(57)【要約】  本開示は一態様において、ガラスプレート及び有機樹脂層を含む積層複合材に関する。該積層複合材は、ガラスプレートの一方の面上に有機樹脂層が積層されており、前記有機樹脂がポリアミド樹脂であり、ポリアミド樹脂の熱重量測定（ＴＧ）で測定される３００℃から４００℃までの質量変化が３．０％以下であり、かつ、ポリアミド樹脂のガラス転移温度が３００℃以上である。
2014126210.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスプレート、有機樹脂層を含み、
ガラスプレートの一方の面上に有機樹脂層が積層されており、
前記有機樹脂がポリアミド樹脂であり、
ポリアミド樹脂の熱重量測定（ＴＧ）で測定される３００℃から４００℃までの質量変化が３．０％以下であり、かつ、ポリアミド樹脂のガラス転移温度が３００℃以上である、積層複合材。
【請求項２】
ガラスプレートの厚みが、０．３ｍｍ以上である、請求項１記載の積層複合材。
【請求項３】
有機樹脂層のガラスプレートと対向する面と反対の面上にディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子を形成することを含むディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子の製造方法に使用するための、請求項１又は２に記載の積層複合材。
【請求項４】
ポリアミド樹脂の厚みが、５００μｍ以下である、請求項１から３のいずれかに記載の積層複合材。
【請求項５】
ポリアミド樹脂の全光線透過率が７０％以上である、請求項１から４のいずれかに記載の積層複合材。
【請求項６】
ポリアミド樹脂の合成に使用されるモノマー全量に対するカルボキシル基含有ジアミン成分が、３０ｍｏｌ％以下である、請求項１から５のいずれかに記載の積層複合材。
【請求項７】
ポリアミド樹脂が下記一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）で表される繰り返し単位を有する芳香族ポリアミドから形成されたものである、請求項１から６のいずれかに記載の積層複合材。
【化１】
2014126210.tif 000015
［式（Ｉ）及び（ＩＩ）において、ｘは繰り返し単位（Ｉ）のモル％を示し、ｙは繰り返し単位（ＩＩ）のモル％を示し、ｘは９０〜１００であり、ｙは１０〜０であり、
ｎは１〜４であり、
Ａｒ1は
【化２】
2014126210.tif 000016
からなる群から選択され（ここで、ｐ＝４、ｑ＝３であり、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール又はハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択され、Ｇ1は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚはフェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。）、
Ａｒ2は
【化３】
2014126210.tif 000017
からなる群から選択され（ここで、ｐ＝４であり、Ｒ6、Ｒ7、Ｒ8は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール、ハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択され、Ｇ2は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚはフェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。）、
Ａｒ3は、
【化４】
2014126210.tif 000018
からなる群から選択される（ここで、ｔ＝２又は３であり、Ｒ9、Ｒ10、Ｒ11は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール、ハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択され、Ｇ3は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚは、フェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。）］
【請求項８】
ポリアミド樹脂が、下記芳香族ジカルボン酸ジクロライドを重合して製造されたものである、請求項１から７のいずれかに記載の積層複合材。
【化５】
2014126210.tif 000019
［ここで、ｐ＝４、ｑ＝３であり、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール又はハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択される。なお、Ｒ1はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ2はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ3はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ4はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ5はそれぞれ異なっていてもよい。Ｇ1は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚはフェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。］
【請求項９】
ポリアミド樹脂が、下記芳香族ジアミンを重合して製造されたものである、請求項１から８のいずれかに記載の積層複合材。
【化６】
2014126210.tif 000020
［ここで、ｐ＝４、ｍ＝１又は２、ｔ＝１〜３であり、Ｒ6、Ｒ7、Ｒ8、Ｒ9、Ｒ10、Ｒ11は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール、ハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択される。なお、Ｒ6はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ7はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ8はそれぞれ異なり、Ｒ9はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ10はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ11はそれぞれ異なっていてもよい。Ｇ2及びＧ3は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚはフェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。］
【請求項１０】
ポリアミド樹脂が、少なくとも一端がエンドキャップされたポリアミドを用いて製造されたものである、請求項１から９のいずれかに記載の積層複合材。
【請求項１１】
ポリアミド樹脂が、３３０℃以上の熱処理工程を経て製造されたものである、請求項１から１０のいずれかに記載の積層複合材。
【請求項１２】
変位計で測定される前記積層複合材の反り変形が、−５００μｍ以上５００μｍ以下である、請求項１から１１のいずれかに記載の積層複合材。
【請求項１３】
請求項１から１２のいずれかに記載の積層複合材を製造するためのポリアミド溶液であって、芳香族ポリアミドと溶媒を含む、ポリアミド溶液。
【請求項１４】
芳香族ポリアミドの合成に使用されるモノマー全量に対するカルボキシル基含有ジアミン成分が、３０ｍｏｌ％以下である、請求項１３に記載のポリアミド溶液。
【請求項１５】
芳香族ポリアミドが下記一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）で表される繰り返し単位を有する、請求項１３又は１４に記載のポリアミド溶液。
【化７】
2014126210.tif 000021
［式（Ｉ）及び（ＩＩ）において、ｘは繰り返し単位（Ｉ）のモル％を示し、ｙは繰り返し単位（ＩＩ）のモル％を示し、ｘは９０〜１００であり、ｙは１０〜０であり、
ｎは１〜４であり、
Ａｒ1は
【化８】
2014126210.tif 000022
からなる群から選択され（ここで、ｐ＝４、ｑ＝３であり、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール又はハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択され、Ｇ1は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚはフェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。）、
Ａｒ2は
【化９】
2014126210.tif 000023
からなる群から選択され（ここで、ｐ＝４であり、Ｒ6、Ｒ7、Ｒ8は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール、ハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択され、Ｇ2は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚはフェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。）、
Ａｒ3は、
【化１０】
2014126210.tif 000024
からなる群から選択される（ここで、ｔ＝２又は３であり、Ｒ9、Ｒ10、Ｒ11は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール、ハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択され、Ｇ3は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚは、フェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。）］
【請求項１６】
芳香族ポリアミドが、下記芳香族ジカルボン酸ジクロライドを重合して製造されたものである、請求項１３から１５のいずれかに記載のポリアミド溶液。
【化１１】
2014126210.tif 000025
［ここで、ｐ＝４、ｑ＝３であり、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール又はハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択される。なお、Ｒ1はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ2はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ3はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ4はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ5はそれぞれ異なっていてもよい。Ｇ1は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚはフェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。］
【請求項１７】
芳香族ポリアミドが、下記芳香族ジアミンを重合して製造されたものである、請求項１３から１６のいずれかに記載のポリアミド溶液。
【化１２】
2014126210.tif 000026
［ここで、ｐ＝４、ｍ＝１又は２、ｔ＝１〜３であり、Ｒ6、Ｒ7、Ｒ8、Ｒ9、Ｒ10、Ｒ11は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール、ハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択される。なお、Ｒ6はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ7はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ8はそれぞれ異なり、Ｒ9はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ10はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ11はそれぞれ異なっていてもよい。Ｇ2及びＧ3は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚはフェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。］
【請求項１８】
芳香族ポリアミドが、少なくとも一端がエンドキャップされたポリアミドである、請求項１３から１７のいずれかに記載のポリアミド溶液。
【請求項１９】
請求項１から１２のいずれかに記載の積層複合材の有機樹脂層のガラスプレートと対向する面と反対の面上にディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子を形成する工程を含む、ディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子の製造方法。
【請求項２０】
さらに、形成されたディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子をガラスプレートから剥離する工程を含む、請求項１９記載のディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子の製造方法。
【請求項２１】
請求項１から１２のいずれかに記載の積層複合材を使用して製造され、積層複合材のポリアミド樹脂を含む、ディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ディスプレイ用素子、光学用素子又は照明用素子を製造するための積層複合材；ディスプレイ用素子、光学用素子又は照明用素子を製造するためのポリアミド溶液；ディスプレイ用素子、光学用素子又は照明用素子の製造方法；ディスプレイ用素子、光学用素子又は照明用素子等に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ用素子には透明性が必要とされるため、その基板としてガラス板を用いたガラス基板が使用されていた（特許文献１）。しかし、ガラス基板を用いたディスプレイ用素子は、重量が重い、割れる、曲がらない等の問題点が指摘されることがあった。そこで、ガラス基板に換えて透明樹脂フィルムを使用する試みが提案された。【０００３】
光学用途の透明樹脂としては、透明度が高いポリカーボネート等が知られるが、ディスプレイ用素子の製造に用いる場合には耐熱性や機械強度が問題となる。一方、耐熱性の樹脂としてポリイミドが挙げられるが、一般的なポリイミドは茶褐色に着色しているため光学用途には問題があり、また、透明性を有するポリイミドとしては、環状構造を有するポリイミドが知られているが、これは耐熱性が低下するという問題がある。【０００４】
特許文献２は、熱安定性及び寸法安定性を示す透明ポリアミドフィルムを開示する。この透明フィルムは、芳香族ポリアミド溶液をキャストし、高温で硬化させることで製造される。この硬化処理したフィルムは、４００〜７５０ｎｍの範囲で８０％を超える透過率を示し、線膨張係数（ＣＴＥ）が２０ｐｐｍ／℃未満であり、良好な溶剤耐性を示すことが開示される。そして、同文献に開示されるフィルムは、マイクロエレクトロニクスデバイスのフレキシブル基板として使用できることが開示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−３１１９８７号公報
【特許文献２】ＷＯ２０１２／１２９４２２
【発明の概要】
【０００６】
本開示は、一態様において、ガラスプレート、有機樹脂層を含み、ガラスプレートの一方の面上に有機樹脂層が積層されており、前記有機樹脂がポリアミド樹脂であり、ポリアミド樹脂の熱重量測定（ＴＧ）で測定される３００℃から４００℃までの質量変化が３．０％以下であり、かつ、ポリアミド樹脂のガラス転移温度が３００℃以上である、積層複合材に関する。
【０００７】
本開示は、また、一態様において、前記積層複合材を製造するためのポリアミド溶液であって、芳香族ポリアミドと溶媒を含む、ポリアミド溶液に関する。
【０００８】
本開示は、さらに、一態様において、前記積層複合材のガラスプレートと反対の面にディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子の形成工程を含む、ディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子の製造方法に関し、また、一態様において、該方法で製造されたディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子に関する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、一実施形態にかかる有機ＥＬ素子１の構成を示す概略断面図である。
【図２】図２は、一実施形態にかかるＯＬＥＤ素子の製造方法を説明するフロー図である。
【図３】図３は、一実施形態にかかるＯＬＥＤ素子の製造方法を説明するフロー図である。
【図４】図４は、一実施形態にかかるＯＬＥＤ素子の製造方法を説明するフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
有機エレクトロルミネッセンス（ＯＥＬ）又は有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）などのディスプレイ用素子、光学用素子、又は照明用素子は、しばしば図２に示される製造方法で製造される。概略すると、ポリマー溶液（ワニス）がガラス支持材又はシリコンウエハー支持材上に塗布又はキャストされる（工程Ａ）、塗布されたポリマー溶液が硬化されフィルムが形成される（工程Ｂ）、該フィルム上にＯＬＥＤなどの素子が形成される（工程Ｃ）、そして、ＯＬＥＤなどの素子（製品）が前記支持材から剥離される（工程Ｄ）。最近では、ポリイミドフィルムが図２における製造方法のフィルムとして使用されている。
【００１１】
図２に代表されるディスプレイ用素子、光学用素子又は照明用素子の製造方法において、工程Ｂで得られるガラスプレートとフィルムを含む積層複合材の反り変形が品質や歩留まりを低下させるという問題が見出された。すなわち、該積層複合材に反り変形が発生すると、製造プロセス時の搬送が困難になる、パターニング製作時に露光強度が変化するため均一なパターンの製作が困難になる、及び/又は、無機バリア層を積層した場合にクラックが発生しやすい等の問題が見出された。そして、この問題について、所定の条件を満たすポリアミドフィルムを使用することで、該積層複合材の反り変形が大きく抑制されうることが見出された。
【００１２】
本開示は、一又は複数の実施形態において、反り変形が抑制された積層複合材に関する。本開示は、また、一又は複数の実施形態において、反り変形が抑制され及び/又は寸法安定性が向上した積層複合材に関する。
【００１３】
［積層複合材］
本開示において、「積層複合材」は、ガラスプレートと有機樹脂層とが積層されたものをいう。ガラスプレートと有機樹脂層とが積層されているとは、限定されない一又は複数の実施形態において、ガラスプレートと有機樹脂層とが直接積層されていることをいい、また、限定されない一又は複数の実施形態において、ガラスプレートと有機樹脂層とが一若しくは複数の層を介して積層されたものをいう。本開示において、前記有機樹脂層の有機樹脂は、ポリアミド樹脂である。したがって、本開示において積層複合材は、一又は複数の実施形態において、ガラスプレートとポリアミド樹脂層とを含み、ガラスプレートの一方の面上にポリアミド樹脂が積層されたものをいう。
【００１４】
本開示にかかる積層複合材は、限定されない一又は複数の実施形態において、図２に代表されるディスプレイ用素子、光学用素子又は照明用素子の製造方法に使用でき、また、限定されない一又は複数の実施形態において、図２の製造方法の工程Ｂで得られる積層複合材として使用できる。したがって、本開示にかかる積層複合材は、限定されない一又は複数の実施形態において、有機樹脂層のガラスプレートと対向する面と反対の面上にディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子を形成することを含むディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子の製造方法に使用するための積層複合材である。
【００１５】
本開示にかかる積層複合材は、ポリアミド樹脂層以外にさらなる有機樹脂層及び/又は無機層を含んでもよい。さらなる有機樹脂層としては、限定されない一又は複数の実施形態において、平坦化コート層等が挙げられる。また、無機層としては、限定されない一又は複数の実施形態において、水、酸素の透過を抑制するガスバリア層、ＴＦＴ素子へのイオンマイグレーションを抑制するバッファーコート層等が挙げられる。
【００１６】
ガラスプレートとポリアミド樹脂層との間に無機層が形成される、限定されない一又は複数の実施形態を図３に示す。本実施形態における無機層としては、ガラスプレート上に形成されるアモルファスＳｉ層が挙げられる。工程Ａにおいてガラスプレート上のアモルファスＳｉ層上にポリアミドワニスが塗布され、工程Ｂにおいて乾燥及び／又は硬化されて積層複合材が形成される。工程Ｃにおいて前記積層複合材のポリアミド樹脂層（ポリアミドフィルム）上にディスプレイ用素子、光学用素子又は照明用素子が形成され、工程ＤにおいてアモルファスＳｉ層にレーザーが照射され、製品であるディスプレイ用素子、光学用素子又は照明用素子（ポリアミド樹脂層含む）がガラスプレートから剥離される。
【００１７】
ポリアミド樹脂層のガラスプレートと対向する面の反対の面上に無機層が形成される、限定されない一又は複数の実施形態を図４に示す。本実施形態における無機層としては、無機バリア層などが挙げられる。工程Ａにおいてガラスプレート上にポリアミドワニスが塗布され、工程Ｂにおいて乾燥及び／又は硬化されて積層複合材が形成される。このとき、ポリアミド樹脂層（ポリアミドフィルム）にさらに無機層が形成される。限定されない一又は複数の実施形態において、無機層を含めて本開示における積層複合材としてもよい（図４、工程Ｃ）。この無機層上にディスプレイ用素子、光学用素子又は照明用素子が形成される。工程Ｄにおいてポリアミド樹脂層を剥離して、製品であるディスプレイ用素子、光学用素子又は照明用素子（ポリアミド樹脂層含む）が得られる。
【００１８】
［ポリアミド樹脂層］
本開示にかかる積層複合材におけるポリアミド樹脂層のポリアミド樹脂は、積層複合材の反り変形抑制及び／又は寸法安定性向上の観点から、一又は複数の実施形態において、ポリアミド樹脂の熱重量測定（ＴＧ）で測定される３００℃から４００℃までの質量変化が３．０％以下、２．０％以下、１．５％以下、又は１．０％以下であることが挙げられる。熱重量測定（ＴＧ）で測定される３００℃から４００℃までの質量変化は、一又は複数の実施形態において、実施例に記載の方法で測定できる。
【００１９】
本開示にかかる積層複合材におけるポリアミド樹脂層のポリアミド樹脂は、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、一又は複数の実施形態において、ポリアミド樹脂のガラス転移温度が３００℃以上、３２０℃以上、３３０℃以上、又は３５０℃以上であることが挙げられる。また、ポリアミド樹脂のガラス転移温度は、限定されない一又は複数の実施形態において、５５０℃以下、５３０℃以下、又は、５００℃以下であることが挙げられる。ガラス転移温度は、一又は複数の実施形態において、実施例に記載の方法で測定できる。
【００２０】
本開示にかかる積層複合材におけるポリアミド樹脂層のポリアミド樹脂は、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、一又は複数の実施形態において、上述の熱重量測定（ＴＧ）で測定される３００℃から４００℃までの質量変化とガラス転移温度の条件を共に満たすことが挙げられる。
【００２１】
［反り変形］
本開示において「積層複合材の反り変形」とは、レーザー変位計で測定される積層複合材の高さの最大値と最小値の差をいい、一又は複数の実施形態において、実施例に記載の方法で測定される。本開示にかかる積層複合材の反り変形は、一又は複数の実施形態において、５００μｍ以下、又は２５０μｍ以下であることが挙げられる。また、同様の観点から、一又は複数の実施形態において、−５００μｍ以上、又は−２５０μｍ以上であることが挙げられる。なお、積層複合材の反り変形の値が正であることは、積層複合材の周辺部の高さが中央部の高さよりも高いことを示し、積層複合材の反り変形の値が負であることは、積層複合材の周辺部の高さが中央部の高さよりも低いことを示す。
【００２２】
［ポリアミド樹脂層の厚み］
本開示にかかる積層複合材におけるポリアミド樹脂層の厚みは、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点、並びに、樹脂層のクラック発生抑制の観点から、一又は複数の実施形態において、５００μｍ以下、２００μｍ以下、又は、１００μｍ以下であることが挙げられる。また、ポリアミド樹脂層の厚みは、限定されない一又は複数の実施形態において、例えば、１μｍ以上、２μｍ、又は、３μｍ以上であることが挙げられる。
【００２３】
［ポリアミド樹脂層の透過率］
本開示にかかる積層複合材におけるポリアミド樹脂層の全光線透過率は、積層複合材がディスプレイ用素子、光学用素子又は照明用素子の製造に好適に用いられる観点から、一又は複数の実施形態において、７０％以上、７５％以上、又は８０％以上であることが挙げられる。
【００２４】
［ガラスプレート］
本開示にかかる積層複合材におけるガラスプレートの材質は、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、一又は複数の実施形態において、ソーダライムガラス、無アルカリガラス等が挙げられ、なかでも、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点からはソーダライムガラスが好ましい。
【００２５】
本開示にかかる積層複合材におけるガラスプレートの厚みは、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、０．３ｍｍ以上、０．４ｍｍ以上、又は、０．５ｍｍ以上であることが挙げられる。また、ガラスプレートの厚みは、一又は複数の実施形態において、例えば、３ｍｍ以下、又は、１ｍｍ以下であることが挙げられる。
【００２６】
［ポリアミドの溶液］
本開示にかかる積層複合材におけるポリアミド樹脂層は、一又は複数の実施形態において、下記に開示するポリアミドの溶液又はワニスから上述の熱重量測定（ＴＧ）で測定される３００℃から４００℃までの質量変化及び/又はガラス転移温度の条件等を満たすポリアミド樹脂を製造できるものを適宜選択して製造できる。したがって、本開示は、また、一態様において、前記積層複合材を製造するためのポリアミド溶液であって、芳香族ポリアミドと溶媒を含む、ポリアミド溶液に関する。
【００２７】
本開示にかかるポリアミド溶液は、積層複合材の反り変形抑制及び／又は寸法安定性向上の観点から、一又は複数の実施形態において、低分子成分が低減されているものが挙げられ、一又は複数の実施形態において、同様の観点から、ポリアミド溶液中の分子量１０００以下の低分子成分が、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で検出されない、または、微量に検出されるものが挙げられる。微量に検出されるとは、一又は複数の実施形態において、ＧＰＣによって測定した際の分子量１０００以下の低分子成分が面積比で０．２％であることが挙げられる。
【００２８】
本開示にかかるポリアミド溶液は、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、一又は複数の実施形態において、ポリアミド合成後に沈殿の工程を経たものが挙げられる。沈殿は通常の方法で行うことができ、一又は複数の実施形態において、例えばメタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等への添加により沈殿し、洗浄し、溶媒に溶解することが挙げられる。
【００２９】
本開示にかかるポリアミド溶液のポリアミドは、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、少なくとも一端がエンドキャップされたものが挙げられる。
【００３０】
本開示にかかるポリアミド溶液は、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、一又は複数の実施形態において、ポリアミドの合成に使用されるモノマーはカルボキシル基含有ジアミンモノマーを含んでいてもよい。その場合、モノマー全量に対するカルボキシル基含有ジアミンモノマー成分は、一又は複数の実施形態において、３０ｍｏｌ％以下、２０ｍｏｌ％以下、又は、１〜１０ｍｏｌ％であることが挙げられる。
【００３１】
本開示にかかるポリアミド溶液は、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、一又は複数の実施形態において、下記一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）で表される繰り返し単位を有する芳香族ポリアミドと溶媒とを含むポリアミドの溶液が挙げられる。
【化１】
2014126210.tif 000003
【００３２】
式（Ｉ）及び（ＩＩ）において、ｘは繰り返し単位（Ｉ）のモル％を示し、ｙは繰り返し単位（ＩＩ）のモル％を示し、ｘは９０〜１００であり、ｙは１０〜０であり、ｎは１〜４である。
【００３３】
式（Ｉ）及び（ＩＩ）において、Ａｒ1は
【化２】
2014126210.tif 000004
からなる群から選択される。ここで、ｐ＝４、ｑ＝３であり、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール又はハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択され、Ｒ1はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ2はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ3はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ4はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ5はそれぞれ異なっていてもよい。Ｇ1は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚはフェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。
【００３４】
式（Ｉ）及び（ＩＩ）において、Ａｒ2は
【化３】
2014126210.tif 000005
からなる群から選択される。ここで、ｐ＝４であり、Ｒ6、Ｒ7、Ｒ8は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール、ハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択され、Ｒ6はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ7はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ8はそれぞれ異なっていてもよい。Ｇ2は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚはフェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。
【００３５】
式（Ｉ）及び（ＩＩ）において、Ａｒ3は、
【化４】
2014126210.tif 000006
からなる群から選択される。ここで、ｔ＝２又は３であり、Ｒ9、Ｒ10、Ｒ11は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール、ハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択され、Ｒ9はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ10はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ11はそれぞれ異なっていてもよい。Ｇ3は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚは、フェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。
【００３６】
一又は複数の実施形態において、式（Ｉ）及び（ＩＩ）は、ポリアミドが極性溶媒又は１つ以上の極性溶媒を含む混合溶媒に溶解するように選択される。一又は複数の実施形態において繰り返し単位（Ｉ）のｘは９０〜１００モル％であり、繰り返し単位（ＩＩ）のｙは１０〜０モル％である。一又は複数の実施形態において、構造（Ｉ）及び（ＩＩ）の繰り返し単位を複数含んでいてもよく、その場合、Ａｒ1、Ａｒ2、及びＡｒ3は同一であっても異なっていてもよい。
【００３７】
本開示にかかるポリアミド溶液は、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、一又は複数の実施形態において、下記の工程を含む製造方法で得られた又は得られうるものが挙げられる。
（ａ）少なくとも１つの芳香族ジアミンを溶媒に溶解させる工程、
（ｂ）前記少なくとも１つの芳香族ジアミンと少なくとも１つの芳香族二酸ジクロリドとを反応させ、塩酸及びポリアミド溶液を生成する工程、
（ｃ）トラッピング試薬を用いて前記反応で遊離した塩酸を除去する工程、及び
（ｄ）必要に応じて、得られたポリアミドを沈殿する工程。
【００３８】
本開示におけるポリアミド溶液の製造方法の一又は複数の実施形態において、芳香族二酸ジクロリドは、下記の一般式で示されるものを含む。
【化５】
2014126210.tif 000007
ここで、ｐ＝４、ｑ＝３であり、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール又はハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択される。なお、Ｒ1はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ2はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ3はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ4はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ5はそれぞれ異なっていてもよい。Ｇ1は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚはフェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。
【００３９】
本開示にかかるポリアミド溶液の製造方法に使用する芳香族ジカルボン酸ジクロライドとしては、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、一又は複数の実施形態において、下記のものが挙げられる。
【化６】
2014126210.tif 000008
【００４０】
本開示におけるポリアミド溶液の製造方法の一又は複数の実施形態において、芳香族ジアミンは、下記の一般式で示されるものを含む。
【化７】
2014126210.tif 000009
ここで、ｐ＝４、ｍ＝１又は２、ｔ＝１〜３であり、Ｒ6、Ｒ7、Ｒ8、Ｒ9、Ｒ10、Ｒ11は水素、ハロゲン（フッ化物、塩化物、臭化物、及びヨウ化物）、アルキル、ハロゲン化アルキル等の置換アルキル、ニトロ、シアノ、チオアルキル、アルコキシ、ハロゲン化アルコキシ等の置換アルコキシ、アリール、ハロゲン化アリール等の置換アリール、アルキルエステル、及び置換アルキルエステル、並びにその組み合せからなる群から選択される。なお、Ｒ6はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ7はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ8はそれぞれ異なり、Ｒ9はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ10はそれぞれ異なっていてもよく、Ｒ11はそれぞれ異なっていてもよい。Ｇ2及びＧ3は共有結合、ＣＨ2基、Ｃ（ＣＨ3）2基、Ｃ（ＣＦ3）2基、Ｃ（ＣＸ3）2基（但しＸはハロゲン）、ＣＯ基、Ｏ原子、Ｓ原子、ＳＯ2基、Ｓｉ（ＣＨ3）2基、９，９−フルオレン基、置換９，９−フルオレン、及びＯＺＯ基からなる群から選択され、Ｚはフェニル基、ビフェニル基、パーフルオロビフェニル基、９，９−ビスフェニルフルオレン基、及び置換９，９−ビスフェニルフルオレン等のアリール基又は置換アリール基である。
【００４１】
本開示にかかるポリアミド溶液の製造方法に使用する芳香族ジアミンとしては、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、一又は複数の実施形態において、下記のものが挙げられる。
【化８】
2014126210.tif 000010
【化９】
2014126210.tif 000011
【００４２】
本開示におけるポリアミド溶液の製造方法の一又は複数の実施形態において、ポリアミドは、溶媒中での縮合重合によって調製され、反応の際に生成される塩酸は、酸化プロピレン（ＰｒＯ）等の試薬によって捕捉される。
【００４３】
本開示の一又は複数の実施形態によれば、ポリアミドの溶媒への溶解性を高める観点から、前記溶媒は極性溶媒又は１つ以上の極性溶媒を含む混合溶媒である。一又は複数の実施形態において、ポリアミドの溶媒への溶解性を高める観点及びポリアミドフィルムと支持材との接着性を高める観点から、前記溶媒は、クレゾール、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、ブチルセロソルブ、又は、クレゾール、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、１，３-ジメチル−イミダゾリジノン（ＤＭＩ）若しくはブチルセロソルブの少なくとも１つを含む混合溶媒、これらの組み合わせ、又は、これらの極性溶媒を少なくとも１つ含む混合溶媒である。
【００４４】
本開示の一又は複数の実施形態において、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、ジアミンの１つは、４，４'−ジアミノジフェン酸（ＤＡＤＰ）又は３，５−ジアミノ安息香酸（ＤＡＢ）である。
【００４５】
本開示の一又は複数の実施形態において、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、前記塩酸と前記トラッピング試薬との反応によって揮発性生成物が生成される。
【００４６】
本開示の一又は複数の実施形態において、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、前記トラッピング試薬は、酸化プロピレンである。本開示の一又は複数の実施形態において、前記トラッピング試薬は、反応工程（ｂ）の前又はその間に前記混合液に添加される。反応工程（ｂ）の前又はその間に添加することで、混合液中の粘度及び塊の発生を抑制でき、それにより、ポリアミド溶液の生産性を向上できる。これらの効果は、トラッピング試薬が酸化プロピレンのような有機薬剤である場合に特に著しい。
【００４７】
本開示の一又は複数の実施形態において、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、前記製造方法は、ポリアミドの末端の−ＣＯＯＨ基及び−ＮＨ2基の一方又は双方をエンドキャップする工程を含むことが好ましい。
【００４８】
本開示の一又は複数の実施形態において、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、最初に沈殿によりポリアミド溶液からポリアミドが単離され、溶媒に再溶解される。
【００４９】
本開示の一又は複数の実施形態において、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、前記ポリアミド溶液は、無機塩の非存在下で製造される。
【００５０】
［積層複合材の製造方法］
本開示にかかる積層複合材は、上述したポリアミド溶液をガラスプレートに塗布し、乾燥し、必要に応じて硬化させることにより製造することができる。本開示の一又は複数の実施形態において、本開示の積層複合材の製造方法は、下記工程（ａ）及び（ｂ）を含む。
（ａ）支持材上に芳香族ポリアミド溶液を塗布する工程。
（ｂ）前記工程（ａ）の後、キャストされた前記ポリアミド溶液を加熱してポリアミドフィルムを形成する工程。
【００５１】
本開示の一又は複数の実施形態において、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、前記加熱は、前記溶媒の沸点の＋４０℃から前記溶媒の沸点の＋１００℃の範囲の温度下で行われ、好ましくは前記溶媒の沸点の＋６０℃から前記溶媒の沸点の＋８０℃の範囲の温度下で行われ、より好ましくは前記溶媒の沸点の約＋７０℃の温度下で行われる。本開示の一又は複数の実施形態において、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、前記工程（ｂ）の加熱温度は、約２００℃と約２５０℃との間である。本開示の一又は複数の実施形態において、積層複合材の反り変形抑制及び/又は寸法安定性向上の観点から、加熱時間は、約１分を超え、約３０分未満である。
【００５２】
積層複合材の製造方法は、工程（ｂ）の後に、ポリアミドフィルムを硬化させる硬化処理工程（ｃ）を含んでもよい。硬化処理の温度は、加熱装置の能力に依存するが、一又は複数の実施形態において２２０℃〜４２０℃、２８０〜４００℃、又は３３０℃〜３７０℃である。
【００５３】
［ディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子の製造方法］
本開示は、一態様において、本開示にかかる積層複合材の有機樹脂層のガラスプレートと対向する面と反対の面上にディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子を形成する工程を含む、ディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子の製造方法に関する。該製造方法は、一又は複数の実施形態において、さらに、形成されたディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子をガラスプレートから剥離する工程を含む。
【００５４】
［ディスプレイ用素子、光学用素子、又は照明用素子］
本開示において、「ディスプレイ用素子、光学用素子、又は照明用素子」とは、表示体（表示装置）、光学装置、又は照明装置を構成する素子をいい、例えば有機ＥＬ素子、液晶素子、有機ＥＬ照明等をいう。また、それらの一部を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子、カラーフィルタ素子等も含む。本開示にかかるディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子は、一又は複数の実施形態において、本開示に係るポリマー溶液を用いて製造されるもの、ディスプレイ用素子、光学用素子、又は、照明用素子の基板として本開示に係るポリマーフィルムを用いているものを含みうる。
【００５５】
＜有機ＥＬ素子の限定されない一実施形態＞
以下に図を用いて本開示にかかるディスプレイ用素子の一実施形態である有機ＥＬ素子の一実施形態を説明する。
【００５６】
図１は、一実施形態に係る有機ＥＬ素子１を示す概略断面図である。有機ＥＬ素子１は、基板Ａ上に形成される薄膜トランジスタＢ及び有機ＥＬ層Ｃを備える。なお、有機ＥＬ素子１全体は封止部材４００で覆われている。有機ＥＬ素子１は、支持材５００から剥離されたものであってもよく、支持材５００を含むものであってもよい。以下、各構成につき詳細に説明する。
【００５７】
１．基板Ａ
基板Ａは、透明樹脂基板１００及び透明樹脂基板１００の上面に形成されるガスバリア層１０１を備える。ここで、透明樹脂基板１００は、本開示に係るポリマーフィルムである。
【００５８】
なお、透明樹脂基板１００に対して、熱によるアニール処理を行っても良い。これにより、歪みを取り除くことができたり、環境変化に対する寸法の安定化を強化したりできる等の効果がある。
【００５９】
ガスバリア層１０１は、ＳｉＯｘ、ＳｉＮｘなどからなる薄膜であり、スパッタ法、ＣＶＤ法、真空蒸着法等の真空成膜法により形成される。ガスバリア層１０１の厚みとしては、通常１０ｎｍ〜１００ｎｍ程度であるが、この厚みに限定されるものではない。ここで、ガスバリア層１０１は図１のガスバリア層１０１と対向する面に形成しても良く、両面に形成しても良い。
【００６０】
２．薄膜トランジスタ
薄膜トランジスタＢは、ゲート電極２００、ゲート絶縁層２０１、ソース電極２０２、活性層２０３、及びドレイン電極２０４を備える。薄膜トランジスタＢは、ガスバリア層１０１上に形成される。
【００６１】
ゲート電極２００、ソース電極２０２、及びドレイン電極２０４は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）等からなる透明薄膜である。透明薄膜を形成する方法としては、スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法等が挙げられる。これらの電極の膜厚は、通常５０ｎｍ〜２００ｎｍ程度であるが、この厚さに限定されるものではない。
【００６２】
ゲート絶縁膜２０１は、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3等からなる透明な絶縁薄膜であり、スパッタ法、ＣＶＤ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法等により形成される。ゲート絶縁膜２０１の膜厚は、通常１０ｎｍ〜１μｍ程度であるが、この厚さに限定されるものではない。
【００６３】
活性層２０３は、例えば、単結晶シリコン、低温ポリシリコン、アモルファスシリコン、酸化物半導体等であり、適時最適なものが使用される。活性層はスパッタ法等により形成される。
【００６４】
３．有機ＥＬ層
有機ＥＬ層Ｃは、導電性の接続部３００、絶縁性の平坦化層３０１、有機ＥＬ素子１の陽極である下部電極３０２、正孔輸送層３０３、発光層３０４、電子輸送層３０５、及び有機ＥＬ素子１の陰極である上部電極３０６を備える。有機ＥＬ層Ｃは、少なくともガスバリア層１０１上又は薄膜トランジスタＢ上に形成され、下部電極３０２と薄膜トランジスタＢのドレイン電極２０４は接続部３００により電気的に接続されている。なお、これに替えて、薄膜トランジスタＢの下部電極３０２とソース電極２０２が接続部３００により接続されるようにしてもよい。
【００６５】
下部電極３０２は、有機ＥＬ素子１の陽極であり、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）等の透明薄膜である。なお、高透明性、高電導性等が得られるので、ＩＴＯが好ましい。
【００６６】
正孔輸送層３０３、発光層３０４及び電子輸送層３０５としては、従来公知の有機ＥＬ素子用材料をそのまま用いることができる。
【００６７】
上部電極３０５は、例えばフッ化リチウム（ＬｉＦ）とアルミニウム（Ａｌ）をそれぞれ５ｎｍ〜２０ｎｍ、５０ｎｍ〜２００ｎｍの膜厚に成膜した膜よりなる。膜を形成する方法としては、例えば真空蒸着法が挙げられる。
【００６８】
また、ボトムエミッション型の有機ＥＬ素子を作製する場合、有機ＥＬ素子１の上部電極３０６は光反射性の電極にしても良い。これにより、有機ＥＬ素子１で発生して表示側と逆方向の上部側に進んだ光が上部電極３０６により表示側方向に反射される。したがって、反射光も表示に利用されるので、有機ＥＬ素子の発光の利用効率を高めることができる。
【００６９】
［ディスプレイ用素子、光学用素子、又は照明用素子の製造方法］
本開示は、その他の態様において、ディスプレイ用素子、光学用素子、又は照明用素子の製造方法に関する。本開示にかかる製造方法は、一又は複数の実施形態において、本開示にかかるディスプレイ用素子、光学用素子、又は照明用素子を製造する方法である。また、本開示にかかる製造方法は、一又は複数の実施形態において、本開示に係るポリアミド樹脂溶液を支持材へ塗布する工程と、前記塗布工程後に、ポリアミドフィルムを形成する工程と、前記ポリアミドフィルムの前記支持材と接していない面にディスプレイ用素子、光学用素子、又は照明用素子を形成する工程とを含む製造方法である。本開示にかかる製造方法は、さらに、前記支持材上に形成されたディスプレイ用素子、光学用素子、又は照明用素子を前記支持材から剥離する工程を含んでもよい。
【００７０】
＜有機ＥＬ素子の作製方法の限定されない一実施形態＞
次に、以下に図を用いて本開示にかかるディスプレイ用素子の製造方法の一実施形態である有機ＥＬ素子の製造方法の一実施形態を説明する。
【００７１】
図１の有機ＥＬ素子１の作製方法は、固定工程、ガスバリア層作製工程、薄膜トランジスタ作製工程、有機ＥＬ層作製工程、封止工程及び剥離工程を備える。以下、各工程につき詳細に説明する。
【００７２】
１．固定工程
固定工程では、支持材５００上に透明樹脂基板１００が固定される。固定する方法は特に限定されるものではないが、支持材５００と透明基板の間に粘着剤を塗布する方法や、透明樹脂基板１００の一部を支持材５００に融着させる方法等が挙げられる。また、支持材の材料としては、例えば、ガラス、金属、シリコン、又は樹脂等が用いられる。これらは単独で用いられてもよいし、２以上の材料を適時組み合わせて使用してもよい。さらに、支持材５００に離型剤等を塗布し、その上に透明樹脂基板１００を張り付けて固定してもよい。一又は複数の実施形態において、支持材５００上に本開示に係るポリアミド樹脂組成物を塗布し、乾燥等によりポリアミドフィルム１００を形成する。
【００７３】
２．ガスバリア層作製工程
ガスバリア層作製工程では、透明樹脂基板１００上にガスバリア層１０１が作製される。作製する方法は特に限定することなく、公知の方法を用いることができる。
【００７４】
３．薄膜トランジスタ作製工程
薄膜トランジスタ作製工程では、ガスバリア層上に薄膜トランジスタＢが作製される。作製する方法は特に限定することなく、公知の方法を用いることができる。
【００７５】
４．有機ＥＬ層作製工程
有機ＥＬ層作製工程は、第１工程と第２工程を備える。第１工程では、平坦化層３０１が形成される。平坦化層３０１を形成する方法としては、感光性透明樹脂をスピンコート法、スリットコート法、インクジェット法等が挙げられる。この際、第２工程で接続部３００を形成できるよう、平坦化層３０１には開口部を設けておく必要がある。平坦化層の膜厚は、通常１００ｎｍ〜２μｍ程度であるが、これに限定されるものではない。
【００７６】
第２工程では、まず接続部３００及び下部電極３０２が同時に形成される。これらを形成する方法としては、スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法等が挙げられる。これらの電極の膜厚は、通常５０ｎｍ〜２００ｎｍ程度であるが、これに限定されるものではない。その後、正孔輸送層３０３、発光層３０４、電子輸送層３０５、及び有機ＥＬ素子１の陰極である上部電極３０６が形成される。これらを形成する方法としては真空蒸着法や塗布法など、用いる材料及び積層構成に適切な方法を用いることができる。また、有機ＥＬ素子１の有機層の構成は、本実施例の記載に関わらず、その他正孔注入層や電子輸送層、正孔ブロック層、電子ブロック層など、公知の有機層を取捨選択して構成してもよい。
【００７７】
５．封止工程
封止工程では、有機ＥＬ層Ｃが封止部材３０７によって上部電極３０６の上から封止される。封止部材３０７としては、ガラス、樹脂、セラミック、金属、金属化合物、又はこれらの複合体等で形成することができ、適時最適な材料を選択可能である。
【００７８】
６．剥離工程
剥離工程では作製された有機ＥＬ素子１が支持材５００から剥離される。剥離工程を実現する方法としては、例えば、物理的に支持材５００から剥離する方法が挙げられる。この際、支持材５００に剥離層を設けても良いし、支持材５００と表示素子の間にワイヤを挿入して剥離しても良い。また、その他の方法としては支持材５００の端部のみ剥離層を設けず、素子作製後端部より内側を切断して素子を取り出す方法、支持材５００と素子の間にシリコン層等からなる層を設け、レーザー照射により剥離する方法、支持材５００に対して熱を加え、支持材５００と透明基板を分離する方法、支持材５００を溶媒により除去する方法等が挙げられる。これらの方法は単独で用いてもよく、任意の複数の方法を組み合わせて用いてもよい。
【００７９】
本実施形態にかかるディスプレイ用、光学用、又は照明用の素子の製造方法によって得られた有機ＥＬ素子は、一又は複数の実施形態において、透明性、耐熱性、低線膨張性、低光学異方性等に優れている。
【００８０】
［表示装置、光学装置、照明装置］
本開示は、その態様において、本開示にかかるディスプレイ用素子、光学用素子、又は照明用素子を用いた表示装置、光学装置、又は照明装置に関し、また、それらの製造方法に関する。これらに限定されないが、前記表示装置としては、撮像素子などが挙げられ、光学装置としては、光／電気複合回路などが挙げられ、照明装置としては、ＴＦＴ−ＬＣＤ、ＯＥＬ照明などが挙げられる。
【実施例】
【００８１】
ポリアミド溶液（溶液１〜５）を表１及び下記に記載の成分を使用して調製した。
［芳香族ジアミン］
【化１０】
2014126210.tif 000012
［溶媒］
DMAc: N,N-dimethylacetamide
［芳香族二酸ジクロリド］
【化１１】
2014126210.tif 000013
［トラッピング試薬］
ＰｒＯ：酸化プロピレン
【００８２】
本実施例は、ＤＭＡｃ中に５質量％のＴＰＣ,ＩＰＣ，ＤＡＢ，及びＰＦＭＢのコポリマー（７０％／３０％／５％／９５％、モル比）を含有する溶液１を調製するための一般手順を示す。この製造方法は、合成したポリマーを合成工程後に沈殿させる工程を含む。
機械式撹拌機、窒素導入口、及び窒素排出口を備えた２５０ｍｌの三つ口丸底フラスコに、ＰＦＭＢ（３．０４２ｇ、０．００９５ｍｏｌ）、ＤＡＢ（０．０７６１ｇ、０．０００５ｍｏｌ）及びＤＭＡｃ（４５ｍｌ）を窒素下、室温にて加えた。ＰＦＭＢ及びＤＡＢが完全に溶解した後に、ＰｒＯ（１．４ｇ、０．０２４ｍｏｌ）を添加した。この溶液を０℃まで冷却した。この溶液に、撹拌しながらＩＰＣ（０．５９８９ｇ、０．００２９５ｍｏｌ）を加え、フラスコの壁部をＤＭＡｃ（１．５ｍｌ）で洗い流した。１５分後、ＴＰＣ（１．４１１０ｇ、０．００６９５ｍｏｌ）を加え、フラスコの壁部を再度ＤＭＡｃ（１．５ｍｌ）で洗い流した。２時間後、塩化ベンゾイル（０．０３２ｇ、０．２３ｍｍｏｌ）を加え、さらに２時間撹拌した。この溶液を５００ｍｌのメタノールに加え撹拌した。メタノール中に沈殿したポリマーをさらに１５０ｍｌのメタノール中に加え１０分の洗浄を２回行った。その後、前記ポリマーを１５０ｍｌの水中に加え１０分の洗浄を２回行った。その後、前記ポリマーを脱水し乾燥した。乾燥ポリマーをＤＭＡc（６０ｍｌ）に溶解し、溶液１を得た。【００８３】
本実施例は、ＤＭＡｃ中に５質量％のＩＰＣ，ＤＡＢ，及びＰＦＭＢのコポリマー（１００％／５％／９５％、モル比）を含有する溶液２を調製するための一般手順を示す。この製造方法は、合成したポリマーを合成工程後に沈殿させる工程を含む。
機械式撹拌機、窒素導入口、及び窒素排出口を備えた２５０ｍｌの三つ口丸底フラスコに、ＰＦＭＢ（３．０４２ｇ、０．００９５ｍｏｌ）、ＤＡＢ（０．０７６１ｇ、０．０００５ｍｏｌ）及びＤＭＡｃ（４５ｍｌ）を窒素下、室温にて加えた。ＰＦＭＢ及びＤＡＢが完全に溶解した後に、ＰｒＯ（１．４ｇ、０．０２４ｍｏｌ）を添加した。この溶液を０℃まで冷却した。この溶液に、撹拌しながらＩＰＣ（２．０１ｇ、０．００９９ｍｏｌ）を加え、フラスコの壁部をＤＭＡｃ（１．５ｍｌ）で洗い流した。１５分後、ＴＰＣ（１．４１１０ｇ、０．００６９５ｍｏｌ）を加え、フラスコの壁部を再度ＤＭＡｃ（１．５ｍｌ）で洗い流した。２時間後、塩化ベンゾイル（０．０３２ｇ、０．２３ｍｍｏｌ）を加え、さらに２時間撹拌した。この溶液を５００ｍｌのメタノールに加え撹拌した。メタノール中に沈殿したポリマーをさらに１５０ｍｌのメタノール中に加え１０分の洗浄を２回行った。その後、前記ポリマーを１５０ｍｌの水中に加え１０分の洗浄を２回行った。その後、前記ポリマーを脱水し乾燥した。乾燥ポリマーをＤＭＡc（６０ｍｌ）に溶解し、溶液２を得た。【００８４】
本実施例は、ＤＭＡｃ中に５質量％のＩＰＣ，ＤＡＢ，ＰＦＭＢ，及びＦＤＡのコポリマー（１００％／５％／５０％／４５％、モル比）を含有する溶液３を調製するための一般手順を示す。この製造方法は、合成したポリマーを合成工程後に沈殿させる工程を含む。
機械式撹拌機、窒素導入口、及び窒素排出口を備えた２５０ｍｌの三つ口丸底フラスコに、ＰＦＭＢ（１．６０１ｇ、０．００５ｍｏｌ）、ＤＡＢ（０．０７６１ｇ、０．０００５ｍｏｌ）、ＦＤＡ（１．７４３ｇ、０．００５ｍｏｌ）及びＤＭＡｃ（４５ｍｌ）を窒素下、室温にて加えた。ＰＦＭＢ、ＤＡＢ及びＦＤＡが完全に溶解した後に、ＰｒＯ（１．４ｇ、０．０２４ｍｏｌ）を添加した。この溶液を０℃まで冷却した。この溶液に、撹拌しながらＩＰＣ（２．０１ｇ、０．００９９ｍｏｌ）を加え、フラスコの壁部をＤＭＡｃ（１．５ｍｌ）で洗い流した。２時間後、塩化ベンゾイル（０．０３２ｇ、０．２３ｍｍｏｌ）を加え、さらに２時間撹拌した。この溶液を５００ｍｌのメタノールに加え撹拌した。メタノール中に沈殿したポリマーをさらに１５０ｍｌのメタノール中に加え１０分の洗浄を２回行った。その後、前記ポリマーを１５０ｍｌの水中に加え１０分の洗浄を２回行った。その後、前記ポリマーを脱水し乾燥した。乾燥ポリマーをＤＭＡc（６０ｍｌ）に溶解し、溶液３を得た。【００８５】
本実施例は、ＤＭＡｃ中に５質量％のＴＰＣ,ＩＰＣ，ＤＡＢ，及びＰＦＭＢのコポリマー（７０％／３０％／６０％／４０％、モル比）を含有する溶液４を調製するための一般手順を示す。この製造方法は、合成したポリマーを合成工程後に沈殿させる工程を含む。
機械式撹拌機、窒素導入口、及び窒素排出口を備えた２５０ｍｌの三つ口丸底フラスコに、ＰＦＭＢ（１．２８１ｇ、０．００４０ｍｏｌ）、ＤＡＢ（０．９１３２ｇ、０．００６０ｍｏｌ）及びＤＭＡｃ（４５ｍｌ）を窒素下、室温にて加えた。ＰＦＭＢ及びＤＡＢが完全に溶解した後に、ＰｒＯ（１．４ｇ、０．０２４ｍｏｌ）を添加した。この溶液を０℃まで冷却した。この溶液に、撹拌しながらＩＰＣ（０．５９８９ｇ、０．００２９５ｍｏｌ）を加え、フラスコの壁部をＤＭＡｃ（１．５ｍｌ）で洗い流した。１５分後、ＴＰＣ（１．４１１０ｇ、０．００６９５ｍｏｌ）を加え、フラスコの壁部を再度ＤＭＡｃ（１．５ｍｌ）で洗い流した。２時間後、塩化ベンゾイル（０．０３２ｇ、０．２３ｍｍｏｌ）を加え、さらに２時間撹拌した。この溶液を５００ｍｌのメタノールに加え撹拌した。メタノール中に沈殿したポリマーをさらに１５０ｍｌのメタノール中に加え１０分の洗浄を２回行った。その後、前記ポリマーを１５０ｍｌの水中に加え１０分の洗浄を２回行った。その後、前記ポリマーを脱水し乾燥した。乾燥ポリマーをＤＭＡc（６０ｍｌ）に溶解し、溶液４を得た。【００８６】
本実施例は、ＤＭＡｃ中に５質量％のＴＰＣ,ＩＰＣ，ＤＡＢ，及びＰＦＭＢのコポリマー（７０％／３０％／６０％／４０％、モル比）を含有する溶液５を調製するための一般手順を示す。この製造方法は、合成したポリマーを合成工程後に沈殿させる工程を含まない。
機械式撹拌機、窒素導入口、及び窒素排出口を備えた２５０ｍｌの三つ口丸底フラスコに、ＰＦＭＢ（１．２８１ｇ、０．００４０ｍｏｌ）、ＤＡＢ（０．９１３２ｇ、０．００６０ｍｏｌ）及びＤＭＡｃ（４５ｍｌ）を窒素下、室温にて加えた。ＰＦＭＢ及びＤＡＢが完全に溶解した後に、ＰｒＯ（１．４ｇ、０．０２４ｍｏｌ）を添加した。この溶液を０℃まで冷却した。この溶液に、撹拌しながらＩＰＣ（０．５９８９ｇ、０．００２９５ｍｏｌ）を加え、フラスコの壁部をＤＭＡｃ（１．５ｍｌ）で洗い流した。１５分後、ＴＰＣ（１．４１１０ｇ、０．００６９５ｍｏｌ）を加え、フラスコの壁部を再度ＤＭＡｃ（１．５ｍｌ）で洗い流した。２時間後、塩化ベンゾイル（０．０３２ｇ、０．２３ｍｍｏｌ）を加え、さらに２時間撹拌し、溶液５を得た。【００８７】
溶液１〜５を使用してガラス支持材の表面にポリアミドフィルムを形成し、積層複合材を得た。このポリアミドフィルムの熱重量測定（ＴＧ）及びガラス転移温度（Ｔｇ）、並びに、この積層複合材の反り変形及び寸法変化を下記のように測定した。その結果を表１に示す。【００８８】
［積層複合材の作製］
ポリマー溶液は重合後直接フィルムキャストに使用された。バッチプロセスで小さいフィルムを調製するため、ポリアミド溶液はガラスプレート（EAGLE XG, Corning Inc., U.S.A., 370mm x 470mm,厚み0.5mm)上にスピンコーティングされた。支持材上で６０℃３０分間の乾燥後、真空下又は不活性雰囲気下で６０℃から３３０℃に加熱し、３３０℃を３０分維持することで硬化させた。該フィルムの厚みは約１０μｍよりも大きかった。【００８９】
［熱重量測定（ＴＧ）］
ＴＧは、前記で作製したポリアミドフィルムについて、（TG/DTA6200,SIIナノテクノロジー社製）で昇温速度１０℃／minの条件で２５℃から５００℃へ加熱し、うち３００℃から４００℃の間の質量減少率を測定した。【００９０】
［ガラス転移温度（Ｔｇ）］
Ｔｇは、ｄｙｎａｍｉｃ  ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  ａｎａｌｙｚｅｒ（レオバイブロンＤＤＶ−０１ＦＰ，Ａ＆Ｄ社製）にて、昇温速度５℃／ｍｉｎ、張力１０ｍＮ，大気条件下で２５℃から４００℃までの動的粘弾性を測定し、測定時のｔａｎＤの最大値をＴｇとした。【００９１】
［反り変形］
ポリアミドフィルムとガラスが積層した状態の反りについて、レーザー変位計(KEYENCE, LT9010)により測定した。高さの最大値と最小値の差を反りとした。【００９２】
［サンプル長変化］
繰り返しに測定よる線膨張係数（ＣＴＥ）の変化量については、次の通り測定した。ｄｙｎａｍｉｃ  ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  ａｎａｌｙｚｅｒ（ＴＭＡ４０３０ＳＡ，ブルカーエイエックスエス社製）にて、１０℃／ｍｉｎの条件で２５℃から３２０℃に昇温し、３２０℃で３０分保持後、再び２５℃まで冷却を３回繰り返し、この条件で１回目の測定を終了した際のサンプル長と３回目の降温時の測定を終了した際のサンプル長の差を算出し、これをサンプル長変化とした。【００９３】
【表１】
2014126210.tif 000014
【００９４】
表１に示すとおり、溶液１−３を用いて作製した積層複合材は、ポリアミド樹脂のＴＧの質量変化率が１％以下、かつ、Ｔｇが３５０〜３７０℃であり、溶液４及び５を用いて作製した積層複合材よりも積層複合材の反り量が低減し、また、寸法安定性が向上することが示唆された。その中でも、溶液１−３を用いで作製した積層複合材は、Ｓｏｌｕｔｉｏｎ２を用いて作製した積層複合材よりもサンプル長の変化が低かった。
一方で、溶液４及び５を用いて作製した積層複合材は、作製したフィルムのＴＧで測定した質量減少が溶液１〜３に比べて大きくなり、Ｔｇも溶液１〜３に比べて低くなり、その影響により反りが大きくなり寸法安定性も低下した。この原因は定かではないが、溶液４，５はＤＡＢの割合が多く、またＤＡＢのカルボキシル基は昇温時に分解揮発しやすいと推定され、それにより反りが大きくなると推定される。さらに、溶液５については、沈殿処理を行っておらず、残存した低分子成分が揮発することにより溶液４を使用した積層材料よりもさらに反りが大きくなり寸法安定性も低下した。
【符号の説明】
【００９５】
１          有機ＥＬ素子
１００      透明樹脂基板
１０１      ガスバリア膜
２００      ゲート電極
２０１      ゲート絶縁層
２０２      ソース電極
２０３      活性層
２０４      ドレイン電極
３００      導電性接続部
３０１      平坦化層
３０２      下部電極
３０３      正孔輸送層
３０４      発光層
３０５      電子輸送層
３０６      上部電極
４００      封止層
５００      支持材
Ａ          基板
Ｂ          薄膜トランジスタ
Ｃ          有機ＥＬ層
【図１】
2014126210.tif 000027
【図２】
2014126210.tif 000028
【図３】
2014126210.tif 000029
【図４】
2014126210.tif 000030
【国際調査報告】
2014126210.tif 000031
2014126210.tif 000032
2014126210.tif 000033
2014126210.tif 000034