(57)【要約】  スパッタリング成膜が純銅成膜のように変色せず、非活性フラックス処理後であっても良好なはんだ接合性を示す、優れたはんだ濡れ性を有する銅合金成膜を、安価に形成することができるはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットを提供する。  本発明に係るはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットは、銅を主成分とし、銀が１０質量％を超えて２５質量％未満、ニッケルが０．１質量％以上３質量％以下の割合で含有されてなる。この銅合金ターゲットは、密閉可能なチャンバー内を０．０１Ｐａ以下まで真空引きした後に、不活性ガスを導入して該チャンバー内の圧力を５０Ｐａ以上９００００Ｐａ以下として金属材料の溶解及び鋳造を行って製造することが好ましい。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅を主成分とし、銀が１０質量％を超えて２５質量％未満、ニッケルが０．１質量％以上３質量％以下の割合で含有されてなることを特徴とするはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲット。
【請求項２】
含有酸素量が０．５質量ｐｐｍ以上５０質量ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載のはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲット。
【請求項３】
銅を主成分とし、銀が１０質量％を超えて２５質量％未満、ニッケルが０．１質量％以上３質量％以下の割合で含有されてなるはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットの製造方法であって、
密閉可能なチャンバー内を０．０１Ｐａ以下まで真空引きした後に、不活性ガスを導入して該チャンバー内の圧力を５０Ｐａ以上９００００Ｐａ以下として金属材料の溶解及び鋳造を行うことを特徴とするはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットの製造方法。
【請求項４】
前記チャンバー内の圧力を５０Ｐａ以上１００００Ｐａ以下として溶解及び鋳造を行うことを特徴とする請求項３に記載のはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットの製造方法。
【請求項５】
はんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットの含有酸素量が０．５質量ｐｐｍ以上５０質量ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項３又は４に記載のはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電子部品や半導体素子の外部電極等をはんだ接合するために用いる銅合金ターゲットに関し、より詳しくは、電子部品や半導体素子の外部電極等の最外層膜として、はんだ接合するために好適な銅合金膜を形成するために用いるはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電子部品や半導体素子の外部電極等をはんだ接合する場合の接続先の合金は、はんだとの濡れ性が高まるような状態で行われる。【０００３】
例えば、接続部品の骨格を構成する合金がＦｅ−４２質量％Ｎｉ合金（４２アロイ）の場合には、接続面に金めっきを施したり、Ｃｕ−２．４質量％Ｆｅ−０．０３質量％Ｐ−０．１２質量％Ｚｎ（アロイ１９４）の場合には、銀めっき上にさらに錫めっきを施したり、あるいはニッケルめっき上にさらにパラジウムめっきを施したり、銅配線基板の場合には、配線材として純銅や添加量の低い銅合金を用いたりと、いずれもはんだ接合時における溶融はんだとの濡れ性を高める工夫を施している。【０００４】
ところで、電子部品や半導体素子の外部電極をはんだ接合する場合の接続先の合金においても、電極を構成する金属膜の最外層膜は、錫めっき膜や銀スパッタリング成膜であり、あるいは金や銀の蒸着膜となっている。近年、こうした電子部品は小型化が進み、電極膜の厚みも可能な限り薄くしたいとの要求があり、錫めっきから貴金属の中では比較的安価な銀スパッタリング成膜へと製膜材料及び製膜方法が変化している。銀は、酸化しにくくスパッタリングによって容易に薄膜を形成することができ、はんだ濡れ性も非常に良好である。しかしながら、銀は、金属価格が高いため、市場では銀よりも安価な金属でスパッタリング成膜を行いたいとの要求が強い。【０００５】
ところが、金属価格が銀よりも安価な純度９９．９９％銅（以下、「純銅」という）によるスパッタリング成膜は変色しやすく、外観が重要視される場合に問題となるだけでなく、変色が進むとはんだ濡れ性が悪化してしまうという問題がある。例えば特許文献１に開示されているように、変色を抑制するために貴金属を添加した銅合金ターゲットによるスパッタリング成膜を行うと、変色は抑制されるものの、塩素を含まないいわゆる非活性フラックス処理後にはんだ接合を行う場合には、純銅による成膜よりもはんだ濡れ性が劣ってしまうという問題があった。【０００６】
例えば、変色防止と高いはんだ濡れ性を両立させるため、銅に対して金やパラジウムといった貴金属を添加した場合、変色は抑制できるものの、金属価格が高くなるだけで、塩素を含まないいわゆる非活性フラックス処理後にはんだ接合を行う場合には、純銅による成膜よりもはんだ濡れ性が劣ってしまうという問題を解決することができない。【０００７】
また、貴金属として銀を添加する場合には、銀添加銅合金鋳塊を圧延加工するにあたって、加工性を高めるべく８００℃以上に加熱して圧延加工しようすると鋳塊に割れが発生してしまい、一方で、８００℃未満で圧延加工しようとすると変形しにくく、スパッタリングターゲットへ加工するためには鍛造加工と軟化熱処理を交互に複数回行う必要があった。鋳塊からワイヤー放電加工により直接最終製品形状で切り出すことも考えられるが、鋳塊内部には多数の巣が発生しており、そのままではターゲットとして利用することは困難となる。また、鋳塊内部の巣を取り除くために真空溶解や真空鋳造を行うことも考えられるが、真空では銀が溶解炉チャンバー内のチャンバー内壁、覗窓、発振コイル、電極端子等のあらゆる部分へ蒸着してしまうため、作業性、生産性、安全性が著しく悪化してしまうという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−６９５５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上述したような問題点に鑑みてなされたものであり、スパッタリング成膜が純銅成膜のように変色せず、非活性フラックス処理後であっても良好なはんだ接合性を示す、優れたはんだ濡れ性を有する銅合金成膜を、安価に形成することができるはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、上述した課題を解決するために鋭意検討を重ねた。その結果、銅を主成分とするはんだ接合用銅合金ターゲットにおいて、所定の割合で銀を含有させるとともに、所定の割合でニッケルを含有させることによって、変色を抑制することができ、また優れたはんだ濡れ性を示すことを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、以下のものを提供する。【００１１】
（１）本発明の第１の発明は、銅を主成分とし、銀が１０質量％を超えて２５質量％未満、ニッケルが０．１質量％以上３質量％以下の割合で含有されてなることを特徴とするはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットである。【００１２】
（２）本発明の第２の発明は、第１の発明において、含有酸素量が０．５質量ｐｐｍ以上５０質量ｐｐｍ以下であるはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットである。【００１３】
（３）本発明の第３の発明は、銅を主成分とし、銀が１０質量％を超えて２５質量％未満、ニッケルが０．１質量％以上３質量％以下の割合で含有されてなるはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットの製造方法であって、密閉可能なチャンバー内を０．０１Ｐａ以下まで真空引きした後に、不活性ガスを導入して該チャンバー内の圧力を５０Ｐａ以上９００００Ｐａ以下として金属材料の溶解及び鋳造を行うことを特徴とするはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットの製造方法である。【００１４】
（４）本発明の第４の発明は、第３の発明において、前記チャンバー内の圧力を５０Ｐａ以上１００００Ｐａ以下として溶解及び鋳造を行うことをはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットの製造方法である。【００１５】
（５）本発明の第５の発明は、第３又は第４の発明において、はんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットの含有酸素量が０．５質量ｐｐｍ以上５０質量ｐｐｍ以下であるはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットの製造方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係るはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットによれば、１０質量％を超えて２５質量％未満の割合で銀を含有し、かつ０．１質量％以上３質量％以下の割合でニッケルを含有するものであることにより、安価であって、純銅による成膜に比べて酸化変色がなく、良好な外観を有するスパッタリング成膜となる。また、塩素を含まないいわゆる非活性フラックス処理後であっても良好なはんだ接合性を示す、優れたはんだ濡れ性を有する。【００１７】
また、好ましくはターゲット内部の含有酸素量が０．５質量ｐｐｍ以上５０質量ｐｐｍ以下であることにより、脱ガスのためのコストを抑え、かつスパッタリング成膜の濡れ性がより安定化させることができる。【００１８】
また、本発明に係るはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットの製造方法によれば、密閉可能なチャンバー内を０．０１Ｐａ以下まで真空引きした後に、不活性ガスを導入してチャンバー内の圧力を５０Ｐａ以上９００００Ｐａ以下として溶解及び鋳造を行うようにしているため、鋳塊から直接切り出したターゲットであっても鋳造内部欠陥である巣と呼ばれる空洞がほとんどなく、スパッタリング作業時の異常放電が減少する。【００１９】
また、好ましくは５０Ｐａ以上１００００Ｐａ以下のチャンバー内圧力で溶解及び鋳造を行うことにより、ターゲット内部の巣の数がより一層に抑制し、ターゲットの生産収率を安定化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】溶融はんだ浴中へ銅合金を浸漬した場合の接触角（θ）との関係に基づく、その銅合金のはんだ濡れ性の様子を模式的に示す図である。
【図２】スパッタリング成膜された銅合金成膜試料を溶融はんだ浴中に浸漬したときの時間と濡れ力との関係について説明するためのグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明に係るはんだ接合電極成膜用銅合金スパッタリングターゲットの具体的な実施形態（以下、「本実施の形態」という）について詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において種々の変更が可能である。
【００２２】
本実施の形態に係るはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲット（以下、単に「銅合金ターゲット」ともいう）は、銅を主成分として構成される銅合金であり、銀と、ニッケルとを、それぞれ所定の割合で添加成分として含有する。具体的に、この銅合金ターゲットは、銅を主成分として、銀が１０質量％を超えて２５質量％未満の割合で含有され、ニッケルが０．１質量％以上３質量％以下の割合で含有されてなることを特徴としている。なお、主成分とは、その含有割合が５１質量％以上であることをいう。
【００２３】
スパッタリング方式により成膜された電極膜を有する部品に対してはんだ付け処理を行うにあたっては、その部品を含む基板を、１５０℃〜１８０℃程度の高い温度に予備加熱し、その後、２３０℃〜２５０℃程度に加熱された溶融はんだ浴内を搬送通過させることではんだ付けする。ところが、従来の純銅ターゲットによる成膜では、成膜当初は明るく淡い銅色であったものが保管環境によっては薄褐色等に変色し、そのリフロー時における予備加熱等によって表面に酸化被膜が形成されてはんだ濡れ性が著しく低下し、良好にはんだ接合することができない場合があり、プロセス管理も困難となっていた。
【００２４】
これに対して、本実施の形態に係る銅合金ターゲットによれば、上述したように、所定の割合で銀を含有するとともに、所定の割合でニッケルを含有してなることにより、そのスパッタリング成膜は、大気中における酸化等による変色を効果的に抑制することができ、優れた外観を有するようになる。また、このような銅合金ターゲットによる成膜では、例えばリフローはんだ付け処理における高い温度での予備加熱後であっても、安定的に優れたはんだ濡れ性を維持することができ、良好にはんだ接合を行うことができる。
【００２５】
銀の含有量に関して、銅合金ターゲット中の銀の含有量が１０質量％以下であると、スパッタリング成膜が経時変色してしまう場合があり、変色によってははんだ濡れ性が悪化してしまうため、成膜の変色についての品質管理を徹底しなければならない。一方で、銀の含有量が２５質量％以上となると、成膜の変色やはんだ濡れ性には大きな変化はなく、コスト高になるのみであり非効率となる。
【００２６】
本実施の形態に係る銅合金ターゲットは、上述したように、ニッケルを０．１質量％以上３質量％以下の割合で含有する。この銅合金ターゲットによれば、ニッケルを０．１質量％以上３質量％以下の割合で含有することによって、スパッタリング成膜の酸化変色が抑制され、またそのはんだ濡れ性が、例えば塩素を含まないいわゆる非活性フラックス処理後にはんだ接合を行う場合であっても、純銅による成膜と同等以上に良好なはんだ濡れ性を維持することができる。
【００２７】
ニッケルの含有量に関して、銅合金ターゲット中のニッケルの含有量が０．１質量％未満であると、スパッタリング成膜が大気中加熱により酸化変色しやすく、またそのはんだ濡れ性が純銅による成膜と比較して劣り、例えば塩素を含まないいわゆる非活性フラックス処理後にはんだ接合を行う場合には、良好なはんだ接合がなされているかの確認が必要となる。一方で、ニッケルの含有量が３質量％を超えると、塩素を含むいわゆる活性フラックスであっても、はんだ濡れ性は純銅による成膜と比較して著しく劣り、良好なはんだ接合を行うことができない。
【００２８】
ここで、図１に、溶融はんだ浴１１中へスパッタリング成膜された試料（銅合金成膜試料）１０を浸漬した場合の接触角（θ）との関係に基づく、その試料１０における銅合金成膜１０Ａのはんだ濡れ性の様子を模式的に示す。スパッタリング成膜された部品をはんだ接合する場合には、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、溶融はんだ浴に対して接触角が９０度以下（θ≦９０度）になることが必要となる。スパッタリング成膜して出荷した後、はんだ付け作業までに曝露される高温高湿といった環境にもかかわらず変色が発生せず、接触角が安定して９０度未満となるような材料であれば、はんだ付け作業の品質管理が容易になり、はんだ接合の信頼性が向上する。
【００２９】
なお、図１（Ｂ）は、溶融はんだ浴１１に対する銅合金成膜１０Ａの接触角（θ）が９０度（θ＝９０度）となるものであり、この場合、θ＜９０度の場合に比べては若干劣るものの、はんだ濡れ性は良好となる。一方で、図１（Ｃ）は、溶融はんだ浴１１に対する銅合金成膜１０Ａの接触角（θ）が９０度を超える（θ＞９０度）ものであり、この場合には、はんだ濡れ性が不良であると判断される。
【００３０】
また、図２は、スパッタリング成膜された銅合金成膜試料を溶融はんだ浴中に浸漬したときの時間と濡れ力との関係について説明するためのグラフ図である。図２中のゼロクロスタイムや濡れ上がり時間が短いほど、また最大濡れ力が大きいほど、はんだに濡れるまでの時間が短く、また良好なはんだ接合が得られる。ここで、ゼロクロスタイムとは、はんだ浴と成膜との接触角が９０度以下となるまでの時間をいう。
【００３１】
本実施の形態に係る銅合金ターゲットによれば、そのターゲットにより得られる銅合金成膜のゼロクロスタイムが、純度９９．９９％の銅ターゲットによる成膜のゼロクロスタイムと同等かそれよりも早く、優れたはんだ濡れ性を有する。したがって、このような銅合金成膜によれば、良好にはんだ接合を行うことができる。
【００３２】
また、本実施の形態に係る銅合金ターゲットは、その酸素含有量が、０．５質量ｐｐｍ以上５０質量ｐｐｍ以下の範囲であることが好ましい。銅合金ターゲット内の含有酸素量が０．５質量ｐｐｍ未満であっても、スパッタリング成膜の変色やはんだ濡れ性に関して変化はないものの、製造時においてチャンバー内のガス成分除去のための真空引きに時間を要し、またガス成分の液体と固体への溶解度差を利用してガス成分を除去するために銅合金の溶解と凝固とを交互に多数回に亘って行うための時間や電気量が嵩んでしまい非効率となる。一方で、含有酸素量が５０質量ｐｐｍを超えると、スパッタリング成膜のはんだ濡れ性が低下してしまう可能性がある。
【００３３】
本実施の形態に係る銅合金ターゲットは、例えば高周波真空溶解炉等の密閉可能なチャンバー内を真空引きした後に、アルゴンガスや窒素ガス等の不活性ガスを導入して、上述した所定の成分組成となるように金属材料を溶解して銅合金溶湯を作製し、作製した銅合金溶湯を用いて鋳造を行うことによって製造することができる。なお、鋳造処理により得られた鋳塊を、所望とする直径、厚さの円盤状に切り出すことによって、円盤状の銅合金ターゲットを作製することができる。なお、ターゲットの形状は円盤状に限定されない。
【００３４】
このとき、溶解及び鋳造作業を行うに際して、密閉可能なチャンバー内を０．０１Ｐａ以下まで真空引きした後に、不活性ガスを導入してチャンバー内の圧力を５０Ｐａ以上９００００Ｐａ以下として作業することが好ましい。
【００３５】
チャンバー内を０．０１Ｐａ以下まで真空引きすることによって、そのチャンバー内の酸素を可能な限り除去することができ、得られる銅合金ターゲット内の含有酸素量（含有酸素濃度）を低下させることができる。具体的には、銅合金ターゲットの含有酸素量を０．５質量ｐｐｍ以上５０質量ｐｐｍ以下の範囲とすることができ、そのターゲットにより得られる成膜のはんだ濡れ性をより一層に向上させることができる。
【００３６】
また、真空引きした後に、アルゴンガスや窒素ガス等の不活性ガスを導入してチャンバー内の圧力を５０Ｐａ以上９００００Ｐａ以下とし、その圧力下で溶解及び鋳造を行うことによって、チャンバー内で銀を蒸発させることなく、銅合金内に含まれる水素や酸素等のガス成分を除去することができ、鋳造後の鋳塊に発生する巣（鋳造内部欠陥である空洞）の発生を抑制し、銅合金ターゲットを用いたスパッタリング時の異常放電を防止することができる。
【００３７】
不活性ガス導入後のチャンバー内の圧力を５０Ｐａ未満とすると、金属材料の溶解中に、銀がチャンバー内で蒸発して覗窓を曇らせてしまうため作業性が悪くなり、また発振コイルや電極端子等のあらゆる部分に銀が蒸着してしまう可能性があり、銀の歩留まりが低下して生産性が悪化する。一方で、チャンバー内の圧力が９００００Ｐａを超えると、溶解及び鋳造時に銅合金に含まれるガス成分がほとんど除去されず、鋳塊の内部、すなわち銅合金ターゲット内部に巣が多数発生してしまい、スパッタリング時に異常放電が頻発するようになる。
【００３８】
不活性ガス導入後のチャンバー内の圧力に関しては、１００００Ｐａ以下であることがより好ましい。チャンバー内の圧力が１００００Ｐａ以下であれば、原料としてガス成分が多く含まれる電解銅や電解ニッケル、あるいは表面が多少酸化して変色した電解銅を用いた場合であっても、良好にガス成分が除去され、鋳塊内部における巣の発生をより一層に抑制することができ、ターゲットの生産収率を向上させることができる。また、酸素含有量が低減されて、はんだ濡れ性をより向上させることができる。
【実施例】
【００３９】
以下、実施例及び比較例を用いて、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。【００４０】
≪実施例及び比較例≫
＜銅合金ターゲットの製造（製造例１）＞
実施例及び比較例において、下記表１に示すような成分組成となるようにして銅合金溶湯を調製して銅合金試料を製造した。なお、表１に示すように、成分としては、銀、ニッケルをそれぞれ所定の割合で含有する。【００４１】
具体的には、高周波真空溶解炉を用いて、チャンバー内を０．００９Ｐａ以下まで真空引きした後、アルゴンガスを５００Ｐａまで導入し、下記表１に示される成分組成を有する銅合金溶湯を作製し、その圧力下で１０分間保持した後に黒鉛鋳型に鋳込んで鋳塊を作製した。そして、作製した鋳塊を、厚さ５ｍｍ、直径７５ｍｍの円盤状に切り出して銅合金ターゲットとし、以下に示す評価に供した。【００４２】
＜評価＞
作製した銅合金ターゲットを用いてモネル板（Ｎｉ−３４質量％Ｃｕ）にスパッタリング法により成膜し、はんだ濡れ性及びスパッタリング成膜の変色の評価を行った。【００４３】
成膜は、芝浦メカトロニクス株式会社製のスパッタリング装置（型式：ＣＦＳ−４ＥＳ−２）を用いて行った。具体的には、チャンバー内の真空度が１×１０−３Ｐａに到達した後、アルゴンを１５ＳＣＣＭになるように供給しながらスパッタリングを行った。５ｍｍ×０．３ｍｍ×１５ｍｍの短冊状モネル板をターゲットに対向する基板ホルダーへ直立させて固定し、基板ホルダーを公転させてモネル板の全面に０．５μｍ厚で成膜した。【００４４】
はんだ濡れ性の評価は、株式会社レスカ製のソルダーチェッカ（ＳＡＴ−５２００）を使用して評価した。はんだ濡れ性の試験では、フラックスとして、ロジン２５％とイソプロパノール７５％からなる非活性化ロジンフラックスを用いた。また、はんだ浴としては、Ｓｎ−３質量％Ａｇ−０．５質量％Ｃｕを溶解して２４５℃に保持した溶融はんだ浴を用いた。なお、銅合金成膜試料のはんだ浴への浸漬速度は５ｍｍ／ｓ、浸漬深さは２ｍｍ、浸漬時間は１５秒とした。【００４５】
ここで、ソルダーチェッカは、銅合金成膜試料に働く浮力Ｂと表面張力Ｓとの差を濡れ力Ｆ（Ｆ＝Ｓ−Ｂ）とし、その濡れ力Ｆを経時観測するものである。そこで、スパッタリング成膜試料（銅合金成膜試料）のはんだ濡れ性については、はんだ浴と銅合金成膜との接触角が９０度以下となるまでの時間、いわゆるゼロクロスタイムで評価し、純度９９．９９％の銅ターゲットによる成膜のゼロクロスタイムと同じかそれよりも早い場合を『良』、遅い場合を『不良』として評価した。【００４６】
なお、図２のグラフ図に示したように、ゼロクロスタイムとは、はんだ浴と銅合金成膜との接触角が９０度以下となるまでの時間をいい、このゼロクロスタイムが短いほど、濡れ性が良好であって、またはんだ接合を短時間で行うことができることを意味する。【００４７】
変色の評価は、肉眼により行い、成膜時の色を基準として色の濃い順に、４Ｎ純度銅を大気中１５０℃で加熱した酸化銅の色である暗橙色を『５』、酸化していない４Ｎ純度銅成膜の色を『３』、成膜時の淡い銅色のような色を『１』、それぞれの中間を『４』、『２』として、５色の中から最も近い色を判定した。また、変色は、成膜直後（非加熱外観色）と、大気中１５０℃の温度で１０分間加熱後（加熱後外観色）との２つの段階基準で評価した。【００４８】
＜結果＞
下記表１に、はんだ濡れ性の評価結果及び変色の評価結果を示す。なお、表１には、上述したように、各実施例、比較例における銅合金の成分組成についても併せて示す。また、２０１４年の平均金属価格として銅を０．７円／ｇ、銀を６６．４円／ｇ、ニッケルを１．８円／ｇとして計算した１ｇあたりの合金価格を示した。【００４９】
【表１】
2016072297.tif 000003
【００５０】
表１の結果に示すように、実施例１〜９では、はんだ濡れ性は良好であり、合金価格は安価であった。また、このうち、実施例１、実施例２にて製造した銅合金ターゲットについて、不活性ガス融解−赤外線検出法、いわゆるＬＥＣＯによる酸素濃度測定を行ったところ、実施例１、実施例２のターゲットの含有酸素量はそれぞれ、３質量ｐｐｍ、１質量ｐｐｍであり、０．５質量ｐｐｍ以上５０質量ｐｐｍの範囲内であった。【００５１】
一方で、比較例１、２、４〜６では、合金価格は安価に抑えられたものの、はんだ濡れ性は不良であった。また、比較例１では、加熱後に成膜の変色が認められた。また、比較例３では、はんだ濡れ性は良好であったものの、合金価格は２３．７円／ｇとなり非常に高くなった。また、比較例４では、上述のように、合金価格は安価であったものの、はんだ濡れ性が不良になったとともに、成膜の変色が認められた。【００５２】
≪製造例（参照例）２〜４≫
＜製造例２＞
参照に製造例２として、実施例１の銅合金ターゲットと同様の組成で、チャンバー内を真空引きのままとして溶解を行った。なお、その他の条件は実施例１と同様とした。【００５３】
その結果、チャンバーの覗窓内側に銀が付着して急速に曇り、チャンバー内部の観察ができなくなり作業を継続することができなかった。冷却後にチャンバー内を観察したところ、チャンバー内壁のみならず発振コイルや電極端子等のあらゆる部分へ銀が付着しており、不安全な状態となっていた。なお、この溶解時の真空度は０．４Ｐａであった。【００５４】
＜製造例３＞
また、製造例３として、実施例１の銅合金ターゲットと同様の組成で、チャンバー内の圧力を大気圧とほぼ等しい１０００００Ｐａとして鋳造を行った。なお、その他の条件は実施例１と同様とした。【００５５】
その結果、鋳塊内部に多数の巣が発生し、そのままではターゲットとして利用することは困難な状態であった。なお、チャンバー内の圧力を５０００Ｐａとして鋳造を行ったところ、鋳塊内部の巣はほぼゼロであった。【００５６】
＜製造例４＞
また、製造例４として、実施例１の銅合金ターゲットと同様の組成で、チャンバー内を５０００Ｐａまで真空引きしたところでチャンバーを密閉し、その後アルゴンガスを導入し、溶解及び鋳造を行った。なお、その他の条件は実施例１と同様とした。【００５７】
このようにして製造した銅合金ターゲットについて、ＬＥＣＯによる酸素濃度測定を行ったところ、そのターゲットの含有酸素量は５０質量ｐｐｍを超え、はんだ濡れ性も不良であった。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本実施の形態に係るはんだ接合電極成膜用銅合金ターゲットによれば、例えば１５０℃程度に加熱されても外観色の変化を効果的に抑制することができ、視覚的に良好な外観を有する成膜を形成することができ、外観が重要視される場合のはんだ接合用合金ターゲットとして特に好ましい。また、加熱前後のはんだ濡れ性が高く維持されるため、はんだ接合の作業性が容易で、信頼性も高くなる。さらに、金、パラジウム、銀よりも金属価格が安価であり、電子部品業界での利用価値は極めて大きい。
【符号の説明】
【００５９】
１０    （銅合金成膜）試料
１０Ａ  成膜（銅合金成膜）
１１    溶融はんだ浴
【図１】
2016072297.tif 000004
【図２】
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【国際調査報告】
2016072297.tif 000006
2016072297.tif 000007