(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを静電吸着した状態で搬送する静電チャック付き搬送ロボットの吸着部分に設けられる少なくとも一対の吸着用電極に対して非接触式で給電するための非接触式の給電システムであって、
交流電圧を出力する給電回路ユニットと、互いに対向配置される一対の電極間で機械的に分離され、一方の電極が給電回路ユニットに接続されると共に電極間距離を一定に維持しながら相対移動するように他方の電極が搬送ロボットの可動部分に設けられるキャパシタとを備え、キャパシタの他の電極が受電回路ユニットを介して対をなす吸着用電極に接続されるものにおいて、
受電回路ユニットが、給電回路ユニットからの交流電圧を整流して直流電圧に変換すると共に制御用電圧を出力する変換回路と、スイッチング素子を有して第１極性の直流電圧とこれと逆電位の第２極性の直流電圧とのいずれかを選択的に対をなす吸着用電極間に印加する電圧印加回路と、スイッチング素子の作動を制御する受電回路制御部と、変換回路から制御用電圧が入力され、この制御用電圧の入力時に対をなす吸着用電極間に第１極性または第２極性の直流電圧のいずれが印加されたかを記憶する記憶部とを備え、
受電回路制御部が、記憶部からの出力を受けて、静電吸着すべきワークが交換される毎に第１極性または第２極性の直流電圧が交互に対をなす吸着用電極間に印加されるように、電圧印加回路のスイッチング素子を制御することを特徴とする非接触式の給電システム。
【請求項２】
前記受電回路ユニットが、前記給電回路ユニットからの交流電力の変動を検出する検出回路を更に備え、
前記電圧印加回路は前記対をなす吸着用電極をアース接地する接地回路部を有し、
検出回路により交流電力の出力が所定の範囲を超えて変動したことが検出されると、前記受電回路制御部が、前記対をなす吸着用電極間に印加されている第１極性または第２極性の直流電圧に対して逆電位の直流電圧を当該対をなす吸着用電極間に印加し、引き続き当該対をなす吸着用電極をアース接地するように、電圧印加回路のスイッチング素子を制御することを特徴とする請求項１記載の非接触式の給電システム。
【請求項３】
前記記憶部は、前記変換回路からの制御用電圧を受けて動作するラッチングリレーと電磁リレーとを備えることを特徴とする請求項１または請求項２記載の非接触式の給電システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを静電吸着した状態で搬送する静電チャック付き搬送ロボットの吸着部分に設けられる吸着用電極に対して非接触式で給電するための非接触式の給電システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の給電システムは例えば特許文献１で知られている。このものは、対向配置される一対の電極間で機械的に分離されるキャパシタと、一方の電極に接続される給電回路ユニットと、他方の電極と静電チャックの吸着用電極との間に接続される受電回路ユニットと、給電回路ユニット及び受電回路ユニットの作動を制御する制御手段とを備える。静電チャック付き搬送ロボットとしては、例えば、互いに同心に配置される回転軸と、各回転軸に夫々連結されるロボットアームと、ロボットアームの先端に連結されるロボットハンドとを有するものが用いられ（所謂フログレック式）、ロボットハンドに一対の吸着用電極が設けられている。また、キャパシタの一方の電極は、回転軸に同心に設けられる筒状部材で構成され、一方の電極に対して電極間距離を一定に維持しながら相対移動するように他方の電極が回転軸に外挿されている。
【０００３】
搬送ロボットの中には、各回転軸に複数本のロボットアームを夫々設け、２以上のロボットハンドを持つもの（例えば、特許文献２参照）や、大型のガラス基板など薄板状で矩形のワークを搬送するために、固定のベース上に昇降自在及び回転自在に設けた旋回ベースと、旋回ベース上に設けられた一方向に長手のガイド体と、ガイド体にスライド自在に設けた可動体と、可動体に設けたロボットハンドとを備えて構成したものがある（例えば、特許文献３参照）。
【０００４】
ところで、対をなす吸着用電極に対して連続して同一極性の電圧を印加していると、吸着用電極での残留電荷の蓄積量が次第に多くなり、残留電荷の影響を受けてワークを脱離できない、という問題を招来する。そこで、上記従来例の給電システムに、他のキャパシタと他の受電回路ユニットとを増設し、搬送ロボットの吸着部分にて静電吸着すべきワークが交換される毎に、一の受電回路ユニットまたは他の受電回路ユニットを介して極性の異なる直流電圧が交互に吸着用電極に印加されるように構成することが提案される。然し、キャパシタや受電回路ユニットを増設する場合、給電システムの構成やキャパシタの電極が設置される搬送ロボットの構成が複雑になるばかりか、コスト高を招くという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−２３５９９１号公報
【特許文献２】特開２０１１−０８６７９５号公報
【特許文献３】特開２０１４−６５０９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、以上の点に鑑み、キャパシタ等を増設することなく、吸着用電極に交互に極性の異なる直流電圧が印加でき、残留電荷の影響を受けずに確実にワークを脱離できるようにした簡単な構成の給電システムを提供することをその課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、ワークを静電吸着した状態で搬送する静電チャック付き搬送ロボットの吸着部分に設けられる少なくとも一対の吸着用電極に対して非接触式で給電するための本発明の非接触式の給電システムは、交流電圧を出力する給電回路ユニットと、互いに対向配置される一対の電極間で機械的に分離され、一方の電極が給電回路ユニットに接続されると共に電極間距離を一定に維持しながら相対移動するように他方の電極が搬送ロボットの可動部分に設けられるキャパシタとを備え、キャパシタの他の電極が受電回路ユニットを介して対をなす吸着用電極に接続され、受電回路ユニットが、給電回路ユニットからの交流電圧を整流して直流電圧に変換すると共に制御用電圧を出力する変換回路と、スイッチング素子を有して第１極性の直流電圧とこれと逆電位の第２極性の直流電圧とのいずれかを選択的に対をなす吸着用電極間に印加する電圧印加回路と、スイッチング素子の作動を制御する受電回路制御部と、変換回路から制御用電圧が入力され、この制御用電圧の入力時に対をなす吸着用電極間に第１極性または第２極性の直流電圧のいずれが印加されたかを記憶する記憶部とを備え、受電回路制御部が、記憶部からの出力を受けて、静電吸着すべきワークが交換される毎に第１極性または第２極性の直流電圧が交互に対をなす吸着用電極間に印加されるように、電圧印加回路のスイッチング素子を制御することを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、他のキャパシタや他の受電回路ユニットを増設することなく、単一のキャパシタ及び受電回路ユニットによって、ワークが交換される毎に極性の異なる直流電圧を交互に吸着用電極に印加することができる。その結果、簡単な構成で残留電荷の蓄積量を可及的に少なくでき、残留電荷の影響を受けずにワークを脱離することができる。この場合、前記変換回路からの制御用電圧を受けて機械的に動作するラッチングリレーと電磁リレーとで記憶部を構成しておけば、例えば電源回路やバックアップ用のメモリー等を不要にでき、有利である。
【０００９】
また、本発明において、前記受電回路ユニットが、前記給電回路ユニットからの交流電力の変動を検出する検出回路を更に備え、前記電圧印加回路は前記対をなす吸着用電極をアース接地する接地回路部を有し、検出回路により交流電力の出力が所定の範囲を超えて変動したことが検出されると、前記受電回路制御部が、前記対をなす吸着用電極間に印加されている第１極性または第２極性の直流電圧に対して逆電位の直流電圧を当該対をなす吸着用電極間に印加し、引き続き当該対をなす吸着用電極をアース接地するように、電圧印加回路のスイッチング素子を制御することが好ましい。これによれば、単一のキャパシタ及び受電回路ユニットによって、ワークの静電吸着時にチャージされた電荷を瞬間的に消失させることができ、確実にロボットハンドからワークを脱離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】(ａ)は、本発明の実施形態の非接触式の給電システムが搭載された搬送ロボットの一部を示す正面図、（ｂ）は、その平面図、（Ｃ）は、その側面図。
【図２】給電システムの回路構成を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して、ワークを矩形のガラス基板Ｓとし、真空装置に用いられる搬送ロボットに適用した場合を例に本発明の実施形態の非接触式の給電システムＰＳを説明する。
【００１２】
図１を参照して、Ｔｒは、本実施形態の非接触式の給電システムＰＳを搭載した搬送ロボットである。搬送ロボットＴｒは、図外の固定ベースを備え、固定ベース上には、平面視矩形の旋回ベース１１が図外のモータやエアシリンダ等により昇降自在及び回転自在に設けられている。旋回ベース１１の上面には、その長手方向に沿ってのびる２本のガイドレール１２ａ，１２ｂが長手方向に直交する方向に間隔を存して設けられている。ガイドレール１２ａ，１２ｂには、図示省略の直動モータ等により旋回ベース１１に対して長手方向に相対移動自在な門型のフレーム１３が設けられている。フレーム１３の一側面には、その長手方向に沿ってのびるように４本の板状部材１４ａ〜１４ｄが長手方向に直交する方向に間隔を存して設けられている。各板状部材１４ａ〜１４ｄには、互いに隣接するもので対をなす静電チャックの吸着用電極１５ａ〜１５ｄ（本実施形態では、吸着用電極１５ａ，１５ｂと、吸着用電極１５ｃ，１５ｄとが夫々対をなす）が夫々埋設されている。この場合、吸着用電極１５ａ〜１５ｄを備える各板状部材１４ａ〜１４ｄが本実施形態の静電チャック付きのロボットハンドを構成する。そして、各対の吸着用電極１５ａ〜１５ｄに対して非接触式で給電するための本実施形態の給電システムＰＳが搭載されている。
【００１３】
図２も参照して、給電システムＰＳは、給電回路ユニット２と、給電回路ユニット２に電気配線３１を介して接続される単一のキャパシタ４と、キャパシタ４に電気配線３２を介して接続される受電回路ユニット５とを備える。キャパシタ４は、互いに対向配置される一対の電極４１，４２間で機械的に分離された所謂エアーギャップ式のものである。一方の電極４１は、旋回ベース１１の上面にスペーサー１１ａを介して設けられている。この場合、一方の電極４１は、旋回ベース１１の長手方向略全長に亘って設けられ、機械的に分離されたキャパシタ４の固定側の電極を構成する。電極４１はまた、絶縁体３３ａにより電気配線３１以外の部品と電気的に絶縁された状態で配置されている。
【００１４】
キャパシタ４の他方の電極４２は、フレーム１３の下面の所定位置に一方の電極４１に夫々対向するように設けられ、機械的に分離されたキャパシタ４の搬送ロボットＴｒの可動部分に設けられる電極を構成する。他方の電極４２もまた、絶縁体３３ｂにより電気配線３２以外の部品と電気的に絶縁された状態で配置されている。これにより、フレーム１３がガイドレール１２ａ，１２ｂに案内されて旋回ベース１１に対して相対移動する間、両電極４１，４２が、電極間距離を一定に維持しながら相対移動するようになる。両電極４１，４２相互間の距離は、キャパシタ４に加わる電圧がパッシェンの法則で制限される放電電圧以下となるように適宜選択される。また、キャパシタ４の夫々が対向する電極４１，４２の表面積は、受電回路ユニット５などの回路負荷によって適宜選択することができる。
【００１５】
給電回路ユニット２は、キャパシタ４を介して受電回路ユニット５に交流電圧としての搬送波を出力するものであり、例えば、各キャパシタ４及びインダクタ（図示せず）を含む共振回路の共振周波数で発振する自励発振器２１と、振幅変調を加える変調器２２と、これらの作動を統括制御するマイコンやメモリー等を備える公知の給電回路制御部２３とを備える。給電回路制御部２３は、例えば、搬送ロボットＴｒの作動を制御するロボット制御ユニット（図示せず）に相互通信自在に接続され、搬送ロボットＴｒの作動に連動して、自励発振器２１と変調器２２とを制御してキャパシタ４に出力する搬送波を適宜選択する。自励発振器２１及び変調器２２として、例えば公知の構造を有するオシレーターを用いることができ、その駆動周波数が１００ｋＨｚ〜数十ＭＨｚのものであり、高周波帯域の駆動周波数を含むものである。
【００１６】
受電回路ユニット５は、変換回路５１と、検出回路５２と、電圧印加回路５３と、受電回路制御部５４と、記憶部５５とで構成され、フレーム１３に装着した金属製の制御ボックス５ａに格納されている。キャパシタ４の他方の電極４２に電気配線３２を介して接続される変換回路５１は、給電回路ユニット２からキャパシタ４を介して供給される搬送波を整流する抵抗やダイオードなどを有する図示省略の整流回路を備え、正及び負の直流電圧Ｖｐ，Ｖｎに変換する。この場合、特に図示して説明しないが、公知の倍電圧整流方式などでガラス基板Ｓの吸着に必要な電圧が得られるように昇圧するようにしてもよい。また、変換回路５１は、図示省略の変圧回路を備え、搬送波が供給されたときに所定電圧に変圧した後、制御用電圧Ｃｐを検出回路５２と記憶部５５とに出力する。
【００１７】
検出回路５２は、給電回路ユニット２からキャパシタ４を介して供給される搬送波の供給電圧を検出するものであり、既存のものが利用できる。そして、検出回路５２は、供給電圧が所定の範囲を超えて変動したか否かを、本実施形態では、供給電圧が閾値以下に電圧降下（例えば、８０％以下に電圧降下）したか否かを判別し、閾値以下になったときには受電回路制御部５４に対してトリガー信号を出力する。
【００１８】
電圧印加回路５３は、第１の給電部５３ａと、第２の給電部５３ｂと、吸着用電極１５ａ〜１５ｄをアース接地する接地回路部５３ｃとで構成される。第１及び第２の給電部５３ａ，５３ｂ並びに接地回路部５３ｃは、受電回路制御部５４からの出力を受けて作動する、スイッチング素子としてのリレーを夫々備える。なお、リレー自体は、電磁式のもの等、公知のものを利用することができる。そして、第１の給電部５３ａには、変換回路５１で整流された正及び負の直流電圧Ｖｐ，Ｖｎが入力され、リレーの切換えにより、第１極性としての直流電圧Ｖｐ，Ｖｎを各対の吸着用電極１５ａと１５ｂ及び１５ｃと１５ｄとの間に夫々印加することができる。他方、第２の給電部５３ｂにも、変換回路５１で整流された正及び負の直流電圧Ｖｐ，Ｖｎが入力され、リレーの切換えにより、吸着用電極１５ａと１５ｂ及び１５ｃと１５ｄとの間に上記第１極性の直流電圧と逆電位である第２極性としての直流電圧Ｖｎ，Ｖｐを各対の吸着用電極１５ａと１５ｂ及び１５ｃと１５ｄとの間に夫々印加することができる。
【００１９】
受電回路制御部５４は、シーケンサー、電気機械回路やＣＰＵ等で構成され、検出回路５２と記憶部５５とからの入力を受けて第１の給電部５３ａ、第２の給電部５３ｂ及び接地回路部５３ｃの各リレーの作動を統括制御する。記憶部５５は、変換回路５１からの制御用電圧Ｃｐを受けて機械的に動作するラッチングリレーと２個の電磁リレーとで構成され、ラッチングリレーの接点がガラス基板Ｓを静電吸着するために搬送波が供給される毎に変換回路５１からの制御用電圧Ｃｐで切り換わる一方で、ガラス基板Ｓの静電吸着を解除するために給電回路ユニット２からの搬送波の供給が遮断されたときにはラッチングリレーの接点がそのまま保持されることで、吸着用電極１５ａ〜１５ｄに対して第１極性と第２極性とのいずれか一方の直流電圧が印加されているかを記憶することができる。言い換えると、給電回路ユニット２からの搬送波の供給回数が奇数回のものか、偶数回のものかが区別できる。なお、ラッチングリレーと２個の電磁リレーとで構成される記憶部５５自体は公知のものを利用できるため、具体的な構造の説明は省略する。以下に、搬送ロボットＴｒを用いて複数枚のガラス基板Ｓを順次搬送する場合の給電システムＰＳの動作を説明する。
【００２０】
上記搬送ロボットＴｒを用いて複数枚のガラス基板Ｓを順次搬送するのに際しては、例えば、ロボットハンドとしての板状部材１４ａ〜１４ｄに一枚目のガラス基板Ｓが設置され、これが搬送ロボットＴｒのロボット制御手段により検知されると、給電回路ユニット２の給電回路制御部２３にガラス基板Ｓの吸着の制御信号が出力される。すると、給電回路ユニット２によりキャパシタ４を介して受電回路ユニット５に搬送波が出力され、変換回路５１で正及び負の直流電圧Ｖｐ，Ｖｎに変換される共に、制御用信号Ｃｐが検出回路５２及び記憶部５５に出力される。このとき、例えば、初期状態にて記憶部５５のラッチングリレーがリセットであるとすると、制御用電圧Ｃｐの入力によりセットとなり、セットに応じた出力が受電回路制御部５４に入力される。そして、受電回路制御部５４が、第１の給電部５３ａのリレーを切換え、第１極性としての正及び負の直流電圧Ｖｐ，Ｖｎが吸着用電極１５ａと１５ｂ及び１５ｃと１５ｄとの間に夫々印加される。これにより、各対の吸着用電極１５ａ〜１５ｄによりガラス基板Ｓが静電吸着され、この状態でガラス基板Ｓが搬送ロボットＴｒにより所定位置に移送される。
【００２１】
所定位置まで移送されたガラス基板Ｓの静電吸着を解除するのに際しては、給電回路ユニット２からの搬送波の出力（例えば、８０％以下）を低下させる。このとき、搬送波の出力低下に伴って変換回路５１で変換される正及び負の直流電圧Ｖｐ，Ｖｎも低下する。そして、検出回路５２により搬送波の供給電圧が閾値以下に電圧降下（例えば、８０％以下に電圧降下）したか否かが判別され、閾値以下になったと判別されると、受電回路制御部５４に対してトリガー信号が出力される。すると、受電回路制御部５４は、第１及び第２の両給電部５３ａ，５３ｂのリレーを夫々切換え、低電圧となった第２極性としての正及び負の直流電圧Ｖｎ，Ｖｐが吸着用電極１５ａと１５ｂ及び１５ｃと１５ｄとの間に夫々印加され、引き続き、第２の給電部５３ｂ及び接地回路部５３ｃのリレーを夫々切換え、各吸着用電極１５ａ〜１５ｄがアース接地される。これにより、ガラス基板Ｓの静電吸着が確実に解除される。このとき、記憶部５５のラッチングリレーはセットのまま保持される。なお、第１極性の直流電圧Ｖｐ，Ｖｎから第２極性の直流電圧Ｖｎ，Ｖｐに切り換えるとき、一旦アース接地するようにしてもよい。また、閾値は、例えば、ガラス基板Ｓの静電吸着時にチャージされた電荷を可及的速やかに消失させることや、搬送波の出力低下に伴って制御用信号Ｃｐの電圧が低下しても検出回路５２及び記憶部５５の作動に影響がでないように適宜設定される。この場合、変換回路５１に公知の安定化電源機能を追加し、搬送波が出力低下しても、直流電圧Ｖｐ，Ｖｎや制御用信号Ｃｐが低下しないように設計することもできる。
【００２２】
次に、板状部材１４ａ〜１４ｄに二枚目のガラス基板Ｓが設置され、これが搬送ロボットＴｒのロボット制御手段により検知されると、上記同様、給電回路ユニット２の給電回路制御部２３にガラス基板Ｓの吸着の制御信号が出力される。すると、給電回路ユニット２によりキャパシタ４を介して受電回路ユニット５に搬送波が出力され、変換回路５１で正及び負の直流電圧Ｖｐ，Ｖｎに変換される共に、制御用信号Ｃｐが検出回路５２及び記憶部５５に再度出力される。このとき、制御用電圧Ｃｐの入力によりラッチングリレーがリセットとなり、リセットに応じた信号が受電回路制御部５４に入力される。これを受けて、受電回路制御部５４は、第２の給電部５３ｂのリレーを切換え、第２極性としての正及び負の直流電圧Ｖｎ，Ｖｐが吸着用電極１５ａと１５ｂ及び１５ｃと１５ｄとの間に夫々印加される。以降、ガラス基板Ｓの静電吸着の解除後に、上記操作を繰り返して複数枚のガラス基板Ｓが順次搬送される。
【００２３】
以上によれば、他のキャパシタや他の受電回路ユニットを増設することなく、単一のキャパシタ４及び受電回路ユニット５によって、ガラス基板Ｓが交換される毎に極性の異なる直流電圧を交互に吸着用電極１５ａ〜１５ｄに印加することができる。その結果、簡単な構成で残留電荷の蓄積量を可及的に少なくでき、残留電荷の影響を受けずにガラス基板Ｓをロボットハンド１４ａ〜１４ｄから脱離できる。これに加えて、検出回路５２と接地回路部５３ｃとを設けて、検出回路５２により搬送波の供給電圧が閾値以下に電圧降下すると、逆電位の直流電圧を吸着用電極１５ａ〜１５ｄに印加し、引き続きアース接地するように制御するため、ガラス基板Ｓの静電吸着時にチャージされた電荷を瞬間的に消失させることができ、残留電荷の影響を受けずにロボットハンド１４ａ〜１４ｄからガラス基板Ｓを確実に脱離することができる。
【００２４】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記のものに限定されるものではない。上記実施形態では、記憶部５５をラッチングリレーと電磁リレーとで構成するものを例に説明したが、第１極性と第２極性とのいずれの直流電圧を印加したかを記憶できるものであれば、これに限定されるものではなく、公知の記憶素子など他のもので代用することができる。また、上記実施形態では、電圧印加回路５３が、リレーを夫々有する第１及び第２の給電部５３ａ，５３ｂを備えるものを例に説明したが、ワークが交換される毎に極性の異なる直流電圧を交互に吸着用電極１５ａ〜１５ｄに印加することができるものであれば、スイッチングトランジスタ等を用いて別回路で構成することができる。
【００２５】
また、上記実施形態では、吸着用電極１５ａ〜１５ｄに給電する場合を例に説明したが、これに限定されるものではなく、個別に給電が必要な吸着用電極があるような場合には、キャパシタ４と受電回路ユニット５とを適宜増設すればよい。更に、搬送ロボットＴｒとしては、所謂フログレック式のものであっても本発明を適用して給電することができる。
【００２６】
更に、上記実施形態では、所定位置まで移送されたガラス基板Ｓの静電吸着を解除するのに際しては、給電回路ユニット２からの搬送波の出力（例えば、８０％以下）を低下させるものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、給電回路ユニット２からの搬送波の出力を（例えば、１２０％以上に）上昇させて上記各動作を行うようにした構成を採用することができる。また、静電吸着の解除のために、検出回路５２を設けて、給電回路ユニット２からの搬送波の出力が所定の範囲を超えて変動したか否かを判別し、逆電位の直流電圧を吸着用電極１５ａ〜１５ｄに印加し、引き続きアース接地するように制御するものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、検出回路５２に代えて受電回路ユニット５に、給電回路ユニット２からの出力が遮断されたときに受電回路ユニット５内での瞬間的な電圧低下を防ぐ瞬時電圧低下保護回路を設けることもできる。この場合、ガラス基板Ｓを搬送するときのスループットなどを考慮して２００ｍｓｅｃ〜１ｓｅｃの範囲で瞬間的な電圧低下を防ぐように設計すればよい。そして、瞬時電圧低下保護回路により、搬送波の供給が低下（例えば、８０％を超えて電圧降下）すると、受電回路制御部５４に対してトリガー信号を出力するようにし、受電回路制御部５４は、受電回路ユニット５での瞬間的な電圧低下を防ぐ間に、逆電位の直流電圧を吸着用電極１５ａ〜１５ｄに印加し、引き続きアース接地するように構成してもよい。
【符号の説明】
【００２７】
ＰＳ…非接触式の給電システム、Ｔｒ…搬送ロボット、Ｓ…ガラス基板（ワーク）、２…給電回路ユニット、４…キャパシタ、４１,４２…キャパシタの電極、１５ａ〜１５ｄ…吸着用電極、５…受電回路ユニット、５１…変換回路、５２…検出回路、５３…電圧印加回路、５４…受電回路制御部、５５…記憶部。
【図１】
0006616116.tif 000002
【図２】
0006616116.tif 000003