(57)【要約】本発明は、ボケ幅の増大を抑制しつつ、成膜時間の短縮が可能な有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ表示装置を提供する。本発明は、スキャン蒸着法を用いた有機ＥＬ素子の製造方法であって、制限板の各開口部に対向するように、蒸着源に複数の射出口を設け、下記式（１）で表される分布の和が１以下となるように、同じ開口部に対向する複数の射出口を互いに離間して配置する。［数１］2014203632.tif 000011Ｒｉは、同じ開口部に対向する複数の射出口のうちの射出口ｉの最大成膜レートを表し、ｉは、１以上、ｍ以下の整数を表し、ｍは、同じ開口部に対向する複数の射出口の個数を表し、ｒｉは、蒸着工程における射出口ｉの実際の成膜レートを表し、ｎｉは、射出口ｉのｎ値（０以上の数）であり、θｉは、射出口ｉと成膜領域内の任意の点とを結ぶ線分が主成膜方向となす角を表す。
2014203632.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記製造方法は、基板をマスクから離間させた状態で、１以上の蒸着源、制限板及び前記マスクに対して前記基板を相対的に移動させながら前記基板上に蒸着粒子を付着させて、薄膜のパターンを形成する蒸着工程を含み、
前記１以上の蒸着源、前記制限板、前記マスク及び前記基板は、この順に配置され、
前記制限板には、複数の開口部が設けられ、
前記１以上の蒸着源には、前記複数の開口部の各々に対向して複数の射出口が設けられ、
前記蒸着工程において、ｒｉ＜Ｒｉの条件下で蒸着が行われ、
下記式（１）で表される分布の和が１以下となるように、同じ開口部に対向する複数の射出口は、互いに離間して配置される有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【数１】
2014203632.tif 000010
ただし、Ｒｉは、前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口のうちの射出口ｉの最大成膜レートを表し、
ｉは、１以上、ｍ以下の整数を表し、
ｍは、前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口の個数を表し、
ｒｉは、前記蒸着工程における前記射出口ｉの実際の成膜レートを表し、
ｎｉは、前記射出口ｉのｎ値（０以上の数）であり、
θｉは、前記射出口ｉと成膜領域内の任意の点とを結ぶ線分が主成膜方向となす角を表す。
【請求項２】
前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口は、前記基板の相対的な移動方向に沿って配置される請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項３】
前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口の前記最大成膜レート、前記実際の成膜レート及び前記ｎ値は、互いに等しい請求項１又は２記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項４】
前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口のうちの少なくとも２つの射出口において、前記最大成膜レート、前記実際の成膜レート及び前記ｎ値の少なくとも１つは、互いに異なる請求項１又は２記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項５】
前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口のうち、最も離れた２つの射出口間の距離をＤとし、
前記基板の相対的な移動方向における前記マスクの開口の長さをＡとし、
前記マスクの厚みをＴとし、
前記マスクと、前記２つの射出口の各々との距離をＬとすると、
Ｄ≦Ａ×（Ｔ＋Ｌ）／Ｔの関係を満たす請求項１〜４のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法によって作製された有機エレクトロルミネッセンス素子を備える有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子とも言う。）の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス表示装置（以下、有機ＥＬ表示装置とも言う。）に関する。より詳しくは、大型基板上への有機ＥＬ素子の製造に好適な有機ＥＬ素子の製造方法と、該製造方法により作製された有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置とに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、様々な商品や分野でフラットパネルディスプレイが活用されており、フラットパネルディスプレイのさらなる大型化、高画質化及び低消費電力化が求められている。【０００３】
そのような状況下、有機材料の電界発光（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ、以下、ＥＬとも略記する。）を利用した有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置は、全固体型で、低電圧駆動、高速応答性、自発光性等の点で優れたフラットパネルディスプレイとして、高い注目を浴びている。【０００４】
有機ＥＬ表示装置は、例えば、ガラス基板等の基板上に、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）と、ＴＦＴに接続された有機ＥＬ素子とを有している。【０００５】
有機ＥＬ素子は、低電圧直流駆動による高輝度発光が可能な発光素子であり、第１電極、有機ＥＬ層及び第２電極が、この順に積層された構造を有している。そのうち、第１電極は、ＴＦＴと接続されている。有機ＥＬ層は、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロッキング層、発光層、正孔ブロッキング層、電子輸送層、電子注入層等の有機層が積層された構造を有している。【０００６】
フルカラー表示の有機ＥＬ表示装置は、一般的に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３色の有機ＥＬ素子をサブ画素として備え、これらのサブ画素は基板上にマトリクス状に配列され、３色のサブ画素から画素が構成されている。そして、該表示装置は、ＴＦＴを用いて、これらの有機ＥＬ素子を選択的に所望の輝度で発光させることにより画像表示を行っている。【０００７】
このような有機ＥＬ表示装置の製造においては、各色のサブ画素に対応させて、有機発光材料から発光層のパターンが形成される。【０００８】
発光層パターンの形成方法としては、近年、基板よりも小型のマスクを使用し、基板をマスク及び蒸着源に対して相対的に移動させながら蒸着を行うことで、マスクより大型の基板上に有機ＥＬ素子を形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１、２参照。）。【０００９】
また、そのような方法に関連する技術として、単独膜が生成されることがなく、濃度ムラもなく共蒸着を行うことができるインライン式成膜装置が開示されている（例えば、特許文献３参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】国際公開第２０１１／０３４０１１号
【特許文献２】特開２０１２−１９３３９１号公報
【特許文献３】特開２００９−１２７０６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
図１５及び図１６は、本発明者らが検討を行ったスキャン蒸着法（基板を移動（走査）させながら蒸着を行う方法）における各部材の断面模式図である。なお、図１５及び図１６は、基板の走査方向に直交する断面を示している。
図１５に示すように、スキャン蒸着法を用いて有機ＥＬ素子を形成する場合、蒸着源のノズル１５７上に、制限板１５２、マスク１５３及び基板１７０をこの順に配置する。基板１７０の走査中に基板１７０がマスク１５３と接触して損傷することを防止するため、基板１７０は、マスク１５３と離間して配置される。そのため、基板１７０上に形成される薄膜のパターン１７１の輪郭にボケが生じ、設計上の幅ｗよりも実際の幅Ｗが大きくなってしまう。また、膜厚が一定の部分の両側に、膜厚が徐々に減少する部分（以下、ボケ部とも言う。）が発生してしまう。【００１２】
そして、本発明者らは、成膜レートを大きくすると、図１６に示すように、ボケ部の幅（以下、ボケ幅とも言う。）も大きくなってしまうことを見出した。この原因は、成膜レートを大きくすると、蒸着流が噴き出すノズル１５７近傍において蒸着粒子の密度が高くなり、蒸着粒子の平均自由行程が局所的に短くなり、図１６中に破線で示すように、仮想的にノズル１５７が大きくなるためであると考えられる。そして、ボケ幅が大きくなると、高精細パネル及び高性能パネルを作製することが困難となる。【００１３】
特許文献３に記載の技術においても、成膜レートを大きくすると、同様の課題が発生すると考えられる。【００１４】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、ボケ幅の増大を抑制しつつ、成膜時間の短縮が可能な有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ表示装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の一態様は、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であってもよく、前記製造方法は、基板をマスクから離間させた状態で、１以上の蒸着源、制限板及び前記マスクに対して前記基板を相対的に移動させながら前記基板上に蒸着粒子を付着させて、薄膜のパターンを形成する蒸着工程を含んでもよく、前記１以上の蒸着源、前記制限板、前記マスク及び前記基板は、この順に配置されてもよく、前記制限板には、複数の開口部が設けられてもよく、前記１以上の蒸着源には、前記複数の開口部の各々に対向して複数の射出口が設けられてもよく、前記蒸着工程において、ｒｉ＜Ｒｉの条件下で蒸着が行われてもよく、下記式（１）で表される分布の和が１以下となるように、同じ開口部に対向する複数の射出口は、互いに離間して配置されてもよい。
【数１】
2014203632.tif 000003
ただし、Ｒｉは、前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口のうちの射出口ｉの最大成膜レートを表し、ｉは、１以上、ｍ以下の整数を表し、ｍは、前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口の個数を表し、ｒｉは、前記蒸着工程における前記射出口ｉの実際の成膜レートを表し、ｎｉは、前記射出口ｉのｎ値（０以上の数）であり、θｉは、前記射出口ｉと成膜領域内の任意の点とを結ぶ線分が主成膜方向となす角を表す。
以下、この有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を本発明に係る製造方法とも言う。【００１６】
本発明に係る製造方法における好ましい実施形態について以下に説明する。なお、以下の好ましい実施形態は、適宜、互いに組み合わされてもよく、以下の２以上の好ましい実施形態を互いに組み合わせた実施形態もまた、好ましい実施形態の一つである。【００１７】
前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口は、前記基板の相対的な移動方向に沿って配置されてもよい。【００１８】
前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口の前記最大成膜レート、前記実際の成膜レート及び前記ｎ値は、互いに等しくてもよい。【００１９】
なお、ここで、最大成膜レートが互いに等しいとは、その差が０．１Å／ｓｅｃ以下であることを意味し、実際の成膜レートが互いに等しいとは、その差が０．１Å／ｓｅｃ以下であることを意味し、ｎ値が互いに等しいとは、その差が０．１以下であることを意味する。【００２０】
前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口のうちの少なくとも２つの射出口において、前記最大成膜レート、前記実際の成膜レート及び前記ｎ値の少なくとも１つは、互いに異なってもよい。【００２１】
なお、ここで、最大成膜レートが互いに異なるとは、その差が０．１Å／ｓｅｃより大きいことを意味し、実際の成膜レートが互いに異なるとは、その差が０．１Å／ｓｅｃより大きいことを意味し、ｎ値が互いに異なるとは、その差が０．１より大きいことを意味する。【００２２】
前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口のうち、最も離れた２つの射出口間の距離をＤとし、前記基板の相対的な移動方向における前記マスクの開口の長さをＡとし、前記マスクの厚みをＴとし、前記マスクと、前記２つの射出口の各々との距離をＬとすると、Ｄ≦Ａ×（Ｔ＋Ｌ）／Ｔの関係を満たしてもよい。【００２３】
本発明の他の態様は、本発明に係る製造方法によって作製された有機エレクトロルミネッセンス素子を備える有機エレクトロルミネッセンス表示装置であってもよい。【００２４】
本発明の更に他の態様は、１以上の蒸着源、制限板及びマスクを備える蒸着装置であって、前記蒸着装置は、基板を前記マスクから離間させた状態で、前記１以上の蒸着源、前記制限板及び前記マスクに対して前記基板を相対的に移動させながら蒸着を行い、前記１以上の蒸着源、前記制限板、前記マスク及び前記基板は、この順に配置され、前記制限板には、複数の開口部が設けられ、前記１以上の蒸着源には、前記複数の開口部の各々に対向して複数の射出口が設けられ蒸着装置であってもよい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、ボケ幅の増大を抑制しつつ、成膜時間の短縮が可能な有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ表示装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】実施形態１の有機ＥＬ素子の製造方法により作製された有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬ表示装置の断面模式図である。
【図２】図１に示した有機ＥＬ表示装置の表示領域内の構成を示す平面模式図である。
【図３】図１に示した有機ＥＬ表示装置のＴＦＴ基板の構成を示す断面模式図であり、図２中のＡ−Ｂ線における断面に相当する。
【図４】実施形態１の有機ＥＬ表示装置の製造工程を説明するためのフローチャートである。
【図５】実施形態１の発光層蒸着工程における各部材の斜視模式図である。
【図６】実施形態１の発光層蒸着工程における各部材の断面模式図である。
【図７】実際に形成された薄膜のパターンと、その薄膜のパターンの設定上のパターンとのＸ軸方向における膜厚分布を示す。
【図８】予想膜厚分布の和の計算用の射出口及び基板の模式図である。
【図９】基板の走査方向における５つの射出口の予想膜厚分布と、それらの和を示す。
【図１０】基板の走査方向における５つの射出口の予想膜厚分布と、それらの和を示す。
【図１１】実施形態１の発光層蒸着工程における各部材の断面模式図である。
【図１２】３つのノズル（ａ）〜（ｃ）について、１Å／ｓｅｃ又は１２Å／ｓｅｃの成膜レートで薄膜を形成した時の膜厚分布を示す
【図１３】ｎ値と最大成膜レートとの関係を示したグラフである。
【図１４】実施例１及び比較例１における成膜レートとボケ量との関係を示したグラフである。
【図１５】本発明者らが検討を行ったスキャン蒸着法（基板を移動（走査）させながら蒸着を行う方法）における各部材の断面模式図である。
【図１６】本発明者らが検討を行ったスキャン蒸着法（基板を移動（走査）させながら蒸着を行う方法）における各部材の断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下に実施形態を掲げ、本発明を図面に参照して更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。
【００２８】
なお、以下の実施形態では、水平面内にＸ軸及びＹ軸が存在し、鉛直方向にＺ軸が向く直交座標を適宜用いて説明する。
【００２９】
（実施形態１）
本実施形態では、ＴＦＴ基板側から光を取り出すボトムエミッション型でＲＧＢフルカラー表示の有機ＥＬ素子の製造方法と、その製造方法により作製された有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬ表示装置とについて主に説明するが、本実施形態は、他のタイプの有機ＥＬ素子の製造方法にも適用可能である。
【００３０】
まず、本実施形態に係る有機ＥＬ表示装置の全体の構成について説明する。
図１は、実施形態１の有機ＥＬ素子の製造方法により作製された有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬ表示装置の断面模式図である。図２は、図１に示した有機ＥＬ表示装置の表示領域内の構成を示す平面模式図である。図３は、図１に示した有機ＥＬ表示装置のＴＦＴ基板の構成を示す断面模式図であり、図２中のＡ−Ｂ線における断面に相当する。
【００３１】
図１に示すように、本実施形態に係る有機ＥＬ表示装置１は、ＴＦＴ１２（図３参照）が設けられたＴＦＴ基板１０と、ＴＦＴ基板１０上に設けられ、ＴＦＴ１２に接続された有機ＥＬ素子２０と、有機ＥＬ素子２０を覆う接着層３０と、接着層３０上に配置された封止基板４０とを備えている。
【００３２】
封止基板４０と、有機ＥＬ素子２０が積層されたＴＦＴ基板１０とを接着層３０を用いて貼り合わせることで、これら一対の基板１０及び４０の間に有機ＥＬ素子２０を封止している。これにより、酸素及び水分が外部から有機ＥＬ素子２０へ浸入することを防止している。
【００３３】
図３に示すように、ＴＦＴ基板１０は、支持基板として、例えばガラス基板等の透明な絶縁基板１１を有している。図２に示すように、絶縁基板１１上には、複数の配線１４が形成されており、複数の配線１４は、水平方向に設けられた複数のゲート線と、垂直方向に設けられ、ゲート線と交差する複数の信号線とを含んでいる。ゲート線には、ゲート線を駆動するゲート線駆動回路（図示せず）が接続され、信号線には、信号線を駆動する信号線駆動回路（図示せず）が接続されている。
【００３４】
有機ＥＬ表示装置１は、ＲＧＢフルカラー表示のアクティブマトリクス型の表示装置であり、配線１４で区画された各領域には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）又は青（Ｂ）のサブ画素（ドット）２Ｒ、２Ｇ又は２Ｂが配置されている。サブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂは、マトリクス状に配列されている。各色のサブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂには、対応する色の有機ＥＬ素子２０及び発光領域が形成されている。
【００３５】
赤、緑及び青のサブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂは、それぞれ、赤色の光、緑色の光及び青色の光で発光し、３つのサブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂから１つの画素２が構成されている。
【００３６】
サブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂには、それぞれ、開口部１５Ｒ、１５Ｇ及び１５Ｂが設けられており、開口部１５Ｒ、１５Ｇ及び１５Ｂは、それぞれ、赤、緑及び青の発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂによって覆われている。発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂは、垂直方向にストライプ状に形成されている。発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂのパターンは、各色毎に、蒸着により形成されている。なお、開口部１５Ｒ、１５Ｇ及び１５Ｂについては後述する。
【００３７】
各サブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂには、有機ＥＬ素子２０の第１電極２１に接続されたＴＦＴ１２が設けられている。各サブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの発光強度は、配線１４及びＴＦＴ１２による走査及び選択により決定される。このように、有機ＥＬ表示装置１は、ＴＦＴ１２を用いて、各色の有機ＥＬ素子２０を選択的に所望の輝度で発光させることにより画像表示を実現している。
【００３８】
次に、ＴＦＴ基板１０及び有機ＥＬ素子２０の構成について詳述する。まず、ＴＦＴ基板１０について説明する。
【００３９】
図３に示すように、ＴＦＴ基板１０は、絶縁基板１１上に形成されたＴＦＴ１２（スイッチング素子）及び配線１４と、これらを覆う層間膜（層間絶縁膜、平坦化膜）１３と、層間膜１３上に形成された絶縁層であるエッジカバー１５とを有している。
【００４０】
ＴＦＴ１２は、各サブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂに対応して設けられている。なお、ＴＦＴ１２の構成は、一般的なものでよいので、ＴＦＴ１２における各層の図示及び説明は省略する。
【００４１】
層間膜１３は、絶縁基板１１上に、絶縁基板１１の全領域に渡って形成されている。層間膜１３上には、有機ＥＬ素子２０の第１電極２１が形成されている。また、層間膜１３には、第１電極２１をＴＦＴ１２に電気的に接続するためのコンタクトホール１３ａが設けられている。これにより、ＴＦＴ１２は、コンタクトホール１３ａを介して、有機ＥＬ素子２０に電気的に接続されている。
【００４２】
エッジカバー１５は、第１電極２１の端部で有機ＥＬ層が薄くなったり電界集中が起こったりすることによって有機ＥＬ素子２０の第１電極２１と第２電極２６とが短絡することを防止するために形成されている。そのため、エッジカバー１５は、第１電極２１の端部を部分的に被覆するように形成されている。
【００４３】
エッジカバー１５には、上述の開口部１５Ｒ、１５Ｇ及び１５Ｂが設けられている。このエッジカバー１５の各開口部１５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂが、サブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの発光領域となる。言い換えれば、サブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂは、絶縁性を有するエッジカバー１５によって仕切られている。エッジカバー１５は、素子分離膜としても機能する。
【００４４】
次に、有機ＥＬ素子２０について説明する。
【００４５】
有機ＥＬ素子２０は、低電圧直流駆動による高輝度発光が可能な発光素子であり、第１電極２１、有機ＥＬ層及び第２電極２６を含み、これらは、この順に積層されている。
【００４６】
第１電極２１は、有機ＥＬ層に正孔を注入（供給）する機能を有する層である。第１電極２１は、上述のようにコンタクトホール１３ａを介してＴＦＴ１２と接続されている。
【００４７】
第１電極２１と第２電極２６との間には、図３に示すように、有機ＥＬ層として、第１電極２１側から、正孔注入層兼正孔輸送層２２、発光層２３Ｒ、２３Ｇ又は２３Ｂ、電子輸送層２４、及び、電子注入層２５が、この順に積層されている。
【００４８】
なお、上記積層順は、第１電極２１を陽極とし、第２電極２６を陰極とした場合のものであり、第１電極２１を陰極とし、第２電極２６を陽極とする場合には、有機ＥＬ層の積層順は反転する。
【００４９】
正孔注入層は、各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂへの正孔注入効率を高める機能を有する層である。また、正孔輸送層は、各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂへの正孔輸送効率を高める機能を有する層である。正孔注入層兼正孔輸送層２２は、第１電極２１及びエッジカバー１５を覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に一様に形成されている。
【００５０】
なお、本実施形態では、上述のように、正孔注入層及び正孔輸送層として、正孔注入層と正孔輸送層とが一体化された正孔注入層兼正孔輸送層２２を設けた場合を例に挙げて説明する。しかしながら、本実施形態は、この場合に特に限定されない。正孔注入層と正孔輸送層とは互いに独立した層として形成されていてもよい。
【００５１】
正孔注入層兼正孔輸送層２２上には、発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂが、それぞれ、エッジカバー１５の開口部１５Ｒ、１５Ｇ及び１５Ｂを覆うように、サブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂに対応して形成されている。
【００５２】
各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂは、第１電極２１側から注入されたホール（正孔）と第２電極２６側から注入された電子とを再結合させて光を出射する機能を有する層である。各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂは、低分子蛍光色素、金属錯体等の、発光効率が高い材料から形成されている。
【００５３】
電子輸送層２４は、第２電極２６から各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂへの電子輸送効率を高める機能を有する層である。また、電子注入層２５は、第２電極２６から各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂへの電子注入効率を高める機能を有する層である。
【００５４】
電子輸送層２４は、発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂ並びに正孔注入層兼正孔輸送層２２を覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に一様に形成されている。また、電子注入層２５は、電子輸送層２４を覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に一様に形成されている。
【００５５】
なお、電子輸送層２４と電子注入層２５とは、上述のように互いに独立した層として形成されていてもよいし、互いに一体化して設けられていてもよい。すなわち、有機ＥＬ表示装置１は、電子輸送層２４及び電子注入層２５に代えて、電子輸送層兼電子注入層を備えていてもよい。
【００５６】
第２電極２６は、有機ＥＬ層に電子を注入する機能を有する層である。第２電極２６は、電子注入層２５を覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に一様に形成されている。
【００５７】
なお、発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂ以外の有機層は、有機ＥＬ層として必須の層ではなく、要求される有機ＥＬ素子２０の特性に応じて適宜形成することができる。また、有機ＥＬ層には、必要に応じて、キャリアブロッキング層を追加することもできる。例えば、発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂと電子輸送層２４との間にキャリアブロッキング層として正孔ブロッキング層を追加してもよく、これにより、正孔が電子輸送層２４に到達することを抑制でき、発光効率を向上することができる。
【００５８】
有機ＥＬ素子２０の構成としては、例えば、下記（１）〜（８）に示すような層構成を採用することができる。
（１）第１電極／発光層／第２電極
（２）第１電極／正孔輸送層／発光層／電子輸送層／第２電極
（３）第１電極／正孔輸送層／発光層／正孔ブロッキング層／電子輸送層／第２電極
（４）第１電極／正孔輸送層／発光層／正孔ブロッキング層／電子輸送層／電子注入層／第２電極
（５）第１電極／正孔注入層／正孔輸送層／発光層／電子輸送層／電子注入層／第２電極
（６）第１電極／正孔注入層／正孔輸送層／発光層／正孔ブロッキング層／電子輸送層／第２電極
（７）第１電極／正孔注入層／正孔輸送層／発光層／正孔ブロッキング層／電子輸送層／電子注入層／第２電極
（８）第１電極／正孔注入層／正孔輸送層／電子ブロッキング層（キャリアブロッキング層）／発光層／正孔ブロッキング層／電子輸送層／電子注入層／第２電極
なお、上述のように、正孔注入層と正孔輸送層とは、一体化されていてもよい。また、電子輸送層と電子注入層とは、一体化されていてもよい。
【００５９】
また、有機ＥＬ素子２０の構成は上記（１）〜（８）の層構成に特に限定されず、要求される有機ＥＬ素子２０の特性に応じて所望の層構成を採用することができる。
【００６０】
次に、有機ＥＬ表示装置１の製造方法について説明する。
図４は、実施形態１の有機ＥＬ表示装置の製造工程を説明するためのフローチャートである。
【００６１】
図４に示すように、本実施形態に係る有機ＥＬ表示装置の製造方法は、例えば、ＴＦＴ基板・第１電極の作製工程Ｓ１、正孔注入層・正孔輸送層蒸着工程Ｓ２、発光層蒸着工程Ｓ３、電子輸送層蒸着工程Ｓ４、電子注入層蒸着工程Ｓ５、第２電極蒸着工程Ｓ６、及び、封止工程Ｓ７を含んでいる。
【００６２】
以下に、図４に示すフローチャートに従って、図１〜図３を参照して説明した各構成要素の製造工程について説明する。ただし、本実施形態に記載されている各構成要素の寸法、材質、形状等はあくまで一例に過ぎず、これによって本発明の範囲が限定解釈されるものではない。
【００６３】
また、上述したように、本実施形態に記載の積層順は、第１電極２１を陽極、第２電極２６を陰極とした場合のものであり、反対に第１電極２１を陰極とし、第２電極２６を陽極とする場合には、有機ＥＬ層の積層順は反転する。同様に、第１電極２１及び第２電極２６を構成する材料も反転する。
【００６４】
まず、図３に示すように、一般的な方法によりＴＦＴ１２、配線１４等が形成された絶縁基板１１上に感光性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィ技術により感光性樹脂のパターニングを行うことで、絶縁基板１１上に層間膜１３を形成する。
【００６５】
絶縁基板１１としては、例えば、厚さが０．７〜１．１ｍｍであり、Ｙ軸方向の長さ（縦長さ）が４００〜５００ｍｍであり、Ｘ軸方向の長さ（横長さ）が３００〜４００ｍｍのガラス基板又はプラスチック基板が挙げられる。
【００６６】
層間膜１３の材料としては、例えば、アクリル樹脂やポリイミド樹脂等の樹脂を用いることができる。アクリル樹脂としては、例えば、ＪＳＲ株式会社製のオプトマーシリーズが挙げられる。また、ポリイミド樹脂としては、例えば、東レ株式会社製のフォトニースシリーズが挙げられる。ただし、ポリイミド樹脂は、一般に透明ではなく、有色である。このため、図３に示すように有機ＥＬ表示装置１としてボトムエミッション型の有機ＥＬ表示装置を製造する場合には、層間膜１３としては、アクリル樹脂等の透明性樹脂が、より好適に用いられる。
【００６７】
層間膜１３の膜厚は、ＴＦＴ１２による段差を補償することができる程度である限り、特に限定されるものではない。例えば、略２μｍとしてもよい。
【００６８】
次に、層間膜１３に、第１電極２１をＴＦＴ１２に電気的に接続するためのコンタクトホール１３ａを形成する。
【００６９】
次に、導電膜（電極膜）として、例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ：インジウム錫酸化物）膜を、スパッタ法等により、１００ｎｍの厚さで成膜する。
【００７０】
次いで、ＩＴＯ膜上にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてフォトレジストのパターニングを行った後、塩化第二鉄をエッチング液として、ＩＴＯ膜をエッチングする。その後、レジスト剥離液を用いてフォトレジストを剥離し、さらに基板洗浄を行う。これにより、層間膜１３上に第１電極２１をマトリクス状に形成する。
【００７１】
なお、第１電極２１に用いられる導電膜材料としては、例えば、ＩＴＯ、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ：インジウム亜鉛酸化物）、ガリウム添加酸化亜鉛（ＧＺＯ）等の透明導電材料；金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、白金（Ｐｔ）等の金属材料；を用いることができる。
【００７２】
また、導電膜の積層方法としては、スパッタ法以外に、真空蒸着法、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、化学蒸着）法、プラズマＣＶＤ法、印刷法等を用いることができる。
【００７３】
第１電極２１の厚さは特に限定されるものではないが、上述のように、例えば、１００ｎｍとすることができる。
【００７４】
次に、層間膜１３と同様の方法により、エッジカバー１５を、例えば略１μｍの膜厚で形成する。エッジカバー１５の材料としては、層間膜１３と同様の絶縁材料を使用することができる。
【００７５】
以上の工程により、ＴＦＴ基板１０及び第１電極２１が作製される（Ｓ１）。
【００７６】
次に、上記工程を経たＴＦＴ基板１０に対し、脱水のための減圧ベークと、第１電極２１の表面洗浄のための酸素プラズマ処理とを施す。
【００７７】
次いで、一般的な蒸着装置を用いて、ＴＦＴ基板１０上に、正孔注入層及び正孔輸送層（本実施形態では正孔注入層兼正孔輸送層２２）を、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に蒸着する（Ｓ２）。
【００７８】
具体的には、表示領域全面に対応して開口したオープンマスクを、ＴＦＴ基板１０に対しアライメント調整を行った後に密着して貼り合わせる。そして、ＴＦＴ基板１０とオープンマスクとを共に回転させながら、蒸着源より飛散した蒸着粒子を、オープンマスクの開口部を通じて表示領域全面に均一に蒸着する。
【００７９】
なお、表示領域全面への蒸着とは、隣接した色の異なるサブ画素間に渡って途切れることなく蒸着することを意味する。
【００８０】
正孔注入層及び正孔輸送層の材料としては、例えば、ベンジン、スチリルアミン、トリフェニルアミン、ポルフィリン、トリアゾール、イミダゾール、オキサジアゾール、ポリアリールアルカン、フェニレンジアミン、アリールアミン、オキザゾール、アントラセン、フルオレノン、ヒドラゾン、スチルベン、トリフェニレン、アザトリフェニレン、及び、これらの誘導体；ポリシラン系化合物；ビニルカルバゾール系化合物；チオフェン系化合物、アニリン系化合物等の、複素環式共役系のモノマー、オリゴマー、又は、ポリマー；等が挙げられる。
【００８１】
正孔注入層と正孔輸送層とは、上述のように一体化されていてもよいし、独立した層として形成されていてもよい。各々の膜厚は、例えば、１０〜１００ｎｍである。
【００８２】
正孔注入層及び正孔輸送層として、正孔注入層兼正孔輸送層２２を形成する場合、正孔注入層兼正孔輸送層２２の材料として、例えば、４，４’−ビス［Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フェニルアミノ］ビフェニル（α−ＮＰＤ）を使用することができる。また、正孔注入層兼正孔輸送層２２の膜厚は、例えば３０ｎｍとすることができる。
【００８３】
次に、正孔注入層兼正孔輸送層２２上に、エッジカバー１５の開口部１５Ｒ、１５Ｇ及び１５Ｂを覆うように、サブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂに対応して発光層２３Ｒ・２３Ｇ及び２３Ｂをそれぞれ別々に形成（パターン形成）する（Ｓ３）。
【００８４】
上述したように、各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂには、低分子蛍光色素、金属錯体等の発光効率が高い材料が用いられる。
【００８５】
発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂの材料としては、例えば、アントラセン、ナフタレン、インデン、フェナントレン、ピレン、ナフタセン、トリフェニレン、アントラセン、ペリレン、ピセン、フルオランテン、アセフェナントリレン、ペンタフェン、ペンタセン、コロネン、ブタジエン、クマリン、アクリジン、スチルベン、及び、これらの誘導体；トリス（８−キノリノラト）アルミニウム錯体；ビス（ベンゾキノリノラト）ベリリウム錯体；トリ（ジベンゾイルメチル）フェナントロリンユーロピウム錯体；ジトルイルビニルビフェニル；等が挙げられる。
【００８６】
各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂの膜厚は、例えば、１０〜１００ｎｍである。
【００８７】
本発明に係る製造方法は、このような発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂの形成に特に好適に使用することができる。
【００８８】
本発明に係る製造方法を用いた各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂのパターンの形成方法については、後で詳述する。
【００８９】
次に、上記正孔注入層・正孔輸送層蒸着工程Ｓ２と同様の方法により、電子輸送層２４を、正孔注入層兼正孔輸送層２２並びに発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂを覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に蒸着する（Ｓ４）。
【００９０】
続いて、上記正孔注入層・正孔輸送層蒸着工程Ｓ２と同様の方法により、電子注入層２５を、電子輸送層２４を覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に蒸着する（Ｓ５）。
【００９１】
電子輸送層２４及び電子注入層２５の材料としては、例えば、キノリン、ペリレン、フェナントロリン、ビススチリル、ピラジン、トリアゾール、オキサゾール、オキサジアゾール、フルオレノン、及び、これらの誘導体や金属錯体；ＬｉＦ（フッ化リチウム）；等が挙げられる。
【００９２】
より具体的には、Ａｌｑ３（トリス（８−ヒドロキシキノリン）アルミニウム）、アントラセン、ナフタレン、フェナントレン、ピレン、アントラセン、ペリレン、ブタジエン、クマリン、アクリジン、スチルベン、１，１０−フェナントロリン、及び、これらの誘導体や金属錯体；ＬｉＦ；等が挙げられる。
【００９３】
上述したように、電子輸送層２４と電子注入層２５とは、一体化されていても独立した層として形成されていてもよい。各々の膜厚は、例えば１〜１００ｎｍであり、好ましくは１０〜１００ｎｍである。また、電子輸送層２４及び電子注入層２５の合計の膜厚は、例えば２０〜２００ｎｍである。
【００９４】
代表的には、電子輸送層２４の材料にＡｌｑ３を使用し、電子注入層２５の材料にはＬｉＦを使用する。また、例えば、電子輸送層２４の膜厚は３０ｎｍとし、電子注入層２５の膜厚は１ｎｍとする。
【００９５】
次に、上記正孔注入層・正孔輸送層蒸着工程（Ｓ２）と同様の方法により、第２電極２６を、電子注入層２５を覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に蒸着する（Ｓ６）。この結果、ＴＦＴ基板１０上に、有機ＥＬ層、第１電極２１及び第２電極２６を含む有機ＥＬ素子２０が形成される。
【００９６】
第２電極２６の材料（電極材料）としては、仕事関数の小さい金属等が好適に用いられる。このような電極材料としては、例えば、マグネシウム合金（ＭｇＡｇ等）、アルミニウム合金（ＡｌＬｉ、ＡｌＣａ、ＡｌＭｇ等）、金属カルシウム等が挙げられる。第２電極２６の厚さは、例えば５０〜１００ｎｍである。
【００９７】
代表的には、第２電極２６は、厚み５０ｎｍのアルミニウム薄膜から形成される。
【００９８】
次いで、図１に示したように、有機ＥＬ素子２０が形成されたＴＦＴ基板１０と、封止基板４０とを、接着層３０を用いて貼り合わせ、有機ＥＬ素子２０の封入を行う。
【００９９】
封止基板４０としては、例えば、厚さが０．４〜１．１ｍｍのガラス基板又はプラスチック基板等の絶縁基板が用いられる。
【０１００】
なお、封止基板４０の縦長さおよび横長さは、目的とする有機ＥＬ表示装置１のサイズにより適宜調整してもよく、ＴＦＴ基板１０の絶縁基板１１と略同一のサイズの絶縁基板を使用し、有機ＥＬ素子２０を封止した後で、目的とする有機ＥＬ表示装置１のサイズに従って分断してもよい。
【０１０１】
また、有機ＥＬ素子２０の封止方法は、上述の方法に特に限定されず、他のあらゆる封止方法を採用することが可能である。他の封止方式としては、例えば、掘り込みガラスを封止基板４０として使用し、封止樹脂やフリットガラス等により枠状に封止を行う方法や、ＴＦＴ基板１０と封止基板４０との間に樹脂を充填する方法等が挙げられる。
【０１０２】
また、第２電極２６上には、第２電極２６を覆うように、酸素や水分が外部から有機ＥＬ素子２０内に浸入することを阻止するために、保護膜（図示せず）が設けられていてもよい。
【０１０３】
保護膜は、絶縁性又は導電性の材料で形成することができる。このような材料としては、例えば、窒化シリコンや酸化シリコン等が挙げられる。保護膜の厚さは、例えば１００〜１０００ｎｍである。
【０１０４】
上記工程の結果、有機ＥＬ表示装置１が完成する。
【０１０５】
この有機ＥＬ表示装置１においては、配線１４からの信号入力によりＴＦＴ１２をＯＮ（オン）させると、第１電極２１から有機ＥＬ層へホール（正孔）が注入される。一方で、第２電極２６から有機ＥＬ層に電子が注入され、正孔と電子とが各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂ内で再結合する。正孔及び電子の再結合によるエネルギーにより発光材料が励起され、その励起状態が基底状態に戻る際に光が出射される。各サブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの発光輝度を制御することで、所定の画像が表示される。
【０１０６】
次に、発光層蒸着工程Ｓ３について説明する。発光層蒸着工程Ｓ３は、本発明に係る製造方法の上記蒸着工程に対応する。
図５は、実施形態１の発光層蒸着工程における各部材の斜視模式図である。図６は、実施形態１の発光層蒸着工程における各部材の断面模式図である。なお、図６は、基板の走査方向に直交する断面、すなわちＸＺ平面を示している。
【０１０７】
図５及び図６に示すように、発光層蒸着工程Ｓ３は、蒸着装置５０を用いて行われる。蒸着装置５０は、真空チャンバ（図示せず）と、真空チャンバに接続された真空ポンプ（図示せず）とを備えている。また、真空チャンバ内に、複数の蒸着源５１と、蒸着源５１上に配置された制限板５２と、制限板５２上に配置されたマスク（蒸着マスク）５３と、シャッター５４と、基板（被成膜基板）７０を保持する基板保持機構（図示せず）と、基板７０をＸＹ面内で、すなわち水平方向に移動させる基板移動機構（図示せず）と、アライメント機構（図示せず）とを備えている。
【０１０８】
蒸着源５１、制限板５２及びマスク５３は、一つのユニットとして一体化されている。基板保持機構としては、例えば静電チャックを使用でき、基板移動機構は、例えば駆動用モータを含んでいる。アライメント機構は、蒸着源５１等を含むユニットに対する基板７０の相対的な位置を制御するためのものであり、例えばＣＣＤカメラ等の位置検出手段と、該位置検出手段に接続された制御回路とを含んでいる。
【０１０９】
基板７０は、本発明に係る製造方法における上記基板に対応する。基板７０は、ＴＦＴ基板・第１電極の作製工程Ｓ１及び正孔注入層・正孔輸送層蒸着工程Ｓ２を経て作製された基板であり、上述のように、絶縁基板１１上に、ＴＦＴ１２、配線１４、層間膜１３、第１電極２１、エッジカバー１５、及び、正孔注入層兼正孔輸送層２２が形成されたものである。
【０１１０】
蒸着源５１は、Ｙ軸方向にｍ個（ｍは、２以上の整数）、配置されている。蒸着源５１は、内部に蒸着材料を収容する容器であり、蒸着材料を加熱する加熱機構（図示せず）を有している。各蒸着源５１の制限板５２に対向する部分、すなわち上部には、開口である射出口５５がＸ軸方向にｋ個（ｋは、２以上の整数）ずつ周期的に設けられている。したがって、射出口５５は、Ｘ軸方向にｋ個、Ｙ軸方向にｍ個、計（ｋ×ｍ）個、配置されている。なお、ｋ及びｍの上限は特に限定されず、適宜設定することができる。蒸着材料は、加熱機構によって加熱されて蒸気となり、この蒸気が蒸着源５１内を拡散し、そして、射出口５５から上方に向かって噴出する。その結果、各射出口５５からは、蒸着粒子の流れである蒸着流５６が発生する。
【０１１１】
各射出口５５の平面形状は、特に限定されず、適宜設定することができる。例えば、円形、楕円形、矩形等が挙げられるが、なかでも円形が好ましい。円形では、蒸着流５１が射出口５５から等方的に噴き出すことになるため、形成される薄膜の膜厚分布は、基板７０の走査方向と、該方向に直交する方向とにおいて同様の分布を示す。したがって、蒸着装置５０の設計が容易となる。他方、各射出口５５の平面形状を楕円形又は矩形とし、その長手方向が基板７０の走査方向に沿うように各射出口５５を配置した場合、基板７０の走査方向において隣接する蒸着流５６の間で、蒸着粒子の散乱が大きくなる可能性がある。また、各射出口５５の平面形状を楕円形又は矩形とし、その長手方向が基板７０の走査方向と直交する方向に沿うように各射出口５５を配置した場合は、形成される薄膜のパターンのボケ幅が大きくなりやすい。
【０１１２】
射出口５５の平面形状としては、代表的には、Ｘ軸方向の幅が４ｍｍ、Ｙ軸方向の幅が５０ｍｍの長方形、又は、直径２ｍｍ若しくは４ｍｍの円形が挙げられる。射出口５５の平面形状は、互いに独立して設定可能であるが、通常、全ての射出口５５は、同じ平面形状に設定される。
【０１１３】
各射出口５５の大きさ（面積）も特に限定されず、適宜設定することができるが、０．１ｍｍ２〜１０００ｍｍ２であることが好ましい。０．１ｍｍ２未満であると、蒸着材料による射出口５５の目詰まりを生じるおそれがある。他方、１０００ｍｍ２を超えると、蒸着粒子の散乱が大きくなり、蒸着材料の利用効率が大きく低下するおそれがある。有機ＥＬ素子用の蒸着材料は高価であるため、蒸着材料の利用効率が大きく低下すると生産性が低下することになる。射出口５５の大きさ（面積）は、互いに独立して設定可能であるが、通常、全ての射出口５５は、同じ大きさに設定される。
【０１１４】
各射出口５５は、図５及び図６に示されるように、蒸着源５１の上部に設けられたノズル５７の先端に形成されていてもよい。
【０１１５】
制限板５２は、射出口５５から噴き出した蒸着流５６から不要な成分（蒸着粒子）を排除するための部材である。制限板５２には、射出口５５のＸ軸方向のピッチと略同一のピッチでｋ個の開口部５８が形成されている。各開口部５８の下方にはｍ個の射出口５５が位置しており、各開口部５８に向かって下方から複数の蒸着流５６が上昇してくることになる。各蒸着流５６に含まれる蒸着粒子のうち、一部が対応する開口部５８内を通過でき、残りは制限板５２の壁面部５９又は底面部６０に付着して開口部５８内を通過することができない。また、制限板５２は、各蒸着流５６が隣の開口部５８内を通過することを防止している。制限板５２を設けることによって、基板７０に対する蒸着流５６の入射角が必要以上に大きくなるのを抑制することができる。したがって、形成されるパターンのボケ幅の大きさを抑制することができる。また、１つの開口部５８に対してｍ個、すなわち複数の射出口５５を配置していることから、１つの開口部に対して１つの射出口を配置した場合に比べて、成膜レートを大きくすることができる。同じ開口部５８に対向するｍ個の射出口５５は、基板７０の相対的な移動方向、すなわちＹ軸方向と平行な同一直線上に設けられている。
【０１１６】
マスク５３には、開口部５８のＸ軸方向のピッチと略同一のピッチで複数の開口群６１が形成されている。各開口部５８に対して１つずつ開口群６１が設けられている。各開口群６１は、対応する開口部５８と、その下のｍ個の射出口５７とに対向して配置されている。各開口群６１は、帯状（スリット状）の複数の開口６２を含んでいる。各開口６２は、Ｙ軸方向に長く、Ｘ軸方向に短い形状（例えば矩形状）に形成されており、Ｙ軸方向と略平行に配置されている。マスク５３に飛来した蒸着流５６の一部は開口６２を通過して基板７０に到達し、残りはマスク５３によって遮蔽される。そのため、マスク５３の開口６２に対応したパターンで基板７０上に蒸着粒子が堆積する。
【０１１７】
マスク５３は、基板７０より小さく、マスク５３の少なくとも一辺は、基板７０の蒸着領域の対応する辺よりも短い。これにより、マスク５３を容易に製造することが可能となり、また、マスク５３自身の自重による撓みの発生を抑制している。基板７０の走査中に基板７０が損傷するのを防止するために、マスク５３は、基板７０と離間して、すなわち離れて配置されており、マスク５３と基板７０との間には所定の大きさの隙間（ギャップ）が設けられている。このギャップは、０．０５ｍｍ以上、５ｍｍ以下であることが好ましい。このギャップが広すぎると、形成される薄膜のパターンのボケ幅が大きくなるので、５ｍｍよりも大きな値は現実的ではない。また、同ギャップは小さければ小さい程よいが、マスク５３と基板７０の間が近すぎると、基板７０の走査時の振動や基板７０の凹凸、マスク５３の歪等に起因して、蒸着中にマスク５３と基板７０が互いに接触してしまうおそれがある。そのため、０．０５ｍｍよりも小さい値は現実的ではない。
【０１１８】
また、蒸着中において、マスク５３と、各射出口５５の形成面との間の間隔も所定の大きさに保たれている。該間隔は、５０ｍｍ以上、２０００ｍｍ以下であることが好ましい。これらの距離が近すぎると、ボケ幅が大きくなりすぎるので、５０ｍｍより小さい値は現実的ではない。また、マスク５３と射出口５５の間には、蒸着流５６を遮るシャッター５４や、蒸着粒子の飛来範囲を制限（制御）する制限板５２が配置されるため、５０ｍｍより小さい値は蒸着装置５０の構造上も現実的ではない。他方、２０００ｍｍより大きな値では、射出口５５及びマスク５３の間の距離と、射出口５５及び基板７０の間の距離とがいずれも長くなりすぎ、蒸着材料の利用効率が低下しすぎるため現実的ではない。
【０１１９】
そして、発光層蒸着工程Ｓ３では、蒸着を３回行い、３色の発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂを順に形成していく。各蒸着では、蒸着源５１等を含むユニットに対して基板７０を相対的に移動（走査）させながら基板７０上に蒸着粒子を付着させて、発光層２３Ｒ、２３Ｇ又は２３Ｂとして、ストライプ状の薄膜のパターン７１を形成する。
【０１２０】
蒸着中、基板７０は、Ｙ軸方向に走査されるが、蒸着源５１、制限板５２及びマスク５３は一体化されているので、これらの相対的な位置関係は、常に固定されている。なお、基板７０と、蒸着源５１等を含むユニットは、両方が移動させてもよし、基板７０を固定し、ユニットを移動させてもよい。また、走査の速度や回数を変更することによって膜厚を適宜変更することができる。蒸着中おける真空チャンバ内の気圧は、１×１０−５〜１×１０−１Ｐａ程度に設定される。
【０１２１】
シャッター５４は、蒸着源５１及び制限板５２の間に挿入可能な状態で設けられている。シャッター５４がこれらの間に挿入されることで制限板５２の開口部５８が閉じられる。このように、蒸着源５１及び制限板５２の間にシャッター５４を適宜差し挟むことによって、余計な部分（非蒸着領域）への蒸着を防止することができる。
【０１２２】
成膜時間を短縮する観点からは、各射出口５５による成膜レートを大きくして、各蒸着流５６における蒸着粒子の密度を大きくすることが好ましいが、大きくし過ぎると上述のようにボケ幅の増大という課題が発生してしまう。そこで、本実施形態では、成膜時間の短縮とボケ幅の増大防止とを両立させる観点から、各射出口５５の配置場所を決定するとともに各射出口５５の成膜レートを制御している。以下、それらの方法について詳述する。
【０１２３】
まず、射出口５５毎にｎ値を算出する。一般的に、真空蒸着法により形成される薄膜の膜厚は、所謂コサインｎ乗則による分布を示すことが知られている。すなわち、射出口（通常は、その中心）と、当該射出口からの蒸着流により薄膜が形成される領域（成膜領域）内の任意の点とを結ぶ線分が主成膜方向となす角をθとすると、形成される薄膜の膜厚分布は、ｃｏｓ（ｎ＋３）θで表される。ここで、ｎ（ｎ値）は、０以上の数であり、射出口に固有の値をとる。なお、主成膜方向とは、射出口（通常は、その中心）から膜厚が最大となる点へ向かう方向である。
【０１２４】
具体的には、各射出口５５から個別に蒸着流を発生させ、別々の試験用基板（例えばガラス基板）上に蒸着粒子を蒸着させて薄膜を形成する。このとき、各試験用基板は固定し、マスク５３は配置しない。そのため、形成された薄膜はパターン化されていない。そして、ある方向（例えばＹ軸方向）における各薄膜の膜厚分布を実測し、ｎを変化させつつｃｏｓ（ｎ＋３）θのグラフとフィッティングを行うことにより各射出口５５のｎ値を算出する。
【０１２５】
次に、各射出口５５の最大成膜レートＲを求める。具体的には、複数の成膜レートにて、各射出口５５から個別に蒸着流を発生させ、マスク５３を介して別々の試験用基板（例えばガラス基板）上に蒸着粒子を蒸着させて複数の薄膜のパターンを形成する。換言すると、種々の成膜レートで射出口５５毎に別個に薄膜のパターンを形成すること以外は発光層蒸着工程Ｓ３と同じ条件で薄膜のパターンを形成する。続いて、基板７０の走査方向と直交する方向、すなわちＸ軸方向において、形成された各薄膜のパターンの膜厚分布（断面形状）を測定し、そして、その分布を、当該薄膜のパターンの設定上の膜厚分布（断面形状）と比較することによってボケ量を算出する。以下、図７を用いて、ボケ量の算出方法を説明する。
【０１２６】
図７は、実際に形成された薄膜のパターンと、その設定上のパターンとのＸ軸方向における膜厚分布を示す。
図７においては、実際の膜厚分布が実線で示され、設計上の膜厚分布が破線で示されている。実際の膜厚分布は、段差計により測定することができる。なお、段差計としては、例えばＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ社製のＴＥＮＣＯＲ  Ｐ−１１を用いることができる。各膜厚分布は、最大膜厚が１となるように規格化する。設計上の膜厚分布は、射出口５５の形状やマスク５３の開口の形状、各部材の配置関係等、幾何学的な条件により決定する。ここで、最大膜厚（１００％）に対して膜厚が３％〜９７％となる幅をボケ量と定義する。図７に示すように、実際の断面形状は、設定上の断面形状に比べて丸みを帯び、実際の膜厚分布におけるボケ量は、設定上の膜厚分布におけるボケ量よりも大きくなる。そして、設計上の膜厚分布におけるボケ量に対して実際の膜厚分布におけるボケ量が１．３倍以下となる範囲を許容範囲とし、この許容範囲内で最大の成膜レートを最大成膜レートＲとする。
【０１２７】
なお、ボケ量の定義において、膜厚の下限を３％に規定したのは、３％未満では測定誤差が大きくなるためである。また、実際の膜厚分布には、３％程度の面内バラツキが生じるため、この影響を除外するため、ボケ量の定義において膜厚の上限を９７％に規定した。更に、ボケ量の許容範囲を１．３倍以下と規定したのは、これを超えると、表示領域内において無効領域（非発光領域）が増大するためである。
【０１２８】
また、本明細書において、成膜レートは、単位時間当たりの形成される薄膜の膜厚で表され、その単位は、例えばÅ／秒（ｓｅｃ）である。また、成膜レートは、形成される薄膜の膜厚が最大となる点において測定される。
【０１２９】
また、平面形状及び大きさが実質的に同じである複数の射出口５５については、その１つの射出口のみについてｎ値及び最大成膜レートを測定し、それらを他の射出口５５のｎ値及び最大成膜レートとみなして用いてもよい。平面形状及び大きさが同じであれば、ｎ値及び最大成膜レートはほとんど同じであるためである。
【０１３０】
そして、以上の結果を踏まえ、発光層蒸着工程Ｓ３において、ｒｉ＜Ｒｉの条件下で蒸着が行われるよう各射出口５５の成膜レートを制御している。ここで、Ｒｉは、同じ開口部５８に対向するｍ個の射出口５５のうちの射出口ｉ（ｉは、１以上、ｍ以下の整数）の最大成膜レートを表し、ｒｉは、発光層蒸着工程Ｓ３における射出口ｉの実際の成膜レートを表している。すなわち、各射出口５５において、実際の成膜レートｒが最大成膜レートＲを超えないように制御されている。これにより、上述したような射出口５５近傍における蒸着粒子の密度の増加に起因すると思われるボケ幅の増大を抑制することができる。
【０１３１】
他方、例え蒸着粒子の密度の増加に起因するボケ幅の増大を抑制できたとしても、同じ開口部５８に対向するｍ個の射出口５５同士の間隔が狭すぎると、それらからの蒸着流５６同士が交わる確率が増加し、それらの蒸着流５６に含まれる蒸着粒子が互いに衝突するする確率が増加すると考えられる。そして、これに起因して蒸着粒子の平均自由行程が局所的に短くなり、ボケ幅が増大すると考えられる。
【０１３２】
そこで、本実施形態では、各射出口５５について、下記式（１）に基づいて、薄膜の膜厚分布に関する分布を算出し、算出した全ての射出口５５の該分布を合計する。
【０１３３】
【数２】
2014203632.tif 000004
【０１３４】
そして、得られた和（下記式（２））が１以下となるように、同じ開口部５８に対向するｍ個の射出口５５を互いに離間して、すなわち離して配置する。
【０１３５】
【数３】
2014203632.tif 000005
【０１３６】
上記式（１）で表される分布は、コサインｎ乗則に基づく各射出口５５による膜厚分布に、各射出口５５の最大成膜レートに対するその射出口５５の実際の成膜レートの比を乗じたものであり、実際の成膜レートで成膜される薄膜の膜厚分布を予想した分布と考えることができる。以下、上記式（１）で表される分布を予想膜厚分布とも言う。
【０１３７】
このように射出口５５を配置することによって、薄膜のパターン７１が形成される全領域内において、最大成膜レートを超える成膜レートで薄膜のパターン７１が形成されることを防止することができる。したがって、例え異なる射出口５５からの蒸着流５６同士が交わり、それらの蒸着流５６に含まれる蒸着粒子が互いに衝突したとしても、ボケ幅に対する影響を、最大成膜レートを超えて薄膜のパターンを形成した場合に比べて、小さくすることができる。そのため、ボケ幅が大きくなることを抑制することができる。
【０１３８】
以上の通り、本実施形態においては、各開口部５８の下方に複数（ｍ個）の射出口５５が配置され、発光層蒸着工程Ｓ３において、ｒｉ＜Ｒｉの条件下で蒸着が行われ、上記式（１）で表される分布の和が１以下となるように、同じ開口部５８に対向する複数（ｍ個）の射出口５５は、互いに離間して配置されている。したがって、発光層蒸着工程Ｓ３において、ボケ幅の増大を抑制しつつ、成膜時間の短縮が可能となる。
【０１３９】
また、同じ開口部５８に対向するｍ個の射出口５５は、基板７０の相対的な移動方向、すなわちＹ軸方向に沿って配置されている。そのため、これら複数の射出口５５から蒸着粒子が基板７０の相対的な移動方向と平行に、基板７０上に飛来する。したがって、１つの開口部５８に対して１つの射出口５５のみを配置した場合や、同じ開口部５８に対向するｍ個の射出口５５をＹ軸方向に沿って配置しない場合に比べて、成膜レートを効果的に増加させることが可能となり、生産性を大きく向上することができる。
【０１４０】
本実施形態において、同じ開口部５８に対向するｍ個の射出口５５の最大成膜レートは、互いに等しくてもよく、また、それらの実際の成膜レートは、互いに等しくてもよく、更に、それらのｎ値は、互いに等しくてもよい。これにより、成膜レートを上げてスループットを上げるために蒸着源５１及び／又は射出口５５を増やす場合に、制御パラメータ数を削減でき、蒸着装置５０のシステム制御を容易に行うことが可能となる。
【０１４１】
また、本実施形態において、同じ開口部５８に対向するｍ個の射出口５５のうちの少なくとも２つの射出口５５において、最大成膜レート、実際の成膜レート及びｎ値の少なくとも１つは、互いに異なってもよい。これにより、蒸着装置５０の構成、使用材料、蒸着源５１、及び、蒸着源５１の特性に対する選択自由度が増すため、蒸着装置５０の生産性をより高くすることができ、より生産性の高い製造方法を実現することが可能となる。
【０１４２】
このように、同じ開口部５８に対向するｍ個の射出口５５のうちの少なくとも２つの射出口５５において、（１）最大成膜レートは、互いに異なるが、実際の成膜レートは、互いに等しく、ｎ値は、互いに等しくてもよいし、（２）実際の成膜レートは、互いに異なるが、最大成膜レートは、互いに等しく、ｎ値は、互いに等しくてもよいし、（３）ｎ値は、互いに異なるが、最大成膜レートは、互いに等しく、実際の成膜レートは、互いに等しくてもよいし、（４）最大成膜レートは、互いに異なり、実際の成膜レートは、互いに異なるが、ｎ値は、互いに等しくてもよいし、（５）最大成膜レートは、互いに異なり、ｎ値は、互いに異なるが、実際の成膜レートは、互いに等しくてもよいし、（６）実際の成膜レートは、互いに異なり、ｎ値は、互いに異なるが、最大成膜レートは、互いに等しくてもよいし、（７）最大成膜レートは、互いに異なり、実際の成膜レートは、互いに異なり、ｎ値は、互いに異なっていてもよい。
【０１４３】
なお、最大成膜レートが互いに等しいとは、その差が０．１Å／ｓｅｃ以下であることを意味し、実際の成膜レートが互いに等しいとは、その差が０．１Å／ｓｅｃ以下であることを意味し、ｎ値が互いに等しいとは、その差が０．１以下であることを意味する。
【０１４４】
また、最大成膜レートが互いに異なるとは、その差が０．１Å／ｓｅｃより大きいことを意味し、実際の成膜レートが互いに異なるとは、その差が０．１Å／ｓｅｃより大きいことを意味し、ｎ値が互いに異なるとは、その差が０．１より大きいことを意味する。
【０１４５】
ここで、予想膜厚分布の和を計算した結果について説明する。
【０１４６】
図８は、予想膜厚分布の和の計算用の射出口及び基板の模式図である。
図８に示すように、５つの射出口（１）〜（５）を基板７０の走査方向と平行に配置した。各射出口及び基板７０の間の間隔は、２５０ｍｍに設定した。各射出口の形状は互いに同じであることを想定し、各射出口のｎ値は５０とした。隣接する射出口間の間隔は、全て１００ｍｍとした。各射出口の最大成膜レートに対するその射出口の実際の成膜レートの比（ｒｉ／Ｒｉ）は、いずれも０．９６とした。
【０１４７】
図９は、基板の走査方向における５つの射出口の予想膜厚分布と、それらの和を示す。
図９に示すように、全ての射出口（１）〜（５）の予想膜厚分布の和は、１以下となり、その最大値は、０．９９８であった。
【０１４８】
続いて、別の計算結果を示す。ここでは、射出口（１）〜（５）の形状が互いに異なることを想定し、各射出口のｎ値と、各射出口の最大成膜レートに対するその射出口の実際の成膜レートの比（ｒｉ／Ｒｉ）とは、下記表１の通りに設定した。各射出口及び基板７０の間の間隔は、２５０ｍｍに設定した。隣接する射出口５５間の間隔は、全て１００ｍｍとした。
【０１４９】
【表１】
2014203632.tif 000006
【０１５０】
図１０に、基板の走査方向における５つの射出口の予想膜厚分布と、それらの和を示す。
図１０に示すように、全ての射出口（１）〜（５）の予想膜厚分布の和は、１以下となり、その最大値は、０．８９６であった。
【０１５１】
次に、同じ開口部５８の下方に存在する複数の射出口５５間の間隔の好ましい上限について説明する。図１１は、実施形態１の発光層蒸着工程における各部材の断面模式図である。なお、図１１は、基板の走査方向に平行な断面、すなわちＹＺ平面を示している。
【０１５２】
本実施形態は、同じ開口部５８の下方に存在する複数の射出口５５からマスク５３の開口６２に蒸着粒子が飛来することで成膜レートの改善を図っている。したがって、成膜時間の短縮の観点からは、これらの蒸着粒子がマスク５３の開口６２を通過し得る限界の配置から、射出口５５間の間隔の上限値を決定することが好ましい。ここで、図１１に示すように、基板７０の走査方向、すなわちＹ軸方向におけるマスク５３の開口６２の長さをＡとし、マスク５３の厚みをＴとし、各射出口５５とマスク５３の距離をＬとし、同じ開口部５８の下方に配置する射出口５５の個数をＪとし、これらの射出口５５を配置し得る最大の範囲、すなわち両端の射出口５５（通常は、その中心）間の距離をＤとすると、上述の配置を満たすためには、Ｄは、Ａ／Ｔ≧Ｄ／（Ｔ＋Ｌ）からＤ≦Ａ×（Ｔ＋Ｌ）／Ｔの関係を満たすことが好ましい。
【０１５３】
また、この距離Ｄの間にＪ個の射出口５５を等間隔に並べる場合、隣接する射出口５５間の間隔ｄは、ｄ≦Ａ×（Ｔ＋Ｌ）／Ｔ／（Ｊ−１）の関係を満たすことが好ましい。
【０１５４】
例えば、Ａを０．３ｍｍとし、Ｔを０．１ｍｍとし、Ｌを２５０ｍｍとし、Ｊを５個とし、５個の射出口を等間隔に配置する場合、隣接する射出口間の間隔は、略１８８ｍｍ以下に設定ことが好ましい。また、これらの５個の射出口を等間隔に配置しない場合は、全ての射出口が略７５０ｍｍの範囲内に設置されていることが好ましい。すなわち、両端の射出口間の間隔は、略７５０ｍｍ以下に設定ことが好ましい。
【０１５５】
また、同一の開口部５８に対向する複数の開口６２、すなわち同じ開口群６１に含まれる複数の開口６２の長さがＹ軸方向において不均一である場合は、そのうちの最も短い開口６２の長さをＡとして、上記関係式を満たすように射出口５５を配置することが好ましい。
【０１５６】
次に、成膜レートとｎ値の関係について調べた結果を示す。
図１２は、３つのノズル（ａ）〜（ｃ）について、１Å／ｓｅｃ又は１２Å／ｓｅｃの成膜レートで薄膜を形成した時の膜厚分布を示す。ここでは、蒸着材料としては、Ａｌｑ３（トリス（８−キノリノラト）アルミニウム）を用い、いずれのノズルの形状も内径４ｍｍで長さ６ｍｍの円筒状であり、各射出口の平面形状は直径４ｍｍの円形であった。図１２に示されるように、成膜レートが変動しても、膜厚分布の形状は略一致し、ｎ値も略２．５と同じ結果となった。この結果に基づけば、ｎ値を測定するときの成膜レートは、特に限定されず、適宜設定することができるが、通常、１．０Å／ｓｅｃ〜２．０Å／ｓｅｃに設定すればよい。
【０１５７】
また、様々な形状のノズルを用いて、ｎ値と最大成膜レートとの関係を調べたところ、図１３及び下記表２に示すような結果になった。図１３は、ｎ値と最大成膜レートとの関係を示したグラフである。
【０１５８】
【表２】
2014203632.tif 000007
【０１５９】
ここで、射出口及び基板の間の間隔は２５０ｍｍとし、マスク及び基板の間の間隔は１ｍｍとした。また、最大成膜レートは、図７を用いて説明した上述の方法により決定した。図１３及び上記表２に示されるように、ｎ値が大きくなるにしたがって最大成膜レートも増加するが、最大成膜レートは、徐々に飽和することが分かった。
【０１６０】
以下、本実施形態における他の変形例について説明する。
【０１６１】
複数の蒸着源５１に用いる蒸着材料は、独立して適宜選択することができる。したがって、それらの材料は、互いに同じものであってもよいし、互いに異なるものであってもよい。すなわち、本実施形態では、共蒸着を行ってもよい。
【０１６２】
また、蒸着源５１の数は、特に限定されず、例えば１つであってもよい。この場合、１つの蒸着源に対して、Ｙ軸方向に複数の射出口を設ければよい。
【０１６３】
また、蒸着源５１、制限板５２、マスク５３及び基板７０は、この順に配置される限り、その向きは特に限定されない。例えば、上述した構造を上下反転させて、蒸着源５１、制限板５２、マスク５３及び基板７０を上からこの順に配置してもよい。また、上述した構造をＹ軸を中心に９０°回転させて、蒸着源５１、制限板５２、マスク５３及び基板７０を横に並べて配置してもよい。
【０１６４】
また、有機ＥＬ表示装置１は、モノクロ表示の表示装置であってもよいし、各画素は複数のサブ画素に分割されていなくてもよい。この場合、発光層蒸着工程Ｓ３では、蒸着を１回だけ行い、１色の発光層のみを形成してもよい。
【０１６５】
更に、発光層蒸着工程Ｓ３以外の蒸着工程において、発光層蒸着工程Ｓ３と同様にして、薄膜のパターンを形成してもよい。例えば、電子輸送層２４を各色のサブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂ毎に形成してもよい。
【０１６６】
以下、実施例及び比較例について説明する。
【０１６７】
（実施例１）
本実施例では、Ｙ軸方向、すなわち基板の走査方向に３つの蒸着源を配置し、各蒸着源に複数の射出口をＸ軸方向と平行に、すなわち基板の走査方向と直交するように配置した。したがって、射出口は、Ｙ軸方向には３個配置されている。全ての蒸着源には同じ蒸着材料、具体的にはＡｌｑ３を用いた。各射出口の平面形状は直径２ｍｍの円形とし、基板と射出口の距離は２２０ｍｍとし、Ｙ軸方向において隣接する射出口間の間隔は、全て４０ｍｍとした。各射出口のｎ値は、２５０であり、各射出口の最大成膜レートは１Å／ｓｅｃであった。各射出口の実際の成膜レートは０．９５Å／ｓｅｃ以下とし、全ての射出口の成膜レートは互いに同じ値に設定した。マスクの厚みは０．１ｍｍとし、マスクには複数の矩形状（スリット状）の開口を設けた。各開口のＹ軸方向の長さは、０．３ｍｍとし、各開口のＸ軸方向の長さ（幅）は、０．１ｍｍとした。複数の成膜レートで蒸着工程を複数回行い、最大膜厚が１５０ｎｍである薄膜のパターンを複数形成した。本実施例おいて、実際の成膜レートを０．９５Å／ｓｅｃとしたとき、上記式（２）で表される予想膜厚分布の和は、１以下となり、その最大値は、０．９６６であった。なお、上記式（２）の代わりに、下記式（３）を用いてもよい。
【０１６８】
【数４】
2014203632.tif 000008
【０１６９】
ここで、Ｘ、Ｚ及びＴＳは、それぞれ、位置、Ｙ軸方向において隣接する射出口間の間隔、及び、基板と射出口の間の距離を表す。
【０１７０】
（比較例１）
本比較例では、蒸着源の個数を１つに変更し、各射出口の実際の成膜レートを３Å／ｓｅｃ以下としたことを除いて、実施例１と同様にして、複数の成膜レートで蒸着工程を複数回行い、最大膜厚が１５０ｎｍである薄膜のパターンを複数形成した。本比較例では、射出口は、Ｙ軸方向には１個だけ配置されている。
【０１７１】
図１４は、実施例１及び比較例１における成膜レートとボケ量との関係を示したグラフである。また、下記表３に、実施例１及び比較例１における成膜レート及びボケ量を示す。なお、実施例１の成膜レートは、Ｙ軸方向に並ぶ３つの射出口の合計の成膜レートを表している。
【０１７２】
【表３】
2014203632.tif 000009
【０１７３】
図１４及び表３に示すように、比較例１では、成膜レートを上げるとボケ量が増加したが、実施例１では、成膜レートを上げてもボケ量は大きくならなかった。したがって、実施例１によれば、高精度かつ高い生産性で有機ＥＬ素子を形成することが可能であった。
【０１７４】
（比較例２）
本比較例では、各射出口の実際の成膜レートを１．５Å／ｓｅｃとしたことを除いて、実施例１と同様にして、最大膜厚が１５０ｎｍである薄膜のパターンを形成した。なお、本比較例では、上記成膜レートで蒸着工程を１回だけ行い、１つの薄膜のパターンを形成した。本比較例では、射出口は、Ｙ軸方向には３個配置されている。
【０１７５】
本比較例において、上記式（２）で表される予想膜厚分布の和は、１より大きくなり、その最大値は、１．５４９であった。また、本比較例において、形成された薄膜のパターンのボケ量は、１４μｍであり、実施例１の場合の１０μｍに比べて大きくなった。
【符号の説明】
【０１７６】
１：有機ＥＬ表示装置
２：画素
２Ｒ、２Ｇ、２Ｂ：サブ画素
１０：ＴＦＴ基板
１１：絶縁基板
１２：ＴＦＴ
１３：層間膜
１３ａ：コンタクトホール
１４：配線
１５：エッジカバー
１５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂ：開口部
２０：有機ＥＬ素子
２１：第１電極
２２：正孔注入層兼正孔輸送層（有機層）
２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂ：発光層（有機層）
２４：電子輸送層（有機層）
２５：電子注入層（有機層）
２６：第２電極
３０：接着層
４０：封止基板
５０：蒸着装置
５１：蒸着源
５２、１５２：制限板
５３、１５３：マスク（蒸着マスク）
５４：シャッター
５５：射出口
５６：蒸着流
５７、１５７：ノズル
５８：開口部
５９：壁面部
６０：底面部
６１：開口群
６２：開口
７０、１７０：基板（被成膜基板）
７１、１７１：薄膜のパターン
【図１】
2014203632.tif 000012
【図２】
2014203632.tif 000013
【図３】
2014203632.tif 000014
【図４】
2014203632.tif 000015
【図５】
2014203632.tif 000016
【図６】
2014203632.tif 000017
【図７】
2014203632.tif 000018
【図８】
2014203632.tif 000019
【図９】
2014203632.tif 000020
【図１０】
2014203632.tif 000021
【図１１】
2014203632.tif 000022
【図１２】
2014203632.tif 000023
【図１３】
2014203632.tif 000024
【図１４】
2014203632.tif 000025
【図１５】
2014203632.tif 000026
【図１６】
2014203632.tif 000027
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月18日(2015.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記製造方法は、基板をマスクから離間させた状態で、１以上の蒸着源、制限板及び前記マスクに対して前記基板を相対的に移動させながら前記基板上に蒸着粒子を付着させて、薄膜のパターンを形成する蒸着工程を含み、
前記１以上の蒸着源、前記制限板、前記マスク及び前記基板は、この順に配置され、
前記制限板には、複数の開口部が設けられ、
前記１以上の蒸着源には、前記複数の開口部の各々に対向して複数の射出口が設けられ、
前記蒸着工程において、ｒｉ＜Ｒｉの条件下で蒸着が行われ、
下記式（１）で表される分布の和が１以下となるように、同じ開口部に対向する複数の射出口は、互いに離間して配置される有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【数１】
2014203632.tif 000028
ただし、Ｒｉは、前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口のうちの射出口ｉの最大成膜レートを表し、
ｉは、１以上、ｍ以下の整数を表し、
ｍは、前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口の個数を表し、
ｒｉは、前記蒸着工程における前記射出口ｉの実際の成膜レートを表し、
ｎｉは、前記射出口ｉのｎ値（０以上の数）であり、
θｉは、前記射出口ｉと成膜領域内の任意の点とを結ぶ線分が主成膜方向となす角を表す。
【請求項２】
前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口は、前記基板の相対的な移動方向に沿って配置される請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項３】
前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口の前記最大成膜レート、前記実際の成膜レート及び前記ｎ値は、互いに等しい請求項１又は２記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項４】
前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口のうちの少なくとも２つの射出口において、前記最大成膜レート、前記実際の成膜レート及び前記ｎ値の少なくとも１つは、互いに異なる請求項１又は２記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項５】
前記同じ開口部に対向する前記複数の射出口のうち、最も離れた２つの射出口間の距離をＤとし、
前記基板の相対的な移動方向における前記マスクの開口の長さをＡとし、
前記マスクの厚みをＴとし、
前記マスクと、前記２つの射出口の各々との距離をＬとすると、
Ｄ≦Ａ×（Ｔ＋Ｌ）／Ｔの関係を満たす請求項１〜４のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【国際調査報告】
2014203632.tif 000029
2014203632.tif 000030
2014203632.tif 000031
2014203632.tif 000032