(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線部と、液体に吐出エネルギーを付与するための素子を有する記録素子基板と、前記配線部と接続された接続部を備え前記配線部と前記記録素子基板とを電気的に接続する電気配線基板と、前記電気配線基板の一部が接着剤を介して当接された支持部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記電気配線基板の前記接続部には、前記接続部の幅方向の両端部の間の位置に切り欠き部が設けられており、前記幅方向の前記切り欠き部の長さは、前記幅方向に直交する方向の前記切り欠き部の長さよりも短く、
前記切り欠き部は、前記電気配線基板の前記接続部の前記幅方向に延びる端縁から形成されて、前記接続部を越えて延び、
前記直交する方向の前記切り欠き部の長さは、前記支持部材に当接する前記電気配線基板の前記一部までは至らない長さであることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記電気配線基板はフレキシブル配線基板であり、前記配線部は筐体に取り付けられている配線基板である、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記フレキシブル配線基板の基材の線膨張係数は、前記配線基板の基材の線膨張係数よりも小さく、
前記フレキシブル配線基板の基材の厚みは、前記配線基板の基材の厚みよりも小さい、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記配線部には複数の配線部側の接続端子が前記幅方向に沿う列をなすように並べて配置されており、前記電気配線基板の前記接続部には、複数の電気配線基板側の接続端子が、複数の前記配線部側の接続端子の列と対向する列をなすように並べて配置されており、前記切り欠き部は、前記電気配線基板側の接続端子の列を分断するように前記電気配線基板側の接続端子同士の間に設けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記幅方向の前記切り欠き部の長さは、前記接続部の、前記配線部との接続時の前記幅方向の熱膨張量よりも長い、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記電気配線基板の前記切り欠き部によって分割された前記接続部の、前記切り欠き部の両側に位置する分割片同士が、互いに部分的に重なり合っている、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記接続部の前記幅方向の熱膨張量は、前記配線部の前記幅方向の熱膨張量よりも大きい、請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記切り欠き部は、前記接続部の幅方向の両端部の中間付近の位置に設けられている、請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
配線部と、液体に吐出エネルギーを付与するための素子を有する記録素子基板と、前記配線部と接続された接続部を備え前記配線部と前記記録素子基板とを電気的に接続する電気配線基板と、前記電気配線基板の一部が接着剤を介して当接された支持部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記電気配線基板を加熱および押圧して前記配線部に接続するステップを含み、前記電気配線基板の前記接続部には、前記接続部の幅方向の両端部の間の位置に切り欠き部が設けられており、前記幅方向の前記切り欠き部の長さは、前記幅方向に直交する方向の前記切り欠き部の長さよりも短く、前記切り欠き部は、前記電気配線基板の前記接続部の前記幅方向に延びる端縁から形成されて、前記接続部を越えて延び、前記直交する方向の前記切り欠き部の長さは、前記支持部材に当接する前記電気配線基板の前記一部までは至らない長さであることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記電気配線基板と前記配線部との接続時の、前記接続部の前記幅方向の熱膨張量は、前記配線部の前記幅方向の熱膨張量よりも大きい、請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記電気配線基板と前記配線部との接続は、前記接続部の大きさ以上の大きさの加熱圧着部材を用いて行われる、請求項９または１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 
【請求項１２】
前記電気配線基板と前記配線部との接続は、前記接続部の前記切り欠き部によって分割された複数の分割片のそれぞれに対応して設けられた、前記分割片の各々の大きさ以上の大きさの複数の加熱圧着部材を用いて行われる、請求項９または１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
複数の前記加熱圧着部材によって、前記分割片の各々を前記配線部に対して同時に、または別々に接続する、請求項１２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記切り欠き部は、前記接続部の幅方向の両端部の中間付近の位置に設けられている、請求項９から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記接続するステップでは、前記電気配線基板の前記接続部の裏面の側から前記電気配線基板を加熱および押圧する、請求項９から１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドとその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタ等の液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドとして、記録素子基板と、記録素子基板を支持する支持部材と、電気配線基板と、配線部とを有するものがある。記録素子基板は、液体を吐出する吐出口と、液体を吐出するための吐出エネルギーを発生するエネルギー発生素子とを有している。電気配線基板は、記録素子基板と配線部との間に介在し、配線部に供給された電気信号を記録素子基板に伝達する。
【０００３】
特許文献１に開示されている液体吐出ヘッドには、配線部と電気配線基板にそれぞれ接続端子（接続パッド）と位置決め端子が設けられている。両基板の位置決め端子をそれぞれ位置合わせすることにより、配線部と電気配線基板を接続端子同士が重なり合う位置に配置して互いに接続させる。これによって、接続端子同士を電気的に接続させるとともに機械的に固定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−２３０６０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年の液体吐出ヘッドでは、記録速度の向上のために、記録素子基板に搭載されるエネルギー発生素子の数が増加している。それに伴って、エネルギー発生素子に供給すべき電気信号の授受を行うための配線数および接続端子数も増加し、電気配線基板の大型化、特に幅広化が必要になっている。
【０００６】
電気配線基板と配線部は、熱圧着によって接続される場合がある。通常、電気配線基板の基材と配線部の基材は異なり、それぞれの基材の線膨張係数の違い等に応じて、電気配線基板と配線部とで接続時（熱圧着時）の熱膨張の大きさが異なる。すなわち、接続時の電気配線基板の膨張量（伸び量）と配線部の膨張量（伸び量）とが異なるため、相対位置がずれてしまう。部材の大きさと伸び量は比例するため、接続部の幅が広いほど幅方向に大きな伸びが生じ、大きな相対位置ずれを引き起こす。その結果、接続端子同士が十分に接触できずに接続不良を起こしたり、接触すべきでない接続端子同士が接触して短絡を生じたりする場合がある。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、電気配線基板の配線部に対する接続部の幅が広くても相対位置ずれを抑えることができ、接続不良や短絡の発生を抑制できる液体吐出ヘッドとその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドは、配線部と、液体に吐出エネルギーを付与するための素子を有する記録素子基板と、配線部と接続された接続部を備え配線部と記録素子基板とを電気的に接続する電気配線基板と、電気配線基板の一部が接着剤を介して当接された支持部材と、を有している。電気配線基板の接続部には、接続部の幅方向の両端部の間の位置に切り欠き部が設けられており、幅方向の切り欠き部の長さは、幅方向に直交する方向の切り欠き部の長さよりも短い。切り欠き部は、電気配線基板の接続部の幅方向に延びる端縁から形成されて、接続部を越えて延び、前記直交する方向の切り欠き部の長さは、支持部材に当接する電気配線基板の前記一部までは至らない長さである。
【０００９】
この構成によれば、電気配線基板の、配線部との接続部が、切り欠き部によって複数の分割片に分割され、各分割片の幅は小さいため、熱膨張による幅方向の伸び量を抑えられる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、電気配線基板の配線部との接続部の、熱膨張による幅方向の伸び量を抑えられるため、電気配線基板と配線部の相対位置ずれを抑えることができる。それにより、接続不良や短絡の発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の液体吐出ヘッドを示す斜視図である。
【図２】図１に示す液体吐出ヘッドの電気配線基板と配線部の接続部分を示す展開図および正面図である。
【図３】本発明の実施例１における電気配線基板と配線部の接続工程を順番に示す正面図と加熱圧着部材の側面図である。
【図４】切り欠き部が設けられていない電気配線基板と配線部の接続工程を示す正面図である。
【図５】実施例１における電気配線基板と配線部の接続部分を示す展開図および正面図と、それらの接続工程を示す正面図と、変形例の接続部分の正面図である。
【図６】本発明の実施例２における電気配線基板の接続部分を示す展開図および正面図と、それらの接続工程を示す正面図である。
【図７】実施例２における電気配線基板の接続工程の例を示す正面図である。
【図８】本発明の液体吐出ヘッドの電気配線基板と配線部の接続部分の変形例を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１に、本発明の液体吐出ヘッドを示している。この液体吐出ヘッドは、記録素子基板１と、支持部材２と、電気配線基板３と、配線部４と、筐体６を有する。具体的には、直方体状の筐体６の上面に支持部材２が搭載され、支持部材２の上面に記録素子基板１が積層されている。筐体６の上面に隣接する一側面に配線部４が配置されている。そして、支持部材２上の記録素子基板１と配線部４とにまたがるように、フレキシブル配線基板である電気配線基板３が配置されている。電気配線基板３の配線部４に重なる部分を接続部（アウターリード部）３０と称する。図１に示す例では、配線部４は筐体６とは別部材の配線基板であり、筐体６の一側面に貼り付けられている。ただし、配線部４は筐体６の一部であってもよい。
記録素子基板１は、液滴を吐出するための複数の吐出口１ａと、図示しないが、各吐出口１ａに対応する液室と、各液室内に配置されているエネルギー発生素子とを有している。吐出口１ａは、電気配線基板３の開口部３ａを介して外部に露出している。
【００１３】
電気配線基板３と配線部４および支持部材２の接続部分の展開図を図２（ａ）に、その接続部分を正面から見た正面図を図２（ｂ）に示す。図２（ｂ）に示すように、配線部４の外表面には、複数の配線部側の接続端子４１が幅方向に沿う列をなすように並べて配置されている。電気配線基板３の接続部３０には、複数の電気配線基板側の接続端子３１が、複数の配線部側の接続端子４１の列と対向し幅方向に沿う列をなすように並べて配置されている。電気配線基板側の接続端子３１につながっている電気配線は、図２（ａ）に破線で示されている。電気配線基板３の接続部３０を配線部４に接続すると、各電気配線基板側の接続端子３１が各配線部側の接続端子４１にそれぞれ接触して接続される。電気配線基板３の接続部３０には、幅方向の両端部Ｒ，Ｌの間の位置に、切り欠き部３２が設けられている。この切り欠き部３２は、接続部３０の幅方向に延びる端縁Ｆの位置から形成され、接続部３０の幅方向に交差する（好ましくは直交する）方向に延びている。切り欠き部３２は、電気配線基板側の接続端子３１の列を分断するように、電気配線基板側の接続端子同士の間に設けられ、接続部３０を越えて延びている。
【００１４】
電気配線基板３の接続部３０と配線部４は、主に各電気配線基板側の接続端子３１が各配線部側の接続端子４１とが熱圧着されることによって接続されている。電気配線基板３と配線部４は熱圧着時に受ける熱によってそれぞれ膨張し、それらの膨張量（伸び量）は線膨張係数の差などに応じて異なる。しかし、電気配線基板３の接続部３０に切り欠き部３２が設けられて、接続部３０は複数（図示している例では２つ）の分割片３０ａに分割されており、各分割片３０ａの幅は小さい。物体の幅と、幅方向の熱膨張量は実質的に比例するので、幅が小さい各分割片３０ａの幅方向の膨張量は小さく抑えられる。また、各分割片３０ａの熱膨張した部分が切り欠き部３２内に収まると、別の分割片３０ａに影響を及ぼすことはない。このように、本実施形態では、接続部３０に切り欠き部３２を設けることにより、各分割片３０ａと配線部４の幅方向の熱膨張量（伸び量）の差を小さくして、各電気配線基板側の接続端子３１と各配線部側の接続端子４１の幅方向の相対位置ずれを抑えている。その結果、接続不良や短絡を抑制できる。
【００１５】
このような構成であるため、図示しない液体吐出装置本体から配線部４に電気信号が供給されると、その電気信号は接続端子４１，３１の電気的接続によって電気配線基板３に伝達される。そして、電気信号は、電気配線基板３から記録素子基板１に伝達され、図示しないエネルギー発生素子に供給される。電気信号が供給されたエネルギー発生素子は、液室内の液体に吐出エネルギー（熱または圧力など）を付与し、吐出エネルギーが付与された液体は、吐出口１ａから外部に吐出される。
【００１６】
この液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。前述した通り、筐体６の上面に支持部材２を積層し、一側面に配線部４となる配線基板を取り付ける。続いて、支持部材２の上に記録素子基板１を積層する。そして、記録素子基板１と配線部４の一部とにまたがるように、電気配線基板３を配置する。このとき、電気配線基板３は、接続部３０に設けられている複数の接続端子３１が配線部４の接続端子４１とそれぞれ接触するように配置される。そして、接続部３０を配線部４に接続する。具体的には、図３（ａ），（ｃ）に示すように加熱ヒーター１０２を内蔵し平坦面１０１ａを有する加熱圧着部材１０１によって、図３（ｂ）に示すように接続部３０を押圧して配線部４に押しつける。このとき、加熱圧着部材１０１の加熱ヒーター１０２によって接続部３０および配線部４を加熱しながら圧力を加えることにより、各接続端子３１,４１が互いに熱圧着されて固定される。
【００１７】
この熱圧着時に加熱ヒーター１０２から加えられた熱によって、電気配線基板３と配線部４は熱膨張する。この熱膨張について説明すると、熱膨張による伸び量の絶対値は、以下の要因等によって決まる。
（１）電気配線基板３と配線部４の基材が互いに異なる材料からなる場合には、それぞれの線膨張係数が異なる。一例としては、電気配線基板３の基材が、線膨張係数が約１２ｐｐｍのポリイミドからなるＴＡＢテープであり、配線部４の基材が、線膨張係数が約２１ｐｐｍのガラスエポキシ樹脂である。これらの基材の材料のみを考慮すると、ガラスエポキシ樹脂の方がＴＡＢテープよりも線膨張係数が大きい。
（２）ただし、加熱圧着部材１０１がＴＡＢテープ（電気配線基板３）をガラスエポキシ樹脂（配線部４）に向けて押圧する際に、加熱ヒーター１０２からの熱は、ガラスエポキシ樹脂よりもＴＡＢテープの方により良く伝わる。
（３）短時間で効率良く液体吐出ヘッドを生産するためには、加熱圧着工程を短時間で行うことが望まれるので、接続部３０を短時間で所望の温度まで昇温させる。しかし、この際に、電気配線基板３および配線部４の全体を所望の温度に加熱させるまでには至らず、部分的に熱分布が発生する。
（４）配線部４の厚さ方向に伝わる熱は、電気配線基板３の接続部３０に近い側は高く、接続部３０から遠い側は低くなり、熱分布が発生する。
【００１８】
電気配線基板３と配線部４の伸び量は、それらの基材の材料の線膨張係数のみによって決まるわけではなく、前述した要因（１）〜（４）の影響（例えば熱分布の影響）も受ける。一般的な電気配線基板３の基材（ＴＡＢテープ）の厚さは約０．１ｍｍで、配線部４の基材（ガラスエポキシ樹脂）の厚さは約０．５ｍｍである。このように配線部４が厚い場合には、基材の厚さに応じた熱分布の影響で配線部４の伸び量が小さい。
【００１９】
仮に電気配線基板３の接続部３０に切り欠き部３２が設けられていないと、前述した要因（１）〜（４）等から、接続部３０（ＴＡＢテープ）の実際の伸び量は、配線部４（ガラスエポキシ樹脂）の伸び量よりも大きくなる。図４に示すように、幅方向の伸びは、加熱されている部分の中心２０１を起点として、矢印で示すように両側方へ向かって生じる。電気配線基板３の幅の広い接続部３０には、製造条件等にもよるが、幅方向に数μｍ〜数十μｍの大きな伸びが発生する。この伸びの影響で、特に接続部３０の外周側に位置する接続端子３１，４１に大きな相対位置ずれが生じ、加熱温度や加圧力等の条件によるが、例えば幅方向に数μｍ〜数十μｍ程度の相対位置ずれが生じる。それにより、電気的な接続不良が発生する場合がある。
【００２０】
そこで本実施形態では、図２，３に示すように、電気配線基板３の接続部３０に切り欠き部３２が設けられている。本実施形態の切り欠き部３２は、接続部３０を概ね２等分するように接続部３０の幅方向のほぼ中央に設けられ、幅方向に実質的に垂直に接続部３０を越えて電気配線基板３の内側に向かって延びている。ただし、図２（ａ）に示すように、切り欠き部３２の長さは、電気配線基板３の、支持部材２と接する部分までは至らない長さである。切り欠き部３２の幅は、各分割片３０ａの熱圧着時の熱による幅方向の膨張量（伸び量）よりも大きいことが好ましい。そうすると、熱圧着後に、膨張した電気配線基板の分割片３０ａ同士が互いに干渉することがより抑制される。また、切り欠き部３２は、接続部３０の幅方向の両端部の間に設ければよいが、位置ずれ抑制を考慮すると、中間付近に設けられていることが好ましい。中間付近とは、両端部間の長さを１０としたときに、片方の端部から４〜６の長さにある位置を意味する。また、切り欠き部の位置とは、切り欠き部の中心の位置を意味する。
【実施例】
【００２１】
以下、本発明のより具体的な実施例について説明する。
＜実施例１＞
図５（ａ），（ｂ）に本発明の実施例１の液体吐出ヘッドの要部を示している。本実施例では、電気配線基板３の接続部３０の幅方向の中央から、幅方向に実質的に垂直に延びる切り欠き部３２が形成されている。この接続部３０を加熱圧着部材１０１によって配線部４に押しつけると、図５（ｃ）に示すように、幅方向において、各分割片３０ａの中心２０２を基点とする伸び（矢印にて図示）が生じる。このように切り欠き部３２を形成することによって接続部３０を複数の分割片３０ａに分割すると、各分割片３０ａの幅が小さいため幅方向の伸び量の絶対値が小さくなる。少なくとも、図４に示すように接続部３０の中心２０１を起点として接続部全体にわたって生じる幅方向の伸びよりも、各分割片３０ａの中心２０２を基点として分割片３０ａごとに生じる幅方向の伸びの方が、局所的に生じる位置ずれが小さい。それにより、配線部４に対する相対位置ずれ、より詳しくは、各電気配線基板側の接続端子３１と各配線部側の接続端子４１の相対位置ずれを抑えて、接続不良や短絡を抑制することができる。
【００２２】
切り欠き部３２の数は任意に変更可能であり、１つの切り欠き部３２が形成されている場合には、伸び発生起点である分割片の中心２０２は２ヶ所存在し、２つの切り欠き部３２が形成されている場合には、分割片の中心２０２は３ヶ所存在する。このような切り欠き部３２の数は、電気信号の送受信に必要な電気配線基板３と配線部４の圧着面積を基準にして、以下の事項を考慮して決定される。
・電気配線基板３の接続端子３１の位置のばらつきと幅のばらつき
・配線部４の接続端子４１の位置のばらつきと幅のばらつき
・電気配線基板３と配線部４の位置合わせ精度
・電気配線基板３と配線部４の接続後の伸び量
これらの事項を考慮して、接続端子３１，４１同士の相対位置ずれ量が許容範囲を超えるおそれがある場合には、相対位置ずれ量が許容範囲内に収まるまで切り欠き部３２を増やす。ただし、切り欠き部３２が増えると接続部３０の全体の幅が広くなるので、切り欠き部３２の数は必要最小限に留めることが好ましい。
【００２３】
接続部３０と配線部４とを接続した後に、接続部３０の隣り合う分割片３０ａ同士が切り欠き部３２において干渉し合わないようにするために、接続部３０の切り欠き部３２の幅Ｗを、接続時に生じる幅方向の伸び量以上にすることが好ましい。接続部３０の伸び量は主に加熱量によって決まるので、伸び量の制御は比較的容易である。
【００２４】
ただし、図５（ｄ）に示すように、膨張時に接続部３０の隣り合う分割片同士が互いに部分的に重なり合う（干渉し合う）ように、切り欠き部３２の幅Ｗを小さくすることもできる。この場合、伸び量の制御は容易ではないが、電気配線基板３内の配線の数や大きさが一定であれば、切り欠き部３２の幅Ｗが小さい分だけ配線のレイアウトが簡単で、接続部３０の全体の幅を小さくすることができる。この構成の場合、隣り合う分割片３０ａが連続せずに分割されていれば、切り欠き部３２の幅Ｗをほとんど０にすることも可能である。
【００２５】
切り欠き部３２の長さＬは、配線部４との接続部３０を超える長さであるが、支持部材２に当接する部分までは至らない長さであることが好ましい。仮に、切り欠き部３２の長さＬが接続部３０の長さ未満であると、配線部４に接続されている接続部３０の一部に、配線部４に比べて大きな幅方向の熱膨張（伸び）が生じるおそれがある。その場合、一部の接続端子３１，４１に大きな相対位置ずれが生じ、切り欠き部３２が十分な効果を奏し得ない可能性がある。本実施例では、切り欠き部３２は接続部３０を超える長さを有しているので、接続部３０全体にわたって幅方向の熱膨張（伸び）を小さくすることができる。
【００２６】
また、仮に切り欠き部３２が支持部材２に当接する部分まで設けられていると、電気配線基板３を支持部材２に接着するための接着剤が切り欠き部３２からはみ出して他部材に付着するなどの影響を及ぼすおそれがある。従って、切り欠き部３２から接着剤がはみ出さないようにするための接着剤の量や塗布位置の調整や、はみ出した接着剤の拭き取りなどの処置が必要になる。それに対し、本実施例では、前述したように、切り欠き部３２が、支持部材２に当接する部分までは至らない長さである。それにより、電気配線基板３を支持部材２に接着するための接着剤が切り欠き部３２からはみ出すことはないので、接着剤の量や塗布位置の調整や接着剤の拭き取りなどの処置が不要である。
【００２７】
本実施例では、電気配線基板３の接続部３０を配線部４に接続するための加熱圧着部材１０１が、接続部３０とほぼ同じ平面形状である。加熱圧着部材１０１が接続部３０を加熱しながら配線部４に押しつけて、接続端子３１，４１同士を熱圧着させる。この加熱圧着部材１０１は、接続部３０よりも大きい平面形状を有していてもよい。
【００２８】
＜実施例２＞
図６（ｃ）に示すように、本発明の実施例２では、切り欠き部３２によって分割された接続部３０の各分割片３０ａに対応する平面形状を有する複数の小さな加熱圧着部材１０３が用いられている。加熱圧着部材１０３は、接続部３０を押圧する平坦面１０３ａが非常に高い精度（数μｍオーダー）の平面性を要求される。その要求に応えるには、寸法の小さな加熱圧着部材１０３を用いることが、加工精度の点で有利である。
【００２９】
図７（ａ）には、複数の加熱圧着部材１０３が保持プレート１０４に取り付けられており、この保持プレート１０４と複数の加熱圧着部材１０３が、図示しない駆動装置によって図７の上下方向に一体的に駆動される構成が示されている。この構成によると、接続部３０の複数の分割片３０ａが同時に加熱および押圧されて、各電気配線基板側の接続端子３１と各配線部側の接続端子４１が熱圧着される。複数の小さな加熱圧着部材１０３を用いることにより、前述したように高精度の平坦面１０３ａが形成しやすく、また接続作業が短時間で効率よく行える。
【００３０】
一方、図７（ｂ），７（ｃ）には、複数の加熱圧着部材１０３が個別に駆動可能な構成が示されている。この構成によると、接続部３０の複数の分割片３０ａを同時に加熱および押圧することも、それぞれ別々にタイムラグをおいて加熱および押圧することもできる。複数の分割片３０ａに対応して、独立した複数の駆動手段（図示せず）が設けられていることが好ましい。図７（ｂ），７（ｃ）に誇張して示すように、接続部３０の各分割片３０ａの厚さのばらつきや配線部４の被接合面４ａの凹凸が存在していても、各接続端子３１を比較的均等な圧力で各接続端子４１に押し当てて熱圧着させることができる。言い換えると、この構成によると、接続部３０の各分割片３０ａの厚さや配線部４の厚さおよび被接合面４ａの平面性等に関して許容範囲が比較的広く、さほど高い精度を必要としないため、作業が容易である。
図７（ａ）に示すように保持プレート１０４を用いても、図７（ｂ），（ｃ）に示すように複数の加熱圧着部材１０３が互いに独立していても、図６（ａ），（ｂ）に示すように接続部３０の分割片３０ａの幅方向の伸びが小さい構成が実現する。
【００３１】
以上説明した各実施例において、図８に示すように、電気配線基板３の接続部３０と配線部４との間に異方導電性フィルム５を介在させてもよい。
【符号の説明】
【００３２】
１      記録素子基板
２      支持部材
３      電気配線基板
４      配線部
３０    接続部
３０ａ  分割片
３１    電気配線基板側の接続端子
３２    切り欠き部
４１    配線部側の接続端子
１０１，１０３  加熱圧着部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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