(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出す第１供給手段と、
前記第１供給手段で繰り出される前記第１剥離シートを第１剥離部材で折り曲げることで当該第１剥離シートから前記第１接着シートを剥離する第１剥離手段と、
帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出す第２供給手段と、
前記第２供給手段で繰り出される前記第２剥離シートを第２剥離部材で折り曲げることで当該第２剥離シートから前記第２接着シートを剥離する第２剥離手段と、
前記第１接着シートおよび前記第２接着シートの少なくとも一方を被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記第１剥離手段および前記第２剥離手段の少なくとも一方は、対応する前記第１剥離部材または第２剥離部材を前記押圧手段に対して所定の方向に離間接近可能に設けられ、
前記第１剥離手段および前記第２剥離手段の少なくとも一方は、対応する前記第１剥離部材または第２剥離部材を前記所定の方向とは異なる方向に移動可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出す第１供給工程と、
前記第１供給工程で繰り出される前記第１剥離シートから前記第１接着シートを第１剥離部材で剥離する第１剥離工程と、
帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出す第２供給工程と、
前記第２供給工程で繰り出される前記第２剥離シートから前記第２接着シートを第２剥離部材で剥離する第２剥離工程と、
前記第１接着シートおよび前記第２接着シートの少なくとも一方を押圧手段で被着体に押圧して貼付する押圧工程とを含み、
前記第１剥離工程および前記第２剥離工程の少なくとも一方の前段において、対応する前記第１剥離部材または第２剥離部材を前記押圧手段に対して所定の方向に離間接近させる離間工程を実施し、
前記第１剥離工程および前記第２剥離工程の少なくとも一方の前段において、対応する前記第１剥離部材または第２剥離部材を前記所定の方向とは異なる方向に移動させる移動工程を実施することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、複数の接着シートを被着体に押圧して貼付する装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１８１９９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の装置では、ピールプレート５０（第１剥離手段）とピールプレート６２（第２剥離手段）とが接近した位置に配置されているため、ピールプレート５０、６２の周辺に原反をセットする作業が煩雑となるという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、剥離手段の周辺に原反を容易にセットすることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するために、本発明は、帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出す第１供給手段と、前記第１供給手段で繰り出される前記第１剥離シートを第１剥離部材で折り曲げることで当該第１剥離シートから前記第１接着シートを剥離する第１剥離手段と、帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出す第２供給手段と、前記第２供給手段で繰り出される前記第２剥離シートを第２剥離部材で折り曲げることで当該第２剥離シートから前記第２接着シートを剥離する第２剥離手段と、前記第１接着シートおよび前記第２接着シートの少なくとも一方を被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記第１剥離手段および前記第２剥離手段の少なくとも一方は、対応する前記第１剥離部材または第２剥離部材を前記押圧手段に対して所定の方向に離間接近可能に設けられ、前記第１剥離手段および前記第２剥離手段の少なくとも一方は、対応する前記第１剥離部材または第２剥離部材を前記所定の方向とは異なる方向に移動可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置である。
【０００９】
本発明の他の態様は、帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出す第１供給工程と、前記第１供給工程で繰り出される前記第１剥離シートから前記第１接着シートを第１剥離部材で剥離する第１剥離工程と、帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出す第２供給工程と、前記第２供給工程で繰り出される前記第２剥離シートから前記第２接着シートを第２剥離部材で剥離する第２剥離工程と、前記第１接着シートおよび前記第２接着シートの少なくとも一方を押圧手段で被着体に押圧して貼付する押圧工程とを含み、前記第１剥離工程および前記第２剥離工程の少なくとも一方の前段において、対応する前記第１剥離部材または第２剥離部材を前記押圧手段に対して所定の方向に離間接近させる離間工程を実施し、前記第１剥離工程および前記第２剥離工程の少なくとも一方の前段において、対応する前記第１剥離部材または第２剥離部材を前記所定の方向とは異なる方向に移動させる移動工程を実施することを特徴とするシート貼付方法である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、第１剥離部材および第２剥離部材の少なくとも一方を押圧手段に対して所定の方向に進退可能としたので、剥離手段の周辺に原反を容易にセットすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】シート貼付装置の側面図。
【図２】動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態に係るシート貼付装置１０を図面に基づいて説明する。
なお、実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート貼付装置１０は、帯状の第１剥離シートＲＬ１の一方の面に第１接着シートＡＳ１が仮着された第１原反ＲＳ１を繰り出す第１供給手段２０と、第１供給手段２０で繰り出される第１剥離シートＲＬ１を第１剥離部材としての第１剥離板３３で折り曲げることで当該第１剥離シートＲＬ１から第１接着シートＡＳ１を剥離する第１剥離手段３０と、帯状の第２剥離シートＲＬ２の一方の面に第２接着シートＡＳ２が仮着された第２原反ＲＳ２を繰り出す第２供給手段４０と、第２供給手段４０で繰り出される第２剥離シートＲＬ２を第２剥離部材としての第２剥離板５３で折り曲げることで当該第２剥離シートＲＬ２から第２接着シートＡＳ２を剥離する第２剥離手段５０と、第１接着シートＡＳ１および第２接着シートＡＳ２の少なくとも一方を被着体ＷＫとしてのリングフレームＲＦおよび半導体ウエハ（以下単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ７０と、被着体ＷＫを支持して搬送する移動手段８０とを備えている。
なお、本実施形態の場合、第２原反ＲＳ２における第２接着シートＡＳ２には、第２剥離シートＲＬ２に当接する面の反対側の面に第３剥離シートＲＬ３が仮着されており、シート貼付装置１０は、第２供給手段４０で繰り出される第３剥離シートＲＬ３を第３剥離シート剥離部材としての第３剥離シート剥離板６３で折り曲げることで第２接着シートＡＳ２から当該第３剥離シートＲＬ３を剥離する第３剥離シート剥離手段６０を備えている。
【００１４】
第１供給手段２０は、第１原反ＲＳ１を支持する支持ローラ２１と、第１原反ＲＳ１を案内する複数のガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動される駆動ローラ２３と、第１剥離シートＲＬ１を駆動ローラ２３との間に挟み込むピンチローラ２４と、図示しない駆動機器によって駆動され、第１剥離シートＲＬ１を回収する回収ローラ２５とを備えている。
【００１５】
第１剥離手段３０は、駆動機器としての回動モータ３１の出力軸３１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ３２と、直動モータ３２の出力軸３２Ａに支持され、第１剥離シートＲＬ１を折り曲げる第１剥離板３３とを備えている。これにより第１剥離手段３０は、直動モータ３２によって第１剥離板３３を押圧ローラ７０に対して所定の方向としてのＡａ方向に離間接近可能に設けられるとともに、回動モータ３１によって第１剥離板３３をＡａ方向とは異なる方向としてのＡｂ方向（図２参照）に移動可能に設けられている。
【００１６】
第２供給手段４０は、第２原反ＲＳ２を支持する支持ローラ４１と、第２原反ＲＳ２を案内する複数のガイドローラ４２と、駆動機器としての回動モータ４３Ａによって駆動される駆動ローラ４３と、第２剥離シートＲＬ２を駆動ローラ４３との間に挟み込むピンチローラ４４と、図示しない駆動機器によって駆動され、第２剥離シートＲＬ２を回収する回収ローラ４５とを備えている。
【００１７】
第２剥離手段５０は、駆動機器としての回動モータ５１の出力軸５１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ５２と、直動モータ５２の出力軸５２Ａに支持され、第２剥離シートＲＬ２を折り曲げる第２剥離板５３とを備えている。これにより第２剥離手段５０は、直動モータ５２によって、第２剥離板５３を押圧ローラ７０に対して所定の方向としてのＢａ方向に離間接近可能に設けられるとともに、回動モータ５１によって第２剥離板５３をＢａ方向とは異なる方向としてのＢｂ方向（図２参照）に移動可能に設けられている。
【００１８】
第３剥離シート剥離手段６０は、駆動機器としての回動モータ６１の出力軸６１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ６２と、直動モータ６２の出力軸６２Ａに支持され、第３剥離シートＲＬ３を折り曲げる第３剥離シート剥離板６３と、駆動機器としての直動モータ６４の出力軸６４Ａに支持されたブラケット６５に回転可能に支持されたピンチローラ６６と、図示しない駆動機器によって駆動され、第３剥離シートＲＬ３を回収する回収ローラ６７とを備えている。これにより第３剥離シート剥離手段６０は、直動モータ６２によって、第３剥離シート剥離板６３を押圧ローラ７０に対して所定の方向としてのＣａ方向に離間接近可能に設けられるとともに、回動モータ６１によって第３剥離シート剥離板６３をＣａ方向とは異なる方向としてのＣｂ方向（図２参照）に移動可能に設けられている。
【００１９】
移動手段８０は、駆動機器としてのリニアモータ８１のスライダ８１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって被着体ＷＫを保持可能な支持面８２Ａを有する搬送テーブル８２を備えている。
【００２０】
次に、本実施形態におけるシート貼付装置１０の動作について説明する。
先ず、第１、第２剥離板３３、５３および第３剥離シート剥離板６３が図２中実線で示すように、押圧ローラ７０から十分に離間した位置に退避している状態のシート貼付装置１０に対し、作業者が第１原反ＲＳ１および第２原反ＲＳ２を同図のようにセットする。このように、第１、第２剥離板３３、５３および第３剥離シート剥離板６３が押圧ローラ７０から十分に離間していることで、図１の実線で示す各剥離板同士および押圧ローラ７０の間隔に比べて、それらの間隔が広くなるので、作業者が各原反をセットし易くなっている。その後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、第１、第２剥離手段３０、５０が回動モータ３１、５１を駆動し、第１、第２剥離板３３、５３をそれぞれＡｂ方向、Ｂｂ方向に移動させ、それらを同図の二点鎖線で示す位置に移動させる。次いで、第１、第２剥離手段３０、５０および第３剥離シート剥離手段６０が直動モータ３２、５２、６２を駆動し、第１、第２剥離板３３、５３および第３剥離シート剥離板６３をそれぞれＡａ方向、Ｂａ方向、Ｃａ方向に移動させ、それらを図１中実線で示す位置に移動させる。
【００２１】
その後、第３剥離シート剥離手段６０が直動モータ６４を駆動し、ピンチローラ６６で第１、第３剥離シートＲＬ１、ＲＬ３を駆動ローラ２３との間に挟み込む。次いで、第１、第２供給手段２０、４０が回動モータ２３Ａ、４３Ａを駆動し、第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を繰り出し、図１中実線で示すように、先頭の第２接着シートＡＳ２が第２剥離板５３で第２剥離シートＲＬ２から所定長さ剥離したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、回動モータ２３Ａ、４３Ａの駆動を停止する。そして、第３剥離シート剥離手段６０が直動モータ６４を駆動し、ピンチローラ６６と駆動ローラ２３とによる第１、第３剥離シートＲＬ１、ＲＬ３の挟み込みを解除する。その後、第１供給手段２０が回動モータ２３Ａを駆動し、第１原反ＲＳ１を繰り出し、図１中実線で示すように、先頭の第１接着シートＡＳ１が第１剥離板３３で第１剥離シートＲＬ１から所定長さ剥離したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、回動モータ２３Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
【００２２】
次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段が、図１中実線で示す位置よりも右方の所定の待機位置で待機している搬送テーブル８２の支持面８２Ａ上に被着体ＷＫを載置すると、移動手段８０が図示しない減圧手段を駆動し、それらを吸着保持した後、リニアモータ８１を駆動し、搬送テーブル８２を左方に移動させる。そして、被着体ＷＫにおけるリングフレームＲＦが第１接着シートＡＳ１の貼付開始位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第１供給手段２０が回動モータ２３Ａを駆動し、搬送テーブル８２の搬送速度に合わせて第１原反ＲＳ１を繰り出す。これにより、先頭の第１接着シートＡＳ１は、第１剥離シートＲＬ１から剥離され、押圧ローラ７０によりリングフレームＲＦに押圧されて貼付される。
【００２３】
先頭の第１接着シートＡＳ１の貼付中、被着体ＷＫにおけるウエハＷＦが第２接着シートＡＳ２の貼付開始位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第２供給手段４０および第３剥離シート剥離手段６０が回動モータ４３Ａおよび直動モータ６４を駆動し、搬送テーブル８２の搬送速度に合わせて第２原反ＲＳ２を繰り出す。これにより、先頭の第２接着シートＡＳ２は、第２、第３剥離シートＲＬ２、ＲＬ３から剥離され、第１接着シートＡＳ１と同時に押圧ローラ７０によりウエハＷＦに押圧されて貼付される。その後、次回貼付予定の第２接着シートＡＳ２が第２剥離板５３で第２剥離シートＲＬ２から所定長さ剥離したことが図示しない検出手段に検出されると、第３剥離シート剥離手段６０が直動モータ６４を駆動し、ピンチローラ６６と駆動ローラ２３とによる第１、第３剥離シートＲＬ１、ＲＬ３の挟み込みを解除するとともに、第２供給手段４０が回動モータ４３Ａの駆動を停止する。そして、次回貼付予定の第１接着シートＡＳ１が第１剥離板３３で第１剥離シートＲＬ１から所定長さ剥離したことが図示しない検出手段に検出されると、第１供給手段２０が回動モータ２３Ａの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。これにより、第１接着シートＡＳ１の外縁部がリングフレームＲＦに貼付され、第２接着シートＡＳ２が第１接着シートＡＳ１とウエハＷＦとの間に貼付され、一体物ＷＫ１が形成される。
【００２４】
一体物ＷＫ１が形成されると、移動手段８０がリニアモータ８１の駆動を停止し、搬送テーブル８２を所定の位置で停止させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止するので、人手または図示しない移送手段が、一体物ＷＫ１を次工程に搬送する。そして、移動手段８０がリニアモータ８１を駆動し、搬送テーブル８２を待機位置に復帰させた後、上記同様の動作が繰り返される。
【００２５】
以上のような本実施形態によれば、第１剥離板３３および第２剥離板５３の両方を押圧ローラ７０に対して所定の方向に進退可能としたので、第１、第２剥離手段３０、５０の周辺に第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を容易にセットすることができる。
【００２６】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１供給手段は、帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出すものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
【００２７】
第１供給手段２０は、第１接着シートＡＳ１における第１剥離シートＲＬ１に当接する面の反対側の面に第４剥離シートＲＬ４が仮着された第１原反を繰り出してもよい。この場合、第１供給手段２０は、例えば、図１中二点鎖線で示すように、下方に位置するガイドローラ２２で第４剥離シートＲＬ４を剥離し、図示しない駆動機器によって駆動される回収ローラ２６で当該第４剥離シートＲＬ４を回収するように構成してもよいし、前記実施形態の第３剥離シート剥離手段６０と同等なもので当該第４剥離シートＲＬ４を回収するように構成してもよい。
第１供給手段２０は、第１剥離シートＲＬ１の一方の面に帯状の第１接着シート基材が仮着された第１原反ＲＳ１を繰り出してもよい。この場合、第１供給手段２０は、第１剥離板３３に対して第１原反ＲＳ１の繰出方向上流側に、第１接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に第１接着シートＡＳ１を形成する第１切断手段を備えていてもよい。
【００２８】
第１剥離手段３０は、第１剥離板３３をＡａ方向のみに移動させる構成でもよいし、当該第１剥離板３３をＡｂ方向のみに移動させる構成でもよく、この場合、回動モータ３１および直動モータ３２の何れか一方を省略することができる。
第１剥離手段３０は、所定の方向をＡｂ方向とし、当該所定の方向とは異なる方向をＡａ方向としてもよいし、当該所定の方向や所定の方向とは異なる方向を上記実施形態のＡａ方向やＡｂ方向と異なる方向としてもよい。
第１剥離手段３０は、直動モータ３２を駆動して第１剥離板３３を進退させ第１剥離シートＲＬ１を剥離する位置を変更してもよい。
第１剥離手段３０は、第１剥離板３３の代わりに回転可能な剥離用ローラを採用してもよい。
【００２９】
第２供給手段４０は、回動モータ５１を駆動し、被着体ＷＫに当接する前に、第１供給手段２０で供給される第１接着シートＡＳ１に第２接着シートＡＳ２を当接させてもよいし、第１供給手段２０で供給される第１接着シートＡＳ１に当接する前に、被着体ＷＫに第２接着シートＡＳ２を当接させてもよいし、それらに同時に第２接着シートＡＳ２を当接させてもよい。
第２供給手段４０は、第２剥離シートＲＬ２の一方の面に帯状の第２接着シート基材が仮着された第２原反ＲＳ２を繰り出してもよい。この場合、第２供給手段４０は、第２剥離板５３に対して第２原反ＲＳ２の繰出方向上流側に、第２接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に第２接着シートＡＳ２を形成する第２切断手段を備えていてもよい。
第１、第２切断手段は、カッター刃、カッターローラ、レーザカッタ、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用することができる。
第２供給手段４０は、第１供給手段２０と同じタイミングで第２原反ＲＳ２を繰り出したり、繰り出しを停止したりしてもよいし、第１供給手段２０と異なるタイミングで第２原反ＲＳ２を繰り出したり、繰り出しを停止したりしてもよい。
【００３０】
第２剥離手段５０は、第２剥離板５３をＢａ方向のみに移動させる構成でもよいし、当該第２剥離板５３をＢｂ方向のみに移動させる構成でもよく、この場合、回動モータ５１および直動モータ５２の何れか一方を省略することができる。
第２剥離手段５０は、所定の方向をＢｂ方向とし、当該所定の方向とは異なる方向をＢａ方向としてもよいし、当該所定の方向や所定の方向とは異なる方向を上記実施形態のＢａ方向やＢｂ方向と異なる方向としてもよい。
第２剥離手段５０は、直動モータ５２を駆動して第２剥離板５３を進退させ第２剥離シートＲＬ２を剥離する位置を変更してもよい。
第２剥離手段５０は、第２剥離板５３の代わりに回転可能な剥離用ローラを採用してもよいし、回動モータ５１を採用しなくてもよい。
【００３１】
第３剥離シート剥離手段６０は、第３剥離シート剥離板６３をＣｂ方向のみに移動させる構成でもよく、この場合、直動モータ６２を省略することができる。なお、上記実施形態において、第３剥離シート剥離手段６０は、回動モータ６１を省略することができる。また、第３剥離シート剥離手段６０は、第３剥離シート剥離板６３をＣａ方向およびＣｂ方向に移動させる構成でもよい。
第３剥離シート剥離手段６０は、所定の方向をＣｂ方向とし、当該所定の方向とは異なる方向をＣａ方向としてもよいし、当該所定の方向や所定の方向とは異なる方向を上記実施形態のＣａ方向やＣｂ方向と異なる方向としてもよい。
第３剥離シート剥離手段６０は、直動モータ６２を駆動して第３剥離シート剥離板６３を進退させ、第３剥離シートＲＬ３を剥離する位置を変更することができる。例えば、第２接着シートＡＳ２が外気に触れることで、接着力が低下したり、酸化したり、乾燥したり、湿気を帯びたりしてその機能が低下するものの場合や、第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２との間に塵埃が混入することを極力防止したい場合、第３剥離シート剥離板６３を進退させて第３剥離シートＲＬ３の剥離位置を押圧位置に近付けることで、第２接着シートＡＳ２が外気に触れる時間を極力短くすることができる。また、例えば、第２接着シートＡＳ２が外気に触れることで、上記と同様の原理でその機能が向上するものの場合、第３剥離シート剥離板６３を進退させて第３剥離シートＲＬ３の剥離位置を押圧位置から遠ざけることで、第２接着シートＡＳ２が外気に触れる時間を極力長くしたり、当該第２接着シートＡＳ２がその機能を充分に発揮するのに必要な時間外気に触れされるように調整することもできる。
第３剥離シート剥離手段６０は、第１、第２供給手段２０、４０と同様の構成にして、独立して第３剥離シートＲＬ３に剥離力を付与するようにしてもよい。
第３剥離シート剥離手段６０は、第３剥離シート剥離板６３の代わりに回転可能な剥離用ローラを採用してもよいし、回動モータ６１や直動モータ６２を採用しなくてもよい。
第３剥離シート剥離手段６０は、第１剥離シートＲＬ１を介することなく、駆動ローラ２３とピンチローラ６６とで第２剥離シートＲＬ２を挟み込む構成としてもよく、この場合、適宜なガイドローラ等を設け、第１、第３剥離シートＲＬ１、ＲＬ３それぞれが相互に干渉しないようにすればよい。
【００３２】
押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、大気やガス等のエアの噴き付けにより押圧する構成を採用してもよい。
押圧手段は、押圧部材を移動させずに被着体ＷＫを押圧部材に向けて移動させて押圧してもよいし、被着体ＷＫを移動させずに押圧部材を被着体ＷＫに向けて移動させて押圧してもよいし、押圧部材と被着体ＷＫとの両方を互いに移動させて押圧してもよい。
【００３３】
移動手段８０は、被着体ＷＫを移動させずに、または、被着体ＷＫを移動させつつ、第１、第２供給手段２０、４０、第１、第２剥離手段３０、５０および第３剥離シート剥離手段６０、押圧ローラ７０等の他の手段を適宜な方向に移動させて上記と同様の貼付動作を行ってもよい。
移動手段８０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で被着体ＷＫを保持する構成でもよい。
被着体ＷＫを他の装置で搬送する場合、シート貼付装置１０において移動手段８０はあってもよいしなくてもよく、その他押圧手段等は、それぞれ必要に応じて採用すればよく、あってもよいしなくてもよい。
【００３４】
第１の方向Ａａ、Ｂａ、Ｃａと、第２の方向Ａｂ、Ｂｂ、Ｃｂとは、第１、第２剥離板３３、５３および第３剥離シート剥離板６３が、それぞれ押圧ローラ７０から離間する方向において、全てが同じ方向でもよいし、何れか２つが同じ方向でもよいし、全てが異なる方向でもよい。
第１、第２剥離手段３０、５０および第３剥離シート剥離手段６０は、第１、第２剥離板３３、５３および第３剥離シート剥離板６３のうちの少なくとも１つが押圧ローラ７０に対して進退可能に設けられてもよい。
上記実施形態において、第１剥離板３３をＡｂ方向に移動させることなく、第２剥離板５３および第３剥離シート剥離板６３をＢｂ方向およびＣｂ方向に移動させてそれらを離間させてもよいし、第２剥離板５３をＢｂ方向に移動させることなく、第１剥離板３３および第３剥離シート剥離板６３をＡｂ方向およびＣｂ方向に移動させてそれらを離間させてもよいし、第１、第２剥離板３３、５３および第３剥離シート剥離板６３をＡｂ方向、Ｂｂ方向およびＣｂ方向に移動させてそれらを離間させてもよい。
上記実施形態において、第１剥離板３３をＡａ方向に移動させることなく、第２剥離板５３および第３剥離シート剥離板６３をＢａ方向およびＣａ方向に移動させてそれらを離間させてもよいし、第２剥離板５３をＢａ方向に移動させることなく、第１剥離板３３および第３剥離シート剥離板６３をＡａ方向およびＣａ方向に移動させてそれらを離間させてもよい。
第２原反ＲＳ２に第３剥離シートＲＬ３が仮着されていなくてもよく、この場合、シート貼付装置１０は、第３剥離シート剥離手段６０があってもよいしなくてもよい。
シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、被着体ＷＫの下面や側面に第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付するように構成してもよい。
シート貼付装置１０は、第１接着シートＡＳ１のみを被着体ＷＫに貼付してもよいし、第２接着シートＡＳ２のみを被着体ＷＫに貼付してもよい。
シート貼付装置１０は、供給手段を３体以上設け、各供給手段において剥離シートを折り曲げる剥離部材が押圧ローラ７０に対して離間接近可能な構成としてもよい。
さらに、本発明における第１接着シートＡＳ１、第２接着シートＡＳ２、被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。感熱接着性のものが採用された場合は、当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設ければよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とからなるもの、それらの間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよいし、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、ウエハＷＦだけでもよいしリングフレームＲＦだけでもよいし、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３５】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３６】
１０・・・シート貼付装置
２０・・・第１供給手段
３０・・・第１剥離手段
３３・・・第１剥離板（第１剥離部材）
４０・・・第２供給手段
５０・・・第２剥離手段
５３・・・第２剥離板（第２剥離部材）
６０・・・第３剥離シート剥離手段
６３・・・第３剥離シート剥離板（第３剥離シート剥離部材）
７０・・・押圧ローラ（押圧手段）
ＡＳ１・・・第１接着シート
ＡＳ２・・・第２接着シート
ＲＬ１・・・第１剥離シート
ＲＬ２・・・第２剥離シート
ＲＬ３・・・第３剥離シート
ＲＳ１・・・第１原反
ＲＳ２・・・第２原反
ＷＫ・・・被着体
Ａａ、Ｂａ、Ｃａ・・・所定の方向
Ａｂ、Ｂｂ、Ｃｂ・・・所定の方向とは異なる方向
【図１】
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【図２】
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