(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気を圧縮する圧縮機を有する空気供給ユニットと、前記圧縮機にて圧縮された空気から製品ガスを分離するための吸着槽を有するＰＳＡユニットとを備え、前記空気供給ユニットと前記ＰＳＡユニットが仕切り部を隔てて接続された構造の気体分離装置であって、
前記圧縮機は圧縮する空気を吸込む吸入口と冷却風を吸込む冷却風吸込み口を有し、
さらに前記圧縮機は冷却ファンを有し、ファンダクトを経由して、該冷却ファンにより前記冷却風吸込み口から取り込んだ冷却風で該圧縮機を冷却する構成であり、
前記仕切り部に前記吸入口よりも前記冷却風吸込み口に近い位置に通風口を設け、
前記吸着槽からの排気を前記通風口を通して前記冷却風吸込み口に供給する経路を有することを特徴とする気体分離装置。
【請求項２】
請求項１に記載の気体分離装置であって、
前記圧縮機は、前記吸着槽からの排気と前記吸入口までの経路途中に前記冷却風吸込み口があることを特徴とする気体分離装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の気体分離装置であって、
前記圧縮機は、スクロール圧縮機であって、前記冷却ファンにより前記冷却風吸込み口から取り込んだ冷却風で固定スクロールの固定冷却フィンと旋回スクロールの旋回冷却フィンを冷却することを特徴とする気体分離装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の気体分離装置であって、
前記吸着槽の排気経路を前記圧縮機の冷却風の排気経路と共有したことを特徴とする気体分離装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の気体分離装置であって、
前記吸入口と前記冷却風吸込み口との間に遮蔽用板を設けたことを特徴とする気体分離装置。
【請求項６】
空気を圧縮する圧縮機と該圧縮機にて圧縮された空気から製品ガスを分離する吸着槽とを備えたＰＳＡ式気体分離装置に用いる圧縮機冷却方法であって、
前記圧縮機と前記吸着槽は仕切り部を隔てて接続されており、
前記圧縮機は、圧縮する空気を吸込む吸入口と冷却風を吸込む冷却風吸込み口を有し、ファンダクトを経由して、冷却ファンにより前記冷却風吸込み口から取り込んだ冷却風で該圧縮機を冷却する構成であり、
前記仕切り部に前記吸入口よりも前記冷却風吸込み口に近い位置に通風口を設け、
前記吸着槽からの排気を前記通風口を通して前記冷却風吸込み口に供給することで前記圧縮機を冷却することを特徴とする圧縮機冷却方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧縮機を有する気体分離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
気体分離装置として、ＰＳＡ(Pressure Swing Adsorption：圧力スイング吸着）式が知られている。ＰＳＡ式によれば、例えば、空気を原料とし、吸着剤により空気中の酸素を吸着することにより、例えば、窒素を分離して窒素ガスを製品ガスとして得ることができる。ＰＳＡ処理工程では、高圧において酸素を吸着させる吸着工程と、吸着工程により酸素が吸着された吸着剤を低圧下において酸素を脱着させる脱着工程とを有し、それら吸脱着工程の繰り返で吸着剤の吸着能力を回復させながら連続運転を行なう。
【０００３】
本技術分野の背景技術として、特開２０１１−２５１２４３号公報（特許文献１）がある。特許文献１には、空気を供給する空気供給ユニットと、製品ガスを生成するＰＳＡユニットで構成された気体分離装置が開示されている。また、空気供給ユニットは、空気を圧縮する圧縮機と、圧縮空気を貯留させる空気槽（空気貯留タンク）を有している。また、ＰＳＡユニットは、空気供給ユニットから供給される圧縮空気から所定の気体を分離することにより、製品ガスを生成する吸着槽と、製品ガス（窒素）を貯留する窒素槽（製品ガス貯留タンク）を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２５１２４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１は、ＰＳＡ式の気体分離装置の構成を示しているが、圧縮機の冷却に関して考慮していない。
【０００６】
本発明の目的は、ＰＳＡ式の気体分離装置に特有の吸着槽の排気を利用して、冷却効率の向上をはかることができる気体分離装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、例えば特許請求の範囲に記載の構成を採用する。本発明は上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例を挙げるならば、空気を圧縮する圧縮機を有する空気供給ユニットと、圧縮機にて圧縮された空気から製品ガスを分離するための吸着槽を有するＰＳＡユニットとを備え、空気供給ユニットとＰＳＡユニットが仕切り部を隔てて接続された構造の気体分離装置であって、吸着槽からの排気を圧縮機の冷却風吸込み口に供給する経路を有するように構成する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、冷却効率の向上をはかることができる気体分離装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施例１における気体分離装置の全体構成図である。
【図２】実施例１におけるスクロール圧縮機本体の外観図である。
【図３】実施例１におけるスクロール圧縮機本体での冷却風の流れを示す模式図である。
【図４】実施例１における気体分離装置の全体外観図であり背面から見た斜視図である。
【図５】実施例１における気体分離装置の全体外観図であり前面から見た斜視図である。
【図６】実施例１における気体分離装置の全体外観図であり背面右側から見た斜視図である。
【図７】実施例２における気体分離装置の全体外観図であり背面から見た斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１１】
本実施例におけるＰＳＡ式の気体分離装置の全体構成を図１に示す。図１において、気体分離装置１は、空気を供給する空気供給ユニット２と、製品ガスを生成するＰＳＡユニット３で構成される。また、空気供給ユニット２とＰＳＡユニット３は同じ筐体内に格納されている。
【００１２】
空気供給ユニット２は、空気を圧縮する圧縮機４と、圧縮機４を駆動する電動モータ９と、容量制御を行うためのインバータ回路１０と、圧縮空気を貯留させる空気槽５と、圧縮空気を除湿するエアードライヤー６と、析出したドレン水を回収しながら不純物を除去するドレンフィルタ７を有している。本実施例では、一例として、これら圧縮機４と、空気槽５と、エアードライヤー６とドレンフィルタ７とは筐体に格納されている。一方、ＰＳＡユニット３は、空気供給ユニット２から供給される圧縮空気から所定の気体を分離することにより、製品ガスを生成する吸着槽１９Ａ、１９Ｂと、製品ガス（窒素）を貯留する窒素槽（製品ガス貯留タンク）４１を有している。
【００１３】
空気槽５で貯留された圧縮空気は吸着槽１９Ａ、１９Ｂに供給され、空気槽５で貯留された圧縮空気から所定の気体が分離される。本実施例では、吸着槽１９Ａ、１９Ｂで酸素を吸着することにより、窒素を分離する場合について説明するが、大気以外の圧縮空気から他の気体を分離するものであってもよい。
【００１４】
圧縮機４として、一般的には、往復動式、スクリュー式あるいはスクロール式等の圧縮機等が用いられるが、本実施例では冷却ファンからの冷却風が圧縮機の空気吸込み口から取り込まれない構造を有する、例えばスクロール圧縮機を前提とする。
【００１５】
図２は、本実施例におけるスクロール圧縮機本体の外観図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は右側面図、（Ｃ）は左側面図、（Ｄ）は上面図、（Ｅ）は背面図を示す。図２において、７０は圧縮機４の外殻を構成するケーシングであり、軸方向の一側が閉塞され、軸方向の他側が開口した有底筒状体として形成されている。ケーシング７０の筒部内には、後述の旋回スクロール等が収容されている。そして、圧縮機４は、ケーシング７０の開口端側に固定して設けられた一のスクロール部材としての固定スクロールを有している。７１は、固定スクロールのラップ部と旋回スクロールのラップ部との間に画成された複数の圧縮室であり、各圧縮室７１は、旋回スクロールのラップ部を固定スクロールのラップ部と重なり合うように配置されている。７２はプーリで、駆動軸（図示せず）の一端に設けられており、駆動源としての電動モータの出力側にベルト（いずれも図示せず）等を介して連結され、駆動軸を駆動する。駆動軸は、固定スクロールに対して旋回スクロールを旋回運動させるものである。なお、モータの回転軸を駆動軸と一体とした、モータ一体型のスクロール式空気圧縮機とし、プーリ７２や、ベルトを不要にした構成でも良い。８０は固定スクロールの外周側に設けられた吸入口で、吸入口８０は、吸気フィルタ８１を介して外部から空気を吸込み、この空気は各圧縮室７１内で旋回スクロールの旋回動作に伴って連続的に圧縮される。
【００１６】
即ち、旋回スクロールは、電動モータ（図示せず）等により駆動軸を介して駆動され、固定スクロールに対し旋回運動を行う。これにより、複数の圧縮室７１のうち外径側の圧縮室７１は、固定スクロールの吸入口８０から空気を吸込み、この空気は各圧縮室７１内で連続的に圧縮される。そして、最内径側の圧縮室７１から圧縮空気を中心側に位置する吐出口４２から圧縮空気を外部に向けて吐出する。７３は固定スクロールの吐出口４２に接続して設けられた吐出配管で、吐出配管７３は、貯留タンク（図示せず）と吐出口４２との間を連通させる吐出流路を構成するものである。また、７４は、後述する冷却ファンが回転して発生する冷却風を、固定スクロールの固定冷却フィン７５と旋回スクロールの旋回冷却フィン７６に導風するファンダクトである。また、７７は、固定冷却フィン７５を覆うフィンカバーである。
【００１７】
図３は、本実施例におけるスクロール圧縮機本体での冷却風の流れを示す模式図であり、図２（Ｃ）左側面図の水平断面図である。図３において、冷却風９０は、スクロール圧縮機４のプーリ７２側に設けられた冷却ファン９５により、矢印９０−１で示すように冷却風吸込み口９１から外気を吸込み、矢印９０−２で示すようにファンダクト７４を経由して、矢印９０−３で示す冷却風で固定スクロールの固定冷却フィン７５と旋回スクロールの旋回冷却フィン７６を冷却した後、矢印９０−４で示すように、冷却風出口９６から排気される。
【００１８】
一方、圧縮機４の圧縮する空気を取り込む吸入口８０は吸気フィルタ８１を介して外部から空気を吸込むが、吸入口８０は冷却風吸込み口９１とは離れており、さらに、冷却ファン９５により冷却風吸込み口９１付近は負圧になっているので、冷却風吸込み口９１付近の空気が圧縮機の吸入口８０から取り込まれない構造となっている。
【００１９】
図１に戻って、空気槽５には、空気槽５からの圧縮空気を流す配管１６が接続されており、この配管１６の端末位置には２系統に分岐した配管１７Ａ、１７Ｂが接続されている。配管１７Ａ、１７Ｂには、それぞれ流路を開閉する供給弁１８Ａ、１８Ｂが途中に設けられており、酸素分子を吸着して窒素ガスを製品ガスとして取り出すための吸着槽１９Ａ、１９Ｂがそれぞれ接続されている。この吸着槽は容積一定である。また、配管１７Ａ、１７Ｂには、それぞれ供給弁１８Ａ、１８Ｂと吸着槽１９Ａ、１９Ｂとの間位置に配管２１Ａ、２１Ｂが接続されており、これら配管２１Ａ、２１Ｂには、途中に流路を開閉する排気弁２２Ａ、２２Ｂが、端末に消音用のフィルタ付きの排気サイレンサ２３が設けられている。この排気サイレンサは各吸着槽１９Ａ、１９Ｂ毎に設けられていてもよい。また、配管１７Ａ、１７Ｂには、互いの配管２１Ａ、２１Ｂと吸着槽１９Ａ、１９Ｂとの間位置を結ぶように配管２５Ａ、２５Ｂが接続されており、この配管２５Ａ、２５Ｂには流路を開閉する下均圧弁２６Ａ、２６Ｂが設けられている。
【００２０】
吸着槽１９Ａ、１９Ｂには、例えば、酸素分子を吸着する吸着手段である吸着剤が充填されている。吸着剤は、具体的には分子ふるいカーボンやゼオライト等を用いている。吸着槽１９Ａ、１９Ｂには、互いに合流する配管３１Ａ、３１Ｂがそれぞれ接続されている。これら配管３１Ａ、３１Ｂには、互いの吸着槽１９Ａ、１９Ｂ側同士を結ぶように配管３２Ａ、３２Ｂが接続されており、この配管３２Ａ、３２Ｂには絞り３３が設けられている。また、配管３１Ａ、３１Ｂには、互いの配管３２Ａ、３２Ｂよりも吸着槽１９Ａ、１９Ｂとは反対側同士を結ぶように配管３５Ａ、３５Ｂが接続されており、この配管３５Ａ、３５Ｂには流路を開閉する上均圧弁３６Ａ、３６Ｂが設けられている。また、配管３１Ａ、３１Ｂには、それぞれの配管３５Ａ、３５Ｂよりも吸着槽１９Ａ、１９Ｂとは反対側に流路を開閉する取り出し弁３８Ａ、３８Ｂがそれぞれ設けられている。配管３１Ａ、３１Ｂの合流位置には配管４０が接続されており、この配管４０には窒素ガスを貯留させる製品ガス貯留タンクとしての窒素槽４１が接続されている。この窒素槽４１には、吐出口４２が設けられた配管４３が接続されており、この配管４３の途中位置には窒素槽４１側から順に、塵埃等を除去するとともにガスの圧力を調整するフィルタレギュレータ４４、流路を開閉する吐出弁４５、製品ガスの流量を調整する流量調整弁４６、製品ガスの流量をセンシングする流量センサ６１が設けられている。配管４３のフィルタレギュレータ４４と吐出弁４５との間位置には配管４８および配管４９が接続されており、配管４８には、配管４３側から順に、流路を開閉する開閉弁５０と、ガスの流量を調整する流量調整弁５１と、サイレンサ５２とが設けられている。配管４９には、配管４３側から順に、流路を開閉する開閉弁５４と、ガスの流量を調整する流量調整弁５５と、酸素濃度を検出する酸素センサ５６とが設けられている。
【００２１】
酸素センサ５６および流量センサ６１は制御部６０に通信可能に接続されており、検出信号を制御部６０に出力する。制御部６０は検出信号を受けて、吸着槽１９Ａ、１９Ｂにおける窒素ガスの生成を制御する。具体的には、供給弁１８Ａ、１８Ｂ、排気弁２２Ａ、２２Ｂ、下均圧弁２６Ａ、２６Ｂ、上均圧弁３６Ａ、３６Ｂ、取り出し弁３８Ａ、３８Ｂ、吐出弁４５、開閉弁５０および５４は、制御部６０に通信可能に接続されており、制御部６０からの指令で作動する。
【００２２】
以上、気体分離装置１の構成を説明したが、以下、気体分離装置において行われる気体分離方法について説明する。
【００２３】
気体分離装置１では、圧縮機４によって空気を圧縮する圧縮工程、圧縮工程により圧縮された空気を空気槽５に貯留する貯蔵工程、圧縮空気をエアードライヤー６により除湿する除湿工程、除湿工程により除湿された空気から気体を分離する分離工程が行われる。
【００２４】
気体分離装置１の分離工程では、以下の（ａ）〜（ｄ）の工程が順次繰り返される。
（ａ）吸着・還流工程：圧縮機４により圧縮され空気槽５に貯留された圧縮空気を、供給弁１８を開くことで、吸着剤が充填された吸着槽１９に供給するとともに、窒素槽４１内に残存する窒素ガスを、取り出し弁３８を開くことで吸着槽１９に還流して吸着槽１９内を昇圧させ、圧力を利用して吸着剤に酸素分子を吸着させる工程。
（ｂ）取り出し工程：吸着工程から引き続いて、空気槽５から圧縮空気を吸着槽１９に供給し続けると同時に、吸着剤により分離生成された窒素ガスを吸着槽１９より取り出して窒素槽４１に貯留させる工程。
（ｃ）均圧工程：上均圧弁３６および下均圧弁２６の開閉により取り出し工程終了後の一対の吸着槽１９の均圧化を図り、次回の吸着工程の吸着効率を高めて、より高純度の窒素ガスを生成するための工程。
（ｄ）再生工程：均圧工程終了後の吸着槽１９内を、排気弁２２を開くことにより配管２１を介して、吸着剤に吸着された酸素分子を脱着することにより吸着剤を再生する工程。なお、この再生工程において、排気弁２２以外の吸着槽１９に関連する供給弁１８、下均圧弁２６、上均圧弁３６および取り出し弁３８は、閉状態とする。
【００２５】
吸着槽１９Ａで吸着工程・取り出し工程（工程（ａ）（ｂ））が行われている間に吸着槽１９Ｂでは、再生工程（工程（ｄ））が行われる。その後、（ｃ）均圧工程が同時に行われ、吸着槽１９Ａ、１９Ｂを入れ替えて吸着工程・取り出し工程（工程（ａ）（ｂ））と再生工程（工程（ｄ））が行われる。
【００２６】
ここで、吸着槽の排気は、断熱膨張により低温となっている。そこで、本実施例では、吸着槽から排気された低温の排気ガスを圧縮機の冷却風として利用する。
【００２７】
本実施例における、気体分離装置の全体外観図を図４に示す。図４は気体分離装置を背面から見た斜視図を示している。図４において、空気を圧縮する圧縮機４と、圧縮機４を駆動する電動モータ９を主構成要件とする空気供給ユニット２と、製品ガスを生成する吸着槽１９Ａ、１９Ｂと、製品ガス（窒素）を貯留する窒素槽（製品ガス貯留タンク）４１を主構成要件とするＰＳＡユニット３は、仕切り部２８で仕切られている。ここで、吸着槽１９Ａ、１９Ｂからの排気は、排気サイレンサ２３から排気される。この吸着槽の排気は、断熱膨張により低温となっている。この吸着槽排気２７は、仕切り部２８に設けられた通風口２９を通して、空気供給ユニット２側へ流れ、図３に示した、冷却ファン９５により、冷却風吸込み口９１から取り込まれ、ファンダクト７４を経由して、固定スクロールの固定冷却フィン７５と旋回スクロールの旋回冷却フィン７６を冷却した後、冷却風出口９６から排気される。このように、吸着槽からの排気を圧縮機の冷却風吸込み口に供給する経路を有する。これにより、吸着槽から排気された低温の排気ガスを圧縮機の冷却風として利用することができる。
【００２８】
なお、吸着槽から排気された排気ガスは、吸着剤に吸着された酸素分子を脱着した際の排気ガスであるので、酸素濃度が高いガスである。一方、ＰＳＡユニット３は、空気供給ユニット２から供給される圧縮空気から所定の気体（例えば窒素）を分離するので、圧縮空気の酸素濃度が高いと分離すべき気体が少なくなり、ガス発生効率が悪くなってしまう。そこで、吸着槽から排気された排気ガスが、圧縮機４の吸入口８０から取り込まれないようにする必要がある。本実施例では、圧縮機４の吸入口８０は冷却風吸込み口９１とは離れており、さらに、吸着槽排気ガスの圧縮機４の吸入口８０までの経路途中にある圧縮機４の冷却風吸込み口９１は、冷却ファン９５により冷却風吸込み口９１付近は負圧になっているので、冷却風吸込み口９１付近の空気はほとんどが冷却風吸込み口９１から取込まれ、圧縮機の吸入口８０から取り込まれる可能性は低い構造となっている。また、吸着槽排気ガスの流量が外気から取り込まれる吸入口８０からの流量に比べて小さいので、吸入口８０から吸着槽排気ガスを取り込む可能性も低い。
【００２９】
図５は、本実施例における気体分離装置の全体外観図であって、前面から見た斜視図を示している。圧縮機の吸入口８０から取り込まれる空気は、気体分離装置を覆う全体パネルの筐体に設けられた取り込み穴から圧縮機吸気８２を行う。
【００３０】
このように、本実施例によれば、吸着槽からの排気を、圧縮機の冷却風吸込み口にて吸い込めるよう空気供給ユニットとＰＳＡユニットの間に通風口を設ける。また、通風口を圧縮機の冷却風吸込み口付近に設けることで、吸着槽から排気された低温の排気ガスを圧縮機の冷却風として利用することができ、かつ、圧縮機の吸入口から取り込まれない構造とすることでガス発生効率と圧縮機の信頼性を向上することができる。
【００３１】
図６は、本実施例における気体分離装置の全体外観図であって、背面右側から見た斜視図を示している。図６は気体分離装置を覆うパネルを外し、圧縮機排気経路が見える構造を示した外観図である。図６において、９６は圧縮機の冷却風出口であって、吸着槽からの排気は、空気供給ユニットとＰＳＡユニットの間の通風口を通って圧縮機の冷却風吸込み口９１から取り込まれ、ファンダクト７４を経由して、固定スクロールの固定冷却フィン７５と旋回スクロールの旋回冷却フィン７６を冷却した後、冷却風出口９６から排気される。冷却風出口９６から排気された排気は、圧縮機吸気の経路とは隔離された圧縮機排気経路を通って気体分離装置排気９７として排気される。このように、本実施例における気体分離装置であれば、吸着槽の排気経路を前記圧縮機の冷却風の排気経路と共有することで、吸着槽の排気を、圧縮機排気経路を用いて排気できるため、１つの排気ダクトにて吸着槽、圧縮機両方の排気が行なえるため、排気処理の容易化を図ることができるという効果がある。
【００３２】
また、吸着槽からの排気の経路が、圧縮機の冷却風吸込み口から冷却風出口、圧縮機排気経路を通って気体分離装置排気と長いため、排気による音漏れを小さくできるという効果もある。
【００３３】
以上のように、本実施例は、空気を圧縮する圧縮機を有する空気供給ユニットと、圧縮機にて圧縮された空気から製品ガスを分離するための吸着槽を有するＰＳＡユニットとを備え、空気供給ユニットとＰＳＡユニットが仕切り部で仕切られた構造の圧縮機一体型気体分離装置であって、吸着槽からの排気を圧縮機の冷却風吸込み口に供給する経路を有するように構成する。
【００３４】
また、空気を圧縮する圧縮機と該圧縮機にて圧縮された空気から製品ガスを分離する吸着槽とを備えたＰＳＡ式圧縮機一体型気体分離装置に用いる圧縮機冷却方法であって、吸着槽からの排気を圧縮機の冷却風吸込み口に供給することで圧縮機を冷却するように構成する。
【００３５】
これにより、ＰＳＡ式の気体分離装置に特有の吸着槽の排気を利用して、それを圧縮機の冷却に利用することで、冷却効率の向上をはかることによりガス発生効率と信頼性の向上を図りつつ排気処理の容易化が可能となる。
【００３６】
尚、本実施例ではインバータ回路１０による容量制御を行うが、インバータ回路１０を有さずに、圧力監視により圧縮機の運転、停止の制御を行ってもよい。
【実施例２】
【００３７】
図７は、本実施例における気体分離装置の全体外観図であり背面から見た斜視図である。図７において、基本的な装置の構成は実施例１で説明した気体分離装置１と同様のため省略する。本実施例が実施例１の図４と異なる構成は、遮蔽用板９８を設けた点である。
【００３８】
すなわち、実施例１では、吸着槽から排気された排気ガスは酸素濃度が高いガスであり、これを圧縮機の吸入口から取り込まれないようにする必要があるが、実施例１よりもさらに確実に行うために、圧縮機４の吸入口８０と冷却風吸込み口９１との間に遮蔽用板９８を設け、吸着槽から排気された排気ガスが冷却風吸込み口９１からは取り込まれて圧縮機の冷却に寄与するが、吸着槽から排気された排気ガスが遮蔽用板９８により遮蔽され、圧縮機４の吸入口８０へは流入しないようにした。これにより、冷却効果が向上することによる圧縮機の信頼性向上に加え、ガス発生効率も向上できる。なお、遮蔽用板９８により、本来、気体分離装置の取り込み穴から得る圧縮機吸気８２からの空気を冷却風吸込み口９１から取り込んでいた分が減少するので、冷却用の空気取り込み口を別途設けてもよい。
【００３９】
以上、実施例について説明したが、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。また、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加、削除、置換をすることも可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１：ＰＳＡ式気体分離装置、２：空気供給ユニット、３：ＰＳＡユニット、４：圧縮機、５：空気槽、６：エアードライヤー、７：ドレンフィルタ、９：電動モータ、１０：インバータ回路、１９Ａ、１９Ｂ：吸着槽、２３：排気サイレンサ、２７：吸着槽排気、２８：仕切り部、２９：通風口、４１：窒素槽（製品ガス貯留タンク）、４２：吐出口、７０：ケーシング、７１：圧縮室、７２：プーリ、７３：吐出配管、７４：ファンダクト、７５：固定冷却フィン、７６：旋回冷却フィン、７７：フィンカバー、８０：吸入口、８１：吸気フィルタ、８２：圧縮機吸気、９０：冷却風、９１：冷却風吸込み口、９５：冷却ファン、９６：冷却風出口、９７：気体分離装置排気、９８：遮蔽用板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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