(57)【要約】  光走査デバイス（３０）は、窓（２）を有する箱体（１）と、箱体（１）の内部に実装される光学反射素子（６）と、を備え、光学反射素子（６）は、反射面（７ａ）を有する可動部（７）と、一端が可動部（７）に接続される梁（８）と、梁（８）の他端に接続されるとともに箱体（１）に固定される固定部（９）と、を有し、固定部（９）は窓（２）と略平行であり、反射面（７ａ）は固定部（９）と非平行である。
2015145943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
窓を有する箱体と、
前記箱体の内部に配置される光学反射素子と、を備え、
前記光学反射素子は、
反射面を有する可動部と、
一端が前記可動部に接続される梁と、
前記梁の他端に接続されるとともに前記箱体に固定される固定部と、を有し、
前記固定部は前記窓と略平行であり、
前記反射面は前記固定部と非平行である光走査デバイス。
【請求項２】
前記梁は、予め振動方向に撓ませた請求項１に記載の光走査デバイス。
【請求項３】
前記梁は、内部応力を有する請求項２に記載の光走査デバイス。
【請求項４】
前記梁は、第一層と第二層とを含む積層構造であり、
前記第二層は、前記第一層を支持し、
前記第一層の線熱膨張係数は、前記固定部の線熱膨張係数と異なる請求項３に記載の光走査デバイス。
【請求項５】
前記梁は、直線状に伸びる複数の直線部と、隣り合う前記直線部を接続する折返し部とを有するミアンダ形状であり、
前記直線部の本数は奇数である請求項４に記載の光走査デバイス。
【請求項６】
前記折返し部に加重体が設けられる請求項５に記載の光走査デバイス。
【請求項７】
前記加重体は前記固定部と同じ材料である請求項６に記載の光走査デバイス。
【請求項８】
前記可動部及び前記梁の少なくとも一方には屈曲部が設けられている請求項１に記載の光走査デバイス。
【請求項９】
前記箱体の内部に配置される光源をさらに備える請求項１に記載の光走査デバイス。
【請求項１０】
前記光源は半導体レーザチップであり、
前記半導体レーザチップは固定部に実装される請求項９に記載の光走査デバイス。
【請求項１１】
光線の光束形状を変換するビーム整形部材をさらに備え、
前記ビーム整形部材は、前記半導体レーザチップと前記反射面との間の前記固定部に配置される請求項１０に記載の光走査デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、光源から出射された光線を光学反射素子で反射させて所定領域内に走査させる光走査デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
光走査デバイスは、ポリゴンミラーやガルバノミラーを用いたものが一般的である。一方で、近年ＭＥＭＳプロセスを用いた小型の光学反射素子を用いる光走査デバイスが検討されている。ＭＥＭＳプロセスを用いた光学反射素子は、反射面を回動させる圧電駆動部または静電駆動部を駆動させて反射角度を制御する。光学反射素子の形状は、例えば、ドライエッチングにより加工される。そして、駆動部として機能する膜がスパッタリングにより形成される。このため、光学反射素子は非常に小さくなる。したがって、ＭＥＭＳプロセスを用いた光学反射素子は、光走査デバイスの小型化や省電力化に非常に有効である。【０００３】
ところで、光学反射素子において、駆動部の特性は劣化しやすい。また、反射面は、塵や水分に弱い。そのため、駆動部の劣化抑制や反射面の防塵・防水のため、光学反射素子は箱体の内部に配置される。箱体には、光源から出射された光線の入出射光路に窓が形成される。【０００４】
したがって、入射光源からの光は、一部が窓で反射される。窓で反射した反射光は、走査領域上で不要光となる。そのため、窓による反射光を走査領域から遠ざける構成が検討されている。例えば、光走査デバイスにおいて、光学反射素子の反射面は、窓と非平行に配置される。これにより、窓での反射光を走査領域から遠ざけることができる。【０００５】
なお、本開示に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１や特許文献２が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−６９４５７号公報
【特許文献２】特開２００３−７５６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の光走査デバイスに用いられる光学反射素子の反射面と窓とを非平行に配置する構造は、複雑な実装工程を必要とする。そのため、光走査デバイスの生産性が低下するという課題がある。そのため、生産性の高い光走査デバイスが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示に係る光走査デバイスは、窓を有する箱体と、箱体の内部に実装される光学反射素子と、を備える。光学反射素子は、反射面を有する可動部と、一端が可動部に接続される梁と、梁の他端に接続されるとともに箱体に固定される固定部と、を有する。固定部は窓と略平行であり、反射面は固定部と非平行である。
【発明の効果】
【０００９】
本開示に係る光学デバイスは、走査領域に対する不要光の入射を低減した小型の光走査デバイスにおいて生産性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本開示の一実施の形態における光走査デバイスの断面図である。
【図２】図２は、本開示の一実施の形態における光学反射素子の上面図である。
【図３】図３は、本開示の一実施の形態における光学反射素子の製造方法を示す模式図である。
【図４】図４は、本開示の他の実施の形態における光学反射素子の上面図である。
【図５】図５は、本開示の他の実施の形態における光学反射素子の断面図である。
【図６】図６は、本開示のさらに他の実施の形態における光走査デバイスの断面図である。
【図７】図７は、本開示のさらに異なる他の実施の形態における光走査デバイスの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本開示の説明に先立ち、従来の光走査デバイスにおける課題について以下で説明する。
【００１２】
従来の光走査デバイスにおいて、光学反射素子の反射面と窓とは非平行に配置されている。反射面と窓を非平行に配置する方法は、例えば、光学反射素子を箱体の内部に実装する際に、窓に対して非平行になるように傾斜した状態で光学反射素子を実装する方法がある。しかしながら、光学素子を窓に対して傾斜させた状態で箱体内部に実装する方法は、実装工程が複雑になるという課題がある。また別の配置方法は、窓を箱体に対して傾斜させて接合する方法がある。しかしながら、窓を箱体に対して傾斜させるため、箱体の接合面に突出部を形成する必要があり、製造工程が複雑になるという課題がある。さらに、箱体に突出部を設けることにより、箱体自体が大型化するという課題がある。
【００１３】
（実施の形態）
以下では、本開示の実施の形態に係る光走査デバイスについて、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本開示の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態などは、一例であり、本開示を限定する趣旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本開示の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００１４】
また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。各図において、実質的に同一の構造については同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化している。
【００１５】
図１は、光走査デバイス３０の断面図である。
【００１６】
光走査デバイス３０は、箱体１と、箱体１の内部に配置された光学反射素子６とを備える。光学反射素子６を箱体１の内部に配置することにより、光学反射素子６の劣化を抑制できる。また、光学反射素子６において防塵・防水の効果がある。箱体１は、入射光４ａの光路上に窓２を有する。光学反射素子６は、回動可能な反射面７ａを有する。光走査デバイス３０は、反射面７ａの回動を制御することにより、光走査デバイス３０に入射される入射光４ａの反射角を制御する。これにより、光走査デバイス３０は、反射光４ｂを用いて所定の領域内を走査する。
【００１７】
図２は、光学反射素子６の上面図である。図２に示すように、光学反射素子６は、固定部９、可動部７および梁８を備える。固定部９は、枠形状である。光学反射素子６は、固定部９において箱体１に接続される。反射面７ａが配置される板状の可動部７は、固定部９の中心部分に配置される。梁８は、可動部７と固定部９との間に設けられ、可動部７を固定部９に接続する。梁８は、直線板状である。また、梁８の表面には駆動部１１が設けられている。駆動部１１は、梁８を上下方向に撓み振動させる。
【００１８】
なお、駆動部１１は、図示していないが、上部電極、圧電体層および下部電極を含む積層構造体である。圧電体層は、上部電極と下部電極の間に設けられる。駆動部１１は、上部電極と下部電極の間に制御電圧が印加されることで、直線部を上下方向に撓み振動させる。
【００１９】
駆動部１１は、圧電駆動方式の他、対向電極間の静電気力を利用した静電駆動方式など、公知の駆動方式を採用することが出来る。
【００２０】
光走査デバイス３０は、駆動部１１を制御して梁８を振動させることにより、可動部７に設けられた反射面７ａの角度を制御する。これにより、光走査デバイス３０は、入射光４ａの反射角を変化させる。したがって、光走査デバイス３０は、反射光４ｂを用いて、所定の領域内を走査することができる。
【００２１】
なお、反射面７ａが形成される可動部７の主面は、窓２の主面に対して非平行となるように配置される。これにより、入射光４ａが窓２で反射された反射光４ｃは、走査領域から外れる。光走査デバイス３０において、箱体１の内壁部分に実装面１０が形成されている。光学反射素子６の固定部９は、実装面１０に接続される。固定部９、及び、箱体１の上面に設けられる窓２の主面は、互いに箱体１の下面１ａに略平行に配置される。一方、反射面７ａを有する可動部７の主面は、窓２の主面に対して非平行となるように配置される。つまり、光学反射素子６において、固定部９は、反射面７ａに対して非平行である。
【００２２】
この構造によれば、箱体１の形状を直方体形状などの単純な形状にできるため、光走査デバイス３０の大型化を防止できる。箱体１に光学反射素子６及び窓２を接続する場合、箱体１との接続部分となる光学反射素子６の固定部９及び窓２は、略平行である。そのため、それぞれの接続工程における作業基準面は、箱体１の下面１ａと略平行な平面内となり、窓２と反射面７ａが非平行な構造を持つ光走査デバイス３０の生産性を高めることができる。固定部９、窓２及び箱体１の下面１ａは、平行である方が望ましい。固定部９、窓２及び箱体１の下面１ａが平行であることにより、光走査デバイス３０は、より生産性が向上する。
【００２３】
つまり、光走査デバイス３０は、窓２を有する箱体１と、箱体１の内部に実装される光学反射素子６と、を備え、光学反射素子６は、反射面７ａを有する可動部７と、一端が可動部７に接続される梁８と、梁８の他端に接続されるとともに箱体１に固定される固定部９と、を有し、固定部９は窓２と略平行であり、反射面７ａは固定部９と非平行である。
【００２４】
このような構成とすることにより、複雑な実装工程を必要とせず、生産性の高い光走査デバイス３０を実現できる。また、走査領域に対する不要光の入射を抑制した小型の光走査デバイス３０において、生産性を高めるという効果を有する。
【００２５】
固定部９と可動部７とを非平行に配置するため、可動部７は、予め固定部９に対して傾斜して形成される。例えば、光学反射素子６における梁８に内部応力を残留させることにより、駆動部１１による駆動力が印加されていない初期状態において梁８を振動方向に撓ませることができる。そして、梁８に残留した内部応力による梁８の撓みにより、可動部７を固定部９に対して傾斜させることができる。
【００２６】
梁８に対して内部応力を残留させる具体例について図３を用いて説明する。
【００２７】
図３は、図２の光学反射素子６における３−３断面の断面図である。
【００２８】
基板１２は、光学反射素子６における可動部７と固定部９を形成する基材である。固定部９は、基板１２の外周部分であり、可動部７は基板１２の内側部分である。基板１２の材料は、例えばＳｉである。基板１２における梁８に相当する部分にエポキシ系樹脂をスピンコートで塗布し、第一層１３を形成する。第一層１３の材料は、基板１２の材料の線熱膨張係数と異なる線熱膨張係数を有する。次に、この第一層１３の表面にＮｉなどの金属でめっきし、第二層１４を形成する。第二層１４は、第一層１３を支持するために設けられる。その後、基板１２の不要箇所をドライエッチングにより除去する。不要箇所は、固定部９と可動部７との間の領域であり、梁８を形成する第一層１３に接する部分を含む。この製造プロセスによれば、特殊な製造プロセスを経ず容易に可動部７を固定部９に対して傾斜させることができる。
【００２９】
以下では、第一層１３が有する線熱膨張係数が、基板１２の有する線熱膨張係数より大きい場合について説明する。
【００３０】
スピンコートによる第一層１３の形成工程において、光学反射素子６は加熱される。この時、第一層１３は、基板１２より線熱膨張係数が大きいため、基板１２よりも大きく膨張する。第一層１３の形成後、第一層１３は、基板１２に拘束された状態で降温される。したがって、第一層１３には熱収縮による内部応力１５が働く。また、第一層１３は、基板１２に拘束されているため、基板１２には内部応力１５と逆向きの引張応力１６が働く。その後、第一層１３に内部応力が負荷された状態のまま第一層１３の下の基板１２の不要箇所を除去する。基板１２の不要箇所を除去することにより、不要箇所と接していた第一層１３に対する基板１２による拘束が解除される。つまり、第一層１３に残留する内部応力１５に対して、基板１２が第一層１３を拘束しようとする引張応力１６がなくなる。したがって、第一層１３の内部応力１５が、第一層１３を支持する第二層１４に曲げモーメントとしてはたらく。そのため、第一層１３を破線で示すように第二層１４と反対側に撓ませることができる。この結果、梁８に接続された可動部７を固定部９に対して傾斜させることができる。なお、除去する不要箇所の大きさや位置を調整することにより、固定部９に対する可動部７の傾斜を調整することができる。
【００３１】
このように、梁８は、第一層１３と第二層１４とを含む積層構造である。第二層１４は、第一層１３を支持している。また、第一層１３の線熱膨張係数は、固定部９の線熱膨張係数と異なる。これにより、梁８において、容易に可動部７を固定部９に対して傾斜させることができる。
【００３２】
次に、光学反射素子の変形例について図４を用いて説明する。
【００３３】
図４は、光学反射素子１７の上面図である。図５は、図４の光学反射素子１７の５−５断面の断面図である。光学反射素子１７には、可動部１８が一対の梁１９を介して固定部２０に接続される。それぞれの梁１９の形状は、直線板状の直線部１９ａと、隣り合う直線部１９ａを反転接続する折返し部１９ｂと、を組み合わせた一連のミアンダ形状である。可動部１８の表面には反射面１８ａが設けられている。梁１９をミアンダ形状とすることにより、図２に示す直線板状の梁８で構成した光学反射素子６より可動部７の変位角を大きくできる。
【００３４】
梁１９の表面には、駆動部２１が設けられる。ミアンダ構造の梁１９は、駆動部２１によって振動が与えられ、直線部１９ａに撓みが生じる。梁１９は、複数の直線部１９ａの撓みを累積することができるので、直線部１９ａの本数に応じて変位角を大きくできる。それぞれの梁１９に上述した内部応力１５を残留させることにより、駆動部２１による駆動力が印加されていない初期状態において、可動部１８を固定部２０に対して傾斜させることができる。
【００３５】
図４において、一対の梁１９は、それぞれが３本の直線部１９ａを有している。一連のミアンダ構造において、隣接する直線部１９ａの延出方向は互いに逆向きである。そのため、ミアンダ構造において、直線部１９ａの本数は奇数であることが好ましい。直線部１９ａを奇数本とすることにより、順方向の撓みを有する直線部１９ａの数と逆方向の撓みを有する直線部１９ａの数を異ならせることができる。したがって、梁１９は、容易に初期状態での撓みを確保することができる。
【００３６】
このように、梁１９は、直線状に伸びる複数の直線部１９ａと、隣り合う直線部１９ａを接続する折返し部１９ｂとを有するミアンダ形状であり、直線部１９ａの本数は奇数である。これにより、梁１９において、容易に可動部１８を固定部２０に対して傾斜させることができる。
【００３７】
光学反射素子１７は、図３を用いて説明した形成プロセスと同様に形成することができる。また、梁１９の直線部１９ａの全体を第一層１３と第二層１４とからなる積層構造体として形成してもよい。このとき、図５に示すように、折返し部１９ｂに加重体２２が設けられていてもよい。折返し部１９ｂに加重体２２を付加することにより、梁１９の初期状態における撓みを大きくできる。
【００３８】
加重体２２は、基板１２の一部としてもよい。基板１２は、光学反射素子１７の基材である。固定部２０及び可動部１８は、基板１２により形成される。光学反射素子１７の製造プロセスにおいて、上述した様に基板１２の不要部分は、エッチングにより除去される。この除去過程において、直線部１９ａに相当する基板１２を除去し、折返し部１９ｂに相当する基板１２を残すようにエッチングを施してもよい。これにより、折返し部１９ｂに基板１２の一部を加重体２２として配置することができる。したがって、加重体２２は、梁１９の折返し部１９ｂに容易に形成される。このように、加重体２２は固定部２０と同じ材料であってもよい。なお、光学反射素子１７においては固定部２０の表面にも第一層１３及び第二層１４が設けられている。
【００３９】
図４に示すミアンダ構造の梁１９を用いた光学反射素子１７は、１軸走査型の光学反射素子である。光学反射素子１７において、可動部１８は、回動軸２３を中心とした回動動作が行われる。なお、図示ししていないが、光学反射素子１７は、可動部１８を枠状の可動枠に置き換えることにより、２軸走査型の光学反射素子としてもよい。２軸走査型の光学反射素子において、可動枠は、枠内にさらに、一対の梁と可動部を有する。可動枠内の一対の梁は、回動軸２３と異なる回動軸を有する。このような、２軸走査型光学反射素子においても１軸走査型の光学反射素子と同様の効果を奏する。
【００４０】
次に、光走査デバイスの変形例について図６を用いて説明する。図６は、光走査デバイス４０の断面図である。図１に示した光走査デバイス３０との相違点は、箱体１の内部に配置される光学反射素子２４の形状である。光学反射素子２４に設けられる可動部２５は、内部に屈曲部２６を有する。可動部２５に屈曲部２６を設けることにより、可動部２５を固定部２７に対して傾斜させる。屈曲部２６は、例えば、可動部２５を、塑性限界を超えて屈曲させることにより形成される。また、屈曲部２６を設ける位置は、可動部２５に限られない。例えば、屈曲部２６を、梁２８に形成しても同様の効果を得ることができる。このように、光走査デバイスにおいて、可動部２５または梁２８に屈曲部を設けてもよい。
【００４１】
さらに、異なる変形例である光走査デバイス５０について図７を用いて説明する。図７は、光走査デバイス５０の断面図である。光走査デバイス５０と上述した光走査デバイス３０，４０との相違点は、光源を箱体１の内部に配置している点である。つまり、光走査デバイス５０は、箱体の内部に配置される光源をさらに備える。光源は、例えば半導体レーザチップ５１である。半導体レーザチップ５１は、光学反射素子６の固定部９の主面に実装される。固定部９において半導体レーザチップ５１が実装される箇所は、可動部７及び梁８が接続される箇所の対角に位置している。このように、光源は、半導体レーザチップ５１であり、半導体レーザチップ５１は固定部９に実装されている。半導体レーザチップ５１を箱体１の内部に配置することにより、光源から出射される光線は窓２で箱体１の内側に反射する。そのため、光源の窓２での反射光は、箱体１の外部の走査領域へ照射されにくくなる。したがって、光走査デバイス５０において、走査領域へ照射される不要光の量を減らすことができ、鮮明かつ高精細な映像を投影することができる。
【００４２】
また、半導体レーザチップ５１を光学反射素子６の固定部９に実装する場合、半導体レーザチップ５１と反射面７ａを有する可動部７との光軸あわせを、光源を箱体１の外部に配置する場合に比べて、格段に高精度かつ容易に行うことができる。半導体レーザチップ５１と反射面７ａとの間に、ビーム整形部材５２を設けてもよい。ビーム整形部材５２は、固定部９に実装されて光源の一部を構成する部材である。ビーム整形部材５２は、半導体レーザチップ５１から出射される光線の光束形状を所望の形状に変換する。例えば、ビーム整形部材５２は、半導体レーザチップ５１から出射される楕円形状の発散光束５３を円形状の平行光束５４に変換する。ビーム整形部材５２は、例えば、コリメータレンズ、プリズム、シリンドリカルレンズ、トロイダルレンズあるいはこれらの組み合わせにより構成することができる。このように、光走査デバイス５０は、光線の光束形状を変換するビーム整形部材５２をさらに備え、ビーム整形部材５２は、半導体レーザチップ５１と反射面７ａとの間の固定部９に配置される。ビーム整形部材５２を光学反射素子６の固定部９に実装することにより、半導体レーザチップ５１、ビーム整形部材５２および反射面７ａの光軸あわせをより高精度に行うことができる。
【００４３】
本変形例では、光学反射素子６の固定部９の主面に半導体レーザチップ５１及びビーム整形部材５２が実装された構成としたが、光学反射素子６の代わりに図４に示す光学反射素子１７または図６に示す光学反射素子２４を用いてもよい。光学反射素子１７においては、固定部２０の主面に、半導体レーザチップ５１及びビーム整形部材５２が実装される。光学反射素子２４においては、固定部２７の主面に半導体レーザチップ５１及びビーム整形部材５２が実装される。このような構成であっても同様の効果を得ることができる。
【００４４】
以上、一つまたは複数の態様に係る光走査デバイスについて、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、この実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、一つまたは複数の態様の範囲内に含まれてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本開示は、車載用の光走査デバイスにおいて有効である。
【符号の説明】
【００４６】
１  箱体
２  窓
４ａ  入射光
４ｂ，４ｃ  反射光
６，１７，２４  光学反射素子
７，１８，２５  可動部
７ａ，１８ａ  反射面
８，１９，２８  梁
９，２０，２７  固定部
１０  実装面
１１，２１  駆動部
１２  基板
１３  第一層
１４  第二層
１５  内部応力
１６  引張応力
１９ａ  直線部
１９ｂ  折返し部
２２  加重体
２３  回動軸
２６  屈曲部
３０，４０，５０  光走査デバイス
５１  半導体レーザチップ
５２  ビーム整形部材
５３  発散光束
５４  平行光束
【図１】
2015145943.tif 000003
【図２】
2015145943.tif 000004
【図３】
2015145943.tif 000005
【図４】
2015145943.tif 000006
【図５】
2015145943.tif 000007
【図６】
2015145943.tif 000008
【図７】
2015145943.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成27年5月13日(2015.5.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
窓を有する箱体と、
前記箱体の内部に配置される光学反射素子と、を備え、
前記光学反射素子は、
反射面を有する可動部と、
一端が前記可動部に接続される梁と、
前記梁の他端に接続されるとともに前記箱体に固定される固定部と、を有し、
前記光学反射素子に駆動力が印加されていない初期状態において、
前記固定部は前記窓と略平行であり、
前記反射面は前記固定部と非平行である光走査デバイス。
【請求項２】
前記梁は、予め振動方向に撓ませた請求項１に記載の光走査デバイス。
【請求項３】
前記梁は、内部応力を有する請求項２に記載の光走査デバイス。
【請求項４】
前記梁は、第一層と第二層とを含む積層構造であり、
前記第二層は、前記第一層を支持し、
前記第一層の線熱膨張係数は、前記固定部の線熱膨張係数と異なる請求項３に記載の光走査デバイス。
【請求項５】
前記梁は、直線状に伸びる複数の直線部と、隣り合う前記直線部を接続する折返し部とを有するミアンダ形状であり、
前記直線部の本数は奇数である請求項４に記載の光走査デバイス。
【請求項６】
前記折返し部に加重体が設けられる請求項５に記載の光走査デバイス。
【請求項７】
前記加重体は前記固定部と同じ材料である請求項６に記載の光走査デバイス。
【請求項８】
前記可動部及び前記梁の少なくとも一方には屈曲部が設けられている請求項１に記載の光走査デバイス。
【請求項９】
前記箱体の内部に配置される光源をさらに備える請求項１に記載の光走査デバイス。
【請求項１０】
前記光源は半導体レーザチップであり、
前記半導体レーザチップは固定部に実装される請求項９に記載の光走査デバイス。
【請求項１１】
光線の光束形状を変換するビーム整形部材をさらに備え、
前記ビーム整形部材は、前記半導体レーザチップと前記反射面との間の前記固定部に配置される請求項１０に記載の光走査デバイス。
【国際調査報告】
2015145943.tif 000010
2015145943.tif 000011
2015145943.tif 000012
2015145943.tif 000013