(57)【要約】認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムを格納する記録媒体が搭載される制御装置を備え、前記記録媒体に格納される前記ソフトウエアプログラムがインストールされる端末装置であって、前記制御装置は、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記パスワード解析ルーチンが実行され、前記端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示し、正規のパスワードが入力されないと前記ソフトウエアプログラムが実行できないよう構成されていると共に、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記認証キー接続監視ルーチンが実行され、正規の前記認証キーが接続されている間、前記ソフトウエアプログラムが実行できるよう構成されている端末装置が提供される。
2016111352.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムを格納する記録媒体が搭載される制御装置を備え、前記記録媒体に格納される前記ソフトウエアプログラムがインストールされる端末装置であって、前記制御装置は、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記パスワード解析ルーチンが実行され、前記端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示し、正規のパスワードが入力されないと前記ソフトウエアプログラムが実行できないよう構成されていると共に、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記認証キー接続監視ルーチンが実行され、正規の前記認証キーが接続されている間、前記ソフトウエアプログラムが実行できるよう構成されている端末装置。
【請求項２】
前記制御装置は、誤ったパスワードが入力されると、プログラムが実行できないよう構成されている請求項１記載の端末装置。
【請求項３】
前記制御装置は、前記パスワードの入力を促す画面が表示されている間、所定の時間、操作が行われない場合に、前記画面を閉じてプログラムが実行できないよう構成されている請求項１記載の端末装置。
【請求項４】
正規の前記パスワードは、所定のウェブサイトにアクセスしないと入手できないよう構成されている請求項１記載の端末装置。
【請求項５】
前記所定のウェブサイトは、基板処理装置メーカのイントラネットである請求項４記載の端末装置。
【請求項６】
正規の前記パスワードは、有効期間が１日である請求項１記載の端末装置。
【請求項７】
前記制御装置は、前記認証キーが接続されていない場合、前記認証キーが接続されると、前記ソフトウエアプログラムが実行可能に構成される請求項１記載の端末装置。
【請求項８】
認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムを格納する記録媒体であって、  コンピュータに、前記インストールパスワード解析ルーチン、及び前記認証キー接続監視ルーチンを実行させ、端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示させ、正規のパスワードが入力されるか確認する手順と、前記端末装置に正規の前記認証キーが接続されているか監視させる手順と、を少なくとも実行させるソフトウエアプログラムを読取可能な記録媒体。
【請求項９】
認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するインストールパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムを格納する記録媒体が搭載される制御装置を備え、前記記録媒体に格納される前記ソフトウエアプログラムをインストールして実行する端末装置であって、前記制御装置は、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記インストールパスワード解析ルーチンが実行され、前記端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示し、正規のパスワードが入力されないとインストールできないよう構成されていると共に、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記認証キー接続監視ルーチンが実行され、正規の前記認証キーが接続されている間、前記ソフトウエアプログラムが実行できるよう構成されている端末装置。
【請求項１０】
所定の認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するインストールパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムを格納する記録媒体であって、  コンピュータに、前記インストールパスワード解析ルーチンを実行させ、端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示させ、正規のパスワードが入力されないと前記端末装置にインストールさせない手順と、前記認証キー接続監視ルーチンを実行させ、前記端末装置に正規の前記認証キーが接続されているか監視させる手順と、を少なくとも実行させるソフトウエアプログラムを読取可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を処理する基板処理装置におけるソフトウエアプログラムの流出および不正コピーの防止に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、製造現場以外において、基板処理装置の一種である半導体製造装置で使用しているソフトウエアプログラムを使用する場合、実際に半導体製造装置で使用しているソフトウエアプログラムそのものか、または、データおよび設定ファイルの一部を変更したものをインストール用のメディア(記録媒体)に含める形式で、顧客に提供していた。【０００３】
顧客は、提供されたインストール用のメディア(記録媒体)を使用し、パソコン(ＰＣ)にインストールすることで、製造現場以外でも半導体製造装置で用いるソフトウエアプログラムを使用することができた。【０００４】
しかしながら、この従来のソフトウエアプログラム提供方式では、インストール用のメディア(記録媒体)そのものが盗まれたり、不正にコピーされたりした場合に、社外へメディア(記録媒体)内に格納された機密情報が流失してしまう可能性があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、従来のソフトウエアプログラム提供方式に起因する、半導体製造装置で用いるソフトウエアプログラムの社外流失リスクを低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムを格納する記録媒体が搭載される制御装置を備え、前記記録媒体に格納される前記ソフトウエアプログラムがインストールされる端末装置であって、前記制御装置は、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記パスワード解析ルーチンが実行され、前記端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示し、正規のパスワードが入力されないと前記ソフトウエアプログラムが実行できないよう構成されていると共に、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記認証キー接続監視ルーチンが実行され、正規の前記認証キーが接続されている間、前記ソフトウエアプログラムが実行できるよう構成されている端末装置が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、半導体製造装置で使用するソフトウエアプログラムが社外に流出したときのリスクを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理システムの概要構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の斜透視図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の側面透視図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の処理炉の縦断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る基板処理装置が備える基板処理用コントローラのブロック構成図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るソフトウエアプログラムのインストールメディアの作成までを示す例である。
【図７】本発明の一実施形態に係るソフトウエアプログラムのインストールの流れを示す例である。
【図８】本発明の一実施形態に係るソフトウエアプログラムに組み込まれる認証キー接続監視ルーチンの図示例である。
【図９】本発明の一実施形態に係るソフトウエアプログラムのパソコンへのインストールからパソコン画面上での起動までの図示例である。
【図１０】本発明の一実施形態に係るソフトウエアプログラムに組み込まれるインストール解析ルーチンのフローを示す図示例である。
【図１１】本発明の一実施形態に係るソフトウエアプログラムに組み込まれる認証キー接続監視ルーチンのフローを示す図示例である。
【図１２】本発明の一実施形態に係るソフトウエアプログラムのパソコンへのインストールからパソコン画面上での起動までの図示例である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
＜本発明の一実施形態＞  以下に、本発明の一実施形態について説明する。
【００１０】
（１）基板処理システムの構成  図１は、本発明の一実施形態に係るソフトウエハプログラムが使用される基板処理システムの概要構成図である。
【００１１】
図１に示すように、本実施形態に係る基板処理システムは、少なくとも一台の基板処理装置１００と、この基板処理装置１００とデータ交換可能なように接続される群管理装置５００と、を備えている。基板処理装置１００は、ソフトウエハプログラムの一つである処理手順及び処理条件が定義されたレシピに基づく処理プロセスを実行するように構成されている。基板処理装置１００と群管理装置５００との間は、例えば構内回線（ＬＡＮ）や広域回線（ＷＡＮ）等のネットワーク４００により接続されている。
【００１２】
（２）基板処理装置の構成  続いて、本実施形態に係る基板処理装置１００の構成について、図２，図３を参照しながら説明する。図２は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の斜透視図である。図３は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の側面透視図である。なお、本実施形態にかかる基板処理装置１００は、例えばウエハ等の基板に酸化、拡散処理、ＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置として構成されている。
【００１３】
図２、図３に示すように、本実施形態に係る基板処理装置１００は、耐圧容器として構成された筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設されている。正面メンテナンス口１０３には、正面メンテナンス口１０３を開閉する立ち入り機構として一対の正面メンテナンス扉１０４が設けられている。シリコン等のウエハ（基板）２００を収納したポッド（基板収容器）１１０が、筐体１１１内外へウエハ２００を搬送するキャリアとして使用される。
【００１４】
筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が、筐体１１１内外を連通するように開設されている。ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側には、載置部としてロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されている。ロードポート１１４上には、ポッド１１０を載置されると共に位置合わせされるように構成されている。ポッド１１０は、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）等の工程内搬送装置（図示せず）によってロードポート１１４上に搬送されるように構成されている。
【００１５】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されている。回転式ポッド棚１０５上には、複数個のポッド１１０が保管されるように構成されている。回転式ポッド棚１０５は、垂直に立設されて水平面内で間欠的に回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７と、を備えている。複数枚の棚板１１７は、ポッド１１０を複数個それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００１６】
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと、搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を相互に搬送するように構成されている。
【００１７】
筐体１１１内の下部には、サブ筐体１１９が筐体１１１内の前後方向の略中央部から後端にわたって設けられている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内外に搬送する一対のウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が、垂直方向に上下二段に並べられて設けられている。上下段のウエハ搬入搬出口１２０には、ポッドオープナ１２１がそれぞれ設置されている。
【００１８】
各ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する一対の載置台１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２上に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００１９】
サブ筐体１１９内には、ポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５等が設置された空間から流体的に隔絶された移載室１２４が構成されている。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されている。ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａと、ウエハ移載装置１２５ａを昇降させるウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図２に示すように、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは、サブ筐体１１９の移載室１２４の前方領域右端部と筐体１１１右側の端部との間に設置されている。ウエハ移載装置１２５ａは、ウエハ２００の載置部としてのツイーザ（基板保持体）１２５ｃを備えている。これらウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ２００をボート（基板保持具）２１７に対して装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）することが可能に構成されている。
【００２０】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
【００２１】
図２に示すように、サブ筐体１１９の待機部１２６右端部と筐体１１１右側端部との間には、ボート２１７を昇降させるボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台には、連結具としてのアーム１２８が連結されている。アーム１２８には、蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられている。シールキャップ２１９は、ボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
【００２２】
主に、回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５，ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８，ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５，ボート２１７及び後述の回転機構２５４により、本実施形態に係る基板搬送系が構成されている。これら回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５，ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８，ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５，ボート２１７及び回転機構２５４は、後述のサブコントローラとしての搬送コントローラ１１に電気的に接続されている。
【００２３】
ボート２１７は複数本の保持部材を備えている。ボート２１７は、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００を、その中心を揃えて垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持するように構成されている。
【００２４】
図２に示すように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、クリーンユニット１３４が設置されている。クリーンユニット１３４は、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されている。ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置（図示せず）が設置されている。
【００２５】
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、図示しないノッチ合わせ装置、ウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７の周囲を流通した後、図示しないダクトにより吸い込まれて筐体１１１の外部に排気されるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環されてクリーンユニット１３４によって移載室１２４内に再び吹き出されるように構成されている。
【００２６】
なお、筐体１１１，サブ筐体１１９の外周には基板処理装置１００内への立ち入り機構として図示しない複数の装置カバーが取り付けられている。これら装置カバーは、メンテナンス作業時に取り外して保守員が基板処理装置１００内に立ち入り可能となっている。これら装置カバーと相対する筐体１１１，サブ筐体１１９の端部には、立ち入りセンサとしてのドアスイッチ１３０が設けられている。また、正面メンテナンス扉１０４と相対する筐体１１１の端部にも立ち入りセンサとしてドアスイッチ１３０が設けられている。また、ロードポート１１４上には、ポッド１１０の載置を検知する基板検知センサ１４０が設けられている。これらドアスイッチ１３０及び基板検知センサ１４０等のスイッチ，センサ類１５は、後述の基板処理装置用コントローラ２４０に電気的に接続されている。
【００２７】
（３）基板処理装置の動作  次に、本実施形態にかかる基板処理装置１００の動作について、図２，図３を参照しながら説明する。
【００２８】
図２、図３に示すように、ポッド１１０が工程内搬送装置（図示せず）によってロードポート１１４に供給されると、基板検知センサ１４０によりポッド１１０が検知され、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放される。そして、ロードポート１１４の上のポッド１１０が、ポッド搬送装置１１８によってポッド搬入搬出口１１２から筐体１１１内部へと搬入される。
【００２９】
筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって回転式ポッド棚１０５の棚板１１７上へ自動的に搬送されて一時的に保管される。その後、ポッド１１０は、棚板１１７上から一方のポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載される。なお、筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって直接ポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載されてもよい。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４内にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４内にクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、移載室１２４内の酸素濃度が例えば２０ｐｐｍ以下となり、大気雰囲気である筐体１１１内の酸素濃度よりも遥かに低くなるように設定されている。
【００３０】
載置台１２２上に載置されたポッド１１０は、その開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口が開放される。その後、ウエハ２００は、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてポッド１１０内からピックアップされ、ノッチ合わせ装置にて方位が整合された後、移載室１２４の後方にある待機部１２６内へ搬入され、ボート２１７内に装填（チャージング）される。ボート２１７内にウエハ２００を装填したウエハ移載装置１２５ａは、ポッド１１０に戻り、次のウエハ２００をボート２１７内に装填する。
【００３１】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハ２００のボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１の載置台１２２上には、別のポッド１１０が回転式ポッド棚１０５上からポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【００３２】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７内に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７は、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されていく。
【００３３】
ローディング後は、処理炉２０２内にてウエハ２００に任意の処理が実施される。処理後は、ノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、上述の手順とほぼ逆の手順で、処理後のウエハ２００を格納したボート２１７が処理室２０１内より搬出され、処理後のウエハ２００を格納したポッド１１０が筐体１１１外へと搬出される。
【００３４】
（４）処理炉の構成  続いて、本実施形態にかかる処理炉２０２の構成について、図４を用いて説明する。図４は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置１００の処理炉２０２の縦断面図である。
【００３５】
図４に示すように、処理炉２０２は、反応管としてのプロセスチューブ２０３を備えている。プロセスチューブ２０３は、内部反応管としてのインナーチューブ２０４と、その外側に設けられた外部反応管としてのアウターチューブ２０５と、を備えている。インナーチューブ２０４は、例えば石英（ＳｉＯ２）または炭化シリコン（ＳｉＣ）等の耐熱性材料により構成されている。インナーチューブ２０４は、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。インナーチューブ２０４内の筒中空部には、基板としてのウエハ２００を処理する処理室２０１が形成されている。処理室２０１内は、後述するボート２１７を収容可能なように構成されている。アウターチューブ２０５は、インナーチューブ２０４と同心円状に設けられている。アウターチューブ２０５は、内径がインナーチューブ２０４の外径よりも大きく、上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されている。アウターチューブ２０５は、例えば石英または炭化シリコン等の耐熱性材料により構成されている。
【００３６】
プロセスチューブ２０３の外側には、プロセスチューブ２０３の側壁面を囲うように、加熱機構としてのヒータ２０６が設けられている。ヒータ２０６は円筒形状に構成されている。ヒータ２０６は、保持板としてのヒータベース２５１に支持されることにより垂直に据え付けられている。
【００３７】
アウターチューブ２０５の下方には、アウターチューブ２０５と同心円状になるように、マニホールド２０９が配設されている。マニホールド２０９は、例えばステンレス等により構成されている。マニホールド２０９は、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド２０９は、インナーチューブ２０４の下端部とアウターチューブ２０５の下端部とにそれぞれ係合している。マニホールド２０９は、インナーチューブ２０４の下端部とアウターチューブ２０５の下端部とを支持するように設けられている。なお、マニホールド２０９とアウターチューブ２０５との間には、シール部材としてのＯリング２２０ａが設けられている。マニホールド２０９がヒータベース２５１に支持されることにより、プロセスチューブ２０３は垂直に据え付けられた状態となっている。プロセスチューブ２０３とマニホールド２０９とにより反応容器が形成される。
【００３８】
後述するシールキャップ２１９には、ガス導入部としての処理ガスノズル２３０ａ及びパージガスノズル２３０ｂが処理室２０１内に連通するように接続されている。処理ガスノズル２３０ａには、処理ガス供給管２３２ａが接続されている。処理ガス供給管２３２の上流側（処理ガスノズル２３０ａとの接続側と反対側）には、ガス流量制御器としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）２４１ａを介して、図示しない処理ガス供給源等が接続されている。また、パージガスノズル２３０ｂには、パージガス供給管２３２ｂが接続されている。パージガス供給管２３２ｂの上流側（パージガスノズル２３０ｂとの接続側と反対側）には、ガス流量制御器としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）２４１ｂを介して、図示しないパージガス供給源等が接続されている。
【００３９】
主に、処理ガス供給源（図示しない）、ＭＦＣ２４１ａ、処理ガス供給管２３２ａ及び処理ガスノズル２３０ａにより、本実施形態に係る処理ガス供給系が構成されている。主に、パージガス供給源（図示しない）、ＭＦＣ２４１ｂ、パージガス供給管２３２ｂ及びパージガスノズル２３０ｂにより、本実施形態に係るパージガス供給系が構成されている。主に、処理ガス供給系及びパージガス供給系により、本実施形態に係るガス供給系が構成されている。ＭＦＣ２４１ａ，２４１ｂには、後述のサブコントローラとしてのガス供給コントローラ１４が電気的に接続されている。
【００４０】
マニホールド２０９には、処理室２０１内の雰囲気を排気する排気管２３１が設けられている。排気管２３１は、インナーチューブ２０４とアウターチューブ２０５との隙間によって形成される筒状空間２５０の下端部に配置されている。排気管２３１は、筒状空間２５０に連通している。排気管２３１の下流側（マニホールド２０９との接続側と反対側）には、圧力検知器としての圧力センサ２４５、例えばＡＰＣ（Ａｕｔｏ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｃｏｎｔｏｒｏｌｌｅｒ）として構成された圧力調整装置２４２、真空ポンプ等の真空排気装置２４６が上流側から順に接続されている。主に、排気管２３１、圧力センサ２４５、圧力調整装置２４２及び真空排気装置２４６により、本実施形態に係るガス排気機構が構成されている。圧力調整装置２４２及び圧力センサ２４５には、後述のサブコントローラとしての圧力コントローラ１３が電気的に接続されている。
【００４１】
マニホールド２０９の下方には、マニホールド２０９の下端開口を気密に閉塞可能な炉口蓋体としてのシールキャップ２１９が設けられている。シールキャップ２１９は、マニホールド２０９の下端に垂直方向下側から当接されるようになっている。シールキャップ２１９は、例えばステンレス等の金属により構成されている。シールキャップ２１９は、円盤状に形成されている。シールキャップ２１９の上面には、マニホールド２０９の下端と当接するシール部材としてのＯリング２２０ｂが設けられている。
【００４２】
シールキャップ２１９の中心部付近であって処理室２０１と反対側には、ボートを回転させる回転機構２５４が設置されている。回転機構２５４の回転軸２５５は、シールキャップ２１９を貫通してボート２１７を下方から支持している。回転機構２５４は、ボート２１７を回転させることでウエハ２００を回転させることが可能に構成されている。
【００４３】
シールキャップ２１９は、プロセスチューブ２０３の外部に垂直に設備された基板保持具昇降機構としてのボートエレベータ１１５によって、垂直方向に昇降されるように構成されている。シールキャップ２１９を昇降させることにより、ボート２１７を処理室２０１内外へ搬送することが可能に構成されている。回転機構２５４及びボートエレベータ１１５には、後述のサブコントローラとしての搬送コントローラ１１が電気的に接続されている。
【００４４】
上述したように、基板保持具としてのボート２１７は、複数枚のウエハ２００を水平姿勢でかつ互いに中心を揃えた状態で整列させて多段に保持するように構成されている。ボート２１７は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料により構成されている。ボート２１７の下部には、断熱部材としての断熱板２１６が水平姿勢で多段に複数枚配置されている。断熱板２１６は、円板形状に形成されている。断熱板２１６は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料により構成されている。断熱板２１６は、ヒータ２０６からの熱をマニホールド２０９側に伝えにくくするように構成されている。
【００４５】
プロセスチューブ２０３内には、温度検知器としての温度センサ２６３が設置されている。主に、ヒータ２０６及び温度センサ２６３により、本実施形態に係る加熱機構が構成されている。これらヒータ２０６と温度センサ２６３とには、後述のサブコントローラとしての温度コントローラ１２が電気的に接続されている。
【００４６】
主に、ガス排気機構、ガス供給系、加熱機構により、本実施形態に係る基板処理系が構成されている。
【００４７】
（５）処理炉の動作  続いて、半導体デバイスの製造工程の一工程として、上記構成に係る処理炉２０２を用いてＣＶＤ法によりウエハ２００上に薄膜を形成する方法について、図４を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置１００を構成する各部の動作は基板処理装置用コントローラ２４０により制御される。
【００４８】
複数枚のウエハ２００がボート２１７に装填（ウエハチャージ）されると、図４に示すように、複数枚のウエハ２００を保持したボート２１７は、ボートエレベータ１１５によって持ち上げられて処理室２０１内に搬入（ボートローディング）される。この状態で、シールキャップ２１９はＯリング２２０ｂを介してマニホールド２０９の下端をシールした状態となる。
【００４９】
処理室２０１内が所望の圧力（真空度）となるように、真空排気装置２４６によって真空排気される。この際、圧力センサ２４５が測定した圧力値に基づき、圧力調整装置２４２（の弁の開度）がフィードバック制御される。また、処理室２０１内が所望の温度となるように、ヒータ２０６によって加熱される。この際、温度センサ２６３が検知した温度値に基づき、ヒータ２０６への通電量がフィードバック制御される。続いて、回転機構２５４により、ボート２１７及びウエハ２００が回転させられる。
【００５０】
次いで、処理ガス供給源から供給されてＭＦＣ２４１ａにて所望の流量となるように制御された処理ガスは、ガス供給管２３２ａ内を流通してノズル２３０ａから処理室２０１内に導入される。導入された処理ガスは処理室２０１内を上昇し、インナーチューブ２０４の上端開口から筒状空間２５０内に流出して排気管２３１から排気される。ガスは、処理室２０１内を通過する際にウエハ２００の表面と接触し、この際に熱ＣＶＤ反応によってウエハ２００の表面上に薄膜が堆積（デポジション）される。
【００５１】
予め設定された処理時間が経過すると、パージガス供給源から供給されてＭＦＣ２４１ｂにて所望の流量となるように制御されたパージガスが処理室２０１内に供給され、処理室２０１内が不活性ガスに置換されるとともに、処理室２０１内の圧力が常圧に復帰される。
【００５２】
その後、ボートエレベータ１１５によりシールキャップ２１９が下降されてマニホールド２０９の下端が開口されるとともに、処理済のウエハ２００を保持するボート２１７がマニホールド２０９の下端からプロセスチューブ２０３の外部へと搬出（ボートアンローディング）される。その後、処理済のウエハ２００はボート２１７より取り出され、ポッド１１０内へ格納される（ウエハディスチャージ）。
【００５３】
（６）基板処理装置用コントローラの構成（基板処理装置用コントローラ）  以下、図５を参照して、基板処理装置用コントローラとしての制御装置２４０について説明する。
【００５４】
該制御装置２４０は、主にＣＰＵ等の演算制御部２５と、処理コントローラとしての処理制御部２０と、搬送コントローラ１１としての搬送制御部２７と、メモリやＨＤＤ等からなる記憶部２８と、マウスやキーボード等の入力部２９及びモニタ等の表示部３１とから構成されている。尚、前記演算制御部２５と、前記記憶部２８と、前記入力部２９と、前記表示部３１とで各データを設定可能な操作部が構成される。
【００５５】
ＣＰＵ（Central Processing Unit)２５は、基板処理装置用コントローラ２４０の中枢を構成し、図示しないＲＯＭに記憶された制御プログラム等のソフトウエハプログラムを実行し、表示部３１からの指示に従って、レシピ記憶部も構成する記憶部２８に記憶されているレシピ（例えば、基板処理レシピとしてのプロセス用レシピ等）を実行する。ＲＯＭは、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリ、ハードディスクなどから構成され、ＣＰＵ２５の動作プログラム等を記憶する記録媒体である。メモリ(ＲＡＭ)は、ＣＰＵ２５のワークエリア(一時記憶部)などとして機能する。
【００５６】
ここで、基板処理レシピは、ウエハ２００を処理する処理条件や処理手順等が定義されたレシピである。また、レシピファイルには、搬送コントローラ１１、温度コントローラ１２、圧力コントローラ１３、ガス供給コントローラ１４等に送信する設定値（制御値）や送信タイミング等が、基板処理のステップ毎に設定されている。
【００５７】
また、本発明の実施の形態にかかる基板処理装置用コントローラ２４０は、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、汎用コンピュータに、上述の処理を実行するための制御プログラムを含む各種プログラムを格納した外部記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＵＳＢ、外付けＨＤＤ等）からこれら各種プログラムをインストールすることにより、例えば、上述の処理を実行する基板処理装置用コントローラ２４０を構成することができる。
【００５８】
そして、これらの各種プログラムを供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板に当該プログラムを掲示し、ネットワークを介して搬送波に重畳して提供してもよい。そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。
【００５９】
前記処理制御部２０は、前記処理炉２０１内にローディングされたウエハ２００に対し、所定の処理がなされる様、前記処理炉２０１内の温度や圧力、該処理炉２０１内に導入される処理ガスの流量等を制御する機能を有している。
【００６０】
前記搬送制御部２７は、図示しない駆動モータを介して前記ポッド搬送装置１０５、前記ウエハ移載機構１２５、前記ボートエレベータ１１５等の搬送機構の駆動を制御する機能を有している。
【００６１】
前記記憶部２８には、各種データ等が格納されるデータ格納領域３２と、各種プログラムが格納されるプログラム格納領域３３が形成されている。
【００６２】
データ格納領域３２は、前記レシピファイルに関連する各種パラメータが格納される。また、前記ポッド１１０を前記筐体１１１内に搬入する際、又前記ポッド１１０を前記筐体１１１外に搬出する際の、Ｉ／Ｏステージとしての載置台１１４上の受渡し位置の情報や、受渡し位置にキャリアローダとしての前記ポッド搬送装置１１８を移動させる際の動作順序、受渡し位置からキャリアローダ１１８を移動させる際の動作順序等の情報が格納されている。また、ポッド１１０毎に識別する情報であるキャリアＩＤやポッド１１０内のウエハ２００の種別情報を少なくとも含むキャリア情報が前記データ格納領域３２に格納される様になっている。
【００６３】
プログラム格納領域３３には、上述の基板処理レシピとしてのプロセス用レシピや前記カセット３の搬入、搬出を行う為に必要な各種プログラム等の各種ソフトウエアプログラムが格納されている。また、例えば、後述するソフトウエアをインストールする際に、起動時にパスワードを要求するインストールパスワード解析ルーチン(以後、解析ルーチンまたは第1ルーチンともいう)や後述する認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチン(以後、監視ルーチンまたは第２ルーチンともいう)等のサブプログラムが組み込まれたソフトウエアプログラムが格納可能に構成されている。また、ソフトウエアをインストール後、起動時にパスワードを要求するパスワード解析ルーチン(以後、パスワード解析ルーチンまたは第３ルーチンともいう)や監視ルーチン等のサブプログラムが組み込まれたソフトウエアプログラムが格納可能に構成されるようになっている。
【００６４】
基板処理装置用コントローラ２４０の表示部３１には、タッチパネルが設けられている。タッチパネルは、上述の基板搬送系、基板処理系への操作コマンドの入力を受け付ける操作画面を表示するように構成されている。かかる操作画面は、基板搬送系や基板処理系の状態を確認したり、基板搬送系や基板処理系への動作指示を入力したりするための各種表示欄及び操作ボタンを備えている。なお、操作部は、パソコンやモバイル等の操作端末(以後、端末装置ともいう)のように、少なくとも表示部３１と入力部２９を含む構成であればよい。
【００６５】
搬送コントローラ１１は、基板搬送系を構成する回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８、ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５、ボート２１７及び回転機構２５４の搬送動作をそれぞれ制御するように構成されている。また、図示しないが基板搬送系を構成する回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５，ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８，ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５，ボート２１７及び回転機構２５４には、それぞれセンサが内蔵されている。搬送コントローラ１１は、これらのセンサがそれぞれ所定の値や異常な値等を示した際に、基板処理装置用コントローラ２４０にその旨の通知を行うように構成されている。
【００６６】
温度コントローラ１２は、処理炉２０２のヒータ２０６の温度を制御することで処理炉２０２内の温度を調節すると共に、温度センサ２６３が所定の値や異常な値等を示した際に、基板処理装置用コントローラ２４０にその旨の通知を行うように構成されている。
【００６７】
圧力コントローラ１３は、圧力センサ２４５により検知された圧力値に基づいて、処理室２０１内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように、圧力調整装置２４２を制御すると共に、圧力センサ２４５が所定の値や異常な値等を示した際に、基板処理装置用コントローラ２４０にその旨の通知を行うように構成されている。
【００６８】
ガス供給コントローラ１４は、処理ガス供給管２３２ａ，パージガス供給管２３２ｂからのガスの供給や停止を、ガスバルブ（図示せず）を開閉させることにより制御するように構成されている。また、ガス供給コントローラ１４は、処理室２０１内に供給するガスの流量が所望のタイミングにて所望の流量となるように、ＭＦＣ２４１ａ，２４１ｂを制御するように構成されている。ガス供給コントローラ１４は、ガスバルブ（図示せず）やＭＦＣ２４１ａ，２４１ｂの備えるセンサ（図示せず）が所定の値や異常な値等を示した際に、基板処理装置用コントローラ２４０にその旨の通知を行うように構成されている。
【００６９】
（本発明の好ましい実施形態）次に、ソフトウエアプログラムの流出防止に関して図６、図７及び図１０等を用いて、複数の実施形態に分けて説明する。
【００７０】
（第１の実施形態）先ず、後述する認証キー接続監視ルーチンを含むソフトウエアプログラムのインストーラを作成し、インストール用記録媒体(インストールメディア)にコピーするところまでの状況を図６に示す。例えば、このインストーラ作成は、パソコン等の端末装置(以後、第１端末装置ともいう)で行われる。ソフトウエアプログラムを含むインストーラを作成する際に第１ルーチンとしての解析ルーチンが組み込まれる。このインストールパスワード解析ルーチンは、インストーラが起動された際に最初に実行されるよう構成されている。例えば、ユーザにインストールパスワードの入力を促すダイアログメッセージがパソコンの画面に表示される。
【００７１】
また、メディア(記録媒体)が端末装置に搭載され、このインストーラをメディアにコピーする際も、第１ルーチンとしての解析ルーチンまたは第２ルーチンとしての監視ルーチンが起動されるよう構成してもよい。
【００７２】
このインストーラを格納したインストールメディアを用いて、第２端末装置としてのパソコン等の端末装置にインストールを行うまでの状況を図７に示す。図７に示されるように、インストーラプログラムが起動され、インストールパスワードの入力を促すダイアログメッセージがインストールパスワード解析ルーチンにより表示される。
【００７３】
インストールパスワード(以後、入力パスワードともいう)が入力されると、該入力パスワードが確認され、ＮＧ(正規のパスワードではない)と判定されるかＣａｎｃｅｌボタンがクリックされると、このインストーラプログラムの実行(インストール処理)を終了させるよう構成されている。解析ルーチンは、正規のパスワードが入力されるまで、このインストールメディアをインストールできないよう構成されている。インストールプログラムを続行する場合には、再度インストーラプログラムを起動して、正規のパスワードを入力する必要がある。ここで、所定の時間、第２端末装置の操作がなければ、インストール処理を終了にするよう構成してもよいし、また、所定の回数、第２端末装置に正規のパスワード入力がなければ、インストール処理を終了にするよう構成してもよい。一方、入力パスワードが確認され、ＯＫ(正規のパスワードである)と判定されると、インストールが実行される。
【００７４】
また、インストールメディアと共にパスワードも流出するケースに備え、正規のパスワードは、例えば日替わりパスワードである。このとき、インストールメディアと共に正規のパスワードも同時に流失した場合においても、この正規のパスワードが、どの日付のものかわからない限りインストールすることができない。従い、インストールメディアやパスワードの流出先で、不当にソフトウエアプログラムが第２端末装置(パソコン)にインストールされる危険性を低減することが可能である。正規のパスワードは、日替りに限らず、秒替り、分替り、時間替りであってもよく、反対に週単位、１カ月毎に変更されるようにしてもよい。ここで、第２端末装置としてのパソコンは、例えば、基板処理装置を操作するための操作部に用いられるパソコン(ＰＣ)が挙げられる。
【００７５】
次に、図１０に示す第１ルーチンとしての解析ルーチンについて説明する。この解析ルーチンが起動されると、パスワード入力画面がパソコン(第２端末装置)の画面に表示される(Step10)。その画面のままパスワードが入力されるのを待機する。尚、所定の時間及び所定回数で画面表示を終了させるようにしてもよい(Step20)。そして、入力パスワードが入力されると、パスワード入力画面が消去されるよう構成されている(Step30)。入力されたパスワード(入力パスワード)は、所定のデータ領域に格納される。一方、解析ルーチンが起動されると、予め設定された規則に従いパスワードが生成されて、また別のデータ領域に格納される(Step40)。そして、入力されたパスワード(入力パスワード)がこの生成されたパスワードと一致するか判定される(Step50)。一致したらＯＫと判定され、この解析ルーチンを終了し、一致したらＮＧと判定されて、この解析ルーチンは終了する。尚、ＯＫと判定されると、ソフトウエアプログラムがパソコン(第２端末装置)にインストールされるよう構成されているのは言うまでもない。また、ＮＧと判定された場合、インストール不可を示すエラーメッセージを画面に表示するように構成してもよい。
【００７６】
第１の実施形態によれば、以下の(ａ)〜(ｃ)に記載の効果のうち少なくとも一つ以上の効果を奏する。
【００７７】
(ａ)第１の実施形態によれば、ソフトウエアプログラムをインストールする際、解析ルーチンにより、インストールパスワードの入力を促す画面を表示するように構成されているので、正規のパスワードを入力する必要があるため、所定のインストールメディアが流出したとしても、ソフトウエアプログラムで定義されているレシピおよびパラメータファイル等のデータの流出を防ぐことができる。
【００７８】
(ｂ)第１の実施形態によれば、解析ルーチンに正規のパスワードが生成されるように構成されている上に正規のパスワードが周期的に変わるようになっているので、インストールメディアと共にパスワードが流出しても、この紛失したパスワードを入力して、ソフトウエアプログラムがインストールされる危険性を低減することが可能である。
【００７９】
(ｃ)第１の実施形態によれば、解析ルーチンに正規のパスワード(日替りパスワード)が生成されるように構成されている上に正規のパスワードが日替わりになっているので、ので、インストールメディアと共にパスワード(日替りパスワード)が流出しても、この日替りパスワードの取得は困難であるため、第三者が正規の入力パスワードを取得して、ソフトウエアプログラムがインストールされる危険性を低減することが可能である。
【００８０】
（第２の実施形態）  第２の実施形態におけるソフトウエアプログラムが格納されたインストールメディア(記録媒体)が第三者に流出した場合の対策について説明する。
【００８１】
図９は、ソフトウエアプログラムの端末装置(例えば、パソコン)へのインストールから操作画面上での起動までの操作を示す図である。
【００８２】
まず、ソフトウエアプログラムをインストールメディアからパソコンにセッティングする。ここで、ソフトウエアプログラムは、セッティングするだけでは起動されないように構成されている(Ｓ０１)。また、ソフトウエアプログラムを起動させるには、インストーラを起動させる必要がある。インストーラが起動されると、図１０に示される解析ルーチンが起動するように構成されている(Ｓ０２)。
【００８３】
この解析ルーチンによりインストールパスワードが生成されるため、ソフトウエアプログラムが、パソコン上で起動されるには、正しいインストールパスワード(生成されるインストールパスワードと同じパスワード)の入力が必要である。ここで、所定のウェブサイトにアクセスできない場合は、作業者は、このインストールパスワードを取得できないように構成されている。よって、正規のパスワード取得には、このソフトウエアプログラムを作成したメーカに問合せするしかないため、ソフトウエアプログラムが流出しても第三者によりソフトウエアプログラムが操作されるリスクは極めてない。
【００８４】
そして、所定のパスワードが入力される(Ｓ０３)。この解析ルーチン内に予め設定された規則に従い生成されたインストールパスワードと入力された所定のパスワードが一致すれば、ソフトウエアプログラムがパソコン上でインストールされる(Ｓ０４)。
【００８５】
尚、ソフトウエアプログラムが、最初に起動される際、正規のインストールパスワードとして、例えば、秒単位で変更するパスワードを入力するよう構成されるのが好ましい。更に、ソフトウエアプログラム起動時、ソフトウエアプログラムに予め組み込まれていた監視ルーチンが起動され、正規の認証キーが接続されていることを確認される(Ｓ０５)。確認されると、パソコン上でプログラムを実行開始することができる(Ｓ０６)。
【００８６】
次に、図１１に示す第２ルーチンとしての監視ルーチンの詳細について説明する。この監視ルーチンは、上述のようにソフトウエアプログラムの起動時に、同時に起動されるように構成される。起動された監視ルーチンは、認証キーがパソコンに接続されているかを確認する(Ｓ１００)。Ｓ１００は、所定周期で継続して実行されるように構成される。
【００８７】
認証キーが接続されている場合(Ｓ２００)、ソフトウエアプログラムが動作停止していなければ(実行中であれば)、またＳ１００に戻る。ソフトウエアプログラムが動作停止中であれば、ソフトウエアプログラムの動作を再開されるように促す。このとき、ソフトウエアプログラムが動作しない場合、エラーを通知する。
【００８８】
次に、認証キーが接続されていない場合(Ｓ３００)、ソフトウエアプログラムが動作中でなければ、またＳ１００に戻る。ソフトウエアプログラムが動作中であれば、ソフトウエアプログラムの動作を停止して、またＳ１００に戻る。この監視ルーチンは、認証キーがパソコンから外されるまで周期的に実行されるように構成されている。
【００８９】
図８に示されるように、本実施の形態におけるソフトウエアプログラムには、図１１に示す監視ルーチンが搭載される。この監視ルーチンが、ソフトウエアプログラム起動時または起動中に認証キーが未接続であることを検知した場合、ソフトウエアプログラムの動作を停止するように構成されている。これにより、動作中のソフトウエアプログラムから認証キーを非接続状態として、他のパソコンＰＣで実行するというような不正実行を防止することができる。
【００９０】
尚、誤って認証キーを非接続状態にする場合もあり得るので、再度認証キーを接続した場合は速やかにソフトウエアプログラムの動作を再開できるように構成されている。ここで、認証キーを接続してもソフトウエアプログラムの動作を再開できない場合に、不正な認証キーであることを示すエラー表示、または、ソフトウエアプログラムの動作不良を示すエラー表示など、画面上にエラーメッセージを表示するように構成してもよい。
【００９１】
更に、パソコンにソフトウエアプログラムをインストールして、起動可能になった状態で、図１１に示す監視ルーチンが実行されるように構成されている。これにより、動作中のソフトウエアプログラムから認証キーを非接続状態とし、他のパソコンで実行するという不正実行を防止している。このように、ソフトウエアプログラムを実行するには、認証キーが必要となるので、第三者がソフトウエアプログラムだけを不正に取得しても、ソフトウエアプログラムを勝手に操作できないようになっている。
【００９２】
また、監視ルーチンの機能として、認証キーが不正のものかチェックする機能を追加してもよい。つまり、認証キーの有無だけでなく、認証キーが純正品かどうかをチェックする機構が有るとよい。また、認証キーはハードウェアキーに限定する必要はなく、例えば、メディア(記録媒体)であれば特にその形態によらない。
【００９３】
第２の実施形態において、ソフトウエアプログラムのパソコン画面上でインストールする際に、例えば、日替りパスワードを入力するように構成されている。このような正規のパスワードの入手には、所定のウェブサイト(例えば、ソフトウエアプログラムを作成した半導体製造装置メーカのウェブサイト)から取得する必要があるため、このウェブサイトに必ずアクセスしなければならない。例えば、半導体製造装置メーカのイントラネットにアクセスしなければならないので、半導体製造装置メーカの従業員の介在が必要である。
【００９４】
このように、必ず半導体製造装置メーカの従業員を介してパスワードが取得される仕組みになっているため、このウェブサイトにアクセスできない第三者は、ソフトウエアプログラムのインストールができない。更に、ソフトウエアプログラムが、第三者に流出してもパスワードは、これらパスワードも同時に流出したとしても、これらソフトウエアプログラムやパスワードを流用するのは不可能である。
【００９５】
また、第２ルーチンとしての監視ルーチンが組み込まれているので、ソフトウエアプログラムの起動と共に、この監視ルーチンが起動され、周期的に正規の認証キーが接続されているか監視するように構成されている。よって、本実施の形態におけるソフトウエアプログラム及び正規の認証キーが流出しても、認証キーが接続された場合のみソフトウエアプログラムが実行可能に構成されているため、基板処理装置で実行されるリスクを低減できる。つまり、認証キーの着脱で基板処理装置の実行が簡単に停止してしまうというリスクがあり、意図しないで認証キーが外れるなどの恐れがあるため、例えば、縦型装置の基板処理のように時間がかかるプロセスを実行する装置で不正に使用される可能性は極めて低く抑えられる。
【００９６】
一方、ソフトウエアプログラムの実行中に障害が発生し、非常停止ボタンを押下して基板処理を停止するしか安全対策が取れない場合、認証キーを取り外すだけでプログラムの強制終了が可能であるという解釈は可能である。
【００９７】
第２の実施形態によれば、第１の実施形態における効果、及び、以下の(ｄ)〜(ｈ)に記載の効果のうち少なくとも一つ以上の効果を奏する。
【００９８】
(ｄ)第２の実施形態によれば、ソフトウエアプログラムをインストール時に必ずパスワードを入力させるようにする。このパスワードは所定のウェブサイトでないと入手できないため、従業員が退社し、入手したパスワードを流用しても所定のウェブサイトにアクセスして入ることができない。
【００９９】
(ｅ)また、第２の実施形態によれば、パスワードを入手しないとソフトウエアプログラムをインストールできないようにしている上に、パスワードは、半導体製造装置メーカのイントラネットからしか入手できないようにしているので、半導体製造装置メーカ以外の人は、ソフトウエアプログラムを不正に使用することができないようにしている。
【０１００】
(ｆ)第２の実施形態によれば、パスワードを入手するには、所定のウェブサイトにアクセスするしかないため、従業員であれば問題なく取得可能であるが、退社後はパスワード入手が困難であり、所定のウェブサイトにアクセスそのものが困難である。よって、ソフトウエアプログラムを元従業員が不正に取得し、元従業員が勝手にソフトウエアプログラムを操作できないようにしている。これにより、ソフトウエアプログラムを利用した悪質なビジネスを防止できる。
【０１０１】
(ｇ)第２の実施形態によれば、ソフトウエアプログラムには認証キー接続監視ルーチンが搭載されるので、ソフトウエアプログラム起動時または起動中に、契約数を超えるソフトウエアプログラムの同時起動を防止することができるので、情報（データ）の流出を防ぐことができる。
【０１０２】
(ｈ)第２の実施形態によれば、ソフトウエアプログラムの起動により、監視ルーチンが実行されるように構成されている。これにより、ソフトウエアプログラムが第三者に流出しても、認証キーが未接続であることを検知した場合、ソフトウエアプログラムの動作を停止する。このように、監視ルーチンが実行されるため、契約者以外の第三者がソフトウエアプログラムの実行をさせないよう構成されている。
【０１０３】
（第３の実施形態）  ソフトウエアプログラムが格納されたインストールメディア(記録媒体)を顧客に貸与した場合の安全対策について説明する。この場合、ソフトウエアプログラムのインストール後、ソフトウエアプログラムの起動時にパスワードを要求する第３ルーチンとしてのパスワード解析ルーチンが実行されるよう構成されている。更に、ソフトウエアプログラムの実行の際に、図９のＳｔｅｐ５の内容(図１１に示す監視ルーチン)が実行されるのが好ましい。
【０１０４】
ソフトウエアプログラムのインストーラをメディア(記録媒体)からパソコンにコピーする(Ｓｔｅｐ１)。コピーと同時にインストールが開始され、インストールが成功すると次のステップへ移行する(Ｓｔｅｐ２)。もし、インストールが失敗すると、ソフトウエアプログラムは、起動しないで終了する。
【０１０５】
インストール終了後、ソフトウエアプログラムが起動されると、パスワードの入力を要求する (Ｓｔｅｐ３)。パスワードが入力されると、正規のパスワードであるかを確認し、正規のパスワードであれば次のステップへ移行し、正規のパスワードでなければ、ソフトウエアプログラムは、起動しないで(起動失敗となり)終了する(Ｓｔｅｐ４)。
【０１０６】
正規のパスワードが入力されると、図１１に示す監視ルーチンが起動され、ハードウェアキー(認証キー)の接続を確認される(Ｓｔｅｐ５)。ここで、図１１と同じ監視ルーチンが実行されるので、詳細な説明は省略する。Ｓｔｅｐ５で認証キーの接続が確認されるとソフトウエアプログラムが実行される。
【０１０７】
このように、第３の実施形態と第１の実施形態及び第２の実施形態とで異なる点は、パスワードを要求するタイミングが、ソフトウエアプログラムのインストール中であるか、ソフトウエアプログラムのインストール終了後であるかが異なるだけである。第３の実施形態を示す図１２は、第２の実施形態を示す図９と同様に、Ｓｔｅｐ５で監視ルーチンが起動されるよう構成されている。パスワードと認証キーの２重でソフトウエアプログラムが不正に実行されないよう保護している。第１の実施形態及び第２の実施形態における効果と同様の効果を奏する。
【０１０８】
つまり、第３の実施形態によれば、前述の(ａ)〜(ｈ)に記載の効果のうち少なくとも一つ以上の効果を奏する。
【０１０９】
（実施例１）ソフトウエアプログラムの一つであるガスパターン定義ファイルの作成ツールに関して説明する。図６に示すようにガスパターン定義ファイルの作成ツール(以後、単にツールと称する)が格納された記録媒体が作成される。そして、この記録媒体が端末装置(例えば、ＰＣ)にコピーされると、インストールが自動で実行される。
【０１１０】
ツールには、所定の認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチン(監視ルーチン)とインストールの際にパスワードを要求するインストールパスワード解析ルーチン(解析ルーチン)が組み込まれている場合がある。この場合、この解析ルーチンによりインストールの際にパスワードの入力が要求される。そして、正規のパスワードの入力があれば、インストールが終了されるよう構成されており、また、パスワードの入力を要求するパスワード入力画面が表示されるよう構成してもよい。正規のパスワードが入力されて、インストール終了後、ツールを実行する前に、監視ルーチンが起動される。そして、監視ルーチンによりツールが実行されるには、端末装置に認証キーが接続されていなければならない。
【０１１１】
また、ツールが、監視ルーチンと、第３ルーチンとしてのソフトウエアプログラムの起動時にパスワードを要求するパスワード解析ルーチンが組み込まれる場合がある。この場合、インストール終了後、ツールを実行する前に、先ず、第３ルーチン(解析ルーチン)により、パスワードの入力が要求される。正規のパスワードが入力されると、監視ルーチンが起動される。そして、監視ルーチンによりツールが実行されるには、端末装置に認証キーが接続されていなければならない。
【０１１２】
本実施例において、ツールが実行されると、端末装置の操作画面上でツールの編集が可能となり、所望のガスフローパターン図を作成することができるようになる。
【０１１３】
本実施例によれば、正規のパスワードを取得するには、半導体製造装置メーカを介在しないと取得できないようになっているため、ガスフローパターン図など装置の仕様にかかわる重要な設定ファイルを第三者が勝手に操作することにより、この設定ファイルを編集できない構成になっている。
【０１１４】
本実施例によれば、ツール及び認証キーの両方を不正に第三者が取得したとしても、この第三者がガスフローパターン図のような装置の仕様に関わる重要な設定ファイルを編集できないようにしているので、ガスフローパターン図の編集を勝手にできないようになっている。これにより、ツールが不正に流出しても情報漏洩が抑えられる。
【０１１５】
また、本実施例によれば、ツール及び認証キーの両方を不正に第三者が取得したとしても、ガスフローパターン図の編集ツールを第三者が勝手に編集（操作）できないよう構成されているので、ガス配管の改造におけるセキュリティ(安全)上の危険が抑えられる。特に、半導体製造装置で基板を処理するために用いられるガスは、取扱いに注意が必要なガス(危険性のあるガス、燃焼性のあるガス等)が多く、装置有識者以外の第三者が、例えば、ガスフローパターン図で表示した内容と実際のガス配管のパターンが異なっているのに気付かない等、致命的なミスにより事故につながる恐れがあるが、第三者が、ガスフローパターン図の編集を勝手にできないようになっているので、特に効果的である。
【０１１６】
上述のように、本実施例によれば、第三者により不正に取得されたソフトウエアプログラムのインストール及び実行を極力できない仕組みにしているので、例えば、不正に取得したソフトウエアプログラムの一つであるガスフローパターン図の編集ツールを利用してガスフローパターン図等の改造を請け負うビジネスを抑えられる。
【０１１７】
（実施例２）ソフトウエアプログラムの一つである操作部プログラムに関して説明する。図６に示すように操作部プログラムが格納された記録媒体が作成される。そして、この記録媒体が端末装置(例えば、ＰＣ)にコピーされると、インストールが自動で実行される。
【０１１８】
操作部プログラムには、監視ルーチンと、インストールの際にパスワードを要求するインストールパスワード解析ルーチン(解析ルーチン)が組み込まれている場合がある。この場合、この解析ルーチンによりインストールの際にパスワードの入力が要求される。そして、正規のパスワードの入力があれば、インストールが終了されるよう構成されており、また、パスワードの入力を要求するパスワード入力画面が表示されるよう構成してもよい。正規のパスワードが入力されて、インストール終了後、ツールを実行する前に、監視ルーチンが起動される。そして、監視ルーチンによりツールが実行されるには、端末装置に認証キーが接続されていなければならない。
【０１１９】
また、操作部プログラムが、監視ルーチンと、第３ルーチンとしてのパスワード解析ルーチンが組み込まれる場合がある。この場合、インストール終了後、操作部プログラムを実行する前に、先ず、第３ルーチンにより、パスワードの入力が要求される。正規のパスワードが入力されると、監視ルーチンが起動される。そして、監視ルーチンにより操作部プログラムが実行されるには、端末装置に認証キーが接続されていなければならない。
【０１２０】
本実施例において、操作部プログラムが実行されると、端末装置の操作画面上で操作部プログラムの編集が可能となる。尚、本実施例におけるソフトウエアプログラム(操作部プログラム)の用途としては操作部をシミュレータとして使用することにより、座学による操作方法の教育、パソコン(第２端末装置)上でのプロセスレシピ等のレシピおよびレシピに関連する制御パラメータ等のファイル編集などが考えられる。特に、この制御パラメータとして、アラーム条件、温度制御パラメータ、圧力制御パラメータ、搬送制御パラメータ、メンテナンスパラメータなどがある。
【０１２１】
操作部プログラムが実行されると、パラメータファイルのうち、プロセスレシピに関連する制御パラメータファイルの編集が可能であるため、このような基板処理装置で処理される基板の品質に関わるパラメータ情報が第三者に開示されてしまう恐れがあったが、本実施の形態において、解析ルーチンが実行することにより、ソフトウエアプログラムのインストール及び実行に制限が加わったため、このパラメータ情報漏れのリスクを低減できる。
【０１２２】
本実施の形態によれば、監視ルーチンが実行されるため、契約者以外の第三者がソフトウエアプログラムの実行をさせないよう構成されているので、例えば、操作部シミュレータの実行を勝手にできないようになっている。これにより、情報漏洩等のセキュリティ(安全)が保護される。
【０１２３】
また、本実施例における操作部プログラムの場合では、第３ルーチンによるパスワード要求、及び、認証キーが装着されているか監視ルーチンのどちらか一方でも組み込まれているだけでも、不正使用のリスクは低減されると考えられる。
【０１２４】
（実施例３）ソフトウエアプログラムの一つであるプロセスレシピに関して説明する。具体的には、第３ルーチン及び監視ルーチンが組み込まれた操作部プログラム及び制御部プログラムを含むレシピプログラムが格納された記録媒体(メディア)を作成し、この記録媒体を制御装置２４０にコピーし、自動的に制御装置２４０にインストールする。これにより、レシピプログラムが実行されると基板処理装置での基板処理のシミュレーションが可能となる。
【０１２５】
ここで、レシピプログラムは、製品基板や実ガス(危険性を含む例えば成膜に用いるガス)を用いないで、基板処理装置を構成する各種部品を動作させて、基板処理を行う動作を行わせるようシミュレーションするプログラムである。また、基板処理装置を構成する各種部品による基板処理を行う動作は、既に記述されているので詳細は省略する。
【０１２６】
例えば、製品基板の代わりにダミー基板を搬送してもよく、また、実ガスの代わりに不活性ガス(例えば、Ｎ２ガス)を供給するようにしてもよい。
【０１２７】
また、反対に、基板処理装置を構成する各種部品を動作させて、基板処理を行う動作を行わせるときに生成されるデータを制御装置２４０で取得しておき、この取得しておいたデータを用いて、レシピプログラムがエラー無く実行できるか確認するようにしてもよい。
【０１２８】
従い、このレシピプログラム、例えば、このレシピプログラムが格納された記録媒体が流出すると、第三者による不正使用の恐れがある。具体的には、上述の操作部シミュレータにおける制御パラメータの情報漏洩の可能性は当然あり、更に、本レシピプログラムによるシミュレーション機能を利用して、プロセスレシピを不正に作成され、この不正に作成されたプロセスレシピを利用して基板処理装置の改造を格安で請け負う可能性が考えられる。
【０１２９】
しかしながら、制御装置２４０でレシピプログラムによる基板処理シミュレーションが実行される前に、図１２に示すように、第３ルーチンによるパスワード要求、及び、監視ルーチンによる認証キーが装着されるかの確認が行われ、二重のガードがかかるように構成されている。これにより、仮に、このレシピプログラムが格納された記録媒体が流出しても、不正にレシピプログラムを改ざんして使用されるリスクは低減できる。
【０１３０】
尚、本実施例におけるレシピプログラムの場合では、第３ルーチンによるパスワード要求、及び、認証キーが装着されているか監視ルーチンのどちらか一方でも組み込まれているだけでも、不正使用のリスクは低減される。
【０１３１】
また、本実施例によれば、例えば、不正に取得したソフトウエアプログラムの一つであるレシピプログラムを利用して、基板処理レシピを不正に作成し、基板処理装置の膜種変更等の仕様変更に伴う改造を請け負うビジネスを抑えられる。
【０１３２】
また、本発明におけるソフトウエアプログラムは、主に顧客で使用しているが、海外の顧客でも使用することもあり、その際、紛失する可能性があるが、本発明によれば、ソフトウエアプログラムが何らかの理由で無関係な第三者に渡ったとしても、情報漏洩を抑えることができる。
【０１３３】
また、本発明によれば、ソフトウエアプログラムが、第三者に渡ったとしても、少なくとも認証キーが接続されていなければプログラムが実行されないように構成されている。従い、第三者がデータを改ざんしても実際の装置での実行を行わせないようにできる。
【０１３４】
＜本発明の他の実施形態＞  なお、本実施形態では、基板処理装置の一例として縦型の半導体製造装置を示しているが、縦型の半導体製造装置に限らず、クラスタ型及びインライン型の半導体製造装置、横型の半導体製造装置であってもよい。また、基板処理の具体的内容は不問であり、成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等の処理であってもよい。また、成膜処理は、例えばＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理であってもよい。更に、露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置の他、後工程で用いられる装置等の各種基板処理装置にも適用可能であるのは言う迄もない。
【０１３５】
以上、本発明の実施の形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【０１３６】
＜本発明の好ましい態様＞  以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
【０１３７】
（付記１）  本発明の一態様によれば、認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムを格納する記録媒体が搭載される制御装置を備え、前記記録媒体に格納される前記ソフトウエアプログラムがインストールされる端末装置であって、前記制御装置は、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記パスワード解析ルーチンが実行され、前記端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示し、正規のパスワードが入力されないと前記ソフトウエアプログラムが実行できないよう構成されていると共に、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記認証キー接続監視ルーチンが実行され、正規の前記認証キーが接続されている間、前記ソフトウエアプログラムが実行できるよう構成されている端末装置が提供される。
【０１３８】
（付記２）付記１に記載の端末装置であって、好ましくは、誤ったパスワードが入力されると、前記端末装置にプログラムが実行できないよう構成されている。
【０１３９】
（付記３）  付記１に記載の端末装置であって、好ましくは、前記パスワードの入力を促す画面が表示されている間、所定の時間、操作が行われない場合に、前記画面を閉じてプログラムが実行できないよう構成されている。
【０１４０】
（付記４）付記１に記載の端末装置であって、好ましくは、正規の前記パスワードは、所定のウェブサイトにアクセスしないと入手できないよう構成されている。
【０１４１】
（付記５）付記４に記載の端末装置であって、更に、好ましくは、前記所定のウェブサイトは、基板処理装置メーカのイントラネットである。
【０１４２】
（付記６）付記１乃至付記４のいずれか一つに記載の端末装置であって、更に、好ましくは、前記パスワードは、有効期間が１日である。
【０１４３】
（付記７）付記１に記載の端末装置であって、好ましくは、前記認証キーが接続されていない場合、前記認証キーが接続されると、前記ソフトウエアプログラムが実行可能に構成される。
【０１４４】
（付記８）本発明の他の態様によれば、所定の認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するインストールパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムが格納された記録媒体であって、コンピュータに、前記インストールパスワード解析ルーチンを実行させ、端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示させ、正規のパスワードが入力されないと前記端末装置にインストールさせない手順と、前記認証キー接続監視ルーチンを実行させ、前記端末装置に正規の前記認証キーが接続されているか監視させる手順と、を少なくとも実行させるソフトウエアプログラムを読取可能な記録媒体が提供される。
【０１４５】
（付記９）本発明の更に他の態様によれば、所定の認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するインストールパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムであって、  前記インストールパスワード解析ルーチンにより、端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示させ、正規のパスワードが入力されないとインストールさせない手順と、前記認証キー接続監視ルーチンにより、正規の前記認証キーが接続されているか監視させる手順と、を少なくとも有するソフトウエアプログラムが提供される。
【０１４６】
（付記１０）本発明の更に他の態様によれば、所定の認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するインストールパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムを格納する記録媒体が搭載される第１端末装置と、前記ソフトウエアプログラムをインストールして実行する第２端末装置と、を有する端末システムであって、前記第２端末装置では、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記インストールパスワード解析ルーチンが実行され、前記端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示し、正規のパスワードが入力されないとインストールできないよう構成されていると共に、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記認証キー接続監視ルーチンが実行され、正規の前記認証キーが接続されている間、前記ソフトウエアプログラムが実行できるよう構成されている端末システムが提供される。
【０１４７】
（付記１１）本発明の更に他の態様によれば、所定の認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するインストールパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムを格納する記録媒体が搭載される制御装置を備え、前記記録媒体に格納される前記ソフトウエアプログラムをインストールして実行する端末装置であって、前記制御装置は、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記インストールパスワード解析ルーチンが実行され、前記端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示し、正規のパスワードが入力されないとインストールできないよう構成されていると共に、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記認証キー接続監視ルーチンが実行され、正規の前記認証キーが接続されている間、前記ソフトウエアプログラムが実行できるよう構成されている端末装置が提供される。
【０１４８】
（付記１２）本発明の更に他の態様によれば、認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するインストールパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラム、又は該ソフトウエアプログラムを格納する記録媒体であって、  コンピュータに、前記インストールパスワード解析ルーチン、及び前記認証キー接続監視ルーチンを実行させ、端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示させ、正規のパスワードが入力されるか確認する手順と、前記端末装置に正規の前記認証キーが接続されているか監視させる手順と、を少なくとも実行させるソフトウエアプログラム、又は該ソフトウエアプログラムを読取可能な記録媒体が提供される。
【０１４９】
（付記１３）本発明の更に他の態様によれば、認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムを格納する記録媒体が搭載される第１端末装置と、前記ソフトウエアプログラムがインストールされる第２端末装置と、を有する端末システムであって、前記第２端末装置では、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記パスワード解析ルーチンが実行され、前記端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示し、正規のパスワードが入力されないと前記ソフトウエアプログラムが実行できないよう構成されていると共に、前記ソフトウエアプログラム内に組み込まれた前記認証キー接続監視ルーチンが実行され、正規の前記認証キーが接続されている間、前記ソフトウエアプログラムが実行できるよう構成されている端末システムが提供される。
【０１５０】
（付記１４）本発明の更に他の態様によれば、所定の認証キーの接続を監視する認証キー接続監視ルーチンと起動時にパスワードを要求するインストールパスワード解析ルーチンが組み込まれたソフトウエアプログラムを格納する記録媒体を作成する第１の処理と、前記ソフトウエアプログラムを端末装置にインストールする第２の処理と、前記ソフトウエアプログラムを前記端末装置で実行する第３の処理と、を有するプログラム管理方法であって、前記第２の処理では、前記第１の処理で組み込まれた前記インストールパスワード解析ルーチンが実行され、前記端末装置の操作画面上にパスワードの入力を促す画面を表示し、正規のパスワードが入力されないとインストールできないよう構成されていると共に、前記第３の処理では、前記第１の処理で組み込まれた前記認証キー接続監視ルーチンが実行され、正規の前記認証キーが接続されている間、前記ソフトウエアプログラムが実行できるよう構成されているプログラム管理方法が提供される。
【０１５１】
この出願は、２０１５年１月９日に出願された日本出願特願２０１５−００３１６９を基礎として優先権の利益を主張するものであり、その開示の全てを引用によってここに取り込む。
【産業上の利用可能性】
【０１５２】
本発明は、基板を処理する基板処理装置で使用されるソフトウエアプログラムの流出および不正コピーの防止に関する技術である。
【符号の説明】
【０１５３】
１００  基板処理装置２００  ウエハ（基板）  ２４０  基板処理装置用コントローラ（制御部）  ５００  管理装置 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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