(57)【要約】  型（１００）は、アルミニウム基材（１２）と、アルミニウム基材上に形成されたポーラスアルミナ層（１４）とを備え、ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数のミクロな凹部（１４ｐ）を表面（１８ｓ）に有する円筒状の型であって、型の円周方向における位置を特定する少なくとも１つのマーカー部（５０）を側面にさらに有し、少なくとも１つのマーカー部の最大高さＲｚは５００ｎｍ超であり、かつ、少なくとも１つのマーカー部の算術平均粗さＲａは３００ｎｍ以下である。
2016027827.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム基材と、前記アルミニウム基材上に形成されたポーラスアルミナ層とを備え、
前記ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数のミクロな凹部を表面に有する円筒状の型であって、
前記型の円周方向における位置を特定する少なくとも１つのマーカー部を側面にさらに有し、前記少なくとも１つのマーカー部の最大高さＲｚは５００ｎｍ超であり、かつ、前記少なくとも１つのマーカー部の算術平均粗さＲａは３００ｎｍ以下である、型。
【請求項２】
前記少なくとも１つのマーカー部の最大高さＲｚは１μｍ未満であり、かつ、前記少なくとも１つのマーカー部の算術平均粗さＲａは２００ｎｍ未満である、請求項１に記載の型。
【請求項３】
前記少なくとも１つのマーカー部は、前記複数のミクロな凹部よりも深いマーカー凹部を有する、請求項１または２に記載の型。
【請求項４】
前記少なくとも１つのマーカー部は、前記型の底面近傍に設けられた第１のマーカー部と、前記第１のマーカー部と同じ底面の近傍に設けられた第２のマーカー部とを有し、
前記第２のマーカー部の前記型の円周方向における位置は、前記第１のマーカー部の位置をθ2回転した位置であり、θ2は２０°以上１３５°以下である、請求項１から３のいずれかに記載の型。
【請求項５】
前記少なくとも１つのマーカー部は、前記第１のマーカー部と反対側の底面近傍に設けられた第３のマーカー部をさらに有する、請求項４に記載の型。
【請求項６】
前記第３のマーカー部の前記型の円周方向における位置は、前記第１のマーカー部の位置をθ3回転した位置であり、θ3は−３０°以上θ2／２−１０°以下である、請求項５に記載の型。
【請求項７】
前記ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが５００ｎｍ以上２００μｍ未満の複数のマクロな凹部を表面にさらに有する、請求項１から６のいずれかに記載の型。
【請求項８】
アルミニウム基材と、前記アルミニウム基材上に形成されたポーラスアルミナ層とを備え、
前記ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数のミクロな凹部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが５００ｎｍ以上２００μｍ未満の複数のマクロな凹部とを表面に有する円筒状の型であって、
前記型の円周方向における位置を特定する少なくとも１つのマーカー部を側面にさらに有し、前記少なくとも１つのマーカー部は、前記複数のマクロな凹部を有しない、型。
【請求項９】
アルミニウム基材と、前記アルミニウム基材上に形成されたポーラスアルミナ層とを備える円筒状の型であって、前記ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数のミクロな凹部を表面に有する円筒状の型を用意する工程（ａ）と、
前記型の側面の少なくとも一部を、開口部を有するマーク型で覆い、前記マーク型の上から前記開口部内の前記型の側面に傷をつける工程（ｂ）と
を包含する、型の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、型および型の製造方法に関し、例えば、反転されたモスアイ構造を表面に有する型に関する。ここでいう「型」は、種々の加工方法（スタンピングやキャスティング）に用いられる型を包含し、スタンパということもある。また、印刷（ナノプリントを含む）にも用いられ得る。
【背景技術】
【０００２】
テレビや携帯電話などに用いられる表示装置やカメラレンズなどの光学素子には、通常、表面反射を低減して光の透過量を高めるために反射防止技術が施されている。例えば、空気とガラスとの界面を光が入射する場合のように屈折率が異なる媒体の界面を光が通過する場合、フレネル反射などによって光の透過量が低減し、視認性が低下するからである。【０００３】
近年、反射防止技術として、凹凸の周期が可視光（λ＝３８０ｎｍ〜７８０ｎｍ）の波長以下に制御されたミクロな凹凸パターンを基板表面に形成する方法が注目されている（特許文献１から３を参照）。反射防止機能を発現する凹凸パターンを構成する凸部の２次元的な大きさは１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満である。ここで、凸部の「２次元的な大きさ」とは、表面の法線方向から見たときの凸部の面積円相当径を指し、例えば、凸部が円錐形の場合、凸部の２次元的な大きさは、円錐の底面の直径に相当する。凹部の「２次元的な大きさ」も同様である。【０００４】
この方法は、いわゆるモスアイ（Ｍｏｔｈ−ｅｙｅ、蛾の目）構造の原理を利用したものであり、基板に入射した光に対する屈折率を凹凸の深さ方向に沿って入射媒体の屈折率から基板の屈折率まで連続的に変化させることによって例えば可視光域の反射を抑えている。【０００５】
モスアイ構造は、広い波長域にわたって入射角依存性の小さい反射防止作用を発揮できるほか、多くの材料に適用でき、凹凸パターンを基板に直接形成できるなどの利点を有している。その結果、低コストで高性能の反射防止膜（または反射防止表面）を提供できる。【０００６】
本出願人は、モスアイ構造を有する反射防止膜（または反射防止表面）の製造方法として、アルミニウムを陽極酸化することによって得られる陽極酸化ポーラスアルミナ層を用いる方法を開発してきた（特許文献２および３）。【０００７】
陽極酸化ポーラスアルミナ膜を利用することによって、モスアイ構造を表面に形成するための型（以下、「モスアイ用型」という。）を容易に製造することができる。特に、特許文献２および３に記載されているように、アルミニウムの陽極酸化膜の表面をそのまま型として利用すると、製造コストを低減する効果が大きい。モスアイ構造を形成することができるモスアイ用型の表面の構造を「反転されたモスアイ構造」ということにする。【０００８】
また、特許文献１から４に記載されているように、モスアイ構造（ミクロ構造）に加えて、モスアイ構造よりも大きな凹凸構造（マクロ構造）を設けることによって、反射防止膜（または反射防止表面）にアンチグレア（防眩）機能を付与することができる。アンチグレア機能を発揮する凹凸構造（「アンチグレア構造」ということがある。）を構成する凸部または凹部の２次元的な大きさは２００ｎｍ以上１００μｍ未満である。また、アンチグレア構造を形成することができる型の表面の構造を「反転されたアンチグレア構造」ということにする。【０００９】
なお、本明細書においては、モスアイ構造（または反転されたモスアイ構造）を構成する凹凸をミクロな凹凸と呼び、アンチグレア構造（または反転されたアンチグレア構造）を構成する凹凸をマクロな凹凸と呼ぶことにする。マクロな凹凸の２次元的な大きさの範囲は、ミクロな凹凸の２次元的な大きさの範囲と部分的に重なっているが、アンチグレア機能を有する反射防止膜（または反射防止表面）において、アンチグレア構造を構成する凹凸構造は、反射防止機能を発現するモスアイ構造を構成する凹凸構造よりも大きい。【００１０】
また、本出願人は、例えば、特許文献５に、円筒状（ロール状）のモスアイ用型を用いて、ロール・ツー・ロール方式により反射防止膜を効率良く製造する方法を開発している。円筒状のモスアイ用型は、例えば、金属製の円筒の外周面に有機絶縁層または無機絶縁層を形成し、この絶縁層上に形成したアルミニウム膜に対して陽極酸化とエッチングとを交互に繰り返すことによって形成される。【００１１】
特許文献１から５の開示内容の全てを参考のために本明細書に援用する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特表２００１−５１７３１９号公報
【特許文献２】特表２００３−５３１９６２号公報
【特許文献３】国際公開第２０１１／０５５７５７号
【特許文献４】国際公開第２０１３／１４６６５６号
【特許文献５】国際公開第２０１１／１０５２０６号
【特許文献６】特開２００２−１１６３１５号公報
【特許文献７】国際公開第２０１４／１０４３０８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明者の検討によると、円筒状のモスアイ用型を用いて、例えば、反射防止膜を製造すると、型の回転に応じて周期的な欠陥が発生することがあり、それにより、歩留りが低下するという問題が発生することがわかった。この問題は、反射防止膜を製造する場合に限られず、上述の反転されたモスアイ構造を有する型を用いて、モスアイ構造を有する表面を備える膜を製造する場合に共通の問題である。【００１４】
本発明は、モスアイ構造を有する表面を備える膜の製造歩留りを向上させることができる型および型の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の実施形態による型は、アルミニウム基材と、前記アルミニウム基材上に形成されたポーラスアルミナ層とを備え、前記ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数のミクロな凹部を表面に有する円筒状の型であって、前記型の円周方向における位置を特定する少なくとも１つのマーカー部を側面にさらに有し、前記少なくとも１つのマーカー部の最大高さＲｚは５００ｎｍ超であり、かつ、前記少なくとも１つのマーカー部の算術平均粗さＲａは３００ｎｍ以下である。【００１６】
ある実施形態において、前記少なくとも１つのマーカー部の最大高さＲｚは１μｍ未満であり、かつ、前記少なくとも１つのマーカー部の算術平均粗さＲａは２００ｎｍ未満である。【００１７】
ある実施形態において、前記少なくとも１つのマーカー部は、前記複数のミクロな凹部よりも深い深さを有するマーカー凹部を有する。【００１８】
ある実施形態において、前記少なくとも１つのマーカー部は、前記型の底面近傍に設けられた第１のマーカー部と、前記第１のマーカー部と同じ底面の近傍に設けられた第２のマーカー部とを有し、前記第２のマーカー部の前記型の円周方向における位置は、前記第１のマーカー部の位置をθ2回転した位置であり、θ2は２０°以上１３５°以下である。【００１９】
ある実施形態において、前記少なくとも１つのマーカー部は、前記第１のマーカー部と反対側の底面近傍に設けられた第３のマーカー部をさらに有する。【００２０】
ある実施形態において、前記第３のマーカー部の前記型の円周方向における位置は、前記第１のマーカー部の位置をθ3回転した位置であり、θ3は−３０°以上θ2／２−１０°以下である。【００２１】
ある実施形態において、前記ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが５００ｎｍ以上２００μｍ未満の複数のマクロな凹部を表面にさらに有する。【００２２】
本発明の他の実施形態による型は、アルミニウム基材と、前記アルミニウム基材上に形成されたポーラスアルミナ層とを備え、前記ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数のミクロな凹部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが５００ｎｍ以上２００μｍ未満の複数のマクロな凹部とを表面に有する円筒状の型であって、前記型の円周方向における位置を特定する少なくとも１つのマーカー部を側面にさらに有し、前記少なくとも１つのマーカー部は、前記複数のマクロな凹部を有しない。【００２３】
本発明の実施形態による型の製造方法は、アルミニウム基材と、前記アルミニウム基材上に形成されたポーラスアルミナ層とを備える円筒状の型であって、前記ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数のミクロな凹部を表面に有する円筒状の型を用意する工程（ａ）と、前記型の側面の少なくとも一部を、開口部を有するマーク型で覆い、前記マーク型の上から前記開口部内の前記型の側面に傷をつける工程（ｂ）とを包含する。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の実施形態によると、モスアイ構造を有する表面を備える膜の製造歩留りを向上させることができる型および型の製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】（ａ）は、本発明による実施形態１のモスアイ用型１００の模式的な斜視図であり、（ｂ）は、モスアイ用型１００のマーカー部５０以外の部分の模式的な断面図であり、（ｃ）は、モスアイ用型１００のマーカー部５０の模式的な断面図であり、（ｄ）は、モスアイ用型１００を用いて形成された反射防止膜３２の表面を垂直方向から観察したときの模式図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、モスアイ用型１００の製造方法を説明するための模式的な断面図である。（ｃ）は、モスアイ用型１００を用いて形成された反射防止膜３２の模式的な断面図である。（ｄ）および（ｅ）は、モスアイ用型１００の製造方法を説明するための模式的な図であり、それぞれ、モスアイ用型１００およびモスアイ用型１００’の側面の模式図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、比較例のモスアイ用型２００の製造方法を説明するための模式的な断面図である。（ｃ）は、比較例のモスアイ用型２００を用いて形成された反射防止膜３２の模式的な断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、モスアイ用型１００の底面近傍の側面を、側面の法線方向から観察したときの模式図である。
【図５】（ａ）〜（ｆ）は、それぞれ、モスアイ用型１００の底面近傍の側面を、側面の法線方向から観察したときの模式図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、本発明による実施形態１のモスアイ用型１０３の底面近傍の側面を、側面の法線方向から観察したときの模式図であり、（ｄ）は、本発明による実施形態１のモスアイ用型１０５の底面近傍の側面を、側面の法線方向から観察したときの模式図である。
【図７】（ａ）は、本発明による実施形態３のモスアイ用型１１０の模式的な断面図であり、（ｂ）は、モスアイ用型１１０を用いて形成された反射防止膜３２の模式的な断面図である。
【図８】ロール・ツー・ロール方式により、比較例のモスアイ用型１００’を用いて反射防止膜３２を製造する方法を説明するための模式的な断面図である。
【図９】（ａ）および（ｂ）は、モスアイ用型１００’を用いて製造された反射防止膜３２の表面を垂直方向から観察したときの模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
まず、円筒状のモスアイ用型にマーカーを設けることによって、モスアイ構造を有する表面を備える膜の製造歩留りを向上させることができる理由を説明する。
【００２７】
図８を参照して、モスアイ用型を用いた反射防止膜の製造方法を説明する。図８は、ロール・ツー・ロール方式により、比較例のモスアイ用型１００’を用いて反射防止膜３２を製造する方法を説明するための模式的な断面図である。
【００２８】
まず、円筒状のモスアイ用型１００’を用意する。モスアイ用型１００’は、反転されたモスアイ構造を表面に有する。
【００２９】
図８に示すように、紫外線硬化樹脂３２'が表面に付与された被加工物４２を、モスアイ用型１００’に押し付けた状態で、紫外線硬化樹脂３２'に紫外線（ＵＶ）を照射することによって紫外線硬化樹脂３２'を硬化する。紫外線硬化樹脂３２'としては、例えばアクリル系樹脂を用いることができる。被加工物４２は、例えば、ＴＡＣ（トリアセチルセルロース）フィルムである。被加工物４２は、図示しない巻き出しローラから巻き出され、その後、表面に、例えばスリットコータ等により紫外線硬化樹脂３２'が付与される。被加工物４２は、図８に示すように、支持ローラ４６および４８によって支持されている。支持ローラ４６および４８は、回転機構を有し、被加工物４２を搬送する。また、円筒状のモスアイ用型１００’は、被加工物４２の搬送速度に対応する回転速度で、図８に矢印で示す方向に回転される。
【００３０】
その後、被加工物４２からモスアイ用型１００’を分離することによって、モスアイ用型１００’の凹凸構造（反転されたモスアイ構造）が転写された硬化物層（反射防止膜）３２が被加工物４２の表面に形成される。表面に硬化物層３２が形成された被加工物４２は、図示しない巻き取りローラにより巻き取られる。
【００３１】
図９（ａ）および図９（ｂ）は、モスアイ用型１００’を用いて作製された反射防止膜３２の表面を垂直方向から観察したときの模式図である。図８を参照して上述したように、モスアイ用型が１回転するごとに、モスアイ用型の円周に相当する長さｐの領域にモスアイ構造が形成される。これが周期（ピッチ）ｐで繰り返されることによって、反射防止膜３２の表面にモスアイ構造が形成される。図９（ａ）は、これを模式的に示している。反射防止膜３２の表面のモスアイ構造は、図中の矢印の方向に沿って、順に形成される。図９（ａ）中の破線は反射防止膜３２の有効領域３２ａを示す。ここで、有効領域３２ａは、例えば、反射防止膜３２のうち、モスアイ構造が形成されている領域である。モスアイ構造が形成されている領域は、例えば、有効領域３２ａと同じであってもよい。モスアイ構造が形成されている領域は、例えば、有効領域３２ａより大きくてもよい。なお、図９（ａ）中において、周期を見やすくするために、有効領域３２ａを周期ｐごとに区切って表示しているが、有効領域３２ａは、周期ｐごとに区切られない。後述する図９（ｂ）および図１（ｄ）においても同様である。
【００３２】
モスアイ用型の円周方向における位置を特定するための位置マーカーを有することで、円筒状のモスアイ用型を用いて製造される反射防止膜の製造歩留りが向上され得ることを、以下に説明する。
【００３３】
反射防止膜の製造歩留りが低下する原因の１つは、モスアイ用型に生じる欠陥である。モスアイ用型に欠陥が生じると、図９（ｂ）に示すように、反射防止膜３２に欠陥３２ｄが周期的に（例えば周期ｐで）生じる。すなわち、反射防止膜上の欠陥が、周期的に出現していることが分かれば、その欠陥がモスアイ用型に起因していると考えることができる。反射防止膜の欠陥の原因が分かれば、例えば、型の欠陥を取り除くことにより、反射防止膜の製造歩留りを向上させることができる。あるいは、例えば、欠陥を含まないように反射防止膜の切り出し位置を選択することにより、反射防止膜の製造歩留りを向上させることができる。
【００３４】
反射防止膜の製造歩留りを向上させるためには、モスアイ用型に起因した欠陥を、それ以外の原因による欠陥から区別できることが好ましい。欠陥のモスアイ用型以外の原因は、例えば、転写する工程で混入した異物である。モスアイ用型に起因しない欠陥は、周期的にではなく、不規則に（ランダムに）生じる点において、モスアイ用型に起因した欠陥と異なる。
【００３５】
モスアイ用型に起因した欠陥は、例えば以下のように、型以外の原因による欠陥から区別することができる。２ピッチ（２ｐ）以上の長さの反射防止膜３２を用意し、反射防止膜３２を周期ｐで重ね合わせたときに欠陥が一致するか否かによって、欠陥が周期的に生じているか否かを判断する。欠陥が周期的に生じていれば、モスアイ用型に起因した欠陥であると判断することができる。このためには、例えば、型の円周方向における位置を特定するための位置マーカーを有するモスアイ用型を用いることができる。型を用いて転写された反射防止膜には、位置マーカーが転写され得る。反射防止膜に転写されたマーカーは、目視により簡単に識別できることが好ましい。
【００３６】
次に、位置マーカーの好ましい構成および形成方法を説明する。
【００３７】
特許文献６は、アライメントマーク部を設けた基板上に、フォトリソグラフィ工程により、微細光学素子を製造する工程を開示している。アライメントマーク部は、基板とフォトマスクとの位置合わせに用いられる。特許文献６のアライメントマーク部は、基板上に堆積されたＣｒ膜を、フォトリソグラフィプロセスを用いてエッチングすることにより、形成される。
【００３８】
しかしながら、特許文献６のアライメントマーク部をモスアイ用型に設けることを考えると、以下のような問題が生じ得る。アライメントマーク部を形成するために、モスアイ用型の表面にレジストを塗布し、エッチングを行う必要がある。このフォトリソグラフィプロセスは、モスアイ用型の表面に形成された反転されたモスアイ構造に影響を与える可能性がある。また、モスアイ用型を用いて反射防止膜を製造する際に、アライメントマーク部に残存したレジストが、紫外線硬化樹脂に混入する可能性がある。この場合、製造された反射防止膜が優れた反射防止機能を有しなくなる可能性がある。特許文献６のアライメントマーク部に限られず、インクまたはマジックを用いて形成されたアライメントマーク部も、同様の理由により、モスアイ用型に設ける位置マーカーとして採用し難い。
【００３９】
本発明者は、モスアイ用型の表面の反転されたモスアイ構造、および、型を用いて形成された反射防止膜の表面のモスアイ構造に影響を与えない位置マーカーに想到した。
【００４０】
以下で、図面を参照して、本発明の実施形態による型を説明する。なお、本発明は以下で例示する実施形態に限られない。以下の図面において、実質的に同じ機能を有する構成要素は共通の参照符号で示し、その説明を省略することがある。
【００４１】
（実施形態１）
図１を参照して、本発明による実施形態１のモスアイ用型１００を説明する。図１（ａ）は、モスアイ用型１００の模式的な斜視図である。図１（ｂ）は、モスアイ用型１００のマーカー部５０以外の部分の模式的な断面図である。図１（ｃ）は、モスアイ用型１００のマーカー部５０の模式的な断面図である。図１（ｄ）は、モスアイ用型１００を用いて形成された反射防止膜３２の表面を垂直方向から観察したときの模式図である。
【００４２】
図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、モスアイ用型１００は、アルミニウム基材１２と、アルミニウム基材１２上に形成されたポーラスアルミナ層１４とを備える、円筒状の型である。ポーラスアルミナ層１４は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさＤｐが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数のミクロな凹部１４ｐを表面１８ｓに有する。モスアイ用型１００は、型の円周方向における位置を特定するマーカー部５０を側面（円筒の側面）にさらに有する。マーカー部５０の最大高さＲｚは５００ｎｍ超である。マーカー部５０の算術平均粗さＲａは３００ｎｍ以下である。
【００４３】
マーカー部５０は、例えば、図１（ｃ）に示すように、少なくとも１つのマーカー凹部５１を含む。図１（ｃ）において、ミクロな凹部１４ｐは、簡単のために省略して、ポーラスアルミナ層１４と平行な平らな面として表示している。マーカー凹部５１は、例えば、ミクロな凹部１４ｐよりも深い。複数のミクロな凹部１４ｐは、例えば反転されたモスアイ構造を構成する。
【００４４】
モスアイ用型１００は、最大高さＲｚが５００ｎｍ超であるマーカー部５０を有するので、反射防止膜３２に形成されたマーカー部６０も同様の最大高さＲｚを有する。マーカー部６０は、可視光の散乱を生じさせ得るので、目視により容易に識別できる。マーカー部５０の算術平均粗さＲａが３００ｎｍ以下であるので、マーカー部５０が形成されることによって、モスアイ用型１００の表面１８ｓが必要以上に荒らされない。また、算術平均粗さＲａが３００ｎｍ以下であるマーカー部５０は、後述するように容易に作製することができる。モスアイ用型１００を用いて製造される膜の製造歩留りの低下が抑制され得る。
【００４５】
モスアイ用型１００は、例えば、アルミニウム基材１２の上に形成された無機材料層１６をさらに有する。モスアイ用型１００は、例えば、ポーラスアルミナ層１４の下にアルミニウム残存層１８ｒをさらに有する。ミクロな凹部１４ｐの「２次元的な大きさ」とは、表面の法線方向から見たときの凹部の面積円相当径を指し、例えば、凹部が円錐形の場合、凹部の２次元的な大きさは、円錐の底面の直径に相当する。ミクロな凹部１４ｐの隣接間距離Ｄｉｎｔは、例えば、ミクロな凹部１４ｐの２次元的な大きさと同じである。
【００４６】
図１（ｄ）に示すように、モスアイ用型１００を用いて製造された反射防止膜３２は、モスアイ用型１００の円周に相当する長さｐごとに、マーカー部６０が形成される。マーカー部６０は、モスアイ用型１００の表面に設けられたマーカー部５０に対応する。すなわち、マーカー部６０は、マーカー部５０と逆の凹凸形状を有する関係にある。反射防止膜３２は、ピッチｐごとにマーカー部６０を有するので、モスアイ用型に起因した欠陥を容易に見つけ出すことができる。モスアイ用型１００により、型を用いて製造される反射防止膜の製造歩留りが向上され得る。
【００４７】
次に、図２を参照して、モスアイ用型１００の製造方法について説明する。図２（ａ）および図２（ｂ）は、それぞれ、モスアイ用型１００の製造方法を説明するための模式的な断面図である。図２（ｃ）は、モスアイ用型１００を用いて形成された反射防止膜３２の模式的な断面図である。図２（ｄ）および図２（ｅ）は、モスアイ用型１００の製造方法を説明するための模式的な図であり、それぞれ、モスアイ用型１００およびモスアイ用型１００’の側面の模式図である。
【００４８】
図２（ａ）に示すように、モスアイ用型１００’およびマーク型（カバー）１０１を用意する。モスアイ用型１００’は、反転されたモスアイ構造（ミクロな凹部１４ｐを含む）を表面１８ｓに有する。図２（ａ）中の矢印で指す図は、表面１８ｓの拡大図を示す。モスアイ用型１００’は、表面１８ｓに、マーカー部５０を有しない点を除いて、モスアイ用型１００と同じである。マーク型１０１は、マーカー部５０を設ける範囲に開口部を有する。マーク型１０１は、例えば、紙（例えば厚紙）、プラスチックシート、または金属から形成される。マーク型１０１の上から、モスアイ用型１００’に傷をつけることで、マーカー部５０を形成する。マーカー部５０は、例えばサンドペーパーでモスアイ用型１００’を擦ることにより形成される。
【００４９】
図２（ｂ）に示すように、マーク型１０１の開口部に、マーカー部５０を設けることにより、モスアイ用型１００が製造される。図２（ｃ）に示すように、モスアイ用型１００を用いて製造された反射防止膜３２には、マーカー部６０が形成される。マーカー部６０は、マーカー部５０と逆の凹凸形状を有する関係にある。例えば、マーカー部５０がマーカー凹部５１を含む場合は、マーカー部６０として、マーカー凹部５１と逆の凹凸形状を有するマーカー凸部６１が形成される。図２（ｂ）中の矢印で指す図は、モスアイ用型１００の表面１８ｓの拡大図を示す。図２（ｃ）中の矢印で指す図は、反射防止膜３２の表面の拡大図を示す。反射防止膜３２の表面は、ミクロな凹部１４ｐに対応するミクロな凸部３２ｐを有する。
【００５０】
図２（ｄ）および図２（ｅ）は、それぞれ、モスアイ用型１００およびモスアイ用型１００’の側面の模式図である。
【００５１】
図２（ｄ）および図２（ｅ）中の太い実線は、モスアイ用型の側面と底面とが接する線（以後、「モスアイ用型の端（ロールの端）」ということがある）１００ｅを示す。モスアイ用型の側面とは、円筒の側面であり、外周面ということもある。モスアイ用型の底面とは、円筒の底面または上面である。図２（ｄ）および図２（ｅ）中の破線は、モスアイ用型１００を用いて反射防止膜３２を製造する際に、樹脂が押し付けられる領域（「樹脂塗布領域」ということがある）２０の端２０ｅを示す。マーカー部５０は、例えば、モスアイ用型１００の側面の、いずれかの底面近傍の領域に設けられている。図２（ｄ）に示すように、マーカー部５０は、例えば、樹脂塗布領域２０の端２０ｅよりも内側にある。マーカー部５０は、例えば、樹脂塗布領域２０から樹脂塗布領域の端２０ｅを越えて形成されていてもよい。
【００５２】
マーカー部５０は、図２（ｅ）に示すように、モスアイ用型１００’の側面をマーク型１０１で覆い、マーク型１０１の上から、モスアイ用型１００’の側面に傷をつけることで、マーク型１０１の開口部に形成される。マーカー部５０は、例えば、少なくとも１つのマーカー凹部５１を含み、マーカー凹部５１は、例えば線状の傷である。傷の長さは例えば１ｍｍ〜８ｍｍである。例えば、図２（ｅ）中の矢印方向に沿って、モスアイ用型１００’の内側から外側へ一方向に擦ることが好ましい。マーク型１０１は、例えば、モスアイ用型の端１００ｅに合わせて配置してもよい。マーク型１０１は、例えば、図２（ｅ）に例示されるようなコの字型でもよいし、ロの字型でもよい。
【００５３】
マーカー部５０の形状および大きさは、例えば、マーク型１０１の開口部の形状および大きさによって決定され得る。マーカー部５０の形状は、例えば、図２（ｄ）に例示するように矩形状であるが、図４〜図６を参照して後述するように、任意の形状を有してよい。マーカー部５０の大きさを、例えば、マーカー部５０が有するマーカー凹部５１を内側に含む最小の矩形の大きさとすると、矩形の一辺の長さは、例えば５ｍｍ以上４０ｍｍ未満である。マーカー部５０の大きさは、マーカー部５０の形状が矩形状の場合に限られず、マーカー部５０の形状が矩形状以外の場合においても、同様に定義され得る。マーカー部５０の大きさが小さいと、膜に形成されたマーカー部が見つけにくいことがある。マーカー部５０の大きさが大きいと、膜の有効領域の面積が縮小され得る。
【００５４】
上述のモスアイ用型１００を用いて製造した反射防止膜（実施例１）および比較例のモスアイ用型２００を用いて製造した反射防止膜（比較例１）を試作し、マーカー部６０の見え方を目視により比較した結果を下記の表１に示す。マーカー部６０の見え方は、目視による観察によって調べた。さらに、ラミネートフィルムを貼った反射防止膜におけるマーカー部の見え方も調べた。観察は、ともに、室温２５℃における暗室で、蛍光灯下（２００ｌｘ）により行った。
【００５５】
【表１】
2016027827.tif 000003
【００５６】
比較例１の反射防止膜の製造方法を、図３を参照して以下で説明する。図３（ａ）および図３（ｂ）は、それぞれ、比較例のモスアイ用型２００の製造方法を説明するための模式的な断面図である。図３（ｃ）は、比較例のモスアイ用型２００を用いて形成された反射防止膜３２の模式的な断面図である。
【００５７】
まず、図３（ａ）に示すように、型基材１０を用意する。陽極酸化を行い、表面１８ｓに反転されたモスアイ構造（ミクロな凹部１４ｐを含む）を形成する。この際、マーカー部５０を形成する部分にはレジスト層１０２を形成し、反転されたモスアイ構造が形成されないようにする。レジスト層１０２の代わりに、テープ類を付与してもよい。
【００５８】
図３（ｂ）に示すように、比較例のモスアイ用型２００が製造される。レジスト層１０２が形成されていなかった部分には、反転されたモスアイ構造が形成されず、この部分がマーカー部５０となる。図３（ｃ）に示すように、比較例のモスアイ用型２００を用いて製造された反射防止膜３２において、マーカー部５０に対応した部分にはマーカー部６０が形成される。マーカー部６０には、モスアイ構造が形成されない。
【００５９】
比較例１の反射防止膜が有する位置マーカーも、モスアイ用型の表面の反転されたモスアイ構造、および、型を用いて形成された反射防止膜の表面のモスアイ構造に影響を与えない。しかし、実施例１と比較例１とを比較すると、マーカー部６０の見え方に違いがあることが分かった。表１に示すように、実施例１は、マーカー部６０による散乱で、マーカー部を見つけやすいことが分かった。比較例１において、マーカー部６０はわずかに見えるが、見つけにくかった。
【００６０】
比較例１において、マーカー部を見つけにくかった理由の１つは、モスアイ構造を表面に有する反射防止膜は、可視光の透過率が９６％と高いことによる。モスアイ構造を有しないマーカー部の透過率９２％との間で、差異が小さいので、マーカー部を見つけにくいことが考えられる。
【００６１】
これに対して、実施例１においては、マーカー部とそれ以外の部分との可視光の透過率の差異は小さいものの、マーカー凸部によって可視光の散乱が生じるので、目視により容易に識別できたと考えられる。
【００６２】
比較例１による反射防止膜によっては、マーカー部が見つけにくいという問題は、表面にモスアイ構造を有する反射防止膜だからこそ起きた問題と考えられる。すなわち、反射防止効果を有しないナノスケールの微細加工（微細な凹凸）を表面に有する膜においては、マーカー部として、微細な凹凸を有しない部分を設けることができる。例えば周期的に形成された微細な凹凸によって可視光の干渉・回折が生じるので、微細な凹凸を有しないマーカー部を容易に見つけることができる。これに対して、モスアイ構造を表面に有する反射防止膜は、上述のように、可視光の透過率が高いという特徴を有するので、比較例１の反射防止膜のマーカー部は見つけにくいという問題が生じる。従って、モスアイ構造を表面に有する反射防止膜は、マーカー部を目視で見つけやすくするために、例えば、実施例１の反射防止膜のようなマーカー部を有することが好ましい。
【００６３】
さらに、ラミネートフィルムを貼った反射防止膜における、マーカー部の見え方についても調べた。表１に示すように、実施例１のマーカー部は見えるのに対し、比較例１のマーカー部は、見えないことが分かった。
【００６４】
反射防止膜にラミネートフィルムを貼ると、ラミネートフィルムの糊が微細な凹凸構造（モスアイ構造）に入り込むことにより、モスアイ構造を表面に有する部分の可視光の透過率は、９６％よりもさらに高くなる。しかし、モスアイ構造を有しないマーカー部との間で、透過率の差異が小さいので、比較例１においてはマーカー部を見つけにくい。これに対して、実施例１においては、ラミネートフィルムを貼っても、マーカー凸部によって可視光の散乱が生じるので、マーカー部を見つけやすい。
【００６５】
上記特許文献７は、微細な凹部を含む凹凸構造およびマーキング部を有する型を開示している。特許文献７の型が有するマーキング部は、凹凸構造を有する。マーキング部の凹凸構造において、隣接する凹部間に形成される凸部の高さは、マーキング部以外の部分における、隣接する凹部間に形成される凸部の高さよりも低い。すなわち、マーキング部が有する凹部は、マーキング部以外の部分が有する凹部よりも浅い。
【００６６】
特許文献７の型から製造された反射防止膜に形成されたマーキング部およびマーキング部以外の部分は、ともに凹凸構造を有する。この反射防止膜にラミネートフィルムを貼ると、ラミネートフィルムの糊が微細な凹凸構造（モスアイ構造）に入り込むことで、両方の部分において可視光の透過率が高くなる。両部分の透過率の差異が小さくなるので、マーキング部を見つけることが難しくなるという問題が生じることが考えられる。
【００６７】
これに対して、本発明による実施形態１の型によって製造された膜は、マーカー凸部を有し、マーカー凸部によって可視光の散乱が生じるので、上記のような問題は生じない。製造された反射防止膜は、ラミネートフィルムを貼った状態で、出荷されることがある。ラミネートフィルムを貼った状態においても、マーカー部が見えやすいことが好ましい。
【００６８】
次に、モスアイ用型１００のマーカー部５０の最大高さＲｚおよび算術平均粗さＲａを変えて、マーカー部６０の見え方を調べた。結果を下記の表２に示す。
【００６９】
【表２】
2016027827.tif 000004
【００７０】
モスアイ用型１００は、以下のように作製した。まず、アルミニウム基材の表面に、二酸化シリコン（ＳｉＯ2）膜を形成し、その後アルミニウム膜を形成した。アルミニウム膜は、純度が９９．９９ｍａｓｓ％以上のアルミニウムで形成された膜であり、アルミニウム膜の厚さは約１μｍである。次に、陽極酸化工程およびエッチング工程を交互に複数回行い、アルミニウム膜の表面を陽極酸化することにより、反転されたモスアイ構造を有するポーラスアルミナ層を形成した。モスアイ用型の表面を、サンドラバーで所定の回数（５回または１０回）一方向に擦ることによって、マーカー部５０を形成した。擦る際には、サンドラバーに３００ｇの荷重をかけた。サンドラバーは、サビトール（中京研磨株式会社製）の細目（♯３２０）、中目（♯１２０）、および荒目（♯４６）を用いた。マーカー部５０の形成には、３０ｍｍ×１０ｍｍの長方形状の開口部を有するマーク型を用いた。
【００７１】
マーカー部５０の最大高さＲｚおよび算術平均粗さＲａは、小型表面粗さ測定機（サーフテストＳＪ−３１０、株式会社ミツトヨ製、スタイラス先端の半径２μｍ）を用いて測定した。測定は、いずれも、基準長さを５ｍｍとして行い、マーカー部５０内でランダムに選んだ３箇所で測定した結果の平均値とした。なお、本明細書における「最大高さＲｚ」および「算術平均粗さＲａ」は、それぞれ、ＪＩＳＢ０６０１−２００１で規格される最大高さＲｚおよび算術平均粗さＲａで定義される。
【００７２】
上述の方法で作製した、それぞれのモスアイ用型を用いて反射防止膜を作製し、マーカー部の見え方を調べた。マーカー部の見え方は、上記表１に示した実施例１と同様に、目視による観察で行い、ラミネートフィルムを貼っていない反射防止膜、およびラミネートフィルムを貼った反射防止膜の見え方を、それぞれ調べた。
【００７３】
反射防止膜に形成されたマーカー部の見え方は、モスアイ用型１００が有するマーカー部５０の最大高さＲｚによって主に特徴付けられることが考えられる。
【００７４】
比較例１ａおよび比較例１ｂのモスアイ用型において、マーカー部５０の最大高さＲｚは、それぞれ０．２４μｍおよび０．２６μｍである。モスアイ用型により作製された反射防止膜のマーカー部は、わずかに見える程度だった。ラミネートフィルムを貼った反射防止膜においては、マーカー部は見えなかった。
【００７５】
実施例１ａおよび実施例１ｂのモスアイ用型において、マーカー部５０の最大高さＲｚは、それぞれ、０．５２μｍおよび０．６０μｍである。反射防止膜のマーカー部は、ラミネートフィルムの有無にかかわらず、見えた。マーカー部５０の最大高さＲｚは０．５μｍ（５００ｎｍ）超であることが好ましいことが分かった。
【００７６】
実施例２ａおよび実施例２ｂのモスアイ用型において、マーカー部５０の最大高さＲｚは、それぞれ、１．８３μｍおよび１．９８μｍである。反射防止膜のマーカー部は、ラミネートフィルムの有無にかかわらず、見えた。実施例２ａおよび実施例２ｂにおいては、モスアイ用型に削りかすが発生した。削りかすは、モスアイ用型１００に設けられたマーカー部５０が、モスアイ用型１００の表面のポーラスアルミナ層１４およびアルミニウム残存層１８ｒを貫通することにより発生したと考えられる。発生した削りかすは、洗浄工程において除去することができる。
【００７７】
削りかすの発生を抑制するためには、例えば、マーカー部５０の最大高さＲｚは１μｍ未満であることが好ましいことが分かった。削りかすが発生し得るマーカー部５０の最大高さＲｚは、モスアイ用型１００が有するポーラスアルミナ層１４およびアルミニウム残存層１８ｒの厚さによって決まると考えられる。削りかすの発生を抑制することができれば、洗浄工程の時間および／またはコストを増加させることなく、反射防止膜を製造することができる。膜の製造歩留りを向上させることができ得る。
【００７８】
マーカー部５０の算術平均粗さＲａは、モスアイ用型１００の表面の荒れを小さくするためには、膜に形成されたマーカー部が見える範囲において、小さい値であることが好ましい。上記の表２の結果から、マーカー部５０の算術平均粗さＲａは、３００ｎｍ以下であることが好ましいことが分かった。削りかすの発生を抑制するためには、マーカー部５０の算術平均粗さＲａは、例えば２００ｎｍ未満であることがさらに好ましいことが分かった。また、上述したマーカー部５０の作製方法により、算術平均粗さＲａが３００ｎｍ以下であるマーカー部５０を作製することができることが分かった。算術平均粗さＲａが３００ｎｍ以下であるマーカー部５０を容易に作製することができるので、モスアイ用型１００を用いて製造される膜の製造歩留りの低下が抑制され得る。
【００７９】
本発明の実施形態によるモスアイ用型は、１つのマーカー部を有してもよいし、複数のマーカー部を有してもよい。マーカー部の形状は、任意であり得る。例えば、マーカー部を形成したい形状の開口部を有するマーク型を用いることで、任意の形状を有するマーカー部を作製することができる。以下に、マーカー部の例を、図４〜図６を参照して説明する。
【００８０】
本発明の実施形態によるモスアイ用型は、例えば、１つのマーカー部のみ（以下、第１のマーカー部ということがある）を有する。図４（ａ）〜図４（ｄ）および図５（ａ）〜図５（ｆ）は、第１のマーカー部５０を有するモスアイ用型１００の模式図であり、モスアイ用型１００の底面近傍の側面を、側面の法線方向から観察したときの模式図である。簡単のため、以下、第１のマーカー部５０をマーカー部５０と同じ参照符号で示す。
【００８１】
図４（ａ）〜図４（ｄ）に示すように、第１のマーカー部５０は、例えば、モスアイ用型１００の底面近傍の側面に設けられる。第１のマーカー部５０は、例えば、モスアイ用型の底面に垂直な方向に対して対称な形状を有する。図４（ａ）に示す第１のマーカー部５０のように、矩形状であってもよい。図４（ｂ）に示す第１のマーカー部５０のように、三角形状であってもよい。図４（ｃ）に示す第１のマーカー部５０のように、台形状であってもよい。図４（ｄ）に示す第１のマーカー部５０のように、樹脂塗布領域２０から樹脂塗布領域の端２０ｅを越えて形成されていてもよい。
【００８２】
あるいは、図５（ａ）〜図５（ｆ）に示すように、第１のマーカー部５０は、例えば、モスアイ用型１００の底面に垂直な方向に対して非対称な形状を有する。図５（ａ）および図５（ｂ）に示す第１のマーカー部５０のように、矩形を組み合わせた形状であってもよい。図５（ｃ）〜図５（ｅ）に示す第１のマーカー部５０のように、矩形と三角を組み合わせた形状（例えば、図５（ｃ）の平行四辺形および図５（ｄ）の矢印形状を含む）であってもよい。図５（ｆ）に示す第１のマーカー部５０のように、扇形であってもよい。
【００８３】
図５（ａ）〜図５（ｆ）に示すように、第１のマーカー部５０が、モスアイ用型１００の底面に垂直な方向に対して非対称な形状を有する場合は、反射防止膜に形成されたマーカー部から、モスアイ用型１００の円周方向における位置だけでなく、進行方向（例えば図１（ｄ）の矢印の方向）の情報および反射防止膜の表裏の情報も得ることができる。
【００８４】
マーカー部５０の形状は、例えば矩形状であることが、マーカー部作製の容易さの観点から好ましい。矩形状のマーカー部（例えば図４（ａ）参照）は、モスアイ用型の底面に垂直な方向に対して対称な形状であるが、以下に示すように、例えば、複数のマーカー部（例えば第２のマーカー部および第３のマーカー部を含む）を有することで、進行方向（例えば図１（ｄ）の矢印の方向）の情報および反射防止膜の表裏の情報も得ることが可能である。
【００８５】
本発明による実施形態１のモスアイ用型１０３は、２つのマーカー部（以下、第１のマーカー部および第２のマーカー部ということがある）を有する。図６（ａ）〜図６（ｃ）は、第１のマーカー部５０および第２のマーカー部５２を有するモスアイ用型１０３の模式図であり、モスアイ用型１０３の底面近傍の側面を、側面の法線方向から観察したときの模式図である。
【００８６】
図６（ａ）〜図６（ｃ）に示すように、第２のマーカー部５２は、例えば、第１のマーカー部５０と同じ底面の近傍に設けられる。第２のマーカー部５２の円周方向における位置は、第１のマーカー部５０の位置を例えば９０°回転した位置である。この場合、第１のマーカー部を「０°マーカー」と、第２のマーカー部を「９０°マーカー」と、それぞれ呼ぶことがある。ここで、マーカー部（第１のマーカー部、第２のマーカー部、および第３のマーカー部を含む）の位置とは、例えば、マーカー部の中心の位置である。マーカー部の円周方向における位置とは、例えば、マーカー部の円周方向における中心の位置である。マーカー部の円周方向における位置は、マーカー部の円周方向における端の位置としてもよい。
【００８７】
モスアイ用型１０３は、第２のマーカー部５２を有するので、作製された膜に形成されたマーカー部から、モスアイ用型１０３の円周方向における位置だけでなく、進行方向（例えば図１（ｄ）の矢印の方向）の情報も得ることができる。
【００８８】
第２のマーカー部５２の円周方向における位置は、第１のマーカー部５０の円周方向における位置を、θ2回転した位置である。すなわち、θ2は、第２のマーカー部５２の円周方向における位置と、第１のマーカー部５０の円周方向における位置とがなす中心角である。θ2は、例えば、２０°以上１３５°以下である。θ2が大きくなると、作製された膜に形成された第１のマーカー部および第２のマーカー部を同時に確認したい場合に長い膜が必要となり、不便であることがある。
【００８９】
モスアイ用型１０３が有する第１のマーカー部５０は、例えば、図４（ａ）〜図４（ｄ）および図５（ａ）〜図５（ｆ）に例示した第１のマーカー部５０と同じであってもよい。モスアイ用型１０３が有する第１のマーカー部５０は、例えば、図６（ａ）〜図６（ｃ）に例示するように、２つの形状を含んでもよい。第２のマーカー部５２が、モスアイ用型１０３の底面に垂直な方向に対して、第１のマーカー部５０と非対称である場合は、作製された膜に形成されたマーカー部から、膜の表裏の情報も得ることができる。第１のマーカー部５０が、例えば、図６（ａ）〜図６（ｃ）に例示するように２つの矩形状を含む場合には、非対称な形状のマーカー部を作製することなく、進行方向（例えば図１（ｄ）の矢印の方向）の情報および反射防止膜の表裏の情報を得ることができる。
【００９０】
本発明による実施形態１のモスアイ用型１０５は、第３のマーカー部５４をさらに有する。図６（ｄ）は、第１のマーカー部５０、第２のマーカー部５２および第３のマーカー部５４を有するモスアイ用型１０５の模式図であり、モスアイ用型１０５の底面近傍の側面を、側面の法線方向から観察したときの模式図である。
【００９１】
図６（ｄ）に示すように、第３のマーカー部５４は、第１のマーカー部５０と反対側の底面近傍に設けられる。第３のマーカー部５４を有することで、作製された膜に形成されたマーカー部から得られる、進行方向（例えば図１（ｄ）の矢印の方向）の情報および反射防止膜の表裏の情報が、より分かりやすくなり得る。第３のマーカー部５４を有することで、第２のマーカー部５２は、例えば、モスアイ用型１０３の底面に垂直な方向に対して、第１のマーカー部５０と対称であってもよい。
【００９２】
第３のマーカー部５４の円周方向における位置は、例えば、第１のマーカー部５０の円周方向における位置と同じであってもよい。第３のマーカー部５４の円周方向における位置は、第１のマーカー部５０の位置を基準として、θ3回転した位置である。θ3は、例えば、−３０°以上θ2／２−１０°以下である。作製された膜に形成されたマーカー部から反射防止膜の表裏の情報を得るためには、例えば、θ3は、θ2／２でないことが好ましい。例えば、θ3は、θ2／２との差が大きいことがさらに好ましい。
【００９３】
（実施形態２）
本発明による実施形態２は、表面に、複数のミクロな凹部に加えて、複数のマクロな凹部を有する、モスアイ用型である。
【００９４】
本発明による実施形態１は、上述したように、表面に形成された、反転されたモスアイ構造、すなわち、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数のミクロな凹部を有するモスアイ用型である。本発明の実施形態による型はこれに限られない。本発明による実施形態２は、反転されたモスアイ構造に加えて反転されたアンチグレア構造を有するモスアイ用型である。すなわち、実施形態２のモスアイ用型は、ミクロな凹部に加えて、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが５００ｎｍ以上２００μｍ未満の複数のマクロな凹部を有する点において、実施形態１のモスアイ用型と異なる。実施形態２のモスアイ用型は、複数のマクロな凹部を除いて、実施形態１のモスアイ用型と同じであってよい。
【００９５】
実施形態２のモスアイ用型は、最大高さＲｚが５００ｎｍ超であるマーカー部を有するので、反射防止膜に形成されたマーカー部も同様の最大高さＲｚを有する。反射防止膜に形成されたマーカー部は、可視光の散乱を生じさせ得るので、目視により容易に識別できる。マーカー部の算術平均粗さＲａが３００ｎｍ以下であるので、マーカー部が形成されることによって、モスアイ用型の表面が必要以上に荒らされない。また、算術平均粗さＲａが３００ｎｍ以下であるマーカー部は、上述したように容易に作製することができる。実施形態２のモスアイ用型を用いて製造される反射防止膜の製造歩留りは向上され得る。
【００９６】
実施形態２のモスアイ用型が有するマーカー部は、例えば、少なくとも１つのマーカー凹部を含む。マーカー凹部は、例えば１ｍｍを超える線状の傷である。傷の長さは例えば１ｍｍ〜８ｍｍである。傷の長さがマクロな凹部の２次元的な大きさよりも大きいので、膜に形成されたマーカー部を容易に識別することができる。
【００９７】
（実施形態３）
本発明による実施形態３は、表面に反転されたモスアイ構造および反転されたアンチグレア構造を有し、マーカー部においては、マクロな凹部を有しない、モスアイ用型である。
【００９８】
図７を参照して、本発明による実施形態３のモスアイ用型１１０を説明する。図７（ａ）は、モスアイ用型１１０の模式的な断面図であり、図７（ｂ）は、モスアイ用型１１０を用いて形成された反射防止膜３２の模式的な断面図である。
【００９９】
図７（ａ）に示すモスアイ用型１１０は、表面構造を有する円筒状の型である。表面構造は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数のミクロな凹部１４ｐと、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが５００ｎｍ以上２００μｍ未満の複数のマクロな凹部１８ｇとを有する。モスアイ用型１１０は、円周方向における位置を特定するマーカー部５０を表面にさらに有する。マーカー部５０は、複数のマクロな凹部１８ｇを有しない。モスアイ用型１１０の断面構造は、例えば、モスアイ用型１００と同じであってよい。モスアイ用型１１０は、アルミニウム基材と、アルミニウム基材上に形成されたポーラスアルミナ層とを備える。モスアイ用型１１０は、例えば、アルミニウム基材の上に形成された無機材料層をさらに有してもよい。モスアイ用型１１０は、例えば、ポーラスアルミナ層の下にアルミニウム残存層をさらに有してもよい。
【０１００】
図７（ｂ）に示すように、モスアイ用型１１０を用いて製造された反射防止膜３２は、マーカー部５０に対応するマーカー部６０を有するので、モスアイ用型１１０に起因した欠陥を容易に見つけ出すことができる。モスアイ用型１１０により、型を用いて製造される反射防止膜の製造歩留りが向上され得る。
【０１０１】
モスアイ用型１１０のマーカー部５０は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが５００ｎｍ以上２００μｍ未満の複数のマクロな凹部１８ｇを有さず、マーカー部５０以外の部分は、マクロな凹部１８ｇを有するので、マクロな凹部１８ｇによる可視光の散乱の有無により、反射防止膜に形成されたマーカー部６０を目視で見つけやすい。
【０１０２】
上述のモスアイ用型１１０を用いて製造した反射防止膜（実施例３）を試作し、マーカー部６０の見え方を目視により調べ、上述の比較例１と比較した。結果を下記の表３に示す。マーカー部６０の見え方は、上記表１に示した実施例１と同様に、目視による観察で行い、反射防止膜にラミネートフィルムを貼っていない状態および貼った状態の見え方を、それぞれ調べた。
【０１０３】
【表３】
2016027827.tif 000005
【０１０４】
実施例３のマーカー部６０は、ラミネートフィルムの有無にかかわらず、見えることが分かった。マーカー部と、マーカー部以外の部分とのＨａｚｅ値の差異により、マーカー部６０が見つけやすいことが考えられる。
【０１０５】
実施形態３のモスアイ用型は、１つのマーカー部を有してもよいし、複数のマーカー部を有してもよい。例えば、実施形態１のモスアイ用型が有する第１のマーカー部、第２のマーカー部、および第３のマーカー部と同じ位置に設けられた複数のマーカー部を有してもよい。
【０１０６】
上記では、モスアイ構造を有する表面を備える膜として、反射防止膜を例示したが、本発明の実施形態による型は、これに限られず、モスアイ構造を有する表面を備える膜の製造に広く適用され得る。
【０１０７】
また、上記では、モスアイ構造を形成するためのモスアイ用型を例示したが、本発明の実施形態による型は、これに限られず、例えば先端が尖っていない凸部（例えばナノピラー）などを形成するための型に広く用いることができる。すなわち、本発明の実施形態による型が表面に有するミクロな凹部の形状は、略円錐に限られず、例えば略円錐台であってもよいし、略円柱であってもよい。ミクロな凹部の底部は、点に限られず、例えば丸みを帯びていてもよいし、平面であってもよい。ミクロな凹部の開口部の形状は、円に限られず、例えば矩形状であってもよい。また、複数のミクロな凹部は、規則的に配置されていてもよいし、不規則に（ランダムに）配置されていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１０８】
本発明による型は、反射防止膜（反射防止表面）などの製造に用いられ得る。
【符号の説明】
【０１０９】
１２    アルミニウム基材
１４    ポーラスアルミナ層
１４ｐ  ミクロな凹部
１８ｓ  表面
３２    反射防止膜
５０    マーカー部（第１のマーカー部）
５１    マーカー凹部
５２    第２のマーカー部
５４    第３のマーカー部
６０    マーカー部
６１    マーカー凸部
１００、１０３、１０５、１１０    モスアイ用型
【図１】
2016027827.tif 000006
【図２】
2016027827.tif 000007
【図３】
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【図４】
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【図５】
2016027827.tif 000010
【図６】
2016027827.tif 000011
【図７】
2016027827.tif 000012
【図８】
2016027827.tif 000013
【図９】
2016027827.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月14日(2017.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム基材と、前記アルミニウム基材上に形成されたポーラスアルミナ層とを備え、
前記ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数のミクロな凹部を表面に有する円筒状の型であって、
前記型の円周方向における位置を特定する少なくとも１つのマーカー部を側面にさらに有し、前記少なくとも１つのマーカー部の最大高さＲｚは５００ｎｍ超であり、かつ、前記少なくとも１つのマーカー部の算術平均粗さＲａは３００ｎｍ以下である、型。
【請求項２】
前記少なくとも１つのマーカー部の最大高さＲｚは１μｍ未満であり、かつ、前記少なくとも１つのマーカー部の算術平均粗さＲａは２００ｎｍ未満である、請求項１に記載の型。
【請求項３】
前記少なくとも１つのマーカー部は、前記複数のミクロな凹部よりも深いマーカー凹部を有する、請求項１または２に記載の型。
【請求項４】
前記少なくとも１つのマーカー部は、前記型の底面近傍に設けられた第１のマーカー部と、前記第１のマーカー部と同じ底面の近傍に設けられた第２のマーカー部とを有し、
前記第２のマーカー部の前記型の円周方向における位置は、前記第１のマーカー部の位置をθ2回転した位置であり、θ2は２０°以上１３５°以下である、請求項１から３のいずれかに記載の型。
【請求項５】
前記少なくとも１つのマーカー部は、前記第１のマーカー部と反対側の底面近傍に設けられた第３のマーカー部をさらに有する、請求項４に記載の型。
【請求項６】
前記第３のマーカー部の前記型の円周方向における位置は、前記第１のマーカー部の位置をθ3回転した位置であり、θ3は−３０°以上θ2／２−１０°以下である、請求項５に記載の型。
【請求項７】
前記ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが５００ｎｍ以上２００μｍ未満の複数のマクロな凹部を表面にさらに有する、請求項１から６のいずれかに記載の型。
【請求項８】
アルミニウム基材と、前記アルミニウム基材上に形成されたポーラスアルミナ層とを備え、
前記ポーラスアルミナ層は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数のミクロな凹部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが５００ｎｍ以上２００μｍ未満の複数のマクロな凹部とを表面に有する円筒状の型であって、
前記型の円周方向における位置を特定する少なくとも１つのマーカー部を側面にさらに有し、前記少なくとも１つのマーカー部は、前記複数のマクロな凹部を有しない、型。
【国際調査報告】
2016027827.tif 000015
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