(57)【要約】【課題】薄板状の被洗浄物が備える隙間部内に残留した洗浄液やすすぎ液といった洗浄媒体を隙間部内から排出することを可能にし、各工程で洗浄媒体が持ち出されることにより生じるランニングコストの増加や水シミの発生、さらに洗浄媒体の除去に伴って発生し得る被洗浄物の変形といった問題の発生を未然に防止し得る被洗浄物の洗浄方法、および被洗浄物の洗浄装置を提供する。【解決手段】被洗浄物の洗浄方法は、洗浄液により被洗浄物を洗浄する工程（Ｓ１１）と、すすぎ液により被洗浄物をすすぎ洗浄する工程（Ｓ１５、Ｓ１８）と、被洗浄物を置換液により洗浄する工程（Ｓ２１）と、洗浄液により被洗浄物を洗浄する工程の後であって、かつ、置換液により被洗浄物を洗浄する工程の前に、被洗浄物を洗浄媒体から取り出した状態で被洗浄物の各隙間部に連通する周辺雰囲気を減圧することにより各隙間部内に残留した洗浄媒体を排出させる工程（Ｓ１２、Ｓ１４、Ｓ１６、Ｓ１７、Ｓ１９、Ｓ２０、Ｓ２２）と、を有している。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
隙間部を備える薄板状の被洗浄物を洗浄する洗浄方法であって、
前記被洗浄物を洗浄媒体としての洗浄液に浸漬させて、前記洗浄液により洗浄する工程と、
前記被洗浄物を洗浄媒体としてのすすぎ液に浸漬させて、前記すすぎ液によりすすぎ洗浄する工程と、
前記被洗浄物を、揮発性を備える置換液に浸漬させて、前記置換液により洗浄する工程と、
前記洗浄液により前記被洗浄物を洗浄する工程の後であって、かつ、前記置換液により前記被洗浄物を洗浄する工程の前に、前記被洗浄物を前記洗浄媒体から取り出した状態で前記被洗浄物の隙間部に連通する周辺雰囲気を減圧することにより前記隙間部内に残留した前記洗浄媒体を排出させる工程と、を有する被洗浄物の洗浄方法。
【請求項２】
前記洗浄媒体を排出させる工程は、
前記洗浄液により洗浄する工程の後であって、かつ、前記すすぎ液によりすすぎ洗浄する工程の前に、前記隙間部内に残留した前記洗浄媒体としての前記洗浄液を排出させる工程を有する、請求項１に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項３】
前記洗浄液により洗浄する工程の後に前記被洗浄物の温度を調整する工程と、
前記被洗浄物の温度を調整する工程の後に前記隙間部内に残留した前記洗浄液を排出させる工程と、を有する請求項２に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項４】
前記すすぎ液および／または前記置換液への前記被洗浄物の浸漬は、前記隙間部内を減圧した状態で行う、請求項１〜３のいずれか１項に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項５】
前記被洗浄物は、一対の燃料電池用のセパレータを互いに突き合わせて配置し、各セパレータの間に流体が流通可能な流路部を形成した状態で相互に接合して形成したセパレータ積層体である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項６】
隙間部を備える薄板状の被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
洗浄媒体としての洗浄液を貯留する第１の貯留部、および前記洗浄液から前記被洗浄物を離隔して保持する第１の保持空間を備える洗浄槽と、
洗浄媒体としてのすすぎ液を貯留する第２の貯留部、および前記すすぎ液から前記被洗浄物を離隔して保持する第２の保持空間を備えるすすぎ洗浄槽と、
前記被洗浄物を洗浄するための揮発性を備える置換液を貯留する第３の貯留部、および前記置換液から前記被洗浄物を離隔して保持する第３の保持空間を備える仕上げ洗浄槽と、
前記被洗浄物が、前記第１の保持空間、前記第２の保持空間、および前記第３の保持空間のいずれかの保持空間において保持された状態で、前記被洗浄物の隙間部に連通する周辺雰囲気を減圧することにより前記隙間部内に残留した前記洗浄媒体を排出させる圧力調整部と、を有する被洗浄物の洗浄装置。
【請求項７】
前記洗浄槽により洗浄された後の前記被洗浄物の温度を調整するための温度調整槽をさらに有する請求項６に記載の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項８】
前記すすぎ洗浄槽および前記仕上げ洗浄槽の間を気密に連通する連通路をさらに有する、請求項６または請求項７に記載の被洗浄物の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、隙間部を備える薄板状の被洗浄物の洗浄に用いられる洗浄方法および洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から複雑な形状を備える電子回路基板や薄板状に加工された金属製のワーク等の洗浄方法として様々な方法が検討されてきた。例えば、下記特許文献１には、洗浄液による洗浄工程、洗浄液を被洗浄物からすすぎ落とすためのすすぎ洗浄（リンス洗浄）工程、すすぎ洗浄後に被洗浄物を乾燥させる乾燥工程を含む洗浄方法が提案されている。【０００３】
上記の洗浄方法においては、洗浄効率を向上させるために、被洗浄物を洗浄する際および被洗浄物をすすぎ洗浄する際に、洗浄液中およびすすぎ液中に被洗浄物を浸漬させた状態で槽内を減圧させている。このように減圧下での洗浄を実施することにより、被洗浄物の各部位へ洗浄液やすすぎ液等の洗浄媒体を行き渡らせることを可能にし、さらに被洗浄物中に含まれる空気を膨張させて被洗浄物の微小な隙間等に入り込んだ汚れを洗浄媒体中へ押し出すことを可能にしている。ただし、特許文献１に記載の洗浄方法では各工程間における洗浄媒体の持ち込みについては何ら考慮されていないため、次のような点が問題となる。【０００４】
例えば、袋状の微小な隙間を備える被洗浄物を洗浄対象として適用する場合、洗浄工程後に被洗浄物の隙間内に洗浄液が残留することがある。この状態で被洗浄物を、すすぎ洗浄が行われるすすぎ洗浄槽へ搬送すると、すすぎ洗浄槽内に貯留したすすぎ液に洗浄液が混入してしまい、すすぎ液が汚染されて、洗浄効率が低下してしまう虞がある。また、産業分野においては、被洗浄物の仕上げ洗浄方法として、揮発性を備える置換液を使用して洗浄液やすすぎ液を蒸発洗浄させる方法が一般的に行われている。例えば、このような仕上げ洗浄を実施する際に、洗浄液やすすぎ液が被洗浄物の隙間内に比較的多量に残留した状態にあると、被洗浄物と置換液との接触面積が小さくなる上に、仕上げ洗浄に使用する置換液を隙間内に浸入させることが困難になる。これにより、洗浄液やすすぎ液がそのまま被洗浄物に残留して、乾燥後に製品表面に水シミを発生させる原因となってしまう。これらのような問題点に加えて、洗浄の都度、洗浄媒体を次工程に持ち込んでしまうため、槽内に保持した洗浄媒体が減少して、洗浄に要するランニングコストの増加を招いてしまうという問題もある。【０００５】
一方で、下記特許文献２には、すすぎ洗浄工程の後に、被洗浄物に対してエアーブローを実施し、被洗浄物に付着した洗浄媒体の液切りおよび蒸発による除去を実施している。例えば、洗浄工程やすすぎ洗浄工程の後に、このようなエアーブローを実施することで、上述した各問題は解決し得るとも考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平６−１０１０８０号公報
【特許文献２】特開平７−１２４５２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、被洗浄物に対してエアーを吹き付けるだけでは隙間内にエアーを十分に行き届かせることが難しい上に、仮に洗浄媒体を蒸発させることができたとしても、隙間内に蒸気が滞留してしまうため、液切りが十分に行われないという問題が発生する。さらに、被洗浄物によっては、エアーブローを実施した際にブロー圧によって被洗浄物の形状が変形してしまう可能性もあり、製品形状を損なってしまう虞もある。【０００８】
そこで本発明は、薄板状の被洗浄物が備える隙間部内に残留した洗浄液やすすぎ液といった洗浄媒体を隙間部内から排出することを可能にし、各工程で洗浄媒体が持ち出されることにより生じるランニングコストの増加や水シミの発生、さらに洗浄媒体の除去に伴って発生し得る被洗浄物の変形といった問題の発生を未然に防止し得る被洗浄物の洗浄方法、および被洗浄物の洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するための本発明の被洗浄物の洗浄方法は、隙間部を備える薄板状の被洗浄物を洗浄する洗浄方法であって、被洗浄物を洗浄媒体としての洗浄液に浸漬させて、洗浄液により洗浄する工程と、被洗浄物を洗浄媒体としてのすすぎ液に浸漬させて、すすぎ液によりすすぎ洗浄する工程と、被洗浄物を、揮発性を備える置換液に浸漬させて、置換液により洗浄する工程と、を有する。さらに、洗浄液により被洗浄物を洗浄する工程の後であって、かつ、置換液により被洗浄物を洗浄する工程の前に、被洗浄物を洗浄媒体から取り出した状態で被洗浄物の隙間部に連通する周辺雰囲気を減圧することにより隙間部内に残留した洗浄媒体を排出させる工程を有する。【００１０】
また、上記目的を達成するための本発明の被洗浄物の洗浄装置は、隙間部を備える薄板状の被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、洗浄媒体としての洗浄液を貯留する第１の貯留部、および洗浄液から被洗浄物を離隔して保持する第１の保持空間を備える洗浄槽と、洗浄媒体としてのすすぎ液を貯留する第２の貯留部、およびすすぎ液から被洗浄物を離隔して保持する第２の保持空間を備えるすすぎ洗浄槽と、被洗浄物を洗浄するための揮発性を備える置換液を貯留する第３の貯留部、および置換液から被洗浄物を離隔して保持する第３の保持空間を備える仕上げ洗浄槽と、を有する。さらに、被洗浄物が、第１の保持空間、第２の保持空間、および第３の保持空間のいずれかの保持空間において保持された状態で、被洗浄物の隙間部に連通する周辺雰囲気を減圧することにより隙間部内に残留した洗浄媒体を排出させる圧力調整部を有する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、置換液による洗浄工程の実施に先立って、洗浄液やすすぎ液などの洗浄媒体から被洗浄物を取り出した状態で被洗浄物の周辺雰囲気を減圧することにより、被洗浄物の隙間部内に残留した洗浄媒体を隙間部から押し出して排出することを可能にする。このため、洗浄媒体が持ち出されることによるランニングコストの増加や水シミの発生、洗浄媒体の除去に伴って発生し得る被洗浄物の変形といった問題の発生を未然に防止することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係る被洗浄物の洗浄装置を示す概略図である。
【図２】実施形態に係る被洗浄物を示す斜視図である。
【図３】実施形態に係る被洗浄物を適用した燃料電池セルを示す断面図である。
【図４】実施形態に係る被洗浄物の洗浄方法の各工程を示すフローチャートである。
【図５Ａ】実施形態に係る被洗浄物の洗浄方法を説明するための図であって、被洗浄物を洗浄液に浸漬させる前の様子を示す断面図である。
【図５Ｂ】実施形態に係る被洗浄物の洗浄方法を説明するための図であって、被洗浄物を洗浄液に浸漬させた後の様子を示す断面図である。
【図５Ｃ】実施形態に係る被洗浄物の洗浄方法を説明するための図であって、被洗浄物の隙間部から洗浄液を排出させている際の様子を示す断面図である。
【図５Ｄ】実施形態に係る被洗浄物の洗浄方法を説明するための図であって、被洗浄物をすすぎ液に浸漬させた後の様子を示す断面図である。
【図６Ａ】実施形態に係る被洗浄物の洗浄方法を説明するための図であって、被洗浄物の隙間部内にすすぎ液が浸入した後の様子を示す断面図である。
【図６Ｂ】実施形態に係る被洗浄物の洗浄方法を説明するための図であって、被洗浄物の隙間部からすすぎ液を排出させている際の様子を示す断面図である。
【図６Ｃ】実施形態に係る被洗浄物の洗浄方法を説明するための図であって、被洗浄物を置換液に浸漬させた後の様子を示す断面図である。
【図６Ｄ】実施形態に係る被洗浄物の洗浄方法を説明するための図であって、被洗浄物を乾燥させた後の様子を示す断面図である。
【図７】対比例に係る被洗浄物の洗浄装置を示す概略図である。
【図８Ａ】対比例に係る被洗浄物の洗浄方法を説明するための図であって、被洗浄物を洗浄液に浸漬させた後の様子を示す断面図である。
【図８Ｂ】対比例に係る被洗浄物の洗浄方法を説明するための図であって、被洗浄物をすすぎ液に浸漬させた後の様子を示す断面図である。
【図８Ｃ】対比例に係る被洗浄物の洗浄方法を説明するための図であって、被洗浄物を置換液に浸漬させた後の様子を示す断面図である。
【図８Ｄ】対比例に係る被洗浄物の洗浄方法を説明するための図であって、被洗浄物を置換液によって洗浄した後の様子を示す断面図である。
【図９】変形例に係る被洗浄物の洗浄装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付した図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる場合がある。
【００１４】
図１は、実施形態に係る被洗浄物の洗浄装置の全体構成を示す概略図、図２、図３は、実施形態に係る被洗浄物を説明するための図、図４は、実施形態に係る被洗浄物の洗浄方法の各工程を示すフローチャート、図５Ａ〜図６Ｄは、実施形態に係る被洗浄物の洗浄方法の各工程を説明するための図、図７は、対比例に係る被洗浄物の洗浄装置の全体構成を示す概略図、図８Ａ〜図８Ｄは、対比例に係る被洗浄物の洗浄方法の各工程を説明するための図である。
【００１５】
本実施形態に係る被洗浄物の洗浄装置（以下、洗浄装置とする）１００は、所定の被洗浄物１０を洗浄して、被洗浄物１０に付着した各種の汚れ等を除去するために使用される装置である。図１に示すように、洗浄装置１００は、概説すると、被洗浄物１００に対して洗浄液１１１による洗浄を実施する洗浄槽１１０と、洗浄槽１１０において洗浄された後の被洗浄物１０の温度を調整する温度調整槽１２０と、被洗浄物１０をすすぎ液１３１によりすすぎ洗浄するすすぎ洗浄槽１３０ａ、１３０ｂと、被洗浄物１０を揮発性を備える置換液１４１により洗浄する仕上げ洗浄槽１４０と、各槽１１０、１３０ａ、１３０ｂ、１４０内の圧力を可変自在に調整する圧力調整部（符号Ｐで示す）とを有している。
【００１６】
図１を参照して、洗浄装置１００の各部について説明する。
【００１７】
洗浄装置１００が備える洗浄槽１１０は、洗浄媒体としての洗浄液１１１を貯留する第１の貯留部１１４と、洗浄液１１１から被洗浄物１０を離隔して保持する第１の保持空間１１５と、洗浄液１１１に浸漬させた被洗浄物１０に対して超音波を作用させることにより被洗浄物１０に付着した汚れ等を除去する超音波洗浄機１１３と、圧力調整部Ｐとを有している。
【００１８】
洗浄槽１１０は、その上部側に被洗浄物１０を槽内に投入するための投入口を有しており、底部側において所定量の洗浄液１１１を保持する槽構造に構成している。投入口には、開閉自在なシャッター（図示省略）を設けている。シャッターを閉じることにより、洗浄槽１００内の第１の保持空間１１５を密閉して気密に保持することが可能となっている。また、第１の洗浄槽１１０には、第１の洗浄槽１１０内外への被洗浄物１０の搬送や第１の洗浄槽１１０内における被洗浄物１０の移動を行う搬送手段（図示省略）が備えられている。
【００１９】
超音波洗浄機１１３は、金属等のワークを洗浄するための湿式洗浄に用いられる公知の超音波洗浄機により構成している。圧力調整部Ｐは、第１の保持空間１１５内の圧力を増減可能な公知のポンプにより構成している。圧力調整部Ｐは、各槽に個別に備えさせずに、一つのものを各槽で共用するように構成してもよい。
【００２０】
洗浄に使用する洗浄液１１１の種類は、特に限定されないが、本実施形態においては湿式洗浄に用いられる公知の無機系アルカリ性洗浄剤を使用している。その他の洗浄液として、例えば、公知の中性洗浄剤を使用することも可能である。
【００２１】
洗浄装置１００が備える温度調整槽１２０は、洗浄槽１１０により洗浄された被洗浄物１０を冷却するための冷却水１２１を保持している。冷却水１２１には、純水を冷却したものを使用している。温度調整槽１２０は、例えば、冷却水１２１に代えて冷却されたガスにより被洗浄物１０を冷却するように構成することも可能である。
【００２２】
温度調整槽１２０は、図示省略する搬送手段と、温度調整槽１２０内へ被洗浄物１０を投入する際に開閉される図示省略するシャッターとを備えている。
【００２３】
洗浄装置１００は、第１のすすぎ洗浄槽１３０ａと第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂの二つの洗浄槽を備えている。各すすぎ洗浄槽１３０ａ、１３０ｂは、洗浄媒体としてのすすぎ液１３１を貯留する第２の貯留部１３４と、すすぎ液１３１から被洗浄物１０を離隔して保持する第２の保持空間１３５と、すすぎ液１３１に浸漬させた被洗浄物１０に対して超音波を作用させることにより被洗浄物１０に付着した洗浄液１１１などを除去する超音波洗浄機１３３と、圧力調整部Ｐとを有している。
【００２４】
すすぎ洗浄に使用するすすぎ液１３１の種類は、特に限定されないが、本実施形態においては純水を使用している。
【００２５】
各すすぎ洗浄槽１３０ａ、１３０ｂは、洗浄槽１１０と略同一に構成しているため、各部の構成の説明は省略する。
【００２６】
洗浄装置１００が備える仕上げ洗浄槽１４０は、仕上げ洗浄に使用する置換液１４１を貯留する第３の貯留部１４４と、置換液１４１から被洗浄物１０を離隔して保持する第３の保持空間１４５と、置換液１４１に浸漬させた被洗浄物１０に対して超音波を作用させることにより被洗浄部物１０に付着した洗浄液１１１やすすぎ液１３１を除去する超音波洗浄機１４３と、圧力調整部Ｐとを有している。
【００２７】
仕上げ洗浄に使用する置換液１４１の種類は、特に限定されないが、本実施形態においてはイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）を使用している。
【００２８】
仕上げ洗浄槽１４０は、洗浄槽１１０と略同一に構成しているため、各部の構成の説明は省略する。
【００２９】
洗浄装置１００には、各部の動作を自動化するための制御部を備えさせてもよい。制御部は、例えば、ＣＰＵ等を備える公知のＰＣ（パーソナルコンピュータ）により構成することが可能である。
【００３０】
次に、図２、図３を参照して、被洗浄物１０について説明する。図２は、被洗浄物１０を示す概観斜視図であり、図３は、被洗浄物１０を適用した燃料電池セル１００を例示する部分断面図である。図３は、図２に示す矢印４−４に沿う断面に対応した断面を示している。
【００３１】
図２、図３に示すように、被洗浄物１０は、燃料電池の構成部材として使用されるセパレータ積層体によって構成している。セパレータ積層体をなす被洗浄物１０は、アノード側セパレータ１１と、カソード側セパレータ１２の一対のセパレータを相互に接合して形成している。各セパレータ１１、１２は、導電性を有する薄板状の金属によって構成しているが、材質は特に限定されず、公知の材料を適宜使用することができる。
【００３２】
燃料電池セル１００は、複数積層された状態において、供給された燃料ガス（水素）と酸化剤ガス（酸素を含有した空気または純酸素）から電力を生成する。被洗浄物１０は、燃料電池セル１００が備える膜電極接合体３０を隣接する他の膜電極接合体３０から隔離しつつ、膜電極接合体３０で発生した電力を通電させる機能を備えている。被洗浄物１０が備えるアノード側セパレータ１１は、膜電極接合体３０のアノード３２に当接させて配置し、被洗浄物１０が備えるカソード側セパレータ１２は、膜電極接合体３０のカソード３２に当接させて配置している。
【００３３】
膜電極接合体３０は、供給された酸素と水素を化学反応させて電力を生成する。膜電極接合体３０は、電解質膜３１を介して対向するようにアノード３２とカソード３３とを接合して形成している。膜電極接合体３０は、一般的にＭＥＡ（ｍｅｍｂｒａｎｅ  ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ  ａｓｓｅｍｂｌｙ）と称している。電解質膜３１は、固体の高分子材料により構成することができる。アノード３２は、電極触媒層、撥水層、およびガス拡散層を積層して構成している。カソード３３は、電極触媒層、撥水層、およびガス拡散層を積層して構成している。アノード３２およびカソード３３の電極触媒層は、導電性の担体に触媒成分が担持された電極触媒と高分子電解質を含んでいる。アノード３２およびカソード３３のガス拡散層は、炭素繊維からなる糸で織成したカーボンクロス、カーボンペーパ、またはカーボンフェルトから形成している。
【００３４】
アノード側セパレータ１１の中央には、凹凸形状の流路形成部１１ｇを形成している。図３に示すように、アノード側セパレータ１１の流路形成部１１ｇとアノード３２との間に区画される閉空間は、アノード３２に対して水素を供給するアノードガス流路１３を構成する。
【００３５】
アノード側セパレータ１１は、長手方向の一端に、カソードガス供給口１１ａ、冷却流体供給口１１ｂ、およびアノードガス供給口１１ｃに相当する貫通孔を有している。また、アノード側セパレータ１１は、その長手方向の他端に、アノードガス排出口１１ｄ、冷却流体排出口１１ｅ、およびカソードガス排出口１１ｆに相当する貫通孔を有している。
【００３６】
カソード側セパレータ１２の中央には、凹凸形状の流路形成部１２ｇを形成している。図３に示すように、カソード側セパレータ１２の流路形成部１２ｇとカソード３３との間に区画される閉空間は、カソード３３に対して酸化剤ガスを供給するカソードガス流路１５を構成する。
【００３７】
図３に示すように、各セパレータ１１、１２は、それぞれの流路形成部１１ｇ、１２ｇ同士が互いに向かい合うように突き合わせて配置している。アノード側セパレ―タ１１の流路形成部１１ｇとカソード側セパレ―タ１２の流路形成部１２ｇとの間に形成した閉空間は、冷却水が流通可能な冷却水流路（流路部に相当する）１５を構成する。各セパレータ１１、１２は、冷却水流路１５を形成した状態で相互に接合している。接合箇所１８は、例えば、冷却水流路１５を形成する流路形成部１１ｇ、１２ｇに隣り合う各流路形成部に設けることができる。接合方法としては溶接を採用しているが、接合方法は各セパレータ１１、１２の材質等に応じて適宜選択することができ、特に限定されない。
【００３８】
ここで、図５Ａに示すように、アノード側セパレータ１１とカソード側セパレータ１２とからなる被洗浄物１０には、複数の隙間部ｇ１、ｇ２が形成されている。なお、図５Ａは、説明を簡略化するために、図２に示す破線部５で囲んだ部分に相当する各セパレータ１１、１２の端部の構成を示している。
【００３９】
隙間部ｇ１は、各セパレータ１１、１２の間に形成した冷却水流路１５である。隙間部ｇ２は、冷却水流路１５と溶接部１８との間に連通する微小な間隙である。隙間部ｇ２は、各セパレータ１１、１２同士を突き合わせて配置した際に、各セパレータ１１、１２の僅かな製品形状の相違や接合時に各セパレータ１１、１２を位置決めして把持等する際に加わる把持力の相違により生じ得る微小なものである。被洗浄物１０においては、隙間部ｇ１から見て、溶接部１８が形成された位置と反対側に位置する突き合わせ部１９にも微小な隙間が形成されている。図示するように、各セパレータ１１、１２を接合して構成した被洗浄物１０は、突き合わせ部１９を介して各隙間部ｇ１、ｇ２が外部と連通した袋構造を有している。
【００４０】
被洗浄物１０の洗浄に際して、洗浄液１１１やすすぎ液１３１等の液状の洗浄媒体を各隙間部ｇ１、ｇ２内に浸入させることにより、各隙間部ｇ１、ｇ２内に滞留したり、各隙間部ｇ１、ｇ２に面したセパレータ１１、１２の各部に付着したりする汚れを洗浄することが可能になる。ただし、各隙間部ｇ１、ｇ２は、突き合わせ部１９により袋状に構成されているため、各隙間部ｇ１、ｇ２内へ洗浄媒体を一旦浸入させると、表面張力などの影響により、洗浄媒体の排出を容易に行うことができない。各隙間部ｇ１、ｇ２内から洗浄媒体が排出されず、各工程間で洗浄媒体が持ち出され、また持ち込まれると、洗浄性の低下やランニングコストの増加といった問題が発生する。本実施形態に係る洗浄方法においては、各隙間部ｇ１、ｇ２内から洗浄媒体を好適に排出することを可能にして、各隙間部ｇ１、ｇ２内に洗浄媒体の残留が発生するのを防止している。
【００４１】
図１、図４を参照して、本実施形態に係る洗浄方法を説明する。なお、図１中に示すＳ１１〜Ｓ２２の各符号は、図４に示す各ステップに対応しており、洗浄装置１００において各ステップが実施される場所を示している。
【００４２】
図４に示すように、本実施形態に係る洗浄方法は、被洗浄物１０を洗浄液１１１に浸漬させて、洗浄液１１１により洗浄する工程（Ｓ１１）と、被洗浄物１０をすすぎ液１３１に浸漬させて、すすぎ液１３１によりすすぎ洗浄する工程（Ｓ１５、Ｓ１８）と、被洗浄物１０を、揮発性を備える置換液１４１に浸漬させて、置換液１４１により洗浄する工程（Ｓ２１）とを有している。そして、洗浄液１１１により被洗浄物１０を洗浄する工程（Ｓ１１）の後であって、かつ、置換液１４１により洗浄する工程（Ｓ２１）の前に、被洗浄物１０を洗浄媒体から取り出した状態で被洗浄物１０の各隙間部ｇ１、ｇ２に連通する周辺雰囲気を減圧することにより各隙間部ｇ１、ｇ２内に残留した洗浄媒体を排出させる工程（Ｓ１２、Ｓ１４、Ｓ１６、Ｓ１７、Ｓ１９、Ｓ２０、Ｓ２２）を行っている。なお、以下の説明では、洗浄媒体を排出させる各工程（Ｓ１２、Ｓ１４、Ｓ１６、Ｓ１７、Ｓ１９、Ｓ２０、Ｓ２２）を、便宜的に、減圧による液切り工程と記載する。
【００４３】
図１、図４、図５Ａ〜図６Ｄを参照して、洗浄方法の各工程を説明する。図５Ａ〜図６Ｄは、洗浄方法を説明するための概念図であり、各工程における被洗浄物１０の状態（汚れの付着状況や洗浄媒体の付着状況）が図示した状態のみに限定されることはない。
【００４４】
まず、洗浄液１１１による洗浄を実施する（Ｓ１１）。
【００４５】
洗浄に際して、洗浄槽１１０の第１の貯留部１１４に貯留した洗浄液１１１中に被洗浄物１０を浸漬させる。洗浄液１１１へ被洗浄物１０を浸漬させる際は、洗浄槽１１０の内部を大気圧（約１００ｋＰａ程度）にする。浸漬は、図示省略する洗浄籠に複数個の被洗浄物１０をセットして行う。洗浄籠を使用することで複数個の被洗浄物１０に対して同時に洗浄を実施する。
【００４６】
図５Ａに示すように、被洗浄物１０を洗浄液１１１に浸漬させる前は、被洗浄物１０の各隙間部ｇ１、ｇ２内には空気等の気体が充満した状態となっている。図５Ｂに示すように、被洗浄物１０を洗浄液１１１に浸漬させると、各隙間部ｇ１、ｇ２内に洗浄液１１１が浸入する。各隙間部ｇ１、ｇ２内に浸入した洗浄液１１１には、各隙間部ｇ１、ｇ２内に充填されていた空気ａが所定量だけ溶解する。
【００４７】
被洗浄物１０を洗浄液１１１に浸漬させた状態で超音波洗浄機１１３を動作させて被洗浄物１０を洗浄する。洗浄時は、洗浄槽１１０の内部を大気圧に維持する。
【００４８】
被洗浄物１０は、洗浄した後、第１の保持空間１１５に引き上げる。被洗浄物１１０は、第１の保持空間１１５内に滞留する気体（例えば、空気）中に晒した状態とする。洗浄後の被洗浄物１０の各隙間部ｇ１、ｇ２には、洗浄時に浸入した洗浄液１１１が残留した状態となる。
【００４９】
次に、洗浄槽１１０において減圧による液切りを実施する（Ｓ１２）。
【００５０】
第１の保持空間１１５内に被洗浄物１１０を配置した状態で圧力調整部Ｐを動作させる。圧力調整部Ｐを動作させて、洗浄槽１１０の内部の圧力を下げることにより、被洗浄物１０の周辺雰囲気を減圧する。被洗浄物１０の周辺雰囲気を減圧すると、周辺雰囲気に連通する各隙間部ｇ１、ｇ２の内部が減圧される。そして、図５Ｃに示すように、各隙間ｇ１、ｇ２内に残留した洗浄液１１１中に溶解した空気が膨張し、残留した洗浄液１１１を各隙間部ｇ１、ｇ２の内部から物理的に押し出して排出する。この際、空気は、膨張された勢いで減圧された周辺雰囲気（気体中）に噴出されるため、実際に空気が膨張した体積分以上の洗浄液１１１を被洗浄物１０の外部へ排出させる。例えば、洗浄液１１１に浸漬させた状態で減圧を実施すると、周辺雰囲気中で減圧を実施する場合に比べて膨張した空気による洗浄液１１１の押し出し量が低減する。周辺雰囲気中で減圧を実施することによって、より多量の洗浄液１１１を各隙間部ｇ１、ｇ２から排出させることが可能になる。気体の膨張作用を利用して液切りを行うことにより、各隙間部ｇ１、ｇ２内に残留した洗浄液１１１を効率よく排出することができる。
【００５１】
減圧下における洗浄槽１１０内の圧力（周辺雰囲気の圧力）は、上記のような気体の膨張による洗浄液１１１の押し出しが可能となる範囲において特に限定されないが、例えば、１０〜４０ｋＰａ程度に設定することができる。
【００５２】
洗浄槽１１０内を減圧すると、被洗浄物１０に付着した洗浄液１１１の揮発点が低下するため、被洗浄物１０自身が備える熱量によって所定量の洗浄液１１１を蒸発させことができる。したがって、蒸発させることにより、一部の洗浄液１１１を被洗浄物１０から除去することが可能となる。ただし、洗浄液１１１として無機系洗浄液を使用している場合に、被洗浄物１０に付着した洗浄液１１１を完全に乾燥させてしまうと、洗浄液１１１の成分が被洗浄物１０の表面に残り、製品品質を低下させる虞がある。このため、洗浄液１１１の成分残りによる品質の低下が懸念されるような場合には、洗浄液１１１を排出させる工程（Ｓ１２）を実施せずに、次工程に進むことも可能である。
【００５３】
洗浄液１１１の排出を実施した後、第１の洗浄槽１１０内の圧力を大気圧に戻す。
【００５４】
次に、被洗浄物１０の温度調整を実施する（Ｓ１３）。
【００５５】
洗浄液１１１により洗浄した後の被洗浄物１０は洗浄槽１１０から取り出して、温度調整槽１２０に貯留した冷却水１２１中に浸漬させる。
【００５６】
温度調整槽１２０を使用して被洗浄物１０の温度を下げると、被洗浄物１０とともに被洗浄物１０に付着および残留した洗浄液１１１の温度が低下する。洗浄液１１１の温度が比較的高い温度にあると、洗浄液１１１中に溶解した空気等の気体の溶存量が減少する。このような状態で、すすぎ洗浄工程（Ｓ１５）前に減圧による液切り工程（Ｓ１４）を実施すると、気体の膨張による洗浄液１１１の排出性が低下してしまう。また、前述したように、減圧による液切り工程（Ｓ１４）を実施している最中に被洗浄物１０に残留した洗浄液１１１が揮発して完全に乾燥されてしまうことにより、洗浄液１１１の成分残りによる品質の低下を招く虞がある。このため、減圧による液切り工程（Ｓ１４）を実施するのに先立って、被洗浄物１０を冷却する工程を実施している。なお、冷却後の被洗浄物１０の温度は、完全な乾燥を防止できる温度や気体の溶存量の増加を図り得る限りにおいて特に限定されない。例えば、被洗浄物１０が過度に冷却された状態にある場合は、後述する乾燥工程において好適に乾燥することが可能となるように、被洗浄物１０を所定の温度の範囲で温めてもよい。このような場合、温度調整槽１２０を加温可能な構成に適宜変更することが可能である。
【００５７】
次に、第１のすすぎ洗浄槽１３０ａにおいて減圧による液切りを実施する（Ｓ１４）。
【００５８】
温度調整槽１２０により温調された被洗浄物１０を、第１のすすぎ洗浄槽１３０ａの第２の保持空間１３５に配置する。そして、被洗浄物１０の周辺雰囲気を圧力調整部Ｐにより減圧して、各隙間部ｇ１、ｇ２から洗浄液１１１を排出させる。
【００５９】
減圧による液切り工程（Ｓ１４）の後、第１のすすぎ洗浄槽１３０ａ内を減圧した状態に維持して、被洗浄物１０をすすぎ液１３１中に浸漬させる。ここで、減圧による液切りを実施することにより洗浄液１１１を各隙間部ｇ１、ｇ２から押し出すと、図５Ｄに示すように押し出した体積分の空間ｓが各隙間部ｇ１、ｇ２内に発生する。また、この空間ｓは、液切りを実施したことによって減圧した状態となっている。したがって被洗浄物１０をすすぎ液１３１に浸漬させると、各隙間部ｇ１、ｇ２内の空間ｓへ向けてすすぎ液１３１が勢いよく浸入する。その結果、図６Ａに示すように、各隙間部ｇ１、ｇ２内にすすぎ液１３１を容易に充満させることが可能になる。
【００６０】
次に、第１のすすぎ洗浄槽１３０ａに貯留したすすぎ液１３１によるすすぎ洗浄を実施する（Ｓ１５）。
【００６１】
第１のすすぎ洗浄槽１３０ａ内の圧力は、すすぎ液１３１に被洗浄物１０を浸漬させた後に大気圧に戻す。そして、すすぎ液１３１中に被洗浄物１０を浸漬させた状態で、超音波洗浄機１３３を動作させて被洗浄物１０をすすぎ洗浄する。
【００６２】
次に、第１のすすぎ洗浄槽１３０ａにおいて減圧による液切りを実施する（Ｓ１６）。
【００６３】
被洗浄物１０は、すすぎ洗浄した後、第２の保持空間１３５に引き上げる。そして、被洗浄物１０の周辺雰囲気を圧力調整部Ｐにより減圧して、図６Ｂに示すように、各隙間部ｇ１、ｇ２から洗浄液１１１やすすぎ液１３１を排出させる。周辺雰囲気を減圧して、すすぎ液１３１に溶解した空気等の気体を膨張させることにより、洗浄液１１１およびすすぎ液１３１を効率よく排出させることができる。
【００６４】
第１のすすぎ洗浄槽１３０ａにおいて、減圧による液切り、減圧下におけるすすぎ液１３１への被洗浄物１０の浸漬、および大気圧下におけるすすぎ洗浄は、複数回繰り返して実施することが可能である。これらの各工程を繰り返し実施することにより、被洗浄物１０の各隙間ｇ１、ｇ２内に残留した洗浄液１１１の大半を排出させることが可能になるため、すすぎ液１３１による洗浄効果をより一層高めることができる。
【００６５】
次に、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂにおいて減圧による液切りを実施する（Ｓ１７）。なお、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂにおいて実施される各工程（Ｓ１７〜Ｓ１９）は、第１のすすぎ洗浄槽１３０ａにおいて実施される各工程（Ｓ１４〜Ｓ１６）と略同一であるため、説明を一部省略する。
【００６６】
第１のすすぎ洗浄槽１３０ａによりすすぎ洗浄した後の被洗浄物１０を、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂの第２の保持空間１３５に配置する。そして、被洗浄物１０の周辺雰囲気を圧力調整部Ｐにより減圧して、各隙間部ｇ１、ｇ２から洗浄液１１１を排出させる。減圧による液切り工程（Ｓ１７）の後、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂ内を減圧した状態に維持して、液質が管理されたすすぎ液１３１中に被洗浄物１０を浸漬させる。
【００６７】
次に、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂに貯留したすすぎ液１３１によるすすぎ洗浄を実施する（Ｓ１８）。
【００６８】
すすぎ液１３１中に被洗浄物１０を浸漬させた後、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂ内の圧力を大気圧に戻す。そして、超音波洗浄機１３３を動作させて被洗浄物１０をすすぎ洗浄する。
【００６９】
次に、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂにおいて減圧による液切りを実施する（Ｓ１９）。
【００７０】
被洗浄物１０は、すすぎ洗浄した後、第２の保持空間１３５に引き上げる。そして、被洗浄物１０の周辺雰囲気を圧力調整部Ｐにより減圧して各隙間部ｇ１、ｇ２から洗浄液１１１やすすぎ液１３１を排出させる。なお、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂにおいて、減圧による液切り、減圧下におけるすすぎ液１３１への被洗浄物１０の浸漬、および大気圧下におけるすすぎ洗浄は、複数回繰り返して実施することが可能である。
【００７１】
次に、仕上げ洗浄槽１４０において減圧による液切りを実施する（Ｓ２０）。
【００７２】
第２のすすぎ洗浄槽１３０によりすすぎ洗浄された被洗浄物１０を仕上げ洗浄槽１４０の第３の保持空間１４５に配置する。そして、被洗浄物１０の周辺雰囲気を圧力調整部Ｐにより減圧して、各隙間部ｇ１、ｇ２内に残留したすすぎ液１３１を排出させる。
【００７３】
減圧による液切り工程（Ｓ２０）の後、仕上げ洗浄槽１４０内を減圧した状態に維持して、被洗浄物１０を置換液１４１中に浸漬させる。
【００７４】
置換液１４１に被洗浄物１０を浸漬するのに先立って、減圧による液切りを複数回実施しているため、被洗浄物１０の各隙間部ｇ１、ｇ２内に残留した洗浄媒体の量が大幅に低減されている。このため、図６Ｃに示すように、被洗浄物１０の各隙間部ｇ１、ｇ２内に十分な量の置換液１４１を浸入させることができる。また、被洗浄物１０の各隙間部ｇ１、ｇ２内を減圧した状態で置換液１４１に浸漬させているため、各隙間部ｇ１、ｇ２内に置換液１４１を容易に充満させることができる。
【００７５】
次に、仕上げ洗浄槽１４０に貯留した置換液１４１により洗浄を実施する（Ｓ２１）。
【００７６】
仕上げ洗浄槽１４０内の圧力は、置換液１４１中に被洗浄物１０を浸漬させた後に大気圧に戻す。そして、置換液１４１中に被洗浄物１０を浸漬させた状態で、超音波洗浄機１４３を動作させて被洗浄物１０を洗浄する。
【００７７】
次に、仕上げ洗浄槽１４０において減圧による液切りを実施する（Ｓ２２）。
【００７８】
被洗浄物１０は、置換液１４１により洗浄した後、第３の保持空間１４５に引き上げる。そして、被洗浄物１０の周辺雰囲気を圧力調整部Ｐにより減圧して各隙間部ｇ１、ｇ２に僅かに残留したすすぎ液１３１を排出させる。なお、仕上げ洗浄槽１４０において、減圧による液切り、減圧下における置換液１４１への被洗浄物１０の浸漬、大気圧下における洗浄を複数回繰り返して実施することが可能である。これらの工程を複数回繰り返して実施することにより、被洗浄物１０にすすぎ液１３１が残留するのをより確実に防止することが可能となる。
【００７９】
被洗浄物１０からすすぎ液１３１を除去した後、置換液１４１から被洗浄物１０を引き上げて、第３の保持空間１４５に配置する。そして、被洗浄物１０に付着した置換液１４１を揮発させて蒸発洗浄を施し、被洗浄物１０の表面仕上げを行う。
【００８０】
次に、仕上げ洗浄槽１４０内において被洗浄物１０を乾燥させる（Ｓ２３）。
【００８１】
乾燥は、第３の保持空間１４５に被洗浄物１０を配置した状態で、仕上げ洗浄槽１４０内を減圧して行う。乾燥時の仕上げ洗浄槽１４０内の圧力は、特に限定されないが、例えば、１０ｋＰａ程度に設定する。図６Ｄに示すように、乾燥工程（Ｓ２３）を実施することにより、被洗浄物１０に付着した置換液１４１が蒸発する。
【００８２】
例えば、複数の被洗浄物１０を洗浄する場合において各被洗浄物１０に洗浄媒体が多量に付着した状態で減圧乾燥を実施すると、被洗浄物１０自身の熱量のみで洗浄媒体を乾燥させることができないことがある。このような場合、減圧乾燥を実施している最中に、外部の熱源を使用して、被洗浄物１０を余分に加熱する必要があるが、加熱を実施すると、製品品質のばらつきなどの問題が生じる虞がある。また、乾燥に要する時間も長くなるため、作業遅延が生じてしまう。これに対して、本実施形態に係る洗浄方法においては、洗浄液１１１やすすぎ液１３１といった洗浄媒体を減圧による液切りにより除去して、被洗浄物１０の各隙間部ｇ１、ｇ２内に残留する量を大幅に低減することができる。したがって、洗浄媒体の残留による水シミなどの発生を好適に抑制することができる。
【００８３】
図７には、対比例に係る洗浄装置４００を示し、図８Ａ〜図８Ｂには、対比例に係る洗浄方法を示す。
【００８４】
対比例に係る洗浄装置４００は、洗浄液１１１を貯留した洗浄槽４１０と、すすぎ液１３１を貯留した複数のすすぎ洗浄槽４３０ａ、４３０ｂ、４３０ｃと、エアーブローによる液切りを行う液切り槽４４０と、置換液１４１による洗浄を実施する複数の仕上げ洗浄槽４５０ａ、４５０ｂとを有している。なお、図示省略するが、各槽には、超音波洗浄機が備えられている。
【００８５】
この洗浄装置４００は、被洗浄物１０に残留した洗浄液１１０をすすぎ洗浄工程へ持ち込むことが前提となっている。このため、洗浄液１１０を確実に除去するために、洗浄装置４００には３つのすすぎ洗浄槽４３０ａ〜４３０ｃが備えられている。同様に、被洗浄物１０に残留したすすぎ液１３１を、置換液１４１による洗浄工程へ持ち込むことが前提となっている。このため、すすぎ液１１０を確実に除去するために、洗浄装置４００には２つの仕上げ洗浄槽４５０ａ、４５０ｂが備えられている。対比例に係る洗浄装置４００においては、すすぎ洗浄槽や仕上げ洗浄槽の増設に伴う設備コストの増加や各洗浄媒体の次工程への持ち込みに伴うランニングコストの増加が問題となる。
【００８６】
また、すすぎ洗浄後には、エアーブローによる液切りを実施しているが、この方法では、被洗浄物１０の微小な各隙間部ｇ１、ｇ２内から洗浄媒体を排出させることは難しく、液残りを発生させる虞がある。さらに、ブロー圧により、薄板状の被洗浄物１０を変形させてしまうことで製品品質の低下を招いてしまう虞もある。本実施形態に係る洗浄方法では、液切りは、被洗浄物１０の各部に局所的に圧力を付与せず、被洗浄物１０全体に均一に減圧作用を及ぼして行われるため、エアーブローなどによる液切りを実施することで生じ得る被洗浄物１０の変形が発生しない。
【００８７】
また、対比例に係る洗浄方法では、図８Ａに示すように各隙間部ｇ１、ｇ２内に洗浄液１１１が一旦浸入すると、洗浄液１１１を容易に排出することができないため、各隙間内ｇ１、ｇ２内に洗浄液１１１が多量に残留することになる。このため、図８Ｂに示すように、すすぎ洗浄を実施する際に、各隙間部ｇ１、ｇ２内にすすぎ液１３１を十分に浸入させることができなくなる。そして、図８Ｃに示すように、置換液１４１による洗浄を実施する際にも洗浄液１１１やすすぎ液１３１が各隙間部ｇ１、ｇ２内に多量に残留することとなる。その結果、図８Ｄに示すように、置換液１４１により洗浄液１１１やすすぎ液１３１を洗浄することができず、被洗浄物１０に水シミを発生させてしまう。
【００８８】
以上、本実施形態に係る被洗浄物１０の洗浄方法によれば、置換液１４１による洗浄工程の実施に先立って、洗浄液１１１やすすぎ液１３１などの洗浄媒体から被洗浄物１０を取り出した状態で被洗浄物１０の周辺雰囲気を減圧することにより、被洗浄物１０の各隙間部ｇ１、ｇ２内に残留した洗浄媒体を各隙間部ｇ１、ｇ２から押し出して排出することを可能にする。このため、洗浄媒体が持ち出されることによるランニングコストの増加や水シミの発生、洗浄媒体の除去に伴って発生し得る被洗浄物１０の変形といった問題の発生を未然に防止することができる。
【００８９】
また、洗浄液１１１により洗浄する工程の後であって、かつ、すすぎ液１３１によりすすぎ洗浄する工程の前に、各隙間部ｇ１、ｇ２内に残留した洗浄液１１１を排出させる工程を行うことにより、すすぎ洗浄工程への洗浄液１１１の持ち込みによるランニングコストの増加や、洗浄液１１１をすすぎ液１３１に混入させることによるすすぎ液１３１の汚染、すすぎ液１３１の汚染に伴う洗浄品質の悪化などの発生を好適に防止することができる。
【００９０】
また、洗浄液１１１により洗浄する工程の後に被洗浄物１０の温度を調整する工程と、被洗浄物１０の温度を調整する工程の後に各隙間部ｇ１、ｇ２内に残留した洗浄液１１１を排出させる工程とを行うことにより、減圧による液切り工程を実施している最中に被洗浄物１０に残留した洗浄液１１１が揮発して完全に乾燥されてしまうことを防止することができ、洗浄液１１１の成分残りによる品質の低下が招かれるのを防止できる。これに加えて、洗浄液１１１中に溶解した空気等の気体の溶存量を増加させることにより、減圧による液切り工程を実施した際の洗浄媒体の排出効率を高めることができる。
【００９１】
また、すすぎ液１３１および置換液１４１への被洗浄物１０の浸漬を、各隙間部ｇ１、ｇ２内を減圧した状態で行うことにより、各隙間部ｇ１、ｇ２内へすすぎ液１３１や置換液１４１を勢いよく浸入させることができ、各隙間部ｇ１、ｇ２内にすすぎ液１３１や置換液１４１を容易に充満させることができる。
【００９２】
また、燃料電池に用いられるセパレータ積層体のような微細な隙間部ｇ１、ｇ２を備える被洗浄物１０の洗浄を好適に実施することができる。
【００９３】
また、置換液１４１による洗浄工程の実施に先立って、被洗浄物１０の各隙間部ｇ１、ｇ２内に残留した洗浄媒体を各隙間部ｇ１、ｇ２から押し出して排出することを可能にし、洗浄媒体が持ち出されることによるランニングコストの増加や水シミの発生、洗浄媒体の除去に伴って発生し得る被洗浄物１０の変形といった問題の発生を未然に防止することが可能な洗浄装置１００を提供することができる。
【００９４】
また、洗浄装置１００が、洗浄槽１１０により洗浄された後の被洗浄物１０の温度を調整するための温度調整槽１２０を有することにより、減圧による液切り工程を実施している最中に被洗浄物１０に残留した洗浄液１１１が揮発して完全に乾燥されてしまうことを防止でき、洗浄液１１１の成分残りによる品質の低下が招かれるのを防止できる。さらに、洗浄液１１１中に溶解した空気等の気体の溶存量を増加させることにより、減圧による液切り工程を実施した際の洗浄媒体の排出効率を高めることができる。
【００９５】
＜変形例＞
次に、上述した実施形態に係る洗浄装置１００の変形例を説明する。変形例の説明においては、既に説明した構成と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
【００９６】
図９に示すように、変形例に係る洗浄装置２００は、第１のすすぎ洗浄槽１３０ａと第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂとの間を気密に連通する第１の連通路２５１と、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂと仕上げ洗浄槽１４０との間を気密に連通する第２の連通路２５２とを有している点において、前述した洗浄装置１００と相違する。
【００９７】
第１のすすぎ洗浄槽１３０ａ、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂ、および仕上げ洗浄槽１４０は、所定の減圧炉２５０内に配置している。減圧炉２５０内に形成した各連通路２５１、２５２は、それぞれの保持空間１３５、１４５の一部を構成している。各連通路２５１、２５２を介してそれぞれの保持空間１３５、１４５同士を連通している。なお、各連通路２５１、２５２には、それぞれの槽１３０ａ、１３０ｂ、１４０を気密な状態で隔離する開閉可能なシャッター２６１、２６２が備えられている。
【００９８】
変形例に係る洗浄装置２００を使用した洗浄方法においては、第１のすすぎ洗浄槽１３０ａから第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂへ被洗浄物１０を搬送する間、および、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂから仕上げ洗浄槽１４０へ被洗浄物１０を搬送する間に、被洗浄物１０の周辺雰囲気を減圧した状態に維持することができる。例えば、第１のすすぎ洗浄槽１３０ａにおいてすすぎ洗浄した後に、減圧による液切りを実施し、シャッター２６１を開いて、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂ側へ被洗浄物１０を移動させると、第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂ内の圧力を減圧することなく、そのまま減圧による液切りを実施することが可能となる。つまり、被洗浄物１０を第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂへ移動させている最中に液切りを行うことが可能となるため、個別の槽内へ移動させてその都度液切りを実施する場合に比べて、作業性を向上させることができる。第２のすすぎ洗浄槽１３０ｂから仕上げ洗浄槽１４０へ被洗浄物１０を搬送する場合にも、同様に液切りを実施することができる。このため、変形例に係る洗浄装置２００を使用した洗浄方法では、前述した洗浄装置１００による洗浄方法で実施されていた各槽内での液切り工程（Ｓ１７、Ｓ２０）の実施を省略することが可能となる。なお、減圧した状態で各槽１３０ａ、１３０ｂ、１４０間を移動させることができるため、減圧状態で浸漬を行う際に要する手間を省くことも可能となる。
【００９９】
以上、実施形態を通じて本発明に係る洗浄方法および洗浄装置を説明したが、本発明は各実施形態において説明した構成のみに限定されることはなく、特許請求の範囲の記載に基づいて適宜変更することが可能である。
【０１００】
例えば、減圧による液切りを行う工程は、洗浄液による洗浄を実施した後であって、かつ、置換液による洗浄を実施する前であればよく、実施するタイミングや回数は特に限定されず、適宜変更することが可能である。
【０１０１】
また、例えば、すすぎ洗浄を二つのすすぎ洗浄槽を使用して実施する形態を示したが、すすぎ洗浄槽は少なくとも一つの槽を利用して実施されていればよい。すすぎ洗浄槽の個数が限定されないのは、変形例に係る洗浄装置においても同様である。
【０１０２】
また、例えば、洗浄対象となる被洗浄物は、各洗浄媒体が浸入し得る隙間を備える薄板状のものであれば特に限定されず、例えば、複雑な形状が付された各種の金属製ワークや回路基板等のようなものであってもよい。
【符号の説明】
【０１０３】
１０  被洗浄物（セパレータ積層体）、
１１  アノード側セパレータ、
１２  カソード側セパレータ、
１４  冷却水流路（流路部）、
１８  接合部、
１９  突き合わせ部、
１００  洗浄装置、
１１０  洗浄槽、
１１１  洗浄液（洗浄媒体）、
１１４  第１の貯留部、
１１５  第１の保持空間、
１２０  温度調整槽、
１２１  冷却水、
１３０ａ  第１のすすぎ洗浄槽（すすぎ洗浄槽）、
１３０ｂ  第２のすすぎ洗浄槽（すすぎ洗浄槽）、
１３１  すすぎ液（洗浄媒体）、
１３４  第２の貯留部、
１３５  第２の保持空間、
１４０  仕上げ洗浄槽、
１４１  置換液、
１４４  第３の貯留部、
１４５  第３の保持空間、
２５０  減圧炉、
２５１  第１の連通路、
２５２  第２の連通路、
ａ  空気、
ｓ  スペース、
ｇ１、ｇ２  隙間、
Ｐ  圧力調整部。
【図１】
2015177893.tif 000003
【図２】
2015177893.tif 000004
【図３】
2015177893.tif 000005
【図４】
2015177893.tif 000006
【図５Ａ】
2015177893.tif 000007
【図５Ｂ】
2015177893.tif 000008
【図５Ｃ】
2015177893.tif 000009
【図５Ｄ】
2015177893.tif 000010
【図６Ａ】
2015177893.tif 000011
【図６Ｂ】
2015177893.tif 000012
【図６Ｃ】
2015177893.tif 000013
【図６Ｄ】
2015177893.tif 000014
【図７】
2015177893.tif 000015
【図８Ａ】
2015177893.tif 000016
【図８Ｂ】
2015177893.tif 000017
【図８Ｃ】
2015177893.tif 000018
【図８Ｄ】
2015177893.tif 000019
【図９】
2015177893.tif 000020
【手続補正書】
【提出日】平成26年10月30日(2014.10.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
隙間部を備える薄板状の被洗浄物を洗浄する洗浄方法であって、
前記被洗浄物を洗浄媒体としての洗浄液に浸漬させて、前記洗浄液により洗浄する工程と、
前記被洗浄物を洗浄媒体としてのすすぎ液に浸漬させて、前記すすぎ液によりすすぎ洗浄する工程と、
前記被洗浄物を、揮発性を備える置換液に浸漬させて、前記置換液により洗浄する工程と、
前記洗浄液により前記被洗浄物を洗浄する工程の後であって、かつ、前記置換液により前記被洗浄物を洗浄する工程の前に、前記被洗浄物を前記洗浄媒体から取り出した状態で前記被洗浄物の隙間部に連通する周辺雰囲気を減圧することにより前記隙間部内に残留した前記洗浄媒体を排出させる工程と、
前記洗浄液により洗浄する工程の後に、前記被洗浄物を冷却して温度を調整する工程と、
前記被洗浄物を冷却して温度を調整する工程の後に前記隙間部内に残留した前記洗浄液を排出させる工程と、を有する被洗浄物の洗浄方法。
【請求項２】
前記洗浄媒体を排出させる工程は、
前記洗浄液により洗浄する工程の後であって、かつ、前記すすぎ液によりすすぎ洗浄する工程の前に、前記隙間部内に残留した前記洗浄媒体としての前記洗浄液を排出させる工程を有する、請求項１に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項３】
（削除）
【請求項４】
前記すすぎ液および／または前記置換液への前記被洗浄物の浸漬は、前記隙間部内を減圧した状態で行う、請求項１または請求項２に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項５】
前記被洗浄物は、一対の燃料電池用のセパレータを互いに突き合わせて配置し、各セパレータの間に流体が流通可能な流路部を形成した状態で相互に接合して形成したセパレータ積層体である、請求項１、２、４のいずれか１項に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項６】
隙間部を備える薄板状の被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
洗浄媒体としての洗浄液を貯留する第１の貯留部、および前記洗浄液から前記被洗浄物を離隔して保持する第１の保持空間を備える洗浄槽と、
洗浄媒体としてのすすぎ液を貯留する第２の貯留部、および前記すすぎ液から前記被洗浄物を離隔して保持する第２の保持空間を備えるすすぎ洗浄槽と、
前記被洗浄物を洗浄するための揮発性を備える置換液を貯留する第３の貯留部、および前記置換液から前記被洗浄物を離隔して保持する第３の保持空間を備える仕上げ洗浄槽と、
前記被洗浄物が、前記第１の保持空間、前記第２の保持空間、および前記第３の保持空間のいずれかの保持空間において保持された状態で、前記被洗浄物の隙間部に連通する周辺雰囲気を減圧することにより前記隙間部内に残留した前記洗浄媒体を排出させる圧力調整部と、
前記洗浄槽により洗浄された後の前記被洗浄物を冷却して温度を調整するための温度調整槽と、を有する被洗浄物の洗浄装置。
【請求項７】
（削除）
【請求項８】
前記すすぎ洗浄槽および前記仕上げ洗浄槽の間を気密に連通する連通路をさらに有する、請求項６に記載の被洗浄物の洗浄装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年10月7日(2016.10.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
隙間部を備える薄板状の被洗浄物を洗浄する洗浄方法であって、
前記被洗浄物を洗浄媒体としての洗浄液に浸漬させて、前記洗浄液により洗浄する工程と、
前記被洗浄物を洗浄媒体としてのすすぎ液に浸漬させて、前記すすぎ液によりすすぎ洗浄する工程と、
前記被洗浄物を、揮発性を備える置換液に浸漬させて、前記置換液により洗浄する工程と、
前記洗浄液により前記被洗浄物を洗浄する工程の後であって、かつ、前記置換液により前記被洗浄物を洗浄する工程の前に、前記被洗浄物を前記洗浄媒体から取り出した状態で前記被洗浄物の隙間部に連通する周辺雰囲気を減圧することにより前記隙間部内に残留した前記洗浄媒体を排出させる工程と、
前記洗浄液により洗浄する工程の後に、前記被洗浄物を冷却して温度を調整する工程と、
前記被洗浄物を冷却して温度を調整する工程の後に前記隙間部内に残留した前記洗浄液を排出させる工程と、を有する被洗浄物の洗浄方法。
【請求項２】
前記洗浄媒体を排出させる工程は、
前記洗浄液により洗浄する工程の後であって、かつ、前記すすぎ液によりすすぎ洗浄する工程の前に、前記隙間部内に残留した前記洗浄媒体としての前記洗浄液を排出させる工程を有する、請求項１に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項３】
前記すすぎ液および／または前記置換液への前記被洗浄物の浸漬は、前記隙間部内を減圧した状態で行う、請求項１または請求項２に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項４】
前記被洗浄物は、一対の燃料電池用のセパレータを互いに突き合わせて配置し、各セパレータの間に流体が流通可能な流路部を形成した状態で相互に接合して形成したセパレータ積層体である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項５】
隙間部を備える薄板状の被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
洗浄媒体としての洗浄液を貯留する第１の貯留部、および前記洗浄液から前記被洗浄物を離隔して保持する第１の保持空間を備える洗浄槽と、
洗浄媒体としてのすすぎ液を貯留する第２の貯留部、および前記すすぎ液から前記被洗浄物を離隔して保持する第２の保持空間を備えるすすぎ洗浄槽と、
前記被洗浄物を洗浄するための揮発性を備える置換液を貯留する第３の貯留部、および前記置換液から前記被洗浄物を離隔して保持する第３の保持空間を備える仕上げ洗浄槽と、
前記被洗浄物が、前記第１の保持空間、前記第２の保持空間、および前記第３の保持空間のいずれかの保持空間において保持された状態で、前記被洗浄物の隙間部に連通する周辺雰囲気を減圧することにより前記隙間部内に残留した前記洗浄媒体を排出させる圧力調整部と、
前記洗浄槽により洗浄された後の前記被洗浄物を冷却して温度を調整するための温度調整槽と、を有する被洗浄物の洗浄装置。
【請求項６】
前記すすぎ洗浄槽および前記仕上げ洗浄槽の間を気密に連通する連通路をさらに有する、請求項５に記載の被洗浄物の洗浄装置。
【国際調査報告】
2015177893.tif 000021
2015177893.tif 000022
2015177893.tif 000023
2015177893.tif 000024