(57)【要約】  有機ＥＬ発光モジュールの製造システムは、吸湿層５および保護層６が積層された封止部材１０を作製する封止部材作製装置１００と、有機ＥＬ素子３が形成されている基板２の一方の面２１に封止部材１０を貼り合せて有機ＥＬ素子３を封止する封止部材貼り合せ装置４００とを備える。封止部材作製装置１００は、吸着ヘッド１３０が吸湿層５および保護層６を順次吸着することによって吸湿層５および保護層６が積層された封止部材１０を作製する。
2014084284.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬ発光モジュールの製造システムであって、
有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機ＥＬ素子を封止する封止部材貼り合せ装置を備え、
前記封止部材貼り合せ装置は、
前記基板を吸着する基板吸着上面部と、
前記吸着上面部の下方に位置し、前記基板の端部のみを下方から支持可能な支持台部と、
前記基板吸着上面部の下方に位置し、前記封止部材が載置される部材セット部と、
前記基板吸着上面部の中央に設けられた、前記基板の中央部を吸着可能でかつ上下に移動可能な可動式吸着部とを含み、
前記基板が、前記基板吸着上面部と前記可動式吸着部とにより吸着された状態から、前記基板吸着上面部の吸着を開放することによって前記可動式吸着部と前記支持台部とにより支持される状態とし、
その後、前記可動式吸着部を下方に移動させることにより前記基板の中央部を前記支持台部より下方に押し下げた状態とし、
次いで、前記可動式吸着部による前記基板の吸着を保持したまま、前記封止部材が載置された前記部材セット部を上方に移動させ、前記基板と前記可動式吸着部とを連動させながら、前記部材セット部を前記基板と前記封止部材とともに前記吸着上面部に押し付けることで、前記基板の中央部から端部に向かって順次前記基板と前記封止部材とを貼り合わせる
ことを特徴とする有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項２】
有機ＥＬ発光モジュールの製造システムであって、
第１のシート状部材、および前記第１のシート状部材よりも広い面を有する第２のシート状部材が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置と、
有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に前記封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機ＥＬ素子を封止する封止部材貼り合せ装置とを備え、
前記封止部材作製装置は、
部材吸着用の吸入孔が複数設けられた吸着面を有するシート状部材吸着部と、
前記第１のシート状部材および前記第２のシート状部材を順次載置可能なステージ面を有するステージ部とを含み、
前記シート状部材吸着部が前記第１のシート状部材および前記第２のシート状部材を順次吸着することによって前記第１のシート状部材および前記第２のシート状部材が積層された前記封止部材を作製する前記封止部材作製装置であって、
前記ステージ部には、前記第１のシート状部材が載置された領域を含む領域に前記第２のシート状部材が載置され、
前記封止部材作製装置は、前記第１のシート状部材および前記第２のシート状部材の載置の位置合わせのために、第１側面を有する台部と第２側面を有するように前記台部から上方に立設された立設部とをそれぞれ有する複数の位置合わせ部をさらに含み、
前記複数の位置合わせ部は、前記第１側面の相互の距離が前記第２側面の相互の距離よりも短いように設置され、
前記第１のシート状部材は、端部が前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第１側面に当接するように前記ステージ部の前記ステージ面に載置され、
前記シート状部材吸着部は、前記ステージ部と近接させることにより前記ステージ部の前記ステージ面に載置された前記第１のシート状部材を前記吸着面に吸着し、
前記第２のシート状部材は、端部が前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第２側面に当接するように前記ステージ部の前記ステージ面に載置され、
前記シート状部材吸着部は、前記ステージ部と近接させることにより前記ステージ部の前記ステージ面に載置された前記第２のシート状部材を前記第１のシート状部材が吸着されている前記吸着面に重畳して吸着し、前記第１のシート状部材と前記第２のシート状部材とを積層する
ことを特徴とする有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項３】
前記封止部材作製装置は、前記シート状部材吸着部が吸着して積層された前記第１シート状部材と前記第２シート状部材とを前記吸着面に押しつけるとともに、前記第１シート状部材と前記第２シート状部材とを加熱する熱圧着処理を行って前記第１シート状部材と前記第２シート状部材とによる前記封止部材を形成する熱圧着部をさらに含み、
前記シート状部材吸着部は、前記熱圧着部による前記熱圧着処理の実行中には、前記第２シート状部材に対向する領域のうち、前記第１シート状部材に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行う
ことを特徴とする請求項２に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項４】
前記封止部材を前記基板に貼り合せるための粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せ装置をさらに備え、
前記粘着材は、シート状に形成されており、シート状に形成された前記粘着材の一の面には剥離紙が貼付され、前記剥離紙の前記一の面とは反対の面は帯状のテープ部材に貼付され、
前記粘着材貼り合せ装置は、
前記粘着材が貼付された前記テープ部材における前記粘着材が貼付されている面の反対側の面を吸着する吸着動作を行うテープ部材吸着部と、
円筒状に形成されて中心軸周りに回転するローラ部とを含み、
前記テープ部材吸着部は、前記第１のシート状部材が上面の一部をなすように載置テーブルに載置されている前記封止部材の上方で前記テープ部材を吸着して保持し、
前記ローラ部は、前記テープ部材吸着部から前記テープ部材を剥離しながら前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を帯状の前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動するとともに、周面によって前記テープ部材側から前記粘着材を前記封止部材に押しつけて前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる
ことを特徴とする請求項２または請求項３に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項５】
前記テープ部材吸着部は、前記ローラ部が前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部側から前記テープ部材を剥離していくときに、前記テープ部材の他方の端部側において前記吸着動作を継続する
ことを特徴とする請求項４に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項６】
前記テープ部材は、前記剥離紙が貼付される貼付領域と前記貼付領域の外方にある余白領域とを有し、
前記ローラ部は、前記テープ部材の長手方向の一方の端部の前記余白領域から他方の端部の方向へ、前記貼付領域に亘り前記粘着材を前記封止部材に貼り合せるように転動する
ことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項７】
前記粘着材貼り合せ装置は、
前記テープ部材吸着部の上方を覆う上面部と、前記載置テーブルの下方を覆う下面部と、前記上面部と前記下面部とに挟まれた空間の側方を覆う側面部とを含み、
前記下面部と前記上面部とが相対的に近づくことによって、前記上面部に前記側面部の上端が当接し、前記側面部の下端に前記下面部が当接した状態であって、前記テープ部材を吸着している前記テープ部材吸着部および前記封止部材が載置されている前記載置テーブルを収容した前記空間内を密閉する第１状態と、前記下面部が前記上面部から離間することによって、前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を前記ローラ部が転動可能な隙間を有する第２状態との間で相互に遷移し、
少なくとも前記下面部を収容した窒素置換チャンバにおいて、前記第１状態とされたときに前記空間から空気が排出された後に前記空間に窒素が供給される窒素置換動作が行われ、前記第２状態においても前記空間内を窒素雰囲気に維持する
ことを特徴とする請求項４から請求項６のうちいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項８】
前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離するテープ部材剥離装置をさらに備え、
前記テープ部材剥離装置は、
窒素雰囲気中に設置され、
前記テープ部材において前記剥離紙が貼付された貼付領域の外方にある余白領域を把持し、前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離する把持部と、
前記把持部が前記粘着材から剥離した前記テープ部材および前記剥離紙が載置され、前記テープ部材を載置可能な上面を有する載置台とを含み、
窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材には、前記載置台が上方に移動すると前記載置台と嵌合する貫通孔が天面に設けられるとともに、前記貫通孔を外方から覆う蓋部が設置され、
前記載置台は、上方に移動すると前記テープ部材が載置された前記上面によって前記蓋部を押し上げる
ことを特徴とする請求項４から請求項７のうちいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項９】
前記封止部材と前記基板とを熱圧着する熱圧着装置をさらに備え、
前記熱圧着装置は、
前記封止部材を前記基板に押しつけるとともに前記封止部材を加熱する封止部材熱圧着処理を行うホットプレート部を含み、
前記ホットプレート部は、前記封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられている
ことを特徴とする請求項１から請求項８のうちいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項１０】
有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機ＥＬ素子を封止する有機ＥＬ発光モジュールの製造方法であって、
前記基板を吸着する基板吸着上面部と、
前記吸着上面部の下方に位置し、前記基板の端部のみを下方から支持可能な支持台部と、
前記基板吸着上面部の下方に位置し、前記封止部材が載置される部材セット部と、
前記基板吸着上面部の中央に設けられた、前記基板の中央部を吸着可能でかつ上下に移動可能な可動式吸着部とを有する封止部材貼り合せ装置が、
前記基板を、前記基板吸着上面部と前記可動式吸着部とによって吸着する状態から、前記基板吸着上面部の吸着を開放することによって前記可動式吸着部と前記支持台部とにより支持する状態とする基板支持ステップと、
その後、前記可動式吸着部を下方に移動させることにより前記基板の中央部を前記支持台部より下方に押し下げた状態とする基板押下ステップと、
次いで、前記可動式吸着部による前記基板の吸着を保持したまま、前記封止部材が載置された前記部材セット部を上方に移動させ、前記基板と前記可動式吸着部とを連動させながら、前記部材セット部を前記基板と前記封止部材とともに前記吸着上面部に押し付けることで、前記基板の中央部から端部に向かって順次前記基板と前記封止部材とを貼り合わせる貼り合せステップとを実行する
ことを特徴とする有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１１】
有機ＥＬ発光モジュールの製造方法であって、
第１のシート状部材、および前記第１のシート状部材よりも広い面を有する第２のシート状部材が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置の、前記第１のシート状部材および前記第２のシート状部材を順次載置可能なステージ面を有するステージ部に、前記第１のシート状部材が載置される第１のシート状部材載置ステップと、
前記封止部材作製装置のシート状部材吸着部を前記ステージ部と近接させることにより、前記ステージ面に載置された前記第１のシート状部材を前記ステージ面に対向して部材吸着用の吸入孔が複数設けられた吸着面に吸着する第１のシート状部材吸着ステップと、
前記ステージ部において、前記第１のシート状部材が載置された領域を含む領域に前記第２のシート状部材が載置される第２のシート状部材載置ステップと、
前記封止部材作製装置の前記シート状部材吸着部を前記ステージ部と近接させることにより、前記ステージ面に載置された前記第２のシート状部材を前記第１のシート状部材が吸着されている前記吸着面に重畳して吸着し、前記第１のシート状部材と前記第２のシート状部材とを積層する第２のシート状部材吸着ステップと、
封止部材貼り合せ装置が、有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に前記封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機ＥＬ素子を封止する有機ＥＬ封止ステップとを含み、
前記第１のシート状部材載置ステップでは、前記第１のシート状部材の載置の位置合わせのために、第１側面を有する台部と第２側面を有するように前記台部から上方に立設された立設部とをそれぞれ有し、前記第１側面の相互の距離が前記第２側面の相互の距離よりも短いように複数の位置合わせ部が設置され、前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第１側面に端部が当接するように前記第１のシート状部材を前記ステージ部に載置し、
前記第２のシート状部材載置ステップでは、前記第２のシート状部材の載置の位置合わせのために、前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第２側面に端部が当接するように前記第２のシート状部材を前記ステージ部に載置する
ことを特徴とする有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１２】
前記封止部材作製装置の熱圧着部が、前記第２のシート状部材吸着ステップで前記シート状部材吸着部によって積層された前記第１シート状部材と前記第２シート状部材とを前記吸着面に押しつけるとともに、前記第１シート状部材と前記第２シート状部材とを加熱する熱圧着処理を行って前記第１シート状部材と前記第２シート状部材とによる前記封止部材を形成するシート状部材熱圧着ステップをさらに含み、
前記シート状部材吸着部は、前記熱圧着ステップで、前記熱圧着部による前記熱圧着処理の実行中には、前記第２シート状部材に対向する領域のうち、前記第１シート状部材に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行う
ことを特徴とする請求項１１に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１３】
前記封止部材を前記基板に貼り合せるための粘着材であって、シート状に形成されて予め一の面には剥離紙が貼付され、前記一の面とは反対の面は前記剥離紙が帯状のテープ部材に貼付された前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せ装置のテープ部材吸着部が、前記粘着材が貼付された前記テープ部材における前記粘着材が貼付されている面の反対側の面を吸着する吸着動作を行うテープ部材吸着ステップと、
前記テープ部材吸着部が、前記第１のシート状部材が上面の一部をなすように載置テーブルに載置されている前記封止部材の上方で前記テープ部材を吸着して保持する吸着保持ステップと、
前記粘着材貼り合せ装置の円筒状に形成されて中心軸周りに回転するローラ部が、前記テープ部材吸着部から前記テープ部材を剥離しながら前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を帯状の前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動するとともに、周面によって前記テープ部材側から前記粘着材を前記封止部材に押しつけて前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せステップを含む
ことを特徴とする請求項１１または請求項１２に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１４】
前記テープ部材吸着部は、前記粘着材貼り合せステップで、前記ローラ部が前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部側から前記テープ部材を剥離していくときに、前記テープ部材の他方の端部側において前記吸着動作を継続する
ことを特徴とする請求項１３に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１５】
前記テープ部材は、前記剥離紙が貼付される貼付領域と前記貼付領域の外方にある余白領域とを有し、
前記ローラ部は、前記粘着材貼り合せステップで、前記テープ部材の長手方向の一方の端部の前記余白領域から他方の端部の方向へ、前記貼付領域に亘り前記粘着材を前記封止部材に貼り合せるように転動する
ことを特徴とする請求項１３または請求項１４に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１６】
前記粘着材貼り合せ装置は、
前記テープ部材吸着部の上方を覆う上面部と、前記載置テーブルの下方を覆う下面部と、前記上面部と前記下面部とに挟まれた空間の側方を覆う側面部とを含み、
前記下面部と前記上面部とが相対的に近づくことによって、前記上面部に前記側面部の上端が当接し、前記側面部の下端に前記下面部が当接した状態であって、前記テープ部材を吸着している前記テープ部材吸着部および前記封止部材が載置されている前記載置テーブルを収容した前記空間内を密閉する第１状態と、前記下面部が前記上面部から離間することによって、前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を前記ローラ部が転動可能な隙間を有する第２状態との間で相互に遷移し、
前記粘着材貼り合せステップが実行される前に、少なくとも前記下面部を収容した窒素置換チャンバにおいて、前記第１状態とされたときに前記空間から空気が排出された後に前記空間に窒素が供給される窒素置換ステップが実行され、
前記窒素置換ステップが行われた後に、前記第２状態において前記空間内を窒素雰囲気に維持し、前記粘着材貼り合せステップが実行される
ことを特徴とする請求項１３から請求項１５のうちいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１７】
窒素雰囲気中に設置されたテープ部材剥離装置の把持部が、前記テープ部材において前記剥離紙が貼付された貼付領域の外方にある余白領域を把持し、前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離する粘着材剥離ステップと、
前記テープ部材を載置可能な上面を有する載置台に、前記粘着材剥離ステップで前記把持部が前記粘着材から剥離した前記テープ部材および前記剥離紙を載置するテープ部材載置ステップとを含み、
窒素雰囲気と外気とは仕切り部材で仕切られ、
前記仕切り部材には、前記載置台が上方に移動すると前記載置台と嵌合する貫通孔が天面に設けられるとともに、前記貫通孔を外方から覆う蓋部が設置され、
前記載置台を上方に移動させて前記テープ部材が載置された前記上面によって前記蓋部を押し上げる蓋部押し上げステップをさらに含む
ことを特徴とする請求項１３から請求項１６のうちいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１８】
前記封止部材と前記基板とを熱圧着する熱圧着装置において、前記封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられているホットプレート部が、前記貼り合せステップで前記基板に貼り付けられた前記封止部材をさらに前記基板に押しつけるとともに前記封止部材を加熱する封止部材熱圧着処理を行う封止部材熱圧着ステップを含む
ことを特徴とする請求項１０から請求項１７のうちいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ発光モジュールの製造システム、および有機ＥＬ発光モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）発光モジュールは、例えば、ガラスやプラスチックなどの透光性基板、透明電極からなる陽極、有機薄膜からなる有機ＥＬ層、陰極を順次積層した有機ＥＬ素子を具備する。有機ＥＬ発光モジュールは、数Ｖ程度の低電圧で高輝度の面発光を示すこと、発光物質の選択により任意の色調での発光が可能であることなどの理由により、近年実用化に向けて精力的に開発が行なわれている。【０００３】
特許文献１〜３には、それぞれ有機ＥＬ発光モジュールの製造方法が記載されている。【０００４】
有機ＥＬ発光モジュールは、有機ＥＬ層や陰極を大気に晒された状態で放置すると、大気中の水分により有機ＥＬ層の発光領域が収縮するように非発光領域が拡大する現象（シュリンク）が生じ、その結果有機ＥＬ素子が劣化する。【０００５】
特許文献１および特許文献２には、金属箔を用いて有機ＥＬ層を封止する方法が記載されている。また、特許文献３には、封止用接着剤によって有機ＥＬ層を封止する方法が記載されている。また、特許文献４には、封止層内に脱水剤や脱酸素剤を配置して、有機ＥＬ素子の水分や酸素による劣化を防ぐ構造が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】日本国特開２００４−３０３５２８号公報
【特許文献２】日本国特開２００４−３０３５２９号公報
【特許文献３】日本国特開２００７−３５５１４号公報
【特許文献４】日本国特開２００６−８００８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１〜３には、１層によって有機ＥＬ層を封止する方法が記載されているが、当該１層では、外部からの水分が透過し、有機ＥＬ素子を劣化させるおそれがある。【０００８】
また、特許文献４には、脱水剤等を配置することにより有機ＥＬ素子の劣化を防ぐ構造が記載されているが、このような複雑な積層構造を有する封止構造を精度よくかつ効率的に実現する製造システムや製造方法については十分な検討がなされていないのが実情である。【０００９】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、有機ＥＬ素子の劣化を良好に抑制することができる有機ＥＬ発光モジュールの高精度かつ高効率な製造システム、および有機ＥＬ発光モジュールの高精度かつ高効率な製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した目的を達成するため、本発明の要旨は、以下の［１］〜［１８］に存する。【００１１】
［１］  有機ＥＬ発光モジュールの製造システムであって、
有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機ＥＬ素子を封止する封止部材貼り合せ装置を備え、
前記封止部材貼り合せ装置は、
前記基板を吸着する基板吸着上面部と、
前記吸着上面部の下方に位置し、前記基板の端部のみを下方から支持可能な支持台部と、
前記基板吸着上面部の下方に位置し、前記封止部材が載置される部材セット部と、
前記基板吸着上面部の中央に設けられた、前記基板の中央部を吸着可能でかつ上下に移動可能な可動式吸着部とを含み、
前記基板が、前記基板吸着上面部と前記可動式吸着部とにより吸着された状態から、前記基板吸着上面部の吸着を開放することによって前記可動式吸着部と前記支持台部とにより支持される状態とし、
その後、前記可動式吸着部を下方に移動させることにより前記基板の中央部を前記支持台部より下方に押し下げた状態とし、
次いで、前記可動式吸着部による前記基板の吸着を保持したまま、前記封止部材が載置された前記部材セット部を上方に移動させ、前記基板と前記可動式吸着部とを連動させながら、前記部材セット部を前記基板と前記封止部材とともに前記吸着上面部に押し付けることで、前記基板の中央部から端部に向かって順次前記基板と前記封止部材とを貼り合わせる
ことを特徴とする有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。【００１２】
［２］  有機ＥＬ発光モジュールの製造システムであって、
第１のシート状部材、および前記第１のシート状部材よりも広い面を有する第２のシート状部材が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置と、
有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に前記封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機ＥＬ素子を封止する封止部材貼り合せ装置とを備え、
前記封止部材作製装置は、
部材吸着用の吸入孔が複数設けられた吸着面を有するシート状部材吸着部と、
前記第１のシート状部材および前記第２のシート状部材を順次載置可能なステージ面を有するステージ部とを含み、
前記シート状部材吸着部が前記第１のシート状部材および前記第２のシート状部材を順次吸着することによって前記第１のシート状部材および前記第２のシート状部材が積層された前記封止部材を作製する前記封止部材作製装置であって、
前記ステージ部には、前記第１のシート状部材が載置された領域を含む領域に前記第２のシート状部材が載置され、
前記封止部材作製装置は、前記第１のシート状部材および前記第２のシート状部材の載置の位置合わせのために、第１側面を有する台部と第２側面を有するように前記台部から上方に立設された立設部とをそれぞれ有する複数の位置合わせ部をさらに含み、
前記複数の位置合わせ部は、前記第１側面の相互の距離が前記第２側面の相互の距離よりも短いように設置され、
前記第１のシート状部材は、端部が前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第１側面に当接するように前記ステージ部の前記ステージ面に載置され、
前記シート状部材吸着部は、前記ステージ部と近接させることにより前記ステージ部の前記ステージ面に載置された前記第１のシート状部材を前記吸着面に吸着し、
前記第２のシート状部材は、端部が前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第２側面に当接するように前記ステージ部の前記ステージ面に載置され、
前記シート状部材吸着部は、前記ステージ部と近接させることにより前記ステージ部の前記ステージ面に載置された前記第２のシート状部材を前記第１のシート状部材が吸着されている前記吸着面に重畳して吸着し、前記第１のシート状部材と前記第２のシート状部材とを積層する
ことを特徴とする有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。【００１３】
［３］  前記封止部材作製装置は、前記シート状部材吸着部が吸着して積層された前記第１シート状部材と前記第２シート状部材とを前記吸着面に押しつけるとともに、前記第１シート状部材と前記第２シート状部材とを加熱する熱圧着処理を行って前記第１シート状部材と前記第２シート状部材とによる前記封止部材を形成する熱圧着部をさらに含み、
前記シート状部材吸着部は、前記熱圧着部による前記熱圧着処理の実行中には、前記第２シート状部材に対向する領域のうち、前記第１シート状部材に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行う
ことを特徴とする前記［２］に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。【００１４】
［４］  前記封止部材を前記基板に貼り合せるための粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せ装置をさらに備え、
前記粘着材は、シート状に形成されており、シート状に形成された前記粘着材の一の面には剥離紙が貼付され、前記剥離紙の前記一の面とは反対の面は帯状のテープ部材に貼付され、
前記粘着材貼り合せ装置は、
前記粘着材が貼付された前記テープ部材における前記粘着材が貼付されている面の反対側の面を吸着する吸着動作を行うテープ部材吸着部と、
円筒状に形成されて中心軸周りに回転するローラ部とを含み、
前記テープ部材吸着部は、前記第１のシート状部材が上面の一部をなすように載置テーブルに載置されている前記封止部材の上方で前記テープ部材を吸着して保持し、
前記ローラ部は、前記テープ部材吸着部から前記テープ部材を剥離しながら前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を帯状の前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動するとともに、周面によって前記テープ部材側から前記粘着材を前記封止部材に押しつけて前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる
ことを特徴とする前記［２］または［３］に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。【００１５】
［５］  前記テープ部材吸着部は、前記ローラ部が前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部側から前記テープ部材を剥離していくときに、前記テープ部材の他方の端部側において前記吸着動作を継続する
ことを特徴とする前記［４］に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。【００１６】
［６］  前記テープ部材は、前記剥離紙が貼付される貼付領域と前記貼付領域の外方にある余白領域とを有し、
前記ローラ部は、前記テープ部材の長手方向の一方の端部の前記余白領域から他方の端部の方向へ、前記貼付領域に亘り前記粘着材を前記封止部材に貼り合せるように転動する
ことを特徴とする前記［４］または［５］に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。【００１７】
［７］  前記粘着材貼り合せ装置は、
前記テープ部材吸着部の上方を覆う上面部と、前記載置テーブルの下方を覆う下面部と、前記上面部と前記下面部とに挟まれた空間の側方を覆う側面部とを含み、
前記下面部と前記上面部とが相対的に近づくことによって、前記上面部に前記側面部の上端が当接し、前記側面部の下端に前記下面部が当接した状態であって、前記テープ部材を吸着している前記テープ部材吸着部および前記封止部材が載置されている前記載置テーブルを収容した前記空間内を密閉する第１状態と、前記下面部が前記上面部から離間することによって、前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を前記ローラ部が転動可能な隙間を有する第２状態との間で相互に遷移し、
少なくとも前記下面部を収容した窒素置換チャンバにおいて、前記第１状態とされたときに前記空間から空気が排出された後に前記空間に窒素が供給される窒素置換動作が行われ、前記第２状態においても前記空間内を窒素雰囲気に維持する
ことを特徴とする前記［４］〜［６］のうちいずれか１つに記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。【００１８】
［８］  前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離するテープ部材剥離装置をさらに備え、
前記テープ部材剥離装置は、
窒素雰囲気中に設置され、
前記テープ部材において前記剥離紙が貼付された貼付領域の外方にある余白領域を把持し、前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離する把持部と、
前記把持部が前記粘着材から剥離した前記テープ部材および前記剥離紙が載置され、前記テープ部材を載置可能な上面を有する載置台とを含み、
窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材には、前記載置台が上方に移動すると前記載置台と嵌合する貫通孔が天面に設けられるとともに、前記貫通孔を外方から覆う蓋部が設置され、
前記載置台は、上方に移動すると前記テープ部材が載置された前記上面によって前記蓋部を押し上げる
ことを特徴とする前記［４］〜［７］のうちいずれか１つに記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。【００１９】
［９］  前記封止部材と前記基板とを熱圧着する熱圧着装置をさらに備え、
前記熱圧着装置は、
前記封止部材を前記基板に押しつけるとともに前記封止部材を加熱する封止部材熱圧着処理を行うホットプレート部を含み、
前記ホットプレート部は、前記封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられている
ことを特徴とする前記［１］〜［８］のうちいずれか１つに記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。【００２０】
［１０］  有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機ＥＬ素子を封止する有機ＥＬ発光モジュールの製造方法であって、
前記基板を吸着する基板吸着上面部と、
前記吸着上面部の下方に位置し、前記基板の端部のみを下方から支持可能な支持台部と、
前記基板吸着上面部の下方に位置し、前記封止部材が載置される部材セット部と、
前記基板吸着上面部の中央に設けられた、前記基板の中央部を吸着可能でかつ上下に移動可能な可動式吸着部とを有する封止部材貼り合せ装置が、
前記基板を、前記基板吸着上面部と前記可動式吸着部とによって吸着する状態から、前記基板吸着上面部の吸着を開放することによって前記可動式吸着部と前記支持台部とにより支持する状態とする基板支持ステップと、
その後、前記可動式吸着部を下方に移動させることにより前記基板の中央部を前記支持台部より下方に押し下げた状態とする基板押下ステップと、
次いで、前記可動式吸着部による前記基板の吸着を保持したまま、前記封止部材が載置された前記部材セット部を上方に移動させ、前記基板と前記可動式吸着部とを連動させながら、前記部材セット部を前記基板と前記封止部材とともに前記吸着上面部に押し付けることで、前記基板の中央部から端部に向かって順次前記基板と前記封止部材とを貼り合わせる貼り合せステップとを実行する
ことを特徴とする有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。【００２１】
［１１］  有機ＥＬ発光モジュールの製造方法であって、
第１のシート状部材、および前記第１のシート状部材よりも広い面を有する第２のシート状部材が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置の、前記第１のシート状部材および前記第２のシート状部材を順次載置可能なステージ面を有するステージ部に、前記第１のシート状部材が載置される第１のシート状部材載置ステップと、
前記封止部材作製装置のシート状部材吸着部を前記ステージ部と近接させることにより、前記ステージ面に載置された前記第１のシート状部材を前記ステージ面に対向して部材吸着用の吸入孔が複数設けられた吸着面に吸着する第１のシート状部材吸着ステップと、
前記ステージ部において、前記第１のシート状部材が載置された領域を含む領域に前記第２のシート状部材が載置される第２のシート状部材載置ステップと、
前記封止部材作製装置の前記シート状部材吸着部を前記ステージ部と近接させることにより、前記ステージ面に載置された前記第２のシート状部材を前記第１のシート状部材が吸着されている前記吸着面に重畳して吸着し、前記第１のシート状部材と前記第２のシート状部材とを積層する第２のシート状部材吸着ステップと、
封止部材貼り合せ装置が、有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に前記封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機ＥＬ素子を封止する有機ＥＬ封止ステップとを含み、
前記第１のシート状部材載置ステップでは、前記第１のシート状部材の載置の位置合わせのために、第１側面を有する台部と第２側面を有するように前記台部から上方に立設された立設部とをそれぞれ有し、前記第１側面の相互の距離が前記第２側面の相互の距離よりも短いように複数の位置合わせ部が設置され、前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第１側面に端部が当接するように前記第１のシート状部材を前記ステージ部に載置し、
前記第２のシート状部材載置ステップでは、前記第２のシート状部材の載置の位置合わせのために、前記複数の位置合わせ部のそれぞれの前記第２側面に端部が当接するように前記第２のシート状部材を前記ステージ部に載置する
ことを特徴とする有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。【００２２】
［１２］  前記封止部材作製装置の熱圧着部が、前記第２のシート状部材吸着ステップで前記シート状部材吸着部によって積層された前記第１シート状部材と前記第２シート状部材とを前記吸着面に押しつけるとともに、前記第１シート状部材と前記第２シート状部材とを加熱する熱圧着処理を行って前記第１シート状部材と前記第２シート状部材とによる前記封止部材を形成するシート状部材熱圧着ステップをさらに含み、
前記シート状部材吸着部は、前記熱圧着ステップで、前記熱圧着部による前記熱圧着処理の実行中には、前記第２シート状部材に対向する領域のうち、前記第１シート状部材に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行う
ことを特徴とする前記［１１］に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。【００２３】
［１３］  前記封止部材を前記基板に貼り合せるための粘着材であって、シート状に形成されて予め一の面には剥離紙が貼付され、前記一の面とは反対の面は前記剥離紙が帯状のテープ部材に貼付された前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せ装置のテープ部材吸着部が、前記粘着材が貼付された前記テープ部材における前記粘着材が貼付されている面の反対側の面を吸着する吸着動作を行うテープ部材吸着ステップと、
前記テープ部材吸着部が、前記第１のシート状部材が上面の一部をなすように載置テーブルに載置されている前記封止部材の上方で前記テープ部材を吸着して保持する吸着保持ステップと、
前記粘着材貼り合せ装置の円筒状に形成されて中心軸周りに回転するローラ部が、前記テープ部材吸着部から前記テープ部材を剥離しながら前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を帯状の前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動するとともに、周面によって前記テープ部材側から前記粘着材を前記封止部材に押しつけて前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せステップを含む
ことを特徴とする前記［１１］または［１２］に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。【００２４】
［１４］  前記テープ部材吸着部は、前記粘着材貼り合せステップで、前記ローラ部が前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部側から前記テープ部材を剥離していくときに、前記テープ部材の他方の端部側において前記吸着動作を継続する
ことを特徴とする前記［１３］に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。【００２５】
［１５］  前記テープ部材は、前記剥離紙が貼付される貼付領域と前記貼付領域の外方にある余白領域とを有し、
前記ローラ部は、前記粘着材貼り合せステップで、前記テープ部材の長手方向の一方の端部の前記余白領域から他方の端部の方向へ、前記貼付領域に亘り前記粘着材を前記封止部材に貼り合せるように転動する
ことを特徴とする前記［１３］または［１４］に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。【００２６】
［１６］  前記粘着材貼り合せ装置は、
前記テープ部材吸着部の上方を覆う上面部と、前記載置テーブルの下方を覆う下面部と、前記上面部と前記下面部とに挟まれた空間の側方を覆う側面部とを含み、
前記下面部と前記上面部とが相対的に近づくことによって、前記上面部に前記側面部の上端が当接し、前記側面部の下端に前記下面部が当接した状態であって、前記テープ部材を吸着している前記テープ部材吸着部および前記封止部材が載置されている前記載置テーブルを収容した前記空間内を密閉する第１状態と、前記下面部が前記上面部から離間することによって、前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を前記ローラ部が転動可能な隙間を有する第２状態との間で相互に遷移し、
前記粘着材貼り合せステップが実行される前に、少なくとも前記下面部を収容した窒素置換チャンバにおいて、前記第１状態とされたときに前記空間から空気が排出された後に前記空間に窒素が供給される窒素置換ステップが実行され、
前記窒素置換ステップが行われた後に、前記第２状態において前記空間内を窒素雰囲気に維持し、前記粘着材貼り合せステップが実行される
ことを特徴とする前記［１３］〜［１５］のうちいずれか１つに記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。【００２７】
［１７］  窒素雰囲気中に設置されたテープ部材剥離装置の把持部が、前記テープ部材において前記剥離紙が貼付された貼付領域の外方にある余白領域を把持し、前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離する粘着材剥離ステップと、
前記テープ部材を載置可能な上面を有する載置台に、前記粘着材剥離ステップで前記把持部が前記粘着材から剥離した前記テープ部材および前記剥離紙を載置するテープ部材載置ステップとを含み、
窒素雰囲気と外気とは仕切り部材で仕切られ、
前記仕切り部材には、前記載置台が上方に移動すると前記載置台と嵌合する貫通孔が天面に設けられるとともに、前記貫通孔を外方から覆う蓋部が設置され、
前記載置台を上方に移動させて前記テープ部材が載置された前記上面によって前記蓋部を押し上げる蓋部押し上げステップをさらに含む
ことを特徴とする前記［１３］〜［１６］のうちいずれか１つに記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。【００２８】
［１８］  前記封止部材と前記基板とを熱圧着する熱圧着装置において、前記封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられているホットプレート部が、前記貼り合せステップで前記基板に貼り付けられた前記封止部材をさらに前記基板に押しつけるとともに前記封止部材を加熱する封止部材熱圧着処理を行う封止部材熱圧着ステップを含む
ことを特徴とする前記［１０］〜［１７］のうちいずれか１つに記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、第１のシート状部材と第２のシート状部材とが積層された封止部材で有機ＥＬ素子を封止するので、外部から有機ＥＬ素子への水分等の透過を良好に防止し、透過した水分等による有機ＥＬ素子の劣化を良好に抑制する有機ＥＬ発光モジュールを製造することができる。【００３０】
また、第１のシート状部材と第２のシート状部材とが、位置合わせ部によって精度良く位置合わせされて基板上に積層されるので、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機ＥＬ発光モジュールの製造システムを実現することができる。【００３１】
また、サイズの異なる第１のシート状部材と第２のシート状部材とが、同じ位置合わせ機構によって位置合わせを行うため、精度良く位置合わせすることが出来、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機ＥＬ発光モジュールの製造システムを実現することができる。【００３２】
また、サイズの異なる第１のシート状部材と第２のシート状部材とが、同じ位置合わせ機構によって位置合わせを行うため、装置を簡略化することが出来るので、低コストの有機ＥＬ発光モジュールの製造システムを実現することができる。【００３３】
また、サイズの異なる第１のシート状部材と第２のシート状部材とが、同じ位置合わせ機構によって位置合わせを行うため、タクトタイムの短縮化を図ることができ、生産効率の高い有機ＥＬ発光モジュールの製造システムを実現することができる。【００３４】
熱圧着部による熱圧着処理の実行中には、第２シート状部材に対向する領域のうち、第１シート状部材に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行うように構成されているので、第１シート状部材においてシート状部材吸着部の吸着面に設けられた吸入孔による吸入の痕跡による凹凸の形成を良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュールを製造することができる。【００３５】
また、熱圧着処理によって、シート状部材吸着部の吸着面に対向する領域において第１シート状部材と第２シート状部材を密着させ、当該領域における第１シート状部材と第２シート状部材との間に空間が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュールを製造することができる。【００３６】
ローラ部が、テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動して、周面によってテープ部材側から粘着材を封止部材に押しつけて粘着材を封止部材に貼り合せるように構成されているので、粘着材と封止部材との間に空間が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュールを製造することができる。【００３７】
テープ部材吸着部は、ローラ部がテープ部材の長手方向に沿って一方の端部側からテープ部材を封止部材に貼合していくときに、テープ部材の他方の端部側において吸着動作を継続するので、ローラ部の転動中にテープ部材の下方への落下を防止することができる。また、他方の端部が吸着されて固定されているため、ローラ部の転動中にテープ部材と封止部材との相対位置がずれることなく精度良くテープ部材と封止部材とが貼合され、かつ、封止部材に貼り合わせる粘着材におけるしわの発生を良好に防ぐことができるため、高精度かつ高効率な有機ＥＬ発光モジュールの製造システムを実現することができる。【００３８】
下面部と上面部とが相対的に近づいた第１状態で窒素置換動作が行われるように構成されているので、窒素置換を行う空間の体積を小さくすることができるため、真空減圧工程および窒素ガス導入工程の時間を短縮でき、有機ＥＬ発光モジュールの生産効率を高めることができる。【００３９】
窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材に、載置台が上方に移動すると載置台と嵌合する貫通孔が設けられ、載置台の上面によって当該貫通孔を覆う蓋部を押し上げるように構成されているので、貫通孔を通した窒素と外気との混合を良好に防いで外気の混合による不良品発生を良好に抑制することができ、有機ＥＬ発光モジュールの生産効率を高めることができる。【００４０】
基板が可動式吸着部と支持台部とにより支持される状態とし、その後、可動式吸着部を下方に移動させることにより基板の中央部を支持台部より下方に押し下げた状態とし、次いで、可動式吸着部による基板の吸着を保持したまま、粘着材が貼り合された封止部材が載置された部材セット部を上方に移動させ、基板と可動式吸着部とを連動させながら、部材セット部を基板と粘着材が貼り合された封止部材とともに吸着上面部に押し付けることで、基板の中央部から端部に向かって順次基板と封止部材とを粘着材を介して貼り合わせるように構成されているので、基板と封止部材との間に空隙が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュールを製造することができる。【００４１】
また、可動式吸着部による基板の吸着を保持したまま当該基板と封止部材とを貼り合わせるので、基板における所定の位置に精度良く粘着材及び封止部材を貼付することができるため、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機ＥＬ発光モジュールの製造システムを実現することができる。【００４２】
ホットプレート部には、封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられているので、粘着材が貼り合された封止部材の外縁部をより確実に基板に熱圧着し、基板の一方の面に形成された有機ＥＬ素子および第１のシート状部材をより確実に封止して、有機ＥＬ素子の劣化を良好に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】図１は、本発明による有機ＥＬ発光モジュールの製造システムおよび有機ＥＬ発光モジュールの製造方法によって製造される有機ＥＬ発光モジュールの構成例を示す断面図である。
【図２】図２は、本発明による有機ＥＬ発光モジュールの製造システムの全体構成を示すフロー図である。
【図３】図３（ａ），図３（ｂ）は、封止部材作製装置の要部断面図である。
【図４】図４は、ピン部材とステージ部材との位置関係を示す上面図である。
【図５】図５は、吸湿層と保護層とを加熱するホットプレートを示す説明図である。
【図６】図６は、吸湿層と保護層とが積層されて互いに貼り合わされた封止部材が載置された載置テーブルを示す説明図である。
【図７】図７（ａ），図７（ｂ）は、粘着材貼り合せ装置の要部断面図である。
【図８】図８は、吸着反転部材の動作を示す説明図である。
【図９】図９は、吸着反転部材と吸着移載部材とによるテープ部材の受け渡しを示す説明図である。
【図１０】図１０（ａ），図１０（ｂ）は、窒素置換チャンバによる窒素置換の工程を示す説明図である。
【図１１】図１１（ａ），図１１（ｂ），図１１（ｃ）は、粘着材を封止部材に貼付する工程を示す説明図である。
【図１２】図１２（ａ），図１２（ｂ）は、吸着ハンドの動作を示す説明図である。
【図１３】図１３（ａ），図１３（ｂ）は、テープ部材剥離装置の動作を示す説明図である。
【図１４】図１４は、テープ部材把持部材による粘着材から剥離したテープ部材および当該テープ部材に貼付されている剥離紙をテープ部材載置台の上面上に載置する動作を示す説明図である。
【図１５】図１５（ａ），図１５（ｂ）、図１５（ｃ），図１５（ｄ），図１５（ｅ），図１５（ｆ）は、テープ部材載置台の動作を示す説明図である。
【図１６】図１６は、有機ＥＬ発光モジュールの製造システムに搬入された基板の移動を示す説明図である。
【図１７】図１７は、封止部材貼り合せ装置における基板の位置調整を示す説明図である。
【図１８】図１８（ａ），図１８（ｂ）は、基板の真空チャンバ内への移動を示す説明図である。
【図１９】図１９は、基板を封止部材に貼り合わせる装置を示す説明図である。
【図２０】図２０（ａ），図２０（ｂ），図２０（ｃ），図２０（ｄ）は、可動式中央吸着部の配置パターンを示す説明図である。
【図２１】図２１（ａ），図２１（ｂ），図２１（ｃ），図２１（ｄ）は、基板と封止部材とを貼り合わせる工程を示す説明図である。
【図２２】図２２は、貼り合わされた基板と封止部材とが熱圧着される工程を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００４４】
以下、図面を参照し、本発明の実施の形態について、実施の形態および変形例に基づき詳細に説明する。なお、本発明は以下に説明する内容に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において任意に変更して実施することが可能である。また、実施の形態の説明に用いる図面は、いずれも本発明による有機ＥＬ発光モジュールの製造システムを模式的に示すものであって、理解を深めるべく部分的な強調、拡大、縮小、または省略などを行っており、各構成部材の縮尺や形状等を正確に表すものとはなっていない場合がある。
【００４５】
本発明において、「窒素」または「Ｎ２」と記載された箇所は、窒素のみでなく、アルゴンなどの不活性ガスとしてもよいものとする。窒素またはアルゴンなどの不活性ガス中には、通常、水分および酸素が１００ｐｐｍ以下、好ましくは１０ｐｐｍ以下であり、更に好ましくは５ｐｐｍ以下である。
【００４６】
また、本発明において、雰囲気としての「真空」とは、大気圧から減圧された状態全般を指し、通常１×１０−３〜１００Ｐａ程度の真空度である。
【００４７】
まず、本発明による有機ＥＬ発光モジュールの製造システムおよび有機ＥＬ発光モジュールの製造方法によって製造される有機ＥＬ発光モジュール１について説明する。
【００４８】
図１は、本発明による有機ＥＬ発光モジュールの製造システムおよび有機ＥＬ発光モジュールの製造方法によって製造される有機ＥＬ発光モジュール１の構成例を示す断面図である。図１に示すように、有機ＥＬ発光モジュール１は、基板２、有機ＥＬ素子３、粘着材４、吸湿層５（第１のシート状部材）、および保護層６（第２のシート状部材）を含む。
【００４９】
なお、本実施の形態では、１枚の基板２に、有機ＥＬ素子３、粘着材４、吸湿層５、および保護層６という有機ＥＬ発光モジュール１の要素がそれぞれ複数個形成され、各個間で切断されることにより、複数の有機ＥＬ発光モジュール１が製造される。具体的には例えば、１枚の基板２に、有機ＥＬ素子３、粘着材４、吸湿層５、および保護層６が３行４列に並設されて、１２個の有機ＥＬ発光モジュール１が製造される。以下に示す図面では、各要素がそれぞれ複数示されている場合があるが、複数示されている各要素は互いに同様に構成されている。そして、各図面においては、便宜的に各要素を２個または３個示した図を用いた。なお、各要素が行方向と列方向との少なくとも一方向に複数並設されてもよいし、基板２に１個だけ形成されていてもよい。また、各要素は、行列状に限られず、任意の態様で並設されていてもよい。生産性を向上させる観点からは複数の要素が基板上に形成されていることが好ましく、有機ＥＬ発光モジュール１を断裁しやすいことから行列状に配置されていることが更に好ましい。
【００５０】
図１に示すように、基板２の一方の面２１には有機ＥＬ素子３が形成されている。そして、有機ＥＬ素子３は、基板２の当該一方の面２１に配置されたシート状の粘着材４と当該基板２の当該一方の面２１とによって挟まれている。従って、有機ＥＬ素子３の一方の面３１は基板２の一方の面２１に覆われ、他方の面３２は粘着材４に覆われている。
【００５１】
粘着材４において、有機ＥＬ素子３の他方の面３２を覆う一方の面４１の反対側の他方の面４２には、シート状に形成された吸湿層５が配置されている。従って、吸湿層５は、粘着材４を挟んで有機ＥＬ素子３の他方の面３２に対向するように配置される。なお、吸湿層５は、粘着材４の他方の面４２において、当該粘着材４の一方の面４１における有機ＥＬ素子３に対向している範囲よりも広い範囲に配置されている。
【００５２】
保護層６は、吸湿層５を収容する凹部領域６１と当該凹部領域６１の周囲の平坦領域６２とを有する。そして、保護層６において、平坦領域６２が粘着材４の他方の面４２に貼り合されている。
【００５３】
保護層６は、吸湿層５を収容する領域をあらかじめ凹状に成型加工して凹部領域６１を形成しておくか、または吸湿層５が形成された後、吸湿層５の形状に合わせて保護層６に凹部領域６１を形成することが好ましい。凹部の深さは、吸湿層５の厚みと略同等であることが好ましい。その理由は、吸湿層５と保護層６とによって形成される面が平面となるため粘着材４との密着性が良好になり、外部からの水分や酸素の浸入を良好に防ぐことができるからである。なお、保護層６と、当該保護層６の凹部領域６１に収容された吸湿層５とで封止部材１０を構成する。
【００５４】
次に、有機ＥＬ発光モジュール１の各構成要素について説明する。
（基板）
基板２は有機ＥＬ素子の支持体となるものであり、石英やガラスの板、金属板や金属箔、プラスチックフィルムやシート等を用いることができる。特にガラス板や、ポリエステル、ポリメタクリレート、ポリカーボネート、ポリスルホン等の透明な合成樹脂の板またはシートが好ましい。合成樹脂製基板を使用する場合には、ガスバリア性に留意する必要がある。基板２のガスバリア性が小さすぎると、基板２を透過した外気により有機ＥＬ素子３が劣化することがある。このため、合成樹脂製基板の少なくとも片面に緻密なシリコン酸化膜等を設けてガスバリア性を確保する方法も好ましい方法の一つである。基板２の厚みは、通常０．０１〜１０ｍｍ、好ましくは０．０２〜１ｍｍである。
【００５５】
（有機ＥＬ素子）
有機ＥＬ素子３は、基板２上に形成された第１の電極と、第１の電極上に形成された有機ＥＬ層と、有機ＥＬ層上に形成された第２の電極とを有する。有機ＥＬ素子３の有機ＥＬ層の発光層で発せられた光は、基板２を通して取り出される。有機ＥＬ素子３の構成およびその構成材料には、従来から公知のものを採用することができる。
【００５６】
（粘着材）
粘着材４は、基板２および有機ＥＬ素子３と、吸湿層５および保護層６とを貼り合せるものであり、例えば、厚さ２５〜１００μｍ程度の熱可塑性のシート状粘着材によってなる。粘着材４の特性は、吸湿層５、保護層６とともに、有機ＥＬ発光モジュール１の封止性能に大きな影響を及ぼすため、より水分や酸素を保持しにくい材料であることが好ましい。
【００５７】
粘着材４は熱可塑性であることが好ましく、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。粘着材４に含まれる熱可塑性樹脂としては特に限定されないが、例えばポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリイソブチレン、ポリエステル、ポリイソプレンなどを挙げることができる。これらは単独で又は２種以上組み合わせて使用してもよい。熱可塑性樹脂のガラス転移温度は、耐熱性の観点から、通常−８０℃以上、好ましくは−２０℃以上であり、上限は特に限定されない。粘着材４にはさらに、石油樹脂や環状オレフィン系重合体を含むことも好ましい。
【００５８】
（吸湿層）
吸湿層５には乾燥剤が含まれるが、乾燥剤としては吸湿性の高いものであれば特に限定されるものではない。例えば、アルカリ土類金属、アルカリ金属若しくはそれらの酸化物、又は無機多孔質材料などを挙げることができる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。中でも、吸湿性と取り扱いの安全性の観点から、アルカリ土類金属又はアルカリ金属の酸化物、無機多孔質材料が好ましく、酸化カルシウム、ゼオライトが特に好ましい。吸湿層５はシート状であることが好ましい。シート状の吸湿層は、例えば粉末状の乾燥剤を樹脂と混合してシート状に成型して作製することができる。吸湿層は、乾燥剤以外の成分を含有していてもよく、例えば、高熱伝導性のＳｉ，ＡｌＮ，Ｃからなる粒子、ロッドなどを挙げることができる。
【００５９】
図１に示すように、本実施の形態の吸湿層５はシート状に形成されており、厚みの下限値は、通常０．１μｍ、好ましくは１μｍ、より好ましくは１０μｍである。また厚みの上限値は、通常５００μｍ、好ましくは２００μｍ、より好ましくは１００μｍである。
【００６０】
（保護層）
保護層６は、外部からの水分や酸素を遮断するとともに、背面部材を製造する際の支持体としても機能する場合もある。また、保護層６は、可撓性を有していてもよい。
【００６１】
保護層６は、通常、金属箔又はプラスチックフィルムと無機化合物層との積層体などを用いることができる。保護層６は、ガスバリア性を有するものが好ましい。ガスバリア性を有する金属としては、例えば、アルミニウム、銅、ニッケルや、ステンレス、アルミニウム合金などの合金材料などが挙げられる。また、プラスチックフィルムと無機化合物層との積層体としては、プラスチックフィルムに酸化ケイ素、酸化アルミニウムなどの無機酸化物の層、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の無機窒化物の層を一層又は多層積層してなる積層フィルムなどがあげられる。保護層６は、外部からの水分や酸素の遮断性の観点からは金属箔が好ましく、金属箔としては、コスト低減および加工性の観点から銅箔およびアルミニウム箔が好ましく、適度な剛性を有する観点ではアルミニウム箔が好ましい。また、可撓性を有する観点においてはプラスチックフィルムと無機化合物の積層体が好ましい。
【００６２】
保護層６の厚みの下限値は、通常１μｍ、好ましくは１０μｍ、より好ましくは４０μｍである。保護層６の厚みの上限値は、通常５００μｍ、好ましくは２００μｍ、より好ましくは１００μｍである。
【００６３】
次に、本発明による有機ＥＬ発光モジュール１の製造システムの全体構成について説明する。図２は、本発明による有機ＥＬ発光モジュール１の製造システムの実施の形態の全体構成を示すフロー図である。図２に示すように、本発明による有機ＥＬ発光モジュール１の製造システムは、封止部材作製装置１００と、粘着材貼り合せ装置２００と、テープ部材剥離装置３００と、封止部材貼り合せ装置４００と、熱圧着装置５００とを含む。
【００６４】
封止部材作製装置１００は、吸湿層５と保護層６とを積層して封止部材１０を形成する。粘着材貼り合せ装置２００は、粘着材４を封止部材１０に貼り合せる。テープ部材剥離装置３００は、粘着材４に予め貼付されている剥離紙４５（図１および図２において図示せず）を当該粘着材４から剥離する。封止部材貼り合せ装置４００は、封止部材１０を有機ＥＬ素子３が予め形成された基板２に貼り付ける。熱圧着装置５００は、封止部材１０と基板２とを熱圧着する。
【００６５】
次に、各装置の構成および動作について説明する。
（封止部材作製装置）
図３（ａ），（ｂ）は、封止部材作製装置１００の要部断面図である。図３（ａ），（ｂ）に示すように、封止部材作製装置１００は、複数のピン部材１１０（位置合わせ部）と複数のステージ部材１２０（ステージ部）と吸着ヘッド１３０（シート状部材吸着部）とを含み、さらに図３において図示しないホットプレート１５０（熱圧着部）を含む。
【００６６】
ピン部材１１０は、台部１１１と台部１１１の上面１１２に立設された立設部１１３とを含む。台部１１１は、所定の第１の径の円筒形状である第１台部１１４と、第１台部１１４から上方に亘って形成され、上面１１２を有し、当該上面１１２に近づくにつれて径が小さくなるように構成された円錐台形状である第２台部１１５とを含む。
【００６７】
そして、ピン部材１１０において第１台部１１４の周面による側面を第１側面１１９ａという。
【００６８】
また、立設部１１３は、第１の径よりも小さい所定の第２の径の円筒形状である第１立設部１１６と、第１立設部１１６から上方に亘って形成され、上面１１７を有し、当該上面１１７に近づくにつれて径が小さくなるように構成された円錐台形状である第２立設部１１８とを含む。
【００６９】
そして、ピン部材１１０において、第１立設部１１６の周面による側面を第２側面１１９ｂという。
【００７０】
なお、本実施の形態では、ピン部材１１０の第１側面１１９ａを構成する第１台部１１４および第２側面１１９ｂを構成する第１立設部１１６はいずれも円筒形状であるとしているが、いずれか一方または両方が直方体形状等の他の形状であってもよい。従って、後述するように、吸湿層５の位置合わせが可能なように第１側面１１９ａを構成すれば、第１台部１１４は直方体形状等の他の形状であってもよい。また、保護層６の位置合わせが可能なように第２側面１１９ｂを構成すれば、第１立設部１１６は直方体形状等の他の形状であってもよい。
【００７１】
ステージ部材１２０は、図３（ａ）に実線で示されているように吸湿層５を載置可能であるとともに、図３（ｂ）に実線で示されているように保護層６において裏側に凹部領域６１が形成されて凸形状に形成されている部分である中央部を載置可能な上面であるステージ面１２１を有する。
【００７２】
図３（ａ），（ｂ）に示す例では、ステージ面１２１は、吸湿層５の全体および保護層６の中央部に応じた形状および広さを有するように形成されている。なお、図３（ｂ）に実線で示すように、保護層６の平坦領域６２は、ピン部材１１０の台部１１１の上面１１２に載置される。従って、保護層６は、ステージ面１２１からピン部材１１０の台部１１１の上面１１２に亘って載置される。
【００７３】
また、図３（ｂ）に示す例では、保護層６の凹部領域６１の裏側の領域は、平坦領域６２の裏側の平面領域に対して凸形状に形成されている。そして、図３（ｂ）に実線で示すように、保護層６は、凹部領域６１が吸着ヘッド１３０の吸着面１３１に対向する向きで載置される。従って、保護層６がステージ部材１２０に載置されるときには、ステージ面１２１の位置は、ピン部材１１０の台部１１１の上面１１２よりも前述した保護層６の凸形状の高さに応じて低くなるように設定されている。
【００７４】
図４は、ピン部材１１０とステージ部材１２０との位置関係を示す上面図である。図４に示す例では、正方形状（長方形状であってもよい）のステージ面１２１を有するステージ部材１２０においてステージ面１２１の端辺の中央部分に隣接して、各ピン部材１１０がそれぞれ設置されている。そして、各ピン部材１１０は、第１側面１１９ａの相互の距離が第２側面１１９ｂの相互の距離よりも短いように設置されている。なお、ピン部材１１０とステージ部材１２０との位置関係は図４に示す例に限られず、ステージ面１２１よりも広い上面に等間隔で貫通孔が設けられ、各貫通孔にそれぞれピン部材１１０が配置され、各ピン部材１１０の間にステージ面１２１に相当する広さの正方形状（長方形状であってもよい）の平面が設けられてもよい。
【００７５】
また、図４には１つのステージ部材１２０が示され、図３（ａ），（ｂ）には２つのステージ部材１２０が示されているが、ステージ部材１２０が３つ以上設置されるとともに、各ステージ部材１２０の周囲にピン部材１１０がそれぞれ設置されてもよい。具体的には、例えば、ステージ部材１２０が３行４列に並べられるとともに、各ステージ部材１２０の周囲にピン部材１１０がそれぞれ設置されてもよい。そのような構成によれば、吸湿層５および保護層６を順次３行４列に並べて１２個の封止部材１０を１回の作業工程で生成することが可能になる。
【００７６】
ステージ部材１２０は、ステージ面１２１と吸着ヘッド１３０の吸着面１３１（吸着面１３１については後述する）との間の距離が変化するように上下に移動する。図３（ａ）に示す例では、ステージ面１２１が、ピン部材１１０の台部１１１の第１側面１１９ａに隣接する位置まで下がっている。それに対して、図３（ｂ）に示す例では、ステージ面１２１がピン部材１１０の台部１１１の上面１１２に対して前述した保護層６の凸形状の高さに応じた低い位置まで上方に移動している。
【００７７】
ステージ部材１２０がこのように上下に移動することによって、低い位置にあるときには、ステージ面１２１に載置される吸湿層５の位置合わせに各ピン部材１１０の台部１１１の第１側面１１９ａを利用することができ、高い位置にあるときには、ステージ面１２１からピン部材１１０の台部１１１の上面１１２に亘って載置される保護層６の位置合わせに各ピン部材１１０の立設部１１３の第２側面１１９ｂを利用することができる。
【００７８】
ここで、前述の通り、第２台部１１５は円錐台形状であるとしたが、保護層６の位置合わせが可能なように第２台部を設計すれば、たとえば第２台部１１５の側面と上面１１２との境界付近であって、少なくとも保護層６の設置側に凹部または切り欠きを有する形状であってもよい。
【００７９】
第２台部１１５が円錐台形状である場合、第２台部１１５の側面と上面１１２との境界付近が保護層６に接触することによって保護層６の中央部がステージ面１２１から浮いた状態にならない程度に、第２台部１１５は上面１１２に近づくにつれて径を小さくすることが好ましい。その理由は、保護層６の位置合わせおよび吸湿層５との貼り合わせが精度良く行なえること、および、吸湿層５を、ステージ部材１２０のステージ面１２１上であって、ピン部材１１０の第１側面１１９ａによって定められた位置に配置する際、吸湿層５がピン部材１１０の台部１１１の上面１１２の端部に引っかかりにくいことである。
【００８０】
同様に、第２台部１１５の側面と上面１１２との境界付近であって、少なくとも保護層６の設置側に凹部または切り欠きを有する形状を有する場合、第２台部１１５の側面と上面１１２の境界付近が保護層６に接触することによって保護層６の中央部がステージ面１２１から浮いた状態にならないように、第２台部１１５の側面と上面１１２との境界付近が保護層６に接触しない形状とすることが好ましい。その理由は、保護層６の位置合わせおよび吸湿層５との貼り合わせが精度良く行なえること、および、保護層６を、ステージ部材１２０のステージ面１２１上であって、ピン部材１１０の第１立設部１１６の第２側面１１９ｂによって定められた位置に配置する際、保護層６がピン部材１１０の第１立設部１１６の第２側面１１９ｂの上面１１７の端部に引っかかりにくいことである。
【００８１】
また、前述の通り、第２立設部１１８は円錐台形状であるとしたが、保護層６を吸着面１３１に吸着させる妨げにならないように精密に設計・作製すれば、第２立設部１１８は第１立設部１１６と同一、言い換えれば第２立設部１１８がない構造でもよい。
【００８２】
ピン部材１１０の形状をこのような構造とすることで、ピン部材１１０を上下させるだけの単純な機構によって、大きさの異なる２つのシート部材を精度良く配置することが可能となる。
【００８３】
ピン部材１１０の形状をこのような構造とすることで、大きさの異なる吸湿層５と保護層６とが同じピン部材１１０によって位置合わせされて載置されるので、積層されたときの吸湿層５と保護層６とのずれを良好に抑制することができる。従って、保護層６の凹部領域６１に確実に吸湿層５を収容することができる。
【００８４】
図３（ａ），（ｂ）に示すように、吸着ヘッド１３０は、ピン部材１１０およびステージ部材１２０の上方に設置されてステージ面１２１に対向する吸着面１３１を有する。吸着面１３１には複数の吸入孔１３２が設けられており、ステージ面１２１に近接すると当該ステージ面１２１に順次載置された吸湿層５および保護層６を順次真空吸着する。
【００８５】
そして、図５に示すように、ホットプレート１５０は、吸着ヘッド１３０の吸着面１３１に吸着されている吸湿層５および保護層６を加熱して互いに貼り合せる。
【００８６】
次に、封止部材作製装置１００の動作について説明する。まず、図３（ａ）に示すようにステージ部材１２０が低い位置にある状態で、端部がピン部材１１０の第１側面１１９ａに当接するように吸湿層５がステージ面１２１に載置される。そして、吸着ヘッド１３０は、ステージ面１２１に近接する方向に下降して、当該ステージ面１２１に載置された吸湿層５を吸着面１３１に吸着する。
【００８７】
この際、ピン部材１１０は、吸着ヘッド１３０とともに両者の位置関係を維持したまま下降することで、吸着ヘッド１３０がステージ面１２１と近接することを可能とする。吸着ヘッド１３０とピン部材１１０が下降するのではなく、ステージ部材１２０が上昇する構造としてもよい。
【００８８】
すると、図３（ａ）に破線で示されているように、吸着ヘッド１３０の吸着面１３１に吸湿層５が吸着され、ステージ面１２１の上方に保持される。
【００８９】
次いで、図３（ｂ）に示すようにステージ面１２１が前記高い位置になるようにステージ部材１２０が移動し、保護層６の端部がピン部材１１０の第２側面１１９ｂに当接するように、保護層６がステージ面１２１からピン部材１１０の台部１１１の上面１１２に亘って載置される。そして、吸着ヘッド１３０は、ステージ面１２１に近接して、当該ステージ面１２１に載置された保護層６を保持している吸湿層５に重畳して吸着面１３１に吸着する。この際のピン部材１１０の動き方は、吸湿層５の吸着の場合と同様である。
【００９０】
すると、図３（ｂ）に破線で示されているように、吸着ヘッド１３０の吸着面１３１に保護層６が吸着して当該保護層６の凹部領域６１に吸湿層５が収容され、封止部材１０を構成する吸湿層５と保護層６とが積層される。
【００９１】
封止部材１０が吸湿層５と保護層６とによって構成されているので、当該封止部材１０によって封止された有機ＥＬ素子３に外部から水分等の透過を良好に防止するとともに、透過した一部の水分を吸湿層５が吸収するので、当該有機ＥＬ素子３の劣化を良好に抑制することができる。
【００９２】
また、吸湿層５と保護層６とがピン部材１１０によって正確に位置合わせされて積層されるので、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機ＥＬ発光モジュールの製造システムを実現することができる。
【００９３】
図５は、吸湿層５と保護層６とを加熱するホットプレート１５０を示す説明図である。吸着ヘッド１３０は、封止部材１０を吸着したまま、下方にホットプレート１５０が位置する別の場所に移動される。図５に示すように、吸着ヘッド１３０の吸着面１３１に積層されて上方に吸着されている吸湿層５と保護層６とは、ホットプレート１５０によって下方から加熱されて互いに貼り合される。なお、ホットプレート１５０は、吸湿層５と保護層６とを加熱するとともに吸着ヘッド１３０の吸着面１３１に押しつけて、熱圧着してもよい。熱圧着する場合の加熱温度は、通常４０℃以上、好ましくは５０℃以上であり、通常３００℃以下、好ましくは２００℃以下である。熱圧着する場合の加熱時間は、通常１秒以上、好ましくは５秒以上であり、通常３０分以下、好ましくは１５分以下である。
【００９４】
また、吸着ヘッド１３０は、ホットプレート１５０が吸湿層５と保護層６とを加熱しているときには、吸着面１３１において、保護層６に対向する領域のうち吸湿層５に対向する領域外に設けられた吸入孔１３２のみによって吸着を行う。すると、吸湿層５の吸着面１３１に対向する面に吸入孔１３２による吸着の痕跡による凹凸の形成を防ぐことができるため好ましい。また、吸着ヘッド１３０は、保護層６に対向する領域のうち吸湿層５に対向する領域外に設けられた吸入孔１３２のうち、吸湿層５に対向する領域の周囲の近傍に設けられた吸入孔１３２によって吸着を行うことが好ましい。すると、吸湿層５と保護層６との境界部分が真空に吸入されて境界部分で吸湿層５と保護層６とが密着し、後述する基板２との貼り合わせ時に、当該境界部分の空隙の発生を防ぐことができる。
【００９５】
図６は、吸湿層５と保護層６とが積層されて互いに貼り合された封止部材１０が載置された載置テーブル６１０を示す説明図である。ホットプレート１５０により貼り合された吸湿層５と保護層６は、吸着ヘッド１３０に吸着されたまま、下方に載置テーブル６１０が位置する窒素置換チャンバ６００内に移動される。載置テーブル６１０は、窒素置換チャンバ６００内に設置され、保護層６に凹部領域６１が形成されたことによって生じた凸形状の高さに応じた凹部６１６を上面６１５に有する。そして、図６に示すように、吸湿層５と保護層６とが積層されて互いに貼り合された封止部材１０は、載置テーブル６１０の上面６１５における凹部６１６内に保護層６の凸形状が収容されるように載置される。なお、図６に示すように、封止部材１０は、保護層６の凹部領域６１が上側となる向きで載置テーブル６１０の凹部６１６に載置される。載置テーブル６１０の凹部６１６は、吸入孔を有していて封止部材１０を吸着できることが好ましい。
【００９６】
（粘着材貼り合せ装置）
図７（ａ），（ｂ）は、粘着材貼り合せ装置２００の要部断面図である。図７（ａ），（ｂ）に示すように、粘着材貼り合せ装置２００は、複数のピン部材２１０と複数のステージ部材２２０と吸着ヘッド２３０とを含む。粘着材貼り合せ装置２００は、さらに吸着反転部材２４０（図７（ａ），（ｂ）において図示せず）、テープ部材吸着部である吸着移載部材２５０（図７（ａ），（ｂ）において図示せず）、載置テーブル６１０（図７（ａ），（ｂ）において図示せず）、およびローラ部材６１１（図７（ａ），（ｂ）において図示せず）を含む。
【００９７】
ステージ部材２２０は、両面に剥離紙４３ａ，４３ｂが予めそれぞれ貼付された粘着材４を載置可能な上面であるステージ面２２１を有する。図７（ａ）に示す例では、ステージ面２２１は、複数のピン部材２１０によって、粘着材４の全体に応じた形状および広さを有するように形成されている。なお、粘着材４には、一方の面にのみ剥離紙が貼付されていてもよい。
【００９８】
図７（ａ），（ｂ）に示すように、複数のピン部材２１０は、例えば、円筒形状の第１台部２１１と、第１台部２１１から上方に亘って形成され、上面２１２を有し、当該上面２１２に近づくにつれて径が小さくなるように構成された円錐台形状である第２台部２１５とを含む。そして、第１台部２１１の周面によってピン部材２１０の側面２１９が構成されている。
【００９９】
そして、ピン部材２１０は、図７（ａ）に示すように、粘着材４がステージ面２２１上に載置された場合に粘着材４が側面２１９に当接するようにされて、上面２１２がステージ部材２２０のステージ面２２１よりも高い位置になる高い状態から、当該上面２１２が当該ステージ面２２１と略同じ高さになる低い状態に相互に遷移する。つまり、ピン部材２１０は、ステージ部材２２０のステージ面２２１に対して相対的に上下に移動する。
【０１００】
まず、ピン部材２１０を前記高い状態とし、粘着材４を、剥離紙４３ａが上面になるようにステージ面２２１上に設置する。ピン部材２１０の側面２１９により、複数の粘着材４の相対的な位置関係が所定の配置に維持される。
【０１０１】
次に、図７（ａ），（ｂ）に示すように、吸着ヘッド２３０は、一方の面に剥離紙４３ａが、他方の面に剥離紙４３ｂが予め貼付されてステージ部材２２０のステージ面２２１に載置された粘着材４を上方から吸着して保持する。具体的には、ステージ部材２２０とピン部材２１０とを一体として上方に移動させる。吸着ヘッド２３０の表面とピン部材２１０の上面２１２とが当接した後は、なおもステージ部材２２０のみを上方に移動させ、吸着ヘッド２３０と粘着材４とを近接させることにより、吸着ヘッド２３０に粘着材４を吸着させる。吸着ヘッド２３０は、剥離紙４３ａを吸着して、粘着材４および剥離紙４３ｂを上方に保持する。
【０１０２】
そして、粘着材４を吸着ヘッド２３０に吸着後、再度吸着ヘッド２３０とステージ部材２２０をある程度離間させて、ピン部材２１０を前記低い状態とし、複数のステージ部材２２０のステージ面２２１および複数のピン部材２１０の上面２１２に亘って、帯状のテープ部材７が載置される。なお、載置されたテープ部材７において上方を向く一方の面７１は粘着性を有する。そして、図７（ｂ）に示すように、吸着ヘッド２３０によって上方に吸着されて保持されている粘着材４が、吸着ヘッド２３０とステージ部材２２０とを再度近接させることにより、テープ部材７の粘着性を有する一方の面７１上に載置されて、剥離紙４３ｂを介してテープ部材７に貼付される。次いで、テープ部材７から剥離紙４３ａが除去される。剥離紙４３ａの除去は、人手で行われてもよいし、剥離紙除去用の装置によって行われてもよい。
【０１０３】
図７（ｂ）においてテープ部材７は帯状としたが、テープ部材７は帯状であってもよいし、あらかじめ所定のサイズに断裁されたシート状であっても良い。テープ部材７が帯状であるほうが、連続生産において巻き出し操作によって簡便に連続的にテープ部材を供給できることから好ましい。
【０１０４】
なお、粘着材４が貼付された帯状のテープ部材において少なくとも一の端部には、粘着材４が貼付されていない余白領域７２が設けられている。換言すれば、帯状のテープ部材は、粘着材４が貼付されたときに、少なくとも一の端部に粘着材４が貼付されていない余白領域７２が設けられるように複数のステージ部材２２０のステージ面２２１および複数のピン部材２１０の上面２１２に亘って載置される。図７（ｂ）においては、粘着材４が貼付された帯状のテープ部材７において、長手方向の巻きだし側とは反対側の端部（図７（ｂ）の向かって右側）に粘着材４が貼付されていない余白領域７２が設けられている図を示した。しかしながら、粘着材４が貼付されていない余白領域７２は、図７（ｂ）においてテープの巻きだし側（図７（ｂ）の向かって左側）であっても良いし、帯状のテープ部材の巻きだし方向に平行な辺を有する端部（図７（ｂ）の向かって手前側または奥側）であってもよい。
【０１０５】
図８は、吸着反転部材２４０の動作を示す説明図である。図８に示すように、吸着反転部材２４０には、テープ部材７に貼付された複数の粘着材４の互いの間の領域および余白領域７２をそれぞれ吸着するための吸着面２４１を有する。吸着反転部材２４０は、複数のステージ部材２２０のステージ面２２１および複数のピン部材２１０の上面２１２に亘って載置されているテープ部材７の上方から、吸着面２４１に当該テープ部材７を吸着する。つまり、テープ部材７の一方の面７１において、貼付された複数の粘着材４の間の領域および余白領域７２は、吸着反転部材２４０の吸着面２４１の下方に吸着される。
【０１０６】
そして、吸着反転部材２４０は、図８に示すように上下反転動作を行う。つまり、テープ部材７の一方の面７１において、貼付された複数の粘着材４の間の領域、および余白領域７２は、吸着反転部材２４０の吸着面２４１の上方に吸着されることになる。なお、吸着反転部材２４０は、例えば、長手方向の両端部において回転可能に支持され、当該長手方向を軸に回転して上下反転動作を行う。吸着反転部材２４０が行う上下反転動作は他の方法で行われてもよい。
【０１０７】
図９は、吸着反転部材２４０と吸着移載部材２５０（テープ部材吸着部）とによるテープ部材７の受け渡しを示す説明図である。図９に示すように、吸着移載部材２５０は、吸着反転部材２４０の吸着面２４１の上方から、テープ部材７の一方の面７１の裏側の他方の面７３を下方に吸着するとともに、吸着反転部材２４０は、吸着動作を終了する。すると、テープ部材７は、吸着反転部材２４０から吸着移載部材２５０に渡される。吸着移載部材２５０は、窒素置換チャンバ６００上にテープ部材７とともに移動する。
【０１０８】
剥離紙４３ｂのみが貼付されている粘着材４を用いる場合、まず、図７（ａ）同様に、剥離紙４３ｂのみが添付されている粘着材４を、ピン部材２１０の側面２１９に当接し、かつ、剥離紙４３ｂ側の面がステージ部材２２０のステージ面２２１に接するように配置する。そして、吸着ヘッド２３０の表面を、粘着材４が粘着しない素材で形成しておけば、前述と同様の工程で粘着材４とテープ部材７の貼付が可能である。粘着材４が粘着しない素材は例えばフッ素化された樹脂を用いることができ、具体的にはポリテトラフルオロエチレンなどが挙げられる。
【０１０９】
剥離紙４３ａのみが貼付されている粘着材４を用いる場合、まず、図７（ａ）同様に、剥離紙４３ａのみが貼付されている粘着材４を、ピン部材２１０の側面２１９に当接し、かつ、剥離紙４３ａの反対側の粘着材面がステージ部材２２０のステージ面２２１に接するように配置する。ステージ面２２１は、粘着材４が粘着しない素材で形成されている。粘着材４が粘着しない素材は例えばフッ素化された樹脂を用いることができ、具体的にはポリテトラフルオロエチレンなどが挙げられる。
【０１１０】
次に、ピン部材２１０を粘着材４の剥離紙４３ａの面の高さと同じか低い位置まで下げる。
【０１１１】
次に、粘着性を有するテープ部材７の粘着性を有する面を粘着材４の剥離紙４３ａに対向するように配置し、テープ部材７の粘着性を有する面を粘着材４の剥離紙４３ａに貼り合せる。
【０１１２】
以上の工程により、剥離紙４３ａを介して粘着材４が貼付されたテープ部材７を得ることができる。この方法によれば、粘着材４が貼付されたテープ部材７を反転させる工程が不要となり生産効率を高めることができる。
【０１１３】
工程を簡略化できる観点においては、片面のみに剥離紙が添付されている粘着材４を用いる本工程の方が好ましい。
【０１１４】
粘着材４の取り扱い性の観点においては、両面に剥離紙が添付された粘着材４を用いる工程の方が好ましい。
【０１１５】
図１０（ａ），（ｂ）は、窒素置換チャンバ６００による窒素置換の工程を示す説明図である。図１０（ａ）に示すように、窒素置換チャンバ６００は貫通孔６０５が設けられた上面６０６を有している。
【０１１６】
また、図１０（ａ）に示すように、テープ部材７を下方に吸着した吸着移載部材２５０は、封止部材１０が載置されている窒素置換チャンバ６００内の載置テーブル６１０の上方に移動する。なお、載置テーブル６１０には、テープ部材７の長手方向に沿って移動可能な後述するローラ部材６１１が設置されている。
【０１１７】
図１０（ａ）に示すように、吸着移載部材２５０の上方は上面部６０１によって覆われ、載置テーブル６１０の下方は下面部６０２によって覆われている。また、載置テーブル６１０の側方は、側面部６０３によって覆われている。図１０（ａ）に示す例では、側面部６０３は、下端が下面部６０２の上面に当接している。そして、側面部６０３において載置テーブル６１０に対向する面の反対側の面である外側面６０４は、窒素置換チャンバ６００の上面６０６に設けられた貫通孔６０５の端部６０７に当接している。
【０１１８】
従って、窒素置換チャンバ６００の上面６０６に設けられた貫通孔６０５は、側面部６０３および下面部６０２によって塞がれて、当該窒素置換チャンバ６００内の窒素が外部に流出しない状態にできるように構成されている。
【０１１９】
そして、図１０（ｂ）に示すように、上面部６０１が下方に移動して、または下面部６０２、側面部６０３及び窒素置換チャンバ６００が上方に移動して、上面部６０１と下面部６０２とが相対的に近づいて、上面部６０１と下面部６０２との間の空間が側面部６０３によって覆われ（側面部６０３の上端が上面部６０１に当接し、側面部６０３の下端が下面部６０２に当接し）、当該空間が密閉された状態（第１状態）になる。なお、ローラ部材６１１は、上面部６０１と下面部６０２とが近づいても干渉しない位置に配置されているとする。また、このとき、粘着材４と封止部材１０とは接触しない配置である。そして、当該空間が密閉された状態で当該空間から空気を排出して真空排気してから窒素を供給し、当該空間内を窒素雰囲気にする。
【０１２０】
このように、当該空間の第１状態の窒素置換は、上面部６０１と下面部６０２とが近づいた状態で行われるので、空気の排出及び窒素置換を行う空間の体積を狭くすることができるため、より短時間で当該空間内を窒素雰囲気とすることができる。
【０１２１】
図１１（ａ），（ｂ），（ｃ）は、粘着材４を封止部材１０に貼付する工程を示す説明図である。図１１（ａ）に示すように、下面部６０２が下方に移動して、または上面部６０１と側面部６０３が上方に移動して、上面部６０１と下面部６０２とが相対的に離間し、ローラ部材６１１は、テープ部材７の長手方向に沿って移動可能な状態（第２状態）になる。図１１の形態の装置においては、下面部６０２が下方に移動する。
【０１２２】
図１１（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、ローラ部材６１１は、支持部６１２およびローラ部６１３を含む。支持部６１２は、一端は載置テーブル６１０によってテープ部材７の長手方向に沿って移動可能に支持され、他端はローラ部６１３を回動可能に支持する。ローラ部６１３は、円筒形状に形成され、中心軸周りに回転する。
【０１２３】
図１１（ｂ），（ｃ）に示すように、ローラ部６１３は、吸着移載部材２５０からテープ部材７を剥離しながら吸着移載部材２５０とテープ部材７との間を帯状のテープ部材７の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動する。つまり、ローラ部材６１１の支持部６１２がテープ部材７の長手方向に沿って移動するに伴って、ローラ部６１３が吸着移載部材２５０からテープ部材７を剥離しながら転動する。また、ローラ部６１３の周面は、テープ部材７側から粘着材４を封止部材１０に押しつけて粘着材４を封止部材１０に貼り合せる。
【０１２４】
ローラ部６１３が、テープ部材７の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動して、周面によってテープ部材７側から粘着材４を封止部材１０に押しつけて粘着材４を封止部材１０に貼り合せるように構成されているので、粘着材４と封止部材１０との間に空間が生じることを良好に防ぐことができる。
【０１２５】
なお、吸着移載部材２５０は、テープ部材７の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ当該テープ部材７を剥離していくときに、当該テープ部材の他方の端部側の吸着動作を継続することが好ましい。これにより、ローラ部６１３の転動中にテープ部材７の下方への落下を防止することができる。また、ローラの転動中にテープ部材７と封止部材１０の位置がずれることなく精度良くテープ部材７と封止部材１０とを貼り合わせることが出来、かつ、粘着材４におけるしわの発生を良好に防ぎ、粘着材４と封止部材１０との間に空隙ができることを防ぐことができる。
【０１２６】
また、ローラ部６１３による粘着材４と封止部材１０との貼り合せの位置合わせ調整を容易にするために、上面部６０１および吸着移載部材２５０の少なくとも一部に、内部が作業者によって、または撮影手段等の監視装置によって確認可能なように窓部が設けられていることが好ましい。
【０１２７】
（吸着ハンド）
吸着ハンド７００について説明する。吸着ハンド７００は、互いに貼り合された粘着材４、封止部材１０、およびテープ部材７を窒素置換チャンバ６００から真空チャンバ８００に移載するために用いられる。なお、真空チャンバ８００は、内部を真空雰囲気とすることが可能な容器である。
【０１２８】
図１２（ａ），（ｂ）は、吸着ハンド７００の動作を示す説明図である。図１２（ａ）に示すように、吸着ハンド７００は、載置テーブル６１０に互いに貼り合されて載置されているテープ部材７、粘着材４、および封止部材１０を、上方にあるテープ部材７の他方の面７３側から上方に吸着して保持する。
【０１２９】
そして、図１２（ｂ）に示すように、吸着ハンド７００は、互いに貼り合わされているテープ部材７、粘着材４、および封止部材１０を吸着して保持したまま、真空チャンバ８００内に設置されて上面８０１を有する載置テーブル８０２の上方に移動する。次いで、吸着ハンド７００は、互いに貼り合されているテープ部材７、粘着材４、および封止部材１０を載置テーブル８０２の上面８０１に載置する。
【０１３０】
（テープ部材剥離装置）
図１３（ａ），（ｂ）は、テープ部材剥離装置３００の動作を示す説明図である。図１３（ａ）に示すように、テープ部材剥離装置３００は、テープ部材折り曲げ部材３０１とテープ部材把持部材３０２（把持部）、テープ部材剥離補助部材３０３とを含み、さらに図１３（ａ），（ｂ）において図示しないテープ部材載置台３０４（載置台）を含む。
【０１３１】
図１３（ａ）に示すように、テープ部材折り曲げ部材３０１は、例えば、載置テーブル８０２の上面８０１に載置されたテープ部材７に向かって移動可能に支持されている棒状体であり、先端部がテープ部材７の余白領域７２に当接することによって、当該テープ部材７の余白領域７２を上方に折り曲げる。
【０１３２】
そして、テープ部材把持部材３０２は、折り曲げられた当該テープ部材７の余白領域７２の少なくとも一部を把持しながらテープ部材７から離間するように移動することによって、当該テープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂを粘着材４から剥離する。
【０１３３】
具体的には、テープ部材把持部材３０２が、折り曲げられた当該テープ部材７の余白領域７２を把持しながらテープ部材７から離間するように移動する。テープ部材剥離補助部材３０３が、移動しているテープ部材把持部材３０２の下方のテープ部材７を粘着材４に押しつけながら、当該テープ部材把持部材３０２と同様にテープ部材７の長手方向に移動する。すると、テープ部材剥離補助部材３０３が粘着材４に押しつけている箇所を支点にテープ部材７がテープ部材把持部材３０２によって引っ張られ、テープ部材把持部材３０２およびテープ部材剥離補助部材３０３の移動に伴ってテープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂは粘着材４から剥離される。
【０１３４】
テープ部材剥離補助部材３０３によってテープ部材７を封止部材１０側に押し付けておくことによって、テープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂを剥離する際に、封止部材１０及び粘着材４が載置テーブル８０２の上面８０１の所定の位置からずれることを良好に抑制する。
【０１３５】
なお、図１３（ａ），（ｂ）に示す例では、テープ部材剥離補助部材３０３は直角三角形状の断面を有するように形成されているが、他の形状であってもよい。テープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂを粘着材４からムラ無く均一に剥離するために、剥離されたテープ部材７の剥離角（剥離されたテープ部材７の面と、テープ部材７を剥離した封止部材１０に貼り合された粘着材４の面とのなす角）は鋭角であることが好ましい。剥離されたテープ部材７の剥離角を鋭角にするためには、テープ部材剥離補助部材３０３は、テープ部材７と接する面が平面であり、テープ部材７がテープ部材把持部材３０２によって引っ張られたときに支点になる箇所の断面の角度が鋭角形状であることが好ましい。また、テープ部材剥離補助部材３０３の形状が薄板状である場合、テープ部材剥離補助部材３０３の、テープ部材７がテープ部材把持部材３０２によって引っ張られたときに支点になる箇所の断面の形状の曲率半径は、テープ部材７を切断しないためには５μｍ以上であることが好ましい。また、テープ部材剥離補助部材３０３の、テープ部材７がテープ部材把持部材３０２によって引っ張られたときに支点になる箇所の断面の形状の曲率半径は、剥離角を鋭角に保ってムラ無く均一に剥離するためには５ｍｍ以下であることが好ましい。
【０１３６】
テープ部材把持部材３０２は、粘着材４から剥離したテープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂを、テープ部材載置台３０４の上面３０５上に載置する。図１４は、テープ部材把持部材３０２による粘着材４から剥離したテープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂをテープ部材載置台３０４の上面３０５上に載置する動作を示す説明図である。図１４の右側に示されているように、テープ部材把持部材３０２は、粘着材４から剥離したテープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂを、図１４の左側に示されているように、テープ部材載置台３０４の上面３０５上に載置する。
【０１３７】
テープ部材剥離装置３００は、仕切り部材３１０によって外気と仕切られた窒素雰囲気内に設置されている。そして、図１４の左側に示すように、テープ部材載置台３０４は、仕切り部材３１０の天面に設けられ、押し上げられると開状態になる蓋３１１（蓋部）によって外方から覆われている貫通孔３１２の下方に移動する。なお、テープ部材載置台３０４の外形形状および外径と、貫通孔３１２の内形形状および内径とは、テープ部材載置台３０４と貫通孔３１２とが嵌合可能なようにそれぞれ設定されている。また、蓋３１１は、例えば、Ｏリング等の密封用部材を介して仕切り部材３１０の天面の外面に当接している。そして、テープ部材載置台３０４が上方に移動すると、テープ部材載置台３０４は貫通孔３１２と嵌合状態になり、テープ部材載置台３０４の上面３０５が蓋３１１を上方に押し上げる。
【０１３８】
図１５（ａ）〜（ｆ）は、テープ部材載置台３０４の動作を示す説明図である。図１５（ａ）に示すように貫通孔３１２の下方に移動したテープ部材載置台３０４は、図１５（ｂ）に示すように上方に移動して、上面３０５が剥離されたテープ部材７を介して蓋３１１の下面に密着する。そして、テープ部材載置台３０４はさらに上方に移動すると、図１５（ｃ）に示すようにテープ部材載置台３０４は上面３０５で蓋３１１を上方に押し上げる。
【０１３９】
図１５（ｄ）に示すように、テープ部材載置台３０４の上面３０５によって上方に押し上げられた蓋３１１が図示しない蓋支持部材によってさらに上方に持ち上げられるとともに、図示しないテープ部材除去部材によって、テープ部材載置台３０４の上面３０５に載置されているテープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂが除去される。この工程は人の手で行ってもよいし、テープ部材除去用の装置によって行われてもよい。
【０１４０】
なお、前述したように、テープ部材載置台３０４の外形形状および外径と、貫通孔３１２の内形形状および内径とは、テープ部材載置台３０４と貫通孔３１２とが嵌合可能なようにそれぞれ設定されている。そのため、図１５（ｃ），（ｄ）に示すように蓋３１１が開状態であっても、貫通孔３１２を通る外気の流入を良好に防止することができる。なお、窒素雰囲気の気圧が外部の気圧よりも高ければ、気密性が高くなくとも外気の流入をより効果的に防止することができるため好ましい。
【０１４１】
そして、図１５（ｅ）に示すようにテープ部材載置台３０４が下方に移動すると蓋３１１が閉状態となり、さらにテープ部材載置台３０４が下方に移動すると、図１５（ｆ）に示すようにテープ部材載置台３０４の上面３０５は蓋３１１の下面から離間する。
【０１４２】
（封止部材貼り合せ装置）
次に、封止部材貼り合せ装置４００について説明する。有機ＥＬ素子３が形成された基板２は、搬入室（図示せず）から有機ＥＬ発光モジュールの製造システムに搬入される。図１６は、有機ＥＬ発光モジュールの製造システムに搬入された基板２の移動を示す説明図である。図１６に示すように、基板２は、回動可能にそれぞれ支持されている複数のローラ４１１によって下方から支持されて移動する。
【０１４３】
図１７は、封止部材貼り合せ装置４００における基板２の位置調整を示す説明図である。図１７に示すように、封止部材貼り合せ装置４００は、基板２を撮影する撮影手段４０１と、基板２が載置されるとともに、撮影手段４０１の撮影結果に基づいて基板２を移動および回転させる調整台４０２とを含む。撮影手段４０１は、調整台４０２に載置されている基板２を撮影する。調整台４０２は、予め基板２における対向する二隅や四隅に示されているアライメントマークが撮影された位置にもとづいて、基板２の位置を調整する。より具体的には、調整台４０２の制御部（図示せず）は、撮影結果に基づいて基板２の位置が規定の位置と比べてローラ４１１による移動方向にずれていると判断した場合には、ローラ４１１を回転駆動して基板２を規定の位置に移動させる。また、調整台４０２の制御部は、撮影結果に基づいて基板２の向きが規定の向きに対して載置面上で斜めになっていると判断した場合には、基板２が規定の向きになるように調整台４０２を載置面に沿って回転させる。
【０１４４】
図１８（ａ），（ｂ）は、基板２の真空チャンバ８００内への移動を示す説明図である。調整台４０２は、基板２の位置等の調整が終了すると基板２を載置した状態で真空チャンバ８００の蓋部８０３の下方に移動する（図１８（ａ））。蓋部８０３は、下方を開口方向とする凹部８０４を有している。そして、蓋部８０３の下方に設けられ、下面８２０に基板２を真空吸着するための複数の吸入孔が設けられている基板吸着部材８０５（基板吸着上面部）が、図１８（ａ）に破線で示されているように調整台４０２に載置されている基板２を吸着して上方に保持する。基板吸着部材８０５が調整台４０２に載置されている基板２を吸着して上方に保持すると、調整台４０２は、撮影手段４０１等が設置されて位置等の調整を行った場所に移動して、真空チャンバ８００の蓋部８０３の下方から離れる。
【０１４５】
そして、粘着材４が貼り合された封止部材１０が載置された載置テーブル８０２（部材セット部）が、調整台４０２が離れた真空チャンバ８００の蓋部８０３の下方の位置に、当該載置テーブル８０２の下方および側方を覆い上方を開口方向とする凹部８０６を有するチャンバ下部８０７とともに移動する。そして、真空チャンバ８００の蓋部８０３における凹部８０４の端面とチャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８とが当接することによって、真空チャンバ８００の内部と外部とが仕切られ、基板吸着部材８０５による基板２の吸着動作が終了するとともに、真空チャンバ８００の内部を真空雰囲気にするための真空引きの動作が行われ、当該内部は真空雰囲気となる。
【０１４６】
なお、図１８（ｂ）に破線で示すように、チャンバ下部８０７の凹部８０６の開口形状は、端面８０８が基板２の外縁部を支持するように形成されている。従って、基板吸着部材８０５による基板２の吸着動作が終了すると、基板２は、チャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８（支持台部）によって外縁部が支持される。下面８２０と、端面８０８との高さの差は、基板２の外縁部への接触時の衝撃を抑制するため、通常１０ｍｍ以下、好ましくは５ｍｍ以下、更に好ましくは２ｍｍ以下である。真空チャンバ８００の蓋部８０３における凹部８０４の端面とチャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８とが当接した際に、基板２の外縁部が端面８０８に接触することを防止するため、下面８２０と、端面８０８との高さの差は、基板２の厚みにプラスして通常０．０１ｍｍ以上、好ましくは０．１ｍｍ以上である。
【０１４７】
なお、図１８（ｂ）においては、チャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８（支持台部）は、蓋部８０３の凹部８０４の端面と対向する面と同一であるが、段差を設けて端面８０８を形成してもよい。
【０１４８】
チャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８に当接して支持される基板２の外縁部は、長方形状の基板２の四隅であってもよいし、対向する二つの短辺または長辺に沿う端辺部であってもよい。
【０１４９】
図１９は、基板２を粘着材４が貼り合された封止部材１０に貼り合わせる装置を示す説明図である。図１９に示すように、基板吸着部材８０５の中央部には、図中の上下方向に移動させることが出来、基板２を下方に押下可能な可動式中央吸着部８１０（可動式吸着部）が設けられている。図１９に示すように、可動式中央吸着部８１０には、基板２において有機ＥＬ素子３が形成されている一方の面２１の裏側の他方の面２２に当接する押下面８１１が先端に形成されている。そして、押下面８１１にも、基板２を吸着可能な吸入孔が設けられている。可動式吸着部８１０の押下面８１１が形成されている先端は、図１９に示すように凸状部８１２となってもよい。
【０１５０】
ここで、基板２の外縁部のみがチャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８によって支持された場合は、基板２は基板２自身の重みで下方に撓むことになる。特に、基板２の中央部ほど、下方への変位量が大きくなる。可動式中央吸着部８１０の制御部には、基板２を吸着した状態で基板２の外縁部のみが支持されて自重により下方に撓んだときの、当該基板２の中央部の変位量をあらかじめ把握させておくことが好ましい。
【０１５１】
図２０（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）に、基板吸着部材８０５における可動式中央吸着部８１０の配置パターンのみを下面８２０側から見た概念図を示す。
【０１５２】
可動式中央吸着部８１０は、長方形状の基板２の中央部に応じた位置に設けられていてもよいし（図２０（ａ））、基板２の長手方向における中央部を通る短手方向の直線に沿って基板２の短辺程度の長さを有して設けられていてもよい（図２０（ｂ））。また、可動式中央吸着部８１０は、基板２の短手方向における中央部を通る長手方向の直線に沿って基板２の短長辺程度の長さを有して設けられていてもよい（図２０（ｃ））。その場合、可動式中央吸着部８１０を複数並べる形態としてもよい（例えば図２０（ｄ））。
【０１５３】
また、図１９に示すように、チャンバ下部８０７内の載置テーブル８０２は、上方に移動可能であり、上面８０１に載置されている粘着材４が貼り合された封止部材１０を、基板２の一方の面２１に形成されている有機ＥＬ素子３に粘着材４を挟んで当接させ、封止部材１０と基板２とを粘着材４を介して貼り合わせることができる。載置テーブル８０２は、上面８０１に載置されている粘着材４が貼り合された封止部材１０を吸着可能な吸着孔（図示せず）を有することが好ましい。
【０１５４】
図２１（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は、基板２と封止部材１０とを粘着材４を介して貼り合わせる工程を示す説明図である。まず、図２１（ａ）に示すように、基板２は、基板吸着部材８０５の下面８２０、および可動式中央吸着部８１０の押下面８１１によって上方に吸着されている。真空チャンバ８００の内部の空間（より具体的には、蓋部８０３およびチャンバ下部８０７によって囲まれた空間）は、蓋部８０３およびチャンバ下部８０７が当接するまでは、例えば、大気圧の窒素雰囲気であるとする。蓋部８０３およびチャンバ下部８０７が当接して密着した後、基板２と封止部材１０とを粘着材４を介して貼り合せ始めるまでの間に、真空チャンバ８００の内部の空間を真空引きして真空雰囲気にする。このとき、可動式中央吸着部の吸着方式が真空吸着である場合には、可動式中央吸着部の真空吸着によって基板２の吸着が保たれる程度に、可動式中央吸着部の吸着の真空度の方が、真空チャンバ８００の内部の空間の真空度よりも高くする。同様に、載置テーブル８０２の上面８０１に載置されている粘着材４を貼り合せた封止部材１０が真空吸着によって載置テーブル８０２の上面８０１に吸着されている場合も、粘着材４を貼り合せた封止部材１０を載置テーブル８０２の上面８０１に真空吸着する真空度の方が真空チャンバ８００の内部の空間の真空度よりも高くする。
【０１５５】
そして、可動式中央吸着部８１０の押下面８１１による吸着動作を継続するとともに、基板吸着部材８０５の下面８２０による吸着動作を停止すると、図２１（ｂ）に示すように、基板２の外縁部が当該基板２自身の重みで下方に撓み、当該外縁部は、チャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８に当接する。本操作中、真空チャンバ８００の内部は真空引きを開始していなくても良いし、真空引きを開始していても良く、真空引きを開始していてかつ所定の真空度になっていなくてもよい。
【０１５６】
さらに、可動式中央吸着部８１０の押下面８１１による吸着動作を継続するとともに、可動式中央吸着部８１０を下方に移動させる（図２１（ｃ），（ｄ））。なお、可動式中央吸着部８１０は、前述したように、自重により下方に撓む基板２の中央部の変位量の分だけ下方に移動する。本操作中、真空チャンバ８００の内部は真空引きを開始していなくても良いし、真空引きを開始していても良く、真空引きを開始していてかつ所定の真空度になっていなくてもよい。
【０１５７】
そして、載置テーブル８０２が上方に移動すると、上面８０１に載置されている封止部材１０が粘着材４を介して基板２の一方の面２１に形成されている有機ＥＬ素子３に当接し、封止部材１０と基板２とが粘着材４を介して基板２の中央部から端部方向へと順次貼り合わされる。可動式中央吸着部８１０による吸着動作は、封止部材１０と基板２とが粘着材４を介して全面に亘って貼り合わされるまで継続され、可動式中央吸着部８１０は、載置テーブル８０２により基板２が押し上げられるのに合わせて上方に移動する。なお、本操作開始時には、真空チャンバ８００の内部は所定の真空度になっていることが好ましい。
【０１５８】
可動式中央吸着部８１０による吸着動作が、封止部材１０と基板２とが粘着材４を介して全面に亘って貼り合わされるまで継続されるので、基板２の封止部材１０に対する相対位置が撓みによって移動することを良好に防止し、基板２における所定の貼り合せ位置に粘着材４が貼り合された封止部材１０を貼付することができる。
【０１５９】
このとき、基板２の自重による撓みが大きい方が、基板２と封止部材１０とのなす角が大きく、空隙の発生を良好に抑制して均一に密着させることが出来るため好ましい。
【０１６０】
したがって、チャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８に当接して支持される基板２の外縁部が長方形状の基板２の四隅である場合は、基板２の自重による撓み量が最大になることから好ましい。端面８０８に当接して支持される基板２の外縁部が長方形基板の対向する二つの短辺または長辺に沿う端辺部である場合は、基板２の外縁部が端面８０８に当接して支持されるとともに、端面８０８に当接して支持される基板２の端辺に平行な中心線上を可動式中央吸着部８１０が吸着することが出来ることから、基板を安定に保持でき好ましい。端面８０８に当接して支持される基板２の外縁部が長方形基板の短辺に沿う端辺部である場合は、基板２を安定に保持でき、かつ、撓み量が大きいことから最も好ましい。
【０１６１】
また、基板２と封止部材１０とを粘着材４を介して貼り合わせる工程の間、可動式中央吸着部８１０が基板２を吸着し続けること、および、載置テーブル８０２が封止部材１０を載置テーブル８０２の上面８０１に吸着し続けることによって、基板２および封止部材１０の位置ずれを良好に防止し、基板２と封止部材１０とを粘着材４を介して精度良く貼り合わせることが出来る。
【０１６２】
なお、可動式中央吸着部８１０は、基板２の自重で下方に撓んだ変位量の分だけ下方に移動するとして説明したが、可動式中央吸着部８１０の下方への移動量は自重での変位量から適宜変更した値に設定されてもよい。また、可動式中央吸着部８１０は、載置テーブル８０２が上方に移動して基板２に形成された有機ＥＬ素子３が粘着材４を介して封止部材１０に接したときに、載置テーブル８０２の上方への移動速度と同じ速度で吸着している基板２を上方に移動させてもよいし、当該移動中に下方へ（つまり、基板２に）所定の荷重を加えておき、載置テーブル８０２の押し上げに応じて基板２と一体となって上方に移動するようにされてもよい。
【０１６３】
図２２は、粘着材４を介して貼り合わされた基板２と封止部材１０とが熱圧着される工程を示す説明図である。図２２に示す例では、熱圧着装置５００内に収容された基板２、粘着材４および封止部材１０の上方にある上部ホットプレート部５０１が基板２の他方の面２２側から当該基板２を加熱するとともに当該基板２を粘着材４を介して封止部材１０に向かって押下する。また、熱圧着装置５００内に収容された基板２、粘着材４および封止部材１０の下方にある下部ホットプレート部５０２（ホットプレート部）が封止部材１０の保護層６側から当該封止部材１０を加熱するとともに当該封止部材１０を基板２に向かって押し付ける。従って、基板２、粘着材４および封止部材１０は、上部ホットプレート部５０１と下部ホットプレート部５０２とによって挟まれて熱圧着される。
【０１６４】
なお、図２２に示し、前述したように、保護層６の凹部領域６１の裏側の領域は、平坦領域６２の裏側の平面領域に対して凸形状に形成されている。そこで、当該凸形状に対向する下部ホットプレート部５０２において平坦領域６２の裏側の平面領域に対向する範囲に、凸形状に応じた形状および高さを有する、好ましくは、凸形状に応じた形状であって、凸形状よりも高く形成された凸部５０３が設けられている。
【０１６５】
従って、下部ホットプレート部５０２の凸部５０３が、封止部材１０の保護層６の平坦領域６２の裏側の平面領域に対向する範囲、つまり、粘着材４が貼り合された封止部材１０の外縁部をより確実に基板２に熱圧着し、基板２の一方の面２１に形成された有機ＥＬ素子３および吸湿層５を封止部材１０と粘着材４と基板２とでより確実に封止することができる。
【０１６６】
本実施の形態によれば、吸湿層５と保護層６とが積層された封止部材１０と粘着材４とで有機ＥＬ素子３を封止するので、外部からの水分等の透過による有機ＥＬ素子３の劣化を良好に抑制する有機ＥＬ発光モジュール１を製造することができる。
【０１６７】
また、大きさの異なる吸湿層５と保護層６とがピン部材１１０を上下させるだけの単純な機構によって精度良く位置合せされて積層されるので、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機ＥＬ発光モジュール１の製造システムを実現することができる。
【０１６８】
ホットプレート１５０による保護層６と吸湿層５との熱圧着処理の実行中には、保護層６に対向する領域のうち、吸湿層５に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行うように構成されているので、吸湿層５において吸着ヘッド１３０の吸着面１３１に設けられた吸入孔による吸入の痕跡による凹凸の形成を良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュール１を製造することができる。
【０１６９】
また、保護層６と吸湿層５との熱圧着処理によって、吸着ヘッド１３０の吸着面１３１に対向する領域において吸湿層５と保護層６とを密着させ、当該領域における吸湿層５と保護層６との間に空間が生じることを良好に防ぐことができる。これにより、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュール１を製造することができる。
【０１７０】
ローラ部６１３が、テープ部材７の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動して、周面によってテープ部材７側から粘着材４を封止部材１０に押しつけて粘着材４を封止部材１０に貼り合せるように構成されているので、粘着材４と封止部材１０との間に空間が生じることを良好に防ぐことができる。これにより、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュール１を製造することができる。
【０１７１】
吸着移載部材２５０は、ローラ部６１３がテープ部材７の一の端部側からテープ部材７を剥離していくときに、テープ部材７の他方の端部側において吸着動作を継続するので、ローラ部６１３の転動中にテープ部材７の下方への落下を防止することができる。また、他方の端部が吸着されて固定されているため、ローラ部６１３の転動中にテープ部材７と封止部材１０の位置がずれることなく精度良くテープ部材７と封止部材１０とが貼合され、封止部材１０に貼り合される粘着材４におけるしわの発生を良好に防ぐことができる。これにより、高精度かつ高効率な有機ＥＬ発光モジュール１を製造することができる。
【０１７２】
また、上面部６０１と下面部６０２とが相対的に近づいた状態で窒素置換動作が行われるように構成されているので、窒素置換を行う空間の体積を小さくすることができるため、真空排気工程および窒素ガス導入工程の時間を短縮できる。これにより、有機ＥＬ発光モジュール１の生産効率を高めることができる。
【０１７３】
窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材３１０に、テープ部材載置台３０４が上方に移動するとテープ部材載置台３０４と嵌合する貫通孔３１２が設けられ、テープ部材載置台３０４の上面によって当該貫通孔３１２を覆う蓋３１１を押し上げるように構成されているので、窒素と外気との貫通孔３１２を通した混合を良好に防ぐことができる。これにより、有機ＥＬ発光モジュール１の生産効率を高めることができる。
【０１７４】
基板２が、可動式中央吸着部８１０とチャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８とにより支持される状態とし、その後、可動式中央吸着部８１０を下方に移動させることにより基板２の中央部をチャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８より下方に押し下げた状態とし、次いで、可動式中央吸着部８１０による基板２の吸着を保持したまま、粘着材４が貼り合された封止部材１０が載置された載置テーブル８０２を上方に移動させ、基板２と可動式中央吸着部８１０とを連動させながら、載置テーブル８０２を基板２と粘着材４が貼り合された封止部材１０とともに基板吸着部材８０５に押し付けることで、基板２の中央部から端部に向かって順次基板２と封止部材１０とを粘着材４を介して貼り合わせるように構成されている。これにより、基板２と封止部材１０との間に空隙が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュール１を製造することができる。
【０１７５】
また、可動式中央吸着部８１０による基板２の吸着を保持したまま当該基板２と封止部材１０とを粘着材４を介して貼り合わせるので、基板２における所定の位置に粘着材４及び封止部材１０を貼付することができる。これにより、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機ＥＬ発光モジュール１の製造システムを実現することができる。
【０１７６】
下部ホットプレート部５０２には、封止部材１０の端部に対応する位置に凸部５０３が設けられているので、粘着材４が貼り合された封止部材１０の外縁部をより確実に基板２に熱圧着し、基板２の一方の面２１に形成された有機ＥＬ素子３および吸湿層５をより確実に封止して、有機ＥＬ素子３の劣化を良好に抑制することができる。
【０１７７】
また、可撓性が高いかもしくは剛性の低い粘着材料、吸湿層材料や保護層材料、あるいは、ガラス転移温度が室温以下であって室温でほとんど剛性の無い粘着材材料は、取扱いが非常に困難であるため、従来は有機ＥＬ発光モジュール１の封止構造に用いることが困難であったが、本実施の形態によれば、各材料全体を吸着する機構を有していることを始めとする種々の工夫によって、上述のような剛性の低い材料を用いた場合であっても、封止特性が良好な有機ＥＬ発光モジュール１を高精度かつ高効率に生産可能な有機ＥＬ発光モジュール１の製造システムを実現可能である。
【０１７８】
本発明を詳細にまた特定の実施形態を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。本出願は、２０１２年１１月３０日出願の日本特許出願（特願２０１２−２６３０４７）に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【符号の説明】
【０１７９】
１    有機ＥＬ発光モジュール
２    基板
３    有機ＥＬ素子
４    粘着材
５    吸湿層
６    保護層
７    テープ部材
１１０  ピン部材
１２０  ステージ部材
１２１  ステージ面
１３０  吸着ヘッド
１５０  ホットプレート
２３０  吸着ヘッド
３０２  テープ部材把持部材
３０４  テープ部材載置台
５０２  下部ホットプレート部
５０３  凸部
６０１  上面部
６０２  下面部
６０３  側面部
６１３  ローラ部
８０２  載置テーブル
８０５  基板吸着部材
８０８  端面
８１０  可動式中央吸着部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【国際調査報告】
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