(57)【要約】【解決手段】本技術に係る生産処理装置は、第１のロボットアームと、複数の第１の傾斜テーブルとを具備する。前記第１のロボットアームは、ワークを搬送可能である。前記複数の第１の傾斜テーブルは、前記第１のロボットアームによって搬送された前記ワークを載置可能であり、前記第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に、水平面に対して所定の角度傾斜するように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される。【選択図】図１
2016067503.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搬送可能な第１のロボットアームと、
前記第１のロボットアームによって搬送された前記ワークを載置可能であり、前記第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に、水平面に対して所定の角度傾斜するように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される複数の第１の傾斜テーブルと
を具備する生産処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の生産処理装置であって、
前記第１のロボットアームによって搬送された前記ワークを載置可能であり、前記複数の第１の傾斜テーブルよりも前記第１のロボットアームに近い位置に、水平面に対して平行なように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される複数の第１の水平テーブルをさらに具備する
生産処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の生産処理装置であって、
前記複数の第１の傾斜テーブルは、下側の縁部を有し、
前記下側の縁部は、前記複数の第１の水平テーブルよりも高い位置に配置される
生産処理装置。
【請求項４】
請求項１に記載の生産処理装置であって、
前記複数の第１の傾斜テーブルが水平面に対して傾斜する角度は、１５°以上４５°以下の範囲である
生産処理装置。
【請求項５】
請求項１に記載の生産処理装置であって、
前記複数の第１の傾斜テーブルは、前記ワークに対してそれぞれ異なる生産処理が施される複数の生産処理テーブルを含む
生産処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載の生産処理装置であって、
前記複数の生産処理テーブルのうち、前記ワークに対する生産処理が終了した生産処理テーブルを搬送元とし、未処理の生産処理に対応する生産処理テーブルを搬送先として前記第１のロボットアームにより前記ワークを搬送させるように前記第１のロボットアームの駆動を制御する制御部をさらに具備する
生産処理装置。
【請求項７】
請求項２に記載の生産処理装置であって、
前記複数の第１の傾斜テーブル及び前記複数の第１の水平テーブルは、前記ワークに対してそれぞれ異なる生産処理が施される複数の生産処理テーブルを含む
生産処理装置。
【請求項８】
請求項７に記載の生産処理装置であって、
前記複数の生産処理テーブルのうち、前記ワークに対する生産処理が終了した生産処理テーブルを搬送元とし、未処理の生産処理に対応する生産処理テーブルを搬送先として前記第１のロボットアームにより前記ワークを搬送させるように前記第１のロボットアームの駆動を制御する制御部をさらに具備する
生産処理装置。
【請求項９】
請求項１に記載の生産処理装置であって、
前記第１のロボットアームと、前記複数の第１の傾斜テーブルとを有する第１の生産処理部と、
前記ワークを搬送可能な第２のロボットアームと、前記第２のロボットアームによって搬送された前記ワークを載置可能であり、前記第２のロボットアームを中心とした円周上の位置に、水平面に対して所定の角度傾斜するように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される複数の第２の傾斜テーブルとを有する第２の生産処理部と
を具備する生産処理装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の生産処理装置であって、
前記第２の生産処理部は、前記第２のロボットアームによって搬送された前記ワークを載置可能であり、前記複数の第２の傾斜テーブルよりも前記第２のロボットアームに近い位置に、水平面に対して平行なように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される複数の第２の水平テーブルをさらに有する
生産処理装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の生産処理装置であって、
記憶部と、
前記第１のロボットアームにより前記ワークが取り出される搬送元の情報と、前記第１のロボットアームにより前記ワークが載置される搬送先の情報とが関連付けられた第１の搬送パターンを、搬送条件が成立する度に前記記憶部に順次ストックし、
前記第２のロボットアームによりワークが取り出される搬送元の情報と、前記第２のロボットアームにより前記ワークが載置される搬送先の情報とが関連付けられた第２の搬送パターンを、搬送条件が成立する度に前記記憶部に順次ストックし、
前記第１の搬送パターンにおける搬送元と前記第２の搬送パターンにおける搬送元とが同じであるか、又は、前記第１の搬送パターンにおける搬送先と前記第２の搬送パターンにおける搬送先とが同じである干渉が発生したかどうかを判断し、
前記干渉が発生した場合に、干渉に係る前記第１の搬送パターンでの搬送を前記第１のロボットアームにより実行させ、干渉に係る前記第２の搬送パターンを前記記憶部から消去して前記記憶部にストックされている他の第２の搬送パターンでの搬送を前記第２のロボットアームに実行させる制御部と
をさらに具備する生産処理装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の生産処理装置であって、
前記第１の生産処理部及び前記第２の生産処理部に対して共通で前記ワークを供給する供給領域を有する供給部と、
前記第１の生産処理部において生産処理が終了したワークと、前記第２の生産処理部において生産処理が終了したワークとが共通で排出される排出領域を有する排出部とをさらに具備し、
前記制御部は、前記供給領域が前記第１の搬送パターン及び前記第２の搬送パターンにおいて共通で搬送元とされたとき、又は、前記排出領域が前記第１の搬送パターン及び前記第２の搬送パターンにおいて共通で搬送先とされたとき、前記干渉が発生したと判断する
生産処理装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載の生産処理装置であって、
前記制御部は、
前記第１の搬送パターンが前記記憶部にストックされているかどうかを判断し、前記第１の搬送パターンが前記記憶部にストックされていない場合、実行可能な第１の搬送パターンが存在するかどうかの検索を実行し、実行可能な第１の搬送パターンが存在する場合、前記第１の搬送パターンを記憶部にストックして前記第１の搬送パターンでの搬送を前記第１のロボットアームにより実行させる
生産処理装置。
【請求項１４】
請求項１１に記載の生産処理装置であって、
前記制御部は、前記第２の搬送パターンが前記記憶部にストックされているかどうかを判断し、前記第２の搬送パターンが前記記憶部にストックされていない場合、実行可能な第２の搬送パターンが存在するかどうかの検索を実行し、実行可能な第２の搬送パターンが存在する場合、前記第２の搬送パターンを記憶部にストックして前記第２の搬送パターンでの搬送を前記第２のロボットアームにより実行させる
生産処理装置。
【請求項１５】
第１のロボットアームによりワークを保持し、
前記第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に水平面に対して所定の角度傾斜するように配置された複数の第１の傾斜テーブルのうち、いずれかの第１の傾斜テーブルに対して、前記第１のロボットアームにより保持された前記ワークを載置し、
前記第１の傾斜テーブルに載置された前記ワークに対して生産処理を施す
生産処理方法。
【請求項１６】
生産処理装置に、
第１のロボットアームによりワークを保持するステップと、
前記第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に水平面に対して所定の角度傾斜するように配置された複数の第１の傾斜テーブルのうち、いずれかの第１の傾斜テーブルに対して、前記第１のロボットアームにより保持された前記ワークを載置するステップと、
前記第１の傾斜テーブルに載置された前記ワークに対して生産処理を施すステップと
を実行させるプログラム。
【請求項１７】
第１のロボットアームによりワークを保持し、
第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に水平面に対して所定の角度傾斜するように配置された複数の第１の傾斜テーブルのうち、いずれかの第１の傾斜テーブルに対して、前記第１のロボットアームにより保持された前記ワークを載置し、
前記第１の傾斜テーブルに載置された前記ワークに生産処理を施す
ワークの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、ワークに対して所定の生産処理を施す生産処理装置などの技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、製造ライン上において、ワークに対して、例えば、加工、組み立て、検査などの各種の生産処理を施す生産処理装置が広く知られている。ワークに対して生産処理を施す際にワークを搬送する必要があるが、この搬送には、ロボットアームが用いられる場合がある。【０００３】
下記特許文献１には、架台上に設けられた、回動可能な２台のロボットアームによって半導体ウェハを搬送する搬送システムが記載されている。この搬送システムでは、一方のロボットアームの周囲に、未検査の半導体ウェハが収納された２台のカセットと、半導体ウェハの表面を検査する２台の表面検査装置と、オリフラ合わせ装置とが配置されている。そして、他方のロボットアームの周囲に、上述のオリフラ合わせ装置と、検査済みの半導体ウェハが検査結果に応じて振り分けられる４台の検査済用カセットとが配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平11-121579号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような技術分野において、小型化を実現することができる生産処理装置等の技術が求められている。【０００６】
以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、小型化を実現することができる生産処理装置等の技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本技術に係る生産処理装置は、第１のロボットアームと、複数の第１の傾斜テーブルとを具備する。
前記第１のロボットアームは、ワークを搬送可能である。
前記複数の第１の傾斜テーブルは、前記第１のロボットアームによって搬送された前記ワークを載置可能であり、前記第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に、水平面に対して所定の角度傾斜するように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される。【０００８】
この生産処理装置では、複数の第１の傾斜テーブルが、第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に水平面に対して所定の角度傾斜するように配置されている。従って、生産処理テーブルが水平面に対して平行に設けられる場合に比べて、生産処理装置の全体を小型化することができる。【０００９】
上記生産処理装置は、複数の第１の水平テーブルをさらに具備していてもよい。
前記複数の第１の水平テーブルは、前記第１のロボットアームによって搬送された前記ワークを載置可能であり、前記複数の第１の傾斜テーブルよりも前記第１のロボットアームに近い位置に、水平面に対して平行なように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される。【００１０】
この生産処理装置では、テーブルの数を増やしつつ、適切に生産処理装置の全体を小型化することができる。【００１１】
上記生産処理装置において、前記複数の第１の傾斜テーブルは、下側の縁部を有し、
前記下側の縁部は、前記複数の第１の水平テーブルよりも高い位置に配置されていてもよい。【００１２】
これにより、生産処理装置の全体を小型化しつつ、第１の傾斜テーブルの位置をロボットアームの可動範囲内に収めることができる。【００１３】
上記生産処理装置において、前記複数の第１の傾斜テーブルが水平面に対して傾斜する角度は、１５°以上４５°以下の範囲であってもよい。【００１４】
これにより、生産処理装置の全体を小型化しつつ、第１の傾斜テーブルに載置されるワークの安定性を保つことができる。【００１５】
上記生産処理装置において、前記複数の第１の傾斜テーブルは、前記ワークに対してそれぞれ異なる生産処理が施される複数の生産処理テーブルを含んでいてもよい。【００１６】
これにより、ワークに対して異なる種類の生産処理を施すことができる。【００１７】
上記生産処理装置は、前記複数の生産処理テーブルのうち、前記ワークに対する生産処理が終了した生産処理テーブルを搬送元とし、未処理の生産処理に対応する生産処理テーブルを搬送先として前記第１のロボットアームにより前記ワークを搬送させるように前記第１のロボットアームの駆動を制御する制御部をさらに具備していてもよい。【００１８】
上記生産処理装置において、前記複数の第１の傾斜テーブル及び前記複数の第１の水平テーブルは、前記ワークに対してそれぞれ異なる生産処理が施される複数の生産処理テーブルを含んでいてもよい。【００１９】
これにより、ワークに対して異なる種類の生産処理を施すことができる。【００２０】
上記生産処理装置において、前記複数の生産処理テーブルのうち、前記ワークに対する生産処理が終了した生産処理テーブルを搬送元とし、未処理の生産処理に対応する生産処理テーブルを搬送先として前記第１のロボットアームにより前記ワークを搬送させるように前記第１のロボットアームの駆動を制御する制御部をさらに具備していてもよい。【００２１】
上記生産処理装置は、第１の生産処理部と、第２の生産処理部とを具備していてもよい。
前記第１の生産処理部は、前記第１のロボットアームと、前記複数の第１の傾斜テーブルとを有する。
前記第２の生産処理部は、第２のロボットアームと、複数の第２の傾斜テーブルとを有する。
前記第２のロボットアームは、前記ワークを搬送可能である。
前記複数の第２の傾斜テーブルは、前記第２のロボットアームによって搬送された前記ワークを載置可能であり、前記第２のロボットアームを中心とした円周上の位置に、水平面に対して所定の角度傾斜するように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される。【００２２】
この生産処理装置では、２つの生産処理部によって効率よくワークに生産処理を施すことができる。【００２３】
上記生産処理装置において、前記第２の生産処理部は、複数の第２の水平テーブルをさらに有していてもよい。
前記複数の第２の水平テーブルは、前記ワークを載置可能であり、前記複数の第２の傾斜テーブルよりも前記第２のロボットアームに近い位置に、水平面に対して平行なように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される。【００２４】
この生産処理装置では、テーブルの数を増やしつつ、適切に生産処理装置の全体を小型化することができる。【００２５】
上記生産処理装置は、記憶部と、制御部とをさらに具備していてもよい。
前記制御部は、前記第１のロボットアームにより前記ワークが取り出される搬送元の情報と、前記第１のロボットアームにより前記ワークが載置される搬送先の情報とが関連付けられた第１の搬送パターンを、搬送条件が成立する度に前記記憶部に順次ストックし、
前記第２のロボットアームによりワークが取り出される搬送元の情報と、前記第２のロボットアームにより前記ワークが載置される搬送先の情報とが関連付けられた第２の搬送パターンを、搬送条件が成立する度に前記記憶部に順次ストックする。
また、前記制御部は、前記第１の搬送パターンにおける搬送元と前記第２の搬送パターンにおける搬送元とが同じであるか、又は、前記第１の搬送パターンにおける搬送先と前記第２の搬送パターンにおける搬送先とが同じである干渉が発生したかどうかを判断し、
前記干渉が発生した場合に、干渉に係る前記第１の搬送パターンでの搬送を前記第１のロボットアームにより実行させ、干渉に係る前記第２の搬送パターンを前記記憶部から消去して前記記憶部にストックされている他の第２の搬送パターンでの搬送を前記第２のロボットアームに実行させる。【００２６】
この生産処理装置では、上記干渉が発生した場合に、干渉に係る第１の搬送パターンでの搬送が第１のロボットアームにより実行される。一方、干渉に係る第２の搬送パターンが記憶部から消去されて、記憶部にストックされている他の第２の搬送パターンでの搬送が第２のロボットアームにより実行される。【００２７】
これにより、干渉が発生した場合に、第２のロボットアームは、第１のロボットアームにおけるワークの搬送動作の完了を待つことなく、次の搬送動作を実行することができ、結果として生産効率を向上させることができる。【００２８】
上記生産処理装置は、供給部と、排出部とをさらに具備していてもよい。
前記供給部は、前記第１の生産処理部及び前記第２の生産処理部に対して共通で前記ワークを供給する供給領域を有する。
前記排出部は、前記第１の生産処理部において生産処理が終了したワークと、前記第２の生産処理部において生産処理が終了したワークとが共通で排出される排出領域を有する。
この場合、前記制御部は、前記供給領域が前記第１の搬送パターン及び前記第２の搬送パターンにおいて共通で搬送元とされたとき、又は、前記排出領域が前記第１の搬送パターン及び前記第２の搬送パターンにおいて共通で搬送先とされたとき、前記干渉が発生したと判断する。【００２９】
この生産処理装置では、供給領域及び排出領域において干渉が発生するが、このような干渉が発生した場合に、第２のロボットアームは、第１のロボットアームにおけるワークの搬送動作の完了を待つことなく、次の搬送動作を実行することができる。【００３０】
上記生産処理装置において、前記制御部は、前記第１の搬送パターンが前記記憶部にストックされているかどうかを判断し、前記第１の搬送パターンが前記記憶部にストックされていない場合、実行可能な第１の搬送パターンが存在するかどうかの検索を実行し、実行可能な第１の搬送パターンが存在する場合、前記第１の搬送パターンを記憶部にストックして前記第１の搬送パターンでの搬送を前記第１のロボットアームにより実行させてもよい。【００３１】
これにより、実行可能な搬送パターンの見落としを防止することができる。【００３２】
上記生産処理装置において、前記制御部は、前記第２の搬送パターンが前記記憶部にストックされているかどうかを判断し、前記第２の搬送パターンが前記記憶部にストックされていない場合、実行可能な第２の搬送パターンが存在するかどうかの検索を実行し、実行可能な第２の搬送パターンが存在する場合、前記第２の搬送パターンを記憶部にストックして前記第２の搬送パターンでの搬送を前記第２のロボットアームにより実行させてもよい。【００３３】
これにより、実行可能な搬送パターンの見落としを防止することができる。【００３４】
本技術に係る生産処理方法は、第１のロボットアームによりワークを保持することを含む。
前記第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に水平面に対して所定の角度傾斜するように配置された複数の第１の傾斜テーブルのうち、いずれかの第１の傾斜テーブルに対して、前記第１のロボットアームにより保持された前記ワークが載置される。
前記第１の傾斜テーブルに載置された前記ワークに対して生産処理が施される。【００３５】
本技術に係るプログラムは、生産処理装置に、
第１のロボットアームによりワークを保持するステップと、
前記第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に水平面に対して所定の角度傾斜するように配置された複数の第１の傾斜テーブルのうち、いずれかの第１の傾斜テーブルに対して、前記第１のロボットアームにより保持された前記ワークを載置するステップと、
前記第１の傾斜テーブルに載置された前記ワークに対して生産処理を施すステップと
を実行させる。【００３６】
本技術に係るワークの製造方法は、第１のロボットアームによりワークを保持することを含む。
第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に水平面に対して所定の角度傾斜するように配置された複数の第１の傾斜テーブルのうち、いずれかの第１の傾斜テーブルに対して、前記第１のロボットアームにより保持された前記ワークが載置される。
前記第１の傾斜テーブルに載置された前記ワークに生産処理が施される。
【発明の効果】
【００３７】
以上のように、本技術によれば、小型化を実現することができる生産処理装置等の技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本実施形態に係る生産処理装置を示す斜視図である。
【図２】生産処理装置を上方からみた模式図である。
【図３】生産処理装置における２つの生産処理部のうち一方の生産処理部を上方から見た模式図である。
【図４】生産処理装置における２つの生産処理部のうち一方の生産処理部を側方から見た模式図である。
【図５】ワークの電的な構成を示すブロック図である。
【図６】基板調整テーブルを示す模式的な斜視図である。
【図７】基板調整テーブル上にワーク１が載置されたときの様子を示す電気的なブロック図である。
【図８】ディスクドライブ検査テーブルを示す模式的な斜視図である。
【図９】ディスクドライブ検査テーブル上にワークが載置されたときの様子を示す電気的なブロック図である。
【図１０】ＨＤＤエージング検査テーブルを示す模式的な斜視図である。
【図１１】ＨＤＤエージング検査テーブル上にワークが載置されたときの様子を示す電気的なブロック図である。
【図１２】生産処理装置の電気的な構成を示すブロック図である。
【図１３】生産処理装置における生産処理の基本的な動作を示すフローチャートである。
【図１４】ＰＬＣの記憶部に記憶される搬送パターンの一例を示す図である。
【図１５】ＰＬＣが第１のロボットアームを制御してワークの搬送を行うときの処理を示すフローチャートである。
【図１６】ＰＬＣが第２のロボットアームを制御してワークの搬送を行うときの処理を示すフローチャートである。
【図１７】第１の比較例に係る生産処理部を示す模式的な側面図である。
【図１８】第２の比較例に係る生産処理部を示す模式的な側面図である。
【図１９】第３の比較例に係る生産処理部を示す模式的な側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００４０】
〈生産処理装置１００の全体構成及び各部の構成〉
図１は、本実施形態に係る生産処理装置１００を示す斜視図である。図２は、生産処理装置１００を上方からみた模式図である。図３は、生産処理装置１００における２つの生産処理部１０のうち一方の生産処理部１０を上方から見た模式図である。図４は、生産処理装置１００における２つの生産処理部１０のうち一方の生産処理部１０を側方から見た模式図である。
【００４１】
これらの図に示すように、本実施形態に係る生産処理装置１００は、ワーク１を供給する供給コンベア２（供給部）と、ワーク１を排出する排出コンベア４（排出部）と、ワーク１に対して所定の生産処理を施す２つの生産処理部１０とを具備している。
【００４２】
ここで、本実施形態の説明では、生産処理装置１００における２つの生産処理部１０をそれぞれ区別する必要がある場合には、一方の生産処理部１０を第１の生産処理部１０Ａと呼び、他方の生産処理部１０を第２の生産処理部１０Ｂとを呼ぶ。
【００４３】
供給コンベア２及び排出コンベア４は、それぞれ一方向に長い形状を有しており、長さ方向に沿って直線上に並べるようにして配置されている。供給コンベア２は、供給コンベア２上に置かれたワーク１をその長さ方向に沿って間欠的に移動させて、長さ方向の一端部側に配置された供給領域３（図２の破線参照）にまでワーク１を移動させることが可能とされている。
【００４４】
供給領域３においては、第１の生産処理部１０Ａ及び第２の生産処理部１０Ｂに対して共通でワーク１が供給される。供給領域３には、供給領域３にワーク１が存在するどうかを検出するための光センサが設けられている。
【００４５】
排出コンベア４は、長さ方向の一端部側の位置に、第１の生産処理部１０Ａ及び第２の生産処理部１０Ｂにおいて生産処理が終了したワーク１が共通で排出される排出領域５（図２の破線参照）を有している。排出領域５には、排出領域５にワーク１が存在するどうかを検出するための光センサが設けられている。排出コンベア４は、排出領域５上に置かれたワーク１をその長さ方向に沿って間欠的に移動させて、ワーク１を排出口へ導くことが可能とされている。
【００４６】
排出コンベア４の他端部側の位置には、幅方向で排出コンベア４に並列するように不良品排出コンベア６が配置されている。不良品排出コンベア６は、生産処理の一工程であるワーク１の検査において不良品であると判断されたワーク１を不良品排出口に導くことが可能とされている。
【００４７】
第１の生産処理部１０Ａ及び第２の生産処理部１０Ｂは、供給コンベア２及び排出コンベア４を挟んで対称に形成されている。
【００４８】
生産処理部１０は、生産処理部１０の中央に配置されたロボットアーム４０と、ロボットアーム４０の周囲に配置された複数の水平テーブル２０と、ロボットアーム４０を中心とした円周上の位置に配置された複数の傾斜テーブル３０とを有している。
【００４９】
複数の水平テーブル２０は、複数の傾斜テーブル３０よりもロボットアーム４０に近い位置において、水平面に対して平行に配置されている。一方で、複数の傾斜テーブル３０は、複数の水平テーブル２０よりもロボットアーム４０から遠い位置において、水平面に対して所定の角度傾斜するように配置されている。
【００５０】
また、複数の傾斜テーブル３０は、複数の水平テーブル２０よりも一段高い位置に配置されている。具体的には、複数の傾斜テーブル３０における下側の縁部は、複数の水平テーブル２０よりも高い位置に配置されている。
【００５１】
本実施形態における生産処理部１０は、理解し易いように他のもので例えると、野球場やサッカースタジアムのような構造（２階建構造）を有している（水平テーブル２０がグラウンド、傾斜テーブル３０が観客席、グラウンドの中央の位置にロボットアーム４０）。
【００５２】
ロボットアーム４０は、その全体が垂直方向の軸回りにおいて正逆方向に回転可能に構成されている。また、ロボットアーム４０は、ロボットアーム４０の各部が水平方向の軸を回動の中心軸として回動可能なように構成されており、これにより、ロボットアーム４０は伸縮可能とされている。
【００５３】
ロボットアーム４０は、基部４１と、基部４１に対して水平方向の軸回りに回動可能な第１のアーム部４２と、第１のアーム部４２に対して水平方向の軸回りに回動可能な第２のアーム部４３と、第２のアーム部４３に対して水平方向の軸回りに回動可能なハンド部４４を有している。
【００５４】
ハンド部４４は、ワーク１を側方から挟み込む第１のクランプ機構と、第１のクランプ機構がワーク１を挟み込む方向と直交する方向でワーク１を側方から挟み込む第２のクランプ機構とを有している。ハンド部４４は、第１のクランプ機構及び第２のクランプ機構によってそれぞれ直交する方向でワーク１を側方から挟み込むことで、ワーク１を安定して保持することができる。
【００５５】
本実施形態では、水平テーブル２０の数は、８台とされており、傾斜テーブル３０の数も８台とされている。但し、水平テーブル２０、傾斜テーブル３０の数については特に制限はなく、適宜変更することができる。
【００５６】
本実施形態では、８台の水平テーブル２０は、主にワーク１に搭載されている基板を調整する基板調整テーブル（生産処理テーブル）２０とされている。また、本実施形態では、８台の傾斜テーブル３０のうち２台の傾斜テーブル３０は、主にワーク１に搭載されているディスクドライブ（光学ドライブ）５６の検査を行うためのディスクドライブ検査テーブル（生産処理テーブル）３０Ａとされており、８台の傾斜テーブル３０のうち６台の傾斜テーブル３０は、主にＨＤＤ（Hard Disk Drive）５５のエージング検査を行うＨＤＤエージング検査テーブル（生産処理テーブル）３０Ｂとされている。
【００５７】
各テーブル２０、３０の台数は、各テーブル２０、３０におけるワーク１の処理時間に応じて設定されている。具体的には、処理時間が長く掛かるテーブル２０、３０は、その台数が相対的に多く設定されており、処理時間が短いテーブル２０、３０は、その台数が相対的に少なく設定されている。
【００５８】
すなわち、本実施形態では、各テーブル２０、３０でのワーク１の処理時間は、基板調整テーブル２０における処理時間＜ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂにおける処理時間＜ディスクドライブ検査テーブル３０Ａにおける処理時間とされている。
【００５９】
また、本実施形態では、ワーク１が各テーブル２０、３０を通過する順番は、基板調整テーブル２０→ディスクドライブ検査テーブル３０Ａ→ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂの順番に決められており、ロボットアーム４０によるワーク１の搬送もその順番によって行われる。
【００６０】
ここで、本実施形態の説明では、第１の生産処理部１０Ａにおけるロボットアーム４０と、第２の生産処理部１０Ｂにおけるロボットアーム４０とをそれぞれ区別する必要がある場合には、第１の生産処理部１０Ａにおけるロボットアーム４０を第１のロボットアーム４０Ａと呼び、第２の生産処理部１０Ｂにおけるロボットアーム４０を第２のロボットアーム４０Ｂと呼ぶ。なお、これは、各テーブル２０、３０においても同様である。
【００６１】
図５は、ワーク１の電気的な構成を示すブロック図である。なお、本実施形態に係る生産処理装置１００において生産処理が施されるワーク１は、テレビジョン装置やインターネットに接続されて使用される備付型のゲーム機（製造段階）とされている。このワーク１は、厚さが薄い直方体形状の筐体を有している。
【００６２】
図５に示すように、本実施形態にワーク１は、ＣＰＵ５１（Central Processing Unit）、ＣＰＵ５１に接続されたチップセット５２、並びに、チップセット５２に接続されたメインメモリ５３（例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory））及びＩ／Ｏブリッジ５４（Ｉ／Ｏ：Input/output）を有している。また、ワーク１は、Ｉ／Ｏブリッジ５４に接続されたＨＤＤ５５及びディスクドライブ（光学ドライブ）５６を有している。
【００６３】
また、ワーク１は、Ｉ／Ｏブリッジ５４に接続された、レセプタクル側の電源端子５７、レセプタクル側のＡＵＸ端子５８（ＡＵＸ：Auxiliary）、レセプタクル側のＬＡＮ端子５９（ＬＡＮ：Local Area Network）、レセプタクル側のＨＤＭＩ端子６０（ＨＤＭＩ（登録商標）：High-Definition Multimedia Interface）を有している。さらに、ワーク１は、検査用端子６１、及びレセプタクル側のＵＳＢ端子６２（ＵＳＢ：Universal Serial Bus）を有している。
【００６４】
なお、ワーク１におけるこれらの各部のうち、ＣＰＵ５１、チップセット５２、メインメモリ５３、Ｉ／Ｏブリッジ５４、検査用端子６１が基板上に搭載されている。ここで、レセプタクル側の電源端子５７、レセプタクル側のＡＵＸ端子５８、レセプタクル側のＬＡＮ端子５９、レセプタクル側のＨＤＭＩ端子６０は、筐体の一方の側面から露出するように設けられている。一方、レセプタクル側のＵＳＢ端子６２は、筐体の他方の側面から露出するように設けられている。また、検査用端子６１は、筐体の下面から露出するように設けられている。
【００６５】
図６は、基板調整テーブル２０を示す模式的な斜視図である。図７は、基板調整テーブル２０上にワーク１が載置されたときの様子を示す電気的なブロック図である。
【００６６】
基板調整テーブル２０は、テーブル２１と、テーブル２１上に立設された３つの壁部２３と、電源プラグ２４Ａと、ＬＡＮプラグ２４Ｂと、電源プラグ２４Ａを保持する第１の保持体２５Ａと、ＬＡＮプラグ２４Ｂを保持する第２の保持体２５Ｂとを有している。また、基板調整テーブル２０は、第１の保持体２５Ａをテーブル２１の長手方向に沿って移動させる第１の水平移動機構２６Ａと、第２の保持体２５Ｂをテーブルの長手方向に沿って移動させる第２の水平移動機構２６Ｂとを有している。
【００６７】
また、基板調整テーブル２０は、テーブル２１の下側に配置されたピン治具２７と、ピン治具２７を上下方向に移動させる垂直移動機構２９を有している。
【００６８】
テーブル２１は、矩形の板状の部材であり、ワーク１を載置することができる程度の大きさとされている。このテーブル２１の中央近傍の位置には、ピン治具２７を上下方向に移動させるための開口２２が設けられている。
【００６９】
テーブル２１上に設けられた３つの壁部２３は、テーブル２１上の適切な位置にワーク１を載置することができるようにその位置が設定されている。これらの３つの壁部２３のうち、互いに対向する２つの壁部２３は、互いに近づく方向及び遠ざかる方向に移動可能に構成されていてもよい。
【００７０】
電源プラグ２４Ａは、ワーク１に搭載されたレセプタクル側の電源端子５７と接続されるプラグ側の電源端子２４ａを有しており、ＡＣ電源６５（商用電源）（ＡＣ：Alternating Current）に接続されている。また、ＬＡＮプラグ２４Ｂは、ワーク１に搭載されたレセプタクル側のＬＡＮ端子５９と接続されるプラグ側のＬＡＮ端子２４ｂを有しており、検査制御ＰＣ６６（Personal Computer）に接続されている。
【００７１】
第１の水平移動機構２６Ａは、電源プラグ２４Ａを保持する第１の保持体２５Ａをテーブル２１の長手方向に沿って移動させることで、電源プラグ２４Ａを待機位置と接続位置との間で移動させる。同様に、第２の水平移動機構２６Ｂは、ＬＡＮプラグ２４Ｂを保持する第２の保持体２５Ｂをテーブル２１の長手方向に沿って移動させることで、ＬＡＮプラグ２４Ｂを待機位置と接続位置との間で移動させる。
【００７２】
ピン治具２７は、ワーク１に設けられた検査用端子６１に接続される複数のピン２８を有しており、検査制御ＰＣ６６に接続されている。垂直移動機構２９は、ピン治具２７を上下方向に移動させることで、ピン治具２７を待機位置と接続位置との間で移動させる。
【００７３】
検査制御ＰＣ６６は、少なくとも制御部（例えば、ＣＰＵ）と、記憶部と、通信部とを具備する。記憶部は、制御部の作業領域として用いられる揮発性のメモリ（例えば、ＲＡＭ）と、各種のプログラムが固定的に記憶される不揮発性のメモリ（例えば、ＲＯＭ（Read Only memory））とを含む。
【００７４】
図８は、ディスクドライブ検査テーブル３０Ａを示す模式的な斜視図である。図９は、ディスクドライブ検査テーブル３０Ａ上にワーク１が載置されたときの様子を示す電気的なブロック図である。
【００７５】
ディスクドライブ検査テーブル３０Ａは、テーブル３１と、テーブル３１上に立設された３つの壁部３２と、電源プラグ３３Ａと、ＬＡＮプラグ３３Ｂと、ＡＵＸプラグ３３Ｃと、ＨＤＭＩプラグ３３Ｄと、ＵＳＢプラグ３３Ｅとを有している。また、ディスクドライブ検査テーブル３０Ａは、電源プラグ３３Ａを保持する第１の保持体３４Ａと、ＬＡＮプラグ３３Ｂ、ＡＵＸプラグ３３Ｃ、ＨＤＭＩプラグ３３Ｄを保持する第２の保持体３４Ｂと、ＵＳＢプラグ３３Ｅを保持する第３の保持体３４Ｃを有している。
【００７６】
また、ディスクドライブ検査テーブル３０Ａは、第１の保持体３４Ａをテーブルの長手方向に沿って移動させる第１の水平移動機構３５Ａと、第２の保持体３４Ｂをテーブルの長手方向に沿って移動させる第２の水平移動機構３５Ｂと、第３の保持体３４Ｃをテーブルの長手方向に沿って移動させる第３の水平移動機構３５Ｃとを有している。
【００７７】
テーブル３１は、矩形の板状の部材であり、ワーク１を載置することができる程度の大きさとされている。テーブル３１上に設けられた３つの壁部３２は、テーブル３１上の適切な位置にワーク１を載置することができるようにその位置が設定されている。これらの３つの壁部３２のうち、互いに対向する２つの壁部３２は、互いに近づく方向及び遠ざかる方向に移動可能に構成されていてもよい。
【００７８】
電源プラグ３３Ａは、ワーク１に搭載されたレセプタクル側の電源端子５７と接続されるプラグ側の電源端子３３ａを有しており、ＡＣ電源６５に接続されている。ＡＵＸプラグ３３Ｂは、ワーク１に搭載されたレセプタクル側のＡＵＸ端子５８と接続されるプラグ側のＡＵＸ端子３３ｂを有しており、カメラ６７に接続されている。
【００７９】
また、ＬＡＮプラグ３３Ｃは、ワーク１に搭載されたレセプタクル側のＬＡＮ端子５９と接続されるプラグ側のＬＡＮ端子３３ｃを有しており、検査制御ＰＣ６６に接続されている。同様に、ＨＤＭＩプラグ３３Ｄは、ワーク１に搭載されたレセプタクル側のＨＤＭＩ端子６０と接続されるプラグ側のＨＤＭＩ端子３３ｄを有しており、検査制御ＰＣ６６に接続されている。
【００８０】
ＵＳＢプラグ３３Ｅは、ワーク１に搭載されたレセプタクル側のＵＳＢ端子６２と接続されるプラグ側のＵＳＢ端子３３ｅを有しており、ＵＳＢマスストレージデバイス６８に接続されている。ＵＳＢプラグ３３Ｅは、ＵＳＢ３．０規格に基づくＵＳＢプラグとされている。なお、ＵＳＢマスストレージデバイス６８には、ディスクドライブ５６の検査用のプログラムが記憶されている。
【００８１】
第１の水平移動機構３５Ａは、電源プラグ３３Ａを保持する第１の保持体３４Ａをテーブル３１の長手方向に沿って移動させることで、電源プラグ３３Ａを待機位置と接続位置との間で移動させる。また、第２の水平移動機構３５Ｂは、ＡＵＸプラグ３３Ｂ、ＬＡＮプラグ３３Ｃ、ＨＤＭＩプラグ３３Ｄを保持する第２の保持体３４Ｂをテーブル３１の長手方向に沿って移動させることで、ＡＵＸプラグ３３Ｂ、ＬＡＮプラグ３３Ｃ、ＨＤＭＩプラグ３３Ｄを待機位置と接続位置との間で移動させる。同様に、第３の水平移動機構３５Ｃは、ＵＳＢプラグ３３Ｅを保持する第３の保持体３４Ｃをテーブル３１の長手方向に沿って移動させることで、ＵＳＢプラグ３３Ｅを待機位置と接続位置との間で移動させる。
【００８２】
図１０は、ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂを示す模式的な斜視図である。図１１は、ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂ上にワーク１が載置されたときの様子を示す電気的なブロック図である。
【００８３】
ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂは、テーブル７１と、テーブル７１上に立設された３つの壁部７２と、電源プラグ７３Ａと、ＬＡＮプラグ７３Ｂと、ＵＳＢプラグ７３Ｃとを有している。また、ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂは、電源プラグ７３Ａを保持する第１の保持体７４Ａと、ＬＡＮプラグ７３Ｂを保持する第２の保持体７４Ｂと、ＵＳＢプラグ７３Ｂを保持する第３の保持体７４Ｃを有している。
【００８４】
また、ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂは、第１の保持体７４Ａをテーブル７１の長手方向に沿って移動させる第１の水平移動機構７５Ａと、第２の保持体７４Ｂをテーブル７１の長手方向に沿って移動させる第２の水平移動機構７５Ｂと、第３の保持体７４Ｃをテーブル７１の長手方向に沿って移動させる第３の水平移動機構７５Ｃとを有している。
【００８５】
テーブル７１は、矩形の板状の部材であり、ワーク１を載置することができる程度の大きさとされている。テーブル７１上に設けられた３つの壁部７２は、テーブル７１上の適切な位置にワーク１を載置することができるようにその位置が設定されている。これらの３つの壁部７２のうち、互いに対向する２つの壁部７２は、互いに近づく方向及び遠ざかる方向に移動可能に構成されていてもよい。
【００８６】
電源プラグ７３Ａは、ワーク１に搭載されたレセプタクル側の電源端子５７と接続されるプラグ側の電源端子７３ａを有しており、ＡＣ電源６５に接続されている。また、ＬＡＮプラグ７３Ｂは、ワーク１に搭載されたレセプタクル側のＬＡＮ端子５９と接続されるプラグ側のＬＡＮ端子７３ｂを有しており、検査制御ＰＣ６６に接続されている。
【００８７】
ＵＳＢプラグ７３Ｃは、ワーク１に搭載されたＵＳＢ端子６２と接続されるプラグ側のＵＳＢ端子７３ｃを有しており、ＵＳＢマスストレージデバイス８０に接続されている。ここで、ＵＳＢプラグ７３Ｃは、ＵＳＢ２．０規格に基づくＵＳＢプラグとされている。なお、ＵＳＢマスストレージデバイス８０には、ＨＤＤ５５のエージング検査用のプログラムが記憶されている。
【００８８】
第１の水平移動機構７５Ａは、電源プラグ７３Ａを保持する第１の保持体７４Ａをテーブル７１の長手方向に沿って移動させることで、電源プラグ７３Ａを待機位置と接続位置との間で移動させる。また、第２の水平移動機構７５Ｂは、ＬＡＮプラグ７３Ｂを保持する第２の保持体７４Ｂをテーブル７１の長手方向に沿って移動させることで、ＬＡＮプラグ７３Ｂを待機位置と接続位置との間で移動させる。同様に、第３の水平移動機構７５Ｃは、ＵＳＢプラグ７３Ｃを保持する第３の保持体７４Ｃをテーブル７１の長手方向に沿って移動させることで、ＵＳＢプラグ７３Ｃを待機位置と接続位置との間で移動させる。
【００８９】
図１２は、生産処理装置１００の電気的な構成を示すブロック図である。図１２に示すように、本実施形態に係る生産処理装置１００は、上述の供給コンベア２、排出コンベア４、第１のロボットアーム４０Ａ、第２のロボットアーム４０Ｂ、各テーブル２０、３０、及び検査制御ＰＣ６６に加えて、さらに、生産処理装置１００の各部を統括的に制御するＰＬＣ８２（Programmable logic controller）を備えている。
【００９０】
ＰＬＣ８２は、少なくとも制御部（例えば、ＣＰＵ）と、記憶部と、通信部とを具備している。記憶部は、制御部の作業領域として用いられる揮発性のメモリ（例えば、ＲＡＭ）と、各種のプログラムが固定的に記憶される不揮発性のメモリ（例えば、ＲＯＭ）とを含む。
【００９１】
〈動作説明〉
「基本的な動作」
次に、生産処理装置１００の動作について説明する。まず、生産処理装置１００における生産処理の基本的な動作について説明する。図１３は、これを説明するための図である。
【００９２】
まず、ＰＬＣ８２（ＰＬＣ８２の制御部）は、供給コンベア２を制御して、供給コンベア２上に置かれたワーク１を間欠的に送り出し、供給コンベア２の一端側に設定されている供給領域３にワーク１を移動させる（ステップ１０１）。
【００９３】
次に、ＰＬＣ８２は、ロボットアーム４０を制御して、供給領域３上のワーク１を基板調整テーブル２０まで搬送して、ワーク１を基板調整テーブル２０上に載置する（ステップ１０２）。
【００９４】
次に、ＰＬＣ８２は、垂直移動機構２９を制御して、基板調整テーブル２０のピン治具２７を待機位置から接続位置へと移動させる（上方へ移動させる）。これにより、検査用端子６１と、ピン治具２７のピン２８とが接続される。
【００９５】
また、このとき、ＰＬＣ８２は、基板調整テーブル２０の第１の水平移動機構２６Ａ及び第２の水平移動機構２６Ｂを制御して、電源プラグ２４Ａ及びＬＡＮプラグ２４Ｂを待機位置から接続位置に移動させる。これにより各電源端子５７、２５ａが接続され、各ＬＡＮ端子５９、２５ｂが接続される。
【００９６】
次に、ワーク１に搭載された基板を調整する処理が実行される（ステップ１０３）。この基板調整処理では、まず、検査制御ＰＣ６６は、検査用端子６１とピン治具２７との接続を介してワーク１との間でシリアル通信を行い、ワーク１に対してシステムソフトウェアを書き込む作業を実行する。また、検査制御ＰＣ６６は、各ＬＡＮ端子５９、２５ｂの接続によってワーク１に対して検査用プログラムを書き込む処理を実行する。ワーク１に対して検査用プログラムが書き込まれると、ＣＰＵ５１及びメインメモリ５３のテストが行われる。
【００９７】
基板調整処理が終了すると、次に、検査制御ＰＣ６６は、ワーク１に搭載されている各種デバイスに対してデバイスＩＤを書き込む処理を実行する（ステップ１０４）。
【００９８】
デバイスＩＤの書き込み処理が終了すると、次に、ＰＬＣ８２は、垂直移動機構２９を制御して、基板調整テーブル２０のピン治具２７を接続位置から待機位置へと移動させる（下方へ移動させる）。これにより、検査用端子６１と、ピン治具２７のピン２８との接続状態が解除される。
【００９９】
また、このとき、ＰＬＣ８２は、基板調整テーブル２０の第１の水平移動機構２６Ａ及び第２の水平移動機構２６Ｂを制御して、電源プラグ２４Ａ及びＬＡＮプラグ２４Ｂを接続位置から待機位置に移動させる。これにより、各電源端子５７、２５ａ及び各ＬＡＮ端子５９、２５ｂの接続状態が解除される。
【０１００】
次に、ＰＬＣ８２は、ロボットアーム４０を制御して、基板調整テーブル２０上のワーク１をディスクドライブ検査テーブル３０Ａまで搬送して、ワーク１をディスクドライブ検査テーブル３０Ａ上に載置する（ステップ１０５）。
【０１０１】
次に、ＰＬＣ８２は、ディスクドライブ検査テーブル３０Ａの第１の水平移動機構３５Ａ、第２の水平移動機構３５Ｂ及び第３の水平移動機構３５Ｃを制御して、電源プラグ３３Ａ、ＡＵＸプラグ３３Ｂ、ＬＡＮプラグ３３Ｃ、ＨＤＭＩプラグ３３Ｄ及びＵＳＢプラグ３３Ｅを待機位置から接続位置に移動させる。これにより、各電源端子５７、３３ａ、各ＡＵＸ端子５８、３３ｂ、各ＬＡＮ端子５９、３３ｃ、各ＨＤＭＩ端子６０、３３ｄ及び各ＵＳＢ端子６２、３３ｅがそれぞれ接続される。
【０１０２】
各ＵＳＢ端子６２、３３ｅが接続されると、ＵＳＢマスストレージデバイス６８に記憶されているディスクドライブ５６の検査プログラムがワーク１に読み出され、ワーク１においてディスクドライブ５６の検査プログラムが実行される（ステップ１０６）。
【０１０３】
また、各ＬＡＮ端子５９、３３ｃが接続されると、検査制御ＰＣ６６は、各ＬＡＮ端子５９、３３ｃの接続を介してワーク１に対して、ＯＰＩＤ、セットＩＤ（ワーク１固有のＩＤ）、ワーク１の個別情報などをワーク１に対して書き込む処理を実行する（ステップ１０７）。また、検査制御ＰＣ６６は、各ＡＵＸ端子５８、３３ｂ、各ＬＡＮ端子５９、３３ｃ、各ＨＤＭＩ端子６０、３３ｄ、各ＵＳＢ端子６２、３３ｅが接続されると、これらの各インターフェースの入出力に関する検査を実行する。
【０１０４】
ディスクドライブ検査テーブル３０Ａでの処理が終了すると、ＰＬＣ８２は、ディスクドライブ検査テーブル３０Ａの第１の水平移動機構３５Ａ、第２の水平移動機構３５Ｂ及び第３の水平移動機構３５Ｃを制御して、電源プラグ３３Ａ、ＡＵＸプラグ３３Ｂ、ＬＡＮプラグ３３Ｃ、ＨＤＭＩプラグ３３Ｄ及びＵＳＢプラグ３３Ｅを接続位置から待機位置に移動させる。これにより各電源端子５７、３３ａ、各ＡＵＸ端子５８、３３ｂ、各ＬＡＮ端子５９、３３ｃ、各ＨＤＭＩ端子６０、３３ｄ及び各ＵＳＢ端子６２、３３ｅの接続状態が解除される。
【０１０５】
次に、ＰＬＣ８２は、ロボットアーム４０を制御して、ディスクドライブ検査テーブル３０Ａ上のワーク１をＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂまで搬送して、ワーク１をＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂ上に載置する（ステップ１０８）。
【０１０６】
次に、ＰＬＣ８２は、ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂの第１の水平移動機構７５Ａ、第２の水平移動機構７５Ｂ及び第３の水平移動機構７５Ｃを制御して、電源プラグ７３Ａ、ＬＡＮプラグ７３Ｂ及びＵＳＢプラグ７３Ｃを待機位置から接続位置に移動させる。これにより、各電源端子５７、７３ａ、各ＬＡＮ端子５９、７３ｂ及び各ＵＳＢ端子６２、７３ｃがそれぞれ接続される。
【０１０７】
各ＵＳＢ端子６２、７３ｃが接続されると、ＵＳＢマスストレージデバイス８０に記憶されているＨＤＤ５５のエージング検査プログラムがワーク１に読み出される。そして、検査制御ＰＣ６６は、各ＬＡＮ端子５９、７３ｂの接続を介して、ＨＤＤ５５のエージング検査を実行する（ステップ１０９）。また、検査制御ＰＣ６６は、各ＬＡＮ端子５９、７３ｂの接続を介して、製品用プログラム（出荷段階）をワーク１に対して書き込む処理を実行する（ステップ１１０）。
【０１０８】
ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂでの処理が終了すると、ＰＬＣ８２は、第１の水平移動機構７５Ａ、第２の水平移動機構７５Ｂ及び第３の水平移動機構７５Ｃを制御して、７３Ａ、ＬＡＮプラグ７３Ｂ及びＵＳＢプラグ７３Ｃを接続位置から待機位置に移動させる。これにより各電源端子５７、７３ａ、各ＬＡＮ端子５９、７３ｂ、各ＵＳＢ端子６２、７３ｂの接続状態が解除される。
【０１０９】
次に、ＰＬＣ８２は、ロボットアーム４０を制御して、ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂ上のワーク１を排出コンベア４の排出領域５まで搬送して、ワーク１を排出領域５上に載置する。次に、ＰＬＣ８２は、排出コンベア４を制御して、排出コンベア４上に置かれたワーク１を間欠的に送り出し、ワーク１を排出口へと導く（ステップ１１１）。なお、検査において不良と判断されたワーク１は、不良品排出コンベア４により不良品排出口へと導かれる。
【０１１０】
「ロボットアーム４０の待機時間を減らすための動作」
ここで、例えば、第１の生産処理部１０Ａのいずれかの基板調整テーブル２０がワーク１を受け入れ可能な状態にあり、かつ、第２の生産処理部１０Ｂのいずれかの基板調整テーブル２０がワーク１を受け入れ可能な状態にあるとする。このとき、供給コンベア２の駆動によってワーク１が供給コンベア２の供給領域３に搬送されたとする。
【０１１１】
このような場合、第１のロボットアーム４０Ａが供給域上に載置されたワーク１を取り出して基板調整テーブル２０上に載置することができるといった状況と、第２のロボットアーム４０Ｂが供給領域３上に載置されたワーク１を取り出して基板調整テーブル２０上に載置することができるといった状況とが同時に成立することになる。
【０１１２】
また、例えば、第１の生産処理部１０ＡのいずれかのＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂからワーク１を取り出し可能な状態であり、かつ、第２の生産処理部１０ＢのいずれかのＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂからワーク１を取り出し可能な状態であるとする。このとき、排出コンベア４の駆動によって排出コンベア４上の排出領域５がワーク１を受け入れ可能な状態になったとする。
【０１１３】
この場合、第１のロボットアーム４０ＡがＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂからワーク１を取り出して排出領域５上に載置することができるといった状況と、第２のロボットアーム４０ＢがＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂからワーク１を取り出して排出領域５上に載置することができるといった状況とが同時に成立することになる。
【０１１４】
これらのケースでは、２つのロボットアーム４０のうち、一方のロボットアーム４０においてワーク１の搬送を実行させて、他方のロボットアーム４０を待ち状態としてしまうと、他方のロボットに待ち時間が発生することになり、生産効率が落ちてしまうことになる。
【０１１５】
そこで、本実施形態に係る生産処理装置１００は、このような待ち時間を減らすための処理を実行する。以降では、この処理について説明する。
【０１１６】
図１４は、ＰＬＣ８２の記憶部に記憶される搬送パターンの一例を示す図である。図１４の上側には、第１のロボットアーム４０Ａの搬送パターンである第１の搬送パターンが示されている。一方、図１４の下側には、第２のロボットアーム４０Ｂの搬送パターンである第２の搬送パターンが示されている。
【０１１７】
図１４に示すように、搬送パターンは、搬送元番号と、搬送先番号とを含む。本実施形態では、搬送元番号、搬送先番号として、第１の生産処理部１０Ａにおける８台の基板調整テーブル２０に対して、１〜８番の番号が割り当てられており、２台のディスクドライブ検査テーブル３０Ａに対して９〜１０番の番号が割り当てられている。また、６台のＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂに対して１１番〜１６番の番号が割り当てられている。
【０１１８】
同様に、搬送元番号、搬送先番号として、第２の生産処理部１０Ｂにおける８台の基板調整テーブル２０に対して、１０１〜１０８番の番号が割り当てられており、２台のディスクドライブ検査テーブル３０Ａに対して１０９〜１１０番の番号が割り当てられている。また、６台のＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂに対して１１１番〜１１６番の番号が割り当てられている。
【０１１９】
なお、供給コンベア２の供給領域３に対しては１７番の番号が割り当てられており、排出コンベア４の排出領域５に対しては１８番の番号が割り当てられている。
【０１２０】
ＰＬＣ８２は、ワーク１の搬送条件が成立する度に、成立した搬送パターンを上側から順番にＰＬＣ８２内の記憶部にストックするといった処理を実行する。なお、ＰＬＣ８２は、図１４に示すように、第１の搬送パターンと、第２の搬送パターンとをそれぞれ別々に記憶する。
【０１２１】
図１４の上側に示す例では、第１の搬送パターンとして３つの搬送パターンがストックされている様子が示されている。３つの搬送パターンのうち、一番上の搬送パターンは、３番に対応する基板調整テーブル２０を搬送元とし９番に対応するディスクドライブ検査テーブル３０Ａを搬送先とする搬送パターンである。また、上から２番目の搬送パターンは、１７番に対応する供給領域３を搬送元とし、１番に対応する基板調整テーブル２０を搬送先とする搬送パターンであり、上から３番目の搬送パターンは、１０番に対応するディスクドライブ検査テーブル３０Ａを搬送元として、１３番に対応するＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂを搬送先とする搬送パターンである。
【０１２２】
また、図１４の下側に示す例では、第２の搬送パターンとして２つの搬送パターンがストックされている様子が示されている。２つの搬送パターンのうち、一番上の搬送パターンは、１０８番に対応する基板調整テーブル２０を搬送元とし１０９番に対応するディスクドライブ検査テーブル３０Ａを搬送先とする搬送パターンである。また、上から２番目の搬送パターンは、１１６番に対応するＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂを搬送元とし、１８番に対応する排出領域５を搬送先とする搬送パターンである。
【０１２３】
ここで、ワーク１の搬送条件が成立する場合について説明する。
(１)供給領域３にワーク１が存在し、かつ、基板調整テーブル２０がワーク１を受け入れ可能な状態である。なお、基板調整テーブル２０においてワーク１を受け入れ可能な状態とは、ワーク１が基板調整テーブル２０上になく、かつ、電源プラグ２４Ａ、ＬＡＮプラグ２４Ｂ、ピン治具２７が待機位置に位置している状態である。
【０１２４】
(２) 基板調整テーブル２０からワーク１を取り出し可能な状態であり、かつ、ディスクドライブ検査テーブル３０Ａがワーク１を受け入れ可能な状態である。なお、基板調整テーブル２０においてワーク１を取り出し可能な状態とは、ワーク１が基板調整テーブル２０上にあり、ワーク１に対する処理が終了しており、かつ、電源プラグ２４Ａ、ＬＡＮプラグ２４Ｂ、ピン治具２７が待機位置に位置している状態である。また、ディスクドライブ検査テーブル３０Ａがワーク１を受け入れ可能な状態とは、ワーク１が基板調整テーブル２０上になく、かつ、電源プラグ３３Ａ、ＡＵＸプラグ３３Ｂ、ＬＡＮプラグ３３Ｃ、ＨＤＭＩプラグ３３Ｄ、ＵＳＢプラグ３３Ｅが待機位置に位置している状態である。
【０１２５】
(３) ディスクドライブ検査テーブル３０Ａからワーク１を取り出し可能な状態であり、かつ、ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂがワーク１を受け入れ可能な状態である。なお、ディスクドライブ検査テーブル３０Ａにおいてワーク１を取り出し可能な状態とは、ワーク１がディスクドライブ検査テーブル３０Ａ上にあり、ワーク１に対する処理が終了しており、かつ、電源プラグ３３Ａ、ＡＵＸプラグ３３Ｂ、ＬＡＮプラグ３３Ｃ、ＨＤＭＩプラグ３３Ｄ及びＵＳＢプラグ３３Ｅが待機位置に位置している状態である。また、ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂがワーク１を受け入れ可能な状態とは、ワーク１がＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂ上になく、かつ、電源プラグ７３Ａ、ＬＡＮプラグ７３Ｂ、ＵＳＢプラグ７３Ｃが待機位置に位置している状態である。
【０１２６】
(４) ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂからワーク１を取り出し可能な状態であり、かつ、排出コンベア４の排出領域５上にワーク１が存在しない。なお、ＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂにおいてワーク１を取り出し可能な状態とは、ワーク１がＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂ上にあり、ワーク１に対する処理が終了しており、かつ、電源プラグ７３Ａ、ＬＡＮプラグ７３Ｂ、ＵＳＢプラグ７３Ｃが待機位置に位置している状態である。
【０１２７】
なお、同じ生産処理部１０において搬送先となり得るテーブル２０、３０が複数存在する場合には、いずれかのテーブルが搬送先として選択される。一例を挙げて具体的に説明すると、上記（１）において、供給領域３にワーク１が存在し、かつ、ワーク１を受け入れ可能な基板調整テーブル２０が同じ生産処理部１０において複数存在する場合には、これらの基板調整テーブル２０のうち、いずれかの基板調整テーブル２０が搬送先として選択される。
【０１２８】
また、同じ生産処理部１０において搬送元となり得るテーブルが複数存在する場合には、いずれかのテーブルが搬送先として選択される。一例を挙げて具体的に説明すると、上記（４）において、排出コンベア４の排出領域５上にワーク１が存在せず、かつ、ワーク１を取り出し可能なＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂが同じ生産処理部１０において複数存在する場合には、これらのＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂのうち、いずれかのＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂが搬送元として選択される。
【０１２９】
ここで、上記（１）において、供給領域３にワーク１が存在し、かつ、ワーク１を受け入れ可能な基板調整テーブル２０が異なる生産処理部１０においてそれぞれ存在する場合を想定する。この場合、供給領域３が搬送元となり、第１の生産処理部１０Ａにおける基板調整テーブル２０が搬送先となる第１の搬送パターンがＰＬＣ８２内の記憶部に記憶される。これに加えて、さらに、供給領域３が搬送元となり、第２の生産処理部１０Ｂにおける基板調整テーブル２０が搬送先となる第２の搬送パターンがＰＬＣ８２内の記憶部に記憶される。
【０１３０】
また、上記（４）において、排出コンベア４の排出領域５上にワーク１が存在せず、かつ、ワーク１を取り出し可能なＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂが異なる生産処理部１０においてそれぞれ存在する場合を想定する。この場合、第１の生産処理部１０ＡにおけるＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂが搬送元となり、排出領域５が搬送先となる第１の搬送パターンがＰＬＣ８２内の記憶部に記憶される。これに加えて、さらに、第２の生産処理部１０ＢにおけるＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂが搬送元となり、排出領域５が搬送先となる第２の搬送パターンがＰＬＣ８２内の記憶部に記憶される。
【０１３１】
次に、ＰＬＣ８２が各ロボットアーム４０を制御するときの動作について説明する。図１５は、ＰＬＣ８２が第１のロボットアーム４０Ａを制御してワーク１の搬送を行うときの処理を示すフローチャートである。図１６は、ＰＬＣ８２が第２のロボットアーム４０Ｂを制御してワーク１の搬送を行うときの処理を示すフローチャートである。
【０１３２】
まず、図１５を参照して、ＰＬＣ８２が第１のロボットアーム４０Ａを制御してワーク１の搬送を行うときの処理について説明する。
【０１３３】
図１５に示すように、まず、ＰＬＣ８２（ＰＬＣ８２の制御部）は、ＰＬＣ８２の記憶部内に記憶されている第１の搬送パターン（図１４上側参照）を確認する（ステップ２０１）。次に、ＰＬＣ８２は、第１の搬送パターンのストック数が０であるかどうかを判定する（ステップ２０２）。
【０１３４】
第１の搬送パターンのストック数が０である場合（ステップ２０２のＹＥＳ）、ＰＬＣ８２は、現在において実行可能な第１の搬送パターンを検索する処理を実行する（ステップ２０３）。具体的には、ＰＬＣ８２は、上述の（１）〜（４）の搬送条件を満たす第１の搬送パターンが存在するかどうかを検索する処理を実行する。このような処理により、現在において実行可能な第１の搬送パターンを見落としてしまうことを防止することができる。
【０１３５】
ＰＬＣ８２は、第１の搬送パターンを検索する処理を実行すると、再びステップ２０１へ戻り、ＰＬＣ８２の記憶部内に記憶されている第１の搬送パターンを確認する。
【０１３６】
ステップ２０２において、ＰＬＣ８２の記憶部内に第１の搬送パターンがストックされている場合（ステップ２０２のＮＯ）、ＰＬＣ８２は、一番上の第１の搬送パターンを記憶部から読み込む。そして、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａに対して、その第１の搬送パターンでの搬送指示を出し、第１のロボットアーム４０Ａでの搬送動作を開始させる（ステップ２０４）。
【０１３７】
次に、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａの搬送動作が干渉領域への動作であるかどうかを判定する（ステップ２０５）。ここで、本実施形態において干渉領域とは、供給領域３、排出領域５を意味する。
【０１３８】
ステップ２０５では、具体的には、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａにより現在実行されている第１の搬送パターンが供給領域３に対応する１７番の番号及び排出領域５に対応する１８番の番号のうち一方を含むかどうかを判定することによって、第１のロボットアーム４０Ａの搬送動作が干渉領域への動作であるかどうかを判定する。
【０１３９】
第１のロボットアーム４０Ａの搬送動作が干渉領域への動作ではない場合（ステップ２０５のＮＯ）、ＰＬＣ８２は、ステップ２１１へ進み、第１のロボットアーム４０Ａにおける搬送動作が終了したかどうかを判定する。搬送動作が終了した場合（ステップ２１１のＹＥＳ）、ＰＬＣ８２は、終了した第１の搬送パターンを記憶部から消去し、再びステップ２０１へ戻る。
【０１４０】
ステップ２０５において、第１のロボットアーム４０Ａの搬送動作が干渉領域への動作である場合（ステップ２０５のＹＥＳ）、ＰＬＣ８２は、次のステップ２０６〜ステップ２０９へ進み、第２のロボットアーム４０Ｂの動作状態を確認する処理を実行する。
【０１４１】
ステップ２０６では、ＰＬＣ８２は、第２のロボットアーム４０Ｂが動作中であるかどうかを判定する。第２のロボットアーム４０Ｂが動作中ではない場合（ステップ２０６のＮＯ）、ＰＬＣ８２は、ステップ２１１へ進み、第１のロボットアーム４０Ａにおける搬送動作が終了したかどうかを判定する。
【０１４２】
一方、第２のロボットアーム４０Ｂが動作中である場合（ステップ２０６のＹＥＳ）、第２のロボットアーム４０Ｂが干渉領域内で動作中であるかどうかを判定する（ステップ２０７）。ステップ２０７では、具体的には、ＰＬＣ８２は、第２のロボットアーム４０Ｂにより現在実行されている第２の搬送パターンが供給領域３に対応する１７番の番号及び排出領域５に対応する１８番の番号のうち一方を含むかどうかを判定することによって、第２のロボットアーム４０Ｂが干渉領域内で動作中であるかどうかを判定する。
【０１４３】
第２のロボットアーム４０Ｂが干渉領域内で動作中でない場合（ステップ２０７のＮＯ）、ＰＬＣ８２は、ステップ２１１へ進み、第１のロボットアーム４０Ａにおける搬送動作が終了したかどうかを判定する。
【０１４４】
一方、第２のロボットアーム４０Ｂが干渉領域内で動作中である場合（ステップ２０７のＹＥＳ）、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａ（第１の搬送パターン）の搬送元と第２のロボットアーム４０Ｂ（第２の搬送パターン）の搬送元が共通で供給領域３（１７番）であるかどうかを判定する。また、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａ（第１の搬送パターン）の搬送先と第２のロボットアーム４０Ｂ（第２の搬送パターン）の搬送先が共通で排出領域５（１８番）であるかどうかを判定する（ステップ２０８）。
【０１４５】
すなわち、ステップ２０８では、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａ及び第２のロボットアーム４０Ｂ（第１の搬送パターン及び第２の搬送パターン）において干渉が発生したかどうかを判定する。なお、本実施形態では、第１のロボットアーム４０Ａ及び第２のロボットアーム４０Ｂ（第１の搬送パターン及び第２の搬送パターン）において、搬送元又は搬送先が共通することを「干渉」と呼ぶ。
【０１４６】
干渉が発生していない場合（ステップ２０８のＮＯ）、ＰＬＣ８２は、ステップ２１１へ進み、第１のロボットアーム４０Ａにおける搬送動作が終了したかどうかを判定する。
【０１４７】
一方、干渉が発生している場合（ステップ２０８のＹＥＳ）、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａ及び第２のロボットアーム４０Ｂに同時に搬送指示を出していたかどうかを判定する（図１６、ステップ３０４参照）。
【０１４８】
第１のロボットアーム４０Ａ及び第２のロボットアーム４０Ｂに同時に搬送指示が出されていた場合（ステップ２０９のＹＥＳ）、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａによる搬送動作をそのまま継続させる。そして、ＰＬＣ８２は、ステップ２１１へ進み、第１のロボットアーム４０Ａにおける搬送動作が終了したかどうかを判定する。
【０１４９】
すなわち、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａ及び第２のロボットアーム４０Ｂ（第１の搬送パターン及び第２の搬送パターン）において干渉が発生し、かつ、第１のロボットアーム４０Ａ及び第２のロボットアーム４０Ｂに対して同時に搬送指示が出されていた場合には、第１のロボットアーム４０Ａによる搬送動作を優先的に実行させる。
【０１５０】
一方、第１のロボットアーム４０Ａ及び第２のロボットアーム４０Ｂに対して同時に搬送指示が出されてはいなかった場合（ステップ２０９のＮＯ）、つまり、第１のロボットアーム４０Ａよりも先に、第２のロボットアーム４０Ｂによって干渉に係る第２の搬送パターンでの搬送動作が開始されている場合、ＰＬＣ８２は、次のステップ２１０へ進む。
【０１５１】
ステップ２１０では、ＰＬＣ８２は、干渉に係る第１の搬送パターンでの搬送指示をリセットして第１のロボットアーム４０Ａにおける搬送動作を中断させる。また、ＰＬＣ８２は、干渉に係る第１の搬送パターンを記憶部から消去（リセット）する。そして、ＰＬＣ８２は、再びステップ２０１へ戻り、記憶部内における第１の搬送パターンを確認し、ストックがある場合には、第１のロボットアーム４０Ａに対して第１の搬送パターンでの搬送指示を出す。
【０１５２】
このような処理により、本実施形態では、第１のロボットアーム４０Ａよりも先に、第２のロボットアーム４０Ｂによって干渉に係る搬送動作が開始されている場合に、第１のロボットアーム４０Ａが、第２のロボットアーム４０Ｂによる搬送動作を待つことなく、次の搬送動作を進めることができる。
【０１５３】
次に、図１６を参照して、ＰＬＣ８２が第２のロボットアーム４０Ｂを制御してワーク１の搬送を行うときの処理について説明する。
【０１５４】
図１６に示すように、まず、ＰＬＣ８２（ＰＬＣ８２の制御部）は、ＰＬＣ８２の記憶部内に記憶されている第２の搬送パターン（図１４下側参照）を確認する（ステップ３０１）。次に、ＰＬＣ８２は、第２の搬送パターンのストック数が０であるかどうかを判定する（ステップ３０２）。
【０１５５】
第２の搬送パターンのストック数が０である場合（ステップ３０２のＹＥＳ）、ＰＬＣ８２は、現在において実行可能な第２の搬送パターンを検索する処理を実行する（ステップ３０３）。具体的には、ＰＬＣ８２は、上述の（１）〜（４）の搬送条件を満たす第２の搬送パターンが存在するかどうかを検索する処理を実行する。このような処理により、現在において実行可能な第２の搬送パターンを見落としてしまうことを防止することができる。
【０１５６】
ＰＬＣ８２は、第２の搬送パターンを検索する処理を実行すると、再びステップ２０１へ戻り、ＰＬＣ８２の記憶部内に記憶されている第２の搬送パターンを確認する。
【０１５７】
ステップ３０２において、ＰＬＣ８２の記憶部内に第２の搬送パターンがストックされている場合（ステップ３０２のＮＯ）、ＰＬＣ８２は、一番上の第２の搬送パターンを記憶部から読み込む。そして、ＰＬＣ８２は、第２のロボットアーム４０Ｂに対して、その第２の搬送パターンでの搬送指示を出し、第２のロボットアーム４０Ｂでの搬送動作を開始させる（ステップ３０４）。
【０１５８】
次に、ＰＬＣ８２は、第２のロボットアーム４０Ｂの搬送動作が干渉領域への動作であるかどうかを判定する（ステップ３０５）。具体的には、ＰＬＣ８２は、第２のロボットアーム４０Ｂにより現在実行されている第２の搬送パターンが供給領域３に対応する１７番の番号及び排出領域５に対応する１８番の番号のうち一方を含むかどうかを判定することによって、第２のロボットアーム４０Ｂの搬送動作が干渉領域への動作であるかどうかを判定する。
【０１５９】
第２のロボットアーム４０Ｂの搬送動作が干渉領域への動作ではない場合（ステップ３０５のＮＯ）、ＰＬＣ８２は、ステップ３１０へ進み、第２のロボットアーム４０Ｂにおける搬送動作が終了したかどうかを判定する。搬送動作が終了した場合（ステップ３１０のＹＥＳ）、ＰＬＣ８２は、終了した第２の搬送パターンを記憶部から消去し、ステップ３０１へ戻る。
【０１６０】
一方、第２のロボットアーム４０Ｂの搬送動作が干渉領域への動作である場合（ステップ３０５のＹＥＳ）、ＰＬＣ８２は、次のステップ３０６〜ステップ３０８へ進み、第１のロボットアーム４０Ａの動作状態を確認する処理を実行する。
【０１６１】
ステップ３０６では、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａが動作中であるかどうかを判定する。第１のロボットアーム４０Ａが動作中ではない場合（ステップ３０６のＮＯ）、ＰＬＣ８２は、ステップ３１０へ進み、第２のロボットアーム４０Ｂにおける搬送動作が終了したかどうかを判定する。
【０１６２】
一方、第１のロボットアーム４０Ａが動作中である場合（ステップ３０６のＹＥＳ）、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａが干渉領域内で動作中であるかどうかを判定する（ステップ３０７）。ステップ３０７では、具体的には、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａにより現在実行されている第１の搬送パターンが供給領域３に対応する１７番の番号及び排出領域５に対応する１８番の番号のうち一方を含むかどうかを判定することによって、第１のロボットアーム４０Ａが干渉領域内で動作中であるかどうかを判定する。
【０１６３】
第１のロボットアーム４０Ａが干渉領域内で動作中でない場合（ステップ３０７のＮＯ）、ＰＬＣ８２は、ステップ３１０へ進み、第２のロボットアーム４０Ｂにおける搬送動作が終了したかどうかを判定する。
【０１６４】
一方、第１のロボットアーム４０Ａが干渉領域内で動作中である場合（ステップ３０７のＹＥＳ）、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａ（第１の搬送パターン）の搬送元と第２のロボットアーム４０Ｂ（第２の搬送パターン）の搬送元が共通で供給領域３（１７番）であるかどうかを判定する（ステップ３０８）。また、ＰＬＣ８２は、第１のロボットアーム４０Ａ（第１の搬送パターン）の搬送先と第２のロボットアーム４０Ｂ（第２の搬送パターン）の搬送先が共通で排出領域５（１８番）であるかどうかを判定する（ステップ３０８）。
【０１６５】
干渉が発生していない場合（ステップ３０８のＮＯ）、ＰＬＣ８２は、ステップ３１０へ進み、第２のロボットアーム４０Ｂにおける搬送動作が終了したかどうかを判定する。
【０１６６】
一方、干渉が発生している場合（ステップ３０８のＹＥＳ）、ＰＬＣ８２は、次のステップ３０９へ進む。ステップ３０９では、ＰＬＣ８２は、干渉に係る第２の搬送パターンでの搬送指示をリセットして第２のロボットアーム４０Ｂにおける搬送動作を中断させる。また、ＰＬＣ８２は、干渉に係る第２の搬送パターンを記憶部から消去（リセット）する。
【０１６７】
そして、ＰＬＣ８２は、再びステップ３０１へ戻り、記憶部内における第２の搬送パターンを確認し、ストックがある場合には、第２のロボットアーム４０Ｂに対して第２の搬送パターンでの搬送指示を出す。
【０１６８】
このような処理により、本実施形態では、第１のロボットアーム４０Ａによって干渉に係る搬送動作が行われている場合に、第２のロボットアーム４０Ｂが、第１のロボットアーム４０Ａによる搬送動作を待つことなく、次の搬送動作を進めることができる。
【０１６９】
ここで、ＰＬＣ８２による第１のロボットアーム４０Ａ及び第２のロボットアーム４０Ｂの制御について、具体例を挙げてさらに詳細に説明する。
【０１７０】
「ケース１」
まず、各ロボットアーム４０に対して干渉に係る搬送指示が同時に出されるケースについて説明する。
【０１７１】
ここで、一例として、第１の搬送パターン及び第２の搬送パターンのストックが０の状態であったとする。また、第１の生産処理部１０Ａのいずれかの基板調整テーブル２０がワーク１を受け入れ可能な状態にあり、かつ、第２の生産処理部１０Ｂのいずれかの基板調整テーブル２０がワーク１を受け入れ可能な状態にあったとする。そして、供給コンベア２の駆動によってワーク１が供給コンベア２の供給領域３に搬送されたとする。
【０１７２】
このような場合、供給領域３（１７番）を搬送元とする第１の搬送パターンがＰＬＣ８２の記憶部にストックされ、これと同時に、供給領域３（１７番）を搬送元とする第２の搬送パターンがＰＬＣ８２の記憶部にストックされる。このような場合には、第１のロボットアーム４０Ａ及び第２のロボットアーム４０Ｂに対して、干渉に係る搬送指示が同時に出されることになる（図１５のステップ２０４、図１６のステップ３０４参照）。
【０１７３】
また、他の一例として、第１の搬送パターン及び第２の搬送パターンのストックが０の状態であったとする。そして、第１の生産処理部１０ＡのいずれかのＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂからワーク１を取り出し可能な状態にあり、かつ、第２の生産処理部１０ＢのいずれかのＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂからワーク１を取り出し可能な状態になったとする。そして、排出コンベア４の駆動によって排出コンベア４上の排出領域５がワーク１を受け入れ可能な状態になったとする。
【０１７４】
このような場合、排出領域５（１８番）を搬送先とする第１の搬送パターンがＰＬＣ８２の記憶部にストックされ、これと同時に、排出領域５（１８番）を搬送先とする第２の搬送パターンがＰＬＣ８２の記憶部にストックされる。このような場合にも、第１のロボットアーム４０Ａ及び第２のロボットアーム４０Ｂに対して、同時に干渉に係る搬送指示が出されることになる。
【０１７５】
これらのようなケースでは、第１のロボットアーム４０Ａでの搬送動作が優先される（図１５のステップ２０９）。一方、第２のロボットアーム４０Ｂにおける搬送動作は中断され、干渉に係る第２の搬送パターンを記憶部から消去（リセット）される（図１６のステップ３０９）。そして、第２の搬送パターンのストックがある場合には、第２のロボットアーム４０Ｂに対して第２の搬送パターンでの搬送指示が出される。
【０１７６】
このような処理により、本実施形態では、第１のロボットアーム４０Ａによって干渉に係る搬送動作が行われている場合に、第２のロボットアーム４０Ｂが、第１のロボットアーム４０Ａによる搬送動作を待つことなく、次の搬送動作を進めることができる。
【０１７７】
「ケース２」
次に、干渉に係る搬送指示のタイミングが各ロボットアーム４０でずれるケースについて説明する。
【０１７８】
ここで、一例として、第１の搬送パターンのストックが０の状態であり、第２の搬送パターンのストックが１の状態であったとする。なお、ストックされている第２の搬送パターンは、供給領域３（１７番）及び排出領域５（１８番）を含まないものとする。また、第１の生産処理部１０Ａのいずれかの基板調整テーブル２０がワーク１を受け入れ可能な状態にあり、かつ、第２の生産処理部１０Ｂのいずれかの基板調整テーブル２０がワーク１を受け入れ可能な状態にあったとする。そして、供給コンベア２の駆動によってワーク１が供給コンベア２の供給領域３に搬送されたとする。
【０１７９】
このような場合、供給領域３（１７番）を搬送元とする第１の搬送パターンが一番上にストックされ、これと同時に、供給領域３（１７番）を搬送元とする第２の搬送パターンが上から２番目にストックされる。このような場合には、第１のロボットアーム４０Ａ及び第２のロボットアーム４０Ｂに対して、干渉に係る搬送指示が別々のタイミングで出されることになる（図１５のステップ２０４、図１６のステップ３０４参照）。
【０１８０】
また、他の一例として、第１の搬送パターンのストックが０の状態であり、第２の搬送パターンのストックが１の状態であったとする。なお、ストックされている第２の搬送パターンは、供給領域３（１７番）及び排出領域５（１８番）を含まないものとする。また、第１の生産処理部１０ＡのいずれかのＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂからワーク１を取り出し可能な状態にあり、かつ、第２の生産処理部１０ＢのいずれかのＨＤＤエージング検査テーブル３０Ｂからワーク１を取り出し可能な状態になったとする。そして、排出コンベア４の駆動によって排出コンベア４上の排出領域５がワーク１を受け入れ可能な状態になったとする。
【０１８１】
このような場合、排出領域５（１８番）を搬送先とする第１の搬送パターンが一番上にストックされ、これと同時に、排出領域５（１８番）を搬送先とする第２の搬送パターンが上から２番目にストックされる。このような場合にも、第１のロボットアーム４０Ａ及び第２のロボットアーム４０Ｂに対して、干渉に係る搬送指示が別々のタイミングで出されることになる。
【０１８２】
これらのようなケースでは、まず、第１のロボットアーム４０Ａに対して干渉に係る第１の搬送パターンでの搬送指示が出され  その搬送パターンでの搬送動作が実行される（図１５ステップ２０４）。一方、第２のロボットアーム４０Ｂに対しては、まず、一番上の第２の搬送パターンでの搬送指示が出され（図１６ステップ３０４）、この搬送パターンでの搬送動作が終了した後に、干渉に係る第２の搬送パターンでの搬送指示が出される（図１６ステップ３０４）。
【０１８３】
干渉に係る第２の搬送パターンでの搬送指示が第２のロボットアーム４０Ｂに対して出されるときに、干渉に係る第１の搬送パターンでの搬送動作が既に終了している場合（図１６ステップ３０６のＮＯ、又は、ステップ３０７のＮＯ）、第２のロボットアーム４０Ｂおいて、干渉に係る第２の搬送パターンでの搬送動作が実行される。なお、このとき、供給領域３にワーク１が存在するかどうかが確認され、又は、排出領域５にワーク１が存在しないかどうかが確認される。
【０１８４】
一方、干渉に係る第２の搬送パターンでの搬送指示が第２のロボットアーム４０Ｂに対して出されるときに、干渉に係る第１の搬送パターンでの搬送動作が未だ終了していない場合（図１６ステップ３０８のＹＥＳ）、第２のロボットアーム４０Ｂおいて、干渉に係る第２の搬送パターンでの搬送指示がリセットされ、かつ、干渉に係る第２の搬送パターンがリセットされる（ステップ３０９）。
【０１８５】
このとき、他の第２の搬送パターンがストックされていれば、その第２の搬送パターンでの搬送指示が第２のロボットアーム４０Ｂに対して出される。これにより、第１のロボットアーム４０Ａによって干渉に係る搬送動作が行われている場合に、第２のロボットアーム４０Ｂが、第１のロボットアーム４０Ａによる搬送動作を待つことなく、次の搬送動作を進めることができる。
【０１８６】
ここでの説明では、第１のロボットアーム４０Ａが先に干渉に係る第１の搬送パターンでの搬送動作を実行する場合について説明したが、第２のロボットアーム４０Ｂが先に干渉に係る第２の搬送パターンでの搬送動作を実行する場合もある。この場合、第２のロボットアーム４０Ｂによって干渉に係る搬送動作が行われている場合に、第１のロボットアーム４０Ａが、第２のロボットアーム４０Ｂによる搬送動作を待つことなく、次の搬送動作を進めることができる。
【０１８７】
＜作用等＞
次に、本実施形態に係る生産処理装置１００の作用等について説明する。
【０１８８】
図１７は、第１の比較例に係る生産処理部１０１を示す模式的な側面図である。図１８は、第２の比較例に係る生産処理部１０２を示す模式的な側面図である。図１９は、第３の比較例に係る生産処理部１０３を示す模式的な側面図である。
【０１８９】
第１の比較例、第２比較例及び第３の比較例では、本実施形態に係る生産処理装置１００とテーブルの配置が異なっているが、ロボットアーム４０の構成は同じである。図１７、図１８、図１９では、ロボットアーム４０の可動範囲が破線で示されている。
【０１９０】
図１７を参照して、第１の比較例では、全てのテーブル１１０が水平面に対して平行なように配置され、かつ、テーブル１１０がすべて同じ高さに配置されている。この場合、一部のテーブル１１０がロボットアーム４０の可動範囲に入りきらない。全てのテーブル１１０をロボットアーム４０の可動範囲内に収めるためには、ロボットアーム４０のサイズアップが必要であり、コストアップの要因となる。また、テーブル１１０の配置スペースが大きくなり、生産処理装置１００の全体が大型化してしまう。
【０１９１】
図１８を参照して、第２の比較例では、全てのテーブル１１０が水平面に対して平行なように配置され、かつ、ロボットアーム４０から遠い位置のテーブル１１０が、ロボットアーム４０に近い位置のテーブル１１０よりも高い位置に配置されている。第２の比較例のように一部のテーブル１１０を高い位置に配置すれば、全てのテーブル１１０をロボットアーム４０の可動範囲内に収めることができる。
【０１９２】
しかしながら、第２の比較例では、低い位置のテーブル１１０に対してロボットアーム４０がアクセスするときに、高い位置のテーブル１１０がアクセスの邪魔になってしまう。
【０１９３】
図１９を参照して、第３の比較例では、高い位置に配置されたテーブル１１０が水平方向に移動可能に構成されている（その他の点は第２の比較例と同じ）。第３の比較例では、低い位置のテーブル１１０に対してロボットアーム４０がアクセスするときに、高い位置のテーブル１１０がアクセスの邪魔になってしまうことを防止することができる。
【０１９４】
しかしながら、第３の比較例では、ワーク１の搬送動作の効率が低下してしまい、また、制御が複雑化する。さらに、テーブル１１０を移動させるための機構が必要となるため、コストアップの要因となる。
【０１９５】
一方、本実施形態に係る生産処理装置１００では、図３及び図４に示すように、ロボットアーム４０から遠い位置のテーブル３０が、ロボットアーム４０を中心とした円周上の位置に配置され、かつ、ロボットアーム４０に近い位置のテーブル２０よりも高い位置に配置されている。そして、このテーブル３０が、水平面に対して所定の角度傾斜するように配置されている。これにより、本実施形態に係る生産処理装置１００では、すべてのテーブル２０、３０をロボットアーム４０の可動範囲に適切に収めつつ、生産処理装置１００全体の大きさを小型化することができる。
【０１９６】
また、本実施形態では、ロボットアーム４０を大型化する必要もなく、テーブル２０、３０を移動させるための機構を設ける必要もないので、コストを削減することができる。
【０１９７】
ここで、傾斜テーブル３０の傾斜角度が急になるほど生産処理装置１００の全体を小型化する効果が大きくなるが、一方で、傾斜テーブル３０に載置されるワーク１の安定性が低下する。逆に、傾斜テーブル３０の傾斜角度が緩くなるほど傾斜テーブル３０に載置されるワーク１の安定性が高くなるが、一方で、生産処理装置１００の全体を小型化する効果が小さくなる。両者を比較したとき、傾斜テーブル３０が傾斜する角度において適切な値は、１５°以上４５°以下の範囲である。なお、さらに適切な値は、２５°以上３５°以下の範囲である。
【０１９８】
次に、本実施形態に係る制御について説明すると、搬送動作において干渉が発生した場合には、２つのロボットアームのうち、一方のロボットアーム４０Ｂにおける搬送動作が中断され、干渉に係る搬送パターンがリセットされる。そして、搬送パターンのストックがある場合には、その搬送パターンでの搬送指示が出される。
【０１９９】
このような処理により、本実施形態では、一方のロボットアーム４０によって干渉に係る搬送動作が行われている場合に、他方のロボットアーム４０が、一方のロボットアーム４０による搬送動作を待つことなく、次の搬送動作を進めることができる。これにより、生産効率が向上する。
【０２００】
＜各種変形例＞
以上の説明では、生産処理装置１００において施される生産処理の一例として、ワークの調整、検査、データ書き込み処理などを例に挙げて説明したが、生産処理装置１００において施される生産処理はこれらに限られない。例えば、生産処理装置１００において、ワークの加工、組み立て、測定、修理などが行われてもよい。
【０２０１】
以上の説明では、生産処理部１０が複数の水平テーブル２０と、複数の傾斜テーブル３０とを有する形態について説明したが、複数の水平テーブル２０は省略することも可能である。以上の説明では、ロボットアーム４０が下側に設けられる形態について説明したが、ロボットアーム４０は天井から吊り下げされるように構成されていてもよい。
【０２０２】
ロボットアーム４０の制御について、搬送指示がリセットされた場合において、リセットされた搬送パターンについて搬送条件が再度成立した場合、その搬送パターンでの搬送動作を優先的に実行させる処理が実行されてもよい。例えば、ＰＬＣ８２は、搬送指示がリセットされた搬送パターンについて、その搬送パターンにおける搬送条件が再び成立した場合、記憶部において、その搬送パターンを、リセットが行われていない搬送パターンよりも上の位置にストックさせる。これにより、後回しにされた搬送パターンが優先的に実行される。
【０２０３】
あるいは、ＰＬＣ８２は、記憶部の専用の領域に、リセットされた搬送パターンを上から順番にストックしておき、その搬送パターンにおける搬送条件が再び成立した場合、そのリセットされた搬送パターンでの搬送を優先的に実行させる処理を実行してもよい。
【０２０４】
本技術は、以下の構成をとることもできる。
（１）ワークを搬送可能な第１のロボットアームと、
前記第１のロボットアームによって搬送された前記ワークを載置可能であり、前記第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に、水平面に対して所定の角度傾斜するように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される複数の第１の傾斜テーブルと
を具備する生産処理装置。
（２）  上記（１）に記載の生産処理装置であって、
前記第１のロボットアームによって搬送された前記ワークを載置可能であり、前記複数の第１の傾斜テーブルよりも前記第１のロボットアームに近い位置に、水平面に対して平行なように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される複数の第１の水平テーブルをさらに具備する
生産処理装置。
（３）  上記（２）に記載の生産処理装置であって、
前記複数の第１の傾斜テーブルは、下側の縁部を有し、
前記下側の縁部は、前記複数の第１の水平テーブルよりも高い位置に配置される
生産処理装置。
（４）  上記（１）〜（３）のうちいずれか１つに記載の生産処理装置であって、
前記複数の第１の傾斜テーブルが水平面に対して傾斜する角度は、１５°以上４５°以下の範囲である
生産処理装置。
（５）  上記（１）〜（４）のうちいずれか１つに記載の生産処理装置であって、
前記複数の第１の傾斜テーブルは、前記ワークに対してそれぞれ異なる生産処理が施される複数の生産処理テーブルを含む
生産処理装置。
（６）  上記（５）に記載の生産処理装置であって、
前記複数の生産処理テーブルのうち、前記ワークに対する生産処理が終了した生産処理テーブルを搬送元とし、未処理の生産処理に対応する生産処理テーブルを搬送先として前記第１のロボットアームにより前記ワークを搬送させるように前記第１のロボットアームの駆動を制御する制御部をさらに具備する
生産処理装置。
（７）  上記（２）又は（３）に記載の生産処理装置であって、
前記複数の第１の傾斜テーブル及び前記複数の第１の水平テーブルは、前記ワークに対してそれぞれ異なる生産処理が施される複数の生産処理テーブルを含む
生産処理装置。
（８）  上記（７）に記載の生産処理装置であって、
前記複数の生産処理テーブルのうち、前記ワークに対する生産処理が終了した生産処理テーブルを搬送元とし、未処理の生産処理に対応する生産処理テーブルを搬送先として前記第１のロボットアームにより前記ワークを搬送させるように前記第１のロボットアームの駆動を制御する制御部をさらに具備する
生産処理装置。
（９）  上記（１）〜（８）のうちいずれか１つに記載の生産処理装置であって、
前記第１のロボットアームと、前記複数の第１の傾斜テーブルとを有する第１の生産処理部と、
前記ワークを搬送可能な第２のロボットアームと、前記第２のロボットアームによって搬送された前記ワークを載置可能であり、前記第２のロボットアームを中心とした円周上の位置に、水平面に対して所定の角度傾斜するように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される複数の第２の傾斜テーブルとを有する第２の生産処理部と
を具備する生産処理装置。
（１０）  上記（９）に記載の生産処理装置であって、
前記第２の生産処理部は、前記第２のロボットアームによって搬送された前記ワークを載置可能であり、前記複数の第２の傾斜テーブルよりも前記第２のロボットアームに近い位置に、水平面に対して平行なように配置され、前記ワークが載置された状態で前記ワークに対して生産処理が施される複数の第２の水平テーブルをさらに有する
生産処理装置。
（１１）  上記（９）又は（１０）に記載の生産処理装置であって、
記憶部と、
前記第１のロボットアームにより前記ワークが取り出される搬送元の情報と、前記第１のロボットアームにより前記ワークが載置される搬送先の情報とが関連付けられた第１の搬送パターンを、搬送条件が成立する度に前記記憶部に順次ストックし、
前記第２のロボットアームによりワークが取り出される搬送元の情報と、前記第２のロボットアームにより前記ワークが載置される搬送先の情報とが関連付けられた第２の搬送パターンを、搬送条件が成立する度に前記記憶部に順次ストックし、
前記第１の搬送パターンにおける搬送元と前記第２の搬送パターンにおける搬送元とが同じであるか、又は、前記第１の搬送パターンにおける搬送先と前記第２の搬送パターンにおける搬送先とが同じである干渉が発生したかどうかを判断し、
前記干渉が発生した場合に、干渉に係る前記第１の搬送パターンでの搬送を前記第１のロボットアームにより実行させ、干渉に係る前記第２の搬送パターンを前記記憶部から消去して前記記憶部にストックされている他の第２の搬送パターンでの搬送を前記第２のロボットアームに実行させる制御部と
をさらに具備する生産処理装置。
（１２）  上記（１１）に記載の生産処理装置であって、
前記第１の生産処理部及び前記第２の生産処理部に対して共通で前記ワークを供給する供給領域を有する供給部と、
前記第１の生産処理部において生産処理が終了したワークと、前記第２の生産処理部において生産処理が終了したワークとが共通で排出される排出領域を有する排出部とをさらに具備し、
前記制御部は、前記供給領域が前記第１の搬送パターン及び前記第２の搬送パターンにおいて共通で搬送元とされたとき、又は、前記排出領域が前記第１の搬送パターン及び前記第２の搬送パターンにおいて共通で搬送先とされたとき、前記干渉が発生したと判断する
生産処理装置。
（１３）  上記（１１）又は（１２）に記載の生産処理装置であって、
前記制御部は、
前記第１の搬送パターンが前記記憶部にストックされているかどうかを判断し、前記第１の搬送パターンが前記記憶部にストックされていない場合、実行可能な第１の搬送パターンが存在するかどうかの検索を実行し、実行可能な第１の搬送パターンが存在する場合、前記第１の搬送パターンを記憶部にストックして前記第１の搬送パターンでの搬送を前記第１のロボットアームにより実行させる
生産処理装置。
（１４）  上記（１１）〜（１３）のうちいずれか１つに記載の生産処理装置であって、
前記制御部は、前記第２の搬送パターンが前記記憶部にストックされているかどうかを判断し、前記第２の搬送パターンが前記記憶部にストックされていない場合、実行可能な第２の搬送パターンが存在するかどうかの検索を実行し、実行可能な第２の搬送パターンが存在する場合、前記第２の搬送パターンを記憶部にストックして前記第２の搬送パターンでの搬送を前記第２のロボットアームにより実行させる
生産処理装置。
（１５）第１のロボットアームによりワークを保持し、
前記第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に水平面に対して所定の角度傾斜するように配置された複数の第１の傾斜テーブルのうち、いずれかの第１の傾斜テーブルに対して、前記第１のロボットアームにより保持された前記ワークを載置し、
前記第１の傾斜テーブルに載置された前記ワークに対して生産処理を施す
生産処理方法。
（１６）生産処理装置に、
第１のロボットアームによりワークを保持するステップと、
前記第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に水平面に対して所定の角度傾斜するように配置された複数の第１の傾斜テーブルのうち、いずれかの第１の傾斜テーブルに対して、前記第１のロボットアームにより保持された前記ワークを載置するステップと、
前記第１の傾斜テーブルに載置された前記ワークに対して生産処理を施すステップと
を実行させるプログラム。
（１７）第１のロボットアームによりワークを保持し、
第１のロボットアームを中心とした円周上の位置に水平面に対して所定の角度傾斜するように配置された複数の第１の傾斜テーブルのうち、いずれかの第１の傾斜テーブルに対して、前記第１のロボットアームにより保持された前記ワークを載置し、
前記第１の傾斜テーブルに載置された前記ワークに生産処理を施す
ワークの製造方法。
【符号の説明】
【０２０５】
１…ワーク
２…供給コンベア
４…排出コンベア
１０…生産処理部
２０…水平テーブル
３０…傾斜テーブル
４０…ロボットアーム
６６…検査制御ＰＣ
８２…ＰＬＣ
１００…生産処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【国際調査報告】
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