(57)【要約】  ヘッド５は、接着剤６７を介して積層された複数のプレート（３３、３５及び３７）によって構成され、複数のプレートそれぞれに形成された貫通孔（３９、４９、５１、５３及び５５）同士が連通されることによってインクの流路（３９、４１、４３、４５及び４７）が構成された流路部材２３を有している。複数のプレートは、樹脂プレート３７と、複数の金属プレート３５とを有している。樹脂プレート３７は、接着剤６７の逃がし溝６９を有さない。複数の金属プレート３５は、樹脂プレート３７に貼り合わされ、樹脂プレート３７側に接着剤６７の逃がし溝６９を有する第８金属プレート３５Ｈ及び／又は第９金属プレート３５Ｉを含む。
2016067880.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤を介して積層された複数のプレートによって構成されており、前記複数のプレートそれぞれに設けられている、貫通孔あるいは溝同士が連通することによってインクの流路が構成されている流路部材を有するインクジェットヘッドであって、
前記複数のプレートは、樹脂プレートと、複数の金属プレートとを有しており、
前記樹脂プレートは、前記接着剤の逃がし溝を有さず、
前記複数の金属プレートは、前記樹脂プレートに貼り合わされており、前記樹脂プレート側に前記接着剤の逃がし溝を有する金属プレートを含む
インクジェットヘッド。
【請求項２】
前記複数の金属プレートは、
前記樹脂プレートの一方の面に貼り合わされており、前記樹脂プレート側に前記接着剤の逃がし溝を有する金属プレートと、
前記樹脂プレートの他方の面に貼り合わされており、前記樹脂プレート側に前記接着剤の逃がし溝を有する金属プレートと、を含む
請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記複数の金属プレートは、
前記樹脂プレートの一方の面に順に積層されており、それぞれ前記樹脂プレート側にのみ前記接着剤の逃がし溝を有する１以上の金属プレートと、
前記樹脂プレートの他方の面に順に積層されており、それぞれ前記樹脂プレート側にのみ前記接着剤の逃がし溝を有する１以上の金属プレートと、を含む
請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記複数のプレートは、ノズルを有するノズルプレートを含み、
前記複数の金属プレートは、
前記樹脂プレートの前記ノズルプレート側の面に順に積層され、それぞれ前記樹脂プレート側にのみ前記接着剤の逃がし溝を有する１以上の金属プレートからなる第２部分と、
前記第２部分の前記ノズルプレート側の面に順に積層され、それぞれ両面に前記接着剤の逃がし溝を有する１以上の金属プレートからなる第１部分と、
前記第１部分の前記ノズルプレート側の面に順に積層され、それぞれ前記ノズルプレート側にのみ前記接着剤の逃がし溝を有する１以上の金属プレートからなる第３部分と、を含み、
前記ノズルプレートは、前記第３部分の前記ノズルプレート側の面に貼り合わされており、前記接着剤の逃がし溝を有していない
請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記複数のプレートは、ノズルを有するノズルプレートを含んでおり、
該ノズルプレートと前記樹脂プレートとの間には、前記接着剤の逃がし溝を両面に有する前記金属プレートからなる第１部分が積層されており、
前記第１部分と前記樹脂プレートとの間には、前記金属プレートが積層されていないか、積層されている場合、前記第１部分と前記樹脂プレートとの間に積層されている前記金属プレートは、前記樹脂プレート側にのみ前記接着剤の逃がし溝を有しており、
前記第１部分と前記ノズルプレートとの間には、前記金属プレートが積層されていないか、積層されている場合、前記第１部分と前記ノズルプレートとの間に積層されている前記金属プレートは、前記ノズルプレート側にのみ前記接着剤の逃がし溝を有しており、
前記ノズルプレートは、前記接着剤の逃がし溝を有していない
請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記第１部分の金属プレートにおいて、前記樹脂プレート側の逃がし溝と、前記ノズルプレート側の逃がし溝とは重なっていない
請求項４又は５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに対してメディアを搬送する搬送装置と、
を有したプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド、及び、インクジェットヘッドを有するプリンタに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドは、インクの流路が形成された流路部材を有している。この流路部材として、複数のプレートを積層して構成されたものが知られている（例えば特許文献１〜３）。各プレートには、貫通孔が形成されており、この貫通孔が互いに連通されることによって、インクの流路が構成される。複数のプレートは、一般には、金属プレートによって構成され、プレート間に介在する接着剤によって互いに固定される。【０００３】
特許文献１では、余剰な接着剤がインクの流路に流れ込むことを低減するために、各プレートの表面に接着剤の逃がし溝（凹部）を形成する技術を開示している。特許文献２及び３では、複数のプレートとして、基本的に金属プレートを用いつつ、所定のプレートに樹脂プレートを用いる技術を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２６４１１３号公報
【特許文献２】特開２００９−１７８８４４号公報
【特許文献３】特開２００９−２０２４５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
画質を向上させるためには、流路部材が精度よく形成されることが好ましい。一方、流路部材を精度よく形成するとなれば、コストは増大する。特許文献１〜３では、逃がし溝と、プレートの材料（金属又は樹脂）との組み合わせが流路部材の精度及びコストに及ぼす影響については言及されていない。【０００６】
従って、安価且つ高精度に接着剤の逃がし溝を形成可能なインクジェットヘッド及びプリンタが提供されることが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係るインクジェットヘッドは、接着剤を介して積層された複数のプレートによって構成されており、前記複数のプレートそれぞれに設けられている、貫通孔あるいは溝同士が連通することによってインクの流路が構成されている流路部材を有するインクジェットヘッドであって、前記複数のプレートは、樹脂プレートと、複数の金属プレートとを有しており、前記樹脂プレートは、前記接着剤の逃がし溝を有さず、前記複数の金属プレートは、前記樹脂プレートに貼り合わされており、前記樹脂プレート側に前記接着剤の逃がし溝を有する金属プレートを含む。【０００８】
好適には、前記複数の金属プレートは、前記樹脂プレートの一方の面に貼り合わされており、前記樹脂プレート側に前記接着剤の逃がし溝を有する金属プレートと、前記樹脂プレートの他方の面に貼り合わされており、前記樹脂プレート側に前記接着剤の逃がし溝を有する金属プレートと、を含む。【０００９】
好適には、前記複数の金属プレートは、前記樹脂プレートの一方の面に順に積層されており、それぞれ前記樹脂プレート側にのみ前記接着剤の逃がし溝を有する１以上の金属プレートと、前記樹脂プレートの他方の面に順に積層されており、それぞれ前記樹脂プレート側にのみ前記接着剤の逃がし溝を有する１以上の金属プレートと、を含む。【００１０】
好適には、前記複数のプレートは、ノズルを有するノズルプレートを含んでおり、該ノズルプレートと前記樹脂プレートとの間には、前記接着剤の逃がし溝を両面に有する前記金属プレートからなる第１部分が積層されており、前記第１部分と前記樹脂プレートとの間には、前記金属プレートが積層されていないか、積層されている場合、前記第１部分と前記樹脂プレートとの間に積層されている前記金属プレートは、前記樹脂プレート側にのみ前記接着剤の逃がし溝を有しており、前記第１部分と前記ノズルプレートとの間には、前記金属プレートが積層されていないか、積層されている場合、前記第１部分と前記ノズルプレートとの間に積層されている前記金属プレートは、前記ノズルプレート側にのみ前記接着剤の逃がし溝を有しており、前記ノズルプレートは、前記接着剤の逃がし溝を有していない。【００１１】
好適には、前記第１部分の金属プレートにおいて、前記樹脂プレート側の逃がし溝と、前記ノズルプレート側の逃がし溝とは重なっていない。【００１２】
本発明の一態様に係るプリンタは、前記インクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドに対してメディアを搬送する搬送装置と、を有している。
【発明の効果】
【００１３】
上記の構成によれば、安価且つ高精度に接着剤の逃がし溝を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係るプリンタの要部を模式的に示す斜視図。
【図２】図１のプリンタのインクジェットヘッドの要部を模式的に示す分解斜視図。
【図３】図２のインクジェットヘッドの流路部材を模式的に示す分解斜視図。
【図４】図２のIV−IV線における断面図。
【図５】図５（ａ）〜図５（ｃ）は図４に示すプレートの平面図の例。
【図６】図６（ａ）及び図６（ｂ）は図４に示すプレートの平面図の他の例。
【図７】図７（ａ）及び図７（ｂ）は図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すプレートの、より広い範囲の平面図。
【図８】図８（ａ）〜図８（ｄ）は流路部材の製造方法を説明するための模式的な断面図。
【図９】変形例に係る流路部材の一部を示す断面図。
【図１０】他の変形例に係る流路部材の一部を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（プリンタの概略構成）
図１は、本発明の実施形態に係るプリンタ１の要部を模式的に示す斜視図である。
【００１６】
プリンタ１は、インクジェットプリンタである。より具体的には、例えば、プリンタ１は、ピエゾヘッド式、シリアルヘッド式、且つ、オフキャリッジ式のカラープリンタとされている。なお、プリンタ１は、適宜な数の色のインクでカラーの画像を実現してよいが、本実施形態では、４色（ブラック、イエロー、マゼンタ及びシアン）のインクによってカラー画像を実現する。
【００１７】
プリンタ１は、例えば、メディア（例えば紙）１０１を矢印ｙ１で示す搬送方向（ｙ方向）へ搬送する搬送装置３と、搬送されているメディア１０１（ｚ方向負側）に向けてインク滴を吐出するヘッド５と、ヘッド５をメディア１０１の搬送方向に直交する移動方向（矢印ｙ２、ｘ方向）において往復移動させる移動装置７と、ヘッド５にインクを供給するインクカートリッジ９と、ヘッド５からのインクの吐出動作を含むプリンタ１の動作を制御する制御部１１とを有している。
【００１８】
ヘッド５からメディア１０１へのインク滴の吐出が、ｙ方向に広がった範囲で繰り返し行われつつ、移動装置７によるヘッド５の往復移動が行われることにより、メディア１０１には帯状の２次元画像が形成される。更に、搬送装置３によってメディア１０１が間欠的に搬送されることで、メディア１０１には、帯状の２次元画像が繋がって連続的な２次元画像が形成される。
【００１９】
搬送装置３は、例えば、不図示の供給スタックに積層された複数のメディア１０１を一ずつ不図示の排出スタックへ搬送する。搬送装置３は、公知の適宜な構成とされてよい。図１では、搬送経路がストレートパスとされ、メディア１０１に当接するローラ１３と、ローラ１３を回転させるモータ１５と、モータ１５に駆動電力を付与するドライバ１７とを有する搬送装置３が例示されている。
【００２０】
移動装置７は、公知の適宜な構成とされてよい。例えば、移動装置７は、不図示のキャリッジを移動方向に案内可能に支持する不図示のガイドレールと、キャリッジに固定された不図示のベルトと、当該ベルトが掛け渡された不図示のプーリと、当該プーリを回転させるモータ１９と、モータ１９に駆動電力を付与するドライバ２１とを有している。
【００２１】
インクカートリッジ９は、ヘッド５とは別の場所に（ヘッド５と共に移動しないように）設置されている。インクカートリッジ９は、可撓性のチューブを介してヘッド５と接続されている。インクカートリッジ９は、ヘッド５が吐出するインクの色の数に対応して複数（本実施形態では４つ）設けられている。
【００２２】
制御部１１は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ及び外部記憶装置を含んで構成されている。制御部１１は、搬送装置３のドライバ１７、移動装置７のドライバ２１及びヘッド５のドライバ（後述）に制御信号を出力し、搬送装置３、移動装置７及びヘッド５の動作を制御する。
【００２３】
（ヘッドの基本構成）
図２は、ヘッド５の一部を示す分解斜視図である。なお、図２の紙面下方（ｚ方向の負側）がメディア１０１側である。
【００２４】
ヘッド５は、インクの流路を構成する流路部材２３と、流路部材２３からインクを吐出させるための駆動力を生じる圧電アクチュエータ２５と、圧電アクチュエータ２５に電気的に接続されたＦＰＣ（フレキシブル配線基板）２７と、ＦＰＣ２７を介して圧電アクチュエータ２５を駆動制御するドライバＩＣ２９とを有している。
【００２５】
流路部材２３は、例えば、概略、薄型の直方体状に形成されており、メディア１０１に対向する第１主面２３ａ及びその背面の第２主面２３ｂを有している。第１主面２３ａには、インク滴を吐出するために、後述する複数のノズルが開口している。また、第２主面２３ｂの端部には、インクが供給されるインク供給口３１が色毎に形成されている。
【００２６】
圧電アクチュエータ２５は、例えば、概略、薄型の直方体状に形成されており、流路部材２３の第２主面２３ｂに重ねられる。圧電アクチュエータ２５は、例えば、第２主面２３ｂの大部分（複数のインク供給口３１の配置領域を除く部分）を覆う大きさに形成されている。
【００２７】
ＦＰＣ２７は、例えば、圧電アクチュエータ２５を覆う対向部２７ａと、当該部分から圧電アクチュエータ２５の外方へ延び出る延在部２７ｂとを有している。なお、延在部２７ｂは、ｘ方向及びｙ方向のいずれの方向に延び出てもよい。
【００２８】
ドライバＩＣ２９は、例えば、延在部２７ｂに実装され、また、ＦＰＣ２７の主面のうち対向部２７ａにおいて圧電アクチュエータ２５に対向する主面に実装されている。なお、ドライバＩＣ２９は、ＦＰＣ２７が折り曲げられることによって適宜な位置に配置されてよい。また、ＦＰＣ２７に延在部が２つ設けられ、その２つの延在部それぞれにドライバＩＣ２９（合計２つのドライバＩＣ２９）が設けられてもよい。
【００２９】
図３は、流路部材２３の分解斜視図である。
【００３０】
流路部材２３は、複数のプレートが積層されることによって構成されている。例えば、流路部材２３は、メディア１０１に対向する側（ｚ方向負側）から順に、ノズルプレート３３、第１金属プレート３５Ａ〜第８金属プレート３５Ｈ、樹脂プレート３７及び第９金属プレート３５Ｉを有している。なお、以下では、第１金属プレート３５Ａ〜第９金属プレート３５Ｉを区別せずに、「金属プレート３５」ということがある。
【００３１】
これらの複数のプレートのそれぞれには、貫通孔（４９、５３等）が設けられており、その貫通孔が互いに連通することによって、流路部材２３の内部にはインクの流路が構成されている。流路は、複数のプレートに設けられている、プレートを貫通していない溝を含んで構成されてもよい。なお、上述したインク供給口３１（インクの流路の一部）は、第５金属プレート３５Ｅ〜第９金属プレート３５Ｉ及び樹脂プレート３７に形成された貫通孔によって構成されている。
【００３２】
金属プレート３５の材料は、適宜な種類の金属とされてよい。例えば、金属は、ステンレス鋼である。同様に、樹脂プレート３７の材料は、適宜な種類の樹脂とされてよい。例えば、樹脂は、ポリイミド樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂である。ノズルプレート３３は、金属プレートであってもよいし、樹脂プレートであってもよい。
【００３３】
図４は、図２のIV−IV線における断面図である。
【００３４】
流路部材２３は、インクの流路として、例えば、インクが吐出される複数のノズル３９（図３も参照）と、複数のディセンダ４１を介して複数のノズル３９に通じ、吐出のための圧力をインクに付与するための複数の圧力室４３（図２及び図３も参照）と、複数の連通路４５を介して複数の圧力室４３にインクを供給する共通流路４７（図３も参照）とを有している。
【００３５】
ノズル３９から連通路４５までの流路は、いわゆる個別流路であり、画像の１ドットに対応し、例えば、図２及び図３に示すように、色毎に１〜４列（図２及び図３では２列）でｙ方向に配列されている。共通流路４７は、色毎に設けられ、例えば、上記の個別流路の配列方向（ｙ方向）に延びている。
【００３６】
図４に戻って、ノズル３９は、第１主面２３ａに開口している。ディセンダ４１は、例えば、ノズル３９から第２主面２３ｂ側へ若干傾斜しながら延び、圧力室４３の端部に接続されている。圧力室４３は、例えば、第２主面２３ｂに開口する比較的浅い凹状に形成されており、その平面視の面積は、ディセンダ４１及び連通路４５の断面積よりも大きい。連通路４５は、例えば、圧力室４３に対してディセンダ４１とは反対側に接続され、圧力室４３から概略第１主面２３ａ側へ延びている。連通路４５は、例えば、その断面積が狭くされたしぼり４５ａを含んでいる。共通流路４７は、例えば、複数の圧力室４３に対して第１主面２３ａ側に位置している。
【００３７】
なお、これら流路の具体的形状は適宜に設定されよい。例えば、圧力室４３の平面形状は、短辺の中央にディセンダ４１及び連通路４５が接続される概ね矩形であってもよいし、角部にディセンダ４１及び連通路４５が接続される菱形であってもよいし、半円状の端部にディセンダ４１及び連通路４５が接続される長円乃至は楕円であってもよい。なお、以下では、平面形状が矩形の圧力室４３を例にとって説明する。
【００３８】
複数のノズル３９は、例えば、ノズルプレート３３に設けられた貫通孔により構成されている。ディセンダ４１は、例えば、第１金属プレート３５Ａ〜第８金属プレート３５Ｈに形成された複数のディセンダ用孔４９が連通されて構成されている。圧力室４３は、例えば、樹脂プレート３７及び第９金属プレート３５Ｉに形成された圧力室用孔５１が連通されて構成されている。連通路４５は、例えば、第５金属プレート３５Ｅ〜第８金属プレート３５Ｈに形成された複数の連通路用孔５３が連通されて構成されている。共通流路４７は、例えば、第２金属プレート３５Ｂ〜第４金属プレート３５Ｄに形成された複数の共通流路用孔５５が連通されて構成されている。
【００３９】
圧電アクチュエータ２５は、例えば、ユニモルフ型の圧電アクチュエータ基板により構成されており、流路部材２３側から順に、振動板５７、共通電極５９、圧電体６１及び複数の個別電極６３が積層されて構成されている。なお、これらはいずれも層状（板状）に形成されている。
【００４０】
共通電極５９と個別電極６３との間に電圧が印加されると、主としてその個別電極６３と重なる領域において圧電体６１は逆圧電効果によって平面方向において縮小する。これにより、振動板５７は圧力室４３側へ撓む。この動作が利用されて、圧力室４３内のインクに圧力が付与され、インク滴がノズル３９から吐出される。
【００４１】
振動板５７、共通電極５９及び圧電体６１は、複数の圧力室４３全体に亘って設けられている。一方、個別電極６３は、圧力室４３毎に設けられている。共通電極５９には、例えば、基準電位が付与される。複数の個別電極６３には選択的に共通電極５９とは異なる電位（駆動信号）が付与される。これにより、複数のノズル３９から選択的にインク滴が吐出される。
【００４２】
図２に示すように、各個別電極６３は、圧力室４３に重なり、圧電体６１に電圧を印加するための電極本体６３ａと、ＦＰＣ２７との接続のための引出電極６３ｂとを有している。電極本体６３ａは、例えば、圧力室４３の平面形状と概ね同様（相似）の形状で、圧力室４３よりも若干小さい。引出電極６３ｂは、電極本体６３ａから適宜な方向に延び出ている。例えば、引出電極６３ｂは、電極本体６３ａに対してディセンダ４１及びノズル３９とは反対側へ、圧力室４３と重ならない位置まで延び出ている。
【００４３】
振動板５７は、例えば、セラミック、酸化シリコン若しくは窒化シリコンにより形成されている。共通電極５９及び個別電極６３は、例えば、銀、白金若しくはパラジウムにより形成されている。圧電体６１は、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等のセラミックにより形成されている。
【００４４】
なお、以下では、図４において示した、流路部材２３及び圧電アクチュエータ２５のうち、一のノズル３９に対応する部分（概略、平面視において圧力室４３及び個別電極６３の配置領域）を吐出素子６５ということがある。
【００４５】
（接着剤の逃がし溝）
複数のプレートは、プレート間に介在する接着剤６７（図８（ｄ）参照）によって互いに固定されている。そして、図４に示すように、複数のプレートには、余剰な接着剤６７を逃がすために、複数の逃がし溝６９が形成されている。
【００４６】
逃がし溝６９は、プレートの表面に形成された凹部である（本願において逃がし溝の語はスリットを含まない。）。逃がし溝６９の断面形状は適宜に設定されてよく、例えば、半円状、又は、角部が面取りされた矩形状である。逃がし溝６９の深さは、例えば、最も深い位置（通常は幅方向の中央側）において、その逃がし溝６９が形成されたプレートの厚さの半分以上２／３以下である。
【００４７】
逃がし溝６９は、例えば、各金属プレート３５に形成されており、樹脂プレート３７及びノズルプレート３３には形成されていない。ただし、樹脂プレート３７と第８金属プレート３５Ｈとの間、及び、ノズルプレート３３と第１金属プレート３５Ａとの間を含む、全てのプレート間に逃がし溝６９は配置されている。また、金属プレート３５は、できるだけ、片面のみに逃がし溝６９が形成されるようにされている。具体的には、以下のとおりである。
【００４８】
樹脂プレート３７のノズルプレート３３側の面に順に積層された１以上の金属プレート３５（３５Ｈ、３５Ｇ、３５Ｆ及び３５Ｅ）からなる第２部分７１Ａにおいては、各金属プレート３５の樹脂プレート３７側にのみ、逃がし溝６９が形成されている（ノズルプレート３３側には逃がし溝６９が形成されていない。）。
【００４９】
第２部分７１Ａのノズルプレート３３側の面に順に積層された１以上の金属プレート３５（３５Ｄ）からなる第１部分７１Ｂにおいては、各金属プレート３５の両面（樹脂プレート３７側の面とその反対側の面）に逃がし溝６９が形成されている。
【００５０】
第１部分７１Ｂのノズルプレート３３側の面に順に積層された１以上の金属プレート３５（３５Ｃ、３５Ｂ及び３５Ａ）からなる第３部分７１Ｃにおいては、各金属プレート３５のノズルプレート３３側にのみ、逃がし溝６９が形成されている（樹脂プレート３７側には逃がし溝６９が形成されていない。）。ノズルプレート３３は、第３部分７１Ｃのノズルプレート３３側の面に貼り合わされている（直接に重ねられている）。
【００５１】
樹脂プレート３７のノズルプレート３３とは反対側の面に順に積層された１以上の金属プレート３５（３５Ｉ）からなる第４部分７１Ｄにおいては、各金属プレート３５の樹脂プレート３７側にのみ、逃がし溝６９が形成されている（樹脂プレート３７とは反対側には逃がし溝６９が形成されていない。）。
【００５２】
逃がし溝６９の平面形状（経路等）は適宜に設定されよい。好適には、逃がし溝６９は、その逃がし溝６９を挟んで対向する２つのプレートの、インクの流路を構成する貫通孔を囲むように延び、また、貫通孔との距離は一定である。以下に、逃がし溝６９の平面形状を例示する。
【００５３】
図５（ａ）は、第９金属プレート３５Ｉの樹脂プレート３７側の面を図４と同等の範囲において示す平面図である。この面は、樹脂プレート３７のノズルプレート３３とは反対側の面に貼り合わされる（直接に重ねられる）面である。
【００５４】
第９金属プレート３５Ｉには、既に述べたように、圧力室４３を構成する圧力室用孔５１が形成されている。第９金属プレート３５Ｉの逃がし溝６９は、例えば、第９金属プレート３５Ｉ（及び樹脂プレート３７）の圧力室用孔５１を囲むように延びており、また、閉じている。第９金属プレート３５Ｉにおいて、逃がし溝６９は、例えば、圧力室用孔５１と概略相似であり、圧力室用孔５１との距離は概ね一定である。逃がし溝６９の幅は例えば一定である（図５（ｂ）〜図６（ｂ）の逃がし溝６９の幅も同様。）。
【００５５】
なお、図示しないが、図４から理解されるように、第９金属プレート３５Ｉの樹脂プレート３７とは反対側の面を示す平面図、樹脂プレート３７の第９金属プレート３５Ｉ側の面を示す平面図、及び、樹脂プレート３７の第８金属プレート３５Ｈ側の面を示す平面図は、例えば、図５（ａ）から逃がし溝６９を省略したものと同様である。
【００５６】
図５（ｂ）は、第８金属プレート３５Ｈの樹脂プレート３７側の面を図４と同等の範囲において示す平面図である。この面は、樹脂プレート３７のノズルプレート３３側の面に貼り合わされる（直接に重ねられる）面である。
【００５７】
第８金属プレート３５Ｈには、既に述べたように、ディセンダ４１を構成するディセンダ用孔４９、及び、連通路４５を構成する連通路用孔５３が形成されている。第８金属プレート３５Ｈの逃がし溝６９は、例えば、第８金属プレート３５Ｈのディセンダ用孔４９及び連通路用孔５３を共に囲むように延びており、また、閉じている。また、この逃がし溝６９は、図４から理解されるように、樹脂プレート３７の圧力室用孔５１も囲んでいる。
【００５８】
第８金属プレート３５Ｈにおける、ディセンダ用孔４９及び連通路用孔５３を共に囲む逃がし溝６９のより具体的な形状は、適宜に設定されてよい。第８金属プレート３５Ｈの逃がし溝６９と、第９金属プレート３５Ｉの逃がし溝６９とは、平面透視において重なっていてもよいし、重なっていなくてもよい。
【００５９】
なお、図示しないが、図４から理解されるように、第８金属プレート３５Ｈのノズルプレート３３側の面を示す平面図は、例えば、図５（ｂ）から逃がし溝６９を省略したものと同様である。
【００６０】
図５（ｃ）は、第７金属プレート３５Ｇの樹脂プレート３７側の面を図４と同等の範囲において示す平面図である。
【００６１】
第７金属プレート３５Ｇには、既に述べたように、ディセンダ４１を構成するディセンダ用孔４９、及び、連通路４５を構成する連通路用孔５３が形成されている。第７金属プレート３５Ｇにおいて、逃がし溝６９は、例えば、ディセンダ用孔４９及び連通路用孔５３それぞれに対応して設けられている。各逃がし溝６９は、例えば、ディセンダ用孔４９又は連通路用孔５３を（個別に）囲むように延びており、また、閉じている。なお、第７金属プレート３５Ｇの逃がし溝６９は、第８金属プレート３５Ｈのディセンダ用孔４９及び連通路用孔５３も個別に囲んでいる。
【００６２】
第７金属プレート３５Ｇにおける、ディセンダ用孔４９を囲む逃がし溝６９及び連通路用孔５３を囲む逃がし溝６９のより具体的な形状は、適宜に設定されてよい。例えば、ディセンダ用孔４９を囲む逃がし溝６９は、ディセンダ用孔４９と概略相似であり、ディセンダ用孔４９との距離は概ね一定である。同様に、例えば、連通路用孔５３を囲む逃がし溝６９は、連通路用孔５３と概略相似であり、連通路用孔５３との距離は概ね一定である。ディセンダ用孔４９を囲む逃がし溝６９及び連通路用孔５３を囲む逃がし溝６９は、ｘ方向に延びる不図示の逃がし溝６９によって互いに接続されていてもよい。
【００６３】
なお、図示しないが、図４から理解されるように、第６金属プレート３５Ｆ及び第５金属プレート３５Ｅの樹脂プレート３７側の面を示す平面図それぞれは、形状及び寸法の詳細は図５（ｃ）とは異なるが、図５（ｃ）と同様に、ディセンダ用孔４９、これを囲む逃がし溝６９、連通路用孔５３、及び、これを囲む逃がし溝６９が形成されたものとなる。また、各面の逃がし溝６９は、各面に貼り合わされる面のディセンダ用孔４９又は連通路用孔５３も囲む。第７金属プレート３５Ｇのノズルプレート３３側の面を示す平面図は、例えば、図５（ｃ）から逃がし溝６９を省略したものになる。第６金属プレート３５Ｆ及び第５金属プレート３５Ｅのノズルプレート３３側の面を示す平面図も同様である。
【００６４】
図６（ａ）は、第４金属プレート３５Ｄの樹脂プレート３７側の面を図４と同等の範囲において示す平面図である。
【００６５】
第４金属プレート３５Ｄには、既に述べたように、ディセンダ４１を構成するディセンダ用孔４９、及び、共通流路４７を構成する共通流路用孔５５が形成されている。図６（ａ）に示す面において、逃がし溝６９は、例えば、ディセンダ用孔４９及び共通流路用孔５５それぞれに対応して設けられている。ディセンダ用孔４９に対応する逃がし溝６９の形状は、例えば、図５（ｃ）を参照して説明した逃がし溝６９と同様である。共通流路用孔５５に対応する逃がし溝６９の形状については後述する。なお、ディセンダ用孔４９を囲む逃がし溝６９と、共通流路用孔５５に対応して設けられた逃がし溝６９は、ｘ方向に延びる不図示の逃がし溝６９によって互いに接続されていてもよい。
【００６６】
図６（ｂ）は、第４金属プレート３５Ｄのノズルプレート３３側の面を図４と同等の範囲において示す平面図である。すなわち、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示した面の裏面を示している。
【００６７】
第４金属プレート３５Ｄは、既に述べたように、両面に逃がし溝６９が形成されていることから、図６（ｂ）に示す面にも逃がし溝６９が形成されている。逃がし溝６９は、例えば、図６（ａ）に示す面と同様に、ディセンダ用孔４９及び共通流路用孔５５それぞれに対応して設けられている。ディセンダ用孔４９に対応して設けられた逃がし溝６９の形状は、例えば、図５（ｃ）を参照して説明した逃がし溝６９と同様であり、また、図６（ａ）と同様に、共通流路用孔５５に対応して設けられた逃がし溝６９と接続されてもよい。
【００６８】
ただし、平面透視において、図６（ｂ）に示す、ディセンダ用孔４９に対応する逃がし溝６９は、図６（ａ）に示す、ディセンダ用孔４９に対応する逃がし溝６９に対して重なっていない（図４も参照）。例えば、図６（ｂ）の逃がし溝６９は、図６（ａ）の逃がし溝６９よりも外周側に位置している。共通流路用孔５５に対応する逃がし溝６９についても、詳細は後述するが、図６（ａ）の逃がし溝６９と図６（ｂ）の逃がし溝６９とは重なっていない。
【００６９】
図７（ａ）は、第４金属プレート３５Ｄの樹脂プレート３７側の面を一の色のインクに対応する範囲において示す平面図である。すなわち、図７（ａ）は、図６（ａ）に示した面を図６（ａ）よりも広い範囲で示している。
【００７０】
なお、この図では、共通流路用孔５５に対応する逃がし溝６９を線で示し、ディセンダ用孔４９に対応する逃がし溝６９の図示は省略している。また、この図では、インク供給口３１も点線で示している。後述する図７（ｂ）も同様である。
【００７１】
共通流路用孔５５（共通流路４７）は、例えば、吐出素子６５（図４）が一のインク供給口３１に対して２列でｙ方向に配列されていることに対応して、インク供給口３１から２つに分岐してｙ方向に延びている。別の観点では、共通流路用孔５５は、Ｕ字状である。共通流路用孔５５の分岐した部分の間には、２列の吐出素子６５に対応する２列のディセンダ用孔４９が配置されている。
【００７２】
図７（ａ）において、逃がし溝６９は、例えば、共通流路用孔５５の縁部全体に沿って延びており、また、閉じている。従って、この逃がし溝６９は、共通流路用孔５５を（ディセンダ用孔４９とは別個に）囲んでいる。なお、この逃がし溝６９は、図７（ａ）に示す面に貼り合わされる第５金属プレート３５Ｅの複数の連通路用孔５３も共に囲む。逃がし溝６９の形状は、例えば、共通流路用孔５５の縁部の形状と概略相似であり、逃がし溝６９と共通流路用孔５５との距離は概ね一定である。
【００７３】
図７（ｂ）は、第４金属プレート３５Ｄのノズルプレート３３側の面を一の色のインクに対応する範囲において示す平面図である。すなわち、図７（ｂ）は、図７（ａ）に示した面の裏面を示している。
【００７４】
図７（ｂ）において、逃がし溝６９は、例えば、共通流路用孔５５のＵ字の外側の縁部に沿って延びるとともに、Ｕ字状の開口側においてつながって閉じている。従って、この逃がし溝６９は、共通流路用孔５５をディセンダ用孔４９と共に囲んでいる。なお、この逃がし溝６９は、図７（ｂ）に示す面に貼り合わされる第３金属プレート３５Ｃの共通流路用孔５５及びディセンダ用孔４９も共に囲む。この逃がし溝６９のうち共通流路用孔５５のＵ字の外側の縁部に沿う部分の形状は、例えば、共通流路用孔５５の縁部の形状と概略相似であり、逃がし溝６９と共通流路用孔５５との距離は概ね一定である。
【００７５】
既に述べたように、第４金属プレート３５Ｄの両面の逃がし溝６９は互いに重ならない。例えば、図７（ｂ）に示す逃がし溝６９は、図７（ａ）に示す逃がし溝６９よりも外周側に位置している。
【００７６】
なお、図示しないが、第３金属プレート３５Ｃ及び第２金属プレート３５Ｂのノズルプレート３３側の平面図は、例えば、形状及び寸法の詳細は異なるが、図６（ａ）及び図７（ａ）に示した平面図と同様である。その背面の平面図は、前記の平面図から逃がし溝６９を省略したものと同様である。第１金属プレート３５Ａの樹脂プレート３７側の平面図は、例えば、形状及び寸法の詳細は異なるが、図５（ｃ）から連通路用孔５３及びこれを囲む逃がし溝６９を省略したものと同様である。その背面の平面図は、前記の平面図から更に逃がし溝６９を省略したものと同様である。
【００７７】
（流路部材の製造方法）
図８（ａ）〜図８（ｄ）は、流路部材２３の製造方法の一例を説明する模式的な断面図である。
【００７８】
まず、図８（ａ）に示すように、金属プレート３５の両面にフォトリソグラフィーによってレジストからなる第１マスク７３Ａ及び第２マスク７３Ｂ（以下、両者を区別せずに「マスク７３」ということがある。）を形成する。各マスク７３には、金属プレート３５をエッチングすべき領域に開口７３ｈが形成されている。複数の開口７３ｈには、２つのマスク７３間において互いに重なるものと、互いに重なっていないものとがある。
【００７９】
次に、図８（ｂ）に示すように、開口７３ｈを介してエッチング液を金属プレート３５に触れさせることなどにより、金属プレート３５を両面からエッチングする。これにより、金属プレート３５の両面においては、開口７３ｈと重なる位置に凹部が形成される。なお、両面におけるエッチングの速度は、例えば、互いに同等である。
【００８０】
エッチングが進むと、図８（ｃ）に示すように、２つのマスク７３間において互いに重なっていた開口７３ｈにおいては、エッチングによって両面に形成されていた凹部が互いにつながり、貫通孔（例えばディセンダ用孔４９）になる。また、貫通孔の形成以後、適宜な時期にエッチングを終了することによって、一方のマスク７３（図８では第１マスク７３Ａ）にのみ形成されていた開口７３ｈにおいては、エッチングによって形成されていた凹部は、凹部のままとなり、ひいては、逃がし溝６９となる。
【００８１】
このように、本実施形態では、２種のマスク７３を用いて両面からエッチングを行うことによって、貫通孔の形成と同時に逃がし溝６９のためのハーフエッチングを行うことができる。従って、貫通孔の形成と逃がし溝６９との形成を別個に行う必要がなく、製造コストが削減される。なお、貫通孔のみが形成され、ハーフエッチングが不要なプレートにおいて貫通孔を形成する方法は、上記と同様に両面エッチングであってもよいし、上記とは異なり片面エッチングであってもよいし、また、エッチング以外の方法であってもよい。
【００８２】
貫通孔及び逃がし溝６９の形成後、図８（ｄ）に示すように、複数のプレート（３３、３５及び３７）は、接着剤６７によって接着される。
【００８３】
具体的には、まず、プレートに接着剤６７が塗布される。接着剤６７は、逃がし溝６９が形成された面と、逃がし溝６９が形成されていない面とのいずれに塗布されてもよい。また、接着剤６７は、例えば、プレートの全面に塗布される。別の観点では、逃がし溝６９の側方両側に塗布される。ただし、図８（ｄ）に示すように、逃がし溝６９上には接着剤６７が塗布されないことが好ましい。接着剤６７は、基本的に一定の厚さで塗布される。接着剤６７の塗布方法は、例えば、フィルムに塗布された接着剤を金属プレート３５に転写したり、スクリーン印刷を用いたりするなど、公知の方法を利用してよい。また、接着剤６７は、例えば、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂である。
【００８４】
次に、接着剤６７が塗布されたプレートと、このプレートと接着されるべきプレートとを重ね、加熱及び加圧する。なお、加熱及び加圧は、流路部材２３を構成する全てのプレートを重ねた後に行ってもよいし、流路部材２３の一部毎に行われ、その後、全体において行われてもよい。
【００８５】
加熱硬化の際、余剰な接着剤６７は逃がし溝６９に流れ込む。これにより、余剰な接着剤６７がインクの流路に流れ込むおそれ乃至は流れ込む量が低減される。ひいては、インクの流路の抵抗値が大きくなったり、ばらついたりするおそれが低減される。
【００８６】
以上のとおり、本実施形態では、ヘッド５は、接着剤６７を介して積層された複数のプレート（３３、３５及び３７）によって構成され、複数のプレートそれぞれに形成された貫通孔（３９、４９、５１、５３及び５５）同士が連通されることによってインクの流路（３９、４１、４３、４５及び４７）が構成された流路部材２３を有している。複数のプレートは、樹脂プレート３７と、複数の金属プレート３５とを有している。樹脂プレート３７は、接着剤６７の逃がし溝６９を有さない。複数の金属プレート３５は、樹脂プレート３７に貼り合わされ、樹脂プレート３７側に接着剤６７の逃がし溝６９を有する第８金属プレート３５Ｈ及び／又は第９金属プレート３５Ｉを含む。
【００８７】
従って、樹脂プレート３７と金属プレート３５との貼り合わせに関しては、高精度なハーフエッチングを安価に実現することが容易な金属プレート３５にのみ、逃がし溝６９が形成される。ここでいう安価なハーフエッチングは、例えば、図８を参照して説明した、２種のマスク７３を利用した両面からのエッチングによるものである。そして、安価に逃がし溝６９を形成できることから、インクの流路に流れ込んだ余剰な接着剤６７が低減されることによって高画質な印刷が可能なヘッドを安価に実現することができる。また、例えば、金属プレート３５よりも強度が低い樹脂プレート３７に逃がし溝６９を形成しないことによって、流路部材２３全体としての強度向上も期待される。
【００８８】
また、本実施形態では、複数の金属プレート３５は、樹脂プレート３７の一方の面に貼り合わされ、樹脂プレート３７側に接着剤６７の逃がし溝６９を有する第８金属プレート３５Ｈと、樹脂プレート３７の他方の面に貼り合わされ、樹脂プレート３７側に接着剤６７の逃がし溝６９を有する第９金属プレート３５Ｉと、を含む。
【００８９】
すなわち、樹脂プレート３７は、流路部材２３の最下層又は最上層のプレートではない。複数のプレート間それぞれに逃がし溝６９を位置させるためには、最下層又は最上層のプレートではないプレートには、通常、少なくとも一方の面に逃がし溝６９が形成される。しかし、最下層又は最上層のプレートではない樹脂プレート３７の両面にあえて逃がし溝６９を形成しないことによって、上述のように、コスト削減を図ることができる。すなわち、本実施形態では、積層方向における逃がし溝６９の特異な配置によって、コスト削減が図られる。
【００９０】
また、本実施形態では、複数の金属プレート３５は、樹脂プレート３７の一方の面に順に積層され、それぞれ樹脂プレート３７側にのみ接着剤６７の逃がし溝６９を有する１以上の金属プレート３５（第９金属プレート３５Ｉ）と、樹脂プレート３７の他方の面に順に積層され、それぞれ樹脂プレート３７側にのみ接着剤６７の逃がし溝６９を有する１以上の金属プレート（第５金属プレート３５Ｅ〜第８金属プレート３５Ｈ）と、を含む。
【００９１】
すなわち、逃がし溝６９が形成される面の向きは、樹脂プレート３７を挟んで反転している。これにより、樹脂プレート３７の両側に金属プレート３５の逃がし溝６９が位置する一方で、樹脂プレート３７には逃がし溝６９が形成されず、また、各金属プレート３５においては、片面にのみ逃がし溝６９が形成される。片面にのみ逃がし溝６９が形成されることから、両面に逃がし溝６９を形成する場合のように、両面の逃がし溝６９が重なって貫通孔となってしまうことを避ける必要がない。その結果、例えば、逃がし溝６９のパターン及び深さの自由度が向上する。
【００９２】
また、本実施形態では、複数のプレートは、ノズルを有するノズルプレート３３を含む。複数の金属プレート３５は、樹脂プレート３７のノズルプレート３３側の面に順に積層され、それぞれ樹脂プレート３７側にのみ接着剤６７の逃がし溝６９を有する１以上の金属プレート３５（第５金属プレート３５Ｅ〜第８金属プレート３５Ｈ）からなる第２部分７１Ａと、第２部分７１Ａのノズルプレート３３側の面に順に積層され、それぞれ両面に接着剤６７の逃がし溝６９を有する１以上の金属プレート３５（第４金属プレート３５Ｄ）からなる第１部分７１Ｂと、第１部分７１Ｂのノズルプレート３３側の面に順に積層され、それぞれノズルプレート３３側にのみ接着剤６７の逃がし溝６９を有する１以上の金属プレート（第１金属プレート３５Ａ〜第３金属プレート３５Ｃ）からなる第３部分７１Ｃと、を含む。ノズルプレート３３は、第３部分７１Ｃのノズルプレート３３側の面に貼り合わされており、接着剤６７の逃がし溝６９を有していない。
【００９３】
従って、例えば、樹脂プレート３７だけでなく、ノズルプレート３３にも逃がし溝６９を形成する必要がない。その結果、例えば、ハーフエッチングを安価に行うことが困難な樹脂プレートによってノズルプレート３３を構成することができる。すなわち、ノズルプレート３３の材料の選択の自由度が向上する。また、第２部分７１Ａ及び第３部分７１Ｃの各金属プレート３５においては、片面にのみ逃がし溝６９が形成されることから、例えば、上述のように、逃がし溝６９のパターン及び深さの自由度が向上する。第１部分７１Ｂの金属プレート３５は、例えば、両面に逃がし溝６９が形成されることによって強度が低下するが、樹脂プレート３７又はノズルプレート３３に貼り合わされず、金属プレート３５からなる第２部分７１Ａ及び第３部分７１Ｃに挟まれることから、補強される。
ノズル３９は、他の流路と比較してインクの吐出特性に与える影響が大きいため、他の流路よりも高い精度で形成する必要性が高い。エッチングによる加工精度は比較的低いため、ノズルプレート３３を金属で構成する場合であっても、ノズル３９は、例えば、パンチングで形成されたり、ノズルプレート３３を電鋳により作製する際に、パターンニングされることで形成される。このような工程では、ノズル３９を形成する際に、逃がし溝６９を形成することは難しいため、ノズルプレート３３には、逃がし溝６９を形成しなくても良いように設計するのが好ましい。
【００９４】
また、本実施形態では、第１部分７１Ｂの金属プレート３５（第４金属プレート３５Ｄ）において、樹脂プレート３７側の逃がし溝６９と、ノズルプレート３３側の逃がし溝６９とは重なっていない。
【００９５】
従って、両面の逃がし溝６９が貫通することを避けるために、逃がし溝６９を浅く形成する必要はなく、逃がし溝６９の深さの自由度が高い。その結果、例えば、図８を参照して説明したエッチング方法を利用して、安価に逃がし溝６９を形成することができる。
【００９６】
また、本実施形態では、樹脂プレート３７は、圧力室の側壁（圧力室用孔５１）を構成するプレートである。
【００９７】
樹脂プレート３７に用いられる樹脂は、金属プレート３５に用いられる金属と比較すると、例えば可撓性が大きい。そのため、圧力室用孔５１を構成するプレート（３７）を樹脂プレートとすることで、圧電アクチュエータ２５の変位を大きくできる。
【００９８】
（変形例）
図９は、変形例に係る流路部材２２３（吐出素子２６５）を示す、図４に相当する断面図である。
【００９９】
この変形例に示すように、ノズルプレート３３側にのみ逃がし溝６９を有する第２部分７１Ａ、及び／又は、樹脂プレート３７側にのみ逃がし溝６９を有する第３部分７１Ｃは、必要でなければ設けなくてもよい。すなわち、樹脂プレート３５のノズルプレート３３側に、第２部分７１Ａを積層せずに、第１部分７１Ｂを直接積層してもよい。同様に、ノズルプレート３３の樹脂プレート３７側に、第３部分７１Ｃを積層せずに、第１部分７１Ｂを直接積層してもよい。
【０１００】
また、既に述べたように、流路部材２２３の流路は、プレート（３３、３５及び／又は３７）に設けられている貫通していない溝（凹溝）を含んで構成されていてもよい。図９では、その一例として、しぼり４５ａが、第７金属プレート３５Ｇに設けられた凹溝を含んで構成されている場合を例示している。このような凹溝は、例えば、ハーフエッチングによって形成される。
【０１０１】
図１０は、他の変形例に係る流路部材３２３（吐出素子３６５）を示す、図４に相当する断面図である。
【０１０２】
この変形例に示すように、樹脂プレートは、圧力室用孔５１を構成するプレート（第３樹脂プレート３７Ｃ）だけでなく、例えば、共通流路４７の上面及び／又は下面（図示の例では双方）を構成するプレート（第１樹脂プレート３７Ａ及び第２樹脂プレート３７Ｂ）に用いられてもよい。
【０１０３】
上記のように一般に樹脂プレートを構成する樹脂は金属プレートを構成する金属に比較して可撓性が高いから、図示のように流路の上下面を構成するプレートを樹脂プレートとすることで、流路内の液体の振動を減衰させるダンパを構成できる。ダンパの働きをより高めるために、図示のように、ダンパとなるプレート（３７Ａ、３７Ｂ）の、流路（４７）に面した面と反対側の面を、プレートなどに設けた空隙であるダンパ室４８に面するようにするのがよい。ダンパ室４８内は、例えば、個別流路又は共通流路に通じてインクが配置されていてもよいし、気体が封入されていてもよい。
【０１０４】
また、単に流路部材３２３の一部が樹脂プレートであるだけでも、圧電アクチュエータ２５から加わる振動で起きる、流路部材３２３の振動を抑制できる。図示の例のように、連続して積層されていない複数の樹脂プレート（３７Ａ〜３７Ｃ）が存在すると、流路部材３２３内の異なる位置で、それぞれ振動を抑制するため、より効果的に振動を抑制できる。
【０１０５】
本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【０１０６】
例えば、プリンタ（インクジェットヘッド）は、ピエゾヘッド式、シリアルヘッド式及びオフキャリッジ式のカラープリンタに限定されない。例えば、プリンタは、サーマルヘッド式、ラインヘッド式、及び／又は、オンキャリッジ式であってもよいし、カラープリンタでなくてもよい。プリンタにおけるインクジェットヘッド以外の部分（例えばメディアの搬送装置）の構成も例示した構成以外の適宜な構成とされてよい。メディアも紙に限定されず、金属又は樹脂からなるものであってもよい。
【０１０７】
プレートの枚数及び厚みは、実施形態に例示したものに限定されず、インクの流路の形状等に応じて適宜に設定されてよい。また、樹脂プレートは、ノズルプレートを除いて２枚以上配置されてもよい。実施形態では、圧力室は圧電アクチュエータ側に開口したが、流路部材は、圧力室を塞ぐプレートを有していてもよい。なお、この圧力室を塞ぐプレートは、圧電アクチュエータの振動板に兼用されてよい。インクの流路の形状、樹脂プレートの積層方向の位置、及び、逃がし溝が両面に形成される金属プレートの積層方向の位置の間の相対的な位置関係も適宜に設定されてよい。
【０１０８】
実施形態では、逃がし溝として、個別流路（ノズル、ディセンダ、圧力室及び連通路）を構成する貫通孔を個別に又は共に囲むもの、一の色のインクに対応する共通流路を個別流路とは別に又は個別流路と共に囲むものを例示したが、逃がし溝はこれらに限定されない。例えば、逃がし溝は、複数の色のインクに対応する共通流路及び／又は個別流路を囲むものであってもよいし、閉じていなくてもよい。また、逃がし溝は、網状に縦横に形成されるものであってもよい。逃がし溝は、幅が変化したりしてもよい。
【０１０９】
樹脂プレートは、流路部材を構成する複数のプレートのいずれに用いられてもよい。すなわち、実施形態及び変形例では、圧力室用孔の側壁や共通流路の上下面を樹脂プレートで構成する態様を例示したが、樹脂プレートの利用方法はこれに限定されない。既に述べたように、単に流路部材（２３等）の一部が樹脂プレートであるだけでも、圧電アクチュエータ（２５）から加わる振動で起きる、流路部材の振動を抑制できるなどの効果が奏される。
【０１１０】
実施形態では、圧力室用孔（５１）の下方側を構成するプレート（３７）を樹脂プレートとした。これに代えて、又は、加えて、圧力室用孔の上方側を構成するプレート（３５Ｉ）が樹脂プレートとされてもよい。圧力室用孔の全体が１枚の樹脂プレートで構成されてもよい。１枚以上の樹脂プレートを含む３枚以上のプレートによって圧力室用孔が構成されてもよい。いずれにせよ、例えば、樹脂プレートに用いられる樹脂が金属プレートに用いられる金属と比較して可撓性が大きいことを利用して、圧電アクチュエータの変位を大きくできる。上下面が樹脂プレートで構成される流路は、共通流路に限定されず、個別流路であってもよい。
【０１１１】
また、樹脂プレートは、単に円形で小径の貫通孔を形成するのであれば、レーザやパンチングなどにより容易に行え、貫通孔の寸法の精度も、金属プレートにエッチィングをするよりも高くできる。そのため、ノズルプレートなどは樹脂プレートとするのがよい。
【０１１２】
樹脂プレートは、その両面に金属プレートが貼り合わされるものに限定されない。すなわち、樹脂プレートは、最上層又は最下層のプレートであってもよい。
【０１１３】
樹脂プレートに貼り合わされる金属プレートは、樹脂プレート側だけでなく、樹脂プレートとは反対側にも逃がし溝を有していてもよい。
【０１１４】
また、両面に逃がし溝を有する金属プレートは、適宜な位置及び数で設けられてよい。例えば、全ての金属プレート（最上層又は最下層である場合を除く）の両面に逃がし溝が形成されてもよい。また、例えば、実施形態と同様に、樹脂プレートとノズルプレートとの間の複数の金属プレートにおいて、できるだけ片面にのみ逃がし溝を形成する場合において、樹脂プレートに貼り合わされる金属プレートの両面に逃がし溝を形成し、他の金属プレートにおいてはノズルプレート側にのみ逃がし溝を形成したり、ノズルプレートに貼り合わされる金属プレートの両面に逃がし溝を形成し、他の金属プレートにおいては樹脂プレート側にのみ逃がし溝を形成したりしてもよい。
【０１１５】
また、全ての金属プレートにおいて方面にのみ逃がし溝が形成されてもよい。例えば、ノズルプレートも金属プレートとし、樹脂プレートのノズルプレート側の面に積層された全ての金属プレート（ノズルプレート含む）において樹脂プレート側に逃がし溝を形成するとともに、樹脂プレートのノズルプレートとは反対側の面に積層された全ての金属プレートにおいて樹脂プレート側に逃がし溝を形成してもよい。
【符号の説明】
【０１１６】
１…プリンタ、５…ヘッド、２３…流路部材、３３…ノズルプレート（プレート）、３５…金属プレート（プレート）、３７…樹脂プレート（プレート）、３９…ノズル（流路）、４１…ディセンダ（流路）、４３…圧力室（流路）、４５…連通路（流路）、４７…共通流路（流路）、４９…ディセンダ用孔（貫通孔）、５１…圧力室用孔（貫通孔）、５３…連通路用孔（貫通孔）、５５…共通流路用孔（貫通孔）、６７…接着剤、６９…逃がし溝。
【図１】
2016067880.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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