(57)【要約】  吸引時におけるセラミックグリーンシートのダメージを抑制する吸引ヘッドを提供する。吸引ヘッド１４の吸引面には、面取り加工を施された幅方向端部を有して平行に延びる複数の溝ＧＲが形成される。また、複数の溝ＧＲの各々の底部には、複数の吸引穴ＨＬが所定間隔で形成される。セラミックグリーンシート２０を吸引する際にセラミックグリーンシート２０にかかる力が、溝ＧＲの幅方向端部によって緩和される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックグリーンシートを保持するための吸引面を有する吸引ヘッドであって、
前記吸引面は、面取り加工を施された幅方向端部を各々が有する複数の溝、および前記複数の溝の各々の底部に所定間隔で形成された複数の吸引穴を有する、吸引ヘッド。
【請求項２】
前記溝の前記幅方向端部は曲面状に面取り加工されている、請求項１記載の吸引ヘッド。
【請求項３】
前記複数の吸引穴の各々の縁は面取り加工を施されている、請求項１または２記載の吸引ヘッド。
【請求項４】
前記吸引穴は、前記吸引穴よりも大きい連通穴を介して真空源に接続される、請求項１ないし３のいずれかに記載の吸引ヘッド。
【請求項５】
前記複数の溝は所定方向に均等に並んでいる、請求項１ないし４のいずれかに記載の吸引ヘッド。
【請求項６】
セラミックグリーンシートを保持したキャリアシートが載置される載置面を有する基盤、および
前記載置面に対向する吸引面を有して前記セラミックグリーンシートを吸引する吸引ヘッドを備えるシート取扱装置であって、
前記吸引面は、面取り加工を施された幅方向端部を各々が有する複数の溝、および前記複数の溝の各々の底部に所定間隔で形成された複数の吸引穴を有する、シート取扱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、吸引ヘッドに関し、特に、セラミックグリーンシートを保持するための吸引面を有する、吸引ヘッドに関する。【０００２】
この発明はまた、シート取扱装置に関し、特に、セラミックグリーンシートを保持したキャリアフィルムが載置される載置面を有する基盤と、載置面に対向する吸引面を有してセラミックグリーンシートを吸引する吸引ヘッドとを備える、シート取扱装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
吸引ヘッドおよびシート取扱装置の一例が特許文献１に開示されている。特許文献１によれば、負圧が与えられる複数の吸引穴が、吸着ヘッドの吸着面に分散的に形成される。また、複数の吸引穴の一部は、断面形状が半円，Ｖ字または角形をなす吸引溝によって連通する。このような吸引溝を形成することで、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから確実かつ容易に剥離することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２５４４２１号公報（段落００３４〜００３６，００３８，００５４，００６７）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、吸引溝の断面形状は半円，Ｖ字または角形をなすため、吸引力が吸引溝のエッジに集中し、セラミックグリーンシートがダメージを受けてしまうという問題がある。【０００６】
それゆえに、この発明の主たる目的は、吸引によるシートダメージを抑制することができる、吸引ヘッドまたはシート取扱装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に従う吸引ヘッド(14：実施例で相当する参照符号。以下同じ)は、セラミックグリーンシート(20)を保持するための吸引面を有する吸引ヘッド(14)であって、吸引面は、面取り加工を施された幅方向端部を各々が有する複数の溝(GR, GR, …)、および複数の溝の各々の底部に所定間隔で形成された複数の吸引穴(HL, HL, …)を有する。【０００８】
好ましくは、溝の幅方向端部は曲面状に面取り加工されている。【０００９】
好ましくは、複数の吸引穴の各々の縁は面取り加工を施されている。【００１０】
好ましくは、吸引穴は、吸引穴よりも大きい連通穴を介して真空源に接続される。【００１１】
好ましくは、複数の溝は所定方向に均等に並んでいる。【００１２】
この発明に従うシート取扱装置(10)は、セラミックグリーンシート(20)を保持したキャリアシート(18)が載置される載置面を有する基盤(12)、および載置面に対向する吸引面を有してセラミックグリーンシートを吸引する吸引ヘッド(14)を備えるシート取扱装置であって、吸引面は、面取り加工を施された幅方向端部を各々が有する複数の溝(GR, GR, …)、および複数の溝の各々の底部に所定間隔で形成された複数の吸引穴(HL, HL, …)を有する。
【発明の効果】
【００１３】
溝の幅方向端部が面取り加工されていることにより、グリーンシートを吸引する際にグリーンシートにかかる力が緩和される。これによって、吸引によるシートダメージを抑制することができる。【００１４】
また、吸引されたセラミックグリーンシートと吸引穴との間に溝が介在するため、セラミックグリーンシートが吸引穴（溝の底部）に直接接触することがなくなる。これによって、吸引穴の詰まりを抑制することができ、吸引ヘッドの洗浄が不要となる（設備稼働率が向上する）。【００１５】
さらに、溝で吸引した場合は吸引穴の数が少なくても、所望の吸引力を確保することができる。これによって、吸引ヘッドの加工にかかるコストを抑制することができる。【００１６】
この発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】この発明のシート取扱装置の一部を切り出して示した斜視図である。
【図２】図１に示したシート取扱装置をY軸方向に見たときの図であって、セラミックグリーンシートが上面に形成されたキャリアシートを吸引ヘッドの下に配置した状態の一例を示す図解図である。
【図３】キャリアシート上のセラミックグリーンシートをカット刃でカットした状態の一例を示す図解図である。
【図４】カットされたシート片を吸引ヘッドによって吸引し、キャリアシートから剥離した状態の一例を示す図解図である。
【図５】吸引ヘッドの形状の一例を示す斜視図である。
【図６】吸引ヘッドの吸引面に設けられた溝および吸引穴の一部を示す拡大図である。
【図７】吸引ヘッドの吸引面に設けられた溝および吸引穴の一部をさらに拡大した拡大図である。
【図８】吸引ヘッドに設けられた溝および吸引穴の一部を示す断面図である。
【図９】（Ａ）は溝の幅方向一方端の断面を示す断面図であり、（Ｂ）は溝の幅方向他方端の断面を示す断面図である。
【図１０】シート片が吸引ヘッド１４に吸引された状態の一部を示す拡大図である。
【図１１】（Ａ）は吸引ヘッドに設けられた溝および吸引穴の位置関係の一例を示す図解図であり、（Ｂ）は吸引ヘッドに設けられた溝および吸引穴の位置関係の他の一例を示す図解図である。
【図１２】他の実施例の吸引ヘッドに設けられた溝および吸引穴の一部を示す断面図である。
【図１３】（Ａ）は吸引穴の縁の一部の断面を示す断面図であり、（Ｂ）は吸引穴の縁の他の一部の断面を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１を参照して、この実施例のシート取扱装置１０は、直方体状の基盤１２を含む。以下では、基盤１２をなす直方体の長さ方向，幅方向および高さ方向にＸ軸，Ｙ軸およびＺ軸を割り当てる。
【００１９】
基盤１２の上面（＝Ｚ軸方向の正側を向く面：以下では「載置面」と呼ぶ）には、キャリアシート１８が載置される。キャリアシート１８は、基盤１２の幅に相当する幅と任意の長さとを有し、図示しない搬送ローラによってＸ軸方向における負側から正側に間欠的に搬送される。また、キャリアシート１８の上面には、セラミックグリーンシート２０が全面的に形成される。以下、セラミックグリーンシート２０を「グリーンシート２０」と呼ぶ。
【００２０】
基盤１２の上方には、直方体状の吸引ヘッド１４が配置される。吸引ヘッド１４をなす直方体の長さ方向，幅方向および高さ方向はそれぞれ、Ｘ軸，Ｙ軸およびＺ軸に沿う。
【００２１】
吸引ヘッド１４には４つの側面があり、それぞれの側面には、カット刃１６が設けられる。カット刃１６の刃長は吸引ヘッド１４の長さ方向または幅方向の寸法と一致する。
【００２２】
Ｘ軸方向における負側から眺めたとき、カット刃１６の先端部分は、吸引ヘッド１４の下面（＝Ｚ軸方向の負側を向く面：以下では「吸引面」と呼ぶ）よりもＺ軸方向の負側に突出する。Ｙ軸方向から眺めたとき、カット刃１６の先端部分は鋭角をなす。
【００２３】
上述のように、キャリアシート１８はＸ軸方向における負側から正側に間欠的に搬送される。１回の搬送が完了すると、基盤１２の載置面に下向きの吸引力が発生し、次に吸引ヘッド１４が降下する。キャリアシート１８の上面に形成されたグリーンシート２０は、吸引ヘッド１４が降下したときにカット刃によって切断される（図２〜図３参照）。切断によって得られたシート片２２の主面の大きさは吸引ヘッド１４の吸引面の大きさと一致する。
【００２４】
グリーンシート２０の切断が完了すると、シート片２２は吸引ヘッド１４に発生した吸引力によって吸引面に保持される。基盤１２の載置面に発生した下向きの吸引力は、シート片２２が吸引面に保持された後に解除される。
【００２５】
吸引ヘッド１４はその後、降下前の元の位置まで上昇する。吸引面に保持されたシート片２２はキャリアシート１８から剥離され、吸引ヘッド１４の上昇に伴って上昇する（図４参照）。こうして剥離されたシート片２２は、別の工程（＝積層工程）に移される。吸引ヘッド１４に発生した吸引力はシート片２２を別の工程に移すときに解除される。
【００２６】
図５を参照して、吸引ヘッド１４の吸引面には、複数の溝ＧＲが形成される。溝ＧＲはいずれもＸ軸に対して平行に延び、かつＹ軸方向に均等間隔に並ぶ。また、図６〜図７から分かるように、溝ＧＲの各々の底部には、複数の吸引穴ＨＬが所定間隔で形成される。なお、溝ＧＲの並ぶ方向はＹ軸方向に限られず、Ｘ軸方向であってもよいし、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対して４５°傾いていてもよい。
【００２７】
吸引穴ＨＬの開口形状は円状であり、吸引穴ＨＬの直径は溝ＧＲの幅よりも小さい。また、吸引穴ＨＬの中心は、溝ＧＲの幅方向における中央と重なる。さらに、図８から分かるように、溝ＧＲの各々の底部はＸ軸方向から眺めて弓形に湾曲する。また、吸引穴ＨＬの各々は、吸引穴ＨＬよりも径の大きい連通穴ＨＬｗを介して真空源（図示省略）に接続される。吸引穴ＨＬの径よりも連通穴ＨＬｗの径を大きくすると、吸引ＯＮ／ＯＦＦの切り換え時のレスポンスが早くなる。
【００２８】
溝ＧＲの幅方向両端は、面取り加工（Ｒ加工）を施される。図７に描かれた斜線は、面取り加工を施された部分を示す。面取り加工では、端部をなす角が落とされ、かつ曲面仕上げが施される。この結果、Ｘ軸方向から眺めたとき、溝ＧＲの幅方向両端は曲面をなす。参考までに、図８に一点鎖線で示す領域Ｅ１を拡大した状態を図９（Ａ）に示し、図８に一点鎖線で示す領域Ｅ２を拡大した状態を図９（Ｂ）に示す。また、吸引ヘッド１４によって吸引されたシート片２２は、図１０に示すように、シート片２２と吸引穴ＨＬとの間に空間を有する状態で、吸引面に保持される。溝ＧＲの深さは、グリーンシート２０が所定の真空圧にて吸引された際に、グリーンシート２０と吸引穴ＨＬとが接触しないような深さに適宜設計される。
【００２９】
以上の説明から分かるように、基盤１２の載置面には、グリーンシート２０を保持したキャリアシート１８が載置される。吸引ヘッド１４は、載置面に対向する吸引面を有して、載置面の上方に配置される。吸引面には、面取り加工によって曲面をなす幅方向端部を有して平行に延びる複数の溝ＧＲが形成される。また、複数の溝ＧＲの各々の底部には、複数の吸引穴ＨＬが所定間隔で形成される。グリーンシート２０は、吸引ヘッド１４が降下したときにカット刃１６によってシート片２２に切断される。吸引穴ＨＬには吸引力が生じ、切断されたシート片２２は吸引ヘッド１４によって吸引される。これによって、シート片２２がキャリアシート１８から剥離される。
【００３０】
このように、吸引面には面取り加工を施された幅方向端部を有する複数の溝ＧＲが形成され、各溝ＧＲの底部には複数の吸引穴ＨＬが形成される。したがって、グリーンシート２０を吸引する際にグリーンシート２０にかかる力が、溝ＧＲの幅方向端部によって緩和される。これによって、吸引によるシートダメージを抑制することができる。
【００３１】
また、吸引されたシート片２２と吸引穴ＨＬとの間に溝ＧＲが介在するため、シート片２２が吸引穴ＨＬ（つまり溝ＧＲの底部）に直接接触することがなくなる。これによって、吸引穴ＨＬの詰まりを抑制することができ、吸引ヘッド１４の洗浄回数を減らせる。（設備稼働率が向上する）。
【００３２】
さらに、溝ＧＲで吸引した場合は吸引面積が大きくなるため、吸引穴ＨＬの数が少なくても、所望の吸引力を確保することができる。これによって、吸引ヘッド１４の加工にかかるコストを抑制することができる。
【００３３】
つまり、さらに薄いグリーンシートに対応するにはシートダメージを軽減するために微細な吸引穴が多数必要になるところ、微細な吸引穴を多数加工した場合、加工時間がかかりコストが上昇するだけでなくリードタイムも長くなり、生産性が低下する。この実施例のように溝を形成することで、吸引穴の数を抑えることができ、さらに薄いグリーンシートの生産性を高めることができる。
【００３４】
なお、上述のように、吸引穴ＨＬはその中心が溝ＧＲの幅方向中央に重なるように形成されるべきであるが、精度に限界があるため、吸引穴ＨＬの形成位置が溝ＧＲの幅方向中央からずれる場合がある（図１１（Ａ）〜図１１（Ｂ）参照）。ここで、溝ＧＲの幅方向一方端に面取りされた曲面の内側縁から溝ＧＲの幅方向他方端に面取りされた曲面の内側縁までの距離を“Ｗｇｒ”とし、吸引穴ＨＬの径を“Ｄｈｌ”と定義すると、許容可能なずれ量は“Ｗｇｒ／２−Ｄｈｌ／２”となる。
【００３５】
ただし、図１２に示すように、溝ＧＲの幅方向両端に加えて吸引穴ＨＬの縁に面取り加工（Ｒ加工）を施すようにすれば、許容可能なずれ量はさらに拡大される。図１２に一点鎖線で示す領域Ｅ３は図１３（Ａ）に示す曲面をなし、図１２に一点鎖線で示す領域Ｅ４は図１３（Ｂ）に示す曲面をなす。
【符号の説明】
【００３６】
１０  …シート取扱装置
１２  …基盤
１４  …吸引ヘッド
１６  …カット刃
１８  …キャリアシート
２０  …セラミックグリーンシート（グリーンシート）
ＧＲ  …溝
ＨＬ  …吸引穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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2015046136.tif 000017
2015046136.tif 000018
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