(57)【要約】  本発明の装置において、容器保持部材（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）は、容器供給位置（Ｐ１）と、コーティング処理位置（Ｐ２）と、クリーニング処理位置（Ｐ３）と、容器取出位置（Ｐ４）とに配置されるように回転台（３）上に複数設置され、容器保持部材（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）の各々は、回転台（３）の回転に伴い、容器供給位置（Ｐ１）と、コーティング処理位置（Ｐ２）と、クリーニング処理位置（Ｐ３）と、容器取出位置（Ｐ４）とを順次移動するように構成され、コーティング処理位置（Ｐ２）に配置された容器保持部材（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）を移動機構（９０）が離間位置へ移動させた後に、容器保持部材（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）とチャンバ蓋部（１１）とが組み合わされる。
2016068023.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転台と、
前記回転台を回転させるための回転機構と、
前記回転台上に設置され、複数の樹脂容器を保持することが可能な容器保持部材と、
前記容器保持部材と組み合わされた状態において、前記容器保持部材に保持された前記樹脂容器の内面に薄膜を形成するコーティング処理を行うことが可能な電極部材と、
前記回転台上に設置された前記容器保持部材を前記回転台から離間する離間位置へ移動させる移動機構と、
を備え、
前記容器保持部材は、前記樹脂容器が供給される容器供給位置と、前記電極部材と組み合わされた状態で前記コーティング処理が行われるコーティング処理位置と、前記コーティング処理によって薄膜が形成された前記樹脂容器を取り出すことが可能な容器取出位置とに配置されるように前記回転台上に複数設置され、
前記回転台上に複数設置された前記容器保持部材の各々は、前記回転台の回転に伴い、前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動するように構成され、
前記コーティング処理位置に配置された前記容器保持部材を前記移動機構が前記離間位置へ移動させた後に、前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされる、樹脂容器用コーティング装置。
【請求項２】
前記回転台上には、前記容器保持部材が前記離間位置へ移動することをガイドするガイド部材が設けられている、請求項１に記載の樹脂容器用コーティング装置。
【請求項３】
前記移動機構は、前記コーティング処理位置に配置された前記容器保持部材と接続して、前記容器保持部材と前記電極部材とで形成される内部空間の空気を外部へ排気するための排気経路を構成する排気部材である、請求項１または請求項２に記載の樹脂容器コーティング装置。
【請求項４】
前記容器保持部材は、第１シールド部材を有し、
前記電極部材は、第２シールド部材を有し、
前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされた状態において、前記第１シールド部材と第２シールド部材とは互いに電気的に接続して遮蔽空間を形成し、前記容器保持部材と前記電極保持部材は、前記遮蔽空間の内部に配置される、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の樹脂容器コーティング装置。
【請求項５】
前記第１シールド部材と前記第２シールド部材の少なくとも一方には、導電性の弾性部材が設けられ、
前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされた状態において、前記第１シールド部材と第２シールド部材とは、互いに前記弾性部材を介して電気的に接続する、請求項４に記載の樹脂容器コーティング装置。
【請求項６】
前記樹脂容器を製造する樹脂容器製造装置と、
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の樹脂容器用コーティング装置と、
前記樹脂容器製造装置によって製造され保持された状態の複数の前記樹脂容器の各々を、前記樹脂容器製造装置から一括して取り出して前記樹脂容器用コーティング装置の前記容器供給位置まで搬送し、前記容器保持部材に複数の前記樹脂容器の各々を保持させる樹脂容器搬送装置と、
を備えることを特徴とする樹脂容器製造システム。
【請求項７】
搬送部材を有する搬送機構と、
前記搬送部材上に設置され、複数の樹脂容器を保持することが可能な容器保持部材と、
前記容器保持部材と組み合わされた状態において、前記容器保持部材に保持された前記樹脂容器の内面に薄膜を形成するコーティング処理を行うことが可能な電極部材と、
前記搬送部材上に設置された前記容器保持部材を前記搬送部材から離間する離間位置へ移動させる移動機構と、
を備え、
前記容器保持部材は、前記樹脂容器が供給される容器供給位置と、前記電極部材と組み合わされた状態で前記コーティング処理が行われるコーティング処理位置と、前記コーティング処理によって薄膜が形成された前記樹脂容器を取り出すことが可能な容器取出位置とに配置されるように前記搬送部材上に複数設置され、
前記搬送部材上に複数設置された前記容器保持部材の各々は、前記搬送部材の移動に伴い、前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動するように構成され、
前記コーティング処理位置に配置された前記容器保持部材を前記移動機構が前記離間位置へ移動させた後に、前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされる、樹脂容器用コーティング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂容器の内面に薄膜を形成する樹脂容器用コーティング装置およびこの樹脂容器用コーティング装置を備える樹脂容器製造システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
家庭用品などに幅広く使用されるポリエチレンなどの樹脂は、一般的に酸素や二酸化炭素のような低分子ガスを透過する性質を有し、更に低分子有機化合物がその内部に収着してしまう性質も有している。このため、樹脂を容器として使用する際、ガラスなどの他の容器と比べ、その使用対象や使用形態などで種々の制約を受けることが知られている。例えば、樹脂容器に炭酸飲料水を充填して使用する場合には、その炭酸が容器を通じて外部に透過してしまい、炭酸飲料水としての品質を長期間維持するのが難しい場合がある。【０００３】
そこで、樹脂容器を製造する際、樹脂容器における低分子ガスの透過、および低分子有機化合物の収着による不都合を解消するため、その樹脂容器の内部表面などに対し、プラズマＣＶＤ成膜技術を用いてＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ）コーティングなどの成膜を行うものが知られている。また、コーティング処理済みの樹脂容器を大量に製造する量産効率を向上させる観点から、容器保持部の一部に保持された樹脂容器の内面に薄膜を形成している間に、容器保持部の他の部分において、コーティング処理済みの樹脂容器を未成膜の樹脂容器と交換することが可能なコーティング装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。【０００４】
しかし、特許文献１に記載のコーティング装置は、未成膜の樹脂容器を供給する位置とコーティング処理済の樹脂容器を取り出す位置とが共通である。このため、樹脂容器の供給工程と取出工程とを並行して行うことができず、コーティング処理済みの樹脂容器の量産効率を向上させることが難しかった。【０００５】
そこで、特許文献２には、コーティング処理済みの樹脂容器を量産する効率を向上させることが可能な樹脂容器用コーティング装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】日本国特許第４８０４６５４号公報
【特許文献２】国際公開第２０１４／１１２５３３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献２の装置では、回転台は機台に形成された凹部内に収容されている。この構成では、回転台がスムーズに回転できるように、回転台の底面と機台の凹部内の底面との間に所定のクリアランスを確保する必要がある。【０００８】
しかし、このクリアランスが確保された構成では、コーティング処理の際に容器保持部材と電極部材とが組み合わされる際の衝撃力が、床面に設置された機台まで伝わらず、容器保持部材が設置された回転台を含む回転機構がこの衝撃力のほとんどを受け止めることとなってしまう。この衝撃力は、コーティング処理の度に回転機構に伝達するため、回転機構の故障の原因となり易く、回転機構について定期的なメンテナンスが必要となる。【０００９】
本発明は、コーティング処理された樹脂容器を量産する効率の向上を図りつつ、コーティング処理に起因するメンテナンスの頻度を低減することが可能な樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明にかかる樹脂容器用コーティング装置は、
回転台と、
前記回転台を回転させるための回転機構と、
前記回転台上に設置され、複数の樹脂容器を保持することが可能な容器保持部材と、
前記容器保持部材と組み合わされた状態において、前記容器保持部材に保持された前記樹脂容器の内面に薄膜を形成するコーティング処理を行うことが可能な電極部材と、
前記回転台上に設置された前記容器保持部材を前記回転台から離間する離間位置へ移動させる移動機構と、
を備え、
前記容器保持部材は、前記樹脂容器が供給される容器供給位置と、前記電極部材と組み合わされた状態で前記コーティング処理が行われるコーティング処理位置と、前記コーティング処理によって薄膜が形成された前記樹脂容器を取り出すことが可能な容器取出位置とに配置されるように前記回転台上に複数設置され、
前記回転台上に複数設置された前記容器保持部材の各々は、前記回転台の回転に伴い、前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動するように構成され、
前記コーティング処理位置に配置された前記容器保持部材を前記移動機構が前記離間位置へ移動させた後に、前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされる。【００１１】
上記構成によれば、容器保持部材と電極部材とが組み合わされる前に容器保持部材が回転台上から離間した離間位置に移動するため、容器保持部材と電極部材とが組み合わされる際の衝撃力が回転台まで直接的には伝達しない。このため、コーティング処理の度に発生する上述の衝撃力に起因して回転機構が故障する可能性を低下させることができ、メンテナンスの頻度を低減させることができる。
また、上記構成によれば、未成膜の樹脂容器を供給する工程と、コーティング処理を行う工程と、成膜された樹脂容器を取り出す工程とを並行して行うことができるため、コーティング処理を要する樹脂容器を製造する量産効率を向上させることができる。
このように、上記構成によれば、コーティング処理された樹脂容器の量産効率の向上を図りつつ、コーティング処理に起因するメンテナンスの頻度を低減することができる。【００１２】
本発明の樹脂容器用コーティング装置において、前記回転台上には、前記容器保持部材が前記離間位置へ移動することをガイドするガイド部材が設けられていても良い。【００１３】
上記構成によれば、容器保持部材を精度よく離間位置へ移動させることができる。また、容器保持部材が離間位置と異なる位置へ移動することを防ぐことができる。【００１４】
本発明の樹脂容器用コーティング装置において、前記移動機構は、前記コーティング処理位置に配置された前記容器保持部材と接続して、前記容器保持部材と前記電極部材とで形成される内部空間の空気を外部へ排気するための排気経路を構成する排気部材でも良い。【００１５】
上記構成によれば、コーティング処理に必要な排気部材を利用することで、部品点数の増加を抑えつつ、容器保持部材を離間位置へ移動させる機構を実現することができる。【００１６】
本発明の樹脂容器用コーティング装置において、前記容器保持部材は、第１シールド部材を有し、前記電極部材は、第２シールド部材を有し、前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされた状態において、前記第１シールド部材と第２シールド部材とは互いに電気的に接続して遮蔽空間を形成し、前記容器保持部材と前記電極保持部材は、前記遮蔽空間の内部に配置されても良い。【００１７】
上記構成によれば、コーティング処理の際に発生する高周波が装置の外部へ伝搬することを防ぐことができる。【００１８】
本発明の樹脂容器用コーティング装置において、前記第１シールド部材と前記第２シールド部材の少なくとも一方には、導電性の弾性部材が設けられ、前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされた状態において、前記第１シールド部材と第２シールド部材とは、互いに前記弾性部材を介して電気的に接続しても良い。【００１９】
上記構成によれば、導電性の弾性部材を介して各シールド部材を接続することにより、遮蔽空間の密閉性が確保しやすくなる。また、容器保持部材と電極部材とが組み合わされる際に第１シールド部材と第２シールド部材との間に発生する衝撃力を低減することができ、各シールド部材を薄肉化してコストを低下させることができる。【００２０】
また、本発明にかかる樹脂容器製造システムは、
前記樹脂容器を製造する樹脂容器製造装置と、
上記のいずれか一つに記載の樹脂容器用コーティング装置と、
前記樹脂容器製造装置によって製造され保持された状態の複数の前記樹脂容器の各々を、前記樹脂容器製造装置から一括して取り出して前記樹脂容器用コーティング装置の前記容器供給位置まで搬送し、前記容器保持部材に複数の前記樹脂容器の各々を保持させる樹脂容器搬送装置と、
を備えることを特徴とする。【００２１】
上記構成によれば、製造装置によって製造された樹脂容器をベルトコンベヤーで搬送して樹脂容器用コーティング装置まで搬送する構成と比較して、樹脂容器用コーティング装置に設置するための整列作業が不要となり量産効率がより向上する。【００２２】
また、本発明の樹脂容器用コーティング装置は、
搬送部材を有する搬送機構と、
前記搬送部材上に設置され、複数の樹脂容器を保持することが可能な容器保持部材と、
前記容器保持部材と組み合わされた状態において、前記容器保持部材に保持された前記樹脂容器の内面に薄膜を形成するコーティング処理を行うことが可能な電極部材と、
前記搬送部材上に設置された前記容器保持部材を前記搬送部材から離間する離間位置へ移動させる移動機構と、
を備え、
前記容器保持部材は、前記樹脂容器が供給される容器供給位置と、前記電極部材と組み合わされた状態で前記コーティング処理が行われるコーティング処理位置と、前記コーティング処理によって薄膜が形成された前記樹脂容器を取り出すことが可能な容器取出位置とに配置されるように前記搬送部材上に複数設置され、
前記搬送部材上に複数設置された前記容器保持部材の各々は、前記搬送部材の移動に伴い、前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動するように構成され、
前記コーティング処理位置に配置された前記容器保持部材を前記移動機構が前記離間位置へ移動させた後に、前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされる。【００２３】
上記構成によれば、コーティング処理された樹脂容器の量産効率の向上を図りつつ、コーティング処理に起因するメンテナンスの頻度を低減することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、コーティング処理された樹脂容器を量産する効率の向上を図りつつ、コーティング処理に起因するメンテナンスの頻度を低減することが可能な樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る樹脂容器用コーティング装置の一例を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線における断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線における断面図である。
【図４】コーティング処理位置に設けられたコーティング部の断面図である。
【図５】コーティング部の動きを説明する図であって、（ａ）および（ｂ）は、それぞれ樹脂容器用コーティング装置のコーティング処理位置における断面図である。
【図６】コーティング処理時における動きを説明する図であって、（ａ）から（ｃ）は、それぞれコーティング部の断面図である。
【図７】図１のＣ−Ｃ線における断面図である。
【図８】本発明に係る樹脂容器製造システムの一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明に係る樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システムの実施形態の一例を添付図面に基づいて説明する。
【００２７】
図１は、樹脂容器用コーティング装置１を上方から見た平面図である。図２は、図１のＡ−Ａ線における断面図である。図１および図２に示すように、樹脂容器用コーティング装置１は、機台２と、機台２の上面に配置された回転台３と、樹脂容器が保持される容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと、回転台３を回転駆動する駆動機構（回転機構の一例）６とを備えている。
【００２８】
機台２は、矩形状を有する厚板によって形成されている。機台２の上面中央部には回転台３を取り付けるための円形状の凹部３００が形成されている。機台２は、その下方に、駆動機構６が収納される機台ベース２００を備えている。
【００２９】
回転台３は、円形状を有する平板によって形成されている。回転台３の径は、機台２の凹部３００の径よりも僅かに小さく形成されている。また、回転台３の厚さは、機台２の凹部３００の深さよりも僅かに小さく形成されている。回転台３は、機台２の凹部３００に緩挿されており、回転台３の上面と機台２の上面とは略同じ高さとなるように配置されている。これにより、機台２の凹部３００の内周面と回転台３の外周面との間および機台２の凹部３００の底面と回転台３の底面との間には、僅かな隙間が設けられている。回転台３は、機台２に対して支軸７を中心に図に示す矢印Ｑの方向（反時計回りの方向）へ回転可能に設けられている。
【００３０】
回転台３の上面には、複数（この形態では４つ）の容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが配置されている。回転台３の矢印Ｑ方向への回転に伴って容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、回転台３とともに矢印Ｑ方向へ回転する。
【００３１】
駆動機構６は、回転台３を回転させるための回転機構である。駆動機構６は、例えば、ステッピングモータ、サーボモータ等によって構成することができる。駆動機構６は、回転台３に固定された支軸７を介して回転台３を回転させる。駆動機構６は、機台ベース２００内に配置されている。
【００３２】
容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、それぞれ複数の樹脂容器８を保持することが可能な部材である。容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、回転台３上に支軸７を中心として９０度間隔で設置されている。
【００３３】
容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、載置された樹脂容器８を保持する容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄを有している。容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄは、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄに複数個（この形態では８個）形成されており、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄを上下方向に貫通している。例えば図２の容器保持部材５ｂに示されるように、樹脂容器８は、当該樹脂容器８の口部を容器保持用孔部９ｂに嵌入した状態で保持される。
【００３４】
容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、回転台３とともに矢印Ｑ方向に回転する過程において、それぞれの容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが容器供給位置Ｐ１、コーティング処理位置Ｐ２、クリーニング処理位置Ｐ３、および容器取出位置Ｐ４の何れかの位置に配置されるように構成されている。それぞれの容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが配置される位置は、最初が容器供給位置Ｐ１、続いてコーティング処理位置Ｐ２、次にクリーニング処理位置Ｐ３、そして最後が容器取出位置Ｐ４の順序に設定されている。
【００３５】
例えば、図１では、容器保持部材５ａが容器供給位置Ｐ１に配置され、容器保持部材５ｂがコーティング処理位置Ｐ２に配置され、容器保持部材５ｃがクリーニング処理位置Ｐ３に配置され、そして容器保持部材５ｄが容器取出位置Ｐ４に配置されている。
【００３６】
この状態から回転台３が矢印Ｑ方向に回転されるとその回転に伴って各容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄも回転し、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄはそれぞれ次の位置へ配置される。すなわち、容器保持部材５ａは容器供給位置Ｐ１から移動してコーティング処理位置Ｐ２に配置され、容器保持部材５ｂはコーティング処理位置Ｐ２から移動してクリーニング処理位置Ｐ３に配置され、容器保持部材５ｃはクリーニング処理位置Ｐ３から移動して容器取出位置Ｐ４に配置され、容器保持部材５ｄは容器取出位置Ｐ４から移動して容器供給位置Ｐ１に配置される。
【００３７】
容器供給位置Ｐ１は、コーティング処理されていない樹脂容器（未成膜容器）８が供給されるステージ（未成膜容器供給工程を行う位置）として設定されている位置である。例えば、ブロー成形機等によって成形された未成膜容器が複数個、等間隔で容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄに嵌入される。図１では、容器供給位置Ｐ１に配置されている容器保持部材５ａの容器保持用孔部９ａに未成膜容器が８個嵌入される。
【００３８】
コーティング処理位置Ｐ２は、後述のチャンバ３０内（図４等参照）に樹脂容器８が収容され、それらの樹脂容器８の内面に一括成膜が行われるステージ（コーティング処理工程を行う位置）として設定されている位置である。コーティング処理位置Ｐ２に配置された容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄに樹脂容器８を保持する部材として機能するとともに、チャンバ３０の一部としても機能する。図１に示す状態においては、容器保持部材５ｂがコーティング処理位置Ｐ２に配置されており、容器保持部材５ｂに載置された樹脂容器（容器供給位置Ｐ１で供給された８個の未成膜容器）８がチャンバ３０内に密封されて一括成膜が行われる。このように、例えばコーティング処理位置Ｐ２に配置された容器保持部材５ｂは、容器保持用孔部９ｂに樹脂容器８を保持する部材として機能するとともに、チャンバ３０の一部としても機能する。
【００３９】
クリーニング処理位置Ｐ３は、樹脂容器８の内部に付着した塵、ホコリ、ダスト、異物等のパーティクルが除去されるステージ（クリーニング処理工程を行う位置）として設定されている位置である。図１に示す状態においては、容器保持部材５ｃがクリーニング処理位置Ｐ３に配置されており、容器保持部材５ｃに載置された樹脂容器（コーティング処理位置Ｐ２で成膜された８個の樹脂容器）８がクリーニング処理される。
【００４０】
容器取出位置Ｐ４は、コーティング処理、およびクリーニング処理された樹脂容器８が取り出されるステージ（成膜完了容器取出工程を行う位置）として設定されている位置である。図１に示す状態においては、容器保持部材５ｄが容器取出位置Ｐ４に配置されており、容器保持部材５ｄの容器保持用孔部９ｄに載置された樹脂容器（クリーニング処理位置Ｐ３でクリーニングされた８個の樹脂容器）８がコーティング完了容器として取り出される。
【００４１】
図３は、図１のＢ−Ｂ線における断面図であり、コーティング処理位置Ｐ２に設けられたコーティング部１０を示している。コーティング部１０は、チャンバ３０内に複数の樹脂容器８を格納し、プラズマＣＶＤ技術を用いて樹脂容器８の内部表面にケイ素化合物のガス等から構成される膜を一括成形する。
【００４２】
コーティング部１０は、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ（図１および図３に示す状態では容器保持部材５ｂ）と、チャンバ蓋部（電極部材の一例）１１と、チャンバ蓋支持部１２と、内部電極１３と、ガス供給部１４と、高周波電源１５を備える。
【００４３】
コーティング処理位置Ｐ２において、容器保持部材５ｂは、チャンバ蓋部１１と組み合わされ、チャンバ蓋部１１とともにチャンバ３０の一部を構成する。チャンバ３０は、コーティング処理時における外部電極として機能する。
【００４４】
チャンバ蓋部１１は、チャンバ蓋支持部１２によって容器保持部材５ｂの上部に上下方向（図３に示すＲの向き）に移動可能に支持されている。
【００４５】
内部電極１３は、チャンバ３０に収容された樹脂容器８の内部にそれぞれ挿入配置されるパイプ状の電極である。内部電極１３は、ガス供給部１４に連結されており、内部電極として機能するとともに、ガスを放出するガスノズルとしても機能する。
【００４６】
ガス供給部１４は、内部電極１３を介して各樹脂容器８内に原料ガスを供給する。原料ガスとしては、ケイ素化合物、あるいは酸素等のガスと混合したガスを使用することができる。
【００４７】
高周波電源１５は、プラズマＣＶＤの外部電極に電力を供給するための電源である。高周波電源１５は、機台ベース２００内に配置されている。
【００４８】
次に、コーティング部１０の具体的な構造および動きを説明する。
図４は、コーティング処理位置Ｐ２に設けられたコーティング部１０の断面図である。図５は、コーティング部１０の動きを説明する図であって、（ａ）および（ｂ）は、それぞれ樹脂容器用コーティング装置１のコーティング処理位置Ｐ２における断面図である。図６は、コーティング処理時における動きを説明する図であって、（ａ）から（ｃ）は、それぞれコーティング部１０の断面図である。
【００４９】
図４および図５（ａ）（ｂ）に示すように、コーティング部１０は、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとチャンバ蓋部１１とを備えている。コーティング部１０は、複数（本実施形態では８つ）の略円筒状の樹脂容器８をそれぞれ個別に独立した状態で格納する８つのチャンバ３０を備えている。チャンバ３０には、樹脂容器８を格納する格納室Ｓが形成される。
【００５０】
容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、基台となるベース部４０と、このベース部４０上に配置される平板状の絶縁板５０と、この絶縁板５０上に設置された下側チャンバ６０と、ベース部４０上に配置される下側シールド部材（第１シールド部材の一例）７０とを有している。また、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの下方には、格納室Ｓにそれぞれ設置された複数の樹脂容器８の内部にそれぞれ挿入配置されるパイプ状（筒状）の前述した内部電極１３と、チャンバ３０の格納室Ｓにそれぞれ連通して排気を行う排気管路（排気経路の一例）８０と、チャンバ３０の格納室Ｓに設置された樹脂容器８の内部に原料ガスをそれぞれ供給する前述したガス供給部１４と、を備えている。
【００５１】
ベース部４０は、ステンレスなどの金属プレートであり、回転台３の上面に載置されている。ベース部４０には、その各角部近傍に、厚み方向へ貫通するガイド孔４１が形成されており、これらのガイド孔４１には、回転台３に固定されて回転台３上に立設されたガイドピン（ガイド部材の一例）４２が挿通されている。ベース部４０は、回転台３に対してガイド孔４１に挿通されたガイドピン４２によってガイドされた状態で、上下に移動可能に支持されている。ガイドピン４２は、その上端部に外周へ張り出す頭部４３を有している。これにより、ベース部４０は、頭部４３によって上方への移動が規制されている。ベース部４０には、孔部４４が形成されている。この孔部４４は、機台２および回転台３に形成された孔部２ａ，３ａと連通される。これらの互いに連通される孔部４４，２ａ，３ａには、排気管路８０の端部が配置される。
【００５２】
絶縁板５０は、絶縁性を有する樹脂材料を板状に形成したもので、ベース部４０の上面側に固定されている。絶縁板５０には、各格納室Ｓに対応する孔部５１が形成されており、この孔部５１は、チャンバ３０の格納室Ｓ内と連通されている。絶縁板５０には、その上面に、孔部５１を囲うようにシール溝５２が形成されており、このシール溝５２には、Ｏリング５３が装着されている。
【００５３】
下側チャンバ６０は、チャンバ３０の下側を構成するもので、金属材料から形成されている。下側チャンバ６０は、上下に貫通する容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄが形成されている。この容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄに樹脂容器８が挿し込まれて保持される。容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄは、格納室Ｓの下側を形成する。下側チャンバ６０は、絶縁板５０上に固定されている。この下側チャンバ６０を絶縁板５０に固定することで、下側チャンバ６０の下面にＯリング５３が密着されて絶縁板５０と下側チャンバ６０との間がシールされている。
【００５４】
下側シールド部材７０は、金属板を角筒状に形成したもので、下端部に絶縁板５０を嵌め込むようにしてベース部４０上に固定されている。これにより、下側シールド部材７０によって下側チャンバ６０の周囲が囲われている。下側シールド部材７０は、その上端に、外方へ張り出すフランジ部７１を有している。フランジ部７１には、全周にわたって導電性シール部材（弾性部材の一例）７２が取り付けられている。この導電性シール部材７２は、導電性を有する弾性材料から形成されている。
【００５５】
図５（ａ）（ｂ）に示すように、排気管路８０は、固定管路部８１と、移動管路部（排気部材の一例）８２とを有している。固定管路部８１は、Ｌ字状に屈曲されている。この固定管路部８１は、一端が機台２に固定され、他端が真空ポンプ（図示略）に接続されている。移動管路部８２は、コ字状（Ｕ字状）に屈曲されている。この移動管路部８２は、一端が互いに連通される孔部４４，２ａ，３ａに導かれ、他端が固定管路部８１の一端に接続される。移動管路部８２の一端には、Ｏリング８３が取り付けられている。また、移動管路部８２の一端側には、内部電極１３が挿通されている。
【００５６】
移動管路部８２は、上下方向へ移動可能とされている。移動管路部８２の下方側には、機台ベース２００に固定されたエアシリンダ８５が設けられている。エアシリンダ８５は、シリンダ本体８６と、このシリンダ本体８６に対して上下方向へ進退されるロッド８７とを有している。ロッド８７の端部は、移動管路部８２の底部に固定されている。
【００５７】
エアシリンダ８５および移動管路部８２は、回転台３上に設置された容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄを、回転台３上に載置された待機位置から上昇させて回転台３から離間する離間位置へ移動させる移動機構９０を構成する。
【００５８】
移動機構９０は、エアシリンダ８５のシリンダ本体８６からロッド８７を突出させることで移動管路部８２を上昇させ、その一端を孔部４４，２ａ，３ａ内へ挿し込み、他端を固定管路部８１の一端に接続させる。上昇する移動管路部８２は、孔部４４，２ａ，３ａ内へ挿し込まれた一端が絶縁板５０に当接する。これにより、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが上方へ持ち上げられて回転台３から離間した離間位置へ移動される。また、このとき、移動管路部８２の一端に設けられたＯリング８３が絶縁板５０に密着して移動管路部８２と絶縁板５０との間がシールされる。
【００５９】
移動機構９０は、エアシリンダ８５のシリンダ本体８６にロッド８７を引き込ませることで、移動管路部８２を下降させ、その一端を孔部４４，２ａ，３ａ内から抜き出させ、他端を固定管路部８１の一端から離す。移動管路部８２が下降すると、離間位置に配置されていた容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが下方の待機位置へ配置される。
【００６０】
チャンバ３０の上方側を構成するチャンバ蓋部１１は、支持板１１０と、絶縁板１２０と、上側チャンバ１３０と、上側シールド部材（第２シールド部材の一例）１４０とを有している。
【００６１】
支持板１１０は、平板状に形成されており、チャンバ蓋支持部１２から延びる支持アーム１２ａに支持されている。支持板１１０には、孔部１１１が形成されており、この孔部１１１には、支持アーム１２ａから引き出された給電線１１２が挿通されている。
【００６２】
絶縁板１２０は、絶縁性を有する樹脂材料を板状に形成したもので、支持板１１０の下面側に固定されている。絶縁板１２０には、貫通孔１２１が形成されており、この貫通孔１２１に給電線１１２が通されている。
【００６３】
上側チャンバ１３０は、チャンバ３０の上側を構成するもので、金属材料から形成されている。上側チャンバ１３０は、保持孔１３１を有しており、保持孔１３１は、格納室Ｓの上側を構成する。上側チャンバ１３０には、給電線１１２が接続されている。保持孔１３１には、下側チャンバ６０に保持された樹脂容器８が収容される。上側チャンバ１３０は、絶縁板５０の下面側に固定されている。上側チャンバ１３０には、その下面に、保持孔１３１を囲うようにＯリング１３２が取り付けられている。
【００６４】
上側シールド部材１４０は、金属板を角筒状に形成したもので、上端部に絶縁板１２０を嵌め込むようにして支持板１１０に固定されている。これにより、上側シールド部材１４０によって上側チャンバ１３０の周囲が囲われている。上側シールド部材１４０は、その下端に、外方へ張り出すフランジ部１４１を有している。
【００６５】
このような構成を有するコーティング部１０において、コーティング処理が行われる場合、チャンバ蓋支持部１２によってチャンバ蓋部１１が下降されるとともに、移動機構９０が駆動され、移動管路部８２がエアシリンダ８５によって上昇される。これにより、図６（ａ）に示すように、待機位置に配置されていた容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが、図６（ｂ）に示すように、上方へ持ち上げられる。このとき、下降するチャンバ蓋部１１の上側チャンバ１３０の保持孔１３１に樹脂容器８の一部が入り込む。そして、図６（ｃ）に示すように、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが離間位置へ移動された後、チャンバ蓋部１１と容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとが組み合わされる。
【００６６】
このように、チャンバ蓋部１１と容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとが組み合わされると、下側チャンバ６０と上側チャンバ１３０とが互いに当接されてチャンバ３０内に格納室Ｓが形成され、格納室Ｓ内に樹脂容器８が収容された状態となる。この状態で、下側チャンバ６０と上側チャンバ１３０とは、当接箇所で互いに接触して電気的に接続される。また、これらの下側チャンバ６０と上側チャンバ１３０との当接箇所は、上側チャンバ１３０に設けられたＯリング１３２によってシールされる。
【００６７】
また、チャンバ蓋部１１が容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄに突き合わされると、下側シールド部材７０と上側シールド部材１４０とが、導電性シール部材７２を介して互いに当接されて電気的に接続される。そして、下側シールド部材７０と上側シールド部材１４０とによって遮蔽空間が形成され、下側チャンバ６０と上側チャンバ１３０とからなるチャンバ３０が遮蔽空間内に配置された状態となる。また、下側シールド部材７０と上側シールド部材１４０とは、下側シールド部材７０に設けられた導電性シール部材７２によってシールされる。
【００６８】
また、チャンバ蓋部１１と容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとが組み合わされる際に、下方位置に配置されていた内部電極１３が上昇し、その先端がチャンバ３０の格納室Ｓ内に収容されている樹脂容器８内に挿入される。
【００６９】
上記のように、チャンバ蓋部１１と容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとが組み合わされ、内部電極１３が樹脂容器８の口部から樹脂容器８の内部に挿入配置されると、格納室Ｓ内の空気が排気管路８０を介して真空ポンプによって排気され、格納室Ｓ内が真空状態にされる。この状態で、ガス供給部１４から原料ガスが供給され、供給された原料ガスはパイプ状を有する内部電極１３の先端から樹脂容器８の内部に放出される。原料ガスの放出後に、チャンバ３０に外部の高周波電源１５から電力が投入される。これにより、外部電極であるチャンバ３０と内部電極１３との間に生じる電位差によってプラズマが発生し、８つの樹脂容器８の内部表面に膜が一括形成される。
【００７０】
また、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとチャンバ蓋部１１とが組み合わされた状態において、下側シールド部材７０と上側シールド部材１４０とが互いに当接されて電気的に接続されるとともに遮蔽空間を形成する。そして、この遮蔽空間内に容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの下側チャンバ６０とチャンバ蓋部１１の上側チャンバ１３０からなるチャンバ３０が配置された状態となる。したがって、コーティング処理の際に発生する高周波の外部への伝搬が防がれる。
【００７１】
なお、コーティング部１０におけるコーティングの処理は、図示を省略する制御部から出力される各制御信号に基づいて実施される。
【００７２】
ところで、チャンバ蓋部１１が下降して容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが組み合わされる際に、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄには、チャンバ蓋部１１から下方へ向かう衝撃力が作用する。一方、回転台３の底面と機台２の凹部３００内の底面との間に所定のクリアランスがある。また、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、回転台３上において、回転台３の支軸７から所定距離だけ径方向外方へ離れた位置に設置されている。
【００７３】
このため、例えば、特許文献２に記載された装置のように、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが回転台３に固定された構造では、コーティング処理において容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとチャンバ蓋部１１とが組み合わされる際の衝撃力が、床面に設置された機台２まで伝わりにくく、この衝撃力を主に回転台３で受け止めることとなってしまう。そして、この衝撃力が、回転台３のうち支軸７から所定距離だけ離れた部位にコーティング処理の度に加わることにより、駆動機構６が故障してしまう可能性がある。例えば、回転台３の形状が変形したり、回転台３と支軸７との接合部分が変形したりする可能性がある。このため、特許文献２の装置では、駆動機構６について定期的なメンテナンスが必要である。
【００７４】
そこで、例えば、回転台３の底面と機台２の凹部３００内の底面との間のクリアランスに、摺動部材を設けることが考えられる。この構成では、回転台３のスムーズな回転を確保しつつ、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとチャンバ蓋部１１とが組み合わされる際の衝撃力を、摺動部材を介して機台２で受け止めることが可能となる。
【００７５】
しかしながら、このような摺動部材は高価であり装置コストが高くなってしまう。また、摺動部材は摩耗するため、摺動部材の定期的なメンテナンスが必要となってしまう。
【００７６】
これに対して、本実施形態に係る樹脂容器用コーティング装置１では、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとチャンバ蓋部１１とが組み合わされる前に容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが回転台３上から離間した離間位置に移動するため、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとチャンバ蓋部１１とが組み合わされる際の衝撃力が回転台３まで直接的には伝達しない。このため、コーティング処理の度に発生する上述の衝撃力に起因して駆動機構６が故障する可能性を低下させることができ、メンテナンスの頻度を低減させることができる。
【００７７】
また、排気管路８０を構成する移動管路部８２は、エアシリンダ８５によって上下移動される。このため、衝撃力が発生した瞬間、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは少しだけ離間位置から回転台３の方へ移動可能である。これにより、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとチャンバ蓋部１１とが組み合わされる際の衝撃力を、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが下方へ少し移動することで緩衝させることができる。これにより、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄも壊れにくい。
【００７８】
図７は、図１のＣ−Ｃ線における断面図であり、クリーニング処理位置Ｐ３に設けられたクリーニング部２０を示している。クリーニング部２０は、容器保持部材５ｃと、容器押さえ部２１と、容器押さえ支持部２２と、ノズル２３と、圧縮空気供給部２４を備える。
【００７９】
容器押さえ部２１は、容器保持用孔部９ｃに嵌入された樹脂容器８を上方から押さえ込む樹脂容器８の外れ防止部材である。容器押さえ部２１は、押さえ板２１ａと、一端部に押さえ板２１ａを支持する押さえアーム２１ｂとを備えている。押さえアーム２１ｂの他端は、容器押さえ支持部２２に取り付けられている。容器押さえ部２１は、上下方向（図７に示す矢印Ｓ方向）へ移動自在に支持されている。
【００８０】
ノズル２３は、容器保持部材５ｃの容器保持用孔部９ｃに保持されている樹脂容器８の内部にそれぞれ挿入されるパイプ部材である。ノズル２３は、圧縮空気供給部２４に連結されている。圧縮空気供給部２４から供給された空気はノズル２３を介して樹脂容器８内に放出される。
【００８１】
ところで、前述したコーティング部１０における成膜時において、樹脂容器８の内部に挿入される内部電極１３等に膜が付着する場合がある。この場合、コーティング処理を複数回繰り返すことによりその膜が徐々に大きな堆積物となり、その堆積物が樹脂容器８の内部に剥がれ落ちる場合がある。また、排気管路８０内に付着した堆積物が大気開放時の空気の流れで巻き上げられ樹脂容器８内に入り込む場合もある。
【００８２】
クリーニング部２０では、各樹脂容器８内にノズル２３を挿入して、ノズル２３から圧縮空気を樹脂容器８内に吹き込む。このとき圧縮空気の吹き込みにより容器保持部材５ｃにセットした樹脂容器８が吹き飛ばされないように、樹脂容器８の上側に容器押さえ部２１を配置させて押さえ込む。これにより、成膜時に容器の内面に付着した塵、ホコリ、ダスト、異物等のパーティクルを樹脂容器８の外部に除去することができる。
【００８３】
次に、上記構成の樹脂容器用コーティング装置１の動作について説明する。
コーティング処理が行なわれる初期状態では、４つの容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは全て空の状態、すなわち、樹脂容器８は載置されていない状態になっている。この状態をこの初期状態として、図１を参照して以下説明していく。
【００８４】
初期状態において先ず、容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ａの容器保持用孔部９ａに、コーティングされていない未成膜の樹脂容器８が嵌入されることにより供給される。
【００８５】
容器保持部材５ａへの樹脂容器８の供給が完了すると、続いて、回転台３が支軸７を中心として矢印Ｑ方向へ９０度回転する。この回転により、容器保持部材５ａがコーティング処理位置Ｐ２まで移動する。
【００８６】
このとき他の容器保持部材５ｂ，５ｃ，５ｄも矢印Ｑ方向へ同じ角度だけ回転して、容器保持部材５ｂがクリーニング処理位置Ｐ３まで移動し、容器保持部材５ｃが容器取出位置Ｐ４まで移動し、容器保持部材５ｄが容器供給位置Ｐ１まで移動する。
【００８７】
容器保持部材５ａがコーティング処理位置Ｐ２まで移動すると、当該コーティング処理位置Ｐ２において、容器保持部材５ａに供給された樹脂容器８に対しコーティング処理が開始される。コーティング処理の内容は、上述した通りである。
【００８８】
このコーティング処理位置Ｐ２における容器保持部材５ａの樹脂容器８にコーティング処理が実施されている間、この処理と並行して、容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ｄの容器保持用孔部９ｄには未成膜の樹脂容器８を嵌入する処理が実施される。
【００８９】
容器保持部材５ａに供給された樹脂容器８へのコーティング処理と、容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ｄへの容器供給処理とが完了すると、さらに、回転台３が９０度回転して、容器保持部材５ａがクリーニング処理位置Ｐ３まで移動する。
【００９０】
このとき他の容器保持部材５ｂ，５ｃ，５ｄもそれぞれ同じ角度回転して、容器保持部材５ｂが容器取出位置Ｐ４まで移動し、容器保持部材５ｃが容器供給位置Ｐ１まで移動し、容器保持部材５ｄがコーティング処理位置Ｐ２まで移動する。
【００９１】
容器保持部材５ａがクリーニング処理位置Ｐ３まで移動すると、当該クリーニング処理位置Ｐ３において、容器保持部材５ａに保持されている樹脂容器８に対しクリーニング処理が開始される。クリーニング処理の内容は、上述した通りである。
【００９２】
このクリーニング処理位置Ｐ３における容器保持部材５ａの樹脂容器８にクリーニング処理が実施されている間、この処理と並行して、コーティング処理位置Ｐ２に配置された容器保持部材５ｄの樹脂容器８に対しコーティング処理が実施される。また、容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ｃの容器保持用孔部９ｃには未成膜の樹脂容器８を嵌入する処理が実施される。
【００９３】
容器保持部材５ａに保持されている樹脂容器８へのクリーニング処理と、容器保持部材５ｄに保持されている樹脂容器８へのコーティング処理と、容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ｃへの容器供給処理とが完了すると、さらに、回転台３が９０度回転して、容器保持部材５ａが容器取出位置Ｐ４まで移動する。
【００９４】
このとき他の容器保持部材５ｂ，５ｃ，５ｄもそれぞれ同じ角度回転して、容器保持部材５ｂが容器供給位置Ｐ１まで移動し、容器保持部材５ｃがコーティング処理位置Ｐ２まで移動し、容器保持部材５ｄがクリーニング処理位置Ｐ３まで移動する。
【００９５】
容器保持部材５ａが容器取出位置Ｐ４まで移動すると、当該容器取出位置Ｐ４において、容器保持部材５ａに載置されている成膜済み樹脂容器８を取出す処理が開始される。樹脂容器用コーティング装置１から取り出された樹脂容器８は、その内部に液体などの内容物を充填する充填装置へと搬送される。
【００９６】
この容器取出位置Ｐ４における容器保持部材５ａに保持された成膜済み樹脂容器８の取り出し処理が実施されている間、この処理と並行して、クリーニング処理位置Ｐ３に配置された容器保持部材５ｄの樹脂容器８に対しクリーニング処理が実施される。また、コーティング処理位置Ｐ２に配置された容器保持部材５ｃの樹脂容器８に対しコーティング処理が実施される。また、容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ｂの容器保持用孔部９ｂには未成膜の樹脂容器８を嵌入する容器供給処理が実施される。
【００９７】
コーティング処理、クリーニング処理、取り出し処理、容器供給処理の各処理が完了すると、さらに、回転台３が９０度回転して、容器保持部材５ａが再度、容器供給位置Ｐ１まで移動する。このとき容器保持部材５ａは、樹脂容器８が供給されていない空の状態である。
【００９８】
そして、容器供給位置Ｐ１まで戻った容器保持部材５ａに対しては上述したように未成膜の樹脂容器８の供給処理が実施される。また、さらに回転が繰り返されると、順次、各位置Ｐ１からＰ４においてそれぞれ上述した動作が繰り返される。
【００９９】
なお、上述した容器供給処理、コーティング処理、クリーニング処理、取り出し処理、容器供給処理の各処理は所定時間内に終了するように設定されている。本例では、上述の４つの各処理が例えば１０秒以内で処理が終了するように設定されており、回転台３は例えば１０秒毎に支軸７を中心として矢印Ｑ方向へ９０度回転し、各位置Ｐ１からＰ４においてそれぞれ上述した動作が繰り返される。
【０１００】
以上説明したように、本実施形態に係る樹脂容器用コーティング装置１によれば、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとチャンバ蓋部１１とが組み合わされる前に容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが回転台３上から離間した離間位置に移動するため、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとチャンバ蓋部１１とが組み合わされる際の衝撃力が回転台３まで直接的には伝達しない。このため、コーティング処理の度に発生する上述の衝撃力に起因して駆動機構６が故障する可能性を低下させることができ、メンテナンスの頻度を低減させることができる。
【０１０１】
また、本実施形態に係る樹脂容器用コーティング装置１によれば、未成膜の樹脂容器８を供給する工程と、コーティング処理を行う工程と、クリーニング処理を行う工程と、成膜された樹脂容器８を取り出す工程とを並行して行うことができるため、コーティング処理を要する樹脂容器８を製造する量産効率を向上させることができる。
【０１０２】
このように、本実施形態によれば、コーティング処理された樹脂容器８の量産効率の向上を図りつつ、コーティング処理に起因するメンテナンスの頻度を低減することができる。
【０１０３】
しかも、回転台３の小型化や低コスト化も可能であり、装置全体の低コスト化に寄与することも可能である。
【０１０４】
また、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが離間位置へ移動することをガイドするガイドピン４２を回転台３上に設けているので、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄを精度よく離間位置へ移動させることができる。また、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが離間位置と異なる位置へ移動することを防ぐことができる。
【０１０５】
しかも、ガイドピン４２によって、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが回転台３上の水平方向へ移動することを防ぐことができる。これにより、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとチャンバ蓋部１１とが組み合わされる際の衝撃力によって、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの位置ずれが発生することを抑制できる。
【０１０６】
また、移動機構９０には、コーティング処理位置Ｐ２に配置された容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと接続して、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの下側チャンバ６０とチャンバ蓋部１１の上側チャンバ１３０とで形成される格納室Ｓの空気を外部へ排気するための排気管路８０を構成する排気部材が用いられる。つまり、コーティング処理に必要な排気部材を移動機構９０として利用することで、部品点数の増加を抑えつつ、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄを離間位置へ移動させる機構を実現することができる。
【０１０７】
また、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとチャンバ蓋部１１とが組み合わされた状態において、下側シールド部材７０と上側シールド部材１４０とで形成される遮蔽空間内に容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの下側チャンバ６０とチャンバ蓋部１１の上側チャンバ１３０からなるチャンバ３０が配置された状態となる。これにより、コーティング処理の際に発生する高周波が装置の外部へ伝搬することを防ぐことができる。
【０１０８】
また、下側シールド部材７０と上側シールド部材１４０とが、下側シールド部材７０に設けた導電性を有する弾性材料からなる導電性シール部材７２を介して接続されることにより、遮蔽空間の密閉性が確保しやすくなる。
【０１０９】
ここで、下側チャンバ６０および上側チャンバ１３０は、真空に耐えられるように肉厚に設計されるが、下側シールド部材７０および上側シールド部材１４０は電気的に遮蔽できれば問題ない。そのため、下側シールド部材７０および上側シールド部材１４０は、下側チャンバ６０および上側チャンバ１３０と比較して薄肉に設計できるが、衝撃力による変形の可能性も考慮しなくてはならない。
【０１１０】
本実施形態では、下側シールド部材７０に設けた導電性を有する弾性材料からなる導電性シール部材７２によって容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとチャンバ蓋部１１とが組み合わされる際に下側シールド部材７０と上側シールド部材１４０との間に発生する衝撃力を低減することができる。これにより、下側シールド部材７０および上側シールド部材１４０を薄肉化してコストを低下させることができる。
【０１１１】
次に、上記の樹脂容器用コーティング装置１を備えた樹脂容器製造システム２３０について説明する。
図８は、樹脂容器製造システム２３０の一実施形態を上方から見た平面図である。樹脂容器製造システム２３０は、樹脂容器８を製造する成形機（樹脂容器製造装置の一例）２４０と、樹脂容器８にコーティング処理を行なう樹脂容器用コーティング装置１と、成形機２４０で製造された樹脂容器８を樹脂容器用コーティング装置１に搬送するロボットアーム（樹脂容器搬送装置の一例）２５０を備える。なお、樹脂容器用コーティング装置１は、上記実施形態において説明した樹脂容器用コーティング装置と同じ装置である。
【０１１２】
成形機２４０は、樹脂容器８の原料が供給される原料供給ステージ２４１と、プリフォームを成形するプリフォーム成形ステージ２４２と、プリフォームの温度分布を均一にするための温度調整ステージ２４３と、空気を吹き込むブロー成形ステージ２４４と、成形した樹脂容器８を取り出す取出ステージ２４５を備えている。取出ステージ２４５に並列配置される樹脂容器８の数および樹脂容器８のピッチ（金型のピッチ）は、樹脂容器用コーティング装置１の容器供給位置Ｐ１に配置される容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄの数およびそのピッチに対応するように設定されている。
【０１１３】
ロボットアーム２５０は、成形機２４０と樹脂容器用コーティング装置１との間に配置されている。ロボットアーム２５０は、成形機４２０の取出ステージ２４５に配置されている樹脂容器８を取り出して、取り出した樹脂容器８を樹脂容器用コーティング装置１の容器供給位置Ｐ１に配置されている容器保持部材５ａに搬送する。また、ロボットアーム２５０は、搬送した樹脂容器８を容器保持部材５ａの容器保持用孔部９ａに嵌入することにより保持させる。
【０１１４】
以上説明したように、本実施形態の樹脂容器製造システム２３０によれば、成形機２４０に保持された樹脂容器８が、ロボットアーム２５０によって直接的に樹脂容器用コーティング装置１に供給される。このため、成形機２４０によって製造された樹脂容器８をベルトコンベヤーで搬送してコーティング装置まで搬送する構成と比較して、コーティング装置に設置するための整列作業が不要となり量産効率がより向上する。
【０１１５】
また、取出ステージ２４５の樹脂容器８の数およびそのピッチ（金型のピッチ）と、容器供給位置Ｐ１の容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄの数およびそのピッチを対応させたことにより、ロボットアーム２５０によって確実に樹脂容器８を受け渡すことができ、更に量産効率を向上させることができる。
【０１１６】
ここで、樹脂容器８の製造装置とコーティング装置は連結されて使用されることがある（例えば、日本国特開２００５−０３６２６０号および日本国特開２００５−２４６９号参照）。このように、樹脂容器８の製造装置とコーティング装置とを連結して使用する装置では、製造装置で最終形状に形成された樹脂容器８を、一個ずつコーティング装置の個別の搬送部材（チャンバの下部分など）に整列させた状態で供給する必要がある。この種の装置は、主に大量生産される汎用の形状を有する樹脂容器８を製造するのに用いられている。
【０１１７】
ところで、コーティングの対象となる樹脂容器８は、大量生産されて汎用の形状となっているものだけでなく、小型や扁平等の形状であって少量生産されるものも含まれる。主に少量生産される、例えば小型で扁平の形状を有する樹脂容器８については、整列させた状態で搬送して一個ずつ連続的に個別の搬送部材に供給することが難しく、コーティング処理の効率を低下させる原因の一つでもある。
【０１１８】
これに対して、本実施形態の樹脂容器製造システム２３０によれば、成形機２４０で製造されて正立した状態の樹脂容器８をそのまま樹脂容器用コーティング装置１の容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄに保持させることができるため、小型や扁平等の形状であって多品種少量生産される樹脂容器８に対してもコーティング処理の効率が低下しにくい。
【０１１９】
また、樹脂容器８の製造装置とコーティング装置とを連結して使用する装置は、樹脂容器８を一個ずつ個別の搬送部材（チャンバの下部分など）に連続的に供給し、一個ずつ円状の経路に沿って流していく。このようなロータリータイプの装置において、例えば２０〜５０個の樹脂容器８を一度に円状に配置できるスペック（１時間あたり１００００〜３００００個の容器を処理可能なスペック）を有する装置の場合、２０〜５０回だけ樹脂容器８を供給口に連続して供給して次の位置に移動させることとなり、供給する樹脂容器８の数だけ装置の回転機構を動作させることとなるため、装置のメンテナンスや故障のリスクが樹脂容器８の数に影響を受けやすい。また、１つの樹脂容器に対して１個の搬送部材が設けられており、装置として大型でコストが高いものとなる。
【０１２０】
これに対し、本実施形態に係る樹脂容器製造システム２３０では、一度に複数の樹脂容器８を１つの容器保持部材５ａ（５ｂ，５ｃ，５ｄ）に保持させる。このため、ロータリータイプと比較して、回転機構が故障するリスクを大幅に下げられるとともに、装置のコストも低下させることができる。
【０１２１】
上記の樹脂容器製造システム２３０において、取出ステージ２４５の樹脂容器８の数およびそのピッチ（金型のピッチ）と、容器供給位置Ｐ１の容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄの数およびそのピッチが異なる構成の場合は、ロボットアーム２５０によって、ピッチや数の相違を調整する構成としても良い。
【０１２２】
なお、上記実施形態において、回転台３上に配置される容器保持部材の数、すなわちコーティング処理工程と並行して行う他の工程の数は、上記の例に限らず、クリーニング処理を省略した３工程、または、他の処理を加えて５以上の工程であっても良い。これによりさらに量産効率を向上させることが可能になる。
【０１２３】
また、コーティング処理の回数は１回に限定されず、２回のコーティング処理を行なうようにしても良い。すなわちコーティング処理工程を２工程備えるようにしても良い。その場合、同じコーティング処理を２回行うようにしても良いし、あるいは２回目のコーティング処理においては１回目と異なる膜を成膜するようにしても良い。
【０１２４】
以上、本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。
【０１２５】
例えば、上述した例では、回転台３を回転駆動する駆動機構を備える構成を説明したがこれに限らない。例えば、回転台を含む回転機構の代わりに、搬送台を含む搬送機構（ベルトコンベヤー等）を備える構成に対しても本発明を適用することができる。
【０１２６】
本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。
本出願は、2014年10月27日出願の日本特許出願・出願番号2014-218561に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【符号の説明】
【０１２７】
１：樹脂容器用コーティング装置、３：回転台、５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ：容器保持部材、６：駆動機構（回転機構の一例）、８：樹脂容器、１１：チャンバ蓋部（電極部材の一例）、４２：ガイドピン（ガイド部材の一例）、７０：下側シールド部材（第１シールド部材の一例）、７２：導電性シール部材（弾性部材の一例）、８０：排気管路（排気経路の一例）、８２：移動管路部（排気部材の一例）、９０：移動機構、１４０：上側シールド部材（第２シールド部材の一例）、２３０：樹脂容器製造システム、２４０：成形機（樹脂容器製造装置の一例）、２５０：ロボットアーム（樹脂容器搬送装置の一例）、Ｐ１：容器供給位置、Ｐ２：コーティング処理位置、Ｐ４：容器取出位置
【図１】
2016068023.tif 000003
【図２】
2016068023.tif 000004
【図３】
2016068023.tif 000005
【図４】
2016068023.tif 000006
【図５】
2016068023.tif 000007
【図６】
2016068023.tif 000008
【図７】
2016068023.tif 000009
【図８】
2016068023.tif 000010
【国際調査報告】
2016068023.tif 000011
2016068023.tif 000012