(57)【要約】  振動ノイズの影響を排して試料Ｓの表面情報を正確かつ高分解能に得ることが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供するために、探針２１ａを有するカンチレバー２１、カンチレバー２１の変位を検出するセンサ２３、カンチレバー２１又は試料Ｓを移動させるＸＹＺ駆動機構２５、除振機構１２を有する本体部１０と、ＸＹＺ駆動機構２５を制御し試料Ｓの測定範囲の表面情報を取得する制御部３０とを備える走査型プローブ顕微鏡１であって、給電コイル６３と、スタンド側送受信部６４とを有するワイヤレススタンド６０と、ワイヤレススタンド６０と制御部３０とを接続する電源信号ケーブル４２とをさらに備え、本体部１０は、ＸＹＺ駆動機構２５を駆動するための高電圧発生回路１５、受電コイル１３、スタンド側送受信部６４と通信するための本体部側送受信部１４を有した構成とする。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
探針を自由端部に有するカンチレバーと、前記カンチレバーの自由端部の変位を検出するセンサと、前記カンチレバー又は試料をＸＹＺ方向に移動させるＸＹＺ駆動機構と、振動を除くための除振機構とを有する本体部と、
前記ＸＹＺ駆動機構を制御するとともに前記試料の測定範囲の表面情報を取得する制御部とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、
給電コイルと、スタンド側送受信部とを有するワイヤレススタンドと、
前記ワイヤレススタンドと前記制御部とを接続する電源信号ケーブルとを備え、
前記本体部は、前記ＸＹＺ駆動機構を駆動するための高電圧信号を生成する高電圧発生回路と、前記給電コイルから給電されるための受電コイルと、前記スタンド側送受信部と通信するための本体部側送受信部とを有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】
前記制御部は、前記本体部側送受信部から信号を受信しなければ、前記給電コイルをＯＦＦにすることを特徴とする請求項１に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】
前記給電コイルと前記受電コイルとの給電状態を表示する表示灯又はディスプレイ表示を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】
前記ＸＹＺ駆動機構は、ピエゾ素子であることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料表面と探針（プローブ）との相互作用に基づいて試料の表面情報を取得する走査型プローブ顕微鏡に関し、特に試料の測定範囲の表面情報を取得する走査型プローブ顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
走査型プローブ顕微鏡では、Ｘ方向やＹ方向やＺ方向にスキャナ（ＸＹＺ駆動機構）等を用いて、試料に対してカンチレバーの自由端部に形成された探針を移動させるか、或いは、カンチレバーの自由端部に形成された探針に対して試料を移動させつつ、探針と試料表面との間に働く相互作用（探針の変位量や共振周波数の変化量）を検出していき、その検出されてくる情報に基づいて試料の測定範囲の表面形状（表面情報）を高分解能に作成している。【０００３】
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）は、カンチレバー等によって支持される探針を試料表面に近付けることにより、探針先端の原子と試料表面の原子との間に生じる微小な原子間力を測定し、原子間力が探針と試料との距離によって一義的に定まるという性質を利用し、試料表面に沿って走査しながらその原子間力が一定となるよう探針と試料との間の距離を調整して、探針又は試料の高さ方向の軌跡により試料表面の凹凸形状を測定するものである。【０００４】
また、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）は、試料とこれに対向配置した探針との間に電圧を印加し、両者間に流れるトンネル電流が一定になるように探針又は試料を走査することにより、試料表面の形状を原子レベルの分解能で観察するものである。すなわち、トンネル電流が探針と試料との距離によって一義的に定まるという性質を利用し、このトンネル電流が一定になるように探針又は試料の高さをピエゾ素子等による精密駆動機構により制御し、この制御量を計測することにより試料表面の凹凸を測定するものである。【０００５】
ここで、図４は、一般的な原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）の全体構成を示す斜視図であり、図５は、図４の原子間力顕微鏡の内部構成を示す概略図である。なお、地面に水平な一方向をＸ方向（左右方向）とし、地面に水平でＸ方向と垂直な方向をＹ方向（前後方向）とし、Ｘ方向とＹ方向とに垂直な方向をＺ方向（上下方向）とする。
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）１０１は、ＳＰＭ本体部１１０と、ＳＰＭ本体部１１０全体を制御する制御部１３０と、コンピュータ１５０と、ＳＰＭ本体部１１０と制御部１３０とを接続する高電圧ケーブル１４１および電源信号ケーブル４２と、制御部１３０とコンピュータ１５０とを接続する信号ケーブル５５とを備える。【０００６】
ＳＰＭ本体部１１０は、略直方体形状の筐体１１１と、筐体１１１の下部に形成され、筐体１１１と床や机等との間に配置される略直方体形状の除振台（除振機構）１１２とを備える。
筐体１１１の内部には、カンチレバー２１を支持するカンチレバーホルダ２２と、レーザ光を出射する光源部２４と、カンチレバー２１の変位を測定する変位測定部（センサ）２３と、試料Ｓが載置される試料載置台２５と、光源部２４を制御する制御回路１２６とを備える。【０００７】
カンチレバー２１は、例えば長さ１００μｍ、幅３０μｍ、厚さ０．８μｍの板状体であり、先端部の下面に下方に向かって突出する先鋭な探針２１ａが形成されている。カンチレバー２１の先端部の上面は、光源部２４からのレーザ光が照射されるための照射面となる。そして、カンチレバーホルダ２２は、筐体１１１のヘッド部（図示せず）に取り付けられており、カンチレバー２１の他端部が、カンチレバーホルダ２２に固定されている。【０００８】
光源部２４は、筐体１１１のヘッド部（図示せず）に取り付けられており、レーザ光を出射するレーザ素子２４ａを備える。レーザ素子２４ａから出射されるレーザ光は、カンチレバー２１の背面に向かって出射される。また、変位測定部２３は、筐体１１１のヘッド部（図示せず）に取り付けられており、カンチレバー２１の背面で反射されたレーザ光を検出するフォトダイオード２３ａを備える。このとき、カンチレバー２１の背面からの反射光（レーザ光）の反射方向がカンチレバー２１のたわみ（変位）によって変化することになる。すなわち、光てこ式光学検出装置を利用してカンチレバー２１のたわみ（変位）が検出されるようになっている。【０００９】
試料載置台２５は、筐体１１１の中央部付近に取り付けられており、例えば平面視で直径１５ｍｍの円形状の載置面２５ａと、載置面２５ａの下部に取り付けられたピエゾ素子（ＸＹＺ駆動機構）２５ｂとを備える。そして、載置面２５ａがピエゾ素子２５ｂにより筐体１１１に対してＸ方向とＹ方向とＺ方向のそれぞれに移動可能となっている。これにより、オペレータは、載置面２５ａに試料Ｓを載置するとともに、ピエゾ素子２５ｂに制御部１３０からの駆動信号（振幅が約２００Ｖの高電圧信号）を入力することによって、筐体１１１に対してＸ方向とＹ方向とＺ方向とに載置面２５ａを移動させて測定前に試料Ｓ表面の初期位置を調整することができる。さらに、ピエゾ素子２５ｂに制御部１３０からの駆動信号を入力することによって、測定中に試料Ｓ表面の測定点をＸ方向とＹ方向とＺ方向とに走査することができるようになっている。【００１０】
制御部１３０は、略直方体形状の筐体１３１を備え、筐体１３１の内部には、ＣＰＵ１３２とメモリ（記憶部）１３３と、圧電素子制御部１３２ｃに高電圧を供給する高電圧電源１３４とを備える。また、ＣＰＵ１３２が処理する機能をブロック化して説明すると、後述する入力情報出力部１５１ａから信号ケーブル５５を介して入力情報を取得する入力情報取得部１３２ａと、ピエゾ素子２５ｂに高電圧ケーブル１４１を介して駆動信号を出力する圧電素子制御部１３２ｃと、制御回路１２６から電源信号ケーブル４２を介して変位信号を取得する変位信号取得部１３２ｄと、信号ケーブル５５を介して試料Ｓの測定範囲の表面形状（表面情報）を後述する試料情報取得部１５１ｂに出力する試料情報出力部１３２ｅとを有する。【００１１】
なお、メモリ１３３には、取得された変位信号が一時的に格納される。【００１２】
コンピュータ１５０は、ＣＰＵ１５１と表示装置５３と入力装置５４とを備える。また、ＣＰＵ１５１が処理する機能をブロック化して説明すると、入力装置５４によって入力された入力情報を、信号ケーブル５５を介して入力情報取得部１３２ａに出力する入力情報出力部１５１ａと、試料Ｓの測定範囲の表面形状（表面情報）を、試料情報出力部１３２ｅから信号ケーブル５５を介して取得する試料情報取得部１５１ｂと、試料Ｓの測定範囲の表面形状（表面情報）を表示装置５３に表示する試料情報表示制御部１５１ｃとを有する。【００１３】
ところで、このような原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）１０１は、原子オーダの分解能で試料Ｓの表面情報を測定することができるものであるため、例えば、騒音、床や駆動機構からの振動といったノイズの影響を受け易くなっている。そこで、除振台１１２上にＳＰＭ本体部１１０を配置することによって、床面の振動の影響を低減している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００１−２１４７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、除振台１１２上にＳＰＭ本体部１１０の筐体１１１を配置する構成では、床や机の上をはっている高電圧ケーブル１４１や電源信号ケーブル４２が床や机の振動を拾ったり、制御部１３０が振動したりした場合、その振動が高電圧ケーブル１４１や電源信号ケーブル４２を介して筐体１１１に伝達されていた。そして、このような振動がカンチレバーホルダ２２や試料載置台２５に作用すると、カンチレバー２１と試料Ｓとの間の相対変位を変化させることになり、その結果、振動がフォトダイオード２３ａからの変位信号に振動ノイズとなって混入し、その振動ノイズの影響によって試料Ｓの表面情報を正確に得ることができないという不具合を生じていた。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本願出願人は、試料Ｓの表面情報を正確かつ高分解能に得る方法について検討した。まず、高電圧ケーブル１４１や電源信号ケーブル４２を柔らかい素材のものに変更することを想起したが、約２００Ｖの高電圧信号を制御部１３０からＳＰＭ本体部１１０に伝達するためには耐電圧性能を有するケーブルを使う必要があり、この変更案は現時点では採用することができなかった。【００１７】
そこで、制御部１３０とＳＰＭ本体部１１０との間を接続している高電圧ケーブル１４１や電源信号ケーブル４２をなくして、電力供給のための給電コイルと受電コイルとを設けてワイヤレス給電を行うとともに、電波又は光通信によって変位信号等の送受信を行うことを見出した。よって、ピエゾ素子２５ｂを駆動する高電圧信号をＳＰＭ本体部１１０内で生成するようにした。なおこの場合、給電コイルと受電コイルとの位置関係が重要となるが、該位置関係が適切かどうかを判断するために、給電状態を表示する表示灯又はディスプレイ表示を設けることも見出した。【００１８】
すなわち、本発明の走査型プローブ顕微鏡は、探針を自由端部に有するカンチレバーと、前記カンチレバーの自由端部の変位を検出するセンサと、前記カンチレバー又は試料をＸＹＺ方向に移動させるＸＹＺ駆動機構と、振動を除くための除振機構とを有する本体部と、前記ＸＹＺ駆動機構を制御するとともに前記試料の測定範囲の表面情報を取得する制御部とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、給電コイルと、スタンド側送受信部とを有するワイヤレススタンドと、前記ワイヤレススタンドと前記制御部とを接続する電源信号ケーブルとを備え、前記本体部は、前記ＸＹＺ駆動機構を駆動するための高電圧信号を生成する高電圧発生回路と、前記給電コイルから給電されるための受電コイルと、前記スタンド側送受信部と通信するための本体部側送受信部とを有するようにしている。【００１９】
本発明の走査型プローブ顕微鏡によれば、制御部とワイヤレススタンドとを電源信号ケーブルで接続する。また、ワイヤレススタンドと本体部とは、コイルと送受信部とによるワイヤレス構造で接続する。つまり、本体部にはワイヤが全く接続されない。
そして、制御部から電源信号ケーブルを介してワイヤレススタンドに信号が入力されると、ワイヤレススタンドからワイヤレス構造で本体部のコイルと送受信部とに信号が出力される。信号が入力された本体部は、高電圧発生回路で高電圧信号を生成して、ＸＹＺ駆動機構を制御する。その後、本体部の送受信部からワイヤレス構造でワイヤレススタンドの送受信部に信号が入力されると、ワイヤレススタンドから電源信号ケーブルを介して制御部に信号が出力される構成となっている。
【発明の効果】
【００２０】
以上のように、本発明の走査型プローブ顕微鏡によれば、本体部については外部接続用のケーブルが不要となるので、本体部の下面にゴム足（除振機構）を取り付けたり、除振台（除振機構）に乗せたりした場合にはケーブル経由での振動はなくなる。また、本体部に接続するケーブルがなくなることで、本体部の取り扱いが容易になる。【００２１】
（その他の課題を解決するための手段および効果）
また、本発明の走査型プローブ顕微鏡は、前記制御部は、前記本体部側送受信部から信号を受信しなければ、前記給電コイルをＯＦＦにするようにしてもよい。
本発明の走査型プローブ顕微鏡によれば、ワイヤレススタンドを配置した後、例えば、給電コイル側で給電開始スイッチを押して、その時点から給電を開始することになるが、一定時間内に受電コイル側から電波又は信号が返信されなければ給電不良と判定し、給電コイルをＯＦＦにする。また、給電中にも一定時間ごとに動作正常の信号をモニタリングし、位置関係がずれて受電コイル側の電圧が途切れた場合には、給電コイルをＯＦＦにする。【００２２】
そして、本発明の走査型プローブ顕微鏡は、前記給電コイルと前記受電コイルとの給電状態を表示する表示灯又はディスプレイ表示を有するようにしてもよい。
さらに、本発明の走査型プローブ顕微鏡は、前記ＸＹＺ駆動機構がピエゾ素子であるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態である原子間力顕微鏡を示す斜視図。
【図２】図１のＳＰＭ本体部とワイヤレススタンドとを示す側面図。
【図３】図１の原子間力顕微鏡の内部構成を示す概略図。
【図４】一般的な原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を示す斜視図。
【図５】図４の原子間力顕微鏡の内部構成を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００２５】
図１は、本発明の一実施形態である原子間力顕微鏡の全体構成を示す斜視図であり、図２は、図１のＳＰＭ本体部とワイヤレススタンド部分を示した側面図である。また、図３は、図１の原子間力顕微鏡の内部構成を示す概略図である。なお、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）１０１と同様のものについては、同じ符号を付している。
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）１は、ＳＰＭ本体部１０と、ＳＰＭ本体部１０全体を制御する制御部３０と、ワイヤレススタンド６０と、コンピュータ５０と、ワイヤレススタンド６０と制御部３０とを接続する電源信号ケーブル４２と、制御部３０とコンピュータ５０とを接続する信号ケーブル５５とを備える。
【００２６】
ＳＰＭ本体部１０は、略直方体形状の筐体１１と、筐体１１の下部に形成され、筐体１１と床等の間に配置される略直方体形状の除振台（除振機構）１２とを備える。
筐体１１の内部には、カンチレバー２１を支持するカンチレバーホルダ２２と、レーザ光を出射する光源部２４と、カンチレバー２１の変位を測定する変位測定部（センサ）２３と、試料Ｓが載置される試料載置台２５と、受電コイル１３と、光モジュール（本体側送受信部）１４と、制御回路１６に高電圧を供給する高電圧発生回路１５と、光源部２４と試料載置台２５とを制御する制御回路１６とを備える。
【００２７】
受電コイル１３と光モジュール１４とは、筐体１１内部の背面側に設けられており、後述するワイヤレススタンド６０とはワイヤレス構造で接続されている。光モジュール１４は、送信部６４ｂから制御信号を光受信する受信部１４ａと、受信部６４ａに給電状態信号や変位信号を光送信する送信部１４ｂとからなり、受電コイル１３は、給電コイル６３から給電されるようになっている。
制御回路１６は、受信部１４ａで光受信した制御信号に基づいて、光源部２４と試料載置台２５とを制御した後、フォトダイオード２３ａからの変位信号を取得して送信部１４ｂから変位信号を光送信するとともに、受電コイル１３の電圧振幅を判定して、送信部１４ｂから給電状態信号を光送信する制御を行う。つまり、ワイヤレス通信の速度で間に合わない高速のアナログ信号は、ＳＰＭ本体部１０の制御回路１６で処理される。
【００２８】
試料載置台２５は、筐体１１の中央部付近に取り付けられており、例えば平面視で直径１５ｍｍの円形状の載置面２５ａと、載置面２５ａの下部に取り付けられたピエゾ素子（ＸＹＺ駆動機構）２５ｂとを備える。そして、載置面２５ａがピエゾ素子２５ｂにより筐体１１に対してＸ方向とＹ方向とＺ方向のそれぞれに移動可能となっている。これにより、オペレータは、載置面２５ａに試料Ｓを載置するとともに、ピエゾ素子２５ｂに制御回路１６からの駆動信号（振幅が約２００Ｖの高電圧信号）を入力することによって、筐体１１に対してＸ方向とＹ方向とＺ方向とに載置面２５ａを移動させて測定前に試料Ｓ表面の初期位置を調整することができる。さらに、ピエゾ素子２５ｂに制御回路１６からの駆動信号を入力することによって、測定中に試料Ｓ表面の測定点をＸ方向とＹ方向とＺ方向とに走査することができるようになっている。
【００２９】
ワイヤレススタンド６０は、上部筐体６１ａと下部筐体６１ｂとからなる筐体部６１を備え、上部筐体６１ａ内部の前面には、受電コイル１３に給電する給電コイル６３と、光モジュール（スタンド側送受信部）６４とが設けられている。また、上部筐体６１ａは、下部筐体６１ｂに対して上下方向に移動可能となっており、オペレータによって高さが調整されるようになっている。
【００３０】
光モジュール（スタンド側送受信部）６４は、受信部１４ａに制御信号を光送信する送信部６４ｂと、送信部１４ｂから変位信号や給電状態信号を光受信する受信部６４ａとからなる。
なお、給電コイル６３と受電コイル１３との間の電力の伝送は、電磁誘導方式や磁気共鳴方式等によって行うようにすればよい。また、筐体１１が恒温室内で使用される場合には、上部筐体６１ａの前部を挿入可能とする孔を恒温室の器壁に設けたり、恒温室の壁面に形成されている従来の高電圧ケーブル１４１や電源信号ケーブル４２用穴の位置に合わせてワイヤレススタンド６０の形状を変形したりすればよい。
【００３１】
制御部３０は、略直方体形状の筐体３１と給電開始スイッチ（図示せず）と給電状態表示灯（図示せず）とを備え、筐体３１の内部には、ＣＰＵ３２とメモリ（記憶部）３３とを備える。また、ＣＰＵ３２が処理する機能をブロック化して説明すると、後述する入力情報出力部５１ａから信号ケーブル５５を介して入力情報を取得したり給電開始スイッチからの入力情報を取得する入力情報取得部３２ａと、送信部６４ｂに電源信号ケーブル４２を介して制御信号を出力する制御信号出力部３２ｂと、給電コイル６３に電源信号ケーブル４２を介して制御信号を出力する給電コイル制御部３２ｃと、受信部６４ａから電源信号ケーブル４２を介して変位信号や給電状態信号を取得する信号取得部３２ｄと、信号ケーブル５５を介して試料Ｓの測定範囲の表面形状（表面情報）を後述する情報取得部５１ｂに出力する情報出力部３２ｅと、給電状態を給電状態表示灯（図示せず）に表示する給電状態表示制御部３２ｆとを有する。
【００３２】
給電状態表示制御部３２ｆは、給電状態に基づいて、現在の給電状態を表示灯に表示したり、給電コイル制御部３２ｃに制御信号を出力させたりする制御を行う。
例えば、給電状態表示制御部３２ｆは、一定時間ごとに動作正常信号を示す給電状態が返信されなければ給電不良と判定し、給電コイル６３をＯＦＦにする制御信号を給電コイル制御部３２ｃに出力させる。これにより、受電コイル１３以外の異物に対して給電を継続して発熱するといった事故を防止できる。
一方、給電状態表示制御部３２ｆは、動作正常信号を示す給電状態が返信された場合には正常状態を示す給電状態表示灯を点灯する。このとき、給電状況から最も適した相互位置関係にあれば緑色に点灯させ、ややずれた位置関係にあれば黄色に点灯させ、異常な位置関係にあれば赤色に点灯させる。これにより、オペレータが位置ずれを修正することになる。
【００３３】
コンピュータ５０は、ＣＰＵ５１と表示装置５３と入力装置５４とを備える。また、ＣＰＵ５１が処理する機能をブロック化して説明すると、入力装置５４によって入力された入力情報を、信号ケーブル５５を介して入力情報取得部３２ａに出力する入力情報出力部５１ａと、試料Ｓの測定範囲の表面形状（表面情報）を、情報出力部３２ｅから信号ケーブル５５を介して取得する情報取得部５１ｂと、試料Ｓの測定範囲の表面形状（表面情報）を表示装置５３に表示する試料情報表示制御部５１ｃとを有する。
【００３４】
以上のように、本発明の原子間力顕微鏡１によれば、ＳＰＭ本体部１０には外部接続用のケーブルが不要となるので、ケーブル経由での振動はなくなる。また、ＳＰＭ本体部１０に接続するケーブルがなくなることで、ＳＰＭ本体部１０の取り扱いが容易になる。
また、ワイヤレススタンド６０を配置した後、例えば、給電コイル６３側で給電開始スイッチを押して、その時点から給電を開始することになるが、一定時間内に受電コイル１３側から動作正常信号が返信されなければ給電不良と判断し、給電コイル６３をＯＦＦにする。また、給電中にも一定時間ごとに動作正常の信号をモニタリングし、位置関係がずれて受電コイル１３側の電圧が途切れた場合には、給電コイル６３をＯＦＦにする。
【００３５】
＜他の実施形態＞
（１）上述した原子間力顕微鏡１では、試料載置台２５がＸ方向とＹ方向とＺ方向とに移動可能となっている構成を示したが、これに代えてカンチレバーホルダがＸ方向とＹ方向とＺ方向に移動可能となっているような構成としてもよい。
【００３６】
（２）上述した原子間力顕微鏡１では、光てこ式光学検出装置を利用してカンチレバー２１のたわみ（変位）を検出する構成を示したが、他の方法を利用してカンチレバーのたわみを検出するような構成としてもよい。
【００３７】
（３）上述した原子間力顕微鏡１では、光モジュール１４、６４で光通信を行う構成を示したが、電波による伝送等の他の方法を利用して通信するような構成としてもよい。なお、電波による伝送の場合、ＳＰＭ本体部のアンテナとワイヤレススタンドのアンテナとを配置する位置は、通信が可能な位置とすればよい。
【００３８】
（４）上述した原子間力顕微鏡１では、給電状態表示灯に表示する構成を示したが、給電状態をコンピュータの表示装置に表示したり、ワイヤレススタンドに設けられた給電状態表示灯に表示したりするような構成としてもよい。
【００３９】
（５）上述した原子間力顕微鏡１では、受電コイル１３と光モジュール１４とを筐体１１内部の背面側に設け、給電コイル６３と光モジュール６４とを上部筐体６１ａ内部の前面側に設けた構成を示したが、受電コイルと光モジュールとを筐体内部の底面側に設け、給電コイルと光モジュールとを筐体内部の上面側に設けるような構成としてもよい。
そして、光モジュール１４、６４との間には、周囲環境の光によって光信号が錯綜しないように、光路又はコイル全体を囲う壁面を形成するような構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、試料表面の観察に適した走査型プローブ顕微鏡等に使用することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１  原子間力顕微鏡（走査型プローブ顕微鏡）
１０  ＳＰＭ本体部
１２  除振台（除振機構）
１３  受電コイル
１４  光モジュール（本体部側送受信部）
１５  高電圧発生回路
２１  カンチレバー
２１ａ  探針
２３  変位測定部（センサ）
２５  ピエゾ素子（ＸＹＺ駆動機構）
３０  制御部
４２  電源信号ケーブル
６０  ワイヤレススタンド
６３  給電コイル
６４  光モジュール（スタンド側送受信部）
【図１】
2016063407.tif 000003
【図２】
2016063407.tif 000004
【図３】
2016063407.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
2016063407.tif 000008
2016063407.tif 000009