(57)【要約】  Ｏリングと比較してコスト面において有利であり、様々な寸法・形状の基板治具に対応可能な基板めっき治具用パッキン及び該基板めっき治具用パッキンを利用した基板めっき治具の提供をその課題とし、めっき治具に取り付けられ、基板に通電するための通電部材と該通電部材が接する基板表面部分をめっき液からシールするためのめっき治具用パッキンであって、長尺有端状の弾性部材からなるパッキン本体と、該パッキン本体の両端部の接続端を互いに接続固定して無端状とするための接続部材とを備え、該接続部材は、軸部と、該軸部より所定の角度で突出して設けられた複数のフックからなり、パッキン本体の両方の接続端を連接するとき、該接続部材は連接された接続端のつなぎ目にまたがって所定の範囲で該つなぎ目から双方のパッキン本体内に延伸するように内設されることを特徴とする基板めっき治具用パッキンおよびそれを利用する基板めっき治具。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき治具に取り付けられ、基板に通電するための通電部材と該通電部材が接する基板表面部分をめっき液からシールするための基板めっき治具用パッキンであって、長尺有端状の弾性部材からなるパッキン本体と、該パッキン本体の両端部の接続端を互いに連接して無端状とするための接続部材とを備え、該接続部材は、軸部と、該軸部の両側もしくは片側一方へ所定の角度で突出して設けられた複数のフックからなり、パッキン本体の両方の接続端を連接するとき、該接続部材は連接された接続端のつなぎ目にまたがって所定の範囲で接続端から双方のパッキン本体内に延伸するように内設されることを特徴とする基板めっき治具用パッキン。
【請求項２】
前記フックは、前記軸部より３０°〜９０°の範囲の角度で突出するように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板めっき治具用パッキン。
【請求項３】
前記パッキン本体が空芯部を有するチューブ状であることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の基板めっき治具用パッキン。
【請求項４】
前記パッキン本体がチューブ状であって、前記接続部材の軸部は該パッキン本体の空芯部内に収容されるとともに、前記フックの先端側が空芯部の内壁に食い込み、もしくは刺さることにより係止していることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の基板めっき治具用パッキン。
【請求項５】
上面に基板収容部を備えた基板ホルダと、基板の被めっき面を露出させる開口を備え、基板ホルダとともに基板を挟み込んで保持する基板押さえ部と、基板ホルダに対して基板押さえ部を圧接状態で固定するための固定手段を備えた基板めっき治具であって、基板押さえ部の裏面に凹設された溝部に請求項１ないし４のいずれかに記載のパッキンが一部を溝部から露出するように挿設され、基板押さえ部が基板支持部に対して圧接状態にて固定されることにより、パッキンの溝部から露出した部分が基板表面と基板ホルダの上面に圧接され、基板の周縁部および基板収容部の周囲における通電部材が設けられた部分をめっき液よりシールすることを特徴とする基板めっき治具。
【請求項６】
上面に基板収容部を備えた基板ホルダと、基板の被めっき面を露出させる開口を備え、基板ホルダとともに基板を挟み込んで保持する基板押さえ部と、基板ホルダに対して基板押さえ部を圧接状態で固定するための固定手段を備えた基板めっき治具であって、基板押さえ部の裏面および基板支持部の上面に凹設された溝部に請求項１ないし４のいずれかに記載のパッキンが一部を溝部から露出するようにそれぞれ挿設され、基板押さえ部が基板支持部に対して圧接状態にて固定されることにより、パッキンの一部が基板表面と基板押さえ部の裏面に圧接され、基板の周縁部および基板収容部の周囲における通電部材が設けられた部分をめっき液よりシールすることを特徴とする基板めっき治具。
【請求項７】
前記パッキンが１箇所の前記溝部につき上下２段に設けられていることを特徴とする請求項５または６のいずれかに記載の基板めっき治具。
【請求項８】
前記上下２段に設けられたパッキンのいずれか一方が空芯部を有するチューブ状のパッキンであり、他方が空芯部を有さないヒモ状のパッキンであることを特徴とする請求項７に記載の基板めっき治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板のめっき処理に使用されるめっき治具用のパッキン及びそれを利用するめっき治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に電解めっき法で使用されるめっき治具は、半導体ウェーハ等の基板をその周縁部分で通電部材が接する部分をシールするとともに、基板表面もしくは表裏両面の被めっき処理面を露出させて着脱自在に保持する基板ホルダを備え、この基板ホルダを基板ごとめっき液中に浸漬して基板の被めっき処理面のめっきを行うようにしている。【０００３】
このように、基板ホルダを基板ごとめっき液中に浸漬する場合、基板に通電するための通電部材と該通電部材が接する基板表面部分をめっき液から保護すべく、基板ホルダの内外周に沿って環状にシール部材によるパッキンを設け、通電部材が設けられた領域をシールすることが行われている。【０００４】
かかるパッキンとしては、下記の各特許文献でも開示されているように、リング状に型成形された無端状の弾性部材、いわゆるＯリングが一般的に用いられている。このＯリングは、例えば、特許文献１に開示された治具においては、基板ホルダの基板押さえ部の裏面に２重の同心円状に配設され、基板押さえ部と支持部により基板を挟持したときに、基板の表面と基板支持部の上面に圧接するように設けられている。また、特許文献２に開示された治具では、基板ホルダの基板押さえ部の裏面と基板支持部の上面にそれぞれＯリングが配設され、基板押さえ部と支持部により基板を挟持したときに、基板の表面と基板押さえ部の裏面に圧接するように設けられている。このように、これらの２重に配設されたＯリングが基板の表面と基板支持部の上面、もしくは基板の表面と基板押さえ部の裏面に圧接されることにより、内側と外側のリングに挟まれた領域がめっき液の浸入からシールされる。その結果、基板表面の周縁部分で通電部材が接する部分と、基板支持部の通電部材が設けられた部分がめっき液から保護される。【０００５】
ところで、かかる成形Ｏリングをシール部材として使用する場合、以下のような問題があった。すなわち、被めっき基板の多様な寸法・形状に伴い、基板ホルダの内外周の寸法もまちまちであり、かかる寸法・形状の違う治具ごとにＯリングを成形することによるコスト高の問題があった。また、めっき薬品には様々な組成があるが、その組成に応じてＯリングの耐薬品性も異なるため、１種類のＯリングでは対応が困難な場合があった。【０００６】
そこで、かかる無端のＯリングのシール部材の代わりに、製造コストも低廉で、種類も豊富な有端状の弾性部材を用いて、かかる部材の両端部を接続することによりＯリングのような無端状シール部材とすることが考えられる。【０００７】
しかしながら、基板めっき治具は基板を挟持する際に基板支持部に対して基板押さえ部を圧接状態にて固定し、めっき基板の着脱の際にはかかる圧接を解除するため、そのたびにシール部材端部の接続部分における押圧および押圧の開放が繰り返されることになり、接続した端部における固定を適切に行わなければ、接続部分のつなぎ目に隙間や段差が生じるなどして、シール効果が損なわれる可能性があった。【０００８】
【特許文献１】特開２００３−２２６９９７
【特許文献２】特開２００３−３０１２９９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで本発明は、従来の基板めっき治具用パッキン及びそれを利用した基板めっき治具のかかる欠点を克服し、従来のＯリングと同等のシール効果が得られるとともに、Ｏリングと比較してコスト面において有利であり、さらに、様々な寸法・形状の基板治具に対応可能であり、また、めっき薬品の組成に応じて適宜交換可能な基板めっき治具用パッキン及び該パッキンを利用した基板めっき治具の提供をその課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するものであり、めっき治具に取り付けられ、基板に通電するための通電部材と該通電部材が接する基板表面部分をめっき液からシールするための基板めっき治具用パッキンであって、長尺有端状の弾性部材からなるパッキン本体と、該パッキン本体の両端部の接続端を互いに連接して無端状とするための接続部材とを備え、該接続部材は、軸部と、該軸部の両側もしくは片側一方へ所定の角度で突出して設けられた複数のフックからなり、パッキン本体の両方の接続端を連接するとき、該接続部材は連接された接続端のつなぎ目にまたがって所定の範囲で接続端から双方のパッキン本体内に延伸するように内設されることを特徴とする基板めっき治具用パッキンである。【００１１】
また本発明は、上面に基板収容部を備えた基板ホルダと、基板の被めっき面を露出させる開口を備え、該基板ホルダとともに基板を挟み込んで保持する基板押さえ部と、基板ホルダに対して基板押さえ部を圧接状態で固定するための固定手段を有し、基板押さえ部の裏面（および基板支持部の上面）に凹設された溝部に本発明にかかるパッキンが一部を溝部から露出するように挿設され、基板押さえ部が基板支持部に対して圧接状態にて固定されることにより、パッキンの溝部から露出した部分が基板表面と基板ホルダの上面（もしくは基板押さえ部の裏面）に圧接され、基板の周縁部および基板収容部の周囲における通電部材が設けられた部分をめっき液よりシールすることを特徴とする基板めっき治具である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の基板めっき治具用パッキンは、有端状のパッキン本体の両接続端を接続部材により連接して無端状態とするため、パッキン本体の長さを適宜調整することができ、めっき処理される基板のサイズや形状並びに基板を保持する基板押さえ部のサイズや形状に合わせた無端状のパッキンを形成することができる。【００１３】
また、本発明の基板めっき治具用パッキンは、成形Ｏリングとは異なり押出成形された弾性部材を利用可能なため、製造コストも低廉である。【００１４】
また、本発明の基板めっき治具用パッキンの素材として利用可能な既成の有端のヒモ状あるいはチューブ状部材は、耐薬品性の素材種類が豊富なため、めっき液の組成に応じて適宜好ましい耐薬品性の部材を選択することが可能であり、さらに、弾性力の種類も豊富なため、めっき治具に応じて適宜好ましい弾性力の部材を選択することが可能である。【００１５】
さらに、本発明の基板めっき治具用パッキンを利用するめっき治具は、従来のＯリングによるパッキンと同様のシール効果により、基板の周縁部および基板収容部の周囲における通電部材が設けられた部分をめっき液より保護することができる。【００１６】
また、本発明の基板めっき治具用パッキンを利用するめっき治具でパッキンを上下２段に設けたものは、上段と下段において異なる素材種類のパッキンを適宜選択することができ、これにより、より高いシール効果を得られる弾性強度を実現し、または、めっき液の組成に応じた耐薬品性を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明のめっき治具用パッキンの接続部材の平面図。
【図２】（ａ）本発明のめっき治具用パッキンの接続端を接続部材により連接した状態を示す水平断面図。（ｂ）本発明の別態様のめっき治具用パッキンの接続端を接続部材により連接した状態を示す水平断面図。（ｃ）本発明の別態様のめっき治具用パッキンの接続端を接続部材により連接した状態を示す水平断面図。
【図３】（ａ）本発明のめっき治具用パッキンの接続端を接続部材により接続固定する手順を示す平面図。（ｂ）本発明のめっき治具用パッキンの接続端を接続部材により接続固定する手順を示す平面図。（ｃ）本発明のめっき治具用パッキンの接続端を接続部材により接続固定する手順を示す平面図。
【図４】本発明のめっき治具用パッキンを備えためっき治具の平面図。
【図５】本発明のめっき治具用パッキンを備えためっき治具の部分断面図。
【図６】（ａ）本発明のめっき治具用パッキンが治具に取り付けられた状態を示す部分断面図。（ｂ）  本発明のめっき治具用パッキンが治具に取り付けられた状態を示す部分断面図。（ｃ）本発明のめっき治具用パッキンが治具に取り付けられた状態を示す部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明のめっき治具用パッキン及びそれを利用するめっき治具の実施態様を、図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明はこれら実施態様に何ら制約されるものではない。
【００１９】
本発明のパッキンは、長尺有端状の弾性材からなるチューブ状もしくはヒモ状に形成されたパッキン本体１と、パッキン本体１の両端部（以下、「接続端」という）を連接するための接続部材２からなる。パッキン本体１は、製造コストの面でも有利な押出成形により製造されることが好ましいが、製造方法はこれに限定されない。該パッキン本体１は、その両接続端を接続部材２により互いに接続、固定することにより、無端のリング状や四角形状、またはその他の形状のシール部材として利用することができる。このように、もとは１本の有端部材であるため、適当な長さに切るなどして、両接続端を連接したときのパッキンとしての周方向のサイズを任意に決めることができる。
【００２０】
パッキン本体１は、既成の有端状の弾性材を好適に利用することができ、具体的には、その内部に空芯部を有するチューブ状のものや、内部に空芯部を有さないヒモ状のものが利用可能であるが、接続部材２の取付けの容易さから空芯部を有するチューブ状のものが好ましい。そして、チューブ状の場合、その断面形状は円形が好ましく、ヒモ状の場合、その断面形状は、円形に限らず、楕円形、または四角形をはじめとする多角形状としても良い。
【００２１】
パッキン本体１の材質は、めっき薬品の組成に応じて適宜変更することができ、具体的には、天然ゴムの他にニトリルゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴムなどの合成ゴム、四フッ化エチレンゴム（テフロン（登録商標））、塩化ビニル樹脂等を好適に利用することができる。
【００２２】
図１は接続部材２の平面図である。図に示すように、接続部材２は、棒状もしくは板状に形成された軸部２１と、軸部２１より両側へと突出して設けられた複数のフック２２からなる。フック２２は、軸部２１の両端部２１１において、軸部２１より所定の範囲の角度θに突出して形成されている。かかる角度θの範囲は、３０°〜９０°が好ましく、４５°〜７０°がより好ましい。すなわち、フック２２の突出角度θが最大の場合は、図２（ｂ）に示すように、軸部２１から直角方向に突出し、それ以下の角度の場合は、図１のように軸部２１の端部側から中央側へと折り返して突出する。また、フック２２は、本実施態様のように軸部２１の端部２１１より突出しても良いが、必ずしも端部２１１には限らず、端部２１１付近のやや軸部２１の中央寄りから突出させても良い。さらに、フック２２は本実施態様のように軸部２１より両側へ突出しても良いが、図２（ｃ）の態様のように、軸部２１より片側一方へ突出させても良い。かかる接続部材２の軸部２１における長さはパッキン本体１の外径（変形前の状態における）の２倍〜８倍が好ましく、また、フック２２はパッキン本体１の外径（変形前の状態における）の０．５から〜０．９倍に達する長さが好ましい。
【００２３】
図２は、チューブ状のパッキン本体１の接続端１１を接続部材２により連接した状態を示す水平断面図である。なお、同図において、左右から突き合わされた２つの接続端１１は、ともに同じ１本のパッキン本体１の両端部分である。図に示すように、パッキン本体１の両方の接続端１１は、接続端面を互いに突き合わせるようにして連接される。このとき、接続部材２は、軸部２１がパッキン本体１の軸芯Ｘと略平行状態であり、２つの接続端１１のつなぎ目にまたがって所定の範囲で該接続端１１から双方のパッキン本体１内に延伸するように内設されている。なお、接続端１１から延伸する範囲は、軸部２１の長さにより規定される。
【００２４】
図２の実施態様のように、パッキン本体１がチューブ状に形成されている場合は、接続部材２はパッキン本体１の空芯部１２内に収容される。そして、軸部２１の端部２１１から突出するフック２２の先端側が空芯部１２の内壁１３に食い込み、もしくは刺さっている。このように、軸部２１より所定の角度で突出するフック２２がパッキン本体１の内壁に食い込み、もしくは刺さることにより、接続部材２をパッキン本体１から引き抜く方向に対する抵抗が生じる。その結果、パッキン本体１の両方の接続端１１は、突き合わせ状態で接続固定される。
【００２５】
一方、パッキン本体１が空芯部１２を有さないヒモ状に形成されている場合、接続部材２はパッキン本体１の内部に完全に埋設された状態となる。すなわち、接続部材２はパッキン本体１の軸芯に沿って接続端１１より刺し込み挿入され、接続部材２自体がパッキン本体１の内部に刺さった状態となっている。そして、軸部２１より所定の角度で突出するフック２２もパッキン本体１内にて突き刺さった状態であるため、接続部材２をパッキン本体１から引き抜く方向に対する抵抗が生じ、パッキン本体１の両方の接続端１１は、突き合わせ状態で固定される。
【００２６】
次に、図３により、本発明の接続部材２によるパッキン本体１の接続端１１の接続固定の手順について説明する。まず、パッキン本体１の両方の接続端１１が離間した状態において、一方の接続端１１側から空芯部１２内へ、軸部２１の端部２１１を挿入する（図３ａ）。そして、そのまま軸部２１の挿入を進めて、フック２２部分をさらに空芯部１２内へと挿入する。このとき、チューブ状のパッキン本体１を使用する場合は、接続端１１付近を指で上下から押圧することで潰して、空芯部１２の断面形状が横に広がる楕円形にすることにより、幅の広いフック２２部分を空芯部１２内に容易に挿入できる。  
【００２７】
そして、軸部２１の長さの約半分が挿入されたところで、接続端１１付近の上下からの押圧を開放すると、空芯部１２の断面形状は弾性変形により元の真円形状に戻るため、フック２２が内壁１３に確実に係止する。この状態において、接続部材２は軸部２１の約半分が一方の接続端１１から空芯部１２内に挿入されており、残りの半分は挿入された側の接続端１１より外部へ露出している（図３ｂ）。
【００２８】
次に、接続端１１より外部へ露出する接続部材２の端部２１１側を、パッキン本体１のもう一方の接続端１１側から空芯部１２内へ挿入する。そして、そのまま軸部２１の挿入を進めて、フック２２部分をさらに空芯部１２内へと挿入する。最終的に、双方の接続端１１の接続端面を互いに当接させる位置まで挿入を進め、残りのフック２２を内壁１３に係止させて接続端１１の接続及び固定が完了する（図３ｃ）。この状態において、フック２２はいずれも内壁１３に係止しているため、接続端１１同士が離間する方向への抵抗が生じて接続状態で固定することができる。
【００２９】
また、空芯部を有さないヒモ状のパッキン本体１の接続端１１の接続方法については、基本的にはチューブ状のパッキン本体１と同様の手順による。ただし、チューブ状のものとは異なり、軸部２１やフック２２を挿入可能な空芯部１２を有さないため、軸部２１およびフック２２は接続端１１の端面からパッキン本体１内に刺し込むことにより挿入される。
【００３０】
次に、本発明のパッキンを利用するめっき治具の一実施態様について説明する。なお、本発明のパッキンを利用可能なめっき治具は以下に説明する基板の片面のみにめっき処理を施すタイプのものに限らず、基板の表裏両面に同時にめっき処理を施すタイプを含むその他一般的な基板めっき治具に広く利用することができる。
【００３１】
図４に示すように、本発明のめっき治具３は、上面に基板収容部４１を備えた基板ホルダ４と、該基板ホルダ４に開閉自在に取り付けられ、基板ホルダ４とともに基板を挟み込んで保持する基板押さえ部５と、基板押さえ部５を基板ホルダ４に対して圧接状態にて固定する手段としてのクランプ部材６を備え、基板押さえ部５には本発明のパッキンが取り付けられている。以下、各部材について説明する。
【００３２】
図に示すように、基板ホルダ４は、略正方形に形成された本体部４１と、該本体部４１の上端より上方へ延伸するアーム部４２と、該アーム部４２の上端に水平状態に取り付けられたハンガー部４３からなる。本体部４１の中央には、基板を収容するための収容部４１１が設けられており、該収容部４１１の周囲で、後述する基板押さえ部５のパッキン１によりシールされる領域には、外部電極に通ずる導電体が接続された第一通電部材４１２が４箇所設けられている。
【００３３】
ハンガー部４３は、その両端部がめっき槽の壁面に掛着できるように、本体部４１の幅よりも左右に突出して形成されており、その一部に外部電極端子が設けられている。そして、該外部電極端子には、ハンガー部４３からアーム部４２、本体部４１内を介して第一通電部材４１２に通じる導電体が接続されている。なお、基板に対する給電方法としては、本発明のめっき治具のものに限らず、一般的な方法を適宜採用することができる。
【００３４】
基板押さえ部５は、基板の被めっき面を露出させる角型開口５３を備えた枠部５１と、該枠部５１より基板ホルダ４側へ延伸する取付部５２からなる。枠部５１は、基板を保持したときに基板の周縁部を被覆するように、枠部５１の内寸（開口寸法）が基板外寸より小さく、且つ、枠部５１の外寸が基板外寸より大きくなるように形成されている。かかる基板押さえ部５は、取付部５２において、基板ホルダ４のヒンジ部４４に回動自在に取り付けられ、基板押さえ部５を閉じて基板ホルダ４上に圧接することにより、基板を間に挟み込んで保持することができる。なお、図４は基板押さえ部５が開いた状態を示している。本実施態様のものは、枠部５１が略正方形に形成されているが、枠部の形状はこれに限定されず、基板の形状に応じてリング状やその他の形状としても良い。また、パッキンの長さを決める枠部５１の周方向の長さについても、特に制限はない。
【００３５】
図に示すように、枠部５１の裏面には第二通電部材７が全周に渡って設けられている。かかる第二通電部材７の両側には、本発明にかかるパッキンが枠部５１の内外周に沿って２重に設けられている。これらのパッキン１ａとパッキン１ｂは、枠部５１の裏面に凹設された溝部５１１に、一部が該溝部５１１より露出する形で挿設されている。そして、基板押さえ部５を閉じて基板を挟持したときに、パッキン１ａ、１ｂの露出した部分が基板表面と本体部４１の上面に圧接される。なお、本実施態様では、基板押さえ部５側にパッキンが設けられているが、第二通電部材７の外側に設けられるパッキン１ｂについては、これを基板押さえ部５ではなく基板ホルダ４の本体部４１の上面に設けても良い。
【００３６】
図５は、本発明のめっき治具により基板Ｗを挟持した状態における部分断面図である。図に示すように、基板Ｗは基板ホルダ４の基板収容部４１１上に載置され、基板押さえ部５によって挟持されている。基板ホルダ４と基板押さえ部５は、それらの周壁側から断面略コ字形状のクランプ部材６によって挟み込まれて圧接状態に固定されている。なお、基板ホルダ４と基板押さえ部５との固定手段はこれに限定されず、ボルトなどの締め込みによる固定でも良い。
【００３７】
基板押さえ部５が圧接状態に固定されることにより、基板押さえ部５の裏面の溝部５１１ａから露出したパッキン１ａ部分が基板Ｗの表面に圧接し、さらに、溝部５１１ｂから露出したパッキン１ｂ部分が基板ホルダ４の本体部４１の上面に圧接する。その結果、基板Ｗを基板ホルダ４上にしっかりと保持しつつ、パッキン１ａ、１ｂの間に挟まれた領域、すなわち、基板Ｗの周縁部と、基板収容部４１１の周囲における第一通電部材４１２が設けられた部分、さらに、基板押さえ部５における第二通電部材７をめっき液から確実にシールすることができる。
【００３８】
なお、本発明のパッキンを利用するめっき治具において、パッキン１ｂが圧接する本体部４１の上面部分に、溝部５１１より露出するパッキン１ｂ部分を収容可能な溝部を凹設しても良い。また、パッキン１ｂが圧接する本体部４１の上面部分にさらにパッキンを設け、パッキン同士が当接してシールするようにしても良い。この場合、基板ホルダ４の本体部４１に取り付けられるパッキンは、通常のＯリングでもよいが、本発明にかかるパッキンとしても良い。
【００３９】
また、本発明のパッキンを利用するめっき治具において、基板押さえ部５もしくは基板ホルダ４に取り付けられるパッキンは、図６（ａ）に示すように１箇所の溝部５１１につき１段に設けてもよいが、図６（ｂ）、（ｃ）に示すように、１箇所の溝部５１１につき上下２段に設けても良い。このとき、上下のパッキンは同一のものとしても良いが、上下で異なる種類としても良い。具体的には、例えば、下段のパッキンは空芯部を有さないヒモ状のパッキンとし、上段のパッキンは空芯部を有するチューブ状のものとしても良く（図６ｃ）、あるいは、下段のパッキンは空芯部を有するチューブ状のものとし、上段のパッキンは空芯部を有さないヒモ状のパッキンとしても良い。このように、上下段のいずれか一方をヒモ状のパッキンとし、他方をチューブ状のものとすることにより、同一種類のものを２段にする場合とは異なる固有の弾性強度を実現でき、これにより、シール性の向上を図ることができる。
【００４０】
また、上下２段に設ける場合、上段と下段において同一形状で異なる弾性素材のものとしても良く、上下で異なる耐薬品性を有するものとしても良い。例えば、外部に露出する上部のパッキンは耐薬品性が高いものを使用することは好ましい。さらに、上下段のいずれか一方に本発明にかかる有端のパッキンを用い、他方には無端のＯリング等のパッキンを用いても良い。
【符号の説明】
【００４１】
１  …  …  パッキン本体
２  …  …  接続部材
３  …  …  めっき治具
４  …  …  基板ホルダ
５  …  …  基板押さえ部
６  …  …  クランプ部材
７  …  …  第二通電部材
１１  …  …  接続端
１２  …  …  空芯部
１３  …  …  内壁
２１  …  …  軸部
２２  …  …  フック
４１  …  …  本体部
４２  …  …  アーム部
４３  …  …  ハンガー部
４４  …  …  ヒンジ部
５１  …  …  枠部    
５２  …  …  取付部
５３  …  …  開口部
２１１  …  …  端部
４１１  …  …  収容部
４１２  …  …  第一通電部材
θ  …  …  フックの突出角度
Ｘ  …  …  軸芯
Ｗ  …  …  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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