(57)【要約】  互いに対向する表主面と裏主面とを有し、表主面および裏主面に沿って圧電性高分子が配向する圧電性高分子フィルムと、前記圧電性高分子フィルムの表主面に配される第１検出電極と、前記圧電性高分子フィルムの裏主面に配されて前記第１検出電極と対向する第２検出電極と、を備える押圧センサであって、前記圧電性高分子フィルムの表主面側から視た形状と、前記圧電性高分子フィルムの裏主面側から視た形状とが、互いに相違していることを特徴としている。
2015041195.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する表主面と裏主面とを有し、表主面および裏主面に沿って圧電性高分子が配向する圧電性高分子フィルムと、
前記圧電性高分子フィルムの表主面に配されている第１検出電極と、
前記圧電性高分子フィルムの裏主面に配されており、前記第１検出電極と対向している第２検出電極と、を備える押圧センサであって、
前記圧電性高分子フィルムの表主面側から視た形状と、前記圧電性高分子フィルムの裏主面側から視た形状とが、互いに相違していることを特徴としている、
押圧センサ。
【請求項２】
前記圧電性高分子フィルムは、表主面および裏主面に露出する切欠き状または突起状あるいは開口状の異形部が形成されている、
請求項１に記載の押圧センサ。
【請求項３】
前記圧電性高分子フィルムの表主面および裏主面は、互いに並行する２つの長辺と、前記長辺に直交する２つの短辺とを有し、前記異形部は、前記長辺および短辺のなす角部分のうちの少なくとも一つの近傍に形成されている、
請求項２に記載の押圧センサ。
【請求項４】
前記圧電性高分子フィルムの表主面および裏主面は、互いに直交する四辺を有し、前記異形部は、前記四辺のうちのいずれかの辺に、その辺の中心からずれて形成されている、
請求項２に記載の押圧センサ。
【請求項５】
前記異形部は、前記圧電性高分子フィルムの表主面側から視た形状と、前記圧電性高分子フィルムの裏主面側から視た形状とが相違している、
請求項２に記載の押圧センサ。
【請求項６】
前記圧電性高分子フィルムの表主面および裏主面は、互いに直交する四辺を有し、
前記圧電性高分子フィルムは、表主面および裏主面の各辺に対して交差する方向に配向するキラル高分子を主材料とする、請求項２乃至請求項５のいずれかに記載の押圧センサ。
【請求項７】
前記キラル高分子は、前記圧電性高分子フィルムの表主面および裏主面の各辺に対して略４５°の方向に配向する、請求項６に記載の押圧センサ。
【請求項８】
前記第１検出電極が表面に形成されており前記圧電性高分子フィルムの表主面側を覆う第１電極形成部を有する基板と、前記第２検出電極が表面に形成されており前記圧電性高分子フィルムの裏主面側を覆う第２電極形成部を有する基板と、をさらに備える、請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の押圧センサ。
【請求項９】
前記第１電極形成部を有する基板と前記第２電極形成部を有する基板とは、連続する単一の基板で構成されており、前記第１電極形成部と前記第２電極形成部が対向するように、折り曲げられ、その間に前記圧電性高分子フィルムが配される、請求項８に記載の押圧センサ。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の押圧センサの製造方法であって、
前記圧電性高分子フィルムの一方の平面形状から、前記圧電性高分子フィルムの表主面と裏主面との向きを判別し、前記圧電性高分子フィルムの表主面と裏主面との向きを、基準の向きに整える工程と、
前記圧電性高分子フィルムの表主面に、前記第１検出電極および前記第１電極形成部を有する基板を配し、前記圧電性高分子フィルムの裏主面に、前記第２検出電極および前記第２電極形成部を有する基板を配する工程と、
を実施する押圧センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネル等の操作面が押し込まれることを検出する押圧センサと、その製造方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
タッチパネルのような入力デバイスでは、操作面での操作位置を検出するだけでなく、操作面での押し込み量を検出する場合があり、操作面の押し込み量を検出することができる押圧センサが付設されることがある。押圧センサには種々の構成があるが、透光性と可撓性に優れる圧電性高分子フィルムを用いた押圧センサが開発されている（例えば特許文献１参照。）。圧電性高分子フィルムは、代表的には、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ：ＰｏｌｙＶｉｎｙｌｉｄｅｎｅＤｉＦｌｕｏｒｉｄｅ）を主材料とするものが知られている。また、Ｌ型ポリ乳酸（ＰＬＬＡ：Ｐｏｌｙ-Ｌ-Ｌａｃｔｉｃ Ａｃｉｄ）やＤ型ポリ乳酸（ＰＤＬＡ：Ｐｏｌｙ-Ｄ-Ｌａｃｔｉｃ Ａｃｉｄ）などのキラル高分子を主材料とする圧電性高分子フィルムも知られている。【０００３】
ＰＶＤＦを主材料とする圧電性高分子フィルムは、ＰＶＤＦをフィルム表面に平行な方向に配向させ、フィルムの厚み方向にポーリングすることにより、フィルムの厚み方向からの押圧力を検出する圧電性が発現する。したがって、ＰＶＤＦを主材料とする圧電性高分子フィルムを用いる押圧センサでは、圧電性高分子フィルムの表裏面に検出電極を設けることで、フィルムの厚み方向からの押圧力に応じた電圧出力を得ることができる。【０００４】
また、ＰＬＬＡやＰＤＬＡ等のキラル高分子を主材料とする圧電性高分子フィルムは、キラル高分子をフィルム表面に平行な方向に配向させ、この方向に対して所定角度で外形辺を切り出すことで、フィルムの厚み方向からの押圧力を検出する圧電性が発現する。したがって、キラル高分子を主材料とする圧電性高分子フィルムを用いる押圧センサでも、圧電性高分子フィルムの表裏面に検出電極を設けることで、フィルムの厚み方向からの押圧力に応じた電圧出力を得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開２０１２／１３７８９７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したような圧電性高分子フィルムでは、ＰＬＬＡ等の圧電性高分子が配向する方向やポーリング方向などに応じて圧電性が発現する方向が制限される。そして、押圧センサの電圧出力の極性が、押圧センサに圧電性高分子フィルムを組み付ける際の圧電性高分子フィルムの表裏面の向きに応じたものになる。【０００７】
そのため、押圧センサの製造工程では、圧電性高分子フィルムを組み付ける際の圧電性高分子フィルムの表裏面の向きを正しくする必要がある。しかしながら、圧電性高分子フィルムの表裏面に配する電極形状が同形状である場合や、圧電性高分子フィルムの表裏面に配する電極が透明電極である場合、圧電性高分子フィルムとは別に電極を設けたフィルムで、圧電性高分子フィルムを挟み込む場合などには、圧電性高分子フィルムの表裏面を判別することが難しく、時として、圧電性高分子フィルムが表裏面を誤って組み付けられてしまうことがあった。【０００８】
そこで、本発明の目的は、圧電性高分子フィルムを押圧センサに正しく組み付ける精度を高めることができる、押圧センサの構造と製造方法とを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、互いに対向する表主面と裏主面とを有し、表主面および裏主面に沿って圧電性高分子が配向する圧電性高分子フィルムと、前記圧電性高分子フィルムの表主面に配されている第１検出電極と、前記圧電性高分子フィルムの裏主面に配されおり、前記第１検出電極と対向している第２検出電極と、を備える押圧センサであって、前記圧電性高分子フィルムの表主面側から視た形状と、前記圧電性高分子フィルムの裏主面側から視た形状とが、互いに相違していることを特徴としている。【００１０】
この構成では、圧電性高分子フィルムの形状が表主面側と裏主面側とで相違するので、圧電性高分子フィルムの形状から圧電性高分子フィルムの表裏面を正確に判別することができる。したがって、押圧センサに圧電性高分子フィルムを正しく組み付ける精度を向上させることができる。これにより、圧電性高分子フィルムに作用する押圧力の方向を反映した正しい電圧極性で検出電圧が得られる押圧センサを精度よく製造することができる。【００１１】
前記圧電性高分子フィルムは、表主面および裏主面に露出する切欠き状または突起状あるいは開口状の異形部が形成されていてもよい。【００１２】
前記圧電性高分子フィルムの表主面および裏主面は、互いに並行する２つの長辺と、前記長辺に直交する２つの短辺とを有し、前記異形部は、前記長辺および短辺のなす角部分のうちの少なくとも一つの近傍に形成されていることが好ましい。または、前記圧電性高分子フィルムの表主面および裏主面は、互いに直交する四辺を有し、前記異形部は、前記四辺のうちのいずれかの辺に、その辺の中心からずれて形成されていることが好ましい。あるいは、前記異形部は、前記圧電性高分子フィルムの表主面側から視た形状と、前記圧電性高分子フィルムの裏主面側から視た形状とが相違していることが好ましい。【００１３】
これらの構成では、異形部の位置や形状から圧電性高分子フィルムの表裏面を判別することができる。したがって、圧電性高分子フィルムを押圧センサに組み付ける際に、圧電性高分子フィルムの表裏面が逆になることを、異形部の位置や形状に基づいて容易に防ぐ（抑制する）ことができ、押圧センサに圧電性高分子フィルムを正しく組み付ける精度を向上させることができる。【００１４】
その上、これらの構成では、異形部の位置や形状から圧電性高分子フィルムの圧電性高分子が配向する方向を判別し易くなる。したがって、圧電性高分子フィルムを押圧センサに組み付ける際に、圧電性高分子フィルムの分子の配向方向が組み付けの基準方向からずれた状態となることを、容易に防ぐ（抑制する）ことができ、押圧センサに圧電性高分子フィルムを正しく組み付ける精度を向上させることができる。【００１５】
前記圧電性高分子フィルムの表主面および裏主面は、互いに直交する四辺を有し、前記圧電性高分子フィルムは、表主面および裏主面の各辺に対して交差する方向に沿って配向するキラル高分子を主材料とすることが好ましい。特には、前記キラル高分子は、前記圧電性高分子フィルムの表主面および裏主面の各辺に対して略４５°の方向に配向することが好ましい。【００１６】
この構成のように、キラル高分子を主材料とする圧電性高分子フィルムは、フィルムの厚み方向からの押圧力を検出する圧電テンソル成分（フィルムの厚み方向を第１軸とし、フィルムの延伸方向を第３軸としてｄ１４で表わされる）を有しているが、焦電性を有しておらず、検出位置での温度変化の影響を受けずに電圧出力を得ることができる。【００１７】
その上、圧電テンソル成分ｄ１４を有する圧電性高分子フィルムをガラス板や樹脂板などに貼り付けて使用する用途では、分子の配向方向が表裏面の各辺に対して平行である場合（好適には０°の方向）には、板を捩じるような押圧力に応じた検出電圧を出力するものになって、板を曲げるような押圧力に応じた検出電圧を得ることができなくなってしまうが、この構成では、圧電性高分子フィルムの分子の配向方向が表裏面の各辺に対して交差する方向（好適には略４５°の方向）となるので、板を捩じるような押圧力の影響を受け難く、板を曲げるような押圧力の大きさに応じた電圧値の検出電圧を、得ることができる。ここで、０°で貼りつける場合には表裏が逆になっても±０°の方向で変わりがないので問題ないが、４５°で貼りつるける場合には、表裏が逆になると−４５°となるために出力電荷が逆転してしまうため、表裏を間違えないように注意して取り付ける必要がある。【００１８】
前記押圧センサは、第１検出電極が表面に形成されており前記圧電性高分子フィルムの表主面側を覆う第１電極形成部を有する基板と、前記第２検出電極が表面に形成されており前記圧電性高分子フィルムの裏主面側を覆う第２電極形成部を有する基板と、をさらに備えることが好ましい。【００１９】
この構成のように、第１検出電極や第２検出電極を第１電極形成部や第２電極形成部を有する基板に形成して、第１電極形成部と第２電極形成部とで圧電性高分子フィルムを挟み込めば、圧電性高分子フィルムの表面に第１検出電極や第２検出電極を直接形成することが難しい材質の組み合わせであっても、押圧センサを容易に構成することができる。なお、圧電性高分子フィルムと、第１検出電極や第２検出電極との間に粘着材を配置して固定することが好ましい。【００２０】
その上、この構成のように、圧電性高分子フィルム自体に、表裏面や分子の配向方向を判別するための手掛かりとなる電極が形成されていなくても、圧電性高分子フィルムの形状を手掛かりとすることで、圧電性高分子フィルムの表裏面や分子の配向方向を判別することができ、押圧センサに圧電性高分子フィルムを組み付ける精度を向上させることができる。【００２１】
前記第１電極形成部を有する基板と前記第２電極形成部を有する基板とは、連続する単一の基板で構成されており、前記前記第１電極形成部と前記第２電極形成部が対向するように、を折り曲げられ、その間に前記圧電性高分子フィルムが配されることが好ましい。【００２２】
この構成では、第１電極形成部と第２電極形成部とを単一の基板の同一面上に形成することができ、第１検出電極と第２検出電極とを同一工程で形成し、また、第１電極形成部と第２電極形成部とを同一工程で形成し、製造工程数の削減や、部品点数の削減を図ることができる。【００２３】
この発明は、上述の押圧センサの製造方法であって、前記圧電性高分子フィルムの一方の平面形状から、前記圧電性高分子フィルムの表主面と裏主面との向きを判別し、前記圧電性高分子フィルムの表主面と裏主面との向きを、基準の向きに整える工程と、前記圧電性高分子フィルムの表主面に、前記第１検出電極を配し、前記圧電性高分子フィルムの裏主面に、前記第２検出電極を配する工程と、を実施する。【００２４】
この製造方法により、押圧センサに圧電性高分子フィルムを正しく組み付ける精度を向上させることができ、圧電性高分子フィルムに作用する押圧力の方向を反映した正しい電圧極性で検出電圧が得られる押圧センサを精度よく製造することができる。
【発明の効果】
【００２５】
この発明によれば、圧電性高分子フィルムの形状が表主面側と裏主面側とで相違することで、圧電性高分子フィルムの表裏面を判別することができ、押圧センサの製造工程において、圧電性高分子フィルムの組み付け精度を向上させることができる。これにより、押圧センサの検出電圧が所定の電圧極性と逆となってしまうような不良の発生を防ぐ（抑制する）ことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る押圧センサの側面断面図、平面図、および押圧力検出時の側面断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る押圧センサの分解平面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る押圧センサの製造過程を示す平面図である。
【図４】圧電性高分子フィルムの組み付け例を示す平面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る押圧センサの側面断面図、平面図、および圧電性高分子フィルムの平面図である。
【図６】圧電性高分子フィルムの他の実施例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の第１の実施形態に係る押圧センサについて説明する。
【００２８】
図１（Ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る押圧センサ１０の側面断面図であり、図１（Ｂ）でＡ−Ａ’として示す位置を通る断面を示している。
【００２９】
押圧センサ１０は、第１検出電極１１、第２検出電極１２、圧電性高分子フィルム１３、第１電極形成部１４、第２電極形成部１５、第１端子１６（不図示）、および、第２端子１７（不図示）を備えている。
【００３０】
第１検出電極１１、第２検出電極１２、圧電性高分子フィルム１３、第１電極形成部１４、および第２電極形成部１５は、それぞれ平膜状で厚み方向に対向する表主面および裏主面を備える。なお、図１（Ａ）中の上側面を表主面、下側面を裏主面と称する。
【００３１】
第１電極形成部１４、第１検出電極１１、圧電性高分子フィルム１３、第２検出電極１２、第２電極形成部１５は、この記載順に表主面側から裏主面側に並べて、押圧センサ１０の厚み方向に積層されている。具体的には、圧電性高分子フィルム１３の表主面に第１検出電極１１が積層され、第１検出電極１１の表主面にさらに第１電極形成部１４が積層されている。また、圧電性高分子フィルム１３の裏主面に第２検出電極１２が積層され、第２検出電極１２の裏主面にさらに第２電極形成部１５が積層されている。
【００３２】
図１（Ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る押圧センサ１０を表主面側から視た平面図である。第１検出電極１１（不図示）、第２検出電極１２（不図示）、圧電性高分子フィルム１３、第１電極形成部１４、および第２電極形成部１５（不図示）は、それぞれの平面視した外形状が概略長方形状である。ここでは、第１電極形成部１４および第２電極形成部１５（不図示）の外形状は、圧電性高分子フィルム１３の外形状よりも若干大きくしている。
【００３３】
第１端子１６は、一端が、第１電極形成部１４と圧電性高分子フィルム１３との間に挿入されて、第１検出電極１１に物理的かつ電気的に接続され、他端が第１電極形成部１４と圧電性高分子フィルム１３との間から外部に引き出されている。第２端子１７は、一端が、第２電極形成部１５と圧電性高分子フィルム１３との間に挿入されて、第２検出電極１２に物理的かつ電気的に接続され、他端が第２電極形成部１５と圧電性高分子フィルム１３との間から外部に引き出されている。
【００３４】
図１（Ｃ）は、本発明の第１の実施形態に係る押圧センサ１０の押圧力検出時を示す側面断面図である。押圧センサ１０は、図示していないタッチパネル等に貼り付けられ、使用される。押圧センサ１０は、一方の主面側（ここでは圧電性高分子フィルム１３の表主面側）から厚み方向に押し込まれる。これにより、圧電性高分子フィルム１３に電荷が発生する。これにより、第１検出電極１１と第２検出電極１２との間に、押圧力の大きさ（圧電性高分子フィルム１３の伸長量）に応じた電圧値の検出電圧が、押圧力の方向に応じた電圧極性で生じる。
【００３５】
図２（Ａ）は、圧電性高分子フィルム１３を表主面側から視た平面図である。
【００３６】
圧電性高分子フィルム１３の表主面および裏主面（不図示）は、互いに並行する２つの長辺と、長辺に直交する２つの短辺とを有する概略長方形状である。圧電性高分子フィルム１３は、長辺および短辺に対して約４５°を成す方向１９の分子配向を有しており、長辺と短辺とが成す４つの角部分のうちの一つ、ここでは平面視した中心部から方向１９の角部分に、異形部１３Ａが形成されている。異形部１３Ａは、ここでは、長辺と短辺とに対して斜めに切り欠かれた切欠き状としている。この圧電性高分子フィルム１３は、概略長方形状で、且つ、角部分に異形部１３Ａを備えることによって、表主面側から視た形状と裏主面側から視た形状とが相違しており、これにより表主面と裏主面とが判別可能になっている。また、異形部１３Ａを角部分に一つのみ設けているために、表主面や裏主面の面内での方向性が判別可能になっている。
【００３７】
なお、異形部１３Ａが形成される圧電性高分子フィルム１３の角部分は、平面視した中心部から方向１９の角部分に限らず、他の角部分であってもよい。また、異形部１３Ａの数は、圧電性高分子フィルム１３の角部分に設ける場合、１つに限らず、３つであってもよい。また、異形部１３Ａの形状は、長辺と短辺とに対して斜めに切り欠かれた切欠き状に限らず、他の平面形状であってもよい。
【００３８】
図２（Ｂ）は、第１電極形成部１４と第２電極形成部１５とを構成する部材の平面図である。
【００３９】
第１電極形成部１４と第２電極形成部１５とは、単一の電極形成フィルム１８により一体に構成されている。電極形成フィルム１８は、平面視して、外形状が長方形状または正方形状であり、中心にスリット１８Ａが設けられている。スリット１８Ａは、電極形成フィルム１８において第１電極形成部１４と第２電極形成部１５との間を区画する位置に設けられており、電極形成フィルム１８の並行する２辺（第１電極形成部１４と第２電極形成部１５との長辺）と平行に延びている。電極形成フィルム１８において、スリット１８Ａが延びる方向でのスリット１８Ａの両脇には連結部１８Ｂがそれぞれ設けられている。連結部１８Ｂは、第１電極形成部１４と第２電極形成部１５とを連結している。なお、スリット１８Ａおよび連結部１８Ｂは、必ずしも設けられなくてもよく、その他の形状であってもよい。
【００４０】
電極形成フィルム１８は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）、ＰＥＮ（ポリエチレンアフタレート）、ポリエステル、ＰＰＳ（ポリフェニレンスルファイド）などのいずれかを用いるのが好適である。これらの材料を用いることで、電極形成フィルム１８、即ち、第１電極形成部１４と第２電極形成部１５とを可撓性および透光性を有するフィルムとすることができる。
【００４１】
電極形成フィルム１８の主面の一方には、第１検出電極１１と第２検出電極１２とが形成されている。具体的には、電極形成フィルム１８の一方主面において第１電極形成部１４となる領域に第１検出電極１１が形成されており、第２電極形成部１５となる領域に第２検出電極１２が形成されている。なお、第１検出電極１１と第２検出電極１２とは、電極形成フィルム１８ではなく圧電性高分子フィルム１３に形成されていてもよい。また、電極形成フィルム１８や圧電性高分子フィルム１３とは別体に形成されていてもよい。
【００４２】
第１検出電極１１と第２検出電極１２とは、ＩＴＯ、ＺｎＯ、ポリチオフェンを主成分とする有機電極、ポリアニリンを主成分とする有機電極、銀ナノワイヤ電極、カーボンナノチューブ電極のいずれかを用いるのが好適である。これらの材料を用いることで、透光性の高い電極パターンを形成できる。なお、透明性が必要とされない場合には銀ペーストにより形成された電極や、蒸着やスパッタ、あるいはメッキなどにより形成された金属系の電極を用いることもできる。押圧センサ１０は大きく変位させられるため、第１検出電極１１と第２検出電極１２とは、屈曲性に優れているポリチオフェンを主成分とする有機電極、ポリアニリンを主成分とする有機電極、銀ナノワイヤ電極、カーボンナノチューブ電極、金属系の電極で構成すると、特に好適である。
【００４３】
図２（Ａ）に示した圧電性高分子フィルム１３について、さらに詳しく説明すると、圧電性高分子フィルム１３は、Ｌ型ポリ乳酸（ＰＬＬＡ）を主材料とするフィルムである。ＰＬＬＡは、主鎖が螺旋構造を有するキラル高分子であり、所定の軸方向に配向させることで圧電性を発現する性質を有している。この圧電性は、フィルムの厚み方向を第１軸とし、ＰＬＬＡの分子が配向する方向を第３軸として圧電テンソル成分ｄ１４で表わされる。この圧電テンソル成分ｄ１４を有する圧電性高分子フィルム１３においては、表主面および裏主面において長辺および短辺に対して交差する方向、具体的には長辺および短辺に対する約４５°方向を、ＰＬＬＡの分子が配向する方向とすることで、厚み方向からの押圧力を検出することができる。そのため圧電性高分子フィルム１３においては、ＰＬＬＡの分子が配向する方向１９が、異形部１３Ａが設けられた角部分を向くように、方向１９および異形部１３Ａの形成位置を設定している。
【００４４】
ただし、圧電性高分子フィルム１３における方向１９の角度は、長辺および短辺に対して正確な４５°に限られることなく、４５°に近い任意の角度とすることができる。方向１９の角度が、長辺および短辺に対して４５°に近い角度であるほど、厚み方向からの押圧力を正確に検出することができる。したがって、本発明でいう略４５°とは、例えば４５°±１０°程度の４５°を中心とする所定範囲の角度をいう。これらの具体的な角度は、変位センサの用途や各部の特性などに基づいて全体の設計に応じて適宜決定するとよい。
【００４５】
なお、圧電性高分子フィルム１３は、ＰＬＬＡを主材料とするフィルムに限られず、Ｄ型ポリ乳酸（ＰＤＬＡ）や、ポリフッ化ビニルデン（ＰＶＤＦ）を主材料とするフィルムであってもよい。ただし、ＰＬＬＡやＰＤＬＡのようなキラル高分子を主材料とする圧電性高分子フィルム１３の圧電性は、ＰＶＤＦやＰＺＴ等の強誘電体のようにイオンの分極によって発現するものではなく、分子の特徴的な構造である螺旋構造に由来するものである。したがって、キラル高分子は、ＰＶＤＦ等の他のポリマーや、圧電結晶薄膜を用いた圧電セラミックスのように、ポーリング処理によって圧電性を発現させる必要がなく、また、ＰＶＤＦ等は経時的に圧電定数の変動が見られ、場合によっては圧電定数が著しく低下する場合があるが、キラル高分子の圧電定数は経時的に極めて安定している。
【００４６】
さらには、キラル高分子は、他の強誘電性の圧電体で生じる焦電性が生じることがない。したがって、キラル高分子を主材料とする圧電性高分子フィルム１３は、押圧検出時に検出位置の温度に依存することなく押圧力のみに応じた検出電圧を得ることができる。また、キラル高分子はポリマーであり、柔軟性を有するので、圧電セラミックスのように、大きな変位で破損することがない。したがって、キラル高分子を主材料とする圧電性高分子フィルム１３は、変位量が大きくても破損することがなく、確実に変位量を検出することができる。
【００４７】
また、ＰＬＬＡは比誘電率が約２．５と非常に低いため、ｄを圧電定数とし、εＴを誘電率とすると、圧電出力定数（＝圧電ｇ定数、ｇ＝ｄ／εＴ）が大きな値となる。ここで、誘電率ε３３Ｔ＝１３×ε０，圧電テンソル成分ｄ３１＝２５ｐＣ／ＮであるＰＶＤＦの圧電ｇ定数は、上述の式から、ｇ３１＝０．２１７２Ｖｍ／Ｎとなる。一方、圧電テンソル成分ｄ１４＝１０ｐＣ／ＮであるＰＬＬＡの圧電ｇ定数をｇ３１に換算して求めると、ｄ１４＝２×ｄ３１であるので、ｄ３１＝５ｐＣ／Ｎとなり、圧電ｇ定数は、ｇ３１＝０．２２５８Ｖｍ／Ｎとなる。したがって、圧電テンソル成分ｄ１４＝１０ｐＣ／ＮのＰＬＬＡで、ＰＶＤＦと同様の十分なセンサ感度を得ることができる。そして、本願発明の発明者らは、ｄ１４＝１５〜２０ｐＣ／ＮのＰＬＬＡを実験的に得ており、当該ＰＬＬＡフィルムを用いれば、非常に高感度に押圧センサ１０を構成することができる。
【００４８】
次に、押圧センサ１０の製造方法の一例について説明する。図３は、押圧センサ１０の製造過程での状態を示す平面図である。
【００４９】
押圧センサ１０の製造過程では、まず、図３（Ａ）に示すように、スリット１８Ａおよび連結部１８Ｂを設けて、電極形成フィルム１８が形成される。
【００５０】
次に、図３（Ｂ）に示すように、ＩＴＯ、ＺｎＯ、ポリチオフェンを主成分とする有機電極等の透明電極が、電極形成フィルム１８の一方主面にパターン形成される。これにより、第１検出電極１１および第２検出電極１２が電極形成フィルム１８に形成される。
【００５１】
次に、図３（Ｃ）に示すように、第１検出電極１１と第２検出電極１２とのそれぞれに、第１端子１６と第２端子１７とが物理的および電気的に接続される。
【００５２】
また、ＰＬＬＡフィルムが用意され、ＰＬＬＡフィルムを所定方向に沿って延伸させる。これにより、ＰＬＬＡフィルムにおいて、ＰＬＬＡの分子が配向する。そして、ＰＬＬＡの分子を配向させたＰＬＬＡフィルムから、延伸方向に対して略４５°となる角度で、圧電性高分子フィルム１３の長辺および短辺が切り出され、その圧電性高分子フィルム１３に異形部１３Ａが形成される。
【００５３】
なお、ＰＬＬＡフィルムは、二軸延伸させてもよい。この場合には、延伸させる方向それぞれでの延伸倍率を異ならせることによって、一軸延伸と同様の効果を得ることが出来る。例えば、ある方向をＸ軸としてＸ軸方向に８倍、Ｘ軸に直交するＹ軸方向に２倍の延伸を施した場合、圧電定数に関してはおよそＸ軸方向に４倍の一軸延伸を施した場合と同等の効果が得られる。単純に一軸延伸したフィルムは延伸軸方向に沿って裂け易いため、前述したような二軸延伸を行うことにより幾分強度を増すことが出来る。
【００５４】
次に、図３（Ｄ）に示すように、圧電性高分子フィルム１３が電極形成フィルム１８に組み付けられる。具体的には、第２検出電極１２（または第１検出電極１１）の上に、圧電性高分子フィルム１３が配置され、導電性接着剤等により第２検出電極１２（または第１検出電極１１）と圧電性高分子フィルム１３との間が接合される。第２検出電極１２は、圧電性高分子フィルム１３に対して、少なくとも導通する状態で接合させるとよい。
【００５５】
この際、圧電性高分子フィルム１３の表裏面および分子配向された方向の向きは、異形部１３Ａの位置と形状によって判別することができるので、圧電性高分子フィルム１３の表裏面と方向１９の向きを、組み付けの基準方向に合わせて電極形成フィルム１８に組み付けることができる。
【００５６】
なお、この工程は、画像判定装置等を用いて圧電性高分子フィルム１３の異形部１３Ａの位置や形状を取得して、圧電性高分子フィルム１３の表裏面や方向１９の向きを判別し、画像判定装置およびハンドリング装置等で、圧電性高分子フィルム１３の表裏面や方向１９の向きが基準方向を向くように整えてから、圧電性高分子フィルム１３を電極形成フィルム１８に組み付けると好適である。
【００５７】
次に、図３（Ｅ）に示すように、電極形成フィルム１８を、スリット１８Ａおよび連結部１８Ｂからなる折り返し部分で折り返させ、第１電極形成部１４と第２電極形成部１５との間、即ち、第１検出電極１１と第２検出電極１２との間に、圧電性高分子フィルム１３を挟み込ませる。この際、第１検出電極１１（または第２検出電極１２）と圧電性高分子フィルム１３との間を、導電性接着剤等により接合させる。第１検出電極１１は、圧電性高分子フィルム１３に対して、少なくとも導通する状態で接合させるとよい。
【００５８】
以上のような工程を経て本実施形態の押圧センサ１０は製造することができる。圧電性高分子フィルム１３を電極形成フィルム１８に組み付ける工程においては、圧電性高分子フィルム１３の異形部１３Ａの位置や形状から、即ち、表主面の形状と裏主面の形状とから、圧電性高分子フィルム１３の表裏面や基準方向を判別して、圧電性高分子フィルム１３の表裏面や方向１９を組み付けの基準方向に合わせて、正しく組み付けるので、押圧センサ１０において検出電圧の電圧極性が逆になるような不良が発生することや、圧電性高分子フィルムの方向１９が、組み付けの基準方向からずれた状態で組み付けられることを防ぐ（抑制する）ことができる。
【００５９】
なお、電極形成フィルム１８や第１検出電極１１、第２検出電極１２が透明で、押圧センサ１０の外部から圧電性高分子フィルム１３の表裏面や分子配向の向きを判別することができる場合には、上述の各工程を実施した後で、再度、画像判定装置等を用いて、押圧センサ１０に組み付けられた圧電性高分子フィルム１３の表裏面や分子配向の向きを判別し、誤って圧電性高分子フィルム１３が組み付けられた押圧センサ１０を除去するような工程を実施してもよい。
【００６０】
図４は、押圧センサ１０への圧電性高分子フィルム１３の組み付け例を示す平面図である。なお、図４（Ａ）と図４（Ｂ）とでは、圧電性高分子フィルム１３の分子配向の向きが１８０°異なっている。図４（Ａ）および図４（Ｂ）と、図４（Ｃ）および図４（Ｄ）では、圧電性高分子フィルム１３の表裏面が逆になっている。図４（Ｃ）と図４（Ｄ）とでは、圧電性高分子フィルム１３の分子配向の向きが１８０°異なっている。
【００６１】
前述したように、電極形成フィルム１８に対して圧電性高分子フィルム１３を組み付ける工程で、圧電性高分子フィルム１３の表裏面が逆に組み付けられると、押圧センサ１０の出力電圧の極性が逆になってしまう。しかしながら本実施形態では、圧電性高分子フィルム１３を、平面視して概略長方形状とし、一つの角部分に異形部１３Ａを形成しているため、圧電性高分子フィルム１３の表主面の形状と裏主面の形状とが相違し、圧電性高分子フィルム１３の表裏面を判別して、圧電性高分子フィルム１３の表裏面の向きを組み付けの基準方向に合わせて、電極形成フィルム１８に組み付けることができる。
【００６２】
例えば、図４（Ａ）または図４（Ｂ）に示すように、異形部１３Ａの位置が圧電性高分子フィルム１３の右上がり（左下がり）の対角線上にある場合には、この圧電性高分子フィルム１３においては、表主面が手前を向いていることになる。逆に、図４（Ｃ）または図４（Ｄ）に示すように、異形部１３Ａの位置が圧電性高分子フィルム１３の右下がり（左上がり）の対角線上である場合には、圧電性高分子フィルム１３の裏主面が手前を向いていることになる。
【００６３】
したがって、この押圧センサ１０においては、図４（Ａ）または図４（Ｂ）に示すように、圧電性高分子フィルム１３の表主面が手前を向いた状態で、圧電性高分子フィルム１３の裏主面が第２検出電極に貼り付けられることにより、圧電性高分子フィルム１３が電極形成フィルム１８に正しく組み付けられることになる。そして、このように圧電性高分子フィルム１３が組み付けられた押圧センサ１０が出力する検出電圧の電圧極性は、押圧センサ１０の規定に従った仕様を満足するものになる。
【００６４】
また、押圧センサ１０においては、図４（Ｃ）または図４（Ｄ）に示すように、圧電性高分子フィルム１３の裏主面が手前を向いた状態で、圧電性高分子フィルム１３の表主面が第２検出電極に貼り付けられることにより、圧電性高分子フィルム１３が電極形成フィルム１８に誤って逆に組み付けられることになる。そして、このように圧電性高分子フィルム１３が逆に組み付けられた押圧センサ１０が出力する検出電圧の電圧極性は逆になり、押圧センサ１０の規定から外れて仕様を満足するものではなくなる。
【００６５】
以上に説明したように、本実施形態に係る押圧センサ１０においては、押圧センサ１０に組み付けられる圧電性高分子フィルム１３の表主面での形状と裏主面での形状とが相違するため、圧電性高分子フィルム１３の表裏面が判別可能であり、押圧センサ１０に圧電性高分子フィルム１３を組み付ける際に、圧電性高分子フィルム１３の表裏面を正しく組み付けることができ、押圧センサ１０において、検出電圧の電圧極性が逆になってしまうことを防ぐことができる。
【００６６】
なお、この実施形態では、一枚の電極形成フィルム１８に第１電極形成部１４と第２電極形成部１５とを構成したが、第１電極形成部１４と第２電極形成部１５とは別体に構成されていてもよい。また、第１検出電極１１と第２検出電極１２とは、第１電極形成部１４や第２電極形成部１５に形成するのではなく、圧電性高分子フィルム１３に直接形成されていてもよい。
【００６７】
また、この実施形態では、圧電性高分子フィルム１３を概略長方形状としたために、圧電性高分子フィルム１３が方向１９の向きを正しく組みつけられなくても、単に方向１９の向きが逆向きになるだけであり、押圧センサ１０として使用が可能である。しかしながら、圧電性高分子フィルムが正方形状や円形状などである場合には、圧電性高分子フィルムの方向１９の向きが組み付けの基準方向からずれることがあり、このようなずれによって、押圧センサの特性劣化が引き起こされることがある。そのため、圧電性高分子フィルムは、方向１９の向きを組み付けの基準方向に合わせることが、より望ましい。
【００６８】
次に、本発明の第２の実施形態に係る押圧センサについて説明する。
【００６９】
図５（Ａ）は、本発明の第２の実施形態に係る押圧センサ２０の側面断面図であり、図５（Ｂ）でＡ−Ａ’として示す位置での断面を示している。
【００７０】
押圧センサ２０は、第１検出電極２１、第２検出電極２２、圧電性高分子フィルム２３、第１電極形成部２４、第２電極形成部２５、部品実装部２６（不図示）、および回路部品２７（不図示）を備えている。
【００７１】
第１検出電極２１、第２検出電極２２、圧電性高分子フィルム２３、第１電極形成部２４、および第２電極形成部２５は、それぞれ平膜状で厚み方向に対向する表主面および裏主面を備える。なお、以降の説明では図５（Ａ）中の各部の上側面を表主面、下側面を裏主面と称する。
【００７２】
第１電極形成部２４、第１検出電極２１、圧電性高分子フィルム２３、第２検出電極２２、第２電極形成部２５は、この記載順に表主面側から裏主面側に並べて、押圧センサ２０の厚み方向に積層されている。具体的には、圧電性高分子フィルム２３の表主面に第１検出電極２１が積層され、第１検出電極２１の表主面にさらに第１電極形成部２４が積層されている。また、圧電性高分子フィルム２３の裏主面に第２検出電極２２が積層され、第２検出電極２２の裏主面にさらに第２電極形成部２５が積層されている。なお、第１の実施形態と同様、第１電極形成部２４および第２電極形成部２５は、一体の電極形成フィルムから構成されている。
【００７３】
図５（Ｂ）は、本発明の第２の実施形態に係る押圧センサ２０を表主面側から視た平面図である。第１検出電極２１（不図示）、第２検出電極２２（不図示）、圧電性高分子フィルム２３、第１電極形成部２４、および第２電極形成部２５（不図示）は、それぞれの平面視した外形状が概略長方形状である。
【００７４】
また、部品実装部２６は、第２電極形成部２５（不図示）と一体に形成されており、第２電極形成部２５（不図示）の１つの長辺から短辺に沿う方向に突出して設けられている。部品実装部２６の表主面には、第１検出電極２１（不図示）と第２検出電極２２（不図示）とのそれぞれから配線導体２８が引き出されているとともに、図示しないパッド導体が配線導体２８に接続して設けられている。回路部品２７は、部品実装部２６の表主面に表面実装されており、パッド導体および配線導体２８を介して第１検出電極２１（不図示）と第２検出電極２２（不図示）とに接続されている。
【００７５】
図５（Ｃ）は、圧電性高分子フィルム２３の表主面側から視た平面図である。
【００７６】
圧電性高分子フィルム２３の表主面および裏主面（不図示）は、互いに並行する２つの長辺と、長辺に直交する２つの短辺とを有する概略長方形状である。この圧電性高分子フィルム２３も、各辺に対して約４５°を成す方向２９の配向を有しており、長辺と短辺とが成す４つの角部分のうちの一つ、ここでは、平面視した中心部から方向２９の角部分に、異形部２３Ａが形成されている。異形部２３Ａは、ここでは、長辺と短辺とに対して斜めに切り欠かれた切欠き状である。この圧電性高分子フィルム２３も、概略長方形状で、且つ、角部分に異形部２３Ａを備えることによって、表主面の形状と裏主面の形状とが相違しており、これにより表主面と裏主面とが判別可能になっている。また、異形部２３Ａを角部分に一つのみ設けているために、表主面や裏主面の面内での方向性が判別可能になっている。
【００７７】
以上に説明したように、本実施形態に係る押圧センサ２０においても、押圧センサ２０に組み付けられる圧電性高分子フィルム２３の表主面と裏主面とが相違するため、圧電性高分子フィルム２３の表裏面が判別可能であり、押圧センサ２０に圧電性高分子フィルム２３を組み付ける際に、圧電性高分子フィルム２３の表裏面を正しく組み付けることができる。したがって、押圧センサ２０において、検出電圧の電圧極性が逆になってしまうことを防ぐ（抑制する）ことができる。
【００７８】
ただし、押圧センサ２０は電極形成フィルムに回路部品２７を表面実装して構成されているため、押圧センサ２０の製造方法において、圧電性高分子フィルム２３の耐熱性が低いことが問題になることがある。具体的には、仮に押圧センサ２０の製造方法において、圧電性高分子フィルム２３を組み付けた後で、リフロー等の加熱を伴う工法で回路部品２７を部品実装部２６に表面実装すると、圧電性高分子フィルム２３に熱による特性劣化が生じることがある。
【００７９】
そのため、押圧センサ２０の製造工程では、リフロー等の加熱を伴う工法で回路部品２７を部品実装部２６に表面実装した後に、圧電性高分子フィルム２３を組み付ける必要がある。すると、回路部品２７を表面実装した電極形成フィルムに対して、圧電性高分子フィルム２３の表裏面を誤って取り付けてしまうと、高価な回路部品２７を廃棄する必要が生じてしまい、廃棄ロスが大きくなってしまう。そのため、圧電性高分子フィルム２３の組み付け精度を高めることができる本発明は、電極形成フィルムに回路部品を表面実装する第２の実施形態において、特に有効である。
【００８０】
なお、この実施形態でも、一枚の電極形成フィルムに第１電極形成部２４と第２電極形成部２５とを構成するものとしたが、第１電極形成部２４と第２電極形成部２５とは別体に構成されていてもよい。また、第１検出電極２１と第２検出電極２２とは、第１電極形成部２４や第２電極形成部２５に形成するのではなく、圧電性高分子フィルム２３に直接形成されていてもよい。
【００８１】
次に、押圧センサに組み付ける圧電性高分子フィルムの他の実施例について説明する。
【００８２】
図６（Ａ）は、圧電性高分子フィルム３３を表主面側から視た平面図である。
【００８３】
圧電性高分子フィルム３３の表主面および裏主面（不図示）は、互いに直交する四辺を有する概略正方形状である。また圧電性高分子フィルム３３は、各辺に対して約４５°を成す方向３９の配向を有しており、四辺のうちの一辺の中心からずれた位置に、三角形状に切り欠かれた異形部３３Ａが形成されている。したがって、この圧電性高分子フィルム３３は、表主面側と裏主面側とで形状が相違しており、これにより表主面と裏主面とが判別可能になっている。また、異形部３３Ａを一辺の中心からずれた位置に一つのみ設けているために、圧電性高分子フィルム３３は、表主面や裏主面の面内での方向性が判別可能になっている。
【００８４】
このような概略正方形状の圧電性高分子フィルム３３は、押圧センサに組み付けられる際に、圧電性高分子フィルム３３の方向３９の向きが、組み付けの基準方向から９０°や１８０°ずれた状態となる恐れがある。しかしながら、圧電性高分子フィルム３３は、異形部３３Ａによって表主面や裏主面の面内での方向性が判別可能になっているので、方向３９の向きを組み付けの基準方向に合わせることが容易であり、方向３９のずれによって押圧センサの特性劣化が引き起こされることを防ぐ（抑制）することができる。
【００８５】
図６（Ｂ）は、圧電性高分子フィルム４３を表主面側から視た平面図である。
【００８６】
圧電性高分子フィルム４３の表主面および裏主面（不図示）は、互いに直交する四辺を有する概略正方形状である。圧電性高分子フィルム４３は、各辺に対して約４５°を成す方向４９の配向を有しており、四辺のうちの一辺の中心からずれた位置に、三角形状に突出する異形部４３Ａが形成されている。したがって、この圧電性高分子フィルム４３も、表主面側と裏主面側とで形状が相違しており、これにより表主面と裏主面とが判別可能になっている。また、異形部４３Ａを一辺の中心からずれた位置に一つのみ設けているために、圧電性高分子フィルム４３は、表主面や裏主面の面内での方向性が判別可能になっている。
【００８７】
このような概略正方形状の圧電性高分子フィルム４３も、押圧センサに組み付けられる際に、圧電性高分子フィルム４３の方向４９の向きが、組み付けの基準方向から９０°や１８０°ずれた状態となる恐れがある。しかしながら、圧電性高分子フィルム４３は、異形部４３Ａによって表主面や裏主面の面内での方向性が判別可能になっているので、一軸方向の向きを組み付けの基準方向に合わせることが容易であり、方向４９のずれによって押圧センサの特性劣化が引き起こされることを防ぐ（抑制）することができる。
【００８８】
図６（Ｃ）は、圧電性高分子フィルム５３を表主面側から視た平面図である。
【００８９】
圧電性高分子フィルム５３の表主面および裏主面（不図示）は、概略円形状であり、方向５９の配向を有している。圧電性高分子フィルム５３は、平面視した中心部から方向５９の位置に、略直角三角形状に切欠かれた異形部５３Ａが形成されている。この圧電性高分子フィルム５３は、略直角三角形状に切欠かれた異形部５３Ａを備えることによって、表主面側と裏主面側との形状が相違し、表主面と裏主面とを判別可能になっている。また、異形部５３Ａを略直角三角形状に設けているために、圧電性高分子フィルム５３は、表主面や裏主面の面内での方向性が判別可能になっている。
【００９０】
このような概略円形状の圧電性高分子フィルム５３は、押圧センサに組み付けられる際に、圧電性高分子フィルム５３の方向５９の向きが、組み付けの基準方向から任意の角度（例えば４５°や９０°）ずれた状態となる恐れがある。しかしながら、圧電性高分子フィルム５３は、異形部５３Ａによって表主面や裏主面の面内での方向性が判別可能になっているので、方向５９の向きを組み付けの基準方向に合わせることが容易であり、方向５９のずれによって押圧センサの特性劣化が引き起こされることを防ぐ（抑制）することができる。
【００９１】
以上に説明したように、圧電性高分子フィルムは様々な平面形状で構成することができる。圧電性高分子フィルムは、全体の平面形状が長方形状や正方形状、円形状に限られず、台形状や、平行四辺形状、四角形以上の多角形状、楕円形状、長円形状等、他の平面形状であってもよい。
【００９２】
また、圧電性高分子フィルムに設けられる異形部は、外周から内側に切り欠かれた切欠き状に限られず、外周から外側に突出する突起状や、外周よりも内側に設けた開口状であってもよい。また、異形部自体の平面形状は、三角形状に限られず、四角形状、円形状、半円形状など、他の平面形状であってもよい。また、異形部が設けられる圧電性高分子フィルム上での位置も、方向性が認識できる部分であればどのような部分であってもよい。
【符号の説明】
【００９３】
１０，２０…押圧センサ
１１，２１…第１検出電極
１２，２２…第２検出電極
１３，２３，３３，４３，５３…圧電性高分子フィルム
１３Ａ，２３Ａ，３３Ａ，４３Ａ，５３Ａ…異形部
１４，２４…第１電極形成部
１５，２５…第２電極形成部
１６…第１端子
１７…第２端子
１８…電極形成フィルム
１８Ａ…スリット
１８Ｂ…連結部
１９，２９，３９，４９，５９…方向
２６…部品実装部
２７…回路部品
２８…配線導体
【図１】
2015041195.tif 000003
【図２】
2015041195.tif 000004
【図３】
2015041195.tif 000005
【図４】
2015041195.tif 000006
【図５】
2015041195.tif 000007
【図６】
2015041195.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成28年3月3日(2016.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する表主面と裏主面とを有する圧電性高分子フィルムと、
前記圧電性高分子フィルムの前記表主面に配されている第１検出電極と、
前記圧電性高分子フィルムの前記裏主面に配されており、前記第１検出電極と対向している第２検出電極と、を備える押圧センサであって、
前記圧電性高分子フィルムは、互いに平行な２つの長辺と、前記長辺に直交し、互いに平行な２つの短辺とを有し、
前記圧電性高分子フィルムを構成する分子は、前記長辺および前記短辺に対して交差する方向に配向し、
前記圧電性高分子フィルムは、切欠き状または突起状あるいは開口状の異形部を有し、
前記圧電性高分子フィルムの前記表主面側から視た形状と、前記圧電性高分子フィルムの前記裏主面側から視た形状とが、互いに相違していることを特徴としている、
押圧センサ。
【請求項２】
前記圧電性高分子フィルムは、圧電テンソル成分ｄ１４を有し、前記異形部を、前記長辺および前記短辺がなす角部分に有する、請求項１に記載の押圧センサ。
【請求項３】
前記異形部は、前記切欠き状であり、前記長辺および前記短辺に対して斜めに切り欠かれた辺を有し、
前記辺は、前記方向に対して交差する、請求項１又は２に記載の押圧センサ。
【請求項４】
前記方向は、前記長辺および前記短辺に対して４５°である、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の押圧センサ。
【請求項５】
前記圧電性高分子フィルムは、キラル高分子を主材料とする、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の押圧センサ。
【請求項６】
前記第１検出電極が表面に形成されており前記圧電性高分子フィルムの表主面側を覆う第１電極形成部を有する基板と、前記第２検出電極が表面に形成されており前記圧電性高分子フィルムの裏主面側を覆う第２電極形成部を有する基板と、をさらに備える、請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の押圧センサ。
【請求項７】
前記第１電極形成部を有する基板と前記第２電極形成部を有する基板とは、連続する単一の基板で構成されており、前記第１電極形成部と前記第２電極形成部が対向するように、折り曲げられ、その間に前記圧電性高分子フィルムが配される、請求項６に記載の押圧センサ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、タッチパネル等の操作面が押し込まれることを検出する押圧センサに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
そこで、本発明の目的は、圧電性高分子フィルムを正しく組み付ける精度を高めることができる、押圧センサを提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【国際調査報告】
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