(57)【要約】  リップルが生じ難い、弾性波装置を提供する。  圧電基板２上に、ＩＤＴ電極３が設けられている。ＩＤＴ電極３において、複数本の第１の電極指１３と複数本の第２の電極指１４とが間挿し合っている。複数本の第１の電極指１３と複数本の第２の電極指１４とが弾性波伝搬方向に見たときに重なり合っている領域が励振領域である。この励振領域の中央部の両側に音速が中央部よりも低められているエッジ部が構成されている。第１のバスバー１１及び第２のバスバー１２が、内側バスバー部１１Ａ，１２Ａ、中央バスバー部１１Ｂ，１２Ｂ及び外側バスバー部１１Ｃ，１２Ｃを有する。内側バスバー部１１Ａ，１２Ａから第２の電極指１４または第１の電極指１３の先端に向かって延びる第１，第２のオフセット電極指１７，１８が設けられている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられたＩＤＴ電極と、
を備え、
前記ＩＤＴ電極が、
第１のバスバーと、
前記第１のバスバーと隔てられて配置された第２のバスバーと、前記第１のバスバーに基端が接続されており、前記第２のバスバーに向かって延ばされている複数本の第１の電極指と、
前記第２のバスバーに基端が接続されており、前記第１のバスバーに向かって延ばされている複数本の第２の電極指と、
を有し、
前記第１及び第２の電極指の延びる方向を交差幅方向、該交差幅方向と直交する方向を幅方向としたときに、前記交差幅方向において励振領域中央部に比べ、音速が低いエッジ部が励振領域の前記交差幅方向両側に設けられており、
前記第１及び第２のバスバーの少なくとも一方が、前記幅方向に沿って分離配置された複数の開口部を有し、
前記第１及び第２のバスバーの少なくとも一方が、
前記開口部よりも交差幅方向内側に位置している内側バスバー部と、前記開口部が設けられている中央バスバー部と、前記内側バスバー部と前記中央バスバー部を挟んで反対側に位置している外側バスバー部とを有し、
前記第１及び第２のバスバーの少なくとも一方が、前記内側バスバー部から前記第２の電極指の先端または前記第１の電極指の先端に向かって延びているオフセット電極指を有する、弾性波装置。
【請求項２】
前記内側バスバー部の前記交差幅方向に沿う寸法が、前記中央バスバー部の前記交差幅方向に沿う寸法よりも小さい、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記オフセット電極指が設けられている領域における音速が、前記内側バスバー部における音速と、前記オフセット電極指と前記エッジ部との間の領域における音速との間の大きさである、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記内側バスバー部の前記交差幅方向に沿う寸法が、０．１λ以上、０．５λ以下の範囲にある、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記エッジ部における前記第１，第２の電極指の前記幅方向に沿う寸法が、前記第１，第２の電極指の前記励振領域中央部における前記幅方向に沿う寸法よりも大きくされている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記オフセット電極指の前記幅方向に沿う寸法が、前記第１，第２の電極指の前記励振領域中央部における前記第１，第２の電極指の前記幅方向に沿う寸法よりも大きくされている、請求項５に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記エッジ部が、前記第１，第２の電極指の上面または下面に積層された誘電体膜を有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、いわゆるピストンモードを利用した弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１には、ピストンモードを利用した弾性波装置が開示されている。特許文献１に記載の弾性波装置には、励振領域の交差幅方向中央に比べ、励振領域の交差幅方向両側において、音速が相対的に低くなるように、太幅部が設けられている。また、バスバーが、弾性波伝搬方向に沿って分離配置された複数の開口部を有する。このバスバーは、開口部よりも交差幅方向内側に位置している内側バスバー部と、開口部が設けられている中央バスバー部と、中央バスバー部の交差幅方向外側に配置された外側バスバー部とを有している。内側バスバー部は、弾性波伝搬方向に延びる帯状の形状を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】ＷＯ２０１４／１９２７５６  Ａ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、上記太幅部を設けることにより、音速が低いエッジ部が構成されている。また、帯状の内側バスバー部を設けている。それによって、横モードの抑制が図られている。【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の弾性波装置では、共振特性やフィルタ特性上において、所望でないリップルが生じることがあった。【０００６】
本発明の目的は、リップルが生じ難い、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る弾性波装置は、圧電基板と、前記圧電基板上に設けられたＩＤＴ電極と、を備え、前記ＩＤＴ電極が、第１のバスバーと、前記第１のバスバーと隔てられて配置された第２のバスバーと、前記第１のバスバーに基端が接続されており、前記第２のバスバーに向かって延ばされている複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに基端が接続されており、前記第１のバスバーに向かって延ばされている複数本の第２の電極指と、を有し、前記第１及び第２の電極指の延びる方向を交差幅方向、該交差幅方向と直交する方向を幅方向としたときに、前記交差幅方向において励振領域中央部に比べ、音速が低いエッジ部が励振領域の前記交差幅方向両側に設けられており、前記第１及び第２のバスバーの少なくとも一方が、前記幅方向に沿って分離配置された複数の開口部を有し、前記第１及び第２のバスバーの少なくとも一方が、前記開口部よりも交差幅方向内側に位置している内側バスバー部と、前記開口部が設けられている中央バスバー部と、前記内側バスバー部と前記中央バスバー部を挟んで反対側に位置している外側バスバー部とを有し、前記第１及び第２のバスバーの少なくとも一方が、前記内側バスバー部から前記第２の電極指の先端または前記第１の電極指の先端に向かって延びているオフセット電極指を有する。【０００８】
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、前記内側バスバー部の前記交差幅方向に沿う寸法が、前記中央バスバー部の前記交差幅方向に沿う寸法よりも小さい。この場合には、内側バスバー部に閉じこもる励振モードが現れやすいが、本発明に従って、リップルを効果的に抑圧することができる。【０００９】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記オフセット電極指が設けられている領域における音速が、前記内側バスバー部における音速と、前記オフセット電極指と前記エッジ部との間の領域における音速との間の大きさである。この場合には、リップルをより一層効果的に抑圧することができる。【００１０】
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記内側バスバー部の前記交差幅方向に沿う寸法が、０．１λ以上、０．５λ以下の範囲にある。この場合には、内側バスバー部に閉じこもる励振モードが生じがちであるが、本発明に従って、効果的にリップルを低減することができる。また、横モードもより一層確実に抑制することができる。【００１１】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記エッジ部における前記第１，第２の電極指の前記幅方向に沿う寸法が、前記第１，第２の電極指の前記励振領域中央部における前記幅方向に沿う寸法よりも大きくされている。この場合には、エッジ部を容易に形成することができる。【００１２】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記オフセット電極指の前記幅方向に沿う寸法が、前記第１，第２の電極指の前記励振領域中央部における前記第１，第２の電極指の前記幅方向に沿う寸法よりも大きくされている。この場合には、エッジ部で足りない音速低下分を補うことができる。【００１３】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記エッジ部が、前記第１，第２の電極指の上面または下面に積層された誘電体膜を有する。この場合には、第１，第２の電極指の形成が容易である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る弾性波装置によれば、リップルを効果的に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置のＩＤＴ電極の構造を示す平面図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の位相特性を示す図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置のリターンロス特性を示す図である。
【図５】図５は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の電極構造を示す模式的平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１７】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【００１８】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置のＩＤＴ電極の構造を示す平面図であり、図２は、第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【００１９】
図２に示すように、弾性波装置１は、圧電基板２を有する。圧電基板２は、圧電単結晶や圧電セラミックスからなる。圧電基板２上に、ＩＤＴ電極３が設けられている。図２では、ＩＤＴ電極３の形成されている位置のみを模式的に示す。
【００２０】
ＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向両側に反射器４，５が設けられている。弾性波装置１は、上記構造を有する１ポート型弾性波共振子である。もっとも、本発明に係る弾性波装置は、弾性波共振子に限らず、弾性波フィルタなどの他の弾性波装置であってもよい。
【００２１】
図１を参照してＩＤＴ電極３を説明する。
【００２２】
ＩＤＴ電極３は、互いに隔てられて配置された第１，第２のバスバー１１，１２を有する。第１のバスバー１１及び第２のバスバー１２は、弾性波伝搬方向と平行に延びている。
【００２３】
第１のバスバー１１に、複数本の第１の電極指１３の基端が接続されている。複数本の第１の電極指１３は、第１のバスバー１１から第２のバスバー１２に向かって延ばされている。すなわち、弾性波伝搬方向と直交する方向に、複数本の第１の電極指１３が延ばされている。
【００２４】
他方、複数本の第２の電極指１４の基端が、第２のバスバー１２に接続されている。複数本の第２の電極指１４は、第２のバスバー１２から第１のバスバー１１側に向かって延ばされている。すなわち、複数本の第２の電極指１４も、弾性波伝搬方向と直交する方向に延ばされている。
【００２５】
複数本の第１の電極指１３と、複数本の第２の電極指１４とは間挿し合っている。従って、複数本の第１の電極指１３と複数本の第２の電極指１４とが弾性波伝搬方向から見たときに重なり合っている領域が、励振領域を構成している。この励振領域の第１，第２の電極指１３，１４の延びる方向の寸法が交差幅である。従って、以下、第１，第２の電極指１３，１４の延びる方向を交差幅方向とする。
【００２６】
また、上記弾性波伝搬方向を第１，第２の電極指１３，１４の幅方向とする。
【００２７】
第１の電極指１３の先端には、太幅部１３ａが設けられている。太幅部１３ａの上記幅方向に沿う寸法は、第１の電極指１３の励振領域中央部における上記幅方向に沿う寸法より大きい。本明細書において、電極指の太幅部とは、太幅部以外の電極指部分に比べて、上記幅方向に沿う寸法が大きい部分をいうものとする。第２の電極指１４の先端にも太幅部１４ａが設けられている。
【００２８】
太幅部１３ａが設けられている領域及び太幅部１４ａが設けられている領域をエッジ部とする。ＩＤＴ電極３においては、励振領域の中央部の両側に、上記エッジ部が設けられていることになる。なお、エッジ部における太幅部は、複数設けられていてもよい。
【００２９】
また、弾性波伝搬方向において、太幅部１３ａと重なる領域において、第２の電極指１４に太幅部１４ｂが設けられている。同様に、太幅部１４ａと弾性波伝搬方向において重なる領域において、第１の電極指１３に太幅部１３ｂが設けられている。よって、上記エッジ部における音速は、太幅部１３ｂ，１４ｂが設けられていることによっても低められている。もっとも、太幅部１３ｂ，１４ｂは必ずしも設けられずともよい。
【００３０】
さらに、第１の電極指１３及び第２の電極指１４の基端側部分にも、太幅部１３ｃ，１４ｃが設けられている。太幅部１３ｃ，１４ｃは、後述する第１または第２のオフセット電極指１７，１８と、弾性波伝搬方向において重なる位置に設けられている。
【００３１】
図１において、ＩＤＴ電極３の右側に、各領域の弾性波の伝搬速度（以下、音速）を模式的に示すこととする。
【００３２】
上記エッジ部における音速Ｖ２は、励振領域の中央部における音速Ｖ１よりも低められている。これは、太幅部１３ａ，１４ａが設けられていることによる。それによって、ピストンモードを形成することが可能となる。
【００３３】
他方、第１のバスバー１１は、内側バスバー部１１Ａ、中央バスバー部１１Ｂ及び外側バスバー部１１Ｃを有する。ここでは、上記交差幅方向において、第１，第２の電極指１３，１４が存在している側を内側、反対側を外側としている。
【００３４】
内側バスバー部１１Ａは、複数本の第１の電極指１３の基端が接続されている部分である。内側バスバー部１１Ａは、弾性波伝搬方向に延びる細長い帯状の形状を有している。ここは、メタライズされている部分であるため、内側バスバー部１１Ａのおける音速Ｖ５は、音速Ｖ１や音速Ｖ２よりも低くなる。
【００３５】
中央バスバー部１１Ｂには、弾性波伝搬方向に沿って複数の開口部１５が分散配置されている。開口部１５は、電極指の延びる方向に延びる互いに隣り合う連結部１６間に位置している。連結部１６は、特に限定されないが、第１の電極指１３と同じ幅を有する。また、連結部１６は、第１の電極指１３の延長上に位置している。もっとも、連結部１６の寸法及び位置はこれに限定されるものではない。好ましくは、連結部１６は、第１の電極指１３と同じ幅を有し、かつ第１の電極指１３の延長上に設けられることが望ましい。それによって、製造が容易となる。
【００３６】
開口部１５は、矩形の平面形状を有しているが、他の平面形状を有していてもよい。
【００３７】
中央バスバー部１１Ｂでは、弾性波伝搬方向に沿って、連結部１６と開口部１５とが交互に位置している。従って、メタライズされていない部分が多いため、中央バスバー部１１Ｂの音速Ｖ６は、内側バスバー部１１Ａの音速Ｖ５や励振領域の中央部の音速Ｖ１よりも高速である。
【００３８】
外側バスバー部１１Ｃは、開口部を有しない。従って、外側バスバー部１１Ｃはメタライズされた領域であるため、外側バスバー部１１Ｃの音速Ｖ７は、内側バスバー部１１Ａの音速Ｖ５と同様に低音速となる。
【００３９】
第２のバスバー１２側においても、同様に、内側バスバー部１２Ａ、中央バスバー部１２Ｂ及び外側バスバー部１２Ｃを有する。上記第１，第２のバスバー１１，１２は、特許文献１に記載の弾性波装置における第１，第２のバスバーと同様に構成されている。従って、ピストンモードを形成することができ、かつ横モードリップルを抑圧することができる。
【００４０】
もっとも、本願発明者らは、このような第１，第２のバスバー１１，１２を設けた構造では、前述したように、所望でないリップルが生じることを見出した。そして、このリップルの生じる原因について検討した結果、上記内側バスバー部１１Ａ，１２Ａが設けられている部分及びその近傍にスプリアスモードが生じ、それによって上記リップルが現れていることを見出した。
【００４１】
弾性波装置１の特徴は、この内側バスバー部１１Ａから第２の電極指１４に向かって延びる第１のオフセット電極指１７が設けられていること、並びに第２のバスバー１２の内側バスバー部１２Ａから第１の電極指１３に向かって延びる第２のオフセット電極指１８が設けられていることにある。第１のオフセット電極指１７の先端は、第２の電極指１４の先端と交差幅方向においてギャップを隔てて配置されている。また、第２のオフセット電極指１８の先端は、第１の電極指１３の先端と交差幅方向においてギャップを隔てて配置されている。
【００４２】
また、第１のオフセット電極指１７が設けられている領域においては、第１の電極指１３の基端において、太幅部１３ｃが設けられている。従って、第１のオフセット電極指１７が設けられている領域の音速Ｖ４は、エッジ部の音速Ｖ２と同等である。よって、この第１のオフセット電極指１７が設けられている領域における音速Ｖ４が、内側バスバー部１１Ａの音速Ｖ５と、第１のオフセット電極指１７の先端と、第２の電極指１４の先端との間のギャップ領域の音速Ｖ３の間の音速となる。従って、内側バスバー部１１Ａと、その交差幅方向内側に隣接している領域との音速差が、第１のオフセット電極指１７を設けることにより緩和されている。
【００４３】
第２のバスバー１２の内側バスバー部１２Ａ側においても、同様に第２のオフセット電極指１８が設けられていること、並びに第２の電極指１４の基端に、太幅部１４ｃが設けられていることにより、第２のオフセット電極指１８が設けられている領域の音速は、第１のオフセット電極指１７が設けられている領域の音速Ｖ５と同様となる。
【００４４】
本実施形態の弾性波装置１の特徴は、上記のように、第１，第２のバスバー１１，１２が、帯状の内側バスバー部１１Ａ，１２Ａを有する構造において、上記第１，第２のオフセット電極指１７，１８と、太幅部１３ｃ，１４ｃとを設けたことにある。それによって、上記のように、内側バスバー部１１Ａ，１２Ａと、そのすぐ交差幅方向内側の領域との音速差を緩和し、それによって、所望でないスプリアスモードの発生が抑制されていることにある。これを、以下において具体的な実験例に基づき説明する。
【００４５】
図３は、第１の実施形態の弾性波装置１の位相特性を示し、図４は、リターンロス特性を示す。なお、弾性波装置１の仕様は、以下の通りとした。
【００４６】
設計共振周波数＝９３６ＭＨｚ。
【００４７】
圧電基板２として、ＬｉＮｂＯ３を用いた。この圧電基板２上に、ＩＤＴ電極３及び反射器４，５を以下の積層金属膜により形成した。
【００４８】
積層金属膜の構成：圧電基板２側から順にＮｉＣｒ／Ｐｔ／Ｔｉ／Ａｌ／Ｔｉの積層膜。
【００４９】
第１，第２の電極指１３，１４の電極指の対数は１００対とした。ＩＤＴ電極３の電極指のピッチで定まる波長をλとする。
【００５０】
また、励振領域の中央部の交差幅方向に沿う寸法を１５λ、エッジ部の交差幅方向に沿う寸法を０．８λとした。また、第１，第２の電極指１３，１４の励振領域の中央部における幅方向寸法は（１／４）λとし、デューティを０．５とした。太幅部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂの幅は（７／５）×（１／４）λとし、デューティを０．７とした。また、太幅部１３ｃ，１４ｃの幅は、（７／５）×（１／４）λとし、デューティを０．７とした。
【００５１】
第１，第２のオフセット電極指１７，１８の交差幅方向に沿う寸法、すなわちオフセット長を０．１λとし、幅は（７／５）×（１／４）λとし、デューティを０．７とした。
【００５２】
内側バスバー部１１Ａ，１２Ａの交差幅方向に沿う寸法、すなわち幅は０．２２５λとした。中央バスバー部１１Ｂ，１２Ｂの交差幅方向寸法は２λとした。連結部１６の幅は、（１／８）λとし、デューティを０．２５とした。開口部１５の幅は（７．５／５）×（１／４）λとし、デューティを０．７５とした。
【００５３】
外側バスバー部１１Ｃの交差幅方向に沿う寸法は２０μｍとした。
【００５４】
また、反射器４，５の電極指の本数は２１本とした。
【００５５】
また比較のために、上記第１，第２のオフセット電極指１７，１８を設けなかったこと、並びに太幅部１３ｃ，１４ｃを設けなかったことを除いては上記実施形態と同様にして比較例の弾性波装置を作製した。図３及び図４において、実線が上記実施形態の結果を、破線が比較例の結果を示す。
【００５６】
図３及び図４から明らかなように、比較例では、所望でないリップルが共振周波数−反共振周波数間の領域だけでなく、共振周波数の低域側及び反共振周波数の高域側において多くのリップルが現れていることがわかる。これに対して、上記実施形態によれば、上記リップルがかなり抑圧されていることがわかる。
【００５７】
上記のように、弾性波装置１では、内側バスバー部１１Ａ，１２Ａの交差幅方向内側に第１，第２のオフセット電極指１７，１８が設けられているため、内側バスバー部１１Ａと第２の電極指１４の先端の領域とにおける音速差の緩和が図られているため、上記所望でないスプリアスに基づくリップルを効果的に抑圧し得ることがわかる。
【００５８】
なお、上記実施形態では、太幅部１３ｂ，１３ｃ及び太幅部１４ｂ，１４ｃも設けられていたが、太幅部１３ｂ，１３ｃや太幅部１４ｂ，１４ｃは必ずしも設けられずともよい。
【００５９】
上記内側バスバー部１１Ａ，１２Ａは、細長い帯状の形状を有している。上記内側バスバー部１１Ａ，１２Ａの交差幅方向に沿う寸法は、中央バスバー部１１Ｂ，１２Ｂの交差幅方向に沿う寸法よりも小さいことが好ましい。この場合、上記所望でないスプリアスモードが励振されやすいが、本発明に従って、上記スプリアスモードに起因するリップルを効果的に抑圧することができる。内側バスバー部１１Ａ，１２Ａの交差幅方向に沿う寸法である幅は、より好ましくは、１．０λ以下であり、より好ましくは、０．１λ以上、０．５λ以下の範囲である。内側バスバー部１１Ａ，１２Ａが、このような幅を有する場合、上記スプリアスモードが励振されやすいが、本発明に従って、上記スプリアスモードによるリップルを効果的に抑圧することができる。その場合、上記第１，第２のオフセット電極指１７，１８の交差幅方向は、好ましくは、０．０２λ以上、１．５λ以下程度とすることが望ましい。それによって、上記リップルをより一層効果的に抑圧することができる。
【００６０】
なお、エッジ部の交差幅方向に沿う寸法は、０．２λ以上、２λ以下とすることが好ましい。それによって、ピストンモードをより確実に形成することができる。
【００６１】
また、波長λは、第１，第２の電極指１３，１４の電極指ピッチで定まるが、使用用途を考えると、１．８μｍ以上、５．６μｍ以下の範囲が好適である。それによって、７００ＭＨｚ帯以上、２ＧＨｚ帯以下までの用途に有効的な弾性波装置１を提供することができる。
【００６２】
第１，第２のオフセット電極指１７，１８の幅方向寸法は、太幅部１３ａ，１４ａの幅方向寸法と同等であってもよく、太幅部１３ａ，１４ａの幅方向寸法よりも細くされていてもよい。好ましくは、同等のほうがよい。
【００６３】
なお、上記実施形態では、エッジ部が、上記太幅部１３ａ，１３ｂ及び太幅部１４ａ，１４ｂの形成により設けられていたが、図５に示す第２の実施形態のように、誘電体膜２２，２３をエッジ部において、第１，第２の電極指１３，１４の先端側部分において積層してもよい。すなわち、ＳｉＯ２膜などの誘電体膜を積層することにより、エッジ部の音速を相対的に低めることができる。このように、本発明におけるＩＤＴ電極の形成されるピストンモードを形成するためのエッジ部は、太幅部を設けるものに限らず、誘電体膜を積層した構造など様々な方法を用いることができ、特に限定されるものではない。
【００６４】
なお、図５に示す弾性波装置２１では、第１，第２のオフセット電極指１７，１８が設けられている領域においても、誘電体膜２４，２５が積層され、音速の低下が図られている。もっとも、第１，第２のオフセット電極指１７，１８が設けられている領域では、上記誘電体膜２４，２５は省略されてもよい。
【００６５】
なお、誘電体膜は第１，第２の電極指１３，１４の上面に設けられていてもよく、下面に設けられていてもよい。
【符号の説明】
【００６６】
１…弾性波装置
２…圧電基板
３…ＩＤＴ電極
４，５…反射器
１１，１２…第１，第２のバスバー
１１Ａ，１２Ａ…内側バスバー部
１１Ｂ，１２Ｂ…中央バスバー部
１１Ｃ，１２Ｃ…外側バスバー部
１３，１４…第１，第２の電極指
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ…太幅部
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ…太幅部
１５…開口部
１６…連結部
１７，１８…第１，第２のオフセット電極指
２１…弾性波装置
２２，２３，２４，２５…誘電体膜
【図１】
2016170982.tif 000003
【図２】
2016170982.tif 000004
【図３】
2016170982.tif 000005
【図４】
2016170982.tif 000006
【図５】
2016170982.tif 000007
【国際調査報告】
2016170982.tif 000008
2016170982.tif 000009
2016170982.tif 000010
2016170982.tif 000011