(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面を有するヘッドと、
前記ヘッドへ供給される液体を収容する第１タンクと、
前記第１タンクの内部空間を前記液体を収容する第１室と作動液を収容する第２室とに仕切ると共に可撓性を有する可撓部と、
前記第２室と連通し、前記第２室へ供給される前記作動液を収容する第２タンクと、
を有し、前記第２タンク内の前記作動液の液面が前記吐出口面よりも下方に配置された液体吐出装置であって、
前記第２タンクが大気開放された状態で、前記第２タンク内の作動液の液面の位置を所定範囲内になるように調整する調整手段を有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記調整手段は、前記第２タンク内の作動液の液面の位置を検知する液面検知手段を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記調整手段は、前記作動液を収容する第３タンクと、前記第２タンクと前記第３タンクを接続する流路と、前記流路に配置され前記第３タンクから前記第２タンクへ前記作動液を供給するポンプと、を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記可撓部は、鉛直方向に沿って前記第１タンク内に配置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面を有するヘッドと、
前記ヘッドへ供給される液体を収容する第１タンクと、
前記第１タンクの内部空間を前記液体を収容する第１室と作動液を収容する第２室とに仕切ると共に可撓性を有する可撓部と、
前記第２室と連通し、前記第２室へ供給される前記作動液を収容する第２タンクと、を有し、前記第２タンク内の前記作動液の液面が前記吐出口面よりも下方に配置されたインプリント装置であって、
前記第２タンクが大気開放された状態で、前記第２タンク内の作動液の液面の位置を所定範囲内になるように調整する調整手段と、
前記ヘッドによって一方の表面に前記液体が吐出された基板の前記一方の表面と、凹凸パターンが形成されたモールドの前記凹凸パターンが形成された表面とを当接させ、前記基板の前記一方の表面において、前記モールドの前記凹凸パターンに対応するパターンを形成する形成手段と、を有することを特徴とするインプリント装置。
【請求項６】
前記液体は光硬化性を有する液体であって、
前記パターン形成手段は、前記基板に形成された前記パターンに光を照射して当該パターンを硬化させる光照射手段を備えることを特徴とする請求項５に記載のインプリント装置。
【請求項７】
液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面を有するヘッドと、
前記ヘッドへ供給される液体を収容する第１タンクと、
前記第１タンクの内部空間を前記液体を収容する第１室と作動液を収容する第２室とに仕切ると共に可撓性を有する可撓部と、
前記第２室と連通し、前記第２室へ供給される前記作動液を収容する第２タンクと、
前記第２タンクが大気開放された状態で、前記第２タンク内の作動液の液面の位置を所定範囲内になるように調整する調整手段と、を有し、前記第２タンク内の前記作動液の液面が前記吐出口面よりも下方に配置されたインプリント装置を用いて、基板を備えた部品を製造する部品の製造方法であって、
前記ヘッドによって液体を基板の表面へ付与する付与工程と、
前記基板の前記液体が付与された表面と、凹凸パターンが形成されたモールドの表面とを当接させ、前記基板の前記表面に前記モールドの前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するパターン形成工程と、
前記パターンが形成された前記基板を処理する処理工程と、を有することを特徴とする部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する吐出口（以下、「ノズル」と称す）を有する液体吐出ヘッド（以下、単に「ヘッド」と称す）を備えた液体吐出装置が知られている。このような液体吐出装置は、近年、多様な分野で利用されており、例えば、インクジェット記録装置などに利用されている。
【０００３】
一般的に、液体がヘッド（ノズル）から外部へ漏れないように、ヘッド内は常に負圧（大気圧よりも低い圧力）に維持される必要がある。
【０００４】
特許文献１には、図６に示すように、ヘッド１０１に連通するインクタンク（インク袋）１０２と、インクタンク１０２を収容する収容部１０３と、インクタンク１０２と収容部１０３の間の空間内の空気を吸引する吸引装置１０４が開示されている。吸引装置１０４の吸引動作によって、インクタンク１０２と収容部１０３の間の空間に一定の負圧が形成される。この負圧によってインクタンク（インク袋）１０２が弾性変形（拡張）し、インクタンク１０２内が負圧状態に維持される。
【０００５】
一方、特許文献２には、図７に示すように、ヘッド２０１に連通するサブタンク２０２内の圧力を負圧に維持するために、可撓性部材２０３でサブタンクの内部をインク室２０４と浮力発生室２０５に分割する構成が開示されている。そして、浮力発生室２０５内に比重の小さい浮き袋２０６が可撓性部材２０３に連結して取り付けられている。浮力発生室２０５内の浮き袋２０６の浮力によって、インク室２０４内に連通されたヘッド２０１内が負圧の状態に維持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１９２７８５号公報
【特許文献２】特開２００８−１０５３６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示された流体吐出装置では、次のような問題があった。
【０００８】
すなわち、空気の体積は環境温度または圧力の変化に伴って変動しやすい。このため、流体吐出装置の周辺の気温または気圧の変化に伴って、インクタンク１０２と収容部１０３の間の空間に封入された空気の体積が敏感に環境温度または圧力に従って変動する。その結果、インクタンク１０２内の液体の圧力が変動し、ヘッド１０１内の圧力が変化しやすい。
【０００９】
また、特許文献１の発明では、インクタンク１０２には液体で満たされており、インクタンク１０２と収容部１０３の間の空間には空気で満たされている。液体の密度と気体（空気）の密度の差が比較的大きいため、収容部１０３に衝撃が加えられた際に、インクタンク１０２が大きく揺動する可能性がある。インクタンク１０２の揺動によって、インクタンク１０２内の液体の圧力も変動し、ヘッド１０１内の圧力も変化しやすい。
【００１０】
一方、特許文献２に開示されたインクジェット記録装置では、気体で満たされた浮き袋２０６を浮力発生室２０５内の液体中に沈める必要があった。そして、このような構成においても、気体の密度と液体の密度との差が比較的大きいため、サブタンク２０２の筐体に衝撃が加わった際、浮き袋２０６は大きく揺動する。従って、浮き袋２０６に連結されたインク室２０４、またはインク室２０４に連通するヘッド２０１内の圧力も変化しやすい。
【００１１】
即ち、特許文献１または特許文献２に開示された液体吐出装置では、ヘッド内の圧力を安定的に維持できず、ヘッドからインクが漏れる恐れがあった。
【００１２】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、ヘッド内の圧力を安定的に維持でき、ヘッドからの液体の漏れをより抑制できる液体吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明の液体吐出装置は、液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面を有するヘッドと、前記ヘッドへ供給される液体を収容する第１タンクと、前記第１タンクの内部空間を前記液体を収容する第１室と作動液を収容する第２室とに仕切ると共に可撓性を有する可撓部と、前記第２室と連通し、前記第２室へ供給される前記作動液を収容する第２タンクと、を有し、前記第２タンク内の前記作動液の液面が前記吐出口面よりも下方に配置された液体吐出装置であって、前記第２タンクが大気開放された状態で、前記第２タンク内の作動液の液面の位置を所定範囲内になるように調整する調整手段を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ヘッド内の圧力を安定的に維持することができ、ヘッドからの液体の漏れをより抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施例に係る液体吐出装置の概念図。
【図２】第１実施例の第１タンクの第１室内のインクが一部消費された状態を示す概念図。
【図３】第１実施例の第３タンクから第２タンクへ作動液を補充する状態を示す概念図。
【図４】第１実施例の第２タンクへ作動液を補充する制御を示すフローチャート。
【図５】本発明の第２実施例に係るインプリント装置の概念図。
【図６】従来技術その１の流体吐出装置の説明図。
【図７】従来技術その２のインクジェット記録装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
［第１実施例］
以下、図１〜図４を参照して本発明の第１実施例について説明する。なお、本実施例では、インクを吐出するインクジェット記録装置（以下、「吐出装置」を称する）を本発明の液体吐出装置の一例として説明する。また、本実施例の吐出装置に使用される「インク」は、本発明の液体吐出装置に使用される「液体」を構成する一例である。
【００１７】
図１は、本実施例の吐出装置（液体吐出装置）の概念図である。
【００１８】
図１に示すように、本実施例では、吐出装置１００は主に、インク（液体）を吐出するヘッド１と、インクを収容する第１タンク２と、作動液を収容する第２タンク３を備えている。また、吐出装置１００は、記録媒体９１を搬送する搬送手段９２や、搬送手段９２を支持する支持部９３などを備えている。なお、記録媒体９１は、吸着手段（図示しない）によって搬送手段９２に吸着して保持される。
【００１９】
第１タンク２は、ほぼ密閉した状態の直方体状の筐体２０を備え、筐体２０の底部にはヘッド１が取り付けられている。第１タンク２には大気連通口が設けられていない。なお、ヘッド１は、筐体２０の底面において、吐出口（図示しない）が形成された吐出口面１０を備えている。
【００２０】
筐体２０の内部には、可撓性を有する可撓性膜８（可撓部）が設けられており、第１タンク２が可撓性膜８によって第１室２１と第２室２２に仕切られる。第１室２１は、筐体２０の底部に設けられたヘッド１の内部と連通しており、ヘッド１へ供給されるインクを収容している。一方、第２室２２は、流路Ｔ１を通じて第２タンク３と連通しており、第２タンク３から供給される作動液を収容している。
【００２１】
なお、本実施例では、第１室２１はインクで満たされており、第２室２２は作動液で満たされている。
【００２２】
また、本実施例では、後述するように、より安定的にヘッド１内の負圧を維持するために、第２室２２内の作動液として、第１室２１内のインクとほぼ同じ密度の液体を採用している。また、作動液は、非圧縮性を有する物質であり、例えば、水等の液体や、ゲル状物質を作動液として用いることができる。
【００２３】
流路Ｔ１の、第２タンク３に接続する一端（下端）は、第２タンク３内の作動液の液面以下に配置されている。また、流路Ｔ１は、作動液で満たされるように構成されている。
【００２４】
図１に示すように、第２タンク３の上部には、大気連通口３１が設けられており、第２タンク３が大気開放されている。第２タンク３が大気開放された状態で、常にヘッド１内に負圧の状態が維持されるように、第２タンク３内の作動液の液面の位置Ｂが、ヘッド１の吐出口面１０の位置Ａよりも下方に配置される。即ち、本実施例の吐出装置１００では、作動液を収容する第２タンク３内の液面の位置Ｂと吐出口面１０の位置Ａの間の高低差（水頭差Ｈ）によって、ヘッド１内の負圧状態が維持される。
【００２５】
図２は、第１タンク２の第１室２１内のインク（液体）が一部消費された状態を示す概念図である。
【００２６】
図２に示すように、第１タンク２（第１室２１）内のインクが消費されると、毛管力によって第２タンク３から第２室２２へ作動液が供給される。従って、第２タンク３内の作動液の液面が低下し、位置Ａと位置Ｂの間の水頭差Ｈが変化する。
【００２７】
本実施例では、吐出装置１００は、ヘッド１内の負圧が所定の範囲内に維持されるように、第２タンク３内の作動液の液面の位置を所定の範囲内になるように調整する調整手段４を備えている。
【００２８】
具体的には、調整手段４は、第２タンク３内の液面の位置を検知する液面検知手段５と、第２タンク３へ作動液を補充する補充手段６を備えている。
【００２９】
液面検知手段５は、第２タンク３内において、下限位置センサ５Ａと上限位置センサ５Ｂを備えている。下限位置センサ５Ａと上限位置センサ５Ｂは、ヘッド１内の圧力（負圧）が所定の範囲内となるような位置に配されている。なお、本実施例では、下限位置センサ５Ａおよび上限位置センサ５Ｂは、光学式センサである。
【００３０】
第２タンク３内の液面を所定の範囲内（下限位置Ｌｏと上限位置Ｈｉの間）に維持させることにより、ヘッド１内の負圧を所定の範囲内に収めることができる。言い換えれば、第２タンク３内の液面が下限位置Ｌｏ以下に低下しなければ、ヘッド１内の負圧は所定範囲の上限を超えることなく、吐出口におけるメニスカスの破壊可能性も低い。一方、液面が上限位置Ｈｉ以上に上昇しなければ、ヘッド１内の負圧が所定範囲の下限を超えることなく、インクがヘッド１から漏れる可能性も少ない。
【００３１】
補充手段６は、作動液を収容する第３タンク６１と、第２タンク３と第３タンク６１を接続する流路６２と、流路６２に配置され第３タンク６１から第２タンク３へ作動液を供給（送液）するポンプ６３とを備えている。なお、第３タンク６１は、第２タンク３と同様に大気連通口６１１を備え、大気開放されている。また、ポンプ６３は、第２タンク３へ作動液を補充する補充動作以外では停止しており、流路６２も閉状態となっている。
【００３２】
図３は、第３タンクから第２タンクへ作動液を補充する状態を示す概念図である。
【００３３】
図３に示すように、下限位置センサ５Ａによって第２タンク３内の液面が下限位置Ｌｏまで低下したことを検知した場合、補充手段６（ポンプ６３）を作動させ、第３タンクから第２タンクへ作動液を補充して第２タンク内の液面を下限位置Ｌｏ以上に回復させる。第２タンク３内の液面が再び上限位置Ｈｉに達したことが検知されたとき、ポンプ６３が停止される。これにより、ヘッド１内の負圧を所定範囲内に維持することができる。
【００３４】
図４は、第３タンクから第２タンクへ作動液を補充する制御を示すフローチャートである。
【００３５】
図４に示すように、ヘッド１からインクの吐出が開始する（Ｓ１）と、液面検知手段５の検知結果に基づき第３タンクから第２タンクへ作動液の補充制御が開始する。即ち、ヘッド１の吐出動作の開始と同時に、第２タンク３内に設置された下限位置センサ５Ａによって、第２タンク内の液面の検知（監視）を開始する（Ｓ２）。
【００３６】
ステップＳ２において、下限位置センサ５Ａによって第２タンク３内の液面が下限位置Ｌｏまで低下したことが検知されると、ポンプ６３を駆動することによって第３タンク６１から第２タンク３へ作動液を送液する（Ｓ３）。
【００３７】
ステップＳ３において、作動液が第３タンク６１から第２タンク３へ供給されると、第２タンク３内の液面が上昇する。上限位置センサ５Ｂによって第２タンク３内の液面が上限位置Ｈｉまで上昇したことが検知される（Ｓ４）と、ポンプ６３が停止され（Ｓ５）、補充制御が終了する。
【００３８】
なお、ステップＳ４において、上限位置センサ５Ｂが第２タンク３内の液面が上限位置Ｈｉまで上昇したことをまだ検知されない場合、ステップＳ３へ戻り、ポンプ６３による送液動作が継続される。
【００３９】
このように、本実施例では、第２タンク３内の液面を吐出口面１０よりも下方に配置させ、さらに調整手段４によって第２タンク３内の液面を所定の範囲内に調整することにより、安定的にヘッド１内の圧力を所定の範囲（負圧）に制御することができる。よって、ヘッド１からインクの漏れを有効に抑制することができる。また、ヘッド１からインクを安定的に吐出することもできる。
【００４０】
特に、本実施例では、第１タンク２内（第１室２１および第２室２２）が密度の近いインクと作動液で満たされているため、筐体２０に衝撃があっても振動が有効に抑制される。従って、振動によるヘッド１内の圧力への影響が小さく、ヘッド１内を安定した負圧状態に維持することができる。
【００４１】
なお、本実施例では、第２室２２に充填される作動液は、気体に比べて、環境温度および圧力の変化からの影響を受けにくい。したがって、吐出装置１００の周辺の気温または気圧が変化しても、作動液の体積はほとんど変動しないため、第１室２１に連通するヘッド１内のインクの圧力の変動が確実に抑制されている。
【００４２】
以下、吐出装置１００の可撓性膜８（可撓部）について詳細に説明する。
【００４３】
図２に示すように、本実施例では、可撓性膜８は、筐体の上面、底面および二つの側面とそれぞれ接続し、鉛直方向（縦方向）に沿って筐体２０内に設けられている。これにより、筐体２０内に第１室２１と第２室２２が左右に分かれて形成される。
【００４４】
第１タンク２の第１室２１内のインクが消費されると、可撓性膜８が変形し、第１室２１の容積が減少すると共に第２室２２の容積が拡大する。よって、第１室２１において消費されたインクの容積と同容積の作動液が、流路Ｔ１を通じて第２タンク３から第２室２２へ供給される。このとき、可撓性膜８は、図２示すように、水平方向に沿って左から右へ移動する。
【００４５】
言い換えれば、インクの消費によって、第１タンク２内に収容されるインクと作動液の体積比率が変化するが、作動液とインクがほぼ同じ密度であるため、第１タンク２内の重心がほぼ変化しない。このため、筐体２０の下部に位置するヘッド１内に安定した負圧が維持される。
【００４６】
特に、本実施例では、可撓性膜８を鉛直方向に沿って配置することにより、仮にインクと異なる密度の作動液を採用しても、インクの消費によって第１タンク２内（液体）の重心が水平方向にのみ移動し、高さ方向にはほぼ移動しない。
【００４７】
一方、可撓性膜８を水平方向に配置した場合は、インクの消費に伴って第１タンク２の重心が高さ方向に移動する。可撓性膜８を鉛直方向に配置した場合は、可撓性膜８を水平方向に配した場合に比べ、ヘッド１内の負圧を安定的に維持することができる。従って、可撓性膜８（可撓部）を鉛直方向に配置することにより、使用可能な作動液の選択肢が増え、設計しやすくなる効果がある。
【００４８】
なお、本実施例では、可撓性膜８は、筐体の上面、下面および側面と接続することにより筐体を第１室２１、第２室２２に仕切って形成する例を説明したが、他の配置形態も可能である。例えば、インクを収容する第１室２１が作動液を収容する第２室２２にほぼ包囲されるように可撓性膜８を筐体２０内に取り付けてもよい。即ち、インクを収容する第１室２１（空間）が可撓性膜８で包まれるように可撓性膜８を筐体２０に取り付けても良い。
【００４９】
また、本実施例に使用される可撓性膜８は、接液性等の観点から、インク（第１室に収容される液体）の特性に適した部材を選定することが好ましい。
【００５０】
本実施例では、インクを吐出するインクジェット記録装置を例として、液体吐出装置を説明したが、例えば、導電性液体またはＵＶ硬化性液体などの液体を吐出する液体吐出装置に本発明を適宜に変更して適用することができる。
【００５１】
本実施例では、第１タンク２の筐体２０の下部にヘッド１を取り付けて一体化した構成を説明したが、ヘッド１と第１タンク２を別々に構成し、接続チューブを用いてヘッド１と第１タンク２（第１室２１）を接続してもよい。
【００５２】
本実施例では、第１タンク（第２室２２）は、流路Ｔ１を通じて第２タンク３と接続しているが、流路Ｔ１にジョイント部を設けて、第１タンク２と第２タンク３を分離（着脱）可能なように構成してもよい。
【００５３】
本実施例では、筐体２０の容積を５００ｍｌとし、第１室２１内のインクの初期量を約４００ｍｌとし、第２室２２内の作動液の初期量を約１００ｍｌとしたが、適宜に変更してもよい。
【００５４】
例えば、筐体２０の容積を４００ｍｌとし、第１室２１内のインク（液体）の初期量も約４００ｍｌとし、初期状態において作動液を０に近い最小値として設定してもよい。即ち、空気の混入が無視できる場合、初期状態では第２室２２に作動液が充填されていなくてもよい。
【００５５】
本実施例では、第１タンク２（ヘッド１）がキャリッジ（図示しない）に搭載され、キャリッジの移動と共にインクが吐出され記録動作が行われる。第１タンク２が移動している場合でも、第１タンク２の内部空間がインクと作動液で満たされており、可撓性膜８の揺動が抑制される。このため、ヘッド１内の圧力変動が起きにくく、ヘッド１からインクが漏れることが軽減される。
【００５６】
本実施例では、液面検知手段５として光学式センサ用いられたが、例えば、液面検知手段５は、第２タンク３内に設けられた電極対を備え、電極と液面の接触によって電極間の電気的変化を検知する構成であってもよい。
【００５７】
また、液面検知手段５は、静電容量式センサを用いて第２タンク３内の液面位置を検知する構成であってもよい。そして、液面検知手段５は、第２タンク３内にフロートを設け、フロートの位置を検知することにより液面を検知する構成であってもよい。
【００５８】
本実施例では、ポンプ６３は、例えば、シリンジポンプ、チューブポンプ、ダイアフラムポンプまたはギアポンプなどが挙げられるが、吐出装置１００の性能に適したポンプを選定することができる。例えば、第３タンク６１を密閉空間とした場合、第３タンク６１内を加圧して作動液を第２タンク３へ供給する構成とすることもできる。
【００５９】
また、第２タンク３と第３タンク６１の間に液面の高低差が存在し且つ流路６２の一端が第２タンク３の作動液中に存在する場合、作動液の供給が停止されている間でも、流路６２を閉状態にする必要がある。この場合、停止時に流路を遮蔽できるポンプを使用してもよく、流路６２の上記一端を第２タンク３の作動液の液面の上の位置に配置してもよい。または、流路６２を閉じることが可能なバルブを別途配置してもよい。
【００６０】
［第２実施例］
以下、図５を用いて本発明の第２実施例について説明する。なお、図５は、本実施例に係るインプリント装置の概念図である。
【００６１】
図５に示すように、本発明のインプリント装置２００は、主に液体吐出装置１００Ａと、パターン形成部（パターン形成手段）９００とを備えている。
【００６２】
なお、液体吐出装置１００Ａは、基本的に第１実施例の吐出装置１００と同じ構成である。なお、本実施例では、第１タンク２の第１室２１には、光硬化性のレジストが収容されており、第１室２１に連通されるヘッド１から、後述するウェハー基板９１Ａ（基板）へレジストが吐出される。一方、第２室２２には、レジストと密度の近い作動液が充填されている。
【００６３】
なお、本実施例では、レジストは、光硬化性を有する樹脂で構成されているが、他の光硬化性を有する物質（液体）で構成されてもよい。また、本実施例では、可撓性膜８として厚みが１０μｍ〜２００μｍのアルミ多層フィルムが使用される。アルミ多層フィルムのような材料では、レジストに対して安定性を有し、液体および気体が透過しにくい特性を有する特徴から、可撓部として好適である。
【００６４】
パターン形成部９００は、主にモールド９４と露光ユニット（光照射手段）９５を備えている。また、パターン形成部９００には、モールド９４を上下に移動させる移動手段９６が備えられている。
【００６５】
なお、モールド９４は、移動手段９６を介して第１保持部９７に保持され、露光ユニット９５は、第２保持部９８に保持されている。また、モールド９４は、光透過性を有する石英材質で構成されており、一方の表面（下面）側に溝状の微細パターン（凹凸パターン）が形成されている。露光ユニット９５は、モールド９４の上方に配置されており、モールド９４を隔てて、後述するウェハー基板９１Ａ上のレジスト（パターン）を照射して硬化させることができる。
【００６６】
以下、本実施例のインプリント装置２００を用いてウェハー基板９１Ａの表面にパターンを形成する形成工程について説明する。
【００６７】
本実施例では、液体吐出装置よって、レジストが吐出（付与）されたウェハー基板の上面と、凹凸パターンが形成されたモールドの下面とを当接させ、ウェハー基板の上面において、モールドの下面にある凹凸パターンに対応するパターンを形成する。
【００６８】
具体的には、液体吐出装置１００Ａのヘッド１から、ウェハー基板９１Ａの上面に所定のパターンとなるようにレジストが吐出（付与）される（付与工程）。
【００６９】
その後、レジスト（パターン）が付与（形成）されたウェハー基板９１Ａが、搬送手段９２によってモールド９４の下方に搬送される。
【００７０】
移動手段９６によって、モールド９４を下方へ降下させ、ウェハー基板９１Ａの上面に形成されたレジスト（パターン）にモールド９４の下面を押し当てる。これにより、モールド９４の下面にある凹凸パターンを構成する溝状の微細パターンにレジストが押し込まれて充填される（パターン形成工程）。
【００７１】
レジストが微細パターンに充填された状態で、光透過性のモールド９４を隔てて露光ユニット９５から紫外線をレジストへ照射することにより、ウェハー基板９１Ａの表面にレジストからなるパターンが形成される（処理工程）。
【００７２】
パターンが形成された後、移動手段９６によってモールド９４を上昇させ、ウェハー基板９１Ａに形成されたパターンとモールド９４が分離される。ウェハー基板９１Ａ上のパターン形成工程が終了する。
【００７３】
第１実施例と同様に、本実施例では、第２タンク３内の液面を吐出口面１０よりも下方に配置させ、さらに調整手段４によって第２タンク内の液面を所定の範囲内に調整することにより、安定的にヘッド１内の圧力を所定の範囲（負圧）に制御することができる。よって、ヘッド１からレジスト（液体）の漏れを有効に抑制することができる。また、ヘッド１からレジストを安定的に吐出することもできる。
【００７４】
また、本実施例では、第１タンク２内の空間が密度の近いレジストと作動液で満たされているため、筐体２０に衝撃があっても振動が有効に抑制される。従って、振動によるヘッド１内の圧力への影響が小さく、ヘッド１内を安定した負圧状態に維持することができる。
【００７５】
また、本実施例では、第２室２２に充填される作動液は、気体に比べて、環境温度および圧力の変化からの影響を受けにくい。したがって、インプリント装置２００の周辺の気温または気圧が変化しても、作動液の体積はほとんど変動しないため、第１室２１に連通するヘッド１内のレジストの圧力の変動が確実に抑制されている。
【００７６】
本発明のインプリント装置を、例えば、半導体集積回路素子や液晶表示素子などのデバイスを製造する半導体製造装置やナノインプリント装置などに適用することができる。
【００７７】
本発明のインプリント装置を用いて部品を製造することができる。
【００７８】
部品の製造方法としては、インプリント装置（ヘッド）を用いて、基板（ウェハー、ガラスプレート、フィルム状基板など）にレジストを吐出（付与）する工程（付与工程）を有してもよい。
【００７９】
また、基板のレジストが吐出（付与）された表面と、凹凸パターンが形成されたモールドの表面とを当接させ、基板の表面にモールドの凹凸パターンに対応するパターンを形成するパターン形成工程を有してもよい。
【００８０】
また、パターンが形成された基板を処理する処理工程を有してもよい。なお、基板を処理する処理工程として、基板をエッチングするエッチング処理工程を有してもよい。
【００８１】
なお、パターンドメディア（記録媒体）や光学素子などのデバイス（部品）を製造する場合は、エッチング処理以外の加工処理が好ましい。
【００８２】
本発明の部品の製造方法によれば、従来の部品製造方法に比べ、部品の性能・品質・生産性が向上し、生産コストを削減することもできる。
【符号の説明】
【００８３】
１  ヘッド
２  第１タンク
３  第２タンク
４  調整手段
８  可撓性膜（可撓部）
１０  吐出口面
２１  第１室
２２  第２室
１００  インクジェット記録装置（液体吐出装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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