(57)【要約】  本発明は、接着剤を線状に吐出するスリット状の開口が設けられたダイ（１０２）と、接着剤を点状に吐出する吐出口が設けられた吐出ノズル（１０４）と、ダイ（１０２）及び吐出ノズル（１０４）の動作を制御する制御部とを備える接着剤塗布装置において、被塗布物（Ｓ１）の表面に沿う第１の方向にダイ（１０２）を被塗布物に対して相対的に移動させて、被塗布物（Ｓ）の表面に対して接着剤（Ａ１）を連続的に吐出させると共に、第１の方向に吐出ノズル（１０４）を被塗布物（Ｓ）に対して相対的に移動させて、被塗布物（Ｓ１）の表面に吐出された接着剤（Ａ１）上に、吐出ノズル（１０４）から点状に接着剤（Ａ２）を吐出させるように制御するものである。  当該構成により、貼り合わせ工程における空気の巻き込みを抑制し得る接着塗膜を、被塗布物の表面に形成することができる。
2014155661.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被塗布物の表面に接着剤を塗布するための接着剤塗布装置であって、
接着剤を線状に吐出するスリット状の開口が設けられたダイと、
接着剤を点状に吐出する吐出口が設けられた吐出ノズルと、
前記ダイ及び前記吐出ノズルの動作を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記開口の延びる方向と交差し且つ前記被塗布物の前記表面に沿う第１の方向に前記ダイを前記被塗布物に対して相対的に移動させつつ、前記開口から前記被塗布物の前記表面に対して接着剤を連続的に吐出させるように、前記ダイを制御すると共に、
前記第１の方向に前記吐出ノズルを前記被塗布物に対して相対的に移動させつつ、前記ダイから前記被塗布物の前記表面に吐出された接着剤上に前記吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させるように、前記吐出ノズルを制御する、接着剤塗布装置。
【請求項２】
前記ダイは、
前記第１の方向に沿って延びるように前記ダイの内部に設けられた第１のバッファ部と、
前記第１の方向に沿って延びるように前記ダイの内部に設けられると共に、前記第１のバッファ部と前記開口との間に位置する第２のバッファ部と、
前記第１のバッファ部と連通され接着剤が前記ダイの内部に供給される供給路と、
前記第１のバッファ部、前記第２のバッファ部及び前記開口を連通する連通部とを有する、請求項１に記載の接着剤塗布装置。
【請求項３】
前記ダイ及び前記吐出ノズルによって前記表面に接着剤が塗布された後の前記被塗布物の姿勢を、前記表面が下方を向くように変更させる、姿勢変更部をさらに備える、請求項１又は２に記載の接着剤塗布装置。
【請求項４】
請求項３に記載の接着剤塗布装置と、
前記被塗布物の前記表面と貼り合わせ対象物の表面とが対向するように、前記姿勢変更部によって姿勢が変更された後の前記被塗布物と前記貼り合わせ対象物とを接着剤を介して大気中で貼り合わせる貼り合わせ部とを備える、貼り合わせ装置。
【請求項５】
前記制御部は、
前記被塗布物に接着剤が塗布されてから１２秒以内に前記被塗布物の姿勢を下向きに変更させるように前記姿勢変更部を制御し、
前記姿勢変更部の姿勢が下向きに変更された後に前記被塗布物と前記貼り合わせ対象物とを貼り合わせるように前記貼り合わせ部を制御する、請求項４に記載の貼り合わせ装置。
【請求項６】
前記制御部は、
前記被塗布物の一端寄りの領域に前記吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させるように、前記吐出ノズルを制御すると共に、
前記被塗布物の一端側と前記貼り合わせ対象物の一端側とが接着剤を介して接触し且つ前記被塗布物の他端側と前記貼り合わせ対象物の他端側とが離間するように、前記貼り合わせ対象物を前記被塗布物に対して傾けた後に、前記被塗布物の他端側と前記貼り合わせ対象物の他端側とを近づけることで、前記被塗布物及び前記貼り合わせ対象物の各一端側から各他端側に向けて徐々に前記被塗布物と前記貼り合わせ対象物とを貼り合わせるように、前記貼り合わせ部を制御する、請求項４又は５に記載の貼り合わせ装置。
【請求項７】
前記ダイ及び前記吐出ノズルの組を二組備え、
前記制御部は、
第１の組における前記ダイ及び前記吐出ノズルにより第１の被塗布物の表面に接着剤を塗布させると共に、
第２の組における前記ダイ及び前記吐出ノズルにより第２の被塗布物の表面に接着剤を塗布させる、請求項１又は２に記載の接着剤塗布装置。
【請求項８】
前記第１の組における前記ダイ及び前記吐出ノズルによって前記表面に接着剤が塗布された後の前記第１の被塗布物の姿勢を、前記表面が下方を向くように変更させる、姿勢変更部をさらに備える、請求項７に記載の接着剤塗布装置。
【請求項９】
請求項８に記載の接着剤塗布装置と、
前記第１の被塗布物の前記表面と前記第２の被塗布物の前記表面とが対向するように、前記姿勢変更部によって姿勢が変更された後の前記第１の被塗布物と前記第２の被塗布物とを接着剤を介して大気中で貼り合わせる貼り合わせ部とを備える、貼り合わせ装置。
【請求項１０】
前記制御部は、
前記第１の被塗布物に接着剤が塗布されてから１２秒以内に前記第１の被塗布物の姿勢を下向きに変更させるように前記姿勢変更部を制御し、
前記姿勢変更部の姿勢が下向きに変更された後に前記第１の被塗布物と前記第２の被塗布物とを貼り合わせるように前記貼り合わせ部を制御する、請求項９に記載の貼り合わせ装置。
【請求項１１】
前記制御部は、前記第１の被塗布物の前記表面と前記第２の被塗布物の前記表面とが対向する方向から見て、前記第１の被塗布物の前記表面に形成された点状の接着剤と前記第２の被塗布物の前記表面に形成された点状の接着剤とが重なり合った状態で、前記第１の被塗布物と前記第２の被塗布物とを貼り合わせるように前記貼り合わせ部を制御する、請求項９又は１０に記載の貼り合わせ装置。
【請求項１２】
前記制御部は、
前記第１の被塗布物の一端寄りの領域に前記第１の組における前記吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させるように、前記第１の組における前記吐出ノズルを制御すると共に、
前記第１の被塗布物の一端側と前記第２の被塗布物の一端側とが接着剤を介して接触し且つ前記第１の被塗布物の他端側と前記第２の被塗布物の他端側とが離間するように、前記第２の被塗布物を前記第１の被塗布物に対して傾けた後に、前記第１の被塗布物の他端側と前記第２の被塗布物の他端側とを近づけることで、前記第１の被塗布物及び前記第２の被塗布物の各一端側から各他端側に向けて徐々に前記第１の被塗布物と前記第２の被塗布物とを貼り合わせるように、前記貼り合わせ部を制御する、請求項９〜１１のいずれか一項に記載の貼り合わせ装置。
【請求項１３】
ダイに設けられたスリット状の開口が被塗布物の表面に対向した状態で、前記開口の延びる方向と交差し且つ前記被塗布物の前記表面に沿う第１の方向に前記ダイを前記被塗布物に対して相対的に移動させつつ、前記開口から前記被塗布物の前記表面に対して接着剤を連続的に吐出させる、第１のステップと、
吐出ノズルに設けられた吐出口が前記被塗布物の前記表面に対向した状態で、前記第１の方向に前記吐出ノズルを前記被塗布物に対して相対的に移動させつつ、前記ダイから前記被塗布物の前記表面に吐出された接着剤上に前記吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させる、第２のステップと、
前記被塗布物の前記表面と貼り合わせ対象物の表面とが対向するように、前記被塗布物と前記貼り合わせ対象物とを接着剤を介して大気中で貼り合わせる、第３のステップとを含む、貼り合わせ部材の製造方法。
【請求項１４】
前記第３のステップでは、接着剤が塗布された後の前記被塗布物の前記表面が下方を向くように、前記被塗布物の姿勢を変更させた後に、前記被塗布物と前記貼り合わせ対象物とを接着剤を介して貼り合わせる、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記第３のステップでは、前記被塗布物に接着剤が塗布されてから１２秒以内に前記被塗布物の姿勢を下向きに変更させた後に、前記被塗布物と前記貼り合わせ対象物とを貼り合わせる、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記第２のステップでは、前記被塗布物の一端寄りの領域に前記吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させ、
前記第３のステップでは、前記被塗布物の一端側と前記貼り合わせ対象物の一端側とが接着剤を介して接触し且つ前記被塗布物の他端側と前記貼り合わせ対象物の他端側とが離間するように、前記貼り合わせ対象物を前記被塗布物に対して傾けた後に、前記被塗布物の他端側と前記貼り合わせ対象物の他端側とを近づけることで、前記被塗布物及び前記貼り合わせ対象物の各一端側から各他端側に向けて徐々に前記被塗布物と前記貼り合わせ対象物とを貼り合わせる、請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
第１のダイに設けられたスリット状の開口が第１の被塗布物の表面に対向した状態で、前記第１のダイの前記開口の延びる方向と交差し且つ前記第１の被塗布物の前記表面に沿う第１の方向に前記第１のダイを前記第１の被塗布物に対して相対的に移動させつつ、前記第１のダイの前記開口から前記第１の被塗布物の前記表面に対して接着剤を連続的に吐出させる、第１のステップと、
第１の吐出ノズルに設けられた吐出口が前記第１の被塗布物の前記表面に対向した状態で、前記第１の方向に前記第１の吐出ノズルを前記第１の被塗布物に対して相対的に移動させつつ、前記第１のダイから前記第１の被塗布物の前記表面に吐出された接着剤上に前記第１の吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させる、第２のステップと、
第２のダイに設けられたスリット状の開口が第２の被塗布物の表面に対向した状態で、前記第２のダイの前記開口の延びる方向と交差し且つ前記第２の被塗布物の前記表面に沿う第２の方向に前記第２のダイを前記第２の被塗布物に対して相対的に移動させつつ、前記第２のダイの前記開口から前記第２の被塗布物の前記表面に対して接着剤を連続的に吐出させる、第３のステップと、
第２の吐出ノズルに設けられた吐出口が前記第２の被塗布物の前記表面に対向した状態で、前記第２の方向に前記第２の吐出ノズルを前記第２の被塗布物に対して相対的に移動させつつ、前記第２のダイから前記第２の被塗布物の前記表面に吐出された接着剤上に前記第２の吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させる、第４のステップと、
前記第１の被塗布物の前記表面と前記第２の被塗布物の前記表面とが対向するように、前記第１の被塗布物と前記第２の被塗布物とを接着剤を介して大気中で貼り合わせる、第５のステップとを含む、貼り合わせ部材の製造方法。
【請求項１８】
前記第５のステップでは、接着剤が塗布された後の前記第１の被塗布物の前記表面が下方を向くように、前記第１の被塗布物の姿勢を変更させた後に、前記第１の被塗布物と前記第２の被塗布物とを接着剤を介して貼り合わせる、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記第５のステップでは、前記第１の被塗布物に接着剤が塗布されてから１２秒以内に前記第１の被塗布物の姿勢を下向きに変更させた後に、前記第１の被塗布物と前記第２の被塗布物とを貼り合わせる、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記第５のステップでは、前記第１の被塗布物の前記表面と前記第２の被塗布物の前記表面とが対向する方向から見て、前記第１の被塗布物の前記表面に形成された点状の接着剤と前記第２の被塗布物の前記表面に形成された点状の接着剤とが重なり合った状態で、前記第１の被塗布物と前記第２の被塗布物とを貼り合わせる、請求項１７〜１９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２１】
前記第２のステップでは、前記第１の被塗布物の一端寄りの領域に前記吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させ、
前記第５のステップでは、前記第１の被塗布物の一端側と前記第２の被塗布物の一端側とが接着剤を介して接触し且つ前記第１の被塗布物の他端側と前記第２の被塗布物の他端側とが離間するように、前記第２の被塗布物を前記第１の被塗布物に対して傾けた後に、前記第１の被塗布物の他端側と前記第２の被塗布物の他端側とを近づけることで、前記第１の被塗布物及び前記第２の被塗布物の各一端側から各他端側に向けて徐々に前記第１の被塗布物と前記第２の被塗布物とを貼り合わせる、請求項１７〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２２】
前記接着剤の粘度が１，０００ｃｐｓ〜１０，０００ｃｐｓである、請求項１３〜２１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２３】
前記接着剤は、熱硬化性接着剤又は紫外線硬化性接着剤である、請求項１３〜２２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２４】
前記接着剤は、アクリル系接着剤又はシリコーン系接着剤である、請求項１３〜２２のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着剤塗布装置、貼り合わせ装置、及び貼り合わせ部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、様々な電気機器にタッチパネルが設けられている。タッチパネルは、一般に、ガラス基板上に透明電極パターンが表面に配置されたタッチパネル本体と、透明な保護板とを接着剤で貼り合わせて構成される。タッチパネル本体と保護板とを接着剤で貼り合わせる際に、タッチパネル本体と保護板との間に空気が介在してしまうと、輝度の低下やコントラストの低下を招き好ましくない。そのため、タッチパネル本体と保護板との間に空気が入らないように両者を貼り合わせるための種々の方法が検討されている。【０００３】
その一つとして、真空雰囲気中においてタッチパネル本体と保護板とを貼り合わせる手法が考えられる。しかしながら、真空ポンプや真空チャンバを必要とし、しかも減圧工程及び大気圧に戻す工程に時間がかかってしまう。そのため、コストが嵩むと共にタクトタイムの増加をもたらし、生産性が低くなってしまうことが懸念される。特に、大きなタッチパネルを製造しようとする場合には、さらなる生産性の低下をもたらしうる。【０００４】
他方で、特許文献１は、接着面に塗布する接着剤のパターン形状を工夫することで、大気中でタッチパネル本体と保護板とを貼り合わせる際の空気の巻き込みを防ぐ方法を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特海２００９−０４８２１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の方法では、接着剤を所定のパターンで塗布しなければならないため、接着剤の塗布に時間を要していた。【０００７】
そのため、本発明の目的は、貼り合わせ工程における空気の巻き込みを抑制し得る接着塗膜を被塗布物の表面に短時間で形成することが可能な接着剤塗布装置、貼り合わせ装置、及び貼り合わせ部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面に係る接着剤塗布装置は、被塗布物の表面に接着剤を塗布するための接着剤塗布装置であって、接着剤を線状に吐出するスリット状の開口が設けられたダイと、接着剤を点状に吐出する吐出口が設けられた吐出ノズルと、ダイ及び吐出ノズルの動作を制御する制御部とを備え、制御部は、開口の延びる方向と交差し且つ被塗布物の表面に沿う第１の方向にダイを被塗布物に対して相対的に移動させつつ、開口から被塗布物の表面に対して接着剤を連続的に吐出させるように、ダイを制御すると共に、第１の方向に吐出ノズルを被塗布物に対して相対的に移動させつつ、ダイから被塗布物の表面に吐出された接着剤上に吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させるように、吐出ノズルを制御する。【０００９】
本発明の一側面に係る接着剤塗布装置では、第１の方向にダイを被塗布物に対して相対的に移動させつつ、開口から被塗布物の表面に対して接着剤を連続的に吐出させている。そのため、被塗布物の表面には面状に接着剤が塗布され、被塗布物の表面に接着剤層が形成される。また、本発明の一側面に係る接着剤塗布装置では、第１の方向に吐出ノズルを被塗布物に対して相対的に移動させつつ、ダイから被塗布物の表面に吐出された接着剤上に吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させている。そのため、被塗布物の表面には、上記接着剤層上に、点状に盛り上がった接着剤の突起部が配置された状態の接着塗膜が形成される。当該接着塗膜が表面に形成された被塗布物を貼り合わせ対象物に貼り合わせると、突起部が先行して貼り合わせ対象物に付着するので、接着塗膜のうち突起部及びその周囲の部分が貼り合わせ対象物に馴染むように拡がっていく。従って、被塗布物と貼り合わせ対象物との接着が大気中で行われても、被塗布物と貼り合わせ対象物との間に空気が巻き込まれる虞がほとんどない。しかも、ダイ及び吐出ノズルからそれぞれ所定のタイミングで接着剤を塗布するだけでよいので、接着剤を特殊なパターンで塗布する必要がなく、短時間で接着剤を被塗布物の表面に塗布することができる。その結果、本発明の一側面に係る接着剤塗布装置によれば、貼り合わせ工程における空気の巻き込みを抑制し得る接着塗膜を被塗布物の表面に短時間で形成することが可能となる。【００１０】
ダイは、第１の方向に沿って延びるようにダイの内部に設けられた第１のバッファ部と、第１の方向に沿って延びるようにダイの内部に設けられると共に、第１のバッファ部と開口との間に位置する第２のバッファ部と、第１のバッファ部と連通され接着剤がダイの内部に供給される供給路と、第１のバッファ部、第２のバッファ部及び開口を連通する連通部とを有してもよい。この場合、供給路から供給された接着剤は、第１のバッファ部内において第１の方向（ダイの開口幅方向）に拡がる流れと、連通部を通って第２のバッファ部に向かう流れとを生ずる。第１のバッファ部内において第１の方向に拡がる流れは、第１のバッファ部の両端部に衝突してその向きを変え、連通部を通って第２のバッファ部に向かう流れとなる。従って、第１のバッファ部の両端部から第２のバッファ部に向かう接着剤の流量は、第１のバッファ部の中央部から第２のバッファ部に向かう接着剤の流量よりも大きくなり、接着剤の流量の分布に偏りが生ずる。ところが、接着剤が第１のバッファ部から第２のバッファ部に到達すると、第２のバッファ部の両端部側から中央部側に向かう接着剤の流れが生ずる。そのため、第２のバッファ部の両端部から開口に向かう接着剤の流量と、第２のバッファ部の中央部から開口に向かう接着剤の流量との差がほとんどなくなり、開口から吐出される接着剤の流量の分布がほぼ均一となる。その結果、ダイにより被塗布物の表面に塗布される接着剤の厚さを均一にすることができる。【００１１】
本発明の一側面に係る接着剤塗布装置は、ダイ及び吐出ノズルによって表面に接着剤が塗布された後の被塗布物の姿勢を、表面が下方を向くように変更させる、姿勢変更部をさらに備えてもよい。この場合、被塗布物の表面に形成された接着塗膜の突起部の高さが重力によって高くなる。また、これに伴い、接着塗膜のうち突起部の周囲の部分の厚みも厚くなり、突起部がなだらかに盛り上がる。この状態で被塗布物を貼り合わせ対象物に貼り合わせると、突起部が貼り合わせ対象物に先行して付着しやすくなると共に、接着塗膜のうち突起部及びその周囲の部分が貼り合わせ対象物に馴染むように拡がりやすくなる。従って、被塗布物と貼り合わせ対象物との間に空気がより巻き込まれ難くなる。【００１２】
本発明の他の側面に係る貼り合わせ装置は、上記の接着剤塗布装置と、被塗布物の表面と貼り合わせ対象物の表面とが対向するように、姿勢変更部によって姿勢が変更された後の被塗布物と貼り合わせ対象物とを接着剤を介して大気中で貼り合わせる貼り合わせ部とを備える。本発明の他の側面に係る貼り合わせ装置によれば、上記の接着剤塗布装置と同様に、貼り合わせ工程における空気の巻き込みを抑制し得る接着塗膜を被塗布物の表面に短時間で形成することが可能となる。【００１３】
制御部は、被塗布物に接着剤が塗布されてから１２秒以内に被塗布物の姿勢を下向きに変更させるように姿勢変更部を制御し、被塗布物の姿勢が下向きに変更された後に、被塗布物と貼り合わせ対象物とを貼り合わせるように貼り合わせ部を制御してもよい。被塗布物における接着剤の塗布面が上方を向いたままであると、時間の経過に伴い、重力の影響により突起部の高さが徐々に低くなってしまうが、この時間の範囲内に被塗布物の姿勢を変更すると、突起部が、貼り合わせ対象物との貼り合わせをより好適に行いうる高さとなる。【００１４】
制御部は、被塗布物の一端寄りの領域に吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させるように、吐出ノズルを制御すると共に、被塗布物の一端側と貼り合わせ対象物の一端側とが接着剤を介して接触し且つ被塗布物の他端側と貼り合わせ対象物の他端側とが離間するように、貼り合わせ対象物を被塗布物に対して傾けた後に、被塗布物の他端側と貼り合わせ対象物の他端側とを近づけることで、被塗布物及び貼り合わせ対象物の各一端側から各他端側に向けて徐々に被塗布物と貼り合わせ対象物とを貼り合わせるように、貼り合わせ部を制御してもよい。この場合、被塗布物と貼り合わせ対象物とは、それぞれの一端側から徐々に接着剤に接する。そのため、被塗布物と貼り合わせ対象物との間に空気がいっそう巻き込まれ難くなる。【００１５】
本発明の他の側面に係る接着剤塗布装置は、ダイ及び吐出ノズルの組を二組備え、制御部は、第１の組におけるダイ及び吐出ノズルにより第１の被塗布物の表面に接着剤を塗布させると共に、第２の組におけるダイ及び吐出ノズルにより第２の被塗布物の表面に接着剤を塗布させてもよい。この場合、２液混合タイプの接着剤のうちの一方を第１の被塗布物の表面に塗布し、他方を第２の被塗布物の表面に塗布することができる。【００１６】
本発明の他の側面に係る接着剤塗布装置は、第１の組におけるダイ及び吐出ノズルによって表面に接着剤が塗布された後の第１の被塗布物の姿勢を、表面が下方を向くように変更させる、姿勢変更部をさらに備えてもよい。この場合、第１の被塗布物の表面に形成された接着塗膜の突起部の高さが重力によって高くなる。また、これに伴い、接着塗膜のうち突起部の周囲の部分の厚みも厚くなり、突起部がなだらかに盛り上がる。この状態で第１の被塗布物を第２の被塗布物に貼り合わせると、突起部が第２の被塗布物に先行して付着しやすくなると共に、接着塗膜のうち突起部及びその周囲の部分が第２の被塗布物に馴染むように拡がりやすくなる。従って、第１の被塗布物と第２の被塗布物との間に空気がより巻き込まれ難くなる。【００１７】
本発明の他の側面に係る貼り合わせ装置は、上記の接着剤塗布装置と、第１の被塗布物の表面と第２の被塗布物の表面とが対向するように、姿勢変更部によって姿勢が変更された後の第１の被塗布物と第２の被塗布物とを接着剤を介して大気中で貼り合わせる貼り合わせ部とを備える。本発明の他の側面に係る貼り合わせ装置によれば、上記の接着剤塗布装置と同様に、貼り合わせ工程における空気の巻き込みを抑制し得る接着塗膜を被塗布物の表面に短時間で形成することが可能となる。【００１８】
制御部は、第１の被塗布物に接着剤が塗布されてから１２秒以内に第１の被塗布物の姿勢を下向きに変更させるように姿勢変更部を制御し、第１の被塗布物の姿勢が下向きに変更された後に第１の被塗布物と第２の被塗布物とを貼り合わせるように貼り合わせ部を制御してもよい。第１の被塗布物における接着剤の塗布面が上方を向いたままであると、時間の経過に伴い、重力の影響により突起部の高さが徐々に低くなってしまうが、この時間の範囲内に第１の被塗布物の姿勢を変更すると、突起部が、第２の被塗布物との貼り合わせをより好適に行いうる高さとなる。【００１９】
制御部は、第１の被塗布物の表面と第２の被塗布物の表面とが対向する方向から見て、第１の被塗布物の表面に形成された点状の接着剤と第２の被塗布物の表面に形成された点状の接着剤とが重なり合った状態で、第１の被塗布物と第２の被塗布物とを貼り合わせるように貼り合わせ部を制御してもよい。この場合、第１の被塗布物の表面に形成された接着塗膜のうちの突起部と、第２の被塗布物の表面に形成された接着塗膜のうちの突起部とが付着した後に、第１及び第２の被塗布物の各表面にそれぞれ形成された接着塗膜同士が全体として付着する。従って、第１の被塗布物と第２の被塗布物との接着が大気中で行われても、第１の被塗布物と第２の被塗布物との間に空気が巻き込まれる虞がほとんどない。【００２０】
制御部は、第１の被塗布物の一端寄りの領域に第１の組における吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させるように、第１の組における吐出ノズルを制御すると共に、第１の被塗布物の一端側と第２の被塗布物の一端側とが接着剤を介して接触し且つ第１の被塗布物の他端側と第２の被塗布物の他端側とが離間するように、第２の被塗布物を第１の被塗布物に対して傾けた後に、第１の被塗布物の他端側と第２の被塗布物の他端側とを近づけることで、第１の被塗布物及び第２の被塗布物の各一端側から各他端側に向けて徐々に第１の被塗布物と第２の被塗布物とを貼り合わせるように、貼り合わせ部を制御してもよい。この場合、第１の被塗布物と第２の被塗布物とは、それぞれの一端側から徐々に接着剤に接する。そのため、第１の被塗布物と第２の被塗布物との間に空気がいっそう巻き込まれ難くなる。【００２１】
本発明の他の側面に係る貼り合わせ部材の製造方法は、ダイに設けられたスリット状の開口が被塗布物の表面に対向した状態で、開口の延びる方向と交差し且つ被塗布物の表面に沿う第１の方向にダイを被塗布物に対して相対的に移動させつつ、開口から被塗布物の表面に対して接着剤を連続的に吐出させる、第１のステップと、吐出ノズルに設けられた吐出口が被塗布物の表面に対向した状態で、第１の方向に吐出ノズルを被塗布物に対して相対的に移動させつつ、ダイから被塗布物の表面に吐出された接着剤上に吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させる、第２のステップと、被塗布物の表面と貼り合わせ対象物の表面とが対向するように、被塗布物と貼り合わせ対象物とを接着剤を介して大気中で貼り合わせる、第３のステップとを含む。【００２２】
本発明の他の側面に係る貼り合わせ部材の製造方法では、第１の方向にダイを被塗布物に対して相対的に移動させつつ、開口から被塗布物の表面に対して接着剤を連続的に吐出させている。そのため、被塗布物の表面には面状に接着剤が塗布され、被塗布物の表面に接着剤層が形成される。また、本発明の他の側面に係る貼り合わせ部材の製造方法では、第１の方向に吐出ノズルを被塗布物に対して相対的に移動させつつ、ダイから被塗布物の表面に吐出された接着剤上に吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させている。そのため、被塗布物の表面には、上記接着剤層上に、点状に盛り上がった接着剤の突起部が配置された状態の接着塗膜が形成される。当該接着塗膜が表面に形成された被塗布物を貼り合わせ対象物に貼り合わせると、突起部が先行して貼り合わせ対象物に付着するので、接着塗膜のうち突起部及びその周囲の部分が貼り合わせ対象物に馴染むように拡がっていく。従って、被塗布物と貼り合わせ対象物との接着が大気中で行われても、被塗布物と貼り合わせ対象物との間に空気が巻き込まれる虞がほとんどない。しかも、ダイ及び吐出ノズルからそれぞれ所定のタイミングで接着剤を塗布するだけでよいので、接着剤を特殊なパターンで塗布する必要がなく、短時間で接着剤を被塗布物の表面に塗布することができる。その結果、本発明の他の側面に係る貼り合わせ部材の製造方法によれば、貼り合わせ工程における空気の巻き込みを抑制し得る接着塗膜を被塗布物の表面に短時間で形成することが可能となる。【００２３】
第３のステップでは、接着剤が塗布された後の被塗布物の表面が下方を向くように、被塗布物の姿勢を変更させた後に、被塗布物と貼り合わせ対象物とを接着剤を介して貼り合わせてもよい。この場合、被塗布物の表面に形成された接着塗膜の突起部の高さが重力によって高くなる。また、これに伴い、接着塗膜のうち突起部の周囲の部分の厚みも厚くなり、突起部がなだらかに盛り上がる。この状態で被塗布物を貼り合わせ対象物に貼り合わせると、突起部が貼り合わせ対象物に先行して付着しやすくなると共に、接着塗膜のうち突起部及びその周囲の部分が貼り合わせ対象物に馴染むように拡がりやすくなる。従って、被塗布物と貼り合わせ対象物との間に空気がより巻き込まれ難くなる。【００２４】
第３のステップでは、被塗布物に接着剤が塗布されてから１２秒以内に前記被塗布物の姿勢を下向きに変更させた後に、被塗布物と貼り合わせ対象物とを貼り合わせてもよい。被塗布物における接着剤の塗布面が上方を向いたままであると、時間の経過に伴い、重力の影響により突起部の高さが徐々に低くなってしまうが、この時間の範囲内に被塗布物の姿勢を変更すると、突起部が、貼り合わせ対象物との貼り合わせをより好適に行いうる高さとなる。【００２５】
第２のステップでは、被塗布物の一端寄りの領域に吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させ、第３のステップでは、被塗布物の一端側と貼り合わせ対象物の一端側とが接着剤を介して接触し且つ被塗布物の他端側と貼り合わせ対象物の他端側とが離間するように、貼り合わせ対象物を被塗布物に対して傾けた後に、被塗布物の他端側と貼り合わせ対象物の他端側とを近づけることで、被塗布物及び貼り合わせ対象物の各一端側から各他端側に向けて徐々に被塗布物と貼り合わせ対象物とを貼り合わせてもよい。この場合、被塗布物と貼り合わせ対象物とは、それぞれの一端側から徐々に接着剤に接する。そのため、被塗布物と貼り合わせ対象物との間に空気がいっそう巻き込まれ難くなる。【００２６】
本発明の他の側面に係る貼り合わせ部材の製造方法は、第１のダイに設けられたスリット状の開口が第１の被塗布物の表面に対向した状態で、第１のダイの開口の延びる方向と交差し且つ第１の被塗布物の表面に沿う第１の方向に第１のダイを第１の被塗布物に対して相対的に移動させつつ、第１のダイの開口から第１の被塗布物の表面に対して接着剤を連続的に吐出させる、第１のステップと、第１の吐出ノズルに設けられた吐出口が第１の被塗布物の表面に対向した状態で、第１の方向に第１の吐出ノズルを第１の被塗布物に対して相対的に移動させつつ、第１のダイから第１の被塗布物の表面に吐出された接着剤上に第１の吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させる、第２のステップと、第２のダイに設けられたスリット状の開口が第２の被塗布物の表面に対向した状態で、第２のダイの開口の延びる方向と交差し且つ第２の被塗布物の表面に沿う第２の方向に第２のダイを第２の被塗布物に対して相対的に移動させつつ、第２のダイの開口から第２の被塗布物の表面に対して接着剤を連続的に吐出させる、第３のステップと、第２の吐出ノズルに設けられた吐出口が第２の被塗布物の表面に対向した状態で、第２の方向に第２の吐出ノズルを第２の被塗布物に対して相対的に移動させつつ、第２のダイから第２の被塗布物の表面に吐出された接着剤上に第２の吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させる、第４のステップと、第１の被塗布物の表面と第２の被塗布物の表面とが対向するように、第１の被塗布物と第２の被塗布物とを接着剤を介して大気中で貼り合わせる、第５のステップとを含む。本発明の他の側面に係る貼り合わせ部材の製造方法によれば、上記の貼り合わせ部材の製造方法と同様に、貼り合わせ工程における空気の巻き込みを抑制し得る接着塗膜を被塗布物の表面に短時間で形成することが可能となる。【００２７】
第５のステップでは、接着剤が塗布された後の被塗布物の表面が下方を向くように、第１の被塗布物の姿勢を変更させた後に、第１の被塗布物と第２の被塗布物とを接着剤を介して貼り合わせてもよい。この場合、第１の被塗布物の表面に形成された接着塗膜の突起部の高さが重力によって高くなる。また、これに伴い、接着塗膜のうち突起部の周囲の部分の厚みも厚くなり、突起部がなだらかに盛り上がる。この状態で第１の被塗布物を第２の被塗布物に貼り合わせると、突起部が貼り合わせ対象物に先行して付着しやすくなると共に、接着塗膜のうち突起部及びその周囲の部分が貼り合わせ対象物に馴染むように拡がりやすくなる。従って、第１の被塗布物と第２の被塗布物との間に空気がより巻き込まれ難くなる。【００２８】
第５のステップでは、第１の被塗布物に接着剤が塗布されてから１２秒以内に第１の被塗布物の姿勢を下向きに変更させた後に、被塗布物と第２の被塗布物とを貼り合わせてもよい。第１の被塗布物における接着剤の塗布面が上方を向いたままであると、時間の経過に伴い、重力の影響により突起部の高さが徐々に低くなってしまうが、この時間の範囲内に第１の被塗布物の姿勢を変更すると、突起部が、第２の被塗布物との貼り合わせをより好適に行いうる高さとなる。【００２９】
第５のステップでは、第１の被塗布物の表面と第２の被塗布物の表面とが対向する方向から見て、第１の被塗布物の表面に形成された点状の接着剤と第２の被塗布物の表面に形成された点状の接着剤とが重なり合った状態で、第１の被塗布物と第２の被塗布物とを貼り合わせてもよい。この場合、第１の被塗布物の表面に形成された接着塗膜のうちの突起部と、第２の被塗布物の表面に形成された接着塗膜のうちの突起部とが付着した後に、第１及び第２の被塗布物の各表面にそれぞれ形成された接着塗膜同士が全体として付着する。従って、第１の被塗布物と第２の被塗布物との接着が大気中で行われても、第１の被塗布物と第２の被塗布物との間に空気が巻き込まれる虞がほとんどない。【００３０】
第２のステップでは、第１の被塗布物の一端寄りの領域に吐出ノズルから接着剤を点状に吐出させ、第５のステップでは、第１の被塗布物の一端側と第２の被塗布物の一端側とが接着剤を介して接触し且つ第１の被塗布物の他端側と第２の被塗布物の他端側とが離間するように、第２の被塗布物を第１の被塗布物に対して傾けた後に、第１の被塗布物の他端側と第２の被塗布物の他端側とを近づけることで、第１の被塗布物及び第２の被塗布物の各一端側から各他端側に向けて徐々に第１の被塗布物と第２の被塗布物とを貼り合わせてもよい。この場合、第１の被塗布物と第２の被塗布物とは、それぞれの一端側から徐々に接着剤に接する。そのため、第１の被塗布物と第２の被塗布物との間に空気がいっそう巻き込まれ難くなる。【００３１】
接着剤の粘度が１，０００ｃｐｓ〜１０，０００ｃｐｓであってもよい。この範囲内であると接着剤が適度な流動性を有するので、被塗布物の姿勢が変更される前後においても、突起部が、貼り合わせ対象物との貼り合わせをより好適に行いうる高さとなる。【００３２】
接着剤は、熱硬化性接着剤又は紫外線硬化性接着剤であってもよい。【００３３】
接着剤は、アクリル系接着剤又はシリコーン系接着剤であってもよい。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば、貼り合わせ工程における空気の巻き込みを抑制し得る接着塗膜を被塗布物の表面に短時間で形成することが可能な接着剤塗布装置、貼り合わせ装置、及び貼り合わせ部材の製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】図１は、第１実施形態に係る貼り合わせ装置を示す正面図である。
【図２】図２は、第１実施形態に係る貼り合わせ装置を示す上面図である。
【図３】図３は、第１実施形態に係る貼り合わせ装置を示す側面図である。
【図４】図４は、塗布ヘッド部を示す正面図である。
【図５】図５は、塗布ヘッド部を示す側面図である。
【図６】図６は、塗布ヘッド部を示す背面図である。
【図７】図７は、ダイを示す正面図である。
【図８】図８は、ダイを示す断面図である。
【図９】図９は、ダイの内部構造を示す断面斜視図である。
【図１０】図１０は、載置テーブル部、反転部及び搬送部を主として示す側面図である。
【図１１】図１１は、第１の基板に接着剤を塗布する様子を説明するための図である。
【図１２】図１２は、第１の基板に接着塗膜が形成された様子を示す上面図である。
【図１３】図１３は、接着塗膜が形成された第１の基板と第２の基板とを貼り合わせ部において貼り合わせる様子を説明するための図である。
【図１４】図１４は、第２実施形態に係る貼り合わせ装置を示す上面図である。
【図１５】図１５は、第２実施形態に係る貼り合わせ装置を示す正面図である。
【図１６】図１６は、第２実施形態に係る貼り合わせ装置を示す左側面図である。
【図１７】図１７は、塗布ヘッド部を示す正面図である。
【図１８】図１８は、第１の搬送部を示す側面図である。
【図１９】図１９は、反転部及び昇降テーブル部を示す正面図である。
【図２０】図２０は、反転部及び昇降テーブル部を示す側面図である。
【図２１】図２１は、第１の基板又は第２の基板に接着剤を塗布する様子を説明するための図である。
【図２２】図２２は、接着塗膜が形成された第１の基板と接着塗膜が形成された第２の基板とを貼り合わせ部において貼り合わせる様子を説明するための図である。
【図２３】図２３は、第１の基板と第２の基板とを貼り合わせる他の方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
本発明の実施形態について図面を参照して説明するが、以下の本実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明を以下の内容に限定する趣旨ではない。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００３７】
［第１実施形態］
第１実施形態に係る貼り合わせ装置１は、図１〜図３に示されるように、塗布ヘッド部１００と、載置テーブル部２００と、反転部３００と、搬送部４００と、貼り合わせ部５００と、制御部６００を備える。塗布ヘッド部１００、載置テーブル部２００、反転部３００、搬送部４００、貼り合わせ部５００、及び制御部６００は、ベース構造体１０に設けられている。
【００３８】
まず、図１及び図２を参照して、塗布ヘッド部１００の構成を説明する。塗布ヘッド部１００は、水平方向に沿うＸ方向に移動可能な１軸アクチュエータ１２と、垂直方向に沿うと共にＸ方向に直交するＺ方向に移動可能な１軸アクチュエータ１４とを介して、ベース構造体１０上に設けられている。すなわち、塗布ヘッド部１００は、１軸アクチュエータ１２によりＸ方向に水平移動可能であると共に、１軸アクチュエータ１４によりＺ方向に昇降可能である。
【００３９】
塗布ヘッド部１００は、図４〜図６に詳しく示されるように、１つのダイ１０２と、３つの吐出ノズル１０４，１０６，１０８と、ダイ１０２及び吐出ノズル１０４，１０６，１０８を保持する筐体１１０とを有する。ダイ１０２は、筐体１１０の側壁１１０ａに設けられている。
【００４０】
ダイ１０２は、接着剤を線状に吐出するためのものである。ダイ１０２は、図７〜図９に詳しく示されるように、側方（Ｙ方向）から見て矩形状を呈する第１の部分１０２ａと、当該第１の部分の下方に位置すると共に下方に向かうにつれて幅狭となる第２の部分１０２ｂとにより構成されている。第２の部分１０２ｂの下端には、ダイ１０２の幅方向（Ｙ方向）に沿って延びるスリット状の開口１０２ｃが形成されている。
【００４１】
ダイ１０２の内部には、第１のバッファ部１０２ｄと、第２のバッファ部１０２ｅと、連通部１０２ｆと、供給路１０２ｇとが形成されている。第１のバッファ部１０２ｄは、断面半円形状を呈すると共にダイ１０２の幅方向（Ｙ方向）に沿って延びる凹溝によって構成されている。第２のバッファ部１０２ｅは、断面半円形状を呈すると共にダイ１０２の幅方向（Ｙ方向）に沿って延びる凹溝によって構成されている。第２のバッファ部１０２ｅは、第１のバッファ部１０２ｄと開口１０２ｃとの間に位置している。連通部１０２ｆは、断面矩形状を呈しており、第１のバッファ部１０２ｄ、第２のバッファ部１０２ｅ及び開口１０２ｃをこの順で連通する細長い溝である。ダイ１０２の厚さ方向（Ｘ方向）における連通部１０２ｆの幅は、ダイ１０２の厚さ方向（Ｘ方向）における第１及び第２のバッファ部１０２ｄ，１０２ｅの幅よりも極めて小さく設定されている。
【００４２】
供給路１０２ｇは、ダイ１０２の外方と第１のバッファ部１０２ｄとを連通するように、ダイ１０２の厚さ方向（Ｘ方向）に沿って延びている。供給路１０２ｇは、ダイ１０２の幅方向（Ｙ方向）において第１のバッファ部１０２ｄの中央部分に位置している。供給路１０２ｇは、管路１１２（図５及び図８参照）を介して、接着剤の供給源（図示せず）と接続されている。
【００４３】
供給源から管路１１２及び供給路１０２ｇを介して第１のバッファ部１０２ｄに供給された接着剤は、供給路１０２ｇから供給された接着剤は、第１のバッファ部１０２ｄ内においてダイ１０２の幅方向（Ｙ方向）に拡がる流れＦ１と、連通部１０２ｆを通って第２のバッファ部１０２ｅに向かう流れＦ２とを生ずる。第１のバッファ部１０２ｄ内においてダイ１０２の幅方向（Ｙ方向）に拡がる流れは、第１のバッファ部１０２ｄの両端部に衝突してその向きを変え、連通部１０２ｆを通って第２のバッファ部１０２ｅに向かう流れＦ３となる。従って、第１のバッファ部１０２ｄの両端部から第２のバッファ部１０２ｅに向かう接着剤の流量は、第１のバッファ部１０２ｄの中央部から第２のバッファ部１０２ｅに向かう接着剤の流量よりも大きくなり、接着剤の流量の分布に偏りが生ずる。
【００４４】
ところが、接着剤が第１のバッファ部１０２ｄから第２のバッファ部１０２ｅに到達すると、第２のバッファ部１０２ｅの両端部から開口１０２ｃに向かう接着剤の流れＦ４に加えて、第２のバッファ部１０２ｅの両端部側から中央部側に向かう接着剤の流れＦ５が生ずる。第２のバッファ部１０２ｅの両端部側から中央部側に向かう接着剤の流れＦ５は、第２のバッファ部１０２ｅの中央部において合流して第２のバッファ部１０２ｅの中央部から開口１０２ｃに向かう流れＦ６となる。そのため、第２のバッファ部１０２ｅの両端部から開口１０２ｃに向かう接着剤の流量と、第２のバッファ部１０２ｅの中央部から開口１０２ｃに向かう接着剤の流量との差がほとんどなくなり、開口１０２ｃから吐出される接着剤の流量の分布がほぼ均一となる。その結果、ダイ１０２により第１の基板（被塗布物）Ｓ１の表面に塗布される接着剤の厚さを均一にすることができる。
【００４５】
吐出ノズル１０４，１０６，１０８はそれぞれ、リニアガイド１１４，１１６，１１８を介して筐体１１０の側壁１１０ａに設けられている。吐出ノズル１０４，１０６，１０８はＹ方向に沿って並ぶように配置されている。吐出ノズル１０４，１０６，１０８はそれぞれ、筐体１１０の天壁１１０ｂに配置された１軸アクチュエータ１２０，１２２，１２４に取り付けられている。そのため、吐出ノズル１０４，１０６，１０８はそれぞれ、１軸アクチュエータ１２０，１２２，１２４によりＺ方向に昇降される。
【００４６】
吐出ノズル１０４は、接着剤を点状に吐出する吐出口１０４ａと、接着剤を貯留する貯留部１０４ｂと、貯留部１０４ｂに接着剤を供給する供給路１０４ｃと、貯留部１０４ｂに貯留されている接着剤を吐出口１０４ａに向けて押し出すシリンジ１０４ｄとを有する。供給路１０４ｃは、接着剤の供給源と接続されている（図示せず）。吐出ノズル１０６，１０８の構成は吐出ノズル１０４の構成と同様であるので、その説明を省略する。
【００４７】
ダイ１０２及び吐出ノズル１０４，１０６，１０８から吐出される接着剤は、例えば、アクリル系接着剤又はシリコーン系接着剤である。当該接着剤は、１液タイプであってもよいし、２液混合タイプであってもよい。当該接着剤が１液タイプである場合、熱硬化性接着剤であってもよいし、紫外線硬化性接着剤であってもよい。接着剤の粘度は、１，０００ｃｐｓ程度〜１０，０００ｃｐｓ程度に設定することができる。この範囲内であると接着剤が適度な流動性を有するので、第１の基板Ｓ１の姿勢が変更される前後においても、突起部Ａ２（後述する）が、第２の基板Ｓ２との貼り合わせをより好適に行いうる高さとなる。
【００４８】
次に、図１及び図２を参照して、載置テーブル部２００の構成を説明する。載置テーブル部２００は、それぞれ平板状を呈する３つの載置テーブル２０２，２０４，２０６を有し、ベース構造体１０上に固定されている。載置テーブル２０２，２０４，２０６の上面は、同一の仮想平面内に含まれている。載置テーブル２０２と載置テーブル２０４とは、所定の間隔をもって離間している。載置テーブル２０４と載置テーブル２０６とは、所定の間隔をもって離間している。
【００４９】
載置テーブル２０２の上面には、一対の位置決めピン２０２ａと、１つの位置決めピン２０２ｂとが突設されている。載置テーブル２０６の上面には、１つの位置決めピン２０６ａが突設されている。一対の位置決めピン２０２ａは、Ｙ方向に沿って並んでいる。位置決めピン２０２ｂ，２０６ａは、Ｘ方向に沿って並んでいる。そのため、これらの位置決めピン２０２ａ，２０２ｂ，２０６ａに第１の基板（被塗布物）Ｓ１の外周縁を当接させることで、ＸＹ方向において第１の基板Ｓ１を位置決めできる。
【００５０】
次に、図１、図２及び図１０を参照して、反転部３００の構成を説明する。反転部３００は、反転ステージ３０２，３０４と、回転軸３０６と、回転軸３０６を回転させるためのアクチュエータ（図示せず）とを有する。
【００５１】
反転ステージ３０２，３０４はそれぞれ、第１の基板Ｓ１と接する主面３０２ａ，３０４ａを有する。反転ステージ３０２，３０４の主面３０２ａ，３０４ａにはそれぞれ、吸引口３０２ｂ，３０４ｂが設けられている。吸引口３０２ｂ，３０４ｂはそれぞれ、図示しないポンプに接続されている。ポンプが駆動されることにより、吸引口３０２ｂ，３０４ｂの近傍に負圧が発生する。主面３０２ａ，３０４ａ上に第１の基板Ｓ１が位置している場合、この負圧により、第１の基板Ｓ１が反転ステージ３０２，３０４に吸着保持される。
【００５２】
反転ステージ３０２，３０４は、Ｘ方向に延びる回転軸３０６に接続されている。そのため、反転ステージ３０２，３０４は、アクチュエータの駆動によって回転軸３０６を介して略１８０°回転する。具体的には、反転ステージ３０２，３０４は、主面３０２ａ，３０４ａが上方を向く第１の状態と、主面３０２ａ，３０４ａが下方を向く第２の状態との間で、その姿勢が変更される。
【００５３】
第１の状態では、反転ステージ３０２が載置テーブル２０２，２０４の間に位置すると共に、反転ステージ３０４が載置テーブル２０４，２０６の間に位置する。すなわち、反転ステージ３０２の幅は載置テーブル２０２，２０４の間隔よりも小さく、反転ステージ３０４の幅は載置テーブル２０４，２０６の間隔よりも小さい。第１の状態では、反転ステージ３０２，３０４の主面３０２ａ，３０４ａと載置テーブル２０２，２０４，２０６の上面とが共に同じ仮想平面内に含まれる。一方、第２の状態では、反転ステージ３０２，３０４は後述の搬送部４００の上方に位置する。
【００５４】
次に、図１、図２及び図１０を参照して、搬送部４００の構成を説明する。搬送部４００は、Ｘ方向に移動可能な１軸アクチュエータ１６と、Ｚ方向に移動可能な１軸アクチュエータ１８とを介して、ベース構造体１０上に設けられている。すなわち、搬送部４００は、１軸アクチュエータ１６によりＸ方向に水平移動可能であると共に、１軸アクチュエータ１８によりＺ方向に昇降可能である。
【００５５】
搬送部４００は、搬送部本体４０２と、第１の基板Ｓ１を保持する一対の保持部材４０４とを有する。一対の保持部材４０４は、搬送部本体４０２の上部に設けられており、Ｘ方向に沿って互いに平行に延びている。保持部材４０４のうち他方の保持部材に向かう側の上縁には、切り欠き部４０４ａが形成されている。切欠き部４０４ａは、第１の基板Ｓ１の縁を受けて第１の基板Ｓ１を保持する。
【００５６】
次に、図１〜図３を参照して、貼り合わせ部５００の構成を説明する。貼り合わせ部５００は、上吸着テーブル５０２と、下吸着テーブル５０４と、下吸着テーブルを昇降させる昇降部５０６とを有する。
【００５７】
上吸着テーブル５０２は、ベース構造体１０上に立設された上部構造体２０に取り付けられている。上吸着テーブル５０２は、下方に向かう主面５０２ａを有する。上吸着テーブル５０２の主面５０２ａには、吸引口５０２ｂが設けられている。吸引口５０２ｂは、図示しないポンプに接続されている。ポンプが駆動されることにより、吸引口５０２ｂの近傍に負圧が発生する。主面５０２ａ上に第１の基板Ｓ１が位置している場合、この負圧により、第１の基板Ｓ１が上吸着テーブル５０２に吸着保持される。
【００５８】
下吸着テーブル５０４は、昇降部５０６の上部に取り付けられている。下吸着テーブル５０４は、上方に向かう主面５０４ａを有する。下吸着テーブル５０４の主面５０４ａには、吸引口５０４ｂが設けられている。吸引口５０４ｂは、図示しないポンプに接続されている。ポンプが駆動されることにより、吸引口５０４ｂの近傍に負圧が発生する。主面５０４ａ上に第２の基板Ｓ２が位置している場合、この負圧により、第２の基板Ｓ２が下吸着テーブル５０４に吸着保持される。
【００５９】
昇降部５０６は、ベース構造体１０の底部に設けられたレール２２上にリニアウェイ２４を介して取り付けられている。レール２２は、Ｘ方向に沿って延びている。昇降部５０６は、ベース構造体１０の底部に設けられたロッドレスシリンダ２６に取り付けられている。そのため、昇降部５０６は、ロッドレスシリンダ２６の駆動力により、レール２２上をＸ方向に走行可能である。
【００６０】
昇降部５０６は、ボールねじ５０６ａと、ボールねじ５０６ａと螺合するスライダ５０６ｂと、スライダ５０６ｂに取り付けられた筐体５０６ｃと、ボールねじ５０６ａに回転力を付与するサーボモータ５０６ｄとを有する。サーボモータ５０６ｄの回転に伴いボールねじ５０６ａが回転すると、スライダ５０６ｂ及び筐体５０６ｃが昇降する。筐体５０６ｃの上部には下吸着テーブル５０４が取り付けられているので、筐体５０６ｃの昇降に伴い、下吸着テーブル５０４も昇降する。
【００６１】
次に、図１を参照して、制御部６００について説明する。制御部６００は、上記のアクチュエータやモータなどの駆動源に指示して、当該駆動源に接続された被駆動体を駆動させると共に、ポンプに指示してダイ１０２及び吐出ノズル１０４，１０６，１０８から接着剤を吐出させる。
【００６２】
次に、図１１〜図１３を参照して、上記の貼り合わせ装置１を用いて第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２とを貼り合わせることで貼り合わせ部材Ｓを得るための方法を説明する。本実施形態において、第１の基板Ｓ１は例えば矩形状を呈するタッチパネル本体及び矩形状を呈する保護板の一方であり、第２の基板Ｓ２は例えば矩形状を呈するタッチパネル本体及び矩形状を呈する保護板の他方である。しかしながら、タッチパネル本体及び保護板は基板の一形態を例示しているに過ぎず、他の基板同士を貼り合わせる場合や、板以外の形態をとる２つの部材を貼り合わせる場合にも、貼り合わせ装置１を用いることができる。２つの部材を貼り合わせる場合、２つの部材の貼り合わせ面は、平面のみならず、曲面や凹凸面も含みうる。
【００６３】
まず、図１１（ａ）に示されるように、反転ステージ３０２，３０４が第１の状態にあるときに、載置テーブル２０２，２０４，２０６及び反転ステージ３０２，３０４上に第１の基板Ｓ１を載置する。次に、制御部６００がポンプに指示して、反転ステージ３０２，３０４の吸引口３０２ｂ，３０４ｂの近傍に負圧を発生させ、第１の基板Ｓ１を反転ステージ３０２，３０４に吸着保持させる。次に、制御部６００がアクチュエータに指示して塗布ヘッド部１００を第１の基板Ｓ１の表面に沿ってＸ方向に移動させる。
【００６４】
ダイ１０２が第１の基板Ｓ１の一端の上方に到達すると、制御部６００は接着剤の供給源に指示して、ダイ１０２の開口１０２ｃから接着剤を線状に吐出させる。制御部６００は、ダイ１０２が第１の基板Ｓ１の他端の上方に移動するまで、ダイ１０２の開口１０２ｃから接着剤を連続的に吐出させる。そのため、第１の基板Ｓ１上には、面状に塗布された接着剤層Ａ１が形成される。
【００６５】
塗布ヘッド部１００がＸ方向に移動されるのに伴い、吐出ノズル１０４，１０６，１０８は、ダイ１０２の後に続いて第１の基板Ｓ１上を移動する。この際に、制御部６００は、接着剤の供給源に指示して、吐出ノズル１０４，１０６，１０８から接着剤を所定のタイミングで点状に吐出させる。そのため、吐出ノズル１０４，１０６，１０８から吐出された接着剤は、接着剤層Ａ１上において点状に盛り上がった突起部Ａ２となる。これにより、第１の基板Ｓ１の表面には、接着剤層Ａ１上に突起部Ａ２が配置された状態の接着塗膜Ａが形成される（図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）参照）。吐出ノズル１０４，１０６，１０８からの接着剤の吐出回数は、１回でもよいし、２回以上であってもよい。本実施形態では、吐出ノズル１０４，１０６，１０８からの接着剤の吐出回数をそれぞれ３回に設定している。そのため、図１２に示されるように、第１の基板Ｓ１の表面には９つの突起部Ａ２が形成される。
【００６６】
次に、制御部６００が反転部３００に指示して、第１の基板Ｓ１を反転ステージ３０２，３０４に吸着保持させたままの状態で、第１の基板Ｓ１の向きを反転させる（図１３（ａ）参照）。すなわち、第１の基板Ｓ１の表面に形成された接着塗膜Ａが下向きとなるように、第１の基板Ｓ１の姿勢が反転部３００によって変化される。次に、制御部６００が搬送部４００に指示して、反転された状態の第１の基板Ｓ１を保持部材４０４の切り欠き部４０４ａに受け渡す。この際、反転ステージ３０２，３０４による第１の基板Ｓ１の吸着が解除される。
【００６７】
次に、制御部６００が搬送部４００に指示して、第１の基板Ｓ１が上吸着テーブル５０２と下吸着テーブル５０４との間に位置するように、第１の基板Ｓ１を貼り合わせ部５００に搬送させる。次に、制御部６００が搬送部４００に指示して、搬送部４００を上吸着テーブル５０２に近づけ、第１の基板Ｓ１の上面（接着塗膜Ａが形成されていない側の表面）側を上吸着テーブル５０２で吸着保持させる。なお、下吸着テーブル５０４の表面には貼り合わせ対象物である第２の基板Ｓ２を予め載置し、第２の基板Ｓ２を下吸着テーブル５０４によって吸着保持させておく。
【００６８】
次に、制御部６００が昇降部５０６に指示して、下吸着テーブル５０４を上吸着テーブル５０２に向けて上昇させる。下吸着テーブル５０４がさらに上昇すると、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２とが接着塗膜Ａを介して貼り合わされる（図１３（ｂ）参照）。次に、接着塗膜Ａが熱や紫外線によって硬化されることで、貼り合わせ部材Ｓが製造される（図１３（ｃ）参照）。なお、以上の工程は、大気中で行われる。
【００６９】
第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２との貼り合わせの際に、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２との間に略均等な面圧を付与した状態を所定時間が経過するまで維持するようにしてもよい。制御部６００は、第１の基板Ｓ１に接着剤が塗布されてから１２秒以内に第１の基板Ｓ１の姿勢を下向きに変更させるように反転部３００を制御すると共に、第１の基板Ｓ１の姿勢が下向きに変更された後に、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２とを貼り合わせるように貼り合わせ部５００を制御してもよい。第１の基板Ｓ１における接着剤の塗布面が上方を向いたままであると、時間の経過に伴い、重力の影響により突起部Ａ２の高さが徐々に低くなってしまうが、この時間の範囲内に第１の基板Ｓ１の姿勢を変更すると、突起部Ａ２が、第２の基板Ｓ２との貼り合わせをより好適に行いうる高さとなる。第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２との貼り合わせの際の突起部Ａ２の高さは、０．２ｍｍ〜５ｍｍ程度に設定することができる。
【００７０】
以上のような第１実施形態においては、Ｘ方向にダイ１０２を第１の基板Ｓ１に対して相対的に移動させつつ、開口１０２ｃから第１の基板Ｓ１の表面に対して接着剤を連続的に吐出させている。そのため、第１の基板Ｓ１の表面には面状に接着剤が塗布され、第１の基板Ｓ１の表面に接着剤層Ａ１が形成される。また、第１実施形態においては、Ｘ方向に吐出ノズル１０４，１０６，１０８を第１の基板Ｓ１に対して相対的に移動させつつ、吐出ノズル１０４，１０６，１０８から接着剤を点状に吐出させている。そのため、第１の基板Ｓ１の表面には、接着剤層Ａ１上に、点状に盛り上がった接着剤の突起部Ａ２が配置された状態の接着塗膜Ａが形成される。接着塗膜Ａが表面に形成された第１の基板Ｓ１を第２の基板Ｓ２に貼り合わせると、突起部Ａ２が先行して第２の基板Ｓ２に付着するので、接着塗膜Ａのうち突起部Ａ２及びその周囲の部分が第２の基板Ｓ２に馴染むように拡がっていく。従って、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２との接着が大気中で行われても、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２との間に空気が巻き込まれる虞がほとんどない。しかも、ダイ１０２及び吐出ノズル１０４，１０６，１０８からそれぞれ所定のタイミングで接着剤を塗布するだけでよいので、接着剤を特殊なパターンで塗布する必要がなく、短時間で接着剤を第１の基板Ｓ１の表面に塗布することができる。その結果、本実施形態に係る貼り合わせ装置１によれば、貼り合わせ工程における空気の巻き込みを抑制し得る接着塗膜Ａを第１の基板Ｓ１の表面に短時間で形成することが可能となる。
【００７１】
第１実施形態においては、ダイ１０２により第１の基板Ｓ１の表面にほぼ均一に接着剤層Ａ１が形成されている。そのため、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２とが貼り合わされる際にも接着剤層Ａ１の均一性が保たれる。従って、接着剤の不均一な拡散に伴い貼り合わせ部材Ｓの光学特性が低下してしまう虞がほとんどない。その結果、貼り合わせ部材Ｓをタッチパネルとして用いたときに、当該タッチパネルの視認性や、当該タッチパネルが取り付けられたディスプレイの視認性が良好となる。
【００７２】
第１実施形態においては、反転部３００により、接着塗膜Ａが形成された後の第１の基板Ｓ１の姿勢を反転させている。そのため、第１の基板Ｓ１の表面に形成された接着塗膜Ａの突起部Ａ２の高さが重力によって高くなる。また、これに伴い、接着塗膜Ａのうち突起部Ａ２の周囲の部分の厚みも厚くなり、突起部Ａ２がなだらかに盛り上がる。この状態で第１の基板Ｓ１を第２の基板Ｓ２に貼り合わせると、突起部Ａ２が第２の基板Ｓ２に先行して付着しやすくなると共に、接着塗膜Ａのうち突起部Ａ２及びその周囲の部分が第２の基板Ｓ２に馴染むように拡がりやすくなる。従って、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２との間に空気がより巻き込まれ難くなる。
【００７３】
［第２実施形態］
続いて、第２実施形態に係る貼り合わせ装置２について説明する。以下では、第１実施形態に係る貼り合わせ装置１との相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
【００７４】
貼り合わせ装置２は、一対の塗布ヘッド部１００Ａ，１００Ｂと、搬送部４００Ａ〜４００Ｃと、移載部７００と、反転部３００と、貼り合わせ部５００と、制御部６００とを備える。塗布ヘッド部１００Ａ，１００Ｂ、搬送部４００Ａ〜４００Ｃ、移載部７００、反転部３００、貼り合わせ部５００、及び制御部６００は、ベース構造体１０に設けられている。
【００７５】
まず、図１４、図１５及び図１７を参照して、塗布ヘッド部１００Ａ，１００Ｂの構成を説明する。塗布ヘッド部１００Ａ，１００Ｂは、ベース構造体１０上に立設された上部構造体２０に取り付けられている。塗布ヘッド部１００Ａは、搬送部４００Ａの上方に配置されている。塗布ヘッド部１００Ｂは、搬送部４００Ｂの上方に配置されている。塗布ヘッド部１００Ａ，１００Ｂはそれぞれ、１つのダイ１０２と、３つの吐出ノズル１０４，１０６，１０８とを有する。
【００７６】
ダイ１０２は、吐出ノズル１０４，１０６，１０８よりも、搬送部４００Ａ，４００Ｂによりそれぞれ第１及び第２の基板Ｓ１，Ｓ２が搬送される上流側（図１４において右側）に配置されている。ダイ１０２の幅方向は、搬送部４００Ａ，４００Ｂによる基板Ｓ１，Ｓ２の搬送方向（Ｘ方向）と直交するＹ方向に沿っている。吐出ノズル１０４，１０６，１０８は、Ｙ方向においてこの順に並んでいる。第２実施形態においては、吐出ノズル１０６が吐出ノズル１０４，１０８よりも下流側に位置しているが、吐出ノズル１０４，１０６，１０８がＹ方向において一直線上に位置していてもよい。
【００７７】
次に、図１４、図１５及び図１８を参照して、搬送部４００Ａ，４００Ｂの構成について説明する。搬送部４００Ａは塗布ヘッド部１００Ａの下方に位置している。搬送部４００Ｂは塗布ヘッド部１００Ｂの下方に位置している。搬送部４００Ａ，４００Ｂはそれぞれ、Ｙ方向に延びるボールねじ４０２と、ボールねじ４０２に螺合されたスライダ４０４と、スライダに取り付けられた搬送テーブル４０６と、ボールねじ４０２に回転力を付与するサーボモータ４０８とを有する。
【００７８】
搬送テーブル４０６の上面には、一対の位置決めピン４０６ａと、一対の位置決めピン４０６ｂとが突設されている。一対の位置決めピン４０６ａは、Ｘ方向に沿って並んでいる。一対の位置決めピン４０６ｂは、Ｙ方向に沿って並んでいる。そのため、これらの位置決めピン４０６ａ，４０６ｂに基板Ｓ１，Ｓ２の外周縁を当接させることで、ＸＹ方向において基板Ｓ１，Ｓ２を位置決めできる。
【００７９】
サーボモータ４０８の回転に伴いボールねじ４０２が回転すると、スライダ４０４がＹ方向に水平移動する。スライダ４０４の上部には、基板Ｓ１，Ｓ２を上面に載置可能な搬送テーブル４０６が取り付けられているので、スライダ４０４の水平移動に伴い、搬送テーブル４０４も水平移動する。これにより、搬送テーブル４０４は、ボールねじ４０２の一端側（上流側）からボールねじ４０２の他端側（下流側）へと移動する。この際に、搬送テーブル４０４は、塗布ヘッド部１００Ａ，１００Ｂの下方を、ダイ１０２、吐出ノズル１０４，１０８、及び吐出ノズル１０６の順に通過する。
【００８０】
次に、図１４及び図１６を参照して、搬送部４００Ｃの構成について説明する。搬送部４００Ｃは、Ｙ方向に延在するベルトコンベアであり、搬送部４００Ａ，４００Ｂの間に位置している。搬送部４００Ｃは、第１及び第２の基板Ｓ１，Ｓ２が接着塗膜Ａを介して張り合わされた貼り合わせ部材Ｓを搬送する。搬送部４００Ｃによる貼り合わせ部材Ｓの搬送方向は、搬送部４００Ａ，４００Ｂによる基板Ｓ１，Ｓ２の搬送方向と逆である。
【００８１】
次に、図１４〜図１６を参照して、移載部７００の構成について説明する。移載部７００は、基板Ｓ１，Ｓ２の外縁を把持可能な電動チャック７０２をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の３方向に移動させることが可能な３軸ロボットである。移載部７００は、ベース構造体１０上に設置されている。
【００８２】
移載部７００は、Ｘ方向に延在するＸ軸レール部７０４と、Ｙ方向に延在するＹ軸レール部７０６と、Ｚ方向に延在するＺ軸レール部７０８と、スライダ７１０とを有する。Ｙ軸レール部７０６は、ベース構造体１０上に固定されている。Ｘ軸レール部７０４は、Ｙ軸レール部７０６に沿ってＹ方向に移動可能にＹ軸レール部７０６に取り付けられている。Ｚ軸レール部７０８は、Ｘ軸レール部７０４に沿ってＸ方向に移動可能にＸ軸レール部７０４に取り付けられている。スライダ７１０は、Ｚ軸レール部７０８に沿ってＺ方向に移動可能にＺ軸レール部７０８に取り付けられている。スライダ７１０の下端部には、電動チャック７０２が取り付けられている。
【００８３】
電動チャック７０２は、一対の把持部を互いに近接又は離間させるように駆動させる。従って、一対の把持部の間に基板Ｓ１，Ｓ２が位置した状態で一対の把持部が互いに近接するように電動チャック７０２が駆動されると、電動チャック７０２は基板Ｓ１，Ｓ２を把持することができる。一方、基板Ｓ１，Ｓ２が電動チャック７０２により把持されている状態で一対の把持部が互いに離間するように電動チャック７０２が駆動されると、電動チャック７０２は基板Ｓ１，Ｓ２を離すことができる。
【００８４】
次に、図１４〜図１６、図１９及び図２０を参照して、反転部３００の構成を説明する。反転部３００は、反転ステージ３０２と、回転軸３０６と、回転軸３０６を回転させるためのアクチュエータ（図示せず）とを有する。
【００８５】
反転ステージ３０２は、第１の基板Ｓ１と接する主面３０２ａを有する。反転ステージ３０２の主面３０２ａにはそれぞれ、吸引口３０２ｂが設けられている。吸引口３０２ｂは、図示しないポンプに接続されている。ポンプが駆動されることにより、吸引口３０２ｂの近傍に負圧が発生する。主面３０２ａ上に第１の基板Ｓ１が位置している場合、この負圧により、第１の基板Ｓ１が反転ステージ３０２に吸着保持される。
【００８６】
反転ステージ３０２は、Ｘ方向に延びる回転軸３０６に接続されている。そのため、反転ステージ３０２は、アクチュエータの駆動によって回転軸３０６を介して略１８０°回転する。具体的には、反転ステージ３０２は、主面３０２ａが上方を向く第１の状態と、主面３０２ａが下方を向く第２の状態との間で、その姿勢が変更される。
【００８７】
次に、図１４〜図１６、図１９及び図２０を参照して、貼り合わせ部５００の構成を説明する。貼り合わせ部５００は、下吸着テーブル５０４と、下吸着テーブルを昇降させる昇降部５０６とを有する。
【００８８】
下吸着テーブル５０４は、昇降部５０６の上部に取り付けられている。下吸着テーブル５０４は、上方に向かう主面５０４ａを有する。下吸着テーブル５０４の主面５０４ａには、吸引口５０４ｂが設けられている。吸引口５０４ｂは、図示しないポンプに接続されている。ポンプが駆動されることにより、吸引口５０４ｂの近傍に負圧が発生する。主面５０４ａ上に第２の基板Ｓ２が位置している場合、この負圧により、第２の基板Ｓ２が下吸着テーブル５０４に吸着保持される。
【００８９】
昇降部５０６は、ベース構造体１０の底部に設けられたレール２２上にリニアウェイ２４を介して取り付けられている。レール２２は、Ｘ方向に沿って延びている。昇降部５０６は、ベース構造体１０の底部に設けられたロッドレスシリンダ２６に取り付けられている。そのため、昇降部５０６は、ロッドレスシリンダ２６の駆動力により、レール２２上をＸ方向に走行可能である。
【００９０】
昇降部５０６は、ボールねじ５０６ａと、ボールねじ５０６ａと螺合するスライダ５０６ｂと、スライダ５０６ｂに取り付けられた筐体５０６ｃと、ボールねじ５０６ａに回転力を付与するサーボモータ５０６ｄとを有する。サーボモータ５０６ｄの回転に伴いボールねじ５０６ａが回転すると、スライダ５０６ｂ及び筐体５０６ｃが昇降する。筐体５０６ｃの上部には下吸着テーブル５０４が取り付けられているので、筐体５０６ｃの昇降に伴い、下吸着テーブル５０４も昇降する。
【００９１】
次に、図１４を参照して、制御部６００について説明する。制御部６００は、上記のアクチュエータやモータなどの駆動源に指示して、当該駆動源に接続された被駆動体を駆動させると共に、ポンプに指示してダイ１０２及び吐出ノズル１０４，１０６，１０８から接着剤を吐出させる。
【００９２】
次に図２１及び図２３を参照して、上記の貼り合わせ装置２を用いて第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２とを貼り合わせることで貼り合わせ部材Ｓを得るための方法を説明する。
【００９３】
まず、図２１（ａ）に示されるように、搬送部４００Ａの搬送テーブル４０６がボールねじ４０２の一端側（上流側）に位置するときに、当該搬送テーブル４０６上に第１の基板Ｓ１を載置する。同じく、搬送部４００Ｂの搬送テーブル４０６がボールねじ４０２の一端側（上流側）に位置するときに、当該搬送テーブル４０６上に第２の基板Ｓ２を載置する。
【００９４】
次に、搬送テーブル４０６をボールねじ４０２の一端側（上流側）から他端側（下流側）に移動させる。そのため、搬送テーブル４０６は、塗布ヘッド部１００Ａ，１００Ｂの下方を、ダイ１０２、吐出ノズル１０４，１０８、及び吐出ノズル１０６の順に通過する。この際、制御部６００は接着剤の供給源に指示して、ダイ１０２の開口１０２ｃから接着剤を線状に吐出させる。そのため、基板Ｓ１，Ｓ２上には、面状に塗布された接着剤層Ａ１が形成される。
【００９５】
同様に、制御部６００は、接着剤の供給源に指示して、吐出ノズル１０４，１０６，１０８から接着剤を所定のタイミングで点状に吐出させる。そのため、吐出ノズル１０４，１０６，１０８から吐出された接着剤は、接着剤層Ａ１上において点状に盛り上がった突起部Ａ２となる。これにより、基板Ｓ１，Ｓ２の表面には、接着剤層Ａ１上に突起部Ａ２が配置された状態の接着塗膜Ａが形成される（図２１（ｂ）及び図２１（ｃ）参照）。吐出ノズル１０４，１０６，１０８からの接着剤の吐出回数は、１回でもよいし、２回以上であってもよい。本実施形態では、吐出ノズル１０４，１０６，１０８からの接着剤の吐出回数をそれぞれ３回に設定している。そのため、図１２に示されるように、基板Ｓ１，Ｓ２の表面には９つの突起部Ａ２が形成される。
【００９６】
次に、反転ステージ３０２の主面３０２ａが上方を向いた第１の状態において、制御部６００が移載部７００に指示して、接着塗膜Ａが形成された第１の基板Ｓ１を電動チャック７０２により把持し、搬送部４００Ａの搬送テーブル４０６から反転ステージ３０２の主面３０２ａ上へと第１の基板Ｓ１を移載する。次に、制御部６００がポンプに指示して、反転ステージ３０２の吸引口３０２ｂの近傍に負圧を発生させ、第１の基板Ｓ１を反転ステージ３０２に吸着保持させる。
【００９７】
次に、制御部６００が反転部３００に指示して、第１の基板Ｓ１を反転ステージ３０２に吸着保持させたままの状態で、第１の基板Ｓ１の向きを反転させる（図２２（ａ）参照）。すなわち、第１の基板Ｓ１の表面に形成された接着塗膜Ａが下向きとなるように、第１の基板Ｓ１の姿勢が反転部３００によって変化される。
【００９８】
次に、制御部６００が移載部７００に指示して、接着塗膜Ａが形成された第２の基板Ｓ２を電動チャック７０２により把持し、搬送部４００Ｂの搬送テーブル４０６から下吸着テーブル５０４の主面５０４ａ上へと第２の基板Ｓ２を移載する。次に、制御部６００がポンプに指示して、下吸着テーブル５０４の吸引口５０４ｂの近傍に負圧を発生させ、第２の基板Ｓ２を下吸着テーブル５０４に吸着保持させる。次に、制御部６００が昇降部５０６に指示して、昇降部５０６及び第２の基板Ｓ２を保持した下吸着テーブル５０４が反転部３００の下方に位置するように、昇降部５０６をＸ方向に移動させる。これにより、第１の基板Ｓ１のうち接着塗膜Ａが形成された側の面と、第２の基板Ｓ２のうち接着塗膜Ａが形成された側の面とが対向する（図２２（ａ）参照）。加えて、このとき、第１の基板Ｓ１の表面における接着塗膜Ａの突起部Ａ２と、第２の基板Ｓ２の表面における接着塗膜Ａの突起部Ａ２とが、基板Ｓ１，Ｓ２の対向方向（Ｚ方向）から見て互いに重なり合った状態となっている。
【００９９】
次に、制御部６００が昇降部５０６に指示して、下吸着テーブル５０４を反転ステージ３０２に向けて上昇させる。下吸着テーブル５０４がさらに上昇すると、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２とが接着塗膜Ａを介して貼り合わされる（図２２（ｂ）参照）。次に、接着塗膜Ａが熱や紫外線によって硬化されることで、貼り合わせ部材Ｓが製造される（図２２（ｃ）参照）。なお、以上の工程は、大気中で行われる。
【０１００】
以上のような第２実施形態に係る貼り合わせ装置２は、第１実施形態に係る貼り合わせ装置１と同様の効果を奏する。
【０１０１】
第２実施形態においては、第１の基板Ｓ１の表面における接着塗膜Ａの突起部Ａ２と、第２の基板Ｓ２の表面における接着塗膜Ａの突起部Ａ２とが、基板Ｓ１，Ｓ２の対向方向（Ｚ方向）から見て互いに重なり合った状態で、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２との貼り合わせが行われる。そのため、第１の基板Ｓ１の表面に形成された接着塗膜Ａのうちの突起部Ａ２と、第２の基板Ｓ２の表面に形成された接着塗膜Ａのうちの突起部Ａ２とが付着した後に、基板Ｓ１，Ｓ２の各表面にそれぞれ形成された接着塗膜Ａ同士が全体として付着する。従って、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２との接着が大気中で行われても、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２との間に空気が巻き込まれる虞がほとんどない。
【０１０２】
［他の実施形態］
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、図２２に示されるように、第１の基板Ｓ１を第２の基板Ｓ２に対して傾倒させることにより、これらの基板Ｓ１，Ｓ２の貼り合わせを行ってもよい。
【０１０３】
具体的は、図２２（ａ）に示されるように、まず、第１の基板Ｓ１の表面に、接着剤層Ａ１と、第１の基板Ｓ１の一端寄りの領域に配置された点状の接着剤で構成される突起部Ａ２とを形成する。次に、第１の基板Ｓ１のうち接着剤層Ａ１が形成された表面が上向きとなるように第１の基板Ｓ１を載置する。次に、第１の基板Ｓ１の一端側と第２の基板Ｓ２の一端側とが接着塗膜Ａを介して接触し且つ第１の基板Ｓ１の他端側と第２の基板Ｓ２の他端側とが離間するように、第２の基板Ｓ２を第１の基板Ｓ１に対して傾けた後に、第２の基板Ｓ２の他端側を第１の基板Ｓ１の他端側に近づける。これにより、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２との貼り合わせが行われる。
【０１０４】
また、具体的には、図２２（ａ）に示されるように、まず、第１の基板Ｓ１の表面に、接着剤層Ａ１と、第１の基板Ｓ１の一端寄りの領域に配置された点状の接着剤で構成される突起部Ａ２とを形成する。次に、第２の基板Ｓ２を載置する。次に、第１の基板Ｓ１のうち接着塗膜Ａが形成された表面が、第２の基板Ｓ２の表面に向かうように、第１の基板Ｓ１の姿勢を変化させる。次に、第１の基板Ｓ１の一端側と第２の基板Ｓ２の一端側とが接着塗膜Ａを介して接触し且つ第１の基板Ｓ１の他端側と第２の基板Ｓ２の他端側とが離間するように、第１の基板Ｓ１を第２の基板Ｓ２に対して傾けた後に、第１の基板Ｓ１の他端側を第２の基板Ｓ２の他端側に近づける。これにより、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２との貼り合わせが行われる。
【０１０５】
さらに、具体的には、図２２（ｃ）に示されるように、まず、第１の基板Ｓ１の表面に、接着剤層Ａ１と、第１の基板Ｓ１の一端寄りの領域に配置された点状の接着剤で構成される突起部Ａ２とを形成する。次に、第２の基板Ｓ２の表面に、接着剤層Ａ１と、第１の基板Ｓ１の一端寄りの領域に配置された点状の接着剤で構成される突起部Ａ２とを形成する。次に、第２の基板Ｓ２のうち接着塗膜Ａが形成された表面が上向きとなるように第２の基板Ｓ２を載置する。次に、第１の基板Ｓ１のうち接着剤層Ａ１が形成された表面が、第２の基板Ｓ２の表面に向かうように、第１の基板Ｓ１の姿勢を変化させる。次に、第１の基板Ｓ１の一端側と第２の基板Ｓ２の一端側とが接着塗膜Ａを介して接触し且つ第１の基板Ｓ１の他端側と第２の基板Ｓ２の他端側とが離間するように、第１の基板Ｓ１を第２の基板Ｓ２に対して傾けた後に、第１の基板Ｓ１の他端側を第２の基板Ｓ２の他端側に近づける。これにより、第１の基板Ｓ１と第２の基板Ｓ２との貼り合わせが行われる。
【符号の説明】
【０１０６】
１，２…貼り合わせ装置、１００，１００Ａ，１００Ｂ…塗布ヘッド部、１０２…ダイ、１０２ｃ…開口、１０２ｄ…第１のバッファ部、１０２ｅ…第２のバッファ部、１０２ｆ…連通部、１０２ｇ…供給路、１０４，１０６，１０８…吐出ノズル、１０４ａ，１０６ａ，１０８ａ…吐出口、２００…載置テーブル部、３００…反転部、３０２，３０４…反転ステージ、４００，４００Ａ〜４００Ｃ…搬送部、５００…貼り合わせ部、５０２…上吸着テーブル、５０４…下吸着テーブル、５０６…昇降部、６００…制御部、７００…移載部、Ｓ…貼り合わせ部材、Ｓ１…第１の基板、Ｓ２…第２の基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【国際調査報告】
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