(57)【要約】  配管内の排ガス中の粒子状物質の濃度分布測定に応用できる、簡素な構造でレーザ光を走査できるレーザ光位置制御装置を提供する。  第１のレーザ光を発生する第１の発振部と、前記レーザ光を検出する第１の検出部と、対向配置される第１及び第２のレンズと、前記第１の発振部と前記第１のレンズとの間の第１の光軸走査部と、前記第２のレンズと前記第１の検出器との間の第２の光軸走査部と、前記第１の光軸走査部を制御する第１の制御部と、前記第２の光軸走査部を制御する第２の制御部と、第１の制御部と第２の制御部への制御情報を与える走査指示部と、を備え、前記第１の検出部は、前記レーザ光を前記第１の光軸走査部、前記第１及び第２のレンズ、前記第２の光軸走査部を介して検出し、前記第２の制御部は、前記走査指示部から前記第１の光軸走査部への前記制御情報と前記第１の検出部の検出信号とに基づき前記第２の光軸走査部を制御する、レーザ光位置制御装置。
2016208049.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のレーザ光を発生させる第１の発振部と、  前記第１のレーザ光を検出する第１の検出部と、  対向して配置される第１のレンズ及び第２のレンズと、  前記第１の発振部と前記第１のレンズとの間に位置する前記第１のレーザ光の光軸を走査する第１の光軸走査部と、  前記第２のレンズと前記第１の検出器との間に位置する前記第１のレーザ光の光軸を走査する第２の光軸走査部と、  前記第１の光軸走査部を制御する第１の制御部と、  前記第２の光軸走査部を制御する第２の制御部と、  第１の制御部と第２の制御部への制御情報を与える走査指示部と、を備え、  前記第１の検出部は、前記第１のレーザ光を前記第１の光軸走査部、前記第１のレンズ、前記第２のレンズ、前記第２の光軸走査部を介して検出し、  前記第２の制御部は、前記走査指示部から前記第１の光軸走査部への前記制御情報と前記第１の検出部の検出信号とに基づいて前記第２の光軸走査部を制御する、レーザ光位置制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ光位置制御装置であって、  前記第１の検出部から出力される信号を演算して、前記レーザ光の位置ずれ信号を生成する演算回路と、を備え、  前記第１の検出部は、前記第１のレーザ光の位置ずれを検出する複数のセンサを有し、  前記演算回路は、前記複数センサで検出されたそれぞれの信号を演算して前記位置ずれ信号を生成し、  前記第１の制御部は、前記演算回路で生成された位置ずれ信号をもとに前記第１の光軸走査部を制御する、レーザ光位置制御装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレーザ光位置制御装置であって、  レーザ光の偏光を調整する偏光可変素子と、を備え、  前記第１の検出部は、２つ以上のセンサから構成される複数センサ部と、１つのセンサから構成されるセンサ部とを有し、  前記複数センサ部の互いに隣り合うセンサは、前記偏光可変素子を介して入射する前記第１のレーザ光の受光偏光角がそれぞれ異なるように配置され、  前記第２の制御部は、前記複数センサ部で検出したそれぞれの信号を前記演算回路で演算して生成した前記位置ずれ信号とに基づいて前記第２の光軸走査部を制御する、レーザ光位置制御装置。
【請求項４】
請求項２に記載のレーザ光位置制御装置であって、  第２のレーザ光を発生させる第２の発振部と、  前記第２のレーザ光を検出する第２の検出部と、  前記演算回路は、第１のレーザ光を前記第１の検出部で検出して得られる信号と、第２のレーザ光を前記第２の検出部で検出して得られる信号との比で前記第１の検出部の信号強度を求め、  前記第１の制御部と前記第２の制御部は、前記演算回路で求めた信号強度に基づいて前記第１の光軸走査部と前記第２の光軸走査部により光軸を走査する範囲を変更する、ことを特徴とするレーザ光位置制御装置。
【請求項５】
請求項２に記載のレーザ光位置制御装置であって、  前記第１のレーザ光を分岐して第２のレーザ光を発生させる分岐素子と、  前記第２のレーザ光を検出する第２の検出部と、を備え、  前記演算回路は、第１のレーザ光を前記第１の検出部で検出して得られる信号と、第２のレーザ光を前記第２の検出部で検出して得られる信号との比で前記第１の検出部の信号強度を求め、  前記第１の制御部と前記第２の制御部は、前記演算回路で求めた信号強度に基づいて前記第１の光軸走査部と前記第２の光軸走査部により光軸を走査する範囲を変更する、ことを特徴とするレーザ光位置制御装置。
【請求項６】
レーザ光を発生させる発振部と、  前記レーザ光の偏光を調整する偏光可変素子と、  ２つ以上の複数センサで前記レーザ光を検出する検出部と、  前記レーザ光の光軸を走査する光軸走査部と、  前記光軸走査部を制御する制御部と、を備え、  前記複数センサの互いに隣り合うセンサは前記偏光可変素子を介して入射する前記レーザ光の受光偏光角がそれぞれ異なるように配置され、  前記制御部は、前記複数センサから出力されるそれぞれの信号をもとに前記光軸制御部を制御することを特徴とする、レーザ光位置制御装置。
【請求項７】
被検査対象物にレーザ光を照射して計測を行う計測装置であって、  第１のレーザ光を発生させる第１の発振部と、  前記第１のレーザ光を検出する第１の検出部と、  対向して配置される第１のレンズ及び第２のレンズと、  前記第１の発振部と前記第１のレンズとの間に位置する前記第１のレーザ光の光軸を走査する第１の光軸走査部と、  前記第２のレンズと前記第１の検出器との間に位置する前記第１のレーザ光の光軸を走査する第２の光軸走査部と、  前記第１の光軸走査部を制御する第１の制御部と、  前記第２の光軸走査部を制御する第２の制御部と、  第１の制御部と第２の制御部への制御情報を与える走査指示部と、を備え、  前記第１の検出部は、前記第１のレーザ光を前記第１の光軸走査部、前記第１のレンズ、前記第２のレンズ、前記第２の光軸走査部を介して検出し、  前記第２の制御部は、前記走査指示部から前記第１の光軸走査部への前記制御情報と前記第１の検出部の検出信号とに基づいて前記第２の光軸走査部を制御する、ことで計測を行う計測装置。
【請求項８】
請求項７に記載の計測装置であって、  前記第１の検出部から出力される信号を演算して、前記レーザ光の位置ずれ信号を生成する演算回路と、を備え、  前記第１の検出部は、前記第１のレーザ光の位置ずれを検出する複数のセンサを有し、  前記演算回路は、前記複数センサで検出されたそれぞれの信号を演算して前記位置ずれ信号を生成し、  前記第１の制御部は、前記演算回路で生成された位置ずれ信号をもとに前記第１の光軸走査部を制御する、ことで計測を行う計測装置。
【請求項９】
請求項８に記載の計測装置であって、  レーザ光の偏光を調整する偏光可変素子と、を備え、  前記第１の検出部は、２つ以上のセンサから構成される複数センサ部と、１つのセンサから構成されるセンサ部とを有し、  前記複数センサ部の互いに隣り合うセンサは、前記偏光可変素子を介して入射する前記第１のレーザ光の受光偏光角がそれぞれ異なるように配置され、  前記第２の制御部は、前記複数センサ部で検出したそれぞれの信号を前記演算回路で演算して生成した前記位置ずれ信号とに基づいて前記第２の光軸走査部を制御する、ことで計測を行う計測装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の計測装置であって、  第２のレーザ光を発生させる第２の発振部と、  前記第２のレーザ光を検出する第２の検出部と、  前記演算回路は、第１のレーザ光を前記第１の検出部で検出して得られる信号と、第２のレーザ光を前記第２の検出部で検出して得られる信号との比で前記第１の検出部の信号強度を求め、  前記第１の制御部と前記第２の制御部は、前記演算回路で求めた信号強度に基づいて前記第１の光軸走査部と前記第２の光軸走査部により光軸を走査する範囲を変更する、ことを特徴とする、ことで計測を行う計測装置。
【請求項１１】
請求項８に記載の計測装置であって、  前記第１のレーザ光を分岐して第２のレーザ光を発生させる分岐素子と、  前記第２のレーザ光を検出する第２の検出部と、を備え、  前記演算回路は、第１のレーザ光を前記第１の検出部で検出して得られる信号と、第２のレーザ光を前記第２の検出部で検出して得られる信号との比で前記第１の検出部の信号強度を求め、  前記第１の制御部と前記第２の制御部は、前記演算回路で求めた信号強度に基づいて前記第１の光軸走査部と前記第２の光軸走査部により光軸を走査する範囲を変更する、ことを特徴とする、ことで計測を行う計測装置。
【請求項１２】
レーザ光を発生させる発振部と、  前記レーザ光の偏光を調整する偏光可変素子と、  ２つ以上の複数センサで前記レーザ光を検出する検出部と、  前記レーザ光の光軸を走査する光軸走査部と、  前記光軸走査部を制御する制御部と、を備え、  前記複数センサの互いに隣り合うセンサは前記偏光可変素子を介して入射する前記レーザ光の受光偏光角がそれぞれ異なるように配置され、  前記制御部は、前記複数センサから出力されるそれぞれの信号をもとに前記光軸制御部を制御することを特徴とする、ことで計測を行う計測装置。
【請求項１３】
請求項２記載のレーザ光位置制御装置であって、  前記第１と前記第２の光軸走査部はガルバノミラーであり、  前記第１と前記第２の制御部は、前記光軸走査部を駆動する回転駆動アクチュエータであり、  前記回転駆動アクチュエータは、前記第１の検出部が検出信号に基づいて、前記ガルバノミラーを駆動することを特徴とするレーザ光位置制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、レーザ光位置制御装置および計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  特許文献１の要約書には「光ビート信号を発生する光ビート信号発生部１と、光ビート信号をｎチャンネルに分岐する光分岐部２と、光分岐部２から入力されるｎチャンネルの光ビート信号の遅延量をそれぞれ独立に調整して出力する光遅延回路３と、光遅延回路３からの光ビート信号を受けてテラヘルツ波を放射するテラヘルツ波放射素子がアレイ状にｎ素子配置されたテラヘルツ波放射源６と、光遅延回路３から出力されるｎチャンネルの光ビート信号の遅延量を制御することによりテラヘルツ波放射素子が放射するテラヘルツ波の位相をそれぞれ制御し、これによりテラヘルツ波放射源６が放射するテラヘルツ波の方向を制御する制御部９とを備える。」と記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７‐１０３９９７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  数１０ＧＨｚ〜数ＴＨｚの電磁波を用いた従来の試料の透視イメージングは、電磁波の集光ビームを試料に照射し、試料自体を機械的に動かして集光ビームを走査していた。そのため、走査速度は機械的動作で制限され、透視イメージングに長時間を要する課題があった。そこで、集光ビームを用いた試料の透視イメージングの高速化のため、集光ビームを走査する手段として、特許文献１が提案されている。特許文献１ではフェーズドアレーアンテナを用いて、集光ビームを走査するものである。この発明は、波長が異なる２つの集光ビームを用いた差周波混合によりレーザ光を発生させる際、アレー素子毎に光の移相器を用いて、集光ビームの位相差をシフトすることで集光ビームの波面を間接的に傾けることで、走査するものである。【０００５】  しかし、特許文献１では、アレー素子ごとに光の移相器を用いているが、アレーの規模を大きくする場合、素子数に応じた多数の移相器を使用する必要があるため、装置全体の規模、コストが高くなるという課題がある。【０００６】  本発明は上記を鑑みてなされたもので、簡素な構造でレーザ光の位置の制御ができるレーザ光位置制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】  上記目的は、特許請求の範囲に記載の発明によって達成できる。その一例を挙げるならば、第１のレーザ光を発生させる第１の発振部と、前記第１のレーザ光を検出する第１の検出部と、対向して配置される第１のレンズ及び第２のレンズと、前記第１の発振部と前記第１のレンズとの間に位置する前記第１のレーザ光の光軸を走査する第１の光軸走査部と、前記第２のレンズと前記第１の検出器との間に位置する前記第１のレーザ光の光軸を走査する第２の光軸走査部と、前記第１の光軸走査部を制御する第１の制御部と、前記第２の光軸走査部を制御する第２の制御部と、第１の制御部と第２の制御部への制御情報を与える走査指示部と、を備え、前記第１の検出部は、前記第１のレーザ光を前記第１の光軸走査部、前記第１のレンズ、前記第２のレンズ、前記第２の光軸走査部を介して検出し、前記第２の制御部は、前記走査指示部から前記第１の光軸走査部への前記制御情報と前記第１の検出部の検出信号とに基づいて前記第２の光軸走査部を制御する、レーザ光位置制御装置である。
【発明の効果】
【０００８】  本発明によれば、簡素な構造でレーザ光の位置の制御ができるレーザ光位置制御装置を提供する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施例１に係るフィルタのＰＭの捕集分布計測装置の構成を示した図。
【図２】実施例１に係るガルバノミラーの構成を表す図。
【図３】実施例１に係る検出器の４受光部とレーザ光の関係を表す図。
【図４】実施例１に係る検出器の２受光部とレーザ光の関係を表す図。
【図５】実施例１に係る検出器の受光部の構成を表す図。
【図６】実施例２に係るフィルタのＰＭの捕集分布計測装置の構成を表す図。
【図７】実施例２に係る検出器の受光部とメインとサブのレーザ光の関係を表す図。
【図８】実施例３に係るフィルタのＰＭの捕集分布計測装置の構成を表す図。
【図９】実施例３に係るＰＭ濃度演算方法とフィルタの分布計測切替えを表すフロー図。
【図１０】実施例４に係る紙に含まれる水分布計測装置の構成測装置の構成を表す図。
【図１１】実施例４に係るガルバノミラーの構成を表す図。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１０】  図１に本実施例の排ガスフィルタに含まれる粒子状物質（Particulate Matter：PM)の補修分布計測装置の構成について説明する。発振部３が発する電磁波の周波数は、例えば、非水素結合物質を透過する周波数であって、排ガス微粒子成分のカーボン成分、有機溶媒成分に吸収され易い周波数、例えば０．１ＴＨｚから３．０ＴＨｚのテラヘルツ波帯域を使う。テラヘルツ波は半導体、セラミック、紙等に対してはある程度透過し、水に対しては吸収し、金属に対しては反射する特性を持つ。配管については発振部から集光したテラヘルツ波をレーザ光として出射し、このレーザ光がある程度透過するように材料を選定するか、もしくは発振部および光検出器の部分のみテラヘルツ光がある程度透過する材料としておく。【００１１】  図１は本発明の第１の実施例に係るフィルタのＰＭの捕集分布計測装置の構成を示したものである。本実施例のフィルタ２のＰＭ計測系は、発振部３、ガルバノミラー５、スキャナレンズ７、スキャナレンズ８、ガルバノミラー６、検出器４、コントローラ２３とからなっている。本実施例ではフィルタのＰＭ堆積量の３次元画像化が行えることが特徴である。また、ガルバノミラーの位置は角度検出器で間接的に検出することで得るのが一般的である。この場合、ガルバノミラーの位置と角度検出器の示す位置とが完全に一致する補償は無い。【００１２】  一方本実施例で説明するように検出器４でレーザ光の位置ずれを検出することでガルバノミラーの位置を直接検出することが出来る構成であるのも特徴である。また、以下の発振部３を出射したレーザ光は偏光素子により一定光量比率でＳ偏光とＰ偏光をもつレーザ光とする。【００１３】  本実施例では、発振部３および検出器４の制御はコントローラ２３により行われ、発振部３から出射したレーザ光はガルバノミラー５を反射し、エンジン配管内のフィルタ２に入射する。フィルタ２を透過したレーザ光は、スキャナレンズ７、スキャナレンズ８、ガルバノミラー６を経て、検出器４に入射する。ここで、ガルバノミラー５は、回転駆動アクチュエータ１０の回転軸を中心に回転し、角度を変更することができる。回転駆動アクチュエータ１０の回転角は、角度検出器９により検出され、その検出された信号は演算回路（Ａ）１８へ入力される。【００１４】  演算回路（Ａ）１８は、ガルバノミラー５が所定角度に位置決め制御するために必要な駆動信号を生成し、この制御信号に基づいて制御部（Ａ）１１は、回転駆動アクチュエータ１０へ駆動制御信号を送出する。例えば演算回路（Ａ）１８でガルバノミラー５を所定角度範囲、例えば３０ｄｅｇの角度を往復動作するような駆動信号を生成し、制御部（Ａ）１１により回転駆動アクチュエータ１０を制御することで、レーザ光をスキャン動作することができ、フィルタ２を均一に通過させることができる。【００１５】  このとき、検出器４の信号を検出することで、フィルタ２に堆積したＰＭの吸収率を検出することができるので、例えば、時間的なフィルタ内のＰＭ堆積量の変化を画像化することができる。さらに、本実施例では、フィルタに堆積したＰＭを測定する目的で、フィルタ２に配置したが、例えば、車両の排気部に、ＰＭ検出用装置として配置しても良い。【００１６】  さらに、本実施例では、フィルタ２内を透過したレーザ光はスキャナレンズ８、ガルバノミラー６を経て検出器４に入射しているが、半導体素子を用いた検出器では位置ずれ等が課題となる。このため、例えば半導体素子への入射角度に応じて光量低下分を学習し、それを用いて補正しても良い。この補正光学制御手段について以下に説明する。【００１７】  前記検出器４での位置ずれを補正するために、ガルバノミラー６は、回転駆動アクチュエータ１３の回転軸を中心に回転し、角度を変更することができる。回転駆動アクチュエータ１３の回転角は、角度検出器１２により検出されて演算回路（Ｂ）１９へ入力される。また、光軸位置ずれ補正のために検出器４に設けた位置センサ１５により光軸のずれ角を検出する機構を設けて、位置ずれ信号生成回路１７にて生成された光軸位置ずれ補償用の信号も演算回路（Ｂ）１９に入力される。【００１８】  演算回路（Ｂ）１９は、ガルバノミラー６を回転位置制御にて、所定位置に制御するために必要な駆動信号を生成し、この制御信号に基づいて制御部（Ｂ）１４は回転駆動アクチュエータ１３へ駆動制御信号を送出する。このような補正光学制御手段について、光軸位置補正動作することで検出器４の所定位置に光軸を制御することができる。ここで、ガルバノミラー６は、ガルバノミラー５に対して連携同期した駆動が必要である。そこで同期制御部１６は、演算回路（Ａ）１８へガルバノミラー５の位置プロファイルを送出し、ガルバノミラー５の位置情報を角度検出器９から演算回路（Ａ）１８を通じて受信する、一方同期制御部１６は、演算回路（Ｂ）１９へガルバノミラー６の位置プロファイルを送出して、ガルバノミラー５と６は同期したスキャン動作を実現する。【００１９】  ここで、例えば位置ずれ信号生成回路１７は、ガルバノミラー６を所定角度範囲、例えば静定角度幅が±１ｍｄｅｇ以内に制御されていることを示す信号を、同期制御部１６に送出することで同期制御を実現する。次にガルバノミラー５と６について説明する。図２（Ａ）はＸ方向に光軸を走査する場合のガルバノミラー５と６の構成であり、（Ｂ）はＸ方向とＹ方向に光軸を走査する場合のガルバノミラー５と６の構成である。例えば、図２（Ａ）のガルバノミラーの構成では、光軸はＸ方向の１軸のスキャン動作によりフィルタ２の断面の２次元画像を得ることができる。【００２０】  一方、図２（Ｂ）のガルバノミラーの構成では、軸をＸ方向とＹ方向の２軸のスキャン動作によりフィルタ２の３次元画像を得ることができる。さらに、位置センサ１５から得られるレーザ光の位置ずれに応じてガルバノミラー６の位置ずれを補償することができる。次に位置センサ１５について説明する。【００２１】  ガルバノミラー６を反射したレーザ光３００は、検出器４に入射する。ガルバノミラーを図２（Ｂ）のように構成した場合に、レーザ光３００の位置は、例えば図３のように位置センサ１５の受光部を構成すればＸ方向とＹ方向の位置を検出できる。図２（Ａ）は、図２（Ｂ）をＸ方向に限定した場合であるため説明は省略する。図３（Ｂ）は、検出器４に入射するレーザ光３００が最適な状態を示しており、（Ａ）は、Ｙ方向の＋側にずれた場合���示しており、（Ｃ）は、Ｙ方向の−側にずれた場合を示している。また、図３（Ｅ）は、検出器４に入射するレーザ光３００が最適な状態を示しており、（Ｄ）は、Ｘ方向の＋側にずれた場合を示しており、（Ｆ）は、Ｘ方向の−側にずれた場合を示している。検出器４の位置センサ１５は受光部３０１、受光部３０２、受光部３０３、受光部３０４の４つの受光部を有している。また、ここでは、受光部３０１、３０２、３０３、３０４から得られる信号をそれぞれＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄとする。Ｘ方向の位置誤差信号Ｓｘ、Ｙ方向の位置誤差信号Ｓｙは例えば以下の式で得られる。  （数１）Ｓｘ＝（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）  （数２）Ｓｙ＝（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）  上記の位置誤差信号の演算は例えば位置ずれ信号生成回路１７で行い、この算出した各位置誤差信号が零となるように回転駆動アクチュエータ１３を、例えば制御部（Ｂ）１４により駆動することで、ガルバノミラー６の角度位置決め行うことを特徴としている。このようにすることで、回転駆動アクチュエータ１３の回転角は角度検出器１２で検出するが、最終的な位置静定判定は、位置誤差信号により行った方がガルバノミラーの位置を直接制御することができる。以下に安定した信号検出が可能な理由を示す。【００２２】  図３（Ａ）の場合には、受光部３０１と受光部３０３に対して受光部３０２と受光部３０４の信号が小さい信号となる。このためＳｙの信号はプラスになる。それに対し、図３（Ｃ）の場合には同様にしてマイナスとなる。このため、図３（Ａ）の場合には、図２（Ｂ）の回転駆動アクチュエータＹをマイナス側に制御し、図３（Ｃ）の場合にはプラス側に制御することで、図３（Ｂ）の状態に安定制御することが可能となる。【００２３】  一方、図３（Ｄ）の場合には、受光部３０３と受光部３０４に対して受光部３０１と受光部３０２の信号が小さい信号となる。このためＳｘの信号はマイナスになる。それに対し、図３（Ｆ）の場合には同様にしてプラスとなる。このため、図３（Ｄ）の場合には、図２（Ｂ）の回転駆動アクチュエータＸをプラス側に制御し、図３（Ｆ）の場合にはマイナス側に制御することで、図３（Ｅ）の状態に安定制御することが可能となる。次に、検出器４について説明する。【００２４】  検出器４の位置センサ１５に複数の共鳴トンネルダイオードを用いた場合で説明する。レーザ光の偏光方向に指向性を持つ複数の共鳴トンネルダイオードによって入射したレーザ光を検出する場合は、例えば、図５の（Ａ）に示すように共鳴トンネルダイオード５０１に隣接する共鳴トンネルダイオード５０２と共鳴トンネルダイオード５０３は９０度偏光方向が異なるように配置することで、隣接間のクロストークノイズを低減可能である。このように配置することで、ガルバノミラー５と６のＸ方向とＹ方向の２軸のスキャン動作によるレーザ光の位置ずれを検出することができる。【００２５】  また、１軸のスキャン動作においては、図５（Ｂ）のように領域Ａ５０５を共鳴トンネルダイオード５０７と共鳴トンネルダイオード５０８で構成し、領域Ｂ５０６を共鳴トンネルダイオード５０９と共鳴トンネルダイオード５１０で構成し、領域ＡとＢとで９０度異なる偏光のレーザ光を検出する構成とする。��００２６】  なお、ここではガルバノミラーを図２（Ｂ）の構成を示したが、図２（Ａ）で構成した場合には、位置センサ１５の構成を図５（Ｂ）のようにすれば、図４のようにレーザ光４００の位置ずれを検出することができる。【００２７】  本実施例では光軸走査をガルバノミラーで実現しているが、ポリゴンミラーやＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）ミラーのようなものを用いて光軸走査を実現しても良い。また、検出器４の受光部を共鳴トンネルダイオードで実現したが、タンネットダイオード、インパットダイオード、ショットキーバリアダイオード、ＧａＡｓ系電界効果トランジスタ、ＧａＮ系ＦＥＴ、高電子移動度トランジスタ、ヘテロ接合バイポーラトランジスタで実現しても良い。また、ここでは検出器４の信号をもとに制御を行ったが、例えば位置ずれ量を予め学習しておき、その学習結果をもとに制御しても良い。【００２８】  さらに、本実施例はフィルタのＰＭの捕集分布計測装置の構成例を示したが、例えば紙などシート状の媒体への応用も同様の構成で適用することが可能である。また、発振部３を出射したレーザ光は偏光素子により一定光量比率でＳ偏光とＰ偏光をもつレーザ光としたが、発振部３に偏光素子を一体化させても良い。
【実施例２】
【００２９】  図６は本発明の第２の実施例に係るフィルタのＰＭの捕集分布計測装置の構成を示したものである。本実施例は実施例１との違いは、位置センサ２０、検出器２１、分岐素子２２に係るレーザ光の位置ずれ信号検出方法であり、それ以外は実施例１と同様であるため本実施例では、実施例１との差分である信号検出方法について説明を行う。以下、図２（Ｂ）のガルバノミラーの２軸のスキャン動作が可能な構成として説明する。また、図２（Ａ）の説明は、図２（Ｂ）をＸ方向に限定した場合であるため説明は省略する。また、以下の発振部３を出射したレーザ光は偏光素子により一定光量比率でＳ偏光とＰ偏光をもつレーザ光とする。【００３０】  ガルバノミラー６を反射したレーザ光は、回折素子などの分岐素子２２により、メインとサブのレーザ光に分岐され、検出器２１に入射する。図７は、検出器２１の受光部とメインとサブのレーザ光との関係を示したものである。ここで、図７（Ｂ）と（Ｅ）は、検出器２１に入射するレーザ光が最適な状態を示しており、図７（Ａ）は、Ｙ方向の＋側にずれた場合を示しており、（Ｃ）は、Ｙ方向−側にずれた場合を示している。検出器２１はメイン受光部７０１、サブ検出部７０２、サブ検出部７０３、サブ検出部７０４、サブ検出部７０５の３つの受光部を有している。【００３１】  一方、図７（Ｄ）は、Ｘ方向の＋側にずれた場合を示しており、（Ｆ）は、Ｘ方向−側にずれた場合を示している。検出器２１はメイン受光部７０１、サブ検出部７０２、サブ検出部７０３、サブ検出部７０４、サブ検出部７０５の３つの受光部を有している。また、サブのレーザ光７７１とサブのレーザ光７７２の間隔よりも、サブ検出部７０２とサブ検出部７０４との間隔が大きくなっている。また、サブ検出部７０３とサブ検出部７０５との間隔も同様に大きくなっている。【００３２】  ここでは、サブ検出部７０２とサブ検出部７０３との和信号と、サブ検出部７０４とサブ検出部７０５との和信号との差動信号を用いてガルバノミラー６を制御することが特徴である。以下に安定した信号検出が可能な理由を示す。【００３３】  図７（Ａ）の場合には、サブ検出部７０２とサブ検出器７０３にサブのレーザ光７７１とが一致しているため、サブ検出部７０２とサブ検出器７０３との和信号は、サブ検出部７０４とサブ検出部７０５の和信号と比べて大きな信号となる。このため差動信号はプラスになる。それに対し、図７（Ｃ）の場合には同様にしてマイナスとなる。このため、（Ａ）の場合には、図２（Ｂ）のＹ方向ミラーをマイナス側に制御し、（Ｃ）の場合にはＹ方向ミラーをプラス側に制御することで、（Ｂ）の状態に安定制御することが可能となる。【００３４】  一方、図７（Ｄ）場合には、サブ検出部７０２とサブ検出器７０４でサブのレーザ光７７１およびサブのレーザ光７７２を検出しているため、サブ検出部７０２とサブ検出器７０４との和信号は、サブ検出部７０３とサブ検出部７０５の和信号と比べて大きな信号となる。このため差動信号はプラスになる。それに対し、図７（Ｆ）の場合には同様にしてマイナスとなる。このため、（Ｄ）の場合には、図２（Ｂ）のＸ方向ミラーをマイナス側に制御し、（Ｆ）の場合にはＸ方向ミラーをプラス側に制御することで、（Ｅ）の状態に安定制御することが可能となる。次に、検出器２０について説明する。【００３５】  検出器２０はガルバノミラー６を反射したレーザ光を検出する素子として複数の共鳴トンネルダイオードを用いた場合について説明する。レーザ光の偏光方向に指向性を持つ複数の共鳴トンネルダイオードによって入射したレーザ光を検出する場合は、例えば、図５（Ｂ）のように領域Ａ５０５を共鳴トンネルダイオード５０７と共鳴トンネルダイオード５０８で構成し、領域Ｂ５０６を共鳴トンネルダイオード５０９と共鳴トンネルダイオード５１０で構成し、領域ＡとＢとで９０度異なる偏光のレーザ光を検出する。なお、ここではガルバノミラーが図２（Ｂ）の構成の場合を示したが、図２（Ａ）で構成した場合も図５（Ｂ）と同じで良い。【００３６】  本実施例では光軸走査をガルバノミラーで実現しているが、ポリゴンミラーやＭＥＭＳミラーのようなものを用いて光軸走査を実現しても良い。また、検出器２１の位置センサ２０を共鳴トンネルダイオードで実現したが、タンネットダイオード、インパットダイオード、ショットキーバリアダイオード、ＧａＡｓ系電界効果トランジスタ、ＧａＮ系ＦＥＴ、高電子移動度トランジスタ、ヘテロ接合バイポーラトランジスタで実現しても良い。また、ここでは位置センサ２０から得られる信号をもとに制御を行ったが、例えば位置ずれ量を予め学習しておき、その学習結果をもとに制御しても良い。さらに、本実施例はフィルタのＰＭの捕集分布計測装置の構成例を示したが、例えば紙などシート状の媒体への応用も同様の構成で適用することが可能である。また、発振部３を出射したレーザ光は偏光素子により一定光量比率でＳ偏光とＰ偏光をもつレーザ光としたが、発振部３に偏光素子を一体化させても良い。
【実施例３】
【００３７】  図８は本発明の第３の実施例に係るフィルタのＰＭの捕集分布計測装置の構成を示したものである。本実施例と実施例１と２との違いは、本実施例のＰＭの捕集分布計測装置は水分の吸収の影響をキャンセルし、フィルタ２に堆積したＰＭ濃度の３次元画像として分布を得ることができる点とＰＭ濃度からガルバノミラーの走査範囲を可変にして３次元分布測定をできる点である。それ以外は実施例１と２と同様であるため本実施例では、実施例１との差分を説明する。また、以下の発振部３０を出射したレーザ光は偏光素子により一定光量比率でＳ偏光とＰ偏光をもつレーザ光とする。【００３８】  本実施例は、排気ガス用のフィルタ２に配置された第１の発振部３１と検出器４、フィルタ２よりも排気下流側に配置された第２の発振部３２と検出器３３とコントローラ２３とからなる。ここで、第１の発振部３１から出射したレーザ光の周波数は、例えば、非水素結合物質を透過する周波数であって、排ガス微粒子成分のカーボン成分、有機溶媒成分に吸収され易い周波数、例えば０．３ＴＨｚから３．０ＴＨｚのテラヘルツ波帯域を使う。【００３９】  第２の発振部３２と検出器３３は発振部３２から出射したレーザ光が光検出器３３で受光できるように配管に対して対向した位置に配置されている。テラヘルツ波は半導体、セラミック、紙等に対してはある程度透過し、水に対しては吸収し、金属に対しては反射する特性を持つ。配管については発振部から出射したレーザ光がある程度透過するように材料を選定するか、もしくは発振部および光検出器の部分のみレーザ光がある程度透過する材料としておく。【００４０】  なお、フィルタ２中と下流側でそれぞれのレーザ光の光量を測定するために、例えば発振部３０から出射される偏光を持つレーザ光をビームスプリッタ等の分岐素子８０により分割する構成としている。また、演算回路８１は、検出器４と検出器３３との比を演算する。【００４１】  第１の発振部３０から出射したレーザ光の光量をＩ０、レーザ光の配管による吸収率をα、水分による吸収率をβ、ＰＭによる吸収率をγ、検出器４が配管を通して受光した受光量をＩ１とすると、Ｉ１は配管、水分、ＰＭの吸収による影響を受けるため、  （数３）Ｉ１＝αβγＩ０となる。一方、第２の発振部３２から出射した光量を第１の発振部３１と同じくＩ0として、フィルタの排気下流側で検出器３２が配管を通して受光した受光量をＩ２とすると、Ｉ２は配管、水分の吸収による影響を受けるが、ＰＭはほぼ除去されて影響が無いものとして、  （数４）Ｉ２＝αβＩ０  となる。したがって、両者を測定し、比率を取ることにより、次式の通りＰＭによる吸収率を求めることができる。  （数５）Ｉ１／Ｉ２＝γ  ＰＭの吸収率はＰＭの濃度に比例するため、算出したγよりＰＭ濃度を算出することができる。コントローラ２３は発振部および検出器の制御を行う。さらに、演算回路８１の演算結果のＰＭ濃度がフィルタの堆積可能なＰＭ量の例えば６０％以上を超えた場合には、コントローラ２３は分布を測定する範囲を限定したＸＹ座標プロファイルを生成し、そのプロファイルを同期制御部１６に送出する。【００４２】  本実施例によれば、水分の吸収の影響をキャンセルし、精度良く��アルタイムで排気ガスのフィルタ２中に堆積したＰＭ濃度の３次元画像として分布を得ることができる。また、コントローラ２３から同期制御部１６に対してＸＹ座標を支持することで局所的なＰＭ濃度の３次元画像分布も取得可能となる。【００４３】  次に図９に本実施例の演算フローを示す。まず，コントローラ２３で発振部３０から出射されたレーザ光を分岐素子８０により２分割し、第１の発振部３１と第２の発振部３２から光量Ｉ0で発光させ，検出器４と検出器３２によりそれぞれ受光量Ｉ1とＩ2を測定する（９０）。次に数５式からＰＭの吸収率γをＩ1とＩ2の比を演算する（９１）。次にＰＭ濃度とＰＭの吸収率の関係からＰＭ濃度を演算する（９２）。次に、フィルタ２の３次元測定が完了していなければ（９３）、順次ガルバノミラー５とガルバノミラー６でＸＹ座標を変更してフィルタ２の３次元測定を行う（９４）。【００４４】  一方、フィルタ２の３次元測定が完了していれば（９４）、処理（９２）で求めたＰＭ濃度と予め決めておいたしきい値、例えば、フィルタ２に累積されたＰＭ濃度がフィルタ２に累積可能な濃度の６０％、と比較する（９５）。この比較の結果、しきい値以上であれば、測定位置を限定して、次の３次元分布測定を実行する（９７）。また、処理（９５）でしきい値と比較した結果、しきい値を超える場所がなければフィルタ２の全体の３次元分布測定を行う（９６）。【００４５】  さらに、本実施例はフィルタのＰＭの捕集分布計測装置の構成例を示したが、例えば紙などシート状の媒体への応用も同様の構成で適用することが可能である。また、発振部３０を出射したレーザ光は偏光素子により一定光量比率でＳ偏光とＰ偏光をもつレーザ光としたが、発振部３に偏光素子を一体化させても良い。
【実施例４】
【００４６】  図１０に本実施例の、シート状試料、たとえばプリンタなどの画像形成装置に使う紙１００に含まれる水分布計測装置の構成について説明する。本実施例は実施例１との違いは、発振部３が発する電磁波の周波数は、例えば、非水素結合物質を透過する周波数であって、水分に吸収され易い周波数、例えば０．１ＴＨｚから３．０ＴＨｚのテラヘルツ波帯域を使う。テラヘルツ波は半導体、セラミック、紙等に対してはある程度透過し、水に対しては吸収し、金属に対しては反射する特性を持つ。【００４７】  図１０は本発明の第４の実施例に係る紙１００の水分布計測装置の構成を示したものである。本実施例の実施例１との違いは、本実施例の計測系は、発振部３、ガルバノミラー５、スキャナレンズ７、スキャナレンズ８、ガルバノミラー１０６、検出器４となっている。本実施例ではシート状試料の３次元画像化が行えることが特徴である。また、本実施例で説明するように検出器４でレーザ光の位置ずれを検出することでガルバノミラーの位置を直接検出することが出来る構成であるため、ガルバノミラー１０６には角度検出器は無いのが特徴である。【００４８】  本実施例では、発振部３から出射したレーザ光はガルバノミラー５を反射し、紙１００に入射する。紙を透過したレーザ光は、スキャナレンズ７、スキャナレンズ８、ガルバノミラー１０６を経て、検出器４に入射する。ここで、ガルバノミラー５は、回転駆動アクチュエータ１０の回転軸を中心に回転し、角度を変更することができる。回転駆動アクチュエータ１０の回転角は、角度検出器９により検出され、その検出された信号は演算回路（Ａ）１８へ入力される。【００４９】  演算回路（Ａ）１８は、ガルバノミラー５が所定角度に位置決め制御するために必要な駆動信号を生成し、この制御信号に基づいて制御部（Ａ）１１は、回転駆動アクチュエータ１０へ駆動制御信号を送出する。例えば演算回路（Ａ）１８でガルバノミラー１０５を所定角度範囲、例えば３０ｄｅｇの角度を往復動作するような駆動信号を生成し、制御部（Ａ）１１により回転駆動アクチュエータ１０を制御することで、レーザ光をスキャン動作することができ、紙１００を均一に通過させることができる。このとき、検出器４の信号を検出することで、紙に含まれる水の吸収率を検出することができるので、例えば、プリンタなどで紙に画像を整形する場合に水の変化を観測しながらインクの制御が可能となる。【００５０】  さらに、本実施例では、紙１００を透過したレーザ光はスキャナレンズ８、ガルバノミラー１０６を経て検出器４に入射しているが、半導体素子を用いた検出器では位置ずれ等が課題となる。このため、例えば半導体素子への入射角度に応じて光量低下分を学習し、それを用いて補正しても良い。この補正光学制御手段について以下に説明する。前記検出器４での位置ずれを補正するために、ガルバノミラー１０６は、回転駆動アクチュエータ１３の回転軸を中心に回転し、角度を変更することができる。光軸位置ずれ補正のために検出器４に設けた位置センサ１５により光軸のずれ角を検出する機構を設けて、位置ずれ信号生成回路１７にて生成された光軸位置ずれ補償用の信号と同期制御部１６から送出されるガルバノミラ��１０６の位置プロファイルとを演算回路（Ｂ）１９に入力される。演算回路（Ｂ）１９は、ガルバノミラー１０６を回転位置制御にて、所定位置に制御するために必要な駆動信号を生成し、この制御信号に基づいて制御部（Ｂ）１４は回転駆動アクチュエータ１３へ駆動制御信号を送出する。このような補正光学制御手段について、光軸位置補正動作することで検出器４の所定位置に光軸を制御することができる。【００５１】  ここで、ガルバノミラー１０６は、ガルバノミラー５に対して連携同期した駆動が必要である。そこで同期制御部１６は、演算回路（Ａ）１８へガルバノミラー５の位置プロファイルを送出し、ガルバノミラー１０５の位置情報を角度検出器９から演算回路（Ａ）１８を通じて受信する、一方同期制御部１６は、演算回路（Ｂ）１９へガルバノミラー１０６の位置プロファイルを送出して、ガルバノミラー５と１０６は同期したスキャン動作を実現する。ここで、例えば位置ずれ信号生成回路１７は、ガルバノミラー１０６を所定角度範囲、例えば静定角度幅が±１ｍｄｅｇ以内に制御されていることを示す信号を、同期制御部１６に送出することで同期制御を実現する。次にガルバノミラー１０６について説明する。なお、ガルバノミラー５の構成は、実施例１で説明した図２と同様である。【００５２】  図１１（Ａ）はＸ方向に光軸を走査する場合、（Ｂ）はＸ方向とＹ方向に光軸を走査する場合のガルバノミラー１０６の構成である。図２と図１１との違いは角度検出器の有無で有り、図１１では角度検出器の機能は検出器４が担う。例えば、図２（Ａ）と図１１（Ａ）のガルバノミラーの構成では、光軸はＸ方向の１軸のスキャン動作によりフィルタ２の断面の２次元画像を得ることができる。一方、図２（Ｂ）と図１１（Ａ）のガルバノミラーの構成では、軸をＸ方向とＹ方向の２軸のスキャン動作により紙１００の３次元画像を得ることができる。さらに、位置センサ１５から得られるレーザ光の位置ずれに応じてガルバノミラー１０６の位置ずれを補償することができる。次に位置センサ１５について説明する。【００５３】  ガルバノミラー１０６を反射したレーザ光３００は、検出器４に入射する。ガルバノミラーを図１１（Ｂ）のように構成した場合に、レーザ光３００の位置は、例えば図３のように位置センサ１５の受光部を構成すればＸ方向とＹ方向の位置を検出できる。図１１（Ａ）は、図１１（Ｂ）をＸ方向に限定した場合であるため説明は省略する。Ｘ方向の位置誤差信号Ｓｘ、Ｙ方向の位置誤差信号Ｓｙは、実施例１と同様に（数１）、（数２）で得られる。【００５４】  上記の位置誤差信号の演算は例えば位置ずれ信号生成回路１７で行い、この算出した各位置誤差信号が零となるように回転駆動アクチュエータ１３を、例えば制御部（Ｂ）１４により駆動することで、ガルバノミラー１０６の角度位置決め行うことを特徴としている。このようにすることで、回転駆動アクチュエータ１３の回転角の位置静定判定は、位置誤差信号により行いガルバノミラーの位置を直接制御する。以下に安定した信号検出が可能な理由を示す。【００５５】  図３（Ａ）の場合には、受光部３０１と受光部３０３に対して受光部３０２と受光部３０４の信号が小さい信号となる。��のためＳｙの信号はプラスになる。それに対し、図３（Ｃ）の場合には同様にしてマイナスとなる。このため、図３（Ａ）の場合には、図１１（Ｂ）の回転駆動アクチュエータＹをマイナス側に制御し、図３（Ｃ）の場合にはプラス側に制御することで、図３（Ｂ）の状態に安定制御することが可能となる。【００５６】  一方、図３（Ｄ）の場合には、受光部３０３と受光部３０４に対して受光部３０１と受光部３０２の信号が小さい信号となる。このためＳｘの信号はマイナスになる。それに対し、図３（Ｆ）の場合には同様にしてプラスとなる。このため、図３（Ｄ）の場合には、図１１（Ｂ）の回転駆動アクチュエータＸをプラス側に制御し、図３（Ｆ）の場合にはマイナス側に制御することで、図３（Ｅ）の状態に安定制御することが可能となる。【００５７】  本実施例では、ガルバノミラー１０６のみ角度検出器が無い構成を説明した。ここで、検出器４で検出した位置ずれ信号はガルバノミラー１０６とガルバノミラー５の相対的な角度ずれを位置ずれとして検出しているため、例えばガルバノミラー５の角度検出器を無くし、位置ずれ信号でガルバノミラー５とガルバノミラー１０６の相対的な位置ずれを補償することも可能であり、ガルバノミラー５は角度検出器を持たなくても良い。その際の構成は、ガルバノミラー１０６と同様の図１１に示す構成である。【００５８】  なお、本実施例では光軸走査をガルバノミラーで実現しているが、ポリゴンミラーやＭＥＭＳミラーのようなものを用いて光軸走査を実現しても良い。また、検出器４の受光部を共鳴トンネルダイオードで実現したが、タンネットダイオード、インパットダイオード、ショットキーバリアダイオード、ＧａＡｓ系電界効果トランジスタ、ＧａＮ系ＦＥＴ、高電子移動度トランジスタ、ヘテロ接合バイポーラトランジスタで実現しても良い。また、ここでは検出器４の信号をもとに制御を行ったが、例えば位置ずれ量を予め学習しておき、その学習結果をもとに制御しても良い。【００５９】  さらに、本実施例は紙などシート状の媒体への応用に適用したが、これに限定されるものではない。また、発振部３を出射したレーザ光は偏光素子により一定光量比率でＳ偏光とＰ偏光をもつレーザ光としたが、発振部３に偏光素子を一体化させても良い。【００６０】  本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。変形例としては例えば、下記の例がある。【００６１】  変形例１として、第１のレーザ光を発生させる第１の発振部と、前記第１のレーザ光を検出する第１の検出部と、対向して配置される第１のレンズ及び第２のレンズと、前記第１の発振部と前記第１のレンズとの間に位置する前記第１のレーザ光の光軸を走査する第１の光軸走査部と、前記第２のレンズと前記第１の検出��との間に位置する前記第１のレーザ光の光軸を走査する第２の光軸走査部と、前記第１の光軸走査部を制御する第１の制御部と、前記第２の光軸走査部を制御する第２の制御部と、第１の制御部と第２の制御部への制御情報を与える走査指示部と、を備え、前記第１の検出部は、前記第１のレーザ光を前記第１の光軸走査部、前記第１のレンズ、前記第２のレンズ、前記第２の光軸走査部を介して検出し、前記第２の制御部は、前記走査指示部から前記第１の光軸制御部への前記制御情報と前記第１の検出部の検出信号とに基づいて制御される、レーザ光位置制御装置。【００６２】  変形例２として、変形例１に記載のレーザ光位置制御装置であって、前記第１のレーザ光の位置のずれを複数センサで検出する前記第１の検出部と、前記第１の検出部から出力されるそれぞれの信号を演算して、前記レーザ光の位置のずれ信号を生成する演算回路と、を備え、前記第１の制御部は、前記演算回路で生成された位置ずれ信号をもとに制御される、レーザ光位置制御装置。【００６３】  変形例３として、変形例２に記載のレーザ光位置制御装置であって、前記第１のレーザ光を発生させる前記第１の発振部と、レーザ光の偏光を調整する偏光可変素子と、２つ以上のセンサから構成される複数センサ部と少なくとも１つから構成されるセンサ部とを有する前記第１の検出部と、前記複数センサ部から出力されるそれぞれの信号を演算して、前記レーザ光の位置のずれ信号を生成する演算回路と、を備え、前記複数センサの互いに隣り合うセンサは前記第１のレーザ光の互いに受光偏光角が異なる配置とし、前記複数センサから出力されるそれぞれの信号から前記演算回路で生成される位置ずれ信号をもとに前記第２の光軸走査部を制御される、レーザ光位置制御装置。【００６４】  変形例４として、レーザ光を発生させる発振部と、レーザ光の偏光を調整する偏光可変素子と、２つ以上の複数センサで前記レーザ光を検出する検出部と、前記レーザ光の光軸を走査する光軸走査部と、前記光軸走査部を制御する制御部と、を備え、前記複数センサの互いに隣り合うセンサは前記レーザ光の互いに受光偏光角が異なる配置とし、前記複数センサ部から出力されるそれぞれの信号をもとに前記光軸制御部を制御されることを特徴とする、レーザ光位置制御装置。【００６５】  変形例５として、変形例２に記載のレーザ光位置制御装置であって、第２のレーザ光を発生させる第２の発振部と、第２のレーザ光を検出する第２の検出部と、第１のレーザ光を前記第１の検出部で検出して得られる信号と、第２のレーザ光を前記第２の検出部で検出して得られる信号との比で前記第１の検出部の信号強度を求める演算部と、を備え、前記演算部の信号強度に基づいて前記第１の制御部と前記第２の制御部による光軸を走査する範囲を変更する、ことを特徴とするレーザ光位置走査装置。【００６６】  変形例６として、変形例５に記載のレーザ光位置走査装置であって、前記第１のレーザ光を分岐する分岐素子と、を備え、前記分岐素子により分岐された前記第１のレーザ光を前記第２の発振部として用い、前記演算部の信号強度に基づいて前記第１の制御部と前記第２の制御部による光軸を走査する範囲を変更する、ことを特徴とするレーザ���位置走査装置。【００６７】  また、上記の各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部又は全部を、例えば集積回路で設計する等によりハードウェアで実現してもよい。また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリや、ハードディスク、SSD（Solid State Drive）等の記録装置、または、ICカード、SDカード、DVD等の記録媒体に置くことができる。
【符号の説明】
【００６８】１・・・エンジン廃棄管２・・・フィルタ３・・・発振部、４・・・検出器、５・・・ガルバノミラー、６・・・ガルバノミラー、７・・・スキャナレンズ、８・・・スキャナレンズ、９・・・角度検出器、１０・・・回転駆動アクチュエータ、１２・・・角度検出器、１３・・・回転駆動アクチュエータ、１５・・・位置センサ、２２・・・分岐素子２３・・・コントローラ、
【図１】
2016208049.tif 000003
【図２】
2016208049.tif 000004
【図３】
2016208049.tif 000005
【図４】
2016208049.tif 000006
【図５】
2016208049.tif 000007
【図６】
2016208049.tif 000008
【図７】
2016208049.tif 000009
【図８】
2016208049.tif 000010
【図９】
2016208049.tif 000011
【図１０】
2016208049.tif 000012
【図１１】
2016208049.tif 000013
【国際調査報告】
2016208049.tif 000014
2016208049.tif 000015
2016208049.tif 000016
2016208049.tif 000017