(57)【要約】  白ボケを客観的にばらつきなく判定するために、表面検査装置は、開口部、複数の測定用ユニット、取得部および演算部を備える。開口部は、測定用の開口面を規定する。複数の測定ユニットは、発光部と受光部を各々有し、開口面の仮想的な法線上から平面透視した場合に開口面に対して相互に異なる方向に配置される。取得部は、測定用ユニット毎に、発光部から開口面を介した光の照射に応じて試料表面から発せられて開口面を介して受光部で受光される光に対応する、明度に係る検出値を取得する。演算部は、取得部によって複数の測定用ユニットについて各々取得された複数の検出値のばらつき度合いに係る評価値を算出する。そして、発光部から開口面に向かう光の第１光路が該開口面の法線と成す第１角度、開口面から受光部に向かう光の第２の光路が法線と成す第２角度、および第１光路と第２光路とが成す第３角度が、複数の測定用ユニットの間において各々等しい。
2016031434.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料表面を検査する表面検査装置であって、
測定用の開口面を規定する開口部と、
発光部および受光部をそれぞれ有し、前記開口面の仮想的な法線上から平面透視した場合に前記開口面に対して相互に異なる方向に配置される複数の測定用ユニットと、
前記測定用ユニット毎に、前記発光部から前記開口面を介した光の照射に応じて前記試料表面から発せられて前記開口面を介して前記受光部で受光される光に対応する、明度に係る検出値を取得する取得部と、
前記取得部によって前記複数の測定用ユニットについてそれぞれ取得された複数の前記検出値のばらつき度合いに係る評価値を算出する演算部と、
を備え、
前記発光部から前記開口面に向かう光の第１光路が該開口面の法線と成す第１角度、前記開口面から前記受光部に向かう光の第２の光路が前記法線と成す第２角度、および前記第１光路と前記第２光路とが成す第３角度が、前記複数の測定用ユニットの間において、それぞれ等しい表面検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の表面検査装置であって、
前記複数の測定用ユニットにそれぞれ含まれる複数の前記発光部が、個別に設けられている表面検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の表面検査装置であって、
前記複数の測定用ユニットにそれぞれ含まれる複数の前記発光部が、一体の発光領域に含まれる表面検査装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の表面検査装置であって、
前記評価値が、
前記複数の検出値についての差および比のうちの少なくとも一方の値を含む表面検査装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れか１つの請求項に記載の表面検査装置であって、
前記評価値に基づいて、前記試料表面の状態を判定する判定部、
を更に備える表面検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載の表面検査装置であって、
前記判定部が、
前記評価値と予め設定された基準値との比較によって、前記試料表面の状態を判定する表面検査装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６の何れか１つの請求項に記載の表面検査装置であって、
各前記測定用ユニットにおいて、前記第１光路と前記第２光路とを含む入射面および前記開口面の双方の面に垂直な面の一方側の空間に、前記発光部および前記受光部が配置されている表面検査装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れか１つの請求項に記載の表面検査装置であって、
前記複数の測定用ユニットが、
３以上の前記測定用ユニットを含んでおり、
前記評価値が、
前記複数の検出値に係る代表値と、各前記検出値との関係を示す値を含む表面検査装置。
【請求項９】
(a)測定用の開口面を規定する開口部と、発光部および受光部をそれぞれ有し、前記開口面の仮想的な法線上から平面透視した場合に前記開口面に対して相互に異なる方向に配置される複数の測定用ユニットとを備え、前記発光部から前記開口面に向かう光の第１光路が該開口面の仮想的な法線と成す第１角度、前記開口面から前記受光部に向かう光の第２の光路が前記法線と成す第２角度、および前記第１光路と前記第２光路とが成す第３角度が、前記複数の測定用ユニットの間においてそれぞれ等しい表面検査装置を準備するステップと、
(b)前記測定用ユニット毎に、前記発光部から前記開口面を介した光の照射に応じて試料表面から発せられて前記開口面を介して前記受光部で受光される光に対応する、明度に係る検出値を取得するステップと、
(c)前記(b)ステップにおいて前記複数の測定用ユニットについてそれぞれ取得された複数の前記検出値のばらつき度合いに係る評価値を算出するステップと、
を有する表面検査方法。
【請求項１０】
表面検査装置に含まれる制御部で実行されることで、前記表面検査装置を請求項１から請求項８の何れか１つの請求項に記載の表面検査装置として機能させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物の表面を検査する表面検査装置、表面検査方法およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車用の内装材については、その質感を向上させるために、例えば、樹脂成型品の表面に、シボと呼ばれる微小な凹凸によるシワ模様によって装飾が施されることが一般的に行われている。【０００３】
このシボを有する樹脂成型品については、従来は、樹脂成型品の表面に塗装によって着色が施されていたが、近年では、環境への負荷の低減および製造工程の簡略化を目的として、樹脂自体に着色が施された無塗装の成型品の実用化が進められている。【０００４】
但し、シボを有する樹脂成型品については、シボが設けられた表面をある特定の方向から観察すると、白くぼやけて見える「白ボケ」と呼ばれる外観不良が発生する場合がある。この白ボケは、シボを形成する凸部の片面側に発生するケースが多い。【０００５】
このような白ボケの発生に対し、シボの形状を特徴づける形状パラメータと白ボケの程度との相関を得て、該相関に基づいて、簡単には白ボケが発生しないシボを有する樹脂成型品を製造する技術が提案されている（例えば、特許文献１等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−７６２８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１の技術では、白ボケの発生を完全に防ぐことは難しく、最終的には、目視による官能評価によって、許容できるレベルの白ボケであるか否かが判定される。このため、観察者および観察条件によって、白ボケに係る許容できるレベルにばらつきが生じてしまう。【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、白ボケを客観的にばらつきなく判定することが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、一態様に係る試料表面を検査する表面検査装置は、開口部、複数の測定用ユニット、取得部および演算部を備える。ここで、前記開口部は、測定用の開口面を規定する。前記複数の測定用ユニットは、発光部および受光部をそれぞれ有し、前記開口面の仮想的な法線上から平面透視した場合に前記開口面に対して相互に異なる方向に配置される。前記取得部は、前記測定用ユニット毎に、前記発光部から前記開口面を介した光の照射に応じて前記試料表面から発せられて前記開口面を介して前記受光部で受光される光に対応する、明度に係る検出値を取得する。前記演算部は、前記取得部によって前記複数の測定用ユニットについてそれぞれ取得された複数の前記検出値のばらつき度合いに係る評価値を算出する。そして、前記発光部から前記開口面に向かう光の第１光路が該開口面の仮想的な法線と成す第１角度、前記開口面から前記受光部に向かう光の第２の光路が前記法線と成す第２角度、および前記第１光路と前記第２光路とが成す第３角度が、前記複数の測定用ユニットの間において、それぞれ等しい。【００１０】
他の一態様に係る表面検査方法は、(a)〜(c)ステップを有する。ここで、前記(a)ステップにおいて、測定用の開口面を規定する開口部と、発光部および受光部をそれぞれ有し、前記開口面の仮想的な法線上から平面透視した場合に前記開口面に対して相互に異なる方向に配置される複数の測定用ユニットとを備え、前記発光部から前記開口面に向かう光の第１光路が該開口面の仮想的な法線と成す第１角度、前記開口面から前記受光部に向かう光の第２の光路が前記法線と成す第２角度、および前記第１光路と前記第２光路とが成す第３角度が、前記複数の測定用ユニットの間においてそれぞれ等しい表面検査装置を準備する。前記(b)ステップにおいて、前記測定用ユニット毎に、前記発光部から前記開口面を介した光の照射に応じて前記試料表面から発せられて前記開口面を介して前記受光部で受光される光に対応する、明度に係る検出値を取得する。前記(c)ステップにおいて、前記(b)ステップにおいて前記複数の測定用ユニットについてそれぞれ取得された複数の前記検出値のばらつき度合いに係る評価値を算出する。【００１１】
その他の一態様に係るプログラムは、表面検査装置に含まれる制御部で実行されることで、前記表面検査装置を前記一態様に係る試料表面を検査する表面検査装置として機能させる。
【発明の効果】
【００１２】
一態様に係る表面検査装置によれば、白ボケを客観的にばらつきなく判定することが可能となる。【００１３】
他の一態様に係る表面検査方法によれば、上記一態様に係る表面検査装置と同様な効果を奏する。【００１４】
その他の一態様に係るプログラムによれば、上記一態様に係る表面検査装置と同様な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、各実施形態に係る表面検査装置に共通する外観を示す斜視図である。
【図２】図２は、各実施形態に係る表面検査装置に共通する装置本体部と試料の被測定面である試料表面との配置関係を模式的に示す図である。
【図３】図３は、第１実施形態に係る表面検査装置の機能的な構成を示す図である。
【図４】図４は、２つの測定用ユニットの直角の配置関係を示す図である。
【図５】図５は、２つの測定用ユニットの一直線状の配置関係を示す図である。
【図６】図６は、測定用ユニットにおける発光部と受光部との配置状態を示す図である。
【図７】図７は、測定用ユニットにおける発光部と受光部との配置状態を示す図である。
【図８】図８は、表面検査装置の動作フローを例示する図である。
【図９】図９は、第２実施形態に係る表面検査装置の機能的な構成を示す図である。
【図１０】図１０は、３つの測定用ユニットの配置関係を示す図である。
【図１１】図１１は、表面検査装置の動作フローを例示する図である。
【図１２】図１２は、第３実施形態に係る表面検査装置の機能的な構成を示す図である。
【図１３】図１３は、発光領域と複数の測定用ユニットとの配置関係の一例を示す図である。
【図１４】図１４は、試料表面の一例を示す図である。
【図１５】図１５は、第１実施形態に係る表面検査装置による検査結果を例示する図である。
【図１６】図１６は、第１実施形態に係る表面検査装置による検査結果を例示する図である。
【図１７】図１７は、第１実施形態に係る表面検査装置による検査結果を例示する図である。
【図１８】図１８は、第２実施形態に係る表面検査装置による検査結果を例示する図である。
【図１９】図１９は、第２実施形態に係る表面検査装置による検査結果を例示する図である。
【図２０】図２０は、第２実施形態に係る表面検査装置による検査結果を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の各実施形態および各変形例を図面に基づいて説明する。なお、図面においては同様な構成および機能を有する部分については同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。また、図面は模式的に示されたものであり、各図における各種構造のサイズおよび位置関係等は適宜変更され得る。なお、図１、図２、図４から図７、図１０および図１３には、開口面３ｓの法線３ｎの装置本体部２側に延在方向をＺ方向とする右手系のＸＹＺ座標系が付されている。また、図３，図９および図１２には、参考として、試料Ｓｍ１が描かれ、さらに試料表面Ｓｓ１に照射される光の経路および該試料表面Ｓｓ１からの反射光の経路が一点鎖線で模式的に描かれている。
【００１７】
＜(１)各実施形態に係る表面検査装置の概要＞
図１は、各実施形態に係る表面検査装置１００（１００Ａ，１００Ｂ）に共通する外観を示す斜視図である。また、図２は、各実施形態に係る表面検査装置１００（１００Ａ，１００Ｂ）に共通する装置本体部２と被検査面である試料Ｓｍ１の表面（試料表面とも言う）Ｓｓ１との配置関係を説明する模式図である。
【００１８】
表面検査装置１００（１００Ａ，１００Ｂ）は、試料Ｓｍ１の試料表面Ｓｓ１を検査する装置である。ここでは、試料Ｓｍ１は、例えば、自動車の内装材等を構成するシボを有する樹脂成型品である。このとき、表面検査装置１００（１００Ａ，１００Ｂ）による主たる検査の対象は、例えば、シボを有する樹脂成形品における所謂白ボケと呼ばれる外観不良の発生状態である。
【００１９】
図１で示されるように、表面検査装置１００（１００Ａ，１００Ｂ）は、例えば、主に各種構成を内蔵する装置本体部２を備えている。装置本体部２は、底壁に穿設された測定用の開口部３と、表面の適所に配設された操作表示部５０とを有している。開口部３は、測定用の開口面３ｓを規定する。該開口面３ｓは、例えば、開口部３のうちの装置本体部２の外面を形成する部分によって形成される。
【００２０】
操作表示部５０は、検査結果等の各種情報を可視的に出力する表示部およびタッチパネル方式の操作スイッチ等を有している。このような構成を有する表面検査装置は、例えば、持ち運び可能な装置を構成する。
【００２１】
表面検査装置１００（１００Ａ，１００Ｂ）を用いて試料表面Ｓｓ１を検査する際には、図２で示されるように、開口部３が試料表面Ｓｓ１に向かうように装置本体部２が配置され、開口部３に対向する試料表面Ｓｓ１の領域が検査領域Ａｍ１となる。このとき、開口部３の法線３ｎと検査領域Ａｍ１の法線Ｓｎ１とが一致するように、装置本体部２が試料表面Ｓｓ１に対向するように配置される。
【００２２】
＜(２)第１実施形態＞
＜(２−１)表面検査装置の機能的な構成＞
図３は、第１実施形態に係る表面検査装置１００の機能的な構成を示す図である。
【００２３】
表面検査装置１００は、複数の測定用ユニット１０，２０、操作表示部５０、記憶部６０および制御部７０を備えている。測定用ユニット１０は、発光部１１および受光部１２を有し、測定用ユニット２０は、発光部２１および受光部２２を有している。そして、測定用ユニット１０および測定用ユニット２０は、開口面３ｓの仮想的な法線３ｎ上から平面透視した場合に開口面３ｓに対して相互に異なる方向に配置されている。
【００２４】
例えば、図４で示されるように、測定用ユニット１０と測定用ユニット２０とが、法線３ｎを中心として予め設定された所定角度（ここでは、９０°）回転した関係を有する態様が考えられる。ここで、所定角度が９０°以上であれば、白ボケが特定方向から見た場合に認識され得ると言った特徴を踏まえて、試料表面Ｓｓ１をある程度異なる２方向から評価することが可能である。つまり、試料表面Ｓｓ１の特性に係る異方性が適正に評価され得る。このため、白ボケの判定精度が高まり得る。なお、図５で示されるように、所定角度が、例えば、約１８０°に設定されれば、表面検査装置１００の装置本体部２の構成の自由度が向上し、表面検査装置１００の小型化も図られ得る。
【００２５】
複数の発光部１１，２１は、それぞれ離間して個別に設けられており、例えば、白色光等の光を発する光源をそれぞれ有する。該光源には、例えば、発光を生じさせる発光回路が設けられる。ここで、光源としては、例えば、キセノンフラッシュランプ等が挙げられる。また、発光部１１，２１には、適宜、光線を規制する規制板およびコリメートレンズ等が設けられている。例えば、規制板は、該規制板の開口がコリメートレンズの焦点に一致するように配置されており、規制板の開口を通過した光源からの光線は、コリメートレンズによって平行光線とされて、試料表面Ｓｓ１の測定点Ｐ０に照射される。
【００２６】
発光回路は、例えば、半導体スイッチ素子、駆動回路、メインコンデンサー、充電回路およびトリガー発生回路を有している。半導体スイッチ素子は、例えば、ＩＧＢＴ等によって構成される。駆動回路は、該半導体スイッチ素子に駆動電圧を印加する。メインコンデンサーは、数百Ｖの直流高電圧を光源の電極に印可する。充電回路は、メインコンデンサーを充電する。トリガー発生回路は、光源に密着して巻かれた金属ワイヤー等で構成されるトリガー電極に数万Ｖの交流高電圧を印加する。ここでは、半導体スイッチ素子がオンにされ、且つメインコンデンサーによって光源の両端電極に直流高電圧が印加された状態で、トリガー発生回路のトリガーコンデンサーによってトリガートランスを介してトリガー電極に交流高電圧が瞬間的に印加される。このとき、メインコンデンサーから光源に直流電流が流れることで該光源が発光する。
【００２７】
複数の受光部１２，２２は、それぞれ試料表面Ｓｓ１の測定点Ｐ０からの反射光を受ける部分である。受光部１２，２２は、例えば、受光した光を電気的な信号に変換する光電変換素子を含む光検出ユニットをそれぞれ有している。光検出ユニットとしては、例えば、ポリクロメーター等の分光器が採用される。光検出ユニットでは、例えば、入射光を波長毎に分離して、波長毎の光の強度に応じた分光データを出力する。この光検出ユニットでは、例えば、スリット状の入射口から入射される入射光が凹面回折格子で分光され、ラインセンサーで受光されることで、電気的な信号に変換される。
【００２８】
操作表示部５０は、操作スイッチ５１および表示部５２を有する。操作スイッチ５１は、試料表面Ｓｓ１の検査の開始等を指示するためのものである。表示部５２は、例えば、液晶表示パネル等によって構成され、検査結果等に係る各種情報を可視的に出力する。
【００２９】
記憶部６０は、例えば、ＲＡＭおよびＥＥＰＲＯＭ等を有しており、測定結果および検査結果等を示すデータを一時的に保管するとともに、制御部７０を動作させるためのプログラムＰＧ１を記憶している。
【００３０】
制御部７０は、中央演算部（ＣＰＵ）等のプロセッサー、ＲＡＭ等のメモリーおよびＡ／Ｄ変換器等の電子回路を備えている。制御部７０は、プログラムＰＧ１を読み込んで実行することで、表面検査装置１００の各部の動作を制御して、表面検査装置１００としての機能を実現する。例えば、制御部７０は、プログラムＰＧ１を読み込んで実行することで実現される機能的な構成として、検査制御部７１、取得部７２、演算部７３および判定部７４を有する。
【００３１】
検査制御部７１は、例えば、ユーザーによる操作スイッチ５１の操作に応じて、発光部１１，２１をそれぞれ時間順次に発光させることで、表面検査装置１００に試料表面Ｓｓ１の検査を実行させる。また、検査制御部７１は、演算部７３による演算結果および判定部７４による判定結果の少なくとも一方を表示部５２に表示させる。
【００３２】
取得部７２は、測定用ユニット１０について、発光部１１から開口面３ｓを介した光の照射に応じて試料表面Ｓｓ１から発せられて開口面３ｓを介して受光部１２で受光される光（ここでは、主として反射光）に対応する、明度に係る検出値を取得する。このとき、試料表面Ｓｓ１から発せられる光には、反射光の他に蛍光が含まれていても良い。
【００３３】
例えば、受光部１２では、受光された光の波長毎の光の強度に応じた分光データを示す電気的な信号が光検出ユニットから出力される。そして、取得部７２では、該電気的な信号に基づいて、分光反射特性が求められ、該分光反射特性に基づいて、測定点Ｐ０に存在する試料表面Ｓｓ１の色情報（例えば、ＸＹＺ表色系の三刺激値）が得られる。さらに、取得部７２では、例えば、該色情報がＬ＊ａ＊ｂ＊表色系の色情報に変換されることで、Ｌ＊値が明度に係る検出値として取得される。Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系は、１９７６年に国際照明委員会(ＣＩＥ)で規格化された表色系である。
【００３４】
また、取得部７２は、測定用ユニット２０について、測定用ユニット１０と同様に、発光部２１から開口面３ｓを介した光の照射に応じて試料表面Ｓｓ１から発せられて開口面３ｓを介して受光部２２で受光される光に対応する、明度に係る検出値を取得する。つまり、取得部７２では、測定用ユニット１０，２０毎に、明度に係る検出値（例えば、Ｌ＊値）が取得される。ここでは、例えば、個別に設けられた発光部１１，１２が時間順次に発光されて、発光部１１の発光時に受光部１２で受光される反射光に対応する、明度に係る検出値が取得され、発光部２１の発光時に受光部２２で受光される反射光に対応する、明度に係る検出値が取得される。これにより、検出値の取得におけるＳ／Ｎ比の改善および装置の小型化が実現され得る。
【００３５】
演算部７３は、取得部７２によって複数の測定用ユニット１０，２０についてそれぞれ取得された明度に係る複数の検出値のばらつき度合いに係る評価値を算出する。この評価値には、例えば、明度に係る複数の検出値についての差および比のうちの少なくとも一方の値が含まれ得る。なお、複数の検出値についての比としては、複数の検出値のうちの１つの検出値を他の１つの検出値で除した値等が採用され得る。これにより、白ボケを容易に判定することが可能となる。
【００３６】
判定部７４は、演算部７３で算出された評価値に基づいて、試料表面Ｓｓ１の状態を判定する。これにより、白ボケが客観的にばらつきなく判定され得る。そして、判定部７４では、例えば、評価値と予め設定された基準値との比較によって、試料表面の状態が判定される。これにより、白ボケが客観的にばらつきなく容易に判定され得る。
【００３７】
例えば、評価値が、取得部７２で得られた複数の検出値（Ｌ＊値）における最大値Ｌ＊ＭＡＸ値と最小値Ｌ＊ＭＩＮとの差（最大差とも言う）ΔＬ＊ＭＡＸであり、基準値が、１．２である場合が考えられる。この場合、例えば、最大差ΔＬ＊ＭＡＸが基準値である１．２を超えていれば、試料表面Ｓｓ１に対する光の照射方向によって、試料表面Ｓｓ１の明度にある程度大きな差が生じたものと推定されるため、試料表面Ｓｓ１に白ボケが存在しているものと判定される。なお、基準値については、例えば、表面検査装置１００、該表面検査装置１００と同様な構成あるいはシミュレーションを用いた評価値としての最大差ΔＬ＊ＭＡＸの算出と、試料表面Ｓｓ１の目視による白ボケの存在に関する官能評価とを併せて行うことで、官能評価結果に応じて設定され得る。つまり、許容可能な白ボケの程度に合わせて基準値が設定され得る。また基準値は、白ボケの確からしさに準じて、補助基準値を併せ持っていても良い。例えば、補助基準値が０．８とされ、ΔＬ＊ＭＡＸが０．８を超えて基準値１．２以下である場合は、試料表面Ｓｓ１に対する光の照射方向によって、試料表面Ｓｓ１の明度にある程度の差が生じたものと推定されるため、試料表面Ｓｓ１に白ボケの存在が疑われると判定される。
【００３８】
＜(２−２)測定用ユニットの構成＞
図６および図７は、測定用ユニット１０（２０）における発光部１１（２１）と受光部１２（２２）との配置状態を説明するための図である。図６および図７には、代表例として、測定用ユニット１０における発光部１１と受光部１２との配置状態が示されている。
【００３９】
図６で示されるように、発光部１１から開口面３ｓに向かう光の光路（第１光路とも言う）Ｐｒ１が開口面３ｓの法線３ｎと成す角度が第１角度θ１である。また、開口面３ｓから受光部１２に向かう光の光路（第２光路とも言う）Ｐｒ２が開口面３ｓの法線３ｎと成す角度が第２角度θ２である。そして、第１光路Ｐｒ１と第２光路Ｐｒ２とが成す角度が第３角度θ３である。
【００４０】
測定用ユニット２０においても、測定用ユニット１０と同様な第１角度θ１〜θ３に係る角度関係を有する。具体的には、発光部２１から開口面３ｓに向かう光の第１光路が開口面３ｓの法線３ｎと成す角度が第１角度θ１である。また、開口面３ｓから受光部２２に向かう光の第２光路が開口面３ｓの法線３ｎと成す角度が第２角度θ２である。そして、これらの第１光路と第２光路とが成す角度が第３角度θ３である。すなわち、第１〜３角度θ１〜θ３が、複数の測定用ユニット１０，２０の間においてそれぞれ等しく、複数の測定用ユニット１０，２０が同様な構成を有する。これにより、複数の測定用ユニット１０，２０の間における測定条件が均一化され、演算部７３で算出される評価値および判定部７４で判定される判定結果の信頼性が向上する。
【００４１】
また、図６および図７で示されるように、各測定用ユニット１０，２０において、発光部１１と受光部１２とが並んでおり、第３角度θ３が小さければ、発光部１１（２１）で光が照射された試料表面Ｓｓ１を受光部１２（２２）側から見た場合に、試料表面Ｓｓ１上のコントラストが高まり得る。
【００４２】
別の観点から言えば、各測定用ユニット１０，２０において、第１光路Ｐｒ１と第２光路Ｐｒ２とを含む入射面Ｓｉ１および開口面３ｓの双方の面に垂直な面Ｓｖ１の一方側（図６では＋Ｘ側）の空間に、発光部１１および受光部１２が配置されている。これにより、発光部１１（２１）で光が照射された試料表面Ｓｓ１を受光部１２（２２）側から見た場合に、試料表面Ｓｓ１のコントラストが高まる。このため、白ボケの有無に応じた明度に係る検出値が容易に得られる。つまり、第３角度θ３が極力小さく、第１角度θ１と第２角度θ２とが極力近ければ、白ボケをより確実に客観的に判定することが可能となる。但し、第３角度θ３を０°に設定して、第１角度θ１と第２角度θ２とを完全には同一に設定することは実質的には難しい。そこで、例えば、第３角度θ３を２０°に設定し、第１角度θ１を４５°に設定し、第２角度θ２を６５°に設定する態様等が考えられる。
【００４３】
＜(２−３)表面検査方法に係る動作フロー＞
図８は、第１実施形態に係る表面検査装置１００を用いた表面検査方法に係る動作フローを例示する図である。
【００４４】
まず、ステップＳ１では、表面検査装置１００が準備される。ここで、表面検査装置１００では、上述したように、開口部３と、複数の測定用ユニット１０，２０とを備え、第１角度θ１、第２角度θ２および第３角度θ３が、複数の測定用ユニット１０，２０の間において、それぞれ等しい。
【００４５】
ステップＳ２では、取得部７２によって、測定用ユニット１０，２０毎に、発光部１１，２１から開口面３ｓを介した光の照射に応じて試料表面Ｓｓ１から発せられて開口面３ｓを介して受光部１２，２２で受光される光に対応する、明度に係る検出値が取得される。ここでは、例えば、測定用ユニット１０が用いられて、発光部１１から試料表面Ｓｓ１に光が照射されて、試料表面Ｓｓ１からの反射光が受光部１２で受光され、該反射光について、明度に係る検出値（例えば、Ｌ＊値）が取得される。また、例えば、測定用ユニット２０が用いられて、発光部２１から試料表面Ｓｓ１に光が照射されて、試料表面Ｓｓ１からの反射光が受光部２２で受光され、該反射光について、明度に係る検出値（例えば、Ｌ＊値）が取得される。
【００４６】
ステップＳ３では、演算部７３によって、ステップＳ２において複数の測定用ユニット１０，２０についてそれぞれ取得された複数の検出値のばらつき度合いに係る評価値（例えば、最大差ΔＬ＊ＭＡＸ）が算出される。
【００４７】
ステップＳ４では、判定部７４によって、演算部７３で算出された評価値に基づいて、試料表面Ｓｓ１の状態が判定される。これにより、試料表面Ｓｓ１における白ボケが客観的にばらつきなく判定され得る。
【００４８】
＜(２−４)第１実施形態のまとめ＞
以上のように、第１実施形態に係る表面検査装置１００では、開口面３ｓの法線３ｎ上から平面視した場合に開口面３ｓに対して相互に異なる方向に配置された同様な構成を有する複数の測定用ユニット１０，２０が配置される。そして、複数の測定用ユニット１０，２０毎に、取得部７２によって試料表面Ｓｓ１の明度に係る検出値が取得され、演算部７３によって複数の検出値のばらつき度合いに係る評価値が算出されて、判定部７４によって評価値に基づいて試料表面Ｓｓ１の状態が判定される。これにより、白ボケの発生の程度について、官能的に判定されるのではなく、定量的な評価値に基づいて判定され得る。その結果、試料表面Ｓｓ１における白ボケを客観的にばらつきなく判定することが可能となる。そして、このような定量的で且つ客観的な評価値に基づく判定により、樹脂成型品等の品質管理および商取引における安定性を向上させることができる。
【００４９】
＜(３)第２実施形態＞
上記第１実施形態に係る表面検査装置１００では、複数の測定用ユニットが、２つの測定用ユニット１０，２０であったが、これに限られず、複数の測定用ユニットが、３以上の測定用ユニットを含んでいても良い。ここで、具体例として、３つの測定用ユニット１０，２０，３０を有している第２実施形態に係る表面検査装置１００Ａについて説明する。
【００５０】
図９は、第２実施形態に係る表面検査装置１００Ａの機能的な構成を示す図である。
【００５１】
第２実施形態に係る表面検査装置１００Ａは、上記第１実施形態に係る表面検査装置１００がベースとされて、複数の測定用ユニット１０，２０に、これらと同様な構成を有する測定用ユニット３０が追加され、この追加に伴って、プログラムＰＧ１が異なるプログラムＰＧ１Ａに変更されて、制御部７０で実現される機能的な構成が変更される。表面検査装置１００Ａでは、制御部７０は、プログラムＰＧ１Ａを読み込んで実行することで、実現される機能的な構成として、検査制御部７１Ａ、取得部７２Ａ、演算部７３Ａおよび判定部７４Ａを有する。また、発光部１１，２１，３１は、それぞれ離間されて個別に設けられている。
【００５２】
ここで、複数の測定用ユニット１０〜３０は、開口面３ｓの仮想的な法線３ｎ上から平面透視した場合に開口面３ｓに対して相互に異なる方向に配置されている。例えば、図１０で示されるように、測定用ユニット１０と測定用ユニット２０と測定用ユニット３０とが、法線３ｎを中心として予め設定された所定角度（ここでは、１２０°）回転した関係を有する態様が考えられる。ここでは、所定角度が９０°以上である１２０°に設定されており、白ボケが特定方向から見た場合に認識され得ると言った特徴を踏まえて、試料表面Ｓｓ１をある程度異なる３方向から評価することが可能である。つまり、試料表面Ｓｓ１の特性に係る異方性が適正に評価され得る。このため、白ボケの判定精度が高まり得る。
【００５３】
また、測定用ユニット３０は、発光部３１と受光部３２とを有し、測定用ユニット３０についても、測定用ユニット１０，２０と同様な第１角度θ１〜θ３に係る角度関係を有する。
【００５４】
具体的には、発光部３１から開口面３ｓに向かう光の第１光路が開口面３ｓの法線３ｎと成す角度が第１角度θ１であり、開口面３ｓから受光部３２に向かう光の第２光路が開口面３ｓの法線３ｎと成す角度が第２角度θ２である。そして、これらの第１光路と第２光路とが成す角度が第３角度θ３である。すなわち、第１〜３角度θ１〜θ３が、複数の測定用ユニット１０，２０，３０の間においてそれぞれ等しく、複数の測定用ユニット１０，２０，３０が同様な構成を有する。これにより、複数の測定用ユニット１０，２０，３０の間における測定条件が均一となり、演算部７３Ａで算出される評価値および判定部７４Ａで判定される判定結果の信頼性が向上する。
【００５５】
検査制御部７１Ａは、例えば、ユーザーによる操作スイッチ５１の操作に応じて、発光部１１，２１，３１をそれぞれ時間順次に発光させることで、表面検査装置１００Ａに試料表面Ｓｓ１の検査を実行させる。また、検査制御部７１Ａは、演算部７３Ａによる演算結果および判定部７４Ａによる判定結果の少なくとも一方を表示部５２に表示させる。
【００５６】
取得部７２Ａは、上記第１実施形態に係る取得部７２と同様に、測定用ユニット１０，２０，３０毎に、明度に係る検出値（例えば、Ｌ＊値）を取得する。このとき、取得部７２Ａは、測定用ユニット３０について、測定用ユニット１０，２０と同様に、発光部３１から開口面３ｓを介した光の照射に応じて試料表面Ｓｓ１から発せられて開口面３ｓを介して受光部３２で受光される光に対応する、明度に係る検出値を取得する。
【００５７】
演算部７３Ａは、取得部７２Ａによって複数の測定用ユニット１０，２０，３０についてそれぞれ取得された明度に係る複数の検出値のばらつき度合いに係る評価値を算出する。評価値には、例えば、明度に係る複数の検出値についての差および比のうちの少なくとも一方の値が第１評価値として含まれ得る。これにより、白ボケを容易に判定することが可能となる。また、評価値には、例えば、明度に係る複数の検出値に係る代表値と、明度に係る各検出値との関係を示す値が第２評価値として含まれ得る。
【００５８】
ここで、複数の検出値に係る代表値が、例えば、複数の検出値についての単純な平均値および特異値（最大値および最小値）を除いた平均値等を含む広義の平均値、あるいは複数の検出値における中央値等と言った統計値等である態様が考えられる。このとき、第２評価値が、例えば、明度に係る各検出値と複数の検出値に係る代表値との差分の最大値である態様が考えられる。例えば、代表値が平均値であれば、明度に係る各検出値と複数の検出値に係る代表値との差分は、明度に係る各検出値に係る偏差であり、その偏差の最大値が第２評価値として算出される態様が考えられる。ここで、検出値が、Ｌ＊値であれば、平均値は、Ｌ＊値の平均値であり、各検出値に係る偏差は、Ｌ＊値の平均値Ｌ＊ＭＥＡＮと各Ｌ＊値との差であり、第２評価値は、各検出値に係る偏差のうちの最大値（最大偏差とも言う）である場合が考えられる。
【００５９】
判定部７４Ａは、上記第１実施形態に係る判定部７４と同様に、演算部７３Ａで算出された評価値に基づいて、試料表面Ｓｓ１の状態を判定する。これにより、白ボケが客観的にばらつきなく判定され得る。判定部７４Ａでは、例えば、評価値と予め設定された基準値との比較によって、試料表面Ｓｓ１の状態が判定される。ここでは、例えば、第１評価値と第１基準値との比較による試料表面Ｓｓ１の状態の判定（第１判定とも言う）と、第２評価値と第２基準値との比較による試料表面Ｓｓ１の状態の判定（第２判定とも言う）とが行われる。これにより、白ボケが客観的にばらつきなく容易に判定され得る。なお、第１判定および第２判定のうちの何れか一方の判定が行われても良い。但し、第２判定が行われれば、試料表面Ｓｓ１における反射特性の異方性がより適正に評価され得るため、白ボケがより確実に客観的に判定され得る。
【００６０】
例えば、第１評価値が、上記第１実施形態と同様に、最大差ΔＬ＊ＭＡＸであり、第１基準値が、１．２である場合が考えられる。この場合、最大差ΔＬ＊ＭＡＸが第１基準値である１．２を超えていれば、試料表面Ｓｓ１に白ボケが存在しているものと判定される。また、上記第１実施形態と同様に、第１基準値に対して第１補助基準値が設定されても良い。例えば、第１補助基準値が０．８とされて、最大差ΔＬ＊ＭＡＸが０．８を超えて１．２以下である場合は、白ボケの存在が疑われると判定される。
【００６１】
また、例えば、第２評価値が、Ｌ＊値の最大偏差であり、第２基準値が第１基準値と共通である１．２である場合が考えられる。この場合、Ｌ＊値の最大偏差が第２基準値である１．２を超えていれば、試料表面Ｓｓ１に対する特定の光の照射方向によって、試料表面Ｓｓ１の明度にある程度大きな差が生じているため、試料表面Ｓｓ１に白ボケが存在しているものと判定される。なお、第１および第２基準値については、例えば、表面検査装置１００Ａ、該表面検査装置１００Ａと同様な構成あるいはシミュレーションを用いた最大差ΔＬ＊ＭＡＸおよびＬ＊値の最大偏差の算出と、試料表面Ｓｓ１の目視による白ボケの存在に関する官能評価とを併せて行うことで、官能評価結果に応じて設定され得る。つまり、許容可能な白ボケの程度に合わせて第１および第２基準値が設定され得る。第２基準値に対しても第１基準値と同様に、第２補助基準値が設定されても良い。例えば、第２補助基準値が０．８とされて、Ｌ＊値の最大偏差が０．８を超えて１．２以下である場合は、白ボケの存在が疑われると判定される。
【００６２】
図１１は、第２実施形態に係る表面検査装置１００Ａを用いた表面検査方法に係る動作フローを例示する図である。
【００６３】
まず、ステップＳＴ１では、表面検査装置１００Ａが準備される。ここで、表面検査装置１００Ａでは、上述したように、開口部３と、複数の測定用ユニット１０，２０，３０とを備え、第１角度θ１、第２角度θ２および第３角度θ３が、複数の測定用ユニット１０，２０，３０の間において、それぞれ等しい。
【００６４】
ステップＳＴ２では、取得部７２Ａによって、測定用ユニット１０，２０，３０毎に、発光部１１，２１，３１から開口面３ｓを介した光の照射に応じて試料表面Ｓｓ１から発せられて開口面３ｓを介して受光部１２，２２，３２で受光される光に対応する、明度に係る検出値が取得される。ここでは、例えば、測定用ユニット１０が用いられて、発光部１１から試料表面Ｓｓ１に光が照射されて、試料表面Ｓｓ１からの反射光が受光部１２で受光され、該反射光について、明度に係る検出値（例えば、Ｌ＊値）が取得される。また、測定用ユニット２０が用いられて、発光部２１から試料表面Ｓｓ１に光が照射されて、試料表面Ｓｓ１からの反射光が受光部２２で受光され、該反射光について、明度に係る検出値（例えば、Ｌ＊値）が取得される。さらに、測定用ユニット３０が用いられて、発光部３１から試料表面Ｓｓ１に光が照射されて、試料表面Ｓｓ１からの反射光が受光部３２で受光され、該反射光について、明度に係る検出値（例えば、Ｌ＊値）が取得される。
【００６５】
ステップＳＴ３では、演算部７３Ａによって、ステップＳＴ２において複数の測定用ユニット１０，２０，３０についてそれぞれ取得された複数の検出値のばらつき度合いに係る評価値（例えば、第１および第２評価値）が算出される。ここでは、例えば、第１評価値としての最大差ΔＬ＊ＭＡＸが算出されるとともに、第２評価値としてのＬ＊値の最大偏差が算出される。
【００６６】
ステップＳＴ４では、判定部７４によって、演算部７３で算出された評価値に基づいて、試料表面Ｓｓ１の状態の判定（第１判定および第２判定）が行われる。ここでは、例えば、第１判定において、第１評価値としての最大差ΔＬ＊ＭＡＸが、第１基準値である１．２を超えていれば、白ボケが存在するものと判定される。また、第１判定では、第１補助基準値である０．８を超えて１．２以下であれば、白ボケの存在が疑われると判定される。また、例えば、第２判定において、第２評価値としてのＬ＊値の最大偏差が、第２基準値である１．２を超えていれば、白ボケが存在するものと判定される。また、第２判定では、第２補助基準値である０．８を超えて１．２以下であれば、白ボケの存在が疑われると判定される。
【００６７】
以上のように、第２実施形態に係る表面検査装置１００Ａでは、開口面３ｓの法線３ｎ上から平面視した場合に開口面３ｓに対して相互に異なる方向に配置された同様な構成を有する３以上の測定用ユニット１０，２０，３０毎に、取得部７１Ａによって試料表面Ｓｓ１の明度に係る検出値が取得される。そして、演算部７３Ａによって、複数の検出値のばらつき度合いに係る第２評価値が算出され、判定部７４Ａによって、試料表面Ｓｓ１の状態が判定される。これにより、白ボケがより確実に客観的に判定され得る。
【００６８】
＜(４)第３実施形態＞
上記第１および第２実施形態に係る表面検査装置１００，１００Ａでは、複数の測定用ユニット１０，２０，３０に含まれる複数の発光部１１，２１，３１がそれぞれ個別に設けられていたが、これに限られない。例えば、複数の測定用ユニットに含まれる複数の発光部が、一体の発光領域に含まれていても良い。つまり、例えば、１つの発光領域と、複数の受光部とを有する構成が採用されても良い。これにより、発光領域の１回の点灯によって、複数の検出値を得ることが可能である。このため、例えば、白ボケを迅速に判定することが可能となる。
【００６９】
ここで、複数の測定用ユニットに含まれる複数の受光部が、開口面３ｓの法線３ｎを中心として回転対称の関係を有し、一体の発光領域が法線３ｎを中心として回転対称の関係を有するように配置されれば、複数の測定用ユニット１０ｄ，２０ｄ，３０ｄの間における測定条件が同一となる。その結果、演算部７３で算出される評価値および判定部７４で判定される判定結果の信頼性が向上し得る。
【００７０】
ここで、具体例として、３つの測定用ユニット１０ｄ〜３０ｄを有している第３実施形態に係る表面検査装置１００Ｂについて説明する。
【００７１】
図１２は、第３実施形態に係る表面検査装置１００Ｂの機能的な構成を示す図である。
【００７２】
第３実施形態に係る表面検査装置１００Ｂは、上記第２実施形態に係る表面検査装置１００Ａがベースとされて、発光部１１，２１，３１が、一体の発光領域４０に含まれる発光部１１ｄ，２１ｄ，３１ｄに変更されることで、測定用ユニット１０，２０，３０が、測定用ユニット１０ｄ，２０ｄ，３０ｄに置換されたものである。発光領域４０は、例えば、１つの光源を有して構成されていても良いし、複数の光源の集合体を有して構成されていても良い。そして、発光部１１ｄ，２１ｄ，３１ｄは、それぞれ発光領域４０の一部を構成している。なお、発光部１１，２１，３１が、一体の発光領域４０に含まれる発光部１１ｄ，２１ｄ，３１ｄに変更されたことに伴って、プログラムＰＧ１Ａが異なるプログラムＰＧ１Ｂに変更されて、制御部７０で実現される機能的な構成としての検査制御部７１Ａが検査制御部７１Ｂに変更される。
【００７３】
検査制御部７１Ｂは、例えば、ユーザーによる操作スイッチ５１の操作に応じて、発光領域４０を発光させることで、表面検査装置１００Ｂに試料表面Ｓｓ１の検査を実行させる。また、検査制御部７１Ｂは、判定部７４Ａによる判定結果を表示部５２に表示させる。
【００７４】
図１３は、発光領域４０と複数の測定用ユニット１０ｄ，２０ｄ，３０ｄとの配置関係を例示する図である。図１３で示されるように、発光領域４０は、例えば、開口面３ｓの法線３ｎを中心とした円環状の形状を有している。そして、発光領域４０のうち、第１の部分が測定用ユニット１０ｄの発光部１１ｄを構成し、第２の部分が測定用ユニット２０ｄの発光部２１ｄを構成し、第３の部分が測定用ユニット３０ｄの発光部３１ｄを構成しているものとみなすことができる。また、ここでは、各測定用ユニット１０ｄ，２０ｄ，３０ｄにおいて、開口面３ｓの法線３ｎと発光部１１ｄ，２１ｄ，３１ｄと受光部１２，２２，２３との間において、上記第２実施形態に係る測定用ユニット１０，２０，３０と同様な第１〜３角度θ１〜θ３に係る角度関係を有する態様が考えられる。これにより、複数の測定用ユニット１０ｄ，２０ｄ，３０ｄの間における測定条件が均一化される。
【００７５】
＜(５)具体例＞
上記第１実施形態に係る表面検査装置１００および上記第２実施形態に係る表面検査装置１００Ａを用いて、試料Ｓｍ１の試料表面Ｓｓ１における白ボケの有無について検査を行った具体例について説明する。
【００７６】
ここでは、試料Ｓｍ１は、シボを有するポリプロピレン製の樹脂成形品である。このポリプロピレン製の樹脂成形品は、ポリプロピレンに粒状のペレットが混合された後に溶かされて成型されることで着色された状態で製作された。また、図１４で示されるように、目視による官能評価によって白ボケの存在が確認された第１領域Ａｒ１、白ボケの存在が確認されていなかった第２および第３領域Ａｒ２，Ａｒ３が検査の対象として用いられた。
【００７７】
また、表面検査装置１００，１００Ａの双方とも、第１角度θ１が４５°に設定され、第２角度θ２が６５°に設定され、第３角度θ３が２０°に設定された。つまり、第１光路Ｐｒ１と第２光路Ｐｒ２が、開口面３ｓの法線３ｎを含む同一の仮想的な平面に沿って配置された。
【００７８】
第１実施形態に係る表面検査装置１００では、取得部７２によって、測定用ユニット１０，２０毎に、発光部１１，２１から開口面３ｓを介した光の照射に応じて試料表面Ｓｓ１から発せられて開口面３ｓを介して受光部１２，２２で受光される光に対応する、明度に係る検出値としてのＬ＊値が取得された。次に、演算部７３によって、複数の測定用ユニット１０，２０についてそれぞれ取得された複数のＬ＊値のばらつき度合いに係る評価値として最大差ΔＬ＊ＭＡＸが算出された。そして、判定部７４によって、演算部７３で算出された評価値に基づいて、試料表面Ｓｓ１の状態（白ボケの有無）が判定された。この判定における基準値は、１．２に設定された。また、補助基準値は０．８に設定された。
【００７９】
また、第２実施形態に係る表面検査装置１００Ａでは、取得部７２Ａによって、測定用ユニット１０，２０，３０毎に、発光部１１，２１，３１から開口面３ｓを介した光の照射に応じて試料表面Ｓｓ１から発せられて開口面３ｓを介して受光部１２，２２，３２で受光される光に対応する、明度に係る検出値としてのＬ＊値が取得された。次に、演算部７３Ａによって、複数の測定用ユニット１０，２０，３０についてそれぞれ取得された複数のＬ＊値のばらつき度合いに係る第１評価値としての最大差ΔＬ＊ＭＡＸおよび第２評価値としてのＬ＊値の最大偏差が算出された。そして、判定部７４Ａによって、演算部７３Ａで算出された第１評価値に基づいて、試料表面Ｓｓ１の状態（白ボケの有無）の第１判定が行われ、演算部７３Ａで算出された第２評価値に基づいて、試料表面Ｓｓ１の状態（白ボケの有無）の第２判定が行われた。
【００８０】
図１５から図１７は、第１実施形態に係る表面検査装置１００による検査結果を例示する図である。図１５は、第１領域Ａｒ１を対象とした検査結果を示し、図１６は、第２領域Ａｒ２を対象とした検査結果を示し、図１７は、第３領域Ａｒ３を対象とした検査結果を示している。具体的には、図１５から図１７では、各測定用ユニット１０，２０に係る検出値としてのＬ＊値、評価値としての最大差ΔＬ＊ＭＡＸおよび判定結果が順に示されている。
【００８１】
また、図１８から図２０は、第２実施形態に係る表面検査装置１００Ａによる検査結果を例示する図である。図１８は、第１領域Ａｒ１を対象とした検査結果を示し、図１９は、第２領域Ａｒ２を対象とした検査結果を示し、図２０は、第３領域Ａｒ３を対象とした検査結果を示している。具体的には、図１８から図２０では、各測定用ユニット１０Ａ，２０Ａに係る検出値としてのＬ＊値、第１評価値としての最大差ΔＬ＊ＭＡＸ、第１判定の結果、Ｌ＊値の平均値Ｌ＊ＭＥＡＮ、各測定用ユニット１０，２０，３０に係るＬ＊値の偏差、Ｌ＊値の最大偏差および第２判定の結果が順に示されている。
【００８２】
図１５および図１８で示されるように、第１領域Ａｒ１については、表面検査装置１００，１００Ａの何れによっても、評価値が基準値を超えており、白ボケが有るものと判定された。また、図１６および図１９で示されるように、第２領域Ａｒ２については、表面検査装置１００，１００Ａの何れによっても、評価値が基準値および補助基準値を超えておらず、白ボケが無いものと判定された。なお、第１領域Ａｒ１については、最も高い検出値としてのＬ＊値に対応する測定用ユニット２０が配置される方向と、目視での官能試験において白ボケが有るものとされた際の観察者の方向とが一致しており、最大差ΔＬ＊ＭＡＸおよびＬ＊値の偏差も、目視での官能試験の結果と同様な傾向を示した。
【００８３】
ところで、図１７および図２０で示されるように、目視での官能試験において白ボケの存在が観察されなかった第３領域Ａｒ３について、表面検査装置１００による判定および表面検査装置１００Ａによる第１判定によって、白ボケの存在が疑われるものと判定された。一方、図２０で示されるように、表面検査装置１００Ａによる第２判定によれば、白ボケが無いものと判定された。
【００８４】
このような第１判定と第２判定との間で結果が異なる現象は、シボを有する試料表面Ｓｓ１における微視的な反射特性が方向によって異なる性質（非等方性とも異方性とも言う）を有することで生じるものと思われた。具体的には、検査値であるＬ＊値の最大値と最小値との差（最大差ΔＬ＊ＭＡＸ）で単純に評価された場合、実際には白ボケの存在が観察されていなくても、明度に係る最大差ΔＬ＊ＭＡＸが、基準値を超えてしまう場合があり得るものと思われた。この現象については、表面検査装置１００Ａによる第２判定のように、３以上の明度に係るＬ＊値の偏差が評価されれば、明度が他の測定方向とは大きく異なる特異な測定方向が明らかになり、そして、その結果、試料表面Ｓｓ１の反射特性の異方性の影響が測定結果から極力排除された、白ボケの発生および影響がより確実に客観的に判定され得るものと思われた。
【００８５】
＜(６)変形例＞
なお、本発明は上述の第１から第３実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【００８６】
例えば、上記第１および第２実施形態では、発光部１１，２１，３１が、それぞれ光源を有していたが、これに限られない。例えば、発光部１１，２１，３１は、共通の光源から発せられた後に導光手段によって導光された光を発する構成を有していても良い。導光手段としては、例えば、光を反射するミラーおよび光ファイバー等が挙げられる。このような構成が採用される場合、例えば、光源から発光部１１，２１，３１を介して試料表面Ｓｓ１まで至る光路上に、光を遮蔽するシャッター等が開閉可能に設けられれば、発光部１１，２１，３１の何れか１つの発光部から選択的に試料Ｓｍ１に光が照射され得る。
【００８７】
また、上記第１から第３実施形態では、受光部１２，２２，３２が、それぞれ光検出ユニットを有していたが、これに限られない。例えば、受光部１２，２２，３２は、それぞれ光検出ユニットを有さず、受光した光を、導光手段を介して共通の光検出ユニットに向けて導く構成を有していても良い。この場合、受光部１２，２２，３２としては、例えば、コリメートレンズおよび光ファイバー等の光学系の最前面等が採用される。導光手段としては、例えば、光を反射するミラーおよび光ファイバー等が挙げられる。このような構成が採用される場合、例えば、試料表面Ｓｓ１から受光部１２，２２，３２を経て光検出ユニットまで至る光路上に、光を遮蔽するシャッターが開閉可能に設けられれば、受光部１２，２２，３２の何れか１つの受光部から光検出ユニットに光が入射され得る。
【００８８】
また、上記第１から第３実施形態では、検査制御部７１によって、判定部７４による判定結果が表示部５２に可視的に出力されたが、これに限られない。例えば、検査制御部７１によって、演算部７３による算出結果および判定部７４による判定結果のうちの少なくとも一方が表示部５２に可視的に出力されても良い。例えば、演算部７３による算出結果としての評価値が表示部５２に可視的に出力される場合、例えば、評価値と比較するための基準値をユーザーが認識していれば、白ボケが客観的にばらつきなく判定され得る。さらに、表面検査装置１００，１００Ａ，１００Ｂにおいて、評価値および判定結果のうちの少なくとも一方のデータが、可視的に表示されず、外部の機器に対して出力されても良い。すなわち、評価値および判定結果のうちの少なくとも一方のデータが出力されても良い。
【００８９】
また、上記第１から第３実施形態では、明度に係る検出値としてＬ＊値が採用されたが、これに限られない。例えば、明度に係る検出値として、ＸＹＺ表色系のＹ値等と言った他の表色系の明度に係る値が検出値とされても良い。また、例えば、明度に係る検出値として、試料表面Ｓｓ１上における特定の波長（５５０ｎｍ付近の波長）の光についての反射率等が採用されても良い。
【００９０】
また、上記第２および第３実施形態では、第２評価値として、明度に係る検出値（例えば、Ｌ＊値）に係る偏差の最大値（例えば、Ｌ＊値の最大偏差）が採用されたが、これに限られない。例えば、第２評価値として、検出値（例えば、Ｌ＊値）の平均値と、各検出値との比の最大値または最小値等が採用されても良い。ここで言う比としては、例えば、各検出値を複数の検出値の平均値で除した値、あるいは複数の検出値の平均値を各検出値で除した値等が挙げられる。
【００９１】
また、上記第１から第３実施形態では、各測定用ユニット１０，２０，３０（１０ｄ，２０ｄ、３０ｄ）において、発光部１１，２１，３１（１１ｄ，２１ｄ，３１ｄ）と受光部１２，２２，３２とが並ぶように配置されて、第３角度θ３が小さく設定されたが、これに限られない。例えば、各測定用ユニット１０，２０，３０（１０ｄ，２０ｄ、３０ｄ）において、開口面３ｓと、発光部１１，２１，３１（１１ｄ，２１ｄ，３１ｄ）と、受光部１２，２２，３２との角度関係が略一定に保持することができるならば、発光部１１，２１，３１（１１ｄ，２１ｄ，３１ｄ）と、受光部１２，２２，３２とが並ぶように配置されずに、ある程度離間されるように配置されても良い。
【００９２】
また、上記第１から第３実施形態では、隣り合う測定用ユニットが、開口面３ｓの法線３ｎを中心として、９０°以上回転した関係を有していたが、これに限られない。例えば、複数の測定用ユニットのうちの任意の２つの測定用ユニットが、開口面３ｓの法線３ｎを中心として、９０°以上回転した関係を有している態様が採用されても良い。
【００９３】
また、上記第１から第３実施形態では、試料表面Ｓｓ１上における白ボケの有無が評価および判定の対象とされたが、これに限られない。例えば、白ボケ以外の明度に異方性を生じるような試料表面Ｓｓ１の状態が評価および判定の対象とされても良い。
【００９４】
なお、上記第１から第３実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。
【符号の説明】
【００９５】
２  装置本体部
３  開口部
３ｎ  法線
３ｓ  開口面
１０，１０ｄ，２０，２０ｄ，３０，３０ｄ  測定用ユニット
１１，１１ｄ，２１，２１ｄ，３１，３１ｄ  発光部
１２，２２，３２  受光部
４０  発光領域
５０  操作表示部
６０  記憶部
７０  制御部
７１，７１Ａ，７１Ｂ  検査制御部
７２，７２Ａ  取得部
７３，７３Ａ  演算部
７４，７４Ａ  判定部
１００，１００Ａ，１００Ｂ  表面検査装置
ＰＧ１，ＰＧ１Ａ，ＰＧ１Ｂ  プログラム
Ｐｒ１  第１光路
Ｐｒ２  第２光路
Ｓｉ１  入射面
Ｓｍ１  試料
Ｓｓ１  試料表面
【図１】
2016031434.tif 000003
【図２】
2016031434.tif 000004
【図３】
2016031434.tif 000005
【図４】
2016031434.tif 000006
【図５】
2016031434.tif 000007
【図６】
2016031434.tif 000008
【図７】
2016031434.tif 000009
【図８】
2016031434.tif 000010
【図９】
2016031434.tif 000011
【図１０】
2016031434.tif 000012
【図１１】
2016031434.tif 000013
【図１２】
2016031434.tif 000014
【図１３】
2016031434.tif 000015
【図１４】
2016031434.tif 000016
【図１５】
2016031434.tif 000017
【図１６】
2016031434.tif 000018
【図１７】
2016031434.tif 000019
【図１８】
2016031434.tif 000020
【図１９】
2016031434.tif 000021
【図２０】
2016031434.tif 000022
【国際調査報告】
2016031434.tif 000023
2016031434.tif 000024
2016031434.tif 000025
2016031434.tif 000026