(57)【要約】   本発明は、第１の摺動部材及び第２の摺動部材はそれぞれ、硬質炭素膜からなる摺動面を有し、第１の摺動部材の摺動面には凸部（６）が存在しており、第１の摺動部材の摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量は、第２の摺動部材における摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量よりも小さく、第１の摺動部材における凸部の平均高さが、第１の摺動部材と第２の摺動部材とを摺動させるときに第２の摺動部材からの荷重によって第１の摺動部材に生じる弾性変形量よりも小さくなるまで、第１の摺動部材と第２の摺動部材とのなじみ処理を液体が存在しない環境下で行った後、第１の摺動部材と第２の摺動部材とを液体中で摺動させる。本発明は、これにより、硬質炭素膜を有する摺動部材同士を液体環境下、特に水環境下でも剥離させずに摺動可能とする。
2015163389.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の摺動部材と第２の摺動部材とを液体中で摺動させる方法であって、  前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材はそれぞれ、硬質炭素膜からなる摺動面を有しており、  前記第１の摺動部材における前記摺動面には凸部が存在し、  前記第１の摺動部材における前記摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量は、前記第２の摺動部材における前記摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量よりも小さく、  前記第１の摺動部材における前記凸部の平均高さが、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを摺動させるときに前記第２の摺動部材からの荷重によって前記第１の摺動部材に生じる弾性変形量よりも小さくなるまで、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とのなじみ処理を前記液体が存在しない環境下で行った後、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを前記液体中で摺動させることを  特徴とする摺動方法。
【請求項２】
前記なじみ処理における速度及び荷重は、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを摺動させるときの速度及び荷重と同じであることを特徴とする、請求項１に記載の摺動方法。
【請求項３】
前記液体が存在しない環境は酸化雰囲気であることを特徴とする請求項１又は２に記載の摺動方法。
【請求項４】
前記液体が存在しない環境は大気であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の摺動方法。
【請求項５】
前記硬質炭素膜はダイヤモンドライクカーボン膜であることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の摺動方法。
【請求項６】
前記液体は水またはアルコールであることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の摺動方法。
【請求項７】
液体中で摺動する第１の摺動部材と第２の摺動部材とを有する摺動構造の製造方法であって、  硬質炭素膜からなる摺動面を有し、その摺動面に凸部が存在する前記第１の摺動部材と、硬質炭素膜からなる摺動面を有し、その摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が、前記第１の摺動部材における前記摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量以上である前記第２の摺動部材とのなじみ処理を、前記第１の摺動部材における前記凸部の平均高さが、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを摺動させるときに前記第２の摺動部材からの荷重によって前記第１の摺動部材に生じる弾性変形量よりも小さくなるまで、前記液体が存在しない環境下で行うことを  特徴とする摺動構造の製造方法。
【請求項８】
前記なじみ処理の後、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを前記液体中で摺動させることを特徴とする請求項７に記載の摺動構造の製造方法。
【請求項９】
前記なじみ処理における速度及び荷重は、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを摺動させるときの速度及び荷重と同じであることを特徴とする請求項７または８に記載の摺動構造の製造方法。
【請求項１０】
前記液体が存在しない環境は酸化雰囲気であることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の摺動構造の製造方法。
【請求項１１】
前記液体が存在しない環境は大気であることを特徴とする、請求項７乃至９のいずれか１項に記載の摺動構造の製造方法。
【請求項１２】
前記硬質炭素膜はダイヤモンドライクカーボン膜であることを特徴とする、請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の摺動構造の製造方法。
【請求項１３】
前記液体は水またはアルコールであることを特徴とする、請求項７乃至１２のいずれか１項に記載の摺動構造の製造方法。
【請求項１４】
請求項７乃至１３のいずれか１項に記載の摺動構造の製造方法によって製造されることを特徴とする摺動構造。
【請求項１５】
請求項１４記載の摺動構造を含むことを特徴とする、デバイス。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、摺動方法、摺動構造の製造方法、摺動構造およびデバイスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】  硬質炭素膜は、金型や工具用の部材、耐摩耗性機械用の部材、研磨用の部材、摺動部材、磁気や光学部品の部材などの多岐多様な部材のコーティング材料として利用されている。中でも、機械関連製品や自動車部品などの摺動部材への利用は、研究が拡大しつつある分野の一つである。【０００３】  また、硬質炭素膜として、ダイヤモンドライクカーボン（以下、「ＤＬＣ」とも称する。）膜は、その代表例としてよく知られている。【０００４】  しかしながら、硬質炭素膜をコーティングした部材は、一般にコーティングした硬質炭素膜の剥離が生じ易いことが知られており、硬質炭素膜をコーティングした摺動部材においてもこの剥離を抑制する方法が色々と検討されている。【０００５】  例えば、特許文献１には、少なくとも金属成分の中間層と炭素層とを備えるＤＬＣ膜を、転がり摺動部材の軸受鋼やステンレス鋼の表面に形成させた場合に、その中間層と炭素層との界面が剥離しやすいことが開示されている。そして、特許文献１では、その剥離防止を目的として、少なくとも金属成分の中間層と、炭素層と、両組成の比率を変化させた傾斜層（複合層）とを形成させたＤＬＣ膜を摺動部材として用いることが開示されている。【０００６】  特許文献２には、エンジンに用いられる従来のロッカーアームアッシーの支持軸（基材）にＤＬＣ膜を施した場合、ＤＬＣ膜が支持軸から剥離することが開示されている。そして、特許文献２では、ロッカーアームアッシーの支持軸とそのＤＬＣ膜との密着強度の向上を目的として、軸基材に施すＤＬＣ膜が、ｓｐ２‐及びｓｐ３‐交雑炭素を含むアモルファス炭化水素を有する最外層の表面層と、この表面層よりも内側で且つ軸基材に臨み、少なくともクロムを含有する下地層と、これら表面層と下地層との間に介在されていて、クロムと炭化タングステンとを含むクロム−炭化タングステン層とを有し、二次粒子径の平均分散粒子径が０．１μｍ以上０．７μｍ以下であるＣ粒子を含有する潤滑油で潤滑されることを特徴とするロッカーアームアッシーが開示されている。【０００７】  特許文献３には、転がり軸受の保持器の摺接面（基材）に形成されたＤＬＣ膜と摺接面との剥離が開示されている。そして、特許文献３には、その耐剥離性の向上（密着強度の向上）を目的として、摺接面の上に直接成膜される硬質膜が、Ｃｒを主体とする下地層と、下地層の上に成膜されるタングステンカーバイト（ＷＣ）とＤＬＣとを主体とする混合層と、混合層の上に成膜されるＤＬＣを主体とする表面層とからなる構造の膜であって、混合層は、下地層側から表面層側へ向けて連続的または段階的に、該混合層中のＷＣの含有率が小さくなり、混合層中のＤＬＣの含有率が高くなる層であることを特徴とするものが開示されている。【０００８】  このように、硬質炭素膜をコーティングした摺動部材の摺動面での硬質炭素膜の剥離を抑制する方法として、硬質炭素膜を構成する中間層と炭素層との界面の剥離を抑制させるものや、硬質炭素膜と基材との間の密着強度を向上させるものが知られている。【０００９】  また、硬質炭素膜をコーティングした摺動部材では、摺動面での摩擦を軽減させるため、オイルのような潤滑油を用いる液体環境下で摺動させるの���一般的である。例えば、特許文献２も上述の通り、潤滑油の存在下で摺動させるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００２−３４９５７７号公報
【特許文献２】特開２０１０−１１２５２７号公報
【特許文献３】特開２０１１−２０８７８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】  しかしながら、経済性、作業性、安全性等を踏まえると、硬質炭素膜でコーティングされている摺動面を有する摺動部材同士を、液体潤滑剤が存在するような液体環境下で摺動させた場合に、コーティングされた硬質炭素膜の剥離を好適に抑制できる方法として確立されたものは未だ存在しない。このような理由から、硬質炭素膜からなる摺動面を有する摺動部材同士を液体環境下で摺動させる方法として、硬質炭素膜の剥離を好適に抑制できる有望な方法が今もなお模索され続けているという課題がある。【００１２】  そこで、本発明においては、硬質炭素膜からなる摺動面を有する摺動部材同士を液体中で摺動させる方法として、硬質炭素膜の剥離を好適に抑制できる摺動方法を提供することを目的とする。また、その方法を利用した摺動構造の製造方法、その方法により製造される摺動構造やその摺動構造を含むデバイスを提供することも目的とする。【００１３】  また、最近では、エネルギーの高効率利用が強く求められており、機械の摩擦損失低減とともに、エネルギーの回生も重要な技術となっている。中でも、排熱回生技術では、水を潤滑剤とした水環境下での利用が極めて重要になる。また、例えば、食品や医療等の製造現場では、液体としてオイルを用いた潤滑は、汚染等の問題を引き起こす可能性もあるので、環境負荷の低減というような観点からも、環境に優しく、自然界に安定に存在し、また廃棄時にＣＯ２を排出しない、取扱い容易な水を潤滑剤とした水環境下での潤滑システムの構築が望まれている。他方、硬質炭素膜のＤＬＣ膜は、水中での摩擦係数が０．０８〜０．０１以下で比摩耗量（ｍｍ３／Ｎｍ）が１０−１０〜１０−８であり、セラミックス材料（例えば、Ａｌ２Ｏ３では水中での摩擦係数が０．１８〜０．３３で比摩耗量（ｍｍ３／Ｎｍ）が１０−７〜１０−６、ＳｉＣでは水中での摩擦係数が０．１８〜０．３３で比摩耗量（ｍｍ３／Ｎｍ）が１０−７〜１０−５、Ｓｉ３Ｎ４では水中での摩擦係数が０．３〜０．０１以下で比摩耗量（ｍｍ３／Ｎｍ）が１０−７〜１０−５）や樹脂（例えば、ポリエーテルエーテルケトン樹脂では水中での摩擦係数が０．１５〜０．３５で比摩耗量（ｍｍ３／Ｎｍ）が１０−６〜１０−４）に比べて低摩擦で、１０〜１０００倍程度の寿命を確保することができることから、水環境下で用いる摺動部材の成膜としての期待が非常に高い。【００１４】  しかしながら、油中や無潤滑下で優れたトライポロジー特性を有すると考えられているＤＬＣ膜のような硬質炭素膜は、水環境下では剥離し易いという課題がある。その剥離が進行すると、摩擦係数の増大による機器の損傷や焼き付きという問題、更には硬質異物等の混入（コンタミネーション）等の問題も懸念される。【００１５】  そこで、本発明においては、硬質炭素膜からなる摺動面を有する摺動部材同士を水環境下で摺動させる方法として、硬質炭素膜の剥離を好適に抑制できる摺動方法を提供することも目的とする。また、その方法を利用した摺動構造の製造方法、その方法により製造される摺動構造やその摺動構造を含むデバイスを提供することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】  本発明者は、硬質炭素膜からなる摺動面を有する摺動部材同士を液体中で摺動させた場合の硬質炭素膜の剥離挙動を鋭意研究した結果、その剥離が、摺動面での摩擦部分の単位面積当たりの摩擦仕事量が小さい側の摺動部材の摺動面の表面に、微小な大きさで存在するドロップレット（以後、「凸部」とも称する）を起点にして生じていて、この凸部に対して、両摺動部材を液体中で硬質炭素膜の剥離を生じる条件下で摺動させる前に、所定の条件になるまでなじみ処理を与えてやれば、このなじみ処理を与えなければ硬質炭素膜の剥離が生じる条件下でも、剥離を好適に抑制しつつ硬質炭素膜からなる摺動面を有する摺動部材同士を液体中で摺動させることができることを初めて見出し、本発明を完成するに至った。【００１７】  したがって、本発明は、従来知られているような硬質炭素膜を構成する中間層と炭素層との界面の剥離を防止させて摺動させる方法や、硬質炭素膜と基材との間の密着強度を向上させて摺動させる方法とは全く異なる。【００１８】  すなわち、本発明に係る摺動方法は、第１の摺動部材と第２の摺動部材とを液体中で摺動させる方法であって、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材はそれぞれ、硬質炭素膜からなる摺動面を有しており、前記第１の摺動部材における前記摺動面には凸部が存在し、前記第１の摺動部材における前記摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量は、前記第２の摺動部材における前記摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量よりも小さく、前記第１の摺動部材における前記凸部の平均高さが、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを摺動させるときに前記第２の摺動部材からの荷重によって前記第１の摺動部材に生じる弾性変形量よりも小さくなるまで、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とのなじみ処理を前記液体が存在しない環境下で行った後、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを前記液体中で摺動させることを特徴とする。【００１９】  また、本発明に係る摺動構造の製造方法は、液体中で摺動する第１の摺動部材と第２の摺動部材とを有する摺動構造の製造方法であって、硬質炭素膜からなる摺動面を有し、その摺動面に凸部が存在する前記第１の摺動部材と、硬質炭素膜からなる摺動面を有し、その摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が、前記第１の摺動部材における前記摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量以上である前記第２の摺動部材とのなじみ処理を、前記第１の摺動部材における前記凸部の平均高さが、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを摺動させるときに前記第２の摺動部材からの荷重によって前記第１の摺動部材に生じる弾性変形量よりも小さくなるまで、前記液体が存在しない環境下で行うことを特徴とする。また、本発明に係る摺動構造の製造方法は、前記なじみ処理の後、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを前記液体中で摺動させてもよい。【００２０】  本発明に係る摺動構造は、本発明に係る摺動方法を利用した本発明に係る摺動構造の製造方法により好適に製造される。本発明に係る摺動方法によれば、硬質炭素膜からなる摺動面を有する摺動部材同士を液体中で摺動させる場合に、所定のなじみ処理を与えてから両摺動部材を液体中で摺動させるだけで、従来��は剥離を生じていた条件下でも硬質炭素膜の剥離を防止できるという優れた効果が得られる。そのため、作業的にも簡単で、安全で、経済性にも優れる等の効果も得られる。【００２１】  しかも、本発明に係る摺動方法によれば、セラミックスや樹脂を膜として使用する場合よりも低摩擦と耐摩耗性を維持したまま剥離を防止できるという優れた効果も得られる。【００２２】  本発明に係る摺動方法によれば、硬質炭素膜の成膜において発生を防ぐことがほとんど不可能で剥離の原因となる硬質炭素膜上の凸部を、硬質炭素膜からなる摺動面を有する摺動部材同士を摺動させる工程の中で与えるなじみ処理で、自然に均一化しながら除去していくことができる。そのため、このような凸部を除去するために、成膜後の磨き等の前処理工程を摺動工程と切り離して別途設ける必要がない。よって、このような観点からも、作業的にも簡単で、安全で、経済性にも優れる等の効果が得られる。【００２３】  また、本発明に係る摺動方法によれば、硬質炭素膜からなる摺動面を有する摺動部材同士を水環境下で摺動させた場合でも、硬質炭素膜の剥離を効果的に抑制できる。そのため、水環境下での硬質炭素膜同士の摩擦による硬質炭素膜の剥離抑制が望まれている排熱回生技術やオイルの使用ができなかったり、望ましくなかったりする潤滑システム等での利用も可能であるという優れた効果も得られる。【００２４】  なお、なじみ処理とは、あらかじめ第１の摺動部材と第２の摺動部材とを摩擦しておくことにより、硬質炭素膜を成膜することによって発生する摺動面の凸部の高さを小さくして、均一化させていく処理のことである。より具体的にいえば、摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が小さい摺動部材における凸部の平均高さを、相手側の摺動部材（摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が大きい方の摺動部材）からの荷重によってその摺動面に生じる弾性変形量よりも小さくさせる処理を意味する。【００２５】  また、本発明に係る摺動方法では、なじみ処理をそのなじみ処理後の液体中での摺動とあわせて一つの摺動工程として行うものである。しかしながら、必要であれば、このなじみ処理だけを切り離して別の工程として使用することも可能である。【００２６】  また、このなじみ処理は、液体が存在する環境下、いわゆる液体中で行うこともできるが、本発明に係る摺動方法では、液体が存在しない環境下で行っている。ここで、以下では、便宜上、液体が存在しない環境下でのなじみ処理と液体中でのなじみ処理とを区別するため、必要に応じて前者を「予すべり」、後者を「なじみ行程」と称する。【００２７】  予すべりとは、上述の通り、液体が存在しない環境下で行うなじみ処理のことであるが、ここで「液体が存在しない環境」とは、その名の通り、液体が存在しない環境条件であれば特に制限はない。例えば、大気、酸化雰囲気、高温雰囲気等があげられる。特に、なじみ処理の時間を短縮させるという点では、酸化雰囲気や高温雰囲気が好ましい。【００２８】  なじみ行程とは、上述の通り、液体中で行うなじみ処理のことであるが、ここで「液体」とは、その名の通り、その処理のときに液体として存在できれば特に制限はない。そのため、潤滑剤として知られているあらゆる液���を含み得るので、中にはオイルを用いない、いわゆるオイルレスの液体も含まれる。オイルを用いない液体の代表例としては水があげられ、その他にもアルコール等があげられる。なお、なじみ処理後に第１の摺動部材と第２の摺動部材とを摺動させる液体も、この「液体」であることが好ましい。【００２９】  液体が存在しない環境下で行うなじみ処理（予すべり）を、硬質炭素膜からなる摺動面を有する摺動部材をその処理がなければ膜が剥離していた条件を与えて液体中で摺動させる前に与えてやると、摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が小さい摺動部材における凸部の平均高さを、相手側の摺動部材からの荷重によってその摺動面に生じる弾性変形量よりも小さくさせることができる。これにより、そうしなければその凸部に起因して剥離を起こす原因となっていた亀裂（クラック）の伸展が防止できるので、成膜した硬質炭素膜の剥離は発生しない。【００３０】  予すべりを、摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が小さい摺動部材における凸部の平均高さが相手側の摺動部材からの荷重によってその摺動面に生じる弾性変形量よりも小さくなるまで与える場合、その目的を達成できる限り、その予すべりでの荷重やすべり速度に特に制限はなく、例えば、その予すべり後の液体中での摺動条件と同じ荷重とすべり速度、或いはそれよりも重い荷重と同じすべり速度でも可能である。【００３１】  液体が存在する環境下で行うなじみ処理（なじみ行程）を、摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が小さい摺動部材における凸部の平均高さが相手側の摺動部材からの荷重によってその摺動面に生じる弾性変形量よりも小さくなるまで与える場合、そのなじみ行程後の液体中での摺動条件よりも重い荷重と低いすべり速度で行うことが好ましい。このような条件下でなじみ行程を与えると、液体中であっても剥離が進展する速度よりも摩耗速度の方が大きくなるため、成膜した硬質炭素膜の剥離を発生させずに凸部の摩耗が進行することになるからである。そうすることによって、摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が小さい摺動部材における凸部の平均高さを、相手側の摺動部材からの荷重によってその摺動面に生じる弾性変形量よりも小さくさせることができる。【００３２】  本発明に係る摺動方法および摺動構造の製造方法で、第１および第２の摺動部材は、滑らせて動かす部材であれば特に制限はなく、軸と軸受け部のような相対的に滑り合って動く関係を有するものも含む。第１および第２の摺動部材の一例としては、ピストンリングとシリンダー等の容積型流体機器のシール部、滑り軸受け、回転軸のメカニカルシール、スラスト軸受け、スプライン等がある。【００３３】  本発明に係る摺動方法および摺動構造の製造方法では、硬質炭素膜は、炭素を主成分とするアモルファス状の構造を有する硬質の膜であればよい。そのため、一般に水素を含む硬質炭素膜として知られているＤＬＣ膜はもちろんのこと、水素フリーの硬質炭素膜であるＤＬＣ膜も含む。よって、ビッカース硬度（Ｈｖ）の観点からみれば、１０００以上７０００以下のような硬質炭素膜も含む。【００３４】  本発明に係る摺動方法および摺動構造の製造方法では、第１および第２の摺動部材は、このような硬質炭素���を少なくとも摺動面に成膜していればよい。成膜法は問わないが、例えば、プラズマＣＶＤ法、イオン化蒸着法、スパッタリング法、アークイオンプレーティング法、気相合成法、イオンビーム法、スパッタリング法等がある。なお、硬質炭素膜を成膜すると、その表面には避けることがほとんど不可能な微小な大きさ（一般的には、サブミクロンから数ミクロンの大きさ）のドロップレット（凸部）が発生する。【００３５】  本発明に係る摺動方法および摺動構造の製造方法では、摩擦仕事量とは、摩擦力と摩擦距離との積を意味する。したがって、摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が小さいとは、例えば、後述する実施例のように、ボール（球体）に垂直荷重を与えてディスク（平円盤）と接触させ、このディスクを回転させることによって摺動させる場合には、ボール側の摺動面よりもディスク側の摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量（＝摩擦力×摩擦距離）の方が小さくなるので、ディスク側の摺動面を意味することになる。【００３６】  摺動面に存在する凸部の平均高さは、例えば、共焦点顕微鏡を用いて、その摺動面を観察し、その領域内に存在する凸部を任意に幾つか選択し、各高さを計測し、それらの平均値を求めることによって算出することができる。但し、凸部の平均高さの算出法は、特にこの方法に制限されるものではなく、この目的を達成できるものであればよい。また、荷重によって摺動面に生じる弾性変形量は、例えば、計算で求めることができる。但し、荷重によって摺動面に生じる弾性変形量は、その材質や形状等により左右される。【００３７】  本発明に係るデバイスは、本発明に係る摺動構造を含むことを特徴とする。本発明に係るデバイスは、本発明に係る摺動構造を含む物品であればよく、例えば、装置、工具、機械、機器などの形態の如何は問わない。
【発明の効果】
【００３８】  本発明によれば、硬質炭素膜からなる摺動面を有する摺動部材同士を液体中で摺動させる方法として、硬質炭素膜の剥離を好適に抑制できる摺動方法を提供することができる。また、その方法を利用した摺動構造の製造方法、その方法により製造される摺動構造やその摺動構造を含むデバイスを提供することができる。【００３９】  また、本発明によれば、硬質炭素膜からなる摺動面を有する摺動部材同士を水環境下で摺動させる方法として、硬質炭素膜の剥離を好適に抑制できる摺動方法を提供することもできる。また、その方法を利用した摺動構造の製造方法、その方法により製造される摺動構造やその摺動構造を含むデバイスを提供することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態の摺動方法に係る実施例で使用した摩擦試験機を示す概略側面図である。
【図２】本発明の実施の形態の摺動方法に係る実施例１の、（ａ）成膜後、（ｂ）大気中での予すべり後のディスクの摺動面の顕微鏡写真、（ｃ）それらの摺動面の領域内（１５０μｍ×１５０μｍ）に存在する凸部の平均高さを示すグラフである。
【図３】本発明の実施の形態の摺動方法に係る実施例で使用した、ボールとディスクを用いて計算した、荷重とそれによって摺動面に生じる弾性変形量との関係を示すグラフである。
【図４】本発明の実施の形態の摺動方法に係る実施例１の、（ａ）予すべり前のディスクの摺動面のボール摩耗痕の顕微鏡写真、（ｂ）大気中での予すべり後のすべり距離に対する摩擦係数の変化を示すグラフ、（ｃ）大気中での予すべり後のディスクの摺動面のボール摩耗痕の顕微鏡写真、（ｄ）水中の摺動後のすべり距離に対する摩擦係数の変化を示すグラフ、（ｅ）水中の摺動後のディスクの摺動面のボール摩耗痕の顕微鏡写真である。
【図５】本発明の実施の形態の摺動方法に係る実施例での、ボールの摩耗変化を示す概念図である。
【図６】本発明の実施の形態の摺動方法に係る実施例１の、大気中での予すべりが有る場合および無い場合の、垂直荷重およびすべり速度の変化に対する摩擦係数ならびに比摩耗量を示すグラフである。
【図７】本発明の実施の形態の摺動方法に係る実施例２の、（ａ）大気中での予すべり後のすべり距離に対する摩擦係数の変化を示すグラフ、（ｂ）大気中での予すべり後のディスクの摺動面のボール摩耗痕の顕微鏡写真、（ｃ）水中の摺動後のすべり距離に対する摩擦係数の変化を示すグラフ、（ｄ）水中の摺動後のディスクの摺動面のボール摩耗痕の顕微鏡写真である。
【図８】本発明に関する実施の形態の摺動方法に係る実施例３の、（ａ）成膜後、（ｂ）水中でのなじみ行程後のディスクの摺動面の顕微鏡写真、（ｃ）それらの摺動面の領域内（１５０μｍ×１５０μｍ）に存在する凸部の平均高さを示すグラフである。
【図９】本発明に関する実施の形態の摺動方法に係る実施例３の、（ａ）水中でのなじみ工程後のすべり距離に対する摩擦係数の変化を示すグラフ、（ｂ）水中でのなじみ工程後のディスクの摺動面のボール摩耗痕の顕微鏡写真、（ｃ）水中の摺動後のすべり距離に対する摩擦係数の変化を示すグラフ、（ｄ）水中の摺動後のディスクの摺動面のボール摩耗痕の顕微鏡写真である。
【図１０】本発明の実施の形態の摺動方法に対し、なじみ処理が無く水中で摺動させた比較例の（ａ）各すべり距離に対するボール摩耗痕を示す顕微鏡写真、（ｂ）すべり距離に対する摩擦係数の変化を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００４１】  以下、実施例を挙げて本発明の実施の形態を具体的に説明するが、本発明の実施の形態はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
【実施例１】
【００４２】（１）  実験装置及び試料  図１に、本実施例で使用した摩擦試験機の概略図を示す。この摩擦試験機では、回転軸３に設置されたディスク４に対して、垂直荷重でボール６を押し付け、測定を開始すると、ディスク４が回転し、ディスク４とボール６との間に作用する摩擦力をロードセル５で計測し、摩擦係数として出力させる仕組みとなっている。更に、この摩擦試験機では、水等の液体７中にも第１および第２の摺動部材を任意に埋没させ、水浴のような加熱装置８を用いて温度を制御しながら摩擦摩耗量の測定することが可能な構成となっている。また、符号１は死荷重を示し、符号２はピボットを示し、符号７は液体又は液体の存在しない環境である。【００４３】  第１および第２の摺動部材であるボールとディスクには、硬質炭素膜として、ビッカース硬度が２２５０のＤＬＣ（ａ‐Ｃ：Ｈ）膜であって、平均０．０７μｍの表面粗さを有する膜を、プラズマＣＶＤ法で成膜させた軸受鋼（ＳＵＪ２）を使用した。ボールには直径が８ｍｍのものを、そしてディスクには直径が３０ｍｍで厚さが４ｍｍの円柱形状のものを使用した。以下、特に断りがないかぎり、「ボール」と「ディスク」という用語は、ここに記載されたものを指す。【００４４】  成膜後のディスクの摺動面に存在する凸部は、共焦点顕微鏡（Ｌａｓｅｒｔｅｃ  Ｏｐｔｅｌｉｃｓ  Ｈ１２００）を用いて観測した。【００４５】（２）  摺動方法  本実施例の摺動方法は、ボールとディスクとを液体中で摺動させるにあたり、まず液体が存在しない環境下でのなじみ処理としての予すべりと、その後にこの予すべりが無ければ膜の剥離が発生してしまう条件下における液体中での摺動とを含む。【００４６】 ・予すべり  予すべりは大気中で与えた。予すべりは、ボールからの垂直荷重を１Ｎ、すべり速度を１ｍ／ｓとする条件下で、４８０ｍのすべり距離になるまで行った。この予すべりにより、摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量がボールよりも小さなディスクに対して、そのディスクの摺動面に存在する凸部の高さが、ボールからの１Ｎの垂直荷重によってディスクの摺動面に生じる弾性変形量よりも小さくした。【００４７】  このときのディスクの摺動面に存在する凸部の高さは、上述の共焦点顕微鏡を用いて観察し、その摺動面部分の中から任意に１５０μｍ×１５０μｍの領域内に存在する１０個の凸部を選択し、各高さを計測し、それらの平均値を求めることによって算出した。この結果を図２に示す。なお、ボールとディスクを用いて計算した、荷重とそれによって摺動面に生じる弾性変形量との関係を、図３に示す。【００４８】  ・予すべり後の液体中での摺動  予すべり後の液体中での摺動では、液体として水（より具体的には、イオン交換水）を使用した。また、水中の温度は、水浴を用いて２０℃（一定）に維持した。この水中での摺動におけるボールからの垂直荷重及びすべり速度はそれぞれ、予すべりと同様、１Ｎ及び１ｍ／ｓとした。この水中での摺動におけるすべり距離は、予すべりでのすべり距離とは別に、すべり距離が２０００ｍになるように行った。【００４９】（３）  剥離の評価  剥離の有無は、剥離の生じ易い摺動面、即ち摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量の大きいボールの摺動��における摩耗痕（以下、「ボール摩耗痕」と称する。）のすべり距離に伴う変化を、上述の共焦点顕微鏡で観察することによって確認した。ボール摩耗痕の観察は、予すべりを与える前のすべり距離が０ｍの地点、予すべりでのすべり距離が４８０ｍの地点、予すべり後の液体中での摺動における、予すべり後のすべり距離が２０００ｍの地点の計三箇所で行った。その際、すべり距離に対する摩擦係数の変化も計測した。これらの結果を図４に示す。この図に示されている通り、予すべり後の液体中での摺動において、予すべり後のすべり距離が２０００ｍになった地点でも剥離が生じず、しかも低摩擦を維持したままであった。【００５０】（４）  摩擦係数と比摩耗量の評価  更に、垂直荷重およびすべり速度の変化に対する摩擦係数ならびに比摩耗量の評価に関する試験も行った。具体的には以下の通りである。【００５１】  予すべりでのボールからの垂直荷重は、１Ｎと１０Ｎとした。予すべりでのすべり速度は、０．１ｍ／ｓ、１ｍ／ｓとした。予すべりは大気中で行った。予すべりでのすべり距離は１００ｍとした。予すべり後の液体中での摺動では、液体として水（より具体的には、イオン交換水）を使用し、水中の温度は、水浴を用いて２０℃（一定）に維持した。また、ボールからの垂直荷重とすべり速度はいずれも、予すべりのときの条件と同じにした。予すべりにおけるすべり距離と水中での摺動におけるすべり距離とを合計した総すべり距離は、１０００ｍとした。【００５２】  すべり距離に伴うボールの摩耗量の変化として、上記共焦点顕微鏡を用いて観察したボール摩耗痕から摩耗痕直径を計測した。この摩耗痕直径からボールの摩耗体積を幾何学的に求めた。具体的には、図５に示すようにボールが摩耗していると仮定して、下記式を用いて摩耗痕直径からボールの摩耗体積を求めた。なお、ボールの摩耗体積を求めるにあたり、ＤＬＣ膜が剥離した箇所は摩耗体積に含めなかった。【００５３】
【数１】
2015163389.tif 000003
（ここで、ΔＶ：摩耗体積、Ｒ：ボールの半径、ｒ：摩耗痕の半径）
【００５４】  このようにして求めたボールの摩耗体積を、単位荷重・単位距離あたりの値、即ち比摩耗量として評価した。比較のために、予すべりの無い、いきなり水中でボールとディスクとを摺動させた場合の比摩耗量も評価した。その際の水中での摺動条件は、本実施例の予すべりを行う場合の比摩耗量を評価するために行った水中での摺動条件と同じにした。【００５５】  結果を図６に示す。この図では、左縦軸に摩擦係数を、右縦軸に比摩耗量を示す。図６に示されている通り、大気中で予すべりを与えることによって、この予すべりを与えなかった場合よりも、摩擦係数と比摩耗量が減少しており、低摩擦と耐摩耗性が得られた。
【実施例２】
【００５６】  実施例１の予すべりを、ボールからの垂直荷重が５．６Ｎで、すべり速度が１ｍ／ｓの条件下で、すべり距離が２４０ｍになるまで行った。それ以外は、すべて実施例１と同じように行った。【００５７】  剥離の有無は、実施例１と同様な方法で確認し、ボール摩耗痕の観察は、予すべりでのすべり距離が２４０ｍの地点、予すべり後の液体中での摺動における、予すべり後のすべり距離が２０００ｍの地点の計二箇所で行った。その際、すべり距離に対する摩擦係数の変化も計測した。これらの結果を図７に示す。その結果、予すべり後の液体中での摺動において、予すべり後のすべり距離が２０００ｍになった地点でも剥離は生じず、しかも低摩擦を維持したままであった。
【実施例３】
【００５８】  本発明に関し、液体中でなじみ処理（なじみ行程）を行う実施例を実施した。（１）  実験装置及び試料  使用した実験装置及び試料は、実施例１と全く同じとした。【００５９】（２）  摺動方法  本実施例の摺動方法は、ボールとディスクとを液体中で摺動させるにあたり、まず液体中でのなじみ処理としてのなじみ行程と、その後にこのなじみ行程が無ければ膜の剥離が発生してしまう条件下における液体中での摺動とを含む。【００６０】  ・なじみ行程  なじみ行程は液体中で行い、この液体として水（より具体的には、イオン交換水）を使用した。水中の温度は、水浴を用いて２０℃（一定）に維持した。なじみ行程は、ボールからの垂直荷重を２０Ｎ、すべり速度を０．０１ｍ／ｓとする条件下で、１００ｍのすべり距離になるまで与えた。このなじみ行程により、摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量がボールよりも小さなディスクに対して、そのディスクの摺動面に存在する凸部の高さがボールからの１Ｎの垂直荷重によってディスクの摺動面に生じる弾性変形量よりも小さくした。【００６１】  このときのディスクの摺動面に存在する凸部の高さは、実施例１と同様な方法で算出した。この結果を図８に示す。【００６２】  ・なじみ行程後の摺動  なじみ行程後も、なじみ行程と同じ液体環境下で摺動させた。但し、このなじみ行程後の摺動における垂直荷重及びすべり速度はそれぞれ、なじみ行程の垂直荷重よりも低い１Ｎ、及びなじみ行程のすべり速度よりも高い１ｍ／ｓとした。この水中での摺動におけるすべり距離は、なじみ行程でのすべり距離とは別に、すべり距離が２０００ｍになるように行った。【００６３】  （３）  剥離の評価  剥離の有無は、実施例１と同様な方法で確認した。但し、ボール摩耗痕の観察は、なじみ行程でのすべり距離が５４ｍの地点、なじみ行程後の液体中での摺動における、なじみ行程後のすべり距離が２０００ｍの地点の計二箇所で行った。その際、すべり距離に対する摩擦係数の変化も計測した。これらの結果を図９に示す。この図に示されている通り、なじみ行程後の液体中での摺動において、なじみ行程後のすべり距離が２０００ｍになった地点でも剥離が生じず、しかも低摩擦を維持したままであった。【００６４】[比較例１]  実施例１〜３との比較のため、予すべりやなじみ行程の無い、いきなり液体中でボールとディスクとを摺動させる比較試験も行った。比較試験のため、実験装置、試料、液体は実施例１に記載されているものを使用した。【００６５】  また、ボールからの垂直荷重とすべり速度も、実施例１〜３のなじみ処理後（大気中での予すべり又は液体中でのなじみ行程後）の液体中での摺動条件と同様、それぞれ１Ｎと１ｍ／ｓとした。剥離の有無の確認も、実施例１と同様な方法で確認した。その結果を図１０に示す。この図に示される通り、すべり距離が１０００ｍの時点では剥離が生じた。また、実施例１〜３に比べて摩擦係数も遥かに大きかった。【００６６】  このときの摺動開始前のディスク（即ち、成膜後のディスク）の摺動面に存在する凸部の高さも実施例１と同じようにして求めており、この結果は図２（ｃ）に示す通りである。
【産業上の利用可能性】
【００６７】  硬質炭素膜からなる摺動面を有する部材同士を液体中で摺動させることが必要なあらゆる摺動構造や、それを含むデバイスに利用することが可能である。例えば、ピストンリングとシリンダー等の容積型流体機器のシール部、すべり軸受け、回転軸のメカニカルシール等のような摺動構造、それらを用いる自動車やＯＡ機器などの様々な分野で利用することが可能である。【００６８】  また、オイルを使用しない水環境下でも利用できるので、硬質炭素膜からなる摺動面を有する部材同士を液体中で摺動させることが必要な摺動構造や、それを含むデバイスのうち、例えば、オイルフリーが要求される機械、水潤滑の機械や排熱回生技術、油が使用できない潤滑システム等への利用や応用も可能である。
【符号の説明】
【００６９】  １  死荷重  ２  ピボット  ３  回転軸  ４  ディスク  ５  ロードセル  ６  ボール  ７  液体又は液体の存在しない環境  ８  加熱装置 
【図１】
2015163389.tif 000004
【図２】
2015163389.tif 000005
【図３】
2015163389.tif 000006
【図４】
2015163389.tif 000007
【図５】
2015163389.tif 000008
【図６】
2015163389.tif 000009
【図７】
2015163389.tif 000010
【図８】
2015163389.tif 000011
【図９】
2015163389.tif 000012
【図１０】
2015163389.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月18日(2016.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の摺動部材と第２の摺動部材とを液体中で摺動させる方法であって、
前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材はそれぞれ、硬質炭素膜からなる摺動面を有しており、摺動時にお互いの摩擦される面積が異なることによって、前記第１の摺動部材における前記摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が、前記第２の摺動部材における前記摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量よりも小さくなる構成を有しており、
前記第１の摺動部材における前記摺動面には、前記硬質炭素膜の成膜により発生するドロップレットが存在し、
前記第１の摺動部材における前記ドロップレットの平均高さが、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを摺動させるときに前記第２の摺動部材からの荷重によって前記第１の摺動部材に生じる弾性変形量よりも小さくなるまで、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とのなじみ処理を前記液体が存在しない環境下で行った後、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを前記液体中で摺動させることを
特徴とする摺動方法。
【請求項２】
前記なじみ処理における速度及び荷重は、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを摺動させるときの速度及び荷重と同じであることを特徴とする、請求項１に記載の摺動方法。
【請求項３】
前記液体が存在しない環境は酸化雰囲気であることを特徴とする請求項１又は２に記載の摺動方法。
【請求項４】
前記液体が存在しない環境は大気であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の摺動方法。
【請求項５】
前記硬質炭素膜はダイヤモンドライクカーボン膜であることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の摺動方法。
【請求項６】
前記液体は水またはアルコールであることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の摺動方法。
【請求項７】
液体中で摺動する第１の摺動部材と第２の摺動部材とを有する摺動構造の製造方法であって、
硬質炭素膜からなる摺動面を有し、その摺動面に前記硬質炭素膜の成膜により発生するドロップレットが存在する前記第１の摺動部材と、硬質炭素膜からなる摺動面を有し、摺動時にお互いの摩擦される面積が異なることによって、その摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が、前記第１の摺動部材における前記摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量以上となるよう構成された前記第２の摺動部材とのなじみ処理を、前記第１の摺動部材における前記ドロップレットの平均高さが、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを摺動させるときに前記第２の摺動部材からの荷重によって前記第１の摺動部材に生じる弾性変形量よりも小さくなるまで、前記液体が存在しない環境下で行うことを
特徴とする摺動構造の製造方法。
【請求項８】
前記なじみ処理の後、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを前記液体中で摺動させることを特徴とする請求項７に記載の摺動構造の製造方法。
【請求項９】
前記なじみ処理における速度及び荷重は、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを摺動させるときの速度及び荷重と同じであることを特徴とする請求項７または８に記載の摺動構造の製造方法。
【請求項１０】
前記液体が存在しない環境は酸化雰囲気であることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の摺動構造の製造方法。
【請求項１１】
前記液体が存在しない環境は大気であることを特徴とする、請求項７乃至９のいずれか１項に記載の摺動構造の製造方法。
【請求項１２】
前記硬質炭素膜はダイヤモンドライクカーボン膜であることを特徴とする、請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の摺動構造の製造方法。
【請求項１３】
前記液体は水またはアルコールであることを特徴とする、請求項７乃至１２のいずれか１項に記載の摺動構造の製造方法。
【請求項１４】
請求項７乃至１３のいずれか１項に記載の摺動構造の製造方法によって製造されることを特徴とする摺動構造。
【請求項１５】
請求項１４記載の摺動構造を含むことを特徴とする、デバイス。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
すなわち、本発明に係る摺動方法は、第１の摺動部材と第２の摺動部材とを液体中で摺動させる方法であって、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材はそれぞれ、硬質炭素膜からなる摺動面を有しており、摺動時にお互いの摩擦される面積が異なることによって、前記第１の摺動部材における前記摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が、前記第２の摺動部材における前記摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量よりも小さくなる構成を有しており、前記第１の摺動部材における前記摺動面には、前記硬質炭素膜の成膜により発生するドロップレットが存在し、前記第１の摺動部材における前記ドロップレットの平均高さが、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを摺動させるときに前記第２の摺動部材からの荷重によって前記第１の摺動部材に生じる弾性変形量よりも小さくなるまで、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とのなじみ処理を前記液体が存在しない環境下で行った後、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを前記液体中で摺動させることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明に係る摺動構造の製造方法は、液体中で摺動する第１の摺動部材と第２の摺動部材とを有する摺動構造の製造方法であって、硬質炭素膜からなる摺動面を有し、その摺動面に前記硬質炭素膜の成膜により発生するドロップレットが存在する前記第１の摺動部材と、硬質炭素膜からなる摺動面を有し、摺動時にお互いの摩擦される面積が異なることによって、その摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量が、前記第１の摺動部材における前記摺動面での単位面積あたりの摩擦仕事量以上となるよう構成された前記第２の摺動部材とのなじみ処理を、前記第１の摺動部材における前記ドロップレットの平均高さが、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを摺動させるときに前記第２の摺動部材からの荷重によって前記第１の摺動部材に生じる弾性変形量よりも小さくなるまで、前記液体が存在しない環境下で行うことを特徴とする。また、本発明に係る摺動構造の製造方法は、前記なじみ処理の後、前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材とを前記液体中で摺動させてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明に係る摺動方法によれば、硬質炭素膜の成膜において発生を防ぐことがほとんど不可能で剥離の原因となる硬質炭素膜上の凸部（ドロップレット）を、硬質炭素膜からなる摺動面を有する摺動部材同士を摺動させる工程の中で与えるなじみ処理で、自然に均一化しながら除去していくことができる。そのため、このような凸部を除去するために、成膜後の磨き等の前処理工程を摺動工程と切り離して別途設ける必要がない。よって、このような観点からも、作業的にも簡単で、安全で、経済性にも優れる等の効果が得られる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
第１の摺動部材であるディスクおよび第２の摺動部材であるボールには、硬質炭素膜として、ビッカース硬度が２２５０のＤＬＣ（ａ‐Ｃ：Ｈ）膜であって、平均０．０７μｍの表面粗さを有する膜を、プラズマＣＶＤ法で成膜させた軸受鋼（ＳＵＪ２）を使用した。ボールには直径が８ｍｍのものを、そしてディスクには直径が３０ｍｍで厚さが４ｍｍの円柱形状のものを使用した。以下、特に断りがないかぎり、「ボール」と「ディスク」という用語は、ここに記載されたものを指す。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
成膜後のディスクの摺動面に存在する凸部（ドロップレット）は、共焦点顕微鏡（Ｌａｓｅｒｔｅｃ  Ｏｐｔｅｌｉｃｓ  Ｈ１２００）を用いて観測した。
【国際調査報告】
2015163389.tif 000014
2015163389.tif 000015
2015163389.tif 000016
2015163389.tif 000017