(57)【要約】  固定が必要な間は、高温環境下であっても強い接着性を発揮して被着体を接着・固定することができ、固定が不要となったら被着体を破損することなく、且つ糊残りすることなく剥離することができる接着剤、及び前記接着剤を使用した被着体の加工方法を提供する。  本発明の粘着剤は、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、下記式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は下記式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）を含有する。【化１】2015053223.tif 000025【化２】2015053223.tif 000026
2015053223.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、下記式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は下記式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）を含有する接着剤。
【化１】
2015053223.tif 000022
（式中、Ｚ1は、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、複素環式化合物、及びこれらが連結基を介して、若しくは介することなく結合された構造式からｎ1個の水素原子を除去した基を示す。Ｘはヒドロキシル基又はカルボキシル基を示し、ｎ1は２以上の整数を示す。ｎ1個のＸはそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい）
【化２】
2015053223.tif 000023
（式中、Ｚ2は、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、複素環式化合物、及びこれらが連結基を介して、若しくは介することなく結合された構造式から（ｎ2＋２）個の水素原子を除去した基を示す。Ｘはヒドロキシル基又はカルボキシル基を示し、ｎ2は１以上の整数を示す。ｎ2個のＸはそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい）
【請求項２】
多価ビニルエーテル化合物（Ａ）が下記式（ａ）で表される化合物である請求項１に記載の接着剤。
【化３】
2015053223.tif 000024
（式中、Ｚ3は、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、複素環式化合物、及びこれらが連結基を介して、若しくは介することなく結合された構造式からｎ3個の水素原子を除去した基を示し、ｎ3は２以上の整数を示す）
【請求項３】
さらに、酸発生剤を含有する請求項１又は２に記載の接着剤。
【請求項４】
化合物（Ｃ）の重量平均分子量（ＧＰＣ法による、ポリスチレン換算）が１５００以上である請求項１〜３の何れか１項に記載の接着剤。
【請求項５】
接着剤に含まれる重合性化合物全量において多価ビニルエーテル化合物（Ａ）を０．５〜８０重量％、化合物（Ｂ）及び／又は化合物（Ｃ）（化合物（Ｂ）と化合物（Ｃ）を共に含有する場合はその総量）を２０〜９９．５重量％含有する請求項１〜４の何れか１項に記載の接着剤。
【請求項６】
さらに、下記式（ｄ）で表される１価のカルボン酸及び／又は下記式（ｅ）で表される１価のアルコールを含有する請求項１〜５の何れか１項に記載の接着剤。
Ｚ4−ＣＯＯＨ      （ｄ）
（式中、Ｚ4はカルボキシル基以外の置換基を有していてもよい、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、及び芳香族炭化水素から選択される構造式から１個の水素原子を除去した基を示す）
Ｚ5−ＯＨ      （ｅ）
（式中、Ｚ5はヒドロキシル基以外の置換基を有していてもよい芳香族炭化水素の構造式から１個の水素原子を除去した基を示す）
【請求項７】
さらに、界面活性剤を含有する請求項１〜６の何れか１項に記載の接着剤。
【請求項８】
接着剤を使用して被着体を支持体に仮固定する方法であって、請求項１〜７の何れか１項に記載の接着剤に加熱処理を施して得られる、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体により被着体を支持体に固定する固定工程、及び前記重合体に加熱処理、又は光照射と加熱処理を施して前記重合体を軟化又は液化することにより被着体を支持体から剥離する剥離工程を含む被着体の仮固定方法。
【請求項９】
接着剤を使用して仮固定された被着体を加工する方法であって、請求項１〜７の何れか１項に記載の接着剤に加熱処理を施して得られる、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体により被着体を支持体に固定する固定工程、固定された被着体に加工を施す加工工程、及び前記重合体に加熱処理、又は光照射と加熱処理を施して前記重合体を軟化又は液化することにより被着体を支持体から剥離する剥離工程を含む被着体の加工方法。
【請求項１０】
請求項１〜７の何れか１項に記載の接着剤を塗布し、加熱処理を施して得られる、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体を含む接着膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高温環境下でも被着体を接着・固定することができ、不要になれば容易に除去することができる接着剤に関する。本願は、２０１３年１０月１１日に日本に出願した、特願２０１３−２１４１６４号の優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
サイズや重量の小型化、高機能性の付与、及び消費電力の効率化等を実現するため、半導体チップの小型化、薄化、及び３次元集積化が進められている。このような半導体チップは、ウェハに回路パターンを形成した後、研削して薄化し、さらにダイシングすることによって製造される。しかし、薄化後のウェハは非常に脆弱であるため、研削やダイシング等の加工を施す際や、搬送する際に破損し易い。そのため、ウェハをサポート基板等に仮固定することにより保護した状態で、加工し、運搬することが行われている。【０００３】
従来、ウェハの仮固定には、ワックスタイプの接着剤が使用されていた（特許文献１）。しかし、ワックスタイプの接着剤は軟化点又は融点が低いため、蒸着による膜付けや仮固定基板から積層用ウェハに転写する等の高温プロセスにおいて接着剤が流動してウェハを固定することが困難となることが問題であった。また、感圧性接着剤と側鎖結晶性ポリマーを含む感温性接着剤を使用することも知られているが（特許文献２、３）、これも高温プロセスにおいて接着剤が流動し、ウェハの固定が困難になる点が問題であった。その他、紫外線等を照射することにより接着剤を硬化、収縮、変形させることによって剥離する接着剤も知られているが、これは剥離の際にウェハに応力がかかり、ウェハに反りや割れが生じる恐れがあることが問題であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−４９４４３号公報
【特許文献２】特許第５０７４７１５号公報
【特許文献３】特許第５０７４７１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従って、本発明の目的は、固定が必要な間は、高温環境下であっても強い接着性を発揮して被着体を接着・固定することができ、固定が不要となったら被着体を破損することなく剥離することができる接着剤を提供することにある。
本発明の他の目的は、前記接着剤を使用した被着体の仮固定方法を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、前記接着剤を使用した被着体の加工方法を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、前記接着剤により形成された接着膜を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者等は上記課題を解決するため鋭意検討した結果、下記事項を見いだした。
１．多価ビニルエーテル化合物と、ヒドロキシル基又はカルボキシル基を２個以上有する化合物を含有する接着剤は、これらの配合割合を調整することで容易に粘度をコントロールすることができ、様々な塗布方法や、所望する膜厚に適宜対応することができ、塗布性に優れること
２．前記接着剤に加熱処理を施すと、多価ビニルエーテル化合物と、ヒドロキシル基又はカルボキシル基を２個以上有する化合物がアセタール結合により重合し、１６０℃以上の高温域に軟化点又は融点を有する熱可塑性の重合体を形成することができること
３．前記重合体はその軟化点又は融点未満の温度では接着性を保持することができること、すなわち、１６０℃程度の高温環境下でも接着性を保持することができること
４．前記重合体をその軟化点又は融点以上の温度で加熱すると急激に軟化又は液化し、接着性を低下又は喪失させることができること
５．前記重合体はアセタール結合部分が酸により容易に分解するため、加熱する前に酸処理を施した場合は、前記重合体の軟化点又は融点未満の温度で加熱しても急激に軟化又は液化し、接着性を低下又は喪失させることができること
本発明はこれらの知見に基づいて完成させたものである。【０００７】
すなわち、本発明は、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、下記式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は下記式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）を含有する接着剤を提供する。
【化１】
2015053223.tif 000003
（式中、Ｚ1は、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、複素環式化合物、及びこれらが連結基を介して、若しくは介することなく結合された構造式からｎ1個の水素原子を除去した基を示す。Ｘはヒドロキシル基又はカルボキシル基を示し、ｎ1は２以上の整数を示す。ｎ1個のＸはそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい）
【化２】
2015053223.tif 000004
（式中、Ｚ2は、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、複素環式化合物、及びこれらが連結基を介して、若しくは介することなく結合された構造式から（ｎ2＋２）個の水素原子を除去した基を示す。Ｘはヒドロキシル基又はカルボキシル基を示し、ｎ2は１以上の整数を示す。ｎ2個のＸはそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい）【０００８】
本発明は、また、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）が下記式（ａ）で表される化合物である前記の接着剤を提供する。
【化３】
2015053223.tif 000005
（式中、Ｚ3は、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、複素環式化合物、及びこれらが連結基を介して、若しくは介することなく結合された構造式からｎ3個の水素原子を除去した基を示し、ｎ3は２以上の整数を示す）【０００９】
本発明は、また、さらに、酸発生剤を含有する前記の接着剤を提供する。【００１０】
本発明は、また、化合物（Ｃ）の重量平均分子量（ＧＰＣ法による、ポリスチレン換算）が１５００以上である前記の接着剤を提供する。【００１１】
本発明は、また、接着剤に含まれる重合性化合物全量において多価ビニルエーテル化合物（Ａ）を０．５〜８０重量％、化合物（Ｂ）及び／又は化合物（Ｃ）（化合物（Ｂ）と化合物（Ｃ）を共に含有する場合はその総量）を２０〜９９．５重量％含有する前記の接着剤を提供する。【００１２】
本発明は、また、さらに、下記式（ｄ）で表される１価のカルボン酸及び／又は下記式（ｅ）で表される１価のアルコールを含有する前記の接着剤を提供する。
Ｚ4−ＣＯＯＨ      （ｄ）
（式中、Ｚ4はカルボキシル基以外の置換基を有していてもよい、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、及び芳香族炭化水素から選択される構造式から１個の水素原子を除去した基を示す）
Ｚ5−ＯＨ      （ｅ）
（式中、Ｚ5はヒドロキシル基以外の置換基を有していてもよい芳香族炭化水素の構造式から１個の水素原子を除去した基を示す）【００１３】
本発明は、また、さらに、界面活性剤を含有する前記の接着剤を提供する。【００１４】
本発明は、また、接着剤を使用して被着体を支持体に仮固定する方法であって、前記の接着剤に加熱処理を施して得られる、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体により被着体を支持体に固定する固定工程、及び前記重合体に加熱処理、又は光照射と加熱処理を施して前記重合体を軟化又は液化することにより被着体を支持体から剥離する剥離工程を含む被着体の仮固定方法を提供する。【００１５】
本発明は、また、接着剤を使用して仮固定された被着体を加工する方法であって、前記の接着剤に加熱処理を施して得られる、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体により被着体を支持体に固定する固定工程、固定された被着体に加工を施す加工工程、及び前記重合体に加熱処理、又は光照射と加熱処理を施して前記重合体を軟化又は液化することにより被着体を支持体から剥離する剥離工程を含む被着体の加工方法を提供する。【００１６】
本発明は、また、前記の接着剤を塗布し、加熱処理を施して得られる、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体を含む接着膜を提供する。【００１７】
すなわち、本発明は以下に関する。
（１）  多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）を含有する接着剤。
（２）  多価ビニルエーテル化合物（Ａ）が式（ａ）で表される化合物である（１）に記載の接着剤。
（３）  多価ビニルエーテル化合物（Ａ）が式（a-1）〜（a-21）で表される化合物から選択される少なくとも１種の化合物である（１）又は（２）に記載の接着剤。
（４）  化合物（Ｂ）が式（b-1）〜（b-10）で表される化合物から選択される少なくとも１種の化合物である（１）〜（３）の何れかに記載の接着剤。
（５）  化合物（Ｃ）が、式（c-1）〜（c-6）から選択される少なくとも１種の構成単位を２以上有する重合性化合物である（１）〜（４）の何れかに記載の接着剤。
（６）  化合物（Ｃ）が、上記式（ｃ）で表される構成単位と、鎖状オレフィン、環状オレフィン、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル、カルボン酸ビニルエステル、及び不飽和ジカルボン酸ジエステルから選択される少なくとも１種の重合性単量体由来の構成単位を含む共重合体である（１）〜（５）の何れかに記載の接着剤。
（７）  さらに、酸発生剤を含有する（１）〜（６）の何れかに記載の接着剤。
（８）  酸発生剤が光照射によりパーフルオロアルカンスルホン酸、又はパーフルオロホスホニウムスルホン酸を発生する化合物である（１）〜（７）の何れかに記載の接着剤。
（９）  化合物（Ｃ）の重量平均分子量（ＧＰＣ法による、ポリスチレン換算）が１５００以上である（１）〜（８）の何れかに記載の接着剤。
（１０）  接着剤に含まれる重合性化合物全量において多価ビニルエーテル化合物（Ａ）を０．５〜８０重量％、化合物（Ｂ）及び／又は化合物（Ｃ）（化合物（Ｂ）と化合物（Ｃ）を共に含有する場合はその総量）を２０〜９９．５重量％含有する（１）〜（９）の何れかに記載の接着剤。
（１１）  接着剤に含まれる重合性化合物全量において多価ビニルエーテル化合物（Ａ）を３〜８０重量％、化合物（Ｂ）及び／又は化合物（Ｃ）（化合物（Ｂ）と化合物（Ｃ）を共に含有する場合はその総量）を２０〜９５重量％含有する（１）〜（１０）の何れかに記載の接着剤。
（１２）  多価ビニルエーテル化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）、及び化合物（Ｃ）を下記範囲で含有する（１）〜（１１）の何れかに記載の接着剤。
多価ビニルエーテル化合物（Ａ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の５〜３０重量％
化合物（Ｂ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の３〜２０重量％
化合物（Ｃ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の５０〜９０重量％
（１３）  多価ビニルエーテル化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）、及び化合物（Ｃ）を含有し、且つこれらの含有量（重量）が下記式を満たす（１）〜（１２）の何れかに記載の接着剤。
［化合物（Ｂ）＋化合物（Ｃ）］／［多価ビニルエーテル化合物（Ａ）］＝１．５〜１５
［化合物（Ｂ）］／［化合物（Ｂ）＋化合物（Ｃ）］（重量）＝０を超え０．５以下
［化合物（Ｃ）］／［化合物（Ｂ）＋化合物（Ｃ）］（重量）＝０．１５以上１．０未満
（１４）  多価ビニルエーテル化合物（Ａ）及び化合物（Ｂ）を下記範囲で含有する（１）〜（１３）の何れかに記載の接着剤。
多価ビニルエーテル化合物（Ａ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の２０〜６０重量％
化合物（Ｂ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の３０〜８０重量％
（１５）  多価ビニルエーテル化合物（Ａ）及び化合物（Ｂ）を含有し、且つこれらの含有量（重量）が下記式を満たす（１）〜（１４）の何れかに記載の接着剤。
［多価ビニルエーテル化合物（Ａ）］／［化合物（Ｂ）］＝０．８〜１．５
（１６）  さらに、式（ｄ）で表される１価のカルボン酸及び／又は式（ｅ）で表される１価のアルコールを含有する（１）〜（１５）の何れかに記載の接着剤。
（１７）  前記式（ｄ）で表される１価のカルボン酸及び／又は式（ｅ）で表される１価のアルコールのｐＫａが３〜８である（１６）に記載の接着剤。
（１８）  前記式（ｄ）で表される１価のカルボン酸及び／又は式（ｅ）で表される１価のアルコールを接着剤に含まれる重合性化合物１００重量部に対して０．１〜１０重量部含有する（１６）又は（１７）に記載の接着剤。
（１９）  さらに、界面活性剤を含有する（１）〜（１８）の何れかに記載の接着剤。
（２０）  前記界面活性剤を接着剤全量の０．０１〜１重量％含有する（１９）に記載の接着剤。
（２１）  接着剤の粘度（２５℃における）が５０〜６００ｍＰａ・ｓである（１）〜（２０）の何れかに記載の接着剤。
（２２）  接着剤を使用して被着体を支持体に仮固定する方法であって、（１）〜（２１）の何れかに記載の接着剤に加熱処理を施して得られる、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体により被着体を支持体に固定する固定工程、及び前記重合体に加熱処理、又は光照射と加熱処理を施して前記重合体を軟化又は液化することにより被着体を支持体から剥離する剥離工程を含む被着体の仮固定方法。
（２３）  接着剤を使用して被着体を支持体に仮固定する方法であって、（１）〜（２１）の何れかに記載の接着剤を被着体及び／又は支持体に塗布した後、前記接着剤に加熱処理を施して、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体を形成させ、それにより被着体を支持体に固定する固定工程、及び前記重合体に加熱処理、又は光照射と加熱処理を施して前記重合体を軟化又は液化することにより被着体を支持体から剥離する剥離工程を含む被着体の仮固定方法。
（２４）  接着剤を使用して仮固定された被着体を加工する方法であって、（１）〜（２１）の何れかに記載の接着剤に加熱処理を施して得られる、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体により被着体を支持体に固定する固定工程、固定された被着体に加工を施す加工工程、及び前記重合体に加熱処理、又は光照射と加熱処理を施して前記重合体を軟化又は液化することにより被着体を支持体から剥離する剥離工程を含む被着体の加工方法。
（２５）  接着剤を使用して仮固定された被着体を加工する方法であって、（１）〜（２１）の何れかに記載の接着剤を被着体及び／又は支持体に塗布した後、前記接着剤に加熱処理を施して、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体を形成させ、それにより被着体を支持体に固定する固定工程、固定された被着体に加工を施す加工工程、及び前記重合体に加熱処理、又は光照射と加熱処理を施して前記重合体を軟化又は液化することにより被着体を支持体から剥離する剥離工程を含む被着体の加工方法。
（２６）  （１）〜（２１）の何れかに記載の接着剤を塗布し、加熱処理を施して得られる、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体を含む接着膜。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の接着剤は上記構成を有するため、被着体の固定が必要な間は、高温環境下であっても強い接着性を維持して被着体を接着・固定することができ、被着体の固定が不要となったら、加熱処理等を施すことにより、被着体を容易に且つ破損することなく剥離することができる。また、剥離後の被着体に残存する糊（＝糊残り）は溶剤で洗浄することにより容易に溶解して除去することができる。そのため、本発明の接着剤は脆弱な被着体を仮固定するための接着剤として好適に使用することができ、特に薄化された半導体チップの製造工程において仮固定用接着剤として使用することが好ましい。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
［接着剤］
本発明の接着剤は、重合性化合物として、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）とを含有する。また、本発明の接着剤は、更に、酸発生剤を含有していてもよい。
【００２０】
（多価ビニルエーテル化合物（Ａ））
本発明の多価ビニルエーテル化合物（Ａ）（以後「化合物（Ａ）」と称する場合がある）は本発明の接着剤の必須成分である。化合物（Ａ）は、１分子内に２個以上のビニルエーテル基を有する化合物であり、例えば、下記式（ａ）で表される。
【化４】
2015053223.tif 000006
【００２１】
前記式（ａ）中、Ｚ3は、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、複素環式化合物、及びこれらが連結基を介して、若しくは介することなく（すなわち、単結合により）結合された構造式からｎ3個の水素原子を除去した基を示す。
【００２２】
前記飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素の構造式からｎ3個の水素原子を除去した基のうち、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素の構造式から２個の水素原子を除去した基としては、例えば、メチレン、エチレン、プロピレン、トリメチレン、テトラメチレン、ペンタメチレン、ヘキサメチレン、オクタメチレン、デカメチレン、ドデカメチレン基等の直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基（炭素数１〜２０のアルキレン基、好ましくは炭素数１〜１０のアルキレン基）；ビニレン、１−プロペニレン、３−メチル−２−ブテニレン基等の直鎖状又は分岐鎖状のアルケニレン基（炭素数２〜２０のアルケニレン基、好ましくは炭素数２〜１０のアルケニレン基）等を挙げることができる。飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素の構造式から３個以上の水素原子を除去した基としては、前記例示された基の構造式から更に１個以上の水素原子を除去した基を挙げることができる。
【００２３】
前記飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素の構造式からｎ3個の水素原子を除去した基のうち、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素の構造式から２個の水素原子を除去した基としては、例えば、１，２−シクロペンチレン、１，３−シクロペンチレン、１，２−シクロへキシレン、１，３−シクロへキシレン、１，４−シクロへキシレン基等のシクロアルキレン基（３〜１５員のシクロアルキレン基等）；シクロペンテニレン、シクロヘキセニレン基等のシクロアルケニレン基（３〜１５員のシクロアルケニレン基等）；シクロペンチリデン、シクロヘキシリデン基等のシクロアルキリデン基（３〜１５員のシクロアルキリデン基等）；アダマンタンジイル、ノルボルナンジイル、ノルボルネンジイル、イソボルナンジイル、トリシクロデカンジイル、トリシクロウンデカンジイル、テトラシクロドデカンジイル基等の２価の橋かけ環式炭化水素基（４〜１５員の２価の橋かけ環式基等）等を挙げることができる。飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素の構造式から３個以上の水素原子を除去した基としては、前記例示された基の構造式から更に１個以上の水素原子を除去した基を挙げることができる。
【００２４】
前記芳香族炭化水素としては、例えば、ベンゼン、ナフタレン、アントラセン等を挙げることができる
【００２５】
前記複素環式化合物には、芳香族性複素環式化合物及び非芳香族性複素環式化合物が含まれる。このような複素環式化合物としては、例えば、ヘテロ原子として酸素原子を含む複素環式化合物（例えば、フラン、テトラヒドロフラン、オキサゾール、イソオキサゾール、γ−ブチロラクトン環等の５員環；４−オキソ−４Ｈ−ピラン、テトラヒドロピラン、モルホリン環等の６員環；ベンゾフラン、イソベンゾフラン、４−オキソ−４Ｈ−クロメン、クロマン、イソクロマン環等の縮合環；３−オキサトリシクロ［４．３．１．１4,8］ウンデカン−２−オン環、３−オキサトリシクロ［４．２．１．０4,8］ノナン−２−オン環等の橋かけ環）；ヘテロ原子としてイオウ原子を含む複素環式化合物（例えば、チオフェン、チアゾール、イソチアゾール、チアジアゾール環等の５員環；４−オキソ−４Ｈ−チオピラン環等の６員環、ベンゾチオフェン環等の縮合環等）；ヘテロ原子として窒素原子を含む複素環式化合物（例えば、ピロール、ピロリジン、ピラゾール、イミダゾール、トリアゾール環等の５員環；ピリジン、ピリダジン、ピリミジン、ピラジン、ピペリジン、ピペラジン環等の６員環；インドール、インドリン、キノリン、アクリジン、ナフチリジン、キナゾリン、プリン環等の縮合環等）等を挙げることができる。
【００２６】
前記連結基としては、例えば、２〜４価の炭化水素基、カルボニル基（−ＣＯ−）、エーテル結合（−Ｏ−）、スルフィド結合（−Ｓ−）、エステル結合（−ＣＯＯ−）、アミド結合（−ＣＯＮＨ−）、カーボネート結合（−ＯＣＯＯ−）、ウレタン結合（−ＮＨＣＯＯ−）、−ＮＲ−結合（Ｒは水素原子、アルキル基、又はアシル基を示す）、及びこれらが複数個連結した基等を挙げることができる。前記２〜４価の炭化水素基のうち、２価の炭化水素基としては、例えば、メチレン、メチルメチレン、ジメチルメチレン、エチレン、プロピレン、トリメチレン基等の直鎖状又は分岐鎖状の炭素数２〜１０のアルキレン基；１，２−シクロペンチレン、１，３−シクロペンチレン、シクロペンチリデン、１，２−シクロへキシレン、１，３−シクロへキシレン、１，４−シクロへキシレン、シクロヘキシリデン基等の炭素数４〜１５の脂環式炭化水素基（特にシクロアルキレン基）等を挙げることができる。３価の炭化水素基は前記２価の炭化水素基の構造式から更に１個の水素原子を除去した基等を挙げることができる。４価の炭化水素基は前記２価の炭化水素基の構造式から更に２個の水素原子を除去した基等を挙げることができる。
【００２７】
Ｚ3は置換基を１種又は２種以上有していてもよい。前記置換基としては、例えば、アルキル基（例えば、メチル、エチル基等のＣ1-4アルキル基等）、シクロアルキル基（炭素数４〜１０）、アルケニル基（例えば、ビニル基等の炭素数３〜１０のアルケニル基）、シクロアルケニル基（炭素数４〜１０）、アリール基（例えば、フェニル、ナフチル基等の炭素数６〜１５のアリール基）、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ニトロ基、アミノ基、メルカプト基、ハロゲン原子、ハロゲン原子で置換された炭素数２〜１０の炭化水素基、ヘテロ原子（酸素、硫黄等）を含む官能基を含む炭化水素基（例えば、Ｃ1-4アルコキシ基、Ｃ2-6アシルオキシ基等）、及びこれらが２以上結合した基等を挙げることができる。
【００２８】
前記式（ａ）中、ｎ3は２以上の整数を示し、例えば２〜５の整数、好ましくは２〜３の整数である。
【００２９】
化合物（Ａ）の具体例としては、１，４−ブタンジオールジビニルエーテル、ジエチレングリコールジビニルエーテル、トリエチレングリコールジビニルエーテル等や、下記式で表される化合物を挙げることができる。
【化５】
2015053223.tif 000007
【化６】
2015053223.tif 000008
【００３０】
本発明のＺ3としては、なかでも、高い軟化点又は融点を有する重合体を形成することができる点で、複素環式化合物、橋かけ環式炭化水素、又は芳香族炭化水素の構造式からｎ3個の水素原子を除去した基が好ましい。また、本発明のＺ3としては、エポキシ基及び／又はオキセタン構造を有しないことが好ましい。
【００３１】
（化合物（Ｂ））
本発明の化合物（Ｂ）は下記式（ｂ）で表される重合性化合物である。
【化７】
2015053223.tif 000009
【００３２】
前記式（ｂ）中、Ｘはヒドロキシル基又はカルボキシル基を示す。ｎ1個のＸはそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。
【００３３】
前記式（ｂ）中、ｎ1は２以上の整数を示し、例えば２〜５の整数、好ましくは２〜４の整数である。
【００３４】
前記式（ｂ）中、Ｚ1は、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、複素環式化合物、及びこれらが連結基を介して、若しくは介することなく結合された構造式からｎ1個の水素原子を除去した基を示し、前記飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、複素環式化合物、及びこれらが連結基を介して、若しくは介することなく結合された構造式としては上記Ｚ3における例と同様の例を挙げることができる。
【００３５】
本発明のＺ1としては、Ｘがヒドロキシル基の場合は、なかでも、芳香族炭化水素の構造式からｎ1個の水素原子を除去した基（すなわち、化合物（Ｂ）として、ビスフェノール類、ハイドロキノン、又は３価のフェノール類等）が、溶剤への溶解性及び反応性に優れ、高い軟化点又は融点を有する重合体を形成することができる点で好ましい。また、Ｘがカルボキシル基の場合は、Ｚ1としては、なかでも、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素の構造式からｎ1個の水素原子を除去した基が溶剤への溶解性及び反応性に優れ、高い軟化点又は融点を有する重合体を形成することができる点で好ましい。
【００３６】
化合物（Ｂ）の具体例を下記に示す。
【化８】
2015053223.tif 000010
【００３７】
（化合物（Ｃ））
本発明の化合物（Ｃ）は、下記式（ｃ）で表される構成単位（繰り返し単位）を２以上有する重合性化合物である。
【化９】
2015053223.tif 000011
【００３８】
前記式（ｃ）中、Ｘはヒドロキシル基又はカルボキシル基を示す。ｎ2個のＸはそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい
【００３９】
前記式（ｃ）中、ｎ2は１以上の整数を示し、なかでも入手が容易で、溶剤への溶解性に優れ、高い軟化点又は融点を有する重合体を形成することができる点で１〜３の整数が好ましく、特に好ましくは１〜２の整数である。
【００４０】
化合物（Ｃ）における上記式（ｃ）で表される構成単位（繰り返し単位）の数は２以上であり、なかでも高い軟化点又は融点を有する重合体を形成することができる点で２〜４０の整数が好ましく、特に好ましくは１０〜３０の整数である。
【００４１】
前記式（ｃ）中、Ｚ2は、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、複素環式化合物、及びこれらが連結基を介して、若しくは介することなく結合された構造式から（ｎ2＋２）個の水素原子を除去した基を示し、前記飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、複素環式化合物、及びこれらが連結基を介して、若しくは介することなく結合された構造式としては上記Ｚ3における例と同様の例を挙げることができる。
【００４２】
前記Ｚ2としては、Ｘがヒドロキシル基の場合は、なかでも、ベンゼン環を含む（ｎ2＋２）価の基が、入手が容易で、溶剤への溶解性に優れ、高い軟化点又は融点を有する重合体を形成することができる点で好ましい。また、Ｘがカルボキシル基の場合は、なかでも、（ｎ2＋２）価の飽和脂肪族炭化水素基（特に、三級又は／及び四級炭素を含む飽和脂肪族炭化水素基）が、入手が容易で、溶剤への溶解性に優れ、高い軟化点又は融点を有する重合体を形成することができる点で好ましい。
【００４３】
すなわち、化合物（Ｃ）としては、スチレン系ポリマー、（メタ）アクリル系ポリマー、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、レゾール樹脂等が好ましく、特に、下記式（c-1）〜（c-6）から選択される少なくとも１種の構成単位（繰り返し単位）を２以上有する重合性化合物が好ましい。
【化１０】
2015053223.tif 000012
【００４４】
化合物（Ｃ）として式（ｃ）中のＸがヒドロキシル基である化合物を使用する場合は、化合物（Ｃ）全量における式（ｃ）で表される構成単位の割合は、３０重量％以上が好ましく、特に好ましくは５０重量％以上、最も好ましくは６０重量％以上である。
【００４５】
化合物（Ｃ）として式（ｃ）中のＸがカルボキシル基である化合物を使用する場合は、化合物（Ｃ）全量における式（ｃ）で表される構成単位の割合は、１重量％以上が好ましく、特に好ましくは５重量％以上、最も好ましくは１０重量％以上である。
【００４６】
式（ｃ）で表される構成単位の割合が上記範囲を下回ると、架橋点間距離の延長や架橋点の減少により、化合物（Ａ）と重合して得られる重合体の重量平均分子量が低下し、高温環境下における接着保持性が低下する傾向がある。
【００４７】
すなわち、本発明の化合物（Ｃ）は、式（ｃ）で表される構成単位のみを有する単独重合体であってもよく、式（ｃ）で表される構成単位と他の構成単位を有する共重合体であってもよい。化合物（Ｃ）が共重合体である場合、ブロック共重合体、グラフト共重合体、ランダム共重合体の何れであってもよい。
【００４８】
前記他の構成単位は、ヒドロキシル基及びカルボキシル基を有さない重合性単量体由来の構成単位であり、例えば、オレフィン［例えばエチレン、プロピレン、１−ブテン等の鎖状オレフィン（特に、Ｃ2-12アルケン）；シクロペンテン、シクロヘキセン、シクロヘプテン、ノルボルネン、５−メチル−２−ノルボルネン、テトラシクロドデセン等の環状オレフィン（特に、Ｃ3-10シクロアルケン）］、芳香族ビニル化合物（例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、１−プロペニルベンゼン、１−ビニルナフタレン、２−ビニルナフタレン、３−ビニルピリジン、３−ビニルフラン、３−ビニルチオフェン、３−ビニルキノリン、インデン、メチルインデン、エチルインデン、ジメチルインデン等のＣ6-14芳香族ビニル化合物）、不飽和カルボン酸エステル［例えば、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルへキシル、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート等の、不飽和カルボン酸（例えば、（メタ）アクリル酸等）とアルコール（Ｒ”−ＯＨ、前記Ｒ”は飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、複素環式化合物、及びこれらが連結基を介して、若しくは介することなく結合された構造式から１個の水素原子を除去した基を示し、式（ａ）中、Ｚ3の例に対応する１価の基を挙げることができる）を反応させて得られるエステル等］、カルボン酸ビニルエステル（例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、カプリル酸ビニル、カプロン酸ビニル等のＣ1-16脂肪酸ビニルエステル等）、不飽和ジカルボン酸ジエステル（例えば、マレイン酸ジエチル、マレイン酸ジブチル、マレイン酸ジオクチル、マレイン酸２−エチルへキシル等のマレイン酸ジＣ1-10アルキルエステル、及びこれらに対応するフマル酸ジエステル等）等を挙げることができる。これらは１種を単独で、又は二種以上を組み合わせて使用することができる。
【００４９】
共重合体である場合の化合物（Ｃ）としては、なかでも上記式（ｃ）で表される構成単位と、鎖状オレフィン、環状オレフィン、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル、カルボン酸ビニルエステル、及び不飽和ジカルボン酸ジエステルから選択される少なくとも１種の重合性単量体由来の構成単位を含む化合物が好ましい。
【００５０】
化合物（Ｃ）の重量平均分子量（ＧＰＣ法による、ポリスチレン換算）は、例えば１５００以上、好ましくは１８００〜１００００、特に好ましくは２０００〜５０００である。化合物（Ｃ）は前記重量平均分子量を有する化合物であるため、化合物（Ｃ）を含む接着剤の重合体は、化合物（Ｃ）を含まない接着剤の重合体に比べて高い軟化点又は融点を有し、より一層高い温度環境下（例えば、１６０〜１８０℃程度）でも接着性を保持することが可能となる。その他、接着剤に添加することにより適度な粘度を付与することができ、スキージ塗布によって塗布することが可能となる。また、厚い塗膜も容易に形成することができる。
【００５１】
本発明の接着剤は、化合物（Ｂ）と化合物（Ｃ）の少なくとも一方を含んでいればよく、化合物（Ｂ）のみを含んでいても、化合物（Ｃ）のみを含んでいても、化合物（Ｂ）と化合物（Ｃ）を両方を含んでいてもよい。
【００５２】
本発明の接着剤に含まれる全重合性化合物に占める化合物（Ａ）の割合（配合量）は、例えば０．５〜８０重量％、好ましくは３〜８０重量％程度、より好ましくは５〜７０重量％、特に好ましくは１０〜６０重量％である。尚、化合物（Ａ）は１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができ、２種以上を含有する場合、上記含有量は２種以上の化合物（Ａ）の総量を意味する。化合物（Ａ）を上記範囲で配合して得られる接着剤は加熱することにより、１６０℃以上の高温域に軟化点又は融点を有する重合体を形成することができ、高温環境下においても優れた接着保持性を発揮することが可能となる。
【００５３】
本発明の接着剤に含まれる全重合性化合物に占める化合物（Ｂ）及び／又は化合物（Ｃ）の割合（配合量）（化合物（Ｂ）と化合物（Ｃ）を共に含有する場合はその総量）は、例えば２０〜９９．５重量％、好ましくは２０〜９５重量％、より好ましくは３０〜９０重量％、特に好ましくは４０〜８５重量％である。尚、化合物（Ｂ）及び化合物（Ｃ）はそれぞれ、１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができ、２種以上を含有する場合、上記含有量は２種以上の総量を意味する。化合物（Ｂ）及び／又は化合物（Ｃ）を上記範囲で配合して得られる接着剤は加熱することにより、化合物（Ａ）と共に重合して、１６０℃以上の高温域に軟化点又は融点を有する重合体を形成することができ、高温環境下においても優れた接着性を発揮することが可能となる。
【００５４】
本発明の接着剤としては、なかでも、下記［１］及び［２］の組みあわせ、すなわち、化合物（Ａ）と化合物（Ｂ）を必須成分とする接着剤が、高温環境下においても優れた接着性を発揮することができ、更に、適度な粘度を有し、スキージ塗布やスピン塗布等によって塗布することが可能であり、厚い塗膜を形成することが可能である点で好ましい。特に、下記［１］の場合は、より一層高い温度環境下（例えば、１６０〜１８０℃程度）においても接着性を保持することができる。
［１］化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）、及び化合物（Ｃ）を共に含有する場合
［２］化合物（Ａ）、及び化合物（Ｂ）を含有する（化合物（Ｃ）は含有しない）場合
【００５５】
また、前記［１］の場合に、各成分を下記範囲で含有することが好ましく、各成分を下記式を満たす範囲で含有することが好ましい。
化合物（Ａ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の５〜３０重量％（好ましくは５〜２５重量％）
化合物（Ｂ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の３〜２０重量％（好ましくは３〜１０重量％）
化合物（Ｃ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の５０〜９０重量％（好ましくは６０〜８５重量％）
［化合物（Ｂ）＋化合物（Ｃ）］／［化合物（Ａ）］（重量）＝１．５〜１５程度（好ましくは２〜１２、特に好ましくは３〜１０）
［化合物（Ｂ）］／［化合物（Ｂ）＋化合物（Ｃ）］（重量）＝０を超え０．５以下程度（好ましくは０．０５〜０．４、特に好ましくは０．０５〜０．３）
［化合物（Ｃ）］／［化合物（Ｂ）＋化合物（Ｃ）］（重量）＝０．１５以上１．０未満程度（好ましくは０．２５〜０．９８、特に好ましくは０．３〜０．９５、最も好ましくは０．５〜０．９５）
【００５６】
また、前記［２］の場合に、各成分を下記範囲で含有することが好ましく、各成分を下記式を満たす範囲で含有することが好ましい。
化合物（Ａ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の２０〜６０重量％（好ましくは３０〜５０重量％）
化合物（Ｂ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の３０〜８０重量％（好ましくは４０〜７０重量％）
［化合物（Ａ）］／［化合物（Ｂ）］（重量）＝０．８〜１．５程度（好ましくは０．５〜１．４）
【００５７】
更にまた、本発明の接着剤が化合物（Ｂ）として、式（ｂ）で表され、式中のｎ1が３以上の整数である化合物を含有しない場合、本発明の接着剤は各成分を下記範囲で含有することが好ましい。
化合物（Ａ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の、例えば０．５〜４０．０重量％（好ましくは０．５〜２５．０重量％、特に好ましくは１．０〜１５．０重量％、最も好ましくは２．０〜１５．０重量％）
化合物（Ｂ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の、例えば０．２〜２０重量％（好ましくは５．０〜１５．０重量％、特に好ましくは７．０〜１２．０重量％）
化合物（Ｃ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の、例えば５０．０〜９９．０重量％（好ましくは６０．０〜９５．０重量％、特に好ましくは７０．０〜９５．０重量％、最も好ましくは７５．０〜９５．０重量％）
【００５８】
本発明の接着剤が化合物（Ｂ）として、式（ｂ）で表され、式中のｎ1が３以上の整数である化合物を含有する場合、本発明の接着剤は各成分を下記範囲で含有することが好ましく、各成分を下記式を満たす範囲で含有することが好ましい。
化合物（Ａ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の、例えば３５．０〜６５．０重量％（好ましくは４０．０〜６０．０重量％、特に好ましくは４５．０〜６０．０重量％）
化合物（Ｂ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の、例えば３５．０〜６５．０重量％（好ましくは４０．０〜６０．０重量％、特に好ましくは４５．０〜６０．０重量％）
化合物（Ｂ）として、式（ｂ）で表され、ｎ1が３以上の整数である化合物：接着剤に含まれる全重合性化合物の、例えば０重量％を超え、５５．０重量％以下（好ましくは５．０〜５０．０重量％、特に好ましくは１０．０〜５０．０重量％、更にこのましくは２０．０〜５０．０重量％、最も好ましくは３０．０〜４５．０重量％）
化合物（Ｃ）：接着剤に含まれる全重合性化合物の、例えば０〜３０．０重量％（好ましくは０〜２０．０重量％、特に好ましくは０〜１０．０重量％）
化合物（Ａ）／化合物（Ｂ）（重量）＝６５／３５〜３５／６５程度（好ましくは６０／４０〜４０／６０、特に好ましくは５５／４５〜４５／５５）
【００５９】
（酸発生剤）
酸発生剤は、熱又は光を吸収するカチオン部と、酸の発生源となるアニオン部で構成される化合物であり、熱酸発生剤と光酸発生剤が含まれる。これらは１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。本発明の接着剤が酸発生剤を含有すると、接着剤を重合して重合体を形成した後に加熱又は光照射を施して酸発生剤から酸を発生させることにより、前記重合体を分解することができ、酸発生剤を含有しない接着剤に比べて低い温度で軟化又は液化させて、接着性を低下又は喪失させて被着体を剥離することが可能となる。また、酸によって分解することにより重合体を低分子量化することができるため、溶剤で一層容易に洗い流すことが可能となり、剥離後の被着剤の糊残りを容易に除去することができる。
【００６０】
前記熱酸発生剤は、加熱処理（特に、硬化温度を超える温度で加熱処理）を施すことによりスルホン酸（例えば、パーフルオロアルキルスルホン酸等）、スルホニウムカチオン等を発生させる化合物等であり、例えば、アリールジアゾニウム塩、アリールヨードニウム塩、アリールスルホニウム塩、アレン−イオン錯体等が挙げられる。本発明においては、商品名「ＳＩ−１８０Ｌ」（三新化学工業（株）製）等の市販品を使用しても良い。
【００６１】
熱酸発生剤の含有量（配合量）は、重合性化合物全量（１００重量部）に対して、例えば０．０１〜５重量部程度、好ましくは０．０５〜３重量部、特に好ましくは０．１〜２重量部である。
【００６２】
熱酸発生剤の含有量（配合量）は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）、及び化合物（Ｃ）の和（１００重量部）に対して、例えば０．０１〜５重量部程度、好ましくは０．０５〜３重量部、特に好ましくは０．１〜２重量部である。
【００６３】
前記光酸発生剤は、光を照射することによりスルホン酸（例えば、パーフルオロアルキルスルホン酸、パーフルオロホスホニウムスルホン酸等）、スルホニウムカチオン等を発生させる化合物であり、例えば、ヨードニウム塩系化合物（なかでもアリールヨードニウム塩系化合物が好ましく、特にビスアリールヨードニウム塩系化合物が好ましい）、スルホニウム塩系化合物（なかでもアリールスルホニウム塩系化合物が好ましく、特にトリアリールスルホニウム塩系化合物が好ましい）等を挙げることができる。これらは１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００６４】
光酸発生剤のカチオン部としては、ヨードニウムイオン、スルホニウムイオンが挙げることができる。
【００６５】
前記ヨードニウムイオンとしては、例えば、ジフェニルヨードニウムイオン、ジ−ｐ−トリルヨードニウムイオン、ビス（４−ドデシルフェニル）ヨードニウムイオン、ビス（４−メトキシフェニル）ヨードニウムイオン、(４−オクチルオキシフェニル)フェニルヨードニウムイオン、ビス（４−デシルオキシ）フェニルヨードニウムイオン、４−(２−ヒドロキシテトラデシルオキシフェニル)フェニルヨードニウムイオン、４−イソプロピルフェニル（ｐ−トリル）ヨードニウムイオン、及び４−イソブチルフェニル（ｐ−トリル）ヨードニウムイオン等のアリールヨードニウムイオン（特に、ビスアリールヨードニウムイオン）を挙げることができる。
【００６６】
前記スルホニウムイオンとしては、例えば、トリフェニルスルホニウムイオン、ジフェニル［４−（フェニルチオ）フェニル］スルホニウムイオン、トリ−ｐ−トリルスルホニウムイオン等のアリールスルホニウムイオン（特に、トリアリールスルホニウムイオン）を挙げることができる。
【００６７】
光酸発生剤のアニオン部としては、例えば、パーフルオロアルカンスルホニウムイオン、パーフルオロホスホニウムスルホニウムイオン、パーフルオロアンチモニウムスルホニウムイオン、ＢＦ4-、Ｂ（Ｃ6Ｆ5）4-、ＰＦ6-、［（Ｒｆ）nＰＦ6-n］-（Ｒｆ：水素原子の８０％以上がフッ素原子で置換されたアルキル基、ｎ：１〜５の整数）、ＡｓＦ6-、ＳｂＦ6-、ペンタフルオロヒドロキシアンチモネート等を挙げることができる。本発明においては、なかでも有毒物質をあるアンチモンを含有せず安全に使用できる点で、パーフルオロアルカンスルホニウムイオン、パーフルオロホスホニウムスルホニウムイオンが好ましい。
【００６８】
光酸発生剤の含有量（配合量）は、重合性化合物全量（１００重量部）に対して、例えば０．０１〜５重量部程度、好ましくは０．０５〜３重量部、特に好ましくは０．１〜２重量部である。
【００６９】
光酸発生剤の含有量（配合量）は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）、及び化合物（Ｃ）の和（１００重量部）に対して、例えば０．０１〜５重量部程度、好ましくは０．０５〜３重量部、特に好ましくは０．１〜２重量部である。
【００７０】
（その他の成分）
本発明の接着剤は、さらに重合促進剤を含有していてもよい。前記重合促進剤としては、下記式（ｄ）で表される１価のカルボン酸、及び下記式（ｅ）で表される１価のアルコール等を挙げることができる。これらは１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。前記化合物を含有する接着剤は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）、及び化合物（Ｃ）の重合反応を促進することができ、重合促進剤を含有しない接着剤を使用する場合と比べて、重合時の加熱温度を低下させても、同等又は、より一層高い軟化点又は融点を有する重合体を形成することができ、一層高い温度環境下（例えば、１６０〜１８０℃程度）においても接着性を保持することができる点で好ましい。
Ｚ4−ＣＯＯＨ      （ｄ）
（式中、Ｚ4はカルボキシル基以外の置換基を有していてもよい、飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、及び芳香族炭化水素から選択される構造式から１個の水素原子を除去した基を示す）
Ｚ5−ＯＨ      （ｅ）
（式中、Ｚ5はヒドロキシル基以外の置換基を有していてもよい芳香族炭化水素の構造式から１個の水素原子を除去した基を示す）
【００７１】
上記式（ｄ）中のＺ4における飽和若しくは不飽和脂肪族炭化水素、飽和若しくは不飽和脂環式炭化水素、及び芳香族炭化水素、上記式（ｅ）中のＺ5における芳香族炭化水素としては、上記Ｚ3の例に対応する１価の基を挙げることができる。Ｚ4が有していてもよい置換基としては、Ｚ3が有していてもよい置換基の例からカルボキシル基を除いた例を挙げることができる。Ｚ5が有していてもよい置換基としては、Ｚ3が有していてもよい置換基の例からヒドロキシル基を除いた例を挙げることができる。
【００７２】
本発明の重合促進剤としては、ｐＫａ（酸解離定数）が３〜８であることが好ましく、特に好ましくは４〜６である。ｐＫａが上記範囲を下回ると接着剤中で重合が進行して粘度が増加する等、保存安定性が低下する傾向がある。一方、ｐＫａが上記範囲を上回ると重合を促進する効果が低下する傾向がある。
【００７３】
式（ｄ）で表される１価のカルボン酸としては、下記に示される化合物（幾何異性体を含む）が好ましい。
【化１１】
2015053223.tif 000013
【化１２】
2015053223.tif 000014
【００７４】
式（ｅ）で表される１価のアルコールとしては、下記に示される化合物が好ましい。
【化１３】
2015053223.tif 000015
【００７５】
重合促進剤の使用量としては、接着剤に含まれる重合性化合物１００重量部に対して、例えば０．１〜１０重量部程度（好ましくは０．３〜５重量部）である。
【００７６】
本発明の接着剤は、更に、必要に応じて他の成分を含有することができる。他の成分としては、例えば、溶剤、界面活性剤、レベリング剤、シランカップリング剤、発泡剤等を挙げることができる。これらは１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００７７】
本発明の接着剤は溶剤を含有することが、溶剤の使用量を調整することにより接着剤の粘度をコントロールすることができる点で好ましい。前記溶剤としては、従来公知の溶剤（例えば、トルエン、ヘキサン、イソプロパノール、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、γ―ブチロラクトン等）を１種、又は２種以上使用することができる。
【００７８】
また、本発明の接着剤は界面活性剤を、接着剤全量の０．０１〜１重量％程度含有することが、塗布時の接着剤のハジキを改善することができ、塗膜の均一性を向上することができる点で好ましい。前記界面活性剤としては、例えば、商品名「Ｆ−４４４」、「Ｆ−４４７」、「Ｆ−５５４」、「Ｆ−５５６」、「Ｆ−５５７」（以上、フッ素系オリゴマー、ＤＩＣ社製）、商品名「ＢＹＫ−３５０」（アクリル系ポリマー、ビッグケミー社製）、商品名「Ａ−１４２０」、「Ａ−１６２０」、「Ａ−１６３０」（以上、フッ素含有アルコール、ダイキン工業（株）製）を使用することができる。これらは１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００７９】
本発明の接着剤が上記化合物（Ａ）と化合物（Ｂ）等の単量体を含み、化合物（Ｃ）やその他の樹脂を含有しない場合は、製品毎の粘度の変化を小さく抑制することができ、常に一定の範囲の粘度を有する接着剤を再現性良く製造することができる。
【００８０】
本発明の接着剤が上記化合物（Ａ）と化合物（Ｂ）と化合物（Ｃ）を含む場合は、化合物（Ｃ）を含まない本発明の接着剤と比べてより一層高い軟化点又は融点を有する重合体を形成することができるため、より高い温度環境下での接着保持性に優れる。
【００８１】
さらに、本発明の接着剤が酸発生剤を含む場合は、酸発生剤を含まない本発明の接着剤と比べて、接着性を低下又は喪失させる際により低い温度での加熱処理により軟化又は液化することができ、その上、剥離後の被着体に付着する糊残りを一層容易に除去することができる。
【００８２】
本発明の接着剤は上記成分と、必要に応じてその他の成分等を配合し、必要に応じて、真空下で気泡を除去しながら撹拌・混合することにより調製することができる。撹拌・混合する際の温度は１０〜８０℃程度が好ましい。尚、撹拌・混合には、公知乃至慣用の装置（例えば、自転公転型ミキサー、１軸又は多軸エクストルーダー、プラネタリーミキサー、ニーダー、ディゾルバー等）を使用することができる。
【００８３】
本発明の接着剤の粘度（２５℃における）は、例えば５０〜６００ｍＰａ・ｓ程度であり、好ましくは６０〜４００ｍＰａ・ｓである。そのため、塗布性に優れ、被着体表面に均一に塗布することができる。
【００８４】
本発明の接着剤は、被着体に塗布した後、加熱処理を施すことにより、多価ビニルエーテル化合物のビニルエーテル基と、ヒドロキシル基及び／又はカルボキシル基とをアセタール結合させることができ、それにより接着性に優れた重合体を形成させることができる。
【００８５】
例えば、多価ビニルエーテル化合物として下記式（a-1）で表される化合物、化合物（Ｂ）として下記式（b-5）で表される化合物、化合物（Ｃ）として下記式（c-1）で表される化合物を含有する接着剤は、加熱処理を施すことにより、下記式（１）で表される重合体が得られる。
【化１４】
2015053223.tif 000016
【００８６】
多価ビニルエーテル化合物として下記式（a-1）で表される化合物、化合物（Ｂ）として下記式（b-2）で表される化合物、及び下記式（b-4）で表される化合物を含有する接着剤は、加熱処理を施すことにより、下記式（２）で表される重合体が得られる。
【化１５】
2015053223.tif 000017
【００８７】
本発明の接着剤を加熱処理に付すことにより得られる重合体は、軟化点又は融点が１６０℃以上（例えば１６０〜２５０℃、好ましくは１７０〜２００℃）の熱可塑性樹脂である。そのため、高温環境下（１６０℃未満）においても優れた接着保持性を発揮することができる。尚、本発明における「重合体の軟化点又は融点」とは、ガラス板（１）に本発明の接着剤０．１ｇを１０μｍの厚さに塗布してガラス板（２）を貼り合わせ、１８０〜２３５℃で４分間加熱処理を施すことにより得られたガラス板（１）／接着剤の重合体／ガラス板（２）積層体について、ガラス板（２）を固定した状態で、加熱しつつガラス板（１）を水平方向に２ｋｇの応力を掛けて引っ張り、ガラス板（１）が動き始める時の温度である。
【００８８】
そして、前記重合体は軟化点又は融点以上の温度（例えば１６０℃以上、好ましくは１８０〜３００℃、特に好ましくは２００〜２５０℃）で加熱すると軟化又は液化して、急激に接着性を低下又は喪失する。
【００８９】
また、本発明の接着剤が酸発生剤を含有する場合は、重合後に加熱又は光照射を施して酸を発生させると重合体が分解され、分解前の重合体より低い軟化点又は融点を有する低分子量体（＝分解物）が形成される。そのため、分解前の重合体の軟化点又は融点未満の温度（例えば５０〜１５０℃程度）で加熱することにより軟化又は液化させることができ、急激に接着性を低下又は喪失させることができる。
【００９０】
前記重合体又は重合体を分解して得られる分解物は、その軟化点又は融点以上の温度で加熱することにより軟化又は液化することができ、軟化又は液化した化合物はシクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、アセトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルイソブチルケトン等の溶剤の１種又は２種以上に易溶解性を示すため、剥離後の被着体に糊残りが存在する場合は、前記溶剤を１種又は２種以上使用して容易に洗い流すことができる。
【００９１】
本発明の接着剤は上記特性を有するため、加熱処理を施すことにより、接着保持性に優れた重合体を形成することができ、高温環境下においても被着体を強固に保持し続けることが可能となる。また、不要となった際には、加熱処理、又は光照射と加熱処理を施すことにより重合体を軟化又は液化することができ、容易に且つ糊残りすることなく除去することができる。そのため、本発明の接着剤は脆弱な被着体の仮固定用接着剤として好適に使用することができる。
【００９２】
［被着体の仮固定方法］
本発明の被着体の仮固定方法は、接着剤を使用して被着体を支持体に仮固定する方法であって、本発明の接着剤に加熱処理を施して得られる、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体により被着体を支持体に固定する固定工程、及び前記重合体に加熱処理、又は光照射と加熱処理を施して前記重合体を軟化又は液化することにより被着体を支持体から剥離する剥離工程を含む。
【００９３】
本発明の被着体の仮固定方法では上記接着剤を使用するため、被着体が、シリコンウェハ、光学ガラス、フィルム、金属板、セラミック板等の破損し易いものであったとしても、これらの被着体を支持体に貼り合わせて固定することにより保護することができ、高温環境下においても被着体の固定状態を保持し続けることができる。そして、保護が不要となった際には被着体を破損することなく、且つ糊残りすることなく剥離することができる。
【００９４】
前記固定工程には、下記１〜３の態様等が含まれる。
１．被着体と支持体とを接着剤を使用して貼り合わせた状態で加熱して前記接着剤を重合体化することにより固定する方法
２．被着体及び／又は支持体の表面に接着剤を塗布し、加熱することにより前記接着剤を重合体化し、被着体と支持体とを貼り合わせた後に、前記重合体化した接着剤を軟化させることにより固定する方法
３．接着剤を被着体及び支持体以外の基材表面に塗布し、加熱することにより前記接着剤を重合体化して接着シートを作成し、被着体と支持体とを前記接着シートを介して貼り合わせた後に、接着シートを軟化させることにより固定する方法
【００９５】
上記１〜３の態様において、上記接着剤を重合体化する（＝接着剤を重合して化合物（Ａ）と、化合物（Ｂ）及び化合物（Ｃ）から選択される少なくとも１種の化合物の重合体を形成する）際の加熱温度としては、例えば１００〜３００℃程度、好ましくは１００〜２５０℃である。加熱は一定温度に固定した状態で行ってもよく、段階的に温度を変更して行ってもよい。また、加熱時間は、例えば３０秒〜３０分程度、好ましくは３分〜１２分である。加熱温度及び時間が上記範囲を下回ると、得られる重合体の重量平均分子量が小さくなり、軟化点又は融点が低くなるため、高温環境下における接着保持性が低下する傾向がある。一方、加熱温度及び時間が上記範囲を上回ると、副反応の発生により得られる重合体の軟化点又は融点が低下したり、必要以上の硬化により軟化点又は融点が高くなり過ぎ、剥離後の洗浄性が低下したりする場合があり、生産性の低下の点から好ましくない。
【００９６】
上記２及び３の態様において、重合体化した接着剤、又は接着シートを軟化させる方法としては、例えば１７０〜２５０℃（好ましくは１９０〜２３０℃）の温度で、例えば０．５〜１０分程度（好ましくは１〜５分）加熱する方法を挙げることができる。
【００９７】
また、上記１の態様においては重合体化した後、上記２の態様においては重合体化した接着剤を軟化させた後、上記３の態様においては接着シートを軟化させた後は、重合体の軟化点又は融点未満の温度に冷却することが、一旦軟化させた重合体を硬化することができ、被着体を支持体に強固に固定することができる点で好ましい。
【００９８】
更に、上記１〜３の態様において、被着体と支持体とを貼り合わせる際には、適度な圧力（例えば３００〜５０００ｇ／ｃｍ2程度）で押圧しつつ加熱処理を施すことが、より一層強固に接着・固定することができる点で好ましい。
【００９９】
尚、上記固定工程は大気中、及び真空中のどちらでも行うことができる。
【０１００】
本発明の被着体の仮固定方法における固定工程としては、特に、上記２の態様が好ましい。すなわち、本発明の被着体の仮固定方法は、特に、接着剤を使用して被着体を支持体に仮固定する方法であって、上記接着剤を被着体及び／又は支持体に塗布した後、前記接着剤に加熱処理を施して、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体を形成させ、それにより被着体を支持体に固定する固定工程、及び前記重合体に加熱処理、又は光照射と加熱処理を施して前記重合体を軟化又は液化することにより被着体を支持体から剥離する剥離工程を含む被着体の仮固定方法であることが好ましい。
【０１０１】
剥離工程において、重合体を軟化又は液化する際の加熱温度としては、重合体の軟化点又は融点以上の温度であればよく、例えば１６５〜２５０℃程度、好ましくは１７０〜２２０℃である。また、加熱時間は、例えば３０秒〜１５分程度、好ましくは３分〜５分である。尚、本発明の「軟化又は液化」とは、重合体の粘度を１００Ｐａ・ｓ以下（好ましくは１Ｐａ・ｓ以下）に低減させることである。
【０１０２】
また、本発明の接着剤が酸発生剤を含有する場合は、予め重合体を酸で分解して低分子量化する工程を設けることにより、前記重合体の軟化点又は融点よりも低い温度で被着体を剥離することが可能となる。その場合の加熱温度として、特に酸発生剤として光酸発生剤を含有する場合の加熱温度は、例えば５０〜１６０℃程度、好ましくは１００〜１５０℃である。また、加熱時間は、例えば３０秒〜３０分程度、好ましくは３分〜５分である。酸発生剤として熱酸発生剤を含有する場合の加熱温度は、例えば２００〜３００℃程度、好ましくは２１０〜２７０℃である。また、加熱時間は、例えば３０秒〜３０分程度、好ましくは５分〜２０分である。
【０１０３】
酸発生剤として光酸発生剤を含有する場合は加熱処理の前に光照射を行うことが、より低い温度で被着体を剥離することができる点で好ましい。前記光としては、種々の波長の光線、例えば、紫外線、Ｘ線等が利用できる。光源としては、４００ｎｍ以下の波長の遠紫外光を使用することが好ましい。光照射エネルギーは、例えば５００〜８０００ｍＪ／ｃｍ2程度である。
【０１０４】
上記接着剤を塗布する方法としては、例えば、カーテンコート法、スキージ塗布、ロールコート塗装、スプレー塗装、ハケ塗り、バーコート塗装、ローラー塗り、シルクスクリーン印刷、スピンコーティング等の周知慣用の方法を採用することができる。
【０１０５】
接着剤の塗布厚みは、用途に応じて適宜調整することができ、例えば、半導体ウェハを支持体と接着する用途に使用する場合は、１〜２０μｍ程度である。
【０１０６】
本発明の被着体の仮固定方法では、剥離工程の後に、被着体表面に糊残りが存在する場合は、洗浄処理を施すことが好ましい。洗浄処理を施すことにより糊残りを除去することができる。特に酸発生剤を含む接着剤を使用して仮固定した場合には、剥離工程において接着剤の重合体を分解して低分子量化することができるため、極めて容易に洗い流すことができる。
【０１０７】
［接着膜］
本発明の接着膜は、上記接着剤を塗布し、加熱処理を施して得られる、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体を含む。
【０１０８】
接着剤を塗布する対象としては、特に制限されることがなく、例えば、被着体、支持体等を挙げることができる。また、塗布剤の塗布は上記被着体の仮固定方法において接着剤を塗布する方法と同様の方法によって行われ、加熱処理は上記被着体の仮固定方法において接着剤を重合体化する方法と同様の方法によって行われる。
【０１０９】
接着膜の厚みは、用途に応じて適宜調整することができ、例えば、半導体ウェハを支持体と接着する用途に使用する場合は、１〜２０μｍ程度である。
【０１１０】
［被着体の加工方法］
本発明の被着体の加工方法は、接着剤を使用して仮固定された被着体を加工する方法であって、本発明の接着剤に加熱処理を施して得られる、多価ビニルエーテル化合物（Ａ）と、式（ｂ）で表される化合物（Ｂ）及び／又は式（ｃ）で表される構成単位を２以上有する化合物（Ｃ）の重合体により被着体を支持体に固定する固定工程、固定された被着体に加工を施す加工工程、及び前記重合体に加熱処理、又は光照射と加熱処理を施して前記重合体を軟化又は液化することにより加工が施された被着体を支持体から剥離する剥離工程を含む。
【０１１１】
固定工程、剥離工程は上記被着体の仮固定方法と同様の方法により行うことができる。また、被着体の加工方法においても剥離工程の後に被着体表面に糊残りが存在する場合は洗浄工程を設けることが好ましい。
【０１１２】
前記加工工程は被着体に加工を施す工程であり、例えば被着体がシリコンウェハである場合は、研削（薄化）、エッチング等を施す工程である。本発明においては上記接着剤を使用して支持体に固定した状態で被着体を加工するため、被着体を極めて薄く研削しても作業工程やその後の運搬工程において被着体が破損することを防止することができる。また、本発明の接着剤は１６０℃以上の高い軟化点又は融点を有する重合体を形成するため、高温環境下（１６０℃未満）においても重合体が軟化又は液化することがなく、被着体を支持体に保持し続けることができ、被着体の破損を防止することができる。
【実施例】
【０１１３】
以下、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
尚、接着剤のスピンコートにはスピンコーター（商品名「ＡＣＴ−４００ＡＩＩ」、（株）アクティブ製）を使用した。
加熱にはホットプレート（ＮＤ−１、アズワン製）を使用した。
紫外線の照射はスポットキュア（ＵＩＳ−２５１０２、ウシオ電機製）を使用した。【０１１４】
製造例１
ジシクロペンタニルアクリレート（日立化成（株）製）１８ｇとメタクリル酸（和光純薬工業（株）製）２ｇをシクロヘキサノン（和光純薬工業（株）製）３０ｇに溶解し、ジメチル２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）（商品名「Ｖ−６０１」、和光純薬工業（株）製）０．４ｇを加え、８０℃で６時間重合させてジシクロペンタニルアクリレート／メタクリル酸（重量比：９０／１０）共重合体［重量平均分子量（ＧＰＣ法による、ポリスチレン換算）：２００００］とシクロヘキサノンを含む組成物を得た。【０１１５】
実施例１
（接着剤の調製）
１，１，１−トリス（４−ヒドロキシフェニル）エタン３９．８ｇ（和光純薬工業（株）製）とグルタル酸８．６ｇ（和光純薬工業（株）製）をプロピレングリコールモノメチルエーテル６６．７ｇに溶解した後、イソソルバイドジビニルエーテル５１．６ｇ（（株）ダイセル製）を加えて接着剤（２５℃における粘度：７０ｍＰａ・ｓ）を調製した。【０１１６】
（接着膜の作成）
得られた接着剤をガラス板（松浪ガラス製、７．６ｃｍ×２．６ｃｍ×０．２ｃｍ）にスピンコート（１２００ｒｐｍ、１０秒）し、１００℃で２分加熱した後、１５０℃で２分加熱し、更に２００℃で４分加熱することで接着膜（膜厚：１０μｍ）を作成し、接着膜／ガラス板積層体を得た。【０１１７】
実施例２〜３９
（接着剤の調製）
下記表に記載の処方（単位：重量部）に変更した以外は実施例１と同様にして接着剤を調製した。【０１１８】
（接着膜の作成；実施例２〜２４、２８〜３０）
得られた接着剤を使用し、実施例１と同様にして接着膜（膜厚：１０μｍ）を作成し、接着膜／ガラス板積層体を得た。【０１１９】
（接着膜の作成；実施例２５〜２７）
得られた接着剤をガラス板（松浪ガラス製、７．６ｃｍ×２．６ｃｍ×０．２ｃｍ）にスピンコート（１２００ｒｐｍ、１０秒）し、１４０℃で２分加熱し、更に１８０℃で２分加熱して接着膜（膜厚：１０μｍ）を作成し、接着膜／ガラス板積層体を得た。【０１２０】
（接着膜の作成；実施例３１〜３９）
得られた接着剤をガラス板（松浪ガラス製、７．６ｃｍ×２．６ｃｍ×０．２ｃｍ）にスピンコート（１２００ｒｐｍ、１０秒）し、１４０℃で２分加熱し、更に２００℃で２分加熱して、更に２３５℃で４分加熱して接着膜（膜厚：１０μｍ）を作成し、接着膜／ガラス板積層体を得た。【０１２１】
比較例１
（接着剤の調製）
ジシクロペンタニルメタクリレート（日立化成（株）製）１８ｇとメタクリル酸（和光純薬工業（株）製）２ｇをシクロヘキサノン（和光純薬工業（株）製）３０ｇに溶解し、ジメチル２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）（商品名「Ｖ−６０１」、和光純薬工業（株）製）０．４ｇを加え、８０℃で６時間重合させて樹脂を含む接着剤を得た。重合により得られた樹脂の重量平均分子量（ＧＰＣ法による、ポリスチレン換算）は３００００であった。【０１２２】
（接着膜の作成）
得られた接着剤をガラス板（松浪ガラス製、７．６ｃｍ×２．６ｃｍ×０．２ｃｍ）にスピンコート（１２００ｒｐｍ、１０秒）し、１６０℃で５分加熱して接着膜（膜厚：１０μｍ）を作成し、接着膜／ガラス板積層体を得た。【０１２３】
比較例２
（接着膜の作成）
製造例１で得られた組成物を接着剤として使用した以外は比較例１と同様にして、接着膜／ガラス板積層体を得た。【０１２４】
実施例及び比較例で得られた接着膜について以下の方法で評価した。結果を下記表に示す。【０１２５】
＜評価方法＞
１．接着膜の評価
実施例及び比較例で得られた接着膜／ガラス板積層体の接着膜を目視で観察し下記基準により評価した。
評価基準
接着膜表面に凹凸がなく、ガラス面が露出した部分もなかった：◎
接着膜の表面に凹凸があるが、ガラス面が露出した部分はなかった：〇
接着膜の表面に凹凸があり、且つガラス面が露出した部分が発生した：×【０１２６】
２．貼り付け性
実施例及び比較例で得られた接着膜／ガラス板積層体の接着膜を２００℃に加温した状態で、ガラス板（松浪ガラス製、７．６ｃｍ×２．６ｃｍ×０．２ｃｍ）を８００ｇ／ｃｍ2の圧力で１分間押圧して、接着面積が６．７６ｃｍ2（２．６ｃｍ×２．６ｃｍ）になるように貼り付けてガラス板／接着膜／ガラス板積層体を形成し、得られた積層体の接着面を観察して、下記基準で評価した。
評価基準
接着面に気泡が残存せず、均一な接着面が得られた：○
接着面に気泡が残存した、又は接着できなかった：×【０１２７】
３．接着性
上記貼り付け性評価で接着できたものについて、ガラス板／接着膜／ガラス板積層体を室温まで冷却して下記基準で評価した。
評価基準
接着面に変化なく、自然剥離なし：○
接着面にひびが発生したが、自然剥離なし：△
自然剥離した：×【０１２８】
４．接着保持性
上記貼り付け性評価で形成したガラス板／接着膜／ガラス板積層体を加熱し、一方のガラス板を固定した状態で、もう一方のガラス板を２ｋｇの荷重で前記積層体の面に対して水平の方向に引っ張り、ガラス板が移動した温度を軟化点又は融点とし、下記基準により高温環境下での接着保持性を評価した。尚、比較例で得られた接着剤を使用したガラス板／接着膜／ガラス板積層体については、２００℃で積層体を形成した後、室温にまで冷却すること無く、そのまま上記方法で軟化点又は融点を求めた。
評価基準
軟化点又は融点が１８０℃以上のもの：◎
軟化点又は融点が１６０℃以上、１８０℃未満のもの：○
軟化点又は融点が１００℃以上、１６０℃未満のもの：△
軟化点又は融点が１００℃未満のもの：×【０１２９】
５．剥離性
上記貼り付け性評価で形成したガラス板／接着膜／ガラス板積層体を加熱し、一方のガラス板を固定した状態で、もう一方のガラス板を２ｋｇの荷重でスライドさせて剥離し、剥離面を観察して下記基準により評価した。尚、酸発生剤を含む接着剤を使用して得られた接着膜の場合は、加熱前に紫外線（波長：３６０ｎｍ）を４０００ｍＪ／ｃｍ2照射した。
評価基準
１５０℃、２分加熱により、接着膜が軟化又は液化して剥離した：◎
１５０℃、２分加熱では凝集破壊により剥離したが、２３５℃、１０分加熱により、接着膜が軟化又は液化して剥離した：○【０１３０】
６．洗浄性
上記剥離性評価で剥離したガラス板をシクロヘキサノン又は、プロピレングリコールモノメチルエーテル又は、０．１Ｍ水酸化ナトリウム水溶液に、２５℃で１分間浸漬し、接着膜の残渣の有無を目視で観察し、下記基準により評価した。
評価基準
溶剤としてシクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、及び、０．１Ｍ水酸化ナトリウム水溶液の何れを使用しても接着膜を完全に除去することができた：◎
溶剤として０．１Ｍ水酸化ナトリウム水溶液を使用した場合は接着膜を完全に除去することはできなかったが、シクロヘキサノン及びプロピレングリコールモノメチルエーテルは、何れの溶剤を使用した場合も接着膜を完全に除去することができた：○
シクロヘキサノン又はプロピレングリコールモノメチルエーテルの何れか一方の溶剤を使用した場合のみ、接着膜が完全に除去された：△
何れの溶剤を使用しても接着膜を完全に除去することができなかった：×【０１３１】
【表１】
2015053223.tif 000018
【０１３２】
【表２】
2015053223.tif 000019
【０１３３】
【表３】
2015053223.tif 000020
【０１３４】
【表４】
2015053223.tif 000021
【０１３５】
表中の略語は下記の化合物を示す。
＜化合物（Ａ）＞
ａ−１：イソソルバイドジビニルエーテル
ａ−２：２（又は３）−ビニルオキシ−５−（ビニルオキシメチル）−７−オキサビシクロ［２．２．１］ヘプタン
ａ−３：１，４−シクロヘキサンジオールジビニルエーテル
ａ−４：１，４−シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル
ａ−５：１，４−ブタンジオールジビニルエーテル
ａ−６：ジエチレングリコールジビニルエーテル
ａ−７：トリエチレングリコールジビニルエーテル
＜化合物（Ｂ）＞
ｂ−１：１，１，１−トリス（４−ヒドロキシフェニル）エタン
ｂ−２：４，４’−（プロパン−２，２’−ジイル）ジフェノール
ｂ−３：グルタル酸
ｂ−４：１，３，５−シクロヘキサントリカルボン酸
ｂ−５：ハイドロキノン
＜化合物（Ｃ）＞
ｃ−１：ポリ−ｐ−ヒドロキシスチレン、重量平均分子量（ＧＰＣ法による、ポリスチレン換算）：２０００、丸善石油化学（株）製、商品名「マルカリンカーＭ  Ｓ１Ｐグレード」
ｃ−２：ポリ−ｐ−ヒドロキシスチレン、重量平均分子量（ＧＰＣ法による、ポリスチレン換算）：５０００、丸善石油化学（株）製、商品名「マルカリンカーＭ  Ｓ２Ｐグレード」
ｃ−３：製造例１で得られたジシクロペンタニルアクリレート／メタクリル酸共重合体
ｃ−４：ｐ−ヒドロキシスチレン／スチレン共重合体（モル比：５０／５０、重量比：４６／５４）、重量平均分子量（ＧＰＣ法による、ポリスチレン換算）：４４００、丸善石油化学（株）製、商品名「マルカリンカーＣＳＴ−５０」
＜重合促進剤＞
ｄ−１：トランス桂皮酸（ｐＫａ：４．４４、和光純薬工業（株）製）
＜界面活性剤＞
ｅ−１：フッ素系オリゴマー（商品名「Ｆ−５５４」、ＤＩＣ社製）
＜溶剤＞
ｆ−１：プロピレングリコールモノメチルエーテル
ｆ−２：プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート
ｆ−３：シクロヘキサノン
＜酸発生剤＞
トリフェニルスルホニウムパーフルオロ−１−ブタンスルホネート、アルドリッチ社製
【産業上の利用可能性】
【０１３６】
本発明の接着剤は被着体の固定が必要な間は、高温環境下であっても強い接着性を維持して被着体を接着・固定することができ、被着体の固定が不要となったら、加熱処理等を施すことにより、被着体を容易に且つ破損することなく剥離することができる。また、剥離後の被着体に残存する糊は溶剤で洗浄することにより容易に溶解して除去することができる。そのため、本発明の接着剤は脆弱な被着体を仮固定するための接着剤として好適に使用することができる。
【国際調査報告】
2015053223.tif 000027
2015053223.tif 000028
2015053223.tif 000029
2015053223.tif 000030