(57)【要約】  ピストンモードを利用しており、小型化を図ることができる弾性波装置を提供する。  第１のＩＤＴ電極１１を有する第１の弾性波共振子ユニットと、第２のＩＤＴ電極１２を有する第２の弾性波共振子ユニットに直列分割されている弾性波装置１であって、第１のＩＤＴ電極１１において、第１のバスバー１１ａ側に設けられている高音速領域の電極指の延びる方向の寸法をＷａ、第２のＩＤＴ電極１２において、第４のバスバー１２ａ側に設けられている高音速領域の電極指の延びる方向の寸法をＷｂ、段間接続部１７の寸法をＷｃとしたときに、Ｗｃ＜（Ｗａ＋Ｗｂ）とされている。
2015119025.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性波共振子を、複数段の弾性波共振子ユニットに、直列に複数段分割することにより構成されている弾性波装置であって、
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、第１の弾性波共振子ユニットを構成している第１のＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上に形成されており、かつ前記第１の弾性波共振子ユニットに直列に接続されている第２の弾性波共振子ユニットを構成している第２のＩＤＴ電極と、
前記第１の弾性波共振子ユニットと、前記第２の弾性波共振子ユニットとを接続している段間接続部とを備え、
前記第１のＩＤＴ電極が、第１のバスバーと、前記第１のバスバーと隔てられて配置された第２のバスバーと、
前記第１のバスバーに基端が電気的に接続されており、前記第２のバスバー側に延びる複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに基端が接続されており、前記第１のバスバー側に向かって延びる複数本の第２の電極指とを有し、
前記第２のＩＤＴ電極が、第３のバスバーと、前記第３のバスバーと隔てられて配置された第４のバスバーと、
前記第３のバスバーに基端が電気的に接続されており、前記第４のバスバー側に延びる複数本の第３の電極指と、前記第４のバスバーに基端が接続されており、前記第３のバスバー側に向かって延びている複数本の第４の電極指とを有し、
前記第１のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極とが、前記段間接続部を介して電極指が延びる方向に連ねられており、
前記第１及び第２のＩＤＴ電極のそれぞれにおいて、電極指の延びる方向中央に中央領域が設けられており、前記電極指の延びている方向において前記中央領域の両外側に、前記中央領域に比べて弾性波伝搬速度が低い低音速領域が設けられており、前記電極指の延びる方向において前記低音速領域の両外側に、前記中央領域よりも弾性波伝搬速度が高い高音速領域が設けられており、
前記第１のＩＤＴ電極において前記第１のバスバー側に設けられている前記高音速領域の前記電極指の延びる方向の寸法をＷａ、前記第２のＩＤＴ電極において前記第４のバスバー側に設けられている前記高音速領域の前記電極指の延びる方向の寸法をＷｂ、前記電極指の延びる方向における前記段間接続部の寸法をＷｃとしたときに、Ｗｃ＜（Ｗａ＋Ｗｂ）とされている、弾性波装置。
【請求項２】
前記第１，第２のＩＤＴ電極の電極指周期で定まる波長をλとしたときに、Ｗｃ＜６λである、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記第１，第２のＩＤＴ電極の電極指周期で定まる波長をλとしたときに、Ｗｃ＜４λである、請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記第１のＩＤＴ電極の前記第２のバスバーと、前記第２のＩＤＴ電極の前記第３のバスバーとが共通バスバーとして共通化されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記共通バスバーに、前記弾性波伝搬方向に沿って配置された複数の開口部が設けられており、該開口部が設けられている領域において、前記中央領域に比べて前記弾性波伝搬速度が高い高音速領域が設けられており、前記共通バスバーにおいて、前記電極指の延びる方向において前記開口部の両外側に前記低音速領域が設けられている、請求項４に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記低音速領域における前記第１，第２のＩＤＴ電極の形状が、前記中央領域よりも弾性波の伝搬速度が遅くなる形状とされている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、共振子や帯域フィルタ等に用いられる弾性波装置に関し、特に、ピストンモードを利用した弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１には、いわゆるピストンモードを利用した弾性波装置が開示されている。特許文献１では、ＩＤＴ電極における電極指交叉部の音速に比べて、電極指先端側部分における音速が低められている。それによって、ピストンモードが形成され、横モードによるリップルの抑圧を図ることができるとされている。【０００３】
下記の特許文献２にも、ピストンモードを利用した弾性波装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１０１３５０号公報
【特許文献２】特表２０１３−５１８４５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
携帯電話機の送信フィルタなどでは、耐電力性を高めたり、ＩＭＤを改善すること等が求められている。このような目的を果たすために、共振子を直列に多段分割することが多い。【０００６】
特許文献１に記載の弾性波共振子を直列分割すると、弾性波伝搬方向と直交する方向の寸法が大きくなるという問題があった。図６を参照して説明する。【０００７】
図６は、特許文献１に記載の弾性波装置を直列分割した場合の電極構成を示す模式的平面図である。弾性波装置１０００では、第１のＩＤＴ電極１００１を有する第１の弾性波共振子ユニットと、第２のＩＤＴ電極１００２を有する弾性波共振子ユニットとに分割されている。図６において電極構造の右側部分は、各領域の弾性波の音速を模式的に示している。例えば、第１のＩＤＴ電極１００１の中央領域の音速はＶ１であり、その両側の低音速領域の音速はＶ２Ａ，Ｖ２Ｂである。右側にいくほど音速が高いことを示す。【０００８】
第１のＩＤＴ電極１００１と第２のＩＤＴ電極１００２との間には、段間バスバー１００７が設けられており、それによって、第１のＩＤＴ電極１００１と第２のＩＤＴ電極１００２とが直列に接続されている。【０００９】
なお、中央領域の両側である音速Ｖ２Ａ，Ｖ２Ｂの領域は、低音速領域である。低音速領域では、音速低下膜１００５が電極指１００３，１００４上に設けられている。それによって音速が低められている。第２のＩＤＴ電極１００２においても同様である。【００１０】
図６から明らかなように、第１のＩＤＴ電極１００１と第２のＩＤＴ電極１００２とを接続している部分において、音速Ｖ３Ｂの高音速領域、段間バスバー１００７及び音速Ｖ１３Ａの高音速領域を設けなければならない。すなわち、図６中の寸法Ｗｃの長さを、ある程度長くしなければならなかった。従って、弾性波装置１０００では、電極指の延びる方向の寸法が長くなり、小型化が困難であった。【００１１】
本発明の目的は、ピストンモードを利用しており、小型化を図り得る弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の弾性波装置は、弾性波共振子を、複数段の弾性波共振子ユニットに、直列に複数段分割することにより構成されている。本発明に係る弾性波装置は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成されており、第１の弾性波共振子ユニットを構成している第１のＩＤＴ電極と、前記圧電基板上に形成されており、かつ前記第１の弾性波共振子ユニットに直列に接続されている第２の弾性波共振子ユニットを構成している第２のＩＤＴ電極と、前記第１の弾性波共振子ユニットと、前記第２の弾性波共振子ユニットとを接続している段間接続部とを備える。【００１３】
本発明では、前記第１のＩＤＴ電極が、第１のバスバーと、前記第１のバスバーと隔てられて配置された第２のバスバーとを有する。【００１４】
前記第１のＩＤＴ電極は、前記第１のバスバーに基端が電気的に接続されており、前記第２のバスバー側に延びる複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに基端が接続されており、前記第１のバスバー側に向かって延びている複数本の第２の電極指とを有する。【００１５】
前記第２のＩＤＴ電極は、第３のバスバーと、前記第３のバスバーと隔てられて配置された第４のバスバーとを有する。前記第２のＩＤＴ電極は、前記第３のバスバーに基端が電気的に接続されており、前記第４のバスバー側に延びる複数本の第３の電極指と、前記第４のバスバーに基端が接続されており、前記第３のバスバー側に向かって延びている複数本の第４の電極指とを有する。【００１６】
前記第１のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極とは、前記段間接続部を介して電極指が延びる方向に連ねられている。【００１７】
本発明では、前記第１及び第２のＩＤＴ電極のそれぞれにおいて、電極指の延びる方向中央に中央領域が設けられており、前記電極指の延びる方向において前記中央領域の両外側に、前記中央領域に比べて弾性波伝搬速度が低い低音速領域が設けられており、前記電極指の延びる方向において前記低音速領域の両外側に、前記中央領域よりも弾性波伝搬速度が高い高音速領域が設けられている。そして、前記第１のＩＤＴ電極において前記第１のバスバー側に設けられている前記高音速領域の前記電極指の延びる方向の寸法をＷａ、前記第２のＩＤＴ電極において前記第４のバスバー側に設けられている前記高音速領域の前記電極指の延びる方向の寸法をＷｂ、前記電極指の延びる方向における前記段間接続部の寸法をＷｃとしたときに、Ｗｃ＜（Ｗａ＋Ｗｂ）とされている。【００１８】
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、前記第１，第２のＩＤＴ電極の電極指周期で定まる波長をλとしたときに、Ｗｃ＜６λである。【００１９】
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記第１，第２のＩＤＴ電極の電極指周期で定まる波長をλとしたときに、Ｗｃ＜４λである。【００２０】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記第１のＩＤＴ電極の前記第２のバスバーと、前記第２のＩＤＴ電極の前記第３のバスバーとが共通バスバーとして共通化されている。【００２１】
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記共通バスバーに、前記弾性波伝搬方向に沿って配置された複数の開口部が設けられており、該開口部が設けられている領域において、前記中央領域に比べて前記弾性波伝搬速度が高い高音速領域が設けられており、前記共通バスバーにおいて、前記電極指の延びる方向において前記開口部の両外側に前記低音速領域が設けられている。【００２２】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記低音速領域における前記第１，第２のＩＤＴ電極の形状が、前記中央領域よりも弾性波の伝搬速度が遅くなる形状とされている。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る弾性波装置によれば、前記Ｗｃ＜（Ｗａ＋Ｗｂ）とされているため、ピストンモードを利用した弾性波装置の小型化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の電極構造を示す模式的平面図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施形態の弾性波装置の略図的平面図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施形態の弾性波装置を有する帯域通過型フィルタの回路図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施形態の実施例と、比較例の帯域通過型フィルタの減衰量周波数特性を示す図である。
【図５】図５は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の電極構造を示す平面図である。
【図６】図６は、従来の弾性波共振子を直列分割した場合の電極構造を示す模式的平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２６】
図１は、本発明の第１の実施形態の弾性波装置としての弾性表面波共振子の電極構造を示す模式的平面図である。図２は、本実施形態の弾性波装置の全体を略図的に示す平面図である。
【００２７】
図２に示す弾性波装置１０では、ＬｉＴａＯ３やＬｉＮｂＯ３などの圧電基板上に図示の電極構造が設けられている。この電極構造は、Ａｌ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｗなどの適宜の金属もしくは合金により形成され得る。また、これらの金属が積層されていてもよい。
【００２８】
より詳細には、圧電基板１０Ａ上には、第１，第２のＩＤＴ電極１１，１２が設けられている。第１のＩＤＴ電極１１の弾性波伝搬方向両側に反射器１３，１４が設けられている。また、第２のＩＤＴ電極１２の弾性波伝搬方向両側に反射器１５，１６が設けられている。第１のＩＤＴ電極１１、及び反射器１３，１４により、第１の弾性波共振子ユニットが構成されている。ＩＤＴ電極１２及び反射器１５，１６により、第２の弾性波共振子ユニットが構成されている。言い換えれば、１つの弾性波共振子を、第１，第２の弾性波共振子ユニットに２段直列分割した構造が形成されている。１つの弾性波共振子を、複数段の弾性波共振子ユニットに直列分割した構造では、耐電力性やＩＭＤ特性を改善することができる。
【００２９】
本実施形態の弾性波装置１０では、上記ＩＤＴ電極１１，１２が段間接続部１７を介して接続されている部分の寸法が小さくされ得る。これを、図１を参照してより具体的に説明する。図１は、図２に略図的に示した第１のＩＤＴ電極１１、第２のＩＤＴ電極１２及び段間接続部１７の詳細を示す平面図である。
【００３０】
図１に示すように、第１のＩＤＴ電極１１は、第１のバスバー１１ａと、第１のバスバー１１ａと隔てられた第２のバスバー１１ｂとを有する。第１，第２のバスバー１１ａ，１１ｂは、弾性波伝搬方向に延びている。第１のバスバー１１ａは、弾性波伝搬方向に沿って配置された複数の開口部１１ａ３を有する。開口部１１ａ３よりも第２のバスバー１１ｂ側の部分が、バスバー端部１１ａ１である。バスバー端部１１ａ１は、電極指の延びる方向に延ばされた連結部１１ａ４により、バスバー本体部１１ａ２に連ねられている。開口部１１ａ３と連結部１１ａ４をあわせて、第１のバスバー高音速部とする。
【００３１】
第１のバスバー１１ａには、複数本の第１の電極指１１ｃの基端が接続されている。各電極指１１ｃは、第２のバスバー１１ｂ側に向かって延ばされている。
【００３２】
複数本の第２の電極指１１ｄの基端が第２のバスバー１１ｂに接続されている。第２の電極指１１ｄは、第１のバスバー１１ａ側に向かって延ばされている。
【００３３】
複数本の第１の電極指１１ｃと、複数本の第２の電極指１１ｄとは、間挿し合っている。
【００３４】
また、第１の電極指１１ｃ及び第２の電極指１１ｄは、先端側において、電極指幅が残りの部分に比べて太い太幅部１１ｃ１，１１ｄ１を有する。
【００３５】
第２のＩＤＴ電極１２は、第１のＩＤＴ電極１１と同様の構造を有する。第３のバスバー１２ｂ及び第４のバスバー１２ａに、それぞれ、複数本の第３の電極指１２ｃ及び複数本の第４の電極指１２ｄが接続されている。第３の電極指１２ｃは先端に太幅部１２ｃ１を有する。第４の電極指１２ｄも先端に太幅部１２ｄ１を有する。第４のバスバー１２ａは、第１のバスバー１１ａと同様に、バスバー端部１２ａ１と、バスバー本体部１２ａ２とを有する。また、複数の開口部１２ａ３が設けられている。バスバー本体部１２ａ２と、バスバー端部１２ａ１とは、複数本の連結部１２ａ４により連結されている。バスバー開口部１２ａ３と連結部１２ａ４をあわせて、第２のバスバー高音速部とする。
【００３６】
段間接続部１７は、各複数本の連結部１７ａを有する。各連結部１７ａは、第１，第２のＩＤＴ電極１１，１２と一体に形成されている。各連結部１７ａは、電極指の延びる方向に延ばされている。従って、弾性波伝搬方向において、隣り合う連結部１７ａ間に開口部１７ｂが設けられている。開口部１７ｂと連結部１７ａをあわせて、第３のバスバー高音速部１７ｅとする。第１のＩＤＴ電極１１と第２のＩＤＴ電極１２の段間においては、第１のＩＤＴ電極１１と第２のＩＤＴ電極１２のバスバー高音速部を共有している。
【００３７】
必須ではないが、本実施形態では、連結部１７ａは、第２の電極指１１ｄの延長上に設けられている。他方、前述した連結部１１ａ４は第１の電極指１１ｃの延長上に設けられている。もっとも、各連結部１７ａ、１１ａ４の位置はこれに限定されるものではない。
【００３８】
図１において、電極構造の右側は、電極指の延びる方向における各領域の弾性波の伝搬速度を示す。すなわち、図１の右側において縦方向に延びる太線で示すＶ１〜Ｖ１６は、それぞれ、弾性波装置１０の電極指の延びる方向における各領域の弾性波伝搬速度を示す。右側にいくほど音速が高いことを示す。
【００３９】
より詳細には、第１のＩＤＴ電極１１において、電極指の延びる方向において中央領域では、音速はＶ１である。この中央領域は、第１の電極指１１ｃと第２の電極指１１ｄとが交叉している領域である。
【００４０】
電極指の延びる方向において、中央領域の両外側に、低音速領域が設けられている。これらの低音速領域の音速がＶ２Ａ，Ｖ２Ｂである。低音速領域は、上記太幅部１１ｃ１，１１ｄ１が設けられている部分に相当する。太幅部１１ｃ１，１１ｄ１は、その形状により音速を相対的に低めている。すなわち、本実施形態では、中央領域よりも音速が低い低音速領域を形成するように電極指の形状が決定されている。従って、電極のパターニングに際しての形状の変更だけで、低音速領域を容易に形成することが可能とされている。
【００４１】
電極指の延びる方向において上記低音速領域の両外側には、音速Ｖ３Ａ，Ｖ３Ｂの高音速領域が設けられている。これらの高音速領域では、弾性波伝搬方向において、第１の電極指１１ｃまたは第２の電極指１１ｄの一方のみが存在する。
【００４２】
第１のバスバー１１ａのバスバー端部１１ａ１では、弾性波伝搬速度はＶ４Ａであり、低音速領域とされている。開口部１１ａ３が設けられている部分では、音速が高められ、高音速領域Ｖ５Ａとされている。また、バスバー本体部１１ａ２は、音速Ｖ６の低音速領域となる。
【００４３】
第２のバスバー１１ｂが設けられている部分は、弾性波伝搬方向に沿って金属のみが存在するため、音速Ｖ４Ｂとなる。
【００４４】
第２のＩＤＴ電極１２においても同様である。また、段間接続部１７においては、複数本の連結部１７ａと開口部１７ｂとが存在するため、音速Ｖ１０の高音速領域となる。
【００４５】
第２のＩＤＴ電極１２側においても、中央領域の音速がＶ１１である。その両側に音速Ｖ１２Ａ，Ｖ１２Ｂの低音速領域が位置し、さらにその両側に、音速Ｖ１３Ａ，Ｖ１３Ｂの高音速領域が存在する。また、第３のバスバー１２ｂが設けられている部分は、低音速領域であり、その音速はＶ１４Ａとなる。第４のバスバー１２ａでは、音速がＶ１４Ｂ，Ｖ１５Ｂ及びＶ１６の各領域が連ねられている。
【００４６】
弾性波装置１０では、上記のように、中央領域と比べて、音速が低い低音速領域が中央領域の両側に設けられており、さらに低音速領域の両側に高音速領域が設けられている。すなわち、ピストンモードを利用している。従って、横モードリップルを抑圧でき、さらに低損失な共振子を作製することができる。
【００４７】
加えて、本実施形態では、図１の寸法Ｗａと寸法Ｗｂの和が寸法Ｗｃよりも大きくされている。従って、小型化を図り得る。寸法Ｗａは、第１のＩＤＴ電極１１において第１のバスバー１１ａ側に設けられている高音速領域の電極指の延びる方向の寸法である。寸法Ｗｂは、第２のＩＤＴ電極１２において、第４のバスバー１２ａ側に設けられている高音速領域の寸法をいい、寸法Ｗｃは、段間接続部１７における電極指の延びる方向の寸法である。また、寸法Ｗｃは寸法Ｗａ、Ｗｂのいずれか一方よりも大きい。本実施形態の弾性波装置１０では、上記のように段間接続部１７の電極指の延びる方向の寸法を図６に示した弾性波装置１０００に比べ小さくすることができる。従って、弾性波装置１０の小型化を図ることができる。しかも、以下の実験例で示すように、電気的特性の劣化も生じ難い。
【００４８】
図３は、上記実施形態の弾性波装置を含む帯域通過型フィルタの回路図である。図３に示す帯域通過型フィルタ２１は、ラダー型回路構成を有する。
【００４９】
本実施形態による弾性表面波共振子を用いたラダー型フィルタの減衰量周波数特性を図４に実線で示す。なお、図４の破線は、図６に示した構造を採用したことを除いては上記実施例と同様にして構成された帯域通過型フィルタの減衰量周波数特性を示す。
【００５０】
図４から明らかなように、実施例のフィルタ特性は、比較例に比べてほとんど劣化していないことがわかる。弾性波装置１０では、直列に複数段分割した構造において、図６の比較例に比べて電極指の延びる方向の寸法を１０〜２０％程度小さくすることが可能となる。従って、フィルタ特性を劣化させることなく、弾性波共振子や弾性波共振子を用いたフィルタ装置の小型化を図ることができる。
【００５１】
通常、ピストンモードを利用した弾性波共振子では、共振子のＱを維持するために、中央領域の外側に、電極指の延びる方向の寸法が少なくとも２λ以上、望ましくは３λ以上の高音速領域を設ける必要がある。そのため、２段分割構造の場合には、段間の両側において各２λ以上、あるいは３λ以上の寸法の高音速領域を設ける必要があった。従って、図６に示した弾性波装置１０００では、段間接続部の寸法が４λ以上、または６λ以上となる。なお、λは、第１，第２のＩＤＴ電極１１，１２の電極指周期で定まる弾性波の波長である。
【００５２】
本願発明者らは、上記のように、直列に複数段分割した構造において、段間接続部１７の寸法Ｗｃを小さくしたとしても、フィルタ特性の低下が生じ難いことを見出し、本発明を成すに至ったものである。従来、上記のように、直列に複数段分割した構造でピストンモードを利用した場合、高音速領域の寸法を十分大きくしなければならないと考えられていた。そのため、小型化が困難であった。
【００５３】
上記実施形態の弾性波装置１０では、Ｗｃを６λより小さくすることができ、好ましくはＷｃ＜４λとすることができる。
【００５４】
図５は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の電極構造の要部を示す平面図である。第２の実施形態の弾性波装置３０は、第１のＩＤＴ電極３１と第２のＩＤＴ電極３２とを有する。第１のＩＤＴ電極３１は、第１のバスバー３１ａを有する。第１のバスバー３１ａと隔てられて、共通バスバー４０が配置されている。共通バスバー４０は、第２のバスバーと、第２のＩＤＴ電極３２の第３のバスバーとを共通化した部分である。すなわち、本実施形態では、第２のバスバーと第３のバスバーとが共通バスバー４０に共通化されている。
【００５５】
第１のバスバー３１ａに、複数本の第１の電極指３１ｃが接続されている。共通バスバー４０に、複数本の第２の電極指３１ｄが接続されている。電極指３１ｃの先端には、音速低下膜３１ｃ１が積層されている。電極指３１ｄの先端にも、音速低下膜３１ｄ１が積層されている。それによって、第１の実施形態と同様に、電極指交叉部中央に、音速Ｖ１の中央領域が構成されており、その両側に、音速Ｖ２Ａ，Ｖ２Ｂの低音速領域が設けられている。
【００５６】
電極指の延びる方向において低音速領域の両側には、電極指３１ｃまたは電極指３１ｄのみが存在する高音速領域が設けられている。すなわち、音速Ｖ３，Ｖ３Ｂの高音速領域が設けられている。バスバー３１ａは低音速領域となり、その音速はＶ４である。
【００５７】
第２のＩＤＴ電極３２では、第４のバスバー３２ｂが共通バスバー４０に対して隔てられて設けられている。複数本の第３の電極指３２ｃが、共通バスバー４０に接続されている。複数本の第４の電極指３２ｄが第４のバスバー３２ｂに接続されている。第３，第４の電極指３２ｃ，３２ｄの先端にも、音速低下膜３２ｃ１，３２ｄ１が、それぞれ、設けられている。それによって、音速Ｖ１１の中央領域の両側に、音速Ｖ１２Ａ，Ｖ１２Ｂの低音速領域が設けられている。また、これらの音速Ｖ１２Ａ，Ｖ１２Ｂの低音速領域の外側に、音速Ｖ１３Ａ，Ｖ１３Ｂの高音速領域が、それぞれ、設けられている。バスバー３２ｂは、音速Ｖ１４の低音速領域となる。
【００５８】
共通バスバー４０は、金属からなるため、音速Ｖ１０の低音速領域を構成している。
【００５９】
本実施形態においても、寸法Ｗｃが、寸法Ｗａ＋寸法Ｗｂよりも小さいため、小型化を図ることができる。
【００６０】
本実施形態のように、共通バスバー４０を用いて、第２のバスバーと第３のバスバーとを共通化してもよい。それによって、より一層の小型化を図ることができる。また、このように第１の弾性波共振子と第２の弾性波共振子の段間接続部側の高音速領域間に共通バスバー４０からなる低音速領域を設けてもよい。
【００６１】
なお、本発明は、直列２段分割構造に限定されず、３以上の複数段に直列に分割してなる構造の弾性波共振子にも適用することができる。また、弾性波表面波に限らず、弾性境界波を用いてもよい。
【００６２】
また、本発明のフィルタ装置は、図３に示したラダー型の回路構成を有するものに限らず、様々な弾性波共振子を用いたフィルタ装置に本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００６３】
１…弾性波装置
１０…弾性波装置
１０Ａ…圧電基板
１１…第１のＩＤＴ電極
１１ａ…第１のバスバー
１１ａ１…バスバー端部
１１ａ２…バスバー本体部
１１ａ３…開口部
１１ａ４…連結部
１１ｂ…第２のバスバー
１１ｃ…第１の電極指
１１ｃ１…太幅部
１１ｄ…第２の電極指
１１ｄ１…太幅部
１２…第２のＩＤＴ電極
１２ａ…第４のバスバー
１２ａ１…バスバー端部
１２ａ２…バスバー本体部
１２ａ３…開口部
１２ａ４…連結部
１２ｂ…第３のバスバー
１２ｃ…第３の電極指
１２ｃ１…太幅部
１２ｄ…第４の電極指
１２ｄ１…太幅部
１３，１４…反射器
１５，１６…反射器
１７…段間接続部
１７ａ…連結部
１７ｂ…開口部
２０…フィルタ装置
２１…帯域通過型フィルタ
３０…弾性波装置
３１…第１のＩＤＴ電極
３１ａ…第１のバスバー
３１ｃ…第１の電極指
３１ｃ１…音速低下膜
３１ｄ…第２の電極指
３１ｄ１…音速低下膜
３２…第２のＩＤＴ電極
３２ｂ…第４のバスバー
３２ｃ…第３の電極指
３２ｃ１…音速低下膜
３２ｄ…第４の電極指
３２ｄ１…音速低下膜
４０…共通バスバー
Ｖ１…音速
Ｖ２Ａ，Ｖ２Ｂ…音速
Ｖ３Ａ，Ｖ３Ｂ…音速
Ｖ４…音速
Ｖ４Ａ…音速
Ｖ４Ｂ…音速
Ｖ５Ａ…音速
Ｖ６…音速
Ｖ１０…音速
Ｖ１１…音速
Ｖ１２Ａ，Ｖ１２Ｂ…音速
Ｖ１３Ａ，Ｖ１３Ｂ…音速
Ｖ１４…音速
Ｖ１４Ａ，Ｖ１４Ｂ…音速
Ｖ１５Ｂ…音速
Ｖ１６…音速
１０００…弾性波装置
１００１…第１のＩＤＴ電極
１００２…第２のＩＤＴ電極
１００３…電極指
１００４…電極指
１００５…音速低下膜
１００７…段間バスバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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