(57)【要約】  外部との接続信頼性の高いモジュールを提供する。  モジュール（１）は、部品（３ａ，３ｂ）が実装される配線基板（２）と、配線基板（２）の一方主面に形成された基板電極（４ａ）と、その一端が基板電極（４ａ）に接続された柱状導体（５ａ）と、柱状導体（５ａ）の外周面を被覆して形成された中間被膜（６）と、配線基板（２）の一方主面および中間被膜（６）を被覆して設けられた第１封止樹脂層（７ａ）とを備え、中間被膜（６）が、柱状導体（５ａ）の線膨張係数と第１封止樹脂層（７ａ）の線膨張係数の間の線膨張係数を有する。このようにすることで、中間被膜（６）により、第１封止樹脂層（７ａ）の膨張・収縮時に柱状導体（５ａ）に働く応力を緩和させるとともに、第１封止樹脂層（７ａ）と柱状導体（５ａ）の界面剥離を防止することができるため、モジュール（１）の外部との接続信頼性が向上する。
2014188760.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品が実装される配線基板と、
前記配線基板の一方主面に形成された基板電極と、
その一端が前記基板電極に接続された柱状導体と、
前記柱状導体の外周面を被覆して形成された中間被膜と、
前記配線基板の一方主面および前記中間被膜を被覆して設けられた封止樹脂層とを備え、
前記中間被膜が、前記柱状導体の線膨張係数と前記封止樹脂層の線膨張係数の間の線膨張係数を有する
ことを特徴とするモジュール。
【請求項２】
前記柱状導体は、前記基板電極との接続面の中心点が、前記基板電極の前記柱状導体との接続面の中心点に対して、所定の方向にずれて配置されていることを特徴とする請求項１に記載のモジュール。
【請求項３】
前記柱状導体の他端が接続されるマザー基板の線膨張係数が前記封止樹脂層の線膨張係数よりも大きい場合に、
前記所定の方向は、前記配線基板の一方主面の中央方向であることを特徴とする請求項２に記載のモジュール。
【請求項４】
前記柱状導体の他端が接続されるマザー基板の線膨張係数が前記封止樹脂層の線膨張係数よりも小さい場合に、
前記所定の方向は、前記配線基板の一方主面の端縁方向であることを特徴とする請求項２に記載のモジュール。
【請求項５】
前記中間被膜が金属からなることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のモジュール。
【請求項６】
前記中間被膜が、前記基板電極の前記柱状導体に対向して接続される接続面のうち、前記柱状導体と接触していない部分も被覆して設けられていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のモジュール。
【請求項７】
前記基板電極の前記接続面の面積が、前記柱状導体の前記基板電極に対向して接続される接続面の面積と略同一であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のモジュール。
【請求項８】
前記柱状導体は、その長さ方向に段差を有することを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のモジュール。
【請求項９】
前記柱状導体は、前記基板電極に接続される一端側の横断面積が、他端側の横断面積よりも大きく形成されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板に接続された外部接続用の柱状導体が樹脂封止されて成るモジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、配線基板に接続された柱状導体を用いて外部と接続するモジュールが知られている。例えば、図１１に示す特許文献１に記載のモジュール１００は、配線基板１０１と、該配線基板１０１の一方主面に形成された複数の基板電極１０２と、各基板電極１０２それぞれに設けられその一端が基板電極１０２に接続された複数の外部接続用の柱状導体１０３と、配線基板１０１の一方主面および各柱状導体１０３を被覆する封止樹脂層１０４と、それぞれ封止樹脂層１０４の表面に設けられ対応する柱状導体１０３の他端に接続された複数の外部電極１０５とを備え、各外部電極１０５を外部のマザー基板等に接続させることで、モジュール１００が外部に接続される。このような構成にすると、配線基板１０１の両主面に部品を実装したり、モジュール１００の配線構造を立体構造にすることができるため、モジュール１００の小型化を図ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１２８７０号公報（段落００１０〜００２８、図１等参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のモジュール１００の構造によると、封止樹脂層１０４が温度変化により膨張・収縮した場合に、各柱状導体１０３に応力が作用して、柱状導体１０３と配線基板１０１との接続部である基板電極１０２と柱状導体１０３の界面や、配線基板１０１と基板電極１０２の界面で剥離が生じて、接続不良になるという問題があった。また、封止樹脂層１０４と柱状導体１０３とは線膨張係数が異なるため、互いの膨張・収縮量の違いから応力が生じて、モジュール１００の温度変化時に両者の界面で剥離が生じる場合がある。このような場合、封止樹脂層１０４の膨張・収縮などにより柱状導体１０３に働く応力が、配線基板１０１と柱状導体１０３との接続部に集中して基板電極１０２と柱状導体１０３の界面や、配線基板１０１と基板電極１０２の界面で剥離が生じやすくなる。また、柱状導体１０３と封止樹脂層１０４との間に剥離が生じると、モジュール１００を外部のマザー基板などに実装したときに、マザー基板とモジュール１００の封止樹脂層１０４の線膨張係数の違いにより柱状導体１０３に働く応力が、配線基板１０１と柱状導体１０３との接続部に集中して、同様に、基板電極１０２と柱状導体１０３の界面や、配線基板１０１と基板電極１０２の界面で剥離が生じるおそれがある。【０００５】
また、配線基板１０１と柱状導体１０３の接続部おいては、柱状導体１０３と基板電極１０２とが金属同士の結合であるのに対して、配線基板１０１がセラミックやガラスエポキシ樹脂で形成されている場合は、配線基板１０１と基板電極１０２とが異種材料同士の結合となるため、配線基板１０１と基板電極１０２の密着強度は、柱状導体１０３と基板電極１０２の密着強度よりも弱い。したがって、柱状導体１０３に応力が働くと、配線基板１０１と柱状導体１０３との接続部において、配線基板１０１と基板電極１０２との界面で剥がれが生じる場合が多い。そこで、基板電極１０２の平面視での面積を大きくすることにより、基板電極１０２の配線基板１０１との接触面積を増やして配線基板１０１と基板電極１０２との密着強度を向上させることが考えられるが、近年のモジュールの小型化に伴って、基板電極１０２の小型・狭ピッチ化が要求されているため、基板電極１０２のサイズを大きくするのにも限界がある。【０００６】
本発明は、上記した課題に鑑みてなされたものであり、外部との接続信頼性の高いモジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記した目的を達成するために、本発明のモジュールは、部品が実装される配線基板と、前記配線基板の一方主面に形成された基板電極と、その一端が前記基板電極に接続された柱状導体と、前記柱状導体の外周面を被覆して形成された中間被膜と、前記配線基板の一方主面および前記中間被膜を被覆して設けられた封止樹脂層とを備え、前記中間被膜が、前記柱状導体の線膨張係数と前記封止樹脂層の線膨張係数の間の線膨張係数を有することを特徴としている。【０００８】
このように構成すると、封止樹脂層と柱状導体との間に中間被膜が介在するため、例えば、モジュールを外部のマザー基板などに実装したときに、マザー基板とモジュールの封止樹脂層の線膨張係数の違い（膨張・収縮量の差）により柱状導体に応力が働く場合に、中間被膜が応力緩和材として機能して、柱状導体に働く応力を緩和することができる。そのため、柱状導体に働く応力により、柱状導体と配線基板との接続部で、配線基板と基板電極の界面や、基板電極と柱状導体の界面で剥離が生じるのを防止することができる。また、中間被膜が、柱状導体の線膨張係数と封止樹脂層の線膨張係数の間の線膨張係数を有するため、柱状導体が中間被膜を介さずに封止樹脂層で封止される従来のモジュールと比較して、柱状導体と中間被膜間、および、中間被膜と封止樹脂層間それぞれの線膨張係数の差が小さくなり、温度変化時の膨張・収縮量の違いから生じる、両界面に働く応力を低減することができる。そうすると、柱状導体と中間被膜間の界面剥離並びに中間被膜と封止樹脂層間の界面剥離がしにくくなるため、柱状導体の側面は中間被膜を介して封止樹脂層により保持される。【０００９】
ところで、モジュールをマザー基板などに実装したときに、マザー基板とモジュールの封止樹脂層の線膨張係数の違い（膨張・収縮量の差）により柱状導体に応力が働く場合、柱状導体の側面が封止樹脂層から剥離して保持されていないと、その応力は柱状導体と配線基板との接続部に集中する。柱状導体の側面が封止樹脂層に保持されていると、応力は柱状導体と封止樹脂層の界面にも分散する。このため、従来のモジュールのように、柱状導体と封止樹脂層の界面剥離により、柱状導体に働く応力が配線基板と柱状導体との接続部に集中するのを防止することができ、これにより、配線基板と基板電極の界面剥離および基板電極と柱状導体の界面剥離を防止することができる。以上により、外部との接続信頼性の高いモジュールを提供することができる。【００１０】
また、前記柱状導体は、前記基板電極との接続面の中心点が、前記基板電極の前記柱状導体との接続面の中心点に対して、所定の方向にずれて配置されていてもよい。柱状導体に応力が働いた場合、配線基板と柱状導体との接続部においてその応力が最も強い箇所は、柱状導体の基板電極に対向して接続される接続面（一端側の端面）、特に、接続面の周縁である。また、基板電極と柱状導体は金属同士の結合であるのに対して、配線基板と基板電極は異種材料同士の結合であるため、配線基板と基板電極との密着強度は、柱状導体と基板電極の密着強度よりも低い。したがって、柱状導体の一端側の端面の周縁と、配線基板と基板電極の界面剥離の基点となる配線基板と基板電極の接触する部分の周縁とが近いと、強い応力が働いて、配線基板と基板電極の界面で剥離が生じるおそれがある。そこで、配線基板と基板電極とが接触する部分の周縁と柱状導体の基板電極との接続面の周縁部とが離れるように、柱状導体の基板電極との接続面の中心点と基板電極の柱状導体との接続面の中心点とをずらして配置することで、剥離しやすい配線基板と基板電極の接触部分周縁を、応力が強い箇所から離すことができ、配線基板と基板電極との界面剥離を防止することができるため、モジュールの外部との接続信頼性がさらに向上する。【００１１】
また、前記柱状導体の他端が接続されるマザー基板の線膨張係数が前記封止樹脂層の線膨張係数よりも大きい場合は、前記所定の方向を、前記配線基板の一方主面の中央方向にするとよい。モジュールを外部のマザー基板に接続したときに、マザー基板とモジュールの封止樹脂層の線膨張係数が異なると、温度変化時の封止樹脂層とマザー基板の膨張・収縮量の違いから柱状導体に応力が働くが、高温変化時は各部材が軟化するため、柱状導体と配線基板との接続部への影響が少なく、低温変化時の柱状導体に働く応力が問題になる。【００１２】
例えば、マザー基板の線膨張係数が封止樹脂層の線膨張係数よりも大きい場合、低温変化時に配線基板と柱状導体との接続部に働くせん断応力の方向は、柱状導体の一端が接続される配線基板の一方主面の中央方向となる。また、この時のせん断応力の最も強い部分は、柱状導体の一端側の端面の周縁のうち、配線基板の一方主面の端縁側である。そこで、マザー基板の線膨張係数が封止樹脂層の線膨張係数よりも大きい場合は、柱状導体の基板電極との接続面の中心点を基板電極の柱状導体との接続面の中心点に対して、配線基板の一方主面の中央方向に向かってずらして配置することで、配線基板と基板電極の界面剥離の基点となる配線基板と基板電極の接触部分の周縁と、配線基板と柱状導体との接続部に働くせん断応力の最も強い部分である、柱状導体の一端側の端面の周縁のうちの配線基板の一方主面の端縁側とを離すことができるため、柱状導体に働く応力により、配線基板と基板電極の界面剥離を防止することができる。【００１３】
また、前記柱状導体の他端が接続されるマザー基板の線膨張係数が前記封止樹脂層の線膨張係数よりも小さい場合、前記所定の方向を、前記配線基板の一方主面の端縁方向にするとよい。この場合、配線基板と柱状導体との接続部に働くせん断応力は、上記したマザー基板の線膨張係数が封止樹脂層の線膨張係数よりも大きい場合とは逆の配線基板の一方主面の端縁方向となる。また、このときのせん断応力の最も強い部分は、柱状導体の一端側の端面の周縁のうち、配線基板の一方主面の中心側である。したがって、マザー基板の線膨張係数が封止樹脂層の線膨張係数よりも小さい場合は、柱状導体の一端側の端面の中心点を基板電極の柱状導体との接続面の中心点に対して、配線基板の一方主面の端縁方向にずらすことで、上記同様に配線基板と基板電極の界面剥離を防止することができる。【００１４】
また、前記中間被膜が金属で形成されていてもよい。このようにすると中間被膜をめっき処理で形成することができるため実用的である。また、金属は延性を有するため、中間被膜を封止樹脂の膨張・収縮などによる柱状導体に働く応力を緩和するクッション材として機能させることができる。【００１５】
また、前記中間被膜が、前記基板電極の前記柱状導体に対向して接続される接続面のうち、前記柱状導体と接触していない部分も被覆して設けられていてもよい。このようにすると、基板電極の柱状導体に対向して接続される接続面のうち、柱状導体と接触していない部分と封止樹脂層との間に中間被膜が介在することになるため、封止樹脂層の膨張・収縮により、配線基板と基板電極の界面に働く応力を緩和させることができ、配線基板と基板電極の界面剥離のリスクをさらに低減することができる。【００１６】
また、前記基板電極の前記接続面の面積が、前記柱状導体の前記基板電極に対向して接続される接続面の面積と略同一であってもかまわない。このようにすると、基板電極の平面視でのサイズを小さくして、基板電極を狭ピッチで配置することができるため、モジュールと外部のマザー基板等との接続信頼性を確保しつつ、モジュールの小型化を図ることができる。【００１７】
また、前記柱状導体は、その長さ方向に段差を有していてもよい。このようにすると、段差を有する分、柱状導体と中間被膜の接触面積、および、中間被膜と封止樹脂層の接触面積が増加するため、これらの界面での密着強度が向上する。【００１８】
前記柱状導体は、前記基板電極に接続される一端側の横断面積が、他端側の横断面積よりも大きく形成されていてもよい。このようにすると、柱状導体を被覆する封止樹脂層により、柱状導体の、その他端側への移動が規制されるため、例えば、マザー基板をモジュールの下側に配置して、柱状導体の他端をマザー基板とを接続した場合に、柱状導体が、モジュールからマザー基板側に脱落するのを防止することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、モジュールの柱状導体の外周面を中間被膜で被覆することにより、封止樹脂層と柱状導体との間に中間被膜が介在することになるため、例えば、モジュールを外部のマザー基板などに実装したときに、マザー基板とモジュールの封止樹脂層の線膨張係数の違い（膨張・収縮量の差）により柱状導体に応力が働く場合に、中間被膜が応力緩和材として機能して、柱状導体に働く応力を緩和することができる。そのため、柱状導体に働く応力により、柱状導体と配線基板との接続部において、配線基板と基板電極の界面剥離や、基板電極と柱状導体の界面剥離を防止することができる。【００２０】
また、中間被膜が、封止樹脂層の線膨張係数と柱状導体の線膨張係数の間の線膨張係数を有するため、柱状導体が中間被膜を介さずに封止樹脂層で封止される従来のモジュールと比較して、柱状導体と中間被膜、および、中間被膜と封止樹脂層それぞれの線膨張係数の差が小さくなり、温度変化時の膨張・収縮量の違いから生じる、柱状導体と中間被膜の界面、および、中間被膜と封止樹脂層の界面に働く応力を低減することができる。また、応力が低減することで、柱状導体と中間被膜の界面剥離並びに中間被膜と封止樹脂層の界面剥離が発生しにくくなるため、柱状導体の側面は中間被膜を介して封止樹脂層により保持されやすくなる。よって、従来のモジュールのように、柱状導体と封止樹脂層間の界面剥離により、柱状導体に働く応力が配線基板と柱状導体との接続部に集中するのを防止することができ、これにより、配線基板と基板電極間の界面剥離および基板電極と柱状導体間の界面剥離を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施形態にかかるモジュールの断面図である。
【図２】図１のモジュールの部分断面図である。
【図３】図１のモジュールの配線基板の説明図である。
【図４】図１のモジュールの製造方法を説明するための図である。
【図５】図１のモジュールの製造方法を説明するための図である。
【図６】本発明の第２実施形態にかかるモジュールの断面図である。
【図７】図６のモジュールの部分断面図である。
【図８】図６のモジュールの製造方法を説明するための図である。
【図９】図６のモジュールの製造方法を説明するための図である。
【図１０】柱状導体の変形例を示す図である。
【図１１】従来のモジュールの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態にかかるモジュール１について、図１〜図３を参照して説明する。なお、図１は第１実施形態にかかるモジュール１の断面図、図２は図１のＡ領域の拡大図、図３（ａ）は、モジュール１の配線基板の平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ領域の拡大図である。
【００２３】
この実施形態にかかるモジュール１は、図１および図２に示すように、配線基板２と、配線基板２の両主面に実装された複数の部品３ａ，３ｂと、配線基板２の一方主面に形成された複数の基板電極４ａと、配線基板２の両主面それぞれに形成された部品実装用の複数のランド電極４ｂと、その一端が対応する基板電極４ａに接続された複数の柱状導体５ａと、各柱状導体５ａそれぞれの外周面を被覆する中間被膜６と、配線基板２の一方主面、中間被膜６、および配線基板２の一方主面に実装された部品３ａを被覆して設けられた第１封止樹脂層７ａ（本発明の封止樹脂層に相当）と、配線基板２の他方主面および該他方主面に実装された部品３ｂを被覆して設けられた第２封止樹脂層７ｂとを備え、種々の電子機器が備えるマザー基板に搭載される。
【００２４】
配線基板２は、ガラスエポキシ樹脂や低温同時焼成セラミック（ＬＴＣＣ）などで形成された多層配線基板であり、その両主面や内部には、配線電極（図示せず）やビア導体（図示せず）なども形成されている。なお、配線基板２は、単層構造であってもかまわない。
【００２５】
配線基板２の一方主面に形成された各基板電極４ａ、および、配線基板２の両主面に形成された各ランド電極４ｂは、それぞれＣｕやＡｌなどの金属（この実施形態では、Ｃｕ）からなり、印刷技術やフォトリソグラフィ技術などの周知の電極形成技術を用いて形成される。なお、図２に示すように、各ランド電極４ｂの部品３ａ，３ｂとの実装面には、Ｎｉ／Ａｕめっき８が施されている。また、この実施形態では、基板電極４ａの柱状導体５ａに対向して接続される接続面４ａ１の面積が、柱状導体５ａの基板電極４ａに対向して接続される接続面である一端側の端面５ａ１の面積と略同じになるように形成されている。
【００２６】
配線基板２の両主面に実装された各部品３ａ，３ｂは、ＳｉやＧａＡｓなどで形成された半導体素子や、チップインダクタ、チップコンデンサなどのチップ部品で構成され、周知の表面実装技術を用いて、配線基板２の両主面に実装される。
【００２７】
各柱状導体５ａは、Ｃｕなどの金属からなり、基板電極４ａ上に電解または無電解めっきにより形成されて、その一端が対応する基板電極４ａに接続される。なお、柱状導体５ａは、基板電極４ａ上のめっき成長により形成するほか、例えばピン状の導体を半田などにより基板電極４ａに接続させることにより形成してもかまわない。なお、この実施形態では、柱状導体５ａの他端の端面に、モジュール１を外部のマザー基板に接続させるための半田バンプ９が形成されている。
【００２８】
中間被膜６は、Ｎｉ／Ａｕ膜からなり、各柱状導体５ａそれぞれに設けられ、図２に示すように、各柱状導体５ａの外周面と、基板電極４ａの柱状導体５ａに対向して接続される接続面４ａ１のうち柱状導体５ａと接触していない部分を被覆する。そして、後述する第１封止樹脂層７ａが形成された状態において、中間被膜６が第１封止樹脂層７ａと各柱状導体５ａとの間に介在する。
【００２９】
第１、第２封止樹脂層７ａ，７ｂは、それぞれエポキシ樹脂などで形成され、第１封止樹脂層７ａは、配線基板２の一方主面、各柱状導体５ａの外周面を被覆する中間被膜６、および配線基板２の一方主面に実装された各部品３ａを被覆し、第２封止樹脂層７ｂは、配線基板２の他方主面および該他方主面に実装された各部品３ｂを被覆して設けられる。このとき、第１、第２封止樹脂層７ａ，７ｂそれぞれは、塗布方式、印刷方式、コンプレッションモールド方式、トランスファモールド方式などを用いて形成することができる。
【００３０】
なお、この実施形態では、配線基板２がセラミックまたガラスエポキシ樹脂で形成されている場合の線膨張係数が７〜１４ｐｐｍ／℃、Ｃｕで形成された各柱状導体５ａおよび各基板電極４ａの線膨張係数が１７ｐｐｍ／℃、第１および第２封止樹脂層７ａ，７ｂそれぞれの線膨張係数が５〜１３ｐｐｍ／℃（より好ましくは５〜１０ｐｐｍ／℃）、中間被膜６を形成するＮｉ／Ａｕ膜の線膨張係数が、Ｎｉ：１３ｐｐｍ／℃、Ａｕ：１４ｐｐｍ／℃となっており、中間被膜６が、第１封止樹脂層７ａの線膨張係数と各柱状導体５ａ（または、各基板電極４ａ）の線膨張係数の間の線膨張係数を有するように構成されている。
【００３１】
次に、図２および図３を参照して、柱状導体５ａと基板電極４ａとの位置関係について説明する。
【００３２】
上記したように、この実施形態では、配線基板２がガラスエポキシ樹脂またはセラミック、柱状導体５ａおよび基板電極４ａがＣｕで形成されている。そのため、配線基板２と柱状導体５ａとの接続部である、柱状導体５ａと基板電極４ａの界面および配線基板２と基板電極４ａの界面のうち、柱状導体５ａと基板電極４ａの界面は、Ｃｕ同士の結合、配線基板２と基板電極４ａの界面は、ガラスエポキシ樹脂またはセラミックとＣｕの異種材料同士の結合となるため、配線基板２と基板電極４ａの界面の密着強度は、柱状導体５ａと基板電極４ａの界面の密着強度よりも小さい。近年のモジュール１の小型化の要請により、基板電極４ａのサイズの小型化が進められているが、この場合は、配線基板２と基板電極４ａとの接触面積が小さくなって、さらに配線基板２と基板電極４ａの密着強度が小さくなる。
【００３３】
そこで、この実施形態では、配線基板２と基板電極４ａの界面剥離の基点となる配線基板２と基板電極４ａの接触部の周縁を、柱状導体５ａに応力が働いた場合に、その応力が配線基板２と柱状導体５ａとの接続部において最も強く働く箇所から所定の方向にずらして配置することにより、密着強度の小さい配線基板２と基板電極４ａの界面剥離を防止することができるように構成されている。なお、この所定の方向は、各柱状導体５ａの他端が接続されるマザー基板と第１封止樹脂層７ａとの線膨張係数の違いから生じる、低温変化時の柱状導体５ａと基板電極４ａとの接続部に働くせん断応力の方向である。
【００３４】
具体的には、モジュール１の柱状導体５ａの他端が接続される外部のマザー基板の線膨張係数が第１封止樹脂層７ａの線膨張係数より大きい場合、モジュール１をマザー基板に実装した状態において、低温変化時に、マザー基板と第１封止樹脂層７ａの収縮量の違いから生じる配線基板２と柱状導体５ａとの接続部に働くせん断応力の方向は、図３（ｂ）に示す矢印方向、すなわち、配線基板２の一方主面の中央方向になる。また、この時のせん断応力が最も強くなる箇所は、柱状導体５ａの一端側の端面５ａ１の周縁のうちの、配線基板２の一方主面の端縁側、つまり、柱状導体５ａの一端側の端面５ａ１の周縁のうち、図３（ｂ）の矢印を、その矢印の頭と反対側の方向に延長したときに、柱状導体５ａの一端側の端面５ａ１の外周に交わるＰ点付近である。したがって、この実施形態では、各柱状導体５ａそれぞれにおいて、柱状導体５ａの一端側の端面５ａ１の中心点を、基板電極４ａの柱状導体５ａに対向して接続される接続面４ａ１の中心点に対して、配線基板２の一方主面の中心方向にずらして配置している。
【００３５】
また、柱状導体５ａと配線基板２との接続部に働くせん断応力は、配線基板２の一方主面の端縁側に配置される柱状導体５ａほど大きくなるため、この実施形態では、柱状導体５ａが配線基板２の一方主面の端縁側に配置されるにつれて、そのずれ量が大きくなるように設定されている。なお、必ずしも、柱状導体５ａの配置に応じてそのずれ量を変える必要はなく、全ての柱状導体５ａに対して、同じずれ量を設定してもよい。また、せん断応力を、図３に示す配線基板２の一方主面のＸ方向の成分とＹ方向の成分に分解した場合に、Ｘ方向の成分とＹ方向の成分とで、応力の大きさが異なる場合、例えば、Ｘ方向の成分がＹ方向の成分よりも大きい場合は、各柱状導体５ａをＸ方向にずらすなど、ずらす方向を簡略化してもよい。
【００３６】
このように各柱状導体５ａをずらして配置すると、せん断応力が最も強く働くＰ点から、配線基板２と基板電極４ａの界面剥離の基点となる、配線基板２と基板電極４ａの接触部分の周縁を離すことができるため、配線基板２と基板電極４ａの界面剥離の基点に働く応力が減少し、これにより、柱状導体５ａに応力が働いた場合の配線基板２と基板電極４ａの界面剥離を防止することができる。
【００３７】
なお、マザー基板の線膨張係数が第１封止樹脂層７ａの線膨張係数よりも小さい場合、低温変化時に配線基板２と柱状導体５ａとの接続部に働くせん断応力の方向は、図３（ｂ）に示す矢印方向と逆になる。したがって、この場合は、マザー基板の線膨張係数が第１封止樹脂層７ａの線膨張係数よりも大きい場合に柱状導体５ａの一端側の端面５ａ１の中心点をずらした方向とは逆の方向に各柱状導体５ａをずらせばよい。つまり、柱状導体５ａの一端側の端面５ａ１の中心点を、基板電極４ａの柱状導体５ａに対向して接続される接続面４ａ１の中心点に対して、配線基板２の一方主面の端縁方向にずらして配置するとよい。
【００３８】
（モジュール１の製造方法）
次に、モジュール１の製造方法について、図４および図５を参照して説明する。なお、図４および図５はモジュール１の製造方法を説明するための図であり、図２に対応するモジュール１の部分断面図である。また、図４（ａ）〜（ｆ）はその製造方法の各工程を示し、図５（ａ）〜（ｃ）は図４（ｆ）に続く各工程を示す。
【００３９】
まず、図４（ａ）に示すように、その一方主面に、それぞれＣｕからなる複数の基板電極４ａおよび複数のランド電極４ｂ、その他方主面に、それぞれＣｕからなる複数のランド電極４ｂが形成された配線基板２を準備する。このとき、各基板電極４ａおよび各ランド電極４ｂを、印刷技術やフォトリソグラフィ技術などの周知の電極形成技術を用いて形成する。なお、配線基板２には、その主面や内部に各種配線電極やビア導体が形成されている。
【００４０】
次に、図４（ｂ）に示すように、配線基板２の一方主面にレジスト１０を形成した上で、フォトリソグラフィ技術などを用いて、レジスト１０の柱状導体５ａを形成する場所に孔１１を形成する。このとき、後に形成する柱状導体５ａの一端側の端面５ａ１の中心点が、基板電極４ａの柱状導体５ａに対向して接続される接続面４ａ１の中心点に対して、配線基板２の一方主面の中央方向に向かってずれて配置されるように、レジスト１０に孔１１を形成する。
【００４１】
次に、図４（ｃ）に示すように、レジスト１０の孔１１にめっき処理などにより、Ｃｕからなる柱状導体５ａを形成したあと、図４（ｄ）に示すように、レジスト１０を除去する。
【００４２】
次に、図４（ｅ）に示すように、めっき処理などを行うことにより、Ｎｉ／Ａｕからなり、各柱状導体５ａの他端側の端面および外周面、並びに、基板電極４ａの柱状導体５ａに対向して接続される接続面４ａ１のうち柱状導体５ａと接触していない部分を被覆する中間被膜６を形成する。このとき、併せて配線基板２の両主面に形成された各ランド電極４ｂの表面にＮｉ／Ａｕめっき８を施す。
【００４３】
次に、図４（ｆ）に示すように、配線基板２の一方主面に各部品３ａを周知の表面実装技術を用いて実装し、図５（ａ）に示すように、配線基板２の一方主面、配線基板２の一方主面に実装された各部品３ａ、中間被膜６を被覆する第１封止樹脂層７ａを形成する。第１封止樹脂層７ａは、塗布方式、印刷方式、コンプレッションモールド方式、トランスファモールド方式などを用いて形成することができる。
【００４４】
次に、配線基板２の他方主面に各部品３ｂを実装したあと、配線基板２の他方主面および各部品３ｂを被覆する第２封止樹脂層７ｂを形成する。第２封止樹脂層７ｂも第１封止樹脂層７ａと同様の方式を用いて形成することができる。
【００４５】
次に、図５（ｂ）に示すように、第１封止樹脂層７ａの表面を研磨または研削して、各柱状導体５ａの他端側の端面を露出させ、図５（ｃ）に示すように、露出した各柱状導体５ａの他端側の端面上に半田バンプ９を形成して、モジュール１を製造する。なお、各柱状導体５ａの他端側の端面上に半田バンプ９を形成する前に、再度、各柱状導体５ａの他端側の端面上にＮｉ／Ａｕ膜を形成してもかまわない。
【００４６】
また、配線基板２の他方主面の各部品３ｂの実装については、配線基板２の一方主面の各部品３ａの実装の前後に行って、その後、第１、第２封止樹脂層７ａ，７ｂを同時に形成するようにしてもよい。また、第１封止樹脂層７ａの表面を研磨または研削した後に、各部品３ｂを配線基板２の他方主面に実装して、その後、第２封止樹脂層７ｂを形成するようにしてもよい。
【００４７】
したがって、上記した実施形態によれば、第１封止樹脂層７ａと各柱状導体５ａとの間に中間被膜６が介在するため、例えば、モジュール１を外部のマザー基板に実装した時に、マザー基板とモジュール１の第１封止樹脂層７ａとの間の線膨張係数の違い（膨張・収縮量の差）から、各柱状導体５ａに応力が働いた場合であっても、中間被膜６が応力緩和材として機能して、各柱状導体５ａに働く応力を緩和することができる。そのため、柱状導体５ａに働く応力により、柱状導体５ａと配線基板２との接続部で、配線基板２と基板電極４ａの界面や、基板電極４ａと柱状導体５ａの界面で剥離が生じるのを防止することができる。また、中間被膜６が、柱状導体５ａの線膨張係数と第１封止樹脂層７ａの線膨張係数の間の線膨張係数を有するため、柱状導体５ａが中間被膜６を介さずに第１封止樹脂層７ａで封止される従来のモジュールと比較して、柱状導体５ａと中間被膜６、および、中間被膜６と第１封止樹脂層７ａそれぞれの線膨張係数の差が小さくなり、温度変化時の膨張・収縮量の違いから生じる界面に働く応力を低減することができる。したがって、柱状導体５ａと中間被膜６の界面剥離、並びに中間被膜６と第１封止樹脂層７ａの界面剥離が発生しにくくなるため、柱状導体５ａの側面は中間被膜６を介して第１封止樹脂層７ａにより保持されやすくなる。
【００４８】
ところで、モジュールをマザー基板などに実装したときに、マザー基板とモジュールの封止樹脂層の線膨張係数の違い（膨張・収縮量の差）により柱状導体５ａに応力が働く場合、柱状導体５ａの側面が第１封止樹脂層７ａから剥離して保持されていないと、その応力は柱状導体５ａと配線基板２との接続部に集中する。一方で本実施形態のように、柱状導体５ａの側面が第１封止樹脂層７ａに保持されていると、応力は柱状導体５ａと中間被膜６と第１封止樹脂層７ａの各界面にも分散する。このため、従来のモジュールのように、各柱状導体５ａと第１封止樹脂層７ａの界面剥離により、各柱状導体５ａに働く応力が配線基板２と柱状導体５ａとの接続部に集中するのを防止することができ、これにより、配線基板２と基板電極４ａの界面剥離および基板電極４ａと柱状導体５ａの界面剥離を防止することができる。以上により、外部との接続信頼性の高いモジュール１を提供することができる。
【００４９】
また、各柱状導体５ａそれぞれにおいて、配線基板２と基板電極４ａの界面剥離の基点となる、配線基板２と基板電極４ａとが接触する部分の周縁と、柱状導体５ａに応力が働いた場合に柱状導体５ａと配線基板２との接続部に働くせん断応力が最も大きくなる、柱状導体５ａの一端側の端面５ａ１の周縁部（図３（ｂ）のＰ点参照）とが離れるように、柱状導体５ａの一端側の端面５ａ１の中心点と基板電極４ａの柱状導体５ａとの接続面４ａ１の中心点とをずらして配置することで、配線基板２と基板電極４ａの界面剥離を防止することができるため、モジュール１の外部との接続信頼性がさらに向上する。
【００５０】
また、中間被膜６がＮｉ／Ａｕ膜で形成されているため、中間被膜６をめっき処理で形成することができるため実用的である。また、金属は延性を有するため、中間被膜６を、第１封止樹脂層７ａの膨張・収縮などにより作用する各柱状導体５ａへの応力を緩和するクッション材として機能させることができる。
【００５１】
また、中間被膜６が、基板電極４ａの柱状導体５ａに対向して接続される接続面４ａ１のうち、柱状導体５ａと接触していない部分も被覆して設けられているため、基板電極４ａの柱状導体５ａに対向して接続される接続面４ａ１のうち、柱状導体５ａと接触していない部分と第１封止樹脂層７ａとの間に中間被膜６が介在することになる。したがって、第１封止樹脂層７ａの膨張・収縮により、配線基板２と基板電極４ａの界面に働く応力が、中間被膜６により緩和されるため、配線基板２と基板電極４ａの界面剥離のリスクをさらに低減することができる。また、中間被膜６は、基板電極４ａの線膨張係数と第１封止樹脂層７ａの線膨張係数の間の線膨張係数を有するため、温度変化時に、中間被膜６と基板電極４ａの界面に働く応力並びに中間被膜６と第１封止樹脂層７ａ界面に働く応力を低減させることができ、両界面の密着特性が向上する。
【００５２】
また、各基板電極４ａそれぞれにおいて、基板電極４ａの柱状導体５ａに対向して接続される接続面４ａ１の面積を、柱状導体５ａの一端側の端面５ａ１の面積と略同一にすることで、基板電極４ａの平面視でのサイズを小さくして、基板電極４ａを狭ピッチで配置することができるため、モジュール１と外部のマザー基板等との接続信頼性を確保しつつ、モジュール１の小型化を図ることができる。
【００５３】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態にかかるモジュール１ａについて、図６および図７を参照して説明する。なお、図６はモジュール１ａの断面図、図７は図６のＣ領域の拡大図である。
【００５４】
この実施形態にかかるモジュール１ａが、図１〜図３を参照して説明した第１実施形態のモジュール１と異なるところは、図６および図７に示すように、各柱状導体５ｂそれぞれが、その長さ方向に段差を有する点である。その他の構成は、第１実施形態のモジュール１と同じであるため、同一符号を付すことにより説明を省略する。
【００５５】
この場合、各柱状導体５ｂには、その長さ方向に段差が設けられており、その外周面が中間被膜６で被覆されている。また、各柱状導体５ｂの他端が接続されるマザー基板の線膨張係数が、第１封止樹脂層７ａの線膨張係数よりも大きい場合を想定して、第１実施形態のモジュール１と同様に、各柱状導体５ｂそれぞれにおいて、基板電極４ａに対向して接続される柱状導体５ｂの一端側の端面の中心点が、基板電極４ａの柱状導体５ｂに対向して接続される接続面の中心点に対して、配線基板２の一方主面の中央方向にずらして配置されている。
【００５６】
（モジュール１ａの製造方法）
次に、モジュール１ａの製造方法について、図８および図９を参照して説明する。なお、図８および図９はモジュール１ａの製造方法を説明するための図であり、図７に対応するモジュール１ａの部分断面図である。また、図８（ａ）〜（ｆ）はその製造方法の各工程を示し、図９（ａ）〜（ｅ）は図８（ｆ）に続く各工程を示す。
【００５７】
まず、図８（ａ）に示すように、その一方主面に、それぞれＣｕからなる複数の基板電極４ａおよび複数のランド電極４ｂ、その他方主面に、それぞれＣｕからなる複数のランド電極４ｂが形成された配線基板２を準備する。このとき、各基板電極４ａおよび各ランド電極４ｂを、印刷技術やフォトリソグラフィ技術などの周知の電極形成技術を用いて形成する。なお、配線基板２には、その主面や内部に各種配線電極やビア導体が形成されている。
【００５８】
次に、図８（ｂ）に示すように、配線基板２の一方主面に１段目のレジスト１２ａを形成した上で、フォトリソグラフィ技術などを用いて、レジスト１２ａの柱状導体５ｂを形成する場所に１段目の孔１３ａを形成する。このとき、後に形成する柱状導体５ｂの一端側の端面の中心点が、基板電極４ａの柱状導体５ｂに対向して接続される接続面の中心点に対して、配線基板２の一方主面の中央方向に向かってずれて配置されるように、レジスト１２ａに孔１３ａを形成する。また、このときのレジスト１２ａの厚みが、目標とする各柱状導体５ｂの長さよりも薄くなるようにレジスト１２ａを形成する。
【００５９】
次に、図８（ｃ）に示すように、めっき処理などにより、Ｃｕからなる柱状導体５ｂの１段目の部分５ｂ１を形成する。
【００６０】
次に、図８（ｄ）に示すように、１段目のレジスト１２ａ上（紙面下側）に２段目のレジスト１２ｂを形成した上で、フォトリソグラフィ技術などを用いて、柱状導体５ｂの２段目の部分５ｂ２を形成するための孔１３ｂをレジスト１２ｂに形成する。このとき、柱状導体５ｂの長さ方向に段差ができるように、２段目の孔１３ｂを、１段目の孔１３ａに対して柱状導体５ｂの長さ方向と垂直な方向であって、配線基板２の一方主面の端縁側にずらして配置する。なお、２段目の孔１３ｂのずらす方向は、配線基板２の一方主面の端縁側に限らず、例えば、配線基板２の中央側などに変更してもかまわない。
【００６１】
次に、図８（ｅ）に示すように、柱状導体５ｂの１段目の部分５ｂ１と同じ要領で２段目の部分５ｂ２を形成し、図８（ｆ）に示すように、１段目のレジスト１２ａおよび２段目のレジスト１２ｂを除去する。
【００６２】
１段目のレジスト１２ａおよび２段目のレジスト１２ｂを除去した後は、第１実施形態のモジュール１の製造方法と同じ要領で、中間被膜６および各ランド電極４ｂ上のＮｉ／Ａｕめっき８の形成（図９（ａ）参照）、配線基板２の一方主面の各部品３ａの実装（図９（ｂ）参照）、第１封止樹脂層７ａの形成（図９（ｃ）参照）、配線基板２の他方主面への各部品３ｂの実装、第２封止樹脂層７ｂの形成、第１封止樹脂層７ａの表面の研磨または研削（図９（ｄ）参照）、各柱状導体５ｂの他端側の端面上への半田バンプ９の形成（図９（ｅ）参照）を行って、モジュール１ａを製造する。
【００６３】
したがって、上記した実施形態によれば、各柱状導体５ｂに、その長さ方向に段差を設けることにより、この段差を設けた分、柱状導体５ｂと中間被膜６の接触面積、および、中間被膜６と第１封止樹脂層７ａの接触面積が増加するため、これらの界面での密着強度が向上する。また、段差により、各柱状導体５ｂの、その長さ方向の移動が規制されるため、例えば、マザー基板をモジュール１ａの下側に配置して、各柱状導体５ｂの他端とマザー基板とを接続した場合に、各柱状導体５ｂが、マザー基板側に脱落するのを防止することができる。
【００６４】
（柱状導体の変形例）
次に、柱状導体の変形例について、図１０を参照して説明する。なお、図１０（ａ）〜（ｃ）は、本例にかかる柱状導体５ｃ〜５ｅの断面図である。
【００６５】
例えば、図１０（ａ）に示すように、柱状導体５ｃの長さ方向に段差を設けつつ、基板電極４ａに接続される柱状導体５ｃの１段目の部分５ｃ１の横断面積を、マザー基板に接続される柱状導体５ｃの２段目の部分５ｃ２よりも大きくしてもよい。また、図１０（ｂ）に示すように、柱状導体５ｄの１段目の部分５ｄ１を紙面下側に行くにつれて、その横断面積が小さくなるテーパ状に形成して、柱状導体５ｄの２段目の部分５ｄ２の横断面積を、１段目の部分５ｄ１よりも小さくしてもよい。また、図１０（ｃ）に示すように、柱状導体５ｅの外周面の１段目の部分５ｅ１と２段目の部分５ｅ２との境界に凸部１４を設けてもよい。
【００６６】
また、例えば、各柱状導体５ｃ〜５ｅの一段目の部分５ｃ１〜５ｅ１の横断面の形状を円形にし、２段目の部分５ｃ２〜５ｅ２の横断面の形状を矩形状にするなど、各柱状導体５ｃ〜５ｅの１段目の部分５ｃ１〜５ｅ２と２段目の部分５ｃ２〜５ｅ２とで、その横断面の形状を変えてもかまわない。これらの変形例のような柱状導体５ｃ〜５ｅを形成すると、柱状導体がストレート状に形成されている場合と比較して、柱状導体５ｃ〜５ｅと中間被膜６との接触面積、および、中間被膜６と第１封止樹脂層７ａの接触面積が増加するため、両界面での密着強度が向上する。また、図１０（ａ）および（ｂ）の柱状導体５ｃ，５ｄのように、柱状導体５ｃ，５ｄの一端側である１段目の部分５ｃ１，５ｄ１の横断面積を、柱状導体５ｃ，５ｄの他端側である２段目の部分５ｃ２，５ｄ２よりも大きくしたり、図１０（ｃ）の柱状導体５ｅのように、柱状導体５ｅの外周面に凸部１４を設けたりすることで、各柱状導体５ｃ〜５ｅの長さ方向（紙面下側方向）への移動を規制することができるため、各柱状導体５ｃ〜５ｅの脱落を防止することができる。
【００６７】
なお、本発明は上記した各実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上記したもの以外に種々の変更を行なうことが可能であり、例えば、第２実施形態のモジュール１ａでは、各柱状導体５ｂに段差を１箇所設ける場合について説明したが、この段差が複数箇所にあってもかまわない。さらに、柱状導体はめっきによる形成以外に、導電性ペーストや金属製のピンを使用してもかまわない。
【００６８】
また、配線基板２の他方主面に、各部品３ｂおよび第２封止樹脂層７ｂを形成しない構成であってもかまわない。
【００６９】
また、上記した各実施形態では、柱状導体５ａ，５ｂを基板電極４ａに対して所定の方向にずらして配置したが、必ずしもずらさなくてもよい。
【００７０】
また、柱状導体５ａ〜５ｅのマザー基板に接続される他端側の端面に半田バンプ９を形成しなくてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
また、本発明は、配線基板に接続された外部接続用の柱状導体が樹脂封止されて成る種々のモジュールに適用することができる。
【符号の説明】
【００７２】
１，１ａ        モジュール
２              配線基板
３ａ，３ｂ      部品
４ａ            基板電極
５ａ〜５ｅ      柱状導体
６              中間被膜
７ａ            第１封止樹脂層（封止樹脂層）
【図１】
2014188760.tif 000003
【図２】
2014188760.tif 000004
【図３】
2014188760.tif 000005
【図４】
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【図５】
2014188760.tif 000007
【図６】
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【図７】
2014188760.tif 000009
【図８】
2014188760.tif 000010
【図９】
2014188760.tif 000011
【図１０】
2014188760.tif 000012
【図１１】
2014188760.tif 000013
【国際調査報告】
2014188760.tif 000014
2014188760.tif 000015
2014188760.tif 000016
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