(57)【要約】バーンアウトを適切に行うことにより、熱処理を安定して行うことができる熱処理装置（１）を得ることを目的とする。熱処理装置（１）内に、ヒーター（１３）を有するヒーター室（７）と被処理物（Ｗ）を加熱処理して真空浸炭処理を行う熱処理室（６）とが互いに隣接して配置されるとともに、これらヒーター室（７）と熱処理室（６）との間がマッフル板（５）で仕切られている。ヒーター室（７）と熱処理室（６）とに、それぞれ独立してバーンアウト用のガスを導入するガス導入部（１９，２０）が設けられている。
2015163155.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を加熱処理して真空浸炭処理を行う熱処理装置であって、  前記熱処理装置内に、ヒーターを有するヒーター室と、前記ヒーター室と互いに隣接して配置され、前記被処理物を加熱処理して真空浸炭処理を行う熱処理室と、前記ヒーター室と前記熱処理室との間を仕切るマッフル板と、  前記ヒーター室と前記熱処理室とに、それぞれ独立して設けられているバーンアウト用のガスを導入するガス導入部と、を備える熱処理装置。
【請求項２】
前記熱処理装置には、前記ヒーター室に連通する第１排気管と、前記熱処理室に連通し、かつ前記第１排気管に挿入された第２排気管とからなる二重排気管が設けられている請求項１記載の熱処理装置。
【請求項３】
前記熱処理室を囲ってその外側に前記ヒーター室が配置されている請求項１記載の熱処理装置。
【請求項４】
前記熱処理室を囲ってその外側に前記ヒーター室が配置されていることを特徴とする請求項２記載の熱処理装置。
【請求項５】
前記熱処理室が平面視円形状に形成され、前記ヒーター室には複数のヒーターが前記熱処理室の中心に対して放射状に配置されている請求項３記載の熱処理装置。
【請求項６】
前記熱処理室が平面視円形状に形成され、前記ヒーター室には複数のヒーターが前記熱処理室の中心に対して放射状に配置されていることを特徴とする請求項４記載の熱処理装置。
【請求項７】
前記ヒーター室にバーンアウト用のガスを導入するヒーター室用のガス導入部が、前記ヒーター室に対して放射状に複数設けられている請求項３記載の熱処理装置。
【請求項８】
前記ヒーター室にバーンアウト用のガスを導入するヒーター室用のガス導入部が、前記ヒーター室に対して放射状に複数設けられている請求項４記載の熱処理装置。
【請求項９】
前記ヒーター室にバーンアウト用のガスを導入するヒーター室用のガス導入部が、前記ヒーター室に対して放射状に複数設けられている請求項５記載の熱処理装置。
【請求項１０】
前記ヒーター室にバーンアウト用のガスを導入するヒーター室用のガス導入部が、前記ヒーター室に対して放射状に複数設けられている請求項６記載の熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は、熱処理装置に関する。  本願は、２０１４年４月２４日に日本国に出願された特願２０１４−０９０５６９号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】被処理物である金属材を加熱処理する熱処理装置として、真空浸炭炉が知られている（例えば、特許文献１参照）。  真空浸炭炉は、高温減圧下にて炭化水素系ガスによる真空浸炭処理を行う装置であり、真空浸炭処理は、炭化水素系ガスを炭素と水素に分解して炭素分を鋼の表面で反応させ、浸炭を起こさせる処理である。【０００３】このような真空浸炭処理では、炭化水素系ガスが高温減圧下にて炭素と水素に分解するほかに、重合反応を起こして重合物を生成する可能性がある。また、分解した炭素が煤化することもある。このような重合物や煤といった生成物が炉内、特にその壁面に付着し堆積すると、壁面を構成する断熱材に前記生成物が含浸され、断熱機能が低下してしまう。断熱機能が低下すると、過剰なエネルギーや時間等が必要となる。  そこで、従来では、このような断熱機能の低下を防止するべく、炉内に空気を導入して煤等の生成物を燃焼させるバーンアウトと呼ばれる操作が行われている。特許文献２には、窒化アルミニウムの製造方法が開示されており、炉殻と耐熱マッフルとの間にヒーターを設け（段落[０１３５]と図２）、炉殻と耐熱マッフルとの空隙内に冷却用の工場エアーを供給し（段落[０１３７]）、耐熱マッフル内に窒素ガス及びアルゴンガスを供給する（段落[０１３８]）ことが開示されている。特許文献３には、真空浸炭炉、及び真空浸炭炉のバーンアウト方法が開示されている。特許文献４には、高炉真空炉が開示されており、内部に円筒チャンバを形成するマッフルチューブの周囲に加熱素子が等間隔に配置されていることが開示されている。特許文献５には、縦型焼成炉が開示されており、炉体の中心軸に対して放射状となる炉体の所定位置ごとにガス排出配管を接続することで、ヒーター室内における排ガスの流れを均一化することができると記載されている（段落[００１６]）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】日本国特開２００６−１１２７７０号公報
【特許文献２】日本国特開２００３−２１２５２１号公報
【特許文献３】日本国特開２００７−１３１９３６号公報
【特許文献４】日本国特開昭６３−１２７０７２号公報
【特許文献５】日本国特開平０７−０９１８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】ところで、上記特許文献１の真空浸炭炉など、従来の真空浸炭炉は通常、熱処理室内（炉内）に直接ヒーターを配置している。したがって、バーンアウトも炉内全体で同時に行っている。  しかしながら、バーンアウトを炉内全体で同時に行うのでは、バーンアウトの実施時期も炉内全体の煤等の付着状況で判断するため、バーンアウトを適切な時期に行うのが難しく、したがって被処理物の熱処理を安定して行い、処理品質を安定させるのが難しい。【０００６】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、バーンアウトを適切に行うことにより、熱処理を安定して行うことができ、処理品質を安定させることのできる熱処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】  本発明の第１の態様は、被処理物を加熱処理して真空浸炭処理を行う熱処理装置であって、上記熱処理装置内に、ヒーターを有するヒーター室と被処理物を加熱処理して真空浸炭処理を行う熱処理室とが互いに隣接して配置されるとともに、これらヒーター室と熱処理室との間がマッフル板で仕切られてなり、上記ヒーター室と上記熱処理室とに、それぞれ独立してバーンアウト用のガスを導入するガス導入部が設けられている。【０００８】  本発明の第２の態様は、上記第１の態様において、上記熱処理装置には、上記ヒーター室に連通する第１排気管と、上記熱処理室に連通し、かつ上記第１排気管に挿入された第２排気管とからなる二重排気管が設けられている。【０００９】  本発明の第３の態様は、上記第１又は第２の態様において、上記熱処理室を囲ってその外側に上記ヒーター室が配置されている。【００１０】  本発明の第４の態様は、上記第３の態様において、上記熱処理室が平面視円形状に形成され、上記ヒーター室には複数のヒーターが上記熱処理室の中心に対して放射状に配置されている。【００１１】  本発明の第５の態様は、上記第３又は第４の態様において、上記ヒーター室にバーンアウト用のガスを導入するヒーター室用のガス導入部が、上記ヒーター室に対して放射状に複数設けられている。
【発明の効果】
【００１２】  本発明の熱処理装置によれば、上記熱処理装置内にヒーター室と熱処理室とを互いに隣接させて配置し、これらヒーター室と熱処理室とに、それぞれ独立してバーンアウト用のガスを導入するガス導入部を設けたので、ヒーター室と熱処理室とで、それぞれ独立してバーンアウトを行うことができる。したがって、各室でバーンアウトを適切に行うことができるため、被処理物の熱処理を安定して行うことができ、これによって処理品質を安定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の熱処理装置の一実施形態の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線矢視図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】以下、図面を参照して本発明の熱処理装置を詳しく説明する。なお、以下の図面においては、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。  図１は、本発明の熱処理装置の一実施形態の概略構成を示す縦断面図であり、図１中符号１は熱処理装置である。この熱処理装置１は、被処理物Ｗを加熱処理して真空浸炭処理を行う、真空浸炭炉として機能する装置である。
【００１５】  この熱処理装置１は、略円筒状に形成され、その中心軸を鉛直方向に配した縦置き型の装置である。この熱処理装置１には、略円筒状の側壁部２に対して底部３および蓋部４が設けられており、これらによって内部が閉空間とされている。この閉空間、すなわち熱処理装置１の内部は、円筒状に形成されたマッフル板からなる隔壁５により、熱処理室６とヒーター室７とに仕切られている。すなわち、熱処理室６とヒーター室７とは隔壁５を介して互いに隣接して配置され、かつ隔壁５によって仕切られている。ここで、略円筒状とは、断面が正確な円に限らず楕円や多角形の場合も含む。
【００１６】  底部３は、円環状の底部枠体３ａと、底部枠体３ａの貫通孔に着脱可能に取り付けられてこれを気密に閉塞する底部本体３ｂと、を有して構成されている。底部枠体３ａには、その上に円環板状の下部断熱材８が設けられており、この下部断熱材８の内周縁部上に、隔壁５が立てた状態に配置されている。下部断熱材８は、例えばセラミックスファイバーボード等からなる断熱材と、セラミックスボードとが積層されて形成されている。
【００１７】  底部本体３ｂは、螺子止め等によって底部枠体３ａに着脱可能に取り付けられており、隔壁５の下部開口を覆うように形成され配置されている。このような構成によって底部本体３ｂは、隔壁５内に形成された熱処理室６に被処理物Ｗを出し入れするための、開閉部材として機能する。すなわち、この底部本体３ｂ上には炉床９が配置され、この炉床９上に鋼材等の被処理物Ｗが載置される。なお、炉床９の外側には、略円筒状の断熱材９ａが、炉床９の下端部を囲むよう配置されている。
【００１８】  隔壁５は、その中心軸が側壁部２の中心軸にほぼ一致して配置され、マッフル板、すなわち熱伝導性のよい耐火物によって形成されている。この隔壁５の上端部には、上部断熱材１０が２層積層されて配置され、これによって隔壁５はその上部開口が閉塞されている。ただし、この上部断熱材１０には複数の貫通孔が形成され、そのうちの一つに第２排気管１１が挿通されている。第２排気管１１は、隔壁５内、すなわち熱処理室６内に連通して配置され、後述する熱処理時（浸炭処理時）やバーンアウト時に熱処理室６内のガスを熱処理装置１の外に排出する。
【００１９】  本実施形態では、第２排気管１１は上部断熱材１０の貫通孔（図示せず）に挿通された下部管１１ａと、下部管１１ａの上部開口を覆うようにして配置された有蓋円筒状の中部管１１ｂと、中部管１１ｂに連通し、かつ中部管１１ｂと一体に形成されてその先端側が後述する第１排気管１６に挿入される上部管１１ｃとによって形成されている。上部管１１ｃは、その先端側が第１排気管１６内に挿入されるように、屈曲して形成されている。
【００２０】  側壁部２と隔壁５との間、すなわち底部枠体３ａの直上は、ヒーター室７である。ヒーター室７は、隔壁５内の熱処理室６を囲って平面視円環状に形成され、側壁部２側に円筒状の側部断熱材１２が配置され、側部断熱材１２と隔壁５との間に複数のヒーター１３が配置されている。ヒーター１３は、本実施形態では図１のＡ−Ａ線矢視図である図２に示すように、熱処理室６の中心に対して放射状に配置されている。
【００２１】  すなわち、図２に示すようにヒーター１３は、本実施形態では熱処理室６の中心に対して放射状に１２個配置されている。これら１２個のヒーター１３は、ヒーター室７の周方向に等間隔で配置されている。ただし、本実施形態では、図１に示すようにこれらヒーター１３は主に隔壁５内の熱処理室６の下半部を加熱する下ヒーター１３ａと、熱処理室６の上半部を加熱する上ヒーター１３ｂとによって形成されている。そして、これら下ヒーター１３ａと上ヒーター１３ｂとが周方向に交互に配置されていることにより、熱処理室６はその周方向だけでなく軸方向（上下方向）も均一に加熱される。
【００２２】  なお、ヒーター１３にはそれぞれに対応して電極１４が接続され、電極１４を介してヒーター１３に電力が供給される。電極１４は、図１に示すようにヒーター１３の上方、すなわちヒーター室７の上方の側壁部２に設けられており、これら電極１４とヒーター１３との間は耐熱電線１５によって接続されている。
【００２３】  ヒーター室７の上方の側壁部２内は、ヒーター室７に連通する上部空間である。また、この上部空間に第２排気管１１の上部管１１ｃの下端側が配置されている。  上部空間の上方には、側壁部２の上部開口を覆って蓋部４が設けられている。蓋部４は、側壁部２の上部開口に形成されたフランジ（図示せず）に着脱可能に螺子止めされ、その外周側に第１排気管１６が設けられている。
【００２４】  第１排気管１６は、蓋部４に対し斜め上方に向けて配設され、基端側が上記上部空間に連通して配置され、先端側が図示しない真空ポンプに接続されている。また、この第１排気管１６には、第２排気管１１の先端側が、第１排気管１６の途中まで挿入されている。第２排気管１１の上部管１１ｃの外径は第１排気管１６の内径に対して充分に小さく形成されており、これによって第１排気管１６は、その流路が第２排気管１１によって塞がれることなく、充分に大きい開口断面を有する流路が確保されている。
【００２５】  このような構成によって第１排気管１６とこれに挿入された第２排気管１１とは、本発明に係る二重排気管を構成している。また、このような構成の第１排気管１６、第２排気管１１は、共に真空ポンプに接続され、したがって第１排気管１６を介して上部空間に通じるヒーター室７内が、また、第２排気管１１を介して熱処理室６内が、それぞれ真空ポンプによって強制排気される。
【００２６】  また、蓋部４の中央部には、撹拌機１７が設けられている。撹拌機１７は、モータ等からなる駆動部１７ａと、この駆動部１７ａの下方に駆動軸１７ｂを介して取り付けられた撹拌羽根１７ｃと、を有して構成されている。駆動軸１７ｂは、上部断熱材１０に形成された貫通孔１０ａを貫通して配置され、撹拌羽根１７ｃは、駆動軸１７ｂの下端部に取り付けられたことで熱処理室６内の上端側、すなわち熱処理室６内の上部断熱材１０側に配置されている。このような構成のもとに撹拌機１７は、撹拌羽根１７ｃの回転によって熱処理室６内を撹拌し、熱処理室６内の温度やガス濃度を均一にする。
【００２７】  また、蓋部４には、ガス供給管１８が接続されている。ガス供給管１８は、蓋部４の外方において配管（図示せず）を介してアセチレン系ガス等の炭化水素系ガスの供給源（図示せず）に接続され、その先端側（下端側）が上部空間を通って上部断熱材１０の貫通孔（図示せず）を通り、先端部が熱処理室６内の上部断熱材１０側に配置されている。本実施形態では、上部断熱材１０の下面近傍に、ガス供給管１８のガス供給口（図示せず）が配置されている。これにより、ガス供給管１８から熱処理室６内に供給された炭化水素系ガスは、熱処理室６内の上部断熱材１０側に配置され撹拌羽根１７ｃによって拡散させられ、熱処理室６内に均一なガス雰囲気を形成する。
【００２８】  このような構成を有する熱処理装置１において、底部３には、熱処理室６内にバーンアウト用の空気（ガス）を導入する熱処理室用ガス導入部１９が複数設けられている。  熱処理室用ガス導入部１９は、底部枠体３ａの上部に形成された貫通孔１９ａと、貫通孔１９ａに接続する配管１９ｂと、配管１９ｂを介して貫通孔１９ａ内に空気（ガス）を供給する空気源１９ｃ（ガス源）と、で構成されている。なお、バーンアウト用のガスとしては、空気に限定されることなく、例えば酸素ガスや圧縮空気など酸素を含むガスであれば、種々のガスが使用可能である。
【００２９】  貫通孔１９ａは、一端側が底部枠体３ａの側周面に開口し、他端側が底部本体３ｂの上に配置された炉床９の断熱材９ａの側面に対向して開口して形成されている。このような貫通孔１９ａは、隔壁５に囲まれた熱処理室６の中心に対して放射状に複数、例えば４箇所形成されている。また、貫通孔１９ａは、底部３の周方向に等間隔で配置されている。
【００３０】  このような貫通孔１９ａに対してそれぞれ配管１９ｂが接続され、さらにこれら配管１９ｂに空気源１９ｃが接続されることにより、熱処理室用ガス導入部１９が構成されている。なお、空気源１９ｃには供給する空気の量を調整する制御部（図示せず）が設けられている。このような構成のもとに、空気源１９ｃから供給された空気（ガス）は配管１９ｂ、貫通孔１９ａを介して熱処理室６内に導入される。すなわち、貫通孔１９ａの他端側の開口から導入される空気は、炉床９の断熱材９ａの側面と下部断熱材８の内周面との間を通って隔壁５内、すなわち熱処理室６内に導入される。なお、断熱材９ａには、貫通孔１９ａの他端側の開口と対向する部位に案内用の切欠を形成し、この切欠によって貫通孔１９ａから導入された空気を熱処理室６内に案内してもよい。
【００３１】  また、熱処理装置１には、側壁部２の下端部に、ヒーター室７内にバーンアウト用の空気（ガス）を導入するヒーター室用ガス導入部２０が複数設けられている。ヒーター室用ガス導入部２０は、ヒーター室７内の側部断熱材１２に形成された切欠２０ａと、側壁部２を貫通して取り付けられて切欠２０ａ内に連通する配管２０ｂと、配管２０ｂを介して切欠２０ａ内に空気（ガス）を供給する空気源２０ｃ（ガス源）と、で構成されている。
【００３２】  切欠２０ａは、側部断熱材１２の下端部が溝状に切り欠かれて形成され、図１のＢ−Ｂ線矢視図である図３に示すように、一端側が側壁部２の内面側に向き、他端側がヒーター室７内に通じている。このような切欠２０ａは、隔壁５の外側に形成された平面視円環状のヒーター室７に対して放射状に４箇所（複数）形成されている。また、切欠２０ａは、側部断熱材１２の周方向に等間隔で形成されている。
【００３３】  このような切欠２０ａに対してそれぞれ配管２０ｂが接続され、さらにこれら配管２０ｂに空気源２０ｃが接続されることにより、ヒーター室用ガス導入部２０が構成されている。したがって、特に切欠２０ａがヒーター室７に対して放射状に形成されているので、４箇所のヒーター室用ガス導入部２０もヒーター室７に対して放射状に設けられている。なお、空気源２０ｃにも供給する空気の量を調整する制御部（図示せず）が設けられている。また、このように空気源２０ｃや空気源１９ｃにそれぞれ制御部を設けているので、これら空気源２０ｃと空気源１９ｃとを共通化し、流量を調整する制御部のみを熱処理室用ガス導入部１９とヒーター室用ガス導入部２０とで異ならせてもよい。
【００３４】  このような構成を有するヒーター室用ガス導入部２０により、その空気源２０ｃから供給された空気（ガス）が配管２０ｂ、切欠２０ａを介してヒーター室７内に導入される。すなわち、切欠２０ａの他端側から導入される空気は、図１に示すように側部断熱材１２と隔壁５との間、すなわちヒーター室７内に導入される。ここで、切欠２０ａの他端側は、図３に示すように隣り合うヒーター１３、ヒーター１３の間に配置されているので、切欠２０ａから導入された空気はヒーター１３で遮られることなく、隔壁５の外面にまで到達し、その後、ヒーター室７内を上昇する。
【００３５】  また、熱処理装置１には、熱処理室６内の温度を計測する熱電対（図示せず）、ヒーター室７内の温度を計測する熱電対（図示せず）がそれぞれ設けられており、これによって熱処理室６内の温度、ヒーター室７内の温度をそれぞれ独立して計測できる。また、特に熱処理室６内の温度分布を計測するための熱電対（図示せず）も設けられており、これによって例えば熱処理室６内の上部と下部との間の温度分布なども計測できる。
【００３６】  このような熱処理装置１によって熱処理としての浸炭処理を行うには、まず、炉床９上に被処理物Ｗをセットしてこれを熱処理室６内に配置する。次に、ヒーター１３に通電してヒーター室７を加熱し、これによってヒーター室７に囲まれた熱処理室６内を所望の温度に加熱する。また、真空ポンプを作動させることにより、第１排気管１６、第２排気管１１を介してヒーター室７、熱処理室６をそれぞれ減圧する。
【００３７】  そして、熱処理室６が所望の温度の減圧雰囲気となったら、撹拌機１７を駆動させて撹拌羽根１７ｃを回転させ、ガス供給管１８から炭化水素系ガスを供給する。これにより、被処理物Ｗに対して浸炭処理を行う。このような浸炭処理を行うと、炭化水素系ガスが高温減圧下にて炭素と水素に分解するほかに、重合反応を起こして重合物を生成することがある。また、分解した炭素が煤化することもある。しかし、このような重合物や煤は、隔壁５等で囲まれた閉じられた熱処理室６内で生成するため、その外部、特にヒーター室７内にはほとんど拡散しない。
【００３８】  このようにして浸炭処理を予め設定した時間行ったら、炭化水素系ガスの供給を停止し、さらにヒーター１３による加熱も停止する。そして、真空ポンプによる減圧も停止し、熱処理室６内から被処理物Ｗを取り出す。その後、新たな被処理物Ｗを熱処理室６内にセットし、上記操作を繰り返すことにより、新たな被処理物Ｗに対しても浸炭処理を行うことができる。
【００３９】  被処理物Ｗに対する浸炭処理の回数が重ねられ、熱処理室６やヒーター室７内に上記の重合物や煤が多く付着し、堆積したら、バーンアウトを行う。その際、本実施形態では熱処理室６内に空気を導入する熱処理室用ガス導入部１９と、ヒーター室用ガス導入部２０とをそれぞれ独立して形成しているので、熱処理室６内のバーンアウトとヒーター室７内のバーンアウトとをそれぞれ別に行うことができる。
【００４０】  すなわち、前述したように重合物や煤は熱処理室６内で生成し堆積するのに対して、ヒーター室７内ではこのような重合物や煤の堆積は相対的に少ない。したがって、熱処理室６内については比較的高い頻度でバーンアウトを行う必要があるのに対し、ヒーター室７内では熱処理室６内より低い頻度でバーンアウトを行えばよい。
【００４１】  そこで、本実施形態では、熱処理室６内での煤等の堆積状態とヒーター室７内での煤等の堆積状態とをそれぞれ別に調べ、各室が予め設定した基準を超えて堆積が進んだ場合に、各室でのバーンアウトをそれぞれ実施する。例えば、熱処理室６内のバーンアウトを実施するには、ヒーター１３に通電して熱処理室６内を予め設定した温度に加熱し、その状態で撹拌機１７を駆動させつつ、熱処理室用ガス導入部１９から熱処理室６内に空気を導入する。  すると、貫通孔１９ａを通って導入された空気は、図１中に矢印で示すように熱処理室６内に流入することにより、熱処理室６内の隔壁５の内面や上部断熱材１０の下面などに付着した重合物や煤を燃焼させる。
【００４２】  そして、空気の導入と同時に、または所定時間をおいて真空ポンプを作動させ、第２排気管１１を介して熱処理室６内を排気する。これにより、図１中に矢印で示すように、重合物や煤の燃焼ガスを空気とともに第２排気管１１を介して排出することができる。このような空気の導入や燃焼ガスの排出を所定時間行うことにより、熱処理室６内のバーンアウトを終了する。
【００４３】  また、ヒーター室７内のバーンアウトも、熱処理室６内の場合とほぼ同様にして行う。  すなわち、ヒーター１３に通電してヒーター室７内を予め設定した温度に加熱し、その状態でヒーター室用ガス導入部２０からヒーター室７内に空気を導入する。すると、切欠２０ａを通って導入された空気は、図１中に矢印で示すようにヒーター室７内に流入することにより、ヒーター室７内の隔壁５の外面や側部断熱材１２の内面、下部断熱材８の上面などに付着した重合物や煤を燃焼させる。
【００４４】  そして、空気の導入と同時に、または所定時間をおいて真空ポンプを作動させ、第１排気管１６を介してヒーター室７内を排気する。これにより、図１中に矢印で示すように、重合物や煤の燃焼ガスを空気とともに第１排気管１６を介して排出することができる。このような空気の導入や燃焼ガスの排出を所定時間行うことにより、ヒーター室７内のバーンアウトを終了する。
【００４５】  なお、熱処理室６内のバーンアウトとヒーター室７内のバーンアウトとは、別に行うことなく、同時に行うこともできる。すなわち、熱処理室用ガス導入部１９による熱処理室６への空気の導入と、ヒーター室用ガス導入部２０によるヒーター室７への空気の導入を同時に行うことにより、熱処理室６内とヒーター室７内とで同時にバーンアウトを行うことができる。
【００４６】  本実施形態の熱処理装置１にあっては、ヒーター室７と熱処理室６とにそれぞれ独立してガス導入部（ヒーター室用ガス導入部２０、熱処理室用ガス導入部１９）を設けたので、ヒーター室７と熱処理室６とで、それぞれ独立してバーンアウトを行うことができる。したがって、煤等の付着、堆積に差があるヒーター室７と熱処理室６とに対して、それぞれ適切なタイミングでバーンアウトを行うことができる。すなわち、煤等の付着、堆積が激しい熱処理室６に対しては比較的高い頻度でバーンアウトを行い、相対的に煤等の付着、堆積が少ないヒーター室７に対しては、熱処理室６より少ない頻度でバーンアウトを行うことができる。
【００４７】  このように熱処理室６、ヒーター室７にて、それぞれ適切なタイミングで、しかもそれぞれの煤等の堆積状態に応じて各室毎に適切な条件でバーンアウトを行うことができるため、ヒーター室７と熱処理室６にて、それぞれ適切なバーンアウトを行うことができる。したがって、熱処理室６での被処理物Ｗの熱処理（浸炭処理）を安定して行うことができ、被処理物Ｗに対する処理品質を安定させることができる。
【００４８】  また、ヒーター室７に連通する第１排気管１６と、熱処理室６に連通し、かつ第１排気管１６に挿入された第２排気管１１とからなる二重排気管を設けている。そのため、この二重排気管に真空ポンプを接続することで、熱処理室６内の強制排気とヒーター室７内の強制排気とを同時に行うことができる。したがって、真空ポンプが１台でよいため装置コストの高騰を抑えることができ、また、装置の小型化を図ることもできる。
【００４９】  また、熱処理室６を囲ってその外側にヒーター室７を配置しているので、ヒーター室７のヒーター１３によって熱処理室６内を効率的に加熱することができる。特に、熱処理室６を平面視円形状に形成し、ヒーター室７内のヒーター１３を熱処理室６の中心に対して放射状に複数配置しているので、ヒーター１３によって熱処理室６内を均一に加熱することができ、これによって熱処理室６内での熱処理を安定して行うことができる。
【００５０】  また、切欠２０ａをヒーター室７に対して放射状に形成したことにより、ヒーター室用ガス導入部２０をヒーター室７に対して放射状に複数設けているので、ヒーター室７内にバーンアウト用の空気をほぼ均一に導入することができる。したがって、ヒーター室７にて、より適切なバーンアウトを行うことができる。  同様に、貫通孔１９ａを熱処理室６に対して放射状に形成したことで、熱処理室用ガス導入部１９を熱処理室６に対して放射状に複数設けているので、熱処理室６内にバーンアウト用の空気をほぼ均一に導入することができる。したがって、熱処理室６にて、より適切なバーンアウトを行うことができる。
【００５１】  なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。  例えば、熱処理室用ガス導入部１９やヒーター室用ガス導入部２０については、熱処理装置の大きさ等に応じて適宜に変更することができる。  また、上記実施形態では、隔壁および側壁部を円筒形状としたが、例えば、隔壁（マッフル板）を箱形構造とし、かつ、側壁部も箱形形状としたり、隔壁を箱形構造とし、かつ、側壁部を円筒形状としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５２】本発明の熱処理装置によれば、上記熱処理装置内にヒーター室と熱処理室とを互いに隣接させて配置し、これらヒーター室と熱処理室とに、それぞれ独立してバーンアウト用のガスを導入するガス導入部を設けたので、ヒーター室と熱処理室とで、それぞれ独立してバーンアウトを行うことができる。したがって、各室でバーンアウトを適切に行うことができるため、被処理物の熱処理を安定して行うことができ、これによって処理品質を安定させることができる。
【符号の説明】
【００５３】１  熱処理装置、５  隔壁（マッフル板）、６  熱処理室、７  ヒーター室、１１  第２排気管、１３  ヒーター、１６  第１排気管、１９  熱処理室用ガス導入部、２０  ヒーター室用ガス導入部、Ｗ  被処理物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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