(57)【要約】  配線構造の高密度化を図り得る多層配線基板を得る。  第１の絶縁層（３）と、第１の絶縁層（３）の下面に積層されている第２の絶縁層（４）とを有する積層体（２）内に、印刷配線電極（７，１１）が設けられており、印刷配線電極（７，１１）が導電ペーストの印刷及び焼成により形成されており、該印刷配線電極（７，１１）が、第２の絶縁層（４）上に位置している第１の配線電極部分（７ａ，１１ａ）と、第１の配線電極部分（７ａ，１１ａ）に連なっている第２の配線電極部分（７ｂ，１１ｂ）とを有し、第２の配線電極部分（７ｂ，１１ｂ）が、貫通孔（３ａ，３ｂ）内に至っており、さらに第１の絶縁層（３）の上面に露出している、多層配線基板（１）。
2014174710.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の絶縁層と、第１の絶縁層の下面に積層されている第２の絶縁層とを有する積層体と、
前記積層体内に形成されている配線電極とを備え、
前記配線電極が、導電ペーストの印刷及び焼成により形成される印刷配線電極であり、
前記第１の絶縁層は、該第１の絶縁層を前記積層体の積層方向に貫通している貫通孔を有し、
前記印刷配線電極が、前記第２の絶縁層上に位置している第１の配線電極部分と、前記第１の配線電極部分に連なっており、前記第１の絶縁層に設けられている前記貫通孔内に至っており、さらに前記第１の絶縁層の上面に露出している第２の配線電極部分とを有する、多層配線基板。
【請求項２】
前記印刷配線電極の前記第２の配線電極部分の前記第１の絶縁層の上面に露出している部分の少なくとも一部の下方において、前記第２の絶縁層の上面が、前記第２の絶縁層の残りの部分よりも前記第１の絶縁層側に盛り上がっている、請求項１に記載の多層配線基板。
【請求項３】
前記印刷配線電極が複数設けられている、請求項１または２に記載の多層配線基板。
【請求項４】
前記第１の絶縁層が、前記積層体を構成している複数の絶縁層のうち最外層に位置している、請求項１〜３のいずれか１項に記載の多層配線基板。
【請求項５】
前記印刷配線電極が、前記第２の配線電極部分の端部であって、前記第１の配線電極部分側とは異なる側の端部に連なっており、前記貫通孔を通り、第２の絶縁層上に至っている第３の配線電極部分を有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の多層配線基板。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の多層配線基板と、該多層配線基板の一方面側に設けられている複数のプローブとを有する、プローブカード用基板。
【請求項７】
貫通孔を有する第１の絶縁層を形成する工程と、
第２の絶縁層上に、導電ペーストの印刷により配線パターンを形成する工程と、
前記貫通孔が前記配線パターン上に重なるように、前記第２の絶縁層上に前記第１の絶縁層を積層する工程と、
前記配線パターンが、前記第１の絶縁層の前記貫通孔内に埋め込まれるように前記第１及び第２の絶縁層を含む積層体を積層方向に圧着する工程とを備える、請求項１〜５のいずれか１項に記載の多層配線基板の製造方法。
【請求項８】
前記第１の絶縁層の積層方向外側及び前記第２の絶縁層の積層方向外側のうち少なくとも一方において、少なくとも一層の別の絶縁層を積層する工程をさらに備える、請求項７に記載の多層配線基板の製造方法。
【請求項９】
前記第１の絶縁層が積層の最外側表面となるように、前記別の絶縁層を前記第２の絶縁層の積層方向外側に積層する、請求項８に記載の多層配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の絶縁層を有する多層配線基板及びその製造方法に関する。より詳細には、本発明は、層間を接続する配線電極部分を有する多層配線基板及びその製造方法並びにプローブカード用基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、配線構造の高密度化を図るために、多層基板が広く用いられている。下記の特許文献１には、複数の絶縁層を積層してなる多層基板が開示されている。この多層基板の上面には、半導体素子が実装される。半導体素子の下面には複数のバンプが設けられている。他方、複数の端子電極が多層基板の上面に形成されている。複数の前記バンプが複数の端子電極に接続される。従って、複数の端子電極の間隔は、複数のバンプの間隔に対応しており、非常に狭い。【０００３】
他方、多層基板の下面には、外部と接続するための複数の外部接続端子が配置されている。この複数の外部接続端子間のピッチは、上面の端子電極間のピッチよりも広くされている。それによって、外部との接続が容易とされている。上記端子電極と下面の外部接続端子との接続は、多層基板内に設けられている配線電極により行われている。すなわち、多層基板の絶縁層上に配置されている層上配線導体と、層上配線導体同士を接続するように絶縁層を貫くように設けられているビアホール導体とを有する。すなわち、層間接続導体としてビアホール導体が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−３００４８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の多層配線導体においても、配線構造の高密度化がより一層求められている。それによって、多層配線基板の小型化を図ることができる。また、より高密度に配置されたバンプ等を有する半導体素子などにも対応することができる。【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の従来の多層配線基板では、配線構造の高密度化に限界があった。これは以下の理由による。【０００７】
まず、層上配線導体と、上記ビアホール導体は、異なる方法で形成される。従って、上記多層配線基板のように、上面から下面に向かって複数の層上配線導体と複数のビアホール導体が接続されている構成では、各層上配線導体や各ビアホール導体の形成工程における加工誤差や位置ずれ等が累積することとなる。そのため、層上配線導体と、ビアホール導体との接続不良が生じるおそれがあった。【０００８】
上記のような接続不良を防止するには、層上配線導体において、ビアホール導体に接続される部分の面積を大きくしたり、ビアホール導体そのものを太くしなければならない。【０００９】
しかしながら、上記のように、ビアホール導体に接続される層上配線導体部分やビアホール導体の径を大きくした場合、面方向における配線構造の高密度化が妨げられる。すなわち、配線構造の高密度化には限界があった。【００１０】
本発明の目的は、配線構造の高密度化を可能とする、多層配線基板及びその製造方法を提供することにある。また、本発明の他の目的は、配線構造の高密度化を可能とする、多層配線基板を有するプローブカード用基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る多層配線基板は、積層体と、積層体内に形成されている配線電極とを備える。積層体は、第１の絶縁層と、第１の絶縁層の下面に積層されている第２の絶縁層とを有する。【００１２】
上記配線電極は、導電ペーストの印刷及び焼成により形成される印刷配線電極である。第１の絶縁層は、該第１の絶縁層を積層体の積層方向に貫通している貫通孔を有する。上記印刷配線電極は、第１の配線電極部分と、第２の配線電極部分とを有する。第１の配線電極部分は、上記第２の絶縁層上に位置している。他方、第２の配線電極部分は、第１の配線電極部分に連なっており、前記第１の絶縁層に設けられている前記貫通孔内に至っており、さらに第１の絶縁層の上面に露出している。【００１３】
本発明に係る多層配線基板のある特定の局面では、前記印刷配線電極の前記第２の配線電極部分の前記第１の絶縁層の上面に露出している部分の少なくとも一部の下方において、前記第２の絶縁層の上面が、前記第２の絶縁層の残りの部分よりも前記第１の絶縁層側に盛り上がっている。【００１４】
本発明に係る多層配線基板では、上記印刷配線電極は複数設けられていてもよい。【００１５】
本発明に係る多層配線基板では、好ましくは、前記第１の絶縁層が、前記積層体を構成している複数の絶縁層のうち最外層に位置している。それによって、最外層において、配線電極構造の高密度化を図ることができる。【００１６】
本発明に係る多層配線基板のさらに他の特定の局面では、前記印刷配線電極が、前記第２の配線電極部分の端部であって、前記第１の配線電極部分側とは異なる側の端部に連なっており、前記貫通孔を通り、第２の絶縁層上に至っている第３の配線電極部分を有する。【００１７】
本発明に係るプローブカード用基板は、本発明に従って構成された多層配線基板と、該多層配線基板の一方面に設けられている複数のプローブとを有する。【００１８】
本発明に係る多層配線基板の製造方法は、本発明に係る多層配線基板を得る方法であり、以下の各工程を備える。【００１９】
貫通孔を有する第１の絶縁層を形成する工程。【００２０】
第２の絶縁層上に、導電ペーストの印刷により配線パターンを形成する工程。【００２１】
前記貫通孔が前記配線パターン上に重なるように、前記第２の絶縁層上に前記第１の絶縁層を積層する工程。【００２２】
前記配線パターンが、前記第１の絶縁層の前記貫通孔内に埋め込まれるように前記第１及び第２の絶縁層を含む積層体を積層方向に圧着する工程。【００２３】
本発明に係る多層配線基板の製造方法の他の特定の局面では、前記第１の絶縁層の積層方向外側及び前記第２の絶縁層の積層方向外側のうち少なくとも一方において、少なくとも一層の別の絶縁層を積層する工程がさらに備えられている。【００２４】
本発明に係る多層配線基板の製造方法のさらに別の特定の局面では、前記第１の絶縁層が積層の最外側表面となるように、前記別の絶縁層を前記第２の絶縁層の積層方向外側に積層する。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係る多層配線基板及びその製造方法によれば、印刷配線電極が、第１の配線電極部分に連なっており、第１の絶縁層に設けられている貫通孔内に至っており、さらに第１の絶縁層の上面に露出している第２の配線電極部分を有するため、多層配線基板における配線構造の高密度化、特に多層配線基板の絶縁層の面方向における配線構造の高密度化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る多層配線基板の正面断面図である。
【図２】図２（ａ）〜図２（ｃ）は第１の実施形態の多層配線基板における第１〜第３の絶縁層の各模式的平面図である。
【図３】図３は、本発明の第２の実施形態としての多層配線基板の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図４】図４は、第１の実施形態の変形例に係る多層配線基板の正面断面図である。
【図５】図５は、本発明の第３の実施形態に係る多層配線基板の正面断面図である。
【図６】図６（ａ）〜図６（ｃ）は、第３の実施形態に係る多層配線基板における第１〜第３の絶縁層の各模式的平面図である。
【図７】図７（ａ）〜図７（ｃ）は本発明の第４の実施形態に係る多層配線基板の第１〜第３の絶縁層の各模式的平面図である。
【図８】図８は、本発明の第５の実施形態に係る多層配線基板の正面断面図である。
【図９】図９は、本発明の第６の実施形態に係る多層配線基板の正面断面図である。
【図１０】図１０（ａ）〜図１０（ｃ）は本発明の第６の実施形態に係る多層配線基板の第１〜第３の絶縁層の各模式的平面図である。
【図１１】図１１は、本発明の第７の実施形態としての複合モジュールへの応用例を示す正面断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の第８の実施形態としてのプローブカード用基板への応用例を示す正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２８】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る多層配線基板の正面断面図である。多層配線基板１は、積層体２を有する。積層体２は、上から順に第１〜第４の絶縁層３〜６を積層した構造を有する。積層体２は、具体的には、後述する配線電極と共に、セラミックシートを積層し、焼成することにより得られる。上記セラミックスとしては、特に限定されないが、ＬＴＣＣ（低温焼成セラミック）などが好適に用いられる。ＬＴＣＣは、寸法精度が高いため、配線構造の高密度化をより一層図ることができる。
【００２９】
積層体２内には、印刷配線電極７，１１が形成されている。印刷配線電極７を代表して、印刷配線電極７，１１を説明する。
【００３０】
印刷配線電極７は、導体ペーストのスクリーン印刷及び焼成により形成されている。第１の絶縁層３には、貫通孔３ａ，３ｂが形成されている。印刷配線電極７は、第２の絶縁層４上に位置している第１の配線電極部分７ａを有する。また、印刷配線電極７は、第１の配線電極部分７ａに連ねられている第２の配線電極部分７ｂを有する。第２の配線電極部分７ｂは、貫通孔３ａ内に至り、かつ第１の絶縁層３の上面３ｃに露出している。
【００３１】
１つの印刷配線電極７が、層上配線導体としての第１の配線電極部分７ａと、層間接続導体としての第２の配線電極部分７ｂとを有する。第２の配線電極部分７ｂは、さらに、第１の絶縁層３の上面３ｃに露出している部分において、外部との接続に用いられる端子電極としても機能する。
【００３２】
印刷配線電極１１も、同様に、第１の配線電極部分１１ａと、第２の配線電極部分１１ｂとを有する。
【００３３】
本実施形態の多層配線基板１の特徴は、上記印刷配線電極７，１１が設けられていることにある。印刷配線電極７，１１は、上記のように、層上配線導体と、層間接続導体の双方の機能を果たす。従って、従来の多層配線基板における層上配線導体と、ビアホール導体とを別々の工程で形成する必要がない。前述したように、ビアホール導体に層上配線導体としての配線電極を接続する方法では、配線構造の高密度化に限界があった。また、ビアホール導体が接続される電極ランドもビアホール導体よりも大きくしなければならなかった。従って、高密度化を図ることが困難であった。
【００３４】
これに対して、印刷配線電極７は、後述する製造方法から明らかなように、セラミックグリーンシート上に導電ペーストを印刷し、第１の絶縁層３を構成するセラミックグリーンシートと積層し、圧着するだけで形成することができる。従って、高密度化を容易に図ることができる。
【００３５】
加えて、従来の多層配線基板では、ビアホール導体がセラミックシートを貫通する必要がある。そのため、ビアホール導体の径は、１０μｍｍ〜１００μｍｍ程度の大きさとしなければならなかった。従って、ビアホール導体に接続される電極ランドはさらに大きくしなければならなかった。
【００３６】
これに対して、本実施形態では、印刷配線電極７の配線電極部分７ｂを第１の絶縁層３上に露出させればよいだけである。従って、層間接続部分に連なる上面に露出している部分の面積を小さくすることができる。よって、電極ランドの寸法を小さくすることもできる。
【００３７】
さらに、従来のビアホール導体を用いた構成では、ビアホール導体と層上配線電極との接続部分が存在する。従って、インピーダンスが接続部分で変化するため、特性が劣化するおそれがある。これに対して、印刷配線電極７，１１は、その内部にインピーダンスが変化する接続部分を有しない。従って、接続部分を少なくして、特性の劣化を抑制することができる。
【００３８】
加えて、従来の多層配線基板では、高密度化を図ると、直径が１０μｍｍ〜１００μｍｍのビアホール導体間に位置しているセラミックスの焼結収縮時の応力により、セラミックにクラックが生じるおそれがあった。これに対して、本実施形態では、印刷配線電極７は、その膜厚が５μｍ〜２０μｍ程度であり、第１の絶縁層３において、図示のように積層方向に対して斜め方向に第１の絶縁層３を貫通している。従って、印刷配線電極７，１１間のセラミックスに与える影響も小さい。よって、焼結後の多層配線基板１においてセラミックスのクラックが生じ難い。
【００３９】
さらに、従来の多層配線基板では、ビアホール導体の体積が比較的大きいため、並びにセラミックスとビアホール導体の焼結強度が異なるため、ビアホール導体が盛り上がったり、多層配線基板表面に反りやうねりが生じたりするおそれがあった。これに対して、本実施形態では、このような体積の比較的大きなビアホール導体は多層配線基板１の上面側に設けられていない。また、印刷配線電極７，１１の体積は比較的小さい。従って、隆起が生じ難く、多層配線基板１の上面における反りやうねりも生じ難い。よって、多層配線基板の平坦性を高めることができる。
【００４０】
また、従来の多層配線基板では、ビアホール導体はレーザーにより貫通孔を形成し、該貫通孔内に導電ペーストを充填することにより形成されている。従って、ビアホール導体の形成コストが比較的高かった。これに対して、本実施形態では、印刷配線電極７，１１はスクリーン印刷により形成される。従って、製造コストを大幅に低減することも可能となる。
【００４１】
多層配線基板１の特徴は、上記印刷配線電極７，１１を有することにある。図１に戻り、印刷配線電極７の第１の配線電極部分７ａには、ビアホール導体８が接続されている。ビアホール導体８は、第２の絶縁層４を貫通するように設けられている。ビアホール導体８の下端が、第３の絶縁層５上に形成された配線電極９に接続されている。配線電極９は、第３の絶縁層５を貫通するように設けられたビアホール導体１０の上端に接続されている。
【００４２】
上記ビアホール導体８、配線電極９及びビアホール導体１０は、従来の多層配線基板における配線電極とビアホール導体と同様に構成されている。
【００４３】
印刷配線電極１１の下方にも、同様に、ビアホール導体１２、配線電極１３及びビアホール導体１４が設けられている。
【００４４】
図２（ａ）は、上記第１の絶縁層３の模式的平面図である。ここでは第１の絶縁層３に、印刷配線電極７，１１の第２の配線電極部分７ｂ，１１ｂが露出している。
【００４５】
図２（ｂ）は、第２の絶縁層４の模式的平面図である。ここでは、第１の配線電極部分７ａ，１１ａが存在する。なお、破線の円は、図１に示したビアホール導体８，１２を示す。
【００４６】
図２（ｃ）は図１に示した第３の絶縁層５の模式的平面図である。ここでは、配線電極９，１３が示されている。配線電極９，１３内の破線は、下方に位置しているビアホール導体１０，１４を示す。
【００４７】
多層配線基板１では、印刷配線電極７，１１の下方に、従来の多層配線基板と同様にビアホール導体８，１０，１２，１４と配線導体９，１３とからなる配線構造が接続されている。もっとも、本発明においては、ビアホール導体８，１０，１２，１４及び配線電極９，１３に代えて、印刷配線電極７，１１を積層方向において複数接続し、配線構造を形成してもよい。その場合には、配線構造のより一層の高密度化、多層配線基板の平坦性の向上及び製造コストの低減を図ることができる。しかしながら、本実施形態のように、積層方向において１つの印刷配線電極７または１１のみが設けられている構造であっても、上述したように、配線構造の高密度化、特性劣化の抑制、製造コストの低減等を果たすことができる。
【００４８】
加えて、本実施形態では、多層配線基板１の最外側表面に、印刷配線電極７，１１の第２の配線電極部分７ｂ，１１ｂが露出しているため、上記のように電極ランドの小型化、最外側層におけるセラミックスのクラックを効果的に抑制することができる。加えて、多層配線基板１の上面の平坦性も高められる。
【００４９】
なお、最下方に位置するように図示されているビアホール導体１０，１４は、図１では図示されていない部分において、他の配線電極等などに電気的に接続されている。
【００５０】
このようなビアホール導体１０，１４を外部との接続用端子電極に接続する構成については特に限定されない。
【００５１】
なお、上述した配線構造を形成している各電極を構成する材料については特に限定されない。すなわち、適宜の導電性粉末を含む導電ペーストを用いて、印刷配線電極７，１１や、配線電極９，１３、ビアホール導体８，１２，１０，１４等を形成することができる。
【００５２】
上述したように、第１及び第２の絶縁層３，４以外に、上記第３，第４の絶縁層５，６のような１以上の別の絶縁層を適宜積層してもよい。そして、本実施形態のように、第１の絶縁層３が最外側面に位置している場合、別の絶縁層が第２の絶縁層の第１の絶縁層とは反対側の面に積層されることになる。もっとも、別の絶縁層の積層形態はこれに限定されるものではない。
【００５３】
次に、本発明の第２の実施形態として、図３を参照して多層配線基板の製造方法を説明する。図３では、第１の実施形態の多層配線基板１の図１の左側部分のみを製造する工程を模式的に示す。従って、同一部分については同一の参照番号を付することにより、詳細な説明は省略する。
【００５４】
まず、図３（ａ）に示すように、貫通孔３ａを有する第１のセラミックグリーンシート３Ａを用意する。他方、第２の絶縁層４を構成するための第２のセラミックグリーンシート４Ａを用意する。
【００５５】
第２のセラミックグリーンシート４Ａ上に、導電ペーストのスクリーン印刷により、印刷配線電極７Ａを形成する。印刷配線電極７Ａは、第１のセラミックグリーンシート３Ａが第２のセラミックグリーンシート４Ａ上に積層された際に、貫通孔３ａが印刷配線電極７Ａ内に位置するように設けられている。また、第２のセラミックグリーンシート４Ａには、ビアホール導体８が形成されている。ビアホール導体８は、貫通孔に導電ペーストを充填することにより形成されている。
【００５６】
次に、図３（ｂ）に示すように、上記第２のセラミックグリーンシート４Ａを、第３及び第４のセラミックグリーンシート５Ａ，６Ａが積層されている構造の上に積層する。第３のセラミックグリーンシート５Ａの上面には、配線電極９が形成されている。また、配線電極９に接続されるように、ビアホール導体１０が第３のセラミックグリーンシート５Ａに形成されている。
【００５７】
次に、図３（ｂ）に矢印Ａで示すように第２のセラミックグリーンシート４Ａ上に、第１のセラミックグリーンシート３Ａを積層し、圧着する。この圧着により、図３（ｃ）に示すように、印刷配線電極７Ａが、貫通孔３ａ内に入り込む。その結果、第１の配線電極部分７ａと、上述した第２の配線電極部分７ｂとが形成されることになる。
【００５８】
しかる後、第１〜第４のセラミックグリーンシート３Ａ〜６Ａを含む上記生チップを焼成する。このようにして、図１に示す多層配線基板１の配線電極が形成される。
【００５９】
上記製造方法から明らかなように、印刷配線電極７の形成に際しては、導電ペーストのスクリーン印刷と、貫通孔３ａを有する第１のセラミックグリーンシート３Ａを用意し、圧着し、焼成するだけでよい。従って、製造工程の簡略化を図り得ることがわかる。
【００６０】
また、好ましくは、図１及び図３（ｃ）に示すように、印刷配線電極７の第１の絶縁層３の上面に露出している部分の少なくとも一部の下方において、第２の絶縁層４の上面が残りの部分に比べて第１の絶縁層３側に盛り上がっていることが望ましい。それによって、印刷配線電極７の第２の配線電極部分７ｂを下方から裏打ちし、強固に支持することができる。よって、第２の配線電極部分７ｂを、その第１の絶縁層３の上面に露出している部分において他の配線電極やバンプなどと確実に電気的に接続することができる。
【００６１】
図１及び図３（ｃ）では、上記第２の絶縁層４の下方に位置している第３の絶縁層５及び第４の絶縁層６においても、上記印刷配線電極７の第２の配線電極部分７ｂの少なくとも一部の下方において、残りの絶縁層部分よりも上方に盛り上がって形成されている。これは、前述した製造方法から明らかなように、複数のセラミックグリーンシートを積層し、圧着した際に、印刷配線電極７を構成する導電ペーストが貫通孔３ａに入り込むに従って、下方のセラミックグリーンシートが上方に移動することによる。
【００６２】
もっとも、本発明においては、印刷配線電極７の第２の配線電極部分７ｂの第１の絶縁層３に露出している部分において、下方に位置している第２の絶縁層４が上方に盛り上がっておらずともよい。
【００６３】
なお、多層配線基板１の上面の平坦性を高めるためには、多層配線基板１の上面を適宜の研磨方法により研磨し、平坦化してもよい。図４は、このようにして、上面が平坦化された変形例に係る多層配線基板１Ａの正面断面図である。この研磨により、印刷配線電極７，１１の第１の絶縁層３に上面３ｃに露出している部分の面積は若干小さくなっているが、上面の平坦性を効果的に高めることができる。また、場合によっては、上面に露出している印刷配線電極の面積をより小さくすることが求められる場合もある。その場合には、本変形例のように、研磨により、印刷配線電極７，１１の上面に露出している部分を小さくすることが望ましい。
【００６４】
図５は、本発明の第３の実施形態に係る多層配線基板の正面断面図である。多層配線基板２１は、積層体２２を有する。積層体２２では、絶縁層２３〜２６が積層されている。多層配線基板２１では、印刷配線電極２７，２９が設けられている。図６（ａ）〜（ｃ）は、上記絶縁層２３〜２５の各模式的平面図である。図６の（ａ）の破線Ｂ及び図６（ｂ）の破線Ｃは、それぞれ、印刷配線電極２７，２９の絶縁層２３，２４の上面には露出していない部分の輪郭を示す。
【００６５】
印刷配線電極２７を代表して印刷配線電極２７，２９を説明する。印刷配線電極２７は、絶縁層２３の上面２３ｃから絶縁層２５の上面にまで至っている。すなわち、印刷配線電極２７は、絶縁層２４上に位置する第１の配線電極部分２７ａと、第１の配線電極部分２７ａに連なっている第２の配線電極部分２７ｂとを有する。
【００６６】
第２の配線電極部分２７ｂは、絶縁層２３の貫通孔２３ａに至っており、かつ絶縁層２３の上面２３ｃすなわち多層配線基板２１の上面に露出している。よって、第１の配線電極部分２７ａと、第２の配線電極部分２７ｂとを有する構造は、第１の実施形態の印刷配線電極７と同様である。
【００６７】
本実施形態が第１の実施形態と異なるところは、第１の配線電極部分２７ａの下方に、さらに第２の配線電極部分２７ｄ及び第１の配線電極部分２７ｃが連ねられていることにある。第１の配線電極部分２７ｃは、絶縁層２５上に位置している、そして、第１の配線電極部分２７ｃに連なるように、第２の配線電極部分２７ｄが設けられている。第２の配線電極部分２７ｄは、絶縁層２４に設けられている貫通孔２４ａ内に至っており、さらに絶縁層２４の上面に露出し、第１の配線電極部分２７ａに連なっている。
【００６８】
第２の印刷配線電極２９も第１の印刷配線電極２７と同様に形成されている。
【００６９】
印刷配線電極２７の第１の配線電極部分２７ｃの下面には、絶縁層２５に設けられているビアホール導体２８が電気的に接続されている。同様に、印刷配線電極２９には、ビアホール導体３０が電気的に接続されている。
【００７０】
本実施形態のように、印刷配線電極２７は、３以上の絶縁層にわたり形成されていてもよい。すなわち、第１の絶縁層２３の下方に第２の絶縁層２４が位置しており、該第２の絶縁層２４と、その下方の絶縁層２５において、再度、第２の配線電極部分２７ｄ及び第１の配線電極部分２７ｃが繰り返されるように形成されてもよい。それによって、第１の実施形態に比べて、さらに配線構造の高密度化、低コスト化、電気的特性の劣化の抑制を効果的に図ることが可能となる。
【００７１】
図７（ａ）〜（ｃ）は、第４の実施形態に係る多層配線基板における絶縁層の各模式的平面図である。図７（ａ）〜（ｃ）は、図６（ａ）〜（ｃ）に相当する図である。第４の実施形態の多層配線基板は、第３の実施形態と同様の正面断面構造を有する。すなわち、第４の実施形態の多層配線基板もまた、図５に示す断面構造を有する。従って、同一部分については同一の参照番号を付することにより、その説明を省略する。
【００７２】
第４の実施形態が第３の実施形態と異なるところは、図７（ｂ）及び（ｃ）に示すように、印刷配線電極２７，２９の平面形状が異なっていることにある。すなわち、図７（ｂ）に示すように、印刷配線電極２７は、第１の配線電極部分２７ａにおいてＬ字状に折り曲げられている。
【００７３】
また、図７（ｃ）に示すように、第１の配線電極部分２７ｃにおいて、第１の配線電極部分２７ｃが２箇所で直交方向に折り曲げられている。このように、印刷配線電極２７を、第１の配線電極部分２７ａ，２７ｃにおいて、ストリップ状ではなく、折り曲げ部を有するような形状とすることにより、印刷配線電極２７を有する配線構造のより一層の高密度化を図ることができる。
【００７４】
より具体的には、最上層である絶縁層２３の上面において、印刷配線電極２７同士間、印刷配線電極２９同士間、印刷配線電極２７，２９間のピッチ、すなわち、第２の配線電極部分２７ｂ同士間、第２の配線電極２９ｂ同士間及び第２の配線電極２７ｂ，２９ｂ間の各ピッチは狭い。これに対して、第１の配線電極部分２７ａ，２７ｃを上記のような形状とすることにより、下方の絶縁層側において、少なくとも一部において、ビアホール導体２８同士間、ビアホール導体３０同士間及びビアホール導体２８，３０間の各ピッチを広げることができる。従って、多層配線基板２１において、上面における電極ピッチに比べ、下面における電極ピッチをより広げることができる。
【００７５】
よって、上面において、ピッチが狭いバンプや電極を有する部品を搭載し、下面側において、外部と容易に電気的に接続を図ることができる。
【００７６】
図８は、本発明の第５の実施形態に係る多層配線基板の正面断面図である。本実施形態の多層配線基板３１では、第１の実施形態の多層配線基板１の最上層に、さらに第３の絶縁層３２が積層されている。第３の絶縁層３２には、ビアホール導体３３，３４が形成されている。ビアホール導体３３，３４の上面は露出している。ビアホール導体３３，３４の下面が、印刷配線電極７，１１の第２の配線電極部分７ｂ，１１ｂに接続されている。このように、本発明においては、多層配線基板の最外側層に印刷配線電極７，１１が位置していなくともよい。
【００７７】
図９は、本発明の第６の実施形態に係る多層配線基板の正面断面図である。多層配線基板４１は、積層体４２を有する。積層体４２は、第１の絶縁層４３、第２の絶縁層４４、第３の絶縁層４５及び第４の絶縁層４６を積層した構造を有する。積層体４２には、印刷配線電極４７，５１が設けられている。本実施形態は、印刷配線電極４７，５１が設けられていることを除いては、第１の実施形態の多層配線基板１と同様である。すなわち、第２の絶縁層４４には、ビアホール導体８，１２が形成されている。ビアホール導体８，１２に接続されるように、第３の絶縁層４５上に、配線電極９，１３が形成されており、ビアホール導体１０，１４が第３の絶縁層４５に設けられている。
【００７８】
印刷配線電極４７，５１を、印刷配線電極４７を代表して説明する。
【００７９】
印刷配線電極４７は、第２の絶縁層４４上に位置している第１の配線電極部分４７ａを有する。第１の配線電極部分４７ａに連なるように、貫通孔４３ａに至っている第２の配線電極部分４７ｂが設けられている。第２の配線電極部分４７ｂは、第１の絶縁層４３の上面４３ｃに露出している。従って、第１の配線電極部分４７ａ及び第２の配線電極部分４７ｂは、多層配線基板１における第１の配線電極部分７ａ及び第２の配線電極部分７ｂと同様である。
【００８０】
本実施形態では、第２の配線電極部分４７ｂに連なるように、第３の配線電極部分４７ｃが設けられている。第３の配線電極部分４７ｃは、第２の配線電極部分４７ｂの端部であって、かつ前記第１の配線電極部分４７ａに連なっている側の端部とは異なる側の端部に連なっている。そして、第３の配線電極部分４７ｃは、貫通孔４３ａを通り、再度第２の絶縁層４４上に至っている。印刷配線電極５１も同様に第１の配線電極部分５１ａ、第２の配線電極部分５１ｂ及び第３の配線電極部分５１ｃを有する。
【００８１】
図１０（ａ）〜（ｃ）は、上記第１〜第３の絶縁層４３〜４５の各模式的平面図である。図１０（ａ）及び（ｂ）を対比すれば明らかなように、印刷配線電極４７においては、平面視した場合、上面に露出している第２の配線電極部分４７ｂの両側に、第１，第３の配線電極部分４７ａ，４７ｃが位置していることになる。
【００８２】
本実施形態のように、第２の配線電極部分４７ｂに、第１の配線電極部分４７ａだけでなく、第３の配線電極部分４７ｃがさらに連ねられていてもよい。その場合には、印刷配線電極４７は、積層体４２内において、第１の配線電極部分４７ａと、第２の配線電極部分４７ｂの双方において埋設されている。従って、印刷配線電極４７の積層体４２に対する結合強度を高めることができる。よって、第２の配線電極部分４７ｂを利用して外部と接合した場合、接合強度を高めることができる。また、電極ランドとして機能している露出部分の面積を小さくすることができる。
【００８３】
なお、第１の配線電極部分４７ａ及び第３の配線電極部分４７ｃの平面形状は、図１０（ｂ）に示したようにストリップ状の形状とされる必要は必ずしもなく、Ｌ字状、直線状などの任意の平面形状とすることができる。
【００８４】
図１１は、本発明の第７の実施形態としての複合モジュールに本発明の多層配線基板を適用した応用例を示す正面断面図である。複合モジュール６１は、本発明の多層配線基板の構造を有する。
【００８５】
積層体６２では、第１〜第５の絶縁層６３〜６７が積層されている。第１，第２の絶縁層６３，６４が積層されている部分において、第１の実施形態と同様の印刷配線電極７，７，１１，１１が設けられている。印刷配線電極７，１１の第１の絶縁層６３に露出している部分に、ＩＣなどの狭ピッチバンプを持つ電子部品７１が載置される。
【００８６】
ＩＣなどの狭ピッチバンプを持つ電子部品７１は、下面にバンプ７１ａ〜７１ｄを有する。バンプ７１ａ〜７１ｄが、印刷配線電極７，１１の第１の絶縁層６３に露出している部分に当接される。この場合、ＩＣなどの狭ピッチバンプを持つ電子部品７１のバンプ７１ａ〜７１ｄのピッチが狭い場合であっても、複合モジュール６１では、印刷配線電極７，１１の上面に露出している部分のピッチを狭くし、対応することができる。
【００８７】
なお、印刷配線電極７，１１の第１の絶縁層６３に露出している部分が電子部品との接続部を構成していることになる。
【００８８】
他方、複合モジュール６１の下方側においては、外部と接続するための端子電極６８ａ〜６８ｆが形成されている。端子電極６８ａ〜６８ｆは、前述した印刷配線電極７，１１のいずれかに電気的に接続されている。端子電極６８ａ〜６８ｆのピッチは印刷配線電極７，１１の複合モジュール６１の上面に露出している部分のピッチよりもかなり広い。従って、外部と電気的に容易に接続することができる。
【００８９】
なお、印刷配線電極７，１１の下端側には、第１の実施形態と同様に、ビアホール導体８、配線電極９、ビアホール導体１０や、ビアホール導体１２、配線電極１３及びビアホール導体１４が接続されている。
【００９０】
また、複合モジュール６１では、積層体６２において、ＩＣなどの狭ピッチバンプを持つ電子部品７１が接続される部分とは異なる部分において、コンデンサ７２，７３などの電子部品が実装されている。このコンデンサ７２，７３もまた、上記印刷配線電極７，１１の積層体６２の上面に露出している部分に電気的に接続されている。
【００９１】
複合モジュール６１においても、上記多層配線基板１と同様に、印刷配線電極７，１１が用いられているため、配線構造の高密度化及びコストの低減等を果たし得る。
【００９２】
なお、本実施形態における複合モジュールの具体例としては、無線ＬＡＮ用モジュールや携帯電話用のアンテナスイッチモジュールなどが挙げられる。また、これらに使用される狭ピッチバンプの電子部品としては、スイッチングＩＣもしくはＲＦ−ＩＣなどの半導体部品、またはＳＡＷフィルタもしくはＳＡＷデュプレクサなどのＳＡＷデバイスなどがある。
【００９３】
図１２は、本発明の第８の実施形態としてのプローブカード用基板を示す正面断面図である。
【００９４】
本実施形態のプローブカード用基板８１は、第１の絶縁層６３を有する。第１の絶縁層６３上に、絶縁性材料からなる薄膜層８３が形成されている。この薄膜層８３は、適宜の絶縁性材料からなる。
【００９５】
さらに、薄膜層８３上に、複数のプローブ８２が設けられている。複数のプローブ８２は、図示しない部分において、薄膜層８３内に延びている。そして、複数のプローブ８２の図示されていない側の端部が薄膜層８３内に設けられた配線電極を介して印刷配線電極７，１１に電気的に接続されている。すなわち、薄膜層８３に形成されている配線電極が、薄膜層８３の下面に至っている。この配線電極が、印刷配線電極７，１１の積層体６２の上面、すなわち絶縁層６３の上面に露出している部分に電気的に接続されている。
【００９６】
よって、プローブカード用基板８１においても、多層配線基板１と同様に、印刷配線電極７，１１を有するため、配線構造の高密度化及びコストの低減等を果たし得る。
【符号の説明】
【００９７】
１，１Ａ…多層配線基板
２…積層体
３〜６…第１〜第４の絶縁層
３Ａ〜６Ａ…第１〜第４のセラミックグリーンシート
３ａ，３ｂ…貫通孔
３ｃ…上面
７，７Ａ…印刷配線電極
７ａ，７ｂ…第１，第２の配線電極部分
８，１２…ビアホール導体
９，１３…配線電極
１０，１４…ビアホール導体
１１…印刷配線電極
１１ａ，１１ｂ…第１，第２の配線電極部分
２１…多層配線基板
２２…積層体
２３〜２６…絶縁層
２３ａ，２４ａ…貫通孔
２３ｃ…上面
２７…印刷配線電極
２７ａ，２７ｃ…第１の配線電極部分
２７ｂ，２７ｄ…第２の配線電極部分
２８，３０…ビアホール導体
２９…印刷配線電極
３１…多層配線基板
３２…第３の絶縁層
３３，３４…ビアホール導体
４１…多層配線基板
４２…積層体
４３〜４６…第１〜第４の絶縁層
４３ａ…貫通孔
４３ｃ…上面
４７…印刷配線電極
４７ａ〜４７ｃ…第１〜第３の配線電極部分
５１…印刷配線電極
５１ａ〜５１ｃ…第１〜第３の配線電極部分
６１…複合モジュール
６２…積層体
６３〜６７…第１〜第５の絶縁層
６８ａ〜６８ｆ…端子電極
７１…ＩＣなどの狭ピッチバンプを持つ電子部品
７１ａ〜７１ｄ…バンプ
７２，７３…コンデンサ
８１…プローブカード用基板
８２…プローブ
８３…薄膜層
【図１】
2014174710.tif 000003
【図２】
2014174710.tif 000004
【図３】
2014174710.tif 000005
【図４】
2014174710.tif 000006
【図５】
2014174710.tif 000007
【図６】
2014174710.tif 000008
【図７】
2014174710.tif 000009
【図８】
2014174710.tif 000010
【図９】
2014174710.tif 000011
【図１０】
2014174710.tif 000012
【図１１】
2014174710.tif 000013
【図１２】
2014174710.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成28年10月19日(2016.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み方向に貫通している貫通孔を有する第１の絶縁層と、前記第１の絶縁層の下面に圧着されている、シート状の第２の絶縁層とを有する積層体と、
前記積層体内に形成されている配線電極とを備え、
前記配線電極が、導電ペーストの印刷及び焼成により形成される印刷配線電極であり、
前記印刷配線電極が、前記第２の絶縁層上に位置している第１の配線電極部分と、前記第１の配線電極部分に連なっており、前記第１の絶縁層に設けられている前記貫通孔内に至っており、さらに前記第１の絶縁層の上面に露出している第２の配線電極部分とを有する、多層配線基板。
【請求項２】
前記印刷配線電極の前記第２の配線電極部分の前記第１の絶縁層の上面に露出している部分の少なくとも一部の下方において、前記第２の絶縁層の上面が、前記第２の絶縁層の残りの部分よりも前記第１の絶縁層側に盛り上がっている、請求項１に記載の多層配線基板。
【請求項３】
前記印刷配線電極が複数設けられている、請求項１または２に記載の多層配線基板。
【請求項４】
前記第１の絶縁層が、前記積層体を構成している複数の絶縁層のうち最外層に位置している、請求項１〜３のいずれか１項に記載の多層配線基板。
【請求項５】
前記印刷配線電極が、前記第２の配線電極部分の端部であって、前記第１の配線電極部分側とは異なる側の端部に連なっており、前記貫通孔を通り、第２の絶縁層上に至っている第３の配線電極部分を有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の多層配線基板。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の多層配線基板と、該多層配線基板の一方面側に設けられている複数のプローブとを有する、プローブカード用基板。
【請求項７】
貫通孔を有する第１の絶縁層を形成する工程と、
シート状の第２の絶縁層上に、導電ペーストの印刷により配線パターンを形成する工程と、
前記貫通孔が前記配線パターン上に重なるように、前記第２の絶縁層上に前記第１の絶縁層を積層する工程と、
前記配線パターンが、前記第１の絶縁層の前記貫通孔内に埋め込まれるように前記第１及び第２の絶縁層を含む積層体を積層方向に圧着する工程とを備える、請求項１〜５のいずれか１項に記載の多層配線基板の製造方法。
【請求項８】
前記第１の絶縁層の積層方向外側及び前記第２の絶縁層の積層方向外側のうち少なくとも一方において、少なくとも一層の別の絶縁層を積層する工程をさらに備える、請求項７に記載の多層配線基板の製造方法。
【請求項９】
前記第１の絶縁層が積層の最外側表面となるように、前記別の絶縁層を前記第２の絶縁層の積層方向外側に積層する、請求項８に記載の多層配線基板の製造方法。
【国際調査報告】
2014174710.tif 000015
2014174710.tif 000016
2014174710.tif 000017
2014174710.tif 000018