(57)【要約】  無線モジュールの検査におけるモジュール特性の信頼性を向上できるモジュールソケットを提供する。  モジュールソケットは、アンテナを備える無線モジュールにおけるアンテナが実装される実装面と当接する設置面を有する台座部材と、設置面に無線モジュールが設置された状態において、アンテナから電波の放射方向に向かって所定距離の範囲内に形成された空隙部と、を有する。
2014136159.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アンテナを備える無線モジュールにおける前記アンテナが実装される実装面と当接する設置面を有する台座部材と、
前記設置面に前記無線モジュールが設置された状態において、前記アンテナから電波の放射方向に向かって所定距離の範囲内に形成された空隙部と、
を有することを特徴とするモジュールソケット。
【請求項２】
前記台座部材は、前記設置面に接続された第１の面を有し、
前記空隙部は、前記台座部材を貫通する孔部を有する
ことを特徴とする請求項１に記載のモジュールソケット。
【請求項３】
前記台座部材は、前記設置面に接続される第１の面と、
前記第１の面に接続され前記設置面に対向する第２の面と、を有し、
前記空隙部は、前記第１の面及び前記第２の面により形成された凹部を有する
ことを特徴とする請求項１記載のモジュールソケット。
【請求項４】
前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記アンテナから前記第１の面までの距離は、前記アンテナにより送信又は受信される電波の波長をλとし、整数をｎとした場合、略１／４×λ×（４ｎ＋１）により表される距離以上であることを特徴とする請求項３に記載のモジュールソケット。
【請求項５】
前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記アンテナから前記第２の面までの距離は、前記アンテナにより送信又は受信される電波の波長をλとし、整数をｎとした場合、略１／４×λ×（４ｎ＋１）により表される距離であることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のモジュールソケット。
【請求項６】
前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向に沿って形成されたテーパ面を含む請求項３または請求項４に記載のモジュールソケット。
【請求項７】
前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向が電波の送信及び受信において略同一方向である場合、前記略同一方向に沿って形成されたテーパ面を含む請求項６に記載のモジュールソケット。
【請求項８】
前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向が電波の送信と受信において異なる方向である場合、
前記送信における第１の指向性方向に沿って形成されたテーパ面と、
前記受信における第２の指向性方向に沿って形成されたテーパ面と、
を含む請求項６に記載のモジュールソケット。
【請求項９】
前記台座部材は、前記設置面が押圧される方向に弾性を有することを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載のモジュールソケット。
【請求項１０】
前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向に沿って形成されたテーパ面を含み、
前記孔部は、前記設置面側に位置する第１の開口端面と、
前記設置面と反対側に位置し、前記第１の開口端面の面積よりも面積が大きい第２の開口端面と、
を含む請求項２に記載のモジュールソケット。
【請求項１１】
前記テーパ面は、前記設置面に直交する軸に対して、前記アンテナの半値角に基づく傾斜を有することを特徴とする請求項１０に記載のモジュールソケット。
【請求項１２】
前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記アンテナから前記第１の面までの距離は、前記アンテナにより送信又は受信される電波の波長をλとした場合、１／２×λにより表される距離以上であることを特徴とする請求項１０または１１に記載のモジュールソケット。
【請求項１３】
前記第１の開口端面は、前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記無線モジュールと対向する範囲内に位置することを特徴とする請求項１２に記載のモジュールソケット。
【請求項１４】
前記第１の開口端面は、前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、第１の方向における両端部が、前記無線モジュールと対向し、前記第１の方向と直交する第２の方向における両端部が、前記無線モジュールと対向しない、ことを特徴とする請求項１２に記載のモジュールソケット。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載のモジュールソケットに設置される無線モジュールの電極端子に当接し、所定信号または電力を前記無線モジュールに供給する接触子と、
前記接触子を前記無線モジュール側に押圧するプッシャと、
前記無線モジュールに実装された第１のアンテナから放射された電波を受信し、または前記第１のアンテナへ電波を放射する第２のアンテナと、
電波吸収体に包囲され、前記モジュールソケットと対向し、前記第２のアンテナを収容するアンテナ収容部と、
を備える無線モジュール検査装置。
【請求項１６】
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載のモジュールソケットに無線モジュールを設置するステップと、
前記モジュールソケットに設置された前記無線モジュールの電極端子に、所定信号または電力を前記無線モジュールに供給する接触子を当接するステップと、
前記接触子を前記無線モジュール側に押圧するステップと、
電波吸収体に包囲され、前記モジュールソケットと対向するアンテナ収容部に収容された第２のアンテナにより、前記無線モジュールに実装された第１のアンテナから放射された電波を受信し、又は第１のアンテナへ電波を放射するステップと、
を有する無線モジュールの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、モジュールソケット、無線モジュールの検査装置、及び無線モジュールの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば製品出荷前に、モジュール性能の検査が実施される。モジュール性能を検査する際、検査装置の一部であるモジュールを検査するための設置台に、検査対象のモジュールが設置される。この検査装置を用いて、モジュールの各種特性（例えば、回路特性）が検査される。【０００３】
なお、電波吸収体を有する試験箱の内部に、電子機器のアンテナと測定用のアンテナとを収容し、電子機器のアンテナから放射される電波を測定用のアンテナで受信することで、電子機器の性能を試験する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】日本国特開２００７−２２５５６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の検査装置では、アンテナを備える無線モジュールの検査におけるモジュール特性の信頼性が不十分であった。【０００６】
本開示は、上記事情に鑑みてなされたものであり、無線モジュールの検査におけるモジュール特性の信頼性を向上できるモジュールソケット、無線モジュールの検査装置、及び無線モジュールの検査方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示のモジュールソケットは、アンテナを備える無線モジュールにおける前記アンテナが実装される実装面と当接する設置面を有する台座部材と、前記設置面に前記無線モジュールが設置された状態において、前記アンテナから電波の放射方向に向かって所定距離の範囲内に形成された空隙部と、を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、無線モジュールの検査におけるモジュール特性の信頼性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態における検査装置の全体構成例を示す断面図
【図２】第１の実施形態における設置台近傍を示す部分拡大断面図
【図３】（Ａ）〜（Ｄ）第１の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の一例を示す概略平面図又は概略断面図
【図４】第１の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の一例を示す断面図
【図５】第１の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の第１変形例を示す断面図
【図６】（Ａ）第１の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の第２変形例を示す断面図、（Ｂ）第１の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の第３変形例を示す断面図
【図７】（Ａ）〜（Ｄ）第２の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の一例を示す概略平面図又は概略断面図
【図８】第２の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の一例を示す断面図
【図９】（Ａ）第２の実施形態における無線モジュールのアンテナから放射される信号の放射パターンｐの一例を示す模式図，（Ｂ）従来の無線モジュールのアンテナから放射される信号の放射パターンｐの一例を示す模式図
【図１０】第２の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の第１変形例を示す断面図
【図１１】第２の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の第２変形例を示す断面図
【図１２】（Ａ）第１の実施形態における暗箱に設置された設置台補助部材を上方から見た概略斜視図、（Ｂ）第１の実施形態における暗箱内部から上方を見た概略斜視図
【図１３】第３の実施形態における設置台の近傍の一例を示す部分拡大断面図
【図１４】第３の実施形態における設置台の開口部付近の構成例を示す平面図
【図１５】（Ａ）〜（Ｃ）第３の実施形態における設置台の開口部付近の構成の変形例を示す平面図
【図１６】第４の実施形態における設置台を含む検査装置の部分構成例を示す断面図
【図１７】（Ａ）第５の実施形態におけるモジュールソケットの近傍の一例を示す断面図、（Ｂ）第５の実施形態におけるモジュールソケットの開口部付近の構成例を示す平面図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本開示の実施形態について、図面を用いて説明する。
【００１１】
（本開示の一形態を得るに至った経緯）
従来のモジュール検査装置では、アンテナを有する無線モジュールのモジュール特性を検査する場合、検査装置に、検査対象の無線モジュールから放射される電波を受信するアンテナが設けられる。設置台に無線モジュールが設置された状態において無線モジュールから電波を放射すると、無線モジュールのアンテナと検査装置のアンテナとの間に、例えば樹脂により形成された設置台が存在する。この場合、設置台が無線モジュールから放射された電波に干渉し、電波の放射パターンを変化させる。この結果、無線モジュールの検査結果としてのモジュール特性の信頼性が低下する。
【００１２】
以下、無線モジュールの検査におけるモジュール特性の信頼性を向上できる設置台、無線モジュールの検査装置、及び無線モジュールの検査方法について説明する。
【００１３】
以下の実施形態の設置台は、無線モジュールの検査装置に設けられ、例えばミリ波帯域を含む高帯域の電波を送信又は受信する無線モジュールが設置される設置台に適用される。
【００１４】
図１は実施形態における検査装置１の全体構成例を示す断面図である。図２は、図１の設置台２０の近傍を示す部分拡大断面図である。検査装置１は、検査対象（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）である無線モジュール５から放射される電波の放射パターンを測定する。検査装置１は、ＩＣハンドラ３、プッシャ１０、設置台２０、及び暗箱４０を備える。設置台２０は、無線モジュール５が設置されるモジュールソケットの一例である。
【００１５】
ＩＣハンドラ３は、無線モジュール５をピックアップする吸引パッド（図示せず）と、プッシャ１０により押圧されて無線モジュール５に当接するコンタクトピン１２と、を有する。コンタクトピン１２は、接触子の一例である。
【００１６】
無線モジュール５を設置台２０に設置する場合、ＩＣハンドラ３は、吸引パッドにより無線モジュール５の表面を吸引して無線モジュール５をピックアップした後、設置台２０の上部に移動し、設置台２０に載置する。
【００１７】
プッシャ１０は、垂直方向（Ｚ方向）に移動自在であり、降下してＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２を押圧する。ＩＣハンドラ３に所定の荷重がかかると、ＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２は、設置台２０に設置された無線モジュール５の例えば表面に形成された電極端子５ｂと当接する。上記所定の荷重は、例えば１つの電極端子５ｂ当たり約２０ｇである。
【００１８】
無線モジュール５に形成された電極端子５ｂには、ＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２から、例えば検査用の所定信号又は電力が供給される。無線モジュール５は、所定信号又は電力が供給されると、アンテナ８（第１のアンテナの一例）により電波（例えばミリ波帯域の電波）が放射される。また、アンテナ８は、検査装置１が備える測定用アンテナ４３から放射された電波を受信する。
【００１９】
暗箱４０は、暗箱４０の内壁面に、暗箱４０外部からの不要な電波を吸収する電波吸収体４７を備える。暗箱４０は、検査装置１の測定用アンテナ４３を収容するアンテナ収容部の一例である。
【００２０】
暗箱４０は、電波吸収体４７により包囲される。また、暗箱４０は、無線モジュール５から放射された電波を受信し、又は無線モジュール５へ電波を放射する測定用アンテナ４３を備える。測定用アンテナ４３は、第２のアンテナの一例である。また、測定用アンテナ４３として、送信用アンテナと受信用アンテナとを別個に備えてもよい。
【００２１】
また、暗箱４０は、図示はしないが、例えば、測定用アンテナ４３により受信又は送信した電波の強度を計測するモジュール特性計測部を備える。
【００２２】
測定用アンテナ４３は、４本脚４３ａにより支持された架台４３ｂ上に、例えば測定用アンテナ４３の中心位置が固定されて設置される。また、測定用アンテナ４３は、４本脚４３ａを傾けることにより、上下方向（Ｚ軸方向）以外の指向性方向に対しても電波を受信できる。４本脚４３ａの傾きを調整して電波の受信方向を変更し、モジュール特性計測が測定用アンテナ４３により受信された電波の強度を測定することにより、アンテナ８から放射される電波の放射パターンを取得できる。なお、架台４３ｂを支持する脚の数は、４本以外でもよい。
【００２３】
また、暗箱４０の天井面４０Ｂは、設置台２０の開口部２０ｅに対向する開口部４０Ａ（孔部）を有する。また、暗箱４０の天井面４０Ｂには、設置台２０が設置される設置台補助部材３５が設けられる。図１２（Ａ）は、暗箱４０に設置された設置台補助部材３５を上方から見た概略斜視図である。図１２（Ｂ）は、暗箱４０内部から上方を見た概略斜視図である。なお、図１２（Ａ）では、暗箱４０全体のうち、設置台補助部材３５付近を部分的に拡大して示し、図１２（Ｂ）では、暗箱４０全体のうち、開口部４０Ａ付近を部分的に拡大して示す。
【００２４】
図１，図１２（Ａ）に示すように、暗箱４０の天井面４０Ｂには、結合部材３４及び設置台補助部材３５が設置される。結合部材３４は、暗箱４０と設置台補助部材３５とを例えばねじ止めにより結合するための部材である。設置台補助部材３５は、設置台２０の暗箱４０への設置を補助する。設置台補助部材３５には緩衝材４６が設けられ、緩衝材４６を介して設置台２０が設置される。
【００２５】
結合部材３４及び設置台補助部材３５は、各々開口部３４ａ、３５ａを備える。開口部３４ａの大きさは、例えば、暗箱４０の開口部４０Ａと略同一の大きさである。また、暗箱４０の開口部４０Ａ、結合部材３４の開口部３４ａ、設置台補助部材３５の開口部３５ａは、ＸＹ平面において略同一の位置に形成され、Ｚ軸方向に貫通する。
【００２６】
また、図１に示すように、開口部４０Ａは、例えば、暗箱４０の外壁面側よりも内壁面側の方がＸＹ平面上の断面積が大きく形成される。なお、緩衝材の制約がなく、暗箱４０の開口部４０Ａの開口幅を十分に確保できる場合、暗箱４０内外の上記断面積の大きさは同程度でもよい。
【００２７】
図１２（Ｂ）に示すように、開口部４０Ａは、暗箱４０の天井面４０Ｂにおいて例えば円柱状に形成される。
【００２８】
開口部４０Ａの大きさは、例えば、アンテナ８の指向性方向と、暗箱４０の天井面４０Ｂに緩衝材４６及び設置台２０を設置するための制約と、に基づいて決定される。ここで、図１（Ａ）に示したガスケット３２は、暗箱４０と検査ボード３３との間に配設された緩衝材の一種である。検査ボード３３の暗箱４０に対向する対向面には、各種部品が実装されるので、検査ボード３３は、暗箱４０に通常直置きされない。ガスケット３２は、暗箱４０と検査ボード３３との間にスペースを生成する。開口部４０Ａの大きさは、例えば、このガスケット３２の配置により制約される。
【００２９】
なお、測定用アンテナ４３として、受信用アンテナを主に示したが、暗箱４０内に送信用アンテナを別途設けた場合、受信とは異なる方向から電波を送信できる。測定用アンテナ４３から放射された電波は、無線モジュール５のアンテナ８により受信される。
【００３０】
図２に示すように、設置台２０は、例えば、誘電体材料（例えば樹脂）によりソケット型に成形され、設置される無線モジュール５を設置台２０の内側に案内する案内部材２０ｂと、無線モジュール５が設置面２０ｐに当接して設置される台座部材２０ａと、を有する。台座部材２０ａは、開口部２０ｅを有する。開口部２０ｅは、設置面２０ｐに無線モジュール５が設置された状態において、アンテナ８から電波の放射方向に向かって所定距離の範囲内に形成された空隙部の一例である。
【００３１】
台座部材２０ａの設置面２０ｐの例えば略中央に形成された開口部２０ｅは、例えば窪みとなる凹部２０ｄに形成される。凹部２０ｄの底面２２には、蓋部２０ｃが設けられる。なお、開口部２０ｅは、後述するように、孔部に形成されてもよい。
【００３２】
凹部２０ｄは、台座部材２０ａの設置面２０ｐに無線モジュール５が設置された状態において、無線モジュール５の実装面５ａに実装されたアンテナ８から所定距離の範囲内に、空隙を生じさせる。また、無線モジュール５の検査時、設置台２０に載置された無線モジュール５の電極端子５ｂには、ＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２が接触する。
【００３３】
図３（Ａ）〜（Ｄ）は、無線モジュール５が設置された設置台２０の形状の一例を示す平面図又は断面図である。図３（Ａ）は、１個の無線モジュール５が設置された設置台２０を上方向（Ｚ軸正方向）から見た平面図である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の設置台２０のＡ−Ａ’断面の概略図である。図３（Ｃ）は、複数個の無線モジュール５が設置された設置台２０を上方向（Ｚ軸正方向）から見た平面図である。図３（Ｄ）は、図３（Ｃ）の設置台２０のＢ−Ｂ’断面の概略図である。図３（Ａ）〜（Ｄ）では、案内部材２０ｂは省略されている。
【００３４】
複数個の無線モジュール５は、例えば格子状に配列されるが、他の形状に配列されてもよい。また、ここでは、１個の無線モジュール５が設置される設置台２０について主に説明するが、多数個の場合も同様である。
【００３５】
図３（Ａ）〜（Ｄ）では、台座部材２０ａの設置面２０ｐの略中央に形成された開口部２０ｅは、台座部材２０ａの壁面２１（第１の面の一例）及び底面２２（第２の面の一例）を有する凹部２０ｄとして形成される。壁面２１は、設置面２０ｐに接続される。底面２２は、壁面２１に接続され、設置面２０ｐに略対向する。
【００３６】
凹部２０ｄの底面２２は、例えば台座部材２０ａの開口部２０ｅに検査対象の無線モジュール５に対向して装着された蓋部２０ｃによって形成される。凹部２０ｄの壁面２１は、設置面２０ｐと底面２２とに接続され、例えば底面２２（ＸＹ方向に沿った面）と直交するＺ方向に沿って形成される。
【００３７】
台座部材２０ａに形成された開口部２０ｅの横方向（図３（Ａ）〜（Ｄ）ではＸ軸方向）の長さは、無線モジュール５の横方向の長さより短くても長くてもよい。開口部２０ｅの縦方向（図３（Ａ）〜（Ｄ）ではＹ軸方向）の長さは、無線モジュール５の縦方向の長さより長くても短くてもよい。
【００３８】
次に、設置台２０の設置面２０ｐに形成される開口部２０ｅの仕様について考察する。開口部２０ｅとは、前述した壁面２１及び底面２２を有する凹部２０ｄと、後述する台座部材２０ａを貫通した孔部２０ｆ（図６参照）と、を含む表現である。
【００３９】
無線モジュール５から放射された信号（入射波）に対する周辺構造物により反射された信号(反射波)による干渉が最も少なくなる条件は、反射波の入射波に対する位相差が、基本波の波長λの例えば略４分の１となる場合である。周辺構造物は、例えば台座部材２０ａの壁面２１、底面２２を含む。
【００４０】
放射された電波に含まれる基本波（Ｓｉｎ波：正弦波）の信号の位相と、反射波の信号の位相と、の位相差が略１／４λの場合、入射波と反射波との合成波は、Ｓｉｎ波の形状を保持したまま、振幅のピーク値が変動する。
【００４１】
入射波を無線モジュール５のアンテナから放射される信号とし、反射波をアンテナ８周辺の構造物から放射された信号とすると、例えば合成波の振幅は変動する。従って、反射波の有無により電力ピーク値（電力波形の最大振幅値）が変動する。一方、入射波と反射波との合成波の形状（位相）は変化しない。よって、アンテナ８の指向性の形状を崩すことなく、安定して指向性を測定できる。
【００４２】
アンテナ８の放射パターンに影響を与えない設置台２０の形状として、アンテナ８の実装面５ａから指向性方向（例えばＺ軸方向）に対して垂直な方向（例えばＸ軸方向、Ｙ軸方向）に沿う面（例えば底面２２）までの距離を、例えば以下のように設定する。
【００４３】
即ち、実装面５ａから、アンテナ８が使用する通信周波数に対応する波長λの１／４×（４ｎ＋１）倍（ｎは整数）の距離離された位置に、指向性方向に対して垂直な方向に沿う面を配置することで、設置台２０からの反射波の影響を最小限に抑制できる。
【００４４】
ミリ波帯の周波数帯を用いて通信する場合について例示する。
例えば、ミリ波帯の波長は、１ｍｍ〜１０ｍｍの範囲にある。従って、使用する信号の波長λに応じて、アンテナ８からおよそ所定距離の位置に、設置台２０の底面２２を配置してもよい（条件（１））。この所定距離は、以下の（式１）により表される。条件（１）を満たす場合、アンテナ８を加味したモジュール特性に対する、底面２２により反射する反射波の影響を最小限に抑制できる。
【００４５】
（０．２５ｍｍ〜２．５ｍｍ）×（４ｎ＋１）倍（ｎは整数）  ・・・（式１）
【００４６】
無線モジュール５の設計時、例えば、ミリ波帯の波長（１ｍｍ〜１０ｍｍ）のうち波長λとしてどの長さを用いるかに基づいて、（０．２５ｍｍ〜２．５ｍｍ）のいずれを（式１）に用いるかが一意に決定される。つまり、この括弧部分は、λ／４に設定される。
【００４７】
また、アンテナ８の指向性方向以外についても、使用する信号の波長λに応じて、アンテナ８から所定距離以上の位置に、設置台２０の壁面２１を配置してもよい（条件（２））。この所定距離は、上記の（式１）により表される距離と同じである。条件（２）を満たす場合、アンテナ８を加味したモジュール特性に対する、壁面２１により反射する反射波の影響を最小限に抑制できる。
【００４８】
次に、上記考察を踏まえ、設置台２０の形状の具体例について説明する。
【００４９】
図４は無線モジュール５が設置された設置台２０の形状の一例を示す断面図であり、図２（Ｂ）に対応する。図４では、設置台２０の台座部材２０ａに対して、アンテナ８の実装面５ａを下向きにして、無線モジュール５が設置面２０ｐに設置される。無線モジュール５の実装面５ａは、開口部２０ｅの周囲の設置面２０ｐと当接する。
【００５０】
台座部材２０ａの開口部２０ｅは、壁面２１および底面２２を有し、アンテナ８が収容される凹部２０ｄに形成される。図４では、台座部材２０ａの下側には、凹部２０ｄを形成する一部としての蓋部２０ｃが設けられる。蓋部２０ｃの厚さ（Ｚ軸方向の長さ）は、例えば２ｍｍである。図４では、アンテナ８の指向性方向は、下向き（Ｚ軸負方向の向き、図４の矢印の向き）である。
【００５１】
無線モジュール５を検査する場合、プッシャ１０が降下してＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２を押圧し、無線モジュール５に所定の荷重がかかると、無線モジュール５の実装面５ａを、台座部材２０ａの開口部２０ｅの周囲が支持する。開口部２０ｅの周囲は、所定の加重に対して剛性を有し、無線モジュール５の例えば略中央部が下方に撓む変形を生じにくい。
【００５２】
また、アンテナ８は、蓋部２０ｃの面、つまり底面２２に対向近接する。この場合でも、上記の条件（１）を満たす場合、アンテナ８から放射される指向性方向の信号に対する反射波による影響を抑制できる。
【００５３】
また、凹部２０ｄの壁面２１からアンテナ８の端部８ａまでに空隙がある。これにより、上記の条件（２）を満たす場合、アンテナ８から放射される指向性方向以外の信号に対する反射波による影響を抑制できる。
【００５４】
即ち、設置台２０の台座部材２０ａに凹部２０ｄを形成することにより、アンテナ８周辺に底面２２又は壁面２１を形成する誘電体材料が存在することによる、アンテナ８の指向性の劣化を抑制できる。
【００５５】
図５は無線モジュール５が設置された設置台２０の形状の第１変形例（設置台２０Ａ）を示す断面図である。設置台２０Ａでは、凹部２０ｄがアンテナ８の下面（前面）８ｂから蓋部２０ｃの上面（底面２２）までの距離が、例えば２ｍｍとなるように形成される。即ち、設置台２０Ａでは、設置台２０と比較すると、台座部材２０ａの厚さが厚く、検査時にアンテナ８が収容される凹部２０ｄの深さが深く、アンテナ８からＺ軸方向の所定範囲内に空隙を有する。
【００５６】
凹部２０ｄは、アンテナ８の水平方向（Ｘ軸方向）の端部８ａから凹部２０ｄの壁面２１までの距離α１は、例えば２．４ｍｍ以上となるように形成される。蓋部２０ｃの厚さ（Ｚ軸方向の長さ）は、例えば２ｍｍであり、第２例の設置台２０と同じである。また、アンテナ８の指向性方向は、図５において下向き（Ｚ軸負方向）である。
【００５７】
この場合、アンテナ８の下面８ｂから底面２２までの距離α２（例えば２ｍｍ）は、例えば、ミリ波帯の波長λ（例えば８ｍｍ）の略１／４に近い値になる。つまり、無線モジュール５が台座部材２０ａの設置面２０ｐに設置された状態において、アンテナ８から底面２２までの距離は、およそ（式１）により表される所定距離となる。これにより、アンテナ８から放射される指向性方向の信号に対する反射波による影響を抑制できる。
【００５８】
また、凹部２０ｄの壁面２１からアンテナ８の端部８ａまでの距離α１（例えば２．４ｍｍ以上）は、例えば、ミリ波帯の波長（例えば８ｍｍ）の略１／４以上の値になる。つまり、無線モジュール５が台座部材２０ａの設置面２０ｐに設置された状態において、アンテナ８から壁面２１までの距離は、およそ（式１）により表される所定距離以上である。これにより、指向性方向以外の信号に対する反射波による影響を抑制できる。
【００５９】
凹部２０ｄにより、アンテナ８周辺の所定範囲内に空隙が生じるので、例えば樹脂材料による反射波の発生を抑制でき、アンテナ特性の変化を抑えることでモジュール特性の低下を抑制できる。
【００６０】
図６（Ａ）は、無線モジュール５が設置された設置台２０の形状の第２変形例（設置台２０Ｂ）を示す断面図である。
【００６１】
図６（Ａ）は、設置台２０Ｂが可撓性部材（例えばゴム材又はスポンジ材）により形成される場合を示す。また、設置台２０Ｂの台座部材２０ａの例えば略中央には、開口部２０ｅとして、設置面２０ｐと直交する方向（Ｚ軸方向）に台座部材２０ａを貫通する孔部２０ｆが形成される。孔部２０ｆが形成されることで、アンテナ８の指向性方向に台座部材２０ａが存在せず、アンテナ８から放射された信号に対する反射波の影響を抑制できる。
【００６２】
無線モジュール５を検査する場合、プッシャ１０が降下してＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２を押圧すると、無線モジュール５を介して押圧される設置台２０Ｂの台座部材２０ａは、図中矢印ａに示すように、下向き（Ｚ軸負方向）に均等に沈むように撓む。これにより、無線モジュール５が下方に撓まず、無線モジュール５を水平状態に維持できる。従って、無線モジュール５のモジュール特性を、指向性方向の変化を抑制して、良好に検査できる。
【００６３】
図６（Ｂ）は、無線モジュール５が設置された設置台２０の形状の第３変形例（設置台２０Ｃ）を示す断面図である。
【００６４】
図６（Ｂ）では、台座部材２０ａの設置面２０ｐとは反対側に、ばね部材３１が設けられる。ばね部材３１は、設置台２０Ｃに加わる荷重を緩衝するダンパーとしての機能を有する。ここでは、ばね部材３１は、設置面２０ｐが押圧される方向に弾性を有する。プッシャ１０が降下した場合でも、設置台２０Ｃの下方向（押圧方向）に暗箱４０が存在するので、設置台２０Ｃの台座部材２０ａは、ばね部材３１の弾性力を受け、下方に沈み込むことを回避する。
【００６５】
よって、図６（Ａ）と同様、無線モジュール５が下方に撓まず、無線モジュール５を水平状態に維持できる。従って、無線モジュール５のモジュール特性を、指向性方向の変化を抑制して、良好に検査できる。
【００６６】
無線モジュールの設置台２０（２０，２０Ａ〜２０Ｃ）によれば、以下の効果が得られる。
【００６７】
ミリ波は、波長１ｍｍ〜１０ｍｍ、周波数３０〜３００ＧＨｚの電磁波（電波）である。ミリ波帯域の信号を用いる無線モジュール５のアンテナ８から放射される信号の送受信特性を検査する場合、非常に短い波長λとなることから、入射波と反射波との時間差における信号の位相差の変動が大きい。従って、設置台２０の例えば形状を工夫しない場合、アンテナ８から放射されたミリ波帯の信号に対する、同信号が例えば周辺構造物により反射された信号による品質への影響が、低周波数帯域の信号と比べて顕著に現れる。
【００６８】
設置台２０によれば、アンテナ８周辺に例えば誘電体材料からなる部材があり、高帯域（例えばミリ波帯域）を用いる無線モジュール５を検査する場合でも、アンテナ８の指向性の劣化を抑制できる。例えば、設置台２０の台座部材２０ａに凹部２０ｄ又は孔部２０ｆを形成することにより、アンテナ８の放射特性を改善できる。また、無線モジュール５が台座部材２０ａに設置され、アンテナ８から所定距離の範囲内に空隙が生じることで、反射波の影響を受けにくくなり、無線モジュール５の検査におけるモジュール特性の信頼性を向上できる。
【００６９】
同様に、設置台２０を含む検査装置１によれば、無線モジュール５の検査におけるモジュール特性の信頼性を向上でき、高精度にモジュール特性を計測できる。
【００７０】
（第２の実施形態）
第１の実施形態では、無線モジュール５のアンテナ８の指向性方向が、設置台２０の設置面２０ｐに直交する方向（Ｚ軸方向）である場合を示した。第２の実施形態では、アンテナ８の指向性方向が、設置台２０の設置面２０ｐに直交する方向（Ｚ軸方向）から所定角度ずれており、斜め方向である場合を示す。
【００７１】
第２の実施形態の検査装置１は、第１の実施形態の検査装置１と同様の構成を有する。第１の実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を用いることで、説明を省略又は簡略化する。
【００７２】
図７（Ａ）〜（Ｄ）は、無線モジュール５が設置された設置台２０Ｄの形状の一例を示す平面図又は断面図である。図７（Ａ）は、１個の無線モジュール５が設置された設置台２０Ｄを上方向（Ｚ軸正方向）から見た平面図である。図７（Ｂ）は、図７（Ａ）の設置台２０ＤのＣ−Ｃ’断面の概略図である。図７（Ｃ）は、複数個の無線モジュール５が設置された設置台２０Ｄを上方向（Ｚ軸正方向）から見た平面図である。図７（Ｄ）は、図８（Ｃ）の設置台２０ＤのＤ−Ｄ’断面の概略図である。図８（Ａ）〜（Ｄ）では、案内部材２０ｂは省略されている。
【００７３】
複数個の無線モジュール５は、例えば格子状に配列されるが、他の形状に配列されてもよい。また、ここでは、１個の無線モジュール５が設置される設置台２０Ｄについて主に説明するが、多数個の場合も同様である。
【００７４】
設置台２０Ｄは、例えば樹脂材料からなるソケット型に成形され、無線モジュール５が設置される台座部材２０ａを有する。台座部材２０ａは、開口部２０ｅを有する。台座部材２０ａの例えば略中央には、開口部２０ｅの一例として、台座部材２０ａを斜めに貫通する孔部２０ｇが形成される。つまり、孔部２０ｇは、Ｚ軸方向から所定角度傾斜される。
【００７５】
また、孔部２０ｇの壁面２１（内壁面）は、アンテナ８の指向性方向に沿ったテーパ面２０ｈを有する。なお、開口部２０ｅは、孔部２０ｇではなく、蓋部２０ｃを有する凹部２０ｄでもよい。
【００７６】
台座部材２０ａの孔部２０ｇの横方向（図７（Ａ），（Ｂ）ではＸ方向）の長さは、無線モジュール５の横方向の長さよりも短い。孔部２０ｇの縦方向（図７（Ａ），（Ｂ）ではＹ方向）の長さは、無線モジュール５の縦方向の長さよりも長い。
【００７７】
図８は、無線モジュール５が設置された設置台２０Ｄの形状の一例を示す断面図であり、図７（Ｂ）に対応する。設置台２０Ｄは、第１の実施形態と同様、アンテナ８が実装される実装面５ａを下向きにして、無線モジュール５が設置される台座部材２０ａを有する。
【００７８】
台座部材２０ａの例えば略中央には、開口部２０ｅとして、孔部２０ｇが形成される。孔部２０ｇの壁面２１は、アンテナ８から放射された信号の指向性方向に沿ったテーパ面２０ｈを有する。アンテナ８の指向性方向は、図８では、矢印ｂに示すように、アンテナ８から斜め下向きの方向である。
【００７９】
図８では、送信及び受信において、略同一の指向性を有しているので、図８における左右の壁面２１は、送受信時の指向性方向に沿ったテーパ面２０ｈを有する。
【００８０】
無線モジュール５を検査する場合、プッシャ１０が降下してＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２を押圧する。コンタクトピン１２を介して無線モジュール５に所定の荷重がかかると、無線モジュール５の実装面５ａを台座部材２０ａの開口部２０ｅの周囲が支持する。開口部２０ｅの周囲は、所定の加重に対して剛性を有し、無線モジュール５の例えば略中央部が下方に撓む変形を生じにくい。
【００８１】
また、アンテナ８の指向性方向に沿って孔部２０ｇの壁面２１がテーパに形成され、設置台２０Ｄの底面が存在しないので、指向性方向の信号の反射波による影響は無くなる。また、無線モジュール５を設置台２０Ｄに設置した場合、孔部２０ｇの壁面２１からアンテナ８の端部８ａまでに空隙があるので、指向性方向以外の信号に対する反射波による影響も抑制できる。また、アンテナ８周辺に、例えば誘電体材料からなる部材が存在することによるアンテナ８の指向性の劣化を抑制できる。
【００８２】
図９（Ａ），（Ｂ）は、アンテナ８から放射される信号の放射パターンｐの一例を示す模式図である。
【００８３】
図９（Ａ），（Ｂ）では、Ｘ軸方向が設置台２０Ｄの横方向を表し、Ｙ軸方向が設置台２０Ｄの縦方向を表し、Ｚ軸方向が設置台２０Ｄの上下方向を表す。また、無線モジュール５のアンテナ８の実装面５ａは、上向き（Ｚ軸正方向）に配置される。また、放射パターンｐでは、濃淡により電波強度を示し、濃い程電波強度が高い。図９（Ａ）、（Ｂ）では、同じ指向性を持つアンテナが用いられる。
【００８４】
図９（Ａ）は、設置台２０Ｄに設置された無線モジュール５から放射される信号の放射パターンｐのシミュレーション結果を示す。
【００８５】
図９（Ｂ）は、従来の設置台１２０に設置された無線モジュールから放射される信号の放射パターンｐのシミュレーション結果を示す。設置台１２０における無線モジュールのアンテナ実装面と接触する設置面には、凹部が形成されておらず、平坦である。つまり、設置台１２０は厚さ（Ｚ軸方向の長さ）が一様である。
【００８６】
設置台２０Ｄを用いた場合、図９（Ａ）に示すように、アンテナ８から放射される信号は、アンテナ８の指向性方向に、指向性方向以外よりも大きな電波強度を持つ放射パターンｐが得られる。つまり、図９（Ａ）を参照すると、Ｚ軸正方向からＸ軸方向に所定角度傾斜した方向（例えば６０度チルトした位置）が、放射される電波強度が最も大きい方向であり、指向性方向である。
【００８７】
一方、従来の設置台１２０を用いた場合、図９（Ｂ）に示すように、アンテナの指向性方向に大きな強度を持つ放射パターンｐが得られない。つまり、従来の設置台１２０を用いた場合、アンテナ８の周囲に所望の空隙が生じておらず、アンテナの放射特性が悪化することが理解できる。
【００８８】
図１０は、無線モジュール５が設置された設置台２０Ｄの形状の第１変形例（設置台２０Ｅ）を示す断面図である。設置台２０Ｅは、開口部２０ｅである凹部２０ｄの壁面２１が、指向性方向に沿うテーパ面２０ｈを有する。また、設置台２０Ｄの図１０における下側には、凹部２０ｄの底面２２を形成する蓋部２０ｃが設けられる。蓋部２０ｃの厚さ（Ｚ方向長さ）は、例えば２ｍｍである。
【００８９】
凹部２０ｄは、アンテナ８の下面８ｂから蓋部２０ｃの上面（底面２２）までの距離が、例えば２ｍｍとなるように形成される。凹部２０ｄは、アンテナ８の水平方向（Ｘ方向）の端部８ａからテーパ面２０ｈまでの距離が、例えば２．４ｍｍ以上となるように形成される。
【００９０】
アンテナ８の下面８ｂから底面２２までの距離（例えば２ｍｍ）は、ミリ波帯の波長（例えば８ｍｍ）の略１／４であるので、アンテナ８から放射される指向性方向の信号に対する反射波による影響を抑制できる。
【００９１】
また、テーパ面２０ｈに形成された凹部２０ｄの壁面２１からアンテナ８の端部８ａまでの距離（例えば２．４ｍｍ以上）は、ミリ波帯の波長（例えば８ｍｍ）の略１／４以上であるので、指向性方向以外の信号に対する反射波の影響を抑制できる。
【００９２】
また、設置台２０Ｅは蓋部２０ｃを有するので、無線モジュール５の実装面５ａを支持する台座部材２０ａを、荷重に対して強固にできる。
【００９３】
図１１は、無線モジュール５が設置された設置台２０Ｄの形状の第２変形例（設置台２０Ｆ）を示す断面図である。図１１では、アンテナ８が、送信及び受信において異なる指向性方向を有することを想定する。
【００９４】
設置台２０Ｆは、凹部２０ｄの両側の壁面２１のうち、一方の面は、アンテナ８により送信される信号の指向性方向に沿ったテーパ面２０ｈ１を有し、他方の面は、アンテナ８により受信される信号の指向性方向に沿ったテーパ面２０ｈ２を有する。即ち、凹部２０ｄの壁面２１は、末広がり型のテーパ面２０ｈを形成する。なお、テーパ面２０ｈ１が受信信号の指向性に沿い、テーパ面２０ｈ２が送信信号の指向性に沿う構成でもよい。
【００９５】
設置台２０Ｆは、末広がり型のテーパ面２０ｈを有する以外、設置台２０Ｅと同様である。例えば、各位置間の距離、厚さ（例えば２ｍｍ，２．４ｍｍ）は、設置台２０Ｅと同様であるので、説明を省略する。
【００９６】
この場合、測定用アンテナ４３として、暗箱４０には、受信用アンテナと送信用アンテナとを用いることにより、異なる方向から電波を送信又は受信できる。
【００９７】
このように、アンテナ８から放射される指向性方向の信号に対する、開口部２０ｅの壁面２１からの反射波による影響を抑制できる。また、アンテナ８により受信される指向性方向の信号に対する、開口部２０ｅの壁面２１からの反射波による影響を抑制できる。
【００９８】
（第３の実施形態）
第３の実施形態では、無線モジュール５のアンテナ８の指向性方向が、設置台の設置面に直交する方向（Ｚ軸方向）又は直交する方向から所定角度傾斜した方向である場合について説明する。第３の実施形態では、設置台が開口部として孔部を有する。
【００９９】
第３の実施形態の検査装置１は、第１の実施形態の検査装置１と同様の構成を有する。第１の実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を用いることで、説明を省略又は簡略化する。
【０１００】
図１３は、第３の実施形態における設置台２０Ｇの近傍の一例を示す部分拡大断面図である。設置台２０Ｇは、開口部２０ｅとして孔部２０ｉを有する。孔部２０ｉは、無線モジュール５側（Ｚ軸正側）の開口端面（ｘ−ｙ面）２０ｉ１の面積が、暗箱４０側（Ｚ軸負側）の開口端面２０ｉ２の面積よりも小さい。つまり、アンテナ８から放射され、空間に広がる電波に設置台２０Ｇが干渉しないように、設置台２０Ｇが形成される。開口端面２０ｉ１から開口端面２０ｉ２に向かって、孔部２０ｉの壁面としてテーパ面２０ｉ３が形成される。
【０１０１】
図１３では、孔部２０ｉにおけるテーパ面２０ｉ３と、開口端面２０ｉ１又は開口端面２０ｉ２と、により形成される角度θは、例えば、アンテナ８の放射パターンに応じて決定される。図１３では、角度θは、Ｚ軸に沿う方向とテーパ面２０ｉ３とのなす角度として示されている。例えば、アンテナ指向性（電波の放射方向）の半値角が±３０度の場合、この±３０度に±１５度を追加して、上記角度θを４５度以上としてもよい。これにより、電波の放射方向に誘電体部材が存在する可能性を更に低減でき、アンテナ特性の変化を抑えることでモジュール特性の劣化を抑制してモジュール特性を測定できる。
【０１０２】
図１３では、開口端面２０ｉ１の面積と開口端面２０ｉ２の面積との差を、可能な限り大きくしてもよい。この場合、設置台２０の強度を増大できる。
【０１０３】
図１４は設置台２０Ｇを下方向（Ｚ軸負方向）から見た平面図である。開口端面２０ｉ１は、孔部２０ｉのＺ軸正側の端面である。開口端面２０ｉ２は、孔部２０ｉのＺ軸負側の端面である。設置台２０Ｇを下方向から見ると、開口端面２０ｉ１内には、無線モジュール５に実装されたアンテナ８を確認できる。図１４では、開口端面２０ｉ１，２０ｉ２は、略矩形状に形成されるが、他の形状（例えば略円形状）に形成されてもよい。
【０１０４】
図１４では、アンテナ８は、例えば、８個のアンテナ素子を含み、２×２のパッチアンテナを２個含む。パッチアンテナの形状は２×２以外でもよく、パッチアンテナの数も２個以外でもよい。
【０１０５】
各アンテナ素子と開口端面２０ｉ１との距離ｄ１は、アンテナ８が使用する通信周波数に対応する波長を波長λとすると、例えば、λ／２以上に設定される。これにより、設置台２０Ｇの壁面（テーパ面２０ｉ３）からの反射波の影響およびアンテナに対する放射インピーダンスの変化を抑制できる。
【０１０６】
図１４では、一例として、ｄ１＝λ／２に設定される。この場合、コンタクトピン１２により押し付けを受ける部分が比較的広いので、放射される電波の劣化を抑制し、押圧に対する設置台２０Ｇの強度も確保できる。
【０１０７】
設置台２０Ｇによれば、アンテナ８による電波の放射方向、つまりアンテナ８からＺ軸負側に誘電体材料（例えば樹脂材料）が配置されていないので、放射された電波強度の低減および放射パターンの変形を抑制できる。
【０１０８】
次に、孔部２０ｉの変形例について説明する。
図１５（Ａ）〜（Ｃ）は、孔部２０ｉの構成の変形例を示す平面図である。
【０１０９】
図１５（Ａ）に示す第１変形例では、無線モジュール５のｘ−ｙ面における中心と、開口端面２０ｉ１，２０ｉ２のＸ−Ｙ面における中心と、が略一致するように配置される。図１５（Ａ）では、アンテナ素子がＹ軸に沿って２列に配列されるが、Ｘ軸正側の列に配置されたアンテナ素子と開口端面２０ｉ１との距離ｄ２は、略λ／２であり、Ｘ軸負側の列に配置されたアンテナ素子と開口端面２０ｉ１との距離ｄ２は、略λ／２以上である。
【０１１０】
このように、アンテナ８の中心が開口端面２０ｉ１の中心からずれて配置されてもよい。この場合でも、コンタクトピン１２（図１３参照）がＸ軸正側よりもＸ軸負側において広範囲にわたって無線モジュール５を押圧する。従って、無線モジュール５を設置台２０Ｇに対して均等に押しつけることができる。
【０１１１】
図１５（Ｂ）に示す第２変形例では、無線モジュール５のＸ−Ｙ面における中心と、開口端面２０ｉ１，２０ｉ２のＸ−Ｙ面における中心と、が略一致するように配置される。図１５（Ｂ）では、アンテナ８に含まれる各アンテナ素子と開口端面２０ｉ１との距離は、略λ／２以上である。図１５（Ｂ）では、開口端面２０ｉ１の面積が、無線モジュール５の実装面５ａの面積よりも若干小さく形成される。この場合、図１５（Ｂ）に示すように、実装面５ａに対応する範囲内に、開口端面２０ｉ１が含まれる。よって、コンタクトピン１２により無線モジュール５を設置台２０Ｇへ押圧可能に、図１５（Ａ）の場合よりも孔部２０ｉが大きく形成される。この場合、アンテナ８から放射された電波と誘電体部材との干渉を更に低減し、アンテナ特性の変化を抑えることで無線モジュール５の計測精度を向上できる。
【０１１２】
図１５（Ｃ）に示す第３変形例では、開口端面２０ｉ１における対向する２辺（ここでは辺２０１，２０２）の長さが、この２辺と平行な無線モジュール５の２辺（ここでは辺２０３，２０４）よりも長い。この場合、無線モジュール５における対向する２辺（ここでは辺２０１，２０２）の近傍において、コンタクトピン１２により無線モジュール５が押圧される。この２辺以外の辺の近傍では、コンタクトピン１２により無線モジュール５が押圧されない。図１５（Ｃ）では、アンテナ８に含まれる各アンテナ素子と開口端面２０ｉ１との距離は、略λ／２以上である。
【０１１３】
従って、実装面５ａにおけるＹ軸方向の両端部には、コンタクトピン１２により当接される領域が存在する。実装面５ａにおけるＸ軸方向の両端部には、コンタクトピン１２により当接される領域が存在しない。この場合でも、実装面５ａにおけるＹ軸方向の両端部において無線モジュール５を固定できるので、アンテナ８から放射された電波と誘電体部材との干渉を低減し、アンテナ特性の変化を抑えることで無線モジュール５の計測精度を向上できる。
【０１１４】
このように、孔部２０ｉが、ｘ−ｙ面に沿う面において、いずれかの方向（例えばＹ軸方向）に開口端面２０ｉ１よりも長い場合でも、無線モジュール５を押圧して固定でき、無線モジュール５のモジュール特性を計測できる。
【０１１５】
本実施形態によれば、アンテナ８から放射され、空間に広がる電波を考慮して孔部２０ｉが形成されるので、放射電波が設置台２０Ｇの誘電体部分と干渉することを抑制できる。よって、アンテナ特性の変化を抑えることで無線モジュール５の測定精度、検査精度を向上できる。
【０１１６】
従来のＩＣソケットは、モジュールの端子から出力される信号特性を測定するために用いられるＩＣソケットであり、アンテナが実装されたモジュールの特性を測定するものではなかった（例えば、参考特許文献参照）。
（参考特許文献：日本国特開２００９−２４５８８９号公報）
【０１１７】
従来のＩＣソケットと比較すると、本実施形態の設置台２０ｉは、アンテナ８が実装された無線モジュール５の特性を測定することを考慮した形状に形成されており、アンテナ特性の変化を抑えることで無線モジュール５の計測精度、検査精度の劣化を抑制できる。
【０１１８】
（第４の実施形態）
第４の実施形態は、第３の実施形態の変形例である。第４の実施形態では、暗箱４０を用いず、暗箱４０とは別体の電波吸収体を用いて、アンテナが実装されたモジュールの特性を計測する。
【０１１９】
図１６は、第４の実施形態における設置台２０Ｇを含む検査装置１Ｂの部分構成例を示す断面図である。検査装置１Ｂは、図１に示した暗箱４０を備えず、電波吸収体４４、アクリル板４５、及び測定器４８を備える。検査装置１Ｂにおいて、図１に示した検査装置１又は図１３に示した設置台２０Ｇと同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略又は簡略化する。
【０１２０】
電波吸収体４４は、測定器４８から反射波された電波を吸収し、測定器４８から無線モジュール５へ向かう電波を減少させる。アクリル板４５は、電波吸収体４４を支持し、電波吸収体４４の位置を固定する。測定器４８は、例えば、前述した測定用アンテナ４３と、測定用アンテナ４３により受信又は送信した電波の強度を計測するモジュール特性計測部と、を含んで構成される。
【０１２１】
図１６では、設置台２０Ｇの下側（Ｚ軸負側）に電波吸収体４４、アクリル板４５、及び測定器４８が配置される。電波吸収体４４のＸ方向におけるアンテナ８の中心部側の端部は、例えば、孔部２０ｉのテーパ面２０ｉ３の略延長線上の位置に配置される。これにより、測定器４８から放射される反射電波が、設置台２０Ｇから放射された電波と干渉することを抑制できる。検査ボード３３とアクリル板４５との距離は、設置台２０Ｇに干渉しない限り近接してもよい。
【０１２２】
検査装置１Ｂによれば、暗箱４０を用いることなく、検査装置１Ｂを小型化してアンテナ８が実装された無線モジュール５の特性を測定できる。また、無線モジュール５から放射された電波は空間で広がりながら伝搬するが、電波吸収体４４により測定器４８による反射波又は放射波を低減するので、アンテナ特性の変化を抑えることで無線モジュール５の測定精度を向上できる。
【０１２３】
（第５の実施形態）
第１〜第４の実施形態では、無線モジュールがコンタクトピンにより押下されることで無線モジュールが設置台に固定され、設置台が検査ボード３３に固定されることを例示した。第５の実施形態では、フックを用いて複数の部材により無線モジュール５を固定するモジュールソケットについて説明する。
【０１２４】
第５の実施形態では、図１７（Ａ）に示した矢印ａの方向にアンテナ８からの電波が放射される。矢印ａの先の方向には、例えば、図１６に示した測定器４８、又は、図１に示したモジュール特性を測定する装置（例えば、測定用アンテナ４３、モジュール特性計測部）が配された暗箱４０、が配置される。モジュール特性の測定は、例えば、先述の実施形態における測定方法と同様の方法により実施される。
【０１２５】
図１７（Ａ），（Ｂ）は、モジュールソケット２０Ｈの形状及びモジュールソケット２０Ｈ近傍の部材の一例を示す断面図及び平面図である。図１７（Ａ）は、正面（Ｙ軸正側）から視た場合のモジュールソケット２０Ｈの断面を示す。図１７（Ｂ）は、図１７（Ａ）のモジュールソケットを上方（Ｚ軸負側）から視た場合のソケット蓋２３の形状を示す。
【０１２６】
無線モジュール５の上面（Ｚ軸負側のＸ−Ｙ面に沿う面）には、Ｚ軸方向、つまり実装面５ａと略直交する方向に電波を放射するアンテナ８が実装される。
【０１２７】
モジュールソケット２０Ｈは、ベース部２６、ソケット蓋２３、及びフック２５を含んで構成される。ベース部２６は、無線モジュール５に対し、電源を供給し、信号の入出力を行う検査ボード３３に搭載される。検査ボード３３には、例えば、測定器４８又は電源（図示せず）と接続されるコネクタ、無線モジュール５の外部部品としての電子部品（例えば、コンデンサ、電源用ＩＣ）が実装される。
【０１２８】
ベース部２６には、無線モジュール５が収容される凹部２６ａに形成される。凹部２６ａの底面である設置面２６ｅに無線モジュール５が設置される。ベース部２６の設置面２６ｅには、凹部２６ａに収容された無線モジュール５の電極端子（ボール）５ｂの各々と接触する複数の導電性ピン２７が配置される。導電性ピン２７は、設置面２６ｅから突出する。複数の導電性ピン２７は、検査ボード３３における例えば信号線又は電源線と接続される。
【０１２９】
ソケット蓋２３は、ベース部２６に設置された無線モジュール５を押圧するように、無線モジュール５の実装面５ａに当接される。ソケット蓋２３の略中央部には、突部（凸部）２３ｅが形成され、凸部２３ｅをＺ軸に沿う方向に貫通するように開口部２３ａとして孔部が形成される。開口部２３ａのＸ−Ｙ面に沿う断面の形状は、矩形状、円形状でもよく、その他の形状でもよい。
【０１３０】
開口部２３ａでは、下側（Ｚ軸正側）において開口面積が小さく、上側（Ｚ軸正側）で開口面積が大きい。開口部２３ａの内壁面の角度は、例えば、Ｚ軸方向に対して、４５度傾斜したテーパ状の斜面に形成される。開口面積が最も小さい下側の開口端部２３ｄとアンテナ８の素子との距離ｄ１は、例えばλ／２以上である。λは無線モジュール５から放射される電波の波長である。
【０１３１】
開口部２３ａの角度においては、例えばアンテナ８による電波の放射パターンに応じて、最小角度が異なる。開口部２３ａの角度は、例えば、アンテナ指向性の半値角が±３０度の場合、半値角に±１５度を追加して±４５度以上とする。これにより、モジュールソケット２０Ｈの加工の容易性とモジュールソケット２０Ｈの強度とを両立できる。
【０１３２】
ソケット蓋２３は、無線モジュール５の上面（Ｚ軸負側の面）において端辺である４辺付近に均等に力が加わるように、凸部２３ｅによって無線モジュール５を下方向（Ｚ軸正方向）に押さえ付ける。例えば、無線モジュール５の略中央部にアンテナ８が配置される場合、無線モジュール５の周縁部が均等に押さえ付けられる。例えば、無線モジュール５の片側に偏ってアンテナ８が配置される場合、ソケット蓋２３の凸部２３ｅの下面（Ｚ軸正側の面）では、Ｘ軸方向の一端側とＸ軸方向の他端側とにおいて無線モジュール５との接触面積が異なる。この場合でも、無線モジュール５における広さの異なる面により、無線モジュール５を均等に押さえ付けられる。
【０１３３】
フック２５は、ベース部２６に段部として形成された引っ掛かり部２６ｃと、ソケット蓋２３に段部として形成された引っ掛かり部２３ｂと、にそれぞれ係合する一対の係止片２５ａ，２５ｂを有する。フック２５は、ベース部２６及びソケット蓋２３を挟み込んで固定する。これにより、無線モジュール５がベース部２６及びソケット蓋２３により挟持される。図１７（Ａ）では、フック２５が２個使用されることを例示したが、３個以上使用されてもよい。
【０１３４】
モジュール特性の検査開始前、無線モジュール５は、ベース部２６の凹部２６ａに収容され、複数の電極端子５ｂの各々が複数の導電性ピン２７と接触する。無線モジュール５は、ソケット蓋２３の凸部２３ｅにより押圧され、フック２５は、ソケット蓋２３とベース部２６とを挟み込む。これにより、モジュールソケット２０Ｈにおいて無線モジュール５が固定される。
【０１３５】
モジュールソケット２０Ｈによれば、モジュールソケット２０Ｈの部材（例えば樹脂部材）の影響を抑制できる。これにより、アンテナ８の実装面５ａと略直交する方向に指向性を有するアンテナ８を備えた無線モジュール５のモジュール特性の測定精度、検査精度を向上できる。例えば、モジュールソケット２０ＨよりもＺ軸負側に配置されたモジュール特性の測定器（例えば、モジュール特性計測部、測定器４８）により測定されるモジュール特性の測定精度の劣化を抑制できる。
【０１３６】
また、ソケット蓋２３の凸部２３ｅによって無線モジュール５が均等に押圧されるので、電極端子５ｂと導電性ピン２７とを良好に接触できる。そのため、例えば、無線モジュール５への電源の供給又は信号の入出力を安定的に実行できる。
【０１３７】
また、電極端子５ｂと導電性ピン２７との接触によって無線モジュール５とベース部２６との電気的接続が確保されるので、検査対象である無線モジュール５の交換が容易である。
【０１３８】
また、フック２５が、ベース部２６とソケット蓋２３とにより無線モジュール５を挟み込むように固定するので、無線モジュール５の位置ずれを抑制できる。
【０１３９】
また、無線モジュール５がベース部２６に形成された凹部２６ａに収容されるので、モジュールソケット２０Ｈの厚さを薄くできる。
【０１４０】
また、ベース部２６の導電性ピン２７は、例えば検査ボード３３上の信号線又は電源線と接続されるので、無線モジュール５の検査に必要な信号を入出力できる。
【０１４１】
また、ソケット蓋２３に開口部２３ａが形成されるので、無線モジュール５に実装されたアンテナ８から誘電体（例えば樹脂）により形成された部材を離間でき、アンテナ８のモジュール特性に与える影響を抑制できる。従って、アンテナ特性の変化を抑えることで無線モジュール５の測定精度、検査精度を向上できる。
【０１４２】
なお、本開示は、上記実施形態の構成に限られるものではなく、特許請求の範囲で示した機能、または本実施形態の構成が持つ機能が達成できる構成であればどのようなものであっても適用可能である。
【０１４３】
（本開示の一形態の概要）
本開示の第１のモジュールソケットは、
アンテナを備える無線モジュールにおける前記アンテナが実装される実装面と当接する設置面を有する台座部材と、
前記設置面に前記無線モジュールが設置された状態において、前記アンテナから電波の放射方向に向かって所定距離の範囲内に形成された空隙部と、
を有する。
【０１４４】
本開示の第２のモジュールソケットは、第１のモジュールソケットであって、
前記台座部材は、前記設置面に接続された第１の面を有し、
前記空隙部は、前記台座部材を貫通する孔部を有する。
【０１４５】
本開示の第３のモジュールソケットは、第１のモジュールソケットであって、
前記台座部材は、前記設置面に接続される第１の面と、
前記第１の面に接続され前記設置面に対向する第２の面と、を有し、
前記空隙部は、前記第１の面及び前記第２の面により形成された凹部を有する。
【０１４６】
本開示の第４のモジュールソケットは、第３のモジュールソケットであって、
前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記アンテナから前記第１の面までの距離は、前記アンテナにより送信又は受信される電波の波長をλとし、整数をｎとした場合、略１／４×λ×（４ｎ＋１）により表される距離以上である。
【０１４７】
本開示の第５のモジュールソケットは、第３または第４のモジュールソケットであって、
前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記アンテナから前記第２の面までの距離は、前記アンテナにより送信又は受信される電波の波長をλとし、整数をｎとした場合、略１／４×λ×（４ｎ＋１）により表される距離である。
【０１４８】
本開示の第６のモジュールソケットは、第３または第４のモジュールソケットであって、
前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向に沿って形成されたテーパ面を含む。
【０１４９】
本開示の第７のモジュールソケットは、第６のモジュールソケットであって、
前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向が電波の送信及び受信において略同一方向である場合、前記略同一方向に沿って形成されたテーパ面を含む。
【０１５０】
本開示の第８のモジュールソケットは、第６のモジュールソケットであって、
前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向が電波の送信と受信において異なる方向である場合、
前記送信における第１の指向性方向に沿って形成されたテーパ面と、
前記受信における第２の指向性方向に沿って形成されたテーパ面と、
を含む。
【０１５１】
本開示の第９のモジュールソケットは、第１ないし第８のいずれか１つのモジュールソケットであって、
前記台座部材は、前記設置面が押圧される方向に弾性を有する。
【０１５２】
本開示の第１０のモジュールソケットは、第２のモジュールソケットであって、
前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向に沿って形成されたテーパ面を含み、
前記孔部は、前記設置面側に位置する第１の開口端面と、
前記設置面と反対側に位置し、前記第１の開口端面の面積よりも面積が大きい第２の開口端面と、
を含む。
【０１５３】
本開示の第１１のモジュールソケットは、第１０のモジュールソケットであって、
前記テーパ面は、前記設置面に直交する軸に対して、前記アンテナの半値角に基づく傾斜を有する。
【０１５４】
本開示の第１２のモジュールソケットは、第１０または第１１のモジュールソケットであって、
前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記アンテナから前記第１の面までの距離は、前記アンテナにより送信又は受信される電波の波長をλとした場合、１／２×λにより表される距離以上である。
【０１５５】
本開示の第１３のモジュールソケットは、第１２のモジュールソケットであって、
前記第１の開口端面は、前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記無線モジュールと対向する範囲内に位置する。
【０１５６】
本開示の第１４のモジュールソケットは、第１２のモジュールソケットであって、
前記第１の開口端面は、前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、第１の方向における両端部が、前記無線モジュールと対向し、前記第１の方向と直交する第２の方向における両端部が、前記無線モジュールと対向しない。
【０１５７】
本開示の無線モジュール検査装置は、
第１ないし第１４のいずれか１つのモジュールソケットと、
前記モジュールソケットに設置される無線モジュールの電極端子に当接し、所定信号または電力を前記無線モジュールに供給する接触子と、
前記接触子を前記無線モジュール側に押圧するプッシャと、
前記無線モジュールに実装された第１のアンテナから放射された電波を受信し、または前記第１のアンテナへ電波を放射する第２のアンテナと、
電波吸収体に包囲され、前記モジュールソケットと対向し、前記第２のアンテナを収容するアンテナ収容部と、
を備える。
【０１５８】
本開示の無線モジュール検査方法は、
第１ないし第１４のいずれか１つのモジュールソケットに無線モジュールを設置するステップと、
前記モジュールソケットに設置された前記無線モジュールの電極端子に、所定信号または電力を前記無線モジュールに供給する接触子を当接するステップと、
前記接触子を前記無線モジュール側に押圧するステップと、
電波吸収体に包囲され、前記モジュールソケットと対向するアンテナ収容部に収容された第２のアンテナにより、前記無線モジュールに実装された第１のアンテナから放射された電波を受信し、又は第１のアンテナへ電波を放射するステップと、
を有する。
【０１５９】
本出願は、2013年3月5日出願の日本特許出願No.2013-043494に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１６０】
本開示は、無線モジュールの検査におけるモジュール特性の信頼性を向上できるモジュールソケット、無線モジュールの検査装置等に有用である。
【符号の説明】
【０１６１】
１，１Ｂ  検査装置
３  ＩＣハンドラ
５  無線モジュール
５ａ  実装面
５ｂ  電極端子
８  アンテナ
８ａ  アンテナの端部
８ｂ  アンテナの下面
１０  プッシャ
１２  コンタクトピン
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅ，２０Ｆ，２０Ｇ，１２０  設置台
２０Ｈ  モジュールソケット
２０ａ  台座部材
２０ｂ  案内部材
２０ｃ  蓋部
２０ｄ  凹部
２０ｅ  開口部
２０ｇ，２０ｆ，２０ｉ  孔部
２０ｉ１，２０ｉ２  開口端面
２０ｈ，２０ｈ１，２０ｈ２，２０ｉ３  テーパ面
２０ｐ  設置面
２１  壁面
２２  底面
２３  ソケット蓋
２３ａ  開口部
２３ｂ  引っ掛かり部
２３ｄ  開口端部
２３ｅ  凸部
２５  フック
２５ａ，２５ｂ  係止片
２６  ベース部
２６ａ  凹部
２６ｃ  引っ掛かり部
２６ｅ  設置面
２７  導電性ピン
３１  ばね部材
３２  ガスケット
３３  検査ボード
３４  結合部材
３４ａ  開口部
３５  設置台補助部材
３５ａ  開口部
４０  暗箱
４０Ａ  開口部
４０Ｂ  天井面
４３  測定用アンテナ
４３ａ  ４本脚
４３ｂ  架台
４６  緩衝材
４７  電波吸収体
４８  測定器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2014136159.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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【国際調査報告】
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2014136159.tif 000021
2014136159.tif 000022
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