(57)【要約】  複数の内部電極（１２）及び複数の圧電体層（１３）が積層された積層体（１４）と，積層体の少なくとも一方主面に設けられた複数の表面電極（１５）と，積層体の側面に設けられ，該側面に導出された複数の内部電極と複数の表面電極とを電気的に接続する複数の側面電極（１６）とを備えた圧電素子（１１）であって，複数の内部電極は、活性領域（１２１１）および積層体の側面への導出領域（１２１２）を有する第１の主電極（１２１）と，第１の主電極が設けられている圧電体層間に導出領域と間隔をおいて設けられた第１の副電極（１７１）とを含み，当該第１の副電極が複数の側面電極のうちのいずれかと接続された積層体の端部に位置する側面におけるデラミネーションの発生が抑制された圧電素子およびこれを備えた圧電振動装置，携帯端末，音響発生器，音響発生装置，電子機器を提供する。
2015114849.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の内部電極及び複数の圧電体層が積層された積層体と、該積層体の少なくとも一方主面に設けられた複数の表面電極と、前記積層体の側面に設けられ、該側面に導出された前記複数の内部電極と前記複数の表面電極とを電気的に接続する複数の側面電極とを備えた圧電素子であって、
前記複数の内部電極は、活性領域および前記積層体の側面への導出領域を有する第１の主電極と、該第１の主電極が設けられている圧電体層間に前記導出領域と間隔をおいて設けられた第１の副電極とを含み、当該第１の副電極が前記複数の側面電極のうちのいずれかと接続されていることを特徴とする圧電素子。
【請求項２】
同一の圧電体層間に設けられた前記第１の主電極と前記第１の副電極とが互いに異なる側面電極に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。
【請求項３】
前記積層体が平面視長方形状の板状体であり、前記積層体の積層方向の一方主面側に位置する前記第１の主電極および前記第１の副電極の配置と前記積層体の積層方向の他方主面側に位置する前記第１の主電極および前記第１の副電極の配置とが幅方向の中心軸に対して線対称な配置となっていて、
前記一方主面側に配置された前記第１の主電極と前記他方主面側に配置された前記第１の副電極とが一つの前記側面電極に接続されているとともに、前記他方主面側に配置された前記第１の主電極と前記一方主面側に配置された前記第１の副電極とが他の一つの前記側面電極に接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧電素子。
【請求項４】
同一の圧電体層間に設けられた前記第１の主電極と前記第１の副電極とが同じ側面に導出されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のうちのいずれかに記載の圧電素子。
【請求項５】
前記積層体が平面視長方形状の板状体であり、前記第１の主電極と前記第１の副電極とが同じ端面に導出されていることを特徴とする請求項４に記載の圧電素子。
【請求項６】
前記第１の主電極の導出領域の幅と前記第１の副電極の幅とが互いに同じであることを特徴とする請求項５に記載の圧電素子。
【請求項７】
前記積層体は前記第１の主電極の前記活性領域と対向するように積層方向に前記第１の主電極と交互に配置された第２の主電極を含み、前記積層体の積層方向から平面透視したときに、前記第１の副電極と前記第２の主電極とが対向する領域を有していることを特徴とする請求項１乃至請求項６のうちのいずれかに記載の圧電素子。
【請求項８】
前記積層体は前記第１の主電極の前記活性領域と対向するように積層方向に前記第１の主電極と交互に配置された第２の主電極を含み、該第２の主電極が活性領域および前記積層体の側面への導出領域を有していて、当該第２の主電極が設けられている圧電体層間に前記第２の主電極の前記導出領域と間隔をおいて第２の副電極が設けられ、当該第２の副電極が前記複数の側面電極のうちのいずれかと接続されていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のうちのいずれかに記載の圧電素子。
【請求項９】
前記積層体の積層方向から平面透視したときに、前記第２の副電極と前記第１の主電極とが対向する領域を有していることを特徴とする請求項８に記載の圧電素子。
【請求項１０】
前記第１の主電極、前記第２の主電極および前記第１の副電極の形成材料の組成が同じであることを特徴とする請求項２乃至請求項７のうちのいずれかに記載の圧電素子。
【請求項１１】
前記第１の主電極、前記第２の主電極、前記第１の副電極および前記第２の副電極の形成材料組成が同じであることを特徴とする請求項８または請求項９に記載の圧電素子。
【請求項１２】
バイモルフ型の圧電素子である請求項１乃至請求項１１のうちのいずれかに記載の圧電素子。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２のうちのいずれかに記載の圧電素子と、該圧電素子の他方主面に接合された振動板とを有することを特徴とする圧電振動装置。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１２のうちのいずれかに記載の圧電素子と、電子回路と、ディスプレイと、筐体とを有しており、前記圧電素子の他方主面が前記ディスプレイまたは前記筐体に接合されていることを特徴とする携帯端末。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１２のうちのいずれかに記載の圧電素子と、前記圧電素子が取り付けられており、該圧電素子の振動によって振動する振動板と、該振動板の外周部の少なくとも一部に設けられ、前記振動板を支持する支持体とを備えていることを特徴とする音響発生器。
【請求項１６】
請求項１５に記載の音響発生器と、該音響発生器を収容する筐体とを備えていることを特徴とする音響発生装置。
【請求項１７】
請求項１５に記載の音響発生器と、該音響発生器に接続された電子回路と、該電子回路および前記音響発生器を収容する筐体とを備え、前記音響発生器から音響を発生させる機能を有することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、音響発生装置、電子機器に好適な圧電素子およびこれを備えた圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、音響発生装置、電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
積層型の圧電素子は、一般に複数の内部電極と複数の圧電体層が積層され、内部電極の端部が積層体の側面の一部に導出されて当該側面に設けられた側面電極と電気的に接続されている（例えば、特許文献１を参照）。そして、この圧電素子を駆動させると、積層方向に伸縮することから積層体の端部に位置する側面には応力負荷がかかる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１０９７５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、図１２に示すように、例えばバイモルフ型の圧電素子において、積層体の一方端部に位置する側面に導出される内部電極のパターン１０１と積層体の他方端部に位置する側面に導出される内部電極のパターン１０２とは異なっている。具体的には、積層体の一方端部に位置する側面に導出される内部電極のパターン１０１は幅方向の大部分の領域を占めているのに対し、積層体の他方端部に位置する側面に導出される内部電極のパターン１０２は幅方向の半分以下の領域を占めている。【０００５】
これにより、圧電素子を駆動させたときに、積層体の他方端部に位置する側面にかかる応力が部分的に異なる。具体的には、積層体の他方端部において、内部電極の端部が導出された部位と、これに近接する内部電極の端部が導出されていない部位とでは、かかる応力が異なる。【０００６】
特に、近年では圧電素子に変位量の増加（より大きな屈曲振動）が要求されている。これにより、積層体の端部に位置する側面において、応力負荷によりデラミネーションが発生してしまうおそれがある。【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、積層体の端部に位置する側面におけるデラミネーションの発生が抑制された圧電素子およびこれを備えた圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、音響発生装置、電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の圧電素子は、複数の内部電極及び複数の圧電体層が積層された積層体と、該積層体の少なくとも一方主面に設けられた複数の表面電極と、前記積層体の側面に設けられ、該側面に導出された前記複数の内部電極と前記複数の表面電極とを電気的に接続する複数の側面電極とを備えた圧電素子であって、前記複数の内部電極は、活性領域および前記積層体の側面への導出領域を有する第１の主電極と、該第１の主電極が設けられている圧電体層間に前記導出領域と間隔をおいて設けられた第１の副電極とを含み、当該第１の副電極が前記複数の側面電極のうちのいずれかと接続されていることを特徴とするものである。【０００９】
また、本発明の圧電振動装置は、上記の圧電素子と、該圧電素子を構成する積層体の他方主面に接合された振動板とを有することを特徴とするものである。【００１０】
また、本発明の携帯端末は、上記の圧電素子と、電子回路と、ディスプレイと、筐体とを有しており、前記圧電素子の他方主面が前記ディスプレイまたは前記筐体に接合された携帯端末であることを特徴とするものである。【００１１】
また、本発明の音響発生器は、上記の圧電素子と、該圧電素子が取り付けられており、該圧電素子の振動によって振動する振動板と、該振動板の外周部の少なくとも一部に設けられ、前記振動板を支持する支持体とを備えたことを特徴とするものである。【００１２】
また、本発明の音響発生装置は、上記の音響発生器と、該音響発生器を収容する筐体とを備えていることを特徴とするものである。【００１３】
また、本発明の電子機器は、上記の音響発生器と、該音響発生器に接続された電子回路と、該電子回路および前記音響発生器を収容する筐体とを備え、前記音響発生器から音響を発生させる機能を有した電子機器であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の圧電素子によれば、積層体の端部に位置する側面と側面電極との密着強度が向上することで、積層体の端部に位置する側面におけるデラミネーションの発生を抑制することができる。【００１５】
また、上記圧電素子を備えた本発明の圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、音響発生装置および電子機器によれば、耐久性に優れ、長期間安定して駆動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の圧電素子の実施の形態の一例を示す概略斜視図である。
【図２】図１に示す圧電素子の分解斜視図である。
【図３】本発明の圧電素子の実施の形態の他の例の分解斜視図である。
【図４】本発明の圧電素子の実施の形態の他の例の分解斜視図である。
【図５】本発明の圧電振動装置の実施の形態を模式的に示す概略斜視図である。
【図６】本発明の携帯端末の実施の形態を模式的に示す概略斜視図である。
【図７】図６に示すＡ−Ａ線で切断した概略断面図である。
【図８】図６に示すＢ−Ｂ線で切断した概略断面図である。
【図９】図９（ａ）は、本発明の音響発生器の実施の形態の概略構成を示す模式的な平面図であり、図９（ｂ）は図９（ａ）のＡ−Ａ線で切断した一例の概略断面図、図９（ｃ）は、図９（ａ）のＡ−Ａ線で切断した他の例の概略断面図である。
【図１０】本発明の音響発生装置の実施形態に係る構成を示す図である。
【図１１】本発明の電子機器の実施の形態に係る構成を示す図である。
【図１２】従来の圧電素子の実施の形態の一例を示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の圧電素子の実施の形態の一例について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
図１は本発明の圧電素子の実施の形態の一例を示す概略斜視図であり、図２は図１に示す圧電素子の分解斜視図である。なお、図２においては図１に示す側面電極１６は省略している。
【００１９】
図１および図２に示す例の圧電素子１１は、複数の内部電極１２及び複数の圧電体層１３が積層された積層体１４と、積層体１４の少なくとも一方主面に設けられた複数の表面電極１５と、積層体１４の側面に設けられ、該側面に導出された複数の内部電極１２と複数の表面電極１５とを電気的に接続する複数の側面電極１６とを備えた圧電素子１１であって、複数の内部電極１２は、活性領域１２１１および積層体１４の側面への導出領域１２１２を有する第１の主電極１２１と、該第１の主電極１２１が設けられている圧電体層１３間に導出領域１２１２と間隔をおいて設けられた第１の副電極１７１とを含み、当該第１の副電極１７１が複数の側面電極１６のうちのいずれかと接続されている。
【００２０】
本例の圧電素子１１を構成する積層体１４は、複数の内部電極１２と複数の圧電体層１３とが積層されて、一方主面が長さ方向と幅方向とを有する平面視長方形状の板状体である。そして、圧電素子は隣り合う複数の内部電極１２が積層方向に重なる活性部とそれ以外の不活性部とを有している。携帯端末のディスプレイまたは筐体に取り付ける圧電アクチュエータの場合には、積層体１４の長さとしては、例えば１８ｍｍ〜２８ｍｍが好ましく、２２ｍｍ〜２５ｍｍが更に好ましい。積層体１４の幅は、例えば１ｍｍ〜６ｍｍが好ましく、３ｍｍ〜４ｍｍが更に好ましい。積層体１４の厚みは、例えば０．２ｍｍ〜１．０ｍｍが好ましく、０．４ｍｍ〜０．８ｍｍが更に好ましい。
【００２１】
積層体１４を構成する複数の内部電極１２は、圧電体層１３を形成するセラミックスと同時焼成により形成されたものであり、第１の主電極１２１および第２の主電極１２２を有する。第１の主電極１２１および第２の主電極１２２は、複数の圧電体層１３と交互に積層され、圧電体層１３を上下から挟んで交互に配置されており、積層順に第１の主電極１２１および第２の主電極１２２が配置されることにより、それらの間に挟まれた圧電体層１３に駆動電圧を印加するものである。この形成材料として、例えば圧電セラミックスとの反応性が低い銀や銀−パラジウム合金を主成分とする導体、あるいは銅、白金などを含む導体を用いることができるが、これらにセラミック成分やガラス成分を含有させてもよい。
【００２２】
図１および図２に示す例では、主電極は積層方向に交互に配置された第１の主電極１２１および第２の主電極１２２を含み、第１の主電極１２１および第２の主電極１２２の端部がそれぞれ積層体１４の対向する一対の側面に互い違いに導出されている。ここで、複数の内部電極１２を構成する主電極のうち、第１の主電極１２１は活性領域１２１１および積層体１４の側面への導出領域１２１２を有する主電極である。また、第２の主電極１２２は、積層体１４の積層方向から平面透視したときに第１の主電極１２１の活性領域１２１１と対向するように設けられた主電極である。
【００２３】
第２の主電極１２２と対向して活性部を形成する第１の主電極１２１の活性領域１２１１は相対的に幅の広い長方形状の領域である。導出領域１２１２は活性領域１２１１よりも幅の狭い領域で、この導出領域１２１２が積層体１４の対向する一対の側面のうちの一方に導出されて、複数の側面電極１６のうちのいずれか一つと電気的に接続されている。一方、第２の主電極１２２は長方形状に形成されていて、第２の主電極１２２の長手方向の一方の端部が、対向する一対の側面のうちの他方に導出されて、複数の側面電極１６のうちの他の一つの側面電極１６と電気的に接続されている。なお、第２の主電極１２２と接続された側面電極１６は、図では省略している。携帯端末のディスプレイまたは筐体に取り付ける圧電素子の場合には、内部電極１２（第１の主電極１２１および第２の主電極１２２）の長さは、例えば１７ｍｍ〜２５ｍｍが好ましく、２１ｍｍ〜２４ｍｍが更に好ましい。内部電極１２の活性部における幅、すなわち第１の主電極１２１における活性領域１２１１の幅および第２の主電極１２２の幅は、例えば１ｍｍ〜５ｍｍが好ましく、２ｍｍ〜４ｍｍが更に好ましい。内部電極１２の厚みは、例えば０．１μｍ〜５μｍが好ましい。なお、第１の主電極１２１のさらに詳しい構成および第１の副電極１７１については、後述する。
【００２４】
積層体１４を構成する圧電体層１３は、圧電特性を有するセラミックスで形成されたもので、このようなセラミックスとして、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）からなるペロブスカイト型酸化物、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）などを用いることができる。圧電体層の１層の厚みは、低電圧で駆動させるために、例えば０．０１〜０．１ｍｍに設定することが好ましい。また、大きな屈曲振動を得るために、２００ｐｍ／Ｖ以上の圧電定数ｄ３１を有することが好ましい。
【００２５】
積層体１４の一方主面には、複数の内部電極１２と電気的に接続された複数の表面電極１５が設けられている。図１に示す形態における表面電極１５は、大きな面積の第１の表面電極１５１、小さな面積の第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３で構成されている。例えば、第１の表面電極１５１は第２の主電極１２２となる内部電極１２と電気的に接続され、第２の表面電極１５２は例えば積層体１４の一方主面側に配置された第１の主電極１２１となる内部電極１２、第３の表面電極１５３は例えば積層体１４の他方主面側に配置された第１の主電極１２１となる内部電極１２と電気的に接続されている。携帯端末のディスプレイまたは筐体に取り付ける圧電アクチュエータの場合には、第１の表面電極１５１の長さは、例えば１７ｍｍ〜２３ｍｍが好ましく、１９ｍｍ〜２１ｍｍが更に好ましい。第１の表面電極１５１の幅は、例えば１ｍｍ〜５ｍｍが好ましく、２ｍｍ〜４ｍｍが更に好ましい。第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３の長さは、例えば１ｍｍ〜３ｍｍとするのが好ましい。第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３の幅は、例えば０．５ｍｍ〜１．５ｍｍとするのが好ましい。なお、第１の表面電極１５１、第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３は、本発明の圧電素子１１における圧電体層１３の分極の向きを一方主面側と他方主面側とで対称的になるように、いわゆるバイモルフ型の圧電素子とするために複数に分けられて設けられているもので、使用時には例えば第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３を結線されて、圧電素子１１を駆動するようになっている。
【００２６】
そして、本例の圧電素子１１は、第１の主電極１２１が設けられている圧電体層１３間に導出領域１２１２と間隔をおいて第１の副電極１７１が設けられている。本例では、第１の主電極１２１を構成する導出領域１２１２は、活性領域１２１１の幅のおよそ半分の幅に形成されている。したがって、第１の主電極１２１の活性領域１２１１および導出領域１２１２が形成されていない領域が存在している。この領域に、活性領域１２１１および導出領域１２１２とは電気的に接続されないように間隔をおいて、第１の副電極１７１が設けられている。そして、当該第１の副電極１７１が複数の側面電極１６のうちのいずれかと接続されている。
【００２７】
この構成によれば、導出領域１２１２と第１の副電極１７１とが積層体１４の側面に引き出されて、それぞれ側面電極１６と接続されているので、第１の副電極１７１がない場合に比べて、内部電極１２と側面電極１６との接続が多くなる。圧電体層１３よりも電極（第１の副電極１７１）のほうが側面電極１６との接合力は大きく、積層体１４の端部に位置する側面と側面電極１６との密着強度が向上する。したがって、積層体１４の端部に位置する側面からの側面電極１６の剥離が抑えられるとともに、積層体１４の端部に位置する側面における積層体１４のデラミネーションの発生を抑制することができる。
【００２８】
なお、図１に示すように、同一の圧電体層１３間に設けられた第１の主電極１２１と第１の副電極１７１とが互いに異なる側面電極１６に接続されているのが好ましい。図２に示す例では、同一の圧電体層１３間に設けられた第１の主電極１２１に一つの側面電極１６が電気的に接続され、第１の副電極１７１に他の一つの側面電極１６が電気的に接続されている。
【００２９】
具体的には、積層体１４が平面視したときの形状が長方形状の板状体であり、積層体１４の積層方向の一方主面側に位置する第１の主電極１２１および第１の副電極１７１の配置と積層体１４の積層方向の他方主面側に位置する第１の主電極１２１および第１の副電極１７１の配置とが幅方向の中心軸に対して線対称な配置となっている。そして、一方主面側に配置された第１の主電極１２１と他方主面側に配置された第１の副電極１７１とが一つの側面電極に電気的に接続されているとともに、他方主面側に配置された第１の主電極１２１と一方主面側に配置された第１の副電極１７１とが他の一つの側面電極１６に電気的に接続されている。
【００３０】
このように、同一の圧電体層１３間に設けられた第１の主電極１２１と第１の副電極１７１とが互いに異なる側面電極１６に接続されるように構成されていることで、互いに絶縁された複数の側面電極１６を積層方向に延ばして形成することができる。これによって、例えばバイモルフ型の圧電素子における表面電極１５および内部電極１２の電極パターンのバリエーションに応じて、積層方向に延びる側面電極１６を複数設けることができ、結果として複数の側面電極１６が積層体１４の側面と接合される総面積を増やすことができる。したがって、積層体１４の側面への拘束力をさらに高めることができ、密着強度をより向上させることができる。
【００３１】
また、上記の構成において、積層体１４の積層方向から平面透視したときに、第１の副電極１７１と第２の主電極１２２とが対向する領域を有しているのが好ましく、これにより、第１の副電極１７１の近傍に位置する圧電体層１３の分極の向きを、第１の副電極１７１と同一の圧電体層１３間に設けられた第１の主電極１２１の近傍に位置する圧電体層１３の分極の向きと逆向きにすることができる。この逆向きの分極が、変位を相殺するように作用することで、よりデラミネーションの発生を抑制することができる。
【００３２】
また、同一の圧電体層１３間に設けられた第１の主電極１２１と第１の副電極１７１とは異なる側面に導出されてもよい。例えば、図では導出領域１２１２および第１の副電極１７１のうちの両方が一方主面の形状（長方形）の短辺に位置する同一の側面（端面）に導出されているが、導出領域１２１２および第１の副電極１７１のうちの一方または両方が長辺に位置する側面の端面に近い部位に導出されてもよい。
【００３３】
ただし、図に示すように、同一の圧電体層１３間に設けられた第１の主電極１２１と第１の副電極１７１とが同じ側面に導出されているのが好ましく、同じ側面に導出されていることで、側面電極１６による積層体１４の側面への拘束力を集中させて、さらにデラミネーションの発生を抑制することができる。なお、上記の同じ側面が、応力の大きくなる側面であって、一方主面の長方形状の短辺に位置する側面（端面）であるのがよい。すなわち、積層体１４が平面視したときの形状が長方形状の板状体であり、第１の主電極１２１と第１の副電極１７１とが同じ端面に導出されているのが好ましい。
【００３４】
また、第１の主電極１２１の導出領域１２１２の幅と第１の副電極１７１の幅とは異なっていてもよいが、図に示すように、第１の主電極１２１の導出領域１２１２の幅と第１の副電極１７１の幅とが互いに同じであるのが好ましく、これにより、第１の主電極１２１における導出領域１２１２のパターンと第１の副電極１７１のパターンとが近似されてバランスがよくなり、焼結収縮挙動による影響のバランスがとれ、密着強度が向上してさらにデラミネーションの発生を抑制することができる。
【００３５】
また、第１の主電極１２１、第２の主電極１２２および第１の副電極１７１の形成材料の組成が同じであるのが好ましく、これにより、材料的に圧電体層１３との接合強度が同じくなり、焼結収縮挙動及び密着機構が同じで且つ熱膨張係数が同じの為、さらに密着強度がよくなりデラミネーションの発生を抑制できる。
【００３６】
なお、表面電極１５（第２の表面電極１５２、第３の表面電極１５３）の面積よりも第１の副電極１７１の面積が小さいのが、側面電極１６との接合力の点および最表層の圧電体層１３に逆向きの変位をするように作用させることができる点で好ましい。
【００３７】
本発明の圧電素子の実施の形態の他の例として、図３に示すような形態および図４に示すような形態とすることもできる。
【００３８】
図３および図４に示す圧電素子１１は、第２の主電極１２２が活性領域１２２１および積層体１４の側面への導出領域１２２２を有していて、当該第２の主電極１２２が設けられている圧電体層１３間に導出領域１２２２と間隔をおいて第２の副電極１７２が設けられ、当該第２の副電極１７２が複数の側面電極１６のうちのいずれかと接続されている構成である。なお、図３および図４において、複数の側面電極１６は省略している。
【００３９】
図３に示す圧電素子１１は、具体的には、第２の主電極１２２における第１の主電極１２１と対向する活性領域１２２１は相対的に幅の広い長方形状の領域で、第１の主電極１２１と対向して活性部を形成している。第２の主電極１２２における導出領域１２２２は活性領域１２２１よりも幅の狭い領域である。本例では、一方主面側に配置された第２の主電極１２２のパターンは、ちょうど第一の主電極１２１のパターンと長さ方向の中心軸に関して線対称な配置になっている。この導出領域１２２２が積層体１４の対向する一対の側面のうちの他方の端面（導出領域１２１２が導出される端面とは反対側の端面）に導出されて、側面電極１６と電気的に接続されている。また、他方主面側に配置された第２の主電極１２２のパターンは、ちょうど第一の主電極１２１のパターンと点対称な配置になっている。
【００４０】
また、第２の主電極１２２が活性領域１２２１および積層体１４の対向する一対の側面のうちの他方の端面への導出領域１２２２を有していて、当該第２の主電極１２２が設けられている圧電体層１３間に導出領域１２２２と間隔をおいて第２の副電極１７２が設けられ、当該第２の副電極１７２が積層体１４の対向する一対の側面のうちの他方の端面に導出され、複数の側面電極１６のうちのいずれかと接続されている
また、表面電極１５も複数設けられていて、図１および図２に示す例と同様に、使用時には結線されるなどして、圧電素子１１を駆動するようになっている。
【００４１】
このとき、図示していないが、圧電素子１１の一方の端部に位置する側面（端面）には積層方向に延びる二つの側面電極が設けられているとともに、圧電素子１１の他方の端部に位置する側面（端面）には積層方向に延びる二つの側面電極が設けられている。
【００４２】
第１の主電極１２１が一方の端部に位置する側面（端面）に設けられた側面電極に電気的に接続され、また、第１の副電極１７１が一方の端部に位置する側面に設けられた他の側面電極に電気的に接続されている。
【００４３】
積層方向の一方主面側に配置された第２の主電極１２２、積層方向の他方主面側に配置された第２の副電極１７２が他方の端部に位置する側面（端面）に設けられた一つの側面電極に電気的に接続され、また、積層方向の他方主面側に配置された第２の主電極１２２、積層方向の一方主面側に配置された第２の副電極１７２が他方の端部に位置する側面（端面）に設けられた他の一つの側面電極に電気的に接続されている。
【００４４】
この構成によれば、第２の主電極１２２が導出領域１２２２を有する場合において、側面電極との密着強度を向上させ、デラミネーションの発生を抑制することができる。また、焼結収縮挙動による影響のバランスがとれ、密着強度が向上してさらにデラミネーションの発生を抑制することができる。
【００４５】
また、図４に示す圧電素子１１は、具体的には、第２の主電極１２２における第１の主電極１２１との活性領域１２２１は相対的に幅の広い長方形状の領域で、第１の主電極１２１と対向して活性部を形成している。第２の主電極１２２における導出領域１２２２は活性領域１２２１よりも幅の狭い領域で、本例では第２の主電極１２２に二つの導出領域１２２２がある。これらのパターンは、ちょうど点対称になっている。この導出領域１２２２が積層体１４の対向する一対の側面（一方の端部に位置する側面（端面）と他方の端部に位置する側面（端面））にそれぞれ導出されて、側面電極１６と電気的に接続されている。
【００４６】
また、表面電極１５（大きな面積の第１の表面電極１５１、小さな面積の第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３）も、第２の主電極１２２および第２の副電極１７２と類似したパターンで形成されている。
【００４７】
また、積層方向の上側に配置された第１の主電極１２１と積層方向の下側に配置された第１の主電極１２１とは、互いに逆の端部に位置する側面に導出され、それぞれの第１の主電極１２１と同一の圧電体層１３間に導出領域１２１２と間隔をおいて第１の副電極１７１を有している。上側のパターンと下側のパターンとでは、ちょうど点対称の関係になっている。
【００４８】
このとき、図示していないが、圧電素子１１の一方の端部に位置する側面には積層方向に延びる二つの側面電極が設けられているとともに、圧電素子１１の他方の端部に位置する側面には積層方向に延びる二つの側面電極が設けられている。積層方向の上側に配置された第１の主電極１２１、積層方向の下側に配置された第１の副電極１７１、第２の表面電極１５２が一方の端部に位置する側面に設けられた側面電極に電気的に接続され、積層方向の下側に配置された第１の主電極１２１、積層方向の上側に配置された第１の副電極１７１、第３の表面電極１５２が他方の端部に位置する側面に設けられた側面電極に電気的に接続されている。また、それぞれの側面において設けられた他の側面電極と第２の主電極１２２（導出領域１２２２）、第１の表面電極１５１が電気的に接続されている。
【００４９】
この構成によれば、第１の主電極１２１の導出領域１２１２、第２の主電極１２２の導出領域１２２２および第１の副電極１７１のパターンと、側面電極のパターンとが対称性を有することから、一方の端部に位置する側面と他方の端部に位置する側面とで同じ程度に側面電極との密着強度を向上させ、デラミネーションの発生を抑制することができる。また、焼結収縮挙動による影響のバランスがとれ、密着強度が向上してさらにデラミネーションの発生を抑制することができる。
【００５０】
また、図３および図４に示す構成の場合においても、積層体１４の積層方向から平面透視したときに、第２の副電極１７２と第１の主電極１２１とが対向する領域を有しているのが好ましく、これにより、第２の副電極１７２の近傍に位置する圧電体層１３の分極の向きを、第２の副電極１７２と同一の圧電体層１３間に設けられた第２の主電極１２２の近傍に位置する圧電体層１３の分極の向きと逆向きにすることができる。この逆向きの分極が、変位を相殺するように作用することで、よりデラミネーションの発生を抑制することができる。
【００５１】
また、図３および図４に示す構成の場合においても、第１の主電極１２１、第２の主電極１２２、第１の副電極１７１および第２の副電極１７２の形成材料の組成が同じであるのが好ましく、これにより、材料的に圧電体層１３との接合強度が同じくなり、焼結収縮挙動及び密着機構が同じで且つ熱膨張係数が同じの為、さらに密着強度がよくなりデラミネーションの発生を抑制できる。
【００５２】
なお、上述した本発明の圧電素子は、表面電極１５から電気信号が入力されて一方主面および他方主面が屈曲面となるように屈曲振動するいわゆるバイモルフ型の圧電素子である。バイモルフ型の圧電素子によれば、ユニモルフ型の圧電素子に比してより屈曲振動させることができるが、本発明の圧電アクチュエータとしては、バイモルフ型に限られず、ユニモルフ型であってもよい。例えば後述する振動板に圧電アクチュエータの他方主面を接合する（貼り合わせる）ことで、ユニモルフ型でも屈曲振動させることができる。
【００５３】
次に、本実施の形態の圧電素子１１の製造方法について説明する。
【００５４】
まず、圧電体層１３となるセラミックグリーンシートを作製する。具体的には、圧電セラミックスの仮焼粉末と、アクリル系，ブチラール系等の有機高分子からなるバインダーと、可塑剤とを混合してセラミックスラリーを作製する。そして、ドクターブレード法、カレンダーロール法等のテープ成型法を用いることにより、このセラミックスラリーを用いてセラミックグリーンシートを作製する。圧電セラミックスとしては圧電特性を有するものであればよく、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）からなるペロブスカイト型酸化物等を用いることができる。また、可塑剤としては、フタル酸ジブチル（ＤＢＰ），フタル酸ジオクチル（ＤＯＰ）等を用いることができる。
【００５５】
次に、内部電極となる導電性ペーストを作製する。具体的には、銀−パラジウム合金の金属粉末にバインダーおよび可塑剤を添加混合することによって導電性ペーストを作製する。この導電性ペーストを上記のセラミックグリーンシート上に、スクリーン印刷法を用いて内部電極（第１の主電極１２１、第２の主電極１２２、第１の副電極１７１および必要により第２の副電極１７２）のパターンで塗布する。さらに、この導電性ペーストが印刷されたセラミックグリーンシートを複数枚積層し、所定の温度で脱バインダー処理を行なった後、９００〜１２００℃の温度で焼成し、平面研削盤等を用いて所定の形状になるよう研削処理を施すことによって、交互に積層された内部電極１２（主電極および副電極）および圧電体層１３を備えた積層体を作製する。
【００５６】
積層体は、上記の製造方法によって作製されるものに限定されるものではなく、内部電極と圧電体層とを複数積層してなる積層体を作製できれば、どのような製造方法によって作製されてもよい。
【００５７】
その後、銀を主成分とする導電粒子とガラスとを混合したものに、バインダー，可塑剤および溶剤を加えて作製した銀ガラス含有導電性ペーストを、表面電極のパターンで積層体の主面および側面にスクリーン印刷法等によって印刷して乾燥させた後、６００〜７５０℃の温度で焼き付け処理を行ない、表面電極を形成する。
【００５８】
以上の方法にて、本実施形態の圧電素子を製造することができる。
【００５９】
また、本実施形態の圧電振動装置は、図５に示すように、圧電素子１１と、圧電素子１１の他方主面に接合された振動板８１とを有する。
【００６０】
振動板８１は、例えば矩形状の薄板である。振動板８１は、アクリル樹脂やガラス等の剛性および弾性が大きい材料を好適に用いて形成することができる。また、振動板８１の厚みは、例えば０．４ｍｍ〜１．５ｍｍに設定される。
【００６１】
振動板８１は、圧電素子１１を構成する積層体１４の他方主面に、接合部材８２を介して接合されている。接合部材８２を介して、振動板８１に他方主面の全面が接合されていてもよく、略全面が接合されていてもよい。
【００６２】
接合部材８２は、フィルム状の形状を有している。また、接合部材８２は、振動板８１よりも柔らかく変形しやすいもので形成されており、振動板８１よりもヤング率，剛性率，体積弾性率等の弾性率や剛性が小さい。すなわち、接合部材８２は、圧電素子１１の駆動によって振動板８１を振動させたときに変形可能であり、同じ力が加わったときに、振動板８１よりも大きく変形するものである。そして、接合部材８２の一方主面（図の＋ｚ方向側の主面）には積層体１４の他方主面（図の−ｚ方向側の主面）が全体的に固着され、接合部材８２の他方主面（図の−ｚ方向側の主面）には振動板８１の一方主面（図の＋ｚ方向側の主面）の一部が固着されている。
【００６３】
変形可能な接合部材８２で積層体１４と振動板８１とを接合することで、圧電素子１１から振動が伝達されたとき、変形可能な接合部材８２が振動板８１よりも大きく変形する。
【００６４】
このとき、振動板８１から反射される逆位相の振動を変形可能な接合部材８２で緩和することができるので、圧電素子１１が周囲の振動の影響を受けずに振動板８１へ強い振動を伝達させることができる。
【００６５】
中でも、接合部材８２の少なくとも一部が粘弾性体で構成されていることで、圧電素子１１からの強い振動を振動板８１へ伝える一方、振動板８１から反射される弱い振動を接合部材８２が吸収することができる点で好ましい。例えば、不織布等からなる基材の両面に粘着剤が付着された両面テープや、弾性を有する接着剤を含む構成の接合部材を用いることができ、これらの厚みとしては例えば１０μｍ〜２０００μｍのものを用いることができる。
【００６６】
接合部材８２は、単一のものであっても、いくつかの部材からなる複合体であっても構わない。このような接合部材８２としては、例えば、不織布等からなる基材の両面に粘着剤が付着された両面テープや、弾性を有する接着剤である各種弾性接着剤等を好適に用いることができる。また、接合部材８２の厚みは、圧電素子１１の屈曲振動の振幅よりも大きいことが望ましいが、厚すぎると振動が減衰されるので、例えば、０．１ｍｍ〜０．６ｍｍに設定される。ただし、本発明の圧電振動装置においては、接合部材８２の材質に限定はなく、接合部材８２が振動板８１よりも固く変形し難いもので形成されていても構わない。また、場合によっては、接合部材８２を有さない構成であっても構わない。
【００６７】
このような構成を備える本例の圧電振動装置は、電気信号を加えることによって圧電素子１１を屈曲振動させ、それによって、振動板８１を振動させる圧電振動装置として機能する。なお、振動板８１の長さ方向における他方端部（図の−ｙ方向端部や振動板８１の周縁部等を、図示せぬ支持部材によって支持しても構わない。
【００６８】
また、本例の圧電振動装置は、圧電素子１１の平坦な他方主面に振動板８１が接合されている。これにより、積層体１４と振動板８１とが強固に接合された圧電振動装置とすることができる。
【００６９】
本例の圧電振動装置は、積層体１４の端部に位置する側面におけるデラミネーションの発生が抑制された圧電素子１１を用いて構成されていることから、耐久性に優れ、長期間安定して駆動する圧電振動装置とすることができる。
【００７０】
本実施形態の携帯端末は、図６〜図８に示すように、圧電素子１１と、電子回路（図示せず）と、ディスプレイ９１と、筐体９２とを有しており、圧電素子１１（積層体１４）の他方主面が筐体９２に接合されたものである。なお、図５は本発明の携帯端末を模式的に示す概略斜視図であり、図７は図６に示すＡ−Ａ線で切断した概略断面図、図８は図６に示すＢ−Ｂ線で切断した概略断面図である。積層体１４の一方主面に接合されたフレキシブル基板は図７および図８では省略している。
【００７１】
ここで、圧電素子１１（積層体１４）と筐体９２とが変形可能な接合部材を用いて接合されているのが好ましい。すなわち、図７および図８においては接合部材８２が変形可能な接合部材である。
【００７２】
変形可能な接合部材８２で圧電素子１１と筐体９２とを接合することで、圧電素子１１から振動が伝達されたとき、変形可能な接合部材８２が筐体９２よりも大きく変形する。
【００７３】
このとき、筐体９２から反射される逆位相の振動を変形可能な接合部材８２で緩和することができるので、圧電素子１１が周囲の振動の影響を受けずに筐体９２へ強い振動を伝達させることができる。
【００７４】
中でも、接合部材８２の少なくとも一部が粘弾性体で構成されていることで、圧電素子１１からの強い振動を筐体９２へ伝える一方、筐体９２から反射される弱い振動を接合部材８２が吸収することができる点で好ましい。例えば、不織布等からなる基材の両面に粘着剤が付着された両面テープや、弾性を有する接着剤を含む構成の接合部材を用いることができ、これらの厚みとしては例えば１０μｍ〜２０００μｍのものを用いることができる。
【００７５】
そして、本例では、圧電素子１１はディスプレイ９１のカバーとなる筐体９２の一部であるパネルに取り付けられ、この筐体９２の一部が振動板９２２として機能するようになっている。
【００７６】
なお、本例では圧電素子１１が筐体９２に接合されたものを示したが、圧電素子１１がディスプレイ９１に接合されていてもよい。
【００７７】
筐体９２は、１つの面が開口した箱状の筐体本体９２１と、筐体本体９２１の開口を塞ぐ振動板９２２とを有している。この筐体９２（筐体本体９２１および振動板９２２）は、剛性および弾性率が大きい合成樹脂等の材料を好適に用いて形成することができる。
【００７８】
振動板９２２の周縁部は、筐体本体９２１に接合材９３を介して振動可能に取り付けられている。接合材９３は、振動板９２２よりも柔らかく変形しやすいもので形成されており、振動板９２２よりもヤング率，剛性率，体積弾性率等の弾性率や剛性が小さい。すなわち、接合材９３は変形可能であり、同じ力が加わったときに振動板９２２よりも大きく変形する。
【００７９】
接合材９３は、単一のものであっても、いくつかの部材からなる複合体であっても構わない。このような接合材９３としては、例えば不織布等からなる基材の両面に粘着剤が付着された両面テープ等を好適に用いることができる。接合材９３の厚みは、厚くなりすぎて振動が減衰されないように設定されており、例えば０．１ｍｍ〜０．６ｍｍに設定される。ただし、本発明の携帯端末においては、接合材９３の材質に限定はなく、接合材９３が振動板９２２よりも固く変形し難いもので形成されていても構わない。また、場合によっては、接合材９３を有さない構成であっても構わない。
【００８０】
電子回路（図示せず）としては、例えば、ディスプレイ９１に表示させる画像情報や携帯端末によって伝達する音声情報を処理する回路や、通信回路等が例示できる。これらの回路の少なくとも１つであってもよいし、全ての回路が含まれていても構わない。また、他の機能を有する回路であってもよい。さらに、複数の電子回路を有していても構わない。なお、電子回路と圧電素子１１とは図示しない接続用配線で接続されている。
【００８１】
ディスプレイ９１は、画像情報を表示する機能を有する表示装置であり、例えば、液晶ディスプレイ，プラズマディスプレイ，および有機ＥＬディスプレイ等の既知のディスプレイを好適に用いることができる。なお、ディスプレイ９１は、タッチパネルのような入力装置を有するものであっても良い。また、ディスプレイ９１のカバー（振動板９２２）が、タッチパネルのような入力装置を有するものであっても構わない。さらに、ディスプレイ９１全体や、ディスプレイ９１の一部が振動板として機能するようにしても構わない。
【００８２】
本例の携帯端末は、積層体１４の端部に位置する側面におけるデラミネーションの発生が抑制された圧電素子１１を用いて構成されていることから、耐久性に優れ、長期間安定して駆動する携帯端末とすることができる。
【００８３】
また、本実施形態の携帯端末は、ディスプレイ９１または筐体９２が、耳の軟骨または気導を通して音情報を伝える振動を生じさせることを特徴とする。本例の携帯端末は、振動板（ディスプレイ９１または筐体９２）を直接または他の物を介して耳に接触させて、耳の軟骨に振動を伝えることによって音情報を伝達することができる。すなわち、振動板（ディスプレイ９１または筐体９２）を直接または間接的に耳に接触させて、耳の軟骨に振動を伝えることによって音情報を伝達することができる。これにより、例えば、周囲が騒がしいときにおいても音情報をクリアに伝達することができ、難聴者でも音声を認識することが可能な携帯端末を得ることができる。なお、振動板（ディスプレイ９１または筐体９２）と耳との間に介在する物は、例えば、携帯端末のカバーであっても良いし、ヘッドホンやイヤホンでも良く、振動を伝達可能な物であればどんなものでも構わない。また、振動板（ディスプレイ９１または筐体９２）から発生する音を空気中に伝播させることにより、音情報を伝達するような携帯端末であっても構わない。さらに、複数のルートを介して音情報を伝達するような携帯端末であっても構わない。
【００８４】
また、本実施形態の音響発生器１０は、図９に示すように、上述の圧電素子１１と、圧電素子１１が取り付けられており、圧電素子１１の振動によって振動する振動板２０と、振動板２０の外周部の少なくとも一部に設けられ、振動板２０を支持する支持体としての枠体３０とを備えている。
【００８５】
圧電素子１１は、電圧の印加を受けて振動することによって振動板２０を励振する励振器である。圧電素子１１の主面と振動板２０の主面とがエポキシ系樹脂等の接着剤により接合され、圧電素子１１が屈曲振動することにより、圧電素子１１が振動板２０に一定の振動を与えて音を発生させることができる。
【００８６】
振動板２０は、張力がかかっている状態でその周縁部が枠体３０に固定されていて、圧電素子１１の振動によって圧電素子１１とともに振動するようになっている。この振動板２０は樹脂や金属等の種々の材料を用いて形成することができ、例えば厚さ１０〜２００μｍのポリエチレン、ポリイミド、ポリプロピレン等の樹脂フィルムで振動板２０を構成することができる。樹脂フィルムは金属板などに比べて弾性率および機械的なＱ値の低い材料であるため、振動板２０を樹脂フィルムにより構成することで、振動板２０を大きな振幅で屈曲振動させ、音圧の周波数特性における共振ピークの幅を広く、高さを低くして共振ピークとディップとの差を低減することができる。
【００８７】
枠体３０は、振動板２０の周縁部で振動板２０を支持する支持体として機能し、例えばステンレスなどの金属、樹脂など種々の材料を用いて形成することができる。この枠体３０は、図９（ｂ）に示すように一つの枠部材（上枠部材３０１）からなるものでもよく、図９（ｃ）に示すように二つの枠部材（上枠部材３０１および下枠部材３０２）からなるものでもよい。この場合、二つの枠部材で振動板２０を挟むことで、振動板２０の張りを安定させることができる。なお、上枠部材３０１および下枠部材３０２は、それぞれの厚みが例えば１００〜５０００μｍとされる。
【００８８】
本例の音響発生器１０においては、図９（ｂ）および図９（ｃ）に示すように、圧電素子１１から振動板２０の表面の少なくとも圧電素子１１の周辺部までを覆うように設けられた樹脂層４０をさらに有するのが好ましい。樹脂層４０としては、例えばアクリル系樹脂を用いることができる。かかる樹脂層４０に圧電素子１１を埋設することで適度なダンパー効果を誘発させることができるので、共振現象を抑制して、音圧の周波数特性におけるピークやディップを小さく抑えることができる。なお、図９（ｂ）および図９（ｃ）に示すように、樹脂層４０は上枠部材３０１と同じ高さとなるように形成されていてもよい。
【００８９】
本例の音響発生器１０は、積層体１４の端部に位置する側面におけるデラミネーションの発生が抑制された圧電素子１１を用いて構成されていることから、耐久性に優れ、長期間安定して駆動することができる。
【００９０】
次に、本発明の音響発生装置の実施の形態の一例について説明する。
【００９１】
音響発生装置８０は、いわゆるスピーカのような発音装置であり、図１０に示すように、たとえば、音響発生器１０と、音響発生器１０を収容する筐体７０を備える。筐体７０は、音響発生器１０の発する音響を内部で共鳴させるとともに、筐体７０に形成された図示せぬ開口から音響を外部へ放射する。このような筐体７０を有することにより、たとえば低周波数帯域における音圧を高めることができる。
【００９２】
かかる音響発生装置８０は、スピーカとして単独で用いることができる他、後述するように、携帯端末や薄型テレビ、あるいはタブレット端末などへ好適に組み込むことが可能である。また、冷蔵庫、電子レンジ、掃除機、洗濯機などのように、従来、音質については重視されなかった家電製品に組み込むこともできる。
【００９３】
本発明の音響発生装置８０は、積層体１４の端部に位置する側面におけるデラミネーションの発生が抑制された圧電素子１１を用いて構成されていることから、耐久性に優れ、長期間安定して駆動することができる。
【００９４】
次に、音響発生器を搭載した電子機器について、図１１を用いて説明する。図１１は、実施形態に係る電子機器５０の構成を示す図である。なお、両図には、説明に必要となる構成要素のみを示しており、一般的な構成要素についての記載を省略している。
【００９５】
図１１に示すように、本例の電子機器５０は、音響発生器１０と、音響発生器１０に接続された電子回路６０と、電子回路６０および音響発生器１０を収容する筐体７０とを備え、音響発生器１０から音響を発生させる機能を有する。
【００９６】
電子機器５０は、電子回路６０を備える。電子回路６０は、たとえば、コントローラ５０ａと、送受信部５０ｂと、キー入力部５０ｃと、マイク入力部５０ｄとから構成される。電子回路６０は、音響発生器１０に接続されており、音響発生器１０へ音声信号を出力する機能を有している。音響発生器１０は電子回路６０から入力された音声信号に基づいて音響を発生させる。
【００９７】
また、電子機器５０は、表示部５０ｅと、アンテナ５０ｆと、音響発生器１０とを備える。また、電子機器５０は、これら各デバイスを収容する筐体７０を備える。なお、図１１では、１つの筐体７０にコントローラ５０ａをはじめとする各デバイスがすべて収容されている状態をあらわしているが、各デバイスの収容形態を限定するものではない。本実施形態では、少なくとも電子回路６０と音響発生器１０とが、１つの筐体７０に収容されていればよい。
【００９８】
コントローラ５０ａは、電子機器５０の制御部である。送受信部５０ｂは、コントローラ５０ａの制御に基づき、アンテナ５０ｆを介してデータの送受信などを行う。キー入力部５０ｃは、電子機器５０の入力デバイスであり、操作者によるキー入力操作を受け付ける。マイク入力部５０ｄは、同じく電子機器５０の入力デバイスであり、操作者による音声入力操作などを受け付ける。表示部５０ｅは、電子機器５０の表示出力デバイスであり、コントローラ５０ａの制御に基づき、表示情報の出力を行う。
【００９９】
そして、音響発生器１０は、電子機器５０における音響出力デバイスとして動作する。なお、音響発生器１０は、電子回路６０のコントローラ５０ａに接続されており、コントローラ５０ａによって制御された電圧の印加を受けて音響を発することとなる。
【０１００】
なお、図１１では、電子機器５０が携帯用端末装置であるものとして説明を行ったが、電子機器５０の種別を問うものではなく、音響を発する機能を有する様々な民生機器に適用されてよい。たとえば、薄型テレビやカーオーディオ機器は無論のこと、「話す」といった音響を発する機能を有する製品、例を挙げれば、掃除機や洗濯機、冷蔵庫、電子レンジなどといった種々の製品に用いられてよい。
【０１０１】
このような電子機器５０は、積層体１４の端部に位置する側面におけるデラミネーションの発生が抑制された圧電素子１１を用いて構成されていることから、耐久性に優れ、長期間安定して駆動する電子機器とすることができる。
【実施例】
【０１０２】
本発明の圧電素子の具体例について説明する。具体的には、図１および図２に示す圧電素子を以下に示すように作製した。【０１０３】
圧電素子は、長さが２３．５ｍｍで、幅が３．３ｍｍで、厚みが０．５ｍｍの直方体状とした。また、圧電素子は、厚みが３０μｍの圧電体層と内部電極とが交互に積層された構造とし、圧電体層の総数は１６層とした。圧電体層は、チタン酸ジルコン酸鉛で形成した。内部電極は、銀パラジウムの合金を用いた。【０１０４】
銀パラジウムからなる導電性ペーストが印刷されたセラミックグリーンシートを積層した後、加圧密着させ、所定の温度で脱脂を行った後、１０００℃で焼成を行い、積層焼結体を得た。【０１０５】
次に、銀ペーストを用いて表面電極を形成し、内部電極よりも幅方向の両端で１ｍｍずつ長くなるように印刷し、焼付けを行った。【０１０６】
表面電極を介して、内部電極間（第１の主電極間、第２の主電極間）に、２ｋＶ／ｍｍの電界強度の電圧を印加し、圧電素子に分極を施した。【０１０７】
なお、本発明の実施例（試料Ｎｏ．１）として、図１および図２に示すような副電極を有する内部電極パターンの圧電素子を作製した。一方、比較例（試料Ｎｏ．２）として、図１２に示すような副電極を有していない内部電極パターンの圧電素子を作製した。【０１０８】
そして、それぞれの圧電素子について、フレキシブル配線基板を介して、圧電素子に１ｋＨｚの周波数で、実効値±１０Ｖｒｍｓの正弦波信号を印加し、駆動試験を行ったところ、試料Ｎｏ．１、２とも、１００μｍの変位量を有する屈曲振動が得られた。【０１０９】
その後、実効値±１０Ｖｒｍｓの正弦波信号を１０万サイクル連続で加えて駆動試験を行った。比較例である試料Ｎｏ．２は変位量低下が発生した。【０１１０】
これに対し、本発明実施例の試料Ｎｏ．１の圧電アクチュエータは、１０万サイクルを経た後でも、変位量低下が発生することなく駆動を続けていた。【０１１１】
本発明の圧電素子を用いることで、変位量が安定していることを確認できた。また、長期連続駆動した場合でも、側面電極（端面電極）が剥離するといった問題が生じることもなく、デラミネーションの発生や密着強度の低下も発生しないことを確認できた。
【符号の説明】
【０１１２】
１：圧電アクチュエータ
１１：圧電素子
１２：内部電極
１２１：第１の主電極
１２１１：活性領域
１２１２：導出領域
１２２：第２の主電極
１２２１：活性領域
１２２２：導出領域
１３：圧電体層
１４：積層体
１５：表面電極
１５１：第１の表面電極
１５２：第２の表面電極
１５３：第３の表面電極
１６：側面電極
１７１：第１の副電極
１７２：第２の副電極
８１：振動板
８２：接合部材
９１：ディスプレイ
９２：筐体
９２１：筐体本体
９２２：振動板
９３：接合材
１０：音響発生器
２０：振動板
３０：枠体
３０１：上枠部材
３０２：下枠部材
４０：樹脂層
５０：電子機器
６０：電子回路
７０：筐体
８０：音響発生装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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