(57)【要約】  化学式：ＦｅｘＢｙＳｉｚ（ここで、ｘ：７８〜８３ａｔ％、ｙ：８〜１５ａｔ％、ｚ：６〜１３ａｔ％）で表され、好ましくはさらに、Ｃｒ：０．２〜１ａｔ％、Ｍｎ：０．２〜２ａｔ％のうちから選ばれる１種または２種を、より好ましくはさらに、Ｃ：０．２〜２ａｔ％、Ｐ：０．２〜２ａｔ％、Ｓｎ：０．２〜１ａｔ％およびＳｂ：０．２〜１ａｔ％のうちから選ばれる１種または２種以上を含有する成分組成からなり、冷却ロールと接した面におけるエアポケットの個数が８個／ｍｍ２以下、かつ、ロール周方向平均長さが０．５ｍｍ以下である、高磁束密度で低鉄損のＦｅ−Ｂ−Ｓｉ系非晶質合金薄帯。
2015016161.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学式：ＦｅｘＢｙＳｉｚ（ここで、ｘ：７８〜８３ａｔ％、ｙ：８〜１５ａｔ％、ｚ：６〜１３ａｔ％）で表される成分組成からなり、
冷却ロールと接した面におけるエアポケットの個数が８個／ｍｍ２以下、かつ、ロール周方向平均長さが０．５ｍｍ以下である鉄系非晶質合金薄帯。
【請求項２】
上記成分組成に加えてさらに、Ｃｒ：０．２〜１ａｔ％、Ｍｎ：０．２〜２ａｔ％のうちから選ばれる１種または２種を含有することを特徴とする請求項１に記載の鉄系非晶質合金薄帯。
【請求項３】
上記成分組成に加えてさらに、Ｃ：０．２〜２ａｔ％、Ｐ：０．２〜２ａｔ％、Ｓｎ：０．２〜１ａｔ％およびＳｂ：０．２〜１ａｔ％のうちから選ばれる１種または２種以上を含有することを特徴とする請求項１または２に記載の鉄系非晶質合金薄帯。
【請求項４】
巻鉄心変圧器用であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の鉄系非晶質合金薄帯。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、巻鉄心変圧器の鉄心材料に用いて好適な鉄系非晶質合金薄帯に関し、具体的には、高磁束密度かつ低鉄損のＦｅ−Ｂ−Ｓｉ系非晶質合金薄帯に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
配電用変圧器等の鉄心には、Ｆｅ−Ｂ−Ｓｉ系の非晶質合金薄帯を用いた巻鉄心が使用されることがある。この巻鉄心に用いる材料としては、例えば、特許文献１〜３に開示された、Ｆｅをベースとし、これにＢやＳｉ等を添加した鉄系合金の溶湯を高速回転する冷却ロールの表面に射出して急冷凝固させた、厚さ数十μｍの非晶質合金薄帯がある。【０００３】
このＦｅ−Ｂ−Ｓｉ系の非晶質合金薄帯は、従来の二次再結晶を利用して製造する方向性電磁鋼板に比べて鉄損が低いという特長を有するが、飽和磁束密度が低く、設計磁束密度を小さくせざるを得ないため、変圧器が大型化したり、コイルの銅線が多量に必要になったりするという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭５４−１４８１２２号公報
【特許文献２】特開昭５５−０９４４６０号公報
【特許文献３】特開昭５７−１３７４５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、非晶質合金のＦｅの成分比率を高めることで、飽和磁束密度を高め、設計磁束密度を大きくする技術開発がなされ、ある程度の改善効果が得られている。しかし、Ｆｅの成分比率が高めた合金は、非晶質の安定性が低下するため、低鉄損を安定的に得ることが難しい。また、巻鉄心に加工した状態で測定した鉄損が、素材で測定した鉄損よりも増大する、いわゆる「ビルディングファクター」が大きいという問題がある。【０００６】
本発明は、従来技術が抱える上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、高磁束密度でかつ低鉄損の巻鉄心を安定的に得ることができるＦｅ−Ｂ−Ｓｉ系非晶質合金薄帯を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討を重ねた。その結果、Ｆｅ−Ｂ−Ｓｉ系の鉄系非晶質合金薄帯において、薄帯の表面性状を適正化することで、高磁束密度を維持しつつ巻鉄心に加工したときの鉄損の増大を抑制することができることを見出し、本発明を開発するに至った。【０００８】
すなわち、本発明は、化学式：ＦｅｘＢｙＳｉｚ（ここで、ｘ：７８〜８３ａｔ％、ｙ：８〜１５ａｔ％、ｚ：６〜１３ａｔ％）で表される成分組成からなり、冷却ロールと接した面におけるエアポケットの個数が８個／ｃｍ２以下、かつ、ロール周方向平均長さが０．５ｍｍ以下である鉄系非晶質合金薄帯である。【０００９】
本発明の鉄系非晶質合金薄帯は、上記成分組成に加えてさらに、Ｃｒ：０．２〜１ａｔ％、Ｍｎ：０．２〜２ａｔ％のうちから選ばれる１種または２種を含有することを特徴とする。【００１０】
また、本発明の鉄系非晶質合金薄帯は、上記成分組成に加えてさらに、Ｃ：０．２〜２ａｔ％、Ｐ：０．２〜２ａｔ％、Ｓｎ：０．２〜１ａｔ％およびＳｂ：０．２〜１ａｔ％のうちから選ばれる１種または２種以上を含有することを特徴とする。【００１１】
また、本発明の鉄系非晶質合金薄帯は、巻鉄心変圧器用であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、高磁束密度でかつ巻鉄心に加工したときの鉄損特性に優れる鉄系非晶質合金薄帯を提供することができるので、低鉄損の変圧器を安定して製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】単ロール式急冷薄帯製造装置で、溶湯を射出して非晶質の急冷薄帯を製造する方法を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
まず、本発明を開発する契機となった実験について説明する。
Ｆｅ：８０ａｔ％、Ｂ：１０ａｔ％、Ｓｉ：９ａｔ％、Ｃ：０．５ａｔ％からなる成分組成の合金溶湯を、高速回転している単ロール式の銅製急冷ロール外周面に射出し、急冷凝固させて厚さが２５μｍ、幅が１００ｍｍの鉄系非晶質合金薄帯とした後、コイルに巻き取った。この際、急冷ロールの表面性状および溶湯射出時の雰囲気を種々に変化させた。
【００１５】
次いで、上記のようにして得た合金薄帯を、直径２００ｍｍφ、幅１０５ｍｍの石英ガラス製ボビンに巻き付けて、重量２ｋｇのトロイダルコアを作製した。同一条件で製造した合金薄帯からは、上記のトロイダルコアを各３個ずつ作製し、それらのコアに、１６００Ａ／ｍの磁界を掛けた状態かつ窒素雰囲気中で、それぞれ３６０℃、３８０℃および４００℃の温度で１時間の焼鈍を施した。
【００１６】
その後、上記焼鈍後のコアに１次コイルおよび２次コイルを巻き付け、１．３Ｔ、５０Ｈｚの条件で交流磁化し、コアの鉄損Ｗ１３／５０を測定した。なお、上記鉄損の測定に当たっては、焼鈍によって薄帯同士が密着を起こし、鉄損を増大しているケースがあったため、コアに衝撃を与えて密着状態を無くす「スティッキング外し」を繰り返し実施し、鉄損値が最低となった焼鈍温度の鉄損値を、その合金の鉄損値として採用した。
【００１７】
上記のようにして測定したトロイダルコアの鉄損値は、同一の成分、厚み、幅の合金薄帯から作製しているにもかかわらず、大きなばらつきが生じていた。そこで、鉄損が大きい薄帯と小さい薄帯の急冷ロールと接した側の表面を観察したところ、鉄損が大きい薄帯の表面には多くの凹みが存在しており、特に鋳造方向（ロール周方向）に長く延びた凹みが多く観察された。このような凹みは、薄帯を形成する際、溶湯と急冷ロール表面の間に雰囲気ガスが巻き込まれて形成されるいわゆる「エアポケット」と呼ばれるものであり、急冷ロールの表面性状や表面温度、雰囲気等によって発生個数や形状が異なることが知られている。
【００１８】
そこで、急冷ロールと接する側の薄帯の表面を光学顕微鏡で２０倍に拡大して写真撮影し、エアポケットの単位面積当たりの発生個数およびロール周方向の長さの平均を測定した。また、従来、好適な表面性状を示す指標とされている算術平均粗さＲａ、エアポケット面積率を調査し、比較した。その結果、Ｒａやエアポケット面積率が同程度でも、生じているエアポケットの単位面積当たりの個数が多い場合や、ロール周方向に長い形状をしている場合には鉄損特性が劣ることがわかった。
本発明は、上記知見に基いて開発したものである。
【００１９】
次に、発明者らは、さらに、Ｆｅ，ＢおよびＳｉの組成を変化させるとともに、Ｃｒ，Ｍｎやその他元素の添加範囲を変えた種々の成分組成の合金溶湯を溶解し、上記と同様の実験を行って、巻鉄心の磁気特性に及ぼす鉄系非晶質合金の成分組成の影響について調査した。その結果、上記表面性状の適正化に加えて、Ｆｅ−Ｂ−Ｓｉ系非晶質合金の成分組成を、以下の説明するように適正化することで、高磁束密度でかつ巻鉄心の鉄損特性に優れる鉄系非晶質合金薄帯を得ることができることを見出した。
【００２０】
まず、本発明の鉄系非晶質合金薄帯は、化学式：ＦｅｘＢｙＳｉｚ（ここで、ｘ：７８〜８３ａｔ％、ｙ：８〜１５ａｔ％、ｚ：６〜１３ａｔ％）で表される成分組成からなるものであることが必要である。
【００２１】
Ｆｅ：７８〜８３ａｔ％
Ｆｅは、本発明のＦｅ−Ｂ−Ｓｉ系非晶質合金のベース成分である。７８ａｔ％未満では、磁束密度が低くなり過ぎ、一方、８３ａｔ％を超えると、非晶質の安定性と鉄損特性の低下をもたらす。よって、Ｆｅは７８〜８３ａｔ％の範囲とする。好ましく８０〜８２ａｔ％の範囲である。
【００２２】
Ｂ：８〜１５ａｔ％
Ｂは、本発明の合金を非晶質化するために必要な元素であり、８ａｔ％未満では、安定して非晶質化することが困難になる。一方、１５ａｔ％を超えると、磁束密度が低下する他、原料コストの増大を招く。よって、Ｂは８〜１５ａｔ％の範囲とする。好ましくは９〜１３ａｔ％の範囲である。
【００２３】
Ｓｉ：６〜１３ａｔ％
Ｓｉは、鉄損の低減と非晶質化に必要な元素であり、６ａｔ％未満では鉄損が増大したり、非晶質化が不安定となったりする。一方、１３ａｔ％を超えると、磁束密度が大きく低下する。よって、Ｓｉは６〜１３ａｔ％の範囲とする。好ましくは７〜１１ａｔ％の範囲である。
【００２４】
本発明の鉄系非晶質合金薄帯は、鉄損改善効果をより高めることを目的として、上記基本成分組成に加えて、内数で、すなわち合金全体に対して、Ｃｒ：０．２〜１ａｔ％およびＭｎ：０．２〜２ａｔ％のうちから選ばれる１種または２種を添加することができる。
ＣｒおよびＭｎは、巻鉄心の鉄損を低減する効果があるので、それぞれ０．２ａｔ％以上添加するのが好ましい。エアポケットの少ない薄帯では、コアに巻いたときの薄帯同士の接触面積が大きくなるため、コアを焼鈍した際、スティッキング（密着）が生じやすい。しかし、発明者らの研究結果では、これらの元素の添加によって、スティッキングを軽減されることがわかった。
【００２５】
その理由は、まだ十分に明らかとなっていないが、これらは薄帯表面の酸化皮膜中に濃化する元素であるため、酸化皮膜の保護性を高める効果がある。その結果、スティッキングが抑制され、鉄損を劣化させる密着部分の個数が減少したため、また、スティッキングを外すための衝撃付与も軽度で済み、衝撃による鉄損劣化が抑制されたためと推測している。しかし、Ｃｒは１ａｔ％超え、Ｍｎは２ａｔ％超え添加すると、磁束密度の低下を招く。よって、Ｃｒは０．２〜１ａｔ％、Ｍｎは０．２〜２ａｔ％の範囲で添加するのが好ましい。より好ましくは、Ｃｒは０．２〜０．７ａｔ％、Ｍｎは０．２〜１ａｔ％の範囲である。
【００２６】
さらに、本発明の鉄系非晶質合金薄帯は、上記成分組成に対し、内数で（合金全体に対して）下記の成分を１種または２種以上含有することができる。
Ｃ：０．２〜２ａｔ％、Ｐ：０．２〜２ａｔ％
ＣおよびＰは、Ｆｅの比率が大きい成分系において、非晶質を安定化させる効果がある。斯かる効果を得るためには、それぞれ０．２ａｔ％以上添加するのが好ましい。一方、２ａｔ％を超える添加は、磁束密度の低下を招くので、上限はそれぞれ２ａｔ％とするのが好ましい。より好ましくは、Ｃは０．８〜２ａｔ％、Ｐは０．８〜２ａｔ％の範囲である。
【００２７】
Ｓｎ：０．２〜１ａｔ％、Ｓｂ：０．２〜１ａｔ％
ＳｎおよびＳｂは、Ｆｅの比率が大きい成分において、鉄損を低減する効果がある。斯かる効果を得るためには、それぞれ０．２ａｔ％以上添加するのが好ましい。発明者らの研究結果によれば、これらの元素は、コア作製後の焼鈍時における薄帯の急冷ロールと接する面側の非晶質が結晶化するのを抑制する効果が確認されており、これがコア鉄損の増大を抑制する効果をもたらすものと推測している。しかし、ＳｎおよびＳｂは、１ａｔ％を超えて添加すると、鉄損の増加を招くようになるので、上限はそれぞれ１ａｔ％とするのが好ましい。より好ましくは、Ｓｎは０．２〜０．７ａｔ％、Ｓｂは０．２〜０．７ａｔ％の範囲である。
【００２８】
上記成分以外の残部は、不可避的不純物である。ただし、ＣｏおよびＮｉは、磁束密度を僅かに向上させる効果があり、製造性や鉄損への影響が小さいため、２ａｔ％以下であれば含有させることも可能である。
【００２９】
次に、本発明の鉄系非晶質合金薄帯の表面性状について説明する。
エアポケットの個数：１ｍｍ２当たり８個以下
急冷ロールと接する側の薄帯表面に存在するエアポケットは、急冷ロールへの熱伝達を阻害するので、非晶質化を不安定化し、部分的に結晶化した部分を生じさせたり、エアポケットは、ピン留め効果によって磁壁の移動を抑制したりして、薄帯の鉄損を劣化させる。特に、エアポケットは、磁壁移動をピン留めする効果が大きい。また、巻鉄心においては、薄帯にエアポケットのような表面形状の不均一があると、鉄心外部から応力がかかった際に、曲げ応力がエアポケット部分に集中して鉄損増大をもたらす。
【００３０】
したがって、エアポケットの個数は少ないほど望ましく、本発明では、薄帯の急冷ロールと接する側の表面に形成されるエアポケットを８個／ｍｍ２以下に低減することによって、巻鉄心の鉄損の改善を図る。エアポケットを８個／ｍｍ２以下に低減する必要がある理由は、後述する実施例に示すように、８個／ｍｍ２を超えると、急激に鉄損が増大するからである。好ましくは５個／ｍｍ２以下である。
【００３１】
エアポケットの平均長さ：０．５ｍｍ以下
エアポケットは、薄帯の鋳造方向（ロール周方向）に長いものほど、鉄損を劣化させる作用が大きい。これは、長手方向に伸びる磁壁の移動に対してピン留め効果が大きいためと推定される。そこで、本発明は、エアポケットの鋳造方向（ロール回転方向）の平均長さを０．５ｍｍ以下に制限することで、巻鉄心の鉄損特性の改善を図る。
これは、後述する実施例に示すように、エアポケットのロール周方向の長さの平均が０．５ｍｍを超えると、急激に鉄損が増大するからである。好ましくは０．３ｍｍ以下である。
【００３２】
なお、本発明におけるエアポケットの個数および平均長さは、以下のようにして測定する。まず、急冷ロールと接した側の薄帯表面を光学顕微鏡を用いて２０倍程度で撮影した写真から、薄帯表面１０ｍｍ四方あたりのエアポケット個数と、それぞれのエアポケットのロール周方向の長さを測定して平均値を求める。そして、この測定を、薄帯の幅方向に２０ｍｍ間隔で全幅に亘って実施し、それらの平均値を、その薄帯のエアポケットの個数および平均長さとする。
【００３３】
なお、幅が５０ｍｍ程度よりも狭い薄帯は、その製造を真空中で行ってエアポケットの発生を防止することもあるが、電力用の変圧器等に用いられる１００ｍｍ以上の広幅の薄帯を製造する場合には、大きな真空設備が必要となるため、実用的ではない。そこで、不可避的に形成されるエアポケットの個数および形状を限定する必要がある。
【００３４】
次に、本発明の鉄系非晶質合金薄帯の製造方法について説明する。
本発明の鉄系非晶質合金薄帯は、上記に説明した成分組成に調整した合金の溶湯を、急速冷却して凝固させることで得られる。例えば、図１に示されるように、高速で回転している水冷された銅製あるいは銅合金製の冷却ロール１の外周面に、溶湯容器２に設けられたスリット状のノズル４から合金の溶湯３を射出して急冷凝固させ、エアースリットノズル６により冷却ロール１から剥離することによって非晶質薄帯Ｓを得る一般的な薄帯製造方法を用いることができる。
【００３５】
なお、合金の溶湯を急冷凝固させる急冷ロールの表面粗さは、薄帯表面のエアポケットの個数と大きさを低減する観点からは、小さいほど好ましく、具体的には、ＪＩＳ  Ｂ０６０１−２００１に規定される算術平均粗さＲａで１０μｍ以下とするのが好ましく、１μｍ以下とするのがより好ましい。
【００３６】
また、急冷ロールの表面温度は、８０〜２００℃の温度に加熱しておくことが、薄帯表面のエアポケットの個数と大きさを低減する観点からは好ましい。これは、表面温度が８０℃未満では、溶湯のぬれ性が低下し、一方、２００℃を超える温度では、急冷効果が得られなくなるからである。
【００３７】
なお、急冷ロールの表面に付着した異物は、薄帯表面にロール周方向に延びた筋状の疵を生じ易く、さらに、この疵は、長いエアポケットを生成する原因ともなる。そこで、薄帯を製造する際には、急冷ロールの周囲を除塵したり、急冷ロール表面のオンライン研磨などを採用したりすることが望ましい。
【００３８】
また、合金の溶湯を急冷凝固する際の雰囲気は、ＣＯ２ガスや燃焼させたＣＯガス（ＣＯ＋ＣＯ２）等とするのが好ましい。これは、大気中ではエアポケットの発生個数や大きさを低減するのが困難であるからである。
【００３９】
特に、薄帯表面のエアポケットの個数および長さを低減する観点からは、ＣＯ２ガスや燃焼させたＣＯガス（ＣＯ＋ＣＯ２）を、図１において、溶湯を射出するノズル４の背面（ロール回転の上流側）に例えば鋳造雰囲気調整ノズル５を設けて噴射するのが効果的である。その理由は、エアポケットとしてガスが巻き込まれるパドルとロールの境界に届き易いからである。
【００４０】
また、薄帯表面のエアポケットを低減するためには、急冷凝固させる際、急冷ロールの表面に８００℃程度に加熱した雰囲気ガスを熱風として吹き付けることも有効である。これは、パドルとロールの間に巻き込まれたガスの膨張が小さいからである。
【実施例１】
【００４１】
単ロール式急冷薄帯製造装置を用いて、Ｆｅ：８１ａｔ％、Ｂ：１１ａｔ％、Ｓｉ：８ａｔ％の成分組成を有する鉄合金の溶湯を、高速回転する銅製の急冷ロールの外周面に射出し、厚さが２５μｍ、幅が１００ｍｍの非晶質合金薄帯を作製し、コイル状に巻き取った。この際、急冷ロールの表面温度を９０℃とし、射出時の雰囲気および急冷ロールの表面粗さＲａを表１のように種々に変化させた。【００４２】
【表１】
2015016161.tif 000003
【００４３】
次いで、上記合金の薄帯を、直径２００ｍｍφ、幅１０５ｍｍの石英ガラス製ボビンに巻き付けて、重量２ｋｇのトロイダルコアを作製した。なお、同一条件で製造した合金薄帯からは、３個のトロイダルコアを作製し、１６００Ａ／ｍの磁界をかけた状態で、窒素雰囲気中において、それぞれ３６０℃、３８０℃および４００℃の温度で１時間保持する焼鈍を施した。【００４４】
その後、上記コアに１次コイルおよび２次コイルを巻き付け、１．３Ｔ、５０Ｈｚの条件で交流磁化して鉄損Ｗ１３／５０を測定した。なお、鉄損測定に当たっては、焼鈍のコアに衝撃を与えてスティッキング外しを十分に行い、その結果、鉄損値が最低となった焼鈍温度の鉄損値を、その合金の鉄損値として採用した。【００４５】
また、上記のようにして得た薄帯の、急冷ロールと接した側の表面を光学顕微鏡を用いて２０倍で写真撮影し、この写真から、１０ｍｍ四方の範囲の鋼帯表面に発生したエアポケットの個数と、それぞれのエアポケットのロール周方向の長さを測定し、さらにこの測定を、薄帯の幅方向に２０ｍｍ間隔で（計５箇所）実施し、その５箇所のエアポケットの個数とロール周方向の長さの平均値を算出した。【００４６】
上記の結果を表１に併記した。この結果から、エアポケットの個数と平均長さが、本発明の条件を満たすＮｏ．１〜６の合金は、焼鈍後の鉄損特性が優れていることがわかる。
【実施例２】
【００４７】
実施例１と同じ急冷薄帯製造装置を用いて、表２に示す各種成分組成の鉄合金の溶湯を、急冷ロールの外周面に射出して急冷凝固し、厚さが２５μｍ、幅が１００ｍｍの非晶質合金薄帯を作製し、コイル状に巻き取った。なお、上記急冷ロールには、表面粗さがＲａで０．３μｍ、表面温度を９０℃に制御した銅製ロールを用い、射出時の雰囲気ガスは、ＣＯ２：６０ｖｏｌ％および残部大気とした。【００４８】
【表２】
2015016161.tif 000004
【００４９】
なお、上記のようにして得た薄帯の表面性状は、急冷ロールと接する面側の表面粗さＲａが０．５μｍで、エアポケットの個数が１ｍｍ２当たり５〜６個、エアポケットの平均長さが０．４〜０．５ｍｍの範囲にあり、いずれも本発明の範囲内であった。【００５０】
次いで、上記合金薄帯を実施例１と同じ条件でトロイダルコアを作製し、焼鈍した後、スティッキング外しを行う前と十分に行った後における鉄損Ｗ１３／５０を測定した。
また、作製した合金薄帯から長さ２８０ｍｍ×幅１００ｍｍの試験片を切り出し、窒素雰囲気中において、長手方向に１６００Ａ／ｍの磁界をかけた状態で、トロイダルコアで鉄損が最小となった３６０℃、３８０℃および４００℃のいずれかの温度で１時間保持する焼鈍を施した後、単板磁気測定装置で磁束密度Ｂ８（磁化力８００Ａ／ｍにおける磁束密度）を測定した。【００５１】
上記測定の結果を表２に併記した。この結果から、成分組成が本発明の条件を満たすＮｏ．１〜１５の発明例の合金では、磁束密度が高いだけでなく、スティッキング外し後の鉄損特性に優れていることがわかる。中でも、ＣｒまたはＭｎを添加したＮｏ．８〜１３の発明例の合金は、スティッキング前の鉄損も良好であり、巻鉄心製造におけるスティッキング外しの工程を簡略化することができることがわかる。
【符号の説明】
【００５２】
１：冷却ロール
２：溶湯容器
３：溶融金属
４：ノズル
５：鋳造雰囲気調整ノズル
６：エアースリットノズル
Ｓ：非晶質薄帯
【図１】
2015016161.tif 000005
【国際調査報告】
2015016161.tif 000006
2015016161.tif 000007
2015016161.tif 000008
2015016161.tif 000009