(57)【要約】  同一の試料から得られる複数の光強度分布データａ，ｂ，・・・に対して、それぞれ複数の屈折率Ａ，Ｂ，・・・を用いた演算を行うことにより、各屈折率Ａ，Ｂ，・・・に対応する粒度分布データを生成し、その際に用いた複数の屈折率Ａ，Ｂ，・・・に基づいて最適な屈折率を決定する。このように、１つの光強度分布データではなく、複数の光強度分布データａ，ｂ，・・・に基づいて屈折率を決定することによって、より最適な屈折率を決定することができる。
2015083284.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付部と、
前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する粒度分布データ生成部と、
粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する屈折率決定部とを備えたことを特徴とする粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項２】
前記粒度分布データ生成部は、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成するものであり、
共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較するデータ比較部をさらに備えるとともに、
前記屈折率決定部が、前記データ比較部による比較結果に基づいて、前記複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定することを特徴とする請求項１に記載の粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項３】
前記粒度分布データ生成部は、予め定められた数値範囲内で選択された複数の屈折率を用いて、前記複数の光強度分布データに対して演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成することを特徴とする請求項２に記載の粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項４】
前記複数の光強度分布データにそれぞれ対応する屈折率を自動で算出する屈折率算出部をさらに備え、
前記粒度分布データ生成部は、前記屈折率算出部により算出された各光強度分布データに対応する屈折率を含む複数の屈折率を用いて、前記複数の光強度分布データに対して演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成することを特徴とする請求項２に記載の粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項５】
前記複数の光強度分布データにそれぞれ対応する屈折率を自動で算出する屈折率算出部をさらに備え、
前記屈折率決定部は、前記屈折率算出部により算出された各光強度分布データに対応する屈折率の平均値を最適な屈折率に決定することを特徴とする請求項１に記載の粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項６】
前記複数の光強度分布データにそれぞれ対応する屈折率を自動で算出する屈折率算出部をさらに備え、
前記屈折率決定部は、前記屈折率算出部により算出された各光強度分布データに対応する屈折率のうち、出現頻度が最も高い屈折率を最適な屈折率に決定することを特徴とする請求項１に記載の粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項７】
試料に光を照射する光源と、
試料からの回折散乱光を受光する複数の受光素子と、
請求項１〜６のいずれかに記載の粒度分布測定用データ処理装置とを備えたことを特徴とする粒度分布測定装置。
【請求項８】
同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付ステップと、
前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する粒度分布データ生成ステップと、
粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する屈折率決定ステップとを備えたことを特徴とする粒度分布測定用データ処理方法。
【請求項９】
同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付部と、
前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する粒度分布データ生成部と、
粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する屈折率決定部としてコンピュータを機能させることを特徴とする粒度分布測定用データ処理プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料からの回折散乱光を複数の受光素子で受光することにより得られる光強度分布データに基づいて、粒度分布データを生成するための粒度分布測定用データ処理装置及びこれを備えた粒度分布測定装置、並びに、粒度分布測定用データ処理方法及び粒度分布測定用データ処理プログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
試料に含まれる粒子群の粒子径と粒子量との関係を測定することにより、粒度分布データを生成するための粒度分布測定装置が知られている（例えば、下記特許文献１参照）。この種の粒度分布測定装置では、試料に照射した光の回折散乱光を複数の受光素子で受光し、これにより得られた光強度分布データに対して屈折率を用いた演算を行うことにより、粒度分布データを生成することができる。【０００３】
上記のような屈折率は、一般的に、作業者によって予め設定される。正確な粒度分布データを得るためには屈折率を正確に設定する必要があるが、作業者が屈折率を把握していない場合には、屈折率を正確に設定することが困難である。また、仮に作業者が、粒子の素材に応じた屈折率を文献などから入手していたとしても、粒子形状などに応じて同じ屈折率であっても回折散乱光は変化するため、その値が正確であるとは限らない。【０００４】
そこで、下記特許文献１には、１つの光強度分布データに対して複数の屈折率を用いて演算を行い、屈折率の範囲を自動的に決定するような技術が提案されている。具体的には、１つの光強度分布データに対して複数の屈折率を用いて演算を行うことにより、各屈折率に応じた粒度分布データに変換した後、それらの粒度分布データを光強度分布データに逆変換し、逆変換された光強度分布データと元の光強度分布データとの一致度に基づいて、屈折率の範囲を自動的に決定するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１０１６５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のような従来の方法では、１回の測定で得られた１つの光強度分布データを用いて演算を行っているため、最適な屈折率の範囲が確実に決定されているとは限らず、同一の試料に対して測定を複数回行った場合には、異なる屈折率の範囲が決定される場合もある。【０００７】
すなわち、粒度分布測定装置に試料を導入し、その試料を用いて測定を複数回行った場合、それぞれの測定により決定される屈折率の範囲が異なる結果となる場合がある。また、同一の試料を粒度分布測定装置に入れ替えて測定を行った場合にも、その測定により決定される屈折率の範囲が異なる結果となる場合がある。【０００８】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、より最適な屈折率を決定することができる粒度分布測定用データ処理装置及びこれを備えた粒度分布測定装置、並びに、粒度分布測定用データ処理方法及び粒度分布測定用データ処理プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る粒度分布測定装置は、データ入力受付部と、粒度分布データ生成部と、屈折率決定部とを備える。前記データ入力受付部は、同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付ける。前記粒度分布データ生成部は、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する。前記屈折率決定部は、粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する。【００１０】
このような構成によれば、同一の試料から得られる複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成し、その際に用いた複数の屈折率に基づいて最適な屈折率を決定することができる。このように、１つの光強度分布データではなく、複数の光強度分布データに基づいて屈折率を決定することによって、より最適な屈折率を決定することができる。【００１１】
前記粒度分布データ生成部は、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成するものであってもよい。この場合、前記粒度分布測定装置は、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較するデータ比較部をさらに備えていてもよい。また、前記屈折率決定部が、前記データ比較部による比較結果に基づいて、前記複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定してもよい。【００１２】
このような構成によれば、複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行い、これにより生成された各粒度分布データ同士を比較することにより、複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定することができる。このとき、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較し、例えば一致度が最も高い粒度分布データを生成する際に用いた屈折率を最適な屈折率に決定すれば、より最適な屈折率を決定することができる。【００１３】
前記粒度分布データ生成部は、予め定められた数値範囲内で選択された複数の屈折率を用いて、前記複数の光強度分布データに対して演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成してもよい。【００１４】
このような構成によれば、例えば試料中の成分などに応じて予め定められた数値範囲内で選択された複数の屈折率のみを用いて、複数の光強度分布データに対する演算を行い、その際に用いた複数の屈折率に基づいて最適な屈折率を決定することができる。屈折率の数値範囲は、試料中の成分に応じてある程度定まるため、その数値範囲内で選択された複数の屈折率のみを用いることにより、最適な屈折率を効率よく決定することができる。【００１５】
前記粒度分布測定装置は、前記複数の光強度分布データにそれぞれ対応する屈折率を自動で算出する屈折率算出部をさらに備えていてもよい。この場合、前記粒度分布データ生成部は、前記屈折率算出部により算出された各光強度分布データに対応する屈折率を含む複数の屈折率を用いて、前記複数の光強度分布データに対して演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成してもよい。【００１６】
このような構成によれば、自動で算出された各光強度分布データに対応する屈折率を含む複数の屈折率のみを用いて、複数の光強度分布データに対する演算を行い、その際に用いた複数の屈折率に基づいて最適な屈折率を決定することができる。自動で屈折率を算出することにより、屈折率の値をある程度絞り込むことができるため、それらの中から最適な屈折率を効率よく決定することができる。【００１７】
前記屈折率決定部は、前記屈折率算出部により算出された各光強度分布データに対応する屈折率の平均値を最適な屈折率に決定してもよい。【００１８】
このような構成によれば、自動で算出された各光強度分布データに対応する屈折率の平均値が最適な屈折率に決定される。自動で屈折率を算出することにより、屈折率の値をある程度絞り込むことができるため、それらの平均値を算出することにより、最適な屈折率を効率よく決定することができる。【００１９】
前記屈折率決定部は、前記屈折率算出部により算出された各光強度分布データに対応する屈折率のうち、出現頻度が最も高い屈折率を最適な屈折率に決定してもよい。【００２０】
このような構成によれば、自動で算出された各光強度分布データに対応する屈折率のうち、出現頻度が最も高い屈折率が最適な屈折率に決定される。自動で屈折率を算出することにより、屈折率の値をある程度絞り込むことができるため、それらの中から出現頻度が最も高い屈折率を選択することにより、最適な屈折率を効率よく決定することができる。【００２１】
本発明に係る粒度分布測定装置は、試料に光を照射する光源と、試料からの回折散乱光を受光する複数の受光素子と、前記粒度分布測定用データ処理装置とを備える。【００２２】
本発明に係る粒度分布データ処理方法は、データ入力受付ステップと、粒度分布データ生成ステップと、屈折率決定ステップとを備える。前記データ入力受付ステップでは、同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付ける。前記粒度分布データ生成ステップでは、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する。前記屈折率決定ステップでは、粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する。【００２３】
本発明に係る粒度分布データ処理プログラムは、データ入力受付部と、粒度分布データ生成部と、屈折率決定部としてコンピュータを機能させる。前記データ入力受付部は、同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付ける。前記粒度分布データ生成部は、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する。前記屈折率決定は、粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、１つの光強度分布データではなく、複数の光強度分布データに基づいて屈折率を決定することによって、より最適な屈折率を決定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る粒度分布測定装置の構成例を示した図である。
【図２】図１のデータ処理装置の具体的構成について説明するためのブロック図である。
【図３】粒度分布データを生成する際の態様について説明するための図である。
【図４】屈折率を決定する際の制御部による処理の一例を示したフローチャートである。
【図５】本発明の第２実施形態に係るデータ処理装置の具体的構成について説明するためのブロック図である。
【図６】第２実施形態において屈折率を自動で算出する過程を説明するための図である。
【図７】第２実施形態における制御部による処理の一例を示したフローチャートである。
【図８】本発明の第３実施形態に係るデータ処理装置の具体的構成について説明するためのブロック図である。
【図９】第３実施形態において屈折率の平均値を算出する過程を説明するための図である。
【図１０】第３実施形態における制御部による処理の一例を示したフローチャートである。
【図１１】本発明の第４実施形態に係るデータ処理装置の制御部による処理の一例を示したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る粒度分布測定装置の構成例を示した図である。この粒度分布測定装置は、試料に含まれる粒子群の粒子径と粒子量との関係を測定することにより、粒度分布データを生成するためのものであり、試料の測定を行うための測定部１を備えている。
【００２７】
測定部１には、光源１１、集光レンズ１２、空間フィルタ１３、コリメータレンズ１４、フローセル１５、集光レンズ１６及びフォトダイオードアレイ１７などが備えられている。測定対象となる試料は、例えば超音波振動子が内蔵された循環式サンプラ２などの供給源からフローセル１５に供給されるようになっている。
【００２８】
光源１１は、例えばレーザ光源からなり、当該光源１１から照射された測定光が、集光レンズ１２、空間フィルタ１３及びコリメータレンズ１４を通過することにより平行光となる。このようにして平行光とされた測定光は、試料が供給されているフローセル１５に照射され、フローセル１５内の試料に含まれる粒子群で回折及び散乱した後、集光レンズ１６を通ってフォトダイオードアレイ１７により受光されるようになっている。
【００２９】
フォトダイオードアレイ１７は、試料からの回折散乱光を検出するための検出器を構成している。フォトダイオードアレイ１７は、互いに異なる半径を有するリング状又は半リング状の検出面が形成された複数（例えば、６４個）の受光素子を、集光レンズ１６の光軸を中心として同心円状に配置することにより構成されており、各受光素子には、それぞれの位置に応じた回折散乱角度の光が入射する。したがって、フォトダイオードアレイ１７の各受光素子の検出信号は、各回折散乱角度の光の強度を表すことになる。
【００３０】
フォトダイオードアレイ１７の各受光素子の検出信号は、Ａ／Ｄ変換器３によりアナログ信号からデジタル信号に変換された後、通信部４を介してデータ処理装置５に入力されるようになっている。これにより、フォトダイオードアレイ１７の各受光素子の素子番号と各受光素子における検出強度とが対応付けられた光強度分布データが、データ処理装置５に入力される。
【００３１】
データ処理装置５は、試料の粒度分布を測定する際のデータを処理するための粒度分布測定用データ処理装置を構成している。データ処理装置５は、例えばコンピュータにより構成され、制御部５１、操作部５２、表示部５３及び記憶部５４などを備えている。
【００３２】
制御部５１は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を含む構成であり、操作部５２、表示部５３及び記憶部５４などの各部が電気的に接続されている。操作部５２は、例えばキーボード及びマウスを含む構成であり、ユーザが操作部５２を操作することにより入力作業などを行うことができるようになっている。
【００３３】
表示部５３は、例えば液晶表示器などにより構成することができ、ユーザが表示部５３の表示内容を確認しながら作業を行うことができるようになっている。記憶部５４は、例えばＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びハードディスクなどにより構成することができる。
【００３４】
図２は、図１のデータ処理装置５の具体的構成について説明するためのブロック図である。本実施形態における制御部５１は、ＣＰＵがプログラムを実行することにより、データ入力受付部５１１、粒度分布データ生成部５１２、屈折率選択部５１３、データ比較部５１４、屈折率決定部５１５及び表示処理部５１６などとして機能する。
【００３５】
記憶部５４には、光強度分布データ記憶部５４１と粒度分布データ記憶部５４２とが割り当てられている。光強度分布データ記憶部５４１には、測定部１から入力される光強度分布データが記憶される。制御部５１は、光強度分布データ記憶部５４１に記憶されている複数の光強度分布データに基づいて、複数の粒度分布データを生成し、それらの粒度分布データを粒度分布データ記憶部５４２に記憶させる。
【００３６】
本実施形態では、測定部１で複数回の測定を行うことにより、複数の光強度分布データが得られる。具体的には、試料を循環式サンプラ２に導入し、その試料を用いて測定を複数回（例えば３回）行うといった作業が、同一の試料を循環式サンプラ２に入れ替えることにより複数回（例えば３回）繰り返して行われる。これにより、同一の試料からの回折散乱光がフォトダイオードアレイ１７の各受光素子で複数回受光され、複数（この例では９つ）の光強度分布データが光強度分布データ記憶部５４１に記憶される。
【００３７】
データ入力受付部５１１は、粒度分布データを生成する際に、光強度分布データ記憶部５４１に記憶されている複数の光強度分布データの入力を受け付ける。粒度分布データ生成部５１２は、これらの複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する。生成された複数の粒度分布データは、粒度分布データ記憶部５４２に記憶される。
【００３８】
屈折率選択部５１３は、粒度分布データ生成部５１２が粒度分布データを生成する際に用いる複数の屈折率を選択する。本実施形態では、屈折率選択部５１３が予め定められた数値範囲内で複数の屈折率を選択し、それらの屈折率を用いて粒度分布データ生成部５１２が粒度分布データを生成するようになっている。
【００３９】
屈折率選択部５１３は、例えば上記数値範囲内で所定の間隔ごとに屈折率を抽出することにより、複数の屈折率を選択することができる。上記数値範囲は、例えば操作部５２の操作により入力された数値範囲であってもよいし、操作部５２の操作により入力された試料中の成分などに基づいて決定された数値範囲であってもよい。
【００４０】
粒度分布データを生成する際には、下記式（１）の関係を用いることができる。
【数１】
2015083284.tif 000003
【００４１】
ここで、ｓ、ｑ及びＡは、下記式（２）〜（４）で表される。
【数２】
2015083284.tif 000004
【００４２】
上記ｓは、光強度分布データ（ベクトル）である。上記ｓにおける各要素ｓｉ（ｉ＝１，２，・・・，ｍ）は、フォトダイオードアレイ１７の各受光素子、並びに、側方散乱光センサ及び後方散乱光センサ（いずれも図示せず）における検出強度である。
【００４３】
上記ｑは、頻度分布％として表現される粒度分布データ（ベクトル）である。測定対象となる粒子径範囲（最大粒子径がｘ１、最小粒子径がｘｎ＋１）をｎ分割し、それぞれの粒子径区間を［ｘｊ，ｘｊ＋１］とすると、上記ｑにおける各要素ｑｊ（ｊ＝１，２，・・・，ｎ）は、各粒子径区間［ｘｊ，ｘｊ＋１］に対応する粒子量である。
【００４４】
通常は、体積基準が用いられ、下記式（５）を満たすように、すなわち各要素ｑｊの合計が１００％となるように正規化が行われる。
【数３】
2015083284.tif 000005
【００４５】
上記Ａは、粒度分布データｑを光強度分布データｓに変換する係数行列である。上記Ａにおける各要素ａｉ，ｊ（ｉ＝１，２，・・・，ｍ、ｊ＝１，２，・・・，ｎ）は、各粒子径区間［ｘｊ，ｘｊ＋１］に属する単位粒子量の粒子群によって回折及び散乱した光のｉ番目の素子における検出強度である。
【００４６】
上記Ａにおける各要素ａｉ，ｊの値は、屈折率を用いて予め理論的に計算することができる。例えば、粒子径が光源１１からの測定光の波長に比べて十分に大きい場合（例えば１０倍以上）には、フラウンホーファ回折理論を用いて計算することができる。一方、粒子径が光源１１からの測定光の波長と同程度、又は、それより小さい場合には、ミー散乱理論を用いて計算することができる。
【００４７】
このようにして上記Ａにおける各要素ａｉ，ｊの値を求めれば、上記式（１）に基づいて、下記式（６）により粒度分布データｑを求めることができる。ただし、ＡＴはＡの転置行列である。
【数４】
2015083284.tif 000006
【００４８】
図３は、粒度分布データを生成する際の態様について説明するための図である。この図３に示すように、本実施形態では、複数の光強度分布データａ，ｂ，・・・に対して、それぞれ共通の複数の屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・を用いた演算が行われることにより、光強度分布データａ，ｂ，・・・ごとに複数の屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・に対応する粒度分布データが生成されるようになっている。
【００４９】
データ比較部５１４は、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較する。図３の例では、共通の屈折率Ａを用いて異なる光強度分布データａ，ｂ，・・・から算出された粒度分布データａ−１，ｂ−１，・・・が互いに比較される。同様に、共通の屈折率Ｂを用いて異なる光強度分布データａ，ｂ，・・・から算出された粒度分布データａ−２，ｂ−２，・・・が互いに比較され、共通の屈折率Ｃを用いて異なる光強度分布データａ，ｂ，・・・から算出された粒度分布データａ−３，ｂ−３，・・・が互いに比較される。このような処理が、全ての屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・について行われる。
【００５０】
その後、屈折率決定部５１５が、粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・に基づいて、最適な屈折率を決定する。このとき、データ比較部５１４による比較結果に基づいて、複数の屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・の中から最適な屈折率を決定することができる。例えば、データ比較部５１４が、比較する粒度分布データ同士の一致度を算出するような構成であれば、その一致度が最も高い粒度分布データを生成する際に用いた屈折率を、最適な屈折率として決定すればよい。
【００５１】
表示処理部５１６は、表示部５３に対する表示を制御する。この表示処理部５１６は、屈折率決定部５１５により決定された最適な屈折率を表示部５３に表示させてもよいし、決定された最適な屈折率に対応する粒度分布データを表示部５３に表示させてもよい。
【００５２】
図４は、屈折率を決定する際の制御部５１による処理の一例を示したフローチャートである。屈折率を決定する際には、まず、同一の試料から得られた各光強度分布データが光強度分布データ記憶部５４１から入力される（ステップＳ１０１：データ入力受付ステップ）。そして、各光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データが生成される（ステップＳ１０２：粒度分布データ生成ステップ）。
【００５３】
その後、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士が比較される（ステップＳ１０３：データ比較ステップ）。その結果、一致度が最も高い粒度分布データが特定され（ステップＳ１０４）、その粒度分布データを生成する際に用いた屈折率が、最適な屈折率として決定される（ステップＳ１０５：屈折率決定ステップ）。
【００５４】
本実施形態では、図３に示したように、同一の試料から得られる複数の光強度分布データａ，ｂ，・・・に対して、それぞれ複数の屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・を用いた演算を行うことにより、各屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・に対応する粒度分布データを生成し、その際に用いた複数の屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・に基づいて最適な屈折率を決定することができる。このように、１つの光強度分布データではなく、複数の光強度分布データａ，ｂ，・・・に基づいて屈折率を決定することによって、より最適な屈折率を決定することができる。
【００５５】
また、本実施形態では、複数の光強度分布データａ，ｂ，・・・に対して、それぞれ共通の複数の屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・を用いた演算を行い、これにより生成された各粒度分布データ同士を比較することにより、複数の屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・の中から最適な屈折率を決定することができる。このとき、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較し、一致度が最も高い粒度分布データを生成する際に用いた屈折率を最適な屈折率に決定することによって、より最適な屈折率を決定することができる。
【００５６】
特に、本実施形態では、例えば試料中の成分などに応じて予め定められた数値範囲内で選択された複数の屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・のみを用いて、複数の光強度分布データａ，ｂ，・・・に対する演算を行い、その際に用いた複数の屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・に基づいて最適な屈折率を決定することができる。屈折率の数値範囲は、試料中の成分に応じてある程度定まるため、その数値範囲内で選択された複数の屈折率Ａ，Ｂ，Ｃ・・・のみを用いることにより、最適な屈折率を効率よく決定することができる。
【００５７】
＜第２実施形態＞
図５は、本発明の第２実施形態に係るデータ処理装置５の具体的構成について説明するためのブロック図である。本実施形態における制御部５１は、ＣＰＵがプログラムを実行することにより、データ入力受付部５１１、粒度分布データ生成部５１２、データ比較部５１４、屈折率決定部５１５、表示処理部５１６及び屈折率算出部５１７などとして機能する。
【００５８】
なお、データ入力受付部５１１、データ比較部５１４、屈折率決定部５１５及び表示処理部５１６による処理、並びに、光強度分布データ記憶部５４１及び粒度分布データ記憶部５４２に記憶されるデータなどは、第１実施形態の場合と同様である。そのため、同様の構成については、図に同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００５９】
粒度分布データ生成部５１２は、データ入力受付部５１１により光強度分布データ記憶部５４１からの入力が受け付けられた複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する。このとき、上記式（６）の関係を用いることにより、第１実施形態の場合と同様の態様で粒度分布データを生成することができる。
【００６０】
屈折率算出部５１７は、粒度分布データ生成部５１２により生成された粒度分布データに基づいて、複数の光強度分布データにそれぞれ対応する屈折率を自動で算出する。具体的には、粒度分布データを生成する際の各屈折率に対応する係数行列Ａと同一の係数行列Ａを用いて、上記式（１）の関係を用いることにより、各粒度分布データを光強度分布データに変換し、その変換された光強度分布データと元の光強度分布データとを比較する。その結果、一致度が最も高い光強度分布データの変換時に使用した係数行列Ａに対応する屈折率が、その光強度分布データに対応する屈折率として自動で算出される。
【００６１】
粒度分布データ生成部５１２は、屈折率算出部５１７により算出された各光強度分布データに対応する屈折率を用いて、再度、各光強度分布データに対して演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する。この際にも、上記式（６）の関係を用いることにより、第１実施形態の場合と同様の態様で粒度分布データを生成することができる。生成された複数の粒度分布データは、粒度分布データ記憶部５４２に記憶される。
【００６２】
ただし、粒度分布データ生成部５１２は、屈折率算出部５１７により算出された各光強度分布データに対応する屈折率のみを用いて粒度分布データを生成するような構成に限らない。すなわち、粒度分布データ生成部５１２は、屈折率算出部５１７により算出された各光強度分布データに対応する屈折率と、それ以外の屈折率とを含む複数の屈折率を用いて、粒度分布データを生成するような構成であってもよい。
【００６３】
図６は、第２実施形態において屈折率を自動で算出する過程を説明するための図である。この図６に示すように、本実施形態では、複数の光強度分布データａ，ｂ，・・・に対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算が行われることにより、光強度分布データａ，ｂ，・・・ごとに複数の屈折率に対応する粒度分布データが生成されるようになっている。
【００６４】
そして、生成された各粒度分布データに対して、それらの粒度分布データを生成する際の各屈折率を用いて変換を行い、変換された光強度分布データと元の光強度分布データａ，ｂ，・・・とを比較する。この比較結果に基づいて、各光強度分布データａ，ｂ，・・・に対応する屈折率Ａ，Ｂ，・・・が自動で算出される。ここで、Ａ’、Ａ”などは光強度分布データａから最適な屈折率Ａを自動で見つける際に比較対象とした屈折率の候補を表している。同様に、Ｂ’、Ｂ”などは光強度分布データｂから最適な屈折率Ｂを自動で見つける際に比較対象とした屈折率の候補である。
【００６５】
このようにして自動で算出された各屈折率Ａ，Ｂ，・・・は、粒度分布データ生成部５１２による処理に用いられる。粒度分布データ生成部５１２は、各屈折率Ａ，Ｂ，・・・を用いて、図３と同様の態様で粒度分布データを生成する。そして、データ比較部５１４により、図３と同様の態様で粒度分布データ同士が比較され、一致度が最も高い粒度分布データを生成する際に用いられた屈折率が、屈折率決定部５１５により最適な屈折率として決定される。
【００６６】
図７は、第２実施形態における制御部５１による処理の一例を示したフローチャートである。まず、同一の試料から得られた各光強度分布データが光強度分布データ記憶部５４１から入力される（ステップＳ２０１：データ入力受付ステップ）。そして、各光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データが生成される（ステップＳ２０２：粒度分布データ生成ステップ）。
【００６７】
その後、各粒度分布データに対する変換を行い、変換された光強度分布データと元の光強度分布データとを比較することにより、その比較結果に基づいて各光強度分布データに対応する屈折率が自動で算出される（ステップＳ２０３：屈折率算出ステップ）。その後の処理は、図４におけるステップＳ１０２以降の処理と同様である。
【００６８】
本実施形態では、第１実施形態と同様に、１つの光強度分布データではなく、複数の光強度分布データａ，ｂ，・・・に基づいて屈折率を決定することによって、より最適な屈折率を決定することができる。また、第１実施形態と同様に、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較し、一致度が最も高い粒度分布データを生成する際に用いた屈折率を最適な屈折率に決定することによって、より最適な屈折率を決定することができる。
【００６９】
特に、本実施形態では、自動で算出された各光強度分布データａ，ｂ，・・・に対応する複数の屈折率Ａ，Ｂ，・・・のみを用いて、複数の光強度分布データａ，ｂ，・・・に対する演算を行い、その際に用いた複数の屈折率Ａ，Ｂ，・・・に基づいて最適な屈折率を決定することができる。自動で屈折率Ａ，Ｂ，・・・を算出することにより、屈折率の値をある程度絞り込むことができるため、それらの中から最適な屈折率を効率よく決定することができる。
【００７０】
＜第３実施形態＞
図８は、本発明の第３実施形態に係るデータ処理装置５の具体的構成について説明するためのブロック図である。本実施形態における制御部５１は、ＣＰＵがプログラムを実行することにより、データ入力受付部５１１、粒度分布データ生成部５１２、屈折率決定部５１５、表示処理部５１６及び屈折率算出部５１７などとして機能する。
【００７１】
本実施形態では、屈折率決定部５１５が、屈折率算出部５１７により算出された各光強度分布データに対応する屈折率の平均値を最適な屈折率に決定するようになっている。なお、データ入力受付部５１１、粒度分布データ生成部５１２、表示処理部５１６及び屈折率算出部５１７による処理、並びに、光強度分布データ記憶部５４１及び粒度分布データ記憶部５４２に記憶されるデータなどは、第２実施形態の場合と同様である。そのため、同様の構成については、図に同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００７２】
図９は、第３実施形態において屈折率の平均値を算出する過程を説明するための図である。本実施形態では、図６に示した第２実施形態の場合と同様に、複数の光強度分布データａ，ｂ，・・・に対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算が行われる。そして、生成された各粒度分布データに対して変換が行われ、変換された光強度分布データと元の光強度分布データａ，ｂ，・・・とが比較されることにより、各光強度分布データａ，ｂ，・・・に対応する屈折率Ａ，Ｂ，・・・が自動で算出される。ここで、Ａ’、Ａ”などは光強度分布データａから最適な屈折率Ａを自動で見つける際に比較対象とした屈折率の候補を表している。同様に、Ｂ’、Ｂ”などは光強度分布データｂから最適な屈折率Ｂを自動で見つける際に比較対象とした屈折率の候補である。
【００７３】
このようにして自動で算出された各屈折率Ａ，Ｂ，・・・は、屈折率決定部５１５による処理に用いられる。本実施形態では、屈折率決定部５１５が、各屈折率Ａ，Ｂ，・・・の平均値を最適な屈折率に決定する。自動で屈折率Ａ，Ｂ，・・・を算出することにより、屈折率の値をある程度絞り込むことができるため、それらの平均値を算出することにより、最適な屈折率を効率よく決定することができる。
【００７４】
図１０は、第３実施形態における制御部５１による処理の一例を示したフローチャートである。まず、同一の試料から得られた各光強度分布データが光強度分布データ記憶部５４１から入力される（ステップＳ３０１：データ入力受付ステップ）。そして、各光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データが生成される（ステップＳ３０２：粒度分布データ生成ステップ）。
【００７５】
その後、各粒度分布データに対する変換を行い、変換された光強度分布データと元の光強度分布データとを比較することにより、その比較結果に基づいて各光強度分布データに対応する屈折率が自動で算出される（ステップＳ３０３：屈折率算出ステップ）。そして、自動で算出された各光強度分布データに対応する屈折率の平均値が算出されることにより、その平均値が最適な屈折率に決定される（ステップＳ３０４：屈折率決定ステップ）。
【００７６】
＜第４実施形態＞
図１１は、本発明の第４実施形態に係るデータ処理装置５の制御部５１による処理の一例を示したフローチャートである。本実施形態では、屈折率決定部５１５による処理のみが第３実施形態とは異なり、他の処理及び構成については第３実施形態と同様である。
【００７７】
本実施形態において、まず、同一の試料から得られた各光強度分布データが光強度分布データ記憶部５４１から入力される（ステップＳ４０１：データ入力受付ステップ）。そして、各光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データが生成される（ステップＳ４０２：粒度分布データ生成ステップ）。
【００７８】
その後、各粒度分布データに対する変換を行い、変換された光強度分布データと元の光強度分布データとを比較することにより、その比較結果に基づいて各光強度分布データに対応する屈折率が自動で算出される（ステップＳ４０３：屈折率算出ステップ）。そして、自動で算出された各光強度分布データに対応する屈折率のうち、出現頻度が最も高い屈折率が最適な屈折率に決定される（ステップＳ４０４：屈折率決定ステップ）。
【００７９】
本実施形態では、自動で屈折率を算出することにより、屈折率の値をある程度絞り込むことができるため、それらの中から出現頻度が最も高い屈折率を選択することにより、最適な屈折率を効率よく決定することができる。なお、上記出現頻度は、例えば屈折率の値として算出される割合を意味しており、算出される割合が高い屈折率の値そのものが最適な屈折率に決定されてもよいし、算出される割合が高い屈折率の範囲内で最適な屈折率が決定されてもよい。
【００８０】
以上の実施形態では、粒度分布データを生成するためのデータ処理装置５が、粒度分布測定装置に備えられた構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、粒度分布測定装置とは別にデータ処理装置５が設けられた構成であってもよい。この場合、粒度分布測定装置の測定部１から出力されるデータは、有線通信又は無線通信を介してデータ処理装置５に入力されるような構成であってもよいし、記憶媒体（図示せず）に一旦記憶された後、当該記憶媒体からデータ処理装置５に入力されるような構成などであってもよい。
【００８１】
また、上記実施形態に係るデータ処理装置５のように、粒度分布データを生成するための粒度分布測定用データ処理装置を提供することができるだけでなく、粒度分布測定用データ処理装置としてコンピュータを機能させるためのプログラム（粒度分布測定用データ処理プログラム）を提供することも可能である。この場合、前記プログラムは、記憶媒体に記憶された状態で提供されるような構成であってもよいし、有線通信又は無線通信を介してプログラム自体が提供されるような構成であってもよい。
【符号の説明】
【００８２】
１    測定部
２    循環式サンプラ
３    Ａ／Ｄ変換器
４    通信部
５    データ処理装置
１１    光源
１２    集光レンズ
１３    空間フィルタ
１４    コリメータレンズ
１５    フローセル
１６    集光レンズ
１７    フォトダイオードアレイ
５１    制御部
５２    操作部
５３    表示部
５４    記憶部
５１１    データ入力受付部
５１２    粒度分布データ生成部
５１３    屈折率選択部
５１４    データ比較部
５１５    屈折率決定部
５１６    表示処理部
５１７    屈折率算出部
５４１    光強度分布データ記憶部
５４２    粒度分布データ記憶部
【図１】
2015083284.tif 000007
【図２】
2015083284.tif 000008
【図３】
2015083284.tif 000009
【図４】
2015083284.tif 000010
【図５】
2015083284.tif 000011
【図６】
2015083284.tif 000012
【図７】
2015083284.tif 000013
【図８】
2015083284.tif 000014
【図９】
2015083284.tif 000015
【図１０】
2015083284.tif 000016
【図１１】
2015083284.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成28年7月27日(2016.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付部と、
前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する粒度分布データ生成部と、
粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する屈折率決定部とを備え、
前記粒度分布データ生成部は、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成するものであり、
前記複数の屈折率のそれぞれについて、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較するという処理を、全ての屈折率について行うデータ比較部をさらに備えるとともに、
前記屈折率決定部が、前記データ比較部による比較結果に基づいて、前記複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定することを特徴とする粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項２】
前記粒度分布データ生成部は、予め定められた数値範囲内で所定の間隔ごとに屈折率を抽出することにより選択された複数の屈折率を用いて、前記複数の光強度分布データに対して演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成することを特徴とする請求項１に記載の粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項３】
前記粒度分布データ生成部により生成された粒度分布データに基づいて、前記複数の光強度分布データにそれぞれ対応する屈折率を自動で算出する屈折率算出部をさらに備え、
前記粒度分布データ生成部は、前記屈折率算出部により算出された各光強度分布データに対応する屈折率を含む複数の屈折率を用いて、再度、前記複数の光強度分布データに対して演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成することを特徴とする請求項１に記載の粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項４】
同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付部と、
前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する粒度分布データ生成部と、
粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する屈折率決定部と、
前記複数の光強度分布データにそれぞれ対応する屈折率を自動で算出する屈折率算出部とを備え、
前記屈折率決定部は、前記屈折率算出部により算出された各光強度分布データに対応する屈折率の平均値を最適な屈折率に決定することを特徴とする粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項５】
同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付部と、
前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する粒度分布データ生成部と、
粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する屈折率決定部と、
前記複数の光強度分布データにそれぞれ対応する屈折率を自動で算出する屈折率算出部とを備え、
前記屈折率決定部は、前記屈折率算出部により算出された各光強度分布データに対応する屈折率のうち、出現頻度が最も高い屈折率を最適な屈折率に決定することを特徴とする粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項６】
試料に光を照射する光源と、
試料からの回折散乱光を受光する複数の受光素子と、
請求項１〜５のいずれかに記載の粒度分布測定用データ処理装置とを備えたことを特徴とする粒度分布測定装置。
【請求項７】
同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付ステップと、
前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する粒度分布データ生成ステップと、
粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する屈折率決定ステップとを備え、
前記粒度分布データ生成ステップは、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成するものであり、
前記複数の屈折率のそれぞれについて、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較するという処理を、全ての屈折率について行うデータ比較ステップをさらに備えるとともに、
前記屈折率決定ステップでは、前記データ比較ステップによる比較結果に基づいて、前記複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定することを特徴とする粒度分布測定用データ処理方法。
【請求項８】
同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付部と、
前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する粒度分布データ生成部と、
粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する屈折率決定部としてコンピュータを機能させ、
前記粒度分布データ生成部は、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成するものであり、
前記複数の屈折率のそれぞれについて、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較するという処理を、全ての屈折率について行うデータ比較部としてコンピュータをさらに機能させるとともに、
前記屈折率決定部が、前記データ比較部による比較結果に基づいて、前記複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定することを特徴とする粒度分布測定用データ処理プログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明に係る粒度分布測定装置は、データ入力受付部と、粒度分布データ生成部と、屈折率決定部と、データ比較部とを備える。前記データ入力受付部は、同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付ける。前記粒度分布データ生成部は、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する。前記屈折率決定部は、粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する。前記粒度分布データ生成部は、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成する。前記データ比較部は、前記複数の屈折率のそれぞれについて、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較するという処理を、全ての屈折率について行う。前記屈折率決定部が、前記データ比較部による比較結果に基づいて、前記複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
このような構成によれば、同一の試料から得られる複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成し、その際に用いた複数の屈折率に基づいて最適な屈折率を決定することができる。このように、１つの光強度分布データではなく、複数の光強度分布データに基づいて屈折率を決定することによって、より最適な屈折率を決定することができる。また、複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行い、これにより生成された各粒度分布データ同士を比較することにより、複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定することができる。このとき、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較し、例えば一致度が最も高い粒度分布データを生成する際に用いた屈折率を最適な屈折率に決定すれば、より最適な屈折率を決定することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
前記粒度分布データ生成部は、予め定められた数値範囲内で所定の間隔ごとに屈折率を抽出することにより選択された複数の屈折率を用いて、前記複数の光強度分布データに対して演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成してもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
前記粒度分布測定装置は、前記粒度分布データ生成部により生成された粒度分布データに基づいて、前記複数の光強度分布データにそれぞれ対応する屈折率を自動で算出する屈折率算出部をさらに備えていてもよい。この場合、前記粒度分布データ生成部は、前記屈折率算出部により算出された各光強度分布データに対応する屈折率を含む複数の屈折率を用いて、再度、前記複数の光強度分布データに対して演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成してもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明に係る粒度分布データ処理方法は、データ入力受付ステップと、粒度分布データ生成ステップと、屈折率決定ステップと、データ比較ステップとを備える。前記データ入力受付ステップでは、同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付ける。前記粒度分布データ生成ステップでは、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する。前記屈折率決定ステップでは、粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する。前記粒度分布データ生成ステップでは、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成する。前記データ比較ステップでは、前記複数の屈折率のそれぞれについて、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較するという処理を、全ての屈折率について行う。前記屈折率決定ステップでは、前記データ比較ステップによる比較結果に基づいて、前記複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明に係る粒度分布データ処理プログラムは、データ入力受付部と、粒度分布データ生成部と、屈折率決定部と、データ比較部としてコンピュータを機能させる。前記データ入力受付部は、同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付ける。前記粒度分布データ生成部は、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する。前記屈折率決定は、粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する。前記粒度分布データ生成部は、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成する。前記データ比較部は、前記複数の屈折率のそれぞれについて、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較するという処理を、全ての屈折率について行う。前記屈折率決定部が、前記データ比較部による比較結果に基づいて、前記複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定する。
【手続補正書】
【提出日】平成28年10月25日(2016.10.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付部と、
前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する粒度分布データ生成部と、
粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する屈折率決定部とを備え、
前記粒度分布データ生成部は、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成するものであり、
前記複数の屈折率のそれぞれについて、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較するという処理を、全ての屈折率について行うデータ比較部をさらに備えるとともに、
前記屈折率決定部が、前記データ比較部による比較結果に基づいて、前記複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定することを特徴とする粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項２】
前記粒度分布データ生成部は、予め定められた数値範囲内で所定の間隔ごとに屈折率を抽出することにより選択された複数の屈折率を用いて、前記複数の光強度分布データに対して演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成することを特徴とする請求項１に記載の粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項３】
前記粒度分布データ生成部により生成された粒度分布データに基づいて、前記複数の光強度分布データにそれぞれ対応する屈折率を自動で算出する屈折率算出部をさらに備え、
前記粒度分布データ生成部は、前記屈折率算出部により算出された各光強度分布データに対応する屈折率を含む複数の屈折率を用いて、再度、前記複数の光強度分布データに対して演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成することを特徴とする請求項１に記載の粒度分布測定用データ処理装置。
【請求項４】
試料に光を照射する光源と、
試料からの回折散乱光を受光する複数の受光素子と、
請求項１〜３のいずれかに記載の粒度分布測定用データ処理装置とを備えたことを特徴とする粒度分布測定装置。
【請求項５】
同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付ステップと、
前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する粒度分布データ生成ステップと、
粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する屈折率決定ステップとを備え、
前記粒度分布データ生成ステップは、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成するものであり、
前記複数の屈折率のそれぞれについて、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較するという処理を、全ての屈折率について行うデータ比較ステップをさらに備えるとともに、
前記屈折率決定ステップでは、前記データ比較ステップによる比較結果に基づいて、前記複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定することを特徴とする粒度分布測定用データ処理方法。
【請求項６】
同一の試料からの回折散乱光を複数の受光素子で複数回受光することにより得られる複数の光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付部と、
前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、各屈折率に対応する粒度分布データを生成する粒度分布データ生成部と、
粒度分布データを生成する際に用いた複数の屈折率に基づいて、最適な屈折率を決定する屈折率決定部としてコンピュータを機能させ、
前記粒度分布データ生成部は、前記複数の光強度分布データに対して、それぞれ共通の複数の屈折率を用いた演算を行うことにより、光強度分布データごとに前記複数の屈折率に対応する粒度分布データを生成するものであり、
前記複数の屈折率のそれぞれについて、共通の屈折率を用いて異なる光強度分布データから算出された粒度分布データ同士を比較するという処理を、全ての屈折率について行うデータ比較部としてコンピュータをさらに機能させるとともに、
前記屈折率決定部が、前記データ比較部による比較結果に基づいて、前記複数の屈折率の中から最適な屈折率を決定することを特徴とする粒度分布測定用データ処理プログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【国際調査報告】
2015083284.tif 000018
2015083284.tif 000019