(57)【要約】基板処理装置の転売によるアフターサービスの機会の損失を防止するために、所定の操作画面に表示する表示部と、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる際、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と前記上位コンピュータの固有情報を照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を前記操作画面に表示させ、正規のパスワードが入力された時に前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される通信制御部と、を備えた処理装置が提供される。
2016098887.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の操作画面に表示する表示部と、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる際、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と前記上位コンピュータの固有情報を照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を前記操作画面に表示させ、正規のパスワードが入力された時に前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される通信制御部と、を備えた処理装置。
【請求項２】
前記通信制御部は、前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得する取得部と、前記固有情報と予め取得していた固有情報とを照合する照合部と、照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、前記正規のパスワードが入力されるまで待つ判定部と、を有するよう構成される請求項１記載の処理装置。
【請求項３】
前記通信制御部は、前記照合部による照合した結果、前記固有情報が一致していない場合、接続している前記上位コンピュータに、該上位コンピュータとの通信確立を不許可にする通知を行い、前記固有情報が一致している場合、接続している前記上位コンピュータに、該上位コンピュータとの通信確立を許可にする通知を行う、通知部を更に有するよう構成されている請求項２記載の処理装置。
【請求項４】
所定のプログラムを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２の格納領域と、を少なくとも有する記憶部と、を更に有し、前記通信制御部は、前記照合部による照合結果が、前記固有情報が一致している場合、  前記上位コンピュータから取得された固有情報を前記記憶部に登録する登録部と、  を更に有するよう構成されている請求項３記載の処理装置。
【請求項５】
前記通信制御部は、前記第２の格納領域内に前記上位コンピュータ固有の固有情報が無い場合、前記固有情報の照合を行わずに取得した前記上位コンピュータの固有情報を格納して、前記上位コンピュータとの通信を確立する請求項４記載の処理装置。
【請求項６】
前記通信制御部は、前記正規のパスワードが入力されるまで、前記上位コンピュータとの通信を確立しないよう構成されている請求項１または請求項２記載の処理装置。
【請求項７】
前記正規のパスワードは、所定のウェブサイトにアクセスしないと入手できないよう構成されている請求項６記載の処理装置。
【請求項８】
前記所定のウェブサイトは、基板処理装置メーカのイントラネットである請求項７記載の処理装置。
【請求項９】
前記正規のパスワードの有効期間は、１分、１時間、１日、１週間から少なくとも一つの期間が選択されるよう構成されている請求項１、請求項６、及び請求項７記載の処理装置。
【請求項１０】
所定のプログラムを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２格納領域を少なくとも有する記憶部と、前記第１格納領域内の前記所定のプログラムを実行し、前記第２格納領域内の前記所定のデータを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置であって、前記制御部は、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、前記第２格納領域内に前記固有情報のデータが有る場合、該予め取得していた固有情報と取得した固有情報とを照合し、前記固有情報が一致していたら、前記上位コンピュータとの通信を確立し、前記固有情報が異なっていたら、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時に、前記上位コンピュータとの通信を確立する、通信確立プログラムを実行するよう構成されている処理装置。
【請求項１１】
前記制御部は、前記正規のパスワードが入力されると、接続している前記上位コンピュータから取得した前記固有情報を前記第２の格納領域に格納するよう構成されている請求項１０記載の処理装置。
【請求項１２】
前記制御部は、前記第２格納領域内に固有情報のデータが無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時には、前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される請求項１１記載の処理装置。
【請求項１３】
所定のプログラムを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２格納領域を少なくとも有する記憶部と、前記第１格納領域内の前記所定のプログラムを実行し、前記第２格納領域内の前記所定のデータを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置であって、前記制御部は、前記第２格納領域内に固有情報のデータが無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、上位コンピュータの固有情報を取得して前記第２格納領域に格納し、前記上位コンピュータとの通信を確立する、通信確立プログラムを実行するよう構成されている処理装置。
【請求項１４】
前記制御部は、前記第２格納領域内に固有情報のデータが無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時には、前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される請求項１３記載の処理装置。
【請求項１５】
前記制御部は、前記正規のパスワードが入力されると、接続している前記上位コンピュータから取得した前記固有情報を前記第２の格納領域に格納するよう構成されている請求項１４記載の処理装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理体を処理する処理装置における外部上位コンピュータとのデータ処理に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置の一種である半導体製造装置のＦＡ運用は標準規格(ＳＥＭＩ)に基づいてホストコンピュータと半導体製造装置間で通信を確立したのち実施されている。従来、半導体製造メーカが、他社に半導体製造装置を転売した場合であっても、標準規格(ＳＥＭＩ)に基づいた手順により転売先の工場でＦＡ運用が可能であった。このように、転売先のメーカの工場でオンライン接続が可能であった。【０００３】
例えば、半導体製造メーカは、過去に購入した半導体製造装置が古くなると、中古販売メーカ等の第三者メーカに売却(転売)していた。これにより、半導体製造装置メーカ側では、転売された装置の部品の交換及び保守(メンテナンス)、また、装置の改造等のアフターサービスを行う機会の損失が懸念される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、半導体製造装置のアフターサービスを行う機会の損失を防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、所定の操作画面に表示する表示部と、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる際、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と前記上位コンピュータの固有情報を照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を前記操作画面に表示させ、正規のパスワードが入力された時に前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される通信制御部と、を備えた処理装置が提供される。
【発明の効果】
【０００６】
本発明に係る基板処理装置によれば、アフターサービスの機会の損失を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理システムの概要構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の斜透視図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の側面透視図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の処理炉の縦断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る基板処理装置が備える基板処理用コントローラのブロック構成図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る基板処理装置で実行される通信確立プログラムの通信確立の流れを示す例である。
【図７】本発明の一実施形態に係る基板処理装置で使用される通信確立プログラムの通信確立の流れを示す例である。
【図８Ａ】本発明の一実施形態に係る基板処理装置で使用される通信確立プログラムの機能構成を示す例である。
【図８Ｂ】本発明の一実施形態に係る基板処理装置で使用される通信確立プログラムのフローを示す例である。
【図９Ａ】本発明の一実施形態に係る基板処理装置で使用される初期化通信プログラムの機能構成を示す例である。
【図９Ｂ】本発明の一実施形態に係る基板処理装置で使用される初期化通信プログラムのフローを示す例である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
＜本発明の一実施形態＞  以下に、本発明の一実施形態について説明する。
【０００９】
（１）基板処理システムの構成  まず、図１を用いて、本発明の一実施形態に係る基板処理システムの構成について説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理システムの概要構成図である。
【００１０】
図１に示すように、本実施形態に係る基板処理システムは、少なくとも一台の基板処理装置１００と、この基板処理装置１００とデータ交換可能なように接続される群管理装置５００と、を備えている。基板処理装置１００は、処理手順及び処理条件が定義されたレシピに基づく処理プロセスを実行するように構成されている。基板処理装置１００と群管理装置５００との間は、例えば構内回線（ＬＡＮ）や広域回線（ＷＡＮ）等のネットワーク４００により接続されている。
【００１１】
（２）基板処理装置の構成  続いて、本実施形態に係る基板処理装置１００の構成について、図２，図３を参照しながら説明する。図２は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の斜透視図である。図３は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の側面透視図である。なお、本実施形態にかかる基板処理装置１００は、例えばウエハ等の基板に酸化、拡散処理、ＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置として構成されている。
【００１２】
図２、図３に示すように、本実施形態に係る基板処理装置１００は、耐圧容器として構成された筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設されている。正面メンテナンス口１０３には、正面メンテナンス口１０３を開閉する立ち入り機構として一対の正面メンテナンス扉１０４が設けられている。シリコン等のウエハ（基板）２００を収納したポッド（基板収容器）１１０が、筐体１１１内外へウエハ２００を搬送するキャリアとして使用される。
【００１３】
筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が、筐体１１１内外を連通するように開設されている。ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側には、載置部としてロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されている。ロードポート１１４上には、ポッド１１０を載置されると共に位置合わせされるように構成されている。ポッド１１０は、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）等の工程内搬送装置（図示せず）によってロードポート１１４上に搬送されるように構成されている。
【００１４】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されている。回転式ポッド棚１０５上には、複数個のポッド１１０が保管されるように構成されている。回転式ポッド棚１０５は、垂直に立設されて水平面内で間欠的に回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７と、を備えている。複数枚の棚板１１７は、ポッド１１０を複数個それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００１５】
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと、搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を相互に搬送するように構成されている。
【００１６】
筐体１１１内の下部には、サブ筐体１１９が筐体１１１内の前後方向の略中央部から後端にわたって設けられている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内外に搬送する一対のウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が、垂直方向に上下二段に並べられて設けられている。上下段のウエハ搬入搬出口１２０には、ポッドオープナ１２１がそれぞれ設置されている。
【００１７】
各ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する一対の載置台１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２上に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００１８】
サブ筐体１１９内には、ポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５等が設置された空間から流体的に隔絶された移載室１２４が構成されている。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されている。ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａと、ウエハ移載装置１２５ａを昇降させるウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図２に示すように、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは、サブ筐体１１９の移載室１２４の前方領域右端部と筐体１１１右側の端部との間に設置されている。ウエハ移載装置１２５ａは、ウエハ２００の載置部としてのツイーザ（基板保持体）１２５ｃを備えている。これらウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ２００をボート（基板保持具）２１７に対して装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）することが可能に構成されている。
【００１９】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
【００２０】
図２に示すように、サブ筐体１１９の待機部１２６右端部と筐体１１１右側端部との間には、ボート２１７を昇降させるボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台には、連結具としてのアーム１２８が連結されている。アーム１２８には、蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられている。シールキャップ２１９は、ボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
【００２１】
主に、回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５，ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８，ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５，ボート２１７及び後述の回転機構２５４により、本実施形態に係る基板搬送系が構成されている。これら回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５，ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８，ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５，ボート２１７及び回転機構２５４は、後述のサブコントローラとしての搬送コントローラ１１に電気的に接続されている。
【００２２】
ボート２１７は複数本の保持部材を備えている。ボート２１７は、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００を、その中心を揃えて垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持するように構成されている。
【００２３】
図２に示すように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、クリーンユニット１３４が設置されている。クリーンユニット１３４は、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されている。ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置（図示せず）が設置されている。
【００２４】
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、図示しないノッチ合わせ装置、ウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７の周囲を流通した後、図示しないダクトにより吸い込まれて筐体１１１の外部に排気されるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環されてクリーンユニット１３４によって移載室１２４内に再び吹き出されるように構成されている。
【００２５】
なお、筐体１１１，サブ筐体１１９の外周には基板処理装置１００内への立ち入り機構として図示しない複数の装置カバーが取り付けられている。これら装置カバーは、メンテナンス作業時に取り外して保守員が基板処理装置１００内に立ち入り可能となっている。これら装置カバーと相対する筐体１１１，サブ筐体１１９の端部には、立ち入りセンサとしてのドアスイッチ１３０が設けられている。また、正面メンテナンス扉１０４と相対する筐体１１１の端部にも立ち入りセンサとしてドアスイッチ１３０が設けられている。また、ロードポート１１４上には、ポッド１１０の載置を検知する基板検知センサ１４０が設けられている。これらドアスイッチ１３０及び基板検知センサ１４０等のスイッチ，センサ類１５は、後述の基板処理装置用コントローラ２４０に電気的に接続されている。
【００２６】
（３）基板処理装置の動作  次に、本実施形態にかかる基板処理装置１００の動作について、図２，図３を参照しながら説明する。
【００２７】
図２、図３に示すように、ポッド１１０が工程内搬送装置（図示せず）によってロードポート１１４に供給されると、基板検知センサ１４０によりポッド１１０が検知され、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放される。そして、ロードポート１１４の上のポッド１１０が、ポッド搬送装置１１８によってポッド搬入搬出口１１２から筐体１１１内部へと搬入される。
【００２８】
筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって回転式ポッド棚１０５の棚板１１７上へ自動的に搬送されて一時的に保管される。その後、ポッド１１０は、棚板１１７上から一方のポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載される。なお、筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって直接ポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載されてもよい。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４内にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４内にクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、移載室１２４内の酸素濃度が例えば２０ｐｐｍ以下となり、大気雰囲気である筐体１１１内の酸素濃度よりも遥かに低くなるように設定されている。
【００２９】
載置台１２２上に載置されたポッド１１０は、その開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口が開放される。その後、ウエハ２００は、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてポッド１１０内からピックアップされ、ノッチ合わせ装置にて方位が整合された後、移載室１２４の後方にある待機部１２６内へ搬入され、ボート２１７内に装填（チャージング）される。ボート２１７内にウエハ２００を装填したウエハ移載装置１２５ａは、ポッド１１０に戻り、次のウエハ２００をボート２１７内に装填する。
【００３０】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハ２００のボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１の載置台１２２上には、別のポッド１１０が回転式ポッド棚１０５上からポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【００３１】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７内に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７は、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されていく。
【００３２】
ローディング後は、処理炉２０２内にてウエハ２００に任意の処理が実施される。処理後は、ノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、上述の手順とほぼ逆の手順で、処理後のウエハ２００を格納したボート２１７が処理室２０１内より搬出され、処理後のウエハ２００を格納したポッド１１０が筐体１１１外へと搬出される。
【００３３】
（４）処理炉の構成  続いて、本実施形態にかかる処理炉２０２の構成について、図４を用いて説明する。図４は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置１００の処理炉２０２の縦断面図である。
【００３４】
図４に示すように、処理炉２０２は、反応管としてのプロセスチューブ２０３を備えている。プロセスチューブ２０３は、内部反応管としてのインナーチューブ２０４と、その外側に設けられた外部反応管としてのアウターチューブ２０５と、を備えている。インナーチューブ２０４は、例えば石英（ＳｉＯ２）または炭化シリコン（ＳｉＣ）等の耐熱性材料により構成されている。インナーチューブ２０４は、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。インナーチューブ２０４内の筒中空部には、基板としてのウエハ２００を処理する処理室２０１が形成されている。処理室２０１内は、後述するボート２１７を収容可能なように構成されている。アウターチューブ２０５は、インナーチューブ２０４と同心円状に設けられている。アウターチューブ２０５は、内径がインナーチューブ２０４の外径よりも大きく、上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されている。アウターチューブ２０５は、例えば石英または炭化シリコン等の耐熱性材料により構成されている。
【００３５】
プロセスチューブ２０３の外側には、プロセスチューブ２０３の側壁面を囲うように、加熱機構としてのヒータ２０６が設けられている。ヒータ２０６は円筒形状に構成されている。ヒータ２０６は、保持板としてのヒータベース２５１に支持されることにより垂直に据え付けられている。
【００３６】
アウターチューブ２０５の下方には、アウターチューブ２０５と同心円状になるように、マニホールド２０９が配設されている。マニホールド２０９は、例えばステンレス等により構成されている。マニホールド２０９は、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド２０９は、インナーチューブ２０４の下端部とアウターチューブ２０５の下端部とにそれぞれ係合している。マニホールド２０９は、インナーチューブ２０４の下端部とアウターチューブ２０５の下端部とを支持するように設けられている。なお、マニホールド２０９とアウターチューブ２０５との間には、シール部材としてのＯリング２２０ａが設けられている。マニホールド２０９がヒータベース２５１に支持されることにより、プロセスチューブ２０３は垂直に据え付けられた状態となっている。プロセスチューブ２０３とマニホールド２０９とにより反応容器が形成される。
【００３７】
後述するシールキャップ２１９には、ガス導入部としての処理ガスノズル２３０ａ及びパージガスノズル２３０ｂが処理室２０１内に連通するように接続されている。処理ガスノズル２３０ａには、処理ガス供給管２３２ａが接続されている。処理ガス供給管２３２の上流側（処理ガスノズル２３０ａとの接続側と反対側）には、ガス流量制御器としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）２４１ａを介して、図示しない処理ガス供給源等が接続されている。また、パージガスノズル２３０ｂには、パージガス供給管２３２ｂが接続されている。パージガス供給管２３２ｂの上流側（パージガスノズル２３０ｂとの接続側と反対側）には、ガス流量制御器としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）２４１ｂを介して、図示しないパージガス供給源等が接続されている。
【００３８】
主に、処理ガス供給源（図示しない）、ＭＦＣ２４１ａ、処理ガス供給管２３２ａ及び処理ガスノズル２３０ａにより、本実施形態に係る処理ガス供給系が構成されている。主に、パージガス供給源（図示しない）、ＭＦＣ２４１ｂ、パージガス供給管２３２ｂ及びパージガスノズル２３０ｂにより、本実施形態に係るパージガス供給系が構成されている。主に、処理ガス供給系及びパージガス供給系により、本実施形態に係るガス供給系が構成されている。ＭＦＣ２４１ａ，２４１ｂには、後述のサブコントローラとしてのガス供給コントローラ１４が電気的に接続されている。
【００３９】
マニホールド２０９には、処理室２０１内の雰囲気を排気する排気管２３１が設けられている。排気管２３１は、インナーチューブ２０４とアウターチューブ２０５との隙間によって形成される筒状空間２５０の下端部に配置されている。排気管２３１は、筒状空間２５０に連通している。排気管２３１の下流側（マニホールド２０９との接続側と反対側）には、圧力検知器としての圧力センサ２４５、例えばＡＰＣ（Ａｕｔｏ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｃｏｎｔｏｒｏｌｌｅｒ）として構成された圧力調整装置２４２、真空ポンプ等の真空排気装置２４６が上流側から順に接続されている。主に、排気管２３１、圧力センサ２４５、圧力調整装置２４２及び真空排気装置２４６により、本実施形態に係るガス排気機構が構成されている。圧力調整装置２４２及び圧力センサ２４５には、後述のサブコントローラとしての圧力コントローラ１３が電気的に接続されている。
【００４０】
マニホールド２０９の下方には、マニホールド２０９の下端開口を気密に閉塞可能な炉口蓋体としてのシールキャップ２１９が設けられている。シールキャップ２１９は、マニホールド２０９の下端に垂直方向下側から当接されるようになっている。シールキャップ２１９は、例えばステンレス等の金属により構成されている。シールキャップ２１９は、円盤状に形成されている。シールキャップ２１９の上面には、マニホールド２０９の下端と当接するシール部材としてのＯリング２２０ｂが設けられている。
【００４１】
シールキャップ２１９の中心部付近であって処理室２０１と反対側には、ボートを回転させる回転機構２５４が設置されている。回転機構２５４の回転軸２５５は、シールキャップ２１９を貫通してボート２１７を下方から支持している。回転機構２５４は、ボート２１７を回転させることでウエハ２００を回転させることが可能に構成されている。
【００４２】
シールキャップ２１９は、プロセスチューブ２０３の外部に垂直に設備された基板保持具昇降機構としてのボートエレベータ１１５によって、垂直方向に昇降されるように構成されている。シールキャップ２１９を昇降させることにより、ボート２１７を処理室２０１内外へ搬送することが可能に構成されている。回転機構２５４及びボートエレベータ１１５には、後述のサブコントローラとしての搬送コントローラ１１が電気的に接続されている。
【００４３】
上述したように、基板保持具としてのボート２１７は、複数枚のウエハ２００を水平姿勢でかつ互いに中心を揃えた状態で整列させて多段に保持するように構成されている。ボート２１７は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料により構成されている。ボート２１７の下部には、断熱部材としての断熱板２１６が水平姿勢で多段に複数枚配置されている。断熱板２１６は、円板形状に形成されている。断熱板２１６は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料により構成されている。断熱板２１６は、ヒータ２０６からの熱をマニホールド２０９側に伝えにくくするように構成されている。
【００４４】
プロセスチューブ２０３内には、温度検知器としての温度センサ２６３が設置されている。主に、ヒータ２０６及び温度センサ２６３により、本実施形態に係る加熱機構が構成されている。これらヒータ２０６と温度センサ２６３とには、後述のサブコントローラとしての温度コントローラ１２が電気的に接続されている。
【００４５】
主に、ガス排気機構、ガス供給系、加熱機構により、本実施形態に係る基板処理系が構成されている。
【００４６】
（５）処理炉の動作  続いて、半導体デバイスの製造工程の一工程として、上記構成に係る処理炉２０２を用いてＣＶＤ法によりウエハ２００上に薄膜を形成する方法について、図４を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置１００を構成する各部の動作は基板処理装置用コントローラ２４０により制御される。
【００４７】
複数枚のウエハ２００がボート２１７に装填（ウエハチャージ）されると、図４に示すように、複数枚のウエハ２００を保持したボート２１７は、ボートエレベータ１１５によって持ち上げられて処理室２０１内に搬入（ボートローディング）される。この状態で、シールキャップ２１９はＯリング２２０ｂを介してマニホールド２０９の下端をシールした状態となる。
【００４８】
処理室２０１内が所望の圧力（真空度）となるように、真空排気装置２４６によって真空排気される。この際、圧力センサ２４５が測定した圧力値に基づき、圧力調整装置２４２（の弁の開度）がフィードバック制御される。また、処理室２０１内が所望の温度となるように、ヒータ２０６によって加熱される。この際、温度センサ２６３が検知した温度値に基づき、ヒータ２０６への通電量がフィードバック制御される。続いて、回転機構２５４により、ボート２１７及びウエハ２００が回転させられる。
【００４９】
次いで、処理ガス供給源から供給されてＭＦＣ２４１ａにて所望の流量となるように制御された処理ガスは、ガス供給管２３２ａ内を流通してノズル２３０ａから処理室２０１内に導入される。導入された処理ガスは処理室２０１内を上昇し、インナーチューブ２０４の上端開口から筒状空間２５０内に流出して排気管２３１から排気される。ガスは、処理室２０１内を通過する際にウエハ２００の表面と接触し、この際に熱ＣＶＤ反応によってウエハ２００の表面上に薄膜が堆積（デポジション）される。
【００５０】
予め設定された処理時間が経過すると、パージガス供給源から供給されてＭＦＣ２４１ｂにて所望の流量となるように制御されたパージガスが処理室２０１内に供給され、処理室２０１内が不活性ガスに置換されるとともに、処理室２０１内の圧力が常圧に復帰される。
【００５１】
その後、ボートエレベータ１１５によりシールキャップ２１９が下降されてマニホールド２０９の下端が開口されるとともに、処理済のウエハ２００を保持するボート２１７がマニホールド２０９の下端からプロセスチューブ２０３の外部へと搬出（ボートアンローディング）される。その後、処理済のウエハ２００はボート２１７より取り出され、ポッド１１０内へ格納される（ウエハディスチャージ）。
【００５２】
（６）基板処理装置用コントローラの構成（基板処理装置用コントローラ）  以下、図５を参照して、基板処理装置用コントローラとしての制御装置(以後、主制御部ともいう)２４０について説明する。
【００５３】
主制御部２４０は、主にＣＰＵ等の演算制御部２５と、処理コントローラとしての処理制御部２０と、搬送コントローラ１１としての搬送制御部２７と、ＲＡＭやＲＯＭなどのメモリやＨＤＤ等からなる記憶部２８と、マウスやキーボード等の入力部２９及びモニタ等の表示部３１とから構成されている。尚、前記演算制御部２５と、前記記憶部２８と、前記入力部２９と、前記表示部３１とで各データを設定可能な操作部が構成される。
【００５４】
ＣＰＵ（Central Processing Unit)２５は、主制御部２４０の中枢を構成し、図示しないＲＯＭに記憶された制御プログラムを実行し、表示部３１からの指示に従って、レシピ記憶部も構成する記憶部２８に記憶されているレシピ（例えば、基板処理レシピとしてのプロセス用レシピ等）を実行する。ＲＯＭは、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリ、ハードディスクなどから構成され、ＣＰＵ２５の動作プログラム等を記憶する記録媒体である。メモリ(ＲＡＭ)は、ＣＰＵ２５のワークエリア(一時記憶部)などとして機能する。
【００５５】
ここで、基板処理レシピは、ウエハ２００を処理する処理条件や処理手順等が定義されたレシピである。また、レシピファイルには、搬送コントローラ１１、温度コントローラ１２、圧力コントローラ１３、ガス供給コントローラ１４等に送信する設定値（制御値）や送信タイミング等が、基板処理のステップ毎に設定されている。
【００５６】
また、本発明の実施の形態にかかる主制御部２４０は、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、汎用コンピュータに、上述の処理を実行するための制御プログラムを含む各種プログラムを格納した外部記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＵＳＢ、外付けＨＤＤ等）からこれら各種プログラムをインストールすることにより、例えば、上述の処理を実行する主制御部２４０を構成することができる。
【００５７】
そして、これらの各種プログラムを供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板に当該プログラムを掲示し、ネットワークを介して搬送波に重畳して提供してもよい。そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。
【００５８】
前記処理制御部２０は、前記処理炉２０１内にローディングされたウエハ２００に対し、所定の処理がなされる様、前記処理炉２０１内の温度や圧力、該処理炉２０１内に導入される処理ガスの流量等を制御する機能を有している。
【００５９】
前記搬送制御部２７は、図示しない駆動モータを介して前記ポッド搬送装置１０５、前記ウエハ移載機構１２５、前記ボートエレベータ１１５等の搬送機構の駆動を制御する機能を有している。
【００６０】
前記記憶部２８には、各種データ等が格納されるデータ格納領域(以後、第２格納領域ともいう)３２と、各種プログラムが格納されるプログラム格納領域(以後、第１格納領域ともいう)３３が形成されている。
【００６１】
データ格納領域３２は、前記レシピファイルに関連する各種パラメータが格納される。また、前記ポッド１１０を前記筐体１１１内に搬入する際、又前記ポッド１１０を前記筐体１１１外に搬出する際の、Ｉ／Ｏステージとしての載置台１１４上の受渡し位置の情報や、受渡し位置にキャリアローダとしての前記ポッド搬送装置１１８を移動させる際の動作順序、受渡し位置からキャリアローダ１１８を移動させる際の動作順序等の情報が格納されている。また、ポッド１１０毎に識別する情報であるキャリアＩＤやポッド１１０内のウエハ２００の種別情報を少なくとも含むキャリア情報が前記データ格納領域３２に格納される様になっている。また、本実施の形態において、データ格納領域３２には、後述するホスト固有情報が格納されるようになっている。
【００６２】
プログラム格納領域３３には、上述の基板処理レシピ等の他、前記カセット３の搬入、搬出を行う為に必要な各種プログラムや基板が無い状態の炉内を洗浄するためのレシピ等が格納されている。また、本実施の形態において、後述する通信確立プログラム３４が格納されるようになっている。
【００６３】
主制御部２４０の表示部３１には、タッチパネルが設けられている。タッチパネルは、上述の基板搬送系、基板処理系への操作コマンドの入力を受け付ける操作画面を表示するように構成されている。かかる操作画面は、基板搬送系や基板処理系の状態を確認したり、基板搬送系や基板処理系への動作指示を入力したりするための各種表示欄及び操作ボタンを備えている。なお、操作部は、パソコンやモバイル等の操作端末(端末装置)のように、少なくとも表示部３１と入力部２９を含む構成であればよい。
【００６４】
搬送コントローラ１１は、基板搬送系を構成する回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８、ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５、ボート２１７及び回転機構２５４の搬送動作をそれぞれ制御するように構成されている。また、図示しないが基板搬送系を構成する回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５，ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８，ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５，ボート２１７及び回転機構２５４には、それぞれセンサが内蔵されている。搬送コントローラ１１は、これらのセンサがそれぞれ所定の値や異常な値等を示した際に、主制御部２４０にその旨の通知を行うように構成されている。
【００６５】
温度コントローラ１２は、処理炉２０２のヒータ２０６の温度を制御することで処理炉２０２内の温度を調節すると共に、温度センサ２６３が所定の値や異常な値等を示した際に、主制御部２４０にその旨の通知を行うように構成されている。
【００６６】
圧力コントローラ１３は、圧力センサ２４５により検知された圧力値に基づいて、処理室２０１内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように、圧力調整装置２４２を制御すると共に、圧力センサ２４５が所定の値や異常な値等を示した際に、主制御部２４０にその旨の通知を行うように構成されている。
【００６７】
ガス供給コントローラ１４は、処理ガス供給管２３２ａ，パージガス供給管２３２ｂからのガスの供給や停止を、ガスバルブ（図示せず）を開閉させることにより制御するように構成されている。また、ガス供給コントローラ１４は、処理室２０１内に供給するガスの流量が所望のタイミングにて所望の流量となるように、ＭＦＣ２４１ａ，２４１ｂを制御するように構成されている。ガス供給コントローラ１４は、ガスバルブ（図示せず）やＭＦＣ２４１ａ，２４１ｂの備えるセンサ（図示せず）が所定の値や異常な値等を示した際に、主制御部２４０にその旨の通知を行うように構成されている。
【００６８】
（通信確立プログラム）  主制御部２４０は、上位コンピュータ(以後、上位コントともいう)と接続時に通信確立プログラム３４を実行する様構成されている。そして、通信確立プログラム３４が実行されると、図８Ａに示すように記憶部２８内に通信制御部が実現される様構成されている。通信制御部は、上位コントの固有情報を取得する取得部と、固有情報と予め取得していた第２格納部内の固有情報とを照合する照合部と、照合した結果、固有情報同士が異なっていた場合に、不一致と判定する判定部を有するよう構成されている。
【００６９】
更に、この判定部は、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規のパスワードが入力されるまで待つ待機部と、上位コントから取得された固有情報を記憶部に登録する登録部と、固有情報が一致していない場合、接続している上位コントに、該上位コントとの通信確立を不許可にする通知を行い、固有情報が一致している場合、接続している上位コントに、該上位コントとの通信確立を許可にする通知を行う通知部と、を有するように構成されている。
【００７０】
このような構成で、本実施形態における通信制御部は、ネットワークを介して上位コントとの通信を確立させる際、上位コントの固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と上位コントの固有情報を照合した結果、固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規のパスワードが入力された時に上位コントとの通信を確立するよう構成されている。
【００７１】
具体的には、図８Ｂに示す通信確立プログラム３４を実行する主制御部２４０(記憶部２８)内に実現される通信制御部のフローについて説明する。
【００７２】
先ず、取得部により上位コントの固有情報を取得する工程(Ｓ１００)が実行される。そして、通信制御部は、固有情報を示すデータが記憶部２８内に格納されている場合、照合部により上位コントの固有情報と記憶部内の固有情報とを照合する(Ｓ１０２)。照合した結果、一致していたら、上位コントとの通信確立を許可にする通知を通知部に出力させる(Ｓ１０７)。
【００７３】
一方、固有情報同士を照合させた結果、一致していない場合、上位コントとの通信確立を不許可にする通知を通知部に出力させ(Ｓ１０３)、例えば、パスワード入力画面を表示部３１に表示させて、パスワードが入力されるのを待つ(Ｓ１０４)。
【００７４】
また、通信制御部は、固有情報を示すデータが記憶部２８内に格納されていない場合、上位コントとの通信確立を不許可にする通知を通知部に出力させ(Ｓ１０３)、例えば、パスワード入力画面を表示部３１に表示させて、パスワードが入力されるのを待つ(Ｓ１０４)。
【００７５】
入力待ち工程(Ｓ１０４)において、パスワードが入力された場合に、パスワードが予め取得していたパスワードと一致するか判定する(Ｓ１０５)。パスワードが一致していたら、この上位コントの固有情報を登録部に登録させる(Ｓ１０６)と共に上位コントとの通信確立を許可にする通知を通知部に出力させる(Ｓ１０７)。一方、パスワードが一致しない場合、また、上位コントとの通信確立を不許可にする通知を通知部に出力させ(Ｓ１０３)、入力待ち工程(Ｓ１０４)が実行される。パスワード入力回数をカウントしておき、正規のパスワードと異なるパスワードが所定回数入力されると、通信確立プログラム３４を強制終了可能に構成してもよい。
【００７６】
ここで、工場に納入してセットアップを終了した基板処理装置１００をオンラインで稼働させる場合、データが無い場合に照合しないで通信を確立させないように構成されているので、基板処理装置１００の不当な使用を抑制できるので安全性が格段に向上する。例えば、新規納入した装置でない限りデータが無いということはデータ改ざん等があったと考えられるためである。一方、自社の保守員であれば、パスワードの取得は容易に行えるようにしているので、正当に基板処理装置１００を使用する場合、基板処理装置１００をオンラインで運用するのにさほど時間がかかるものではない。
【００７７】
尚、新規の基板処理装置１００をオンラインで稼働させる場合、図９に示す通信初期化プログラム３５を有してもよい。但し、この通信初期化プログラム３５は、初めにオンラインされるときに１回だけ実行される様構成される。その他は、図８に示す通信確立プログラムが実行される様構成される。図９Ａは、この通信初期化プログラム３５の通信制御部の機能構成図である。
【００７８】
主制御部２４０は、上位コントと接続時に通信初期化プログラム３５を実行する様構成されている。そして、通信初期化プログラム３５が実行されると、図９Ａに示すように記憶部２８内に通信制御部が実現される様構成されている。通信制御部は、上位コントの固有情報を取得する取得部と、取得部による取得した固有情報を第２格納部内に登録させ、固有情報同士を一致させると共に上位コントとの通信確立を許可にする通知を通知部に出力させる判定部を有するよう構成されている。
【００７９】
具体的には、図９Ｂに示す通信初期化プログラム３５を実行する主制御部２４０(記憶部２８)内に実現される通信制御部のフローについて説明する。
【００８０】
先ず、取得部により上位コントの固有情報を取得する工程(Ｓ２００)が実行される。尚、この取得工程(Ｓ２００)は、通信確立プログラム３５の取得工程(Ｓ１００)と同じである。そして、通信制御部は、第２格納部内に固有情報を示すデータが無いのを確認して(Ｓ２０１)、取得工程(Ｓ２００)で取得した固有情報を記憶部２８内に登録し(Ｓ２０２)、上位コントの固有情報と一致させると共に、上位コントとの通信確立を許可にする通知を通知部に出力させる(Ｓ２０３)。
【００８１】
万が一、通信制御部は、第２格納部内に固有情報を示すデータが有ったとしても(Ｓ２０１)、取得工程(Ｓ２００)で取得した固有情報を記憶部２８内に上書きして登録し(Ｓ２０２)、上位コントの固有情報と一致させると共に、上位コントとの通信確立を許可にする通知を通知部に出力させる(Ｓ２０３)。
【００８２】
このように、新規出荷された基板処理装置１００には、固有情報を示すデータはないのが当たり前で、固有情報があったとしても固有情報の照合をするまでもなく、第２格納部内に固有情報を登録して、上位コントとの通信を確立させることを優先するのが好ましい。
【００８３】
（本発明の好ましい実施形態）次に、第１の実施形態について、図６を用いて基板処理装置１００と上位コンピュータ(上位コント)の一つであるホストコンピュータ(以後、ホストと称する)とのオンライン接続について説明する。図６は、ホスト接続時の認証及び通信確立のシーケンスを示すフロー図である。このフロー図におけるホストの固有情報をチェックする処理は、通信確立プログラム３４を主制御部２４０が実行することにより実現される。ここで上位コントとは、複数の基板処理装置１００に接続され、各基板処理装置１００の稼働状態を管理する装置(以後、管理装置と称する場合もある)。
【００８４】
ＴＣＰ/ＩＰ通信およびＨＳＭＳ通信の接続後、主制御部２４０は、ホスト固有情報(例えばＭＡＣアドレスやＩＰアドレスなど)を収集する。そして、予め保持していた過去に接続したホスト固有情報と照合する。ここで、既に接続したホストとの接続においては、照合結果が一致するため、通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して許可応答を返信する。
【００８５】
但し、照合結果が不一致の場合、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して、拒否応答を返信する。既に接続したホストとの接続では照合結果が一致するはずであるがデータの改ざん等が成された可能性が大きいからである。
【００８６】
一方、基板処理装置１００とホストとの接続では、主制御部２４０は、データ格納領域３２内にホスト固有情報が無い場合、照合せずにホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して、拒否応答を返信するように構成するのが好ましい。同様に、データの改ざん等が成された可能性があるためである。例えば、過去に取得したホスト固有情報が削除され、データ格納領域３２内にホスト固有情報が無い場合が考えられる。
【００８７】
次に、主制御部２４０は、表示部３１に認証キー入力画面を表示し、キー入力を待つ。この入力画面上で所定のキャンセルボタンが押下されると、認証キー入力画面を閉じ、本通信確立プログラム３４を終了させるようにしてもよい。例えば、再度、ホストとの接続を確立させるには、この通信確立プログラム３４を再起動させて認証キー入力画面を表示させる必要がある。また、異なる認証キーが入力されると、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して、拒否応答を返信する。このとき、この入力画面に認証ＮＧを示す表示がされて再び前記認証キー入力画面を表示させるよう構成してもよい。このように、本実施の形態において、主制御部２４０は、正しい認証キーが入力されるまではオンライン接続を確立しないように構成されている。
【００８８】
尚、この入力待ち画面で、所定の時間、何の操作も行われないと、認証キー入力画面が閉じ、本通信確立プログラム３４は終了させるように構成してもよい。更に、異なる認証キーが所定回数入力されると、主制御部２４０は、認証キー入力画面を閉じ、本通信確立プログラム３４を終了させるように構成してもよい。
【００８９】
そして、基板処理装置メーカが発行する正規のパスワード(正式な認証キー)が入力されると、主制御部２４０は、ホスト固有情報をデータ格納領域３２に登録し、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して許可応答を返信する。この基板処理装置１００とホスト間の送受信により、オンライン接続が確立する。
【００９０】
尚、作業者のログイン処理により、本通信確立プログラム３４が起動するように構成しても良い。この場合でも、主制御部２４０による本通信確立プログラム３４の実行により認証キー入力画面が表示され、認証キーの入力が無いとホストとの通信接続を行えないようにすることができる。
【００９１】
また、正規のパスワード(認証キー)は、例えば、所定のウェブサイトにアクセスしないと取得できないように構成されているのが好ましい。それは、半導体製造装置メーカのウェブサイトであるのが更に好ましく、このウェブサイトにアクセスする権限を有する作業者(例えば、半導体製造装置メーカの従業員)しか正式な認証キーを取得できないようにするためである。結果として、ウェブサイトにアクセスして正式な認証キーを取得するには、半導体製造装置メーカ()を介在させる必要がなる。また、この認証キーは、秒替りパスワード、分替りパスワード、時間替りパスワード、日替りパスワードのように、一度パスワードを取得しても使いまわせないようにするのが好ましい。また、週替りパスワードを認証キーとしてもよい。
【００９２】
本実施の形態(第１の実施形態)によれば、以下の(ａ)〜(ｄ)に記載の効果のうち少なくとも一つ以上の効果を奏する。
【００９３】
(ａ) 本実施の形態(第１の実施形態)によれば、ホスト固有情報を取得し、予め過去に取得していたホスト固有情報と照合することにより、未知のホストと判明した場合(照合した結果、一致しない場合)は、通信確立を拒否し、半導体製造装置メーカが発行する正規のパスワード(認証キー)の入力を待つようにし、正式な認証キーが入力された場合のみ接続しているホスト固有情報を記録した後通信確立を許可し、ＦＡ運用を可能にしている。このような仕組みを構築することで、装置が転売されても、正規のパスワード(認証キー)による認証処理でＯＫでなければ、転売先の工場でオンライン接続ができない。従い、転売された半導体製造装置を工場内で(ホストと接続して)量産ラインに使用するために、半導体製造装置メーカが発行する正規のパスワード(認証キー)が必要となるため、半導体製造装置メーカの従業員を介在させることができる。これにより、転売先でのアフターサービスの機会の損失を抑止できる。
【００９４】
(ｂ)本実施の形態(第１の実施形態)によれば、半導体製造装置メーカが発行する正式な認証キーが必要であり、この認証キーの入手は、半導体製造装置メーカのウェブサイトにアクセスしないと取得できない。このように、必ず半導体製造装置メーカの従業員を介して入手可能な正規のパスワード(認証キー)を入力するように構成している。例えば、転売先のメーカは半導体製造装置メーカと何等かの技術契約がないとパスワード(認証キー)が取得できないようになっている。従い、この契約締結の結果、転売先のメーカに対し、転売された半導体製造装置に関する保守や部品交換などのアフターサービスビジネスを行うことが可能になる。
【００９５】
(ｃ)本実施の形態(第１の実施形態)によれば、正規のパスワードは、半導体製造装置メーカのイントラネット(所定のウェブサイト)からしか入手できないようにしているので、正規のパスワード(認証キー)を不正に使用することができないようにしている。例えば、半導体製造装置メーカの従業員が退社し、予め入手していたパスワードを流用しようとしても所定のウェブサイトにアクセスできないため、正式な認証キーを入手することができない。これにより、本通信確立プログラムのデータ流出が抑えられる。
【００９６】
(ｄ)また、本実施の形態(第１の実施形態)によれば、認証キーは、日替りパスワードが好ましい。一度取得した正規のパスワード(認証キー)の流用を防止するに効果的である。
【００９７】
（第２の実施形態）予め本発明におけるホスト認証機能を有さない基板処理装置１００を半導体製造メーカの工場に納入している場合について説明する。この場合、主制御部２４０のソフトウェアの更新のタイミングで、本発明におけるホスト認証機能を保持する通信確立プログラム３４(通信初期化プログラム３５を含む)を主制御部２４０に組み込む。ここで、本発明における通信確立プログラムは、プロセスレシピ等を実行する制御プログラムと同様の手法で主制御部２４０に組み込むことができるように構成されている。
【００９８】
例えば、本通信確立プログラムを含む各種プログラムを格納した記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＵＳＢキー等）から、この通信確立プログラムを基板処理装置用コントローラ２４０にインストールする。
【００９９】
また、この通信確立プログラム３４等を供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板に当該プログラムを掲示し、ネットワークを介して搬送波に重畳して提供してもよい。そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、通信確立プログラムが、主制御部２４０にインストールされる。
【０１００】
図７を用いて、第２の実施形態における通信確立プログラム(通信初期化プログラム３５)の実行フローについて説明する。尚、通信初期化プログラム３５は、最初にホストと基板処理装置１００を接続するときに主制御部２４０により実行される。
【０１０１】
ＴＣＰ/ＩＰ通信およびＨＳＭＳ通信の接続後、主制御部２４０はホスト固有情報(例えば、ＭＡＣアドレスやＩＰアドレス)を収集する。そして、ホスト固有情報をデータ格納領域３２に保存し、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して許可応答を返信する。この基板処理装置１００とホスト間の送受信により、オンライン接続が確立する。ここで、通信初期化プログラム３５により、主制御部２４０は、前記データ格納領域３２を検索するように構成されているが、新規の(最初の)オンライン通信の確立処理と判断し、照合処理を実施することはしない。従い、図７では、照合処理を省略している。
【０１０２】
このように、通信初期化プログラム３５により、新規の基板処理装置１００を納品直後のホストとの接続では、主制御部２４０は、データ格納領域３２内にホスト固有情報が無いので照合はせず、ホスト固有情報をデータ格納領域３２に登録し、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して許可応答を返信する様構成されている。更に、データ格納領域３２内にホスト固有情報が有る場合でも、データ格納領域３２にホスト固有情報を上書きして登録し、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して許可応答を返信する様構成されている。
【０１０３】
また、通信初期化プログラム３５は、ＴＣＰ/ＩＰ通信およびＨＳＭＳ通信の接続後、過去に取得したホスト固有情報が無く、照合処理を実施しない代わりに、主制御部２４０の表示部３１に認証キーの入力を促す画面が表示されるように構成してもよい。これにより、基板処理装置１００を新規にホスト認証させる際、認証キーを半導体製造装置メーカのウェブ上の所定の部分から取得させる。そして、この取得したパスワードを入力することにより、ホスト固有情報をデータ格納領域３２に保存し、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して許可応答を返信する。
【０１０４】
顧客への新規の基板処理装置１００の納入時、半導体製造装置メーカの従業員が基板処理装置１００とホストとの接続を確立させる操作を行うはずなので、パスワード入力させるのは、手間がかかるだけかもしれない。但し、本通信確立プログラムを含む各種プログラムを格納した記録媒体(フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＵＳＢキー等)が第三者に流出したとしても、基板処理装置１００を新規にホスト認証させる際に半導体製造装置メーカが発行する正規の認証キー(パスワード)が必要であるため、不当なオンライン接続を防止することができる。
【０１０５】
そして、オンライン通信が一旦中断されてオフライン通信に移行し、またオンライン通信を行った時、データ格納領域３２には、ホスト固有情報が保存されているので、図６に示す第１の実施形態におけるホスト接続時の認証及び通信確立のシーケンスを示す通信確立プログラム３４が、主制御部２４０により実行される。尚、既に説明済なので、図６に示す上記フロー図の詳細説明は省略する。
【０１０６】
本実施の形態(第２の実施形態)によれば、第１の実施形態における効果、及び、以下の(ｅ)〜(ｇ)に記載のうち少なくとも一つ以上の効果を奏する。
【０１０７】
(ｅ)本実施の形態(第２の実施形態)によれば、本実施の形態における通信確立プログラム３４及び通信初期化プログラム３５を主制御部２４０にインストールすると、初めて半導体製造装置とホストとの接続の際には、必ずこの通信初期化プログラム３５が実行され、その後(２回目以降)は、必ず通信確立プログラム３４が実行される。仮に、半導体製造装置メーカが知らないうちに、この装置が転売されたとしても、ホストの固有情報の比較機能を有することで、最初に転売先のオンライン時に半導体製造装置メーカが介在しないと入手できない正規のパスワードが必要となるため、半導体製造装置メーカのアフターサービスの機会を失う恐れが無い。
【０１０８】
(ｆ)本実施の形態(第２の実施形態)によれば、最初に転売先の工場でホストと通信を確立させる際、本通信確立プログラム３４が実行されるため、半導体製造装置メーカ(の従業員)が介在しないと入手できない正規のパスワードが必要となる。よって、転売先のメーカは、中古で購入した半導体製造装置をオンライン接続できないので、半導体製造装置メーカに問合せする等、何らかの接触をせざるを得ない。このとき、例えば、転売先のメーカと何等かの契約等を締結し、転売先の工場における半導体製造装置に関するアフターサービスを継続することができる。
【０１０９】
(ｇ)本実施の形態(第２の実施形態)によれば、通信初期化プログラム３５を実行して基板処理装置１００とホストとを新規に認証する際にも正規のパスワードを入力させるよう構成することができる。これにより、装置が不当に転売された場合に、半導体製造装置メーカが介在しないとオンライン接続ができないようになっているので、転売先での半導体製造装置のアフターサービスの機会の損失を防止することができる。
【０１１０】
(ｈ)本実施の形態(第２の実施形態)によれば、通信初期化プログラム３５を実行して基板処理装置１００とホストとを新規に認証する際にも正規のパスワードを入力させるよう構成することができる。これにより、データ格納領域３２内に一度登録されたホストの固有情報を削除された後、第三者メーカに転売された場合であっても、半導体製造装置メーカが介在しないとオンライン接続ができないようになっているので、転売先(第三者メーカ)での半導体製造装置のアフターサービスの機会の損失を防止することができる。
【０１１１】
このように、本発明(第１の実施形態乃至第２の実施形態)によれば、第三者メーカが購入した基板処理装置１００と第三者工場内のホストをオンライン接続させるには、必ず半導体製造装置メーカを介在する構成であるので、例えば、基板処理装置１００が転売された後であっても、アフターサービスビジネスが継続できる。
【０１１２】
＜本発明の他の実施形態＞本実施の形態では、基板処理装置の基板処理装置用コントローラ２４０に通信確立プログラムを備えた場合に関して詳述したが、これに限定されることは無く、例えば、基板処理装置を管理する管理装置のコントローラに通信確立プログラムを備える場合でも、本発明は適用できる。
【０１１３】
なお、本実施形態では、基板処理装置の一例として縦型の半導体製造装置を示しているが、縦型の半導体製造装置に限らず、クラスタ型及びインライン型の半導体製造装置、横型の半導体製造装置であってもよい。また、基板処理の具体的内容は不問であり、成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等の処理であってもよい。また、成膜処理は、例えばＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理であってもよい。更に、露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置の他、後工程で用いられる装置等の各種基板処理装置にも適用可能であるのは言う迄もない。要するに、半導体製造工場において、ホストとの接続を行い、半導体装置を量産する製造ラインに設けられる装置で有れば適用可能である。
【０１１４】
以上、本発明の実施の形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【０１１５】
＜本発明の好ましい態様＞  以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
【０１１６】
（付記１）  本発明の一態様によれば、  所定の操作画面に表示する表示部と、ネットワークを介して上位コンピュータ(ホスト)との通信を確立させる際、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と前記上位コンピュータの固有情報を照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を前記操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時に前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される通信制御部と、を備えた処理装置が提供される。
【０１１７】
（付記２）付記１の処理装置において、好ましくは、前記通信制御部は、前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得する取得部と、前記固有情報と予め取得していた固有情報とを照合する照合部と、照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力されるまで待つ判定部と、を有するよう構成される。
【０１１８】
（付記３）付記１または付記２に記載の処理装置において、好ましくは、前記通信制御部は、前記照合部による照合した結果、前記固有情報が一致していない場合、接続している前記上位コンピュータに、該上位コンピュータとの通信確立を不許可にする通知を行い、前記固有情報が一致している場合、接続している前記上位コンピュータに、該上位コンピュータとの通信確立を許可にする通知を行う、通知部を更に有するよう構成されている。
【０１１９】
（付記４）付記１乃至付記３のいずれか一つに記載の処理装置において、好ましくは、所定のプログラムを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２の格納領域と、を少なくとも有する記憶部と、を更に有し、前記通信制御部は、前記照合部による照合結果が、前記固有情報が一致している場合、  前記上位コンピュータから取得された固有情報を前記記憶部に登録する登録部と、  を更に有するよう構成されている。
【０１２０】
（付記５）付記４に記載の処理装置において、好ましくは、前記通信制御部は、前記第２の格納領域内に前記上位コンピュータ固有の固有情報が無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、取得した前記上位コンピュータの固有情報を前記記憶部に格納して、前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成されている。
【０１２１】
（付記６）付記１または付記２に記載の処理装置において、好ましくは、前記通信制御部は、前記正規のパスワードが入力されるまで、前記上位コンピュータとの通信を確立しないよう構成されている。
【０１２２】
（付記７）付記１または付記２または付記６に記載の処理装置において、好ましくは、前記正規のパスワードは、所定のウェブサイトにアクセスしないと入手できないよう構成されている。
【０１２３】
（付記８）付記７に記載の処理装置において、好ましくは、前記所定のウェブサイトは、基板処理装置メーカのイントラネットである。
【０１２４】
（付記９）付記７に記載の処理装置において、好ましくは、前記正規のパスワードの有効期間は、１分、１時間、１日、１週間から少なくとも一つの期間を選択可能に構成されている。
【０１２５】
（付記１０）本発明の他の態様によれば、所定のプログラムを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２格納領域を少なくとも有する記憶部と、前記第１格納領域内の前記所定のプログラムを実行し、前記第２格納領域内の前記所定のデータを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置であって、前記制御部は、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、前記第２格納領域内に前記固有情報のデータが有る場合、該予め取得していた固有情報と取得した固有情報とを照合し、前記固有情報が一致していたら、前記上位コンピュータとの通信を確立し、前記固有情報が異なっていたら、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時に、前記上位コンピュータとの通信を確立する、通信確立プログラムを実行するよう構成されている処理装置が提供される。
【０１２６】
（付記１１）付記１０の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記正規のパスワードが入力されると、接続している前記上位コンピュータから取得した前記固有情報を前記第２の格納領域に格納するよう構成されている。
【０１２７】
（付記１２）付記１１の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記第２格納領域内に固有情報のデータが無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時には、前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成されている。
【０１２８】
（付記１３）本発明の更に他の態様によれば、所定のプログラムを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２格納領域を少なくとも有する記憶部と、前記第１格納領域内の前記所定のプログラムを実行し、前記第２格納領域内の前記所定のデータを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置であって、前記制御部は、前記第２格納領域内に固有情報のデータが無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、上位コンピュータの固有情報を取得して前記第２格納領域に格納し、前記上位コンピュータとの通信を確立する、通信確立プログラムを実行するよう構成されている処理装置が提供されている。
【０１２９】
（付記１４）付記１３の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記第２格納領域内に固有情報のデータが無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時には、前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成されている。
【０１３０】
（付記１５）付記１４の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記正規のパスワードが入力されると、接続している前記上位コンピュータから取得した前記固有情報を前記第２の格納領域に格納するよう構成されている。
【０１３１】
（付記１６）本発明の更に他の態様によれば、コントローラに、前記上位コンピュータの固有情報を取得させる手順と、前記上位コンピュータの固有情報と予め取得していた固有情報とを照合させる手順と、前記固有情報同士を照合した結果、異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力されるまで待つ手順と、前記正規のパスワードが入力されると、前記上位コンピュータとの通信を確立させる手順と、を実行させる通信確立プログラムが記録されたコンピュータ読取可能な記録媒体が提供される。
【０１３２】
（付記１７）  本発明の更に他の態様によれば、  所定の操作画面に表示する表示部と、ネットワークを介して上位コンピュータ(ホスト)との通信を確立させる通信確立プログラムを含むファイルと、前記上位コンピュータ固有の固有情報を含むデータを少なくとも有する記憶部と、前記ファイルを実行し、前記データを用いて、所定の制御を行う制御部(基板処理装置用コントローラ)と、を備え、前記制御部は、前記通信確立プログラムを実行することにより、所定の固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と照合した結果、前記固有情報が異なっていた(未知のホストの)場合に、パスワード(認証キー)の入力を要求する画面を前記操作画面に表示させ、正規のパスワード(認証キー)が入力された時には、接続している前記上位コンピュータ(ホスト)の固有情報を前記記憶部に記録した後、前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される処理装置が提供される。
【０１３３】
（付記１８）付記１７記載の処理装置において、好ましくは、前記通信制御部は、前記正規のパスワード(認証キー)が入力されるまではオンライン通信を確立しないように構成されている。
【０１３４】
（付記１９）付記１７記載の処理装置において、好ましくは、前記認証キーは、所定のウェブサイトにアクセスしないと入手できないよう構成されている。
【０１３５】
（付記２０）付記１９記載の処理装置において、好ましくは、前記所定のウェブサイトは、基板処理装置メーカのイントラネットである。
【０１３６】
（付記２１）付記１７記載の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記照合した結果、前記固有情報が一致した場合、または、前記データ格納領域に前記固有情報が無い場合、前記上位コンピュータとの通信を確立させるよう構成されている。
【０１３７】
（付記２２）付記１７記載の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記データ格納領域に前記固有情報が無い場合、前記パスワードの入力を待機するように構成されている。
【０１３８】
（付記２３）付記１７または付記１８または付記２２記載の処理装置において、好ましくは、前記パスワードは、有効期間が１日である。
【０１３９】
（付記２４）本発明の更に他の態様によれば、所定の操作画面に表示する表示部と、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信確立プログラムを含むファイルと、前記上位コンピュータ固有の固有情報を含むデータを少なくとも有する記憶部と、前記ファイルを実行し、前記データを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置の通信制御方法であって、前記制御部は、前記通信確立プログラムを実行することにより、所定の固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を前記操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時には、接続している前記上位コンピュータの固有情報を前記記憶部に記録した後、前記上位コンピュータとの通信を確立する処理装置の通信制御方法が提供される。
【０１４０】
（付記２５）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信確立プログラムが格納された記録媒体であって、コントローラに前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる手順と、前記固有情報と予め取得していた固有情報とを照合させる手順と、照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させる手順と、正規の前記パスワードが入力されるまで待つ手順と、接続している前記上位コンピュータの固有情報を前記記憶部に記録する手順と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる手順と、を実行させる通信確立プログラムを読取可能に記録した記録媒体が提供される。
【０１４１】
（付記２６）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信確立プログラムであって、コントローラに前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる手順と、前記固有情報と予め取得していた固有情報とを照合させる手順と、照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させる手順と、正規の前記パスワードが入力されるまで待つ手順と、接続している前記上位コンピュータの固有情報を記録する手順と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる手順と、を実行させる通信確立プログラムが提供される。
【０１４２】
（付記２７）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信制御方法であって、前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる処理と、前記固有情報と予め取得していた固有情報とを照合させる処理と、照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させる処理と、正規の前記パスワードが入力されるまで待つ処理と、接続している前記上位コンピュータの固有情報を前記記憶部に記録する処理と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる処理と、を有する通信制御方法が提供される。
【０１４３】
（付記２８）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる確立工程と、前記上位コンピュータからの指示により、基板を処理する基板処理工程と、を有する半導体装置の製造方法であって、前記確立工程は、前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる工程と、前記固有情報と予め取得していた固有情報とを照合させる工程と、照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させる工程と、正規の前記パスワードが入力されるまで待つ工程と、接続している前記上位コンピュータの固有情報を記録する工程と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる工程と、  を有する半導体装置の製造方法が提供される。
【０１４４】
（付記２９）  本発明の更に他の態様によれば、所定のプログラムを含むファイルを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２の格納領域とを少なくとも有する記憶部と、前記第１格納領域内のプログラムを実行し、前記第２の格納領域内のデータを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置であって、前記制御部は、前記第１格納領域に、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信確立プログラムを格納し、格納した前記通信確立プログラムを実行することにより、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、  前記第２格納領域内に前記上位コンピュータ固有の固有情報が無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、取得した前記上位コンピュータの固有情報を格納して、前記上位コンピュータとの通信を確立する処理装置が提供される。
【０１４５】
（付記３０）付記２９記載の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記第２格納領域内に予め取得していた固有情報が有る場合、前記予め取得していた固有情報と取得した固有情報と照合した結果、前記固有情報が異なっていたら、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時には、接続している前記上位コンピュータの固有情報を前記第２の格納領域に格納した後、前記上位コンピュータとの通信を確立するように構成される。
【０１４６】
（付記３１）付記２９記載の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記予め取得していた固有情報と取得した固有情報と照合した結果、前記固有情報が一致していたら、接続している前記上位コンピュータの固有情報を前記第２の格納領域に格納した後、前記上位コンピュータとの通信を確立するように構成されている。
【０１４７】
（付記３２）付記３０記載の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記正規のパスワード(認証キー)が入力されるまではオンライン通信を確立しないように構成されている。
【０１４８】
（付記３３）付記３２記載の処理装置において、好ましくは、前記認証キーは、所定のウェブサイトにアクセスしないと入手できないよう構成されている。
【０１４９】
（付記３４）付記３３記載の処理装置において、好ましくは、前記所定のウェブサイトは、基板処理装置メーカのイントラネットである。
【０１５０】
（付記３５）付記２８、付記３０、付記３２記載の処理装置において、好ましくは、前記正規のパスワード（認証キー）は、有効期間が１日である。
【０１５１】
（付記３６）本発明の更に他の態様によれば、所定のプログラムを含むファイルを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２の格納領域とを少なくとも有する記憶部と、前記第１格納領域内のプログラムを実行し、前記第２の格納領域内のデータを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置の通信制御方法であって、前記制御部は、前記第１格納領域に、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信確立プログラムを格納し、格納した前記通信確立プログラムを実行することにより、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、  前記第２格納領域内に前記上位コンピュータ固有の固有情報が無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、取得した前記上位コンピュータの固有情報を前記第２格納領域内に格納して、前記上位コンピュータとの通信を確立する処理装置の通信制御方法が提供される。
【０１５２】
（付記３７）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信確立プログラムが格納された記録媒体であって、コントローラに前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる手順と、記憶部内を検索して予め取得していた固有情報を取得させる手順と、検索した結果、前記予め取得していた固有情報が前記記憶部内にない場合、前記上位コンピュータ固有の固有情報を前記記憶部に記録する手順と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる手順と、を実行させる通信確立プログラムを読取可能に記録した記録媒体が提供される。
【０１５３】
（付記３８）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信制御方法であって、前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる工程と、記憶部内を検索して予め取得していた固有情報を取得させる工程と、検索した結果、前記予め取得していた固有情報が前記記憶部内にない場合、前記上位コンピュータの固有情報を前記記憶部に記録する工程と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる工程と、を有する通信制御方法が提供される。
【０１５４】
（付記３９）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる確立工程と、前記上位コンピュータからの指示により、基板を処理する基板処理工程と、を有する半導体装置の製造方法であって、前記確立工程は、前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる工程と、記憶部内を検索して予め取得していた固有情報を取得させる工程と、検索した結果、前記予め取得していた固有情報が前記記憶部内にない場合、前記上位コンピュータの固有情報を前記記憶部に記録する工程と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる工程と、を有する半導体装置の製造方法が提供される。
【０１５５】
この出願は、２０１４年１２月１９日に出願された日本出願特願２０１４−２５７３６９を基礎として優先権の利益を主張するものであり、その開示の全てを引用によってここに取り込む。
【産業上の利用可能性】
【０１５６】
基板を処理する処理装置に係り、一般的に工場内でオンライン稼働する処理装置に適用される。 
【符号の説明】
【０１５７】
１００  基板処理装置２００  ウエハ（基板）  ２４０  基板処理装置用コントローラ（主制御部）  ５００  管理装置 
【図１】
2016098887.tif 000003
【図２】
2016098887.tif 000004
【図３】
2016098887.tif 000005
【図４】
2016098887.tif 000006
【図５】
2016098887.tif 000007
【図６】
2016098887.tif 000008
【図７】
2016098887.tif 000009
【図８Ａ】
2016098887.tif 000010
【図８Ｂ】
2016098887.tif 000011
【図９Ａ】
2016098887.tif 000012
【図９Ｂ】
2016098887.tif 000013
【国際調査報告】
2016098887.tif 000014
2016098887.tif 000015
2016098887.tif 000016
2016098887.tif 000017