(57)【要約】  本発明の課題は、所定温度に加熱されたインクを吐出する場合において、第１の部材と、当該第１の部材に固着される第２の部材との固着部分に剥離が発生することを抑制できるインクジェットヘッドを提供することである。当該インクジェットヘッドは、所定温度に加熱されたインクを吐出するインクジェット記録装置のインクジェットヘッドであって、第１の部材と、第１の部材に固着される第２の部材と、を備え、第１の部材と第２の部材との界面に、シランカップリング剤が介在されていることを特徴とする。
2015190409.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定温度に加熱されたインクを吐出するインクジェット記録装置のインクジェットヘッドであって、
第１の部材と、
前記第１の部材に固着される第２の部材と、を備え、
前記第１の部材と前記第２の部材との界面に、シランカップリング剤が介在されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記インクが、相転移温度を境に固体状態と液体状態との間で可逆的に相転移する相転移インクであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記インクが、相転移温度を境にゲル状態とゾル状態との間で可逆的に相転移する相転移インクであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記第１の部材と前記第２の部材との固着部分が、前記インクに接触することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記第１の部材のインク供給方向上流側に設けられて複数のノズルに前記インクを供給する共通インク室と、
前記共通インク室に設けられて前記インクを加熱するヒーターと、を更に備えることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記ヒーターが、前記共通インク室の外面に設けられていることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記第１の部材が、ノズルからインクを吐出させるヘッドチップであることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記シランカップリング剤が、加熱硬化型の接着剤に含有されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記接着剤が、導電性粒子を含有することを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
前記第２の部材が、前記第１の部材の表面に設けられる保護膜であることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
前記シランカップリング剤が、硫黄元素を含有することを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１２】
２０ｋＨｚ以上の吐出周波数で駆動することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１３】
請求項１から１２のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備えることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１４】
非稼働時には前記インクの加熱を行わず、稼働時には前記インクを加熱する制御部を更に備えることを特徴とする請求項１３に記載のインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット記録装置は、インクをノズルから吐出するインクジェットヘッドを備え、インクジェットヘッドからインクを記録媒体に向けて吐出し着弾させることで、記録媒体に画像等を形成する。インクジェットヘッドには、インクを吐出するエネルギーを付与する圧電素子等の吐出エネルギー付与手段を有するヘッドチップが設けられ、当該ヘッドチップ等の部材と他の部材とが硬化性樹脂等の接着剤により固着されている。また、ヘッドチップの表面には、表面を保護するための保護膜が固着されている場合がある。【０００３】
このようなインクジェット記録装置においては、紫外線の照射により硬化するＵＶインク等のように、加熱により可逆的に粘度が変化するインク（相転移インク）を使用するものがある。当該インクは低温では高粘度である場合が多く、そのような場合には、インクジェットヘッドからインクを効率良く吐出すべく、インクジェットヘッドやインクジェット記録装置はインクを加熱する構成を有している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１６５２１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、インクジェットヘッドにおいて、インクジェットヘッドを構成する各部材のうちいずれかの部材間の固着部分が劣化して剥離が発生する場合がある。
特に、インクを加熱する構成を有するインクジェット記録装置の場合、インク流路とその外側に温度差が生じ、インクジェットヘッドに物理的な歪みが生じることで、固着部分の劣化がより顕著となる。【０００６】
そこで、本発明の課題は、所定温度に加熱されたインクを吐出する場合において、第１の部材と、当該第１の部材に固着される第２の部材との固着部分に剥離が発生することを抑制できるインクジェットヘッド及びそれを備えたインクジェット記録装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以上の課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、
所定温度に加熱されたインクを吐出するインクジェット記録装置のインクジェットヘッドであって、
第１の部材と、
前記第１の部材に固着される第２の部材と、を備え、
前記第１の部材と前記第２の部材との界面に、シランカップリング剤が介在されていることを特徴とする。【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドであって、
前記インクが、相転移温度を境に固体状態と液体状態との間で可逆的に相転移する相転移インクであることを特徴とする。【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドであって、
前記インクが、相転移温度を境にゲル状態とゾル状態との間で可逆的に相転移する相転移インクであることを特徴とする。【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記第１の部材と前記第２の部材との固着部分が、前記インクに接触することを特徴とする。【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記第１の部材のインク供給方向上流側に設けられて複数のノズルに前記インクを供給する共通インク室と、
前記共通インク室に設けられて前記インクを加熱するヒーターと、を更に備えることを特徴とする。【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のインクジェットヘッドであって、
前記ヒーターが、前記共通インク室の外面に設けられていることを特徴とする。【００１３】
請求項７に記載の発明は、請求項１から６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記第１の部材が、ノズルからインクを吐出させるヘッドチップであることを特徴とする。【００１４】
請求項８に記載の発明は、請求項１から７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記シランカップリング剤が、加熱硬化型の接着剤に含有されていることを特徴とする。【００１５】
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載のインクジェットヘッドであって、
前記接着剤が、導電性粒子を含有することを特徴とする。【００１６】
請求項１０に記載の発明は、請求項１から７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記第２の部材が、前記第１の部材の表面に設けられる保護膜であることを特徴とする。【００１７】
請求項１１に記載の発明は、請求項１から１０のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記シランカップリング剤が、硫黄元素を含有することを特徴とする。【００１８】
請求項１２に記載の発明は、請求項１から１１のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
２０ｋＨｚ以上の吐出周波数で駆動することを特徴とする。【００１９】
請求項１３に記載の発明は、インクジェット記録装置であって、
請求項１から１２のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備えることを特徴とする。【００２０】
請求項１４に記載の発明は、請求項１３に記載のインクジェット記録装置であって、
非稼働時には前記インクの加熱を行わず、稼働時には前記インクを加熱する制御部を更に備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、所定温度に加熱されたインクを吐出する場合において、第１の部材と、当該第１の部材に固着される第２の部材との固着部分に剥離が発生することを抑制できるインクジェットヘッド及びそれを備えたインクジェット記録装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明のインクジェット記録装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】本発明のインクジェットヘッドの一例を示す分解斜視図である。
【図３】本発明のインクジェットヘッドの一例を示す概略断面図である。
【図４Ａ】図３に示すインクジェットヘッドの一部を示す拡大断面図である。
【図４Ｂ】図３に示すインクジェットヘッドの一部を示す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録装置について、図面を用いて詳細に説明する。ただし、発明の範囲は図示例に限定されない。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有するものについては、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００２４】
図１を参照して、本発明のインクジェット記録装置１００の概略構成について説明する。図１は、ライン型のインクジェット記録装置１００の一例を示す概略構成図である。
【００２５】
本発明のインクジェット記録装置１００は、搬送部２０と、画像形成部３０と、インク供給部４０と、制御部５０と、を備えている。インクジェット記録装置１００では、制御部５０の制御に基づいて、搬送部２０により搬送される記録媒体Ｐに対して、インク供給部４０から供給されたインクにより画像形成部３０で画像を形成する。
【００２６】
搬送部２０は、画像形成が行われる記録媒体Ｐを保持し、画像形成部３０に供給する。搬送部２０は、巻き出しロール２１、ローラー２２、２３及び巻き取りロール２４等を有する。ロール状に巻かれた長尺状の記録媒体Ｐは、巻き出しロール２１から繰り出され、ローラー２２、２３に支持されながら搬送され、巻き取りロール２４に巻き取られる。
【００２７】
画像形成部３０は、記録媒体Ｐ上にインクを吐出して画像を形成する。画像形成部３０は、複数のラインヘッド３１、照射部３２、複数のラインヘッド３１を保持するキャリッジ３３等を有している。
【００２８】
ラインヘッド３１は、搬送部２０に搬送される記録媒体Ｐに対してインクを吐出し、画像を形成する。ラインヘッド３１は、Ｙ（イエロー）、Ｍ（マゼンタ）、Ｃ（シアン）、Ｋ（ブラック）の各色について個別に設けられている。図１では、搬送部２０による記録媒体Ｐの搬送方向に対して上流からＹ、Ｍ、Ｃ、Ｋの各色に対応したラインヘッド３１が順番に設けられている。
本実施形態のラインヘッド３１は、キャリッジ３３に、記録媒体Ｐの搬送方向に略垂直な方向（幅方向）について記録媒体Ｐの全体をカバーする長さ（幅）で設けられている。すなわち、インクジェット記録装置１００は、ワンパス方式のラインヘッド型インクジェット記録装置である。ラインヘッド３１は、複数のインクジェットヘッド１（図２及び図３参照）が配列されて構成されている。また、キャリッジ３３にはキャリッジヒーター３３ａが設けられ、当該キャリッジヒーター３３ａは、インクジェットヘッド１の外側でインクを加熱する外部ヒーターを構成している。
【００２９】
照射部３２は、本実施形態のインクジェット記録装置１００で用いられるインクが記録媒体Ｐ上に吐出された後に当該インクを硬化させるためのエネルギー線を照射する。照射部３２は、例えば、低圧水銀ランプ等の蛍光管を有し、当該蛍光管を発光させて紫外線等のエネルギー線を照射する。照射部３２は、ラインヘッド３１よりも記録媒体Ｐの搬送方向下流側に設けられている。照射部３２は、画像形成後の記録媒体Ｐに対してエネルギー線を照射することで、記録媒体Ｐ上に吐出されたインクを硬化させる。
【００３０】
紫外線を発する蛍光管としては、低圧水銀ランプの他、数百Ｐａ〜１ＭＰａ程度の動作圧力を有する水銀ランプ、殺菌灯として利用可能な光源、冷陰極管、紫外線レーザー光源、メタルハライドランプ、発光ダイオード等が挙げられる。これらの中で、紫外線をより高照度で照射可能であって消費電力の少ない光源（例えば、発光ダイオード等）がより望ましい。また、エネルギー線は紫外線に限らず、インクの性質に応じてインクを硬化させる性質を有するエネルギー線であれば良く、光源もエネルギー線の波長などに応じて置換される。
【００３１】
インク供給部４０は、インクタンク４１、ポンプ４２、インクチューブ４３、サブタンク４４、インクチューブ４５、ヒーター４６等を有している。インク供給部４０は、インクを貯留して、当該インクを画像形成部３０のラインヘッド３１に供給し、各色のインクをラインヘッド３１の各ノズルから吐出可能とする。
インクタンク４１内のインクは、ポンプ４２により、インクチューブ４３を介してインクジェットヘッド１のインクの背圧を調整するサブタンク４４に送られる。サブタンク４４には、フロートセンサー４４ａが設けられ、当該フロートセンサー４４ａによる液面位置の検出データに基づいて制御部５０がポンプ４２を動作させることにより所定量のインクが貯留されるようになっている。サブタンク４４内のインクは、インクチューブ４５を介してインクジェットヘッド１に供給される。
【００３２】
また、上記インク供給部４０には、ヒーター４６が設けられ、インクジェットヘッド１の外側でインクを加熱する外部ヒーターを構成している。図１に示す例では、ヒーター４６は、インク供給部４０の全てを覆うように設けられているが、インク供給部４０を構成する部材のうちいずれかに個別に設けられているものとしても良い。これにより、インク供給部４０内のインクが加熱及び保温されて、インクの温度が所定温度以上に保たれるように構成されている。ヒーター４６としては、例えば、電熱線や伝熱部材によって構成され、インク供給部４０を構成する各部材を覆ったり、インク供給部４０を構成する部材の外面に貼り付けられたりして設けられている。
【００３３】
本実施形態のインクジェット記録装置１００に用いられるインクは、特に限られないが、例えば、紫外線（ＵＶ）硬化型のインクである。このＵＶ硬化型インクは、ＵＶが照射されない状態では、温度に応じてゲル状態と液体（ゾル）状態との間で相転移する。例えば、このインクは、所定の温度、例えば、４０〜１００℃程度の相転移温度を有し、この相転移温度以上に加熱上昇されることで一様に液化（ゾル化）する。一方、このインクは、通常の室温程度（０〜３０℃）を含む当該所定の温度以下ではゲル化する。
なお、インクジェット記録装置１００に用いられるインクとしては、紫外線硬化型のインクでなくとも良く、例えば、相転移温度を境にゲル状態とゾル状態との間を可逆的に相転移する相転移インクであっても良いし、相転移温度を境に固体状態と液体状態との間を可逆的に相転移する相転移インクであっても良い。また、それらの相転移インクでなくとも良い。
【００３４】
制御部５０は、インクジェット記録装置１００の各部の動作を制御し、全体の動作を統括する。制御部５０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を備える。制御部５０では、ＲＯＭに記憶されているシステムプログラム等の各種処理プログラムが読み出されてＲＡＭに展開され、ＲＡＭに展開されたプログラムがＣＰＵによって実行されることにより、例えば、画像形成処理や上記したインク供給処理等の種々の制御処理が実行される。
【００３５】
図２、図３、図４Ａ及び図４Ｂを参照して、本発明のインクジェットヘッド１の概略構成について説明する。図２は、インクジェットヘッド１の一例を示す分解斜視図、図３は、インクジェットヘッド１の一例を示す断面図、図４Ａは、図３における領域Ａの拡大断面図、図４Ｂは、図３における領域Ｂの拡大断面図である。
【００３６】
インクジェットヘッド１は、ヘッドチップ（第１の部材）１１、ヘッドチップ１１の前面に接合されるノズルプレート１２、ヘッドチップ１１の後面に接合される配線基板（第２の部材）１３、配線基板１３に接合されるＦＰＣ１４、配線基板１３の後面に接合されるインクマニホールド（共通インク室）１５等を備えている。
【００３７】
なお、本明細書においては、ヘッドチップ１１からインクが吐出される側の面を「前面」といい、その反対側の面を「後面」という。また、ヘッドチップ１１を前面又は後面から見て、並設されるチャネルを挟んで上下に位置する外側面をそれぞれ「上面」及び「下面」という。
【００３８】
ヘッドチップ１１は、圧電素子からなる駆動壁１１３とチャネル１１４とが交互に並設されて構成されている。チャネル１１４の形状は、両側壁が上面及び下面に対してほぼ垂直に立ち上がっており、そして互いに平行である。図３に示すように、ヘッドチップ１１の前面及び後面にそれぞれ各チャネル１１４の入口１１４ａと出口１１４ｂとが配置されるとともに、各チャネル１１４は入口１１４ａから出口１１４ｂに亘る長さ方向で大きさと形状がほぼ変わらないストレートタイプである。
【００３９】
このヘッドチップ１１において、各チャネル１１４は図示上下に２列となるチャネル列を有している。各チャネル列はそれぞれ６個のチャネル１１４からなるが、ヘッドチップ１１中のチャネル列を構成するチャネル１１４の数は何ら限定されない。
【００４０】
ヘッドチップ１１は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電材料基板に、チャネル１１４に対応する孔部が研削されることで構成されている。
【００４１】
ヘッドチップ１１のチャネル１１４の内面には、駆動電極１１５が形成されている。駆動電極１１５を構成する金属材料としては、例えばＮｉ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ａｌ等が挙げられ、特に、電気抵抗の面からはＡｌやＣｕが好ましく用いられ、腐食耐性や強度、コストの面からはＮｉが好ましく用いられる。また、駆動電極１１５は、Ａｌ層の上にＡｕ層を積層した積層構造としても良い。
【００４２】
駆動電極１１５の形成方法としては、例えば、蒸着法、スパッタリング法、めっき法、ＣＶＤ（化学気相反応法）等が挙げられるが、めっき法によるものが好ましく、特に無電解めっきにより形成することが好ましい。無電解めっきによれば、均一かつピンホールフリーの金属被膜を形成することができる。めっき膜の厚さは０．５〜５μｍの範囲が好ましい。
また、チャネル１１４を互いに独立させる必要があるため、駆動壁１１３の前端面には駆動電極１１５が形成されないようにする。このため、駆動電極１１５の形成時には、例えば各駆動壁１１３の前端面にあらかじめドライフィルムやレジストを設けておき、金属被膜を形成した後に当該ドライフィルムやレジストを除去することで、各チャネル１１４の内面にのみ選択的に駆動電極１１５を形成することができる。
【００４３】
ヘッドチップ１１の後面には、各駆動電極１１５と電気的に接続する接続電極１１６が引き出し形成されている。
【００４４】
接続電極１１６は、図３に示すように、ヘッドチップ１１の後面において、駆動電極１１５の後端部からヘッドチップ１１の上面側又は下面側にかけて設けられている。接続電極１１６を構成する金属材料としては、例えばＡｌ等の電極形成用の金属が挙げられる。
なお、接続電極１１６は、上記駆動電極１１５と同様、Ａｌ層の上にＡｕ層を積層した積層構造としても良い。また、接続電極１１６の形成方法としては、上記駆動電極１１５と同様、例えば、蒸着法、スパッタリング法、めっき法、ＣＶＤ（化学気相反応法）等が挙げられる。
【００４５】
なお、上記したヘッドチップ１１は、駆動壁１１３がせん断変形するせん断モード方式としたが、これに限られるものではなく、チャネル１１４の一面に形成された振動板上に接着又はＣＶＤ等で成膜された圧電素子が撓み変形するベンドモード方式であっても良いし、振動板上に接着された圧電素子が伸縮変形して振動板を変形させるプッシュモード方式であっても良い。
【００４６】
ノズルプレート１２は、ヘッドチップ１１の各チャネル１１４に対応する位置にそれぞれノズル１２１が開設されており、ヘッドチップ１１の前面にエポキシ系接着剤を用いて接合される。
【００４７】
配線基板１３は、ヘッドチップ１１の各駆動電極１１５に図示しない駆動回路からの駆動電圧を印加する配線を接続するための板状の部材である。この配線基板１３に用いられる基板には、非分極のＰＺＴやＡｌＮ−ＢＮ、ＡｌＮ等のセラミックス材料からなる基板、低熱膨張のプラスチックやガラスからなる基板、ヘッドチップ１１に使用されている圧電素子の基板材料と同一の基板材料を脱分極した基板等を用いることができる。好ましくは、熱膨張率の差に起因するヘッドチップ１１の歪み等の発生を抑えるため、ヘッドチップ１１との熱膨張係数の差が±１ｐｐｍ以内となるように材料を選定する。
なお、配線基板１３は、１枚板状の基板により構成されているものでなくとも良く、薄板状の基板材料を複数枚積層して所望の厚さとなるように構成されているものとしても良い。
【００４８】
この配線基板１３は、ヘッドチップ１１の幅方向の長さと同一の幅を有するとともに、ヘッドチップ１１のチャネル１１４の並び方向（チャネル列方向）と直交する方向（図２及び図３における上下方向）に延在して、ヘッドチップ１１の上面及び下面からそれぞれ張り出している。配線基板１３の上下方向の各張り出し端がそれぞれ、ＦＰＣ１４と接続するための配線接続部１３１となっている。
【００４９】
また、配線基板１３のほぼ中央部には、開口部１３２が貫通形成されている。この開口部１３２は、ヘッドチップ１１の全チャネル１１４の入口１１４ａ側を露出させることができる程度の大きさに形成されている。したがって、ヘッドチップ１１の後面に配線基板１３を接合した状態で、この開口部１３２を通して、ヘッドチップ１１の全駆動壁１１３、全チャネル１１４及び全駆動電極１１５を覗くことができるようになっている。
開口部１３２の形成方法としては、基板材料に応じて、例えば、ダイシングソーで加工する方法、超音波加工機で加工する方法、焼結前のセラミックスを型成形し、焼成する方法等が採用できる。
【００５０】
配線基板１３のヘッドチップ１１との接合面側となる表面に、ヘッドチップ１１の後面に形成された各接続電極１１６と同数及び同ピッチで配線電極１３３が形成され、各配線接続部１３１、１３１まで延びている。この配線電極１３３は、ＦＰＣ１４が接合される際、ＦＰＣ１４に形成されている各配線１４１と電気的に接続し、ＦＰＣ１４の配線１４１を介して供給される駆動回路からの駆動電圧を、接続電極１１６を介してチャネル１１４内の駆動電極１１５に印加するための電極として機能する。
【００５１】
配線電極１３３の形成は、配線基板１３の表面にスピンコート法によりポジレジストをコーティングし、その後、このポジレジストをストライプ状のマスクを用いて露光し、現像することにより、ストライプ状のポジレジストの間に接続電極１１６と同数及び同ピッチで配線基板１３の表面を露呈させ、その表面に、蒸着法やスパッタリング法等によって電極形成用の金属によって金属被膜を形成することにより行うことができる。電極形成用の金属としては、接続電極１１６と同一のものを使用することができる。
【００５２】
配線基板１３は、各配線電極１３３がヘッドチップ１１の各接続電極１１６と電気的に接続されるとともに、開口部１３２がヘッドチップ１１の全チャネル１１４の入口１１４ａ側を露出させるように位置合わせされ、ヘッドチップ１１の後面に接着されている。配線基板１３の接着は、図４Ａに示すように、加熱硬化型樹脂の接着剤６１を用いて加熱されることにより行われる。これにより、ヘッドチップ１１の後面には、接着剤６１を介して配線基板１３が固着されている。接着剤６１としては、いずれであっても良く、例えば、エポキシ接着剤等が用いられる。
【００５３】
本実施形態においては、接着剤６１中にシランカップリング剤が含有されている。これにより、シランカップリング剤がヘッドチップ１１と配線基板１３との界面に介在されることとなる。ここで、本発明において、界面に介在とは、二つの部材の間に存在する状態をいい、二つの部材の間で層状に存在するものであっても良いし、他の部材（例えば接着剤６１）中に含有された状態で二つの部材の間に存在するものであっても良い。
シランカップリング剤としては、ヘッドチップ１１や配線基板１３と化学的に結合することができるものであればいずれであっても良く、更に、接着剤６１と化学的に結合することができるものであることが好ましい。そのようなシランカップリング剤としては、例えば、ハロゲン含有シランカップリング剤（２−クロロエチルトリメトキシシラン、２−クロロエチルトリエトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルトリエトキシシラン等）、エポキシ基含有シランカップリング剤（３−グリシジルオキシプロピルトリエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、３−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルトリメトキシシラン、２−グリシジルオキシエチルトリメトキシシラン、２−グリシジルオキシエチルトリエトキシシラン、３−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン等）、アミノ基含有シランカップリング剤（２−アミノエチルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、２−［Ｎ−（２−アミノエチル）アミノ］エチルトリメトキシシラン、３−［Ｎ−（２−アミノエチル）アミノ］プロピルトリメトキシシラン、３−（２−アミノエチル）アミノ］プロピルトリエトキシシラン、３−［Ｎ−（２−アミノエチル）アミノ］プロピル メチル ジメトキシシラン等）、メルカプト基含有シランカップリング剤（２−メルカプトエチルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリエトキシシラン等）、チオカルボキシラート基含有シランカップリング剤（３−オクタノイルチオ−１−プロピルトリエトキシシラン等）、ビニル基含有シランカップリング剤（ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン等）、（メタ）アクリロイル基含有シランカップリング剤（２−メタクリロイルオキシエチルトリメトキシシラン、２−メタクリロイルオキシエチルトリエトキシシラン、２−アクリロイルオキシエチルトリメトキシシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン、３−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン等）等が挙げられる。これらのシランカップリング剤は単独又は二種以上を組み合わせて使用できる。中でも、ヘッドチップ１１や配線基板１３、接着剤６１等を構成する材料がいずれであっても広い範囲で適用し得る、硫黄原子を含有するシランカップリング剤（メルカプト基含有シランカップリング剤、チオカルボキシラート基含有シランカップリング剤等）が好ましい。
【００５４】
接着剤６１中にシランカップリング剤が含有されているため、ヘッドチップ１１と配線基板１３との接着時に接着剤６１が加熱されることで、シランカップリング剤がヘッドチップ１１との間、配線基板１３との間、及び接着剤６１との間で結合を形成し、ヘッドチップ１１と配線基板１３との固着強度を向上させることができる。
また、インクジェット記録装置１００の使用時において、所定温度に加熱されたインクがヘッドチップ１１内を流通することによって固着部分が加熱され、ヘッドチップ１１と配線基板１３との界面に介在されているシランカップリング剤の非結合部分（インクジェットヘッド１の作製時に未反応であった部分や、長期使用による加水分解等によって結合が切れてしまった部分）が化学結合を形成し、ヘッドチップ１１と配線基板１３との固着強度を更に向上させることができる。更に、図３に示すように、ヘッドチップ１１と配線基板１３との固着部分がインクに直接的に接触するため、当該固着部分が加熱されやすく、ヘッドチップ１１と配線基板１３との固着強度を向上させやすい。
このように、所定温度に加熱されたインクが通過することによって、ヘッドチップ１１と配線基板１３との固着強度を向上させることができるため、圧電素子の繰り返し変形によりヘッドチップ１１と配線基板１３との固着部分に剥離が発生することを抑制できる。
【００５５】
また、接着剤６１中には、導電性粒子が含有されている。これにより、ヘッドチップ１１と配線基板１３との電気的接続がより確実に行われる。導電性粒子としては、例えばＮｉ粒子やＡｕ粒子が用いられるが、接着剤６１に導電性を付与することができればいずれの材料からなるものであっても良い。また、本実施形態においては、接着剤６１中にシランカップリング剤が含有されているため、当該シランカップリング剤と化学的に結合し得る材料が用いられることが好ましい。
【００５６】
なお、配線基板１３とヘッドチップ１１との接着方法は、上記したような加熱硬化型の接着剤６１を用いる方法でなくとも良く、異方導電性フィルム等を用いる方法であっても良いし、配線電極１３３と接続電極１１６の少なくとも一方に半田を使用し、加熱溶融させて接続する方法であっても良く、通常の実装技術で使用される方法を適宜用いることができる。
また、接着剤６１中には導電性粒子が含有されていないものとしても良い。
【００５７】
配線基板１３をヘッドチップ１１の後面に接着することにより、ヘッドチップ１１の各チャネル１１４内の駆動電極１１５への駆動回路からの駆動電圧の印加を行うための電極（接続電極１１６及び配線電極１３３）が、チャネル列と直交する方向に向けて引き出される。このうち配線電極１３３は、ヘッドチップ１１から大きく張り出した配線接続部１３１、１３１に引き出されているため、ＦＰＣ１４、１４との電気的接続は容易であり、また、ＦＰＣ１４、１４を接合しても該ＦＰＣ１４、１４はヘッドチップ１１の後方側には存在せず、ヘッドチップ１１の後方側の空間を大きく開放させておくことができる。
【００５８】
また、駆動電極１１５の腐食防止の観点から、ヘッドチップ１１には、図４Ｂに示すように、各駆動電極１１５を保護するための保護膜（第２の部材）６２が形成されている。これにより、ヘッドチップ１１の表面には、保護膜６２が固着されている。保護膜６２としては例えばポリパラキシリレン膜を使用することができる。
【００５９】
保護膜６２としてのポリパラキシリレン膜は、例えばＣＶＤによって形成され、ヘッドチップ１１の全面に付着するため、保護膜６２形成時にノズルプレート１２がヘッドチップ１１に貼り付けてあるのは好ましくない。したがって、保護膜６２を形成する場合は、ノズルプレート１２を貼る前に保護膜６２を形成し、その後にノズルプレート１２を貼り付けるようにすることが好ましい。また、ヘッドチップ１１と配線基板１３とが接着された後に、保護膜６２が形成されることで、ヘッドチップ１１のみならず配線基板１３上にも保護膜６２が付着するため、配線基板１３の各電極の腐食をも防止することができる。
なお、保護膜６２に用いられる材料としては、ポリパラキシリレンでなくとも良く、駆動電極１１５等の腐食を防止することができる材料であれば良い。
【００６０】
また、本実施形態においては、ヘッドチップ１１と保護膜６２との界面には、シランカップリング剤層７１が介在されている。用いられるシランカップリング剤としては、上記接着剤６１に含有されるシランカップリング剤として挙げられたものと同じものを用いることができる。
ヘッドチップ１１と保護膜６２との界面にシランカップリング剤層７１を介在させる方法としては、例えば、保護膜６２形成前にシランカップリング剤溶液をヘッドチップ１１表面に塗布し乾燥する方法等を挙げることができる。
ヘッドチップ１１と保護膜６２との間にシランカップリング剤層７１が設けられていることにより、上記ヘッドチップ１１と配線基板１３との界面にシランカップリング剤が介在されている場合と同様、ヘッドチップ１１と保護膜６２との固着強度を向上させることができる。これにより、ヘッドチップ１１と保護膜６２との固着部分に剥離が発生することを抑制できる。
【００６１】
このように、ヘッドチップ１１と配線基板１３との界面にシランカップリング剤が介在され、また、ヘッドチップ１１と保護膜６２との界面にシランカップリング剤層７１が介在されていることで、インクジェットヘッド１が２０ｋＨｚ以上の高周波数で駆動したとしても、ヘッドチップ１１と配線基板１３との固着部分や、ヘッドチップ１１と保護膜６２との固着部分に剥離が発生することを効果的に抑制することができる。
【００６２】
インクマニホールド１５は、ヘッドチップ１１のインク供給方向上流側に設けられ、配線基板１３の開口部１３２を介してヘッドチップ１１の各チャネル１１４にインクを供給する。インクマニホールド１５は箱型に形成され、その開口１５１が配線基板１３に形成された開口部１３２を覆うようにして接合される。
【００６３】
このインクマニホールド１５の開口１５１の大きさは、配線基板１３の開口部１３２を含み、各張り出し部１３１、１３１に至る程度の大きさとされ、ヘッドチップ１１の後面の面積に比較して大きな開口１５１を有している。このようにインクマニホールド１５の接合においても配線基板１３の張り出し部１３１、１３１を利用することによって、ヘッドチップ１１の大きさに比較して大容量のインクを貯留させることができる。インクマニホールド１５内には、インク供給口１５２からインクが供給される。
【００６４】
インクマニホールド１５の外面には、内部ヒーター１５３が設けられている。内部ヒーター１５３としては、例えば電熱線やラバーヒーター等、インクマニホールド１５内を加熱することができればいずれの加熱機構であっても良い。内部ヒーター１５３が設けられていることにより、インクを所定温度に加熱することができ、ヘッドチップ１１と配線基板１３との固着部分、ヘッドチップ１１と保護膜６２との固着部分を加熱することができ、上記したようにヘッドチップ１１と配線基板１３との固着強度、ヘッドチップ１１と保護膜６２との固着強度を高めることができる。また、内部ヒーター１５３の設置箇所が配線基板１３の近傍であるため、ヘッドチップ１１と配線基板１３との固着部分、ヘッドチップ１１と保護膜６２との固着部分が効率的に加熱され、固着強度を更に高めることができる。なお、インクジェット記録装置がインクを所定温度に加熱することができれば、インクマニホールド１５には内部ヒーター１５３が設けられていなくても良い。
【００６５】
ここで、本実施形態においては、制御部５０は、キャリッジヒーター３３ａ及びヒーター４６等の外部ヒーターや内部ヒーター１５３等の加熱制御を行うことで、インクジェット記録装置１００の非稼働時にはインクの加熱を行わず、インクジェット記録装置１００の稼働時にインクを加熱する制御を行う。これにより、インクジェット記録装置１００の稼働時にのみインクが加熱され、シランカップリング剤の化学反応が促進されて、ヘッドチップ１１と配線基板１３又は保護膜６２との固着部分の剥離をより確実に抑制することができる。
【００６６】
なお、配線基板１３が十分な厚さを有している場合には、インクマニホールド１５を設ける代わりに、配線基板１３の開口部１３２をインク供給口を残して閉蓋することで、開口部１３２内を全チャネル１１４に共通にインクを供給するインク共通室として利用することも可能である。
【００６７】
以上、上記した実施形態によれば、所定温度に加熱されたインクを吐出するインクジェット記録装置１００のインクジェットヘッド１であって、ヘッドチップ１１と、当該ヘッドチップ１１に固着される配線基板１３及び保護膜６２と、を備え、ヘッドチップ１１と当該配線基板１３及び保護膜６２との界面に、シランカップリング剤が介在されているので、加熱されたインクが流通することでシランカップリング剤が加熱されて化学反応が促進され、ヘッドチップ１１と配線基板１３及び保護膜６２との固着部分に化学結合が形成されることで、ヘッドチップ１１と配線基板１３及び保護膜６２との固着部分に剥離が発生することを効果的に抑制することができる。
【００６８】
また、ヘッドチップ１１と当該ヘッドチップ１１に固着される配線基板１３の固着部分が、インクに接触するため、当該固着部分が加熱されやすく、シランカップリング剤との化学反応が促進されやすい。これにより、ヘッドチップ１１と配線基板１３との固着強度を向上させることができ、ヘッドチップ１１と配線基板１３との固着部分に剥離が発生することをより効果的に抑制することができる。
【００６９】
また、ヘッドチップ１１のインク供給方向上流側に設けられてヘッドチップ１１にインクを供給するインクマニホールド１５と、インクマニホールド１５に設けられてインクを加熱する内部ヒーター１５３と、を更に備えるため、ヘッドチップ１１と配線基板１３及び保護膜６２との固着部分の近傍でインクを加熱することができ、ヘッドチップ１１と配線基板１３及び保護膜６２との固着強度をより向上させることができる。
【００７０】
また、内部ヒーター１５３が、インクマニホールド１５の外面に設けられているため、ヘッドチップ１１と配線基板１３及び保護膜６２との固着部分の近傍でインクをより確実に加熱することができる。
【００７１】
また、シランカップリング剤が、硫黄元素を含有する場合には、ヘッドチップ１１や当該ヘッドチップ１１に固着される配線基板１３及び保護膜６２を構成する材質がいずれであっても広い範囲で適用することができる。
【００７２】
なお、上記した実施形態では、インクジェット記録装置１００は、長尺の記録媒体Ｐに対して画像形成を行うことができるように構成されているものとしたが、短尺の記録媒体に対しても画像形成を行うことができるように構成されているものとしても良い。その場合には、インクジェット記録装置１００には記録媒体収納部（図示略）が設けられているものとしても良い。
【００７３】
また、上記した実施形態では、ヘッドチップ１１と配線基板１３との界面に接着剤６１に含有されたシランカップリング剤が介在され、ヘッドチップ１１と保護膜６２との間にシランカップリング剤層７１が介在されるものとしたが、シランカップリング剤が介在される箇所としてはこれらに限られるものではなく、インクジェットヘッドを構成する第１の部材と、当該第１の部材に固着される第２の部材と、の界面のうちいずれかにシランカップリング剤が介在されていれば良い。
【００７４】
また、上記した実施形態では、キャリッジ３３がキャリッジヒーター３３ａを有し、インク供給部４０がヒーター４６を有し、かつインクマニホールド１５に内部ヒーター１５３が設けられているものとしたが、所定温度に加熱されたインクを吐出することができれば、これらはいずれも設けられていなくても良いし、いずれか一つが設けられているものとしても良い。
【実施例】
【００７５】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。また、実施例において「部」あるいは「％」の表示を用いるが、特に断りがない限り「質量部」あるいは「質量％」を表す。【００７６】
［実施例１］
《サンプル１−１の準備》
図２及び図３に示すインクジェットヘッドの作製に用いられるせん断モード方式のヘッドチップと、配線基板とを加熱硬化型エポキシ接着剤を用いて接着し、インクジェットヘッドを作製した。ここで、図２では、チャネル数１２のヘッドチップを示しているが、本実施例ではチャネル数５１２のヘッドチップを用いた。加熱硬化型エポキシ接着剤としては、エピコート８０７（ジャパンエポキシレジン社製）３０質量％とエピコート１５２（ジャパンエポキシレジン社製）７０質量％との混合物に、イミダゾール系硬化剤として２−エチル−４−メチルイミダゾールを１０質量％添加してなるものを用い、１００℃で１時間加熱して硬化させた。
作製したインクジェットヘッドを用いて図１に示す構成と略同様のインクジェット記録装置を作製した。なお、作製したインクジェット記録装置には、キャリッジやインク供給部に設けられる外部ヒーター、及び内部ヒーターが設けられていない。【００７７】
作製したインクジェット記録装置を用い、アクリル系ＵＶモノマーからなるＵＶインク（常温で８ｃＰ）を室温（２５℃）環境下にて予備吐出した。予備吐出条件としては、駆動電圧：２０Ｖ、パルス数：１０１０回、周波数：４ｋＨｚとした。また、吐出時のインクの温度が２５℃となるように設定した。
このようにしてサンプル１−１を準備した。【００７８】
《サンプル１−２の準備》
上記サンプル１−１のインクジェット記録装置の作製において、加熱硬化型エポキシ接着剤にエポキシ系シランカップリング剤として３−グリシジルオキシプロピルトリエトキシシランを１質量％添加した以外は同様にして、サンプル１−２のインクジェット記録装置を作製した。
また、作製したインクジェット記録装置を用い、サンプル１−１と同一の条件にて予備吐出を行った。
このようにしてサンプル１−２を準備した。【００７９】
《サンプル１−３の準備》
上記サンプル１−１のインクジェット記録装置の作製において、インクジェットヘッドの外側でインクを加熱する外部ヒーターとして、キャリッジ部分にキャリッジヒーターを設けた以外は同様にして、サンプル１−３のインクジェット記録装置を作製した。
また、作製したインクジェット記録装置を用い、アクリル系ＵＶモノマーからなるＵＶインク（６５℃で８ｃＰ）を室温（２５℃）環境下にて予備吐出した。予備吐出条件としては、駆動電圧：２０Ｖ、パルス数：１０１０回、周波数：４ｋＨｚとした。また、吐出時のインクの温度が６５℃となるように設定した。
このようにしてサンプル１−３を準備した。【００８０】
《サンプル１−４の準備》
上記サンプル１−３のインクジェット記録装置の作製において、加熱硬化型エポキシ接着剤にエポキシ系シランカップリング剤として３−グリシジルオキシプロピルトリエトキシシランを１質量％添加した以外は同様にして、サンプル１−４のインクジェット記録装置を作製した。
また、作製したインクジェット記録装置を用い、サンプル１−３と同一の条件にて予備吐出を行った。
このようにしてサンプル１−４を準備した。【００８１】
《サンプル１−５の準備》
上記サンプル１−４のインクジェット記録装置の作製と同様にして、サンプル１−５のインクジェット記録装置を作製した。
また、作製したインクジェット記録装置を用い、アクリル系ＵＶモノマーからなるＵＶインク（６５℃で８ｃＰ）を室温（２５℃）環境下にて予備吐出した。予備吐出条件としては、駆動電圧：２０Ｖ、パルス数：１０１０回、周波数：２５ｋＨｚとした。また、吐出時のインクの温度が６５℃となるように設定した。
このようにしてサンプル１−５を準備した。【００８２】
《サンプル１−６の準備》
上記サンプル１−５のインクジェット記録装置の作製において、加熱硬化型エポキシ接着剤にＮｉ導電性粒子を０．５質量％添加した以外は同様にして、サンプル１−６のインクジェット記録装置を作製した。
また、作製したインクジェット記録装置を用い、サンプル１−５と同一の条件にて予備吐出を行った。
このようにしてサンプル１−６を準備した。【００８３】
《サンプル１−７の準備》
上記サンプル１−５のインクジェット記録装置の作製において、エポキシ系シランカップリング剤の代わりに、メルカプト系シランカップリング剤として３−メルカプトプロピルトリメトキシシランを１質量％添加した以外は同様にして、サンプル１−７のインクジェット記録装置を作製した。
また、作製したインクジェット記録装置を用い、サンプル１−５と同一の条件にて予備吐出を行った。
このようにしてサンプル１−７を準備した。【００８４】
《サンプル１−８の準備》
上記サンプル１−７のインクジェット記録装置の作製において、外部ヒーターの代わりに、インクマニホールドの外面に内部ヒーターを設けた以外は同様にして、サンプル１−８のインクジェット記録装置を作製した。
また、作製したインクジェット記録装置を用い、サンプル１−７と同一の条件にて予備吐出を行った。
このようにしてサンプル１−８を準備した。【００８５】
《サンプル１−９の準備》
上記サンプル１−８のインクジェット記録装置の作製と同様にして、サンプル１−９のインクジェット記録装置を作製した。
また、作製したインクジェット記録装置を用い、相転移インクを室温（２５℃）環境下にて予備吐出した。ここで、本実施例で用いられる相転移インクとは、上記各サンプルの予備吐出に用いられるＵＶインクに所定量のワックスが添加されたインクであって、常温で固体状態であり、加熱により液体状態となるインク（６５℃で８ｃＰ）である。予備吐出条件としては、駆動電圧：２０Ｖ、パルス数：１０１０回、周波数：２５ｋＨｚとした。また、吐出時のインクの温度が６５℃となるように設定した。
このようにしてサンプル１−９を準備した。【００８６】
《サンプル１−１０の準備》
上記サンプル１−２のインクジェット記録装置の作製において、せん断モード方式のヘッドチップの代わりに、ベンドモード方式のヘッドチップを用いた以外は同様にして、サンプル１−１０のインクジェット記録装置を作製した。
また、作製したインクジェット記録装置を用い、サンプル１−２と同一の条件にて予備吐出を行った。
このようにしてサンプル１−１０を準備した。【００８７】
《サンプル１−１１の準備》
上記サンプル１−１０のインクジェット記録装置の作製において、加熱硬化型エポキシ接着剤にシランカップリング剤を添加せず、インクジェットヘッドの外側でインクを加熱する外部ヒーターとして、キャリッジ部分にキャリッジヒーターを設けた以外は同様にして、サンプル１−１１のインクジェット記録装置を作製した。
また、作製したインクジェット記録装置を用い、アクリル系ＵＶモノマーからなるＵＶインク（６５℃で８ｃＰ）を室温（２５℃）環境下にて予備吐出した。予備吐出条件としては、駆動電圧：２０Ｖ、パルス数：１０１０回、周波数：４ｋＨｚとした。また、吐出時のインクの温度が６５℃となるように設定した。
このようにしてサンプル１−１１を準備した。【００８８】
《サンプル１−１２の準備》
上記サンプル１−１１のインクジェット記録装置の作製において、加熱硬化型エポキシ接着剤にエポキシ系シランカップリング剤として３−グリシジルオキシプロピルトリエトキシシランを１質量％添加した以外は同様にして、サンプル１−１２のインクジェット記録装置を作製した。
また、作製したインクジェット記録装置を用い、サンプル１−１１と同一の条件にて予備吐出を行った。
このようにしてサンプル１−１２を準備した。【００８９】
《サンプル１−１３の準備》
上記サンプル１−１２のインクジェット記録装置の作製において、外部ヒーターの代わりに、インクマニホールドの外面に内部ヒーターを設けた以外は同様にして、サンプル１−１３のインクジェット記録装置を作製した。
また、作製したインクジェット記録装置を用い、サンプル１−１２と同一の条件にて予備吐出を行った。
このようにしてサンプル１−１３を準備した。【００９０】
《サンプル１−１〜１−１３の評価》
上記準備したサンプル１−１〜１−１３のインクジェット記録装置に対して、以下の評価を行った。評価結果を表１に示す。【００９１】
（１）導通試験
各サンプルにおいて上記予備吐出の前後でそれぞれ、インクジェットヘッドに駆動回路よりパルス信号を送りチャネルの容量値を計測した。予備吐出の前後で容量値が５０％以下になったチャネルを断線とし、下記の基準で評価した。
○：断線なし
△：断線したチャネルの数が１〜１０
×：断線したチャネルの数が１１以上【００９２】
（２）インク吐出速度測定
各サンプルにおいて上記予備吐出に使用したインクを使用し、インクジェットヘッドに駆動回路よりパルス信号を送ることによりインクを出射した。各ノズルから吐出されるインク液滴を撮像し、吐出速度を計算して求めた。各サンプルにおいて上記予備吐出の前後でそれぞれ吐出速度を求め、その速度低下率を算出し、下記の基準で評価した。なお、各サンプルにおいて吐出されるインクの温度は上記予備吐出時のインクの温度と同一の温度となるようにして行った。
◎：インク吐出速度の速度低下率が１％以下
○：インク吐出速度の速度低下率が１％超５％以下
△：インク吐出速度の速度低下率が５％超１０％以下
×：インク吐出速度の速度低下率が１０％超２０％以下
××：インク吐出速度の速度低下率が２０％超【００９３】
（３）速度分布測定
各サンプルにおいて上記予備吐出に使用したインクを使用し、インクジェットヘッドに駆動回路よりパルス信号を送ることによりインクを出射した。各ノズルから吐出されるインク液滴を撮像し、吐出速度を計算して求めた。吐出が確認されたノズルから吐出されたインク液滴の吐出速度の分布を計算し、下記の基準で評価した。なお、各サンプルにおいて吐出されるインクの温度は上記予備吐出時のインクの温度と同一の温度となるようにして行った。
○：速度分布が±１０％以下
△：速度分布が±１０％超２０％以下
×：速度分布が±２０％超【００９４】
【表１】
2015190409.tif 000003
【００９５】
（４）まとめ
表１より、本発明に係るサンプル１−４〜１−９、１−１２、１−１３は、比較例のサンプル１−１〜１−３、１−１０、１−１１よりも導通試験、インク吐出速度測定及び速度分布測定において優れた結果を示していることが分かる。これは、ヘッドチップとエポキシ接着剤との界面にシランカップリング剤が介在されていることで、固着部分に剥離が発生することが効果的に抑制されたため、断線が発生せず、インクの吐出速度の低下が抑制され、各ノズルの速度分布のばらつきも抑制されたものと考えられる。
また、単にエポキシ接着剤にシランカップリング剤を添加するのみでは固着部分の剥離抑制効果は得られず、加熱インクを流通してエポキシ接着剤中のシランカップリング剤を加熱することによって、良好な剥離抑制効果が得られることが確認された。【００９６】
［実施例２］
《サンプル２−１の作製》
基板としてのＰＺＴ板上にアルミニウムを２μｍ蒸着した。当該アルミニウム層上に、アクリル系シランカップリング剤としての３−アクリロキシプロピルトリメトキシシランの１％イソプロピルアルコール溶液を乾燥層厚が０．０１μｍとなるように塗布し、室温（２５℃）にて３時間乾燥した。当該シランカップリング剤層上に、ヘッドチップの保護膜として用いられるポリパラキシリレンを３μｍ形成した。当該基板を９５℃に保たれたＵＶインク中に１月間浸漬した。【００９７】
《サンプル２−２の作製》
上記サンプル２−１の作製において、シランカップリング剤層を設けず、製膜後の基板を２５℃に保たれたＵＶインク中に１月間浸漬した以外は同様にして、サンプル２−２を作製した。【００９８】
《サンプル２−３の作製》
上記サンプル２−１の作製において、製膜後の基板を２５℃に保たれたＵＶインク中に１月間浸漬した以外は同様にして、サンプル２−２を作製した。【００９９】
《サンプル２−４の作製》
上記サンプル２−１の作製において、シランカップリング剤層を設けない以外は同様にして、サンプル２−４を作製した。【０１００】
《サンプル２−１〜２−４の評価》
（１）剥離試験
ＵＶインク中に浸漬した後の各サンプルの保護膜上に、エポキシ系接着剤が塗布されたポリイミドフィルムを貼り付け、これを剥離した。ポリイミドフィルム剥離後の各サンプルの状態を目視により観察し、下記の基準で評価した。
○：剥離の発生なし
×：アルミニウム層と保護膜との間で剥離が発生【０１０１】
【表２】
2015190409.tif 000004
【０１０２】
（２）まとめ
表２より、本発明に係るサンプル２−１は、比較例のサンプル２−２〜２−４よりも保護膜の剥離が抑制されていることが分かる。これにより、ヘッドチップと保護膜との界面にシランカップリング剤を介在させた場合においても、ヘッドチップと保護膜との固着部分に剥離が発生することを効果的に抑制できることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【０１０３】
以上のように、本発明は、所定温度に加熱されたインクを吐出する場合において、第１の部材と、当該第１の部材に固着される第２の部材との固着部分に剥離が発生することを抑制できるインクジェットヘッド及びそれを備えたインクジェット記録装置を提供することに適している。
【符号の説明】
【０１０４】
１        インクジェットヘッド
１１      ヘッドチップ（第１の部材）
１２      ノズルプレート
１３      配線基板（第２の部材）
１４      ＦＰＣ
１５      インクマニホールド（共通インク室）
２０      搬送部
３０      画像形成部
３１      ラインヘッド
４０      インク供給部
４６      ヒーター
６１      接着剤
６２      保護膜（第２の部材）
７１      シランカップリング剤層
１００    インクジェット記録装置
１１３    駆動壁
１１４    チャネル
１１５    駆動電極
１１６    接続電極
１２１    ノズル
１３１    配線接続部
１３３    配線電極
１５３    内部ヒーター
Ｐ        記録媒体
【図１】
2015190409.tif 000005
【図２】
2015190409.tif 000006
【図３】
2015190409.tif 000007
【図４Ａ】
2015190409.tif 000008
【図４Ｂ】
2015190409.tif 000009
【国際調査報告】
2015190409.tif 000010
2015190409.tif 000011
2015190409.tif 000012
2015190409.tif 000013