(57)【要約】  ペリクル膜、並びに、厚さ方向の一端面の側に前記ペリクル膜を支持するとともに厚さ方向の他端面に設けられた溝及び外周面と前記溝の壁面との間を貫通する貫通孔を有するペリクル枠を含むペリクルと、露光光が照射される光照射面を有する原版と、の貼り合わせが行われる貼り合わせチャンバーと、前記貼り合わせチャンバー内に前記ペリクル及び前記原版が、前記ペリクル枠の前記他端面と前記光照射面とが対向するように配置された状態で、前記ペリクル枠の前記貫通孔を通じて前記溝の内部を排気するための排気管と、を含む貼り合わせユニットを備える、ペリクルマウント装置。
2015182482.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクル膜、並びに、厚さ方向の一端面の側に前記ペリクル膜を支持するとともに厚さ方向の他端面に設けられた溝及び外周面と前記溝の壁面との間を貫通する貫通孔を有するペリクル枠を含むペリクルと、露光光が照射される光照射面を有する原版と、の貼り合わせが行われる貼り合わせチャンバーと、
前記貼り合わせチャンバー内に前記ペリクル及び前記原版が、前記ペリクル枠の前記他端面と前記光照射面とが対向するように配置された状態で、前記ペリクル枠の前記貫通孔を通じて前記溝の内部を排気するための排気管と、
を含む貼り合わせユニットを備える、ペリクルマウント装置。
【請求項２】
前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に気体を導入して前記貼り合わせチャンバー内を加圧するための導入管を含む、請求項１に記載のペリクルマウント装置。
【請求項３】
前記導入管は、前記貼り合わせチャンバー内に配置された前記ペリクル及び前記原版のうちの前記ペリクルに対向する側から気体を導入する第１導入管を含み、
前記貼り合わせユニットは、更に、
前記第１導入管から導入された気体を分散させるための気体分散部材を含む、請求項２に記載のペリクルマウント装置。
【請求項４】
前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に、前記排気管の一端に接続され、前記排気管と前記ペリクル枠の前記貫通孔とを連通させる連通部材を含む、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のペリクルマウント装置。
【請求項５】
前記連通部材は、前記ペリクル枠の外周面を押し込む方向に移動可能に設けられている、請求項４に記載のペリクルマウント装置。
【請求項６】
前記連通部材は、前記貫通孔に挿入可能な開口端を有する、請求項４又は請求項５に記載のペリクルマウント装置。
【請求項７】
前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に、前記原版の光照射面とは反対側の面の周端部及び前記原版の外周面の少なくとも一部を支持し、前記反対側の面の中央部を支持しない原版支持部材を含む、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載のペリクルマウント装置。
【請求項８】
前記原版は、前記原版の光照射面を露出させる開口部を有し、前記原版の光照射面とは反対側の面の周端部及び前記原版の外周面の少なくとも一部を支持し、前記反対側の面の中央部を支持しない原版ケースに収容されて前記貼り合わせチャンバー内に搬入され、
前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に、前記原版を収容した前記原版ケースを支持する原版ケース支持部材を含む、請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載のペリクルマウント装置。
【請求項９】
更に、前記貼り合わせ後の前記ペリクル及び前記原版の外観検査を行う検査ユニットを備える、請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載のペリクルマウント装置。
【請求項１０】
前記原版と貼り合わせる前の前記ペリクルの前記ペリクル枠の形状を測定する第１測定手段と、
前記原版と貼り合わせた後の前記ペリクルの前記ペリクル枠の形状を測定する第２測定手段と、
を備える、請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載のペリクルマウント装置。
【請求項１１】
前記原版と前記ペリクルとを貼り合わせる前に、前記原版と前記ペリクルとのアライメントを行うアライメント手段と、
前記貼り合わせる前の前記ペリクル枠の形状の測定結果と前記貼り合わせた後の前記ペリクル枠の形状の測定結果とに基づいて、前記アライメント手段によるアライメントをフィードフォワード制御する制御手段と、
を備える、請求項１０に記載のペリクルマウント装置。
【請求項１２】
前記貼り合わせる前の前記ペリクル枠の形状の測定結果と前記貼り合わせた後の前記ペリクル枠の形状の測定結果との差に基づいて、前記貼り合わせによる前記ペリクル枠の歪み量を算出する算出手段を備える、請求項１０に記載のペリクルマウント装置。
【請求項１３】
前記貼り合わせユニットが、前記貼り合わせチャンバー内に、前記排気管の一端に接続され、前記排気管と前記ペリクル枠の前記貫通孔とを連通させ、前記ペリクル枠の外周面を押し込む方向に移動可能に設けられている連通部材を含み、
前記算出手段が、前記歪み量に基づいて、前記連通部材による前記ペリクル枠の押し込み量をフィードフォワード制御する制御手段である、請求項１２に記載のペリクルマウント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペリクルマウント装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス（半導体装置）の高集積化及び微細化は、年々加速している。
例えば、現在では、エキシマ露光にて線幅４５ｎｍ程度のパターンが形成されているが、近年では、半導体デバイスのさらなる微細化に伴い、線幅３２ｎｍ以下のパターンの形成が求められている。このような微細加工は、従来のエキシマ露光では対応が難しい。そこで、露光光をより短波長のＥＵＶ（Extreme Ultra Violet：極端紫外）光に替えることが検討されている。【０００３】
ＥＵＶ光は、あらゆる物質に吸収されやすい特性を有する。
そこで、露光光としてＥＵＶ光を用いるフォトリソグラフィー（以下、「ＥＵＶリソグラフィー」ともいう）では、反射光学系を用いて露光を行う。具体的には、露光パターンが反映された原版（マスク）によってＥＵＶ光を反射させ、反射光としてのＥＵＶ光によってレジストを露光する。この際、原版に異物が付着していると、ＥＵＶ光が異物に吸収されたり、ＥＵＶ光が散乱するため、所望のパターンに露光されない場合がある。
そこで、原版のＥＵＶ光照射面を、ペリクルで保護すること、具体的には、原版のＥＵＶ光照射面側にペリクルを装着（マウント）することが検討されている。
ペリクルの構成は、原版のＥＵＶ光照射面を保護するためのペリクル膜と、このペリクル膜を支持するペリクル枠と、を含む構成となっている。【０００４】
ＥＵＶリソグラフィーに用いられるペリクル膜としては、ＥＵＶ光に対して高い透過性を有すること、ＥＵＶ光の照射によって分解・変形しないことが求められる。このような要求を満たすペリクル膜として、単結晶シリコン膜等のシリコン結晶膜（例えば、文献１及び２参照）、金属メッシュ上に積層された窒化アルミニウム膜（例えば、文献３参照）、グラフェン膜（例えば、文献４参照）、等が提案されている。【０００５】
文献１：特開２０１０−２５６４３４号公報
文献２：特開２００９−１１６２８４号公報
文献３：特開２００５−４３８９５号公報
文献４：国際公開第２０１１／１６０８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、従来は、ＥＵＶリソグラフィー用のペリクルをはじめとする、ペリクル膜及びペリクル枠を含むペリクルを原版に装着（マウント）する際、即ち、ペリクルと原版とを貼り合わせる際に、ペリクル膜の膜面に、装置、治具、手などによって接触することがあった。
しかし、ペリクル膜は、非常に破れやすい性質を有しているため、ペリクル膜の取り扱いには、細心の注意が求められる。ペリクル膜の中でも、無機系材料を含むペリクル膜（例えば、文献１〜４に記載のペリクル膜）は自立しにくい膜であるだけでなく、機械的な接触によっても傷や発塵の原因となるため、その取扱いにはより一層の注意が求められる。
また、半導体デバイスの微細化に伴い、ペリクル膜に異物が付着しないようにするために、より一層の注意が求められる。【０００７】
以上の観点から、ペリクルと原版とを貼り合わせることによって原版にペリクルを装着（マウント）するにあたり、ペリクル膜の膜面に、装置、治具、手などが極力接触しないにようにして両者を貼り合わせるペリクルマウント装置について検討を行った。【０００８】
本発明は上記に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。
即ち、本発明の目的は、ペリクルと原版とを貼り合わせることによって原版にペリクルを装着（マウント）するにあたり、ペリクル膜の膜面に極力接触することなく両者を貼り合わせることができるペリクルマウント装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞  ペリクル膜、並びに、厚さ方向の一端面の側に前記ペリクル膜を支持するとともに厚さ方向の他端面に設けられた溝及び外周面と前記溝の壁面との間を貫通する貫通孔を有するペリクル枠を含むペリクルと、露光光が照射される光照射面を有する原版と、の貼り合わせが行われる貼り合わせチャンバーと、
前記貼り合わせチャンバー内に前記ペリクル及び前記原版が、前記ペリクル枠の前記他端面と前記光照射面とが対向するように配置された状態で、前記ペリクル枠の前記貫通孔を通じて前記溝の内部を排気するための排気管と、
を含む貼り合わせユニットを備える、ペリクルマウント装置。【００１０】
＜２＞  前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に気体を導入して前記貼り合わせチャンバー内を加圧するための導入管を含む、＜１＞に記載のペリクルマウント装置。
＜３＞  前記導入管は、前記貼り合わせチャンバー内に配置された前記ペリクル及び前記原版のうちの前記ペリクルに対向する側から気体を導入する第１導入管を含み、
前記貼り合わせユニットは、更に、
前記第１導入管から導入された気体を分散させるための気体分散部材を含む、＜２＞に記載のペリクルマウント装置。
＜４＞  前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に、前記排気管の一端に接続され、前記排気管と前記ペリクル枠の前記貫通孔とを連通させる連通部材を含む、＜１＞〜＜３＞のいずれか１項に記載のペリクルマウント装置。
＜５＞  前記連通部材は、前記ペリクル枠の外周面を押し込む方向に移動可能に設けられている、＜４＞に記載のペリクルマウント装置。
＜６＞  前記連通部材は、前記貫通孔に挿入可能な開口端を有する、＜４＞又は＜５＞に記載のペリクルマウント装置。【００１１】
＜７＞  前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に、前記原版の光照射面とは反対側の面の周端部及び前記原版の外周面の少なくとも一部を支持し、前記反対側の面の中央部を支持しない原版支持部材を含む、＜１＞〜＜６＞のいずれか１項に記載のペリクルマウント装置。
＜８＞  前記原版は、前記原版の光照射面を露出させる開口部を有し、前記原版の光照射面とは反対側の面の周端部及び前記原版の外周面の少なくとも一部を支持し、前記反対側の面の中央部を支持しない原版ケースに収容されて前記貼り合わせチャンバー内に搬入され、
前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に、前記原版を収容した前記原版ケースを支持する原版ケース支持部材を含む、＜１＞〜＜７＞のいずれか１項に記載のペリクルマウント装置。
＜９＞  更に、前記貼り合わせ後の前記ペリクル及び前記原版の外観検査を行う検査ユニットを備える、＜１＞〜＜８＞のいずれか１項に記載のペリクルマウント装置。【００１２】
＜１０＞  前記原版と貼り合わせる前の前記ペリクルの前記ペリクル枠の形状を測定する第１測定手段と、
前記原版と貼り合わせた後の前記ペリクルの前記ペリクル枠の形状を測定する第２測定手段と、
を備える、＜１＞〜＜９＞のいずれか１項に記載のペリクルマウント装置。
＜１１＞  前記原版と前記ペリクルとを貼り合わせる前に、前記原版と前記ペリクルとのアライメントを行うアライメント手段と、
前記貼り合わせる前の前記ペリクル枠の形状の測定結果と前記貼り合わせた後の前記ペリクル枠の形状の測定結果とに基づいて、前記アライメント手段によるアライメントをフィードフォワード制御する制御手段と、
を備える、＜１０＞に記載のペリクルマウント装置。
＜１２＞  前記貼り合わせる前の前記ペリクル枠の形状の測定結果と前記貼り合わせた後の前記ペリクル枠の形状の測定結果との差に基づいて、前記貼り合わせによる前記ペリクル枠の歪み量を算出する算出手段を備える、＜１０＞に記載のペリクルマウント装置。
＜１３＞  前記貼り合わせユニットが、前記貼り合わせチャンバー内に、前記排気管の一端に接続され、前記排気管と前記ペリクル枠の前記貫通孔とを連通させ、前記ペリクル枠の外周面を押し込む方向に移動可能に設けられている連通部材を含み、
前記算出手段が、前記歪み量に基づいて、前記連通部材による前記ペリクル枠の押し込み量をフィードフォワード制御する制御手段である、＜１２＞に記載のペリクルマウント装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ペリクルと原版とを貼り合わせることによって原版にペリクルを装着（マウント）するにあたり、ペリクル膜の膜面に極力接触することなく両者を貼り合わせることができるペリクルマウント装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態におけるペリクル枠の一例を、厚さ方向の一端面を観察できる方向からみた概略斜視図である。
【図２】図１に示すペリクル枠を、厚さ方向の他端面を観察できる方向からみた概略斜視図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本実施形態におけるペリクル枠の変形例を、厚さ方向の他端面を観察できる方向からみた概略斜視図である。
【図５】本実施形態におけるペリクルの一例を示す概略断面図である。
【図６】本実施形態のペリクルマウント装置における貼り合わせユニットの一例を示す概略構成図である。
【図７】本実施形態のペリクルマウント装置における貼り合わせユニットの一例を示す概略断面図である。
【図８】本実施形態の一例において、排気管の一つがペリクル枠の貫通孔に接続される様子を概念的に示す部分断面図である。
【図９】本実施形態の変形例において、排気管の一つがペリクル枠の貫通孔に接続される様子を概念的に示す部分断面図である。
【図１０】本実施形態の変形例において、貼り合わせチャンバー内における原版を支持する機構を示す概略断面図である。
【図１１】本実施形態の変形例において、貼り合わせチャンバー内における原版を支持する機構を示す概略断面図である。
【図１２】本実施形態の変形例において、貼り合わせチャンバー内における原版を支持する機構を示す概略断面図である。
【図１３】本実施形態の変形例において、貼り合わせチャンバー内における原版を支持する機構を示す概略断面図である。
【図１４】本実施形態の一例における貼り合わせ処理のフローを示す概略工程図である。
【図１５】本実施形態の一例における貼り合わせ処理のフローを示す概略工程図である。
【図１６】本実施形態の一例における貼り合わせ処理のフローを示す概略工程図である。
【図１７】本実施形態の一例における貼り合わせ処理のフローを示す概略工程図である。
【図１８】本実施形態のペリクルマウント装置の一例を示す概略構成図である。
【図１９】本実施形態の一例に係るペリクルマウント装置による、原版へのペリクルの装着フローの一例を示すフロー図である。
【図２０】本実施形態によって製造された露光原版を備えた露光装置の一例である、ＥＵＶ露光装置の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、適宜、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。しかし、本発明は、図面等の具体的な実施形態に限定されることはない。また、各図面に共通の要素については、同一の符号を付すことがあり、重複した説明を省略することがある。また、図面では、構造を見やすくするために、隠れ線の一部を省略することがある。
【００１６】
本実施形態のペリクルマウント装置は、ペリクル膜、並びに、厚さ方向の一端面の側に前記ペリクル膜を支持するとともに厚さ方向の他端面に設けられた溝及び外周面と前記溝の壁面との間を貫通する貫通孔を有するペリクル枠を含むペリクルと、露光光が照射される光照射面を有する原版と、の貼り合わせが行われる貼り合わせチャンバーと、前記貼り合わせチャンバー内に前記ペリクル及び前記原版が、前記ペリクル枠の前記他端面と前記光照射面とが対向するように配置された状態で、前記ペリクル枠の前記貫通孔を通じて前記溝の内部を排気するための排気管と、を含む貼り合わせユニットを備える。
【００１７】
本実施形態におけるペリクルは、ペリクル膜及びペリクル枠を含む。このペリクル枠は、厚さ方向の一端面の側にペリクル膜を支持している。ペリクル枠は、その厚さ方向の他端面に設けられた溝を有する。更に、ペリクル枠は、その外周面と上記溝の壁面との間を貫通する貫通孔を有する。
そして本実施形態における貼り合わせユニットでは、ペリクル及び原版が、ペリクル枠の他端面と原版の光照射面とが対向するように配置された状態で、上記排気管によって、ペリクル枠の貫通孔を通じて溝の内部が排気される。これにより、ペリクルのペリクル枠と原版との間に、押し付け合う力を働かせることができる。このため、ペリクル膜の膜面に（装置、治具、手などによって）極力接触することなく、両者を貼り合わせることができる。
従って、本実施形態のペリクルマウント装置によれば、ペリクルと原版とを貼り合わせてペリクルを原版に装着（マウント）するにあたり、ペリクル膜の膜面に極力接触することなく両者を貼り合わせることができるという効果が奏される。
なお、本実施形態において、「押し付け合う力」は、引き付け合う力と同義である。
【００１８】
本明細書中では、ペリクルと原版とが貼り合された結果物（即ち、ペリクルが装着された原版）を、「ペリクル付き原版」や「露光原版」ともいう。本実施形態のペリクルマウント装置は、「ペリクル付き原版の製造装置」や「露光原版の製造装置」とも称することができる。
【００１９】
更に、本実施形態のペリクルマウント装置によれば、ペリクルと原版とを貼り合わせる際に、ペリクルの膜面に接触することによる、ペリクル膜への異物の付着や、ペリクル膜の破れを抑制できる。
【００２０】
ところで、近年、半導体デバイスの微細化に伴い、ペリクルへの異物の付着を抑制する要求が一層強くなっている。
また、線幅３２ｎｍ以下のパターン形成は、例えばＥＵＶリソグラフィーによって行われる。ＥＵＶリソグラフィーに用いられる、無機系材料を含むペリクル膜は、有機系材料を含むペリクル膜と比較して自立しにくい傾向があり、また、機械的な接触によっても傷や発塵を発生しやすい。このため、無機系材料を含むペリクル膜を備えるペリクルを原版に装着する場合には、ペリクル膜の膜面に極力接触することなくペリクルを装着する要求が大きい。ここで、「自立」とは、単独で膜形状を保持できることを指す。
本実施形態のペリクルマウント装置によれば、半導体デバイスの微細化に伴うこれらの要求に応えることができる。
具体的には、本実施形態のペリクルマウント装置は、特に、波長が短い露光光（例えば、ＥＵＶ光、ＥＵＶ光よりも更に波長が短い光、等）を用いたリソグラフィー用のペリクル、中でも、無機系材料を含むペリクル膜を備えたペリクルの原版への装着（マウント）に好適である。
【００２１】
本実施形態において、ＥＵＶ（Extreme Ultra Violet：極端紫外）光とは、波長５ｎｍ〜３０ｎｍの光を指す。
ＥＵＶ光の波長は、５ｎｍ〜１３．５ｎｍが好ましい。
本実施形態では、ＥＵＶ光、及び、ＥＵＶ光よりも波長が短い光を総称し、「ＥＵＶ光等」ということがある。
【００２２】
また、本実施形態において、ペリクル枠の「厚さ方向の端面」を、単に「端面」ということがある。
また、本実施形態において、「厚さ方向の一端面及び他端面」とは、言うまでもないが、それぞれ、厚さ方向の端面の一方、及び、厚さ方向の端面の他方を指す。
【００２３】
また、本実施形態では、貼り合わせチャンバー内にペリクル及び原版が、ペリクル枠の他端面（溝が設けられた端面）と原版の光照射面とが対向するように配置される。
ここで、本実施形態におけるペリクル枠には、他端面（原版との対向面）だけでなく一端面（ペリクル膜との対向面）にも、上記溝（即ち、貫通孔に通じる溝）が設けられていてもよい。即ち、本実施形態におけるペリクル枠は、厚さ方向の一端面及び他端面の両方に上記溝（即ち、貫通孔に通じる溝）を有していてもよい。
厚さ方向の一端面及び他端面の両方に上記溝を有するペリクル枠を含むペリクルは、ペリクル膜の膜面に極力接触することなく製造できるという利点を有する。その理由は、ペリクル膜との対向面となる一端面側の溝を貫通孔を通じて排気（減圧）できるためである。詳細な機構は、ペリクルと原版とを貼り合わせる際の機構と同様である。
後述の具体例は、厚さ方向の一端面及び他端面の両方に上記溝を有するペリクル枠を含むペリクルと、原版と、を貼り合わせる場合を中心に説明する。但し、上記溝は、ペリクル枠の少なくとも他端面（原版との対向面）に設けられていればよい。
【００２４】
また、本実施形態におけるペリクルは、ペリクル膜及びペリクル枠のみからなるものであってもよいが、必要に応じ、その他の要素を備えていてもよい。
その他の要素としては、ペリクル枠の他端面（原版との対向面）に接するように配置された接着剤層、ペリクル膜とペリクル枠との間に配置された接着剤層、ペリクル膜とペリクル枠との間に配置されペリクル膜に接する支持基板、等が挙げられる。
【００２５】
また、本実施形態における原版（マスク）としては、光が照射される光照射面を有するものであれば特に制限はない。
ここで、原版としては、例えば、支持基板と、この支持基板上に積層された反射層と、反射層上に形成された吸収体層と、を含む原版（マスク）を用いることができる。この原版では、反射層及び吸収体層が設けられた側の面が、光照射面となる。吸収体層がＥＵＶ光等の光を一部吸収することで、感応基板（例えば、フォトレジスト膜付き半導体基板）上に、所望の像が形成される。反射層は、モリブデン（Ｍｏ）とシリコン（Ｓｉ）との多層膜でありうる。吸収体層は、クロム（Ｃｒ）や窒化タンタル等、ＥＵＶ光等の吸収性の高い材料でありうる。
【００２６】
また、本実施形態において、前記貼り合わせユニットは、更に、前記貼り合わせチャンバー内に気体を導入して前記貼り合わせチャンバー内を加圧するための導入管を含むことが好ましい。
この導入管により、貼り合わせチャンバー内を加圧することができるので、ペリクル及び原版が配置される全体の雰囲気の圧力と、溝の内部の圧力と、の差（差圧）をより大きくすることができる。このため、ペリクルと原版との間に生じる、押し付け合う力をより大きくすることができ、両者をより容易に貼り合わせることができる。
【００２７】
また、本実施形態において、前記導入管は、前記貼り合わせチャンバー内に配置された前記ペリクル及び前記原版のうちの前記ペリクルに対向する側から気体を導入する第１導入管を含み、前記貼り合わせユニットは、更に、前記第１導入管から導入された気体を分散させるための気体分散部材と、を含むことがより好ましい。
この態様では、第１導入管によって導入される気体の流れによる、ペリクル膜への影響が低減される。
【００２８】
上記導入管が上記第１導入管を含む場合、上記導入管は、第１導入管に加え、第１導入管以外のその他の導入管である第２導入管を含んでいてもよい。
【００２９】
本実施形態において、前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に、前記排気管の一端に接続され、前記排気管と前記ペリクル枠の前記貫通孔とを連通させる連通部材を含むことが好ましい。
これにより、ペリクル枠の貫通孔を通じて溝の内部を排気する際に、排気の効率をより向上させることができる。
【００３０】
上記連通部材の形状は、排気管と貫通孔とを連通させ得る形状であればどのようなものであってもよい。
上記連通部材の形状としては、例えば、ペリクル枠の外周面と接触する開口端を有し、この開口端の径が貫通孔の径よりも大きい形状が挙げられる。この場合、連通部材の上記開口端と貫通孔との位置合わせがより容易となる。
また、上記連通部材の形状としては、貫通孔の径よりも径が小さい開口端を有する形状も挙げられる。この場合、開口端を貫通孔に挿入できるので、連通部材の上記開口端と貫通孔とをよりしっかりと接続させることができる。
【００３１】
上述したとおり、上記連通部材の形状としては、例えば、ペリクル枠の貫通孔に挿入可能な開口端を有する形状も挙げられる。この場合、連通部材の上記開口端と貫通孔とをよりしっかりと接続させることができる。
この場合の一例として、ペリクル枠の貫通孔が、ペリクル枠の外周面に向かうに従って径が増大するテーパー形状を有し、かつ、連通部材が、上記テーパー形状の貫通孔に挿入可能なテーパー形状の開口端を有する例が挙げられる。
【００３２】
また、上記連通部材は、前記ペリクル枠の外周面を押し込む方向に移動可能に設けられていることが好ましい。
これにより、連通部材とペリクル枠とをよりしっかりと接続することができる。更に、ペリクル枠の貫通孔を通じて溝の内部を排気することによってペリクル枠が排気方向に歪み変形する場合であっても、予め、連通部材によってペリクル枠の外周面を押し込んでおくことにより、ペリクル枠の歪み変形を抑制（補正）することができる。
なお、この場合、連通部材を、ペリクル枠の外周面を押し込む方向だけでなく、その反対方向（戻す方向；即ち、外周面から離れる方法）にも移動可能に設けてもよいことは言うまでもない。
【００３３】
また、本実施形態において、前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に、前記原版の光照射面とは反対側の面の周端部及び前記原版の外周面の少なくとも一部を支持し、前記反対側の面の中央部を支持しない原版支持部材を含むことが好ましい。
この態様では、原版の光照射面の反対側の面の中央部に接触しないようにして、原版とペリクルとを貼り合わせることができる。
上記反対側の面の周端部は、上記反対側の面の周端から５ｍｍ以内（より好ましくは３ｍｍ以内）の領域であることが好ましい。
【００３４】
本明細書中では、原版の光照射面を、原版の「前面」ということがある。
また、本明細書中では、原版の光照射面とは反対側の面を、原版の「背面」ということがある。
【００３５】
貼り合わせユニットが上記原版支持部材を含む態様は、特に、原版がＥＵＶリソグラフィーに用いられるＥＵＶ原版（ＥＵＶマスク）である場合に特に好適である。
即ち、ＥＵＶリソグラフィーに用いられるＥＵＶ露光装置では、露光装置内に原版を固定する際、従来のチャック方式とは異なり、静電チャック方式によって、原版の背面がマスクステージに直接接触するように固定される。そのため、原版の背面の中央部に異物が付着すると、異物の凹凸によって原版の平坦性が損なわれ正常な露光ができなくなることを本発明者らは見出した。
この現象に対し、貼り合わせユニットが上記原版支持部材を含む態様では、原版の背面の中央部に接触することなく、原版とペリクルとを貼り合わせることができるので、原版の背面の中央部への異物の付着が抑制される。
【００３６】
また、本実施形態において、前記原版は、前記原版の光照射面を露出させる開口部を有し、前記原版の光照射面とは反対側の面の周端部及び前記原版の外周面の少なくとも一部を支持し、前記反対側の面の中央部を支持しない原版ケースに収容されて前記貼り合わせチャンバー内に搬入され、
前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に、前記原版を収容した前記原版ケースを支持する原版ケース支持部材を含むことが好ましい。
この態様においても、貼り合わせユニットが上記原版支持部材を含む態様と同様の効果が奏される。この態様における中央部の好ましい範囲及び周端部の好ましい範囲は、それぞれ、貼り合わせユニットが上記原版支持部材を含む態様における中央部の好ましい範囲及び周端部の好ましい範囲と同様である。
【００３７】
上記原版ケースとしては、公知のマスクケースの一部を用いることもできる。
例えば、公知のマスクケースとしては、ＥＵＶポッド等が挙げられる。
上記原版ケースとして用いることができる、マスクケースの一部としては、ベースプレート及びカバー部材を備えるインナーポッドのカバー部材が挙げられる。
ＥＵＶポッド、インナーポッド、カバー部材等については、例えば、国際公開第２０１３／１８６９２９号パンフレット等を適宜参照することができる。
【００３８】
本実施形態のペリクルマウント装置は、更に、前記貼り合わせ後の前記ペリクル及び前記原版の外観検査を行う検査ユニットを備えることが好ましい。
外観検査としては、ペリクル及び原版の少なくとも一方に付着した異物の検査、ペリクル枠の形状測定、ペリクル枠と原版との位置合わせずれの測定、等が挙げられる。
なお、ペリクル枠と原版との「位置合わせ」は、「重ね合わせ」とも言うことができる。
【００３９】
本実施形態のペリクルマウント装置は、前記原版と貼り合わせる前の前記ペリクルの前記ペリクル枠の形状を測定する第１測定手段と、前記原版と貼り合わせた後の前記ペリクルの前記ペリクル枠の形状を測定する第２測定手段と、を備えることが好ましい。
この態様では、貼り合わせ（特に、上記ペリクル枠の上記溝の内部の排気）によるペリクル枠の変形の有無、及び、変形量を調べることができる。
【００４０】
本実施形態のペリクルマウント装置が第１測定手段及び第２測定手段を備える場合、本実施形態のペリクルマウント装置は、前記原版と前記ペリクルとを貼り合わせる前に、前記原版と前記ペリクルとのアライメントを行うアライメント手段と、前記貼り合わせる前の前記ペリクル枠の形状の測定結果と前記貼り合わせた後の前記ペリクル枠の形状の測定結果とに基づいて、前記アライメント手段によるアライメントをフィードフォワード制御する制御手段と、を備えることが好ましい。
この態様では、上記制御手段により、貼り合わせによるペリクル枠の変形を見越し、予め、アライメント手段によるペリクルと原版とのアライメントを、変形に起因するアライメントずれ（位置合わせずれ）が小さくなる（好ましくは最小化される）ように制御することができる。
この態様において、制御手段は省略されてもよく、アライメント手段によるアライメントの調整を手動で行ってもよい。
【００４１】
本実施形態のペリクルマウント装置が第１測定手段及び第２測定手段を備える場合、本実施形態のペリクルマウント装置は、前記貼り合わせる前の前記ペリクル枠の形状の測定結果と前記貼り合わせた後の前記ペリクル枠の形状の測定結果との差に基づいて、前記貼り合わせによる前記ペリクル枠の歪み量を算出する算出手段を備えることが好ましい。
この態様では、上記算出手段により、貼り合わせによるペリクル枠の歪み量（例えば、貫通孔を通じた溝の排気によるペリクル枠の歪み量）を見越し、予め、連通部材によるペリクル枠の押し込み量を、ペリクル枠の歪みが小さくなる（好ましくは最小化される）ように制御することができる。
【００４２】
本実施形態のペリクルマウント装置が上記算出手段を備える場合、本実施形態のペリクルマウント装置は、前記貼り合わせユニットが、前記貼り合わせチャンバー内に、前記排気管の一端に接続され、前記排気管と前記ペリクル枠の前記貫通孔とを連通させ、前記ペリクル枠の外周面を押し込む方向に移動可能に設けられている連通部材を含み、前記算出手段が、前記歪み量に基づいて、前記連通部材による前記ペリクル枠の押し込み量をフィードフォワード制御する制御手段であることが好ましい。
この態様では、上記算出手段により、歪み量の算出だけでなく、ペリクル枠の押し込み量の制御も行うことができる。
【００４３】
＜具体例＞
次に、本実施形態の一例を、図１〜図２０を参照しながら説明するが、本発明は以下の一例によって限定されることはない。
【００４４】
（ペリクル枠の具体例）
図１及び図２は、本実施形態のペリクルマウント装置において、貼り合わせの対象物の一つである、ペリクルのペリクル枠の一例を示す概略斜視図である。
図１は、一例に係るペリクル枠の厚さ方向の一端面を観察できる方向からみた概略斜視図であり、図２は、同じペリクル枠の厚さ方向の他端面を観察できる方向からみた概略斜視図である。
図３は、上記一例に係るペリクル枠の部分断面図であり、詳細には、図１のＡ−Ａ線断面図である。
【００４５】
図１及び図２に示すように、ペリクル枠１００の形状は、矩形の枠形状である。ペリクル枠１００をペリクルの一部材としたときには、ペリクル枠１００によって囲まれた開口部５０を露光光が通過する。
ペリクル枠１００の外形は、ペリクル枠１００の厚さ方向の一端面１０と、他端面２０と、４つの面からなる外周面３０と、４つの面からなる内周面４０によって確定される。
なお、ペリクル枠１００の厚さ方向からみた形状は、上述のとおり矩形状であるが、本実施形態のペリクル枠の厚さ方向からみた形状は矩形状には限定されず、矩形状以外の形状（例えば、台形状、枠の外側部分に出っ張りを有する形状、等）であってもよい。
【００４６】
図１及び図３に示すように、一端面１０には、溝１２が設けられている。
この実施形態において、ペリクル枠１００の厚さ方向から見た溝１２の形状は、ペリクル枠１００の形状に沿って一周する無端形状となっている。
ペリクル枠の厚さ方向から見た溝の形状の変形例については後述する。
【００４７】
ペリクル枠１００は、貫通孔１４Ａ及び貫通孔１４Ｂを有している。
貫通孔１４Ａ及び貫通孔１４Ｂは、それぞれ、溝１２の底面と外周面３０との間を貫通している。
【００４８】
ここで、貫通孔１４Ａ及び１４Ｂは、それぞれ、溝１２の側面と外周面３０との間を貫通していてもよい。
また、貫通孔１４Ａ及び１４Ｂのいずれか一方は、省略されていてもよい。即ち、ペリクル枠１００では、１つの溝（溝１２）に対して２つの貫通孔（貫通孔１４Ａ及び１４Ｂ）が接続しているが、本実施形態はこの態様には限定されない。本実施形態では、１つの溝（溝１２、溝２２）に対し、少なくとも１つの貫通孔が接続されていればよい。
【００４９】
また、図２及び図３に示すように、一端面１０とは反対側の他端面２０には、溝２２が設けられている。
この実施形態において、溝２２の形状も、溝１２の形状と同様に、厚さ方向から見たときに、ペリクル枠１００の形状に沿って一周する無端形状となっている。
【００５０】
ペリクル枠１００は、貫通孔２４Ａ及び貫通孔２４Ｂを有している。
貫通孔２４Ａ及び貫通孔２４Ｂは、それぞれ、溝２２の底面と外周面３０との間を貫通している。
貫通孔２４Ａ及び２４Ｂのバリエーションについては、貫通孔１４Ａ及び１４Ｂのバリエーションと同様である。
【００５１】
上述したペリクル枠１００は、一端面１０の側又は他端面２０の側にペリクル膜を支持している。即ち、上述したペリクル枠１００は、本実施形態の一例に係るペリクルの構成部材の一つである。
【００５２】
以下では、ペリクル枠１００の一端面１０の側にペリクル膜が支持されている場合を中心に説明する。この場合、ペリクル枠１００の他端面２０が、原版との対向面となる。
但し、本実施形態におけるペリクル枠は、少なくとも原版との対向面である端面に溝が設けられていればよいので、上記の場合とは反対に、ペリクル枠１００の他端面２０の側にペリクル膜が支持されており、ペリクル枠１００の一端面１０が、原版との対向面となっていてもよい。
また、ペリクル膜が支持されている側の端面の溝、及び、この溝に通じる貫通孔は省略されていてもよい。即ち、溝１２、貫通孔１４Ａ、及び貫通孔１４Ｂの組み合わせ、並びに、溝２２、貫通孔２４Ａ、及び貫通孔２４Ｂの組み合わせのうちのいずれか一方であって、ペリクル膜が支持されている側の端面に関係する組み合わせは省略されていてもよい。
【００５３】
以下、ペリクル枠１００の一端面１０の側にペリクル膜が支持されてなるペリクル（例えば、後述のペリクル２０１、ペリクル２００）を、原版に装着する場合について説明する。
ペリクル枠１００には、原版との対向面となる他端面２０に溝２２が設けられ、かつ、この溝２２に接続する貫通孔２４Ａ及び２４Ｂが設けられている。このため、他端面２０に原版を固定する際に、貫通孔２４Ａ及び２４Ｂを通じて溝２２の内部を（例えば真空ポンプ等の排気手段によって）減圧することにより、ペリクル枠１００と原版との間の圧力を減圧することができる。この減圧により、ペリクル枠１００と原版との間に押し付け合う力を働かせることができるので、ペリクル膜の膜面に極力接触することなく、ペリクルと原版とを貼り合わせることができる。
【００５４】
更に、ペリクル枠１００の一端面１０の側にペリクル膜が支持されてなるペリクル（例えば、後述のペリクル２０１、ペリクル２００）は、他端面２０だけでなく一端面１０にも溝が設けられているため、ペリクルと原版とを貼り合わせる際と同様の原理により、ペリクル膜の膜面に極力接触することなく製造可能であるという利点を有する。
更に、ペリクル枠１００は、一端面１０及び他端面２０の両方に溝（溝１２、溝２２）を有しているため、ペリクル膜及び原版と貼り合わせる端面の選択の幅が広いという利点を有する。
【００５５】
ペリクル枠１００の寸法は、例えば、以下の寸法とすることができる。
ペリクル枠１００の長辺方向の長さＬ１は、例えば１３５ｍｍ〜１５３ｍｍとすることができ、１４０ｍｍ〜１５２ｍｍが好ましく、１４５ｍｍ〜１５１ｍｍがより好ましい。
ペリクル枠１００の短辺方向の長さＬ２は、例えば１００ｍｍ〜１３０ｍｍとすることができ、１０５ｍｍ〜１２５ｍｍが好ましく、１１０ｍｍ〜１２０ｍｍがより好ましい。
長辺方向の長さＬ１と短辺方向の長さＬ２とは、同一寸法であってもよい。即ち、ペリクル枠１００の形状は、正方形形状であってもよい。
ペリクル枠１００の枠幅（フレーム幅）Ｗは、例えば１．０ｍｍ〜５．０ｍｍとすることができ、１．２ｍｍ〜３．５ｍｍが好ましく、１．５ｍｍ〜２．５ｍｍがより好ましい。枠幅は、矩形形状のペリクル枠１００の４辺において、同一の寸法としてもよいし、異なる寸法としてもよい。
また、ペリクル枠１００によって囲まれた開口部５０の長辺方向の長さは、例えば１３０ｍｍ〜１５２ｍｍとすることができ、１３５ｍｍ〜１５１ｍｍが好ましく、１４０ｍｍ〜１５０ｍｍがより好ましい。
また、開口部５０の幅は、例えば９５ｍｍ〜１３０ｍｍとすることができ、１００ｍｍ〜１２５ｍｍが好ましく、１０５ｍｍ〜１２０ｍｍがより好ましい。
ペリクル枠の厚さｔは、例えば０．５ｍｍ〜５．０ｍｍとすることができ、０．５ｍｍ〜３．０ｍｍが好ましく、０．５ｍｍ〜２．０ｍｍがより好ましい。
【００５６】
また、溝１２及び溝２２の幅は、溝での圧力損失低減、ペリクル枠の枠幅との関係、等を考慮して適宜設定できるが、例えば１０μｍ〜１．０ｍｍとすることができ、５０μｍ〜７００μｍが好ましく、１００μｍ〜６００μｍがより好ましく、２００μｍ〜５００μｍが特に好ましい。
また、溝１２及び溝２２の深さは、溝での圧力損失低減、ペリクル枠の厚さとの関係、等を考慮して適宜設定できるが、例えば１０μｍ〜１．０ｍｍとすることができ、５０μｍ〜７００μｍが好ましく、１００μｍ〜６００μｍがより好ましく、２００μｍ〜５００μｍが特に好ましい。
【００５７】
また、貫通孔１４Ａ、１４Ｂ、２４Ａ、及び２４Ｂの幅は、貫通孔での圧力損失低減、ペリクル枠の厚さとの関係等を考慮して適宜設定できるが、例えば１０μｍ〜１．０ｍｍとすることができ、５０μｍ〜７００μｍが好ましく、１００μｍ〜６００μｍがより好ましく、２００μｍ〜５００μｍが特に好ましい。
また、貫通孔１４Ａ、１４Ｂ、２４Ａ、及び２４Ｂの長さは、貫通孔での圧力損失低減、等を考慮して適宜設定できるが、例えば０．５ｍｍ〜１０ｍｍとすることができ、０．７ｍｍ〜５．０ｍｍが好ましく、１．０ｍｍ〜２．０ｍｍがより好ましい。
ここで、貫通孔の幅とは、貫通孔からなる流路の流路幅（貫通孔の断面が円形状である場合には直径）を指し、貫通孔の長さとは、貫通孔からなる流路の流路長を指す。
【００５８】
ペリクル枠１００の材質には特に制限はなく、ペリクル枠に用いられる通常の材質とすることができる。
ペリクル枠１００の材質として、具体的には、アルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）、ステンレス、シリコン、シリコン合金、鉄、鉄系合金、炭素鋼、工具鋼、セラミックス、金属−セラミックス複合材料、樹脂等が挙げられる。中でも、アルミニウム、アルミニウム合金が、軽量かつ剛性の面からより好ましい。
【００５９】
また、ペリクル枠１００は、その表面に保護膜を有していてもよい。
保護膜としては、露光雰囲気中に存在する水素ラジカルおよびＥＵＶ光に対して耐性を有する保護膜が好ましい。
保護膜としては、例えば、酸化被膜が挙げられる。
酸化被膜は、陽極酸化等の公知の方法によって形成することができる。
また酸化被膜は、黒色系染料によって着色されていてもよい。ペリクル枠１００が黒色系染料によって着色された酸化被膜を有する場合には、ペリクル枠１００上の異物の検出がより容易となる。
その他、ペリクル枠１００のその他の構成については、例えば、特開２０１４−０２１２１７号公報、特開２０１０−１４６０２７号公報等の公知のペリクル枠の構成を適宜参照することができる。
【００６０】
次に、ペリクル枠の変形例について説明する。
図１〜図３に示したペリクル枠１００では、１つの端面につき１つの溝が設けられているが、本実施形態では、１つの端面につき２つ以上の溝が設けられていてもよい。１つの端面につき２つ以上の溝が設けられている場合、２つ以上の溝のそれぞれに、上記貫通孔が接続されていることが好ましい（例えば、図４参照）。
また、ペリクル枠が矩形形状である場合には、ペリクル枠と他の部材との間の押し付け合う力をより効果的に働かせる観点から、ペリクル枠の４辺に溝が存在することが好ましい。
ここで、「ペリクル枠の４辺に溝が存在する」態様には、例えば、
ペリクル枠の４辺に渡って１つの溝が設けられている態様（例えば、図１及び図２参照）、
ペリクル枠の４辺のそれぞれにつき１つ以上の溝が設けられている態様（例えば、図４参照）、
ペリクル枠の２辺に渡る１つの溝が設けられ、かつ、残りの２辺に渡る１つの溝が設けられている態様、
等が含まれる。
【００６１】
図４は、本実施形態の変形例に係るペリクル枠１０１を、厚さ方向の他端面を観察できる方向からみた概略斜視図である。
図４に示すように、ペリクル枠１０１の他端面２０には、溝が４つ、即ち、溝２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、及び２２Ｄが設けられている。ペリクル枠１０１には、溝２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、及び２２Ｄのそれぞれの底面と、外周面３０と、の間を貫通する、貫通孔２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、及び２６Ｄがそれぞれ設けられている。
このペリクル枠１０１において、それぞれの溝は、ペリクル枠１０１のコーナー部分を中心として２辺に跨り、かつ、２辺の途中に端部を有する形状となっている。但し、本実施形態の溝の形状はどのようなものであってもよい。
また、このペリクル枠１０１において、それぞれの溝の一端部に、貫通孔が接続されている。但し、本実施形態において、溝に接続する貫通孔の位置は、どの部分であってもよい。貫通孔は、要するに、溝の壁面とペリクル枠の外周面との間を貫通していればよい。
【００６２】
また、図４では図示を省略したが、ペリクル枠１０１の一端面には、ペリクル枠１００の一端面１０と同様に、溝が設けられており、更に、一端面側の溝の壁面と外周面とを貫通する貫通孔が設けられている。但し、ペリクル枠１０１の一端面側の溝の形状を、ペリクル枠１０１の他端面側の溝の形状と同一形状としてもよい。
ペリクル枠１０１において、上述した以外の構成は、ペリクル枠１００の構成と同様であり、好ましい範囲も同様である。
【００６３】
（ペリクルの具体例）
図５は、本実施形態のペリクルマウント装置に用いられるペリクルの一例を示す概略断面図である。
図５に示すように、ペリクル２０１は、ペリクル膜１３０と上述のペリクル枠１００とを含む。ペリクル２０１において、ペリクル枠１００は、厚さ方向の一端面１０の側にペリクル膜１３０を支持している。ペリクル枠１００は、厚さ方向の他端面２０に設けられた溝２２と、外周面３０と溝２２の壁面との間を貫通する貫通孔２４Ａ及び２４Ｂと、を少なくとも有する。更に、ペリクル枠１００の厚さ方向の一端面１０には、溝１２が設けられており、更に、この溝１２の壁面と外周面３０との間を貫通する貫通孔１４Ａ及び１４Ｂ）が設けられている。
【００６４】
ペリクル２０１の構成は、上述したペリクル枠１００を含むペリクル枠部材１１０と、ペリクル膜１３０を含むペリクル膜部材１２０と、を貼り合わせた構成となっている。
ここで、ペリクル枠部材１１０は、上述したペリクル枠１００と、上記ペリクル枠１００の一端面１０に接する接着剤層１０２と、上記ペリクル枠１００の他端面２０に接する接着剤層１０４と、接着剤層１０４に接する剥離ライナー１０６と、を備えている。
一方、ペリクル膜部材１２０は、ペリクル膜１３０とペリクル膜１３０を支持する支持基板１２２とから構成されている。
ペリクル２０１において、ペリクル枠部材１１０及びペリクル膜部材１２０は、支持基板１２２と接着剤層１０２とが接する配置で貼り合わせられている。かかる構造のペリクル２０１は、貫通孔１４Ａ及び１４Ｂを通じた溝１２の内部を排気（減圧）することにより、ペリクル膜１３０に極力接触することなく製造することができる。
【００６５】
ペリクル２０１において、ペリクル膜１３０の材質には特に制限はなく、有機系材料であっても、無機系材料であっても、有機系材料と無機系材料との混合材料であってもよい。
有機系材料としては、フッ素系ポリマー等が挙げられる。
無機系材料としては、結晶シリコン（例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン、等）、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、グラファイト、アモルファスカーボン、グラフェン、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等が挙げられる。
ペリクル膜１３０は、上記材料を１種単独で含んでいてもよいし、２種以上を含んでいてもよい。
【００６６】
ペリクル膜１３０の構成は、単層構成であっても、二層以上からなる構成であってもよい。
ペリクル膜の厚さ（二層以上からなる場合には総厚）は、例えば、１０ｎｍ〜２００ｎｍとすることができ、１０ｎｍ〜１００ｎｍが好ましく、１０ｎｍ〜７０ｎｍがより好ましく、１０〜５０ｎｍが特に好ましい。
【００６７】
支持基板１２２は、ペリクル膜１３０を支持するための部材である。
この支持基板１２２は、ペリクル枠１００と同様に、枠形状の部材である。即ち、支持基板１２２は、中央部に矩形状の開口部を有する基板である。
支持基板１２２の開口部の形状及びサイズは、それぞれ、前述のペリクル枠１００によって囲まれる開口部５０の形状及びサイズと略同一となっている。
但し、支持基板１２２の開口部のサイズ及び開口部５０のサイズは、完全に同一とする必要はなく、例えば、支持基板１２２の開口部のサイズを開口部５０のサイズよりも小さくしてもよいし、支持基板１２２の開口部のサイズを開口部５０のサイズよりも大きくしてもよい。但し、開口部の一辺の長さの違いを、２ｍｍ以内（好ましくは１ｍｍ以内）とすることが好ましい。
【００６８】
上記支持基板１２２の材質としては、アルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）、ステンレス、シリコン、シリコン合金、鉄、鉄系合金、炭素鋼、工具鋼、セラミックス、金属−セラミックス複合材料、樹脂等が挙げられる。中でも、シリコン、シリコン合金が好ましい。
【００６９】
支持基板１２２の厚さは、例えば０．０３〜５．０ｍｍとすることができ、０．０５〜３．０ｍｍが好ましく、０．１５〜２．０ｍｍがより好ましく、０．３ｍｍ〜１．０ｍｍが特に好ましい。
【００７０】
ペリクル２０１において、ペリクル膜１３０は上述した支持基板１２２によって支持されている。
かかる態様のペリクル膜部材は、ペリクル膜が自立しにくい膜（例えば、シリコン結晶膜等の無機系材料を含むペリクル膜、厚さが薄いペリクル膜、等）である場合であっても、支持基板によってペリクル膜の膜形状を保持しながらペリクルを製造できるという利点を有する。
【００７１】
上述の支持基板１２２とペリクル膜１３０とを含むペリクル膜部材１２０は、例えば、まず、支持基板１２２の素材（開口部が設けられる前の支持基板）としてのシリコンウェハ（例えば８インチシリコンウェハ）上に、ペリクル膜１３０としてのシリコン結晶膜を形成し、次いで、このシリコンウェハのシリコン結晶膜非形成面側から、シリコンウェハの中央部をエッチングしてこの中央部のシリコンウェハを除去して開口部を形成することにより作製できる。なお、ペリクル２０１を製造する際、シリコンウェハの余分な部分（ペリクル枠１００の外周からはみ出す余分な部分）は、ペリクル２０１の製造段階の途中でカット（除去）される。
ペリクル膜１３０としては、シリコン結晶膜以外にも、窒化ケイ素膜／シリコン結晶膜／窒化ケイ素膜の構成の積層膜など、その他の膜を用いることもできる。また、支持基板１２２としてはシリコンウェハ以外のその他の基板を用いることもできる。
その他の材料（膜、基板）を用いた場合であっても、上記と同様の方法により、ペリクル膜部材を作製することができる。
【００７２】
ペリクル２０１において、接着剤層１０２は、支持基板１２２とペリクル枠１００とを接着している層であり、接着剤を含む。
本実施形態において、「接着剤」は広義の接着剤を指し、「接着剤」の概念には、粘着剤も含まれるものとする。
接着剤層１０２に含まれる接着剤としては、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、ポリイミド樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、無機系接着剤、両面粘着テープ、シリコーン樹脂粘着剤、アクリル系粘着剤、ポリオレフィン系粘着剤、等が挙げられる。
中でも、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、ポリイミド樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、無機系接着剤、が好ましい。
接着剤層１０２の厚さには特に制限はないが、１μｍ〜５００μｍが好ましく、１０μｍ〜４００μｍがより好ましく、２０μｍ〜３００μｍが特に好ましい。
【００７３】
ペリクル２０１において、接着剤層１０４は、本実施形態のペリクルマウント装置による原版へのペリクルの装着（即ち、ペリクルと原版との貼り合わせ）において、原版とペリクル枠１００とを接着するための層であり、接着剤を含む。
接着剤層１０４に含まれる接着剤としては、接着剤層１０２に含まれる接着剤と同様のものが挙げられるが、中でも、両面粘着テープ、シリコーン樹脂粘着剤、アクリル系粘着剤、ポリオレフィン系粘着剤が好ましい。
接着剤層１０４の厚さには特に制限はないが、１μｍ〜５００μｍが好ましく、１０μｍ〜４００μｍがより好ましく、２０μｍ〜３００μｍが特に好ましい。
【００７４】
なお、ペリクル２０１において、接着剤層１０４は、ペリクル枠１００の他端面２０のうち、溝２２以外の部分に設けられている。これにより、貫通孔２４Ａ及び２４Ｂを通じた溝２２の排気を効率よく行えるようになっている。
前述の接着剤層１０２についても同様に、ペリクル枠１００の一端面１０のうち、溝１２以外の部分に設けられている。
【００７５】
剥離ライナー１０６は、本実施形態のペリクルマウント装置による、原版へのペリクルの装着の前（即ち、ペリクルと原版との貼り合わせ前）において、接着剤層１０４への異物の付着を防止するための部材である。
剥離ライナー１０６は、原版へのペリクルの装着の前に、ペリクル２０１から除去（剥離）される。後述のペリクル２００（図６等）は、ペリクル２０１から剥離ライナー１０６を除去したペリクルである。
ペリクル２０１からの剥離ライナー１０６の除去は、本実施形態のペリクルマウント装置内で行ってもよいし、本実施形態のペリクルマウント装置外で予め行ってもよい。
【００７６】
剥離ライナーは、剥離フィルムやセパレーターとも呼ばれている部材である。
剥離ライナーとしては、シリコーン化合物などの剥離層を持つＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム等の公知のものを特に制限なく用いることができる。
ペリクル２０１において、剥離ライナー１０６の厚さ方向からみた形状は、ペリクル枠１００及び開口部５０（ペリクル枠１００によって囲まれる開口部）に渡る形状、即ち、開口部を有しない平板形状となっている。但し、剥離ライナー１０６の形状は、どのようなものであってもよい。剥離ライナーは、接着剤層１０４の表面にのみ接する、枠形状の部材（開口部を有する部材）であってもよい。また、剥離ライナーは、ペリクル枠１００よりも大きい部材であってもよく、例えば、ペリクル枠１００の厚さ方向からみたときに、ペリクル枠１００の外側にはみ出す大きさを有する部材であってもよい。
【００７７】
剥離ライナー１０６の厚さには特に制限はないが、５μｍ〜５００μｍが好ましく、１０μｍ〜４００μｍがより好ましく、２０μｍ〜３００μｍが特に好ましい。
【００７８】
ペリクル２０１において、各部材の厚さの好ましい範囲は前述したとおりである。
各部材の厚さは、ペリクル２００の総厚が５．０ｍｍ以下（より好ましくは３．０μｍ以下、更に好ましくは２．０ｍｍ以下）となるように調整することが好ましい。
【００７９】
ペリクル２０１の構成部材の少なくとも１つ（但し、剥離ライナー１０６を除く）には、原版とのアライメント（位置合わせ）精度を向上させるためのアライメントマークが形成されていてもよい。
【００８０】
（貼り合わせユニットの具体例）
図６及び図７は、本実施形態のペリクルマウント装置における貼り合わせユニットの一例を示す概略構成図である。貼り合わせユニットは、単体としても、ペリクルマウント装置として機能するユニットである。
図６は、貼り合わせユニットの貼り合わせチャンバー内において、ペリクルと原版との貼り合わせが行われる様子に視点を置いた概略断面図である。図６では、貼り合わせチャンバー内の詳細な構成は図示を省略している。
図７は、貼り合わせチャンバー内の詳細な構成、及び、貼り合わせチャンバーにペリクル膜部材が搬入される様子に視点を置いた概略断面図である。図７では、ペリクルの詳細な構成については、図示を省略している。
【００８１】
図６に示すように、貼り合わせユニット３００の貼り合わせチャンバー３１０内には、ペリクル２００及び原版２５０が配置される。
ここで、ペリクル２００は、前述のペリクル２０１から剥離ライナー１０６が除去されたものである。ペリクル２０１からの剥離ライナー１０６の除去は、本実施形態のペリクルマウント装置内で行ってもよいし、本実施形態のペリクルマウント装置外で予め行ってもよい。
【００８２】
原版２５０は、前面２５２（露光光が照射される面；光照射面）及び背面２５４（前面２５２の反対側の面）を有する。
原版２５０としては、例えば、支持基板と、この支持基板上に積層された反射層と、反射層上に形成された吸収体層と、を含むＥＵＶ原版（ＥＵＶマスク）を用いる。この原版では、反射層及び吸収体層が設けられた側の面が、前面２５２（光照射面）である。前面２５２の反対側の面（支持基板の面）が背面２５４である。この例では、吸収体層がＥＵＶ光を一部吸収することで、感応基板（例えば、フォトレジスト膜付き半導体基板）上に、所望の像が形成される。反射層は、モリブデン（Ｍｏ）とシリコン（Ｓｉ）との多層膜でありうる。吸収体層は、クロム（Ｃｒ）や窒化タンタル等、ＥＵＶ光等の吸収性の高い材料でありうる。
【００８３】
貼り合わせチャンバー３１０内において、ペリクル２００及び原版２５０は、ペリクル２００の接着剤層１０４と、原版２５０の前面２５２と、が対向するようにして配置される。
ペリクル２００のうちペリクル枠１００の原版２５０と対向する側の端面（他端面２０）には、溝２２が設けられている。そして接着剤層１０４は、ペリクル枠１００の他端面２０上における溝２２以外の部分に設けられている。
貼り合わせチャンバー３１０内では、排気管（図６では不図示。図７では排気管３１２Ａ及び３１２Ｂ）により、貫通孔２４Ｂを通じて溝２２の内部の排気（減圧）が行われ（矢印Ｅ２）、かつ、貫通孔２４Ａを通じて溝２２の内部の排気（減圧）が行われる（矢印Ｅ１）。これらの排気（減圧）により、ペリクル２００と原版２５０との間に引き付け合う力Ｆ（即ち、押し付け合う力）を働かせることができる。この力Ｆの作用により、ペリクル膜１３０に極力接触することなく、両者を貼り合わせることができる。
このとき、不図示の導入管により、貼り合わせチャンバー３１０内に気体を導入して貼り合わせチャンバー３１０内を加圧することが好ましい。これにより、ペリクル２００及び原版２５０が配置される貼り合わせチャンバー３１０内全体の雰囲気の圧力と、溝２２の内部の圧力と、の差（差圧）をより大きくすることができるので、上記力Ｆをより効果的に働かせることができる。
【００８４】
上記力Ｆ（ペリクル枠全体に加わる力）は、１Ｎ以上が好ましく、２Ｎ以上がより好ましい。
上記力Ｆ（ペリクル枠全体に加わる力）は、１０Ｎ以上が更に好ましく、２０Ｎ以上が特に好ましい。
上記力Ｆ（ペリクル枠全体に加わる力）の上限には特に制限はないが、生産性などの点からは、例えば５００Ｎ、好ましくは４００Ｎである。
【００８５】
次に、貼り合わせユニット３００の構成を、図７を参照して説明する。
図７に示すように、貼り合わせユニット３００は、貼り合わせチャンバー３１０と、貼り合わせチャンバー３１０内に気体を導入して貼り合わせチャンバー３１０内を加圧するための第１導入管３２２及び第２導入管３２６と、ペリクル２００のペリクル枠１００の貫通孔２４Ａ及び２４Ｂを通じて溝２２の内部を排気するための排気管３１２Ａ及び３１２Ｂと、を備えている。
【００８６】
ここで、第１導入管３２２は、貼り合わせチャンバー３１０内にペリクル２００及び原版２５０が配置された時に、ペリクル２００（ペリクル膜１３０）に対向する側から（この例では貼り合わせチャンバー３１０の上面から）気体を導入できる位置に配置されている。貼り合わせユニット３００は、第１導入管３２２を複数備えていてもよい。
一方、第２導入管３２６は、貼り合わせチャンバー３１０内にペリクル２００及び原版２５０が配置された時に、原版２５０の下方であって貼り合わせチャンバー３１０の側面から気体を導入できる位置に配置されている。第２導入管３２６は、この位置に限らず、貼り合わせチャンバー３１０内に気体を導入できるあらゆる位置に設けることができる。また、貼り合わせユニット３００は、第２導入管３２６を複数備えていてもよい。
【００８７】
第１導入管３２２及び第２導入管３２６の他端は、それぞれ、（必要に応じ他の配管等を介し、）ボンベ等の気体供給手段に接続できるようになっている。
また、第１導入管３２２及び第２導入管３２６の途中には、気体の導入を行うか否かを切り替えるための弁（不図示）が設けられていてもよい。この弁は、気体の流量等を調整する機構を備えた調整弁であってもよい。
なお、第１導入管３２２及び第２導入管３２６を通じて供給される気体には特に制限なないが、例えば、乾燥空気、不活性ガス等を用いることができる。
【００８８】
排気管３１２Ａ及び３１２Ｂは、それぞれ、一端に接続された連通部材を介して、ペリクル２００のペリクル枠の貫通孔に接続できるようになっている。
【００８９】
図８は、図７における排気管の一つである排気管３１２Ｂが、ペリクル枠の貫通孔に接続される様子を概念的に示す部分断面図である。
図８に示すように、排気管３１２Ｂの一端には、ペリクル枠１００の貫通孔２４Ｂと排気管３１２Ｂとを連通させる連通部材３１４が接続されている。貼り合わせユニット３００がこの連通部材３１４を備えることにより、貫通孔２４Ｂを通じた溝２２の内部を排気する際に、排気の効率がより向上する。連通部材３１４は、必ずしも排気管３１２Ｂに対して独立した部材である必要はない。即ち、排気管３１２Ｂと連通部材３１４とは、一体成形された一つの部材であってもよい。
【００９０】
連通部材３１４の形状は、ペリクル枠１００の外周面と接触する開口端を有し、この開口端の径が貫通孔の径よりも大きい形状となっている。連通部材３１４の形状がかかる形状であることにより、連通部材３１４の開口端と貫通孔１４Ｂとの位置合わせを容易に行える。より具体的には、連通部材３１４の形状は、排気管３１２Ｂの一端から遠ざかるに従って径が増大するテーパー形状となっている。
【００９１】
また、連通部材３１４は、ペリクル枠１００の外周面を押し込む方向（矢印Ｊ２の方向）に移動可能に設けられている。これにより、連通部材３１４とペリクル枠１００とをよりしっかりと接続することができる。更に、ペリクル枠１００の貫通孔２４Ｂを通じて溝２２の内部を排気することによってペリクル枠１００が排気方向（矢印Ｅ２の方向）に歪み変形する場合であっても、予め、連通部材３１４によってペリクル枠１００の外周面を押し込むことにより、ペリクル枠１００の歪み変形を補正することができる。
なお、当然ではあるが、連通部材３１４は、矢印Ｊ２とは反対方向（戻す方向）にも移動可能となっている。
【００９２】
図９は、本実施形態の変形例において、排気管の一つがペリクル枠の貫通孔に接続される様子を概念的に示す部分断面図であり、上記一例における図８の部分断面図に対応する図である。
図９に示すように、変形例に係るペリクル枠１０３の貫通孔１２４Ｂは、ペリクル枠１０３の外周面に向かうに従って径が増大するテーパー形状を有している。変形例に係る連通部材３１６は、貫通孔１２４Ｂのテーパー形状の部分に挿入可能なテーパー形状を有している。
この変形例によれば、連通部材３１６を貫通孔１２４Ｂのテーパー形状の部分に挿入することにより（矢印Ｊ１２参照）、排気管３１２Ｂと貫通孔１２４Ｂとをよりしっかりと接続することができる。
上記変形例において、上記以外の点は、上記一例と同様であり、好ましい態様も同様である。
なお、連通部材及び貫通孔がテーパー形状以外の形状である場合であっても、連通部材を貫通孔に挿入できる構造であれば、上記変形例と同様の効果が奏される。例えば、連通部材が円筒形状の部材であり、貫通孔が円柱形状の空間である場合であっても、連通部材の径を貫通孔の径よりも小さくすることにより、連通部材を貫通孔に挿入することができる。
【００９３】
また、本実施形態において、連通部材は省略されていてもよい。本実施形態では、要するに、排気管と貫通孔とを連通できる構成となっていればよい。
【００９４】
次に、図７に戻り、排気管３１２Ａ及び３１２Ｂの他端（不図示）は、貼り合わせチャンバー３１０外に配置されている。これらの他端は、それぞれ、（必要に応じ他の配管等を介し、）真空ポンプ等の排気手段に接続できるようになっている。
また、排気管３１２Ａ及び３１２Ｂの途中には、溝２２の排気を行うか否かを切り替えるための弁（不図示）が設けられていてもよい。この弁は、気体の流量等を調整する機構を備えた調整弁であってもよい。
【００９５】
なお、貼り合わせユニット３００では、ペリクル枠１００の溝２２に接続する貫通孔の数（２つ）に合わせ、排気管が２つ設けられているが、本実施形態における排気管の数は２つに限定されないことは言うまでもない。排気管の数には特に制限はないが、排気管の端部の数を、上記貫通孔の数と一致させることが好ましい。また、排気管としては分岐した排気管を用いてもよい。本実施形態では、要するに、ペリクル枠のペリクル膜部材に対向する側の端面に設けられた溝に対して接続している各貫通孔に、排気管の各端部が接続できるようになっていることが好ましい。
【００９６】
図７に示すように、貼り合わせチャンバー３１０内には、原版２５０を支持する原版支持部材３３０が設けられている。
原版支持部材３３０は、原版２５０の外周面の一部に接触し、原版２５０の背面２５４には接触しないようにして原版２５０を支持している。但し、原版支持部材３３０の変形例として、原版の外周面の一部に接触し、かつ、背面２５４の周端部の一部に接触する原版支持部材を用いてもよい。
これらの例のように、貼り合わせユニット３００は、貼り合わせチャンバー３１０内に、原版２５０の背面２５４の周端部及び原版２５０の外周面の少なくとも一部に接触し、背面２５４の中央部に接触することなく、原版２５０を支持する原版支持部材を備えることが好ましい。これにより、原版の背面の中央部に接触することなく、原版とペリクルとを貼り合わせることができるので、原版の背面の中央部への異物の付着が抑制される。
【００９７】
同様に、貼り合わせチャンバー３１０内への原版２５０の搬入は、原版２５０の背面２５４の周端部及び原版２５０の外周面の少なくとも一部に接触し、背面２５４の中央部に接触することなく、原版２５０を支持する保持手段（不図示）によって保持されて行われることが好ましい。かかる保持手段としては、搬送ロボットに備えられたハンド部材が挙げられる。
【００９８】
背面２５４の中央部は、原版２５０の有効露光領域よりも広い領域であることが好ましい。
また、背面２５４の中央部の外周から背面の周端までの距離は、５ｍｍ以下であることが好ましく、３ｍｍ以下であることがより好ましい。
【００９９】
また、背面２５４の周端部は、背面の周端から５ｍｍ以内（より好ましくは３ｍｍ以内）の領域であることが好ましい。
【０１００】
次に、図１０〜図１３を参照し、本実施形態の変形例として、貼り合わせチャンバー３１０内における原版２５０を支持する機構の変形例について説明する。
なお、これらの変形例において、背面の中央部及び周端部の好ましい範囲は、前述の一例と同様である。
【０１０１】
図１０に示す変形例では、原版２５０は、原版２５０の前面２５２を露出させる開口部を有する原版ケース２６０に収容された状態で貼り合わせチャンバー３１０内に搬入（収容）されてもよい。この場合、貼り合わせユニット３００は、貼り合わせチャンバー３１０内に、原版２５０を収容した原版ケース２６０を支持する原版ケース支持部材３３２（載置盤）を備える。この変形例では、原版２５０が原版ケース２６０に収容されたままの状態で、原版２５０とペリクル２００との貼り合わせが行われる。
なお、この変形例における貼り合わせチャンバー３１０内への原版ケース２６０の搬入は、原版ケース２６０を保持できる保持手段（例えば、搬送ロボットに備えられたハンド部材）を用いて行うことができる。原版ケース２６０を保持する保持手段は、原版ケース２６０の外側のどの部分に接触してもよい。
この変形例では、原版２５０の背面２５４の周端部の一部が、原版ケース２６０に設けられた突起２６２に接触し、背面２５４の中央部はどこにも接触していない。
これにより、原版の背面の中央部に接触することなく、原版とペリクルとを貼り合わせることができるので、原版の背面の中央部への異物の付着が抑制される。
突起２６２の材質や形状などは特に問わないが、材質としては、可撓性のあり、かつ発塵しにくい材料や、導電性を有する材料であることが望ましい。このような材質として、たとえば炭素―ポリイミドコンパウンド等が挙げられる。
突起２６２が設けられる位置にも特に制限はないが、原版２５０の背面２５４の４隅であることが好ましい。
【０１０２】
図１１に示す変形例では、原版２５０は、貼り合わせチャンバー３１０内に載置盤３３４に載置される。この変形例では、原版２５０の背面２５４の周端部の一部が、載置盤３３４に設けられた突起３６２に接触し、背面２５４の中央部はどこにも接触していない。
これにより、原版の背面の中央部に接触することなく、原版とペリクルとを貼り合わせることができるので、原版の背面の中央部への異物の付着が抑制される。
突起３６２の好ましい材質については、突起２６２の好ましい材質と同様である。
突起３６２が設けられる位置の好ましい態様も、突起２６２が設けられる位置の好ましい態様と同様である。
【０１０３】
図１２に示す変形例では、原版２５０は、これまでの例とは異なり、原版２５０が、前面２５２が下側、背面２５４が上側となるようにして、貼り合わせチャンバー３１０内に配置される。この変形例では、貼り合わせチャンバー３１０内に、原版２５０の外周面に接触し、原版２５０の背面２５４には接触しないようにして原版２５０を支持する原版支持部材３３６が設けられている。この変形例の場合、ペリクル２００も、これまでの例とは異なり、ペリクル膜１３０が下側となる向きで、貼り合わせチャンバー３１０内に搬入される。ペリクル２００が原版２５０の前面２５２に装着される点についてはこれまでの例と同様である。
この変形例では、原版の背面の中央部だけでなく周端部にも接触することなく、原版とペリクルとを貼り合わせることができるので、原版の背面への異物の付着が抑制される。
【０１０４】
図１３に示す変形例は、図１２における原版支持部材３３６が、原版２５０の外周面の一部に接触し、かつ、原版２５０の前面２５２の周端部にも接触する原版支持部材３３７を用いること以外は図１２に示す変形例と同様である。
【０１０５】
次に、図７に戻り、原版支持部材３３０は、原版２５０を、水平方向（より詳細には、互いに直交するＸ方向及びＹ方向、並びに、回転方向であるθ方向）に移動させることができるように設けられていてもよく、これにより、ペリクル２００と原版２５０とのアライメント（位置合わせ）調整を行えるようになっていてもよい。
即ち、この場合の原版支持部材３３０は、アライメント手段として機能する。
なお、前述した各変形例における原版支持部材、載置盤、原版ケース支持部材についても同様に、アライメント手段として機能することが好ましい。
【０１０６】
貼り合わせチャンバー３１０内には、更に、複数のセンサー３４０が設けられている。
センサー３４０は、貼り合わせチャンバー３１０内における、ペリクル２００（ペリクル枠１００）の位置を読み取るための部材である。センサー３４０は、例えば、ペリクル２００の一部に設けられることがあるアライメントマークの位置、ペリクル枠１００の外周端の位置、ペリクル枠１００の内周端の位置、等を読み取る。
複数のセンサー３４０は、読み取りの対象（アライメントマーク、ペリクル枠１００の外周端の位置、ペリクル枠１００の内周端の位置）の位置に合わせ、移動可能に設けられている。
センサー３４０による読み取りは、画像認識によって行ってもよい。
センサー３４０としては、ファイバーセンサーが好適に用いられる。
【０１０７】
なお、貼り合わせユニットにおけるアライメントの機構（原版支持基板の移動、センターによる位置の読み取りなど）については、露光装置（例えばステッパー）、チップマウンタ装置等の公知の装置の公知のアライメント機構を適用することもできる。
【０１０８】
また、貼り合わせチャンバー３１０内には、更に、第１導入管３２２から導入された気体を分散させるための気体分散部材３２４が設けられている。気体分散部材３２４は、第１導入管３２２の端部（気体の導入口）と貼り合わせチャンバー３１０上部の内壁面の一部とを覆うカバー形状の部材となっている。そして気体分散部材３２４のペリクル膜１３０との対向面側には、複数の孔（不図示）が設けられている。第１導入管３２２から導入された気体は、まず、貼り合わせチャンバー３１０上部の内壁面と気体分散部材３２４とで形成される空間内に至り、次いで、上記複数の孔によって分散される。
これにより、第１導入管３２２からの気体の流れによる、ペリクル膜１３０への影響が低減される。気体の流れによるペリクル膜への影響をより低減する観点からは、上記複数の孔は、ペリクル膜１３０の中央部分には気体が当たらない配置で設けられることが好ましい。
【０１０９】
また、図示は省略したが、貼り合わせチャンバー３１０には、部材出入り口が設けられている。
部材出入り口を通じ、貼り合わせチャンバー３１０に対する各部材の搬入及び搬出がなされる。具体的には、部材出入り口を通じ、貼り合わせ前のペリクル２００、及び、貼り合わせ前の原版２５０がそれぞれ貼り合わせチャンバー３１０内に搬入される。また、部材出入り口を通じ、貼り合わせ後のペリクル２００及び原版２５０が貼り合わせチャンバー３１０外に搬出される。また、貼り合わせユニット３００には、部材出入り口の開放及び閉塞を行うためのシャッター（不図示）が設けられている。
【０１１０】
原版２５０の貼り合わせチャンバー３１０内への搬入については前述したとおりである。
また、ペリクル２００は、好ましくは、ペリクル枠１００の外周面に接し、ペリクル膜１３０及び接着剤層１０４には接触しないハンド部材（不図示）によって貼り合わせチャンバー３１０内に搬入される。そして貼り合わせチャンバー３１０内でも、ペリクル枠１００の外周面に接し、ペリクル膜１３０及び接着剤層１０４には接触しない支持部材（不図示）によって支持される。
【０１１１】
次に、図１４〜図１７を参照し、上述した貼り合わせユニット３００（貼り合わせチャンバー３１０）による、貼り合わせ処理のフローの一例を示す。
図１４〜図１７では、貼り合わせ処理のフローをよりわかり易くするために、貼り合わせユニット３００の構成の一部及び貼り合わせチャンバー３１０の構成の一部の図示を省略している。
【０１１２】
まず、図１４に示すように、貼り合わせチャンバー３１０内に原版２５０及びペリクル２００をそれぞれ搬入する。
次に、図１４及び図１５に示すように、排気管３１２Ａ及び３１２Ｂを、それぞれ、ペリクル２００のペリクル枠１００の貫通孔２４Ａ及び２４Ｂに接続する（矢印Ｊ１及びＪ２）。この接続の詳細は前述したとおりである。
【０１１３】
次に、ペリクル２００と原版２５０とのアライメント（位置合わせ）調整を行う。
次に、図１６に示すように、排気管３１２Ａ及び３１２Ｂ、並びに、ペリクル枠１００の貫通孔を通じ、ペリクル枠１００の溝２２の内部を排気（減圧）する。この排気（減圧）は、各排気管の貼り合わせチャンバー３１０外の端部に接続された排気手段（例えば真空ポンプ）によって行う。この排気により、既に、図６を参照して説明したとおり、ペリクル２００と原版２５０との間に引き付け合う力Ｆ（即ち、押し付け合う力）が働き、両者の貼り合わせが行われる。
これにより、ペリクル膜の膜面に極力接触することなく、ペリクル２００と原版２５０とを貼り合わせることができる。
【０１１４】
次に、図１７に示すように、第１導入管３２２を通じて貼り合わせチャンバー３１０内に気体を導入する。導入された気体は、気体分散部材３２４によって貼り合わせチャンバー３１０内に分散される。このとき、好ましくは、少なくともペリクル膜１３０の中央部分には気体が当たらないように、気体を分散する（矢印Ｇ１参照）。
貼り合わせチャンバー３１０内への気体の導入により、貼り合わせチャンバー３１０内が加圧され、ペリクル及び原版が配置される貼り合わせチャンバー３１０内全体の雰囲気の圧力と、溝２２の内部の圧力と、の差（差圧）が増大する。この差圧により、上記力Ｆが強まり、ペリクル２００と原版２５０とが互いにより強く押し付けられる。なお、図１７では図示を省略しているが、第１導入管３２２による気体の導入（加圧）に加え、第２導入管による気体の導入（加圧）を行うこともできる。
【０１１５】
上記加圧及び上記減圧の程度は、貼り合わせチャンバー３１０内の全体の圧力と、溝の内部の圧力と、の差（差圧）によって生じる、ペリクルと原版との間の押し付け合う力Ｆ（ペリクル枠全体に加わる力）が、上述した好ましい範囲内（例えば２Ｎ程度）となるように調整する。
例えば、貼り合わせチャンバー３１０内の圧力は、例えば０．１５ＭＰａ程度となるように調整する。
【０１１６】
（ペリクルマウント装置の具体例）
本実施形態のペリクルマウント装置は、貼り合わせユニット（例えば上記貼り合わせユニット３００）のみからなる装置であってもよいが、貼り合わせユニットと他のユニットを備えた装置であってもよい。
図１８は、本実施形態のペリクルマウント装置の一例である、貼り合わせユニットと他のユニットを備えたペリクルマウント装置の概略構成図である。
【０１１７】
図１８に示すように、ペリクルマウント装置６００は、搬送手段としての搬送ロボット４００と、原版ローダー６１０と、ペリクルローダー６２０と、上述の貼り合わせユニット３００と、検査ユニット６５０と、アンローダー６３０と、を備える。
【０１１８】
搬送ロボット４００は、素材（ペリクル及び原版）及び製造物（ペリクル付き原版（露光原版））を各ユニット（各ローダー、アンローダーを含む。以下同じ。）に搬送するための搬送手段である。
【０１１９】
原版ローダー６１０及びペリクルローダー６２０は、言うまでもないが、それぞれ、原版２５０及びペリクル２００がセットされるユニットである。
【０１２０】
貼り合わせユニット３００については前述したとおりである。
貼り合わせユニット３００は、ペリクル膜部材と貼り合わせる前のペリクル枠部材のペリクル枠の形状を測定する第１測定手段を備えることが好ましい。
ここでいうペリクル枠の形状としては、前述の長辺方向の長さＬ１、前述の短辺方向長さＬ２（以上、図１参照）、ペリクル枠の直交度等が挙げられる。
また、第１測定手段としては、ペリクル枠の形状測定の機能を持たせた前述のセンサー３４０が挙げられる。また、貼り合わせユニット３００内に、第１測定手段として、ペリクル枠との接触を検出する手段を設けてもよい。
【０１２１】
また、貼り合わせユニット３００は、ペリクルと原版とを貼り合わせる前に、ペリクルと原版とのアライメント（位置合わせ）を行うアライメント手段を備えることが好ましい。アライメント手段としては、前述したとおり、水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向、及びθ方向）に移動可能に設けられた原版支持部材、原版ケース支持部材が挙げられる。
また、ペリクルマウント装置６００では、アライメント手段として、補助的に、水平方向の位置調整機能を持たせた搬送ロボット４００のロボットアームを併用することもできる。
【０１２２】
検査ユニット６５０は、貼り合わせ後のペリクル及び原版の外観検査を行うユニットである。
外観検査としては、ペリクル及び原版の少なくとも一方に付着した異物の検出、ペリクル枠の形状測定、ペリクルと原版との位置合わせ測定、等が挙げられる。
検査ユニット６５０は、特に、原版と貼り合わせた後のペリクルのペリクル枠の形状を測定する第２測定手段を備えることが好ましい。
第２測定手段の例としては、第１測定手段と同様の例が挙げられる。
【０１２３】
アンローダー６３０は、最終的に製造されたペリクル付き原版（露光原版）を収容するユニットである。
【０１２４】
ペリクルマウント装置６００は、更に、制御手段６６０を備えている。
制御手段６６０は、貼り合わせる前のペリクル枠の形状の測定結果（第１測定手段による測定結果）と、貼り合わせた後のペリクル枠の形状の測定結果（第２測定手段による測定結果）と、に基づいて、アライメント手段によるアライメントをフィードフォワード制御（ＦＦ制御）する制御手段である。
但し、制御手段６６０は省略されていてもよい。
【０１２５】
ペリクルマウント装置６００は、更に、算出手段６７０を備えている。
算出手段６７０は、貼り合わせる前のペリクル枠の形状の測定結果（第１測定手段による測定結果）と、貼り合わせた後のペリクル枠の形状の測定結果（第２測定手段による測定結果）と、に基づいて、貼り合わせユニットにおける貼り合わせによるペリクル枠の歪み量を算出する算出手段である。この算出手段６７０は、更に、上記歪み量に基づいて、連通部材３１４によるペリクル枠１００の押し込み量をフィードフォワード制御（ＦＦ制御）する機能も備えている。
但し、算出手段６７０は省略されていてもよい。
【０１２６】
また、ペリクルマウント装置６００は、上述した各ユニットを備えているが、貼り合わせユニット３００以外のユニットは、適宜、省略されていてもよい。
即ち、貼り合わせユニット３００以外のユニットは、貼り合わせユニット３００を備えるペリクルマウント装置とは別の装置として設けることもできる。
【０１２７】
また、ペリクルマウント装置６００は、上述した各ユニット以外のその他のユニットを備えていてもよい。
例えば、ペリクルマウント装置６００に剥離ライナー付きのペリクル（例えば、前述の、剥離ライナー１０６を備えたペリクル２０１）をセットする場合には、剥離ライナー剥離ユニットを備えていてもよい。
また、ペリクルマウント装置６００に原版との接着用の接着剤層が設けられていないペリクル（例えば、前述のペリクル２００から接着剤層１０４を除いたペリクル）をセットする場合には、原版との接着用の接着剤層を形成するための接着剤層形成ユニット（接着剤塗布ユニット）を備えていてもよい。
【０１２８】
また、本実施形態におけるペリクルマウント装置は、各部材（ペリクル及び原版）を上下反転させる反転機構を備えていてもよい。
また、ＥＵＶ原版（例えば原版２５０）は、一般に、ＥＵＶポッドと呼ばれる容器にて保管され、また、輸送等が行われる。そして、ペリクルを装着する前に、ＥＵＶポッドを開封して原版を取り出す。前述の原版ケース２６０としては、ＥＵＶポッドのうちのインナーポッドのカバー部材を用いることができる。
また、ＥＵＶポッドを反転したり、開封したりする操作は、ペリクルをマウントする際のどの時点で実施してもよい。
【０１２９】
（ペリクルマウント装置６００によるペリクル装着フローの一例）
次に、図１９を参照し、ペリクルマウント装置によるペリクル装着フロー（即ち、原版へのペリクルの装着フロー）の一例を示す。ペリクル装着フローは、ペリクル付き原版の製造フローとも言い換えることができる。
なお、図１９における各ステップのうち、破線で囲ったステップ（ステップ７０２、７０６、７０８）は、この一例において省略可能なステップを意味する。
【０１３０】
図１９に示すように、まず、ステップ７００として、ペリクルをペリクルローダーに、原版を原版ローダーに、それぞれのセットする。次いで、ロボット搬送により、ペリクル及び原版を、それぞれ貼り合わせチャンバー内に搬入する。
次に、ステップ７０２として、貼り合わせチャンバー内において、第１測定手段によりペリクルのペリクル枠の形状（貼り合わせ前の形状）を測定する。
次に、ステップ７０４として、貼り合わせチャンバー内において、アライメント手段により、ペリクルと原版とのアライメントを行う。次いで貼り合わせチャンバー内において、ペリクルと原版との貼り合わせを行う。
次に、ステップ７０６として、ペリクル及び原版を外観検査ユニットに搬送し、外観検査ユニットにおいて、第２測定手段によりペリクル枠の形状（貼り合わせ後の形状）を測定する。
ここで、必要に応じ、第１測定手段による測定結果及び第２測定手段による測定結果に基づいて、ステップ７０４におけるアライメント手段のフィードフォワード制御（以下、「ＦＦ１（アライメント補正）」ともいう）を行う。ＦＦ１（アライメント補正）は、制御手段６６０によって行われる。
【０１３１】
次に、ステップ７０８として、第１測定手段による測定結果及び第２測定手段による測定結果に基づき、貼り合わせによるペリクル枠の歪み量を算出する。歪み量の算出は、算出手段６７０によって行われる。
ここで、必要に応じ、算出された歪み量に基づき、ステップ７０４の貼り合わせの処理のうち、連通部材３１４によるペリクル枠１００の押し込み量について、フィードフォワード制御（以下、「ＦＦ２（歪み補正）」ともいう）を行う。この一例では、ＦＦ２（歪み補正）も、算出手段６７０によって行われる。但し、変形例として、ＦＦ２（歪み補正）を行う制御手段を、歪み量の算出を行う算出手段とは別個に設けてもよい。
【０１３２】
次に、ステップ７１０として、ペリクル及び原版（即ち、ペリクル付き原版（露光原版））をアンローダーに搬送して収納する。
【０１３３】
以上、ペリクルマウント装置によるペリクル装着フローの一例を示したが、本実施形態はこの一例に限定されない。
例えば、前述のとおり、ペリクルマウント装置６００において、制御手段６６０及び算出手段６７０は省略されていてもよい。即ち、ＦＦ１（アライメント補正）及びＦＦ２（歪み補正）は、制御手段によって自動で行うことに代えて、手動で行ってもよい。
また、ペリクルマウント装置６００において、制御手段６６０と算出手段６７０とは、同一の制御手段であってもよい。即ち、一つの制御手段によって、ＦＦ１（アライメント補正）、歪み量の算出、及びＦＦ２（歪み補正）を行ってもよい。
更に言えば、前述のとおり、本実施形態のペリクルマウント装置は、貼り合わせユニットのみからなる装置であってもよい。即ち、ステップ７０４中の貼り合わせ処理のみを行うことによっても、ペリクル膜に極力接触することなく、ペリクル及び原版を貼り合わせてペリクルを原版に装着することができる。
【０１３４】
（ペリクル付き原版（露光原版）を備えた露光装置の具体例）
本実施形態によって製造されたペリクル付き原版（露光原版）は、露光装置内で用いられる。
図２０は、本実施形態によって製造されたペリクル付き原版の一例を備えた露光装置の一例である、ＥＵＶ露光装置８００の概略断面図である。
図２０に示されるように、ＥＵＶ露光装置８００は、ＥＵＶ光を放出する光源８３１と、本実施形態の露光原版の一例である露光原版８５０と、光源８３１から放出されたＥＵＶ光を露光原版８５０に導く照明光学系８３７と、を備える。
露光原版８５０は、ペリクル膜８１２及びペリクル枠８１４を含むペリクル８１０と、原版８３３（ＥＵＶマスク）と、を備えている。この露光原版８５０は、光源８３１から放出されたＥＵＶ光がペリクル膜８１２を透過して原版８３３に照射されるように配置されている。
原版８３３は、照射されたＥＵＶ光をパターン状に反射するものである。
【０１３５】
ペリクル８１０は、上述のペリクル２００に対応する。
ペリクル膜８１２は、上述のペリクル膜１３０に対応する。
ペリクル枠８１４は、上述の支持基板１２２、上述の接着剤層１０２、上述のペリクル枠１００、及び上述の接着剤層１０４の複合体に対応する。
【０１３６】
ＥＵＶ露光装置８００において、光源８３１と照明光学系８３７との間、及び照明光学系８３７と原版８３３の間には、フィルター・ウィンドウ８２０及び８２５がそれぞれ設置されている。
また、ＥＵＶ露光装置８００は、原版８３３が反射したＥＵＶ光を感応基板８３４へ導く投影光学系８３８を備えている。
【０１３７】
ＥＵＶ露光装置８００では、原版８３３により反射されたＥＵＶ光が、投影光学系８３８を通じて感応基板８３４上に導かれ、感応基板８３４がパターン状に露光される。なお、ＥＵＶによる露光は、減圧条件下で行われる。
【０１３８】
ＥＵＶ光源８３１は、照明光学系８３７に向けて、ＥＵＶ光を放出する。
ＥＵＶ光源８３１には、ターゲット材と、パルスレーザー照射部等が含まれる。このターゲット材にパルスレーザーを照射し、プラズマを発生させることで、ＥＵＶが得られる。ターゲット材をＸｅとすると、波長１３〜１４ｎｍのＥＵＶが得られる。ＥＵＶ光源が発する光の波長は、１３〜１４ｎｍに限られず、波長５〜３０ｎｍの範囲内の、目的に適した波長の光であればよい。
【０１３９】
照明光学系８３７は、ＥＵＶ光源８３１から照射された光を集光し、照度を均一化して原版８３３に照射する。
照明光学系８３７には、ＥＵＶの光路を調整するための複数枚の多層膜ミラー８３２と、光結合器（オプティカルインテグレーター）等が含まれる。多層膜ミラーは、モリブデン（Ｍｏ）、シリコン（Ｓｉ）が交互に積層された多層膜等である。
【０１４０】
フィルター・ウィンドウ８２０，８２５の装着方法は特に制限されず、接着剤等を介して貼り付ける方法や、機械的にＥＵＶ露光装置内に固定する方法等が挙げられる。
光源８３１と照明光学系８３７との間に配置されるフィルター・ウィンドウ８２０は、光源から発生する飛散粒子（デブリ）を捕捉し、飛散粒子（デブリ）が照明光学系８３７内部の素子（例えば多層膜ミラー８３２）に付着しないようにする。
一方、照明光学系８３７と原版８３３との間に配置されるフィルター・ウィンドウ８２５は、光源８３１側から飛散する粒子（デブリ）を捕捉し、飛散粒子（デブリ）が原版８３３に付着しないようにする。
【０１４１】
また、原版に付着した異物は、ＥＵＶ光を吸収、もしくは散乱させるため、ウエハへの解像不良を引き起こす。したがって、ペリクル８１０は原版８３３のＥＵＶ照射エリアを覆うように装着されている。ＥＵＶ光はペリクル膜８１２を通過して、原版８３３に照射される。
【０１４２】
原版８３３で反射されたＥＵＶ光は、ペリクル膜８１２を通過し、投影光学系８３８を通じて感応基板８３４に照射される。
投影光学系８３８は、原版８３３で反射された光を集光し、感応基板８３４に照射する。投影光学系８３８には、ＥＵＶの光路を調製するための複数枚の多層膜ミラー８３５、８３６等が含まれる。
【０１４３】
感応基板８３４は、半導体ウエハ上にレジストが塗布された基板等であり、原版８３３によって反射されたＥＵＶにより、レジストがパターン状に露光される。このレジストを現像し、半導体ウエハのエッチングを行うことで、半導体ウエハに所望のパターンを形成する。
【０１４４】
２０１４年５月２７日に出願された日本国特許出願２０１４−１０９４８２の開示はその全体が参照により本明細書に取り込まれる。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。
【図２】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１１】
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【図１７】
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【図１９】
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【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図１０】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１８】
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【図２０】
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【国際調査報告】
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