(57)【要約】【課題】構造が簡素で且つ、適用される装置やプラントに関わらず高い精度で液体から気体を脱気することができる脱気装置及び脱気方法を提供する。【解決手段】脱気される液体が内部に溜められるチャンバー１０と、チャンバー１０の上部からチャンバー１０に液体を注入する注入部２０と、チャンバー１０内に溜められている液体をチャンバー１０の下側から排出させる排出手段３０とを備え、チャンバー１０の内部を密閉した状態で、チャンバー１０内に注入する液体の流量よりも多くの流量の液体をチャンバー１０内から排出することによってチャンバー１０内を減圧する脱気装置及びこの脱気装置を用いた脱気方法で上記課題を解決する。【選択図】図１
2015079571.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉可能な構造を有し、脱気される液体が溜められるチャンバーと、
前記チャンバーの内部の密閉状態を保持しつつ、前記チャンバーの上部から前記チャンバー内に前記液体を注入する注入部と、
前記チャンバー内に溜められている前記液体を前記チャンバーの下部から排出させる排出手段と、を備え、
前記排出手段が、前記チャンバーの内部を密閉した状態で、前記チャンバー内に注入する前記液体の流量よりも多くの流量の前記液体を前記チャンバー内から排出し、前記チャンバー内を減圧させることを特徴とする脱気装置。
【請求項２】
前記チャンバー内に溜めた液体から脱気された気体を排気する排気部と、
前記排気部を開閉する開閉手段と、
前記チャンバー内に注入する前記液体の流量を調整する注入量調整手段と、
前記開閉手段の動作及び前記注入量調整手段の動作を制御するコントローラと、をさらに備え、
前記コントローラは、
前記注入量調整手段を制御して前記チャンバー内から排出される前記液体の流量よりも少ない流量の前記液体を前記チャンバー内に注入する間に、前記開閉手段で前記排気部を閉じて前記チャンバー内を密閉状態とし、
前記注入量調整手段を制御して前記チャンバー内から排出する前記液体の流量よりも多くの前記液体を前記チャンバー内に注入する間に、前記開閉手段で前記排気部を開いて前記チャンバー内の密閉状態を解除する制御している、請求項１に記載の脱気装置。
【請求項３】
前記排出手段は、前記排気部に接続されており、前記開閉手段が開いたときに前記チャンバー内から排気される気体を吸引している、請求項２に記載の脱気装置。
【請求項４】
前記チャンバー内に溜められている前記液体の液面があらかじめ設定された前記チャンバーの下限位置に到達したことを検出する下限センサーと、
前記下限センサーからの信号に基づいて作動するタイマーと、をさらに備え、
前記下限センサーが、前記液体の液面が前記下限位置に到達したことを検出したときに、前記コントローラは、前記注入量調整手段の動作を制御して前記チャンバーから排出させる前記液体の流量よりも多くの流量の前記液体を前記チャンバーに注入するように制御し、
前記タイマーが作動してから前記液体の液面が前記チャンバーのあらかじめ設定された上限位置に到達するまでに要する所定時間を経過したときに、前記コントローラは、前記注入量調整手段の動作を制御して前記チャンバーから排出される前記液体の流量よりも少ない流量の前記液体を前記チャンバーに注入するように制御している、請求項２又は３に記載の脱気装置。
【請求項５】
前記チャンバー内のあらかじめ設定された所定位置よりも上側を冷却する冷却装置を備えている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の脱気装置。
【請求項６】
密閉されたチャンバーの内部に注入部によって当該チャンバーの上部から液体を注入し、
所定の条件を満たしており、前記密閉されたチャンバー内に液体を注入する際に、前記チャンバー内に注入する液体の流量よりも多くの流量の前記液体を前記チャンバーの下部から排出し、前記チャンバー内を減圧させることを特徴とする脱気方法。
【請求項７】
前記液体の液面があらかじめ設定された前記チャンバー内の下限位置に到達したときに、前記チャンバー内から排出される前記液体の流量よりも多い流量の前記液体を前記チャンバー内に注入するように制御し、
前記液体の液面が前記チャンバー内のあらかじめ設定された上限位置に到達したときに、前記チャンバー内から排出される前記液体の流量よりも少ない流量の前記液体を前記チャンバー内に注入するように制御している、請求項６に記載の脱気方法。
【請求項８】
前記チャンバー内のあらかじめ設定された所定位置よりも上側を冷却している、請求項６又は７に記載の脱気方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、脱気装置及び脱気方法に関し、さらに詳しくは、液体に溶存する気体を液体から除去する脱気装置及び脱気方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体中に溶存する気体は、液体を劣化させたり、液体を洗浄液として用いて電子部品等を洗浄する場合に電子部品等を損傷したりする等の不都合を発生させることがある。脱気装置は、液体に溶存する気体を液体から除去することによって、そうした不都合が発生することを防止している。こうした脱気装置は、様々な原理を利用している。脱気装置の中でも、真空ポンプを利用した脱気装置が一般に知られている。【０００３】
特許文献１〜３に提案されている脱気装置は、いずれも電子部品等を洗浄する洗浄液から洗浄液に溶存する気体を除去するための脱気装置である。これらの脱気装置は、洗浄液が注入された容器内部を減圧することによって洗浄液に溶存する気体を除去している。こうした脱気装置の減圧手法は、真空ポンプで容器の内部に存在する気体を吸引することによって、容器の内部を減圧する手法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１８７６０３号公報
【特許文献２】特開平１１−３１９４０７号公報
【特許文献３】特開２０００−２８８３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１〜３に提案されている脱気装置は、洗浄液の循環経路の他に容器の内部を減圧するための真空ポンプを設けることが必要である。そのため、これらの脱気装置は、脱気装置の構成が複雑になる。また、脱気装置を適用する洗浄装置や脱気する洗浄液の種類に応じて真空ポンプを適宜に選定することが必要になる。【０００６】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、構造が簡素で且つ、脱気装置を組み込むシステムや脱気する液体の種類に関わらず高い精度で液体から気体を脱気することができる脱気装置及び脱気方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明に係る脱気装置は、密閉可能な構造を有し、脱気される液体が溜められるチャンバーと、前記チャンバーの内部の密閉状態を保持しつつ、前記チャンバーの上部から前記チャンバー内に前記液体を注入する注入部と、前記チャンバー内に溜められている前記液体を前記チャンバーの下部から排出させる排出手段と、を備え、前記排出手段が、前記チャンバーの内部を密閉した状態で、前記チャンバー内に注入する前記液体の流量よりも多くの流量の前記液体を前記チャンバー内から排出し、前記チャンバー内を減圧させることを特徴とする。【０００８】
この発明によれば、チャンバー内に当該チャンバーの上部から液体を注入する注入部と、チャンバー内に溜められている液体をチャンバーの下部から排出させる排出手段とを備え、チャンバー内を密閉した状態で、チャンバー内に注入する液体の流量よりも多くの流量の液体をチャンバー内から排出することによって、チャンバー内を減圧している。そのため、液体に溶存する気体を気泡として発生させることができ、気体を液体から脱気することができる。また、チャンバー内に注入する液体の流量よりも多くの流量の液体をチャンバーから排出してチャンバー内を減圧するので、別途に真空ポンプを設ける必要がない。その結果、脱気装置の構造を簡素にすることができる。また、真空ポンプを設けずに脱気を行うので、真空ポンプの性能に左右されないで液体に溶存する気体を液体から脱気することができる。【０００９】
本発明に係る脱気装置において、前記チャンバー内に溜めた液体から脱気された気体を排気する排気部と、前記排気部を開閉する開閉手段と、前記チャンバー内に注入する前記液体の流量を調整する注入量調整手段と、前記開閉手段の動作及び前記注入量調整手段の動作を制御するコントローラと、をさらに備え、前記コントローラは、前記注入量調整手段を制御して前記チャンバー内から排出される前記液体の流量よりも少ない流量の前記液体を前記チャンバー内に注入する間に、前記開閉手段で前記排気部を閉じて前記チャンバー内を密閉状態とし、前記注入量調整手段を制御して前記チャンバー内から排出する前記液体の流量よりも多くの前記液体を前記チャンバー内に注入する間に、前記開閉手段で前記排気部を開いて前記チャンバー内の密閉状態を解除する制御していることを特徴とする。【００１０】
この発明によれば、コントローラが、チャンバー内から排出される液体の流量よりも少ない流量の液体をチャンバー内に注入する間に開閉手段で排気部を閉じ、チャンバー内から排出する液体の流量よりも多くの液体をチャンバーに注入する間に開閉手段で排気部を開くように制御しているので、チャンバー内を確実に減圧して液体に溶存する気体を液体から脱気することができると共に、脱気された気体をチャンバーから確実に排気することができる。【００１１】
本発明に係る脱気装置において、前記排出手段は、前記排気部に接続されており、前記開閉手段が開いたときに前記チャンバー内から排気される気体を吸引していることを特徴とする。【００１２】
この発明によれば、排出手段は、開閉手段が開いたときにチャンバー内から排気される気体を吸引しているので、液体から脱気された気体をチャンバー内から強制的に排気させることができる。【００１３】
本発明に係る脱気装置において、前記チャンバー内に溜められている前記液体の液面があらかじめ設定された前記チャンバーの下限位置に到達したことを検出する下限センサーと、前記下限センサーからの信号に基づいて作動するタイマーと、をさらに備え、前記下限センサーが、前記液体の液面が前記下限位置に到達したことを検出したときに、前記コントローラは、前記注入量調整手段の動作を制御して前記チャンバーから排出させる前記液体の流量よりも多くの流量の前記液体を前記チャンバーに注入するように制御し、前記タイマーが作動してから前記液体の液面が前記チャンバーのあらかじめ設定された上限位置に到達するまでに要する所定時間を経過したときに、前記コントローラは、前記注入量調整手段の動作を制御して前記チャンバーから排出される前記液体の流量よりも少ない流量の前記液体を前記チャンバーに注入するように制御していることを特徴とする。【００１４】
この発明によれば、上記の下限センサーを備え、液体の液面がチャンバー内の下限位置に到達したことを下限センサーが検出したときに、上記のコントローラは、注入量調整手段の動作を制御してチャンバー内から排出させる液体の流量よりも多くの流量の液体をチャンバー内に注入するように制御しているので、チャンバー内に脱気するのに適切な量の液体を溜めておくことができる。また、下限センサーからの信号に基づいて作動するタイマーを備え、タイマーが下限センサーからの信号に基づいて作動しはじめて、液面がチャンバー内のあらかじめ設定された上限位置に到達するまでに要する所定時間を経過したときに、コントローラは、注入量調整手段の動作を制御してチャンバーから排出される液体の流量よりも少ない流量の液体をチャンバーに注入するように制御しているので、チャンバー内を確実に減圧させることができる。【００１５】
本発明に係る脱気装置において、前記チャンバー内のあらかじめ設定された所定位置よりも上側を冷却する冷却装置を備えていることを特徴とする。【００１６】
この発明によれば、チャンバー内のあらかじめ設定された所定位置よりも上側を冷却する冷却装置を備えているので、冷却装置がチャンバー内の所定位置よりも上側を冷却することによって、チャンバー内の減圧を行い易くすることができる。また、液体が蒸発しても、再び液化することによって脱気を効果的に行うことができる。なお、冷却装置は、チャンバー内のあらかじめ設定された所定位置よりも上側に配置された配管と、冷媒を配管に循環させるチラーとを備えて構成するとよい。【００１７】
上記課題を解決するための本発明に係る脱気方法は、密閉されたチャンバーの内部に注入部によって当該チャンバーの上部から液体を注入し、所定の条件を満たしており、前記密閉されたチャンバー内に液体を注入する際に、前記チャンバー内に注入する液体の流量よりも多くの流量の前記液体を前記チャンバーの下部から排出し、前記チャンバー内を減圧させることを特徴とする。【００１８】
この発明によれば、チャンバーの内部を密閉した状態で、チャンバー内に注入する液体の流量よりも多くの流量の液体をチャンバー内から排出して、チャンバー内を減圧するので、液体に溶存する気体を気泡として発生させ、気体を液体から脱気することができる。また、チャンバー内に注入する液体の流量よりも多くの流量の液体をチャンバー内から排出することによってチャンバー内を減圧するので、別途に真空ポンプを設ける必要がない。【００１９】
本発明に係る脱気方法において、前記液体の液面があらかじめ設定された前記チャンバー内の下限位置に到達したときに、前記チャンバー内から排出される前記液体の流量よりも多い流量の前記液体を前記チャンバー内に注入するように制御し、前記液体の液面が前記チャンバー内のあらかじめ設定された上限位置に到達したときに、前記チャンバー内から排出される前記液体の流量よりも少ない流量の前記液体を前記チャンバー内に注入するように制御していることを特徴とする。【００２０】
この発明によれば、液体の液面があらかじめ設定されたチャンバー内の下限位置に到達したときに、チャンバー内から排出される液体の流量よりも多い流量の液体をチャンバー内に注入するように制御しているので、チャンバー内に脱気に必要な量の液体を確保することができる。一方、液体の液面がチャンバー内のあらかじめ設定された上限位置に到達したときに、チャンバー内から排出される液体の流量よりも少ない流量の液体をチャンバー内に注入するように制御しているので、チャンバー内を確実に減圧させることができる。【００２１】
本発明に係る脱気方法において、チャンバー内のあらかじめ設定された所定位置よりも上側を冷却することを特徴とする。【００２２】
この発明によれば、チャンバー内のあらかじめ設定された所定位置よりも上側を冷却しているので、チャンバー内の減圧を行い易くすることができる。また、液体が蒸発しても、再び液化することによって脱気を効果的に行うことができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、脱気装置の構造を簡素にすることができる。また、脱気装置が適用される装置や脱気する液体の種類に関わらず高い精度で液体から気体を脱気することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係る脱気装置のシステムの概要を示す系統図である。
【図２】図１に示す脱気装置が備えるチャンバーの内部構造の概要を示す部分断面図である。
【図３】脱気装置の作用を模式的に示す説明図であり、（Ａ）は液体の液面が上昇している状態を示し、（Ｂ）は液体の液面がチャンバーの上端に到達した状態を示し、（Ｃ）は液体の液面が下降している状態を示し、（Ｄ）は液体の液面がチャンバー内の下限位置に到達した状態を示し、（Ｅ）は液体の液面が上昇している状態を示し、（Ｆ）は液体の液面がチャンバーの上端に到達した状態を示している。
【図４】脱気装置の作用の概要を示す流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、本発明の技術的範囲は、以下の記載や図面にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲で種々の変形が可能である。
【００２６】
［基本構成］
本発明に係る脱気装置１は、図１及び図２に示すように、脱気される液体１００が内部に溜められるチャンバー１０と、チャンバー１０の上部からチャンバー１０内に液体１００を注入する注入部２０と、チャンバー１０内に溜められている液体１００をチャンバー１０の下部から排出させる排出手段３０とを備えている。この脱気装置１は、チャンバー１０の内部を密閉した状態で、チャンバー１０に注入させる液体１００の流量よりも多くの流量の液体１００をチャンバー１０内から排出することによってチャンバー１０内を減圧して液体１００から脱気している。
【００２７】
なお、本明細書において、チャンバー１０の上部とは、チャンバー１０の上面を構成している蓋１５の位置には限定されず、チャンバー１０の側面を構成している本体１１の相対的に上側の領域を含む部位を意味する。例えば、図２に示したチャンバー１０の場合、チャンバー１０の上部とは、蓋１５や本体１１の所定位置２０１よりも上側の領域を意味する。また、チャンバー１０の下部とは、チャンバー１０の最も低い部位には限定されず、チャンバー１０の相対的に下側の領域を含む部位を意味する。例えば、図２に示したチャンバー１０の場合、チャンバー１０の下部とは、下限位置２０２よりも底面１２の下側の領域を意味する。
【００２８】
この脱気装置１は、脱気装置１の構造を簡素にすることができるという特有の効果を奏する。また、脱気装置１が適用される装置や脱気する液体の種類に関わらず高い精度で液体１００から気体を脱気することができるという効果も奏する。
【００２９】
なお、本発明に係る脱気装置１及び脱気方法は、超音波を利用して電子部品やウエハー等を洗浄したり、表面の不純物を剥離したりする洗浄システムに組み込むことによってその効果を向上させることができるので、「Ｓｕｒｆａｃｅ・Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ・Ｆｌａｔ・Ｆｉｘ・Ｓｙｓｔｅｍ」、略して「Ｓｕｆｆｉｘ・Ｓｙｓｔｅｍ」と呼ばれている。ただし、本発明の脱気装置１及び脱気方法は、超音波を利用した洗浄システム以外の洗浄装置に組み込んで電子部品やウエハー等を洗浄する洗浄液から気体を脱気するために利用したりする場合に用いることができる。また、本発明の脱気装置１及び脱気方法は、その他に、液体１００が溶存する気体の影響を受けて劣化することを防止するために利用することができる。特に溶存する気体が酸素の場合、液体が酸化することを防止するために利用することができる。
【００３０】
［全体構成の概要］
脱気装置１は、脱気される液体１００が内部に溜められるチャンバー１０と、チャンバー１０の上部からチャンバー１０内に液体１００を注入する注入部２０と、チャンバー１０内に溜められている液体１００をチャンバー１０の下部から排出させる排出手段としてのポンプ３０（以下、単にポンプ３０という。）と、を備えている。なお、ポンプ３０は、従来の脱気装置が備えている、チャンバー１０内の気体を排気するだけのために設けた真空ポンプではない。また、脱気装置１は、チャンバー１０内の気体を排出する排気部４０と、チャンバー１０内の液体１００の液面１０１の位置を検出する液面センサー８０と、チャンバー１０の内圧を計測する圧力センサー９０とを備えている。
【００３１】
注入部２０は、チャンバー１０の上部から液体１００をチャンバー１０内に注入するための構成を有し、メインの配管２１とサブの配管２５とから構成されており、チャンバー１０内に注入する液体１００の流量を変化させることができるようになっている。ポンプ３０は、チャンバー１０の下部と配管３１で接続されており、チャンバー１０内に溜められた液体１００を吸引してチャンバー１０内から排出させている。排気部４０は、配管４１及び開閉バルブ４２を備えて構成されている。配管４１は、その一端がチャンバー１０に接続され、その他端が配管３１に接続されている。また、開閉バルブ４２は、配管４１の途中に設けられている。
【００３２】
脱気装置１は、その他に、チャンバー１０内に供給される液体１００を溜めておく図示しない液溜部と配管３１とを連絡している配管３５により構成されたバイパス経路を備えている。配管３５からなるバイパス経路は、チャンバー１０内から液体１００を吸引しない間も、ポンプ３０が液体１００を吸引できるようにしている。
【００３３】
脱気装置１は、さらに、脱気装置１の動作を制御するコントローラ６０と、圧縮空気が流れるパイロットライン７０とを備えている。コントローラ６０は、脱気装置１の動作を制御しており、タイマー６５と、液面センサー８０からの信号と、圧力センサー９０からの信号とに基づいて制御を行っている。なお、タイマー６５はコントローラ６０に内蔵されている。パイロットライン７０は、注入部２０に接続されたライン、排気部４０に接続されたライン、及びポンプ３０に接続されたライン等から構成されている。このパイロットライン７０は、コントローラ６０からの指令を受け、制御に必要なラインに圧縮空気を供給している。
【００３４】
なお、脱気装置１は、必要に応じて冷却装置５０が設けられる。冷却装置５０は、チャンバー１０の内部を冷却し、気体の温度を下げることを主目的にしている装置である。なお、冷却装置５０は、脱気する液体の種類に応じて設けられる装置であり、必須の構成ではない。
【００３５】
以下、脱気装置１が備えている各構成について適宜に図面を参照しながら説明する。
【００３６】
（チャンバー）
チャンバーは、図２に示すように構成されている。このチャンバー１０は、その内部に液体１００を溜める部位であり、本体１１と蓋１５とから構成されている。本体１１は、上部が開放されており、下部は底面１２によって閉じられている。蓋１５は、本体１１に対して着脱可能に構成されており、開放されたチャンバー１０の本体１１の上部に装着して本体１１の上部を閉じたり、取り外して本体１１の上部を開いたりできるように構成されている。本体１１と蓋１５とは、蓋１５が本体１１の上部を閉じたときに両者の間に設けられたシール材等によって密閉される。本体１１の底面１２は、当該チャンバー１０内に溜められた液体１００を排出させる排出口１３を備えており、図示の例では、この排出口１３は底面１２の最も低い位置に設けられている。チャンバー１０は、液体１００が注入部２０から注入され、排出口１３から排出されるように構成されており、液体１００を一時的に滞留させている。
【００３７】
なお、チャンバー１０の容量は、注入する液体１００の流量とチャンバー１０内から排出する液体１００の流量とに応じて適宜に設定される。また、チャンバー１０内に注入する液体１００の流量と、チャンバー１０内から排出する液体１００の流量とは、脱気される液体１００の種類や当該脱気装置１が適用される対象によって適切に設定される。
【００３８】
（注入部）
注入部２０は、脱気される液体１００をチャンバー１０内に注入するための手段である。図１及び図２に示す実施形態の脱気装置１では、注入部２０は２本の配管２１，２５によって構成されている。２本の配管２１，２５は、チャンバー１０の蓋１５をそれぞれ貫通し、それらの先端側がチャンバー１０の内部に挿入されている。２本の配管２１，２５のうち一本の配管はメインの配管２１であり、もう１本の配管はサブの配管２５である。
【００３９】
メインの配管２１は、蓋１５の任意の位置に設けられている。例えば、チャンバー１０のほぼ中央の位置で蓋１５を貫通するようにして設けられている。メインの配管２１はその先端にノズル２２を備えており、液体１００を霧状にしてチャンバー１０に注入している。このメインの配管２１は、脱気装置１が作動している間、チャンバー１０の内部に液体１００を常に注入させている。なお、ノズル２２は、チャンバー１０の内部に不純物が浸入することを防止するフィルタをその内部に備えていてもよい。
【００４０】
サブの配管２５も、蓋１５の任意の位置に設けられている。例えば、サブの配管２５は、メインの配管２１よりも、チャンバー１０の半径方向の外側の位置で蓋１５を貫通するようにして設けられている。サブの配管２５は、チャンバー１０の内部に溜められている液体１００の量が少なくなり、チャンバー１０の内部に液体１００を補給する際に用いられる配管である。サブの配管２５は、後述するパイロットライン７０により開閉が制御される開閉バルブ２７を備えている。液体１００は、開閉バルブ２７を開くことによりサブの配管２５からチャンバー１０内に注入され、開閉バルブ２７を閉じることによりチャンバー１０内への液体１００の注入が停止される。サブの配管２５も、その先端にノズル２６を備えており、液体１００を霧状にしてチャンバー１０に注入している。なお、このサブの配管２５も、チャンバー１０の内部に不純物が浸入することを防止するフィルタをその内部に備えていてもよい。
【００４１】
開閉バルブ２７を備えたサブの配管２５は、開閉バルブ２７を開くことによって、開閉バルブ２７が閉じたときより多くの液体１００をチャンバー１０内に注入し、開閉バルブ２７を閉じることによって開閉バルブ２７が開いているときより少ない液体１００をチャンバー１０内に注入しており、注入量調整手段として機能している。
【００４２】
（排出手段としてのポンプ）
ポンプ３０は、配管３１を介してチャンバー１０に接続されている。このポンプ３０は、チャンバー１０内に溜められた液体１００をチャンバー１０内から排出している。なお、液体１００の排出は、ポンプ３０によって強制的に行われている。ポンプ３０は、注入部２０のメインの配管２１のみがチャンバー１０に注入する液体１００の流量よりも多くの液体１００をチャンバー１０内から排出している。一方、ポンプ３０は、メインの配管２１及びサブの配管２５の双方によってチャンバー１０内に注入される液体１００の流量よりも少ない液体１００をチャンバー１０内から排出している。また、このポンプ３０は、パイロットライン７０によって作動の開始と停止とが制御されている。
【００４３】
（排気部）
排気部４０は、チャンバー１０内に溜められている液体１００から脱気された気体を排気する部位である。排気部４０は、蓋１５からチャンバー１０の外側に向けて延び、配管３１に接続されている配管４１と、パイロットライン７０によって開閉動作が行われる開閉手段としての開閉バルブ４２（以下、単に開閉バルブ４２という。）と、を備えている。注入させる液体１００の流量よりも多くの流量の液体１００をポンプ３０が排出する間、開閉バルブ４２は、閉じられることによってチャンバー１０の内部を密閉している。一方、チャンバー１０内の液体１００の液面１０１がチャンバー１０のあらかじめ設定された上限位置２０３まで到達するように液体１００をチャンバー１０に補充している間、開閉バルブ４２は、開かれている。開閉バルブ４２が開かれている間、ポンプ３０は、配管４０，４１を介してチャンバー１０内の気体を吸引することによって液体１００から脱気された気体をチャンバー１０の外に排気している。なお、チャンバー１０から排気された気体は、ポンプ３０の下流側に設けられた配管４３を通して外部に放出される。
【００４４】
（液面センサー）
液面センサー８０は、上下方向に延びるように配置された心棒８１と、心棒８１の上側と下側の２箇所にそれぞれ設けられたフロート８２，８３とにより構成されている。２箇所に設けられたフロート８２，８３は、心棒８１の一定の範囲を上下方向に移動可能にそれぞれ構成されており、液体１００の浮力によって上側に移動する。液面センサー８０を構成している下側のフロート８３は、チャンバー１０の内部に溜められている液体１００の液面１０１がチャンバー１０のあらかじめ設定された位置に到達したことを検出している。なお、下側のフロート８３は、後述する脱気装置１の作用の欄で説明するように、液面１０１が上昇し下限位置２０２を通過することも検出している。また、液面センサー８０を構成している上側のフロート８２は、チャンバー１０の内部に溜められている液体１００の液面１０１がチャンバー１０のあらかじめ設定された位置を通過することを検出している。
【００４５】
下側に設けられたフロート８３は、液体１００の液面１０１がチャンバー内のあらかじめ設定された下限位置２０２に達したかどうかを検知する下限センサーである。液体１００の液面１０１が下限位置２０２に達したとき、液体１００の浮力によって押し上げられていたフロート８３が下降する。フロート８３は、下降することによって、液体１００の液面１０１が下限位置２０２に達したことを検知している。また、フロート８３は、液面１０１の上昇に伴って押し上げられたときに、タイマー６５の作動を開始させている。
【００４６】
上側に設けられたフロート８２は、後述する冷却装置５０を設けた場合に設けられるセンサーである。フロート８２は、液体１００の液面１０１がチャンバー１０内のあらかじめ設定された所定位置２０１を通過したことを検知するセンサーであって、冷却装置５０の作動の開始及び停止を行うスイッチとして機能している。液体１００の液面１０１が上昇して所定位置２０１を通過するとき、フロート８２は液体１００の浮力によって押し上げられる。フロート８２が押し上げられることによって、液体１００の液面１０１が所定位置２０１まで上昇したことが検知される。一方、液体１００の液面１０１が下降して所定位置２０１を通過するとき、浮力によって押し上げられていたフロート８２は下降する。フロート８２が下降することによって、液体１００の液面１０１が所定位置２０１まで下降したことが検知される。
【００４７】
以上、液面センサーがフロート８２，８３で構成された場合を例に液面センサーについて説明した。しかし、液面センサーはフロート８２，８３を使用することには限定されない。液面センサーは、光学的に液面１０１の位置を検出する光センサー、超音波を利用して液面１０１の位置を検出する超音波センサー、及び静電容量の変化を思料して液面１０１の位置を検出する静電容量式レベルセンサー等の種々のセンサーを使用することができる。
【００４８】
（タイマー）
タイマー６５は、コントローラ６０に設けられており、下限センサーであるフロート８３からの信号に基づいてカウントを開始するように設定されている。このタイマー６５は、液体１００の液面１０１が下限位置２０２からチャンバー１０内のあらかじめ設定された上限位置２０３に到達するまでの時間があらかじめ設定されている。フロート８３が設けられている下限位置２０２とチャンバー１０の上限位置２０３との間の容積はあらかじめ設定されている。また、注入部２０がチャンバー１０に液体１００を注入する流量もあらかじめ設定されている。そのため、液面１０１の位置の制御は、タイマー６５で時間を設定し、開閉バルブ２７を閉じるタイミングを制御することによって行うことができる。
【００４９】
なお、上記したチャンバー１０内のあらかじめ設定された上限位置２０３は、チャンバー１０の蓋１５が存在するチャンバー１０の上端に設定するとよい。ただし、上限位置２０３は、チャンバー１０の上端に設定することには限定されず、所定位置２０１とチャンバー１０の上端との間の任意の位置に設定してもよい。
【００５０】
（圧力センサー）
圧力センサー９０は、チャンバー１０の内圧を計測しており、圧力に応じた信号をコントローラ６０に送っている。この圧力センサー９０は、チャンバー１０の内圧を計測することによって、チャンバー１０の内圧が、液体１００から気体を脱気するのに適した圧力まで減圧されているかどうかを判断することに利用されている。
【００５１】
（パイロットライン）
パイロットライン７０は、圧縮空気が流れるラインであり、注入部２０が備えている開閉バルブ２７の開閉、ポンプ３０の作動の開始及び停止、並びに排気部４０が備えている開閉バルブ４２の開閉を行っている。なお、冷却装置５０に設けられた開閉バルブ５４の開閉もパイロットライン７０が行っている。
【００５２】
図１に示したパイロットライン７０に示した符号２７，３０，４２，５４は、注入部２０の開閉バルブ２７、ポンプ３０、排気部４０の開閉バルブ４２及び冷却装置５０の開閉バルブ５４にそれぞれ対応している。このパイロットライン７０は、コントローラ６０からの指令に基づいて、開閉バルブ２７に接続されたライン、開閉バルブ４２に接続されたライン、及び開閉バルブ５４に接続されたラインに圧縮空気を流したり停止したりすること、及びポンプ３０に接続されたラインに圧縮空気を流したり圧縮空気の流れを停止することを制御している。
【００５３】
例えば、注入部２０の開閉バルブ２７を開く場合、圧縮空気が開閉バルブ２７に接続されているパイロットライン７０に流され、開閉バルブ２７の図示しないスプールは、流された圧縮空気によって移動される。逆に、注入部２０の開閉バルブ２７を閉じる場合、開閉バルブ２７に接続されているパイロットライン７０に流されていた圧縮空気が停止され、開閉バルブ２７の図示しないスプールが元に戻される。
【００５４】
なお、図１に示すパイロットライン７０は、開閉バルブ２７に接続されたライン、開閉バルブ４２に接続されたライン、及び開閉バルブ５４に接続されたラインに圧縮空気を同時に流したり停止したりするように構成したり、開閉バルブ２７に接続されたライン、開閉バルブ４２に接続されたライン、及び開閉バルブ５４に接続されたラインの中から任意に選定したラインに別々に圧縮空気を流したり停止したりするように構成したりしてもよい。
【００５５】
（コントローラ）
コントローラ６０は、パイロットライン７０の中のどのラインに圧縮空気を流すかを選択することによって、（１）注入部２０が備えている開閉バルブ２７の開閉、（２）ポンプ３０の作動の開始及び停止、（３）排気部４０が備えている開閉バルブ４２の開閉、並びに（４）冷却装置５０の開閉バルブ５４の開閉の制御を行っている。
【００５６】
その際、コントローラ６０は、液面センサー８０のフロート８３及びタイマー６５からの信号に基づいて圧縮空気を流すパイロットライン７０を選択すると共に、そのパイロットライン７０に流れていた圧縮空気を停止している。
【００５７】
このコントローラ６０の主な制御の内容は、次の通りである。すなわち、下限センサーであるフロート８３が、液体１００の液面１０１が下限位置２０２に到達したことを検出したときに、コントローラ６０は、注入部２０の開閉バルブ２７を開くように指令を出し、チャンバー１０内から排出される液体１００の流量よりも多くの流量の液体１００をチャンバー１０内に注入させている。また、そのときに、フロート８３が送る信号はタイマー６５を作動させる。このタイマー６５は、上記したように、液体１００がチャンバー１０内のあらかじめ設定された上限位置２０３に到達するまでの時間が設定されている。一方、タイマー６５が作動してから液体１００の液面１０１がチャンバー１０内のあらかじめ設定された上限位置２０３に到達するまでに要する所定時間が経過したときに、コントローラ６０は、開閉バルブ２７を閉じる指令を出し、チャンバー１０内から排出される液体１００の流量よりも少ない流量の液体１００をチャンバー１０内に注入するように制御している。
【００５８】
コントローラ６０は、圧力センサー９０からの信号に基づいて、脱気装置１の動作をリセットするように脱気装置１の動作を制御することも行っている。気体が液体１００に混入している場合、液体１００の液面１０１は、タイマー６５にセットされた時間を経過しても、気体の影響を受けて、液面１０１はチャンバー１０内のあらかじめ設定された上限位置２０３まで到達しない。特に、上限位置２０３をチャンバー１０の上端に設定した場合、液面１０１とチャンバー１０の上端との間に空間が形成されてしまう。こうした状態で脱気を行った場合、チャンバー１０の内圧は、脱気を効果的に行うことができる圧力まで減圧されないおそれがある。この現象を生じさせないために、コントローラ６０は、圧力センサー９０からの信号に基づいて、脱気装置１の動作をリセットするように脱気装置１の動作を制御している。
【００５９】
コントローラ６５は記憶部（図示しない）を備えており、この記憶部は効果的に脱気することができる最高内圧を記憶している。コントローラ６５は、圧力センサー９０から送信される圧力信号と記憶部に記憶されている最高内圧とを比較し、一定時間の間に最高内圧よりも高い圧力信号が圧力センサー９０から送信され続けた場合、上述した脱気装置１の動作をリセットする。すなわち、チャンバー１０内を空にし、次いで、液体１００をチャンバー１０内に入れて液面１０１を上昇させて、フロート８３を作動させると共に、フロート８３からの信号に基づいてタイマー６５を作動させる。脱気装置１の動作をリセットすることは、液体１００の液面１０１がチャンバー１０内のあらかじめ設定された上限位置２０３に到達させることを可能にする。
【００６０】
（冷却装置）
冷却装置５０は、上述したように、必要に応じて設けられる。冷却装置５０は、チャンバー１０の内部で液体１００よりも上側に配置された配管５２と、配管５２に冷媒を循環させるチラー５１とを備えている。配管５２は、チャンバー１０の内部で螺旋状に形成されており、チャンバー１０の上部を効率よく冷却している。配管５２とチラー５１とは、配管５３によって接続されている。
【００６１】
螺旋状の配管５２は、フロート８２が設けられている所定位置２０１よりも上側でチャンバー１０の側壁面から一定の距離だけ内側に離れた位置に配置されている。配管５３は、開閉バルブ５４を備えている。開閉バルブ５４は、チラー５１から供給された冷媒を螺旋状の配管５２に供給したり、供給を停止したりしている。
【００６２】
具体的には、フロート８２は、液体１００の液面１０１が上昇して所定位置を通過するときに液体１００の浮力によって押し上げられる。フロート８２が押し上げられるとき、フロート８２は信号を送る。コントローラ６０は、フロート８２から送られた信号を受けることによって、開閉バルブ５４に供給していた圧縮空気を停止するようにパイロットライン７０に指令を出す。開閉バルブ５４は、パイロットライン７０によって供給されていた圧縮空気が停止されることにより、図示しないスプールが移動し、閉じられる。開閉バルブ５４が閉じられることによって、冷却装置５０は、冷媒を螺旋状の配管５２に供給することを停止する。
【００６３】
一方、フロート８２は、液体１００の液面１０１が下降して所定位置２０１を通過するときに、浮力によって押し上げられていた状態から下降する。フロート８２が下降するとき、フロート８２は信号を停止する。コントローラ６０は、フロート８２から送られていた信号が停止されることによって、圧縮空気を開閉バルブ５４に供給するようにパイロットライン７０に指令を出す。パイロットライン７０によって供給された圧縮空気によって、図示しないスプールが移動し、開閉バルブ５４は開かれる。開閉バルブ５４が開かれることによって、冷却装置５０は、冷媒を螺旋状の配管５２に供給する。
【００６４】
この冷却装置５０は、フロート８２が設けられている所定位置２０１よりもチャンバー１０内の上側を冷却することによって、チャンバー１０内の上側に滞留する気体の体積を収縮させ、チャンバー１０内を減圧し易くする機能も有している。チャンバー１０内が減圧された場合、液体１００に溶存している気体は気泡として現れやすくなる。冷却装置５０は、こうした原理を利用することによって液体１００に溶存する気体を液体１００から除去させや易くしている。
【００６５】
また、冷却装置５０が以上のように作動することによって、チャンバー１０内の上側が冷却される。液体１００が蒸発して気化した場合、チャンバー１０内の上側を冷却することは、気化した状態から再び液体の状態に戻すことができる。液体１００に戻すことによってチャンバー１０内が減圧されるので、冷却装置５０は液体１００から気体を効果的に脱気させることができる。こうした冷却装置５０は、沸点が低い液体を脱気する場合に特に有効である。
【００６６】
以上、脱気装置１がパイロットライン７０を備え、パイロット圧を利用して開閉バルブ２７，４７及びポンプ３０の作動を制御する場合について説明した。しかし、脱気装置１は、開閉バルブ２７，４２及びポンプ３０を電磁的に制御するように構成してもよい。
【００６７】
以上の構成を備えた脱気装置１は、既存の洗浄装置等の配管に当該脱気装置１を接続するだけで、既存の洗浄装置に組み込むことができる。
【００６８】
［脱気装置の作用］
以上の構成を備えた脱気装置１は、密閉されたチャンバー１０内にその上部から液体１００を注入すると共に、チャンバー１０内に注入する液体１００の流量よりも多くの流量の液体１００をチャンバー１０の下部から排出することによって、チャンバー１０内を減圧している。そうした脱気装置１の具体的な作用及び液面センサー８０の動作に応じて行われる制御の内容について、図３及び図４を参照しながら説明する。なお、以下では、液面１０１が到達する上限位置２０３をチャンバー１０の上端（蓋１１が存在する位置である。ただし、蓋１１は図３に示していない。）に設定した場合を例にして説明する。
【００６９】
この脱気装置１は、チャンバー１０内に溜められている液体１００が増量と減量とを繰り返しながら液体１００に溶存する気体を液体１００から脱気している。すなわち、チャンバー１０内に溜められた液体１００の液量が増加し、液体１００の液面１０１がチャンバー１０の上端に到達する工程と、チャンバー１０内に溜められた液体１００の液量が減少し、液体１００の液面１０１が下限位置２０２に到達する工程とが繰り返される。液体１００に溶存する気体は、こうした工程が繰り返されている間に液体１００から脱気される。
【００７０】
（液面の上昇工程）
脱気装置１の電源が投入される（図４のＳ１）と、コントローラ６０は、注入部２０に接続されたパイロットライン７０及び排気部４０に接続されたパイロットライン７０に圧縮空気を流すように指令を出す。これにより注入部２０の開閉バルブ２７が開かれる。液体１００は、図３（Ａ）に示すように、注入部２０のメインの配管２１及びサブの配管２５の双方からチャンバー１０内に注入される（図４のＳ２）。また、電源が投入されることによって、ポンプ３０の作動が開始する。そのとき、液体１００は配管３５からなるバイパス経路を流れており、ポンプ３０は、配管３５からなるバイパス経路を流れている液体１００が供給されている。また、排気部４０の開閉バルブ４２が開かれる（図４のＳ３）。ポンプ３０は、配管４１及び配管３１を介してチャンバー１０内に滞留している気体を吸引しており、チャンバー１０内に滞留している気体がチャンバー１０の外に排気される。チャンバー１０の外に排気された気体は、配管４１及び排気管４３を通って外に排気される。
【００７１】
液体１００がチャンバー１０内に注入され、液面１０１が上昇して下限位置２０２を通過したとき（図４のＳ５）、フロート８３は液体１００の浮力によって押し上げられる。フロート８３が押し上げられることにより、フロート８３は信号をコントローラ６０に送る。この信号をコントローラ６０に内蔵されたタイマー６５が受けると、タイマー６５が作動する（図４のＳ６）。タイマー６５は液面１０１が下限位置２０２を通過してチャンバー１０の上端に到達するまでの時間が設定されており、液面１０１がチャンバー１０の上端に到達するまで、コントローラ６０は開閉バルブ２７を開いておくように制御している。
【００７２】
なお、冷却装置５０は、上述したように、必要に応じて設けられる装置である。脱気装置１が冷却装置５０を備えている場合、冷却装置５０が備えるチラー５１は、フロート８２からの指令に基づいて螺旋状の配管５２に冷媒を流したり、冷媒を停止したりしている。まず、電源が投入されたとき、チラー５１は螺旋状の配管５２に冷媒を循環させる（図４のＳ４）。液面１０１が上昇し、所定位置２０１を通過するとき（図４のＳ７）、フロート８２が液体１００の浮力によって押し上げられる。フロート８２が押し上げられることにより、フロート８２はコントローラ６０に信号を送る。コントローラ６０は、フロート８２からの信号を受けることにより、螺旋状の配管５２に冷媒を流すことを停止するようにチラー５１に指令を出して、冷却が停止される（図４のＳ８）。
【００７３】
（液面の上昇工程から下降工程への切り替わり）
タイマー６５の設定時間が経過したとき（図４のＳ９）、図３（Ｂ）に示すように、液面１０１がチャンバー１０の上端に到達する。コントローラ６０は、タイマー６５の設定時間が経過したとき、注入部２０の開閉バルブ２７に接続されたパイロットライン７０及び排気部４０の開閉バルブ４２に接続されたパイロットライン７０に流されていた圧縮空気を停止する指令を出す。その結果、注入部２０の開閉バルブ２７は閉じられ、液体１００はメインの配管２１のみからチャンバー１０内に注入される。また、排気部４０の開閉バルブ４２が閉じられ（図４のＳ１０）、チャンバー１０の内部は密閉される。
【００７４】
（液面の下降工程）
注入部２０の開閉バルブ２７が閉じられとき、液体１００が注入部２０のメインの配管２１のみからチャンバー１０内に注入されるので、メインの配管２１のみからチャンバー１０内に注入される液体１００の流量は、ポンプ３０によってチャンバー１０内から排出される液体１００の流量はよりも少なくなる。そのため、図３（Ｃ）に示すように、チャンバー１０内に溜められている液体１００は注入量と排出量との差の分だけ徐々に減少する（図４のＳ１１）。また、この工程では、排気部４０の開閉バルブ４２は閉じられているので、チャンバー１０の内部は密閉されている。そのため、チャンバー１０内に溜められた液体１００がポンプ３０によって強制的にチャンバー１０から排出される際に、チャンバー１０内が減圧される。液体１００に溶存している気体は、チャンバー１０内が減圧する際に、液体１００の内部から気泡として現れて液体１００から除去される。気泡として現れた気体は、液面が下降する工程ではチャンバー１０の上部に滞留する。
【００７５】
なお、脱気装置１が冷却装置５０を備えている場合、冷却装置５０は、次のようにして作動の開始が制御される。すなわち、液面が下降し、所定位置２０１を通過するとき（図４のＳ１２）、浮力によって押し上げられていたフロート８２は降下する。フロート８２が下降することによって、フロート８２は信号を停止する。コントローラ６０は、フロート８２が信号を送ることを停止したとき、螺旋状の配管５２に冷媒を循環させるようにチラー５１に指令を出して冷却するように制御する（図４のＳ１３）。冷却装置５０がこのように作動を開始したとき、チャンバー１０の内部は、所定位置２０１よりも上側の領域が冷却される。その結果、液体が蒸発してチャンバー１０の上部に滞留していても、冷却されることによって、蒸発したものが再び液化する。冷却装置５０は、蒸発したものを再び液化することによって、液体１００の脱気の効果を向上させている。
【００７６】
（液面の下降工程から上昇工程への切り替わり）
チャンバー１０内に溜められた液体１００が減少し、液面１０１が下限位置２０２に到達したとき（図４のＳ１４）、図３（Ｄ）に示すように、液体１００の浮力により押し上げられていたフロート８３は降下する。フロート８３が下降すると、液面センサー８０は信号を送ることを停止する。コントローラ６０は、液面センサー８０が信号を送ることを停止したとき、注入部２０に接続されたパイロットライン７０に圧縮空気を流す指令を出す。これにより注入部２０の開閉バルブ２７が開かれる。また、コントローラ６０は、排気部４０に接続されているパイロットライン７０に圧縮空気を流す指令を出す。これにより排気部４０の開閉バルブ４２は開かれる（図４のＳ１５）。
【００７７】
（２回目以降の液面の上昇工程及び下降工程）
注入部２０の開閉バルブ２７が開かれたとき、液体１００はメインの配管２１及びサブの配管２５の双方からチャンバー１０内に注入される。メインの配管２１及びサブの配管２５の双方からチャンバー１０内に注入される液体１００の流量は、ポンプ３０によりチャンバー１０内から排出される液体１００の流量よりも多い。そのため、注入される液体１００の流量と排出される液体１００の流量との差の分だけチャンバー１０内に溜められる液体１００の流量は増加して液面１０１が上昇する（図４のＳ１６）。フロート８３は、液面１０１の上昇に伴って液体１００の浮力によって押し上げられる。フロート８３が押し上げられたとき、フロート８３はコントローラ６０に信号を送る。コントローラ６０に内蔵されたタイマー６５は、フロート８３からの信号を受けることにより作動を開始する（図４のＳ１７）。
【００７８】
コントローラ６０、タイマー６５の設定時間が経過するまで、開閉バルブ２７を開いた状態を維持するように制御しているので、図３（Ｅ）に示すように、チャンバー１０に溜められる液体１００の液面１０１は上昇する。また、開閉バルブ４２が開いているので、ポンプ３０は配管３１及び配管４１を介してチャンバー１０に滞留している気体を吸引し、チャンバー１０の外に排気する。
【００７９】
タイマー６５の設定時間が経過して（図４のＳ２０）、図３（Ｆ）に示すように、液面１０１がチャンバー１０の上端に到達したとき、コントローラ６０は、排気部４０の開閉バルブ４２を閉じるように制御する（図４のＳ２１）。また、注入部２０の開閉バルブ２７を閉じて、チャンバー１０内に注入する液体１００の流量をチャンバー１０内から排出される液体１００の流量よりも少なくする（図４のＳ２２）。
【００８０】
なお、脱気装置１が冷却装置５０を備えている場合、液面１０１が所定位置２０１を通過するとき（図４のＳ１８）に、コントローラ６０はフロート８２からの信号に基づいて冷却装置５０の作動を上述した場合と同様に制御して冷却を停止する（図４のＳ１９）。
【００８１】
注入部２０の開閉バルブ２７を閉じた後、チャンバー１０内に注入される流量よりも排出される流量が多くなるので、チャンバー１０内に溜められた液体１００の液面１０１は下降する。液面１０１が下降して所定位置２０１を通過したとき（図４のＳ２３）、再び冷却が開始される（図４のＳ２４）。液面１０１はさらに下降し、チャンバー内の下限位置２０２に到達する。
【００８２】
脱気装置１は、こうした工程（図４のＳ１５からＳ２５）を繰り返し行うことによって、液体１００に溶存する気体を液体１００から除去する。脱気装置１がこうした工程を繰り返し行っている間、圧力センサー９０は、チャンバー１０の内圧を常時計測している。なお、脱気装置１がこうした工程を行う１サイクルの時間は、チャンバー１０の容量や注入部２０がチャンバー１０内に注入する液体１００の流量、及びポンプ３０がチャンバー１０内から排出する液体１００の流量に応じて適宜に設定される。
【００８３】
なお、脱気装置１がこうした工程を繰り返し行っている間に、液体１００に気体が混入することによってチャンバー１０内が所望の圧力まで減圧されないおそれがある。その場合、コントローラ６０は、圧力センサー９０からの圧力信号に基づいて、脱気装置１の動作をリセットするように脱気装置１の動作を制御する。具体的には、コントローラ６５は、圧力センサー９０から送信される圧力信号と記憶部に記憶されている最高内圧とを比較し、一定時間の間に最高内圧よりも高い圧力信号が圧力センサー９０から送信され続けた場合、脱気装置１の動作をリセットする。すなわち、チャンバー１０を空にし、次いで、液体１００をチャンバー１０に入れて液面１０１を上昇させて、フロート８３を作動させると共に、フロート８３からの信号に基づいてタイマー６５を作動させる。
【００８４】
なお、液体１００の液面１０１は、フロート８２が設けられた所定位置２０１とチャンバー１００の上端との間の任意の位置に到達するように制御してもよい。その場合、液面１０１が所望の位置に到達するようにタイマーの時間を設定することによって、開閉バルブ２７の作動は制御される。
【００８５】
こうした脱気装置１及び脱気方法は、以下に列記するように種々の効果を奏する。
【００８６】
脱気装置１及び脱気方法は、超音波を利用して電子部品やウエハー等を洗浄したり、表面の不純物を剥離したりする洗浄システムに組み込むことによってその効果を向上させることができる。ただし、超音波を利用した洗浄システム以外の一般的に用いられている洗浄装置に組み込んで電子部品やウエハー等を洗浄する洗浄液から気体を脱気するために利用することもできる。
【００８７】
脱気装置１及び脱気方法は、液体から超音波障害物を除去し、キャビテーション効果を向上させることができる。
【００８８】
脱気装置１及び脱気方法は、揮発性の溶剤を利用することができる。例えば、剥離液としてＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリドン）、フォトレジスト剥離液等を用いることができる。
【００８９】
脱気装置１及び脱気方法は、液体１００が溶存する気体の影響を受けて劣化することを防止することができる。特に、溶存する気体が酸素の場合、脱気装置１及び脱気方法は、液体が酸化することを防止することができる。
【００９０】
脱気装置１及び脱気方法は、洗浄や剥離等の時間を短縮させることができる。
【００９１】
脱気装置１は、その他に、既存の洗浄装置等が備える配管に接続するだけで洗浄装置等に容易に組み込むことができるという効果や、定期的なメインテナンスをする必要がないという効果を奏する。
【符号の説明】
【００９２】
１  脱気装置
１０  チャンバー
１１  本体
１２  底面
１３  排出部
１５  蓋
２０  注入部
２１  メインの配管
２２  フィルタ
２５  サブの配管（流量調整手段）
２６  フィルタ
２７  開閉バルブ（流量調整手段）
３０  ポンプ（排出手段）
３１  配管
３５  配管
４０  排気部
４１  配管
４２  開閉バルブ（開閉手段）
５０  冷却装置
５１  チラー
５２  螺旋状の配管
５３  配管
６０  コントローラ
６５  タイマー
７０  パイロットライン
８０  液面センサー
８１  心棒
８２  フロート
８３  フロート（下限センサー）
９０  圧力センサー
１００  液体
１０１  液面
２０１  所定位置
２０２  下限位置
２０３  上限位置
【図１】
2015079571.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2015079571.tif 000006
【国際調査報告】
2015079571.tif 000007
2015079571.tif 000008
2015079571.tif 000009
2015079571.tif 000010