(57)【要約】  厚さ方向の一端面及び他端面の少なくとも一方に設けられた溝並びに外周面と前記溝の壁面との間を貫通する貫通孔を有するペリクル枠を含むペリクル枠部材と、ペリクル膜を含むペリクル膜部材と、の貼り合わせが行われる貼り合わせチャンバーと、前記貼り合わせチャンバー内に前記ペリクル枠部材及び前記ペリクル膜部材が、前記ペリクル枠の前記溝が設けられた端面と前記ペリクル膜部材とが対向するように配置された状態で、前記ペリクル枠の前記貫通孔を通じて前記溝の内部を排気するための排気管と、を含む貼り合わせユニットを備える、ペリクル製造装置。
2015182483.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さ方向の一端面及び他端面の少なくとも一方に設けられた溝並びに外周面と前記溝の壁面との間を貫通する貫通孔を有するペリクル枠を含むペリクル枠部材と、ペリクル膜を含むペリクル膜部材と、の貼り合わせが行われる貼り合わせチャンバーと、
前記貼り合わせチャンバー内に前記ペリクル枠部材及び前記ペリクル膜部材が、前記ペリクル枠の前記溝が設けられた端面と前記ペリクル膜部材とが対向するように配置された状態で、前記ペリクル枠の前記貫通孔を通じて前記溝の内部を排気するための排気管と、
を含む貼り合わせユニットを備える、ペリクル製造装置。
【請求項２】
前記貼り合わせユニットは、更に、前記貼り合わせチャンバー内に気体を導入して前記貼り合わせチャンバー内を加圧するための導入管を含む、請求項１に記載のペリクル製造装置。
【請求項３】
前記導入管は、前記貼り合わせチャンバー内に配置された前記ペリクル枠部材及び前記ペリクル膜部材のうちの前記ペリクル膜部材に対向する側から気体を導入する第１導入管を含み、
前記貼り合わせユニットは、更に、
前記第１導入管から導入された気体を分散させるための気体分散部材を含む、請求項２に記載のペリクル製造装置。
【請求項４】
更に、前記ペリクル膜部材を保持して前記貼り合わせチャンバー内に搬入するための保持部材を備える、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
【請求項５】
前記ペリクル膜部材は、前記ペリクル膜と、開口部を有し前記開口部以外の部分で前記ペリクル膜を支持する支持基板と、を含む、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
【請求項６】
前記ペリクル膜部材は、前記ペリクル膜と、開口部を有し前記開口部以外の部分で前記ペリクル膜を支持する支持基板と、を含み、
前記保持部材は、前記支持基板に接触し、かつ、前記ペリクル膜には接触しないようにして前記ペリクル膜部材を保持する、請求項４に記載のペリクル製造装置。
【請求項７】
前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に、前記排気管の一端に接続され、前記排気管と前記ペリクル枠の前記貫通孔とを連通させる連通部材を含む、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
【請求項８】
前記連通部材は、前記ペリクル枠の外周面を押し込む方向に移動可能に設けられている、請求項７に記載のペリクル製造装置。
【請求項９】
前記連通部材は、前記貫通孔に挿入可能な開口端を有する、請求項７又は請求項８に記載のペリクル製造装置。
【請求項１０】
更に、前記ペリクル膜部材を前記ペリクル枠部材の外周形状に合わせてカットするカットユニットを備える、請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
【請求項１１】
前記ペリクル膜部材は、前記ペリクル膜と、開口部を有し前記開口部以外の部分で前記ペリクル膜を支持する支持基板であって前記ペリクル枠部材の外周形状に合わせてカットするための切れ込み部を有する支持基板と、を含む、請求項１０に記載のペリクル製造装置。
【請求項１２】
前記カットユニットは、前記支持基板の前記切れ込み部よりも内側の部分を外側の部分に対して押し上げることによって前記ペリクル膜部材をカットする押し上げ手段を含む、請求項１１に記載のペリクル製造装置。
【請求項１３】
前記カットユニットは、
前記ペリクル膜部材をカットする操作が行われるカットチャンバーと、
前記カットチャンバー内に配置された前記押し上げ手段と、
前記カットチャンバー内に気体を導入するための導入管と、
前記導入管によって導入された気体を分散させ、前記押し上げる方向とは反対方向から前記内側の部分に吹き付ける気体分散部材と、
を含む、請求項１２に記載のペリクル製造装置。
【請求項１４】
更に、カットされた前記ペリクル膜部材を洗浄する洗浄ユニットを備える、請求項１０〜請求項１３のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
【請求項１５】
更に、前記貼り合わせ後の前記ペリクル枠部材及び前記ペリクル膜部材の外観検査を行う検査ユニットを備える、請求項１〜請求項１４のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
【請求項１６】
前記ペリクル膜部材と貼り合わせる前の前記ペリクル枠部材の前記ペリクル枠の形状を測定する第１測定手段と、
前記ペリクル膜部材と貼り合わせた後の前記ペリクル枠部材の前記ペリクル枠の形状を測定する第２測定手段と、
を備える、請求項１〜請求項１５のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
【請求項１７】
前記ペリクル枠部材と前記ペリクル膜部材とを貼り合わせる前に、前記ペリクル枠部材と前記ペリクル膜部材とのアライメントを行うアライメント手段と、
前記貼り合わせる前の前記ペリクル枠の形状の測定結果と前記貼り合わせた後の前記ペリクル枠の形状の測定結果とに基づいて、前記アライメント手段によるアライメントをフィードフォワード制御する制御手段と、
を備える、請求項１６に記載のペリクル製造装置。
【請求項１８】
前記貼り合わせる前の前記ペリクル枠の形状の測定結果と前記貼り合わせた後の前記ペリクル枠の形状の測定結果との差に基づいて、前記貼り合わせによる前記ペリクル枠の歪み量を算出する算出手段を備える、請求項１６に記載のペリクル製造装置。
【請求項１９】
前記貼り合わせユニットが、前記貼り合わせチャンバー内に、前記排気管の一端に接続され、前記排気管と前記ペリクル枠の前記貫通孔とを連通させ、前記ペリクル枠の外周面を押し込む方向に移動可能に設けられている連通部材を含み、
前記算出手段が、前記歪み量に基づいて、前記連通部材による前記ペリクル枠の押し込み量をフィードフォワード制御する制御手段である、請求項１８に記載のペリクル製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペリクル製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス（半導体装置）の高集積化及び微細化は、年々加速している。
例えば、現在では、エキシマ露光にて線幅４５ｎｍ程度のパターンが形成されているが、近年では、半導体デバイスのさらなる微細化に伴い、線幅３２ｎｍ以下のパターンの形成が求められている。このような微細加工は、従来のエキシマ露光では対応が難しい。そこで、露光光をより短波長のＥＵＶ（Extreme Ultra Violet：極端紫外）光に替えることが検討されている。【０００３】
ＥＵＶ光は、あらゆる物質に吸収されやすい特性を有する。
そこで、露光光としてＥＵＶ光を用いるフォトリソグラフィー（以下、「ＥＵＶリソグラフィー」ともいう）では、反射光学系を用いて露光を行う。具体的には、露光パターンが反映された原版によってＥＵＶ光を反射させ、反射光としてのＥＵＶ光によってレジストを露光する。この際、原版に異物が付着していると、ＥＵＶ光が異物に吸収されたり、ＥＵＶ光が散乱するため、所望のパターンに露光されない場合がある。
そこで、原版のＥＵＶ光照射面を、ペリクルで保護することが検討されている。
ペリクルの構成は、原版のＥＵＶ光照射面を保護するためのペリクル膜と、このペリクル膜を支持するペリクル枠と、を含む構成となっている。【０００４】
ＥＵＶリソグラフィーに用いられるペリクル膜としては、ＥＵＶ光に対して高い透過性を有すること、ＥＵＶ光の照射によって分解・変形しないことが求められる。このような要求を満たすペリクル膜として、単結晶シリコン膜等のシリコン結晶膜（例えば、文献１及び２参照）、金属メッシュ上に積層された窒化アルミニウム膜（例えば、文献３参照）、グラフェン膜（例えば、文献４参照）、等が提案されている。【０００５】
文献１：特開２０１０−２５６４３４号公報
文献２：特開２００９−１１６２８４号公報
文献３：特開２００５−４３８９５号公報
文献４：国際公開第２０１１／１６０８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、ＥＵＶリソグラフィー用のペリクルをはじめとする、ペリクル膜とペリクル枠とを含むペリクルは、一般に、手作業でペリクル枠とペリクルと必要に応じ接着剤を用いて貼り合わせる方法によって製造されていた。この場合、貼り合わせる際に、ペリクル膜の膜面に、装置、治具、手などによって接触することが一般的であった。
しかし、ペリクル膜は、非常に破れやすい性質を有しているため、ペリクル膜の取り扱いには、細心の注意が求められる。ペリクル膜の中でも、無機系材料を含むペリクル膜（例えば、文献１〜４に記載のペリクル膜）は自立しにくい膜であるだけでなく、機械的な接触によっても傷や発塵の原因となるため、その取扱いにはより一層の注意が求められる。
また、半導体デバイスの微細化に伴い、ペリクル膜に異物が付着しないようにするために、より一層の注意が求められる。【０００７】
以上の観点から、ペリクル枠を含むペリクル枠部材と、ペリクル膜を含むペリクル膜部材と、を貼り合わせてペリクルを製造するにあたり、ペリクル膜の膜面に、装置、治具、手などが極力接触しないにようにして両者を貼り合わせるペリクル製造装置について検討を行った。【０００８】
本発明は上記に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。
即ち、本発明の目的は、ペリクル枠を含むペリクル枠部材と、ペリクル膜を含むペリクル膜部材と、を貼り合わせてペリクルを製造するにあたり、ペリクル膜の膜面に極力接触することなく両者を貼り合わせることができるペリクル製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。【００１０】
＜１＞  厚さ方向の一端面及び他端面の少なくとも一方に設けられた溝並びに外周面と前記溝の壁面との間を貫通する貫通孔を有するペリクル枠を含むペリクル枠部材と、ペリクル膜を含むペリクル膜部材と、の貼り合わせが行われる貼り合わせチャンバーと、
前記貼り合わせチャンバー内に前記ペリクル枠部材及び前記ペリクル膜部材が、前記ペリクル枠の前記溝が設けられた端面と前記ペリクル膜部材とが対向するように配置された状態で、前記ペリクル枠の前記貫通孔を通じて前記溝の内部を排気するための排気管と、
を含む貼り合わせユニットを備える、ペリクル製造装置。【００１１】
＜２＞  前記貼り合わせユニットは、更に、前記貼り合わせチャンバー内に気体を導入して前記貼り合わせチャンバー内を加圧するための導入管を含む、＜１＞に記載のペリクル製造装置。
＜３＞  前記導入管は、前記貼り合わせチャンバー内に配置された前記ペリクル枠部材及び前記ペリクル膜部材のうちの前記ペリクル膜部材に対向する側から気体を導入する第１導入管を含み、
前記貼り合わせユニットは、更に、
前記第１導入管から導入された気体を分散させるための気体分散部材を含む、＜２＞に記載のペリクル製造装置。
＜４＞  更に、前記ペリクル膜部材を保持して前記貼り合わせチャンバー内に搬入するための保持部材を備える、＜１＞〜＜３＞のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
＜５＞  前記ペリクル膜部材は、前記ペリクル膜と、開口部を有し前記開口部以外の部分で前記ペリクル膜を支持する支持基板と、を含む、＜１＞〜＜４＞のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
＜６＞  前記ペリクル膜部材は、前記ペリクル膜と、開口部を有し前記開口部以外の部分で前記ペリクル膜を支持する支持基板と、を含み、
前記保持部材は、前記支持基板に接触し、かつ、前記ペリクル膜には接触しないようにして前記ペリクル膜部材を保持する、＜４＞に記載のペリクル製造装置。【００１２】
＜７＞  前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に、前記排気管の一端に接続され、前記排気管と前記ペリクル枠の前記貫通孔とを連通させる連通部材を含む、＜１＞〜＜６＞のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
＜８＞  前記連通部材は、前記ペリクル枠の外周面を押し込む方向に移動可能に設けられている、＜７＞に記載のペリクル製造装置。
＜９＞  前記連通部材は、前記貫通孔に挿入可能な開口端を有する、＜７＞又は＜８＞に記載のペリクル製造装置。【００１３】
＜１０＞  更に、前記ペリクル膜部材を前記ペリクル枠部材の外周形状に合わせてカットするカットユニットを備える、＜１＞〜＜９＞のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
＜１１＞  前記ペリクル膜部材は、前記ペリクル膜と、開口部を有し前記開口部以外の部分で前記ペリクル膜を支持する支持基板であって前記ペリクル枠部材の外周形状に合わせてカットするための切れ込み部を有する支持基板と、を含む、＜１０＞に記載のペリクル製造装置。
＜１２＞  前記カットユニットは、前記支持基板の前記切れ込み部よりも内側の部分を外側の部分に対して押し上げることによって前記ペリクル膜部材をカットする押し上げ手段を含む、＜１１＞に記載のペリクル製造装置。
＜１３＞  前記カットユニットは、
前記ペリクル膜部材をカットする操作が行われるカットチャンバーと、
前記カットチャンバー内に配置された前記押し上げ手段と、
前記カットチャンバー内に気体を導入するための導入管と、
前記導入管によって導入された気体を分散させ、前記押し上げる方向とは反対方向から前記内側の部分に吹き付ける気体分散部材と、
を含む、＜１２＞に記載のペリクル製造装置。【００１４】
＜１４＞  更に、カットされた前記ペリクル膜部材を洗浄する洗浄ユニットを備える、＜１０＞〜＜１３＞のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
＜１５＞  更に、前記貼り合わせ後の前記ペリクル枠部材及び前記ペリクル膜部材の外観検査を行う検査ユニットを備える、＜１＞〜＜１４＞のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
＜１６＞  前記ペリクル膜部材と貼り合わせる前の前記ペリクル枠部材の前記ペリクル枠の形状を測定する第１測定手段と、
前記ペリクル膜部材と貼り合わせた後の前記ペリクル枠部材の前記ペリクル枠の形状を測定する第２測定手段と、
を備える、＜１＞〜＜１５＞のいずれか１項に記載のペリクル製造装置。
＜１７＞  前記ペリクル枠部材と前記ペリクル膜部材とを貼り合わせる前に、前記ペリクル枠部材と前記ペリクル膜部材とのアライメントを行うアライメント手段と、
前記貼り合わせる前の前記ペリクル枠の形状の測定結果と前記貼り合わせた後の前記ペリクル枠の形状の測定結果とに基づいて、前記アライメント手段によるアライメントをフィードフォワード制御する制御手段と、
を備える、＜１６＞に記載のペリクル製造装置。
＜１８＞  前記貼り合わせる前の前記ペリクル枠の形状の測定結果と前記貼り合わせた後の前記ペリクル枠の形状の測定結果との差に基づいて、前記貼り合わせによる前記ペリクル枠の歪み量を算出する算出手段を備える、＜１６＞に記載のペリクル製造装置。
＜１９＞  前記貼り合わせユニットが、前記貼り合わせチャンバー内に、前記排気管の一端に接続され、前記排気管と前記ペリクル枠の前記貫通孔とを連通させ、前記ペリクル枠の外周面を押し込む方向に移動可能に設けられている連通部材を含み、
前記算出手段が、前記歪み量に基づいて、前記連通部材による前記ペリクル枠の押し込み量をフィードフォワード制御する制御手段である、＜１８＞に記載のペリクル製造装置。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ペリクル枠を含むペリクル枠部材と、ペリクル膜を含むペリクル膜部材と、を貼り合わせてペリクルを製造するにあたり、ペリクル膜の膜面に極力接触することなく両者を貼り合わせることができるペリクル製造装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態のペリクル製造装置において、貼り合わせの対象物の一つであるペリクル枠部材のペリクル枠の一例を、厚さ方向の一端面を観察できる方向からみた概略斜視図である。
【図２】図１に示すペリクル枠を、厚さ方向の他端面を観察できる方向からみた概略斜視図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本実施形態の変形例に係るペリクル枠を、厚さ方向の一端面を観察できる方向からみた概略斜視図である。
【図５】本実施形態のペリクル製造装置において、貼り合わせの対象物の一つであるペリクル枠部材の一例を示す概略断面図である。
【図６】本実施形態のペリクル製造装置において、貼り合わせの対象物の一つであるペリクル膜部材の一例を示す概略平面図である。
【図７】図６のＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】本実施形態のペリクル製造装置によって製造されるペリクルの一例を示す概略断面図である。
【図９】本実施形態のペリクル製造装置における貼り合わせユニットの一例を示す概略構成図である。
【図１０】本実施形態のペリクル製造装置における貼り合わせユニットの一例を示す概略断面図である。
【図１１】本実施形態のペリクル製造装置における貼り合わせユニットの一例を示す概略断面図である。
【図１２】本実施形態の一例において、排気管の一つがペリクル枠の貫通孔に接続される様子を概念的に示す部分断面図である。
【図１３】本実施形態の変形例において、排気管の一つがペリクル枠の貫通孔に接続される様子を概念的に示す部分断面図である。
【図１４】本実施形態の一例におけるハンド部材が、ペリクル膜部材を保持する様子を示す概略平面図である。
【図１５】本実施形態の一例におけるハンド部材が、ペリクル枠部材を保持する様子を示す概略平面図である。
【図１６】本実施形態の一例における貼り合わせ処理のフローを示す概略工程図である。
【図１７】本実施形態の一例における貼り合わせ処理のフローを示す概略工程図である。
【図１８】本実施形態の一例における貼り合わせ処理のフローを示す概略工程図である。
【図１９】本実施形態の一例における貼り合わせ処理のフローを示す概略工程図である。
【図２０】本実施形態のペリクル製造装置の一例を示す概略構成図である。
【図２１】本実施形態の一例におけるカット処理のフローを示す概略工程図である。
【図２２】本実施形態の一例におけるカット処理のフローを示す概略工程図である。
【図２３】本実施形態の一例におけるカット処理のフローを示す概略工程図である。
【図２４】本実施形態の一例におけるカット処理のフローを示す概略工程図である。
【図２５】本実施形態の一例に係るペリクル製造装置によるペリクル製造フローの一例を示すフロー図である。
【図２６】本実施形態によって製造されたペリクルの一例を備えた露光装置の一例である、ＥＵＶ露光装置の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、適宜、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。しかし、本発明は、図面等の具体的な実施形態に限定されることはない。また、各図面に共通の要素については、同一の符号を付すことがあり、重複した説明を省略することがある。また、図面では、構造を見やすくするために、隠れ線の一部を省略することがある。
【００１８】
本実施形態のペリクル製造装置は、厚さ方向の一端面及び他端面の少なくとも一方に設けられた溝並びに外周面と前記溝の壁面との間を貫通する貫通孔を有するペリクル枠を含むペリクル枠部材と、ペリクル膜を含むペリクル膜部材と、の貼り合わせが行われる貼り合わせチャンバーと、前記貼り合わせチャンバー内に前記ペリクル枠部材及び前記ペリクル膜部材が、前記ペリクル枠の前記溝が設けられた端面と前記ペリクル膜部材とが対向するように配置された状態で、前記ペリクル枠の前記貫通孔を通じて前記溝の内部を排気するための排気管と、を含む貼り合わせユニットを備える。
本実施形態のペリクル製造装置は、必要に応じ、その他の構成（例えば、その他のユニット）を備えていてもよい。
【００１９】
本実施形態におけるペリクル枠部材のペリクル枠は、厚さ方向の一端面及び他端面の少なくとも一方に設けられた溝を有する。上記貫通孔は、ペリクル枠の外周面の一部と、上記溝の壁面（側面又は底面。以下同じ。）の一部と、の間を貫通している。
そして本実施形態における貼り合わせユニットでは、ペリクル枠部材及びペリクル膜部材が、ペリクル枠の溝が設けられた端面とペリクル膜部材とが対向するように配置された状態で、上記排気管によって、ペリクル枠の貫通孔を通じて溝の内部が排気される。これにより、ペリクル枠部材のペリクル枠とペリクル膜部材との間に、押し付け合う力を働かせることができる。このため、ペリクル膜の膜面に（装置、治具、手などによって）極力接触することなく、両者を貼り合わせることができる。
従って、本実施形態のペリクル製造装置によれば、ペリクル枠を含むペリクル枠部材と、ペリクル膜を含むペリクル膜部材と、を貼り合わせてペリクルを製造するにあたり、ペリクル膜の膜面に極力接触することなく両者を貼り合わせることができるという効果が奏される。
なお、本実施形態において、「押し付け合う力」は、引き付け合う力と同義である。
【００２０】
更に、本実施形態のペリクル製造装置によれば、ペリクルの膜面に接触することによる、ペリクル膜への異物の付着や、ペリクル膜の破れを抑制できる。
【００２１】
ところで、近年、半導体デバイスの微細化に伴い、ペリクルへの異物の付着を抑制する要求が一層強くなっている。
また、線幅３２ｎｍ以下のパターン形成は、例えばＥＵＶリソグラフィーによって行われる。ＥＵＶリソグラフィーに用いられる、無機系材料を含むペリクル膜は、有機系材料を含むペリクル膜と比較して自立しにくい傾向があり、また、機械的な接触によっても傷や発塵を発生しやすい。このため、無機系材料を含むペリクル膜を用いてペリクルを作製する場合には、ペリクル膜の膜面に極力接触することなくペリクルを作製する要求が大きい。ここで、「自立」とは、単独で膜形状を保持できることを指す。
本実施形態のペリクル製造装置によれば、半導体デバイスの微細化に伴うこれらの要求に応えることができる。
具体的には、本実施形態のペリクル製造装置は、特に、波長が短い露光光（例えば、ＥＵＶ光、ＥＵＶ光よりも更に波長が短い光、等）を用いたリソグラフィー用のペリクル、中でも、無機系材料を含むペリクル膜を備えたペリクルの作製に好適である。
【００２２】
本実施形態において、ＥＵＶ（Extreme Ultra Violet：極端紫外）光とは、波長５ｎｍ〜３０ｎｍの光を指す。
ＥＵＶ光の波長は、５ｎｍ〜１３．５ｎｍが好ましい。
本実施形態では、ＥＵＶ光、及び、ＥＵＶ光よりも波長が短い光を総称し、「ＥＵＶ光等」ということがある。
【００２３】
また、本実施形態において、ペリクル枠の「厚さ方向の端面」を、単に「端面」ということがある。
また、本実施形態において、「厚さ方向の一端面及び他端面」とは、言うまでもないが、それぞれ、厚さ方向の端面の一方、及び、厚さ方向の端面の他方を指す。
【００２４】
また、本実施形態では、貼り合わせチャンバー内にペリクル枠部材及びペリクル膜部材が、ペリクル枠の溝が設けられた端面と前記ペリクル膜部材とが対向するように配置される。ここで、ペリクル枠の厚さ方向の一端面及び他端面の両方に溝が設けられている場合には、ペリクル膜部材に対し、一端面及び他端面のいずれが対向していてもよい。
【００２５】
また、本実施形態におけるペリクル枠部材は、ペリクル枠のみからなるものであってもよいが、ペリクル枠に加え、ペリクル枠の少なくともペリクル膜部材と対向する端面の側に、接着剤を含む接着剤層を備えていてもよい。これにより、ペリクル枠部材とペリクル膜部材とをしっかりと貼り付けることができる。
また、ペリクル枠部材は、ペリクル枠に加え、ペリクル枠の両方の端面の側に、接着剤を含む接着剤層を備えていてもよい。また、ペリクル枠部材は、ペリクル枠のペリクル膜部材と対向しない端面の側に、上記接着剤層及び剥離ライナーをこの順に備えていてもよい。
【００２６】
また、本実施形態におけるペリクル膜部材は、ペリクル膜のみからなるものであってもよいが、ペリクル膜に加え、ペリクル膜を支持する支持基板等のその他の部材を備えていてもよい。ペリクル膜部材が、ペリクル膜を支持する支持基板を備える態様は、ペリクル膜が自立しにくい膜（例えば、シリコン結晶膜等の無機系材料を含むペリクル膜、厚さが薄いペリクル膜、等）である場合に特に好適である。
支持基板として、好ましくは、開口部を有し前記開口部以外の部分で前記ペリクル膜を支持する支持基板である。上記支持基板の開口部は、言い換えれば、ペリクル膜を露出させる開口部である。上記支持基板の開口部（例えば、後述する開口部１２７）の形状は、ペリクル膜部材とペリクル枠部材とを貼り合わせてペリクルとしたときに、ペリクル枠によって囲まれる領域（例えば、後述する開口部５０）との間に重なり部分を有する形状とすることが好適である。一例として、上記支持基板の開口部の形状を、ペリクル枠によって囲まれる領域と同一形状とすることが挙げられるが、ペリクル膜部材とペリクル枠部材とのアライメント精度、上記開口部の加工精度、上記枠部材の加工精度、等の観点から、両者は完全に同一の形状である必要はない。
【００２７】
また、本実施形態において、前記貼り合わせユニットは、更に、前記貼り合わせチャンバー内に気体を導入して前記貼り合わせチャンバー内を加圧するための導入管を含むことが好ましい。
この導入管により、貼り合わせチャンバー内を加圧することができるので、ペリクル枠部材及びペリクル膜部材が配置される全体の雰囲気の圧力と、溝の内部の圧力と、の差（差圧）をより大きくすることができる。このため、ペリクル枠部材とペリクル膜部材との間に生じる、押し付け合う力をより大きくすることができ、両者をより容易に貼り合わせることができる。
【００２８】
また、本実施形態において、前記導入管は、前記貼り合わせチャンバー内に配置された前記ペリクル枠部材及び前記ペリクル膜部材のうちの前記ペリクル膜部材に対向する側から気体を導入する第１導入管を含み、前記貼り合わせユニットは、更に、前記第１導入管から導入された気体を分散させるための気体分散部材を含むことがより好ましい。
この態様では、第１導入管によって導入される気体の流れによる、ペリクル膜への影響が低減される。
【００２９】
上記導入管が上記第１導入管を含む場合、上記導入管は、第１導入管に加え、第１導入管以外のその他の導入管である第２導入管を含んでいてもよい。
【００３０】
本実施形態のペリクル製造装置は、更に、前記ペリクル膜部材を保持して前記貼り合わせチャンバー内に搬入するための保持部材を備えていてもよい。これにより、ペリクル膜部材に手を触れることなく、ペリクル膜部材を貼り合わせチャンバー内に搬入することができる。
保持部材は、ペリクル膜部材を保持する機能だけでなく、ペリクル枠部材を保持する機能、貼り合わせ後のペリクル枠部材及びペリクル膜部材（即ち、ペリクル）を保持する機能など、その他の機能を兼ね備えていてもよい。
【００３１】
本実施形態のペリクル製造装置が前記保持部材を備える場合、前記ペリクル膜部材は、前記ペリクル膜と、開口部を有し前記開口部以外の部分で前記ペリクル膜を支持する支持基板と、を含み、前記保持部材は、前記支持基板に接触し、かつ、前記ペリクル膜には接触しないようにして前記ペリクル膜部材を保持することが好ましい。
これにより、ペリクル膜に接触することなく、ペリクル膜部材を貼り合わせチャンバーに搬入することができる。
【００３２】
本実施形態において、前記貼り合わせユニットは、前記貼り合わせチャンバー内に、前記排気管の一端に接続され、前記排気管と前記ペリクル枠の前記貫通孔とを連通させる連通部材を含むことが好ましい。
これにより、ペリクル枠の貫通孔を通じて溝の内部を排気する際に、排気の効率をより向上させることができる。
【００３３】
上記連通部材の形状は、排気管と貫通孔とを連通させ得る形状であればどのようなものであってもよい。
上記連通部材の形状としては、例えば、ペリクル枠の外周面と接触する開口端を有し、この開口端の径が貫通孔の径よりも大きい形状が挙げられる。この場合、連通部材の上記開口端と貫通孔との位置合わせがより容易となる。
また、上記連通部材の形状としては、貫通孔の径よりも径が小さい開口端を有する形状も挙げられる。この場合、開口端を貫通孔に挿入できるので、連通部材の上記開口端と貫通孔とをよりしっかりと接続させることができる。
【００３４】
上述したとおり、上記連通部材の形状としては、例えば、ペリクル枠の貫通孔に挿入可能な開口端を有する形状も挙げられる。この場合、連通部材の上記開口端と貫通孔とをよりしっかりと接続させることができる。
この場合の一例として、枠部材の貫通孔が、ペリクル枠の外周面に向かうに従って径が増大するテーパー形状を有し、かつ、連通部材が、上記テーパー形状の貫通孔に挿入可能なテーパー形状の開口端を有する例が挙げられる。
【００３５】
また、上記連通部材は、前記ペリクル枠の外周面を押し込む方向に移動可能に設けられていることが好ましい。
これにより、連通部材とペリクル枠とをよりしっかりと接続することができる。更に、ペリクル枠の貫通孔を通じて溝の内部を排気することによってペリクル枠が排気方向に歪み変形する場合であっても、予め、連通部材によってペリクル枠の外周面を押し込んでおくことにより、枠部材の歪み変形を抑制（補正）することができる。
なお、この場合、連通部材を、ペリクル枠の外周面を押し込む方向だけでなく、その反対方向（戻す方向；即ち、外周面から離れる方向）にも移動可能に設けてもよいことは言うまでもない。
【００３６】
本実施形態のペリクル製造装置は、更に、前記ペリクル膜部材を前記ペリクル枠部材の外周形状に合わせてカット（切断）するカットユニットを備えていてもよい。
カットユニットを備える態様において、ペリクル膜部材としては、前記ペリクル枠部材の外周形状よりも大きいサイズのペリクル膜部材を用いる。この場合、ペリクル膜部材のカットは、ペリクル膜部材とペリクル枠部材との貼り合わせ前に行ってもよいし、ペリクル膜部材とペリクル枠部材との貼り合わせ後に行ってもよい。
本実施形態のペリクル製造装置が、貼り合わせユニットとは別に、カットユニットを備える態様では、貼り合わせユニット内で上記カットを行う場合と比較して、ペリクル膜部材とペリクル枠部材との貼り合わせ時において、カット（切断）によって生じるカット屑の各部材への付着が抑制される。
より詳細には、貼り合わせユニットの貼り合わせチャンバー内では、貫通孔を通じた溝の排気（減圧）及び貼り合わせチャンバーの大気開放などにより、気体の対流が生じることがある。貼り合わせユニットが気体の導入管を備え、貼り合わせチャンバーを加圧する場合には、気体の対流がより生じやすい。
この気体の対流に関し、本実施形態のペリクル製造装置が貼り合わせユニットとは別にカットユニットを備える態様では、上記気体の対流により、貼り合わせチャンバー内にカット屑が舞う現象が抑制され、ひいては、貼り合わせ時における各部材へのカット屑の付着が抑制される。
【００３７】
本実施形態のペリクル製造装置がカットユニットを備える場合、前記ペリクル膜部材は、前記ペリクル膜と、開口部を有し前記開口部以外の部分で前記ペリクル膜を支持する支持基板であって前記ペリクル枠部材の外周形状に合わせてカットするための切れ込み部を有する支持基板と、を含むことが好ましい。これにより、ペリクル膜部材のカットがより容易となる。
【００３８】
本実施形態のペリクル製造装置がカットユニットを備える場合、前記カットユニットは、前記支持基板の前記切れ込み部よりも内側の部分を外側の部分に対して押し上げることによって前記ペリクル膜部材をカットする押し上げ手段を含むことが好ましい。
これにより、上記外側の部分を上記内側の部分に対して押し上げる場合と比較して、支持基板の意図しない割れ（切れ込み部以外の部分での割れ）を抑制でき、かつ、より簡易な装置構成で、ペリクル膜部材をカットすることができる。
この態様としては、例えば、カットユニットに、上記内側の部分を支持する支持部材（例えば載置盤）と、上記外側の部分を支持する支持部材（例えば載置盤）と、を別個に設け、上記内側の部分を支持する支持部材を上記外側の部分を支持する支持部材に対して、押し上げる方向に移動可能な構造とすることが挙げられる。
この態様において、内側の部分は、最終目的物であるペリクルの構成要素となる有効部分であり、外側の部分は、最終目的物であるペリクルの構成要素とはならない不要部分である。
【００３９】
本実施形態のペリクル製造装置がカットユニットを備える場合、前記カットユニットは、前記ペリクル膜部材をカットする操作が行われるカットチャンバーと、前記カットチャンバー内に配置された前記押し上げ手段と、前記カットチャンバー内に気体を導入するための導入管と、前記導入管によって導入された気体を分散させ、前記押し上げる方向とは反対方向から前記内側の部分に吹き付ける気体分散部材と、を含むことが好ましい。
この態様では、気体分散部材による気体の吹き付けによって、カットによって生じたカット屑などを上記内側の部分（有効部分）から容易に除去することができる。
【００４０】
本実施形態のペリクル製造装置がカットユニットを備える場合、更に、カットされた前記ペリクル膜部材（ペリクル枠部材との貼り合わせ前のペリクル膜部材、又は、ペリクル枠部材との貼り合わせ後のペリクル膜部材）を洗浄する洗浄ユニットを備えることが好ましい。
これにより、カットによって生じたカット屑等の異物を上記内側の部分（有効部分）から除去することができる。
【００４１】
本実施形態のペリクル製造装置は、更に、前記貼り合わせ後の前記ペリクル枠部材及び前記ペリクル膜部材の外観検査を行う検査ユニットを備えることが好ましい。
外観検査としては、ペリクル枠部材及びペリクル膜部材の少なくとも一方に付着した異物の検査、ペリクル枠部材（ペリクル枠）の形状測定、ペリクル枠部材とペリクル膜部材との位置合わせずれの測定、等が挙げられる。
なお、ペリクル枠部材とペリクル膜部材との「位置合わせ」は、「重ね合わせ」とも言うことができる。
【００４２】
本実施形態のペリクル製造装置は、更に、前記ペリクル膜部材と貼り合わせる前の前記ペリクル枠部材の前記ペリクル枠の形状を測定する第１測定手段と、前記ペリクル膜部材と貼り合わせた後の前記ペリクル枠部材の前記ペリクル枠の形状を測定する第２測定手段と、を備えることが好ましい。
この態様では、貼り合わせ（特に、上記ペリクル枠の上記溝の内部の排気）によるペリクル枠の変形の有無、及び、変形量を調べることができる。
【００４３】
本実施形態のペリクル製造装置が第１測定手段及び第２測定手段を備える場合、本実施形態のペリクル製造装置は、前記ペリクル枠部材と前記ペリクル膜部材とを貼り合わせる前に、前記ペリクル枠部材と前記ペリクル膜部材とのアライメントを行うアライメント手段と、前記貼り合わせる前の前記ペリクル枠の形状の測定結果と前記貼り合わせた後の前記ペリクル枠の形状の測定結果とに基づいて、前記アライメント手段によるアライメントをフィードフォワード制御する制御手段と、を備えることがより好ましい。
この態様では、上記制御手段により、貼り合わせによるペリクル枠の変形を見越し、予め、アライメント手段によるペリクル枠部材とペリクル膜部材とのアライメントを、変形に起因するアライメントずれ（位置合わせずれ）が小さくなる（好ましくは最小化される）ように制御することができる。
この態様において、制御手段は省略されてもよく、アライメント手段によるアライメントの調整を手動で行ってもよい。
【００４４】
本実施形態のペリクル製造装置が第１測定手段及び第２測定手段を備える場合、本実施形態のペリクル製造装置は、更に、前記貼り合わせる前の前記ペリクル枠の形状の測定結果と前記貼り合わせた後の前記ペリクル枠の形状の測定結果との差に基づいて、前記貼り合わせによる前記ペリクル枠の歪み量を算出する算出手段を備えることが好ましい。
この態様では、上記算出手段により、貼り合わせによるペリクル枠の歪み量（例えば、貫通孔を通じた溝の排気によるペリクル枠の歪み量）を見越し、予め、連通部材による枠部材の押し込み量を、ペリクル枠の歪みが小さくなる（好ましくは最小化される）ように制御することができる。
【００４５】
本実施形態のペリクル製造装置が上記算出手段を備える場合、本実施形態のペリクル製造装置は、前記貼り合わせユニットが、前記貼り合わせチャンバー内に、前記排気管の一端に接続され、前記排気管と前記ペリクル枠の前記貫通孔とを連通させ、前記ペリクル枠の外周面を押し込む方向に移動可能に設けられている連通部材を含み、前記算出手段が、前記歪み量に基づいて、前記連通部材による前記ペリクル枠の押し込み量をフィードフォワード制御する制御手段であることが好ましい。
この態様では、上記算出手段により、歪み量の算出だけでなく、ペリクル枠の押し込み量の制御も行うことができる。
【００４６】
＜具体例＞
次に、本実施形態の一例を、図１〜２６を参照しながら説明するが、本発明は以下の一例によって限定されることはない。
【００４７】
（ペリクル枠の具体例）
図１及び図２は、本実施形態のペリクル製造装置において、貼り合わせの対象物の一つである、ペリクル枠部材のペリクル枠の一例を示す概略斜視図である。
図１は、一例に係るペリクル枠の厚さ方向の一端面を観察できる方向からみた概略斜視図であり、図２は、同じペリクル枠の厚さ方向の他端面を観察できる方向からみた概略斜視図である。
図３は、上記一例に係るペリクル枠の部分断面図であり、詳細には、図１のＡ−Ａ線断面図である。
【００４８】
図１及び図２に示すように、本一例に係るペリクル枠１００の形状は、矩形の枠形状である。ペリクル枠１００をペリクルの一部材としたときには、ペリクル枠１００によって囲まれた開口部５０を露光光が通過する。
ペリクル枠１００の外形は、ペリクル枠１００の厚さ方向の一端面１０と、他端面２０と、４つの面からなる外周面３０と、４つの面からなる内周面４０によって確定される。
なお、ペリクル枠１００の厚さ方向からみた形状は、上述のとおり矩形状であるが、本実施形態のペリクル枠の厚さ方向からみた形状は矩形状には限定されず、矩形状以外の形状（例えば、台形状、枠の外側部分に出っ張りを有する形状、等）であってもよい。
【００４９】
図１及び図３に示すように、一端面１０には、溝１２が設けられている。
この実施形態において、ペリクル枠１００の厚さ方向から見た溝１２の形状は、ペリクル枠１００の形状に沿って一周する無端形状となっている。
ペリクル枠の厚さ方向から見た溝の形状の変形例については後述する。
【００５０】
ペリクル枠１００は、貫通孔１４Ａ及び貫通孔１４Ｂを有している。
貫通孔１４Ａ及び貫通孔１４Ｂは、それぞれ、溝１２の底面と外周面３０との間を貫通している。
【００５１】
ここで、貫通孔１４Ａ及び１４Ｂは、それぞれ、溝１２の側面と外周面３０との間を貫通していてもよい。
また、貫通孔１４Ａ及び１４Ｂのいずれか一方は、省略されていてもよい。即ち、ペリクル枠１００では、１つの溝（溝１２）に対して２つの貫通孔（貫通孔１４Ａ及び１４Ｂ）が接続しているが、本実施形態はこの態様には限定されない。本実施形態では、１つの溝（溝１２、溝２２）に対し、少なくとも１つの貫通孔が接続されていればよい。
【００５２】
また、図２及び図３に示すように、一端面１０とは反対側の他端面２０には、溝２２が設けられている。
この実施形態において、溝２２の形状も、溝１２の形状と同様に、厚さ方向から見たときに、ペリクル枠１００の形状に沿って一周する無端形状となっている。
【００５３】
ペリクル枠１００は、貫通孔２４Ａ及び貫通孔２４Ｂを有している。
貫通孔２４Ａ及び貫通孔２４Ｂは、それぞれ、溝２２の底面と外周面３０との間を貫通している。
貫通孔２４Ａ及び２４Ｂのバリエーションについては、貫通孔１４Ａ及び１４Ｂのバリエーションと同様である。
【００５４】
上述したペリクル枠１００は、一端面１０の側又は他端面２０の側にペリクル膜を支持させてペリクルを作製する用途に好適である。
例えば、一端面１０の側にペリクル膜を支持する場合について説明すると、ペリクル枠１００には、ペリクル膜との対向面となる一端面１０に溝１２が設けられ、かつ、この溝１２に接続する貫通孔１４Ａ及び１４Ｂが設けられている。このため、一端面１０の側にペリクル膜を固定する際に、貫通孔１４Ａ及び１４Ｂを通じて溝１２の内部を（例えば真空ポンプ等の排気手段によって）排気することにより、ペリクル枠１００とペリクル膜との間の圧力を減圧することができる。この減圧により、ペリクル枠１００とペリクル膜との間に押し付け合う力を働かせることができるので、ペリクル膜の膜面に極力接触することなく、両者を貼り合わせることができる。
また、他端面２０の側にペリクル膜を支持する場合にも、同様の効果が奏される。
【００５５】
ペリクル枠１００は、いずれか一方の端面の側にペリクル膜を支持する部材であるため、上記溝は、ペリクル膜と対向する端面にのみ設けられていてもよい。即ち、溝１２、貫通孔１４Ａ、及び貫通孔１４Ｂの組み合わせ、並びに、溝２２、貫通孔２４Ａ、及び貫通孔２４Ｂの組み合わせのうちのいずれか一方は省略されていてもよい。
【００５６】
ペリクル枠１００は、一端面１０及び他端面２０の両方に溝（溝１２、溝２２）を有しているため、ペリクル膜を支持する端面の選択の幅が広いという利点を有する。
また、ペリクル枠１００は、一端面１０及び他端面２０の両方に溝（溝１２、溝２２）を有しているため、一端面１０側（又は他端面２０側）にペリクル膜が配置され、他端面２０側（又は一端面１０側）に原版（マスク）が配置された構成の、ペリクル付き露光原版の作製に好適であるという利点も有する。この場合、上述した、貫通孔を通じた溝の排気（減圧）により、ペリクル膜の膜面に接触することなくペリクル枠１００とペリクル膜とを貼り合わせることができ、ペリクル膜の膜面に極力接触することなくペリクル枠１００と原版とを貼り合わせることができる。
【００５７】
以下では、便宜上、ペリクル枠１００の一端面１０の側にペリクル膜を支持する場合を中心に説明するが、ペリクル枠１００の他端面２０の側にペリクル膜を支持してもよいことはもちろんである。
【００５８】
ペリクル枠１００の寸法は、例えば、以下の寸法とすることができる。
ペリクル枠１００の長辺方向の長さＬ１は、例えば１３５ｍｍ〜１５３ｍｍとすることができ、１４０ｍｍ〜１５２ｍｍが好ましく、１４５ｍｍ〜１５１ｍｍがより好ましい。
ペリクル枠１００の短辺方向の長さＬ２は、例えば１００ｍｍ〜１３０ｍｍとすることができ、１０５ｍｍ〜１２５ｍｍが好ましく、１１０ｍｍ〜１２０ｍｍがより好ましい。
長辺方向の長さＬ１と短辺方向の長さＬ２とは、同一寸法であってもよい。即ち、ペリクル枠１００の形状は、正方形形状であってもよい。
ペリクル枠１００の枠幅（フレーム幅）Ｗは、例えば１．０ｍｍ〜５．０ｍｍとすることができ、１．２ｍｍ〜３．５ｍｍが好ましく、１．５ｍｍ〜２．５ｍｍがより好ましい。枠幅は、矩形形状のペリクル枠１００の４辺において、同一の寸法としてもよいし、異なる寸法としてもよい。
また、ペリクル枠１００によって囲まれた開口部５０（貫通孔）の長辺方向の長さは、例えば１３０ｍｍ〜１５２ｍｍとすることができ、１３５ｍｍ〜１５１ｍｍが好ましく、１４０ｍｍ〜１５０ｍｍがより好ましい。
また、開口部５０の幅は、例えば９５ｍｍ〜１３０ｍｍとすることができ、１００ｍｍ〜１２５ｍｍが好ましく、１０５ｍｍ〜１２０ｍｍがより好ましい。
ペリクル枠の厚さｔは、例えば０．５ｍｍ〜５．０ｍｍとすることができ、０．５ｍｍ〜３．０ｍｍが好ましく、０．５ｍｍ〜２．０ｍｍがより好ましい。
【００５９】
また、溝１２及び溝２２の幅は、溝での圧力損失低減、ペリクル枠の枠幅との関係、等を考慮して適宜設定できるが、例えば１０μｍ〜１．０ｍｍとすることができ、５０μｍ〜７００μｍが好ましく、１００μｍ〜６００μｍがより好ましく、２００μｍ〜５００μｍが特に好ましい。
また、溝１２及び溝２２の深さは、溝での圧力損失低減、ペリクル枠の厚さとの関係、等を考慮して適宜設定できるが、例えば１０μｍ〜１．０ｍｍとすることができ、５０μｍ〜７００μｍが好ましく、１００μｍ〜６００μｍがより好ましく、２００μｍ〜５００μｍが特に好ましい。
【００６０】
また、貫通孔１４Ａ、１４Ｂ、２４Ａ、及び２４Ｂの幅は、貫通孔での圧力損失低減、ペリクル枠の厚さとの関係等を考慮して適宜設定できるが、例えば例えば１０μｍ〜１．０ｍｍとすることができ、５０μｍ〜７００μｍが好ましく、１００μｍ〜６００μｍがより好ましく、２００μｍ〜５００μｍが特に好ましい。
また、貫通孔１４Ａ、１４Ｂ、２４Ａ、及び２４Ｂの長さは、貫通孔での圧力損失低減、等を考慮して適宜設定できるが、例えば０．５ｍｍ〜１０ｍｍとすることができ、０．７ｍｍ〜５．０ｍｍが好ましく、１．０ｍｍ〜２．０ｍｍがより好ましい。
ここで、貫通孔の幅とは、貫通孔からなる流路の流路幅（貫通孔の断面が円形状である場合には直径）を指し、貫通孔の長さとは、貫通孔からなる流路の流路長を指す。
【００６１】
ペリクル枠１００の材質には特に制限はなく、ペリクル枠に用いられる通常の材質とすることができる。
ペリクル枠１００の材質として、具体的には、アルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）、ステンレス、シリコン、シリコン合金、鉄、鉄系合金、炭素鋼、工具鋼、セラミックス、金属−セラミックス複合材料、樹脂等が挙げられる。中でも、アルミニウム、アルミニウム合金が、軽量かつ剛性の面からより好ましい。
【００６２】
また、ペリクル枠１００は、その表面に保護膜を有していてもよい。
保護膜としては、露光雰囲気中に存在する水素ラジカルおよびＥＵＶ光に対して耐性を有する保護膜が好ましい。
保護膜としては、例えば、酸化被膜が挙げられる。
酸化被膜は、陽極酸化等の公知の方法によって形成することができる。
また酸化被膜は、黒色系染料によって着色されていてもよい。ペリクル枠１００が黒色系染料によって着色された酸化被膜を有する場合には、ペリクル枠１００上の異物の検出がより容易となる。
その他、ペリクル枠１００のその他の構成については、例えば、特開２０１４−０２１２１７号公報、特開２０１０−１４６０２７号公報等の公知のペリクル枠の構成を適宜参照することができる。
【００６３】
次に、ペリクル枠の変形例について説明する。
図１〜図３に示したペリクル枠１００では、１つの端面につき１つの溝が設けられているが、本実施形態では、１つの端面につき２つ以上の溝が設けられていてもよい。１つの端面につき２つ以上の溝が設けられている場合、２つ以上の溝のそれぞれに、上記貫通孔が接続されていることが好ましい（例えば、図４参照）。
また、ペリクル枠が矩形形状である場合には、ペリクル枠と他の部材との間の押し付け合う力をより効果的に働かせる観点から、ペリクル枠の４辺に溝が存在することが好ましい。
ここで、「ペリクル枠の４辺に溝が存在する」態様には、例えば、
ペリクル枠の４辺に渡って１つの溝が設けられている態様（例えば、図１及び図２参照）、
ペリクル枠の４辺のそれぞれにつき１つ以上の溝が設けられている態様（例えば、図４参照）、
ペリクル枠の２辺に渡る１つの溝が設けられ、かつ、残りの２辺に渡る１つの溝が設けられている態様、
等が含まれる。
【００６４】
図４は、本実施形態の変形例に係るペリクル枠１０１を、厚さ方向の一端面を観察できる方向からみた概略斜視図である。
図４に示すように、ペリクル枠１０１の一端面１０には、溝が４つ、即ち、溝１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、及び１２Ｄが設けられている。ペリクル枠１０１には、溝１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、及び１２Ｄのそれぞれの底面と、外周面３０と、の間を貫通する、貫通孔１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、及び１６Ｄがそれぞれ設けられている。
このペリクル枠１０１において、それぞれの溝は、ペリクル枠１０１のコーナー部分を中心として２辺に跨り、かつ、２辺の途中に端部を有する形状となっている。但し、本実施形態の溝の形状はどのようなものであってもよい。
また、このペリクル枠１０１において、それぞれの溝の一端部に、貫通孔が接続されている。但し、本実施形態において、溝に接続する貫通孔の位置は、どの部分であってもよい。貫通孔は、要するに、溝の壁面とペリクル枠の外周面との間を貫通していればよい。
【００６５】
また、図４では図示を省略したが、ペリクル枠１０１の他端面には、ペリクル枠１００の他端面２０と同様に、溝が設けられており、更に、他端面側の溝の壁面と外周面とを貫通する貫通孔が設けられている。但し、ペリクル枠１０１の他端面側の溝の形状を、ペリクル枠１０１の一端面側の溝の形状と同一形状としてもよい。
ペリクル枠１０１において、上述した以外の構成は、ペリクル枠１００の構成と同様であり、好ましい範囲も同様である。
【００６６】
（ペリクル枠部材の具体例）
図５は、本実施形態のペリクル製造装置において、貼り合わせの対象物の一つであるペリクル枠部材の一例を示す概略断面図である。
図５に示すように、ペリクル枠部材の一例であるペリクル枠部材１１０は、上述したペリクル枠１００と、上記ペリクル枠１００の一端面１０に接する接着剤層１０２と、上記ペリクル枠１００の他端面２０に接する接着剤層１０４と、接着剤層１０４に接する剥離ライナー１０６と、を備えている。
【００６７】
ペリクル枠部材１１０において、接着剤層１０２は、ペリクル枠１００の一端面１０のうち、溝１２以外の部分に設けられている。これにより、貫通孔１４Ａ及び１４Ｂを通じた溝１２の排気を効率よく行えるようになっている。
【００６８】
接着剤層１０２は、ペリクル膜部材とペリクル枠１００とを接着するための層であり、接着剤を含む。
本実施形態において、「接着剤」は広義の接着剤を指し、「接着剤」の概念には、粘着剤も含まれるものとする。
接着剤層１０２に含まれる接着剤としては、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、ポリイミド樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、無機系接着剤、両面粘着テープ、シリコーン樹脂粘着剤、アクリル系粘着剤、ポリオレフィン系粘着剤、等が挙げられる。
中でも、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、ポリイミド樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、無機系接着剤、が好ましい。
接着剤層１０２の厚さには特に制限はないが、１μｍ〜５００μｍが好ましく、１０μｍ〜４００μｍがより好ましく、２０μｍ〜３００μｍが特に好ましい。
【００６９】
接着剤層１０２は、本実施形態のペリクル製造装置に搬入される前に形成されるものであってもよいし、本実施形態のペリクル製造装置内（例えば、接着剤層形成ユニット）で形成させるものであってもよい。
【００７０】
接着剤層１０４は、本実施形態のペリクル製造装置によるペリクルの製造（即ち、ペリクル枠部材１１０とペリクル膜部材との貼り合わせ）の後、ペリクル枠１００と原版（マスク）とを接着するための層であり、接着剤を含む。
接着剤層１０４に含まれる接着剤としては、接着剤層１０２に含まれる接着剤と同様のものが挙げられるが、中でも、両面粘着テープ、シリコーン樹脂粘着剤、アクリル系粘着剤、ポリオレフィン系粘着剤が好ましい。
接着剤層１０４の厚さには特に制限はないが、１μｍ〜５００μｍが好ましく、１０μｍ〜４００μｍがより好ましく、２０μｍ〜３００μｍが特に好ましい。
【００７１】
剥離ライナー１０６は、本実施形態のペリクル製造装置によるペリクルの製造の前、上記ペリクルの製造の途中、及び上記ペリクルの製造後であってペリクルと原版との貼り合わせ前において、接着剤層１０４によるベタつきや接着剤層１０４への異物の付着を防止するための部材である。また、剥離ライナー１０６は、ペリクル枠部材１１０の各部材のうち、装置、治具、手などによって接触しても影響が少ない部材であるという意義も有する。
【００７２】
剥離ライナーは、剥離フィルムやセパレーターとも呼ばれている部材である。
剥離ライナーとしては、シリコーン化合物などの剥離層を持つＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム等の公知のものを特に制限なく用いることができる。
ペリクル枠部材１１０において、剥離ライナー１０６の厚さ方向からみた形状は、ペリクル枠１００及び開口部５０（ペリクル枠１００によって囲まれる開口部）に渡る形状、即ち、開口部を有しない平板形状となっている。但し、剥離ライナー１０６の形状は、どのようなものであってもよい。剥離ライナーは、接着剤層１０４の表面にのみ接する、枠形状の部材（開口部を有する部材）であってもよい。また、剥離ライナーは、ペリクル枠１００よりも大きい部材であってもよく、例えば、ペリクル枠１００の厚さ方向からみたときに、ペリクル枠１００の外側にはみ出す大きさを有する部材であってもよい。
【００７３】
剥離ライナー１０６の厚さには特に制限はないが、５μｍ〜５００μｍが好ましく、１０μｍ〜４００μｍがより好ましく、２０μｍ〜３００μｍが特に好ましい。
【００７４】
ペリクル枠部材１１０の構成部材（好ましくはペリクル枠１００）には、ペリクル膜部材とのアライメント（位置合わせ）精度を向上させるためのアライメントマークが形成されていてもよい。
【００７５】
（ペリクル膜部材の具体例）
図６は、本実施形態のペリクル製造装置において、貼り合わせの対象物の一つであるペリクル膜部材の一例を示す概略平面図である。
図７は、図６のＢ−Ｂ線断面図である。但し、図７では、図６に対し、ペリクル膜部材の全体の寸法に対する外側部分１２４の寸法の比率が小さくなるように図示している（図９、図１２、図１３でも、同様に図示している）。
【００７６】
図６及び図７に示すように、本一例に係るペリクル膜部材１２０は、ペリクル膜１３０と、ペリクル膜１３０を支持する支持基板１２６と、を備える。
図６は、ペリクル膜部材１２０を、支持基板１２６を観察できる方向からみた概略平面図となっている。
【００７７】
支持基板１２６は、シリコンウエハに代表される円形状の基板であり、かつ、その中央部に矩形状の開口部１２７を有している。
支持基板１２６は、開口部１２７以外の部分でペリクル膜１３０を支持している。言い換えれば、図６において、支持基板１２６の開口部１２７にはペリクル膜１３０が露出している。
ペリクル膜部材１２０において、支持基板１２６の開口部１２７の形状及びサイズは、それぞれ、前述のペリクル枠１００によって囲まれる開口部５０の形状及びサイズと略同一となっている。これにより、ペリクル膜部材１２０と前述のペリクル枠部材１１０とを貼り合わせてペリクルを製造する際に、開口部１２７と開口部５０とが重なるように貼り合わせることができる（例えば、後述の図８及び図９参照）。製造されたペリクルを原版に貼り合わせて露光装置に装着した場合には、開口部１２７と開口部５０とが重なる領域を、露光光が通過する。
但し、開口部１２７のサイズ及び開口部５０のサイズは、完全に同一とする必要はなく、例えば、開口部１２７のサイズを開口部５０のサイズよりも小さくしてもよいし、開口部１２７のサイズを開口部５０のサイズよりも大きくしてもよい。但し、開口部の一辺の長さの違いを、２ｍｍ以内（好ましくは１ｍｍ以内）に抑えることが好ましい。
【００７８】
また、支持基板１２６には、ペリクル膜部材１２０とペリクル枠部材１１０とを貼り合わせる前または貼り合わせた後において、ペリクル枠部材１１０の外周形状に合わせてカット（切断）するための切れ込み部１２８が設けられている。
支持基板１２６において、切れ込み部１２８よりも内側の領域である内側部分１２２は、最終的なペリクルに残る部分である。内側部分１２２は、部材単体として見れば、ペリクル枠と同様の枠形状の部材である。支持基板１２６において、切れ込み部１２８よりも外側の領域である外側部分１２４は、最終的なペリクルに残らない部分（即ち、不要部分）である。
内側部分１２２の外周の形状及びサイズは、それぞれ、ペリクル枠１００の外周の形状及びサイズと略同一となっている。
両者のサイズは完全に同一とする必要はないが、外周の一辺の長さの違いを２ｍｍ以内（好ましくは１ｍｍ以内）に抑えることが好ましい。
【００７９】
上記支持基板１２６の材質としては、アルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）、ステンレス、シリコン、シリコン合金、鉄、鉄系合金、炭素鋼、工具鋼、セラミックス、金属−セラミックス複合材料、樹脂等が挙げられる。中でも、シリコン、シリコン合金が好ましい。
【００８０】
また、上記支持基板１２６の形状は、必ずしも円形状であることには限定されず、矩形状、楕円形状等のその他の形状であってもよい。
また、支持基板１２６には、ノッチ、オリエンテーションフラット等の切り欠きが設けられていてもよい。
【００８１】
支持基板１２６の厚さは、例えば０．０３〜５．０ｍｍとすることができ、０．０５〜３．０ｍｍが好ましく、０．１５〜２．０ｍｍがより好ましく、０．３ｍｍ〜１．０ｍｍが特に好ましい。
【００８２】
上記ペリクル膜１３０の材質には特に制限はなく、有機系材料であっても、無機系材料であっても、有機系材料と無機系材料との混合材料であってもよい。
有機系材料としては、フッ素系ポリマー等が挙げられる。
無機系材料としては、結晶シリコン（例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン、等）、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、グラファイト、アモルファスカーボン、グラフェン、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等が挙げられる。
ペリクル膜１３０は、上記材料を１種単独で含んでいてもよいし、２種以上を含んでいてもよい。
【００８３】
また、ペリクル膜１３０の構成は、単層構成であっても、二層以上からなる構成であってもよい。
ペリクル膜の厚さ（二層以上からなる場合には総厚）は、例えば、１０ｎｍ〜２００ｎｍとすることができ、１０ｎｍ〜１００ｎｍが好ましく、１０ｎｍ〜７０ｎｍがより好ましく、１０〜５０ｎｍが特に好ましい。
【００８４】
上述したとおり、ペリクル膜部材１２０において、ペリクル膜１３０は支持基板１２６によって支持されている。
かかる態様のペリクル膜部材は、ペリクル膜が自立しにくい膜（例えば、シリコン結晶膜等の無機系材料を含むペリクル膜、厚さが薄いペリクル膜、等）である場合であっても、支持基板によってペリクル膜の膜形状を保持しながらペリクルを製造できるという利点を有する。
【００８５】
ペリクル膜部材１２０は、例えば、まず、支持基板１２６の素材（開口部１２７が設けられる前の支持基板）としてのシリコンウェハ（例えば８インチシリコンウェハ）上に、ペリクル膜１３０としてのシリコン結晶膜を形成し、次いで、このシリコンウェハのシリコン結晶膜非形成面側から、シリコンウェハの中央部をエッチングしてこの中央部のシリコンウェハを除去して開口部１２７を形成することにより作製できる。
ペリクル膜１３０としては、シリコン結晶膜以外にも、窒化ケイ素膜／シリコン結晶膜／窒化ケイ素膜の構成の積層膜など、その他の膜を用いることもできる。また、支持基板１２６としてはシリコンウェハ以外のその他の基板を用いることもできる。
その他の材料（膜、基板）を用いた場合であっても、上記と同様の方法により、ペリクル膜部材を作製することができる。
【００８６】
ペリクル膜部材１２０の構成部材（好ましくは支持基板１２６）には、ペリクル枠部材とのアライメント（位置合わせ）精度を向上させるためのアライメントマークが形成されていてもよい。
【００８７】
（ペリクルの具体例）
図８は、本実施形態のペリクル製造装置によって製造されるペリクルの一例を示す概略断面図である。
図８に示すように、ペリクル２００は、上述のペリクル枠部材１１０と、ペリクル膜１３０と支持基板の内側部分１２２とからなるペリクル膜部材１４０と、を貼り合わせてなるものである。詳細には、ペリクル２００では、ペリクル膜部材１４０の内側部分１２２と、ペリクル枠部材１１０の接着剤層１０２と、が接する配置で、ペリクル枠部材１１０とペリクル膜部材１４０とが貼り合されている。
ここで、ペリクル膜部材１４０は、前述のペリクル膜部材１２０を切れ込み部１２８の位置でカットすることにより、前述のペリクル膜部材１２０から、外側部分１２４及び外側部分１２４に接するペリクル膜（以下、「外側部分１２４等」ともいう）を除去して得られたものである。
ペリクル膜部材１２０のカット（外側部分１２４等の除去）は、ペリクル膜部材とペリクル枠部材との貼り合わせ前に行ってもよいし、貼り合わせ後に行ってもよい。
【００８８】
ペリクル２００において、各部材の厚さの好ましい範囲は前述したとおりである。
各部材の厚さは、ペリクル２００の総厚が５．０ｍｍ以下（より好ましくは３．０μｍ以下、更に好ましくは２．０ｍｍ以下）となるように調整することが好ましい。
【００８９】
（貼り合わせユニットの具体例）
図９〜図１１は、本実施形態のペリクル製造装置における貼り合わせユニットの一例を示す概略構成図である。貼り合わせユニットは、単体としても、ペリクル製造装置として機能するユニットである。
図９は、貼り合わせユニットの貼り合わせチャンバー内において、ペリクル枠を含むペリクル枠部材と、ペリクル膜を含むペリクル膜部材と、の貼り合わせが行われる様子に視点を置いた概略断面図である。図９では、貼り合わせチャンバー内の詳細な構成は図示を省略している。
図１０及び図１１は、貼り合わせチャンバー内の詳細な構成、及び、貼り合わせチャンバーにペリクル膜部材が搬入される様子に視点を置いた概略断面図である。図１０及び図１１では、ペリクル枠部材及びペリクル膜部材の詳細な構成については、図示を省略している。
【００９０】
図９に示すように、貼り合わせユニット３００の貼り合わせチャンバー３１０内には、上記ペリクル膜部材１２０及び上記ペリクル枠部材１１０が配置される。両者は、ペリクル膜部材１２０の支持基板の内側部分１２２と、ペリクル枠部材１１０の接着剤層１０２と、が対向するようにして配置される。ペリクル枠１００のペリクル膜部材１２０と対向する側の端面（一端面１０）には、溝１２が設けられている。そして接着剤層１０２は、ペリクル枠１００の一端面１０上における溝１２以外の部分に設けられている。
貼り合わせチャンバー３１０内では、排気管（図９では不図示。図１０及び図１１では排気管３１２Ａ及び３１２Ｂ）により、貫通孔１４Ｂを通じて溝１２の内部の排気（減圧）が行われ（矢印Ｅ２）、かつ、貫通孔１４Ａを通じて溝１２の内部の排気（減圧）が行われる（矢印Ｅ１）。これらの排気（減圧）により、ペリクル膜部材１２０とペリクル枠部材１１０との間に引き付け合う力Ｆ（即ち、押し付け合う力）を働かせることができる。この力Ｆの作用により、ペリクル膜１３０に極力接触することなく、両者を貼り合わせることができる。
このとき、不図示の導入管により、貼り合わせチャンバー３１０内に気体を導入して貼り合わせチャンバー３１０内を加圧することが好ましい。これにより、ペリクル枠部材及びペリクル膜部材が配置される貼り合わせチャンバー３１０内全体の雰囲気の圧力と、溝１２の内部の圧力と、の差（差圧）をより大きくすることができるので、上記力Ｆをより効果的に働かせることができる。
【００９１】
上記力Ｆ（ペリクル枠全体に加わる力）は、１Ｎ以上が好ましく、２Ｎ以上がより好ましい。
上記力Ｆ（ペリクル枠全体に加わる力）は、１０Ｎ以上が更に好ましく、２０Ｎ以上が特に好ましい。
上記力Ｆ（ペリクル枠全体に加わる力）の上限には特に制限はないが、生産性などの点からは、例えば５００Ｎ、好ましくは４００Ｎである。
【００９２】
次に、貼り合わせユニット３００の構成を、図１０及び図１１を参照して説明する。
図１０は、貼り合わせユニット３００の貼り合わせチャンバー３１０内にペリクル枠部材１１０が搬入された後であって、貼り合わせチャンバー３１０内にペリクル膜部材１２０が搬入される前の状態を示している。
【００９３】
図１０及び図１１に示すように、貼り合わせユニット３００は、貼り合わせチャンバー３１０と、貼り合わせチャンバー３１０内に気体を導入して貼り合わせチャンバー３１０内を加圧するための第１導入管３２２及び第２導入管３２６と、ペリクル枠部材１１０のペリクル枠１００の貫通孔を通じて上記溝の内部を排気するための排気管３１２Ａ及び３１２Ｂと、を備えている。
【００９４】
ここで、第１導入管３２２は、貼り合わせチャンバー３１０内にペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０が配置された時に、ペリクル膜部材１２０に対向する側から（この例では貼り合わせチャンバー３１０の上面から）気体を導入できる位置に配置されている。貼り合わせユニット３００は、第１導入管３２２を複数備えていてもよい。
一方、第２導入管３２６は、貼り合わせチャンバー３１０内にペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０が配置された時に、ペリクル枠部材１１０の下方であって貼り合わせチャンバー３１０の側面から気体を導入できる位置に配置されている。第２導入管３２６は、この位置に限らず、貼り合わせチャンバー３１０内に気体を導入できるあらゆる位置に設けることができる。また、貼り合わせユニット３００は、第２導入管３２６を複数備えていてもよい。
【００９５】
第１導入管３２２及び第２導入管３２６の他端は、それぞれ、（必要に応じ他の配管等を介し、）ボンベ等の気体供給手段に接続できるようになっている。
また、第１導入管３２２及び第２導入管３２６の途中には、気体の導入を行うか否かを切り替えるための弁（不図示）が設けられていてもよい。この弁は、気体の流量等を調整する機構を備えた調整弁であってもよい。
なお、第１導入管３２２及び第２導入管３２６を通じて供給される気体には特に制限なないが、例えば、乾燥空気、不活性ガス等を用いることができる。
【００９６】
排気管３１２Ａ及び３１２Ｂは、それぞれ、一端に接続された連通部材を介して、ペリクル枠部材１１０のペリクル枠の貫通孔に接続できるようになっている。
【００９７】
図１２は、図１０及び図１１における排気管の一つである排気管３１２Ｂが、ペリクル枠の貫通孔に接続される様子を概念的に示す部分断面図である。
図１２に示すように、排気管３１２Ｂの一端には、ペリクル枠１００の貫通孔１４Ｂと排気管３１２Ｂとを連通させる連通部材３１４が接続されている。貼り合わせユニット３００がこの連通部材３１４を備えることにより、貫通孔１４Ｂを通じた溝１２の内部を排気する際に、排気の効率がより向上する。連通部材３１４は、必ずしも排気管３１２Ｂに対して独立した部材である必要はない。即ち、排気管３１２Ｂと連通部材３１４とは、一体成形された一つの部材であってもよい。
【００９８】
連通部材３１４の形状は、ペリクル枠１００の外周面と接触する開口端を有し、この開口端の径が貫通孔の径よりも大きい形状となっている。連通部材３１４の形状がかかる形状であることにより、連通部材３１４の開口端と貫通孔１４Ｂとの位置合わせを容易に行えるようになっている。より具体的には、連通部材３１４の形状は、排気管３１２Ｂの一端から遠ざかるに従って径が増大するテーパー形状となっている。
【００９９】
また、連通部材３１４は、ペリクル枠１００の外周面を押し込む方向（矢印Ｊ２の方向）に移動可能に設けられている。これにより、連通部材３１４とペリクル枠１００とをよりしっかりと接続することができる。更に、ペリクル枠１００の貫通孔１４Ｂを通じて溝１２の内部を排気することによってペリクル枠１００が排気方向（矢印Ｅ２の方向）に歪み変形する場合であっても、予め、連通部材３１４によってペリクル枠１００の外周面を押し込むことにより、ペリクル枠１００の歪み変形を補正することができる。
なお、当然ではあるが、連通部材３１４は、矢印Ｊ２とは反対方向（戻す方向）にも移動可能となっている。
【０１００】
図１３は、本実施形態の変形例において、排気管の一つがペリクル枠の貫通孔に接続される様子を概念的に示す部分断面図であり、上記一例における図１２の部分断面図に対応する図である。
図１３に示すように、変形例に係るペリクル枠１０３の貫通孔１１４Ｂ及び１２４Ｂは、ペリクル枠１０３の外周面に向かうに従って径が増大するテーパー形状を有している。変形例に係る連通部材３１６は、貫通孔１１４Ｂのテーパー形状の部分に挿入可能なテーパー形状を有している。
この変形例によれば、連通部材３１６を貫通孔１１４Ｂのテーパー形状の部分に挿入することにより（矢印Ｊ１２参照）、排気管３１２Ｂと貫通孔１１４Ｂとをよりしっかりと接続することができる。
上記変形例において、上記以外の点は、上記一例と同様であり、好ましい態様も同様である。
なお、連通部材及び貫通孔がテーパー形状以外の形状である場合であっても、連通部材を貫通孔に挿入できる構造であれば、上記変形例と同様の効果が奏される。例えば、連通部材が円筒形状の部材であり、貫通孔が円柱形状の空間である場合であっても、連通部材の径を貫通孔の径よりも小さくすることにより、連通部材を貫通孔に挿入することができる。
【０１０１】
また、本実施形態において、連通部材は省略されていてもよい。本実施形態では、要するに、排気管と貫通孔とを連通できる構成となっていればよい。
【０１０２】
次に、図１０及び１１に戻り、排気管３１２Ａ及び３１２Ｂの他端（不図示）は、貼り合わせチャンバー３１０外に配置されている。これらの他端は、それぞれ、（必要に応じ他の配管等を介し、）真空ポンプ等の排気手段に接続できるようになっている。
また、排気管３１２Ａ及び３１２Ｂの途中には、溝１２の排気を行うか否かを切り替えるための弁（不図示）が設けられていてもよい。この弁は、気体の流量等を調整する機構を備えた調整弁であってもよい。
【０１０３】
なお、貼り合わせユニット３００では、ペリクル枠１００の溝１２に接続する貫通孔の数（２つ）に合わせ、排気管が２つ設けられているが、本実施形態における排気管の数は２つに限定されないことは言うまでもない。排気管の数には特に制限はないが、排気管の端部の数を、上記貫通孔の数と一致させることが好ましい。また、排気管としては分岐した排気管を用いてもよい。本実施形態では、要するに、ペリクル枠のペリクル膜部材に対向する側の端面に設けられた溝に対して接続している各貫通孔に、排気管の各端部が接続できるようになっていることが好ましい。
【０１０４】
図１０及び図１１に示すように、貼り合わせチャンバー３１０内には、更に、ペリクル枠部材１１０を載置するための載置盤３３０が設けられている。載置盤３３０は、ペリクル枠部材１１０を吸着するための吸着機構（例えば複数の吸着孔。以下同じ。）が備えられている。
貼り合わせチャンバー３１０内には、更に、載置盤３３０に対して昇降可能な昇降ピン３３２が設けられている。この昇降ピン３３２は、貼り合わせチャンバー３１０内に搬入されたペリクル枠部材１１０を受け取り、その後降下することによってペリクル枠部材１１０を載置盤３３０上に載置する機能、及び、載置盤３３０上に載置されたペリクル枠部材１１０を持ち上げて載置盤３３０から離す機能を有する。
貼り合わせチャンバー３１０内には、ペリクル枠部材１１０用の昇降ピンと、ペリクル膜部材１２０用の昇降ピンと、が別個独立に設けられていてもよいし、ペリクル枠部材１１０用及びペリクル膜部材１２０用を兼ね備えた昇降ピンが設けられていてもよい。
【０１０５】
載置盤３３０は、水平方向（より詳細には、互いに直交するＸ方向及びＹ方向、並びに、回転方向であるθ方向）に移動可能に設けられていてもよく、これにより、ペリクル枠部材１１０とペリクル膜部材１２０とのアライメント（位置合わせ）調整を行えるようになっていてもよい。
即ち、水平方向に移動可能に設けられている場合の載置盤３３０は、アライメント手段として機能する。
【０１０６】
貼り合わせチャンバー３１０内には、更に、複数のセンサー３４０が設けられている。
センサー３４０は、貼り合わせチャンバー３１０内における、ペリクル膜部材１２０の位置を読み取るための部材である。センサー３４０は、例えば、ペリクル膜部材１２０の支持基板１２６に設けられることがある、切れ込み部１２８の位置、アライメントマークの位置等を読み取る。
複数のセンサー３４０は、読み取りの対象物（切れ込み部１２８、アライメントマーク）の位置に合わせ、移動可能に設けられている。
センサー３４０による読み取りは、画像認識によって行ってもよい。
センサー３４０としては、ファイバーセンサーが好適に用いられる。
【０１０７】
なお、貼り合わせユニットにおけるアライメントの機構（載置盤の移動、センターによる位置の読み取りなど）については、露光装置（例えばステッパー）、チップマウンタ装置等の公知の装置の公知のアライメント機構を適用することもできる。
【０１０８】
貼り合わせチャンバー３１０内には、更に、第１導入管３２２から導入された気体を分散させるための気体分散部材３２４が設けられている。気体分散部材３２４は、第１導入管３２２の端部（気体の導入口）と貼り合わせチャンバー３１０上部の内壁面の一部とを覆うカバー形状の部材となっている。そして気体分散部材３２４のペリクル膜部材１２０との対向面側には、複数の孔（不図示）が設けられている。第１導入管３２２から導入された気体は、まず、貼り合わせチャンバー３１０上部の内壁面と気体分散部材３２４とで形成される空間内に至り、次いで、上記複数の孔によって分散される。
これにより、第１導入管３２２からの気体の流れによる、ペリクル膜への影響が低減される。気体の流れによるペリクル膜への影響をより低減する観点からは、上記複数の孔は、ペリクル膜１３０の中央部分には気体が当たらない配置で設けられることが好ましい。
【０１０９】
また、貼り合わせチャンバー３１０には、部材出入り口３５０が設けられている。
部材出入り口３５０を通じ、貼り合わせチャンバー３１０に対する各部材の搬入及び搬出がなされる。具体的には、部材出入り口３５０を通じ、貼り合わせ前のペリクル膜部材１２０、及び、貼り合わせ前のペリクル枠部材１１０がそれぞれ貼り合わせチャンバー３１０内に搬入される。また、部材出入り口３５０を通じ、貼り合わせ後のペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０が貼り合わせチャンバー３１０外に搬出される。
また、貼り合わせユニット３００には、部材出入り口３５０の開放（図１１参照）及び閉塞（図１０参照）を行うためのシャッター３５２が設けられている。
【０１１０】
図１０及び図１１に示すように、貼り合わせチャンバー３１０内には、保持部材としてのハンド部材４１０によって保持されたペリクル膜部材１２０が搬入される。
なお、図示は省略したが、ペリクル枠部材１１０も、ペリクル膜部材１２０と同様に、ハンド部材（例えば、後述の図１５に示すハンド部材４１２）によって保持されて貼り合わせチャンバー３１０内に搬入される。
ペリクル枠部材１１０を保持する保持部材と、ペリクル膜部材１２０を保持する保持部材と、は同一の部材であっても異なる部材であってもよい。
【０１１１】
図１４は、本一例におけるハンド部材４１０が、ペリクル膜部材１２０を保持する様子を示す概略平面図である。
図１４に示すように、ハンド部材４１０は、部材の厚さ方向からみた平面視において、ペリクル膜部材１２０における支持基板の外側部分１２４（即ち、不要領域）のみに接触するように保持する。かかるハンド部材４１０を用いることにより、ペリクル膜部材１２０を貼り合わせチャンバー３１０に搬入する際、ペリクル膜１３０に接触することなく搬入することができる。
なお、ハンド部材は、ペリクル膜部材１２０における支持基板の内側部分１２２に接触してもよい。例えば、ペリクル膜部材１２０を保持するハンド部材としては、本一例におけるハンド部材４１０ではなく、後述するハンド部材４１２（ペリクル枠部材１１０を保持するハンド部材）を用いてもよい。即ち、ペリクル膜部材１２０とペリクル枠部材１１０とを、同一のハンド部材４１２によって保持してもよい。
【０１１２】
図１５は、本一例において、ペリクル枠部材１１０と、ペリクル枠部材１１０を保持するハンド部材４１２と、を示す概略平面図である。
図１５に示すように、ハンド部材４１２は、部材の厚さ方向からみた平面視では、ペリクル枠１００の一部に重なる領域を保持している。このハンド部材４１２は、ペリクル枠部材１１０の剥離ライナー１０６にのみ接触している。
【０１１３】
上述したハンド部材４１０及びハンド部材４１２は、別個の搬送手段（例えば搬送ロボット）に備えられていてもよいが、ペリクル膜製造装置の設置面積を小さくする観点から、同一の搬送手段に備えられることが好ましい。
【０１１４】
次に、図１６〜図１９を参照し、上述した貼り合わせユニット３００（貼り合わせチャンバー３１０）による、貼り合わせ処理のフローの一例を示す。
図１６〜図１９では、貼り合わせ処理のフローをよりわかり易くするために、貼り合わせユニット３００の構成の一部及び貼り合わせチャンバー３１０の構成の一部の図示を省略している。
【０１１５】
まず、図１６に示すように、貼り合わせチャンバー３１０内にペリクル枠部材１１０を搬入する。次に、排気管３１２Ａ及び３１２Ｂを、それぞれ、ペリクル枠部材１１０のペリクル枠１００の貫通孔１４Ａ及び１４Ｂに接続する（矢印Ｊ１及びＪ２）。
【０１１６】
次に、図１７に示すように、貼り合わせチャンバー３１０内にペリクル膜部材１２０を搬入し、ペリクル膜部材１２０とペリクル枠部材１１０とのアライメント（位置合わせ）調整を行った後、ペリクル膜部材１２０を降下させて（矢印Ｄ１）ペリクル枠部材１１０の上に載置する。この載置は、主として、昇降ピンの降下及びペリクル膜部材１２０の自重を利用して行う。
なお、この例とは別に、ペリクル枠部材１１０を上昇させることにより、ペリクル膜部材１２０をペリクル枠部材１１０の上に載置してもよい。
【０１１７】
次に、図１８に示すように、排気管３１２Ａ及び３１２Ｂ、並びに、ペリクル枠部材１１０の貫通孔を通じ、ペリクル枠部材１１０のペリクル枠１００の溝１２の内部を排気（減圧）する。この排気（減圧）は、各排気管の貼り合わせチャンバー３１０外の端部に接続された排気手段（例えば真空ポンプ）によって行う。この排気により、既に、図９を参照して説明したとおり、ペリクル膜部材１２０とペリクル枠部材１１０との間に引き付け合う力Ｆ（即ち、押し付け合う力）が働き、両者の貼り合わせが行われる。
これにより、ペリクル膜の膜面に極力接触することなく、ペリクル膜部材１２０とペリクル枠部材１１０とを貼り合わせることができる。
【０１１８】
次に、図１９に示すように、第１導入管３２２を通じて貼り合わせチャンバー３１０内に気体を導入する。導入された気体は、気体分散部材３２４によって貼り合わせチャンバー３１０内に分散される。このとき、好ましくは、少なくともペリクル膜部材１２０（ペリクル膜１３０）の中央部分には気体が当たらないように、気体を分散する（矢印Ｇ１参照）。
貼り合わせチャンバー３１０内への気体の導入により、貼り合わせチャンバー３１０内が加圧され、ペリクル枠部材及びペリクル膜部材が配置される貼り合わせチャンバー３１０内全体の雰囲気の圧力と、溝１２の内部の圧力と、の差（差圧）が増大する。この差圧により、上記力Ｆが強まり、ペリクル膜部材１２０とペリクル枠部材１１０とが互いにより強く押し付けられる。なお、図１９では図示を省略しているが、第１導入管３２２による気体の導入（加圧）に加え、第２導入管による気体の導入（加圧）を行うこともできる。
【０１１９】
上記加圧及び上記減圧の程度は、貼り合わせチャンバー３１０内の全体の圧力と、溝の内部の圧力と、の差（差圧）によって生じる、ペリクル膜部材とペリクル枠部材との間の押し付け合う力Ｆ（ペリクル枠全体に加わる力）が、上述した好ましい範囲内（例えば２Ｎ程度）となるように調整する。
例えば、貼り合わせチャンバー３１０内の圧力は、例えば０．１５ＭＰａ程度となるように調整する。
【０１２０】
（ペリクル製造装置の具体例）
本実施形態のペリクル製造装置は、貼り合わせユニット（例えば上記貼り合わせユニット３００）のみからなる装置であってもよいが、貼り合わせユニットと他のユニットとを備えた装置であってもよい。
図２０は、本実施形態のペリクル製造装置の一例である、貼り合わせユニットと他のユニットとを備えたペリクル製造装置の概略構成図である。
【０１２１】
図２０に示すように、ペリクル製造装置６００は、搬送手段としての搬送ロボット４００と、ペリクル膜部材ローダー６１０と、ペリクル枠部材ローダー６２０と、上述の貼り合わせユニット３００と、カットユニット５００と、洗浄ユニット６４０と、検査ユニット６５０と、アンローダー６３０と、を備える。
【０１２２】
搬送ロボット４００は、素材（ペリクル膜部材及びペリクル枠部材）及び製造物（ペリクル）を各ユニット（各ローダー、アンローダーを含む。以下同じ。）に搬送するための搬送手段である。
詳細な図示は省略しているが、搬送ロボット４００は、ペリクル膜部材を保持する保持部材としてのハンド部材４１０と、ペリクル枠部材を保持する保持部材としてのハンド部材４１２と、を備えている。
ハンド部材４１０及びハンド部材４１２は、それぞれ、ロボットアームに接続されている。搬送ロボット４００では、ペリクル膜部材及びペリクル枠部材を保持し、ロボットアームの動作によって貼り合わせチャンバー３１０内に搬入できるようになっている。
なお、搬送ロボット４００は、１つのハンド部材のみを備えていてもよいし、２つ以上のハンド部材を備えていてもよい。
【０１２３】
ペリクル膜部材ローダー６１０及びペリクル枠部材ローダー６２０は、言うまでもないが、それぞれ、ペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０がセットされるユニットである。
【０１２４】
貼り合わせユニット３００については前述したとおりである。
貼り合わせユニット３００は、ペリクル膜部材と貼り合わせる前のペリクル枠部材のペリクル枠の形状を測定する第１測定手段を備えることが好ましい。
ここでいうペリクル枠の形状としては、前述の長辺方向の長さＬ１、前述の短辺方向の長さＬ２（以上、図１参照）、ペリクル枠の直交度等が挙げられる。
また、第１測定手段としては、ペリクル枠の形状測定の機能を持たせた前述のセンサー３４０が挙げられる。また、貼り合わせユニット３００内に、第１測定手段として、ペリクル枠との接触を検出する手段を設けてもよい。
【０１２５】
また、貼り合わせユニット３００は、ペリクル枠部材とペリクル膜部材とを貼り合わせる前に、ペリクル枠部材とペリクル膜部材とのアライメント（位置合わせ）を行うアライメント手段を備えることが好ましい。アライメント手段としては、前述したとおり、水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向、及びθ方向）に移動可能に設けられた載置盤３３０が挙げられる。
【０１２６】
また、ペリクル製造装置６００では、アライメント手段として、移動可能な載置盤３３０に加え、補助的に、水平方向の位置調整機能を持たせた搬送ロボット４００のロボットアームを併用することもできる。
また、ペリクル製造装置６００において、各部材の大まかな位置決めは、ハンド部材上に設けられ、ハンド部材に対するペリクル膜部材やペリクル枠部材の位置を決めるためのガイド部材；載置盤３３０上に設けられ、載置盤３３０に対するペリクル枠部材の位置を決めるためのガイド部材；等によって行うことができる。
載置盤３３０上に設けられるガイド部材は、載置盤３３０に対するペリクル枠の位置決めの精度を向上させる点から、ペリクル枠部材のペリクル枠の外周面に接触し、剥離ライナー１０６には接触しないことが好ましい。
【０１２７】
カットユニット５００は、ペリクル膜部材１２０を切れ込み部１２８でカットし、不要部分である外側部分１２４等（外側部分１２４及び外側部分１２４に接するペリクル膜）を除去するためのユニットである。
ペリクル製造装置６００は、貼り合わせユニット３００とは別のユニットとして、カットユニット５００を備えることにより、前述したとおり、貼り合わせ時の気体の対流による、各部材へのカット屑の付着が抑制される。
また、カットユニット５００によるカットは、前述のとおり、ペリクル膜部材とペリクル枠部材との貼り合わせ前に行われてもよいし、貼り合わせ後に行われてもよい。
カットユニット５００の具体例は後述する。
【０１２８】
洗浄ユニット６４０は、カット後のペリクル膜部材１２０を洗浄し、カット屑等の異物を洗浄除去するユニットである。
洗浄ユニット６４０は、ペリクル膜部材のカットがペリクル枠部材との貼り合わせ前に行われる場合には、ペリクル枠部材との貼り合わせ前であってカット後のペリクル膜部材の洗浄を行う。また、洗浄ユニット６４０は、ペリクル膜部材のカットがペリクル枠部材との貼り合わせ後に行われる場合には、ペリクル枠部材との貼り合わせ後であってカット後のペリクル膜部材（即ち、ペリクルに備えられるペリクル膜部材）の洗浄を行う。
洗浄ユニット６４０の構成としては、例えば、半導体装置、表示装置（液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス装置（有機ＥＬ装置）等）、プリント配線基板等の電子デバイスの分野における公知の洗浄装置の構成を適宜参照することができる。
【０１２９】
検査ユニット６５０は、貼り合わせ後のペリクル枠部材及びペリクル膜部材の外観検査を行うユニットである。
外観検査としては、ペリクル枠部材及びペリクル膜部材の少なくとも一方に付着した異物の検出、ペリクル枠部材（ペリクル枠）の形状測定、ペリクル枠部材とペリクル膜部材との位置合わせ測定、等が挙げられる。
検査ユニット６５０は、特に、ペリクル膜部材と貼り合わせた後のペリクル枠部材のペリクル枠の形状を測定する第２測定手段を備えることが好ましい。
第２測定手段の例としては、第１測定手段と同様の例が挙げられる。
【０１３０】
アンローダー６３０は、最終的に製造されたペリクルを収容するユニットである。
【０１３１】
ペリクル製造装置６００は、更に、制御手段６６０を備えている。
制御手段６６０は、貼り合わせる前のペリクル枠の形状の測定結果（第１測定手段による測定結果）と、貼り合わせた後のペリクル枠の形状の測定結果（第２測定手段による測定結果）と、に基づいて、アライメント手段によるアライメントをフィードフォワード制御（ＦＦ制御）する制御手段である。
但し、制御手段６６０は省略されていてもよい。
【０１３２】
ペリクル製造装置６００は、更に、算出手段６７０を備えている。
算出手段６７０は、貼り合わせる前のペリクル枠の形状の測定結果（第１測定手段による測定結果）と、貼り合わせた後のペリクル枠の形状の測定結果（第２測定手段による測定結果）と、に基づいて、貼り合わせユニットにおける貼り合わせによるペリクル枠の歪み量を算出する算出手段である。この算出手段６７０は、更に、上記歪み量に基づいて、連通部材３１４によるペリクル枠１００の押し込み量をフィードフォワード制御（ＦＦ制御）する機能も備えている。
但し、算出手段６７０は省略されていてもよい。
【０１３３】
また、ペリクル製造装置６００は、上述した各ユニットを備えているが、貼り合わせユニット３００以外のユニットは、適宜、省略されていてもよい。
即ち、貼り合わせユニット３００以外のユニットは、貼り合わせユニット３００を備えるペリクル製造装置とは別の装置として設けることもできる。
【０１３４】
また、ペリクル製造装置６００は、上述した各ユニット以外のその他のユニットを備えていてもよい。
その他のユニットとしては、ペリクル枠１００に接着剤を付与して接着剤層１０２を形成する接着剤層形成ユニット、ペリクル枠１００に接着剤を付与して接着剤層１０４を形成する接着剤層形成ユニット、接着剤層１０４上に剥離ライナー１０６を貼付する剥離ライナー貼付ユニット等が挙げられる。この場合、ペリクル製造装置６００は、ペリクル枠１００における一端面１０と他端面２０とを反転させる反転機構を備えていてもよい。
【０１３５】
（カットユニットの具体例）
次に、本実施形態におけるカットユニットの一例について、図２１〜図２４を参照しながら説明する。
図２１〜図２４は、一例に係るカットユニット５００の概略断面図である。
図２１〜図２４は、カットユニット５００におけるペリクル膜部材１２０のカット処理のフローの一例を示している。
【０１３６】
図２１に示すように、カットユニット５００は、カットチャンバー５１０と、カットチャンバー５１０内の中央部に配置された載置盤５３０と、載置盤５３０を押し上げるための押し上げ手段５３２と、カットチャンバー５１０内においてペリクル膜部材１２０の外側部分１２４が載置される載置盤５４０と、を備えている。
【０１３７】
載置盤５３０には、ペリクル膜部材１２０とペリクル枠部材１１０との貼り合わせ後にカットを行う場合においてはペリクル枠部材１１０が、ペリクル膜部材１２０とペリクル枠部材１１０との貼り合わせ前にカットを行う場合においてはペリクル膜部材１２０の内側部分１２２が、それぞれ載置される。
いずれの場合においても、載置盤５４０には、ペリクル膜部材１２０の外側部分１２４が載置される。
この一例は、ペリクル膜部材１２０とペリクル枠部材１１０との貼り合わせ後にカットを行う場合、即ち、載置盤５３０にペリクル枠部材１１０が載置される例である。
【０１３８】
載置盤５３０及び載置盤５４０は、それぞれ、被載置物を吸着して保持するための公知の吸着機構を備えている。
【０１３９】
載置盤５３０は、押し上げ手段５３２の押し上げ動作及び戻し動作により、鉛直方向に移動できるようになっている。押し上げ手段５３２は、押し上げ速度の可変機能を有している。
【０１４０】
なお、載置盤５３０の変形例として、鉛直方向に対して傾きを有する方向に移動できるようになっていてもよい。また、押し上げ方向は鉛直方向のままとし、ペリクル膜部材１２０が水平方向に対して傾くように載置されるようになっていてもよい。いずれの変形例も、ペリクル膜部材１２０の面に垂直な方向に対し、傾きを有する角度で内側部分１２２を押し上げる例である。
【０１４１】
載置盤５３０に対し、載置盤５４０は、カットチャンバー５１０内に固定配置されている（即ち、移動できるようになっていない）。
【０１４２】
カットユニット５００は、更に、カットチャンバー５１０内に気体を導入するための導入管５２２を有している。即ち、導入管５２２の一端は、カットチャンバー５１０内に配置され、他端はカットチャンバー５１０外に配置されている。
カットチャンバー５１０内には、更に、導入管５２２から導入された気体を分散させるための気体分散部材５２４が設けられている。
気体分散部材５２４は、導入管５２２の端部（気体の導入口）とカットチャンバー５１０上部の内壁面の一部とを覆うカバー形状の部材となっている。そして気体分散部材５２４のペリクル膜部材１２０との対向面側には、複数の孔（不図示）が設けられている。導入管５２２から導入された気体は、まず、カットチャンバー５１０内の上部の内壁面と気体分散部材５２４とで形成される空間内に至り、次いで、上記複数の孔によって分散される。分散された気体は、鉛直方向下向き（図２３及び図２４中の矢印Ｇ２の方向）か、または、放射状に流れる。
これらの構成により、カット時に生じるカット屑のペリクル膜１３０への付着が抑制される。また、カット時に生じるバリを除去する効果も奏される。
【０１４３】
導入管５２２の他端は、それぞれ、（必要に応じ他の配管等を介し、）ボンベ等の気体供給手段に接続できるようになっている。
また、導入管５２２の途中には、気体の導入を行うか否かを切り替えるための弁（不図示）が設けられていてもよい。この弁は、気体の流量等を調整する機構を備えた調整弁であってもよい。
なお、導入管５２２を通じて供給される気体には特に制限なないが、例えば、乾燥空気、不活性ガス等を用いることができる。
【０１４４】
カットユニット５００は、更に、カットチャンバー５１０内を排気するための排気管５１２を有している。排気管５１２は４つに分岐されており、４つの分岐端がカットチャンバー５１０内に存在している。４つの分岐端のうち、載置盤５３０と載置盤５４０との間に位置する２つは、断面がＶ字型の溝を有する部材５１４に接続されている。部材５１４は、ペリクル膜部材１２０の切れ込み部１２８に沿って設けられている。部材５１４の溝の内部と排気管５１２とが連通している。これらの構成により、切れ込み部１２８に沿ってペリクル膜部材１２０のカットが行われた時に、部材５１４及び排気管５１２を通じ、上記カットによって生じたカット屑をカットチャンバー５１０外に排出できるようになっている。なお、部材５１４の溝の形状はＶ字型には限定されない。
【０１４５】
排気管５１２のカットチャンバー５１０外の端部（不図示）は、（必要に応じ他の配管等を介し、）真空ポンプ等の排気手段に接続できるようになっている。
【０１４６】
また、カットチャンバー５１０には、部材出入り口５５０が設けられている。
部材出入り口５５０を通じ、カットチャンバー５１０に対する部材（カット前及びカット後におけるペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０）の搬入及び搬出がなされる。また、カットユニット５００には、部材出入り口５５０の開放及び閉塞を行うためのシャッター５５２が設けられている。
【０１４７】
図２１及び図２２に示すように、カットチャンバー５１０内には、保持部材としてのハンド部材４１０によって保持された、貼り合わせ後のペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０が搬入される。詳細には、ハンド部材４１０は、貼り合わせ後のペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０のうち、ペリクル膜部材１２０における支持基板の外側部分１２４（即ち、不要領域）のみに接触するように保持する。
図２１は、カットチャンバー５１０内に、貼り合わせ後のペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０が搬入される前の状態を示しており、図２２は、カットチャンバー５１０内に、貼り合わせ後のペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０が搬入された後の状態を示している。
ハンド部材４１０は、前述のとおり、貼り付けチャンバー３１０内に貼り合わせ前のペリクル膜部材１２０を搬入するためにも用いられるハンド部材である。
この一例では、ハンド部材４１０が、貼り合わせ後のペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０のうち、ペリクル膜部材１２０の外側部分１２４に接している。
【０１４８】
なお、図示は省略したが、カット後のペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０（即ち、ペリクル）は、前述のハンド部材４１２によってペリクル枠部材１１０を保持してカットチャンバー５１０外に搬出することができる。
【０１４９】
なお、変形例として、カットチャンバー５１０内にペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０を搬入する段階でも、前述のハンド部材４１２を用いてもよい。この場合、ハンド部材４１２によって、ペリクル枠部材１１０の部分を支持する。
【０１５０】
カットチャンバー５１０内に搬入された、貼り合わせ後のペリクル膜部材１２０及びペリクル枠部材１１０は、図２３に示すように、載置盤５３０及び載置盤５４０に載置される。このとき、載置盤５３０には、ペリクル枠部材１１０の剥離ライナー１０６が接するようにし載置盤５３０の吸着機構によって剥離ライナー１０６を載置盤５３０に吸着する。そして、載置盤５４０には、ペリクル膜部材１２０の支持基板の外側部分１２４が接するようし、載置盤５４０の吸着機構によって、外側部分１２４を載置盤５４０に吸着する。更に、導入管５２２及び気体分散部材５２４を通じ、カットチャンバー５１０内に気体を導入する。この例では、カットチャンバー５１０内において、気体は、延長方向下向き（矢印Ｇ２の方向）に流れる。
【０１５１】
次に、図２４に示すように、押し上げ手段５３２によって載置盤５３０を鉛直方向上向き（矢印Ｐ１の向き）に押し上げる。これにより、ペリクル枠部材１１０及びペリクル膜部材１２０の内側部分１２２が、押し上げられる。
この押し上げによって、ペリクル膜部材１２０が切れ込み部１２８に沿ってカットされる。
このときの押し上げ方向（矢印Ｐ１）は、気体の流れる方向（矢印Ｇ２）とは反対向きである。この気体によって、カットによって生じたカット屑のペリクル膜１３０への付着が抑制される。
【０１５２】
（ペリクル製造装置６００のペリクル製造フローの一例）
次に、図２５を参照し、ペリクル製造装置６００によるペリクル製造フローの一例を示す。
なお、図２５における各ステップのうち、破線で囲ったステップ（ステップ７０２、７０８、７１０、７１２）は、この一例において省略可能なステップを意味する。
【０１５３】
図２５に示すように、まず、ステップ７００として、ペリクル膜部材をペリクル膜部材ローダーに、ペリクル枠部材をペリクル枠部材ローダーに、それぞれのセットする。次いで、ロボット搬送により、貼り合わせチャンバー内に搬入する。
次に、ステップ７０２として、貼り合わせチャンバー内において、第１測定手段によりペリクル枠部材のペリクル枠の形状（貼り合わせ前の形状）を測定する。
次に、ステップ７０４として、貼り合わせチャンバー内において、アライメント手段により、ペリクル膜部材とペリクル枠部材とのアライメントを行う。次いで貼り合わせチャンバー内において、ペリクル膜部材とペリクル枠部材との貼り合わせを行う。
次に、ステップ７０６として、貼り合わせ後のペリクル膜部材及びペリクル枠部材をカットチャンバーに搬入し、ペリクル膜部材のカットを行う。
次に、ステップ７０８として、カット後のペリクル膜部材及びペリクル枠部材を洗浄ユニットに搬送し、カット後のペリクル膜部材及びペリクル枠部材の洗浄を行う。
【０１５４】
次に、ステップ７１０として、ペリクル膜部材及びペリクル枠部材を外観検査ユニットに搬送し、外観検査ユニットにおいて、第２測定手段によりペリクル枠部材のペリクル枠の形状（貼り合わせ後の形状）を測定する。
ここで、必要に応じ、第１測定手段による測定結果及び第２測定手段による測定結果に基づいて、ステップ７０４におけるアライメント手段のフィードフォワード制御（以下、「ＦＦ１（アライメント補正）」ともいう）が行われる。ＦＦ１（アライメント補正）は、制御手段６６０によって行われる。
【０１５５】
次に、ステップ７１２として、第１測定手段による測定結果及び第２測定手段による測定結果に基づき、貼り合わせによるペリクル枠の歪み量を算出する。歪み量の算出は、算出手段６７０によって行われる。
ここで、必要に応じ、算出された歪み量に基づき、ステップ７０４の貼り合わせの処理のうち、連通部材３１４によるペリクル枠１００の押し込み量について、フィードフォワード制御（以下、「ＦＦ２（歪み補正）」ともいう）が行われる。この一例では、ＦＦ２（歪み補正）も、算出手段６７０によって行われる。但し、変形例として、ＦＦ２（歪み補正）を行う制御手段を、歪み量の算出を行う算出手段とは別個に設けてもよい。
【０１５６】
次に、ステップ７１４として、ペリクル膜部材及びペリクル枠部材（即ち、ペリクル）をアンローダーに搬送して収納する。
【０１５７】
以上、ペリクル製造装置によるペリクル製造フローの一例を示したが、本実施形態はこの一例に限定されない。
例えば、前述のとおり、ペリクル製造装置６００において、制御手段６６０及び算出手段６７０は省略されていてもよい。即ち、ＦＦ１（アライメント補正）及びＦＦ２（歪み補正）は、制御手段によって自動で行うことに代えて、手動で行ってもよい。
また、ペリクル製造装置６００において、制御手段６６０と算出手段６７０とは、同一の制御手段であってもよい。即ち、一つの制御手段によって、ＦＦ１（アライメント補正）、歪み量の算出、及びＦＦ２（歪み補正）を行ってもよい。
更に言えば、前述のとおり、本実施形態のペリクル製造装置は、貼り合わせユニットのみからなる装置であってもよい。即ち、ステップ７０４中の貼り合わせ処理のみを行うことによっても、ペリクル膜に極力接触することなく、ペリクル膜部材及びペリクル枠部材を貼り合わせてペリクルを製造することができる。
【０１５８】
（ペリクルを備えた露光装置の具体例）
本実施形態によって製造されたペリクルは、原版（マスク）に装着された状態で、露光装置内で用いられる。
図２６は、本実施形態によって製造されたペリクルの一例を備えた露光装置の一例である、ＥＵＶ露光装置８００の概略断面図である。
図２６に示されるように、ＥＵＶ露光装置８００は、ＥＵＶ光を放出する光源８３１と、露光原版８５０と、光源８３１から放出されたＥＵＶ光を露光原版８５０に導く照明光学系８３７と、を備える。
露光原版８５０は、ペリクル膜８１２及びペリクル枠８１４を含むペリクル８１０と、原版８３３（ＥＵＶマスク）と、を備えている。この露光原版８５０は、光源８３１から放出されたＥＵＶ光がペリクル膜８１２を透過して原版８３３に照射されるように配置されている。
原版８３３は、照射されたＥＵＶ光をパターン状に反射するものである。
【０１５９】
ここで、原版８３３としては、支持基板と、この支持基板上に積層された反射層と、反射層上に形成された吸収体層と、を含む原版を用いることができる。原版の面のうち、反射層及び吸収体層が設けられた側の面が、光照射面となる。吸収体層がＥＵＶ光を一部吸収することで、感応基板（例えば、フォトレジスト膜付き半導体基板）上に、所望の像が形成される。反射層は、モリブデン（Ｍｏ）とシリコン（Ｓｉ）との多層膜でありうる。吸収体層は、クロム（Ｃｒ）や窒化タンタル等、ＥＵＶ光等の吸収性の高い材料でありうる。
【０１６０】
ペリクル８１０は、本実施形態によって製造されたペリクルの一例である。
ペリクル８１０は、上述のペリクル２００から剥離ライナー１０６を除去したものに対応する。
ペリクル膜８１２は、例えば上述のペリクル膜１３０に対応する。
ペリクル枠８１４は、上述の内側部分１２２、上述の接着剤層１０２、上述のペリクル枠１００、及び上述の接着剤層１０４の複合体に対応する。
【０１６１】
ＥＵＶ露光装置８００において、光源８３１と照明光学系８３７との間、及び照明光学系８３７と原版８３３の間には、フィルター・ウィンドウ８２０及び８２５がそれぞれ設置されている。
また、ＥＵＶ露光装置８００は、原版８３３が反射したＥＵＶ光を感応基板８３４へ導く投影光学系８３８を備えている。
【０１６２】
ＥＵＶ露光装置８００では、原版８３３により反射されたＥＵＶ光が、投影光学系８３８を通じて感応基板８３４上に導かれ、感応基板８３４がパターン状に露光される。なお、ＥＵＶによる露光は、減圧条件下で行われる。
【０１６３】
ＥＵＶ光源８３１は、照明光学系８３７に向けて、ＥＵＶ光を放出する。
ＥＵＶ光源８３１には、ターゲット材と、パルスレーザー照射部等が含まれる。このターゲット材にパルスレーザーを照射し、プラズマを発生させることで、ＥＵＶが得られる。ターゲット材をＸｅとすると、波長１３〜１４ｎｍのＥＵＶが得られる。ＥＵＶ光源が発する光の波長は、１３〜１４ｎｍに限られず、波長５〜３０ｎｍの範囲内の、目的に適した波長の光であればよい。
【０１６４】
照明光学系８３７は、ＥＵＶ光源８３１から照射された光を集光し、照度を均一化して原版８３３に照射する。
照明光学系８３７には、ＥＵＶの光路を調整するための複数枚の多層膜ミラー８３２と、光結合器（オプティカルインテグレーター）等が含まれる。多層膜ミラーは、モリブデン（Ｍｏ）、シリコン（Ｓｉ）が交互に積層された多層膜等である。
【０１６５】
フィルター・ウィンドウ８２０，８２５の装着方法は特に制限されず、接着剤等を介して貼り付ける方法や、機械的にＥＵＶ露光装置内に固定する方法等が挙げられる。
光源８３１と照明光学系８３７との間に配置されるフィルター・ウィンドウ８２０は、光源から発生する飛散粒子（デブリ）を捕捉し、飛散粒子（デブリ）が照明光学系８３７内部の素子（例えば多層膜ミラー８３２）に付着しないようにする。
一方、照明光学系８３７と原版８３３との間に配置されるフィルター・ウィンドウ８２５は、光源８３１側から飛散する粒子（デブリ）を捕捉し、飛散粒子（デブリ）が原版８３３に付着しないようにする。
【０１６６】
また、原版に付着した異物は、ＥＵＶ光を吸収、もしくは散乱させるため、ウエハへの解像不良を引き起こす。したがって、ペリクル８１０は原版８３３のＥＵＶ照射エリアを覆うように装着されている。ＥＵＶ光はペリクル膜８１２を通過して、原版８３３に照射される。
【０１６７】
原版８３３で反射されたＥＵＶ光は、ペリクル膜８１２を通過し、投影光学系８３８を通じて感応基板８３４に照射される。
投影光学系８３８は、原版８３３で反射された光を集光し、感応基板８３４に照射する。投影光学系８３８には、ＥＵＶの光路を調製するための複数枚の多層膜ミラー８３５、８３６等が含まれる。
【０１６８】
感応基板８３４は、半導体ウエハ上にレジストが塗布された基板等であり、原版８３３によって反射されたＥＵＶにより、レジストがパターン状に露光される。このレジストを現像し、半導体ウエハのエッチングを行うことで、半導体ウエハに所望のパターンを形成する。
【０１６９】
２０１４年５月２７日に出願された日本国特許出願２０１４−１０９４８３の開示はその全体が参照により本明細書に取り込まれる。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。
【図２】
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【図５】
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【図８】
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【図９】
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【図１９】
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【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【国際調査報告】
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