(57)【要約】可干渉性の高い電磁波の光束を所定の照明領域に拡大して照明した状態で、前記所定の照明領域を当該照明領域よりも狭い移動範囲で移動させることにより、干渉パターンの発生を軽減できるイメージングシステムが得られる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可干渉性の高い電磁波の光束を所定の照明領域に拡大して照明する光学系と、前記所定の照明領域を当該照明領域よりも狭い移動範囲で移動させる移動手段を含むことを特徴とするイメージングシステム。
【請求項２】
前記照明領域は、前記照明領域に入射する照明光の光束に対して垂直な平面であることを特徴とするイメージングシステム。
【請求項３】
前記照明領域内に配置された被写体のイメージを撮像する撮像手段を有することを特徴とする請求項１又は２記載のイメージングシステム。
【請求項４】
前記可干渉性の高い電磁波は、テラヘルツ帯域の電磁波であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のイメージングシステム。
【請求項５】
前記移動手段は、照明によって発生する干渉パターンを軽減できる前記移動範囲内で、前記照明領域を揺動させる搖動手段であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のイメージングシステム。
【請求項６】
前記光学系は、前記可干渉性の高い電磁波を発光する光源と、前記可干渉性の高い電磁波を前記所定の照明領域に拡大するレンズ系と、当該レンズ系からの光束を前記照明領域に導く光学システムを有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のイメージングシステム。
【請求項７】
前記照明領域に導く前記光学システムは、前記レンズ系からの光束を前記照明領域に反射するミラーを有していることを特徴とする請求項５記載のイメージングシステム。
【請求項８】
前記ミラーが、入射面が互いに直交する一対のミラーからなることを特徴とする請求項７記載のイメージングシステム。
【請求項９】
前記ミラーがそれぞれ前記搖動手段を備えることを特徴とする請求項８記載のイメージングシステム。
【請求項１０】
入射面が互いに直交する一対のミラーを複数備え、少なくとも一対のミラーは前記搖動手段を備え、他は前記搖動手段を備えていないことを特徴とする請求項７記載のイメージングシステム。
【請求項１１】
前記揺動手段は、前記照明領域より狭い前記移動範囲内で前記ミラーを揺動させるガルバノミラー形式の機構であることを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項に記載のイメージングシステム。
【請求項１２】
前記照明領域に導く前記光学システムは、前記レンズ系からの照明光路中に挿入された平行平板を含んでいることを特徴とする請求項６記載のイメージングシステム。
【請求項１３】
前記移動手段は、前記平行平板を光軸に直交する軸を中心に、前記移動範囲内で揺動させる搖動手段であることを特徴とする請求項１２記載のイメージングシステム。
【請求項１４】
前記揺動手段は、光軸に直交する軸を中心に、前記平行平板を回転させる回転手段であることを特徴とする請求項１２記載のイメージングシステム。
【請求項１５】
可干渉性の高い電磁波で、所定の照明領域に照明し、前記所定の照明領域よりも狭い範囲内で、照明光を移動させることによって、前記照明光を照明することによって発生する干渉パターンを軽減することを特徴とする干渉パターン低減方法。
【請求項１６】
可干渉性の高い電磁波で、所定の照明領域に照明し、前記所定の照明領域よりも狭い範囲内で、照明光を移動させることによって、前記照明光を照明することによって前記照明領域内に位置付けられる被写体内の異物を検出することを特徴とするイメージング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可干渉性の高い電磁波を用いたイメージングシステム及びイメージング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
可干渉性の高い電磁波として、１００ＧＨｚ〜１０ＴＨｚの周波数帯（３ｍｍ〜３０μｍの波長帯域）の所謂テラヘルツ波が知られている。テラヘルツ波は、赤外線と電波の中間の帯域に位置する電磁波であり、紙、プラスチック、繊維、煙、水、半導体等を透過する性質を持ち、且つ、物質固有の吸収スペクトルを示す。また、テラヘルツ波はＸ線よりも安全であるため、非破壊検査等に対する応用が期待されている。
テラヘルツ波を利用するために、種々の技術が提案されている。例えば、特許文献１は、テラヘルツ波帯の電磁波成分を含むテラヘルツ波発生素子、テラヘルツ波検出素子、及びテラヘルツ時間領域分光装置等を開示している。特許文献１で開示されたテラヘルツ波発生素子は、光を伝播させる電気光学結晶を含む導波路と、導波路を伝播するひかりからテラヘルツ波を空間に取り出す光結合部材と、２つの電極を備えている。即ち、引用文献１は、電極を介して導波路に電界を印加することにより、電気光学結晶を伝播する光の伝播状態に変化を与え、これによって、導波路を伝播する光と２次非線形過程により発生するテラヘルツ波との位相整合がとれることを記載している。
また、特許文献２は、電気光学結晶に２方向から電磁波を照射して、電気光学結晶で相互作用した電磁波を２つの異なる偏光成分に分離して、分離された異なる偏光成分によるイメージを撮像するイメージング装置を開示している。特許文献２は、異なる偏光成分によるイメージの信号を差分処理する信号処理部を設けている。特許文献２に係るイメージング装置は、高いＳ／Ｎ比を有するイメージを得ることができる。
更に、特許文献３は、パルス状の検出用電磁波を被測定物に照射し、被測定物からの検出用電磁波を電気光学結晶に照射する第１の光学系と、検出用電磁波のパルス面に対して傾斜したパルス面を有するプローブ波を電気光学結晶に照射する第２の光学系とを備え、電気光学結晶を透過したプローブ波をカメラで検出する電磁波イメージング装置を開示している。
上記したように、テラヘルツ波は赤外線と電波の中間の周波数帯域の電磁波であり、光としての性質を備えているため、以下では、光に関する用語を用いて説明する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−２０３７１８号公報
【特許文献２】特開２０１２−１０８１１７号公報
【特許文献３】特開２０１２−１２２９８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１〜３は、いずれも、２つの電磁波を電気光学結晶に照射して、電気光学結晶からの電磁波を撮像することを記載している。しかしながら、特許文献は、テラヘルツ波を撮像することによって得られるイメージに関する問題点については開示していない。
本発明者等の研究によれば、テラヘルツ波のように可干渉性の高い光源を使用して被測定物或いは被写体の撮像を行なった場合、撮像されたイメージから、被測定物或いは被写体を認識し難いと云う問題点が見出された。具体的に云えば、可干渉性の高い光源を使った場合、照明光によって干渉パターンが、本来撮像したい被測定物或いは被写体の形状、明暗と重畳されて撮像され、この結果、本来撮像したい被測定物或いは被写体の形状、明暗の認識が困難になることが判明した。例えば、被測定物或いは被写体中に混入した微小な塵或いは髪の毛等を、テラヘルツ波を用いたイメージング技術により識別しようとした場合、干渉パターンの影響で微小な塵或いは髪の毛等をイメージから識別することが難しいことが判明した。
本発明の実施形態に係る目的の１つは、干渉パターンの発生を軽減できる簡便で且つ実効性の高いイメージングシステムを提供することである。
また、本発明は、干渉パターンの発生を軽減できる干渉パターン軽減方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、可干渉性の高い電磁波の光束を所定の照明領域に拡大して照明する光学系と、前記所定の照明領域を当該照明領域よりも狭い移動範囲で移動させる移動手段を含むことを特徴とするイメージングシステムが得られる。この場合、所定の照明領域は、可干渉性の高い電磁波の光束に対して垂直な平面領域である。
本発明の他の態様によれば、可干渉性の高い電磁波で、所定の照明領域に照明し、前記所定の照明領域よりも狭い範囲内で、照明光を移動、即ち、揺動又は回転移動させることによって、前記照明光を照明することによって発生する干渉パターンを軽減することを特徴とする干渉パターン低減方法が得られる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明では、照明光によって発生する干渉パターンの発生を軽減して、本来撮像したい被測定物或いは被写体の形状等を明確に識別できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、本発明の第１の実施形態に係るイメージングシステムを説明する概略構成図である。
図２は、本発明の第２の実施形態に係るイメージングシステムを説明する概略構成図である。
図３は、撮像されたイメージを説明する図であり、（Ａ）は本発明を適用しない場合、（Ｂ）は本発明を適用した場合を示す図である。
図４は、本発明の第３の実施形態に係るイメージングシステムを説明する概略構成図である。
図５は、図４において照明光として用いられる偏光、即ち、電場の振動方向を示す図である。
図６は、本発明の第４の実施形態に係るイメージングシステムを説明する概略構成図である。
図７は、図６において照明光として用いられる偏光、即ち、電場の振動方向を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
図１を参照すると、本発明の一実施形態に係るイメージングシステムが示されている。図１に示されたイメージングシステムは、二次元平面１０上に置かれた被写体１２、例えば、小麦粉に、混在する異物（例えば、繊維、金属片、髪の毛）等を識別するために使用されるものとする。この例では、被写体は予め定められた二次元平面１０上の所定検査領域内に置かれているものする。図示された例では、可干渉性の高い電磁波として、テラヘルツ波を発生する光源１４及び当該光源１４からのテラヘルツ波を拡大するレンズ系１６が設けられており、レンズ系１６は光源１４からのテラヘルツ波を二次元的な領域に拡大された光束として出射する。
二次元的な領域に拡大されたレンズ系１６からのテラヘルツ波の光束は、反射鏡１８で反射された後、被写体１２の置かれた二次元平面１０の検査領域上に照明される。ここで、二次元平面１０は、反射鏡１８で反射されたテラヘルツ波の光束に対して垂直となるように配置されており、且つ、テラヘルツ波の照明領域２０は、二次元平面１０の被写体領域全体を照明するように、レンズ系１２及び反射鏡１８によって構成される光学系が調整されている。ここでは、照明領域２０の直径がＤとなるように、光学系を調整している。
図１に示されたイメージングシステムは、反射鏡１８を搖動する搖動機構２２及び照明領域２０を撮像する撮像装置２４を備えている。撮像装置２４は例えば、赤外線カメラであっても良いし、ＣＣＤカメラ等であっても良い。
反射鏡１８を搖動する搖動機構２２は、直径Ｄの照明領域２０を当該照明領域２０の直径Ｄを超えないように、反射鏡１８を搖動させる。搖動機構２２は、反射鏡１８を機械的に微小範囲に亘って回動させる機構であっても良いし、また、電気信号に応じて反射鏡１８を振動させるものであっても良い。
即ち、反射鏡１８の搖動による照明領域Ｄの搖動範囲ｄが、照明領域２０の直径Ｄを超えない程度に搖動機構２２は反射鏡１８を搖動させるものであれば良い。具体的に言えば、搖動範囲ｄは照明領域２０の直径Ｄよりも狭く範囲であり、ｄ＜Ｄ又はｄ＜＜Ｄの関係にある。
ここで、通常のスキャンニングによるイメージングは、スポット状の照明領域を、照明領域より広い範囲を走査している。しかし、このように、通常のスキャンニングを用いたイメージングは、撮像に時間を要し、且つ、微細な異物を迅速に発見するには不向きである。本発明は、通常のスキャンニングとは全く逆に、照明領域２０全体を照明した状態で照明領域２０よりも狭い範囲で照明領域２０を搖動させることによりイメージングを行なう。また、搖動中、被写体は照明領域内に配置され、照明領域外には出ない状態で撮像装置２４により撮像される。
このように、照明領域２０の直径Ｄよりも狭い範囲ｄで搖動させることにより、イメージングに伴って生じる干渉パターンは、搖動範囲内で平均化されることになる。この結果、撮像装置２４で撮像されるイメージからは干渉パターンが軽減されることになり、視覚的には干渉パターンが見えなくなる。
ここで、照明領域２０の直径Ｄ及び搖動範囲ｄをそれぞれ１０ｍｍ及び０．３５ｍｍとした場合、イメージに表れる干渉パターンを視覚的には無くすことができた。このことは、搖動範囲ｄを照明領域２０の直径Ｄの３〜５％程度に設定すれば、干渉パターンが視覚的に明示的に表れないことを意味している。
図１に示されたイメージングシステムは、照明領域２０内に配置された被写体からの反射画像を撮像装置２４によって撮像している。しかし、本発明は何等これに限定されることなく、照明領域２０を透過するイメージを観測してもよい。
図２を参照すると、本発明の第２の実施形態に係るイメージングシステムが示されている。図２に示されたイメージングシステムでは、図１に示された反射鏡１８の代わりに、光源１４及びレンズ系１６からのテラヘルツ波の光束を透過する平行平板２６が設けられている点で、図１とは異なっている。当該平行平板は、例えば、テラヘルツ波に対して透明なガラス板を平行平板２６として使用することができる。この場合、ガラス板２６に入射したテラヘルツ波の光束は、搖動によってガラス板２６に入射するテラヘルツ波の光束の角度が変化することにより、ガラス板２６から出射する光束の屈折率が変化し、この結果として、直径Ｄの照明領域２０は搖動範囲ｄに亘って往復運動する。
撮像装置２４は、搖動する照明領域２０からの反射光を撮像する。照明領域２０の搖動によって干渉パターンが平均化されるため、撮像装置２４で撮像されたイメージからは干渉パターンが視覚的に観測できなくなり、被写体中の異物を明確に識別できるイメージが得られる。
図１及び２に示された搖動機構２２は、反射鏡１８又はガラス板２６に取り付けられている。即ち、搖動機構２２は、反射鏡１８の中心軸の両端に、例えば、電気信号に応答して、反射鏡１８又はガラス板２６を微小範囲内で、ガルバノミラー形式で回動させる機構を備えていても良い。
一方、図２に示された搖動機構２２は、照明光路中に、平行平板２６であるガラス板を光軸に直交する軸を中心に振動させるものであっても良い。また、平行平板２６を照明光の光軸に対して傾斜して配置しておき、照明光路の光軸を中心に超音波モータ或いは通常のモータを用いて回転させても良い。このように、平行平板を回転させることによっても、照明領域２０よりも狭い範囲ｄで照明領域２０を移動させることができる。この場合、範囲ｄは照明領域に対する移動範囲と呼ぶことができる。図２に示されたシステムは、平行平板２６を水平状態で移動させるため平行平板２６の搖動機構２２又は駆動機構を簡略化できる。
また、撮像装置２４は、例えば、熱電変換素子を二次元的マトリックス状に配列したボロメータ型赤外線撮像装置によって構成されても良い。
図３（Ａ）及び（Ｂ）を参照すると、図３（Ａ）は本発明を適用しないで撮像されたイメージの一例が示されている。ここでは、小麦粉中に髪の毛３０が異物として混入している場合が示されている。図３（Ａ）のように本発明を適用しない場合、背景には、干渉パターン３２が現れている。このような干渉パターン３２が現れている状態では、異物である髪の毛３０が縞状の干渉パターン３２に埋もれた状態になって識別が困難になってしまう場合が多々生じる。
他方、図３（Ｂ）は、本発明にしたがって照明領域を搖動させた場合のイメージを示している。図３（Ｂ）からも明らかな通り、異物である髪の毛３０の背景から縞状の干渉パターンが消え、異物である髪の毛３０だけが強調されている。
したがって、図３（Ｂ）に示されたイメージから異物を識別するのは容易である。
図４を参照すると、本発明の第３の実施形態に係るイメージングシステムが示されている。図４に示されたイメージングシステムは、図１に示されたイメージングシステムと同様にミラーを有しているが、単一のミラーでなく２枚のミラー１８Ａ、１８Ｂを有する点で、図１とは異なっている。２枚のミラーを用い、一方のミラー１８ＡはＺ軸のまわりにＸ方向に搖動し、もう一方のミラー１８ＢはＸ軸のまわりにＹ方向に搖動することで、二次元平面１０内で照明領域２０は二次元的に搖動する。このような配置であっても、照明領域２０の搖動によって干渉パターンが平均化されるため、撮像装置で撮像されるイメージからは干渉パターンが視覚的に観測できなくなり、被写体中の異物を明確に識別できるイメージが得られる。
ところで、図４のような配置において、照明光として偏光、すなわち電場が特定の方向に規則的に振動する光を用いた場合、偏光方向が意図する方向と異なる方向に変化することがある。これは例えば２枚のミラーの入射面（反射面に垂直で入射光線と反射光線を含む面）が互いに直交している場合に起こる。図５を用いて説明すると、電場の振動方向は、はじめ進行方向に対し縦方向に振動しているが、２枚のミラーを通過した後では、進行方向に対し横方向に振動していることがわかる。
図６を参照すると、本発明の第４の実施形態に係るイメージングシステムが示されている。図６に示されたイメージングシステムは、入射面が互いに直交するミラー対を２組１８及び１８’有している。このうちミラー対１８（１８Ａ及び１８Ｂ）は搖動手段２２Ａ、２２Ｂを備え、他方のミラー対１８’は搖動手段を備えていない。
図７は図６における電場の振動方向を示している。はじめ進行方向に対し縦方向に振動していた光が、ミラー対１８を通過した後では、進行方向に対し横方向に振動し、もう一度、他のミラー対１８’を通過した後では、進行方向に対し縦方向に振動している。このように、照明領域２０の搖動によって干渉パターンを平均化するには、どちらか一方のミラー対が搖動していればよいことは自明である。
以上述べた本発明に係るイメージングシステムによれば、照明光学系や被写体に複雑な反射防止、回折防止の対策を施すことなく、回折限界より数段大きな照明光の光束で被写体を照明できる。このため、本発明は、視野の広い範囲を一気に撮像することが可能となり、撮像品位を大幅に改善できると共に、高速で撮像できると言う利点を有している。
【産業上の利用可能性】
【０００９】
上記実施形態では、テラヘルツ波を用いた場合についてのみ説明したが、本発明は、可干渉の高い可視光のレーザ光等を用いたイメージングシステムにも適用できる。この場合、撮像装置は、赤外線撮像装置を使用する必要はなく、ＣＣＤカメラであっても良い。
以下、本発明の特徴を付記しておく。
［付記１］
可干渉性の高い電磁波の光束を所定の照明領域に拡大して照明する光学系と、前記所定の照明領域を当該照明領域よりも狭い移動範囲で移動させる移動手段を含むことを特徴とするイメージングシステム。
［付記２］
前記照明領域は、前記照明領域に入射する照明光の光束に対して垂直な平面であることを特徴とするイメージングシステム。
［付記３］
前記照明領域内に配置された被写体のイメージを撮像する撮像手段を有することを特徴とするイメージングシステム。
［付記４］
前記可干渉性の高い電磁波は、テラヘルツ帯域の電磁波であることを特徴とするイメージングシステム。
［付記５］
前記移動手段は、照明によって発生する干渉パターンを軽減できる前記移動範囲内で、前記照明領域を揺動させる搖動手段であることを特徴とするイメージングシステム。
［付記６］
前記光学系は、前記可干渉性の高い電磁波を発光する光源と、前記可干渉性の高い電磁波を前記所定の照明領域に拡大するレンズ系と、当該レンズ系からの光束を前記照明領域に導く光学システムを有することを特徴とするイメージングシステム。
［付記７］
前記照明領域に導く前記光学システムは、前記レンズ系からの光束を前記照明領域に反射するミラーを有していることを特徴とするイメージングシステム。
［付記８］
前記揺動手段は、前記照明領域より狭い前記移動範囲内で前記ミラーを揺動させるガルバノミラー形式の機構であることを特徴とするイメージングシステム。
［付記９］
前記照明領域に導く前記光学システムは、前記レンズ系からの照明光路中に挿入された平行平板を含んでいることを特徴とするイメージングシステム。
［付記１０］
前記移動手段は、前記平行平板を光軸に直交する軸を中心に、前記移動範囲内で揺動させる搖動手段であることを特徴とするイメージングシステム。
［付記１１］
前記揺動手段は、光軸に直交する軸を中心に、前記平行平板を回転させる回転手段であることを特徴とするイメージングシステム。
［付記１２］
可干渉性の高い電磁波で、所定の照明領域に照明し、前記所定の照明領域よりも狭い範囲内で、照明光を移動させることによって、前記照明光を照明することによって発生する干渉パターンを軽減することを特徴とする干渉パターン低減方法。
［付記１３］
二次元平面上に、可干渉性の高い電磁波の光束の照明領域を形成する光学系と、前記二次元平面及び前記光学系の少なくとも一方を相対的に前記照明領域よりも狭い移動範囲内で移動させる移動手段を有するイメージングシステム。
【符号の説明】
【００１０】
１０        二次元平面１０
１２        被写体
１４        光源
１６        レンズ系
１８        反射鏡
１８Ａ      ミラー
１８Ｂ      ミラー
２０        照明領域
２２        搖動機構
２２Ａ      搖動機構
２２Ｂ      搖動機構
２４        撮像装置
２６        平行平板
この出願は、２０１３年３月２９日に出願された日本特許出願第２０１３−０７２８６４号及び２０１４年２月４日に出願された日本特許出願第２０１４−０１９２６９号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
【図１】
2014157431.tif 000003
【図２】
2014157431.tif 000004
【図４】
2014157431.tif 000005
【図５】
2014157431.tif 000006
【図６】
2014157431.tif 000007
【図７】
2014157431.tif 000008
【図３】
2014157431.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成27年8月25日(2015.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可干渉性の高い電磁波の光束を所定の照明領域に拡大して照明する光学系と、前記所定の照明領域を当該照明領域よりも狭い移動範囲で移動させる移動手段を含むことを特徴とするイメージングシステム。
【請求項２】
前記照明領域は、前記照明領域に入射する照明光の光束に対して垂直な平面であることを特徴とする請求項１記載のイメージングシステム。
【請求項３】
前記照明領域内に配置された被写体のイメージを撮像する撮像手段を有することを特徴とする請求項１又は２記載のイメージングシステム。
【請求項４】
前記可干渉性の高い電磁波は、テラヘルツ帯域の電磁波であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のイメージングシステム。
【請求項５】
前記移動手段は、照明によって発生する干渉パターンを軽減できる前記移動範囲内で、前記照明領域を揺動させる搖動手段であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のイメージングシステム。
【請求項６】
前記光学系は、前記可干渉性の高い電磁波を発光する光源と、前記可干渉性の高い電磁波を前記所定の照明領域に拡大するレンズ系と、当該レンズ系からの光束を前記照明領域に導く光学システムを有することを特徴とする請求項５記載のイメージングシステム。
【請求項７】
前記照明領域に導く前記光学システムは、前記レンズ系からの光束を前記照明領域に反射するミラーを有していることを特徴とする請求項６記載のイメージングシステム。
【請求項８】
前記ミラーが、入射面が互いに直交する一対のミラーからなることを特徴とする請求項７記載のイメージングシステム。
【請求項９】
前記ミラーがそれぞれ前記搖動手段を備えることを特徴とする請求項８記載のイメージングシステム。
【請求項１０】
入射面が互いに直交する一対のミラーを複数備え、少なくとも一対のミラーは前記搖動手段を備え、他は前記搖動手段を備えていないことを特徴とする請求項７記載のイメージングシステム。
【請求項１１】
前記揺動手段は、前記照明領域より狭い前記移動範囲内で前記ミラーを揺動させるガルバノミラー形式の機構であることを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項に記載のイメージングシステム。
【請求項１２】
前記照明領域に導く前記光学システムは、前記レンズ系からの照明光路中に挿入された平行平板を含んでいることを特徴とする請求項６記載のイメージングシステム。
【請求項１３】
前記移動手段は、前記平行平板を光軸に直交する軸を中心に、前記移動範囲内で揺動させる搖動手段であることを特徴とする請求項１２記載のイメージングシステム。
【請求項１４】
前記揺動手段は、光軸に直交する軸を中心に、前記平行平板を回転させる回転手段であることを特徴とする請求項１２記載のイメージングシステム。
【請求項１５】
可干渉性の高い電磁波で、所定の照明領域に照明し、前記所定の照明領域よりも狭い範囲内で、照明光を移動させることによって、前記照明光を照明することによって発生する干渉パターンを軽減することを特徴とする干渉パターン低減方法。
【請求項１６】
可干渉性の高い電磁波で、所定の照明領域に照明し、前記所定の照明領域よりも狭い範囲内で、照明光を移動させることによって、前記照明光を照明することによって前記照明領域内に位置付けられる被写体内の異物を検出することを特徴とするイメージング方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年8月31日(2016.8.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可干渉性の高い電磁波の光束で所定の照明領域を照明する光学系と、前記所定の照明領域を当該照明領域よりも狭い移動範囲で移動させる移動手段を含むことを特徴とするイメージングシステム。
【請求項２】
前記照明領域は、前記照明領域に入射する照明光の光束に対して垂直な平面であることを特徴とする請求項１記載のイメージングシステム。
【請求項３】
前記照明領域内に配置された被写体のイメージを撮像する撮像手段を有することを特徴とする請求項１又は２記載のイメージングシステム。
【請求項４】
前記可干渉性の高い電磁波は、テラヘルツ帯域の電磁波であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のイメージングシステム。
【請求項５】
前記移動手段は、照明によって発生する干渉パターンを軽減できる前記移動範囲内で、前記照明領域を揺動させる搖動手段であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のイメージングシステム。
【請求項６】
前記光学系は、前記可干渉性の高い電磁波を発光する光源と、前記可干渉性の高い電磁波を前記所定の照明領域に拡大するレンズ系と、当該レンズ系からの光束を前記照明領域に導く光学システムを有することを特徴とする請求項５記載のイメージングシステム。
【請求項７】
前記照明領域に導く前記光学システムは、前記レンズ系からの光束を前記照明領域に反射するミラーを有していることを特徴とする請求項６記載のイメージングシステム。
【請求項８】
前記ミラーが、入射面が互いに直交する一対のミラーからなることを特徴とする請求項７記載のイメージングシステム。
【請求項９】
前記ミラーがそれぞれ前記搖動手段を備えることを特徴とする請求項８記載のイメージングシステム。
【請求項１０】
入射面が互いに直交する一対のミラーを複数備え、少なくとも一対のミラーは前記搖動手段を備え、他は前記搖動手段を備えていないことを特徴とする請求項７記載のイメージングシステム。
【請求項１１】
前記揺動手段は、前記照明領域より狭い前記移動範囲内で前記ミラーを揺動させるガルバノミラー形式の機構であることを特徴とする請求項７記載のイメージングシステム。
【請求項１２】
前記照明領域に導く前記光学システムは、前記レンズ系からの照明光路中に挿入された平行平板を含んでいることを特徴とする請求項６記載のイメージングシステム。
【請求項１３】
前記移動手段は、前記平行平板を光軸に直交する軸を中心に、前記移動範囲内で揺動させる搖動手段であることを特徴とする請求項１２記載のイメージングシステム。
【請求項１４】
前記揺動手段は、光軸に直交する軸を中心に、前記平行平板を回転させる回転手段であることを特徴とする請求項１２記載のイメージングシステム。
【請求項１５】
可干渉性の高い電磁波で、所定の照明領域に照明し、前記所定の照明領域よりも狭い範囲内で、照明光を移動させることによって、前記照明光を照明することによって発生する干渉パターンを軽減することを特徴とする干渉パターン低減方法。
【請求項１６】
可干渉性の高い電磁波で、所定の照明領域に照明し、前記所定の照明領域よりも狭い範囲内で、照明光を移動させることによって、前記照明光を照明することによって前記照明領域内に位置付けられる被写体内の異物を検出することを特徴とするイメージング方法。
【国際調査報告】
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