(57)【要約】  印刷装置は、印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを付与した後、パターン状に付与されたインクを基板に転写するものである。印刷版の版面にインクを付与する画像記録部と、インクが付与された印刷版の版面の情報を取得する版面観察部と、インクが付与された印刷版の版面の基準となる基準形状の情報が記憶された記憶部と、記憶部に記憶された基準形状の情報と版面観察部で得らえたインクが付与された印刷版の版面の情報とを比較し、インクが付与された印刷版の版面が基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定する判定部を有する。
2016076084.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを付与した後、前記パターン状に付与されたインクを基板に転写する印刷装置であって、
前記印刷版の前記版面に前記インクを付与する画像記録部と、
前記インクが付与された前記印刷版の前記版面の情報を取得する版面観察部と、
前記インクが付与された前記印刷版の前記版面の基準となる基準形状の情報が記憶された記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記基準形状の情報と前記版面観察部で得らえた前記インクが付与された前記印刷版の前記版面の情報とを比較し、前記インクが付与された前記印刷版の前記版面が前記基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定する判定部を有することを特徴とする印刷装置。
【請求項２】
前記判定部の判定結果に基づき、前記版面の修復を行う修復部を有する請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
前記版面観察部は、前記印刷版に前記予め定められたパターン状に付与された前記インクを前記基板に転写した後の前記印刷版の版面の情報を取得するものであり、
前記判定部は、前記インクの前記基板への転写前後の前記印刷版の版面の情報を用いて前記インクが付与された前記印刷版の前記版面が前記基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定する請求項１または２に記載の印刷装置。
【請求項４】
前記印刷版の前記版面へのインクの付与は、複数回にわけてなされ、各回毎に前記版面観察部による前記印刷版の前記版面の情報が取得される請求項１〜３のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項５】
前記画像記録部は、インクジェット方式である請求項１〜４のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項６】
前記印刷版は、凹版であり、パターン状に形成された凹部に前記インクが付与される請求項１〜５のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項７】
印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを付与した後、前記パターン状に付与されたインクを基板に転写する印刷方法であって、
前記印刷版の版面にインクを付与する工程と、
前記インクが付与された前記印刷版の前記版面の情報を取得する取得工程と、
前記インクが付与された前記印刷版の前記版面の基準となる基準形状の情報と前記インクが付与された前記印刷版の前記版面の情報とを比較し、前記インクが付与された前記印刷版の前記版面が前記基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定する判定工程を有することを特徴とする印刷方法。
【請求項８】
前記判定工程の結果に基づき、前記版面の修復を行う修復工程を有する請求項７に記載の印刷方法。
【請求項９】
前記印刷版に前記予め定められたパターン状に付与された前記インクを前記基板に転写した後、前記印刷版の版面の情報を取得する工程と、
前記インクの前記基板への転写前後の前記印刷版の版面の情報を用いて前記インクが付与された前記印刷版の前記版面が前記基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定する工程とを有する請求項７または８に記載の印刷方法。
【請求項１０】
前記印刷版の前記版面へのインクの付与は、複数回にわけてなされ、各回毎に前記印刷版の前記版面の情報が取得される請求項７〜９のいずれか１項に記載の印刷方法。
【請求項１１】
前記印刷版の版面へのインクの付与は、インクジェット方式でなされる請求項７〜１０のいずれか１項に記載の印刷方法。
【請求項１２】
前記印刷版は、凹版であり、パターン状に形成された凹部に前記インクが付与される請求項７〜１１のいずれか１項に記載の印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、装置構成を複雑にすることなく、印刷精度を向上させた印刷装置および印刷方法に関し、特に、電子ペーパー等に用いられる薄膜トランジスタのゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、および配線等の作製に利用可能な印刷装置および印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、印刷法を用いて、ガラス基板、樹脂基板等に薄膜トランジスタのゲート電極、ソース電極、ドレイン電極および金属配線、ならびに電気配線パターン等の微細パターンが形成されている。印刷法により、金属等の導電性粒子を含有した液体によって微細パターンが形成された基板は、電子ペーパーおよび液晶ディスプレイ等の薄型表示装置、ならびに携帯通信機器等に用いられる。【０００３】
特許文献１のパターン印刷装置では、可撓性金属平板状の凹版に薄い樹脂層を設け、その上に撥インクパターンを設けて凹部を形成する。インク供給手段のインクジェットにより凹部に下方からインクを噴射して供給する。インク供給後、インク乾燥手段により凹部内のインクから溶剤を飛ばして粘性を失わないように乾燥する。被印刷体と可撓性金属平板状の凹版とを位置決めし、インク転移手段のプレス・剥離胴を用いてこれを転動しながら可撓性金属平板状の凹版を押圧し、凹部内のインクを被印刷体に転移する。インク転移後、可撓性金属平板状の凹版を撓ませながら剥離する。【０００４】
特許文献２は、対象物上に微細なパターンを精度よくかつ容易に形成することを目的とするパターン形成装置が記載されている。特許文献２のパターン形成装置では、処理対象の基板がステージ上に載置され、第１パターン形成部において、版胴上の所定の基準マークに対する凸版の位置が取得される。ここで、パターン形成装置では、基板上に形成するパターンに合わせて第１および第２パターン形成部の凸版が交換されるため、版胴の外周面上の凸版の位置は凸版を交換する毎に僅かに変化してしまう。第１パターン形成部では、基板上に第１パターンを形成する直前に版胴の外周面上において基準マークに対する凸版の位置が版胴撮像部により取得され、理想的な位置からのずれ量が取得される。【０００５】
特許文献３には、被印刷基板上に凸版を用いてパターンを印刷する凸版印刷装置が開示されている。特許文献３の凸版印刷装置は、印刷手段と、パターン検査手段とを備え、印刷手段は、凸版と、凸版を表面に装着した版胴と、凸版の表面にインキを供給するインキ供給装置部と、基板を載置して搬送する移動定盤とを備える。パターン検査手段は、移動定盤の移動機構に備えられた検査用ロールと、検査用ロールに印刷されたパターンを検査する検査装置とを備える。特許文献３では、版胴から検査用ロールにインクを転写し、検査用ロールの外周面を撮像してパターン検査を行うことにより、基板等への印刷を実行する前に版の欠陥等に起因するインキパターンの欠陥を検出する旨が記載されている。【０００６】
特許文献４の画像形成装置では、油性インキにより画像が形成されて搬入された連続紙が搬送ローラによって搬送されると共に、連続紙に対してプリンタ部によって画像が形成される一方、オフセット印刷処理およびプリンタ印刷処理を実行する際に、インキ転移検出部によって連続紙の画像形成面におけるインキの半乾きを検出するインキ半乾き検出機能が搭載されている。
インキ転移検出部には、インキ転移ローラの表面を撮像するＣＣＤ（電荷結合素子）センサと、連続紙をインキ転移ローラの周面に圧接させる圧接ローラと、圧接ローラを矢印Ｅ方向に往復移動させるためのステッピング・モータとが配設されている。インキ半乾きについては、圧接ローラにより、連続紙の画像形成面をインキ転移ローラの周面に圧接させ、インキ転移ローラの周面に油性インキが付着したか否かをＣＣＤセンサによって検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−８１７２６号公報
【特許文献２】特開２００８−２５８２４９号公報
【特許文献３】特開２０１４−６１６５３号公報
【特許文献４】特開２０１０−９１９６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述のように従来から種々のものが提案されている。特許文献１では、可撓性金属平板状の凹版を押圧し、凹部内のインクを被印刷体に転移することが記載されているものの、インクパターンの修正等がされるものではない。また、特許文献２のパターン形成装置では、第１パターンの理想的な位置からのずれ量がわかるものの、パターンの修正等がされるものではない。パターン形成の際にエラーが生じてしまうと、印刷精度が低下するという問題点がある。
一方、特許文献３、４では、検査用のロールが必要であるため、装置構成が複雑になり、装置コストが嵩むという問題点がある。【０００９】
本発明の目的は、前述の従来技術に基づく問題点を解消し、装置構成を複雑にすることなく、印刷精度を向上させた印刷装置および印刷方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを付与した後、パターン状に付与されたインクを基板に転写する印刷装置であって、印刷版の版面にインクを付与する画像記録部と、インクが付与された印刷版の版面の情報を取得する版面観察部と、インクが付与された印刷版の版面の基準となる基準形状の情報が記憶された記憶部と、記憶部に記憶された基準形状の情報と版面観察部で得らえたインクが付与された印刷版の版面の情報とを比較し、インクが付与された印刷版の版面が基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定する判定部を有することを特徴とする印刷装置を提供するものである。【００１１】
判定部の判定結果に基づき、版面の修復を行う修復部を有することが好ましい。
版面観察部は、印刷版に予め定められたパターン状に付与されたインクを基板に転写した後の印刷版の版面の情報を取得するものであり、判定部は、インクの基板への転写前後の印刷版の版面の情報を用いてインクが付与された印刷版の版面が基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定することが好ましい。
印刷版の版面へのインクの付与は、複数回にわけてなされ、各回毎に版面観察部による印刷版の版面の情報が取得されることが好ましい。
画像記録部は、例えば、インクジェット方式である。
例えば、印刷版は、凹版であり、パターン状に形成された凹部にインクが付与される。【００１２】
本発明は、印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを付与した後、パターン状に付与されたインクを基板に転写する印刷方法であって、印刷版の版面にインクを付与する工程と、インクが付与された印刷版の版面の情報を取得する取得工程と、インクが付与された印刷版の版面の基準となる基準形状の情報とインクが付与された印刷版の版面の情報とを比較し、インクが付与された印刷版の版面が基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定する判定工程を有することを特徴とする印刷方法を提供するものである。【００１３】
判定工程の結果に基づき、版面の修復を行う修復工程を有することが好ましい。
印刷版に予め定められたパターン状に付与されたインクを基板に転写した後、印刷版の版面の情報を取得する工程と、インクの基板への転写前後の印刷版の版面の情報を用いてインクが付与された印刷版の版面が基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定する工程とを有することが好ましい。
印刷版の版面へのインクの付与は、複数回にわけてなされ、各回毎に印刷版の版面の情報が取得されることが好ましい。
印刷版の版面へのインクの付与は、例えば、インクジェット方式でなされる。
例えば、印刷版は、凹版であり、パターン状に形成された凹部にインクが付与される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、装置構成を複雑にすることなく、印刷精度が向上させた印刷装置および印刷方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態の印刷装置を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態の印刷装置の画像記録部を示す模式図である。
【図３】（ａ）は、インクジェットヘッドのノズルの配置を示す平面図であり、（ｂ）は、インクジェットヘッドのノズルの配置の他の例を示す平面図である。
【図４】本発明の実施形態の印刷装置のインク供給機構を示す模式図である。
【図５】（ａ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式的断面図である。
【図６】本発明の実施形態の印刷装置のメンテナンス部の一例を示す模式図である。
【図７】本発明の実施形態の印刷装置のメンテナンス部の吐出観察部とノズル観察部を示す模式図である。
【図８】本発明の実施形態の印刷装置で形成される薄膜トランジスタの一例を示す模式図である。
【図９】（ａ）は、パターンにインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｂ）は、パターンに１回目のインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｃ）は、パターンに２回目のインクが付与された状態を示す模式図である。
【図１０】（ａ）は、パターンに１回目のインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｂ）は、パターンに２回目のインクが付与された状態を示す模式図である。
【図１１】（ａ）は、パターンにインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｂ）は、パターンに１回目のインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｃ）は、パターンに４回目のインクが付与された状態を示す模式図である。
【図１２】（ａ）は、パターンに４回目のインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｂ）は、基板に転写した後の版面を示す模式図であり、（ｃ）は、基板に転写した後の基板を示す模式図である。
【図１３】（ａ）は、パターンに４回目のインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｂ）は、パターンに１回目のインクが付与された状態を示す模式図である。
【図１４】本発明の実施形態の印刷方法を説明するための示す模式図である。
【図１５】本発明の実施形態の印刷方法を示すフローチャートである。
【図１６】本発明の実施形態の印刷方法のうち、吐出検査の工程を示すフローチャートである。
【図１７】本発明の実施形態の印刷方法のうち、版検査の工程を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の印刷装置および印刷方法を詳細に説明する。本発明は、以下に説明する印刷装置および印刷方法の実施形態に限定されるものではない。
なお、以下において数値範囲を示す「〜」とは両側に記載された数値を含む。例えば、εが数値α〜数値βとは、εの範囲は数値αと数値βを含む範囲であり、数学記号で示せばα≦ε≦βである。
【００１７】
図１は、本発明の実施形態の印刷装置を示す模式図である。
図１に示すように印刷装置１０は、印刷装置本体１２と、記憶部１４と、判定部１６と、制御部１８とを有する。
印刷装置本体１２は、印刷法により、基板３１に予め定められたパターンを形成するものである。印刷装置本体１２については後に詳細に説明する。
【００１８】
記憶部１４は、印刷装置１０で利用される各種の情報が記憶されるものである。記憶部１４には、特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの基準となる基準形状の情報が記憶される。
基準形状の情報とは、例えば、印刷版２５のパターン領域に対して、インクを付与した際の理想的な状態を示す画像データである。また、印刷版２５のパターン領域に対して、複数回にわたり、インクを付与する場合には、各回毎の理想的な状態を示す画像データである。例えば、パターン領域に対してインクジェット法でインクを吐出し、ドットを形成してパターン領域にインクを付与した場合には、各回毎のインクの吐出により形成されるドットの理想的な配置を示す画像データを上述の基準形状の情報という。
また、転写後の印刷版２５の版面２５ａの理想的な状態を示す画像データも基準形状の情報に含まれる。
また、記憶部１４には、印刷しようとするパターンのパターンデータが記憶されるが、このパターンデータは、外部から適宜入力される。記憶部１４への基準形状の情報およびパターンデータの入力方法は、特に限定されるものではなく、各種のインターフェースを記憶部１４に設け、記憶媒体、および有線、無線を問わないネットワークを介して入力することができる。
【００１９】
判定部１６は、後述する印刷装置本体１２の版面観察部２６で得られた、特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの情報と、記憶部１４で記憶された特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの基準となる基準形状の情報とを比較し、基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定するものである。判定結果に応じた判定情報を制御部１８に出力するものである。
また、判定部１６では、予め定められた範囲からは外れる場合、外れた箇所等の特定もするものである。例えば、パターン領域に対してはみ出してインクが付与された場合には、インクのはみ出した部分を特定する。また、判定部１６では、インクジェット方式でパターン領域に対してインクを付与する場合には、インクにより形成されるドットの位置のずれ、ドットが抜けた領域等を特定することができる。これにより、後述するように制御部１８で特定された箇所に応じてインクの吐出量等を調整する。
【００２０】
制御部１８は、印刷装置本体１２、記憶部１４および判定部１６に接続されており、印刷装置本体１２、記憶部１４および判定部１６の各要素を制御するものである。
また、制御部１８は、判定部１６での判定結果に応じて各部を制御する。例えば、判定部１６で基準形状に対して予め定められた範囲を超えると判定され、そのことを示す判定信号が制御部１８に出力された場合、制御部１８では、後述するように修復部２８で版面のパターンを修復する。
【００２１】
次に、印刷装置本体１２について説明する。
印刷装置本体１２は、印刷を清浄な雰囲気でするためにケーシング２０の内部２０ａに各部が設けられている。ケーシング２０の内部２０ａを予め定められた清浄度となるように、フィルタ（図示せず）および空調設備（図示せず）が設けられている。
印刷装置本体１２は、画像記録部２２と、版胴２４と、版面観察部２６と、修復部２８と、ステージ３０と、乾燥部３２と、イオナイザー３３と、クリーニング部３４と、メンテナンス部３６とを有する。
版胴２４の表面２４ａの周囲を囲むようにして、画像記録部２２、修復部２８、版面観察部２６、乾燥部３２、イオナイザー３３およびクリーニング部３４が設けられている。クリーニング部３４は版胴２４の表面２４ａに接して設けられている。
【００２２】
ステージ３０上に基板３１が配置されており、ステージ３０が版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに配置された状態で版胴２４が回転すると印刷版２５と、基板３１の表面３１ａとが接するように配置されている。これにより、基板３１の表面３１ａに印刷版２５の版面２５ａに予め定められたパターン状に付与されたインクが転写される。
なお、印刷された基板３１では、インクの特性に応じて、例えば、熱、光等によりインクが焼成される。熱、光を用いたインクの焼成で利用される公知のものが適宜利用可能である。基板３１に対するインクの焼成は、ケーシング２０の内部２０ａでなされても、外部でなされてもよい。
【００２３】
印刷装置１０では、版胴２４に設けた印刷版２５のパターン領域にインクを付与するが、このインクの付与は１回で完了させてもよく、また複数回にわたってインクを付与してもよい。複数回にわたってインクを付与する場合、インクを付与する回数分、版胴２４を回転させる。例えば、４回に分けてインクを付与する場合、版胴２４を４回回転させる。インクを付与することをインキングという。また、複数回のうち、インクを１回行うことを走査するともいう。
【００２４】
以下、印刷装置本体１２の各部について説明する。
画像記録部２２は、印刷版２５の版面２５ａにインクを付与するものであり、画像記録部２２により、版面２５ａに予め定められたパターンでインクが付与される。なお、画像記録部２２の画像記録方式は特に限定されるものではなく、例えば、インクジェット方式が用いられる。
【００２５】
版胴２４は、回転軸２４ｂを中心にしてＹ方向に回転可能なものである。また、版胴２４は、印刷版２５を保持した状態で回転させて、予め定められたパターン状に付与された印刷版２５の版面２５ａのインクを基板３１の表面３１ａに転写するためのものである。
回転軸２４ｂには、例えば、版胴２４を回転させるためのモータ（図示せず）がギア（図示せず）等を介して設けられている。モータは制御部１８にて制御される。また、回転軸２４ｂには回転と回転量を検出するローターリーエンコーダ（図示せず）が設けられている。ローターリーエンコーダは制御部１８に接続されており、制御部１８で版胴２４の回転量が検出される。
【００２６】
転写される基板３１は、特に限定されるものではないが、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）およびＰＣ（ポリカーボネート）等のフイルム基板、ガラスエポキシ基板、セラミック基板、ならびにガラス基板を用いることができる。転写方法としては、ガラス基板等のリジッド基板では、上述のようにステージ３０上に基板３１を固定して版胴２４に密着させることで転写できる。
なお、印刷版２５にフイルムを使った場合には圧胴を用いて、フイルムを圧胴に固定して版胴２４に密着させて転写する構成としてもよい。
【００２７】
版面観察部２６は、画像記録部２２よりも版胴２４のＹ方向の下流側に配置されている。版面観察部２６は、インクが付与された印刷版２５の版面２５ａの情報を取得するものである。また、版面観察部２６は、基板３１にインクが転写された後の印刷版２５の版面２５ａの情報も取得するものである。
版面観察部２６は、インク転写前後の印刷版２５の版面２５ａの情報を取得することができれば、その構成は特に限定されるものではない。印刷版２５は矩形状のものが多いため、ラインセンサとライン状の照明を用いることが好ましい。この場合、版面２５ａの情報として、版面撮像データが得られる。この版面撮像データが、判定部１６にて上述のように基準形状の情報と比較されて判定される。
【００２８】
ラインセンサは、例えば、１００万画素程度以上のモノクロＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）カメラ、ＣＣＤ（電荷結合素子）カメラを用いることができる。なお、吐出されたインク液滴で構成の陰を観察するためカラーである必要性はない。また、ラインセンサの前にレンズ、および各種のフィルタ等を設けてもよい。ライン状の照明としては、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）を一直線状に並べたものを用いることができる。
版面観察部２６は、制御部１８に接続されており、版面観察部２６での印刷版２５の版面２５ａの情報の取得のタイミングは制御部１８で制御され、取得された印刷版２５の版面２５ａの情報は記憶部１４に記憶される。
【００２９】
インクに絶縁体等の透明インクを用いた場合、肉眼による識別が困難であるが、光源、ラインセンサ前に偏光フィルタを設けること、２箇所以上から照明を行う等により、ラインセンサによるインクの識別性を改善することができる。
また、印刷版２５の版面２５ａの情報の取得は、走査毎に行うことで、着弾位置ずれ、サテライトおよび吐出滴量変化による膜厚むらを検出することが可能となる。例えば、膜厚と光学特性のとの関係を予め測定しておき、記憶部１４に記憶しておくことにより、上述の関係と検出された光学特性とを比較することで膜厚を推定することができる。
【００３０】
また、インクに銀ナノインクを用いた場合、銀ナノインクでは、乾燥とともに銀光沢が発現して、色または反射率が変化する。膜厚が薄いと乾燥が早く、厚いと乾燥が遅いため、検出までの所定の時間における膜厚と色、膜厚と反射率との関係を、予め計測しておくことで、膜厚を推定できる。
絶縁体等の透明インクの場合には、干渉縞で膜厚を判断することが可能である。膜厚と干渉縞との関係を予め測定しておくことで膜厚を推定できる。半導体等結晶性のあるインクの場合には、偏光フィルタを設けて、色で膜厚を推定することもできる。この場合も、予め膜厚と色との関係を測定しておくことで、膜厚を推定することができる。
【００３１】
修復部２８は、版胴２４のＹ方向における画像記録部２２と版面観察部２６との間に設けられている。修復部２８は、版面２５ａの修復を行うものである。版面２５ａの修復は、判定部１６の判定結果に応じて、例えば、予め定められたパターンよりも広い範囲にインクがある場合、パターンからはみ出した領域のインクをはじき飛ばす。この場合、修復部２８は、例えば、レーザ光線を出射するレーザ部（図示せず）を有する。レーザ光線の出力は、インクをはじき飛ばすか、またはインクを蒸発させることができれば、特に限定されるものではない。
修復部２８は、修復用にインクジェットヘッドまたはディスペンサーを設けてもよい。
なお、予め定められたパターンよりも狭い範囲にしかインクがない場合には、例えば、修復用のインクジェットヘッドまたはディスペンサーでインクを付与することで修復する。
【００３２】
ステージ３０は、基板３１を載置し、搬送方向Ｖに移動して、基板３１を予め定められた位置に搬送するものである。ステージ３０には搬送機構（図示せず）が設けられている。この搬送機構は、制御部１８に接続されており、制御部１８にて搬送機構が制御されてステージ３０が搬送方向Ｖに移動されて、ステージ３０の位置が変えられる。
ステージ３０は、まず、ケーシング２０の外部から搬送された基板３１が載置される開始位置Ｐｓに待機する。次に、ステージ３０は、版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに移動される。次に、印刷後、ステージ３０は印刷済みの基板３１を載せた状態で終了位置Ｐｅに移動され、その後、基板３１はケーシング２０の外部に取り出される。ステージ３０は、終了位置Ｐｅから開始位置Ｐｓに移動されて、基板３１が搬入されるまでの間、待機する。
【００３３】
乾燥部３２は、印刷版２５の版面２５ａのインクを乾燥させるものである。インクを乾燥させることができれば、乾燥方法は、特に限定されるものではなく、例えば、ファンによる温風、冷風の吹き付け、赤外線ヒーターによる加熱、高周波の照射、およびマイクロ波照射等が挙げられる。
なお、自然乾燥にて印刷版２５の版面２５ａのインクを乾燥できる場合、乾燥部３２を必ずしも設ける必要がない。
【００３４】
イオナイザー３３は、印刷版２５の版面２５ａの電気を除電するものである。イオナイザー３３により、印刷版２５の版面２５ａの静電気が除去され、印刷版２５の版面２５ａにゴミ、埃などの異物の付着が抑制される。また、印刷版２５の版面２５ａが帯電している場合、インクが曲がることがあるが、このインクの曲がりを防止することができ、インクジェット吐出精度が向上する。
なお、イオナイザー３３には、静電気除電器を用いることができ、例えば、コロナ放電方式、およびイオン生成方式のものを用いることができる。また、イオナイザー３３は、乾燥部３２のＹ方向における下流側に設けたが、画像記録部２２により記録される前に、印刷版２５の版面２５ａの静電気を除電することができれば、イオナイザー３３を設ける位置は特に限定されるものではない。
【００３５】
クリーニング部３４は、版胴２４および印刷版２５に付着したインクを除去するものである。クリーニング部３４は、版胴２４および印刷版２５に付着したインクを除去することができれば、その構成は、特に限定されるものではない。例えば、ローラを版胴２４に押し付け、ローラにインクを転写させて、転写されたインクをふき取る構成である。
【００３６】
メンテナンス部３６は、画像記録部２２の吐出特性等が予め定められた性能を発揮するかを調べる。メンテナンス部３６は、予め定められた性能を発揮するようノズルのワイプ等をするところである。メンテナンス部３６は、版胴２４から離れた位置に設けられている。画像記録部２２は、例えば、ガイドレール（図示せず）を介してメンテナンス部３６に移送される。メンテナンス部３６については後に詳細に説明する。
【００３７】
以下、画像記録部２２について詳細に説明する。
図２は、本発明の実施形態の印刷装置の画像記録部を示す模式図である。
画像記録部２２に、インクジェット方式を用いたものを例にして説明する。
図２に示すように、画像記録部２２は、インクジェットヘッド４０と、アライメントカメラ４２と、レーザ変位計４４とを有し、これらはキャリッジ４６に設けられている。このキャリッジ４６はリニアモータ４８により、版胴２４の回転軸２４ｂ方向、すなわち、Ｘ方向に移動可能であり、インクジェットヘッド４０はキャリッジ４６により、Ｘ方向へ移動可能である。
【００３８】
インクジェットヘッド４０にはインクの吐出を制御するための吐出制御部４３が設けられている。吐出制御部４３でインクの吐出波形が調整される。吐出制御部４３は制御部１８に接続されている。吐出制御部４３では、例えば、ユーザーインターフェースを通して、ユーザーが吐出電圧または吐出波形を調整することが可能である。なお、後述するようにインクの温度が調整された状態で吐出される。
【００３９】
アライメントカメラ４２およびレーザ変位計４４も制御部１８に接続されている。キャリッジ４６にはＺ方向に移動させるための駆動部（図示せず）が設けられており、この駆動部は制御部１８に接続されており、制御部１８によりキャリッジ４６のＺ方向の移動が制御される。ここで、Ｚ方向とは、版胴２４の表面２４ａに垂直な方向である。
【００４０】
アライメントカメラ４２は、インクの吐出位置、インクの吐出タイミング、パターンデータの補正をするためのアライメントマークの位置情報を得るためのものである。
アライメントカメラ４２は、アライメントマークＡ〜Ｄを検出することができれば、その構成は特に限定されるものではない。
【００４１】
アライメントカメラ４２により、アライメントマークＡ〜Ｄが撮像されて、その撮像データが記憶部１４に記憶され、制御部１８でアライメントマークＡ〜Ｄの位置が特定される。
アライメントマークＡ、Ｂの位置情報により、Ｙ方向におけるインクの吐出開始位置（インキング開始位置）、Ｘ方向の印刷版の拡縮および印刷版の傾き角度θの情報を得ることができる。アライメントマークＡ、Ｃの位置情報により、Ｘ方向におけるインクの吐出開始位置（インキング開始位置）およびＹ方向の印刷版の拡縮の情報を得ることができる。アライメントマークＡ〜Ｄの位置情報により、例えば、印刷版の台形歪みの情報、すなわち、台形変形の情報を得ることができる。
【００４２】
上述の得られた各種の情報により、インクの吐出開始位置、インクジェットヘッド４０の位置およびインクの吐出タイミングを補正する。なお、これらの補正には、いずれもインクジェットによるインクの打滴の公知補正方法を用いることができる。
また、パターンデータについてのＸ方向の拡大縮小、Ｙ方向の拡大縮小、傾き、および台形補正は、公知補正方法を用いることができる。
なお、アライメントマークは、少なくとも３つあればよく、Ｘ方向の印刷版の拡縮、印刷版の傾き角度θおよびＹ方向の印刷版の拡縮の情報を得ることができる。アライメントマークが４つあれば、印刷版２５の台形歪みの情報も得ることができるため、４つあることが好ましい。さらには、アライメントマークＡ〜Ｄの内側にも複数のアライメントマークを設けることにより、非線形の補正を行うことができる。この場合、アライメントマークを用いた補正も公知補正方法を用いることができる。
【００４３】
レーザ変位計４４は、インクジェットヘッド４０と印刷版２５の版面２５ａとの距離を測定するものである。インクによる版膨潤または温度等による版胴径＋版厚の変化により、アライメントマークＡとアライメントマークＣとのＹ方向における距離、すなわち、ＡＣ長が変化する。ここで、インクジェットヘッド４０のインクは、ローターリーエンコーダのタイミングで吐出するため版胴径の変化を受けず版の長さの変化に対応するが、基板３１に転写したとき長さが変化してしまう。
【００４４】
上述のＡＣ長の変化があっても基板３１上の印刷パターンの長さを一定にする目的で、このレーザ変位計４４により、版胴径＋版厚の変化を測定する。測定した結果に基づいて補正を行う。
補正の具体例としては、版胴２４の回転軸２４ｂから印刷版２５の版面２５ａまでの距離変動を精密に測定して、その結果に基づいて、転写時の版胴２４および基板３１の移動相対速度を変化させることが挙げられる。
上述の補正の具体例以外に、例えば、版胴２４または環境の温度を測定して、予め作成した版胴２４の回転軸２４ｂと印刷版２５の版面２５ａまでの距離と温度との関係のテーブルに基づいて、転写時の版胴２４および基板３１の移動相対速度を変化させることが挙げられる。
上述の補正の具体例により、版膨潤または版胴径の変化があっても精度よく印刷が可能となる。なお、転写するときに、版側と基板側の送り速度に差を設けると転写パターンの送り方向の寸法が変化することが知られている。
【００４５】
レーザ変位計４４については、インクジェットヘッド４０と印刷版２５の版面２５ａとの距離を測定することができれば、その構成は特に限定されるものではない。
また、レーザ変位計４４は、印刷版２５の版面２５ａ迄の距離を測定することで、版胴径＋版厚の変化を測定することができる。これをＹ方向の拡大縮小に利用することができる。例えば、版胴２４の直径または印刷版２５の膜厚が、温度変化により変化するとアライメントマークＡとアライメントマークＣの間の長さが変化する。この長さの変化をパターンデータの補正に利用することができる。
【００４６】
上述のようにアライメントカメラ４２およびレーザ変位計４４を用いることで、アライメント精度を高くすることができる。印刷装置１０では、後述するように薄膜トランジスタの形成に利用される。薄膜トランジスタでは、１０μｍ程度のずれでも、特性が変わってしまう。複数の薄膜トランジスタを形成する場合、特性がばらつくことになり、例えば、電子ペーパーに用いた場合、高い性能が得られないことになるが、このような特性のバラつきを抑制することができる。
【００４７】
インクジェットヘッド４０は、図３（ａ）に示すように、印刷版２５の全幅に対応する長さにわたって、複数のノズル４１が千鳥配置されている。
千鳥配置を適用することで、ノズル４１を高密度に配置させることができる。なお、ノズル４１を配置する列数は、特に限定されるものではなく、一列でも二列でも、それ以上でもよい。また、ノズル４１は、マトリクス状に配置してもよい。
インクジェットヘッド４０の構成は、特に限定されるものではなく、例えば、図３（ｂ）に示す構成でもよい。図３（ｂ）に示すインクジェットヘッド４０は、Ｘ方向に、複数のヘッドモジュール４０ａが接続されている。この場合、複数のヘッドモジュール４０ａ一列につなぎ合わせた構成に限定されるものではなく、複数のヘッドモジュール４０ａを千鳥状につなぎ合わせた構成でもよい。
図３（ｂ）に示すインクジェットヘッド４０では、吐出制御部４３によりヘッドモジュール４０ａ毎に吐出波形を調整することが可能である。また、ヘッドモジュール４０ａ毎に吐出制御部４３を設ければ、吐出制御部４３毎に吐出波形を調整することが可能である。
【００４８】
インクジェットヘッド４０のインクを吐出させる方式は、特に限定されるものではなく、圧電素子のたわみ変形、ずり変形、縦振動等を利用して液体を吐出させる圧電方式、ヒーターによって液室内の液体を加熱して、膜沸騰現象を利用して液体を吐出させるサーマル方式、静電気力を利用する静電方式等、各種方式を用いることができる。
【００４９】
次に、印刷装置１０のインク供給機構について説明する。
図４は、本発明の実施形態の印刷装置のインク供給機構を示す模式図である。
図４に示すように、画像記録部２２において、インクジェットヘッド４０は、２つのサブタンク５０、５８が、それぞれ配管５０ｃ、５８ｃを介して接続されている。配管５０ｃには脱気ユニット５１が設けられている。脱気ユニット５１はインクジェットヘッド４０に供給されるインクを脱気するものであり、公知のものを適宜利用することができる。
【００５０】
サブタンク５０は、インクジェットヘッド４０に供給するインクを溜めておくものである。２つの水位センサ５０ａと温度調整ユニット５０ｂとが設けられている。
水位センサ５０ａは、インクの水位を計測することができれば、その構成は特に限定されるものではなく、公知のものを適宜利用することができる。
温度調整ユニット５０ｂは、インクの温度を調整するものである。これにより、インクの温度を調整することができる。インクの温度としては、例えば、１５℃〜３０℃程度であることが好ましい。温度調整ユニット５０ｂは、インクの温度を調整することができれば、その構成は特に限定されるものではなく、公知のものを適宜用いることができる。
【００５１】
サブタンク５８は、インクジェットヘッド４０から回収されたインクを溜めておくものである。２つの水位センサ５８ａと温度調整ユニット５８ｂとが設けられている。
水位センサ５８ａは、水位センサ５０ａと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。温度調整ユニット５８ｂも温度調整ユニット５０ｂと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
【００５２】
サブタンク５８のインクをサブタンク５０に移動させる循環部６０がある。循環部６０は、サブタンク５０とサブタンク５８をつなぐ配管６０ｃと、配管６０ｃに設けられてポンプ６０ａとフィルタ６０ｂを有する。ポンプ６０ａは、サブタンク５０およびサブタンク５８のインク量を調整するためのものである。ポンプ６０ａは、サブタンク５０とサブタンク５８との間でインクを移動させることができれば、その構成は特に限定されるものではなく、公知のポンプを適宜利用することができる。フィルタ６０ｂはサブタンク５８からサブタンク５０に移動するインクが通過し、このとき、ゴミ等を除去する。
【００５３】
サブタンク５０およびサブタンク５８には、それぞれ配管６４ｃが挿入されており、この配管６４ｃにはポンプ６４ａが設けられている。また、配管６４ｃには配管６４ｄを介して圧力センサ６４ｂが接続されている。なお、図示はしないが、配管６４ｃ、６４ｄにはバルブ等が設けられている。これにより、サブタンク５０、５８は窒素ガスが充填される。また、窒素ガスの充填量を変えることで、サブタンク５０とサブタンク５８とで圧力差を生じさせて、容易に循環させることができる。
圧力センサ６４ｂにより、サブタンク５０とサブタンク５８の圧力を測定することができる。圧力センサ６４ｂによるサブタンク５０とサブタンク５８の各圧力の測定結果を用いることで、インクジェットヘッド４０のメニスカス負圧および循環量を制御することができる。
【００５４】
サブタンク５０には、インクタンク５２が配管６２ｂを介して接続されている。配管６２ｂにはポンプ６２ａとフィルタ６２ｅが設けられている。インクタンク５２内にはインク５２ｂが充填されている。
インクタンク５２には温度調整ユニット５２ａが設けられている。温度調整ユニット５２ａは温度調整ユニット５０ｂと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
また、インクタンク５２には、例えば、窒素ガスを充填したボンベ６２ｃが配管６２ｄを介して接続されている。これにより、インクタンク５２内に窒素ガスが充填される。
【００５５】
さらには、サブタンク５０には、洗浄液ボトル５４が配管６２ｂを介して接続されている。配管６２ｂにはポンプ６２ａとフィルタ６２ｅが設けられている。洗浄液ボトル５４内には洗浄液５４ｂが充填されている。
洗浄液ボトル５４には温度調整ユニット５４ａが設けられている。温度調整ユニット５４ａは温度調整ユニット５０ｂと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
また、洗浄液ボトル５４には、例えば、窒素ガスを充填したボンベ６２ｃが配管６２ｄを介して接続されている。これにより、洗浄液ボトル５４内に窒素ガスが充填される。
なお、温度調整ユニット５２ａでインクの温度を調整することができるが、インクの温度は、サブタンク５０のインクの温度＞インクタンク５２のインクの温度であることが好ましい。
【００５６】
サブタンク５８は、配管６２ｆを介して廃液タンク５６が接続されている。配管６２ｆにはポンプ６２ａが接続されている。これにより、廃液タンク５６内にサブタンク５８内のインク５２ｂを廃液として移動させることができる。
インク５２ｂとしては、インクジェット用のナノメタルインクを利用することができる。具体的には、ＵＬＶＡＣ製Ａｇナノメタルインク（Ａｇ１ｔｅＨ（型番）、Ｌ−Ａｇ１ＴｅＨ（型番））、およびＡｕナノメタルインク（シクロドデセン溶媒）インクジェットタイプを利用することができる。
【００５７】
次に、印刷版２５について説明する。
図５（ａ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式的断面図である。
図５（ａ）に示すように、例えば、印刷版２５は、版面２５ａに、アライメントマークＡ〜Ｄが、それぞれ四隅に設けられており、吐出確認エリアＴ、印刷エリアＧ１１、Ｇ１２、スピットエリアＧ、印刷エリアＧ２１、Ｇ２２、スピットエリアＧ、印刷エリアＧ３１、Ｇ３２が形成されている。
【００５８】
吐出確認エリアＴは、インクジェットヘッド４０により、テストパターン状にインクが吐出される領域である。吐出確認エリアＴのインクは、評価後、クリーニング部３４で取り除くか、または基板３１に転写して取り除く。
スピットエリアＧは、インクジェットヘッド４０により、通常の吐出動作で、インクを吐出し、吐出確認に利用される領域である。
印刷エリアＧ１１〜Ｇ３１、Ｇ１２〜Ｇ３２の前に、吐出確認のための領域、吐出確認エリアＴおよびスピットエリアＧを設けることで、印刷エリアＧ１１〜Ｇ３１、Ｇ１２〜Ｇ３２へのインクの吐出を確実にすることができる。
【００５９】
図５（ｂ）に示すように、例えば、印刷版２５は、版面２５ａに凹部２５ｂが形成されている。この凹部２５ｂにインク５２ｂが打滴されてパターン状のインクが付与される。なお、凹部２５ｂの深さは数μｍ程度である。
印刷版２５としては、樹脂、金属、ガラス等材料は限定されないが、樹脂版を用いると弾性があり、また印圧を下げることができるのでガラス等の脆性材料に印刷することが容易になる。印刷版２５としては、フロロシリコーンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、ニトリルゴム、ネオプレンゴム、ハイバロンゴム、ウレタンゴムなどの種種のエラストマが使用できるが、離型性のよいＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）等のシリコーンゴム、およびフッ素ゴム等が望ましい。ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）等を用いることで転写性が向上して、転写後、印刷版２５にインクが残ることが抑制されて、印刷版２５の洗浄なしでも連続印刷が可能となる。これにより、印刷効率を向上させることができる。
なお、印刷版２５は予め定められたパターン状に凹部２５ｂが形成されたものを用いるが、凹部２５ｂは、公知の方法で形成される。
【００６０】
図６は、本発明の実施形態の印刷装置のメンテナンス部の一例を示す模式図である。
図６に示すように、インクジェットヘッド４０に対して、回転ローラ７０が配置されている。この回転ローラ７０は、回転軸７０ａを有し、回転軸７０ａを中心に回転する。回転ローラ７０には、その周面７０ｂに、インクジェットヘッド４０の洗浄のためのウェブ７２が巻きかけられている。このウェブ７２は、インクジェットヘッド４０のインク５２ｂを取り除くことができれば、特に限定されるものではない。例えば、洗浄部７４により洗浄液７４ａを、インクジェットヘッド４０に直接、塗布または噴射して、回転ローラ７０を回転させてウェブ７２をインクジェットヘッド４０に接触させてインク５２ｂを取り除く。また、ウェブ７２に洗浄部７４により洗浄液７４ａを噴射して、回転ローラ７０を回転させてウェブ７２をインクジェットヘッド４０に接触させてインク５２ｂを取り除いてもよい。
【００６１】
洗浄液には、例えば、インク溶解性のある溶剤またはインク成分のうち固形分が含まれない溶液が用いられる。ＵＬＶＡＣ製Ａｇナノメタルインク（Ａｇ１ｔｅＨ（型番）、Ｌ−Ａｇ１ＴｅＨ（型番））、およびＡｕナノメタルインク（シクロドデセン溶媒）インクジェットタイプには、炭化水素系の溶剤を利用することができる。炭化水素系の溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン、ヘキサン、テトラデカン、シクロドデセンを用いることができる。
ウェブ７２には、例えば、ＫＢセーレン社製、サヴィーナ（登録商標）、東レ社製、トレシー（登録商標）、および帝人社製、ナノフロント（登録商標）、ミクロスター（登録商標）等のワイピングクロスを用いることができる。
【００６２】
また、インクジェットヘッド４０を洗浄するものとしては、図６に示すものに限定されるものではない。例えば、ゴムブレード（図示せず）を有する構成とすることもできる。インクジェットヘッド４０はキャリッジ４６によりＸ方向に移動可能であるため、これを利用して、ゴムブレードを固定してインクジェットヘッド４０の長手方向にインクをふき取る。また、インクジェットヘッド４０を固定して、ゴムブレードを走査してワイプしてもよい。このとき、インクジェットヘッド４０の長手方向と直交する短手方向にインクをふき取るとゴムブレードの移動距離を短くできるメリットがあり、これ以外にも、ふき取ったインクが他のノズルに入る可能性が少ないメリットがある。一方、インクジェットヘッド４０の長手方向と平行方向にインクをふき取るとインクジェットヘッド４０のＸ軸を共有できるメリットがある。そこで装置構成またはコストを考慮した最適の形で設計することがよい。
なお、ゴムブレードまたはインクジェットヘッド４０に洗浄液を付与して、インクをふき取るようにしてもよい。インクをふき取る時には、サブタンク５０、５８内の圧力を印刷時の圧力と別に設定することもできる。インク、インクジェットヘッド４０またはワイプの条件によって最適な圧力を設定することが好ましい。
【００６３】
ウェブ（図示せず）を用いる場合、インクジェットヘッド４０を、例えば、Ｘ方向に移動させながら、ウェブを移動させてワイプする。これによりウェブ面が常にリフレッシュされる。ウェブには、上述のウェブ７２と同じものを用いることができる。
なお、ウェブに洗浄液を事前に含ませて、インクをふき取ること、およびインクジェットヘッド４０に洗浄液を付与して、インクをふき取ることのうち、少なくとも一方をしてもよい。インクをふき取る時にはサブタンク５０、５８内の圧力を印刷時の圧力と別に設定することもできる。インク、インクジェットヘッド４０またはワイプの条件によって最適な圧力を設定することが好ましい。
【００６４】
メンテナンス部３６では、インクジェットヘッド４０について、パージ、スピットおよびドリップ等の動作を行わせることもできる。
ここで、パージとは、インクジェットヘッド４０をインク受け７７上に配置し、この状態でサブタンク５０の圧力を正圧にして、ノズル４１からインクを押し出すことである。インク受け７７は、キャップ、ワイプ部と共有することもできる。
【００６５】
スピットとは、吐出動作のことである。これにより、ノズル詰まり、吐出曲がりを改善することができる。なお、スピットはパージと同様の場所で実施するが、スピット用のステーションを設けてもよい。この場合、吐出したインクが舞わないように下から吸引を行うことが好ましい。スピット時は、印刷時のインクジェットヘッド４０に吐出波形と比較して駆動電圧を高くするか、または専用波形を用いる。専用波形は、印刷時の吐出波形と比較してインク液適量が多く、インクの吐出速度が早くなるように設定する。
【００６６】
ドリップとは、上述のパージ程、インクを強く押し出す回復動作ではなく、ゆっくりとインクが垂れることで回復させる動作である。これにより、ノズルの詰まり、インクの吐出曲がりを改善することができる。なお、ドリップもパージまたはスピットと同様の場所で実施するが、ドリップの際、サブタンク５０内の圧力を印刷時の圧力よりも正圧側にすることで実施する。しかしながら、サブタンク５０内の圧力は大気圧より正圧であり、かつパージ圧より低いことが好ましい。
【００６７】
また、メンテナンス部３６では、ノズル４１の乾燥防止のため、キャップ機構（図示せず）を有してもよい。キャップ機構では、ノズル４１にキャップした後、ノズル４１周辺を窒素ガスで満たすものである。また、洗浄液をウェブ等に浸してキャップの中に配置することでノズル４１の乾燥をより防止することもできる。
【００６８】
図７は、本発明の実施形態の印刷装置のメンテナンス部の吐出観察部とノズル観察部を示す模式図である。
図７に示すように、メンテナンス部３６では、インクジェットヘッド４０から吐出されたインク液滴４５を観察する吐出観察部７６と、インクジェットヘッド４０のノズル４１（図３（ａ）参照）を、ノズル４１が形成された面側から観察するノズル観察部７８とを有する。インク液滴４５を受けるインク受け７７がインクジェットヘッド４０に対向して設けられている。
【００６９】
吐出観察部７６は、光源７６ａと撮像部７６ｂを有し、光源７６ａと撮像部７６ｂとが、インク液滴４５を挟んで配置されている。光源７６ａには、ＬＥＤ光源およびストロボ光源を利用することができる。ストロボ光源としては、例えば、菅原製作所のナノパルスライトを用いることができる。
撮像部７６ｂには、例えば、カメラレンズを備えたカメラを用いることができる。カメラレンズとしては、例えば、光学倍率０．５〜１０倍、ワーキングディスタンスが３０ｍｍ以上のカメラレンズが用いられる。カメラとしては、例えば、１００万画素程度以上のモノクロＣＭＯＳ、ＣＣＤを備えるカメラが用いられる。なお、吐出観察部７６では、吐出されたインク液滴４５の陰を観察するためカラーである必要性はない。
【００７０】
ノズル観察部７８は、撮像部７８ａにレンズ７８ｂの一方の端が接続され、このレンズ７８ｂの他方の端に光源７８ｃが設けられている。
撮像部７８ａには、例えば、１００万画素程度以上のＣＭＯＳ、ＣＣＤを備えるカメラが用いられ、カラー、およびモノクロのいずれも用いることができる。
レンズ７８ｂとしては、例えば、光学倍率０．５〜１０倍のカメラレンズが用いられる。カメラレンズには、インクが付着する可能性があるため、カメラレンズには取り替え、またはクリーニングが容易な保護フィルタを設けることが望ましい。
撮像部７８ａとレンズ７８ｂとは一体でも別体でもよい。一体の場合、例えば、カメラレンズを備えたカメラを用いることができる。
光源７８ｃには、例えば、ＬＥＤ光源を利用することができ、同軸照明またはリング照明等を用いることができる。
【００７１】
吐出観察部７６およびノズル観察部７８は、いずれも制御部１８に接続されており、光源７６ａ、７８ｃと撮像部７６ｂ、７８ａの動作は制御部１８で制御され、撮像部７６ｂ、７８ａで得られた撮像データは制御部１８により、記憶部１４に記憶される。制御部１８でインクジェットヘッド４０でのインクの吐出状態が、例えば、インクジェットヘッド４０の吐出特性の設計値と比較されて、その比較結果が、記憶部１４に記憶される。
【００７２】
本発明の印刷装置１０では、例えば、電子ペーパー等に用いられる薄膜トランジスタのゲート電極、ソース電極、およびドレイン電極を作製することができる。
図８は、本発明の実施形態の印刷装置で形成される薄膜トランジスタの一例を示す模式図である。
図８に示す薄膜トランジスタ８０（以下、ＴＦＴ８０という）は、ゲート電極８２と、ゲート絶縁層（図示せず）と、ソース電極８６ａと、ドレイン電極８６ｂと、半導体層（図示せず）と、保護層（図示せず）とを有する。
ＴＦＴ８０においては、ゲート電極８２を覆うように、ゲート絶縁層（図示せず）が形成されている。このゲート絶縁層上にチャネル領域８４として所定の隙間をあけて、ソース電極８６ａとドレイン電極８６ｂとが形成されている。チャネル領域８４上に活性層として機能する半導体層（図示せず）が形成されている。半導体層、ソース電極８６ａおよびドレイン電極８６ｂを覆う保護層（図示せず）が形成されている。
【００７３】
以下、パターンの修正方法について説明する。なお、パターンは４回のインクの打滴により形成されるものを例にして説明する。
図９（ａ）は、パターンにインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｂ）は、パターンに１回目のインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｃ）は、パターンに２回目のインクが付与された状態を示す模式図である。
【００７４】
例えば、図９（ａ）に示すパターン９０を、４回に分けてインク液滴を打滴して形成する場合、理想的には図９（ａ）に示すようになる。なお、符号９２ａは１回目のインク液滴により形成されるドットを示し、符号９２ｂは２回目のインク液滴により形成されるドットを示し、符号９２ｃは３回目のインク液滴により形成されるドットを示し、符号９２ｄは４回目のインク液滴により形成されるドットを示す。
【００７５】
１回目のインク液滴による打滴の後、版面観察部２６で版面を撮像して版面撮像データを得て、判定部１６にて判定した結果、図９（ｂ）に示すように、１回目のインク液滴により形成されるドット９２ａにおいて、インクジェットヘッド４０の不調等により、インクが吐出されず不足部９３があった場合、制御部１８により、２回目のインクの打滴の際にインクジェットヘッド４０からのインクの吐出量が変更される。これにより、２回目にインクを吐出する際、図９（ｃ）に示すように不足部９３を囲んで、サイズの大きいドット９４が形成されるようにインク液滴を吐出する。これにより、適正なパターン９０を形成することができる。
【００７６】
次に、パターンの修正方法の他の例について説明する。
図１０（ａ）は、パターンにインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｂ）は、パターンに１回目のインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｃ）は、パターンに２回目のインクが付与された状態を示す模式図である。
なお、図１０（ａ）、（ｂ）において、図９（ａ）と同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
１回目のインク液滴による打滴の後、版面観察部２６で版面を撮像して版面撮像データを得て、判定部１６にて判定した結果、図１０（ｂ）に示すように、１回目のインク液滴により形成されるドット９２ａにおいて、インクジェットヘッド４０の不調等により、大きなドット９３ａが形成された場合、制御部１８により、２回目のインクの打滴の際にインクジェットヘッド４０からのインクの吐出量が変更される。これにより、次の２回目にインク液滴を吐出する際、図１０（ｃ）に示すように大きなドット９３ａを囲んで、小さなサイズのドット９４ａが形成されるようにインク液滴を吐出する。これにより、適正なパターン９０を形成することができる。
【００７７】
次に、パターンの修正方法の他の例について説明する。
図１１（ａ）は、パターンにインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｂ）は、パターンに１回目のインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｃ）は、パターンに４回目のインクが付与された状態を示す模式図である。
例えば、図１１（ａ）に示すパターン９０を、４回に分けてインク液滴を打滴して形成する場合、理想的には図１１（ａ）に示すようになる。なお、図１１（ａ）〜（ｃ）において、図９（ａ）と同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００７８】
１回目のインク液滴による打滴の後、版面観察部２６で版面を撮像して版面撮像データを得て、判定部１６にて判定した結果、図１１（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド４０の不調等により、１回目のインク液滴の着弾位置がずれてパターン９０からはみ出してドット９５が形成された場合、本来のドット９２ａ位置からずれた分、不足部９３ｂが検出される。
不足部９３を小さくするように、制御部１８により、２回目以降のインクの打滴の際にインクジェットヘッド４０からのインクの吐出量が変更される。図１１（ｃ）に示すように、例えば、２回目で得られるドット９４のサイズ、および４回目で得られるドット９６のサイズを大きくして、不足部９３を小さくして、パターン９０からはみ出したドット９５のはみ出した部分は、修復部２８のレーザ光線を照射してインクを蒸発させることで、適正なパターン９０を形成することができる。
【００７９】
次に、パターンの修正方法の他の例について説明する。
図１２（ａ）は、パターンに４回目のインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｂ）は、基板に転写した後の版面を示す模式図であり、（ｃ）は、基板に転写した後の基板を示す模式図である。
なお、図１２（ａ）〜（ｃ）において、図９（ａ）と同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。図１２（ａ）は、図１１（ｃ）と同じである。
【００８０】
図１２（ａ）に示すように、パターン９０に対して、インク液滴により各種のドットが形成され、パターン９０からはみ出してドット９５が形成されたものを、基板３１に転写すると、印刷版２５ではパターン９０以外の領域は転写性が悪く、図１２（ｂ）に示すように印刷版２５ではパターン９０からはみ出した部分９７が残る。一方、転写後の基板３１の表面３１ａには、図１２（ｃ）に示すように、はみ出した部分９７が転写されることなく、パターン９０内の各種のドットが転写される。
転写後の印刷版２５について版面観察部２６で版面を撮像して版面撮像データを得て、判定部１６にて判定すると、はみ出した部分９７が検出される。次回のパターン形成の際にはみ出した部分９７を修復部２８にて取り除く。これにより、印刷版２５へのパターンの形成を高い精度ででき、ひいては印刷精度を高くすることができる。
【００８１】
次に、パターンの修正方法の他の例について説明する。
図１３（ａ）は、パターンに４回目のインクが付与された状態を示す模式図であり、（ｂ）は、パターンに１回目のインクが付与された状態を示す模式図である。
なお、図１３（ａ）、（ｂ）において、図９（ａ）と同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００８２】
図１３（ａ）に示すように、４回目のインクが付与された状態では、１回目のインク液滴の着弾位置がずれた形成されるドット９８があっても、ドット９８とドット９２ｃとの重なり部分９９は膜厚のむらとして検出されることはあるが、着弾位置のずれとして検出することは困難である。
このため、各回毎に、インク液滴により形成されるドットの位置を検出することにより、着弾位置のずれを検出することができる。
例えば、図１３（ｂ）に示すように、１回目のインクが付与された後、かつ２回目のインクが付与される前に、版面観察部２６で版面を撮像して版面撮像データを得て、判定部１６にて判定して、ドット９２ａの位置が検出されれば、１回目のインクの吐出において、ドット９２ａの設定位置から着弾位置がずれたドット９８が検出される。これにより、制御部１８で、次回以降のインクの吐出量、吐出密度等を調整することで、適正なパターン９０を形成することができる。
【００８３】
印刷装置１０では、版面観察部２６および判定部１６を設け、版面観察部２６にて、インクが付与された印刷版２５の版面２５ａを撮像して版面撮像データを得て、判定部１６にてインクの付与が適正であるか否かを判定することできる。判定部１６での判定結果に応じて、次回以降のインクの付与方法、版面の修復等を行うことで、直接的な印刷結果ではないが、実際の基板による印刷結果相当の検査が可能となり、検査の信頼性が向上し、印刷精度を向上させることができる。しかも、印刷確認のために基板３１を無駄にすることもない。さらには、検査ロール等の複雑な構成の必要がないため、装置コストも低減することができる。
また、ドクタリングが不要であり、ドクタリングに伴う印刷版２５の版面２５ａの地汚れを防止し、かつ印刷版２５の耐久性も改善することができる。
【００８４】
次に、本実施形態の印刷方法について、印刷装置１０を用いて説明する。
図１４は、本発明の実施形態の印刷方法を説明するための示す模式図である。
上述のように、版胴２４を複数回回転させて、各回転毎に、インクをパターン領域内に付与する。図１４において、距離は版胴２４の回転量を示したものであり、距離が０は、印刷版２５の初期位置を示す。
また、図１４において、符号１００は、インクの吐出するタイミングを示し、符号１０２はインクを乾燥する区間を示し、符号１０４は基板３１に転写する区間を示す。また、符号１０６は、複数回印刷する場合、印刷版２５の印刷の開始位置を示す。
【００８５】
印刷装置１０では、印刷しようとするパターンのパターンデータに基づいて、特定のパターンが基板３１に印刷される。
図１４に示す例では、版胴２４を４回回転させ、各回転毎にインクを打滴する。インクの打滴毎に、版面観察部２６にて印刷版２５の版面２５ａの情報を取得し、判定部１６にて判定し、その判定結果に基づいて、制御部１８でインクの吐出量、吐出密度が調整されて、次のインクの打滴を実施する。この場合、印刷版２５の凹部での不足がある場合には不足部分の周辺のインクの打滴量を多くし、形成されるドットを大きくする。これ以外にも、予め定められたインクの打滴数よりも多くして、打滴密度を高くする。
逆に、印刷版２５の凹部で、先のインクの打滴の際に大きなドットとなってしまった場合、インクの打滴量を少なくし、形成されるドットを小さくする。これ以外にも、予め定められたインクの打滴数よりも少なくして、打滴密度を下げる。
また、インクジェットヘッド４０が冗長ノズルを有する場合には、冗長ノズルを用いることもできる。
【００８６】
例えば、２４００ｄｐｉのパターンデータの場合、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉのパターンの４回走査、Ｘ方向６００ｄｐｉ、Ｙ方向２４００ｄｐｉのパターンの４回走査で、パターン領域へのインクの付与（インキング）を完了することができる。
また、例えば、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉの場合、１ノズルの隣接画素間距離（最小値）も２１．２μｍで吐出周波数の要求は低いものの、ノズル数がＸ方向で６００ｄｐｉと比べて２倍必要となる。Ｘ方向の隣接画素間距離（最小値）は２１．２μｍとなりＸ方向着弾干渉の影響が懸念される。
一方、Ｘ方向６００ｄｐｉ、Ｙ方向２４００ｄｐｉの場合、ノズル数は上述のＸ方向１２００ｄｐｉと比較して１／２となり、Ｘ方向の隣接画素間距離（最小値）は４２．３μｍとなりＸ方向着弾干渉の影響は減るものの、Ｙ方向の隣接画素間距離（最小値）が１０．６μｍとなり、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉの場合と比較して２倍の高周波吐出が必要となる。
【００８７】
次に、本実施形態の印刷装置１０の印刷方法についてより具体的に説明する。
図１５は、本発明の実施形態の印刷方法を示すフローチャートである。
最初に、インクをインクタンクに供給する（ステップＳ１０）。ステップＳ１０では、まず、インクタンクからサブタンクへインクを送液する。そして、サブタンクからインクジェットヘッド４０にインクを供給する。
なお、インクの供給に際しては、洗浄液からインクに置換する。洗浄液を窒素ガスでインクジェットヘッド４０から出した後、インクを供給することも可能であるが、窒素ガスを巻き込みやすい。このため、インクの供給は洗浄液から置換することが好ましい。
【００８８】
洗浄液をインクジェットヘッド４０に供給した状態で、吐出確認を行う。吐出確認の際、結果がよくない場合、メンテナンス部３６を用いて吐出回復を行う。回復できない場合は、必要に応じてインクジェットヘッド４０の交換を行う。
洗浄液からインクに置換に際しては、例えば、サブタンク５０の洗浄液を下限まで減らす。次に、サブタンク５０にインクを入れ、インクジェットヘッド４０内の洗浄液をインクで押し流す。次に、サブタンク５０のインクを下限まで減らす。インクジェットヘッド４０内の洗浄液をインクで押し流し、サブタンク５０のインクを下限まで減らすことを繰り返し行い、洗浄液をインクに置換する。
【００８９】
次に、アライメントを実施する（ステップＳ１２）。
この場合、インクジェットヘッド４０の位置と版位置とのアライメントを行う。まず、アライメントマークＡ〜Ｃをアライメントカメラ４２で読み取り、その位置を検出する。
次に、Ｘ方向の絶対距離を求める。この場合、例えば、アライメントマークＡ、Ｂがアライメントカメラ４２の視野のＸ方向で同じ位置になったときのキャリッジ４６位置（リニアスケール読み取り値）から算出する。
次に、Ｙ方向の絶対距離を求める。この場合、アライメントマークＡ、Ｃのアライメントマークがアライメントカメラ４２の視野のＹ方向で同じ位置になったときのローターリーエンコーダから出力される版胴２４の回転位置情報から算出する。なお、Ｙ方向は距離ではなく角度でのアライメント調整になる。
【００９０】
次に、インクジェットヘッド４０と印刷版２５との相対的な傾きを求める。この場合、傾き角度θを求める。アライメントマークＡ，ＢのＸ方向位置だけでなく、Ｙ方向についてもずれを計測する。アライメントカメラ４２の視野のＹ方向も同じになったときのローターリーエンコーダから出力される版胴２４の回転位置情報からＹ方向のずれを算出して、Ｘ方向の距離とＹ方向のずれから傾き角度θを算出する。あるいは、カメラの視野内でのＹ方向のずれから傾き角度θを算出することもできる。
上述のように得られたＸ方向の距離、Ｙ方向の角度、傾き角度θは記憶部１４に記憶される。制御部１８では、Ｘ方向の距離、Ｙ方向の角度、傾き角度θと、記憶部１４に記憶された印刷するパターンデータに対してＸ方向およびＹ方向の拡大縮小処理、傾き角度θに基づくパターンデータの回転処理を行い、補正パターンデータを得る。さらには、インクジェットヘッド４０からのインクの吐出のタイミングの調整も制御部１８にて行う。
【００９１】
次に、インクジェットヘッド４０の吐出確認を行う（ステップＳ１４）。
この場合、テストパターンの印刷物の評価、または吐出観察にて行う。
テストパターンの印刷の印刷物の評価は、印刷した基板の目視またはスキャナでの評価で行う。また、印刷版２５に吐出のみを行い、転写を行わず、印刷版２５上のインクをアライメントカメラ４２で観察することで実施することもできる。
印刷版２５には上述のように吐出確認エリアＴを設けており、そこにインクを打滴する。版胴２４に吐出確認エリアＴを設けて、そこにインクを打滴してもよい。
吐出確認エリアＴのインクは、評価後、クリーニング部３４で取り除くか、または基板３１に転写して取り除く。
【００９２】
なお、吐出確認の結果が予め定められた範囲から外れていた場合、メンテナンス部３６にて回復動作を行うか、または、吐出制御部４３での吐出波形の最適化を行う。
吐出確認と合わせて、印刷版２５へ打滴したインクの着弾位置の情報を、アライメントカメラ４２を用いて取得する。判定部１６において、着弾位置のずれを判定し、Ｘ方向、Ｙ方向、傾き角度θについて予め定められた範囲から外れている場合には、補正パターンデータの拡大縮小、回転等を再度調整する。
【００９３】
次に、印刷版へのインキングを行う（ステップＳ１６）。
パターンデータまたは補正パターンデータを吐出制御部４３に送り、版胴２４を回転させて、その時にローターリーエンコーダから出力される版胴２４の回転位置情報に基づき、タイミングに合わせて、予め定められた吐出波形でインクを印刷版２５に吐出し、インキングを行う。例えば、版胴２４を４回回転させて、すなわち、４回走査してパターン領域にインクを付与する。この場合、走査１回毎にスピットを行う。スピットは、印刷版２５のスピットエリアＧまたは版胴２４上に設けたスピットのためのスピットエリア（図示せず）で行う。
スピットのタイミングは、印刷エリアにパターン形成した後であっても、印刷版１枚毎あってもよい。また、印刷版１００枚毎のようにある印刷枚数毎に、パージ、ワイプおよびスピットをメンテナンス部３６で実施し、さらに吐出確認を行うようにしてもよい。
【００９４】
インキングの後、吐出検査を行う（ステップＳ１８）。
ここで、図１６は本発明の実施形態の印刷方法のうち、吐出検査の工程を示すフローチャートである。
図１６に示すように、まず、版面観察部２６にて、印刷版に形成されたドットを撮影し、印刷版２５の版面２５ａの情報を取得し（ステップＳ３０）、インキングされた印刷版２５の版面撮像データを得る。
次に、記憶部１４から、パターンの理想的な状態を示す画像データを読み出し、インキングされた印刷版２５の版面撮像データと比較し、予め定められた範囲にあるかを判定する（ステップＳ３２）。
ステップＳ３２において、予め定められた範囲にある場合、次の工程である転写工程（ステップＳ２０）に進む。
【００９５】
一方、ステップＳ３２において、予め定められた範囲から外れる場合、修復を行う（ステップＳ３４）。
ステップＳ３４において、パターンに空隙があり、ドットが足りない場合、空隙の位置を特定し、インクジェットヘッド４０を用い、インクを再度吐出し、ドットを形成する。
なお、修復用にインクジェットヘッドまたはディスペンサーを設けている場合には、修復用のインクジェットヘッドまたはディスペンサーを用いて空隙の位置にインクを吐出し、ドットを形成する。
一方、パターンからドットがはみ出している場合、修復部２８にてはみ出した領域のドットをはじき飛ばす。これにより、基板３１を無駄に消費することなく修復できる。
【００９６】
本実施形態のように、１走査後に検出を行い、次の走査までに印刷データを変更してインキングを行う必要がある。そのため高速のデータ処理技術が要求される。印刷版２５は、上述のように複数面取りになっていることが望ましい。これによって、例えば、印刷エリアＧ１１、Ｇ１２、印刷エリアＧ２１、Ｇ２２、印刷エリアＧ３１、Ｇ３２の３面取りでは、印刷エリアＧ２１、Ｇ２２、印刷エリアＧ３１、Ｇ３２へのインキング中に印刷エリアＧ１１、Ｇ１２、の検出およびデータ処理を行うことができる。例えば、印刷エリアＧ１１、Ｇ１２で得られたアライメントに関する情報、および版面観察部２６で得られた情報等を、他の印刷エリアＧ３１、Ｇ３２および印刷エリアＧ３１、Ｇ３２に反映させてもよい。
【００９７】
次に、インキングされた印刷版２５を基板３１に転写する（ステップＳ２０）。
まず、ステージ３０上に基板３１を載置しておき、開始位置Ｐｓにて待機する。そして、印刷版２５のパターンの位置合わせのために基板３１のアライメントを行う。
次に、ステージ３０を搬送方向Ｖに移動させて基板３１を版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに配置する。そして、版胴２４を回転させ、印刷版２５と基板３１の表面３１ａとを接触させて、印刷版２５のインクを基板３１に転写する。そして、転写後、ステージ３０を搬送方向Ｖに移動させて、版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐから印刷版２５を終了位置Ｐｅに移動させる。その後、パターンが形成された印刷版２５をステージ３０から移動させ、ケーシング２０の外部に取り出す。
【００９８】
次に、転写後の印刷版２５の検査を行う（ステップＳ２２）。
図１７は、本発明の実施形態の印刷方法のうち、版検査の工程を示すフローチャートである。転写後の印刷版２５を撮像するための版面観察部を上述の版面観察部２６と別に設けることもできる。
ステップＳ２２では、版面観察部２６を用いて、転写後の印刷版２５の版面２５ａの情報を取得する（ステップＳ４０）。
記憶部１４から読み出した、転写後の印刷版２５の版面２５ａの理想的な状態を示す画像データと、転写後の印刷版２５の版面２５ａの版面撮像データとを比較し、予め定められた範囲にあるか判定する（ステップＳ４２）。ステップＳ４２において、予め定められた範囲にあれば、印刷工程を終了する。
【００９９】
一方、ステップＳ４２において、印刷版２５に適正にインクが付与されていれば、転写後の印刷版２５にはインクが残らない。パターンよりも広い範囲にインクが付与されていると、印刷版２５の凸部は転写性がないため、基板３１に転写されずに印刷版２５にインクが残存する可能性が高い。残存していた場合、判定部１６において、予め定められた範囲にないと判定される。さらに、４回のインキング後、すなわち、４回目の走査後の版面２５ａの版面撮像データと比較し、残存部の形状が同じであれば、版胴２４を回転させてクリーニング部３４にて残存したインクを除去する（ステップＳ４４）。
【０１００】
４回目の走査後の版面２５ａの版面撮像データと比較し、残存部の形状が異なる場合、版胴２４を回転させて、クリーニング部３４にて残存したインクを除去する（ステップＳ４４）。この場合、基板３１へは異なるパターンが転写されていることになる。そこで、基板３１を廃棄、またはパターンを修復する（ステップＳ４８）。
【０１０１】
ステップＳ４２において、パターン内にインクが残存していた場合、判定部１６において、予め定められた範囲にないと判定される。この場合、版胴２４を回転させてクリーニング部３４にて残存したインクを除去する（ステップＳ４４）。この場合、基板３１へは異なるパターンが転写されていることになる。そこで、基板３１を廃棄（ステップＳ４８）、または基板３１のパターンを修復する。
なお、パターンよりも広い範囲にインクが残存する場合、インクジェットヘッド４０のノズルの吐出観察等を行い、ノズルメンテナンスを行ってもよい（ステップＳ４６）。
【０１０２】
印刷方法では、版面観察部２６にて、インクが付与された印刷版２５の版面２５ａを撮像し、判定部１６にて、インクの付与が適正であるか否かを判定することできる。判定結果に応じて、次回以降のインクの付与方法、版面の修復等を行うことで、直接的な印刷結果ではないが、実基板相当の検査が可能となり、検査の信頼性が向上し、印刷精度を向上させることができる。しかも、印刷確認のために基板３１を無駄にすることもない。
また、ドクタリングを不要にして、ドクタリングに伴う印刷版２５の版面２５ａの地汚れ、および印刷版２５の耐久性も改善することができる。
【０１０３】
本発明は、基本的に以上のように構成されるものである。以上、本発明の印刷装置および印刷方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良または変更をしてもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【０１０４】
１０  印刷装置
１２  印刷装置本体
１４  記憶部
１６  判定部
１８  制御部
２０  ケーシング
２２  画像記録部
２４  版胴
２５  印刷版
２６  版面観察部
２８  修復部
３０  ステージ
３１  基板
３２  乾燥部
３４  クリーニング部
３６  メンテナンス部
４０  インクジェットヘッド
４２  アライメントカメラ
４３  吐出制御部
４４  レーザ変位計
４６  キャリッジ
４８  リニアモータ
５０、５８  サブタンク
７６  吐出観察部
７８  ノズル観察部
Ａ〜Ｄ  アライメントマーク
Ｇ  スピットエリア
Ｔ  吐出確認エリア
Ｇ１１、Ｇ１２、Ｇ２１、Ｇ２２、Ｇ３１、Ｇ３２  印刷エリア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2016076084.tif 000012
【図１１】
2016076084.tif 000013
【図１２】
2016076084.tif 000014
【図１３】
2016076084.tif 000015
【図１４】
2016076084.tif 000016
【図１５】
2016076084.tif 000017
【図１６】
2016076084.tif 000018
【図１７】
2016076084.tif 000019
【手続補正書】
【提出日】平成29年4月26日(2017.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
１回目のインク液滴による打滴の後、版面観察部２６で版面を撮像して版面撮像データを得て、判定部１６にて判定した結果、図１１（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド４０の不調等により、１回目のインク液滴の着弾位置がずれてパターン９０からはみ出してドット９５が形成された場合、本来のドット９２ａ位置からずれた分、不足部９３ｂが検出される。
不足部９３ｂを小さくするように、制御部１８により、２回目以降のインクの打滴の際にインクジェットヘッド４０からのインクの吐出量が変更される。図１１（ｃ）に示すように、例えば、２回目で得られるドット９４のサイズ、および４回目で得られるドット９６のサイズを大きくして、不足部９３ｂを小さくして、パターン９０からはみ出したドット９５のはみ出した部分は、修復部２８のレーザ光線を照射してインクを蒸発させることで、適正なパターン９０を形成することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
次に、インキングされた印刷版２５を基板３１に転写する（ステップＳ２０）。
まず、ステージ３０上に基板３１を載置しておき、開始位置Ｐｓにて待機する。そして、印刷版２５のパターンの位置合わせのために基板３１のアライメントを行う。
次に、ステージ３０を搬送方向Ｖに移動させて基板３１を版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに配置する。そして、版胴２４を回転させ、印刷版２５と基板３１の表面３１ａとを接触させて、印刷版２５のインクを基板３１に転写する。そして、転写後、ステージ３０を搬送方向Ｖに移動させて、版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐから基板３１を終了位置Ｐｅに移動させる。その後、パターンが形成された印刷版２５をステージ３０から移動させ、ケーシング２０の外部に取り出す。
【国際調査報告】
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