(57)【要約】  本発明の流量制御装置（１）は、開口部（１２ｄ）を有するベース（１０）と、開口部（１２ｄ）を囲むように設けられており、開口部（１２ｄ）周りに回動可能なリング部材（５０）と、リング部材（５０）を回動させるモータ（２０）と、開口部（１２ｄ）の径方向外側においてベース（１０）に支持されており、開口部（１２ｄ）の軸線と平行な軸線周りに回動可能な複数の羽根部材（６０）と、を備え、リング部材（５０）には、溝部（５４）が形成されており、羽根部材（６０）には、溝部（５４）内を摺動可能な突起部（６２）が形成されており、モータ（２０）がリング部材（５０）を回動させることよって、突起部（６２）が溝部（５４）内を摺動し、複数の羽根部材（６０）が回動して開口部（１２ｄ）を開閉する。
2016052372.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管に設けられて当該配管を流通する流体の流量を制御する流量制御装置であって、
前記流体が流通可能な開口部を有するベースと、
前記流体の流通方向から見て前記開口部を囲むように設けられており、前記開口部周りに回動可能なリング部材と、
前記リング部材を回動させるモータと、
前記開口部の径方向外側において前記ベースに支持されており、前記開口部の軸線と平行な軸線周りに回動可能な複数の羽根部材と、
を備え、
前記リング部材及び前記羽根部材の一方には、溝部が形成されており、
前記リング部材及び前記羽根部材の他方には、前記溝部内を摺動可能な突起部が形成されており、
前記モータが前記リング部材を回動させることよって、前記突起部が前記溝部内を摺動し、前記複数の羽根部材が回動して前記開口部を開閉する
ことを特徴とする流量制御装置。
【請求項２】
前記複数の羽根部材は、前記開口部の径方向外側に位置する
ことを特徴とする請求項１に記載の流量制御装置。
【請求項３】
前記ベースには、筒形状を呈するリブが前記開口部周りから前記流体の上流側に立設されており、
前記リング部材は、前記リブを囲むように設けられており、
全開状態において、前記複数の羽根部材のそれぞれの一部が、前記リブと重なる場所に位置する
ことを特徴とする請求項２に記載の流量制御装置。
【請求項４】
全閉状態において、一の前記羽根部材は、他の前記羽根部材と重なる
ことを特徴とする請求項１に記載の流量制御装置。
【請求項５】
前記羽根部材には、二つの薄肉部が形成されていて、全閉状態において隣接する二つの羽根部材の肉薄部と相互に重なるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の流量調整装置。
【請求項６】
前記羽根部材の薄肉部には、全閉状態において羽根部材の先端側の肉薄部が接触する弾性部材を設けたことを特徴とする請求項５に記載の流量制御装置。
【請求項７】
前記全閉状態時、一の前記羽根部材と他の前記羽根部材との間の少なくとも一部は、弾性部材によって密封されていることを特徴とする請求項１に記載の流量制御装置。
【請求項８】
配管に設けられて当該配管を流通する流体の流量を制御する流量制御装置であって、
前記流体が流通可能な開口部を有するベースと、
前記開口部の径方向外側において前記ベースに回動可能に支持されていて該開口部に進退可能な複数の羽根部材と、
前記羽根部材と連結されていて前記開口部周りに回動可能なリング部材と、
前記リング部材を回動させるモータと、
前記ベースに設けられていて前記羽根部材を前記流体の流通方向に移動し得るように付勢する付勢部材とを備えた流量制御装置。
【請求項９】
前記付勢部材は、前記ベースに設けられた前記羽根部材の回転軸に取り付けられていることを特徴とする請求項８に記載の流量制御装置。
【請求項１０】
前記リング部材及び前記羽根部材の一方には、溝部が形成されており、
前記リング部材及び前記羽根部材の他方には、前記溝部内を摺動可能な突起部が形成されており、
前記突起部は、前記溝部との接触箇所が略球形状を有することを特徴とする請求項１または請求項８に記載の流量制御装置。
【請求項１１】
前記リング部材及び前記羽根部材の一方には、溝部が形成されており、
前記リング部材及び前記羽根部材の他方には、前記溝部内を摺動可能な突起部が形成されており、
前記突起部は、前記溝部との接触箇所が略同じ曲率を有する形状であることを特徴とする請求項１または請求項８に記載の流量制御装置。
【請求項１２】
前記リング部材及び前記羽根部材の一方には、溝部が形成されており、
前記リング部材及び前記羽根部材の他方には、前記溝部内を摺動可能な突起部が形成されており、
前記突起部は、前記溝部との接触箇所が曲率を有する形状であることを特徴とする請求項１または請求項８に記載の流量制御装置。
【請求項１３】
前記各羽根部材のそれぞれの位置を検出する第１位置検出手段と、前記リング部材の位置を検出する第２位置検出手段とを備えている
ことを特徴とする請求項１または請求項８に記載の流量制御装置。
【請求項１４】
前記第１位置検出手段は、全閉状態を検出する位置を調整する位置調整手段を有する
ことを特徴とする請求項１３に記載の流量制御装置。
【請求項１５】
前記第１位置検出手段は、前記羽根部材の全開状態と、全閉状態と、前記全開状態と前記全閉状態との間の中間状態を検出し、
前記第２位置検出手段は、前記羽根部材の全開状態での前記リング部材の位置と前記羽根部材の全閉状態での前記リング部材の位置とを検出する
ことを特徴とする請求項１３に記載の流量制御装置。
【請求項１６】
前記第１位置検出手段は、
前記羽根部材に設けられ、遮光する遮光部と通光する通光部とを有する位置被検出部と、
前記遮光部と前記通光部とを検出するセンサとを有する
ことを特徴とする請求項１３に記載の流量制御装置。
【請求項１７】
前記羽根部材に設けられ、前記羽根部材が全閉時、弾性変形して前記羽根部材間の空隙を塞ぐ弾性部材を備え、
前記弾性部材は、前記羽根部材に係合する形状を有する
ことを特徴とする請求項１または請求項８に記載の流量制御装置。
【請求項１８】
前記弾性部材の長さ方向の端部を覆う固定部材を備える
ことを特徴とする請求項１７に記載の流量制御装置。
【請求項１９】
前記複数の羽根部材は、複数層に重なって設けられている
ことを特徴とする請求項１または請求項８に記載の流量制御装置。
【請求項２０】
前記複数の羽根部材の全閉時、当該全閉により弾性変形して前記羽根部材間の間隙を密閉する変形密閉手段を備える
ことを特徴とする請求項１９に記載の流量制御装置。
【請求項２１】
前記複数の羽根部材の全閉時、重ねて隣接される前記羽根部材間の間隙を密閉するとともに、前記複数の羽根部材の非全閉時、前記全閉時の位置より外側に移動する重畳羽根部材間移動密閉手段を備える
ことを特徴とする請求項１９に記載の流量制御装置。
【請求項２２】
前記羽根部材の回動動作を検出する羽根部材回動動作検出手段を備える
ことを特徴とする請求項１９に記載の流量制御装置。
【請求項２３】
配管に設けられて当該配管を流通する流体の流量を制御する流量制御装置であって、
前記流体が流通する開口部を有するベース部材と、
前記ベース部材の前記開口部の外側に移動自在に支持され、前記開口部の内側から外側に、または、その外側からその内側に移動して前記開口部を開閉する複数の羽根部材と、
前記複数の羽根部材を移動させる移動手段とを
備えることを特徴とする流量制御装置。
【請求項２４】
一の前記羽根部材は凸部を有するとともに、他の前記羽根部材は凹部を有し、
前記開口部が全閉状態の際に、前記開口部において、前記一の羽根部材の凸部と前記他の羽根部材の凹部とが重なって、前記流体の流通方向の空隙を閉じる
ことを特徴とする請求項２３に記載の流量制御装置。
【請求項２５】
前記複数の羽根部材の少なくとも何れかは、前記開口部が全閉状態の際に前記複数の羽根部材の間を変形することで閉じる閉塞部材を有する
ことを特徴とする請求項２３に記載の流量制御装置。
【請求項２６】
請求項１または請求項８または請求項２３のいずれか一項に記載の流量制御装置を備えることを特徴とする車両。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の流量を制御する流量制御装置及び当該流量制御装置を備える車両に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体の流路を開閉して流量を制御する装置として、バタフライバルブが知られている（特許文献１，２参照）。バタフライバルブは、流路内に設けられた円板形状を呈する弁体を、流路に直交する軸周りに回動させることによって流路を開閉し、弁体の姿勢によって流体の流量を制御する。【０００３】
従来、流量制御装置には、下記の特許文献１に記載の内燃機関用スロットル装置がある。
図５６は、従来の特許文献１の内燃機関用スロットル装置のスロットルバルブ近傍の縦断面図である。
特許文献１の内燃機関用スロットル装置は、スロットルボデー２０５の断面円形状のボア内管２５２内に形成される吸気通路の内部に、スロットルシャフト２０２に固定されるスロットルバルブ２０１が回転自在に取り付けられている。そして、吸気通路の中央部には、ボス状突起部２５６が設けられ、ボス状突起部２５６の両端面には、全閉ストッパ２０７と全開ストッパ２０８とが、一体的に形成されている。【０００４】
スロットルバルブ２０１が回転して、全開ストッパ２０８に当接することで、吸気通路が全開状態となる(図５６の実線の符号２０１参照)。一方、スロットルバルブ２０１が回転して、全閉ストッパ２０７に当接することで、吸気通路が全閉状態となる(図５６の二点鎖線の符号２０１参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２９３４５２号公報
【特許文献２】特開２０１０−１０６７３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１に記載の内燃機関用スロットル装置は、ボア内管２５２内に形成される吸気通路に、スロットルバルブ２０１、スロットルシャフト２０２、ボス状全閉ストッパ２０７と全開ストッパ２０８とを有する突起部２５６が設けられる。そのため、吸気通路が全開状態(図５６の実線の符号２０１)の場合にも、吸気通路の真ん中に抵抗となる部材が残ることとなる。【０００７】
従って、吸気通路を流れる吸気の抵抗となり、吸気の損失となる。そのため、エンジンが所定の性能を出す際の障害となるおそれがある。
特許文献２に記載される内燃機関のスロットル装置も、特許文献１と同様な構成である。【０００８】
かかるバタフライバルブは、弁体等が常に流路内に位置するため、全開状態において損失が発生してしまうという問題を有している。
また、全閉状態において、弁体等と流量通路の間に生じる隙間により流量が遮断されずに漏れが生じてしまい正確な流量制御ができないという問題も有している。【０００９】
また、弁体は流路内において高圧力に晒されるため、耐久性が求められる。さらに、弁体は流路内の高圧力内での動作が円滑である必要があり、加えて流体圧の影響を受けないように動作の安定性も求められる。【００１０】
また、弁体の誤動作を正確に検知する必要がある。弁体の動作を正確に検知できない場合、正常動作を検出できないまま、動作し続けることが起こる。また、当該弁を検査装置に適用した場合、正常でないまま（不良品のまま）製造し続けることとなる。
なお、弁体の誤動作を正確に検知することにより、弁の寿命を検査することができる。
【００１１】
本発明は、前記事情に鑑みて創案されたものであり、全開時における損失を少なくすることが可能な流量制御装置及び当該流量制御装置を備える車両を提供することを課題とする。
また、全閉状態での流路の遮断性を向上させることが可能な流量制御装置及び当該流量制御装置を備える車両を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記課題を解決するため、本発明の請求項１の流量制御装置は、配管に設けられて当該配管を流通する流体の流量を制御する流量制御装置であって、前記流体が流通可能な開口部を有するベースと、前記流体の流通方向から見て前記開口部を囲むように設けられており、前記開口部周りに回動可能なリング部材と、前記リング部材を回動させるモータと、前記開口部の径方向外側において前記ベースに支持されており、前記開口部の軸線と平行な軸線周りに回動可能な複数の羽根部材と、を備え、前記リング部材及び前記羽根部材の一方には、溝部が形成されており、前記リング部材及び前記羽根部材の他方には、前記溝部内を摺動可能な突起部が形成されており、前記モータが前記リング部材を回動させることよって、前記突起部が前記溝部内を摺動し、前記複数の羽根部材が回動して前記開口部を開閉することを特徴とする。【００１３】
かかる構成によると、複数の羽根部材が開口部の軸線と平行な軸線周りで回動して開口部を開閉するので、全開状態において流路内に位置する部材の断面積を減らし、流路の損失を少なくすることができる。また、従来のバタフライバルブと比較して、流量制御装置の流体の流通方向の大きさ（寸法）を小型化することができる。【００１４】
前記複数の羽根部材は、前記開口部の径方向外側に位置する構成であってもよい。
かかる構成によると、弁体である複数の羽根部材が流路から完全に退避した全開状態を実現することができる。【００１５】
前記ベースには、筒形状を呈するリブが前記開口部周りから前記流体の上流側に立設されており、前記リング部材は、前記リブを囲むように設けられており、全開状態において、前記複数の羽根部材のそれぞれの一部が、前記リブと重なる場所に位置する構成であってもよい。【００１６】
かかる構成によると、流体の影響等によって羽根部材の内側辺がリブの外周面と当接して羽根部材が閉方向に回転することができなくなることを防ぐことができるとともに、閉状態において、複数の羽根部材が流体によってリブの先端面に付勢されるので、開口部からの流体の流出量を好適に制御することができる。【００１７】
全閉状態において、一の前記羽根部材は、他の前記羽根部材と重なる構成であってもよい。【００１８】
かかる構成によると、部分閉状態における流路の断面形状を好適に設定し、開閉動作による流量の変化を線形等に好適に設定することができるとともに、全閉状態における流路の遮断性を高めることができる。【００１９】
前記羽根部材には、二つの薄肉部が形成されていて、全閉状態において隣接する二つの羽根部材の肉薄部と相互に重なるような構成であってもよい。【００２０】
かかる構成によると、全閉状態における流路の遮断性を高めることができると共に、流路方向の羽根の薄型化ができる。【００２１】
前記羽根部材の薄肉部には、全閉状態において羽根部材の先端側の肉薄部が接触する弾性部材を設けるような構成であってもよい。【００２２】
かかる構成によると、全閉状態における流路の遮断性をより一層高めることができる。【００２３】
前記全閉状態時、一の前記羽根部材と他の前記羽根部材との間の少なくとも一部は、弾性部材によって密封されていてもよい。
かかる構成によると、全閉状態における流路の密封性や遮断性を向上させることができる。【００２４】
本発明の請求項８の流量制御装置は、配管に設けられて当該配管を流通する流体の流量を制御する流量制御装置であって、前記流体が流通可能な開口部を有するベースと、前記開口部の径方向外側において前記ベースに回動可能に支持されていて該開口部に進退可能な複数の羽根部材と、前記羽根部材と連結されていて前記開口部周りに回動可能なリング部材と、前記リング部材を回動させるモータと、前記ベースに設けられていて前記羽根部材を前記流体の流通方向に移動し得るように付勢する付勢部材とを備えたことを特徴とする。【００２５】
かかる構成によると、複数の羽根部材が開口部の軸線と平行な軸線周りで回動して開口部を開閉するので、全開状態において流路内に位置する部材の断面積を減らし、流路の損失を少なくすることができる。また、従来のバタフライバルブと比較して、流量制御装置の流体の流通方向の大きさを小型化することができる。さらに、羽根部材を流体の流通方向に移動可能となるように付勢部材を設けたので、全閉状態において流路の遮断性を向上させることができる。【００２６】
前記付勢部材は、前記ベースに設けられた前記羽根部材の回転軸に取り付けられている構成であってもよい。【００２７】
かかる構成によると、回転軸にばねを取り付けることで、装置全体の小型化ができる。【００２８】
前記リング部材及び前記羽根部材の一方には、溝部が形成されており、前記リング部材及び前記羽根部材の他方には、前記溝部内を摺動可能な突起部が形成されており、前記突起部は、前記溝部との接触箇所が少なくとも略球形状を有していてもよい。【００２９】
かかる構成によると、突起部は、溝部との接触箇所が少なくとも略球形状を有するので、羽根部材の姿勢に拘わらず、突起部と溝部との接触状態が変化せず、羽根部材の安定した円滑な動作が可能である。【００３０】
前記リング部材及び前記羽根部材の一方には、溝部が形成されており、前記リング部材及び前記羽根部材の他方には、前記溝部内を摺動可能な突起部が形成されており、前記突起部は、前記溝部との接触箇所がほぼ同じ曲率を有する形状であってもよい。【００３１】
かかる構成によると、突起部は、溝部との接触箇所がほぼ同じ曲率を有する形状なので、羽根部材の姿勢に拘わらず、突起部と溝部との接触状態が変化せず、羽根部材の安定した円滑な動作が可能である。【００３２】
前記リング部材及び前記羽根部材の一方には、溝部が形成されており、前記リング部材及び前記羽根部材の他方には、前記溝部内を摺動可能な突起部が形成されており、前記突起部は、前記溝部との接触箇所が曲率を有する形状であってもよい。【００３３】
かかる構成によると、突起部は、溝部との接触箇所が曲率を有する形状なので、羽根部材の姿勢に拘わらず、突起部と溝部との接触状態が変化せず、羽根部材の安定した円滑な動作が可能である。【００３４】
前記各羽根部材のそれぞれの位置を検出する第１位置検出手段と、前記リング部材の位置を検出する第２位置検出手段とを備えていてもよい。【００３５】
かかる構成によると、各羽根部材が正常な動作しているか否かを検出することができる。【００３６】
前記第１位置検出手段は、全閉状態を検出する位置を調整する位置調整手段を有していてもよい。【００３７】
かかる構成によると、羽根部材が確実に全閉状態になる位置を検出できる。【００３８】
前記第１位置検出手段は、前記羽根部材の全開状態と、全閉状態と、前記全開状態と前記全閉状態との間の中間状態を検出し、前記第２位置検出手段は、前記羽根部材の全開状態での前記リング部材の位置と前記羽根部材の全閉状態での前記リング部材の位置とを検出してもよい。【００３９】
かかる構成によると、各羽根部材が全開状態と全閉状態との間で正常な動作しているか否かを、確実に検出することができる。【００４０】
前記第１位置検出手段は、前記羽根部材に設けられ、遮光する遮光部と通光する通光部とを有する位置被検出部と、前記遮光部と前記通光部とを検出するセンサ(例えば、光及び／又は磁気を検出するセンサなど)とを有していてもよい。【００４１】
かかる構成によると、羽根部材の動きをセンサを用いて 明確に把握できる。【００４２】
前記羽根部材に設けられ、前記羽根部材が全閉時、弾性変形して前記羽根部材間の空隙を塞ぐ弾性部材を備え、前記弾性部材は、前記羽根部材に係合する形状を有していてもよい。【００４３】
かかる構成によると、羽根部材に係合する形状により、弾性部材が羽根部材から離脱することを防止できる。【００４４】
前記弾性部材の長さ方向の端部を覆う固定部材を備えていてもよい。【００４５】
かかる構成によると、第１抑え部材、第２抑え部材で弾性部材を抑えることで弾性部材の羽根部材からの離脱を確実に防止できる。【００４６】
前記複数の羽根部材は、複数層に重なって設けられていてもよい。【００４７】
かかる構成によると、複数の羽根部材は、複数層に重なって設けられるので、羽根部材を小さくでき、流量制御装置の小型化が可能である。【００４８】
前記複数の羽根部材の全閉時、当該全閉により弾性変形して前記羽根部材間の間隙を密閉する変形密閉手段を備えていてもよい。【００４９】
かかる構成によると、全閉時、当該閉塞により弾性変形して前記羽根部材間の間隙を密閉する変形密閉手段を備えるので、全閉時の密閉度が向上する。【００５０】
前記複数の羽根部材の全閉時、重ねて隣接される前記羽根部材間の間隙を密閉するとともに、前記複数の羽根部材の非全閉時、前記全閉時の位置より外側に移動する重畳羽根部材間移動密閉手段を備えていてもよい。【００５１】
かかる構成によると、全閉時の密閉度が向上する。【００５２】
前記羽根部材の回動動作を検出する羽根部材回動動作検出手段を備えていてもよい。【００５３】
かかる構成によると、羽根部材が正常に動作しているか否か検出でき、流量制御装置の信頼性、メンテンス性が向上する。【００５４】
本発明の請求項２３の流量制御装置は、配管に設けられて当該配管を流通する流体の流量を制御する流量制御装置であって、前記流体が流通する開口部を有するベース部材と、前記ベース部材の前記開口部の外側に移動自在に支持され、前記開口部の内側から外側に、または、その外側からその内側に移動して前記開口部を開閉する複数の羽根部材と、  前記複数の羽根部材を移動させる移動手段とを備えることを特徴とする。【００５５】
かかる構成によると、複数の羽根部材が開口部の内側から外側に移動するので、開口部を全開として、開口部に形成される流路に部材を存在しないようにできる。そのため、流路の損失を少なくできる。【００５６】
一の前記羽根部材は凸部を有するとともに、他の前記羽根部材は凹部を有し、前記開口部が全閉状態の際に、前記開口部において、前記一の羽根部材の凸部と前記他の羽根部材の凹部とが重なって、前記流体の流通方向の空隙を閉じてもよい。【００５７】
かかる構成によると、開口部が全閉状態の際に、開口部において、一の羽根部材の凸部と他の羽根部材の凹部とが重なって、流体の流通方向の空隙を閉じるので、全閉時における空隙を極力小さくできる。【００５８】
前記複数の羽根部材の少なくとも何れかは、前記開口部が全閉状態の際に前記複数の羽根部材の間を変形することで閉じる閉塞部材を有している。【００５９】
かかる構成によると、複数の羽根部材の少なくとも何れかは、開口部が全閉状態の際に複数の羽根部材の間を変形することで閉じる閉塞部材を有するので、開口部が全閉状態の際の空隙をなくすことができる。【００６０】
また、本発明は、前記流量制御装置を備える車両としても具現化可能である。
【発明の効果】
【００６１】
本発明によると、全開時における損失を少なくすることが可能な流量制御装置及び当該流量制御装置を備える車両を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施形態１に係る流量制御装置を示す斜視図である。
【図２】流量制御装置を示す分解斜視図である。
【図３】第二ベース、リング部材及びセンサを上流側から見た平面図である。
【図４】（ａ）は、羽根部材を上流側から見た斜視図、（ｂ）は、羽根部材を下流側から見た斜視図、（ｃ）は、変形例に係る羽根部材を上流側から見た斜視図、（ｄ）は、変形例に係る羽根部材を下流側から見た斜視図である。
【図５】流量制御装置の全開状態を示す模式図である。
【図６】流量制御装置の部分閉状態を示す模式図である。
【図７】流量制御装置の全閉状態を示す模式図である。
【図８】本発明に係る流量制御装置の他の実施形態を示すものであり、第二ベース内に配置された部材を示す斜視図である。
【図９】図８に示された流量制御装置の断面図である。
【図１０】（ａ）は第二変形例に係る羽根部材を上流側から見た斜視図、（ｂ）は、第二変形例に係る羽根部材を下流側から見た斜視図である。
【図１１】第二変形例に係る流量制御装置の全閉状態を示す模式図である。
【図１２】（ａ）は第一ベースを外して流体制御装置内部を上流側から下流側に向けて見た図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面拡大図である。
【図１３】（ａ）は羽根部材を、流量制御装置を通過する流体の上流側から下流側に向けて見た図である。（ｂ）は（ａ）の右側面図である。（ｃ）は羽根部材を通過する流体の下流側から上流側に向けて見た図である。（ｄ）は羽根部材を流体の下流側から上流側に向けて斜めに見た図である。（ｅ）は（ｃ）のＢ方向矢視図である。
【図１４】図１３（ｃ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１５】羽根部材の突起部の分解斜視図である。
【図１６】（ａ）は別例の実施形態の開状態の流量制御装置を下流側の斜め上から見た斜視図であり、（ｂ）は別例の実施形態の開状態の流量制御装置の内部を上流側の第一ベースを外して、上流側から見た図である。
【図１７】（ａ）は別例の実施形態の半開状態の流量制御装置を下流側の斜め上から見た斜視図であり、（ｂ）は別例の実施形態の半開状態の流量制御装置の内部を上流側の第一ベースを外して、上流側から見た図である。
【図１８】（ａ）は別例の実施形態の閉状態の流量制御装置を下流側の斜め上から見た斜視図であり、（ｂ）は別例の実施形態の閉状態の流量制御装置の内部を上流側の第一ベースを外して、上流側から見た図である。
【図１９】（ａ）は実施形態２の流量制御装置を配管の上流側から見た斜視図、（ｂ）は実施形態２の流量制御装置を配管の下流側から見た斜視図であり、（ｃ）は実施形態２の流量制御装置の上流側の第一ベースを取り外して内部を見た斜視図。
【図２０】流量制御装置の分解斜視図。
【図２１】（ａ）は羽根部材の上流側から見た図、（ｂ）は（ａ）のＥ方向矢視図、（ｃ）は羽根部材の下流側から見た図、（ｄ）は羽根部材のＦ方向矢視図。
【図２２】（ａ）は羽根部材を上流側から見た斜視図、（ｂ）は羽根部材を下流側から見た斜視図。
【図２３】（ａ）は羽根部材の上流側の第１薄肉部に沿って設けられる弾性部材の斜視図、（ｂ）は弾性部材の上流から見た図。
【図２４】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ羽根部材から弾性部材、第１抑え部材、第２抑え部材を外した状態の上流側から見た図、下流側から見た図、（ｃ）は羽根部材に弾性部材を取り付けた状態の上流側から見た図。
【図２５】羽根部材の回動位置を検出するための被検出ギアの斜視図。
【図２６】センサの取付状態を示す斜視図。
【図２７】（ａ）は流量制御装置の全開状態を示す斜視図、（ｂ）は流量制御装置の全開状態時の第一ベースを取り外して上流側から流量制御装置の内部を見た平面図。
【図２８】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ羽根部材の全開状態、全開と全閉との間の中間状態、および全閉状態での被検出ギアとセンサとの位置関係を示す平面図。
【図２９】（ａ）は流量制御装置の全開と全閉との中間状態を示す斜視図、（ｂ）は流量制御装置の全開と全閉との中間状態時の第一ベースを取り外して上流側から流量制御装置の内部を見た平面図。
【図３０】（ａ）は流量制御装置の全閉状態を示す斜視図、（ｂ）は流量制御装置の全開状態時の第一ベースを取り外して上流側から流量制御装置の内部を見た平面図。
【図３１】羽根部材の全開状態から中間状態を経由して全閉状態に至る羽根部材の位置を検出するセンサの検出信号を示す図。
【図３２】（ａ）は本発明の実施形態３に係る流量制御装置の開状態を示す斜視図（ｂ）は本発明の実施形態３に係る流量制御装置の開状態の内部構成を上流側の第一ベースを外して見た平面図。
【図３３】実施形態３に係る流量制御装置の開状態の内部構成を上流側の第一ベースを外して見た斜視図。
【図３４】（ａ）は本発明の実施形態３に係る流量制御装置の閉状態を示す斜視図、（ｂ）は本発明の実施形態３に係る流量制御装置の閉状態の内部構成を上流側の第一ベースを外して見た平面図。
【図３５】（ａ）は本発明の実施形態３に係る流量制御装置の開閉状態の中間状態を示す斜視図、（ｂ）は本発明の実施形態３に係る流量制御装置の開閉状態の中間状態の内部構成を上流側の第一ベースを外して見た平面図。
【図３６】流量制御装置の分解斜視図。
【図３７】（ａ）は第１羽根部材を示す斜視図、（ｂ）は第１羽根部材を示す平面図、（ｃ）は第１羽根部材を示す側面図。
【図３８】（ａ）は第２羽根部材を示す斜視図、（ｂ）は第２羽根部材を示す平面図、（ｃ）は、第２羽根部材を示す側面図。
【図３９】第２羽根部材の固定法の別例を示す斜視図。
【図４０】実施形態３の変形例１の流量制御装置の閉状態の内部構成を下流側の第一ベースを外して見た平面図。
【図４１】（ａ）は実施形態３の変形例１の第１羽根部材を示す斜視図、（ｂ）は第１羽根部材を示す平面図。
【図４２】（ａ）は実施形態３の変形例１の第２羽根部材を示す斜視図、（ｂ）は第２羽根部材を示す平面図。
【図４３】実施形態３の変形例２の流量制御装置の閉状態の内部構成を上流側の第一ベースを外して見た平面図。
【図４４】実施形態３の変形例３の流量制御装置の閉状態の内部構成を上流側の第一ベースを外して見た平面図。
【図４５】(ａ)は本発明の実施形態４に係る流量制御装置が閉弁した際の斜視図、 (ｂ)は流量制御装置が開弁した際の斜視図である。
【図４６】(ａ)は流量制御装置が閉弁した際の内部構成を示す前面図、(ｂ)は流量制御装置が開弁した際の構成を示す前面図である。
【図４７】全開状態の流量制御装置の内部を斜め上前方から見た斜視図である。
【図４８】流量制御装置を後方側から見た分解図である。
【図４９】(ａ)は第１ベースを斜め上前方から見た斜視図、(ｂ)は (ａ)のＤ方向矢視図である。
【図５０】第１ベースに設けられる支軸ボス、第１〜第４案内ボス、および第１・第２抑えボスと第２ベースの第１〜第７抑えボスとの関係を表わす断面図である。
【図５１】流量制御装置が全閉状態の際の第１羽根部材と第２羽根部材とが重なった箇所の断面図である。
【図５２】変形例１の流量制御装置の全閉状態の第１羽根部材と第２羽根部材とが重なった箇所の断面図である。
【図５３】変形例２の流量制御装置の全閉状態の第１羽根部材と第２羽根部材とが重なった箇所の断面図である。
【図５４】(ａ)は変形例３の流量制御装置が閉弁した際の内部構成を示す前面図であり、(ｂ)は変形例３の流量制御装置が開弁した際の構成を示す前面図である。
【図５５】(ａ)は変形例３の他例の流量制御装置が閉弁した際の内部構成を示す前面図であり、(ｂ)は変形例３の他例の流量制御装置が開弁した際の構成を示す前面図である。
【図５６】従来の特許文献１の内燃機関用スロットル装置のスロットルバルブ近傍の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００６３】
以下、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
＜＜実施形態１＞＞
本発明の実施形態１について、本発明の流量制御装置をエアフローセンサの検査設備に適用した場合を例にとり、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態１に係る流量制御装置を示す斜視図である。図２は、流量制御装置を示す分解斜視図である。図３は、第二ベース、リング部材及びセンサを上流側から見た平面図である。図４（ａ）は、羽根部材を上流側から見た斜視図、図４（ｂ）は、羽根部材を下流側から見た斜視図、図４（ｃ）は、変形例に係る羽根部材を上流側から見た斜視図、図４（ｄ）は、変形例に係る羽根部材を下流側から見た斜視図である。図３において、リング部材は、二点鎖線で示されている。
【００６４】
＜流量制御装置＞
図１に示すように、本発明の実施形態１に係る流量制御装置１は、配管Ｋに設けられ、当該配管Ｋを上流側から下流側へ向けて流通する流体の流量を制御するための弁装置である。図１及び図２に示すように、流量制御装置１は、ベース１０と、モータ２０と、ピニオン３０と、減速ギア４０と、リング部材５０と、複数枚（本実施形態１では、３枚）の羽根部材６０と、センサ７１，７２と、を備える。
【００６５】
＜ベース＞
ベース１０は、上流側の第一ベース１１と、下流側の第二ベース１２と、を組み合わせて接着等で固定することによって構成されている。ベース１０の内部空間は、流体が流通する流路となっている。ベース１０内において、流体は、第一ベース１１の開口部１１ｃから第二ベース１２の開口部１２ｄへ向けて流通する。すなわち、開口部１１ｃ，１２ｄの軸線方向が、流体の流通方向となる。ベース１０内には、モータ２０の出力軸２１、ピニオン３０、減速ギア４０、リング部材５０、複数枚の羽根部材６０及びセンサ７１，７２が収容されている。
【００６６】
＜第一ベース＞
図２に示すように、第一ベース１１は、上流側の配管Ｋが取り付けられる円板壁部１１ａと、配管Ｋ外に設けられてピニオン３０及び減速ギア４０が収容されるボックス形状の収容部１１ｂと、を一体に備える金属製部材（例えば、アルミニウム）である。
【００６７】
円板壁部１１ａの中央部には、円形状を呈する開口部１１ｃが形成されている。開口部１１ｃは、流体制御装置１への流体の入口である。収容部１１ｂには、円形状を呈する孔部１１ｄが形成されている。孔部１１ｄには、モータ２０の出力軸２１が挿通されている。収容部１１ｂの下流側面（内側面）には、円柱形状を呈する軸部１１ｅが立設されている。軸部１１ｅは、減速ギア４０の筒部に挿通されて当該減速ギア４０を回動可能に支持する円柱形状の凸部であり、本実施形態１では、ボールベアリング、含油メタル等の軸受を用いて形成されている。
【００６８】
＜第二ベース＞
第二ベース１２は、下流側の配管Ｋが取り付けられる円板壁部１２ａと、配管Ｋ外に設けられて収容部１１ｂの開放面を塞ぐ矩形壁部１２ｂと、当該円板壁部１２ａ及び矩形壁部１２ｂの周縁から上流側へ向けて立設された周壁部１２ｃと、を一体に備える金属製部材（例えば、アルミニウム）である。周壁部１２ｃの立設高さは、リング部材５０と羽根部材６０との厚みの合計に略等しい。
【００６９】
図３に示すように、円板壁部１２ａの中央部には、円形状を呈する開口部１２ｄが形成されている。開口部１２ｄは、第一ベース１１の開口部１１ｃと同一径であるとともに、開口部１１ｃと対向する位置に設けられており、流体制御装置１からの流体の出口である。円板壁部１２ａの上流側面（内側面）の開口部１２ｄ周りには、円筒形状を呈するリブ１２ｅがベース１０内部へ向けて立設されている。円板壁部１２ａの上流側面（内側面）の外縁部には、複数（本実施形態１では、３個）の台部１２ｆが周方向において等間隔に形成されている。複数の台部１２ｆには、円柱形状を呈する軸部１２ｇがそれぞれ立設されている。軸部１２ｇは、開口部１２ｄの軸線と平行な羽根部材６０の回動軸の一例であり、羽根部材６０の被挿入部６１に挿入されて当該羽根部材６０を回動可能に支持する円柱形状の凸部であり、本実施形態１では、ボールベアリング、含油メタル等の軸受を用いて形成されている。台部１２ｆの立設高さは、リング部材５０の厚みに略等しく、軸部１２ｇの立設高さは、羽根部材６０の厚みに略等しい。
【００７０】
矩形壁部１２ｂの上流側面（内側面）には、円柱形状を呈する軸部１２ｈが立設されている。軸部１２ｈは、第一ベース１１の軸部１１ｅと対向する位置に設けられており、減速ギア４０の筒部に挿通されて当該減速ギア４０を回動可能に支持する円柱形状の凸部であり、本実施形態１では、ボールベアリング、含油メタル等の軸受を用いて形成されている。
【００７１】
本実施形態１において、開口部１１ｃ，１２ｄ及びリブ１２ｅの内径は、流量制御装置１の用途に応じて適宜設定可能であり、流量制御装置１を車両用のエアフローセンサの検査に用いる場合には、車両の排気量に応じて、例えば７０ｍｍとすることができる。また、流量制御装置１の円筒部分全体が配管Ｋ内に設けられる構成であってもよい。
【００７２】
＜モータ＞
図２に示すように、モータ２０は、リング部材５０を回動させる動力源であり、本実施形態１では、ステッピングモータである。モータ２０は、第一ベース１１の収容部１１ｂの上流側面（外側面）に、孔部１１ｄを塞ぐように取り付けられている。モータ２０の出力軸２１は、収容部１１ｂ内に配置される。なお、モータ２０は、第二ベース１２の矩形壁部１２ｂの下流側面に取り付けられてもよい。また、モータ２０は、ステッピングモータに限定されず、ＡＣモータ、ＤＣモータ等であってもよい。
【００７３】
＜ピニオン＞
ピニオン３０は、モータ２０の出力軸２１に外嵌されて出力軸２１と一体に回動する金属製部材（例えば、ステンレス）である。ピニオン３０は、減速ギア４０の外歯４１と歯合する外歯３１を備える。
【００７４】
＜減速ギア＞
減速ギア４０は、減速機構の一例であって、モータ２０の出力を減速してリング部材５０へ伝達する金属製部材（例えば、ステンレス）である。減速ギア４０は、第一ベース１１側の軸部１１ｅ及び第二ベース１２側の軸部１２ｈによって回動可能に支持されている。減速ギア４０は、大径部に設けられてピニオン３０の外歯３１と歯合する外歯４１と、小径部に設けられてリング部材５０の外歯５３と歯合する外歯４２と、を備える。
【００７５】
＜リング部材＞
リング部材５０は、開口部１２ｄ周りに回動可能な金属製部材（例えば、アルミニウム）である。リング部材５０は、モータ２０の出力によって複数の羽根部材６０を回動させる駆動リングであり、本実施形態１では、第二ベース１２の円形壁部１２ａの内側面と複数の羽根部材６０との間に設けられている。図３に示すように、リング部材５０の中央部には、円形状を呈する孔部５１が形成されている。孔部５１の内径は、第二ベース１２のリブ１２ｅの外径と略同一に設定されており、リング部材５０は孔部５１においてリブ１２ｅに外嵌されている。
【００７６】
リング部材５０には、周方向に延びる複数本（本実施形態１では、羽根部材６０の枚数に対応する３本）の溝部５２が孔部５１を囲むように形成されている。上流側から見て、溝部５２は、対応する軸部１２ｇの時計回り方向前側に配置されており、反時計回り方向に進むにつれて開口部１２ｄの径方向中心に近づくように屈曲形成されている。
【００７７】
リング部材５０の周縁の一部には、減速ギア４０の外歯４２と歯合する外歯５３が形成されている。リング部材５０の周縁には、被検出部の一例である被検出片５４が当該リング部材５０の径方向外側へ向けて立設されている。
【００７８】
リング部材５０の形状及び第二ベース１２の複数の台部１２ｆの位置及び形状は、リング部材５０が回動してもリング部材５０及び複数の台部１２ｆとが当接しないように設定されている。
【００７９】
＜羽根部材＞
複数枚の羽根部材６０は、流路を開閉するための金属製部材（例えば、アルミニウム）である。本実施形態１では、複数の羽根部材６０は、第一ベース１１の円形壁部１１ａとリング部材５０との間であって、流体の流通方向と直交する同一平面内に設けられている。図４（ａ）（ｂ）に示すように、羽根部材６０の基端部（上流側から見て時計回り方向後端部）には、凹部又は孔部（本実施形態１では、孔部）からなる被挿入部６１が形成されている。被挿入部６１は、第二ベース１２の軸部１２ｇが挿入されて当該羽根部材６０の回動軸となる部位である。
【００８０】
羽根部材６０の中央部には、円柱形状を呈する突起部６２がリング部材５０へ向けて立設されている。突起部６２は、溝部５２内を摺動可能な円柱形状の凸部であり、ボールベアリング、含油メタル等の軸受を用いて形成されている。突起部６２の立設高さは、リング部材５０の厚み以下に設定されている。
【００８１】
羽根部材６０の中央部の径方向内側には、略三角形状を呈する薄肉部６３が形成されている。薄肉部６３は、当該羽根部材６０の上流側部分が除去されている。羽根部材６０の先端部には、略三角形状を呈する薄肉部６４が形成されている。薄肉部６４は、当該羽根部材６０の下流側部分が除去されている。薄肉部６３，６４の形状は、一の羽根部材６０の薄肉部６３と他の羽根部材６０の薄肉部６４とが重なる際に、互いの羽根部材６０が当接せずに重なることができるように設定されている。
【００８２】
羽根部材６０の内側辺（開口部１２ｄの径方向内側となる辺）６０ａの形状は、図５に示す全開状態において、内側辺６０ａがリブ１２ｅと重なるように設定されている。羽根部材６０の外側辺（開口部１２ｄの径方向外側となる辺）６０ｂの形状は、図５に示す全開状態において、外側辺６０ｂが周壁部１２ｃと当接しないとともに、図７に示す全閉状態において、外側辺６０ｂがリブ１２ｅよりも開口部１２ｄの径方向外側に位置するように設定されている。羽根部材６０の先端辺６０ｃの形状は、Ｒ形状を呈しており、羽根部材６０の薄肉部６３の形状は、流量制御装置１の開閉動作において、２枚の羽根部材６０が当接せずに重なることができるように設定されている。
【００８３】
＜センサ＞
図２に示すように、センサ７１，７２は、リング部材５０の被検出片５４を検出する検出部の一例である。本実施形態１において、センサ７１，７２は、互いに対向する発光部及び受光部を備え、発光部及び受光部間に被検出片５４が位置して受光部による受光が遮られることによって、被検出片５４を検出する。センサ７１は、流量制御装置１が全開状態となったときの被検出片５４を検出可能な位置に設けられている。センサ７２は、流量制御装置１が全閉状態となったときの被検出片５４を検出可能な位置に設けられている。図示しない制御部は、センサ７１，７２の検出結果に基づいて、モータ２０の駆動を停止したり、センサ７１の検出結果に基づいて、モータ２０の初期状態を補正したりすることができる。なお、センサ７１，７２による被検出片５４の検出手法は、前記したものに限定されない。
【００８４】
＜動作例＞
続いて、流量制御装置１の動作例について、図５ないし図７を用いて説明する（適宜図１ないし図４を参照）。図５は、流量制御装置の全開状態を示す模式図である。図６は、流量制御装置の部分閉状態を示す模式図である。図７は、流量制御装置の全閉状態を示す模式図である。図５ないし図７は、流量制御装置１の内部におけるリング部材５０及び複数の羽根部材６０の姿勢を説明するために、流量制御装置１の第一ベース１１を取り外して上流側から見た平面図である。図５ないし図７において、モータ２０、ピニオン３０及び減速ギア４０の大径部は、二点鎖線で示されている。リング部材５０及び当該リング部材５０と同じ立設高さの台部１２ｆには、ドットが付されている。
【００８５】
＜全開状態＞
図５に示すように、全開状態において、羽根部材６０の突起部６２は、対応する溝部５２の時計回り方向前端部に位置している。リング部材５０の被検出片５４は、センサ７１によって検出可能な場所に位置している。
【００８６】
羽根部材６０の内側辺６０ａ（径方向内側端部）の一部が、リブ１２ｅと重なる場所に位置している。これは、ベース１０内を流通する流体によって羽根部材６０がリング部材５０方向に付勢された場合に、羽根部材６０の内側辺６０ａがリブ１２ｅの外周面に当接して羽根部材６０が閉方向に回転することができなくなることを防ぐためである。
【００８７】
＜閉動作＞
図示しない制御部の指令によって、モータ２０の出力軸２１が正回転（上流側から見て時計回りに回転）すると、モータ２０の出力は、ピニオン３０及び減速ギア４０を介してリング部材５０へ伝達され、リング部材５０は、上流側から見て時計回りに回転する（図５→図６）。ここで、羽根部材６０は、突起部６２が溝部５２内を時計回り方向前端部から時計回り方向後端部へ摺動することによって、軸部１２ｇを軸として時計回りに回転する。
【００８８】
閉動作が進むと、図６に示すように、羽根部材６０の薄肉部６４は、時計回り方向前側の羽根部材６０の薄肉部６３と重なる。薄肉部６３，６４が重なる前の状態において、流体の流路の断面形状は、円形状の開口部１２ｄから３つの円弧を切り取った形状を呈する。また、薄肉部６３，６４が重なった状態において、流体の流路の断面形状は、３つの羽根部材６０の内側辺６０ａによる略三角形状を呈する。
【００８９】
＜全閉状態＞
さらに閉動作が進むと、図７に示すように、突起部６２が溝部５２内の時計回り方向後端部まで到達し、３枚の羽根部材６０が、開口部１２ｄ（リブ１２ｅ）を完全に閉塞する。全閉状態において、リング部材５０の被検出片５４は、センサ７２によって検出可能な場所に位置しており、制御部は、センサ７２の検出結果に基づいて、モータ２０を停止させる。
【００９０】
なお、本実施形態１では、羽根部材６０の本体部分及び薄肉部６３，６４の厚みは、２枚の羽根部材６０が重なったときに羽根部材６０同士が接触せずにクリアランスを確保することができる寸法に設定されている。また、全閉状態において、開口部１２ｄの中央部には、３枚の羽根部材６０の間にごくわずかな略Ｙ字形状を呈する隙間が残る。これは、羽根部材６０が衝突によって破損することを防ぐための措置である。
【００９１】
また、薄肉部６３は上流側が除去されているので、羽根部材６０のうち、開閉動作においてリブ１２ｅの先端面上を摺動する部位は、面一となっている。
【００９２】
＜開動作＞
図示しない制御部の指令によって、モータ２０の出力軸２１が逆回転（上流側から見て反時計回りに回転）すると、モータ２０の出力は、ピニオン３０及び減速ギア４０を介してリング部材５０へ伝達され、リング部材５０は、上流側から見て反時計回りに回転する（図７→図６→図５）。ここで、羽根部材６０は、突起部６２が溝部５２内を時計回り方向後端部から時計回り方向前端部へ摺動することによって、軸部１２ｇを軸として反時計回りに回転する。全開状態において、リング部材５０の被検出片５４は、センサ７１によって検出可能な場所に位置し、制御部は、センサ７１の検出結果に基づいて、モータ２０を停止させる。
【００９３】
流量制御装置１は、制御部の指令に基づいて、図５に示す全開状態と図７に示す全閉状態との間で略無段階に流路（開口部１２ｄ）の開度を設定し、流体の流量を制御することができる。
【００９４】
次に図８、図９を用いて本発明の他の実施形態について説明する。他の実施形態は、軸部１２ｇに圧縮ばね１４を巻回させて、羽根部材６０を上流側から付勢させるようにしたものであり、前述の実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
【００９５】
この実施形態において、第二ベース１２の軸部１２ｇは、図９に示すように中空に形成されていて、その中空部に鍔付きのねじ１３が螺合されている。そして、このねじ１３の鍔部と羽根部材６０との間に、軸部１２ｇの外側に緩く巻回するようにして圧縮ばね１４が取り付けられている。これにより羽根部材６０は、上流側から下流側に向けて付勢されるようになっている。さらに第二ベース１２の台部１２ｆの高さはリング部材５０の厚みよりも低くなっている。そのため、羽根部材６０は、下流側の面をリング部材５０に当接させることにより下流側への移動を規制されるようになっている。また、ねじ１３の頭部は、第一ベース１１に形成された凹部１１ｆに収納されている。
【００９６】
このような構成により、羽根部材６０は流体の流通方向に移動可能となるので、隣接する羽根部材６０同士を流路方向により一層密着させることができるので、全閉状態における流路の遮断性を一層高めることができる。
【００９７】
本発明の実施形態１に係る流量制御装置１は、複数の羽根部材６０が開口部１２ｄの軸線と平行な軸線周りで回動して開口部１２ｄを開閉するので、全開状態における流路内の部材の断面積を減らし（本実施形態１では、ゼロとし）、損失を少なくすることができる。また、流量制御装置１は、従来のバタフライバルブと比較して、当該流量制御装置１の流体の流通方向における大きさを小型化することができる。特に、流量制御装置１は、複数の羽根部材６０が開口部１２ｄの軸線と直交する同一平面上に配置されているので、流体の流通方向における大きさをさらに小型化することができる。
【００９８】
また、流量制御装置１は、複数の羽根部材６０が開口部１２ｄの径方向外側に位置可能であるので、弁体である羽根部材６０が流路から完全に退避した全開状態を実現することができる。また、流量制御装置１は、全開状態において複数の羽根部材６０の内側辺６０ａがリブ１２ｅと重なる場所に位置するので、流体の影響等によって羽根部材６０の内側辺６０ａがリブ１２ｅの外周面と当接して羽根部材６０が閉方向に回転することができなくなることを防ぐことができるとともに、閉状態において、複数の羽根部材６０が流体によってリブ１２ｅの先端面に付勢されるので、開口部１２ｄからの流体の流出量を好適に制御することができる。
【００９９】
また、流量制御装置１は、ステッピングモータであるモータ２０の出力を減速ギア４０を介してリング部材５０へ伝達するので、開口部１２ｄの開度すなわち流体の流量を略無段階に制御することができる。
また、流量制御装置１は、全閉状態において一の羽根部材６０が他の羽根部材６０と重なるので、部分閉状態における流路の断面形状を好適に設定し、開閉動作による流量の変化を線形等に好適に設定することができるとともに、全閉状態における流路の遮断性を高めることができる。
【０１００】
また、流量制御装置１は、溝部５２がリング部材５０に形成されていて突起部６２が羽根部材６０に形成されているので、溝部が羽根部材６０に形成されていて突起部がリング部材５０に形成されている場合と比較して、羽根部材６０の小型化が容易である。
また、流量制御装置１は、全開状態においてセンサ７１が被検出片５４を検出するので、モータ２０の初期状態を補正することができる。
【０１０１】
以上、本発明の実施形態１について詳細に説明したが、本発明は前記実施形態１に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、流量制御装置１は、３枚の羽根部材６０に代えて、図４（ｃ）（ｄ）に示す３枚の羽根部材６０Ａを備える構成であってもよい、羽根部材６０Ａは、羽根部材６０から薄肉部６４を除去するとともに、薄肉部６３を他部位と同じ厚みとしたものである。複数の羽根部材６０Ａは、全閉状態においても互いに重ならない。
【０１０２】
また、流量制御装置は、３枚の羽根部材６０に変えて、図１０（ａ），（ｂ）に示す３枚の羽根部材６０Ｂを備える構成であってもよい。この羽根部材６０Ｂは、薄肉部６３に弾性部材であるゴムが取り付けられていて、一の羽根部材６０の薄肉部６３と他の羽根部材６０の薄肉部６４とが重なった全閉状態の際に、隣接する羽根部材の先端辺６０ｃが接触するようになっている。これにより、全閉状態において、開口部１２ｄの中央部にごくわずかに残る略Ｙ時形状を無くし全閉状態をより一層高めることができる。そしてこのような全閉状態は、図１１に示されている。
【０１０３】
また、流量制御装置１は、溝部が羽根部材６０に形成されていて突起部がリング部材５０に形成されている構成であってもよい。
また、第二ベース１２において、リブ１２ｅの外周面を含む一部が、リング部材５０の摺動性を高めるためにポリアセタール等の樹脂製部材によって形成されていてもよく、周壁部１２ｃが別体に形成されていてもよく、周壁部１２ｃと第一ベース１１との間にゴムパッキンが介設されていてもよい。
【０１０４】
また、羽根部材６０の枚数は、２枚でもよく、４枚以上であってもよい。また、複数の羽根部材６０が上流側の第一ベース１１に回動可能に支持される構成であってもよい。また、複数の羽根部材６０は、流体の流通方向にオフセットして設けられて、全閉状態において一の羽根部材６０が他の羽根部材６０と重なる構成であってもよい。
また、リブが上流側の第一ベース１１に形成されていたり、複数の羽根部材６０がリング部材５０の下流側に設けられていたりする構成であってもよい。
また、羽根部材６０は、リング部材５０により下流側への移動を規制されるようになっているが、第二ベース１２の台部１２ｆにより規制されるようにしてもよい。
【０１０５】
また、流量制御装置１は、減速ギア４０を省略し、ピニオン３０の外歯３１とリング部材５０の外歯５１とを歯合させる構成であってもよい。このように、モータ２０の出力を減速させずにリング部材５０に伝達させる場合には、複数の台部１２ｇをリング部材５０のストッパとすることもできる。
また、軸部１２ｇは第二ベース１２に形成されているが、第一ベースに形成するようにしてもよい。
【０１０６】
＜本発明の別例の実施形態＞
次に、本発明の別例の実施形態について説明する。
図５、図６に示すように、流量制御装置１は、羽根部材６０の突起部６２がリング部材５０（図３参照）の溝部５２に案内されて移動し、これに伴って羽根部材６０の開閉動作が行われる。
【０１０７】
羽根部材６０が第一ベース１１（図２参照）の開口部１１ｃおよび第二ベース１２の開口部１２ｄで形成される流路内に入り込み閉制御されると、流体の流れ方向の圧力よって、羽根部材６０が傾き突起部６２が溝部５２へ食い付くおそれがある（図１２（ｂ）の二点鎖線参照）。そのため、羽根部材６０の円滑な開閉動作が阻害されることが懸念される。
【０１０８】
そこで、以下説明する別例の実施形態では、羽根部材６０の突起部８２のリング部材５０の溝部５２内を摺動する箇所（摺動箇所８２ｇ（図１２（ｂ）参照））を略球状（球状またはほぼ球状）の外面形状をもつ構成としている。なお、図１２（ａ）は、第一ベースを外して流体制御装置内部を上流側から下流側に向けて見た図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＡ−Ａ断面拡大図である。
これ以外の構成は、前記の実施形態１と同様な構成であるので、同様な構成については同一の符号を付して示し、詳細な説明は省略する。
【０１０９】
図１２（ａ）に示すように、リング部材５０に、モータ２０の駆動力がピニオン３０、減速ギア４０を介して伝達され、第二ベース１２の円筒形状のリブ１２ｅ周りに回動する。
リング部材５０には、３つの羽根部材６０を案内する３つの溝部５２が内方から外方に向かう軌跡をもって形成されている。
【０１１０】
一方、各羽根部材６０には、リング部材５０の溝部５２内に嵌入され案内される突起部８２が設けられている。各羽根部材６０の突起部８２は、リング部材５０の溝部５２内に嵌入される。
【０１１１】
リング部材５０がモータ２０の駆動力で回転することで、リング部材５０の溝部５２の位置が変化し、溝部５２に案内されて突起部８２が移動する。これにより、羽根部材６０が、第一ベース１１の開口部１１ｃおよび第二ベース１２の開口部１２ｄで形成される流路を開閉する。なお、流路は図１の配管Ｋに連なっている。
羽根部材６０の突起部８２は、リング部材５０の溝部５２内を摺動する摺動箇所８２ｇが略球状（球状やほぼ球状）の外面形状を有している（図１２（ｂ）参照））。
【０１１２】
そのため、羽根部材６０が流量制御装置１内を流れる流体の圧力を受けてリング部材５０に対して傾いた場合（図１２（ｂ）の二点鎖線参照）にも、羽根部材６０の突起部８２の摺動箇所８２ｇが略球状の外面をもつことから、リング部材５０の溝部５２に対して同じ状態で接触または当接して摺動することができる。
【０１１３】
図１２（ｂ）に示すように、複数の羽根部材６０は、第一ベース１１の円形壁部１１ａとリング部材５０との間であり、流体の流れ方向と直交する面内に設けられている。
図１３（ａ）は、羽根部材６０を、流量制御装置１を通過する流体の上流側から下流側に向けて見た図である。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）の右側面図である。図１３（ｃ）は、羽根部材６０を通過する流体の下流側から上流側に向けて見た図である。図１３（ｄ）は、羽根部材６０を流体の下流側から上流側に向けて斜めに見た図である。図１３（ｅ）は、図１３（ｃ）のＢ方向矢視図である。
【０１１４】
図１３（ａ）、（ｃ）に示すように、羽根部材６０の回転中心となる基端部には、凹部又は孔部（本実施形態では、孔部）である被挿入部６１が形成されている。被挿入部６１は、第二ベース１２の軸部１２ｇ（図５参照）が挿入され、羽根部材６０の回動軸となる。つまり、羽根部材６０は軸部１２ｇ周りに回動する。
【０１１５】
羽根部材６０の中央部には、他の箇所より厚さが薄い略三角形状の薄肉部６３（図１３（ａ）参照）が形成されている。薄肉部６３は、羽根部材６０の上流側部分が除去された形状に形成されている。薄肉部６３の中央側縁部に沿って、長形の形状を有する密閉用のラバー６３ｒが設置されている。ラバー６３ｒは、ＮＢＲ（nitril-butadiene rubber）等のゴム、シリコーン等の弾性部材が使用されるが、密閉状態を形成できれば、材質は問わない。なお、ＮＢＲは接着剤が使用できるので、より好ましい。
【０１１６】
羽根部材６０の先端部には、他の箇所より厚さが薄い略三角形状の薄肉部６４（図１３（ｃ）参照）が形成されている。薄肉部６４は、羽根部材６０の下流側部分が除去された形状に形成されている。薄肉部６３、６４は、一の羽根部材６０の薄肉部６３と他の羽根部材６０の薄肉部６４とが重なる際に、互いの羽根部材６０が当接せずに重なることができる形状に形成されている。
【０１１７】
ここで、流量制御装置１が閉じられる際には、第一ベース１１の開口部１１ｃと第二ベース１２の開口部１２ｄとで形成される流路方向に、一の羽根部材６０の先端部の薄肉部６４が他の羽根部材６０の中央部の薄肉部６３と重なる。この際、流量制御装置１の流路方向と直交する方向は、羽根部材６０が進退動作する方向であることから、流量制御装置１の閉塞動作において、一の羽根部材６０の先端部の薄肉部６４と、他の羽根部材６０の中央部の薄肉部６３とが接触または当接する場合、損壊または破壊が懸念される。そこで、羽根部材６０により流量制御装置１を閉塞動作する際に羽根部材６０間に隙間が設けられている。しかし、流量制御装置１の閉塞時には、流体の漏れがないことが求められるため、当該隙間から流体が漏出するおそれがある。
【０１１８】
そこで、羽根部材６０の薄肉部６３の中央側縁部に沿って密閉用のラバー６３ｒ（図１３（ａ）参照）が設置されている。
これにより、流量制御装置１の閉塞時、一の羽根部材６０の先端部の薄肉部６４が他の羽根部材６０の中央部の薄肉部６３と重なる際に、ラバー６３ｒが一の羽根部材６０の薄肉部６４の先端部に押圧され圧縮変形する。このラバー６３により、一の羽根部材６０と他の羽根部材６０との隙間が閉塞される。
こうして、流量制御装置１の閉塞時、羽根部材６０間の隙間をラバー６３ｒで密閉し、流量制御装置１の密閉状態を形成している。
【０１１９】
＜羽根部材６０の突起部８２＞
図１２（ｂ）に示すように、羽根部材６０の下流側には、リング部材５０の溝部５２に嵌合され案内される凸形状の突起部８２が設けられている。
突起部８２は、前記したように、リング部材５０の溝部５２と摺動する領域である摺動箇所８２ｇが少なくとも略球形状（球形状またはほぼ球形状）に形成されている。
【０１２０】
図１４は、図１３（ｃ）のＣ−Ｃ断面図である。図１５は、羽根部材の突起部の分解斜視図である。
羽根部材６０の突起部８２は、ボス部６０ｓと第１のボールベアリング７３とハウジング７４と第２のボールベアリング７５と固定用のネジ７６とで構成されている。なお、固定用のネジ７６には、ワッシャ７７が用いられる。
【０１２１】
ボス部６０ｓは、羽根部材６０の下流面側に立設されるアルミニウム、ステンレス等の金属製の部材である。ボス部６０ｓは、円柱形状のベアリング支持部６０ｓ１と円板形状のフランジ部６０ｓ２と埴設部６０ｓ３とを有している。ボス部６０ｓは、羽根部材６０の下流面側の延在面に埴設部６０ｓ３が圧入されること等により固定されている。なお、ボス部６０ｓは、羽根部材６０と一体にダイキャスト等で成形してもよく、その形成法は任意に選択できる。
【０１２２】
ベアリング支持部６０ｓ１の軸方向端部には、雌ねじ６０ｓｎが螺刻されている。
図１５に示すように、第１・第２のボールベアリング７３、７５はそれぞれフランジ７３ｆ、７５ｆ付きのボールベアリングである。
ハウジング７４は、アルミニウム、ステンレス等の金属製の円環状の部材である。突起部８２の摺動箇所８２ｇとなるハウジング７４の外周面７４ｇは、略球形状（球形状またはほぼ球形状）を有している（図１３（ｂ）、（ｄ）、（ｅ）参照）
【０１２３】
これにより、羽根部材６０が動作中に流体の圧力により傾斜した場合にも、リング部材５０の溝部５２と羽根部材６０の突起部８２の摺動箇所８２ｇ（ハウジング７４の外周面７４ｇ）との接触状態が変化しない構成である（図１２（ｂ）参照）。
ネジ７６は例えば六角穴付き丸子ねじである。ネジ７６を六角穴付きにすることで締結力を上げることができる。
【０１２４】
ボス部６０ｓのベアリング支持部６０ｓ１には、第１のボールベアリング７３とハウジング７４と第２のボールベアリング７５と固定用のネジ７６とが下記のように、組み付けられ、突起部８２が構成される。ここで、第１・第２のボールベアリング７３、７５のそれぞれの内輪７３ｎ、７５ｎが固定側であり、外輪７３ｇ、７５ｇは移動側となる。
【０１２５】
ベアリング支持部６０ｓ１への組み付けは下記のように行われる（図１４、図１５参照）。
まず、第１のボールベアリング７３の内輪７３ｎがボス部６０ｓのベアリング支持部６０ｓ１に外挿される。
続いて、外周面７４ｇが略球形状を有するハウジング７４の内周面７４ｎが第１のボールベアリング７３の外輪７３ｇに圧入される。
【０１２６】
続いて、第２のボールベアリング７５の内輪７５ｎがボス部６０ｓのベアリング支持部６０ｓ１に外挿されるとともに、外輪７５ｇがハウジング７４の内周面７４ｎに圧入される。
そして、ワッシャ７７を介して固定用のネジ７６が、第２のボールベアリング７５、ハウジング７４、第１のボールベアリング７３を挿通して、六角レンチ等でボス部６０ｓのベアリング支持部６０ｓ１に締結される。これにより、図１４に示す突起部８２が形成される。なお、ネジ７６にネジロックの接着剤を付けると、ゆるみ防止できるのでより好ましい。
【０１２７】
＜別例の実施形態の流量制御装置１の開閉動作＞
図１６（ａ）は、別例の実施形態の開状態の流量制御装置を下流側の斜め上から見た斜視図であり、図１６（ｂ）は、別例の実施形態の開状態の流量制御装置の内部を上流側の第一ベースを外して、上流側から見た図である。
図１７（ａ）は、別例の実施形態の半開状態の流量制御装置を下流側の斜め上から見た斜視図であり、図１７（ｂ）は、別例の実施形態の半開状態の流量制御装置の内部を上流側の第一ベースを外して、上流側から見た図である。
【０１２８】
図１８（ａ）は、別例の実施形態の閉状態の流量制御装置を下流側の斜め上から見た斜視図であり、図１８（ｂ）は、別例の実施形態の閉状態の流量制御装置の内部を上流側の第一ベースを外して、上流側から見た図である。
図１６（ａ）、（ｂ）に示す流量制御装置１の開状態では、複数の羽根部材６０は、第一ベース１１の開口部１１ｃおよび第二ベース１２の開口部１２ｄの外方に移動し、開口部１１ｃおよび開口部１２ｄで形成される流路は全開となり完全に開放される。そのため、配管Ｋに連なる流路に、障害物となるものはない。
【０１２９】
図１７（ａ）、（ｂ）に示す流量制御装置１の半開状態では、複数の羽根部材６０は、第一ベース１１の開口部１１ｃおよび第二ベース１２の開口部１２ｄの内方に移動し、開口部１１ｃおよび開口部１２ｄで形成される流路を半開状態とする。開口部１１ｃおよび開口部１２ｄで形成される流路は配管Ｋに連なっている。
【０１３０】
この際、複数の羽根部材６０は、流路を流れる流体の流れ方向の圧力により傾斜する。これに伴い、羽根部材６０の突起部８２がリング部材５０の溝部５２内で、図１２（ｂ）の二点鎖線に示すように、傾斜する場合がある。この際、羽根部材６０の突起部８２の摺動箇所８２ｇが略球状（球状やほぼ球状）の形状を有するので、羽根部材６０が流体の圧力により傾斜した場合にも、羽根部材６０の突起部８２の摺動箇所８２ｇとリング部材５０の溝部５２との接触状態は同じ状態を保てる。そのため、羽根部材６０の突起部８２が溝部５２に食い付くことなく、羽根部材６０の開閉動作が円滑な状態に維持される。
【０１３１】
図１８（ａ）、（ｂ）に示す流量制御装置１の閉状態では、複数の羽根部材６０は、第一ベース１１の開口部１１ｃおよび第二ベース１２の開口部１２ｄの内方に移動し、開口部１１ｃおよび開口部１２ｄで形成される流路を閉状態とする。
【０１３２】
この際、図１８（ｂ）に示すように、一の羽根部材６０の中央部の薄肉部６３と他の羽根部材６０の先端部の薄肉部６４とが重畳される。そして、一の羽根部材６０の中央部の薄肉部６３のラバー６３ｒに他の羽根部材６０の薄肉部６４の先端部が当接し、ラバー６３ｒが圧縮変形する。これにより、一の羽根部材６０と他の羽根部材６０との隙間が閉塞され、開口部１１ｃおよび開口部１２ｄで形成される流路を密閉状態とすることができる。
【０１３３】
流量制御装置１の閉状態時、半開状態と同様、複数の羽根部材６０は、図１２（ｂ）の二点鎖線に示すように、流路を流れる流体の流れ方向の圧力により傾斜する場合がある。これに伴い、羽根部材６０の突起部８２がリング部材５０の溝部５２内で傾斜する。この際、羽根部材６０の突起部８２の摺動箇所８２ｇが略球状（球状やほぼ球状）の形状を有するので、羽根部材６０が流体の圧力により傾斜した場合にも、羽根部材６０の突起部８２の摺動箇所８２ｇとリング部材５０の溝部５２との接触状態は同じ状態を保てる。これにより、羽根部材６０の円滑な開閉動作が維持される。
【０１３４】
別例の実施形態によれば、流路内を移動する流体の流れ方向の圧力によって羽根部材６０が傾いた場合でも、羽根部材６０の突起部８２の摺動箇所８２ｇは略球形状を有するので、リング部材５０の溝部５２の内部を無理なく移動することができる。そのため、羽根部材６０の動作を羽根部材６０の姿勢に拘わらず、円滑にすることができる。
【０１３５】
また、羽根部材６０の突起部８２の摺動箇所８２ｇが略球形状を有するので、リング部材５０の溝部５２内での滑り性が向上する。そのため、羽根部材６０が流路内を流れる流体の圧力の影響を受けないで、安定な動作が可能である。
従って、羽根部材６０、リング部材５０の耐久性が向上し、もって流量制御装置１の動作信頼性が向上するとともに流量制御装置１の耐久性が向上する。
そのため、流量制御装置１の信頼性を向上することができる。
【０１３６】
なお、上述の実施形態では、羽根部材６０の突起部８２の摺動箇所８２ｇは略球状の場合を説明したが、リング部材５０の溝部５２との接触箇所８２ｇが曲率を持っていれば羽根部材６０の円滑かつ安定な動作の効果が得られる。なお、曲率は、前記した略球状のように略同じ曲率（同じ曲率やほぼ同じ曲率）をもつと、摺動時の接触状態が同じ状態を保てるのでより好ましい。
【０１３７】
ラバー６３ｒは、羽根部材６０の中央部の薄肉部６３に設けた場合を例示したが、羽根部材６０の薄肉部６４の先端部等、流量制御装置１を閉塞した場合に一の羽根部材６０が他の羽根部材６０に接触または当接する箇所の少なくとも何れかの箇所に設けることができる。
【０１３８】
＜＜実施形態２＞＞
実施形態２の流量制御装置Ａ１は、羽根部材６０の開閉動作が正常に行われているか否かを検知でき、全閉時の羽根部材６０間の密閉用の弾性部材６３ｅの取り付けが強化されるものである。
その他の構成は、実施形態１と同様であるから、同様な構成要素には同一の符号を付して示し、詳細な説明は省略する。
【０１３９】
図１９（ａ）は、実施形態２の流量制御装置を配管の上流側から見た斜視図であり、図１９（ｂ）は、実施形態２の流量制御装置を配管の下流側から見た斜視図であり、図１９（ｃ）は、実施形態２の流量制御装置の上流側の第一ベースを取り外して内部を見た斜視図である。
図２０は、流量制御装置の分解斜視図である。
【０１４０】
実施形態２の流量制御装置Ａ１は、図１９（ａ）、（ｂ）に示すように、実施形態１の流量制御装置１と同様、流体の配管Ｋに設けられる。そして、図１９（ａ）に示すように、羽根部材６０を全開状態として、配管Ｋを流れる流体を通過させる状態とするとともに、図１９（ｂ）に示すように、羽根部材６０を全閉状態として、配管Ｋを流れる流体を停止させる働きをする。また、流量制御装置Ａ１の羽根部材６０を、図１９（ａ）の全開状態と図１９（ｂ）の全閉状態との間の中間状態に遷移させる。
【０１４１】
流量制御装置Ａ１は、羽根部材６０の全開状態を検出するセンサ７１（以下、原点センサ７１と称す）（図２７（ｂ）参照）と羽根部材６０の全閉状態を検出するセンサ７２（以下、エンドセンサ７２と称す）（図３０（ｂ）参照）以外に、３枚の各羽根部材６０のそれぞれの全開状態と全閉状態とを検出するセンサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃ（図１９（ｃ）参照）が設けられている。
【０１４２】
３枚の各羽根部材６０には、それぞれ各羽根部材６０の位置をセンサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃで検出するための被検出ギア７９、８０、８１が通光部の凹部と遮光部の凸部を有して、設けられている。なお、本実施形態２では、被検出ギア７９、８０、８１がそれぞれ羽根部材６０と別体の場合を例示して説明するが被検出ギア７９、８０、８１と羽根部材６０とを一体で型等で成形してもよい。
各羽根部材６０の第１薄肉部６３ａ（図２４（ｃ）参照）には、弾性部材６３ｅが羽根部材６０からの離脱を防ぐ構成をもって取り付けられている。
【０１４３】
図２１（ａ）は、羽根部材の上流側から見た図、図２１（ｂ）は、図２１（ａ）のＥ方向矢視図、図２１（ｃ）は、羽根部材の下流側から見た図、図２１（ｄ）は、羽根部材のＦ方向矢視図である。
図２２（ａ）は、羽根部材を上流側から見た斜視図、  図２２（ｂ）は、羽根部材を下流側から見た斜視図である。
【０１４４】
図２１（ａ）、図２２（ａ）に示すように、各羽根部材６０には、図１９（ｂ）に示す羽根部材６０の全閉時に羽根部材６０間の間隙をシールする弾性部材６３ｅが設けられている。羽根部材６０には流体圧がかかることから、弾性部材６３ｅが羽根部材６０から外れないように抑える役割を果たす第１抑え部材６６と第２抑え部材６７とが取り付けられている。
【０１４５】
第１抑え部材６６と第２抑え部材６７とは、プレス成形品である。第１抑え部材６６と第２抑え部材６７のそれぞれのねじ挿通孔をねじｎが挿通して羽根部材６０の雌ねじに螺着されることで、弾性部材６３ｅの一方端と他方端とが、第１抑え部材６６と第２抑え部材６７とにそれぞれ覆われ、弾性部材６３ｅが羽根部材６０から離脱することが防止される。
【０１４６】
図２３（ａ）は、羽根部材の上流側の第１薄肉部に沿って設けられる弾性部材の斜視図であり、図２３（ｂ）は、弾性部材の上流側から見た図である。
弾性部材６３ｅは、ＮＢＲ等のゴム製の弾性を有するシール部材である。
弾性部材６３ｅは、図２３（ａ）に示すように、矩形状断面を有する略くの字形状を有している。すなわち、弾性部材６３ｅは、短腕部６３ｅ１と短腕部６３ｅ１の端部から屈曲した長腕部６３ｅ２とを有している。
【０１４７】
弾性部材６３ｅには、外方に向けて羽根部材６０に係合させるための第１かぎ状部６３ｅ３と第２かぎ状部６３ｅ４が突出して形成されている。
第１かぎ状部６３ｅ３は、短腕部６３ｅ１から外方に向けて形成されている。第２かぎ状部６３ｅ４は短腕部６３ｅ１と長腕部６３ｅ２との接続部から外方に向けて形成されている。
なお、弾性部材６３ｅの羽根部材６０からの離脱を防止する構成は、第１かぎ状部６３ｅ３、第２かぎ状部６３ｅ４以外の羽根部材６０に係合するＴ字状の構成等でもよく、かぎ状の以外の形状でもよい。
【０１４８】
図２４（ａ）、図２４（ｂ）は、それぞれ羽根部材から弾性部材、第１抑え部材、第２抑え部材を外した状態の上流側から見た図、下流側から見た図であり、図２４（ｃ）は、羽根部材に弾性部材を取り付けた状態の上流側から見た図である。
複数枚の羽根部材６０は、流路を開閉するための金属製部材（例えば、アルミニウム）であり、例えば、アルミダイカストで形成される。
複数の羽根部材６０は、第一ベース１１の円形壁部１１ａ（図２０参照）とリング部材５０との間であって、流体の通過方向（図１９（ａ）参照）と略直交する平面内に設けられている。
【０１４９】
図２４（ａ）に示すように、羽根部材６０の上流側中央部には、略三角形状を呈する第１薄肉部６３ａが形成されている。第１薄肉部６３ａは、羽根部材６０の上流側部分が除去されている。羽根部材６０の上流側の第１薄肉部６３ａの周囲には、第１薄肉部６３ａより肉厚の第２薄肉部６３ｂがくの字形状に形成されている。第２薄肉部６３ｂの外側であって羽根部材６０の先端部には、厚肉部６３ｃが形成されている。
羽根部材６０の上流側基端部には、第２薄肉部６３ｂとほぼ同じ肉厚の第３薄肉部６３ｄが形成されている。
【０１５０】
図２４（ａ）に示すように、第２薄肉部６３ｂには、弾性部材６３ｅの第１かぎ状部６３ｅ３が嵌入されるかぎ形状凹部の第１かぎ状凹部６３ｂ１と、弾性部材６３ｅの第２かぎ状部６３ｅ４が嵌入されるかぎ形状凹部の第２かぎ状凹部６３ｂ２とが凹設されている。
第１かぎ状凹部６３ｂ１は、弾性部材６３ｅの第１かぎ状部６３ｅ３（図２３（ａ）参照）とほぼ同じまたは若干大きな大きさを有して形成されている。第２かぎ状凹部６３ｂ２は、弾性部材６３ｅの第２かぎ状部６３ｅ４とほぼ同じまたは若干大きな大きさを有して形成されている。
【０１５１】
第３薄肉部６３ｄには、被検出ギア７９（８０、８１）の位置決め孔７９ｂ（図２５参照）が挿通される第１・第２位置決めボス６３ｄ１、６３ｄ３と、被検出ギア７９（８０、８１）（図２５参照）を固定する固定用のネジが螺着される第１・第２雌ねじ６３ｄ２、６３ｄ４とが形成されている。なお、第１位置決めボス６３ｄ１と第１雌ねじ６３ｄ２で対を成し、第２位置決めボス６３ｄ３と第２雌ねじ６３ｄ４で対を成している。このように、羽根部材６０の位置決めボスと雌ねじの組を複数設けることで、羽根部材６０における異なる位置に被検出ギア７９（８０、８１）を取り付けることができる。
【０１５２】
図２４（ｂ）に示すように、羽根部材６０の下流側先端部には、略三角形状を呈する薄肉部６４が形成されている。薄肉部６４は、羽根部材６０の下流側部分が除去されている。羽根部材６０の上流側の第１薄肉部６３ａと、羽根部材６０の下流側の薄肉部６４の形状は、一の羽根部材６０の第１薄肉部６３ａと他の羽根部材６０の薄肉部６４とが重なる際に、羽根部材６０が互いに当接せずに重なることができる構成である。
【０１５３】
上記構成により、図２４（ｃ）に示すように、弾性部材６３ｅの第１かぎ状部６３ｅ３と第２かぎ状部６３ｅ４とが、それぞれ羽根部材６０の上流側の第２薄肉部６３ｂの第１かぎ状凹部６３ｂ１と第２かぎ状凹部６３ｂ２とに嵌入されることで、弾性部材６３ｅが、接着剤を用いて、第１薄肉部６３ａの内縁部６３ａ１と第２薄肉部６３ｂの立壁面６３ｂ３、厚肉部６３ｃの立壁面６３ｃ１、第３薄肉部６３ｄの立壁面６３ｄ５等に沿って、接着される。
【０１５４】
その後、第１抑え部材６６と第２抑え部材６７とが羽根部材６０にねじ止めされる。これにより、弾性部材６３ｅの羽根部材６０からの離脱を確実に防止できる。
図２５は、羽根部材の回動位置を検出するための被検出ギアの斜視図である。
被検出ギア７９、８０、８１は、同じ構成であるので、被検出ギア７９についてのみ説明を行い、被検出ギア８０、８１についての説明は省略する。
【０１５５】
被検出ギア７９は、第１凸部７９ａ１、第２凸部７９ａ２、第３凸部７９ａ３、第４凸部７９ａ４が突設されている。そして、第１凸部７９ａ１、第２凸部７９ａ２、第３凸部７９ａ３、第４凸部７９ａ４の各間にそれぞれ、第１凹部７９ｂ１、第２凹部７９ｂ２、第３凹部７９ｂ３が凹設されている。
【０１５６】
被検出ギア７９は、基部側に位置決め孔７９ｂが形成されるとともに、被検出ギア７９の固定用ねじｎ１（図２６参照）の挿通孔７９ｃが形成されている。なお、位置決め孔７９ｂと挿通孔７９ｃとをそれぞれ羽根部材６０の回動方向に長い長穴（図２５中、２点鎖線で示す）とし、羽根部材６０の全閉時の位置を調整する位置調整手段とするとよい。なお、羽根部材６０の全閉は、弾性部材６３ｅが弾性変形することにより行われる。また、部品誤差、組立て誤差等があるため、羽根部材６０の全閉状態が流量制御装置Ａ１毎に異なるおそれがあるためである。
【０１５７】
この構成により、羽根部材６０の上流側基端部の位置決めボス６３ｄ１（図２４（ａ）参照）（６３ｄ３）に被検出ギア７９の位置決め孔７９ｂを挿通させるとともに、羽根部材６０の上流側基端部の雌ねじ６３ｄ２（６３ｄ４）に、被検出ギア７９の挿通孔７９ｃを合わせる。そして、ねじｎ１を、挿通孔７９ｃを挿通させて雌ねじ６３ｄ２（６３ｄ４）に螺着することで、被検出ギア７９が羽根部材６０の上流側基端部に固定される（図２２（ａ）参照）。
なお、この際、被検出ギア７９、８０、８１の羽根部材６０の全閉検出位置を、長穴（図２５中、２点鎖線で示す）を用いて位置調整することが好ましい。
【０１５８】
＜センサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃ＞
羽根部材６０（被検出ギア７９、８０、８１）の移動を検出するセンサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃには、例えば、赤外線を用いるフォトインタラプタが使用される。なお、可視光を用いるフォトインタラプタでもよいが、可視光の場合、他の光を拾ったりするので、赤外線を用いるフォトインタラプタが望ましい。
その他、センサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃは、反射板を用いる反射センサ、磁気センサ等のフォトインタラプタ以外のセンサでもよいが、フォトインタラプタの場合、遮光と通光との境界が明確に検出できるため、フォトインタラプタが最も望ましい。
【０１５９】
センサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃのフォトインタラプタの赤外線の光が、それぞれ第１凸部７９ａ１、第１凹部７９ｂ１、第２凸部７９ａ２、第２凹部７９ｂ２、第３凸部７９ａ３、第３凹部７９ｂ３、第４凸部７９ａ４を、遮光または通光することを検出し、流量制御装置Ａ１の羽根部材６０が全開、全閉、全開と全閉との間の中間状態に正常に動作しているか否かを検出することができる。
図２６は、センサの取付状態を示す斜視図である。
【０１６０】
なお、各センサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃを固定するブラケットｂｋを各羽根部材６０の回動方向に調整な構成とし、羽根部材６０の全閉時の検出位置を、ブラケットｂｋの取付位置を調整可能な構成とすることが望ましい。例えば、図２６に示すように、ブラケットｂｋを固定するねじの挿通孔ｂ１、ｂ２をそれぞれ羽根部材６０の回動方向に長い長穴形状とし、羽根部材６０の全閉時の検出位置を調整できる構成とするとよい。
【０１６１】
＜流量制御装置Ａ１の羽根部材６０の開閉動作検知＞
次に、流量制御装置Ａ１のセンサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃを用いた羽根部材６０の開閉動作検知について説明する。
図２７（ａ）は、流量制御装置の全開状態を示す斜視図であり、図２７（ｂ）は、流量制御装置の全開状態時の第一ベースを取り外して上流側から流量制御装置の内部を見た平面図である。図２８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ羽根部材の全開状態、全開と全閉との間の中間状態、および全閉状態での被検出ギアとセンサとの位置関係を示す平面図である。
【０１６２】
図２７（ａ）に示す流量制御装置Ａ１の全開状態時、図２７（ｂ）に示すように、駆動リング５０の位置を検出する原点センサ７１はリング部材５０の遮蔽板５０ｓにより遮光される。一方、流量制御装置Ａ１の全閉状態時、駆動リング５０の位置を検出するエンドセンサ７２はリング部材５０の遮蔽板５０ｓにより遮光されず、通光されている。
【０１６３】
流量制御装置Ａ１の全閉状態時、羽根部材６０の位置を検出するセンサ７８ａは、図２８（ａ）に示すように、被検出ギア７９の第１凸部７９ａ１に遮光される。センサ７８ｂと羽根部材６０の被検出ギア８０との関係と、センサ７８ｃと羽根部材６０の被検出ギア８１との関係も同様である。
図２９（ａ）は、流量制御装置の全開と全閉との中間状態を示す斜視図であり、図２９（ｂ）は、流量制御装置の全開と全閉との中間状態時の第一ベースを取り外して上流側から流量制御装置の内部を見た平面図である。
【０１６４】
図２９（ａ）に示す流量制御装置Ａ１の全開と全閉との間の中間状態時、図２９（ｂ）に示すように、駆動リング５０の位置を検出する原点センサ７１、エンドセンサ７２はリング部材５０の遮蔽板５０ｓにより遮光されず、通光されている。
【０１６５】
一方、羽根部材６０の位置を検出するセンサ７８ａは、図２８（ｂ）に示すように、被検出ギア７９の第２凹部７９ｂ２または第１凹部７９ｂ１、第３凹部７９ｂ３を通光するか、或いは、第２凸部７９ａ２、第３凸部７９ａ３で遮光される。センサ７８ｂと羽根部材６０の被検出ギア８０との関係と、センサ７８ｃと羽根部材６０の被検出ギア８１との関係も同様である。
【０１６６】
図３０（ａ）は、流量制御装置の全閉状態を示す斜視図であり、図３０（ｂ）は、流量制御装置の全開状態時の第一ベースを取り外して上流側から流量制御装置の内部を見た平面図である。
図３０（ａ）に示す流量制御装置Ａ１の全閉状態時、図３０（ｂ）に示すように、駆動リング５０の位置を検出する原点センサ７１はリング部材５０の遮蔽板５０ｓにより遮光されず通光される。一方、駆動リング５０の位置を検出するエンドセンサ７２はリング部材５０の遮蔽板５０ｓにより遮光されている。
【０１６７】
羽根部材６０の位置を検出するセンサ７８ａは、図２８（ｃ）に示すように、被検出ギア７９の第４凸部７９ａ４により遮光される。センサ７８ｂと羽根部材６０の被検出ギア８０との関係と、センサ７８ｃと羽根部材６０の被検出ギア８１との関係も同様である。
以上の羽根部材６０の全開状態、全開と全閉との中間状態、全閉状態での駆動リング５０の位置を検出する原点センサ７１、エンドセンサ７２と羽根部材６０のセンサ７８ａ（７８ｂ、７８ｃ）の光検出状態をまとめたものが表１である。
【０１６８】
【表１】
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【０１６９】
図３１は、羽根部材の全開状態から中間状態を経由して全閉状態に至る羽根部材の位置を検出するセンサの検出信号を示す図である。
センサ７８ａは羽根部材６０の全開状態から中間状態を経由して全閉状態に至る過程で、検出信号が、Low、high、Low、high、Low、high、Lowと変化する。
センサ７８ｂ、７８ｃも、センサ７８ａと同様の検出信号となる。そのため、羽根部材６０が全開状態から中間状態を経由して全閉状態に至る過程で、センサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃの検出信号を取得することで、各羽根部材６０が正常な動作を行っているか否かを検出することができる。
【０１７０】
上述の実施形態２の流量制御装置Ａ１の構成によれば、下記の効果を奏する。
１．駆動リング５０の位置を検出する原点センサ７１、エンドセンサ７２と、各羽根部材６０の位置を検出するセンサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃとを備えることで、各羽根部材６０が正常な動作しているか否か検出することができる。
【０１７１】
２．被検出ギア７９、８０、８１またはセンサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃの少なくとも何れかの羽根部材６０の全閉状態での各羽根部材６０の位置を検出する位置調整手段を設けることで、羽根部材６０が確実に全閉状態になる位置を検出できる。
【０１７２】
３．センサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃで、羽根部材６０の全開状態と、全閉状態と、全開と全閉との間の中間状態を検出し、原点センサ７１、エンドセンサ７２で駆動リング５０の全開状態と全閉状態とを検出することで、各羽根部材６０が全開状態と全閉状態との間で正常な動作しているか否かを、確実に検出することができる。
【０１７３】
４．センサ７８ａ、７８ｂ、７８ｃを、各羽根部材６０の位置を検出するセンサ(例えば、光及び／又は磁気を検知するセンサ) を用いることで、羽根部材６０の動きを明確に把握できる。
【０１７４】
５．弾性部材６３ｅに羽根部材６０からの離脱を防止するような羽根部材６０に係合する構成（第１かぎ状部６３ｅ３、第２かぎ状部６３ｅ４）を採用することで、弾性部材が羽根部材６０から離脱することを防止できる。
【０１７５】
６．弾性部材６３ｅの長さ方向の端部を覆う固定部材の第１抑え部材６６、第２抑え部材６７を羽根部材６０に備えることで、弾性部材６３ｅの羽根部材６０からの離脱を第１抑え部材６６、第２抑え部材６７で弾性部材６３ｅを抑えることで確実に防止できる。
【０１７６】
７．以上のことから、実施形態２によれば、羽根部材６０の誤動作を確実に検出できるとともに、弾性部材の羽根部材６０からの離脱を防止できる。
なお、上述の実施形態２の構成は、実施形態１で説明した構成と適宜組み合わせて構成してもよい。
【０１７７】
＜＜実施形態３＞＞
図３２（ａ）、は、本発明の実施形態３に係る流量制御装置の開状態を示す斜視図であり、図３２（ｂ）は、本発明の実施形態３に係る流量制御装置の開状態の内部構成を上流側の第一ベースを外して見た平面図である。図３３は実施形態３に係る流量制御装置の開状態の内部構成を上流側の第一ベースを外して見た斜視図である。
【０１７８】
図３４（ａ）は、本発明の実施形態３に係る流量制御装置の閉状態を示す斜視図であり、図３４（ｂ）は、本発明の実施形態３に係る流量制御装置の閉状態の内部構成を上流側の第一ベースを外して見た平面図である。
図３５（ａ）は、本発明の実施形態３に係る流量制御装置の開状態と閉状態の中間状態を示す斜視図であり、図３５（ｂ）は、本発明の実施形態３に係る流量制御装置の開状態と閉状態の中間状態の内部構成を上流側の第一ベースを外して見た平面図である。
【０１７９】
実施形態３の流量制御装置Ａ２（図３２（ａ）、（ｂ）参照）は、実施形態１の３枚の羽根部材６０を、１層目の３枚の第１羽根部材６０ａと２層目の３枚の第２羽根部材６０ｂとで構成したものである。２層目の３枚の第２羽根部材６０ｂは、１層目の３枚の第１羽根部材６０ａに重なって配置されている。
これにより、実施形態１の羽根部材６０に比べ、実施形態３の流量制御装置Ａ２は、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂの各回動角が減少し、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂのそれぞれが、開口部１１ｃ、１２ｄを閉塞する面積を小さくできる。
【０１８０】
そのため、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂを実施形態１の羽根部材６０より小型にすることができる。
これにより、流量制御装置Ａ２の大きさを実施形態１の流量制御装置１より小型化することが可能である。
これ以外の構成は、実施形態１の流量制御装置１と同様であるから、同様な構成要素には、同一の符号を付して示し詳細な説明は省略する。
【０１８１】
図３２（ａ）、（ｂ）に示すように、流量制御装置Ａ２は、配管Ｋに沿って開口部１１ｃ、      １２ｄが設けられており、開状態においては、１層目の３枚の第１羽根部材６０ａと２層目の３枚の第２羽根部材６０ｂが、開口部１１ｃ、１２ｄの外方に回動している。この際、リング部材５０ａの周縁に形成される被検出片５４ａがセンサ７２に検知され、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂが開放状態であることが検出される。
【０１８２】
開状態から閉状態への移行中は、図３５（ａ）、（ｂ）に示すように、１層目の３枚の第１羽根部材６０ａと２層目の３枚の第２羽根部材６０ｂとが開口部１１ｃ、１２ｄの外方から、開口部１２ｄを覆うように回動する。
【０１８３】
そして、図３４（ａ）、（ｂ）に示す閉状態に至ると、１層目の３枚の第１羽根部材６０ａが開口部１１ｃ、１２ｄの外側（図３４（ｂ）の破線の外側）を閉塞し、２層目の３枚の第２羽根部材６０ｂが１層目の３枚の第１羽根部材６０ａが閉塞しない開口部１１ｃ、１２ｄの中心部（図３４（ｂ）の破線の内側）を閉塞する。この際、リング部材５０ａの周縁に形成される被検出片５４ａがセンサ７１に検知され、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂが閉塞状態であることが検出される。
【０１８４】
図３６は、流量制御装置の分解斜視図である。
＜ベース＞
ベース１０は、上流側の第一ベース１１と、下流側の第二ベース１２Ａとが組み合わされて接着等で固定され形成されている。第一ベース１１の開口部１１ｃと第二ベース１２Ａの開口部１２ｄとは、配管Ｋ内の流体が流通する流路となっている。流体は、第一ベース１１の開口部１１ｃから第二ベース１２Ａの開口部１２ｄへ向けて流通する（図３２（ａ）の白抜き矢印参照）。ベース１０内には、図３６に示すモータ２０の出力軸２１、ピニオン３０、減速ギア４０、リング部材５０ａ、複数枚の第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂおよびセンサ７１、７２等が収容されている。
【０１８５】
＜第二ベース１２Ａ＞
第二ベース１２Ａの円板壁部１２ａの中央部には、円形状の開口部１２ｄが形成されている。図３２（ｂ）に示すように、円板壁部１２ａの開口部１２ｄ周りには、放射形状を呈する案内リブ１２ｒがベース１０内部へ向けて立設されている。円板壁部１２ａの外縁部には、複数（本実施形態３では、３個）の台部１２ｆａが周方向に間隔をおいて形成されている。円板壁部１２ａの内面には円柱形状を呈する第１軸部１２ｇ１と第２軸部１２ｇ２（図３２（ｂ）参照）とがそれぞれ立設されている。第１軸部１２ｇ１、第２軸部１２ｇ２は、それぞれ開口部１２ｄの軸線と平行な第１羽根部材６０ａ、第２羽根部材６０ｂの回動軸の一例である。
【０１８６】
第１軸部１２ｇ１、第２軸部１２ｇ２はそれぞれ、第１羽根部材６０ａ、第２羽根部材６０ｂの被挿入部６１ａ、６１ｂ（図３６参照）に挿入されて第１羽根部材６０ａ、第２羽根部材６０ｂを回動可能に支持する円柱形状の凸部である。第１軸部１２ｇ１、第２軸部１２ｇ２は、ボールベアリング、含油メタル等の軸受を用いて形成されている。
【０１８７】
各台部１２ｆａ（図３２（ｂ）参照）の立設高さは、リング部材５０ａの厚みに略等しく、第１軸部１２ｇ１、第２軸部１２ｇ２の各立設高さは、それぞれ第１羽根部材６０ａの厚み、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂとを加えた厚みに略等しい。
【０１８８】
＜リング部材５０ａ＞
リング部材５０ａは、開口部１２ｄ周りに回動する金属製部材（例えば、アルミニウム）である。リング部材５０ａは、モータ２０の出力によって複数の第１羽根部材６０ａと複数の第２羽根部材６０ｂとを回動させる駆動リングである。
【０１８９】
リング部材５０ａは、第二ベース１２Ａの円形壁部１２ａと複数の第１羽根部材６０ａとの間に設けられている。図３６に示すように、リング部材５０ａの中央部には、円形状の孔部５１が形成されている。孔部５１の内径は、第二ベース１２Ａの案内リブ１２ｒの外径より若干大きく設定されており、リング部材５０ａは案内リブ１２ｒに外嵌されている。
【０１９０】
リング部材５０ａには、周方向に延びる複数（本実施形態３では３つ）の切り欠き部５２ａが孔部５１を囲んで形成されている。各切り欠き部５２ａには、第二ベース１２Ａの内側に立設される第１軸部１２ｇ１と第２軸部１２ｇ２とが、一対貫通する構成である。
各切り欠き部５２ａは、モータ２０により、リング部材５０ａが回動した際、第１軸部１２ｇ１と第２軸部１２ｇ２とが当接しない大きさに形成されている。
【０１９１】
リング部材５０ａには、３つの第１駆動ボス５０ａ１と３つの第２駆動ボス５０ａ２とが第一ベース１１に向けて立設されている（図３２（ｂ）参照）。
３つの第１駆動ボス５０ａ１は、それぞれ３つの各第１羽根部材６０ａを回動させる部材である。第１駆動ボス５０ａ１は第１羽根部材６０ａの厚さ以下の長さ寸法を有している。
３つの第２駆動ボス５０ａ２は、それぞれ３つの各第２羽根部材６０ｂを回動させる部材である。第２駆動ボス５０ａ２は、第１羽根部材６０ａの厚さ寸法と第２羽根部材６０ｂの厚さ寸法とを合わした以下の長さ寸法を有している。
【０１９２】
突起部の第１駆動ボス５０ａ１は、第１羽根部材６０ａの溝部の第一被案内孔部６２ａ内を摺動可能な円柱形状の凸部であり、ボールベアリング、含油メタル等の軸受を用いて形成されている。第１駆動ボス５０ａ１の立設高さは、第１羽根部材６０ａの厚み寸法以下に設定されている。
【０１９３】
突起部の第２駆動ボス５０ａ２は、第２羽根部材６０ｂの溝部の第二被案内孔部６２ｂ内を摺動可能な円柱形状の凸部であり、ボールベアリング、含油メタル等の軸受を用いて形成されている。第２駆動ボス５０ａ２の立設高さは、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂとを足した厚み寸法以下に設定されている。
【０１９４】
リング部材５０ａの周縁の一部には、減速ギア４０の外歯４２（図３６参照）と噛み合う外歯５３が形成されている。リング部材５０ａの周縁には、被検出部の一例である被検出片５４ａがリング部材５０ａの径方向外側へ向けて立設されている。
【０１９５】
リング部材５０ａの形状及び第二ベース１２Ａの複数の台部１２ｆａの位置および形状は、リング部材５０ａが回動した際、リング部材５０ａと複数の台部１２ｆａとが当接しないように設定されている。
【０１９６】
＜第１羽根部材６０ａ＞
図３７（ａ）、（ｂ）、および（ｃ）は、それぞれ第１羽根部材を示す斜視図、平面図、および側面図である。
複数枚の第１羽根部材６０ａは、配管Ｋ内の流路の外周部を開閉する（図３２（ｂ）、図３４（ｂ）参照）ための部材であり、材質として例えば金属、樹脂等が用いられる。第１羽根部材６０ａは、金属としてアルミニウム等が用いられ、樹脂としては、ポリカーボネート、ＰＢＴ（Polybutylene terephthalate）、ＡＢＳ等が用いられる。
【０１９７】
複数の第１羽根部材６０ａは、第一ベース１１の円形壁部１１ａ（図３６参照）とリング部材５０ａとの間であって、流体の流通方向と直交する略同一平面内に設けられている。また、複数の第１羽根部材６０ａは、複数の第２羽根部材６０ｂと隣接して設けられ、かつ、流路における複数の第２羽根部材６０ｂの下流側に設けられる。
図３７（ａ）、（ｂ）に示すように、第１羽根部材６０ａの基端部には、凹部又は孔部でなる被挿入部６１ａが形成されている。被挿入部６１ａは、第二ベース１２の第１軸部１２ｇ１が挿入されて第１羽根部材６０ａの回動中心となる部位である。
【０１９８】
第１羽根部材６０ａの外周部には、曲がった長穴形状の第一被案内孔部６２ａが形成されている。第一被案内孔部６２ａは、リング部材５０ａの第１駆動ボス５０ａ１が嵌入され案内され、第１羽根部材６０ａが回動される。そのため、第一被案内孔部６２ａの幅寸法ｂ１は、第１駆動ボス５０ａ１の径より若干大きい寸法を有している。
【０１９９】
そして、第１羽根部材６０ａの中央部には、曲がった長穴形状の第二被案内孔部６３ａが形成されている。第二被案内孔部６３ａは、リング部材５０ａの第２駆動ボス５０ａ２(図３２（ｂ）参照)を逃げるための長穴である。そのため、第二被案内孔部６３ａの幅寸法ｂ２（図３７（ｂ）参照）は、第２駆動ボス５０ａ２の径より大きい寸法を有している。また、第二被案内孔部６３ａの長さ寸法ｂ３は、リング部材５０ａの第２駆動ボス５０ａ２の可動範囲より大きい寸法を有している。
【０２００】
また、第１羽根部材６０ａは、第１羽根部材６０ａの閉塞時、隣接する他の第１羽根部材６０ａと当接する第１当接部６４ａと、隣接するその他の第１羽根部材６０ａと当接する第２当接部６５ａとを有している。
つまり、第１羽根部材６０ａは、図３４（ｂ）に示す全閉状態において、他の一方の第１羽根部材６０ａの第２当接部６５ａと第１当接部６４ａが当接し、他の他方の第１羽根部材６０ａの第１当接部６４ａと第２当接部６５ａが当接する構成である。
【０２０１】
第１当接部６４ａと第２当接部６５ａとは、平面状に形成されている。
なお、第１当接部６４ａと第２当接部６５ａとは、図３４（ｂ）に示す全閉状態において、全閉状態が保てれば、その形状は任意に選択できる。
【０２０２】
図３２（ｂ）に示す全開状態において、第１羽根部材６０ａは、第二ベース１２Ａの案内リブ１２ｒと重なるように構成され、開口部１１ｃ、１２ｄの径方向外側に位置するように設定されている。また、第１羽根部材６０ａは、全開状態において、第二ベース１２Ａの周壁部１２ｃと当接しないように構成されている。
また、第１羽根部材６０ａは、図３４（ｂ）に示す全閉状態において、第二ベース１２Ａの案内リブ１２ｒと重なるように構成されている。
【０２０３】
＜第２羽根部材６０ｂ＞
図３８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ第２羽根部材を示す斜視図、平面図、および側面図である。
複数枚の第２羽根部材６０ｂは、配管Ｋ内の流路の中央部を開閉する（図３４（ｂ）参照）ための部材であり、材質として、例えば金属、樹脂等が用いられる。
第２羽根部材６０ｂは、金属としては、アルミニウム等）が用いられ、樹脂としては、ポリカーボネート、ＰＢＴ（Polybutylene terephthalate）、ＡＢＳ等が用いられる。
【０２０４】
複数の第２羽根部材６０ｂは、第一ベース１１の円形壁部１１ａ（図３６参照）とリング部材５０ａとの間であって、流体の流通方向と直交する略同一平面内に設けられている。
また、複数の第２羽根部材６０ｂは、複数の第１羽根部材６０ａと隣接して設けられ、かつ、流路における複数の第１羽根部材６０ａの上流側に設けられる。
図３８（ａ）、（ｂ）に示すように、第２羽根部材６０ｂの基端部には、凹部又は孔部でなる被挿入部６１ｂが形成されている。被挿入部６１ｂは、第二ベース１２の第２軸部１２ｇ２が挿入されて第２羽根部材６０ｂの回動中心となる部位である。
【０２０５】
第２羽根部材６０ｂの外周部には、曲がった長穴形状孔状の第二被案内孔部６２ｂが形成されている。第二被案内孔部６２ｂａは、リング部材５０ａの第２駆動ボス５０ａ２が嵌入され案内され、第２羽根部材６０ｂが回動される。そのため、第二被案内孔部６２ｂａの幅寸法ｂ４は、第２駆動ボス５０ａ２の径より若干大きい寸法を有している。
【０２０６】
また、第２羽根部材６０ｂは、その閉塞時、隣接する他の第２羽根部材６０ｂと当接する第１当接部６３ｂと、隣接するその他の第２羽根部材６０ｂと当接する第２当接部６４ｂとを有している。
つまり、第２羽根部材６０ｂは、図３４（ｂ）に示す全閉状態において、他の一方の第２羽根部材６０ｂの第２当接部６４ｂと第１当接部６３ｂが当接するとともに、他の他方の第２羽根部材６０ｂの第１当接部６３ｂと第２当接部６４ｂが当接する構成である。
【０２０７】
第１当接部６３ｂと第２当接部６４ｂとは、平面状に形成されている。なお、第１当接部６３ｂと第２当接部６４ｂとは、図３４（ｂ）に示す全閉状態において、全閉状態が保てれば、その形状は任意に選択できる。
第２羽根部材６０ｂの外周部６５ｂ（図３８（ａ）、（ｂ）参照）は、第２羽根部材６０ｂの回動動作に際して、リング部材５０ａの第１駆動ボス５０ａ１と、第二ベース１２Ａの台部１２ｆａとに接触しないように形成されている。
【０２０８】
第２羽根部材６０ｂは、全閉状態（図３４（ｂ））と全開状態（図３２（ｂ））との過程を通じて第１羽根部材６０ａと重なるように構成されている。
第２羽根部材６０ｂは、全開状態（図３２（ｂ））において、開口部１１ｃ、１２ｄの径方向外側に位置するように構成され第二ベース１２Ａの周壁部１２ｃと当接しないように構成されている。
【０２０９】
＜センサ７１，７２＞
図３２（ｂ）、図３４（ｂ）に示すように、センサ７１，７２は、リング部材５０ａの被検出片５４ａを検出する検出部の一例である。センサ７２は、流量制御装置Ａ２が全開状態となったときの被検出片５４ａを検出可能な位置に設けられている。センサ７１は、流量制御装置Ａ２が全閉状態となったときの被検出片５４ａを検出可能な位置に設けられている。不図示の制御部は、センサ７１，７２の被検出片５４ａの検出結果に基づいて、モータ２０の駆動を停止したり、センサ７１の検出結果に基づいて、モータ２０の初期状態を補正したりすることができる。
【０２１０】
＜流量制御装置Ａ２の組立て＞
次に、流量制御装置Ａ２の組立てについて説明する。
図３３に示すように、第二ベース１２Ａの案内リブ１２ｒの外方に、リング部材５０ａの孔部５１を嵌入し、リング部材５０ａを第二ベース１２Ａ内に配置する。  
【０２１１】
その後、第二ベース１２Ａの各第１軸部１２ｇ１に、第１羽根部材６０ａ（図３７（ａ）、（ｂ）参照）の被挿入部６１ａを嵌入するとともに、第１羽根部材６０ａの第一被案内孔部６２ａと第二被案内孔部６３ａとに、それぞれリング部材５０ａの第１駆動ボス５０ａ１、第２駆動ボス５０ａ２を嵌入する。この状態で、第１羽根部材６０ａをリング部材５０ａ上に配置する。
【０２１２】
その後、第二ベース１２Ａの各第２軸部１２ｇ２に、第２羽根部材６０ｂ（図３８（ａ）、（ｂ）参照）の被挿入部６１ｂを嵌入するとともに、第２羽根部材６０ｂの被案内孔部６２ｂに、リング部材５０ａの第２駆動ボス５０ａ２を嵌入する。この状態で、第２羽根部材６０ｂを第１羽根部材６０ａ上に配置する。
【０２１３】
続いて、出力軸２１にピニオン３０を固定したモータ２０を、減速ギア４０の外歯４１にピニオン３０の外歯３１を噛み合わさせるとともに、減速ギア４０の外歯４２を、リング部材５０の外歯５３と噛み合わせて、第一ベース１１にねじ止めで固定する。
そして、第一ベース１１で、リング部材５０ａ、第１羽根部材６０ａ、および第２羽根部材６０ｂを抑えつつ、第一ベース１１を第二ベース１２Ａに接着、ねじ止め等で固定する。
【０２１４】
次に、流量制御装置Ａ２の開閉動作について説明する。
＜閉動作＞
図示しない制御部の閉動作指令によって、モータ２０の出力軸２１（図３６参照）が回転すると、モータ２０の出力は、ピニオン３０及び減速ギア４０を介してリング部材５０ａへ伝達される。これにより、リング部材５０ａは、上流側から見て反時計回り方向（図３２（ｂ）の矢印α４）に回転する。リング部材５０ａの反時計回り方向の回転により第１駆動ボス５０ａ１と第２駆動ボス５０ａ２とが反時計回り方向に回転する。第１駆動ボス５０ａ１と第２駆動ボス５０ａ２は、それぞれの第１羽根部材６０ａの第一被案内孔部６２ａと第２羽根部材６０ｂの被案内孔部６２ｂとに嵌入されている。
【０２１５】
そのため、第１駆動ボス５０ａ１と第２駆動ボス５０ａ２との移動により、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂとは、それぞれ第１軸部１２ｇ１、第２軸部１２ｇ２を回転中心として、上流側から見て時計回り方向（図３２（ｂ）の矢印α３）に回転する。
【０２１６】
閉動作が進むと、全閉状態において、リング部材５０ａの被検出片５４ａがセンサ７１によって検出され（図３４（ｂ）参照）、制御部は、センサ７１の検出結果に基づいて、モータ２０を停止させる。
【０２１７】
この際、図３４（ｂ）、（ａ）に示すように、第１羽根部材６０ａは、他の一方の第１羽根部材６０ａの第２当接部６５ａと第１当接部６４ａが当接するとともに、他の他方の第１羽根部材６０ａの第１当接部６４ａと第２当接部６５ａが当接する。これにより、開口部１１ｃ、１２ｄで形成される流路内の中央部を除いた外周部が閉塞される。
【０２１８】
同時に、第２羽根部材６０ｂは、他の一方の第２羽根部材６０ｂの第２当接部６４ｂと第１当接部６３ｂが当接するとともに、他の他方の第２羽根部材６０ｂの第１当接部６３ｂと第２当接部６４ｂが当接する。これにより、開口部１１ｃ、１２ｄで形成される流路内の中央部が閉塞される。
そのため、開口部１１ｃ、１２ｄで形成される流路が、３つの第１羽根部材６０ａと３つの第２羽根部材６０ｂとの閉動作により全閉状態となる。
【０２１９】
＜開動作＞
図示しない制御部の開動作指令によって、モータ２０の出力軸２１が回転すると、モータ２０の出力は、ピニオン３０及び減速ギア４０を介してリング部材５０ａへ伝達され、リング部材５０ａは、上流側から見て時計回り方向（図３４（ｂ）の矢印α３）に回転する。
【０２２０】
リング部材５０ａの時計回り方向の回転により第１駆動ボス５０ａ１と第２駆動ボス５０ａ２とが時計回り方向に回転する。第１駆動ボス５０ａ１と第２駆動ボス５０ａ２は、それぞれの第１羽根部材６０ａの第一被案内孔部６２ａと第２羽根部材６０ｂの第二被案内孔部６２ｂとに嵌入されている。そのため、第１駆動ボス５０ａ１と第２駆動ボス５０ａ２との時計回り方向の回動により、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂとは、それぞれ第１軸部１２ｇ１、第２軸部１２ｇ２を回転中心として、上流側から見て反時計回り方向（図３４（ｂ）の矢印α４）に回転する。
【０２２１】
開動作が進むと、全開状態において、リング部材５０ａの被検出片５４ａは、センサ７２によって検出され（図３２（ｂ）参照）、制御部は、センサ７２の検出結果に基づいて、モータ２０を停止させる。
この際、図３２（ｂ）、（ａ）に示すように、第１羽根部材６０ａは、第二ベース１２Ａの案内リブ１２ｒと重なるように構成され、開口部１１ｃ、１２ｄの径方向外側であって第二ベース１２Ａの周壁部１２ｃ、台部１２ｆａと当接しない場所に位置する。また、第２羽根部材６０ｂは、開口部１１ｃ、１２ｄの径方向外側であって第二ベース１２Ａの周壁部１２ｃ、台部１２ｆａと当接しない場所に位置する。
【０２２２】
流量制御装置Ａ２は、制御部の指令に基づいて、図３２（ｂ）、（ａ）に示す全開状態と図３４（ｂ）、（ａ）に示す全閉状態との間で略無段階に流路（開口部１１ｃ、１２ｄ）の開度を設定し（図３５（ｂ）、（ａ）参照）、流体の流量を制御することができる。
【０２２３】
上記構成によれば、複数の第１羽根部材６０ａと複数の第２羽根部材６０ｂとを重ねて２層に構成したので、各第１・第２羽根部材６０ａ、６０ｂで流路（開口部１１ｃ、１２ｄ）を閉塞する面積と回動角を減少できる。
そのため、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂの各大きさを小さくでき、流量制御装置Ａ２を小型化することができる。
【０２２４】
なお、実施形態３では、羽根部材を複数の第１羽根部材６０ａと複数の第２羽根部材６０ｂとの２層構造の場合を例示したが、複数の羽根部材を３層以上に重ねる構成としてもよい。
【０２２５】
また、第１層、第２層の第１羽根部材６０ａ、第２羽根部材６０ｂがそれぞれ３つの場合を例示したが、３つ以外の複数枚としてもよい。
【０２２６】
また、実施形態３では、隣接する第２羽根部材６０ｂで第１羽根部材６０ａをスラスト方向の第二ベース１２Ａ側に抑え、第２羽根部材６０ｂを第一ベース１１でスラスト方向に抑えて第一ベース１１を下流側の第二ベース１２に固定する構成を説明したが、図３９に示すように、ねじｎと座金ｚとで第２羽根部材６０ｂの外側から、第２羽根部材６０ｂと第１羽根部材６０ａとを抑える構成としてもよい。図３９は、第２羽根部材の固定法の別例を示す斜視図である。
【０２２７】
図３９に示す第２軸部１２ｇ２には、ベアリング１２ｂ２の内輪が固定され、第２羽根部材６０ｂの被挿入部６１ｂに、ベアリング１２ｂ２の外輪が固定される。これにより、ベアリング１２ｂ２が第２軸部１２ｇ２と第２羽根部材６０ｂの被挿入部６１ｂとの間に固定される。
【０２２８】
そして、ねじｎを、座金ｚを間に挟んで、第２軸部１２ｇ２に螺刻される雌ねじに螺着することで、ねじｎと座金ｚとで第２羽根部材６０ｂをスラスト方向に抑える。
【０２２９】
なお、前記実施形態３では、流量制御装置Ａ２の全閉時、第１羽根部材６０ａ間の境界と第２羽根部材６０ｂ間の境界とが一部重なる場合を例示したが、第１羽根部材６０ａ間の境界と第２羽根部材６０ｂ間の境界とが重ならないように構成することが好ましい。これにより、全閉時の密閉度をより向上することができる。
【０２３０】
＜変形例１＞
図４０は、実施形態３の変形例１の流量制御装置の閉状態の内部構成を下流側の第一ベースを外して見た平面図である。図４１（ａ）、（ｂ）は、それぞれ実施形態３の変形例１の第１羽根部材を示す斜視図と平面図である。
変形例１の流量制御装置Ａ２１は、複数の第１羽根部材６０ａと複数の第２羽根部材６０ｂとの各接触箇所にゴム等の弾性部材６０ｄ１、６０ｄ２をそれぞれ貼り付けたものである。
その他の構成は、実施形態３と同様であるから、同様な構成要素には、同一の符号を付して示し、詳細な説明は省略する。
【０２３１】
図４１（ａ）、（ｂ）に示すように、第１羽根部材６０ａの第１当接部６４ａと第２当接部６５ａとにそれそれ弾性部材６０ｄ１が焼き付け等で固定される。  
図４２（ａ）、（ｂ）は、それぞれ実施形態３の変形例１の第２羽根部材を示す斜視図と平面図である。
【０２３２】
また、図４２（ａ）、（ｂ）に示すように、第２羽根部材６０ｂの第１当接部６３ｂと第２当接部６４ｂとそれそれ弾性部材６０ｄ２が焼き付け等で固定される。
弾性部材６０ｄ１、６０ｄ２は例えばＮＢＲ等が用いられる。ＮＢＲは焼き付け接合できるのでより好ましい。なお、弾性部材６０ｄ１、６０ｄ２は、シリコーンゴム等のその他のゴム材でもよい。
【０２３３】
上述の構成により、図４０に示すように、流量制御装置Ａ２１の閉塞時には、第１羽根部材６０ａの第１当接部６４ａの弾性部材６０ｄ１が一方側で隣接する他の第１羽根部材６０ａの第２当接部６５ａの弾性部材６０ｄ１に当接し、弾性部材６０ｄ１、ｄ１が弾性変形して、隣接する第１羽根部材６０ａ間の間隙が密閉される。同時に、第１羽根部材６０ａの第２当接部６５ａの弾性部材６０ｄ１が他方側で隣接する第１羽根部材６０ａの第１当接部６４ａの弾性部材６０ｄ１に当接し、弾性部材６０ｄ１、６０ｄ１が弾性変形して、隣接する第１羽根部材６０ａ間の間隙が密閉される。
【０２３４】
また、流量制御装置Ａ２１の閉塞時、第２羽根部材６０ｂの第１当接部６３ｂの弾性部材６０ｄ２が一方側で隣接する他の第２羽根部材６０ｂの第２当接部６４ｂの弾性部材６０ｄ２に当接し、弾性部材６０ｄ２、ｄ２が弾性変形して、隣接する第２羽根部材６０ｂ間の間隙が密閉される。同時に、第２羽根部材６０ｂの第２当接部６４ｂの弾性部材６０ｄ２が他方側で隣接する他の第２羽根部材６０ｂの第１当接部６３ｂの弾性部材６０ｄ２に当接し、弾性部材６０ｄ２、６０ｄ２が弾性変形して、隣接する第２羽根部材６０ｂ間の間隙が密閉される。
【０２３５】
従って、流量制御装置Ａ２１の全閉時、第１羽根部材６０ａ間の密閉度を向上させるとともに、第２羽根部材６０ｂ間の密閉度を向上させることができる。
なお、変形例１では、流量制御装置Ａ２１の閉塞時、第１羽根部材６０ａ間の当接箇所と第２羽根部材６０ｂ間の当接箇所の両者に、それぞれ弾性部材６０ｄ１、ｄ１と弾性部材６０ｄ２、ｄ２をと有する構成を説明したが、それぞれの当接箇所の何れか一方に、弾性部材６０ｄ１、６０ｄ２を有する構成としてもよい。
【０２３６】
＜変形例２＞
図４３は、実施形態３の変形例２の流量制御装置の閉状態の内部構成を上流側の第一ベースを外して見た平面図である。
変形例２の流量制御装置Ａ２２は、全閉時、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂとの間を、移動閉塞部材ｗｐで閉塞（密閉）させる構成としたものである。
その他の構成は、実施形態３の構成と同様であるから、同様な構成要素には同一の符号を付して示し、詳細な説明は省略する。
【０２３７】
変形例２の流量制御装置Ａ２２は、移動閉塞部材ｗｐが第２羽根部材６０ｂと略同一平面またはやや下方であり、第２羽根部材６０ｂの外周部６５ｂより外側に配置されている。
移動閉塞部材ｗｐは、全閉時に第２羽根部材６０ｂの外周部６５側から第２羽根部材６０ｂと第１羽根部材６０ａとの間の隙間を、弾性力をもって密閉する（図４３の矢印のα５参照）。
【０２３８】
なお、第２羽根部材６０ｂと第１羽根部材６０ａとの隙間に直接対向する箇所は、移動閉塞部材ｗｐに設けられるゴム等の弾性部材が弾性変形することにより、当該隙間を密閉する。
第２羽根部材６０ｂと第１羽根部材６０ａとが開放過程に移行すると、移動閉塞部材ｗｐは、図４３の矢印のα６に示すように、第２羽根部材６０ｂの外周部６５ｂより外方に位置する。
【０２３９】
つまり、移動閉塞部材ｗｐは、流量制御装置Ａ２２の全閉時、第２羽根部材６０ｂと第１羽根部材６０ａとの隙間を、弾性力をもって密閉する役割をもつ部材であり、これ以外のときは、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂとの動作の邪魔にならないように構成されている。
そのため、移動閉塞部材ｗｐが位置する第１羽根部材６０ａの第２羽根部材６０ｂ側は、移動閉塞部材ｗｐが第１羽根部材６０ａの動作の邪魔にならないように（接触しないように）凹形状に形成されることが好ましい。
【０２４０】
また、全閉時に移動閉塞部材ｗｐを、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂとの間の隙間に、弾性力をもって付勢するには、ねじりコイルばね等が用いられる。また、移動閉塞部材ｗｐの閉塞方向（図４３の矢印α５）の移動に際しては、リング部材５０ａに埴設される駆動ボス（図示せず）で駆動し、移動閉塞部材ｗｐの開放方向（図４３の矢印α６）の移動に際しては、リング部材５０ａに埴設される駆動ボスで開放方向に押圧してもよい。
【０２４１】
或いは、移動閉塞部材ｗｐの開放時、移動閉塞部材ｗｐをフリーになる構成とし、第２羽根部材６０ｂで直接、移動閉塞部材ｗｐを開放方向に押圧してもよい。
【０２４２】
上記構成によれば、流量制御装置Ａ２２の全閉時、第２羽根部材６０ｂと第１羽根部材６０ａとの間の隙間を移動閉塞部材ｗｐで密閉するので、流量制御装置Ａ２２の全閉時の密閉度がより向上する。
【０２４３】
なお、流量制御装置Ａ２２の全閉時の第２羽根部材６０ｂと第１羽根部材６０ａとの間の隙間を密閉する手段として、移動閉塞部材ｗｐを用いることに代えて、第１羽根部材６０ａに凹部または凸部を設け、これに対応して第２羽根部材６０ｂに凸部または凹部を設けて、流量制御装置Ａ２２の全閉時、凸部と凹部との嵌合により、第２羽根部材６０ｂと第１羽根部材６０ａとの密閉性を向上する構成としてもよい。
【０２４４】
或いは、これらの凸部または凹部の少なくとも何れかにゴム等の弾性部材を設け、流量制御装置Ａ２２の全閉時、当該弾性部材が弾性変形することで当該凸部と凹部間の隙間を密閉する構成としてもよい。
【０２４５】
＜変形例３＞
図４４は、実施形態３の変形例３の流量制御装置の閉状態の内部構成を上流側の第一ベースを外して見た平面図である。
変形例３の流量制御装置Ａ２３は、第１羽根部材６０ａと第２羽根部材６０ｂとにその回動動作を検出する回動動作検出手段を設けたものである。
その他の構成は、実施形態３の構成と同様であるから、同様な構成要素には同一の符号を付して示し、詳細な説明は省略する。
【０２４６】
流量制御装置Ａ２３は、３枚の第１各羽根部材６０ａのそれぞれの全開状態と全閉状態とを検出するセンサ７８ａ１、７８ｂ１、７８ｃ１が、第二ベース１２Ａに設けられている。また、３枚の第２各羽根部材６０ｂのそれぞれの全開状態と全閉状態とを検出するセンサ７８ａ２、７８ｂ２、７８ｃ２が、第二ベース１２Ａに設けられている。
【０２４７】
一方、３枚の各第１羽根部材６０ａには、それぞれ各第１羽根部材６０ａの位置をセンサ７８ａ１、７８ｂ１、７８ｃ１で検出するための被検出ギア７９ａ、８０ａ、８１ａが、通光部の凹部と遮光部の凸部を有して設けられている。
また、３枚の各第２羽根部材６０ｂには、それぞれ各第２羽根部材６０ｂの位置をセンサ７８ａ２、７８ｂ２、７８ｃ２で検出するための被検出ギア７９ｂ、８０ｂ、８１ｂが、通光部の凹部と遮光部の凸部を有して設けられている。
【０２４８】
なお、本変形例３では、被検出ギア７９ａ、８０ａ、８１ａがそれぞれ各第１羽根部材６０ａと別体の場合を例示して説明するが被検出ギア７９ａ、８０ａ、８１ａと第１羽根部材６０ａとを一体で成形する構成としてもよい。また、被検出ギア７９ｂ、８０ｂ、８１ｂがそれぞれ第２羽根部材６０ｂと別体の場合を例示して説明するが被検出ギア７９ｂ、８０ｂ、８１ｂと第２羽根部材６０ｂとを一体で成形する構成としてもよい。
【０２４９】
＜センサ７８ａ１、７８ｂ１、７８ｃ１、７８ａ２、７８ｂ２、７８ｃ２＞
第１羽根部材６０ａ（被検出ギア７９ａ、８０ａ、８１ａ）の移動を検出するセンサ７８ａ１、７８ｂ１、７８ｃ１には、例えば、赤外線を用いるフォトインタラプタが使用される。なお、可視光を用いるフォトインタラプタでもよいが、可視光の場合、他の光を拾ったりするので、赤外線を用いるフォトインタラプタが望ましい。
【０２５０】
その他、センサ７８ａ１、７８ｂ１、７８ｃ１は、反射板を用いる反射センサ、磁気センサ等のフォトインタラプタ以外のセンサでもよいが、フォトインタラプタの場合、遮光と通光との境界が明確に検出できるため、フォトインタラプタが最も望ましい。
第２羽根部材６０ｂ（被検出ギア７９ｂ、８０ｂ、８１ｂ）の移動を検出するセンサ７８ａ２、７８ｂ２、７８ｃ２も、上述のセンサ７８ａ１、７８ｂ１、７８ｃ１と同様である。
【０２５１】
センサ７８ａ１、７８ｂ１、７８ｃ１のフォトインタラプタの赤外線の光が、それぞれ被検出ギア７９ａ、８０ａ、８１ａの通光部の凹部と遮光部の凸部を、通光または遮光することを検出し、流量制御装置Ａ２２の第１羽根部材６０ａが全開、全閉、全開と全閉との間の中間状態に正常動作しているか否かを検出することができる。
【０２５２】
同様に、センサ７８ａ２、７８ｂ２、７８ｃ２のフォトインタラプタの赤外線の光が、それぞれ被検出ギア７９ｂ、８０ｂ、８１ｂが通光部の凹部と遮光部の凸部を、通光または遮光することを検出し、流量制御装置Ａ２２の第２羽根部材６０ｂが全開、全閉、全開と全閉との間の中間状態に正常動作しているか否かを検出することができる。
【０２５３】
上記構成によれば、各第１各羽根部材６０ａの回転動作を検出するための回動動作検出手段のセンサ７８ａ１、７８ｂ１、７８ｃ１と被検出ギア７９ａ、８０ａ、８１ａとを有するので、各第１各羽根部材６０ａが正常に動作しているか否かを検出することができる。
同様に、各第２羽根部材６０ｂの回転動作を検出するための回動動作検出手段のセンサ７８ａ２、７８ｂ２、７８ｃ２と被検出ギア７９ｂ、８０ｂ、８１ｂとを有するので、各第２羽根部材６０ｂが正常に動作しているか否かを検出することができる。
【０２５４】
従って、流量制御装置Ａ２３の異常を迅速に発見でき、流量制御装置Ａ２３の性能を向上させることができるとともに、メンテナンス等を迅速に行える。そのため、流量制御装置Ａ２３の信頼性を高めることができる。
【０２５５】
＜＜実施形態４＞＞
図４５(ａ)は、本発明の実施形態４に係る流量制御装置が閉弁した際の斜視図であり、図４５(ｂ)は、流量制御装置が開弁した際の斜視図である。
【０２５６】
実施形態４の流量制御装置１Ａは、配管Ｋに設けられ、配管Ｋを流通する流体の流量を第１・第２羽根部材１０２、９３を開閉して制御する弁装置である。
流量制御装置１Ａは、図４５(ａ)に示す全閉時には第１羽根部材９２と第２羽根部材９３とを閉塞し、配管Ｋを流れる流体の流通(図４５(ｂ)の白抜き矢印α参照)を停止させる。
【０２５７】
一方、流量制御装置１Ａは、図４５(ｂ)に示す全開時には、第１羽根部材９２と第２羽根部材９３とを流路ｒ(９４ｒ、９５ｒ)の外方に配置させて配管Ｋに連通する流路ｒを全開状態とする。
なお、流量制御装置１Ａは、図４５(ａ)の閉塞状態と図４５(ｂ)の全開状態との中間の状態、例えば半開き状態などにできるのは勿論である。
流量制御装置１Ａは、例えば車両のスロットルバルブに用いられる。なお、流量制御装置１Ａは、スロットルバルブ以外の弁装置として任意に広く適用できるのは勿論である。
【０２５８】
図４６(ａ)は、流量制御装置が閉弁した際の内部構成を示す前面図であり、図４６(ｂ)は、流量制御装置が開弁した際の構成を示す前面図である。
図４７は、全開状態の流量制御装置の内部を斜め上前方から見た斜視図である。
図４８は、流量制御装置を後方側から見た分解図である。
【０２５９】
流量制御装置１Ａは、筺体を形成する第１・第２ベース９４、９５と、弁体を成す第１・第２羽根部材９２・９３と、モータ９６とを備えている。
流体は配管Ｋ内を流量制御装置１Ａの第２ベース９５から第１ベース９４に向けて流通する(図１(ｂ)の白抜き矢印α参照)。
第１・第２羽根部材９２・９３は、第１・第２ベース９４、９５に形成される開口９４ｒ、９５ｒ(流路ｒ)を開閉する。モータ９６は、第１・第２羽根部材９２・９３の開閉動作の駆動源であり、例えばステッピングモータが用いられる。
【０２６０】
モータ９６に、ステッピングモータを用いる場合、モータのステップ動作を和らげるため、減速機構を用いて減速比を高めて動作をなだらかにするのが好ましい。なお、モータ９６は、ＡＣモータ、ＤＣモータ等のステッピングモータ以外のモータを使用してもよい。この場合、ステップ動作がなく動作がなだらかなので減速機構を用いなくともよい。
第１・第２羽根部材９２・９３の全閉動作はセンサｓ１で検出され(図４６(ａ)参照)、第１・第２羽根部材９２・９３の全開動作はセンサｓ２で検出される(図４６(ｂ)参照)。
【０２６１】
モータ９６の回転軸９６ｊには、減速機構のピニオン９６ｐが固定されている。
流量制御装置１Ａは、図示しない制御装置、例えばＥＣＵ( Engine Control Unit)で制御される。制御装置は、例えばマイクロコンピュータと、Ｄ／Ａ／・Ａ／Ｄ変換器、モータ制御回路、センサ回路などの周辺回路とを含み構成されている。
【０２６２】
＜第１ベース９４＞
図４９(ａ)は、第１ベースを斜め上前方から見た斜視図であり、図４９(ｂ)は、図４９(ａ)のＤ方向矢視図である。
第１ベース９４は、矩形の平板状の平板部９４ｈと、平板部９４ｈの周縁には低い高さをもって立設される周壁部９４ｓとが形成されている。第１ベース９４は、例えばアルミニウムを用いてアルミダイカストで形成される。
【０２６３】
第１ベース９４の平板部９４ｈには、後記の駆動レバー９７（図４７参照）が配置される凹形状の凹部９４ｈ１が所定の領域を有して凹設されている。また、平板部９４ｈには、モータ９６のピニオン９６ｐが挿通される円形の孔であるピニオン挿通孔９４ｈ２と、配管Ｋに連通する流路ｒを形成する円形の挿通孔である開口９４ｒとが形成されている。
【０２６４】
平板部９４ｈには、支軸ボス９４ｊと、第１〜第４案内ボス９４ｂ１〜９４ｂ４と、第１・第２抑えボス９４ｏ１、９４ｏ２とが立設されている。これらのボス（９４ｊ、９４ｂ１〜９４ｂ４、９４ｏ１、９４ｏ２）は平板部９４ｈと一体に成形してもよいし、ステンレスのピンが圧入、接着などで第１ベース９４の平板部９４ｈに植設されてもよい。
【０２６５】
ここで、支軸ボス９４ｊは段付きボスであり、段付きボスは凹部９４ｈ１と一体に段状に成形されている。支軸ボス９４ｊには駆動レバー９７の中央部の回転軸孔９７ｔが挿通される。そして、駆動レバー９７の回転軸孔９７ｔが支軸ボス９４ｊに軸支持されて、駆動レバー９７は回転動作が行われる。
【０２６６】
駆動レバー９７(図４７参照)が回転するに際して、段付きボスの段部９４ｊ１の狭い領域に摺動するので駆動レバー９７の回転運動の動作が安定化する。段部９４ｊ１より上の支軸ボス９４ｊは駆動レバー９７の回転軸孔９７ｔより軸方向に長く形成されている。
【０２６７】
第１・第２案内ボス９４ｂ１、９４ｂ２は、第１羽根部材９２のスライド移動を案内する。そのため、第１・第２案内ボス９４ｂ１、９４ｂ２は、該スライド移動の障害にならないように、第１羽根部材９２の厚さ寸法より、長く形成されている。第１抑えボス９４ｏ１は、第１羽根部材９２のあおり防止用のものである。そのため、第１抑えボス９４ｏ１は、第１羽根部材９２のスライド移動の障害にならないように、第１羽根部材９２の厚さ寸法より、長く形成されている。
【０２６８】
第３・第４案内ボス９４ｂ３、９４ｂ４は、第２羽根部材９３のスライド移動を案内する。そのため、第３・第４案内ボス９４ｂ３、９４ｂ４は、第２羽根部材９３の厚さ寸法より、長く形成されている。
第２抑えボス９４ｏ２は、第２羽根部材９３のあおり防止用に設けられる。そのため、第２抑えボス９４ｏ２は、第２羽根部材９３のスライド移動の障害にならないように、第２羽根部材９３の厚さ寸法より、長く形成されている。
【０２６９】
支軸ボス９４ｊ、第１〜第４案内ボス９４ｂ１〜９４ｂ４、および第１・第２抑えボス９４ｏ１、９４ｏ２には、玉軸受や含油メタル等の軸受部材が固定されている。玉軸受や含油メタル等の軸受部材の設置により、第１・第２羽根部材９２、９３の各スライド動作(直線運動)がすべり摩擦から玉軸受のころがり摩擦や含油メタル等の軸受部材の潤滑剤を介在したものとなり、第１・第２羽根部材９２、９３の各スライド動作がこじることなく、円滑に遂行される。
【０２７０】
＜第２ベース９５＞
図４８に示すように、第２ベース９５は、矩形の平板状の平板部９５ｈと、平板部９５ｈの周縁には低い高さをもって立設される周壁部９５ｓとが形成されている。第２ベース９５は、例えばアルミニウムを用いてアルミダイカストで形成される。第２ベース９５は、図４５、図４６に示すように、第１ベース９４と合わせて固定され組み立てられるので、第２ベース９５が延在する方向に、第１ベース９４とほぼ同様な寸法を有している。
【０２７１】
第２ベース９５の平板部９５ｈには、配管Ｋに連通する流路ｒを形成する円形の挿通孔の開口９５ｒが形成されている。
第２ベース９５の平板部９５ｈには、第１ベース９４に設けられる支軸ボス９４ｊ、第１〜第４案内ボス９４ｂ１〜９４ｂ４、および第１・第２抑えボス９４ｏ１、９４ｏ２に、それぞれ対向して当接する位置に、第１〜第７抑えボス９５ｏ１〜９５ｏ７が一体に立設されている。第１〜第７抑えボス９５ｏ１〜９５ｏ７は、それぞれ第１ベース９４の各ボス(９４ｊ、９４ｂ１〜９４ｂ４、９４ｏ１、９４ｏ２)より太い太さを有している。
【０２７２】
図５０は、第１ベースに設けられる支軸ボス、第１〜第４案内ボス、および第１・第２抑えボスと第２ベースの第１〜第７抑えボスとの関係を表わす断面図である。
第２ベース９５の第１〜第７抑えボス９５ｏ１〜９５ｏ７は、駆動レバー９７、第１・第２羽根部材９２、９３があおられ、第１ベース９４の外方(第２ベース９５の側)に移動するのを抑える働きをする。
なお、駆動レバー９７、第１・第２羽根部材９２、９３があおられるとは、流体の圧力により駆動レバー９７、第１・第２羽根部材９２、９３がその板厚方向に移動することを意味する。
【０２７３】
＜駆動レバー９７＞
モータ９６の回転軸９６ｊに固定されるピニオン９６ｐには、駆動レバー９７に一体に成形される減速ギア９７ｇ(図４７参照)が噛み合っている。
駆動レバー９７は、扁平形状を有し、第１ベース９４に立設される支軸ボス９４ｊに回転自在に支持されている。駆動レバー９７は、例えば、アルミニウムを用いて、アルミダイキャストで製造される。
【０２７４】
駆動レバー９７は、中央部の回転軸孔９７ｔに支軸ボス９４ｊが貫通する減速ギア９７ｇが形成され、後部側に、第１のアーム９７ａと第２のアーム９７ｂとが、外方に向かうに従い先が細くなるアーム形状に形成されている。
第１のアーム９７ａの先端部には、第１羽根部材９２を移動させる第１駆動ボス９７ａ１が前方に向けて立設されている。第２のアーム９７ｂの先端部には、第２羽根部材９３を移動させる第２駆動ボス９７ｂ１が前方に向けて立設されている。
【０２７５】
第１ベース９４と第２ベース９５とが組み合わせて固定された際、駆動レバー９７の回転軸孔９７ｔを挿通する第１ベース９４の支軸ボス９４ｊの先端部に、支軸ボス９４ｊより太い第２ベース９５の第１抑えボス９５ｏ１(図４８参照)が当接または近接する(図５０参照)。これにより、駆動レバー９７が第１ベース９４の支軸ボス９４ｊから抜け出ることが防止される。
【０２７６】
＜第１羽根部材９２＞
第１羽根部材９２は、板状の部材であり、遮蔽部９２ｓ(図４８参照)を有する。
第１羽根部材９２の遮蔽部９２ｓは、第１・第２ベース９４、９５の開口９４ｒ、９５ｒ(流路ｒ)を閉じる領域である。
【０２７７】
第１羽根部材９２の遮蔽部９２ｓは、一方面が連続して形成されるとともに他方面が凹み板厚が薄い第１の薄板部９２ｕ１(図４６(ｂ)、図４８参照)と他方面が連続して形成されるとともに一方面が凹み板厚が薄い第２の薄板部９２ｕ２(図４６(ｂ)、図４８参照)とを有する段差をもつ形状に形成されている。
第１の薄板部９２ｕ１、第２の薄板部９２ｕ２は、それぞれ略三角形の平面形状を有している。
【０２７８】
第１羽根部材９２は、駆動レバー９７の第１駆動ボス９７ａ１が摺動自在に嵌合される第１の長穴９２ｎと、第１ベース９４に立設される第１・第２案内ボス９４ｂ１、９４ｂ２が嵌合される第２の長穴９２ｍとが形成されている。
【０２７９】
第１羽根部材９２の第２の長穴９２ｍに第１・第２案内ボス９４ｂ１、９４ｂ２が嵌合されることで、第１羽根部材９２は第２の長穴９２ｍの長手方向にスライド移動(直線運動)するように案内される。
【０２８０】
また、駆動レバー９７の第１駆動ボス９７ａ１が第１羽根部材９２の第１の長穴９２ｎに嵌合されることで、駆動レバー９７の回転運動(図４６(ａ)、図４６(ｂ)の矢印α１、矢印α２参照)が、第１羽根部材９２のスライド移動(直線運動)(図４６(ａ)、図４６(ｂ)の矢印β１、矢印β２参照)に変換されて伝達される。
【０２８１】
第１羽根部材９２の遮蔽部９２ｓの端縁９２ｓ１は、第１ベース９４の第１抑えボス９４ｏ１に近接して設けられる。
上述の構成により、第１羽根部材９２の第２の長穴９２ｍが、第１ベース９４の第１・第２案内ボス９４ｂ１、９４ｂ２に挿通して設けられる第１ベース９４に、第２ベース９５が組み付けられた場合、第１ベース９４の第１・第２案内ボス９４ｂ１、９４ｂ２、第１抑えボス９４ｏ１の各先端部に、第１ベース９４の各ボス(９４ｂ１、９４ｂ２、９４ｏ１)より太い第２ベース９５の第２抑えボス９５ｏ２、第３抑えボス９５ｏ３、および第６抑えボス９５ｏ６が当接または近接する(図５０参照)。
【０２８２】
これにより、第１羽根部材９２が流体の圧力によりあおられるのが防止され、第１羽根部材９２の第２の長穴９２ｍが、第１ベース９４の第１・第２案内ボス９４ｂ１、９４ｂ２から抜けることが防止される。第１羽根部材９２があおられるとは、流体の圧力により第１羽根部材９２がその板厚方向に移動することを意味する。
【０２８３】
＜第２羽根部材９３＞
第２羽根部材９３は、板状の部材であり、遮蔽部９３ｓ(図４８参照)を有する。第２羽根部材９３の遮蔽部９３ｓは、第１・第２ベース９４、５の開口９４ｒ、９５ｒ(流路ｒ)を閉じる領域である。
【０２８４】
第２羽根部材９３の遮蔽部９３ｓは、一方面が連続して形成されるとともに他方面が凹み板厚が薄い第１の薄板部９３ｕ１(図４６(ｂ)、図４８参照)と、他方面が連続して形成されるとともに一方面が凹み板厚が薄い第２の薄板部９３ｕ２(図４６(ｂ)、図４８参照)とを有する段差をもつ形状に形成されている。
【０２８５】
第１の薄板部９３ｕ１、第２の薄板部９３ｕ２は、それぞれ略三角形の平面形状を有している。
第２羽根部材９３の第１の薄板部９３ｕ１と第２の薄板部９３ｕ２とは、図４６(ａ)に示す流路ｒが全閉時には、第１羽根部材９２の第２の薄板部９２ｕ２と第１の薄板部９２ｕ１とにそれぞれ重なって閉塞状態を形成する。この構成により、流路ｒの全閉時において、第１羽根部材９２と第２羽根部材９３との間に微小な隙間がある場合にも流路ｒに形成される隙間を、極力小さくできる。
【０２８６】
図４６(ａ)、(ｂ)に示すように、第２羽根部材９３は、駆動レバー９７の第２駆動ボス９７ｂ１が摺動自在に嵌合される第１の長穴９３ｎと、第１ベース９４に立設される第３・第４案内ボス９４ｂ３、９４ｂ４が嵌合される第２の長穴９３ｍとが形成されている。
第２羽根部材９３の第２の長穴９３ｍに第３・第４案内ボス９４ｂ３、９４ｂ４が嵌合されることで、第２羽根部材９３は第２の長穴９３ｍの長手方向にスライド移動(直線運動)するように案内される。
【０２８７】
また、駆動レバー９７の第２駆動ボス９７ｂ１が第２羽根部材９３の第１の長穴９３ｎに嵌合されることで、駆動レバー９７の回転運動(図４６(ａ)、図４６(ｂ)の矢印α１、矢印α２参照)が、第２羽根部材９３の直線運動(スライド移動)(図４６(ａ)、図４６(ｂ)の矢印γ１、矢印γ２参照)に変換されて伝達される。
【０２８８】
第２羽根部材９３の遮蔽部９３ｓの端縁９３ｓ１は、第１ベース９４の第２抑えボス９４ｏ２に近接して設けられる。
上述の構成により、第２羽根部材９３の第２の長穴９３ｍが、第１ベース９４の第３・第４案内ボス９４ｂ３、９４ｂ４に挿通して設けられる第１ベース９４に、第２ベース９５が組み付けられた場合、第１ベース９４の第３・第４案内ボス９４ｂ３、９４ｂ４、第２抑えボス９４ｏ２の各先端部に、第１ベース９４の各ボス(９４ｂ３、９４ｂ４、９４ｏ２)より太い第２ベース９５の第４抑えボス９５ｏ４、第５抑えボス９５ｏ５、および第７抑えボス９５ｏ７が当接または近接する(図５０参照)。
【０２８９】
これにより、第２羽根部材９３が流体の圧力によりあおられるのが防止され、第２羽根部材９３の第２の長穴９３ｍが、第１ベース９４の第３・第４案内ボス９４ｂ３、９４ｂ４から抜けることが防止される。第２羽根部材９３があおられるとは、第２羽根部材９３がその板厚方向に移動することを意味する。
【０２９０】
＜センサｓ１、ｓ２＞
図４６(ａ)、図４６(ｂ)に示すセンサｓ１、ｓ２は、第１・第２羽根部材９２・９３による流路ｒの全閉、全開動作を検出する検出部の一例である。
センサｓ１、ｓ２は、第１ベース４の凹部９４ｈ１に設置され、駆動レバー９７の第１のアーム９７ａの動作を検出することにより、流路ｒの全閉、全開動作を検出する。
【０２９１】
センサｓ１、ｓ２は、例えば、フォトインタラプタであり、それぞれ互いに対向して配置される発光部及び受光部を備える。発光部には例えば発光ダイオードが使用され、受光部には例えばフォトトランジスタが使用される。
駆動レバー９７の第１のアーム９７ａに被検出片９７ｈ１、９７ｈ２が取り付けられている。
【０２９２】
センサｓ１の発光部及び受光部間に、全閉時に被検出片９７ｈ１が位置し受光部による受光が遮られる。センサｓ２の発光部及び受光部間に、全開時に被検出片９７ｈ２が位置して受光部による受光が遮られる。これによって、全閉時に被検出片９７ｈ１が検出され、全開時に９７ｈ２が検出され、駆動レバー９７の位置が検出される。
【０２９３】
図４６(ａ)に示すように、センサｓ１は、第１・第２羽根部材９２・９３の流路ｒの全閉動作時の第１のアーム９７ａの被検出片９７ｈ１を検出する位置に、第１ベース９４の平板部９４ｈに設置される。図４６(ｂ)に示すように、センサｓ２は、第１・第２羽根部材９２・９３の流路ｒの全開動作時の第１のアーム９７ａの被検出片９７ｈ２を検出する位置に、第１ベース９４の平板部９４ｈに設置される。
【０２９４】
前記の制御装置は、センサｓ１、ｓ２の検出結果に基づいて、モータ９６の駆動を停止したり、モータ９６の初期状態を補正したりするなどの制御を行う。
なお、センサｓ１、ｓ２は、第１・第２羽根部材９２・９３の開閉状態を検出できれば、光以外の磁気、静電容量、機械的動作などを検出するセンサでもよく、その検出媒体は光に限られないのは勿論である。
【０２９５】
＜流量制御装置１Ａの流路ｒの閉動作＞
流量制御装置１Ａが、図４５(ｂ)、図４６(ｂ)に示す全開状態にある場合、センサｓ２により第１のアーム９７ａの被検出片９７ｈ２を検出しており、第１のアーム９７ａが開動作の位置にあることが制御装置で検知されている。
制御装置から、モータ９６に駆動信号(開信号)が送信されるとモータ９６が駆動され、ピニオン９６ｐが回転する。そして、ピニオン９６ｐに噛み合う駆動レバー９７の減速ギア９７ｇが回転し、駆動レバー９７が矢印α２方向(図４６(ｂ)参照)に回動する。
【０２９６】
駆動レバー９７の矢印α２方向の回動により、駆動レバー９７の第１駆動ボス９７ａ１が、第１羽根部材９２の第１の長穴９２ｎの嵌合により、第１羽根部材９２を閉じる方向(図４６(ｂ)の矢印β２方向)にスライド移動させる。また、駆動レバー９７の第２駆動ボス９７ｂ１が、第２羽根部材９３の第１の長穴９３ｎの嵌合により、第２羽根部材９３を閉じる方向(図４６(ｂ)の矢印γ２方向)にスライド移動させる。
【０２９７】
駆動レバー９７の矢印α２方向の回動が継続され、図４６(ａ)に示すように、センサｓ１が第１のアーム９７ａの被検出片９７ｈ１を検出すると、制御装置から停止信号がモータ９６に送信される。すると、モータ９６が停止され、流量制御装置１Ａは、第１・第２羽根部材９２、９３により全閉状態となり、全閉状態が維持される(図１(ａ)参照)。
【０２９８】
ここで、図４５(ａ)に示す全閉状態で第１・第２羽根部材９２、９３を停止させる際、第１・第２羽根部材９２、９３が互いに接触する手前、つまり第１・第２羽根部材９２、９３間に隙間を有して停止させる。これにより、第１羽根部材９２と第２羽根部材９３とが、制御誤差、部材の寸法誤差などにより衝突し、損壊や破壊することを防ぐことができる。
【０２９９】
図５１は、流量制御装置が全閉状態の際の第１羽根部材と第２羽根部材とが重なった箇所の断面図である。
図５１に示すように、第１羽根部材９２と第２羽根部材９３とが重なる第１羽根部材９２の第２の薄板部９２ｕ２と第２羽根部材９３の第１の薄板部９３ｕ１との間および第１羽根部材９２の第１の薄板部９２ｕ１と第２羽根部材９３の第２の薄板部９３ｕ２との間に隙間ｇ１をもつ構成としている。
【０３００】
これは、第１羽根部材９２と第２羽根部材９３とが独立してスライド移動することから、第１羽根部材９２と第２羽根部材９３とが板厚方向に振れるおそれがある。そこで、第１羽根部材９２と第２羽根部材９３との重なり箇所に予め隙間ｇ１を形成することで、第１羽根部材９２と第２羽根部材９３との閉動作時、互いに衝突することを回避することができる。
【０３０１】
＜流量制御装置１Ａの流路ｒの開動作＞
流量制御装置１Ａの全閉状態時に制御装置から、モータ９６（図４６（ａ）参照）に駆動信号(閉信号)が送信されるとモータ９６が駆動され、ピニオン９６ｐが回転する。そして、ピニオン９６ｐに噛み合う駆動レバー９７の減速ギア９７ｇが回転し、駆動レバー９７が矢印α１方向(図４６(ａ)参照)に回動する。
【０３０２】
駆動レバー９７の矢印α１方向の回動により、駆動レバー９７の第１駆動ボス９７ａ１が、第１羽根部材９２の第１の長穴９２ｎの嵌合により、第１羽根部材９２を開く方向(図４６(ａ)の矢印β１方向)にスライド移動させる。また、駆動レバー９７の第２駆動ボス９７ｂ１が、第２羽根部材９３の第１の長穴９３ｎの嵌合により、第２羽根部材９３を開く方向(図４６(ａ)の矢印γ１方向)にスライド移動させる。
【０３０３】
駆動レバー９７の矢印α１方向の回動が継続され、図４６(ｂ)に示すように、センサｓ２が第１のアーム９７ａの被検出片９７ｈ２を検出すると、制御装置から停止信号がモータ９６に送信される。すると、モータ９６が停止され、流量制御装置１Ａは、第１・第２羽根部材９２、９３により全開状態となり、全開状態が維持される(図４５(ｂ)参照)。
【０３０４】
上記構成によれば、下記の効果を奏する。
１．流量制御装置１の全開状態時、図４５(ｂ)、図４６(ｂ)に示すように、第１羽根部材９２と第２羽根部材９３とは、配管Ｋに連続する流路ｒの外方に位置するので、流路ｒに留まるものがない。そのため、全開状態時に流体の損失を従来より大きく低下させることができる。
【０３０５】
２．第１羽根部材９２と第２羽根部材９３とをモータ９６で開閉動作させてスライド移動させるので、流量制御装置１Ａの開閉動作の高分解能化が可能である。
【０３０６】
３．第１羽根部材９２と第２羽根部材９３とは、流体の流れに対して、第１ベース９４の平板部９４ｈにより面で支持しているため、剛性が高い。
【０３０７】
４．第１羽根部材９２に第１の薄板部９２ｕ１と第２の薄板部９２ｕ２とを設けるとともに、第２羽根部材９３に第２の薄板部９３ｕ２と第１の薄板部９３ｕ１とを設け、流量制御装置１Ａの全閉状態の際に重なる構成としている(図４６(ａ)参照)。これにより、流量制御装置１Ａの全閉状態時に第１羽根部材９２と第２羽根部材９３との間に形成される流体の流れ方向の隙間を可及的に小さくすることができる。
【０３０８】
５．配管Ｋの流体の流れ方向の上流に第２ベース９５を配置し、流れ方向の下流に第１ベース９４を配置して、第１羽根部材９２および第２羽根部材９３が流体の流れの圧力により、支持部材の第１ベース９４に押し当てられる構成としたので、第１羽根部材９２および第２羽根部材９３が支持部材の第１ベース９４から外れることが防止できる。
【０３０９】
６．配管Ｋの流体の流れ方向の上流に第２ベース９５を配置し、流れ方向の下流に第１ベース９４を配置して、第１羽根部材９２、および第２羽根部材９３が流体の流れの圧力により、支持部材の第１ベース９４に押し当てられる構成としたので、第１羽根部材９２および第２羽根部材９３が第１ベース９４の平板部９４ｈに押し当てられ、第１羽根部材９２および第２羽根部材９３と第１ベース９４との密閉性を高めることができる。
【０３１０】
７．第１羽根部材９２と第２羽根部材９３とを同期して移動させるので、一つの駆動源のモータ９６により駆動でき、駆動源を最小数にできる。そのため、構成が簡素であり、生産コストを削減できる。
【０３１１】
８．第２のベース部材９５に第１〜第７抑えボス９５ｏ１〜９５ｏ７を一体に立設して、駆動レバー９７、第１羽根部材９２、および第２羽根部材９３を抑えるので、駆動レバー９７、第１羽根部材９２、および第２羽根部材９３があおられて抜け出ることを防止できる。
【０３１２】
９．第１〜第７抑えボス９５ｏ１〜９５ｏ７は第２のベース部材９５に一体に形成されるので、一体成形が行え、製造コストを低減できる。また、第１のベース部材９４と第２のベース部材９５とを組み立てるだけで、駆動レバー９７、第１羽根部材９２、および第２羽根部材９３を抑える構造が完成するので、組み立て性が良好であり、組み立てコストを低減できる。
【０３１３】
１０．駆動レバー９７、第１羽根部材９２、および第２羽根部材９３の摺動箇所に軸受を設けたので、駆動レバー９７、第１羽根部材９２、および第２羽根部材９３の動作が円滑に安定して遂行でき、動作信頼性が高い。
【０３１４】
１１．流量制御装置１Ａは、第１羽根部材９２と第２羽根部材９３とをスライド移動させて、流路ｒを開閉する構成なので薄型構造であり、コンパクト化が可能である。
【０３１５】
１２．全開時に流路に部材が存在しない構成とできるので、流量を最大限に大きくできる。また、全閉時に流量を極限近傍に制御することができる。
【０３１６】
１３．以上のことから、全開時に流路に存在するものがなく損失を少なくできる簡素な構成の流量制御装置およびこれを備えた車両を実現できる。結果として、動作信頼性、耐久性が高い流量制御装置およびこれを備えた車両を実現できる。
【０３１７】
＜＜変形例１＞＞
図５２は、変形例１の流量制御装置の全閉状態の第１羽根部材と第２羽根部材とが重なった箇所の断面図である。
変形例１は、実施形態４の流量制御装置１Ａの全閉状態における第１羽根部材９２と第２羽根部材９３との重なり構造(図５１参照)の他例を示すものである。
【０３１８】
変形例１の第１羽根部材２２の先端部には、凹部２２ｏが形成されている。一方、変形例１の第２羽根部材２３の先端部には、凸部２３ｔが形成されている。
そして、流量制御装置１Ａが全閉状態に際しては、図５２に示すように、第１羽根部材２２の先端部の凹部２２ｏに、第２羽根部材２３の先端部の凸部２３ｔが嵌入される。
【０３１９】
これにより、全閉状態時に第１羽根部材２２と第２羽根部材２３との間に形成される流体が流れる方向に形成される隙間を可及的に小さくすることができる。
また、第１羽根部材２２の先端部の凹部２２ｏに、第２羽根部材２３の先端部の凸部２３ｔが完全に嵌入されるので、流体の漏れが流体の粘性により、より小さくできる。
【０３２０】
＜＜変形例２＞＞
図５３は、変形例２の流量制御装置の全閉状態の第１羽根部材と第２羽根部材とが重なった箇所の断面図である。
変形例２は、実施形態４の流量制御装置１Ａの全閉状態における第１羽根部材９２と第２羽根部材９３との重なり構造(図５１参照)の他例を示すものである。
【０３２１】
変形例２の第１遮蔽羽根部材１３２の先端部には、断面三角形状の凹部１３２ｏが形成されている。一方、変形例２の第２羽根部材１３３の先端部には、断面三角形状の凸部１３３ｔが形成されている。
【０３２２】
そして、流量制御装置１Ａが全閉状態に際しては、図５３に示すように、第１羽根部材１３２の先端部の凹部１３２ｏに、第２羽根部材１３３の先端部の凸部１３３ｔが近接される。これにより、全閉状態時に第１羽根部材１３２と第２羽根部材１３３との間に形成される流体が流れる方向に形成される隙間を可及的に小さくすることができる。
【０３２３】
＜＜変形例３＞＞
図５４ (ａ)は、変形例３の流量制御装置が閉弁した際の内部構成を示す前面図であり、図５４(ｂ)は、変形例３の流量制御装置が開弁した際の構成を示す前面図である。
【０３２４】
変形例３は、実施形態４の第１羽根部材９２における第１の薄板部９２ｕ１と第２の薄板部９２ｕ２および第２羽根部材９３における第１の薄板部９３ｕ１と第２の薄板部９３ｕ２を無くしたものである。その他の形状は、実施形態４と同様であるから同様な構成要素には同一の符号を付して示し、詳細な説明は省略する。
変形例３の第１羽根部材１４２、第２羽根部材１４３はそれぞれ、実施形態４と異なり薄板部がない平板形状である。
【０３２５】
変形例３によれば、流量制御装置の開弁時に、第１羽根部材１４２と第２羽根部材１４３とを流路ｒの外方に配置できる。そのため、流路ｒを流れる流体の障害となるものがなく、流体の損失が低下する。
ところで、変形例３の場合、図５４(ａ)に示すように、流量制御装置が閉弁した際に、第１羽根部材１４２と第２羽根部材１４３との間に、制御の関係から隙間ｇ２が形成される。
【０３２６】
図５５(ａ)は、変形例３の他例の流量制御装置が閉弁した際の内部構成を示す前面図であり、図５５(ｂ)は、変形例３の他例の流量制御装置が開弁した際の構成を示す前面図である。
【０３２７】
そこで、変形例３の他例の流量制御装置は、薄板部がない平板形状の第１羽根部材１５２の先端部にラバー部１５２ｒを取り付けるとともに、薄板部がない平板形状の第２羽根部材１５３の先端部にラバー部１５３ｒを取り付けたものである。
【０３２８】
変形例３の他例によれば、図５５(ａ)に示すように、流量制御装置の全閉時、第１羽根部材１５２の先端部のラバー部１５２ｒと第２羽根部材１５３の先端部のラバー部１５３ｒとがそれぞれ変形することで、第１羽根部材１５２と第２羽根部材１５３との間に形成される隙間を塞ぐことができる。
【０３２９】
なお、ラバー部１５２ｒ、１５３ｒはゴムなど柔軟に変形して第１羽根部材１５２と第２羽根部材１５３との間の隙間を塞げれば、材質は任意である。
また、ラバー部は第１羽根部材１５２または第２羽根部材１５３の何れか一方に設ける構成としてもよい。
【０３３０】
＜＜その他の実施形態＞＞
１．流体の流れ方向を第１ベース９４から第２ベース９５への方向に構成してもよい。
この場合、第２ベース５側に第１・第２羽根部材９２・９３が当接して密閉されるような平面部領域を形成するとよい。
【０３３１】
２．第２のベース部材９５に一体に第１〜第７抑えボス９５ｏ１〜９５ｏ７を形成し、駆動レバー９７、第１羽根部材９２、および第２羽根部材９３の抜け防止構造としたが、第２のベース部材９５に圧入などで第１〜第７抑えボス９５ｏ１〜９５ｏ７を固定する構成としてもよい。
【０３３２】
３．或いは、駆動レバー９７が支持される支軸ボス９４ｊの上方から抑え部品を取り付けるとともに、第１羽根部材９２に係る第２〜第４抑えボス９５ｏ２〜９５ｏ４の上方から抑え部品を取り付け、また、第２羽根部材９３に係る第５〜第７抑えボス９５ｏ５〜９５ｏ７の上方から抑え部品を取り付けて、駆動レバー９７、第１羽根部材９２、および第２羽根部材９３の抜けを防止する構造としてもよい。
【０３３３】
なお、実施形態４で説明した第２のベース部材９５に一体に第１〜第７抑えボス９５ｏ１〜９５ｏ７を形成する構成は最も簡単に構成でき、組み立ても容易なので、生産性、コストなどの点から最も好ましい。
５．実施形態１、２、変形例等では、様々な構成を説明したが、説明した構成を適宜選択して組み合わせて構成してもよい。
【０３３４】
以上、本発明は、前記した実施形態１、２、変形例等に限定されるものでなく、様々な実施形態が含まれる。例えば、上記した実施形態は本発明を分り易く説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。例えば、説明した構成の一部を含むものであってもよい。また、本発明の具体的形態は、特許請求の範囲に記載した構成を満たせば、様々な変形形態を採用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【０３３５】
本発明の流量制御装置１、１Ａは、内燃機関のスロットル装置等、各種流体の流量を制御する弁装置に適用可能である。また、本発明は、流量制御装置１、１Ａを内燃機関のスロットル装置等として備えられる車両（例えば、電車・自動車など、旅客・貨物を輸送するための車） としても具現化することができる。
例えば、本発明の流量制御装置１は、空調装置、空調設備の各種の弁としても使用できる。つまり、本発明の流量制御装置１は、気体に適用される各種の弁に適用可能である。
【符号の説明】
【０３３６】
１、１Ａ、Ａ１、Ａ２、Ａ２１、Ａ２２、Ａ２３  流量制御装置
１０    ベース
１２ｄ  開口部
１２ｅ  リブ
１４    ばね
２０    モータ
４０    減速ギア（減速機構）
５０    リング部材
５０ｓ  遮蔽板（第２位置検出手段）
５２    溝部
５４    被検出片（被検出部）
６０，６０Ａ  羽根部材
６０ａ  第１羽根部材（羽根部材）
６０ｂ  第２羽根部材（羽根部材）
６０ｄ１、６０ｄ２  弾性部材（変形密閉手段）
６２、８２  突起部
６３ａ  弾性部材
６３ｅ  弾性部材
６３ｅ３  第１かぎ状部（係合する形状）
６３ｅ４  第２かぎ状部（係合する形状）
６３ｒ  ラバー（弾性部材）
６６    第１抑え部材（固定部材）
６７    第２抑え部材（固定部材）
７１    センサ、原点センサ（検出部、第２位置検出手段）
７２  エンドセンサ（第２位置検出手段）
７８ａ、７８ｂ、７８ｃ  センサ（第１位置検出手段）
７８ａ１、７８ｂ１、７８ｃ１  センサ（第１位置検出手段、羽根部材回動動作検出手段）
７８ａ２、７８ｂ２、７８ｃ２  センサ（第１位置検出手段、羽根部材回動動作検出手段）
７９、８０、８１  被検出ギア（第１位置検出手段）
７９ａ、８０ａ、８１ａ  被検出ギア（第１位置検出手段、羽根部材回動動作検出手段）
７９ｄ、８０ｄ、８１ｄ  被検出ギア（第１位置検出手段、羽根部材回動動作検出手段）
７９ａ１  第１凸部（遮光部）
７９ａ２  第２凸部（遮光部）
７９ａ３  第３凸部（遮光部）
７９ａ４  第４凸部（遮光部）
７９ｂ  位置決め孔（位置調整手段）
７９ｂ１  第１凹部（通光部）
７９ｂ２  第２凹部（通光部）
７９ｂ３  第３凹部（通光部）
７９ｃ  挿通孔（位置調整手段）
８２ｇ  溝部との接触箇所
９２、２２、１３２、１４２、１５２  第１羽根部材（羽根部材）
９２ｕ１  第１の薄板部(凸部、凹部)
９２ｕ２  第２の薄板部(凹部、凸部)
９３、２３、３３、１４３、１５３  第２羽根部材（羽根部材）
９３ｕ１  第１の薄板部(凸部、凹部)
９３ｕ２  第２の薄板部(凹部、凸部)
９４  第１ベース(ベース部材)
９４ｒ  開口(開口部)
９５  第２ベース(ベース部材)
９５ｒ  開口(開口部)
９６  モータ(移動手段)
９６ｐ  ピニオン(移動手段)
９７  駆動レバー(移動手段)
９７ｇ  減速ギア(移動手段)
１５２ｒ、１５３ｒ  ラバー部(閉塞部材)
ｂ１、ｂ２  ねじの挿通孔（位置調整手段）
ｂｋ    ブラケット（位置調整手段）
Ｋ      配管
ｗｐ    移動閉塞部材（重畳羽根部材間移動密閉手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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【国際調査報告】
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2016052372.tif 000061
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