(57)【要約】  従来のレーザ加工機およびレーザ加工方法では、ワークを加工テーブルから取り外す時に、加工テーブルとワークの間に設けていた多孔質シートが剥がれたり、ずれたりすることがあった。本開示のレーザ加工機は、複数の第１の貫通孔（４）と複数の第２の貫通孔（５）とを有する加工テーブル（１）と、第１の流路（６）と、第２の流路（７）と、第１のポンプ（８）と、第２のポンプ（９）と、レーザ照射手段（１０）とを有する。複数の第２の貫通孔は、複数の第１の貫通孔とは独立している。第１の流路は、複数の第１の貫通孔に接続されている。第２の流路は、第１の流路とは独立しており、複数の第２の貫通孔に接続されている。第１のポンプは、第１の流路に接続され、吸気機能を有する。第２のポンプは、第２の流路に接続され、排気機能を有する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１の貫通孔と、前記複数の第１の貫通孔とは独立した複数の第２の貫通孔とを有する加工テーブルと、  前記複数の第１の貫通孔に接続された第１の流路と、  前記複数の第２の貫通孔に接続され、前記第１の流路とは独立した第２の流路と、  前記第１の流路に接続され、吸気機能を有する第１のポンプと、  前記第２の流路に接続され、排気機能を有する第２のポンプと、  前記加工テーブルの上方に設けられ、レーザを照射するレーザ照射手段と、を有するレーザ加工機。
【請求項２】
前記第２のポンプは、さらに吸気機能を有する請求項１に記載のレーザ加工機。
【請求項３】
前記第１のポンプは、さらに排気機能を有する請求項１または２に記載のレーザ加工機。
【請求項４】
前記第２のポンプは、前記第２の流路とは反対側に、通過するガスの流量を調節するバルブを有する請求項１〜３のいずれかに記載のレーザ加工機。
【請求項５】
前記複数の第１の貫通孔のうちの任意の１つは、前記複数の第２の貫通孔のうちの少なくとも１つに隣接している請求項１〜４のいずれかに記載のレーザ加工機。
【請求項６】
前記複数の第２の貫通孔のうちの任意の１つは、前記複数の第１の貫通孔のうちの少なくとも１つに隣接している請求項５に記載のレーザ加工機。
【請求項７】
前記複数の第１の貫通孔は、前記加工テーブルにおいて第１の方向に延びる、複数の第１の列を構成するように配置され、  前記複数の第２の貫通孔は、前記加工テーブルにおいて前記第１の方向に延びる、複数の第２の列を構成するように配置され、  前記複数の第１の列と前記複数の第２の列とは、前記加工テーブルにおける前記第１の方向とは直交する第２の方向において、交互に配置される請求項５または６に記載のレーザ加工機。
【請求項８】
複数の第１の貫通孔と、前記複数の第１の貫通孔とは独立した複数の第２の貫通孔とを有する加工テーブルに、多孔質シートを設置する第１の設置工程と、  前記多孔質シートの上にワークを設置する第２の設置工程と、  前記複数の第１の貫通孔から吸気を行い、前記ワークをレーザ加工するレーザ加工工程と、  前記ワークを前記多孔質シートから除去する第１の除去工程と、を有し、  前記第１の除去工程では、前記複数の第１の貫通孔から吸気を行い、前記複数の第２の貫通孔から排気を行うレーザ加工方法。
【請求項９】
前記第１の設置工程において、前記複数の第１の貫通孔から吸気を行う請求項８に記載のレーザ加工方法。
【請求項１０】
前記第２の設置工程において、前記複数の第１の貫通孔から吸気を行う請求項８または９に記載のレーザ加工方法。
【請求項１１】
前記レーザ加工工程において、前記複数の第２の貫通孔から吸気を行う請求項８〜１０のいずれかに記載のレーザ加工方法。
【請求項１２】
前記第１の除去工程の後に、前記多孔質シートを前記加工テーブルから除去する第２の除去工程をさらに有し、  前記第２の除去工程において、前記複数の第２の貫通孔から排気を行う請求項８〜１１のいずれかに記載のレーザ加工方法。
【請求項１３】
前記第２の除去工程において、前記複数の第１の貫通孔から排気を行う請求項１２に記載のレーザ加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本開示はレーザ加工機およびレーザ加工方法であり、特に多孔質シートを介してワークを加工テーブルに吸着させる、レーザ加工機およびレーザ加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来のレーザ加工機およびレーザ加工方法について、図１２を用いて説明する。【０００３】  図１２に示すように、従来のレーザ加工機は、炭酸ガスレーザ発振器１０１と、外部光学系１０２と、加工テーブル１０３と、真空ポンプ１０４と、自動制御装置１０５と、多孔質板１０６と、基板１０７とを有する。【０００４】  従来のレーザ加工方法は、炭酸ガスレーザ発振器１０１から出力されたレーザ光が、外部光学系１０２を経由して基板１０７に照射され、基板１０７の加工を行う。このとき、加工テーブル１０３および外部光学系１０２は、自動制御装置１０５によってＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の方向に駆動され、基板１０７が加工される。基板１０７は多孔質板１０６を介して加工テーブル１０３の上に搭載されている。加工テーブル１０３は真空ポンプ１０４によって吸引されているため、基板１０７は多孔質板１０６を介して、加工テーブル１０３に吸着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４０４６９１３号公報
【発明の概要】
【０００６】  しかしながら、従来のレーザ加工機およびレーザ加工方法では、基板１０７を加工テーブル１０３から取り外す時に、加工テーブル１０３と基板１０７の間に設けていた多孔質板１０６が剥がれたり、ずれたりすることがあった。多孔質板１０６が剥がれたり、ずれたりすると、次の基板１０７を多孔質板１０６の上に置く前に、多孔質板１０６を再度適切な状態に戻す必要があり、作業効率が低下していた。
【０００７】  上記課題を解決するために、本開示のレーザ加工機は、複数の第１の貫通孔と複数の第２の貫通孔とを有する加工テーブルと、第１の流路と、第２の流路と、第１のポンプと、第２のポンプと、レーザ照射手段とを有する。複数の第２の貫通孔は、複数の第１の貫通孔とは独立している。第１の流路は、複数の第１の貫通孔に接続されている。第２の流路は、第１の流路とは独立しており、複数の第２の貫通孔に接続されている。第１のポンプは、第１の流路に接続され、吸気機能を有する。第２のポンプは、第２の流路に接続され、排気機能を有する。レーザ照射手段は、加工テーブルの上方に設けられ、レーザを照射する。
【０００８】  また、本開示のレーザ加工方法は、第１の設置工程と、第２の設置工程と、レーザ加工工程と、第１の除去工程と、第２の除去工程と、を有する。第１の設置工程では、複数の第１の貫通孔と、複数の第１の貫通孔とは独立した複数の第２の貫通孔とを有する加工テーブルに、多孔質シートを設置する。第２の設置工程では、多孔質シートの上にワークを設置する。レーザ加工工程では、複数の第１の貫通孔から吸気を行い、ワークをレーザ加工する。第１の除去工程では、ワークを多孔質シートから除去する。第１の除去工程では、複数の第１の貫通孔から吸気を行い、複数の第２の貫通孔から排気を行う。
【０００９】  本開示のレーザ加工機およびレーザ加工方法は、ワークを加工テーブルから取り外す時にも、加工テーブルとワークの間に設けていた多孔質シートが剥がれたり、ずれたりすることがない。これにより、次のワークを多孔質シートの上に置く前に多孔質シートを再度適切な状態に戻す必要がなく、作業効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施の形態に係るレーザ加工機の斜視図である。
【図２】図２は、実施の形態に係るレーザ加工機の上面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、実施の形態のレーザ加工方法の工程を説明する断面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、実施の形態のレーザ加工方法の工程を説明する断面図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、実施の形態のレーザ加工方法の工程を説明する断面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、実施の形態のレーザ加工方法の工程を説明する断面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、実施の形態のレーザ加工方法の工程を説明する断面図である。
【図５】図５は、実施の形態のレーザ加工方法における効果を説明する図である。
【図６】図６は、実施の形態のレーザ加工方法のフローチャートである。
【図７】図７は、実施の形態のレーザ加工方法における効果を説明する図である。
【図８Ａ】図８Ａは、実施の形態のレーザ加工方法における効果を説明する図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、実施の形態のレーザ加工方法における効果を説明する図である。
【図８Ｃ】図８Ｃは、実施の形態のレーザ加工方法における効果を説明する図である。
【図９】図９は、実施の形態の別のレーザ加工機の上面図である。
【図１０Ａ】図１０Ａは、実施の形態の別のレーザ加工機の上面図である。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、実施の形態の別のレーザ加工機の上面図である。
【図１１Ａ】図１１Ａは、実施の形態の別のレーザ加工機の上面図である。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、実施の形態の別のレーザ加工機の上面図である。
【図１２】図１２は、従来のレーザ加工機の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】  以下に本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１２】  （実施の形態）  まず、図１〜図６を用いて、本実施の形態のレーザ加工機およびレーザ加工方法について説明する。
【００１３】  図１は、本実施の形態のレーザ加工機の斜視図である。図２は、本実施の形態のレーザ加工機の上面図である。図３Ａ〜図４Ｂは、本実施の形態のレーザ加工方法の工程を説明する断面図である。図５は、本実施の形態のレーザ加工方法における効果を説明する図である。図６は、本実施の形態のレーザ加工方法のフローチャートである。
【００１４】  図１に示すように、本実施の形態のレーザ加工機は、加工テーブル１と、貫通孔４（第1の貫通孔）と、貫通孔５（第２の貫通孔）と、配管６（第1の流路の一部）と、配管７（第２の流路の一部）と、ポンプ８（第1のポンプ）と、ポンプ９（第２のポンプ）と、レーザヘッド１０（レーザ照射手段）とを有する。また、レーザ加工時には、加工テーブル１の上に、多孔質シート２およびワーク３がこの順番に、設置される。ポンプ８は少なくとも吸気機能を有しており、さらに排気機能を有していても構わない。また、ポンプ９は少なくとも排気機能を有しており、さらに吸気機能を有していても構わない。レーザヘッド１０は、入射されるレーザ光をｆθレンズによって集光し、ワーク３に照射する。
【００１５】  なお、本実施の形態における「吸気」とは、加工テーブル１の外部から貫通孔を介して加工テーブル１内部へ空気の流れを起こすことである。本実施の形態の「排気」とは、加工テーブル１の内部から貫通孔を介して加工テーブル１外部への空気の流れを起こすことである。すなわち、ポンプ８、９が加工テーブル１から空気を排出することが「吸気」であり、ポンプ８、９が加工テーブル１へ空気を送り込むことが「排気」である。
【００１６】  また、図２に示すように、加工テーブル１の内部には、ガス流路１１（第１の流路の一部）と、ガス流路１２（第２の流路の一部）とが設けられている。ガス流路１１は、貫通孔４と配管６とを接続しており、管状である。ガス流路１２は、貫通孔５と配管７とを接続しており、管状である。また、貫通孔４、５は行列状に設けられており、ガス流路１１、１２は列方向（図２の上下方向、第１の方向）に延びており、貫通孔の行方向（図２の左右方向、第２の方向）に交互に接続されている。すなわち、複数の貫通孔４からなる列（第１の列）と、複数の貫通孔５からなる列（第２の列）とが交互に配置されている。具体的には、ガス流路１１、１２は櫛型であり、ガス流路１１、１２が交互に配置されるように向かい合って位置している。
【００１７】  次に、本実施の形態のレーザ加工方法について、図３Ａ〜図６を用いて、説明する。
【００１８】  まず、図３Ａおよび図６のステップ１に示すように、真空パッド１３で多孔質シート２を吸着させながら搬送し、加工テーブル１の上に多孔質シートを設置する（第１の設置工程）。なお、このとき、加工テーブル１から空気を吸入するようにポンプ８（図示せず）を動作させて、配管６およびガス流路１１（合わせて第１の流路）を介して貫通孔４から加工テーブル１に空気を吸入させることが好ましい。これにより、多孔質シート２がより加工テーブル１に吸着され、多孔質シート２がより安定して加工テーブル１の上に設置できる。なお、ポンプ８による貫通孔４からの空気の吸入は必ずしも行う必要はなく、多孔質シート２の重さだけで加工テーブル１の上に設置しても構わない。
【００１９】  次に、図３Ｂおよび図６のステップ２に示すように、真空パッド１３でワーク３を吸着させながら搬送し、多孔質シート２の上にワーク３を設置する（第２の設置工程）。なお、このとき、加工テーブル１から空気を吸入するようにポンプ８（図示せず）を動作させて、配管６およびガス流路１１を介して貫通孔４から加工テーブル１に空気を吸入させることが好ましい。これにより、ワーク３が多孔質シート２を介して、加工テーブル１に吸着され、ワーク３がより安定して多孔質シート２の上に設置できる。なお、ポンプ８による貫通孔４からの空気の吸入は必ずしも行う必要はなく、ワーク３の重さだけで多孔質シート２の上に設置しても構わない。
【００２０】  次に、図３Ｃおよび図６のステップ３に示すように、加工テーブル１の上方に位置するレーザヘッド１０からレーザをワーク３に照射し、ワーク３を加工する（レーザ加工工程）。このとき、加工テーブル１から空気を吸入するようにポンプ８（図示せず）を動作させて、配管６およびガス流路１１を介して貫通孔４から加工テーブル１に空気を吸入させる。これにより、ワーク３が多孔質シート２を介して、加工テーブル１に吸着され、ワーク３がより安定するため、ワーク３の加工を正確に行うことができる。また、このとき、加工テーブル１から空気を吸入するようにポンプ９（図示せず）を動作させて、配管７およびガス流路１２（合わせて第２の流路）を介して貫通孔５からも加工テーブル１に空気を吸入させることが好ましい。なお、ポンプ９による貫通孔５からの空気の吸入は必ずしも行う必要はない。
【００２１】  次に、図４Ａおよび図６のステップ４に示すように、加工が終了したワーク３を、真空パッド１３により多孔質シート２から除去する（第１の除去工程）。このとき、加工テーブル１から空気を吸入するようにポンプ８（図示せず）を動作させて、配管６およびガス流路１１を介して貫通孔４から加工テーブル１に空気を吸入させる。同時に、加工テーブル１から空気を排出するようにポンプ９（図示せず）を動作させて、配管７およびガス流路１２を介して貫通孔５から空気を排出させる。
【００２２】  この工程について、図５を用いてさらに具体的に説明する。
【００２３】  図５に示すように、多孔質シート２からワーク３を除去する時は、貫通孔４から空気を吸入すると共に、貫通孔５から空気が排出される。このとき、多孔質シート２の内部において、図５の点線矢印のような、貫通孔４から貫通孔５への空気の流れが発生する。そのため、加工テーブル１へのワーク３の吸着力は低下するが、多孔質シート２の吸着力は低下しない。そのため、多孔質シート２を加工テーブル１に安定して保持したまま、ワーク３だけを除去することが可能となる。
【００２４】  ステップ２〜４により、ワーク３の加工が完了する。そして、多孔質シート２を交換せずに、次のワーク３を加工する場合は、再び、ステップ２〜４を行う。すなわち、図６に示すように、ワーク３の加工枚数が最初に設定したＮ枚に達していなければ、ステップ２にもどる。ステップ２〜４を繰り返すことにより、１枚の多孔質シート２により、複数のワーク３を加工する。そして、ワーク３の加工枚数がＮ枚に達すると、ステップ４に続いて、図６のステップ５を行い、多孔質シート２を交換する。この加工枚数Ｎは、多孔質シート２の劣化の程度などによって決められる。
【００２５】  最後に、図４Ｂおよび図６のステップ５に示すように、劣化した多孔質シート２を、真空パッド１３により加工テーブル１から除去する（第２の除去工程）。このとき、加工テーブル１から空気を排出するようにポンプ９（図示せず）を動作させて、配管７およびガス流路１２を介して貫通孔５から空気を排出させる。また、このとき、加工テーブル１から空気を排出するようにポンプ８（図示せず）を動作させて、配管６およびガス流路１１を介して貫通孔４からも空気を排出させることが好ましい。なお、ポンプ８による貫通孔４からの空気の排出は必ずしも行う必要はない。そして、図３Ａに示すように、新たな多孔質シート２を加工テーブル１に設置することで、さらにレーザ加工を行うことができる。
【００２６】  以上のように、ステップ１〜５の工程により、１枚の多孔質シート２を用いて、複数のワーク３を加工できる。そして、図４Ａおよび図５に示したように、ワーク３を加工テーブル１から取り外す時にも、加工テーブル１とワーク３の間に設けていた多孔質シート２が剥がれたり、ずれたりすることがない。これにより、次のワーク３を多孔質シート２の上に置く前に多孔質シート２を再度適切な状態に戻す必要がなく、作業効率が向上する。
【００２７】  次に、図４Ａおよび図５に示す、ワーク３を除去する工程、および、図４Ｂに示す、多孔質シート２の除去工程について、図７および図８Ａ〜図８Ｃを用いて、さらに詳しく説明する。なお、図１〜図６で用いたものと同じ構成については同一の符号を付し、説明を省略する。
【００２８】  図７に示すように、加工テーブル２１の配管６にバルブ２２と圧力計２３とを設ける。さらに、ポンプ９の外側（配管７と反対側）にバルブ２４を設ける。そして、図８Ａ〜図８Ｃに示すように、図７の加工テーブル１を用いて、さまざまな条件でワーク３や多孔質シート２を真空パッド２５による搬送を行う。
【００２９】  図８Ａは状態Ａを示す図であり、加工テーブル２１の大きさを２００ｍｍ×２００ｍｍとし、加工テーブル２１とほぼ同じ大きさの多孔質シート２とワーク３とを加工テーブル２１に設置している。この状態Ａで、ポンプ９のブロー流量Ｄ（Ｌ／ｍｉｎ）を表１〜５の左端欄のように変えた場合の、圧力計２３が示す真空圧力Ｖ（ｋＰａ）および真空パッド２５によるワーク３の搬送の結果を表１〜５に示す。なお、真空パッド２５は、両端の吸着部の間隔を２１２．１ｍｍとし、ワーク３の対角方向に沿って配置する。
【００３０】  図８Ｂは状態Ｂを示す図であり、状態Ａに対して、ワーク３の大きさを９７ｍｍ×９７ｍｍ、真空パッド２５の両端の吸着部の間隔を１０６．１ｍｍとし、他の条件は同じである。この状態Ｂで、ポンプ９のブロー流量Ｄを表１〜５の左端欄のように変えた場合の、真空圧力Ｖおよび真空パッド２５によるワーク３の搬送の結果を表１〜５に示す。
【００３１】  図８Ｃは状態Ｃを示す図であり、状態Ａに対して、ワーク３を除いたものであり、他の条件は同じである。この状態Ｃで、ポンプ９のブロー流量Ｄを表１〜５の左端欄のように変えた場合の、真空圧力Ｖを表１〜５に示す。その結果、多孔質シート２は、真空圧力Ｖが−１．０ｋＰａ以上であると、加工テーブル２１に安定して保持できないことが観察された（表１〜５の※印）。
【００３２】  次に、表１〜表５について、説明する。各表の左端欄は、バルブ２４の制御により変えられたポンプ９のブロー流量Ｄ（Ｌ／ｍｉｎ）である。各表の中央は、状態Ａ〜Ｃのときの圧力計２３が示す真空圧力Ｖ（ｋＰａ）である。各表の右欄は、状態Ａ、Ｂのときのワーク３の搬送結果である。
【００３３】  各表の右欄の搬送結果について説明する。「△」はワーク３が多孔質シート２に引っかかった状態になったことを示す。「○」はワーク３が多孔質シート２からスムーズに搬送できたことを示す。測定できなかった欄は、真空圧力Ｖが−１．０ｋＰａ以上であるため、多孔質シート２が不安定であったことを示す（表１〜５の※印に対応）。
【００３４】  表１は、ブロー流量Ｄが０Ｌ／ｍｉｎのときに、状態Ａで真空圧力Ｖが−１０ｋＰａとなるようにポンプ８を動作させている。このときの状態Ａ〜Ｃにおいて、ブロー流量Ｄを０〜２４Ｌ／ｍｉｎまで変化させ、状態Ａ〜Ｃの真空圧力Ｖと状態Ａ、Ｂの搬送結果を示す。
【００３５】
【表１】
2015151141.tif 000003
【００３６】  表２は、ブロー流量Ｄが０Ｌ／ｍｉｎのときに、状態Ａで真空圧力Ｖが−１１ｋＰａとなるようにポンプ８を動作させている。このときの状態Ａ〜Ｃにおいて、ブロー流量Ｄを０〜３０Ｌ／ｍｉｎまで変化させ、状態Ａ〜Ｃの真空圧力Ｖと状態Ａ、Ｂの搬送結果を示す。
【００３７】
【表２】
2015151141.tif 000004
【００３８】  表３は、ブロー流量Ｄが０Ｌ／ｍｉｎのときに、状態Ａで真空圧力Ｖが−１２ｋＰａとなるようにポンプ８を動作させている。このときの状態Ａ〜Ｃにおいて、ブロー流量Ｄを０〜３０Ｌ／ｍｉｎまで変化させ、状態Ａ〜Ｃの真空圧力Ｖと状態Ａ、Ｂの搬送結果を示す。
【００３９】
【表３】
2015151141.tif 000005
【００４０】  表４は、ブロー流量Ｄが０Ｌ／ｍｉｎのときに、状態Ａで真空圧力Ｖが−１３ｋＰａとなるようにポンプ８を動作させている。このときの状態Ａ〜Ｃにおいて、ブロー流量Ｄを０〜３５Ｌ／ｍｉｎまで変化させ、状態Ａ〜Ｃの真空圧力Ｖと状態Ａ、Ｂの搬送結果を示す。
【００４１】
【表４】
2015151141.tif 000006
【００４２】  表５は、ブロー流量Ｄが０Ｌ／ｍｉｎのときに、状態Ａで真空圧力Ｖが−１４ｋＰａとなるようにポンプ８を動作させている。このときの状態Ａ〜Ｃにおいて、ブロー流量Ｄを０〜３８Ｌ／ｍｉｎまで変化させ、状態Ａ〜Ｃの真空圧力Ｖと状態Ａ、Ｂの搬送結果を示す。
【００４３】
【表５】
2015151141.tif 000007
【００４４】  以上の結果から、状態Ａについて考察すると、真空圧力Ｖが−９．５ｋＰａ以下ではワーク３の搬送結果は「△」であり（特に、表４参照）、真空圧力Ｖが−９．０ｋＰａ以上ではワーク３の搬送結果は「○」である（特に、表３参照）。このことから、状態Ａでは、真空圧力Ｖが−１．０ｋＰａより小さく、−９．０ｋＰａ以上であることが好ましい。同様に、状態Ｂについて考察すると、真空圧力Ｖが−２．６ｋＰａ以下ではワーク３の搬送結果は「△」であり（特に、表５参照）、真空圧力Ｖが−２．５ｋＰａ以上ではワーク３の搬送結果は「○」である（特に、表５参照）。このことから、状態Ｂでは、真空圧力Ｖが−１．０ｋＰａより小さく、−２．５ｋＰａ以上であることが好ましい。よって、真空圧力Ｖがこの範囲に入るように、バルブ２２、２４を調整してポンプ８、９を駆動することが好ましい。
【００４５】  また、図２では、貫通孔４、５と配管６、７とをそれぞれ接続するガス流路１１、１２は加工テーブル１内の管状のものとしたが、図９に示すように貫通孔４および貫通孔５を分離する分離壁３３を設けて、ガス流路３１（第１の流路）とガス流路３２（第２の流路）としても構わない。
【００４６】  また、貫通孔４および貫通孔５は必ずしも1列ごとに交互に配置される必要はなく、加工テーブル１の全体としてある程度ばらばらに配置されていれば良い。例えば、図１０Ａに示すように、貫通孔４および貫通孔５が２列になっている場所があって、それぞれがガス流路１１およびガス流路１２と接続されていても構わない。また、この場合も、図１０Ｂに示すように、貫通孔４および貫通孔５を分離する分離壁３３を設けて、ガス流路３１（第１の流路）とガス流路３２（第２の流路）としても構わない。さらには、図１１Ａに示すように、貫通孔４および貫通孔５が交互に配置された列を含んで、貫通孔４および貫通孔５の列が交互に配置され、それぞれがガス流路１１およびガス流路１２と接続されていても構わない。また、この場合も、図１１Ｂに示すように、貫通孔４および貫通孔５を分離する分離壁３３を設けて、ガス流路３１（第１の流路）とガス流路３２（第２の流路）としても構わない。
【００４７】  すなわち、図２、図９に加えて、図１０Ａ〜図１１Ｂのように、貫通孔４と貫通孔５の配置は、加工テーブル１において、ある程度のばらばらに配置されていれば良く、言い換えると、任意の貫通孔４には、少なくとも１つの貫通孔５が配置されていれば良い。さらに、任意の貫通孔５には、少なくとも１つの貫通孔４が配置されていれば、なお好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００４８】  本開示のレーザ加工機およびレーザ加工方法は、ワークを加工テーブルから取り外す時にも、加工テーブルとワークの間に設けていた多孔質シートが剥がれたり、ずれたりすることがなく、切断、貫通、溶接などのレーザ加工において有用である。
【符号の説明】
【００４９】  １，２１  加工テーブル  ２  多孔質シート  ３  ワーク  ４，５  貫通孔  ６，７  配管  ８，９  ポンプ  １０  レーザヘッド  １１，１２，３１，３２  ガス流路  １３，２５  真空パッド  ２２，２４  バルブ  ２３  圧力計  ３３  分離壁  １０１  炭酸ガスレーザ発振器  １０２  外部光学系  １０３  加工テーブル  １０４  真空ポンプ  １０５  自動制御装置  １０６  多孔質板  １０７  基板
【図１】
2015151141.tif 000008
【図２】
2015151141.tif 000009
【図３Ａ】
2015151141.tif 000010
【図３Ｂ】
2015151141.tif 000011
【図３Ｃ】
2015151141.tif 000012
【図４Ａ】
2015151141.tif 000013
【図４Ｂ】
2015151141.tif 000014
【図５】
2015151141.tif 000015
【図６】
2015151141.tif 000016
【図７】
2015151141.tif 000017
【図８Ａ】
2015151141.tif 000018
【図８Ｂ】
2015151141.tif 000019
【図８Ｃ】
2015151141.tif 000020
【図９】
2015151141.tif 000021
【図１０Ａ】
2015151141.tif 000022
【図１０Ｂ】
2015151141.tif 000023
【図１１Ａ】
2015151141.tif 000024
【図１１Ｂ】
2015151141.tif 000025
【図１２】
2015151141.tif 000026
【手続補正書】
【提出日】平成28年8月31日(2016.8.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
図７に示すように、加工テーブル２１の配管６にバルブ２２と圧力計２３とを設ける。さらに、ポンプ９の外側（配管７と反対側）にバルブ２４を設ける。そして、図８Ａ〜図８Ｃに示すように、図７の加工テーブル２１を用いて、さまざまな条件でワーク３や多孔質シート２を真空パッド２５による搬送を行う。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
また、貫通孔４および貫通孔５は必ずしも1列ごとに交互に配置される必要はなく、加工テーブル１の全体としてある程度ばらばらに配置されていれば良い。例えば、図１０Ａに示すように、貫通孔４および貫通孔５が２列になっている場所があって、それぞれがガス流路１１およびガス流路１２と接続されていても構わない。また、この場合も、図１０Ｂに示すように、貫通孔４および貫通孔５を分離する分離壁３３を設けて、ガス流路３１（第１の流路）とガス流路３２（第２の流路）としても構わない。さらには、図１１Ａに示すように、貫通孔４の列と貫通孔５の列が互いにかみ合うように配置され、それぞれがガス流路１１およびガス流路１２と接続されていても構わない。また、この場合も、図１１Ｂに示すように、貫通孔４および貫通孔５を分離する分離壁３３を設けて、ガス流路３１（第１の流路）とガス流路３２（第２の流路）としても構わない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０Ａ】
2015151141.tif 000027
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０Ｂ】
2015151141.tif 000028
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１Ａ】
2015151141.tif 000029
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１Ｂ】
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【国際調査報告】
2015151141.tif 000031
2015151141.tif 000032
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