(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出孔、
複数の前記吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室、
複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第１流路、
複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第２流路、
複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第３流路、
複数の前記第１流路および複数の前記第２流路に共通して接続されている第４流路、および
複数の前記第３流路に共通して接続されている第５流路、を備えている流路部材と、
複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備えており、
前記加圧室のうちの前記加圧部に加圧される面の面積重心から、前記第１流路、前記第４流路および前記第２流路を順に経由して前記面積重心へ戻るまでの第１長さが、前記面積重心から前記第３流路を経由して前記第５流路に到達するまでの第２長さの２倍よりも長い
液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１長さの前記第４流路における長さが前記第１長さの３割以上を占める
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記吐出孔の開口方向において、前記第３流路は前記第１流路と前記第２流路との間に位置している
請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第４流路は、前記吐出孔の開口方向に直交する方向に延びており、
前記開口方向に見て、同一の前記加圧室に接続されている前記第１流路および前記第２流路は、前記第４流路から、前記第４流路の幅方向に関して互いに同一側に延びている
請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第４流路は、前記吐出孔の開口方向に直交する方向に延びており、
前記開口方向に見て、同一の前記加圧室に接続されている前記第１流路および前記第２流路は、前記加圧室から、前記第４流路の流路方向に関して互いに逆側へ延びてから前記第４流路の幅方向に関して互いに同一側に延び、前記流路方向に関して互いに異なる位置にて前記第４流路に対して接続されている
請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第５流路は、前記第４流路と並列に延びており、
前記開口方向に見て、同一の前記加圧室に接続されている前記第２流路および前記第３流路は、前記加圧室から、前記第４流路および前記第５流路の流路方向に関して互いに逆側へ延びてから前記第４流路および前記第５流路の幅方向に関して互いに逆側へ延びている
請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
記録媒体を前記液体吐出ヘッドに搬送する搬送部と、
前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
を備えている記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、液体吐出ヘッド、および記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、印刷用ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、流路部材と複数の加圧部とを備えている。特許文献１の流路部材は、例えば、複数の吐出孔、複数の吐出孔にそれぞれ接続された複数の加圧室、複数の加圧室にそれぞれ接続された複数の第１個別流路、複数の加圧室にそれぞれ接続された複数の第２個別流路、複数の第１個別流路および複数の第２個別流路に共通して接続された共通流路を備えている。複数の加圧部は、複数の加圧室をそれぞれ加圧する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２００９０２号公報
【発明の概要】
【０００４】
本開示の一態様に係る液体吐出ヘッドは、流路部材と、複数の加圧部と、を備えている。流路部材は、複数の吐出孔、複数の前記吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室、複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第１流路、複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第２流路、複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第３流路、複数の前記第１流路および複数の前記第２流路に共通して接続されている第４流路、および複数の前記第３流路に共通して接続されている第５流路、を備えている。複数の加圧部は、複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する。前記加圧室のうちの前記加圧部に加圧される面の面積重心から、前記第１流路、前記第４流路および前記第２流路を順に経由して前記面積重心へ戻るまでの第１長さが、前記面積重心から前記第３流路を経由して前記第５流路に到達するまでの第２長さの２倍よりも長い。
【０００５】
本開示の一態様に係る記録装置は、上記の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】（ａ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す側面図、（ｂ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す平面図である。
【図２】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図３】（ａ）は図２の液体吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）は図２の液体吐出ヘッドの断面図である。
【図４】（ａ）はヘッド本体の分解斜視図、（ｂ）は第２流路部材の下面から見た斜視図である。
【図５】（ａ）は第２流路部材の一部を透過して見たヘッド本体の平面図、（ｂ）は第２流路部材を透過して見たヘッド本体の平面図である。
【図６】図５の一部を拡大して示す平面図である。
【図７】（ａ）は吐出ユニットの斜視図、（ｂ）は吐出ユニットの平面図、（ｃ）は吐出ユニット上の電極を示す平面図である。
【図８】（ａ）は図７（ｂ）のＶＩＩＩａ−ＶＩＩＩａ線断面図、（ｂ）は図７（ｂ）のＶＩＩＩｂ−ＶＩＩＩｂ線断面図である。
【図９】液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図である。
【図１０】環状流路および第３個別流路の長さを説明するための斜視図である。
【図１１】吐出タイミングを説明するための図である。
【図１２】第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示し、（ａ）は液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図、（ｂ）は液体吐出ユニットの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。同一の部材を示す複数の図面同士においても、形状等を誇張するために、寸法比率等は互いに一致していないことがある。
【０００８】
第２実施形態以降において、既に説明した実施形態の構成と同一又は類似する構成については、既に説明した実施形態の構成に付した符号を付すことがあり、また、説明を省略することがある。既に説明した実施形態の構成に対応する（類似する）構成について、既に説明した実施形態の構成とは異なる符号を付した場合においても、特に断りがない事項については、既に説明した実施形態の構成と同様である。
【０００９】
＜第１の実施形態＞
（プリンタの全体構成）
図１を用いて、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含むカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１と称する）について説明する。
【００１０】
プリンタ１は、記録媒体Ｐを搬送ローラ７４ａから搬送ローラ７４ｂへと搬送することにより、記録媒体Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部７６は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、記録媒体Ｐに液滴を着弾させて、記録媒体Ｐに印刷を行なう。
【００１１】
本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。記録装置の他の実施形態としては、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。
【００１２】
プリンタ１には、記録媒体Ｐとほぼ平行になるように平板状のヘッド搭載フレーム７０が固定されている。ヘッド搭載フレーム７０には２０個の孔（不図示）が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔に搭載されている。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。
【００１３】
液体吐出ヘッド２は、図１（ｂ）に示すように細長い長尺形状をなしている。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、記録媒体Ｐの搬送方向に交差する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。隣り合う液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、記録媒体Ｐの幅方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、記録媒体Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。
【００１４】
４つのヘッド群７２は、記録媒体Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクからインクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクを印刷している。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。
【００１５】
なお、プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数、あるいはヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度、すなわち搬送速度を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、記録媒体Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。
【００１６】
さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、記録媒体Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。
【００１７】
プリンタ１は、記録媒体Ｐに印刷を行なう。記録媒体Ｐは、搬送ローラ７４ａに巻き取られた状態になっており、２つの搬送ローラ７４ｃの間を通った後、ヘッド搭載フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通る。その後２つの搬送ローラ７４ｄの間を通り、最終的に搬送ローラ７４ｂに回収される。
【００１８】
記録媒体Ｐとしては、印刷用紙以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、記録媒体Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙、裁断された布、木材、あるいはタイルなどであってもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や、化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。
【００１９】
また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部７６が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
【００２０】
（液体吐出ヘッドの全体構成）
次に、図２〜９を用いて第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。なお、図５，６では図面を分かりやすくするために、他の部材の下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いている。また、図５（ａ）では、第２流路部材６の一部を透過して示しており、図５（ｂ）では、第２流路部材６の全部を透過して示している。また、図９においては、従来の液体の流れを破線で示し、吐出ユニット１５の液体の流れを実線で示し、第２個別流路１４から供給された液体の流れを長破線で示している。
【００２１】
なお、図面には、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、第３方向Ｄ３、第４方向Ｄ４、第５方向Ｄ５、および第６方向Ｄ６を図示している。第１方向Ｄ１は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の一方側であり、第４方向Ｄ４は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の他方側である。第２方向Ｄ２は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の一方側であり、第５方向Ｄ５は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の他方側である。第３方向Ｄ３は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の一方側であり、第６方向Ｄ６は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の他方側である。
【００２２】
液体吐出ヘッド２においては、第１流路として第１個別流路１２、第２流路として第２個別流路１４、第３流路として第３個別流路１６、第４流路として第１共通流路２０、第５流路として第２共通流路２４を用いて説明する。
【００２３】
図２，３に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａと、筐体５０と、放熱板５２と、配線基板５４と、押圧部材５６と、弾性部材５８と、信号伝達部６０と、ドライバＩＣ６２とを備えている。なお、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａを備えていればよく、筐体５０、放熱板５２、配線基板５４、押圧部材５６、弾性部材５８、信号伝達部６０、およびドライバＩＣ６２は必ずしも備えていなくてもよい。
【００２４】
液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａから信号伝達部６０が引き出されており、信号伝達部６０は、配線基板５４に電気的に接続されている。信号伝達部６０には、液体吐出ヘッド２の駆動を制御するドライバＩＣ６２が設けられている。ドライバＩＣ６２は、弾性部材５８を介して押圧部材５６により放熱板５２に押圧されている。なお、配線基板５４を支持する支持部材の図示は省略している。
【００２５】
放熱板５２は、金属あるいは合金により形成することができ、ドライバＩＣ６２の熱を外部に放熱するために設けられている。放熱板５２は、螺子あるいは接着剤により筐体５０に接合されている。
【００２６】
筐体５０は、ヘッド本体２ａの上面に載置されており、筐体５０と放熱板５２とにより、液体吐出ヘッド２を構成する各部材を覆っている。筐体５０は、第１開口５０ａと、第２開口５０ｂと、第３開口５０ｃと、断熱部５０ｄとを備えている。第１開口５０ａは、第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に対向するようにそれぞれ設けられている。放熱板５２が第１開口５０ａに配置されることにより、第１開口５０ａは封止されている。第２開口５０ｂは、下方に向けて開口しており、第２開口５０ｂを介して配線基板５４および押圧部材５６が筐体５０の内部に配置される。第３開口５０ｃは、上方に向けて開口しており、配線基板５４に設けられたコネクタ（不図示）が収容される。
【００２７】
断熱部５０ｄは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように設けられており、放熱板５２とヘッド本体２ａとの間に配置されている。それにより、放熱板５２に放熱された熱が、ヘッド本体２ａに伝わる可能性を低減することができる。筐体５０は、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。
【００２８】
図４（ａ）に示すように、ヘッド本体２ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて長い平板形状をなしており、第１流路部材４と、第２流路部材６と、圧電アクチュエータ基板４０とを有している。ヘッド本体２ａは、第１流路部材４の上面に、圧電アクチュエータ基板４０および第２流路部材６が設けられている。圧電アクチュエータ基板４０は、図４（ａ）に示す破線の領域に載置される。圧電アクチュエータ基板４０は、第１流路部材４に設けられた複数の加圧室１０（図８参照）を加圧するために設けられており、複数の変位素子４８（図８参照）を有している。
【００２９】
（流路部材の全体構成）
第１流路部材４は、内部に複数の流路が形成されており、第２流路部材６から供給された液体を、下面に設けられた吐出孔８（図８参照）まで導いている。第１流路部材４は、上面が加圧室面４−１となっており、加圧室面４−１に開口２０ａ，２４ａ，２８ｃ，２８ｄが形成されている。開口２０ａは、複数設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されている。開口２０ａは、加圧室面４−１の第３方向Ｄ３における端部に配置されている。開口２４ａは、複数設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されている。開口２４ａは、加圧室面４−１の第６方向Ｄ６における端部に配置されている。開口２８ｃは、開口２０ａよりも第２方向Ｄ２における外側および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。開口２８ｄは、開口２４ａよりも第２方向Ｄ２における外側および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。
【００３０】
第２流路部材６は、内部に複数の流路が形成されており、液体タンクから供給された液体を第１流路部材４まで導いている。第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４−１の外周部上に設けられており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域の外側にて、接着剤（不図示）を介して、第１流路部材４と接合されている。
【００３１】
（第２流路部材（統合流路））
第２流路部材６は、図４，５に示すように、貫通孔６ａと、開口６ｂ，６ｃ，６ｄ，２２ａ，２６ａとが形成されている。貫通孔６ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域よりも外側に配置されている。貫通孔６ａには、信号伝達部６０が挿通している。
【００３２】
開口６ｂは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第２方向Ｄ２における端部に配置されている。開口６ｂは、液体タンクから第２流路部材６に液体を供給している。開口６ｃは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第５方向Ｄ５における端部に配置されている。開口６ｃは、第２流路部材６から液体タンクに液体を回収している。開口６ｄは、第２流路部材６の下面に設けられており、開口６ｄにより形成された空間に圧電アクチュエータ基板４０が配置されている。
【００３３】
開口２２ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２２ａは、第２流路部材６の第３方向Ｄ３における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第３方向Ｄ３側に設けられている。
【００３４】
開口２２ａは、開口６ｂと連通しており、開口２２ａが第１流路部材４により封止されることにより、第１統合流路２２を形成している。第１統合流路２２は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２０ａおよび開口２８ｃに液体を供給する。
【００３５】
開口２６ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２６ａは、第２流路部材６の第６方向Ｄ６における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第６方向Ｄ６側に設けられている。
【００３６】
開口２６ａは、開口６ｃと連通しており、開口２６ａが第１流路部材４により封止されることにより、第２統合流路２６を形成している。第２統合流路２６は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２４ａおよび開口２８ｄから液体を回収する。
【００３７】
以上の構成により、液体タンクから開口６ｂに供給された液体は、第１統合流路２２に供給され、開口２２ａを介して第１共通流路２０に流れ込み、第１流路部材４に液体が供給される。そして、第２共通流路２４により回収された液体は、開口２６ａを介して第２統合流路２６に流れ込み、開口６ｃを介して外部へ液体が回収される。なお、第２流路部材６は、必ずしも設けなくてもよい。
【００３８】
なお、液体の供給および回収は、適宜な手段によって実現されてよい。例えば、図３（ａ）において点線で示すように、プリンタ１は、第１統合流路２２、第１流路部材４の流路および第２統合流路２６を含む循環流路７８と、第１統合流路２２から第１流路部材４の流路を経由して第２統合流路２６へ向かう流れを形成する流れ形成部７９とを有していてよい。
【００３９】
流れ形成部７９の構成は、適宜なものとされてよい。例えば、流れ形成部７９は、ポンプを含み、開口６ｃからの吸引および／または開口６ｂへの吐出を行う。また、例えば、流れ形成部７９は、開口６ｃから回収された液体を貯留する回収空間と、開口６ｂへ供給される液体を貯留する供給空間と、回収空間から供給空間へ液体を送出するポンプと、を有し、供給空間の液面を回収空間の液面よりも高くすることにより、第１統合流路２２と第２統合流路２６との間に圧力差を生じさせるものであってもよい。
【００４０】
循環流路７８のうち第１流路部材４および第２流路部材６の外側に位置する部分、ならびに流れ形成部７９は、液体吐出ヘッド２の一部であってもよいし、液体吐出ヘッド２の外部に設けられていてもよい。
【００４１】
（第１流路部材（共通流路および吐出ユニット））
図５〜８に示すように、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｍが積層されて形成されており、積層方向に断面を見たときに、上側に設けられた加圧室面４−１と、下側に設けられた吐出孔面４−２とを有している。加圧室面４−１上には、圧電アクチュエータ基板４０が裁置されており、吐出孔面４−２に開口した吐出孔８から、液体が吐出される。複数のプレート４ａ〜４ｍは、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。なお、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｍを積層せずに、樹脂により一体形成してもよい。
【００４２】
第１流路部材４は、複数の第１共通流路２０と、複数の第２共通流路２４と、複数の端部流路２８と、複数の吐出ユニット１５と、複数のダミー吐出ユニット１７とが形成されている。
【００４３】
第１共通流路２０は、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に延びるように設けられており、開口２０ａと連通するように形成されている。また、第１共通流路２０は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に複数配列されている。なお、第１統合流路２２および複数の第１共通流路２０は、マニホールドとして捉えることができ、１本の第１共通流路２０は、マニホールドの１本の分岐流路として捉えることができる。
【００４４】
第２共通流路２４は、第４方向Ｄ４から第１方向Ｄ１に延びるように設けられており、開口２４ａと連通するように形成されている。また、第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に複数配列されており、隣り合う第１共通流路２０同士の間に配置されている。そのため、第１共通流路２０および第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて、交互に配置されている。なお、第２統合流路２６および複数の第２共通流路２４は、マニホールドとして捉えることができ、１本の第２共通流路２４は、マニホールドの１本の分岐流路として捉えることができる。
【００４５】
第１流路部材４の第２共通流路２４にダンパ３０が形成されており、ダンパ３０を介して、第２共通流路２４と面した空間３２が配置されている。ダンパ３０は、第１ダンパ３０ａと、第２ダンパ３０ｂとを有している。空間３２は、第１空間３２ａと、第２空間３２ｂとを有している。第１空間３２ａは、第１ダンパ３０ａを介して液体が流れる第２共通流路２４の上方に設けられている。第２空間３２ｂは、第２ダンパ３０ｂを介して液体が流れる第２共通流路２４の下方に設けられている。
【００４６】
第１ダンパ３０ａは、第２共通流路２４の上方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第１ダンパ３０ａは、第２共通流路２４と同形状をなしている。また、第１空間３２ａは、第１ダンパ３０ａの上方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第１空間３２ａは、第２共通流路２４と同形状をなしている。
【００４７】
第２ダンパ３０ｂは、第２共通流路２４の下方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第２ダンパ３０ｂは、第２共通流路２４と同形状をなしている。また、第２空間３２ｂは、第２ダンパ３０ｂの下方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第２空間３２ｂは、第２共通流路２４と同形状をなしている。
第１流路部材４は、第２共通流路２４にダンパ３０が設けられていることにより、第２共通流路２４の圧力変動を緩和することができ、流体クロストークが生じ難くなる。
【００４８】
第１ダンパ３０ａおよび第１空間３２ａは、プレート４ｄ，４ｅにハーフエッチングにより溝を形成し、溝同士が対向するように接合することにより形成することができる。この際、プレート４ｅのハーフエッチングにより残った残部が、第１ダンパ３０ａとなる。第２ダンパ３０ｂおよび第２空間３２ｂも同様に、プレート４ｋ，４ｌにハーフエッチングにより溝を形成することで作製することができる。
【００４９】
端部流路２８は、第１流路部材４の第２方向Ｄ２の端部、および第５方向Ｄ５の端部に形成されている。端部流路２８は、幅広部２８ａと、狭窄部２８ｂと、開口２８ｃ，２８ｄとを有している。開口２８ｃから供給された液体は、幅広部２８ａ、狭窄部２８ｂ、幅広部２８ａおよび開口２８ｄをこの順に流れることにより、端部流路２８を流れることとなる。それにより、端部流路２８に液体が存在するとともに、端部流路２８を液体が流れることとなり、端部流路２８の周囲に位置する第１流路部材４の温度が液体により均一化される。それゆえ、第１流路部材４は、第２方向Ｄ２の端部および第５方向Ｄ５の端部から放熱される可能性が低減することとなる。
【００５０】
（吐出ユニット）
図６，７を用いて、吐出ユニット１５について説明する。吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第２流路）１４と、第３個別流路（第３流路）１６とを有している。なお、液体吐出ヘッド２では、第１個別流路１２および第２個別流路１４から加圧室１０へ液体を供給し、第３個別流路１６が加圧室１０から液体を回収している。なお、詳細は後述するが、第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。
【００５１】
吐出ユニット１５は、隣り合う第１共通流路２０と第２共通流路２４との間に設けられており、第１流路部材４の平面方向にマトリクス状に形成されている。吐出ユニット１５は、吐出ユニット列１５ａと、吐出ユニット行１５ｂとを有している。吐出ユニット列１５ａでは、吐出ユニット１５が第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。吐出ユニット行１５ｂでは、吐出ユニット１５が第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。
【００５２】
加圧室１０は、加圧室列１０ｃと、加圧室行１０ｄとを有している。また、吐出孔８は、吐出孔列８ａと、吐出孔行８ｂとを有している。吐出孔列８ａおよび加圧室列１０ｃも同様に、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。また、吐出孔行８ｂおよび加圧室行１０ｄも同様に、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。
【００５３】
第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４と、第２方向Ｄ２および第５方向Ｄ５とが成す角度は直角からずれている。このため、第１方向Ｄ１に沿って配置されている吐出孔列８ａに属する吐出孔８同士は、その直角からのずれの分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。そして、吐出孔列８ａが第２方向Ｄ２に並んで配置されるので、異なる吐出孔列８ａに属する吐出孔８は、その分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。これらが合わさって、第１流路部材４の吐出孔８は、第２方向Ｄ２に一定間隔で並んで配置されている。これにより、吐出した液体により形成される画素で所定の範囲を埋めるように印刷ができる。
【００５４】
図６において、吐出孔８を第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に投影すると、仮想直線Ｒの範囲に３２個の吐出孔８が投影され、仮想直線Ｒ内で各吐出孔８は３６０ｄｐｉの間隔に並ぶ。これにより、仮想直線Ｒに直交する方向に記録媒体Ｐを搬送して印刷すれば、３６０ｄｐｉの解像度で印刷できる。
【００５５】
ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２側に位置する第１共通流路２０と、最も第２方向Ｄ２側に位置する第２共通流路２４との間に設けられている。また、ダミー吐出ユニット１７は、最も第５方向Ｄ５側に位置する第１共通流路２０と、最も第５方向Ｄ５側に位置する第２共通流路２４との間にも設けられている。ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２または第５方向Ｄ５側に位置する吐出ユニット列１５ａの吐出を安定させるために設けられている。
【００５６】
加圧室１０は、図７，８に示すように、加圧室本体１０ａと部分流路１０ｂとを有している。加圧室本体１０ａは、平面視して、円形状をなしており、加圧室本体１０ａから下方に向けて部分流路１０ｂが延びている。加圧室本体１０ａは、加圧室本体１０ａ上に設けられた変位素子４８から圧力を受けることにより、部分流路１０ｂ中の液体を加圧する。
【００５７】
加圧室本体１０ａは、略円板形状であり、平面形状は円形状をなしている。平面形状が円形状であることにより、変位量、および変位により生じる加圧室１０の体積変化を大きくすることができる。部分流路１０ｂは、直径が加圧室本体１０ａより小さい略円柱形状であり、平面形状は円形状である。また、部分流路１０ｂは、加圧室面４−１から見たときに、加圧室本体１０ａ内に収納されている。
【００５８】
なお、部分流路１０ｂは、吐出孔８側に向かって断面積の小さくなる円錐状あるいは円錐台状であってもよい。それにより、第１共通流路２０および第２共通流路２４の幅を大きくでき、上述の圧力損失の差を小さくできる。
【００５９】
加圧室１０は、第１共通流路２０の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第１共通流路２０とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して接続されている。
【００６０】
また、加圧室１０は、第２共通流路２４の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第２共通流路２４とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第３個別流路１６を介して接続されている。
【００６１】
図７を用いて、第１個別流路１２、第２個別流路１４および第３個別流路１６について説明する。
【００６２】
第１個別流路１２は、第１共通流路２０と加圧室本体１０ａとを接続している。第１個別流路１２は、第１共通流路２０の上面から上方へ向けて延びた後、第５方向Ｄ５に向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、再び上方へ向けて延びて加圧室本体１０ａの下面に接続されている。
【００６３】
第２個別流路１４は、第１共通流路２０と部分流路１０ｂとを接続している。第２個別流路１４は、第１共通流路２０の下面から第５方向Ｄ５へ向けて延び、第１方向Ｄ１に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。
【００６４】
第３個別流路１６は、第２共通流路２４と部分流路１０ｂとを接続している。第３個別流路１６は、第２共通流路２４の側面から第２方向Ｄ２に向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。
【００６５】
そして、第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。第２個別流路１４の流路抵抗を、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くするには、例えば、第２個別流路１４が形成されるプレート４ｌの厚みを、第１個別流路１２が形成されるプレート４ｃの厚みよりも厚くすればよい。また、平面視して、第２個別流路１４の幅を、第１個別流路１２の幅よりも広くしてもよい。また、平面視して、第２個別流路１４の長さを、第１個別流路１２の長さよりも短くしてもよい。
【００６６】
以上のような構成により、第１流路部材４では、開口２０ａを介して第１共通流路２０に供給された液体は、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して加圧室１０に流れ込み、一部の液体は吐出孔８から吐出される。そして、残りの液体は、加圧室１０から、第３個別流路１６を介して第２共通流路２４に流れ込み、開口２４ａを介して、第１流路部材４から第２流路部材６に排出される。
【００６７】
（圧電アクチュエータ）
図７（ｃ），８を用いて圧電アクチュエータ基板４０について説明する。第１流路部材４の上面には、変位素子４８を含む圧電アクチュエータ基板４０が接合されており、各変位素子４８が加圧室１０上に位置するように配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって形成された加圧室群と略同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、第１流路部材４の加圧室面４−１に圧電アクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。
【００６８】
圧電アクチュエータ基板４０は、圧電体である２枚の圧電セラミック層４０ａ、４０ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電セラミック層４０ａ、４０ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。
【００６９】
これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ３系、ＢａＴｉＯ３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ３系、ＢｉＮａＮｂ５Ｏ１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層４０ｂは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層、金属板または樹脂板を用いてもよい。振動板は、第１流路部材４の一部を構成する部材に兼用されているかのような構成とされてもよい。例えば、振動板は、図示の例とは異なり、加圧室面４−１全体に亘る広さを有するとともに、開口２０ａ，２４ａ，２８ｃ，２８ｄと対向する開口を有していてもよい。
【００７０】
圧電アクチュエータ基板４０には、共通電極４２と、個別電極４４と、接続電極４６とが形成されている。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間の領域に面方向の略全面にわたって形成されている。そして、個別電極４４は、圧電アクチュエータ基板４０の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている。
【００７１】
圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極４４に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子４８となっている。そのため、圧電アクチュエータ基板４０は、複数の変位素子４８を有している。
【００７２】
共通電極４２は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料により形成することができ、共通電極４２の厚さは２μｍ程度とすることができる。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａを貫通して形成されたビアホールを介して圧電セラミック層４０ａ上の共通電極用表面電極（不図示）と繋がっており、共通電極用表面電極を介して接地され、グランド電位に保持されている。
【００７３】
個別電極４４は、Ａｕ系などの金属材料により形成されており、個別電極本体４４ａと、引出電極４４ｂとを有している。図７（ｃ）に示すように、個別電極本体４４ａは、平面視して、略円形状に形成されており、加圧室本体１０ａよりも小さく形成されている。引出電極４４ｂは、個別電極本体４４ａから引き出されており、引き出された引出電極４４ｂ上に接続電極４６が形成されている。
【００７４】
接続電極４６は、例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。接続電極４６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。
【００７５】
液体吐出ヘッド２は、制御部７６の制御により、ドライバＩＣ６２などを介して、個別電極４４に供給される駆動信号に従って、変位素子４８を変位させる。駆動方法としては、いわゆる引き打ち駆動を用いることができる。
【００７６】
（吐出ユニットの詳細および作用）
図９を用いて液体吐出ヘッド２の吐出ユニット１５を詳細に説明する。
【００７７】
吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第２流路）１４と、第３個別流路（第３流路）１６とを備えている。第１個別流路１２および第２個別流路１４は、第１共通流路２０（第４流路（図８参照））に接続されており、第３個別流路１６は、第２共通流路２４（第５流路（図８参照））に接続されている。
【００７８】
第１個別流路１２は、加圧室１０のうち加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されている。第２個別流路１４は、加圧室１０のうち部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。第３個別流路１６は、加圧室１０のうち部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。
【００７９】
第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａを通って部分流路１０ｂを下方に向けて流れ、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。
【００８０】
第２個別流路１４から供給された液体は、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、部分流路１０ｂ内を上方へ向けて流れ、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。
【００８１】
図９に示すように、第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａ、および部分流路１０ｂを流れて吐出孔８から吐出される。従来の吐出ユニットにおける液体の流れは破線で示すように、加圧室本体１０ａの中央部から吐出孔８に向けて一様に略直線状に流れている。
【００８２】
このような流れが生じると、加圧室１０のうち、第２個別流路１４が接続された部位と反対側に位置する領域８０付近には液体が流れにくい構成となり、例えば、領域８０付近に液体の滞留する領域が生じるおそれがある。
【００８３】
これに対して、吐出ユニット１５では、第１個別流路１２および第２個別流路１４が加圧室１０に接続されており、これらの流路から加圧室１０に液体が供給される。
【００８４】
そのため、第１個別流路１２から吐出孔８へ供給される液体の流れに対して、第２個別流路１４から加圧室１０へ供給された液体の流れを衝突させることができる。それにより、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れが、一様に略直線状に流れにくくなり、加圧室１０内に液体が滞留する領域を生じにくくすることができる。
【００８５】
すなわち、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れにより生じた液体の滞留点の位置が、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れとの衝突により移動することになり、加圧室１０内に液体の滞留する領域を生じにくくすることができる。
【００８６】
また、加圧室１０が、加圧室本体１０ａおよび部分流路１０ｂを有しており、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａに接続され、第２個別流路１４が部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第１個別流路１２が、加圧室１０全体を流れるように液体を供給するとともに、第２個別流路１４から供給された液体の流れにより、部分流路１０ｂに液体の滞留する領域が生じにくくなる。
【００８７】
また、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第２個別流路１４から第３個別流路１６に向けて流れる液体の流れが、部分流路１０ｂの内部を横断する構成となる。その結果、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れを横切るように、第２個別流路１４から第３個別流路１６へ向けて流れる液体を流すことができる。それゆえ、さらに部分流路１０ｂ内に液体の滞留する領域が生じにくくなる。
【００８８】
（個別流路等の詳細および作用）
また、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されており、第２個別流路１４よりも加圧室本体１０ａ側に接続されている。そのため、吐出孔８から部分流路１０ｂの内部に気泡が侵入した場合においても、気泡の浮力を利用して第３個別流路１６に気泡を排出することができる。それにより、部分流路１０ｂ内に気泡が滞留することにより、液体への圧力伝幡に影響を与える可能性を低減することができる。
【００８９】
また、平面視したときに、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、第２個別流路１４が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。
【００９０】
そのため、平面視したときに、吐出ユニット１５には、第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４の両側から液体が供給されることとなる。そのため、供給された液体は、第１方向Ｄ１の速度成分、および第４方向Ｄ４の速度成分を有することとなる。それゆえ、加圧室１０に供給された液体が、部分流路１０ｂの内部の液体を撹拌することとなる。その結果、さらに部分流路１０ｂ内に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。
【００９１】
また、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されており、吐出孔８が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に配置されている。それにより、部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側にも液体を流すことができ、部分流路１０ｂの内部に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。
【００９２】
なお、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続され、吐出孔８が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に配置されるように構成してもよい。その場合においても同様の効果を奏することができる。
【００９３】
また、図８に示すように、第３個別流路１６が、第２共通流路２４の加圧室本体１０ａ側に接続されている。それにより、部分流路１０ｂから排出された気泡を第２共通流路２４の上面に沿って流すことができる。それにより、第２共通流路２４から開口２４ａ（図６参照）を介して気泡を外部に排出しやすい。
【００９４】
また、第３個別流路１６の上面と、第２共通流路２４の上面とが面一であることが好ましい。それにより、部分流路１０ｂから排出された気泡は、第３個別流路１６の上面、および第２共通流路２４の上面に沿って流れることとなり、さらに外部に排出しやすい。
【００９５】
また、第２個別流路１４は、第３個別流路１６よりも部分流路１０ｂの吐出孔８側に接続されている。それにより、吐出孔８の近傍にて第２個別流路１４から液体が供給されることとなる。それゆえ、吐出孔８の近傍の液体の流速を早めることができ、液体に含まれる顔料等が沈降することが抑制され、吐出孔８につまりが生じにくくなる。
【００９６】
また、図７（ｂ）に示すように、平面視したときに、第１個別流路１２が、加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、部分流路１０ｂの面積重心が、加圧室本体１０ａの面積重心よりも第４方向Ｄ４側に位置している。すなわち、部分流路１０ｂが、加圧室本体１０ａの第１個別流路１２から遠い側に接続されている。
【００９７】
それにより、加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に供給された液体は、加圧室本体１０ａの全域に広がった後、部分流路１０ｂに供給されることとなる。その結果、加圧室本体１０ａの内部に、液体の滞留する領域が生じにくい。
【００９８】
また、平面視したときに、第２個別流路１４と第３個別流路１６との間に吐出孔８が配置されている。それにより、吐出孔８から液体が吐出された際に、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れと、第２個別流路１４から供給された液体の流れとが衝突する位置を移動させることができる。
【００９９】
すなわち、吐出孔８からの液体の吐出量は、印画される画像により異なることとなり、液体の吐出量の増減に伴って、部分流路１０ｂの内部の液体の挙動が変化することとなる。そのため、液体の吐出量の増減により、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れと、第２個別流路１４から供給された液体の流れとが衝突する位置が移動することとなり、部分流路１０ｂの内部に液体が滞留する領域が生じにくい。
【０１００】
また、吐出孔８の面積重心が、部分流路１０ｂの面積重心よりも第４方向Ｄ４側に位置している。それにより、部分流路１０ｂに供給された液体は、部分流路１０ｂの全域に広がった後、吐出孔８に供給されることとなり、部分流路１０ｂの内部に液体の滞留する領域が生じにくくなる。
【０１０１】
ここで、吐出ユニット１５は、第１個別流路１２（第１流路）および第２個別流路１４（第２流路）を介して第１共通流路２０（第４流路）と接続されている。そのため、加圧室本体１０ａに加えられた圧力の一部は、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して第１共通流路２０に伝幡することとなる。
【０１０２】
第１共通流路２０には、第１個別流路１２および第２個別流路１４から圧力波が伝幡して、第１共通流路２０の内部に圧力差が生じると、第１共通流路２０の液体の挙動が不安定になるおそれがある。そのため、第１共通流路２０に伝幡する圧力波の大きさは均一であることが好ましい。
【０１０３】
液体吐出ヘッド２は、断面視して、第２個別流路１４が第１個別流路１２よりも下方に配置されている。そのため、加圧室本体１０ａからの距離が、第２個別流路１４のほうが第１個別流路１２よりも長くなり、第２個別流路１４まで伝幡する際に、圧力減衰が生じることとなる。
【０１０４】
そして、第２個別流路１４の流路抵抗が第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっていることから、第２個別流路１４を流れる際の圧力減衰を、第１個別流路１２を流れる際の圧力減衰よりも小さくすることができる。その結果、第１個別流路１２および第２個別流路１４から伝幡した圧力波の大きさを均一に近づけることができる。
【０１０５】
つまり、加圧室本体１０ａから第１個別流路１２または第２個別流路１４までの圧力減衰と、第１個別流路１２または第２個別流路１４を流れる際の圧力減衰との合計を、第１個別流路１２と第２個別流路１４とで均一に近づけることができ、第１共通流路２０に伝幡する圧力波の大きさを均一に近づけることができる。
【０１０６】
また、断面視して、第３個別流路１６が、第２個別流路１４よりも高く配置されており、かつ第１個別流路１２よりも低く配置されている。言い換えると、第３個別流路１６は、第１個別流路１２と第２個別流路１４との間に配置されている。そのため、加圧室本体１０ａに加圧された圧力は、第３個別流路１６に伝幡する際に、一部が第３個別流路１６に伝幡する。
【０１０７】
これに対して、第２個別流路１４の流路抵抗が、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。そのため、第２個別流路１４に到達する圧力波が減少していても、第２個別流路１４での圧力減衰が小さくなるため、第１個別流路１２および第２個別流路１４から伝幡した圧力波の大きさを均一に近づけることができる。
【０１０８】
第１個別流路１２の流路抵抗は、第２個別流路１４の流路抵抗の１．０３〜２．５倍とすることができる。
【０１０９】
なお、第２個別流路１４の流路抵抗を、第１個別流路１２の流路抵抗よりも大きくしてもよい。その場合、第１共通流路２０から第２個別流路１４を介した圧力伝幡を生じにくくすることができる。その結果、吐出孔８に不要な圧力が伝幡する可能性を低減することができる。
【０１１０】
第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗の１．０３〜２．５倍とすることができる。
【０１１１】
（環状流路の長さ）
図１０を参照して流路の長さについて説明する。各吐出ユニット１５に関して、加圧室１０、第１個別流路１２、第１共通流路２０（マニホールドの分岐流路の１本）および第２個別流路１４は、この列挙順につながって環状流路２５を構成している。この環状流路２５の１周の長さＬ１（Ｐ１、Ｐ３およびＰ４を経由する環状の線の長さ）は、加圧室本体１０ａから第３個別流路１６を経由して第２共通流路２４に到達するまでの長さＬ２（Ｐ１からＰ２まで延びる線の長さ）の２倍よりも長くなっている。なお、長さＬ１は第１長さの一例であり、長さＬ２は第２長さの一例である。
【０１１２】
ここで、液滴の吐出のために変位素子４８によって加圧室本体１０ａが加圧されると、圧力波が生じ、この圧力波は、第１個別流路１２、第２個別流路１４および第３個別流路１６それぞれへ伝搬する。流路同士が接続される位置においては圧力抵抗が変化していることから、圧力波は、流路同士の接続位置において、一部が反射し、他の一部が透過する。従って、第１個別流路１２および／または第２個別流路１４に伝搬した圧力波の一部は、環状流路２５を１周して加圧室本体１０ａに戻ってくる。また、第３個別流路１６へ伝搬した圧力波の一部は、第３個別流路１６の第２共通流路２４との接続位置において反射して加圧室本体１０ａに戻ってくる。
【０１１３】
長さＬ１が長さＬ２の２倍よりも長いことによって、環状流路２５を１周した圧力波が加圧室本体１０ａに戻ってくる時期は、第３個別流路１６を往復した圧力波が加圧室本体１０ａに戻ってくる時期に対して遅れる。これにより、これら２つの圧力波が加圧室本体１０ａにおいて重畳されるおそれが低減される。すなわち、吐出後に残留する圧力変動が加圧室本体１０ａにおいて大きくなるおそれが低減される。その結果、例えば、残留する圧力変動が次の液滴の吐出に及ぼす影響が低減され、吐出の精度が向上する。長さＬ２の２倍を長さＬ１よりも長くするのではなく、長さＬ１を長さＬ２の２倍よりも長くすることから、例えば、第１共通流路２０において長さＬ１の長さを確保することができる。その結果、長さＬ１を長くすることが容易であるとともに、長さＬ１の第１共通流路２０における長さが比較的長いことによる効果（後述）が奏される。
【０１１４】
長さＬ１および長さＬ２は、具体的には、例えば、以下のように測定されてよい。第１個別流路１２、第２個別流路１４および第３個別流路１６それぞれにおいては、流路の中心線における長さを測定する。これらの流路は横断面の面積が比較的小さく、圧力波は概ね流路に沿って伝搬することから、流路の平均的（代表的）な長さを測定すればよいことからである。なお、流路の中心線は、流路に直交する横断面の面積重心を連ねてなる線である。加圧室１０および第１共通流路２０においては、基本的に最短距離で長さを測定する。これらの空間においては、圧力波は、四方に広がりつつ、基本的に最短距離で、個別流路へ伝搬し、および／または個別流路から伝搬するからである。
【０１１５】
また、長さＬ１および長さＬ２の加圧室１０における長さを測定する経路は、その経路上に、加圧室本体１０ａの上面（変位素子４８に加圧される面。圧電アクチュエータ基板４０の撓みは無視してよい。）の面積重心Ｐ１を含むものとする。例えば、長さＬ１の加圧室１０における長さは、面積重心Ｐ１から第１個別流路１２までの最短距離と、面積重心Ｐ１から第２個別流路１４までの最短距離との和である。長さＬ２の加圧室１０における長さは、面積重心Ｐ１から第３個別流路１６までの最短距離である。面積重心Ｐ１は、圧力波が生じる範囲を代表する位置であるとともに、圧力波が戻ってくることによって次の液滴の吐出に影響が生じる範囲を代表する位置であり、この位置を基準として長さを規定することによって、上述した２つの圧力波による圧力変動が次の吐出に及ぼす影響を低減する効果がより確実に奏されるからである。なお、面積重心は、確認的に記載すると、そのまわりでの１次モーメントが０になる位置である。
【０１１６】
上記のように、長さＬ１および長さＬ２の加圧室１０および第１共通流路２０における長さは最短距離であるところ、この最短距離は、障害物の有無によって、直線距離であったり、屈曲する経路の距離であったりする。図１０の例では、以下のようになっている。面積重心Ｐ１から第１個別流路１２までの長さは、直線距離となっている。面積重心Ｐ１から第２個別流路１４までの長さは、面積重心Ｐ１から、部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側かつ上方の縁部まで直線で延び、当該縁部から第２個別流路１４まで直線で延びる経路の長さとなっている。面積重心Ｐ１から第３個別流路１６までの長さは、面積重心Ｐ１から部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側かつ上方の縁部まで直線で延び、当該縁部から第３個別流路１６まで直線で延びる経路の長さとなっている。長さＬ１の第１共通流路２０における長さは、直線距離となっている。
【０１１７】
なお、図示の例とは異なり、例えば、面積重心Ｐ１から第２個別流路１４までの最短距離、または面積重心Ｐ１から第３個別流路１４までの最短距離が直線距離になってもよい。また、例えば、第１共通流路２０の幅が部分流路１０ｂの配置位置で狭くなることなどによって、長さＬ１の第１共通流路２０における最短距離が直線距離でなくなってもよい。長さＬ１および長さＬ２は、個別流路の端部を経由する必要はない。例えば、本実施形態では、第２個別流路１４は、第１共通流路２０の底面において溝を形成するように延びているから（図８（ａ））、長さＬ１の第１共通流路２０における長さは、第２個別流路１４の第１共通流路２０側の端部よりも手前の位置Ｐ３から第１個別流路１２までの長さとされている。
【０１１８】
上記のように長さＬ１が長さＬ２の２倍よりも長い構成において、長さＬ１の第１共通流路２０における長さ（位置Ｐ３から位置Ｐ４までの長さ）は、例えば、長さＬ１の３割以上を占める。すなわち、第１共通流路２０が長さＬ１に占める割合は比較的大きい。
【０１１９】
ここで、第１個別流路１２または第２個別流路１４から第１共通流路２０へ伝搬した圧力波は、これらの個別流路よりも横断面の面積が広い第１共通流路２０において散乱して減衰する。従って、例えば、第１共通流路２０の割合が大きくされることによって、環状流路２５を１周して加圧室本体１０ａに戻ってくる圧力波を小さくすることができる。その結果、例えば、加圧室本体１０ａに戻ってくる時期を遅らせることによる圧力変動の低減の効果と相俟って、吐出の精度を向上させることができる。また、例えば、相対的に長い長さＬ１を横断面の面積が広い第１共通流路２０において確保することによって、第１個別流路１２または第２個別流路１４が長くなることによる流路抵抗の増加を抑制できる。長さＬ１は、加圧室１０、第１個別流路１２、第１共通流路２０および第２個別流路１４の４つにおいて確保されているから、第１共通流路２０における長さが長さＬ１を４等分した長さよりも大きいことによって、第１共通流路２０における減衰の影響を十分に大きくすることができるといえる。
【０１２０】
また、本実施形態では、吐出孔８の開口方向において、第３個別流路１６は第１個別流路１２と第２個別流路１４との間に位置している。
【０１２１】
従って、環状流路２５を構成する第１個別流路１２および第２個別流路１４は、３本の個別流路のうち、上下方向において互いに最も離れた２つとなる。従って、加圧室１０および／または第１共通流路２０において、環状流路２５の長さを上下方向に確保することが容易化される。すなわち、長さＬ１を長くすることが容易化される。また、第１共通流路２０において環状流路２５の長さを確保できるから、第１共通流路２０の長さが長さＬ１に占める割合を大きくすることも容易化される。
【０１２２】
また、本実施形態では、第１共通流路２０は、吐出孔８の開口方向に直交する方向（第１方向Ｄ１）に延びている。吐出孔８の開口方向に見て、同一の加圧室１０に接続されている第１個別流路１２および第２個別流路１４は、第１共通流路２０から、第１共通流路２０の幅方向に関して互いに同一側（第５方向Ｄ５側）に延びている。
【０１２３】
従って、例えば、第１個別流路１２から第１共通流路２０への圧力波の伝搬方向と、第１共通流路２０から第２個別流路１４への圧力波の伝搬方向とは逆になりやすい。その結果、圧力波が第１個別流路１２から第２個別流路１４へ伝搬しにくくなる。上記とは逆方向の圧力波の伝搬についても同様である。すなわち、環状流路２５における圧力波の伝搬を低減できる。
【０１２４】
また、本実施形態では、第１共通流路２０は、吐出孔８の開口方向に直交する方向（第１方向Ｄ１）に延びている。吐出孔８の開口方向に見て、同一の加圧室１０に接続されている第１個別流路１２および第２個別流路１４は、加圧室１０から、第１共通流路２０の流路方向に関して互いに逆側（第１方向Ｄ１側および第４方向Ｄ４側）へ延びてから第１共通流路２０の幅方向に関して互いに同一側（第２方向Ｄ２側）に延び、第１共通流路２０の流路方向に関して互いに異なる位置にて第１共通流路２０に対して接続されている。
【０１２５】
従って、例えば、平面視において、環状流路２５は、加圧室１０を横切るとともに、第１共通流路２０をその流路方向に延びることになる。その結果、例えば、長さＬ１を加圧室１０および第１共通流路２０において確保することが容易化される。また、そのような長さの確保を第１個別流路１２および第２個別流路１４それぞれの長さを短くしつつ実現できる。従って、例えば、第１共通流路２０の長さが長さＬ１に占める割合を大きくすることが容易化される。
【０１２６】
なお、吐出孔８の開口方向において、第３個別流路１６が第１個別流路１２と第２個別流路１４との間に位置している構成と、第１個別流路１２と第２個別流路１４とが加圧室１０から第１共通流路２０の流路方向において互いに逆側へ延びている構成とが組み合わされると、環状流路２５の長さが加圧室１０および第１共通流路２０においてより確保されやすくなる。
【０１２７】
また、本実施形態では、第２共通流路２４は、第１共通流路２０と並列に延びている。吐出孔８の開口方向に見て、同一の加圧室１０に接続されている第２個別流路１４および第３個別流路１６は、加圧室１０から、第１共通流路２０の流路方向に関して互いに逆側（第１方向Ｄ１側および第４方向Ｄ４側）へ延びてから第１共通流路２０の幅方向に関して互いに逆側（第２方向Ｄ２側および第５方向Ｄ５側）へ延びている。
【０１２８】
従って、例えば、第２個別流路１４と第３個別流路１６は、平面視において回転対称のような形状となっており、第２個別流路１４を含む環状流路２５の長さＬ１と、第３個別流路１６を含む経路の長さＬ２との比較が容易である。
【０１２９】
（圧力波の伝搬と吐出タイミングとの関係）
図１１は、液体吐出ヘッド２による液滴の吐出タイミングを説明するための図である。横軸は、時間ｔを加圧室１０における液体の振動の固有周期Ｔで正規化した値を示している。紙面左側の縦軸は、変位素子４８に印加される電圧Ｖを示し、縦軸の上方ほど、圧電アクチュエータ基板４０を加圧室本体１０ａ側へ撓ませる極性の電圧が大きい。紙面右側の縦軸は、加圧室本体１０ａ内の液体の圧力Ｐを示し、縦軸の上方ほど圧力が高い。なお、加圧室本体１０ａ内の液体の圧力とは、詳細には、加圧室本体１０ａの変位素子４８に面した領域の面積重心付近の圧力である。線ＬＶは電圧Ｖの変化を示している。線ＬＰは圧力Ｐの変化を示している。
【０１３０】
図１１は、いわゆる引き打ち式の駆動制御がなされた場合を例示している。具体的には、制御部７６は、吐出ユニット１５から液滴を吐出しない状態においては、ドライバＩＣ６２を介して所定の電圧Ｖ１を共通電極４２および個別電極４４に印加している。これにより、圧電アクチュエータ基板４０は加圧室本体１０ａ側へ撓んでいる。そして、制御部７６は、液滴を吐出するときは、まず、電圧を下げる（ｔ／Ｔ＝０）ことにより加圧室本体１０ａ内の液体の圧力を低くする。標準状態よりも圧力が低くなった圧力室本体１０ａは、圧力室１０に繋がっている流路（吐出孔８も含む）から液体を引き込み、圧力は標準状態に戻っていく。ｔ／Ｔ＝０．２５で加圧室本体１０ａ内の液体の圧力は、標準状態に戻るが、液体の流入は、まだ続くため、流入した液体により圧力は、逆に高くなっていく。ｔ／Ｔ＝０．５で加圧室１０内の液体の圧力は、ここまでの間で最高になる。このときに、制御部７６は、電圧を上げる。これにより、加圧室本体１０ａの圧力が高くなる。電圧を上げる前に高くなっていた圧力と、電圧を加えることで生じた圧力とが、足されるので、ここで生じる圧力は、Ｖ１の電圧変化で生じる圧力の２倍になる。この圧力は、加圧室本体１０ａから、加圧室本体１０ａに繋がっている流路に伝わっていく。その圧力のうち、吐出孔８に達した圧力によって、吐出孔８の内側の液体の一部が外部に押し出されて、液滴として吐出される。
【０１３１】
加圧室本体１０ａで生じ、環状流路２５を１周して加圧室本体１０ａに戻る圧力波、および加圧室本体１０ａで生じ、第３個別流路１６を往復して加圧室本体１０ａに戻る圧力波は、例えば、駆動開始（ｔ／Ｔ＝０）に生じ始める。そして、この圧力波は、長さＬ１およびＬ２が比較的長く設定されていることによって、例えば、液滴の吐出後に加圧室本体１０ａ（より具体的には例えば面積重心Ｐ１）に戻ってくる。具体的には、例えば、液滴の吐出は、圧力Ｐが最低になる時点（ｔ／Ｔ＝１．０）までに概ね完了し、その後（ｔ／Ｔ＝１．０の後）に圧力波は戻ってくる。
【０１３２】
＜第２の実施形態＞
図１２を用いて第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１０２について説明する。液体吐出ヘッド１０２は、吐出ユニット１１５の構成が液体吐出ヘッド２と異なっており、その他の構成は同一である。なお、図１２（ａ）では、図９と同様に、実際の液体の流れを実線で示し、第３個別流路１１６から供給された液体の流れを破線で示している。
【０１３３】
吐出ユニット１１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第３流路）１１４と、第３個別流路（第２流路）１１６とを備えている。第１個別流路１２および第３個別流路１１６は、第１共通流路２０（第４流路）に接続されており、第２個別流路１１４は、第２共通流路２４（第５流路）に接続されている。そのため、吐出ユニット１１５は、第１個別流路１２および第３個別流路１１６から液体が供給され、第２個別流路１１４から液体が回収されている。
【０１３４】
液体吐出ヘッド１０２は、平面視したときに、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されおり、第２個別流路１１４が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されており、第３個別流路１１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。
【０１３５】
そのため、平面視したときに、吐出ユニット１１５は、第１方向Ｄ１から液体が供給され、第４方向Ｄ４から液体が回収されることとなる。それにより、部分流路１０ｂの内部の液体を第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に効率よく流すことができ、部分流路１０ｂの内部に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。
【０１３６】
つまり、第３個別流路１１６が、加圧室本体１０ａよりも下方に位置する部分流路１０ｂに接続されていることにより、破線で示すように、液体が領域８０の近傍を流れることとなる。その結果、第２個別流路１１４の接続された部位とは反対側に位置する領域８０に、液体を流すことができ、部分流路１０ｂの内部に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。
【０１３７】
また、加圧室１０、第１個別流路１２、第１共通流路２０および第３個別流路１１６は、環状流路１２５を構成している。加圧室１０のうちの変位素子４８に加圧される面の面積重心Ｐ１から、環状流路１２５を１周して面積重心Ｐ１へ戻るまでの第１長さＬ１（Ｐ１、Ｐ２およびＰ４を経由する線の長さ）は、面積重心Ｐ１から第２個別流路１１４を経由して第２共通流路２４に到達するまでの第２長さＬ２（Ｐ１からＰ３まで延びる線の長さ）の２倍よりも長い。
【０１３８】
従って、第１実施形態と同様に、環状流路１２５を１周した圧力波が加圧室本体１０ａに戻ってくる時期は、第２個別流路１１４を往復した圧力波が加圧室本体１０ａに戻ってくる時期に対して遅れる。その結果、例えば、加圧室本体１０ａにおける圧力変動が大きくなるおそれが低減され、吐出の精度が向上する。
【０１３９】
なお、第２実施形態から理解されるように、第３流路（第２個別流路１１４）は、環状流路を構成する第１流路（第１個別流路１２）と第２流路（第３個別流路１１６）との間に位置している必要はないし、第１流路および第２流路は、加圧室から互いに逆側へ延びている必要はない。
【０１４０】
なお、以上の実施形態において、変位素子４８は加圧部の一例である。搬送ローラ７４ａ〜７４ｄは搬送部の一例である。
【０１４１】
本開示の態様は、上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
【０１４２】
加圧室に接続され、液体の供給または回収に供される流路の構成は、実施形態に例示したものに限定されない。例えば、図９において、第２個別流路１４および／または第３個別流路１６の部分流路１０ｂから延びる方向が図示とは逆にされたり、図１２（ａ）において、第２個別流路１１４および／または第３個別流路１１６の部分流路１０ｂから延びる方向が図示とは逆にされたりしてもよい。吐出孔８は部分流路１０ｂに対して第１方向Ｄ１側に位置してもよい。実施形態では、第１個別流路１２は、液体の供給のみに利用されたが、液体の回収に利用されてもよい。
【０１４３】
実施形態では、環状流路を構成する第１流路および第２流路（例えば第１個別流路１２および第２個別流路１４）は、液体を加圧室に供給する流路とされ、環状流路を構成しない第３流路は、液体を回収する流路とされた。これとは逆に、第１流路および第２流路が加圧室から液体を回収する流路とされ、第３流路が液体を供給する流路とされてもよい。
【０１４４】
実施形態では、平面視において、部分流路１０ｂに接続される個別流路（例えば第２個別流路１４および第３個別流路１６）の幅（第１方向Ｄ１に直交する方向）は、部分流路１０ｂの直径よりも小さくされた。ただし、これらの個別流路の幅は、部分流路１０ｂとの接続部分において広くされることなどにより、部分流路１０ｂの直径と同等以上とされてもよい。
【符号の説明】
【０１４５】
１・・・カラーインクジェットプリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・第１流路部材
４a〜４ｍ・・・プレート
４−１・・・加圧室面
４−２・・・吐出孔面
６・・・第２流路部材
８・・・吐出孔
１０・・・加圧室
１０ａ・・・加圧室本体
１０ｂ・・・部分流路
１２・・・第１個別流路（第１流路）
１４・・・第２個別流路（第２流路）
１５・・・吐出ユニット
１６・・・第３個別流路（第３流路）
２０・・・第１共通流路（第４流路）
２２・・・第１統合流路
２４・・・第２共通流路（第５流路）
２６・・・第２統合流路
２８・・・端部流路
３０・・・ダンパ
３２・・・ダンパ室
４０・・・圧電アクチュエータ基板
４２・・・共通電極
４４・・・個別電極
４６・・・接続電極
４８・・・変位素子
５０・・・筐体
５２・・・放熱板
５４・・・配線基板
５６・・・押圧部材
５８・・・弾性部材
６０・・・信号伝達部
６２・・・ドライバＩＣ
７０・・・ヘッド搭載フレーム
７２・・・ヘッド群
７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄ・・・搬送ローラ
７６・・・制御部
Ｐ・・・記録媒体
Ｄ１・・・第１方向
Ｄ２・・・第２方向
Ｄ３・・・第３方向
Ｄ４・・・第４方向
Ｄ５・・・第５方向
Ｄ６・・・第６方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0006616518.tif 000007
【図７】
0006616518.tif 000008
【図８】
0006616518.tif 000009
【図９】
0006616518.tif 000010
【図１０】
0006616518.tif 000011
【図１１】
0006616518.tif 000012
【図１２】
0006616518.tif 000013