(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、
前記半導体基板の表面に形成されたゲートトレンチ部と、
前記半導体基板の表面に形成されたダミートレンチ部と、
前記半導体基板の表面の上方に形成された、金属を含む第１表面側電極と
を備え、
前記半導体基板は、前記半導体基板の表面から見て順番に設けられた第１導電型のエミッタ領域と、第２導電型のベース領域とを有し、
前記ゲートトレンチ部は、
前記半導体基板の前記エミッタ領域および前記ベース領域を貫通して形成されたゲートトレンチと、
前記ゲートトレンチの内部に形成されたゲート導電部と、
前記ゲート導電部の上方に形成され、前記ゲート導電部と前記第１表面側電極とを絶縁するゲート絶縁部と
を有し、
前記ダミートレンチ部は、
前記半導体基板の表面から前記エミッタ領域および前記ベース領域を貫通して形成され、前記ゲートトレンチよりも深い位置まで形成されたたダミートレンチと、
前記ダミートレンチの内部に形成され、深さ方向において前記ゲート導電部と同一の長さのダミー導電部と
を有し、
前記ダミートレンチの側壁に前記エミッタ領域の少なくとも一部が露出しており、
前記第１表面側電極は、前記ダミートレンチの側壁において前記エミッタ領域の露出面と接触する半導体装置。
【請求項２】
第１導電型のドリフト領域を有する半導体基板と、
前記半導体基板の表面に形成されたダミートレンチ部と、
前記半導体基板の表面に形成されたエミッタトレンチ部と、
前記半導体基板の表面の上方に形成された、金属を含む第１表面側電極と
を備え、
前記半導体基板は、前記ダミートレンチ部を含むトランジスタ部と、前記エミッタトレンチ部を含むダイオード部とを有し、
前記トランジスタ部において、前記半導体基板は、前記半導体基板の表面から見て順番に設けられた、前記ドリフト領域よりも高濃度の第１導電型のエミッタ領域と、第２導電型のベース領域と、前記ドリフト領域と、前記ドリフト領域よりも高濃度の第１導電型のバッファ領域と、第２導電型のコレクタ領域とを有し、
前記ダイオード部において、前記半導体基板は、前記半導体基板の表面から見て順番に設けられた、第２導電型のベース領域と、前記ドリフト領域と、前記ドリフト領域よりも高濃度の第１導電型のバッファ領域と、前記ドリフト領域よりも高濃度の第１導電型のカソード領域とを有し、
前記トランジスタ部および前記ダイオード部において前記ベース領域の上面には、前記ベース領域よりも高濃度の第２導電型のコンタクト領域が選択的に設けられ、
前記ダミートレンチ部は、
前記半導体基板の表面から前記ドリフト領域まで形成されたダミートレンチと、
前記ダミートレンチの内部に形成されたダミー導電部と
を有し、
前記エミッタトレンチ部は、
前記半導体基板の表面から前記ドリフト領域まで形成されたエミッタトレンチと、
前記エミッタトレンチの内部に形成されたエミッタ導電部と
を有し、
前記ダミートレンチの側壁に前記エミッタ領域の少なくとも一部が露出しており、
前記第１表面側電極は、前記ダミートレンチの側壁における前記エミッタ領域の露出面と接触し、
前記エミッタトレンチの側壁に前記ベース領域の少なくとも一部が露出しており、
前記第１表面側電極は、前記半導体基板の深さ方向で前記カソード領域と重なる前記エミッタトレンチの側壁において前記ベース領域の露出面と接触する半導体装置。
【請求項３】
前記トランジスタ部は、前記ダミートレンチの側壁に露出せずに前記ベース領域と前記ドリフト領域との間に配置され、前記ドリフト領域よりも高濃度の第１導電型の蓄積領域を有する
請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記ダイオード部は、前記エミッタトレンチの側壁に露出せずに前記ベース領域と前記ドリフト領域との間に配置され、前記ドリフト領域よりも高濃度の第１導電型の蓄積領域を有する
請求項２に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記第１表面側電極は、前記ダミートレンチの内部において前記ダミー導電部とも接触する
請求項１から４のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記ダミートレンチの側壁には、前記ベース領域の少なくとも一部が更に露出しており、
前記第１表面側電極は、前記ダミートレンチの側壁において前記エミッタ領域および前記ベース領域と接触する
請求項１から５のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記ダミートレンチ内において前記第１表面側電極と接触する前記エミッタ領域の少なくとも一部に、第２導電型の不純物がドープされた
請求項１から６のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記ベース領域において、前記第１表面側電極と接触する部分の少なくとも一部の不純物濃度が、前記第１表面側電極と接触しない部分の不純物濃度より高い
請求項６に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記半導体基板の表面に形成されたゲートトレンチ部を更に備え、
前記ゲートトレンチ部は、
前記半導体基板の前記エミッタ領域および前記ベース領域を貫通して形成されたゲートトレンチと、
前記ゲートトレンチの内部に形成されたゲート導電部と、
前記ゲート導電部の上方に形成され、前記ゲート導電部と前記第１表面側電極とを絶縁するゲート絶縁部と
を有する請求項２に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記ゲート絶縁部は、前記ゲートトレンチの内部において前記ゲート導電部の上方に形成される
請求項９に記載の半導体装置。
【請求項１１】
前記ゲート絶縁部の前記半導体基板の表面側の端面の少なくとも一部は、前記半導体基板の表面と同じ高さであり、
前記第１表面側電極は、前記ゲート絶縁部の前記端面と接触する
請求項１０に記載の半導体装置。
【請求項１２】
前記ダミートレンチは、前記ゲートトレンチよりも深い位置まで形成される
請求項９から１１のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項１３】
前記ダミートレンチの幅は、前記ゲートトレンチの幅よりも大きい
請求項１２に記載の半導体装置。
【請求項１４】
前記ゲート導電部と、前記ダミー導電部とは同一の材料で形成される
請求項９から１３のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項１５】
前記ダミートレンチ部は、前記半導体基板の表面において予め定められた延伸方向に延伸して形成され、
前記ゲートトレンチ部は、
前記ダミートレンチ部と対向する範囲において前記延伸方向に延伸して形成された対向部と、
前記対向部から更に延伸して、前記ダミートレンチ部と対向しない範囲に形成された突出部と
を有し、
前記突出部の上方に形成された第２表面側電極を更に備え、
前記突出部における前記ゲート導電部が、前記第２表面側電極と電気的に接続する
請求項９から１４のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項１６】
前記半導体基板は、第１導電型のドリフト領域を有し、
前記半導体装置は、前記半導体基板の表面に形成されたエミッタトレンチ部を更に備え、
前記半導体基板は、前記ダミートレンチ部を含むトランジスタ部と、前記エミッタトレンチ部を含むダイオード部とを有し、
前記トランジスタ部において、前記半導体基板は、前記半導体基板の表面から見て順番に設けられた、前記ドリフト領域よりも高濃度の第１導電型のエミッタ領域と、第２導電型のベース領域と、前記ドリフト領域と、前記ドリフト領域よりも高濃度の第１導電型のバッファ領域と、第２導電型のコレクタ領域とを有し、
前記ダイオード部において、前記半導体基板は、前記半導体基板の表面から見て順番に設けられた、第２導電型のベース領域と、前記ドリフト領域と、前記ドリフト領域よりも高濃度の第１導電型のバッファ領域と、前記ドリフト領域よりも高濃度の第１導電型のカソード領域とを有し、
前記エミッタトレンチ部は、
前記半導体基板の表面から前記ドリフト領域まで形成されたエミッタトレンチと、
前記エミッタトレンチの内部に形成されたエミッタ導電部と
を有し、
前記エミッタトレンチの側壁に前記ベース領域の少なくとも一部が露出しており、
前記第１表面側電極は、前記半導体基板の深さ方向で前記カソード領域と重なる前記エミッタトレンチの側壁において前記ベース領域と接触する
請求項１に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体素子において基板表面に設けたトレンチ内にゲート等の電極を形成する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。トレンチ間のメサ部にエミッタ等の電極が接続される。
［先行技術文献］
［特許文献］
特許文献１  特開２００２−３５３４５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
半導体素子を微細化していくと、メサ部の幅も減少する。このため、メサ部と電極とが接触する面積が減少し、メサ部と電極とのコンタクト抵抗が上昇してしまう。この結果、オン電圧が上昇してしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の第１の態様においては、第１導電型の半導体基板と、半導体基板の表面に形成されたダミートレンチ部と、半導体基板の表面の上方に形成された、金属を含む第１表面側電極とを備え、半導体基板は、半導体基板の表面から見て順番に設けられた第１導電型のエミッタ領域と、第２導電型のベース領域とを有し、ダミートレンチ部は、半導体基板の表面からエミッタ領域およびベース領域を貫通して形成されたダミートレンチと、ダミートレンチの内部に形成されたダミー導電部とを有し、ダミートレンチの側壁にエミッタ領域の少なくとも一部が露出しており、第１表面側電極は、ダミートレンチの側壁においてエミッタ領域と接触する半導体装置を提供する。
【０００５】
なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】半導体装置１００の一例を示す平面図である。
【図２】図１におけるａ−ａ'断面の一例を示す図である。
【図３】図１におけるｂ−ｂ'断面の一例を示す図である。
【図４Ａ】ダミートレンチ部３０の周辺の構造を拡大した拡大断面図である。
【図４Ｂ】ダミートレンチ部３０の他の構造例を示す拡大断面図である。
【図４Ｃ】ダミートレンチ部３０の周辺構造の他の例を示す拡大断面図である。
【図５】ａ−ａ'断面における半導体装置１００の他の構造例を示す図である。
【図６】比較例に係る半導体装置２００の構成を示す図である。
【図７】図６におけるｃ−ｃ'断面を示す。
【図８】図６におけるｄ−ｄ'断面を示す。
【図９】オン電圧Ｖｏｎと、ターンオフ損失Ｅｏｆｆとの関係を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００８】
図１は、半導体装置１００の一例を示す平面図である。本例の半導体装置１００は、ＩＧＢＴ（Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ  Ｇａｔｅ  Ｂｉｐｏｌａｒ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）等のトランジスタを含むトランジスタ部７０、および、ＦＷＤ（Ｆｒｅｅ  Ｗｈｅｅｌ  Ｄｉｏｄｅ）等のダイオードを含むダイオード部８０を有する半導体チップである。図１においてはチップ端部周辺のチップ表面を示しており、他の領域を省略している。
【０００９】
また、図１においては半導体装置１００における半導体基板の活性領域を示すが、半導体装置１００は、活性領域を囲んで耐圧構造部を有してよい。活性領域は、半導体装置１００をオン状態に制御した場合に電流が流れる領域を指す。耐圧構造部は、半導体基板の表面側の電界集中を緩和する。耐圧構造部は、例えばガードリング、フィールドプレート、リサーフおよびこれらを組み合わせた構造を有する。
【００１０】
本例の半導体装置１００は、チップの表面側において、ゲート電極５０、エミッタ電極５２、ゲートトレンチ部４０、ダミートレンチ部３０、エミッタトレンチ部６０、ウェル領域１７、エミッタ領域１２、ベース領域１４、コンタクト領域１５、コンタクトホール５４およびコンタクトホール５５を有する。エミッタ電極５２は、第１表面側電極の一例であり、ゲート電極５０は第２表面側電極の一例である。
【００１１】
ゲートトレンチ部４０、ダミートレンチ部３０、エミッタトレンチ部６０、ウェル領域１７、エミッタ領域１２、ベース領域１４およびコンタクト領域１５は、半導体基板の表面側の内部に形成され、エミッタ電極５２およびゲート電極５０は、半導体基板の表面の上方に設けられる。
【００１２】
エミッタ電極５２およびゲート電極５０と、半導体基板の表面との間には層間絶縁膜が形成されるが、図１では省略している。コンタクトホール５４およびコンタクトホール５５は、当該層間絶縁膜を貫通して形成される。エミッタ電極５２は、コンタクトホール５４を通って半導体基板と接触する。ゲート電極５０は、コンタクトホール５５を通って半導体基板と接触する。
【００１３】
エミッタ電極５２およびゲート電極５０は、金属を含む材料で形成される。例えば、各電極の少なくとも一部の領域はアルミで形成される。各電極は、タングステンを含む材料で形成される領域を有してもよい。
【００１４】
１以上のゲートトレンチ部４０および１以上のダミートレンチ部３０は、トランジスタ部７０の領域において所定の配列方向に沿って所定の間隔で配列される。ダミートレンチ部３０は、半導体基板の表面において予め定められた延伸方向に延伸して形成される。本例におけるダミートレンチ部３０は直線形状を有しており、上述した配列方向とは垂直な方向に延伸して形成される。
【００１５】
ゲートトレンチ部４０は、対向部４１および突出部４３を有する。対向部４１は、ダミートレンチ部３０と対向する範囲において、上述した延伸方向に延伸して形成される。つまり、対向部４１は、ダミートレンチ部３０と平行に形成される。突出部４３は、対向部４１から更に延伸して、ダミートレンチ部３０と対向しない範囲に形成される。本例において、ダミートレンチ部３０の両側に設けられた２つの対向部４１が、１つの突出部４３により接続される。突出部４３の少なくとも一部は曲線形状を有してよい。
【００１６】
突出部４３を覆う絶縁層に、コンタクトホール５５が形成される。コンタクトホール５５は、突出部４３において対向部４１から最も離れた領域に対応して形成されてよい。本例の突出部４３は、対向部４１から最も離れた領域において、対向部４１とは直交する方向に延伸する部分を有する。コンタクトホール５５は、突出部４３の当該部分に対応して形成されてよい。
【００１７】
エミッタトレンチ部６０は、ダイオード部８０の領域に設けられる。エミッタトレンチ部６０は、ゲートトレンチ部４０と同様の形状を有してよい。ただし、エミッタトレンチ部６０の延伸方向における長さは、ゲートトレンチ部４０よりも短くてよい。本例のエミッタトレンチ部６０の長さは、ダミートレンチ部３０と同一である。
【００１８】
ゲート電極５０は、突出部４３の一部を覆って形成される。ゲート電極５０は、突出部４３においてコンタクトホール５５が設けられた部分を覆って形成される。本例のゲート電極５０は、対向部４１、ダミートレンチ部３０およびエミッタトレンチ部６０の上方には形成されない。
【００１９】
エミッタ電極５２は、ゲートトレンチ部４０、ダミートレンチ部３０、エミッタトレンチ部６０、ウェル領域１７、エミッタ領域１２、ベース領域１４およびコンタクト領域１５の上方に形成される。本例のエミッタ電極５２は、ウェル領域１７およびゲートトレンチ部４０の一部を覆って形成される。
【００２０】
ウェル領域１７は、ゲート電極５０が設けられる側の半導体基板の端部から、所定の範囲で形成される。ダミートレンチ部３０、エミッタトレンチ部６０および対向部４１の、ゲート電極５０側の一部の領域はウェル領域１７に形成される。突出部４３は、全体がウェル領域１７に形成されてよい。半導体基板は第１導電型を有し、ウェル領域１７は半導体基板とは異なる第２導電型を有する。本例の半導体基板はＮ−型であり、ウェル領域１７はＰ＋型である。本例においては、第１導電型をＮ型として、第２導電型をＰ型として説明する。ただし、第１および第２導電型は逆の導電型であってもよい。
【００２１】
各トレンチ部に挟まれる領域には、ベース領域１４が形成される。ベース領域１４は、ウェル領域１７よりも不純物濃度の低い第２導電型である。本例のベース領域１４はＰ−型である。
【００２２】
ベース領域１４の表面には、ベース領域１４よりも不純物濃度の高い第２導電型のコンタクト領域１５が形成される。本例のコンタクト領域１５はＰ＋型である。また、トランジスタ部７０においては、コンタクト領域１５の表面の一部に、半導体基板よりも不純物濃度が高い第１導電型のエミッタ領域１２が選択的に形成される。本例のエミッタ領域１２はＮ＋型である。
【００２３】
コンタクト領域１５およびエミッタ領域１２のそれぞれは、隣接する一方のトレンチ部から、他方のトレンチ部まで形成される。トランジスタ部７０の１以上のコンタクト領域１５および１以上のエミッタ領域１２は、各トレンチ部に挟まれる領域において、トレンチ部の延伸方向に沿って交互に露出するように形成される。
【００２４】
トランジスタ部７０において、コンタクトホール５４は、コンタクト領域１５、エミッタ領域１２およびダミートレンチ部３０の各領域の上方に形成される。エミッタ領域１２とエミッタ電極５２との接触面積を最大化すべく、コンタクトホール５４は、隣接する一方のトレンチ部から、他方のトレンチ部まで形成される。また、コンタクトホール５４は、エミッタ領域１２の表面の全範囲を露出させるように形成されてよい。また、コンタクトホール５４は、コンタクト領域１５の表面の全範囲も露出させるように形成されてよい。ただし、コンタクトホール５４は、ベース領域１４およびウェル領域１７に対応する領域には形成されない。
【００２５】
また、コンタクトホール５４は、ゲートトレンチ部４０の上方には形成されなくてよく、形成されてもよい。ただし、ゲートトレンチ部４０の上方にコンタクトホール５４が形成される場合、ゲートトレンチ部４０のトレンチ内の上端に、トレンチ内の電極とエミッタ電極５２とを絶縁する絶縁部が形成される。
【００２６】
また、コンタクトホール５４は、エミッタ領域１２に対向する範囲のダミートレンチ部３０を露出させるように形成される。本例のコンタクトホール５４は、エミッタ領域１２およびコンタクト領域１５に対向する範囲のダミートレンチ部３０を露出させる。後述するように、ダミートレンチ部３０のトレンチ内壁には、エミッタ領域１２が露出する。エミッタ電極５２は、コンタクトホール５４を通り、ダミートレンチ部３０のトレンチ内まで形成される。
【００２７】
これによりエミッタ電極５２は、半導体基板の表面に露出したエミッタ領域１２の表面だけでなく、ダミートレンチ部３０のトレンチ内壁に露出したエミッタ領域１２の側面とも接触することができ、エミッタ領域１２とのコンタクト抵抗を低下させることができる。このため、半導体装置１００のオン電圧を低下させることができる。
【００２８】
また、ダミートレンチ部３０のトレンチ内壁には、コンタクト領域１５も露出する。エミッタ電極５２は、ダミートレンチ部３０のトレンチ内壁に露出したコンタクト領域１５とも接触してよい。これにより、エミッタ電極５２とコンタクト領域１５とのコンタクト抵抗も低下させることができる。
【００２９】
また、ダイオード部８０において、コンタクトホール５４は、コンタクト領域１５、ベース領域１４およびエミッタトレンチ部６０の各領域の上方に形成される。本例のコンタクトホール５４は、複数のベース領域１４のうち、最もゲート電極５０に近いベース領域１４に対しては形成されない。本例においてトランジスタ部７０のコンタクトホール５４と、ダイオード部８０のコンタクトホール５４とは、各トレンチ部の延伸方向において同一の長さを有する。
【００３０】
ダイオード部８０において、コンタクト領域１５およびベース領域１４と、エミッタ電極５２との接触面積を最大化すべく、コンタクトホール５４は、隣接する一方のトレンチ部から、他方のトレンチ部まで形成される。ただし、コンタクトホール５４は、ベース領域１４およびウェル領域１７に対応する領域には形成されない。
【００３１】
また、コンタクトホール５４は、エミッタトレンチ部６０を露出させるように形成される。ダミートレンチ部３０と同様に、エミッタトレンチ部６０のトレンチ内壁には、コンタクト領域１５およびベース領域１４が露出する。エミッタ電極５２は、コンタクトホール５４を通り、エミッタトレンチ部６０のトレンチ内まで形成される。
【００３２】
これによりエミッタ電極５２は、半導体基板の表面に露出したコンタクト領域１５およびベース領域１４の表面だけでなく、エミッタトレンチ部６０のトレンチ内壁に露出したコンタクト領域１５およびベース領域１４の側面とも接触することができる。従って、コンタクト領域１５およびベース領域１４とのコンタクト抵抗を低下させることができる。
【００３３】
図２は、図１におけるａ−ａ'断面の一例を示す図である。本例の半導体装置１００は、当該断面において、半導体基板１０、エミッタ電極５２およびコレクタ電極２４を有する。エミッタ電極５２は、半導体基板１０の表面に形成される。エミッタ電極５２は、エミッタ端子５３と電気的に接続される。
【００３４】
コレクタ電極２４は、半導体基板１０の裏面に形成される。コレクタ電極２４は、コレクタ端子と電気的に接続される。エミッタ電極５２およびコレクタ電極２４は、金属等の導電材料で形成される。また本明細書において、基板、層、領域等の各部材のエミッタ電極５２側の面を表面、コレクタ電極２４側の面を裏面または底部と称する。また、エミッタ電極５２とコレクタ電極２４とを結ぶ方向を深さ方向と称する。
【００３５】
半導体基板１０は、シリコン基板であってよく、炭化シリコン基板、窒化物半導体基板等であってもよい。半導体基板１０の表面側には、Ｐ−型のベース領域１４が形成される。また、Ｎ＋型のエミッタ領域１２が、ベース領域１４の表面側における一部の領域に選択的に形成される。
【００３６】
また、半導体基板１０は、Ｎ＋型の蓄積領域１６、Ｎ−型のドリフト領域１８、Ｎ−型のバッファ領域２０、Ｐ＋型のコレクタ領域２２、および、Ｎ＋型のカソード領域８２を更に有する。蓄積領域１６は、ベース領域１４の裏面側に形成される。蓄積領域１６の不純物濃度は、ドリフト領域１８の不純物濃度よりも高い。
【００３７】
蓄積領域１６は、隣接するトレンチ間に形成される。例えばトランジスタ部７０において蓄積領域１６は、ダミートレンチ部３０およびゲートトレンチ部４０の間に形成される。蓄積領域１６は、ダミートレンチ部３０およびゲートトレンチ部４０の間の全領域を覆うように設けられてよい。蓄積領域１６を設けることで、ＩＥ効果を高めて、オン電圧を低減することができる。
【００３８】
ドリフト領域１８は、蓄積領域１６の裏面側に形成される。バッファ領域２０は、ドリフト領域１８の裏面側に形成される。バッファ領域２０の不純物濃度は、ドリフト領域１８の不純物濃度よりも高い。バッファ領域２０は、ベース領域１４の裏面側から広がる空乏層が、コレクタ領域２２およびカソード領域８２に到達することを防ぐフィールドストップ層として機能してよい。
【００３９】
コレクタ領域２２は、トランジスタ部７０の領域において、バッファ領域２０の裏面側に形成される。カソード領域８２は、ダイオード部８０の領域において、バッファ領域２０の裏面側に形成される。また、コレクタ領域２２およびカソード領域８２の裏面にはコレクタ電極２４が設けられる。
【００４０】
半導体基板１０の表面側には、１以上のゲートトレンチ部４０、１以上のダミートレンチ部３０、および、１以上のエミッタトレンチ部６０が形成される。各トレンチ部は、半導体基板１０の表面から、ベース領域１４を貫通して、ドリフト領域１８に到達する。本例においてゲートトレンチ部４０およびダミートレンチ部３０は、半導体基板１０の表面から、エミッタ領域１２、ベース領域１４および蓄積領域１６を貫通して、ドリフト領域１８に到達する。また、エミッタトレンチ部６０は、半導体基板１０の表面から、ベース領域１４および蓄積領域１６を貫通して、ドリフト領域１８に到達する。
【００４１】
ゲートトレンチ部４０は、半導体基板１０の表面側に形成されたゲートトレンチ、絶縁膜４２、ゲート導電部４４およびゲート絶縁部３７を有する。絶縁膜４２は、ゲートトレンチの内壁を覆って形成される。絶縁膜４２は、ゲートトレンチの内壁の半導体を酸化または窒化して形成してよい。ゲート導電部４４は、ゲートトレンチの内部において絶縁膜４２よりも内側に形成される。つまり絶縁膜４２は、ゲート導電部４４と半導体基板１０とを絶縁する。ゲート導電部４４は、ポリシリコン等の導電材料で形成される。
【００４２】
ゲート絶縁部３７は、ゲート導電部４４の上方に形成され、ゲート導電部４４とエミッタ電極５２とを絶縁する。本例のゲート絶縁部３７は、ゲートトレンチ内部に形成される。ゲート絶縁部３７は、例えば酸化シリコン、窒化シリコン、または、その他の絶縁材料を含む。ゲート絶縁部３７の深さ方向における厚みは、絶縁膜４２のゲートトレンチ底部における厚みよりも大きくてよい。
【００４３】
本例において、ゲート絶縁部３７の半導体基板１０側の端面の少なくとも一部は、半導体基板１０の表面と同じ高さである。一例として、ゲート絶縁部３７の当該端面の全体が、半導体基板１０の表面と同一面に形成されてよい。これにより、半導体基板１０の表面の凹凸を低減して、半導体基板１０の表面の上方に積層する構造を容易に形成できる。
【００４４】
ゲート導電部４４は、少なくとも隣接するベース領域１４と対向する領域を含む。それぞれのゲート導電部４４は、ゲート端子５１に電気的に接続される。本例では、図１に示したように突出部４３においてゲート導電部４４がゲート電極５０と電気的に接続する。また、ゲート電極５０がゲート端子５１に電気的に接続する。ゲート端子５１を介してゲート導電部４４に所定の電圧が印加されると、ベース領域１４のうちゲートトレンチに接する界面の表層にチャネルが形成される。
【００４５】
ダミートレンチ部３０は、半導体基板１０の表面側に形成されたダミートレンチ、絶縁膜３２およびダミー導電部３４を有する。絶縁膜３２は、ダミートレンチの内壁を覆って形成される。ただし、絶縁膜３２は、ダミートレンチの基板表面側の端部近傍には形成されない。これにより、ダミートレンチの側壁には、エミッタ領域１２の少なくとも一部が露出する。絶縁膜３２は、ダミートレンチの内壁の半導体を酸化または窒化して形成し、ダミートレンチ内に所定の厚みのダミー導電部３４を形成した後に、ダミー導電部３４により覆われていない酸化または窒化膜を除去することで形成してよい。
【００４６】
ダミー導電部３４は、ダミートレンチの内部において絶縁膜３２よりも内側に形成される。本例のダミー導電部３４は、ダミートレンチの内部において絶縁膜３２に覆われていない半導体基板１０には接触しない。他の例では、ダミー導電部３４は、ダミートレンチの側壁に露出するエミッタ領域１２の一部と接触していてもよい。絶縁膜３２は、ダミー導電部３４と半導体基板１０とを絶縁する。ダミー導電部３４は、ゲート導電部４４と同一の材料で形成されてよい。例えばダミー導電部３４は、ポリシリコン等の導電材料で形成される。ダミー導電部３４は、深さ方向においてゲート導電部４４と同一の長さを有してよい。
【００４７】
エミッタ電極５２は、ダミートレンチの側壁においてエミッタ領域１２と接触し、且つ、ダミートレンチの内部においてダミー導電部３４と接触する。エミッタ電極５２は、ダミートレンチ内に配置されたプラグ部３６を有してよい。プラグ部３６が、ダミートレンチの側壁に露出したエミッタ領域１２およびダミー導電部３４と接触する。
【００４８】
プラグ部３６は、半導体基板１０の表面の上方に形成されたエミッタ電極５２の領域と同一の材料で形成されてよく、異なる材料で形成されてもよい。一例として、プラグ部３６はタングステンを含む材料で形成され、プラグ部３６以外のエミッタ電極５２はタングステンを含まない材料で形成される。プラグ部３６をタングステンを含む材料で形成することで、微細なダミートレンチの内部にもプラグ部３６を容易に形成することができる。また、プラグ部３６は、深さ方向において、ゲート絶縁部３７と同一の長さを有してよい。
【００４９】
本例の半導体装置１００によれば、ダミートレンチ部３０を設けることで、ドリフト領域へのキャリア注入促進効果（ＩＥ効果）を高めてオン電圧を低減することができる。そして、エミッタ電極５２とエミッタ領域１２とが、半導体基板１０の表面だけでなく、ダミートレンチの側壁においても接触する。このため、エミッタ電極５２とエミッタ領域１２の間のコンタクト抵抗を低減して、オン電圧を低減することができる。また、半導体装置１００を微細化しても、オン電圧を十分低く保つことができる。
【００５０】
本例においてゲートトレンチ部４０およびダミートレンチ部３０は、図２に示すように所定の配列方向において交互に配置される。また、各トレンチ部は一定の間隔で配置されてよい。ただし、各トレンチの配置は上記の例に限定されない。２つのダミートレンチ部３０の間に複数のゲートトレンチ部４０が配置されてよい。また、それぞれのダミートレンチ部３０の間に設けられるゲートトレンチ部４０の数は一定でなくともよい。ダミートレンチ部３０およびゲートトレンチ部４０の深さ方向における長さは同一であってよい。
【００５１】
ダイオード部８０は、トランジスタ部７０と隣接した領域に設けられる。ダイオード部８０は、トランジスタ部７０と同一層のベース領域１４、蓄積領域１６、ドリフト領域１８およびバッファ領域２０を有する。ダイオード部８０のバッファ領域２０の裏面側にはカソード領域８２が設けられる。また、ダイオード部８０は、１以上のエミッタトレンチ部６０を有する。また、ダイオード部８０には、エミッタ領域１２が形成されない。
【００５２】
エミッタトレンチ部６０は、ベース領域１４の表面側からベース領域１４および蓄積領域１６を貫通して、ドリフト領域１８まで到達して形成される。それぞれのエミッタトレンチ部６０は、ダミートレンチ部３０と同様に、絶縁膜６２およびエミッタ導電部６４を有する。エミッタトレンチ部６０は、ダミートレンチ部３０と同一の構造を有してよい。
【００５３】
つまり、エミッタトレンチ部６０のエミッタトレンチの側壁には、ベース領域１４が露出してよい。エミッタ電極５２は、エミッタトレンチの内部に配置されるプラグ部３６を有してよい。プラグ部３６が、エミッタトレンチの側壁に露出したベース領域１４と接触する。このような構成により、エミッタ電極５２と、ベース領域１４とのコンタクト抵抗を低減することができる。
【００５４】
また、本例におけるトランジスタ部７０におけるトレンチ部の間隔と、ダイオード部８０におけるエミッタトレンチ部６０の間隔とは同一である。図２に示すように、トランジスタ部７０においてゲートトレンチ部４０とダミートレンチ部３０とが交互に配置されている場合、ゲートトレンチ部４０とダミートレンチ部３０との間隔と、エミッタトレンチ部６０どうしの間隔とが同一であってよい。また、エミッタトレンチ部６０の絶縁膜６２の厚さは、ダミートレンチ部３０における絶縁膜３２の厚さと同一であってよい。また、エミッタトレンチに配置されるプラグ部３６の長さは、ダミートレンチに配置されるプラグ部３６の長さと同一であってよい。
【００５５】
図３は、図１におけるｂ−ｂ'断面の一例を示す図である。本例の半導体装置１００は、当該断面において、半導体基板１０、層間絶縁膜２６、エミッタ電極５２およびコレクタ電極２４を有する。層間絶縁膜２６は、ゲート電極５０およびエミッタ電極５２と、半導体基板１０との間に形成される。層間絶縁膜２６には、コンタクトホール５４および５５が形成される。
【００５６】
コンタクトホール５４は、半導体基板１０の表面において、エミッタ領域１２およびコンタクト領域１５の少なくとも一部を露出させる。エミッタ電極５２は、コンタクトホール５４を通過して、エミッタ領域１２およびコンタクト領域１５と接触する。
【００５７】
コンタクトホール５５は、半導体基板１０の表面において、ゲートトレンチ部４０の突出部４３の少なくとも一部を露出させる。コンタクトホール５５により露出するゲートトレンチ部４０のゲート絶縁部３７には貫通孔が形成される。ゲート電極５０は、ゲート電極５０は、コンタクトホール５５およびゲート絶縁部３７の貫通孔を通過して、ゲート導電部４４と接触する。
【００５８】
ゲート電極５０は、ゲート絶縁部３７の貫通孔を通過するプラグ部５６を有する。プラグ部５６は、図２に示したプラグ部３６と同一の材料で形成されてよい。また、プラグ部５６は、プラグ部３６と深さ方向において同一の長さを有してよい。
【００５９】
次に、図１から図３に示した半導体装置１００の製造方法の一例を説明する。ただし、半導体装置１００の製造方法は本例に限定されない。まず、ドリフト領域１８と同一の導電型（本例ではＮ−型として説明する）の半導体基板１０を準備する。
【００６０】
次に、半導体基板１０の表面に所定のパターンのエッチングマスクを設け、ゲートトレンチ部４０、ダミートレンチ部３０およびエミッタトレンチ部６０用の複数のトレンチを形成する。トレンチを形成した後、トレンチの内壁に絶縁膜を形成する。そして、トレンチの内部に導電材料を充填する。
【００６１】
次に、半導体基板の表面側からＰ型不純物を注入して、１１００度程度の温度で２時間程度の熱処理を行い、半導体基板１０の表面全体に、トレンチよりも浅いＰ型ベース領域１４を形成する。次に、半導体基板１０の表面側からＮ型不純物を注入して、ベース領域１４より深く、トレンチよりも浅いＮ型蓄積領域１６を形成する。例えば、加速電圧２．８ＭｅＶ、５．０×１０１２／ｃｍ２程度でリンをイオン注入することで、Ｎ型蓄積領域１６を形成する。
【００６２】
次に、エミッタ領域１２に対応する部分が開口したマスクを用いて、半導体基板１０の表面側からＮ型不純物を選択的に注入する。これにより、Ｐ型ベース領域１４の内部にＮ＋型エミッタ領域１２を選択的に形成する。
【００６３】
その後、半導体基板１０の表面側に層間絶縁膜２６を形成する。層間絶縁膜２６は、トレンチ内において、導電部の上方にも形成される。ゲートトレンチ内に形成された層間絶縁膜２６がゲート絶縁部３７として機能する。そして、ダミートレンチおよびエミッタトレンチの上部に形成された絶縁膜を除去して、エミッタ領域１２の側面をトレンチ内に露出させる。
【００６４】
また、ゲートトレンチ部４０の突出部４３において、ゲート絶縁部３７に貫通孔を形成する。また、層間絶縁膜２６にコンタクトホール５４およびコンタクトホール５５を形成する。そして、エミッタ電極５２およびゲート電極５０を形成する。プラグ部３６およびプラグ部５６を形成してから、半導体基板１０の表面に各電極を形成してよい。
【００６５】
次に、半導体基板１０の裏面側から例えば１．０×１０１４／ｃｍ２程度でセレンをイオン注入した後、９００度程度の温度で２時間程度の熱処理を行う。これにより、半導体基板１０の裏面側にＮ＋型のバッファ領域２０を形成する。残った半導体基板１０のＮ−型の領域がドリフト領域１８になる。拡散係数の大きいセレンを用いることで、深い位置にバッファ領域２０を形成できる。また、バッファ領域２０を形成する前に、半導体基板１０を研磨して、厚みを調整してもよい。
【００６６】
セレンのイオン注入に代えて、プロトンを異なるドーズ量で複数回イオン注入することで、Ｎ＋型バッファ領域２０を形成してもおい。これにより、不純物濃度が基板表面側から基板裏面側に向けて不純物濃度が増加するバッファ領域２０を形成できる。
【００６７】
次に、半導体基板１０の裏面側から例えば１．０×１０１３／ｃｍ２以上、４．０×１０１３／ｃｍ２以下のドーズ量でＰ型不純物をイオン注入する。これにより、半導体基板１０の裏面側に、バッファ領域２０よりも薄いＰ＋型コレクタ領域２２を形成する。Ｐ型不純物のドーズ量が１．０×１０１３／ｃｍ２未満の場合、コレクタ領域とコレクタ電極とがオーミック接合できないので、好ましくない。また、ダイオード部８０においては、カソード領域８２を形成する。そして、半導体基板１０の裏面側にコレクタ電極２４等を適宜形成する。
【００６８】
図４Ａは、ダミートレンチ部３０の周辺の構造を拡大した拡大断面図である。上述したように、ダミートレンチは、半導体基板１０の表面から、エミッタ領域１２、ベース領域１４および蓄積領域１６を貫通して形成される。
【００６９】
ダミートレンチ内には絶縁膜３２およびダミー導電部３４が形成される。ただし、ダミートレンチの半導体基板１０の表面近傍には、絶縁膜３２およびダミー導電部３４が形成されない。これにより、ダミートレンチの側壁にエミッタ領域１２の側面が露出する。
【００７０】
ダミートレンチ内の絶縁膜３２およびダミー導電部３４が形成されない領域には、エミッタ電極５２の一部であるプラグ部３６が設けられる。プラグ部３６は、ダミートレンチの側壁に露出したエミッタ領域１２と接触する。ダミートレンチの側壁に露出するエミッタ領域１２の深さ方向における長さは、エミッタ領域１２の全体の長さの半分以上であってよく、３／４以上であってもよい。また、エミッタ領域１２の深さ方向の全体が、ダミートレンチの側壁に露出してもよい。このような構成により、エミッタ電極５２とエミッタ領域１２とが接触する面積を増大させて、コンタクト抵抗を低減することができる。
【００７１】
図４Ｂは、ダミートレンチ部３０の他の構造例を示す拡大断面図である。本例のダミートレンチ部３０は、ダミートレンチの側壁にエミッタ領域１２と、ベース領域１４の少なくとも一部とが露出する。ダミートレンチの側壁には、エミッタ領域１２の側面全体と、ベース領域１４の側面の一部が露出してよい。ベース領域１４の側面は、深さ方向の長さの半分以下がダミートレンチの側壁に露出してよく、半分より大きい部分がダミートレンチの側壁に露出してよく、３／４以上が露出してもよい。また、蓄積領域１６の側面は、ダミートレンチの側壁に露出しない。
【００７２】
エミッタ電極５２は、ダミートレンチの側壁においてエミッタ領域１２およびベース領域１４と接触する。本例では、エミッタ電極５２のプラグ部３６が、エミッタ領域１２およびベース領域１４と接触する。
【００７３】
本例の半導体装置１００によれば、エミッタ領域１２がベース領域１４とも接触するので、半導体装置１００のオフ時に、ドリフト領域１８の正孔キャリアを、ベース領域１４およびエミッタ電極５２を介して引き抜くことができる。このため、半導体装置１００のスイッチング速度を向上させることができる。
【００７４】
図４Ｃは、ダミートレンチ部３０の周辺構造の他の例を示す拡大断面図である。本例のエミッタ領域１２は、エミッタ電極５２と接触する部分の少なくとも一部に、第２導電型（本例ではＰ型）の不純物がドープされたドープ領域１９を有する。本例のドープ領域１９はＰ＋型である。
【００７５】
ドープ領域１９は、ベース領域１４と接触してよい。またドープ領域１９は、ダミートレンチの側壁に露出するエミッタ領域１２の側面全体に設けられてよい。ドープ領域１９は、半導体基板１０の表面におけるエミッタ領域１２の一部にも設けられてよい。ドープ領域１９は、エミッタ電極５２を形成する前に、ダミートレンチの側壁に対して斜め方向から不純物を注入することで形成できる。
【００７６】
また、ベース領域１４がダミートレンチの側壁に露出する場合、エミッタ電極５２と接触するベース領域１４の側面にもドープ領域１９が形成されてよい。この場合、ベース領域１４は、エミッタ電極５２と接触する部分の少なくとも一部（本例ではドープ領域１９）の不純物濃度が、エミッタ電極５２と接触しない部分（本例ではドープ領域１９以外の部分）の不純物濃度より高い。
【００７７】
このような構成により、半導体装置１００のオフ時に、ドリフト領域１８の正孔キャリアを、ドープ領域１９を介して引き抜くことができる。このため、半導体装置１００のスイッチング速度を向上させることができる。
【００７８】
図５は、ａ−ａ'断面における半導体装置１００の他の構造例を示す図である。本例におけるダミートレンチ部３０のトレンチは、ゲートトレンチ部４０のトレンチよりも深い位置まで形成される。また、ダミートレンチ部３０がベース領域１４の裏面側に突出する部分は、ゲートトレンチ部４０がベース領域１４の裏面側に突出する部分よりも長い。つまり、ダミートレンチ部３０とコレクタ電極２４との距離は、ゲートトレンチ部４０とコレクタ電極２４との距離よりも短い。
【００７９】
ダミー導電部３４と、ゲート導電部４４の深さ方向における長さは同一であってよい。これにより、ダミー導電部３４とゲート導電部４４とを同一のプロセスで形成できる。また、ゲート絶縁部３７は、図５に示すように半導体基板１０の表面に形成してよく、図２に示したようにゲートトレンチ内に形成してもよい。ダミートレンチ部３０のサイズ以外の構造は、図２から図４Ｃに示したいずれかのダミートレンチ部３０と同一である。
【００８０】
また、半導体基板１０の表面側において、ゲートトレンチ部４０の開口幅Ｗ２は、ダミートレンチ部３０の開口幅Ｗ１よりも小さい。ここで開口幅とは、開口が有する幅のうち最大の幅を指してよい。開口が円形状の場合、開口幅は円形状の直径を指す。このような構成により、同一の工程でゲートトレンチ部４０およびダミートレンチ部３０のトレンチを形成することができる。
【００８１】
つまり、ダミートレンチ部３０の開口幅Ｗ１を大きくすることで、同一のエッチング工程でゲートトレンチ部４０およびダミートレンチ部３０のトレンチを形成した場合に、ダミートレンチ部３０の長さをゲートトレンチ部４０よりも長くすることができる。このため、長さの異なるゲートトレンチ部４０およびダミートレンチ部３０を容易に形成することができる。
【００８２】
本例の半導体装置１００によれば、ゲートトレンチ部４０よりも長いダミートレンチ部３０を設けることで、ＩＥ効果を高めることができる。このため、オン電圧を低減することができる。また、ゲートトレンチ部４０とコレクタ電極２４との距離を維持することができるので、コレクタゲート間容量を増大させずにＩＥ効果を高めることができる。
【００８３】
図６は、比較例に係る半導体装置２００の構成を示す図である。半導体装置２００は、トランジスタ部２７０およびダイオード部２８０を有する。また半導体装置２００の表面側には、ゲート電極２５０、エミッタ電極２５２、ゲートトレンチ部２４０、ダミートレンチ部２３０、エミッタトレンチ部２６０、ウェル領域２１７、エミッタ領域２１２、ベース領域２１４、コンタクト領域２１５、コンタクトホール２２６、２２８、２４９、２５４およびポリシリコン層２２１、２２５、２４８を有する。
【００８４】
図７は、図６におけるｃ−ｃ'断面を示す。半導体装置２００は、当該断面において、半導体基板２１０、エミッタ電極２５２、絶縁部２３８およびコレクタ電極２２４を有する。また、ゲート端子２５１がゲート導電部２４４に電気的に接続し、エミッタ端子２５３がエミッタ電極２５２に電気的に接続する。
【００８５】
半導体基板１０には、ゲートトレンチ部２４０、ダミートレンチ部２３０、エミッタトレンチ部２６０、エミッタ領域２１２、ベース領域２１４、蓄積領域２１６、ドリフト領域２１８、バッファ領域２２０、コレクタ領域２２２およびカソード領域２８２が形成される。ゲートトレンチ部２４０は絶縁膜２４２およびゲート導電部２４４を有する。ダミートレンチ部２３０は、絶縁膜２３２およびダミー導電部２３４を有する。エミッタトレンチ部２６０は、絶縁膜２６２およびエミッタ導電部２６４を有する。
【００８６】
半導体装置２００は、ダミートレンチ部２３０のトレンチの側壁にエミッタ領域２１２が露出しない。このため、エミッタ電極２５２と、エミッタ領域２１２とは、半導体基板２１０の表面でのみ接触する。半導体装置２００を微細化すると、半導体基板２１０の表面に露出するエミッタ領域２１２の面積が小さくなり、エミッタ電極２５２とエミッタ領域２１２とのコンタクト抵抗が増大してしまう。
【００８７】
また、半導体装置２００は、絶縁部２３８が半導体基板２１０の表面に形成される。この場合、ゲート導電部２４４とエミッタ電極２５２とを確実に絶縁するために、絶縁部２３８は、ゲートトレンチ部２４０よりも広い範囲を覆って設けられる。つまり、絶縁部２３８は、エミッタ領域２１２の表面の一部を覆ってしまう。このため、半導体基板２１０の表面に露出するエミッタ領域２１２の面積は更に小さくなる。従って、半導体装置２００においては、半導体装置の微細化と、低いオン電圧とを両立することが困難である。
【００８８】
これに対して図１から図５に示した半導体装置１００によれば、エミッタ電極５２が、エミッタ領域１２の表面および側面と接触することができる。このため、半導体装置１００を微細化しても、エミッタ電極５２とエミッタ領域１２とのコンタクト抵抗を十分小さくすることができる。
【００８９】
また、図２に示した半導体装置１００によれば、ゲート絶縁部３７がゲートトレンチ内に形成されるので、ゲート絶縁部３７がエミッタ領域１２の表面を覆わない。このため、エミッタ電極５２およびエミッタ領域１２との接触面積を大きくすることができる。ただし、図５に示した構成であっても、エミッタ電極５２が、エミッタ領域１２の表面および側面と接触するので、半導体装置１００を微細化しても、エミッタ電極５２とエミッタ領域１２とのコンタクト抵抗を小さくすることができる。
【００９０】
図８は、図６におけるｄ−ｄ'断面を示す。半導体装置２００は、当該断面において、半導体基板２１０、エミッタ電極２５２、ゲート電極２５０、コレクタ電極２２４、ポリシリコン層２２１、ポリシリコン層２４８および絶縁部２３８を備える。
【００９１】
ポリシリコン層２２１およびポリシリコン層２４８は、半導体基板２１０の表面に形成され、各トレンチ内の導電部と、エミッタ電極２５２またはゲート電極２５０とを接続する。半導体装置２００は、半導体基板２１０の表面に選択的にポリシリコン層２２１およびポリシリコン層２４８を有する。このため、半導体基板２１０の表面に凹凸が生じてしまい、絶縁部２３８等の半導体基板２１０の表面の上方に形成される層の形成が容易ではなくなる。
【００９２】
これに対して半導体装置１００によれば、エミッタ電極２５２およびゲート電極２５０が、各トレンチ内の導電部と直接接触するので、半導体基板１０の表面にポリシリコン層を設けなくともよい。このため、半導体基板１０の表面に凹凸を低減することができる。
【００９３】
図９は、オン電圧Ｖｏｎと、ターンオフ損失Ｅｏｆｆとの関係を示す。半導体装置２００について、オン電圧Ｖｏｎを変化させた時のターンオフ損失Ｅｏｆｆを示している。半導体装置１００について、所定のオン電圧Ｖｏｎの時のターンオフ損失Ｅｏｆｆを示している。半導体装置２００の例に示すように、オン電圧Ｖｏｎと、ターンオフ損失Ｅｏｆｆはトレードオフの関係を有する。
【００９４】
一方、半導体装置１００は、半導体装置２００に比べて上述したトレードオフの関係が改善している。これは、半導体装置１００は、半導体装置２００に比べてエミッタ電極５２およびエミッタ領域１２のコンタクト抵抗が小さく、オン電圧Ｖｏｎを小さくできるためである。
【００９５】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００９６】
なお、特許請求の範囲または明細書における「上」および「上方」と、「下」および「下方」とは、互いに逆の方向を指す。ただし、「上」および「上方」の用語は、重力方向と逆向きの方向に限定されない。また、「下」および「下方」の用語は、重力方向に限定されない。例えば、電気機器に実装された半導体装置において、ゲート電極等が、半導体基板の地面側の表面に配置されるような場合であっても、当該半導体装置が本発明に含まれうることは明らかである。
【符号の説明】
【００９７】
１０・・・半導体基板、１２・・・エミッタ領域、１４・・・ベース領域、１５・・・コンタクト領域、１６・・・蓄積領域、１７・・・ウェル領域、１８・・・ドリフト領域、１９・・・ドープ領域、２０・・・バッファ領域、２２・・・コレクタ領域、２４・・・コレクタ電極、２６・・・層間絶縁膜、３０・・・ダミートレンチ部、３２・・・絶縁膜、３４・・・ダミー導電部、３６・・・プラグ部、３７・・・ゲート絶縁部、４０・・・ゲートトレンチ部、４１・・・対向部、４２・・・絶縁膜、４４・・・ゲート導電部、４３・・・突出部、５０・・・ゲート電極、５１・・・ゲート端子、５２・・・エミッタ電極、５３・・・エミッタ端子、５４・・・コンタクトホール、５５・・・コンタクトホール、５６・・・プラグ部、６０・・・エミッタトレンチ部、６２・・・絶縁膜、６４・・・エミッタ導電部、７０・・・トランジスタ部、８０・・・ダイオード部、８２・・・カソード領域、１００・・・半導体装置、２００・・・半導体装置、２１０・・・半導体基板、２１２・・・エミッタ領域、２１４・・・ベース領域、２１５・・・コンタクト領域、２１６・・・蓄積領域、２１７・・・ウェル領域、２１８・・・ドリフト領域、２２０・・・バッファ領域、２２１・・・ポリシリコン層、２２２・・・コレクタ領域、２２４・・・コレクタ電極、２２５・・・ポリシリコン層、２２６・・・コンタクトホール、２２８・・・コンタクトホール、２３０・・・ダミートレンチ部、２３２・・・絶縁膜、２３４・・・ダミー導電部、２３８・・・絶縁部、２４０・・・ゲートトレンチ部、２４２・・・絶縁膜、２４４・・・ゲート導電部、２４８・・・ポリシリコン層、２４９・・・コンタクトホール、２５０・・・ゲート電極、２５１・・・ゲート端子、２５２・・・エミッタ電極、２５３・・・エミッタ端子、２５４・・・コンタクトホール、２６０・・・エミッタトレンチ部、２６２・・・絶縁膜、２６４・・・エミッタ導電部、２７０・・・トランジスタ部、２８０・・・ダイオード部、２８２・・・カソード領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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