(57)【要約】  吸着ノズルの検査方法において、断面積の異なる複数の基準パイプの各々を流れるエア流量（Ｌ１，Ｌ２）を測定する。次に、測定された複数の基準パイプの各エア流量と、複数の基準パイプの各断面積（Ｄ１，Ｄ２）とに基づいて、基準パイプのエア流量と断面積との比例定数（直線１３０の勾配）を演算する。また、検査対象の吸着ノズルを流れるエア流量（Ｌｎ１）を測定する。そして、その吸着ノズルのエア流量と演算された比例定数とに基づいて、吸着ノズルの断面積（Ｄｎ）を演算する。このようにして演算された吸着ノズルの断面積は、エア源から供給されるエアの圧力が変動しても、概ね一定である。また、吸着ノズルの断面積は、吸着ノズルの内部を流れるエア流量と比例する。これにより、エア源から供給されるエアの圧力が変動した場合であっても、エア流量検査を適切に行うことが可能となる。
2016009491.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物をエアの吸引により吸着する吸着ノズルを検査する検査方法であって、
当該検査方法が、
断面積の異なる複数の基準パイプの各々を流れる単位時間当たりのエア流量を測定する基準パイプ測定工程と、
前記基準パイプ測定工程において測定された前記複数の基準パイプの各々のエア流量と、前記複数の基準パイプの各々の断面積とに基づいて、前記基準パイプのエア流量と断面積との比例定数を演算する比例定数演算工程と、
検査対象の吸着ノズルを流れる単位時間当たりのエア流量を測定する吸着ノズル測定工程と、
前記吸着ノズル測定工程において測定されたエア流量と、前記比例定数演算工程において演算された比例定数とに基づいて、前記検査対象の吸着ノズルの断面積を演算する断面積演算工程と
を含むことを特徴とする検査方法。
【請求項２】
対象物をエアの吸引により吸着する吸着ノズルを検査する検査方法であって、
当該検査方法が、
第１のエア源から供給されるエアの圧力を設定圧に調整する圧力調整工程と、
前記圧力調整工程において調整された圧力のエアを利用してエア流路内を流れるエアの単位時間当たりの流量を、設定量に調整する流量調整工程と、
前記流量調整工程によるエアの流量の調整が完了した後に、第１のエア源を、前記第１のエア源より圧力変動の大きな第２のエア源に交換するエア源交換工程と、
前記エア源交換工程によるエア源の交換が完了した後に、前記エア流路内を流れるエアの単位時間当たりの流量を測定する第１測定工程と、
前記エア流路に検査対象の吸着ノズルを接続した状態で、前記エア流路内を流れるエアの単位時間当たりの流量を測定する第２測定工程と、
前記第２測定工程において測定された単位時間当たりの流量に、前記第１測定工程において測定された単位時間当たりの流量の前記設定量に対する比率を乗じた値を、推定流量として演算する推定流量演算工程と
を含むことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物をエアの吸引により吸着する吸着ノズルを検査する検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
吸着ノズルは、エアの吸引により対象物を吸着することから、適切な吸引力が必要である。詰まり等の生じた吸着ノズルでは、適切な吸引力が得られないことから、吸着ノズルの検査として、吸着ノズルの内部を適切な量のエアが流れているか否かの検査（以下、「エア流量検査」と記載する場合がある）がある。下記特許文献には、エア流量検査の一例が記載されている。【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１０３９２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献に記載の検査方法によれば、エア流量検査を、ある程度、適切に行うことが可能である。しかしながら、エア流量検査時には、一般的に、エア源からエアが供給され、そのエアを用いてエア流量の測定が行われるが、エア源から供給されるエアの圧力が大きく変動する場合がある。このような場合には、吸着ノズルの内部に流されるエア流量も変動するため、適切にエア流量検査を行えない虞がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、エア源から供給されるエアの圧力が大きく変動した場合であっても、エア流量検査を適切に行うことである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本願に記載の検査方法は、対象物をエアの吸引により吸着する吸着ノズルを検査する検査方法であって、当該検査方法が、断面積の異なる複数の基準パイプの各々を流れる単位時間当たりのエア流量を測定する基準パイプ測定工程と、前記基準パイプ測定工程において測定された前記複数の基準パイプの各々のエア流量と、前記複数の基準パイプの各々の断面積とに基づいて、前記基準パイプのエア流量と断面積との比例定数を演算する比例定数演算工程と、検査対象の吸着ノズルを流れる単位時間当たりのエア流量を測定する吸着ノズル測定工程と、前記吸着ノズル測定工程において測定されたエア流量と、前記比例定数演算工程において演算された比例定数とに基づいて、前記検査対象の吸着ノズルの断面積を演算する断面積演算工程とを含むことを特徴とする。【０００６】
また、上記課題を解決するために、本願に記載の検査方法は、対象物をエアの吸引により吸着する吸着ノズルを検査する検査方法であって、当該検査方法が、第１のエア源から供給されるエアの圧力を設定圧に調整する圧力調整工程と、前記圧力調整工程において調整された圧力のエアを利用してエア流路内を流れるエアの単位時間当たりの流量を、設定量に調整する流量調整工程と、前記流量調整工程によるエアの流量の調整が完了した後に、第１のエア源を、前記第１のエア源より圧力変動の大きな第２のエア源に交換するエア源交換工程と、前記エア源交換工程によるエア源の交換が完了した後に、前記エア流路内を流れるエアの単位時間当たりの流量を測定する第１測定工程と、前記エア流路に検査対象の吸着ノズルを接続した状態で、前記エア流路内を流れるエアの単位時間当たりの流量を測定する第２測定工程と、前記第２測定工程において測定された単位時間当たりの流量に、前記第１測定工程において測定された単位時間当たりの流量の前記設定量に対する比率を乗じた値を、推定流量として演算する推定流量演算工程とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本願に記載の検査方法では、断面積の異なる複数の基準パイプの各々を流れる単位時間当たりのエア流量を測定する。次に、測定された複数の基準パイプの各々のエア流量と、それら複数の基準パイプの各々の断面積とに基づいて、基準パイプのエア流量と断面積との比例定数を演算する。また、検査対象の吸着ノズルを流れる単位時間当たりのエア流量を測定する。そして、測定された吸着ノズルのエア流量と、演算された比例定数とに基づいて、検査対象の吸着ノズルの断面積を演算する。吸着ノズルのエア流量と比例定数とに基づいて演算された吸着ノズルの断面積は、エア源から供給されるエアの圧力が変動した場合であっても、後に詳しく説明するように、概ね一定となる。また、吸着ノズルの断面積は、吸着ノズルの内部を流れるエア流量と比例する。このため、演算された吸着ノズルの断面積を用いて、エア流量検査を行うことで、エア源から供給されるエアの圧力が大きく変動した場合であっても、エア流量検査を適切に行うことが可能となる。【０００８】
また、本願に記載の検査方法では、第１のエア源から供給されるエアの圧力を設定圧に調整する。次に、調整された圧力のエアを利用してエア流路内を流れるエアの単位時間当たりの流量を、設定量に調整する。続いて、エアの流量の調整が完了した後に、第１のエア源を、その第１のエア源より圧力変動の大きな第２のエア源に交換する。さらに、エア源の交換が完了した後に、エア流路内を流れるエアの単位時間当たりの流量を測定する。また、エア流路に検査対象の吸着ノズルを接続した状態で、エア流路内を流れるエアの単位時間当たりの流量を測定する。そして、吸着ノズルが接続された状態のエア流路の単位時間当たりのエア流量に、エア源が交換された後に測定された単位時間当たりのエア流量の上記設定量に対する比率を乗じた値を、推定流量として演算する。この演算された推定流量は、第１のエア源からエアが供給されている際、つまり、エア流路を流れるエアの流量が殆ど変動していない際のエア流量となる。このため、推定流量に基づいてエア流量検査を行うことで、エア源から供給されるエアの圧力が大きく変動した場合であっても、エア流量検査を適切に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】電子部品装着装置を示す斜視図である。
【図２】吸着ノズルを示す斜視図である。
【図３】ノズル管理装置を示す斜視図である。
【図４】流量検査装置を示す概略図である。
【図５】吸着ノズルの断面積と吸着ノズルの内部を流れるエアの流量との関係を示すグラフである。
【図６】第２実施例の流量検査装置を示す概略図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。【００１１】
＜電子部品装着装置の構成＞
図１に、電子部品装着装置（以下、「装着装置」と略す場合がある）１０を示す。装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。【００１２】
各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。【００１３】
搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって固定的に保持される。【００１４】
移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータの作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。【００１５】
装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６の下端面には、吸着ノズル６０が設けられている。吸着ノズル６０は、図２に示すように、胴体筒６４とフランジ部６６と吸着管６８と掛止ピン７０とによって構成されている。胴体筒６４は、円筒状をなし、フランジ部６６は、胴体筒６４の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管６８は、細いパイプ状をなし、胴体筒６４の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒６４に軸線方向に移動可能に保持されている。掛止ピン７０は、胴体筒６４の径方向に延びるように、胴体筒６４の上端部に設けられている。吸着ノズル６０は、掛止ピン７０を利用して、装着ヘッド２６にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。【００１６】
また、吸着ノズル６０は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。各吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させるノズル昇降装置（図示省略）を有している。そのノズル昇降装置によって、装着ヘッド２６は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。【００１７】
供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、フレーム部３２の前方側の端部に配設されている。供給装置２８は、テープフィーダ７２を有している。テープフィーダ７２は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７２は、送出装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。【００１８】
ノズルステーション３０は、複数の吸着ノズル６０を収容するノズルトレイ７８を有している。このノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７８に収容されている吸着ノズル６０との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ７８は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルトレイ７８に収容された吸着ノズル６０の回収，ノズルトレイ７８への吸着ノズル６０の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。【００１９】
＜装着機による装着作業＞
装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって固定的に保持される。また、テープフィーダ７２は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。【００２０】
＜吸着ノズルの検査＞
装着機１４では、上述したように、テープフィーダ７２によって供給された電子部品が、吸着ノズル６０によって吸着保持され、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル６０に不具合が生じていると、適切な装着作業を実行することができない。このようなことを考慮して、装着機１４のノズルステーション３０からノズルトレイ７８が取り外され、ノズル管理装置において、ノズルトレイ７８に収容されている吸着ノズル６０の検査が行われる。【００２１】
詳しくは、ノズル管理装置８０は、図３に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ７８をノズル管理装置８０内に収納、若しくは、ノズル管理装置８０からノズルトレイ７８を取り出すための引出８２が設けられている。そして、ノズル管理装置８０内に収納された吸着ノズル６０は、ノズル管理装置８０内において、管理及び検査が行われる。この吸着ノズル６０の検査の際に、吸着ノズル６０内を流れるエアの流量の検査が行われる。【００２２】
詳しくは、エア流量の検査を行う流量検査装置１００は、図４に示すように、工場エア源１０２と、レギュレータ１０４と、エジェクタ１０６と、流量測定器１０８と、エアジョイント１１０とを備えている。工場エア源１０２は、流量検査装置１００のエア源であり、流量検査装置１００に加圧されたエアを供給する。ただし、工場エア源１０２は、ノズル管理装置８０が配設される工場内の他の装置のエア源でもあり、その他の装置へのエアの供給等により、工場エア源１０２により供給されるエアの圧力は、変動する。【００２３】
レギュレータ１０４は、エアの圧力を調整する調整弁であり、工場エア源１０２から供給されたエアが流れる加圧エア流路１１２に配設されている。これにより、工場エア源１０２から供給されたエアは、レギュレータ１０４により任意の圧力に調整される。また、エジェクタ１０６は、加圧されたエアを利用して、エアを減圧する真空ポンプであり、加圧エア流路１１２に接続されている。これにより、エジェクタ１０６は、真空ポート１１４からエアを吸引するとともに、排気ポート１１６からエアを吹き出す。【００２４】
その真空ポート１１４には、減圧エア流路１１８が接続されており、減圧エア流路１１８内のエアが、エジェクタ１０６により吸引される。その減圧エア流路１１８には、流量測定器１０８が配設されており、流量測定器１０８により、減圧エア流路１１８内を流れるエアの単位時間あたりの流量（以下、「エア流量」と略して記載する場合がある）が測定される。また、減圧エア流路１１８には、エアジョイント１１０が接続されており、そのエアジョイント１１０に吸着ノズル６０の吸着管６８が接続されることで、吸着ノズル６０内を流れるエアの流量が、流量測定器１０８により測定される。【００２５】
吸着ノズル６０内を流れるエアの流量が測定されると、その測定値に基づいて、吸着ノズル６０が正常であるか否かを判断することが可能である。詳しくは、正常な吸着ノズル６０にエアが供給される際には、吸着ノズル６０内をエアが通り抜けていくため、流量測定器１０８により測定されるエア流量は、比較的多い。一方、詰まり等の生じた吸着ノズル６０にエアが供給される際には、吸着ノズル６０内をエアが通り抜け難いため、流量測定器１０８により測定されるエア流量は、比較的少なくなる。このため、流量測定器１０８により測定されたエア流量が所定の量より多い場合には、吸着ノズル６０を正常であると判断し、流量測定器１０８により測定されたエア流量が所定の量以下である場合には、吸着ノズル６０を不良であると判断することが可能である。ただし、流量検査装置１００のエア源である工場エア源１０２により供給されるエアの圧力は、上述したように、変動するため、減圧エア流路１１８内を流れるエアの流量も変動する虞がある。このため、流量測定器１０８により測定されたエア流量を用いて、吸着ノズル６０が正常であるか否かを適切に判断できない虞がある。【００２６】
このようなことに鑑みて、流量検査装置１００では、流量測定器１０８により測定されたエア流量に基づいて、吸着ノズル６０の有効断面積を推定し、その推定された吸着ノズル６０の有効断面積を利用して、吸着ノズル６０が正常であるか否かが判断される。具体的には、まず、２本の基準パイプ１２０，１２２内を流れるエア流量を測定する。２本の基準パイプ１２０，１２２は、互いに有効断面積が異なっており、基準パイプ１２０の有効断面積は、Ｄ１であり、基準パイプ１２２の有効断面積は、Ｄ２（＜Ｄ１）である。なお、吸着ノズル６０および、基準パイプ１２０，１２２の有効断面積は、エアが流通する経路の最少の断面積である。【００２７】
２本の基準パイプ１２０，１２２内を流れるエア流量が測定されると、基準パイプ１２０，１２２の有効断面積に対する測定されたエア流量の比例定数が演算される。具体的には、例えば、基準パイプ１２０内を流れるエア流量がＬ１であり、基準パイプ１２２内を流れるエア流量がＬ２（＜Ｌ１）である場合には、比例定数Ａは、下記式に従って演算される。
Ａ＝（Ｌ１−Ｌ２）／（Ｄ１−Ｄ２）【００２８】
比例定数Ａが、上記手順に従って演算されると、その比例定数Ａと吸着ノズル６０内を流れるエア流量とに基づいて、吸着ノズル６０の有効断面積が演算される。詳しくは、吸着ノズル６０内を流れるエア流量が、Ｌｎ１である場合には、図５に示すように、比例定数Ａを勾配とする直線１３０に基づいて、吸着ノズル６０の有効断面積として、Ｄｎが演算される。【００２９】
また、例えば、工場エア源１０２から供給されるエアの圧力が変動し、減圧エア流路１１８を流れるエアの流量が変化した場合には、基準パイプ１２０，１２２の有効断面積に対するエア流量の比例定数が変化する。具体的には、例えば、減圧エア流路１１８を流れるエア流量の変化により、基準パイプ１２０内を流れるエア流量がＬ３となり、基準パイプ１２２内を流れるエア流量がＬ４（＜Ｌ３）となる場合がある。このような場合には、比例定数Ａ´は、下記式に従って演算される。
Ａ´＝（Ｌ３−Ｌ４）／（Ｄ１−Ｄ２）【００３０】
そして、吸着ノズル６０内を流れるエア流量が、Ｌｎ２である場合には、比例定数Ａ´を勾配とする直線１３２に基づいて、吸着ノズル６０の有効断面積として、Ｄｎが演算される。この際、比例定数Ａ´を勾配とする直線１３２は、図５に示すように、比例定数Ａを勾配とする直線１３０と異なるが、（Ｌ３−Ｌｎ２）：（Ｌｎ２−Ｌ４）の比率と、（Ｌ１−Ｌｎ１）：（Ｌｎ１−Ｌ２）の比率とは同じとなるため、比例定数Ａ´を勾配とする直線１３２に基づいて演算された有効断面積Ｄｎと、比例定数Ａを勾配とする直線１３０に基づいて演算された有効断面積Ｄｎとは同じとなる。つまり、工場エア源１０２から供給されるエアの圧力が変動して、基準パイプ１２０，１２２の有効断面積に対するエア流量の比例定数が変化した場合であっても、吸着ノズル６０の有効断面積として、Ｄｎが演算される。【００３１】
また、例えば、エア流量の測定値が所定数αオフセットした場合には、基準パイプ１２０内を流れるエア流量がＬ３＋αとなり、基準パイプ１２２内を流れるエア流量がＬ４＋αとなる。このような場合には、比例定数は、下記式に従って演算され、その比例定数は、上記比例定数Ａ´と同じとなる。
Ａ´＝{（Ｌ３＋α）−（Ｌ４＋α）}／（Ｄ１−Ｄ２）＝（Ｌ３−Ｌ４）／（Ｄ１−Ｄ２）【００３２】
ただし、エア流量の測定値がオフセットした場合の直線１３４と、オフセット前の直線１３２とは、比例定数は同じであっても、切片が異なる。このような場合であっても、吸着ノズル６０内を流れるエア流量も、所定数αオフセットし、Ｌｎ２＋αとなる。この際、{（Ｌ３＋α）−（Ｌｎ２＋α）}：{（Ｌｎ２＋α）−（Ｌ４＋α）}の比率と、（Ｌ３−Ｌｎ２）：（Ｌｎ２−Ｌ４）の比率とは同じとなるため、直線１３４に基づいて演算された有効断面積は、Ｄｎとなる。つまり、エア流量の測定値がオフセットした場合であっても、吸着ノズル６０の有効断面積として、Ｄｎが演算される。【００３３】
このように、流量検査装置１００では、工場エア源１０２から供給されるエアの圧力変動が生じた場合および、エア流量の測定値がオフセットした場合であっても、適切に吸着ノズル６０の有効断面積を演算することが可能である。また、吸着ノズル６０の有効断面積と、吸着ノズル６０内を流れるエア流量とは、図５に示すように、比例している。つまり、正常な吸着ノズル６０にエアが供給される際には、吸着ノズル６０内を比較的多くの量のエアが流れることから、吸着ノズル６０の有効断面積は、比較的大きい。一方、詰まり等の生じた吸着ノズル６０にエアが供給される際には、少しの量のエアしか吸着ノズル６０内を流れないことから、吸着ノズル６０の有効断面積は、比較的小さい。このため、演算された吸着ノズル６０の有効断面積が所定の断面積より多い場合には、吸着ノズル６０は正常であると判断され、演算された吸着ノズル６０の有効断面積が所定の断面積以下である場合には、吸着ノズル６０は不良であると判断される。これにより、工場エア源１０２から供給されるエアの圧力変動が生じた場合であっても、吸着ノズル６０が正常であるか否かを適切に判断することが可能となる。【００３４】
なお、基準パイプ１２０，１２２内を流れるエア流量を流量測定器１０８により測定する工程が、基準パイプ測定工程の一例である。基準パイプ測定工程において測定された基準パイプ１２０，１２２内を流れるエア流量と、基準パイプ１２０，１２２の有効断面積とに基づいて、基準パイプ１２０，１２２の有効断面積に対するエア流量の比例定数を演算する工程が、比例定数演算工程の一例である。エアジョイント１１０に吸着ノズル６０の吸着管６８を接続した状態で、吸着ノズル６０内を流れるエア流量を流量測定器１０８により測定する工程が、吸着ノズル測定工程の一例である。比例定数演算工程において演算された比例定数と、吸着ノズル測定工程において測定された吸着ノズル６０内を流れるエア流量とに基づいて、吸着ノズル６０の有効断面積を演算する工程が、断面積演算工程の一例である。【００３５】
＜第２実施例＞
上記実施例の流量検査装置１００では、吸着ノズル６０の有効断面積に基づいて、吸着ノズル６０が正常であるか否かが判断されているが、第２実施例の流量検査装置では、吸着ノズル６０内を流れるエア流量に基づいて、吸着ノズル６０が正常であるか否かが判断される。以下に、図６に示す第２実施例の流量検査装置１５０を用いた吸着ノズル６０の検査方法について、説明する。なお、第２実施例の流量検査装置１５０は、コンプレッサ１５２と圧力計１５４とスピードコントローラ１５６とを除いて、上記流量検査装置１００と同じ構成である。このため、流量検査装置１００の構成と同じものについては、流量検査装置１００と同じ符号を用い、説明を省略する。【００３６】
流量検査装置１５０では、図６に示すように、エア源として、工場エア源１０２とコンプレッサ１５２とが設けられており、それら工場エア源１０２とコンプレッサ１５２との何れか一方から、加圧エア流路１１２に加圧されたエアが供給される。なお、コンプレッサ１５２は、流量検査装置１５０だけにエアを供給するものであり、工場エア源１０２と異なり、コンプレッサ１５２から供給されるエアの変動は少ない。【００３７】
また、圧力計１５４は、加圧エア流路１１２のレギュレータ１０４とエジェクタ１０６との間に配設されており、エジェクタ１０６に供給されるエアの圧力を検出する。これにより、エジェクタ１０６に供給されるエアの圧力を、レギュレータ１０４によって所定の圧力に調整することが可能となる。さらに、スピードコントローラ１５６は、減圧エア流路１１８のエジェクタ１０６と流量測定器１０８との間に配設されており、減圧エア流路１１８を流れるエアの流量を調整する。【００３８】
上記構造の流量検査装置１５０では、まず、加圧エア流路１１２にコンプレッサ１５２からエアが供給される。これにより、圧力変動の少ないエアが、加圧エア流路１１２に供給される。そして、エジェクタ１０６に供給されるエアの圧力が、レギュレータ１０４により設定圧に調整される。続いて、減圧エア流路１１８を流れるエアの流量が、スピードコントローラ１５６によって、設定量に調整される。なお、スピードコントローラ１５６によってエア流量が調整される際には、エアジョイント１１０に吸着ノズル６０は接続されてない。つまり、開放された状態の減圧エア流路１１８を流れるエアの流量（以下、「調整時開放流量」と記載する場合がある）が、設定量に調整される。【００３９】
調整時開放流量が設定量に設定されると、流量検査装置１５０のエア源が、コンプレッサ１５２から工場エア源１０２に変更される。つまり、加圧エア流路１１２に、工場エア源１０２からエアが供給される。そして、エア源が変更された後に、減圧エア流路１１８を流れるエアの流量が、流量測定器１０８によって測定される。なお、エア源が変更された後に流量測定器１０８によってエア流量が測定される際には、エアジョイント１１０に吸着ノズル６０は接続されてない。つまり、エア源が変更された後に、開放された状態の減圧エア流路１１８を流れるエアの流量（以下、「エア源変更後開放流量」と記載する場合がある）が測定される。【００４０】
次に、減圧エア流路１１８に吸着ノズル６０の吸着管６８が接続され、その吸着ノズル６０内を流れるエア流量が、流量測定器１０８によって測定される。そして、その吸着ノズル６０内を流れるエア流量の測定値（以下、「ノズル測定値」と記載する場合がある）が、調整時開放流量とエア源変更後開放流量とに基づいて、調整される。【００４１】
詳しくは、ノズル測定値が測定される際には、加圧エア流路１１２には、工場エア源１０２からエアが供給されている。このため、加圧エア流路１１２に供給されるエアの圧力変動により減圧エア流路１１８を流れるエア流量も変動し、ノズル測定値は、同じ吸着ノズル６０のエア流量を測定した場合であっても、測定毎に異なる虞がある。つまり、ノズル測定値を用いて、吸着ノズル６０が正常であるか否かを適切に判断できない虞がある。このため、ノズル測定値Ｌｎは、下記式に従って調整され、調整後のエア流量Ｌが演算される。
Ｌ＝（Ｌ０／Ｌｓ）×Ｌｎ
なお、Ｌｓは、調整時開放流量であり、Ｌ０は、エア源変更後開放流量である。【００４２】
上記式に従って演算されたエア流量Ｌは、コンプレッサ１５２から加圧エア流路１１２にエアが供給されている際、つまり、減圧エア流路１１８のエア流量が殆ど変動していない際のエア流量となる。これにより、加圧エア流路１１２に供給されるエアの圧力変動により異なるノズル測定値Ｌｎが測定された場合であっても、上記式に従って演算されたエア流量Ｌは、概ね一定となる。これにより、演算されたエア流量Ｌを用いて、吸着ノズル６０が正常であるか否かを適切に判断することが可能となる。【００４３】
なお、レギュレータ１０４によりコンプレッサ１５２から供給されたエアの圧力を調整する工程が、圧力調整工程の一例である。スピードコントローラ１５６により調整時開放流量Ｌｓを調整する工程が、流量調整工程の一例である。流量検査装置１５０のエア源を、コンプレッサ１５２から工場エア源１０２に変更する工程が、エア源交換工程の一例である。エア源の変更後に、エア源変更後開放流量Ｌ０を流量測定器１０８により測定する工程が、第１測定工程の一例である。エア源変更後開放流量測定後に、ノズル測定値Ｌｎを流量測定器１０８により測定する工程が、第２測定工程の一例である。上記式に従ってエア流量Ｌを演算する工程が、推定流量演算工程の一例である。【００４４】
また、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、吸着ノズル６０の吸着管６８からエアが吸引される際のエア流量が測定されているが、吸着管６８にエアが吹き込まれる際のエア流量を測定することが可能である。【００４５】
また、上記第１実施例では、流量検査装置１００を用いて吸着ノズル６０の断面積を推定しているが、流量検査装置１５０を用いて吸着ノズル６０の推定を行うことも可能である。詳しくは、流量検査装置１５０により調整時開放流量を調整した後に、基準パイプ１２０，１２２のエア流量を測定し、測定されたエア流量と基準パイプ１２０，１２２の有効断面積とに基づいて、基準パイプ１２０，１２２の有効断面積に対するエア流量の比例定数を演算する。そして、演算された比例定数と、吸着ノズル６０のエア流量とに基づいて、吸着ノズル６０の有効断面積を演算することが可能である。【００４６】
また、上記実施例では、本発明の検査方法が、電子部品を吸着保持する吸着ノズル６０の検査方法に適用されているが、種々の対象物を吸着保持する吸着ノズルの検査方法に適用することが可能である。
【符号の説明】
【００４７】
６０：吸着ノズル    １０２：工場エア源（第１のエア源）  １１８：減圧エア流路（エア流路）  １２０：基準パイプ    １２２：基準パイプ    １５２：コンプレッサ（第２のエア源）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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