(57)【要約】このレーザシステムは、トリガ信号を受信し、トリガ信号を受信した時から第１の遅延時間が経過したことを示す第１の遅延信号と、トリガ信号を受信した時から第２の遅延時間が経過したことを示す第２の遅延信号と、を出力する遅延回路部と、第１の遅延信号を受信し、第１の遅延信号を受信した時から第１の補正時間が経過したことを示す第１のスイッチ信号を出力する第１のトリガ補正部と、第２の遅延信号を受信し、第２の遅延信号を受信した時から第２の補正時間が経過したことを示す第２のスイッチ信号を出力する第２のトリガ補正部と、遅延回路部と、第１のトリガ補正部と、第２のトリガ補正部と、に共通のクロック信号を生成するクロック生成器と、を備えてもよい。
2015190012.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トリガ信号を受信し、前記トリガ信号を受信した時から第１の遅延時間が経過したことを示す第１の遅延信号と、前記トリガ信号を受信した時から第２の遅延時間が経過したことを示す第２の遅延信号と、を出力する遅延回路部と、
前記第１の遅延信号を受信し、前記第１の遅延信号を受信した時から第１の補正時間が経過したことを示す第１のスイッチ信号を出力する第１のトリガ補正部と、
前記第２の遅延信号を受信し、前記第２の遅延信号を受信した時から第２の補正時間が経過したことを示す第２のスイッチ信号を出力する第２のトリガ補正部と、
第１のレーザ装置であって、第１のコンデンサと、前記第１のコンデンサに電圧を印加する第１の充電器と、前記第１のスイッチ信号を受信して前記第１のコンデンサから電流パルスを生成させる第１のスイッチと、前記第１のコンデンサからの電流パルスを圧縮する第１の磁気圧縮回路と、レーザガスを含む第１のチャンバと、前記第１のチャンバ内に配置され、前記第１の磁気圧縮回路に接続された第１の一対の放電電極と、前記第１の一対の放電電極間での放電を検出して第１の放電検出信号を出力する第１の放電タイミング検出器と、を含む前記第１のレーザ装置と、
第２のレーザ装置であって、第２のコンデンサと、前記第２のコンデンサに電圧を印加する第２の充電器と、前記第２のスイッチ信号を受信して前記第２のコンデンサから電流パルスを生成させる第２のスイッチと、前記第２のコンデンサからの電流パルスを圧縮する第２の磁気圧縮回路と、レーザガスを含む第２のチャンバと、前記第２のチャンバ内に配置され、前記第２の磁気圧縮回路に接続された第２の一対の放電電極と、前記第２の一対の放電電極間での放電を検出して第２の放電検出信号を出力する第２の放電タイミング検出器と、を含む前記第２のレーザ装置と、
前記遅延回路部と、前記第１のトリガ補正部と、前記第２のトリガ補正部と、に共通のクロック信号を生成するクロック生成器と、
を備え、
前記第１のトリガ補正部は、前記第１の放電検出信号を受信し、前記第１の遅延信号を受信してから前記第１の放電検出信号を受信するまでの第１の経過時間が第１の目標値に近づくように前記第１の補正時間を設定し、
前記第２のトリガ補正部は、前記第２の放電検出信号を受信し、前記第２の遅延信号を受信してから前記第２の放電検出信号を受信するまでの第２の経過時間が第２の目標値に近づくように前記第２の補正時間を設定する、
レーザシステム。
【請求項２】
前記第１のトリガ補正部は、
前記第１の充電器により前記第１のコンデンサに印加される電圧の設定値をさらに受信し、
前記電圧の設定値に基づいて前記第１の補正時間を設定する第１の設定処理と、
前記第１の経過時間に基づいて前記第１の補正時間を設定する第２の設定処理と、を行う、
請求項１記載のレーザシステム。
【請求項３】
前記第１のトリガ補正部は、
前記第１の設定処理を、第１の頻度で行い、
前記第２の設定処理を、前記第１の頻度より小さい第２の頻度で行う、
請求項２記載のレーザシステム。
【請求項４】
前記第１のレーザ装置は、前記第１のスイッチ信号を受信して第１のパルスレーザ光を生成する第１の発振器と、前記第１のパルスレーザ光を増幅して出力する第１の増幅器と、を含み、
前記第２のレーザ装置は、前記第２のスイッチ信号を受信して第２のパルスレーザ光を生成する第２の発振器と、前記第２のパルスレーザ光を増幅して出力する第２の増幅器と、を含む、
請求項１記載のレーザシステム。
【請求項５】
前記第１のトリガ補正部は、前記第１の遅延信号を受信した時から第１の設定時間が経過したことを示す第１の増幅器スイッチ信号をさらに出力し、
前記第１の発振器は、前記第１のコンデンサと、前記第１の充電器と、前記第１のスイッチと、前記第１の磁気圧縮回路と、前記第１のチャンバと、前記第１の一対の放電電極と、前記第１の放電タイミング検出器と、を含み、
前記第１の増幅器は、第３のコンデンサと、前記第３のコンデンサに電圧を印加する第３の充電器と、前記第１の増幅器スイッチ信号を受信して前記第３のコンデンサから電流パルスを生成させる第３のスイッチと、前記第３のコンデンサからの電流パルスを圧縮する第３の磁気圧縮回路と、レーザガスを含む第３のチャンバと、前記第３のチャンバ内に配置され、前記第３の磁気圧縮回路に接続された第３の一対の放電電極と、前記第３の一対の放電電極間での放電を検出して第１の増幅器放電検出信号を出力する第３の放電タイミング検出器と、を含み、
前記第１のトリガ補正部は、前記第１の放電検出信号と前記第１の増幅器放電検出信号とを受信し、前記第１の放電検出信号を受信してから前記第１の増幅器放電検出信号を受信するまでのタイミング差が第３の目標値に近づくように前記第１の設定時間を設定する、
請求項４記載のレーザシステム。
【請求項６】
第１のレーザ装置であって、
トリガ信号を受信し、前記トリガ信号を受信した時から第１の遅延時間が経過したことを示す第１の遅延信号を出力する第１の遅延回路部と、
前記第１の遅延信号を受信し、前記第１の遅延信号を受信した時から第１の補正時間が経過したことを示す第１のスイッチ信号を出力する第１のトリガ補正部と、
前記第１の遅延回路部と、前記第１のトリガ補正部と、に共通のクロック信号を生成する第１のクロック生成器と、
第１のコンデンサと、前記第１のコンデンサに電圧を印加する第１の充電器と、前記第１のスイッチ信号を受信して前記第１のコンデンサから電流パルスを生成させる第１のスイッチと、前記第１のコンデンサからの電流パルスを圧縮する第１の磁気圧縮回路と、レーザガスを含む第１のチャンバと、前記第１のチャンバ内に配置され、前記第１の磁気圧縮回路に接続された第１の一対の放電電極と、前記第１の一対の放電電極間での放電を検出して第１の放電検出信号を出力する第１の放電タイミング検出器と、
を含む前記第１のレーザ装置と、
第２のレーザ装置であって、
前記トリガ信号を受信し、前記トリガ信号を受信した時から第２の遅延時間が経過したことを示す第２の遅延信号を出力する第２の遅延回路部と、
前記第２の遅延信号を受信し、前記第２の遅延信号を受信した時から第２の補正時間が経過したことを示す第２のスイッチ信号を出力する第２のトリガ補正部と、
前記第２の遅延回路部と、前記第２のトリガ補正部と、に共通のクロック信号を生成する第２のクロック生成器と、
第２のコンデンサと、前記第２のコンデンサに電圧を印加する第２の充電器と、前記第２のスイッチ信号を受信して前記第２のコンデンサから電流パルスを生成させる第２のスイッチと、前記第２のコンデンサからの電流パルスを圧縮する第２の磁気圧縮回路と、レーザガスを含む第２のチャンバと、前記第２のチャンバ内に配置され、前記第２の磁気圧縮回路に接続された第２の一対の放電電極と、前記第２の一対の放電電極間での放電を検出して第２の放電検出信号を出力する第２の放電タイミング検出器と、
を含む前記第２のレーザ装置と、
を備え、
前記第１のトリガ補正部は、前記第１の放電検出信号を受信し、前記第１の遅延信号を受信してから前記第１の放電検出信号を受信するまでの第１の経過時間が第１の目標値に近づくように前記第１の補正時間を設定し、
前記第２のトリガ補正部は、前記第２の放電検出信号を受信し、前記第２の遅延信号を受信してから前記第２の放電検出信号を受信するまでの第２の経過時間が第２の目標値に近づくように前記第２の補正時間を設定する、
レーザシステム。
【請求項７】
前記第１のレーザ装置から出力されたパルスレーザ光と前記第２のレーザ装置から出力されたパルスレーザ光とを束ねて、光束化レーザ光を出射する光束化装置と、
前記光束化レーザ光のパルス波形を計測するパルス波形計測器と、
をさらに備える、
請求項１記載のレーザシステム。
【請求項８】
前記遅延回路部は、前記パルス波形計測器によって計測されたパルス波形に基づいて、前記第１の遅延時間及び前記第２の遅延時間を設定する、
請求項７記載のレーザシステム。
【請求項９】
前記第１のレーザ装置の出力位置から前記光束化装置の出射位置までの第１の光路長と、前記第２のレーザ装置の出力位置から前記光束化装置の出射位置までの第２の光路長との差が小さくなるように前記第１の光路長と前記第２の光路長とを調節する光路長調節器をさらに備え、
前記第１の目標値と前記第２の目標値とが実質的に等しい、
請求項８記載のレーザシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、レーザシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザアニール装置は、基板上に成膜されたアモルファス（非結晶）シリコン膜にエキシマレーザ等のレーザシステムから出力された紫外線領域の波長を有するパルスレーザ光を照射し、ポリシリコン膜に改質する装置である。アモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に改質することにより、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を作製することができる。このＴＦＴは、比較的大きな液晶ディスプレイに使用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３４２９６４号公報
【特許文献２】米国特許第８２３８４００号明細書
【特許文献３】米国特許第６８６５２１０号明細書
【概要】
【０００４】
本開示の１つの観点に係るレーザシステムは、トリガ信号を受信し、トリガ信号を受信した時から第１の遅延時間が経過したことを示す第１の遅延信号と、トリガ信号を受信した時から第２の遅延時間が経過したことを示す第２の遅延信号と、を出力する遅延回路部と、第１の遅延信号を受信し、第１の遅延信号を受信した時から第１の補正時間が経過したことを示す第１のスイッチ信号を出力する第１のトリガ補正部と、第２の遅延信号を受信し、第２の遅延信号を受信した時から第２の補正時間が経過したことを示す第２のスイッチ信号を出力する第２のトリガ補正部と、第１のレーザ装置であって、第１のコンデンサと、第１のコンデンサに電圧を印加する第１の充電器と、第１のスイッチ信号を受信して前記第１のコンデンサから電流パルスを生成させる第１のスイッチと、第１のコンデンサからの電流パルスを圧縮する第１の磁気圧縮回路と、レーザガスを含む第１のチャンバと、第１のチャンバ内に配置され、前記第１の磁気圧縮回路に接続された第１の一対の放電電極と、第１の一対の放電電極間での放電を検出して第１の放電検出信号を出力する第１の放電タイミング検出器と、を含む第１のレーザ装置と、第２のレーザ装置であって、第２のコンデンサと、第２のコンデンサに電圧を印加する第２の充電器と、第２のスイッチ信号を受信して前記第２のコンデンサから電流パルスを生成させる第２のスイッチと、第２のコンデンサからの電流パルスを圧縮する第２の磁気圧縮回路と、レーザガスを含む第２のチャンバと、第２のチャンバ内に配置され、前記第２の磁気圧縮回路に接続された第２の一対の放電電極と、第２の一対の放電電極間での放電を検出して第２の放電検出信号を出力する第２の放電タイミング検出器と、を含む第２のレーザ装置と、遅延回路部と、第１のトリガ補正部と、第２のトリガ補正部と、に共通のクロック信号を生成するクロック生成器と、を備え、第１のトリガ補正部は、第１の放電検出信号を受信し、第１の遅延信号を受信してから第１の放電検出信号を受信するまでの第１の経過時間が第１の目標値に近づくように第１の補正時間を設定し、第２のトリガ補正部は、第２の放電検出信号を受信し、第２の遅延信号を受信してから第２の放電検出信号を受信するまでの第２の経過時間が第２の目標値に近づくように第２の補正時間を設定してもよい。
本開示の別の観点に係るレーザシステムは、第１のレーザ装置であって、トリガ信号を受信し、前記トリガ信号を受信した時から第１の遅延時間が経過したことを示す第１の遅延信号を出力する第１の遅延回路部と、前記第１の遅延信号を受信し、前記第１の遅延信号を受信した時から第１の補正時間が経過したことを示す第１のスイッチ信号を出力する第１のトリガ補正部と、前記第１の遅延回路部と、前記第１のトリガ補正部と、に共通のクロック信号を生成する第１のクロック生成器と、第１のコンデンサと、前記第１のコンデンサに電圧を印加する第１の充電器と、前記第１のスイッチ信号を受信して前記第１のコンデンサから電流パルスを生成させる第１のスイッチと、前記第１のコンデンサからの電流パルスを圧縮する第１の磁気圧縮回路と、レーザガスを含む第１のチャンバと、前記第１のチャンバ内に配置され、前記第１の磁気圧縮回路に接続された第１の一対の放電電極と、前記第１の一対の放電電極間での放電を検出して第１の放電検出信号を出力する第１の放電タイミング検出器と、を含む前記第１のレーザ装置と、第２のレーザ装置であって、前記トリガ信号を受信し、前記トリガ信号を受信した時から第２の遅延時間が経過したことを示す第２の遅延信号を出力する第２の遅延回路部と、前記第２の遅延信号を受信し、前記第２の遅延信号を受信した時から第２の補正時間が経過したことを示す第２のスイッチ信号を出力する第２のトリガ補正部と、前記第２の遅延回路部と、前記第２のトリガ補正部と、に共通のクロック信号を生成する第２のクロック生成器と、第２のコンデンサと、前記第２のコンデンサに電圧を印加する第２の充電器と、前記第２のスイッチ信号を受信して前記第２のコンデンサから電流パルスを生成させる第２のスイッチと、前記第２のコンデンサからの電流パルスを圧縮する第２の磁気圧縮回路と、レーザガスを含む第２のチャンバと、前記第２のチャンバ内に配置され、前記第２の磁気圧縮回路に接続された第２の一対の放電電極と、前記第２の一対の放電電極間での放電を検出して第２の放電検出信号を出力する第２の放電タイミング検出器と、を含む前記第２のレーザ装置と、を備え、前記第１のトリガ補正部は、前記第１の放電検出信号を受信し、前記第１の遅延信号を受信してから前記第１の放電検出信号を受信するまでの第１の経過時間が第１の目標値に近づくように前記第１の補正時間を設定し、前記第２のトリガ補正部は、前記第２の放電検出信号を受信し、前記第２の遅延信号を受信してから前記第２の放電検出信号を受信するまでの第２の経過時間が第２の目標値に近づくように前記第２の補正時間を設定してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
【図１】図１は、本開示の第１の実施形態に係るレーザシステムを含むレーザアニール装置の構成を概略的に示す。
【図２】図２は、図１に示されるレーザ装置の構成例を示す。
【図３】図３は、図２に示されるパルスパワーモジュールの構成と、レーザ光の進行方向に略平行な方向からみたレーザチャンバの内部構成を示す。
【図４】図４は、図１に示される同期制御部及びその周辺の構成を示すブロック図である。
【図５】図５は、図１に示されるレーザシステムにおけるタイミングチャートである。
【図６】図６は、図４に示される第１及び第２のトリガ補正部におけるタイミングチャートである。
【図７】図７は、第ｎのトリガ補正部における具体的な補正方法を示すタイミングチャートである。
【図８】図８は、図１に示されるレーザシステム制御部の処理を示すフローチャートである。
【図９】図９は、図４に示されるレーザ制御部の処理を示すフローチャートである。
【図１０】図１０は、図４に示される第ｎのトリガ補正部の処理を示すフローチャートである。
【図１１】図１１は、本開示の第２の実施形態に係るレーザシステムに含まれるレーザ装置の構成例を示す。
【図１２】図１２は、第２の実施形態における同期制御部及びその周辺の構成を示すブロック図である。
【図１３】図１３は、第２の実施形態の第ｎのトリガ補正部における具体的な補正方法を示すタイミングチャートである。
【図１４Ａ】図１４Ａは、第２の実施形態における第ｎのトリガ補正部の処理を示すフローチャートである。
【図１４Ｂ】図１４Ｂは、第２の実施形態における第ｎのトリガ補正部の処理を示すフローチャートである。
【図１５】図１５は、本開示の第３の実施形態に係るレーザシステムの構成を示すブロック図である。
【図１６】図１６は、本開示の第４の実施形態に係るレーザシステムの構成を示すブロック図である。
【図１７】図１７は、本開示の第５の実施形態に係るレーザシステム５を含むレーザアニール装置１の構成を概略的に示す。
【図１８】図１８は、図１７に示されるパルス波形計測器６の具体的構成を示す。
【図１９】図１９は、図１７に示されるレーザシステム制御部２０の処理を示すフローチャートである。
【図２０】図２０は、図１９に示される第ｎのパルスレーザ光を計測及び制御する処理の詳細を示すフローチャートである。
【図２１】図２１は、図１９に示される第１〜第Ｎｍａｘのパルスレーザ光全体のパルス波形を計測する処理の詳細を示すフローチャートである。
【図２２】図２２は、図１及び図１７に示された光路長調節器の構成を概略的に示す。
【図２３】図２３は、光束化装置のさらに別の例を示す。
【図２４】図２４は、制御部の概略構成を示すブロック図である。
【実施形態】
【０００６】
＜内容＞
１．概要
２．同期制御部を含むレーザアニール装置（第１の実施形態）
２．１  レーザ装置の概要
２．２  光束化装置
２．３  露光装置
２．４  制御部
２．５  レーザ装置の詳細
２．６  同期制御部の詳細
２．７  タイミングチャート
２．８  フローチャート
２．８．１  レーザシステム制御部の処理
２．８．２  レーザ制御部の処理
２．８．３  第ｎのトリガ補正部の処理
３．増幅器を含むレーザシステム（第２の実施形態）
３．１  レーザ装置の構成
３．２  同期制御部の詳細
３．３  タイミングチャート
３．４  第ｎのトリガ補正部の処理
４．各レーザ装置がトリガ補正部を含むレーザシステム
４．１  第３の実施形態
４．２  第４の実施形態
５．パルス波形計測器を含むレーザシステム（第５の実施形態）
５．１  構成
５．２  パルス波形計測器
５．３  制御動作
６．その他
６．１  光路長調節器
６．２  平面鏡を用いた光束化装置
６．３  制御部の構成
【０００７】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
【０００８】
１．概要
レーザアニール装置は、ガラス基板上のアモルファスシリコン膜にパルスレーザ光を所定のエネルギー密度で照射することによって、レーザアニールを行ってもよい。近年のようにますます大きな液晶ディスプレイが製造されるようになると、所定のエネルギー密度での照射面積を広げるために、パルスレーザ光の１つのパルスあたりのエネルギーを増加させることが求められ得る。１つのパルスあたりのエネルギーを増加させるために、複数台のレーザ装置からそれぞれ出力されたパルスレーザ光を光束化してもよい。光束化された光束化レーザ光を、アモルファスシリコン膜に照射してもよい。
【０００９】
複数台のレーザ装置からそれぞれ出力されるパルスレーザ光のエネルギーを安定化させるには、それぞれのレーザ装置の充電器による充電電圧を、互いに独立に制御する必要があり得る。しかしながら、これらのレーザ装置における放電タイミングは、充電器による充電電圧によって変動し得る。このため、複数台のレーザ装置からそれぞれ出力されて光束化された光束化レーザ光のパルス波形を安定化させることが困難となっていた。光束化レーザ光のパルス波形が不安定となると、アニールの品質が低下する可能性があった。
【００１０】
本開示の１つの観点において、第１のトリガ補正部は、第１の遅延信号ＴＲ（１）を受信した時から第１の補正時間Ｔｄ（１）が経過したことを示す第１のスイッチ信号Ｓ（１）を出力してもよい。第１のレーザ装置においては、第１のスイッチ信号Ｓ（１）を受信した時から第１のパルスレーザ光を生成する時までの第１の所要時間が変動してもよい。第１のトリガ補正部は、第１の補正時間Ｔｄ（１）と、第１の所要時間と、の合計時間が目標値ＴＲｄｔに近づくように、第１の補正時間Ｔｄ（１）を設定してもよい。
【００１１】
第２のトリガ補正部は、第２の遅延信号ＴＲ（２）を受信した時から第２の補正時間Ｔｄ（２）が経過したことを示す第２のスイッチ信号Ｓ（２）を出力してもよい。第２のレーザ装置においては、第２のスイッチ信号Ｓ（２）を受信した時から第２のパルスレーザ光を生成する時までの第２の所要時間が、第１の所要時間とは別に変動してもよい。第２のトリガ補正部は、第２の補正時間Ｔｄ（２）と、第２の所要時間と、の合計時間が目標値ＴＲｄｔに近づくように、第２の補正時間Ｔｄ（２）を設定してもよい。
【００１２】
２．同期制御部を含むレーザアニール装置（第１の実施形態）
図１は、本開示の第１の実施形態に係るレーザシステムを含むレーザアニール装置の構成を概略的に示す。レーザアニール装置１は、レーザシステム５と、露光装置４とを備えてもよい。レーザシステム５は、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅと、高反射ミラー３０ａ〜３０ｅと、高反射ミラー３５ａ〜３５ｅと、第１〜第５の光路長調節器７ａ〜７ｅと、光束化装置３と、を含んでもよい。
【００１３】
２．１  レーザ装置の概要
第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅのそれぞれは、例えば、ＸｅＦ、ＸｅＣｌ、ＫｒＦ、又はＡｒＦをレーザ媒質とするエキシマレーザ装置であってもよい。第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅのそれぞれは、互いに実質的に同一の構成を有してもよい。第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅは、それぞれ第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅを出力してもよい。第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅは、紫外線の波長領域を有してもよい。
【００１４】
第１〜第５の光路長調節器７ａ〜７ｅが、それぞれ第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの光路に配置されてもよい。第１〜第５の光路長調節器７ａ〜７ｅは、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅのそれぞれの出力位置から光束化装置３の出射位置までの第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの光路長が互いに等しくなるように、それぞれの光路長を調節してもよい。高反射ミラー３０ａ〜３０ｅと、高反射ミラー３５ａ〜３５ｅとが、それぞれ第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの光路に配置されてもよい。第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅは、光束化装置３に導かれてもよい。図１においては５台のレーザ装置を図示しているが、レーザ装置の台数は特に限定されず、２以上の任意の台数であってもよい。
【００１５】
２．２  光束化装置
光束化装置３は、入射光学系３３と、ビームコンバイナ３４と、を備えてもよい。
入射光学系３３は、二次光源光学系３１と、コンデンサ光学系３２とを含み、ケーラー照明を構成するように設計されてもよい。
二次光源光学系３１は、第１〜第５凹レンズ３１ａ〜３１ｅを含んでもよい。
【００１６】
第１凹レンズ３１ａは、第１のパルスレーザ光２１ａの光路であって、第１の光路長調節器７ａと、コンデンサ光学系３２との間に配置されてもよい。第１凹レンズ３１ａは、第１のパルスレーザ光２１ａをコンデンサ光学系３２に向けて透過させるときに、第１のパルスレーザ光２１ａのビーム幅を拡大させてもよい。
【００１７】
第１〜第５凹レンズ３１ａ〜３１ｅは、互いに実質的に同一の構成を有していてもよい。
第２凹レンズ３１ｂは、第２のパルスレーザ光２１ｂの光路に配置されてもよい。
第３凹レンズ３１ｃは、第３のパルスレーザ光２１ｃの光路に配置されてもよい。
第４凹レンズ３１ｄは、第４のパルスレーザ光２１ｄの光路に配置されてもよい。
第５凹レンズ３１ｅは、第５のパルスレーザ光２１ｅの光路に配置されてもよい。
【００１８】
第１〜第５凹レンズ３１ａ〜３１ｅにそれぞれ入射する第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅは、いずれも略同じ大きさのビーム形状であって、略同じビームダイバージェンスを有するレーザ光であってもよい。
第１〜第５凹レンズ３１ａ〜３１ｅをそれぞれ透過した第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの光路軸は、互いにほぼ平行であってもよい。本明細書では、パルスレーザ光の「光路軸」は、パルスレーザ光の光路の中心軸を意味する。
【００１９】
コンデンサ光学系３２は、以下に説明するように、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅが、ビームコンバイナ３４の入射面において略同じ領域に入射し、かつ、それぞれの所定の入射角度で入射するように、配置されてもよい。
コンデンサ光学系３２は、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの光路にまたがる領域であって、二次光源光学系３１とビームコンバイナ３４との間の位置に配置されてもよい。コンデンサ光学系３２は、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅを、ビームコンバイナ３４に向けて透過させ得る。このとき、コンデンサ光学系３２は、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの光路軸の方向を、それぞれの所定方向に変化させ得る。
【００２０】
コンデンサ光学系３２は、当該コンデンサ光学系３２の前側焦点面の位置が、第１〜第５凹レンズ３１ａ〜３１ｅのそれぞれの焦点の位置とほぼ一致するように、配置されてもよい。従って、コンデンサ光学系３２は、第１〜第５凹レンズ３１ａ〜３１ｅをそれぞれ透過した第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅを、それぞれほぼ平行光となるように、コリメートし得る。
【００２１】
コンデンサ光学系３２は、当該コンデンサ光学系３２の後側焦点面の位置がビームコンバイナ３４の入射側の面の位置とほぼ一致するように配置されてもよい。従って、コンデンサ光学系３２は、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅを、ビームコンバイナ３４の互いにほぼ同じ領域に、それぞれの所定の入射角度で入射させ得る。
【００２２】
図１において、コンデンサ光学系３２は１つの凸レンズを含むものとして図示したが、図示しない他の凸レンズ又は凹レンズとの組み合わせや、凹面ミラー等を含んでもよい。
【００２３】
ビームコンバイナ３４は、回折光学素子（Diffractive Optical Element：ＤＯＥ）を含んでもよい。この回折光学素子は、例えば合成石英やフッ化カルシウム基板等の紫外線を透過させる基板上に、所定形状の溝が所定間隔で形成されたものでもよい。
【００２４】
コンデンサ光学系３２によって所定方向に光路軸を変化させられた第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅが、ビームコンバイナ３４に入射し得る。ビームコンバイナ３４に入射した第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅは、ほぼ同一の方向にビームコンバイナ３４から出射し得る。すなわち、上述した所定方向は、ビームコンバイナ３４によって第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅが結合されるような方向であってもよい。このようなビームコンバイナ３４として、例えば、米国特許出願公開第２００９／０２８５０７６号明細書に開示された回折光学素子が用いられてもよい。
【００２５】
ビームコンバイナ３４から出射した第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅは、ほぼ同一の光路を通って露光装置４に入射してもよい。
【００２６】
このようにして、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅが光束化装置３によって光束化されてもよい。以下の説明において、複数のパルスレーザ光が束ねられたパルスレーザ光を、光束化レーザ光２１と称することがある。光束化レーザ光２１は、１台のレーザ装置から出力されたパルスレーザ光に対して約５倍のパルスエネルギーを有してもよい。
【００２７】
複数のパルスレーザ光を「光束化」するとは、複数のパルスレーザ光の光路を重ね合わせることを含んでもよい。あるいは、複数のパルスレーザ光を「光束化」するとは、図２３を参照しながら後述するように、複数のパルスレーザ光と光路を近接させて出射することを含んでもよい。
【００２８】
２．３  露光装置
露光装置４は、高反射ミラー４１と、照明光学系４２と、マスク４３と、転写光学系４４とを備えてもよい。露光装置４は、レーザシステム５から出射された光束化レーザ光２１を所定のマスクパターンに成形し、被照射物Ｐに照射してもよい。
【００２９】
高反射ミラー４１は、レーザシステム５から出射された光束化レーザ光２１の光路に配置されてもよい。高反射ミラー４１は、光束化レーザ光２１を反射して照明光学系４２に入射させてもよい。照明光学系４２に入射する光束化レーザ光２１は、ほぼ平行光であってもよい。
【００３０】
照明光学系４２は、光束化レーザ光２１の光路であって、高反射ミラー４１とマスク４３との間に配置されてもよい。照明光学系４２は、フライアイレンズ４２１と、コンデンサ光学系４２２とを含み、ケーラー照明を構成するように設計されてもよい。
【００３１】
フライアイレンズ４２１は、光束化レーザ光２１の光路であって、高反射ミラー４１とコンデンサ光学系４２２との間に配置されてもよい。フライアイレンズ４２１は、光束化レーザ光２１の断面に沿って配列された複数のレンズを含んでもよい。当該複数のレンズのそれぞれは、光束化レーザ光２１の各一部をコンデンサ光学系４２２に向けて透過させるときに、当該各一部のビーム幅を拡大させてもよい。
【００３２】
コンデンサ光学系４２２は、光束化レーザ光２１の光路であって、フライアイレンズ４２１とマスク４３との間に配置されてもよい。コンデンサ光学系４２２は、フライアイレンズ４２１から出射された光束化レーザ光２１をマスク４３に向けて照明してもよい。
【００３３】
コンデンサ光学系４２２は、当該コンデンサ光学系４２２の後側焦点面の位置がマスク４３の位置とほぼ一致するように配置されてもよい。従って、コンデンサ光学系４２２は、フライアイレンズ４２１に含まれる複数のレンズのそれぞれを透過した光束化レーザ光２１を、マスク４３の互いにほぼ同じ領域に入射させ得る。
【００３４】
図１において、コンデンサ光学系４２２は１つの凸レンズを含むものとして図示したが、図示しない他の凸レンズ又は凹レンズとの組み合わせや、凹面ミラー等を含んでもよい。
以上の構成により、照明光学系４２は、マスク４３に照射される光束化レーザ光２１のビーム断面における光強度分布のばらつきを低減してもよい。
【００３５】
マスク４３は、長方形形状の開口が形成されたスリットであってもよい。当該スリットの開口形状は、マスク４３のマスクパターンを構成し得る。マスク４３のマスクパターンは、長方形形状に限定されず、所望形状のパターンであってもよい。
【００３６】
転写光学系４４は、光束化レーザ光２１の光路であって、マスク４３と被照射物Ｐとの間に配置されてもよい。転写光学系４４は、当該転写光学系４４によって結像されるマスク４３の像の位置が被照射物Ｐの被照射位置とほぼ一致するように配置されてもよい。これにより、転写光学系４４は、光束化レーザ光２１が照射されたマスク４３のマスクパターンを被照射物Ｐに転写してもよい。
【００３７】
転写光学系４４は、１つ又は複数の凸レンズを含んでもよい。転写光学系４４は、１つ又は複数の凸レンズに限定されず、例えば凸レンズと凹レンズの組み合わせや、凹面ミラー等を含んでもよい。転写光学系４４は、長方形形状のマスクパターンの短手方向だけを被照射物Ｐに転写するシリンドリカルレンズによって構成されてもよい。
【００３８】
以上のように、レーザシステム５は、１台のレーザ装置から出力されたパルスレーザ光よりもパルスエネルギーの高い光束化レーザ光２１を出力し得る。その結果、レーザアニール装置１は、アニールに必要な所定のパルスエネルギー密度で、且つ、広い照射面積で、光束化レーザ光２１を被照射物Ｐに照射し得る。そして、大面積の液晶ディスプレイの効率的な製造が可能となり得る。
【００３９】
２．４  制御部
露光装置４は、露光装置制御部４０を含んでいてもよい。露光装置制御部４０は、被照射物Ｐを保持するための図示しないステージの移動、被照射物Ｐやマスク４３の交換などの制御を行ってもよい。露光装置制御部４０は、レーザシステム制御部２０に対し、トリガ信号ＴＲを出力してもよい。
【００４０】
レーザシステム５は、レーザシステム制御部２０と、同期制御部２２とを含んでいてもよい。レーザシステム制御部２０は、露光装置制御部４０から受信したトリガ信号ＴＲを、同期制御部２２に送信してもよい。同期制御部２２は、レーザシステム制御部２０から受信したトリガ信号ＴＲに基づいて、第１〜第５のスイッチ信号Ｓ（１）〜Ｓ（５）をそれぞれ第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅに送信してもよい。第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅは、同期制御部２２から受信したそれぞれのスイッチ信号に基づいて、パルスレーザ光を出力してもよい。
【００４１】
２．５  レーザ装置の詳細
図２は、図１に示されるレーザ装置の構成例を示す。例えば、第１のレーザ装置２ａは、レーザチャンバ１０と、一対の放電電極１１ａ及び１１ｂと、充電器１２と、パルスパワーモジュール（ＰＰＭ）１３と、を含んでもよい。第１のレーザ装置２ａは、さらに、高反射ミラー１４と、出力結合ミラー１５と、パルスエネルギー計測部１７と、レーザ制御部１９と、を含んでもよい。第２〜第５のレーザ装置２ｂ〜２ｅの構成も同様でもよい。図２においては、パルスレーザ光２１ａの進行方向と一対の放電電極１１ａ及び１１ｂ間の放電方向との両方に垂直な方向からみたレーザチャンバ１０の内部構成が示されている。
【００４２】
レーザチャンバ１０は、例えばレアガスとしてアルゴンまたはクリプトンまたはキセノン、バッファガスとしてネオンまたはヘリューム、ハロゲンガスとして塩素またはフッ素等を含む、レーザ媒質としてのレーザガスが封入されるチャンバでもよい。一対の電極１１ａ及び１１ｂは、レーザ媒質を放電により励起するための電極として、レーザチャンバ１０内に配置されてもよい。レーザチャンバ１０には開口が形成され、この開口を電気絶縁部２９が塞いでいてもよい。電極１１ａは電気絶縁部２９に支持され、電極１１ｂはリターンプレート１０ｄに支持されていてもよい。このリターンプレート１０ｄは図３を参照しながら後述する配線１０ｅ及び１０ｆによってレーザチャンバ１０の内面と接続されてもよい。電気絶縁部２９には、導電部２９ａが埋め込まれていてもよい。導電部２９ａは、パルスパワーモジュール１３から供給される高電圧を電極１１ａに印加するものであってもよい。
【００４３】
充電器１２は、パルスパワーモジュール１３の中の後述する充電コンデンサＣ０に所定の電圧で充電する直流電源装置であってもよい。パルスパワーモジュール１３は、レーザ制御部１９によって制御されるスイッチ１３ａを含んでもよい。スイッチ１３ａがＯＦＦからＯＮになると、パルスパワーモジュール１３は、充電コンデンサＣ０に保持されていた電気エネルギーからパルス状の高電圧を生成し、この高電圧を一対の電極１１ａ及び１１ｂ間に印加してもよい。
【００４４】
一対の電極１１ａ及び１１ｂ間に高電圧が印加されると、一対の電極１１ａ及び１１ｂ間が絶縁破壊され、放電が起こり得る。この放電のエネルギーにより、レーザチャンバ１０内のレーザ媒質が励起されて高エネルギー準位に移行し得る。励起されたレーザ媒質が、その後低エネルギー準位に移行するとき、そのエネルギー準位差に応じた光を放出し得る。
【００４５】
レーザチャンバ１０の両端にはウインドウ１０ａ及び１０ｂが設けられてもよい。レーザチャンバ１０内で発生した光は、ウインドウ１０ａ及び１０ｂを介してレーザチャンバ１０の外部に出射し得る。
【００４６】
高反射ミラー１４は、レーザチャンバ１０のウインドウ１０ａから出射された光を高い反射率で反射してレーザチャンバ１０に戻してもよい。
出力結合ミラー１５は、レーザチャンバ１０のウインドウ１０ｂから出力される光のうちの一部を透過させて出力し、他の一部を反射させてレーザチャンバ１０内に戻してもよい。
【００４７】
従って、高反射ミラー１４と出力結合ミラー１５とで、光共振器が構成され得る。レーザチャンバ１０から出射した光は、高反射ミラー１４と出力結合ミラー１５との間で往復し、電極１１ａと電極１１ｂとの間のレーザゲイン空間を通過する度に増幅され得る。増幅された光の一部が、出力結合ミラー１５を介して、パルスレーザ光２１ａとして出力され得る。
【００４８】
パルスエネルギー計測部１７は、出力結合ミラー１５を介して出力されたパルスレーザ光２１ａの光路に配置されていてもよい。パルスエネルギー計測部１７は、ビームスプリッタ１７ａと、集光光学系１７ｂと、光センサ１７ｃとを含んでもよい。
【００４９】
ビームスプリッタ１７ａは、パルスレーザ光２１ａを高い透過率で透過させるとともに、パルスレーザ光２１ａの一部を集光光学系１７ｂに向けて反射してもよい。集光光学系１７ｂは、ビームスプリッタ１７ａによって反射されたパルスレーザ光を光センサ１７ｃの受光面に集光してもよい。光センサ１７ｃは、受光面に集光されたパルスレーザ光のパルスエネルギーを検出し、検出されたパルスエネルギーのデータをレーザ制御部１９に出力してもよい。
【００５０】
レーザ制御部１９は、上述のレーザシステム制御部２０との間で各種信号を送受信してもよい。例えば、レーザ制御部１９は、レーザシステム制御部２０から、トリガ信号、目標パルスエネルギーのデータ等を受信してもよい。また、レーザ制御部１９は、パルスエネルギー計測部１７からパルスエネルギーのデータを受信してもよい。
【００５１】
レーザ制御部１９は、レーザシステム制御部２０から受信した目標パルスエネルギーのデータと、パルスエネルギー計測部１７から受信したパルスエネルギーのデータと、を参照して充電器１２の充電電圧の設定値を制御してもよい。充電器１２の充電電圧を制御することにより、レーザ光のパルスエネルギーが制御されてもよい。
【００５２】
図３は、図２に示されるパルスパワーモジュールの構成と、レーザ光の進行方向に略平行な方向からみたレーザチャンバの内部構成を示す。レーザチャンバ１０の壁面を含む導電性部材は、接地電位に接続されてもよい。電極１１ｂは、リターンプレート１０ｄと配線１０ｅ及び１０ｆとレーザチャンバ１０の壁面を介して接地電位に接続されていてもよい。
【００５３】
第１のレーザ装置２ａは、放電センサ１８を含んでいてもよい。放電センサ１８は、レーザチャンバ１０に取り付けられたウインドウ１０ｃと、集光光学系１８１と、光センサ１８２と、を含んでもよい。放電センサ１８は、放電タイミング検出器に相当し得る。
【００５４】
ウインドウ１０ｃは、一対の電極１１ａ及び１１ｂの間の放電によって発生した光を透過させてもよい。集光光学系１８１は、ウインドウ１０ｃを透過した光を光センサ１８２の受光面に集光してもよい。光センサ１８２は、フォトダイオード又は光電管を含んでもよい。光センサ１８２は、一対の電極１１ａ及び１１ｂの間の放電によって発生した光を検出することにより、放電検出信号を同期制御部２２に送信してもよい。
【００５５】
パルスパワーモジュール１３は、充電コンデンサＣ０と、スイッチ１３ａと、磁気圧縮回路としての昇圧トランスＴＣ１と、複数の磁気スイッチＳｒ１〜Ｓｒ３と、複数のコンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３と、を含んで構成されてもよい。
【００５６】
磁気スイッチＳｒ１〜Ｓｒ３は、いずれも、可飽和リアクトルを含んでもよい。磁気スイッチＳｒ１〜Ｓｒ３の各々は、その両端に印加された電圧の時間積分値が、各磁気スイッチの特性で決まる所定の値になったときに、低インピーダンスになるようにしもよい。
【００５７】
充電器１２には、レーザ制御部１９により充電電圧Ｖ（ｎ）が設定されてもよい。充電器１２は、設定された充電電圧Ｖ（ｎ）に基づいて、充電コンデンサＣ０を充電してもよい。
パルスパワーモジュール１３のスイッチ１３ａには、同期制御部２２によりスイッチ信号が入力されてもよい。スイッチ信号がスイッチ１３ａに入力されると、スイッチ１３ａがＯＮになってもよい。スイッチ１３ａがＯＮになると、充電コンデンサＣ０から昇圧トランスＴＣ１の１次側に電流が流れ得る。
【００５８】
昇圧トランスＴＣ１の１次側に電流が流れると、電磁誘導によって昇圧トランスＴＣ１の２次側に逆方向の電流が流れ得る。昇圧トランスＴＣ１の２次側に電流が流れると、やがて磁気スイッチＳｒ１に印加される電圧の時間積分値が閾値に達し得る。
【００５９】
磁気スイッチＳｒ１に印加される電圧の時間積分値が閾値に達すると、磁気スイッチＳｒ１は磁気飽和した状態となり、磁気スイッチＳｒ１は閉じ得る。
磁気スイッチＳｒ１が閉じると、昇圧トランスＴＣ１の２次側からコンデンサＣ１に電流が流れ、コンデンサＣ１が充電され得る。
【００６０】
コンデンサＣ１が充電されることにより、やがて磁気スイッチＳｒ２は磁気飽和した状態となり、磁気スイッチＳｒ２は閉じ得る。
磁気スイッチＳｒ２が閉じると、コンデンサＣ１からコンデンサＣ２に電流が流れ、コンデンサＣ２が充電され得る。このとき、コンデンサＣ１を充電する際の電流のパルス幅よりも短いパルス幅で、コンデンサＣ２が充電されてもよい。
【００６１】
コンデンサＣ２が充電されることにより、やがて磁気スイッチＳｒ３は磁気飽和した状態となり、磁気スイッチＳｒ３は閉じ得る。
磁気スイッチＳｒ３が閉じると、コンデンサＣ２からコンデンサＣ３に電流が流れ、コンデンサＣ３が充電され得る。このとき、コンデンサＣ２を充電する際の電流のパルス幅よりも短いパルス幅で、コンデンサＣ３が充電されてもよい。
【００６２】
このように、コンデンサＣ１からコンデンサＣ２、コンデンサＣ２からコンデンサＣ３へと電流が順次流れることにより、当該電流のパルス幅は圧縮され得る。
【００６３】
コンデンサＣ３の電圧がレーザガスのブレークダウン電圧に達したときに、一対の電極１１ａ及び１１ｂ間のレーザガスに絶縁破壊が生じてもよい。これにより、レーザガスが励起され、レーザ発振して、パルスレーザ光が出力され得る。このような放電動作が、スイッチ１３ａのスイッチング動作によって繰り返されることにより、所定の発振周波数で、パルスレーザ光が出力されてもよい。放電タイミング検出器として、放電電流を検出する電流計１８ｂが用いられてもよい。この電流計１８ｂは電流プローブであって、放電のタイミングを検出してもよい。
また、放電センサの代わりの放電タイミング検出器として、パルスエネルギー計測部１７のパルスレーザ光の出力信号を使用してもよい。放電センサのタイミング信号またはパルスレーザ光の出力信号は、放電検出信号として、後述する同期制御部２２に入力されてもよい。
【００６４】
２．６  同期制御部の詳細
図４は、図１に示される同期制御部及びその周辺の構成を示すブロック図である。同期制御部２２は、第１〜第５のトリガ補正部２２ａ〜２２ｅと、クロック生成器２３と、遅延回路部２４と、を含んでもよい。第１〜第５のトリガ補正部２２ａ〜２２ｅの各々は、処理部２５と、遅延回路２６と、タイマー２７とを含んでもよい。図４においては、第１及び第２のトリガ補正部２２ａ及び２２ｂの構成を示し、第３〜第５のトリガ補正部２２ｃ〜２２ｅについての説明を適宜省略するが、これらはいずれも同様であってよい。
【００６５】
図４に示されるように、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅの各々は、一対の放電電極１１と、充電器１２と、パルスパワーモジュール１３と、放電センサ１８と、レーザ制御部１９と、を含んでもよい。図４においては、第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの構成を示し、第３〜第５のレーザ装置２ｃ〜２ｅについての説明を適宜省略するが、これらはいずれも同様であってよい。
【００６６】
同期制御部２２は、レーザシステム制御部２０から第１の遅延信号ＴＲ（１）の第１の遅延時間ＴＲｄ（１）のデータと、と第２の遅延信号ＴＲ（２）の第２の遅延時間ＴＲｄ（２）のデータと、を受信してもよい。
同期制御部２２において、クロック生成器２３は、第１〜第５のトリガ補正部２２ａ〜２２ｅと、遅延回路部２４と、に共通のクロック信号を生成してもよい。遅延回路部２４は、レーザシステム制御部２０から出力されたトリガ信号ＴＲを受信してもよい。遅延回路部２４は、トリガ信号ＴＲを受信した時から第１の遅延時間ＴＲｄ（１）（図５、図６参照）が経過したことを示す第１の遅延信号ＴＲ（１）を、第１のトリガ補正部２２ａの遅延回路２６及びタイマー２７に出力してもよい。遅延回路部２４は、トリガ信号ＴＲを受信した時から第２の遅延時間ＴＲｄ（２）（図５、図６参照）が経過したことを示す第２の遅延信号ＴＲ（２）を、第２のトリガ補正部２２ｂの遅延回路２６及びタイマー２７に出力してもよい。
【００６７】
第１のトリガ補正部２２ａの遅延回路２６は、第１の遅延信号ＴＲ（１）を受信した時から第１の補正時間Ｔｄ（１）（図６参照）が経過したことを示す第１のスイッチ信号Ｓ（１）を、第１のレーザ装置２ａのパルスパワーモジュール１３に出力してもよい。第１の補正時間Ｔｄ（１）は、第１のトリガ補正部２２ａの処理部２５によって設定されてもよい。第２のトリガ補正部２２ｂの遅延回路２６は、第２の遅延信号ＴＲ（２）を受信した時から第２の補正時間Ｔｄ（２）（図６参照）が経過したことを示す第２のスイッチ信号Ｓ（２）を、第２のレーザ装置２ｂのパルスパワーモジュール１３に出力してもよい。第２の補正時間Ｔｄ（２）は、第２のトリガ補正部２２ｂの処理部２５によって設定されてもよい。
【００６８】
第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの各々において、レーザ制御部１９は、レーザシステム制御部２０から目標パルスエネルギーのデータを受信してもよい。レーザ制御部１９は、目標パルスエネルギーのデータに基づいて、充電電圧の設定値を算出してもよい。レーザ制御部１９は、充電電圧の設定値を、充電器１２と、対応するトリガ補正部の処理部２５と、に送信してもよい。充電器１２は、充電電圧の設定値に従い、パルスパワーモジュール１３の中の充電コンデンサＣ０を充電してもよい。パルスパワーモジュール１３は、図３を参照しながら説明した磁気圧縮回路を含んで構成されてもよい。
【００６９】
第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのパルスパワーモジュール１３は、それぞれ、遅延回路２６から出力された第１及び第２のスイッチ信号Ｓ（１）及びＳ（２）を受信してもよい。第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのパルスパワーモジュール１３のスイッチ１３ａは、それぞれスイッチ信号Ｓ（１）及びＳ（２）によってＯＦＦからＯＮになってもよい。スイッチ１３ａがＯＦＦからＯＮになると、パルスパワーモジュール１３は、充電コンデンサＣ０に保持されていた電気エネルギーからパルス状の高電圧を生成してもよい。この高電圧は、一対の放電電極１１に印加されてもよい。
【００７０】
一対の放電電極１１に高電圧が印加されると、一対の放電電極１１間が絶縁破壊され、放電が起こり得る。この放電のエネルギーにより励起されたレーザ媒質から放出された光が、上述の光共振器によって往復させられることにより、パルスレーザ光が生成され得る。
【００７１】
第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの放電センサ１８は、一対の放電電極１１間に発生した放電を検出し、それぞれ第１及び第２の放電検出信号ＤＳ（１）及びＤＳ（２）を出力してもよい。第１及び第２の放電検出信号ＤＳ（１）及びＤＳ（２）は、それぞれ第１及び第２のトリガ補正部２２ａ及び２２ｂのタイマー２７に入力されてもよい。
【００７２】
第１のトリガ補正部２２ａのタイマー２７は、第１の遅延信号ＴＲ（１）を受信した時から、第１の放電検出信号ＤＳ（１）を受信した時までの第１の経過時間ＴＲｄｍ（１）を計測し、処理部２５に送信してもよい。第２のトリガ補正部２２ｂのタイマー２７は、第２の遅延信号ＴＲ（２）を受信した時から、第２の放電検出信号ＤＳ（２）を受信した時までの第２の経過時間ＴＲｄｍ（２）を計測し、処理部２５に送信してもよい。
【００７３】
第１のトリガ補正部２２ａの処理部２５は、第１のレーザ装置２ａのレーザ制御部１９から送信された充電電圧の設定値と、タイマー２７から送信された第１の経過時間ＴＲｄｍ（１）とに基づいて、第１の補正時間Ｔｄ（１）を設定してもよい。
第２のトリガ補正部２２ｂの処理部２５は、第２のレーザ装置２ｂのレーザ制御部１９から送信された充電電圧の設定値と、タイマー２７から送信された第２の経過時間ＴＲｄｍ（２）とに基づいて、第２の補正時間Ｔｄ（２）を設定してもよい。
【００７４】
２．７  タイミングチャート
図５は、図１に示されるレーザシステムにおけるタイミングチャートである。レーザシステム制御部２０は、露光装置制御部４０から受信したトリガ信号ＴＲを、同期制御部２２に送信してもよい。
同期制御部２２の遅延回路部２４は、第１〜第５のトリガ補正部２２ａ〜２２ｅに対し、それぞれ第１〜第５の遅延信号ＴＲ（１）〜ＴＲ（５）を出力してもよい。第１〜第５の遅延信号は、それぞれ、トリガ信号ＴＲを受信した時から互いに異なる第１〜第５の遅延時間ＴＲｄ（１）〜ＴＲｄ（５）が経過したことを示すものでもよい。
【００７５】
第１〜第５の遅延信号ＴＲ（１）〜ＴＲ（５）の出力タイミングから、第１〜第５の放電検出信号ＤＳ（１）〜ＤＳ（５）の出力タイミングまでの時間は、互いにほぼ等しくなるように制御されることが望ましい。その場合、第１〜第５の遅延信号ＴＲ（１）〜ＴＲ（５）の間の時間差とほぼ同じ時間差で、第１〜第５の放電検出信号ＤＳ（１）〜ＤＳ（５）が出力され得る。
【００７６】
第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅからは第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅがそれぞれ出力されてもよい。第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅは、第１〜第５の放電検出信号ＤＳ（１）〜ＤＳ（５）とそれぞれほぼ同じタイミングで、あるいは、第１〜第５の放電検出信号ＤＳ（１）〜ＤＳ（５）からそれぞれわずかに遅れたタイミングで、出力されてもよい。
【００７７】
第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅのそれぞれの出力位置から光束化装置３の出射位置までの光路長は、上述の通り、互いにほぼ等しくなるように調節されてもよい。その場合、光束化装置３から出射される光束化レーザ光２１は、第１〜第５の遅延信号ＴＲ（１）〜ＴＲ（５）の時間差とほぼ同じ時間差を有する第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅが、組み合わされたものでもよい。第１〜第５の遅延信号ＴＲ（１）〜ＴＲ（５）のタイミングを制御することにより、光束化レーザ光２１のパルス波形を調節することができる。
【００７８】
第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅのそれぞれの出力位置から光束化装置３の出射位置までの光路長が互いに異なる場合には、その光路長差を光速で除算した値を用いて、第１〜第５の遅延信号ＴＲ（１）〜ＴＲ（５）のタイミングを補正してもよい。
【００７９】
図６は、図４に示される第１及び第２のトリガ補正部におけるタイミングチャートである。
図６においては、第３〜第５のトリガ補正部２２ｃ〜２２ｅが出力する第３〜第５の遅延信号ＴＲ（３）〜ＴＲ（５）や、第３〜第５のレーザ装置２ｃ〜２ｅが出力する第３〜第５の放電検出信号ＤＳ（３）〜ＤＳ（５）の図示は省略されている。
【００８０】
図６に示されるように、第１の遅延信号ＴＲ（１）と第２の遅延信号ＴＲ（２）とは所定の時間差を有してもよい。ここで、第１のレーザ装置２ａが第１のスイッチ信号Ｓ（１）を受信した時から第１のパルスレーザ光を生成する時までの第１の所要時間は、第１のレーザ装置２ａの充電器１２の充電電圧によって変動し得る。第２のレーザ装置２ｂが第２のスイッチ信号Ｓ（２）を受信した時から第２のパルスレーザ光を生成する時までの第２の所要時間は、第２のレーザ装置２ｂの充電器１２の充電電圧によって変動し得る。そして、これらの充電電圧は、第１のレーザ装置２ａと第２のレーザ装置２ｂとで互いに別々に制御され得る。従って、第１の所要時間と第２の所要時間とは、互いに別々に変動し得る。また、第１の所要時間及び第２の所要時間は、それぞれのパルスパワーモジュール１３に含まれる磁気圧縮回路の温度によっても、変動し得る。
【００８１】
タイマー２７が第１の遅延信号ＴＲ（１）を受信した時から、第１の放電検出信号ＤＳ（１）を受信した時までの第１の経過時間ＴＲｄｍ（１）は、第１の補正時間Ｔｄ（１）と、第１の所要時間と、の合計時間に相当してもよい。タイマー２７が第２の遅延信号ＴＲ（２）を受信した時から、第２の放電検出信号ＤＳ（２）を受信した時までの第２の経過時間ＴＲｄｍ（２）は、第２の補正時間Ｔｄ（２）と、第２の所要時間と、の合計時間に相当してもよい。
【００８２】
第１の経過時間ＴＲｄｍ（１）を目標値に近づけるためには、第１の所要時間の変動に応じて、第１の補正時間Ｔｄ（１）を変更する必要があり得る。第２の経過時間ＴＲｄｍ（２）を目標値に近づけるためには、第２の所要時間の変動に応じて、第２の補正時間Ｔｄ（２）を変更する必要があり得る。
【００８３】
第１の経過時間ＴＲｄｍ（１）及び第２の経過時間ＴＲｄｍ（２）を目標値に近づけることにより、第１の遅延信号ＴＲ（１）と第２の遅延信号ＴＲ（２）との時間差とほぼ等しい時間差で、第１のパルスレーザ光２１ａ及び第２のパルスレーザ光２１ｂを生成することができる。
【００８４】
図７は、第ｎのトリガ補正部における具体的な補正方法を示すタイミングチャートである。以下の説明において、第１〜第５のトリガ補正部２２ａ〜２２ｅの各々を第ｎのトリガ補正部２２ｎとすることがある。また、第ｎのトリガ補正部２２ｎが入力又は出力する信号に（ｎ）を付して示し、あるいは、第ｎのトリガ補正部２２ｎに設定される時間に（ｎ）を付して示すことがある。
【００８５】
第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）は、以下の式で算出されるものでもよい。
Ｔｄ（ｎ）＝Ｔｄ０（ｎ）＋ΔＴＶ（ｎ）
ここで、Ｔｄ０（ｎ）を第１の補正要素とし、ΔＴＶ（ｎ）を第２の補正要素としてもよい。
【００８６】
第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）の初期値は、以下の式で設定されてもよい。
Ｔｄ０（ｎ）の初期値
＝ＴＲｄｔ−Ｆ（Ｖ０（ｎ））
ここで、ＴＲｄｔは、第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）の目標値であってもよい。第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）は、タイマー２７が第ｎの遅延信号ＴＲ（ｎ）を受信した時から、第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時までの経過時間であってもよい。ここでは、第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）の目標値ＴＲｄｔが、第１〜第５のトリガ補正部２２ａ〜２２ｅに共通の値である場合について説明するが、別々の目標値が設定されるようにしてもよい。
【００８７】
上記の式において、Ｆ（Ｖ０（ｎ））は、第ｎのレーザ装置２ｎにおいて設定される充電電圧の値が所定の基準電圧値Ｖ０（ｎ）である場合の、第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）の入力から第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）の出力までの所要時間の計算値であってもよい。パルスパワーモジュール１３に含まれる磁気圧縮回路において、充電器１２による充電電圧Ｖのみが変更された場合には、この充電電圧Ｖと、第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）がスイッチ１３ａに入力されてからパルス状の高電圧が放電電極１１間に印加されるまでの所要時間Ｔと、の積がほぼ一定値Ｋとなり得る。従って、Ｆ（Ｖ０（ｎ））の計算は、以下の式で行われてもよい。
Ｆ（Ｖ０（ｎ））＝Ｋ／Ｖ０（ｎ）
Ｖ０（ｎ）は、基準電圧値でもよい。
【００８８】
第ｎのレーザ装置２ｎにおいて設定される充電電圧の値が所定の基準電圧値Ｖ０（ｎ）と異なる電圧値Ｖ（ｎ）である場合に、第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）が、以下の式で算出されてもよい。
ΔＴＶ（ｎ）＝Ｆ（Ｖ０（ｎ））−Ｆ（Ｖ（ｎ））
ここで、Ｆ（Ｖ（ｎ））は、第ｎのレーザ装置２ｎにおいて設定される充電電圧の電圧値をＶ（ｎ）とした場合の、第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）の入力から第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）の出力までの所要時間の計算値であってもよい。Ｆ（Ｖ（ｎ））の計算は、以下の式で行われてもよい。
Ｆ（Ｖ（ｎ））＝Ｋ／Ｖ（ｎ）
【００８９】
以上のように、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）に基づいて、第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）を算出することにより、第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）のタイミング制御を高速で行うことができる。
【００９０】
第ｎのトリガ補正部２２ｎの処理部２５は、タイマー２７が第ｎの遅延信号ＴＲ（ｎ）を受信した時から、第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時までの第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）を受信した場合に、目標値ＴＲｄｔとの差ΔＴＲｄ（ｎ）を算出してもよい。差ΔＴＲｄ（ｎ）は、以下の式により算出されてもよい。
ΔＴＲｄ（ｎ）＝ＡＶＧ（ＴＲｄｍ（ｎ））−ＴＲｄｔ
ＡＶＧ（ＴＲｄｍ（ｎ））は、ＴＲｄｍ（ｎ）を複数回にわたって計測した場合のＴＲｄｍ（ｎ）の平均値であってもよい。
【００９１】
こうして算出された差ΔＴＲｄ（ｎ）に基づいて、第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）が、以下の式により更新されてもよい。
Ｔｄ０（ｎ）＝Ｔｄ０（ｎ）−ΔＴＲｄ（ｎ）
【００９２】
以上のように、第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）の平均値と目標値ＴＲｄｔとの差ΔＴＲｄ（ｎ）に基づいて、第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）を更新することにより、例えば、磁気圧縮回路の温度変化やレーザチャンバのガス圧の変化等による第ｎの所要時間の変動に応じた補正が可能となる。これにより、第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）のタイミング制御を精度よく行うことができる。本明細書では、磁気圧縮回路の温度変化やレーザチャンバのガス圧の変化等による放電タイミングの変化を「ドリフト変化」と定義する。
【００９３】
２．８  フローチャート
２．８．１  レーザシステム制御部の処理
図８は、図１に示されるレーザシステム制御部の処理を示すフローチャートである。レーザシステム制御部２０は、以下の処理により、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅから出力される第ｎのパルスレーザ光２１ｎの各々について、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を算出してもよい。
【００９４】
まず、Ｓ１０２において、レーザシステム制御部２０は、露光装置４の露光装置制御部４０から、光束化レーザ光２１の目標パルス波形のデータと、光束化レーザ光２１の目標パルスエネルギーのデータとを受信してもよい。
【００９５】
次に、Ｓ１０３において、レーザシステム制御部２０は、第ｎのパルスレーザ光２１ｎの各々について、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を算出してもよい。例えば、光束化レーザ光２１の目標パルス波形が短いパルス幅を有するものである場合には、第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）の各々を互いに近接した値としてもよい。また、第ｎのパルスレーザ光２１ｎの目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）の合計が、光束化レーザ光２１の目標パルスエネルギーに近づくように、第ｎのパルスレーザ光２１ｎの各々の目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）が決められてもよい。
【００９６】
第ｎのパルスレーザ光２１ｎの各々について、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）を算出したら、レーザシステム制御部２０は、それぞれの値を対応するレーザ装置のレーザ制御部１９に送信してもよい。
第ｎのパルスレーザ光２１ｎの各々について、第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を算出したら、レーザシステム制御部２０は、これらの値を同期制御部２２の遅延回路部２４に送信してもよい。
【００９７】
次に、Ｓ１１３において、レーザシステム制御部２０は、光束化レーザ光２１の目標パルス波形と、光束化レーザ光２１の目標パルスエネルギーを変更するか否かを判定してもよい。これらの値を変更する場合（Ｓ１１３；ＹＥＳ）、レーザシステム制御部２０は、処理を上述のＳ１０２に戻してもよい。変更しない場合（Ｓ１１３；ＮＯ）、レーザシステム制御部２０は、処理をＳ１１４に進めてもよい。
【００９８】
次に、Ｓ１１４において、レーザシステム制御部２０は、パルス波形の制御を停止するか否かを判定してもよい。パルス波形の制御を停止しない場合（Ｓ１１４；ＮＯ）、レーザシステム制御部２０は、処理を上述のＳ１１３に戻してもよい。パルス波形の制御を停止する場合（Ｓ１１４；ＹＥＳ）、レーザシステム制御部２０は、本フローチャートの処理を終了してもよい。
【００９９】
以上のようにして、レーザシステム制御部２０は、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を算出してもよい。
【０１００】
２．８．２  レーザ制御部の処理
図９は、図４に示されるレーザ制御部の処理を示すフローチャートである。第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅにそれぞれ含まれるレーザ制御部１９は、以下の処理により、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）に基づいて充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）を算出してもよい。
【０１０１】
まず、Ｓ２０１において、レーザ制御部１９は、当該レーザ装置２ｎの充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）を、初期値に設定してもよい。充電電圧の設定値の初期値は、上述の基準電圧値Ｖ０（ｎ）であってもよい。
【０１０２】
次に、Ｓ２０２において、レーザ制御部１９は、レーザシステム制御部２０から、当該レーザ装置２（ｎ）の目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）を読出してもよい。
【０１０３】
次に、Ｓ２０３において、レーザ制御部１９は、当該レーザ装置２（ｎ）がレーザ発振したか否かを判定してもよい。当該レーザ装置２（ｎ）がレーザ発振していない場合（Ｓ２０３；ＮＯ）、レーザ制御部１９は、レーザ発振するまで待機してもよい。当該レーザ装置２（ｎ）がレーザ発振した場合（Ｓ２０３；ＹＥＳ）、レーザ制御部１９は、処理をＳ２０４に進めてもよい。
【０１０４】
Ｓ２０４において、レーザ制御部１９は、当該レーザ装置２ｎから出力されたパルスレーザ光２１ｎのパルスエネルギーＥ（ｎ）を検出してもよい。パルスエネルギーＥ（ｎ）は、パルスエネルギー計測部１７によって検出されてもよい。
【０１０５】
次に、Ｓ２０５において、レーザ制御部１９は、検出されたパルスエネルギーＥ（ｎ）と、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）との差ΔＥ（ｎ）を、以下の式により算出してもよい。
ΔＥ（ｎ）＝Ｅ（ｎ）−Ｅｔ（ｎ）
【０１０６】
次に、Ｓ２０６において、レーザ制御部１９は、目標パルスエネルギーとの差ΔＥ（ｎ）に基づいて、充電電圧の設定値の変化量ΔＶ（ｎ）を以下の式により算出してもよい。
ΔＶ（ｎ）＝Ｈ・ΔＥ（ｎ）
ここで、Ｈは比例定数であってもよい。充電電圧の設定値の変化量ΔＶ（ｎ）は、次の充電電圧の設定値をどのくらい変化させればよいかを示していてもよい。レーザ制御部１９は、次の充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）を以下の式により算出してもよい。
Ｖ（ｎ）＝Ｖ（ｎ）＋ΔＶ（ｎ）
【０１０７】
次に、Ｓ２０７において、レーザ制御部１９は、充電器１２と、第ｎのトリガ補正部２２ｎの処理部２５と、に次の充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）を送信してもよい。
【０１０８】
次に、Ｓ２０８において、レーザ制御部１９は、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）を変更するか否かを判定してもよい。目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）を変更する場合（Ｓ２０８；ＹＥＳ）、レーザ制御部は、処理を上述のＳ２０２に戻してもよい。目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）を変更しない場合（Ｓ２０８；ＮＯ）、レーザ制御部は、処理を上述のＳ２０３に戻してもよい。
【０１０９】
以上のようにして、レーザ制御部１９は、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）を算出してもよい。
【０１１０】
２．８．３  第ｎのトリガ補正部の処理
図１０は、図４に示される第ｎのトリガ補正部の処理を示すフローチャートである。第ｎのトリガ補正部２２ｎは、以下の処理により、第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を構成する第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）及び第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）を算出してもよい。
【０１１１】
まず、Ｓ３０１において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、以下のように、いくつかの変数を初期値に設定してもよい。
Ｊ＝０
ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）＝０
Ｔｄ０（ｎ）＝ＴＲｄｔ−Ｆ（Ｖ０（ｎ））
ここで、Ｊは発振パルス数を数えるためのカウンタでもよい。ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）は、タイマー２７が第ｎの遅延信号ＴＲ（ｎ）を受信した時から、第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時までの第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）の平均値を算出するための、ＴＲｄｍ（ｎ）の合計値であってもよい。Ｔｄ０（ｎ）は、第１の補正要素であって、ＴＲｄｔ−Ｆ（Ｖ０（ｎ））は、上述した第１の補正要素の初期値であってもよい。
【０１１２】
次に、Ｓ３０２において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、レーザ制御部１９から、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）を読出してもよい。
【０１１３】
次に、Ｓ３０３において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）に基づいて、第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）を以下の式により算出してもよい。
ΔＴＶ（ｎ）＝Ｆ（Ｖ０（ｎ））−Ｆ（Ｖ（ｎ））
【０１１４】
次に、Ｓ３０４において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を以下の式により算出してもよい。
Ｔｄ（ｎ）＝Ｔｄ０（ｎ）＋ΔＴＶ（ｎ）
ここで、Ｔｄ０（ｎ）は第１の補正要素であり、ΔＴＶ（ｎ）は第２の補正要素であってもよい。
【０１１５】
次に、Ｓ３０６において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、第ｎのレーザ装置２ｎがレーザ発振したか否かを判定してもよい。第ｎのレーザ装置２ｎがレーザ発振したか否かは、放電センサ１８からの放電検出信号ＤＳ（ｎ）をタイマー２７が受信したか否かによって判定されてもよい。第ｎのレーザ装置２ｎがレーザ発振した場合（Ｓ３０６；ＹＥＳ）、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、処理をＳ３０７に進めてもよい。第ｎのレーザ装置２ｎがレーザ発振していない場合（Ｓ３０６；ＮＯ）、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、第ｎのレーザ装置２ｎがレーザ発振するまで待機してもよい。
【０１１６】
Ｓ３０７において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、現在のカウンタＪの値に１を加算してＪの値を更新してもよい。
【０１１７】
次に、Ｓ３０８において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、タイマー２７が第ｎの遅延信号ＴＲ（ｎ）を受信した時から、第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時までの第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）を、タイマー２７から読出してもよい。
【０１１８】
次に、Ｓ３０９において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、以下の式により、ＴＲｄｍ（ｎ）の合計値ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）を更新してもよい。
ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）＝ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）＋ＴＲｄｍ（ｎ）
【０１１９】
次に、Ｓ３１２において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、カウンタＪの値が所定のサンプル数Ｊｍａｘに達したか否かを判定してもよい。カウンタＪの値が所定のサンプル数Ｊｍａｘに達していない場合（Ｓ３１２；ＮＯ）、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、処理を上述のＳ３０２に戻してもよい。カウンタＪの値が所定のサンプル数Ｊｍａｘに達した場合（Ｓ３１２；ＹＥＳ）、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、処理をＳ３１３に進めてもよい。
【０１２０】
Ｓ３１３において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、ＴＲｄｍ（ｎ）の平均値と、目標値ＴＲｄｔとの差ΔＴＲｄ（ｎ）を算出してもよい。差ΔＴＲｄ（ｎ）は、以下の式により算出されてもよい。
ΔＴＲｄ（ｎ）＝ＡＶＧ（ＴＲｄｍ（ｎ））−ＴＲｄｔ
＝ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）／Ｊｍａｘ−ＴＲｄｔ
【０１２１】
次に、Ｓ３１４において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）を、以下の式により更新してもよい。
Ｔｄ０（ｎ）＝Ｔｄ０（ｎ）−ΔＴＲｄ（ｎ）
【０１２２】
第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）を更新したら、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、処理を上述のＳ３０２に戻してもよい。
【０１２３】
以上のようにして、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）及び第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）を更新しながら、第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を算出してもよい。第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）は、上述のように、１回のパルス発振ごとに更新されてもよい。第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）は、上述のように、所定のサンプル数Ｊｍａｘのパルス発振ごとに更新されてもよい。所定のサンプル数Ｊｍａｘは、例えば２００回〜１００００回であってもよい。このように、第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）の更新により第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を設定する設定処理の頻度は、第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）の更新により第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を設定する設定処理の頻度より小さくてもよい。
【０１２４】
第１の実施形態によれば、第ｎのトリガ補正部２２ｎが、第ｎの所要時間の変動に応じて第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を補正することにより、第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）を目標値ＴＲｄｔに近づけることができる。具体的には、充電器１２の充電電圧に基づく補正時間の制御と、ドリフト変化による第ｎの所要時間の変動に応じた補正時間の制御と、が可能となる。これにより、各レーザ装置の放電タイミングを安定化させ、光束化レーザ光のパルス波形を安定化し得る。
【０１２５】
光束化レーザ光のパルス波形の制御は、遅延回路部２４が第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を制御することにより実現されるので、第ｎのトリガ補正部２２ｎによる制御とは別々に行うことができる。
【０１２６】
また、第１の実施形態によれば、クロック生成器２３が、第１〜第５のトリガ補正部２２（１）〜２２（５）と、遅延回路部２４と、に共通のクロック信号を生成している。これにより、それぞれの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）あるいは補正時間Ｔｄ（ｎ）の相互の誤差を低減することができる。
なお、同期制御部２２と各レーザ装置との配線が長い場合には、配線の長さをｌとすると電気信号はｌ／ｃ遅れ得る。ｃは光速でもよい。そこで、それぞれのスイッチ信号Ｓ（ｎ）とそれぞれの放電センサのタイミング信号の電線の長さから信号の遅れ分を補正してもよい。また、配線の代わりに光ファイバによる通信を行ったとしても同様の遅れが発生し得るので、この補正を行ってもよい。
また、本実施形態では、光束化レーザ光のパルス波形の制御は、遅延回路部２４が、第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を制御することにより実現しているが、この実施形態に限定されることなく、以下の構成であってもよい。遅延回路部２４の代わりに露光装置制御部４０からのトリガ信号ＴＲを遅延することなく分配する分配器を配置し、各レーザ装置に対応するトリガ補正部２２ｎに、それぞれ、異なる目標値ＴＲｄｔ（ｎ）を設定することによって、各レーザ装置から出力されるパルスレーザ光のタイミングを制御してもよい。
【０１２７】
上述の説明においては、レーザシステム制御部２０、同期制御部２２及び各レーザ装置のレーザ制御部１９がレーザ装置の制御を行ったが、本開示はこれに限定されない。露光装置４に含まれる露光装置制御部４０が、各種制御を行ってもよい。
【０１２８】
３．増幅器を含むレーザシステム（第２の実施形態）
３．１  レーザ装置の構成
図１１は、本開示の第２の実施形態に係るレーザシステムに含まれるレーザ装置の構成例を示す。レーザアニール装置１の全体的な構成は、図１と同様でよい。
【０１２９】
第２の実施形態において、例えば、第１のレーザ装置２ａは、マスターオシレータＭＯと、増幅器ＰＡと、を含んでもよい。第２〜第５のレーザ装置２ｂ〜２ｅの構成も同様でもよい。
【０１３０】
マスターオシレータＭＯは、レーザチャンバ１０ｍｏと、一対の電極１１ａ及び１１ｂと、充電器１２ｍｏと、パルスパワーモジュール１３ｍｏと、を含んでもよい。マスターオシレータＭＯは、さらに、高反射ミラー１４と、出力結合ミラー１５と、放電センサ１８ｍｏと、を含んでもよい。これらの構成及び機能は、図２を参照しながら説明したものと同様でよい。
【０１３１】
増幅器ＰＡは、マスターオシレータＭＯから出力結合ミラー１５を介して出力されたパルスレーザ光の光路に配置されてもよい。増幅器ＰＡは、マスターオシレータＭＯと同様に、レーザチャンバ１０ｐａと、一対の電極１１ａ及び１１ｂと、充電器１２ｐａと、パルスパワーモジュール１３ｐａと、放電センサ１８ｐａと、を含んでもよい。これらの構成は、マスターオシレータＭＯに含まれているものと同様でもよい。増幅器ＰＡは、高反射ミラー１４又は出力結合ミラー１５を含まなくてもよい。増幅器ＰＡのウインドウ１０ａに入射したパルスレーザ光は、電極１１ａと電極１１ｂとの間のレーザゲイン空間を１回通過して、ウインドウ１０ｂから出力されてもよい。
【０１３２】
レーザ制御部１９は、マスターオシレータＭＯの充電器１２ｍｏの充電電圧の設定値と、増幅器ＰＡの充電器１２ｐａの充電電圧の設定値と、を制御してもよい。これらの充電電圧を制御することにより、レーザ光のパルスエネルギーが制御されてもよい。
【０１３３】
３．２  同期制御部の詳細
図１２は、第２の実施形態における同期制御部及びその周辺の構成を示すブロック図である。図１２においては、第１のトリガ補正部２２ａの構成を第ｎのトリガ補正部２２ｎとして示し、第２〜第５のトリガ補正部２２ｂ〜２２ｅについての説明を適宜省略するが、これらはいずれも同様であってよい。第２の実施形態において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、第ｎのレーザ装置２ｎのマスターオシレータＭＯと増幅器ＰＡとのそれぞれについてスイッチ信号のタイミングを設定してもよい。
【０１３４】
第ｎのトリガ補正部２２ｎの遅延回路２６は、第ｎのレーザ装置２ｎのマスターオシレータＭＯのパルスパワーモジュール１３ｍｏに、第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）を出力してもよい。マスターオシレータＭＯに出力する第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）は、第１の実施形態において説明した第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）と同様でよい。第ｎのトリガ補正部２２ｎの遅延回路２６は、第ｎのレーザ装置２ｎの増幅器ＰＡのパルスパワーモジュール１３ｐａに、マスターオシレータＭＯに出力する第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）とは別の第ｎの増幅器スイッチ信号Ｓｐａ（ｎ）を出力してもよい。増幅器ＰＡに出力する第ｎの増幅器スイッチ信号Ｓｐａ（ｎ）は、第ｎのトリガ補正部２２ｎが第ｎの遅延信号ＴＲ（ｎ）を受信した時から第ｎの設定時間Ｔｄｐａ（ｎ）が経過したことを示す信号であってもよい。
【０１３５】
第ｎのレーザ装置２ｎにおいて、レーザ制御部１９は、レーザシステム制御部２０から目標パルスエネルギーのデータを受信してもよい。レーザ制御部１９は、目標パルスエネルギーのデータに基づいて、充電電圧の設定値を算出してもよい。レーザ制御部１９は、充電電圧の設定値を、充電器１２ｍｏと、充電器１２ｐａと、第ｎのトリガ補正部２２ｎの処理部２５と、に送信してもよい。ここでは、充電器１２ｍｏ及び充電器１２ｐａに送信される充電電圧の設定値は、同じ値である場合について説明するが、互いに異なる値であってもよい。充電器１２ｍｏ及び充電器１２ｐａは、充電電圧の設定値に従い、それぞれ、パルスパワーモジュール１３ｍｏ及び１３ｐａの中の充電コンデンサＣ０を充電してもよい。パルスパワーモジュール１３ｍｏ及び１３ｐａの各々は、図３を参照しながら説明した磁気圧縮回路を含んで構成されてもよい。
【０１３６】
第ｎのレーザ装置２ｎのパルスパワーモジュール１３ｍｏ及び１３ｐａは、それぞれ、遅延回路２６から出力された第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）及び第ｎの増幅器スイッチ信号Ｓｐａ（ｎ）を受信してもよい。パルスパワーモジュール１３ｍｏ及び１３ｐａのそれぞれのスイッチ１３ａは、これらのスイッチ信号によって、ＯＦＦからＯＮになってもよい。パルスパワーモジュール１３ｍｏ及び１３ｐａは、それぞれのスイッチ１３ａがＯＦＦからＯＮになると、それぞれの充電コンデンサＣ０に保持されていた電気エネルギーからそれぞれのパルス状の高電圧を生成してもよい。それぞれの放電電極１１ｍｏ及び１１ｐａ間にそれぞれ高電圧が印加され得る。
【０１３７】
マスターオシレータＭＯの放電センサ１８ｍｏは、マスターオシレータＭＯの放電電極１１間に生成した放電を検出し、放電検出信号ＤＳ（ｎ）を出力してもよい。増幅器ＰＡの放電センサ１８ｐａは、増幅器ＰＡの放電電極１１間に生成した放電を検出し、増幅器放電検出信号ＤＳｐａ（ｎ）を出力してもよい。マスターオシレータＭＯからの放電検出信号ＤＳ（ｎ）及び増幅器ＰＡからの増幅器放電検出信号ＤＳｐａ（ｎ）は、タイマー２７に入力されてもよい。
【０１３８】
第ｎのトリガ補正部２２ｎのタイマー２７は、第ｎの遅延信号ＴＲ（ｎ）を受信した時から、マスターオシレータＭＯからの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時までの第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）を計測し、処理部２５に送信してもよい。第ｎのトリガ補正部２２ｎのタイマー２７は、マスターオシレータＭＯからの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時から、増幅器ＰＡからの増幅器放電検出信号ＤＳｐａ（ｎ）を受信した時までのタイミング差Ｄｍ（ｎ）を計測し、処理部２５に送信してもよい。
【０１３９】
処理部２５は、レーザ制御部１９から送信された充電電圧の設定値と、タイマー２７から送信された第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）とに基づいて、マスターオシレータＭＯに出力する第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）の第ｎの補正時間を設定してもよい。
処理部２５は、タイマー２７から送信されたタイミング差Ｄｍ（ｎ）に基づいて、増幅器ＰＡに出力する第ｎの増幅器スイッチ信号Ｓｐａ（ｎ）の第ｎの設定時間Ｔｄｐａ（ｎ）を設定してもよい。
【０１４０】
３．３  タイミングチャート
図１３は、第２の実施形態の第ｎのトリガ補正部における具体的な補正方法を示すタイミングチャートである。
マスターオシレータＭＯに出力する第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）の制御については、第１の実施形態において図７を参照しながら説明したものと同様でよい。
【０１４１】
増幅器ＰＡに出力する第ｎの増幅器スイッチ信号Ｓｐａ（ｎ）の第ｎの設定時間Ｔｄｐａ（ｎ）は、以下の式で算出されるものでもよい。
Ｔｄｐａ（ｎ）＝Ｔｄ（ｎ）＋Ｄ（ｎ）
ここで、Ｔｄ（ｎ）は、マスターオシレータＭＯに出力する第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）の第ｎの補正時間であってもよい。Ｄ（ｎ）は、マスターオシレータＭＯと増幅器ＰＡのスイッチ信号の時間差であってもよい。すなわち、Ｄ（ｎ）は、マスターオシレータＭＯに出力する第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）の出力タイミングから、増幅器ＰＡに出力する第ｎの増幅器スイッチ信号Ｓｐａ（ｎ）の出力タイミングまでの時間差であってもよい。
【０１４２】
第ｎのトリガ補正部２２ｎのタイマー２７は、マスターオシレータＭＯからの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時から、増幅器ＰＡからの増幅器放電検出信号ＤＳｐａ（ｎ）を受信した時までのタイミング差Ｄｍ（ｎ）を、処理部２５に出力してもよい。
【０１４３】
第ｎのトリガ補正部２２ｎの処理部２５は、タイマー２７からタイミング差Ｄｍ（ｎ）を受信した場合に、目標値Ｄｔ（ｎ）との差ΔＤ（ｎ）を算出してもよい。差ΔＤ（ｎ）は、以下の式により算出されてもよい。
ΔＤ（ｎ）＝ＡＶＧ（Ｄｍ（ｎ））−Ｄｔ（ｎ）
ＡＶＧ（Ｄｍ（ｎ））は、タイミング差Ｄｍ（ｎ）を複数回にわたって計測した場合のタイミング差Ｄｍ（ｎ）の平均値であってもよい。
タイミング差Ｄｍ（ｎ）の目標値Ｄｔ（ｎ）は、第１〜第５のトリガ補正部２２ａ〜２２ｅにおいて別々の値であってもよい。目標値Ｄｔ（ｎ）は、増幅器ＰＡにおける増幅効率が高くなるような値であってもよい。
【０１４４】
こうして算出された差ΔＤ（ｎ）に基づいて、マスターオシレータＭＯと増幅器ＰＡのスイッチ信号の時間差Ｄ（ｎ）が、以下の式により更新されてもよい。
Ｄ（ｎ）＝Ｄ（ｎ）−ΔＤ（ｎ）
【０１４５】
以上のように、タイミング差Ｄｍ（ｎ）と目標値Ｄｔ（ｎ）との差ΔＤ（ｎ）に基づいて、マスターオシレータＭＯと増幅器ＰＡのスイッチ信号の時間差Ｄ（ｎ）を更新することにより、増幅器ＰＡに出力する第ｎの増幅器スイッチ信号Ｓｐａ（ｎ）のタイミング制御を精度よく行うことができる。
【０１４６】
３．４  第ｎのトリガ補正部の処理
図１４Ａ及び図１４Ｂは、第２の実施形態における第ｎのトリガ補正部の処理を示すフローチャートである。第ｎのトリガ補正部２２ｎは、以下の処理により、マスターオシレータＭＯに出力する第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）の第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）と、マスターオシレータＭＯと増幅器ＰＡのスイッチ信号の時間差Ｄ（ｎ）と、を算出してもよい。
【０１４７】
まず、図１４Ａに示されるように、Ｓ３０１において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、以下のように、いくつかの変数を初期値に設定してもよい。
Ｊ＝０
ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）＝０
Ｔｄ０（ｎ）＝ＴＲｄｔ−Ｆ（Ｖ０（ｎ））
Ｄｓｕｍ（ｎ）＝０
Ｄ（ｎ）＝Ｄｔ（ｎ）
ここで、Ｊと、ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）と、Ｔｄ０（ｎ）とは、第１の実施形態において説明したものと同様でよい。
Ｄｓｕｍ（ｎ）は、タイマー２７がマスターオシレータＭＯからの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時から増幅器ＰＡからの増幅器放電検出信号ＤＳｐａ（ｎ）を受信した時までのタイミング差Ｄｍ（ｎ）の平均値を算出するための、タイミング差Ｄｍ（ｎ）の合計値であってもよい。Ｄ（ｎ）は、マスターオシレータＭＯと増幅器ＰＡのスイッチ信号の時間差であってもよい。Ｄｔ（ｎ）は、タイミング差Ｄｍ（ｎ）の目標値であってもよい。
【０１４８】
次のＳ３０２及びＳ３０３の処理は、第１の実施形態におけるものと同様でよい。
次に、Ｓ３０４において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、マスターオシレータＭＯに出力する第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）の第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を以下の式により算出してもよい。
Ｔｄ（ｎ）＝Ｔｄ０（ｎ）＋ΔＴＶ（ｎ）
この処理も、第１の実施形態におけるものと同様でよい。
【０１４９】
次に、Ｓ３０５において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、増幅器ＰＡに出力する第ｎの増幅器スイッチ信号Ｓｐａ（ｎ）の第ｎの設定時間Ｔｄｐａ（ｎ）を以下の式により算出してもよい。
Ｔｄｐａ（ｎ）＝Ｔｄ（ｎ）＋Ｄ（ｎ）
【０１５０】
次に、Ｓ３０６において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、第ｎのレーザ装置２ｎがレーザ発振したか否かを判定してもよい。第ｎのレーザ装置２ｎがレーザ発振した場合（Ｓ３０６；ＹＥＳ）、Ｓ３０７において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、現在のカウンタＪの値に１を加算してＪの値を更新してもよい。これらの処理は、第１の実施形態におけるものと同様でよい。
【０１５１】
次に、図１４Ｂに示されるように、Ｓ３０８において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、タイマー２７が第ｎの遅延信号ＴＲ（ｎ）を受信した時から、マスターオシレータＭＯからの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時までの第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）を、タイマー２７から読出してもよい。
次に、Ｓ３０９において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、以下の式により、ＴＲｄｍ（ｎ）の合計値ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）を更新してもよい。
ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）＝ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）＋ＴＲｄｍ（ｎ）
これらの処理も、第１の実施形態におけるものと同様でよい。
【０１５２】
次に、Ｓ３１０において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、タイマー２７がマスターオシレータＭＯからの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時から、増幅器ＰＡからの増幅器放電検出信号ＤＳｐａ（ｎ）を受信した時までのタイミング差Ｄｍ（ｎ）を、タイマー２７から読出してもよい。
次に、Ｓ３１１において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、以下の式により、タイミング差Ｄｍ（ｎ）の合計値Ｄｓｕｍ（ｎ）を更新してもよい。
Ｄｓｕｍ（ｎ）＝Ｄｓｕｍ（ｎ）＋Ｄｍ（ｎ）
【０１５３】
次に、Ｓ３１２において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、カウンタＪの値が所定のサンプル数Ｊｍａｘに達したか否かを判定してもよい。カウンタＪの値が所定のサンプル数Ｊｍａｘに達していない場合（Ｓ３１２；ＮＯ）、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、処理を上述のＳ３０２に戻してもよい。カウンタＪの値が所定のサンプル数Ｊｍａｘに達した場合（Ｓ３１２；ＹＥＳ）、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、処理をＳ３１３に進めてもよい。
Ｓ３１３及びその次のＳ３１４の処理は、第１の実施形態におけるものと同様でよい。
【０１５４】
次に、Ｓ３１５において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、タイミング差Ｄｍ（ｎ）の平均値と、目標値Ｄｔ（ｎ）との差ΔＤ（ｎ）を算出してもよい。差ΔＤ（ｎ）は、以下の式により算出されてもよい。
ΔＤ（ｎ）＝ＡＶＧ（Ｄｍ（ｎ））−Ｄｔ（ｎ）
＝Ｄｓｕｍ（ｎ）／Ｊｍａｘ−Ｄｔ（ｎ）
【０１５５】
次に、Ｓ３１６において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、マスターオシレータＭＯと増幅器ＰＡのスイッチ信号の時間差Ｄ（ｎ）を、以下の式により更新してもよい。
Ｄ（ｎ）＝Ｄ（ｎ）−ΔＤ（ｎ）
【０１５６】
マスターオシレータＭＯと増幅器ＰＡのスイッチ信号の時間差Ｄ（ｎ）を更新したら、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、処理を上述のＳ３０２に戻してもよい。
【０１５７】
以上のようにして、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、マスターオシレータＭＯに出力する第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）の第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）と、マスターオシレータＭＯと増幅器ＰＡのスイッチ信号の時間差Ｄ（ｎ）と、を算出してもよい。
【０１５８】
第２の実施形態によれば、レーザ装置がマスターオシレータＭＯと増幅器ＰＡとを含む場合にも、適切なタイミング制御が可能となる。その結果、各レーザ装置の放電タイミングを安定化させ、光束化レーザ光のパルス波形を安定化し得る。
他の点については、第１の実施形態と同様でよい。なお、１つのレーザ装置が１つのマスターオシレータＭＯと１つの増幅器ＰＡとを含む場合に限らず、１つのレーザ装置が１つのマスターオシレータＭＯと複数の増幅器ＰＡとを含んでもよい。
【０１５９】
４．各レーザ装置がトリガ補正部を含むレーザシステム
４．１  第３の実施形態
図１５は、本開示の第３の実施形態に係るレーザシステムの構成を示すブロック図である。第３の実施形態において、第１〜第５のトリガ補正部２２ａ〜２２ｅは、それぞれ第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅに含まれていてもよい。レーザシステム５は、同期制御部２２の代わりに、分配器２８を含んでもよい。同期制御部２２に含まれていたクロック生成器２３の代わりに、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅにそれぞれクロック生成器２３ａ〜２３ｅが含まれてもよい。但し、クロック生成器２３ｃ〜２３ｅについては図示を省略している。同期制御部２２に含まれていた遅延回路部２４の代わりに、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅにそれぞれ遅延回路部２４ａ〜２４ｅが含まれてもよい。但し、遅延回路部２４ｃ〜２４ｅについては図示を省略している。
【０１６０】
第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅにそれぞれ含まれる遅延回路部２４ａ〜２４ｅは、第１〜第５の遅延信号ＴＲ（１）〜ＴＲ（５）のそれぞれの遅延時間ＴＲｄ（１）〜ＴＲｄ（５）のデータを、レーザシステム制御部２０から受信してもよい。
分配器２８は、レーザシステム制御部２０からトリガ信号ＴＲを受信し、このトリガ信号ＴＲを、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅにそれぞれ含まれる遅延回路部２４ａ〜２４ｅに送信してもよい。遅延回路部２４ａ〜２４ｅは、それぞれ、第１〜第５の遅延信号ＴＲ（１）〜ＴＲ（５）を生成し、第１〜第５のトリガ補正部２２ａ〜２２ｅに送信してもよい。クロック生成器２３ａ〜２３ｅは、それぞれ、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅにおいてクロック信号を生成してもよい。第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅの各々において、クロック信号はトリガ補正部と遅延回路部とに共通であってもよい。
他の点については第１の実施形態と同様でよい。
第３の実施形態では、トリガ補正部２２ａ〜２２ｅと遅延回路部２４ａ〜２４ｅとがそれぞれのレーザ装置に含まれているので、トリガ補正部２２とパルスパワーモジュール１３の間の配線の距離が短くなるので、配線の長さによる信号の遅れを抑制し得る。
なお、第３の実施形態では、トリガ補正部２２ａ〜２２ｅと遅延回路部２４ａ〜２４ｅとがそれぞれのレーザ装置に含まれている場合の例を示したがこの例に限定されることなく、たとえば、遅延回路部２４ａ〜２４ｅをなくして、トリガ補正部２２ａ〜２２ｅに、それぞれ、異なる目標値ＴＲｄｔ（ｎ）を設定することによって、各レーザ装置から出力されるパルスレーザ光のタイミングを制御してもよい。
【０１６１】
４．２  第４の実施形態
図１６は、本開示の第４の実施形態に係るレーザシステムの構成を示すブロック図である。第４の実施形態において、第１〜第５のトリガ補正部２２ａ〜２２ｅは、それぞれ第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅに含まれていてもよい。レーザシステム５は、同期制御部２２の代わりに、分配器２８を含んでもよい。同期制御部２２に含まれていたクロック生成器２３の代わりに、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅにそれぞれクロック生成器２３ａ〜２３ｅが含まれてもよい。但し、クロック生成器２３ｂ〜２３ｅについては図示を省略している。同期制御部２２に含まれていた遅延回路部２４の代わりに、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅにそれぞれ遅延回路部２４ａ〜２４ｅが含まれてもよい。但し、遅延回路部２４ｂ〜２４ｅについては図示を省略している。
【０１６２】
第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅにそれぞれ含まれる遅延回路部２４ａ〜２４ｅは、第１〜第５の遅延信号ＴＲ（１）〜ＴＲ（５）のそれぞれの遅延時間ＴＲｄ（１）〜ＴＲｄ（５）のデータを、レーザシステム制御部２０から受信してもよい。
分配器２８は、レーザシステム制御部２０からトリガ信号ＴＲを受信し、このトリガ信号ＴＲを、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅにそれぞれ含まれる遅延回路部２４ａ〜２４ｅに送信してもよい。遅延回路部２４ａ〜２４ｅは、それぞれ、第１〜第５の遅延信号ＴＲ（１）〜ＴＲ（５）を生成し、第１〜第５のトリガ補正部２２ａ〜２２ｅに送信してもよい。クロック生成器２３ａ〜２３ｅは、それぞれ、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅにおいてクロック信号を生成してもよい。第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅの各々において、クロック信号はトリガ補正部と遅延回路部とに共通であってもよい。
他の点については第２の実施形態と同様でよい。
第３の実施形態と同様に第４の実施形態では、トリガ補正部２２ａ〜２２ｅと遅延回路部２４ａ〜２４ｅとがそれぞれのレーザ装置に含まれているので、トリガ補正部２２とパルスパワーモジュール１３の間の配線の距離が短くなるので、配線の長さによる信号の遅れを抑制し得る。
なお、第４の実施形態では、トリガ補正部２２ａ〜２２ｅと遅延回路部２４ａ〜２４ｅとがそれぞれのレーザ装置に含まれている場合の例を示したがこの例に限定されることなく、たとえば、遅延回路部２４ａ〜２４ｅをなくして、トリガ補正部２２ａ〜２２ｅに、それぞれ、異なる目標値ＴＲｄｔ（ｎ）を設定することによって、各レーザ装置から出力されるパルスレーザ光のタイミングを制御してもよい。
【０１６３】
５．パルス波形計測器を含むレーザシステム（第５の実施形態）
５．１  構成
図１７は、本開示の第５の実施形態に係るレーザシステム５を含むレーザアニール装置１の構成を概略的に示す。第５の実施形態において、レーザシステム５は、パルス波形計測器６と、シャッタ３６と、を含んでもよい。
【０１６４】
パルス波形計測器６は、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅの出力位置と、光束化装置３との間の第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの光路にまたがって配置されていてもよい。パルス波形計測器６に入射する第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅは、互いにほぼ平行であってもよい。
【０１６５】
シャッタ３６は、光束化装置３から出力された光束化レーザ光２１の光路の近傍に配置されてもよい。シャッタ３６は、遮蔽板３６ａと、アクチュエータ３６ｂとを含んでもよい。アクチュエータ３６ｂによって、光束化レーザ光２１の光路に遮蔽板３６ａを移動させ、あるいは光束化レーザ光２１の光路から遮蔽板３６ａを退避させることができてもよい。
他の点については、第１〜第４の実施形態と同様でよい。
【０１６６】
５．２  パルス波形計測器
図１８は、図１７に示されるパルス波形計測器６の具体的構成を示す。
パルス波形計測器６は、ビームスプリッタ６１と、集光光学系６３と、光センサ６４と、ビーム選択機構６７と、を含んでもよい。
【０１６７】
ビームスプリッタ６１は、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの光路に配置されていてもよい。ビームスプリッタ６１は、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅを高い透過率で透過させるとともに、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの各一部を反射してもよい。
【０１６８】
ビーム選択機構６７は、スリット板６８と、移動機構６９とを含んでもよい。ビーム選択機構６７は、ビームスプリッタ６１によって反射された第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの光路に位置してもよい。移動機構６９は、スリット板６８が第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの光路軸を横切るように、スリット板６８を移動させてもよい。スリット板６８には、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅのうちの１つのパルスレーザ光のみを通過させることのできる幅を有する隙間が形成されていてもよい。移動機構６９を制御して、スリット板６８の位置を調整することにより、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅのすべて又は第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅに含まれる１つのパルスレーザ光を選択して、ビーム選択機構６７を通過させ得る。
【０１６９】
集光光学系６３は、ビーム選択機構６７を通過した第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの全体又は個々のパルスレーザ光を、光センサ６４の受光面に集光し得る。
光センサ６４は、集光光学系６３の焦点面の位置に配置されてもよい。光センサ６４は、高速応答のフォトダイオード又は光電管であってもよい。光センサ６４は、集光光学系６３によって集光された、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの全体又は個々のパルスレーザ光を受光してもよい。光センサ６４は、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの全体又は個々のパルスレーザ光のパルス波形のデータ及びパルスの通過タイミングのデータをレーザシステム制御部２０に出力してもよい。第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅの全体を計測することにより、そのデータは光束化レーザ光の計測データと同等に扱われてもよい。
【０１７０】
５．３  制御動作
図１９は、図１７に示されるレーザシステム制御部２０の処理を示すフローチャートである。以下の説明において、レーザシステム５に含まれる複数のレーザ装置の数をＮｍａｘとする。レーザシステム制御部２０は、第１〜第Ｎｍａｘのパルスレーザ光のそれぞれについてのパルスエネルギーとパルスの通過タイミングに基づいて、各パルスレーザ光の目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）の補正を行ってもよい。また、レーザシステム制御部２０は、第１〜第Ｎｍａｘのパルスレーザ光全体のパルス波形に基づいて、各パルスレーザ光の目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）の補正を行ってもよい。
【０１７１】
まず、Ｓ１０１において、レーザシステム制御部２０は、シャッタ３６を閉じて露光装置４への光束化レーザ光２１の出力を中止してもよい。
【０１７２】
次に、Ｓ１０２において、レーザシステム制御部２０は、露光装置４の露光装置制御部４０から、光束化レーザ光２１の目標パルス波形のデータと、光束化レーザ光２１の目標パルスエネルギーのデータとを受信してもよい。この点については、図８を参照しながら説明したものと同様でよい。
【０１７３】
次に、Ｓ１０３において、レーザシステム制御部２０は、第ｎのパルスレーザ光２１ｎの各々について、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を算出してもよい。この点についても、図８を参照しながら説明したものと同様でよい。
【０１７４】
次に、Ｓ１０４において、レーザシステム制御部２０は、ｎの値を１にセットしてもよい。
次に、Ｓ１０５において、レーザシステム制御部２０は、第ｎのパルスレーザ光２１ｎの計測及び制御を行ってもよい。例えば、ｎの値が１である場合、第１のパルスレーザ光２１ａの計測及び制御が行われてもよい。Ｓ１０５の処理の詳細については、図２０を参照しながら後述する。
【０１７５】
次に、Ｓ１０６において、レーザシステム制御部２０は、ｎの値がＮｍａｘに達したか否かを判定してもよい。ｎの値がＮｍａｘに達していない場合（Ｓ１０６；ＮＯ）、レーザシステム制御部２０は、Ｓ１０７において、ｎの値に１を加えてｎの値を更新し、さらに、処理を上述のＳ１０５に戻してもよい。ｎの値がＮｍａｘに達した場合（Ｓ１０６；ＹＥＳ）、レーザシステム制御部２０は、処理をＳ１０８に進めてもよい。
【０１７６】
Ｓ１０８において、レーザシステム制御部２０は、第１〜第Ｎｍａｘのパルスレーザ光全体のパルス波形を計測してもよい。Ｓ１０８の処理の詳細については、図２１を参照しながら後述する。
【０１７７】
次に、Ｓ１０９において、レーザシステム制御部２０は、第１〜第Ｎｍａｘのパルスレーザ光全体のパルス波形と、光束化レーザ光の目標パルス波形との差が許容範囲内か否かを判定してもよい。目標パルス波形との差が許容範囲内ではない場合（Ｓ１０９；ＮＯ）、レーザシステム制御部２０は、処理をＳ１１０に進めてもよい。目標パルス波形との差が許容範囲内である場合（Ｓ１０９；ＹＥＳ）、レーザシステム制御部２０は、処理をＳ１１２に進めてもよい。
【０１７８】
Ｓ１１０において、レーザシステム制御部２０は、シャッタ３６を閉じて露光装置４への光束化レーザ光２１の出力を中止してもよい。すでにシャッタ３６が閉じられている場合、Ｓ１１０の処理は実行されなくてもよい。次に、Ｓ１１１において、レーザシステム制御部２０は、第ｎのパルスレーザ光２１ｎの各々について、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を補正してもよい。例えば、Ｓ１０５において計測された個々のパルスレーザ光のデータに基づいて、第１〜第Ｎｍａｘのパルスレーザ光全体のパルス波形が目標パルス波形に近づくように、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を補正してもよい。Ｓ１１１の後、レーザシステム制御部２０は、処理を上述のＳ１０４に戻して、個々のパルスレーザ光の計測及び制御をやり直してもよい。
【０１７９】
Ｓ１１２において、レーザシステム制御部２０は、シャッタ３６を開いて、露光装置４への光束化レーザ光２１の出力を開始してもよい。
次に、Ｓ１１３において、レーザシステム制御部２０は、光束化レーザ光２１の目標パルス波形と、光束化レーザ光２１の目標パルスエネルギーを変更するか否かを判定してもよい。これらの値を変更する場合（Ｓ１１３；ＹＥＳ）、レーザシステム制御部２０は、処理を上述のＳ１０１に戻してもよい。変更しない場合（Ｓ１１３；ＮＯ）、レーザシステム制御部２０は、処理をＳ１１４に進めてもよい。
【０１８０】
次に、Ｓ１１４において、レーザシステム制御部２０は、パルス波形の制御を停止するか否かを判定してもよい。パルス波形の制御を停止しない場合（Ｓ１１４；ＮＯ）、レーザシステム制御部２０は、処理を上述のＳ１０４に戻してもよい。パルス波形の制御を停止する場合（Ｓ１１４；ＹＥＳ）、レーザシステム制御部２０は、本フローチャートの処理を終了してもよい。
【０１８１】
図２０は、図１９に示される第ｎのパルスレーザ光を計測及び制御する処理の詳細を示すフローチャートである。図２０に示される処理は、図１９に示されるＳ１０５のサブルーチンとして、レーザシステム制御部２０によって行われてもよい。
【０１８２】
まず、Ｓ５０１において、レーザシステム制御部２０は、第ｎのパルスレーザ光が選択されるように、パルス波形計測器６のビーム選択機構６７を制御してもよい。これにより、パルス波形計測器６が第ｎのパルスレーザ光のパルス波形の計測を開始してもよい。
【０１８３】
次に、Ｓ５０２において、レーザシステム制御部２０は、ｋ個のパルスのパルス波形データを取得したか否かを判定してもよい。ｋ個のパルスのパルス波形データの取得が完了していない場合（Ｓ５０２；ＮＯ）、レーザシステム制御部２０は、取得が完了するまで待機してもよい。ｋ個のパルスのパルス波形データの取得が完了した場合（Ｓ５０２；ＹＥＳ）、レーザシステム制御部２０は、処理をＳ５０３に進めてもよい。ｋは、第ｎのパルスレーザ光の平均パルス波形を取得するための任意の定数である。
【０１８４】
Ｓ５０３において、レーザシステム制御部２０は、ｋ個のパルス波形から、第ｎのパルスレーザ光の平均パルス波形を取得してもよい。例えば、同一の時間における光強度の平均値を時間ごとに算出することにより、平均パルス波形が計算されてもよい。同一時間とは、たとえば、レーザ光のパルスが立ち上がる時間や、パルス波形のピークの時間を同じ時間として計算してもよい。
【０１８５】
次に、Ｓ５０４において、レーザシステム制御部２０は、平均パルス波形を積分することにより、第ｎのパルスレーザ光のパルスエネルギーＥｍ（ｎ）を算出してもよい。
次に、Ｓ５０５において、レーザシステム制御部２０は、算出されたパルスエネルギーＥｍ（ｎ）とパルスエネルギーの目標値Ｅｔ（ｎ）との差ΔＥｍ（ｎ）を、以下の式により算出してもよい。
ΔＥｍ（ｎ）＝Ｅｍ（ｎ）−Ｅｔ（ｎ）
【０１８６】
次に、Ｓ５０６において、レーザシステム制御部２０は、平均パルス波形のパルスタイミングＴ（ｎ）を算出してもよい。例えば、平均パルス波形のピークの半値となる２つのタイミングの平均値を、パルスタイミングＴ（ｎ）としてもよい。
【０１８７】
次に、Ｓ５０７において、レーザシステム制御部２０は、ｎの値が２以上であるか否かを判定してもよい。ｎの値が２以上である場合（Ｓ５０７；ＹＥＳ）、レーザシステム制御部２０は、Ｓ５０８〜Ｓ５１０の処理を行ってもよい。ｎ＝１である場合（Ｓ５０７；ＮＯ）、レーザシステム制御部２０は、Ｓ５０８〜Ｓ５１０をとばして、処理をＳ５１１に進めてもよい。
【０１８８】
Ｓ５０８において、レーザシステム制御部２０は、第１のパルスレーザ光２１ａのタイミングＴ（１）と第ｎのパルスレーザ光２１ｎのタイミングＴ（ｎ）との差ΔＴ（ｎ）を、以下の式により算出してもよい。
ΔＴ（ｎ）＝Ｔ（ｎ）−Ｔ（１）
【０１８９】
Ｓ５０８の次に、Ｓ５０９において、レーザシステム制御部２０は、第ｎのパルスレーザ光２１ｎの第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）の補正量ΔΔＴ（ｎ）を、以下の式により算出してもよい。
ΔΔＴ（ｎ）＝ＴＲｄ（ｎ）−ＴＲｄ（１）−ΔＴ（ｎ）
【０１９０】
Ｓ５０９の次に、Ｓ５１０において、レーザシステム制御部２０は、第ｎのパルスレーザ光２１ｎの第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を以下の通り更新してもよい。
ＴＲｄ（ｎ）＝ＴＲｄ（ｎ）＋ΔΔＴ（ｎ）
Ｓ５１０の後、レーザシステム制御部２０は、処理をＳ５１１に進めてもよい。
【０１９１】
Ｓ５１１において、レーザシステム制御部２０は、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）を以下の通り更新してもよい。
Ｅｔ（ｎ）＝Ｅｔ（ｎ）＋ΔＥｍ（ｎ）
Ｓ５１１の後、レーザシステム制御部２０は、本フローチャートの処理を終了して、図１９のＳ１０６に処理を移行してもよい。
【０１９２】
図２１は、図１９に示される第１〜第Ｎｍａｘのパルスレーザ光全体のパルス波形を計測する処理の詳細を示すフローチャートである。図２１に示される処理は、図１９に示されるＳ１０８のサブルーチンとして、レーザシステム制御部２０によって行われてもよい。
【０１９３】
まず、Ｓ８０１において、レーザシステム制御部２０は、第１〜第Ｎｍａｘのパルスレーザ光がすべて選択されるように、パルス波形計測器６を制御してもよい。これにより、パルス波形計測器６が第１〜第Ｎｍａｘのパルスレーザ光全体のパルス波形の計測を開始してもよい。
【０１９４】
次に、Ｓ８０２において、レーザシステム制御部２０は、ｋ個のパルスのパルス波形データを取得したか否かを判定してもよい。ｋ個のパルスのパルス波形データの取得が完了していない場合（Ｓ８０２；ＮＯ）、レーザシステム制御部２０は、取得が完了するまで待機してもよい。ｋ個のパルスのパルス波形データの取得が完了した場合（Ｓ８０２；ＹＥＳ）、レーザシステム制御部２０は、処理をＳ８０３に進めてもよい。ｋは、第１〜第Ｎｍａｘのパルスレーザ光全体の平均パルス波形を取得するための任意の定数であり、Ｓ５０２で用いられたｋと同じであってもよいし異なっていてもよい。
【０１９５】
Ｓ８０３において、レーザシステム制御部２０は、ｋ個のパルス波形から、平均パルス波形を取得してもよい。例えば、同一の時間における光強度の平均値を時間ごとに算出することにより、平均パルス波形が計算されてもよい。同一時間とは、たとえば、レーザ光のパルスが立ち上がる時間や、パルス波形のピークの時間を同じ時間として計算してもよい。
【０１９６】
次に、Ｓ８０４において、レーザシステム制御部２０は、平均パルス波形と目標パルス波形との差分の絶対値を積分してもよい。例えば、同一の時間における光強度の差分の絶対値を時間ごとに算出し、これらの絶対値の総和を算出することにより、積分値Ｓが計算されてもよい。
【０１９７】
次に、Ｓ８０５において、レーザシステム制御部２０は、積分値Ｓが許容範囲内か否かを以下の式により判定してもよい。
Ｓ≦Ｓ０
Ｓ０は、許容範囲内か否かを判定するための閾値でよい。積分値Ｓが閾値Ｓ０以下であれば、許容範囲内であると判定されてもよい。許容範囲内である場合（Ｓ８０５；ＹＥＳ）、レーザシステム制御部２０は、処理をＳ８０６に進めてもよい。積分値Ｓが閾値Ｓ０を超えている場合、許容範囲内ではないと判定されてもよい。許容範囲内ではない場合（Ｓ８０５；ＮＯ）、レーザシステム制御部２０は、処理をＳ８０７に進めてもよい。
【０１９８】
Ｓ８０６において、レーザシステム制御部２０は、フラグＦを、許容範囲内であることを示す値１にセットしてもよい。
Ｓ８０７において、レーザシステム制御部２０は、フラグＦを、許容範囲内ではないことを示す値０にセットしてもよい。
Ｓ８０６又はＳ８０７の後、レーザシステム制御部２０は、本フローチャートの処理を終了して、図１９のＳ１０９に処理を移行してもよい。上記のフラグＦの値は、図１９に示されるＳ１０９の判定において用いられてもよい。
【０１９９】
以上のようにして、レーザシステム制御部２０は、第１〜第Ｎｍａｘのパルスレーザ光のそれぞれについてのパルスエネルギーとパルスの通過タイミングに基づいて、各パルスレーザ光の目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）の補正を行ってもよい。また、レーザシステム制御部２０は、第１〜第Ｎｍａｘのパルスレーザ光全体のパルス波形に基づいて、各パルスレーザ光の目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）の補正を行ってもよい。これにより、光束化レーザ光のパルス波形を高精度に制御し得る。
【０２００】
第５の実施形態においては、パルス波形計測器６がビーム選択機構６７を備える場合について説明したが、本開示はこれに限定されない。例えば、第ｎのパルスレーザ光２１ｎだけを計測する場合に、第ｎのレーザ装置２ｎだけをレーザ発振するようにしてもよい。
【０２０１】
６．その他
６．１  光路長調節器
図２２は、図１及び図１７に示された光路長調節器の構成を概略的に示す。例えば、第１の光路長調節器７ａは、第１のパルスレーザ光２１ａの光路を迂回させて、第１のパルスレーザ光２１ａの光路長を変更できる装置でもよい。
第２〜第５の光路長調節器７ｂ〜７ｅも、同様でよい。第１〜第５の光路長調節器７ａ〜７ｅは、それぞれのレーザ装置からレーザシステム５の出口までの光路長が略一致するようにそれぞれの光路長を調節してもよい。
【０２０２】
第１の光路長調節器７ａは、直角プリズム７１１と、２枚の高反射ミラー７１２、７１３と、プレート７１４と、プレート７１５と、１軸ステージ７１６と、を含んでもよい。
直角プリズム７１１の直交する第１の面７０１と第２の面７０２には、高反射膜がコートされていてもよい。直角プリズム７１１は、ホルダー７１７に保持され、ホルダー７１７は、プレート７１４に固定されていてもよい。直角プリズム７１１は、第１のパルスレーザ光２１ａの光路に位置していてもよい。
【０２０３】
２枚の高反射ミラー７１２、７１３は、これらの反射面が直交するようにホルダー７１８に保持され、ホルダー７１８は、プレート７１５に固定されていてもよい。プレート７１５は、１軸ステージ７１６に固定されていてもよい。１軸ステージ７１６は、直角プリズム７１１の第１の面７０１によって反射された第１のパルスレーザ光２１ａの光路軸と平行に、２枚の高反射ミラー７１２、７１３を移動可能であってもよい。
【０２０４】
直角プリズム７１１の第１の面７０１によって反射された第１のパルスレーザ光２１ａは、２枚の高反射ミラー７１２、７１３によって反射され、直角プリズム７１１の第２の面７０２に入射してもよい。直角プリズム７１１の第２の面７０２に入射した第１のパルスレーザ光２１ａは、直角プリズム７１１の第１の面７０１に入射した第１のパルスレーザ光２１ａの光路軸のほぼ延長線上にあたる光路軸に沿って、直角プリズム７１１の第２の面７０２から出射してもよい。
【０２０５】
レーザシステム制御部２０は、１軸ステージ７１６のモータ７１９を駆動することにより、２枚の高反射ミラー７１２、７１３を移動させてもよい。２枚の高反射ミラー７１２、７１３を距離Ｘ移動させることにより、第１のパルスレーザ光２１ａの光路長を２Ｘ変化させてもよい。
【０２０６】
６．２  平面鏡を用いた光束化装置
図２３は、光束化装置の別の例を示す。なお、図２３においては、露光装置４にあるフライアイレンズ４２１も示しているが、露光装置４にある高反射ミラー４１の図示は省略している。光束化装置３７は、第１直角プリズム３７１と、第２直角プリズム３７２と、台形プリズム３７３とを含んでもよい。
【０２０７】
第１直角プリズム３７１は、紙面に平行な面である底面が直角三角形である三角柱形状に形成されてもよい。第１直角プリズム３７１の直角を成す２つの側面には、高反射膜がコートされてもよい。第１直角プリズム３７１の直角を成す２つの側面は、それぞれ第１反射面３７１ａ及び第２反射面３７１ｂを構成し得る。
【０２０８】
第１直角プリズム３７１は、当該第１直角プリズム３７１の第１反射面３７１ａが、台形プリズム３７３の後述する第１反射面３７３ａと平行となるように配置されてもよい。第１直角プリズム３７１は、当該第１直角プリズム３７１の第１反射面３７１ａが、第１のパルスレーザ光２１ａの光路軸と４５°の角度を成して交差するように配置されてもよい。第１直角プリズム３７１は、当該第１直角プリズム３７１の第２反射面３７１ｂが、第２のパルスレーザ光２１ｂの光路軸と４５°の角度を成して交差するように配置されてもよい。
【０２０９】
第２直角プリズム３７２は、紙面に平行な面である底面が直角三角形である三角柱形状に形成されてもよい。第２直角プリズム３７２の直角を成す２つの側面には、高反射膜がコートされてもよい。第２直角プリズム３７２の直角を成す２つの側面は、それぞれ第１反射面３７２ａ及び第２反射面３７２ｂを構成し得る。
【０２１０】
第２直角プリズム３７２は、当該第２直角プリズム３７２の第１反射面３７２ａが、台形プリズム３７３の後述する第２反射面３７３ｂと平行となるように配置されてもよい。第２直角プリズム３７２は、当該第２直角プリズム３７２の第１反射面３７２ａが、第４のパルスレーザ光２１ｄの光路軸と４５°の角度を成して交差するように配置されてもよい。第２直角プリズム３７２は、当該第２直角プリズム３７２の第２反射面３７２ｂが、第５のパルスレーザ光２１ｅの光路軸と４５°の角度を成して交差するように配置されてもよい。
【０２１１】
台形プリズム３７３は、例えば合成石英やフッ化カルシウム等の紫外線を透過させる材料を用いて形成されてもよい。台形プリズム３７３は、紙面に平行な面である底面が四角形である四角柱形状に形成されてもよい。台形プリズム３７３の底面は、２つの脚の成す角度が直角である等脚台形形状に形成されてもよい。台形プリズム３７３の対向する２側面であって、互いに平行でない２側面には、高反射膜がコートされてもよい。台形プリズム３７３の対向する２側面であって、互いに平行でない２側面は、それぞれ第１反射面３７３ａ及び第２反射面３７３ｂを構成し得る。台形プリズム３７３の対向する２側面であって、互いに平行な２側面には、反射防止膜がコートされてもよい。台形プリズム３７３の対向する２側面であって、互いに平行な２側面は、第１照射面３７３ｃ及び第２照射面３７３ｄを構成し得る。
【０２１２】
台形プリズム３７３は、当該台形プリズム３７３の第２照射面３７３ｄが、第３のパルスレーザ光２１ｃの光路軸と直交するように配置されてもよい。
【０２１３】
第１のレーザ装置２ａから出力された第１のパルスレーザ光２１ａは、第１直角プリズム３７１の第１反射面３７１ａで反射されてもよい。さらに、第１のパルスレーザ光２１ａは、台形プリズム３７３の第１反射面３７３ａで反射され、フライアイレンズ４２１の入射側の面に垂直に入射してもよい。
【０２１４】
第２のレーザ装置２ｂから出力された第２のパルスレーザ光２１ｂは、第１直角プリズム３７１の第２反射面３７１ｂで反射されてもよい。さらに、第２のパルスレーザ光２１ｂは、台形プリズム３７３の第１反射面３７３ａで反射され、フライアイレンズ４２１の入射側の面に垂直に入射してもよい。
【０２１５】
第３のレーザ装置２ｃから出力された第３のパルスレーザ光２１ｃは、台形プリズム３７３の第２照射面３７３ｄに入射し、内部を直進してもよい。台形プリズム３７３の内部を直進した第３のパルスレーザ光２１ｃは、第１照射面３７３ｃから出射されて、フライアイレンズ４２１の入射側の面に垂直に入射してもよい。
【０２１６】
第４のレーザ装置２ｄから出力された第４のパルスレーザ光２１ｄは、第２直角プリズム３７２の第１反射面３７２ａで反射されてもよい。さらに、第４のパルスレーザ光２１ｄは、台形プリズム３７３の第２反射面３７３ｂで反射され、フライアイレンズ４２１の入射側の面に垂直に入射してもよい。
【０２１７】
第５のレーザ装置２ｅから出力された第５のパルスレーザ光２１ｅは、第２直角プリズム３７２の第２反射面３７２ｂで反射されてもよい。さらに、第５のパルスレーザ光２１ｅは、台形プリズム３７３の第２反射面３７３ｂで反射され、フライアイレンズ４２１の入射側の面に垂直に入射してもよい。
【０２１８】
このように、光束化装置３７は、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅを、それらの光路軸が互いに平行となるようにして、光束化レーザ光２１として出射させてもよい。そして、光束化装置３７から出射した光束化レーザ光２１はフライアイレンズ４２１に入射してもよい。すなわち、光束化装置３７は、第１〜第５のパルスレーザ光２１ａ〜２１ｅを重ね合わせなくてもよい。
【０２１９】
このような光束化装置３７を用いる場合には、図１８を参照しながら説明したビーム選択機構６７を含むパルス波形計測器６を、光束化装置３７から出力された光束化レーザ光２１の光路に配置してもよい。
【０２２０】
６．３  制御部の構成
図２４は、制御部の概略構成を示すブロック図である。
上述した実施の形態におけるレーザシステム制御部２０、同期制御部２２等の制御部は、コンピュータやプログラマブルコントローラ等汎用の制御機器によって構成されてもよい。例えば、以下のように構成されてもよい。
【０２２１】
（構成）
制御部は、処理部１０００と、処理部１０００に接続される、ストレージメモリ１００５と、ユーザインターフェイス１０１０と、パラレルＩ／Ｏコントローラ１０２０と、シリアルＩ／Ｏコントローラ１０３０と、Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ１０４０とによって構成されてもよい。また、処理部１０００は、ＣＰＵ１００１と、ＣＰＵ１００１に接続された、メモリ１００２と、タイマー１００３と、ＧＰＵ１００４とから構成されてもよい。
【０２２２】
（動作）
処理部１０００は、ストレージメモリ１００５に記憶されたプログラムを読出してもよい。また、処理部１０００は、読出したプログラムを実行したり、プログラムの実行に従ってストレージメモリ１００５からデータを読出したり、ストレージメモリ１００５にデータを記憶させたりしてもよい。
【０２２３】
パラレルＩ／Ｏコントローラ１０２０は、パラレルＩ／Ｏポートを介して通信可能な機器１０２１〜１０２ｘに接続されてもよい。パラレルＩ／Ｏコントローラ１０２０は、処理部１０００がプログラムを実行する過程で行うパラレルＩ／Ｏポートを介した、デジタル信号による通信を制御してもよい。
【０２２４】
シリアルＩ／Ｏコントローラ１０３０は、シリアルＩ／Ｏポートを介して通信可能な機器１０３１〜１０３ｘに接続されてもよい。シリアルＩ／Ｏコントローラ１０３０は、処理部１０００がプログラムを実行する過程で行うシリアルＩ／Ｏポートを介した、デジタル信号による通信を制御してもよい。
【０２２５】
Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ１０４０は、アナログポートを介して通信可能な機器１０４１〜１０４ｘに接続されてもよい。Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ１０４０は、処理部１０００がプログラムを実行する過程で行うアナログポートを介した、アナログ信号による通信を制御してもよい。
【０２２６】
ユーザインターフェイス１０１０は、オペレータが処理部１０００によるプログラムの実行過程を表示したり、オペレータによるプログラム実行の中止や割り込み処理を処理部１０００に行わせたりするよう構成されてもよい。
【０２２７】
処理部１０００のＣＰＵ１００１はプログラムの演算処理を行ってもよい。メモリ１００２は、ＣＰＵ１００１がプログラムを実行する過程で、プログラムの一時記憶や、演算過程でのデータの一時記憶を行ってもよい。タイマー１００３は、時刻や経過時間を計測し、プログラムの実行に従ってＣＰＵ１００１に時刻や経過時間を出力してもよい。ＧＰＵ１００４は、処理部１０００に画像データが入力された際、プログラムの実行に従って画像データを処理し、その結果をＣＰＵ１００１に出力してもよい。
【０２２８】
パラレルＩ／Ｏコントローラ１０２０に接続される、パラレルＩ／Ｏポートを介して通信可能な機器１０２１〜１０２ｘは、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅ、露光装置制御部４０、他の制御部等の発振トリガ信号やタイミングを示す信号の受送信に使用してもよい。
シリアルＩ／Ｏコントローラ１０３０に接続される、シリアルＩ／Ｏポートを介して通信可能な機器１０３１〜１０３ｘは、第１〜第５のレーザ装置２ａ〜２ｅ、露光装置制御部４０、他の制御部等のデータの受送信に使用してもよい。Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ１０４０に接続される、アナログポートを介して通信可能な機器１０４１〜１０４ｘは、パルス波形計測器６や、パルスエネルギー計測部１７等の各種センサであってもよい。
以上のように構成されることで、制御部は各実施形態に示された動作を実現可能であってよい。
【０２２９】
上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
【０２３０】
本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書及び添付の特許請求の範囲に記載される修飾句「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。
【図１】
2015190012.tif 000003
【図２】
2015190012.tif 000004
【図３】
2015190012.tif 000005
【図４】
2015190012.tif 000006
【図５】
2015190012.tif 000007
【図６】
2015190012.tif 000008
【図７】
2015190012.tif 000009
【図８】
2015190012.tif 000010
【図９】
2015190012.tif 000011
【図１０】
2015190012.tif 000012
【図１１】
2015190012.tif 000013
【図１２】
2015190012.tif 000014
【図１３】
2015190012.tif 000015
【図１４Ａ】
2015190012.tif 000016
【図１４Ｂ】
2015190012.tif 000017
【図１５】
2015190012.tif 000018
【図１６】
2015190012.tif 000019
【図１７】
2015190012.tif 000020
【図１８】
2015190012.tif 000021
【図１９】
2015190012.tif 000022
【図２０】
2015190012.tif 000023
【図２１】
2015190012.tif 000024
【図２２】
2015190012.tif 000025
【図２３】
2015190012.tif 000026
【図２４】
2015190012.tif 000027
【国際調査報告】
2015190012.tif 000028
2015190012.tif 000029
2015190012.tif 000030
2015190012.tif 000031