(57)【要約】  ３次元縦型半導体記憶装置の半導体基板面内の寸法を縮小するために、半導体基板面内の２方向を選択する選択トランジスタのピッチを縮小することを目的とする。  本発明に係る半導体記憶装置において、同一方向に延伸する選択トランジスタのゲートを１本おきに異なる工程で形成することで選択トランジスタのチャネル半導体層を電極と広い面積で接触させつつ反転層の厚さと同程度に薄膜化できる。ピッチ２Ｆで形成した選択トランジスタゲートの２つの側壁に形成されたチャネル半導体層を独立にＯＮ／ＯＦＦ制御することが可能となる。これにより、２重選択を生じさせることなく、半導体基板面内の２方向の寸法を共に２Ｆにすることが可能となる。
2015097897.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の上方に形成されたプレート状の下部電極と、前記下部電極の上方に形成された上部電極と、前記下部電極と前記上部電極の間に配置された、電気的に書き換え可能な複数のメモリセルが直列に接続された複数のメモリチェインと、前記メモリチェインの一端に接続された第１選択トランジスタとを有し、
前記複数のメモリチェインは、その長手方向を前記半導体基板の法線方向と合わせて、前記半導体基板面内の第１方向と、第１方向と前記半導体基板面内で直交する第２方向とに沿ってマトリックス状に配置され、
前記第１選択トランジスタは、前記第１方向のメモリチェインの配列ピッチと等ピッチで第１方向に並列に、前記第２方向に延伸して形成されている複数のゲートと、前記複数のゲートの間の対向する各側壁に接して形成されたゲート絶縁膜と、及び前記ゲート絶縁膜を介して前記複数のゲートの間に挟まれて形成された第１のチャネル半導体層とを有し、
前記第１のチャネル半導体層は、前記複数のゲートのうち１つおきのゲートにおいて、該ゲートの両隣りにゲート絶縁膜を介して形成されている両チャネル半導体層が、同時成膜工程の結果により該ゲートと前記下部電極または上部電極との間で接続されている、または同時成膜工程の結果の一部が該ゲートと前記下部電極または上部電極との間に残されていることを特徴とする半導体記憶装置。
【請求項２】
前記メモリセルが相変化メモリであることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項３】
前記第１選択トランジスタのゲートは、前記第１選択トランジスタのゲートの下方側から形成されたコンタクト孔を介して給電されることを特徴とする請求項２に記載の半導体記憶装置。
【請求項４】
前記第１選択トランジスタのゲートは、２つ以上の材料層で形成されていることを特徴とする請求項２に記載の半導体記憶装置。
【請求項５】
前記下部電極と前記メモリチェインアレイの間に前記第１選択トランジスタに加えて、前記第１選択トランジスタと直列に接続される第２選択トランジスタを更に備え、
前記第２選択トランジスタは、前記第２方向のメモリチェインの配列ピッチと等ピッチで第２方向に並列に、前記第１方向に延伸して形成されている複数のゲートと、前記複数のゲートの間の対向する各側壁に接して形成されたゲート絶縁膜と、及び前記ゲート絶縁膜を介して前記複数のゲートの間に挟まれて形成された第２のチャネル半導体層とを有し、
前記第２選択トランジスタの第２チャネル半導体層は、前記第２方向の両側でゲート絶縁膜を介して前記第２選択トランジスタのゲートと対向して存在し、前記第２選択トランジスタのゲートは前記第２方向の両側で前記ゲート絶縁膜を介して前記第２のチャネル半導体層と対向して存在し、前記第２選択トランジスタのゲートは第２方向に１つおきに形状が異なることを特徴とする請求項２に記載の半導体記憶装置。
【請求項６】
前記第１選択トランジスタと前記第２選択トランジスタの間に、前記第２方向に延伸し、前記第１選択トランジスタの第１チャネル半導体層および前記第２選択トランジスタの第２チャネル半導体層と電気的に接続された金属配線を更に備えていることを特徴とする請求項５に記載の半導体記憶装置。
【請求項７】
前記第１選択トランジスタの第１チャネル半導体層は、単層の半導体層で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項８】
前記第１チャネル半導体層の上部に形成されるソース／ドレイン拡散層は、前記第１選択トランジスタのゲートの１つおきの上方に、前記第１チャネル半導体層と接して形成されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項９】
前記メモリセルがフラッシュメモリであることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項１０】
前記メモリセルが縦型クロスポイントメモリであることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項１１】
前記第１選択トランジスタの前記第１のチャネル半導体層の前記第１方向の厚みは、５ｎｍ以下とすることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかの請求項に記載の半導体記憶装置。
【請求項１２】
前記第２選択トランジスタの前記第２のチャネル半導体層の前記第２方向の厚みは、５ｎｍ以下とすることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の半導体記憶装置。
【請求項１３】
（ａ）半導体基板上に層間絶縁膜を介して下部電極となる金属膜を形成する工程と、
（ｂ）前記下部電極上に第１絶縁膜を形成する工程と、
（ｃ）前記第１絶縁膜上に第１ゲート電極層と第２絶縁膜層を形成する工程と、
（ｄ）前記第２絶縁膜、前記第１ゲート電極層、及び前記第１絶縁膜層を、メモリチェインアレイの前記半導体基板面内の第２方向の配列ピッチの２倍のピッチで所定の幅で並列に、前記半導体基板面内の第１方向に延伸するようにパターニングする工程と、
（ｅ）前記工程（ｄ）で形成されたスペースが完全には埋め込まれないように第１ゲート絶縁膜層を形成する工程と、
（ｆ）前記工程（ｅ）で形成されたパタンの上表面と、及びスペース部の下部電極上の前記第１ゲート絶縁膜層を除去する工程と、
（ｇ）前記工程（ｆ）で形成されたスペースが完全には埋め込まれないように第１チャネル半導体を成膜する工程と、
（ｈ）前記工程（ｇ）で形成されたスペースが完全には埋め込まれないように第２ゲート絶縁膜を成膜する工程と、
（ｉ）第２ゲート電極層を成膜する工程と、
（ｊ）前記工程（ｉ）で形成した前記第２ゲート電極層をエッチバックにより前記工程（ｄ）で形成された溝ごとに分離する工程と、
を含むことを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の半導体記憶装置の製造方法において、
前記工程（ｂ）と前記工程（ｃ）の間に、
（ｂ１）前記第１絶縁膜にコンタクト孔を形成する工程と、
前記工程（ｉ）と前記工程（ｊ）の間に、
（ｉ１）前記工程（ｄ）で形成されたスペース部に存在する前記コンタクト孔を覆う前記第１ゲート絶縁膜と前記第２ゲート電極層を、コンタクト孔上で除去する工程と、
（ｉ２）第３ゲート電極層を形成する工程と、
（ｉ３）前記工程（ｉ２）で形成した前記第３ゲート電極層をエッチバックにより前記工程（ｄ）で形成された溝ごとに分離する工程と、
を更に含むことを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の半導体記憶装置の製造方法において、
前記工程（ｅ）と前記工程（ｆ）の間に、
（ｅ１）第１ダミー層を形成する工程と、
前記工程（ｆ）と前記工程（ｇ）の間に、
（ｆ１）前記工程（ｅ１）で形成した前記第１ダミー層を除去する工程と、
を更に含むことを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、３次元縦型半導体記憶装置の半導体基板面内の寸法を縮小する、半導体基板面内の２方向を選択する選択トランジスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録材料にカルコゲナイド材料を用いた相変化メモリが盛んに研究されている。相変化メモリとは、電極間の記録材料が異なる抵抗状態をもつことを利用し情報を記憶する抵抗変化型メモリの一種である。【０００３】
相変化メモリは、Ｇｅ２Ｓｂ２Ｔｅ５などの相変化材料の抵抗値がアモルファス状態と結晶状態で異なることを利用して情報を記憶する。アモルファス状態では抵抗が高く、結晶状態では抵抗が低い。したがってメモリセルからの情報読み出しは、素子の両端に電位差を与え、素子に流れる電流を測定し、素子の高抵抗状態／低抵抗状態を判別することにより実施する。【０００４】
相変化メモリでは、電流により発生するジュール熱によって、相変化膜の電気抵抗を異なる状態に変化させることによりデータを書き換える。リセット動作、すなわち高抵抗のアモルファス状態へ変化させる動作は、大電流を短時間流して相変化材料を溶解させた後、電流を急減させ急冷することにより実施する。一方、セット動作、すなわち低抵抗の結晶状態へ変化させる動作は、相変化材料を結晶化温度に保持するのに十分な電流を長時間流すことにより実施する。相変化メモリは、微細化を進めると相変化膜の状態を変化させるのに必要となる電流が小さくなるため、原理上、微細化に向いている。このため、研究が盛んに行われている。【０００５】
下記特許文献１には、相変化メモリを高集積化する方法として、ゲート電極材料と絶縁膜を複数ずつ交互に積層した積層構造内に、全層を貫く複数の貫通孔を一括加工で形成し、貫通孔の内側にゲート絶縁膜、チャネル層、相変化膜を成膜し加工する構成が開示されている。個々のメモリセルは、並列接続されたセルトランジスタと相変化素子で構成され、メモリセルは縦方向、すなわち半導体基板に対する法線方向に複数個直列接続され、相変化メモリチェインを形成している。特許文献１のアレイ構成においては、縦型の選択トランジスタによって個々の相変化メモリチェインを選択する。各選択トランジスタのチャネル半導体層は、相変化メモリチェインごとに分離された構造をしている。特許文献１の縦型選択トランジスタは、帯状に加工したゲートにチャネルが形成される孔を形成するため、ゲートの幅は最小加工寸法と比較して大きくする必要がある。ゲートピッチは最小加工寸法をＦとして、３Ｆ程度となり、メモリセルのピッチも同じく３Ｆとなる。また、同様の縦型構造をフラッシュメモリに適用する技術が特許文献２に開示されている。【０００６】
ゲートピッチを２Ｆに縮小する技術として、特許文献３の方法が開示されている。ただし半導体基板面内の１方向の選択を行うために選択トランジスタを２段で形成する必要があるため、集積度は向上するが工程数が増加するという短所がある。【０００７】
更に、１段の選択トランジスタでゲートピッチを２Ｆに縮小する技術が、特許文献４に開示されている。チャネルとなる半導体層を加工した後、加工したチャネル半導体層のスペース部にゲート絶縁膜とゲートを形成するいわゆるゲートラストプロセスが用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−１６０００４号公報
【特許文献２】特開２００７−２６６１４３号公報
【特許文献３】特開２００９−４５１７号公報
【特許文献４】特開２０１３−１２０６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献４に記載されている縦型選択トランジスタは、１段で形成できるため工程数が少なくゲートピッチを２Ｆに縮小できるが、以下のような課題が存在する。すなわち、ゲートの両側壁にゲート絶縁膜を解してチャネル半導体層が形成される構造では、１つのゲートにオン電圧を印加すると、両側のチャネル半導体層のオン電圧を印加したゲート側の表面に反転層が形成される。このためこれら２つのチャネル半導体層は同時にオン状態になる。このトランジスタを半導体記憶装置の選択トランジスタとして用いると、同時にオン状態になる２つのチャネルに接続されたメモリセルを独立に動作させることができなくなる。２つのチャネルのうち、どちらか一方が選択できるようにするためには、チャネル半導体層の厚さを反転層の厚さと同程度、例えば５ｎｍ程度に薄くし、オフ状態にしたいチャネル半導体層にゲート絶縁膜を解して接する反対側のゲートにオフ電圧を印加する必要がある。【００１０】
しかしながら、厚さ５ｎｍ程度のチャネル半導体層を形成するのは、ゲートファーストプロセスを用いても、ゲートラストプロセスを用いても、５ｎｍの加工を高精度で行わなくてはならないため、極端紫外線リソグラフィ（ＥＵＶ）などの高コストなリソグラフィ技術を用いることが必須となり、半導体記憶装置の製造コストを増加させる。更に、５ｎｍの寸法に加工したチャネル半導体層は上下の電極と５ｎｍの幅で接触することになるため、電極−チャネル半導体層の接触抵抗を増加させ、トランジスタのオン電流を低下させる。【００１１】
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものである。すなわち、本発明の目的は、平易なプロセスで、オン電流が大きく、かつゲートピッチ２Ｆの縦型選択トランジスタを提供することである。これにより、メモリセルの集積度を向上させ、大容量化と低コスト化が可能になる。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために本発明では、半導体記憶装置を、半導体基板の上方に形成されたプレート状の下部電極と、前記下部電極の上方に形成された上部電極と、前記下部電極と前記上部電極の間に配置された、電気的に書き換え可能な複数のメモリセルが直列に接続された複数のメモリチェインと、前記メモリチェインの一端に接続された第１選択トランジスタとを有し、前記複数のメモリチェインは、その長手方向を前記半導体基板の法線方向と合わせて、前記半導体基板面内の第１方向と、第１方向と前記半導体基板面内で直交する第２方向とに沿ってマトリックス状に配置され、前記第１選択トランジスタは、前記第１方向のメモリチェインの配列ピッチと等ピッチで第１方向に並列に、前記第２方向に延伸して形成されている複数のゲートと、前記複数のゲートの間の対向する各側壁に接して形成されたゲート絶縁膜と、及び前記ゲート絶縁膜を介して前記複数のゲートの間に挟まれて形成された第１のチャネル半導体層とを有し、前記第１のチャネル半導体層は、前記複数のゲートのうち１つおきのゲートにおいて、該ゲートの両隣りにゲート絶縁膜を介して形成されている両チャネル半導体層が、同時成膜工程の結果により該ゲートと前記下部電極または上部電極との間で接続されている、または同時成膜工程の結果の一部が該ゲートと前記下部電極または上部電極との間に残されているように構成した。【００１３】
また、上記課題を解決するために本発明では、前記半導体記憶装置を、前記メモリセルが相変化メモリであり、前記下部電極と前記メモリチェインアレイの間に前記第１選択トランジスタに加えて、前記第１選択トランジスタと直列に接続される第２選択トランジスタを更に備え、前記第２選択トランジスタは、前記第２方向のメモリチェインの配列ピッチと等ピッチで第２方向に並列に、前記第１方向に延伸して形成されている複数のゲートと、前記複数のゲートの間の対向する各側壁に接して形成されたゲート絶縁膜と、及び前記ゲート絶縁膜を介して前記複数のゲートの間に挟まれて形成された第２のチャネル半導体層とを有し、前記第２選択トランジスタの第２チャネル半導体層は、前記第２方向の両側でゲート絶縁膜を介して前記第２選択トランジスタのゲートと対向して存在し、前記第２選択トランジスタのゲートは前記第２方向の両側で前記ゲート絶縁膜を介して前記第２のチャネル半導体層と対向して存在し、前記第２選択トランジスタのゲートは第２方向に１つおきに形状が異なるように構成した。【００１４】
また、上記課題を解決するために本発明では、半導体記憶装置の製造方法において、（ａ）半導体基板上に層間絶縁膜を介して下部電極となる金属膜を形成する工程と、（ｂ）前記下部電極上に第１絶縁膜を形成する工程と、（ｃ）前記第１絶縁膜上に第１ゲート電極層と第２絶縁膜層を形成する工程と、（ｄ）前記第２絶縁膜、前記第１ゲート電極層、及び前記第１絶縁膜層を、メモリチェインアレイの前記半導体基板面内の第２方向の配列ピッチの２倍のピッチで所定の幅で並列に、前記半導体基板面内の第１方向に延伸するようにパターニングする工程と、（ｅ）前記工程（ｄ）で形成されたスペースが完全には埋め込まれないように第１ゲート絶縁膜層を形成する工程と、（ｆ）前記工程（ｅ）で形成されたパタンの上表面と、及びスペース部の下部電極上の前記第１ゲート絶縁膜層を除去する工程と、（ｇ）前記工程（ｆ）で形成されたスペースが完全には埋め込まれないように第１チャネル半導体を成膜する工程と、（ｈ）前記工程（ｇ）で形成されたスペースが完全には埋め込まれないように第２ゲート絶縁膜を成膜する工程と、（ｉ）第２ゲート電極層を成膜する工程と、（ｊ）前記工程（ｉ）で形成した前記第２ゲート電極層をエッチバックにより前記工程（ｄ）で形成された溝ごとに分離する工程と、を含むようにした。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る半導体記憶装置によれば、高密度化により好適なメモリセルアレイを製造し、半導体記憶装置の大容量化と低コスト化を実現することができる。また、大容量、低コストの半導体記憶装置をストレージ、サーバーといった情報処理装置に適用することで、情報処理装置は安価に大容量の記憶装置を使えるようになり、性能向上を可能にできる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の半導体記憶装置の全体平面図である。
【図２】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の一部立体模式図である。
【図３】本発明の実施の形態１のメモリセルアレイの立体模式図である。
【図４】本発明の実施の形態１のメモリセルアレイのリセット動作、セット動作、読出し動作を説明する図である。
【図５】本発明の実施の形態１のメモリセルアレイの読出し動作を説明する図である。
【図６】本発明の実施の形態１のメモリセルアレイのセット動作を説明する図である。
【図７】本発明の実施の形態１のメモリセルアレイのリセット動作を説明する図である。
【図８】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図９】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図１３】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図１４】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図１５】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図１６】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図１７】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図１８】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図１９】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図２０】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図２１】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図２２】本発明の実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図２３】本発明の実施の形態２の半導体記憶装置のメモリセルアレイの立体模式図である。
【図２４】本発明の実施の形態２の半導体記憶装置の断面図である。
【図２５】本発明の実施の形態２の半導体記憶装置の等価回路図である。読み出し動作の電圧条件が示されている。
【図２６】本発明の実施の形態３の半導体記憶装置のメモリセルアレイの立体模式図である。
【図２７】（ａ）は本発明の実施の形態３の半導体記憶装置の断面図である。（ｂ）はメモリセルの断面図である。
【図２８】本発明の実施の形態３の半導体記憶装置の等価回路図である。
【図２９】本発明の実施の形態４の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図３０】本発明の実施の形態４の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【図３１】本発明の実施の形態４の半導体記憶装置の製造方法を説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、特徴的な構成について説明した箇所は各実施形態に限定されるわけでなく、共通の構成をとる場合には同様の効果を得られることをあらかじめ述べておく。
【実施例１】
【００１８】
図１は、本発明の実施の形態１である相変化メモリを用いた半導体記憶装置を示した全体図である。図１に示したように、本発明の実施の形態１の半導体記憶装置は、外部とのデータのやり取りを行うための入出力バッファなどを備えるＩ／Ｏインタフェース１００１と、メモリセルアレイ１００２と、異なる複数の電圧を供給するための複数の電圧源１００３〜１００６と、電圧源１００３〜１００６からの電圧を選ぶ電圧セレクタ１００７と、電圧セレクタ１００７からの出力の接続先をメモリセルアレイ１００２のビット線と、ワード線などの配線から選ぶ配線セレクタ１００８と、装置全体の制御を行う制御部１００９とを備える。配線セレクタ１００８には、センスアンプ等を有する読み取り部１０１０を備える。【００１９】
外部装置から、Ｉ／Ｏインタフェース１００１へデータの入力がある場合、制御部１００９は、電圧セレクタ１００７でデータの書き込み用の電圧を選び、電源１００３〜１００６で電圧パルスを生成し、配線セレクタ１００８でメモリセルアレイ１００２の所定の配線に電圧パルスを供給する。これにより、メモリセルアレイの相変化メモリセルへ入力されたデータを書き込む。【００２０】
外部装置から、データの読み出しの信号がＩ／Ｏインタフェース１００１へ入力されると、制御部１００９は、電圧セレクタ１００７でデータの読み出し用の電圧を選び、電源１００３〜１００６で電圧パルスを生成し、配線セレクタ１００８でメモリセルアレイ１００２の所定の配線に電圧パルスを供給する。電圧パルスを供給した結果、読み出された電流は読み取り部１０１０で読み取られ、これが記憶されたデータの再生となり、制御部１００９、Ｉ／Ｏインタフェース１００１を介して、外部装置へ読出しデータが供給される。【００２１】
図２は、本発明の実施形態１に係る半導体記憶装置のメモリセルアレイ部の構成を示す立体模式図である。プレート状の電極ＴＥＰＬＡＴＥ、ＢＥＰＬＡＴＥ、Ｘ方向に延伸する電極３(ＭＬＲ)、相変化メモリチェイン(セル)ＰＣＭＣＨＡＩＮ、Ｙ方向に延伸しＸ方向のＰＣＭＣＨＡＩＮの選択を実現するＸ選択トランジスタＳＴＴｒＸ、Ｘ方向に延伸しセット動作、リセット動作においてＹ方向のＰＣＭＣＨＡＩＮの選択を実現するＹ選択トランジスタＳＴＴｒＹが示されている。また、ＳＴＴｒＸ、ＳＴＴｒＹのゲートはそれぞれＳＴＴＧＸ、ＳＴＴＧＹである。図２には更に、ＴＥＰＬＡＴＥと半導体基板上の回路を接続するＴＥＰＬＡＴＥＣ、ＢＥＰＬＡＴＥと半導体基板上の回路を接続するＢＥＰＬＡＴＥＣ、ＳＴＴＧＸに至るコンタクトＳＴＴＧＸＣ、ＳＴＴＧＸＣを介してＳＴＴＧＸに給電するための配線ＳＴＴＧＸＬ、ＳＴＴＧＹに至るコンタクトＳＴＴＧＹＣ、ＳＴＴＧＹＣを介してＳＴＴＧＹに給電するための配線ＳＴＴＧＹＬが示されている。【００２２】
図２には示されていないが、ＳＴＴＧＹＬは半導体基板上の回路とＳＴＴＹＣで、ＳＴＴＧＸＬは半導体基板上の回路とＳＴＴＧＸＣでそれぞれ接続され、適切な電位が給電できるようになっている。ＳＴＴＧＸＬ、ＳＴＴＧＹＬの標高に注目すると、読出し動作用配線ＭＬＲの下部で平行に延伸するＳＴＴＧＹに対しては、下側からコンタクトＳＴＴＧＹＣを形成してＳＴＴＧＹＬに接続している。一方、ＭＬＲの上部でＭＬＲと直交して形成されているＳＴＴＧＸに対しては、上側からコンタクトＳＴＴＧＸＣを形成してＳＴＴＧＸＬに接続している。ゲートへのコンタクトは上側から形成するのが簡易だが、ＳＴＴＧＹはＭＬＲが狭ピッチで形成されているために、上側からコンタクトを形成しようとすると、ＭＬＲを分断せざるを得ない。ＳＴＴＧＹへのコンタクトを下側から形成すれば、ＳＴＴＧＹＣの形成部でＭＬＲを分断する必要が無い。ＭＬＲは、ＭＬＲＣを介してＭＬＲＬに接続され、ＭＬＲＬは読み取り部１０１０に接続されている。【００２３】
図２の中で、ＰＣＭＣＨＡＩＮのマトリックス状のアレイとその上下の部位を抜き出して示したのが図３である。下部に配線ＳＴＴＧＹＬも示している。電極３(ＭＬＲ)は、Ｘ方向に延伸し、読出し動作において相変化メモリチェインＰＣＭＣＨＡＩＮをＹ方向において選択する配線ＭＬＲとして動作する。電極３(ＭＬＲ)の上方には、Ｘ方向においてＰＣＭＣＨＡＩＮを選択するＸ選択トランジスタＳＴＴｒＸが形成されている。ＳＴＴｒＸのゲートＳＴＴＧＸは電極３と直交するＹ方向に延伸しており、ゲート絶縁膜を介してチャネル半導体層５１ｐがゲート間スペースに形成されている。図４に示す通り、チャネル半導体層５１ｐはＮ型半導体層４２ｐを介して電極３と接続されている。チャネル半導体層５１ｐの上方は、ＰＣＭＣＨＡＩＮを形成するチャネル半導体層８ｐと接続されている。チャネル半導体層５１ｐは、個々のＰＣＭＣＨＡＩＮごとに、Ｘ方向、Ｙ方向に分離されている。Ｘ選択トランジスタＳＴＴｒＸの上方には、相変化メモリチェインＰＣＭＣＨＡＩＮが形成されている。チャネル半導体層８ｐの上部にはＮ型半導体層２５ｐからなる拡散層が形成されていて、上部電極となるプレート状の電極ＴＥＰＬＡＴＥに接続されている。見易くするために図３では省いているが、ＰＣＭＣＨＡＩＮはセルゲート電極となるゲートポリシリコン層２１ｐ、２２ｐ、２３ｐ、２４ｐと、絶縁膜１１、１２、１３、１４、１５とが交互に積層された積層体に形成されたＺ方向の孔内に形成されている。ＰＣＭＣＨＡＩＮ周囲の詳細な構造は図４で説明する。【００２４】
電極３の下方には、電極３と同じＸ方向に延伸し、後述するセット動作、リセット動作の際にＹ方向においてＰＣＭＣＨＡＩＮを選択するＹ選択トランジスタＳＴＴｒＹが形成されている。ＳＴＴｒＹのゲートＳＴＴＧＹは電極３と平行なＸ方向に延伸しており、ゲート絶縁膜を介してチャネル半導体層５０ｐがゲート間スペースに形成されている。チャネル半導体層５０ｐの上方は、Ｎ型半導体層４１ｐを介して電極３と接続されている。チャネル半導体層５０ｐの下方は、Ｎ型半導体層４０ｐを介してプレート状電極ＢＥＰＬＡＴＥと接続されている。チャネル半導体層５０ｐのソース／ドレイン拡散層はＮ型半導体層４０ｐ、４１ｐなので、チャネル半導体層５０ｐのＸ方向に延伸している長さはＳＴＴｒＹのチャネル幅となる。チャネル幅が大きいほどＳＴＴｒＹは大きなオン電流を駆動できる。必要なオン電流に応じて、チャネル半導体層５０ｐを電極３の下部で適切な間隔でＸ方向に分離しても良い。【００２５】
図３において、Ｘ方向に延伸する電極配線３、Ｘ方向に延伸するＹ選択トランジスタＳＴＴｒＹのゲート電極ＳＴＴＧＹ、Ｙ方向に延伸するＸ選択トランジスタＳＴＴｒＸのゲート電極ＳＴＴＧＸは、最小加工寸法をＦとして２Ｆピッチで形成することができる。すなわち、ＸＹ面内における投影面積４Ｆ２のメモリセルを形成することができる。
ここで選択トランジスタＳＴＴｒＸ、ＳＴＴｒＹの構造について説明する。ＳＴＴｒＹに注目すると、Ｘ方向に延伸し２ＦピッチでＹ方向に並ぶゲートＳＴＴＧＹの側壁にゲート絶縁膜を介してチャネル半導体層５０ｐが形成されている。１つのチャネル半導体層５０ｐに注目すると、そのＹ方向の両面がゲート絶縁膜を介してＳＴＴＧＹと接している。また、１つのＳＴＴＧＹに注目すると、そのＹ方向の両面がゲート絶縁膜を介してチャネル半導体層５０ｐと接している。Ｙ選択トランジスタＳＴＴｒＹのチャネル半導体層５０ｐのＹ方向の厚さが厚い（シリコンの場合１０ｎｍ程度以上）場合には、チャネル半導体層にゲート絶縁膜を介して接する２つのＳＴＴＧＹでそれぞれ独立な反転層が形成される。その結果、２つのゲートのどちらか一方、あるいは両方にオン電圧が印加されている場合にはチャネル半導体層５０ｐはオン状態となり、プレート状電極ＢＥＰＬＡＴＥと電極３（ＭＬＲ）の間を導通させる。２つのゲートにともにオフ電圧が印加された場合にチャネル半導体層５０ｐはオフ状態となりプレート状電極ＢＥＰＬＡＴＥと電極３（ＭＬＲ）の間を絶縁させる。この場合、１つのＳＴＴＧＹにオン電圧を印加するとその両側にある２つのチャネル半導体層５０ｐが必ずオン状態となるため、チャネル半導体層５０ｐの１つだけをオン状態にする選択動作ができない。【００２６】
しかしチャネル半導体層５０ｐが充分に薄い（シリコンの場合には好ましくは５ｎｍ以下）場合には、両側にあるＳＴＴＧＹの一方にオン電圧を印加しても、もう一方に強いオフ電圧（ＮＭＯＳの場合、ソース電位を基準に負電圧）を印加することでオフ状態にすることが可能である。空乏層がチャネル半導体５０ｐの膜厚方向に完全に広がり、一方のＳＴＴＧＹからの電界でチャネル半導体５０ｐの裏面側の反転層のキャリア密度が制御されるようになるためである。このため１つのＳＴＴＧＹにオン電圧を印加してもその両側のチャネル半導体層５０ｐは必ずオン状態になるわけではなく、ゲート絶縁膜を介して接するもう１つのＳＴＴＧＹに強いオフ電圧を印加することでオフ状態にできる。この現象を利用して、チャネル半導体層の１つだけを選択してオン状態にすることが可能である。Ｙ方向に連続した複数のチャネル半導体層５０ｐを同時にオン状態にすることも可能である。ただし、１つおきにオン状態にするなどの特定の選択状態は困難である。ＳＴＴＧＸについても同様である。図３の半導体記憶装置では、チャネル半導体層５０ｐ、５１ｐをシリコンで形成し、チャネル半導体層５０ｐのＹ方向の膜厚、チャネル半導体層５１ｐのＸ方向の膜厚を５ｎｍ程度以下にする。【００２７】
図４は本実施の形態１のメモリセルアレイの一部分を抜き出して示した図(図４(a))である。図２、３ではわかり易さのために省いていたＰＣＭＣＨＡＩＮの部品、すなわちゲートポリシリコン層２１ｐ〜２４ｐ、絶縁膜１１〜１５、ゲート絶縁膜９、チャネルポリシリコン層８ｐ、Ｎ型ポリシリコン層２５ｐ、相変化材料７、絶縁膜９１、９２も示している。また、ＳＴＴｒＸのゲート絶縁膜ＧＯＸ１_Ｘ、ＧＯＸ２_Ｘも示している。また、一つのゲートポリシリコン層２１ｐにおけるＡ-Ａ’断面図(図４(b))、及び、メモリセルアレイの一部分に対応する等価回路図(図４(c))と並べて示している。【００２８】
メモリセルの動作は例えば以下のように行うことができる。選択セルＳＭＣが接続されているゲート線ＧＬ１には０Ｖを印加し、チャネルポリシリコン層８ｐをチャネルとするトランジスタをＯＦＦ状態にする。非選択セルＵＳＭＣが接続されているゲート線ＧＬ２、ＧＬ３、ＧＬ４には７Ｖを印加し、トランジスタをＯＮ状態にする。ＴＥＰＬＡＴＥには０Ｖを印加する。リセット動作時、セット動作時には、ＳＴＴｒＸ、ＳＴＴｒＹをオン状態にし、ＢＥＰＬＡＴＥにリセット電圧ＶＲＥＳＥＴ(例えば５ Ｖ)、セット電圧（例えば４Ｖ）をそれぞれ印加する。ＭＬＲは浮遊状態にする。非選択セルＵＳＭＣではトランジスタがＯＮ状態でチャネルの抵抗が低くなるので、電流はチャネルポリシリコン層８ｐを流れる。ＵＳＭＣ部分での相変化材料７の状態によらず、ほぼ同じ電流が流れるようにすることができる。ＳＭＣではトランジスタがＯＦＦ状態であるため電流は相変化材料７を流れる。リセット動作、セット動作時には、ＳＭＣで相変化材料７を流れる電流によって相変化材料７の抵抗値を変化させて動作を行う。【００２９】
読み出し動作時には、ＳＴＴｒＸはオン状態、ＳＴＴｒＹをオフ状態にし、ＭＬＲに例えば１Ｖを印加する。非選択セルＵＳＭＣではトランジスタがＯＮ状態でチャネルの抵抗が低くなるので、電流はチャネルポリシリコン層８ｐを流れる。ＵＳＭＣ部分での相変化材料７の状態によらず、ほぼ同じ電流が流れるようにすることができる。ＳＭＣではトランジスタがＯＦＦ状態であるため電流は相変化材料７を流れる。ＳＭＣで相変化材料７を流れる電流値をＭＬＲに接続されたセンス回路を用いて検出し読み出し動作を行う。【００３０】
相変化材料層７としては、例えばＧｅ２Ｓｂ２Ｔｅ５などのように、アモルファス状態における抵抗値と結晶状態における抵抗値が異なることを利用して情報を記憶する材料を用いることができる。高抵抗の状態であるアモルファス状態から低抵抗の状態である結晶状態に変化させる動作、すなわちセット動作は、アモルファス状態の相変化材料を結晶化温度以上に加熱し１０−６秒程度以上保持して結晶状態にすることにより実施する。結晶状態の相変化材料は、融点以上の温度まで加熱し液体状態にした後、急速に冷却することにより、アモルファス状態にすることができる。【００３１】
図５乃至図７は、図３の半導体記憶装置の等価回路図であり、それぞれ読み出し動作／セット動作／セット動作／リセット動作を説明している。Ｘ選択トランジスタＳＴＴｒＸ、Ｙ選択トランジスタＳＴＴｒＹはチャネル半導体層５１ｐ、５０ｐが５ｎｍ程度の薄膜なので両側のゲートにともにオン電圧が印加される場合にはオン状態となり、どちらか一方にオン電圧が印加されても他方に強いオフ電圧が印加されるとオフ状態となる。このことを等価回路として示すため、図５乃至図７においてはＹ選択トランジスタＳＴＴｒＹとＸ選択トランジスタＳＴＴｒＸのそれぞれを直列された２つのトランジスタによって表すとともに、対向するトランジスタが直列接続されているように記載した。【００３２】
図５は、等価回路図を用いて読み出し動作を説明している。読み出し動作では、Ｙ選択トランジスタＳＴＴｒＹは全てオフ状態とし、プレート電極ＢＥＰＬＡＴＥと電極３（ＭＬＲ）を電気的に絶縁する。ＰＣＭＣＨＡＩＮの両側にある電極配線３（ＭＬＲ）とＴＥＰＬＡＴＥの間の電流を検出することで選択メモリセルＳＭＣが低抵抗のセット状態か高抵抗のリセット状態か判定する。この時に流す電流を相変化メモリの抵抗状態が変化しない程度の小さい電流、すなわちセット電流、リセット電流よりも充分に小さい電流にすることで非破壊読み出しができる。電極配線３はＹ方向にＰＣＭＣＨＡＩＮと同じピッチで並んでいて、半導体基板上の抵抗センス回路に接続されている。例えば電極配線３をそれぞれ独立のセンス回路に接続することで、図５のようにＹ方向に並んだ複数のＰＣＭＣＨＡＩＮからそれぞれ１セルずつを選択でき、並列読み出しが可能となる。【００３３】
図６は、等価回路図を用いてセット動作を説明している。セット動作では、電極３とセンス回路の間を周辺回路で絶縁する。すなわち、電極３を上下で接しているＳＴＴｒＸ、ＳＴＴｒＹ以外から絶縁する。読み出し動作とは異なり、セット動作はＢＥＰＬＡＴＥ、ＴＥＰＬＡＴＥ間でＰＣＭＣＨＡＩＮを介して電流を流すことによりＰＣＭＣＨＡＩＮでジュール熱を発生させて行う。互いに隣接する複数のＰＣＭＣＨＡＩＮに並列に電流を流し、なおかつ個々のＰＣＭＣＨＡＩＮでも全てのセルを同時に選択して発熱させてセット動作を行う（バンドル消去）とＰＣＭＣＨＡＩＮ間で熱が伝わり合うため、個々のメモリセル１つずつ選択してセット動作を行う方式やＰＣＭＣＨＡＩＮに１つずつ電流を流してセット動作を行う方式と比較して、単位消費電力当り多くのセルをセットすることができる。すなわち消去の転送速度を向上することができる。図６ではＸ方向、Ｙ方向にそれぞれ連続した３つのＰＣＭＣＨＡＩＮ、すなわち合計９つのＰＣＭＣＨＡＩＮに電流を流してセット動作を行う場合を示している。セット動作を高速に行うために、セット動作を一括で行い一括消去動作とし、後で述べるリセット動作で個々のセルに書込みを行う方式を用いる。相変化メモリを含む抵抗変化型メモリにおいては、セット動作を実施する際に抵抗変化素子に電流を流す必要があるため、後で述べるリセット動作の際にメモリセルが高抵抗になり過ぎた場合は以後電流を充分に流すことができずセット動作を実施できなくなったり、電流を流すために通常のセット動作よりも高い電圧を印加する必要が生じたりする場合がある。ＰＣＭＣＨＡＩＮにおいて、各メモリセルは相変化材料層とセルトランジスタを並列接続した構成を有し、各メモリセルは直列接続されている。このためセット動作の際、ＰＣＭＣＨＡＩＮ内で流れる電流は相変化材料層を流れる成分とセルトランジスタを流れる成分を有する。セット動作は１マイクロ秒程度で実施するので、セルトランジスタのチャネルにおいて発生するジュール熱はチャネルと接している相変化材料層に伝わる。セルトランジスタのゲートに適切なオン電圧（ハーフオン電圧: ＶＨＯＮ）を印加し、チャネルを適切なオン抵抗状態に調節してＷＬＰＬＡＴＥ／ＢＬＰＬＡＴＥ間に電位差を与えると、チャネル部において発生したジュール熱が相変化材料層に伝わってセット動作を実施することができる。このため、リセット動作によって相変化材料層が高抵抗になり過ぎたとしても、メモリセルに大きな電圧を印加して電流を流さなくてもセット動作を実施することができる。図６に示すＶＨＯＮは、この動作を例示したものである。【００３４】
図７は、等価回路図を用いてリセット動作を説明している。リセット動作では、セット動作と同様に電極３とセンス回路の間を周辺回路で絶縁する。すなわち、電極３を上下で接しているＳＴＴｒＸ、ＳＴＴｒＹ以外から絶縁する。リセット動作は、セット動作と同様に、ＢＥＰＬＡＴＥ、ＴＥＰＬＡＴＥ間でＰＣＭＣＨＡＩＮを介して電流を流すことにより行う。ただし、セット動作は一括消去動作とするのに対して、リセット動作はデータの書込み動作とするので個々のメモリセルに対して選択的に行う。選択するＰＣＭＣＨＡＩＮと接続されたＸ選択トランジスタＳＴＴｒＸ、更に電極３を介して接続されたＹ選択トランジスタＳＴＴｒＹをそれぞれオン状態とし、ＰＣＭＣＨＡＩＮの選択セルのセルトランジスタゲートにはオフ電圧、ＰＣＭＣＨＡＩＮの非選択セルのセルトランジスタゲートにはオン電圧を印加する。この状態で、ＢＥＰＬＡＴＥ、ＴＥＰＬＡＴＥ間に電位差を印加すると、選択セルＳＭＣの相変化材料層に電流が流れる。ＢＥＰＬＡＴＥ、ＴＥＰＬＡＴＥ間の電圧を１０ｎｓ程度のパルス状とし、特にたち下げを急峻にすることで通常の相変化メモリと同様に、ＳＭＣの相変化材料層を低抵抗の結晶状態（セット状態）から高抵抗の非晶質状態（リセット状態）に変化させることができる。セット動作と同様に、ＰＣＭＣＨＡＩＮはプレート電極ＢＥＰＬＡＴＥ、ＴＥＰＬＡＴＥ間で１つだけ選択することもできるが複数個を選択することもできる。読み出し動作と異なり、個々のＰＣＭＣＨＡＩＮに流れる電流を検出する必要は無いからである。
半導体チャネル層５０ｐ、５１ｐの膜厚を５ｎｍ程度にまで薄くする必要があるため、ＳＴＴｒＸ、ＳＴＴｒＹの製造は、以下のように行う。また、ＳＴＴｒＹについては、ゲートＳＴＴＧＹに対して下側からコンタクトを形成する。【００３５】
図８乃至図２２を用いて、本実施の形態１の半導体記憶装置の製造方法を説明する。図８乃至図１９では、各工程における図３に示す配線ＳＴＴＧＹＬ上の下部電極ＢＥＰＬＡＴＥ上のメモリアレイ部のＢ-Ｂ’断面(a)と、図２に示すゲート電極ＳＴＴＧＹに給電するＳＴＴＧＹＣ部で断面を切ったＣ-Ｃ’断面(b)を並列に図示している。【００３６】
半導体記憶装置を駆動するための回路、ＳＴＴＧＹへの給電用の配線ＳＴＴＧＹＬが形成された半導体基板上に、層間絶縁膜ＩＤＬを成膜した後、ＢＥＰＬＡＴＥＣを形成し、ＢＥＰＬＡＴＥとなる金属膜、例えばタングステンと窒化チタンの積層膜を形成し、窒化チタンの上部にＮ型ポリシリコン層４０ｐを成膜する。成膜したパタンを公知のリソグラフィとドライエッチング技術で加工し、ＢＥＰＬＡＴＥを形成する（図８）。【００３７】
ＢＥＰＬＡＴＥとＳＴＴＧＹを分離する絶縁膜７１（例えばシリコン窒化膜やシリコン酸化膜）を成膜した後、ＢＥＰＬＡＴＥのスペース部に上部に形成するＳＴＴＧＹとＳＴＴＧＹＬを電気的に接続するＳＴＴＧＹＣを形成する（図９）。ＳＴＴＧＹＣの形成には、例えば、公知のリソグラフィとドライエッチング技術を用いた層間絶縁膜への孔パタン形成と、化学的気相成長法（ＣＶＤ法）を用いた金属膜成膜と化学的機械研磨法（ＣＭＰ法）を用いることができる。ＳＴＴＧＹＣは、例えばＹ方向にピッチ２Ｆで形成する。【００３８】
絶縁膜７１上に、ＳＴＴＧＹとなるＮ型ポリシリコン層１０１ｐと絶縁膜７２（例えばシリコン窒化膜やシリコン酸化膜）を成膜した後、パターニングを行う（図１０）。図１０では、絶縁膜７２とＮ型ポリシリコン層１０１ｐの加工は、ＢＥＰＬＡＴＥ部とＢＥＰＬＡＴＥスペース部を同時に行い、絶縁膜７１の加工時にはＢＥＰＬＡＴＥスペース部のみレジストで覆い、ＢＥＰＬＡＴＥ部だけ加工する。このとき、Ｘ方向に延伸する１０１ｐは、最小加工寸法をＦとして、Ｙ方向に４Ｆピッチで形成する。例えば１０１ｐのＹ方向の幅をＦ、スペースの幅を３Ｆとしてパターニングする。Ｙ方向にピッチ４Ｆで形成された１０１ｐは、Ｙ方向にピッチ２Ｆで形成されたＳＴＴＧＹＣをＹ方向に１つおきに覆いコンタクトを形成する。【００３９】
次に、４Ｆピッチで形成された１０１ｐの間のスペースを完全には埋め込まないように、ゲート絶縁膜（例えばシリコン酸化膜）ＧＯＸ１_Ｙを成膜し、引き続き保護膜となるアモルファスシリコン層２０１ａを成膜する（図１１）。エッチバックにより、絶縁膜７２のパタン上表面と１０１ｐパタンの溝底部のアモルファスシリコン層２０１ａとゲート絶縁膜ＧＯＸ１_Ｙとを除去した後、アモルファスシリコン層２０１ａをウェットエッチングで除去する（図１２）。エッチバックの際に、アモルファスシリコン層２０１ａで１０１ｐの側壁のゲート絶縁膜ＧＯＸ１_Ｙが保護されているので、アモルファスシリコン層２０１ａが無い場合と比較してゲート絶縁膜ＧＯＸ１_Ｙの信頼性を確保できる。次に、ＳＴＴＧＹ間の溝スペースを完全には埋め込まれないようにチャネル半導体層となるシリコン層５０ｐを成膜する（図１３）。前述したように５０ｐの厚さは５ｎｍ程度以下が好ましい。単層のシリコン成膜により５ｎｍの膜厚は容易に実現可能である。５０ｐをパターニングし、絶縁膜７２のパタン上表面で５０ｐを分離し、１０１ｐで覆われていないＳＴＴＧＹＣ上で５０ｐを除去する（図１４）。【００４０】
次に、ゲート絶縁膜（例えばシリコン酸化膜）ＧＯＸ２_Ｙを成膜し、引き続きゲートＳＴＴＧＹの一部となるＮ型ポリシリコン層１０２ｐを成膜する（図１５）。次にＳＴＴＧＹＣを覆うＧＯＸ２_Ｙ、１０２ｐを、ＢＥＰＬＡＴＥ部をレジストでカバーして例えばドライエッチングで除去してＳＴＴＧＹＣを露出させた後、ＳＴＴＧＹＣの一部となるＮ型ポリシリコン層１０３ｐを成膜する。１０３ｐとＳＴＴＧＹＣが接続される（図１６）。エッチバックにより１０２ｐ、１０３ｐの上部を除去し、１０２ｐ、１０３ｐのパタンを分離する（図１７）。【００４１】
ここでは１０２ｐ、１０３ｐは１０１ｐと同じＮ型ポリシリコンを用いたが、１０２ｐと１０３ｐには１０１ｐと異なる材料を用いても良い。例えば、図１７の工程に引き続き、１０２ｐと１０３ｐをＴｉ、Ｎｉ、Ｃｏなどを用いて自己整合的にシリサイド化することができる。このようにすることで１０２ｐ、１０３ｐからなるゲート電極の抵抗を下げることができるので、１０２ｐ、１０３ｐのＸ方向の寸法を小さくして、１０１ｐのＸ方向の寸法を大きくし１０１ｐの抵抗を下げることもできる。またゲート絶縁膜ＧＯＸ１_ＹとＧＯＸ２_Ｙには、同じ材料を用いる必要はなく、一方をシリコン酸化膜、他方をＨｉｇｈ−Ｋ膜とすることもできる。また、ＧＯＸ１_ＹとＧＯＸ２_Ｙを異なる厚さにすることもできる。【００４２】
図１７からわかるように、１０１ｐの厚さはＢＥＰＬＡＴＥ上とＳＴＴＧＹＣ上で同じだが、１０２ｐ、１０３ｐの厚さはＢＥＰＬＡＴＥ上とＳＴＴＧＹＣ上で異なりＳＴＴＧＹＣ上で薄い。これは図１０の工程で形成される溝の深さが、ＳＴＴＧＹＣ上では絶縁膜７１を除去しなかったためＢＥＰＬＡＴＥ上と比較して浅いためである。抵抗が高くなることが懸念されるが、例えば上述したように１０２ｐ、１０３ｐをシリサイド化して低抵抗化することで解決できる。【００４３】
次に、絶縁膜７３を成膜した後、上部を後退させてチャネルシリコン層５０ｐの上部を露出させる（図１８）。
この段階で、Ｙ選択トランジスタのゲートＳＴＴＧＹ(１０１ｐ，１０２ｐ，１０３ｐ)はＹ方向にピッチ２Ｆで形成される。ただし、Ｙ方向に連続する２本に注目すると、一方は１０１ｐからなり、他方は１０２ｐと１０３ｐの２層からなる。そしてどちらのゲートも下方でＳＴＴＧＹＣと接続される。チャネルシリコン層５０ｐのＹ方向の幅(ゲート絶縁膜ＧＯＸ１_ＹとＧＯＸ２_Ｙで挟まれた膜厚)は、最小加工寸法に依らない成膜膜厚で定めることができるので、極端紫外線リソグラフィ（ＥＵＶ）のような高コストなリソグラフィ技術を用いなくても、例えば５ｎｍとすることができる。【００４４】
図１８から明らかなように、１０２ｐと１０３ｐからなるゲートの両側のチャネルシリコン層５０ｐは、１０２ｐと１０３ｐからなるゲートの下部を介して互いに繋がっている。１０２ｐと１０３ｐからなるゲートの下部で、下部電極であるＮ型ポリシリコン層４０ｐとチャネルシリコン層５０ｐは接している。このため、チャネルシリコン層５０ｐが１０２ｐと１０３ｐからなるゲートの下部で分離されている場合と比較して、Ｎ型ポリシリコン層４０ｐ／チャネルシリコン層５０ｐ間の接触面積を大きく確保することができるため接触抵抗を低減することが可能である。
なお、チャネルシリコン層５０ｐを１０２ｐと１０３ｐからなるゲートの下部で分離する必要が生じた場合でも、その分離幅は極力小さくして、Ｎ型ポリシリコン層４０ｐとの接触面積を確保することが望ましい。
チャネルシリコン層５０ｐの上部でもチャネルシリコン層５０ｐと上部電極となる後述のＮ型ポリシリコン層４１ｐとの接触抵抗を低減するため、チャネルポリシリコン層５０ｐの一部を１０１ｐからなるゲート側に乗り上げる構造として、上部電極との接触面積を大きくすることが望ましい。【００４５】
次に、読み出し用配線ＭＬＲとなるＮ型ポリシリコン層（４２ｐ）／窒化チタン層／タングステン層／窒化チタン層／チタン層／Ｎ型ポリシリコン層（４１ｐ）を下層から順に成膜し、Ｘ方向に延伸するパタンに分離する。Ｙ方向のピッチはＳＴＴＧＹと同じ２Ｆである。読み出し配線ＭＬＲ間のスペースを絶縁膜８１で埋め込んだ後、例えばＣＭＰ法によりＮ型ポリシリコン層４２ｐを露出させる（図１９）。【００４６】
次に、ＭＬＲとＳＴＴＧＸを分離する絶縁膜７４（例えばシリコン窒化膜やシリコン酸化膜）を成膜した後、ＳＴＴＧＸとなるＮ型ポリシリコン層１０４ｐと絶縁膜７５（例えばシリコン窒化膜やシリコン酸化膜）とＮ型ポリシリコン層４３ｐを成膜した後、絶縁膜層７５、Ｎ型ポリシリコン層１０４ｐ、絶縁膜層７４、Ｎ型ポリシリコン層４３ｐのパターニングを行う。このとき、Ｙ方向に延伸するパタンは、最小加工寸法をＦとして、Ｘ方向に４Ｆピッチで形成する。例えば１０４ｐのＸ方向の幅をＦよりやや大きく、スペースの幅を３Ｆよりやや小さくしてパターニングする（図２０）。【００４７】
次に、４Ｆピッチで形成された１０４ｐの間のスペースを完全には埋め込まないように、ゲート絶縁膜（例えばシリコン酸化膜）ＧＯＸ１_Ｘを成膜し、引き続き保護膜となるアモルファスシリコン層２０２ａを成膜する。エッチバックにより、絶縁膜７５のパタン上表面と１０４ｐパタン間の溝底部のアモルファスシリコン層２０２ａとゲート絶縁膜ＧＯＸ１_Ｘとを除去した後、アモルファスシリコン層２０２ａをウェットエッチングで除去する。エッチバックの際に、アモルファスシリコン層２０２ａで１０４ｐの側壁のゲート絶縁膜ＧＯＸ１_Ｘが保護されているので、アモルファスシリコン層２０２ａが無い場合と比較してゲート絶縁膜ＧＯＸ１_Ｘの信頼性を確保できる。【００４８】
次に、ＳＴＴＧＸ(１０４ｐ)間のスペースを完全には埋め込まないようにチャネルとなるシリコン層５１ｐを成膜する。次に、５１ｐをパターニングし、絶縁膜７５のパタン上で５１ｐを分離し、更に５１ｐをピッチ２ＦでＸ方向に分離する。このときＮ型ポリシリコン層４３ｐも絶縁膜７５の上表面で加工する（図２１）。Ｎ型ポリシリコン層４３ｐはＸ選択トランジスタＳＴＴｒＸのチャネル半導体層のソースドレイン拡散層として機能する。なお、必ずしもＮ型拡散層４３ｐを形成する必要はない。つまり、チャネル半導体層５１ｐの上部にＮ型不純物をドーピングしても良いし、チャネル半導体層５１ｐの上部にＮ型ポリシリコン層を形成しても良い。また、Ｎ型ポリシリコン層４３ｐを成膜する方法は、Ｙ選択トランジスタＳＴＴｒＹの製造で用いることも可能である。【００４９】
次に、ゲート絶縁膜（例えばシリコン酸化膜）ＧＯＸ２_Ｘを成膜し、引き続きゲートＳＴＴＧＸとなるＮ型ポリシリコン層１０５ｐを成膜する。エッチバックにより１０５ｐの上部を除去し、１０５ｐのパタンを分離する。絶縁膜７６を成膜した後、上部を後退させてチャネルシリコン層５１ｐの上部を露出させる（図２２）。
この段階で、ＳＴＴＧＸはＸ方向にピッチ２Ｆで形成される。ただし、Ｘ方向に連続する２本に注目すると、一方は１０４ｐからなり、他方は１０５ｐからなり、形状は互いに異なる。チャネルシリコン層５１ｐのＸ方向の幅(ゲート絶縁膜ＧＯＸ１_Ｘ、ＧＯＸ２_Ｘで挟まれた膜厚)は、最小加工寸法に依らない成膜膜厚で定めることができるので、極端紫外線リソグラフィ（ＥＵＶ）のような高コストなリソグラフィ技術を用いなくても、例えば５ｎｍとすることができる。【００５０】
図２２の構造でも図１８での説明と同様に、１０５ｐからなるゲートの両側のチャネルシリコン層５１ｐは、１０５ｐからなるゲートの下部を介して互いに繋がっている。１０５ｐからなるゲートの下部で、下部電極であるＮ型ポリシリコン層４２ｐとチャネルシリコン層５１ｐは接している。このため、チャネルシリコン層５１ｐが１０５ｐからなるゲートの下部で分離されている場合と比較して、Ｎ型ポリシリコン層４２ｐ／チャネルシリコン層５１ｐ間の接触面積を大きく確保することができるため接触抵抗を低減することが可能である。
なお、チャネルシリコン層５１ｐを１０５ｐからなるゲートの下部で分離する必要が生じた場合でも、その分離幅は極力小さくして、Ｎ型ポリシリコン層４２ｐとの接触面積を確保することが望ましい。【００５１】
ＳＴＴＧＹに給電するためのコンタクトＳＴＴＧＹＣ、ＳＴＴＧＹＣと接続されるＳＴＴＧＹＬをＳＴＴＧＹが形成される位置の下方に形成した後から形成するＳＴＴＧＹは１０２ｐ、１０３ｐの２層で形成したが、ＳＴＴＧＸに給電するためのコンタクトＳＴＴＧＸＣ、ＳＴＴＧＸＣと接続されるＳＴＴＧＸＬはＳＴＴＧＸの上方に形成するので、１０４ｐ層で形成したＳＴＴＧＸの後から形成するＳＴＴＧＸは１０５ｐ単層で形成できる。ＳＴＴＧＸの形成にＳＴＴＧＹと同様のプロセスを用いて、下部側からコンタクトを形成することももちろん可能である。【００５２】
その後、図４(a)に示す通り、５１ｐの上部にＮ型拡散層を形成した後、絶縁膜１１、１２、１３、１４、１５、メモリセルゲートとなるＮ型ポリシリコン層２１ｐ、２２ｐ、２３ｐ、２４ｐ、上部電極となるＮ型ポリシリコン層２５ｐを交互に積層して積層体を形成した後、公知の技術によってメモリセル形成、上部電極形成、メモリセルのゲート電極ＧＡＴＥ１(２１ｐ)、ＧＡＴＥ２(２２ｐ)、ＧＡＴＥ３(２３ｐ)、ＧＡＴＥ４(２４ｐ)の加工を行う。層間絶縁膜を成膜後、ＳＴＴＧＸに給電するためのコンタクトＳＴＴＧＸＣ、ＳＴＴＧＸＣと接続されるＳＴＴＧＸＬ、メモリセルのゲート電極ＧＡＴＥ１、ＧＡＴＥ２、ＧＡＴＥ３、ＧＡＴＥ４、読み出し用配線ＭＬＲへのコンタクトを形成し、周辺回路と接続する配線を形成して半導体記憶装置を完成させる。【００５３】
完成した半導体記憶装置は、Ｘ方向、Ｙ方向ともにメモリセルを２Ｆピッチで形成することができるため、大容量化とビットコストの低減が可能である。また、完成した半導体記憶装置をストレージ、サーバーといった情報処理装置に適用することで、情報処理装置は安価に大容量の記憶装置を使えるようになるので性能向上を実現できる。
【実施例２】
【００５４】
実施の形態１では相変化メモリを用いたが、本発明の選択トランジスタは他のメモリに用いることも可能である。本実施の形態では、フラッシュメモリを用いる場合を示す。
図２３に、本発明の選択トランジスタを用いたフラッシュメモリのデバイス構造の鳥瞰図、図２４にＸＺ平面での断面図、図２５に等価回路図を示す。図２５には、読み出し動作の電圧条件が示されている。
フラッシュメモリアレイは両端で選択トランジスタを介して電極と接続されている。選択トランジスタの動作方法は、実施の形態１と同じである。【００５５】
図２３は、下部電極ＢＥＰＬＡＴＥ、Ｙ方向に延伸する下部選択トランジスタＤＳＴＴｒ、Ｙ方向に延伸する上部選択トランジスタＵＳＴＴｒ、Ｘ方向に延伸する上部電極配線ＢＬが示されている。メモリアレイについては次の断面図で説明する。なお、メモリホールは、Ｘ方向、Ｙ方向に２Ｆピッチで形成されている。
図２４は、図２３で省略した、ゲートとなる電極層３２１ｐ、３２２ｐ、３２３ｐ、３２４ｐ、と絶縁膜３１１、３１２、３１３、３１４、３１５が交互に積層された積層体、積層体に形成されたＺ方向のメモリホールとメモリホール内のＯＮＯ膜すなわちシリコン酸化膜（３３１）／シリコン窒化膜（３３２）／シリコン酸化膜（３３３）、チャネル半導体層３０８ｐ、が示されている。【００５６】
ＤＳＴＴｒは、ゲート電極３０１ｐ、３０２ｐ、絶縁膜３７１、３７２、３７３、ゲート絶縁膜３６１、３６２、チャネル半導体層３５０ｐから形成されている。チャネル半導体層３５０ｐはゲート電極３０２ｐの下部でゲート絶縁膜３６２を介してＸ方向に隣接する２つずつが接続されていて接続部で下部電極の一部であるＮ型半導体層３４０ｐと接している。実施の形態１と同様に、３４０ｐと３５０ｐの接触部のＸ方向の幅が３５０ｐの膜厚と比較して大きいので、広い面積で３４０ｐと３５０ｐを接触させることができるので、３４０ｐと３５０ｐの間の接触抵抗を低減できる。３５０ｐの上部にはＮ型半導体層３４１ｐが形成されていて、メモリセルアレイのチャネル半導体層３０８ｐと接続されている。チャネル半導体層３０８ｐの上部には、Ｎ型半導体層３４２ｐが形成されていて、ＵＳＴＴｒのチャネル半導体層３５１ｐと接続されている。【００５７】
ＵＳＴＴｒは、ゲート電極３０３ｐ、３０４ｐ、絶縁膜３７４、３７５、３７６、ゲート絶縁膜３６３、３６４、チャネル半導体層３５１ｐから形成されている。チャネル半導体層３５１ｐはゲート電極３０３ｐの上部で絶縁膜３７５を介してＸ方向に隣接する２つずつが接続されていて接続部で上部電極の一部であるＮ型半導体層３４３ｐと接している。ＤＳＴＴｒのチャネル半導体層３５０ｐと同様に、３４３ｐと３５１ｐの接触部のＸ方向の幅が３５１ｐの膜厚と比較して大きいので、広い面積で３４３ｐと３５１ｐを接触させることができるので、３４３ｐと３５１ｐの間の接触抵抗を低減できる。【００５８】
チャネル半導体層３５０ｐは、少なくともゲート電極３０１ｐ、３０２ｐの側壁のある標高から上部でＹ方向にメモリホールのピッチと同じ２Ｆピッチで分離されている。
チャネル半導体層３５１ｐは、Ｙ方向にメモリホールのピッチと同じ２Ｆピッチで分離されている。Ｙ方向に分離された３５１ｐは、Ｘ方向に延伸しＹ方向に２Ｆピッチで形成された上部電極ＢＬに接続されている。【００５９】
読み出し動作では、選択セルが含まれる下部選択トランジスタＤＳＴＴｒ、上部選択トランジスタＵＳＴＴｒのチャネル半導体層を導通状態にする。図２５の例では、ＤＳＴＴｒのゲートＤＳＴｍ−２、ＤＳＴｍ−１、ＤＳＴｍ、ＤＳＴｍ＋１のうちＤＳＴｍ−２、ＤＳＴｍ−１にオン電圧を印加し、残りのゲートにオフ電圧を印加している。ＵＳＴＴｒのゲートＵＳＴｍ−２、ＵＳＴｍ−１、ＵＳＴｍ、ＵＳＴｍ＋１のうちＵＳＴｍ−２、ＵＳＴｍ−１にオン電圧を印加し、残りのゲートにオフ電圧を印加している。これにより、Ｘ方向の１箇所を選択する。Ｚ方向については、選択セルが含まれるゲート電極に閾値判定レベルの電位Ｖｔｈｃ、その他のゲート電極にはセルの閾値状態に依らず充分にセルのチャネル半導体層３０８ｐがオン状態になる電位Ｖｐａｓｓ（例えば６Ｖ）を印加する。これにより、Ｚ方向の１箇所が選択される。Ｘ方向、Ｚ方向を１箇所選択した状態で、下部電極ＢＥＰＬＡＴＥを０Ｖ、上部電極ＢＬに１Ｖの電位を印加する。ＢＬはＹ方向に２Ｆピッチで複数本形成されているので、Ｙ方向には同時に複数個を選択できる。ＢＬに流れる電流を検知し、選択セルの閾値ＶｔｈがＶｔｈｃより高いか低いかにより情報を読み出す。【００６０】
書き込み動作は、後で述べる消去動作を一括で行った後に行う。書き込み動作では、下部選択トランジスタＤＳＴＴｒはオフ状態とし、選択セルと接続された上部選択トランジスタＵＳＴＴｒのチャネル半導体層を導通状態にする。これにより、Ｘ方向の１箇所を選択する。Ｚ方向については、選択セルが含まれるゲート電極には書き込み電位（例えば＋２０Ｖ）、その他のゲート電極にはセルの閾値状態に依らず充分にセルのチャネル半導体層３０８ｐがオン状態になる電位Ｖｐａｓｓ（例えば１０Ｖ）を印加する。これにより、Ｚ方向の１箇所が選択される。下部電極ＢＥＰＬＡＴＥは例えば０Ｖとする。Ｘ方向、Ｚ方向を１箇所選択した状態で、上部電極ＢＬにデータ書き込みパタンに応じた電位を印加する。ＢＬはＹ方向に２Ｆピッチで複数本形成されているので、Ｙ方向には同時に複数個を選択できる。メモリセルのＯＮＯ膜に電子を注入して書き込みを行う箇所では、ＢＬに０Ｖを印加し、ＵＳＴＴｒを介してチャネル半導体層３０８ｐにＢＬから０Ｖを給電する。選択セルのＯＮＯ膜には選択ゲートの＋２０Ｖとチャネル半導体層３０８ｐの０Ｖの間の電位差２０Ｖが印加されるので、チャネル半導体層３０８ｐからＯＮＯ膜に電子が注入されて書き込みが生じる。メモリセルのＯＮＯ膜に電子を注入して書き込みを行わない箇所では、ＢＬに３Ｖ程度を印加し、ＵＳＴＴｒをオフ状態としチャネル半導体層３０８ｐとＢＬを分離する。この場合、非選択セルゲートの電位Ｖｐａｓｓ（例えば１０Ｖ）によって、浮遊状態の３０８ｐは高い電位（例えば７Ｖ）になるため、選択ゲートと接続されたセルのＯＮＯ膜には選択ゲートの＋２０Ｖとチャネル半導体層３０８ｐの５Ｖの間の電位差は２０Ｖと比較して低い１３Ｖとなるので、チャネル半導体層３０８ｐからＯＮＯ膜にはほとんど電子が注入されない。このようにして、記憶するデータに応じた書き込みを行うことができる。【００６１】
消去動作は、まずＵＳＴＴｒのゲート３０３ｐ、３０４ｐ、ＤＳＴＴｒのゲート３０１ｐ、３０２ｐに０Ｖ、ＢＥＰＬＡＴＥ、ＢＬに５Ｖ程度を印加して、ＤＳＴＴｒのＢＥＰＬＡＴＥ側端部、ＵＳＴＴｒのＢＬ側端部でホットホールを生成させた後、消去を行うブロックのＵＳＴＴｒのゲート３０３ｐ、３０４ｐ、ＤＳＴＴｒのゲート３０１ｐ、３０２ｐに適切な電位を印加しＵＳＴＴｒ、ＤＳＴＴｒをオン状態として発生させたホットホールをチャネル半導体層３０８ｐに注入する。ゲート電極３２１ｐ、３２２ｐ、３２３ｐ、３２４ｐに負電圧（例えば−１５Ｖ）を印加することで、チャネル半導体層３０８ｐからメモリセルの電荷蓄積膜であるＯＮＯ膜にホールが注入され一括消去が行われる。【００６２】
本実施の形態２の半導体記憶装置は、Ｘ方向、Ｙ方向ともにメモリセルを２Ｆピッチで形成することができるため、大容量化とビットコストの低減が可能である。また、完成した半導体記憶装置をストレージ、サーバーといった情報処理装置に適用することで、情報処理装置は安価に大容量の記憶装置を使えるようになるので性能向上を実現できる。
【実施例３】
【００６３】
実施の形態１、２ではそれぞれ、相変化メモリ、フラッシュメモリを用いたが、本発明の選択トランジスタは他のメモリに用いることも可能である。本実施の形態では、縦型クロスポイントメモリを用いる場合を示す。
図２６に、本発明の選択トランジスタを用いた縦型クロスポイントメモリのデバイス構造の鳥瞰図、図２７にＸＺ平面での断面図、図２８に等価回路図を示す。縦型クロスポイントメモリアレイは下部側で選択トランジスタを介して電極と接続されている。選択トランジスタの動作方法は、実施の形態１、２と同じである。【００６４】
図２６は、Ｘ方向に延伸しＹ方向に２Ｆピッチで形成された下部電極配線ＢＴＬ、Ｙ方向に延伸する選択トランジスタＳＴＴｒ、電極となる導電膜層４２１ｐ、４２２ｐ、４２３ｐ、４２４ｐ、積層体に形成されたＺ方向のメモリホールとメモリホール内の抵抗変化材料膜４０７、導電膜層４０８ｐが示されている。メモリホールは、Ｘ方向、Ｙ方向に２Ｆピッチで形成されている。【００６５】
図２７(ａ)は、図２６のＸＺ平面での断面図である。図２６では省略していた絶縁膜４１１、４１２、４１３、４１４、４１５も示している。導電膜層４２１ｐ、４２２ｐ、４２３ｐ、４２４ｐのメモリホール内側壁には、ダイオードが形成されている。このダイオードは、例えば図２７(ａ)で、導電膜４２１ｐ、４２２ｐ、４２３ｐ、４２４ｐをＮ型シリコンで形成し、４０５ｐをＰ型半導体層で形成することで実現できる。図２７(ｂ)に、図２７(ａ)の一部を抜き出して図示している。Ｎ型シリコン層４２１ｐとＰ型半導体層４０５ｐからなるダイオード、抵抗変化材料膜４０７からなるメモリセルとＺ方向に延伸する電極４０８ｐが示されている。図２７(ｂ)に等価回路で示すように、ダイオードと抵抗変化メモリからなるメモリセルが形成される。【００６６】
図２７(ａ)に示すように、ＳＴＴｒは、ゲート電極４０１ｐ、４０２ｐ、絶縁膜４７１、４７２、４７３、ゲート絶縁膜４６１、４６２、チャネル半導体層４５０ｐから形成されている。チャネル半導体層４５０ｐはゲート電極４０２ｐの下部でゲート絶縁膜４６２を介してＸ方向に隣接する２つずつが接続されていて接続部で下部電極の一部である４４０ｐと接している。実施の形態１と同様に、４４０ｐと４５０ｐの接触部のＸ方向の幅が４５０ｐの膜厚と比較して大きいので、広い面積で４４０ｐと４５０ｐを接触させることができるので、４４０ｐと４５０ｐの間の接触抵抗を低減できる。４５０ｐの上部にはＮ型半導体層４４１ｐが形成されていて、メモリセルアレイの導電膜層４０８ｐと接続されている。【００６７】
図２８に示すように、読み出し動作では、選択セルが含まれる下部選択トランジスタＳＴＴｒのチャネル半導体層４５０ｐを導通状態にする。図２８では、ＳＴＴｒのゲートＳＴＸｍ−２、ＳＴＸｍ−１、ＳＴＸｍ、ＳＴＸｍ＋１のうち、ＳＴＸｍ−２、ＳＴＸｍ−１にオン電圧を印加し、残りのゲートにオフ電圧を印加している。これにより、Ｘ方向の１箇所を選択する。Ｙ方向に複数本形成されたＢＴＬのうち、選択セルとＳＴＴｒを介して接続されたＢＴＬにＶＲＥＡＤ（例えば１Ｖ）、その他のＢＴＬには０Ｖを印加する。Ｚ方向については、選択セルが含まれる電極層に０Ｖ、その他の電極層にはＶＲＥＡＤを印加する。選択セルではダイオードに順方向に電圧が印加されるので電流が流れ、他のメモリセル部ではダイオードに０Ｖ、もしくは逆方向に電圧が印加されるので電流が流れない。したがって、選択セルにおいてのみ電流が流れるので、この電流ＢＴＬに接続された読み出し回路で検知することで選択セルの抵抗を判定し読み出しを行うことができる。【００６８】
書き込み動作、すなわちセット動作とリセット動作でも同様に、選択セルが含まれる下部選択トランジスタＳＴＴｒのチャネル半導体層４５０ｐを導通状態にする。図２８では、ＳＴＴｒのゲートＳＴＸｍ−２、ＳＴＸｍ−１、ＳＴＸｍ、ＳＴＸｍ＋１のうち、ＳＴＸｍ−２、ＳＴＸｍ−１にオン電圧を印加し、残りのゲートにオフ電圧を印加している。これにより、Ｘ方向の１箇所を選択する。Ｙ方向に複数本形成されたＢＴＬのうち、選択セルとＳＴＴｒを介して接続されたＢＴＬに、セット動作の場合にはＶＳＥＴ（例えば３Ｖ）、リセット動作の場合にはＶＲＥＳＥＴ（例えば２Ｖ）、その他のＢＴＬには０Ｖを印加する。Ｚ方向については、選択セルが含まれる電極層に０Ｖ、その他の電極層にはセット動作の場合にはＶＳＥＴ（例えば３Ｖ）、リセット動作の場合にはＶＲＥＳＥＴ（例えば２Ｖ）を印加する。選択セルではダイオードに順方向に電圧が印加されるので電流が流れ、他のメモリセル部ではダイオードに０Ｖ、もしくは逆方向に電圧が印加されるので電流が流れない。したがって、選択セルにおいてのみ電流が流れるので、選択的にセット動作、リセット動作を行うことができる。【００６９】
完成した半導体記憶装置は、Ｘ方向、Ｙ方向ともにメモリセルを２Ｆピッチで形成することができるため、大容量化とビットコストの低減が可能である。また、完成した半導体記憶装置をストレージ、サーバーといった情報処理装置に適用することで、情報処理装置は安価に大容量の記憶装置を使えるようになるので性能向上を実現できる。
【実施例４】
【００７０】
実施形態１では、絶縁膜１１、１２、１３、１４、１５、メモリセルゲートとなるＮ型ポリシリコン層２１ｐ、２２ｐ、２３ｐ、２４ｐ、上部電極となるＮ型ポリシリコン層２５ｐを交互に積層して積層体を形成した後のメモリセル形成に公知の製造技術を用いたが、メモリセル形成にＳＴＴＧＹ、ＳＴＴＧＸのゲート絶縁膜ＧＯＸ１_Ｙ、ＧＯＸ２_Ｘ、チャネルシリコン層５０ｐ、５１ｐの形成と同様に、保護アモルファスシリコン層２０１ａ、２０２ａを用いることもできる。【００７１】
図２９乃至図３１を用いて実施の形態４の半導体記憶装置の製造方法を説明する。図２９乃至図３１では積層体の下側は、実施例１のＸ選択トランジスタＳＴＴｒＸで構成されている。Ｘ選択トランジスタＳＴＴｒＸのチャネル半導体層５１ｐの上部にＮ型ポリシリコン層４３ｐ(図２０参照)を用いない場合の構成である。しかし、本実施の形態４の発明は下地の構成に依存するものではない。絶縁膜１１、１２、１３、１４、１５、メモリセルゲートとなるＮ型ポリシリコン層２１ｐ、２２ｐ、２３ｐ、２４ｐ、上部電極となるＮ型ポリシリコン層２５ｐを交互に積層して積層体を形成した後、積層体にチャネルシリコン層５１ｐの上部に形成した拡散層に至る孔ＨＯＬＥを形成する。次に、ゲート絶縁膜９、保護アモルファスシリコン層２０３ａを形成した後、エッチバックで積層体上表面とＨＯＬＥの底部のゲート絶縁膜９、保護アモルファスシリコン層２０３ａを除去する（図２９）。次に、保護アモルファスシリコン層２０３ａをウェットエッチングで除去し、チャネル半導体層８ｐを形成する（図３０）。チャネル半導体層８ｐは例えば単層のシリコン層成膜で形成できる。
エッチバックの際に、アモルファスシリコン層２０３ａで積層体側壁のゲート絶縁膜９が保護されているので、アモルファスシリコン層２０３ａが無い場合と比較してゲート絶縁膜９の信頼性を確保できる。【００７２】
次に、チャネルシリコン層８ｐの表面にＣＶＤ法を用いて相変化材料７を成膜する。相変化材料７は、ＨＯＬＥを完全には埋め込まないように成膜した後、残った孔は絶縁膜９１で完全に埋め込む。次に、エッチバックで、絶縁膜９１と相変化材料７をＨＯＬＥ内の絶縁膜１５の標高まで除去する。絶縁膜９２を成膜した後、エッチバックによりＮ型ポリシリコン層２５ｐ上の絶縁膜９２を除去して、２５ｐの上表面上の８ｐまたは８ｐまで除去して２５ｐの上表面を露出させる。２５ｐ上の８ｐは２５ｐ中のＮ型不純物が拡散し、Ｎ型の不純物を高濃度に含んでいる。【００７３】
次に、上部電極となるタングステン／窒化チタン／チタンを成膜した後、上部電極を加工する（図３１）。
次に、公知の技術によって、メモリセルのゲート電極ＧＡＴＥ１、ＧＡＴＥ２、ＧＡＴＥ３、ＧＡＴＥ４の加工を行う。層間絶縁膜を成膜後、ＳＴＴＧＸに給電するためのコンタクトＳＴＴＧＸＣ、ＳＴＴＧＸＣと接続されるＳＴＴＧＸＬ、メモリセルのゲート電極ＧＡＴＥ１、ＧＡＴＥ２、ＧＡＴＥ３、ＧＡＴＥ４、読み出し用配線ＭＬＲへのコンタクトを形成し、周辺回路と接続する配線を形成して半導体記憶装置を完成させる。
完成した半導体記憶装置は、メモリセルのゲート絶縁膜９の信頼性が確保できるため、絶縁膜９を薄く形成できる。このためＨＯＬＥの直径を縮小し高集積化することができる。従って、ビットコストの低減が可能である。
【符号の説明】
【００７４】
７：相変化材料層
８ｐ、５０ｐ、５１ｐ：チャネル半導体層
９：ゲート絶縁膜
１１、１２、１３、１４、１５：絶縁膜層
２１ｐ、２２ｐ、２３ｐ、２４ｐ：ゲートポリシリコン層
２５ｐ、４０ｐ、４１ｐ、４２ｐ：Ｎ型半導体層
７１、７２、７３、７４、７５、７６：絶縁膜層
８１：絶縁膜層
９１、９２：絶縁膜層
１０１ｐ、１０２ｐ、１０３ｐ、１０４ｐ、１０５ｐ：ゲートポリシリコン層
２０１ａ、２０２ａ、２０３ａ：保護アモルファスシリコン層
３０１ｐ、３０２ｐ、３０３ｐ、３０４ｐ：ゲート電極層
３０８ｐ：チャネル半導体層
３１１、３１２、３１３、３１４、３１５：絶縁膜層
３２１ｐ、３２２ｐ、３２３ｐ、３２４ｐ：ゲート電極層
３３１、３３３：シリコン酸化膜層
３３２：シリコン窒化膜層
３４０ｐ、３４１ｐ、３４２ｐ、３４３ｐ：Ｎ型半導体層
３５０ｐ、３５１ｐ：チャネル半導体層
３６１、３６２、３６３、３６４：ゲート絶縁膜層
３７１、３７２、３７３、３７４、３７５、３７６：絶縁膜層
４０１ｐ、４０２ｐ：ゲート電極層
４０５ｐ：Ｐ型半導体層
４０７：抵抗変化材料層
４０８ｐ：導電膜層
４１１、４１２、４１３、４１４、４１５：絶縁膜層
４２１ｐ、４２２ｐ、４２３ｐ、４２４ｐ：Ｎ型半導体層
４４０ｐ、４４１ｐ：Ｎ型半導体層
４５０ｐ：チャネル半導体層
４６１、４６２：ゲート絶縁膜層
４７１、４７２、４７３：絶縁膜層
１００１：Ｉ／Ｏインタフェース
１００２：メモリセルアレイ
１００３、１００４、１００５、１００６：電圧源
１００７：電圧セレクタ
１００８：配線セレクタ
１００９：制御部
１０１０：読み取り部
１０１１：管理領域
ＧＯＸ１_Ｘ、ＧＯＸ２_Ｘ、ＧＯＸ１_Ｙ、ＧＯＸ２_Ｙ：ゲート絶縁膜
ＩＬＤ：層間絶縁膜
ＢＥＰＬＡＴＥ：プレート状下部電極
ＭＬＲ、ＭＬＲｎ−１、ＭＬＲｎ、ＭＬＲｎ＋１：読出し動作用配線
ＭＬＲＣ：ＭＬＲに給電するためのコンタクト
ＭＬＲＬ：ＭＬＲに給電するための配線
ＴＥＰＬＡＴＥ：プレート状上部電極
Ｆ：最小加工寸法
ＡＲＲＡＹ：相変化メモリチェインアレイ
ＰＣＭＣＨＡＩＮ：相変化メモリチェイン
ＳＰＣＭＣＨＡＩＮ：選択相変化チェイン
ＵＳＰＣＭＣＨＡＩＮ：非選択相変化チェイン
ＳＴＴｒＸ：Ｘ方向の選択を行う選択トランジスタ
ＳＴＴｒＹ：Ｙ方向の選択を行う選択トランジスタ
ＳＴＴｒＸ１、ＳＴＴｒＸ２：Ｘ方向の選択を行う選択トランジスタ
ＳＴＴｒＹ１、ＳＴＴｒＹ２：Ｙ方向の選択を行う選択トランジスタ
ＳＴＴＧＸ：Ｘ方向の選択を行う選択トランジスタのゲート
ＳＴＴＧＹ：Ｙ方向の選択を行う選択トランジスタのゲート
ＳＴＴＧＸＣ：ＳＴＴＧＸへのコンタクト
ＳＴＴＧＹＣ：ＳＴＴＧＹへのコンタクト
ＳＴＴＧＸＬ：ＳＴＴＧＸへの給電用の配線
ＳＴＴＧＹＬ：ＳＴＴＧＹへの給電用の配線
ＳＴＴＧＸＬＣ：ＳＴＴＧＸへのコンタクト
ＳＴＴＧＹＬＣ：ＳＴＴＧＹへのコンタクト
ＢＥＬＣ：ＢＥＰＬＡＴＥと周辺回路を接続するコンタクト
ＴＥＬＣ：ＴＥＰＬＡＴＥと周辺回路を接続するコンタクト
ＧＡＴＥ１、ＧＡＴＥ２、ＧＡＴＥ３、ＧＡＴＥ４：トランジスタのゲート電極
ＧＬ１、ＧＬ２、ＧＬ３、ＧＬ４：ゲートに給電する端子
ＳＴＸｍ−１、ＳＴＸｍ、ＳＴＸｍ：選択トランジスタゲート
ＳＴＹｎ−２、ＳＴＹｎ−１、ＳＴＹｎ、ＳＴＹｎ＋１、ＳＴＹｎ＋２：選択トランジスタゲート
ＳＭＣ：選択メモリセル
ＵＳＭＣ：非選択メモリセル
ＶＲＥＡＤ：読出し電圧
ＶＳＥＴ：セット電圧
ＶＲＥＳＥＴ：リセット電圧
Ｘ、Ｙ、Ｚ：方向
ＶＯＮ：トランジスタのオン電圧
ＶＯＦＦ：トランジスタのオフ電圧
ＶＨＯＮ：トランジスタのハーフオン電圧
ＨＯＬＥ：メモリホール
ＤＳＴＴｒ、ＵＳＴＴｒ：選択トランジスタ
ＤＳＴｍ−２、ＤＳＴｍ−１、ＤＳＴｍ、ＤＳＴｍ：選択トランジスタゲート
ＵＳＴｍ−２、ＵＳＴｍ−１、ＵＳＴｍ、ＵＳＴｍ：選択トランジスタゲート
Ｖｔｈｃ：閾値判定レベルの電位
Ｖｐａｓｓ：非選択セルのゲートへの印加電位
Ｖｔｈ：閾値電位
ＳＴＴｒ：選択トランジスタ
ＢＴＬ：電極配線
【図１】
2015097897.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
2015097897.tif 000029
【図２８】
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【図２９】
2015097897.tif 000031
【図３０】
2015097897.tif 000032
【図３１】
2015097897.tif 000033
【手続補正書】
【提出日】平成28年5月25日(2016.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の上方に形成されたプレート状の下部電極と、前記下部電極の上方に形成された上部電極と、前記下部電極と前記上部電極の間に配置された、電気的に書き換え可能な複数のメモリセルが直列に接続された複数のメモリチェインと、前記メモリチェインの一端に接続された第１選択トランジスタとを有し、
前記複数のメモリチェインは、その長手方向を前記半導体基板の法線方向と合わせて、前記半導体基板面内の第１方向と、第１方向と前記半導体基板面内で直交する第２方向とに沿ってマトリックス状に配置され、
前記第１選択トランジスタは、前記第１方向のメモリチェインの配列ピッチと等ピッチで第１方向に並列に、前記第２方向に延伸して形成されている複数のゲートと、前記複数のゲートの間の対向する各側壁に接して形成されたゲート絶縁膜と、及び前記ゲート絶縁膜を介して前記複数のゲートの間に挟まれて形成された第１のチャネル半導体層とを有し、
前記第１のチャネル半導体層は、前記複数のゲートのうち１つおきのゲートにおいて、該ゲートの両隣りにゲート絶縁膜を介して形成されている両チャネル半導体層が、同時成膜工程の結果により該ゲートと前記下部電極または上部電極との間で接続されている、または同時成膜工程の結果の一部が該ゲートと前記下部電極または上部電極との間に残されていることを特徴とする半導体記憶装置。
【請求項２】
前記メモリセルが相変化メモリであることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項３】
前記第１選択トランジスタのゲートは、前記第１選択トランジスタのゲートの下方側から形成されたコンタクト孔を介して給電されることを特徴とする請求項２に記載の半導体記憶装置。
【請求項４】
前記第１選択トランジスタのゲートは、２つ以上の材料層で形成されていることを特徴とする請求項２に記載の半導体記憶装置。
【請求項５】
前記下部電極とメモリチェインアレイの間に前記第１選択トランジスタに加えて、前記第１選択トランジスタと直列に接続される第２選択トランジスタを更に備え、
前記第２選択トランジスタは、前記第２方向のメモリチェインの配列ピッチと等ピッチで第２方向に並列に、前記第１方向に延伸して形成されている複数のゲートと、前記複数のゲートの間の対向する各側壁に接して形成されたゲート絶縁膜と、及び前記ゲート絶縁膜を介して前記複数のゲートの間に挟まれて形成された第２のチャネル半導体層とを有し、
前記第２選択トランジスタの第２チャネル半導体層は、前記第２方向の両側でゲート絶縁膜を介して前記第２選択トランジスタのゲートと対向して存在し、前記第２選択トランジスタのゲートは前記第２方向の両側で前記ゲート絶縁膜を介して前記第２のチャネル半導体層と対向して存在し、前記第２選択トランジスタのゲートは第２方向に１つおきに形状が異なることを特徴とする請求項２に記載の半導体記憶装置。
【請求項６】
前記第１選択トランジスタと前記第２選択トランジスタの間に、前記第２方向に延伸し、前記第１選択トランジスタの第１チャネル半導体層および前記第２選択トランジスタの第２チャネル半導体層と電気的に接続された金属配線を更に備えていることを特徴とする請求項５に記載の半導体記憶装置。
【請求項７】
前記第１選択トランジスタの第１チャネル半導体層は、単層の半導体層で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項８】
前記第１のチャネル半導体層の上部に形成されるソース／ドレイン拡散層は、前記第１選択トランジスタのゲートの１つおきの上方に、前記第１のチャネル半導体層と接して形成されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項９】
前記メモリセルがフラッシュメモリであることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項１０】
前記メモリセルが縦型クロスポイントメモリであることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項１１】
前記第１選択トランジスタの前記第１のチャネル半導体層の前記第１方向の厚みは、５ｎｍ以下とすることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかの請求項に記載の半導体記憶装置。
【請求項１２】
前記第２選択トランジスタの前記第２のチャネル半導体層の前記第２方向の厚みは、５ｎｍ以下とすることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の半導体記憶装置。
【請求項１３】
（ａ）半導体基板上に層間絶縁膜を介して下部電極となる金属膜を形成する工程と、
（ｂ）前記下部電極上に第１絶縁膜を形成する工程と、
（ｃ）前記第１絶縁膜上に第１ゲート電極層と第２絶縁膜を形成する工程と、
（ｄ）前記第２絶縁膜、前記第１ゲート電極層、及び前記第１絶縁膜を、メモリチェインアレイの前記半導体基板面内の第１方向の配列ピッチの２倍のピッチで所定の幅で並列に、前記半導体基板面内で前記第１方向と直交する第２方向に延伸するようにパターニングする工程と、
（ｅ）前記工程（ｄ）で形成されたスペースが完全には埋め込まれないように第１ゲート絶縁膜を形成する工程と、
（ｆ）前記工程（ｄ）で形成されたパタンの上表面と、及びスペース部の下部電極上の前記第１ゲート絶縁膜を除去する工程と、
（ｇ）前記工程（ｆ）で形成されたスペースが完全には埋め込まれないように第１チャネル半導体を成膜する工程と、
（ｈ）前記工程（ｇ）で形成されたスペースが完全には埋め込まれないように第２ゲート絶縁膜を成膜する工程と、
（ｉ）第２ゲート電極層を成膜する工程と、
（ｊ）前記工程（ｉ）で形成した前記第２ゲート電極層をエッチバックにより前記工程（ｄ）で形成された溝ごとに分離する工程と、
を含むことを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の半導体記憶装置の製造方法において、
前記工程（ｂ）と前記工程（ｃ）の間に、
（ｂ１）前記第１絶縁膜にコンタクト孔を形成する工程と、
前記工程（ｉ）と前記工程（ｊ）の間に、
（ｉ１）前記工程（ｄ）で形成されたスペース部に存在する前記コンタクト孔を覆う前記第２ゲート絶縁膜と前記第２ゲート電極層を、コンタクト孔上で除去する工程と、
（ｉ２）第３ゲート電極層を形成する工程と、
（ｉ３）前記工程（ｉ２）で形成した前記第３ゲート電極層をエッチバックにより前記工程（ｄ）で形成された溝ごとに分離する工程と、
を更に含むことを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の半導体記憶装置の製造方法において、
前記工程（ｅ）と前記工程（ｆ）の間に、
（ｅ１）第１ダミー層を形成する工程と、
前記工程（ｆ）と前記工程（ｇ）の間に、
（ｆ１）前記工程（ｅ１）で形成した前記第１ダミー層を除去する工程と、
を更に含むことを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。
【国際調査報告】
2015097897.tif 000034
2015097897.tif 000035
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