(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの辺長が５００ｍｍを超えるペリクルを収納するペリクル収納容器の包装構造体であって、該包装構造体は、密着性及び帯電防止性を有する軟質ポリ塩化ビニルまたはポリ塩化ビニリデンから成る平面状の包装シートを前記ペリクル収納容器の天面の方へ複数回折り返してペリクル収納容器を覆うとともに、該折り返しによって重なり合う包装シートの周縁部を密着させたうえで該折り返した包装シートの先端を前記天面上の包装シートに貼り付けてなる内側包装体と、該内側包装体を収納する袋状の外側包装体からなる、少なくとも二重の包装体で構成されていることを特徴とするペリクル収納容器の包装構造体。
【請求項２】
前記平面状の包装シートの厚みは、５０〜３００μｍであることを特徴とする請求項１に記載のペリクル収納容器の包装構造体。
【請求項３】
前記外側包装体は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレートの何れかから成ることを特徴とする請求項１または２に記載のペリクル収納容器の包装構造体。
【請求項４】
少なくとも一つの辺長が５００ｍｍを超えるペリクルを収納するためのペリクル収納容器の包装方法であって、密着性及び帯電防止性を有する軟質ポリ塩化ビニルまたはポリ塩化ビニリデンから成る平面状の包装シート上に前記ペリクル収納容器を載置し、前記包装シートを該ペリクル収納容器の天面の方へペリクル収納容器の外縁に沿って複数回折り返して前記ペリクル収納容器を覆うとともに、該折り返しによって重なり合う包装シートの周縁部を密着させて前記ペリクル収納容器を梱包する工程と、折り返した包装シートの先端を前記天面上の包装シートに貼り付けて内側包装体を作製する工程と、該内側包装体を袋状の外側包装体に収納する工程と、を含むことを特徴とするペリクル収納容器の包装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス、ＩＣパッケージ、プリント基板、液晶ディスプレイあるいは有機ＥＬディスプレイ等を製造する際のゴミよけとして使用されるペリクルのうち、少なくとも一つの辺長が５００ｍｍを超える大型のペリクルを収納するためのペリクル収納容器の包装構造体及びその包装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体或は液晶ディスプレイ等の製造においては、半導体ウエハあるいは液晶用ガラス板に紫外光を照射してパターンを作製するが、このときに用いるフォトマスクにゴミが付着していると、このゴミが紫外光を遮ったり、反射したりするために、転写したパターンの変形、短絡などが発生し、品質が損なわれるという問題があった。
【０００３】
このため、これらの作業は、通常クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことが難しい。そこで、フォトマスク表面にゴミよけとしてペリクルを貼り付けした後に露光を行っている。この場合、異物は、フォトマスクの表面には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。
【０００４】
このペリクルは、一般に、光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロースあるいはフッ素樹脂などからなる透明なペリクル膜を、アルミニウム、ステンレス鋼、エンジニアリングプラスチックなどからなるペリクルフレームの上端面に接着して作製される。また、ペリクルフレームの下端には、フォトマスクに装着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ）が設けられる。
【０００５】
また、辺長が５００ｍｍを超えるような大型のペリクルを収納するペリクル収納容器は、一般的には、ペリクルを載置する容器本体と、それに周縁部で嵌合し密封する蓋体から構成されており、これら容器本体と蓋体は、厚さ２ｍｍ〜８ｍｍ程度の樹脂板を真空成形または圧空成形することにより製作される。この製法は、大型のものでも一体的に成形できるため、内部に発塵源が少ないことに加え、生産性が高く低コストで製造できるという利点がある。
【０００６】
大型のペリクル収納容器の材質としては、機械的性質と成形性の良さから、殆どの場合では、容器本体にはＡＢＳ樹脂が用いられ、蓋体にはＡＢＳ樹脂またはＰＭＭＡ樹脂が用いられている。これらの樹脂は、可燃性であるため、大型のペリクル収納容器は、可燃物としての容積や重量もかなり大きなものとなり、このペリクル収納容器を一箇所に大量保管する場合は、安全性への懸念から難燃性の付与が要求されることもある。
【０００７】
このようなペリクル収納容器を保管する場合、一般に、ペリクル収納容器を包装袋に収納して保管しているのが現状である。そして、この包装袋には、清浄性の他に、内部のペリクル収納容器に異物を付着させないための密閉性、帯電防止性能等が求められるため、従来から、厚さ１００〜３００μｍのポリエチレン（ＰＥ）、ポリエチレンフタレート（ＰＥＴ）などの樹脂材質からなる包装袋が用いられている。また、帯電防止性能を確保するために、通常、材質中に帯電防止剤あるいは導電材料の練り込みが行われるが、ときにはアルミ箔をラミネートしたものや、導電印刷を施したものが用いられることもある。
【０００８】
例えば、特許文献１には、ペリクルの汚染を防止するために、最も内側の第一の袋に清浄度1000以下のクリーンルーム内で製造されたクリーンな袋を用い、第二、第三の袋には帯電防止タイプの袋を用いてペリクル収納容器を収納する方法が記載されている。しかしながら、この収納方法を一辺が５００ｍｍを超える大型のペリクル収納容器に適用する場合は、用いる包装袋がインフレーション成形などにより製造されることになるため、その設備の大きさ、需要の少なさ等から、クリーンルーム等の清浄な環境で製造することが難しいという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１２−２０８１５８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そのため、一般環境で製造された包装袋をクリーンルーム内でクリーニングしてから使用することが多く、この場合のクリーニング手段としては、水洗や、純水拭きなどのウェット洗浄の他、粘着ロールやエアブローによるドライ洗浄などの方法が挙げられる。しかしながら、大型の包装袋になると、特に袋内側についてのクリーニング作業が極めて困難なため、製造工程や品質の上で大きな問題となっている。
【００１１】
そこで、本発明は、上記のような問題に鑑みなされたものであり、その目的は、包装に用いる前のクリーニングが容易であり、かつ包装した際には内部密閉性に優れるとともに、ペリクル収納容器の収納、取り出し作業が容易なペリクル収納容器の包装構造体及びその包装方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、少なくとも一つの辺長が５００ｍｍを超えるペリクルを収納するペリクル収納容器の包装構造体であって、この包装構造体は、密着性及び帯電防止性を有する軟質ポリ塩化ビニルまたはポリ塩化ビニリデンから成る平面状の包装シートをペリクル収納容器の天面の方へ複数回折り返してペリクル収納容器を覆うとともに、該折り返しによって重なり合う包装シートの周縁部を密着させたうえで該折り返した包装シートの先端を天面上の包装シートに貼り付けてなる内側包装体と、この内側包装体を収納する袋状の外側包装体からなる、少なくとも二重の包装体で構成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の包装シートは、その厚みが５０〜３００μｍであることが好ましく、本発明の外側包装体は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレートの中から選択されることが好ましい。
【００１４】
本発明の包装方法は、少なくとも一つの辺長が５００ｍｍを超えるペリクルを収納するためのペリクル収納容器の包装方法であって、密着性及び帯電防止性を有する軟質ポリ塩化ビニルまたはポリ塩化ビニリデンから成る平面状の包装シート上にペリクル収納容器を載置し、包装シートをペリクル収納容器の天面の方へペリクル収納容器の外縁に沿って複数回折り返して前記ペリクル収納容器を覆うとともに、該折り返しによって重なり合う包装シートの周縁部を密着させてペリクル収納容器を梱包する工程と、折り返した包装シートの先端を天面上の包装シートに貼り付けて内側包装体を作製する工程と、この内側包装体を袋状の外側包装体に収納する工程と、を含むことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、特に清浄であることが求められる内側包装体は、従来の袋にペリクル収納容器を収納した構成ではなく、平面状の包装シートでペリクル収納容器を覆って梱包した構成であるため、梱包に用いる前の平面状の包装シートのクリーニングが容易となり、極めて清浄なクリーニングが可能となる。また、複数回折り曲げてペリクル収納容器を梱包する際でも、この包装シートがペリクル収納容器に密着するため、密閉性が十分に確保され、内部のペリクル収納容器を清浄に保つことができるというメリットがある。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のペリクル収納容器の包装構造体の概要を示す断面図である。
【図２】内側包装体の概要を示す斜視図である。
【図３】内側包装体を外側包装体に収納した概要を示す斜視図である。
【図４】ペリクル収納容器を平面状シートで梱包する手順（１）〜（３）を示す平面図である。
【図５】包装するペリクル収納容器の斜視図である。
【図６】実施例２の包装構造体を示す概要の断面図である。
【図７】比較例の包装構造体を示す概要の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明するが、本発明は、これに何ら限定されるものではない。
【００１８】
図１、図２及び図３は、本発明のペリクル収納容器の包装構造の一実施形態を示すものである。図１は、本発明の包装構造の全体概要を示す断面図であり、図２は、ペリクル収納容器５０を平面状の包装シート１１で覆って梱包した内側包装体１１’のみを施した状態の斜視図であり、図３は、その外側にさらに袋状の外側包装体１２を施した状態の斜視図である。
【００１９】
本発明のペリクル収納容器の包装構造体は、内側包装体１１’と外側包装体１２とからなる少なくとも二重の包装体で構成されている。このうち、内側包装体１１’は、平面状の包装シート１１を用いてペリクル収納容器５０を覆って梱包した構成であるから、梱包に用いる前にこの平面状の包装シート１１をクリーニングする作業が従来の包装袋に比べて容易となり、内側包装体１１’の清浄度の確保や製造効率において有利となる。
【００２０】
この平面状の包装シート１１には、異物付着防止のために、帯電防止剤または導電物質の練り込みにより帯電防止性を付与することが好ましい。また、包装シートの色は、透明または半透明である方が内部を確認することができるので好ましいが、逆に、容器の変色、劣化の原因となる紫外線から防護するためには黒色などの不透明とすることもある。
【００２１】
また、包装シート１１の材料については、特に限定されないが、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリメチルペンテン等のシート状に成形できる材料から自由に選択することができる。さらに、ポリエチレン／ポリプロピレンのような多層構造にしてもよい。難燃性や密着性の観点から、特に軟質ポリ塩化ビニルまたはポリ塩化ビニリデン製のシートが好ましく、コストを考慮すると軟質ポリ塩化ビニル製のシートがより好ましい。
ここで、軟質ポリ塩化ビニルとは、フタル酸エステル等からなる可塑剤を重量比で１０％以上含有しているものを指す。
【００２２】
軟質ポリ塩化ビニルまたはポリ塩化ビニリデンのような密着性を付与できる材料を包装シート１１の材料として用いれば、包装シート１１を複数回折り返してペリクル収納容器５０を梱包する際に、包装シート１１が相互に接触し密着して、袋状のものを使用しなくても容易に密閉空間を構成することができるので好ましい。
【００２３】
内側包装体１１’に用いる包装シート１１の厚さは、５０〜３００μｍのものが好ましいが、密着性、コスト、取扱いの容易さから、７０〜２００μｍの範囲のものがより好ましい。また、ペリクル収納容器５０を覆って梱包した内側包装体１１’のシート端は、そのまま密着させておいてもよいし、必要に応じて熱シール等で接着してもよい。最も好ましくは、数枚の粘着テープ１３で留めることが好ましく、こうすることで開梱時にシート端を剥がすことが容易となる。
【００２４】
また、内側包装体１１’は、包装袋ではなく平面状の包装シート１１を用いているため、重量のある大型のペリクル収納容器５０を袋の中に挿入したり、引き出したりする必要がなく、梱包、開梱が極めて容易となる。さらに、包装シート１１の材料が軟質ポリ塩化ビニルまたはポリ塩化ビニリデンの場合は、高い難燃性を有しているため安全性の点からも好ましい。
【００２５】
ペリクル収納容器５０を包装シート１１で梱包して内側包装体１１’とする梱包手順は、必要最小限の大きさの包装シート１１を用いて少ない梱包手順でペリクル収納容器５０が完全に覆われればよいが、その好ましい梱包手順の一例を図４（１）乃至（３）に示す。
【００２６】
最初に、図４（１）に示すように、包装シート１１上にペリクル収納容器５０を置き、ペリクル収納容器５０の外縁５０ａ、５０ｂに沿った一点鎖線でペリクル収納容器５０の天面を完全に覆うように包装シート１１を折り返す。図４（２）は、折り返し後の状態を示す。このとき、折り返した包装シート１１の周縁は互いに重なった状態であり、この時点でペリクル収納容器５０が完全に包装シート１１で覆われていることが好ましい。
【００２７】
次に、ペリクル収納容器の外縁５０ｃ、５０ｄに沿って図４（２）中の一点鎖線のところで包装シート１１をペリクル収納容器天面の方へ折り返す。図４（３）は、折り返し後の状態を示す。内側包装体１１’は、この状態で完成するが、折り返した包装シート１１の先端を天面上の包装シート１１に何カ所かで粘着テープ１３によって貼り付けることが好ましい。
【００２８】
また、各包装シート１１相互の重なりが１００〜３００ｍｍであるように包装シートの大きさを設定すると、包装シート１１の密着性によって重なり部分が相互に密着して確実な密閉ができるので好ましい。
【００２９】
一方、外側包装体１２は、図３に示すように、内側包装体１１’をさらに被覆して内側包装体１１’に塵埃が付着するのを防止するためのものであり、保管中や輸送中に包装内に塵埃が侵入しないようにするためのものである。
【００３０】
この外側包装体１２は、袋状の形状であり、その材料は、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂からなる群から選択されるものが好ましい。袋状に製造する方法は特に問わないが、袋の開口部は、熱シールにより密封するか、複数回折り曲げて粘着テープ１４で留めることが好ましい。
【００３１】
外側包装体１２の厚さは、５０〜３００μｍの範囲から選択すればよいが、コスト、強度、製袋のしやすさ等の観点から、１００〜１５０μｍとすることが好ましい。この外側包装体１２も、内側包装体１１’と同様に、帯電防止剤や導電物質の混練により、または導電材質とのラミネートにより帯電防止性を有していることが好ましい。また、色は、有色であってもよいが、透明または半透明であると内部が確認できるので好ましい。
【００３２】
この外側包装体１２は、袋状の形状としているために、特に内部への塵埃の侵入を防止しやすく、内側包装体１１’を清浄に保つことができる。また、外側包装体１２の材料として好ましいポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂は、何れもやや硬質ですべり性が良いため、微粘着性を有する内側包装体１１’であっても容易にこれを収納することができる。
【００３３】
内側包装体１１’は、微粘着性を有しているため塵埃を付着させやすく、しかも接触した様々な物品に貼り付いて作業性を悪化させるという問題があるが、この内側包装体１１’の外側に上記材料を用いた外側包装体１２を設ける（内側包装体１１’を袋状の外側包装体１２に収納する）ことで塵埃の付着を防止することができるというメリットがある。また、梱包箱や収納棚への収納や取り出しといった搬送作業においても、その作業性が改善されるので好適である。
【００３４】
この外側包装体１２は、一般環境下では塵埃が多数付着しているため、通常のペリクル使用時においては、クリーンルームへのペリクル搬入時に、外側包装体１２を取り去って、内側包装体１１’だけの状態でクリーンルームへ搬入し、保管することが特に好ましい。
【００３５】
本発明で収納するペリクル収納容器５０については、特にその構造、材質は問わないが、一般的には、ＡＢＳ、ＰＭＭＡ、ＰＣなどの樹脂板を真空成形して製作されたものが好ましい。このペリクル収納容器５０は、図５に示すように、通常、ペリクル５３を載置する収納容器本体５１と、その周縁部で嵌合してペリクル５３と収納容器本体５１を覆う蓋体５２とから構成されている。そして、その周縁部はクリップなどで固定されているか、粘着テープでシールされている（図示しない）。
【００３６】
特に、辺長が１ｍを超えるような大型のペリクル収納容器５０では、剛性向上のために樹脂を真空成形して製作したペリクル収納容器の外側に金属や繊維強化樹脂製の補強体を取り付けることも良く、また、アルミニウム合金、マグネシウム合金などの軽量金属でペリクル収納容器自体または特に下側となる容器本体を製作することも良い。
【００３７】
また、ペリクル収納容器５０の外側に取扱いのためにハンドルや脚部を取り付けることも良いが、本発明で用いる平面状の包装シート１１は柔軟性があるため、ハンドルや脚部等のような突起物があっても好適に対応することができる。
【００３８】
さらに、ペリクル収納容器５０の表面は、平坦である方が内側包装体１１’との密着性が良く好ましいが、あえてペリクル収納容器５０の表面に凹凸を設けることによって、作業性等を考慮して密着性を制御することも可能である。
【実施例】
【００３９】
以下に、本発明の実施例及び比較例を具体的に説明するが、実施例及び比較例の各作業は、クラス１０のクリーンルーム内において行った。
【００４０】
〈実施例１〉
実施例１では、図１〜図３に示すようなペリクル収納容器の包装構造体１０を製作した。この包装構造体１０は、内側包装体１１’と外側包装体１２の二重の包装体で構成されており、内側包装体１１’の内部には、平面状の包装シート１１を用いて図５に示すペリクル収納容器５０が梱包されている。
【００４１】
ペリクル収納容器５０は、厚さ５ｍｍで黒色の難燃帯電防止ＡＢＳ樹脂を真空成形したペリクル収納容器本体５１と、それに周縁部で嵌合する同材料を真空成形した蓋体５２からなり、その組み合わせ後の外寸は１３５０ｘ１５３２ｘ高さ１２０ｍｍである。そして、このペリクル収納容器５０を界面活性剤と純水で洗浄し、良く乾燥させた。
【００４２】
次に、外寸１１４６ｘ１３６６ｍｍの大きさで、高さ７ｍｍのペリクル５３を製作し、暗室内にて集光ランプを用いた目視異物検査を行った後、ペリクル収納容器５０に収納し、周囲を粘着テープ（図示しない）により密閉した。ペリクル５３に用いたペリクルフレームは、Ａ５０５２アルミニウム合金を機械加工し黒色アルマイトを施したものであり、外寸１１４６ｘ１３６６ｍｍの大きさ、内寸１１２２ｘ１３４２ｍｍの大きさとし、高さは５．８ｍｍとし、角部は外側Ｒ３、内側Ｒ２とした。
【００４３】
このペリクルフレームの一面にはペリクル膜接着層としてシリコーン樹脂を塗布し、厚さ４．５μｍのフッ素系樹脂からなるペリクル膜を接着した。また、別の一面にはマスク粘着層としてシリコーン粘着剤を塗布し、その表面にはフレーム外形と略同形状に切断したＰＥＴ樹脂に離型剤を塗布して製作したセパレータを貼付した。このペリクル５３を収納したペリクル収納容器５０の外面を純水にて拭き洗浄し、周囲を暗くして集光ランプによる目視検査を行いつつ、視認できる付着異物は全て除去した。
【００４４】
また、平面状の包装シート１１として、１８３０ｘ３３００ｍｍの大きさで切断した、厚さ１００μｍの帯電防止透明軟質ＰＶＣシートを用意し、このシートを純水にて拭き洗浄し、良く乾燥させた。この洗浄作業は、用意した包装シート１１が平板状のため、極めて作業性が良く、また乾燥の目視確認も容易であった。
【００４５】
次に、この包装シート１１を用いて、図４に示すような梱包手順でペリクル収納容器５０を梱包した。初めに、図４（１）に示すように、平面に置いた包装シート１１上にペリクル収納容器５０を置き、ペリクル収納容器５０の外縁５０ａ、５０ｂに沿った一点鎖線でペリクル収納容器５０の天面を完全に覆うように包装シート１１を折り返して、図４（２）に示す状態とした。次に、容器外縁５０ｃ、５０ｄに沿って図４（２）中の一点鎖線で包装シート１１を容器天面の方へ折り返して、図４（３）に示す状態とした。最後に、折り返した包装シート１１の周縁部をよく密着させたうえ、その先端を天面上の包装シート１１にＰＶＣ製粘着テープ１３によって貼り付けて、図２に示す内側包装体１１’を完成させた。
【００４６】
次に、外側梱包体１２として、１７００ｘ１６５０の大きさで、厚さ１００μｍの帯電防止ＰＥ製透明袋を用意し、この袋を内側包装体１１’の外側に被せてこれを収納し、その開口を二重に折り返して巻いたうえ、ＰＶＣ製粘着テープ１４で固定して、図３に示す包装構造体１０を完成させた。
【００４７】
その後、この包装構造体１０をクリーンルームから搬出して温度２０〜３０℃、湿度３０〜８０％の一般室にて３か月間保管し、その後、内部を確認するため再びクリーンルームに搬入した。この搬入時に、塵埃が多数付着した外側包装体１２をクリーンルーム入室直前に取り外し、内側包装体１１’だけの状態としてクリーンルーム内に搬入した。
【００４８】
最後に、内側包装体１１’を図４に示す梱包手順とは逆の手順で開放した。そして、周囲を暗くしてからペリクル収納容器５０の外面を集光ランプで照射して観察したところ、汚れや異物の付着は見られず、清浄な状態が保たれていることを確認した。また、ペリクル収納容器５０の蓋体５２を注意深く開放し、そのままペリクル収納容器本体５１上にてペリクル５３を観察したところ、ペリクル５３にも異物の付着は見られず、清浄な状態が保たれていることを確認した。
【００４９】
〈実施例２〉
実施例２では、図６に示すようなペリクル収納容器の包装構造体６０を製作した。この製作では、先ず、ペリクル収納容器６４を平面状の包装シート６１で梱包して内側包装体６１’を構成し、これを袋状の外側包装体６２に収納して包装構造体６０を製作した。
【００５０】
実施例２で収納するペリクル収納容器６４は、アルミニウム合金製本体６４ａと、厚さ５ｍｍの透明ＰＣ樹脂板を真空成形して製作した蓋体６４ｂとから構成され、その外部にはハンドル６４ｃ、６４ｄ、脚部６４ｅが取り付けられている。また、その周囲は、ＰＶＣ製粘着テープ（図示しない）にて密閉されたうえで、バックル６４ｆにて締め付け固定されている。
【００５１】
また、このペリクル収納容器６４内に収納されるペリクル６５は、黒色アルマイトを施したＡ５０５２アルミニウム合金製フレームに厚さ４μｍのフッ素系樹脂からなるペリクル膜を接着して製作したものであり、外寸１５２６ｘ１７４８ｍｍの大きさ、内寸１４９３ｘ１７１５ｍｍの大きさとし、ペリクルフレーム高さは６．２ｍｍとした。角部は外側Ｒ６ｍｍ、内側Ｒ２ｍｍとし、マスク粘着層を含んだ高さは８ｍｍとした。
【００５２】
このペリクル６５を暗室内で集光ランプによる目視異物検査のうえ、ペリクル収納容器６４に収納し、このペリクル収納容器６４の外面について、周囲を暗くしたうえで集光ランプを照射して目視確認を行いつつ、付着している異物を全て除去した。
【００５３】
実施例２では、平面状の包装シート６１として、上記実施例１と同じ材料の帯電防止透明軟質ＰＶＣシートを用意し、これを１８３０ｘ４２００ｍｍの大きさで切断して包装シート６１ａとし、次いで、９１５ｘ４２００ｍｍの大きさで２枚を切断して包装シート６１ｂとし、さらに５００ｘ４００ｍｍの大きさで４枚を切断して包装シート６１ｃとした。これら７枚の包装シートの両面を純水にて拭き洗浄し、良く乾燥させた。
【００５４】
次に、包装シート６１ａを脚部６４ｅの内側に配してペリクル収納容器６４を被覆し、端部を重ね合わせて密着させ、粘着テープで貼り付けたが、ペリクル収納容器６４が包装シート６１ａの幅よりも大きいため、脚部６４ｅより外側の両端に包装されない領域が残った。
【００５５】
また、２枚の包装シート６１ｂを各々包装シート６１ａの外側に配して、包装シート６１ａに２００ｍｍ重なるようにして包装し、端部を重ね合わせて密着させた。このとき、包装シート６１ｂには、予め脚部６４ｅ部分に相当する開口を設けておき、この開口を通して脚部が外部に出るようにした。そして、包装シート６１ｂの端部は、その余剰部を上方へ折り返して包装シート６１ａの天面に粘着シート６３で貼り付けた。
【００５６】
さらに、包装シート６１ｃを各脚部６４ｅの下に差し込み、上方へ折り返して脚部６４ｅを被覆するとともに、端部を粘着テープ６３で貼り付けて密閉し、内側包装体６１’を完成させた。この実施例２のペリクル収納容器６４には、脚部６４ｅ以外にもハンドル６４ｃ、６４ｄ、バックル６４ｆの突起部があったが、包装シート６１に柔軟性があるため、突起部に包装シート６１を密着させて包装することができた。
【００５７】
次に、外側包装体６２として、２７００ｘ５０００ｍｍの大きさの帯電防止透明ＰＥ袋を用意し、このＰＥ袋の内部にペリクル収納容器６４を梱包した内側包装体６１’を収納したうえ、その開口部を折り返して粘着テープ６３にて貼り付けて、図６に示す包装構造体６０を完成させた。
【００５８】
その後、この包装構造体６０を上記実施例１同様に、クリーンルームから搬出して温度２０〜３０℃、湿度３０〜８０％の一般室にて３か月間保管し、その後、内部を確認するため再びクリーンルームに搬入した。この搬入時に、塵埃が多数付着した外側包装体６２をクリーンルーム入室直前に取り外し、内側包装体６１’だけの状態としてクリーンルーム内に搬入した。
【００５９】
最後に、内側包装体６１’を開き、次いで、周囲を暗くしてからペリクル収納容器６０の外面を集光ランプで照射して観察したところ、汚れや異物の付着は見られず、清浄な状態が保たれていることを確認した。また、ペリクル収納容器６０の蓋体６４ｂを注意深く開放し、そのままペリクル収納容器本体６４ｂ上にて収納したペリクル６５に集光ランプを照射して目視観察したところ、異物の付着は見られず、清浄な状態が保たれていることを確認した。
【比較例】
【００６０】
比較例では、上記実施例１と同じ仕様や手順で製作したペリクル５３とペリクル収納容器５０について、クラス１０のクリーンルーム内で図７に示すような包装構造体７０を製作した。この包装構造体７０は、実施例１、２と比べて、内側包装体７１及び外側包装体７２の二重の包装体で構成されている点及び収納したペリクル５３とペリクル収納容器５０が同一のものである点で共通しているが、内側包装体７１が平面状の包装シートではなく、外側包装体７２と同様の包装袋である点で異なっている。
【００６１】
この比較例では、最初に、上記実施例１、２で外側包装体１２として用いた同じ帯電防止透明ＰＥ袋を用意し、このＰＥ袋の内側と外側を純水で拭き洗浄するとともに、開口部を広げて良く乾燥させた。このとき、ＰＥ袋の内側の洗浄では、作業者が身体を袋内に入れて作業しなくてはならないため、極めて作業性が悪かった。
【００６２】
次に、ペリクル５３が収納されたペリクル収納容器５０をＰＥ袋内に収納し、その開口部をヒートシールにより密封して内側包装体７１を完成させた。なお、ペリクル収納容器５０をＰＥ袋内に収納する前に、ペリクル収納容器５０の表面に付着している異物は、周囲を暗くし集光ランプを使用して目視確認しつつ除去しておいた。
【００６３】
その後、この内側包装体７１全体を外側包装体７２の同じ帯電防止透明ＰＥ袋に収納し、その開口部を二重に折り返して粘着テープ７３で固定し、比較例の包装構造体７０を完成させた。
【００６４】
そして、この包装構造体７０をクリーンルームから搬出し、上記実施例１、２と同じ温度２０〜３０℃、湿度３０〜８０％の一般室にて３か月間保管した後、内部を確認するため再びクリーンルームに搬入した。この搬入時に、塵埃が多数付着した外側包装体７２を搬入直前にクリーンルーム外で取り外し、内側包装体７１だけの状態としてクリーンルーム内に直ちに搬入した。
【００６５】
最後に、内側包装体７１を開封し、周囲を暗くしてペリクル収納容器５０の外面を集光ランプで照射しながら観察したところ、密封されていたにもかかわらずペリクル収納容器５０の角付近の周縁部の１か所に１００μｍ以下の数十個の異物からなる汚れを確認した。
【００６６】
また、収納されたペリクル収納容器５０の蓋体５２を注意深く開放し、ペリクル収納容器本体５１上に載置したペリクル５３に異物が付着していないか目視確認したところ、ペリクル膜面に２０μｍ程度の２個の異物の付着を確認した。これらの異物は、イオン化エアーガンで容易に除去することができたため、付着して間もないものと考えられ、蓋体５２を開けた際に蓋体５２から飛来あるいは落下して付着したものではないかと推察された。
【符号の説明】
【００６７】
１０  ペリクル収納容器の包装構造体
１１  平面状の包装シート
１１’内側包装体
１２  袋状の外側包装体
１３  粘着テープ
１４  粘着テープ
５０  ペリクル収納容器
５０ａ  ペリクル収納容器外縁
５０ｂ  ペリクル収納容器外縁
５０ｃ  ペリクル収納容器外縁
５０ｄ  ペリクル収納容器外縁
５１  ペリクル収納容器本体
５２  ペリクル収納容器蓋体
５３  ペリクル
６０  ペリクル収納容器の包装構造体
６１ａ  平面状の包装シート
６１ｂ  平面状の包装シート
６１ｃ  平面状の包装シート
６１’  内側包装体
６２    袋状の外側包装体
６３  粘着テープ
６４  ペリクル収納容器
６４ａ  ペリクル収納容器本体
６４ｂ  ペリクル収納容器蓋体
６４ｃ  ハンドル
６４ｄ  ハンドル
６４ｅ  脚部
６４ｆ  バックル
６５  ペリクル
７０  ペリクル収納容器の包装構造体
７１  内側包装体
７２  袋状の外側包装体
７３  粘着テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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