(57)【要約】  インクジェット装置内に貯留されているインク中の混合溶媒の組成比の変化を抑制することができるインクの成分管理方法を提供する。機能性材料と第１溶媒と第１溶媒よりも沸点と粘度がともに高い第２溶媒とを含むインクを負圧環境下で内部に貯留し、貯留されたインクをノズルを通じて外部に吐出するインクジェット装置１００において、インクの成分を管理するインクの成分管理方法であって、第１溶媒の単位時間当たりの揮発量と第２溶媒の単位時間当たりの揮発量に応じた混合比率で、第１溶媒と同種の溶媒と、第２溶媒と同種の溶媒とが混合された混合溶媒を準備し、準備された混合溶媒をインクジェット装置１００内に貯留されたインクに追加する。
2016002168.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能性材料と第１溶媒と前記第１溶媒よりも沸点と粘度がともに高い第２溶媒とを含むインクを負圧環境下で内部に貯留し、貯留された前記インクをノズルを通じて外部に吐出するインクジェット装置において、前記インクジェット装置内に貯留された前記インクの成分を管理するインクの成分管理方法であって、
前記第１溶媒の単位時間当たりの揮発量と前記第２溶媒の単位時間当たりの揮発量に応じた混合比率で、前記第１溶媒と同種の溶媒と、前記第２溶媒と同種の溶媒とが混合された混合溶媒を準備し、準備された前記混合溶媒を前記インクジェット装置内に貯留された前記インクに追加する、
インクの成分管理方法。
【請求項２】
前記第１溶媒と同種の溶媒の単位時間当たりの揮発量と、前記第２溶媒と同種の溶媒の単位時間当たりの揮発量との比率Ｒは、前記第１溶媒と同種の溶媒の室温における単位体積当たりの質量をａとし、前記第１溶媒と同種の溶媒の分子量をＭaとし、前記第１溶媒と同種の溶媒の室温における蒸気圧をＰaとし、前記第２溶媒と同種の溶媒の室温における単位体積当たりの質量をｂとし、前記第２溶媒と同種の溶媒の分子量をＭbとし、前記第２溶媒と同種の溶媒の室温における蒸気圧をＰbとし、前記第１溶媒の体積と前記第２溶媒の体積の混合比をＡ：Ｂとしたとき、以下の関係式で求められる、
Ｒ＝（Ａａ／Ｂｂ）×（Ｍb／Ｍa）×（Ｐa／Ｐb）
請求項１に記載のインクの成分管理方法。
【請求項３】
前記混合溶媒は、単位時間当たりの追加量Ｑ１で前記インクに追加され、
前記追加量Ｑ１は、前記混合溶媒を追加しない状態で前記インクを前記インクジェット装置内に貯留した場合の前記インクの粘度の平均時間変化率をＣ１とし、前記混合溶媒を前記インクに追加した場合に前記混合溶媒の追加量に対する前記インクの粘度の平均変化率をＣ２としたとき、以下の関係式で求められる、
Ｑ１＝Ｃ１／Ｃ２
請求項１に記載のインクの成分管理方法。
【請求項４】
前記インクジェット装置は、前記ノズルを有するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドに連結され前記インクジェットヘッドに供給するための前記インクを貯留するＩＮタンクと、を備え、
前記ＩＮタンクに前記混合溶媒を追加することにより、前記インクジェット装置内に貯留されている前記インクに前記混合溶媒を追加する、
請求項１に記載のインクの成分管理方法。
【請求項５】
前記混合溶媒は、前記インクジェット装置内に貯留されている前記インクよりも高い圧力環境下で保管されている、
請求項１に記載のインクの成分管理方法。
【請求項６】
前記機能性材料は、高分子の有機材料である、
請求項１に記載のインクの成分管理方法。
【請求項７】
機能性材料と第１溶媒と前記第１溶媒よりも沸点と粘度がともに高い第２溶媒とを含むインクを負圧環境下で内部に貯留し、貯留された前記インクをノズルを通じて外部に吐出するインクジェット装置と、
前記インクジェット装置に配管を通じて連結され、前記第１溶媒の単位時間当たりの揮発量と前記第２溶媒の単位時間当たりの揮発量に応じた混合比率で、前記第１溶媒と同種の溶媒と、前記第２溶媒と同種の溶媒とが混合された混合溶媒を貯留する混合溶媒タンクと、
前記配管に設けられたバルブと、
前記バルブを制御することにより、前記混合溶媒タンクに貯留された前記混合溶媒を前記インクジェット装置内に追加させる制御ユニットと、
を備えるインクジェットシステム。
【請求項８】
前記第１溶媒と同種の溶媒の単位時間当たりの揮発量と、前記第２溶媒と同種の溶媒の単位時間当たりの揮発量との比率Ｒは、前記第１溶媒と同種の溶媒の室温における単位体積当たりの質量をａとし、前記第１溶媒と同種の溶媒の分子量をＭaとし、前記第１溶媒と同種の溶媒の室温における蒸気圧をＰaとし、前記第２溶媒と同種の溶媒の室温における単位体積当たりの質量をｂとし、前記第２溶媒と同種の溶媒の分子量をＭbとし、前記第２溶媒と同種の溶媒の室温における蒸気圧をＰbとし、前記第１溶媒の体積と前記第２溶媒の体積の混合比をＡ：Ｂとしたとき、以下の関係式で求められる、
Ｒ＝（Ａａ／Ｂｂ）×（Ｍb／Ｍa）×（Ｐa／Ｐb）
請求項７に記載のインクジェットシステム。
【請求項９】
前記混合溶媒は、単位時間当たりの追加量Ｑ１で前記インクに追加され、
前記追加量Ｑ１は、前記混合溶媒を追加しない状態で前記インクを前記インクジェット装置内に貯留した場合の前記インクの粘度の平均時間変化率をＣ１とし、前記混合溶媒を前記インクに追加した場合に前記混合溶媒の追加量に対する前記インクの粘度の平均変化率をＣ２としたとき、以下の関係式で求められる、
Ｑ１＝Ｃ１／Ｃ２
請求項７に記載のインクジェットシステム。
【請求項１０】
前記インクジェット装置は、前記ノズルを有するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドに連結され前記インクジェットヘッドに供給するための前記インクを貯留するＩＮタンクと、を備え、
前記ＩＮタンクに前記混合溶媒を追加することにより、前記インクジェット装置内に貯留されている前記インクに前記混合溶媒を追加する、
請求項７に記載のインクジェットシステム。
【請求項１１】
前記混合溶媒は、前記インクジェット装置内に貯留されている前記インクよりも高い圧力環境下で保管されている、請求項７に記載のインクジェットシステム。
【請求項１２】
前記機能性材料は、高分子の有機材料である、
請求項７に記載のインクジェットシステム。
【請求項１３】
下地基板を準備し、
前記下地基板上に第１電極を形成し、
前記第１電極の上方に前記機能性材料で構成される機能層を、請求項７に記載のインクジェットシステムを用いて形成し、
前記機能層の上方に第２電極を形成する、
有機ＥＬ表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット装置内に貯留されるインクの成分管理方法、これを適用したインクジェットシステム、及び、インクジェットシステムを用いて有機ＥＬ（Electro-Luminescence）表示装置を製造する製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、研究開発が進んでいる有機ＥＬ素子は、有機材料の電界発光現象を利用した発光素子であって、陽極と陰極との間に発光層が設けられている。一般に、有機ＥＬ素子は、絶縁材料からなるバンクで仕切られていて、このバンク間に陽極、発光層、陰極が形成される。また、陽極と陰極との間には、発光層の他に、必要に応じて、電荷注入層、電荷輸送層等が設けられる。発光層、電荷注入層、電荷輸送層等を総称して機能層と称する。【０００３】
そして、有機ＥＬ素子がマトリクス状に配列されて、有機ＥＬ表示装置を構成する。有機ＥＬ表示装置を製造する際には、基板上に機能層を形成する工程がある。近年、基板の大型化に伴い、機能層を形成するためにインクジェット装置を備えるインクジェットシステムが多く用いられている。インクジェット装置は、機能性材料を溶媒に溶解させたインクを、基板上に形成された一対のバンク間に塗布して機能層を形成する。また、有機ＥＬ表示装置において高精細な画像を得るために、各有機ＥＬ素子の一辺の長さを５００μｍ以下の微小サイズで形成することが要請されている。このような微小サイズの有機ＥＬ素子においては、各有機ＥＬ素子の機能層の膜厚も数十〜数百ｎｍと薄く形成する必要がある。そのため、よりシビアな機能層の膜厚と平坦性の制御が要求される。【０００４】
そこで、低粘度且つ低沸点の第１溶媒と、高粘度且つ高沸点の第２溶媒とを適切な比率で混合した溶媒に機能性材料を溶解させたインクを準備する。そして、このインクを基板上に塗布することで膜厚が有機ＥＬ表示装置の全面において均一且つ平坦な機能層を形成する方法が提案されている（特許文献１）。第１溶媒と第２溶媒とを混合した溶媒を使用したインクを用いることで、インク吐出時はインクを低粘度に維持する。そして、バンク間に塗布後は速やかに低沸点の第１溶媒を蒸発させることでインクを一気に高粘度化し、インクの流動を抑制する。特許文献１には、第１溶媒と第２溶媒の組成比を適切に調整することで機能層の平坦度を高めることができると記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−２１４３９７号公報
【特許文献２】特開２００７−６９１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
インクジェットシステムでは、インクジェット装置内にインクを貯留しておき、インクジェット装置内のインクジェットヘッドに設けられたノズルからインクを基板上に吐出する。通常、インクジェット装置内のインクは、ノズルから自重で漏れ出すことのないように負圧環境下で貯留されている。しかし、一方で、インクジェット装置内のインクを負圧環境下で貯留するとインクから溶媒が揮発することがある。すると、時間の経過とともに、インクの濃度が高まるので、インクの粘度が増大することがある。インクの粘度が増大すると、ノズルからの吐出量が変化することが起こり得る。そのため、初期のインクを用いて製造された製品と、長時間貯留されたインクを用いて製造された製品とで、機能層の膜厚が異なり、その結果、有機ＥＬ表示装置の電気特性及び光学特性を大きく変化させ、発光効率の低下及び色度の悪化を引き起こすことが懸念される。【０００７】
これに対して、第１溶媒と同種の溶媒と第２溶媒と同種の溶媒を混合した混合溶媒を準備し、定期的または不定期にインクジェット装置内のインクに追加することが考えられる。混合溶媒の混合比率は、単純に、初期のインクに含まれる第１溶媒と第２溶媒の混合比率に一致させることが考えられる。【０００８】
しかしながら、このような混合溶媒をインクに追加した場合、インクの濃度が低下するのでインクの粘度の増大を抑制することはできるものの、インク内の第１溶媒と第２溶媒の組成比が初期のインクの組成比からずれてしまうことが分かった。【０００９】
そこで、本発明は、インクジェット装置内に貯留されているインク中の混合溶媒の組成比の変化を抑制することができるインクの成分管理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、本発明の一態様に係るインクの成分管理方法は、機能性材料と第１溶媒と前記第１溶媒よりも沸点と粘度がともに高い第２溶媒とを含むインクを負圧環境下で内部に貯留し、貯留された前記インクをノズルを通じて外部に吐出するインクジェット装置において、前記インクジェット装置内に貯留された前記インクの成分を管理するインクの成分管理方法であって、前記第１溶媒の単位時間当たりの揮発量と前記第２溶媒の単位時間当たりの揮発量に応じた混合比率で、前記第１溶媒と同種の溶媒と、前記第２溶媒と同種の溶媒とが混合された混合溶媒を準備し、準備された前記混合溶媒を前記インクジェット装置内に貯留された前記インクに追加する。
【発明の効果】
【００１１】
第１溶媒と第２溶媒の沸点は異なるので、各溶媒の単位時間当たりの揮発量も異なる。そのため、初期のインクに含まれる各溶媒の組成比に一致させた混合溶媒を追加したのでは、インクジェット装置内に貯留されているインク中の混合溶媒の組成比が、初期のインク中の混合溶媒の組成比から変化してしまう。そこで、本発明の一態様に係るインクの成分管理方法では、各溶媒の単位時間当たりの揮発量に応じた混合比率で準備された混合溶媒を追加する。【００１２】
これにより、インクジェット装置内に貯留されているインク中の混合溶媒の組成比の変化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施の形態に係るインクジェットシステム１を示す模式図である。
【図２】実施の形態に係るインクジェット装置１００を示す斜視図である。
【図３】温度と蒸気圧及び沸点の関係を説明するための模式図である。
【図４】インク中の第１溶媒と第２溶媒の組成比の経時変化を説明するための模式図である。
【図５】インクの粘度とインク導入後経過日数との関係を示すグラフである。
【図６】インクに混合溶媒を追加したときのインクの粘度と混合溶媒の追加量との関係を示すグラフである。
【図７】制御ユニット１３のフローチャートの全体図である。
【図８】図７における追加処理のフローチャートである。
【図９】図７における補充処理のフローチャートである。
【図１０】（ａ）は、１メチルナフタレンとヘプチルベンゼンを質量比２：８で混合した混合溶媒を用いたインクで機能層を形成した時の機能層の表面形状の測定結果である。（ｂ）は、１メチルナフタレンとヘプチルベンゼンを質量比３：７で混合した混合溶媒を用いたインクで機能層を形成した時の機能層の表面形状の測定結果である。
【図１１】実施の形態に係る有機ＥＬ表示装置１００００の概略構成を示す模式図である。
【図１２】有機ＥＬ表示パネル３０００における有機ＥＬ素子１００１Ｒ、１００１Ｇ、１００１Ｂの配置形態を示す平面図である。
【図１３】図１４のＡ−Ａ断面を示す断面図である。
【図１４】有機ＥＬ表示パネル３０００の製造工程を示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明を実施するための形態を、図面を参照して詳細に説明する。
＜発明の態様＞
本発明の一態様に係るインクの成分管理方法では、機能性材料と第１溶媒と前記第１溶媒よりも沸点と粘度がともに高い第２溶媒とを含むインクを負圧環境下で内部に貯留し、貯留された前記インクをノズルを通じて外部に吐出するインクジェット装置において、前記インクジェット装置内に貯留された前記インクの成分を管理するインクの成分管理方法であって、前記第１溶媒の単位時間当たりの揮発量と前記第２溶媒の単位時間当たりの揮発量に応じた混合比率で、前記第１溶媒と同種の溶媒と、前記第２溶媒と同種の溶媒とが混合された混合溶媒を準備し、準備された前記混合溶媒を前記インクジェット装置内に貯留された前記インクに追加する。
【００１５】
また、本発明の別の態様では、前記第１溶媒と同種の溶媒の単位時間当たりの揮発量と、前記第２溶媒と同種の溶媒の単位時間当たりの揮発量との比率Ｒは、前記第１溶媒と同種の溶媒の室温における単位体積当たりの質量をａとし、前記第１溶媒と同種の溶媒の分子量をＭaとし、前記第１溶媒と同種の溶媒の室温における蒸気圧をＰaとし、前記第２溶媒と同種の溶媒の室温における単位体積当たりの質量をｂとし、前記第２溶媒と同種の溶媒の分子量をＭbとし、前記第２溶媒と同種の溶媒の室温における蒸気圧をＰbとし、前記第１溶媒の体積と前記第２溶媒の体積の混合比をＡ：Ｂとしたとき、以下の関係式で求められる。
【００１６】
Ｒ＝（Ａａ／Ｂｂ）×（Ｍb／Ｍa）×（Ｐa／Ｐb）
また、本発明の別の態様では、前記混合溶媒は、単位時間当たりの追加量Ｑ１で前記インクに追加され、前記追加量Ｑ１は、前記混合溶媒を追加しない状態で前記インクを前記インクジェット装置内に貯留した場合の前記インクの粘度の平均時間変化率をＣ１とし、前記混合溶媒を前記インクに追加した場合に前記混合溶媒の追加量に対する前記インクの粘度の平均変化率をＣ２としたとき、以下の関係式で求められる。
【００１７】
Ｑ１＝Ｃ１／Ｃ２
また、本発明の別の態様では、前記インクジェット装置は、前記ノズルを有するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドに連結され前記インクジェットヘッドに供給するための前記インクを貯留するＩＮタンクと、を備え、前記ＩＮタンクに前記混合溶媒を追加することにより、前記インクジェット装置内に貯留されている前記インクに前記混合溶媒を追加してもよい。
【００１８】
また、本発明の別の態様では、前記混合溶媒は、前記インクジェット装置内に貯留されている前記インクよりも高い圧力環境下で保管されていてもよい。
【００１９】
また、本発明の別の態様では、前記機能性材料は、高分子の有機材料でもよい。
【００２０】
本発明の一態様に係るインクジェットシステムでは、機能性材料と第１溶媒と前記第１溶媒よりも沸点と粘度がともに高い第２溶媒とを含むインクを負圧環境下で内部に貯留し、貯留された前記インクをノズルを通じて外部に吐出するインクジェット装置と、前記インクジェット装置に配管を通じて連結され、前記第１溶媒の単位時間当たりの揮発量と前記第２溶媒の単位時間当たりの揮発量に応じた混合比率で、前記第１溶媒と同種の溶媒と、前記第２溶媒と同種の溶媒とが混合された混合溶媒を貯留する混合溶媒タンクと、前記配管に設けられたバルブと、前記バルブを制御することにより、前記混合溶媒タンクに貯留された前記混合溶媒を前記インクジェット装置内に追加させる制御ユニットと、を備える。
【００２１】
また、本発明の別の態様では、前記第１溶媒と同種の溶媒の単位時間当たりの揮発量と、前記第２溶媒と同種の溶媒の単位時間当たりの揮発量との比率Ｒは、前記第１溶媒と同種の溶媒の室温における単位体積当たりの質量をａとし、前記第１溶媒と同種の溶媒の分子量をＭaとし、前記第１溶媒と同種の溶媒の室温における蒸気圧をＰaとし、前記第２溶媒と同種の溶媒の室温における単位体積当たりの質量をｂとし、前記第２溶媒と同種の溶媒の分子量をＭbとし、前記第２溶媒と同種の溶媒の室温における蒸気圧をＰbとし、前記第１溶媒の体積と前記第２溶媒の体積の混合比をＡ：Ｂとしたとき、以下の関係式で求められる。
【００２２】
Ｒ＝（Ａａ／Ｂｂ）×（Ｍb／Ｍa）×（Ｐa／Ｐb）
また、本発明の別の態様では、前記混合溶媒は、単位時間当たりの追加量Ｑ１で前記インクに追加され、前記追加量Ｑ１は、前記混合溶媒を追加しない状態で前記インクを前記インクジェット装置内に貯留した場合の前記インクの粘度の平均時間変化率をＣ１とし、前記混合溶媒を前記インクに追加した場合に前記混合溶媒の追加量に対する前記インクの粘度の平均変化率をＣ２としたとき、以下の関係式で求められる。
【００２３】
Ｑ１＝Ｃ１／Ｃ２
また、本発明の別の態様では、前記インクジェット装置は、前記ノズルを有するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドに連結され前記インクジェットヘッドに供給するための前記インクを貯留するＩＮタンクと、を備え、前記ＩＮタンクに前記混合溶媒を追加することにより、前記インクジェット装置内に貯留されている前記インクに前記混合溶媒を追加してもよい。
【００２４】
また、本発明の別の態様では、前記混合溶媒は、前記インクジェット装置内に貯留されている前記インクよりも高い圧力環境下で保管されていてもよい。
【００２５】
また、本発明の別の態様では、前記機能性材料は、高分子の有機材料でもよい。
【００２６】
本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示装置の製造方法では、下地基板を準備し、前記下地基板上に第１電極を形成し、前記第１電極の上方に前記機能性材料で構成される機能層を、請求項７から１２のいずれかに記載のインクジェットシステムを用いて形成し、前記機能層の上方に第２電極を形成する。
＜実施の形態＞
（１）インクジェットシステム
図１は、インクジェットシステム１を示す模式図である。インクジェットシステム１は、インクジェットヘッド１０５と、インクジェットヘッド１０５にインクを供給するＩＮチューブ１０６及びＩＮタンク１０と、インクジェットヘッド１０５からインクを回収するＯＵＴチューブ１０７及びＯＵＴタンク１１を備える。ＩＮチューブ１０６には、インクジェットヘッド１０５に供給されるインクの流量を計測する流量計２３が備えられている。インクジェットヘッド１０５には、ＩＮチューブ１０６を通じて、ＩＮタンク１０からインクが供給される。インクジェットヘッド１０５からは、ＯＵＴチューブ１０７を通じて、ＯＵＴタンク１１にインクが回収される。インクジェット装置は、ＩＮタンク１０及びＩＮチューブ１０６と、流量計２３と、ＯＵＴタンク１１及びＯＵＴチューブ１０７と、インクジェットヘッド１０５とを含む（図２参照）。
【００２７】
実施の形態では、インクジェットシステム１は、有機ＥＬ表示パネルの機能層を塗布法で形成する際に、機能層を構成する機能性材料を基板上に塗布する工程で使用されるものとして説明する。インクは、溶質として機能性材料を含み、溶媒として第１溶媒と、第１溶媒よりも沸点と粘度がともに高い第２溶媒とを含む。
【００２８】
インクジェットシステム１は、さらに、混合溶媒タンク１２と補充タンク２１０を備える。混合溶媒タンク１２は、チューブ１０８を介してＩＮタンク１０と連結され、第１溶媒と同種の溶媒と、第２溶媒と同種の溶媒が混合された混合溶媒を貯留している。補充タンク２１０は、チューブ１１２を介してＩＮタンク１０と連結され、機能性材料と同種の材料と、第１溶媒と同種の溶媒と、第２溶媒と同種の溶媒とを含むインクを貯留している。ここで「同種」とは、物質または組成が同じであることを意味する。例えば、第１溶媒が１メチルナフタレンであれば、第１溶媒と同種の溶媒も１メチルナフタレンである。混合溶媒タンク１２内に貯留されている混合溶媒の組成比についての詳細は後で説明する。混合溶媒タンク１２とＩＮタンク１０とを連結するチューブ１０８には、混合溶媒の流量を調整するためのバルブ１５とポンプ１４が設けられている。また、混合溶媒タンク１２には、外部の空気を流入させるバルブ２２が設けられている。補充タンク２１０とＩＮタンク１０とを連結するチューブ１１２には、補充インクの流量を調整するためのバルブ２１２とポンプ２１１が設けられている。また、補充タンク２１０には、外部の空気を流入させるバルブ２１３が設けられている。
【００２９】
インクジェットシステム１は、所謂、循環型と称するシステムである。インクジェットシステム１は、ポンプ２４とチューブ１１１を備える。ＯＵＴタンク１１に回収されたインクは、ポンプ２４で引かれ、チューブ１１１を通ってＩＮタンク１０に再度、戻される。循環型のシステムでは、常時、インクジェットヘッド１０５内をインクが流れているため、インクの詰まりや固化を防止することができる。
【００３０】
インクジェットシステム１は、ＩＮタンク１０にチューブ１０９を介して繋がれ、ＩＮタンク１０内を負圧にするためのバルブ１７とポンプ１６を有し、ＩＮタンク内の圧力を計測する圧力計１８を有する。同様に、インクジェットシステム１は、ＯＵＴタンク１１にチューブ１１０を介して繋がれ、ＯＵＴタンク１１内を負圧にするためのバルブ２０とポンプ１９を有し、ＯＵＴタンク内の圧力を計測する圧力計２１を有する。
【００３１】
さらに、インクジェットシステム１は、インクジェットヘッド１０５と、各ポンプ及び各バルブを制御する制御ユニット１３を備える。制御ユニット１３は、ＩＮタンク１０内の圧力を圧力計１８で、ＯＵＴタンク１１内の圧力を圧力計２１でモニターしている。そして、制御ユニット１３は、バルブ１７及び２０を開けて、ポンプ１６及び１９を起動する指示を出す。ここで、制御ユニット１３は、ＩＮタンク内の圧力とＯＵＴタンク内の圧力に適切な差が生じるようにポンプ１６及び１９を制御する。この圧力差が、インクジェットヘッド１０５内のインクの循環の駆動力となる。インクジェットヘッド１０５内の圧力は、ＩＮタンク１０内の圧力とＯＵＴタンク１１内の圧力との間の値の負圧になっていると考えられる。これにより、インクがインクジェットヘッド１０５から自重で漏れ出すことを防止している。制御ユニット１３は、ポンプ２４を起動する指示も出し、インクを循環させている。
【００３２】
また、制御ユニット１３は、定期的または不定期にバルブ１５及び２１２を開けて、ポンプ１４及び２１１を起動する指示を出す。これにより、混合溶媒タンク１２からＩＮタンク１０に混合溶媒が追加され、補充タンク２１０からＩＮタンク１０に補充インクが補充される。尚、混合溶媒タンク１２にはバルブ２２で調整された流量の空気が流入するようにしておくか、または、ポンプ（不図示）を設け、当該ポンプが混合溶媒タンク１２からタンク内のガスを若干、引いておいてもよい。混合溶媒タンク１２内の圧力は、少なくとも、ＩＮタンク１０内及びＯＵＴタンク１１内の圧力よりも高くすることが好ましい。これにより、混合溶媒を混合溶媒タンク１２から、ＩＮタンク１０内にスムーズに流入させることが可能となる。同様に、補充タンク２１０にはバルブ２１３で調整された流量の空気が流入するようにしておくか、または、ポンプ（不図示）を設け、当該ポンプが補充タンク２１０からタンク内のガスを若干、引いておいてもよい。補充タンク２１０内の圧力は、少なくとも、ＩＮタンク１０内及びＯＵＴタンク１１内の圧力よりも高くすることが好ましい。これにより、補充インクを補充タンク２１０から、ＩＮタンク１０にスムーズに流入させることが可能となる。制御ユニット１３が、バルブ２２及びバルブ２１３を制御することとしてもよい。
【００３３】
さらに、制御ユニット１３は、時間の経過を測定する計時部１３ｃ、１４ｃ、２１１ｃを有し、計時部１３ｃにより測定された所定時間に応じた分量の混合溶媒を、混合溶媒タンク１２からＩＮタンク１０に追加する。制御ユニット１３の動作フローについては後で説明する。計時部１４ｃ、２１１ｃの動作についても制御ユニット１３の動作フローとともに説明する。
（２）インクジェット装置１００の構造
図２は、インクジェット装置１００を示す斜視図である。インクジェット装置１００は、インクジェットヘッド１０５と、ＩＮチューブ１０６を介してインクジェットヘッド１０５に連結されたＩＮタンク１０と、ＯＵＴチューブ１０７を介してインクジェットヘッド１０５に連結されたＯＵＴタンク１１とを有する。インクジェット装置１００は、さらに、ステージ１０１と、ステージ１０１上に設けられたスライダー１０２Ａと、スライダー１０２Ａが嵌め込まれたレール１０２Ｂを有する。また、インクジェット装置１００は、スライダー１０２Ａに突き当てられ、スライダー１０２Ａに固定された基台１０３を備える。基台１０３上には基板Ｓが搭載されている。基板Ｓは、基台１０３上に設けられた複数の吸気孔（不図示）で基台１０３にエアー吸着されている。インクジェット装置１００は、さらに、インクジェットヘッド１０５が固定されたガントリー１０４を有する。ＩＮチューブ１０６とＯＵＴチューブ１０７は、ガントリー１０４を介してインクジェットヘッド１０５と繋がっている。インクジェットヘッド１０５の基板Ｓと対向する側には複数のノズル（不図示）を有する。スライダー１０２Ａは、レール１０２Ｂ上をＸ軸方向にスライド可能である。基板Ｓが固定された基台１０３が、スライダー１０２Ａに押されて、レール１０２Ｂ上をＸ軸方向にスライドする。そして基板Ｓが固定された基台１０３が、ガントリー１０４の下を通過している間に、インクジェットヘッド１０５のノズルから基板Ｓ上にインクが塗布される。基板Ｓが固定された基台１０３が、ガントリー１０４の下を通過し終わった時には、基板Ｓの全面の所望の箇所にインクが塗布されている。
（３）混合溶媒タンク１２内の混合溶媒の組成比と追加量について
実施の形態では、インクは、機能性材料と、第１溶媒と、第１溶媒よりも沸点と粘度がともに高い第２溶媒とを含む。図３は、温度と蒸気圧及び沸点の関係を説明するための模式図である。液体の表面からは、常温でその液体の物質が揮発している。蒸気圧とは、ある温度において、その物質の気体が液体と平衡になる圧力のことである。ある温度における蒸気圧の高い物質は、その温度における蒸気圧の低い物質よりも揮発性が高い。よって、室温（例えば２０℃）における第１溶媒の蒸気圧Ｐaは、室温における第１溶媒の揮発し易さを指標していると考えられる。同様に、室温における第２溶媒の蒸気圧Ｐbは、室温における第２溶媒の揮発し易さを指標していると考えられる。ＰaはＰbより大きいので、第１溶媒は第２溶媒よりも揮発しやすい。
【００３４】
図４は、インク中の第１溶媒と第２溶媒の組成比の経時変化を説明するための模式図である。タンク内で、機能性材料Ｆと第１溶媒と第２溶媒とを混合してインクを作製する。室温におけるインク中の第１溶媒の単位体積当たりの質量をａ（ｇ／ｃｍ3）、第２溶媒の単位体積当たりの質量をｂ（ｇ／ｃｍ3）とし、第１溶媒の分子量をＭa、第２溶媒の分子量をＭbとする。また、第１溶媒の体積と第２溶媒の体積の混合比をＡ：Ｂとする。すると、インク作製直後の初期の状態（ｔ＝０）での第１溶媒の物質量ｎa（ｍｏｌ）と第２溶媒の物質量ｎb（ｍｏｌ）の比率Ｒnは、以下の通りとなる。
【００３５】
Ｒn＝ｎa／ｎb＝（Ａａ／Ｍa）／（Ｂｂ／Ｍb）＝（Ａａ／Ｂｂ）×（Ｍb／Ｍa）
インク液面付近においてもこの比率は同じであると仮定する。そして、インクの液面からは第１溶媒と第２溶媒が揮発する。その後、ある時間が経過したとする。既に説明したように、第１溶媒の蒸気圧Ｐaは、室温における第１溶媒の揮発し易さを指標する。また、第２溶媒の蒸気圧Ｐbは、室温における第２溶媒の揮発し易さを指標する。そうすると、第１溶媒の室温での単位時間当たりの揮発量Ｅa及び第２溶媒の単位時間当たりの揮発量Ｅbは、以下の通りとなる。ここでＣstは、インクの液面の表面積、タンクの内圧等により定まる比例定数である。
【００３６】
Ｅa＝Ｃst×（Ａａ／Ｍa）×Ｐa
Ｅb＝Ｃst×（Ｂｂ／Ｍb）×Ｐb
従って、第１溶媒の単位時間当たりの揮発量Ｅaと第２溶媒の単位時間当たりの揮発量Ｅbとの比率Ｒは、以下の通りとなる。
【００３７】
Ｒ＝Ｅa／Ｅb＝（Ａａ／Ｂｂ）×（Ｍb／Ｍa）×（Ｐa／Ｐb）
上記の揮発量の比率Ｒで第１溶媒と第２溶媒とが揮発していく。よって、初期の状態での第１溶媒の物質量と第２溶媒の物質量の比率Ｒnを維持するためには、インクから揮発した揮発量の比率Ｒで第１溶媒と第２溶媒とを混合した混合溶媒を追加すればよい。
【００３８】
上記で追加する混合溶媒の混合比率は決定したが、混合溶媒の追加量である体積Ｖ（ｃｍ3）をどのように決めればよいかが次に問題となる。ＩＮタンク１０内で溶媒が揮発すると、溶質である機能性材料の濃度が高くなるので、インクの粘度が増大することがある。機能性材料としては、例えば、平均分子量が１００００以上の高分子材料が用いられる。インクジェット装置では、インクの粘度が上昇すると、インクジェットのインクの液滴の体積が変動して、機能層の膜厚が設計値からずれてしまう。そのため、インクの粘度変化は、できるだけ抑制することが好ましい。インクの粘度は、粘度測定のばらつき等の関係から、１時間や１日のスケールでは、正しい粘度変化が得ることが難しい。実際の生産中に粘度測定をしながら粘度を一定値に近づけるように混合溶媒を追加してもよいが、生産前に、事前に、単位時間当たりの混合溶媒の追加量を決定しておくのがより現実的な手法である。そこで、実施の形態では、実際の生産前の準備段階として、まず、インクジェット装置内に貯留しているインクに追加する混合溶媒の単位時間当たりの体積Ｑ１（ｃｍ3）を事前に求めておく。そして、予め求められた単位時間当たりの追加量Ｑ１だけ生産段階で追加するという手法を取る。以下でその手法を説明する。
【００３９】
まず、インクの粘度の平均時間変化率Ｃ１を求める。バルブ１５を閉じて、インクを吐出させずにインクジェットシステム１を稼働させ続ける（図１参照）。この場合、インクを吐出しないので、ＩＮタンク内のインクの総量は一定となる。実際の生産段階ではインクを吐出してインクを消費していくが、生産によるインクの消費量に対してインクジェットシステム１内のインクの総量の方がはるかに多いので、インクの消費量の影響は無視できる場合がある。インクを無駄にしてもいいので、正確を期したい場合は、生産段階と同様に基板を流して、その基板にインクを吐出させ続けてもよい。また、実際のインクジェットシステム１を稼働させずに、実験室レベルのビーカーワークで求めてもよい。
【００４０】
ここで、インクジェットシステム１の稼働初期（ｔ＝０）のＩＮタンク１０内のインクと、稼働初期から数十日経過した時点でのＩＮタンク１０内のインクを採取する。そして、これらのインクの粘度を測定する。粘度の測定は、応力制御型の粘度計AR-G2 (TA Instruments)で行い、温度は、室温（２０℃）で行った。そして、インクジェットシステム１の稼働初期からの経過日数（インク導入後経過日数）と粘度との関係を求める。結果を図５に示す。この結果から、実施の形態では、約４０日で粘度が約１ｍＰａ・ｓｅｃだけ上昇していることが分かる。一般式で表すべく、時間ｘが経過した時に粘度がｙだけ上昇しているとすると、インクの粘度の平均時間変化率Ｃ１は、以下の通りとなる。
【００４１】
Ｃ１＝ｙ／ｘ・・・（ｉ）
次に、混合溶媒の体積に対するインクの粘度の平均変化率Ｃ２を求める。ここでは、インクジェットシステム１を使用せず、簡単のため、実験室レベルのビーカーワークで求める。ビーカー内に初期のインクを入れて蓋をする。そして、先に求めた比率の混合溶媒を追加していく。追加する混合溶媒の体積Ｖ（ｃｍ3）を計量し、その体積の混合溶媒を追加した時のビーカー内のインクを採取し、インクの粘度を測定する。結果を図６に示す。この結果から、粘度変化を抑えるために約１ｍＰａ・ｓｅｃだけ粘度を下げるには、Ｖ１（ｃｍ3）だけ混合溶媒を追加すればよいことが分かる。一般式で表すべく、追加する混合溶媒の体積がＶ１のとき、粘度がｙだけ減少するとすれば、混合溶媒の体積に対するインクの粘度の平均変化率Ｃ２は、以下の通りとなる。
【００４２】
Ｃ２＝ｙ／Ｖ１・・・（ｉｉ）
上記（ｉ）及び（ｉｉ）の関係から、インクの粘度変化を抑制するためにインクに追加する混合溶媒の単位時間当たりの体積Ｑ１は、以下の通りとなる。
【００４３】
Ｑ１＝Ｖ１／ｘ＝Ｃ１／Ｃ２
（４）制御ユニット１３の動作フローについて
（４−１）制御ユニット１３の動作フローの全体
製品の生産段階における制御ユニット１３の動作フローの全体を図７を用いて説明する。
【００４４】
制御ユニット１３がスタートすると、制御ユニット１３の計時部１３ｃがスタートする（ｔ１＝０、ステップＳ１）。制御ユニット１３は、生産指示があれば（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、生産処理（ステップＳ９）に入り、生産指示がなければ（ステップＳ２：Ｎｏ）、待機状態となる（ステップＳ３）。生産指示は、工場のオペレーターから受け付けるものである。インクジェットシステム１を有機ＥＬ表示パネルの生産に適用する場合、生産指示は、例えば、生産しようとするパネルの機種や、生産しようとする基板のトータル枚数Ｎ等の情報を含む。
【００４５】
生産指示があれば（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、まず、制御ユニット１３が、変数ｎを１に設定する（ステップＳ９）。ｎは自然数であり、何枚目の基板を処理しているかを表す変数である。次に、制御ユニット１３が、インクジェットヘッド１０５に塗布スタートの指示を出す（ステップＳ１０）。インクジェットヘッド１０５は、制御ユニット１３からインクの塗布の通知を受け付けると、予め定められたシーケンスで基板にインクを塗布する。その後、制御ユニット１３が、計時部１３ｃの時間ｔ１が所定時間Ｔに達しているかどうかを判断する（ステップＳ１１）。所定時間Ｔは、ＩＮタンク１０に混合溶媒を追加及び補充インクを補充する時間間隔であり、例えば、１時間、２時間、３時間のような時間単位、或いは、１日、２日、３日のような日単位で任意に設定される。計時部１３ｃの時間ｔ１が所定時間Ｔに達していなければ（ステップＳ１１：Ｎｏ）、インクジェットヘッド１０５から制御ユニット１３に、１枚目の基板の塗布が完了した旨の通知があるかどうかを判断する（ステップＳ１７）。完了通知がない場合は（ステップＳ１７：Ｎｏ）、まだ１枚目の基板がインクを塗布されている最中であるため、ステップＳ１１に戻る。完了通知がある場合は（ステップＳ１７：Ｙｅｓ）、ｎが生産しようとする基板のトータル枚数Ｎに達しているかどうかを判断する（ステップＳ１８）。ｎがＮに達していれば（ステップＳ１８：Ｙｅｓ）、生産しようとしていたＮ枚の基板の塗布が完了したので、ステップＳ２に戻り、次の生産指示を待つことになる。ｎがＮに達していなければ（ステップＳ１８：Ｎｏ）、変数ｎをインクリメントして（ステップＳ１９）、ステップＳ１０に戻る。
【００４６】
さて、上記の生産の最中に計時部１３ｃの時間ｔ１が所定時間Ｔに達した場合は（ステップＳ１１：Ｙｅｓ）、ＩＮタンク１０に混合溶媒が追加される追加処理（ステップＳ１２）が行われる。追加処理の詳細については、（４−２）で説明する。追加処理が完了すると、制御ユニット１３が、時間ｔ１が所定時間Ｔに達するまでに消費したインクの消費量Ｖ２を算出する（ステップＳ１３）。インクの消費量Ｖ２の算出は、インクジェットヘッド１０５のノズル１個当たりの吐出量に、１基板当たりに使用したノズルの個数と吐出回数を乗算し、さらに時間ｔ１が所定時間Ｔに達するまでに生産した基板の枚数を乗算することで行われる。そして、Ｖ２が０でなければ（ステップＳ１４：Ｎｏ）、生産によりＶ２分のインクが消費されているので、ＩＮタンク１０にインクの消費分を補充する補充処理が行われる（ステップＳ１５）。補充処理の詳細については、（４−３）で説明する。Ｖ２が０であれば（ステップＳ１４：Ｙｅｓ）、時間ｔ１が所定時間Ｔに達するまでに生産した基板の枚数が０であったことになるので、インクは消費されていないため、補充処理はスキップされる。その後、計時部１３ｃがリセットされ、再びスタートされる（ｔ１＝０、ステップＳ１６）。そして、ステップ１１に戻る。
【００４７】
ところで、ステップＳ２で生産指示がなければ（ステップＳ２：Ｎｏ）、まず、制御ユニット１３が、計時部１３ｃの時間ｔ１が所定時間Ｔに達しているかどうかを判断する（ステップＳ３）。達していなければ（ステップＳ３：Ｎｏ）、ステップＳ２に戻る。達していれば（ステップＳ３：Ｙｅｓ）、ステップＳ４からステップＳ７の処理が行われる。ステップＳ４からステップＳ７の処理は、ステップＳ１２からステップＳ１５の処理と同じであるため、説明を省略する。但し、ステップＳ８においては、計時部１３ｃがリセットされるのみであり、再スタートはされない（ｔ１＝０、ステップＳ８）。その後、制御ユニット１３は一旦、エンド状態となった後、再び、スタートし、ステップＳ１以降が繰り返される。
【００４８】
続いて、図７における追加処理（ステップＳ４、ステップＳ１２）、補充処理（ステップＳ７、ステップＳ１５）について説明する。
【００４９】
（４−２）追加処理
図８は、追加処理の動作フローである。
【００５０】
まず、制御ユニット１３の計時部１４ｃがスタートする（ｔ２＝０、ステップＳ２１）。次に、制御ユニット１３がバルブ１５を開ける（ステップＳ２２）。バルブ１５は、例えば、開閉のみが制御可能なバルブである。そして、制御ユニット１３が、ポンプ１４を用いて流量Ｑ２で混合溶媒をＩＮタンク１０内に流す（ステップＳ２３）。続いて、制御ユニット１３が、計時部１４ｃの時間ｔ２が（Ｑ１／Ｑ２）Ｔに達したかどうかを判断する（ステップＳ２４）。混合溶媒タンク１２内の混合溶媒は、計時部１４ｃの時間ｔ２が（Ｑ１／Ｑ２）Ｔに達するまでＩＮタンク１０に流れ続ける。計時部１４ｃの時間ｔ２が（Ｑ１／Ｑ２）Ｔに達した場合（ステップＳ２４：Ｙｅｓ）を説明する。既述の通り、ＩＮタンク１０内のインクの粘度変化を抑制するためにインクに追加する混合溶媒の単位時間当たりの体積がＱ１である。そして、図７のフローに示すように、所定時間Ｔ毎に混合溶媒が追加される。１回の追加で必要な体積はＱ１とＴとの積で定まる体積である。時間ｔ２が（Ｑ１／Ｑ２）Ｔに達すれば、流量Ｑ２で混合溶媒を流したときに、１回に必要な体積（Ｑ１×Ｔ）が追加されることになる。次に、制御ユニット１３がポンプ１４を停止し（ステップＳ２５）、制御ユニット１３がバルブ１５を閉じる（ステップＳ２６）。最後に、計時部１４ｃがリセットされる（ｔ２＝０、ステップＳ２７）。
【００５１】
（４−３）補充処理
図９は、補充処理の動作フローである。
【００５２】
まず、制御ユニット１３の計時部２１１ｃがスタートする（ｔ３＝０、ステップＳ３１）。次に、制御ユニット１３がバルブ２１２を開ける（ステップＳ３２）。バルブ２１２は、例えば、開閉のみが制御可能なバルブである。そして、制御ユニット１３が、ポンプ２１１を用いて流量Ｑ３で補充インクをＩＮタンク１０内に流す（ステップＳ３３）。続いて、制御ユニット１３が、計時部２１１ｃの時間ｔ３がＶ２／Ｑ３に達したかどうかを判断する（ステップＳ３４）。補充タンク２１０内の補充インクは、計時部２１１ｃの時間ｔ３がＶ２／Ｑ３に達するまでＩＮタンク１０に流れ続ける。計時部２１１ｃの時間ｔ３がＶ２／Ｑ３に達した場合（ステップＳ３４：Ｙｅｓ）を説明する。既述の通り、体積Ｖ２は、制御ユニット１３の計時部１３ｃが所定時間Ｔに達するまでに消費されたインクの消費量である。よって、流量Ｑ３の場合に、時間ｔ３がＶ２／Ｑ３に達すれば、消費された体積に等しいＶ２の体積の補充インクがＩＮタンク１０に補充されたことになる。次に、制御ユニット１３がポンプ２１１を停止し（ステップＳ３５）、制御ユニット１３がバルブ２１２を閉じる（ステップＳ３６）。最後に、計時部２１１ｃがリセットされる（ｔ３＝０、ステップＳ３７）。
（５）考察
ここで、混合溶媒タンク１２からＩＮタンク１０に追加する混合溶媒の組成比について考察してみる。単純に考えれば、溶媒の物質量や単位時間当たりの揮発量を考慮せずに、粘度だけをインクジェットシステム１の稼働初期と同じになるように、混合溶媒（第１溶媒と第２溶媒の質量比がａ：ｂ）を追加すればよいのではないかとも思われる。しかしながら、粘度も重要であるが、ＩＮタンク１０内に貯留している各溶媒の組成比の経時変化も抑制することが好ましい。図１０にそのことが分かるグラフを示す。ここでは、第１溶媒として、ヘプチルベンゼン、第２溶媒として、１メチルナフタレンを用いた。機能層を構成する機能性材料としては、有機性の発光材料を用いた。有機性の発光材料の好ましい例としては、Ｆ８−Ｆ６（Ｆ８(ポリジオクチルフルオレン)とＦ６(ポリジヘキシルフルオレン)との共重合体）が挙げられる。第１溶媒と第２溶媒の沸点は、それぞれ、２３５℃、２４４℃である。第１溶媒と第２溶媒の粘度は、それぞれ、１３．２ｍＰａ・ｓｅｃ、２２．１ｍＰａ・ｓｅｃである。第２溶媒は、第１溶媒よりも沸点と粘度がともに高い。図１０（ａ）は、第２溶媒と第１溶媒とを２：８の比率で混合した混合溶媒を用いたインクで機能層を形成した時の機能層の表面形状の測定結果である。図１０（ｂ）は、第２溶媒と第１溶媒とを３：７の比率で混合した混合溶媒を用いたインクで機能層を形成した時の機能層の表面形状の測定結果である。溶媒の混合比率が２：８では、膜厚が７０ｎｍ付近でほぼ一定である。一方、混合比率が３：７では、膜厚が７０ｎｍよりも厚くなり、表面形状も凹状となる。このように、インク中の各溶媒の混合比率は、機能層の表面形状を決定する重要なファクターである。従って、実施の形態のように、各溶媒の単位時間当たりの揮発量に応じた混合比率まで考慮して混合溶媒を準備する。その上で、その混合溶媒をインクジェット装置１００に貯留しているインクに追加することとする。これにより、インク中の混合溶媒の組成比の変化を抑制することができる。
（６）有機ＥＬ表示装置の製造方法
実施の形態のインクの成分管理方法を適用した一例として、有機ＥＬ表示装置１００００の製造方法を説明する。
【００５３】
（６−１）有機ＥＬ表示装置１００００の概略構成
図１１及び図１２を参照しながら、有機ＥＬ表示装置１００００の概略構成を説明する。図１１に示すように、有機ＥＬ表示装置１００００は有機ＥＬ表示パネル３０００と、これに接続された駆動・制御回路部２０００とを備えている。図１２は、有機ＥＬ表示パネル３０００の平面図である。図１２に示すように、有機ＥＬ表示パネル３０００においては、複数の有機ＥＬ素子１００１Ｒ、１００１Ｇ、１００１ＢがＸ方向及びＹ方向に二次元配置されている。有機ＥＬ表示パネル３０００では、有機ＥＬ素子１００１Ｒは赤色光（Ｒ）を出射し、有機ＥＬ素子１００１Ｇは緑色光（Ｇ）を出射し、有機ＥＬ素子１００１Ｂは青色光（Ｂ）を出射する。図１１に示すように、有機ＥＬ表示装置１００００における駆動・制御回路部２０００は、４つの駆動回路２１００〜２４００と１つの制御回路２５００とから構成されている。
【００５４】
（６−２）有機ＥＬ表示パネル３０００の構成
図１２に示すように有機ＥＬ表示パネル３０００において、Ｙ方向に延伸する複数のバンク１１２０によって区画された溝領域１２５０Ｒ、１２５０Ｇ、１２５０Ｂが形成されている。溝領域１２５０Ｒ、１２５０Ｇ、１２５０Ｂは、赤色用、緑色用、青色用の溝領域であって、対応する発光色の有機ＥＬ素子１００１Ｒ、１００１Ｇ、１００１ＢがＹ方向に列設されている。
【００５５】
図１３は、図１２のＡ−Ａ断面を示す断面図である。有機ＥＬ表示パネル３０００は、基板１０００上にＴＦＴ層１０１０が形成されてなるＴＦＴ基板をベースとしている。ＴＦＴ層１０１０は、詳細な図示は省略しているが、ゲート、ソース、ドレインの３電極と、半導体層、パッシベーション膜等で構成されている。ＴＦＴ基板の上に層間絶縁層１０２０が積層されて下地基板１１００が形成されている。層間絶縁層１０２０の上面が略平坦に形成され、その上に有機ＥＬ素子１００１Ｒ〜１００１Ｂが形成されている。
【００５６】
各有機ＥＬ素子１００１Ｒ〜１００１Ｂは、基本構成は同じであって、層間絶縁層１０２０の上に順に積層形成された画素電極（アノード）１０３０及びホール注入層１０４０、ホール輸送層１１６０、発光層１１７０、電子輸送層１１８０、カソード１１９０によって構成されている。
【００５７】
バンク１１２０は、層間絶縁層１０２０の上において、ホール注入層１０４０のＸ方向両縁を覆うように形成されている。そして、ホール輸送層１１６０、発光層１１７０は、バンク１１２０同士の間に積層形成されている。尚、これらホール輸送層１１６０、発光層１１７０は、Ｙ方向に連続して形成されている。
【００５８】
そして、発光層１１７０の上及びバンク１１２０の側面及び頂面の上を全体的に覆うように、電子輸送層１１８０、カソード１１９０及び封止層１２００が順に形成されている。封止層１２００の上には、樹脂層１２１０を介して、カラーフィルタ層１２２０及びブラックマトリクス層１２３０を有する基板１２４０が貼り合わされている。
【００５９】
（６−３）有機ＥＬ表示パネル３０００の製造方法
有機ＥＬ表示パネル３０００の製造方法について、図１４の工程図に基づいて説明する。有機ＥＬ表示パネル３０００の製造においては、先ず、ＴＦＴ基板を準備する（ステップＳ１００）。このＴＦＴ基板は、基板１０００の上面にＴＦＴ層１０１０を形成したものであり、公知の技術で作製される。次に、ＴＦＴ基板上に有機材料を塗布して層間絶縁層１０２０を形成する（ステップＳ１０１）。
【００６０】
このように作製した下地基板１１００の層間絶縁層１０２０上に、画素電極（アノード）１０３０及びホール注入層（ＨＩＬ）１０４０を順に積層形成する（ステップＳ１０２、Ｓ１０３）。画素電極１０３０の形成は、例えば、スパッタリング法若しくは真空蒸着法を用いて金属膜を形成した後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法でパターニングすることによってなされる。
【００６１】
ホール注入層１０４０の形成は、例えば、スパッタリング法を用いて酸化金属（例えば、酸化タングステン）からなる膜を形成した後、フォトグラフィ法およびエッチング法を用いてパターニングすることでなされる。
【００６２】
次に、バンク１１２０を形成することによってバンク付基板を作製する（ステップＳ１０４）。このバンク１１２０は、バンク材料（ネガ型感光性樹脂組成物を）を基板上に一様に塗布する。塗布したバンク材料層上に、バンク１１２０のパターンに合わせた開口を有するフォトマスクを重ねて、フォトマスクの上から露光する。その後、余分なバンク材料をアルカリ現像液で洗い出すことによって、バンク材料をパターニングして、バンク１１２０を形成する。
【００６３】
次に、複数のバンク１１２０で区画された各溝領域１２５０に、ホール輸送層（ＨＴＬ）１１６０を形成する（ステップＳ１０５）。このホール輸送層１１６０の形成については、ウェット法を用い、ホール輸送層１１６０の構成用材料を含むインクを隣り合うバンク１１２０間の溝領域に塗布した後、乾燥することによってなされる。このホール輸送層１１６０は、これまでで説明した実施の形態のインクジェットシステム１を用いて形成される。
【００６４】
同様に、複数のバンク１１２０で区画された溝領域１２５０に、発光層（ＥＭＬ）１１７０を積層形成する（ステップＳ１０６）。発光層１１７０の形成についても、各構成材料を含むインクを塗布した後、乾燥することでなされる。この発光層１１７０も、これまでで説明した実施の形態のインクジェットシステム１を用いて形成される。
【００６５】
次に、発光層１１７０及びバンク１１２０の側面及び頂面の上を覆うように、電子輸送層１１８０（ＥＴＬ）、カソード１１９０及び封止層１２００を順に積層し形成する（ステップＳ１０７、Ｓ１０８、Ｓ１０９）。電子輸送層１１８０、カソード１１９０及び封止層１２００は、例えば、スパッタリング法を用いて形成することができる。
【００６６】
その後、基板１２４０にカラーフィルタ層１２２０及びブラックマトリクス層１２３０が形成されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板を貼り合わせることによって、有機ＥＬ表示パネル３０００が完成する（ステップＳ１１０）。
【００６７】
尚、上記では、画素電極（アノード）１０３０上にホール注入層（ＨＩＬ）１０４０を形成したが、必ずしもホール注入層（ＨＩＬ）１０４０を形成しなくともよい。画素電極（アノード）１０３０上に直接、ホール輸送層（ＨＴＬ）１１６０、発光層（ＥＭＬ）１１７０をこれまでで説明した実施の形態のインクジェットシステム１を用いて形成してもよい。
【００６８】
また、上記では、発光層１１７０上に電子輸送層１１８０（ＥＴＬ）、カソード１１９０を順に形成したが、必ずしも電子輸送層１１８０（ＥＴＬ）は形成しなくともよい。発光層１１７０上に直接、カソード１１９０を形成してもよい。
【００６９】
つまり、実施の形態のインクジェットシステム１で形成する機能層は、画素電極（アノード）１０３０上方に形成され、当該機能層の上方にカソード１１９０が形成されていればよい。ある電極やある層の上方という意味は、ある電極上やある層上（ある電極やある層と接している）という意味と、ある電極やある層の上の方（ある電極やある層とは接していない）という意味のいずれかに解釈されるものとする。
【００７０】
（６−４）有機ＥＬ表示装置１００００の製造方法
上記で完成した有機ＥＬ表示パネル３０００に、駆動回路２１００〜２４００を実装する。そして、駆動回路２１００〜２４００に制御回路２５００を接続して、有機ＥＬ表示装置１００００が完成する（図１１参照）。
【００７１】
上記で作製された有機ＥＬ表示装置１００００は、機能層（実施の形態では、ホール輸送層と発光層）の膜厚が所望の値で、機能層の平坦性が高く形成されている。よって、各表示パネル間や１つの表示パネル内での発光特性の変動が小さく抑えられている。そのため、実施の形態の製造方法によれば、生産ばらつきが抑制された品質の高い有機ＥＬ表示パネル及び有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
＜その他の事項＞
（１）実施の形態では、所定時間Ｔ毎に混合溶媒や補充インクを追加、補充したがこれに限られるものではない。所定時間Ｔ毎ではなく、常時、連続的に混合溶媒や補充インクを追加してもよい。
（２）実施の形態では、混合溶媒の追加と、補充インクの補充を同じ所定時間Ｔ毎に行ったが、これに限られるものではない。混合溶媒の追加と、補充インクの補充とは独立のフローとして、異なる所定時間毎に行っても構わない。
（３）実施の形態では、インクジェットシステム１に粘度計を装着していないが、システム内に簡易粘度系を設け、正確に粘度変化をモニタリングして混合溶媒の追加量を決定してもよい。
（４）実施の形態では、機能性材料として、例えば、高分子を用いたが、低分子材料（平均分子量１００００未満）を用いてもよい。
（５）実施の形態では、バルブは開閉のみを行い、ポンプが予め設定された流量で溶媒やインクを流す構成としたが、これに限られるものではない。バルブが開閉を行うとともに、流量の調節をする構成としてもよい。
（６）実施の形態では、主に、インクジェットシステム１として、制御システム１３を用いた自動的な制御を前提として説明したが、これに限定されるものではない。インクの成分管理方法として、人が手動で混合溶媒を追加してもよい。
（７）実施の形態では、２種類の溶媒を混合した混合溶媒を用いたが、これに限定されるものではない。３種類以上の溶媒を混合してもよい。例えば、３種類の第１溶媒、第２溶媒、第３溶媒を用いる場合には、混合溶媒の混合比率は次のようにすればよい。ここで、第１溶媒、第２溶媒、第３溶媒の順に、沸点及び粘度がともに高くなっているとする。第１溶媒、第２溶媒、第３溶媒の室温での単位体積当たりの質量をそれぞれａ（ｇ／ｃｍ3）、ｂ（ｇ／ｃｍ3）、ｃ（ｇ／ｃｍ3）とする。第１溶媒、第２溶媒、第３溶媒の分子量をそれぞれＭa、Ｍb、Ｍcとする。第１溶媒、第２溶媒、第３溶媒の室温での蒸気圧をそれぞれＰa、Ｐb、Ｐcとする。また、第１溶媒の体積と第２溶媒の体積と第３溶媒の体積の混合比をＡ：Ｂ：Ｃとする。混合溶媒タンク１２からＩＮタンク１０に追加する混合溶媒は、以下の体積の比率で追加すればよい。４種類以上でも同様である。
【００７２】
（Ａａ／Ｍa）×Ｐa：（Ｂｂ／Ｍb）×Ｐb：（Ｃｃ／Ｍc）×Ｐc
（８）実施の形態では、単位時間当たりの揮発量の比率で混合した混合溶媒を追加するという簡便な手法を取ったが、より正確に見積もる手法を用いて混合溶媒を準備してもよい。例えば、ＩＮタンク１０内の混合溶媒のガスクロマトグラフィ質量分析（ＧＣ／ＭＳ）を行って、実際にどの溶媒がどれだけ減少したかを測定して、それにより混合溶媒の混合比率を決めてもよい。
（９）実施の形態では、室温とは、１５℃以上、４０℃以下のことを言う。
（１０）実施の形態では、混合溶媒をＩＮタンク１０に追加するシステムとしたが、これに限定されるものではない。ＯＵＴタンク１１に追加してもよいし、インクが循環している各チューブ内に追加してもよい。チューブに追加するのであれば、インクジェットヘッド１０５にインクを供給するＩＮチューブ１０６が好ましい。
（１１）混合溶媒をＩＮタンク１０に追加する所定時間Ｔは、機能層の特性がスペック内に収まる程度の所定時間Ｔであればよい。機能層の特性がスペック内に収まるのであれば、例えば、１週間に１回、１ヶ月に１回といった比較的長い所定時間Ｔ毎に追加しても構わない。
（１２）実施の形態のようなインク循環型のシステムを用いずに、ある程度の時間が経てば、インクを捨てて適切な粘度と組成比のインクに入れ替えることも考えられる。しかし、機能性材料は非常に高価なため、インクを頻繁に捨てるということはあまり現実的ではない。
（１３）本発明に係るインクの成分管理方法、これを適用したインクジェットシステム、及び、インクジェットシステムを用いて有機ＥＬ表示装置を製造する製造方法は、実施の形態の部分的な構成を、適宜組み合わせてなる構成であってもよい。また、実施の形態に記載した材料、数値等は好ましいものを例示しているだけであり、それに限定されることはない。さらに、本発明の技術的思想の範囲を逸脱しない範囲で、構成に適宜変更を加えることは可能である。本発明は、インクの成分管理方法、これを適用したインクジェットシステム、及び、インクジェットシステムを用いて有機ＥＬ表示装置を製造する製造方法全般に広く利用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明の一態様に係るインクの成分管理方法、これを適用したインクジェットシステム、及び、インクジェットシステムを用いて有機ＥＬ表示装置を製造する製造方法は、主に有機表示装置、有機発光装置の製造プロセスに広く利用できる。
【符号の説明】
【００７４】
１．インクジェットシステム
１０．ＩＮタンク
１１．ＯＵＴタンク
１２．混合溶媒タンク
１３．制御ユニット
１３ｃ、１４ｃ、２１１ｃ．計時部
１５、２１２．バルブ
１００．インクジェット装置
１０５．インクジェットヘッド
１０８．配管（チューブ）
１０３０．第１電極（アノード）
１１００．下地基板
１１６０．機能層（ホール輸送層）
１１７０．機能層（発光層）
１１９０．第２電極（カソード）
３０００．有機ＥＬ表示パネル
１００００．有機ＥＬ表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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