(57)【要約】  半導体装置の製造方法は、ボンディングツール４０によって第１ボンド点と第２ボンド点との間にワイヤループ１３０を形成した後に、ボンディングツール４０の先端から延出したワイヤ４２の一部を切断して、ボンディングツール４０の先端にワイヤテール４３を形成するワイヤテール形成工程と、ボンディングツール４０をワイヤループ１３０が形成された第２ボンド点に向かって下降させ、ワイヤテール４３を第２ボンド点上のワイヤループ１３０の一部に押し当てることによって、ワイヤテール４３の先端４３ａが上方を向くようにワイヤテール４３を曲げ加工するワイヤテール曲げ工程とを含む。これにより、簡便かつ効率的にワイヤテールの曲げ加工を行うことである。
2015119275.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボンディングツールによって第１ボンド点と第２ボンド点との間にワイヤループを形成した後に、前記ボンディングツールの先端から延出したワイヤの一部を切断して、前記ボンディングツールの先端にワイヤテールを形成するワイヤテール形成工程と、
前記ボンディングツールを前記ワイヤループが形成された前記第２ボンド点に向かって下降させ、前記ワイヤテールを前記第２ボンド点上の前記ワイヤループの一部に押し当てることによって、前記ワイヤテールの先端が上方を向くように前記ワイヤテールを曲げ加工するワイヤテール曲げ工程とを含む、半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記ワイヤテール曲げ工程において、前記ワイヤテールを直前にボンディングした前記第２ボンド点上の前記ワイヤループの一部に押し当てる、請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記ワイヤテール曲げ工程において、前記ワイヤテールを前記第２ボンド点上の前記ワイヤループの先端に押し当てる、請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記ワイヤテール曲げ工程において、前記ワイヤテールを前記第２ボンド点上の前記ワイヤループの立ち上がり部に押し当てる、請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記ワイヤテール形成工程において、前記ワイヤを繰り出しながら前記ボンディングツールを上昇させ、前記ボンディングツールを前記ワイヤループから離れる方向へ移動させることによって前記ワイヤの一部を切断する、請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
ボンディングツールによって第１ボンド点と第２ボンド点との間にワイヤループを形成するためのワイヤボンディング装置であって、
前記ボンディングツールの動作を制御する制御部を備え、
前記制御部が、
前記ボンディングツールの先端から延出したワイヤの一部を切断して、前記ボンディングツールの先端にワイヤテールを形成する工程と、
前記ボンディングツールを前記ワイヤループが形成された前記第２ボンド点に向かって下降させ、前記ワイヤテールを前記第２ボンド点上の前記ワイヤループの一部に押し当てることによって、前記ワイヤテールの先端が上方を向くように前記ワイヤテールを曲げ加工する工程と、を実行するように構成された、ワイヤボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法及びワイヤボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置を製造する場合において、例えば半導体チップの電極と基板の電極とをワイヤによって電気的に接続するワイヤボンディングが広く用いられている。半導体装置の製造方法の一態様としては、ワイヤ先端にボールを形成せずにボンディング対象にワイヤを接続するウェッジボンディング方式が知られている。ウェッジボンディング方式によれば、第１ボンド点と第２ボンド点との間をワイヤで接続した後、ボンディングツールの先端から延出したワイヤの一部を切断して、ボンディングツールの先端に次のワイヤボンディングのためのワイヤテールを形成し、ボール形成工程を行うことなく当該ワイヤテールをそのまま次の第１ボンド点にボンディングする。【０００３】
しかしながら、例えば第１ボンド点を半導体チップの電極とした場合、第１ボンド点にボンディングした後のワイヤテールの先端が、半導体チップ上の隣接する電極やパッシベーション膜に接触してしまい、これによって半導体チップが損傷あるいは不良となってしまう場合があった。【０００４】
このような問題を解決するために、例えば特許文献１に記載されたように、ワイヤテールの先端を上方に曲げるための部材（型）をボンディング対象物とは別個に用意し、第１ボンド点へのボンディングを行う前にボンディングツールを当該部材上に移動させてワイヤテールの形状を整える手法がある。しかしながら、ワイヤボンディングを行うたびにボンディングツールをボンディング対象物から離れた位置まで移動させる必要があり、簡便かつ効率的な製造方法とは言い難かった。あるいは、このような問題は第１ボンド点においてのみ生じ得ることに鑑みて、ボンディング順番を逆にした逆ボンディングによって解決することも考えられるが、ボンディング順番が制約されてしまい、半導体装置の製造方法の設計自由度が高いとは言えなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３１８２１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は、上記課題を解決することができる半導体装置の製造方法及びワイヤボンディング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様にかかる半導体装置の製造方法は、ボンディングツールによって第１ボンド点と第２ボンド点との間にワイヤループを形成した後に、ボンディングツールの先端から延出したワイヤの一部を切断して、ボンディングツールの先端にワイヤテールを形成するワイヤテール形成工程と、ボンディングツールをワイヤループが形成された第２ボンド点に向かって下降させ、ワイヤテールを第２ボンド点上のワイヤループの一部に押し当てることによって、ワイヤテールの先端が上方を向くようにワイヤテールを曲げ加工するワイヤテール曲げ工程とを含む。【０００８】
上記構成によれば、ボンディングツールをボンディング済みであるワイヤループが形成された第２ボンドに向かって下降させ、ワイヤテールを第２ボンド点上のワイヤループの一部に押し当てることによって、ワイヤテールの曲げ加工を行う。これにより、ボンディングツールの移動量を抑えるとともに曲げ加工のための別個の部材を用意する必要がないことから、簡便かつ効率的にワイヤテールの曲げ加工を行うことができる。よって、例えば次のワイヤボンディングにおける第１ボンド点でのボンディングにおいて、ワイヤの先端が他の隣接する要素に接触することを防止することができ、半導体装置の損傷あるいは不良の発生を防止するとともに、設計自由が高く、簡便かつ効率的な半導体装置の製造方法を行うことができる。【０００９】
上記半導体装置の製造方法において、ワイヤテール曲げ工程において、ワイヤテールを直前にボンディングした第２ボンド点上のワイヤループの一部に押し当ててもよい。【００１０】
上記半導体装置の製造方法において、ワイヤテール曲げ工程において、ワイヤテールを第２ボンド点上のワイヤループの先端に押し当ててもよい。【００１１】
上記半導体装置の製造方法において、ワイヤテール曲げ工程において、ワイヤテールを第２ボンド点上のワイヤループの立ち上がり部に押し当ててもよい。【００１２】
上記半導体装置の製造方法において、ワイヤテール形成工程において、ワイヤを繰り出しながらボンディングツールを上昇させ、ボンディングツールをワイヤループから離れる方向へ移動させることによってワイヤの一部を切断してもよい。【００１３】
本発明の一態様にかかるワイヤボンディング装置は、ボンディングツールによって第１ボンド点と第２ボンド点との間にワイヤループを形成するためのワイヤボンディング装置であって、ボンディングツールの動作を制御する制御部を備え、制御部が、ボンディングツールの先端から延出したワイヤの一部を切断して、ボンディングツールの先端にワイヤテールを形成する工程と、ボンディングツールをワイヤループが形成された第２ボンド点に向かって下降させ、ワイヤテールを第２ボンド点上のワイヤループの一部に押し当てることによって、ワイヤテールの先端が上方を向くようにワイヤテールを曲げ加工する工程とを実行するように構成されている。【００１４】
上記構成によれば、ワイヤボンディング装置の制御部が、ボンディングツールをボンディング済みであるワイヤループが形成された第２ボンドに向かって下降させ、ワイヤテールを第２ボンド点上のワイヤループの一部に押し当てることによって、ワイヤテールの曲げ加工を行うように構成されている。これにより、ボンディングツールの移動量を抑えるとともに曲げ加工のための別個の部材を用意する必要がないことから、簡便かつ効率的にワイヤテールの曲げ加工が可能であるワイヤボンディング装置を提供することができる。よって、例えば次のワイヤボンディングにおける第１ボンド点でのボンディングにおいて、ワイヤの先端が他の隣接する要素に接触することを防止することができ、半導体装置の損傷あるいは不良の発生を防止するとともに、設計自由が高く、簡便かつ効率的な処理が行えるワイヤボンディング装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ワイヤボンディングにおけるワイヤテールの曲げ加工を簡便かつ効率的に行うことができる。よって、半導体装置の損傷あるいは不良の発生を防止するとともに、設計自由が高く、簡便かつ効率的な処理を行うことができる半導体装置の製造方法及びワイヤボンディング装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本実施形態に係るワイヤボンディング装置を示した図である。
【図２】図２（Ａ）及び（Ｂ）は、本実施形態に係るワイヤボンディング装置のボンディングアームの平面における頂面図及び底面図である。
【図３】図３は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法のフローチャートである。
【図４】図４（Ａ）〜（Ｃ）は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図５】図５（Ａ）〜（Ｄ）は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図６】図６は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法に関するタイミングチャートである。
【図７】図７は、本実施形態の変形例に係る半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の構成要素は同一又は類似の符号で表している。図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施の形態に限定して解するべきではない。
【００１８】
図１は、本実施形態に係るワイヤボンディング装置を示した図であり、図２は、ワイヤボンディング装置におけるボンディングアームの一部拡大図であり、図２（Ａ）は、ボンディングアームの頂面図、図２（Ｂ）は、ボンディングアームの底面図である。
【００１９】
図１に示すように、ワイヤボンディング装置１は、ＸＹ駆動機構１０、Ｚ駆動機構１２、ボンディングアーム２０、超音波ホーン３０、ボンディングツール４０、荷重センサ５０、超音波振動子６０及び制御部８０を備える。
【００２０】
ＸＹ駆動機構１０はＸＹ軸方向（平面方向）に移動可能に構成されており、ＸＹ駆動機構（リニアモータ）１０には、ボンディングアーム２０をＺ軸方向（上下方向）に移動可能なＺ駆動機構（リニアモータ）１２が設けられている。
【００２１】
ボンディングアーム２０は、支軸１４に支持され、ＸＹ駆動機構１０に対して揺動自在に構成されている。ボンディングアーム２０は、ＸＹ駆動機構１０から、ボンディング対象物１００が置かれたボンディングステージ１６に延出するように略直方体に形成されている。ボンディングアーム２０は、ＸＹ駆動機構１０に取り付けられるアーム基端部２２と、アーム基端部２２の先端側に位置して超音波ホーン３０が取り付けられるアーム先端部２４と、アーム基端部２２とアーム先端部２４とを連結して可撓性を有する連結部２３とを備える。この連結部２３は、ボンディングアーム２０の頂面２１ａから底面２１ｂの方向へ延出した所定幅のスリット２５ａ、２５ｂ、及び、ボンディングアーム２０の底面２１ｂから頂面２１ａの方向へ延出した所定幅のスリット２５ｃによって構成されている。このように、連結部２３が各スリット２５ａ、２５ｂ、２５ｃによって局部的に薄肉部として構成されているため、アーム先端部２４はアーム基端部２２に対して撓むように構成されている。
【００２２】
図１及び図２（Ｂ）に示すように、ボンディングアーム２０の底面２１ｂ側には、超音波ホーン３０が収容される凹部２６が形成されている。超音波ホーン３０は、ボンディングアーム２０の凹部２６に収容された状態で、アーム先端部２４にホーン固定ネジ３２によって取り付けられている。この超音波ホーン３０は、凹部２６から突出した先端部においてボンディングツール４０を保持しており、凹部２６には超音波振動を発生する超音波振動子６０が設けられている。超音波振動子６０によって超音波振動が発生し、これが超音波ホーン３０によってボンディングツール４０に伝達され、ボンディングツール４０を介してボンディング対象に超音波振動を付与することができる。超音波振動子６０、例えば、ピエゾ振動子である。
【００２３】
また、図１及び図２（Ａ）に示すように、ボンディング２０の頂面２１ａ側には、頂面２１ａから底面２１ｂに向かって順番にスリット２５ａ及び２５ｂが形成されている。上部のスリット２５ａは、下部のスリット２５ｂよりも幅広に形成されている。そして、この幅広に形成された上部のスリット２５ａに、荷重センサ５０が設けられている。荷重センサ５０は、予圧用ネジ５２によってアーム先端部２４に固定されている。荷重センサ５０は、アーム基端部２２とアーム先端部２４との間に挟みこまれるように配置されている。すなわち、荷重センサ５０は、超音波ホーン３０の長手方向の中心軸からボンディング対象に対する接離方向にオフセットして、ボンディングアーム２０の回転中心とアーム先端部２４における超音波ホーン３０の取付面（すなわち、アーム先端部２４におけるボンディングツール４０側の先端面）との間に取り付けられている。そして、上記のように、ボンディングツール４０を保持する超音波ホーン３０がアーム先端部２４に取り付けられているため、ボンディング対象からの反力によりボンディングツール４０の先端に荷重が加わると、アーム基端部２２に対してアーム先端部２４が撓み、荷重センサ５０において荷重を検出することが可能となっている。荷重センサ５０は、例えば、ピエゾ荷重センサである。
【００２４】
ボンディングツール４０は、ワイヤ４２を案内するためのものであり、例えば挿通穴４１が設けられたキャピラリである（図４（Ａ）参照）。この場合、ボンディングツール４０の挿通穴４１にボンディングに使用するワイヤ４２が挿通され、その先端からワイヤ４２の一部を繰り出し可能に構成されている。また、ボンディングツール４０の先端には、ワイヤ４２を押圧するための押圧部４７（図４（Ａ）参照）が設けられている。押圧部４７は、ボンディングツール４０の挿通穴４１の軸方向の周りに回転対称の形状を有しており、挿通穴４１の周囲の下面に押圧面４８を有している。
【００２５】
ボンディングツール４０は、バネ力等によって交換可能に超音波ホーン３０に取り付けられている。また、ボンディングツール４０の上方には、ワイヤクランパ４４が設けられ、ワイヤクランパ４４は所定のタイミングでワイヤ４２を拘束又は解放するよう構成されている。ワイヤクランパ４４のさらに上方には、ワイヤテンショナ４６が設けられ、ワイヤテンショナ４６はワイヤ４２を挿通し、ボンディング中のワイヤ４２に適度なテンションを付与するよう構成されている。
【００２６】
ワイヤ４２の材料は、加工の容易さと電気抵抗の低さなどから適宜選択され、例えば、金（Ａｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）又は銀（Ａｇ）等が用いられる。なお、ワイヤ４２は、ボンディングツール４０の先端から延出した一部４３が第１ボンド点にボンディングされる。
【００２７】
図１に戻り、制御部８０は、ＸＹ駆動機構１０、Ｚ駆動機構１２、超音波ホーン３０（超音波振動子６０）及び荷重センサ５０に接続されており、制御部８０によってこれらの構成の動作を制御することにより、ワイヤボンディングのための必要な処理を行うことができるようになっている。制御部８０は、例えばＸＹ駆動機構１０、Ｚ駆動機構１２、荷重センサ５０、超音波ホーン３０（超音波振動子６０）、ワイヤクランパ４４などの各構成との間で信号の送受信を行うインタフェース（図示しない）を備えている。具体的には、制御部８０は、ボンディングツール４０のＸＹＺ軸方向の移動距離やＺ方向の荷重の制
御、ワイヤクランパ４４の開閉動作、ボンディングツール４０に付与される超音波振動のタイミングや時間及びスクラブ動作の制御など、ボンディングツールの動作に関わる制御を行う。
【００２８】
また制御部８０には、制御情報を入力するための操作部８２と、制御情報を出力するための表示部８４が接続されており、これにより作業者が表示部８４によって画面を認識しながら操作部８２によって必要な制御情報を入力することができるようになっている。なお、制御部８０は、ＣＰＵ及びメモリなどを備えるコンピュータ装置であり、メモリには予めワイヤボンディングに必要な処理を行うためのボンディングプログラムなどが格納される。制御部８０は、後述する半導体装置の製造方法において説明するボンディングツール４０の動作を制御するための各処理を行うための手段（各処理をコンピュータに実行させるためのプログラム）を備える。
【００２９】
次に、図３〜図６を参照して、本実施形態にかかる半導体装置の製造方法を説明する。この半導体装置の製造方法は、上記ワイヤボンディング装置１を用いて行われる。
【００３０】
ここで、図３は、半導体装置の製造方法のフローチャートであり、図４（Ａ）〜（Ｃ）及び図５（Ａ）〜（Ｄ）はワイヤボンディングの処理を示したものである。また、図６は、半導体装置の製造方法に関するタイミングチャートである。なお、図４（Ａ）で示されたＸＹＺ軸の向きは、図４（Ｂ）〜（Ｃ）、図５（Ａ）〜（Ｄ）及び図６においても同様に当てはまるものである。
【００３１】
最初に、ボンディングステージ１６にボンディング対象物１００を用意する。
【００３２】
図１に示すように、ボンディング対象物１００は、本実施形態の半導体装置の製造方法によって電気的に接続される第１ボンド点と第２ボンド点とを有する。ここで、第１ボンド点とは、ワイヤで接続する２点間のうちの最初にボンディングする箇所を指し、第２ボンド点とは、当該２点間のうちの後にボンディングする箇所を指す。
【００３３】
ボンディング対象物１００は、少なくとも１つの半導体チップを含む半導体装置であり、例えば、図１に示すように、第１ボンド点としての複数の電極１１２を有する半導体チップ１１０と、第２ボンド点としての複数の電極１２２を有する基板１２０とを備える。半導体チップ１１０における電極１１２の形成面（半導体素子が形成された側の表面）には、保護膜としてのパッシベーション膜１１４（図１では省略。図５（Ｄ）参照。）が形成されており、複数の電極１１２はそれぞれパッシベーション膜１１４の開口部から露出している。半導体チップ１１０は、基板１２０上に搭載されている。このような態様において、半導体チップ１１０の電極１１２から基板１２０の電極１２２の順番にボンディングすることを、通常、正ボンディングと呼び、以下の例では正ボンディングの例を説明するが、本実施形態のワイヤボンディングは基板１２０の電極１２２から半導体チップ１１０の電極１１２の順番にボンディングするいわゆる逆ボンディングに適用することもできる。
【００３４】
＜時刻ｔ０以前及び時刻ｔ０〜ｔ１の処理＞
図３に示すように、第１ボンド点である半導体チップ１１０の電極１１２と、第２ボンド点である基板１２０の電極１２２とをワイヤで接続する（Ｓ１０）。
【００３５】
具体的には、図１に示すように、ボンディングツール４０の先端から延出したワイヤの一部（ワイヤテール）を半導体チップ１１０の電極１１２（第１ボンド点）にボンディングし、その後、ボンディングツール４０の先端からワイヤを繰り出しながら、ボンディングツール４０を所定の軌跡に移動させて基板１２０の電極１２２（第２ボンド点）の上方に移動させ、ボンディングツール４０を下降させる。そして、図６に示すように、時刻ｔ０からｔ１までの期間にかけて、ワイヤクランパ４４を閉じた状態でボンディングツール４０を高さＺ０において加圧し、図４（Ａ）に示すように、ワイヤ４２の一部９４を基板１２０の電極１２２にボンディングする。具体的には、ボンディングツール４０の押圧部４７（押圧面４８）によってワイヤ４２の一部９４を加圧するとともに、熱、超音波及びスクラブ動作を作動させることによって、ワイヤと電極とを接合する。こうして、第１ボンド点である電極１１２と第２ボンド点である電極１２２との間に両者を接続するワイヤループ９０を形成する。
【００３６】
＜時刻ｔ１〜ｔ３の処理＞
第２ボンド点でのボンディングを終えた後、ワイヤ４２を繰り出しながらボンディングツール４０を高さＺ１まで上昇させる（Ｓ１１）。例えば、図６に示すように、時刻ｔ１にＺ駆動機構１２を作動させてボンディングツール４０を上昇させ、次にＸＹ駆動機構１０を作動させてボンディングツール４０をワイヤループ９０から離れる方向（Ｙ方向）へ移動させる。この間、図６に示すように、ワイヤクランパ４４は開いた状態にする。こうして、ボンディングツール４０の移動量に伴いボンディングツール４０の先端からワイヤ４２を所定量だけ繰り出す。こうして、時刻ｔ２において図４（Ｂ）に示すように、ボンディングツール４０の先端と第２ボンド点との間に所定の長さのワイヤ４２を延出させる。
【００３７】
その後、図３に示すように、ボンディングツール４０をさらにワイヤループ９０から離れる方向（Ｙ方向）へ移動させ、ワイヤ４２を切断する（Ｓ１２）。具体的には、図６に示すように、時刻ｔ２において、ワイヤクランパ４４を閉じた状態でＸＹ駆動機構１０をさらに作動させることによってボンディングツール４０をワイヤループ９０から離れる方向へ移動させ、その後、Ｚ駆動機構１２を作動させ、時刻ｔ３において図４（Ｃ）に示すようにボンディングツール４０を高さＺ２まで上昇させる。こうして、時刻ｔ２からｔ３までの期間のいずれかのタイミングにおいて、ワイヤ４２に引っ張り応力を加えワイヤ４２の一部を切断して、ボンディングツール４０の先端にワイヤテール４３を形成する。ボンディングツール４０をワイヤループ９０から離れる方向へ移動させることによりワイヤ４２を切断するので、図４（Ｃ）に示すようにワイヤテール４３は、ボンディングツール４０の移動方向に従ってＺ方向に交差する方向に曲がった形状となる。例えば、ボンディングツール４０を第１ボンド点と第２ボンド点とを結ぶＹ方向の直線上に移動させてワイヤテール４３をＹ方向に曲がった形状となるように延出させてもよい。また、ワイヤ４２が切断されるタイミングは特に限定されるものではないが、例えば図６に示すように時刻ｔ２以降にＸＹ駆動機構１０が作動している期間中にワイヤ４２を切断してもよいし、ＸＹ駆動機構１０の作動が停止した後にＺ駆動機構１２が作動してボンディングツール４０が上昇している期間中にワイヤ４２を切断してもよい。
【００３８】
このような処理によって、図４（Ｃ）に示すように、第１ボンド点と第２ボンド点との間を接続するために所定形状に延出されたワイヤループ１３０を形成することができる。ワイヤループ１３０は、第２ボンド点である電極１２２上に接合部１３４を有している。接合部１３４は、ボンディングツール４０のボンディングによってワイヤ径よりも（例えば１／３程度）薄くなるように塑性変形されている。
【００３９】
＜時刻ｔ３〜ｔ６の処理＞
ワイヤテール４３を形成した後、ボンディングツール４０を既にボンディング済みの第２ボンド点の上方へ移動させる（Ｓ１３）。具体的には、図６に示すように、時刻ｔ３からｔ４にかけてＸＹ駆動機構１０を作動させることによってボンディングツール４０を移動させ、時刻ｔ４において図５（Ａ）に示すようにワイヤテール４３を第２ボンド点の上方に配置する。基板１２０上にボンディング済みの第２ボンド点が複数ある場合、直前にボンディングした第２ボンド点へ移動させることが好ましい。これによれば、ボンディングツール４０の移動量を最小にすることができ、また、ワイヤテール４３の延出方向と第２ボンド点上のワイヤループ１３０の延出方向とが略一致しているので、ボンディングツール４０の向きを特に調整する必要がなく、後述するワイヤテール４３の曲げ加工を容易に行うことができる。
【００４０】
次に、図３に示すように、ワイヤテール４３を第２ボンド点上のワイヤループ１３０の一部に押し当てる（Ｓ１４）。具体的には、図６に示すように、時刻ｔ４からｔ５にかけてＺ駆動機構１２を作動させてボンディングツール４０を第２ボンド点に向かって下降させ、時刻ｔ５からｔ６の期間にかけてワイヤテール４３をワイヤループ１３０の一部に押し当てるようにボンディングツール４０を高さＺ３において加圧する。
【００４１】
例えば、図５（Ｂ）に示すように、ワイヤテール４３を第２ボンド点上のワイヤループ１３０の接合部（ステッチ）１３４（具体的には接合部１３４の先端１３５）に押し当ててもよい。第２ボンド点上の先端１３５は、電極１２２の表面（又は基板１２０の表面）から突起している（段差を形成している）ので、ワイヤテール４３をワイヤループ１３０の先端１３５に押し当てることによって、先端１３５を起点としてワイヤテール４３の先端４３ａが上方を向くようにワイヤテール４３を曲げ加工することができる。また、ワイヤテールの先端４３ａを除く部分４３ｂは、ボンディングツール４０の押圧部４７（押圧面４８）による押圧によって、ＸＹ平面に略平行な方向に延出するように加工される。こうして、ワイヤテール４３を、ＸＹ平面から斜め上方を向くように延出した先端４３ａを有し、当該先端４３ａを除く部分４３ｂがＸＹ平面に略平行に延出した形状を有するように加工することができる。
【００４２】
＜時刻ｔ６〜ｔ７及び時刻ｔ７以後の処理＞
その後、図６に示すように時刻ｔ６からｔ７にかけてＺ駆動機構１２を作動させてボンディングツール４０を高さＺ４まで上昇させる（Ｓ１５）。このようにして、時刻ｔ７において図５（Ｃ）に示すように第１ボンド点と第２ボンド点とを接続するワイヤループ１３０を形成するとともに、ボンディングツール４０の先端に所定形状に曲げ加工されたワイヤテール４３を形成することができる。その後、図３に示すように、ボンディング対象物１００に対して次のワイヤボンディングを行う必要があるか否かを判定し（Ｓ１６）、必要がある場合（Ｓ１６  Ｙｅｓ）は、ボンディングツール４０を次のワイヤボンディン
グのための第１ボンド点へ移動させてワイヤテール４３を第１ボンド点にボンディングし、Ｓ１０〜Ｓ１５の一連の工程を繰り返し行う。他方、次のワイヤボンディングを行う必要がなく、ボンディング対象物１００に対するワイヤボンディングを全て終えた場合（Ｓ１６  Ｎｏ）は、当該ボンディング対象物１００に対してのワイヤボンディング工程を終了する。
【００４３】
次のワイヤボンディングを行う場合（Ｓ１６  Ｙｅｓ）、図６に示すように時刻ｔ７以降においてＸＹ駆動機構１０を作動させてボンディングツール４０を次の第１ボンド点の上方へ移動させる。その後、ボンディングツール４０を第１ボンド点である半導体チップ１１０の電極１１２に向かって下降させ、図５（Ｄ）に示すように、ボンディングツール４０の先端から延出したワイヤテール４３を電極１１２にボンディングする。ここで、半導体チップ１１０は基板１２０上に搭載されており、半導体チップ１１０における電極１１２の形成面（半導体素子が形成された側の表面）には、保護膜としてのパッシベーション膜１１４が設けられている。そして、ワイヤテール４３の一部（先端を除く部分４３ｂ）が、電極１２２におけるパッシベーション膜１１４の開口部からの露出領域に接合される。ワイヤテール４３の先端４３ａは、ＸＹ平面から斜め上方を向くように延出しているので、ワイヤテール４３が隣接する他の要素（例えばパッシベーション膜１１４又は隣接する他の電極など）に接触することを防止することができる。
【００４４】
以上のとおり、本実施形態によれば、ボンディングツール４０をボンディング済みであるワイヤループ１３０が形成された第２ボンド（電極１２２）に向かって下降させ、ワイヤテール４３を第２ボンド点上のワイヤループ１３０の一部に押し当てることによって、ワイヤテール４３の曲げ加工を行う。これにより、ボンディングツール４０の移動量を抑えるとともに曲げ加工のための別個の部材を用意する必要がないことから、簡便かつ効率的にワイヤテールの曲げ加工を行うことができる。よって、例えば次のワイヤボンディングにおける第１ボンド点でのボンディングにおいて、ワイヤの先端が他の隣接する要素に接触することを防止することができ、半導体装置の損傷あるいは不良の発生を防止するとともに、設計自由が高く、簡便かつ効率的な処理を行うことができる。
【００４５】
本発明は、上記実施形態に限定されることなく種々に変形して適用することが可能である。
【００４６】
上記実施形態においては、図５（Ｂ）に示すように、ワイヤテール４３を第２ボンド点上のワイヤループ１３０の（接合部１３４の）先端１３５に押し当てる例を示したが、本発明はこの例に限るものではない。例えば、図７に示すように、ワイヤテール４３を第２ボンド点上のワイヤループ１３０の立ち上がり部１３６に押し当ててもよい。第２ボンド点上の立ち上がり部１３６は、ワイヤループ１３０の接合部１３４から突起している（段差を形成している）ので、ワイヤループ１３０の立ち上がり部１３６を起点として、この場合も、ワイヤテール４３の先端４３ａが上方を向くようにワイヤテール４３を曲げ加工することができる。
【００４７】
また、ボンディングツール４０のＸＹＺ方向への移動は、上記実施形態にかかる例で示した構成に限定されるものではなく、例えば直線軌道のみならず曲線軌道を描く処理を含んでいてもよい。またボンディングツール４０の形状も図示するものに限定されるものではない。
【００４８】
上記発明の実施形態を通じて説明された実施例や応用例は、用途に応じて適宜に組み合わせて、又は変更若しくは改良を加えて用いることができ、本発明は上述した実施形態の記載に限定されるものではない。そのような組み合わせ又は変更若しくは改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００４９】
１…ワイヤボンディング装置、４０…ボンディングツール（キャピラリ）、４２…ワイヤ、４３…ワイヤテール、４３ａ…ワイヤテールの先端、８０・・・制御部、１３０…ワイヤループ、１３５…ワイヤループの先端、１３６…ワイヤループの立ち上がり部
【図１】
2015119275.tif 000003
【図２】
2015119275.tif 000004
【図３】
2015119275.tif 000005
【図４】
2015119275.tif 000006
【図５】
2015119275.tif 000007
【図６】
2015119275.tif 000008
【図７】
2015119275.tif 000009
【国際調査報告】
2015119275.tif 000010
2015119275.tif 000011