(57)【要約】  複合基板１０は、半導体基板１２と絶縁性の支持基板１４とを貼り合わせたものである。支持基板１４は、同じ材料で作られた第１基板１４ａと第２基板１４ｂとがブレードで剥離可能な強度で接合され、第１基板１４ａのうち第２基板１４ｂとの接合面とは反対側の面で半導体基板１２と貼り合わされている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と絶縁性の支持基板とを貼り合わせた複合基板であって、
前記支持基板は、同じ絶縁材料で作られた第１基板と第２基板とがブレードで剥離可能な強度で接合され、前記第１基板のうち前記第２基板との接合面とは反対側の面で前記半導体基板と貼り合わされた、
複合基板。
【請求項２】
前記第１及び第２基板の材料は、シリコン、サファイア、アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミニウム及び炭化珪素からなる群より選ばれた１種である、
請求項１に記載の複合基板。
【請求項３】
前記第１及び第２基板の材料は、透光性アルミナである、
請求項１又は２に記載の複合基板。
【請求項４】
前記ブレードで剥離可能な強度とは、前記第１及び第２基板の単位面積あたりの結合エネルギーが０．０５〜０．６Ｊ／ｍ2の範囲である、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の複合基板。
【請求項５】
（ａ）請求項１〜４のいずれか１項に記載の複合基板を準備する工程と、
（ｂ）前記複合基板のうち前記半導体基板にＣＭＯＳ半導体構造を形成する工程と、
（ｃ）ブレードで前記第１基板から前記第２基板を剥離して除去する工程と、
（ｄ）前記複合基板をダイシングして半導体デバイスを得る工程と、
を含む半導体デバイスの製法。
【請求項６】
前記工程（ａ）では、前記第１基板と前記第２基板とをブレードで剥離可能な強度で接合して前記支持基板を作製し、その後前記支持基板と前記半導体基板とを接合する工程である、
請求項５に記載の半導体デバイスの製法。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の半導体デバイスの製法によって得られる、半導体デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複合基板、半導体デバイス及び半導体デバイスの製法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路の高速動作且つ低消費電力を実現する一つの手段として、ＳＯＩ技術に代表される複合基板を用いた集積回路技術が挙げられる（例えば特許文献１参照）。こうした複合基板は支持基板と機能層（半導体層）からなる。こうした複合基板の半導体層には単結晶基板を用いることで高品質な機能層とすることができる。一方、支持基板には単結晶のみならず、コスト削減の観点から多結晶基板を用いることも提案されている。こうした複合基板の例として、携帯電話用の高周波部品に用いられるＳＯＩ（Si-on-Insulator）ウエハやＳＯＳ（Si-on-Sapphire）ウエハがあげられる。これら高周波デバイスは、近年の小型化要求に伴い、特にデバイスの低背化が重要とされている。しかし、こうした複合基板を用いる場合、異種材料が接合された構造であるため、ウエハの厚みを薄くすると、反りが発生してしまい、デバイス作成に支障が発生することが知られている。そこで近年では、半導体層に全ての機能を作りこんだ後、支持基板を所望の厚さまで削り込むバックグラインド工程が採用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１２５４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、例えばサファイアの様な硬い材料をグラインディングする場合、砥石の磨耗が激しく、コスト増の要因となる問題があった。【０００５】
本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、半導体デバイスを製造する際のバックグラインド工程を不要にすることを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。【０００７】
本発明の複合基板は、
半導体基板と絶縁性の支持基板とを貼り合わせた複合基板であって、
前記支持基板は、同じ絶縁材料で作られた第１基板と第２基板とがブレードで剥離可能な強度で接合され、前記第１基板のうち前記第２基板との接合面とは反対側の面で前記半導体基板と貼り合わされたものである。【０００８】
本発明の半導体デバイスの製法は、
（ａ）上述した複合基板を準備する工程と、
（ｂ）前記複合基板のうち前記半導体基板にＣＭＯＳ半導体構造を形成する工程と、
（ｃ）ブレードで前記第１基板から前記第２基板を剥離して除去する工程と、
（ｄ）前記複合基板をダイシングして半導体デバイスを得る工程と、
を含むものである。【０００９】
本発明の半導体デバイスは、上述した本発明の半導体デバイスの製法によって得られたものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の複合基板は、支持基板として、同じ絶縁材料で作られた第１基板と第２基板とがブレードで剥離可能な強度で接合されたものである。そのため、第１基板のみを支持基板として使用する場合に比べて、支持基板を厚くすることができる。その結果、温度変化に応じて発生する複合基板の反りを小さく抑えることができるし、複合基板の強度も高くすることができる。また、半導体基板にＣＭＯＳ半導体構造を形成したあとは、ブレードで第１基板から第２基板を剥離して除去すれば、支持基板の厚さを簡単に薄くすることができる。そのため、バックグラインド工程により厚い支持基板を薄くする場合に比べて、低コストで済む。その結果、半導体デバイスにしたときの製造コストが嵩むのを抑えることができる。除去した第２基板は、本発明の複合基板を作製する際に再利用することができるため、その点でもコストを抑えることができる。【００１１】
本発明の半導体デバイスの製法では、上述した本発明の複合基板を準備し、その複合基板のうち半導体基板にＣＭＯＳ半導体構造を形成し、ブレードで第１基板から第２基板を剥離して除去したあとダイシングして半導体デバイスを得る。ＣＭＯＳ半導体構造を形成したあとは、ブレードで第１基板から第２基板を剥離して除去すれば、支持基板の厚さを簡単に薄くすることができる。そのため、バックグラインド工程により厚い支持基板を薄くする場合に比べて、低コストで済む。その結果、半導体デバイスにしたときの製造コストが嵩むのを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】複合基板１０を模式的に示す断面図である。
【図２】複合基板１０の製造工程を模式的に示す断面図である。
【図３】半導体デバイス３０の製造工程を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本実施形態の複合基板１０を模式的に示す断面図である。この複合基板１０は、半導体基板１２と、支持基板１４とを備えている。
【００１４】
半導体基板１２は、半導体構造を製造可能な基板である。この半導体基板１２の材質としては、例えば、シリコンが挙げられ、具体的にはｎ型シリコンやｐ型シリコンが挙げられる。また、ゲルマニウムのほか、ＧａＮやＧａＡｓといった化合物半導体も用いられる。半導体基板１２の大きさは、特に限定するものではないが、例えば、直径が５０〜１５０ｍｍ、厚さが０．２〜５０μｍである。
【００１５】
支持基板１４は、絶縁性の基板であり、半導体基板１２の裏面に直接接合により接合されているか有機接着層を介して接合されている。この支持基板１４は、同じ絶縁材料で作られた第１基板１４ａと第２基板１４ｂとがブレードで剥離可能な強度で直接接合か有機接着層を介して接合されたものである。また、支持基板１４は、第１基板１４ａのうち第２基板１４ｂとの接合面とは反対側の面で、半導体基板１２と貼り合わされている。支持基板１４の材質としては、シリコン、サファイア、アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化珪素などが挙げられる。高周波用途の場合、体積抵抗が高いことが必要とされるため、サファイア、アルミナ、窒化アルミニウムが好ましい。更に、低コスト化が要求される場合には、多結晶アルミナが好ましい。特に半導体基板への直接接合とウエハコストの低減とを両立させ、且つウエハ表面の汚染レベルを低く抑えたい（例えば１０×１０10ａｔｍｓ／ｃｍ2以下）場合には、透光性アルミナが好ましい。透光性アルミナは、高純度で且つ緻密にすることができるからである。また、支持基板１４の大きさは、例えば、直径が５０〜３００ｍｍ、厚さが２００〜１２００μｍである。第１及び第２基板１４ａ，１４ｂの大きさは、例えば、直径が５０〜３００ｍｍ、厚さが１００〜６００μｍである。
【００１６】
次に、こうした複合基板１０を製造する方法について、図２を用いて以下に説明する。図２は、複合基板１０の製造工程を模式的に示す断面図である。
【００１７】
まず、円盤状で同じ絶縁材料からなる第１及び第２基板１４ａ，１４ｂを用意し（図２（ａ）参照）、両基板１４ａ，１４ｂを直接接合により接合して支持基板１４を作製する（図２（ｂ）参照）。両基板１４ａ，１４ｂを直接接合する方法としては、以下の方法が例示される。すなわち、まず、両基板１４ａ，１４ｂの接合面を洗浄し、該接合面に付着している汚れを除去する。次に、両基板１４ａ，１４ｂの接合面にアルゴン等の不活性ガスのイオンビームを照射することで、残留した不純物（酸化膜や吸着物等）を除去すると共に接合面を活性化させる。その後、真空中、常温で両基板１４ａ，１４ｂを貼り合わせる。両基板１４ａ，１４ｂの接合強度は、厚さ１００μｍのブレードを挿入したときに剥離する強度とする。このような強度となるように、接合面の表面粗さ、イオンビームの照射時間、貼り合わせ時の圧力などを実験により決定する。例えば、両基板１４ａ，１４ｂが共にシリコン基板の場合、一般的にシリコンのバルク強度は２〜２．５Ｊ／ｍ2と言われているため、両基板１４ａ，１４ｂのＳｉとＳｉの結合エネルギーをそれより小さい値、例えば０．０５〜０．６Ｊ／ｍ2となるようにする。０．０５Ｊ／ｍ2を下回ると半導体デバイスの製造中に剥離するおそれがあり、０．６Ｊ／ｍ2を上回るとブレードをスムーズに挿入できないおそれがある。両基板１４ａ，１４ｂの接合面の表面粗さＲａが１ｎｍ程度の場合、鏡面同士を接合する際のイオンビームの照射時間を短くすることにより剥離可能な接合強度である０．０５〜０．６Ｊ／ｍ2とすることができる。一方、両基板１４ａ，１４ｂの接合面の表面粗さＲａが１００ｎｍ程度の場合、鏡面同士を接合する際の接合条件と同一とした場合でも、剥離可能な接合強度とすることができる。こうしたイオンビーム照射による接合方法の他に、プラズマ活性化による接合を用いることもできる。例えば両基板の表面に残留する異物を、超音波水洗により除去した後、両基板表面に酸素プラズマ又は窒素プラズマを照射することで、表面を活性化状態とする。この状態にて両基板を貼り合わせることで自発接合面が伝播して接合面を得ることができる。接合エネルギーを容易に剥離できる程度に抑える場合には、接合後の熱処理を実施せず、プラズマによる活性化接合のみを実施した状態にするとよい。
【００１８】
続いて、支持基板１４と半導体基板１２とを接合する（図２（ｃ）参照）。具体的には、支持基板１４のうち第１基板１４ａの表面と半導体基板１２の裏面とを接合する。接合方法は、直接接合でもよいし、有機接着層を介して接合してもよい。直接接合については、既に述べたので、ここではその説明を省略する。但し、接合強度がシリコンのバルク強度２〜２．５Ｊ／ｍ2と同等かそれ以上となるように接合面の表面粗さ、イオンビームの照射時間、貼り合わせ時の圧力などを決定する。有機接着層を介して接合する場合には、まず、支持基板１４の表面及び半導体基板１２の裏面の一方又は両方に有機接着剤を均一に塗布し、両者を重ね合わせた状態で有機接着剤を固化させることにより接合する。以上のようにして、複合基板１０が得られる（図２（ｄ）参照）。直接接合方法はここで示した方法以外に、プラズマを用いたものや、中性原子ビームを用いるなどしてもよく、特に限定されるものではない。
【００１９】
次に、こうした複合基板１０を用いて半導体デバイス３０を作製する方法について、図３を用いて以下に説明する。図３は、半導体デバイス３０の製造工程を模式的に示す断面図である。
【００２０】
まず、複合基板１０を準備する（図３（ａ）参照）。これについては、図２を用いて既に説明したため、ここではその説明を省略する。
【００２１】
次に、複合基板１０のうち半導体基板１２の表面にＣＭＯＳ半導体構造と再配線層を形成する（図３（ｂ）参照）。半導体基板１２の表面は、多数の半導体デバイス３０が形成されるように区画されており、各半導体デバイスに対応する位置にＣＭＯＳ半導体構造と再配線層をフォトリソグラフィ技術を利用して形成する。
【００２２】
次に、厚さ１００μｍのブレードで第１基板１４ａから第２基板１４ｂを剥離して除去する（図３（ｃ）参照）。第２基板１４ｂを剥離したあとの第１基板１４ａの面（剥離面）は、表面粗さＲａが十分小さいため特に研磨する必要はないが、必要に応じて研磨してもよい。また、第１基板１４ａの剥離面には、第１基板１４ａの材質に由来する元素のほかに、直接接合の際に使用した真空チャンバーの材質に由来する元素が含まれる。例えば、真空チャンバーの材質がステンレス鋼の場合には、それに由来するＦｅ元素やＣｒ元素が含まれる。第１基板１４ａから剥離された第２基板１４ｂは、次回複合基板１０を作製するときに再利用することができる。
【００２３】
最後に、区画に沿ってダイシングすることにより、多数の半導体デバイス３０を得る（図３（ｄ）参照）。
【００２４】
以上説明した本実施形態によれば、支持基板１４として、同じ絶縁材料で作られた第１基板１４ａと第２基板１４ｂとが接合されたものを用いたため、第１基板１４ａのみを支持基板１４として使用する場合に比べて、支持基板１４を厚くすることができる。その結果、温度変化に応じて発生する複合基板１０の反りを小さく抑えることができるし、複合基板１０の強度も高くすることができる。また、半導体基板１２にＣＭＯＳ半導体構造と再配線層を形成したあとは、ブレードで第１基板１４ａから第２基板１４ｂを剥離して除去すれば、支持基板１４の厚さを簡単に薄くすること、つまり半導体デバイスの低背化することができる。そのため、支持基板１４と同じ厚さのバルクな支持基板をバックグラインド工程で薄くする場合に比べて、低コストで済む。その結果、半導体デバイス３０の製造コストが嵩むのを抑えることができる。除去した第２基板１４ｂは、次回複合基板１０を作製する際に再利用することができるため、その点でもコストを抑えることができる。
【００２５】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００２６】
例えば、上述した実施形態では、第１及び第２基板１４ａ，１４ｂを直接接合により接合する場合を説明したが、第１及び第２基板１４ａ，１４ｂを有機接着層を介して接合してもよい。例えば、第１及び第２基板１４ａ，１４ｂの接合面の一方又は両方に有機接着剤を均一に塗布し、両者を重ね合わせた状態で有機接着剤（例えばウレタン系、エポキシ系等）を固化させることにより接合する。接合強度は上述した実施形態と同様になるようにする。このようにしても、本発明の効果が得られる。
【実施例】
【００２７】
［実施例１］
本実施例では、透光性アルミナセラミックからなる第１及び第２基板を接合した支持基板を作製し、この支持基板とＳｉ基板とを接合して複合基板を作製し、Ｓｉ基板にＣＭＯＳ半導体構造を形成した。以下、この点を詳説する。【００２８】
まず、透光性アルミナセラミック製のブランク基板を以下の手順で作製した。表１に示す原料粉末、分散媒、ゲル化剤、分散剤及び触媒を混合したスラリーを調製した。α−アルミナ粉末は、比表面積３．５〜４．５ｍ2／ｇ、平均一次粒子径０．３５〜０．４５μｍのものを用いた。このスラリーを、アルミニウム合金製の型に室温で注型の後、室温で１時間放置した。次いで４０℃で３０分放置し、固化を進めてから、離型した。さらに、室温、次いで９０℃の各々にて２時間放置して、板状の粉末成形体を得た。得られた粉末成形体を、大気中１１００℃で仮焼（予備焼成）の後、水素：窒素＝３：１（体積比）の雰囲気中、１７５０℃で焼成を行い、その後、同条件でアニール処理を実施し、直径１５０ｍｍ、厚み１．０ｍｍのブランク基板とした。【００２９】
【表１】
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【００３０】
続いて、２枚のブランク基板を高精度研磨加工を以下の手順で実施した。まず、グリーンカーボンによる両面ラップ加工により形状を整えた後、ダイヤモンドスラリーによる両面ラップ加工を実施した。ダイヤモンドの粒径は３μｍとした。それぞれのブランク基板の厚みは、２００μｍと４５０μｍとした。厚みが２００μｍのブランク基板を第１基板、厚みが４５０μｍのブランク基板を第２基板と称する。第１基板の片面に対して、ＣＭＰによりＲａ＜１ｎｍまで仕上げ加工を実施した。その後、表面の汚染を除去するべく、第１及び第２基板に対して洗浄を実施した。【００３１】
続いて、第１及び第２基板をプラズマ活性化法により直接接合して支持基板とした。まず、第１基板のうちＣＭＰ仕上げ加工を施した面とは反対側の面と第２基板のうち一方の面を、粒径３μｍのダイヤモンドによるラップ面とした。第１及び第２基板を洗浄して表面の汚れを取った後、第１及び第２基板のそれぞれの表面を酸素プラズマ雰囲気に５０秒間さらした。次いで、第１及び第２基板のそれぞれのビーム照射面を接触させるように重ね合わせた後、基板のエッジ部付近を押さえることで自発接合面を伝播させ、総厚み６５０μｍの支持基板を得た。【００３２】
クラックオープニング法を用いて単位面積当たりの結合エネルギーを測定したところ、第１及び第２基板との結合エネルギーは約０．１Ｊ／ｍ2であった。一般的にシリコンのバルク強度が２〜２．５Ｊ／ｍ2と言われており、第１及び第２基板との結合エネルギーはバルク強度より弱く、ブレードによる剥離が可能であることを確認した。なお、クラックオープニング法とは、貼り合わせ界面にブレードを挿入し、進入したブレードの距離で接合界面の表面エネルギーを測る方法である。使用したブレードはフェザー安全剃刀社製の品番９９０７７（刃渡り：約３７ｍｍ、厚さ：０．１ｍｍ，材質：ステンレス鋼）とした。【００３３】
続いて、支持基板のうちＣＭＰ仕上げを施した表面とシリコン基板とを、プラズマ活性化による直接接合により貼り合せ、研磨加工によりシリコン基板を１μｍまで薄板加工し、その後２００℃にアニール処理を行うことでシリコンと透光性アルミナからなる複合基板を得た。この時点での基板の反りは１５０ｍｍ径にて５０μｍであった。これは半導体プロセスに投入しうる反り量であった。【００３４】
この複合基板のうちのシリコン基板にＣＭＯＳ半導体構造と再配線層を形成した。最後に支持基板を構成する第１及び第２基板をブレードにより剥離して第２基板を取り外し、支持基板の厚みを２００μｍとすることで、バックグラインド工程を行うことなく、所望の支持基板の厚みを実現できることを確認した。【００３５】
[比較例１]
本比較例では、透光性アルミナセラミックからなる１枚のブランク基板を支持基板とし、この支持基板とシリコン基板とを接合して複合基板を作製した。具体的には、まず、実施例１と同様にして、直径１５０ｍｍ、厚み４００μｍの透光性アルミナセラミック製のブランク基板を作製し、これにラップ加工及びＣＭＰ加工を施して厚み２００μｍのブランク基板とし、これを支持基板とした。続いて、この支持基板とシリコン基板とをプラズマ活性化による直接接合により貼り合わせ、研磨加工によりシリコン基板を１μｍまで薄板加工し、さらに２００℃にてアニール処理を行い、比較例１の複合基板を得た。この時点での反りを測定したところ、１５０ｍｍ径にて１５０μｍであり、実施例１と比べて大きな反りとなることを確認した。この場合、半導体のリソグラフィー工程にてパターンずれを起こす要因となることが懸念される。【００３６】
本出願は、２０１３年２月１９日に出願された日本国特許出願第２０１３−３０１６１号を優先権主張の基礎としており、引用によりその内容の全てが本明細書に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明の複合基板は、ＳＯＩ基板やＳＯＳ基板として利用可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１０  複合基板、１２  半導体基板、１４  支持基板、３０  半導体デバイス。
【図１】
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【図２】
2014129433.tif 000005
【図３】
2014129433.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成27年8月12日(2015.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と絶縁性の支持基板とを貼り合わせた複合基板であって、
前記支持基板は、同じ絶縁材料で作られた第１基板と第２基板とがブレードで剥離可能な強度で接合され、前記第１基板のうち前記第２基板との接合面とは反対側の面で前記半導体基板と貼り合わされた、
複合基板。
【請求項２】
前記第１及び第２基板の材料は、シリコン、サファイア、アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミニウム及び炭化珪素からなる群より選ばれた１種である、
請求項１に記載の複合基板。
【請求項３】
前記第１及び第２基板の材料は、透光性アルミナである、
請求項１又は２に記載の複合基板。
【請求項４】
前記ブレードで剥離可能な強度とは、前記第１及び第２基板の単位面積あたりの結合エネルギーが０．０５〜０．６Ｊ／ｍ2の範囲である、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の複合基板。
【請求項５】
（ａ）請求項１〜４のいずれか１項に記載の複合基板を準備する工程と、
（ｂ）前記複合基板のうち前記半導体基板にＣＭＯＳ半導体構造を形成する工程と、
（ｃ）ブレードで前記第１基板から前記第２基板を剥離して除去する工程と、
（ｄ）前記複合基板をダイシングして半導体デバイスを得る工程と、
を含む半導体デバイスの製法。
【請求項６】
前記工程（ａ）では、前記第１基板と前記第２基板とをブレードで剥離可能な強度で接合して前記支持基板を作製し、その後前記支持基板と前記半導体基板とを接合する工程である、
請求項５に記載の半導体デバイスの製法。
【国際調査報告】
2014129433.tif 000007
2014129433.tif 000008
2014129433.tif 000009
2014129433.tif 000010