(57)【要約】  小型化を図り得る弾性波装置を提供する。  弾性波装置１は、圧電基板２と、圧電基板２上に設けられており、複数本の第１，第２の電極指と、第１，第２のバスバー６ａ２，６ｂ２とを有するＩＤＴ電極６と、複数本の第３，第４の電極指と、第３，第４のバスバーとを有する容量電極８と、容量電極８に積層されている絶縁膜９と、絶縁膜９を介して容量電極８と対向している第１の部分１４ｂを有する第１の配線１４と、第１のバスバー６ａ２と第３のバスバーとを接続している第２の配線１５とを備える。容量電極８が、弾性表面波の伝搬方向においてＩＤＴ電極６の側方に配置されている。
2016111315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられており、互いに間挿し合っている複数本の第１の電極指及び複数本の第２の電極指と、前記複数本の第１の電極指の一端が共通接続されている第１のバスバーと、前記複数本の第２の電極指の一端が共通接続されている第２のバスバーとを有するＩＤＴ電極と、
互いに間挿し合っている複数本の第３の電極指及び複数本の第４の電極指と、前記複数本の第３の電極指の一端が共通接続されている第３のバスバーと、前記複数本の第４の電極指の一端が共通接続されている第４のバスバーとを有する容量電極と、
前記容量電極に積層されている絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記容量電極と対向している部分を有する第１の配線と、
前記第１のバスバーと前記第３のバスバーとを接続している第２の配線と、
を備え、
前記容量電極が、弾性表面波の伝搬方向において前記ＩＤＴ電極の側方に配置されている、弾性波装置。
【請求項２】
前記第２のバスバーと前記第４のバスバーとを接続している第３の配線をさらに備える、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記第４のバスバーが、グラウンド電位に接続される、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記第１の配線が、前記第４のバスバーに接続されている、請求項３に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記第３，第４の電極指の交叉幅方向が前記第１，第２の電極指の交叉幅方向と平行にならないように、前記容量電極が配置されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記第３，第４の電極指の交叉幅方向が前記第１，第２の電極指の交叉幅方向に直交するように、前記容量電極が配置されている、請求項５に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記第１の配線の前記容量電極と対向している部分が、前記圧電基板上に設けられている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記容量電極が前記圧電基板上に設けられている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記絶縁膜が、圧電性を有しない絶縁材料からなる、請求項１〜８のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項１０】
少なくとも１つの直列腕共振子及び少なくとも１つの並列腕共振子を有するラダー型フィルタであって、
前記直列腕共振子及び並列腕共振子のうちの少なくとも１つが前記ＩＤＴ電極を有する、請求項１〜９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、弾性波装置が携帯電話機などに広く用いられている。【０００３】
下記の特許文献１では、櫛歯状電極を用いた容量部を有する弾性表面波装置が開示されている。櫛歯状電極の複数本の電極指は、ＩＤＴ電極に連ねられており、圧電基板上に形成されており、誘電体膜を介して共通電極と対向している。それによって、容量部が構成されている。【０００４】
下記の特許文献２では、１対の櫛歯状電極からなる容量部を有するフィルタが開示されている。特許文献２のフィルタは、縦結合共振子型弾性波フィルタ及びリアクタンス素子を有する。縦結合共振子型弾性波フィルタとリアクタンス素子との接続点と、グラウンド電位との間に、上記容量部が接続されている。容量部の電極指が延びる方向が、縦結合共振子型弾性波フィルタのＩＤＴ電極の電極指が延びる方向に垂直とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６３−８６９１２号公報
【特許文献２】特表２０１０−５１２０７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の容量部を構成している複数本の電極指は、上記ＩＤＴ電極の電極指と同じ方向に延ばされている。よって、容量部の複数本の電極指により不要な波が励振される。従って、フィルタ特性などが劣化していた。【０００７】
近年、弾性波装置の小型化が求められている。しかしながら、特許文献２のフィルタでは、容量部を設ける分だけ、面積が大きくなる。よって、小型化が困難であった。【０００８】
本発明の目的は、小型化を図り得る弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る弾性波装置は、圧電基板と、前記圧電基板上に設けられており、互いに間挿し合っている複数本の第１の電極指及び複数本の第２の電極指と、前記複数本の第１の電極指の一端が共通接続されている第１のバスバーと、前記複数本の第２の電極指の一端が共通接続されている第２のバスバーとを有するＩＤＴ電極と、互いに間挿し合っている複数本の第３の電極指及び複数本の第４の電極指と、前記複数本の第３の電極指の一端が共通接続されている第３のバスバーと、前記複数本の第４の電極指の一端が共通接続されている第４のバスバーとを有する容量電極と、前記容量電極に積層されている絶縁膜と、前記絶縁膜を介して前記容量電極と対向している部分を有する第１の配線と、前記第１のバスバーと前記第３のバスバーとを接続している第２の配線とを備え、前記容量電極が、弾性表面波の伝搬方向において前記ＩＤＴ電極の側方に配置されている。【００１０】
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、前記第２のバスバーと前記第４のバスバーとを接続している第３の配線をさらに備える。この場合、前記容量電極は、前記ＩＤＴ電極に並列に接続されている。それによって、ＩＤＴ電極に静電容量を付加することができる。【００１１】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記第４のバスバーが、グラウンド電位に接続される。この場合、前記ＩＤＴ電極とグラウンド電位との間に静電容量を付与することができる。【００１２】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記第１の配線が、前記第４のバスバーに接続されている。この場合、前記ＩＤＴ電極とグラウンド電位との間により一層大きな静電容量を付与することができる。【００１３】
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記第３，第４の電極指の交叉幅方向が前記第１，第２の電極指の交叉幅方向と平行にならないように、前記容量電極が配置されている。この場合、容量電極において励振される弾性表面波の前記ＩＤＴ電極に対する影響を効果的に小さくすることができる。【００１４】
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記第３，第４の電極指の交叉幅方向が前記第１，第２の電極指の交叉幅方向に直交するように、前記容量電極が配置されている。この場合、容量電極において励振される弾性表面波の前記ＩＤＴ電極に対する影響をより一層効果的に小さくすることができる。【００１５】
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記第１の配線の前記容量電極と対向している部分が、前記圧電基板上に設けられている。この場合、上面が平坦である第１の配線上に前記絶縁膜が積層されているため、前記絶縁膜の上面も平坦である。よって、容量電極を容易に設けることができる。【００１６】
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記容量電極が前記圧電基板上に設けられている。この場合、容量電極を容易に設けることができる。【００１７】
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記絶縁膜が、圧電性を有しない絶縁材料からなる。この場合、容量電極上に絶縁膜を設けても、絶縁膜の上面は平坦となる。それによって、絶縁膜上に第１の配線を容易に設けることができる。【００１８】
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、少なくとも１つの直列腕共振子及び少なくとも１つの並列腕共振子を有するラダー型フィルタであって、前記直列腕共振子及び並列腕共振子のうちの少なくとも１つが前記ＩＤＴ電極を有する。この場合、前記容量電極により、直列腕共振子及び並列腕共振子のうちの少なくとも１つに静電容量を付与することにより、通過帯域の端部の高周波数側及び低周波数側のうち少なくとも一方の端部付近における急峻性を効果的に高めることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、小型化を図り得る弾性波装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の回路図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施形態において、圧電基板上に第１の導電材層を設けた状態を示す略図的平面図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施形態において、図２に示した第１の導電材層上に絶縁膜を設けた状態を示す略図的平面図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施形態で用いられている直列腕共振子の平面図である。
【図６】図６は、第１の比較例の弾性波装置の略図的平面図である。
【図７】図７は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の回路図である。
【図８】図８は、本発明の第２の実施形態において、圧電基板上に第１の導電材層を設けた状態を示す略図的平面図である。
【図９】図９は、本発明の第２の実施形態において、図８に示した第１の導電材層上に絶縁膜を設けた状態を示す略図的平面図である。
【図１０】図１０は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【図１１】図１１は、第２の比較例の弾性波装置の略図的平面図である。
【図１２】図１２は、図４中のＡ−Ａ線に沿う弾性波装置の断面図である。
【図１３】図１３は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置の容量電極が配置されている部分の部分断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の第４の実施形態に係る弾性波装置の容量電極が配置されている部分の部分断面図である。
【図１５】図１５は、本発明の第４の実施形態の変形例の弾性波装置の容量電極が配置されている部分の部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２２】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【００２３】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の回路図である。
【００２４】
弾性波装置１は、ラダー型フィルタである。弾性波装置１は、入力端子３と出力端子４との間に接続された直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２を有する。直列腕共振子Ｓ１と直列腕共振子Ｓ２との間の接続点とグラウンド電位との間には、並列腕共振子Ｐ１が接続されている。直列腕共振子Ｓ２と出力端子４との間の接続点とグラウンド電位との間には、並列腕共振子Ｐ２が接続されている。直列腕共振子Ｓ２に、容量部１８が並列に接続されている。なお、容量部１８は、後述する容量電極と、絶縁膜と、絶縁膜を介して容量電極と対向している第１の配線とを有する。並列腕共振子Ｐ１は、上記第１の配線によりグラウンド電位に接続される。
【００２５】
以下において、図２〜図５を用いて、本実施形態のより具体的な構成を説明する。
【００２６】
図４は、本実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。図２及び図３は、本実施形態の弾性波装置の製造工程の途中の段階の構造を示す図である。より具体的には、図２は、圧電基板上に後述の第１の導電材層を設けた状態を示す略図的平面図である。図３は、図２に示した第１の導電材層上に絶縁膜を設けた状態を示す略図的平面図である。
【００２７】
図２〜図４に示すように、弾性波装置１は、圧電基板２を有する。圧電基板２は、ＬｉＮｂＯ３やＬｉＴａＯ３などの圧電単結晶からなる。なお、圧電基板２は、圧電セラミックスからなっていてもよい。
【００２８】
圧電基板２上には、直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２が構成されている。直列腕共振子Ｓ２の側方には、容量電極８が設けられている。直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２は、接続配線１７により接続されている。なお、本明細書においては、直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２を、矩形及び該矩形に２本の対角線を引いた略図により示す。
【００２９】
図５は、直列腕共振子Ｓ２の平面図である。
【００３０】
圧電基板２上には、ＩＤＴ電極６が設けられている。ＩＤＴ電極６は、複数本の第１の電極指６ａ１、複数本の第２の電極指６ｂ１及び第１，第２のバスバー６ａ２，６ｂ２を有する。複数本の第１の電極指６ａ１と複数本の第２の電極指６ｂ１とは、交叉幅方向において互いに間挿し合っている。複数本の第１の電極指６ａ１の一端は、第１のバスバー６ａ２に共通接続されている。複数本の第２の電極指６ｂ１の一端は、第２のバスバー６ｂ２に共通接続されている。
【００３１】
ＩＤＴ電極６の弾性表面波の伝搬方向の両側には、それぞれ反射器７が設けられている。それによって、入力端子と出力端子とをそれぞれ１つ有する１ポート型の弾性波共振子である直列腕共振子Ｓ２が構成されている。直列腕共振子Ｓ１及び並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２も、直列腕共振子Ｓ２と同様の構成を有する。
【００３２】
図２に戻り、容量電極８は、一対の櫛歯状電極からなる。一方の櫛歯状電極は、複数本の第３の電極指８ａ１を有する。複数本の第３の電極指８ａ１の一端は、第３のバスバー８ａ２に共通接続されている。他方の櫛歯状電極は、複数本の第４の電極指８ｂ１を有する。複数本の第４の電極指８ｂ１の一端は、第４のバスバー８ｂ２に共通接続されている。複数本の第３の電極指８ａ１と複数本の第４の電極指８ｂ１とは、交叉幅方向において互いに間挿し合っている。
【００３３】
上述したように、容量電極８は、直列腕共振子Ｓ２の弾性表面波の伝搬方向の側方に設けられている。直列腕共振子Ｓ２は、直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２の内で、容量電極８に最も距離が近い位置に配置されている。直列腕共振子Ｓ２の第１のバスバー６ａ２と容量電極８の第３のバスバー８ａ２とは、第２の配線１５により接続されている。直列腕共振子Ｓ２の第２のバスバー６ｂ２と容量電極８の第４のバスバー８ｂ２とは、第３の配線１６により接続されている。よって、容量電極８は、直列腕共振子Ｓ２に並列に接続されている。
【００３４】
容量電極８の第３，第４の電極指８ａ１，８ｂ１が、直列腕共振子Ｓ２の第１，第２の電極指６ａ１，６ｂ１と直交するように、容量電極８が配置されている。
【００３５】
図２は、圧電基板２上に第１の導電材層を設けた状態を示している。第１の導電材層は、圧電基板２上に設けられている第２，第３の配線１５，１６、容量電極８及び接続配線１７である。図５を用いて説明した、直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２の複数のＩＤＴ電極及び複数の反射器も、第１の導電材層である。第１の導電材層を設けるに際しては、例えば、ＣＶＤ法やスパッタリング法などにより金属膜を成膜する。次に、フォトリソグラフィ法などにより、金属膜をパターニングする。
【００３６】
図３に示されているように、容量電極８上及び第２，第３の配線上には、絶縁膜９が積層されている。本実施形態では、絶縁膜９は、ＳｉＯ２からなる。なお、絶縁膜９は、ＳｉＯ２以外の無機酸化膜からなっていてもよく、ＳｉＮなどの無機窒化膜からなっていてもよい。絶縁膜９を形成するに際しては、例えば、ＣＶＤ法やスパッタリング法などにより全面に絶縁膜を形成する。次に、フォトリソグラフィ法などにより、絶縁膜をパターニングする。なお、本実施形態の絶縁膜９は、第１の導電材層の全面に設けられていてもよい。それによって、弾性波装置１を破損し難くすることができる。
【００３７】
図４に示されているように、圧電基板２上に、入力端子３、出力端子４、グラウンド電位に接続されるグラウンド端子５及び第１の配線１４が設けられている。第１の配線１４は、並列腕共振子Ｐ１とグラウンド端子５とを接続している。第１の配線１４の一部は、絶縁膜９上に設けられている。
【００３８】
なお、図４では、圧電基板２上、絶縁膜９上及び第１の導電材層上に第２の導電材層が設けられている。入力端子３、出力端子４、グラウンド端子５及び第１の配線１４が、圧電基板２及び絶縁膜９上に設けられた第２の導電材層である。第１の導電材層における各ＩＤＴ電極の各バスバー及び接続配線１７の上にも、第２の導電材層が設けられている。それによって、電気抵抗を低くすることができる。
【００３９】
絶縁膜９上に設けられている第１の配線１４の一部としての第１の部分１４ｂは、絶縁膜９を介して容量電極８と対向している。それによって、容量部１８が構成されている。
【００４０】
第２の導電材層を設けるに際しては、例えば、ＣＶＤ法やスパッタリング法などにより金属膜を成膜する。次に、フォトリソグラフィ法などにより、金属膜をパターニングする。
【００４１】
本実施形態の特徴は、容量電極８が、絶縁膜９を介して第１の配線１４と厚み方向に対向していることにある。それによって、弾性波装置を小型にすることができる。このことを、以下において説明する。
【００４２】
図６は、第１の比較例の弾性波装置の略図的平面図である。
【００４３】
第１の比較例では、第１の配線７４の全ての部分が圧電基板７２上に設けられている。容量電極８と第１の配線７４とは圧電基板７２上に配置されている。従って、弾性波装置７１の面積は大きくなっている。
【００４４】
これに対して、図２〜図４に示すように、本実施形態では、第１の配線１４の第１の部分１４ｂと容量電極８とは、絶縁膜９を介して厚み方向に対向し合っている。第１の配線１４は、第２，第３の配線１５，１６とも絶縁膜９を介して対向している。それによって、第１の配線１４が圧電基板２上に設けられる面積を小さくすることができる。従って、弾性波装置１を小型にすることができる。
【００４５】
なお、絶縁膜９は、少なくとも容量電極８の第３，第４の電極指８ａ１，８ｂ１上に設けられていればよい。
【００４６】
容量部１８は、直列腕共振子Ｓ２に並列に接続されている。容量部１８は、容量電極８と、容量電極８上に設けられた絶縁膜９と、絶縁膜９を介して容量電極８と対向している第１の配線１４とを有する。それによって、容量部１８においては、容量電極８に静電容量がさらに付加されている。よって、直列腕共振子Ｓ２に付加する静電容量を効果的に大きくすることができる。この容量部１８による静電容量の付加により、直列腕共振子Ｓ２の反共振点を低周波数側に移動させることができる。従って、弾性波装置１の通過帯域における高周波数側の端部付近における急峻性を効果的に高めることができる。
【００４７】
本実施形態では、容量部１８において、容量電極８に静電容量がさらに付加されている。そのため、例えば、第１の比較例の容量部５８と同等の静電容量を得る場合、本実施形態の容量電極８の面積を小さくすることができる。よって、弾性波装置１をより一層小型にすることができる。
【００４８】
容量電極８は、第３，第４の電極指８ａ１，８ｂ１が、直列腕共振子Ｓ２の第１，第２の電極指６ａ１，６ｂ１に直交するように配置されている。そのため、容量電極８において励振される弾性表面波の伝搬方向は、直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２において励振される弾性表面波の伝搬方向と直交している。よって、容量電極８において励振される弾性表面波と直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２において励振される弾性表面波とは干渉し難い。従って、容量電極８において励振される弾性表面波の直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２に対する影響を効果的に小さくすることができる。
【００４９】
なお、容量電極は、第３，第４の電極指を延長した線が、直列腕共振子及び並列腕共振子の第１，第２の電極指を延長した線に交叉するように配置されていればよい。それによっても、容量電極において励振される弾性表面波の直列腕共振子及び並列腕共振子に対する影響を小さくすることができる。もっとも、好ましくは、本実施形態のように、容量電極８の第３，第４のバスバー８ａ２，８ｂ２が、直列腕共振子Ｓ２の第１，第２のバスバー６ａ２，６ｂ２に直交するように、容量電極８が配置されていることが望ましい。
【００５０】
容量電極８は、直列腕共振子Ｓ２の側方に配置されている。それによって、第１の配線１４が延びる方向と容量電極８の第３，第４のバスバー８ａ２，８ｂ２が延びる方向とを平行にすることができる。そのため、第３，第４のバスバー８ａ２，８ｂ２の長さを長くすることができる。それによって、各第３の電極指８ａ１と各第４の電極指８ｂ１との間の距離を変えずに、第３，第４の電極指８ａ１，８ｂ１の対数を増やすことができる。よって、容量電極８と第１の配線１４とが対向し合う部分の面積を大きくすることができる。従って、容量部１８の静電容量を効果的に大きくすることができる。
【００５１】
さらに、第３，第４のバスバー８ａ２，８ｂ２の長さを長くし、第３，第４の電極指８ａ１，８ｂ１の対数を増やすことにより、第３，第４の電極指８ａ１，８ｂ１の交叉部の面積を大きくすることができる。よって、容量電極８の静電容量も効果的に大きくすることができる。
【００５２】
容量電極８の第３，第４のバスバー８ａ２，８ｂ２の長さを長くし、第３，第４の電極指８ａ１，８ｂ１の対数を増やし、かつ第３，第４の電極指８ａ１，８ｂ１の交叉部の長さを短くしてもよい。それによって、容量電極８の静電容量を小さくすることなく、電気抵抗を効果的に小さくすることができる。さらに、弾性波装置の小型化も図ることができる。
【００５３】
図７は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の回路図である。
【００５４】
弾性波装置２１では、並列腕共振子Ｐ１に容量部２８が並列に接続されている点で、第１の実施形態と異なる。上記以外の点では、第２の実施形態は、第１の実施形態と同様の構成を有する。
【００５５】
次に、図８〜図１０を用いて、第２の実施形態のより具体的な構成を説明する。
【００５６】
図１０は、本実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。図８及び図９は、本実施形態の弾性波装置の製造工程の途中の段階の構造を示す図である。より具体的には、図８は、圧電基板上に第１の導電材層を設けた状態を示す略図的平面図である。図９は、図８に示した第１の導電材層上に絶縁膜を設けた状態を示す略図的平面図である。
【００５７】
図１０に示すように、弾性波装置２１では、直列腕共振子Ｓ２の第２のバスバー６ｂ２と容量電極８の第４のバスバー８ｂ２とが接続されておらず、第４のバスバー８ｂ２とグラウンド端子５とが接続されている。第１の配線２４の一部が、絶縁膜９上だけでなく、第４のバスバー８ｂ２上にも設けられている。このように、第１の配線２４と第４のバスバー８ｂ２とが接続されている。容量電極８と第１の配線２４とは、絶縁膜９を介して対向し合っている。それによって、容量部２８が構成されている。
【００５８】
ここで、図１１に示す第２の比較例では、第１の配線８４の全ての部分が圧電基板７２上に設けられている。容量電極８と第１の配線８４とが圧電基板７２上に配置されているため、弾性波装置８１の面積は大きい。
【００５９】
これに対して、図８〜図１０に示すように、本実施形態では、第１の配線２４は、絶縁膜９を介して容量電極８と対向しており、かつ第４のバスバー８ｂ２上に設けられている。それによって、第１の配線２４が圧電基板２上に設けられている部分の面積を小さくすることができる。従って、弾性波装置２１を小型にすることができる。
【００６０】
上述のように、容量部２８は、並列腕共振子Ｐ１に並列に接続されている。容量部２８は、容量電極８と、容量電極８上に設けられた絶縁膜９と、絶縁膜９を介して容量電極８と対向している第１の配線２４とを有する。それによって、容量部２８においては、容量電極８に静電容量がさらに付加されている。よって、並列腕共振子Ｐ１に付加する静電容量を効果的に大きくすることができる。この容量部２８による静電容量の付加により、並列腕共振子Ｐ１の反共振点を低周波数側に移動させることができる。従って、並列腕共振子Ｐ１の周波数を調整することで弾性波装置２１の通過帯域における低周波数側の端部付近における急峻性を効果的に高めることができる。
【００６１】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、容量部２８において、容量電極８に静電容量がさらに付加されている。よって、容量電極８の面積を小さくすることができる。従って、弾性波装置２１を小型にすることができる。
【００６２】
次に、第３の実施形態について図１２及び図１３を用いて説明する。
【００６３】
図１２は、図４中のＡ−Ａ線に沿う弾性波装置の断面図である。図１３は、第３の実施形態に係る弾性波装置の容量電極が配置されている部分の部分断面図である。
【００６４】
図１２に示すように、第１の実施形態では、圧電基板２上の容量電極８の第３，第４の電極指８ａ１，８ｂ１による凹凸形状を、絶縁膜９が追従する。それによって、絶縁膜９の上面９ａも凹凸形状となっている。上述したように、絶縁膜９は、ＳｉＯ２からなる。
【００６５】
図１３に示されている第３の実施形態では、絶縁膜３９は、ポリイミドからなる。なお、絶縁膜３９は、ポリイミド以外の樹脂など、圧電性を有しない絶縁材料からなっていてもよい。上記の点以外では、第３の実施形態は、第１の実施形態と同様の構成を有する。
【００６６】
なお、本実施形態では、絶縁膜３９は、容量電極８上に設けられており、かつ直列腕共振子上及び並列腕共振子上には設けられていない。
【００６７】
第３の実施形態では、絶縁膜３９が樹脂からなるため、圧電基板２上の容量電極８の第３，第４の電極指８ａ１，８ｂ１による凹凸形状を、絶縁膜３９は追従しない。そのため、絶縁膜３９の上面３９ａを平坦な形状とすることができる。よって、絶縁膜３９の上面３９ａに第１の配線１４を容易に設けることができる。従って、生産性を効果的に高めることができる。
【００６８】
第１の実施形態と同様に、本実施形態でも、圧電基板２上に第１の導電材層を設けた後に、絶縁膜３９を設ける。絶縁膜３９は、例えば、印刷やフォトリソグラフィ法などにより設けることができる。
【００６９】
絶縁膜３９を設けた後に、第１の実施形態と同様に、第２の導電材層を設ける。なお、第２の導電材層を設けた後に、第１の配線１４上及び第１の導電材層上にＳｉＯ２などからなる保護膜を形成することが好ましい。それによって、弾性波装置を破損し難くすることができる。
【００７０】
図１４は、第４の実施形態に係る弾性波装置の容量電極が配置されている部分の部分断面図である。
【００７１】
第４の実施形態では、圧電基板２上に第１の配線４４の全体が設けられており、容量電極４８の一部が圧電基板２上に設けられていない点で、第１の実施形態とは異なる。上記の点以外では、本実施形態は、第１の実施形態と同様の構成を有する。
【００７２】
圧電基板２上に設けられた第１の配線４４上には、ＳｉＯ２などからなる絶縁膜４９が設けられている。絶縁膜４９上には、容量電極４８が設けられている。すなわち、本実施形態では、第１の配線４４は、各ＩＤＴ電極及び反射器と同時に設けられる第１の導電材層である。容量電極４８は、入力端子、出力端子及びグラウンド端子と同時に設けられる第２の導電材層である。第１の配線４４の一部としての第１の部分４４ｂと容量電極４８とは、絶縁膜４９を介して対向し合っている。
【００７３】
第１の配線４４の第１の部分４４ｂと容量電極４８とが絶縁膜４９を介して対向し合っていることにより、容量部５８が形成されている。よって、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００７４】
第１の配線４４の上面４４ａは平坦であるため、第１の配線４４上に設けられている絶縁膜４９の上面４９ａも平坦である。よって、容量電極４８を絶縁膜４９の上面４９ａに容易に設けることができる。従って、生産性を効果的に高めることができる。
【００７５】
図１５に示す変形例のように、絶縁膜６９は、ポリイミドや、ポリイミド以外の樹脂などの圧電性を有しない絶縁材料からなっていてもよい。この場合においても、第４の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００７６】
第１〜第４の実施形態においては、弾性波装置がラダー型フィルタである場合を説明したが、本発明における弾性波装置は、１ポート型の共振子であってもよい。本発明における弾性波装置は弾性表面波装置には限られず、弾性境界波装置であってもよい。
【符号の説明】
【００７７】
１…弾性波装置
２…圧電基板
３…入力端子
４…出力端子
５…グラウンド端子
６…ＩＤＴ電極
６ａ１，６ｂ１…第１，第２の電極指
６ａ２，６ｂ２…第１，第２のバスバー
７…反射器
８…容量電極
８ａ１，８ｂ１…第３，第４の電極指
８ａ２，８ｂ２…第３，第４のバスバー
９…絶縁膜
９ａ…上面
１４…第１の配線
１４ｂ…第１の部分
１５…第２の配線
１６…第３の配線
１７…接続配線
１８…容量部
２１…弾性波装置
２４…第１の配線
２８…容量部
３９…絶縁膜
３９ａ…上面
４４…第１の配線
４４ａ…上面
４４ｂ…第１の部分
４８…容量電極
４９…絶縁膜
４９ａ…上面
５８…容量部
６９…絶縁膜
７１…弾性波装置
７２…圧電基板
７４…第１の配線
８１…弾性波装置
８４…第１の配線
Ｓ１，Ｓ２…直列腕共振子
Ｐ１，Ｐ２…並列腕共振子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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