(57)【要約】  版胴(24)上の印刷版(25)の版面に形成された印刷パターンにインクをインクジェット方式で付与した後、付与されたインクを基板に転写する印刷装置及び印刷方法を、改良する。印刷版の版面に形成されたスケール(27)を読み取って取得されたスケールの位置情報データに基づいて、画像記録部(22)でのインクの吐出タイミングを調整する。
2016132751.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを付与した後、前記パターン状に付与されたインクを基板に転写する印刷装置であって、  前記印刷版の前記版面にスケールが形成されており、  前記印刷版が設けられる版胴と、  前記印刷版の前記版面に前記予め定められたパターン状に前記インクをインクジェット方式にて付与する画像記録部と、  前記スケールを読み取り、前記スケールの位置情報データを得る読取部と、  前記読取部で得られた前記位置情報データに基づく、信号を発生させる信号発生部と、  前記信号発生部で得られた前記信号に基づき前記画像記録部での前記インクの吐出タイミングを調整する調整部を有することを特徴とする印刷装置。
【請求項２】
前記スケールは、前記版面に形成された凹部と凸部で構成されており、前記画像記録部により前記インクが前記凹部または前記凸部に付与される請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
前記画像記録部は、前記インクを前記版面に吐出するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドを支持し、かつ前記版胴の回転軸と平行な方向に移動させるキャリッジを有し、前記読取部は、前記キャリッジに設けられている請求項１または２に記載の印刷装置。
【請求項４】
前記版胴に設けられた前記印刷版の取り付け情報を取得する取付位置情報取得部と、  前記取付位置情報取得部で得られた前記印刷版の取り付け情報に基づき、前記版面に吐出する前記インクの吐出パターンデータを補正し、補正パターンデータを作成する補正部とを有し、  前記画像記録部は、前記補正パターンデータに基づき、前記インクを前記版面に付与する請求項１〜３のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項５】
前記版胴に設けられた前記印刷版の取り付け情報を取得する取付位置情報取得部と、  前記取付位置情報取得部で得られた前記印刷版の取り付け情報に基づき、前記インクジェットヘッドの回動する回動部を有し、  前記インクジェットヘッドは、前記印刷版の取り付け情報に基づき、前記回動部により回動され、かつ前記キャリッジにより前記回転軸と平行な方向に移動される請求項３に記載の印刷装置。
【請求項６】
前記印刷版は凹版であり、前記画像記録部により前記予め定められたパターン状に形成された凹部に前記インクが付与される請求項１〜５のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項７】
版胴に設けられた印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを付与した後、前記パターン状に付与されたインクを基板に転写する印刷方法であって、  前記印刷版の前記版面にスケールが形成されており、  前記スケールを読み取り、前記スケールの位置情報データを得る取得工程と、  前記位置情報データに基づいた信号を発生させ、前記予め定められたパターン状に前記インクをインクジェット方式にて付与する際の前記インクの吐出タイミングを前記信号に基づいて調整する調整工程と、  前記調整工程で調整された吐出タイミングにて、前記印刷版の版面にインクを付与する付与工程とを有することを特徴とする印刷方法。
【請求項８】
前記調整工程は、  前記版胴に設けられた前記印刷版の取り付け情報を取得する工程と、  前記印刷版の取り付け情報に基づき、前記版面に吐出する前記インクの吐出パターンデータを補正し、補正パターンデータを作成する工程とを備え、  前記付与工程は、前記補正パターンデータに基づき、前記印刷版の前記版面に前記インクを付与する工程を備える請求項７項に記載の印刷方法。
【請求項９】
前記調整工程は、  前記版胴に設けられた前記印刷版の取り付け情報を取得する工程と、  前記印刷版の取り付け情報に基づき、前記インクジェットヘッドを回動し、かつ前記印刷版の送り方向と垂直な方向に前記インクジェットヘッドを移動させる工程とを備える請求項７に記載の印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、印刷版にスケールを設けて、その位置情報を読み取り、吐出タイミングを制御することで高精度に印刷版にインキングを行う印刷装置および印刷方法に関し、特に、電子ペーパー等に用いられる薄膜トランジスタのゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、および配線等の作製に利用可能な印刷装置および印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  近年、印刷法を用いて、ガラス基板、樹脂基板等に薄膜トランジスタのゲート電極、ソース電極、ドレイン電極および金属配線、ならびに電気配線パターン等の微細パターンが形成されている。印刷法により、金属等の導電性粒子を含有した液体によって微細パターンが形成された基板は、電子ペーパーおよび液晶ディスプレイ等の薄型表示装置、ならびに携帯通信機器等に用いられる。【０００３】  凹版印刷におけるインキングを、インクジェット方式を用いて、必要な量を必要な場所にすることで、ドクタリングを不要にして、ドクタリングに伴う地汚れおよび版耐久性を改善するインキング技術がある。インキング技術の具体的なものとして、例えば、特許文献１のパターン印刷装置がある。特許文献１のパターン印刷装置では、可撓性金属平板状の凹版に薄い樹脂層を設け、その上に撥インクパターンを設けて凹部を形成する。インク供給手段のインクジェットにより凹部に下方からインクを噴射して供給する。インク供給後、インク乾燥手段により凹部内のインクから溶剤を飛ばして粘性を失わないように乾燥する。被印刷体と可撓性金属平板状の凹版とを位置決めし、インク転移手段のプレス・剥離胴を用いてこれを転動しながら可撓性金属平板状の凹版を押圧し、凹部内のインクを被印刷体に転移する。インク転移後、可撓性金属平板状の凹版を撓ませながら剥離する。【０００４】  上述の電子ペーパーおよび液晶ディスプレイ等の薄型表示装置、ならびに携帯通信機器等に用いられる微細パターンが形成された基板は、上述の特許文献１のパターン印刷装置以外にも、例えば、以下に示す特許文献２、３の印刷装置で形成される。  特許文献２の印刷装置は、印刷パターンに対応した版が設けられた版胴と、ブランケットが巻回されるとともに、版から印刷パターンを受理し、ガラス基板へと転写するブランケット胴と、ブランケットの周速を得るためのスケールと、スケールを読みとるＣＣＤ（電荷結合素子）カメラと、ＣＣＤカメラからの出力に基づいて、ブランケット胴を駆動するモータを制御する制御部とを備える。【０００５】  特許文献３の印刷装置は、各角度位置に書き込まれた書込みパターンの書込み時の角度位置情報を示すスケールが書き込まれた円筒状の円筒版胴を回転駆動させるモータと、スケールを読み取るＣＣＤカメラと、ＣＣＤカメラによって得られた検出パルス数に基づいて、円筒版胴の送り量に調節する制御部とを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−８１７２６号公報
【特許文献２】特開２００７−１６０５３８号公報
【特許文献３】特開第４５１１９７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  上述のように特許文献１では、可撓性金属平板状の凹版を押圧し、凹部内のインクを被印刷体に転移することが記載されているものの、例えば、版の取り付け精度が低い場合、版の取り付けに応じた、インクパターンの修正等がされるものではない。パターン形成の際にエラーが生じてしまうと、印刷精度が低下するという問題点がある。  特許文献２の印刷装置では、ブランケットをブランケット胴に取り付けてからスケールを形成、あるいは、ブランケット胴に予めスケールを形成した後にブランケットを貼り付けている。また、特許文献３の印刷機では、版胴に直接、印刷パターンとスケールを形成している。  しかしながら、特許文献２はブランケット胴の周速を正確に制御すること、特許文献３は製版時における誤差をキャンセルすることを目的としており、特許文献２、３は、上述のインキング技術を用いるものではなく、グラビア印刷を用いるものである。特許文献２、３は、版の取り付け精度が低い場合を考慮するものでなく、版の取り付け精度が低い場合、版の取り付けに応じた、インクパターンの修正等がされるものではない。【０００８】  本発明の目的は、前述の従来技術に基づく問題点を解消し、印刷版の取り付け精度が低い場合であっても印刷精度を向上させた印刷装置および印刷方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  上述の目的を達成するために、本発明は、印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを付与した後、パターン状に付与されたインクを基板に転写する印刷装置であって、印刷版の版面にスケールが形成されており、印刷版が設けられる版胴と、印刷版の版面に予め定められたパターン状にインクをインクジェット方式にて付与する画像記録部と、スケールを読み取り、スケールの位置情報データを得る読取部と、読取部で得られた位置情報データに基づく、信号を発生させる信号発生部と、信号発生部で得られた信号に基づき画像記録部でのインクの吐出タイミングを調整する調整部を有することを特徴とする印刷装置を提供するものである。【００１０】  スケールは、版面に形成された凹部と凸部で構成されており、画像記録部によりインクが凹部または凸部に付与されることが好ましい。  画像記録部は、インクを版面に吐出するインクジェットヘッドと、インクジェットヘッドを支持し、かつ版胴の回転軸と平行な方向に移動させるキャリッジを有し、読取部は、キャリッジに設けられていることが好ましい。  版胴に設けられた印刷版の取り付け情報を取得する取付位置情報取得部と、取付位置情報取得部で得られた印刷版の取り付け．情報に基づき、版面に吐出するインクの吐出パターンデータを補正し、補正パターンデータを作成する補正部とを有し、画像記録部は、補正パターンデータに基づき、インクを版面に付与することが好ましい。【００１１】  また、例えば、版胴に設けられた印刷版の取り付け情報を取得する取付位置情報取得部と、取付位置情報取得部で得られた印刷版の取り付け情報に基づき、インクジェットヘッドの回動する回動部を有し、インクジェットヘッドは、印刷版の取り付け情報に基づき、回動部により回動され、かつキャリッジにより回転軸と平行な方向に移動される。  例えば、印刷版は、凹版であり、パターン状に形成された凹部にインクが付与される。【００１２】  本発明は、版胴に設けられた印刷版の版面に、予め定められたパターン状にインクを付与した後、パターン状に付与されたインクを基板に転写する印刷方法であって、印刷版の版面にスケールが形成されており、スケールを読み取り、スケールの位置情報データを得る取得工程と、位置情報データに基づいた信号を発生させ、予め定められたパターン状にインクをインクジェット方式にて付与する際のインクの吐出タイミングを信号に基づいて調整する調整工程と、調整工程で調整された吐出タイミングにて、印刷版の版面にインクを付与する付与工程とを有することを特徴とする印刷方法を提供するものである。【００１３】  調整工程は、版胴に設けられた印刷版の取り付け情報を取得する工程と、印刷版の取り付け情報に基づき、版面に吐出するインクの吐出パターンデータを補正し、補正パターンデータを作成する工程とを備え、付与工程は、補正パターンデータに基づき、印刷版の版面にインクを付与する工程を備えることが好ましい。  また、調整工程は、版胴に設けられた印刷版の取り付け情報を取得する工程と、印刷版の取り付け情報に基づき、インクジェットヘッドを回動し、かつ印刷版の送り方向と垂直な方向にインクジェットヘッドを移動させる工程とを備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】  本発明によれば、印刷版の取り付け精度が低い場合であっても印刷精度を向上させた印刷装置および印刷方法装置構成を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態の印刷装置を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態の印刷装置の画像記録部を示す模式図である。
【図３】インクジェットヘッドのノズルの配置を示す平面図である。
【図４】インクジェットヘッドのノズルの配置の他の例を示す平面図である。
【図５】本発明の実施形態の印刷装置のインク供給機構を示す模式図である。
【図６】本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式図である。
【図７】本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式的断面図である。
【図８】スケールの構成を示す模式的断面図である。
【図９】スケールの他の例を示す模式図である。
【図１０】本発明の実施形態の印刷装置のメンテナンス部の一例を示す模式図である。
【図１１】本発明の実施形態の印刷装置のメンテナンス部の吐出観察部とノズル観察部を示す模式図である。
【図１２】本発明の実施形態の印刷装置で形成される薄膜トランジスタの一例を示す模式図である。
【図１３】本発明の実施形態の印刷装置の傾き補正の第１の例を説明するための模式図である。
【図１４】本発明の実施形態の印刷装置の傾き補正の第２の例を説明するための模式図である。
【図１５】図１４の要部を拡大して示す模式図である。
【図１６】本発明の実施形態の印刷装置の傾き補正の具体例の一例を示す模式図である。
【図１７】本発明の実施形態の印刷装置の傾き補正の具体例の他の例を示す模式図である。
【図１８】本発明の実施形態の印刷装置で形成される配線パターンの形成工程を工程順に示す模式的断面図である。
【図１９】本発明の実施形態の印刷装置で形成される配線パターンの形成工程を工程順に示す模式的断面図である。
【図２０】本発明の実施形態の印刷装置で形成される配線パターンの形成工程を工程順に示す模式的断面図である。
【図２１】転写前の印刷版の第１の例を示す模式的断面図である。
【図２２】印刷版に転写後のパターンを示す模式的断面図である。
【図２３】転写前の印刷版の第２の例を示す模式的断面図である。
【図２４】印刷版に転写後のパターンを示す模式的断面図である。
【図２５】転写前の印刷版の第３の例を示す模式的断面図である。
【図２６】印刷版に転写後のパターンの一例を示す模式的断面図である。
【図２７】印刷版に転写後のパターンの他の例を示す模式的断面図である。
【図２８】パターンにインクが付与された状態を示す模式図である。
【図２９】パターンに１回目のインクが付与された状態を示す模式図である。
【図３０】パターンに２回目のインクが付与された状態を示す模式図である。
【図３１】パターンに１回目のインクが付与された状態を示す模式図である。
【図３２】パターンに２回目のインクが付与された状態を示す模式図である。
【図３３】本発明の実施形態の印刷方法を説明するための示す模式図である。
【図３４】本発明の実施形態の印刷方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】  以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の印刷装置および印刷方法を詳細に説明する。本発明は、以下に説明する印刷装置および印刷方法の実施形態に限定されるものではない。  なお、以下において数値範囲を示す「〜」とは両側に記載された数値を含む。例えば、εが数値β１〜数値β２とは、εの範囲は数値β１と数値β２を含む範囲であり、数学記号で示せばβ１≦ε≦β２である。
【００１７】  図１は、本発明の実施形態の印刷装置を示す模式図である。  図１に示すように印刷装置１０は、印刷装置本体１２と、記憶部１４と、調整ユニット１６と、制御部１８とを有する。  印刷装置本体１２は、印刷法により、基板３１に予め定められたパターンを形成するものである。印刷装置本体１２については後に詳細に説明する。
【００１８】  記憶部１４は、印刷装置１０で利用される各種の情報が記憶されるものである。記憶部１４には、印刷しようとするパターンのパターンデータが記憶されるが、このパターンデータは、外部から適宜入力される。  また、記憶部１４には、後に詳細に説明するが、インクジェットヘッド４０から吐出するインクの吐出パターンデータおよび吐出タイミングデータ、ならびにインクの吐出パターンデータを印刷版２５の取り付け状態に応じて補正した補正パターンデータ、吐出タイミングデータを印刷版２５の取り付け状態に応じて補正した補正吐出タイミングデータも記憶される。
【００１９】  インクの吐出パターンデータとは、インクジェットヘッド４０を用いてインクを印刷版２５のパターン領域に付与する際の吐出パターンを示すデータのことである。  吐出タイミングデータとは、インクジェットヘッド４０を用いて印刷版２５のパターン領域にインクを付与する際に、印刷版２５のパターン領域に、どのタイミングでインクを吐出するのかを示すデータのことである。
【００２０】  記憶部１４には、特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの基準となる基準形状の情報が記憶される。  基準形状の情報とは、例えば、印刷版２５のパターン領域に対して、インクを付与した際の理想的な状態を示す画像データである。また、印刷版２５のパターン領域に対して、複数回にわたり、インクを付与する場合には、各回毎の理想的な状態を示す画像データである。例えば、パターン領域に対してインクジェット方式でインクを吐出し、ドットを形成してパターン領域にインクを付与した場合には、各回毎のインクの吐出により形成されるドットの理想的な配置を示す画像データを上述の基準形状の情報という。
【００２１】  記憶部１４には、後に詳細に説明するが、印刷版２５に形成されたスケール２７のピッチ等の情報が記憶される。読取部４７でスケール２７を読み取る際、記憶部１４に記憶された印刷版２５に形成されたスケール２７の情報が用いられる。  また、転写後の印刷版２５の版面２５ａの理想的な状態を示す画像データも基準形状の情報に含まれる。  記憶部１４への基準形状の情報およびパターンデータの入力方法は、特に限定されるものではなく、各種のインターフェースを記憶部１４に設け、記憶媒体、および有線、無線を問わないネットワークを介して入力することができる。
【００２２】  調整ユニット１６は、印刷版２５へのインキングを高い精度で行うために、インクの吐出タイミング、画像データの補正等各種の調整をするものである。  調整ユニット１６は、信号発生部１６ａ、調整部１６ｂ、補正部１６ｃおよび判定部１６ｄを有する。  信号発生部１６ａは、読取部４７で得られた位置情報データに基づく、信号を発生させるものである。読取部４７については後に説明する。  調整部１６ｂは、信号発生部１６ａで得られた信号に基づき、画像記録部２２のインクジェットヘッド４０でのインクの吐出タイミングを調整するものである。信号発生部１６ａで得られた信号のことをエンコーダ信号ともいう。調整部１６ｂにて、インクジェットヘッド４０でのインクの吐出タイミングの補正吐出タイミングデータが作成される。この補正吐出タイミングデータは記憶部１４に記憶される。
【００２３】  また、調整部１６ｂは、後に詳細に説明するアライメントカメラ４２で得られた版胴２４に対する印刷版２５の取り付け情報に基づき、版面２５ａに吐出するインクの吐出パターンデータを補正して補正パターンデータ、または吐出タイミングデータを補正して補正吐出タイミングデータを作成する。  例えば、調整部１６ｂによる補正吐出タイミングデータの作成は、判定部１６ｄにおいて印刷版２５の取り付け情報に基づき、印刷版２５の傾き角度αを許容範囲と比較し、許容範囲外と判定されたときになされる。
【００２４】  アライメントカメラ４２で得られた印刷版２５の取り付け情報に基づき、印刷版２５が理想的な配置の印刷版２５ｉに対して角度α傾いて配置された場合、補正部１６ｃは、インクの吐出パターンデータをｃｏｓα倍し、補正パターンデータを作成する。この補正パターンデータは記憶部１４に記憶される。  例えば、補正部１６ｃによる補正パターンデータの作成は、判定部１６ｄにおいて印刷版２５の取り付け情報に基づき、印刷版２５の傾き角度αを許容範囲と比較し、許容範囲外と判定されたときになされる。  また、補正部１６ｃは、上述の版面観察部２６で得られた、印刷版２５の取り付け位置情報に基づいて、インクジェットヘッド４０を回動させる回動量を算出し、記憶部１４に記憶させる。制御部１８にて、回動量に基づき、インクジェットヘッド４０を回動させてインクを吐出させる。
【００２５】  判定部１６ｄは、版胴２４に設けられた印刷版２５の取り付け情報の取得に利用されるものである。判定部１６ｄでは、後述するアライメントカメラ４２で得られたアライメントマークの位置情報を用いて、アライメントマークＡ〜Ｄの位置を特定するものである。これにより、版胴２４に設けられた印刷版２５の取り付け情報を取得することができる。  判定部１６ｄは、印刷版２５の取り付け位置情報に基づき、印刷版２５の傾き角度αを許容範囲と比較し、許容範囲にあるかを判定するものである。判定結果に応じた判定情報を制御部１８に出力するものである。印刷版２５の傾き角度αについては後に説明する。  判定部１６ｄは、後述する印刷装置本体１２の版面観察部２６で得られた、特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの情報と、記憶部１４で記憶された特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの基準となる基準形状の情報とを比較し、基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定するものである。判定結果に応じた判定情報を制御部１８に出力するものである。
【００２６】  また、判定部１６ｄでは、予め定められた範囲から外れる場合、外れた箇所等の特定もするものである。例えば、パターン領域に対してはみ出してインクが付与された場合には、インクのはみ出した部分を特定する。また、判定部１６ｄでは、インクジェット方式でパターン領域に対してインクを付与する場合には、インクにより形成されるドットの位置のずれ、ドットが抜けた領域等を特定することができる。これにより、後述するように制御部１８で特定された箇所に応じてインクの吐出量等を調整する。
【００２７】  制御部１８は、印刷装置本体１２、記憶部１４および調整ユニット１６に接続されており、印刷装置本体１２、記憶部１４および調整ユニット１６の各要素を制御するものである。  また、制御部１８は、調整ユニット１６で得られた各結果に応じて各部を制御する。制御部１８により、例えば、調整ユニット１６で吐出パターンデータの補正パターンデータが作成された場合、その補正パターンデータに基づいてインクをインクジェットヘッド４０から吐出させる。  調整部１６ｂにて、インクジェットヘッド４０でのインクの吐出タイミングの補正吐出タイミングデータが作成される。
【００２８】  次に、印刷装置本体１２について説明する。  印刷装置本体１２は、印刷を清浄な雰囲気でするためにケーシング２０の内部２０ａに各部が設けられている。ケーシング２０の内部２０ａを予め定められた清浄度となるように、フィルタ（図示せず）および空調設備（図示せず）が設けられている。  印刷装置本体１２は、画像記録部２２と、版胴２４と、版面観察部２６と、ステージ３０と、乾燥部３２と、イオナイザー３３と、クリーニング部３４と、メンテナンス部３６とを有する。  版胴２４の表面２４ａの周囲を囲むようにして、画像記録部２２、版面観察部２６、乾燥部３２、イオナイザー３３およびクリーニング部３４が設けられている。クリーニング部３４は版胴２４の表面２４ａに接して設けられている。
【００２９】  ステージ３０上に基板３１が配置されており、ステージ３０が版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに配置された状態で版胴２４が回転すると印刷版２５と、基板３１の表面３１ａとが接するように配置されている。これにより、基板３１の表面３１ａに印刷版２５の版面２５ａに予め定められたパターン状に付与されたインクが転写される。  なお、印刷された基板３１では、インクの特性に応じて、例えば、熱、光等によりインクが焼成される。熱、光を用いたインクの焼成で利用される公知のものが適宜利用可能である。基板３１に対するインクの焼成は、ケーシング２０の内部２０ａでなされても、外部でなされてもよい。
【００３０】  印刷装置１０では、版胴２４に設けた印刷版２５のパターン領域にインクを付与するが、このインクの付与は１回で完了させてもよく、また複数回にわたってインクを付与してもよい。複数回にわたってインクを付与する場合、インクを付与する回数分、版胴２４を回転させる。例えば、４回に分けてインクを付与する場合、版胴２４を４回回転させる。インクを付与することをインキングという。また、複数回のうち、インクを１回行うことを走査するともいう。
【００３１】  以下、印刷装置本体１２の各部について説明する。  画像記録部２２は、印刷版２５の版面２５ａにインクを付与するものであり、画像記録部２２により、版面２５ａに予め定められたパターンでインクが付与される。なお、画像記録部２２の画像記録方式は特に限定されるものではなく、例えば、インクジェット方式が用いられる。
【００３２】  版胴２４は、回転軸２４ｂを中心にしてＹ方向に回転可能なものである。また、版胴２４は、印刷版２５を保持した状態で回転させて、予め定められたパターン状に付与された印刷版２５の版面２５ａのインクを基板３１の表面３１ａに転写するためのものである。  回転軸２４ｂには、例えば、版胴２４を回転させるためのモータ（図示せず）がギア（図示せず）等を介して設けられている。また、ギアを介さないダイレクトドライブモータを設けることもできる。モータは制御部１８にて制御される。また、回転軸２４ｂには回転と回転量を検出するローターリーエンコーダ（図示せず）が設けられている。ローターリーエンコーダは制御部１８に接続されており、制御部１８で版胴２４の回転量が検出される。
【００３３】  転写される基板３１は、特に限定されるものではないが、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）およびＰＣ（ポリカーボネート）等のフイルム基板、ガラスエポキシ基板、セラミック基板、ならびにガラス基板を用いることができる。転写方法としては、ガラス基板等のリジッド基板では、上述のようにステージ３０上に基板３１を固定して版胴２４に密着させることで転写できる。  なお、印刷版２５にフイルムを使った場合には圧胴を用いて、フイルムを圧胴に固定して版胴２４に密着させて転写する構成としてもよい。
【００３４】  版面観察部２６は、画像記録部２２よりも版胴２４のＹ方向の下流側に配置されている。版面観察部２６は、インクが付与された印刷版２５の版面２５ａの情報を取得するものである。また、版面観察部２６は、基板３１にインクが転写された後の印刷版２５の版面２５ａの情報も取得するものである。  版面観察部２６は、インク転写前後の印刷版２５の版面２５ａの情報を取得することができれば、その構成は特に限定されるものではない。印刷版２５は矩形状のものが多いため、ラインセンサとライン状の照明を用いることが好ましい。この場合、版面２５ａの情報として、版面撮像データが得られる。この版面撮像データが、調整ユニット１６の判定部１６ｄにて上述のように基準形状の情報と比較されて判定される。
【００３５】  ラインセンサは、例えば、モノクロＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）センサ、ＣＣＤセンサを用いることができる。なお、吐出されたインク液滴で構成の陰を観察するためカラーである必要性はない。また、ラインセンサの前にレンズ、および各種のフィルタ等を設けてもよい。ライン状の照明としては、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）を一直線状に並べたものを用いることができる。  版面観察部２６は、制御部１８に接続されており、版面観察部２６での印刷版２５の版面２５ａの情報の取得のタイミングは制御部１８で制御され、取得された印刷版２５の版面２５ａの情報は記憶部１４に記憶される。
【００３６】  インクに絶縁体等の透明インクを用いた場合、肉眼による識別が困難であるが、光源、ラインセンサ前に偏光フィルタを設けること、２箇所以上から照明を行う等により、ラインセンサによるインクの識別性を改善することができる。  また、印刷版２５の版面２５ａの情報の取得は、走査毎に行うことで、着弾位置ずれ、サテライトおよび吐出滴量変化による膜厚むらを検出することが可能となる。例えば、膜厚と光学特性のとの関係を予め測定しておき、記憶部１４に記憶しておくことにより、上述の関係と検出された光学特性とを比較することで膜厚を推定することができる。
【００３７】  また、インクに銀ナノインクを用いた場合、銀ナノインクでは、乾燥とともに銀光沢が発現して、色または反射率が変化する。膜厚が薄いと乾燥が早く、厚いと乾燥が遅いため、検出までの予め設定された時間における膜厚と色、膜厚と反射率との関係を、予め計測しておくことで、膜厚を推定できる。  絶縁体等の透明インクの場合には、干渉縞で膜厚を判断することが可能である。膜厚と干渉縞との関係を予め測定しておくことで膜厚を推定できる。半導体等結晶性のあるインクの場合には、偏光フィルタを設けて、色で膜厚を推定することもできる。この場合も、予め膜厚と色との関係を測定しておくことで、膜厚を推定することができる。
【００３８】  ステージ３０は、基板３１を載置し、搬送方向Ｖに移動して、基板３１を予め定められた位置に搬送するものである。ステージ３０には搬送機構（図示せず）が設けられている。この搬送機構は、制御部１８に接続されており、制御部１８にて搬送機構が制御されてステージ３０が搬送方向Ｖに移動されて、ステージ３０の位置が変えられる。  ステージ３０は、まず、ケーシング２０の外部から搬送された基板３１が載置される開始位置Ｐｓに待機する。次に、ステージ３０は、版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに移動される。次に、印刷後、ステージ３０は印刷済みの基板３１を載せた状態で終了位置Ｐｅに移動され、その後、基板３１はケーシング２０の外部に取り出される。ステージ３０は、終了位置Ｐｅから開始位置Ｐｓに移動されて、基板３１が搬入されるまでの間、待機する。
【００３９】  乾燥部３２は、印刷版２５の版面２５ａのインクを乾燥させるものである。インクを乾燥させることができれば、乾燥方法は、特に限定されるものではなく、例えば、ファンによる温風、冷風の吹き付け、赤外線ヒーターによる加熱、高周波の照射、およびマイクロ波照射等が挙げられる。  なお、自然乾燥にて印刷版２５の版面２５ａのインクを乾燥できる場合、乾燥部３２を必ずしも設ける必要がない。
【００４０】  イオナイザー３３は、印刷版２５の版面２５ａの電気を除電するものである。イオナイザー３３により、印刷版２５の版面２５ａの静電気が除去され、印刷版２５の版面２５ａにゴミ、埃などの異物の付着が抑制される。また、印刷版２５の版面２５ａが帯電している場合、インクが曲がることがあるが、このインクの曲がりを防止することができ、インクジェット吐出精度が向上する。  なお、イオナイザー３３には、静電気除電器を用いることができ、例えば、コロナ放電方式、およびイオン生成方式のものを用いることができる。また、イオナイザー３３は、乾燥部３２のＹ方向における下流側に設けたが、画像記録部２２により記録される前に、印刷版２５の版面２５ａの静電気を除電することができれば、イオナイザー３３を設ける位置は特に限定されるものではない。
【００４１】  クリーニング部３４は、版胴２４および印刷版２５に付着したインクを除去するものである。クリーニング部３４は、版胴２４および印刷版２５に付着したインクを除去することができれば、その構成は、特に限定されるものではない。例えば、ローラを版胴２４に押し付け、ローラにインクを転写させて、転写されたインクをふき取る構成である。
【００４２】  メンテナンス部３６は、画像記録部２２の吐出特性等が予め定められた性能を発揮するかを調べる。メンテナンス部３６は、予め定められた性能を発揮するようノズルのワイプ等をするところである。メンテナンス部３６は、版胴２４から離れた位置に設けられている。画像記録部２２は、例えば、ガイドレール（図示せず）を介してメンテナンス部３６に移送される。メンテナンス部３６については後に詳細に説明する。
【００４３】  以下、画像記録部２２について詳細に説明する。  図２は、本発明の実施形態の印刷装置の画像記録部を示す模式図である。  画像記録部２２に、インクジェット方式を用いたものを例にして説明する。  図２に示すように、画像記録部２２は、インクジェットヘッド４０と、アライメントカメラ４２と、レーザ変位計４４と、読取部４７と、回動部４９とを有し、これらはキャリッジ４６に設けられている。このキャリッジ４６はリニアモータ４８により、版胴２４の回転軸２４ｂと平行な方向、すなわち、Ｘ方向に移動可能であり、インクジェットヘッド４０はキャリッジ４６によりＸ方向へ移動可能である。
【００４４】  インクジェットヘッド４０にはインクの吐出を制御するための吐出制御部４３が設けられている。吐出制御部４３でインクの吐出波形が調整される。吐出制御部４３は制御部１８に接続されている。吐出制御部４３では、例えば、ユーザーインターフェースを通して、ユーザーが吐出電圧または吐出波形を調整することが可能である。なお、後述するようにインクの温度が調整された状態で吐出される。
【００４５】  アライメントカメラ４２、レーザ変位計４４および読取部４７も制御部１８に接続されている。キャリッジ４６にはＺ方向に移動させるための駆動部（図示せず）が設けられており、この駆動部は制御部１８に接続されており、制御部１８によりキャリッジ４６のＺ方向の移動が制御される。ここで、Ｚ方向とは、版胴２４の表面２４ａに垂直な方向である。
【００４６】  アライメントカメラ４２は、インクの吐出位置、インクの吐出タイミング、パターンデータの補正をするためのアライメントマークの位置情報を得るためのものである。  アライメントカメラ４２は、アライメントマークＡ〜Ｄを検出することができれば、その構成は特に限定されるものではない。
【００４７】  アライメントカメラ４２により、アライメントマークＡ〜Ｄが撮像されて、その撮像データが記憶部１４に記憶され、判定部１６ｄでアライメントマークＡ〜Ｄの位置が特定される。アライメントカメラ４２と判定部１６ｄは、版胴２４に設けられた印刷版２５の取り付け情報を取得する取付位置情報取得部として機能する。  アライメントマークＡ、Ｂの位置情報により、Ｙ方向におけるインクの吐出開始位置（インキング開始位置）、Ｘ方向の印刷版の拡縮および印刷版の傾き角度θの情報を得ることができる。アライメントマークＡ、Ｃの位置情報により、Ｘ方向におけるインクの吐出開始位置（インキング開始位置）およびＹ方向の印刷版の拡縮の情報を得ることができる。アライメントマークＡ〜Ｄの位置情報により、例えば、印刷版の台形歪みの情報、すなわち、台形変形の情報を得ることができる。  印刷版２５は、アライメントマークＡとアライメントマークＣを通る線Ｌａが上述のＹ方向に平行であることが理想的である。しかし、印刷版２５を版胴２４に取り付ける際に、印刷版２５が版胴２４に対して、わずかであるが傾いてしまう。アライメントマークＡ〜Ｄの位置情報により、版胴２４上での印刷版２５の取り付け情報、例えば、版胴２４のＹ方向に対する印刷版２５の傾き等の情報を得ることができる。
【００４８】  上述の得られた各種の情報により、インクの吐出開始位置、インクジェットヘッド４０の位置およびインクの吐出タイミングを補正する。なお、これらの補正には、いずれもインクジェットによるインクの打滴の公知補正方法を用いることができる。  また、パターンデータについてのＸ方向の拡大縮小、Ｙ方向の拡大縮小、傾き、および台形補正は、公知補正方法を用いることができる。  なお、アライメントマークは、少なくとも３つあればよく、Ｘ方向の印刷版の拡縮、印刷版の傾き角度θおよびＹ方向の印刷版の拡縮の情報を得ることができる。アライメントマークが４つあれば、印刷版２５の台形歪みの情報も得ることができるため、４つあることが好ましい。さらには、アライメントマークＡ〜Ｄの内側にも複数のアライメントマークを設けることにより、非線形の補正を行うことができる。この場合、アライメントマークを用いた補正も公知補正方法を用いることができる。
【００４９】  レーザ変位計４４は、インクジェットヘッド４０と印刷版２５の版面２５ａとの距離を測定するものである。インクによる版膨潤または温度等による版胴径＋版厚の変化により、アライメントマークＡとアライメントマークＣとのＹ方向における距離、すなわち、ＡＣ長が変化する。ここで、インクジェットヘッド４０のインクは、ローターリーエンコーダのタイミングで吐出するため版胴径の変化を受けず版の長さの変化に対応するが、基板３１に転写したとき長さが変化してしまう。
【００５０】  上述のＡＣ長の変化があっても基板３１上の印刷パターンの長さを一定にする目的で、このレーザ変位計４４により、版胴径＋版厚の変化を測定する。測定した結果に基づいて補正を行う。  補正の具体例としては、版胴２４の回転軸２４ｂから印刷版２５の版面２５ａまでの距離変動を精密に測定して、その結果に基づいて、転写時の版胴２４および基板３１の移動相対速度を変化させることが挙げられる。  上述の補正の具体例以外に、例えば、版胴２４または環境の温度を測定して、予め作成した版胴２４の回転軸２４ｂと印刷版２５の版面２５ａまでの距離と温度との関係のテーブルに基づいて、転写時の版胴２４および基板３１の移動相対速度を変化させることが挙げられる。  上述の補正の具体例により、版膨潤または版胴径の変化があっても精度よく印刷が可能となる。なお、転写するときに、版側と基板側の送り速度に差を設けると転写パターンの送り方向の寸法が変化することが知られている。
【００５１】  レーザ変位計４４については、インクジェットヘッド４０と印刷版２５の版面２５ａとの距離を測定することができれば、その構成は特に限定されるものではない。  また、レーザ変位計４４は、印刷版２５の版面２５ａ迄の距離を測定することで、版胴径＋版厚の変化を測定することができる。これをＹ方向の拡大縮小に利用することができる。例えば、版胴２４の直径または印刷版２５の膜厚が、温度変化により変化するとアライメントマークＡとアライメントマークＣの間の長さが変化する。この長さの変化をパターンデータの補正に利用することができる。
【００５２】  読取部４７は、印刷版２５のスケール２７を読み取るものであり、印刷版２５の位置情報データが得られる。読取部４７で読み取られた結果が調整ユニット１６に出力されて信号発生部１６ａにてスケール２７に応じたエンコーダ信号が発生される。  読取部４７は、スケール２７を読み取ることができれば、その構成は、特に限定されるものではない。スケール２７が光学的に読み取り可能なものであれば、読取部４７には、例えば、スケール２７を光学的に読み取るものが用いられる。読取部４７には、例えば、レニショー社製およびハイデンハイン社製のものを利用することができる。より具体的には、スケール２７に応じて、レニショー社製のＲＧ２、ＴＯＮｉＣ（登録商標）、ＳｉＧＮＵＭ（登録商標）のリニアエンコーダ用走査ヘッドを用いることができる。また、ハイデンハイン社製のＡＫ  ＬＩＤＡ  ４８  、ＡＫ  ＬＩＤＡ  ４７、ＬＩＰ  ４ｘ１  Ａ、ＬＩＰ  ４ｘ１  Ｒのリニアエンコーダ用走査ヘッドを用いることができる。  読取部４７を設ける位置は、スケール２７を読み取ることができれば、特に限定されるものではない。しかし、インクジェットヘッド４０と印刷版２５の相対位置が振動によってずれても、読取部４７がキャリッジ４６にあることでその影響がなくなるため、読取部４７はインクジェットヘッド４０とともにキャリッジに搭載することが望ましい。
【００５３】  上述のようにアライメントカメラ４２、レーザ変位計４４および読取部４７を用いることで、アライメント精度を高くすることができる。印刷装置１０では、後述するように薄膜トランジスタの形成に利用される。薄膜トランジスタでは、１０μｍ程度のずれでも、設計した特性とは異なる特性になってしまう。複数の薄膜トランジスタを形成する場合、１０μｍ程度のずれがあっても特性がばらつくことになり、例えば、電子ペーパーに用いた場合、高い性能が得られないことになるが、このような特性のバラつきを抑制することができる。
【００５４】  回動部４９は、インクジェットヘッド４０を版胴２４の表面２４ａに垂直な線を中心として回動させるものである。回動部４９により、印刷版２５の傾きにインクジェットヘッド４０の向きを合わせることができる。
【００５５】  インクジェットヘッド４０は、図３に示すように、印刷版２５の全幅に対応する長さにわたって、複数のノズル４１が千鳥配置されている。  千鳥配置を適用することで、ノズル４１を高密度に配置させることができる。なお、ノズル４１を配置する列数は、特に限定されるものではなく、一列でも二列でも、それ以上でもよい。また、ノズル４１は、マトリクス状に配置してもよい。  インクジェットヘッド４０の構成は、特に限定されるものではなく、例えば、図４に示す構成でもよい。図４に示すインクジェットヘッド４０は、Ｘ方向に、複数のヘッドモジュール４０ａが接続されている。この場合、複数のヘッドモジュール４０ａ一列につなぎ合わせた構成に限定されるものではなく、複数のヘッドモジュール４０ａを千鳥状につなぎ合わせた構成でもよい。  図４に示すインクジェットヘッド４０では、吐出制御部４３によりヘッドモジュール４０ａ毎に吐出波形を調整することが可能である。また、ヘッドモジュール４０ａ毎に吐出制御部４３を設ければ、吐出制御部４３毎に吐出波形を調整することが可能である。
【００５６】  インクジェットヘッド４０のインクを吐出させる方式は、特に限定されるものではなく、圧電素子のたわみ変形、ずり変形、縦振動等を利用して液体を吐出させる圧電方式、ヒーターによって液室内の液体を加熱して、膜沸騰現象を利用して液体を吐出させるサーマル方式、静電気力を利用する静電方式等、各種方式を用いることができる。
【００５７】  次に、印刷装置１０のインク供給機構について説明する。  図５は、本発明の実施形態の印刷装置のインク供給機構を示す模式図である。  図５に示すように、画像記録部２２において、インクジェットヘッド４０は、２つのサブタンク５０、５８が、それぞれ配管５０ｃ、５８ｃを介して接続されている。配管５０ｃには脱気ユニット５１が設けられている。脱気ユニット５１はインクジェットヘッド４０に供給されるインクを脱気するものであり、公知のものを適宜利用することができる。
【００５８】  サブタンク５０は、インクジェットヘッド４０に供給するインクを溜めておくものである。２つの水位センサ５０ａと温度調整ユニット５０ｂとが設けられている。  水位センサ５０ａは、インクの水位を計測することができれば、その構成は特に限定されるものではなく、公知のものを適宜利用することができる。  温度調整ユニット５０ｂは、インクの温度を調整するものである。これにより、インクの温度を調整することができる。インクの温度としては、例えば、１５℃〜３０℃程度であることが好ましい。温度調整ユニット５０ｂは、インクの温度を調整することができれば、その構成は特に限定されるものではなく、公知のものを適宜用いることができる。
【００５９】  サブタンク５８は、インクジェットヘッド４０から回収されたインクを溜めておくものである。２つの水位センサ５８ａと温度調整ユニット５８ｂとが設けられている。  水位センサ５８ａは、水位センサ５０ａと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。温度調整ユニット５８ｂも温度調整ユニット５０ｂと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
【００６０】  サブタンク５８のインクをサブタンク５０に移動させる循環部６０がある。循環部６０は、サブタンク５０とサブタンク５８をつなぐ配管６０ｃと、配管６０ｃに設けられてポンプ６０ａとフィルタ６０ｂを有する。ポンプ６０ａは、サブタンク５０およびサブタンク５８のインク量を調整するためのものである。ポンプ６０ａは、サブタンク５０とサブタンク５８との間でインクを移動させることができれば、その構成は特に限定されるものではなく、公知のポンプを適宜利用することができる。フィルタ６０ｂはサブタンク５８からサブタンク５０に移動するインクが通過し、このとき、ゴミ等を除去する。
【００６１】  サブタンク５０およびサブタンク５８には、それぞれ配管６４ｃが挿入されており、この配管６４ｃにはポンプ６４ａが設けられている。また、配管６４ｃには配管６４ｄを介して圧力センサ６４ｂが接続されている。なお、図示はしないが、配管６４ｃ、６４ｄにはバルブ等が設けられている。これにより、サブタンク５０、５８は窒素ガスが充填される。また、窒素ガスの充填量を変えることで、サブタンク５０とサブタンク５８とで圧力差を生じさせて、容易に循環させることができる。  圧力センサ６４ｂにより、サブタンク５０とサブタンク５８の圧力を測定することができる。圧力センサ６４ｂによるサブタンク５０とサブタンク５８の各圧力の測定結果を用いることで、インクジェットヘッド４０のメニスカス負圧および循環量を制御することができる。
【００６２】  サブタンク５０には、インクタンク５２が配管６２ｂを介して接続されている。配管６２ｂにはポンプ６２ａとフィルタ６２ｅが設けられている。インクタンク５２内にはインク５２ｂが充填されている。  インクタンク５２には温度調整ユニット５２ａが設けられている。温度調整ユニット５２ａは温度調整ユニット５０ｂと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。  また、インクタンク５２には、例えば、窒素ガスを充填したボンベ６２ｃが配管６２ｄを介して接続されている。これにより、インクタンク５２内に窒素ガスが充填される。
【００６３】  さらには、サブタンク５０には、洗浄液ボトル５４が配管６２ｂを介して接続されている。配管６２ｂにはポンプ６２ａとフィルタ６２ｅが設けられている。洗浄液ボトル５４内には洗浄液５４ｂが充填されている。  洗浄液ボトル５４には温度調整ユニット５４ａが設けられている。温度調整ユニット５４ａは温度調整ユニット５０ｂと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。  また、洗浄液ボトル５４には、例えば、窒素ガスを充填したボンベ６２ｃが配管６２ｄを介して接続されている。これにより、洗浄液ボトル５４内に窒素ガスが充填される。  なお、温度調整ユニット５２ａでインクの温度を調整することができるが、インクの温度は、サブタンク５０のインクの温度＞インクタンク５２のインクの温度であることが好ましい。
【００６４】  サブタンク５８は、配管６２ｆを介して廃液タンク５６が接続されている。配管６２ｆにはポンプ６２ａが接続されている。これにより、廃液タンク５６内にサブタンク５８内のインク５２ｂを廃液として移動させることができる。  インク５２ｂとしては、インクジェット用のナノメタルインクを利用することができる。具体的には、ＵＬＶＡＣ製Ａｇナノメタルインク（Ａｇ１ｔｅＨ（型番）、Ｌ−Ａｇ１ＴｅＨ（型番））、およびＡｕナノメタルインク（シクロドデセン溶媒）インクジェットタイプを利用することができる。
【００６５】  次に、印刷版２５について説明する。  図６は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式図であり、図７は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式的断面図であり、図８は、スケールの構成を示す模式的断面図であり、（ｄ）は、スケールの他の例を示す模式図である。  図６に示すように、例えば、印刷版２５は、アライメントマークＡ〜Ｄが、それぞれ四隅に設けられており、吐出確認エリアＴ、印刷エリアＧ１１、Ｇ１２、スピットエリアＧ、印刷エリアＧ２１、Ｇ２２、スピットエリアＧ、印刷エリアＧ３１、Ｇ３２が形成されている。さらに、吐出確認エリアＴ、印刷エリアＧ１１、Ｇ１２、Ｇ２１、Ｇ２２、Ｇ３１、Ｇ３２、スピットエリアＧの両側にスケール２７が形成されている。なお、スケール２７は、アライメントマークＡとアライメントマークＣを通る直線Ｌａと平行な方向に形成されている。スケール２７は、吐出確認エリアＴ、印刷エリアＧ１１、Ｇ１２、Ｇ２１、Ｇ２２、Ｇ３１、Ｇ３２、スピットエリアＧの少なくとも片側に１つ形成されていればよい。
【００６６】  吐出確認エリアＴは、インクジェットヘッド４０により、テストパターン状にインクが吐出される領域である。吐出確認エリアＴのインクは、評価後、クリーニング部３４で取り除くか、または基板３１に転写して取り除く。  スピットエリアＧは、インクジェットヘッド４０により、通常の吐出動作で、インクを吐出し、吐出確認に利用される領域である。  印刷エリアＧ１１〜Ｇ３１、Ｇ１２〜Ｇ３２の前に、吐出確認のための領域、吐出確認エリアＴおよびスピットエリアＧを設けることで、印刷エリアＧ１１〜Ｇ３１、Ｇ１２〜Ｇ３２へのインクの吐出を確実にすることができる。
【００６７】  図７に示すように、例えば、印刷版２５は、凹部２５ｂが形成されている。この凹部２５ｂにインク５２ｂが打滴されてパターン状のインクが付与される。なお、凹部２５ｂの深さは数μｍ程度である。  印刷版２５としては、樹脂、金属、ガラス等材料は限定されないが、樹脂版を用いると弾性があり、また印圧を下げることができるのでガラス等の脆性材料に印刷することが容易になる。印刷版２５としては、フロロシリコーンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、ニトリルゴム、ネオプレンゴム、ハイバロンゴム、ウレタンゴムなどの種種のエラストマが使用できるが、離型性のよいＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）等のシリコーンゴム、およびフッ素ゴム等が望ましい。ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）等を用いることで転写性が向上して、転写後、印刷版２５にインクが残ることが抑制されて、印刷版２５の洗浄なしでも連続印刷が可能となる。これにより、印刷効率を向上させることができる。  なお、印刷版２５は予め定められたパターン状に凹部２５ｂが形成されたものを用いるが、凹部２５ｂは、公知の方法で形成される。例えば、印刷版２５は、一般的な手法で形成され、例えば、フォトリソグラフィー、インプリント、オフセット印刷版およびフレキソ印刷版と同様の手法を用いて形成される。
【００６８】  スケール２７は、印刷版２５上での位置情報を得るためのものである。スケール２７は、特に限定されるものではないが、例えば、光学的に読み取り可能なもので構成される。また、スケール２７は、例えば、予め定められたピッチを有するものであるが、ピッチは要求される精度等に応じて適宜決定される。  例えば、スケール２７は、印刷版２５の印刷パターンの形成と同時に形成される。  印刷版２５は、上述のように、一般的な手法で形成される。また、上述の特開２００５−８１７２６号公報に記載の手法を用いることで、スケール２７を凹凸で構成することに加えて親液性と撥液性を有するものを形成することもできる。
【００６９】  スケール２７を読取部４７で光学的に読み取る場合、読み取り精度を向上させるために、スケール２７の光学的コントラストを強くすることが望ましい。図８に示すように、スケール２７を凹部２９ａと凸部２９ｂの凹凸構造とした場合、同一材料または類似材料の凹凸が形成されるのみで光学的コントラストが弱い。そこで、印刷版２５に異種材料で形成した層を１層設けてコントラストを向上させることが望ましい。印刷版２５形成において、上述の１層を設けると形成プロセスが複雑になる、このための専用装置が必要になるので、実際の印刷機を用いて、異種材料で形成した層を１層形成することが望ましい。なお、スケール２７の凸部２９ｂ間の距離を、例えば、スケール２７のピッチｐとする。スケール２７の凹部２９ａ間の距離をピッチｐとしてもよい。上述の信号発生部１６ａで発生されるエンコーダ信号の出力間隔はピッチｐと同じである。印刷版２５が傾くと、スケール２７は読取部４７に対して傾斜するため、エンコーダ信号の出力間隔は印刷版２５の傾きに応じて変化する。  また、画像記録部２２でインキングを行い、スケール２７の凹部２９ａまたは凸部２９ｂにインクを付着させることでコントラストを向上させ、スケール２７の読み取り精度を向上させることもできる。
【００７０】  スケール２７は、吐出確認エリアＴ、印刷エリアＧ１１、Ｇ１２、Ｇ２１、Ｇ２２、Ｇ３１、Ｇ３２、スピットエリアＧの両側に１ずつ形成する構成としたが、これに限定されるものではない。例えば、図９に示すように、直線Ｌａと平行なスケール２７ａと、直線Ｌａに対して傾斜したスケール２７ｂ、２７ｃを形成してもよい。これにより、印刷版２５が版胴２４に対して傾いて設けられた場合、いずれかが版胴２４の回転方向に対して平行であれば、そのスケールを利用することができる。傾斜したスケールの数は、図９に示す２つに限定されるものではなく、要求されるアライメント精度、印刷版２５の大きさ、画像記録部２２の大きさ等に応じて、適宜その数は決定される。  また、傾斜したスケール２７ｂ、２７ｃについては、その傾き角度およびピッチ等は記憶部１４に予め記憶させておく。
【００７１】  図１０は、本発明の実施形態の印刷装置のメンテナンス部の一例を示す模式図である。  図１０に示すように、インクジェットヘッド４０に対して、回転ローラ７０が配置されている。この回転ローラ７０は、回転軸７０ａを有し、回転軸７０ａを中心に回転する。回転ローラ７０には、その周面７０ｂに、インクジェットヘッド４０の洗浄のためのウェブ７２が巻きかけられている。このウェブ７２は、インクジェットヘッド４０のインク５２ｂを取り除くことができれば、特に限定されるものではない。例えば、洗浄部７４により洗浄液７４ａを、インクジェットヘッド４０に直接、塗布または噴射して、回転ローラ７０を回転させてウェブ７２をインクジェットヘッド４０に接触させてインク５２ｂを取り除く。また、ウェブ７２に洗浄部７４により洗浄液７４ａを噴射して、回転ローラ７０を回転させてウェブ７２をインクジェットヘッド４０に接触させてインク５２ｂを取り除いてもよい。
【００７２】  洗浄液には、例えば、インク溶解性のある溶剤またはインク成分のうち固形分が含まれない溶液が用いられる。ＵＬＶＡＣ製Ａｇナノメタルインク（Ａｇ１ｔｅＨ（型番）、Ｌ−Ａｇ１ＴｅＨ（型番））、およびＡｕナノメタルインク（シクロドデセン溶媒）インクジェットタイプには、炭化水素系の溶剤を利用することができる。炭化水素系の溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン、ヘキサン、テトラデカン、シクロドデセンを用いることができる。  ウェブ７２には、例えば、ＫＢセーレン社製、サヴィーナ（登録商標）、東レ社製、トレシー（登録商標）、および帝人社製、ナノフロント（登録商標）、ミクロスター（登録商標）等のワイピングクロスを用いることができる。
【００７３】  また、インクジェットヘッド４０を洗浄するものとしては、図１０に示すものに限定されるものではない。例えば、ゴムブレード（図示せず）を有する構成とすることもできる。インクジェットヘッド４０はキャリッジ４６によりＸ方向に移動可能であるため、これを利用して、ゴムブレードを固定してインクジェットヘッド４０の長手方向にインクをふき取る。また、インクジェットヘッド４０を固定して、ゴムブレードを走査してワイプしてもよい。このとき、インクジェットヘッド４０の長手方向と直交する短手方向にインクをふき取るとゴムブレードの移動距離を短くできるメリットがあり、これ以外にも、ふき取ったインクが他のノズルに入る可能性が少ないメリットがある。一方、インクジェットヘッド４０の長手方向と平行な方向にインクをふき取るとインクジェットヘッド４０のＸ軸を共有できるメリットがある。そこで装置構成またはコストを考慮した最適の形で設計することがよい。  なお、ゴムブレードまたはインクジェットヘッド４０に洗浄液を付与して、インクをふき取るようにしてもよい。インクをふき取る時には、サブタンク５０、５８内の圧力を印刷時の圧力と別に設定することもできる。インク、インクジェットヘッド４０またはワイプの条件によって最適な圧力を設定することが好ましい。
【００７４】  ウェブ（図示せず）を用いる場合、インクジェットヘッド４０を、例えば、Ｘ方向に移動させながら、ウェブを移動させてワイプする。これによりウェブ面が常にリフレッシュされる。ウェブには、上述のウェブ７２と同じものを用いることができる。  なお、ウェブに洗浄液を事前に含ませて、インクをふき取ること、およびインクジェットヘッド４０に洗浄液を付与して、インクをふき取ることのうち、少なくとも一方をしてもよい。インクをふき取る時にはサブタンク５０、５８内の圧力を印刷時の圧力と別に設定することもできる。インク、インクジェットヘッド４０またはワイプの条件によって最適な圧力を設定することが好ましい。
【００７５】  メンテナンス部３６では、インクジェットヘッド４０について、パージ、スピットおよびドリップ等の動作を行わせることもできる。  ここで、パージとは、インクジェットヘッド４０をインク受け７７上に配置し、この状態でサブタンク５０の圧力を正圧にして、ノズル４１からインクを押し出すことである。インク受け７７は、キャップ、ワイプ部と共有することもできる。
【００７６】  スピットとは、吐出動作のことである。これにより、ノズル詰まり、吐出曲がりを改善することができる。なお、スピットはパージと同様の場所で実施するが、スピット用のステーションを設けてもよい。この場合、吐出したインクが舞わないように下から吸引を行うことが好ましい。スピット時は、印刷時のインクジェットヘッド４０に吐出波形と比較して駆動電圧を高くするか、または専用波形を用いる。専用波形は、印刷時の吐出波形と比較してインク液滴量が多く、インクの吐出速度が早くなるように設定する。
【００７７】  ドリップとは、上述のパージ程、インクを強く押し出す回復動作ではなく、ゆっくりとインクが垂れることで回復させる動作である。これにより、ノズルの詰まり、インクの吐出曲がりを改善することができる。なお、ドリップもパージまたはスピットと同様の場所で実施するが、ドリップの際、サブタンク５０内の圧力を印刷時の圧力よりも正圧側にすることで実施する。しかしながら、サブタンク５０内の圧力は大気圧より正圧であり、かつパージ圧より低いことが好ましい。
【００７８】  また、メンテナンス部３６では、ノズル４１の乾燥防止のため、キャップ機構（図示せず）を有してもよい。キャップ機構では、ノズル４１にキャップした後、ノズル４１周辺を窒素ガスで満たすものである。また、洗浄液をウェブ等に浸してキャップの中に配置することでノズル４１の乾燥をより防止することもできる。
【００７９】  図１１は、本発明の実施形態の印刷装置のメンテナンス部の吐出観察部とノズル観察部を示す模式図である。  図１１に示すように、メンテナンス部３６では、インクジェットヘッド４０から吐出されたインク液滴４５を観察する吐出観察部７６と、インクジェットヘッド４０のノズル４１（図３参照）を、ノズル４１が形成された面側から観察するノズル観察部７８とを有する。インク液滴４５を受けるインク受け７７がインクジェットヘッド４０に対向して設けられている。
【００８０】  吐出観察部７６は、光源７６ａと撮像部７６ｂを有し、光源７６ａと撮像部７６ｂとが、インク液滴４５を挟んで配置されている。光源７６ａには、ＬＥＤ光源およびストロボ光源を利用することができる。ストロボ光源としては、例えば、菅原製作所のナノパルスライトを用いることができる。  撮像部７６ｂには、例えば、カメラレンズを備えたカメラを用いることができる。カメラレンズとしては、例えば、光学倍率０．５〜１０倍、ワーキングディスタンスが３０ｍｍ以上のカメラレンズが用いられる。カメラとしては、例えば、１００万画素程度以上のモノクロＣＭＯＳ、ＣＣＤを備えるカメラが用いられる。なお、吐出観察部７６では、吐出されたインク液滴４５の影を観察するためカラーである必要性はない。
【００８１】  ノズル観察部７８は、撮像部７８ａにレンズ７８ｂの一方の端が接続され、このレンズ７８ｂの他方の端に光源７８ｃが設けられている。  撮像部７８ａには、例えば、１００万画素程度以上のＣＭＯＳ、ＣＣＤを備えるカメラが用いられ、カラー、およびモノクロのいずれも用いることができる。  レンズ７８ｂとしては、例えば、光学倍率０．５〜１０倍のカメラレンズが用いられる。カメラレンズには、インクが付着する可能性があるため、カメラレンズには取り替え、またはクリーニングが容易な保護フィルタを設けることが望ましい。  撮像部７８ａとレンズ７８ｂとは一体でも別体でもよい。一体の場合、例えば、カメラレンズを備えたカメラを用いることができる。  光源７８ｃには、例えば、ＬＥＤ光源を利用することができ、同軸照明またはリング照明等を用いることができる。
【００８２】  吐出観察部７６およびノズル観察部７８は、いずれも制御部１８に接続されており、光源７６ａ、７８ｃと撮像部７６ｂ、７８ａの動作は制御部１８で制御され、撮像部７６ｂ、７８ａで得られた撮像データは制御部１８により、記憶部１４に記憶される。制御部１８でインクジェットヘッド４０でのインクの吐出状態が、例えば、インクジェットヘッド４０の吐出特性の設計値と比較されて、その比較結果が、記憶部１４に記憶される。
【００８３】  本発明の印刷装置１０では、例えば、電子ペーパー等に用いられる薄膜トランジスタのゲート電極、ソース電極、およびドレイン電極を作製することができる。  図１２は、本発明の実施形態の印刷装置で形成される薄膜トランジスタの一例を示す模式図である。  図１２に示す薄膜トランジスタ８０（以下、ＴＦＴ８０という）は、ゲート電極８２と、ゲート絶縁層（図示せず）と、ソース電極８６ａと、ドレイン電極８６ｂと、半導体層（図示せず）と、保護層（図示せず）とを有する。  ＴＦＴ８０においては、ゲート電極８２を覆うように、ゲート絶縁層（図示せず）が形成されている。このゲート絶縁層上にチャネル領域８４として予め設定された隙間をあけて、ソース電極８６ａとドレイン電極８６ｂとが形成されている。チャネル領域８４上に活性層として機能する半導体層（図示せず）が形成されている。半導体層、ソース電極８６ａおよびドレイン電極８６ｂを覆う保護層（図示せず）が形成されている。
【００８４】  次に、印刷装置１０における印刷版２５の傾き補正について説明する。  印刷版２５を版胴２４に取り付けたときに傾きが生じてしまう。このためスケール２７も傾き、印刷版２５へのインキングパターンもこの傾きに合わせた調整が必要である。  なお、印刷装置１０における印刷版２５の傾き補正について、図１３、図１４および図１５を用いて第１の例、第２の例について説明するが、傾き補正の方法は、以下に示すものに限定されるものではない。印刷装置１０では印刷版２５の傾き補正は、図１３に示すもの、ならびに図１４および図１５に示すもののうち、少なくとも一方を用いればよい。印刷装置１０の構成としても、図１３に示すもの、ならびに図１４および図１５に示すもののうち、いずれか傾き補正するための構成部を有していればよい。  ここで、図１３は、本発明の実施形態の印刷装置の傾き補正の第１の例を説明するための模式図である。図１４は、本発明の実施形態の印刷装置の傾き補正の第２の例を説明するための模式図であり、図１５は、図１４の要部を拡大して示す模式図である。なお、図１３および図１４において、理想的な配置の印刷版２５ｉは想像線で示す。理想的な配置とは、版胴２４のＹ方向と印刷版２５のアライメントマークＡとアライメントマークＣを通る線Ｌａが上述のＹ方向に平行であることをいう。
【００８５】  まず、印刷版２５の傾き補正の第1の例について説明する。図１３に示すように、印刷版２５が理想的な配置の印刷版２５ｉに対して角度α傾いて配置された場合、スケール２７もパターン８９も角度α傾斜する。この状態で、スケール２７は、読取部４７によりＹ方向と平行な方向で読み取られる。スケール２７の長さがＬの場合、スケール２７の読取長さはＬ／ｃｏｓαになり、傾いた角度αに応じて、スケール２７の読取長さは長くなる。このため、形成するパターンも１／ｃｏｓα倍長くなる。例えば、薄膜トランジスタを形成する場合、パターンが長くなると、設計の通りの特性を発揮できない恐れがある。また、読取部４７でのスケール２７を読み取るタイミングも１／ｃｏｓαずれ、すなわち、エンコーダ信号の出力間隔が１／ｃｏｓαずれ、インクの吐出タイミングがずれる。これにより、インクの打滴位置がずれ、インク液滴により形成されるドットの位置がずれる等して高い精度でインキングができない恐れもある。  そこで、上述のように印刷版２５が角度α傾いて配置された場合、形成するパターン８９のパターンデータを補正部１６ｃにてｃｏｓα倍して補正する。インクの吐出パターンデータを補正し、補正パターンデータを作成する。この補正パターンデータを用いて、パターンを形成する。  なお、図９に示すように、複数のスケール２７ａ〜２７ｃを用意しておき、印刷版２５の傾きに対応したスケールを選択することで、読取部４７での読取長さのずれを抑制することができる。
【００８６】  次に、印刷版２５の傾き補正の第２の例について説明する。図１４に示すように、印刷版２５が理想的な配置に対して角度α傾いて配置された場合、スケール２７も角度α傾斜する。この状態で、スケール２７は、読取部４７によりＹ方向と平行な方向で読み取られる。スケール２７の長さがＬの場合、スケール２７の読取長さはＬ／ｃｏｓαになり、傾いた角度αに応じて、読取長さは長くなる。このため、形成するパターンも１／ｃｏｓα倍長くなる。例えば、薄膜トランジスタを形成する場合、パターンが長くなると、設計の通りの特性を発揮できない恐れがある。また、読取部４７でのスケール２７を読み取るタイミングも１／ｃｏｓαずれ、すなわち、エンコーダ信号の出力間隔が１／ｃｏｓαずれ、インクの吐出タイミングがずれる。これにより、インクの打滴位置がずれ、インク液滴により形成されるドットの位置がずれる等して高い精度でインキングができない恐れもある。  また、この状態で、読取部４７をＸ方向に走査しないとスケール２７の読取長さがＬ／ｃｏｓαとなり、スケール間隔はピッチｐ／ｃｏｓαとなる。図１５に示すように、キャリッジ４６により読取部４７をＸ方向に走査するとスケール２７の読取長さはＬ・ｃｏｓαとなり、スケール間隔はピッチｐ・ｃｏｓαとなる。しかし、読取部４７をＸ方向に走査してもスケール２７の読取長さはＬにならない。
【００８７】  読取部４７をＸ方向に走査した場合、インクジェットヘッド４０の両側にあるノズル４１ａとノズル４１ｅとでインクの吐出タイミングがずれるため、Ｙ方向でインクの着弾位置がずれてしまい、印刷版２５にパターンを正確にインキングすることができない。このため、ノズル４１ａとノズル４１ｅとでインクの吐出タイミングを、例えば、インクの吐出波形を調整部１６ｂで調整する。また、インクジェットヘッド４０を印刷版２５の傾きの角度αに合わせて回動させる。これにより、Ｙ方向でインクの着弾位置のずれを抑制することができる。すなわち、印刷版２５の傾きを補正することができる。  また、図１４に示すように、印刷版２５が理想的な配置に対して角度α傾いて配置された場合、インクジェットヘッド４０を回動部４９（図２参照）により、角度α回動させる。そして、インクジェットヘッド４０がパターン８９を形成できるように、キャリッジ４６をＸ方向に移動させる。Ｘ方向への移動量は、補正部１６ｃにてインクジェットヘッド４０の両端にあるノズル間の距離と、形成するパターン８９の幅とを比較して適宜決定される。このようにしても、印刷版２５の傾きを補正することができる。
【００８８】  印刷版２５の傾きを補正の第２の例について、より具体的には、例えば、図１６に示すように、印刷版２５が傾いており、回転方向Ｙに平行な配線パターン８９ａが印刷開始位置８９ｓと印刷終了位置８９ｅとでＸ方向に４０μｍずれているような場合、この配線パターン８９ａを１つのノズル４１ｂによるインキングで作製するためには、配線パターン８９ａの４０μｍのずれに合わせてノズル４１ｂの位置を、例えば、Ｘ方向と平行なＤｈ方向に移動させる必要がある。すなわち、インクジェットヘッド４０をＤｈ方向に移動させる必要がある。なお、図１６において、符号Ｈｙは、インクジェットヘッド４０をＤｈ方向に移動させないときのノズル４１ｂの移動方向を示す。移動方向ＨｙはＹ方向の平行な方向である。符号Ｈｍはインクジェットヘッド４０をＤｈ方向に移動させたときのノズル４１ｂの移動方向を示す。移動方向ＨｍはＸ方向と平行な方向である。
【００８９】  また、例えば、図１７に示すように、印刷版２５が傾いているとき、ノズル４１が千鳥配置されているインクジェットヘッド４０を用いた場合、インクジェットヘッド４０を傾けると、ノズル４１の間隔ｔ１、ｔ２が、ｔ１＜ｔ２となり、ノズル４１間隔が不均一になる。このため、傾いた印刷版２５に対して、常に一定の場所にインクジェットヘッド４０が配置されるように、インクジェットヘッド４０を、例えば、Ｄｈ方向に移動させる必要がある。具体的には、インクジェットヘッド４０の位置が固定された場合、印刷版２５が傾いていると、印刷版開始位置２５ｓと印刷版終了位置２５ｅとでは距離Ｄｗずれる。このため、印刷版２５のＹ方向への移動量に応じてインクジェットヘッド４０をＤｈ方向に移動させることで印刷版２５に対して、常に一定の場所にインクジェットヘッド４０を配置させることができる。
【００９０】  以上のように印刷版２５の傾き補正の方法を用いて印刷版２５の傾きを補正することで、印刷版２５が傾いて取り付けられても、インクの打滴位置のずれを抑制し、パターンの大きさおよび位置等を変えることなく、高い精度で印刷版２５にパターンを形成することができる。これにより、印刷版２５の取り付け精度が低い場合であっても印刷精度を向上させることができる。  なお、印刷版２５の傾きについては、上述のように、許容範囲を設定しておき、許容範囲内であれば、印刷版２５の傾き補正をしないようにしてもよい。
【００９１】  次に、印刷装置１０で形成される配線パターンについて説明する。  ここで、図１８〜図２０は、本発明の実施形態の印刷装置で形成される配線パターンの形成工程を工程順に示す模式的断面図である。図２１は、転写前の印刷版の第１の例を示す模式的断面図であり、図２２は、印刷版に転写後のパターンを示す模式的断面図である。図２３は、転写前の印刷版の第２の例を示す模式的断面図であり、図２４は、印刷版に転写後のパターンを示す模式的断面図である。図２５は、転写前の印刷版の第３の例を示す模式的断面図であり、図２６は、印刷版に転写後のパターンの一例を示す模式的断面図であり、図２７は、印刷版に転写後のパターンの他の例を示す模式的断面図である。
【００９２】  印刷装置１０で形成される配線パターンにおいては、図１８に示すように、印刷版２５の凹部２５ｂにインク５２ｂが打滴されて、中央に凹部１１０があるインク形状となっている。この状態で、図１９に示すように、印刷版２５を基板３１に押し付け、図２０に示すようにインクを基板３１の表面３１ａに転写すると、凹部１２２のある配線パターン１２０が形成される。  なお、印刷版２５でのインクの形状、および配線パターン１２０の形状は、例えば、コンフォーカル顕微鏡（ＯＰＴＥＬＩＣＳ  Ｈ１２００、レーザーテック社製）、および微細形状測定機サーフコーダ（ＥＴ４０００−Ｌ、小坂研究所製）を用いて測定することができる。
【００９３】  上述のように形成された配線パターン１２０（図２０参照）は、印刷版２５上での転写前のインク形状がそのまま基板３１の表面３１ａに転写されることがわかった。例えば、インク形状が、印刷版２５で、図１８に示すように中央に凹部１１０がある場合、いわゆるコーヒーステイン形状をしていた場合、基板３１上でも、図２０に示す配線パターン１２０のように中央に凹部１２２がある形状、いわゆるコーヒーステイン形状であった。  版胴２４から基板３１に転写されて配線パターン１２０が形成されるため、配線パターン１２０は、印刷版２５での形状を反転した形状になるとも考えられるが実際はそのようにはならなかった。基板３１への転写のメカニズムは明確にはなっていないが、印刷版２５にＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）を用いているため転写時の印圧によってＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）が変形して、基板とインクと印刷版（ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン））が密着しているためと考えられる。  このことは、転写前の印刷版上のインク形状をコントロールすることで配線パターンの断面形状を自由にコントロールすることができることを示唆している。  インクの揮発状態を変えることでコーヒーステインをコントロールすることが知られており、配線パターンの仕様に応じた形状をインク設計で可能なことを示している。また、ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）は溶剤を吸収することが知られており、この吸収量を制御することでも同様の効果を得ることができる。
【００９４】  例えば、図２１に示すように、印刷版２５でインク５２ｂが、その表面１１２が平らな場合、図２２に示すように基板３１の表面３１ａに、表面が平らな配線パターン１２４が形成される。  また、例えば、図２３に示すように、印刷版２５でインク５２ｂが、その表面１１４が凸な場合、図２４に示すように基板３１の表面３１ａに、表面１２８が凸な配線パターン１２６が形成される。  また、例えば、図２５に示すように、印刷版２５でインク５２ｂが、その表面１１６が凹な場合、図２６に示すように基板３１の表面３１ａに、表面１３２が凹な配線パターン１３０が形成される。  なお、表面１１６が凹なインク５２ｂでは、上述の図２５、図２６に示しているが、図２７に示す基板３１の表面３１ａ側に凹部１３６がある配線パターン１３４は形成されない。
【００９５】  次に、パターンの形成方法について説明する。なお、パターンは、例えば、４回のインクの打滴により形成される。  図２８は、パターンにインクが付与された状態を示す模式図であり、図２９は、パターンに１回目のインクが付与された状態を示す模式図であり、図３０は、パターンに２回目のインクが付与された状態を示す模式図である。図２８に示すパターン９０は、例えば、４回に分けてインク液滴を打滴して形成される。  図２８において、符号９２ａは１回目のインク液滴により形成されるドットを示し、符号９２ｂは２回目のインク液滴により形成されるドットを示し、符号９２ｃは３回目のインク液滴により形成されるドットを示し、符号９２ｄは４回目のインク液滴により形成されるドットを示す。
【００９６】  １回目のインク液滴による打滴の後、版面観察部２６で版面を撮像して版面撮像データを得て、調整ユニット１６の判定部１６ｄにて判定した結果、図２９に示すように、１回目のインク液滴により形成されるドット９２ａにおいて、インクジェットヘッド４０の不調等により、インクが吐出されず不足部９３があった場合、制御部１８により、２回目のインクの打滴の際にインクジェットヘッド４０からのインクの吐出量が変更される。これにより、２回目にインクを吐出する際、図３０に示すように不足部９３を囲んで、サイズの大きいドット９４が形成されるようにインク液滴を吐出する。これにより、適正なパターン９０を形成することができる。
【００９７】  次に、パターンの形成方法の他の例について説明する。  図３１は、パターンにインクが付与された状態を示す模式図であり、図３２は、パターンに１回目のインクが付与された状態を示す模式図である。  なお、図３１、図３２において、図２８と同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。  １回目のインク液滴による打滴の後、版面観察部２６で版面を撮像して版面撮像データを得て、調整ユニット１６の判定部１６ｄにて判定した結果、図３１に示すように、１回目のインク液滴により形成されるドット９２ａにおいて、インクジェットヘッド４０の不調等により、大きなドット９３ａが形成された場合、制御部１８により、２回目のインクの打滴の際にインクジェットヘッド４０からのインクの吐出量が変更される。これにより、次の２回目にインク液滴を吐出する際、図３２に示すように大きなドット９３ａを囲んで、小さなサイズのドット９４ａが形成されるようにインク液滴を吐出する。これにより、適正なパターン９０を形成することができる。
【００９８】  印刷装置１０では、版面観察部２６および判定部１６ｄを設け、版面観察部２６にて、インクが付与された印刷版２５の版面２５ａを撮像して版面撮像データを得て、調整ユニット１６の判定部１６ｄにてインクの付与が適正であるか否かを判定することできる。調整ユニット１６の判定部１６ｄでの判定結果に応じて、次回以降のインクの付与方法、版面の修復等を行うことで、直接的な印刷結果ではないが、実際の基板による印刷結果相当の検査が可能となり、検査の信頼性が向上し、印刷精度を向上させることができる。しかも、印刷確認のために基板３１を無駄にすることもない。さらには、検査ロール等の複雑な構成の必要がないため、装置コストも低減することができる。  また、ドクタリングが不要であり、ドクタリングに伴う印刷版２５の版面２５ａの地汚れを防止し、かつ印刷版２５の耐久性も改善することができる。
【００９９】  次に、本実施形態の印刷方法について印刷装置１０を用いて説明する。  図３３は、本発明の実施形態の印刷方法を説明するための示す模式図である。  上述のように、版胴２４を複数回回転させて、各回転毎に、インクをパターン領域内に付与する。図３３において、距離は版胴２４の回転量を示したものであり、距離が０は、印刷版２５の初期位置を示す。  また、図３３において、符号１００は、インクの吐出するタイミングを示し、符号１０２はインクを乾燥する区間を示し、符号１０４は基板３１に転写する区間を示す。また、符号１０６は、複数回印刷する場合、印刷版２５の印刷の開始位置を示す。
【０１００】  印刷装置１０では、印刷しようとするパターンのパターンデータに基づいて、特定のパターンが基板３１に印刷される。アライメントカメラ４２でアライメントマークＡ〜Ｄの位置情報を取得し、印刷版２５の取り付け位置情報を取得し、印刷版２５の傾きを求める。印刷版２５の傾きが許容範囲内である場合、傾き補正をすることなくパターンを印刷する。この場合、インクをパターン領域内に付与する際、読取部４７でスケール２７を読み取り、スケール２７の位置情報を得て、インクジェットヘッド４０からのインクの吐出タイミングを調整して、予め定められた吐出波形でインクを印刷版２５に吐出し、インキングを行う。  一方、印刷版２５の傾きが許容範囲から外れる場合、傾き補正をしてパターンを印刷する。このように印刷版２５の傾き補正をすることで、印刷版２５の取り付け精度が低い場合であっても印刷精度を向上させることができる。
【０１０１】  図３３に示す例では、版胴２４を４回回転させ、各回転毎にインクを打滴する。インクの打滴毎に、版面観察部２６にて印刷版２５の版面２５ａの情報を取得し、調整ユニット１６の判定部１６ｄにて判定し、その判定結果に基づいて、制御部１８でインクの吐出量、吐出密度が調整されて、次のインクの打滴を実施する。この場合、印刷版２５の凹部での不足がある場合には不足部分の周辺のインクの打滴量を多くし、形成されるドットを大きくする。これ以外にも、予め定められたインクの打滴数よりも多くして、打滴密度を高くする。  逆に、印刷版２５の凹部で、先のインクの打滴の際に大きなドットとなってしまった場合、インクの打滴量を少なくし、形成されるドットを小さくする。これ以外にも、予め定められたインクの打滴数よりも少なくして、打滴密度を下げる。  また、インクジェットヘッド４０が冗長ノズルを有する場合には、冗長ノズルを用いることもできる。
【０１０２】  例えば、２４００ｄｐｉのパターンデータの場合、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉのパターンの４回走査、Ｘ方向６００ｄｐｉ、Ｙ方向２４００ｄｐｉのパターンの４回走査で、パターン領域へのインクの付与（インキング）を完了することができる。  また、例えば、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉの場合、１ノズルの隣接画素間距離（最小値）も２１．２μｍで吐出周波数の要求は低いものの、ノズル数がＸ方向で６００ｄｐｉと比べて２倍必要となる。Ｘ方向の隣接画素間距離（最小値）は２１．２μｍとなりＸ方向着弾干渉の影響が懸念される。  一方、Ｘ方向６００ｄｐｉ、Ｙ方向２４００ｄｐｉの場合、ノズル数は上述のＸ方向１２００ｄｐｉと比較して１／２となり、Ｘ方向の隣接画素間距離（最小値）は４２．３μｍとなりＸ方向着弾干渉の影響は減るものの、Ｙ方向の隣接画素間距離（最小値）が１０．６μｍとなり、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉの場合と比較して２倍の高周波吐出が必要となる。
【０１０３】  次に、本実施形態の印刷装置１０の印刷方法についてより具体的に説明する。  図３４は、本発明の実施形態の印刷方法を示すフローチャートである。  最初に、インクをインクタンクに供給する（ステップＳ１０）。ステップＳ１０では、まず、インクタンクからサブタンクへインクを送液する。そして、サブタンクからインクジェットヘッド４０にインクを供給する。  なお、インクの供給に際しては、洗浄液からインクに置換する。洗浄液を窒素ガスでインクジェットヘッド４０から出した後、インクを供給することも可能であるが、窒素ガスを巻き込みやすい。このため、インクの供給は洗浄液から置換することが好ましい。
【０１０４】  洗浄液をインクジェットヘッド４０に供給した状態で、吐出確認を行う。吐出確認の際、結果がよくない場合、メンテナンス部３６を用いて吐出回復を行う。回復できない場合は、必要に応じてインクジェットヘッド４０の交換を行う。  洗浄液からインクに置換に際しては、例えば、サブタンク５０の洗浄液を下限まで減らす。次に、サブタンク５０にインクを入れ、インクジェットヘッド４０内の洗浄液をインクで押し流す。次に、サブタンク５０のインクを下限まで減らす。インクジェットヘッド４０内の洗浄液をインクで押し流し、サブタンク５０のインクを下限まで減らすことを繰り返し行い、洗浄液をインクに置換する。
【０１０５】  次に、アライメントを実施する（ステップＳ１２）。  この場合、インクジェットヘッド４０の位置と版位置とのアライメントを行う。まず、アライメントマークＡ〜Ｃをアライメントカメラ４２で読み取り、その位置を検出する。  次に、Ｘ方向の絶対距離を求める。この場合、例えば、アライメントマークＡ、Ｂがアライメントカメラ４２の視野のＸ方向で同じ位置になったときのキャリッジ４６位置（リニアスケール読み取り値）から算出する。  次に、Ｙ方向の絶対距離を求める。この場合、アライメントマークＡ、Ｃのアライメントマークがアライメントカメラ４２の視野のＹ方向で同じ位置になったときのローターリーエンコーダから出力される版胴２４の回転位置情報から算出する。なお、Ｙ方向は距離ではなく角度でのアライメント調整になる。
【０１０６】  次に、インクジェットヘッド４０と印刷版２５との相対的な傾きを求める。この場合、傾き角度θを求める。アライメントマークＡ，ＢのＸ方向位置だけでなく、Ｙ方向についてもずれを計測する。アライメントカメラ４２の視野のＹ方向も同じになったときのローターリーエンコーダから出力される版胴２４の回転位置情報からＹ方向のずれを算出して、Ｘ方向の距離とＹ方向のずれから傾き角度θを算出する。あるいは、カメラの視野内でのＹ方向のずれから傾き角度θを算出することもできる。  また、アライメントマークＡ〜Ｃの位置情報から、印刷版２５の版胴２４に対する取り付け位置情報を得る。すなわち、どのように印刷版２５が版胴２４に取り付けられているかの情報を得る。そして、印刷版２５の傾き角度αを求める。例えば、角度αは、Ｘ方向の距離とＹ方向のずれから算出することができる。
【０１０７】  上述のように得られたＸ方向の距離、Ｙ方向の角度、傾き角度θは記憶部１４に記憶される。制御部１８では、Ｘ方向の距離、Ｙ方向の角度、傾き角度θと、記憶部１４に記憶された印刷するパターンデータに対してＸ方向およびＹ方向の拡大縮小処理、傾き角度θに基づくパターンデータの回転処理を行い、パターンデータを補正する。補正されたパターンデータに必要に応じて印刷版２５の傾き補正を行う。また、インクジェットヘッド４０からのインクの吐出のタイミングの調整も制御部１８にて行う。
【０１０８】  次に、印刷版２５の傾きを確認する（ステップＳ１４）。  ステップＳ１２で求めた印刷版２５の傾き角度αを許容範囲と比較し、許容範囲内であれば、次の工程である吐出確認工程（ステップＳ１６）に進む。  一方、ステップＳ１４において、許容範囲から外れる場合、傾き補正する（ステップＳ２２）。  ステップＳ２２において、印刷版２５の角度αに基づき、上述のように補正パターンデータを作成したり、インクの吐出タイミングを調整したり、インクジェットヘッド４０を角度αに合わせて回動させる等して、印刷版２５の傾き補正を行う。
【０１０９】  次に、インクジェットヘッド４０の吐出確認を行う（ステップＳ１６）。  この場合、テストパターンの印刷物の評価、または吐出観察にて行う。  テストパターンの印刷の印刷物の評価は、印刷した基板の目視またはスキャナでの評価で行う。また、印刷版２５に吐出のみを行い、転写を行わず、印刷版２５上のインクをアライメントカメラ４２で観察することで実施することもできる。  印刷版２５には上述のように吐出確認エリアＴを設けており、そこにインクを打滴する。版胴２４に吐出確認エリアＴを設けて、そこにインクを打滴してもよい。  吐出確認エリアＴのインクは、評価後、クリーニング部３４で取り除くか、または基板３１に転写して取り除く。
【０１１０】  なお、吐出確認の結果が予め定められた範囲から外れていた場合、メンテナンス部３６にて回復動作を行うか、または、吐出制御部４３での吐出波形の最適化を行う。  吐出確認と合わせて、印刷版２５へ打滴したインクの着弾位置の情報を、アライメントカメラ４２を用いて取得する。調整ユニット１６において、着弾位置のずれを判定し、Ｘ方向、Ｙ方向、傾き角度θについて予め定められた範囲から外れている場合には、補正パターンデータの拡大縮小、回転等を再度調整する。
【０１１１】  次に、印刷版へのインキングを行う（ステップＳ１８）。  パターンデータまたは補正パターンデータを吐出制御部４３に送り、版胴２４を回転させて、その時に、読取部４７でスケール２７を読み取り、スケール２７の位置情報を得る（取得工程）。そして、インクジェットヘッド４０からのインクの吐出タイミングを調整して（調整工程）、予め定められた吐出波形でインクを印刷版２５に吐出し、インキングを行う。例えば、版胴２４を４回回転させて、すなわち、４回走査してパターン領域にインクを付与する。この場合、走査１回毎にスピットを行う。スピットは、印刷版２５のスピットエリアＧまたは版胴２４上に設けたスピットのためのスピットエリア（図示せず）で行う。  スピットのタイミングは、印刷エリアにパターン形成した後であっても、印刷版１枚毎あってもよい。また、印刷版１００枚毎のようにある印刷枚数毎に、パージ、ワイプおよびスピットをメンテナンス部３６で実施し、さらに吐出確認を行うようにしてもよい。  なお、インキングを行うステップＳ１８が取得工程と調整工程に相当する。
【０１１２】  次に、インキングされた印刷版２５を基板３１に転写する（ステップＳ２０）。  まず、ステージ３０上に基板３１を載置しておき、開始位置Ｐｓにて待機する。そして、印刷版２５のパターンの位置合わせのために基板３１のアライメントを行う。  次に、ステージ３０を搬送方向Ｖに移動させて基板３１を版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに配置する。そして、版胴２４を回転させ、印刷版２５と基板３１の表面３１ａとを接触させて、印刷版２５のインクを基板３１に転写する。そして、転写後、ステージ３０を搬送方向Ｖに移動させて、版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐから印刷版２５を終了位置Ｐｅに移動させる。その後、パターンが形成された印刷版２５をステージ３０から移動させ、ケーシング２０の外部に取り出す。
【０１１３】  本発明は、基本的に以上のように構成されるものである。以上、本発明の印刷装置および印刷方法について詳細に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良または変更をしてもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【０１１４】  １０  印刷装置  １２  印刷装置本体  １４  記憶部  １６  調整ユニット  １８  制御部  ２０  ケーシング  ２２  画像記録部  ２４  版胴  ２５  印刷版  ２６  版面観察部  ３０  ステージ  ３１  基板  ３２  乾燥部  ３４  クリーニング部  ３６  メンテナンス部  ４０  インクジェットヘッド  ４２  アライメントカメラ  ４３  吐出制御部  ４４  レーザ変位計  ４６  キャリッジ  ４７  読取部  ４８  リニアモータ  ４９  回動部  ５０、５８  サブタンク  ７６  吐出観察部  ７８  ノズル観察部  Ａ〜Ｄ  アライメントマーク  Ｇ  スピットエリア  Ｔ  吐出確認エリア  Ｇ１１、Ｇ１２、Ｇ２１、Ｇ２２、Ｇ３１、Ｇ３２  印刷エリア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【国際調査報告】
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