(57)【要約】  反りが発生したバッキングプレート（ＢＰ）付きスパッタリングターゲットの反りを簡易な方法で矯正することができる反り矯正方法を提供する。  上下方向に対向するように上側の加圧面（２２Ｂ）と下側の加圧面（２２Ａ）を備える加圧装置の下側の加圧面（２２Ａ）に、ＢＰ付きスパッタリングターゲット（１０）をターゲット（１２）の側が上方に位置するように配置するとともに、ＢＰ付きターゲット（１０）のバッキングプレート（１４）の側の外縁部（１４Ａ）と下側の加圧面（２２Ａ）との間にスペーサ（１８）を配置する配置工程と、前記配置工程の後、ＢＰ付きターゲット（１０）を前記加圧装置により上下方向に加圧する加圧工程と、を有し、ターゲット（１２）は、金属酸化物および炭素のうちの少なくとも一方がマトリックス金属中に分散した複合体である。
2015037546.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スパッタリングターゲットとバッキングプレートとをろう材で接合してなり、前記スパッタリングターゲットの側が凸に、前記バッキングプレートの側が凹に反っているバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反りを減少させるバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法であって、
上下方向に対向するように上側の加圧面と下側の加圧面を備えていて該下側の加圧面の上に配置された被加圧物を上下方向に加圧することができる加圧装置の前記下側の加圧面に、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記スパッタリングターゲットの側が上方に位置するように配置するとともに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記バッキングプレートの側の外縁部と前記加圧装置の前記下側の加圧面との間にスペーサを配置する配置工程と、  
前記配置工程の後、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記加圧装置により上下方向に加圧する加圧工程と、
を有し、
前記スパッタリングターゲットは、金属酸化物および炭素のうちの少なくとも一方がマトリックス金属中に分散した複合体であることを特徴とするバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項２】
前記金属酸化物および前記炭素の合計の前記スパッタリングターゲット全体に対する体積分率が１０〜６０ｖｏｌ％であることを特徴とする請求項１に記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項３】
前記バッキングプレートは無酸素銅または銅合金であることを特徴とする請求項１または２に記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項４】
前記加圧工程において、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットに加える圧力を、目標とする圧力まで１段階で上昇させることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項５】
前記バッキングプレート側の反り量が０．１ｍｍ未満となることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項６】
前記スペーサの厚さは、０．０５〜０．５ｍｍであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項７】
前記ろう材は、インジウムであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項８】
前記ろう材は、Ｓｎ系合金であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項９】
前記配置工程において、さらに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記スパッタリングターゲットの側の外面と前記上側の加圧面との間に緩衝材を配置することを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項１０】
前記緩衝材は、シリコンゴムであることを特徴とする請求項９に記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項１１】
前記シリコンゴムは、厚さが０．５〜１．５ｍｍであることを特徴とする請求項１０に記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項１２】
常温大気中で行うことを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項１３】
前記スパッタリングターゲットおよび前記バッキングプレートを塑性変形させないことを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法（以下、単に「反り矯正方法」と記すことがある。）に関し、詳しくは、反りが発生したバッキングプレート付きスパッタリングターゲット（以下、「ＢＰ付きターゲット」と記すことがある。）の反りを効率的に矯正することができる反り矯正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
スパッタリングターゲット（以下、単に「ターゲット」と記すことがある。）は、スパッタリング装置への取付けおよびスパッタリングの最中のターゲットの冷却のため、バッキングプレートが取り付けられた状態でスパッタリング装置へ取り付けられることがある。【０００３】
スパッタリングターゲットにバッキングプレートを取り付ける際には、現状では、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとをインジウムが溶融する温度（例えば２５０〜３００℃程度）まで加熱して、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとの間に溶融したインジウムを介在させ、その状態で常温まで冷却してインジウムを固化させてスパッタリングターゲットとバッキングプレートとを接合することが多くなされている。【０００４】
しかし、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとの間には熱膨張係数に違いがあるため、冷却に伴う収縮量が異なる。このため、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとを接合したＢＰ付きターゲットにおいては、常温まで冷却した状態において反りが発生することがある。【０００５】
反りが発生したＢＰ付きターゲットは、スパッタリング装置に適切に取り付けることが難しくなるとともに、スパッタリングの最中の冷却が適切に行えなくなるおそれがある。【０００６】
これに対応するための技術としては、反り自体が発生しないようにする技術（例えば、特許文献１、２参照）や、発生した反りを矯正する技術（例えば、特許文献３、４、５参照）がある。【０００７】
しかし、特許文献１に記載の技術では、接合されるスパッタリングターゲットとバッキングプレートとの双方の接合面に互いに隙間なく嵌合しうる凹凸を形成する必要があり、手間がかかる。【０００８】
特許文献２に記載の技術では、接合の領域を、ターゲット部材の中央の所要部分を外した範囲に制限する必要があり、手間がかかる。【０００９】
特許文献３に記載の技術では、４００℃以上でろう材の融点未満の温度に加熱した状態で矯正することが必要であり、手間がかかる。【００１０】
特許文献４に記載の技術では、真空吸引する必要があり、手間がかかる。【００１１】
特許文献５に記載の技術では、冷却とともに発生する反りを断続的に測定し、その都度発生した反りを相殺する逆反りを加える必要があり、手間がかかる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平８−１８８８７２号公報
【特許文献２】特開平６−６５７２７号公報
【特許文献３】特開平５−２１４５１８号公報
【特許文献４】特開２００１−１３１７３８号公報
【特許文献５】特開２００１−１４００６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであって、反りが発生したバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反りを簡易な方法で矯正することができる反り矯正方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明者は、前記課題を解決するため鋭意研究開発を行った結果、以下のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法により、前記課題を解決できることを見出し、本発明をするに至った。【００１５】
即ち、本発明に係るバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法は、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとをろう材で接合してなり、前記スパッタリングターゲットの側が凸に、前記バッキングプレートの側が凹に反っているバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反りを減少させるバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法であって、上下方向に対向するように上側の加圧面と下側の加圧面を備えていて該下側の加圧面の上に配置された被加圧物を上下方向に加圧することができる加圧装置の前記下側の加圧面に、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記スパッタリングターゲットの側が上方に位置するように配置するとともに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記バッキングプレートの側の外縁部と前記加圧装置の前記下側の加圧面との間にスペーサを配置する配置工程と、前記配置工程の後、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記加圧装置により上下方向に加圧する加圧工程と、を有し、前記スパッタリングターゲットは、金属酸化物および炭素のうちの少なくとも一方がマトリックス金属中に分散した複合体であることを特徴とするバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法である。【００１６】
ここで、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを加圧する際に圧縮用の治具を用いる場合には、該治具も前記加圧装置の一部を構成しているものとする。したがって、治具を用いる場合には、前記加圧装置の「上側の加圧面」は、用いる治具の上側の加圧面ということになり、前記加圧装置の「下側の加圧面」は、用いる治具の下側の加圧面ということになる。【００１７】
前記金属酸化物および前記炭素の合計の前記スパッタリングターゲット全体に対する体積分率が１０〜６０ｖｏｌ％のときに、前記反り矯正方法を好適に用いることができる。【００１８】
前記バッキングプレートには無酸素銅または銅合金を用いることができる。【００１９】
また、前記加圧工程において、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットに加える圧力を、目標とする圧力まで１段階で上昇させてもよい。【００２０】
また、前記反り矯正方法により、前記バッキングプレート側の反り量が０．１ｍｍ未満となるようにすることができる。【００２１】
前記スペーサの厚さは、０．０５〜０．５ｍｍであることが好ましい。【００２２】
前記ろう材としては、インジウムを好適に用いることができる。【００２３】
また、前記ろう材としてＳｎ系合金を用いることもできる。ここで、Ｓｎ系合金とはＳｎを含む合金のことであり、２元系だけでなく３元系以上のＳｎ合金も含む概念である。【００２４】
前記配置工程において、さらに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記スパッタリングターゲットの側の外面と前記上側の加圧面との間に緩衝材を配置することが好ましい。【００２５】
前記緩衝材としては、例えばシリコンゴムを用いることができ、前記シリコンゴムは、厚さが０．５〜１．５ｍｍであることが好ましい。【００２６】
また、本発明に係るバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法は、常温大気中で実行することもできる。【００２７】
また、本発明に係るバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法は、前記スパッタリングターゲットおよび前記バッキングプレートを塑性変形させないように実行することも可能である。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、反りが発生したバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反りを簡易な方法で矯正することができ、バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの生産効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】反りのあるＢＰ付きターゲットを模式的に示す側面図
【図２】本実施形態の反り矯正方法を実施するに際し、反りのあるＢＰ付きターゲットを加圧装置にセットした状態を模式的に示す側面図
【図３】スペーサ１８を用いずにＢＰ付きターゲット１０の上下のどちらの側もシリコンゴム２０を介して加圧する場合を模式的に示す側面図
【図４】実施例１および比較例１におけるプレス圧力と反り量との関係を示す棒グラフ
【図５】実施例３〜５および比較例２におけるプレス圧力と反り量との関係を示す棒グラフ
【図６】実施例３〜８において逆反りの生じた加圧後のＢＰ付きターゲット１０を模式的に示す側面図
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態に係るバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法について詳細に説明する。
【００３１】
図１は、本実施形態に係る反り矯正方法を用いて反りを矯正する対象のバッキングプレート付きスパッタリングターゲット（以下、「ＢＰ付きターゲット」と記すことがある。）を模式的に示す側面図である。
【００３２】
このバッキングプレート付きスパッタリングターゲット１０（以下、「ＢＰ付きターゲット１０」と記すことがある。）は、スパッタリングターゲット１２と、バッキングプレート１４と、インジウム１６とからなり、スパッタリングターゲット１２とバッキングプレート１４との間に介在するインジウム１６によって、スパッタリングターゲット１２にバッキングプレート１４が取り付けられている。
【００３３】
スパッタリングターゲット１２は、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｃｏ3Ｏ4、ＣｏＯ等の金属酸化物や炭素がマトリックス金属中に分散した複合体であるのに対し、バッキングプレート１４は無酸素銅または銅合金である。このため、スパッタリングターゲット１２の熱膨張係数よりもバッキングプレート１４の熱膨張係数は大きくなっている。
【００３４】
スパッタリングターゲット１２にバッキングプレート１４を取り付ける際には、スパッタリングターゲット１２とバッキングプレート１４とをインジウム１６が溶融する温度（例えば２５０〜３００℃程度）まで加熱して、スパッタリングターゲット１２とバッキングプレート１４との間に溶融したインジウム１６を介在させ、その状態で常温まで冷却してインジウム１６を固化させてスパッタリングターゲット１２にバッキングプレート１４を取り付ける。
【００３５】
前述したように、スパッタリングターゲット１２の熱膨張係数よりもバッキングプレート１４の熱膨張係数は大きいため、インジウム１６が溶融する温度（例えば２５０〜３００℃程度）から常温まで冷却すると、スパッタリングターゲット１２よりもバッキングプレート１４の方が収縮量が大きくなる。このため、スパッタリングターゲット１２にバッキングプレート１４を取り付けて常温まで冷却すると、図１に示すように、スパッタリングターゲット１２側が凸となり、バッキングプレート１４側が凹となるように変形する。
【００３６】
図１において、スパッタリングターゲット１２側の反り量がＴＧ反り量ａであり、バッキングプレート１４側の反り量がＢＰ反り量ｂである。ここで、ＴＧとはターゲットの略であり、ＢＰとはバッキングプレートの略である。なお、後述する実施例では、ＢＰ反り量ｂの測定値をＢＰ付きターゲットの反り量としている。
【００３７】
次に、ＢＰ付きターゲット１０の反りを矯正する際の方法を具体的に説明する。
【００３８】
図２は、反りのあるＢＰ付きターゲット１０を加圧装置にセットした状態を模式的に示す側面図である。なお、本明細書においては、加圧する際に用いる圧縮用の治具は、加圧装置の一部を構成しているものとする。
【００３９】
本実施形態に係る反り矯正方法を用いてＢＰ付きターゲット１０の反りを矯正する際には、まず図２に示すように、ＢＰ付きターゲット１０のバッキングプレート１４の側の外縁部１４Ａと、加圧装置に取り付けられた圧縮治具２２の下側の加圧面２２Ａとの間にスペーサ１８を配置する。また、それとともに、ＢＰ付きターゲット１０のスパッタリングターゲット１２の側の外面と、加圧装置に取り付けられた圧縮治具２２の上側の加圧面２２Ｂとの間にシリコンゴム２０を配置する。
【００４０】
次に、加圧装置に取り付けられた圧縮治具２２で上下方向にＢＰ付きターゲット１０を加圧して、ＢＰ付きターゲット１０を平たんな状態にして反りを低減させる。加圧する際の温度は常温でよく、また、雰囲気も大気でよい。
【００４１】
ＢＰ付きターゲット１０に加える圧力は大きい方が反りを低減させる効果が大きくなるが、ＢＰ付きターゲット１０に加える圧力が大きすぎるとＢＰ付きターゲット１０自体がその圧力により損傷してしまうおそれが生じるとともに、スペーサ１８の高さの分だけＢＰ付きターゲット１０が逆反りしてしまうおそれがある。
【００４２】
したがって、ＢＰ付きターゲット１０に生じている反りの状態に応じて、ＢＰ付きターゲット１０に加える圧力の大きさを適宜調整して加える。
【００４３】
本実施形態に係る反り矯正方法は、金属酸化物および炭素の合計の体積分率が概ね１０〜６０ｖｏｌ％の範囲にあるスパッタリングターゲット１２に対して好適に適用可能である。金属酸化物および炭素の合計の体積分率が１０ｖｏｌ％未満であっても本実施形態に係る反り矯正方法を適用することができるが、金属酸化物および炭素の合計の体積分率が１０ｖｏｌ％未満のターゲットの場合、バッキングプレート１４を取り付けても小さな反りしか生じないことが多く、小さな反りの場合、本実施形態に係る反り矯正方法を実施してもその効果は顕著には現れにくい。一方、金属酸化物および炭素の合計の体積分率が６０ｖｏｌ％を上回ると、ターゲットに占める金属成分の割合が少なくなり、ターゲットが脆くなるので、本実施形態に係る反り矯正方法を実施するに際し、目標とする矯正後の反り量およびプレス圧力をより慎重に設定することが必要になる。
【００４４】
そして、加圧後に、ＢＰ付きターゲット１０のバッキングプレート１４側の反り量であるＢＰ反り量ｂが０．１ｍｍ未満になるようにすることが好ましい。ＢＰ反り量ｂが０．１ｍｍを下回る程度まで減少すれば、反りの影響によってＢＰ付きターゲット１０をスパッタリング装置に適切に取り付けることが難しくなることは考えにくく、また、スパッタリングの最中の冷却が適切に行いにくくなることも考えにくい。
【００４５】
ＢＰ付きターゲット１０を図２に示すように加圧することにより、ＢＰ付きターゲット１０の反りを低減させることができる理由は、現段階では明確になっていないが、ＢＰ付きターゲット１０を図２に示すように加圧してＢＰ付きターゲット１０を平たんな状態にすると、インジウム１６がその形状状態に塑性変形をするためだと考えられ、加圧によってインジウム１６に加えられる力がインジウム１６の塑性変形を促進するものと考えられる。なお、インジウムは融点が１５６．６℃と低く、常温においても融点からわずか１３０℃程度下に過ぎず、常温の状態においてもインジウムは十分に軟らかくなっており塑性変形しやすい状態にあると考えられる。
【００４６】
なお、本実施形態に係る反り矯正方法においては、ＢＰ付きターゲット１０に加える圧力を、目標とする圧力まで１段階で上昇させてもよく、あるいは２段階以上で上昇させてもよい。このことについては、後に実施例のところで具体的なデータを用いて再度説明する。
【００４７】
スペーサ１８は、加圧することによってＢＰ付きターゲット１０の反りを低減させる効果をより増大させる機能を有する。図３に示すように、ＢＰ付きターゲット１０のバッキングプレート１４の側の外面と、加圧装置に取り付けられた圧縮治具２２の下側の加圧面２２Ａとの間にシリコンゴム２０を配置して、スペーサ１８を用いずにＢＰ付きターゲット１０の上下のどちらの側もシリコンゴム２０を介して加圧することによっても、ＢＰ付きターゲット１０の反りを低減させることができるが、図２に示す本実施形態のようにスペーサ１８を用いて加圧した場合は、図３に示す場合よりも小さい加圧力でＢＰ付きターゲット１０の反りを低減させる効果をより効果的に発現させることができる。このことについては、後に実施例のところで具体的なデータを用いて再度説明する。
【００４８】
スペーサ１８の厚さは、０．０５〜０．５ｍｍであることが好ましい。スペーサ１８の厚さが０．０５ｍｍ未満では、加圧することによってＢＰ付きターゲット１０の反りを低減させる効果をより増大させるという機能が弱まってしまう。一方、スペーサ１８の厚さが０．５ｍｍを超えると、加圧後のＢＰ付きターゲット１０に大きな逆反りが生じてしまうおそれがある。加圧することによってＢＰ付きターゲット１０の反りを低減させる効果をより増大させる機能を確保する観点、および加圧後のＢＰ付きターゲット１０に大きな逆反りが生じてしまわないようにする観点から、スペーサ１８の厚さは、０．０７〜０．４ｍｍであることがより好ましく、０．０８〜０．２ｍｍであることが特に好ましい。
【００４９】
スペーサ１８の材質は、加圧の際の圧力に耐えることのできる材質であることが必要であるが、このような特性を有するのであれば材質は特に限定されない。例えば、炭素工具鋼鋼材（ＳＫ材）やＳＵＳ３０４Ｈ等をスペーサ１８として用いることができる。
【００５０】
シリコンゴム２０は、緩衝材としての役割を有し、ＢＰ付きターゲット１０を図２に示すように上下方向に加圧して圧縮する際、特定の部位に応力が集中することを緩和する役割、ＢＰ付きターゲット１０と圧縮治具２２とが直接的に接触して、ＢＰ付きターゲット１０および圧縮治具２２に傷が生じることを防ぐ役割、およびＢＰ付きターゲット１０に汚れが付着することを防ぐ役割を有する。これらの役割を果たすことができ、かつ、スパッタリングターゲット１２にその成分が実質的に付着することのない材料であれば、緩衝材として用いる素材はシリコンゴムに限定されず、他の素材であってもよい。
【００５１】
加圧時の応力集中を緩和する観点からは、シリコンゴム２０の厚さは厚い方が好ましいが、シリコンゴム２０の厚さが厚くなりすぎるとＢＰ付きターゲット１０の反りの矯正が不十分になるおそれがある。
【００５２】
加圧時の応力集中を緩和する観点およびＢＰ付きターゲット１０の反りの矯正を十分に行う観点から、シリコンゴム２０の厚さは０．５〜１．５ｍｍであることが好ましく、０．８〜１．２ｍｍであることがより好ましく、０．９〜１．１ｍｍであることが特に好ましい。
【００５３】
なお、本実施形態で用いたＢＰ付きターゲット１０においては、スパッタリングターゲット１２とバッキングプレート１４とを接合するろう材としてインジウムを用いたが、適用可能なろう材はインジウムに限定されるわけではなく、常温での塑性変形能力に優れ、かつ、スパッタリング時の熱を受けても流出等せずに所定の形状保持能力を保つことができる材料であれば、他の材料であってもよい。例えば、Ｓｎ系合金（Ｓｎ−Ｐｂ合金、Ｓｎ−Ａｇ合金、Ｓｎ−Ｉｎ合金、Ｓｎ−Ｚｎ合金、Ｓｎ−Ｓｂ合金、Ｓｎ−Ｐｂ−Ａｇ合金等）や他の低融点ろう材をインジウムに替えて用いることも可能である。常温での塑性変形能力の観点およびスパッタリング時の形状保持能力の観点から、Ｓｎ系合金の中では、融点が１２０℃以上３５０℃以下のものが好ましい。融点が１２０℃未満ではスパッタリング時の形状保持能力が不足するおそれがあり、また、融点が３５０℃を超えると常温での塑性変形能力が不足するおそれがある。また、常温での塑性変形能力の観点およびスパッタリング時の形状保持能力の観点から、Ｓｎ系合金の中では、融点が１２０℃以上３００℃以下のものがより好ましい。なお、環境保全の観点からはＰｂを含まないものが好ましい。
【００５４】
また、加圧に用いる圧縮治具２２の材質は特に限定されず、ＢＰ付きターゲット１０を反りの矯正のために加圧してもその圧力では実質的に変形することがなく、かつ、破損することのない硬さと強度がある材料であればよく、例えばステンレスやカーボン等を用いることができる。
【実施例】
【００５５】
（実施例１）
本実施例１では、直径１５８．７５ｍｍ、厚さ３．１７ｍｍで、組成がＦｅ−３５Ｐｔ−１５ＳｉＯ2−１０Ｃのスパッタリングターゲット（ＳｉＯ2、Ｃのターゲット全体に対する体積比はそれぞれ３８．４７％、４．９９％であり、ＳｉＯ2とＣの合計のターゲット全体に対する体積比は４３．４６ｖｏｌ％）を用いた。このスパッタリングターゲットは、ＳｉＯ2およびＣがマトリックス金属（ＦｅＰｔ合金）中に分散した複合体である。【００５６】
このスパッタリングターゲットに、直径１６５．１ｍｍ、厚さ３．１８ｍｍの無酸素銅バッキングプレートをインジウムにより取り付けた。インジウムで取り付ける際、スパッタリングターゲット、無酸素銅バッキングプレート、およびインジウムを３００℃程度まで加熱し、溶融したインジウムをスパッタリングターゲットと無酸素銅バッキングプレートとの間に介在させ、常温まで冷却してインジウムを固化させて、スパッタリングターゲットと無酸素銅バッキングプレートとを接着した。【００５７】
常温まで冷却した接着後のＢＰ付きターゲットは、バッキングプレート側の反り量（図１に示すＢＰ反り量ｂ）が０．８ｍｍであった。【００５８】
次に、図２と同様の配置状態になるように、ＢＰ付きターゲット、スペーサ、およびシリコンゴムを、加圧装置の圧縮治具内に配置した。具体的には、ＢＰ付きターゲットのバッキングプレートの側の外縁部と、加圧装置に取り付けられた圧縮治具の下側の加圧面との間に厚さ０．１ｍｍのＳＫ材製のスペーサを配置するとともに、ＢＰ付きターゲットのスパッタリングターゲットの側の外面と、加圧装置に取り付けられた圧縮治具の上側の加圧面との間に厚さ１．０ｍｍのシリコンゴムを配置した。【００５９】
以上のように配置をし終えた後、常温（２５℃程度）、大気中で加圧を行った。加えるプレス圧力（加圧する圧力）は４段階で大きくしていった。具体的には、０．５０ＭＰａ→２．４８ＭＰａ→４．９５ＭＰａ→１４．８６ＭＰａのようにプレス圧力を大きくしていった。そして、各レベルのプレス圧力で１０分間その圧力を維持した後に、加圧装置からＢＰ付きターゲットを取り出し、バッキングプレート側の反り量（以下、「ＢＰ反り量」と記すことがある。）を測定した。あるレベルでの１０分間の加圧終了後に、ＢＰ反り量を測定し終えたら、再度、前記と同様に、ＢＰ付きターゲット、スペーサ、およびシリコンゴムを加圧装置の圧縮治具に配置し、次のレベルでの加圧を行って、ＢＰ反り量を測定した。このようにして、前記４段階の各レベルでの１０分間の加圧終了後にその都度ＢＰ反り量を測定した。なお、前記４段階の加圧および各レベルでの加圧終了後のＢＰ反り量の測定は同一のＢＰ付きターゲットに対して行っている。【００６０】
本実施例１における測定結果を次の表１に示す。【００６１】
【表１】
2015037546.tif 000003
【００６２】
（比較例１）
実施例１では、ＢＰ付きターゲットのバッキングプレートの側の外縁部と、加圧装置に取り付けられた圧縮治具の下側の加圧面との間にスペーサを配置したが、本比較例１ではスペーサに替えてシリコンゴムを用いており、ＢＰ付きターゲットのバッキングプレートの側の外面と、加圧装置に取り付けられた圧縮治具の下側の加圧面との間にシリコンゴムを配置しており、図３の配置状態と同様の配置状態とした。即ち、ＢＰ付きターゲットの上下のどちらの側もシリコンゴムを介して加圧するようにした。【００６３】
また、実施例１では、０．５０ＭＰａ→２．４８ＭＰａ→４．９５ＭＰａ→１４．８６ＭＰａのように４段階でプレス圧力を加えたが、本比較例１では、０．５０ＭＰａ→２．４８ＭＰａ→４．９５ＭＰａ→１４．８６ＭＰａ→２４．７７ＭＰａ→２９．７２ＭＰａのように６段階でプレス圧力を加えた。そして、各レベルのプレス圧力で１０分間その圧力を維持した後に、加圧装置からＢＰ付きターゲットを取り出し、各レベルのプレス圧力を加えた後にその都度ＢＰ反り量を測定した。【００６４】
以上述べた点以外は実施例１と同様にして実験を行った。【００６５】
本比較例１における測定結果を次の表２に示す。【００６６】
【表２】
2015037546.tif 000004
【００６７】
（実施例１および比較例１についての考察）
実施例１および比較例１についてのＢＰ反り量の測定結果をまとめたものを次の表３に示し、それを棒グラフにしたものを図４に示す。【００６８】
【表３】
2015037546.tif 000005
【００６９】
表３および図４からわかるように、実施例１および比較例１のどちらもプレス圧力を大きくするほどＢＰ反り量が小さくなっているが、実施例１の方が比較例１よりもＢＰ反り量の減少が大きくなっている。【００７０】
実施例１では１４．８６ＭＰａの加圧後にＢＰ反り量が０．０７ｍｍとなって、０．１ｍｍを下回っているが、比較例１では２９．７２ＭＰａまで加圧を行ってもＢＰ反り量が０．１２ｍｍまでしか減少せず、０．１ｍｍを下回っていない。【００７１】
したがって、加圧する際に実施例１のようにスペーサを用いることは、ＢＰ付きターゲットの反りを低減させる効果を高める上で効果的であると考えられる。【００７２】
なお、ＢＰ反り量が０．１ｍｍを下回る程度まで減少すれば、ＢＰ付きターゲットをスパッタリング装置に適切に取り付けることが難しくなることは考えにくく、また、スパッタリングの最中の冷却が適切に行えなくなるおそれも考えにくい。【００７３】
また、加圧する前のＢＰ付きターゲットについて、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとの接合面に存在する空隙の状態を超音波探傷装置で調べておき、加圧を終えた後（実施例１では１４．８６ＭＰａの加圧終了後、比較例１では２９．７２ＭＰａの加圧終了後）のＢＰ付きターゲットについても、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとの接合面に存在する空隙の状態を超音波探傷装置で調べたところ、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとの接合面に存在する空隙の状態は加圧の前後で変化しておらず、今回行ったプレス圧力の範囲内では、プレス圧力を加えたことによる悪影響を接合面に与えていないことを確認した。【００７４】
また、加圧を終えた後（実施例１において１４．８６ＭＰａの加圧終了後、比較例１において２９．７２ＭＰａの加圧終了後）のＢＰ付きターゲットを再び３００℃程度まで加熱してインジウムを溶融させ、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとを分離したところ、スパッタリングターゲットとバッキングプレートは当初の形状（インジウムによって接合する前の形状）を保っていることを確認した。即ち、実施例１、比較例１のように加圧しても、スパッタリングターゲットとバッキングプレートは塑性変形をしていないと考えられる。したがって、実施例１、比較例１のように加圧することによりＢＰ付きターゲットの反り量が減少した理由は、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとの間のインジウムが塑性変形したためだと考えられる。【００７５】
なお、実施例１、比較例１のように加圧しても、分離後のバッキングプレートは当初の形状（インジウムによって接合する前の形状）を保っていることから、実施例１、比較例１のように加圧して反りを矯正したＢＰ付きターゲットをスパッタリング実施後に再度加熱して、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとに分離すれば、分離後のバッキングプレートはバッキングプレートとして再度使用することができる。【００７６】
（実施例２）
実施例１では、加えるプレス圧力を、０．５０ＭＰａ→２．４８ＭＰａ→４．９５ＭＰａ→１４．８６ＭＰａのように４段階で大きくしていったが、本実施例２では、１４．８６ＭＰａの加圧を１０分間行ったのみであり、１段階で加圧を行った。【００７７】
それ以外は実施例１と同様の条件にして実験を行った。なお、本実施例２では実施例１と同様のＢＰ付きターゲットを用いている。【００７８】
本実施例２において、１４．８６ＭＰａの加圧を１０分間行った後に、ＢＰ反り量を測定したところ０．０７ｍｍであった。このＢＰ反り量の値は、実施例１において１４．８６ＭＰａの加圧を１０分間行った後のＢＰ反り量の値と同じである。したがって、最終的に加えるプレス圧力の最高値およびその最高値のプレス圧力を加える時間が略同一であれば、徐々に加圧力を大きくして多段階で加圧しても、１段階で加圧しても、ＢＰ反り量の減少の程度は本実験の範囲内においては同様であると考えられる。【００７９】
（実施例３）
本実施例３では、直径１５３ｍｍ、厚さ３ｍｍで、組成が８５（Ｃｏ−４０Ｃｒ）−１５ＴｉＯ2のスパッタリングターゲット（ＴｉＯ2のターゲット全体に対する体積比は３３．０２ｖｏｌ％）を用いた。このスパッタリングターゲットは、ＴｉＯ2がマトリックス金属（ＣｏＣｒ合金）中に分散した複合体である。【００８０】
このスパッタリングターゲットに、直径１６１ｍｍ、厚さ４ｍｍの無酸素銅バッキングプレートをインジウムにより取り付けた。インジウムで取り付ける際、スパッタリングターゲット、無酸素銅バッキングプレート、およびインジウムを３００℃程度まで加熱し、溶融したインジウムをスパッタリングターゲットと無酸素銅バッキングプレートとの間に介在させ、常温まで冷却してインジウムを固化させて、スパッタリングターゲットと無酸素銅バッキングプレートとを接着した。【００８１】
常温まで冷却した接着後のＢＰ付きターゲットは、バッキングプレート側の反り量（図１に示すＢＰ反り量ｂ）が０．２３ｍｍであった。【００８２】
次に、図２と同様の配置状態になるように、ＢＰ付きターゲット、スペーサ、およびシリコンゴムを、加圧装置の圧縮治具内に配置した。具体的には、ＢＰ付きターゲットのバッキングプレートの側の外縁部と、加圧装置に取り付けられた圧縮治具の下側の加圧面との間に厚さ０．１ｍｍのＳＫ材製のスペーサを配置するとともに、ＢＰ付きターゲットのスパッタリングターゲットの側の外面と、加圧装置に取り付けられた圧縮治具の上側の加圧面との間に厚さ１．０ｍｍのシリコンゴムを配置した。【００８３】
以上のように配置をし終えた後、常温（２５℃程度）、大気中で加圧を行った。加えるプレス圧力（加圧する圧力）は２段階で大きくしていった。具体的には、０．５３ＭＰａ→２．６７ＭＰａのようにプレス圧力を大きくしていった。そして、各レベルのプレス圧力で１０分間その圧力を維持した後に、加圧装置からＢＰ付きターゲットを取り出し、バッキングプレート側の反り量（ＢＰ反り量）を測定した。あるレベルでの１０分間の加圧終了後に、ＢＰ反り量を測定し終えたら、再度、前記と同様に、ＢＰ付きターゲット、スペーサ、およびシリコンゴムを加圧装置の圧縮治具に配置し、次のレベルでの加圧を行って、ＢＰ反り量を測定した。このようにして、前記２段階の各レベルでの１０分間の加圧終了後にその都度ＢＰ反り量を測定した。なお、前記２段階の加圧および各レベルでの加圧終了後のＢＰ反り量の測定は同一のＢＰ付きターゲットに対して行っている。【００８４】
本実施例３における測定結果を次の表４に示す。【００８５】
【表４】
2015037546.tif 000006
【００８６】
（実施例４）
実施例３では厚さ０．１ｍｍのスペーサを用いたが、本実施例４では厚さ０．２ｍｍのスペーサを用いた。【００８７】
それ以外は実施例３と同様の条件にして実験を行った。なお、本実施例４では実施例３と同様のＢＰ付きターゲットを用いているが、本実施例４で用いたＢＰ付きターゲットの加圧前のＢＰ反り量は０．２４ｍｍであった。【００８８】
本実施例４における測定結果を次の表５に示す。【００８９】
【表５】
2015037546.tif 000007
【００９０】
（実施例５）
実施例３では厚さ０．１ｍｍのスペーサを用いたが、本実施例５では厚さ０．３ｍｍのスペーサを用いた。【００９１】
それ以外は実施例３と同様の条件にして実験を行った。なお、本実施例５では実施例３と同様のＢＰ付きターゲットを用いているが、本実施例５で用いたＢＰ付きターゲットの加圧前のＢＰ反り量は０．２５ｍｍであった。【００９２】
本実施例５における測定結果を次の表６に示す。【００９３】
【表６】
2015037546.tif 000008
【００９４】
（比較例２）
実施例３では、ＢＰ付きターゲットのバッキングプレートの側の外縁部と、加圧装置に取り付けられた圧縮治具の下側の加圧面との間にスペーサを配置したが、本比較例２ではスペーサを用いる代わりにシリコンゴムを用いており、ＢＰ付きターゲットのバッキングプレートの側の外面と、加圧装置に取り付けられた圧縮治具の下側の加圧面との間にシリコンゴムを配置しており、図３の配置状態と同様の配置状態とした。即ち、ＢＰ付きターゲットの上下のどちらの側もシリコンゴムを介して加圧するようにした。【００９５】
また、実施例３では、０．５３ＭＰａ→２．６７ＭＰａのように２段階でプレス圧力を加えたが、本比較例２では、０．５３ＭＰａ→２．６７ＭＰａ→５．３３ＭＰａ→１６．００ＭＰａ→２６．６７ＭＰａ→２９．３３ＭＰａのように６段階でプレス圧力を加えた。そして、各レベルのプレス圧力で１０分間その圧力を維持した後に、加圧装置からＢＰ付きターゲットを取り出し、各レベルのプレス圧力を加えた後にその都度ＢＰ反り量を測定した。【００９６】
以上述べた点以外は実施例３と同様にして実験を行った。【００９７】
本比較例２における測定結果を次の表７に示す。【００９８】
【表７】
2015037546.tif 000009
【００９９】
（実施例３〜５、比較例２についての考察）
次の表８に、実施例３〜５および比較例２についてのＢＰ反り量の測定結果をまとめて示し、それを棒グラフにしたものを図５に示す。ただし、表８では、表作成の都合上、比較例２において測定した、プレス圧力５．３３ＭＰａ、１６．００ＭＰａ、２６．６７ＭＰａ、２９．３３ＭＰａでのＢＰ反り量は記載していない。図５では、それらのプレス圧力におけるＢＰ反り量も棒グラフで表現している。【０１００】
【表８】
2015037546.tif 000010
【０１０１】
表８および図５からわかるように、実施例３〜５および比較例２のいずれもプレス圧力を大きくするほどＢＰ反り量が小さくなっているが、実施例３〜５の方が比較例２よりもＢＰ反り量の減少が大きくなっている。【０１０２】
実施例３、４、５では０．５３ＭＰａの加圧後にＢＰ反り量がそれぞれ０．０６ｍｍ、０．０５ｍｍ、０．０５ｍｍとなっており、いずれも０．１ｍｍを下回っているが、比較例２では０．５３ＭＰａの加圧ではＢＰ反り量が０．１５ｍｍまでしか減少せず、０．１ｍｍを下回っていない。【０１０３】
したがって、加圧する際に実施例３〜５のようにスペーサを用いることは、ＢＰ付きターゲットの反りを低減させる効果を高める上で効果的であると考えられる。【０１０４】
なお、ＢＰ反り量が０．１ｍｍを下回る程度まで減少すれば、ＢＰ付きターゲットをスパッタリング装置に適切に取り付けることが難しくなることは考えにくく、また、スパッタリングの最中の冷却が適切に行えなくなるおそれも考えにくい。【０１０５】
また、用いたスペーサの厚さは、実施例３が０．１ｍｍで、実施例４が０．２ｍｍで、実施例５が０．３ｍｍであるが、プレス圧力０．５３ＭＰａを加えた後の実施例３、４、５におけるＢＰ反り量はそれぞれ０．０６ｍｍ、０．０５ｍｍ、０．０５ｍｍであってほとんど差はなく、また、プレス圧力２．６７ＭＰａを加えた後の実施例３、４、５におけるＢＰ反り量はいずれも０．０１ｍｍであって差はなかった。したがって、本実験の範囲内では、スペーサの厚さを０．１〜０．３ｍｍの範囲で変動させてもＢＰ反り量を低減させる効果にほとんど影響を与えないと考えられる。【０１０６】
また、加圧する前のＢＰ付きターゲットについて、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとの接合面に存在する空隙の状態を超音波探傷装置で調べておき、加圧を終えた後（実施例３〜５、比較例２において２．６７ＭＰａの加圧終了後）のＢＰ付きターゲットについても、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとの接合面に存在する空隙の状態を超音波探傷装置で調べたところ、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとの接合面に存在する空隙の状態は加圧の前後で変化しておらず、今回行ったプレス圧力の範囲内では、プレス圧力を加えたことによる悪影響を接合面に与えていないことを確認した。【０１０７】
また、加圧を終えた後（実施例３〜５において２．６７ＭＰａの加圧終了後、比較例２において２９．３３ＭＰａの加圧終了後）のＢＰ付きターゲットを再び３００℃程度まで加熱してインジウムを溶融させ、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとを分離したところ、スパッタリングターゲットとバッキングプレートは当初の形状（インジウムによって接合する前の形状）を保っていることを確認した。即ち、実施例３〜５、比較例２のように加圧しても、スパッタリングターゲットとバッキングプレートは塑性変形をしていないと考えられる。したがって、実施例３〜５、比較例２のように加圧することによりＢＰ付きターゲットの反り量が減少した理由は、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとの間のインジウムが塑性変形したためだと考えられる。【０１０８】
なお、実施例３〜５、比較例２のように加圧しても、分離後のバッキングプレートは当初の形状（インジウムによって接合する前の形状）を保っていることから、実施例３〜５、比較例２のように加圧して反りを矯正したＢＰ付きターゲットをスパッタリング実施後に再度加熱して、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとに分離すれば、分離後のバッキングプレートはバッキングプレートとして再度使用することができる。【０１０９】
（実施例６）
実施例３では、加えるプレス圧力を、０．５３ＭＰａ→２．６７ＭＰａのように２段階で大きくしていったが、本実施例６では、２．５１ＭＰａの加圧を１０分間行ったのみであり、１段階で加圧を行った。【０１１０】
それ以外は実施例３と同様の条件にして実験を行った。用いたスペーサの厚さは０．１ｍｍである。なお、本実施例６では実施例３と同様のＢＰ付きターゲットを用いている。【０１１１】
本実施例６において、２．５１ＭＰａの加圧を１０分間行った後に、ＢＰ反り量を測定したところ０．０１ｍｍであった。このＢＰ反り量の値は、実施例３において２．６７ＭＰａの加圧を１０分間行った後のＢＰ反り量の値と同じである。したがって、最終的に加えるプレス圧力の最高値およびその最高値のプレス圧力を加える時間が略同一であれば、徐々に加圧力を大きくして多段階で加圧しても、１段階で加圧しても、ＢＰ反り量の減少の程度は同様であると考えられる。【０１１２】
（実施例７）
実施例４では、加えるプレス圧力を、０．５３ＭＰａ→２．６７ＭＰａのように２段階で大きくしていったが、本実施例７では、２．５１ＭＰａの加圧を１０分間行ったのみであり、１段階で加圧を行った。【０１１３】
それ以外は実施例４と同様の条件にして実験を行った。用いたスペーサの厚さは０．２ｍｍである。なお、本実施例７では実施例４と同様のＢＰ付きターゲットを用いている。【０１１４】
本実施例７において、２．５１ＭＰａの加圧を１０分間行った後に、ＢＰ反り量を測定したところ０．０１ｍｍであった。このＢＰ反り量の値は、実施例４において２．６７ＭＰａの加圧を１０分間行った後のＢＰ反り量の値と同じである。したがって、最終的に加えるプレス圧力の最高値およびその最高値のプレス圧力を加える時間が略同一であれば、徐々に加圧力を大きくして多段階で加圧しても、１段階で加圧しても、ＢＰ反り量の減少の程度は同様であると考えられる。【０１１５】
（実施例８）
実施例５では、加えるプレス圧力を、０．５３ＭＰａ→２．６７ＭＰａのように２段階で大きくしていったが、本実施例８では、２．５１ＭＰａの加圧を１０分間行ったのみであり、１段階で加圧を行った。【０１１６】
それ以外は実施例５と同様の条件にして実験を行った。用いたスペーサの厚さは０．３ｍｍである。なお、本実施例８では実施例５と同様のＢＰ付きターゲットを用いている。【０１１７】
本実施例８において、２．５１ＭＰａの加圧を１０分間行った後に、ＢＰ反り量を測定したところ０．０１ｍｍであった。このＢＰ反り量の値は、実施例５において２．６７ＭＰａの加圧を１０分間行った後のＢＰ反り量の値と同じである。したがって、最終的に加えるプレス圧力の最高値およびその最高値のプレス圧力を加える時間が略同一であれば、徐々に加圧力を大きくして多段階で加圧しても、１段階で加圧しても、ＢＰ反り量の減少の程度は同様であると考えられる。【０１１８】
（実施例３〜８における逆反りについて）
２段階で加圧を行った実施例３〜５において、２．６７ＭＰａの加圧終了後に、バッキングプレートの外縁部を観察したところ、図６に示すような逆反り（加圧前の反りとは反対方向の反り）が生じていた。また、１段階で加圧を行った実施例６〜８においても、２．５１ＭＰａの加圧終了後に、バッキングプレートの外縁部を観察したところ、図６に示すような逆反り（加圧前の反りとは反対方向の反り）が生じていた。【０１１９】
図６において、逆反り量Ｘが、バッキングプレート１４の外縁部に生じた逆反りの量である。【０１２０】
ただし、実施例３〜８において加圧終了後のバッキングプレートに観察された逆反りは、バッキングプレートの外縁部のみに観察され、バッキングプレートの中央部付近は平たんであった。【０１２１】
実施例３〜５において２．６７ＭＰａの加圧を終了した後および実施例６〜８において２．５１ＭＰａの加圧を終了した後のバッキングプレートに観察された逆反りの量を、次の表９にまとめて示す。【０１２２】
【表９】
2015037546.tif 000011
【０１２３】
表９からわかるように、スペーサの厚さが厚いほど逆反り量が大きくなっているので、用いるスペーサの厚さは本実験の範囲では薄いものほど好ましいと考えられる。ただし、スペーサの厚さが０．３ｍｍの実施例５、８においてもその逆反り量はそれぞれ０．０５ｍｍ、０．０６ｍｍであり、０．１ｍｍを下回っており、ＢＰ付きターゲットをスパッタリング装置に適切に取り付けることが難しくなることは考えにくく、また、スパッタリングの最中の冷却が適切に行えなくなるおそれも考えにくい。【０１２４】
また、実施例３〜５において２．６７ＭＰａの加圧を終えた後および実施例６〜８において２．５１ＭＰａの加圧を終えた後のＢＰ付きターゲットを再び３００℃程度まで加熱してインジウムを溶融させ、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとを分離したところ、スパッタリングターゲットとバッキングプレートは当初の形状（インジウムによって接合する前の形状）を保っていることを確認しており、前記した逆反りはバッキングプレートに塑性変形をもたらしていないと考えられ、バッキングプレートの再使用の障害とはならないと考えられる。【０１２５】
また、厚さ０．１ｍｍのスペーサを用いた実施例３、６において生じた逆反りの量はそれぞれ０．０２ｍｍ、０．０１ｍｍであり、厚さ０．２ｍｍのスペーサを用いた実施例４、７において生じた逆反りの量はそれぞれ０．０３ｍｍ、０．０３ｍｍであり、厚さ０．３ｍｍのスペーサを用いた実施例５、８において生じた逆反りの量はそれぞれ０．０５ｍｍ、０．０６ｍｍであったことから、用いるスペーサの厚さが同じ場合、最終的に加えるプレス圧力の最高値およびその最高値のプレス圧力を加える時間が略同一であれば、徐々に加圧力を大きくして多段階で加圧しても、１段階で加圧しても、逆反りの発生に及ぼす影響に実質的な差はないと考えられる。【０１２６】
なお、スペーサを用いていない比較例２では、プレス圧力２９．３３ＭＰａまで加圧しても、逆反りは発生しなかった。【０１２７】
（実施例９）  
本実施例９では、直径１６１．９３ｍｍ、厚さ３．１８ｍｍで、組成が８９（Ｃｏ−１０Ｃｒ−１８Ｐｔ）−５ＴｉＯ2−３Ｃｏ3Ｏ4−３Ｂ2Ｏ3のスパッタリングターゲットを用いた。このスパッタリングターゲットは、酸化物（ＴｉＯ2、Ｃｏ3Ｏ4、Ｂ2Ｏ3）がマトリックス金属（ＣｏＣｒＰｔ合金）中に分散した複合体であり、酸化物（ＴｉＯ2、Ｃｏ3Ｏ4、Ｂ2Ｏ3）の合計のターゲット全体に対する体積比は３４．０８ｖｏｌ％である。【０１２８】
このスパッタリングターゲットに、段付きの無酸素銅バッキングプレートをインジウムにより取り付けた。この段付きの無酸素銅バッキングプレートはターゲットに近い側と遠い側で外径が異なっており、ターゲットに近い側（ターゲットと接着する側）の形状は直径１６１．９３ｍｍ、厚さ１．５０ｍｍであり、ターゲットから遠い側の形状は直径１６５．１０ｍｍ、厚さ１．６８ｍｍであり、合計の厚さは３．１８ｍｍである。なお、以下では図１、図２、図６も参照して説明するが、本実施例９で用いた段付きの無酸素銅バッキングプレートは、前記のようにターゲットに近い側と遠い側で外径が異なっており、図１、図２、図６に記載のバッキングプレート１４の形状とはこの点で異なっている。【０１２９】
本実施例９において、スパッタリングターゲットを段付きの無酸素銅バッキングプレートにインジウムで取り付ける際、スパッタリングターゲット、段付きの無酸素銅バッキングプレート、およびインジウムを３００℃程度まで加熱し、溶融したインジウムをスパッタリングターゲットと段付きの無酸素銅バッキングプレートとの間に介在させ、常温まで冷却してインジウムを固化させて、スパッタリングターゲットと段付きの無酸素銅バッキングプレートとを接着した。【０１３０】
常温まで冷却した接着後のＢＰ付きターゲットは、バッキングプレート側の反り量（図１に示すＢＰ反り量ｂ）が０．３２ｍｍであった。【０１３１】
次に、図２と同様の配置状態になるように、ＢＰ付きターゲット、スペーサ、およびシリコンゴムを、加圧装置の圧縮治具内に配置した。具体的には、ＢＰ付きターゲットのバッキングプレートの側の外縁部と、加圧装置に取り付けられた圧縮治具の下側の加圧面との間に厚さ０．１ｍｍのＳＫ材製のスペーサを配置するとともに、ＢＰ付きターゲットのスパッタリングターゲットの側の外面と、加圧装置に取り付けられた圧縮治具の上側の加圧面との間に厚さ１．０ｍｍのシリコンゴムを配置した。【０１３２】
以上のように配置をし終えた後、スパッタリングターゲットと段付きの無酸素銅バッキングプレートとをインジウムで接着した後のＢＰ付きターゲットに対して、常温（２５℃程度）、大気中で加圧を行った。本実施例９では、２．６７ＭＰａの加圧を１０分間行ったのみであり、１段階で加圧を行った。加圧終了後に、加圧装置からＢＰ付きターゲットを取り出し、バッキングプレート側の反り量（ＢＰ反り量）を測定したところ０．０２ｍｍであり、０．１ｍｍを十分に下回るＢＰ反り量であった。【０１３３】
また、１段階で加圧を行った本実施例９において、２．６７ＭＰａの加圧終了後に、バッキングプレートの外縁部を観察したところ、図６に示すような逆反り（加圧前の反りとは反対方向の反り）が生じていた。図６において、逆反り量Ｘが、バッキングプレート１４の外縁部に生じた逆反りの量である。本実施例９において２．６７ＭＰａの加圧を終了した後のバッキングプレートに観察された逆反りの量を測定したところ０．０１ｍｍであり、０．１ｍｍを十分に下回る逆反り量であった。【０１３４】
（実施例１０）
本実施例１０では、直径１６１．９３ｍｍ、厚さ３．１８ｍｍで、組成が９０（Ｃｏ−１５Ｃｒ−２０Ｐｔ）−４ＳｉＯ2−３ＴｉＯ2−３ＣｏＯのスパッタリングターゲットを用いた。このスパッタリングターゲットは、酸化物（ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＣｏＯ）がマトリックス金属（ＣｏＣｒＰｔ合金）中に分散した複合体であり、酸化物（ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＣｏＯ）の合計のターゲット全体に対する体積比は２３．７２ｖｏｌ％である。【０１３５】
それ以外は実施例９と同様の条件にして実験を行った。【０１３６】
スパッタリングターゲットと段付きの無酸素銅バッキングプレートとをインジウムで接着した後のＢＰ付きターゲットは、バッキングプレート側の反り量（図１に示すＢＰ反り量ｂ）が０．２８ｍｍであった。【０１３７】
スパッタリングターゲットと段付きの無酸素銅バッキングプレートとをインジウムで接着した後のＢＰ付きターゲットに対して、実施例９と同様に、２．６７ＭＰａの加圧を１０分間行い、１段階で加圧を行った。加圧後のバッキングプレート側の反り量（ＢＰ反り量）を測定したところ０．０１ｍｍであり、０．１ｍｍを十分に下回るＢＰ反り量であった。【０１３８】
また、１段階で加圧を行った本実施例１０において、２．６７ＭＰａの加圧終了後に、バッキングプレートの外縁部を観察したところ、図６に示すような逆反り（加圧前の反りとは反対方向の反り）が生じていた。図６において、逆反り量Ｘが、バッキングプレート１４の外縁部に生じた逆反りの量である。本実施例１０において２．６７ＭＰａの加圧を終了した後のバッキングプレートに観察された逆反りの量は０．０１ｍｍであり、０．１ｍｍを十分に下回る逆反り量であった。
【産業上の利用可能性】
【０１３９】
本発明によれば、反りが発生したバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反りを簡易な方法で矯正することができる。
【符号の説明】
【０１４０】
１０…バッキングプレート付きスパッタリングターゲット（ＢＰ付きターゲット）
１２…スパッタリングターゲット
１４…バッキングプレート
１４Ａ…外縁部
１６…インジウム
１８…スペーサ
２０…シリコンゴム
２２…圧縮治具
２２Ａ…下側の加圧面
２２Ｂ…上側の加圧面
ａ…ＴＧ反り量
ｂ…ＢＰ反り量
Ｘ…逆反り量
【図１】
2015037546.tif 000012
【図２】
2015037546.tif 000013
【図３】
2015037546.tif 000014
【図４】
2015037546.tif 000015
【図５】
2015037546.tif 000016
【図６】
2015037546.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成27年6月29日(2015.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スパッタリングターゲットとバッキングプレートとをろう材で接合してなり、前記スパッタリングターゲットの側が凸に、前記バッキングプレートの側が凹に反っているバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反りを減少させるバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法であって、
上下方向に対向するように上側の加圧面と下側の加圧面を備えていて該下側の加圧面の上に配置された被加圧物を上下方向に加圧することができる加圧装置の前記下側の加圧面に、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記スパッタリングターゲットの側が上方に位置するように配置するとともに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記バッキングプレートの側の外縁部と前記加圧装置の前記下側の加圧面との間にスペーサを配置する配置工程と、
前記配置工程の後、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記加圧装置により上下方向に加圧する加圧工程と、
を有し、
前記スパッタリングターゲットは、金属酸化物および炭素のうちの少なくとも一方がマトリックス金属中に分散した複合体であり、
また、前記加圧工程における加圧は常温で行い、かつ、前記加圧工程では真空吸引を行わないことを特徴とするバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項２】
前記金属酸化物および前記炭素の合計の前記スパッタリングターゲット全体に対する体積分率が１０〜６０ｖｏｌ％であることを特徴とする請求項１に記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項３】
前記バッキングプレートは無酸素銅または銅合金であることを特徴とする請求項１または２に記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項４】
前記加圧工程において、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットに加える圧力を、目標とする圧力まで１段階で上昇させることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項５】
前記バッキングプレート側の反り量が０．１ｍｍ未満となることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項６】
前記スペーサの厚さは、０．０５〜０．５ｍｍであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項７】
前記ろう材は、インジウムであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項８】
前記ろう材は、Ｓｎ系合金であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項９】
前記配置工程において、さらに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記スパッタリングターゲットの側の外面と前記上側の加圧面との間に緩衝材を配置することを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項１０】
前記緩衝材は、シリコンゴムであることを特徴とする請求項９に記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項１１】
前記シリコンゴムは、厚さが０．５〜１．５ｍｍであることを特徴とする請求項１０に記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項１２】
大気中で行うことを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項１３】
前記スパッタリングターゲットおよび前記バッキングプレートを塑性変形させないことを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
［００１４］
本発明者は、前記課題を解決するため鋭意研究開発を行った結果、以下のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法により、前記課題を解決できることを見出し、本発明をするに至った。
［００１５］
即ち、本発明に係る、バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法は、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとをろう材で接合してなり、前記スパッタリングターゲットの側が凸に、前記バッキングプレートの側が凹に反っているバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反りを減少させるバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法であって、上下方向に対向するように上側の加圧面と下側の加圧面を備えていて該下側の加圧面の上に配置された被加圧物を上下方向に加圧することができる加圧装置の前記下側の加圧面に、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記スパッタリングターゲットの側が上方に位置するように配置するとともに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記バッキングプレートの側の外縁部と前記加圧装置の前記下側の加圧面との間にスペーサを配置する配置工程と、前記配置工程の後、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記加圧装置により上下方向に加圧する加圧工程と、を有し、前記スパッタリングターゲットは、金属酸化物および炭素のうちの少なくとも一方がマトリックス金属中に分散した複合体であり、また、前記加圧工程における加圧は常温で行い、かつ、前記加圧工程では真空吸引を行わないことを特徴とするバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法である。
［００１６］
ここで、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを加圧する際に圧縮用の治具を用いる場合には、該治具も前記加圧装置の一部を構成しているものとする。したがって、治具を用いる場合には、前記加圧装置の「上側の加圧面」は、用いる治具の上側の加圧面ということになり、前記加圧装置の「下側の加圧面」は、用いる治具の下側の加圧面ということになる。
［００１７］
前記金属酸化物および前記炭素の合計の前記スパッタリングターゲット全体に対する体積分率が１０〜６０ｖｏｌ％のときに、前記反り矯正方法を好
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
適に用いることができる。
［００１８］
前記バッキングプレートには無酸素銅または銅合金を用いることができる。
［００１９］
また、前記加圧工程において、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットに加える圧力を、目標とする圧力まで１段階で上昇させてもよい。
［００２０］
また、前記反り矯正方法により、前記バッキングプレート側の反り量が０．１ｍｍ未満となるようにすることができる。
［００２１］
前記スペーサの厚さは、０．０５〜０．５ｍｍであることが好ましい。
［００２２］
前記ろう材としては、インジウムを好適に用いることができる。
［００２３］
また、前記ろう材としてＳｎ系合金を用いることもできる。ここで、Ｓｎ系合金とはＳｎを含む合金のことであり、２元系だけでなく３元系以上のＳｎ合金も含む概念である。
［００２４］
前記配置工程において、さらに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記スパッタリングターゲットの側の外面と前記上側の加圧面との間に緩衝材を配置することが好ましい。
［００２５］
前記緩衝材としては、例えばシリコンゴムを用いることができ、前記シリコンゴムは、厚さが０．５〜１．５ｍｍであることが好ましい。
［００２６］
また、本発明に係るバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法は、大気中で実行することもできる。
［００２７］
また、本発明に係るバッキングプレート付きスパッタリンダターゲットの反り矯正方法は、前記スパッタリングターゲットおよび前記バッキングプレートを塑性変形させないように実行することも可能である。
発明の効果
［００２８］
本発明によれば、反りが発生したバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反りを簡易な方法で矯正することができ、バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの生産効率を向上させることができる。
図面の簡単な説明
【手続補正書】
【提出日】平成28年5月17日(2016.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スパッタリングターゲットとバッキングプレートとをろう材で接合してなり、前記スパッタリングターゲットの側が凸に、前記バッキングプレートの側が凹に反っているバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反りを減少させるバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法であって、
上下方向に対向するように上側の加圧面と下側の加圧面を備えていて該下側の加圧面の上に配置された被加圧物を上下方向に加圧することができる加圧装置の前記下側の加圧面に、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記スパッタリングターゲットの側が上方に位置するように配置するとともに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記バッキングプレートの側の外縁部と前記加圧装置の前記下側の加圧面との間にスペーサを配置する配置工程と、
前記配置工程の後、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記加圧装置により上下方向に加圧する加圧工程と、
を有し、
前記スパッタリングターゲットは、金属酸化物および炭素のうちの少なくとも一方がマトリックス金属中に分散した複合体であり、
また、前記加圧工程における加圧は常温で行い、かつ、前記加圧工程では真空吸引を行わず、
さらに、前記加圧工程における加圧後に前記バッキングプレート側の反り量が０．１ｍｍ未満となることを特徴とするバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項２】
スパッタリングターゲットとバッキングプレートとをろう材で接合してなり、前記スパッタリングターゲットの側が凸に、前記バッキングプレートの側が凹に反っているバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反りを減少させるバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法であって、
上下方向に対向するように上側の加圧面と下側の加圧面を備えていて該下側の加圧面の上に配置された被加圧物を上下方向に加圧することができる加圧装置の前記下側の加圧面に、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記スパッタリングターゲットの側が上方に位置するように配置するとともに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記バッキングプレートの側の外縁部と前記加圧装置の前記下側の加圧面との間にスペーサを配置する配置工程と、
前記配置工程の後、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記加圧装置により上下方向に加圧する加圧工程と、
を有し、
前記スパッタリングターゲットは、金属酸化物および炭素のうちの少なくとも一方がマトリックス金属中に分散した複合体であり、
また、前記加圧工程における加圧は常温で行い、かつ、前記加圧工程では真空吸引を行わず、
さらに、前記スペーサの厚さは、０．０７〜０．４ｍｍであることを特徴とするバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項３】
前記金属酸化物および前記炭素の合計の前記スパッタリングターゲット全体に対する体積分率が１０〜６０ｖｏｌ％であることを特徴とする請求項１または２に記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項４】
前記バッキングプレートは無酸素銅または銅合金であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項５】
前記加圧工程において、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットに加える圧力を、目標とする圧力まで１段階で上昇させることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項６】
前記ろう材は、インジウムであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項７】
前記ろう材は、Ｓｎ系合金であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項８】
前記配置工程において、さらに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記スパッタリングターゲットの側の外面と前記上側の加圧面との間に緩衝材を配置することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項９】
前記緩衝材は、シリコンゴムであることを特徴とする請求項８に記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項１０】
前記シリコンゴムは、厚さが０．５〜１．５ｍｍであることを特徴とする請求項９に記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項１１】
大気中で行うことを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【請求項１２】
前記スパッタリングターゲットおよび前記バッキングプレートを塑性変形させないことを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載のバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
即ち、本発明に係るバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法の第１の態様は、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとをろう材で接合してなり、前記スパッタリングターゲットの側が凸に、前記バッキングプレートの側が凹に反っているバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反りを減少させるバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法であって、上下方向に対向するように上側の加圧面と下側の加圧面を備えていて該下側の加圧面の上に配置された被加圧物を上下方向に加圧することができる加圧装置の前記下側の加圧面に、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記スパッタリングターゲットの側が上方に位置するように配置するとともに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記バッキングプレートの側の外縁部と前記加圧装置の前記下側の加圧面との間にスペーサを配置する配置工程と、前記配置工程の後、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記加圧装置により上下方向に加圧する加圧工程と、を有し、前記スパッタリングターゲットは、金属酸化物および炭素のうちの少なくとも一方がマトリックス金属中に分散した複合体であり、また、前記加圧工程における加圧は常温で行い、かつ、前記加圧工程では真空吸引を行わず、さらに、前記加圧工程における加圧後に前記バッキングプレート側の反り量が０．１ｍｍ未満となることを特徴とするバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法である。
本発明に係るバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法の第２の態様は、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとをろう材で接合してなり、前記スパッタリングターゲットの側が凸に、前記バッキングプレートの側が凹に反っているバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反りを減少させるバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法であって、上下方向に対向するように上側の加圧面と下側の加圧面を備えていて該下側の加圧面の上に配置された被加圧物を上下方向に加圧することができる加圧装置の前記下側の加圧面に、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記スパッタリングターゲットの側が上方に位置するように配置するとともに、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの前記バッキングプレートの側の外縁部と前記加圧装置の前記下側の加圧面との間にスペーサを配置する配置工程と、前記配置工程の後、前記バッキングプレート付きスパッタリングターゲットを前記加圧装置により上下方向に加圧する加圧工程と、を有し、前記スパッタリングターゲットは、金属酸化物および炭素のうちの少なくとも一方がマトリックス金属中に分散した複合体であり、また、前記加圧工程における加圧は常温で行い、かつ、前記加圧工程では真空吸引を行わず、さらに、前記スペーサの厚さは、０．０７〜０．４ｍｍであることを特徴とするバッキングプレート付きスパッタリングターゲットの反り矯正方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【国際調査報告】
2015037546.tif 000018
2015037546.tif 000019
2015037546.tif 000020
2015037546.tif 000021