(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物が個別に搭載されるとともに同じ高さで配置される複数のハンドと、複数の前記ハンドのそれぞれが固定される複数のハンド支持部材と、複数の前記ハンド支持部材が水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように複数の前記ハンド支持部材を保持する保持部材と、前記保持部材に対して複数の前記ハンド支持部材のそれぞれを個別に往復移動させる複数のハンド駆動機構とを備えるとともに、
前記保持部材に対する前記ハンド支持部材の移動方向を第１方向とし、水平方向であってかつ前記第１方向に直交する方向を第２方向とすると、
前記ハンドとして、前記第１方向から見たときに前記第２方向で隣り合うように同じ高さで配置される第１ハンドおよび第２ハンドと、前記第１方向から見たときに上下方向で前記第１ハンドと重なるように前記第１ハンドの下側に配置される第３ハンドと、前記第１方向から見たときに上下方向で前記第２ハンドと重なるように前記第３ハンドと同じ高さで前記第２ハンドの下側に配置される第４ハンドとを備え、
前記ハンド支持部材として、前記第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、前記第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、前記第３ハンドが固定される第３ハンド支持部材と、前記第４ハンドが固定される第４ハンド支持部材とを備え、
前記ハンド駆動機構として、前記第１ハンド支持部材を往復移動させる第１ハンド駆動機構と、前記第２ハンド支持部材を往復移動させる第２ハンド駆動機構と、前記第３ハンド支持部材を往復移動させる第３ハンド駆動機構と、前記第４ハンド支持部材を往復移動させる第４ハンド駆動機構とを備え、
前記保持部材は、前記第１ハンド支持部材と前記第３ハンド支持部材とを往復移動可能に保持する第１保持部材と、前記第２ハンド支持部材と前記第４ハンド支持部材とを往復移動可能に保持する第２保持部材とを備え、
前記ハンド駆動機構は、駆動源となるハンド駆動モータと、前記ハンド駆動モータの動力で回転するネジ軸および前記ネジ軸の外周面に形成されるオネジに係合するメネジが内周側に形成されるナット部材を有し前記ハンド支持部材を前記第１方向へ送る送り機構と、前記第１方向へ前記ハンド支持部材を案内するハンドガイド機構とを備え、
前記第１ハンド駆動機構の前記送り機構を第１送り機構とし、前記第１ハンド駆動機構の前記ハンドガイド機構を第１ハンドガイド機構とし、前記第１ハンド駆動機構の前記ハンド駆動モータを第１ハンド駆動モータとし、前記第２ハンド駆動機構の前記送り機構を第２送り機構とし、前記第２ハンド駆動機構の前記ハンドガイド機構を第２ハンドガイド機構とし、前記第２ハンド駆動機構の前記ハンド駆動モータを第２ハンド駆動モータとし、前記第３ハンド駆動機構の前記送り機構を第３送り機構とし、前記第３ハンド駆動機構の前記ハンドガイド機構を第３ハンドガイド機構とし、前記第３ハンド駆動機構の前記ハンド駆動モータを第３ハンド駆動モータとし、前記第４ハンド駆動機構の前記送り機構を第４送り機構とし、前記第４ハンド駆動機構の前記ハンドガイド機構を第４ハンドガイド機構とし、前記第４ハンド駆動機構の前記ハンド駆動モータを第４ハンド駆動モータとすると、
前記第１送り機構と前記第１ハンドガイド機構と前記第３送り機構と前記第３ハンドガイド機構とは、前記第１方向から見たときに、４個の前記ハンド駆動モータよりも前記第２方向の一方側に配置され、
前記第２送り機構と前記第２ハンドガイド機構と前記第４送り機構と前記第４ハンドガイド機構とは、前記第１方向から見たときに、４個の前記ハンド駆動モータよりも前記第２方向の他方側に配置され、
前記第３ハンド駆動モータと前記第１ハンド駆動モータとは、前記第１方向から見たときに、上下方向で重なるようにかつ上側からこの順番で前記第３ハンドの下側に配置され、
前記第４ハンド駆動モータと前記第２ハンド駆動モータとは、前記第１方向から見たときに、上下方向で重なるようにかつ上側からこの順番で前記第４ハンドの下側に配置され、
前記第１送り機構および前記第１ハンドガイド機構は、前記第１方向から見たときに前記第１ハンド駆動モータと前記第２方向で隣り合うように配置され、
前記第２送り機構および前記第２ハンドガイド機構は、前記第１方向から見たときに前記第２ハンド駆動モータと前記第２方向で隣り合うように配置され、
前記第３送り機構および前記第３ハンドガイド機構は、前記第１方向から見たときに前記第３ハンド駆動モータと前記第２方向で隣り合うように配置され、
前記第４送り機構および前記第４ハンドガイド機構は、前記第１方向から見たときに前記第４ハンド駆動モータと前記第２方向で隣り合うように配置され、
前記第１送り機構と前記第１ハンドガイド機構と前記第３送り機構と前記第３ハンドガイド機構とは、前記第１方向から見たときに、前記第３ハンドの下側に配置され、
前記第２送り機構と前記第２ハンドガイド機構と前記第４送り機構と前記第４ハンドガイド機構とは、前記第１方向から見たときに、前記第４ハンドの下側に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記第２方向における前記第１保持部材と前記第２保持部材とのピッチを変更するハンドピッチ変更機構を備えることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項３】
前記ハンドピッチ変更機構は、前記産業用ロボットが前記搬送対象物を搬送する搬送動作中に、前記第２方向における前記第１保持部材と前記第２保持部材とのピッチを変更することを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。
【請求項４】
前記ハンドピッチ変更機構は、駆動源となる保持部材駆動モータと、その中心位置が前記保持部材駆動モータの出力軸に固定される第１レバー部材と、その一端側が前記第１保持部材に回動可能に連結されるとともにその他端側が前記第１レバー部材の一端側に回動可能に連結される第２レバー部材と、その一端側が前記第２保持部材に回動可能に連結されるとともにその他端側が前記第１レバー部材の他端側に回動可能に連結される第３レバー部材と、前記第１保持部材を前記第２方向へ案内する第１保持部材ガイド機構と、前記第２保持部材を前記第２方向へ案内する第２保持部材ガイド機構とを備えることを特徴とする請求項２または３記載の産業用ロボット。
【請求項５】
前記ハンドは、前記第２方向で隣り合うように配置され前記搬送対象物が搭載される２本のフォークと、前記第２方向における２本の前記フォークのピッチを変更するフォークピッチ変更機構とを備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項６】
前記フォークピッチ変更機構は、駆動源となる減速機付きのフォーク駆動モータと、順ネジが形成される順ネジ部と逆ネジが形成される逆ネジ部とを有し前記フォーク駆動モータの出力軸に連結されるネジ部材と、２本の前記フォークの一方に固定され前記順ネジ部に係合する第１ナット部材と、２本の前記フォークの他方に固定され前記逆ネジ部に係合する第２ナット部材と、２本の前記フォークの一方を前記第２方向へ案内する第１フォークガイド機構と、２本の前記フォークの他方を前記第２方向へ案内する第２フォークガイド機構とを備えることを特徴とする請求項５記載の産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドの２個のハンドと、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材を保持するアームとを備えている。第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材は、水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように、アームに保持されている。アームに対する第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材の移動方向から見たときに、第１ハンドと第２ハンドとは上下方向で重なっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−８０８２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、ガラス基板等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットが設置される製造システムでは、タクトタイムの短縮化が求められている。そこで、本発明の課題は、産業用ロボットが設置される製造システムのタクトタイムを短縮することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が個別に搭載されるとともに同じ高さで配置される複数のハンドと、複数のハンドのそれぞれが固定される複数のハンド支持部材と、複数のハンド支持部材が水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように複数のハンド支持部材を保持する保持部材と、保持部材に対して複数のハンド支持部材のそれぞれを個別に往復移動させる複数のハンド駆動機構とを備えるとともに、保持部材に対するハンド支持部材の移動方向を第１方向とし、水平方向であってかつ第１方向に直交する方向を第２方向とすると、ハンドとして、第１方向から見たときに第２方向で隣り合うように同じ高さで配置される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１方向から見たときに上下方向で第１ハンドと重なるように第１ハンドの下側に配置される第３ハンドと、第１方向から見たときに上下方向で第２ハンドと重なるように第３ハンドと同じ高さで第２ハンドの下側に配置される第４ハンドとを備え、ハンド支持部材として、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第３ハンドが固定される第３ハンド支持部材と、第４ハンドが固定される第４ハンド支持部材とを備え、ハンド駆動機構として、第１ハンド支持部材を往復移動させる第１ハンド駆動機構と、第２ハンド支持部材を往復移動させる第２ハンド駆動機構と、第３ハンド支持部材を往復移動させる第３ハンド駆動機構と、第４ハンド支持部材を往復移動させる第４ハンド駆動機構とを備え、保持部材は、第１ハンド支持部材と第３ハンド支持部材とを往復移動可能に保持する第１保持部材と、第２ハンド支持部材と第４ハンド支持部材とを往復移動可能に保持する第２保持部材とを備え、ハンド駆動機構は、駆動源となるハンド駆動モータと、ハンド駆動モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸の外周面に形成されるオネジに係合するメネジが内周側に形成されるナット部材を有しハンド支持部材を第１方向へ送る送り機構と、第１方向へハンド支持部材を案内するハンドガイド機構とを備え、第１ハンド駆動機構の送り機構を第１送り機構とし、第１ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第１ハンドガイド機構とし、第１ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第１ハンド駆動モータとし、第２ハンド駆動機構の送り機構を第２送り機構とし、第２ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第２ハンドガイド機構とし、第２ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第２ハンド駆動モータとし、第３ハンド駆動機構の送り機構を第３送り機構とし、第３ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第３ハンドガイド機構とし、第３ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第３ハンド駆動モータとし、第４ハンド駆動機構の送り機構を第４送り機構とし、第４ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第４ハンドガイド機構とし、第４ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第４ハンド駆動モータとすると、第１送り機構と第１ハンドガイド機構と第３送り機構と第３ハンドガイド機構とは、第１方向から見たときに、４個のハンド駆動モータよりも第２方向の一方側に配置され、第２送り機構と第２ハンドガイド機構と第４送り機構と第４ハンドガイド機構とは、第１方向から見たときに、４個のハンド駆動モータよりも第２方向の他方側に配置され、第３ハンド駆動モータと第１ハンド駆動モータとは、第１方向から見たときに、上下方向で重なるようにかつ上側からこの順番で第３ハンドの下側に配置され、第４ハンド駆動モータと第２ハンド駆動モータとは、第１方向から見たときに、上下方向で重なるようにかつ上側からこの順番で第４ハンドの下側に配置され、第１送り機構および第１ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第１ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第２送り機構および第２ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第２ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第３送り機構および第３ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第３ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第４送り機構および第４ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第４ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第１送り機構と第１ハンドガイド機構と第３送り機構と第３ハンドガイド機構とは、第１方向から見たときに、第３ハンドの下側に配置され、第２送り機構と第２ハンドガイド機構と第４送り機構と第４ハンドガイド機構とは、第１方向から見たときに、第４ハンドの下側に配置されていることを特徴とする。
【０００６】
本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が個別に搭載されるとともに同じ高さで配置される複数のハンドを備えている。そのため、本発明では、同じ高さで収容されている複数の搬送対象物を複数のハンドによって同時に搬出することが可能になるとともに、同じ高さで収容される複数の搬送対象物を複数のハンドによって同時に搬入することが可能になる。したがって、本発明では、産業用ロボットが設置される製造システムのタクトタイムを短縮することが可能になる。一方で、たとえば、搬送対象物の搬出時や搬入時に複数のハンドの全てを同時に往復移動させると、複数のハンドの中のいくつかのハンドが、製造システムを構成する製造装置や搬送対象物が収容されるカセット等と接触するおそれがある。本発明の産業用ロボットは、保持部材に対して複数のハンド支持部材のそれぞれを個別に往復移動させる複数のハンド駆動機構を備えているため、搬送対象物の搬出時や搬入時に製造装置等と接触するおそれのあるハンドを停止させておくことが可能になる。したがって、本発明では、搬送対象物の搬出時や搬入時における製造装置等とハンドとの接触を防止することが可能になり、ハンド等の損傷を防止することが可能になる。
【０００７】
また、本発明では、保持部材に対するハンド支持部材の移動方向を第１方向とし、水平方向であってかつ第１方向に直交する方向を第２方向とすると、産業用ロボットは、ハンドとして、第１方向から見たときに第２方向で隣り合うように同じ高さで配置される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１方向から見たときに上下方向で第１ハンドと重なるように第１ハンドの下側に配置される第３ハンドと、第１方向から見たときに上下方向で第２ハンドと重なるように第３ハンドと同じ高さで第２ハンドの下側に配置される第４ハンドとを備え、ハンド支持部材として、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第３ハンドが固定される第３ハンド支持部材と、第４ハンドが固定される第４ハンド支持部材とを備え、ハンド駆動機構として、第１ハンド支持部材を往復移動させる第1ハンド駆動機構と、第２ハンド支持部材を往復移動させる第２ハンド駆動機構と、第３ハンド支持部材を往復移動させる第３ハンド駆動機構と、第４ハンド支持部材を往復移動させる第４ハンド駆動機構とを備え、保持部材は、第１ハンド支持部材と第３ハンド支持部材とを往復移動可能に保持する第１保持部材と、第２ハンド支持部材と第４ハンド支持部材とを往復移動可能に保持する第２保持部材とを備えている。そのため、第１ハンドと第２ハンドとを用いて、あるいは、第３ハンドと第４ハンドとを用いて、同じ高さで収容されている複数の搬送対象物を同時に搬出することが可能になるとともに、同じ高さで収容される複数の搬送対象物を同時に搬入することが可能になる。
【０００８】
また、本発明では、ハンド駆動機構は、駆動源となるハンド駆動モータと、ハンド駆動モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸の外周面に形成されるオネジに係合するメネジが内周側に形成されるナット部材を有しハンド支持部材を第１方向へ送る送り機構と、第１方向へハンド支持部材を案内するハンドガイド機構とを備え、第１ハンド駆動機構の送り機構を第１送り機構とし、第１ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第１ハンドガイド機構とし、第２ハンド駆動機構の送り機構を第２送り機構とし、第２ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第２ハンドガイド機構とし、第３ハンド駆動機構の送り機構を第３送り機構とし、第３ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第３ハンドガイド機構とし、第４ハンド駆動機構の送り機構を第４送り機構とし、第４ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第４ハンドガイド機構とすると、第１送り機構と第１ハンドガイド機構と第３送り機構と第３ハンドガイド機構とは、第１方向から見たときに、４個のハンド駆動モータよりも第２方向の一方側に配置され、第２送り機構と第２ハンドガイド機構と第４送り機構と第４ハンドガイド機構とは、第１方向から見たときに、４個のハンド駆動モータよりも第２方向の他方側に配置されている。
【０００９】
そのため、可動する部材を有する第１送り機構、第１ハンドガイド機構、第３送り機構および第３ハンドガイド機構と、可動する部材を有する第２送り機構、第２ハンドガイド機構、第４送り機構および第４ハンドガイド機構との第２方向の距離を確保することが可能になる。したがって、４個のハンド駆動モータよりも第２方向の一方側に配置される可動する部材と、４個のハンド駆動モータよりも第２方向の他方側に配置される可動する部材との干渉を防止することが可能になる。
【００１０】
また、本発明では、第１ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第１ハンド駆動モータとし、第２ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第２ハンド駆動モータとし、第３ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第３ハンド駆動モータとし、第４ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第４ハンド駆動モータとすると、第３ハンド駆動モータと第１ハンド駆動モータとは、第１方向から見たときに、上下方向で重なるようにかつ上側からこの順番で第３ハンドの下側に配置され、第４ハンド駆動モータと第２ハンド駆動モータとは、第１方向から見たときに、上下方向で重なるようにかつ上側からこの順番で第４ハンドの下側に配置され、第１送り機構および第１ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第１ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第２送り機構および第２ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第２ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第３送り機構および第３ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第３ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第４送り機構および第４ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第４ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置されている。
【００１１】
そのため、第１ハンド駆動モータ、第１送り機構および第１ハンドガイド機構が、第３ハンド駆動モータ、第３送り機構および第３ハンドガイド機構の上側に配置されている場合と比較して、第１ハンド支持部材および第３ハンド支持部材の構成を簡素化することが可能になる。また、第２ハンド駆動モータ、第２送り機構および第２ハンドガイド機構が、第４ハンド駆動モータ、第４送り機構および第４ハンドガイド機構の上側に配置されている場合と比較して、第２ハンド支持部材および第４ハンド支持部材の構成を簡素化することが可能になる。
【００１２】
本発明において、産業用ロボットは、第２方向における第１保持部材と第２保持部材とのピッチを変更するハンドピッチ変更機構を備えることが好ましい。この場合には、ハンドピッチ変更機構は、産業用ロボットが搬送対象物を搬送する搬送動作中に、第２方向における第１保持部材と第２保持部材とのピッチを変更することが好ましい。このように構成すると、同じ高さで搬送元に収容されている複数の搬送対象物の第２方向のピッチと、同じ高さで搬送先に収容される複数の搬送対象物の第２方向のピッチとが異なる場合であっても、搬送元から搬送先へ搬送対象物を短時間でかつ適切に搬送することが可能になる。
【００１３】
本発明において、ハンドピッチ変更機構は、駆動源となる保持部材駆動モータと、その中心位置が保持部材駆動モータの出力軸に固定される第１レバー部材と、その一端側が第１保持部材に回動可能に連結されるとともにその他端側が第１レバー部材の一端側に回動可能に連結される第２レバー部材と、その一端側が第２保持部材に回動可能に連結されるとともにその他端側が第１レバー部材の他端側に回動可能に連結される第３レバー部材と、第１保持部材を第２方向へ案内する第１保持部材ガイド機構と、第２保持部材を第２方向へ案内する第２保持部材ガイド機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、３個のレバー部材を用いた比較的簡易な構成で、第２方向における第１保持部材と第２保持部材とのピッチを変更することが可能になる。
【００１４】
本発明において、ハンドは、第２方向で隣り合うように配置され搬送対象物が搭載される２本のフォークと、第２方向における２本のフォークのピッチを変更するフォークピッチ変更機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、フォークのピッチを変更することで様々な大きさの搬送対象物を搬送することが可能になる。
【００１５】
本発明において、フォークピッチ変更機構は、駆動源となる減速機付きのフォーク駆動モータと、順ネジが形成される順ネジ部と逆ネジが形成される逆ネジ部とを有しフォーク駆動モータの出力軸に連結されるネジ部材と、２本のフォークの一方に固定され順ネジ部に係合する第１ナット部材と、２本のフォークの他方に固定され逆ネジ部に係合する第２ナット部材と、２本のフォークの一方を第２方向へ案内する第１フォークガイド機構と、２本のフォークの他方を第２方向へ案内する第２フォークガイド機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、１本のネジ部材を用いた比較的簡易な構成で、第２方向における２本のフォークのピッチを変更することが可能になる。また、このように構成すると、フォーク駆動モータの減速機の減速比を大きくすることで、所定位置に移動した２本のフォークに第２方向の外力が作用しても、２本のフォークはその位置から動かない。したがって、フォーク駆動モータの減速機の減速比を大きくすることで、特別な固定機構を設けなくても、所定位置に移動した２本のフォークをその位置で固定することが可能になる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明では、産業用ロボットが設置される製造システムのタクトタイムを短縮することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの正面図である。
【図２】図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボットを示す側面図である。
【図３】図２のＦ−Ｆ方向から産業用ロボットを示す平面図である。
【図４】図１に示すアームおよびアーム支持部材の内部の構造を説明するための図である。
【図５】図４に示す状態から第１アームと第２アームとのピッチが広がったときの状態を示す図である。
【図６】図４のＧ−Ｇ方向からハンドピッチ変更機構の構成を説明するための図である。
【図７】図１に示すハンドの基部の内部の構成を説明するための平面図である。
【図８】図１に示すハンドの基部の内部の構成を説明するための側面図である。
【図９】図３に示すフォークの先端側部分の構成を説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１９】
（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の正面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボット１を示す側面図である。図３は、図２のＦ−Ｆ方向から産業用ロボット１を示す平面図である。図４は、図１に示すアーム１１およびアーム支持部材１６の内部の構造を説明するための図である。
【００２０】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２を搬送するためのロボットである。具体的には、ロボット１は、スマートフォン等の携帯機器に使用される比較的小型のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、液晶ディスプレイの製造システムに組み込まれて使用される。
【００２１】
ロボット１は、基板２が個別に搭載される４個のハンド３〜６と、４個のハンド３〜６のそれぞれが固定される４個のハンド支持部材７〜１０と、４個のハンド支持部材７〜１０を保持する保持部材としてのアーム１１と、アーム１１を支持する本体部１２と、本体部１２の水平方向への移動が可能となるように本体部１２を支持するベース部材１３とを備えている。本形態のハンド３は第１ハンドであり、ハンド４は第２ハンドであり、ハンド５は第３ハンドであり、ハンド６は第４ハンドである。また、ハンド支持部材７は、ハンド３が固定される第１ハンド支持部材であり、ハンド支持部材８は、ハンド４が固定される第２ハンド支持部材であり、ハンド支持部材９は、ハンド５が固定される第３ハンド支持部材であり、ハンド支持部材１０は、ハンド６が固定される第４ハンド支持部材である。
【００２２】
本体部１２は、アーム１１を保持するアーム支持部材１６と、アーム支持部材１６を上下方向に移動可能に支持する柱状部材１７と、本体部１２の下端部分を構成するとともにベース部材１３に対して水平移動可能な基台１８と、柱状部材１７の下端が固定されるとともに基台１８に対して旋回可能な旋回部材１９とを備えている。アーム１１は、アーム支持部材１６の先端側に保持されている。具体的には、アーム１１の下端側がアーム支持部材１６の先端側に保持されている。
【００２３】
アーム支持部材１６の基端側は、柱状部材１７に支持されている。アーム支持部材１６は、図示を省略する昇降機構の動力によって、上下方向を長手方向とする柱状に形成される柱状部材１７に対してアーム１１等と一緒に上下動する。基台１８は、図示を省略する移動機構の動力によって、ベース部材１３に対して水平方向へ直線的に往復移動する。すなわち、本体部１２は、この移動機構の動力によって、ベース部材１３に対して水平方向へ往復移動する。また、旋回部材１９は、図示を省略する旋回機構の動力によって、基台１８に対して旋回する。
【００２４】
ハンド支持部材７〜１０は、水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるようにアーム１１に保持されている。ロボット１は、アーム１１に対してハンド支持部材７〜１０のそれぞれを個別に往復移動させる４個のハンド駆動機構２２〜２５を備えている（図４参照）。本形態のハンド駆動機構２２は、ハンド支持部材７を往復移動させる第１ハンド駆動機構であり、ハンド駆動機構２３は、ハンド支持部材８を往復移動させる第２ハンド駆動機構であり、ハンド駆動機構２４は、ハンド支持部材９を往復移動させる第３ハンド駆動機構であり、ハンド駆動機構２５は、ハンド支持部材１０を往復移動させる第４ハンド駆動機構である。
【００２５】
以下の説明では、アーム１１に対するハンド支持部材７〜１０の移動方向（図２等のＸ方向）を前後方向とし、水平方向であってかつ前後方向に直交する方向（図１等のＹ方向）を左右方向とする。また、左右方向の一方側（Ｙ１方向側）を「右」側とし、その反対側（Ｙ２方向側）を「左」側とする。本形態の前後方向は、第１方向であり、左右方向は、第２方向である。
【００２６】
ハンド３〜６は、ハンド支持部材７〜１０に固定される基部２６と、基部２６から前後方向の一方側へ突出する２本のフォーク２７を備えている。基部２６は、中空状に形成されるとともに扁平な略直方体状に形成されている。フォーク２７は、中空状に形成されるとともに前後方向に細長い略直方体状に形成されており、フォーク２７の先端側部分の上面は、基板２が搭載される基板搭載面となっている。２本のフォーク２７は、左右方向で隣り合うように配置されている。
【００２７】
ハンド３とハンド４とは、同じ高さで配置されている。具体的には、基板２が搭載されるハンド３の基板搭載面の高さ（すなわち、フォーク２７の上面の高さ）と、基板２が搭載されるハンド４の基板搭載面の高さとが一致するようにハンド３、４が配置されている。また、ハンド３とハンド４とは、前後方向から見たときに左右方向で隣り合うように配置されている。本形態では、ハンド３が左側に配置され、ハンド４が右側に配置されている。
【００２８】
ハンド５とハンド６とは、同じ高さで配置されている。具体的には、基板２が搭載されるハンド５の基板搭載面の高さと、基板２が搭載されるハンド６の基板搭載面の高さとが一致するようにハンド５、６が配置されている。また、ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに左右方向で隣り合うように配置されている。本形態では、ハンド５が左側に配置され、ハンド６が右側に配置されている。また、ハンド５は、前後方向から見たときにハンド３と上下方向で重なるようにハンド３の下側に配置され、ハンド６は、前後方向から見たときにハンド４と上下方向で重なるようにハンド３の下側に配置されている。
【００２９】
アーム１１は、ハンド３〜６の下側に配置されている。このアーム１１は、左右方向に分割される第１アーム２９と第２アーム３０とから構成されている。第１アーム２９は、ハンド支持部材７、９を往復移動可能に保持し、第２アーム３０は、ハンド支持部材８、１０を往復移動可能に保持している。第１アーム２９と第２アーム３０とは、左右方向への往復移動が可能となるようにアーム支持部材１６に保持されている。ロボット１は、左右方向における第１アーム２９と第２アーム３０とのピッチを変更するハンドピッチ変更機構３１を備えている（図４参照）。本形態の第１アーム２９は第１保持部材であり、第２アーム３０は第２保持部材である。
【００３０】
（ハンド駆動機構の構成）
ハンド駆動機構２２〜２５は、駆動源となるモータ３５〜３８と、ハンド支持部材７〜１０を前後方向へ送る送り機構３９〜４２と、ハンド支持部材７〜１０を前後方向へ案内するガイド機構４３〜４６とを備えている。本形態のモータ３５〜３８は、ハンド駆動モータであり、ガイド機構４３〜４６は、ハンドガイド機構である。また、ハンド駆動機構２２のモータ３５は第１ハンド駆動モータであり、ハンド駆動機構２３のモータ３６は第２ハンド駆動モータであり、ハンド駆動機構２４のモータ３７は第３ハンド駆動モータであり、ハンド駆動機構２５のモータ３８は第４ハンド駆動モータである。さらに、ハンド駆動機構２２の送り機構３９は第１送り機構であり、ハンド駆動機構２３の送り機構４０は第２送り機構であり、ハンド駆動機構２４の送り機構４１は第３送り機構であり、ハンド駆動機構２５の送り機構４２は第４送り機構である。また、ハンド駆動機構２２のガイド機構４３は第１ハンドガイド機構であり、ハンド駆動機構２３のガイド機構４４は第２ハンドガイド機構であり、ハンド駆動機構２４のガイド機構４５は第３ハンドガイド機構であり、ハンド駆動機構２５のガイド機構４６は第４ハンドガイド機構である。
【００３１】
モータ３５〜３８は、モータ３５〜３８の出力軸の軸方向と前後方向とが一致するようにアーム１１に取り付けられている。また、モータ３５〜３８は、モータ３５〜３８の出力軸が前後方向において同じ方向へ突出するようにアーム１１に取り付けられている。さらに、モータ３５〜３８は、前後方向におけるアーム１１の一端側に取り付けられている。本形態では、モータ３５、３７は、第１アーム２９に取り付けられ、モータ３６、３８は、第２アーム３０に取り付けられている。
【００３２】
モータ３５とモータ３７とは、前後方向から見たときに上下方向で重なるようにハンド５の下側に配置されている。また、モータ３７がモータ３５の上側に配置されている。モータ３６とモータ３８とは、前後方向から見たときに上下方向で重なるようにハンド６の下側に配置されている。また、モータ３８がモータ３６の上側に配置されている。モータ３５とモータ３６とは、左右方向で隣接するように同じ高さで配置され、モータ３７とモータ３８とは左右方向で隣接するように同じ高さで配置されている。また、モータ３５がモータ３６の左側に配置され、モータ３７がモータ３８の左側に配置されている。
【００３３】
送り機構３９〜４２は、モータ３５〜３８の動力で回転するネジ軸４８〜５１と、ネジ軸４８〜５１の外周面に形成されるオネジに係合するメネジが内周側に形成されるナット部材５２〜５５とを備えている。具体的には、送り機構３９〜４２は、ネジ軸４８〜５１とナット部材５２〜５５との間に配置されるボール（図示省略）を有するボールネジである。ネジ軸４８〜５１は、ネジ軸４８〜５１の軸方向と前後方向とが一致するようにアーム１１に回転可能に取り付けられている。ナット部材５２〜５５は、ハンド支持部材７〜１０に取り付けられている。モータ３５〜３８の出力軸とネジ軸４８〜５１とは、プーリおよびベルトを介して連結されている。
【００３４】
送り機構３９のネジ軸４８は、第１アーム２９に回転可能に取り付けられており、モータ３５の左側に配置されている。送り機構４１のネジ軸５０は、第１アーム２９に回転可能に取り付けられており、モータ３７の左側に配置されている。送り機構４０のネジ軸４９は、第２アーム３０に回転可能に取り付けられており、モータ３６の右側に配置されている。送り機構４２のネジ軸５１は、第２アーム３０に回転可能に取り付けられており、モータ３８の右側に配置されている。送り機構３９のナット部材５２は、ハンド支持部材７の下端側に固定されている。送り機構４０のナット部材５３は、ハンド支持部材８の下端側に固定されている。送り機構４１のナット部材５４は、ハンド支持部材９の上端側に固定されている。送り機構４２のナット部材５５は、ハンド支持部材１０の上端側に固定されている。
【００３５】
ガイド機構４３〜４６は、前後方向を長手方向として配置されるガイドレール５７〜６０と、ガイドレール５７〜６０に係合するガイドブロック６１〜６４とを有するリニアガイドである。ガイド機構４３のガイドレール５７は、第１アーム２９に固定されている。ガイドレール５７は、モータ３５の左側に配置されるとともにネジ軸４８の上側に配置されている。ガイド機構４５のガイドレール５９は、第１アーム２９に固定されている。ガイドレール５９は、モータ３７の左側に配置されるとともにネジ軸５０の下側に配置されている。ガイド機構４４のガイドレール５８は、第２アーム３０に固定されている。ガイドレール５８は、モータ３６の右側に配置されるとともにネジ軸４９の上側に配置されている。ガイド機構４６のガイドレール６０は、第２アーム３０に固定されている。ガイドレール６０は、モータ３８の右側に配置されるとともにネジ軸５１の下側に配置されている。
【００３６】
ガイド機構４３のガイドブロック６１は、ハンド支持部材７の下端側に固定されている。このガイドブロック６１は、ナット部材５２の上側に配置されている。ガイド機構４４のガイドブロック６２は、ハンド支持部材８の下端側に固定されている。このガイドブロック６２は、ナット部材５３の上側に配置されている。ガイド機構４５のガイドブロック６３は、ハンド支持部材９の下端側に固定されている。このガイドブロック６３は、ナット部材５４の下側に配置されている。ガイド機構４６のガイドブロック６４は、ハンド支持部材１０の下端側に固定されている。このガイドブロック６４は、ナット部材５５の下側に配置されている。
【００３７】
上述のように、ネジ軸４８、ナット部５２、ガイドレール５７およびガイドブロック６１は、モータ３５の左側に配置され、ネジ軸４９、ナット部５３、ガイドレール５８およびガイドブロック６２は、モータ３６の右側に配置され、ネジ軸５０、ナット部５４、ガイドレール５９およびガイドブロック６３は、モータ３７の左側に配置され、ネジ軸５１、ナット部５５、ガイドレール６０およびガイドブロック６４は、モータ３８の右側に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、送り機構３９およびガイド機構４３は、モータ３５と左右方向で隣り合うように配置され、送り機構４０およびガイド機構４４は、モータ３６と左右方向で隣り合うように配置され、送り機構４１およびガイド機構４５は、モータ３７と左右方向で隣り合うように配置され、送り機構４２およびガイド機構４６は、モータ３８と左右方向で隣り合うように配置されている。また、モータ３５、３７は、モータ３６、３８の左側に配置されているため、前後方向から見たときに、送り機構３９、４１とガイド機構４３、４５とは、４個のモータ３５〜３８よりも左側に配置され、送り機構４０、４２とガイド機構４４、４６とは、４個のモータ３５〜３８よりも右側に配置されている。
【００３８】
なお、ハンド支持部材７の上端側には、ハンド３の基部２６の右側面が固定され、ハンド支持部材８の上端側には、ハンド４の基部２６の右側面が固定されている。また、ハンド支持部材９の上端には、ハンド５の基部２６の下面の左端側が固定され、ハンド支持部材１０の上端には、ハンド６の基部２６の下面の右端側が固定されている。前後方向から見たときに、ハンド支持部材７は、ハンド支持部材９よりも左側に配置され、ハンド支持部材８は、ハンド支持部材１０よりも右側に配置されている。
【００３９】
（ハンドピッチ変更機構の構成）
図５は、図４に示す状態から第１アーム２９と第２アーム３０とのピッチが広がったときの状態を示す図である。図６は、図４のＧ−Ｇ方向からハンドピッチ変更機構３１の構成を説明するための図である。
【００４０】
ハンドピッチ変更機構３１は、駆動源となるモータ６７と、モータ６７の出力軸に固定されるレバー部材６８と、第１アーム２９に回動可能に連結されるレバー部材６９と、第２アーム３０に回動可能に連結されるレバー部材７０とを備えている。本形態のモータ６７は、保持部材駆動モータであり、レバー部材６８は、第１レバー部材であり、レバー部材６９は、第２レバー部材であり、レバー部材７０は、第３レバー部材である。
【００４１】
モータ６７は、減速機付きのモータ（ギアードモータ）である。このモータ６７は、モータ６７の出力軸の軸方向と前後方向とが一致するようにアーム支持部材１６に取り付けられている。また、モータ６７は、アーム支持部材１６の先端側に取り付けられており、モータ３５〜３８よりも下側に配置されている。左右方向において、モータ６７の出力軸は、モータ３５、３７の出力軸とモータ３６、３８の出力軸との間の中心位置に配置されている。
【００４２】
モータ６７の出力軸には、レバー部材６８の中心位置が固定されている。レバー部材６９の一端側（左端側）は、第１アーム２９の下端側に回動可能に連結され、レバー部材６９の他端側（右端側）は、レバー部材６８の一端側に回動可能に連結されている。レバー部材７０の一端側（右端側）は、第２アーム３０の下端側に回動可能に連結され、レバー部材７０の他端側（左端側）は、レバー部材６８の他端側に回動可能に連結されている。レバー部材６９は、前後方向を回動の軸方向として第１アーム２９およびレバー部材６８に対して回動可能となっている。レバー部材７０は、前後方向を回動の軸方向として第２アーム３０およびレバー部材６８に対して回動可能となっている。レバー部材６９は、レバー部材７０よりも下側に配置されている。
【００４３】
また、ハンドピッチ変更機構３１は、第１アーム２９および第２アーム３０を左右方向へ案内するためのガイドレール７１およびガイドブロック７２、７３を備えている。ガイドレール７１は、左右方向を長手方向としてアーム支持部材１６の前後の両面の２箇所に固定されている（図４〜図６参照）。図６に示すように、ガイドブロック７３は、第２アーム３０の下端側の２箇所に固定されており、２個のガイドブロック７３は、前後方向の外側からガイドレール７１の右端側部分に係合している。ガイドブロック７２は、第１アーム２９の下端側の２箇所に固定されており、２個のガイドブロック７２は、前後方向の外側からガイドレール７１の左端側部分に係合している。
【００４４】
本形態では、ガイドレール７１とガイドブロック７２とによって第１アーム２９を左右方向へ案内するガイド機構７５が構成され、ガイドレール７１とガイドブロック７３とによって第２アーム３０を左右方向へ案内するガイド機構７６が構成されている。本形態のガイド機構７５は、第１保持部材ガイド機構であり、ガイド機構７６は、第２保持部材ガイド機構である。
【００４５】
ハンドピッチ変更機構３１では、モータ６７が回転してレバー部材６８が回動すると、第１アーム２９と第２アーム３０とが左右の逆方向へ同じ量だけ移動して第１アーム２９と第２アーム３０の左右方向のピッチが変更される。本形態のモータ６７はサーボモータであり、ハンドピッチ変更機構３１は、第１アーム２９と第２アーム３０とが最も近づいた状態（図４に示す状態）と、第１アーム２９と第２アーム３０とが最も離れた状態（図５に示す状態）との間で、第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを任意に変えることが可能になっている。
【００４６】
また、ハンドピッチ変更機構３１は、ロボット１が基板２を搬送する搬送動作中に、必要に応じて第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを変更する。すなわち、ハンドピッチ変更機構３１は、搬送動作中に、必要に応じてハンド３とハンド４との左右方向のピッチ、および、ハンド５とハンド６との左右方向のピッチを変更する。たとえば、左右方向において所定のピッチで基板２が収容されるカセットの収容部からハンド３、４に搭載された基板２を搬出して、カセットの収容部における左右方向のピッチよりも左右方向のピッチが広い製造装置の収容部にハンド３、４に搭載された基板２を搬入する場合、ハンドピッチ変更機構３１は、搬送動作中に、必要に応じて第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを変更する。
【００４７】
（ハンドの構成）
図７は、図１に示すハンド３の基部２６の内部の構成を説明するための平面図である。図８は、図１に示すハンド３、５の基部２６の内部の構成を説明するための側面図である。図９は、図３に示すフォーク２７の先端側部分の構成を説明するための平面図である。
【００４８】
ハンド３〜６は、上述のように、基部２６と２本のフォーク２７とを備えている。図７、図８に示すように、フォーク２７の基端側部分は、中空状に形成される基部２６の内部に配置されている。また、ハンド３〜６は、左右方向における２本のフォーク２７のピッチを変更するフォークピッチ変更機構７８を備えている。フォークピッチ変更機構７８は、中空状に形成される基部２６の内部に配置されている。
【００４９】
フォーク２７の先端側には、図９に示すように、複数の吸着パッド７７が取り付けられている。複数の吸着パッド７７は、様々な大きさの基板２の吸着が可能となるように配置されている。また、複数の吸着パッド７７のそれぞれが電磁弁を介して吸引装置に接続されており、複数の吸着パッド７７のそれぞれが基板２の吸着動作を行うことが可能になっている。なお、２本のフォーク２７には、たとえば、２個の基板２が搭載される。また、この２個の基板２は、たとえば、図９に示すように、上下方向から見たときに、左右方向に平行な所定の対称軸Ｌに対して線対称となるように２本のフォーク２７に搭載される。
【００５０】
フォークピッチ変更機構７８は、駆動源となるモータ７９と、モータ７９の出力軸に連結されるネジ部材８０と、２本のフォーク２７のうちの一方に固定されるナット部材８１と、２本のフォーク２７のうちの他方に固定されるナット部材８２と、ネジ部材８０の回転量を検知する検知機構８３とを備えている。本形態のモータ７９は、フォーク駆動モータであり、ナット部材８１は、第１ナット部材であり、ナット部材８２は、第２ナット部材である。
【００５１】
モータ７９は、減速機付きのモータ（ギアードモータ）である。このモータ７９は、モータ７９の出力軸の軸方向と左右方向とが一致するように基部２６に固定されている。モータ７９の減速機の減速比が大きくなっており、たとえば、減速比は、１／３００である。ネジ部材８０は、細長い棒状に形成されている。このネジ部材８０は、ネジ部材８０の長手方向と左右方向とが一致するように配置されており、基部２６に回転可能に支持されている。ネジ部材８０の一端側には、順ネジが形成される順ネジ部８０ａが形成されている。ネジ部材８０の他端側には、逆ネジが形成される逆ネジ部８０ｂが形成されている。ナット部材８１は、順ネジ部８０ａに係合し、ナット部材８２は、逆ネジ部８０ｂに係合している。ネジ部材８０の一端は、カップリング８５を介してモータ７９の出力軸に連結されている。
【００５２】
検知機構８３は、ネジ部材８０の他端に固定される検出板８６と、発光素子と受光素子とを有する光学式のセンサ８７とを備えている。センサ８７は、発光素子と受光素子とが対向配置される透過型の光学式センサである。検出板８６は、センサ８７の発光素子と受光素子との間に配置されている。検出板８６には、センサ８７の発光素子から受光素子へ向かう光を透過する透光部と、センサ８７の発光素子から受光素子へ向かう光を遮る遮光部とが形成されている。
【００５３】
本形態では、図７の二点鎖線で示すように２本のフォーク２７が最も近づいたときの２本のフォーク２７の位置がフォーク２７の基準位置となっている。フォークピッチ変更機構７８は、この基準位置を検知するための基準位置検知機構９５を備えている。基準位置検知機構９５は、検出板９６と、発光素子と受光素子とを有する光学式のセンサ９７とを備えている。センサ９７は、発光素子と受光素子とが対向配置される透過型の光学式センサであり、基部２６に固定されている。検出板９６は、２本のフォーク２７が最も近づいたときに、検出板９６がセンサ９７の発光素子と受光素子との間を遮るように、２本のフォーク２７のうちの一方のフォーク２７の基端側部分に取り付けられている。検知機構８３は、基準位置検知機構９５によって検知される２本のフォーク２７の基準位置を基準にしたネジ部材８０の回転量を検知することで２本のフォーク２７のピッチを検知する。
【００５４】
また、フォークピッチ変更機構７８は、２本のフォーク２７を左右方向へ案内するためのガイドレール８９およびガイドブロック９０、９１を備えている。ガイドレール８９は、左右方向を長手方向として基部２６の２箇所に固定されている。２個のガイドレール８９は、前後方向でネジ部材８０を挟むように配置されている。ガイドブロック９０は、２本のフォーク２７のうちの一方のフォーク２７の基端側部分の２箇所に固定され、ガイドブロック９１は、２本のフォーク２７のうちの他方のフォーク２７の基端側部分の２箇所に固定されている。２個のガイドブロック９０のそれぞれは２個のガイドレール８９のそれぞれに係合し、２個のガイドブロック９１のそれぞれは２個のガイドレール８９のそれぞれに係合している。
【００５５】
本形態では、ガイドレール８９とガイドブロック９０とによって２本のフォーク２７の一方を左右方向へ案内するガイド機構９２が構成され、ガイドレール８９とガイドブロック９１とによって２本のフォーク２７の他方を左右方向へ案内するガイド機構９３が構成されている。本形態のガイド機構９２は、第１フォークガイド機構であり、ガイド機構９３は、第２フォークガイド機構である。
【００５６】
フォークピッチ変更機構７８では、モータ７９が回転してネジ部材８０が回転すると、２本のフォーク２７のうちの一方のフォーク２７と他方のフォーク２７とが左右の逆方向へ同じ量だけ移動して２本のフォーク２７の左右方向のピッチが変更される。本形態のフォークピッチ変更機構７８は、検知機構８３での検知結果に基づいて、図７の二点鎖線で示すように２本のフォーク２７が最も近づいた状態と、図７の点線で示すように２本のフォーク２７とが最も離れた状態との間で、２本のフォーク２７の左右方向のピッチを任意に変えることが可能になっている。また、フォークピッチ変更機構７８は、ロボット１で搬送される基板２の大きさが決まると、ロボット１が基板２を搬送する搬送動作の前に、必要に応じて２本のフォーク２７の左右方向のピッチを変更する。すなわち、フォークピッチ変更機構７８は、ロボット１による基板２の搬送動作中に、２本のフォーク２７の左右方向のピッチを変更することはない。
【００５７】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、前後方向へ直線的に移動するハンド３とハンド４とが同じ高さで配置され、前後方向へ直線的に移動するハンド５とハンド６とが同じ高さで配置されている。そのため、本形態では、ハンド３、４を用いて、あるいは、ハンド５、６を用いて、同じ高さで収容されている複数の基板２を同時に搬出することが可能になるとともに、同じ高さで収容される複数の基板２を同時に搬入することが可能になる。したがって、本形態では、ロボット１が設置される製造システムのタクトタイムを短縮することが可能になる。
【００５８】
一方で、基板２の搬出時や搬入時に、たとえば、ハンド３とハンド４とを同時に往復移動させると、ハンド３またはハンド４が、基板２が収容されるカセットや製造装置等と接触するおそれがある。また、基板２の搬出時や搬入時に、たとえば、ハンド５とハンド６とを同時に往復移動させると、ハンド５またはハンド６が製造装置等と接触するおそれがある。本形態では、ロボット１が、アーム１１に対してハンド支持部材７〜１０のそれぞれを個別に往復移動させる４個のハンド駆動機構２２〜２５を備えているため、基板２の搬出時や搬入時に製造装置等と接触するおそれのあるハンド３〜６を停止させておくことが可能になる。したがって、本形態では、基板２の搬出時や搬入時における製造装置等とハンド３〜６との接触を防止することが可能になり、ハンド３〜６等の損傷を防止することが可能になる。
【００５９】
本形態では、前後方向から見たときに、送り機構３９、４１とガイド機構４３、４５とは、４個のモータ３５〜３８よりも左側に配置され、送り機構４０、４２とガイド機構４４、４６とは、４個のモータ３５〜３８よりも右側に配置されている。そのため、本形態では、送り機構３９、４１およびガイド機構４３、４５と、送り機構４０、４２およびガイド機構４４、４６との左右方向の距離を確保することが可能になる。したがって、本形態では、モータ３５〜３８よりも左側に配置される可動する部材と、モータ３５〜３８よりも右側に配置される可動する部材との干渉を防止することが可能になる。
【００６０】
本形態では、ハンド５がハンド３の下側に配置されるとともに、ハンド５が固定されるハンド支持部材９を駆動するハンド駆動機構２４のモータ３７、送り機構４１およびガイド機構４５が、ハンド３が固定されるハンド支持部材７を駆動するハンド駆動機構２２のモータ３５、送り機構３９およびガイド機構４３よりも上側に配置されている。そのため、本形態では、モータ３７、送り機構４１およびガイド機構４５が、モータ３５、送り機構３９およびガイド機構４３よりも下側に配置されている場合と比較して、ハンド支持部材７、９の構成を簡素化することが可能になる。また、本形態では、ハンド６がハンド４の下側に配置されるとともに、ハンド６が固定されるハンド支持部材１０を駆動するハンド駆動機構２５のモータ３８、送り機構４２およびガイド機構４６が、ハンド４が固定されるハンド支持部材８を駆動するハンド駆動機構２３のモータ３６、送り機構４０およびガイド機構４４よりも上側に配置されている。そのため、本形態では、モータ３８、送り機構４２およびガイド機構４６が、モータ３６、送り機構４０およびガイド機構４４よりも下側に配置されている場合と比較して、ハンド支持部材８、１０の構成を簡素化することが可能になる。
【００６１】
本形態では、ハンドピッチ変更機構３１は、ロボット１が基板２を搬送する搬送動作中に、必要に応じて第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを変更している。すなわち、本形態では、ハンドピッチ変更機構３１は、搬送動作中に、必要に応じて、ハンド３とハンド４との左右方向のピッチ、および、ハンド５とハンド６との左右方向のピッチを変更している。そのため、本形態では、同じ高さで搬送元に収容されている複数の基板２の左右方向のピッチと、同じ高さで搬送先に収容される複数の基板２の左右方向のピッチとが異なる場合であっても、搬送元から搬送先へ基板２を短時間でかつ適切に搬送することが可能になる。
【００６２】
本形態では、ハンドピッチ変更機構３１は、モータ６７と３個のレバー部材６８〜７０とを備えている。そのため、本形態では、３個のレバー部材６８〜７０を用いた比較的簡易な構成で、第１アーム２９と第２アーム３０とのピッチを変更することが可能になる。また、本形態では、フォークピッチ変更機構７８は、モータ７９と、順ネジ部８０ａと逆ネジ部８０ｂとが形成されるとともにモータ７９の出力軸に連結されるネジ部材８０と、２本のフォーク２７の一方に固定され順ネジ部８０ａに係合するナット部材８１と、２本のフォーク２７の他方に固定され逆ネジ部８０ｂに係合するナット部材８２とを備えている。そのため、本形態では、１本のネジ部材８０を用いた比較的簡易な構成で、２本のフォーク２７のピッチを変更することが可能になる。また、本形態では、モータ７９の減速機の減速比が大きくなっているため、所定位置に移動した２本のフォーク２７に左右方向の外力が作用しても、２本のフォーク２７はその位置から動かない。したがって、本形態では、特別な固定機構を設けなくても、所定位置に移動した２本のフォーク２７をその位置で固定することが可能になる。
【００６３】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００６４】
上述した形態では、ハンドピッチ変更機構３１は、３個のレバー部材６８〜７０を用いて第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを変更しているが、ハンドピッチ変更機構３１は、３個のレバー部材６８〜７０以外の部材を用いて第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを変更しても良い。たとえば、ハンドピッチ変更機構３１は、フォークピッチ変更機構７８と同様に、順ネジ部と逆ネジ部とを有するネジ部材と、第１アーム２９に固定され順ネジ部に係合するナット部材と、第２アーム３０に固定され逆ネジ部に係合するナット部材とを用いて第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを変更しても良い。
【００６５】
同様に、フォークピッチ変更機構７８は、ネジ部材８０およびナット部材８１、８２以外の部材を用いて２本のフォーク２７の左右方向のピッチを変更しても良い。たとえば、ハンドピッチ変更機構３１と同様に、３個のレバー部材を用いて２本のフォーク２７の左右方向のピッチを変更しても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、ハンドピッチ変更機構３１を備えているが、ロボット１は、ハンドピッチ変更機構３１を備えていなくても良い。この場合には、アーム１１は、左右方向に分割されていなくても良い。また、上述した形態では、ハンド３〜６は、フォークピッチ変更機構７８を備えているが、ハンド３〜６は、フォークピッチ変更機構７８を備えていなくても良い。
【００６６】
上述した形態では、モータ３５〜３８は、前後方向におけるアーム１１の一端側に取り付けられている。この他にもたとえば、４個のモータ３５〜３８の中から任意に選択される１個、２個または３個のモータが前後方向におけるアーム１１の一端側に取り付けられ、残りのモータが前後方向におけるアーム１１の他端側に取り付けられても良い。
【００６７】
上述した形態では、モータ３５とモータ３６とが左右方向で隣り合い、モータ３７とモータ３８とが左右方向と隣り合うとともに、モータ３５、３６とモータ３７、３８とが上下方向で重なるように配置されている。この他にもたとえば、前後方向におけるアーム１１の一端側において４個のモータ３５〜３８が上下方向で１列に重なるように配置されても良い。また、前後方向におけるアーム１１の一端側において４個のモータ３５〜３８のうちの任意の３個のモータが上下方向で１列に重なるように配置され、残りの１個のモータが前後方向におけるアーム１１の他端側に配置されても良いし、前後方向におけるアーム１１の一端側において４個のモータ３５〜３８のうちの任意の２個のモータが上下方向で重なるように配置され、前後方向におけるアーム１１の他端側において残りの２個のモータが上下方向で重なるように配置されても良い。
【００６８】
上述した形態では、同じ高さで２個のハンド３とハンド４とが配置され、同じ高さで２個のハンド５とハンド６とが配置されているが、同じ高さで配置されるハンドの数は、３個以上であっても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、２段に重なるように配置される２個のハンド３、４と２個のハンド５、６とを備えているが、ロボット１は、２個のハンド３、４または２個のハンド５、６のみを備えていても良い。また、同じ高さで配置される２個以上のハンドが３段以上で重なるように配置されていても良い。
【００６９】
上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は液晶ディスプレイ用のガラス基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、ガラス基板２以外のものであっても良い。たとえば、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、半導体ウエハ等であっても良い。
【符号の説明】
【００７０】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  基板（ガラス基板、搬送対象物）
３  ハンド（第１ハンド）
４  ハンド（第２ハンド）
５  ハンド（第３ハンド）
６  ハンド（第４ハンド）
７  ハンド支持部材（第１ハンド支持部材）
８  ハンド支持部材（第２ハンド支持部材）
９  ハンド支持部材（第３ハンド支持部材）
１０  ハンド支持部材（第４ハンド支持部材）
１１  アーム（保持部材）
２２  ハンド駆動機構（第1ハンド駆動機構）
２３  ハンド駆動機構（第２ハンド駆動機構）
２４  ハンド駆動機構（第３ハンド駆動機構）
２５  ハンド駆動機構（第４ハンド駆動機構）
２７  フォーク
２９  第１アーム（第１保持部材）
３０  第２アーム（第２保持部材）
３１  ハンドピッチ変更機構
３５  モータ（ハンド駆動モータ、第１ハンド駆動モータ）
３６  モータ（ハンド駆動モータ、第２ハンド駆動モータ）
３７  モータ（ハンド駆動モータ、を第３ハンド駆動モータ）
３８  モータ（ハンド駆動モータ、第４ハンド駆動モータ）
３９  送り機構（第１送り機構）
４０  送り機構（第２送り機構）
４１  送り機構（第３送り機構）
４２  送り機構（第４送り機構）
４３  ガイド機構（ハンドガイド機構、第１ハンドガイド機構）
４４  ガイド機構（ハンドガイド機構、第２ハンドガイド機構）
４５  ガイド機構（ハンドガイド機構、第３ハンドガイド機構）
４６  ガイド機構（ハンドガイド機構、第４ハンドガイド機構）
４８〜５１  ネジ軸
５２〜５５  ナット部材
６７  モータ（保持部材駆動モータ）
６８  レバー部材（第１レバー部材）
６９  レバー部材（第２レバー部材）
７０  レバー部材（第３レバー部材）
７５  ガイド機構（第１保持部材ガイド機構）
７６  ガイド機構（第２保持部材ガイド機構）
７８  フォークピッチ変更機構
７９  モータ（フォーク駆動モータ）
８０  ネジ部材
８０ａ  順ネジ部
８０ｂ  逆ネジ部
８１  ナット部材（第１ナット部材）
８２  ナット部材（第２ナット部材）
９２  ガイド機構（第１フォークガイド機構）
９３  ガイド機構（第２フォークガイド機構）
Ｘ  第１方向
Ｙ  第２方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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