(57)【要約】振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出する。周波数決定部１２１は、配管からの流体の漏洩に起因する第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する。外乱振動判定部１２２は、振動検出部により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する。ここで、漏洩振動ＷＯは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動である。これにより、配管からの流体の漏洩によって生じる漏洩振動に、漏洩振動以外の振動である外乱振動が重畳したことを容易に判定できる。
2015145972.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出する振動検出手段と、
前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定する周波数決定手段と、
前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する外乱振動判定手段とを備えた欠陥分析装置。
【請求項２】
前記外乱振動判定手段が、前記外乱振動が前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳していると判定した場合、
前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳している前記外乱振動を低減する外乱振動低減手段を備えた請求項１に記載の欠陥分析装置。
【請求項３】
前記配管または前記配管内を流れる流体の温度を検出する温度検出手段とを備え、
前記外乱振動判定手段は、
前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度が所定の閾値を超えるか否かに基づいて、前記外乱振動が前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する第１の処理を実行し、
前記第１の処理で、前記外乱振動が前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳していないと判定した場合、前記温度検出手段により検出される前記温度が変化する際に前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かに基づいて、前記外乱振動が前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する第２の処理を実行する請求項１または２に記載の欠陥分析装置。
【請求項４】
前記配管または前記配管内を流れる流体の圧力を検出する圧力検出手段とを備え、
前記外乱振動判定手段は、前記第１の処理を実行し、
前記第１の処理で、前記外乱振動が前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳していないと判定した場合、前記圧力検出手段により検出される前記圧力が変化する際に前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かに基づいて、前記外乱振動が前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する第３の処理を実行する請求項１または２に記載の欠陥分析装置。
【請求項５】
配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出させる振動検出指示信号を出力し、
前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定させる周波数決定指示信号を出力し、
前記振動検出指示信号に従って検出される前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動検出指示信号に従って検出される前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定させる外乱振動判定指示信号を出力する制御装置。
【請求項６】
配管からの流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定する周波数決定手段と、
前記配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する外乱振動判定手段とを備えた処理装置。
【請求項７】
配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出し、
前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定し、
前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する欠陥分析方法。
【請求項８】
配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出し、
前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定し、
前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する処理をコンピュータに行わせるプログラムを記憶する記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、欠陥分析装置等に関し、例えば、配管から流体が漏洩しているか否かを検出するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、多数の配管が地中等に配置されている。配管が経年劣化等することにより、配管内を流れる流体が配管外へ漏洩する場合がある。【０００３】
配管からの流体の漏洩を検査する方法として、例えば、相関法による漏洩検査が知られている。この検査方法では、まず、欠陥部を両側で挟むように、一対の振動センサを、所定の距離を隔てて配管に配置する。漏洩によって生じる振動音（漏洩振動）は配管を伝搬する。この漏洩によって生じる振動音が一対の振動センサの各々に到達する時間を測定する。そして、振動の到達時間の２つの測定値の差分（振動の到達時間差）と、音速の積から、流体漏洩位置を推測する。このとき、振動の到達時間差の算出では、時系列データの相互相関関数を算出し、当該関数の最大値となる時間を用いる。【０００４】
なお、関連する発明として、例えば、特許文献１には、流体の圧力を変更した際に変動する漏洩振動のパワースペクトルの周波数帯を検出し、当該周波数帯で検出した信号を相関処理することで、漏洩位置を特定する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２６５６６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、前述の背景技術では、一対の振動センサは、漏洩振動だけでなく、漏洩振動以外の外乱振動を含んで、振動を検出する場合がある。この場合、一対の振動センサは漏洩振動を正確に検出できないため、振動の到達時間差も正確に算出されない。この結果、流体漏洩位置を正確に特定できない。したがって、より正確に流体漏洩位置を特定するためには、外乱振動が漏洩振動に重畳したことを判定しなければならないという問題があった。【０００７】
なお、外乱には、突発的に混入する外乱である非定常外乱と、常に存在する外乱である定常外乱が、知られている。非定常外乱および定常外乱のうち、特に定常外乱が漏洩振動に混入したことを判定することが困難である。【０００８】
本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、配管からの流体の漏洩によって生じる漏洩振動に、漏洩振動以外の振動である外乱振動が重畳したことを容易に判定することができる欠陥分析装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の欠陥分析装置は配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出する振動検出手段と、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定する周波数決定手段と、前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する外乱振動判定手段とを備えている。【００１０】
本発明の制御装置は、配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出させる振動検出指示信号を出力し、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定させる周波数決定指示信号を出力し、前記振動検出指示信号に従って検出される前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動検出指示信号に従って検出される前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定させる外乱振動判定指示信号を出力する。【００１１】
本発明の処理装置は、配管からの流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定する周波数決定手段と、前記配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する外乱振動判定手段とを備えている。【００１２】
本発明の欠陥分析方法は、配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出し、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定し、前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する。【００１３】
本発明の記憶媒体は、配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出し、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定し、前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する処理をコンピュータに行わせるプログラムを記憶する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明にかかる欠陥分析装置等によれば、配管からの流体の漏洩によって生じる漏洩振動に、漏洩振動以外の振動である外乱振動が重畳したことを容易に判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置の概念図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置の動作フローを示す図である。
【図３】外乱振動判定部の動作を説明するための概念図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態における制御装置の信号出力関係を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置の概念図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置の動作フローを示す図である。
【図７】外乱振動判定部および外乱振動低減部の動作を説明するための概念図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態における制御装置の信号出力関係を示す図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置の概念図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置の動作フローを示す図である。
【図１１】流体に異なる温度変化を与えた際の流体振動の周波数および振動加速度の関係の一例を示す図である。
【図１２】本発明の第３の実施の形態における制御装置の信号出力関係を示す図である。
【図１３】本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置の概念図である。
【図１４】本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置の動作フローを示す図である。
【図１５】流体に異なる圧力変化を与えた際の流体振動の周波数および振動加速度の関係の一例を示す図である。
【図１６】本発明の第４の実施の形態における制御装置の信号出力関係を示す図である。
【図１７】流体に異なる圧力を加えた際の流体振動の周波数および振動加速度の関係の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
＜第１の実施の形態＞
本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置１００の構成について説明する。
【００１７】
図１は、本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置１００の概念図である。
【００１８】
図１に示されるように、配管９００は、地中６００に埋設されている。一方、配管９００は、建造物の屋根裏や地下に設置されていてもよく、さらに、建造物の壁、柱等に埋設されていてもよい。また、流体９１０（液体または気体）は、配管９００内を流れている。漏洩孔９２０は、経年劣化や外部損傷により配管９００に形成された孔である。配管９００内を流れる流体９１０は、この漏洩孔９２０から漏洩している。
【００１９】
図１に示されるように、欠陥分析装置１００は、第１の振動検出部１１０Ａと、第２の振動検出部１１０Ｂと、処理部１２０とを備えている。なお、処理部１２０は、本発明の処理装置に対応する。
【００２０】
第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂと、処理部１２０の間は、有線または無線により通信接続されている。
【００２１】
図１に示されるように、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂは、配管９００または配管９００内の流体９１０（液体または気体）を伝搬する振動波Ｗを、配管９００を介して検出する。第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂには、圧電型加速度センサ、動電型加速度センサ、静電容量型加速度センサ、光学式速度センサ、動ひずみセンサなどを用いることができる。なお、ここでは、２つの振動検出部（第１の振動検出部１１０Ａ、第２の振動検出部１１０Ｂ）を設けると説明したが、１つの振動検出部を設けてもよい。
【００２２】
図１の例では、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の検出部１１０Ｂは、散水栓７００Ａ、７００Ｂを介して、配管９００の外壁面に取り付けられている。なお、散水栓７００Ａ、７００Ｂは、止水栓等であってもよい。第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂは、設置箇所に常設されて常時振動を検出してもよいし、あるいは所定期間設置されて間欠的に振動を検出してもよい。
【００２３】
一方、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂは、配管９００の内壁面に取り付けられてもよい。さらに、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂは、配管９００に設置されたフランジ（不図示）や、弁栓等の付属物（不図示）の外表面や内部に設置されてもよい。第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂを配管９００や配管９００の付属物に設置する方法としては、例えば磁石の利用、専用冶具の利用、接着剤の利用が考えられる。
【００２４】
図１に示されるように、処理部１２０は、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂに、有線または無線により、接続されている。処理部１２０は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗのデータを受信する。また、図１に示されるように、処理部１２０は、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２とを備えている。
【００２５】
周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する。
【００２６】
外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する。なお、前記振動波Ｗは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波である。前記外乱振動ＷＧは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動（漏洩振動ＷＯ）以外の振動である。
【００２７】
次に、本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置１００の動作について、説明する。
【００２８】
図２は、本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置１００の動作フローを示す図である。
【００２９】
図２に示されるように、まず、第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２を検出する（ステップ（ＳＴＥＰ：以下、Ｓと称する）１）。より具体的には、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動を、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２として、検出する。そして、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂは、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２の一方を、振動波Ｗとして処理部１２０へ送信する。つぎに、処理部１２０が、振動波Ｗを受信する。
【００３０】
次に、周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１を決定する（Ｓ２）。
【００３１】
次に、外乱振動判定部１２２が、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上であるか否かを判定する（Ｓ３）。
【００３２】
ここで、図３は、外乱振動判定部１２２の動作を説明するための概念図である。図３（ａ）〜（ｃ）の各図では、縦軸に振動加速度を設定し、横軸に周波数を設定した。
【００３３】
図３（ａ）は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗの一例であって、特に第１の周波数帯ｆ１付近を含むものを示す図である。図３（ｂ）および（ｃ）は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗの一例であって、特に第１の周波数帯ｆ１および第２の周波数帯ｆ２付近を含むものを示す図である。また、図３（ｂ）は、第２の周波数帯ｆ２内に外乱振動ＷＧが含まれている例を示し、図３（ｃ）は、第２の周波数帯ｆ２内に外乱振動ＷＧが含まれていない例を示す。
【００３４】
図３（ｂ）において、振動波Ｗのうち、第２の周波数帯ｆ２部分の波（第２の周波数帯ｆ２に対応する波）と、第１の周波数帯ｆ１部分の波（第１の周波数帯ｆ１に対応する波）は、互いに相関があるものとする。ここで、一般的な振動は、特殊な場合を除いて、複数の周波数ピーク（周波数ピークとは、横軸を周波数、縦軸を振動加速度として振動波Ｗをグラフに表した場合に、グラフが山状になる点をいう。）を有する。この複数の周波数ピークのうち１つが第１の周波数帯（漏洩振動帯域）に重なり、もう１つが第２の周波数帯（第１の周波数帯以外）にある場合を想定している。なお、前述の通り、第１の周波数帯ｆ１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である。ここでは、第１の周波数帯ｆ１を、漏洩振動帯域とも呼ぶ。
【００３５】
なお、第１の周波数帯ｆ１は、予め設定されている。第１の周波数帯ｆ１を決定する方法として、例えば、第１の振動検出部１１０Ａの所定期間の振動データから統計的な処理により決定する方法や、データベース等から読込む方法や、インパルス応答法を用いることができる。ここで、インパルス応答法は、配管９００の任意箇所をハンマ等で加振し、振動センサ（不図示。第１の振動検出部１１０Ａや第２の振動検出部１１０Ｂを含む。）等で振動特性を検出することで、第１の周波数帯ｆ１を調べる方法である。
【００３６】
図３（ａ）に示されるように、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）と、閾値ＷＬ−０（ｆ１）を比較する。そして、図２に示されるように、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＹＥＳ）、周波数決定部１２１は、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する（Ｓ４）。
【００３７】
なお、第２の周波数帯ｆ２を決定する方法として、例えば、欠陥分析装置１００を設置する環境を考慮して、所定のデータベースから参照してもよい。この所定のデータベースには、欠陥分析装置１００が設置される環境に応じて、適正な第２の周波数帯ｆ２が記憶されているものとする。すなわち、例えば、欠陥分析装置１００が市街地に設置される場合、自動車の走行音が発生することが考えられる。この際、所定のデータベースには、この自動車の走行音の周波数帯を考慮した第２の周波数帯ｆ２が記憶されている。
【００３８】
一方、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、配管９００に漏洩がないと判定する（Ｓ５）。そして、Ｓ１の処理に戻る。
【００３９】
第２の周波数帯ｆ２が周波数決定部１２１により決定されると（Ｓ４）、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が、所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上か否かを判定する（Ｓ６）。
【００４０】
そして、図３（ｂ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図２のＳ６、ＹＥＳ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると判定する（Ｓ７）。
【００４１】
一方、図３（ｃ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図２のＳ６、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定し、配管９００に漏洩があると判定する（Ｓ８）。
【００４２】
このように、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する（Ｓ６〜Ｓ８）。
【００４３】
以上、本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置１００の動作について、説明した。
【００４４】
なお、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ、周波数決定部１２１および外乱振動判定部１２２との間で信号を入出力する制御装置５００を新たに設けてもよい。
【００４５】
図４は、制御装置５００の信号出力関係を示す図である。図４に示されるように、制御装置５００は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂに対して、振動検出指示信号を出力する。振動検出指示信号は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる信号である。
【００４６】
制御装置５００は、周波数決定指示信号を、周波数決定部１２１へ出力する。周波数決定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる信号である。
【００４７】
制御装置５００は、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱振動判定指示信号を、外乱振動判定部１２２へ出力する。外乱振動判定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動（漏洩振動ＷＯ）以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出指示信号に従って検出させる振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定させる信号である。
【００４８】
これにより、前述した欠陥分析装置１００の主要な機能を動作させる指示処理を、制御装置５００に集約することができる。
【００４９】
以上のように、本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置１００は、振動検出部（振動検出手段、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ）と、周波数決定部１２１（周波数決定手段）と、外乱振動判定部１２２（外乱振動判定手段）とを備えている。振動検出部は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出する。周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する。外乱振動判定部１２２は、振動検出部により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する。ここで、漏洩振動ＷＯは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動である。
【００５０】
このように、周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する。そして、外乱振動判定部１２２は、振動検出部により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する。
【００５１】
すなわち、外乱振動判定部１２２は、第１の周波数帯ｆ１（配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数）とは別の周波数帯である第２の周波数帯ｆ２において、振動波Ｗの振動加速度ＷＬ（ｆ２）を検出する。そして、外乱振動判定部１２３は、振動波Ｗの振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定している。
【００５２】
このように、欠陥分析装置１００によれば、漏洩振動ＷＯと外乱振動ＷＧが第１の周波数帯ｆ１で重畳しているか否かを、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２における振動波Ｗの振動加速度ＷＬ（ｆ２）から、間接的に判定することができる。
【００５３】
したがって、第１の周波数帯ｆ１の分析だけでは漏洩振動ＷＯと外乱振動ＷＧが重畳しているかを判定することが難しい場合であっても、第２の周波数帯ｆ２における振動波Ｗの振動加速度ＷＬ（ｆ２）を間接的に利用することで、漏洩振動ＷＯと外乱振動ＷＧが第１の周波数帯ｆ１で重畳しているか否かを容易に判定することができる。
【００５４】
特に、常に存在する外乱である定常外乱が外乱振動ＷＧとして漏洩振動ＷＯに混入された場合、第１の周波数帯ｆ１（配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数）に表れる振動波Ｗの分析だけでは、漏洩振動ＷＯと外乱振動ＷＧが重畳しているかを判定が困難である。このような場合であっても、第２の周波数帯ｆ２における振動波Ｗの振動加速度ＷＬ（ｆ２）を間接的に利用することによって、漏洩振動ＷＯと外乱振動ＷＧが第１の周波数帯ｆ１で重畳しているか否かを容易に判定することができる。
【００５５】
したがって、欠陥分析装置１００によれば、配管９００からの流体９１０の漏洩によって生じる漏洩振動ＷＯに、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動が重畳したことを容易に判定することができる。
【００５６】
また、本発明の第１の実施の形態における制御装置５００は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる振動検出指示信号を出力する。制御装置５００は、周波数決定指示信号を出力する。周波数決定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる信号である。制御装置５００は、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱振動判定指示信号を出力する。外乱振動判定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動（漏洩振動ＷＯ）以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定させる信号である。これにより、前述した欠陥分析装置１００の主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００に集約することができる。
【００５７】
また、本発明の第１の実施の形態における処理装置は、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２とを備えている。周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する。外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する。ここで、振動波Ｗは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する波である。漏洩振動ＷＯは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動である。この処理装置によっても、前述した欠陥分析装置１００と同様の効果を奏する。
【００５８】
また、本発明の第１の実施の形態における欠陥分析方法は、振動検出ステップと、周波数決定ステップと、外乱振動有無判定ステップとを含んでいる。振動検出ステップでは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出する。周波数決定ステップでは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する。外乱振動判定ステップでは、振動検出ステップで検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出ステップで検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する。なお、漏洩振動ＷＯは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動である。この方法によっても、前述した欠陥分析装置１００と同様の効果を奏する。また、本発明の第１の実施の形態における記憶媒体は、前述の欠陥分析方法で示したステップをコンピュータに行わせるプログラムを記憶する。この記憶媒体によっても、前述した欠陥分析装置１００と同様の効果を奏する。
【００５９】
＜第２の実施の形態＞
本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置１００Ａの構成について説明する。
【００６０】
図５は、本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置１００Ａの概念図である。なお、図５では、図１〜４に示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜４に示した符号と同等の符号を付している。
【００６１】
図５に示されるように、欠陥分析装置１００Ａは、第１の振動検出部１１０Ａと、第２の振動検出部１１０Ｂと、処理部１２０Ａとを備えている。
【００６２】
第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂと、処理部１２０Ａの間は、有線または無線により通信接続されている。
【００６３】
図５に示されるように、処理部１２０Ａは、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂに、有線または無線により、接続されている。処理部１２０Ａは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗのデータを受信する。
【００６４】
また、図５に示されるように、処理部１２０Ａは、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、外乱振動低減部１２３とを備えている。
【００６５】
ここで、図１と図５を対比する。図１では、処理部１２０は、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２とを備えていた。これに対して、図５では、処理部１２０Ａは、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、外乱振動低減部１２３とを備えている。すなわち、図５では、処理部１２０Ａが外乱振動低減部１２３を有している点で、図１と相違する。
【００６６】
外乱振動低減部１２３は、外乱振動ＷＧが振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると外乱振動判定部１２２により判定された場合、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧを低減する。具体的には、外乱振動低減部１２３は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）のピーク値に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧのピーク値から所定の値を引く演算を行う。なお、ここでのピーク値は、横軸を周波数、縦軸を振動加速度として振動波Ｗのグラフを書いた場合においてグラフに生じる山の頂点部の値をいう。
【００６７】
次に、本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置１００Ａの動作について、説明する。
【００６８】
図６は、本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置１００Ａの動作フローを示す図である。なお、図６では、図１〜５に示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜５に示した符号と同等の符号を付している。また、図６の説明では、図２の説明と重複する内容を、簡潔に説明する。
【００６９】
図６に示されるように、まず、第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２を検出する（Ｓ１）。より具体的には、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動を、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２として、検出する。そして、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂは、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２の一方を、振動波Ｗとして処理部１２０Ａへ送信する。つぎに、処理部１２０Ａが、振動波Ｗを受信する。
【００７０】
次に、周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１を決定する（Ｓ２）。
【００７１】
次に、処理部１２０Ａが、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度が閾値以上であるか否かを、判定する（Ｓ３）。具体的には、外乱振動判定部１２２が、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上であるか否かを判定する（Ｓ３）。
【００７２】
ここで、図７は、外乱振動判定部１２２および外乱振動低減部１２３の動作を説明するための概念図である。図７（ａ）〜（ｄ）の各図では、縦軸に振動加速度を設定し、横軸に周波数を設定した。また、図７（ａ）〜（ｃ）は、図３（ａ）〜（ｃ）と同じである。
【００７３】
図７（ａ）は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗの一例であって、特に第１の周波数帯ｆ１付近を含むものを示す図である。図７（ｂ）および（ｃ）は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗの一例であって、特に第１の周波数帯ｆ１および第２の周波数帯ｆ２付近を含むものを示す図である。また、図７（ｂ）は、第２の周波数帯ｆ２内に外乱振動ＷＧが含まれている例を示す。図７（ｃ）は、第２の周波数帯ｆ２内に外乱振動ＷＧが含まれていない例を示す。また、図７（ｄ）は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗのうちで第１の周波数帯ｆ１に含まれる外乱振動ＷＧを低減した後の振動波を示す。なお、前述の通り、第１の周波数帯ｆ１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である。ここでは、第１の周波数帯ｆ１を、漏洩振動帯域とも呼ぶ。
【００７４】
図７（ａ）に示されるように、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）と、閾値ＷＬ−０（ｆ１）を比較する。そして、図６に示されるように、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＹＥＳ）、周波数決定部１２１は、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する（Ｓ４）。
【００７５】
一方、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＮＯ）、処理部１２０Ａは、配管９００に漏洩がないと判定する（Ｓ５）。そして、Ｓ１の処理に戻る。
【００７６】
第２の周波数帯ｆ２が周波数決定部１２１により決定されると（Ｓ４）、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が、所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上か否かを判定する（Ｓ６）。
【００７７】
そして、図７（ｂ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図６のＳ６、ＹＥＳ）、外乱振動低減部１２３は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内の振動波Ｗの振動加速度を低減する（Ｓ１０）。
【００７８】
すなわち、このとき、図７（ｄ）に示されるように、外乱振動低減部１２３は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧを低減する。これにより、欠陥分析装置１００Ａは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１内において、振動波Ｗに含まれる外乱振動ＷＧの振動加速度を低減できる。この結果、欠陥分析装置１００Ａは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１内において、外乱振動ＷＧの影響が低減された漏洩振動ＷＯを得ることができる。
【００７９】
一方、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図６のＳ６、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定し、処理部１２０Ａは配管９００に漏洩があると判定する（Ｓ１２）。
【００８０】
Ｓ１０の処理の後、外乱振動判定部１２２は、再びＳ３の処理と同様に、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上であるか否かを判定する（Ｓ１１）。
【００８１】
そして、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ１１、ＹＥＳ）、処理部１２０Ａは配管９００に漏洩があると判定する（Ｓ１２）。
【００８２】
一方、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ１１、ＮＯ）、処理部１２０Ａは、配管９００に漏洩がないと判定する（Ｓ１３）。そして、Ｓ１の処理に戻る。
【００８３】
以上、本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置１００Ａの動作について、説明した。
【００８４】
なお、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂと、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、外乱振動低減部１２３との間で信号を入出力する制御装置５００Ａを新たに設けてもよい。
【００８５】
図８は、制御装置５００Ａの信号出力関係を示す図である。図８に示されるように、制御装置５００Ａは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂに対して、振動検出指示信号を出力する。振動検出指示信号は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる信号である。
【００８６】
制御装置５００Ａは、周波数決定指示信号を、周波数決定部１２１へ出力する。周波数決定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる信号である。
【００８７】
制御装置５００Ａは、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱振動判定指示信号を、外乱振動判定部１２２へ出力する。外乱振動判定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動（漏洩振動ＷＯ）以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定させる信号である。
【００８８】
制御装置５００Ａは、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると外乱振動判定指示信号により判定された場合、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱低減指示信号を、外乱振動低減部１２３へ出力する。外乱低減指示信号は、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧを低減させる信号である。
【００８９】
これにより、前述した欠陥分析装置１００Ａの主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００Ａに集約することができる。
【００９０】
以上のように、本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置１００Ａは、外乱振動低減部１２３（外乱振動低減手段）をさらに備えている。外乱振動判定部１２２が、外乱振動ＷＧが振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると判定した場合、外乱振動低減部１２３は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧを低減する。
【００９１】
このように、外乱振動低減部１２３は、外乱振動判定部１２２の判定結果に従って、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧを低減する。これにより、欠陥分析装置１００Ａは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１内において、振動波Ｗに含まれる外乱振動ＷＧの振動加速度を簡単に低減できる。この結果、欠陥分析装置１００Ａは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１内において、外乱振動ＷＧの影響が低減された漏洩振動ＷＯを得ることができる。
【００９２】
また、本発明の第２の実施の形態における制御装置５００Ａは、振動検出指示信号を出力する。振動検出指示信号は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる信号である。制御装置５００Ａは、周波数決定信号を出力する。周波数決定信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる信号である。制御装置５００Ａは、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱振動判定信号を出力する。外乱振動判定信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動（漏洩振動ＷＯ）以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定させる信号である。制御装置５００Ａは、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると外乱振動判定指示信号により判定された場合、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱低減指示信号を出力する。外乱低減指示信号は、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧを低減させる信号である。これにより、前述した欠陥分析装置１００Ａの主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００Ａに集約することができる。
【００９３】
＜第３の実施の形態＞
本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｂの構成について説明する。
【００９４】
図９は、本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｂの概念図である。なお、図９では、図１〜８に示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜８に示した符号と同等の符号を付している。
【００９５】
図９に示されるように、欠陥分析装置１００Ｂは、第１の振動検出部１１０Ａと、第２の振動検出部１１０Ｂと、処理部１２０Ｂとを備えている。
【００９６】
第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂと、処理部１２０Ｂの間は、有線または無線により通信接続されている。
【００９７】
図９に示されるように、処理部１２０Ｂは、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂに、有線または無線により、接続されている。処理部１２０Ｂは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗのデータを受信する。
【００９８】
また、図９に示されるように、処理部１２０Ｂは、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、温度検出部１２４とを備えている。
【００９９】
ここで、図１と図９を対比する。図１では、処理部１２０は、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２とを備えていた。これに対して、図９では、処理部１２０Ｂは、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、温度検出部１２４とを備えている。すなわち、図９では、処理部１２０Ｂが温度検出部１２４を有している点で、図１と相違する。
【０１００】
図９に示されるように、温度検出部１２４は、処理部１２０Ｂ内に含まれている。温度検出部１２４は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の温度を検出する。
【０１０１】
次に、本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｂの動作について、説明する。
【０１０２】
図１０は、本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｂの動作フローを示す図である。なお、図１０では、図１〜９に示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜９に示した符号と同等の符号を付している。また、図１０の説明では、図２の説明と重複する内容を、簡潔に説明する。
【０１０３】
図１０に示されるように、まず、第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２を検出する（Ｓ１）。より具体的には、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動を、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２として、検出する。そして、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂは、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２の一方を、振動波Ｗとして処理部１２０Ｂへ送信する。つぎに、処理部１２０Ｂが、振動波Ｗを受信する。
【０１０４】
次に、周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１を決定する（Ｓ２）。
【０１０５】
次に、処理部１２０が、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度が閾値以上であるか否かを、判定する（Ｓ３）。より具体的には、外乱振動判定部１２２が、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上であるか否かを判定する（Ｓ３）。
【０１０６】
図３（ａ）に示されるように、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）と、閾値ＷＬ−０（ｆ１）を比較する。そして、図１０に示されるように、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＹＥＳ）、周波数決定部１２１は、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する（Ｓ４）。
【０１０７】
一方、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、配管９００に漏洩がないと判定する（Ｓ５）。そして、Ｓ１の処理に戻る。
【０１０８】
第２の周波数帯ｆ２が周波数決定部１２１により決定されると（Ｓ４）、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が、所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上か否かを判定する（Ｓ６）。
【０１０９】
そして、図３（ｂ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図１０のＳ６、ＹＥＳ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると判定する（Ｓ７）。この処理は、本発明の第１の処理に対応する。
【０１１０】
一方、図３（ｃ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図１０のＳ６、ＮＯ）、温度検出部１２４が、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の温度を検出する（Ｓ１３）。
【０１１１】
そして、図１０に示されるように、Ｓ１３の処理の後、外乱振動判定部１２２は、Ｓ１３の処理で温度検出部１２４により検出される温度が変化する際に振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かを判断する（Ｓ１４）。この処理は、本発明の第２の処理に対応する。なお、所定の値は任意に設定できる。
【０１１２】
温度検出部１２４により検出される温度が変化する際に振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が変化すると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ１４、ＹＥＳ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内にＳ重畳していると判定する（Ｓ７）。
【０１１３】
一方、温度検出部１２４により検出される温度が変化する際に振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が変化しないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ１４、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定し、配管９００に漏洩があると判定する（Ｓ１５）。
【０１１４】
ここで、図１１は、流体９１０に温度変化を与えた際の流体振動の周波数および振幅加速度の関係の一例を示す図である。図１１に示されるように、流体９１０を異なる温度Ｔ１、Ｔ２に設定すると、流体振動の振動加速度および周波数が変化する。具体的には、流体９１０の温度をＴ１からＴ２へ変更すると、振幅加速度が小さくなり、周波数が大きくなる。ここでは、外乱振動ＷＧがない状態を想定している。すなわち、外乱振動ＷＧがない状態では、流体９１０に温度変化を与えた際に流体振動の振動加速度および周波数が変化する。外乱振動ＷＧは、流体９１０の温度と無関係である。このため、流体９１０に温度変化を与えても、外乱振動ＷＧは変化しない。この特性を利用して、外乱振動判定部１２２は、Ｓ１３〜Ｓ１５の処理を実行している。
【０１１５】
以上、本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｂの動作について、説明した。
【０１１６】
なお、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂと、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、温度検出部１２４との間で信号を入出力する制御装置５００Ｂを新たに設けてもよい。
【０１１７】
図１２は、制御装置５００Ｂの信号出力関係を示す図である。図１２に示されるように、制御装置５００Ｂは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂに対して、振動検出指示信号を出力する。振動検出指示信号は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる信号である。
【０１１８】
制御装置５００Ｂは、周波数決定指示信号を、周波数決定部１２１へ出力する。周波数決定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる信号である。
【０１１９】
制御装置５００Ｂは、温度検出指示信号を、温度検出部１２４へ出力する。温度検出指示信号は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の温度を検出させる信号である。
【０１２０】
制御装置５００Ｂは、外乱振動判定部１２２に対して、第１の処理を実行させる第１の処理実行指示信号と、第２の処理を実行させる第２の処理実行指示信号を出力する。
【０１２１】
なお、第１の処理は、第１の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが、振動検出部により検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。ここで、第１の処理基準は、振動検出部（第１の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ）により検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）を超えるか否かである。
【０１２２】
また、第２の処理は、第１の処理で、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定した場合に行われる。第２の処理は、第２の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。ここで、第２の処理基準は、温度検出部１２４により検出される温度が変化する際に振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かである。
【０１２３】
これにより、前述した欠陥分析装置１００Ｂの主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００Ｂに集約することができる。
【０１２４】
以上の通り、本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｂは、温度検出部１２４（温度検出手段）を備えている。温度検出部１２４は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の温度を検出する。また、外乱振動判定部１２２は、次の第１の処理と、第２の処理を実行する。
【０１２５】
すなわち、第１の処理は、後述の第１の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第１の処理基準は、振動検出部（第１の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ）により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）を超えるか否かである。
【０１２６】
また、第２の処理は、第１の処理で、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定した場合、後述の第２の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第２の処理基準は、温度検出部１２４により検出される温度が変化する際に振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かである。
【０１２７】
このように、欠陥分析装置１００Ｂでは、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理を第１および第２の処理の２段階に設定している。これにより、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かをより正確に判定することができる。
【０１２８】
また、本発明の第３の実施の形態における制御装置５００Ｂは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる振動検出指示信号を出力する。制御装置５００Ｂは、周波数決定指示信号を出力する。周波数決定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる信号である。
【０１２９】
制御装置５００Ｂは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の温度を検出させる温度検出指示信号を出力する。
【０１３０】
制御装置５００Ｂは、第１の処理を実行させる第１の処理実行指示信号と、第２の処理を実行させる第２の処理実行指示信号を出力する。
【０１３１】
なお、第１の処理は、後述の第１の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第１の処理基準は、振動検出部（第１の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ）により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）を超えるか否かである。
【０１３２】
また、第２の処理は、第１の処理で、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定した場合、後述の第２の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第２の処理基準は、温度検出部１２４により検出される温度が変化する際に振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かである。
【０１３３】
これにより、前述した欠陥分析装置１００Ｂの主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００Ｂに集約することができる。
【０１３４】
＜第４の実施の形態＞
本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｃの構成について説明する。
【０１３５】
図１３は、本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｃの概念図である。なお、図１３では、図１〜１２に示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜１２に示した符号と同等の符号を付している。
【０１３６】
図１３に示されるように、欠陥分析装置１００Ｃは、第１の振動検出部１１０Ａと、第２の振動検出部１１０Ｂと、処理部１２０Ｃとを備えている。
【０１３７】
第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂと、処理部１２０Ｃの間は、有線または無線により通信接続されている。
【０１３８】
図１３に示されるように、処理部１２０Ｃは、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂに、有線または無線により、接続されている。処理部１２０Ｃは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗのデータを受信する。
【０１３９】
また、図１３に示されるように、処理部１２０Ｃは、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、圧力検出部１２５とを備えている。
【０１４０】
ここで、図１と図１３を対比する。図１では、処理部１２０は、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２とを備えていた。これに対して、図１３では、処理部１２０Ｃは、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、圧力検出部１２５とを備えている。すなわち、図１３では、処理部１２０Ｃが圧力検出部１２５を有している点で、図１と相違する。
【０１４１】
図１３に示されるように、圧力検出部１２５は、処理部１２０Ｃ内に含まれている。圧力検出部１２５は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の圧力を検出する。
【０１４２】
次に、本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｃの動作について、説明する。
【０１４３】
図１４は、本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｃの動作フローを示す図である。なお、図１４では、図１〜１３に示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜１３に示した符号と同等の符号を付している。また、図１４の説明では、図２の説明と重複する内容を、簡潔に説明する。
【０１４４】
図１４に示されるように、まず、第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２を検出する（Ｓ１）。より具体的には、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動を、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２として、検出する。そして、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂは、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２の一方を、振動波Ｗとして処理部１２０Ｃへ送信する。つぎに、処理部１２０Ｃが、振動波Ｗを受信する。
【０１４５】
次に、周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１を決定する（Ｓ２）。
【０１４６】
次に、処理部１２０Ｃが、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度が閾値以上であるか否かを、判定する（Ｓ３）。具体的には、外乱振動判定部１２２が、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上であるか否かを判定する（Ｓ３）。
【０１４７】
図３（ａ）に示されるように、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）と、閾値ＷＬ−０（ｆ１）を比較する。そして、図１４に示されるように、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＹＥＳ）、周波数決定部１２１は、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する（Ｓ４）。
【０１４８】
一方、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ−０（ｆ１）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、配管９００に漏洩がないと判定する（Ｓ５）。そして、Ｓ１の処理に戻る。
【０１４９】
第２の周波数帯ｆ２が周波数決定部１２１により決定されると（Ｓ４）、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が、所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上か否かを判定する（Ｓ６）。
【０１５０】
そして、図３（ｂ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図１４のＳ６、ＹＥＳ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると判定する（Ｓ７）。この処理は、本発明の第１の処理に対応する。
【０１５１】
一方、図３（ｃ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図１４のＳ６、ＮＯ）、圧力検出部１２５が、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の圧力を検出する（Ｓ１６）。
【０１５２】
そして、図１４に示されるように、Ｓ１６の処理の後、外乱振動判定部１２２は、Ｓ１６の処理で圧力検出部１２５により検出される圧力が変化する際に振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かを判断する（Ｓ１７）。この処理は、本発明の第３の処理に対応する。
【０１５３】
圧力検出部１２５により検出される圧力が変化する際に振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が変化すると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ１７、ＹＥＳ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると判定する（Ｓ７）。
【０１５４】
一方、圧力検出部１２５により検出される温度が変化する際に振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が変化しないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ１７、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定し、配管９００に漏洩があると判定する（Ｓ１８）。
【０１５５】
ここで、図１５は、流体９１０に異なる圧力を加えた際の流体振動の周波数および振動加速度の関係の一例を示す図である。図１５に示されるように、流体９１０に異なる圧力Ｐ１、Ｐ２を加えると、流体振動の振幅および周波数が変化する。具体的には、流体９１０に加える圧力をＰ１からＰ２へ変更すると、振動加速度が小さくなり、周波数が大きくなる。ここでは、外乱振動ＷＧがない状態を想定している。すなわち、外乱振動ＷＧがない状態では、流体９１０に異なる圧力変化を与えた際に流体振動の振動加速度および周波数が変化する。外乱振動ＷＧは、流体９１０の温度と無関係である。このため、流体９１０に異なる温度変化を与えても、外乱振動ＷＧは変化しない。この特性を利用して、外乱振動判定部１２２は、Ｓ１６〜Ｓ１８の処理を実行している。
【０１５６】
以上、本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｃの動作について、説明した。
【０１５７】
なお、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ、周波数決定部１２１および外乱振動判定部１２２と、圧力検出部１２５との間で信号を入出力する制御装置５００Ｃを新たに設けてもよい。
【０１５８】
図１６は、制御装置５００Ｃの信号出力関係を示す図である。図１６に示されるように、制御装置５００Ｃは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂに対して、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる振動検出指示信号を出力する。
【０１５９】
制御装置５００Ｃは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる周波数決定指示信号を、周波数決定部１２１へ出力する。
【０１６０】
制御装置５００Ｃは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の圧力を検出させる圧力検出指示信号を、圧力検出部１２５へ出力する。
【０１６１】
制御装置５００Ｃは、外乱振動判定部１２２に対して、第１の処理を実行させる第１の処理実行指示信号と、第３の処理を実行させる第２の処理実行指示信号を出力する。
【０１６２】
なお、第１の処理は、第１の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第１の処理基準は、振動検出部（第１の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ）により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）を超えるか否かである。
【０１６３】
また、第３の処理は、第１の処理で、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定した場合、第３の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第３の処理基準は、圧力検出部１２５により検出される圧力が変化する際に振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かである。
【０１６４】
これにより、前述した欠陥分析装置１００Ｃの主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００Ｃに集約することができる。
【０１６５】
以上の通り、本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｃは、圧力検出部１２５（圧力検出手段）を備えている。圧力検出部１２５は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の圧力を検出する。また、外乱振動判定部１２２は、次の第１の処理と、第３の処理を実行する。
【０１６６】
すなわち、第１の処理は、前述同様に、第１の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第１の処理基準は、振動検出部（第１の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ）により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）を超えるか否かである。
【０１６７】
また、第３の処理は、第１の処理で、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定した場合、第３の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第３の処理基準は、圧力検出部１２５により検出される圧力が変化する際に振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かである。
【０１６８】
このように、欠陥分析装置１００Ｃでは、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理を、第１および第３の処理の２段階に設定している。これにより、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かをより正確に判定することができる。
【０１６９】
また、本発明の第４の実施の形態における制御装置５００Ｃは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる振動検出指示信号を出力する。制御装置５００Ｃは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる周波数決定指示信号を出力する。制御装置５００Ｃは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の圧力を検出させる圧力検出指示信号を出力する。制御装置５００Ｃは、第１の処理を実行させる第１の処理実行指示信号と、第３の処理を実行させる第３の処理実行指示信号を出力する。
【０１７０】
なお、第１の処理は、第１の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第１の処理基準は、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）を超えるか否かである。
【０１７１】
また、第３の処理は、第１の処理で、外乱振動ＷＧが振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定した場合、第３の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出指示信号に従って検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。これにより、前述した欠陥分析装置１００Ｃの主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００Ｃに集約することができる。第３の処理基準は、圧力検出指示信号に従って検出される圧力が変化する際に振動検出指示信号に従って検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かである。
【０１７２】
なお、第１〜第４の実施の形態の説明では、第２の周波数帯ｆ２は、１つであるものとして、説明した。一方、第１〜第４の実施の形態において、複数の第２の周波数帯ｆ２を設けてもよい。
【０１７３】
図１７は、複数の第２の周波数帯ｆ２を設けた場合の振動波Ｗを示す図である。ここでは、複数の第２の周波数帯ｆ２各々内に外乱振動ＷＧが含まれている例を示す。なお、前述の通り、第１の周波数帯ｆ１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である。ここでは、第１の周波数帯ｆ１を、漏洩振動帯域とも呼ぶ。また、図１７では、２つの第２の周波数帯ｆ２（その１）、（その２）を示している。振動波Ｗのうち、第２の周波数帯ｆ２（その１）部分の波と、第１の周波数帯ｆ１部分の波は、互いに相関があるものとする。同様に、振動波Ｗのうち、第２の周波数帯ｆ２（その２）部分の波と、第１の周波数帯ｆ１部分の波は、互いに相関があるものとする。
【０１７４】
このように、複数の第２の周波数帯ｆ２を設けた場合、図２のＳ６の処理、図６のＳ６の処理、図１０のＳ６の処理、および図１４のＳ６の処理では、振動波Ｗの複数の第２の周波数帯ｆ２の振動加速度（例えば、ＷＬ（ｆ２）ａと、ＷＬ（ｆ２）ｂ）のどちらかが所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上であるか否かを外乱振動判定部１２２により判断することにより、次の処理が選択される。なお、ここでは、２つの第２の周波数帯ｆ２を設けた場合について、図１７を用いて説明した。一方、３つ以上の第２の周波数帯ｆ２を設けてもよい。この場合、複数の第２の周波数帯ｆ２を設けた場合、図２のＳ６の処理、図６のＳ６の処理、図１０のＳ６の処理、および図１４のＳ６の処理において、振動波Ｗの複数の第２の周波数帯ｆ２の振動加速度のうち、所定数以上の振動加速度が所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上であるか否かを外乱振動判定部１２２により判断することにより、次の処理が選択される。また、振動波Ｗの複数の第２の周波数帯ｆ２の振動加速度の全てが所定の閾値ＷＬ−０（ｆ２）以上であるか否かを外乱振動判定部１２２により判断することにより、次の処理が選択されてもよい。
【０１７５】
なお、本発明の各実施形態の装置は、任意のコンピュータのＣＰＵ（Central Processing Unit）、メモリ、メモリにロードされたプログラムによっても実現される。なお、プログラムは、あらかじめ装置を出荷する段階からメモリ内に格納されているプログラム、ＣＤ（Compact Disc）等の記憶媒体やインターネット上のサーバ等からダウンロードされたプログラムも含む。また、本発明の各実施形態の装置は、そのプログラムを格納するハードディスク等の記憶ユニット、ネットワーク接続用インタフェイスを中心にハードウェアとソフトウェアの任意の組合せによっても実現される。そして、その実現方法、装置にはいろいろな変形例があることは、当業者には理解されるところである。
【０１７６】
また、本発明の各実施形態の説明において利用するブロック図は、ハードウェア単位の構成ではなく、機能単位のブロックを示している。これらの図においては、各装置は１つの機器により実現されるよう記載されているが、その実現手段はこれに限定されない。すなわち、物理的に分かれた構成であっても、論理的に分かれた構成であっても構わない。
【０１７７】
以上、上述した実施形態を模範的な例として本発明を説明した。しかしながら、本発明は、上述した実施形態には限定されない。即ち、本発明は、本発明のスコープ内において、当業者が理解し得る様々な態様を適用することができる。
【０１７８】
この出願は、２０１４年３月２６日に出願された日本出願特願２０１４−０６２９６４を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
【符号の説明】
【０１７９】
１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ    欠陥分析装置
１１０Ａ    第１の振動検出部
１１０Ｂ    第２の振動検出部
１２０、１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ    処理部
１２１    周波数決定部
１２２    外乱振動判定部
１２３    外乱振動低減部
１２４    温度検出部
１２５    圧力検出部
５００、５００Ａ、５００Ｂ、５００Ｃ    制御装置
６００    地中
７００Ａ、７００Ｂ    散水栓
９００    配管
９１０    流体
９２０    漏洩孔
【図１】
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【図２】
2015145972.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【手続補正書】
【提出日】平成28年8月17日(2016.8.17)
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出し、
前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定し、
前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する処理をコンピュータに行わせる欠陥分析プログラム。
【国際調査報告】
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2015145972.tif 000021
2015145972.tif 000022
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