(57)【要約】  ノズルを取付部材に対して高精度に位置決めでき、かつ簡易な操作でインクジェットヘッドを搭載及び交換できてメンテナンス性に優れたインクジェットヘッド、インクジェットヘッドモジュール及びインクジェット記録装置を提供する。  インクを吐出する複数のノズルＮを備えたノズル基板１０を有するヘッドチップ２と、ヘッドチップ２の上部に位置し、ノズルＮに供給するインクを貯留するインク室５と、を備え、取付部材に取り付けられるインクジェットヘッド１であって、ノズル基板１０とインク室５との間に、インクジェットヘッド１を取付部材に取り付ける際に、取付部材に突き当てて位置決めするための突き当て部４が設けられた位置基準基板（保持基板３）を有する。
2016043303.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出する複数のノズルを備えたノズル基板を有するヘッドチップと、
前記ヘッドチップの上部に位置し、前記ノズルに供給するインクを貯留するインク室と、を備え、取付部材に取り付けられるインクジェットヘッドであって、
前記ノズル基板と前記インク室との間に、当該インクジェットヘッドを前記取付部材に取り付ける際に、前記取付部材に突き当てて位置決めするための突き当て部が設けられた位置基準基板を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記位置基準基板は、前記ヘッドチップと前記インク室とを保持する保持基板であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記ヘッドチップは、複数の基板が積層されて構成され、
前記複数の基板のうち少なくとも一層以上の基板が前記位置基準基板を構成していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記ヘッドチップ及び前記位置基準基板の線膨張係数は１．２×１０−６［／℃］以上８．５×１０−６［／℃］以下であることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記位置基準基板は、４２アロイで形成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記ヘッドチップ及び前記位置基準基板は、アライメントマークを有し、
アライメントマークが重なるように前記ヘッドチップと前記位置基準基板とが積層されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか一項に記載のインクジェットヘッドと、
開口部を有し、前記ノズルが記録媒体に対向して前記開口部から露出するように前記ヘッドチップが取り付けられる取付部材と、
を備えるインクジェットヘッドモジュールであって、
前記突き当て部が前記取付部材に設けられた被突き当て部に対して突き当てられることによって固定されることを特徴とするインクジェットヘッドモジュール。
【請求項８】
前記開口部は、１次元又は２次元に複数配列されて設けられ、
複数の前記開口部に対応して複数の前記インクジェットヘッドが配置されていることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドモジュール。
【請求項９】
請求項２に記載のインクジェットヘッドと、
開口部を有し、前記ノズルが記録媒体に対向して前記開口部から露出するように前記ヘッドチップが取り付けられる取付部材と、
を備えるインクジェットヘッドモジュールであって、
前記突き当て部が前記取付部材に設けられた被突き当て部に対して突き当てられることによって固定され、
前記開口部は、１次元又は２次元に複数配列されて設けられ、
複数の前記開口部に対応して複数の前記インクジェットヘッドが配置され、
複数の前記インクジェットヘッドの前記ヘッドチップが共通の前記保持基板によって保持されていることを特徴とするインクジェットヘッドモジュール。
【請求項１０】
請求項７〜９の何れか一項に記載のインクジェットヘッドモジュールを備えることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１１】
前記突き当て部を突き当てるために、突き当て部を押し付ける方向に付勢する付勢手段を備えることを特徴とする請求項１０に記載のインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドモジュール及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットヘッドに備えられた複数のノズルからインクを吐出して記録媒体に画像を形成するインクジェット記録装置が知られている。【０００３】
近年、インクジェット記録装置により形成される画像の高精度化に伴い、インクジェットヘッドに備えられた複数のノズルは高密度に配置されている。したがって、インクジェットヘッドが、インクジェットヘッドを保持する取付部材に対して位置がずれると、形成した画像にスジやムラが生じて画像が劣化するという問題が生じる。そのため、インクジェットヘッドに設けられたノズルを、記録媒体に対して高精度に位置決めすることが求められている。【０００４】
そこで、例えば、第１取付板、第２取付板、及びインクジェットヘッドのそれぞれに設けられた挿通孔に、インクジェットヘッドの位置決めの基準となる基準ピンを挿通し、基準ピンによって取付板（フレーム）に固定することによって、ノズルを精度よく位置決めすることができる方法が開示されている（特許文献１）。【０００５】
また、例えば、インクジェットヘッドと取付部材の間に中間保持部材を設け、中間保持部材をインクジェットヘッドと取付部材（保持基板）のそれぞれに対してＵＶ接着剤で固定し、ノズルを精度良く位置決めする方法が開示されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−３０２２８号公報
【特許文献２】特開平１０−３０９８０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の場合では、インクジェットヘッドに第１取付板及び第２取付板を取り付ける際に行う位置合わせと、基準ピンを挿通して取付板（フレーム）に固定する際の位置合わせと、の２回の位置合わせを機械的に行う必要があるため、高精度化し難いという問題がある。【０００８】
また、特許文献２の場合においては、機械的な位置合わせは１回であるが、接着剤で固定するため、接着層の厚みの誤差により、高精度化が難しいとともに、インクジェットヘッドを取付部材に一旦接着固定してしまうと、インクジェットヘッド単位で交換できなくなるため、メンテナンス性が低下するという問題がある。【０００９】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、ノズルを取付部材に対して高精度に位置決めでき、かつ簡易な操作でインクジェットヘッドを搭載及び交換できてメンテナンス性に優れたインクジェットヘッド、インクジェットヘッドモジュール及びインクジェット記録装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題の解決のために、請求項１に記載の発明は、
インクを吐出する複数のノズルを備えたノズル基板を有するヘッドチップと、
前記ヘッドチップの上部に位置し、前記ノズルに供給するインクを貯留するインク室と、を備え、取付部材に取り付けられるインクジェットヘッドであって、
前記ノズル基板と前記インク室との間に、当該インクジェットヘッドを前記取付部材に取り付ける際に、前記取付部材に突き当てて位置決めするための突き当て部が設けられた位置基準基板を有することを特徴とする。【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記位置基準基板は、前記ヘッドチップと前記インク室とを保持する保持基板であることを特徴とする。【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ヘッドチップは、複数の基板が積層されて構成され、
前記複数の基板のうち少なくとも一層以上の基板が前記位置基準基板を構成していることを特徴とする。【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ヘッドチップ及び前記位置基準基板の線膨張係数は１．２×１０−６［／℃］以上８．５×１０−６［／℃］以下であることを特徴とする。【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記位置基準基板は、４２アロイで形成されていることを特徴とする。【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５の何れか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ヘッドチップ及び前記位置基準基板は、アライメントマークを有し、
アライメントマークが重なるように前記ヘッドチップと前記位置基準基板とが積層されていることを特徴とする。【００１６】
請求項７に記載の発明は、
請求項１〜６の何れか一項に記載のインクジェットヘッドと、
開口部を有し、前記ノズルが記録媒体に対向して前記開口部から露出するように前記ヘッドチップが取り付けられる取付部材と、
を備えるインクジェットヘッドモジュールであって、
前記突き当て部が前記取付部材に設けられた被突き当て部に対して突き当てられることによって固定されることを特徴とする。【００１７】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のインクジェットヘッドモジュールにおいて、
前記開口部は、１次元又は２次元に複数配列されて設けられ、
複数の前記開口部に対応して複数の前記インクジェットヘッドが配置されていることを特徴とする。【００１８】
請求項９に記載の発明は、
請求項２に記載のインクジェットヘッドと、
開口部を有し、前記ノズルが記録媒体に対向して前記開口部から露出するように前記ヘッドチップが取り付けられる取付部材と、
を備えるインクジェットヘッドモジュールであって、
前記突き当て部が前記取付部材に設けられた被突き当て部に対して突き当てられることによって固定され、
前記開口部は、１次元又は２次元に複数配列されて設けられ、
複数の前記開口部に対応して複数の前記インクジェットヘッドが配置され、
複数の前記インクジェットヘッドの前記ヘッドチップが共通の前記保持基板によって保持されていることを特徴とする。【００１９】
請求項１０に記載の発明は、
請求項７〜９の何れか一項に記載のインクジェットヘッドモジュールを備えることを特徴とするインクジェット記録装置である。【００２０】
請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載のインクジェット記録装置において、
前記突き当て部を突き当てるために、突き当て部を押し付ける方向に付勢する付勢手段を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、ノズルを取付部材に対して高精度に位置決めでき、かつ簡易な操作でインクジェットヘッドを搭載及び交換することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係るインクジェット記録装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】インクジェットヘッドの要部の断面図である。
【図４】インクジェットヘッドのヘッドチップの断面図である。
【図５】インクジェットヘッドモジュールの構成を示す底面図である。
【図６】インクジェットヘッドモジュールの変形例の構成を示す底面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について説明する。但し、発明の範囲は図示例に限定されない。また、以下の説明において、同一の機能及び構成を有するものについては、同一の符号を付し、その説明を省略する。
なお、以下の説明では、ラインヘッドを用いた記録媒体の搬送のみで描画を行う１パス描画方式での実施形態を例にして説明するが、適宜の描画方式に適用可能であり、例えば、スキャン方式やドラム方式を用いた描画方式を採用しても良い。
【００２４】
［インクジェット記録装置の概略］
インクジェット記録装置１００は、図１に示す通り、記録媒体Ｋを支持するプラテン１０１を有している。プラテン１０１の前後には、記録媒体Ｋを搬送するための搬送ローラー１０２が設けられており、搬送ローラー１０２が駆動されると、記録媒体Ｋがプラテン１０１に支持された状態で後方から前方（Ｙ方向）に搬送される。
【００２５】
プラテン１０１の上方には、搬送方向の上流側から下流側にかけて、搬送方向に直交する方向（Ｘ方向）に延在する長尺なインクジェットヘッドモジュール２００，２１０，２２０，２３０が並列して設けられている。そして、インクジェットヘッドモジュール２００，２１０，２２０，２３０の内部には、後述するインクジェットヘッド１が少なくとも一つ設けられており、例えば、シアン（Ｃ），マゼンタ（Ｍ），イエロー（Ｙ），黒（Ｋ）のインクを記録媒体Ｋに向けて吐出する。
【００２６】
［インクジェットヘッドの構成］
インクジェットヘッド１の構成について、図２及び図３に基づいて説明する。なお、以下の説明において、ヘッドチップ２の底面である複数のノズルＮが設けられた平面をＸＹ平面とし、当該平面に沿う方向であって、互いに直交する方向をそれぞれＸ方向、Ｙ方向とする。また、ＸＹ平面に直交する方向をＺ方向（上下方向）とする。
【００２７】
インクジェットヘッド１の最下層には、図２に示す通り、インクを吐出する複数のノズルＮが配列されたノズル基板１０を含み、複数の基板が積層されて構成されたヘッドチップ２が設けられている。そして、ヘッドチップ２の上面には、複数のノズルＮにインクを供給するインク室５が配設されており、保持基板３によってヘッドチップ２とインク室５が支持されている。
【００２８】
また、保持基板３は位置基準基板としての機能も有しており、保持基板３のＸＹ平面の外形部には、Ｘ方向に沿って二箇所及びＹ方向に沿って一箇所の計三箇所に突き当て部４が設けられている。保持基板３は、インク室５からインクをヘッドチップ２に供給する供給路を有する。ヘッドチップ２と保持基板３が接合される際には、保持基板３から供給されるインクが流入するヘッドチップ２の流入口と保持基板３の供給路が連通するように精確に位置決めされて接合されるので、保持基板３とノズルＮとの相対的な位置が高精度となるように位置決めされる。したがって、保持基板３は、位置基準基板として好適に使用することできる。
【００２９】
突き当て部４は、インクジェットヘッドモジュール２００の取付部材２０１（フレーム）に設けられた被突き当て部２０２（図５参照）に突き当てられることによって、保持基板３を所定の位置に精確に位置決めすることができる。また、被突き当て部２０２に対して三箇所で固定できるため、突き当て固定された後に位置ずれし難くなっている。
【００３０】
なお、突き当て部４の形状は、被突き当て部に対して安定して突き当てることができれば形状は適宜選択可能であり、例えば、図２の通り、Ｚ方向から見た場合に矩形状となる形状を使用することができる。また、突き当て部４の材質は、突き当て時に劣化しにくい材質であれば適宜選択可能であり、例えば、種々の金属等を使用することが可能である。
【００３１】
また、インクジェットヘッド１は、図３に示す通り、インク室５からヘッドチップ２に設けられた各ノズルに対応する圧力室３１にインクが供給され、アクチュエーター６０によってインクが加圧され、ノズルＮからインク滴が吐出される。
【００３２】
また、ヘッドチップ２の上部には、アクチュエーター６０に給電するための貫通電極５６を介した配線が設けられており、配線はヘッドチップ２の上部のＸ方向両端部において接続基板６に接続されている。そして、接続基板６に接続された駆動部７から、アクチュエーター６０に電気が供給されている。
【００３３】
なお、上記の説明では、保持基板３のインクの供給路とヘッドチップ２のインクの流入口とを精確に位置決めすることで、保持基板３とノズルＮとの相対的な位置が高精度となる構成としたが、保持基板３にインクの供給路を設けない構成とする場合は、保持基板３とヘッドチップ２にそれぞれアライメントマークを設けて精確に位置決めすることとしても良い。また、インクの供給路と流入口、及び、アライメントマークの両方で精確に位置決めすることとしても良い。
以下の説明では、アライメントマークも設けて精確に位置決めする場合を例として説明する。
ヘッドチップ２及び保持基板３には、図３に示す通り、Ｘ方向の両端部付近にアライメントマークＭ１〜Ｍ６が設けられている。これらのアライメントマークＭ１〜Ｍ６は、ノズル基板１０をＺ方向に貫通した貫通孔によって構成されている。
【００３４】
アライメントマークＭ１〜Ｍ６は、ヘッドチップ２及び保持基板３のＺ方向の下側から各層毎に、段々と大きくなる貫通孔であり、ヘッドチップ２及び保持基板３の各基板を積層する際に使用される。具体的には、各基板を積層する際に、これらのアライメントマークＭ１〜Ｍ６が重ね合わされるように精密に位置調整しながら積層し、各基板が互いに精度良く位置決めされている。そして、このように各基板を高精度に積層することによって、保持基板３（位置基準基板）に設けられた突き当て部４の位置と、ノズルＮとの相対的な位置が高精度に位置決めされている。
【００３５】
［ヘッドチップ及び保持基板の構成］
ヘッドチップ２の構成について、要部の断面図を示した図４を用いて説明する。なお、図４では、説明の便宜上、複数のノズルＮのうち、前述したアライメントマークＭ１に隣接する一つのノズルＮからインクの吐出を行うための構成について図示している。
【００３６】
ヘッドチップ２は、Ｚ方向の下側から順に、ノズル基板１０、接着用基板２０、圧力室基板３０、スペーサー基板４０、配線基板５０が積層されている。そして、前述した通り、ヘッドチップ２の上方には、インク室５が配設されており、保持基板３によってヘッドチップ２とインク室５が支持されている。
【００３７】
ヘッドチップ２の各基板及び保持基板３の基材は、線膨張係数が１．２×１０−６［／℃］以上８．５×１０−６［／℃］以下の基材のみを選択して形成されている。具体的には、例えば、シリコン、４２アロイ、又はガラス等によって形成されている。
また、ノズル基板１０は、高密度のノズルを精度良く位置決めするため、加工性に優れたシリコンを使用することが望ましい。また、その他の基板には、インク耐性が強く、強度があり、かつ耐加熱性にも優れた４２アロイを使用することが望ましい。
また、上記のように、ヘッドチップ２及び保持基板３を線膨張係数の近い基材のみを使用して形成することによって、例えば、加熱されたインクを使用する場合であっても、各層の基板が位置ずれし難い構成となっている。
【００３８】
次に、ヘッドチップ２の各層の基板について説明する。
ノズル基板１０は最下層に位置した基板であり、上記の通り、シリコン製の基板であり高密度のノズルＮが精度良く形成されている。
【００３９】
接着用基板２０は、ノズル基板１０の上面に接合され、導通路２１をノズル基板１０と圧力室基板３０との間に設ける目的で設けられる。導通路２１は、インクが通過する経路の径を絞る形状とする等、インクの流路の形状を調整し、インクの吐出に係りインクに加えられる運動エネルギーを調整している。
【００４０】
圧力室基板３０は、接着用基板２０の上面に接合され、接着用基板２０の導通路２１を介してノズルＮに連通する圧力室３１が形成されている。また、圧力室基板３０の上面には振動板３３が接合され、振動板３３の上面には、アクチュエーター６０が設けられている。ここで、アクチュエーター６０は、振動板３３に当接して設けられている。
【００４１】
スペーサー基板４０は、振動板３３の上面に接合され、アクチュエーター６０及び接続部９０のＺ方向に沿った幅に対応したスペースを確保している。また、振動板３３の上面側におけるアクチュエーター６０の配設位置に応じた開口部４２を有し、開口部４２は、スペーサー基板４０をＺ方向に貫通するように圧力室３１の上方に形成されている。
【００４２】
配線基板５０は、例えば、配線基板５０の基部である板状のインターポーザー５３と、インターポーザー５３の上面、下面をそれぞれ被覆する絶縁層５４、５５と、絶縁層５４、インターポーザー５３及び絶縁層５５を貫通する貫通孔に設けられた貫通電極５６と、絶縁層５４の上面に設けられて貫通電極５６の上側の端部と電気的に接続された配線５７と、配線５７の上面及び配線５７が設けられていない絶縁層５４の上面を被覆する絶縁層５８と、絶縁層５５の下面に設けられて貫通電極５６の下側の端部と電気的に接続された配線５２と、配線５２のうちバンプ９１が形成されない部分の下面及び絶縁層５５のうち配線５２が設けられていない下面を被覆する絶縁層５９と、絶縁層５８、絶縁層５４、インターポーザー５３、絶縁層５５及び絶縁層５９を貫通する導通路５１と、を有する。
なお、配線５２は、貫通電極５６、配線５７を介して、アクチュエーター６０への電圧の印加に係る図示しない制御部に接続されている。
【００４３】
また、接着用基板２０、圧力室基板３０、スペーサー基板４０及び配線基板５０には、それぞれ圧力室３１に連通する導通路２２、３２、４１、５１が設けられている。そして、導通路２２、３２、４１、５１により形成されるインクの流路は、圧力室３１と、配線基板５０の上方に設けられる外部のインク供給流路とを接続している。
【００４４】
外部のインク供給流路は、例えば、各ヘッドチップ２の配線基板５０の上方に立設される図示しない筐体内に設けられて、図示しないインクの供給機構に接続されている。当該インクの供給機構からインク供給流路に供給されたインクは、当該インク供給流路、導通路５１、４１、３２、２２を通って圧力室３１に供給される。圧力室３１に供給されたインクは、アクチュエーター６０の動作に応じて振動板３３が振動することで圧力室３１内のインクに圧力が加わり、ノズルＮから吐出される。
【００４５】
上記圧力室３１には、ノズルＮから吐出されるインクが収容されている。また、アクチュエーター６０は、ノズルＮからインクを吐出するための圧力を圧力室３１に加える。
【００４６】
アクチュエーター６０は、配線基板５０に設けられた配線５２と電気的に接続されている。具体的には、アクチュエーター６０は、例えば、ＸＹ平面に沿った上面及び下面を有する方形状の圧電素子であり、上面に第１電極６１が設けられ、下面に第２電極６２が設けられている。
【００４７】
第１電極６１は、接続部９０を介して、配線基板５０の下面側に設けられた配線５２と電気的に接続されている。
接続部９０は、第１電極６１と配線５２とをＺ方向に沿って接続するよう設けられている。また、接続部９０は、配線基板５０に形成されたバンプ９１を有する。具体的には、バンプ９１は、例えば、金を材料としたワイヤーボンディングにより形成され、配線５２の下面に形成されている。
配線５２は、例えば、フォトリソグラフィ等を用いて導電性を有する金属（例えば、Cr、Ti、Au）をパターニングして形成されており、例えば、Crをパターニングし、その後Auをパターニングすることによって形成されている。ここで、CrやTiはAuの密着層として利用される。
また、バンプ９１の下端側には導電性材料９２が塗布されている。具体的には、導電性材料９２は、例えば、導電性接着剤である。導電性接着剤とは、導電性を有する金属粉末（例えば、銀粉等）が混入された接着剤であり、導電性を有する。
このように、接続部９０は、配線基板５０に形成されたバンプ９１とバンプ９１に塗布された導電性材料９２を介して配線基板５０とアクチュエーター６０とを電気的に接続する。
【００４８】
また、第２電極６２は、振動板３３に形成された電極層に当接している。振動板３３に形成された電極層は、第２電極６２と制御部とを電気的に接続する電極として機能している。
具体的には、第２電極６２は、例えば、振動板３３に形成された電極層に接続された図示しない配線を介して制御部に接続されている。電極層は、例えば、フォトリソグラフィ等を用いて導電性を有する金属（例えば、Cr、Ti、Au）を振動板３３にパターニングして形成されており、例えば、Crをパターニングし、その後Auをパターニングすることによって形成されている。ここで、CrやTiはAuの密着層として利用される。
圧電素子は、第１電極６１が、接続部９０、配線５２、貫通電極５６、配線５７を介して制御部に接続されるとともに、第２電極６２が、振動板３３に形成された電極層を介して制御部に接続されることで、制御部の制御下で、アクチュエーター６０として動作する。
【００４９】
また、ノズル基板１０、接着用基板２０、圧力室基板３０、スペーサー基板４０、配線基板５０には、これらの各基板を相互に接合する際に、相互間を精確に位置決めするため、各基板のＸ方向における両端部付近にアライメントマークＭ１〜Ｍ５が形成されている。
【００５０】
アライメントマークＭ１〜Ｍ５は、何れも、各基板のＸＹ平面における規定の位置をＺ方向に沿って貫通する円形の貫通孔である。そして、アライメントマークＭ１〜Ｍ５は、各基板がＸＹ平面に沿って相対的に精確に位置決めされた状態で接合された場合に、Ｚ方向から見て同心となるように形成されている。
また、アライメントマークＭ１〜Ｍ５は、上に位置するものほど内径が大きく設定されている。つまり、それぞれのアライメントマークＭ１〜Ｍ５の内径はＭ１＜Ｍ２＜Ｍ３＜Ｍ４＜Ｍ５となっている。
【００５１】
なお、これらのヘッドチップ２は、更に、アライメントマークＭ５より内径の大きなアライメントマークＭ６を有する保持基板３（位置基準基板）に対して、位置決めされている（図３参照）。
そして、これらのアライメントマークＭ１〜Ｍ６が重ね合わされるように精密に位置調整しながら積層され、保持基板３（位置基準基板）に設けられた突き当て部４の位置と、ノズルＮとの相対的な位置が高精度に位置決めされる。
【００５２】
［インクジェットヘッドモジュールの構成］
次に、インクジェットヘッドモジュールの構成について図５を用いて説明する。
以下の説明では、本実施形態に係るインクジェット記録装置に並列して設けられたインクジェットヘッドモジュール２００，２１０，２２０，２３０（図１参照）の一つであるインクジェットヘッドモジュール２００を代表例として説明する。なお、図５は、インクジェットヘッドモジュール２００の底面図であり、記録媒体Ｋと対向する面を示している。
【００５３】
インクジェットヘッドモジュール２００は、底面に開口部を有する取付部材２０１を有しており、取付部材２０１の開口部には、インクジェットヘッド１がノズル基板１０の面が開口部から露出するようにして取り付け固定されている。
【００５４】
取付部材２０１は、インクジェットヘッド１が幅方向（Ｘ方向）に１次元に複数配列されて取り付け固定されている。また、取付部材２０１は、搬送方向（Ｙ方向）に２列平行となるように設けられ、複数のインクジェットヘッド１は、全体として千鳥格子状の配置となる位置関係でそれぞれの開口部に取り付け固定されている。
【００５５】
インクジェットヘッド１の取付部材２０１への取り付けは、インクジェットヘッド１の保持基板３に設けられた突き当て部４を、取付部材２０１に設けられた被突き当て部２０２に突き当てることによって行われる。
【００５６】
また、インクジェットヘッドモジュール２００は、突き当て部４を押し付ける方向に付勢する付勢手段としての弾性部材２０３を備えており、弾性部材２０３によってインクジェットヘッド１を突き当て方向に押し付けて、取付部材２０１に安定して固定できるようになっている。
【００５７】
［インクジェットヘッドモジュールの変形例］
次に、インクジェットヘッドモジュール２００の変形例の構成について、図６を用いて説明する。なお、本実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
【００５８】
変形例は、１次元方向（Ｘ方向）に複数（例えば３つ）設けられたインクジェットヘッド１を共通の保持基板３で保持するように形成し、当該共通の保持基板３に設けられた突き当て部４によって、取付部材２０１の開口部に取り付け固定できるように構成されている。
【００５９】
また、共通の保持基板３には、ＸＹ平面の外形部に対して、Ｘ方向に沿って二箇所及びＹ方向に沿って一箇所の計三箇所に突き当て部４が設けられている。そして、取付部材２０１に取り付けられる際には、取付部材２０１に設けられた被突き当て部２０２に対して、付勢手段としての弾性部材２０３によって突き当てる方向に押し付けられ、突き当て固定される。
【００６０】
インクジェットヘッドモジュール２００を上記のような構成とすれば、一度に交換できるインクジェットヘッド数が増えるため、ユーザビリティが向上する。
【００６１】
［まとめ］
以上のように、本発明では、高精度に積層された保持基板３（位置基準基板）の突き当て部４によって、ノズルを取付部材２０１に対して高精度に位置決めすることが可能である。そのため、高密度にノズルＮを配置したインクジェットヘッド１を使用する場合であっても、形成される画像の劣化を防ぐことができる。
また、インクジェットヘッド１に設けられた位置基準基板を、取付部材２０１の被突き当て部２０２に突き当てるという簡易な方法によって固定できるため、メンテナンス性の高い固定方法である。
【００６２】
［その他］
本発明の今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した詳細な説明に限定されるものではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【００６３】
例えば、保持基板３（位置基準基板）に設けた突き当て部４の形状は矩形状であるとしたが、被突き当て部に対して突き当て可能な形状となっていれば、適宜変更可能である。
また、突き当て部４は、保持基板３にＸ方向に二箇所及びＹ方向に一箇所の計三箇所に設けているが、少なくとも二箇所を突き当て可能な構成とすれば、適宜変更可能である。
【００６４】
また、本実施形態では突き当て部４を設けた保持基板３を位置基準基板に使用することとしたが、ノズル基板とインク室５との間に設けられた何れかの基板を位置基準基板としても良い。例えば、スペーサー基板４０を位置基準基板としても良く、この場合は、スペーサー基板４０の外形部に突き当て部４を設ける構成とすれば良い。
スペーサー基板４０を位置基準基板とする場合、本実施形態の位置基準基板である保持基板３よりもノズル基板１０により近い基板が位置基準基板となるため、位置基準基板とノズル基板との間の基板の数が少なくなり、ノズルＮに対する突き当て部４の位置精度をより高め易くなるというメリットがある。
【００６５】
また、上記のようにスペーサー基板４０を位置基準基板として使用する場合は、基材として４２アロイを使用することが望ましい。４２アロイは、インク耐性が強く、耐加熱性に優れており、かつ位置基準基板として使用され得る十分な強度を有しているため、非常に有用である。
【００６６】
また、上述したように、例えばスペーサー基板４０を位置基準基板とする場合、ヘッドチップ２及び保持基板３の全てにアライメントマークＭ１〜Ｍ６を形成して、高精度に積層させる必要はない。具体的には、少なくとも位置基準基板であるスペーサー基板４０を含むスペーサー基板４０よりＺ方向下側の基板にのみアライメントマークを形成させ、高精度に積層すれば良い。即ち、位置基準基板とノズルＮとの相対的な位置精度が高ければよいため、位置基準基板より上方の基板は必ずしも高精度である必要はない。
【００６７】
また、アライメントマークＭ１〜Ｍ６の形状は円形に限定されず、適宜変更可能であるが、アライメントマークＭ１〜Ｍ６がそれぞれ相似形状であることが望ましい。
また、アライメントマークＭ１〜Ｍ６の大きさは、Ｍ１＜Ｍ２＜Ｍ３＜Ｍ４＜Ｍ５＜Ｍ６であるとしたが、大小関係を逆、即ち、Ｍ６＜Ｍ５＜Ｍ４＜Ｍ３＜Ｍ２＜Ｍ１としても良い。
【００６８】
また、例えば、複数の基板を位置基準基板として使用することも可能である。複数枚の基板を位置基準基板として使用すれば、ＸＹ平面の２次元的な位置のずれ難さに加えて、Ｚ方向（上下方向）に対しての位置のずれ難さも付与することが可能である。
【００６９】
また、位置基準基板を他の基板と兼用させずに独立して設けてもよい。具体的には、例えば、配線基板５０と保持基板３との間に別途位置基準基板を独立して設け、当該位置基準基板を突き当て固定する目的にのみ使用することとしても良い。
【００７０】
また、インクジェットヘッド１をインクジェットヘッドモジュール２００へ固定する方法として、更に調整ネジ等を設けて微調整可能な構成としても良い。
【００７１】
また、アクチュエーター６０として圧電素子を使用してインクを吐出できる構成としたが、インクを吐出できる機構を備えていれば特に限られることはなく、例えば、サーマル（電気熱変換素子）を使用することとしても良い。
【００７２】
また、突き当て部４を被突き当て部２０２に安定して固定するために、付勢手段として弾性部材２０３を備えることとしたが、弾性部材２０３に限られることはなく、安定して固定できる構成であれば適宜変更可能である。
【００７３】
更に、本発明の範囲は上記に限られることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設計の変更を行っても良い。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドモジュール及びインクジェット記録装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００７５】
１      インクジェットヘッド
２      ヘッドチップ
３      保持基板（位置基準基板）
４      突き当て部
５      インク室
１０    ノズル基板
１００  インクジェット記録装置
２００  インクジェットヘッドモジュール
２０１  取付部材
２０２  被突き当て部
２０３  弾性部材（付勢手段）
Ｎ      ノズル
Ｍ１〜Ｍ６  アライメントマーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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