(57)【要約】  ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３を、ヘッド移動機構３４のヘッド保持ユニット４０に着脱可能に保持し、該ヘッド保持ユニット４０に保持する供給ヘッド３３を、部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル本数と同じノズル本数の供給ヘッドと交換できるように構成すると共に、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３のノズル配置を部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル配置と同じ配置にしている。生産開始前に、作業者がダイ供給装置１２の供給ヘッド３３のノズル本数が部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル本数と一致しているか否かを確認し、両者のノズル本数が一致していなければ、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３を、部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル本数と同じノズル本数の供給ヘッドと交換してから、生産を開始する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイシングシート上に貼着されたウエハをダイシングして形成したダイを吸着するノズルを保持する供給ヘッドと、前記供給ヘッドを移動させるヘッド移動機構とを備え、前記ノズルに吸着したダイを部品実装機に供給するダイ供給装置において、
前記供給ヘッドは、前記ヘッド移動機構によって移動されるヘッド保持ユニットに着脱可能に保持され、該ヘッド保持ユニットに保持する供給ヘッドを、前記部品実装機の実装ヘッドのノズル本数と同じノズル本数の供給ヘッドと交換できるように構成されていることを特徴とするダイ供給装置。
【請求項２】
前記供給ヘッドを上下反転させる上下反転機構を備え、
前記ノズルにダイを吸着した前記供給ヘッドを前記上下反転機構により上下反転させて該供給ヘッドのノズル上のダイを前記部品実装機の実装ヘッドのノズルに吸着させるように構成され、
前記供給ヘッドのノズル配置を前記部品実装機の実装ヘッドのノズル配置と同じ配置にすることで、該供給ヘッドの複数本のノズルに吸着した複数のダイを該部品実装機の実装ヘッドの複数本のノズルに同時に吸着できるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のダイ供給装置。
【請求項３】
前記供給ヘッドのノズルに吸着したダイを受け取って前記部品実装機の実装ヘッドのノズルで吸着可能なダイ受け渡し位置まで移送するシャトル機構を備え、
前記シャトル機構は、前記ダイ受け渡し位置でダイの配置が前記部品実装機の実装ヘッドのノズル配置と同じ配置となるように複数のダイを移送し、該ダイ受け渡し位置で前記複数のダイを該部品実装機の実装ヘッドの複数本のノズルに同時に吸着できるように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイ供給装置。
【請求項４】
交換用の供給ヘッドを載置するヘッド載置部と、前記ヘッド移動機構を制御して前記ヘッド載置部上の供給ヘッドを前記ヘッド保持ユニットに保持させる動作を制御する制御装置とを備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のダイ供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングシート上に貼着されたウエハをダイシングして形成したダイを吸着するノズルに吸着して部品実装機に供給するダイ供給装置に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
近年、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、ダイを供給するダイ供給装置を部品実装機にセットして、部品実装機でダイを回路基板に実装するようにしたものがある。このダイ供給装置は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げピンとを備え、供給ヘッドのノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１２９９４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ダイ供給装置から部品実装機へダイを受け渡す方式には、直接受け渡し方式とシャトル受け渡し方式とがある。【０００５】
直接受け渡し方式では、ダイ供給装置の供給ヘッドのノズルにダイを吸着した状態で該供給ヘッドを上下反転機構により上下反転させて該供給ヘッドのノズル上のダイを部品実装機の実装ヘッドのノズルに吸着させる。【０００６】
一方、シャトル受け渡し方式では、ダイ供給装置の供給ヘッドのノズルに吸着したダイをシャトル機構に移し替え、該シャトル機構により該ダイを部品実装機の実装ヘッドのノズルで吸着可能なダイ受け渡し位置まで移送して、該ダイ受け渡し位置でダイを部品実装機の実装ヘッドのノズルに吸着させる。【０００７】
また、部品実装機の実装ヘッドのノズル本数は、一定ではなく、異なるノズル本数の部品実装機がある。また、実装ヘッドをノズル本数が異なる実装ヘッドと交換可能になっている部品実装機もある。これらの部品実装機にセットするダイ供給装置の供給ヘッドは、交換できない構造となっているため、ダイ供給装置の供給ヘッドのノズル本数が部品実装機の実装ヘッドのノズル本数と一致しない場合がある。この場合は、ダイ供給装置の供給ヘッドと部品実装機の実装ヘッドとの間で吸着可能なダイ数が一致しないため、ダイ供給装置から部品実装機へのダイの受け渡しを能率良く行うことができず、生産タクトが低下するという問題があった。【０００８】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、ダイ供給装置から部品実装機へのダイの受け渡しを能率良く行うことができるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は、ダイシングシート上に貼着されたウエハをダイシングして形成したダイを吸着するノズルを保持する供給ヘッドと、前記供給ヘッドを移動させるヘッド移動機構とを備え、前記ノズルに吸着したダイを部品実装機に供給するダイ供給装置において、前記供給ヘッドは、前記ヘッド移動機構によって移動されるヘッド保持ユニットに着脱可能に保持され、該ヘッド保持ユニットに保持する供給ヘッドを、前記部品実装機の実装ヘッドのノズル本数と同じノズル本数の供給ヘッドと交換できるように構成したものである。この構成では、ダイ供給装置のヘッド保持ユニットに保持する供給ヘッドを、部品実装機の実装ヘッドのノズル本数と同じノズル本数の供給ヘッドと交換できるため、ダイ供給装置の供給ヘッドと部品実装機の実装ヘッドとの間でノズル本数を一致させて吸着可能なダイ数を一致させることができ、ダイ供給装置から部品実装機へのダイの受け渡しを能率良く行うことができて、生産タクトを向上できる。【００１０】
本発明を実施する場合、ダイ供給装置から部品実装機へのダイの受け渡し方式は、直接受け渡し方式とシャトル受け渡し方式のいずれであっても良い。【００１１】
本発明を直接受け渡し方式のダイ供給装置に適用する場合は、ダイ供給装置に供給ヘッドを上下反転させる上下反転機構を設け、ノズルにダイを吸着した供給ヘッドを上下反転機構により上下反転させて該供給ヘッドのノズル上のダイを部品実装機の実装ヘッドのノズルに吸着させるように構成し、ダイ供給装置の供給ヘッドのノズル配置を部品実装機の実装ヘッドのノズル配置と同じ配置にすることで、該ダイ供給装置の供給ヘッドの複数本のノズルに吸着した複数のダイを該部品実装機の実装ヘッドの複数本のノズルに同時に吸着できるように構成すると良い。このようにすれば、直接受け渡し方式のダイ供給装置の供給ヘッドの複数のノズルに吸着した複数のダイを部品実装機の実装ヘッドの複数のノズルへ同時に受け渡すことができて、直接受け渡し方式のダイ供給装置から部品実装機へのダイの受け渡しを効率良く行うことができる。【００１２】
一方、本発明をシャトル受け渡し方式のダイ供給装置に適用する場合は、ダイ供給装置の供給ヘッドのノズルに吸着したダイを受け取って部品実装機の実装ヘッドのノズルで吸着可能なダイ受け渡し位置まで移送するシャトル機構を設け、前記シャトル機構は、前記ダイ受け渡し位置でダイの配置が前記部品実装機の実装ヘッドのノズル配置と同じ配置となるように複数のダイを移送し、該ダイ受け渡し位置で前記複数のダイを該部品実装機の実装ヘッドの複数本のノズルに同時に吸着できるように構成すると良い。このようにすれば、シャトル受け渡し方式のダイ供給装置の実装ヘッドの複数のノズルからシャトル機構に移し替えた複数のダイをダイ受け渡し位置まで移送し、該ダイ受け渡し位置で複数のダイを部品実装機の実装ヘッドの複数本のノズルに同時に吸着することができて、シャトル受け渡し方式のダイ供給装置から部品実装機へのダイの受け渡しを能率良く行うことができる。【００１３】
本発明は、ダイ供給装置の供給ヘッドの交換を作業者が手作業で行うようにしても良いし、供給ヘッドを自動交換するように構成しても良い。【００１４】
供給ヘッドを自動交換する場合は、交換用の供給ヘッドを載置するヘッド載置部と、ヘッド移動機構を制御して前記ヘッド載置部上の供給ヘッドをヘッド保持ユニットに保持させる動作を制御する制御装置とを備えた構成とすれば良い。このようにすれば、ダイ供給装置の供給ヘッドを自動交換することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は本発明の実施例１の部品実装機にダイ供給装置をセットした状態を示す平面図である。
【図２】図２は部品実装機にウエハ部品供給装置をセットした状態を示す外観斜視図である。
【図３】図３は部品実装機にセットしたときのウエハ部品供給装置と部品実装機の実装ヘッドとの位置関係を示す側面図である。
【図４】図４はウエハ部品供給装置のステージを上昇させたときの供給ヘッドと部品実装機の実装ヘッドの高さ位置関係を示す側面図である。
【図５】図５はウエハ部品供給装置のステージを下降させたときの供給ヘッドと部品実装機の実装ヘッドの高さ位置関係を示す側面図である。
【図６】図６はウエハ部品供給装置のステージ上のウエハパレットのウエハ部品を供給ヘッドで吸着するときの状態を示す側面図である。
【図７】図７は上下反転させた供給ヘッド上のウエハ部品を部品実装機の実装ヘッドで吸着するときの状態を示す側面図である。
【図８】図８はウエハ部品供給装置のステージ上のウエハパレットのウエハ部品を部品実装機の実装ヘッドで直接吸着するときの状態を示す側面図である。
【図９】図９はウエハ部品供給装置の供給ヘッドを斜め下方から見た外観斜視図である。
【図１０】図１０はウエハ部品供給装置のマガジンからウエハパレットがステージ上に引き出されていない状態を斜め上方から見た外観斜視図である。
【図１１】図１１はウエハ部品供給装置のマガジンからウエハパレットがステージ上に引き出された状態を斜め上方から見た外観斜視図である。
【図１２】図１２は本発明の実施例２のダイ供給装置を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した２つの実施例１，２を説明する。
【実施例１】
【００１７】
本発明を直接受け渡し方式のダイ供給装置に適用して具体化した実施例１を図１乃至図１１を参照して説明する。【００１８】
図１及び図２に示すように、部品実装機１１には、ダイ供給装置１２が着脱可能にセットされる。部品実装機１１には、ダイ供給装置１２のセット位置に隣接してフィーダセット台１３が設けられ、このフィーダセット台１３上にテープフィーダ等のフィーダ（図示せず）が着脱可能にセットされる。フィーダセット台１３上にセットするフィーダは、テープフィーダに限定されず、バルクフィーダ、スティックフィーダ等であっても良く、これらのフィーダの中から複数種のフィーダをフィーダセット台１３上にセットしても良い。【００１９】
部品実装機１１には、実装ヘッド１５をＸＹ方向（左右前後方向）に移動させるＸＹ移動機構１６（ＸＹロボット）が設けられている。このＸＹ移動機構１６は、Ｙ方向（回路基板１７の搬送方向と直角な方向）にスライド移動するＹスライド１８と、該Ｙスライド１８に、Ｘ方向（回路基板１７の搬送方向）にスライド可能に支持されたＸスライド１９とを備え、該Ｘスライド１９に実装ヘッド１５が支持されている。【００２０】
部品実装機１１の実装ヘッド１５には、ダイ供給装置１２から供給されるダイ２２やフィーダから供給される電子部品（以下「フィーダ部品」という）を吸着する１本又は複数本の吸着ノズル２３（図３乃至図８参照）と、回路基板１７の基準マーク等の撮像対象物を上方から撮像するマークカメラ（図示せず）等が設けられている。尚、実装ヘッド１５は、吸着ノズル２３の本数の異なる実装ヘッドと交換可能となっている。【００２１】
部品実装機１１には、回路基板１７を搬送するコンベア２５が２台設けられ、コンベア２５とダイ供給装置１２（又はフィーダ）との間の位置に、実装ヘッド１５の吸着ノズル２３に吸着したダイ２２やフィーダ部品を下方から撮像するパーツカメラ２６（図３乃至図８参照）が上向きに設けられている。【００２２】
一方、ダイ供給装置１２には、ウエハパレット２７を複数段に収容するマガジン２８が設けられている。図１０、図１１に示すように、ウエハパレット２７は、多数のダイ２２に分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシート２９を、円形の開口部を有するダイシングフレーム３０にエキスパンドした状態で装着し、該ダイシングフレーム３０をパレット本体３１にねじ止め等により取り付けた構成となっている。ダイ供給装置１２には、マガジン２８からウエハパレット２７をステージ３２上に引き出す引き出し機構３５が設けられている。【００２３】
また、ダイ供給装置１２には、供給ヘッド３３をＸＹ方向（左右前後方向）に移動させるヘッド移動機構３４（ＸＹロボット）が設けられている。このヘッド移動機構３４は、Ｙ方向にスライド移動するＹスライド３６と、該Ｙスライド３６に、Ｘ方向にスライド可能に支持されたＸスライド３７とを備え、該Ｘスライド３７に設けたヘッド保持ユニット４０に供給ヘッド３３が着脱可能に保持され、該供給ヘッド３３には１本又は複数本の吸着ノズル３８（図９参照）が上下動可能に保持されている。このダイ供給装置１２の供給ヘッド３３は、ウエハパレット２７のダイシングシート２９上にダイ２２が実装面を上向きにして貼着されている場合に使用され、該供給ヘッド３３の吸着ノズル３８にダイ２２を吸着した後、上下反転機構３９（図９参照）により該供給ヘッド３３が上下反転してダイ２２を上下反転させて、部品実装機１１の実装ヘッド１５の吸着ノズル２３に吸着させるように構成されている。【００２４】
この場合、上下反転させた供給ヘッド３３上のダイ２２の高さ位置を部品実装機１１の実装ヘッド１５の吸着高さ位置に合わせる必要があるため、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３をウエハパレット２７がセットされたステージ３２と一体的に上下動させる上下動機構（図示せず）が設けられ、ダイ２２を上下反転させて回路基板１７に実装する場合は、図７に示すように、供給ヘッド３３及びステージ３２を上下動機構により下降させた位置で上下反転させた供給ヘッド３３上のダイ２２を部品実装機１１の実装ヘッド１５に吸着させるようにしている。【００２５】
一方、ウエハパレット２７のダイシングシート２９上にダイ２２が実装面を下向きにして貼着されている場合は、ダイ２２を上下反転させずに回路基板１７に実装する。この場合は、図８に示すように、供給ヘッド３３及びステージ３２を上下動機構により上昇させた位置でステージ３２上のウエハパレット２７のダイ２２を部品実装機１１の実装ヘッド１５の吸着ノズル２３に吸着させる。【００２６】
ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３には、供給ヘッド３３の吸着ノズル３８にダイ２２を吸着する前に当該ダイ２２を撮像するカメラ４１（図９参照）が設けられ、このカメラ４１の撮像画像を処理してダイ２２の位置を認識して供給ヘッド３３の吸着ノズル３８にダイ２２を吸着するようになっている。更に、カメラ４１の撮像画像の処理結果に基づいてダイ２２の位置を認識する際に、当該ダイ２２が不良品であるか否かを判定し、不良品と判定した場合は、吸着せずに隣のダイ２２の画像処理に進む。【００２７】
また、ダイ供給装置１２には、供給ヘッド３３の吸着ノズル３８にダイ２２を吸着する際に、ダイシングシート２９のうちの吸着ノズル３８に吸着しようとする部分をその下方から突き上げる突き上げ機構４２（図１０参照）が設けられている。突き上げ機構４２は、ステージ３２の上下動に連動して上下動するようになっている。【００２８】
部品実装機１１の稼働中は、制御装置（図示せず）によって、生産ジョブ（生産プログラム）に従って、部品実装機１１、ダイ供給装置１２及びフィーダの動作を制御して、ダイ供給装置１２から供給されるダイ２２とフィーダから供給されるフィーダ部品のいずれかを吸着して回路基板１７に実装する。この際、ダイ２２を上下反転させて回路基板１７に実装する場合は、図５に示すように、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３とステージ３２を下降させると共に、図６に示すように、供給ヘッド３３をウエハパレット２７の上方へ移動させ、供給ヘッド３３でダイ２２を吸着する前に、カメラ４１で当該ダイ２２を撮像して当該ダイ２２の位置を認識した上で、供給ヘッド３３の吸着ノズル３８で当該ダイ２２を吸着する。この後、図７に示すように、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３を上下反転させて、吸着ノズル３８に吸着したダイ２２を上下反転させると共に、部品実装機１１の実装ヘッド１５を供給ヘッド３３の上方に移動させて、供給ヘッド３３の吸着ノズル３８上のダイ２２を実装ヘッド１５の吸着ノズル２３に吸着して回路基板１７に実装する。【００２９】
ところで、部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル本数（吸着ノズル２３の本数）は、一定ではなく、異なるノズル本数の部品実装機がある。また、部品実装機１１の実装ヘッド１５をノズル本数（吸着ノズル３８の本数）が異なる実装ヘッドと交換可能になっている部品実装機もある。この場合、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３のノズル本数が部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル本数と一致していないと、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３と部品実装機１１の実装ヘッド１５との間で吸着可能なダイ数が一致しないため、ダイ供給装置１２から部品実装機１１へのダイ２２の受け渡しを能率良く行うことができず、生産タクトが低下する。【００３０】
そこで、本実施例１では、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３を、ヘッド移動機構３４のヘッド保持ユニット４０に着脱可能に保持し、該ヘッド保持ユニット４０に保持する供給ヘッド３３を、部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル本数と同じノズル本数の供給ヘッドと交換できるように構成すると共に、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３のノズル配置（吸着ノズル３８の配置）を部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル配置（吸着ノズル２３の配置）と同じ配置にしている。【００３１】
生産開始前（部品実装機１１の稼働前）に、作業者がダイ供給装置１２の供給ヘッド３３のノズル本数が部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル本数と一致しているか否かを確認し、両者のノズル本数が一致していなければ、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３を、部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル本数と同じノズル本数の供給ヘッドと交換してから、生産を開始する。これにより、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３と部品実装機１１の実装ヘッド１５との間でノズル本数を一致させて吸着可能なダイ数を一致させることができる。【００３２】
しかも、本実施例１では、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３のノズル配置が部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル配置と同じ配置になっているため、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３の複数の吸着ノズル３８に吸着した複数のダイ２２を部品実装機１１の実装ヘッド１５の複数の吸着ノズル２３へ同時に受け渡すことができて、ダイ供給装置１２から部品実装機１１へのダイ２２の受け渡しを効率良く行うことができ、生産タクトを向上できる。【００３３】
尚、上記実施例１では、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３の交換を作業者が行うようにしたが、供給ヘッド３３を自動交換するように構成しても良い。【００３４】
供給ヘッド３３を自動交換する場合は、ダイ供給装置１２に交換用の供給ヘッドを載置するヘッド載置部（図示せず）を設け、ダイ供給装置１２の制御装置（図示せず）によりヘッド移動機構３４を制御して前記ヘッド載置部上の供給ヘッドをヘッド保持ユニット４０に保持させるようにすれば良い。このようにすれば、ダイ供給装置１２の供給ヘッド３３を自動交換することができる。
【実施例２】
【００３５】
次に、本発明をシャトル受け渡し方式のダイ供給装置に適用して具体化した実施例２を図１２を参照して説明する。但し、上記実施例１と実質的に同一の部分には同一の符号を付して説明を省略又は簡略化し、主として異なる部分について説明する。【００３６】
ダイ供給装置５１のヘッド移動機構５２は、マガジン２８の背面部のうちのウエハパレット２７の引き出し口の上方に位置して設けられている。本実施例２では、ヘッド移動機構５２の移動方向をＸ方向のみとし、ウエハパレット２７に対するヘッド移動機構５２のＹ方向（パレット引き出し方向）の相対的位置は、引き出し機構３５によってウエハパレット２７をＹ方向に徐々に引き出すことで制御するようにしている。【００３７】
このヘッド移動機構５２によってＸ方向に移動するヘッド保持ユニット５３には、１本又は複数本の吸着ノズル（図示せず）が下向きに設けられた供給ヘッド５４が着脱可能に保持され、該ヘッド保持ユニット５３に保持する供給ヘッド５４を、部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル本数と同じノズル本数の供給ヘッドと交換できるように構成されていると共に、供給ヘッド４３のノズル配置が部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル配置と同じ配置になっている。【００３８】
ダイ供給装置５１には、シャトル機構５５が設けられている。このシャトル機構５５は、供給ヘッド５４の吸着ノズルに吸着したダイ２２を受け取って部品実装機１１の実装ヘッド１５の吸着ノズル２３で吸着可能なダイ受け渡し位置まで移送する。本実施例２では、シャトル機構５５は、ダイ受け渡し位置でダイ２２の配置が部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル配置と同じ配置となるように複数のダイ２２を移送し、該ダイ受け渡し位置で複数のダイ２２を部品実装機１１の実装ヘッド１５の複数本の吸着ノズル２３に同時に吸着できるように構成されている。【００３９】
尚、シャトル機構５５には、供給ヘッド５４から受け取るダイ２２を必要に応じて上下反転させる反転ユニット５６が設けられている。ダイ２２の種類によっては、ウエハパレット２７のダイシングシート２９に上下反対に貼着されたダイ（例えばフリップチップ等）が存在するためである。【００４０】
生産開始前（部品実装機１１の稼働前）に、作業者がダイ供給装置５１の供給ヘッド５４のノズル本数が部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル本数と一致しているか否かを確認し、両者のノズル本数が一致していなければ、ダイ供給装置５１の供給ヘッド５４を、部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル本数と同じノズル本数の供給ヘッドと交換してから、生産を開始する。これにより、ダイ供給装置５１の供給ヘッド５４と部品実装機１１の実装ヘッド１５との間でノズル本数を一致させて吸着可能なダイ数を一致させることができる。【００４１】
しかも、本実施例２では、シャトル機構５５によりダイ受け渡し位置へ移送するダイ２２の配置が部品実装機１１の実装ヘッド１５のノズル配置と同じ配置になっているため、シャトル機構５５によりダイ受け渡し位置へ移送した複数のダイ２２を部品実装機１１の実装ヘッド１５の複数の吸着ノズル２３へ同時に受け渡すことができて、ダイ供給装置５１から部品実装機１１へのダイ２２の受け渡しを効率良く行うことができ、生産タクトを向上できる。【００４２】
尚、上記実施例２では、ダイ供給装置５１の供給ヘッド５４の交換を作業者が行うようにしたが、供給ヘッド５４を自動交換するように構成しても良い。【００４３】
供給ヘッド５４を自動交換する場合は、ダイ供給装置５１に交換用の供給ヘッドを載置するヘッド載置部（図示せず）を設け、ダイ供給装置５１の制御装置（図示せず）によりヘッド移動機構５２を制御して前記ヘッド載置部上の供給ヘッドをヘッド保持ユニット５３に保持させるようにすれば良い。このようにすれば、ダイ供給装置５１の供給ヘッド５４を自動交換することができる。【００４４】
尚、本発明は、上記実施例１，２に限定されるものではなく、部品実装機１１やダイ供給装置１２，５１の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４５】
１１…部品実装機、１２…ダイ供給装置、１３…フィーダセット台、１５…実装ヘッド、１６…ＸＹ移動機構、１７…回路基板、２２…ダイ、２３…吸着ノズル、２５…コンベア、２６…パーツカメラ、２７…ウエハパレット、２８…マガジン、２９…ダイシングシート、３２…ステージ、３３…供給ヘッド、３４…ヘッド移動機構、３５…引き出し機構、３８…吸着ノズル、３９…上下反転機構、４０…ヘッド保持ユニット、４１…カメラ、４２…突き上げ機構、５１…ダイ供給装置、５２…ヘッド移動機構、５３…ヘッド保持ユニット、５４…供給ヘッド、５５…シャトル機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2014118929.tif 000011
【図１０】
2014118929.tif 000012
【図１１】
2014118929.tif 000013
【図１２】
2014118929.tif 000014
【国際調査報告】
2014118929.tif 000015
2014118929.tif 000016