(57)【要約】  ガス圧縮機運転中に低純度の製品ガスがガス圧縮機へ流れた場合には、低純度の製品ガスが供給されてしまう。その際、製品ガスの純度を再度高めるために、ガス昇圧圧縮装置からの製品ガスの供給を停止し、貯留タンク内のガス純度を規定値まで戻すためにガス昇圧圧縮装置を運転しなければならず、無駄な電力を消費してしまう。  上記の課題を解決するために、本発明では、空気から一部の気体を分離する気体分離装置と、前記気体分離装置で分離された気体である製品ガスを貯留する製品ガスタンクＡと、前記製品ガスタンクで貯留された製品ガスを昇圧するガス圧縮機と、前記ガス圧縮機により昇圧された製品ガスを貯留する製品ガスタンクＢと、前記気体分離装置と前記ガス圧縮機を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記気体分離装置の製品ガス吐出信号により前記ガス圧縮機の運転及び停止を制御する構成とする。
2016125529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気から一部の気体を分離する気体分離装置と、
前記気体分離装置で分離された気体である製品ガスを貯留する製品ガスタンクＡと、
前記製品ガスタンクＡで貯留された製品ガスを昇圧するガス圧縮機と、
前記ガス圧縮機により昇圧された製品ガスを貯留する製品ガスタンクＢと、
前記気体分離装置と前記ガス圧縮機を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記気体分離装置の製品ガス吐出信号により前記ガス圧縮機の運転及び停止を制御することを特徴とするガス昇圧圧縮装置
【請求項２】
前記製品ガス吐出信号は、前記気体分離装置において分離された気体の濃度が所定の濃度を超えた場合に出力される信号であることを特徴とする請求項１に記載のガス昇圧圧縮装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記気体分離装置の製品ガス吐出信号が出力されており、かつ前記製品ガスタンクＡの圧力が所定の圧力を超えた場合に、前記ガス圧縮機を運転するように制御することを特徴とする請求項１に記載ガス昇圧圧縮装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記気体分離装置の製品ガス吐出信号がなくなった場合に、前記製品ガスタンクＡおよび前記製品ガスタンクＢの圧力に関わらず、前記ガス圧縮機を停止するように制御することを特徴とする請求項１に記載のガス昇圧圧縮装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記気体分離装置の製品ガス吐出信号が出力された場合に、前記製品ガスタンクＡへ前記気体分離装置にて分離した製品ガスを貯留するように前記気体分離装置を制御することを特徴とする請求項１に記載のガス昇圧圧縮装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記気体分離装置の製品ガス吐出信号がなくなった場合に、前記製品ガスタンクＡへ前記気体分離装置にて分離した製品ガスを貯留することを停止するように前記気体分離装置を制御することを特徴とする請求項１に記載のガス昇圧圧縮装置。
【請求項７】
空気から一部の気体を分離する気体分離装置から供給された製品ガスを昇圧して、昇圧した製品ガスを製品ガスタンクに供給するガス圧縮機であって、
前記気体分離装置の製品ガス吐出信号により運転の開始及び停止が制御されることを特徴とするガス圧縮機。
【請求項８】
前記製品ガス吐出信号は、前記気体分離装置において分離された気体の濃度が所定の濃度を超えた場合に出力される信号であることを特徴とする請求項７に記載のガス圧縮機。
【請求項９】
前記気体分離装置の製品ガス吐出信号が出力されており、かつ前記気体分離装置から供給される製品ガスの圧力が所定の圧力を超えた場合に、運転を開始するように制御されることを特徴とする請求項７にガス圧縮機。
【請求項１０】
前記気体分離装置の製品ガス吐出信号がなくなった場合に、前記気体分離装置から供給される製品ガスの圧力および前記製品ガスタンクの圧力に関わらず、運転を停止するように制御されることを特徴とする請求項７に記載のガス圧縮機。
【請求項１１】
前記気体分離装置から供給される製品ガスの圧力が所定の圧力を下回った場合、前記製品ガスタンクの圧力に関わらず、運転を停止するように制御されることを特徴とする請求項７に記載のガス圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガス昇圧圧縮装置およびガス圧縮機に関する。
【背景技術】
【０００２】
本技術分野の背景として、特許文献１がある。特許文献１には、「不活性ガス源１における不活性ガスを、往復ピストン式圧縮機９により、昇圧して昇圧貯蔵タンク１４へ送入するようにした不活性ガス昇圧送給方法において、往復ピストン式圧縮機９を停止させるのと実質的に同時に、不活性ガス源１から往復ピストン式圧縮機９に対する不活性ガスの供給を停止させるとともに、往復ピストン式圧縮機９から吐出される不活性ガスを、吐出配管１２内で放気させ、往復ピストン式圧縮機９の再起動に際しては、不活性ガス源１と往復ピストン式圧縮機９を連通させ、かつ往復ピストン式圧縮機９から吐出される不活性ガスを所定時間吐出配管内から放気させた後、所定の純度となった不活性ガスを昇圧貯蔵タンク１４へ送る。」と記載されている（要約参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３３６５７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載の技術によれば、ガス圧縮機の運転停止時やアンロード時のガス圧縮機内への空気の混入によるガス圧縮機の起動時の貯留タンク内の製品ガス純度低下を防止できる。【０００５】
しかし、例えば、不活性ガス源としてＰＳＡ式の気体分離装置を用いた場合、ＰＳＡ式の気体分離装置はガス分離性能が使用環境に大きく影響を受けるため、装置の使用周囲温度・湿度が高くなった場合製品ガス純度が低純度になる可能性がある。【０００６】
ガス圧縮機運転中にそのような低純度の製品ガスがガス圧縮機へ流れた場合には、低純度の製品ガスがガス圧縮機の先へ供給されてしまう。その際、製品ガスの純度を再度高めるために、ガス昇圧圧縮装置からの製品ガスの供給を停止し、貯留タンク内のガス純度を規定値まで戻すためにガス昇圧圧縮装置を運転しなければならず、無駄な電力を消費してしまう。  本発明では、無駄な電力の消費を押さえて、製品ガスを供給するガス昇圧圧縮装置およびガス圧縮機を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明では、空気から一部の気体を分離する気体分離装置と、前記気体分離装置で分離された気体である製品ガスを貯留する製品ガスタンクＡと、前記製品ガスタンクで貯留された製品ガスを昇圧するガス圧縮機と、前記ガス圧縮機により昇圧された製品ガスを貯留する製品ガスタンクＢと、前記気体分離装置と前記ガス圧縮機を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記気体分離装置の製品ガス吐出信号により前記ガス圧縮機の運転及び停止を制御する構成とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、電力の消費を抑えながら製品ガスを供給するガス昇圧圧縮装置およびガス圧縮機を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例１におけるガス昇圧圧縮装置を示す全体構成図である。
【図２】本発明の実施例１におけるガス昇圧圧縮装置の制御フロー図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１０】
本発明の実施例１について図１を用いて説明する。本実施例におけるガス昇圧圧縮装置９０の全体構成について図１を用いて説明する。【００１１】
図１に示す気体分離装置１はＰＳＡ式の気体分離装置である。気体分離装置１は、空気を供給する空気供給ユニット２と、製品ガスを生成するＰＳＡユニット３で構成される。本実施例では、一例として空気供給ユニット２とＰＳＡユニット３は別筐体に分かれて格納されているが、上記二つのユニットが同じ筐体内に格納されていてもよい。【００１２】
この空気供給ユニット２は、空気を圧縮する空気圧縮機４と、圧縮空気を貯留させる空気槽５と、圧縮空気を除湿するエアードライヤー６と、析出したドレン水を回収しながら不純物を除去するドレンフィルタ７を有している。本実施例では、一例として、これら空気圧縮機４と、空気槽５と、エアードライヤー６とドレンフィルタ７は筐体に格納されている。一方、ＰＳＡユニット３は、空気供給ユニット２から供給される圧縮空気から所定の気体を分離することにより、製品ガスを生成する吸着槽１９ａ、１９ｂと、製品ガス（窒素）を貯留する窒素槽（製品ガス貯留タンク）４１を有している。【００１３】
空気槽５で貯留された圧縮空気は後述の吸着槽１９ａ、１９ｂに供給され、空気槽５で貯留された圧縮空気から所定の気体が分離される。本実施例では、吸着槽１９ａ、１９ｂで酸素を吸着することにより、窒素を分離する場合について説明するが、窒素を吸着することにより酸素を分離してもよいし、大気以外の圧縮空気から他の気体を分離するものであってもよい。また、本実施例では吸着槽１９ａ，１９ｂの２本の吸着槽により気体分離装置を構成しているが、３本以上の吸着槽により構成される気体分離装置であってもよい。【００１４】
空気圧縮機４として、往複動式、スクリュー式あるいはスクロール式等の圧縮機や、外部から１次圧を供給され再圧縮するブースタ圧縮機等が用いられている。空気槽５には、空気槽５からの圧縮空気を流す配管１６が接続されており、この配管１６の端末位置には２系統に分岐した配管１７ａ、１７ｂが接続されている。配管１７ａ、１７ｂには、それぞれ流路を開閉する供給弁１８ａ、１８ｂが途中に設けられており、酸素分子を吸着して窒素ガスを製品ガスとして取り出すための吸着槽１９ａ，１９ｂがそれぞれ接続されている。この吸着槽は容積一定である。また、配管１７ａ、１７ｂには、それぞれ供給弁１８ａ、１８ｂと吸着槽１９ａ，１９ｂとの間の位置に配管２１ａ、２１ｂが接続されており、これら配管２１ａ、２１ｂには、途中に流路を開閉する排気弁２２ａ、２２ｂが、端末に消音用のフィルタ付きの排気サイレンサ２３が設けられている。この排気サイレンサは各吸着槽１９ａ、１９ｂ毎に設けられていてもよい。また、配管１７ａ、１７ｂには、互いの配管２１ａ、２１ｂと吸着槽１９ａ、１９ｂとの間位置を結ぶように配管２５ａ、２５ｂが接続されており、この配管２５ａ、２５ｂには流路を開閉する下均圧弁２６ａ、２６ｂが設けられている。【００１５】
吸着槽１９ａ，１９ｂには、例えば、酸素分子を吸着する吸着手段である吸着剤が充填されている。吸着剤は、具体的には分子ふるいカーボンやゼオライト等を用いている。吸着槽１９ａ、１９ｂには、互いに合流する配管３１ａ、３１ｂがそれぞれ接続されている。これら配管３１ａ、３１ｂには、互いの吸着槽１９ａ、１９ｂ側同士を結ぶように配管３２ａ、３２ｂが接続されており、この配管３２Ａ、３２Ｂには絞り３３が設けられている。また、配管３１ａ、３１ｂには、互いの配管３２ａ、３２ｂよりも吸着槽１９ａ、１９ｂとは反対側同士を結ぶように配管３５ａ、３５ｂが接続されておりこの配管３５ａ、３５ｂには流路を開閉する上均圧弁３６ａ、３６ｂが設けられている。また、配管３１ａ、３１ｂには、それぞれの配管３５ａ、３５ｂよりも吸着槽１９ａ、１９ｂとは反対側に流路を開閉する取り出し弁３８ａ、３８ｂがそれぞれ設けられている。配管３１ａ、３１ｂの合流位置には配管４０が接続されており、この配管４０には窒素ガスを貯留させる製品ガス貯留タンクとしての窒素槽４１が接続されている。この窒素槽４１には、吐出口４２が設けられた配管４３が接続されており、この配管４３の途中位置には窒素槽４１側から順に、塵埃等を除去するとともにガスの圧力を調整するフィルタレギュレータ４４、流路を開閉する吐出弁４５、製品ガスの流量を調整する流量調整弁４６が設けられている。配管４３のフィルタレギュレータ４４と吐出弁４５との間位置には配管４８および配管４９が接続されており、配管４８には、配管４３側から順に、流路を開閉する開閉弁５０と、ガスの流量を調整する流量調整弁５１と、サイレンサ５２とが設けられている。配管４９には、配管４３側から順に、流路を開閉する開閉弁５４と、ガスの流量を調整する流量調整弁５５と、酸素濃度を検出する酸素センサ５６とが設けられている。酸素センサ５６は制御部６０に通信可能に接続されており、検出信号を制御部６０に出力する。制御部６０は検出信号を受けて、吸着槽１９ａ、１９ｂにおける窒素ガスの生成を制御する。【００１６】
具体的には、供給弁１８ａ、１８ｂ、排気弁２２ａ、２２Ｂ、下均圧弁２６ａ、２６ｂ、上均圧弁３６ａ、３６ｂ、取り出し弁３８ａ、３８ｂ、吐出弁４５、開閉弁５０および５４は、制御部６０に通信可能に接続されており、制御部６０からの指令で作動する。【００１７】
ここまで、気体分離装置１の構成を説明してきたが、ここで気体分離装置１において行われる気体分離方法について説明する。  気体分離装置１では、空気圧縮機４によって空気を圧縮する圧縮工程、圧縮工程により圧縮された空気を空気槽５に貯留する貯蔵工程、圧縮空気をエアードライヤー６により除湿する除湿工程、除湿工程により除湿された空気から気体を分離する分離工程が行われる。気体分離装置１の分離工程では、以下の（ａ）〜（ｄ）の工程が順次繰り返される。【００１８】
（ａ）吸着・還流工程：空気圧縮機４により圧縮され空気槽５に貯留された圧縮空気を、供給弁１８を開くことで、吸着剤が充填された吸着槽１９に供給するとともに、窒素槽４１内に残存する窒素ガスを、取り出し弁３８を開くことで吸着槽１９に還流して吸着槽１９内を昇圧させ、圧力を利用して吸着剤に酸素分子を吸着させる工程。【００１９】
（ｂ）取り出し工程：吸着工程から引き続いて、空気槽５から圧縮空気を吸着槽１９に供給し続けると同時に、吸着剤により分離生成された窒素ガスを吸着槽１９より取り出して窒素槽４１に貯留させる工程。【００２０】
（ｃ）均圧工程：上均圧弁３６および下均圧弁２６の開閉により取り出し工程終了後の一対の吸着槽１９の均圧化を図り、次回の吸着工程の吸着効率を高めて、より高純度の窒素ガスを生成するための工程。【００２１】
（ｄ）再生工程：均圧工程終了後の吸着槽１９内を、排気弁２２を開くことにより配管２１を介して、吸着剤に吸着された酸素分子を脱着することにより吸着剤を再生する工程。なお、この再生工程において、排気弁２２以外の吸着槽１９に関連する供給弁１８、下均圧弁２６、上均圧弁３６および取り出し弁３８は、閉状態とする。【００２２】
吸着槽１９ａで吸着工程・取り出し工程（工程（ａ）（ｂ））が行われている間に吸着槽１９ｂでは、再生工程（工程（ｄ））が行われる。その後、（ｃ）均圧工程が同時に行われ、吸着槽１９ａ、１９ｂを入れ替えて吸着工程・取り出し工程（工程（ａ）（ｂ））と再生工程（工程（ｄ））が行われる。上記の吸着工程（ａ）、取り出し工程（ｂ）、均圧工程（ｃ）の時間を併せてサイクルタイムとする。【００２３】
上記気体分離装置１により生成された製品ガスを吐出口４２を通して貯留タンクＡ７１に送りこみ、貯留タンクＡ７１から配管８０を通してガス圧縮機７２に送りこまれる。吐出口４２の先には、貯留タンクAから気体分離装置への製品ガスの逆流を防ぐための逆止弁８８が接続されており、配管８０には、流路を開閉する開閉弁７７が設置されている。ガス圧縮機７２により昇圧された製品ガスを貯留タンクB７４に貯留し、取出口８２を介して適宜供給先に送られる。【００２４】
貯留タンクＡ７１には圧力検出手段７３が、貯留タンクＢ７４には圧力検出手段７５が接続されており、気体分離装置１の制御部６０と通信可能なように接続されている。【００２５】
本実施例における制御部６０の制御フローを図２を用いて説明する。【００２６】
ガス昇圧圧縮装置の運転を開始（Ｓ２０１）すると、まず気体分離装置１が運転を開始（Ｓ２０２）する。上記（ａ）〜（ｄ）の分離工程が行われることで、生成された製品ガスが窒素槽４１に貯留される。貯留された製品ガスの濃度が、気体分離装置１に内蔵されている酸素センサ５６によりセンシングされる。製品ガス濃度があらかじめ規定しておいた製品ガス濃度を超える場合、制御部６０からの製品ガス吐出信号ＮがＯＮとして出力される。Ｓ２０３では、製品ガス吐出信号Nが出力されているか否かを判断し、出力されている場合は、吐出弁４５を開とし（Ｓ２０４）、吐出口４２を介して貯留タンクＡ７１に製品ガスを貯留する。このとき開閉弁７７は閉とする。一方、Ｓ２０３で、製品ガス吐出信号Ｎが出力されていないと判断された場合は、吐出弁４５を閉とし（Ｓ２０５）、ガス圧縮機７２を停止を確認する（Ｓ２０６）。【００２７】
次にＳ２０７で、貯留タンクＡ７１において貯留された製品ガスの圧力を圧力検出手段７３により検出し、貯留タンクＡ７１の圧力P1があらかじめ規定しておいたタンク圧力Pmin1を超えるか否かを判断する。【００２８】
貯留タンクＡ７１の圧力P1がPmin1を超えた場合、制御部６０からの信号により開閉弁７７を開とする（Ｓ２０８）とともに、ガス圧縮機７８の運転を開始する（Ｓ２０９）。
Ｓ２１０で、再び製品ガス吐出信号Nが出力されているか否かを判断し、出力されている（ＯＮ）場合は、Ｓ２１４に進む。製品ガス吐出信号Nが出力されていない（ＯＦＦ）場合は、吐出弁４５を閉とし（Ｓ２１１）、貯留タンクA７１への製品ガスの供給を中断する。また、開閉弁７７を閉とし（Ｓ２１２）、ガス圧縮機を停止する（Ｓ２１３）。その後、再度製品ガス吐出信号Ｎが出力された場合（Ｓ２０３）に吐出弁を開とし貯留タンクA７１への製品ガスの供給を再開する（Ｓ２０４）。このとき貯留タンクA７１の圧力P1がPmin1を超えていれば、吐出弁４５を開とすると同時に開閉弁７７を開とし、ガス圧縮機の運転を再開させる。【００２９】
Ｓ２１４では、ガス圧縮機７８は圧力検出手段７５によりセンシングされた貯留タンクＢ７４の圧力P2があらかじめ規定しておいたガス圧縮機停止圧力Pmaxを超えるか否かを判定する。【００３０】
貯留タンクＢ７４の圧力P2がガス圧縮機停止圧力Pmaxを超えるとガス圧縮機の運転を停止するよう制御部６０により制御する（Ｓ２１５）。その後、ガス圧縮機を停止することで、圧力P2が降下し、規定しておいたガス圧縮機復帰圧力Pmin2になった場合、ガス圧縮機７８は運転を再開するよう制御部６０により制御する（Ｓ２１６）。つまり、ガス圧縮機７２は貯留タンクＢ７４内の圧力P2がPmin2≦P2≦Pmaxになるよう運転・停止の制御を行う。【００３１】
また、貯留タンクBの圧力P2に関わらず、貯留タンクAの圧力P1があらかじめ規定しておいた圧力Pmin1を下回った場合、制御部６０によりガス圧縮機７２の運転を停止する。【００３２】
以上のように、本実施例によれば、製品ガス吐出信号Ｎがない（ＯＦＦ）場合は、吐出弁を閉として、ガス圧縮機７２を停止するように制御されることから、ガス昇圧圧縮装置運転中に、気体分離装置内の製品ガス濃度が低純度となった場合、貯留タンクB７４内への低純度の製品ガスの流入を防ぐことができる。そのため、貯留タンクB７４内の製品ガス濃度が悪化した際のガス圧縮機の無駄な運転をなくすことができ、消費電力を抑制することができる。【００３３】
また、貯留タンクAの圧力が所定の圧力Pmin1以上となる場合に、開閉弁７７を開として、ガス圧縮機を運転することから、吸込み側の圧力が低くなる場合のガス圧縮機の運転を抑制することができる。これにより、吸込み側の圧力が高い場合にガス圧縮機を運転することができ効率のよい運転が可能となる。
【符号の説明】
【００３４】
１・・・ＰＳＡ式気体分離装置
２・・・圧縮機部
３・・・ＰＳＡ部
４・・・空気圧縮機
５・・・空気槽
６・・・エアードライヤー
７・・・ドレンフィルタ１９・・・吸着槽４１・・・窒素槽４４・・・フィルタレギュレータ５２・・・サイレンサ５６・・・酸素センサ６０・・・制御部７１・・・貯留タンクA７２・・・ガス圧縮機７３・・・圧力検出手段７４・・・貯留タンクB７５・・・圧力検出手段９０・・・ガス昇圧圧縮装置
【図１】
2016125529.tif 000003
【図２】
2016125529.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成28年7月27日(2016.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気から一部の気体を分離する気体分離装置と、
前記気体分離装置で分離された気体である製品ガスを貯留する製品ガスタンクＡと、
前記製品ガスタンクＡで貯留された製品ガスを昇圧するガス圧縮機と、
前記ガス圧縮機により昇圧された製品ガスを貯留する製品ガスタンクＢと、
前記気体分離装置と前記ガス圧縮機を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記気体分離装置の製品ガス吐出信号により前記ガス圧縮機の運転及び停止を制御し、前記気体分離装置の製品ガス吐出信号が出力された場合に、前記製品ガスタンクＡへ前記気体分離装置にて分離した製品ガスを貯留するように前記気体分離装置を制御することを特徴とするガス昇圧圧縮装置。
【請求項２】
前記製品ガス吐出信号は、前記気体分離装置において分離された気体の濃度が所定の濃度を超えた場合に出力される信号であることを特徴とする請求項１に記載のガス昇圧圧縮装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記気体分離装置の製品ガス吐出信号が出力されており、かつ前記製品ガスタンクＡの圧力が所定の圧力を超えた場合に、前記ガス圧縮機を運転するように制御することを特徴とする請求項１に記載ガス昇圧圧縮装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記気体分離装置の製品ガス吐出信号がなくなった場合に、前記製品ガスタンクＡおよび前記製品ガスタンクＢの圧力に関わらず、前記ガス圧縮機を停止するように制御することを特徴とする請求項１に記載のガス昇圧圧縮装置。
【請求項５】
（削除）
【請求項６】
前記制御部は、前記気体分離装置の製品ガス吐出信号がなくなった場合に、前記製品ガスタンクＡへ前記気体分離装置にて分離した製品ガスを貯留することを停止するように前記気体分離装置を制御することを特徴とする請求項１に記載のガス昇圧圧縮装置。
【請求項７】
空気から一部の気体を分離する気体分離装置から供給され、製品ガスタンクＡに貯留された製品ガスを昇圧して、昇圧した製品ガスを製品ガスタンクＢに供給するガス圧縮機であって、
前記気体分離装置の製品ガス吐出信号が出力されたことにより、前記気体分離装置から前記製品ガスタンクＡへの製品ガスの供給が開始された場合に運転を開始するように制御されることを特徴とするガス圧縮機。
【請求項８】
前記製品ガス吐出信号は、前記気体分離装置において分離された気体の濃度が所定の濃度を超えた場合に出力される信号であることを特徴とする請求項７に記載のガス圧縮機。
【請求項９】
前記気体分離装置の製品ガス吐出信号が出力されており、かつ前記気体分離装置から供給される製品ガスの圧力が所定の圧力を超えた場合に、運転を開始するように制御されることを特徴とする請求項７にガス圧縮機。
【請求項１０】
前記気体分離装置の製品ガス吐出信号がなくなった場合に、前記気体分離装置から供給される製品ガスの圧力および前記製品ガスタンクＢの圧力に関わらず、運転を停止するように制御されることを特徴とする請求項７に記載のガス圧縮機。
【請求項１１】
前記気体分離装置から供給される製品ガスの圧力が所定の圧力を下回った場合、前記製品ガスタンクＢの圧力に関わらず、運転を停止するように制御されることを特徴とする請求項７に記載のガス圧縮機。
【国際調査報告】
2016125529.tif 000005
2016125529.tif 000006
2016125529.tif 000007
2016125529.tif 000008