(57)【要約】  既存の製造設備から大幅な変更を加えることなくボーイング現象を抑制でき、任意の製造条件においても適用できるテンター装置用フィルム保持具を提供する。  フィルム保持具２００は、テンターチェーンに固定されるベース部材２１０と、ベース部材２１０に、テンターチェーンの移動方向に移動自在に支持されたピンプレート２２０とを有する。ピンプレート２２０には、フィルムを保持するためにフィルムに突き刺される複数のピン２３０が突設されている。
2015033755.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムの横方向両端部を保持しながら移動する一対のテンターチェーンを備えたテンター装置の前記テンターチェーンに固定されたフィルム保持具であって、
前記テンターチェーンに固定されるベース部材と、
前記ベース部材に前記テンターチェーンの移動方向に移動自在に支持され、前記フィルムを保持するために前記フィルムに突き刺される複数のピンが突設された少なくとも１つのピンプレートと、
を有するフィルム保持具。
【請求項２】
前記ベース部材上で前記ピンプレートを前記テンターチェーンの移動方向に弾性的に支持する少なくとも１つの弾性支持部材をさらに有する請求項１に記載のフィルム保持具。
【請求項３】
前記弾性支持部材はコイルばねである請求項２に記載のフィルム保持具。
【請求項４】
複数の前記ピンプレートが前記テンターチェーンの移動方向に間隔をあけて配置されている請求項１から３のいずれか一項に記載のフィルム保持具。
【請求項５】
前記ピンプレートは、前記複数のピンが表面に突設された平板部と、前記平板部の裏面から突出した凸部と、前記脚部を介して前記平板部の厚み方向に間隔をあけて前記平板部と平行に延びたアンカー部と、を有し、前記ベース部材は、前記平板部と前記アンカー部との間に延びる抜け止め凸部を有する請求項１から４のいずれか一項に記載のフィルム保持具。
【請求項６】
前記ピンプレートの裏面側に回転自在に支持された少なくとも１つの軸受をさらに有する請求項１から４のいずれか一項に記載のフィルム保持具。
【請求項７】
前記軸受は、前記ピンプレートの移動方向に垂直な軸周りに回転自在に支持されている請求項６に記載のフィルム保持具。
【請求項８】
前記軸受は耐熱軸受である請求項６または７に記載のフィルム保持具。
【請求項９】
前記ピンは、ランセットポイント型のピンである請求項１から８のいずれか一項に記載のフィルム保持具。
【請求項１０】
フィルムを搬送するために前記フィルムの搬送路の両側に配置された一対のテンターチェーンと、
前記一対のテンターチェーンのそれぞれに固定された複数の、請求項１から９のいずれか一項に記載のフィルム保持具と、を有するテンター装置。
【請求項１１】
ポリイミド前駆体の溶媒溶液を支持体上にキャストし、自己支持性フィルムとする第１工程と、
前記自己支持性フィルムを保持しながら加熱処理する第２工程と、を有するポリイミドフィルムの製造方法であって、
前記第２工程では、請求項１０に記載のテンター装置を用いて、フィルムとして前記自己支持性フィルムを保持することを含むポリイミドフィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム、例えばポリイミドフィルムの製造工程でフィルムを連続的に搬送するのに用いられるテンター装置に備えられる、フィルムの横方向両端部を保持するフィルム保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルムは様々な分野に用いられ、また、その用途等に応じて種々のフィルムが存在している。中でもポリイミドフィルムは、軽量で、かつ、柔軟性、機械的強度および耐熱性等の諸物性に優れていることから、種々の分野、特に電子・電気分野、例えばフレキシブル配線基板材料およびＣＯＦ用基板材料等で広範囲に用いられている。【０００３】
近年、コンピュータ等の電気・電子機器の小型化および軽量化が進み、それに用いられる配線基板やＩＣパッケージ材料においても小型化および軽量化が求められるようになっており、これらに施される配線パターンはより微細になってきている。したがって、そのような配線基板材料やＩＣパッケージ材料に用いられるフィルムには、フィルムの幅方向全体にわたって高い寸法安定性が求められるようになってきている。【０００４】
フィルムの中でもポリイミドフィルムは、溶融加工が困難なフィルムであり、例えば、ポリアミック酸などのポリイミド前駆体有機溶媒溶液を、ベルトまたはドラムなどの支持体上にキャストして得た自己支持性を持つフィルム（「ゲルフィルム」ともいう）を、テンター装置により、その横方向両端部を保持し搬送しながら、連続的に熱処理することにより製造することができる。【０００５】
上記の製造方法では、連続的に熱処理を行う加熱炉においてフィルムの横方向両端部は、テンター装置に設けられたフィルム保持具によって固定保持されている。このように、フィルムの横方向両端部を保持して搬送しながらフィルムを連続的に熱処理する場合において、フィルムの横方向両端部と中央部とでフィルムの伸縮状態に違いが生じる。それは、フィルムの縦方向両端部ではフィルムの伸縮がフィルム保持具で拘束されるのに対して、中央部ではフィルム保持具による拘束力が比較的弱いためである。【０００６】
そのため、例えばフィルムの横延伸に際しては、フィルムの横方向両端部と中央部との間でフィルムの縦方向の移動状態に違いが生じる。このフィルムの横方向両端部と中央部での縦方向の移動状態の違いは、例えば、フィルムの搬送前に、フィルムの面上にフィルムの横方向に沿った直線を描いておき、その直線の変形の状態を観察することによって確認できる。【０００７】
すなわち、連続的に熱処理を行う加熱炉内において、横延伸の始めの領域では、上記直線は、フィルムの縦方向下流側から見て凸型に変形する。つまり、フィルムは、中央部のほうが両端部よりも縦方向への移動速度が速い。その後、凸型に変形した線は徐々に直線に戻り、横延伸終了後には凹型に変形する。このフィルムの移動状態の違いは、横延伸時に発生するフィルムの縦方向の伸長応力やイミド化によって発生するフィルムの縦方向の収縮応力に起因すると考えられる。【０００８】
このようにフィルムが収縮する結果、得られたフィルムには凹型の変形が残る。この現象はボーイング現象と称されている。特に連続的に熱処理を行う加熱炉内において、テンター装置のレール間隔を調整することにより、横方向でフィルム保持具の間隔を拡げることで、フィルムを横方向に延伸する際にはこのボーイング現象が顕著に現れる。このボーイング現象はフィルムの幅方向に分子配向の異方性を生じさせ、その結果、機械的特性、湿度膨張率、熱膨張率、および熱収縮率を不均一にする原因となり、製品歩留まりが低下するといった問題が生じる。【０００９】
このようなフィルムの面内における特性のばらつきは、フィルム加工時において、フィルム面内の場所および方向による品質差、特に寸法変化の差を生む原因となる。このことは、精密部品などの用途、例えば、回路形成のベース材や記録媒体などの用途において、部分的に反りやカール等が生じて大きな問題となる場合がある。したがって、フィルムの幅方向全体にわたって、特性の等方性を確保するための技術改善が求められている。【００１０】
また、加熱炉での連続熱処理工程において、フィルムの乾燥状態、分子配向状態、イミド化率の変化に伴って、フィルムの縦方向に収縮したり伸長したり、複雑な現象を示すことも知られている。フィルム保持具としてピンをフィルムに突き刺すことによってフィルムを保持する方式のものを用いた場合、この収縮応力や伸長応力により、ピンが突き刺されたフィルムの穴が拡がってしまう場合がある。この部分でフィルムが切断してしまうと、フィルムの平面性悪化、品質ムラ、生産性低下などを引き起こすおそれがある。【００１１】
ポリイミドフィルムのボーイング現象抑制の手段としては、例えば、フィルムのボーイング現象の発生状況を観測した後、加熱炉温度を決定する方法（特許文献１参照）、テンター炉入り口のフィルム固定端から加熱炉において、フィルム固定端から炉内進行方向へフィルム幅と同じ長さまでは主たる揮発分の沸点以上に加熱しない方法（特許文献２参照）、ゲルフィルムを１５０℃以下で搬送方向に１．１〜１．９倍延伸し、次いで４００℃以下で横方向に搬送方向の０．９〜１．３倍の倍率で延伸する方法（特許文献３参照）、ゲルフィルムを弛緩させた状態でフィルム両端部を固定する方法（特許文献４参照）、ゲルフィルムの横方向中央部をニップロールで負荷を与えて強制的に後退させる方法（特許文献５参照）、テンターチェーンを複数のリンクがジグザグ状に連結された伸縮機構で構成し、一対のテンターレール間隔が開くにつれてこの伸縮機構が伸び、これによって、フィルムを保持する部分の縦方向での間隔が大きくなるように構成したテンター装置（特許文献６参照）などが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
特許文献１：特開２００２−１５４１６８号公報
特許文献２：特開平８−２３００６３号公報
特許文献３：特開平５−２３７９２３８号公報
特許文献４：特開２００６−１８１９８６号公報
特許文献５：特開２００７−２２０４２号公報
特許文献６：特開２０１２−８１７０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、特許文献１〜３に開示された方法は、フィルムの加熱温度または延伸倍率が制限されるため、フィルムの製造条件によってはこれらの技術を適用できない場合があった。また、特許文献４に開示された方法は、安定した配向分布や機械的特性などを達成するためには、フィルムを一定の寸法で弛緩させることが重要となるが、そのように一定の寸法でフィルムを弛緩させることが困難であった。特許文献５に開示された方法は、フィルムの横方向中央部がニップロールで押さえ付けられるため、ニップロールによってフィルムの表面が傷付いてしまうおそれがあった。【００１４】
特許文献６に開示されたテンター装置は、テンターチェーン自体の構造が一般に用いられるテンターチェーンと異なる。そのため、既存の設備に適用するためには、テンターチェーンおよびそれに関わる全ての部品を交換しなければならず、そのためには非常に大きな費用と労力を要する。【００１５】
本発明は、フィルムを縦方向に搬送しながら連続的に製造する際にフィルムの横方向両端部を保持するフィルム保持具において、既存の製造設備から大幅な変更を加えることなくボーイング現象を抑制でき、任意の製造条件においても適用できる、逐次延伸に好適なフィルム保持具、それを用いたテンター装置およびそのテンター装置を用いたポリイミドフィルムの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明のフィルム保持具は、フィルムの横方向両端部を保持しながら移動する一対のテンターチェーンを備えたテンター装置の前記テンターチェーンに固定されたフィルム保持具であって、
前記テンターチェーンに固定されるベース部材と、
前記ベース部材に前記テンターチェーンの移動方向に移動自在に支持され、前記フィルムを保持するために前記フィルムに突き刺される複数のピンが突設された少なくとも１つのピンプレートと、
を有する。【００１７】
本発明のフィルム保持具において、ベース部材上でピンプレートをテンターチェーンの移動方向に弾性的に支持する少なくとも１つの弾性支持部材をさらに有することが好ましい。この弾性支持部材はコイルばねであってよい。また、フィルム保持具は、複数のピンプレートがテンターチェーンの移動方向に間隔をあけて配置されているように構成することができる。ピンプレートを移動自在に支持する構造として、ピンプレートは、複数のピンが表面に突設された平板部と、平板部の裏面から突出した凸部と、脚部を介して平板部の厚み方向に間隔をあけて平板部と平行に延びたアンカー部と、を有し、ベース部材は、平板部とアンカー部との間に延びる抜け止め凸部を有することができる。ピンプレートを移動可能に支持する他の構造としては、ピンプレートの裏面側に回転自在に支持された少なくとも１つの軸受をさらに有していてもよい。【００１８】
本発明のテンター装置は、フィルムを搬送するために前記フィルムの搬送路の両側に配置された一対のテンターチェーンと、
前記一対のテンターチェーンのそれぞれに固定された複数の、上記本発明のフィルム保持具と、を有する。【００１９】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、ポリイミド前駆体の溶媒溶液を支持体上にキャストし、自己支持性フィルムとする第１工程と、
前記自己支持性フィルムを保持しながら加熱処理する第２工程と、を有するポリイミドフィルムの製造方法であって、
前記第２工程では、上記本発明のテンター装置を用いて、フィルムとして前記自己支持性フィルムを保持することを含む。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、可動式のピンプレートを用いることで、従来の固定式ピンプレートに比べてフィルムの横方向端部の拘束力と中央部の拘束力の差が小さくなり、ボーイング歪みおよびフィルム端部の分子配向異方性を大幅に低減することができる。その結果、横方向の物性が均一なフィルムを得ることができ、製品の歩留まりが高くなる。また、可動式のピンプレートを用いることで、従来の固定式ピンプレートに比べて良好な平面性を有するフィルムを得ることができる。さらに、本発明のフィルム保持具は、既存のテンター装置からの改造も容易であり、特に逐次延伸に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態によるテンター装置の平面図である。
【図２】図１に示すテンターチェーンのII部を拡大した図である。
【図３】図２に示すテンターチェーンをフィルム保持具側から観た側面図であり、一部の外プレートを断面で示している。
【図４】図２に示すテンターチェーンのIV−IV線断面図である。
【図５】本発明の一実施形態によるフィルム保持具の斜視図である。
【図５Ａ】図５に示すフィルム保持具の平面図である。
【図５Ｂ】図５に示すフィルム保持具の側面図である。
【図５Ｃ】図５に示すフィルム保持具の５Ｃ−５Ｃ線断面図である。
【図６Ａ】図５に示すフィルム保持具の動作を示す図であり、隣り合う２つのフィルム保持具の間隔が小さくなった状態を示している。
【図６Ｂ】図５に示すフィルム保持具の動作を示す図であり、隣り合う２つのフィルム保持具の間隔が拡がった状態を示している。
【図７Ａ】本発明の他の実施形態によるフィルム保持具の平面図である。
【図７Ｂ】図７Ａに示すフィルム保持具の側面図である。
【図８】本発明のさらに他の実施形態によるフィルム保持具の斜視図である。
【図８Ａ】図８に示すフィルム保持具において２個の軸受を有する場合の斜視図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）は、図８に示すフィルム保持具の可動範囲を説明する図である。
【図１０Ａ】本発明において好適に使用することができる、ランセットポイント型のピンの先端部の側面図である。
【図１０Ｂ】図９Ａに示すピンの正面図である。
【図１１】本発明の効果を確認するために行った実験において、治具にフィルムが保持された状態を示す図である。
【図１２】本発明の効果を確認するために行った実験において、ボーイング歪みの算出式を説明する図である。
【図１３】本発明の効果を確認するために行った実験において、フィルムのＣＴＥ測定用の試料の切り出し位置および方向を示す図である。
【図１４Ａ】本発明の効果を確認するために行った対照例１のフィルム左端部でのＣＴＥレーダーチャートである。
【図１４Ｂ】本発明の効果を確認するために行った対照例１のフィルム中央部でのＣＴＥレーダーチャートである。
【図１４Ｃ】本発明の効果を確認するために行った実験例１のフィルム左端部でのＣＴＥレーダーチャートである。
【図１４Ｄ】本発明の効果を確認するために行った実験例１のフィルム中央部でのＣＴＥレーダーチャートである。
【図１４Ｅ】本発明の効果を確認するために行った実験例２のフィルム左端部でのＣＴＥレーダーチャートである。
【図１４Ｆ】本発明の効果を確認するために行った実験例２のフィルム中央部でのＣＴＥレーダーチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図１を参照すると、ポリイミドフィルムの製造工程で用いられ、特に自己支持性フィルムの加熱処理において自己支持性フィルムを、その幅方向両端部を把持した状態で搬送する、テンター装置の例が示されている。以下のテンター装置の説明中、簡単のために、自己支持性フィルムを「フィルムＦ」で示す。
【００２３】
テンター装置１は、フィルムＦの搬送路の両側に配置された一対のテンターチェーン５と、各テンターチェーン５の移動をガイドする一対のテンターレール４とを有する。各テンターチェーン５は、無端となるように構成されて、駆動スプロケット２および従動スプロケット３に噛み合っている。テンターレール４は、フィルムＦの搬送方向に沿って延び、互いに平行に配置された一対のガイド板４１を有し、テンターチェーン５は、そのガイド板４１の間を通ることができる。
【００２４】
各テンターチェーン５は、詳しくは後述するように、複数のフィルム保持具を有しており、フィルムＦの両縁部は、各テンターチェーン５に設けられたフィルム保持具によって把持される。フィルムＦの幅方向両端部が把持された状態で駆動スプロケット２を駆動すると、テンターチェーン５がテンターレール４に沿って移動し、これによってフィルムＦが搬送される。
【００２５】
図１に示したテンター装置１では、フィルムＦをその幅が一定の状態で搬送するように一対のテンターレール４が平行に配置されている。しかし、テンターレール４をその間隔がフィルムＦの搬送方向下流に向かうに従って広くなるように、または狭くなるように配置することもできる。テンターレール４の間隔をフィルムＦの搬送方向下流に向かうに従って広くすることによって、フィルムＦを横方向に延伸することができ、また、この逆にテンターレール４の間隔を次第に狭くすることによって、フィルムＦの応力緩和に対応することができる。また、一対のテンターレール４は、その間隔が一定の部分、次第に広くなる部分、および次第に狭くなる部分のうち２つ以上を適宜組み合わせて配置することもできる。
【００２６】
次に、テンターチェーン５について、図２〜４を参照して詳細に説明する。
【００２７】
テンターチェーン５は、複数の内リンクと複数の外リンクとを交互に連結して無端としたローラーチェーンである。内リンクは、対向配置された一対の内プレート５１ａ、５１ｂと、これらを連結する２つのブシュ５２と、内プレート５１ａ、５１ｂの間で各ブシュ５２の外周に回転自在に支持された２つの回転体（第２の回転体）５３、７３とを有する。内プレート５１ａ、５１ｂは長手方向を有するように形成された部材であり、２つのブシュ５２はその長手方向に間隔をあけて配置されている。回転体７３は、フィルムＦの幅方向において一対のガイド板４１の間でガイド板４１に隣接して位置し、かつ、ガイド板４１と接触することができるように、回転体７３の直径は、一対のガイド板４１の間隔よりも小さく、かつ内プレート５１ａおよび／または５１ｂの幅よりも大きい。
【００２８】
回転体５３、７３は、内プレート５１ａ、５１ｂを連結するブシュ５２の軸方向に沿って配置され、それぞれが個別に回転できるように、ブシュ５２の外周に支持されている。前述したように、テンターチェーンは駆動スプロケット２および従動スプロケット３（図１参照）と噛み合っており、駆動スプロケット２が回転駆動されることによって動作する。本形態のように、上下２段に配置した回転体５３、７３を備えることで、一方の回転体５３には駆動スプロケット２および従動スプロケット３と噛み合う働きを持たせ、もう一方の回転体７３の外周面にはガイド板４１と接触する働きを持たせることができる。これによって、テンターチェーンは、長期にわたる使用に対する十分な耐久性を有することができる。
【００２９】
ガイド板４１と接触する働きを持つ回転体７３は、図４に示すように、転がり軸受とすることができる。これにより、より小さな駆動力での動作、金属摩耗粉の発生の低減、および動作中の騒音の低減を可能とする。また、駆動スプロケット２および従動スプロケット３と噛み合う働きを有する回転体５３は、転がり軸受である必要はなく、図４に示すように、例えば回転自在に軸支されたローラとすることができる。また、回転体５３の直径は、ガイド板４１と接触する必要はないので、回転体７３の直径よりも小さく、また、内プレート５１ａおよび／または５１ｂの幅以下であってもよい。
【００３０】
外リンクは、内リンクの外側に対向配置された一対の外プレート５４ａ、５４ｂと、外プレート５４ａ、５４ｂを内リンクと連結するために内プレート５１ａ、５１ｂおよびブシュ５２を貫通する２つの連結ピン５５とを有する。外プレート５４ａ、５４ｂも長手方向を有するように形成された部材であり、隣り合う２つの内リンクを連結できる長さを有している。本形態では連結ピン５５はネジ付きピンであり、ワッシャ５６およびナット５７によって、連結ピン５５が外プレート５４ａ、５４ｂから抜けないように保持されている。
【００３１】
一対の外プレート５４ａ、５４ｂのうち上側に位置する一方の外プレート５４ａには、アタッチプレート６３が固定されている。アタッチプレート６３は、外プレート５４ａの長手方向と直角な幅方向においてテンターチェーン５の一方の側に延びるように、外プレート５４ａの片面に取り付けられている。
【００３２】
なお、本実施形態では、図４に示すように、アタッチプレート６３が取り付けられる外プレート５４ａは、アタッチプレート６３を取り付けるための取り付けしろを確保するために、フィルム保持具１００が配置される側に向けて部分的に延長した形状とし、その延長した部分の先端部にアタッチプレート６３が取り付けられている。
【００３３】
アタッチプレート６３の先端には、複数のピン１３０で突き刺すことによってフィルムＦを保持するフィルム保持具１００が固定されている。フィルム保持具１００について詳しくは後述する。
【００３４】
アタッチプレート６３は、フィルム保持具１００を外プレート５４ａの幅方向の一方の側に位置させることができれば任意の形状とすることができる。本形態では、アタッチプレート６３は、フィルム保持具１００が取り付けられる先端部が外プレート５４ａ、５４ｂの対向方向において両者の間に位置して外プレート５４ａ、５４ｂと平行に延びるクランク状の断面形状を有して形成されている。
【００３５】
アタッチプレート６３が固定された外プレート５４ａには、軸部材６０が、その軸方向が外プレート５４ａの幅方向と平行となる向き、言い換えればフィルムＦの搬送面に平行で、かつ、テンターレール４の長手方向と直角な方向に延びる向きで固定されている。軸部材６０は、両端部が他の部位に比べて小径とされた段付きの部材であり、その小径の部位に、回転体として、軸部材６０のラジアル荷重を受ける軸受６１が、軸部材６０を中心に回転自在に配置されている。
【００３６】
軸部材６０の両端部に取り付けられた軸受６１は、これらが一対のガイド板４１の上面に支持されることができるように、２つの軸受６１の間隔が、ガイド部材４１の間隔とほぼ等しく設計されている。軸受６１は、例えばＣワッシャ６２によって、軸部材６０に対する軸方向の位置が固定されている。
【００３７】
軸受６１としては、ラジアル荷重を受けるものであれば、転がり軸受および滑り軸受など任意の軸受を用いることができ、本形態では転がり軸受を用いている。転がり軸受は、外輪、内輪、および外輪と内輪との間に配された複数の転動体（玉）と、転動体を円周方向に離間するスペーサとを有している。内輪は軸部材６０に固定されており、外輪が軸部材６０に対して回転する。
【００３８】
以上のように軸受６１を設けることにより、テンターチェーン５は、軸受６１によって、テンターチェーン５の長手方向に移動可能にテンターレール４上に支持される。
【００３９】
ここで、フィルム保持具１００について、図５および図５Ａ〜５Ｃをさらに参照してより詳細に説明する。
【００４０】
フィルム保持具１００は、ベース部材１１０とピンプレート１２０とを有し、ベース部材１１０がアタッチプレート６３に固定される。アタッチプレート６３へのベース部材１１０の固定方法は任意であるが、メンテナンスの際や従来型のフィルム保持具への交換の際に容易に着脱できるように、ねじにより固定することが好ましい。
【００４１】
ピンプレート１２０には複数のピン１３０が突設されている。これらピン１３０でフィルムＦを突き刺すことによってフィルムＦは幅方向両端部で保持され、さらに、テンターチェーン５を動作させることによって、保持されたフィルムＦが搬送される。
【００４２】
ピンプレート１２０は、テンターチェーン５の移動方向に移動自在に、ベース部材１１０に支持されている。ベース部材１１０にピンプレート１２０を移動自在に支持するために、ベース部材１１０およびピンプレート１２０は、ピンプレート１２０の移動方向に延びた凹部と凸部の組み合わせなど任意のガイド構造を有することができる。
【００４３】
ガイド構造の一つとして、図示したフィルム保持具１００を例に挙げて以下に説明する。本発明では、方向についていうとき、ベース部材１１０に対してピンプレート１２０が移動する方向を「縦方向」、フィルムＦを保持する面内において縦方向に直角な方向を「横方向」、縦方向および横方向に直角な方向を「高さ方向」という。
【００４４】
ピンプレート１２０は、複数のピン１３０が表面に突設された平板部１２１と、平板部１２１の裏面から突出した凸部１２２と、凸部１２２の先端に設けられたアンカー部１２３とを有する。凸部１２２は、平板部１２１の縦方向全体にわたって形成されていてもよいし、一部に形成されていてもよい。アンカー部１２３は、平板部１２１の高さ方向に間隔をあけて平板部１２１と縦方向に平行に配置されている。アンカー部１２３の縦方向の寸法は任意であってよいが、アンカー部１２３の横方向の寸法は、凸部１２２の横方向の寸法よりも大きい。
【００４５】
平板部１２１の表面に突設されるピン１３０の数および配置は、フィルムＦの端部を確実に保持できる数および配置であれば特に限定されず、従来のフィルム保持具と同等の単位面積当たりのピン数および配置とすることができる。また、ピン１３０の直径、角度、形状および材質についても、従来と同等とすることができる。
【００４６】
一方、ベース部材１１０は、アタッチプレート６３（図４参照）に固定されるベースプレート１１１と、ベースプレート１１１の縦方向両端に固定された２つの端プレート１１３と、２つの端プレート１１３の間に配置されて端プレート１１３に固定された２つのリニアガイド１１２と、を有する。
【００４７】
ベースプレート１１１は、平板状の部材であり、好ましくはアタッチプレート６３の固定面の形状に合わせて矩形とされる。リニアガイド１１２は、ベースプレート１１１と同じ縦方向長さを有して縦方向に延びた棒状の部材であり、ベースプレート１１１の高さ方向にベースプレート１１１と間隔をあけて位置し、かつ、２つのリニアガイド１１２同士も互いに横方向に間隔をあけて平行に位置して、その縦方向両端が端プレート１１３に支持されている。リニアガイド１１２同士の間隔は、ピンプレート１２０の凸部１２２が、２つのリニアガイド１１２の間に位置することのできる間隔とされる。さらに、ベースプレート１１１とリニアガイド１１２との間隔は、ピンプレート１２０のアンカー部１２３が、ベースプレート１１１とリニアガイド１１２との間に位置することのできる間隔とされる。リニアガイド１１２の断面形状は任意であるが、矩形であることが好ましい。
【００４８】
ベース部材１１０を以上のように構成することで、ピンプレート１２０は、フィルムの横方向の張力が加わった場合でも、ベース部材１１０から外れることなく、縦方向に移動自在に支持することができる。
【００４９】
フィルム保持具１００は、ピンプレート１２０に外力が作用していない状態において、ピンプレート１２０をベース部材１１０上の所定の場所に位置させるために、コイルばね１４０をさらに有することができる。この目的のため、本形態では、ピンプレート１２０の移動方向両側において、両端がピンプレート１２０と端プレート１１３とに掛けられたコイルばね１４０がそれぞれ２つずつ配置されている。これにより、ピンプレート１２０は、コイルばね１４０以外から外力が作用していない状態では、縦方向においてベース部材１１０に対して定位置に保持される。コイルばね１４０は、引っ張りコイルばねであってもよいし、圧縮コイルばねであってもよい。
【００５０】
コイルばね１４０の材質は特に限定されないが、耐熱鋼やステンレス鋼などを好ましく用いることができ、中でもステンレス鋼をより好ましく用いることができる。
【００５１】
コイルばね１４０のばね定数は、ピンプレート１２０に外力を作用させてピンプレート１２０を移動させた状態から外力を解除したとき、ピンプレート１２０が元の位置に復帰できる程度のばね定数であれば、特に限定されない。具体的な値としては、例えば、０．１〜１５Ｎ／ｍｍ、好ましくは０．２〜７Ｎ／ｍｍとすることができる。このように、コイルばね１４０によってピンプレート１２０を弾性的に支持する場合、ベース部材１１０上でのピンプレート１２０の移動がコイルばね１４０によって妨げられないように、コイルばね１４０のばね定数はできるだけ小さい方が好ましい。
【００５２】
コイルばね１４０の配置について、ピンプレート１２０に外力が作用していない状態でピンプレート１２０を定位置に保持することができれば、ピンプレート１２０の移動方向片側のみにコイルばね１４０を配置してもよい。ただし、ピンプレート１２０の位置決め精度を高めるためには、ピンプレート１２０の移動方向両側にコイルばね１４０を配置することが好ましい。
【００５３】
また、コイルばね１４０の数は、１つでも複数でもよく、特に制限されない。コイルばね１４０の数が１つの場合、コイルばね１４０はピンプレート１２０の移動方向片側のみに配置される。コイルばね１４０の数が複数の場合、コイルばね１４０はピンプレート１２０の移動方向両側に配置してもよいし片側のみに配置してもよい。本形態では、ピンプレート１２０の横方向に２本のコイルばね１４０を並列に配置しているが、これは、ピンプレート１２０の繰り返し動作に伴って、コイルばね１４０の１本が疲労破壊した場合であっても、残りのコイルばね１４０で、ピンプレート１２０を弾性的に支持する機能を発揮できるようにするためである。
【００５４】
本形態では、弾性支持部材としてコイルばね１４０を使用した例を示したが、本発明では、コイルばね１４０に限らず、板ばねやトーションばねなど、ベース部材１１０上でピンプレート１２０をテンターチェーンの移動方向に弾性的に支持し得る任意の弾性支持部材を用いることができる。コイルばね１４０以外の弾性支持部材を用いた場合であっても、弾性支持部材のばね特性、配置および数についての考え方は、上述したコイルばね１４０の場合と同様であってよい。
【００５５】
以上、ピンプレート１２０に外力が作用していない状態においてピンプレート１２０をベース部材１１０に対して定位置に復帰させる弾性支持部材を説明した。しかし、ピンプレート１２０をベース部材１１０に対して定位置に復帰させる手段としては、ばねの弾性力を利用した弾性支持部材に限らず、他の任意の機構を用いることもできる。例えば、ピンプレート１２０の少なくとも一部に常磁性の材料を用い、磁石を利用してピンプレート１２０を定位置へ復帰させるように構成することもできるし、フィルム保持具１００がフィルムを保持する前の位置でテンターレールを高さ方向に傾かせ、重力を利用してピンプレート１２０を定位置へ復帰させるように構成することもできる。
なお、ベース部材１１０に対するピンプレート１２０の位置決めのための他の機構を有している場合は、弾性支持部材は省略することができる。
【００５６】
テンターチェーン５を構成する各部品は、通常のテンターチェーンと同様、ステンレス鋼などで作ることができる。
【００５７】
以上のように、ピンプレート１２０を縦方向に移動自在に支持することで、フィルムＦの搬送中にフィルムＦに縦方向への収縮力が作用すると、その収縮力によって、図６Ａに示すように、縦方向に隣り合うピンプレート１２０間の距離Ｄ１は小さくなる。一方、フィルムＦに縦方向への伸長力が作用すると、その伸長力によって、図６Ｂに示すように、縦方向に隣り合うピンプレート１２０間の距離Ｄ２は大きくなる。その結果、フィルムＦの中央部だけでなく両端部においても、フィルムＦに作用する伸縮力に応じて、ピンプレート１２０の可動範囲でフィルムＦが伸縮できる。よって、ボーイング現象による、配向角の異方性、機械的特性、湿度膨張率、熱膨張率、および熱収縮率の不均一といった様々な不具合が解消され、フィルムＦの物性の等方性を良好に確保することができる。また、このフィルム保持具１００によれば、ボーイング現象を緩和させるために特定の温度条件としたり延伸倍率としたりする必要はなく、所望の温度条件および延伸倍率でフィルムを製造することができる。さらに、フィルム縦方向の伸長応力または収縮応力に応じてピンプレート１２０が縦方向に自在に移動できるので、ピン突き刺し部に過大な応力がかかりにくくなり、ピン突き刺し部でのフィルムの破れが解消され、フィルムの生産性が向上する。
【００５８】
また、ピンプレート１２０は、通常のテンターチェーンが備えるアタッチプレート６３（例えば図４参照）に、従来のピンシートとの交換によって取り付けることができるので、既存の設備の大部分を利用でき、本発明を適用したテンター装置への改造も、最小限の労力で済ませることができる。さらに本発明のフィルム保持具は、逐次延伸用のテンター装置に好適に用いることができる。
【００５９】
図７Ａおよび図７Ｂに、フィルム保持具１００の他の実施形態を示す。本実施形態では、フィルム保持具１００が複数のピンプレート１２０を有する点が、前述したフィルム保持具と異なっている。複数のピンプレート１２０は、ベース部材１１０の縦方向に沿って配置され、それぞれ個別に縦方向に移動自在にベース部材１１０に支持されている。図では２つのピンプレート１２０が配置された例を示しているが、１つのベース部材１１０上に配置されるピンプレート１２０の数は３つ以上でもよい。また、弾性支持部材であるコイルばね１４０は、隣り合う２つのピンプレート１２０の間にも配置されている。ただし、ピンプレート１２０の間のコイルばね１４０は必須ではない。このように複数のピンプレート１２０を配置することで、フィルムＦの横方向両端部でのフィルムＦの伸縮の自由度が向上し、結果的に、ボーイング現象をより良好に抑制することができる。
【００６０】
図８に、フィルム保持具のさらに他の実施形態を示す。図８に示すフィルム保持具２００も、前述した形態と同様、テンターチェーンに固定されるベース部材２１０と、ベース部材２１０にテンターチェーンの移動方向に移動自在に支持され、フィルムに突き刺される複数のピン２３０が突設されたピンプレート２２０とを有する。
【００６１】
ピンプレート２２０の裏面（ピン２３０が突設された面と反対側の面）側には、軸受２４０が回転自在に支持されている。軸受２４０は、ピンプレート２２０の下方に延びて配置されたロッド部材２５０をピンプレート２２０に固定し、このロッド部材２５０の外周面に軸受２４０を装着することで、軸受２４０は、ピンプレート２２０の移動方向に垂直な軸周りに回転自在に支持される。なお、本形態では、ピンプレート２２０がベース部材２１０から外れないようにするために、ベース部材２１０の横方向両側壁は、ピンプレート２２０の横方向両端部を覆うように内側へ延びている。
【００６２】
軸受２４０の外径は、ピンプレート２２０の横方向の寸法よりも大きく、かつ、ベース部材２１０の横方向において互いに対向する側壁面間の距離よりも小さい。これにより、フィルム保持具２００がフィルムを保持した状態で、フィルムの横方向両端部においてフィルムにその縦方向の力が働くと、軸受２４０がベース部材２１０の側壁面上を縦方向に転がり、これによって、図９（ａ）〜（ｃ）に示すように、ピンプレート２２０が縦方向に移動する。このように、ピンプレート２２０に軸受２４０を回転自在に取り付けることで、ピンプレート２２０がよりスムーズに縦方向に移動し、結果的に、ボーイング現象をより良好に抑制することができる。
【００６３】
軸受２４０は、転がり軸受けであってもよいし滑り軸受けであってもよい。ピンプレート２２０のよりスムーズな移動および軸受２４０の耐久性向上のためには、転がり軸受であることが好ましい。また、高温での仕様に特に適合させるためには、軸受２４０は耐熱軸受であることが好ましい。耐熱軸受としては、固体潤滑剤で潤滑される軸受が挙げられる。固体潤滑剤で潤滑される軸受２４０を使用することにより、潤滑油を用いる必要がなくなるので、高温環境下での使用に適したフィルム保持具２００とすることができる。
【００６４】
このことは、フィルム保持具２００がテンター装置に使用される場合、そのテンター装置に使用されるすべての軸受についてもいうことができる。すなわち、テンター装置に使用されるすべての軸受を、固体潤滑剤で潤滑される軸受とすることで、高温環境下での使用に適したテンター装置とすることができる。
【００６５】
１つのピンプレート当たりに使用される軸受２４０の数は、図８に示すように１つであってもよいし、図８Ａに示すように２つであってもよい。さらには、３つ以上の軸受を備えていてもよい。また、本形態のフィルム保持具２００においても、ピンプレート２２０に外力が作用していない状態でピンプレート２２０を定位置に復帰させるための機構をさらに有することができる。ピンプレート２２０を定位置に復帰させるための機構としては、例えば、前述した形態で述べたのと同様、図５に示したコイルばね１４０、他の種類のばねなどの弾性支持部材、磁力を利用してピンプレート２２０を定位置へ復帰させる構成、あるいは重力を利用してピンプレート２２０を定位置へ復帰させる構成などが挙げられる。本形態においても、例えば図７Ａ、７Ｂを用いて説明した形態と同様に、２つまたはそれ以上のピンプレートを有することができる。
【００６６】
再び図２〜４を参照すると、テンターチェーン５は、連結ピン５５の軸方向を鉛直方向に向け、アタッチプレート６３が固定された外プレート５４ａを上側とした姿勢で使用される。そして各テンターチェーン５は、フィルム保持具１００が外向きとなるように無端状とされて、駆動スプロケット２および従動スプロケット３に噛み合わせられる。また、各テンターチェーン５は、テンターレール４が設置された領域では、軸受６１によってガイド板４１の上面に支持されており、ローラ５３はガイド板４１の間に位置している。
【００６７】
上記のように一対のテンターチェーン５を設置することにより、一対のテンターチェーン５の互いに向き合った領域では、フィルム保持具１００が互いに内側を向いている。テンターチェーン５の間隔を、フィルムＦの幅に合わせて適宜設定すれば、対向するフィルム保持具１００のピン１３０でフィルムＦを突き刺すことにより、フィルムＦの両縁部を把持することができる。
【００６８】
フィルムＦの両縁部を把持した状態で駆動スプロケット２を駆動すると、テンターチェーン５が移動し、これによってフィルムＦが搬送される。また、アタッチプレート６３の長さや折り曲げ角度を調整することにより、フィルムＦの把持面の高さを制御することができる。
【００６９】
テンターチェーン５は、軸受６１がガイド板４１上を回転することによって移動する。内リンクおよび外リンクはガイド板４１の間に位置しており、これによってテンターチェーン５の横方向の位置が規制されるので、テンターチェーン５はテンターレール４に沿って移動する。ガイド板４１の上面は、軸受６１と接して軸受６１の回転を阻害しない構造であれば良く、軸受６１に対して摩擦が小さいことが好ましい。そのためには、ガイド板４１の上面は、平坦もしくは平滑であることが好ましい。また、ガイド板４１の上面は、軸受６１との摩擦を小さくする表面加工が施されていてもよい。
【００７０】
＜ポリイミドフィルム＞
本発明を用いて製造することができるポリイミドフィルムは、ポリイミド前駆体の有機溶媒溶液をベルトまたはドラムなどの支持体上にキャストし、自己支持性フィルムとする第１工程と、この自己支持性フィルムを、本発明のフィルム保持具を設置したテンター装置で保持しながら、イミド化および／または熱処理などを目的として加熱する第２工程とを有する製造方法によって連続的に製造されるポリイミドフィルムである。なお、熱イミド化、化学イミド化、または熱イミド化と化学イミド化とを併用した方法で製造したポリイミドフィルムも含む。
【００７１】
第２工程においては、第１工程で製造した自己支持性フィルムを、加熱処理（熱キュア）して目的のポリイミドフィルムとする。本発明では、加熱処理の際に前述のテンター装置により、自己支持性フィルムの幅方向の両端部を保持しながら加熱する。
【００７２】
第２工程で用いられるテンター装置は、前述した装置が好ましい。前述したピン式テンター装置の場合、自己支持性フィルムの両端が、複数のピンに突き刺されて保持される。そして、フィルムを保持したテンター装置が、所定温度の加熱ゾーンの中を、所定の速度で移動することで、フィルムが搬送され、その間にフィルムが熱処理されてイミド化が進行し、最終的にポリイミドフィルムが得られる。
【００７３】
第２工程では、最高温度が、２００〜６００℃の範囲、好ましくは３５０〜５５０℃範囲、特に好ましくは３００〜５００℃の範囲となるような条件で、例えば約０．０５〜５時間で徐々に加熱されることが好ましい。好ましくは、最終的に得られるポリイミドフィルムの有機溶媒および生成水等からなる揮発物の含有量が１重量％以下になるように、自己支持性フィルムから有機溶媒などを十分に除去するとともに、前記フィルムを構成しているポリマーのイミド化を十分に行う。
【００７４】
第２工程では、加熱炉内のテンター搬送速度が１〜１５ｍ／ｍｉｎ、好ましくは２〜８ｍ／ｍｉｎで加熱処理を行う。
【００７５】
本発明において、テンター装置のレール間隔調整により、横方向のフィルム保持具間隔を拡げることで、フィルムを横方向に延伸することができる。
【００７６】
上記の加熱処理は、熱風炉、赤外線加熱炉などの公知の種々の加熱装置を使用して行うことができる。フィルムの初期加熱温度、中間加熱温度および／または最終加熱温度などの加熱処理は、窒素、アルゴンなどの不活性ガスや、空気などの加熱ガス雰囲気下で行うことが好ましい。
【００７７】
上記製造方法により製造されるポリイミドフィルムの幅は、特に限定されるものではないが、０．５〜２ｍが好ましい。製造されたポリイミドフィルムの厚みは、適宜選択することができ、特に限定されるものではないが、５〜１５０μｍ、好ましくは８〜５０μｍである。
【００７８】
テンター装置としては、前述し、図に示した装置を好ましく使用することができる。第１工程における自己支持性フィルムの詳細、第２工程における熱処理の条件は、前述のとおりである。
【００７９】
以上、本発明について好ましい実施形態を挙げて説明した。本発明は上述した実施形態に限られるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意の変更が可能である。
【００８０】
例えば、ピンプレートがベース部材に対して移動する際の、ベース部材およびベース部材が接触する他の部材の少なくとも一方、好ましくは両者の互いの摺動面に二硫化モリブデンまたは二硫化タングステン、好ましくは二硫化タングステンをコーティングすることが好ましい。これにより、ピンプレートが移動する際の摺動摩擦抵抗を低減させ、ピンプレートをよりスムーズに移動させることができる。ここで、「他の部材」とは、ピンプレートそのもの、あるいはピンプレートに取り付けられた部材、すなわち、前述した形態で具体的に示すと、図８に示した例における軸受２４０などである。「ベース部材およびベース部材が接触する他の部材の摺動面」とは、前述した形態でいえば、図５Ｂに示した例におけるリニアガイド１１２の表面およびピンプレート１２０の裏面、図８、８Ａに示した例におけるベース部材２１０の内側底面、およびベース部材２１０に接する軸受２４０の内外輪の側面をいう。
【００８１】
また、ピンの形状は本発明において特に限定されるものではなく、フィルムに突き刺すことができるものであれば任意の形状であってよい。ただし、フィルムを突き刺した際にフィルムに破れの起点となるバリがフィルムに生じた場合、そのバリの方向によってはバリを起点としたフィルム破れが進行し、フィルムが適切に張られた状態を維持できなくなるおそれがある。そこで、図１０Ａ、１０Ｂに示すような、ランセットポイント型の注射針をピン３３０として用いることが好ましい。ランセットポイント型とは、先端部を斜めに切除することで形成された先端面のさらに先端部を斜めに切除した形状である。
【００８２】
ランセットポイント型のピン３３０を使用することで、フィルムを突き刺したときのフィルムの破れを抑制することができる。ピン３３０をランセットポイント型とした場合、ピン３３０の軸方向に対する１段階目の切除角である第１角θ１は、１２°±１°であることが好ましく、２段階目の切除角である第２角θ２は、２１°±２°であることが好ましい。
【００８３】
ベース部材に対するピンプレートの縦方向への移動範囲は任意であってよいが、ベース部材上で安定して動作させるためには好ましい範囲が存在する。例えば図９に示すフィルム保持具２００において、ピンプレート２２０の縦方向の長さをＬｐ、ある任意の位置（例えば図９の（ａ）に示す位置）から、縦方向両方向へのピンプレート２２０の移動可能な距離をそれぞれＭ１、Ｍ２（それぞれ図９の（ｂ）および（ｃ）参照）とすると、ピンプレート２２０の可動域Ｍｔは、
Ｍｔ＝Ｌｐ＋Ｍ１＋Ｍ２
で表される。
【００８４】
この可動域Ｍｔをピンプレート長さＬｐで除した値、すなわちＭｔ／Ｌｐをピンプレート可動率としたとき、このピンプレート可動率は、１．０５以上であることが好ましい。例えばポリイミドフィルムを製造するに際して、縦方向に延伸した後、従来のテンター装置を用いて横方向に延伸する場合、通常は５％程度のボーイング歪みが発生すると見込まれる。よって、ピンプレート可動率を１．０５以上とすることで、ボーイング歪みをより効果的に防止できる。一方、ピンプレート可動率が大きすぎると、縦方向に隣接するピンプレートとの干渉が懸念される。ピンプレート同士が干渉しないようにするためには、縦方向に隣接するピンプレートの間隔を従来よりも大きくしなければならないが、このことは、縦方向でのフィルムの弛みの原因になり、好ましくない。よって、ピンプレート可動率を１．８０以下とすることで、縦方向でのピンプレートの間隔を適切に配置しつつ、ピンプレート同士の干渉を防止できる。ここでは軸受可動式のフィルム保持具２００を例に挙げて説明したが、図５等に示した摺動可動式のフィルム保持具１００においても同様である。
【００８５】
本発明者らは、縦方向および横方向にフィルムを逐次延伸する場合において、本発明によるフィルム保持具を横方向の延伸工程に用いることによるボーイング低減効果を確認する実験を行った。以下、その実験結果について説明する。
【００８６】
［ポリイミドフィルムの調製および縦延伸］
溶媒としてＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミドを用いて、ジアミン成分としてのｐ−フェニレンジアミン（ＰＰＤ）と、酸成分としての３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物（ｓ−ＢＰＤＡ）とを重合反応させて、ポリアミック酸溶液（ポリイミド前駆体溶液）を得た。得られたポリアミック酸溶液を支持体（ステンレス板）上に流延し、加熱することにより部分イミド化された自己支持性フィルムを得た。この自己支持性フィルムを国際公開第２０１１／１２５６６２号に示すような縦方向延伸装置を用い、１２０℃にて縦方向に７％延伸を行い、縦方向延伸自己支持性フィルムを得た。
【００８７】
ここで用いた縦方向延伸装置は、詳細には、以下に示す構成を有していた。すなわち、延伸装置は、フィルムを送り出すための送り出し機構と、送り出し機構から送り出されたフィルムを、送り出し機構から送り出されるフィルムの速度よりも速い速度で引き取る引き取り機構と、送り出し機構と引き取り機構との間でフィルムの幅（ＴＤ）方向両端部配置された２組のフィルム押さえユニットと、を有する。ここで、フィルム押さえユニットは、フィルムの搬送経路の上方に、フィルムの搬送（ＭＤ）方向に間隔をあけて並列に配置された複数の上押さえローラと、これら複数の上押さえローラと協働してフィルムを上下から挟むようにフィルムの搬送経路の下方に上押さえローラと対向配置された複数の下押さえローラと、を有する。さらに、上押さえローラおよび下押さえローラは、回転軸をフィルムのＭＤ方向下流側に向かってフィルムのＴＤ方向外側に傾いて回転自在に支持されており、フィルムのＭＤ方向について複数の上押さえローラのそれぞれがフィルムを押さえ付ける範囲を考えたとき、フィルムのＭＤ方向に隣接する２つの範囲が互いに接しているかまたは部分的に重なるように、上押さえローラの長さ、間隔およびフィルムのＴＤ方向に対する回転軸の傾き角度が設定されている。
【００８８】
［ボーイング評価］
図１１に示すように、得られた自己支持性フィルム４００の横方向両端を、縦方向に移動自在に支持されたピンプレートを備えたフィルム保持具を治具３００に取り付けた。自己支持性フィルム４００の保持は、ピンプレートに設けられた複数のピンで自己支持性フィルム４００を突き刺すことによって行った。ピンプレートは、ベース部材に相当するガイド部材に沿って縦方向に移動できるように、横方向片側に３つずつ直列に配置した。ピンプレート２２０には、複数のピンが横方向に３列に配列されていた。
【００８９】
フィルム保持具は、下記の４種類を用意し、それぞれについてボーイングの評価を行った。
【００９０】
実験例１：軸受式（２個；例えば図８Ａ参照）
上面が開放したケース型のベース部材２１０内に２つの軸受２４０（株式会社南海精工所製グリスレスベアリング、型式：SS6900ZZ、外径２２ｍｍ×内径１０ｍｍ×厚み６ｍｍ）を組み込み、その上にピンプレート２２０（長さ７０ｍｍ×幅２０ｍｍ×厚み３ｍｍ）を所定の位置に置き、ピンプレート２２０と軸受２４０とをネジで固定した。ベース部材２１０と軸受２４０との摺動面には、摺動摩擦を低減させるため、二硫化タングステンをコーティングした。ピンプレート２２０の可動率は１．３９であった。
【００９１】
実験例２：軸受式（１個；例えば図８参照）
ベース部材２１０内に組み込んだ軸受２４０の数を１個としたこと以外は実験例１と同様にフィルム保持具を構成した。ピンプレート２２０の可動率は１．６８であった。
【００９２】
実験例３：摺動式（例えば図５、図７Ａ、Ｂ参照）
図７Ａ、７Ｂに示すような、２つのピンプレート１２０を有するフィルム保持具１００を用いた。各ピンプレート１２０のサイズは、長さ３０ｍｍ×幅２４ｍｍ×厚み３ｍｍであった。ピンプレート１２０の可動率は１．５５であった。
【００９３】
対照例１：固定式ピンプレート
上記実験例１〜３との比較のため、固定式のピンプレートを取り付けた治具を用いて同様の評価を行った。ピンプレートのサイズは、長さ９５ｍｍ×幅２０ｍｍ×厚み３ｍｍであった。ピンプレートは固定式であるため、その可動率は１．００であった。
【００９４】
自己支持性フィルム４００を治具に保持した後、図１１に示すように、自己支持性フィルム４００にその横方向と平行な標線１〜３を描いた。その後、自己支持性フィルム４００を治具ごと加熱オーブンに入れ、１８０℃まで昇温させた後、横方向にゆっくりと１０％延伸した。延伸後、加熱オーブン内を５００℃まで昇温させて熱キュアし、ポリイミドフィルムを得た。これを２枚の自己支持性フィルム４００に対して実施し、得られたポリイミドフィルムの標線１〜３からボーイング歪みをそれぞれ図１２に示す計算式で算出し、その平均値で示した。また、得られたポリイミドフィルムの平面性を目視で評価した。
【００９５】
さらに、幾何学的なボーイングと物性値のボーイングを確認するため、標線１近傍において、ポリイミドフィルムの横方向の両端部および中央部から試料を採取し、全方位線膨張係数（ＣＴＥ）を測定した。試料は、図１３に示すように、フィルムの左端部（Ｌ）、中央部（Ｃ）および右端部（Ｒ）の各位置で、フィルムを０°、４５°、９０°、１３５°の角度でそれぞれ切り出した。線膨張係数は、熱機械的分析装置（メーカー：セイコーインスツル株式会社、型式：ＴＭＡ／ＳＳ６１００）を使用して、試料に３９．２Ｎの荷重をかけながら、２０℃／分の速度で昇温したときの５０〜２００℃の平均線膨張係数を測定した。ＣＴＥ異方性は、全方位ＣＴＥの傾き角度（°）で示しており、傾き角度が小さいほど、分子配光異方性が小さい。
【００９６】
実験例１〜３および対照例１についての、ボーイング歪み、平面性およびＣＴＥを表１に示す。また、実験例１、２および対照例１についてフィルムの左端部（Ｌ）および中央部（Ｃ）でのＣＴＥレーダーチャートを図１４Ａ〜Ｆに示す。
【００９７】
【表１】
2015033755.tif 000003
【００９８】
以上の実験例１〜３および対照例１の結果より、可動式のピンプレートを用いることで、固定式のピンプレートに比べてフィルム端部の拘束力とフィルム中央部の拘束力の差が小さくなり、ボーイング歪みおよびフィルム端部の分子配向異方性が大幅に低減できることが確認された。その結果、横方向の物性が均一なポリイミドフィルムを得ることができるので、製品の歩留まりが向上する・また、可動式のピンプレートを用いることで、固定式のピンプレートに比べて良好な平面性を有するポリイミドフィルムを得ることができた。
【符号の説明】
【００９９】
１    テンター装置
２    駆動スプロケット
３    従動スプロケット
４    テンターレール
５    テンターチェーン
４１    ガイド板
５１ａ、５１ｂ    内プレート
５２    ブシュ
５３、７３    回転体
５４ａ、５４ｂ    外プレート
５５    連結ピン
６０    軸部材
６１    軸受
６２    Ｃワッシャ
６３    アタッチプレート
１００、２００    フィルム保持具
１１０、２１０    ベース部材
１２０、２２０    ピンプレート
１３０、２３０    ピン
１４０    コイルばね
２４０    軸受
２５０    ロッド部材
３３０    （ランセットポイント型の）ピン
【図１】
2015033755.tif 000004
【図２】
2015033755.tif 000005
【図３】
2015033755.tif 000006
【図４】
2015033755.tif 000007
【図５】
2015033755.tif 000008
【図５Ａ】
2015033755.tif 000009
【図５Ｂ】
2015033755.tif 000010
【図５Ｃ】
2015033755.tif 000011
【図６Ａ】
2015033755.tif 000012
【図６Ｂ】
2015033755.tif 000013
【図７Ａ】
2015033755.tif 000014
【図７Ｂ】
2015033755.tif 000015
【図８】
2015033755.tif 000016
【図８Ａ】
2015033755.tif 000017
【図９】
2015033755.tif 000018
【図１０Ａ】
2015033755.tif 000019
【図１０Ｂ】
2015033755.tif 000020
【図１１】
2015033755.tif 000021
【図１２】
2015033755.tif 000022
【図１３】
2015033755.tif 000023
【図１４Ａ】
2015033755.tif 000024
【図１４Ｂ】
2015033755.tif 000025
【図１４Ｃ】
2015033755.tif 000026
【図１４Ｄ】
2015033755.tif 000027
【図１４Ｅ】
2015033755.tif 000028
【図１４Ｆ】
2015033755.tif 000029
【国際調査報告】
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2015033755.tif 000031
2015033755.tif 000032
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