(57)【要約】このレーザ装置は、フレームと、フレームに位置決めされた第１増幅器と、フレームに位置決めされた第１の入射光学系であって、外部機器で生成されたパルスレーザ光を、第１増幅器に入射させる第１の入射光学系と、フレームに位置決めされた第１の出射光学系であって、第１増幅器から第１方向に出射したパルスレーザ光を、第１方向と異なる第２方向に出射させる第１の出射光学系と、を備えていてもよい。
2015075838.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、
前記フレームに位置決めされた第１増幅器と、
前記フレームに位置決めされた第１の入射光学系であって、外部機器で生成されたパルスレーザ光を、前記第１増幅器に入射させる前記第１の入射光学系と、
前記フレームに位置決めされた第１の出射光学系であって、前記第１増幅器から第１方向に出射したパルスレーザ光を、前記第１方向と異なる第２方向に出射させる前記第１の出射光学系と、
を備えるレーザ装置。
【請求項２】
前記フレームに位置決めされた第２増幅器と、
前記フレームに位置決めされた第２の入射光学系であって、前記第１の出射光学系から前記第２方向に出射したパルスレーザ光を、前記第１方向と実質的に逆方向であり且つ前記第２方向と異なる第３方向に向けて前記第２増幅器に入射させる前記第２の入射光学系と、
前記フレームに位置決めされた第２の出射光学系であって、前記第２増幅器から前記第３方向に出射したパルスレーザ光を、前記第３方向に出射させる前記第２の出射光学系と、
をさらに備える請求項１記載のレーザ装置。
【請求項３】
前記第１の出射光学系は光センサを含み、
前記第１の入射光学系は前記光センサからの出力に基づいて制御されるビーム調節器を含む、
請求項１記載のレーザ装置。
【請求項４】
外部機器で生成されたパルスレーザ光を通過させ第１方向に出射させるように構成された第１チャンバと、
前記第１チャンバから出射したパルスレーザ光を通過させ前記第１方向に出射させるように構成された第３チャンバと、
前記第３チャンバから出射したパルスレーザ光を、前記第１方向と異なる第２方向に出射させるように構成された第１光学系と、
前記第１光学系から出射したパルスレーザ光を、前記第１方向と実質的に逆方向であり且つ前記第２方向と異なる第３方向に出射させるように構成された第２光学系と、
前記第２光学系から出射したパルスレーザ光を通過させ前記第３方向に出射させるように構成された第４チャンバと、
前記第４チャンバから出射したパルスレーザ光を通過させ前記第３方向に出射させるように構成された第２チャンバと、
を備えるレーザ装置。
【請求項５】
前記第１〜前記第４チャンバのうちの少なくとも３つは、それぞれパルスレーザ光を増幅して通過させるように構成された、請求項４記載のレーザ装置。
【請求項６】
前記第１チャンバ及び前記第２チャンバが位置決めされた第１フレームと、
前記第３チャンバ及び前記第４チャンバが位置決めされ、前記第１フレームと分離可能に構成された第２フレームと、
前記第１フレームと前記第２フレームとを互いに固定する固定機構と、
をさらに備える請求項４記載のレーザ装置。
【請求項７】
前記固定機構によって互いに固定された前記第１フレームと前記第２フレームとを、弾性的に支持するダンパーをさらに備える、請求項６記載のレーザ装置。
【請求項８】
第１チャンバ及び第２チャンバを備えるレーザ装置に、第３チャンバ及び第４チャンバを増設する方法であって、
(A1)外部機器で生成されたパルスレーザ光を通過させ第１方向に出射させる前記第１チャンバと、
(A2)前記第１チャンバから出射したパルスレーザ光を、前記第１方向と異なる第２方向に出射させる第１光学系と、
(A3)前記第１光学系から出射したパルスレーザ光を、前記第１方向と実質的に逆方向であり且つ前記第２方向と異なる第３方向に出射させる第２光学系と、
(A4)前記第２光学系から出射したパルスレーザ光を通過させ前記第３方向に出射させる前記第２チャンバと、
を備える前記レーザ装置における前記第１光学系が、前記第１チャンバから出射したパルスレーザ光を前記第１方向に出射させる光学系となるように、前記第１光学系を変更すること（Ａ）と、
(B1)前記第１光学系から出射したパルスレーザ光を通過させ前記第１方向に出射させる前記第３チャンバと、
(B2)前記第３チャンバから出射したパルスレーザ光を前記第２方向に出射させる第３光学系と、
(B3)前記第３光学系から出射したパルスレーザ光を前記第３方向に出射させる第４光学系と、
(B4)前記第４光学系から出射したパルスレーザ光を通過させ前記第３方向に出射させる前記第４チャンバと、
を追加すること（Ｂ）と、
前記レーザ装置における前記第２光学系が、前記第４チャンバから出射したパルスレーザ光を前記第２チャンバに向けて前記第３方向に出射させる光学系となるように、前記第２光学系を変更すること（Ｃ）と、
を含む方法。
【請求項９】
前記第１〜前記第４チャンバのうちの少なくとも３つは、それぞれパルスレーザ光を増幅して通過させるように構成された、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
前記第１光学系が、前記第１チャンバから出射したパルスレーザ光を前記第２方向に出射させる第１ミラーを含み、
前記第２光学系が、前記第１光学系から出射したパルスレーザ光を前記第３方向に出射させる第２ミラーを含み、
前記第１光学系を変更すること（Ａ）及び前記第２光学系を変更すること（Ｃ）が、前記第１ミラー及び前記第２ミラーを、前記第１チャンバと前記第２チャンバとの間のパルスレーザ光の光路から取り除くことを含む、請求項８記載の方法。
【請求項１１】
前記第３光学系は、前記第３チャンバから出射したパルスレーザ光を、前記第２方向に出射させる第３ミラーを含み、
前記第４光学系は、前記第３光学系から出射したパルスレーザ光を、前記第３方向に出射させる第４ミラーを含み、
前記第１ミラー及び前記第２ミラーのうちの少なくとも１つを、前記第３ミラー及び前記第４ミラーのうちの少なくとも１つとして再利用する、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
複数の第１の電気接続端子を有する増幅器と、
複数の第２の電気接続端子を有し、前記増幅器に電力を供給する電源装置と、
前記増幅器及び前記電源装置が配置されるフレームであって、
前記増幅器が当該フレームの第１の位置に、前記電源装置が当該フレームの第２の位置にそれぞれ配置されるように、前記増幅器及び前記電源装置を位置決めする位置決め機構と、
前記増幅器が前記第１の位置に配置されているときに前記複数の第１の電気接続端子とそれぞれ接触するように配置された複数の第３の電気接続端子と、
前記電源装置が前記第２の位置に配置されているときに前記複数の第２の電気接続端子とそれぞれ接触するように配置された複数の第４の電気接続端子と、
前記複数の第３の電気接続端子と前記複数の第４の電気接続端子とをそれぞれ電気的に接続する複数の導電部材と、
を有する前記フレームと、
を備えるレーザ装置。
【請求項１３】
前記増幅器を重力方向と交差する方向に移動させる移動機構をさらに備え、
前記複数の第１の電気接続端子は前記増幅器の側面に位置する、
請求項１２記載のレーザ装置。
【請求項１４】
前記増幅器を昇降させる昇降機構をさらに備え、
前記複数の第１の電気接続端子は前記増幅器の底面に位置する、
請求項１２記載のレーザ装置。
【請求項１５】
複数の第１の電気接続端子を有する増幅器と、
複数の第２の電気接続端子を有し、前記増幅器に電力を供給する電源装置と、
前記増幅器及び前記電源装置が配置されるフレームであって、
前記増幅器が当該フレームの第１の位置に、
前記電源装置が当該フレームの第２の位置に
それぞれ配置されるように、前記増幅器及び前記電源装置を位置決めする位置決め機構を有する前記フレームと、
前記増幅器が前記第１の位置に配置され、且つ、前記電源装置が前記第２の位置に配置されているときに、前記増幅器及び前記電源装置に取り付けられる接続部材であって、
当該接続部材が前記増幅器及び前記電源装置に取り付けられているときに前記複数の第１の電気接続端子とそれぞれ接触する複数の第３の電気接続端子と、
当該接続部材が前記増幅器及び前記電源装置に取り付けられているときに前記複数の第２の電気接続端子とそれぞれ接触する複数の第４の電気接続端子と、
前記複数の第３の電気接続端子と前記複数の第４の電気接続端子とをそれぞれ電気的に接続する複数の導電部材と、
を有する前記接続部材と、
を備えるレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、レーザ装置、及びレーザ装置にチャンバを増設する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体プロセスの微細化に伴って、半導体プロセスの光リソグラフィにおける転写パターンの微細化が急速に進展している。次世代においては、７０ｎｍ〜４５ｎｍの微細加工、さらには３２ｎｍ以下の微細加工が要求されるようになる。このため、例えば３２ｎｍ以下の微細加工の要求に応えるべく、波長１３ｎｍ程度の極端紫外（ＥＵＶ）光を生成する極端紫外（ＥＵＶ）光生成装置と縮小投影反射光学系（Reduced Projection Reflective Optics）とを組み合わせた露光装置の開発が期待されている。【０００３】
ＥＵＶ光生成装置としては、ターゲット物質にレーザ光を照射することによって生成されるプラズマを用いたＬＰＰ（Laser Produced Plasma：レーザ励起プラズマ）方式の装置と、放電によって生成されるプラズマを用いたＤＰＰ（Discharge Produced Plasma）方式の装置と、軌道放射光を用いたＳＲ（Synchrotron Radiation）方式の装置との３種類の装置が提案されている。
【概要】
【０００４】
本開示の１つの観点に係るレーザ装置は、フレームと、フレームに位置決めされた第１増幅器と、フレームに位置決めされた第１の入射光学系であって、外部機器で生成されたパルスレーザ光を、第１増幅器に入射させる第１の入射光学系と、フレームに位置決めされた第１の出射光学系であって、第１増幅器から第１方向に出射したパルスレーザ光を、第１方向と異なる第２方向に出射させる第１の出射光学系と、を備えてもよい。
【０００５】
本開示の他の１つの観点に係るレーザ装置は、外部機器で生成されたパルスレーザ光を通過させ第１方向に出射させるように構成された第１チャンバと、第１チャンバから出射したパルスレーザ光を通過させ第１方向に出射させるように構成された第３チャンバと、第３チャンバから出射したパルスレーザ光を、第１方向と異なる第２方向に出射させるように構成された第１光学系と、第１光学系から出射したパルスレーザ光を、第１方向と実質的に逆方向であり且つ第２方向と異なる第３方向に出射させるように構成された第２光学系と、第２光学系から出射したパルスレーザ光を通過させ第３方向に出射させるように構成された第４チャンバと、第４チャンバから出射したパルスレーザ光を通過させ第３方向に出射させるように構成された第２チャンバと、を備えてもよい。
【０００６】
本開示の他の１つの観点に係る方法は、第１チャンバ及び第２チャンバを備えるレーザ装置に、第３チャンバ及び第４チャンバを増設する方法であって、
(A1)外部機器で生成されたパルスレーザ光を通過させ第１方向に出射させる第１チャンバと、(A2)第１チャンバから出射したパルスレーザ光を、第１方向と異なる第２方向に出射させる第１光学系と、(A3)第１光学系から出射したパルスレーザ光を、第１方向と実質的に逆方向であり且つ第２方向と異なる第３方向に出射させる第２光学系と、(A4)第２光学系から出射したパルスレーザ光を通過させ第３方向に出射させる第２チャンバと、を備えるレーザ装置における第１光学系が、第１チャンバから出射したパルスレーザ光を第１方向に出射させる光学系となるように、第１光学系を変更すること（Ａ）と、
(B1)第１光学系から出射したパルスレーザ光を通過させ第１方向に出射させる第３チャンバと、(B2)第３チャンバから出射したパルスレーザ光を第２方向に出射させる第３光学系と、(B3)第３光学系から出射したパルスレーザ光を第３方向に出射させる第４光学系と、(B4)第４光学系から出射したパルスレーザ光を通過させ第３方向に出射させる第４チャンバと、を追加すること（Ｂ）と、
レーザ装置における第２光学系が、第４チャンバから出射したパルスレーザ光を第２チャンバに向けて第３方向に出射させる光学系となるように、第２光学系を変更すること（Ｃ）と、
を含んでもよい。
【０００７】
本開示の他の１つの観点に係るレーザ装置は、複数の第１の電気接続端子を有する増幅器と、複数の第２の電気接続端子を有し、増幅器に電力を供給する電源装置と、増幅器及び電源装置が配置されるフレームであって、増幅器が当該フレームの第１の位置に、電源装置が当該フレームの第２の位置にそれぞれ配置されるように、増幅器及び電源装置を位置決めする位置決め機構と、増幅器が第１の位置に配置されているときに複数の第１の電気接続端子とそれぞれ接触するように配置された複数の第３の電気接続端子と、電源装置が第２の位置に配置されているときに複数の第２の電気接続端子とそれぞれ接触するように配置された複数の第４の電気接続端子と、複数の第３の電気接続端子と複数の第４の電気接続端子とをそれぞれ電気的に接続する複数の導電部材と、を有するフレームと、を備えてもよい。
【０００８】
本開示の他の１つの観点に係るレーザ装置は、複数の第１の電気接続端子を有する増幅器と、複数の第２の電気接続端子を有し、増幅器に電力を供給する電源装置と、増幅器及び電源装置が配置されるフレームであって、増幅器が当該フレームの第１の位置に、電源装置が当該フレームの第２の位置にそれぞれ配置されるように、増幅器及び電源装置を位置決めする位置決め機構を有するフレームと、増幅器が第１の位置に配置され、且つ、電源装置が第２の位置に配置されているときに、増幅器及び電源装置に取り付けられる接続部材であって、当該接続部材が増幅器及び電源装置に取り付けられているときに複数の第１の電気接続端子とそれぞれ接触する複数の第３の電気接続端子と、当該接続部材が増幅器及び電源装置に取り付けられているときに複数の第２の電気接続端子とそれぞれ接触する複数の第４の電気接続端子と、複数の第３の電気接続端子と複数の第４の電気接続端子とをそれぞれ電気的に接続する複数の導電部材と、を有する接続部材と、を備えてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
【図１】図１は、例示的なＬＰＰ式のＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示す。
【図２】図２は、第１の実施形態に係るＥＵＶ光生成システムの側面図である。
【図３】図３は、図２に示されるレーザ装置の平面図である。
【図４】図４Ａは、図３に示される固定機構の拡大平面図である。図４Ｂは、図４Ａの内部透視図であり、フレーム及び固定機構の一部の断面を示す。
【図５】図５は、図３に示されるレーザ装置における入射光学系及び出射光学系の具体例を示す平面図である。
【図６】図６Ａ及び図６Ｂは、図３に示されるレーザ装置における増幅器の増設例を示す平面図である。
【図７】図７Ａは、第２の実施形態の第１の例に係るレーザ装置の側面図である。図７Ｂは、図７Ａに示されるレーザ装置の正面図である。
【図８】図８Ａは、第２の実施形態の第２の例に係るレーザ装置の側面図である。図８Ｂは、図８Ａに示されるレーザ装置の正面図である。
【図９】図９Ａは、第２の実施形態の第３の例に係るレーザ装置の平面図である。図９Ｃは、第２の実施形態の第３の例に係るレーザ装置の側面図である。図９Ｂ及び図９Ｄは、図９Ｃに示されるレーザ装置の正面図である。
【図１０】図１０Ａ及び図１０Ｂは、第２の実施形態の第４の例に係るレーザ装置の正面図である。
【図１１】図１１Ａ〜図１１Ｄは、第２の実施形態の第５の例に係るレーザ装置の正面図である。
【図１２】図１２Ａ及び図１２Ｂは、第２の実施形態の第６の例に係るレーザ装置の正面図である。
【図１３】図１３Ａ及び図１３Ｂは、それぞれ、複数の電気接続端子の例を示す。
【実施形態】
【００１０】
＜内容＞
１．概要
２．ＥＵＶ光生成システムの全体説明
２．１  構成
２．２  動作
３．増幅器を増設可能なレーザ装置
３．１  全体構成
３．２  フレームへの位置決め
３．３  フレーム同士の固定
３．４  入射光学系及び出射光学系
３．５  増幅器の増設
４．増幅器と電源装置とが接続可能なレーザ装置
４．１  第１の例
４．１．１  移動機構
４．１．２  電気接続端子
４．１．３  位置決め機構
４．２  第２の例
４．３  第３の例
４．３．１  位置決め機構
４．３．２  昇降機構
４．３．３  コネクタの配置
４．４  第４の例
４．５  第５の例
４．６  第６の例
４．７  複数の電気接続端子
【００１１】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
【００１２】
１．概要
ＬＰＰ式のＥＵＶ光生成装置においては、ターゲット供給部がターゲットを出力し、プラズマ生成領域に到達させてもよい。ターゲットがプラズマ生成領域に到達した時点で、レーザ装置がターゲットにパルスレーザ光を照射することにより、ターゲットがプラズマ化し、このプラズマからＥＵＶ光が放射され得る。
【００１３】
高出力のＥＵＶ光を生成するために、ターゲットに照射されるパルスレーザ光を生成するためのレーザ装置を高出力化することが必要となり得る。このため、複数段の増幅器を直列に並べたり、既に設置された複数の増幅器を有するレーザ装置をさらに高出力化するために、追加の増幅器を増設したりすることが考えられる。増幅器を増設する場合に、既に設置された増幅器を動かしてしまうと、既に設置された増幅器をアライメントし直す必要が生じ得る。また、増幅器、及び増幅器に電力を供給するための電源装置は、大型で重いため、移動やアライメントが容易でない場合がある。
【００１４】
本開示の１つの観点によれば、レーザ装置が、(A1)外部機器から第１方向に出力されたパルスレーザ光を通過させ第１方向に出射させる第１増幅器を備えてもよい。また、レーザ装置が、(A2)第１チャンバから出射したパルスレーザ光を、第１方向と異なる第２方向に出射させる第１光学系を備えてもよい。また、レーザ装置が、(A3)第１光学系から出射したパルスレーザ光を、第１方向と実質的に逆方向である第３方向に出射させる第２光学系を備えてもよい。また、レーザ装置が、(A4)第２光学系から出射したパルスレーザ光を通過させ第３方向に出射させる第２増幅器を備えてもよい。
【００１５】
このレーザ装置に第３及び第４増幅器を増設する際には、このレーザ装置における第１光学系が、第１チャンバから出射したパルスレーザ光を第１方向に出射させる光学系となるように、第１光学系を変更してもよい。
【００１６】
さらに、このレーザ装置に、(B1)第１光学系から出射したパルスレーザ光を通過させ第１方向に出射させる第３増幅器を追加してもよい。また、このレーザ装置に、(B2)第３チャンバから出射したパルスレーザ光を第２方向に出射させる第３光学系を追加してもよい。また、このレーザ装置に、(B3)第３光学系から出射したパルスレーザ光を第３方向に出射させる第４光学系を追加してもよい。また、このレーザ装置に、(B4)第４光学系から出射したパルスレーザ光を通過させ第３方向に出射させる第４増幅器を追加してもよい。
【００１７】
そして、このレーザ装置における第２光学系が、第４チャンバから出射したパルスレーザ光を第２チャンバに向けて第３方向に出射させる光学系となるように、第２光学系を変更してもよい。
【００１８】
この観点によれば、増幅器を増設する場合に、既に設置された増幅器を動かさなくても済むことが期待できる。従って、既に設置された機器をアライメントし直す必要性が低減され得る。
【００１９】
本開示の別の観点によれば、レーザ装置が、複数の第１の電気接続端子を有する増幅器と、複数の第２の電気接続端子を有して増幅器に電力を供給する電源装置と、増幅器及び電源装置が配置されるフレームと、を備えてもよい。
【００２０】
この観点において、フレームは、増幅器が当該フレームの第１の位置に、電源装置が当該フレームの第２の位置にそれぞれ配置されるように、増幅器及び電源装置を位置決めする位置決め機構を有してもよい。また、フレームは、増幅器が第１の位置に配置されているときに複数の第１の電気接続端子とそれぞれ接触するように配置された複数の第３の電気接続端子を有してもよい。また、フレームは、電源装置が第２の位置に配置されているときに複数の第２の電気接続端子とそれぞれ接触するように配置された複数の第４の電気接続端子を有してもよい。また、フレームは、複数の第３の電気接続端子と複数の第４の電気接続端子とをそれぞれ電気的に接続する複数の導電部材を有してもよい。
【００２１】
この観点によれば、増幅器が当該フレームの第１の位置に、電源装置が当該フレームの第２の位置にそれぞれ配置されたときに、増幅器が電源装置に電気的に接続され得る。これにより、増幅器と電源装置とをフレームに配置するだけで電気的な接続が可能となるので、大型で重い増幅器及び電源装置の移動やアライメントの困難性を低減し得る。
【００２２】
２．ＥＵＶ光生成システムの全体説明
２．１  構成
図１に、例示的なＬＰＰ式のＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示す。ＥＵＶ光生成装置１は、少なくとも１つのレーザ装置３と共に用いられてもよい。本願においては、ＥＵＶ光生成装置１及びレーザ装置３を含むシステムを、ＥＵＶ光生成システム１１と称する。図１に示し、かつ、以下に詳細に説明するように、ＥＵＶ光生成装置１は、ＥＵＶチャンバ２、ターゲット供給部２６を含んでもよい。ＥＵＶチャンバ２は、密閉可能であってもよい。ターゲット供給部２６は、例えば、ＥＵＶチャンバ２の壁を貫通するように取り付けられてもよい。ターゲット供給部２６から供給されるターゲット物質の材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、又は、それらの内のいずれか２つ以上の組合せを含んでもよいが、これらに限定されない。
【００２３】
ＥＵＶチャンバ２の壁には、少なくとも１つの貫通孔が設けられていてもよい。その貫通孔には、ウインドウ２１が設けられてもよく、ウインドウ２１をレーザ装置３から出力されるパルスレーザ光３２が透過してもよい。ＥＵＶチャンバ２の内部には、例えば、回転楕円面形状の反射面を有するＥＵＶ集光ミラー２３が配置されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、第１及び第２の焦点を有し得る。ＥＵＶ集光ミラー２３の表面には、例えば、モリブデンとシリコンとが交互に積層された多層反射膜が形成されていてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、例えば、その第１の焦点がプラズマ生成領域２５に位置し、その第２の焦点が中間集光点（ＩＦ）２９２に位置するように配置されるのが好ましい。ＥＵＶ集光ミラー２３の中央部には貫通孔２４が設けられていてもよく、貫通孔２４をパルスレーザ光３３が通過してもよい。
【００２４】
ＥＵＶ光生成装置１は、ＥＵＶ光生成制御部５、ターゲットセンサ４等を含んでもよい。ターゲットセンサ４は、撮像機能を有してもよく、ターゲット２７の存在、軌跡、位置、速度等を検出するよう構成されてもよい。
【００２５】
また、ＥＵＶ光生成装置１は、ＥＵＶチャンバ２の内部と露光装置６の内部とを連通させる接続部２９を含んでもよい。接続部２９内部には、アパーチャが形成された壁２９１が設けられてもよい。壁２９１は、そのアパーチャがＥＵＶ集光ミラー２３の第２の焦点位置に位置するように配置されてもよい。
【００２６】
さらに、ＥＵＶ光生成装置１は、レーザ光進行方向制御部３４、レーザ光集光ミラー２２、ターゲット２７を回収するためのターゲット回収部２８等を含んでもよい。レーザ光進行方向制御部３４は、レーザ光の進行方向を規定するための光学素子と、この光学素子の位置、姿勢等を調整するためのアクチュエータとを備えてもよい。
【００２７】
２．２  動作
図１を参照に、レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３１は、レーザ光進行方向制御部３４を経て、パルスレーザ光３２としてウインドウ２１を透過してＥＵＶチャンバ２内に入射してもよい。パルスレーザ光３２は、少なくとも１つのレーザ光経路に沿ってＥＵＶチャンバ２内を進み、レーザ光集光ミラー２２で反射されて、パルスレーザ光３３として少なくとも１つのターゲット２７に照射されてもよい。
【００２８】
ターゲット供給部２６は、ターゲット２７をＥＵＶチャンバ２内部のプラズマ生成領域２５に向けて出力するよう構成されてもよい。ターゲット２７には、パルスレーザ光３３に含まれる少なくとも１つのパルスが照射されてもよい。パルスレーザ光が照射されたターゲット２７はプラズマ化し、そのプラズマから放射光２５１が放射され得る。ＥＵＶ集光ミラー２３は、放射光２５１に含まれるＥＵＶ光を、他の波長域の光に比べて高い反射率で反射してもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３によって反射されたＥＵＶ光を含む反射光２５２は、中間集光点２９２で集光され、露光装置６に出力されてもよい。なお、１つのターゲット２７に、パルスレーザ光３３に含まれる複数のパルスが照射されてもよい。
【００２９】
ＥＵＶ光生成制御部５は、ＥＵＶ光生成システム１１全体の制御を統括するよう構成されてもよい。ＥＵＶ光生成制御部５は、ターゲットセンサ４によって撮像されたターゲット２７のイメージデータ等を処理するよう構成されてもよい。また、ＥＵＶ光生成制御部５は、例えば、ターゲット２７を出力するタイミングの制御、ターゲット２７の出力方向の制御の内少なくとも一つを制御するよう構成されてもよい。さらに、ＥＵＶ光生成制御部５は、例えば、レーザ装置３の発振タイミングの制御、パルスレーザ光３２の進行方向の制御、パルスレーザ光３３の集光位置の制御の内少なくとも一つを制御するよう構成されてもよい。上述の様々な制御は単なる例示に過ぎず、必要に応じて他の制御が追加されてもよい。
【００３０】
３．増幅器を増設可能なレーザ装置
３．１  全体構成
図２は、第１の実施形態に係るＥＵＶ光生成システム１１の側面図である。図２において、一部の構成要素についてはそれらの断面が示されている。図３は、図２に示されるレーザ装置３の平面図である。図３において、電源装置の図示は省略され、電源装置の下方に設けられたチャンバ、入射光学系及び出射光学系等が示されている。
【００３１】
以下の説明において、Ｚ方向は重力方向に平行な方向であってもよい。Ｙ方向は、レーザ装置３において発振器ＯＳＣから第１の入射光学系ＩＳ１に向けてパルスレーザ光が出射される第１方向であってもよい。Ｘ方向は、レーザ装置３において第３出射光学系ＯＳ３ａから第４入射光学系ＩＳ４ａに向けてパルスレーザ光が出射される第２方向であってもよい。第１方向と実質的に逆方向である−Ｙ方向は、レーザ装置３において第４入射光学系ＩＳ４ａから第４チャンバＣ４に向けてパルスレーザ光が出射される第３方向であってもよい。Ｚ方向、Ｙ方向及びＸ方向は、互いに直交していてもよい。
【００３２】
露光装置６及びＥＵＶチャンバ２は、クリーンルームを含む第２フロアに位置していてもよい。レーザ光進行方向制御部３４の少なくとも一部及びレーザ装置３は、第２フロアの階下の第１フロアに位置していてもよい。
【００３３】
図３に示されるように、レーザ装置３は、発振器ＯＳＣと、第１チャンバＣ１と、第２チャンバＣ２と、第３チャンバＣ３と、第４チャンバＣ４と、を含んでいてもよい。第１〜第４チャンバＣ１〜Ｃ４の各々のＹ軸方向の両側には、入射光学系及び出射光学系が配置されてもよい。入射光学系及び出射光学系の構成例については図５を参照しながら後述する。それぞれの入射光学系は、チャンバにパルスレーザ光を入射させるように構成されていてもよい。それぞれの出射光学系は、チャンバから出射したパルスレーザ光を所定方向に出射させるように構成されていてもよい。
【００３４】
発振器ＯＳＣは、パルスレーザ光をＹ方向に出力してもよい。パルスレーザ光は、第１の入射光学系ＩＳ１、第１チャンバＣ１、第１の出射光学系ＯＳ１、第３の入射光学系ＩＳ３、第３チャンバＣ３、第３の出射光学系ＯＳ３ａの順でほぼＹ方向に進んでもよい。第３の出射光学系ＯＳ３ａは、第３チャンバＣ３から出射したパルスレーザ光をＸ方向に出射させてもよい。第４の入射光学系ＩＳ４ａは、第３の出射光学系ＯＳ３ａから出射したパルスレーザ光を−Ｙ方向に出射させてもよい。パルスレーザ光は、第４の入射光学系ＩＳ４ａ、第４チャンバＣ４、第４の出射光学系ＯＳ４、第２の入射光学系ＩＳ２、第２チャンバＣ２、第２の出射光学系ＯＳ２の順でほぼ−Ｙ方向に進んでもよい。
【００３５】
それぞれのチャンバは、増幅領域を有する増幅器を構成し、パルスレーザ光を通過させるときにそれぞれパルスレーザ光を増幅してもよい。増幅器の例としては、三軸直交型の増幅器が挙げられ得る。三軸直交型の増幅器は、増幅媒体となるレーザガスの流れる方向と、レーザガスを励起するための放電方向と、増幅されたパルスレーザ光の取り出し方向とが、ほぼ直交する増幅器を意味し得る。
第２の出射光学系ＯＳ２は、パルスレーザ光をレーザ光進行方向制御部３４に向けて−Ｙ方向に出射させてもよい。レーザ光進行方向制御部３４は、第２フロアに設けられたＥＵＶチャンバ２にパルスレーザ光を入射させてもよい。
【００３６】
３．２  フレームへの位置決め
レーザ光進行方向制御部３４の少なくとも一部及び発振器ＯＳＣは、フレームＦ０に位置決めされていてもよい。発振器ＯＳＣは、移動機構Ｒ０ａ及び移動機構Ｒ０ｂ（図３参照）によって、フレームＦ０に対して移動可能に構成されてもよい。発振器ＯＳＣをメンテナンスするための取り出し方向が、図３に矢印Ｘ１で示されている。レーザ光進行方向制御部３４の少なくとも一部は、移動機構Ｒ０ｃ及び移動機構Ｒ０ｄによって、フレームＦ０に対して移動可能に構成されてもよい。レーザ光進行方向制御部３４の少なくとも一部をメンテナンスするための取り出し方向が、図３に矢印Ｘ２で示されている。
【００３７】
第１チャンバＣ１、第１の入射光学系ＩＳ１及び第１の出射光学系ＯＳ１は、フレームＦ１１に位置決めされていてもよい。第１チャンバＣ１は、移動機構Ｒ１ａ及び移動機構Ｒ１ｂによって、フレームＦ１１に対して移動可能に構成されてもよい。第１チャンバＣ１をメンテナンスするための取り出し方向が、図３に矢印Ｘ３で示されている。
【００３８】
第２チャンバＣ２、第２の入射光学系ＩＳ２及び第２の出射光学系ＯＳ２は、フレームＦ１２に位置決めされていてもよい。第２チャンバＣ２は、移動機構Ｒ２ａ及び移動機構Ｒ２ｂによって、フレームＦ１２に対して移動可能に構成されてもよい。第２チャンバＣ２をメンテナンスするための取り出し方向が、図３に矢印Ｘ４で示されている。
【００３９】
第３チャンバＣ３、第３の入射光学系ＩＳ３及び第３の出射光学系ＯＳ３ａは、フレームＦ２３に位置決めされていてもよい。第３チャンバＣ３は、移動機構Ｒ３ａ及び移動機構Ｒ３ｂによって、フレームＦ２３に対して移動可能に構成されてもよい。第３チャンバＣ３をメンテナンスするための取り出し方向が、図３に矢印Ｘ５で示されている。
【００４０】
第４チャンバＣ４、第４の入射光学系ＩＳ４ａ及び第４の出射光学系ＯＳ４は、フレームＦ２４に位置決めされていてもよい。第４チャンバＣ４は、移動機構Ｒ４ａ及び移動機構Ｒ４ｂによって、フレームＦ２４に対して移動可能に構成されてもよい。第４チャンバＣ４をメンテナンスするための取り出し方向が、図３に矢印Ｘ６で示されている。
【００４１】
第１〜第４チャンバＣ１〜Ｃ４の各々の上方には、電源装置が配置されてもよい。図２には、第２チャンバＣ２に電力を供給する電源装置ＰＳ２がフレームＦ１２に位置決めされ、第４チャンバＣ４に電力を供給する電源装置ＰＳ４がフレームＦ２４に位置決めされた様子が示されている。電源装置ＰＳ２は、移動機構Ｒ２ｃ及び移動機構Ｒ２ｄによって、フレームＦ１２に対して移動可能に構成されてもよい。電源装置ＰＳ４は、移動機構Ｒ４ｃ及び移動機構Ｒ４ｄによって、フレームＦ２４に対して移動可能に構成されてもよい。第１チャンバＣ１に電力を供給する電源装置（図示せず）及び第３チャンバＣ３に電力を供給する電源装置（図示せず）も、同様に配置されてよい。
【００４２】
３．３  フレーム同士の固定
第１チャンバＣ１を位置決めするフレームＦ１１と第２チャンバＣ２を位置決めするフレームＦ１２とは、分離可能に構成されていてもよい。但し、フレームＦ１１とフレームＦ１２とは、固定機構Ｍ１１ａ及び固定機構Ｍ１１ｂによって互いに固定されていてもよい。本開示においては、互いに固定されたフレームＦ１１とフレームＦ１２とを併せて、第１フレームと称する。
【００４３】
第３チャンバＣ３を位置決めするフレームＦ２３と第４チャンバＣ４を位置決めするフレームＦ２４とは、分離可能に構成されていてもよい。但し、フレームＦ２３とフレームＦ２４とは、固定機構Ｍ２２ａ及び固定機構Ｍ２２ｂによって互いに固定されていてもよい。本開示においては、互いに固定されたフレームＦ２３とフレームＦ２４とを併せて、第２フレームと称する。
【００４４】
レーザ光進行方向制御部３４の少なくとも一部及び発振器ＯＳＣを位置決めするフレームＦ０と、フレームＦ１１とフレームＦ１２とを併せた第１フレームとは、分離可能に構成されていてもよい。但し、フレームＦ０と第１フレームとは、固定機構Ｍ０１ａ及び固定機構Ｍ０１ｂによって互いに固定されていてもよい。
【００４５】
フレームＦ１１とフレームＦ１２とを併せた第１フレームと、フレームＦ２３とフレームＦ２４とを併せた第２フレームとは、分離可能に構成されていてもよい。但し、第１フレームと第２フレームとは、固定機構Ｍ１２ａ及び固定機構Ｍ１２ｂによって互いに固定されていてもよい。
【００４６】
フレームＦ０の底面には、複数の小ダンパーＳＤ０１、ＳＤ０２及びＳＤ０３が取り付けられていてもよい。フレームＦ１１とフレームＦ１２とを併せた第１フレームの底面には、複数の小ダンパーＳＤ１１、ＳＤ１２及びＳＤ１３が取り付けられていてもよい。フレームＦ２３とフレームＦ２４とを併せた第２フレームの底面には、複数の小ダンパーＳＤ２１、ＳＤ２２及びＳＤ２３が取り付けられていてもよい。
【００４７】
フレームＦ０、第１フレーム及び第２フレームは、互いに固定され、一体化されているので、この一体化されたフレームＦ０、第１フレーム及び第２フレームの底面に、複数の大ダンパーＢＤ１、ＢＤ２及びＢＤ３が取り付けられていてもよい。これらのダンパーは、フレームを弾性的に支持し、レーザ装置３において生じた振動を吸収する機能を有してもよい。これらのダンパーは、エアーサスペンション装置によって構成されてもよい。
【００４８】
図４Ａは、図３に示される固定機構Ｍ１２ｂの拡大平面図である。図４Ｂは、図４Ａの内部透視図であり、フレームＦ１２及びＦ２４及び固定機構Ｍ１２ｂの一部の断面を示す。フレームＦ１２及びＦ２４は、四角柱状のパイプを含んでもよい。固定機構Ｍ１２ｂは、ボルト３５と、ナット３６と、ワッシャー３７とを含んでもよい。
【００４９】
ボルト３５は、フレームＦ１２及びＦ２４の接合面に形成された貫通孔を、フレームＦ１２の内部からフレームＦ２４の内部まで貫通してもよい。ボルト３５は、フレームＦ１２の内部においてワッシャー３７を貫通し、フレームＦ２４の内部においてナット３６にねじ込まれていてもよい。固定機構Ｍ１２ｂに限らず、他の固定機構Ｍ０１ａ、Ｍ０１ｂ、Ｍ１１ａ、Ｍ１１ｂ、Ｍ１２ａ、Ｍ２２ａ、Ｍ２２ｂも同様でよい。これらの固定機構は、図３に示される箇所だけでなく、フレーム同士を固定するために他の箇所にも配置されることができる。
【００５０】
３．４  入射光学系及び出射光学系
図５は、図３に示されるレーザ装置３における入射光学系及び出射光学系の具体例を示す平面図である。第１の出射光学系ＯＳ１は、ビームスプリッタ４３と、光センサ４４と、高反射ミラー４５とを含んでもよい。ビームスプリッタ４３は、第１チャンバＣ１から出射したパルスレーザ光の一部を高い反射率で反射し、残りの一部を透過させてもよい。高反射ミラー４５は、ビームスプリッタ４３によって高い反射率で反射されたパルスレーザ光を、高い反射率で反射することにより、第１の出射光学系ＯＳ１から出射させてもよい。高反射ミラー４５によって反射されて出射するパルスレーザ光の進行方向は、第１チャンバＣ１から出射したパルスレーザ光の進行方向と平行であってもよい。このパルスレーザ光の進行方向は、Ｙ方向であってよい。
【００５１】
光センサ４４は、ビームスプリッタ４３を透過したパルスレーザ光の一部を検出してもよい。光センサ４４は、例えば、パルスレーザ光のエネルギーを検出してもよい。光センサ４４は、エネルギーの検出に加えて、又はその代わりに、パルスレーザ光の位置及び方向、あるいは、パルスレーザ光の波面を検出してもよい。光センサ４４は、検出結果を制御部５１に出力してもよい。制御部５１は、ＥＵＶ光生成制御部５に含まれるものでもよい。
【００５２】
第１の入射光学系ＩＳ１は、第１調節ミラー４１と第２調節ミラー４２とを含むビーム調節器を構成してもよい。第１調節ミラー４１は、発振器ＯＳＣなどの外部機器から出力されたパルスレーザ光を高い反射率で反射してもよい。第２調節ミラー４２は、第１調節ミラー４１によって反射されたパルスレーザ光を高い反射率で反射することにより、第１の入射光学系ＩＳ１から第１チャンバＣ１内に入射させてもよい。第２調節ミラー４２によって反射されて第１チャンバＣ１内に入射するパルスレーザ光の進行方向は、外部機器から出力されたパルスレーザ光の進行方向とほぼ平行であってもよい。このパルスレーザ光の進行方向は、Ｙ方向であってよい。
【００５３】
第１調節ミラー４１と第２調節ミラー４２との各々にはアクチュエータが設けられてもよい。これらのアクチュエータが、制御部５１によって制御されることにより、それぞれのミラーによって反射されるパルスレーザ光が調節されてもよい。第１調節ミラー４１と第２調節ミラー４２とは、パルスレーザ光の光路を調節してもよい。第１調節ミラー４１と第２調節ミラー４２とは、パルスレーザ光の光路の調節に加えて、又はその代わりに、パルスレーザ光の波面を調節してもよい。制御部５１は、光センサ４４から出力された検出結果に基づいて、第１調節ミラー４１と第２調節ミラー４２との各々のアクチュエータを制御してもよい。
【００５４】
第２及び第４の出射光学系ＯＳ２及びＯＳ４は、第１の出射光学系ＯＳ１とＹ方向において逆向きに配置される他は、第１の出射光学系ＯＳ１と同一の構成を有してもよい。第３の出射光学系ＯＳ３ａは、第１の出射光学系ＯＳ１と同様に、ビームスプリッタ４３と、光センサ４４と、高反射ミラー４５とを含んでもよい。
【００５５】
第３の出射光学系ＯＳ３ａは、さらに、高反射ミラー４６を含んでもよい。高反射ミラー４６は、高反射ミラー４５によってＹ方向に反射されたパルスレーザ光を、Ｘ方向に向けて反射することにより、第３の出射光学系ＯＳ３ａから出射させてもよい。第３の出射光学系ＯＳ３ａから出射したパルスレーザ光の光路に、第４の入射光学系ＩＳ４ａが配置されていてもよい。なお、第３の出射光学系ＯＳ３ａにおいて、高反射ミラー４６は、ビームスプリッタ４３、光センサ４４及び高反射ミラー４５とは別の筐体に配置されてもよい。
【００５６】
第２の入射光学系ＩＳ２が第１の入射光学系ＩＳ１とＹ方向において逆向きに配置される他は、第２及び第３の入射光学系ＩＳ２及びＩＳ３は、第１の入射光学系ＩＳ１と同一の構成を有してもよい。第４の入射光学系ＩＳ４ａは、第１の入射光学系ＩＳ１と同様に、第１調節ミラー４１と第２調節ミラー４２とを含んでもよい。
【００５７】
第４の入射光学系ＩＳ４ａは、さらに、高反射ミラー４０を含んでもよい。高反射ミラー４０は、第３の出射光学系ＯＳ３ａの高反射ミラー４６によってＸ方向に反射されたパルスレーザ光を、−Ｙ方向に向けて反射することにより、第１調節ミラー４１に入射させてもよい。第４の入射光学系ＩＳ４ａは、パルスレーザ光を−Ｙ方向に向けて第４チャンバＣ４内に入射させてもよい。なお、第４の入射光学系ＩＳ４ａにおいて、高反射ミラー４０は、第１調節ミラー４１及び第２調節ミラー４２とは別の筐体に配置されてもよい。
【００５８】
以上のように、第３の出射光学系ＯＳ３ａは、高反射ミラー４６を備える他は、第１、第２、第４の出射光学系ＯＳ１、ＯＳ２、ＯＳ４とほぼ同様の構成を有してもよい。第３の出射光学系ＯＳ３ａは、本開示における第１光学系として機能してもよい。また、第１の出射光学系ＯＳ１を収容する筐体は、第３の出射光学系ＯＳ３ａを収容する筐体と同一の形状を有してもよい。すなわち、第１の出射光学系ＯＳ１を収容する筐体には、第３の出射光学系ＯＳ３ａの高反射ミラー４６の位置に相当する位置に、ミラー固定機構４６ａが設けられていてもよい。第２、第４の出射光学系ＯＳ２、ＯＳ４を収容する筐体も、同様でよい。
【００５９】
また、第４の入射光学系ＩＳ４ａは、高反射ミラー４０を備える他は、第１、第２、第３の入射光学系ＩＳ１、ＩＳ２、ＩＳ３とほぼ同様の構成を有してもよい。第４の入射光学系ＩＳ４ａは、本開示における第２光学系として機能してもよい。また、第２の入射光学系ＩＳ２を収容する筐体は、第４の入射光学系ＩＳ４ａを収容する筐体と同一の形状を有してもよい。すなわち、第２の入射光学系ＩＳ２を収容する筐体には、第４の入射光学系ＩＳ４ａの高反射ミラー４０の位置に相当する位置に、ミラー固定機構４０ａが設けられていてもよい。第１、第３の入射光学系ＩＳ１、ＩＳ３を収容する筐体も、同様でよい。
【００６０】
制御部５２、５３、５４の構成及び機能は、制御部５１の構成及び機能と同様でよい。
【００６１】
３．５  増幅器の増設
図６Ａ及び図６Ｂは、図３に示されるレーザ装置３における増幅器の増設例を示す平面図である。図６Ａに示されるレーザ装置３に対し、図６Ｂは２つの増幅器が増設されたレーザ装置３ａを示している。
【００６２】
図６Ａに示されるレーザ装置３と図６Ｂに示されるレーザ装置３ａとで、フレームＦ０、Ｆ１１、Ｆ１２、Ｆ２３及びＦ２４の構成は同一でよい。発振器ＯＳＣ及びレーザ光進行方向制御部３４の構成及び配置も同一でよい。第１〜第４チャンバＣ１〜Ｃ４の構成及び配置も同一でよい。第１、第２、第４の出射光学系ＯＳ１、ＯＳ２、ＯＳ４の構成及び配置も同一でよい。第１、第２、第３の入射光学系ＩＳ１、ＩＳ２、ＩＳ３の構成及び配置も同一でよい。
【００６３】
図６Ａに示される第３の出射光学系ＯＳ３ａは、図６Ｂにおいては、高反射ミラー４６（図５参照）を有しない第３の出射光学系ＯＳ３に変更されてもよい。すなわち、図６Ｂにおける第３の出射光学系ＯＳ３は、第１、第２、第４の出射光学系ＯＳ１、ＯＳ２、ＯＳ４と同一の構成を有してもよい。あるいは、図６Ｂにおける第３の出射光学系ＯＳ３は、図６Ａにおける第３の出射光学系ＯＳ３ａの高反射ミラー４６が、第３チャンバＣ３と第４チャンバＣ４との間のパルスレーザ光の光路外に移動させられたものでもよい。第３の出射光学系ＯＳ３ａは、本開示における第１光学系として機能してもよい。
【００６４】
図６Ａに示される第４の入射光学系ＩＳ４ａは、図６Ｂにおいては、高反射ミラー４０（図５参照）を有しない第４の入射光学系ＩＳ４に変更されてもよい。すなわち、図６Ｂにおける第４の入射光学系ＩＳ４は、第１、第２、第３の入射光学系ＩＳ１、ＩＳ２、ＩＳ３と同一の構成を有してもよい。あるいは、図６Ｂにおける第４の入射光学系ＩＳ４は、図６Ａにおける第４の入射光学系ＩＳ４ａの高反射ミラー４０が、第３チャンバＣ３と第４チャンバＣ４との間のパルスレーザ光の光路外に移動させられたものでもよい。第４の入射光学系ＩＳ４ａは、本開示における第２光学系として機能してもよい。
【００６５】
図６Ｂにおいては、図６Ａに示される構成に加えて、フレームＦ３５及びＦ３６が追加されてもよい。フレームＦ３５には、第５チャンバＣ５、第５の入射光学系ＩＳ５、第５の出射光学系ＯＳ５ａ、及び、第５チャンバＣ５に電力を供給する電源装置（図示せず）が位置決めされてもよい。フレームＦ３６には、第６チャンバＣ６、第６の入射光学系ＩＳ６ａ、第６の出射光学系ＯＳ６、及び、第６チャンバＣ６に電力を供給する電源装置（図示せず）が位置決めされてもよい。
【００６６】
フレームＦ３５及びＦ３６は、フレームＦ１１及びＦ１２や、フレームＦ２３及びＦ２４と同様の構成でもよい。フレームＦ３５とフレームＦ３６とは、固定機構（図示せず）によって互いに固定されていてもよい。本開示においては、互いに固定されたフレームＦ３５とフレームＦ３６とを併せて、第３フレームと称する。第３フレームの底面には、複数の小ダンパーが取り付けられていてもよい。図６Ａ及び図６Ｂにおいては、小ダンパーの図示は省略されている。
【００６７】
フレームＦ２３とフレームＦ２４とを併せた第２フレームと、フレームＦ３５とフレームＦ３６とを併せた第３フレームとは、分離可能に構成されていてもよい。但し、第２フレームと第３フレームとは、固定機構（図示せず）によって互いに固定されていてもよい。なお、図６Ａに示される大ダンパーＢＤ２及びＢＤ３は、図６ＢにおいてはそれぞれフレームＦ３５及びフレームＦ３６の底面に移動されていてもよい。
【００６８】
第５チャンバＣ５及び第６チャンバＣ６は、第２チャンバＣ２や第４チャンバＣ４と同様の構成でもよい。なお、第２チャンバＣ２や第４チャンバＣ４は、第１、第３、第５、第６チャンバＣ１、Ｃ３、Ｃ５、Ｃ６において順次増幅されたパルスレーザ光のエネルギーに耐え得る構造を有していることが望ましい。
【００６９】
第５の入射光学系ＩＳ５は、第１、第２、第３の入射光学系ＩＳ１、ＩＳ２、ＩＳ３と同一の構成を有してもよい。
第６の出射光学系ＯＳ６は、第１、第２、第４の出射光学系ＯＳ１、ＯＳ２、ＯＳ４と同一の構成を有してもよい。
【００７０】
第５の出射光学系ＯＳ５ａは、図５及び図６Ａに示される第３の出射光学系ＯＳ３ａと同一の構成を有してもよい。すなわち、第５の出射光学系ＯＳ５ａは、第１、第２、第４、第６の出射光学系ＯＳ１、ＯＳ２、ＯＳ４、ＯＳ６と同一の構成を有する光学系に、高反射ミラー４６（図５参照）を追加したものでもよい。第５の出射光学系ＯＳ５ａに含まれる高反射ミラー４６は、図６Ａに示される第３の出射光学系ＯＳ３ａから取り除いた高反射ミラー４６又は第４の入射光学系ＩＳ４ａから取り除いた高反射ミラー４０を再利用したものでもよい。第５の出射光学系ＯＳ５ａは、本開示における第３光学系として機能してもよい。
【００７１】
第６の入射光学系ＩＳ６ａは、図５及び図６Ａに示される第４の入射光学系ＩＳ４ａと同一の構成を有してもよい。すなわち、第６の入射光学系ＩＳ６ａは、第１、第２、第３、第５の入射光学系ＩＳ１、ＩＳ２、ＩＳ３、ＩＳ５と同一の構成を有する光学系に、高反射ミラー４０（図５参照）を追加したものでもよい。第６の入射光学系ＩＳ６ａに含まれる高反射ミラー４０は、図６Ａに示される第４の入射光学系ＩＳ４ａから取り除いた高反射ミラー４０又は第３の出射光学系ＯＳ３ａから取り除いた高反射ミラー４６を再利用したものでもよい。第６の入射光学系ＩＳ６ａは、本開示における第４光学系として機能してもよい。
【００７２】
以上の構成によれば、第３フレーム及び第３フレームに搭載する部品を追加することにより、増幅器の増設が可能となる。このとき、第１フレーム、第２フレーム及びこれらのフレームに搭載した部品の構成及び配置は、２枚の高反射ミラー４０、４６以外はほとんど変更しなくてもよい。さらに、フレームＦ０及びフレームＦ０に搭載した部品の構成及び配置を変更しなくてもよいので、ＥＵＶチャンバ２（図２参照）などの配置も変更しなくてよい。これにより、既に設置された機器をアライメントし直す必要性が低減され得る。
【００７３】
上述の説明において、第１〜第６チャンバＣ１〜Ｃ６のそれぞれが増幅器を構成していてもよいし、第１〜第６チャンバＣ１〜Ｃ６のうちの１つは、増幅器でなくてもよい。
また、入射光学系及び出射光学系の構成は、上述のものに限定されない。第５及び第６チャンバＣ５及びＣ６を増設する場合に第３出射光学系ＯＳ３ａ及び第４入射光学系ＩＳ４ａを変更する態様も、上述のものに限定されない。
【００７４】
また、第１〜第４チャンバＣ１〜Ｃ４を含むレーザ装置３に第５及び第６チャンバＣ５及びＣ６を増設する場合について説明したが、第１〜第６チャンバＣ１〜Ｃ６を含むレーザ装置３ａに第７及び第８チャンバ（図示せず）を増設する場合も同様でよい。また、第１及び第２チャンバＣ１及びＣ２を含むレーザ装置（図示せず）に第３及び第４チャンバＣ３及びＣ４を増設して、上述のレーザ装置３とする場合も同様でよい。
また、増設の場合に限らず、例えば第１〜第６チャンバＣ１〜Ｃ６を含むレーザ装置３ａから第５及び第６チャンバＣ５及びＣ６を取り除く場合には、上記と逆の手順によることができる。
【００７５】
４．増幅器と電源装置とが接続可能なレーザ装置
４．１  第１の例
図７Ａは、第２の実施形態の第１の例に係るレーザ装置の側面図である。図７Ｂは、図７Ａに示されるレーザ装置の正面図である。図７Ａ及び図７Ｂにおいては、図２及び図３に示されるレーザ装置３に含まれる複数のフレームＦ１１、Ｆ１２、Ｆ２３、Ｆ２４のうちの１つのフレームＦが代表的に示されている。そして、図７Ａ及び図７Ｂにおいては、１つのフレームＦに位置決めされた１つのチャンバＣ、１つの電源装置ＰＳ、１つの入射光学系ＩＳ、１つの出射光学系ＯＳを含む１つの増幅ユニットが代表的に示されている。図２及び図３に示されるレーザ装置３と同様に、第２の実施形態に係るレーザ装置は、図７Ａ及び図７Ｂに示される増幅ユニットを複数含んでいてもよい。
【００７６】
４．１．１  移動機構
フレームＦには、棚板７１及び７２が固定されていてもよい。棚板７１の上の第１の位置にチャンバＣが位置決めされ、チャンバＣと棚板７１との間に移動機構Ｒａ及びＲｂが設けられていてもよい。棚板７１の上には、さらに、支持部ＩＳｂが設けられ、支持部ＩＳｂによって入射光学系ＩＳが支持及び位置決めされてもよい。棚板７１の上には、さらに、支持部ＯＳｂが設けられ、支持部ＯＳｂによって出射光学系ＯＳが支持及び位置決めされてもよい。棚板７２の上の第２の位置に電源装置ＰＳが位置決めされ、電源装置ＰＳと棚板７２との間に移動機構Ｒｃ及びＲｄが設けられていてもよい。
【００７７】
移動機構Ｒａ及びＲｂは、棚板７１に設置されたレールと、チャンバＣに設けられた複数の車輪Ｗ１、Ｗ２、Ｗ４とを含んでもよい。移動機構Ｒｃ及びＲｄは、棚板７２に設置されたレールと、電源装置ＰＳに設けられた複数の車輪Ｗ５、Ｗ６、Ｗ８とを含んでもよい。それぞれの移動機構において、複数の車輪の数は任意でよい。レールに沿って車輪が動くことにより、チャンバＣや電源装置ＰＳが移動可能に構成されてもよい。
【００７８】
あるいは、移動機構は、棚板７１又は７２に設置された車輪（図示せず）と、チャンバＣ又は電源装置ＰＳに設けられたレール（図示せず）とを含んでもよい。この場合、レールに沿って車輪が相対的に動くことによって、チャンバＣ又は電源装置ＰＳが移動可能に構成されてもよい。
【００７９】
移動機構Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃ、Ｒｄは、レールを用いたものでなくてもよく、車輪を用いたものでなくてもよい。移動機構Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃ、Ｒｄにより、チャンバＣ及び電源装置ＰＳは、フレームＦからＸ方向に取り出され得る。逆に、チャンバＣ及び電源装置ＰＳは、移動機構によって−Ｘ方向に移動することにより、フレームＦ内に設置され得る。
【００８０】
４．１．２  電気接続端子
チャンバＣは、その−Ｘ方向の終端に位置する側面に、第１コネクタ６１を備えていてもよい。第１コネクタ６１は、電源装置ＰＳから電力の供給を受けるための複数の第１の電気接続端子を含んでもよい。電源装置ＰＳは、その−Ｘ方向の終端に位置する側面に、第２コネクタ６２を備えていてもよい。第２コネクタ６２は、チャンバＣに電力を供給するための複数の第２の電気接続端子を含んでもよい。
【００８１】
フレームＦの内部空間における−Ｘ方向の終端に、固定板６６及び固定板６７が固定されていてもよい。
【００８２】
固定板６６には、チャンバＣがフレームＦ内に収容されたときにチャンバＣの第１コネクタ６１と対向する位置に、第３コネクタ６３が配置されていてもよい。チャンバＣがフレームＦ内の第１の位置に配置されたとき、第１コネクタ６１と第３コネクタ６３とが接続されてもよい。そして、第１コネクタ６１と第３コネクタ６３とが接続されたときに、チャンバＣの−Ｘ方向への移動が規制され得る。第３コネクタ６３は、複数の第３の電気接続端子を含んでもよい。第１コネクタ６１と第３コネクタ６３とが接続されたときに、複数の第１の電気接続端子と複数の第３の電気接続端子とがそれぞれ接触してもよい。
【００８３】
固定板６７には、電源装置ＰＳがフレームＦ内に収容されたときに電源装置ＰＳの第２コネクタ６２と対向する位置に、第４コネクタ６４が配置されていてもよい。電源装置ＰＳがフレームＦ内の第２の位置に配置されたとき、第２コネクタ６２と第４コネクタ６４とが接続されてもよい。そして、第２コネクタ６２と第４コネクタ６４とが接続されたときに、電源装置ＰＳの−Ｘ方向への移動が規制され得る。第４コネクタ６４は、複数の第４の電気接続端子を含んでもよい。第２コネクタ６２と第４コネクタ６４とが接続されたときに、複数の第２の電気接続端子と複数の第４の電気接続端子とがそれぞれ接触してもよい。複数の電気接続端子の例については、図１３Ａ及び図１３Ｂを参照しながら後述する。
【００８４】
第３コネクタ６３に含まれる複数の第３の電気接続端子と、第４コネクタ６４に含まれる複数の第４の電気接続端子とは、複数の導電部材６５によって、それぞれ電気的に接続されていてもよい。第１コネクタ６１と第３コネクタ６３とが接続され、且つ、第２コネクタ６２と第４コネクタ６４とが接続されると、複数の導電部材６５を介して、電源装置ＰＳからチャンバＣに電力を供給可能となる。
【００８５】
４．１．３  位置決め機構
フレームＦには、そのＸ方向の終端に位置する側面に、固定部材７３及び７４が取り付け可能となっていてもよい。
【００８６】
チャンバＣが第１の位置に配置された状態で、フレームＦに固定部材７３をボルトで取り付けることにより、チャンバＣのＸ方向への移動が規制され得る。従って、Ｘ軸に沿った方向以外の移動を規制する移動機構Ｒａ及びＲｂと、固定板６６に固定された第３コネクタ６３と、固定部材７３とで、チャンバＣを位置決めする位置決め機構が構成されてもよい。
【００８７】
電源装置ＰＳが第２の位置に配置された状態で、フレームＦに固定部材７４をボルトで取り付けることにより、電源装置ＰＳのＸ方向への移動が規制され得る。従って、Ｘ軸に沿った方向以外の移動を規制する移動機構Ｒｃ及びＲｄと、固定板６７に固定された第４コネクタ６４と、固定部材７４とで、電源装置ＰＳを位置決めする位置決め機構が構成されてもよい。
【００８８】
４．２  第２の例
図８Ａは、第２の実施形態の第２の例に係るレーザ装置の側面図である。図８Ｂは、図８Ａに示されるレーザ装置の正面図である。図８Ａ及び図８Ｂにおいても、１つのフレームＦ及び１つの増幅ユニットが代表的に示されている。
【００８９】
第２の例においては、電源装置ＰＳの移動機構Ｒｅ及びＲｆが第１の例における移動機構と異なってもよい。また、棚板７２は設けなくてもよい。図８Ａに示されるように、フレームＦの内部空間におけるＹ方向の終端及び−Ｙ方向の終端に、支持板７５及び７６が固定されていてもよい。支持板７５には移動機構Ｒｅが支持され、支持板７６には移動機構Ｒｆが支持されてもよい。移動機構Ｒｅ及びＲｆは、電源装置ＰＳのＹ方向及び−Ｙ方向の両端において、電源装置ＰＳを支持し、且つ電源装置ＰＳをＸ軸に沿って移動可能としてもよい。
他の点については、第１の例と同様でよい。
【００９０】
４．３  第３の例
図９Ａは、第２の実施形態の第３の例に係るレーザ装置の平面図である。図９Ｃは、第２の実施形態の第３の例に係るレーザ装置の側面図である。図９Ｂ及び図９Ｄは、図９Ｃに示されるレーザ装置の正面図である。図９Ｂは、チャンバＣが位置決めされる直前の状態を示し、図９Ｃ及び図９Ｄは、チャンバＣが位置決めされた状態を示す。図９Ａ〜図９Ｄにおいても、１つのフレームＦ及び１つの増幅ユニットが代表的に示されている。図９Ａにおいて、電源装置ＰＳや、その移動機構及び位置決め機構の図示は省略されている。
【００９１】
第３の例においては、チャンバＣの位置決め機構と、第１コネクタ６１ａ及び第３コネクタ６３ａの配置とが、第１の例におけるものと異なってもよい。第３の例においては、さらに、チャンバＣを昇降させる昇降機構が備えられていてもよい。
【００９２】
４．３．１  位置決め機構
図９Ａ〜図９Ｄに示されるように、チャンバＣを位置決めするために、棚板７１の上に、第１〜第３マウント８１〜８３を含むキネマティックマウントが配置されていてもよい。チャンバＣの底面には、半球状の下端部を有する第１〜第３脚部８４〜８６が配置されていてもよい。
【００９３】
第１マウント８１の上面には、円錐状の窪みが形成されていてもよい。第１マウント８１は、その上面に第１脚部８４が載せられたときに、第１脚部８４を１点に位置決めし得る。第２マウント８２の上面には、Ｙ方向に沿った溝が形成されていてもよい。この溝は、Ｙ方向に垂直な断面がＶ字状であってもよい。第２マウント８２は、その上面に第２脚部８５が載せられたときに、第２脚部８５のＹ軸に沿った方向以外の移動を規制し得る。第３マウント８３の上面は、Ｚ方向に垂直な平面状であってもよい。第３マウント８３は、その上面に第３脚部８６が載せられたときに、第３脚部８６のＺ軸に沿った方向の移動を規制し得る。第１〜第３マウント８１〜８３を含むキネマティックマウントにより、チャンバＣの位置及び姿勢が決定され得る。
【００９４】
４．３．２  昇降機構
図９Ｂ及び図９Ｄに示されるように、チャンバＣは、昇降機構８７及び８８を有していてもよい。昇降機構８７及び８８は、それぞれ車輪Ｗ２及びＷ４とチャンバＣの筐体との間の距離を伸縮させることにより、チャンバＣの筐体を昇降させ得る。昇降機構は、車輪Ｗ２及びＷ４の他に、車輪Ｗ１や図示されない他の車輪にも備えられ得る。
【００９５】
移動機構Ｒａ及びＲｂにより、チャンバＣの第１〜第３脚部８４〜８６がそれぞれ第１〜第３マウント８１〜８３の上方の位置に達するまで、チャンバＣが移動させられてもよい。このとき、昇降機構８７及び８８によってチャンバＣが降下させられることにより、チャンバＣが第１の位置に位置決めされてもよい。
【００９６】
４．３．３  コネクタの配置
図９Ｂ及び図９Ｄに示されるように、チャンバＣの底面に、複数の第１の電気接続端子を含む第１コネクタ６１ａが配置されていてもよい。また、棚板７１の上面に、複数の第３の電気接続端子を含む第３コネクタ６３ａが配置されていてもよい。チャンバＣが第１の位置に位置決めされたときに第１コネクタ６１ａと第３コネクタ６３ａとが接続されるように、第１コネクタ６１ａと第３コネクタ６３ａとが配置されていてもよい。
【００９７】
他の点については、第１の例と同様でよい。あるいは、第３の例において、電源装置ＰＳの移動機構を第２の例のように構成してもよい。電源装置ＰＳの位置決めについては、キネマティックマウントを用いてもよいし、第１の例のように固定部材７４を用いてもよい。
【００９８】
４．４  第４の例
図１０Ａ及び図１０Ｂは、第２の実施形態の第４の例に係るレーザ装置の正面図である。図１０Ａは、チャンバＣが位置決めされる直前の状態を示し、図１０Ｂは、チャンバＣが位置決めされ、且つ、チャンバＣと電源装置ＰＳとが電気的に接続された状態を示す。図１０Ａ及び図１０Ｂにおいても、１つのフレームＦ及び１つの増幅ユニットが代表的に示されている。
【００９９】
第４の例においては、チャンバＣと電源装置ＰＳとを電気的に接続するための構成が、第１の例におけるものと異なってもよい。固定板６６及び固定板６７には、第３コネクタ６３、第４コネクタ６４及び複数の導電部材６５が、設けられていなくてもよい。
【０１００】
チャンバＣは、その−Ｘ方向の終端に位置する側面に、位置決め突起６８を備えていてもよい。図１０Ｂに示されるように、位置決め突起６８が固定板６６に接したときに、チャンバＣの−Ｘ方向への移動が規制され、チャンバＣが第１の位置に位置決めされ得る。チャンバＣは、そのＸ方向の終端に位置する側面に、複数の第１の電気接続端子を含む第１コネクタ６１ｂを備えていてもよい。
【０１０１】
電源装置ＰＳは、その−Ｘ方向の終端に位置する側面に、位置決め突起６９を備えていてもよい。図１０Ｂに示されるように、位置決め突起６９が固定板６７に接したときに、電源装置ＰＳの−Ｘ方向への移動が規制され、電源装置ＰＳが第２の位置に位置決めされ得る。電源装置ＰＳは、そのＸ方向の終端に位置する側面に、複数の第２の電気接続端子を含む第２コネクタ６２ｂを備えていてもよい。
【０１０２】
チャンバＣが第１の位置に配置され、電源装置ＰＳが第２の位置に配置された状態で、図１０Ａに示される接続部材６０がチャンバＣ及び電源装置ＰＳにボルト（図示せず）で取り付けられてもよい。接続部材６０は、複数の第３の電気接続端子を含む第３コネクタ６３ｂと、複数の第４の電気接続端子を含む第４コネクタ６４ｂと、を含んでもよい。接続部材６０がチャンバＣ及び電源装置ＰＳに取り付けられたときに、第１コネクタ６１ｂに第３コネクタ６３ｂが接続され、第２コネクタ６２ｂに第４コネクタ６４ｂが接続されてもよい。第１コネクタ６１ｂと第２コネクタ６２ｂとに対応する位置関係となるように、第３コネクタ６３ｂと第４コネクタ６４ｂとが接続部材６０に配置されていてもよい。
【０１０３】
第３コネクタ６３ｂに含まれる複数の第３の電気接続端子と、第４コネクタ６４ｂに含まれる複数の第４の電気接続端子とは、複数の導電部材６５ｂによって、それぞれ電気的に接続されていてもよい。これにより、電源装置ＰＳからチャンバＣに電力を供給可能となる。
【０１０４】
他の点については、第１の例と同様でよい。あるいは、第４の例において、電源装置ＰＳの移動機構を第２の例のように構成してもよい。あるいは、第４の例において、チャンバＣの位置決め機構を第３の例のように構成し、昇降機構を付加してもよい。あるいは、第１の例のように固定部材を備えてもよい。
【０１０５】
４．５  第５の例
図１１Ａ〜図１１Ｄは、第２の実施形態の第５の例に係るレーザ装置の正面図である。図１１Ａは、チャンバＣをフレームＦに収容するために運搬している状態を示す。図１１Ｂは、チャンバＣがフレームＦに収容される状態を示す。図１１Ｃは、さらに、電源装置ＰＳをフレームＦに収容するために運搬している状態を示す。図１１Ｄは、さらに、電源装置ＰＳがフレームＦに収容される状態を示す。図１１Ａ〜図１１Ｄにおいても、１つのフレームＦ及び１つの増幅ユニットが代表的に示されている。
【０１０６】
第５の例においては、チャンバＣ及び電源装置ＰＳをフレームＦに収容する第１の方法が示される。図１１Ａに示されるように、チャンバＣは、台車ＣＡ１によって運搬されてもよい。台車ＣＡ１には、図９Ａ〜図９Ｄを参照しながら説明した第１〜第３マウント８１〜８３を含むキネマティックマウントが配置されていてもよい。チャンバＣは、台車ＣＡ１による運搬中においては、第１〜第３マウント８１〜８３によって台車ＣＡ１に位置決めされていてもよい。さらに、台車ＣＡ１には、移動機構Ｒｇが配置されていてもよい。
【０１０７】
図１１Ｂに示されるように、チャンバＣを搭載した台車ＣＡ１がフレームＦの脇に到達したとき、作業者は、台車ＣＡ１とフレームＦとの間に接続機構Ｒｈを配置してもよい。接続機構Ｒｈは、台車ＣＡ１に配置されている移動機構Ｒｇと、フレームＦに配置されている移動機構Ｒｂとを接続するものでもよい。
【０１０８】
次に、昇降機構８７及び８８により、チャンバＣの筐体を台車ＣＡ１上で上昇させてもよい。これにより、チャンバＣは第１〜第３マウント８１〜８３による位置決めから開放され、移動機構Ｒｇによって移動可能となり得る。
【０１０９】
次に、移動機構Ｒｇ、接続機構Ｒｈ及び移動機構Ｒｂにより、チャンバＣをフレームＦの内部に移動させてもよい。チャンバＣの第１〜第３脚部８４〜８６がそれぞれフレームＦ内の第１〜第３マウント８１〜８３の上方の位置に達したとき、昇降機構８７及び８８により、チャンバＣの筐体を下降させてもよい。これにより、チャンバＣがフレームＦ内の第１の位置に位置決めされ、且つ、第１コネクタ６１ａと第３コネクタ６３ａとが接続され得る。その後、接続機構Ｒｈを取り外して台車ＣＡ１を退避させてもよい。
【０１１０】
図１１Ｃに示されるように、電源装置ＰＳは、台車ＣＡ２によって運搬されてもよい。台車ＣＡ２は、昇降装置８０を備えていてもよい。さらに、台車ＣＡ２には、移動機構Ｒｇが配置されていてもよい。
【０１１１】
図１１Ｄに示されるように、電源装置ＰＳを搭載した台車ＣＡ２がフレームＦの脇に到達したとき、昇降装置８０により、台車ＣＡ２に搭載された電源装置ＰＳを移動機構Ｒｇとともに上昇させてもよい。移動機構Ｒｇの高さと、フレームＦに配置されている移動機構Ｒｄの高さとが一致するようにしてもよい。次に、作業者は、台車ＣＡ２とフレームＦとの間に接続機構Ｒｈを配置してもよい。接続機構Ｒｈは、台車ＣＡ２に配置されている移動機構Ｒｇと、フレームＦに配置されている移動機構Ｒｄとを接続するものでもよい。
【０１１２】
次に、移動機構Ｒｇ、接続機構Ｒｈ及び移動機構Ｒｄにより、電源装置ＰＳをフレームＦの内部に移動させてもよい。これにより、電源装置ＰＳを第２の位置に収容し、第２コネクタ６２と第４コネクタ６４とを接続させることができる。その後、接続機構Ｒｈを取り外して台車ＣＡ２を退避させてもよい。電源装置ＰＳ又はチャンバＣをフレームＦから取り出すときは、それぞれを収容した上記の手順と逆の手順を行ってもよい。
【０１１３】
他の点については、第３の例と同様でよい。あるいは、第５の例において、チャンバＣの位置決めを第１の例のように行ってもよい。あるいは、第５の例において、電源装置ＰＳの移動機構を第２の例のように構成してもよい。あるいは、第１の例のように固定部材を備えてもよい。あるいは、第５の例において、チャンバＣと電源装置ＰＳとの電気的接続を第４の例のように行ってもよい。
【０１１４】
４．６  第６の例
図１２Ａ及び図１２Ｂは、第２の実施形態の第６の例に係るレーザ装置の正面図である。図１２Ａは、チャンバＣ及び電源装置ＰＳをフレームＦに収容するために運搬している状態を示す。図１２Ｂは、チャンバＣ及び電源装置ＰＳがフレームＦに収容される状態を示す。図１２Ａ及び図１２Ｂにおいても、１つのフレームＦ及び１つの増幅ユニットが代表的に示されている。
【０１１５】
第６の例においては、チャンバＣ及び電源装置ＰＳをフレームＦに収容する第２の方法が示される。図１２Ａに示されるように、チャンバＣの上に電源装置ＰＳが載せられた状態で、これらが台車ＣＡ１によって運搬されてもよい。台車ＣＡ１には、図９Ａ〜図９Ｄを参照しながら説明した第１〜第３マウント８１〜８３を含むキネマティックマウントが配置されていてもよい。さらに、台車ＣＡ１には、移動機構Ｒｇが配置されていてもよい。
【０１１６】
図１２Ｂに示されるように、チャンバＣ及び電源装置ＰＳを搭載した台車ＣＡ１がフレームＦの脇に到達したとき、作業者は、台車ＣＡ１とフレームＦとの間に接続機構Ｒｈを配置してもよい。接続機構Ｒｈは、台車ＣＡ１に配置されている移動機構Ｒｇと、フレームＦに配置されている移動機構Ｒｂとを接続するものでもよい。
【０１１７】
次に、昇降機構８７及び８８により、チャンバＣの筐体及び電源装置ＰＳを台車ＣＡ１上で上昇させてもよい。これにより、チャンバＣ及び電源装置ＰＳは第１〜第３マウント８１〜８３による位置決めから開放され、移動機構Ｒｇによって移動可能となり得る。
【０１１８】
次に、移動機構Ｒｇ、接続機構Ｒｈ及び移動機構Ｒｂにより、チャンバＣ及び電源装置ＰＳをフレームＦの内部に移動させてもよい。チャンバＣの第１〜第３脚部８４〜８６がそれぞれフレームＦ内の第１〜第３マウント８１〜８３の上方の位置に達したとき、昇降機構８７及び８８により、チャンバＣの筐体及び電源装置ＰＳを下降させてもよい。
【０１１９】
これにより、チャンバＣがフレームＦ内の第１の位置に、電源装置ＰＳがチャンバＣの上であってフレームＦ内の第２の位置に、それぞれ配置され得る。このとき、第１コネクタ６１ａ及び第３コネクタ６３ａが接続され、且つ、第２コネクタ６２及び第４コネクタ６４が接続されてもよい。その後、接続機構Ｒｈを取り外して台車ＣＡ１を退避させてもよい。電源装置ＰＳ及びチャンバＣをフレームＦから取り出すときは、これらを収容した上記の手順と逆の手順を行ってもよい。
【０１２０】
他の点については、第３の例と同様でよい。あるいは、第６の例において、チャンバＣと電源装置ＰＳとの電気的接続を第１又は第４の例のように行ってもよい。あるいは、チャンバＣと電源装置ＰＳとの電気的接続は、チャンバＣの上面に設けられたコネクタ（図示せず）と、電源装置ＰＳの底面に設けられたコネクタ（図示せず）とにより、直接なされてもよい。また、第６の例において、チャンバＣの位置決めを第１の例のように行ってもよい。あるいは、第６の例において、昇降装置を有する台車ＣＡ２が用いられてもよい。
【０１２１】
４．７  複数の電気接続端子
図１３Ａ及び図１３Ｂは、それぞれ、複数の電気接続端子の例を示す。図１３Ａに示される複数の電気接続端子の平面的な配置と、図１３Ｂに示される複数の電気接続端子の平面的な配置とは左右対称になっており、互いに対向して配置され嵌まり合う関係を有する。第１コネクタ６１に含まれる複数の電気接続端子が図１３Ａに示されるものであるとすれば、第３コネクタ６３に含まれる複数の電気接続端子は図１３Ｂに示されるものとなる。第４コネクタ６４に含まれる複数の電気接続端子が図１３Ａに示されるものであるとすれば、第２コネクタ６２に含まれる複数の電気接続端子は図１３Ｂに示されるものとなる。
【０１２２】
図１３Ａに示される複数の電気接続端子は、１つの高電圧端子を含む高電圧接続部９１ａと、別の高電圧端子を含む高電圧接続部９２ａと、３つの端子を含む三相電源接続部９３ａと、多数の信号線端子を含む信号線接続部９４ａとを含んでもよい。それぞれの接続部の両端には、位置決めピンが位置していてもよい。
【０１２３】
図１３Ｂに示される複数の電気接続端子は、１つの高電圧端子を含む高電圧接続部９１ｂと、別の高電圧端子を含む高電圧接続部９２ｂと、３つの端子を含む三相電源接続部９３ｂと、多数の信号線端子を含む信号線接続部９４ｂとを含んでもよい。それぞれの接続部の両端には、上述の位置決めピンと嵌まり合うピン穴が位置していてもよい。
【０１２４】
また、例えば図１３Ａに示される複数の電気接続端子がプラグ（オス）であれば、図１３Ｂに示される複数の電気接続端子はソケット（メス）であってもよい。また、一方のコネクタにオスメスが混在していても、他方のコネクタがそれと嵌まり合うようになっていればよい。
【０１２５】
第２の実施形態によれば、チャンバＣ及び電源装置ＰＳをそれぞれの位置に配置し、チャンバＣと電源装置ＰＳとを電気的に接続する作業負荷が軽減され得る。従って、チャンバＣ及び電源装置ＰＳの設置作業が省力化され得る。
【０１２６】
上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
【０１２７】
本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書及び添付の特許請求の範囲に記載される修飾句「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。
【図１】
2015075838.tif 000003
【図２】
2015075838.tif 000004
【図３】
2015075838.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
2015075838.tif 000016
2015075838.tif 000017
2015075838.tif 000018
2015075838.tif 000019
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