(57)【要約】基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置を、前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容をそれぞれ表示する操作表示部と、前記取得装置情報と前記基準装置情報との差異部の修正指示を前記操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、を備えるように構成する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置であって、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示し、前記差異部の修正指示をする操作表示部と、該差異部に対する修正指示を前記操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、を備える管理装置。
【請求項２】
基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と、管理装置とを備える基板処理システムであって、  前記管理装置は、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示し、前記差異部の修正指示をする操作表示部と、該差異部に対する修正指示を前記操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、  を備える基板処理システム。
【請求項３】
基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得された取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報との差異を抽出する抽出工程と、前記差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示する表示工程と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受信する修正指示受付工程と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正工程と、  を備える装置情報更新方法。
【請求項４】
基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得された取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報との差異を抽出する抽出処理と、前記差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示する表示処理と、前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受信する修正指示受付処理と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正処理と、  を含む装置情報更新プログラムが格納された記録媒体。
【請求項５】
更に、前記操作表示部は、前記基準装置情報に基づいて、取得対象とする前記装置情報を保有する前記基板処理装置を登録する登録部を備え、前記登録部は、前記基板処理装置の名称と、マスタファイルの指定情報と、前記比較ファイル名称と、編集の有無を示す編集フラグと、を有する請求項１の管理装置。
【請求項６】
更に、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記取得装置情報と前記基準装置情報との差異部のみを表示するボタンを有する請求項１の管理装置。
【請求項７】
更に、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記基準装置情報を保有する基板処理装置を変更する変更部と、前記比較不要な装置情報を保有する基板処理装置を非表示にする非表示部と、前記基準装置情報のうち特定パラメータを基準に並べ替え表示する並べ替え部と、を有する請求項１の管理装置。
【請求項８】
前記装置情報比較画面上で前記変更部が選択されると、  前記操作表示部は、前記基準装置情報を保有する前記基板処理装置を変更し、変更された基準装置情報に基づいて、前記取得装置情報と変更された基準装置情報とを比較し、前記取得装置情報の内容と前記変更された基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する請求項７の管理装置。
【請求項９】
前記装置情報は、前記基板処理装置における基板処理のパラメータを含むレシピ情報である請求項１の管理装置。
【請求項１０】
前記操作表示部は、前記基準装置情報と前記取得装置情報の前記差異部に対応する部分を、他から識別し易いよう明示する請求項１の管理装置。
【請求項１１】
前記操作表示部は、前記装置情報比較画面において、前記基準装置情報と前記取得装置情報の前記差異部を、修正前と修正後で色分け表示する請求項１０の管理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハ等の基板を処理する基板処理装置が保有する成膜レシピ等のファイルに格納されている装置情報を管理する管理装置、該管理装置と基板処理装置を備える基板処理システム、上記基板処理装置が保有する装置情報の更新方法、記録媒体に関する。上記基板処理装置は、例えば、半導体集積回路（以下、ＩＣという。）が作り込まれる半導体基板（例えば、半導体ウェハ）に成膜等の処理を行うものである。
【背景技術】
【０００２】
大規模な半導体製造工場（以下、工場）では、複数の基板処理装置から構成される基板処理装置群を集中管理するための管理装置が導入され、管理装置において、該管理装置配下の各基板処理装置の生産状況の監視や、生産履歴や障害履歴の蓄積及び参照等が行えるようになっている。管理装置と各基板処理装置は、高速通信が可能なＬＡＮなどのネットワークで接続される。そして、各基板処理装置は、基板処理するための基板処理レシピをそれぞれ保有しており、自己の保有する基板処理レシピに基づき基板処理を行う。【０００３】
ところで、同一内容の基板処理を複数の基板処理装置で並行して行うため、複数の基板処理装置の中には、同一内容の基板処理を行う同一基板処理装置、例えば同一成膜処理を行う同一成膜処理装置が複数含まれる。このような同一基板処理装置の基板処理レシピは、もともと同一内容であるが、基板処理を繰り返すうちに、ある基板処理装置において基板処理レシピを改善、例えば基板処理レシピのパラメータ設定値（例えば基板処理室の温度設定値）を変更することがある。そして、その結果が良好であった場合は、他の同一基板処理装置へ反映させることになる。【０００４】
このような場合、改善した基板処理レシピファイルと、他の基板処理装置の保有する複数の基板処理レシピファイルとを比較して、差異部分のパラメータを抽出して出力し、該出力した差異部分のパラメータに基づき、他の基板処理装置の基板処理レシピファイルの修正を行う。【０００５】
背景技術のファイル比較更新処理を、図９を用いて説明する。図９は、背景技術に係るファイル比較更新処理フローチャートである。この例では、基板処理装置Ａが適正なファイルを保有しているものとする。そして、他の複数の基板処理装置（基板処理装置Ｂ等）が保有しているファイルが、基板処理装置Ａの適正なファイルと一致するかどうか、管理装置において比較し、差異がある場合は、基板処理装置Ｂ等のファイルを、基板処理装置Ａのファイルに合わせるように修正する。基板処理装置Ａと基板処理装置Ｂ等は、クリーンルーム内に設置されており、事務所内に設置されている管理装置にＬＡＮ等のネットワークにより接続されている。【０００６】
まず、管理装置において、基板処理装置Ａのファイルを取得し（図９のステップＳ６１）、基板処理装置Ｂのファイルを取得し（ステップＳ６２）、該取得した２つのファイルを比較する（ステップＳ６３）。比較した結果（ステップＳ６４）、２つのファイル間に差異がない場合は、処理を終了する。２つのファイル間に差異がある場合は、比較結果を出力（例えばＣＳＶ出力）する、あるいは操作者が差異部分のメモをとる（ステップＳ６５）。【０００７】
次に、操作者は、事務所からクリーンルーム内に移動し（ステップＳ６６）、基板処理装置Ｂにおいて、比較結果出力又はメモに基づき、ファイルを修正し更新する（ステップＳ６７）。次に、操作者は、クリーンルーム内から事務所に移動し（ステップＳ６８）、ファイル更新が正しく行われたか確認する。ファイル更新が正しく行われなかった場合は、再びクリーンルーム内に移動して、ファイルの修正を行う。ファイル更新が正しく行われた場合は、ステップＳ６２へ戻り、次の基板処理装置、例えば基板処理装置Ｃのファイルの比較と修正を行う。【０００８】
このように、背景技術においては、管理装置において２つのファイル間の比較は可能であるが、３つ以上のファイル間の同時比較はできなかった。このため、比較対象の基板処理装置が３台以上あると、ファイルの更新に多くの時間を費やすことになり、本来の基板処理が開始できず装置の稼働率低下を招いていた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、基板処理装置間の装置情報の差異を抽出し装置情報更新を可能とする管理装置、基板処理システム、装置情報更新方法、及び記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様によれば、基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置であって、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容をそれぞれ表示し、前記差異部の修正指示をする操作表示部と、該差異部に対する修正指示を操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、 を備える管理装置が提供される。【００１１】
本発明の他の態様によれば  基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と、管理装置とを備える基板処理システムであって、  前記管理装置は、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容をそれぞれ表示し、前記差異部の修正指示をする操作表示部と、該差異部に対する修正指示を操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、  を備える基板処理システムが提供される。【００１２】
本発明の更に他の態様によれば、  基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得された取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報との差異を抽出する抽出工程と、前記差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示する表示工程と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受信する修正指示受付工程と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正工程と、  を備える装置情報更新方法が提供される。【００１３】
本発明の更に他の態様によれば、  基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得された取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報との差異を抽出する抽出処理と、前記差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示する表示処理と、前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受信する修正指示受付処理と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正処理と、  を含む装置情報更新プログラムが格納された記録媒体が提供される。
【発明の効果】
【００１４】
上記の構成によれば、基板処理装置間の装置情報の差異を抽出し、及び抽出した装置情報の差異を操作画面に表示し、装置情報の更新を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係る管理装置の構成図である。
【図３】本発明の実施形態に係るファイル比較更新処理の概略を示すフローチャートである。
【図４】本発明の実施形態に係る基板処理装置ファイル情報の例である。
【図５】本発明の実施形態に係る比較ファイル管理情報の例である。
【図６】本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報の例である。
【図７】本発明の実施形態に係るファイル比較更新処理フローチャートである。
【図８】図７のフローチャートにおける編集ファイル出力のフローチャートである。
【図９】背景技術に係るファイル比較更新処理フローチャートである。
【図１０】本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報の例である。
【図１１】(ａ)本発明の実施形態に係る比較結果情報を説明するための図示例である。(ｂ)本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報説明するための図示例である。
【図１２】(ａ)本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報を説明するための図示例である。(ｂ) 本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報を説明するための図示例である。
【図１３】本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報を説明するための図示例である。(ｂ) 本発明の実施形態に係るファイル比較結果情報を説明するための図示例である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の実施形態について、図１ないし図８を用いて説明する。まず、基板処理システムの構成の概要を、図１を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成図である。  図１において、基板処理システムは、複数の基板処理装置２０（装置Ａ、装置Ｂ、装置Ｃ、・・・装置ｎ）と、管理装置１０と、管理装置１０の一部を構成する操作表示部であるＧＵＩ（Graphical User Interface）１３と、複数の基板処理装置２０と管理装置１０とを接続するネットワーク３１と、管理装置１０とＧＵＩ１３とを接続するネットワーク３２と、を備える。尚、図１に示すように管理装置１０とＧＵＩ１３とを個別の構成としてもよい。
【００１７】
各基板処理装置２０は、クリーンルーム内に設置され、ＧＵＩ１３は、クリーンルームよりも清浄度の低い雰囲気の事務所内に設置されている。管理装置１０は、クリーンルーム外かつ事務所外に設置されている。なお、管理装置１０は、事務所内に設置してもよい。この場合、管理装置１０とＧＵＩ１３とをネットワークで接続する必要はなく、直接接続してもよい。
【００１８】
次に、図３を用いて、本実施形態に係るファイル比較更新処理の概略を説明する。図３は、本実施形態に係るファイル比較更新処理の概略を示すフローチャートである。本実施形態のファイルは、基板を処理するための基板処理装置２０の装置情報である。  まず、ファイルの比較更新を行う場合、例えば、操作表示部１３の操作画面上にマスタファイルを設定するための設定部が設けられ、この設定部を介して比較元となるファイル（マスタファイルと称す）を操作者が決め、管理装置１０の操作表示部１３から指定する。管理装置１０は、そのマスタファイルに基づき比較を行う。図３の例では、基板処理装置２０Ａの特定ファイルが、操作者によりマスタファイルに設定されている。マスタファイルは、装置情報の基準となる基準装置情報が格納されたファイルである。
【００１９】
図３において、まず、管理装置１０は、基板処理装置２０Ａ（装置Ａ）から、ネットワーク３１を介して、操作者から指定されたマスタファイル（例えばファイル名称が「レシピ１」）を取得する（ステップＳ１１）。次に、管理装置１０は、マスタファイルと同一名称のファイル(同名ファイルと称す)を、基板処理装置２０Ｂ（装置Ｂ）から取得する（ステップＳ１２）。こうして、管理装置１０は、同名ファイルを各装置から順次取得していき、最後に、基板処理装置２０ｎ（装置ｎ）から取得する（ステップＳ１３）。このようにして、管理装置１０は、この同名ファイルを、当該管理装置１０配下の全ての基板処理装置２０から取得する。ここで、同一名称のファイルだけでなく名称の異なるファイルでも一括して比較は可能である。例えば、類似したファイル名の一括比較も行えるように構成されている。
【００２０】
次に、管理装置１０は、装置Ｂ〜装置ｎから取得した同名ファイルの内容と、マスタファイルの内容とを並行して比較する（ステップＳ１４）。比較結果に差異がない場合、つまりステップＳ１５で違いなしの場合は、本処理を終了する。比較結果に差異がある場合、つまりステップＳ１５で違いありの場合は、操作者が、管理装置１０の操作表示部１３から編集指示を行ったか否かを、管理装置１０が判定する（ステップＳ１６）。ステップＳ１６で編集指示がなかった場合は、本処理を終了する。尚、操作者の編集指示の有無に関しては、例えば、ダイアログボックス等を画面に表示し、編集指示の有無を問合せてもよく、また、編集指示の有無を時間で管理してもよい。
【００２１】
ステップＳ１６で編集指示があった場合は、管理装置１０は、装置Ｂ〜装置ｎから取得した同名ファイルの編集、つまり修正を行い（ステップＳ１７）、該修正したファイルを、ネットワーク３１を介して、装置Ｂ〜装置ｎへ出力、つまり送信する（ステップＳ１８）。装置Ｂ〜装置ｎでは、管理装置１０から受信した修正済ファイルにより、修正前の同名ファイルを置換することで、修正前の同名ファイルを更新する。  管理装置１０は、修正済ファイルを装置Ｂ〜装置ｎへ送信した後、ステップＳ１１に戻り、次のマスタファイル（例えばファイル名称が「レシピ２」）に基づくファイル比較更新処理に移行する。  このように、本実施形態では、管理装置１０がファイル編集機能を有するので、操作者による全ての操作が管理装置１０の操作表示部１３で行われる、つまり事務所内で行われる。したがって、比較対象の装置が３台以上であっても、例えば、事務所とクリーンルームとの間を何度も往復する必要がない。よって、ファイル比較更新処理時、事務所とクリーンルームとの移動時間等の直接関係ない時間で浪費することが抑制される。また、クリーンルームでの編集処理が不要なので、クリーンルームの雰囲気を清浄な環境に保つことが期待できる。
【００２２】
基板処理装置２０について説明する。  基板処理装置２０は、基板処理、例えば基板表面に成膜を行う成膜処理を行うもので、基板処理装置に関する各種の装置情報を、各装置情報を識別するための識別子である装置情報ＩＤとともに、当該基板処理装置２０の記憶部にファイルとして記憶している。この装置情報には、例えば、基板処理を行うための手順を含む基板処理レシピ等が含まれる。また、レシピには、前記基板処理レシピを実行中にエラーが発生した場合に実行されるアラームレシピやアボートレシピが含まれる。また、ファイルはレシピだけでなく、該基板処理レシピで使用される圧力パラメータや温度パラメータやガス流量パラメータ等の制御パラメータファイルが含まれる。これら、制御パラメータ等の各種パラメータも装置情報に含まれる。
【００２３】
図２を用いて管理装置について説明する。図２は、本発明の実施形態に係る管理装置の構成図である。  図２に示すように、管理装置１０は、制御部１１と、記憶部１２と、操作表示部１３と、通信部１４とを備える。操作表示部１３は、操作者からの各種指示やデータ入力等を受け付けるキーボードやマウス等で構成される操作部と、各種データ等を表示するＬＣＤ等から構成される表示部とを備え、操作部と表示部とが別体に構成されている。操作表示部１３は、前述したように、本実施形態では、ネットワーク３２により管理装置１０と接続されている。通信部１４は、ネットワーク３１と接続され、該ネットワーク３１に接続された各基板処理装置２０との間で通信を行う。
【００２４】
記憶部１２は、装置ファイル情報１２ａと、取得ファイル情報１２ｂと、比較ファイル管理情報１２ｃと、比較結果情報１２ｄと、修正済ファイル情報１２ｅとを記憶する。（装置ファイル情報１２ａ）  図４に、本実施形態の装置ファイル情報１２ａの構成例を示す。装置ファイル情報１２ａには、管理装置１０の配下、つまり管理装置１０に接続されている全ての基板処理装置２０が保有するファイルのファイル名が、基板処理装置２０の装置名と対応付けられて記憶されている。装置ファイル情報１２ａは、操作表示部１３に表示することができる。図４の例では、装置ファイル情報１２ａは、例えば、装置名が「装置Ａ」である基板処理装置２０Ａが、ファイル名が「Ｆｉｌｅ０１」、「Ｆｉｌｅ０２」、「Ｆｉｌｅ０３」、・・・「Ｆｉｌｅｎｎ」であるファイルを保有する旨の情報を含んでいる。  なお、装置名の代わりに、基板処理装置２０を特定する装置識別子を用いてもよい。また、ファイル名の代わりに、ファイルを特定するファイル識別子を用いてもよい。
【００２５】
（取得ファイル情報１２ｂ）  取得ファイル情報１２ｂは、上述したファイル比較更新処理において各基板処理装置２０から取得した、マスタファイルと同一名称の同名ファイルの内容情報であり、マスタファイルの内容情報を含む。取得ファイル情報１２ｂは、装置名とファイル名とファイル内容とが対応付けられて記憶される。取得ファイル情報１２ｂは、操作表示部１３に表示することができる。
【００２６】
（比較ファイル管理情報１２ｃ）  比較ファイル管理情報１２ｃは、上述したファイル比較更新処理において、どの基板処理装置２０のファイル修正（編集）を行ったかを示す、つまり、ファイル修正を行った基板処理装置２０とファイル修正を行っていない基板処理装置２０を識別して示す。比較ファイル管理情報１２ｃは、操作表示部１３に表示することができる。  図５に、本実施形態の比較ファイル管理情報１２ｃの構成例を示す。比較ファイル管理情報１２ｃには、マスタファイルを保有する基板処理装置２０であるか否かと、マスタファイルのファイル名と、ファイル修正を行ったか否かを示す編集フラグ（修正フラグ）とが、マスタファイル（図５の例では「Ｆｉｌｅ０２」）と同名のファイルを保有する、管理装置１０配下の全ての基板処理装置２０の装置名と対応付けられて記憶されている。  図５の例では、「Ｆｉｌｅ０２」がマスタファイルに指定され、装置Ａがマスタファイルを保有する基板処理装置２０であり、装置Ｂ〜装置ｎの保有する同名ファイルがいずれもファイル修正されていない状態（編集フラグＯＦＦ）であることを示す。
【００２７】
（比較結果情報１２ｄ）  図６に、本実施形態の比較結果情報１２ｄの構成例を示す。比較結果情報１２ｄは、上述したファイル比較更新処理において、マスタファイルと同名ファイルとを比較した結果を示す。比較結果情報１２ｄは、ファイル比較画面（装置情報比較画面）として、操作表示部１３に表示することができる。比較結果情報１２ｄには、マスタファイルを保有する基板処理装置２０（マスタ装置）の装置名と、マスタファイルのファイル名と、マスタファイルと同名の同名ファイルを保有する基板処理装置２０の装置名と、マスタファイル及び同名ファイル中のパラメータ値とが、各基板処理装置２０間で対比可能なように示されている。  図６の例では、マスタ装置の装置名である装置Ａと、マスタファイルのファイル名である「レシピ１」と、同名ファイルを保有する基板処理装置２０の装置名である装置Ｂ〜装置ｎと、「レシピ１」のファイル中のパラメータである温度設定値及び圧力設定値とが示されている。
【００２８】
図６の例では、装置Ａのマスタファイル「レシピ１」の温度設定値は３００℃で、圧力設定値は１００００Ｐａである。装置Ｂの同名ファイル「レシピ１」の温度設定値は２９５℃で、圧力設定値は１００００Ｐａである。装置Ｃの同名ファイル「レシピ１」の温度設定値は３００℃で、圧力設定値は９９００Ｐａである。装置ｎの同名ファイル「レシピ１」の温度設定値は２９５℃で、圧力設定値は１００００Ｐａである。装置Ｂと装置ｎの同名ファイル「レシピ１」の温度設定値は、マスタファイルの温度設定値（３００℃）と差異があり、装置Ｃの同名ファイル「レシピ１」の圧力設定値は、マスタファイルの圧力設定値（１００００Ｐａ）と差異があるので、差異のあるパラメータ項目（「温度設定値」、「圧力設定値」）と、差異のあるパラメータ（設定温度、設定圧力等）とを、例えば下線表示等することにより、マスタファイルと差異があることを示すようにしている。尚、差異を明確に表示する方法は、図６に示すように差異のあるパラメータやパラメータ項目に下線部を引くだけでなく、点滅表示や色別表示してもよい。例えば、差異のある部分に背景色を付けて表示してもよいし、パラメータ名称やパラメータ項目名称に色を付けて表示してもよい。
【００２９】
（修正済ファイル情報１２ｅ）  修正済ファイル情報１２ｅは、上述したファイル比較更新処理において、ファイル修正した結果のファイル情報（修正装置情報）である。修正済ファイル情報１２ｅは、操作表示部１３に表示することができる。例えば、修正済ファイル情報１２ｅは、上述の図６の例で、装置Ｂの同名ファイル「レシピ１」の温度設定値をマスタファイルの温度設定値である３００℃に修正した状態のファイルである。この修正済ファイル情報１２ｅが装置Ｂへ送信されることにより、装置Ｂの同名ファイル「レシピ１」がマスタファイルと同一内容に更新される。なお、修正したパラメータは、表示色を他のパラメータと異ならせる等、視認性を高めることが好ましい。
【００３０】
制御部１１は、上記した管理装置１０の各構成部を制御するもので、ハードウエア構成としては、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と制御部１１の動作プログラム等を格納するメモリを備えており、ＣＰＵは、この動作プログラムに従って動作する。  図２に示すように、制御部１１は、装置ファイル取得機能１１ａ、装置ファイル比較機能１１ｂ、装置ファイル修正機能１１ｃ、修正ファイル出力機能１１ｄを備える。
【００３１】
（装置ファイル取得機能１１ａ）  制御部１１は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、特定の基板処理装置２０が保有しているファイルを、マスタファイルとして記憶部１２に登録し記憶させる。そして、マスタファイルと同名の同名ファイルを有する当該管理装置１０配下の基板処理装置２０から、同名ファイルを取得する（装置ファイル取得機能１１ａ）。このとき、マスタファイルに関する装置情報は、明確にして表示される。例えば、マスタファイルに関する装置情報を表示する項目は、背景色に色を付けて表示してもよい。
【００３２】
詳しくは、制御部１１は、記憶部１２に記憶している装置ファイル情報１２ａを参照し、当該管理装置１０配下の基板処理装置２０のうち、マスタファイルの同名ファイルを有する基板処理装置２０に対し、該同名ファイルを当該管理装置１０へ送信するよう、通信部１４を介して指示（同名ファイル送信指示）を行う。管理装置１０からの同名ファイル送信指示を受信すると、各基板処理装置２０は、それぞれの保有する同名ファイルを、当該基板処理装置２０の装置名とともに、管理装置１０へ送信する。制御部１１は、各基板処理装置２０から受信した同名ファイルを、当該基板処理装置２０の装置名と対応付けて、取得ファイル情報１２ｂとして記憶部１２に記憶させる。
【００３３】
（装置ファイル比較機能１１ｂ）  また、制御部１１は、当該管理装置１０配下の各基板処理装置２０から、同名ファイルを取得した後、該取得した同名ファイルの内容と記憶部１２に記憶したマスタファイルの内容とを比較し、取得した同名ファイルとマスタファイルとの差異を抽出して明確に表示する（装置ファイル比較機能１１ｂ）。例えば、上述した図６のファイル比較画面のように、差異のあるパラメータやパラメータ項目が目立つように、操作表示部１３に表示する。
【００３４】
（装置ファイル修正機能１１ｃ）  また、制御部１１は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、取得した同名ファイルの内容を編集可能な、つまり修正可能な編集モードに移行する。そして、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、取得した同名ファイルの内容を修正して修正ファイル（修正装置情報）を作成する（装置ファイル修正機能１１ｃ）。取得した同名ファイルの内容を修正した場合、制御部１１は、上述した図５の比較ファイル管理情報１２ｃ中の編集フラグを、ＯＦＦからＯＮにする。
【００３５】
例えば、図６のように、取得した同名ファイルとマスタファイルとの差異を表示した状態で、差異として表示された同名ファイルのパラメータの位置に、操作表示部１３を構成するマウスを移動し、該マウスを操作してコンテキストメニューを表示し、該表示されたコンテキストメニューから編集部としての「編集」を選択することにより、編集モードに移行する。編集モードから離脱する場合は、同様にコンテキストメニューを表示し、該表示されたコンテキストメニューから「編集終了」を選択することにより、編集モードから離脱することができる。
【００３６】
そして、編集モードにおいて、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に基づき、マスタファイルとの差異として表示された同名ファイルのパラメータを、マスタファイルの内容と同一にするよう修正する。例えば、図６において装置Ｂの同名ファイル（レシピ１）の温度設定値「２９５」をマスタファイルと同じ「３００」に修正する。  このとき、編集前と編集後で更に色分けするなど、編集済であるかを明確にするのが好ましい。また、操作者が「３００」の数値を操作表示部１３から入力してもよいが、マスタファイルと同一に修正するよう指示する「同一修正」ボタンを操作表示部１３に設けておき、「同一修正」ボタンを押下することで、マスタファイルと同一に修正するようにしてもよい。このようにすると、操作者による誤入力を防止できる。
【００３７】
なお、マスタファイルとの差異として表示された同名ファイルのパラメータを、マスタファイルの内容と異なる値に修正可能としてもよい。このようにすると、基板処理装置２０毎のパラメータの微調整を行うことが容易となる。  また、制御部１１は、操作者からの指示がなくても、取得した同名ファイルのパラメータを、マスタファイルの内容と同一にするよう、自動的に修正する構成とすることも可能である。このようにすると、パラメータをマスタファイルの内容と同一に修正することが容易となる。
【００３８】
（修正ファイル出力機能１１ｄ）  また、制御部１１は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、編集モードで修正した同名ファイルを、基板処理装置２０へ出力させる（修正ファイル出力機能１１ｄ）。このとき、制御部１１は、同名ファイルを編集モードで修正済みか否かを、上述した比較ファイル管理情報１２ｃにより確認することができる。  詳しくは、管理装置１０は、編集モードで修正した同名ファイルを、修正前の同名ファイルを保有していた基板処理装置２０へ送信する。修正された同名ファイルを受信した基板処理装置２０は、該基板処理装置２０が保有していた修正前の同名ファイルを、修正後の同名ファイルと置換し更新する。
【００３９】
なお、管理装置１０は、修正された同名ファイルを基板処理装置２０へ送信するとき、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に基づき、指示された基板処理装置２０にのみ修正された同名ファイルを送信する個別送信を行うこともできるし、修正された複数の同名ファイルがそれぞれ属する全ての基板処理装置２０へ、それぞれ修正された同名ファイルを送信する一括送信を行うこともできる。
【００４０】
個別送信する場合は、該個別送信する修正ファイルが属する基板処理装置２０を、操作表示部１３で操作者が指示する。例えば、図６に示すファイル比較画面において、送信先の基板処理装置２０の装置名の位置、例えば装置Ｂの位置でコンテキストメニューを表示し、表示したコンテキストメニューの中から「送信（Ｓｅｎｄ）」をクリックして選択することにより、修正ファイルが装置Ｂへ送信される。
【００４１】
また、一括送信する場合は、一括送信する旨を、操作表示部１３で操作者が指示する。例えば、図６に示すファイル比較画面において、コンテキストメニューを表示し、表示したコンテキストメニューの中から「全て送信（Ｓｅｎｄ  ａｌｌ）」をクリックして選択することにより、全ての修正ファイルが、各修正ファイルが属する基板処理装置２０へ、順次送信される。例えば、図６の例では、修正ファイル「レシピ１」が、装置Ｂ〜装置ｎへ、順次送信される。
【００４２】
（ファイル比較更新処理）  次に、管理装置のファイル比較更新処理について、図７と図８を用いて説明する。図７は、本実施形態に係るファイル比較更新処理フローチャートである。図８は、図７のフローチャートにおける編集ファイル出力のフローチャートである。ファイル比較更新処理において、管理装置１０の動作は、制御部１１により制御される。
【００４３】
まず、管理装置１０は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、特定の基板処理装置２０が保有している特定のファイルを、マスタファイルとして記憶部１２に登録し記憶させる（図７のステップＳ３１）。そして、当該管理装置１０配下の基板処理装置２０であって、マスタファイルと同一名の同名ファイルを有する基板処理装置２０の装置名を、記憶部１２に記憶している装置ファイル情報１２ａに基づき抽出し、記憶部１２に登録し記憶させる（ステップＳ３２）。
【００４４】
続いて管理装置１０は、上記登録した装置名の基板処理装置２０、つまり同名ファイルを有する基板処理装置２０から、同名ファイルを取得し、それぞれの基板処理装置２０の装置名と対応付けて、取得ファイル情報１２ｂとして記憶部１２に記憶する（ステップＳ３３）。図７の例では、マスタファイルは、基板処理装置２０Ａ（装置Ａ）が保有しているファイル「Ｆｉｌｅ０２」である。
【００４５】
続いて管理装置１０は、ステップＳ３３で取得した装置Ｂ〜装置ｎの各同名ファイルの内容と、装置Ａのマスタファイルの内容とを比較し（ステップＳ３４）、取得した各同名ファイルとマスタファイルとの差異を出力する、例えば図６のように、差異のあるパラメータやパラメータ項目が目立つように、操作表示部１３に表示する（ステップＳ３５）。ここで、基板処理レシピを含むレシピファイルやパラメータファイルは項目数が多いため、実際に１画面で全ての項目を表示できないので、通常は画面をスクロールして全ての項目を参照する。但し、差異のある部分がバラバラに存在する場合、手間がかかり、その差異部分を特定することだけでも時間を浪費してしまう。また、編集モード状態で画面をスクロールする場合、誤操作により設定しなくてもよいパラメータを変更してしまう恐れがある。そこで、後述する図１０、図１１、図１２、図１３にそれぞれ示されている操作画面に表示するパラメータやパラメータ項目を適切に表示する必要がある。これにより、後述する画面制御により操作性を向上することができ、差異のあるパラメータやパラメータ項目の編集を行うことができる。
【００４６】
ここで、図１０について説明する。図１０は、図７におけるステップＳ３５において、差異部分(差異のあるパラメータやパラメータ項目)のみを表示する際の図示例である。図示しないが、ステップＳ３４でファイル比較した結果、比較結果出力画面が表示されると、この出力画面に所定の箇所に差異ボタンが配置される。そして、この差異ボタンを押下すると、図１０に示される画面が表示されるように構成されている。尚、ステップＳ３４における差異部分のみを表示するように予め構成してもよいのは言うまでもない。このように、差異部分のみを表示するようにすれば、修正すべき項目が明確になり、差異のあるパラメータやパラメータ項目の編集を行うことができる。
【００４７】
次に、図１１について説明する。図１１(ｂ)は、図７におけるステップＳ３５において、比較不要な装置を排除した結果を表示する際の図示例である。図１１(ａ)におけるファイル比較結果出力画面上で、非表示にしたい基板処理装置２０(装置Ｃ)の装置名の位置、例えば装置Ｃの位置でコンテキストメニューを表示し、表示したコンテキストメニューの中から非表示部としての「非表示(Ｈｉｄｅ)」をクリックして選択することで、選択された対象の基板処理装置２０(装置Ｃ)が非表示となる。このように、図１１(ｂ)に示されるように、選択された装置Ｃを非表示にして、装置Ｄ以降の装置名の位置を左に詰めて表示される。これにより、比較不要な装置Ｃを非表示するように構成することにより、比較すべき基板処理装置２０が明確になり、差異のあるパラメータやパラメータ項目の編集が行える。
【００４８】
次に、図１２について説明する。図１２(ｂ)は、図７におけるステップＳ３５において、特定のパラメータ(若しくはパラメータ項目)で並べ替えを行った結果を表示する際の図示例である。図１２(ａ)におけるファイル比較結果出力画面上で、選択した項目「Ｓｅｔｔｉｎｇ  Ｖａｌｕｅ」の位置でコンテキストメニューを表示し、表示したコンテキストメニューの中から並べ替え部としての「並べ替え(Ｓｏｒｔ)」をクリックして選択することで、マスタファイルを有する基板処理装置２０(装置Ｂ)の温度設定値３００℃に近い温度設定値を有する基板処理装置２０(装置Ｄ)から順に表示される。特に重要なパラメータ(若しくはパラメータ項目)について比較する際、マスタファイルに近いパラメータファイルを有する基板処理装置２０から順に表示する。これにより、重要なパラメータ値による修正の要否判断をしやすくなり、パラメータ修正における操作性が向上する。
【００４９】
次に、図１３について説明する。図１３(ｂ)は、図７におけるステップＳ３５において、マスタファイルを変更して並べ替えを行った結果を表示する際の図示例である。図１３(ａ)におけるファイル比較結果出力画面上で、マスタファイルの切り替え対象とする基板処理装置２０(装置Ｂ)の列で、コンテキストメニューを表示し、表示したコンテキストメニューの中から変更部としての「マスタ (Ｍａｓｔｅｒ)」をクリックして選択する。これにより、マスタファイルの切り替えが行われる。この場合、新しいマスタファイルを基準として再度ファイル比較が実施される。この際、「マスタ(Ｍａｓｔｅｒ)」が選択されると、ステップＳ３４のファイル比較ステップに戻り、ファイル比較が実施された後、マスタファイルに選択された装置Ｂを一番左端に移動され、ファイル比較した結果が表示される(ステップＳ３５)。マスタファイルを装置Ｂに切替え後、装置Ｂより取得した各パラメータが基準値となる。そして、図１３(ｂ)に示すように、変更後のマスタファイルに対して、各レシピファイル内に設定されている各パラメータについて、再度パラメータ比較が実施され、比較結果が表示される。
【００５０】
本実施の形態において、マスタファイルを任意に設定できるように構成されているので、例えば、基板処理装置２０のセットアップ時に一括してパラメータ比較を行う際に、予め納入済の実績のある基板処理装置２０で使用中のパラメータをマスタファイルに設定することで、セットアップ作業が効率よく行える。また、マスタファイルを任意に変更できるように構成されているので、基板処理装置２０を改造、例えば、基板処理装置２０で処理する膜種の変更やプロセスの変更に伴い、パラメータ変更を行う際に、予め納入済の実績のある基板処理装置２０で使用中のパラメータをマスタファイルに設定することで、変更すべきパラメータを的確に表示することができる。
【００５１】
本実施の形態において、基板処理レシピを含むレシピファイルやパラメータファイルは項目数が多いため、修正すべき項目を把握するのは容易ではないが、差異のあるパラメータやパラメータ項目を操作画面上で視認できるので、パラメータの誤設定が極力抑えられる。更に、実績のある基板処理装置２０で使用中のパラメータをマスタファイルに設定することで、改造作業に係るセットアップ時間の短縮が期待できる。
【００５２】
このような図１０乃至図１３に示されているファイル比較結果表示機能は、組合せ自由であるのは言うまでもない。例えば、図１２に示すように、特定パラメータで「並べ替え(Ｓｏｒｔ)」を行い、パラメータ修正要否を判断した後、図１１に示すように、同じパラメータ値を有する基板処理装置２０を「非表示(Ｈｉｄｅ)」にして非表示する。この操作を所定回数繰り返した後、ステップＳ３６でのパラメータ修正を行うことができる。また、上記操作の繰り返しの前に、図１０に示すように、差異のあるパラメータやパラメータ項目を表示しておくことも可能である。更に、上記操作の繰り返しの前に、図１３に示すように、マスタファイルの切り替えを行うことも可能である。
【００５３】
次に、管理装置１０は、取得した同名ファイルの内容を修正可能な編集モード状態であるか否かを判定する（ステップＳ３６）。編集モードに入るか否かは、上述したように、操作表示部１３で受け付ける操作者からの指示により決定される。ステップＳ３６で編集モード状態でないと判定した場合（ステップＳ３６で「しない」）は、本処理を終了する。ステップＳ３６で編集モード状態であると判定した場合（ステップＳ３６で「する」）は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、取得した同名ファイルの編集を行う、つまり、取得した同名ファイルの内容を修正する（ステップＳ３７）。取得した同名ファイルの内容を修正した場合、制御部１１は、図５の比較ファイル管理情報１２ｃ中の編集フラグを、ＯＦＦからＯＮにする。
【００５４】
次に、管理装置１０は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、編集モードで修正した同名ファイルを、基板処理装置２０へ出力し（ステップＳ３８）、本処理を終了する。
【００５５】
次に、ステップＳ３８の修正ファイルの出力処理について、図８を用いて説明する。  まず、管理装置１０は、操作表示部１３で受け付けた操作者からの指示に従い、出力方法に関する情報を取得する。つまり、基板処理装置２０へ一括出力するか、それとも個別出力するかの情報を取得する（ステップＳ４１）。上述したように、図６に示すようなファイル比較画面において、表示したコンテキストメニューの中から「全て送信」を選択することにより一括出力が指示され、表示したコンテキストメニューの中から「送信」を選択することにより個別出力が指示される。
【００５６】
次に、管理装置１０は、図５の比較ファイル管理情報１２ｃから、各基板処理装置２０の同名ファイルの編集状態、つまり各基板処理装置２０のファイルが修正済みであるか否かの情報を取得する（ステップＳ４２）。
【００５７】
続いて、管理装置１０は、ステップＳ４２で取得した各基板処理装置２０の同名ファイルが修正済みであるか否かを判定する（ステップＳ４３）。同名ファイルが修正済みである場合（ステップＳ４３で「編集済み」）は、該同名ファイルが属する基板処理装置２０へ出力し（ステップＳ４４）、ステップＳ４５へ遷移する。同名ファイルが修正済みでない場合（ステップＳ４３で「未編集」）は、該同名ファイルが属する基板処理装置２０へ出力することなく、ステップＳ４５へ遷移する。
【００５８】
ステップＳ４５において、管理装置１０は、ステップＳ４１で取得した出力方法が一括出力であるか個別出力であるかを判定する（ステップＳ４５）。出力方法が個別出力である場合（ステップＳ４５で「個別」）は、本処理を終了する。
【００５９】
出力方法が一括出力である場合（ステップＳ４５で「一括」）は、図５の比較ファイル管理情報１２ｃにおいて、修正済みであって出力済みでない残ファイルがあるか否かを判定する、つまり、修正済みであって出力済みでない同名ファイルを有する基板処理装置２０が残っているか否かを判定する（ステップＳ４６）。修正済みの残ファイルがない場合（ステップＳ４６で「残なし」）、つまり、修正済みであって出力済みでない同名ファイルを有する基板処理装置２０が残っていない場合は、本処理を終了する。修正済み残ファイルがある場合（ステップＳ４６で「残あり」）、つまり、修正済みであって出力済みでない同名ファイルを有する基板処理装置２０が残っている場合は、ステップＳ４４へ戻り、該基板処理装置２０へ同名ファイルを出力する。
【００６０】
例えば、出力方法が一括出力であって、図５の比較ファイル管理情報１２ｃにおいて、装置Ｂ〜装置ｎの編集フラグがすべてＯＮである場合、装置Ｂの修正済みファイルが装置Ｂへ送信され、次に、装置Ｃの修正済みファイルが装置Ｃへ送信され、次に、装置Ｄの修正済みファイルが装置Ｄへ送信され、最後に、装置ｎの修正済みファイルが装置ｎへ送信される。こうして、各基板処理装置２０の修正済みファイルが、それぞれの修正済みファイルが属する基板処理装置２０へ送信される。
【００６１】
本実施形態によれば、少なくとも次の効果を奏する。  （ａ）同一基板処理を行う３台以上の基板処理装置のファイルを、同時に比較できるので、２台ずつ比較するよりも効率向上を図ることができる。  （ｂ）管理装置において、基板処理装置の同名ファイルの内容を修正し、修正した同名ファイルを基板処理装置へ出力するよう指示ができるので、ファイル更新処理の効率向上を図ることができる。  （ｃ）ファイル比較画面（図６）において、同名ファイルの内容を修正し、修正した同名ファイルを基板処理装置へ出力するよう指示ができるので、さらにファイル更新処理の効率向上を図ることができる。  （ｄ）ファイル比較画面（図６）において、同名ファイルのマスタファイルと異なる部分の表示色を変える等、視認性を高めるようにしているので、マスタファイルと異なる部分を操作者が認識することが容易にできる。  （ｅ）修正済ファイル情報表示画面において、修正した部分の表示色を変える等、視認性を高めるようにしているので、修正した部分を操作者が認識することが容易にできる。  （ｆ）ファイル比較画面（図１０）において、差異部分(差異のあるパラメータやパラメータ項目)のみを表示することができる。また、同名ファイルのマスタファイルと異なる部分の表示色を変える等、視認性を高めるようにしているので、マスタファイルと異なる部分を操作者が認識することが容易にできる。  （ｇ）また、図１１(ｂ)に示すように、ファイル比較画面において、比較不要な装置を排除して表示することができる。また、同名ファイルのマスタファイルと異なる部分の表示色を変える等、視認性を高めるようにしているので、マスタファイルと異なる部分を操作者が認識することが容易にできる。  （ｈ）また、図１２(ｂ)に示すように、ファイル比較画面において、特定のパラメータ(若しくはパラメータ項目)で並べ替えを行って表示することができる。また、同名ファイルのマスタファイルと異なる部分の表示色を変える等、視認性を高めるようにしているので、マスタファイルと異なる部分を操作者が認識することが容易にできる。これにより、特定のパラメータについて、パラメータ値による修正の要否判断をしやすくなり、パラメータ修正における操作性が向上する。更に、指定したパラメータ項目による並べ替えを行うことにより、マスタファイルを保持する装置との設定内容と異なる装置台数の把握が可能となる。  （ｉ）また、図１３(ｂ)に示すように、ファイル比較画面において、同名ファイルのマスタファイルと異なる部分の表示色を変える等、視認性を高めるようにしているので、マスタファイルと異なる部分を操作者が認識することが容易にできる。また、ファイルの一括比較実施後、マスタファイルを切替えることにより、異なる視点からのファイル一括比較が可能となる。例えば、マスタファイルに指定した装置ファイルの一部項目と比較対象装置の当該項目が異なっている場合、マスタファイルの設定が妥当でない可能性がある。このためマスタファイルを切替えることにより、当該項目の比較対象の基板処理装置が明確になる。  （ｊ）また、本実施形態によれば、装置パラメータ調整時間の短縮に伴う早期立ち上げ(セットアップ)に貢献できる。例えば、新規に装置の設置あ���いは既設装置の膜種変更に伴う装置パラメータ設定時、他の同一膜種の既設装置とパラメータ設定内容の確認及び差異部分の編集を群管理にて一括して行うことが可能となるため、今まで要していた装置間比較の繰り返し及び差異部分のメモ作業、事務所からクリーンルーム内の装置に移動してのファイルを編集する時間の短縮が可能となり、結果として同一膜種装置の機差の削減に関わる時間の短縮に貢献できる。  （ｋ）また、本実施の形態によれば、ソフトウェアのバージョンの違いによる装置パラメータの差異部分の早期発見が可能である。基板処理装置は出荷時期によりソフトウェアのバージョンが異なる場合があるため同一膜種装置であってもソフトウェアバージョンの差異によりパラメータの設定内容が異なる場合がある。そこで、本実施の形態における装置ファイルの一括比較を行うことにより、装置間のパラメータの差異部分を容易に発見することが可能となり、結果として装置間での機差を削減することができる。                                 （ｌ）また、本実施の形態によれば、生産結果の異なる要因の早期発見が可能となる。例えば、同一膜種の装置であっても生産結果に差異が発生する場合がある。この場合、装置の生産レシピの設定に違いがある可能性があり、その違いを本実施の形態における装置ファイルの一括比較を行うことにより、レシピの設定の違いを容易に発見することが可能となり、結果として生産効率の向上に貢献できる。
【００６２】
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。  
【００６３】
（他の実施形態）  マスタファイルの変更指示があった場合、前記実施形態において、変更指示により指定されたファイルをマスタファイルとして一番左端に表示することにより、ファイル比較が再度実施され(図７のＳ３４)、ファイル比較画面の変更表示がされていた(図７のＳ３５)。これに限らず、他の実施形態では、マスタファイルの変更指示により、図７のＳ３１に戻るようにしてもよい。
【００６４】
また、前記実施形態では、マスタファイルとして基板処理レシピファイルを用いて説明したが、基板処理レシピ以外のファイル、例えばパラメータで構成されるパラメータファイルであってもよい。
【００６５】
また、前記実施形態では、管理装置の操作部と表示部を別体型の操作表示部としたが、例えばタッチパネルを用いて操作部と表示部を一体に構成してもよい。
【００６６】
また、前記実施形態では、マスタファイルを管理装置配下の基板処理装置から取得したが、基板処理装置以外から取得するように構成してもよい。例えば、基板処理の基準となるマスタファイルを、管理装置やパソコンで作成し、管理装置の記憶部に格納するようにしてもよい。
【００６７】
また、管理装置は、必ずしも事務所外やクリーンルーム外に設置される必要はなく、例えば事務所内に設置してもよい。また、管理装置は、その記憶部や制御部や操作部や表示部を一体にする必要はなく、それぞれを別体にして設置してもよい。また、前記実施形態では、ファイル比較画面等を管理装置に表示したが、基板処理装置に表示し、基板処理装置の操作表示部から、操作者が各種指示を行うように構成してもよい。
【００６８】
前記実施形態で述べた管理装置の制御部や操作表示部や記憶部は、管理装置に専用のものでなくてもよく、例えばパソコン（パーソナルコンピュータ）等の一般的なコンピュータシステムを用いて実現することができる。例えば、汎用コンピュータに、上述した処理を実行するためのプログラム（前記実施形態ではファイル比較更新処理プログラム）を格納した記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ-ＲＯＭ、ＵＳＢメモリ等）から当該プログラムをインストールすることにより、上述の処理を実行する制御部を構成することができる。例えば、基板処理装置自体に、前記実施形態で述べたファイル比較更新処理プログラムを実行するための制御部等を実現できる。
【００６９】
また、上述の処理を実行するプログラム（ファイル比較更新処理プログラム）を供給するための手段は、任意に選択できる。上述のように所定の記録媒体を介して供給するほか、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給することができる。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板に当該プログラムを掲示し、ネットワークを介して供給してもよい。そして、このようにして提供されたプログラムを起動し、管理装置のＯＳ（Operating System）の制御下、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。
【００７０】
また、本発明は、半導体製造装置だけでなく、ＬＣＤ製造装置のようなガラス基板を処理する装置や、他の基板処理装置にも適用できる。基板処理の処理内容は、ＣＶＤ、ＰＶＤ、Ｅｐｉ、その他酸化膜、窒化膜、金属含有膜等を形成する成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、拡散処理、エッチング処理、露光処理、リソグラフィ、塗布処理、モールド処理、現像処理、ダイシング処理、ワイヤボンディング処理、検査処理等であってもよい。
【００７１】
＜  本発明の好ましい態様  ＞  以下に、本発明の好ましい態様について付記する。（付記１）  本発明の一態様によれば、  基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置であって、  前記装置情報の基準となる基準装置情報を記憶する記憶部と、  操作者からの指示を受け付け、情報表示を行う操作表示部と、  前記装置情報を前記基板処理装置から取得し、該取得した取得装置情報と前記記憶部に記憶した前記基準装置情報とに基づき、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とを装置情報比較画面として前記操作表示部に表示し、前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を前記操作表示部から受け付けると、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御動作を行う制御部と、  を備える管理装置が提供される。
【００７２】
（付記２）好ましくは、付記１の管理装置であって、  前記装置情報は、前記基板処理装置における基板処理のパラメータを含むレシピ情報である管理装置が提供される。
【００７３】
（付記３）好ましくは、付記１又は付記２の管理装置であって、  前記基準装置情報は、前記装置情報の種別毎に前記記憶部に記憶され、  前記制御部は、前記装置情報の種別毎に、前記制御動作を行う管理装置が提供される。
【００７４】
（付記４） 好ましくは、付記１ないし付記３の管理装置であって、  前記制御部は、前記取得装置情報に対し、前記差異部を前記基準装置情報の内容と同じにする修正を行うよう制御する管理装置が提供される。
【００７５】
（付記５）好ましくは、付記１ないし付記４の管理装置であって、  前記操作表示部は、前記装置情報比較画面において、前記修正指示を受け付ける管理装置が提供される。
【００７６】
（付記６）   本発明の他の態様は、  基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と、管理装置とを備える基板処理システムであって、  前記管理装置は、  前記装置情報の基準となる基準装置情報を記憶する記憶部と、  操作者からの指示を受け付け、情報表示を行う操作表示部と、  前記装置情報を前記基板処理装置から取得し、該取得した取得装置情報と前記記憶部に記憶した前記基準装置情報とに基づき、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とを装置情報比較画面として前記操作表示部に表示し、前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を前記操作表示部から受け付けると、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御動作を行う制御部と、  を備える基板処理システムが提供される。
【００７７】
（付記７）  好ましくは、付記６の基板処理システムであって、  前記管理装置は、前記記憶部に記憶した前記基準装置情報の名称に基づき、前記装置情報を前記基板処理装置から取得し、前記基準装置情報に含まれる基板処理用パラメータと、前記装置情報に含まれる基板処理用パラメータとを、前記装置情報比較画面に表示する基板処理システムが提供される。
【００７８】
（付記８）  本発明の更に他の態様は、  基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得工程と、  前記取得した取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報とを比較する比較工程と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受け付ける修正指示受付工程と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正工程と、  を備える装置情報更新方法が提供される。
【００７９】
（付記９） 好ましくは、付記８の装置情報更新方法であって、  前記取得工程において、前記基準装置情報の名称に基づき、前記装置情報を前記基板処理装置から取得する装置情報更新方法が提供される。
【００８０】
（付記１０）  好ましくは、付記８又は付記９の装置情報更新方法であって、  前記比較工程において、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とを装置情報比較画面として表示する装置情報更新方法が提供される。
【００８１】
（付記１１）好ましくは、付記１０の装置情報更新方法であって、  前記修正指示受付工程において、前記装置情報比較画面上で前記修正指示を受け付ける装置情報更新方法が提供される。
【００８２】
（付記１２）好ましくは、付記１０の装置情報更新方法であって、  前記装置情報修正工程において、前記装置情報比較画面上に前記差異部の修正後の情報を表示する装置情報更新方法が提供される。
【００８３】
（付記１３）好ましくは、付記１１又は付記１２の装置情報更新方法であって、  前記装置情報比較画面において、前記差異部又は前記差異部を修正した修正部を、他から識別し易いよう明示する（色を変えて表示するか、又は点滅表示するか、あるいは下線表示する）装置情報更新方法が提供される。
【００８４】
（付記１４）好ましくは、付記１３の装置情報更新方法であって、  前記装置情報比較画面において、前記基準装置情報の前記差異部に対応する部分を、他から識別し易いよう明示する装置情報更新が提供される。
【００８５】
（付記１５）好ましくは、付記１３又は付記１４の装置情報更新方法であって、  前記装置情報比較画面において、前記取得装置情報の前記差異部を、修正前と修正後で色分け表示する装置情報更新方法が提供される。
【００８６】
（付記１６）  本発明の更に他の態様は、  基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得工程と、  前記取得した取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報とを比較する比較工程と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部を、他から識別し易いよう明示する明示工程と、  を備える装置情報表示方法が提供される。
【００８７】
（付記１７）  好ましくは、付記１６の装置情報表示方法であって、  前記明示工程において、前記基準装置情報の前記差異部に対応する部分を、他から識別し易いよう明示する装置情報表示方法が提供される。
【００８８】
（付記１８）好ましくは、付記１６又は付記１７の装置情報表示方法であって、  前記明示工程において、前記取得装置情報の前記差異部を、他から識別し易いよう明示する装置情報表示方法が提供される。
【００８９】
（付記１９）  本発明の更に他の態様は、  基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得処理と、  前記取得した取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報とを比較する比較処理と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受け付ける修正指示受付処理と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正処理と、  を含む装置情報更新プログラムが提供される。
【００９０】
（付記２０）  本発明の更に他の態様は、  基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得処理と、  前記取得した取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報とを比較する比較処理と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受け付ける修正指示受付処理と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正処理と、  を含む装置情報更新プログラムが格納された記録媒体が提供される。
【００９１】
（付記２１）  本発明の更に他の態様は、  基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置であって、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づいて、前記装置情報を前記基板処理装置から取得し、該取得した取得装置情報と前記基準装置情報とを比較し、抽出された差異部と前記基準装置情報を含む装置情報の内容とをそれぞれ表示する操作表示部と、前記差異部の修正指示を前記操作表示部から受け付けると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御動作を行う制御部と、  を備える管理装置が提供される。
【００９２】
（付記２２）  好ましくは、付記２１の管理装置であって、  更に、前記基準装置情報に基づいて、取得対象とする前記装置情報を保有する前記基板処理装置を登録する登録部を備え、前記登録部は、前記基板処理装置の名称と、マスタファイルの指定情報と、前記比較ファイル名称と、編集の有無を示す編集フラグと、を有する管理装置が提供される。
【００９３】
（付記２３）  好ましくは、付記２１の管理装置であって、  更に、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記取得装置情報と前記基準装置情報との差異部のみを表示するボタンを有する管理装置が提供される。
【００９４】
（付記２４）  好ましくは、付記２１の管理装置であって、  更に、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記基準装置情報と差異のある前記装置情報を編集する編集モードに切り替える編集部を有する管理装置が提供される。
【００９５】
（付記２５）  好ましくは、付記２１の管理装置であって、  更に、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記基準装置情報を保有する基板処理装置を変更する変更部と、前記比較不要な装置情報を保有する基板処理装置を非表示にする非表示部と、前記基準装置情報のうち特定パラメータを基準に並べ替え表示する並べ替え部と、を有する管理装置が提供される。
【００９６】
（付記２６）  好ましくは、付記２５の管理装置であって、  更に、前記装置情報比較画面上で前記変更部が選択されると、  前記操作表示部は、前記基準装置情報を保有する前記基板処理装置を変更し、変更された基準装置情報に基づいて、前記取得装置情報と変更された基準装置情報とを比較し、前記取得装置情報の内容と前記変更された基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する管理装置が提供される。
【００９７】
（付記２７）  本発明の更に他の態様は、基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と、管理装置とを備える基板処理システムであって、  前記管理装置は、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づいて、前記装置情報を前記基板処理装置から取得し、該取得した取得装置情報と前記基準装置情報とを比較し、抽出された差異部と、前記基準装置情報を含む装置情報の内容とをそれぞれ表示する操作表示部と、前記差異部の修正指示を前記操作表示部から受け付けると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御動作を行う制御部と、  を備える基板処理システムが提供される。
【００９８】
（付記２８）  本発明の更に他の態様は、基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置であって、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示し、前記差異部の修正指示をする操作表示部と、該差異部に対する修正指示を前記操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、を備える管理装置が提供される。
【００９９】
（付記２９）  本発明の更に他の態様は、基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と、管理装置とを備える基板処理システムであって、  前記管理装置は、  前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、  前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示し、前記差異部の修正指示をする操作表示部と、該差異部に対する修正指示を前記操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、  を備える基板処理システムが提供される。
【０１００】
（付記３０）  本発明の更に他の態様は、基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得された取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報との差異を抽出する抽出工程と、前記差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示する表示工程と、  前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受信する修正指示受付工程と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正工程と、  を備える装置情報更新方法が提供される。
【０１０１】
（付記３１）  本発明の更に他の態様は、基板を処理するための装置情報を基板処理装置から取得する取得された取得装置情報と、前記装置情報の基準となる基準装置情報との差異を抽出する抽出処理と、前記差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容とをそれぞれ表示する表示処理と、前記取得装置情報の前記基準装置情報との差異部の修正指示を受信する修正指示受付処理と、  前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正した修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信する装置情報修正処理と、  を含む装置情報更新プログラムが格納された記録媒体が提供される。
【０１０２】
（付記３２）  更に、好ましくは、前記操作表示部は、前記基準装置情報に基づいて、取得対象とする前記装置情報を保有する前記基板処理装置を登録する登録部を備え、前記登録部は、前記基板処理装置の名称と、マスタファイルの指定情報と、前記比較ファイル名称と、編集の有無を示す編集フラグと、を有する付記２８の管理装置が提供される。
【０１０３】
（付記３３）  更に、好ましくは、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記取得装置情報と前記基準装置情報との差異部のみを表示するボタンを有する付記２８の管理装置が提供される。
【０１０４】
（付記３４）更に、前記操作表示部は、前記取得装置情報の内容と前記基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する装置情報比較画面を備え、前記装置情報比較画面は、前記基準装置情報を保有する基板処理装置を変更する変更部と、前記比較不要な装置情報を保有する基板処理装置を非表示にする非表示部と、前記基準装置情報のうち特定パラメータを基準に並べ替え表示する並べ替え部と、を有する付記２８の管理装置が提供される。
【０１０５】
（付記３５）前記装置情報比較画面上で前記変更部が選択されると、  前記操作表示部は、前記基準装置情報を保有する前記基板処理装置を変更し、変更された基準装置情報に基づいて、前記取得装置情報と変更された基準装置情報とを比較し、前記取得装置情報の内容と前記変更された基準装置情報の内容とをそれぞれ表示する付記３４の管理装置が提供される。
【０１０６】
（付記３６）前記装置情報は、前記基板処理装置における基板処理のパラメータを含むレシピ情報である付記２８の管理装置が提供される。
【０１０７】
（付記３７）前記操作表示部は、前記基準装置情報と前記取得装置情報の前記差異部に対応する部分を、他から識別し易いよう明示する付記２８の管理装置が提供される。
【０１０８】
（付記３８）前記操作表示部は、前記装置情報比較画面において、前記基準装置情報と前記取得装置情報の前記差異部を、修正前と修正後で色分け表示する付記３７の管理装置が提供される。
【０１０９】
尚、本出願は、２０１３年５月２２日に出願された日本出願特願２０１３−１０８２２６を基礎として優先権の利益を主張するものであり、その開示の全てを引用によってここに取り込む。
【産業上の利用可能性】
【０１１０】
本発明は、処理装置間の装置情報の差異を抽出し装置情報更新を行うことが可能な処理システムに好適に利用される。
【符号の説明】
【０１１１】
１０…管理装置、１１…制御部、１１ａ…装置ファイル取得機能、１１ｂ…装置ファイル比較機能、１１ｃ…装置ファイル修正機能、１１ｄ…修正ファイル出力機能、１２…記憶部、１２ａ…装置ファイル情報、１２ｂ…取得ファイル情報、１２ｃ…比較ファイル管理情報、１２ｄ…比較結果情報、１２ｅ…修正済ファイル情報、１３…操作表示部、１４…通信部、２０…基板処理装置、３１…ネットワーク、３２…ネットワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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