(57)【要約】  本発明は、半導体デバイスに対する処理を適正に選択するための評価結果を求めることが可能なパターン測定装置及び半導体計測システムの提供を目的とする。  上記目的を達成するために本発明では、電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較を行う演算装置を備えたパターン測定装置であって、当該演算装置は、前記回路パターンと基準パターンとの間の計測結果と、少なくとも２つの閾値との比較に基づいて、当該回路パターンを回路パターンの処理単位で分類するパターン測定装置を提案する。
2014129307.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較を行う演算装置を備えたパターン測定装置において、
当該演算装置は、前記回路パターンと基準パターンとの間の計測結果と、少なくとも２つの閾値との比較に基づいて、当該回路パターンを回路パターンの処理単位で分類することを特徴とするパターン測定装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記演算装置は、前記回路パターンを、当該回路パターンのレイアウトデータ、或いはマスクを修正する対象とするか、測定装置によるモニタの対象とするかの分類を行うことを特徴とするパターン測定装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記演算装置は、測定対象となるレイヤの測定対象パターンについて、当該測定対象パターンに接続される他のレイヤのパターンが存在するか否かの判定に応じて、前記分類を実行することを特徴とするパターン測定装置。
【請求項４】
請求項１において、
前記演算装置は、前記回路パターンと基準パターンとの間の計測結果と、前記回路パターンの計測部分の他の層との関係情報に基づいて、前記計測部位を分類するパターン測定装置。
【請求項５】
電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較を行う演算装置を備えたパターン測定装置において、
当該演算装置は、複数のパターンについて、複数の露光条件によって得られたパターンの測定結果に基づく露光装置のプロセスウィンドウを求め、複数のパターンについて得られた複数のプロセスウィンドウの共通領域内外の境界を定義するプロセスウィンドウのパターンを測定対象パターンとして選択することを特徴とするパターン測定装置。
【請求項６】
電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較によって、当該回路パターンの処理プロセスを判定する半導体計測システムであって、
当該回路パターンの撮影画像からパターンエッジを検出する手段と、
所定の計測領域内に存在する当該パターンエッジと当該基準パターンの間隔を計測する手段と、
当該計測領域内の複数箇所の計測値から、最も大きい計測値を含むように所定のパターン長、或いは面積分の計測値群を選抜する手段と、
前記計測値群から当該回路パターンの形状スコアを算出する手段と、
当該形状スコアと所定の閾値を比較し、当該回路パターンの処理プロセスを判定する手段と、を有することを特徴とした半導体計測システム。
【請求項７】
請求項６において、
前記所定の閾値は、当該回路パターンの異常と正常を判別するための閾値であることを特徴とした半導体計測システム。
【請求項８】
請求項７において、
異常と判定された当該回路パターンに対応する設計情報と危険点のデータベースを比較し、当該設計情報が当該データベースに登録されていない場合に、当該設計情報を当該データベースに登録する手段を有することを特徴とした半導体計測システム。
【請求項９】
請求項７において、
異常と判定された複数の回路パターンについて、プロセスウィンドウを求め、最大フォーカス、最小フォーカス、最大ドーズ、最小ドーズを制限する２つ以上の回路パターンを量産時のモニタ対象として決定する手段を有することを特徴とした、半導体計測システム。
【請求項１０】
請求項６において、
前記所定の閾値は、当該回路パターンの正常とレチクル/マスク修正対象と量産時のモニタ対象を判別するための２つの閾値であることを特徴とした半導体計測システム。
【請求項１１】
請求項６において、
前記半導体計測システムは当該形状スコアが算出された当該回路パターンの部位に対応する設計座標を求める手段を有することを特徴とした半導体計測システム。
【請求項１２】
請求項６において、
前記半導体計測システムは当該形状スコアが算出された当該回路パターンの部位と設計情報を比較し、当該回路パターンの致命度を算出し、レチクル/マスク修正対象を選抜する手段を有することを特徴とした半導体計測システム。
【請求項１３】
請求項６において、
前記半導体計測システムは、レチクル/マスク修正対象とされた回路パターンの履歴情報を保持し、前記履歴に基づき、量産時のモニタ対象の回路パターンを決定する手段を有することを特徴とした、半導体計測システム。
【請求項１４】
請求項６において、
電子ビームを電子デバイス上に走査することによって得られる電子に基づいて、画像データを形成する走査電子顕微鏡を備えたことを特徴とする半導体計測システム。
【請求項１５】
請求項１４において、
前記形状スコアが算出された当該回路パターンの部位や、当該形状スコアが算出された当該回路パターンの部位の設計座標や、当該形状スコア、当該修正履歴や、当該処理プロセス判定欠陥や、当該プロセスウィンドウ解析結果、レチクル／マスク修正対象とされた回路パターンの設計座標、当該レチクル／マスク修正対象とされた回路パターンの図、量産時のモニタ対象とされた回路パターンの設計座標、及び当該量産時のモニタ対象とされた回路パターンの図のうち、少なくとも一つ以上のデータを表示する画面を有することを特徴とした半導体計測システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，電子デバイスの計測を実行するパターン測定装置に係り、特に電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較によって、当該回路パターンの処理プロセスを判定するパターン測定装置、及び半導体計測システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体は微細化，多層化が進み，論理も煩雑化しているため，その製造が極めて困難な状況にある。その結果として，製造プロセスに起因する欠陥が多発する傾向にあり，その欠陥を正確に検査することが重要になっている。レビューＳＥＭやＣＤ−ＳＥＭはこれら欠陥の詳細な検査や計測（測定）に用いられる。これらのＳＥＭは、光学シミュレーションに基づく対象座標や、光学検査装置の検査結果に基づく対象座標に対応する回路パターンを検査、或いは計測する。検査、計測手法は様々提案されているが、特に６５ｎｍ以降の半導体製造プロセスでは、光近接効果による欠陥の状態を正確に把握する目的で、基準パターンとの形状比較によって欠陥を検出する手法（特許文献１、特許文献２）が用いられている。【０００３】
基準パターンとの形状比較は以下の手順で行われる。まず、オペレータが好ましい形状の回路パターンを基準パターンとして定義する。基準パターンとしては、設計データや実際に製造される回路パターンをシミュレーションによって生成した回路パターンや、製造した回路パターンの中から検査オペレータが選択したゴールデンパターン等が利用される。次にエッジ検出処理等を用いて、撮影画像から回路パターンを抽出する。次に基準パターンと回路パターンを重ね合わせる。重ね合わせは手動調整やパターンマッチングによる自動調整で行われる。回路パターンの形状は、半導体の製造条件や回路レイアウトによって様々な形に変形する。特許文献２では、このため、それらの変形の程度を的確に捉える目的で、検査座標を含む２次元の領域に計測領域を設定し、計測領域に含まれた基準パターンと回路パターンのエッジ間の距離を所定の間隔で網羅的に計測する。次に計測領域から得た複数の計測値の平均化を行って、その結果を計測領域の測定値とし、所定の閾値との比較によって回路パターンの正常もしくは欠陥を判定し、欠陥を含む回路パターンを回路設計やマスク修正のプロセスに渡す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１６３４２０号公報（対応米国特許ＵＳＰ７，７９６，８０１）
【特許文献２】特開２００７−２４８０８７号公報（対応米国特許ＵＳＰ８，０１９，１６１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１、特許文献２に開示されているような測定法によれば、設計データ（レイアウトデータ）と実パターンデータとの二次元的な形状差を特定することができるが、所定の計測領域内に存在する基準パターンと回路パターンのエッジの比較によって求められた複数の計測値の平均値を測定値とする場合、計測領域内に存在する回路パターンの正常部位の比率と異常部位の比率によって測定値が変化する。【０００６】
例えば、密度の高い回路パターンと密度の低い回路パターンの双方に同サイズの欠陥が含まれていた場合、密度の低い回路パターンのほうが計測領域内に占める異常部位の比率が高いので、密度の高い回路パターンの測定値よりも異常度が高いことを示す測定値が得られる。このような手順で求めた測定値から複数の異形状の回路パターンに含まれた欠陥の有無を正確に判定する場合、欠陥判定の閾値を回路パターンの形状毎に最適化するか、計測領域のサイズを回路パターンの形状毎に最適化する必要があるが、非常に複雑な手順が必要になる。【０００７】
以下に、半導体デバイスに対する処理を適正に選択するための評価結果を求めることを目的とするパターン測定装置及び半導体計測システムについて説明する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための一態様として、電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較を行う演算装置を備えたパターン測定装置であって、当該演算装置は、前記回路パターンと基準パターンとの間の計測結果と、少なくとも２つの閾値との比較に基づいて、当該回路パターンを回路パターンの処理単位で分類するパターン測定装置を提案する。【０００９】
また、上記目的を達成するための他の態様として、電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較を行う演算装置を備えたパターン測定装置であって、当該演算装置は、前記回路パターンと基準パターンとの間の計測結果と、前記回路パターンの計測部分の他の層との関係情報に基づいて、前記計測部位を分類するパターン測定装置を提案する。【００１０】
更に、上記目的を達成するための更に他の態様として、電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較を行う演算装置を備えたパターン測定装置であって、当該演算装置は、複数のパターンについて、複数の露光条件によって得られたパターンの測定結果に基づく露光装置のプロセスウィンドウを求め、複数のパターンについて得られた複数のプロセスウィンドウの共通領域の輪郭（プロセスウィンドウ内外の境界）を定義するプロセスウィンドウのパターンを測定対象パターンとして選択するパターン測定装置を提案する。【００１１】
また、電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較によって、当該回路パターンの処理プロセスを判定する半導体計測システムであって、当該回路パターンの撮影画像からパターンエッジを検出する手段と、所定の計測領域内に存在する当該パターンエッジと当該基準パターンの間隔を計測する手段と、当該計測領域内の複数箇所の計測値から、最も大きい計測値を含むように所定のパターン長、或いは面積分の計測値群を選抜する手段と、前記計測値群から当該回路パターンの形状スコアを算出する手段と、当該形状スコアと所定の閾値を比較し、当該回路パターンの処理プロセスを判定する手段と、を有することを特徴とした半導体計測システムを提案する。
【発明の効果】
【００１２】
上記構成によれば、半導体デバイスに対する処理を適正に選択する、或いは選択のための必要な情報を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】基準パターンとパターンエッジの比較によって検査する手順を示すフローチャートである。
【図２】半導体計測システムの構成を示す図である。
【図３】基準パターンとパターンエッジの比較を示す図である。
【図４】形状スコアの閾値判定手順を示すフローチャートである。
【図５】形状スコア算出ポイントの設計座標を特定する手順を示すフローチャートである。
【図６】上下層パターンの分析によって修正対象の回路パターンを絞り込む手順を示すフローチャートである。
【図７】検査結果をホットスポットライブラリに登録する手順を示すフローチャートである。
【図８】検査結果と上下層パターンとの比較を示す図である。
【図９】検査結果とホットスポットライブラリとの比較を示す図である。
【図１０】プロセスウィンドウを示す図である。
【図１１】ＰＷＡによってモニタ対象の回路パターンを絞り込む手順を示すフローチャートである。
【図１２】修正履歴によってモニタ対象の回路パターンを絞り込む手順を示すフローチャートである。
【図１３】修正履歴のデータを示す図である。
【図１４】検査情報を表示するＧＵＩの画面を示す図である。
【図１５】検査手順を示すフローチャートである。
【図１６】測定対象レイヤの測定対象パターンと他のレイヤのパターンの位置関係に応じて測定条件を設定する工程を示すフローチャート。
【図１７】測定対象パターンに計測ボックスを設定する例を示す図。
【図１８】ＦＥＭウェハの測定に基づいて、測定対象パターンを選択する工程を示すフローチャート。
【図１９】パターン測定装置を含むパターン測定システムの一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に説明する実施例はパターン測定装置に係り、例えば複数の異形状の回路パターンについて、欠陥の有無を統一された閾値で判定し、回路パターンの処理プロセスを決定するパターン測定装置に関するものである。
【００１５】
本実施例では、電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較によって、当該回路パターンの処理プロセスを判定する半導体計測システムであって、当該回路パターンの撮影画像からパターンエッジを検出する手段と、所定の計測領域内に存在する当該パターンエッジと当該基準パターンの間隔を計測する手段と、当該計測領域内の複数箇所の計測値から、最も間隔が大きい計測値を含むように所定のパターン長分の計測値群を選択する手段と、前記計測値群から当該回路パターンの形状スコアを算出する手段と、当該形状スコアと所定の閾値を比較し、当該回路パターンの処理プロセスを判定する手段と、を有することを特徴とした半導体計測システムについて説明する。
【００１６】
上記構成によれば、電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較によって、両者の形状誤差を網羅的に計測し、パターン長や、面積といった回路パターンの形状に依存しない制約に基づき選択した複数の計測値から回路パターンの形状スコアを算出することによって、複数の異形状の回路パターンを統一された閾値で欠陥判定できるようになり、その後の回路パターンの処理プロセスを正確に判定することができる。
【００１７】
以下、基準パターンと撮像画像より抽出されるパターンエッジとの比較によって回路パターンの形状をスコア化し、閾値等を用いて回路パターンの処理プロセスを判定する半導体計測装置について、説明する。本実施例では、基準パターンと撮像画像より抽出されるパターンエッジとの比較、形状のスコア化、回路パターンの処理プロセスの判定を以下のようにして実行する。
【００１８】
まず、システマティック欠陥の存在が疑われるウエハ上の回路パターンをＳＥＭで撮影した画像を半導体計測システムに入力する。ウエハ上のシステマティック欠陥の座標は、光学シミュレーションによる設計レイアウトの検査や明視野検査装置等で検出された欠陥の分析によって特定することができる。次にエッジ検出処理等を用いて、撮影画像から回路パターンのパターンエッジを抽出する。
【００１９】
次に基準パターンと回路パターンを重ね合わせて基準パターンと回路パターンの形状誤差を計測する。重ね合わせは手動調整やパターンマッチングによる自動調整で行う。基準パターンは好ましい形状の回路パターンであり、検査オペレータが定義する。基準パターンとしては、設計データに基づいて形成されるパターンの輪郭線を示す図形や実際に製造される回路パターンを光学シミュレーションによって生成した回路パターンや、既に製造した回路パターンの中から検査オペレータが選択したゴールデンパターン等を利用する。ゴールデンパターンとして、プロセスウィンドウの解析によって求められたベスト露光条件の回路パターンを利用することもできる。
【００２０】
回路パターンの形状は、半導体の製造条件や回路レイアウトによって様々な形に変形する。それらの変形の程度を的確に捉える目的で、検査座標を含む２次元の領域に計測領域を設定し、計測領域に含まれた基準パターンと回路パターンのエッジ間の距離を所定の間隔で網羅的に計測する。次に計測領域から得た複数の計測値の平均化等の統計処理を行って、その結果を計測領域の測定値とする。
【００２１】
本実施例では、複数の異形状の回路パターンを統一された閾値で欠陥判定し、回路パターンの処理プロセスを決定するための一態様として電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較によって、当該回路パターンの処理プロセスを判定する半導体計測システムであって、当該回路パターンの撮影画像からパターンエッジを検出する手段と、所定の計測領域内に存在する当該パターンエッジと当該基準パターンの間隔を計測する手段と、当該計測領域内の複数箇所の計測値から、最も大きい計測値を含むように所定のパターン長分の計測値群を選抜する手段と、前記計測値群から当該回路パターンの形状スコアを算出する手段と、当該形状スコアと所定の閾値を比較し、当該回路パターンの処理プロセスを判定する手段と、を有することを特徴とした半導体計測システムを提案する。
【００２２】
また、以下に説明する実施例では電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較によって、当該回路パターンの処理プロセスを判定する半導体計測システムであって、当該回路パターンの撮影画像からパターンエッジを検出する手段と、所定の計測領域内に存在する当該パターンエッジと当該基準パターンの間隔を計測する手段と、当該計測領域内の複数箇所の計測値から、最も大きい計測値を含むように所定の面積分の計測値群を選抜する手段と、前記計測値群から当該回路パターンの形状スコアを算出する手段と、当該形状スコアと所定の閾値を比較し、当該回路パターンの処理プロセスを判定する手段と、を有することを特徴とした半導体計測システムの例についても説明する。
【００２３】
また、以下に説明する実施例では、閾値が、当該回路パターンの異常と正常を判別するための閾値であることを特徴とした半導体計測システムの例についても説明する。
【００２４】
また、以下に説明する実施例では閾値が、当該回路パターンの正常とレチクル／マスク修正対象と量産時のモニタ対象を判別するための２つの閾値であることを特徴とした半導体計測システムの例について説明する。
【００２５】
また、以下に説明する実施例では当該形状スコアが算出された当該回路パターンの部位に対応する設計座標を求める手段を有することを特徴とした半導体計測システムの例について説明する。
【００２６】
また、以下に説明する実施例では、当該形状スコアが算出された当該回路パターンの部位と設計情報を比較し、当該回路パターンの致命度を算出し、レチクル／マスク修正対象を選抜する手段を有することを特徴とした半導体計測システムの例を説明する。
【００２７】
また、以下に説明する実施例では、異常と判定された当該回路パターンに対応する設計情報と危険点のデータベースを比較し、当該設計情報が当該データベースに登録されていない場合に、当該設計情報を当該データベースに登録する手段を有することを特徴とした半導体計測システムの例を説明する。
【００２８】
また、以下に説明する実施例では、異常と判定された複数の回路パターンについて、プロセスウィンドウを求め、最大フォーカス、最小フォーカス、最大ドーズ、最小ドーズを制限する２つ以上の回路パターンを量産時のモニタ対象として決定する手段を有することを特徴とした、半導体計測システムの例を説明する。
【００２９】
また、以下に説明する実施例では、レチクル／マスク修正対象とされた回路パターンの履歴情報を保持し、前記履歴に基づき、量産時のモニタ対象の回路パターンを決定する手段を有することを特徴とした、半導体計測システムの例を説明する。
【００３０】
また、以下に説明する実施例では、電子ビームを電子デバイス上に走査することによって得られる電子に基づいて、画像データを形成する走査電子顕微鏡を含む半導体計測システムの例を説明する。
【００３１】
また、以下に説明する実施例では、当該形状スコアが算出された当該回路パターンの部位や、当該形状スコアが算出された当該回路パターンの部位の設計座標や、当該形状スコアや、当該修正履歴や、当該処理プロセス判定欠陥や、当該プロセスウィンドウ解析結果や、レチクル/マスク修正対象とされた回路パターンの設計座標や、当該レチクル/マスク修正対象とされた回路パターンの図や、量産時のモニタ対象とされた回路パターンの設計座標や、当該量産時のモニタ対象とされた回路パターンの図のうち一つ以上のデータを表示する画面を有することを特徴とした半導体計測システムの例を説明する。
【００３２】
電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較によって、両者の形状誤差を網羅的に計測し、パターン長や、面積といった回路パターンの形状に依存しない制約に基づき特定した複数の計測値から回路パターンの形状スコアを算出することによって、複数の異形状の回路パターンを統一された閾値で欠陥判定できるようになり、その後の回路パターンの処理プロセスを正確に判定することができる。
【００３３】
以下、基準パターンと撮像画像より抽出される回路パターンとの比較によって回路パターンの形状をスコア化し、閾値等を用いて回路パターンの処理プロセスを判定する半導体計測装置について説明する。
【００３４】
図２は、半導体計測システムの概略構成図である半導体計測システムは回路パターンの画像データを取得する走査型電子顕微鏡２０１（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：以下，ＳＥＭ）と画像データの分析によって回路パターンを検査する制御装置２０２で構成されている。ＳＥＭ２０１は電子デバイスが製造されたウエハ等の試料２０３に電子線２０２を照射し，試料２０３から放出された電子を二次電子検出器２０４や反射電子検出器２０５，２０６で捕捉し，Ａ／Ｄ変換器２０７でデジタル信号に変換する。デジタル信号は制御装置２０２に入力されてメモリ２０８に格納され，ＣＰＵ２０９やＡＳＩＣやＦＰＧＡ等の画像処理ハードウェア２１０で目的に応じた画像処理が行われ，回路パターンが検査される。
【００３５】
更に制御装置（演算装置）２０２は，入力手段を備えたディスプレイ２１１と接続され，ユーザに対して画像や検査結果等を表示するＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｉｃａｌ  Ｕｓｅｒ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ） 等の機能を有する。なお，制御装置２０２における制御の一部又は全てを，ＣＰＵや画像の蓄積が可能なメモリを搭載した電子計算機等に割り振って処理・制御することも可能である。また，制御装置２０２は，検査に必要とされる電子デバイスの座標，検査位置決めに利用するパターンマッチング用のテンプレート，撮影条件等を含む撮像レシピを手動もしくは，電子デバイスの設計データ２１３を活用して作成する撮像レシピ作成装置２１２とネットワークまたはバス等を介して接続される。
【００３６】
図１９はパターン測定装置を含むパターン測定システムの一例を示す図である。このシステム内には主に走査電子顕微鏡本体１９０１、当該走査電子顕微鏡本体１９０１を制御する制御装置１９０２、制御装置１９０２に必要な情報を伝達すると共に、走査電子顕微鏡本体１９０１によって取得された信号に基づいて、試料上に形成されたパターンの測定や当該測定結果に基づいて、露光装置のプロセスウィンドウを形成するパターン測定装置１９０３、半導体デバイスの設計データが記憶された設計データ記憶媒体１９０４、及び必要な情報を入力するための入力装置１９０５が含まれている。図１９の例では走査電子顕微鏡とは別にパターン測定装置を設ける例を説明するが、走査電子顕微鏡に設けられた演算装置によって、パターン測定を実行するようにしても良い。なお、本実施例ではＳＥＭを撮像装置として適用した例を説明するが、これに限られることはなく例えば集束イオンビームを試料に走査することによって得られる信号に基づいて、その走査像を形成する集束イオンビーム(Ｆｏｃｕｓｅｄ  Ｉｏｎ  Ｂｅａｍ)装置を撮像装置とすることもできる。
【００３７】
パターン測定装置１９０３内の演算装置１９０６には、測定に必要な条件を設定する測定条件設定部１９０８、走査電子顕微鏡本体１９０１にて得られた信号に基づいて、エッジ間の寸法を測定する測定値演算部１９０９、ＦＥＭウェハを測定したときのパターン測定結果を所定の閾値に基づいて分類すると共に、所定の閾値に含まれるパターンのフォーカス条件、ドーズ条件に基づいてプロセスウィンドウを生成するプロセスウィンドウ作成部１９１０、及び測定対象となるパターンを選択するパターン選択部１９１１が含まれている。また、パターン測定装置１９０３には、測定条件設定部１９０８で設定された測定条件をレシピとして記憶するためのメモリ１９０７が内蔵されている。メモリ１９０７には測定レシピ以外にも、測定値演算部１９０６で得られた測定結果や、プロセスウィンドウ作成部１９１０で作成されたプロセスウィンドウ等が記憶される。
【００３８】
また、設計データ記憶媒体１９０４に記憶される設計データは例えばＧＤＳフォーマットやＯＡＳＩＳフォーマットなどで表現されており、所定の形式にて記憶されている。なお、設計データは、設計データを表示するソフトウェアがそのフォーマット形式を表示でき、図形データとして取り扱うことができれば、その種類は問わない。
【００３９】
図１５は、半導体パターンの計測工程を示すフローチャートである。まず，オペレータがレシピ作成装置２１２やパターン測定装置１９０３を利用して検査（測定）条件を設定する（ステップ１５０１）。検査条件とは，ＳＥＭ２０１の撮影倍率や回路パターンの座標（以下、検査座標とする）、計測領域、検査方法（後述する検査法や、寸法の計測など）、検査に必要なパラメータ等であり、検査対象の回路パターンの撮影画像をＳＥＭ２０１で取得し、検査するための情報である。検査座標とは、光学シミュレーションによって求めた欠陥の発生が予測されるレチクルやウエハの座標や、外観検査装置等で欠陥の発生が認められたレチクルやウエハの座標である。
【００４０】
このような検査座標は、光学シミュレーションを用いて欠陥の予測を行う装置２１４やウエハの外観検査装置に基づく検査座標を生成する装置２１５などから撮影レシピ作成装置２１２に供給される。計測領域は検査座標を取り囲むように設定された二次元領域の座標情報であり、検査オペレータが決定する。
【００４１】
次に撮影レシピを生成する（ステップ１５０２）。撮影レシピはＳＥＭ２０１を制御するためのデータであり，検査オペレータ等が設定した検査条件や，撮影画像から検査ポイントを特定するためのテンプレートが定義される。次にレシピに基づき，ＳＥＭ２０１で回路パターンを撮影する（ステップ１５０３）。次にパターンマッチングを行って，撮影画像内の検査ポイントを特定する（ステップ１５０４）。次に後述する手法を用いて回路パターンの計測を行う（ステップ１５０５）。最後に測定値を用いて回路パターンの処理プロセスを判定する（ステップ１５０６）。処理プロセスの判定は、本発明の検査による測定値と検査オペレータが決定した所定の閾値の比較および後述する回路パターンの分析によって行われる。
【００４２】
図１４に検査結果のＧＵＩ画面１４００を示す。このＧＵＩ画面１１００はディスプレイ２１１や、撮影レシピ生成装置２１２や、制御装置２０２における制御の一部又は全てが割り振られたＣＰＵや画像の蓄積が可能なメモリを搭載した電子計算機の画面にＧＵＩプログラムを用いて表示される。ＧＵＩプログラムは半導体計測装置のメモリに格納されており、半導体計測装置のＣＰＵによる処理で実行される。
【００４３】
半導体計測装置は検査結果に基づき、ＧＵＩ画面１４００の回路パターン表示ウィンドウ１４０１に基準パターン１４０２、回路パターン１４０３、計測領域１４０４を表示する。また、検査結果ウィンドウ１４０４に測定値や判定結果を表示する。また、検査パラメータウィンドウ１４０６に各種検査パラメータを表示する。
【００４４】
図１および図３を用いてより詳細な回路パターンの処理プロセス（正常（何もしない）、設計レイアウトやマスクを修正する、量産時にモニタする）の判定手順を説明する。図１は処理プロセス判定の手順を示すフローチャートである。まず、光学シミュレーションの分析や外観検査装置によって特定したシステマティック欠陥の存在が疑われる回路パターンの撮影画像を入力する（ステップ１０１）。基準パターンは製造目標となる形状の回路パターンであり、例えば、設計データや、実際に製造される回路パターンをシミュレーションによって生成した回路パターンや、製造した回路パターンの中から検査オペレータが選択したゴールデンパターンである。基準パターンは、撮影レシピや、半導体計測装置内に設けられたメモリに格納されているものとする。
【００４５】
次に撮影画像に含まれたパターンエッジを抽出する（ステップ１０２）。基準パターンと撮影された画像に含まれるパターンエッジの形状を比較するため、両者の重ね合わせを行い、基準パターンとパターンエッジの形状誤差を計測する。図３に基準パターン３０１とパターンエッジ３０２を重ね合わせた結果を示す。重ね合わせ位置は検査前段で実施したパターンマッチングの結果を利用して決定してもよいし、検査前段よりも正確なパターンマッチングアルゴリズムで再度実施してもよい。
【００４６】
次に、計測領域３００内に位置する基準パターン３０１とパターンエッジ３０２の距離３０６を計測する（ステップ１０３）。様々な形状変形を的確に捉えるため、ピクセル単位やサブピクセル単位の間隔で計測点を基準パターン上（もしくはパターンエッジ上）に設定し、両者の間隔を網羅的に計測する。以上のようなパターンマッチングや測定処理等は、専用のハードウェアによって実行するようにしても良いし、汎用のコンピューターに上述、或いは後述するような処理を実行させるようにしても良い。
【００４７】
なお、計測点は所定、或いは任意の間隔で設定されており、当該計測点から所定の方向（例えば一定方向、パターンの部位毎に割り当てられた方向、基準パターン３０１のエッジに対して垂直な方向等）や、計測点に最も近いパターンエッジ３０２上の点、又は計測点から最も近いパターンエッジ３０２上の点であって、他の計測点とその対応点間を結ぶ直線に交差しないように設定される対応点に向かって測定方向を設定する。また、測定方向は上記のものに限らず、上記とは異なる所定の条件に従って測定方向を設定するようにしても良い。測定方向の設定は上記条件等に従って自動的に設定することができる。
【００４８】
なお、基準パターンとパターンエッジ間の距離を測定する目的の１つは、両者の形状差を求めることにあるため、変形前後の対応点間の距離を求めることが望ましく、そのためには、基準パターン３０１に設けられた計測点に最も近いパターンエッジ３０２上の点を対応点として測定方向を設定することが望ましい。但し、予期し得ない回路パターンの変形やノイズの影響によって、誤った対応点を検出することのないよう、所定の制約（例えば測定方向が所定の角度範囲内に含まれるように設定）を設けて測定方向を設定することもできる。
【００４９】
次に計測領域３００内の複数個所の距離計測によって得られた複数の計測値から、形状に依存しないパラメータに基づいて複数の計測値を選択する（ステップ１０４）。形状に依存しないパラメータとは、パターン長やパターン面積を示すパラメータである。具体的には計測領域３００内の複数の計測値から、指定されたパターン長３０４の区間で計測された計測値のみを抽出する。例えば、計測領域３００内で最もパターンエッジとの距離が長い基準パターン上のエッジ点３０３を特定し、そのエッジ点３０３を含むようにパターン長３０４の区間を設定し、複数の計測値を選択する。これにより、基準パターンとの形状差の大きな回路パターンの部位にフォーカスした複数の計測値を選択できる。なお、計測値を選択する区間は必ずしも連続している必要はない。指定されたパターン長の区間分の計測値を、計測領域３００内で求められた複数の計測値から大きい順に選択してもよい。
【００５０】
または、計測領域３００内で最もパターンエッジとの距離が長い基準パターン上のエッジ点３０３を中心に設定した面積パラメータに基づくエリア３０５に存在する計測値を選択する。次に選択された計測値から形状スコアを算出する（ステップ１０５）。形状スコアは抽出された計測値の平均、標準偏差等の統計演算によって求める。最後に算出された形状スコアの閾値判定によって回路パターンの処理プロセスを決定する（ステップ１０６）。
【００５１】
図４は形状スコアの閾値判定手順を示すフローチャートである。本実施例では主に前記回路パターンと基準パターンとの間の計測結果と、少なくとも２つの閾値との比較に基づいて、当該回路パターンを回路パターンの処理単位で分類（例えば設計データの修正処理対象とするか、修正はしないけれども後のモニタ対象（測定対象）とするかの分類）する例について説明する。以下より、形状スコアは異常の回路パターン＞正常な回路パターンとして説明する。まず、形状スコアと閾値ＴＨ１を比較する（ステップ４０１）。閾値ＴＨ１より小さい形状スコアの回路パターンを正常と判定する（ステップ４０２）。形状スコアとＴＨ２を比較し（ステップ４０３）、ＴＨ２以上の回路パターンを設計レイアウトやマスクの修正対象として判定する（ステップ４０４）。閾値ＴＨ１よりも大きく、閾値ＴＨ２以下の形状スコアの回路パターンを量産時のモニタ対象として判定する（ステップ４０５）。これらの判定結果をメモリ２０８に保存する。なお、閾値ＴＨ１，ＴＨ２は設計公差や経験的に決定されるものである。
【００５２】
設計レイアウトやマスク修正及び量産時のモニタ対象になった回路パターンについては、それぞれの処理を行うために修正部位およびモニタ部位の正確な設計座標が必要とされる。このため、図１で示したフローチャートに図５に示した手順を加えることによって、形状スコアが算出された回路パターンの部位に対応する設計座標を求めることができる。  まず、回路パターンの撮影画像とその回路パターンの製造に用いた設計パターンのパターンマッチングを行い、設計パターンと画像の対応関係を求める（ステップ５０１）。なお、画像撮影の際に設計パターンをテンプレートとしてパターンマッチングを行っている場合は、そこで求めた設計パターンの画像の対応関係を利用する。次に形状スコアの算出に利用した計測値を求めた基準パターンの部位を特定する（ステップ５０２）。これは、形状非依存パラメータに基づき計測値を抽出する際に、その計測値を求めたエッジの画像座標をメモリ２０８に登録しておくことで容易に求めることができる。次に基準パターンの部位に対応する設計座標をパターンマッチングによって求めた設計パターンと回路パターンの対応関係によって求める（ステップ５０３）。
【００５３】
また、形状スコアの閾値比較によって設計レイアウトやマスク修正の対象として判定された回路パターンの中から、致命度が高い回路パターンを特定することもできる。図６に手順を示す。まず、回路パターンの撮影画像とその回路パターンの製造に用いた設計パターンのパターンマッチングを行い、設計パターンと画像の対応関係を求める（ステップ６０１）。なお、画像撮影の際に設計パターンをテンプレートとしてパターンマッチングを行っている場合は、そこで求めた設計パターンの画像の対応関係を利用する。次に形状スコアの算出に利用した計測値を求めた回路パターンの部位を特定する（ステップ６０２）。これは、形状非依存パラメータに基づき計測値を抽出する際に、その計測値を求めたエッジの画像座標をメモリ２０８に登録しておくことで容易に求めることができる。次に、設計パターンと回路パターンの部位の位置関係をパターンマッチングで求めた画像と設計パターンの対応関係に基づき求める。
【００５４】
図８（ａ）（ｂ）のように検査対象となる配線レイヤーの設計パターン８０１は同型で、その配線レイヤーの下部に連携するビアレイヤーのビア位置８０２，８０５がそれぞれ異なる場合を例に説明する。本実施例では、回路パターンと基準パターンとの間の計測結果と、回路パターンの計測部分の他の層との関係情報に基づいて、計測部位を分類する例について説明する。図８（ａ）の例では、基準パターン８０４に対し、ビアが存在しない方の回路パターン８０３配線部位が後退している。図８（ｂ）の例では、基準パターン８０４に対し、ビアが存在する方の回路パターン８０３の配線部位が後退している。このようなケースでは図８（ｂ）のほうの致命度が高い。基準パターンに対する回路パターンの配線の後退量は同じでも、設計レイアウトによって致命度は異なる。このため、例えば、回路パターンの部位に対応する設計座標について、その上下のビアの有無を検出することで、基準パターンとの形状差は大きいが、修正が不要な回路パターンを修正対象から除外することができる。
【００５５】
上述したように、例えば同じ形状のパターンであったとしても、他のレイヤのパターンとの位置関係によっては、パターンの変形がある程度許容されるパターンと、パターンの変形をシビアに管理する必要があるパターンに分かれることになる。例えば図１７（ａ）は、パターン１７０１の端部と、ビア１７０２が接続されるパターンのレイアウトデータを示す図であり、図１７（ｂ）はビアが接続されないパターン１７０１の端部を示すレイアウトデータを示す図である。上述したように、図１７（ｂ）の場合は、多少ライン端が後退しても、回路の一部が途切れる等の欠陥には至らない。一方で、図１７（ａ）の場合は、ライン端が後退すると、ビア１７０２との接続が途切れる可能性がある。よって、図１７（ｂ）のパターンに比べて、図１７（ａ）のパターンを、レイアウト／マスク修正対象個所、或いはモニタ対象個所と判定することによって、半導体デバイスの歩留まり向上を、速やかに行うことができる。
【００５６】
図１６は、設計データと実際のパターンエッジ（例えばＳＥＭ画像内のエッジや当該エッジを輪郭線化した輪郭線データ）との乖離の度合いを閾値判断に基づいて求めるための測定条件を設定する工程を示すフローチャートである。まず、測定条件設定部１９０８は、測定対象となるレイヤのレイアウトデータを、設計データ記憶媒体１９０４等から読み出し、読み出したレイアウトデータ上で計測ボックス１７０３を設定する（ステップ１６０１、１６０２）。計測ボックス１７０３は、基準パターンと、ＳＥＭ画像のエッジやＳＥＭ画像から得られる輪郭線データとの間の寸法の測定領域を定義するものである。更に、本実施例においては、計測ボックス１７０３の付帯情報として、重畳パターン判定領域１７０４が設定されている。
【００５７】
次に、計測対象レイヤのパターンに接続するパターンを含むレイヤのレイアウトデータを読み出す（ステップ１６０３）。パターン選択部１９１１は、重畳パターン判定領域１７０４内に、測定対象レイヤ以外のパターン（例えばビア１７０２）が含まれるか否かを判定し（ステップ１６０４）、図１７（ｂ）に例示するように含まれない場合には、例えば、測定をしない、或いは通常のモニタ対象として選択する。また、図１７（ａ）に例示するように、他のレイヤのパターンが、重畳パターン判定領域に含まれる場合には、通常のモニタ対象と比較して、低い閾値、或いは重点管理部位として、測定条件を選択する（ステップ１６０５、１６０６）。
【００５８】
以上のようにして選択された測定条件をＳＥＭの動作プログラムであるレシピとしてメモリ１９０７等に登録することによって、他のレイヤのパターンの接続状態に応じた適切な測定条件を設定することが可能となる。
【００５９】
図１７では、レイアウトデータを用いて、測定条件を設定する工程について説明したが、実際のＳＥＭ画像から得られたエッジ情報に基づいて、量産工程における半導体評価個所の決定を行う際に上記のような手法を用いるようにしても良い。具体的には、正常と判定された個所であっても、他のレイヤのパターンとの関係があるパターンについては、モニタ評価対象とすることが考えられる。また、もともとモニタ対象個所として選択されたパターンについて、より厳しい評価基準に基づいてパターン評価を行うように測定条件を設定することが考えられる。通常のモニタ対象パターンと比べてより低い閾値を測定条件として設定することによって、断線の恐れがある部分について厳しい寸法管理を行うことが可能となる。
【００６０】
なお、パターンの変形はパターンの面積が増加する拡張と、パターンの面積が減少する後退の２つが考えられるが、他のレイヤのビアとの断線が懸念されるのは主に後退の場合であるため、単なる閾値判定ではなく拡張か後退かの判定を行い、後退の場合に選択的に当該パターンをモニタ対象、或いはより厳しい評価基準に基づくパターンとして選択するようにしても良い。
【００６１】
また、修正対象として判定された回路パターンの情報は回路設計の有益な情報になりうる。回路設計では、過去の設計で蓄積されたＨｏｔ  Ｓｐｏｔ  Ｌｉｂｒａｒｙ〔以下ＨＳＬ〕と呼ばれる回路パターンの危険点の情報を利用し、自動生成された回路レイアウトの修正を行う。このため、修正対象とされた回路パターンのレイアウトがＨＳＬに登録されていない場合は、ＨＳＬのＤＢ登録を行う。手順を図７に示す。  
まず、回路パターンの撮影画像とその回路パターンの製造に用いた設計パターンのパターンマッチングを行い、設計パターンと画像の対応関係を求める（ステップ７０１）。なお、画像撮影の際に設計パターンをテンプレートとしてパターンマッチングを行っている場合は、そこで求めた設計パターンの画像の対応関係を利用する。次に形状スコアの算出に利用した計測値を求めた基準パターンの部位を特定する（ステップ７０２）。基準パターンの部位の座標を中心とし、ＨＳＬのパターンサイズと同サイズの設計レイアウトをパターンマッチングによって求めた画像と設計パターンの対応関係に基づき特定し、切り出し、ＨＳＬのデータベースと比較する（ステップ７０３）。
【００６２】
図９にＨＳＬ（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）と検査対象の回路パターンに対応した設計レイアウト（ｅ）（ｆ）の例を示す。形状スコアを求めた計測点９０１、９０２を中心にＨＳＬのサイズと同等の設計レイアウトの領域９０３，９０４を切り出し、それぞれをＨＳＬ（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）と比較する。比較は切り出した設計レイアウトとＨＳＬに登録されているＨＳの設計レイアウトをパターンマッチングで比較する。切り出した設計レイアウト９０３はＨＳＬ（ａ）との類似度が高い。一方で切り出した設計レイアウト９０４はいずれのＨＳＬとも類似していない。切り出した設計レイアウトとの類似性が所定の数値以下の場合、新たなＨＳとしてＨＳＬのデータベースに登録する（ステップ７０４）。図９の例では切り出した設計レイアウト（ｅ）をＨＳＬのデータベースに登録する。
【００６３】
また、形状スコアの閾値判定によってモニタ対象と判定された複数の回路パターンの中から更にモニタに適切な回路パターンを限定することで、モニタに関わる検査時間を抑制することができる。図１０と図１１のフローチャートを用いて手順を説明する。本実施例では主に複数のパターンについて、複数の露光条件によって得られたパターンの測定結果に基づく露光装置のプロセスウィンドウを求め、複数のパターンについて得られた複数のプロセスウィンドウの共通領域の輪郭（プロセスウィンドウ内外の境界）を定義するプロセスウィンドウのパターンを測定対象パターンとして選択する例について説明する。
【００６４】
図１０は形状スコアの分析によってモニタ対象と判定された５つの回路パターンのプロセスウィンドウを示す図である。プロセスウィンドウとは、良品が製造できる露光装置のフォーカス量、ドーズ量の２つのパラメータの範囲を示すものである。プロセスウィンドウは、上記２つのパラメータの値を段階的に変化させて製造したチップをウエハ上に製造し、各チップの回路パターンの測定とスペック判定によって特定されるものである。プロセスウィンドウが広いほど、露光条件の変動に頑健な半導体の製造が可能になるため、半導体の開発の段階では、可能な限りプロセスウィンドウを拡大するための施策がとられる。このため、量産時には、これらプロセスウィンドウを狭める要因になりうる回路パターンのモニタが行われる。上記プロセスウィンドウの特定に用いるウエハをＦＥＭ（Ｆｏｃｕｓ−Ｅｘｐｏｓｕｒｅ−Ｍａｔｒｉｘ）ウエハ、プロセスウィンドウを特定する手順をＰＷＡ（Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ｗｉｎｄｏｗ  Ａｎａｌｕｓｉｓ）として説明する。なお、回路パターンの測定とスペック判定は、パターンの寸法値や、図３で示したような基準パターンと回路パターンの形状誤差値を用いて行う。
【００６５】
まず、モニタ対象として判定された回路パターンのＦＥＭ画像を入力する（ステップ１１０１）。画像枚数はモニタ対象として判定された回路パターン数×ＰＷＡを行う露光条件数（フォーカスステップ数×ドーズステップ数）である。これら画像を用いてＰＷＡを行い、各回路パターンのプロセスウィンドウ１０００、１００１、１００２、１００３、１００４を求める（１１０２）。各回路パターンのプロセスウィンドウ１０００、１００１、１００２、１００３、１００４の共通領域１００９に着目し、フォーカス量の最小／最大ポイントおよびドーズ量の最大／最小ポイントを制限する回路パターンを４つ特定する（ステップ１１０３）。ドーズ量に着目した場合、共通領域１００９の制限ポイントは１００７、１００８であり、それぞれ、１００４と１００２のプロセスウィンドウが共通領域１００９を狭める要因となっている。また、フォーカス量に着目した場合、共通領域の制限ポイントは１００５、１００６であり、それぞれ、１００１と１００３のプロセスウィンドウが共通領域１００９を狭める要因となっている。これらプロセスウィンドウの共通領域１００９を狭める要因となっているプロセスウィンドウ１００１、１００２、１００３、１００４に対応する４つの回路パターン、もしくはこの４つを含むような回路パターンをモニタパターンとして決定する（ステップ１１０４）。
【００６６】
図１８は、測定対象パターンをＦＥＭウェハの測定に基づいて、測定対象パターンを選択する工程をより詳細に示すフローチャートである。ＦＥＭウェハをＳＥＭの試料室に導入（ステップ１８０１）した後、複数の露光条件ごとに複数の異なるパターンの測定を実行する（ステップ１８０２）。ＦＥＭウェハは露光装置の条件出しを行うために、露光装置のフォーカスとドーズの条件を順次変更してパターニングすることによって得られるものであるため、閾値判定等によって少なくとも良品と判断できるチップとそうでないチップの境界が分かる程度のチップの測定を実行する。基本的には異なるチップに配置された設計データ上、同一パターンを測定対象とする。また、本実施例においては複数のプロセスウィンドウを形成するために、異なる種類のパターンの測定を実行する。
【００６７】
次に、複数の測定対象パターンのチップごとの測定結果に基づいて、測定対象パターンごとのプロセスウィンドウを作成する（ステップ１８０４）。このように作成された複数のプロセスウィンドウを図１０のように重ねて、各プロセスウィンドウの共通領域を抽出する（ステップ１８０４）。パターン選択部１９１１は、この共通領域の輪郭を形成するプロセスウィンドウのパターン、或いは共通領域のフォーカス、ドーズの上下限を形成するパターンを選択し（ステップ１８０５）、測定条件設定部１９０８では、選択されたパターン、或いはこれらのパターンを含む複数のパターンを測定対象として設定し、レシピとして登録する（ステップ１８０６）。この際、選択されたパターンを測定対象候補として、入力装置１９０５の表示装置に対象パターンを表示し、オペレーターに測定対象パターンを選択させるようにしても良い。
【００６８】
図１８に例示した手法によれば、例えば２０の測定対象候補が存在し、それを１０まで絞りたいような場合や、ランダムに決定した測定対象候補の中から適切な評価を行うためのパターンを選択したいような場合に特に有効である。
【００６９】
また、形状スコアの判定によって量産時のモニタ対象とされた複数の回路パターンについて、設計レイアウトやマスクの修正回数を加味して量産時のモニタ対象と判定することもできる。図１２を用いて手順を示す。設計レイアウトやマスクの修正回数が多い回路パターンは、製造が難しい回路パターンである可能性が高いため、このような回路パターンを優先的に選択しモニタすることで、歩留まりの低下を防ぐことができる。
【００７０】
まず、形状スコアの判定によって量産時のモニタ対象として判定された全ての回路パターンについて、設計レイアウトやマスクの修正回数を参照し、修正回数が多い順番に並べる（ステップ１２０１）。修正回数の履歴は図１３に示すような検査した回路パターンが特定できるようなデータとして、図１で説明した処理プロセス判定１０６の実行時にメモリ２０８に保存しておく。次に修正回数上位のものから所定の回路パターン数分をモニタ対象として判定する（ステップ１２０２）。
【符号の説明】
【００７１】
２０１・・・ＳＥＭ，２０２・・・電子線，２０３・・・試料，２０４・・・二次電子検出器，２０５・・・反射電子検出器１，２０６・・・反射電子検出器２，２０７・・・Ａ／Ｄ変換器，２０８・・・メモリ，２０９・・・ＣＰＵ，２１０・・・ハードウェア，２１１・・・表示手段，２１２・・・レシピ生成システム，２１３・・・設計データ、２１４・・・ＥＤＡシステム、２１５・・・外観検査装置、３０１・・・基準パターン、３０２・・・回路パターンのパターンエッジ、３０３・・・計測代表点、３０４・・・パターン区間、３０５・・・計測代表点を中心とした計測エリア、３０６…基準パターンとパターンエッジの間隔、８０１…設計パターン、８０２…ビア、８０３…回路パターンのパターンエッジ、８０４…基準パターン、８０５…ビア、８０６…回路パターンのパターンエッジ、９０１…形状スコア算出ポイント、９０２…形状スコア算出ポイント、９０３…設計レイアウトの切り出しエリア、９０４…設計レイアウトの切り出しエリア、１０００〜１００４…回路パターンのプロセスウィンドウ、１００５〜１００８…プロセスウィンドウの共通領域制限点、１００９…プロセスウィンドウの共通領域、１４００・・・検査パラメータ指定用ＧＵＩ、１４０１・・・基準パターン表示ウィンドウ、１４０２・・・基準パターン、１４０３・・・回路パターンのパターンエッジ、１４０４…計測領域、１４０５・・・検査結果ウィンドウ、１４０６・・・検査パラメータ設定ウィンドウ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【国際調査報告】
2014129307.tif 000022
2014129307.tif 000023
2014129307.tif 000024
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