対して、上述したように、第１ノズル検査装置１３６、若しくは、第２ノズル検査装置１３８によって、検査作業が行われる。吸着ノズル６２の検査作業が完了すると、ノズルパレット１５２は、第２パレット移動機構２６６、若しくは、第３パレット移動機構２９６の作動により、パレットキャリア１８０に収容される。なお、検査作業の結果は、検査対象の吸着ノズル６２のＩＤナンバーと関連付けて記憶される。【００８４】
（ｄ）吸着ノズルの洗浄・乾燥作業
吸着ノズル６２の洗浄・乾燥作業時には、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、第４パレット移動機構３３０に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、洗浄対象の吸着ノズル６２が収容されている。【００８５】
続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第４パレット移動機構３３０の作動により、洗浄位置に移動する。そして、ノズルパレット１５２に搭載されている吸着ノズル６２に対して、上述したように、ノズル洗浄機構３０２によって、洗浄作業が行われる。吸着ノズル６２の洗浄作業が完了すると、ノズルパレット１５２は、第４パレット移動機構３３０の作動により、乾燥位置に移動する。そして、ノズルパレット１５２に搭載されている吸着ノズル６２に対して、上述したように、ノズル乾燥機構３０４によって、乾燥作業が行われる。吸着ノズル６２の乾燥作業が完了すると、ノズルパレット１５２は、第４パレット移動機構３３０の作動により、パレットキャリア１８０に収容される。なお、洗浄・乾燥作業の終了した吸着ノズル６２に関しては、その吸着ノズル６２のＩＤナンバーと、洗浄・乾燥作業が完了している旨の情報とが関連付けて記憶される。【００８６】
＜ノズル管理システムによる吸着ノズルの管理＞
上述したように、複数のノズル管理装置１１２の各々では、個別に、各ノズル管理装置１１２に収容されている吸着ノズル６２の管理を行うことが可能であるが、ノズル管理システム１１０では、複数のノズル管理装置１１２に収容されている全ての吸着ノズル６２を統括して管理することが可能となっている。詳しくは、ノズル管理システム１１０の制御装置１１４には、複数のノズル管理装置１１２の各々から、各ノズル管理装置１１２に収容されている吸着ノズル６２に関する情報が送信されており、複数のノズル管理装置１１２に収容されている全ての吸着ノズル６２に関する情報が記憶されている。これにより、例えば、ノズルトレイ８８に搭載予定の複数の吸着ノズル（以下、「必要吸着ノズル」という場合がある）の全てが、１つのノズル管理装置１１２に収容されていない場合には、他のノズル管理装置１１２に収容されている吸着ノズル６２を利用して、ノズルトレイ８８に必要吸着ノズルの全てを搭載することが可能である。【００８７】
（ａ）対象ノズル管理装置で必要吸着ノズルを搭載可能な場合
具体的には、複数のノズル管理装置１１２のうちの１つのノズル管理装置（以下、「対象ノズル管理装置」という場合がある）に、必要吸着ノズルに関する情報が入力されると、必要吸着ノズルの全てが、対象ノズル管理装置に収容されているか否かが、制御装置１１４において判定される。そして、必要吸着ノズルの全てが、対象ノズル管理装置に収容されている場合には、対象ノズル管理装置において、上述した手法に従って、ノズルトレイ８８に必要吸着ノズルの全てが搭載される。【００８８】
なお、ノズル管理装置１１２では、上述したように、吸着ノズル６２の検査が行われており、不良ノズルの認定が行われている。このため、例えば、必要吸着ノズルが、不良ノズルとしてノズル管理装置１１２に収容されている場合があり、そのような不良ノズルを必要吸着ノズルとして、ノズルトレイ８８に搭載することは好ましくない。このため、必要吸着ノズルがノズル管理装置１１２に収容されているか否かが判定される際には、判定対象の吸着ノズル６２から不良ノズルは除外される。【００８９】
また、必要吸着ノズルが搭載されるノズルトレイ８８は、対象ノズル管理装置のトレイキャリア２００に収容されているノズルトレイ８８であってもよく、作業者が対象ノズル管理装置の固定ステージ２１０若しくは、可動ステージ２１２にセットしたノズルトレイ８８であってもよい。また、作業者は、対象ノズル管理装置の固定ステージ２１０若しくは、可動ステージ２１２に、空のノズルトレイ８８をセットしてもよく、吸着ノズル６２の搭載されたノズルトレイ８８をセットしてもよい。ただし、吸着ノズル６２の搭載されたノズルトレイ８８がセットされた場合には、そのノズルトレイ８８からノズルパレット１５２への移載作業を行った後に、ノズルトレイ８８への必要吸着ノズルの搭載が行われる。【００９０】
（ｂ）非対象ノズル管理装置で必要吸着ノズルを搭載可能な場合
一方、必要吸着ノズルの全てが、対象ノズル管理装置に収容されていない場合には、制御装置１１４が、複数のノズル管理装置１１２のうちの対象ノズル管理装置以外のノズル管理装置（以下、「非対象ノズル管理装置」という場合がある）の何れかに、必要吸着ノズルの全てが収容されているか否かを判定する。非対象ノズル管理装置の何れかに、必要吸着ノズルの全てが収容されている場合には、制御装置１１４は、対象ノズル管理装置のパネル１２０に、必要吸着ノズルの全てを収容している非対象ノズル管理装置に関する情報を表示する。これにより、作業者は、その非対象ノズル管理装置であれば、ノズルトレイ８８に必要吸着ノズルの全てを搭載することが可能である旨を知ることが可能となる。【００９１】
さらに、制御装置１１４は、必要吸着ノズルの全てを収容している非対象ノズル管理装置に、必要吸着ノズルに関する情報を送信する。これにより、必要吸着ノズルの全てを収容している非対象ノズル管理装置において、ノズルトレイ８８に必要吸着ノズルの全てが搭載される。なお、必要吸着ノズルが搭載されるノズルトレイ８８は、非対象ノズル管理装置のトレイキャリア２００に収容されているノズルトレイ８８であってもよく、作業者が非対象ノズル管理装置の固定ステージ２１０若しくは、可動ステージ２１２にセットしたノズルトレイ８８であってもよい。【００９２】
（ｃ）複数のノズル管理装置で必要吸着ノズルを搭載可能な場合
一方、必要吸着ノズルの全てが、非対象ノズル管理装置の何れかに収容されていない場合には、制御装置１１４は、必要吸着ノズルのうちの対象ノズル管理装置に収容されていない吸着ノズル（以下、「非収容吸着ノズル」という場合がある）が、非対象ノズル管理装置の何れかに収容されているか否かを判定する。非収容吸着ノズルが、非対象ノズル管理装置の何れかに収容されている場合には、対象ノズル管理装置において、必要吸着ノズルのうちの非収容吸着ノズル以外の吸着ノズル（以下、「収容吸着ノズル」という場合がある）が、ノズルトレイ８８に搭載される。【００９３】
その際、制御装置１１４は、対象ノズル管理装置のパネル１２０に、非収容吸着ノズルを収容している非対象ノズル管理装置に関する情報を表示する。そして、作業者は、対象ノズル管理装置のパネル１２０に表示された非対象ノズル管理装置の固定ステージ２１０、若しくは、可動ステージ２１２に、収容吸着ノズルが搭載されたノズルトレイ８８をセットする。また、制御装置１１４は、非収容吸着ノズルを収容している非対象ノズル管理装置に、非収容吸着ノズルに関する情報を送信する。これにより、非収容吸着ノズルを収容している非対象ノズル管理装置において、収容吸着ノズルが搭載されたノズルトレイ８８に非収容吸着ノズルが搭載され、ノズルトレイ８８に必要吸着ノズルの全てが搭載される。【００９４】
上述したように、ノズル管理システム１１０では、対象ノズル管理装置に必要吸着ノズルの全てが収容されていない場合であっても、非対象ノズル管理装置に収容されている吸着ノズルを利用して、ノズルトレイ８８に必要吸着ノズルの全てを搭載することが可能である。これにより、１つのノズル管理装置１１２に多くの吸着ノズル６２を収容する必要が無くなり、余分な吸着ノズル６２の購入を抑制することが可能となる。【００９５】
（ｄ）非収容吸着ノズルが複数のノズル管理装置に収容されていない場合
また、必要吸着ノズルの全てが、対象ノズル管理装置に収容されておらず、非収容吸着ノズルが、非対象ノズル管理装置の何れにも収容されていない場合、つまり、非収容吸着ノズルが、ノズル管理システム１１０を構成する複数のノズル管理装置１１２の何れにも収容されていない場合には、制御装置１１４は、非収容吸着ノズルが複数のノズル管理装置１１２の何れにも収容されていないこと、および、非収容吸着ノズルに関する情報を、パネル１２０に表示する。これにより、作業者は、非収容吸着ノズルが存在しないことを認識し、非収容吸着ノズルの発注等を行うことが可能となる。【００９６】
なお、制御装置１１４は、非収容吸着ノズルに関する情報をパネル１２０以外の装置に送信することが可能である。例えば、電子部品等の管理を行うための制御装置等に非収容吸着ノズルに関する情報を送信してもよい。また、ネットワークに接続された商品発注装置等に非収容吸着ノズルに関する情報を送信してもよい。つまり、ネットワーク等を利用して、業者に非収容吸着ノズルを自動発注してもよい。【００９７】
（ｅ）生産計画に応じた吸着ノズルの管理
ノズル管理システム１１０では、所定期間の生産計画に応じて、吸着ノズル６２の管理を行うことが可能である。詳しくは、例えば、１週間の生産計画に基づいて、生産予定の回路基板毎に必要吸着ノズルを、制御装置１１４に入力する。そして、生産予定の回路基板毎の必要吸着ノズルが、ノズル管理システム１１０の複数のノズル管理装置１１２の何れかに収容されているか否かが判定される。全ての生産予定の回路基板の必要吸着ノズルが、ノズル管理装置１１２の何れかに収容されていれば、上記手法に従って、全ての生産予定の回路基板生産時に、ノズルトレイ８８に必要吸着ノズルを搭載することが可能である。しかしながら、全ての生産予定の回路基板の必要吸着ノズルが、ノズル管理装置１１２の何れかに収容されていなければ、ノズルトレイ８８に必要吸着ノズルを搭載することができず、予定通りに回路基板の生産を行えない虞がある。このため、制御装置１１４は、全ての生産予定の回路基板の必要吸着ノズルのうちのノズル管理装置１１２の何れにも収容されていない吸着ノズルに関する情報を、パネル１２０等の装置に出力する。これにより、作業者等が、足りない吸着ノズルの発注等を行うことが可能となり、所定の期間の生産計画を円滑に遂行することが可能となる。【００９８】
（ｆ）吸着ノズルの劣化を考慮したノズルトレイへの搭載
ノズル管理システム１１０では、上述したように、ノズル管理装置１１２への吸着ノズル６２の収容の有無が判定される際には、判定対象の吸着ノズル６２から不良ノズルは除外される。これにより、不良ノズルのノズルトレイ８８への搭載を防止することが可能となり、異常の生じた吸着ノズル６２による装着作業等の発生を防止することが可能となる。ただし、不良ノズルでなくても、劣化の進んだ吸着ノズル６２を使用すれば、適切な装着作業を行えない虞がある。特に、上述したように、所定期間の生産計画に応じて、吸着ノズル６２の管理を行う場合には、劣化の進んだ吸着ノズル６２が不良ノズルとなる可能性がある。このため、ノズル管理システム１１０では、判定対象の吸着ノズル６２から、不良ノズルだけでなく、エア供給装置２７６によって劣化ノズルと判定されたものも除外される。これにより、所定期間の生産計画に応じて、吸着ノズル６２の管理を行う際に、不良ノズルとなる可能性の高い吸着ノズル６２のノズルトレイ８８への搭載を防止することが可能となり、信頼性の高い管理システムを構築することが可能となる。【００９９】
また、制御装置１１４は、劣化ノズルに関するデータを、パネル１２０等の装置に送信することが可能である。これにより、不良ノズルとなる可能性の高い吸着ノズル６２の存在を認識することが可能となり、劣化ノズルの代わりとなる吸着ノズル６２の発注等を行うことが可能となる。【０１００】
なお、ノズル管理システム１１０の制御装置１１４は、図６に示すように、移載情報取得部３５０、収容ノズル情報取得部３５２、第１判定部３５４、第２判定部３５６、情報通知部３５８、指令出力部３６０、劣化推定部３６２を有している。移載情報取得部３５０は、必要吸着ノズルに関する情報を取得する機能部である。収容ノズル情報取得部３５２は、複数のノズル管理装置１１２に収容されている吸着ノズル６２に関する情報を、各ノズル管理装置１１２から取得する機能部である。第１判定部３５４は、対象ノズル管理装置に必要吸着ノズルの全てが収容されているか否かを判定する機能部である。第２判定部３５６は、非対象ノズル管理装置に非収容吸着ノズルが収容されているか否かを判定する機能部である。情報通知部３５８は、非収容吸着ノズルに関する情報をパネル１２０等の装置に送信する機能部である。指令出力部３６０は、ノズルトレイ８８に吸着ノズル６２を搭載する旨の指令を、対象ノズル管理装置、非対象ノズル管理装置に送信する機能部である。劣化推定部３６２は、エア供給装置２７６において吸着ノズル６２を検査し、劣化ノズルを認定する機能部である。【０１０１】
ちなみに、上記実施例において、吸着ノズル６２は、吸着ノズルの一例である。ノズルトレイ８８は、ノズルトレイの一例である。ノズル管理システム１１０は、ノズル管理システムの一例である。ノズル管理装置１１２は、ノズル収容装置の一例である。制御装置１１４は、制御装置の一例である。パネル１２０は、任意の装置の一例である。ノズル移載装置１３４は、移載機個の一例である。第１ノズル検査装置１３６および、第２ノズル検査装置１３８は、検査機構の一例である。ノズル洗浄装置１４０は、洗浄機構の一例である。ノズルパレット１５２は、収容部の一例である。移載情報取得部３５０は、移載情報取得部の一例である。収容ノズル情報取得部３５２は、収容ノズル情報取得部の一例である。第１判定部３５４は、第１判定部の一例である。第２判定部３５６は、第２判定部の一例である。情報通知部３５８は、情報通知部の一例である。指令出力部３６０は、指令出力部の一例である。劣化推定部３６２は、劣化推定部の一例である。【０１０２】
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、複数のノズル管理装置１１２の各々が制御装置１１４に接続され、制御装置１１４に移載情報取得部３５０等の機能部が設けられているが、制御装置１１４を設けることなく、複数のノズル管理装置１１２の各々の制御装置同士を接続し、各ノズル管理装置１１２の個別の制御装置に移載情報取得部３５０等の機能部を設けることが可能である。また、複数のノズル管理装置１１２の各々に制御装置１１４を接続し、制御装置１１４と各ノズル管理装置１１２の個別の制御装置とに、移載情報取得部３５０等の機能部を設けることが可能である。【０１０３】
また、上記実施例では、エア供給装置２７６の検査結果に基づいて、劣化ノズルの認定が行われているが、第１ノズル検査装置１３６等の他の検査装置の検査結果に基づいて、劣化ノズルの認定を行うことが可能である。また、使用年数，使用回数等に基づいて、劣化ノズルの認定を行うことが可能である。
【符号の説明】
【０１０４】
６２：吸着ノズル    ８８：ノズルトレイ    １１０：ノズル管理システム    １１２：ノズル管理装置（ノズル収容装置）    １１４：制御装置    １２０：パネル（任意の装置）    １３４：ノズル移載装置（移載装置）    １３６：第１ノズル検査装置（検査機構）    １３８：第２ノズル検査装置（検査機構）    １４０：ノズル洗浄装置（洗浄機構）    １５２：ノズルパレット（収容部）    ３５０：移載情報取得部    ３５２：収容ノズル情報取得部    ３５４：第１判定部    ３５６：第２判定部    ３５８：情報通知部    ３６０：指令出力部    ３６２：劣化推定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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