(57)【要約】  基板（１１０）は、樹脂で構成されている。光素子（１０２）は、第１電極（１２０）、有機層（１３０）、及び第２電極（１４０）を有している。第１電極（１２０）は、有機層（１３０）と基板（１１０）の間に位置している。第２電極（１４０）は、第１電極（１２０）との間に有機層（１３０）を挟んでいる。第２電極（１４０）は、開口（１４２）を有している。そして、光装置（１００）は、さらに乾燥剤（１７０）を有している。乾燥剤（１７０）は、開口（１４２）内、又は第２電極（１４０）と封止部材（１８０）の間に配置されている。乾燥剤（１７０）は、例えば第２電極（１４０）と封止部材（１８０）の間に配置されている。
2015097877.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂を有する基板と、
第１電極、第２電極、及び、前記第１電極と前記第２電極の間に位置する有機層を有する光素子と、
前記光素子を封止する封止部材と、
を備え、
前記第１電極は前記基板側に配置され、
前記第２電極は開口を有しており、
前記開口内、又は前記第２電極と前記封止部材の間に配置された乾燥剤を備える光装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光装置において、
前記第２電極は前記開口を複数有しており、
前記複数の開口の幅は１５０μｍ以下である光装置。
【請求項３】
請求項２に記載の光装置において、
隣り合う前記開口の間隔は１５０μｍ以下である光装置。
【請求項４】
請求項３に記載の光装置において、
前記基板の一面側に設けられた無機層を備える光装置。
【請求項５】
請求項４に記載の光装置において、
前記封止部材と前記第２電極の間に形成された樹脂層を備え、
前記乾燥剤は、前記封止部材と前記樹脂層の間に設けられている光装置。
【請求項６】
請求項５に記載の光装置において、
前記第２電極は、線状又は点状の導電層が交差して形成されている光装置。
【請求項７】
請求項６に記載の光装置において、
前記第２電極は、前記線状の導電層が交差して形成された厚膜部を有する光装置。
【請求項８】
請求項５に記載の光装置において、
前記開口内に位置する粒子を備える光装置。
【請求項９】
請求項８に記載の光装置において、
前記粒子は、前記有機層を形成する有機材料で覆われている光装置。
【請求項１０】
請求項５に記載の光装置において、
前記乾燥剤は、前記開口内に位置する光装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の光装置において、
前記第２電極は、線状の導電層が交差して形成されている光装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の光装置において、
前記第２電極は、前記線状の導電層が交差して形成された厚膜部を有する光装置。
【請求項１３】
請求項１０に記載の光装置において、
前記乾燥剤は粒子である光装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の光装置において、
前記粒子は、前記有機層を構成する有機材料で覆われている光装置。
【請求項１５】
請求項１に記載の光装置において、
前記光素子は発光素子である光装置。
【請求項１６】
請求項１に記載の光装置において、
前記光素子は光電変換素子である光装置。
【請求項１７】
樹脂を有する基板の上に、第１電極、第２電極、及び、前記第１電極と前記第２電極の間にある有機層を有する光素子を形成する工程と、
前記光素子を封止部材で封止する工程と、
を備え、
前記光素子を形成する工程において、前記第２電極に開口を形成し、
さらに、前記開口内、又は前記第２電極と前記封止部材の間に乾燥剤を配置する工程を備える光装置の製造方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の光装置の製造方法において、
前記光素子を形成する工程において、第１の方向に延在する複数の線状の第１導電層と、前記第１の方向に交わる第２の方向に延在する複数の線状の第２導電層とを重ねることにより、前記第２電極及び前記開口を形成する光装置の製造方法。
【請求項１９】
請求項１７に記載の光装置の製造方法において、
前記光素子を形成する工程において、
前記第２電極を形成する前に、前記基板上に粒子を配置する工程を備え、
前記第２電極を形成するときに、前記粒子と重なる部分に前記開口が形成される光装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光装置及び光装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年は、有機ＥＬ素子を光素子として利用した光装置の開発が進んでいる。有機ＥＬ素子は、発光層や光電変換層などの光機能層に有機層を用いているため、水分などによって劣化する。このため、一般的に、有機ＥＬ素子を製造する際、基板にはガラスなどの無機材料が使用され、かつ、封止部材を用いて有機ＥＬ素子を封止している。【０００３】
なお、特許文献１には、無機ＥＬ材料を発光層に用いた表示装置において、上側の電極に複数の穴を設けることが記載されている。特許文献１には、上側の電極に穴を設けることによって発光画素の面積が減少し、その結果、素子容量が減少して消費電流が減少する、と記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２１０２１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
有機ＥＬ素子の基板として樹脂からなる基板を用いる場合、この基板を介して有機ＥＬ素子に水分が届く可能性が出てくる。この場合、有機ＥＬ素子の劣化が早くなってしまう。【０００６】
本発明が解決しようとする課題としては、有機ＥＬ素子の基板として樹脂からなる基板を用いる場合において、有機ＥＬ素子の劣化を抑制することが一例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、樹脂を有する基板と、
第１電極、第２電極、及び、前記第１電極と前記第２電極の間に位置する有機層を有する光素子と、
前記光素子を封止する封止部材と、
を備え、
前記第１電極は前記基板側に配置され、
前記第２電極は開口を有しており、
前記開口内、又は前記第２電極と前記封止部材の間に配置された乾燥剤を備える光装置である。【０００８】
請求項１７に記載の発明は、樹脂を有する基板の上に、第１電極、第２電極、及び、前記第１電極と前記第２電極の間にある有機層を有する光素子を形成する工程と、
前記光素子を封止部材で封止する工程と、
を備え、
前記光素子を形成する工程において、前記第２電極に開口を形成し、
さらに、前記開口内、又は前記第２電極と前記封止部材の間に乾燥剤を配置する工程を備える光装置の製造方法である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
上述した目的、およびその他の目的、特徴および利点は、以下に述べる好適な実施の形態、およびそれに付随する以下の図面によってさらに明らかになる。【００１０】
【図１】実施形態に係る光装置の構成を示す断面図である。
【図２】第２電極の平面図である。
【図３】図２の変形例を示す図である。
【図４】（ａ）は、第１回目の真空蒸着で用いられる第１マスクの平面図であり、（ｂ）は第２回目の真空蒸着で用いられる第２マスクの平面図であり、（ｃ）は、第２電極の平面図である。
【図５】図４（ｃ）に示した第２電極のうち光素子と重なる部分を拡大して模式的に示した図である。
【図６】図５のＡ−Ａ断面図である。
【図７】実施例２に係る光装置の構成を示す断面図である。
【図８】実施例３に係る光装置の構成を示す断面図である。
【図９】図８の変形例を示す断面図である。
【図１０】粒子の配置方法の第１例を示す図である。
【図１１】粒子の配置方法の第２例を示す図である。
【図１２】粒子の配置方法の第３例を示す図である。
【図１３】変形例に係る第２電極の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１２】
図１は、実施形態に係る光装置１００の構成を示す断面図である。本図に示す光装置１００は、基板１１０、光素子１０２、及び封止部材１８０を備えている。基板１１０は、樹脂を有している。光素子１０２は、第１電極１２０、有機層１３０、及び第２電極１４０を有している。第１電極１２０は、有機層１３０と基板１１０の間に位置している。第２電極１４０は、第１電極１２０との間に有機層１３０を挟んでいる。第２電極１４０は、開口１４２を有している。そして、光装置１００は、さらに乾燥剤１７０を有している。乾燥剤１７０は、開口１４２内、又は第２電極１４０と封止部材１８０の間に配置されている。図１に示す例では、乾燥剤１７０は、第２電極１４０と封止部材１８０の間に配置されている。
【００１３】
光素子１０２は、例えば発光素子又は光電変換素子である。光素子１０２が発光素子である場合、光装置１００は、例えば表示装置又は照明装置である。光素子１０２が光電変換素子である場合、光装置１００は、例えば光発電装置又は撮像素子である。以下、詳細に説明する。
【００１４】
基板１１０は、上記したように樹脂、例えばＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）又はポリイミド、ＰＥＳ（ポリエーテルサルホン），ＰＣ（ポリカーボネート），又は無機材料と有機材料で構成されるコンポジット材料から形成されている。基板１１０の厚さは、例えば１０μｍ以上５００μｍ以下である。そして基板１１０を樹脂を用いて形成しているため、光装置１００は可撓性を有している。
【００１５】
また、基板１１０と第１電極１２０の間（すなわち基板１１０の一面側）には、無機層１６０が設けられている。無機層１６０は、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、及び酸窒化シリコン膜の少なくとも一つを有している。無機層１６０は、水分や酸素が基板１１０を透過することを抑制するために設けられている（バリア膜）。なお、無機層１６０は、基板１１０の反対面側（本図に示す例では、第１電極１２０とは逆側の面）に設けられていてもよい。
【００１６】
光素子１０２が発光素子である場合、有機層１３０は、発光層を有している。有機層１３０は、例えば、正孔輸送層、発光層、及び電子輸送層をこの順に積層させた構成を有している。正孔輸送層と第１電極１２０との間には正孔注入層が形成されていてもよい。また、電子輸送層と第２電極１４０との間には電子注入層が形成されていてもよい。有機層１３０の少なくとも一つの層（例えば正孔輸送層）は、塗布法によって形成されている。この場合、この層は、例えば、インクジェット法、スリットコート法、印刷法、又はスプレー法で形成される。なお、有機層１３０の残りの層は、蒸着法によって形成されている。
【００１７】
光装置１００が発光装置である場合、第１電極１２０は、例えば光素子１０２の陽極及び陰極の一方として機能し、第２電極１４０は、例えば光素子１０２の陽極及び陰極の他方として機能する。第１電極１２０及び第２電極１４０の一方（本図に示す例では第１電極１２０）は、光透過性を有する透明電極である。光素子１０２が発光素子の場合、光素子１０２が発光した光は、第１電極１２０及び第２電極１４０のうち透明電極となっている電極（本図に示す例では第１電極１２０）を介して外部に出射する。また光素子１０２が光電変換素子の場合、光は、第１電極１２０及び第２電極１４０のうち透明電極となっている電極を介して光素子１０２に入射する。透明電極の材料は、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）やＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）等の無機材料、またはポリチオフェン誘導体などの導電性高分子を含んでいる。
【００１８】
また、第１電極１２０及び第２電極１４０の他方（本図に示す例では第２電極１４０）は、Ａｌ、Ｍｇ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｓｎ、Ｚｎ、及びＩｎからなる第１群の中から選択される金属、又はこの第１群から選択される金属の合金からなる金属層を含んでいる。そして、第２電極１４０には複数の開口１４２が設けられている。
【００１９】
なお、本図に示す例では、第１電極１２０が陽極かつ透明電極であり、第２電極１４０が陰極であり、また金属層を含んでいる。
【００２０】
一方、光素子１０２が光電変換素子である場合、有機層１３０は、少なくとも有機電子供与体層と電気受容体層を有している。有機電子供与体層（以下、「ｐ型層」という場合もある）としては、電荷キャリアが正孔であることと、ｐ型半導体特性を示す材料であれば、特に限定されるものではない。電子受容体層（以下、「ｎ型層」という場合もある）を構成する電子供与体としては、電荷キャリアが電子であること、ｎ型半導体特性を示す材料であれば、特に限定されることはない。そして、有機電子供与体層の上に電子受容体層が形成されてもよいし、電子受容体層の上に有機電子供与体層が形成されてもよい。また、電子受容体層と有機電子供与体層の間に、ｐ型材料とｎ型材料を共に含む層（ｉ型層）を形成してもよい。この層は、ｐ型層とｎ型層を共に蒸着させた共蒸着層であってもよいし、ｐ型材料とｎ型材料を混合した材料を塗布した層であってもよい。
【００２１】
また、第１電極１２０は、有機層１３０で発生した正孔を効率よく収集するための電極であり、仕事関数の大きい金属、合金、電気伝導性化合物、あるいはこれらの混合物からなる電極材料を用いることが好ましい。このような電極材料としては、通常太陽電池の陽極として用いられるような電極材料を用いればよい。例えばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）、ＳｎＯ２、ＡＺＯ、ＩＺＯ、ＧＺＯ等の導電性と透明性を兼ね備えた材料がある。
【００２２】
また、第２電極１４０としては、例えば、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ａｌ、Ｚｎなどの金属層を用いることができる。このように、透明性をもつ材料を選択する必要がないため、第２電極１４０として用いられる材料の選択の余地が広がる。特にここでは、透明性をもたない電極材料を第２電極１４０に用いる方が基板１１０と逆側から入射された光が第２電極１４０で透過されることがないため、入射した光を有効に使用できる。そして、第２電極１４０には、開口１４２が形成されている。
【００２３】
封止部材１８０は、例えば、金属箔又は金属板（例えばＡｌ箔又はＡｌ板）の縁部の全周を押し下げた形状を有している。そして、縁部は接着材又は粘着材等で基板１１０に固定されている。なお、封止部材１８０は、無機材料を用いた基板であってもよいし、樹脂材料を用いた基板に封止層（例えば金属層又は無機層）を形成した基板であってもよい。
【００２４】
封止部材１８０のうち第２電極１４０に対向する面には、乾燥剤１７０が設けられている。乾燥剤１７０は、例えばシート状であり、接着層を介して封止部材１８０に固定されている。なお、乾燥剤１７０は、接着層の中に混入されていてもよい。乾燥剤１７０は、例えば酸化カルシウム、酸化バリウム、又はゼオライトである。
【００２５】
また、乾燥剤１７０と第２電極１４０の間には樹脂層１５０が設けられている。樹脂層１５０は、乾燥剤１７０を有する封止部材１８０を、第２電極１４０に固定している層（接着層）である。言い換えると、乾燥剤１７０は、樹脂層１５０と封止部材１８０の間に設けられている。また、樹脂層１５０は、乾燥剤１７０が吸湿によって膨張した際に、膨張した乾燥剤１７０が光素子１０２に接触する層、又は光素子１０２を形成する層（例えば第２電極１４０、有機層１３０（例えば電子注入層、電子輸送層、発光層、正孔輸送層、正孔注入層）、及び第１電極１２０）に外力が加わって光素子１０２に損傷が生じることを防止する。このとき、樹脂層１５０は、乾燥剤１７０の膨張等による変形に伴って樹脂層１５０そのものが変形する、緩衝層であってもよい。
【００２６】
図２は、第２電極１４０の平面図である。上記したように、第２電極１４０には複数の開口１４２が形成されている。開口１４２の幅Ｗは、１５０μｍ以下であるのが、人間が視認できる大きさ以下である点で好ましい。第２電極１４０に開口１４２を設けた場合、光素子１０２のうち開口１４２と重なる部分において、光素子１０２の機能(例えば発光強度、又は第２電極１４０による電荷の収集能力)が低下してしまう。これに対して、光素子１０２が発光素子の場合、開口１４２の幅を１５０μｍ以下にすると、光素子１０２のうち開口１４２と重なる部分において発光強度が低下していることを人が視認しにくくなる。また、光素子１０２が光電変換素子の場合、開口１４２と重なる部分に位置する有機層１３０で生成した電荷は、その周囲に位置する第２電極１４０に収集されやすくなる。
【００２７】
また、隣り合う開口１４２の間隔Ｌは、１５０μｍ以下であるのが好ましい。光素子１０２の劣化の一因として、第２電極１４０が部分的に酸化することにより、部分的に高抵抗になる。そして、第２電極１４０が部分的に高抵抗になると、この高抵抗な部分において、光素子１０２の輝度は低下してしまう（非発光部となる）。これに対して、隣り合う第２電極１４０の間隔Ｌを１５０μｍ以下にすると、上記した第２電極１４０の高抵抗な部分の幅が１５０μｍより大きくなることを抑制できる。言い換えれば、所定の開口１４２から距離１５０μｍ以下の領域に他の開口１４２があることで、第２電極１４０のうち高抵抗な部分の幅が１５０μｍより大きくなることを抑制できる。よって、光素子１０２の輝度が部分的に低下しても、この低下した部分を人が視認しにくくなる。
【００２８】
なお、図２に示す例において、開口１４２の形状は円形である。ただし、開口１４２の形状は円形に限定されない。例えば図３に示すように、開口１４２の形状は多角形（例えば矩形）であってもよいし、楕円形であってもよい。さらには、少なくとも一つの開口１４２は、他の開口１４２と異なる形状であってもよい。
【００２９】
次に、光装置１００の製造方法について説明する。まず、基板１１０の上に光素子１０２を形成する。次いで、光素子１０２を封止部材１８０で封止する。光素子１０２を形成する際、第２電極１４０には開口１４２が形成される。また、乾燥剤１７０を配置する工程も備える。以下、詳細に説明する。
【００３０】
まず、基板１１０を準備する。基板１１０は、予めシート状に形成されたものであってもよいし、基板１１０とは異なる支持基板上に樹脂を塗布し、スピンコート等の公知の手法によりシート状に形成されてもよい。そして、基板１１０の一面に、無機層１６０を形成する。無機層１６０は、例えば蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法、又はＡＬＤ法を用いて形成される。なお、無機層１６０には、部分的に膜が薄い部分や、ピンホールが形成されることがある。これらが形成されると、この部分から水分等が基板１１０を透過してしまう。
【００３１】
次いで、基板１１０上に第１電極１２０及び有機層１３０を形成する。第１電極１２０は、例えばインクジェット法等の塗布法（湿式法）、スパッタリング法、蒸着法などの乾式法により形成される。有機層１３０は、例えば塗布法又は蒸着法で形成される。有機層１３０のうち一部の層は、他の層と異なる方法で形成されてもよい。
【００３２】
次いで、第２電極１４０を形成する。第２電極１４０は、例えば蒸着法を用いて形成する。この際、例えばマスクを用いることにより、開口１４２が形成される。
【００３３】
また、封止部材１８０を準備する。そして、封止部材１８０のうち光素子１０２に対向する面に、乾燥剤１７０を設ける。次いで、乾燥剤１７０及び封止部材１８０を、樹脂層１５０を用いて第２電極１４０の上に固定する。
【００３４】
本実施形態において、第２電極１４０には開口１４２が形成される。このため、水分等が基板１１０を透過してきても、この水分の少なくとも一部は開口１４２及び樹脂層１５０を介して、乾燥剤１７０に吸収される。従って、基板１１０として樹脂からなる基板を用いても、光素子１０２のうち第２電極１４０よりも基板１１０側の層に水分等が溜まって光素子１０２が劣化することを抑制できる。
【実施例】
【００３５】
（実施例１）
本実施例に係る光装置１００は、第２電極１４０の製造方法を除いて、実施形態に示した光装置１００と同様である。本実施例において、第２電極１４０は、マスクを用いた蒸着法による成膜を複数回（例えば２回）行うことにより、形成される。この際、マスクの開口パターンは蒸着法による成膜毎に異なっている。【００３６】
図４（ａ）は、第１回目の成膜時で用いられる第１マスク２００の平面図であり、図４（ｂ）は第２回目の成膜時で用いられる第２マスク２０２の平面図である。図４（ｃ）は、第２電極１４０の平面図である。【００３７】
図４（ａ），（ｂ）に示すように、第１マスク２００及び第２マスク２０２は、いずれも線状又は点状の開口パターンを有しているが、これらの開口パターンが延在している方向は、互いに異なる（例えば、交差する方向や直交する方向）。これにより、図４（ｃ）に示すように、第２電極１４０のうち光素子１０２となる部分は、線状又は点状の複数の第１導電層と、線状又は点状の複数の第２導電層とが交差して形成されている。複数の第１導電層は互いに平行に延在しており、複数の第２導電層は互いに平行に延在している。【００３８】
なお、第２電極１４０には、電極取出部１４１が形成されている。電極取出部１４１は、第２電極のうち光素子１０２とはならない部分（すなわち有機層１３０とは重ならない部分）に形成されており、第２電極１４０を、基板１１０上に形成された導電層（例えば配線又は端子）に接続している。電極取出部１４１は、抵抗を低くするために、開口を有していない。【００３９】
図５は、図４（ｃ）に示した第２電極１４０のうち光素子１０２と重なる部分を拡大して模式的に示した図である。図６は、図５のＡ−Ａ断面図である。上記したように、第２電極１４０は、真空蒸着を複数回（例えば２回）行うことにより、形成されている。そして、各真空蒸着において、互いに異なる方向に延在する導電層（第１導電層１４４及び第２導電層１４６）が形成される。そして、図６に示すように、第１導電層１４４と第２導電層１４６が交差する部分において、第２電極１４０は、他の部分よりも厚くなっている（厚膜部）。なお、第１導電層１４４と第２導電層１４６が重なっている部分において、第１導電層１４４と第２導電層１４６の境界は、明確な場合もあれば不明確な場合もある。【００４０】
以上、本実施形態によっても、第２電極１４０は開口１４２を有しているため、基板１１０として樹脂からなる基板を用いても、光素子１０２のうち第２電極１４０よりも基板１１０側の層に水分等が溜まって光素子１０２が劣化することを抑制できる。【００４１】
また、第２電極１４０を、複数のマスクを用いて形成しているため、細かな開口１４２を容易に形成することができる。また、マスクの一端から他端にかけて線状の開口を複数並ぶように形成することで、マスクの剛性を確保でき、また比較的小さい開口を複数形成することができる。【００４２】
（実施例２）
図７は、実施例２に係る光装置１００の構成を示す断面図である。本実施例に係る光装置１００は、無機層１６２，１６４及び平坦化層１９０を有している点を除いて、実施形態又は実施例１に係る光装置１００と同様の構成である。【００４３】
まず、基板１１０の一面には、無機層１６２が形成されている。そして無機層１６２は、基板１１０のうち無機層１６０とは反対側の面に設けられている。無機層１６２は、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、及び酸窒化シリコン膜の少なくとも一層を有しており、スパッタリング法、ＣＶＤ法、又はＡＬＤ法を用いて形成されている。【００４４】
無機層１６２と第１電極１２０の間には、平坦化層１９０及び無機層１６４がこの順に形成されている。平坦化層１９０は、例えば基板１１０の表面（第１電極１２０側）を平坦にする。平坦化層１９０は、例えば、基板１１０の一面に形成された、凹凸を有する無機層１６４の表面（第１電極１２０側）を平坦にするために設けられている。平坦化層１９０は、例えばエポキシやアクリル等の樹脂をスリットコーティングすることによって、形成されている。無機層１６４は、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、及び酸窒化シリコン膜の少なくとも一層を有しており、スパッタリング法、ＣＶＤ法、又はＡＬＤ法を用いて形成されている。【００４５】
本実施例によっても、第２電極１４０は開口１４２を有しているため、基板１１０として樹脂からなる基板を用いても、光素子１０２のうち第２電極１４０よりも基板１１０側の層に水分等が溜まって光素子１０２が劣化することを抑制できる。また、平坦化層１９０を設けているため、光素子１０２の歩留まりを向上させることができる。さらに、無機層１６２，１６４を有しているため、光素子１０２に水分などが浸入することを抑制できる。【００４６】
（実施例３）
図８は、実施例３に係る光装置１００の構成を示す断面図である。本実施例に係る光装置１００は、以下の点を除いて、実施形態又は実施例２に係る光装置１００と同様の構成である。本図は、実施例２と同様の場合を示している。【００４７】
まず、第１電極１２０の上には複数の粒子１３２が位置している。これら複数の粒子１３２は、開口１４２の中に位置している。詳細には、粒子１３２の径は、有機層１３０、第２電極１４０又は有機層１３０及び第２電極１４０の厚さの和よりも大きく、例えば１００ｎｍ以上１００μｍ以下である。そして、粒子１３２は、第２電極１４０が形成される前に配置されている。このため、粒子１３２によって、第２電極１４０に開口１４２が形成されている。そして、粒子１３２は、有機層１３０を構成する材料によって覆われている。ここで、粒子１３２を覆っている有機層１３０の材料は、有機層１３０を構成する一部の層であってもよい。【００４８】
粒子１３２は絶縁性の無機材料であるが、吸湿性のある材料（例えばゼオライト、シリカゲル）であるのが好ましい。この場合、開口１４２の中に乾燥剤が配置されていることになる。なお、粒子１３２は、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム、酸化アルミニウム、又は酸化シリコンなどの酸化物（例えば金属酸化物）で形成されていてもよい。【００４９】
なお、図９に示すように、第２電極１４０を蒸着法で形成する場合、粒子１３２の上にも第２電極１４０が形成される。ただし、粒子１３２の半径を有機層１３０の厚さよりも大きくすると、粒子１３２の表面の下半分（言い換えると有機層１３０に対向する面）には、第２電極１４０が付着しない。このため、図９に示すように、第２電極１４０には、粒子１３２と重なる領域に開口１４２が形成される。なお、開口１４２の中央部は粒子１３２によって塞がれている。【００５０】
図１０は、粒子１３２の配置方法の第１例を示す図である。本図に示す例において、有機層１３０のうち少なくとも一部の層（例えば正孔輸送層）は、塗布法を用いて形成される。そして、この塗布液の中に、粒子１３２が含まれている。このため、有機層１３０を塗布法で形成する際に、粒子１３２は第１電極１２０の上に配置される。【００５１】
図１１は、粒子１３２の配置方法の第２例を示す図である。本図に示す例において、粒子１３２は、有機層１３０を形成する前に第１電極１２０の上に配置される。例えば、粒子１３２を含む塗布液を第１電極１２０に塗布することにより、粒子１３２は配置される。【００５２】
図１２は、粒子１３２の配置方法の第３例を示す図である。本図に示す例において、粒子１３２は、有機層１３０を形成した後、第２電極１４０を形成する前に、有機層１３０の上に配置される。例えば、粒子１３２を含む塗布液を有機層１３０に塗布することにより、粒子１３２は配置される。【００５３】
なお、図１３に示すように、本実施例において第２電極１４０は、図４〜図６に示した方法（実施例１）と同様の方法によって形成されてもよい。【００５４】
本実施例によっても、基板１１０として樹脂からなる基板を用いても、光素子１０２のうち第２電極１４０よりも基板１１０側の層に水分等が溜まって光素子１０２が劣化することを抑制できる。また、粒子１３２として吸湿性の材料を用いた場合、基板１１０を透過してきた水分は粒子１３２でも吸収されるため、光素子１０２が劣化することをさらに抑制できる。【００５５】
以上、図面を参照して実施形態及び実施例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【図１】
2015097877.tif 000003
【図２】
2015097877.tif 000004
【図３】
2015097877.tif 000005
【図４】
2015097877.tif 000006
【図５】
2015097877.tif 000007
【図６】
2015097877.tif 000008
【図７】
2015097877.tif 000009
【図８】
2015097877.tif 000010
【図９】
2015097877.tif 000011
【図１０】
2015097877.tif 000012
【図１１】
2015097877.tif 000013
【図１２】
2015097877.tif 000014
【図１３】
2015097877.tif 000015
【国際調査報告】
2015097877.tif 000016
2015097877.tif 000017
2015097877.tif 000018
2015097877.tif 000019