(57)【要約】【課題】真空雰囲気中であってもアウトガスが問題となることはなく、腐食ガス雰囲気中であっても腐食が問題となることのないようにする。【解決手段】センサ本体１１０の筐体とケーブル引出部１４０と光学系を除く投射／受光部１９０を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、ケーブル引出部１４０と投射／受光部１９０のセンサ本体１１０への結合部および投射／受光部１９０自体を密閉構造に構成して、光／電気処理部１８０および投射／受光部１９０の内部を外部に対して空間的に遮蔽する。また、光反射板１２２を光透過可能な密閉構造にする光反射部１２０を形成して、光反射板１２２を外部に対して空間的に遮蔽する。【選択図】図４
2015079514.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定光を発生すると共に該測定光に基づく反射光を受光し該反射光に基づいてエッジ位置を算出する光／電気信号処理部、および前記測定光を外部に投射させると共に外部から入射する前記反射光を前記光／電気信号処理部に取り込む光学系を含む投射／受光部を有するセンサ本体と、
該センサ本体の前記光／電気信号処理部に先端部分が接続されるケーブルを引き出すケーブル引出部と、
前記センサ本体の前記投射／受光部対して測定空間を介在して対向するよう配置され、前記投射／受光部から投射された測定光を反射する光反射板と、
を備えたエッジ位置検出センサにおいて、
前記センサ本体の筐体と前記ケーブル引出部と前記光学系を除く前記投射／受光部を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、前記ケーブル引出部と前記投射／受光部の前記センサ本体に対する結合部および前記投射／受光部自体を密閉構造に構成して、前記光／電気処理部および前記投射／受光部の内部を外部に対して空間的に遮蔽したことを特徴とするエッジ位置検出センサ。
【請求項２】
請求項１に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
耐腐食性を持つ材質により前記光反射板を光透過可能な密閉構造にする光反射部を形成して、前記光反射板を外部に対して空間的に遮蔽したことを特徴とするエッジ位置検出センサ。
【請求項３】
請求項１に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記センサ本体の前記筐体を、前記光／電気信号処理部が搭載されたベースプレートと、前記光／電気信号処理部の全てを覆うように前記ベースプレートに対して密閉構造で結合されたケースとで構成し、前記ベースプレートに第１の開口を形成すると共に前記ケースに第２の開口を形成して、前記第１の開口に対して前記投射／受光部を密閉構造で結合し、前記第２の開口に対して前記ケーブル引出部を密閉構造で結合したことを特徴とするエッジ位置検出センサ。
【請求項４】
請求項３に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記投射／受光部は、前記光／前記信号処理部から投射される測定光を集光すると共に前記反射光を集光するレンズと、該レンズを保持し前記第１の開口に対して密閉構造で結合されるレンズホルダと、前記レンズの外側に配置された第１のカバーガラスと、該第１のカバーガラスが前記レンズホルダに密閉構造で結合するように前記カバーガラスを保持する第１のカバーガラスホルダと、を備えることを特徴とするエッジ位置検出センサ。
【請求項５】
請求項２に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記光反射部は、前記光反射板を保持しブラケットによって前記センサ本体に取り付けられる光反射板ホルダと、該光反射板ホルダで保持された前記光反射板の光入射側に配置された第２のカバーガラスと、該第２のカバーガラスを前記光反射板に対して押し付ける第２のカバーガラスホルダとを備え、前記第２のカバーガラスは前記光反射板ホルダに対して密閉構造で結合されていることを特徴とするエッジ位置検出センサ。
【請求項６】
請求項３に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記ケーブル引出部は、前記ケーブルをガイドするフランジ付きベローズと、アウター付きセンターリングと、前記フランジ付きベローズのフランジ部分を前記アウター付きセンターリングを介在して前記ケースの前記第２の開口の周囲に押し付けるバルクヘッドクランプとで構成され、前記フランジ付きベローズの前記フランジ部分が前記アウター付きセンターリングを介在して前記ケースの前記第２の開口に密閉構造で結合されていることを特徴とするエッジ位置検出センサ。
【請求項７】
請求項６に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記第２に開口は、前記ケースの異なった２以上の箇所に形成され、そのうちの１つに前記ケーブル引出部が密閉構造で結合され、残余はブラインドプレートによって密閉構造で閉じられていることを特徴とするエッジ位置検出センサ。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１つに記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記密閉構造の形成はＯリングを利用して実現されていることを特徴とするエッジ位置検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行するウェブの蛇行の規制制御のためにそのウェブのエッジ位置を検出するエッジ位置検出センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
紙、フィルム、セロファン、織物、箔、ゴム、銅等のウェブ（可撓性をもつ透明又は不透明の長尺物）の巻き取りや巻き戻しを行う場合、そのウェブが走行途中で蛇行すると、巻き取りを正常に行うことができなくなり、また走行の途中において例えば印刷を行う場合は、印刷ズレを引き起こす。【０００３】
そこで従来では、ウェブのエッジ位置をエッジ位置検出センサによって検出し、得られたエッジ位置と正規位置とのズレ量を求め、得られたズレ量に応じて、巻き戻し側のリール、あるいは巻き取り側のリール、あるいは巻き戻しリールと巻き取りリールの間の中間ガイドロールを、ウェブ走行方向と直交する方向で且つ前記ズレ量が減少する方向にアクチュエータによって動かす制御を行うエッジ位置制御システムが採用されている。【０００４】
図５に従来のエッジ位置検出センサ４００の概略を示した（例えば、非特許文献１）。このエッジ位置検出センサ４００は、内部で発生させた測定光（白色光）を投射／受光部４１１から投射し反射光を受光して処理することでウェブ３００のエッジ３０１の位置を検出するセンサ本体４１０と、投射／受光部４１１から投射された測定光を反射させる光反射板４２１が設けられた光反射部４２０と、その光反射部４２０をセンサ本体４１０に対して取り付けるブラケット４３０と、センサ本体４１０の内部回路に接続されるケーブル４４０とを備える。【０００５】
このエッジ位置検出センサ４００は、投射／受光部４１１から測定光を投射させたとき、走行しているウェブ３００のエッジ３０１の領域で反射された反射光と光反射板４２１で反射された反射光とを受光して、両反射光の合計光量から、そのエッジ３０１の位置を検出するものある。すなわち、エッジ位置検出センサ４００は、その合計光量と閾値に基づいて、ウェブ３００のエッジ３０１の正規位置からの差分を示す正又は負の極性をもつ信号を演算処理によって生成して、その信号をエッジ位置検出信号として出力する。【０００６】
ところで、現在では、ロール状に巻かれた長さ数百ｍ〜数ｋｍのフィルム基板を巻き戻す過程において、蒸着、スパッタリング、コーティング等の処理を行って、そのフィルム基板上に連続的に成膜することで機能性薄膜を製造するロール to ロール方式の生産技術が採用されている。この方式を利用して、スマートフォンやタブレットのプラスチック基板、有機ＥＬやタッチパネルディスプレイ、半導体装置、太陽光パネル等の製造が行われている。このようなロール to ロールによる生産技術においても、ウェブであるフィルム基板の走行時の蛇行の規制制御が必要不可欠となってきている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】ウェブ制御装置、センサ本体ＰＨ２２、株式会社ニレコ、[２０１３年８月１日検索]、インターネット＜ＵＲＬ：http://www.nireco.jp/prod/web/epc/ph22.html＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記したロール to ロール方式によって機能性薄膜を製造する際は、その製造が真空雰囲気中で行われる場合があり、このような真空雰囲気中でウェブの蛇行の規制制御を行うときは、その真空雰囲気中に設置したエッジ位置検出センサ４００のセンサ本体４１０の内部の接着剤やプリント基板等から出る有機材料がアウトガスとして真空雰囲気中に引き出されて、製造ラインに悪影響を与えるおそれがある。また、このアウトガスが引き出されることによってエッジ位置検出センサ４００自体の寿命が短くなる恐れもある。【０００９】
また、前記ロール to ロール方式による成膜が特殊な腐食性ガス雰囲気中で行われる場合は、その腐食性ガスによってエッジ位置検出センサ４００が劣化し、あるいは汚染されて、最悪の場合は破損を招き、ウェブの蛇行の規制制御が機能不全に陥って、製造された機能性薄膜に不良品が出るおそれがある。【００１０】
以上はセンサ本体４１０についての問題点であるが、光反射板４２１についても、その光反射板４２１の鏡面として金属蒸着等で形成した薄膜を使用する場合には、真空雰囲気中でその薄膜が剥がれて飛散したりあるいは腐食性雰囲気でその薄膜が変化する問題がある。【００１１】
本発明は以上のような点に鑑みてなされたものであり、その目的は、真空雰囲気中であってもアウトガスが問題となることはなく、また腐食ガス雰囲気中であっても腐食が問題となることのないよう対策を施したエッジ位置検出センサを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、請求項１にかかる発明のエッジ位置検出センサは、測定光を発生すると共に該測定光に基づく反射光を受光し該反射光に基づいてエッジ位置を算出する光／電気信号処理部、および前記測定光を外部に投射させると共に外部から入射する前記反射光を前記光／電気信号処理部に取り込む光学系を含む投射／受光部を有するセンサ本体と、該センサ本体の前記光／電気信号処理部に先端部分が接続されるケーブルを引き出すケーブル引出部と、前記センサ本体の前記投射／受光部対して測定空間を介在して対向するよう配置され、前記投射／受光部から投射された測定光を反射する光反射板と、を備えたエッジ位置検出センサにおいて、前記センサ本体の筐体と前記ケーブル引出部と前記光学系を除く前記投射／受光部を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、前記ケーブル引出部と前記投射／受光部の前記センサ本体に対する結合部および前記投射／受光部自体を密閉構造に構成して、前記光／電気処理部および前記投射／受光部の内部を外部に対して空間的に遮蔽したことを特徴とする。【００１３】
請求項２にかかる発明は、請求項１に記載のエッジ位置検出センサにおいて、耐腐食性を持つ材質により前記光反射板を光透過可能な密閉構造にする光反射部を形成して、前記光反射板を外部に対して空間的に遮蔽したことを特徴とする。【００１４】
請求項３にかかる発明は、請求項１に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記センサ本体の前記筐体を、前記光／電気信号処理部が搭載されたベースプレートと、前記光／電気信号処理部の全てを覆うように前記ベースプレートに対して密閉構造で結合されたケースとで構成し、前記ベースプレートに第１の開口を形成すると共に前記ケースに第２の開口を形成して、前記第１の開口に対して前記投射／受光部を密閉構造で結合し、前記第２の開口に対して前記ケーブル引出部を密閉構造で結合したことを特徴とする。【００１５】
請求項４にかかる発明は、請求項３に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記投射／受光部は、前記光／前記信号処理部から投射される測定光を集光すると共に前記反射光を集光するレンズと、該レンズを保持し前記第１の開口に対して密閉構造で結合されるレンズホルダと、前記レンズの外側に配置された第１のカバーガラスと、該第１のカバーガラスが前記レンズホルダに密閉構造で結合するように前記カバーガラスを保持する第１のカバーガラスホルダと、を備えることを特徴とする。【００１６】
請求項５にかかる発明は、請求項２に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記光反射部は、前記光反射板を保持しブラケットによって前記センサ本体に取り付けられる光反射板ホルダと、該光反射板ホルダで保持された前記光反射板の光入射側に配置された第２のカバーガラスと、該第２のカバーガラスを前記光反射板に対して押し付ける第２のカバーガラスホルダとを備え、前記第２のカバーガラスは前記光反射板ホルダに対して密閉構造で結合されていることを特徴とする。【００１７】
請求項６にかかる発明は、請求項３に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記ケーブル引出部は、前記ケーブルをガイドするフランジ付きベローズと、アウター付きセンターリングと、前記フランジ付きベローズのフランジ部分を前記アウター付きセンターリングを介在して前記ケースの前記第２の開口の周囲に押し付けるバルクヘッドクランプとで構成され、前記フランジ付きベローズの前記フランジ部分が前記アウター付きセンターリングを介在して前記ケースの前記第２の開口に密閉構造で結合されていることを特徴とする。【００１８】
請求項７にかかる発明は、請求項６に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記第２に開口は、前記ケースの異なった２以上の箇所に形成され、そのうちの１つに前記ケーブル引出部が密閉構造で結合され、残余はブラインドプレートによって密閉構造で閉じられていることを特徴とする。【００１９】
請求項８にかかる発明は、請求項１ないし７のいずれか１つに記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記密閉構造の形成はＯリングを利用して実現されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のエッジ位置検出センサは、センサ本体の筐体とケーブル引出部と光学系を除く投射／受光部を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、ケーブル引出部と投射／受光部のセンサ本体に対する結合部および投射／受光部自体を密閉構造に構成して、光／電気処理部および投射／受光部の内部を外部に対して空間的に遮蔽したので、そのセンサ本体を真空雰囲気中に配置したときでも、センサ本体内の接着剤やプリント基板等からアウトガスが発生してロール to ロール方式による製造ラインに悪影響を与えることを防止できる。また、腐食性ガスの雰囲気中に配置したときでも腐食が生じる恐れはなくなる。【００２１】
また、光反射板の鏡面に薄膜を使用する場合には、耐腐食性を持つ材質により前記光反射板を光透過可能な密閉構造にする光反射部を形成して、前記光反射板を外部に対して空間的に遮蔽することにより、その薄膜の飛散物が製造ラインに対する悪影響を与えたり光反射板が腐食されることを防止できる。【００２２】
よって、本発明のエッジ位置検出センサは、ロール to ロール方式による製造ラインのウェブの蛇行の規制制御に好適となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の１つの実施例のエッジ位置検出センサの使用説明図である。
【図２】（ａ）は本実施例のエッジ位置検出センサの平面図、（ｂ）は左側面図、（ｃ）は底面図である。
【図３】（ａ）は本実施例のエッジ位置検出センサの正面図、（ｂ）は背面図である。
【図４】本実施例のエッジ位置検出センサの断面図である。
【図５】従来のエッジ位置検出センサの使用説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図１〜図４を使用して本発明の１つの実施例のエッジ位置検出センサについて詳しく説明する。本実施例のエッジ位置検出センサ１００は、測定光をウェブ３００のエッジ３０１に向けて投射してその反射光を受信することでエッジ位置のズレ量を検出するセンサ本体１１０と、測定光を反射する光反射部１２０と、光反射部１２０をセンサ本体１１０に対して取り付けるブラケット１３０と、センサ本体１１０の内部回路に接続されるケーブルを引き出すケーブル引出部１４０とを備える。
【００２５】
センサ本体１１０において、１５０は四角形状のベースプレートであり、第１の開口としての貫通したねじ穴１５１が形成され、下面には六角穴付きボルト２５によってブラケット１３０が取り付けられている。１６０はケースであり、第２の開口としてケーブル引出部１４０の取り付け用の貫通した開口１６１，１６２が形成され、ベースプレート１５０の上面を閉じる大きさと形状に形成されている。これらベースプレート１５０とケース１６０は、センサ本体１１０の筐体を構成する。１７０はケース１６０の開口１６２を閉じるブラインドプレート１７０である。１８０は光／電気信号処理部であり、ベースプレート１５０とケース１６０とで閉じられる内部に搭載されている。１９０は測定光を投射し反射光を受光する光学系を含む投射／受光部であり、ベースプレート１５０のねじ穴１５１に取り付けられている。
【００２６】
ケース１６０は、９個の六角穴付きボルト２１をベースプレート１５０の側からケース１６０に対して締め付けることで、ベースプレート１５０との間に介在させたＯリング１１によって、ベースプレート１５０に対する接合部が密閉構造となっている。
【００２７】
また、ブラインドプレート１７０も、６個の六角穴付きボルト２２をブラインドプレート１７の側からケース１６０に対して締め付けることで、ケース１６０との間に介在させたＯリング１２によって、ケース１６０に対する接合部が密閉構造となり、ケース１６０の開口１６２が外部に対して密閉されている。
【００２８】
投射／受光部１９０において、１９１はベースプレート１５０のねじ穴１５１に螺合されるレンズホルダ、１９２はそのレンズホルダ１９１の空洞１９１ａに装填された集光用のレンズ、１９３はそのレンズ１９２の外側（下側）に位置する透明のカバーガラス、１９４はそのカバーガラス１９３を取り付けるためにレンズホルダ１９１の外側に螺合されるカバーガラスホルダである。カバーガラスホルダ１９４の中央部分には光透過用の開口１９４ａが形成されている。そして、ベースプレート１５０のねじ穴１５１とレンズホルダ１９１の間は、ねじ穴１５１の下部に形成された段差部に嵌め込まれたＯリング１３によって密閉構造となっている。また、カバーガラス１９３とレンズホルダ１９１の間は、Ｏリング１４によって密閉構造となっている。
【００２９】
ケース１６０の内部に搭載される光／電気信号処理部１８０は、白色ＬＥＤを光源とする発光部１８１と、その発光部１８１で発生した測定光をレンズ１９２の方向に反射すると共に、レンズ１９２の方向から入射してきた反射光を受光素子としてのＳＰＤ（シリコンフォトダイオード）に導くハーフミラーを備えた受光部１８２と、プリント基板１８３を備える。プリント基板１８３には、発光部１８１を制御するための制御回路や受光部１８２で受光された光信号を電気信号に変換してウェブのエッジの正規位置からのズレを算出する演算回路等が搭載されている。
【００３０】
光反射部１２０において、１２１はブラケット１３０に対して４個の六角穴付きボルト２３によって取り付けられた光反射板ホルダ、１２２はその光反射板ホルダ１２１内に装填された鏡面の光反射板、１２３はその光反射板１２２の上面を覆う透明のカバーガラス、１２４は光反射板ホルダ１２１の外側にねじ込むことによりカバーガラス１２３を光反射板１２２に対して押し付けるカバーガラスホルダである。カバーガラスホルダ１２４には、光透過用の開口１２４ａが形成されている。光反射板１２２とカバーガラス１２３との間は、Ｏリング１５によって密閉構造となっている。また、光反射板ホルダ１２１と光反射板１２２との間にもＯリング１６が介在され、これによって光反射板１２２のガタツキが防止され、レンズ１９２に対する光反射板１２２の角度が変動しないようになっている。
【００３１】
ケーブル引出部１４０において、１４１は電源供給および信号取出し用のために光／電気信号処理部１８０のプリント基板１８３に接続される４芯シールドケーブル、１４２はそのケーブル１４１をフレキシブルに覆うフランジ付きベローズである。１４３はＯリングが組み込まれたアウター付きセンターリングであり、フランジ付きベローズ１４２のフランジ分１４２ａの先端側の径大の鍔部分１４２ｂとケース１６０の開口１６１の周囲との間に介在する。１４４は２分割されたバルクヘッドクランプであり、フランジ付きベローズ１４２の鍔部分１４２ｂがアウター付きセンターリング１４３を介在してケース１６０の開口１６１の周囲の方向に押し付けられるように、合計で６個の六角穴付きボルト２４によって、ケース１６０に締め付けられている。このアウター付きセンターリング１４３によって、ケース１６０の開口１６１とフランジ付きベローズ１４２のフランジ部１４２ａとの間が密閉構造となっている。そして、フランジ付きベローズ１４２の他端が大気に通じていれば、光／電気信号処理部１８０の部分も、開口１６１、アウター付きセンターリング１４４、フランジ付きベローズ１４２を通じて大気圧となる。
【００３２】
以上において、光／電気信号処理部１８０、レンズ１９２、カバーガラス１９３，１２３、光反射板１２２、ケーブル１４１等以外の構成部材は、耐腐食性剛性をもつ材質、たとえばアルミニウム合金やステンレス等で形成されている。
【００３３】
以上のように構成されたエッジ位置検出センサ１００は、図１に示すように、ケース１６０の左側に４個の六角穴付きボルト２６で取り付けたアーム２００によって、図示しないエッジ位置制御システムに取り付けられる。そして、発光部１８１の白色ＬＥＤで測定光を発生させると、その測定光は受光部１８２のハーフミラーによって９０度だけ下方向に進路を変更されてから、レンズ１９２で所定の断面積の光束に集光され、カバーガラス１９３を通過して測定空間Ａに投射される。さらに光反射部１２０のカバーガラス１２３を通過して光反射板１２２で反射され、再度、測定空間Ａと投射／受光部１９０を経由して受光部１８２のハーフミラーを通過し受光部１８２内のＳＰＤに入射する。
【００３４】
このとき、測定空間Ａにウェブ３００のエッジ３０１が存在している場合は、その測定空間Ａに存在するエッジ３０１の面積に応じて、受光部１８２のＳＰＤに入射する光量が減少する。よって、その受光した光量を電気信号に変換してから、プリント基板１８３上の演算回路によってその電気信号をウェブ３００のエッジ３０１が正規位置にあるときの閾値と比較することにより、現在のエッジ３０１の正規位置からのズレ量を示す検出信号を得ることができる。これについては本発明には直接関係がないのでこれ以上詳しい説明は省略する。
【００３５】
図１に示すように、ウェブ３００は例えば矢印Ｂ方向に走行するとき、その走行方向Ｂに直交する方向Ｂ１，Ｂ２に蛇行することがある。ウェブ３００のエッジ３０１の位置が、エッジ位置検出装置１００の測定空間Ａにおいて、正規位置よりも内側に入り込んでいるときはＢ１方向にずれている場合であり、そのズレ量が例えば正の値として検出される。また、正規位置よりも外側に離れているときはＢ２方向にずれている場合であり、そのズレ量が例えば負の値として検出される。そして、そのズレ量を示す検出信号に応じて、エッジ位置制御システムにより蛇行の規制制御が行われる。
【００３６】
以上のように、本実施例のエッジ位置検出センサ１００は、少なくとも外部に露出する構成部分が耐腐食性で剛性をもつ材質で構成され、さらに、ベースプレート１５０とケース１６０の接合部がＯリング１１で、ケース１６０とブラインドプレート１７０の接合部がＯリング１２で、レンズホルダ１９２とベースプレート１５０の接合部がＯリング１３で、レンズホルダ１９２とカバーガラス１９３と接合部がＯリング１４で、ケース１６０とフランジ１４３の接合部がアウター付きセンターリング１４３で、それぞれ密閉されるので、内部の光／電気信号処理部１８０やレンズ１９２の部分は、空間的に外界から完全に遮断されることになる。また、光反射部１２０においても、光反射板１２２が光反射板ホルダ１２１とカバーレンズ１２３によって密閉され、空間的に外界から完全に遮断されることになる。
【００３７】
このように、そのエッジ位置検出センサ１００の内部や光反射板１２２が外部雰囲気に対して完全に遮蔽されることになるので、このエッジ位置検出センサ１００を真空雰囲気中に配置しても、エッジ位置検出センサ１００に搭載された光／電気信号処理部１８０の接着剤やプリント基板等からアウトガスが発生してロール to ロール方式による製造ラインに悪影響を与えることを防止できる。また、エッジ位置検出センサ１００を腐食性ガスの雰囲気中に配置したときでも、そのエッジ位置検出センサ１００に腐食が生じる恐れはなくなる。よって、ロール to ロール方式による製造ラインのウェブの蛇行の規制制御に好適なエッジ位置検出センサを実現することができる。
【００３８】
なお、上記した例では、その光反射板１２２をカバーガラス１２３で覆うと共に、その光反射板１２２を耐腐食性で剛性を持つ材質で密閉構造としたので、光反射板１２２の鏡面として金属蒸着等で形成した薄膜を使用する場合には、真空雰囲気中でその薄膜が剥がれて飛散したりあるいは腐食性雰囲気でその薄膜が変化することを防止することができる。しかし、光反射板１２２の鏡面を金属面研磨等の堅牢な鏡面とした場合には、カバーガラス１２３による被覆や密閉構造等の対策をとらなくてもよい。
【００３９】
また、上記した例ではケーブル引出部１４０をケース１６０の背面の開口１６１に取り付けているが、上面の開口１６２の部分に同様の手法によって密閉構造で取り付けることもできる。この場合は、開口１６１をブラインドプレート１７０とＯリング１２と六角穴付きボルト２２によって密閉状態に閉じる必要がある。また、開口１６１，１６２以外にも別の開口を設けておけば、エッジ位置検出センサ１００に対するケーブル引出部１４０の取り付け可能箇所がより多くなり、エッジ位置検出センサ１００を狭い空間に配置しなければならないとき、その取り付け箇所の選択肢が多くなる。ただし、ケーブル引出部１４０を取り付けない開口はすべてブラインドプレートによって密閉する必要がある。
【符号の説明】
【００４０】
１１〜１６：Ｏリング
２１〜２６：六角穴付きボルト
１１０：センサ本体
１２０：光反射部、１２１：光射板ホルダ、１２２：光反射板、１２３：カバーガラス、１２４：カバーガラスホルダ、１４２ａ：開口
１３０：ブラケット、１３１：開口
１４０：ケーブル引出部、１４１：４芯シールドケーブル、１４２：フランジ付きベローズ、１４３：アウター付きセンターリング、１４４：バルクヘッドクランプ
１５０：ベースプレート、１５１：ねじ穴
１６０：ケース、１６１，１６２：開口
１７０：ブラインドプレート
１８０：光／電気信号処理部、１８１：発光部、１８２：受光部、１８３：プリント基板
１９０：投射／受光部、１９１：レンズホルダ、１９２：レンズ、１９３：カバーガラス、１９４：カバーガラスホルダ、１９４ａ：開口
２００：アーム
３００：ウェブ、３０１：エッジ
【図１】
2015079514.tif 000003
【図２】
2015079514.tif 000004
【図３】
2015079514.tif 000005
【図４】
2015079514.tif 000006
【図５】
2015079514.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成26年4月7日(2014.4.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
測定光を発生すると共に該測定光に基づく反射光を受光し該反射光に基づいてエッジ位置を算出する光／電気信号処理部、および前記測定光を外部に投射させると共に外部から入射する前記反射光を前記光／電気信号処理部に取り込む光学系を含む投射／受光部を有するセンサ本体と、
該センサ本体の前記光／電気信号処理部に先端部分が接続されるケーブルを引き出すケーブル引出部と、
前記センサ本体の前記投射／受光部に対して測定空間を介在して対向するよう配置され、前記投射／受光部から投射された測定光を反射する光反射板と、
を備え、真空雰囲気中で使用されるエッジ位置検出センサであって、
前記センサ本体の筐体と前記ケーブル引出部と前記光学系を除く前記投射／受光部を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、前記ケーブル引出部と前記投射／受光部の前記センサ本体に対する結合部および前記投射／受光部自体を密閉構造に構成して、前記光／電気処理部および前記投射／受光部の内部からアウトガスが外部の真空雰囲気中に引き出されることを防止したことを特徴とするエッジ位置検出センサ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
請求項１に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記光反射板の鏡面を金属蒸着で形成し、前記光反射板を光透過可能な密閉構造にする光反射部を形成して、前記光反射板から薄膜の飛散物が外部の真空雰囲気中に引き出されることを防止したことを特徴とするエッジ位置検出センサ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
請求項１に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記センサ本体の前記筐体を、前記光／電気信号処理部が搭載されたベースプレートと、前記光／電気信号処理部の全てを覆うように前記ベースプレートに対して密閉構造で結合されたケースとで構成し、前記ベースプレートに第１の開口を形成すると共に前記ケースに第２の開口を形成して、前記第１の開口に対して前記投射／受光部を密閉構造で結合し、前記第２の開口に対して前記ケーブル引出部を密閉構造で結合し、前記第１の開口および前記第２の開口からアウトガスが外部の真空雰囲気中に引き出されることを防止したことを特徴とするエッジ位置検出センサ。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
以上はセンサ本体４１０についての問題点であるが、光反射板４２１についても、その光反射板４２１の鏡面として金属蒸着等で形成した薄膜を使用する場合には、真空雰囲気中でその薄膜が剥がれて飛散する問題がある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明は以上のような点に鑑みてなされたものであり、その目的は、真空雰囲気中であってもアウトガスや薄膜飛散等が問題となることのないような対策を施したエッジ位置検出センサを提供することである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記目的を達成するために、請求項１にかかる発明のエッジ位置検出センサは、測定光を発生すると共に該測定光に基づく反射光を受光し該反射光に基づいてエッジ位置を算出する光／電気信号処理部、および前記測定光を外部に投射させると共に外部から入射する前記反射光を前記光／電気信号処理部に取り込む光学系を含む投射／受光部を有するセンサ本体と、該センサ本体の前記光／電気信号処理部に先端部分が接続されるケーブルを引き出すケーブル引出部と、前記センサ本体の前記投射／受光部に対して測定空間を介在して対向するよう配置され、前記投射／受光部から投射された測定光を反射する光反射板と、を備え、真空雰囲気中で使用されるエッジ位置検出センサであって、前記センサ本体の筐体と前記ケーブル引出部と前記光学系を除く前記投射／受光部を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、前記ケーブル引出部と前記投射／受光部の前記センサ本体に対する結合部および前記投射／受光部自体を密閉構造に構成して、前記光／電気処理部および前記投射／受光部の内部からアウトガスが外部の真空雰囲気中に引き出されることを防止したことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項２にかかる発明は、請求項１に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記光反射板の鏡面を金属蒸着で形成し、前記光反射板を光透過可能な密閉構造にする光反射部を形成して、前記光反射板から薄膜の飛散物が外部の真空雰囲気中に引き出されることを防止したことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項３にかかる発明は、請求項１に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記センサ本体の前記筐体を、前記光／電気信号処理部が搭載されたベースプレートと、前記光／電気信号処理部の全てを覆うように前記ベースプレートに対して密閉構造で結合されたケースとで構成し、前記ベースプレートに第１の開口を形成すると共に前記ケースに第２の開口を形成して、前記第１の開口に対して前記投射／受光部を密閉構造で結合し、前記第２の開口に対して前記ケーブル引出部を密閉構造で結合し、前記第１の開口および前記第２の開口からアウトガスが外部の真空雰囲気中に引き出されることを防止したことを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明のエッジ位置検出センサは、センサ本体の筐体とケーブル引出部と光学系を除く投射／受光部を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、ケーブル引出部と投射／受光部のセンサ本体に対する結合部および投射／受光部自体を密閉構造に構成して、光／電気処理部および投射／受光部の内部からアウトガスが外部の真空雰囲気中に引き出されることを防止したので、そのセンサ本体を真空雰囲気中に配置したときでも、センサ本体内の接着剤やプリント基板等からアウトガスが発生してロール to ロール方式による製造ラインに悪影響を与えることを防止できる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、光反射板の鏡面に薄膜を使用する場合でも、その薄膜の飛散物の製造ラインに対する悪影響を防止できる。
【国際調査報告】
2015079514.tif 000008
2015079514.tif 000009
2015079514.tif 000010
2015079514.tif 000011