(57)【要約】光ファイバの先端位置を調整可能にするとともに、光ファイバ全体を効率よく冷却できるようにする。この冷却装置は、冷却ベース板（７）と、ファイバホルダ（２１）と、調整部材（２２）と、を備えている。冷却ベース板（７）は、収容凹部（１７）を有する。ファイバホルダ（２１）は、収容凹部（１７）に第１方向に移動自在に配置されている。ファイバホルダ（２１）は、光ファイバ（６）の先端部を表面に保持するとともに、光ファイバ（６）の第１方向における先端位置を調整する。調整部材（２２）は、ファイバホルダ（２１）と収容凹部（１７）の端面（１７ｂ）との間の隙間に配置されるとともに表面に光ファイバ（６）が載置され、第１方向と交差する第２方向に移動することによって第１方向に移動可能である。調整部材（２２）は収容凹部（１７）の端面（１７ｂ）及びファイバホルダ（２１）の端面（２１ｂ）の両方に当接する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
収容凹部を有する冷却ベース板と、
前記冷却ベース板の収容凹部に第１方向に移動自在に配置され、光ファイバの先端部を表面に保持するとともに、保持された光ファイバの前記第１方向における先端位置を調整するためのファイバホルダと、
前記ファイバホルダと前記収容凹部の端面との間の隙間に配置されるとともに表面に光ファイバが載置され、前記第１方向と交差する第２方向に移動することによって前記第１方向に移動可能であり、前記収容凹部の端面及び前記ファイバホルダの端面の両方に当接する調整部材と、
を備えた光ファイバの冷却装置。
【請求項２】
前記収容凹部の端面と前記調整部材との第１当接部、及び前記ファイバホルダと前記調整部材との第２当接部の少なくとも一方は、前記第１方向に対して傾斜する端面同士の接触により構成されている、請求項１に記載の光ファイバの冷却装置。
【請求項３】
前記収容凹部の前記調整部材と当接する端面は、前記第１方向に対して傾斜しており、
前記調整部材は前記収容凹部の傾斜する端面に沿って移動することにより前記第２方向に移動する、
請求項１又は２に記載の光ファイバの冷却装置。
【請求項４】
前記ファイバホルダ及び前記調整部材は、ともに底面全体が前記収容凹部の表面に接触している、請求項１から３のいずれかに記載の光ファイバの冷却装置。
【請求項５】
前記ファイバホルダ及び前記調整部材の表面は前記冷却ベース板の表面と面一である、請求項１から４のいずれかに記載の光ファイバの冷却装置。
【請求項６】
励起光源と、
前記励起光源からの励起光が導入され、レーザ光を出力する発振用光ファイバと、
前記発振用光ファイバを冷却する請求項１から５のいずれかに記載の光ファイバ冷却装置と、
を備えたレーザ発振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバ冷却装置及びこれを有するレーザ発振器に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバを利用したレーザ発振器が広く用いられている。このレーザ発振器は、光源から発振される励起光を利用して、光ファイバによってレーザ光を発振する。このレーザ発振器に用いられる光ファイバは、例えば、エルビウムなどのレーザ活性物質がドープされたＺＢＬＡＮガラスなどのフッ化物ガラスによって形成される。【０００３】
ここで、光ファイバに含まれるレーザ活性物質は励起光を吸収することによって発熱するため、この発熱によって光ファイバが損傷する場合がある。特に、フッ化物ファイバでは、石英ファイバと比較して耐熱性が低い。【０００４】
そこで、特許文献１に示すように、光ファイバを冷却するための冷却装置が提案されている。この特許文献１の装置では、冷媒によって冷却されるヒートシンクの表面に対して、金属製の放熱部材によって光ファイバを密着させている。金属製の放熱部材は、粘着性を有する薄膜状に形成されており、光ファイバの全体を覆うように設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−２３２７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一般的に、レーザ用光ファイバは長さが不均一である。一方で、励起光を光ファイバに効率的に導入するためには、光ファイバの先端とレンズとの間の距離と中心軸とを正確に位置決めする必要がある。【０００７】
そこで、光ファイバの先端部を保持するホルダを、光軸に沿って移動可能にし、光ファイバ先端とレンズとの間の距離を正確に位置決めした後に、ホルダを固定するようにしている。【０００８】
ここで、光ファイバを良好に冷却するためには、光ファイバの全体をヒートシンクやホルダに密着させて、光ファイバで発生した熱を効率よく放熱させることが重要である。このため、ホルダをヒートシンクに設けられた凹部に配置し、ヒートシンクの表面とホルダとの表面とを面一にするとともに、ヒートシンクとホルダとの間を隙間なく密着させることが重要である。【０００９】
しかし、前述のようにホルダを光軸に沿って移動させると、ホルダとヒートシンクの凹部端面との間に隙間ができる。このような隙間が生じると、隙間部分を通過する光ファイバは、部分的に冷却されにくい。このため、この隙間部分の光ファイバが高温になり、結果的にレーザ光の出力を上げることができない。【００１０】
本発明の課題は、光ファイバの先端位置を調整可能にした光ファイバの冷却装置において、光ファイバ全体を効率よく冷却できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
（１）本発明の一側面に係る光ファイバの冷却装置は、冷却ベース板と、ファイバホルダと、調整部材と、を備えている。冷却ベース板は、収容凹部を有する。ファイバホルダは、冷却ベース板の収容凹部に第１方向に移動自在に配置されている。ファイバホルダは、光ファイバの先端部を表面に保持するとともに、保持された光ファイバの第１方向における先端位置を調整する。調整部材は、ファイバホルダと収容凹部の端面との間の隙間に配置されるとともに表面に光ファイバが載置され、第１方向と交差する第２方向に移動することによって第１方向に移動可能である。調整部材は収容凹部の端面及びファイバホルダの端面の両方に当接する。【００１２】
ここでは、光ファイバの先端部はファイバホルダに保持されている。ファイバホルダは冷却ベース板上に移動自在に配置されているので、例えばレンズとの距離等を精度よく調整することができる。ファイバホルダを移動した場合、ファイバホルダの端面と、ファイバホルダが収容された冷却ベース板の収容凹部の端面と、の間に隙間が生じる場合がある。そこで、この両者の隙間に調整部材が配置され、ファイバホルダと調整部材と冷却ベース板とが互いに当接し、隙間なく配置されることになる。したがって、これらの表面に載置される光ファイバは効率よく冷却されることになる。【００１３】
（２）本発明の別の側面に係る光ファイバの冷却装置では、収容凹部の端面と調整部材との第１当接部、及びファイバホルダと調整部材との第２当接部の少なくとも一方は、第１方向に対して傾斜する端面同士の接触により構成されている。【００１４】
ここでは、簡単な構成によって、調整部材を、第２方向に移動させることによって第１方向に移動させることができる。【００１５】
（３）本発明のさらに別の側面に係る光ファイバの冷却装置では、収容凹部の調整部材と当接する端面は、第１方向に対して傾斜している。そして、調整部材は収容凹部の傾斜する端面に沿って移動することにより第２方向に移動する。【００１６】
ここでは、前記同様に、簡単な構成によって、調整部材を、第２方向に移動させることによって第１方向に移動させることができる。【００１７】
（４）本発明のさらに別の側面に係る光ファイバの冷却装置では、ファイバホルダ及び調整部材は、ともに底面全体が収容凹部の表面に接触している。【００１８】
ここでは、光ファイバの熱を、ファイバホルダ及び調整部材を介して効率よく冷却ベース板に放熱することができる。【００１９】
（５）本発明のさらに別の側面に係る光ファイバの冷却装置では、ファイバホルダ及び調整部材の表面は冷却ベース板の表面と面一である。【００２０】
ここでは、冷却ベース板、調整部材、及びファイバホルダのそれぞれの表面に、光ファイバを容易に密着させることができ、効率よく光ファイバを冷却することができる。【００２１】
（６）本発明の一側面に係るレーザ発振器は、励起光源と、励起光源からの励起光が導入されレーザ光を出力する発振用光ファイバと、発振用光ファイバを冷却する前述の光ファイバ冷却装置と、を備えている。
【発明の効果】
【００２２】
以上のような本発明では、光ファイバの先端位置を調整可能にした光ファイバの冷却装置において、光ファイバを効率よく冷却することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】レーザ発振器の概略構成図。
【図２】光ファイバの第１端部側を示す断面図。
【図３】光ファイバの第２端部側を示す断面図。
【図４】保持装置の外観斜視図。
【図５】保持装置を含む冷却装置の断面図。
【図６】ファイバホルダ及び調整部材の位置調整動作を説明する模式図。
【図７】本発明の他の実施形態によるファイバホルダ及び調整部材を示す模式図。
【図８】本発明の他の実施形態によるファイバホルダ及び調整部材を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
［レーザ発振器の構成］
図１は、本発明の一実施形態によるレーザ発振器の概略構成図である。レーザ発振器１は、励起光源２、第１〜第３レンズ３ａ，３ｂ，３ｃ、第１及び第２ダイクロイックミラー４ａ，４ｂ、ダンパ５、光ファイバ６、冷却ベース板７、並びにチラー装置８を備えている。なお、冷却ベース板７及びこれに搭載された各部材は、図示しない筐体に収容されているが、図１では筐体を取り外して示している。
【００２５】
励起光源２は、励起光を発振するものであり、例えばランプ又は半導体レーザなどによって構成することができる。励起光源２にて発振された励起光は、励起光伝送ファイバ２ａを介して出力される。
【００２６】
第１レンズ３ａは、コリメートレンズとして機能するレンズであり、励起光伝送ファイバ２ａと、後述する冷却ベース板７の第１窓部７ａとの間に配置されている。第１レンズ３ａは、励起光源２からの励起光を発散光の状態から平行光の状態に変換する。
【００２７】
第２レンズ３ｂは、集光レンズ及びコリメートレンズとして機能するレンズであり、第１ダイクロイックミラー４ａと光ファイバ６の第１端部１１との間に配置されている。第２レンズ３ｂは、第１レンズ３ａによって平行光の状態とされた励起光を集光して光ファイバ６に導くとともに、光ファイバ６から放射されたレーザ光を平行光の状態に変換する。
【００２８】
第３レンズ３ｃは、集光レンズ及びコリメートレンズとして機能するレンズであり、第２ダイクロイックミラー４ｂと光ファイバ６の第２端部１２との間に配置されている。第３レンズ３ｃは、光ファイバ６からの励起光及びレーザ光を平行光の状態に変換するとともに、第２ダイクロイックミラー４ｂからのレーザ光を集光して光ファイバ６に導く。
【００２９】
第１ダイクロイックミラー４ａは、第１レンズ３ａと第２レンズ３ｂとの間に配置されている。第１ダイクロイックミラー４ａは、励起光源２からの励起光を透過するとともに、光ファイバ６からのレーザ光を反射して進行方向を変更する。
【００３０】
第２ダイクロイックミラー４ｂは、第３レンズ３ｃとダンパ５との間に配置されている。第２ダイクロイックミラー４ｂは、光ファイバ６からの励起光を透過するとともに、光ファイバ６からのレーザ光を反射するように構成されている。
【００３１】
ダンパ５は、第２ダイクロイックミラー４ｂの下流側に配置されており、第２ダイクロイックミラー４ｂを透過した励起光を吸収する部材である。
【００３２】
［光ファイバ６］
図２は光ファイバ６の第１端部１１側の側面断面図であり、図３は光ファイバ６の第２端部１２側の側面断面図である。図２及び図３に示すように、光ファイバ６は、第１光ファイバ本体６ａ、第２光ファイバ本体６ｂ、第１エンドキャップ６ｃ、第２エンドキャップ６ｄ、及び保持装置１５を有している。
【００３３】
第１光ファイバ本体６ａは、光ファイバ６のメインとなる部分であって、この第１光ファイバ本体６ａにおいてレーザ光が生成される。第１光ファイバ本体６ａは、第１コアと、第１コアを覆うように形成された第１クラッドと、を有している。第１コアにはレーザ活性物質がドープされている。第１クラッドは、第１コアよりも屈折率が低く、レーザ活性物質がドープされていない。
【００３４】
第２光ファイバ本体６ｂは、一方の端面が第１光ファイバ本体６ａの端面に熱融着されている。第２光ファイバ本体６ｂは、第２コアと、第２コアを覆うように形成された第２クラッドと、を有している。第２光ファイバ本体６ｂは、第１光ファイバ本体６ａと同軸上に延びており、第１光ファイバ本体６ａの直径とほぼ同じ直径を有している。第２コアは、レーザ活性物質がドープされていないため、励起光が入射されても発熱しない。すなわち、第２光ファイバ本体６ｂではレーザ光が生成されない。
【００３５】
図２に示すように、第１エンドキャップ６ｃは、第２光ファイバ本体６ｂの他方の端面に熱融着されている。第１エンドキャップ６ｃは、励起光及びレーザ光を透過する光透過性であり、且つ潮解性を有さない。
【００３６】
図３に示すように、第２エンドキャップ６ｄは、第１光ファイバ本体６ａの他方の端面に熱融着されており、第１エンドキャップ６ｃと同様の構成である。
【００３７】
［冷却ベース板７及びチラー装置８］
冷却ベース板７は、図１に示すように、平面視で直方体状に形成されており、第２及び第３レンズ３ｂ，３ｃ、第１及び第２ダイクロイックミラー４ａ，４ｂ、ダンパ５、並びに保持装置１５を含む光ファイバ６が搭載されている。
【００３８】
冷却ベース板７は、光透過性を有する第１窓部７ａ及び第２窓部７ｂを有する。光源２からの励起光は、第１窓部７ａを介して冷却ベース板７内に進入し、光ファイバ６に導かれる。光ファイバ６からのレーザ光は、第２窓部７ｂを介して、冷却ベース板７の外部に出力される。
【００３９】
また、冷却ベース板７は、表面に収容凹部１７を有し、内部に冷媒が流れる流路１８（図５参照）を有している。収容凹部１７は、冷却ベース板７の表面７ｃから所定の深さだけ低い表面１７ａと、側壁である傾斜側面１７ｂ及び側面１７ｃを、を有している。傾斜側面１７ｂは、光ファイバ６の端部における光軸の延びる方向（以下、「第１方向」と記す）に対して所定の角度だけ傾斜して形成されている。側面１７ｃは第１方向と平行に形成されている。この収容凹部１７に、保持装置１５が設置されているため、光ファイバ６の端部が冷却される。
【００４０】
なお、冷却ベース板７等を収容する筐体の内部は、窒素によって充填されている。また、筐体内の水分を除去するために、筐体内には乾燥剤が入れられている。
【００４１】
チラー装置８は、冷却ベース板７と配管８ａを介して接続されている。チラー装置８は、冷却ベース板７内を流れる冷媒の温度を調整する。具体的には、冷却ベース板７から配管８ａを介して送られてきた冷媒をチラー装置８が冷却する。チラー装置８において冷却された冷媒は配管８ａを介して冷却ベース板７に戻される。
【００４２】
［保持装置１５］
図４に、第１端部１１に設けられた保持装置１５の斜視図を示している。また、図５に保持装置１５の断面模式図を示している。保持装置１５は、光ファイバ６の端部を保持する機能と、保持された端部を冷却する機能と、を有している。保持装置１５は、ファイバホルダ２１と、調整部材２２と、第１〜第３蓋部材２３，２４，２５と、を有している。
【００４３】
なお、このレーザ発振器においては、冷却ベース板７、チラー装置８、及び保持装置１５によってファイバ冷却装置が構成されている。
【００４４】
ファイバホルダ２１は銅製のブロック状の部材である。ファイバホルダ２１の一方の表面には、光ファイバ６を収容するためのファイバ用溝が形成されるとともに、その一部にはインジウム等の熱伝導部材２７が設けられている。また、ファイバホルダ２１の第１方向の両端面２１ａ，２１ｂは、第１方向に対して直交するように形成されている。
【００４５】
第１蓋部材２３は、ファイバホルダ２１の表面に装着可能である。第１蓋部材２３のファイバホルダ２１と対向する側の表面には、光ファイバ６を収容するためのファイバ用溝が形成されるとともに、インジウム等の熱伝導部材２８が設けられている。また、第１蓋部材２３には、４つの貫通孔２３ａが形成され、ファイバホルダ２１には第１蓋部材２３の貫通孔２３ａに対応する位置に４つのタップ穴２１ｃが形成されている。
【００４６】
第２蓋部材２４は、ファイバホルダ２１の表面に装着可能であり、寸法が異なる点、及びファイバホルダ２１側の表面に熱伝導部材が設けられていない点を除いて、第１蓋部材２３と同様の構成である。
【００４７】
調整部材２２は、ファイバホルダ２１とともに冷却ベース板７の収容凹部１７に収容されている。より詳細には、調整部材２２は、ファイバホルダ２１と収容凹部１７の傾斜側面１７ｂとの間に配置されている。調整部材２２の表面には、光ファイバ６を収容するためのファイバ用溝が形成されている。また、調整部材２２のファイバホルダ２１側の端面２２ａは、第１方向に対して直交するように形成されている。この端面２２ａの全面がファイバホルダ２１の端面２１ｂに当接可能である。また、調整部材２２の逆側の端面２２ｂは第１方向に対して傾斜している。この傾斜端面２２ｂの傾斜角度は、収容凹部１７の傾斜側面１７ｂと同じ角度である。そして、調整部材２２の傾斜端面２２ｂの全面が、収容凹部１７の傾斜側面１７ｂに当接可能である。
【００４８】
第３蓋部材２５は、調整部材２２と同様の形状であり、調整部材２２の表面に装着可能である。第３蓋部材２５の調整部材２２と対向する側の表面には、光ファイバ６を収容するためのファイバ用溝が形成されている。また、第３蓋部材２５には、４つの貫通孔２５ａが形成され、調整部材２２には第３蓋部材２５の貫通孔２５ａに対応する位置に４つのタップ穴２２ｃが形成されている。
【００４９】
以上のような構成により、各蓋部材２３，２４，２５の貫通孔を貫通するボルト（図示せず）をファイバホルダ２１及び調整部材２２のタップ穴にねじ込むことによって、ファイバホルダ２１及び調整部材２２と各蓋部材２３〜２５との間に光ファイバ６を挟み込んだ状態で、光ファイバ６を保持することができる。
【００５０】
また、ファイバホルダ２１は、光ファイバ６の先端と第２レンズ３ｂとの間の距離を調整するために、光軸に沿って（第１方向に沿って）移動可能である。また、調整部材２２を収容凹部１７の傾斜側面１７ｂに沿って移動させることにより、調整部材２２を第１方向に移動させることができる。このため、ファイバホルダ２１の第１方向における位置調整を行った後に、調整部材２２を傾斜側面１７ｂに沿って移動させることにより、ファイバホルダ２１の端面２１ｂと収容凹部１７の傾斜側面１７ｂとの間の隙間を、調整部材２２によって埋めることができる。
【００５１】
そして、上述のように位置を調整したファイバホルダ２１及び調整部材２２を冷却ベース板７に、図示しない任意の方法で固定する。例えば、ファイバホルダ２１及び調整部材２２に貫通孔を設け、冷却ベース板７に設けたタップ穴のボルトで固定すればよい。この場合、ファイバホルダ２１に設けた貫通孔を第１方向に沿った長穴とし、調整部材２２に設けた貫通孔を傾斜端面２２ｂに沿った長穴としておくことにより、ファイバホルダ２１は第１方向に沿って調整した任意の位置で、調整部材２２は傾斜端面２２ｂに沿って（傾斜側面１７ｂに沿って）調整した任意の位置で固定できる。
【００５２】
ここで、ファイバホルダ２１及び調整部材２２の厚みは、これらを収容凹部１７に収容したとき、ファイバホルダ２１及び調整部材２２の表面と、冷却ベース板７の表面７ｃと、が面一になるように設定されている。
【００５３】
なお、冷却ベース板７の第２端部１２側には、この実施形態では収容凹部は形成されていない。そして、ファイバホルダ２１及び蓋部材２３によって、光ファイバ６の先端部が保持されている。もちろん、第２端部１２側についても、第１端部１１側と同様の構成にしてもよい。
【００５４】
［動作］
励起光源２において発振された励起光は、励起光伝送ファイバ２ａから出力され、第１レンズ３ａにおいて平行光の状態となり、第１窓部７ａを介して冷却ベース板７の収容凹部１７内に進入する。収容凹部１７内に進入した励起光は、第１ダイクロイックミラー４ａを透過し、第２レンズ３ｂにて集光されて光ファイバ６の第１端部１１から光ファイバ６に入射する。
【００５５】
光ファイバ６に入射した励起光は、第１光ファイバ本体６ａの第１コア内を伝播し、第１コアにドープされたレーザ活性物質が励起してレーザ光が出力される。なお、第２コアではレーザ光は出力されない。そして、光ファイバ６の第２端部１２から放射された励起光は、第３レンズ３ｃ、第２ダイクロイックミラー４ｂを透過し、ダンパ５に吸収される。
【００５６】
一方、第１光ファイバ本体６ａの第１コア内で生成されたレーザ光は、光ファイバ６の第２端部１２から放射され、第３レンズ３ｃで平行光の状態に変換される。そして、レーザ光は、第２ダイクロイックミラー４ｂで反射され、第３レンズ３ｃで集光されて、第２端部１２側から光ファイバ６に入射する。光ファイバ６内に入射したレーザ光は、第１光ファイバ本体６ａの第１コア内を伝播し、光ファイバ６の第１端部１１から放射される。そして、レーザ光は、第２レンズ３ｂによって平行光の状態に変換され、第１ダイクロイックミラー４ａにて反射されて第２窓部７ｂに向かうように進行方向が変更され、第２窓部７ｂを介して冷却ベース板７の外部へ放射される。
【００５７】
以上のレーザ発振動作において、光ファイバ６において、特に励起光が導入される第１端部１１が高温になる。そこで、第１端部１１の保持装置１５では、ファイバホルダ２１を、調整部材２２を介して冷却ベース板７に密着させ、光ファイバ６の端部で発生した熱を効率よく冷却するようにしている。
【００５８】
［ファイバホルダ２１の位置調整及び調整部材２２のセット］
前述のように、光ファイバ６の先端位置と第２レンズ３ｂとの間の距離は、精度よく設定する必要がある。そこで、ファイバホルダ２１に光ファイバ６をセットした後に、ファイバホルダ２１を光軸方向（第１方向）に沿って移動させ、光ファイバ６の先端位置を調整する。
【００５９】
例えば、当初、図６の右側に示すような位置にファイバホルダ２１がセットされており、この位置では第２レンズ３ｂとの間の距離が大きすぎるとする。この場合は、ファイバホルダ２１を第２レンズ３ｂ側に移動させる必要がある（図６では、調整幅Ｄ）。ファイバホルダ２１を第２レンズ３ｂ側に距離Ｄだけ移動させたとき、調整部材２２をそのままにしておくと、ファイバホルダ２１と調整部材２２との間に隙間が生じる。このような状態では、両者の隙間上に位置する光ファイバ６は、ファイバホルダ２１及び調整部材２２のいずれにも接触しないので、効率よく冷却することができない。
【００６０】
そこで、図６の左側に示すように、調整部材２２を収容凹部１７の傾斜側面１７ｂに沿って図６において右側に移動させる。すると、調整部材２２は図６において右側に移動するとともにファイバホルダ２１側にも移動する。そして、調整部材２２の端面２２ａがファイバホルダ２１の端面２１ｂに当接した状態で、調整部材２２の移動を停止し、その位置で冷却ベース板７に固定する。
【００６１】
以上のような調整によって、光ファイバ６の端部は、全体にわたってファイバホルダ２１及び調整部材２２、さらには冷却ベース板７の表面に当接する。したがって、光ファイバ６の熱を効率よく放熱することができ、光ファイバ６が高温になるのを避けることができる。
【００６２】
なお、以上の調整によっても、ファイバホルダ２１の光軸の位置は変化しない。すなわち、図６で示すように、冷却ベース板７の端面からの距離Ｗは調整の前後で同じである。
【００６３】
［他の実施形態］
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
【００６４】
（１）前記実施形態では、調整部材のファイバホルダ側の端面を第１方向に直交する面としたが、逆側の傾斜端面の傾斜角度と同じ角度でなければ、任意の角度に設定することができる。この場合の調整部材の形状について、図７及び図８に具体例を示している。
【００６５】
図７に示した例は、調整部材３２の一方の端面３２ａを光軸方向（第１方向）に対して傾斜させるとともに、他方の端面３２ｂについても同方向に傾斜させている。なお、前述のように、一方の端面３２ａの傾斜角度と、他方の端面３２ｂの傾斜角度と、は異なっている。他方の端面３２ｂは冷却ベース板７の収容凹部１７の傾斜側面１７ｂと同じ傾斜角度である。
【００６６】
なお、この例の場合は、ファイバホルダ３１の調整部材３２と接触する側の端面３１ｂも、調整部材３２の一方の端面３２ａと同様の角度で傾斜して形成されている。
【００６７】
また、図８（ａ）（ｂ）の例は、調整部材４２，５２の一方の端面４２ａ，５２ａを光軸方向に対して傾斜させ、他方の端面４２ｂ，５２ｂを端面４２ａ，５２ａとは逆方向に傾斜させている。
【００６８】
なお、前記同様に、図８に示す例の場合も、ファイバホルダ４１，５１の調整部材４２，５２と接触する側の端面４１ｂ，５１ｂも、調整部材４２，５２の一方の端面４２ａ，５２ａと同様の角度で傾斜して形成されている。
【００６９】
（２）前記実施形態では、ファイバホルダ２１及び調整部材２２の表面と冷却ベース板７の表面７ｃとを面一にしたが、これらの表面の間に段差があってもよい。
【００７０】
（３）保持装置１５を含む冷却装置をレーザ発振器に適用したが、本発明の冷却装置は、他の光ファイバ装置において光ファイバを保持し冷却する際にも同様に適用することができる。
【００７１】
（４）保持すべき光ファイバの構成は前記実施形態に限定されない。
【００７２】
（５）冷却ベース板７は内部に冷媒が流れる流路１８を有していることとしたが、流路１８を省略して、冷却ベース板７の外面に接する流体や部材に光ファイバ６からの熱を放熱することとしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明では、光ファイバの先端位置を調整可能にした光ファイバの冷却装置において、光ファイバを効率よく冷却することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１    レーザ発振器
２    励起光源
６    光ファイバ
１５  保持装置
１７  収容凹部
１７ｂ  傾斜側面
２１，３１，４１，５１  ファイバホルダ
２２，３２，４２，５２  調整部材
２２ｂ，３２ｂ，４２ｂ，５２ｂ  傾斜端面
【図１】
2016013468.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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