(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状又は板状のワークを搬送する第１搬送部と、
前記第１搬送部から前記ワークを受け取り、前記ワークの主面が搬送路に対して立った状態になるように前記ワークを支持することにより、前記第１搬送部の搬送密度よりも大きい搬送密度で前記ワークを搬送し、前記搬送路における所定位置で前記ワークの一方の主面が露出する第１の状態から前記ワークの他方の主面が露出する第２の状態に変化するように前記ワークを反転させる第２搬送部と、
前記第２搬送部において前記ワークが反転させられる位置に対向するように配置され、前記第１の状態の前記ワークの一方の主面及び前記第２の状態の前記ワークの他方の主面を撮像する撮像部と、を備え、
前記第２搬送部は、
ループ状の搬送部材と、前記搬送部材の外周面に沿って所定間隔で立設され、前記搬送部材とともに移動する複数の支持壁部と、を有し、
前記支持壁部に前記ワークの主面を当接させることにより前記ワークを支持し、
前記搬送部材が折り返される屈曲部において、一の前記支持壁部に前記ワークの他方の主面が当接して支持される前記第１の状態から、当該支持壁部よりも前段に位置する前記支持壁部に前記ワークの一方の主面が当接して支持される前記第２の状態に変化するように、前記ワークを反転させる、
ワーク検査装置。
【請求項２】
前記第２搬送部により搬送される前記ワークに光を照射する照明部と、
前記撮像部及び前記照明部の動作を制御する制御部と、を更に備え、
前記制御部は、
前記照明部に、前記第１の状態のワークの一方の主面に対して正面から光を照射させるとともに、前記撮像部に、前記第１の状態の前記ワークの一方の主面を撮像させる第１の撮像処理と、
前記照明部に、前記第１の状態の前記ワークの一方の主面に対して斜めに光を照射させるとともに、前記撮像部に、前記第１の状態の前記ワークの一方の主面を撮像させる第２の撮像処理と、
前記照明部に、前記第２の状態の前記ワークの他方の主面に対して正面から光を照射させるとともに、前記撮像部に、前記第２の状態の前記ワークの他方の主面を撮像させる第３の撮像処理と、
前記照明部に、前記第２の状態の前記ワークの他方の主面に対して斜めに光を照射させるとともに、前記撮像部に、前記第２の状態の前記ワークの他方の主面を撮像させる第４の撮像処理と、を実行する、
請求項１に記載のワーク検査装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記第２搬送部において前記ワークを強制的に反転させる反転制御手段を有し、前記第１の撮像処理及び前記第２の撮像処理を完了した後に、前記反転制御手段によって前記ワークを反転させる反転処理を更に実行し、前記反転処理の実行を完了した後に、前記第３の撮像処理及び前記第４の撮像処理を実行する、
請求項２に記載のワーク検査装置。
【請求項４】
前記第１搬送部は、前記ワークの主面が搬送方向と平行になるように前記ワークを載置して搬送する、
請求項１〜３のいずれか一項に記載のワーク検査装置。
【請求項５】
前記第１搬送部は、ベルトコンベアである、
請求項４に記載のワーク検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載されるように、電子部品等のワークを搬送ベルトで搬送しながら、当該ワークの外観を検査する検査装置が知られている。上記検査装置は、搬送ベルトの長手方向中央部に設けた反転ガイドレールによって搬送ベルトを反転させることにより、ワークを反転させる機構を備えている。上記検査装置は、ワークを反転させる位置（反転ポイント）よりも搬送方向上流側に設けられた第１ＣＣＤカメラ及び反転ポイントよりも搬送方向下流側に設けられた第２ＣＣＤカメラによって、反転前及び反転後のワーク表面を撮像する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２１３０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記検査装置では、ワークの搬送方向に直交する方向から撮像を行うため、ワークが高速に移動する場合には、予め設定した撮像ポイントを通過するワークをカメラで正確に捉えることが困難となるおそれがある。また、高速に移動するワークをカメラで捉えることができたとしても、撮像された画像にブレが発生し、当該画像に対する画像処理による検査精度が低下するおそれがある。一方、画像処理による検査精度を担保するために搬送ベルト全体の搬送速度を一定速度以下に制限した場合には、ワークの搬送効率が低下してしまう。
【０００５】
そこで、本発明は、搬送効率の低下を抑制しつつ、ワークの検査を適切に実行することができるワーク検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係るワーク検査装置は、シート状又は板状のワークを搬送する第１搬送部と、第１搬送部からワークを受け取り、ワークの主面が搬送路に対して立った状態になるようにワークを支持することにより、第１搬送部の搬送密度よりも大きい搬送密度でワークを搬送し、搬送路における所定位置でワークの一方の主面が露出する第１の状態からワークの他方の主面が露出する第２の状態に変化するようにワークを反転させる第２搬送部と、第２搬送部におけるワークの反転位置に対向するように配置され、第１の状態のワークの一方の主面及び第２の状態のワークの他方の主面を撮像する撮像部と、を備える。
【０００７】
このワーク検査装置では、第１搬送部の後段に設けられる第２搬送部は、ワークの主面が搬送路に対して立った状態になるようにワークを支持することにより、第１搬送部の搬送密度よりも大きい搬送密度でワークを搬送する。これにより、第２搬送部は、第１搬送部よりも低速にワークを搬送する低速区間として機能する。そして、第２搬送部によってワークが反転させられる位置に対向するように配置された撮像部が、反転の前後におけるワークの主面を撮像することにより、検査対象となるワークの検査用画像を効率良く取得することができる。また、低速区間である第２搬送部においてワークの検査用画像を取得することにより、個々のワークの検査用画像の品質を向上させることができる。また、ワークの検査のために、搬送部全体（すなわち第１搬送部、第２搬送部、及び第２搬送部の後段に設けられ得る搬送部）の搬送速度を低速化させる必要がない。従って、上記ワーク検査装置によれば、搬送効率の低下を抑制しつつ、ワークの検査を適切に実行することができる。
【０００８】
上記ワーク検査装置では、第２搬送部は、ループ状の搬送部材と、搬送部材の外周面に沿って所定間隔で立設され、搬送部材とともに移動する複数の支持壁部と、を有し、支持壁部にワークの主面を当接させることによりワークを支持し、搬送部材が折り返される屈曲部において、一の支持壁部にワークの他方の主面が当接して支持される第１の状態から、当該支持壁部よりも前段に位置する支持壁部にワークの一方の主面が当接して支持される第２の状態に変化するように、ワークを反転させてもよい。
【０００９】
上記ワーク検査装置によれば、ワークの主面が搬送部材に対して直交するように支持壁部がワークを支持することにより、ワークの主面が搬送路に対して立った状態になるようにワークが支持される構成を簡易な構成で実現できる。また、搬送部材が折り返される屈曲部を利用することで、互いに隣接する支持壁部のうち搬送方向後方側の支持壁部に支持されるワークが搬送方向前方側の支持壁部に支持されるように、ワークをスムーズに移動（反転）させることができる。また、屈曲部では、互いに隣接する支持壁部の先端間の間隔が広がるため、屈曲部でワークを反転させることにより、互いに隣接する反転後のワークと反転前のワークとの間隔を広げることができる。これにより、ワークの反転位置に対向する方向から、ワークの露出面（反転前のワークの一方の主面及び反転後のワークの他方の主面）を視認し易くなる。従って、ワークの反転位置に対向するように配置された撮像部によってワークの検査用画像を適切に撮像することができる。
【００１０】
上記ワーク検査装置では、第２搬送部は、水平方向に平行な軸線周りに回転する回転体と、回転体の外周に沿って所定間隔で放射状に設けられ、回転体とともに移動する複数の支持壁部と、を有し、第２搬送部は、支持壁部にワークの主面を当接させることによりワークを支持し、支持壁部が回転体の頂部で鉛直方向に延在する位置において、当該支持壁部に支持されるワークを回転体の回転方向における前方に倒すことにより、ワークを反転させてもよい。
【００１１】
上記ワーク検査装置によれば、回転体と回転体の外周に放射状に設けられた複数の支持壁部とによる簡易な構成により第２搬送部を構成することができる。また、支持壁部が回転体の頂部で鉛直方向に延在する位置において、当該支持壁部に支持されるワークを重力等によって回転方向前方に倒すことにより、ワークの反転を容易に実現することができる。
【００１２】
上記ワーク検査装置は、第２搬送部により搬送されるワークに光を照射する照明部と、撮像部及び照明部の動作を制御する制御部と、を更に備え、制御部は、照明部に、第１の状態のワークの一方の主面に対して正面から光を照射させるとともに、撮像部に、第１の状態のワークの一方の主面を撮像させる第１の撮像処理と、照明部に、第１の状態のワークの一方の主面に対して斜めに光を照射させるとともに、撮像部に、第１の状態のワークの一方の主面を撮像させる第２の撮像処理と、照明部に、第２の状態のワークの他方の主面に対して正面から光を照射させるとともに、撮像部に、第２の状態のワークの他方の主面を撮像させる第３の撮像処理と、照明部に、第２の状態のワークの他方の主面に対して斜めに光を照射させるとともに、撮像部に、第２の状態のワークの他方の主面を撮像させる第４の撮像処理と、を実行してもよい。
【００１３】
ワーク主面に対して正面から光を照射することで、ワーク主面の表面に付着した異物を撮像画像において適切に捉えることができる。また、ワーク主面に対して斜めに光を照射することで、ワーク主面の表面の傷を撮像画像において浮かび上がらせることができる。従って、上記ワーク検査装置によれば、制御部が撮像部及び照明部の動作を切替制御し、第１〜第４の撮像処理を実行することにより、ワークの一方の主面における異物検査（異物の有無の判定）及び傷検査（傷の有無の判定等の外観検査）を行うための画像（第１及び第２の撮像処理により撮像される画像）、並びにワークの他方の主面における異物検査及び傷検査を行うための画像（第３及び第４の撮像処理により撮像される画像）を自動で取得することができる。これにより、ワーク主面の検査を効率良く実施することができる。
【００１４】
上記ワーク検査装置では、制御部は、第２搬送部においてワークを強制的に反転させる反転制御手段を有し、第１の撮像処理及び第２の撮像処理を完了した後に、反転制御手段によってワークを反転させる反転処理を更に実行し、反転処理の実行を完了した後に、第３の撮像処理及び第４の撮像処理を実行してもよい。
【００１５】
上記ワーク検査装置によれば、制御部は、反転制御手段によりワークが反転するタイミングを自ら制御することができるので、ワーク反転後の処理（第３及び第４の撮像処理）を適切なタイミングで実行することが可能となる。
【００１６】
上記ワーク検査装置では、第１搬送部は、ワークの主面が搬送方向と平行になるようにワークを載置して搬送してもよい。この場合、第１搬送部から第２搬送部にワークが受け渡されて、ワークの主面が搬送方向に平行な状態から搬送方向（搬送路）に対して立った状態に変化させることにより、第２搬送部の搬送密度を第１搬送部の搬送密度よりも大きくすることができる。また、第１搬送部は、ベルトコンベアであってもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、搬送効率の低下を抑制しつつ、ワークの検査を適切に実行することができるワーク検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１実施形態のワーク検査装置の全体構成を示す図である。
【図２】制御部の制御手順の一例を示すフローチャートである。
【図３】第１実施形態のワーク検査装置の変形例を示す図である。
【図４】第１実施形態のワーク検査装置の変形例を示す図である。
【図５】第２実施形態のワーク検査装置の全体構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、図面において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２０】
［第１実施形態］
図１を参照して、第１実施形態のワーク検査装置１について説明する。本実施形態では一例として、ワーク検査装置１は、リチウムイオン二次電池などの蓄電装置の製造システムに組み込まれる装置である。具体的には、ワーク検査装置１は、蓄電装置に用いられる電極組立体の製造工程の一部を実施するものであり、電極組立体を構成するシート状の電極を搬送しながら、当該電極の表面の検査を実行する装置として構成される。ワーク検査装置１で扱われるワーク１０は、上記電極組立体を構成する正極又は負極である。ただし、ワーク１０は、シート状又は板状のものであればよく、上記例に限られない。
【００２１】
正極は、例えばアルミニウム箔からなる矩形の金属箔の両面に正極活物質層が形成されてなる。正極活物質層は、正極活物質とバインダとを含んで形成されている。正極活物質としては、例えば複合酸化物、金属リチウム、硫黄等が挙げられる。複合酸化物には、例えばマンガン、ニッケル、コバルト及びアルミニウムの少なくとも１つと、リチウムとが含まれる。正極の一縁部には、正極端子との接続に用いられるタブが形成されている。
【００２２】
また、正極は、タブを除いた部分が袋状のセパレータ内に収容された状態となっていてもよい。セパレータの形成材料としては、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン系樹脂からなる多孔質フィルム、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、メチルセルロース等からなる織布又は不織布等が例示される。なお、セパレータは、袋状に限られず、シート状のものを用いてもよい。
【００２３】
一方、負極は、例えば銅箔からなる金属箔の両面に負極活物質層が形成されてなる。負極活物質層は、負極活物質とバインダとを含んで形成されている。負極活物質としては、例えば黒鉛、高配向性グラファイト、メソカーボンマイクロビーズ、ハードカーボン、ソフトカーボン等のカーボン、リチウム、ナトリウム等のアルカリ金属、金属化合物、ＳｉＯｘ（０．５≦ｘ≦１．５）等の金属酸化物、ホウ素添加炭素等が挙げられる。
【００２４】
バインダは、例えば、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、フッ素ゴム等の含フッ素樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレン等の熱可塑性樹脂、ポリイミド、ポリアミドイミド等のイミド系樹脂、又はアルコキシシリル基含有樹脂であってよい。負極の一縁部には、負極端子の位置に対応してタブが形成されている。正極のタブと負極のタブとは、正極と負極とを重ねた場合に互いに重ならない位置に形成されている。
【００２５】
図１に示すように、ワーク検査装置１は、ワーク１０を搬送する構成要素として、第１搬送部２と、第１搬送部２の後段に設けられる第２搬送部３と、第２搬送部３の後段に設けられる第３搬送部４と、を備える。
【００２６】
第１搬送部２は、ベルトコンベアであり、ワーク１０を水平方向に所定の搬送速度Ｖ１で搬送する。第１搬送部２は、ワーク１０（正極又は負極）のタブが搬送方向の上流側に向き、且つワーク１０の一方の主面１０ａが上を向いて露出するようにして、複数のワーク１０を搬送する。第１搬送部２により搬送されるワーク１０は、第１搬送部２の搬送方向下流側の端部２ａから、第２搬送部３の支持壁部３２に受け渡される。なお、本実施形態では、第１搬送部２はベルトコンベアであるが、第１搬送部２は、ワーク１０の主面１０ａが搬送方向と平行になるようにワーク１０を載置し、安定した状態でワーク１０を搬送する手段であれば何でもよい。例えば、第１搬送部２は、ローラコンベア等であってもよい。
【００２７】
第２搬送部３は、第１搬送部２の搬送方向下流側に配置され、鉛直方向に延在するループ状の搬送部材３１と、搬送部材３１の外周面３１ａに沿って所定間隔で立設され、搬送部材３１とともに移動する複数の支持壁部３２と、を有する。
【００２８】
搬送部材３１は、例えば無端状のベルトから構成されている。搬送部材３１は、鉛直方向に離れて対向するローラ対３３，３３に券架されている。ローラ対３３，３３が回転すると、搬送部材３１は連れ回りする。図１の例では、ローラ対３３，３３が図示しない駆動部によって回転駆動力を付与され、時計回りに回転することによって、搬送部材３１は時計回りに循環する。搬送部材３１が循環する経路のうちワーク１０が通過する部分が、ワーク１０を搬送する搬送路となる。搬送部材３１の鉛直方向における上端部は、搬送部材３１が折り返される屈曲部３４をなしている。すなわち、屈曲部３４の前後において、搬送部材３１の循環方向は、鉛直上向きの方向から水平方向となった後に鉛直下向きの方向に変化する。
【００２９】
支持壁部３２は、搬送部材３１の外周面３１ａに沿って所定間隔で立設された部材であり、例えば矩形板状部材である。支持壁部３２は、上述した搬送部材３１の循環とともに時計回りに移動する。ここで、複数の支持壁部３２が設けられるピッチ（すなわち、第２搬送部３において搬送されるワーク１０のピッチｐ２）は、第１搬送部２において搬送されるワーク１０のピッチｐ１よりも小さい。これは、ワーク１０の配置によるものである。すなわち、第１搬送部２のベルト上にワーク１０を寝かした状態では、ピッチｐ１は少なくともワーク１０の搬送方向における幅（長さ）以上必要となるが、第２搬送部３において主面１０ａに垂直な方向に各ワーク１０を並べることにより、ピッチｐ２をピッチｐ１よりも狭くすることができる。第１搬送部２及び第２搬送部３において、上述したようにワーク１０が配置されることにより、支持壁部３２の設置間隔は、ピッチｐ２がピッチｐ１よりも小さくなるように調整されている。これにより、第２搬送部３の搬送密度は、第１搬送部２の搬送密度よりも大きくなっている。すなわち、第１搬送部２から第２搬送部３にワーク１０が受け渡されて、ワーク１０の主面１０ａが搬送方向に平行な状態から搬送方向（搬送路）に対して立った状態に変化させることにより、第２搬送部３の搬送密度を第１搬送部２の搬送密度よりも大きくすることができる。ここで、搬送密度とは、ワーク１０の搬送方向における単位区間当たりに含まれるワーク１０の個数を意味する。従って、第２搬送部３の搬送速度Ｖ２（すなわち、搬送部材３１の循環速度）を、第１搬送部２の搬送速度Ｖ１よりも低速に設定することができる。ここで、搬送速度とは、単位時間当たりにワーク１０が移動する搬送方向に沿った距離を意味する。すなわち、第２搬送部３を、第１搬送部２よりも低速にワーク１０を搬送する低速区間として機能させることができる。なお、本実施形態では一例として、搬送部材３１が折り返される屈曲部３４付近において互いに隣接する支持壁部３２同士がなす角度は、７２度に設定されている。
【００３０】
続いて、第２搬送部３によるワーク１０の搬送動作について説明する。まず、第１搬送部２の搬送方向下流側の端部２ａから排出されるワーク１０を、当該端部２ａよりも下方から上昇してくる支持壁部３２が掬い上げることにより、第１搬送部２から第２搬送部３へのワーク１０の受け渡しがなされる。
【００３１】
支持壁部３２に掬い上げられたワーク１０は、第２搬送部３における搬送路の上流側（図１における搬送部材３１の左側）において、ワーク１０の主面１０ｂが支持壁部３２に当接して支持され、主面１０ａが露出する状態（第１の状態）で、支持壁部３２とともに上昇する。ワーク１０を支持する支持壁部３２は、屈曲部３４に差し掛かると、搬送部材３１の外周面３１ａに対して立設された姿勢を維持したまま、搬送部材３１の上側のローラ３３の回転軸を中心として回動する。支持壁部３２が搬送部材３１の頂部で鉛直方向に延在する位置に到達するまでは、ワーク１０は、支持壁部３２に当該ワーク１０の主面１０ｂが当接して支持される状態となっている。
【００３２】
支持壁部３２が搬送部材３１の頂部で鉛直方向に延在する位置に到達すると、支持壁部３２に支持されていたワーク１０は、当該支持壁部３２に沿って鉛直方向に延在し、倒立状態（図１における破線Ｒが示す状態）となる。そこからさらに支持壁部３２が時計回りに循環すると、倒立状態のワーク１０の主面１０ｂが支持壁部３２によって水平方向に押し出され、ワーク１０は反転する。具体的には、ワーク１０は、重力によって前方に倒れ、それまでワーク１０を支持していた支持壁部３２よりも前段（搬送方向前方）に位置する支持壁部３２に主面１０ａが当接して支持される状態に変化する。すなわち、ワーク１０は、主面１０ｂが露出する状態（第２の状態）に変化する。
【００３３】
反転して第２の状態となったワーク１０は、第２搬送部３における搬送路の下流側（図１における搬送部材３１の右側）において、ワーク１０の主面１０ａが支持壁部３２に当接して支持され、主面１０ｂが露出する状態（第２の状態）で、支持壁部３２とともに下降する。支持壁部３２が第３搬送部４に対してワーク１０を受け渡す位置まで下降すると、支持壁部３２からはみ出したワーク１０の主面１０ａの一部が第３搬送部４の搬送方向上流側の端部４ａに乗り上げることにより、ワーク１０は、第３搬送部４に受け渡される。ワーク１０を第３搬送部４に受け渡した支持壁部３２は、搬送部材３１の循環によって、搬送部材３１の鉛直方向における下端部の周りを循環し、第１搬送部２から排出されるワーク１０を搬送するために再度用いられる。
【００３４】
第３搬送部４は、ワーク１０を次工程（例えばワーク１０を積層する工程等）に搬送するためのベルトコンベアであり、ワーク１０を水平方向に第１搬送部２と同じ搬送速度Ｖ１で搬送する。第３搬送部４は、ワーク１０（正極又は負極）のタブが搬送方向の下流側に向き、且つワーク１０の他方の主面１０ｂが上を向いて露出するようにして、複数のワーク１０を搬送する。
【００３５】
図１に示すように、ワーク検査装置１は、第２搬送部３によって搬送されるワーク１０の検査を行うための構成として、ワーク１０を撮像する撮像部５と、撮像部５による撮像の際にワーク１０に光を照射する照明部６と、ワーク１０を反転させるための送風部（反転制御手段）７と、撮像部５、照明部６、及び送風部７の動作を制御する制御部８と、を備える。
【００３６】
撮像部５は、第２搬送部３におけるワーク１０の反転位置（本実施形態では屈曲部３４）に対向するように配置され、反転前のワーク１０（第１の状態のワーク）の主面１０ａ及び反転後のワーク１０（第２の状態のワーク）の主面１０ｂを撮像する。本実施形態では一例として、撮像部５は、反転前のワーク１０の主面１０ａを撮像する第１カメラ５Ａと、反転後のワーク１０の主面１０ｂを撮像する第２カメラ５Ｂと、を有する。第１カメラ５Ａ及び第２カメラ５Ｂの撮像のタイミングは、制御部８によって制御される。
【００３７】
第１カメラ５Ａは、搬送部材３１の頂部において鉛直方向に延在する支持壁部３２よりも後段（搬送方向後方）に位置する支持壁部３２に支持されるワーク１０（図１におけるワーク１０Ａ）の主面１０ａに対向する位置に配置されている。第２カメラ５Ｂは、搬送部材３１の頂部において鉛直方向に延在する支持壁部３２よりも前段（搬送方向前方）に位置する支持壁部３２に支持されるワーク１０（図１におけるワーク１０Ｂ）の主面１０ｂに対向する位置に配置されている。
【００３８】
照明部６は、撮像部５による撮像のためにワーク１０の表面に光を照射する装置である。本実施形態では一例として、照明部６は、反転前のワーク１０Ａの主面１０ａに対して当該主面１０ａに直交する方向Ｄ１に光を照射する第１照明６Ａと、反転後のワーク１０Ｂの主面１０ｂに対して当該主面１０ｂに直交する方向Ｄ２に光を照射する第２照明６Ｂと、反転前のワーク１０Ａの主面１０ａ及び反転後のワーク１０Ｂの主面１０ｂに対して鉛直下向きの方向Ｄ３に光を照射する第３照明６Ｃと、を有する。第１照明６Ａ、第２照明６Ｂ、及び第３照明６ＣのＯＮ／ＯＦＦの切替は、制御部８によって制御される。
【００３９】
図１に示すように、反転前のワーク１０Ａの主面１０ａに直交する方向Ｄ１と反転後のワーク１０Ｂの主面１０ｂに直交する方向Ｄ２とは、同じ角度の大きさだけ鉛直方向から傾斜している。すなわち、方向Ｄ１と方向Ｄ３とがなす角度θ１は、方向Ｄ２と方向Ｄ３とがなす角度θ２と等しくなっている。これにより、反転前のワーク１０Ａに対して第３照明６Ｃによる光を照射した状態で当該ワーク１０Ａの主面１０ａを第１カメラ５Ａで撮像する場合と、反転前のワーク１０Ｂに対して第３照明６Ｃによる光を照射した状態で当該ワーク１０Ｂの主面１０ｂを第２カメラ５Ｂで撮像する場合との間で、撮像条件（光の照射角度）を揃えることができる。
【００４０】
送風部７は、第２搬送部３においてワーク１０を強制的に反転させるためにエアーを噴射する装置である。本実施形態では一例として、送風部７は、倒立状態（図１における破線Ｒが示す状態）となったワーク１０（或いは倒立状態となる手前のワーク１０）の主面１０ｂに対して、図１の図示左側からエアーを噴射する。エアーを噴射されたワーク１０は、前方に倒されることにより、強制的に反転させられる。送風部７によるエアーの噴射のタイミングは、制御部８によって制御される。
【００４１】
制御部８は、上述した撮像部５、照明部６、及び送風部７の動作を制御する部分であり、例えば、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、及び入出力インタフェース等を有するコンピュータから構成される。制御部８は、有線又は無線の通信インタフェースを介して、撮像部５、照明部６、及び送風部７と相互に通信可能に構成されている。制御部８は、撮像部５、照明部６、及び送風部７に対して、各々の動作を制御するための制御信号を送信する。制御信号を受信した撮像部５、照明部６、及び送風部７は、当該制御信号によって指示される動作を実行する。また、制御部８は、撮像部５によって撮像された画像のデータを撮像部５から受信する。
【００４２】
制御部８は、撮像部５によって撮像された画像に対する画像処理を実行することにより、ワーク１０の両面（主面１０ａ，１０ｂ）の異物検査（異物の有無の判定）及び傷検査（傷の有無の判定等の外観検査）を実行する。画像処理を実行するためのプログラムは、予め制御部８のＲＯＭ等に記憶されており、制御部８は、ＲＡＭ上に当該プログラムを読み出し実行することにより、上述の画像処理を実行する。ここで、ワーク主面に対して正面から光を照射することで、ワーク主面の表面に付着した異物を撮像画像において適切に捉えることができる。また、ワーク主面に対して斜めに光を照射することで、ワーク主面の表面の傷を撮像画像において浮かび上がらせることができる。そこで、制御部８は、ワーク１０の主面１０ａ，１０ｂに対して正面から光を照射して撮像した画像に対する画像処理を実行することにより、ワーク１０の主面１０ａ，１０ｂの異物検査を実行する。また、制御部８は、ワーク１０の主面１０ａ，１０ｂに対して斜めに光を照射して撮像した画像に対する画像処理を実行することにより、ワーク１０の主面１０ａ，１０ｂの傷検査を実行する。なお、画像処理による各種検査の手法については公知の種々の手法を用いることができる。制御部８は、例えば上記各検査について良否判定を行うことにより欠陥のあるワーク１０を抽出し、抽出されたワーク１０を特定するための情報を、ワーク検査装置１の後段に位置する除去装置（不図示）に通知してもよい。これにより、除去装置において、欠陥のあるワーク１０を適切に除去することができる。
【００４３】
制御部８は、上記各検査を実行するために、第２搬送部３によって搬送される個々のワーク１０の主面１０ａ，１０ｂのそれぞれについて、主面に対して正面から光を照射する場合及び主面に対して斜めに光を照射する場合の２種類の画像を取得するように、撮像部５、照明部６、及び送風部７の動作を制御する。
【００４４】
図２を参照して、１つのワーク１０の主面１０ａ，１０ｂのそれぞれについて２種類の画像（計４つの画像）を取得する場合に着目して、制御部８の制御手順の一例について説明する。ここでは、図１に示される第２搬送部３の状態が初期状態であるものとする。
【００４５】
まず、ステップＳ１において、制御部８は、初期状態において、第１照明６ＡをＯＮにして第１カメラ５Ａに撮像処理を実行させる。すなわち、制御部８は、第１照明６Ａに、反転前のワーク１０Ａの主面１０ａに対して方向Ｄ１に光を照射させるとともに、第１カメラ５Ａに、反転前のワーク１０Ａの主面１０ａを撮像させる処理（第１の撮像処理）を実行する。これにより、制御部８は、第１カメラ５Ａから、反転前のワーク１０Ａの主面１０ａに対して正面から光を照射した場合の画像を取得する。制御部８は、当該画像に対する画像処理を実行することにより、反転前のワーク１０Ａの主面１０ａの異物検査を実行する。
【００４６】
続いて、ステップＳ２において、制御部８は、第１照明６ＡをＯＦＦにするとともに第３照明６ＣをＯＮにして第１カメラ５Ａに撮像処理を実行させる。すなわち、制御部８は、第３照明６Ｃに、反転前のワーク１０Ａの主面１０ａに対して方向Ｄ３に光を照射させるとともに、第１カメラ５Ａに、反転前のワーク１０Ａの主面１０ａを撮像させる処理（第２の撮像処理）を実行する。これにより、制御部８は、第１カメラ５Ａから、反転前のワーク１０Ａの主面１０ａに対して斜めに光を照射した場合の画像を取得する。制御部８は、当該画像に対する画像処理を実行することにより、反転前のワーク１０Ａの主面１０ａの傷検査を実行する。
【００４７】
続いて、制御部８は、第１の撮像処理及び第２の撮像処理を完了した後、第１の撮像処理及び第２の撮像処理による撮像対象とされたワーク１０が搬送部材３１の循環によって倒立状態となる位置（図１における破線Ｒが示す位置）付近に到達したことを検知する。このような検知を行うための手法は、特に限定されないが、例えばセンサ等を用いて行われてもよいし、初期状態からの経過時間と予め設定された第２搬送部３の搬送速度Ｖ２とに基づく予測によって行われてもよい。制御部８は、上記検知を行ったことをトリガとして、送風部７にエアーの噴射（反転処理）を実行させる（ステップＳ３）。これにより、制御部８は、倒立状態となる位置付近に到達したワーク１０を強制的に反転させることができる。
【００４８】
続いて、制御部８は、ステップＳ３において送風部７によるエアーの噴射が実行されたことをトリガとして、ステップＳ４の処理を開始する。制御部８は、第３照明６ＣをＯＦＦにするとともに第２照明６ＢをＯＮにして第２カメラ５Ｂに撮像処理を実行させる。すなわち、制御部８は、第２照明６Ｂに、反転後のワーク１０Ｂの主面１０ｂに対して方向Ｄ２に光を照射させるとともに、第２カメラ５Ｂに、反転後のワーク１０Ｂの主面１０ｂを撮像させる処理（第３の撮像処理）を実行する。これにより、制御部８は、第２カメラ５Ｂから、反転後のワーク１０Ｂの主面１０ｂに対して正面から光を照射した場合の画像を取得する。制御部８は、当該画像に対する画像処理を実行することにより、反転後のワーク１０Ｂの主面１０ｂの異物検査を実行する。
【００４９】
続いて、ステップＳ５において、制御部８は、第２照明６ＢをＯＦＦにするとともに第３照明６ＣをＯＮにして第２カメラ５Ｂに撮像処理を実行させる。すなわち、制御部８は、第３照明６Ｃに、反転後のワーク１０Ｂの主面１０ｂに対して方向Ｄ３に光を照射させるとともに、第２カメラ５Ｂに、反転後のワーク１０Ｂの主面１０ｂを撮像させる処理（第４の撮像処理）を実行する。これにより、制御部８は、第２カメラ５Ｂから、反転後のワーク１０Ｂの主面１０ｂに対して斜めに光を照射した場合の画像を取得する。制御部８は、当該画像に対する画像処理を実行することにより、反転後のワーク１０Ｂの主面１０ｂの傷検査を実行する。
【００５０】
ステップＳ１〜Ｓ５の処理により、搬送部材３１が折り返される屈曲部３４でワーク１０が反転する前後において、ワーク１０の主面１０ａ，１０ｂの画像が取得され、ワーク１０の主面１０ａ，１０ｂの異物検査及び傷検査が実行される。なお、ステップＳ１及びステップＳ２の処理順序は入れ替えてもよい。同様に、ステップＳ３及びステップＳ４の処理順序は入れ替えてもよい。例えば、上記ステップＳ１〜Ｓ５の処理のうちステップＳ４とステップＳ５との処理順序を入れ替えることにより、ステップＳ４よりも先に実行されるステップＳ５において、照明の切替を不要とすることができる。すなわち、ステップＳ２において第３照明６ＣがＯＮにされているため、ステップＳ５において改めて照明の切替を行う必要がない。また、各ステップにおいて画像を取得するための撮像処理と、撮像処理により取得された画像に対する画像処理とは、それぞれ独立且つ並行して実行されてもよい。この場合、例えば、ステップＳ１において第１の撮像処理が完了した後、制御部８は、第１の撮像処理により取得された画像に対する画像処理を実行するとともに、当該画像処理の完了を待つことなく直ちにステップＳ２における第２の撮像処理を実行することができる。
【００５１】
なお、図１に示すように、ステップＳ４及びＳ５における第３及び第４の撮像処理が行われる際には、後続のワーク１０が第１カメラ５Ａによる撮像位置（図１におけるワーク１０Ａの位置）に到達している。従って、制御部８は、一のワーク１０に対する第３及び第４の撮像処理が完了したら、直ちに当該一のワーク１０の後続のワーク１０に対する第１及び第２の撮像処理を実行するように動作する。このように、制御部８は、ステップＳ１〜Ｓ５の処理を繰り返し実行することにより、第２搬送部３において順次搬送される個々のワーク１０の両面（主面１０ａ，１０ｂ）の異物検査及び傷検査を実行することができる。
【００５２】
以上述べたように、本実施形態に係るワーク検査装置１では、第１搬送部２の後段に設けられる第２搬送部３は、ワーク１０の主面１０ａ，１０ｂが搬送路に対して立った状態（本実施形態では一例として搬送路に直交する状態）となるようにワーク１０を支持することにより、第１搬送部２の搬送密度よりも大きい搬送密度でワーク１０を搬送する。これにより、第２搬送部３は、第１搬送部２よりも低速にワーク１０を搬送する低速区間として機能する。そして、第２搬送部３によってワーク１０が反転させられる位置に対向するように配置された第１カメラ５Ａ及び第２カメラ５Ｂが、反転の前後におけるワーク１０の主面１０ａ，１０ｂを撮像することにより、検査対象となるワーク１０の検査用画像を効率良く取得することができる。
【００５３】
なお、「搬送路に対して立った状態」とは、本実施形態のように搬送路に直交する状態だけでなく、搬送路に対して傾斜する状態も含む。すなわち、本実施形態では、ワーク１０が搬送路に直交するように支持される構成を例示したが、例えば支持壁部３２が搬送部材３１に対して傾斜するように設けられることにより、ワーク１０は、搬送路に対して傾斜するように支持されてもよい。このようにしても、互いに隣接するワーク１０同士が互いに対向するように配置することができ、その結果、搬送密度を大きくすることができる。
【００５４】
また、低速区間である第２搬送部３においてワーク１０の検査用画像を取得することにより、個々のワーク１０の検査用画像の品質を向上させることができる。具体的には、第２搬送部３では、第２搬送部３以外の区間（第１搬送部２及び第３搬送部４）よりも低速にワーク１０を搬送する低速区間となっているため、第１カメラ４Ａ及び第２カメラ５Ｂによる撮像品質（画像のブレの少なさ等）を向上させることができる。また、例えば第１搬送部２又は第３搬送部４上を移動するワーク１０の主面を撮像しようとすると、撮像方向とワーク１０の移動方向とが直交するため、撮像された画像にブレが生じ易い。一方、ワーク検査装置１では、屈曲部３４においてワーク１０が搬送部材３１の上側のローラ３３の回転軸を中心として回動する際におけるワーク１０の主面を撮像するため、撮像方向とワーク１０の移動方向とが略一致し、撮像された画像にブレが生じ難い。
【００５５】
また、ワーク１０の検査のために、搬送部全体（すなわち第１搬送部２、第２搬送部３、及び第３搬送部４）の搬送速度を低速化させる必要がない。具体的には、検査用の区間として設けられる第２搬送部３は、通常の高速区間である第１搬送部２及び第３搬送部４よりも搬送密度を高めることによって低速化を実現した区間であるため、隣接する第１搬送部２及び第３搬送部４の搬送速度Ｖ１に影響を与えない。言い換えれば、検査のために搬送速度Ｖ１を低速化させる必要がない。このため、搬送部全体の搬送効率（単位時間当たりに排出されるワークの個数）を低下させずに、上述した制御部８による検査を実行することができる。従って、上記ワーク検査装置１によれば、搬送効率の低下を抑制しつつ、ワーク１０の検査を適切に実行することができる。
【００５６】
また、ワーク検査装置１によれば、ワーク１０の主面１０ａ，１０ｂが搬送部材３１に対して直交するように支持壁部３２がワーク１０を支持することにより、ワーク１０の主面が搬送路に対して立った状態になるようにワーク１０が支持される構成を簡易な構成で実現できる。また、搬送部材３１が折り返される屈曲部３４を利用することで、互いに隣接する支持壁部３２のうち搬送方向後方側の支持壁部３２に支持されるワーク１０が搬送方向前方側の支持壁部３２に支持されるように、ワーク１０をスムーズに移動（反転）させることができる。また、図１に示すように、屈曲部３４では、互いに隣接する支持壁部３２の先端間の間隔が広がるため、屈曲部３４でワーク１０を反転させることにより、互いに隣接する反転後のワーク１０Ｂと反転前のワーク１０Ａとの間隔を広げることができる。これにより、ワーク１０の反転位置に対向する方向から、ワーク１０の露出面（反転前のワーク１０Ａの主面１０ａ及び反転後のワーク１０Ｂの主面１０ｂ）を視認し易くなる。従って、図１に示すように、ワーク１０の反転位置に対向するように配置された第１カメラ５Ａ及び第２カメラ５Ｂによってワーク１０の検査用画像を適切に撮像することができる。
【００５７】
また、ワーク検査装置１によれば、制御部８が撮像部５及び照明部６の動作を切替制御し、第１〜第４の撮像処理を実行することにより、ワーク１０の一方の主面１０ａにおける異物検査及び傷検査を行うための画像（第１及び第２の撮像処理により撮像される画像）、並びにワーク１０の他方の主面１０ｂにおける異物検査及び傷検査を行うための画像（第３及び第４の撮像処理により撮像される画像）を自動で取得することができる。これにより、ワーク主面の検査を効率良く実施することができる。
【００５８】
また、ワーク検査装置１によれば、制御部８は、送風部７によりワーク１０が反転するタイミングを自ら制御することができるので、ワーク反転後の処理（第３及び第４の撮像処理）を適切なタイミングで実行することが可能となる。
【００５９】
なお、本実施形態においては、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。例えば、ワーク１０を強制的に反転させる反転制御手段は、エアーを噴射させる送風部７ではなく、エアシリンダー等の接触によりワーク１０を反転させる装置であってもよい。また、上述の通り、ワーク１０は、倒立状態（図１における破線Ｒで示す状態）となった後に、搬送部材３１の循環及び重力によって自然に倒れて反転するため、ワーク検査装置１は、必ずしも反転制御手段を備えていなくともよい。
【００６０】
また、撮像部５は、第１カメラ５Ａ及び第２カメラ５Ｂの代わりに、反転前のワーク１０を撮像位置にあるワーク１０（図１におけるワーク１０Ａの位置）及び反転後のワーク１０の撮像位置にあるワーク１０（図１におけるワーク１０Ｂ）の両方を撮像可能な範囲に収めることができる広角の１台のカメラによって構成されてもよい。或いは、撮像部５は、反転前のワーク１０を撮像するためのカメラ位置（図１における第１カメラ５Ａの位置）と反転後のワーク１０を撮像するためのカメラ位置（図１における第２カメラ５Ｂの位置）との間で移動可能に構成された１台のカメラによって構成されてもよい。ワーク検査装置１では、反転前後のワーク１０の主面１０ａ，１０ｂを撮像する構成となっており、被写体となる反転前のワーク１０と反転後のワーク１０とが近くにあるので、上述のように１台のカメラで撮像部５を構成することが容易となっている。
【００６１】
また、例えば、ワーク検査装置１の後段の装置（不図示）に対して、ワーク１０を連続的に供給することが要求される場合がある。このような場合において、第１搬送部２からのワーク１０の供給が一時的に途絶えた場合、第２搬送部３がそのまま搬送部材３１の循環動作を継続すると、ワーク１０を搬送しない空の支持壁部３２がワーク１０を搬送する支持壁部３２の間に混ざることになるため、第３搬送部４に対して連続的にワーク１０を供給することができない。そこで、第２搬送部３は、搬送部材３１全体が鉛直方向に上下移動可能であり搬送部材３１の循環速度を調整可能なバッファ装置として構成されてもよい。
【００６２】
例えば、第１搬送部２からのワーク１０の供給の抜けが１枚発生した場合には、図示しない制御装置によって、搬送部材３１の循環移動の速度を半分に落とすとともに、半分に落とした後の循環移動の速度と同じ速度で搬送部材３１全体を下降されればよい。このような動作によって、空の支持壁部３２が第３搬送部４に流れていくことを防止するとともに、第２搬送部３から第３搬送部４に対して一定の間隔でワーク１０を供給することができる。
【００６３】
また、上記例とは逆に、下流の製造工程において何らかの不具合が発生し、第３搬送部４の動作を停止する必要がある一方で、第１搬送部２の動作を停止させたくない場合も考えられる。このような場合には、搬送部材３１の循環移動の速度を半分に落とすとともに、半分に落とした後の循環移動の速度と同じ速度で搬送部材３１全体を上昇させればよい。このような動作によって、第２搬送部３は、第３搬送部４に対するワーク１０の供給を停止するとともに、第１搬送部２から供給されるワーク１０を受け取ることができる。
【００６４】
第２搬送部３が上述したようなバッファ装置として機能する場合、例えば撮像部５、照明部６、及び送風部７については、搬送部材３１と一体として移動するように構成すればよい。この場合、ワーク１０の撮像位置に対する撮像部５、照明部６、及び送風部７の相対的な位置が変化しないため、第２搬送部３がバッファ装置として機能して上下移動しても、ワーク１０の主面１０ａ，１０ｂを常に同じ撮像条件（被写体とカメラとの距離及び角度、並びに被写体に光を照射する角度等の条件）で撮像することができる。
【００６５】
図３及び図４は、第１実施形態のワーク検査装置１の変形例を示す図である。図３及び図４に示すように、変形例に係るワーク検査装置１Ａ，１Ｂでは、第２搬送部３Ａ，３Ｂが、互いに高さ位置の異なる第１搬送部２及び第３搬送部４を接続するための搬送区間として、水平方向及び鉛直方向の両方に対して傾斜する搬送部材３１を有する。それ以外の点では、ワーク検査装置１Ａ，１Ｂは、ワーク検査装置１とほぼ同様の構成を備える。なお、図３及び図４においては、制御部及び送風部の図示を省略している。
【００６６】
図３に示すワーク検査装置１Ａでは、第２搬送部３Ａは、搬送部材３１の両端部のうち下方に位置する端部を図示時計回りに通過する支持壁部（図３における支持壁部３２Ａ）によって、第１搬送部２からワーク１０を受け取る。また、第２搬送部３Ａは、搬送部材３１の両端部のうち上方に位置する端部を図示時計回りに通過する支持壁部（図３における支持壁部３２Ｂ）から、第３搬送部４にワーク１０を受け渡す。第２搬送部３Ａにおいては、搬送路が折り返される屈曲部３４は、ワーク１０が第３搬送部４に受け渡される出口付近に形成される。このため、ワーク１０が反転する位置及びワーク１０の主面１０ａ，１０ｂの撮像位置は、当該出口付近に設けられる。ワーク検査装置１Ａにおけるワーク１０の主面１０ａ，１０ｂの撮像は、ワーク検査装置１と同様に２台のカメラ５Ａ，５Ｂによって行われてもよいし、広角のカメラ５ｃのみによって行われてもよい。
【００６７】
図４に示すワーク検査装置１Ｂでは、第２搬送部３Ｂは、搬送部材３１の両端部のうち上方に位置する端部を図示時計回りに通過する支持壁部（図４における支持壁部３２Ａ）によって、第１搬送部２からワーク１０を受け取る。また、第２搬送部３Ｂは、搬送部材３１の両端部のうち下方に位置する端部を図示時計回りに通過する支持壁部（図４における支持壁部３２Ｂ）から、第３搬送部４にワーク１０を受け渡す。第２搬送部３Ａにおいては、搬送路が折り返される屈曲部３４は、ワーク１０を第１搬送部２から受け取る入口付近に形成される。このため、ワーク１０が反転する位置及びワーク１０の主面１０ａ，１０ｂの撮像位置は、当該入口付近に設けられる。ワーク検査装置１Ｂにおけるワーク１０の主面１０ａ，１０ｂの撮像は、ワーク検査装置１と同様に２台のカメラ５Ａ，５Ｂによって行われてもよいし、広角のカメラ５ｃのみによって行われてもよい。
【００６８】
ワーク検査装置１Ｂ，１Ｃによっても、上述したワーク検査装置１と同様の効果が得られる。また、ワーク検査装置１Ｂ，１Ｃによれば、互いに高さ位置に異なる第１搬送部２及び第３搬送部４を接続するために必要となる搬送区間を搬送部３Ａ，３Ｂのように構成することで、ワーク１０の検査を実行するための低速区間として利用することが可能になる。
【００６９】
［第２実施形態］
図５を参照して、第２実施形態のワーク検査装置１００について説明する。なお、図５においては、制御部及び送風部の図示を省略している。ワーク検査装置１００は、第２搬送部３の代わりに、回転体５１と複数の支持壁部５２とを有する第２搬送部５０を備える点で、ワーク検査装置１と主に相違する。回転体５１は、水平方向に平行な軸線周りに回転する。複数の支持壁部５２は、回転体５１の外周に沿って所定間隔で放射状に設けられ、回転体５１とともに回転移動する。
【００７０】
ここで、複数の支持壁部５２が設けられるピッチ（本実施形態では一例として９０度間隔）は、第１実施形態と同様に、第２搬送部５０が第１搬送部２の搬送密度よりも大きい搬送密度でワーク１０を搬送するように調整されている。これにより、第２搬送部５０は、第１搬送部２よりも低速にワーク１０を搬送する低速区間として機能する。なお、複数の支持壁部５２が設けられるピッチを小さくする（支持壁部５２の個数を増やす）ことにより、搬送密度を大きくすることができ、第２搬送部５０の搬送速度Ｖ３（回転体５１の回転方向に沿ったワーク１０の移動速度）を小さくすることができる。このように、支持壁部５２が設けられるピッチを調整することで搬送密度及び搬送速度Ｖ３を調整することができる。
【００７１】
続いて、第２搬送部５０によるワーク１０の搬送について説明する。まず、第１搬送部２の搬送方向下流側の端部２ａから排出されるワーク１０を、当該端部２ａよりも下方から上昇してくる支持壁部５２が掬い上げることにより、第１搬送部２から第２搬送部５０へのワーク１０の受け渡しがなされる。
【００７２】
支持壁部５２に掬い上げられたワーク１０は、第２搬送部５０における搬送路の上流側において、ワーク１０の主面１０ｂが支持壁部５２に当接して支持され、主面１０ａが露出する状態（第１の状態）で、支持壁部３２とともに回転体５１の回転方向に移動する。ワーク１０を支持する支持壁部５２が回転体５１の頂部５１ａで鉛直方向に延在する位置に到達するまでは、ワーク１０は、支持壁部５２に主面１０ｂが当接して支持される状態となっている。
【００７３】
支持壁部５２が回転体５１の頂部５１ａで鉛直方向に延在する位置に到達すると、支持壁部５２に支持されていたワーク１０は、当該支持壁部５２に沿って鉛直方向に延在し、倒立状態（図５における破線Ｒが示す状態）となる。支持壁部５２は、そこからさらに時計回りに循環し、倒立状態のワーク１０を回転体５１の回転方向における前方に倒すことにより、ワーク１０を反転させる。具体的には、ワーク１０は、重力によって前方に倒れ、それまでワーク１０を支持していた支持壁部５２よりも前段に位置する支持壁部５２にワーク１０の主面１０ａが当接して支持される状態に変化する。すなわち、ワーク１０は、ワーク１０の主面１０ｂが露出する状態（第２の状態）に変化する。
【００７４】
本実施形態では一例として、ワーク検査装置１００は、撮像部１５として、１台の広角なカメラ１５Ａを備え、照明部１６として、鉛直下向きに光を照射する第１照明１６Ａを備える。この構成によれば、図５に示すように、カメラ１５Ａは、第１搬送部２から第２搬送部５０に受け渡された直後の反転前のワーク１０Ａ（すなわち、主面１０ａが鉛直上向きに向いた状態のワーク１０Ａ）の主面１０ａを撮像することができる。それと同時に、カメラ１５Ａは、反転直後のワーク１０Ｂ（すなわち、主面１０ｂが鉛直上向きに向いた状態のワーク１０Ｂ）の主面１０ｂを撮像することができる。
【００７５】
図５に示すように照明部１６が第１照明１６Ａのみを備える場合には、ワーク１０の主面１０ａ，１０ｂに対して正面から光を照射した場合の画像しか取得できない。ただし、ワーク検査装置１００は、照明部１６として、鉛直下向きの方向に対して傾斜する方向に光を照射する照明を更に備えることにより、ワーク検査装置１と同様に、ワーク１０の主面１０ａ，１０ｂに対して斜めから光を照射した場合の画像も取得することが可能となる。なお、ワーク検査装置１００において、ワーク検査装置１と同様の撮像部及び照明部の構成（すなわち、２台のカメラ及び３つの照明を備える構成）を採用することができることは言うまでもない。
【００７６】
本実施形態に係るワーク検査装置１００によれば、回転体５１と回転体５１の外周に放射状に設けられた複数の支持壁部５２とによる簡易な構成により、第１搬送部２よりも低速にワーク１０を搬送する低速区間として機能する第２搬送部５０を構成することができる。また、支持壁部５２が回転体５１の頂部５１ａで鉛直方向に延在する位置において、当該支持壁部５２に支持されるワーク１０を重力等によって回転方向前方に倒すことにより、ワーク１０の反転を容易に実現することができる。
【符号の説明】
【００７７】
１，１Ａ，１Ｂ，１００…ワーク検査装置、２…第１搬送部、３，３Ａ，３Ｂ，５０…第２搬送部、４…第３搬送部、５，１５…撮像部、６，１６…照明部、７…送風部（反転制御手段）、８…制御部、１０，１０Ａ，１０Ｂ…ワーク、１０ａ…主面（一方の主面）、１０ｂ…主面（他方の主面）、３１…搬送部材、３２，３２Ａ，３２Ｂ…支持壁部、３４…屈曲部、５１…回転体、５２…支持壁部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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