(57)【要約】  本発明は、光ビームを検出するための検出部材に熱的ダメージが加わるのを抑制しつつ、防塵性が低下するのも抑制することを目的とする。  本発明の光走査装置は、走査光学系（７２）を収容するハウジング（８０）と、収容領域（８０Ａ）の開口を塞ぐカバーと、収容領域（８０Ａ）の外側に配置される検出部材（７８）と、を備える。そして、ハウジング側壁部（８２）の一部分である第１部分（８３）には、光ビームを収容領域（８０Ａ）の内側から外側に射出して検出部材（７８）に受光させるための光検出開口部（８３ａ）が形成されており、光検出開口部（８３ａ）は、光ビームを透過する透光性部材（８）で塞がれる。
2015194283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から発せられる光ビームにより被走査面上を偏向走査する走査光学系と、  底部および前記底部から上下方向に立設するハウジング側壁部を有し、前記底部および前記ハウジング側壁部で囲まれた収容領域内に前記走査光学系を収容するハウジングと、  前記ハウジングの上方側から前記ハウジングに取り付けられることにより前記収容領域の開口を塞ぐカバーと、  前記収容領域の外側に配置され、前記光ビームを受光して検出し、前記被走査面への光走査の開始タイミングを計るための検出信号を出力する検出部材と、を備え、  前記ハウジング側壁部の一部分である第１部分には、前記光ビームを前記収容領域の内側から外側に射出して前記検出部材に受光させるための光検出開口部が形成されており、  前記光検出開口部は、前記光ビームを透過する透光性部材で塞がれることを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
前記ハウジング側壁部は、前記検出部材が取り付けられる第２部分を一体的に有し、  前記第２部分は、前記第１部分の外側において前記第１部分と対向するよう前記上下方向に壁状に立設しており、  前記第１部分の外側の一領域は、前記第１部分と前記第２部分とで囲まれた空間となっていることを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項３】
前記光検出開口部の開口形状は、前記第１部分の上方側から切り込まれた切欠き形状となっており、  前記透光性部材は、前記第１部分の上方側から前記光検出開口部に嵌め込まれ、  前記透光性部材と前記カバーとの間には、弾性変形可能な弾性部材が挟み込まれることを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項４】
前記カバーは、前記収容領域の開口を塞ぐ天面部と、前記ハウジング側壁部の外側に配置されるよう前記天面部から前記上下方向に立設するカバー側壁部とを有し、  前記天面部のうち前記カバー側壁部よりも内側の部分には、前記カバー側壁部と間隔を隔てて対向するリブが形成されており、  前記カバー側壁部と前記リブとによって前記ハウジング側壁部が挟み込まれ、  前記ハウジング側壁部のうち前記光検出開口部の形成位置においては、前記光検出開口部に嵌め込まれた前記透光性部材が前記カバー側壁部と前記リブとによって挟み込まれることを特徴とする請求項３に記載の光走査装置。
【請求項５】
前記透光性部材は、前記光ビームを前記検出部材に収束するためのレンズであることを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項６】
請求項１に記載の光走査装置を備えた画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、光走査装置およびそれを備えた画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  電子写真方式の画像形成装置に搭載される光走査装置（露光装置）は、光ビームを発する光源や、光源からの光ビームにより被走査面上を偏向走査する走査光学系などを含む。そして、光源や走査光学系など光走査装置を構成する各部材は、光走査装置の筐体に保持される。なお、走査光学系については、飛散トナーなどの塵埃が走査光学系に付着するのを抑制するため、筐体内に設けられた収容領域に収容される。【０００３】  また、光走査装置には、光源から発せられる光ビームを検出するための検出部材が設置される（たとえば、特許文献１参照）。検出部材は、フォトダイオードなどの受光素子を含み、光ビームを受光して検出し、光ビームを検出したことを示す検出信号を出力する。そして、光走査装置の動作を制御する制御部は、検出部材からの検出信号に基づき、光走査の開始タイミングを計る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１４８５４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  たとえば、走査光学系はポリゴンミラーを含むが、そのポリゴンミラーを回転させるためにはモーターの駆動力をポリゴンミラーに伝達しなければならない。このため、筐体内には、走査光学系に加えてモーターも収容される。このように筐体内にモーターが収容されていると、モーターの発熱によって筐体内の温度が上昇する。【０００６】  ここで、検出部材に熱的ダメージが加わると、検出部材の受光素子の感度が低下することがある。受光素子の感度が低下すると、光ビームの検出精度が悪くなり、光走査の開始タイミングが目標タイミングからずれてしまう。したがって、検出部材に熱的ダメージが加わるのを抑制するため、検出部材を筐体の内側ではなく外側に配置する場合がある。検出部材を筐体の外側に配置すると、筐体内の温度が上昇しても、検出部材に熱的ダメージが加わり難くなり、受光素子の感度の低下が抑制される。【０００７】  筐体の外側に検出部材を配置する場合には、検出部材に光ビームを受光させるため、光ビームを筐体の内側から外側に射出するための開口部が筐体の一部に形成される。しかし、このような開口部を筐体に形成すると、開口部を介して筐体内に塵埃が進入し、筐体内の走査光学系を汚してしまう。すなわち、防塵性が低下する。【０００８】  本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、光ビームを検出するための検出部材に熱的ダメージが加わるのを抑制しつつ、防塵性が低下するのも抑制することが可能な光走査装置およびそれを備えた画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  上記目的を達成するために、本発明の光走査装置は、走査光学系とハウジングと検出部材とカバーと検出部材とを備える、走査光学系は、光源から発せられる光ビームにより被走査面上を偏向走査する。ハウジングは、底部および底部から上下方向に立設するハウジング側壁部を有している。ハウジングは、底部およびハウジング側壁部で囲まれた収容領域内に走査光学系を収容する。カバーは、ハウジングの上方側からハウジングに取り付けられることにより収容領域の開口を塞ぐ。検出部材は、収容領域の外側に配置され、光ビームを受光して検出し、被走査面への光走査の開始タイミングを計るための検出信号を出力する。また、ハウジング側壁部の一部分である第１部分には、光ビームを収容領域の内側から外側に射出して検出部材に受光させるための光検出開口部が形成される。そして、光検出開口部は、光ビームを透過する透光性部材で塞がれる。【００１０】  本発明の構成では、上記のように、光ビームを検出するための検出部材を収容領域の外側に配置するので、収容領域内の温度が上昇しても、検出部材に熱的ダメージが加わるのを抑制することができる。また、収容領域の外側に配置された検出部材に光ビームを受光させるため、光ビームを収容領域の内側から外側に射出するための光検出開口部をハウジング側壁部の一部分（第１部分）に形成するが、その光検出開口部は透光性部材で塞ぐので、光検出開口部を介して収容領域内に進入しようとする塵埃の流れは透光性部材により遮断される。これにより、検出部材を収容領域の外側に配置し、それに伴い第１部分に光検出開口部を形成しても、防塵性が低下するのを抑制することができる。
【発明の効果】
【００１１】  以上のように、本発明によれば、光ビームを検出するための検出部材に熱的ダメージが加わるのを抑制しつつ、防塵性が低下するのも抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態による露光装置（光走査装置）が搭載される複合機（画像形成装置）の概略図
【図２】本発明の一実施形態による露光装置の内部構成を説明するための模式図
【図３】本発明の一実施形態による露光装置の筐体の構成を説明するための断面図（ハウジングにカバーが取り付けられる前の状態を示した図）
【図４】本発明の一実施形態による露光装置の筐体の構成を説明するための断面図（ハウジングにカバーが取り付けられた後の状態を示した図）
【図５】本発明の一実施形態による露光装置の筐体を成すハウジングの構成を説明するための斜視図
【図６】本発明の一実施形態による露光装置の筐体を成すハウジングの構成を説明するための平面図
【図７】本発明の一実施形態による露光装置の筐体に形成された光検出開口部およびそれに嵌め込まれた透光性部材を側方から見た場合の拡大図
【図８】本発明の一実施形態による露光装置の筐体に形成された光検出開口部およびそれに嵌め込まれた透光性部材を上方から見た場合の拡大図
【図９】本発明の一実施形態による露光装置の筐体に形成された光検出開口部およびそれに嵌め込まれた透光性部材を側方から見た場合の拡大図（カバーが取り付けられる前の状態を示した図）
【図１０】本発明の一実施形態による露光装置の筐体に形成された光検出開口部およびそれに嵌め込まれた透光性部材を側方から見た場合の拡大図（カバーが取り付けられた後の状態を示した図）
【図１１】本発明の一実施形態による露光装置の筐体に形成された光検出開口部およびそれに嵌め込まれた透光性部材を示した断面図（カバーが取り付けられた後の状態を示した図）
【図１２】本発明の一実施形態による露光装置の筐体に取り付けられる検出部材の取付構造を示した断面図
【発明を実施するための形態】
【００１３】  本発明の一実施形態による光走査装置およびそれを備えた画像形成装置について、複合機を例にとって説明する。＜複合機の全体構成＞  図１に示すように、複合機１００（「画像形成装置」に相当）は、画像読取部１および印刷部２を備える。画像読取部１は、原稿を読み取って画像データを生成する。印刷部２は、用紙搬送路２１に沿って用紙Ｐを搬送するとともに、画像データに基づきトナー像を形成する。そして、印刷部２は、搬送中の用紙Ｐにトナー像を印刷し、印刷済みの用紙Ｐを排出トレイ２２に排出する。
【００１４】  印刷部２は、給紙部３、用紙搬送部４、画像形成部５および定着部６で構成される。給紙部３は、ピックアップローラー３１および給紙ローラー対３２を含み、用紙カセット３３に収容された用紙Ｐを用紙搬送路２１に供給する。用紙搬送部４は、複数の搬送ローラー対４１を含み、用紙搬送路２１に沿って用紙Ｐを搬送する。
【００１５】  画像形成部５は、感光体ドラム５１、帯電装置５２、露光装置５３（「光走査装置」に相当）、現像装置５４、転写ローラー５５およびクリーニング装置５６を含む。
【００１６】  画像形成時には、感光体ドラム５１が回転し、その感光体ドラム５１の表面（「被走査面」に相当）を帯電装置５２が帯電させる。また、露光装置５３は、感光体ドラム５１の表面を露光し、感光体ドラム５１の表面に静電潜像を形成する。現像装置５４は、感光体ドラム５１の表面に形成された静電潜像にトナーを供給して現像する。
【００１７】  転写ローラー５５は、感光体ドラム５１の表面に圧接し、感光体ドラム５１との間で転写ニップを形成する。この転写ニップに用紙Ｐが進入することにより、感光体ドラム５１の表面のトナー像が用紙Ｐに転写される。クリーニング装置５６は、感光体ドラム５１の表面に残留するトナーなどを除去する。
【００１８】  定着部６は、加熱ローラー６１および加圧ローラー６２を含む。加熱ローラー６１は、発熱源を内蔵する。加圧ローラー６２は、加熱ローラー６１に圧接し、加熱ローラー６１との間で定着ニップを形成する。そして、トナー像が転写された用紙Ｐは、定着ニップを通過することにより、加熱および加圧される。これにより、用紙Ｐにトナー像が定着し、印刷が完了する。＜露光装置の構成＞  図２に示すように、露光装置５３は、半導体レーザー素子７１（「光源」に相当）および走査光学系７２を備える。半導体レーザー素子７１は、露光用の光ビームを発する。走査光学系７２は、コリメータレンズ７３、シリンドリカルレンズ７４、ポリゴンミラー７５、Ｆθレンズ７６および反射ミラー７７などを含み、半導体レーザー素子７１から発せられる光ビームにより感光体ドラム５１の表面上を偏向走査する。
【００１９】  コリメータレンズ７３は、半導体レーザー素子７１から発せられる光ビームを平行光に変換する。シリンドリカルレンズ７４は、主走査方向と直交する副走査方向にのみ所定の屈折力を有し、コリメータレンズ７３からの光ビームをポリゴンミラー７５の反射面に結像させる。ポリゴンミラー７５は、反射面を複数有する回転多面鏡であり、ポリゴンモーター７５ａから駆動力が伝達されて回転する。そして、ポリゴンミラー７５は、回転することにより、その反射面に入射した光ビームを偏向走査する。Ｆθレンズ７６は、ポリゴンミラー７５からの光ビームを一定の速度で主走査方向に走査させ、反射ミラー７７に導く。反射ミラー７７は、被走査面である感光体ドラム５１の表面に向かって光ビームを反射する。
【００２０】  また、露光装置５３には、光ビームを検出して検出信号を出力する検出部材７８およびその検出部材７８に向けて光ビームを反射する反射ミラー７９が設けられる。検出部材７８は、フォトダイオードなどの受光素子７８ａ（図１２参照）が実装された基板であり、光ビームを受光することにより検出信号の出力値を変化させる。この検出部材７８から出力される検出信号は、複合機１００の制御部（図示せず）が受ける。そして、複合機１００の制御部は、検出部材７８からの検出信号に基づき、感光体ドラム８１の表面に対する露光開始タイミング（光走査の開始タイミング）を計る。
【００２１】  露光装置５３は、半導体レーザー素子７１や走査光学系７２を保持するため、図３および図４に示すような筐体５０を備える。この筐体５０は、ハウジング８０とカバー９０とで構成される。以下、露光装置５３の上下方向をＡ方向と称して説明する。
【００２２】  ハウジング８０は、底部８１と、その底部８１からＡ方向（上方）に立設する側壁部８２（以下、ハウジング側壁部８２と称する）とを有する。そして、ハウジング８０は、底部８１およびハウジング側壁部８２で囲まれた領域である収容領域８０Ａ内に走査光学系７２を収容する。なお、図示しないが、半導体レーザー素子７１については収容領域８０Ａの内側には収容されず、収容領域８０Ａの外側に配置される。このため、半導体レーザー素子７１から発せられる光ビームは、ハウジング８０に形成された図示しない入光穴を介して収容領域８０Ａ内に入る。
【００２３】  収容領域８０Ａ内に収容される走査光学系７２は底部８１に装着されるが、その底部８１には段差が形成される。このように底部８１に段差を形成する理由は、走査光学系７２を成す各部材のＡ方向の位置を揃えるためである。また、底部８１には、露光装置５３の内部から外部に光ビーム（反射ミラー７７で反射された光ビーム）を射出して感光体ドラム５１の表面に当てるための光射出穴８１ａが形成される。この光射出穴８１ａは、主走査方向を長手方向とする略矩形状に開口した穴であり、透明窓８１ｂによって外側から塞がれる。
【００２４】  カバー９０は、天面部９１と、その天面部９１からＡ方向（下方）に立設する側壁部９２（以下、カバー側壁部９２と称する）とを有する。なお、天面部９１は平坦になっている必要はなく、一部に傾斜や段差が形成されてもよい。たとえば、図３および図４に示す例では、天面部９１の一部（反射ミラー７７側の端部）が下方に凹んでいるが、この凹んだ部分も天面部９１の一部分である。
【００２５】  また、天面部９１のうちカバー側壁部９２よりも内側の部分には、リブ９３が一体的に形成される。リブ９３は、Ａ方向（下方）に壁状に立設し、カバー側壁部９２と間隔を隔てて対向する。なお、カバー側壁部９２は、天面部９１の全周にわたって形成されるが、リブ９３も同様に、天面部９１の全周にわたって形成される。
【００２６】  カバー９０は、ハウジング８０の上方側（収容領域８０Ａの開口側）からハウジング８０に取り付けられる。これにより、収容領域８０Ａがカバー９０によって塞がれる（天面部９１が収容領域８０Ａを覆う）。また、ハウジング８０にカバー９０が取り付けられた状態では、ハウジング側壁部８２よりも外側にカバー側壁部９２が配置され、カバー側壁部９２とリブ９３とによってハウジング側壁部８２が挟み込まれる。このように、カバー側壁部９２とリブ９３とでハウジング側壁部８２が挟み込まれると、収容領域８０Ａ内への塵埃（飛散したトナーなど）の進入が抑制される。すなわち、走査光学系７２が汚れるのを抑制することができる。
【００２７】  ここで、図５および図６に示すように、検出部材７８は、ハウジング８０に保持されるが、収容領域８０Ａの内側には収容されず、収容領域８０Ａの外側に配置される。このため、ハウジング側壁部８２の一部分である第１部分８３には、光ビームを収容領域８０Ａの内側から外側に射出して検出部材７８（受光素子７８ａ）に受光させるための光検出開口部８３ａが形成される。これにより、収容領域８０Ａの外側に検出部材７８を配置しても、検出部材７８に光ビームを受光させることができる。なお、反射ミラー７９は収容領域８０Ａ内に収容されており、反射ミラー７９で反射された光ビームが光検出開口部８３ａを介して検出部材７８に至る。
【００２８】  このように、検出部材７８を収容領域８０Ａの外側に配置し、それに伴って第１部分８３に光検出開口部８３ａを形成した場合、光検出開口部８３ａを開放状態にしておくと、光検出開口部８３ａから収容領域８０Ａ内に塵埃が進入し、走査光学系７２を汚してしまう。そこで、第１部分８３には、光検出開口部８３ａを塞ぐ透光性部材８が取り付けられる。たとえば、透光性部材８は、光ビームを検出部材７８に収束するためのレンズである。ただし、透光性部材８にレンズ機能を持たせる必要はなく、レンズ機能を持たない透明板を透光性部材８として用いてもよい。
【００２９】  図７および図８に示すように、光検出開口部８３ａの開口形状は、第１部分８３の上方側から切り込まれた切欠き形状となっている。また、光検出開口部８３ａの内縁を成す各面には、光検出開口部８３ａの内縁に沿ってスリット８３ｂが形成される。さらに、スリット８３ｂの一方側の内面には、他方側の内面に向かって突出する突起８３ｃが形成される。そして、透光性部材８は、第１部分８３の上方側からスリット８３ｂ内に圧入されることによって、光検出開口部８３ａに嵌め込まれる。これにより、透光性部材８により光検出開口部８３ａが塞がれる。なお、透光性部材８が光検出開口部８３ａに嵌め込まれた状態では、スリット８３ｂの一方側の内面に突起８３ｃが存在することによって、スリット８３ｂの他方側の内面に透光性部材８が密着する。
【００３０】  また、図９および図１０に示すように、天面部９１のうち、光検出開口部８３ａの形成位置に重なる部分には、スポンジなどの弾性材料からなる弾性部材９が配置される。このため、ハウジング８０にカバー９０を取り付けると、透光性部材８と天面部９１との間に弾性部材９が挟み込まれる。すなわち、透光性部材８の上端側に生じる隙間に弾性部材９が入り込む。これにより、光検出開口部８３ａは隙間なく塞がれ、光検出開口部８３ａから収容領域８０Ａ内への塵埃の進入が抑制される。
【００３１】  なお、図１１に示すように、カバー側壁部９２およびリブ９３は、光検出開口部８３ａの形成位置にも存在する。そして、光検出開口部８３ａの形成位置においては、光検出開口部８３ａに嵌め込まれた透光性部材８（弾性部材９も含む）がカバー側壁部９２とリブ９３とによって挟み込まれる。
【００３２】  さらに、図５および図６に示すように、ハウジング側壁部８２には、ポリゴンモーター７５ａに接続されるケーブル（図示せず）を引き出すためのケーブル引出開口部８２ａが形成される。このため、天面部９１のうち、ケーブル引出開口部８２ａの形成位置と重なる部分にも、弾性部材９と同様の弾性部材１０が配置される。そして、その弾性部材１０によって、ケーブル引出開口部８２ａも塞ぐようにしている。
【００３３】  また、光検出開口部８３ａから収容領域８０Ａ内への塵埃の進入をより抑制するため、ハウジング側壁部８２は第２部分８４を一体的に有する。第２部分８４は、第１部分８３の外側において第１部分８３と対向するようＡ方向に壁状に立設し、第１部分８３と共に第１部分８３の外側の一領域を取り囲む。すなわち、第１部分８３の外側の一領域は、第１部分８３と第２部分８４とで取り囲まれ、それによって、収容領域８０Ａと隔離した空間８２Ｓとなっている。このような空間８２Ｓを設けると、第１部分８３の外側の一領域への塵埃の進入が抑制され、結果的に、露光装置５３の外部からの塵埃が光検出開口部８３ａにまで達し難くなる。
【００３４】  第２部分８４は、塵埃の進入を抑制するための部分であるのに加えて、検出部材７８を保持するための部分でもある。このため、図１２に示すように、第２部分８４には、検出部材７８を取り付けるための取付部８５が設けられる。取付部８５は、ボス８５ａおよび受光穴８５ｂを有する。そして、検出部材７８の基板には取付穴７８ｂが形成され、検出部材７８を取付部８５に取り付けるときには、ボス８５ａが取付穴７８ｂに挿入される。また、検出部材７８が取付部８５に取り付けられた状態では、受光素子７８ａと受光穴８５ｂとが重畳する。これにより、受光穴８５ｂを介して、受光素子７８ａに光ビームが入射する。
【００３５】  なお、ボス８５ａが挿入される取付穴７８ａは、Ａ方向と直交する水平方向（図１２の紙面に対して垂直方向）を長手方向とする長穴とされる。また、検出部材７８の基板は、第２部分８４から離間される（第２部分８４に密着していない）。これにより、検出部材７８を水平方向に動かすことができるので、検出部材７８の保持位置を水平方向に調整することが可能となる。
【００３６】  このように検出部材７８の位置調整を可能にした場合、第２部分８４と検出部材７８との間に隙間が空くので、その隙間から受光穴８５ｂを介して空間８２Ｓ内に塵埃が進入することがある。しかし、仮に空間８２Ｓ内に塵埃が進入しても、図１１に示すように、空間８２Ｓと収容領域８０Ａとは第１部分８３で仕切られており、かつ、第１部分８３に形成された光検出開口部８３ａは透光性部材８および弾性部材９で塞がれるので、収容領域８０Ａ内への塵埃の進入は少ない（塵埃の進入はほとんどない）。
【００３７】  本実施形態の露光装置５３（光走査装置）は、上記のように、半導体レーザー素子７１（光源）から発せられる光ビームにより感光体ドラム５１の表面（被走査面）上を偏向走査する走査光学系７２と、底部８１および底部８１からＡ方向（上下方向）に立設するハウジング側壁部８２を有し、底部８１およびハウジング側壁部８２で囲まれた収容領域８０Ａ内に走査光学系７２を収容するハウジング８０と、ハウジング８１の上方側からハウジング８１に取り付けられることにより収容領域８０Ａの開口を塞ぐカバー９０と、収容領域８０Ａの外側に配置され、光ビームを受光して検出し、感光体ドラム５１の表面への光走査の開始タイミングを計るための検出信号を出力する検出部材７８と、を備える。また、ハウジング側壁部８２の一部分である第１部分８３には、光ビームを収容領域８０Ａの内側から外側に射出して検出部材７８に受光させるための光検出開口部８３ａが形成される。そして、光検出開口部８３ａは、光ビームを透過する透光性部材８で塞がれる。
【００３８】  本実施形態の構成では、光ビームを検出するための検出部材７８を収容領域８０Ａの外側に配置するので、収容領域８０Ａ内の温度が上昇しても、検出部材７８に熱的ダメージが加わるのを抑制することができる。また、収容領域８０Ａの外側に配置された検出部材７８に光ビームを受光させるため、光ビームを収容領域８０Ａの内側から外側に射出するための光検出開口部８３ａをハウジング側壁部８２の一部分（第１部分８３）に形成するが、その光検出開口部８３ａは透光性部材８で塞ぐので、光検出開口部８３ａを介して収容領域８０Ａ内に進入しようとする塵埃の流れは透光性部材８により遮断される。これにより、検出部材７８を収容領域８０Ａの外側に配置し、それに伴い第１部分８３に光検出開口部８３ａを形成しても、防塵性が低下するのを抑制することができる。
【００３９】  また、本実施形態では、上記のように、ハウジング側壁部８２は、検出部材７８が取り付けられる第２部分８４を一体的に有する。この第２部分８４は、第１部分８３の外側において第１部分８３と対向するようＡ方向に壁状に立設する。そして、第１部分８３の外側の一領域は、第１部分８３と第２部分８４とで囲まれた空間８２Ｓとなっている。このように構成すれば、第１部分８３の外側の一領域（空間８２Ｓ）は塵埃量が少ない領域となる。これにより、第１部分８３に形成された光検出開口部８３ａにまで達する塵埃が減少するので、光検出開口部８３ａを介して収容領域８０Ａ内に塵埃が進入するのをより抑制することができる。
【００４０】  また、本実施形態では、上記のように、光検出開口部８３ａの開口形状は、第１部分８３の上方側から切り込まれた切欠き形状となっており、透光性部材８は、第１部分８３の上方側から光検出開口部８３ａに嵌め込まれる。そして、透光性部材８とカバー９０との間には、弾性変形可能な弾性部材９が挟み込まれる。このように構成すれば、透光性部材８とカバー９０との間の隙間を弾性部材９によって埋めることができる。これにより、確実に、光検出開口部８３ａを介して収容領域８０Ａ内に塵埃が進入するのを抑制することができる。
【００４１】  また、本実施形態では、上記のように、カバー９０は、収容領域８０Ａの開口を塞ぐ天面部９１と、ハウジング側壁部８２の外側に配置されるよう天面部９１からＡ方向に立設するカバー側壁部９２とを有する。さらに、天面部９１のうちカバー側壁部９２よりも内側の部分には、カバー側壁部９２と間隔を隔てて対向するリブ９３が形成される。そして、カバー側壁部９２とリブ９３とによってハウジング側壁部８２が挟み込まれる。このように構成すれば、ハウジング側壁部８２の上端と天面部９１との間に隙間が空いても、その隙間から収容領域８０Ａ内に塵埃が進入するのを抑制することができる。
【００４２】  ここで、光検出開口部８３ａに嵌め込まれた透光性部材８は、ハウジング側壁部８２と共に収容領域８０Ａを規定する。そして、ハウジング側壁部８２のうち光検出開口部８３ａの形成位置においては、光検出開口部８３ａに嵌め込まれた透光性部材８がカバー側壁部９２とリブ９３とによって挟み込まれる。したがって、収容領域８０Ａの全周にわたって、収容領域８０Ａを規定するハウジング側壁部８２（透光性部材８も含む）がカバー側壁部９２とリブ９３とによって挟み込まれた状態となる。すなわち、収容領域８０Ａの全周にわたって、収容領域８０Ａ内への塵埃の進入を抑制するための構造が設けられた状態となる。
【００４３】  このため、たとえば、収容領域８０Ａ内に仕切板（塵埃の流れを遮断するための壁）などを設け、それによって走査光学系７２への塵埃の付着を抑制する、という対策をとる必要はない。これにより、収容領域８０Ａ内の熱（たとえば、ポリゴンモーター７５ａで発生する熱）が広く拡散するため、局所的な温度上昇を抑制することができる。
【００４４】  また、本実施形態では、上記のように、透光性部材８は、光ビームを検出部材７８の受光素子７８ａに収束するためのレンズである。このように構成すれば、光検出開口部８３ａと検出部材７８との距離を大きくとらなくても、光検出開口部８３ａから射出される光ビームの焦点を受光素子７８ａに合わせることができる。これにより、露光装置５３（ハウジング８０を含む筐体５０）の小型化が可能となる。
【００４５】  今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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