(57)【要約】  測定治具によって測定値に差が生じる３つの要因（伝送路の違い、直達波の違い、非伝送路の違い）を考慮して、測定治具間の測定値差を精度よく補正する。  高周波信号の印加又は検出に係わる信号ラインポートと信号ラインポート以外の非信号ラインポートとから選択された２つのポート間の全てにおいてポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定して導出された相対誤差補正回路網モデル（３８）の全ての係数について、尤もらしい値を最尤法によって算出する。初期値として、信号ラインポートのみから選択された２つのポート間の全てにおいてポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定して導出された第１の相対誤差補正回路網サブモデルの係数と、非信号ラインポートで反射する信号の存在を想定して導出された第２の相対誤差補正回路網サブモデルの非信号ラインポートについての係数とを用いる。
2015133265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波信号の印加又は検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートと、前記信号ラインポート以外の非信号ラインポートとを有する電子部品の電気特性について、前記電子部品を前記信号ライン及び前記非信号ラインポートについて測定可能である試験治具に接続した状態で測定した結果から、当該電子部品を前記信号ラインポートについてのみ測定可能である基準治具に接続した状態で測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法であって、
少なくとも３種類の同等の電気特性を有するとみなせる補正データ取得用試料を前記試験治具に接続した状態で前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートの少なくとも一つと非信号ラインポートの少なくとも一つについて、電気特性を測定し、かつ、前記基準治具に接続した状態で、前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートの少なくとも一つについて、電気特性を測定して第１の測定値を得る第１のステップと、
前記信号ラインポートの少なくとも一つと前記非信号ラインポートの少なくとも一つとが電気的に接続された補正データ取得用スルーデバイスを用意し、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記試験治具に接続した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定し、かつ、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に接続した状態で当該信号ラインポートを測定して第２の測定値を得る第２のステップと、
前記第１の測定値と前記第２の測定値とに基づいて、前記電子部品を前記試験治具に接続した状態で前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートを測定した結果から当該電子部品を前記基準治具に接続した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式を決定する第３のステップと、
任意の前記電子部品について、前記試験治具に接続した状態で前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートを測定する第４のステップと、
前記第４のステップで得られた測定値に基づいて、前記第３のステップで決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に接続した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出する第５のステップとを備え、
前記第３のステップにおいて決定される前記数式は、前記基準治具と前記試験治具とのそれぞれにおいて、前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートの各ポート内での信号伝達に加え、前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートから選択された２つのポート間の全てについて当該２つのポートに接続された前記電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定して導出された相対誤差補正回路網モデルを用いて表され、
前記第３のステップは、
前記基準治具と前記試験治具とのそれぞれにおいて、前記信号ラインポートの各ポート内での信号伝達に加え、前記信号ラインポートのみから選択された２つのポート間の全てについて当該２つのポートに接続された前記電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する前記漏洩信号の存在を想定して導出された第１の相対誤差補正回路網サブモデルの第１の係数を、前記第１の測定値に基づいて算出する第１のサブステップと、
前記基準治具と前記試験治具とのそれぞれにおいて、前記第１の相対誤差補正回路網モデルでの想定に加え、前記非信号ラインポートで反射する信号の存在を想定して導出された第２の相対誤差補正回路網サブモデルの係数のうち、前記第１の係数に対応する前記係数以外の第２の係数を、前記第２の測定値に基づいて算出する第２のサブステップと、
前記相対誤差補正回路網モデルの前記係数のうち、前記第１及び第２の係数に対応する前記係数について、前記第１及び第２の係数を初期値として用い、他の前記係数は所定の値を初期値として用い、前記相対誤差補正回路網モデルの全ての前記係数について尤もらしい値を、前記第１及び第２の測定値を利用し、最尤法によって算出し、算出した前記尤もらしい値を用いて前記数式を決定する第３のサブステップと、
を含むことを特徴とする、測定誤差の補正方法。
【請求項２】
高周波信号の印加又は検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートと、前記信号ラインポート以外の非信号ラインポートとを有する電子部品について、前記電子部品を前記信号ライン及び前記非信号ラインポートについて測定可能である試験治具に接続した状態で前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートを測定し、その測定結果から、当該電子部品を前記信号ラインポートのみ測定可能である基準治具に接続した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記電子部品を前記試験治具に接続した状態で前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートを測定する測定手段と、
少なくとも３種類の同等の電気特性を有するとみなせる補正データ取得用試料を前記試験治具に接続した状態と前記基準治具に接続した状態とで、前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートの少なくとも一つについて、電気特性を測定して得た第１の測定値と、信号ラインポートの少なくとも一つと非信号ラインポートの少なくとも一つとが電気的に接続された補正データ取得用スルーデバイスを前記試験治具に接続した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定し、かつ、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に接続した状態で当該信号ラインポートを測定して得た第２の測定値とに基づいて、前記電子部品を前記試験治具に接続した状態で前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートを測定した結果から当該電子部品を前記基準治具に接続した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出するために決定された数式の係数の値を格納する数式記憶手段と、
任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定値から、前記数式記憶手段に格納された前記係数の前記値を読み出し、前記数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に接続した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出する電気特性推定手段と、
を備え、
前記数式記憶手段に記憶される前記係数の前記値は、
前記基準治具と前記試験治具とのそれぞれにおいて、前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートの各ポート内での信号伝達に加え、前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートから選択された２つのポート間の全てについて当該２つのポートに接続された前記電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定して導出された相対誤差補正回路網モデルの係数の値であって、
前記基準治具と前記試験治具とのそれぞれにおいて、前記信号ラインポートの各ポート内での信号伝達に加え、前記信号ラインポートのみから選択された２つのポート間の全てについて当該２つのポートに接続された前記電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する前記漏洩信号の存在を想定して導出された第１の相対誤差補正回路網サブモデルの第１の係数に対応する前記相対誤差補正回路網モデルの前記係数ついて、前記第１の測定値に基づいて算出された前記第１の係数を初期値として用い、
前記基準治具と前記試験治具とのそれぞれにおいて、前記第１の相対誤差補正回路網モデルでの想定に加え、前記非信号ラインポートで反射する信号の存在を想定して導出された第２の相対誤差補正回路網サブモデルの前記非信号ラインポートについての係数に対応する前記相対誤差補正回路網モデルのうち、前記第１の係数に対応する前記係数以外の第２の係数に対応する前記相対誤差補正回路網モデルの前記係数ついて、前記第２の測定値に基づいて算出された前記第２の係数を初期値として用い、
前記相対誤差補正回路網モデルの他の前記係数は、所定の値を初期値として用い、
前記相対誤差補正回路網モデルの全ての前記係数について、前記第１及び第２の測定値を利用し、最尤法によって算出された尤もらしい値であることを特徴とする、電子部品特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関し、詳しくは、電子部品の電気特性を、試験治具に実装した状態で測定した結果から、その電子部品を基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、表面実装型電子部品などの同軸コネクタを有しない電子部品は、同軸コネクタを有する測定治具に実装し、測定治具と測定装置の間を同軸ケーブルを介して接続して、電気特性が測定されることがある。このような測定においては、個々の測定治具の特性のばらつきや、個々の同軸ケーブル及び測定装置の特性のばらつきが、測定誤差の原因となる。【０００３】
同軸ケーブル及び測定装置については、基準特性を有する標準器を同軸ケーブルを介して測定装置に接続して測定することにより、標準器を接続した同軸ケーブル先端よりも測定装置側の誤差を同定することができる。【０００４】
しかし、測定治具については、電子部品を実装する部分の接続端子と同軸ケーブルに接続するための同軸コネクタとの間の電気特性の誤差を精度よく同定することができない。また、測定治具間の特性が一致するように調整することは容易ではない。特に広い帯域幅で、測定治具間の特性が一致するように測定治具を調整することは、極めて困難である。【０００５】
そこで、補正データ取得用試料を複数の測定治具に実装して測定し、測定治具間における測定値のばらつきから、ある測定治具（以下、「基準治具」という。）と他の測定治具（以下、「試験治具」という。）との間の相対的な誤差を補正する数式を予め導出しておき、任意の電子部品の電気特性について、試験治具に実装した状態で測定した測定値（試験治具測定値）から、この数式を用いて、その電子部品を基準治具に実装して測定した測定値（試験治具測定値）についての推定値を算出する、いわゆる相対誤差補正法が提案されている。【０００６】
例えば、特許文献１に開示された相対誤差補正方法は、基準治具と試験治具との間の相対的な誤差を補正する数式として、基準治具の誤差の散乱行列と、試験治具の誤差を除去（中和）する散乱行列とを合成した散乱行列をポートごとに導出した「相対誤差補正アダプタ」を用いる。この相対誤差補正アダプタを、任意の試料の試験治具測定値の散乱行列に対して合成することによって、その試料の基準治具測定値についての推定値を算出する。相対誤差補正アダプタは、ポートごとに基準治具、試験治具の両方で少なくとも３つの１ポート標準試料を測定し、この測定結果から計算できる。【０００７】
特許文献１に開示された相対誤差補正法では、高周波信号の印加又は検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートのみの存在を想定して導出された相対誤差補正回路網モデルを用いており、ＧＮＤ、電源ポートなど、信号ラインポート以外の非信号ラインポートの影響は相対誤差補正回路網モデルから省略されている。しかしながら、実際には、非ＲＦポートを有する測定治具間では、非ＲＦポートの差異が少なからず存在しているため、このような省略は、相対誤差補正における残留誤差の大きな要因となっている。【０００８】
特許文献２には、このような課題に対し、試験治具で非ＲＦポートを測定することによって、非ＲＦポートが測定されない基準冶具測定値についての推定値を算出する相対誤差補正法が開示されている。特許文献２に開示された相対誤差補正法を実施するために必要な標準試料として、非ＲＦポートの数分、ＲＦポートと接続するものを準備すればよい。【０００９】
特許文献１、２に開示された相対誤差補正法は、測定治具からＤＵＴを経由せずに測定治具内において直接ポート間を伝わる信号（以下、「ポート間漏洩信号」という。）を、相対誤差補正回路網モデルから省略している。実際には、測定治具にはポート間漏洩信号が少なからず存在しているため、このような省略は、相対誤差補正における残留誤差の大きな要因となっている。【００１０】
特許文献３には、このような課題に対し、２ポート以上の任意のＮポート測定において、測定治具間のポート間漏洩信号の差異をも補正可能とする相対誤差補正法が開示されている。特許文献３に開示された相対誤差補正法を実施するために必要な標準試料として、任意のＮポート測定において特性の異なる最低５つ以上の測定ポート数と同じポート数を持つものを用意すればよい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特許第３５５８０８６号公報
【特許文献２】特許第４００９８７６号公報
【特許文献３】特許第５２４６１７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
同じ電子部品を測定しても、測定に用いる測定冶具によって測定値に差が生じる。測定治具によって測定値に差が生じる要因として、以下の３つが考えられる。
（ａ）伝送路の違い、すなわち、各ポートの信号伝送特性の違い
（ｂ）直達波の違い、すなわち、ポート間で信号が漏洩する特性の違い
（ｃ）非伝送路の有無、すなわち、高周波信号の印加又は検出に係る信号ラインポート以外の非信号ラインポート（ＧＮＤポート、電源ポート）の有無【００１３】
特許文献１に開示された先行技術は、（ａ）を考慮して、測定誤差を補正している。特許文献２に開示された先行技術は、（ａ）及び（ｃ）を考慮して、測定誤差を補正している。特許文献３に開示された先行技術は、（ａ）及び（ｂ）を考慮して、測定誤差を補正している。しかしながら、特許文献１〜３に開示された先行技術は、いずれも、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の３つを同時に補正することができない。そのため、測定治具間に誤差が全くない理想状態であっても、理論的には必ず補正誤差が残ることになる。【００１４】
本発明は、かかる実情に鑑み、測定治具によって測定値に差が生じる３つの要因（伝送路の違い、直達波の違い、非伝送路の違い）を考慮して、測定治具間の測定値差を精度よく補正することができる測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した測定誤差の補正方法を提供する。【００１６】
測定誤差の補正方法は、高周波信号の印加又は検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートと、前記信号ラインポート以外の非信号ラインポートとを有する電子部品の電気特性について、前記電子部品を前記信号ライン及び前記非信号ラインポートについて測定可能である試験治具に接続した状態で測定した結果から、当該電子部品を前記信号ラインポートについてのみ測定可能である基準治具に接続した状態で測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出する方法である。測定誤差の補正方法は、第１乃至第５のステップを備える。前記第１のステップにおいて、少なくとも３種類の同等の電気特性を有するとみなせる補正データ取得用試料を前記試験治具に接続した状態で前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートの少なくとも一つと非信号ラインポートの少なくとも一つについて、電気特性を測定し、かつ、前記基準治具に接続した状態で、前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートの少なくとも一つについて、電気特性を測定して第１の測定値を得る。前記第２のステップにおいて、前記信号ラインポートの少なくとも一つと前記非信号ラインポートの少なくとも一つとが電気的に接続された補正データ取得用スルーデバイスを用意し、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記試験治具に接続した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定し、かつ、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に接続した状態で当該信号ラインポートを測定して第２の測定値を得る。前記第３のステップにおいて、前記第１の測定値と前記第２の測定値とに基づいて、前記電子部品を前記試験治具に接続した状態で前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートを測定した結果から当該電子部品を前記基準治具に接続した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式を決定する。前記第４のステップにおいて、任意の前記電子部品について、前記試験治具に接続した状態で前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートを測定する。前記第５のステップにおいて、前記第４のステップで得られた測定値に基づいて、前記第３のステップで決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に接続した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出する。前記第３のステップにおいて決定される前記数式は、前記基準治具と前記試験治具とのそれぞれにおいて、前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートの各ポート内での信号伝達に加え、前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートから選択された２つのポート間の全てについて当該２つのポートに接続された前記電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定して導出された相対誤差補正回路網モデルを用いて表される。前記第３のステップは、第１乃至第３のサブステップを含む。前記第１のサブステップでは、前記基準治具と前記試験治具とのそれぞれにおいて、前記信号ラインポートの各ポート内での信号伝達に加え、前記信号ラインポートのみから選択された２つのポート間の全てについて当該２つのポートに接続された前記電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する前記漏洩信号の存在を想定して導出された第１の相対誤差補正回路網サブモデルの第１の係数を、前記第１の測定値に基づいて算出する。前記第２のサブステップでは、前記基準治具と前記試験治具とのそれぞれにおいて、前記第１の相対誤差補正回路網モデルでの想定に加え、前記非信号ラインポートで反射する信号の存在を想定して導出された第２の相対誤差補正回路網サブモデルの係数のうち、前記第１の係数に対応する前記係数以外の第２の係数を、前記第２の測定値に基づいて算出する。前記第３のサブステップでは、前記相対誤差補正回路網モデルの前記係数のうち、前記第１及び第２の係数に対応する前記係数について、前記第１及び第２の係数を初期値として用い、他の前記係数は所定の値を初期値として用い、前記相対誤差補正回路網モデルの全ての前記係数について尤もらしい値を、前記第１及び第２の測定値を利用し、最尤法によって算出し、算出した前記尤もらしい値を用いて前記数式を決定する。【００１７】
上記方法において用いる相対誤差補正回路網モデルは、信号ラインポート及び非信号ラインポートの各ポート内での信号伝達に加え、信号ラインポート及び非信号ラインポートから選択された２つのポート間の全てについて当該２つのポートに接続された電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定している。これによって、測定治具によって測定値に差が生じる３つの要因（伝送路の違い、直達波の違い、非伝送路の違い）を考慮して、電子部品の電気特性の測定値の誤差を補正することができる。【００１８】
また、本発明は、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。【００１９】
電子部品特性測定装置は、高周波信号の印加又は検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートと、前記信号ラインポート以外の非信号ラインポートとを有する電子部品について、前記電子部品を前記信号ライン及び前記非信号ラインポートについて測定可能である試験治具に接続した状態で前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートを測定し、その測定結果から、当該電子部品を前記信号ラインポートのみ測定可能である基準治具に接続した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出する装置である。電子部品特性測定装置は、（ａ）前記電子部品を前記試験治具に接続した状態で前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートを測定する測定手段と、（ｂ）少なくとも３種類の同等の電気特性を有するとみなせる補正データ取得用試料を前記試験治具に接続した状態と前記基準治具に接続した状態とで、前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートの少なくとも一つについて、電気特性を測定して得た第１の測定値と、信号ラインポートの少なくとも一つと非信号ラインポートの少なくとも一つとが電気的に接続された補正データ取得用スルーデバイスを前記試験治具に接続した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定し、かつ、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に接続した状態で当該信号ラインポートを測定して得た第２の測定値とに基づいて、前記電子部品を前記試験治具に接続した状態で前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートを測定した結果から当該電子部品を前記基準治具に接続した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出するために決定された数式の係数の値を格納する数式記憶手段と、（ｃ）任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定値から、前記数式記憶手段に格納された前記係数の前記値を読み出し、前記数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に接続した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出する電気特性推定手段とを備えている。前記数式記憶手段に記憶される前記係数の前記値は、（Ａ）前記基準治具と前記試験治具とのそれぞれにおいて、前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートの各ポート内での信号伝達に加え、前記信号ラインポート及び前記非信号ラインポートから選択された２つのポート間の全てについて当該２つのポートに接続された前記電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定して導出された相対誤差補正回路網モデルの係数の値であって、（Ｂ）（ｉ）前記基準治具と前記試験治具とのそれぞれにおいて、前記信号ラインポートの各ポート内での信号伝達に加え、前記信号ラインポートのみから選択された２つのポート間の全てについて当該２つのポートに接続された前記電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する前記漏洩信号の存在を想定して導出された第１の相対誤差補正回路網サブモデルの第１の係数に対応する前記相対誤差補正回路網モデルの前記係数ついて、前記第１の測定値に基づいて算出された前記第１の係数を初期値として用い、（ii）前記基準治具と前記試験治具とのそれぞれにおいて、前記第１の相対誤差補正回路網モデルでの想定に加え、前記非信号ラインポートで反射する信号の存在を想定して導出された第２の相対誤差補正回路網サブモデルの前記非信号ラインポートについての係数に対応する前記相対誤差補正回路網モデルのうち、前記第１の係数に対応する前記係数以外の第２の係数に対応する前記相対誤差補正回路網モデルの前記係数ついて、前記第２の測定値に基づいて算出された前記第２の係数を初期値として用い、（iii）前記相対誤差補正回路網モデルの他の前記係数は、所定の値を初期値として用い、（iv）前記相対誤差補正回路網モデルの全ての前記係数について、前記第１及び第２の測定値を利用し、最尤法によって算出された尤もらしい値である。【００２０】
上記構成によれば、測定治具によって測定値に差が生じる３つの要因（伝送路の違い、直達波の違い、非伝送路の違い）が考慮された数式を用いて、電子部品の電気特性の測定値の誤差を高精度に補正することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、測定治具によって測定値に差が生じる３つの要因（伝送路の違い、直達波の違い、非伝送路の違い）を考慮して、測定治具間の測定値差を精度よく補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】（ａ）基準治具の説明図、（ｂ）試験治具の説明である。（実施例１）
【図２】（ａ）基準状態でのシグナル・フロー・グラフ、（ｂ）試験状態でのシグナル・フロー・グラフである。（実施例１）
【図３】シグナル・フロー・グラフである。（実施例１）
【図４】シグナル・フロー・グラフである。（実施例１）
【図５】シグナル・フロー・グラフである。（実施例１）
【図６】シグナル・フロー・グラフである。（実施例１）
【図７】シグナル・フロー・グラフである。（実施例１）
【図８】基準治具の写真である。（実施例１）
【図９】試験治具の写真である。（実施例１）
【図１０】標準試料の写真である。（実施例１）
【図１１】測定系の説明図である。（実施例１）
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図１１を参照しながら説明する。
【００２４】
＜測定系＞  図１１は、電子部品の電気特性を測定する測定系の説明図である。図１１に示すように、電子部品１０２（例えば、高周波受動電子部品である表面弾性波フィルタ）は、測定治具１１２に実装された状態で、ネットワークアナライザ等の電子部品特性測定装置（以下、「測定装置」という。）１１０によって、その電気特性が測定される。測定治具１１２の同軸コネクタ１１２ａと測定装置１１０との間は、同軸ケーブル１１４によって接続される。矢印１１６で示すように、電子部品１０２を測定治具１１２の装着部１１２ｂに実装すると、電子部品１０２の端子１０２ａが測定装置１１０の接続端子（図示せず）に電気的に接続される。測定装置１１０は、電子部品１０２の端子１０２ａのうち、ある端子に信号を入力し、他の端子からの出力信号を検出することによって、電子部品１０２の電気特性を測定する。
【００２５】
測定装置１１０は、所定のプログラムにしたがって、測定データに対して演算処理を行い、電子部品１０２の電気特性を算出する。この場合、測定装置１１０は、内部メモリや記録媒体などから、測定値や演算に用いる係数などの必要なデータを読み出したり、外部機器（例えば、サーバー）と通信して必要なデータを読み出したりする。測定装置１１０は、複数の機器に分割することも可能である。例えば、測定のみを行う測定部と、測定データの入力を受け付けて演算処理や良否判定などを行う演算部とに分割してもよい。
【００２６】
測定装置１１０は、メモリ等の数式記憶手段と、ＣＰＵ等の電気特性推定手段とを備え、詳しくは後述する相対誤差補正法で用いる数式のデータ（相対誤差補正回路網モデルの係数の値）を数式記憶手段に記憶し、そのデータを用いて、任意の電子部品について基準治具測定値の推定値を電気特性推定手段によって算出することができればよい。すなわち、測定装置１１０は、（ａ）それ自体が測定と演算を行って相対誤差補正法で用いる数式を決定するものであっても、（ｂ）別の測定装置で測定したデータを用いて相対誤差補正法で用いる数式を決定するものであっても、さらには、（ｃ）相対誤差補正法で用いる数式のデータは別の測定装置で決定され、別の測定装置で決定されたデータを数式記憶手段に記憶し、そのデータを用いて、任意の電子部品について基準治具測定値の推定値を電気特性推定手段によって算出するものであってもよい。
【００２７】
測定治具１１２は、同一特性のものを複数個製作することが困難である。そのため、同じ電子部品１０２を測定しても、測定に用いる測定治具１１２が異なると、測定治具ごとに特性のばらつきがあるため、測定結果も異なる。例えば、ユーザに対して電気特性を保証するために用いる測定治具と、電子部品の製造工程における特性選別のための測定に用いる測定治具とで、測定結果が異なる。このような測定治具間の測定値の差は、以下に説明する相対誤差補正法によって補正することができる。
【００２８】
＜測定治具＞  相対誤差補正法で用いる測定治具（基準治具１０及び試験治具２０）について、図１を参照しながら説明する。
【００２９】
図１（ａ）は基準治具１０の説明図である。基準治具１０は、例えば、ユーザに対して電子部品の電気特性を保証するユーザ保証用や、出荷検査用の測定治具である。図１（ａ）に示すように、基準治具１０は、実装部１４と、２つの同軸コネクタ１１，１２とを備えている。実装部１４には、２つの信号端子及び１つＧＮＤ端子を有する電気部品が実装される。電子部品の信号端子は、高周波信号の印加又は検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートの端子である。電子部品のＧＮＤ端子は、信号ラインポート以外の非信号ラインポートの端子である。実装部１４には、電気部品の２つの信号端子にそれぞれ電気的に接続される２つの信号ライン接続端子１５，１６と、電気部品のＧＮＤ端子に電気的に接続される非信号ライン接続端子１７とが設けられている。同軸コネクタ１１，１２は、信号ライン接続端子１５，１６にそれぞれ電気的に接続されている。非信号ライン接続端子１７はＧＮＤに接続されている。基準治具１０のポート１、２の同軸コネクタ１１，１２は、同軸ケーブルを用いてネットワークアナライザ等の測定装置に接続し、電子部品が基準治具１０の実装部１４に実装され基準治具１０に接続された状態で電子部品の電気特性を測定する。このように測定した測定値は、基準治具１０による誤差を含んでいる。
【００３０】
図１（ｂ）は試験治具２０の説明図である。試験治具２０は、例えば、所望の電気特性の電子部品を選別する特性選別工程用の測定治具である。図１（ｂ）に示すように、試験治具２０は、電子部品２の２つの信号端子にそれぞれ電気的に接続される２つの信号ライン接続端子２４，２５と、電子部品２の１つのＧＮＤ端子に電気的に接続される非信号ライン接続端子２６と、２つの信号ライン接続端子２４，２５及び非信号ライン接続端子２６にそれぞれ電気的に接続されている３つの同軸コネクタ２１，２２，２３とを備えている。試験治具２０のポート１、２、３の接続端子２４，２５，２６と、ネットワークアナライザ等の測定装置とを、同軸ケーブルを用いて接続し、電子部品２が試験治具１０の接続端子２４，２５，２６に接続された状態で電子部品２の電気特性を測定する。このように測定した測定値は、試験治具２０による誤差を含んでいる。
【００３１】
試験治具２０は、基準治具１０のように実装部１４を設けても、設けなくてもよい。試験治具２０は、基準治具１０に比べると設計上の制約が少ないため、量産が容易な構成とすることができる。
【００３２】
＜相対誤差補正回路網モデル＞  相対誤差補正回路網モデルについて、図２〜図４のシグナル・フロー・グラフを参照しながら説明する。信号の流れ（シグナルフロー）は、矢印を付された実線の線分（ブランチ）で示されている。
【００３３】
図２（ａ）は、基準治具を用いて電子部品の電気特性を測定する基準状態でのシグナル・フロー・グラフである。図２（ａ）に示すように、基準治具の回路ブロック１８と電子部品の回路ブロック８とが縦続接続され、基準治具の回路ブロック１８と電子部品の回路ブロック８とのそれぞれにおいて、同一ポート内での信号伝達に加え、他の回路ブロックに伝達されずに異なるポート間を直接伝達する信号（ポート間漏洩信号）の存在が想定されている。基準状態では、信号ラインポートであるポート１、２を測定し、非信号ラインポートであるポート３（ＧＮＤ)は測定しない。
【００３４】
図２（ｂ）は、試験治具を用いて電子部品の電気特性を測定する試験状態でのシグナル・フロー・グラフである。図２（ｂ）に示すように、試験治具の回路ブロック２８と電子部品の回路ブロック８とが縦続接続され、試験治具の回路ブロック２８と電子部品の回路ブロック８とのそれぞれにおいて、同一ポート内での信号伝達に加え、他の回路ブロックに伝達されずに異なるポート間を直接伝達する信号（ポート間漏洩信号）の存在が想定されている。試験状態では、信号ラインポートであるポート１、２に加え、非信号ラインポートであるポート３（ＧＮＤ)を測定する。
【００３５】
図３は、基準治具の回路ブロック１８と、試験治具の回路ブロック２８及び電子部品の回路ブロック８との間に、試験治具の回路ブロック２８の伝送特性を除去（中和）する試験治具の中和回路ブロック２９が接続されている。
【００３６】
試験治具の中和回路ブロック２９は、理論上は、試験治具の回路ブロック２８の散乱行列（Ｓパラメータ）を伝送行列（Ｔパラメータ）に変換し、その逆行列を求め、再び散乱行列に変換することによって得られる。試験治具の中和回路ブロック２９と試験治具の回路ブロック２８とが接続された部分２７は、各ポートにおいて透過係数が１、反射係数が０となり、異なるポート間で信号が直接伝達されることがない中和状態となる。そのため、図３は、基準治具の回路ブロック１８と電子部品の回路ブロック８とが縦続接続された状態と等価である。すなわち、図３は、図２（ａ）と等価である。
【００３７】
図３において、基準治具の回路ブロック１８と試験治具の中和回路ブロック２９とが接続された部分３８が、相対誤差補正アダプタの回路ブロック３８である。
【００３８】
図４は、図３を書き直したシグナル・フロー・グラフである。図４に示すように、相対誤差補正アダプタの回路ブロック３８に、図２（ｂ）の試験状態の回路網全体、すなわち試験状態での測定値の回路ブロック４０が接続されている。図４は、図３と等価であり、図２（ａ）と等価である。相対誤差補正アダプタの回路ブロック３８の左側のノードａ１，ｂ１，ａ２，ｂ２の値は基準状態での測定値となり、右側のノードｃ１，ｄ１，ｃ２，ｄ２，ｃ３，ｄ３の値は試験状態での測定値となる。
【００３９】
したがって、相対誤差補正アダプタの回路ブロック３８の矢印を付した線分に対応する係数が決まれば、相対誤差補正アダプタの回路ブロック３８の右側のノードｃ１，ｄ１，ｃ２，ｄ２，ｃ３，ｄ３の値を試験状態での測定値にすることによって、相対誤差補正アダプタの回路ブロック３８の左側のノードａ１，ｂ１，ａ２，ｂ２の値を算出すると、算出した値は基準状態での測定値となる。すなわち、相対誤差補正アダプタと試験状態での測定値とを合成すると、基準状態での測定値を得ることができる。
【００４０】
相対誤差補正アダプタの回路ブロック３８は、相対誤差補正回路網モデルを表している。相対誤差補正アダプタの回路ブロック３８、すなわち相対誤差補正回路網モデルは、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、基準治具と試験治具とのそれぞれにおいて、信号ラインポートの同一ポート内での信号伝達に加え信号ラインポートのみから選択された２つのポート間の全てについて当該２つのポートに接続された電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定して導出される。
【００４１】
＜測定誤差の補正方法の手順＞  測定誤差の補正方法の具体的な手順について、図５〜図７を参照しながら説明する。
【００４２】
（手順１）  まず、伝送路・漏洩誤差成分に対する初期値を導出する。図５は、手順１において係数が算出される相対誤差補正アダプタの回路ブロック３２のブランチを示すシグナル・フロー・グラフである。図５に示すように、相対誤差補正アダプタの回路ブロック３２に、試験状態での測定値の回路ブロック４０が縦続接続される。
【００４３】
相対誤差補正アダプタの回路ブロック３２は、基準治具と試験治具とのそれぞれにおいて、信号ラインポートの各ポート内での信号伝達に加え、信号ラインポートのみから選択された２つのポート間の全てについて当該２つのポートに接続された電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する前記漏洩信号の存在を想定することによって、導出される。すなわち、始点と終点の少なくとも一方が非信号ポートであるブランチを含まない基準治具の回路ブロック（シグナルフロー）及び試験治具の回路ブロック（シグナルフロー）を想定して導出される。相対誤差補正アダプタの回路ブロック３２は、第１の相対誤差補正回路網サブモデルである。
【００４４】
相対誤差補正アダプタの回路ブロック３２のブランチに対応する係数、すなわち第１の相対誤差補正回路網サブモデルの係数は、特許文献３に開示された方法と同様の方法で算出する。
【００４５】
すなわち、まず、少なくとも３種類の同等の電気特性を有するとみなせる補正データ取得用試料を試験治具に接続した状態と基準治具に接続した状態とで、補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートの少なくとも一つについて、電気特性を測定して第１の測定値を得る。これは、第１のステップに相当する。
【００４６】
次いで、得られた第１の測定値に基づいて、図５に示した相対誤差補正アダプタの回路ブロック３２のブランチに対応する係数を算出する。これは、第３のステップに含まれる第１のサブステップである。
【００４７】
図５に示した相対誤差補正アダプタの回路ブロック３２のブランチに対応する係数は、第１の測定値から得られるＳパラメータをＴパラメータに変換することによって容易に算出することができる。そして、算出した相対誤差補正アダプタの回路ブロック３２のＴパラメータをＳパラメータに変換する。
【００４８】
図５に示した第１の相対誤差補正回路網サブモデルでは、特許文献３とは異なり、第１の相対誤差補正アダプタについて規格化されていないＴパラメータの解を導出する必要がある。
【００４９】
図５から、次の［数１］〜［数３］の３つの式が成り立つ。
【数１】
2015133265.tif 000003
【数２】
2015133265.tif 000004
【数３】
2015133265.tif 000005
ここで、相対補正アダプタ３２であるＴパラメータＴＣＡは、次の［数４］である。
【数４】
2015133265.tif 000006
これを２×２に分割した正方行列の小行列を、ＴＣＡ１１、ＴＣＡ１２、ＴＣＡ２１、ＴＣＡ２２とするとする。すなわち、ＴＣＡ１１、ＴＣＡ１２、ＴＣＡ２１、ＴＣＡ２２は、次の［数５］とする。
【数５】
2015133265.tif 000007
【００５０】
［数１］は、［数５］を用いると、次の［数６］、［数７］のように表される。
【数６】
2015133265.tif 000008
【数７】
2015133265.tif 000009
［数６］は、［数３］を代入し、さらに［数７］を代入すると、次の［数８］となる。
【数８】
2015133265.tif 000010
この［数８］に、［数２］を代入すると次の［数９］となる。
【数９】
2015133265.tif 000011
この［数９］に、右からを（ＴＣＡ２１・ＳＴ＋ＴＣＡ２２）−１を掛けると、次の［数１０］が導き出される。
【数１０】
2015133265.tif 000012
【００５１】
この［数１０］を、ＴＣＡに対する線形結合に変形すると、次の［数１１］、［数１２］となる。
【数１１】
2015133265.tif 000013
【数１２】
2015133265.tif 000014
【００５２】
ここで、
【数１３】
2015133265.tif 000015
は、クロネッカ積である。
【数１４】
2015133265.tif 000016
は、列展開である。
【００５３】
添え字ｔは、転置行列である。
【００５４】
Ｉ２は２×２の単位行列である。以下、Ｉｎは、n×nの単位行列と定義する。
【００５５】
すなわち、相対誤差補正アダプタをＴパラメータで定義する場合には、任意の１つの係数で、他の係数を規格化できたため、最小２乗法の正規方程式を定義できたが、Ｓパラメータでは任意の１つの係数で、他の係数を規格化できないため、正規方程式の観測値が０となる。そのため、特異値分解の右特異ベクトルの最も右の列（特異値が最も小さい写像に関する）の値を、最小２乗法の解とする。
【００５６】
相対誤差補正アダプタは、次の［数１５］で表せる。［数１５］は、［数１７］に変形できる。
【数１５】
2015133265.tif 000017
Ｕ・Ｖは、４×１６の行列であり、次の［数１６］の関係を持つ。また、Ｄは正数からなる対角行列である。
【数１６】
2015133265.tif 000018
【数１７】
2015133265.tif 000019
αｋは、ＴＣＡの特異値である。Ｕｋは、左特異ベクトルである。Ｖｋは、右特異ベクトルである。
【００５７】
この場合、導出される解は、真のＴパラメータに不明の係数Ａが掛け合わされた値となっている。ＳパラメータからＴパラメータに変換する際には、真のＴパラメータが分かっている必要がある。そのため、可逆定理を利用してＡを導出する。
【００５８】
可逆定理が成り立つ場合、Ｔパラメータの行列式が１となることを利用して、Ａを求める。この際、ＡはＴパラメータの要素数分の解を持つため、それぞれのＡの解を用いて、ＴパラメータからＳパラメータへの変換を行い、Ｓパラメータの可逆定理（Ｓｘｙ＝Ｓｙｘ、ｘ≠ｙ）も成り立つＡの値を選択する。
【００５９】
相対誤差補正アダプタは、次の［数１８］で表せる。
【数１８】
2015133265.tif 000020
ＴＣＡ'は、真のＴパラメータである。
Ａは、次の［数１９］の関係から算出できる。
【数１９】
2015133265.tif 000021
【００６０】
（手順２）  次いで、手順１で導出された伝送路、及び漏洩信号の初期値を用いて、ＧＮＤポートの一部の係数に対する初期値を、特許文献２に開示された公知の方法によって、算出する。
【００６１】
図６は、手順１、２において係数が算出される相対誤差補正アダプタの回路ブロック３４のブランチを示すシグナル・フロー・グラフである。図６に示すように、相対誤差補正アダプタの回路ブロック３４に、試験状態での測定値の回路ブロック４０が縦続接続される。相対誤差補正アダプタの回路ブロック３４は、図５に示した相対誤差補正アダプタの回路ブロック３２に、ＧＮＤポートについてブランチ３５が追加されている。
【００６２】
相対誤差補正アダプタの回路ブロック３４は、基準治具と試験治具とのそれぞれにおいて、図５の相対誤差補正アダプタの回路ブロック３２での想定に加え、非信号ラインポートであるＧＮＤポートで反射する信号の存在を想定することによって導出される。相対誤差補正アダプタの回路ブロック３４は、第２の相対誤差補正回路網サブモデルである。
【００６３】
手順２では、相対誤差補正アダプタの回路ブロック３４のブランチ３５に対応する係数、すなわち、ＧＮＤポートに対するロードマッチに相当する部分を算出する。ブランチ３５に対応する係数は、第２の相対誤差補正回路網サブモデルの係数のうち、第１の相対誤差補正回路網サブモデルの第１の係数に対応する係数以外の第２の係数である。
【００６４】
特許文献２では、漏洩信号の存在を想定していない相対誤差補正回路網モデルを用いているため、ブランチ３５に対応する係数として、ポートごとに反射係数を算出している。これに対し、手順２では、漏洩信号の存在を想定して導出された第２の相対誤差補正回路網サブモデルを用いているため、ブランチ３５に対応する係数は、ポートごとではなく、共通の一つの値を算出する。
【００６５】
具体的には、まず、信号ラインポートの少なくとも一つと非信号ラインポートの少なくとも一つとが電気的に接続された補正データ取得用スルーデバイスを用意し、補正データ取得用スルーデバイスを試験治具に接続した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定し、かつ、補正データ取得用スルーデバイスを基準治具に接続した状態で当該信号ラインポートを測定して第２の測定値を得る。これは、第２のステップに相当する。
【００６６】
次いで、得られた第２の測定値に基づいて、相対誤差補正アダプタの回路ブロック３４のブランチ３５に対応する係数、すなわち第２の相対誤差補正回路網サブモデルの第２の係数を算出する。これは、第３のステップの第２のサブステップである。
【００６７】
詳しくは、図６に示した相対誤差補正アダプタの回路ブロック３４のブランチのうち、ブランチ３５以外は、手順１で決定した値を用い、ブランチ３５に対応する係数を未知数とする。未知数であるブランチ３５に対応する係数は、基準治具及び試験治具を用いて補正データ取得用スルーデバイスを測定した第２の測定値に基づいて算出する。ブランチ３５に対応する係数は、特願２０１４−４１１６５（未公開特許文献）の［００２４］〜［００２７］の記載を参考に算出することができる。
【００６８】
（手順３）  次いで、手順１、２で算出した値を初期値として、図７のシグナル・フロー・グラフに示す相対誤差補正アダプタの回路ブロック３８のブランチにそれぞれ対応する全ての係数について、尤もらしい値を、最尤法を用いて導出する。図７に示す相対誤差補正アダプタの回路ブロック３８のブランチのうち、ブランチ３６ａ〜３６ｄ，３７ａ〜３７ｄ以外のブランチに対応する係数の値は、手順１、２によって算出された値を初期値として用いる。ブランチ３６ａ〜３６ｄ，３７ａ〜３７ｄに対応する係数の値は算出されていないので、所定の値、例えば零を初期値とする。
【００６９】
以下に、最尤法を用いる計算について、詳細に説明する。
【００７０】
ｋ番目の標準試料について基準状態（基準治具に接続した状態）での測定値を、次の［数２０］の数式１に示す列行列で表す。
【数２０】
2015133265.tif 000022
【００７１】
ｋ番目の標準試料の基準状態での測定値と、ｋ番目の標準試料の試験状態（試験治具に接続した状態）での測定値を相対誤差補正アダプタｘで基準状態での測定値に補正した値との差を、次の［数２１］の数式２で表す。
【数２１】
2015133265.tif 000023
ここで、数式２の各パラメータの定義は以下の通りである。
ｈ：剰余
ｓ：基準状態での測定値
ｘ：相対誤差補正アダプタの係数
ｇ：相対誤差補正アダプタの係数ｘで補正計算した値
ｗ：測定ばらつき（同一試料を複数回測定したときの測定ばらつき）
ｋ：標準試料番号
【００７２】
図７に示した相対誤差補正アダプタの回路ブロック３８は、右側が２ポート、左側が３ポートであるため、関数ｇで表わされる補正計算は、Ｓパラメータの非対称回路網計算になる。ここでは、公知文献（例えば、LANCASTER,H.MICROSTRIP FILTERS FOR RF/MICROWAVE APPLICATIONS.）に開示されている計算方法を用いる。この計算方法は比較的簡易な行列式のため、高速計算が可能である。
【００７３】
次に、Ｎ個の標準試料分を結合した剰余を、次の［数２２］の数式３のように数式２を列結合した形で表す。
【数２２】
2015133265.tif 000024
【００７４】
ｈ（ｘ）に関する尤度関数は、公知文献（例えば、KAY, S. M. FUNDAMENTALS OF STATISTICAL SIGNAL PROCESSING : ESTIMATION THEORY）から、次の［数２３］の数式４となる。ここでＣｗは、測定バラツキｗが平均値０の正規分布である場合における共分散行列である。
【数２３】
2015133265.tif 000025
【００７５】
よって、尤度関数を最大値にするｘが尤もらしいｘ、すなわち、尤もらしい相対誤差補正アダプタの係数の値となる。つまり、次の［数２４］の数式５の右辺によって、相対誤差補正アダプタの係数の尤もらしい値（数式５の左辺）が導出される。
【数２４】
2015133265.tif 000026
【００７６】
数式５の右辺はｘに対して非線形関数であるため、非線形最小２乗法を用いて解を導出する。非線形最小２乗法のアルゴリズムには、発散しにくく収束効率が高いLevenberg-Marquardtアルゴリズム（修正Marquardtアルゴリズム）を用いる。
【００７７】
以上に説明した手順１、２では、相対誤差補正回路網モデルの係数のうち、測定値から算出可能な係数を全て算出する。ただし、相対誤差補正回路網モデルの全ての係数を考慮していない分、精度は劣る。手順３では、手順１、２で算出した係数を初期値として、最尤法により、相対誤差補正回路網モデルの全ての係数について、尤もらしい値を求める。
【００７８】
すなわち、手順３では、相対誤差補正回路網モデルの係数のうち、第１及び第２の手順で算出した第１及び第２の相対誤差補正回路網サブモデルの係数に対応する係数について、第１及び第２の手順で算出した第１及び第２の相対誤差補正回路網サブモデルの係数を初期値として用い、図７の相対誤差補正アダプタの回路ブロック３８のブランチ３６ａ〜３６ｄ，３７ａ〜３７ｄに対応する他の係数は所定の値を初期値として用い、相対誤差補正回路網モデルの全ての係数について尤もらしい値を、第１及び第２の測定値を利用し、最尤法によって算出し、算出した尤もらしい値を用いて、電子部品を試験治具に接続した状態で信号ラインポート及び非信号ラインポートを測定した結果から当該電子部品を前記基準治具に接続した状態で信号ラインポートを測定したならば得られるであろう当該電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式を決定する。手順３は、第３のステップに含まれる第３のサブステップである。
【００７９】
（手順４）  手順３で決定した相対誤差補正アダプタの全ての係数の尤もらしい値を用いて、任意の電子部品について測定誤差を補正する。
【００８０】
すなわち、任意の電子部品について、試験治具に接続した状態で信号ラインポート及び非信号ラインポートを測定する。これは、第４のステップである。
【００８１】
次いで、得られた測定値に基づいて、手順３で係数の尤もらしい値を求めることによって決定された数式を用いて、試験治具に接続した状態で測定した試料について、基準治具に接続した状態で信号ラインポートを測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する。これは、第５のステップである。
【００８２】
以上のように、手順３で最尤法を適用したことによって、以下の３つの代表的な効果が得られる。
【００８３】
第１に、測定治具内において非信号ポートを含むポート間の信号漏洩による相対誤差に対応できるため、基準治具と試験治具で非信号ポートへの漏洩誤差が異なっても高精度に相対補正を行なうことができる。これにより、測定冶具の設計自由度を上げ、量産性の高い測定冶具を実現することができる。
【００８４】
第２に、測定誤差を高精度に補正することができるため、高性能特性化する高周波部品を特性選別工程で高確度に選別することが可能となる。
【００８５】
第３に、小型・低背・複合・高機能化に伴って高周波部品の特性がその他の部品や基板によって大きく影響を受けるモジュールについて、高周波部品を搭載する前の状態で特性を測定し、測定誤差の補正方法を適用して所望の特性のものを選別した後、高周波部品を搭載することによってモジュールを作製すると、モジュール全体の電気特性を高確度に推定することが可能となる。
【００８６】
＜実験例１＞  本発明の測定誤差の補正方法の効果を確認するため、自作基板にてＧＮＤ端子のインピーダンスの異なる２つの測定状態（基準状態、及び試験状態）を構成した。図８は、基準治具の写真である。図９は、試験治具の写真である。図１０は、標準試料の写真である。
【００８７】
図８に示すように、基準治具のＧＮＤポートはＳＨＯＲＴにしている。図９に示すように、試験治具には、Ｐｏｒｔ１−ＧＮＤ、Ｐｏｒｔ２−ＧＮＤ間それぞれに、５１０Ωの抵抗を接続し、図８の基準治具に比べ、アイソレーションを劣化させている。図１０に示すように、標準試料は、Ｐｏｒｔ１、Ｐｏｒｔ２、ＧＮＤの３ポートを有する。
【００８８】
次の表１に示す７つの３ポート標準試料（補正データ取得用試料及び補正データ取得用スルーデバイス）を、自作基板で用意した。
【表１】
2015133265.tif 000027
【００８９】
その他の実験条件は以下の通り。
［測定器］        Ｒ３８６０Ａ（アドバンテスト社）
［測定ポート数］  基準治具：２ポート、試験治具：３ポート
［測定周波数］    ３００ｋＨｚ
［中間周波数］    １ｋＨｚ  
［ＤＵＴ］        自作基板（５０Ωのマイクロストリップライン）
【００９０】
測定周波数が３００ｋＨｚと低いのは、図８〜図１０に示したように、試料を治具にコネクタで接続するため、実測評価系がコネクタの付け外しに対して不安定であると考えられるためである。その影響の少ない周波数にすることで、純粋な理論の検証を行えった。
【００９１】
Ｓ２１のＤＵＴの基準状態での測定値、試験状態での測定値、及び補正結果（試験状態での測定値から算出した基準状態での測定値の推定値）を、次の表２に示す。
【表２】
2015133265.tif 000028
【００９２】
表２から、最尤法を用いていない手順２までの補正では、ＧＮＤ端子のインピーダンスが異なる測定系の補正について、補正結果と基準状態との差が０．１０９ｄＢであり、充分には補正を行うことができていない。手順３まで含む本手法では、補正結果と基準状態との差が０．０３２ｄＢであり、精度よく補正できていることが分かる。
【００９３】
＜まとめ＞  以上に説明したように、本発明の電子部品の測定誤差の補正方法は、測定治具によって測定値に差が生じる３つの要因（伝送路の違い、直達波の違い、非伝送路の違い）を考慮して、測定治具間の測定値差を精度よく補正することができる。
【００９４】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。
【００９５】
例えば、本発明は、任意の数の信号ラインポート及び非信号ラインポートを有する電子部品に適用することができる。
【符号の説明】
【００９６】
２  電子部品
８  電子部品の回路ブロック
１０  基準治具
１１，１２  同軸コネクタ
１４  実装部
１５，１６  信号ライン接続端子
１７  装着部
１８  基準治具の回路ブロック
２０  試験治具
２１，２２，２３  同軸コネクタ
２４，２５  信号ライン接続端子
２６  非信号ライン接続端子
２８  試験治具の回路ブロック
２９  試験治具の中和回路ブロック
３２  相対誤差補正アダプタの回路ブロック（第１の相対誤差補正回路網サブモデル）
３４  相対誤差補正アダプタの回路ブロック（第２の相対誤差補正回路網サブモデル）
３８  相対誤差補正アダプタの回路ブロック（相対誤差補正回路網モデル）
４０  試験状態での測定値の回路ブロック
１１０  電子部品測定装置
１１２  測定治具（試験治具、基準治具）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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