(57)【要約】  半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器（２）を梱包するための梱包構造体は、下蓋（１３）と、スリーブ部材と、上蓋と、を有する梱包箱を備える。下蓋（１３）は、基板収納容器（２）を支持する底板と底板の周囲から上方へ延出する下蓋周壁とを有する。スリーブ部材は、上下方向に延出する軸心を有する筒状を有する。上蓋は、天板と天板の周囲から下方へ延出する上蓋周壁とを有する。下蓋（１３）は、装置位置決め部（１４、１６）を備える。装置位置決め部（１４、１６）は、上蓋が取り外された状態の梱包箱の下蓋（１３）に支持された基盤収納容器（２）を、下蓋（１３）から持上げる持上げ装置（４）の被位置決め部に係合可能である。
2015056317.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、  前記基板収納容器を支持する底板と前記底板の周囲から上方へ延出する下蓋周壁とを有する下蓋と、上下方向に延出する軸心を有する筒状のスリーブ部材と、天板と前記天板の周囲から下方へ延出する上蓋周壁とを有する上蓋と、を有する梱包箱を備え、  前記スリーブ部材の下端部は、前記下蓋の底板の上に載置され、前記スリーブ部材の上端部には、前記上蓋の天板が載置され、  前記下蓋は、装置位置決め部を備え、  前記装置位置決め部は、前記上蓋が取り外された状態の梱包箱の前記下蓋に支持された前記基板収納容器を、前記下蓋から持上げる持上げ装置の被位置決め部に係合可能である梱包構造体。
【請求項２】
前記装置位置決め部は、前記上蓋と前記下蓋とを結ぶ方向に直交する方向であって前記下蓋に対して接近又は離間する方向である接近離間方向における接近離間方向端部と、前記上蓋と前記下蓋とを結ぶ方向及び前記接近離間方向に対して直交する方向である規制方向における規制方向一端部と規制方向他端部と、を有する請求項１に記載の梱包構造体。
【請求項３】
前記装置位置決め部は、前記接近離間方向端部と前記規制方向一端部と前記規制方向他端部とを有する少なくとも１つの第１装置位置決め部と、前記第１装置位置決め部とは異なる形状を有して前記接近離間方向端部を有する少なくとも１つの第２装置位置決め部と、を有する請求項２に記載の梱包構造体。
【請求項４】
前記装置位置決め部は、前記接近離間方向端部と前記規制方向一端部と前記規制方向他端部とを有する同一形状の少なくとも３つの第１装置位置決め部を有し、隣接する前記第１装置位置決め部は、全て同一の間隔で離間しているのではなく異なる間隔で離間して配置される請求項２に記載の梱包構造体。
【請求項５】
前記持上げ装置の前記被位置決め部は、前記接近離間方向における端部を構成する接近離間方向端部当接部と前記規制方向における一端部を構成する一端部当接部とを有する第１被位置決め部と、前記接近離間方向端部当接部と前記規制方向における他端部を構成する他端部当接部とを有する第２被位置決め部と、を有し、  前記装置位置決め部は、前記第１被位置決め部の前記接近離間方向端部当接部及び前記第２被位置決め部の前記接近離間方向端部当接部が当接可能な前記接近離間方向端部と、前記第１被位置決め部の前記一端部当接部が当接可能な前記規制方向一端部と、前記第２被位置決め部の前記他端部当接部が当接可能な前記規制方向他端部と、を有する共通装置位置決め部を有する請求項２に記載の梱包構造体。
【請求項６】
前記装置位置決め部は、前記下蓋周壁に存在する請求項１〜請求項５のいずれかに記載の梱包構造体。
【請求項７】
前記下蓋は、前記底板の下面から下方へ延出する下蓋脚部を有し、  前記装置位置決め部は、前記下蓋脚部に存在する請求項１〜請求項５のいずれかに記載の梱包構造体。
【請求項８】
前記梱包箱内において前記基板収納容器が載置される下部緩衝材を備える請求項１〜請求項７のいずれかに記載の梱包構造体。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器を梱包するための梱包構造体に関する。
【背景技術】
【０００２】  半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と蓋体とを備える基板収納容器が、従来より知られている（特許文献１参照）。このような基板収納容器は、梱包箱内に梱包されて輸送され、梱包箱から取り出され、基板収納容器から基板が取り出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−３０７３７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  近年では、基板の大径化に伴い、基板を収納した基板収納容器は、極めて重くなる傾向にある。このため、梱包箱から基板収納容器を取り出す際に、基板収納容器を持上げる持上げ装置を用いることができれば、梱包箱からの基板収納容器の取り出しを容易とすることができる。【０００５】  本発明は、基板収納容器を持上げる持上げ装置を用いて梱包箱から容易に基板収納容器を取り出すことができる梱包構造体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本発明は、半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、前記基板収納容器を支持する底板と前記底板の周囲から上方へ延出する下蓋周壁とを有する下蓋と、上下方向に延出する軸心を有する筒状のスリーブ部材と、天板と前記天板の周囲から下方へ延出する上蓋周壁とを有する上蓋と、を有する梱包箱を備え、前記スリーブ部材の下端部は、前記下蓋の底板の上に載置され、前記スリーブ部材の上端部には、前記上蓋の天板が載置され、前記下蓋は、装置位置決め部を備え、前記装置位置決め部は、前記上蓋が取り外された状態の梱包箱の前記下蓋に支持された前記基板収納容器を、前記下蓋から持上げる持上げ装置の被位置決め部に係合可能である梱包構造体に関する。【０００７】  また、前記装置位置決め部は、前記上蓋と前記下蓋とを結ぶ方向に直交する方向であって前記下蓋に対して接近又は離間する方向である接近離間方向における接近離間方向端部と、前記上蓋と前記下蓋とを結ぶ方向及び前記接近離間方向に対して直交する方向である規制方向における規制方向一端部と規制方向他端部と、を有することが好ましい。【０００８】  また、前記装置位置決め部は、前記接近離間方向端部と前記規制方向一端部と前記規制方向他端部とを有する少なくとも１つの第１装置位置決め部と、前記第１装置位置決め部とは異なる形状を有して前記接近離間方向端部を有する少なくとも１つの第２装置位置決め部とを有することが好ましい。【０００９】  また、前記装置位置決め部は、前記接近離間方向端部と前記規制方向一端部と前記規制方向他端部とを有する同一形状の少なくとも３つの第１装置位置決め部を有し、隣接する前記第１装置位置決め部は、全て同一の間隔で離間しているのではなく異なる間隔で離間して配置されることが好ましい。【００１０】  また、前記持上げ装置の前記被位置決め部は、前記接近離間方向における端部を構成する接近離間方向端部当接部と前記規制方向における一端部を構成する一端部当接部とを有する第１被位置決め部と、前記接近離間方向端部当接部と前記規制方向における他端部を構成する他端部当接部とを有する第２被位置決め部と、を有し、前記装置位置決め部は、前記第１被位置決め部の前記接近離間方向端部当接部及び前記第２被位置決め部の前記接近離間方向端部当接部が当接可能な前記接近離間方向端部と、前記第１被位置決め部の前記一端部当接部が当接可能な前記規制方向一端部と、前記第２被位置決め部の前記他端部当接部が当接可能な前記規制方向他端部と、を有する共通装置位置決め部を有することが好ましい。【００１１】  また、前記装置位置決め部は、前記下蓋周壁に存在することが好ましい。また、前記下蓋は、前記底板の下面から下方へ延出する下蓋脚部を有し、前記装置位置決め部は、前記下蓋脚部に存在することが好ましい。また、前記梱包箱内において前記基板収納容器が載置される下部緩衝材を備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】  本発明によれば、基板収納容器を持上げる持上げ装置を用いて梱包箱から容易に基板収納容器を取り出すことができる梱包構造体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１から、上蓋１１及びスリーブ部材１２を取り外した様子を示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１から、基板収納容器２を持上げる持上げ装置４によって基板収納容器２を持上げる様子を示す斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１の下蓋１３の第１装置位置決め部１４と第２装置位置決め部１６とを示す概略図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１により梱包される基板収納容器２を示す分解斜視図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１により梱包される基板収納容器２を収容する基板収納容器収容袋３を示す斜視図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る梱包構造体１Ａを示す斜視図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る梱包構造体１Ａから、上蓋１１及びスリーブ部材１２を取り外した様子を示す斜視図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る梱包構造体１Ａから基板収納容器２を持上げる持上げ装置４によって基板収納容器２を持上げる様子を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る梱包構造体１Ａの下蓋１３の第１装置位置決め部１４と第２装置位置決め部１６とを示す概略図である。
【図１１】本発明の第３実施形態に係る梱包構造体１から、上蓋１１を取り外した様子を示す斜視図である。
【図１２】本発明の第３実施形態に係る梱包構造体１から、基板収納容器２を持上げる持上げ装置４Ｂによって基板収納容器２を持上げる様子を示す斜視図である。
【図１３】本発明の第４実施形態に係る梱包構造体１Ｃを示す斜視図である。
【図１４】本発明の第４実施形態に係る梱包構造体１Ｃから、上蓋１１及びスリーブ部材１２を取り外した様子を示す斜視図である。
【図１５】本発明の第４実施形態に係る梱包構造体１Ｃから、基板収納容器２を持上げる持上げ装置４によって基板収納容器２を持上げる様子を示す斜視図である。
【図１６】本発明の第５実施形態に係る梱包構造体１の下蓋１３の第１装置位置決め部１４を示す概略図である。
【図１７】本発明の第６実施形態に係る梱包構造体１の下蓋１３の第１装置位置決め部１４Ｅと第２装置位置決め部１６Ａとを示す概略図である。
【図１８】本発明の第７実施形態に係る梱包構造体１の下蓋１３の第１装置位置決め部１４Ｆを示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】  以下、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１を示す斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１から、上蓋１１及びスリーブ部材１２を取り外した様子を示す斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１から、基板収納容器２を持上げる持上げ装置４によって基板収納容器２を持上げる様子を示す斜視図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１の下蓋１３の第１装置位置決め部１４と第２装置位置決め部１６とを示す概略図である。図５は、本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１により梱包される基板収納容器２を示す分解斜視図である。図６は、本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１により梱包される基板収納容器２を収容する基板収納容器収容袋３を示す斜視図である。
【００１５】  ここで、説明の便宜上、後述の梱包箱１０の背板１２４から前板１２３へ向かう方向（図１における右下方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の底板１３１から天板１１１へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側板１２２から第１側板１２１へと向かう方向（図１における左下方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。
【００１６】  図５に示すように、梱包構造体１により梱包される基板収納容器２は、半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するためのものであり、容器本体２０２と、蓋体２０３とを有している。
【００１７】  容器本体２０２は、一端部に容器本体開口部２２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２２０を有する。容器本体２０２内には基板収納空間２２７が形成されている。基板収納空間２２７は、壁部２２０により取り囲まれて形成されている。壁部２２０の部分であって基板収納空間２２７を形成している部分には、基板支持板状部２０５及びリアリテーナ（図示せず）が配置されている。基板収納空間２２７には、複数の基板Ｗを収納可能である。
【００１８】  基板支持板状部２０５は、基板収納空間２２７内で左右方向Ｄ３において対をなすように壁部２２０に設けられている。基板支持板状部２０５は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。リアリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
【００１９】  蓋体２０３は、容器本体開口部２２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２２１を閉塞可能である。蓋体２０３には、フロントリテーナ（図示せず）が設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３の部分であって蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに基板収納空間２２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、リアリテーナ（図示せず）と対をなすように配置されている。
【００２０】  フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、リアリテーナ（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。
【００２１】  基板収納容器２に収納される基板Ｗ（図５参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ〜４５０ｍｍのシリコンウェーハである。このような基板Ｗを収納する基板収納容器２は、その全体が図６に示すように、不透明な基板収納容器収容袋３によって密閉状態で収容される。そして、この状態で、基板収納容器２は、梱包箱１０に梱包される。なお、図２、図３、図８、図９、図１１、図１２、図１４、図１５においては、持上げ装置４によって基板収納容器２が挟持される様子の理解を容易とするために、基板収納容器収容袋３の図示を省略している。
【００２２】  図１に示すように、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、梱包箱１０と、上部緩衝材（図示せず）と、下部緩衝材（図示せず）と、剛性体（図示せず）と、弾性支持部材としてのコイルバネ（図示せず）と、を備えている。梱包構造体１は、半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するために、基板収納容器２を梱包する。
【００２３】  図１に示すように、梱包箱１０は、それぞれいわゆるプラスチック段ボール箱（プラダン）により構成された上蓋１１と、スリーブ部材１２と、下蓋１３と、を備えており、全体として直方体形状を有している。
【００２４】  上蓋１１は、天板１１１と上蓋周壁１１２とを有する。天板１１１は、長方形状を有している。上蓋周壁１１２は、天板１１１の周囲から下方向Ｄ２２へ延出する４枚の長方形状の板状を有しており、一端が天板１１１によって閉塞され他端が開口する四角筒状を有している。
【００２５】  スリーブ部材１２は、それぞれ長方形状の板状を有する第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４により構成されており、上下方向に延びる軸心を有して両端において開口する四角筒状を有している。スリーブ部材１２の第１側板１２１、第２側板１２２には、それぞれ前後方向に長い長円形状の貫通孔１２５が形成されている。作業者は、貫通孔１２５に手を挿入して、スリーブ部材１２を持ち上げることが可能である。
【００２６】  下蓋１３は、底板１３１と下蓋周壁１３２と下蓋脚部１３３とを有する。底板１３１は、長方形状を有している。下蓋周壁１３２は、底板１３１の周囲から上方へ延出する４枚の長方形状の板状を有しており、一端が底板１３１によって閉塞され他端が開口する四角筒状を有している。下蓋脚部１３３は、底板１３１の四隅と、左右方向Ｄ３における前方向Ｄ１１の端縁の中央及び後方向Ｄ１２の端縁の中央とに、計６つ設けられており、下方向Ｄ２２へ延びている。
【００２７】  スリーブ部材１２の上端部の周囲が上蓋周壁１１２によって取り囲まれる位置関係とされて、スリーブ部材１２の上端部には、上蓋１１の天板１１１が載置される。また、スリーブ部材１２の下端部の周囲が下蓋周壁１３２によって取り囲まれる位置関係とされて、スリーブ部材１２の下端部は、下蓋１３の底板１３１の上に載置される。これにより、上蓋１１、スリーブ部材１２、及び、下蓋１３から構成される梱包箱１０が組み立てられる。
【００２８】  このような構成の梱包箱１０内に、発泡スチロールにより構成された上部緩衝材（図示せず）と、基板収納容器２と、発泡スチロールにより構成された下部緩衝材（図示せず）とが、梱包される。具体的には、下部緩衝材（図示せず）に基板収納容器２が載置され、基板収納容器２に上部緩衝材が載置される。即ち、上部緩衝材（図示せず）と下部緩衝材（図示せず）とで、上下方向Ｄ２において基板収納容器２を挟むようにして、上部緩衝材（図示せず）、下部緩衝材（図示せず）、及び、基板収納容器２は、梱包箱１０内に配置される。
【００２９】  下部緩衝材（図示せず）は、常に、下蓋１３に対して基板収納容器２が一定の姿勢となるように、基板収納容器２を支持する。即ち、下部緩衝材（図示せず）には、常に、基板収納容器２の下部が下方向Ｄ２２の側に位置し、基板収納容器２の左側の側壁２２５が左方向Ｄ３１の側に位置し、基板収納容器２の右側の側壁２２６が右方向Ｄ３２の側に位置するように、基板収納容器２は載置される。
【００３０】  剛性体（図示せず）は、ダンボールの板又はプラスチックの板により構成されている。剛性体（図示せず）は、長方形状の板状を有している。剛性体（図示せず）は、それぞれ平坦な上面及び下面を有しており、剛性体（図示せず）の上面は、下部緩衝材（図示せず）の下端面としての下面に当接して下部緩衝材（図示せず）を支持する。また、剛性体（図示せず）の下面は、弾性支持部材としての後述のコイルバネ（図示せず）の上端部に当接して、コイルバネ（図示せず）により支持される。
【００３１】  コイルバネ（図示せず）は、梱包箱１０内であって剛性体（図示せず）の四隅に配置されている。コイルバネ（図示せず）は剛性体（図示せず）を上方向Ｄ２１へ付勢しており、コイルバネ（図示せず）の上端部は、剛性体（図示せず）の下面に当接した状態で剛性体（図示せず）に固定されている。コイルバネ（図示せず）の下端部は、下蓋１３の底板１３１に当接した状態で固定されている。これにより、弾性変形可能なコイルバネ（図示せず）は、梱包箱１０の底板１３１に支持されると共に、コイルバネ（図示せず）の上端部は、剛性体（図示せず）を介して下部緩衝材（図示せず）を間接的に支持する。以下、下蓋１３の装置位置決め部１４、１６の構成、及び、基板収納容器２を持上げる持上げ装置４の被位置決め部４３、４５について、詳細に説明する。
【００３２】  図２、図３に示すように、基板収納容器を持上げる持上げ装置４は、台車部４１と、被位置決め部としての第１被位置決め部４３（図４参照）及び第２被位置決め部４５（図４参照）と、容器保持部４６と、を有している。台車部４１は、４つのタイヤ４１１を備えており、タイヤ４１１が駆動することにより、移動可能である。なお、図２、図３には、タイヤは、３つのみ現われている。台車部４１の端部には、壁部４１２が設けられている。壁部４１２は、上下方向に延びる長方形状の板状を有している。
【００３３】  容器保持部４６は、後方へ平行に延びる２本のアーム４６１により構成されている。２本のアーム４６１は、壁部４１２に設けられたガイド部（図示せず）に係合しており、壁部４１２に沿って上下方向に移動可能である。また、２本のアーム４６１は、左右方向Ｄ３において、互いに接近又は離間可能である。この構成により、持上げ装置４は、２本のアーム４６１間に基板収納容器２を挟持した状態で、基板収納容器２を持上げることができる。
【００３４】  第１被位置決め部４３及び第２被位置決め部４５は、壁部４１２に設けられている。より詳細には、壁部４１２の下部には、図４に示すように、半球状の先端部を有する第１被位置決め部４３としての半球突出部４３１と、先端が平坦面により構成された第２被位置決め部４５としての平坦突出部４５１とが設けられている。
【００３５】  梱包箱１０を構成する下蓋周壁１３２には、装置位置決め部としての第１装置位置決め部１４と第２装置位置決め部１６が存在する。第１装置位置決め部１４は、図４に示すように、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向に直交する断面（前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な断面）で、三角形状の三角凹部１４１を有している。また、第２装置位置決め部１６は、平坦な当接面１６１を有している。
【００３６】  三角凹部１４１には、半球突出部４３１が係合可能である。三角凹部１４１において、半球突出部４３１の半球状の部分が当接する部分は、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向（上下方向Ｄ２）に直交する方向であって下蓋１３に対して接近又は離間する方向である接近離間方向（前後方向Ｄ１）における接近離間方向端部１４４を構成する。これと同時に、三角凹部１４１において、半球突出部４３１の半球状の先端部が当接する部分は、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向（上下方向Ｄ２）及び接近離間方向（前後方向Ｄ１）に対して直交する方向である規制方向（左右方向Ｄ３）における規制方向一端部１４２と規制方向他端部１４３とを構成する。
【００３７】  また、当接面１６１には、平坦突出部４５１の先端の平坦面が当接可能である。当接面１６１において、平坦突出部４５１の先端の平坦面が当接する部分は、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向（上下方向Ｄ２）に直交する方向であって下蓋１３に対して接近又は離間する方向である接近離間方向（前後方向Ｄ１）における接近離間方向端部１６４を構成する。
【００３８】  従って、持上げ装置４の第１被位置決め部４３は、接近離間方向（前後方向Ｄ１）において三角凹部１４１の接近離間方向端部１４４に当接可能な接近離間方向端部当接部４３４と、規制方向（左右方向Ｄ３）において規制方向一端部１４２と規制方向他端部１４３とにそれぞれ当接可能な一端部当接部４３２と他端部当接部４３３とを有する。三角凹部１４１への半球突出部４３１の係合、及び、当接面１６１への平坦突出部４５１の先端の平坦面の当接により、第１装置位置決め部１４、第２装置位置決め部１６は、基板収納容器２を持上げる持上げ装置４の第１被位置決め部４３、第２被位置決め部４５に係合可能である。
【００３９】  上記のような梱包構造体に梱包された基板収納容器２を、持上げ装置４によって持上げる際の動作は以下のとおりである。先ず、図１に示す梱包箱１０において、下蓋１３から上蓋１１（図１参照）及びスリーブ部材１２（図１参照）を取り外して、図２に示す状態とする。次に、図２、図４に示すように、持上げ装置４を、第１装置位置決め部１４、第２装置位置決め部１６に第１被位置決め部４３、第２被位置決め部４５をそれぞれ対向させた位置関係として、持上げ装置４を後方向Ｄ１２へ移動させる。
【００４０】  そして、第２装置位置決め部１６の平坦な当接面１６１に、第２被位置決め部４５の平坦突出部４５１の接近離間方向端部当接部４５４を当接させる。これと同時に、三角凹部１４１の接近離間方向端部１４４に半球突出部４３１の接近離間方向端部当接部４３４を当接させ、また、三角凹部１４１の規制方向一端部１４２、規制方向他端部１４３に、それぞれ一端部当接部４３２、他端部当接部４３３を当接させる。
【００４１】  これにより、接近離間方向（前後方向Ｄ１）において下蓋１３に対する持上げ装置４の位置決めがなされると同時に、規制方向（左右方向Ｄ３）において下蓋１３に対する持上げ装置４の位置決めがなされる。この状態で、図３に示すように、持上げ装置４の２本のアーム４６１は、上蓋１１及びスリーブ部材１２が取り外された状態の梱包箱１０の下蓋１３に支持された基板収納容器２の左側の側壁２２５と、右側の側壁２２６とにそれぞれ当接して、基板収納容器２を持ち上げる。この状態で台車部４１は、４つのタイヤ４１１を駆動させて移動し、基板収納容器２を所定の場所へ搬送する。
【００４２】  上記構成の第１実施形態に係る梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するための基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、下蓋１３と、スリーブ部材１２と、上蓋１１と、を有する梱包箱１０を備える。下蓋１３は、基板収納容器２を支持する底板１３１と底板１３１の周囲から上方へ延出する下蓋周壁１３２とを有する。スリーブ部材１２は、上下方向に延出する軸心を有する筒状を有する。上蓋１１は、天板１１１と天板１１１の周囲から下方へ延出する上蓋周壁１１２とを有する。スリーブ部材１２の下端部は、下蓋１３の底板１３１の上に載置され、スリーブ部材１２の上端部には、上蓋１１の天板１１１が載置される。下蓋１３は、装置位置決め部１４、１６を備え、装置位置決め部１４、１６は、上蓋１１、スリーブ部材１２が取り外された状態の梱包箱１０の下蓋１３に支持された基板収納容器２を下蓋１３から持上げる持上げ装置４の被位置決め部４３、４５に係合可能である。
【００４３】  この構成により、持上げ装置４を梱包箱１０に対して、正確且つ確実に位置決めすることができる。このため、梱包箱１０に対して基板収納容器２を常に一定の姿勢となるように梱包することで、所定の姿勢の基板収納容器２に対して、持上げ装置４を正確且つ確実に位置決めすることができる。
【００４４】  また、装置位置決め部１４、１６は、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向（上下方向Ｄ２）に直交する方向であって下蓋１３に対して接近又は離間する方向である接近離間方向（前後方向Ｄ１）における接近離間方向端部１４４と、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向及び接近離間方向に対して直交する方向である規制方向（左右方向Ｄ３）における規制方向一端部１４２と規制方向他端部１４３と、を有する。また、被位置決め部４３、４５は、接近離間方向において接近離間方向端部１４４に当接可能な接近離間方向端部当接部４３４と、規制方向において規制方向一端部１４２と規制方向他端部１４３とにそれぞれ当接可能な一端部当接部４３２と他端部当接部４３３と、を有する。
【００４５】  この構成により、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向に直交する方向であって下蓋１３に対して接近又は離間する方向である接近離間方向（前後方向Ｄ１）と、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向及び接近離間方向に対して直交する方向である規制方向（左右方向Ｄ３）と、において、持上げ装置４を梱包箱１０に対して、正確且つ確実に位置決めすることができる。
【００４６】  また、装置位置決め部は、接近離間方向端部１４４と規制方向一端部１４２と規制方向他端部１４３とを有する少なくとも１つの第１装置位置決め部１４と、第１装置位置決め部１４とは異なる形状を有して接近離間方向端部１６４を有する少なくとも１つの第２装置位置決め部１６とを有する。被位置決め部は、接近離間方向端部当接部４３４と一端部当接部４３２と他端部当接部４３３とを有する第１被位置決め部４３と、接近離間方向端部当接部４５４を有する第２被位置決め部４５と、を有する。
【００４７】  この構成により、第１装置位置決め部１４と第２装置位置決め部１６とを異なる構成として、また、第１被位置決め部４３と第２被位置決め部４５とを異なる構成として、誤った作業を防ぎ、正しく持上げ装置４を位置決めすることができる。
【００４８】  また、装置位置決め部１４、１６は、下蓋周壁１３２に存在する。この構成により、上蓋１１及びスリーブ部材１２を取り外した状態でも、持上げ装置４を位置決めする機能を保つことができる。
【００４９】  また、梱包箱１０内において基板収納容器２が載置される下部緩衝材（図示せず）を備える。この構成により、下蓋１３等から基板収納容器２に伝達される振動や衝撃を下部緩衝材で吸収することができる。
【００５０】  また、梱包箱１０内に配置され、弾性変形可能であり、梱包箱１０の底板１３１に支持され、下部緩衝材（図示せず）を支持する弾性支持部材としてのコイルバネ（図示せず）を備える。この構成により、下蓋１３等から基板収納容器２に伝達される振動や衝撃を弾性支持部材としてのコイルバネ（図示せず）によって効果的に吸収することができる。
【００５１】  また、基板収納容器２は、基板収納容器２の全体が容器収容袋としての基板収納容器収容袋３に覆われて収容された状態で、下蓋１３によって支持される。このように基板収納容器２の全体が基板収納容器収容袋３に覆われていても、所定に姿勢を有する基板収納容器２に対して、確実に持上げ装置４を位置決めすることができる。
【００５２】  次に、本発明の第２実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａについて説明する。図７は、本発明の第２実施形態に係る梱包構造体１Ａを示す斜視図である。図８は、本発明の第２実施形態に係る梱包構造体１Ａから、上蓋１１及びスリーブ部材１２を取り外した様子を示す斜視図である。図９は、本発明の第２実施形態に係る梱包構造体１Ａから基板収納容器２を持上げる持上げ装置４によって基板収納容器２を持上げる様子を示す斜視図である。図１０は、本発明の第２実施形態に係る梱包構造体１Ａの下蓋１３の第１装置位置決め部１４と第２装置位置決め部１６とを示す概略図である。
【００５３】  第２実施形態は、第２装置位置決め部１６Ａ、第２被位置決め部４５Ａの構成が第１実施形態における第２装置位置決め部１６、第２被位置決め部４５の構成とは異なる点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００５４】  図１０に示すように、第２装置位置決め部１６Ａは、平坦な当接面１６１（図４参照）に代えて、矩形凹部１６１Ａを有している。矩形凹部１６１Ａは、後方向Ｄ１２へ窪んで形成されており、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向に直交する断面（前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な断面）では、長方形を有している。第２被位置決め部４５Ａは、矩形凸部４５１Ａを有している。矩形凸部４５１Ａは、平面視で左右方向における矩形凹部１６１Ａの長さよりも短い矩形を有しており、後方向Ｄ１２へ突出している。
【００５５】  上記のような梱包構造体１Ａに梱包された基板収納容器２を、持上げ装置４によって持上げる際の動作は以下のとおりである。先ず、図７に示す梱包箱１０において、下蓋１３から上蓋１１及びスリーブ部材１２を取り外して、図８に示す状態とする。次に、図８、図１０に示すように、持上げ装置４を、第１装置位置決め部１４、第２装置位置決め部１６Ａに第１被位置決め部４３、第２被位置決め部４５Ａをそれぞれ対向させた位置関係として、後方向Ｄ１２へ移動させる。
【００５６】  そして、第２装置位置決め部１６Ａの矩形凹部１６１Ａに、第２被位置決め部４５Ａの矩形凸部４５１Ａを係合させる。これにより、後方向Ｄ１２における矩形凹部１６１Ａの端面により構成される接近離間方向端部１６４Ａに、後方向Ｄ１２における矩形凸部４５１Ａの端面により構成される接近離間方向端部当接部４５４Ａが当接する。これと同時に、第１装置位置決め部１４の三角凹部１４１の接近離間方向端部１４４に第１被位置決め部４３の半球突出部４３１の接近離間方向端部当接部４３４が当接し、また、第１装置位置決め部１４の三角凹部１４１の規制方向一端部１４２、規制方向他端部１４３に、それぞれ第１被位置決め部４３の半球突出部４３１の一端部当接部４３２、他端部当接部４３３が当接する。
【００５７】  これにより、接近離間方向（前後方向Ｄ１）において、下蓋１３に対する持上げ装置４の位置決めがなされると同時に、規制方向（左右方向Ｄ３）において、下蓋１３に対する持上げ装置４の位置決めがなされる。この状態で、持上げ装置４の２本のアーム４６１が基板収納容器２の左側の側壁２２５と、右側の側壁２２６とに当接して、基板収納容器２を持ち上げ、基板収納容器２を所定の場所へ搬送する。
【００５８】  次に、本発明の第３実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａについて説明する。図１１は、本発明の第３実施形態に係る梱包構造体１から、上蓋１１を取り外した様子を示す斜視図である。図１２は、本発明の第３実施形態に係る梱包構造体１から、基板収納容器２を持上げる持上げ装置４Ｂによって基板収納容器２を持上げる様子を示す斜視図である。
【００５９】  第３実施形態は、持上げ装置４Ｂの構成が第２実施形態における持上げ装置４の構成とは異なる点において、第２実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第２実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００６０】  図１１、図１２に示すように、基板収納容器２を持上げる持上げ装置４Ｂにおいては、壁部４１２Ｂには、アーム支持部４１３Ｂが設けられている。アーム支持部４１３Ｂは、壁部４１２Ｂに設けられたガイド部（図示せず）に係合しており、壁部４１２Ｂに沿って上下方向に移動可能である。２本のアーム４６１Ｂは、アーム支持部４１３Ｂから下方へ平行に延びており、互いに接近又は離間可能である。なお、図１１、図１２においては、アーム４６１Ｂは、１本のみ現われている。
【００６１】  上記のような梱包構造体に梱包された基板収納容器２を、持上げ装置４Ｂによって持上げる際の動作は以下のとおりである。先ず、梱包箱１０において、下蓋１３及びスリーブ部材１２から上蓋１１を取り外し、図１１に示す状態とする。次に、持上げ装置４Ｂの第１装置位置決め部１４、第２装置位置決め部１６Ａに第１被位置決め部４３（図１０参照）、第２被位置決め部４５Ａをそれぞれ係合させて、下蓋１３に対する持上げ装置４Ｂの位置決めをする。
【００６２】  次に、図１２に示すように、上蓋１１が取り外された状態の梱包箱１０の下蓋１３に支持された基板収納容器２の上方から、下方向Ｄ２２へ２本のアーム４６１Ｂを下げて行き、スリーブ部材１２と基板収納容器２との間に挿入する。そして、持上げ装置４Ｂの２本のアーム４６１Ｂが基板収納容器２の左側の側壁２２５（図２等参照）と、右側の側壁２２６とに当接して、基板収納容器２を持ち上げて、基板収納容器２を所定の場所へ搬送する。
【００６３】  次に、本発明の第４実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｃについて説明する。図１３は、本発明の第４実施形態に係る梱包構造体１Ｃを示す斜視図である。図１４は、本発明の第４実施形態に係る梱包構造体１Ｃから、上蓋１１及びスリーブ部材１２を取り外した様子を示す斜視図である。図１５は、本発明の第４実施形態に係る梱包構造体１Ｃから、基板収納容器２を持上げる持上げ装置４によって基板収納容器２を持上げる様子を示す斜視図である。
【００６４】  第４実施形態は、第１装置位置決め部１４、第２装置位置決め部１６Ａの位置が第２実施形態における第１装置位置決め部１４、第２装置位置決め部１６Ａの位置とは異なる点、これに伴い第１被位置決め部４３、第２被位置決め部４５Ａの位置が第２実施形態における第１被位置決め部４３、第２被位置決め部４５Ａの位置とは異なる点において、第２実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第２実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００６５】  図１３に示すように、第１装置位置決め部１４は、底板１３１の前方向Ｄ１１の端縁且つ左方向Ｄ３１の端縁に設けられた下蓋脚部１３３Ｃの前方向Ｄ１１側の端面に存在している。また、第２装置位置決め部１６Ａは、底板１３１の前方向Ｄ１１の端縁且つ左右方向Ｄ３の中央に設けられた下蓋脚部１３３Ｃの前方向Ｄ１１側の端面に存在している。これに伴い、第２実施形態の第１被位置決め部４３、第２被位置決め部４５Ａとそれぞれ同一形状の第１被位置決め部（図示せず）、第２被位置決め部（図示せず）は、持上げ装置４において、第１装置位置決め部１４、第２装置位置決め部１６Ａに対向する位置に存在している。
【００６６】  上述のように、第１装置位置決め部１４、第２装置位置決め部１６Ａは、下蓋脚部１３３Ｃに存在する。この構成により、下蓋１３に位置決め部の凹みを設置するスペースが下蓋１３の内側に無く、下蓋１３において位置決め部の設置が困難な場合でも位置決め部を設置することができる。
【００６７】  次に、本発明の第５実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体について説明する。図１６は、本発明の第５実施形態に係る梱包構造体１の下蓋１３の第１装置位置決め部１４を示す概略図である。
【００６８】  第５実施形態は、同一形状の３つの第１装置位置決め部１４を有し、第２装置位置決め部１６を有していない点、そして、これに伴い同一形状の３つの第１被位置決め部４３を有し、第２被位置決め部４５を有していない点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００６９】  第１装置位置決め部１４は、図１６に示すように、第１三角凹部１４１−１と、第２三角凹部１４１−２と、第３三角凹部１４１−３とを有している。第１三角凹部１４１−１、第２三角凹部１４１−２、及び、第３三角凹部１４１−３は、第１実施形態の第１装置位置決め部１４を構成する三角凹部１４１と同一形状を有している。このため、第１三角凹部１４１−１、第２三角凹部１４１−２、第３三角凹部１４１−３は、それぞれ第１実施形態の第１装置位置決め部１４と同様に、接近離間方向端部１４４、規制方向一端部１４２、規制方向他端部１４３とそれぞれ同一の、接近離間方向端部１４４−１、１４４−２、１４４−３、規制方向一端部１４２−１、１４２−２、１４２−３、規制方向他端部１４３−１、１４３−２、１４３−３を有する。
【００７０】  図１６に示すように、第１三角凹部１４１−１と、第２三角凹部１４１−２と、第３三角凹部１４１−３とにおいて、隣接するもの同士は、異なる間隔で離間して配置されている。即ち、第１三角凹部１４１−１と第２三角凹部１４１−２との間隔は、第２三角凹部１４１−２と第３三角凹部１４１−３との間隔よりも小さい。
【００７１】  また、第１被位置決め部４３は、図１６に示すように、第１半球突出部４３１−１と、第２半球突出部４３１−２と、第３半球突出部４３１−３とを有している。第１半球突出部４３１−１、第２半球突出部４３１−２、及び、第３半球突出部４３１−３は、第１実施形態の第１被位置決め部４３を構成する半球突出部４３１と同一形状を有している。このため、第１半球突出部４３１−１、第２半球突出部４３１−２、第３半球突出部４３１−３は、それぞれ第１実施形態の第１被位置決め部４３と同様に、接近離間方向端部当接部４３４、一端部当接部４３２、他端部当接部４３３とそれぞれ同一の、接近離間方向端部当接部４３４−１、４３４−２、４３４−３、一端部当接部４３２−１、４３２−２、４３２−３、他端部当接部４３３−１、４３３−２、４３３−３を有する。
【００７２】  第１半球突出部４３１−１と、第２半球突出部４３１−２と、第３半球突出部４３１−３とにおいて、隣接するもの同士は、異なる間隔で離間して配置されている。即ち、第１半球突出部４３１−１と第２半球突出部４３１−２との間隔は、第２半球突出部４３１−２と第３半球突出部４３１−３との間隔よりも小さい。
【００７３】  上記構成の第５実施形態に係る梱包構造体によれば、以下のような効果を得ることができる。３つの第１装置位置決め部１４は、接近離間方向端部１４４−１、１４４−２、１４４−３、規制方向一端部１４２−１、１４２−２、１４２−３、規制方向他端部１４３−１、１４３−２、１４３−３を有する同一形状の３つの第１装置位置決め部１４としての第１三角凹部１４１−１と、第２三角凹部１４１−２と、第３三角凹部１４１−３とを有している。隣接する第１装置位置決め部１４としての第１三角凹部１４１−１〜第３三角凹部１４１−３同士は、異なる間隔で離間して配置されている。
【００７４】  また、３つの第１被位置決め部４３は、接近離間方向端部当接部４３４−１、４３４−２、４３４−３、一端部当接部４３２−１、４３２−２、４３２−３、他端部当接部４３３−１、４３３−２、４３３−３をそれぞれ有して、第１装置位置決め部１４としての第１三角凹部１４１−１と、第２三角凹部１４１−２と、第３三角凹部１４１−３が１つずつ当接可能な第１被位置決め部４３としての第１半球突出部４３１−１、第２半球突出部４３１−２、第３半球突出部４３１−３を有する。
【００７５】  この構成により、第１三角凹部１４１−１、第２三角凹部１４１−２、第３三角凹部１４１−３は、それぞれ第１半球突出部４３１−１、第２半球突出部４３１−２、第３半球突出部４３１−３に係合することができ、より高い精度で持上げ装置４を下蓋１３に対して位置決めすることができる。
【００７６】  次に、本発明の第６実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体について説明する。図１７は、本発明の第６実施形態に係る梱包構造体１の下蓋１３の第１装置位置決め部１４Ｅと第２装置位置決め部１６Ａとを示す概略図である。
【００７７】  第６実施形態は、装置位置決め部において１つの第１装置位置決め部１４Ｅと、２つの第２装置位置決め部１６Ａとを有している点、及び、これに伴い、被位置決め部において１つの第１被位置決め部４３と、２つの第２被位置決め部４５Ａを有している点において、第２実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第２実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００７８】  第１装置位置決め部１４Ｅは、図１７に示すように、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向に直交する断面（前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な断面）では、後方向Ｄ１２へ行くにつれて左右方向Ｄ３の幅が小さくなるテーパ状部１４１Ｅと、更に、後方向Ｄ１２において、矩形を有する矩形奥部１４５Ｅと、を有している。第２装置位置決め部１６Ａは、左右方向Ｄ３における第１装置位置決め部１４Ｅの両側に、第１装置位置決め部１４Ｅから離間して、それぞれ存在している。第２装置位置決め部１６Ａは、第２実施形態の第２装置位置決め部１６Ａを構成する矩形凹部１６１Ａと同一形状の矩形凹部１６１Ａを有している。
【００７９】  第１被位置決め部４３は、第２実施形態の半球突出部４３１と同一の形状を有する半球突出部４３１を有している。また、第２被位置決め部４５Ａは、第２実施形態の矩形凸部４５１Ａと同一形状を有する矩形凸部４５１Ａを有している。従って、テーパ状部１４１Ｅにおいて、半球突出部４３１の半球状の部分が当接する部分は、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向（上下方向Ｄ２）に直交する方向であって下蓋１３に対して接近又は離間する方向である接近離間方向（前後方向Ｄ１）における接近離間方向端部１４４Ｅを構成する。これと同時に、テーパ状部１４１Ｅにおいて、半球突出部４３１の半球状の先端部が当接する部分は、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向（上下方向Ｄ２）及び接近離間方向（前後方向Ｄ１）に対して直交する方向である規制方向（左右方向Ｄ３）における規制方向一端部１４２Ｅと規制方向他端部１４３Ｅとを構成する。第１装置位置決め部１４Ｅは、第１被位置決め部４３に係合可能である。第２装置位置決め部１６Ａは、第２被位置決め部４５Ａに係合可能である。これらの係合により、持上げ装置４を下蓋１３に対して位置決めすることができる。
【００８０】  次に、本発明の第７実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｆについて説明する。図１８は、本発明の第７実施形態に係る梱包構造体１の下蓋１３の第１装置位置決め部１４Ｆを示す概略図である。
【００８１】  第７実施形態は、１つの第１装置位置決め部１４Ｆに対して第１被位置決め部４３Ｆ及び第２被位置決め部４５Ｆが係合する点において、他の実施形態とは異なる。
【００８２】  共通装置位置決め部としての第１装置位置決め部１４Ｆは、図１８に示すように、左右方向に長い横長凹部１４１Ｆを有している。横長凹部１４１Ｆの左方向Ｄ３１の端部は、左方向Ｄ３１に鋭角をなすように尖った尖先形状部１４６Ｆを有している。横長凹部１４１Ｆの右方向Ｄ３２の端部は、前後方向Ｄ１に平行に延びる前後延出部１４７Ｆを有している。横長凹部１４１Ｆの後方向Ｄ１２の端部は、左右方向に平行に延びる左右延出部１４８Ｆを有している。
【００８３】  図１８に示すように、第１被位置決め部４３Ｆは、後方向へ延びる後方延出部４３５Ｆと、後方延出部４３５Ｆの後端部から左方向Ｄ３１へ半球状に突出する左方向半球突出部４３６Ｆとを有している。第２被位置決め部４５Ｆは、後方向Ｄ１２へ延出し第１実施形態の半球突出部４３１よりも先の尖った先端楕円状突出部４５５Ｆを有している。
【００８４】  尖先形状部１４６Ｆには、左方向半球突出部４３６Ｆが係合可能である。左方向半球突出部４３６Ｆにおいて、左方向半球突出部４３６Ｆの半球状の先端部が当接する部分は、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向（上下方向Ｄ２）及び接近離間方向（前後方向Ｄ１）に対して直交する方向である規制方向（左右方向Ｄ３）における規制方向一端部１４２Ｆを構成する。左右延出部１４８Ｆには、後方延出部４３５Ｆの後端部が当接可能である。左右延出部１４８Ｆにおいて、後方延出部４３５Ｆが当接する部分は、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向（上下方向Ｄ２）に直交する方向であって下蓋１３に対して接近又は離間する方向である接近離間方向（前後方向Ｄ１）における接近離間方向端部１４４Ｆを構成する。
【００８５】  また、左右延出部１４８Ｆにおいて、先端楕円状突出部４５５Ｆが当接する部分は、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向（上下方向Ｄ２）に直交する方向であって下蓋１３に対して接近又は離間する方向である接近離間方向（前後方向Ｄ１）における端部を構成する接近離間方向端部１４９Ｆを有する。前後延出部１４７Ｆには、先端楕円状突出部４５５Ｆの右端の側面が当接可能である。前後延出部１４７Ｆにおいて先端楕円状突出部４５５Ｆの右端の側面が当接する部分は、上蓋１１と下蓋１３とを結ぶ方向（上下方向Ｄ２）及び接近離間方向（前後方向Ｄ１）に対して直交する方向である規制方向（左右方向Ｄ３）における規制方向他端部１４３Ｆを構成する。
【００８６】  従って、持上げ装置４の第１被位置決め部４３Ｆの左方向半球突出部４３６Ｆは、規制方向（左右方向Ｄ３）において規制方向一端部１４２Ｆに当接可能であり規制方向（左右方向Ｄ３）における一端部を構成する一端部当接部４３２Ｆを有する。持上げ装置４の第１被位置決め部４３Ｆの後方延出部４３５Ｆは、接近離間方向（前後方向Ｄ１）において接近離間方向端部１４４Ｆに当接可能な接近離間方向端部当接部４３４Ｆを有する。また、持上げ装置４の先端楕円状突出部４５５Ｆの後端は、接近離間方向（前後方向Ｄ１）において接近離間方向端部１４９Ｆに当接可能な接近離間方向端部当接部４３７Ｆを有する。持上げ装置４の第２被位置決め部４５Ｆの先端楕円状突出部４５５Ｆは、規制方向（左右方向Ｄ３）において規制方向他端部１４３Ｆに当接可能であり規制方向（左右方向Ｄ３）における他端部を構成する他端部当接部４３３Ｆを有する。
【００８７】  左右方向Ｄ３における、規制方向一端部１４２Ｆから規制方向他端部１４３Ｆまでの距離は、左右方向Ｄ３における、一端部当接部４３２Ｆから他端部当接部４３３Ｆまでの距離と同一である。尖先形状部１４６Ｆへの左方向半球突出部４３６Ｆの係合、左右延出部１４８Ｆへの後方延出部４３５Ｆの当接、及び、前後延出部１４７Ｆへの先端楕円状突出部４５５Ｆの右端の側面の当接により、第１装置位置決め部１４Ｆは、基板収納容器２を持上げる持上げ装置４の第１被位置決め部４３Ｆ、第２被位置決め部４５Ｆに係合可能である。
【００８８】  上記のような第１被位置決め部４３Ｆ、第２被位置決め部４５Ｆを第１装置位置決め部１４Ｆに係合させる際の動作は以下のとおりである。先ず、図１８に示すように、第１被位置決め部４３Ｆ、第２被位置決め部４５Ｆを第１装置位置決め部１４Ｆに対向する位置関係に配置させる。次に、尖先形状部１４６Ｆへ左方向半球突出部４３６Ｆを係合させる。このときには、まだ、先端楕円状突出部４５５Ｆは、横長凹部１４１Ｆ内には挿入されてない。次に、尖先形状部１４６Ｆへ左方向半球突出部４３６Ｆを係合させた状態で、先端楕円状突出部４５５Ｆを横長凹部１４１Ｆ内に挿入し、接近離間方向端部当接部４３７Ｆを接近離間方向端部１４９Ｆに当接させる。これにより、第１被位置決め部４３Ｆ及び第２被位置決め部４５Ｆを、第１装置位置決め部１４Ｆに係合させる。
【００８９】  上述のように、被位置決め部は、接近離間方向端部当接部４３４Ｆと一端部当接部４３２Ｆとを有する第１被位置決め部４３Ｆと、接近離間方向端部当接部４３７Ｆと他端部当接部４３３Ｆとを有する第２被位置決め部４５Ｆと、を有する。また、装置位置決め部は、第１被位置決め部４３Ｆの接近離間方向端部当接部４３４Ｆ及び第２被位置決め部４５Ｆの接近離間方向端部当接部４３７Ｆが当接可能な接近離間方向端部１４４Ｆ、１４９Ｆと、第１被位置決め部４３Ｆの一端部当接部４３２Ｆが当接可能な規制方向一端部１４２Ｆと、第２被位置決め部４５Ｆの他端部当接部４３３Ｆが当接可能な規制方向他端部１４３Ｆと、を有する共通装置位置決め部を有する。
【００９０】  この構成により、装置位置決め部の数が少ない構成で、正確且つ確実に、梱包箱１０の下蓋１３に対して位置決めすることができる。
【００９１】  本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、弾性支持部材は、コイルバネ（図示せず）によって構成されていたが、これらに限定されない。例えば、弾性支持部材は、空気バネ、ゲル、スポンジ、ゴム、弾性を有する高分子発泡体、弾性を有するプラスチック成形体のうちのいずれかに構成されてもよい。ここで、弾性を有する高分子発泡体とは、軽石等の弾性を有していない高分子発泡体を含まないことを意味する。
【００９２】  弾性支持部材が、空気バネ、ゲル、スポンジ、ゴム、弾性を有する高分子発泡体、弾性を有するプラスチック成形体のうちのいずれかにより構成されるため、要求される弾性に応じて、弾性支持部材を構成する材料を適宜選択することができる。
【００９３】  また、装置位置決め部（第１装置位置決め部、第２装置位置決め部、共通装置位置決め部）、被位置決め部（第１被位置決め部、第２被位置決め部）の個数や形状は、本実施形態の個数に限定されない。例えば、第５実施形態では、同一形状の３つの第１装置位置決め部、即ち、第１三角凹部１４１と、第２三角凹部１４１と、第３三角凹部１４１とを有していたが、３つに限定されない。
【００９４】  また、本実施形態の構成に代えて、装置位置決め部（第１装置位置決め部、第２装置位置決め部）は、突出する部材を有し、被位置決め部（第１被位置決め部、第２被位置決め部）は、当該突出する部材が係合する凹部を有していてもよい。例えば、装置位置決め部が第１実施形態の半球突出部を有し、第１被位置決め部が第１実施形態の三角凹部を有していてもよい。
【００９５】  また、第１実施形態では、剛性体（図示せず）の上面は、下部緩衝材（図示せず）の下端面としての下面に当接して下部緩衝材（図示せず）を支持したが、この構成に限定されない。例えば、剛性体（図示せず）の上面と、下部緩衝材（図示せず）の下面との間には、スポンジ等のクッション材が配置され、クッション材を介して剛性体（図示せず）の上面は、下部緩衝材（図示せず）の下面を支持してもよい。
【００９６】  また、上部緩衝材、下部緩衝材、剛性体の材質は、本実施形態のそれぞれの材質に限定されない。例えば、剛性体は、ベニヤ板やアルミの板（金属薄板）で構成されてもよい。
【００９７】  また、梱包箱１０は、いわゆるプラスチックダンボール箱（プラダン）により構成されたが、これに限定されない。例えば、梱包箱は、紙製の段ボールやアルミフレームにより構成されてもよい。また、基板収納容器は、本実施形態の形状、寸法のものに限定されない。同様に基板収納容器に収納される基板の寸法は、本実施形態の寸法に限定されない。
【符号の説明】
【００９８】１、１Ａ、１Ｃ  梱包構造体２  基板収納容器３  基板収納容器収容袋（容器収容袋）４  持上げ装置１０  梱包箱１１  上蓋１２  スリーブ部材１３  下蓋１４、１４Ｅ、１４Ｆ  第１装置位置決め部１６、１６Ａ  第２装置位置決め部４３、４３Ｆ  第１被位置決め部４５、４５Ａ、４５Ｆ  第２被位置決め部１１１  天板１１２  上蓋周壁１３２  下蓋周壁１３３、１３３Ｃ  下蓋脚部１４２、１４２−１、１４２−２、１４２−３、１４２Ｅ、１４２Ｆ  規制方向一端部１４３、１４３−１、１４３−２、１４３−３、１４３Ｅ、１４３Ｆ  規制方向他端部１４４、１４４−１、１４４−２、１４４−３、１４４Ｆ、１４９Ｆ、１６４、１６４Ａ  接近離間方向端部４３２、４３２−１、４３２−２、４３２−３、４３２Ｆ  一端部当接部４３３、４３３−１、４３３−２、４３３−３、４３３Ｆ  他端部当接部４３４、４３４−１、４３４−２、４３４−３、４３４Ｆ  接近離間方向端部当接部Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【手続補正書】
【提出日】平成28年11月25日(2016.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体とを備える基板収納容器であって、半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、
前記基板収納容器を支持する底板と前記底板の周囲から上方へ延出する下蓋周壁とを有する下蓋と、上下方向に延出する軸心を有する筒状のスリーブ部材と、天板と前記天板の周囲から下方へ延出する上蓋周壁とを有する上蓋と、を有する梱包箱を備え、
前記スリーブ部材の下端部は、前記下蓋の底板の上に載置され、前記スリーブ部材の上端部には、前記上蓋の天板が載置され、
前記下蓋は、装置位置決め部を備え、
前記装置位置決め部は、前記上蓋が取り外された状態の梱包箱の前記下蓋に支持された前記基板収納容器を、前記下蓋から持上げる持上げ装置の被位置決め部に係合可能である梱包構造体。
【請求項２】
前記装置位置決め部は、前記上蓋と前記下蓋とを結ぶ方向に直交する方向であって前記下蓋に対して接近又は離間する方向である接近離間方向における接近離間方向端部と、前記上蓋と前記下蓋とを結ぶ方向及び前記接近離間方向に対して直交する方向である規制方向における規制方向一端部と規制方向他端部と、を有する請求項１に記載の梱包構造体。
【請求項３】
前記装置位置決め部は、前記接近離間方向端部と前記規制方向一端部と前記規制方向他端部とを有する少なくとも１つの第１装置位置決め部と、前記第１装置位置決め部とは異なる形状を有して前記接近離間方向端部を有する少なくとも１つの第２装置位置決め部と、を有する請求項２に記載の梱包構造体。
【請求項４】
前記装置位置決め部は、前記接近離間方向端部と前記規制方向一端部と前記規制方向他端部とを有する同一形状の少なくとも３つの第１装置位置決め部を有し、隣接する前記第１装置位置決め部は、全て同一の間隔で離間しているのではなく異なる間隔で離間して配置される請求項２に記載の梱包構造体。
【請求項５】
前記持上げ装置の前記被位置決め部は、前記接近離間方向における端部を構成する接近離間方向端部当接部と前記規制方向における一端部を構成する一端部当接部とを有する第１被位置決め部と、前記接近離間方向端部当接部と前記規制方向における他端部を構成する他端部当接部とを有する第２被位置決め部と、を有し、
前記装置位置決め部は、前記第１被位置決め部の前記接近離間方向端部当接部及び前記第２被位置決め部の前記接近離間方向端部当接部が当接可能な前記接近離間方向端部と、前記第１被位置決め部の前記一端部当接部が当接可能な前記規制方向一端部と、前記第２被位置決め部の前記他端部当接部が当接可能な前記規制方向他端部と、を有する共通装置位置決め部を有する請求項２に記載の梱包構造体。
【請求項６】
前記装置位置決め部は、前記下蓋周壁に存在する請求項１〜請求項５のいずれかに記載の梱包構造体。
【請求項７】
前記下蓋は、前記底板の下面から下方へ延出する下蓋脚部を有し、
前記装置位置決め部は、前記下蓋脚部に存在する請求項１〜請求項５のいずれかに記載の梱包構造体。
【請求項８】
前記梱包箱内において前記基板収納容器が載置される下部緩衝材を備える請求項１〜請求項７のいずれかに記載の梱包構造体。
【国際調査報告】
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