(57)【要約】  本発明のガラス板は、溶融したガラス原料を溶融金属上で板状に成形するフロート法で成形された、厚さ１．６ｍｍ以下のガラス板であって、前記ガラス板において、成形時に前記溶融金属に接していた表面を第１表面とし、前記第１表面と反対側の表面を第２表面としたとき、少なくとも前記第１表面に脱アルカリ処理による保護被膜が形成されており、５０℃、０．１質量％のフッ酸をエッチング液として用いた場合の前記第２表面のエッチングレートが２ｎｍ／ｍｉｎ以下である。【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融したガラス原料を溶融金属上で板状に成形するフロート法で成形された、厚さ１．６ｍｍ以下のガラス板であって、
前記ガラス板において、成形時に前記溶融金属に接していた表面を第１表面とし、前記第１表面と反対側の表面を第２表面としたとき、少なくとも前記第１表面に脱アルカリ処理による保護被膜が形成されており、
５０℃、０．１質量％のフッ酸をエッチング液として用いた場合の前記第２表面のエッチングレートが２ｎｍ／ｍｉｎ以下である、
ガラス板。
【請求項２】
厚さ１．６ｍｍ以下のガラス板を製造する方法であって、
（Ｉ）溶融したガラス原料を、溶融金属上でガラスリボンへと成形する工程と、
（II）前記溶融金属上の前記ガラスリボンの表面に、フッ素元素（Ｆ）を含む酸と水蒸気を含む表面改質ガスを接触させて、前記ガラスリボンにおいて前記溶融金属と接していた表面と反対側の表面に、５０℃、０．１質量％のフッ酸をエッチング液として用いてエッチングした場合のエッチングレートが２ｎｍ／ｍｉｎ以下である緻密化した脱アルカリ層を形成する工程と、
（III）少なくとも前記溶融金属に接していた前記表面に傷防止のための保護被膜を形成する工程と、
を含む、ガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記フッ素元素（Ｆ）を含む酸は、フッ化水素（ＨＦ）である、
請求項２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記工程（III）の後に、
（IV）アルカリイオン置換による方法を用いて、前記ガラスリボンの切り分けによって得られたガラス板を化学強化する工程、
をさらに含む、請求項２又は３に記載のガラス板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フロート法で製造され、化学強化後の反りが効果的に抑制されたガラス板と、その製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話、スマートフォン及び携帯情報端末（ＰＤＡ）等の携帯機器の画像表示装置には、タッチパネルが組み込まれたり、表面保護のためにカバーガラスが配置されたりしている。タッチパネル及びカバーガラスには、一般に、厚さ１．６ｍｍ以下の薄いガラス板で、化学強化されたものが使用される。薄いガラス板の効果的な化学強化として、一般にアルカリイオン置換による化学強化方法が適用される。【０００３】
フロート法で製造されたガラス板を化学強化したとき、ガラス板に反りが生じる場合がある。従来、この反りは、フロートバスにおいて溶融スズと接触したガラス表面（ボトム面）にスズ成分が浸入することによって形成されるスズ層の影響によるものと考えられていた。すなわち、化学強化後のガラス板の反りは、ボトム面とトップ面（成形時に溶融スズと非接触であったガラス表面）との間に生じる圧縮応力差によって生じると考えられていた。その圧縮応力差は、アルカリイオン置換による化学強化時に、スズ層によってボトム面からのＫ＋イオンの侵入量が抑制され、トップ面からのＫ＋イオンの侵入量よりもボトム面からのＫ＋イオンの侵入量のほうが少なくなることで発生する。【０００４】
特許文献１で提案されているフロートガラスの化学強化方法では、化学強化処理に先立ち、溶融スズと非接触であったトップ面のナトリウムイオン濃度を低減する化学的処理が行われている。この化学的処理により、化学強化処理におけるトップ面でのアルカリイオン置換が制限されるので、トップ面とボトム面とのアルカリイオンの侵入量の差が小さくなり、化学強化後のガラス板の反りが抑制されると考えられている。なお、ここでの化学的処理とは、フロンガス、フッ化水素ガス（ＨＦガス）、亜硫酸ガス（ＳＯ２ガス）等の酸化性ガスをガラス板の表面に吹き付けて、ガラス板表面のナトリウム成分と反応させるものである。【０００５】
一方、従来、ガラスの製造工程、輸送及び加工工程において生じるガラス板の表面の傷を防ぐために、製造工程においてガラス板の表面にＳＯ２ガスを吹き付けることによって、ガラスに含有されるアルカリ成分とＳＯ２ガスとを反応させてガラス表面に硫酸ナトリウム（芒硝）等の保護被膜を形成することが提案されている（特許文献２）。ガラスの製造工程においては、搬送ロールと接触するボトム面の方に傷が生じやすいため、保護被膜は、少なくともボトム面側に十分に形成する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６１−２０５６４１号公報
【特許文献２】国際公開第２００２／０５１７６７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
携帯機器の軽量化の要請に従い、ガラス板の厚さはさらに薄くなっており、化学強化による反りは大きくなりやすい。また、傷品質による要求も厳しくなっていることから、ガラス板の製造工程において、保護被膜による傷の防止はますます重要となっている。特許文献２で提案されているような、傷防止用の保護被膜を形成するための表面処理が施されたガラスに対して、化学強化処理を施した場合、たとえ特許文献１で提案されているような化学的処理を化学強化処理に先立って実施したとしても、反りを十分に抑制できない場合があった。この傾向は厚さ１．６ｍｍ以下の薄いガラス板で顕著に現れる。【０００８】
そこで、本発明は、傷防止用の保護被膜を形成するための表面処理が施されていても、化学強化後の反りが抑制されるガラス板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
ガラス表面に傷防止用の保護被膜を形成するための、ＳＯ２ガスの吹き付けによるガラスの表面処理は、ガラス表面からアルカリ成分を抜き出す処理（脱アルカリ処理）である。本発明者らは、鋭意検討により、化学強化後の反りを抑制するためには、ボトム面のスズ層の影響だけでなく、この脱アルカリ処理による影響を考慮する必要があることを見出した。より詳しくは、本発明者らは、脱アルカリされたガラス表面には脱水縮合によって緻密化した層が形成されることがあり、この緻密化した層がスズ層と同様に化学強化時のアルカリイオン置換に影響を与えることを見出し、緻密化した層の存在に着目して以下の本発明のガラス板に至った。【００１０】
本発明は、
溶融したガラス原料を溶融金属上で板状に成形するフロート法で成形された、厚さ１．６ｍｍ以下のガラス板であって、
前記ガラス板において、成形時に前記溶融金属に接していた表面を第１表面とし、前記第１表面と反対側の表面を第２表面としたとき、少なくとも前記第１表面に脱アルカリ処理による保護被膜が形成されており、
５０℃、０．１質量％のフッ酸をエッチング液として用いた場合の前記第２表面のエッチングレートが２ｎｍ／ｍｉｎ以下である、
ガラス板を提供する。【００１１】
本発明は、さらに、
厚さ１．６ｍｍ以下のガラス板を製造する方法であって、
（Ｉ）溶融したガラス原料を、溶融金属上でガラスリボンへと成形する工程と、
（II）前記溶融金属上の前記ガラスリボンの表面に、フッ素元素（Ｆ）を含む酸と水蒸気を含む表面改質ガスを接触させて、前記ガラスリボンにおいて前記溶融金属と接していた表面と反対側の表面に、５０℃、０．１質量％のフッ酸をエッチング液として用いてエッチングした場合のエッチングレートが２ｎｍ／ｍｉｎ以下である緻密化した脱アルカリ層を形成する工程と、
（III）少なくとも前記溶融金属に接していた前記表面に傷防止のための保護被膜を形成する工程と、
を含む、ガラス板の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のガラス板は、フロート法で成形され、少なくとも第１表面（ボトム面）に脱アルカリ処理がされて保護被膜が形成されており、第２表面（トップ面）のエッチングレートが著しく低い、すなわち、トップ面に著しく緻密化した脱アルカリ層が設けられたガラス板である。本発明のガラス板によれば、ボトム面に傷防止の保護被膜を十分に形成した場合であっても、化学強化後に生じる反りが抑制される。また、本発明のガラス板は、トップ面のエッチングレートが著しく低いことから、ボトム面において、スズや保護被膜を形成したために形成される変質層の影響を低減することができるため、操業上の自由度を確保することが可能である。【００１３】
また、本発明の製造方法では、溶融金属上のガラスリボンの表面（トップ面）に対して、フッ素元素（Ｆ）を含む酸と水蒸気を含む表面改質ガスを接触させて、エッチングレートが著しく低い表面、すなわち緻密化した脱アルカリ層を有するトップ面を形成する。したがって、本発明の製造方法によって製造されるガラス板は、ガラスリボンの溶融金属と接していた表面（ボトム面）に保護被膜が形成されるガラス板であるが、上記の本発明のガラス板と同様、化学強化後に生じる反りが抑制される。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、詳細に説明する。
【００１５】
本実施形態のガラス板は、ガラス板の連続製造方法であるフロート法で成形されたガラス板である。フロート法では、溶融窯（フロート窯）で溶融されたガラス原料がフロートバス内の溶融金属上で板状のガラスリボンに成形され、得られたガラスリボンは、徐冷炉で徐冷された後、所定の大きさのガラス板へと切り分けられる。本実施形態では、溶融金属として溶融スズが用いられる場合について説明する。以下、ガラス板において、フロートバス内での成形工程で溶融スズに接していた表面をボトム面（第１表面）といい、ボトム面と反対側の、溶融スズと非接触の表面をトップ面（第２表面）という。
【００１６】
さらに、本実施形態のガラス板は、少なくともボトム面に対し、傷防止用の保護被膜を形成するための脱アルカリ処理が施されている。ここでいう脱アルカリ処理とは、アルカリ成分と反応する酸化性ガスをガラス板の表面に接触させて、ガラスからアルカリ成分を抜き出すものである。抜き出されたアルカリ成分は酸化性ガスと反応して、その結果、ガラス板の表面に保護被膜が形成される。酸化性ガスとしては、例えば、亜硫酸ガス（ＳＯ２ガス）を用いることができる。ＳＯ２は、ガラスの構成成分との反応によって、ガラス板表面に硫酸ナトリウム等のアルカリ硫酸塩を形成する。このアルカリ硫酸塩が保護被膜となる。ここで用いられる酸化性ガスは、ＳＯ２ガス以外の、ガラス中のアルカリ成分との反応によって保護被膜を形成できるガスであってもよい。また、この酸化性ガスは、キャリアガスとして、空気、窒素、アルゴンなどの不活性ガスを含んでいてもよく、さらに水蒸気を含んでもよい。なお、トップ面に対しても保護被膜が形成されていてもよい。
【００１７】
本実施形態のガラス板は、５０℃、０．１質量％のフッ酸をエッチング液として用いた場合のトップ面のエッチングレートが、２ｎｍ／ｍｉｎ以下である。これは、トップ面に著しく緻密化した脱アルカリ層が形成されていることを意味する。これにより、ボトム面に保護被膜を十分に形成したとしても、化学強化後の反りの少ないガラス板を得ることができる。ボトム面は、フロートバス内で溶融スズに接していた面であるので、表面にスズが侵入してスズ層が形成されている。さらに、ボトム面には、傷防止のための保護被膜を形成するために脱アルカリ層が形成され、これは、場合によっては脱水縮合による比較的緻密な層となる。これらスズ層や緻密化した脱アルカリ層によって、ボトム面表面にはアルカリ成分が低減された変質層が形成されており、化学強化時のアルカリイオン交換に影響を与える。しかし、本実施形態のガラス板は、トップ面が著しく緻密化されている（トップ面に著しく緻密化した脱アルカリ層が形成されている）ため、トップ面における化学強化時のアルカリイオン交換の速度を調節することができ、ボトム面に形成された変質層の影響を低減することができる。トップ面におけるこのような緻密化した層は、例えば、フッ素元素を含む酸と水蒸気を含む表面改質ガスを高温のガラス表面に接触させることで得ることができる。エッチングレートは、表面改質ガスに含まれる酸の濃度や酸と水蒸気の割合、表面改質ガスとの接触温度や接触時間などを調節することによって制御できる。
【００１８】
トップ面の脱アルカリ層は、上述のとおり緻密化した層である。また、ボトム面の脱アルカリ層は、上述のとおり、緻密化した層となることがある。これらの緻密化した層は、脱アルカリに引き続いて起こる緻密化によって形成され得る。脱アルカリによって抜け出たアルカリ成分に代わって、プロトン（Ｈ＋）及びオキソニウムイオン（Ｈ３Ｏ＋）等の種々の状態で、雰囲気中の水分がガラス中に入り込み、脱アルカリされた層にシラノール基（≡Ｓｉ−ＯＨ）が形成される。そして、このシラノール基が脱水縮合することにより、シロキサン結合（≡Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ≡）を形成する。本明細書では、このような脱水縮合によるシロキサン結合が増えた状態を「緻密化した」としている。シロキサン結合が増えたガラス表面はエッチングされにくくなるため、エッチングレートを測定することで、緻密化の度合いがわかる。
【００１９】
トップ面のエッチングレートは１ｎｍ／ｍｉｎ以下であることが望ましい。これにより、化学強化後の反り量をさらに小さく押さえることができる。また、エッチングレートが低すぎると、化学強化の際、目的の強度を得るまでの時間が長くなり、生産性が悪くなる懸念があるため、トップ面のエッチングレートは０．５ｎｍ／ｍｉｎ以上とすることが望ましい。
【００２０】
ガラス板には、一般に化学強化ガラスとして適用されるソーダ石灰ガラスやアルミノケイ酸塩ガラスを用いることができ、その組成は特に限定されない。また、厚さ１．６ｍｍ以下の薄いガラス板において化学強化後の反りが特に発生しやすい。従って、本実施形態のガラス板の厚さは１．６ｍｍ以下である。特に厚さ１．１ｍｍ以下の薄いガラスに本発明を適用した場合に顕著な効果が得られる。
【００２１】
本実施形態のガラス板は、例えば、
（Ｉ）溶融したガラス原料を、溶融スズ（溶融金属）上でガラスリボンへと成形する工程と、
（II）前記溶融金属上の前記ガラスリボンの表面に、フッ素元素（Ｆ）を含む酸と水蒸気を含む表面改質ガスを接触させる工程と、
（III）少なくとも前記溶融金属に接していた表面に傷防止のための保護被膜を形成する工程と、
を含む方法で製造できる。
【００２２】
まず、フロート窯で溶融されたガラス原料（溶融ガラス）は、フロート窯から流れ出て、フロートバスに供給される。フロートバスに供給された溶融ガラスは、フロートバス内で溶融スズ上を広がって板状に成形されてガラスリボンとなる。このガラスリボンは、フロートバス内を進行しながらその厚さが１．６ｍｍ以下となるよう調整される。フロートバス内において、溶融スズ上の高温状態のガラスリボンの表面に、フッ素元素（Ｆ）を含む酸と水蒸気を含む表面改質ガスを接触させて、ガラスリボン表面に著しく緻密化した脱アルカリ層が形成される。
【００２３】
溶融スズ上のガラスリボンの温度はガラス転移点よりも非常に高温であるので、ガラス表面の改質が効果的に行われる。ガラス表面を著しく緻密化するために、表面改質ガスにフッ素元素を含む酸とともに水蒸気が含まれることが重要である。高温のガラスリボンの表面にこの表面改質ガスが接触したとき、ガラス表面におけるアルカリイオンが溶出され、プロトン（Ｈ＋）及びオキソニウムイオン（Ｈ３Ｏ＋）等の種々の状態で、表面改質ガスに含まれる成分がガラス中に入り込む。この後、ガラスに入り込んだ水が脱水縮合によって抜け出し、その際にガラス表面が緻密化される。
【００２４】
表面改質ガスに含まれるフッ素元素を含む酸は、他の酸と比較してガラスを侵食する能力に優れており、フッ化水素（ＨＦ）、ケイフッ化水素酸（Ｈ２ＳｉＦ６）、ＣＣｌ３ＦやＣＣｌ２Ｆ２などのフロンガス類など何でも使用できるが、中でもフッ化水素がよい。フッ化水素はガラスの基本構造であるＳｉ−Ｏ結合を切断するので、水やオキソニウムイオンなどの表面改質ガスの成分がガラス中に入り込みやすい。フッ化水素によるガラスの侵食や再析出などの現象を複雑に生じながら、ガラスに入り込んだ水が脱水縮合反応を起こしながら抜けていくため、ガラス表面が著しく緻密化される。
【００２５】
表面改質ガスにおいて、水蒸気の濃度は、フッ素元素を含む酸の濃度より多いことが望ましく、水蒸気の、酸に対する体積比（水蒸気の体積／酸の体積）は、８以上であることが望ましい。表面改質ガスにおける水蒸気の濃度は８〜８０ｖｏｌ％、フッ素元素を含む酸の濃度は１〜１０ｖｏｌ％であることが望ましい。このような範囲とすることで、より著しく緻密化された脱アルカリ層を形成することができる。なお、表面改質ガスには、フッ素元素を含む酸と水蒸気以外に、窒素ガスやアルゴンガスなどの不活性ガスを含んでもよい。
【００２６】
フロートバス内のガラス温度は非常に高く、ガラスの組成にも依るが、一般的なソーダライムガラスの場合には、６００〜１０５０℃程度である。このような高温のフロートバス内で表面改質処理を行うことは、エネルギー効率の観点から大変有利であり、短時間で、著しく緻密化した脱アルカリ層を形成することが可能である。表面改質ガスを接触させるときのガラス温度は、６００〜７４０℃であることが望ましい。この温度範囲であれば、効率よく、著しく緻密化した脱アルカリ層を形成することができる。
【００２７】
上述のとおり、フロートバス内で表面改質ガスをガラス表面に接触させる場合、非常に高い反応効率であることから、ガラスとの接触時間は、１〜１０秒程度で十分に緻密化した脱アルカリ層を得ることができる。
【００２８】
表面改質ガスは水蒸気を含むため、表面改質ガスがフロートバス内に漏れ出ないように、必要な処理が行われた後は直ちに回収されることが望ましい。従って、フロートバス内で表面改質ガスを接触させる際には、表面改質処理後のガスを回収する機構を備えたガス供給装置を使用することが望ましく、例えば、特表２００１−５０３００５号公報等に記載されるような装置が使用可能である。このような装置を使用する場合の実施形態について、以下に説明する。
【００２９】
フロートバス内において、溶融スズ上のガラスリボンの表面から、所定間隔を隔てて、表面改質ガス供給装置を配置する。このガス供給装置は、複数設置してもよい。ガラスリボンの温度は、ガス供給装置付近で所定温度となるように、フロートバス内に設けた加熱手段や冷却手段で調節される。溶融スズ上を移動するガラスリボン表面に向けて、ガス供給装置に設けられたガス吹き付け手段から表面改質ガスが供給される。表面改質ガスの酸濃度、水蒸気濃度の調節は、それぞれのガスの流量を調節すればよい。ガラスリボン表面に到達した表面改質ガスは、脱アルカリ反応と脱水縮合による緻密化反応を起こしながら、ガラスリボンの表面を流れ、ガス供給装置に設けられたガス回収手段で回収されて、フロートバス外へ排出される。
【００３０】
フロートバスにおいて、トップ面が表面改質されたガラスリボンは、フロートバスから取り出せる程度の粘度を有するように冷却される。冷却されたガラスリボンは、フロートバス下流のローラにより引き上げられて徐冷炉へと搬送される。徐冷炉には脱アルカリ処理用のガス吹き付け用ノズルが設置されている。このノズルは、ガラスリボンのボトム面側のみ、あるいはボトム面とトップ面の両面に酸化性ガスを吹き付けることができるように設置されている。ノズルから吹き付けられるガス量は制御装置によって制御可能となっている。さらに徐冷炉には加熱手段及び冷却手段が設けられており、これにより脱アルカリ処理時の温度が所定の範囲に設定可能となる。徐冷炉内において、酸化性ガスの吹き付け量や処理温度を適宜設定することにより、脱アルカリの度合いを制御することができ、保護被膜の付着量を変化させることができる。このようにして少なくともボトム面に保護被膜が形成されたガラスリボンは、徐冷炉内を進行しながらさらに冷却され、切断装置により、所定の大きさのガラス板へと切り分けられる。
【００３１】
本実施形態のガラス板を化学強化する場合には、上記工程（III）よりも後に、
（IV）アルカリイオン置換による方法を用いて、前記ガラスリボンの切り分けによって要られたガラス板を化学強化する工程、
をさらに実施するとよい。これによって得られる化学強化されたガラス板は反り量が小さく抑えられており、優れた平坦性と高い強度とをともに有する。
【実施例】
【００３２】
以下、本発明について実施例を用いてさらに詳細に説明するが、本発明は、本発明の要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。【００３３】
（実施例１，２）
［ガラス板の製造方法］
フロート法によって、厚さ１．１ｍｍのガラス板を製造した。まず、ガラス組成が、質量％で、ＳｉＯ２：７０．８％、Ａｌ２Ｏ３：１．０％、ＣａＯ：８．５％、ＭｇＯ：５．９％、Ｎａ２Ｏ：１３．２％、Ｋ２Ｏ：０．６％となるように調合した。このガラス原料を溶融し、フロートバスにおいて溶融したガラス原料を溶融スズ上で板状の１．１ｍｍ厚さのガラスリボンに成形した。また、フロートバス内に設けたガス供給装置を用いて、窒素をキャリアガスとし、フッ化水素と水蒸気を含む表面改質ガスを、６６０℃のガラスリボンの表面に向けて供給して、トップ面に脱水縮合により緻密化した脱アルカリ層を形成した。表面改質ガスのガラス表面への接触時間は２．４秒であった。表面改質ガスの酸濃度（フッ化水素濃度）、水蒸気の濃度、及び酸に対する水蒸気の体積比は、表１のとおりである。その後、徐冷炉において、ガラス板のボトム面へＳＯ２ガスを吹き付けて、脱アルカリ処理を施し、保護被膜を形成した。【００３４】
［エッチングレート測定方法］
得られたガラス板のエッチングレートは、５０℃、０．１質量％のフッ酸をエッチング液として用い、このエッチング液にガラス板を浸漬し、一定のエッチング量となったときに要した時間から算出されるエッチングレートで評価された。エッチング量の測定は、エッチング前のガラス板の一部に耐フッ酸性のマスク剤を塗布し、エッチング後に形成される段差を測定することによって行った。段差の測定には、膜厚計（ＫＬＡテンコール社製、「アルファステップ５００」）を用いた。段差が２０ｎｍに達するまでに要した時間を求め、２０ｎｍをこの時間で割り算して、エッチングレートを求めた。エッチングレートの測定結果を表１に示す。なお、ここでの段差２０ｎｍは、ガラス板表面の変質層のエッチングレートのみが測定できるように、すなわち、ガラス板内部のバルク層のエッチングレートの影響を受けないように設定されたものである。具体的には、エッチング時間に対する段差（エッチング深さ）のデータを複数取り、縦軸にエッチング深さを、横軸にエッチング時間をプロットした。プロットされた各点を直線で結んだとき、短時間のプロット間では傾きが小さい直線となり、長時間のプロット間では傾きの大きな直線となり、両者の間に屈曲が現れた。この屈曲が現れるエッチング深さが変質層からバルク層へと組成が変化する深さであると推定されるため、バルク層に到達しないエッチング深さ（ここでは２０ｎｍ）を選択した。【００３５】
［化学強化方法］
ガラス板から、サイズ３７０ｍｍ×４７０ｍｍのサンプルを切り出し、化学強化を行った。まず、これらのサンプルを洗浄し、その後ＫＮＯ３溶融塩に浸漬した。ＫＮＯ３溶融塩の温度を４６０℃とし、浸漬時間を２．５時間とした。サンプルをＫＮＯ３溶融塩から取り出して降温後、洗浄してサンプルに付着したＫＮＯ３を取り除いた。【００３６】
［反り量測定方法］
ガラス板の反り量は、化学強化前と後のそれぞれについて測定した。トップ面を下、ボトム面を上にして、平坦な定盤上に置き、サンプルと定盤との間隔を、サンプルの４つのコーナーと各辺中央部の８ヵ所、隙間ゲージを用いて測定した。この最大値をそのサンプルの反り量とし、１８枚のサンプルについて最大反り量を測定し、これらの平均値をとった。結果を表１に示す。【００３７】
（比較例１，２）
フッ化水素濃度、水蒸気濃度を表１に示すとおりとした点以外は、実施例１，２と同じ方法でガラス板を作製した。なお、比較例２は、フロートバス内でトップ面を改質していない、従来のフロートガラスである。得られたガラス板について、実施例１，２と同様の方法で、エッチングレート測定、化学強化及び反り量測定を行った。結果を表１に示す。【００３８】
【表１】
2014167842.tif 000002
【００３９】
実施例１、２のガラス板は、トップ面のエッチングレートが２ｎｍ／ｍｉｎ以下であり、著しく緻密化されており、化学強化後の反り量が、比較例２の反り量と比べて、およそ１５％以上も低減したことがわかる。また、実施例１は、トップ面のエッチングレートが１ｎｍ／ｍｉｎ以下であり、さらに反り量が低減した。一方、比較例１はエッチングレートが６．５ｎｍ／ｍｉｎであり、化学強化後の反り量は殆ど改善されなかった。【００４０】
以上の実施例および比較例の結果から、トップ面のエッチングレートが２ｎｍ／ｍｉｎ以下であるガラス板は、化学強化後の反りが小さくなることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明のガラス板は、化学強化後の反りが抑制できるので、携帯機器の画像表示装置の表面保護のためのカバーガラス等の、薄さと強度とが要求される用途に好適に利用できる。また、ガラス表面が著しく緻密化されており、ガラス中のアルカリ成分がガラス表面に溶出することを防止できるため、ガラスのやけ防止や、各種機能性薄膜をコーティングした際に薄膜の性能低下を防止することが期待できる。従って、建築用窓ガラスや乗物用ガラス、太陽電池などの光電変換素子用基板ガラスなどの用途にも利用できる。
【国際調査報告】
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