(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造チャンバーと、
工程を行う際に前記半導体製造チャンバー内部を真空に形成することができるターボポンプと、
前記ターボポンプと連結されて空気を外部へと排出する排出管と、
前記半導体製造チャンバーと連通するように前記排出管とは別に前記半導体製造チャンバーに連結されるバイパス管と、
前記排出管と前記バイパス管が連結されたアイソバルブ（ｉｓｏ  ｖａｌｖｅ）と、
前記半導体製造チャンバー内の初期真空形成のために前記バイパス管の上端に設けられたラフィングバルブ（ｒｏｕｇｈｉｎｇ  ｖａｌｖｅ）と、
前記半導体製造チャンバー内の初期真空形成のために前記半導体製造チャンバーと連通するように備えられ、前記ラフィングバルブが設けられた前記バイパス管と連通しつつ前記バイパス管から延長された形態をするヒューム排気管と、
前記ヒューム排気管の上端に設けられて前記ヒューム排気管を開閉することができるヒューム排気管開閉バルブと、
前記ヒューム排気管に連結されて前記ヒューム排気管に真空を形成することができる真空ポンプと、
前記ヒューム排気管開閉バルブ及び前記真空ポンプの作動を制御することができる制御部材と、を含み、
前記半導体製造チャンバー内のヒューム除去が必要となる場合、前記制御部材は前記ヒューム排気管開閉バルブを開けて前記ヒューム排気管を開放すると同時に、前記真空ポンプを作動させて前記ヒューム排気管内を真空に形成することによって、前記半導体製造チャンバー内のヒュームが前記ヒューム排気管に沿って流れ込まれた後、外部へと排出され、
前記ラフィングバルブを閉じることにより前記半導体製造チャンバーの真空形成のための前記排出管とは遮断されて直接に前記半導体製造チャンバーから前記ヒューム排気管を経て排気が行われることを特徴とする半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置。
【請求項２】
前記半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置は、前記半導体製造チャンバーを開閉するチャンバー蓋の開閉を行うか否かを感知する蓋開閉感知部材を含み、
前記蓋開閉感知部材において前記チャンバー蓋が開けられたと感知する場合、前記制御部材が前記真空ポンプを作動させることを特徴とする請求項１記載の半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置。
【請求項３】
半導体製造チャンバーと、
工程を行う際に前記半導体製造チャンバー内部を真空に形成することができるターボポンプと、
前記ターボポンプと連結されて空気を外部へと排出する排出管と、
前記半導体製造チャンバーと連通するように前記排出管とは別に前記半導体製造チャンバーに連結されるバイパス管と、
前記排出管と前記バイパス管が連結されたアイソバルブ（ｉｓｏ  ｖａｌｖｅ）と、
前記半導体製造チャンバー内の初期真空形成のために前記バイパス管の上端に設けられたラフィングバルブ（ｒｏｕｇｈｉｎｇ  ｖａｌｖｅ）と、
前記半導体製造チャンバー内の初期真空形成のために前記半導体製造チャンバーと連通するように備えられ、前記ラフィングバルブが設けられた前記バイパス管と連通しつつ前記バイパス管から延長された形態をするヒューム排気管と、
前記ヒューム排気管の上端に設けられて、外力によって手動作動しつつ前記ヒューム排気管を開閉することができるマニュアルバルブと、
前記マニュアルバルブの作動を行うか否かを感知するマニュアルバルブ作動感知部材と、
前記ヒューム排気管に連結され前記ヒューム排気管に真空を形成することができる真空ポンプと、
前記真空ポンプの作動を制御することができる制御部材と、を含み、
前記マニュアルバルブが前記マニュアルバルブ作動感知部材によって前記ヒューム排気管を開けると感知する場合、前記制御部材は前記真空ポンプを作動させ前記ヒューム排気管内を真空に形成し、それにより前記半導体製造チャンバー内のヒュームが前記ヒューム排気管に沿って流れ込まれた後、外部へと排出され、
前記ラフィングバルブを閉じることにより前記半導体製造チャンバーの真空形成のための前記排出管とは遮断されて直接に前記半導体製造チャンバーから前記ヒューム排気管を経て排気が行われることを特徴とする半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置。
【請求項４】
前記半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置は、前記半導体製造チャンバーを開閉するチャンバー蓋の開閉を行うか否かを感知する蓋開閉感知部材を含み、
前記蓋開閉感知部材において前記チャンバー蓋が開けられたと感知する場合に、前記制御部材は前記真空ポンプを作動させることを特徴とする請求項３記載の半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置。
【請求項５】
半導体製造チャンバーと、
工程を行う際に前記半導体製造チャンバー内部を真空に形成することができるターボポンプと、
前記ターボポンプと連結されて空気を外部へと排出する排出管と、
前記半導体製造チャンバーと連通するように前記排出管とは別に前記半導体製造チャンバーに連結されるバイパス管と、
前記排出管と前記バイパス管が連結されたアイソバルブ（ｉｓｏ  ｖａｌｖｅ）と、
前記半導体製造チャンバー内の初期真空形成のために前記バイパス管の上端に設けられたラフィングバルブ（ｒｏｕｇｈｉｎｇ  ｖａｌｖｅ）と、
前記半導体製造チャンバー内の初期真空形成のために前記半導体製造チャンバーと連通するように備えられ、前記ラフィングバルブが設けられた前記バイパス管と連通しつつ前記バイパス管から延長された形態をするヒューム排気管と、
前記ヒューム排気管の上端に設けられて前記ヒューム排気管を開閉することができるヒューム排気管開閉バルブと、
前記ヒューム排気管に連結されて前記ヒューム排気管に真空を形成することができる真空ポンプと、
前記ヒューム排気管開閉バルブ及び前記真空ポンプの作動を制御することができる制御部材と、
前記半導体製造チャンバーを開閉するチャンバー蓋の開閉を行うか否かを感知する蓋開閉感知部材と、
前記半導体製造チャンバー内部の圧力を感知する圧力感知部材と、を含み、
前記半導体製造チャンバー内のヒューム除去が必要となる場合、前記制御部材は前記ヒューム排気管開閉バルブを開けて前記ヒューム排気管を開放すると同時に、前記真空ポンプを作動して前記ヒューム排気管内を真空に形成し、それにより前記半導体製造チャンバー内のヒュームが前記ヒューム排気管に沿って流れ込まれた後、外部へと排出され、
前記蓋開閉感知部材において前記チャンバー蓋が開けられたと感知すると同時に、前記圧力感知部材において前記半導体製造チャンバー内部の圧力が大気圧になったと感知する場合に、前記制御部材は前記ヒューム排気管の開放及び前記真空ポンプの作動を行い、
前記ラフィングバルブを閉じることにより前記半導体製造チャンバーの真空形成のための前記排出管とは遮断されて直接に前記半導体製造チャンバーから前記ヒューム排気管を経て排気が行われることを特徴とする半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置。
【請求項６】
前記半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置は、前記ヒューム排気管の上端に設けられて、前記半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置が誤作動する際に前記ヒューム排気管を閉鎖することができるマニュアルバルブを含むことを特徴とする請求項５記載の半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体を製造するための装備には、各工程を行うための半導体製造チャンバーが設けられており、このような半導体製造チャンバーの内部には工程を行うための各種ガスが注入される。
工程が完了した後は半導体製造チャンバーの内部に各種副産物が残存するため、このような各種副産物は悪臭や各種毒性を含んでいる。
作業者が半導体製造チャンバー内部のクリーニング、若しくは半導体製造チャンバー内部のメンテナンスなどを行うために、半導体製造チャンバーを蓋うチャンバー蓋（ｃｈａｍｂｅｒ  ｌｉｄ）を開ける際、半導体製造チャンバーの内部にあった各種副産物のヒューム（ｆｕｍｅ）が空気との接触によって反応が促進されさらに多量発生する。
【０００３】
このようなヒュームは人体に各種癌を誘発する恐れのある発癌物質として大変危険なものであるにも拘わらず、従来の半導体製造チャンバーにはこのようなヒューム除去のための構造がきちんと備えられておらず、作業者が致命的なヒュームにそのまま晒されるという問題があった。また、このような理由で作業者が必ずマスク、保護服などの保護装備を着用しなければならないという不便さがあること、ヒュームによって周辺が汚染されることのような問題は相変わらず解決できていない。
かかる問題を解決すべく、チャンバー蓋を開けた後、別途の局所排気装置と接続されたフードを半導体製造チャンバーでチャンバー蓋が開けられた箇所に取り付け、該局所排気装置を用いてヒュームを除去したこともあった。
【０００４】
しかし、このような従来の方式によれば、半導体製造チャンバーの内部に対するクリーニング、メンテナンス作業などのためには局所排気装置と接続されたフードを除去しなければならないが、この際、半導体製造チャンバーの内部などに残留していたヒュームが外部へと流出されるため、作業者の人体に悪影響を与えると同時に環境を汚染させるという問題がある。また、そのような作業時ごとに局所排気装置を備えて取付けなければならないし、使用完了後には再び分離して片付けしなければならないので、局所排気装置が作動して実質的にヒュームが除去される時間に比して、その前後の取付けや解体作業に多量の時間が所要してしまうという問題があった。
尚、クリーニング及びメンテナンス作業などが行われるスペースが大体狭いため、局所排気装置まで設置されると作業者にむしろ邪魔になる恐れがあることは勿論、局所排気装置を移動させるのに不便である。
更に、局所排気装置の破損、不良、故障などによる維持コストが増加すること、局所排気装置自体の体積が大きいため保管に不便であることのような短所がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、半導体製造チャンバーにおいて、迅速、簡単、且つ信頼性を有してヒュームを除去することができる半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面に係る半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置は、半導体製造チャンバーと、工程を行う際に前記半導体製造チャンバー内部を真空に形成することができるターボポンプと、前記ターボポンプと連結されて空気を外部へと排出する排出管と、前記半導体製造チャンバーと連通するように前記排出管とは別に前記半導体製造チャンバーに連結されるバイパス管と、前記排出管と前記バイパス管が連結されたアイソバルブ（ｉｓｏ  ｖａｌｖｅ）と、前記半導体製造チャンバー内の初期真空形成のために前記バイパス管の上端に設けられたラフィングバルブ（ｒｏｕｇｈｉｎｇ  ｖａｌｖｅ）と、前記半導体製造チャンバー内の初期真空形成のために前記半導体製造チャンバーと連通するように備えられ、前記ラフィングバルブが設けられた前記バイパス管と連通しつつ該バイパス管から延長された形態をするヒューム排気管と、前記ヒューム排気管の上端に設けられて前記ヒューム排気管を開閉することができるヒューム排気管開閉バルブと、前記ヒューム排気管に連結されて前記ヒューム排気管に真空を形成することができる真空ポンプと、前記ヒューム排気管開閉バルブ及び前記真空ポンプの作動を制御することができる制御部材と、を含み、前記半導体製造チャンバー内のヒューム除去が必要となる場合、前記  制御部材は前記ヒューム排気管開閉バルブを開けて前記ヒューム排気管を開放すると同時に、前記真空ポンプを作動させて前記ヒューム排気管内を真空に形成することによって、前記半導体製造チャンバー内のヒュームが前記ヒューム排気管に沿って流れ込んだ後、外部へと排出され、前記ラフィングバルブを閉じることにより前記半導体製造チャンバーの真空形成のための前記排出管とは遮断されて直接に前記半導体製造チャンバーから前記ヒューム排気管を経て排気が行われることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明は、半導体製造チャンバーと、工程を行う際に前記半導体製造チャンバー内部を真空に形成することができるターボポンプと、前記ターボポンプと連結されて空気を外部へと排出する排出管と、前記半導体製造チャンバーと連通するように前記排出管とは別に前記半導体製造チャンバーに連結されるバイパス管と、前記排出管と前記バイパス管が連結されたアイソバルブ（ｉｓｏ  ｖａｌｖｅ）と、前記半導体製造チャンバー内の初期真空形成のために前記バイパス管の上端に設けられたラフィングバルブ（ｒｏｕｇｈｉｎｇ  ｖａｌｖｅ）と、前記半導体製造チャンバー内の初期真空形成のために該半導体製造チャンバーと連通するように備えられ、前記ラフィングバルブが設けられた前記バイパス管と連通しつつ該バイパス管から延長された形態をするヒューム排気管と、前記ヒューム排気管の上端に設けられ、外力によって手動作動しつつ前記ヒューム排気管を開閉することができるマニュアルバルブと、前記マニュアルバルブの作動可否を感知するマニュアルバルブ作動感知部材と、前記ヒューム排気管に連結されて前記ヒューム排気管に真空を形成することができる真空ポンプと、前記真空ポンプの作動を制御することができる制御部材と、を含み、前記マニュアルバルブが前記ヒューム排気管を開けることで前記マニュアルバルブ作動感知部材によって感知されると、前記制御部材は前記真空ポンプを作動させて前記ヒューム排気管内を真空に形成し、それにより、前記半導体製造チャンバー内のヒュームが前記ヒューム排気管に沿って流れ込まれた後、外部へと排出され、前記ラフィングバルブを閉じることにより前記半導体製造チャンバーの真空形成のための前記排出管とは遮断されて直接に前記半導体製造チャンバーから前記ヒューム排気管を経て排気が行われるようにすることを特徴とする。
【０００８】
さらに、本発明は、半導体製造チャンバーと、工程を行う際に前記半導体製造チャンバー内部を真空に形成することができるターボポンプと、前記ターボポンプと連結されて空気を外部へと排出する排出管と、前記半導体製造チャンバーと連通するように前記排出管とは別に前記半導体製造チャンバーに連結されるバイパス管と、前記排出管と前記バイパス管が連結されたアイソバルブ（ｉｓｏ  ｖａｌｖｅ）と、前記半導体製造チャンバー内の初期真空形成のために前記バイパス管の上端に設けられたラフィングバルブ（ｒｏｕｇｈｉｎｇ  ｖａｌｖｅ）と、前記半導体製造チャンバー内の初期真空形成のために前記半導体製造チャンバーと連通するように備えられ、前記ラフィングバルブが設けられた前記バイパス管と連通しつつ前記バイパス管から延長された形態をするヒューム排気管と、前記ヒューム排気管の上端に設けられて前記ヒューム排気管を開閉することができるヒューム排気管開閉バルブと、前記ヒューム排気管に連結されて前記ヒューム排気管に真空を形成することができる真空ポンプと、前記ヒューム排気管開閉バルブ及び前記真空ポンプの作動を制御することができる制御部材と、前記半導体製造チャンバーを開閉することができるチャンバー蓋の開閉を行うか否かを感知する蓋開閉感知部材と、前記半導体製造チャンバー内部の圧力を感知する圧力感知部材と、を含み、前記半導体製造チャンバー内のヒューム除去が必要となる場合、前記制御部材は前記ヒューム排気管開閉バルブを開けて前記ヒューム排気管を開放すると同時に、前記真空ポンプを作動させて前記ヒューム排気管内を真空に形成し、それにより前記半導体製造チャンバー内のヒュームが前記ヒューム排気管に沿って流れ込まれた後、外部へと排出され、前記蓋開閉感知部材で前記チャンバー蓋が開けられたと感知される場合、且つ前記圧力感知部材で前記半導体製造チャンバー内部の圧力が大気圧になったと感知される場合に、前記制御部材は前記ヒューム排気管の開放及び前記真空ポンプの作動を行い、前記ラフィングバルブを閉じることにより前記半導体製造チャンバーの真空形成のための前記排出管とは遮断されて直接に前記半導体製造チャンバーから前記ヒューム排気管を経て排気が行われることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一側面に係る半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置によれば、半導体製造チャンバー内のヒューム除去が必要となる場合、ヒューム排気管の開放及び真空ポンプの作動が行われ、半導体製造チャンバー内部のヒュームがヒューム排気管を介して外部へと排出できるようになることによって、半導体製造チャンバーで迅速、簡単、且つ信頼性を有してヒュームを除去することができ、それにより半導体製造チャンバーの内部に接近せざるを得ない作業者がヒュームと接触せずに安全に作業を行うことができるようになる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施例に係る半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置における構成を示す概略図である。
【図２】本発明の第１実施例に係る半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置におけるマニュアルバルブを示す図である。
【図３】本発明の第２実施例に係る半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置における構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施例に係る半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置について説明する。
図１は、本発明の第１実施例に係る半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置における構成を示す概略図であり、図２は本発明の第１実施例に係る半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置におけるマニュアルバルブを示す図である。
図１及び図２に示す通り、本実施例の一側面に係る半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置１００は、ヒューム排気管１１０、ヒューム排気管開閉バルブ１２０、真空ポンプ１３０、制御部材１４０を含む。
【００１２】
符号１０は、半導体製造チャンバーであり、符号１１は前記  半導体製造チャンバー１０の上端を開閉することができるチャンバー  蓋であり、符号４０は工程を行う際に半導体製造チャンバー１０内部を真空に形成することができるターボポンプであり、符号２０はターボポンプ４０と連結されて空気を外部へと排出する排出管であり、符号３０は半導体製造チャンバー１０と連通するように排出管２０とは別に半導体製造チャンバー１０に連結されるバイパス管であり、符号５０は排出管２０とバイパス管３０が連結されたアイソバルブ（ｉｓｏ  ｖａｌｖｅ）であり、符号６０は半導体製造チャンバー１０内の初期真空形成のためにバイパス管３０の上端に設けられたラフィングバルブ（ｒｏｕｇｈｉｎｇ  ｖａｌｖｅ）である。
【００１３】
ここで、チャンバー蓋１１が半導体製造チャンバー１０の上端を開閉するものを提示するが、これは例示的なものであって、チャンバー蓋１１は半導体製造チャンバー１０の側面など他の部分を開閉するように構成しても良いし、一度に半導体製造チャンバー１０の上端、側面など複数の部分を一緒に開閉しても良い。
ヒューム排気管１１０はバイパス管３０と連通しつつバイパス管３０から延長された形態を有する。
ヒューム排気管開閉バルブ１２０はヒューム排気管１１０上端に設けられて該ヒューム排気管１１０を開閉することができるものであって、エアバルブなどがその例として挙げられる。
真空ポンプ１３０はヒューム排気管１１０に連結されてヒューム排気管１１０に真空を形成することができる。
【００１４】
制御部材１４０はヒューム排気管開閉バルブ１２０と真空ポンプ１３０の作動を制御することができる。
尚、前記半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置１００は、半導体製造チャンバー１０を開閉するチャンバー蓋１１の開閉を行うか否かを感知する蓋開閉感知部材１５０を含む。
前記のように構成すると、蓋開閉感知部材１５０でチャンバー蓋１１が開けられたと感知される場合に、制御部材１４０は半導体製造チャンバー１０内のヒューム除去が必要となる場合と判断し、ヒューム排気管１１０の開放及び真空ポンプ１３０の作動を行うことができる。
尚、半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置１００は、半導体製造チャンバー１０内部の圧力を感知する圧力感知部材１６０をさらに含むことができる。
【００１５】
上記のように構成すると、圧力感知部材１６０で半導体製造チャンバー１０内部の圧力が大気圧になったと感知される場合に、制御部材１４０は半導体製造チャンバー１０内のヒューム除去が必要となると判断し、ヒューム排気管１１０の開放、及び真空ポンプ１３０の作動を行うことができる。
ここで、半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置１００は、蓋開閉感知部材１５０と圧力感知部材１６０を両方含むことができる。
蓋開閉感知部材１５０でチャンバー蓋１１が開けられたと感知されると同時に、圧力感知部材１６０で半導体製造チャンバー１０内部の圧力が大気圧になったと感知される場合に、制御部材１４０は半導体製造チャンバー１０内のヒューム除去が必要となったと判断し、ヒューム排気管１１０の開放、及び真空ポンプ１３０の作動を行うことができる。
【００１６】
詳しくは、制御部材１４０はヒューム排気管開閉バルブ１２０を開けてヒューム排気管１１０を開放すると同時に、真空ポンプ１３０を作動させてヒューム排気管１１０内を真空に形成する。それにより、ヒューム排気管１１０と順次に連通したバイパス管３０及び半導体製造チャンバー１０が順次真空化され、その後、半導体製造チャンバー１０内のヒュームがヒューム排気管１１０に沿って流れ込み、ヒューム排気管１１０を通過して流動された後、外部へと排出できるようになる。
このように、半導体製造チャンバー１０内のヒューム除去が必要となる場合、ヒューム排気管１１０の開放、及び真空ポンプ１３０の作動が行われ、半導体製造チャンバー１０内部のヒュームがヒューム排気管１１０を介して外部へと排出できるようになることによって、半導体製造チャンバー１０において迅速、簡単に、且つ信頼性を有するようにヒュームを除去することができるようになる。
【００１７】
それにより半導体製造チャンバー１０の内部に接近せざるを得ない作業者がヒュームと接触せずに安全に作業を行うことができるようになる。
ここで、チャンバー蓋１１が開けられた場合に半導体製造チャンバー１０内のヒュームを除去するためのヒューム排気管１１０の開放、及び真空ポンプ１３０の作動が行われるとしたが、これに限定されるわけではなく、チャンバー蓋１１が閉鎖された場合にも同じく適用されてヒューム除去が可能である。
一方、本実施例の他の側面に係る半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置１００はヒューム排気管１１０、マニュアルバルブ（ｍａｎｕａｌ  ｖａｌｖｅ）１２５、マニュアルバルブ作動感知部材１２８、真空ポンプ１３０、及び制御部材１４０を含む。
【００１８】
符号１２９は信号ケーブルである。
マニュアルバルブ１２５はヒューム排気管１１０の上端に設けられて、外力によって手動作動しつつヒューム排気管１１０を開閉することができる。
マニュアルバルブ１２５はヒューム排気管１１０を開閉することができる遮断板（図示せず）などが設けられたマニュアルバルブ本体１２６、ヒューム排気管１１０を開閉するためのマニュアルバルブ本体１２６の遮断板などが移動可能にマニュアルバルブ本体１２６の上端で作業者の外力（手で握って与える外力）によって回転できるバルブレバー１２７を含む。
マニュアルバルブ作動感知部材１２８は、マニュアルバルブ１２５の作動を行うか否かを感知するものであり、信号ケーブル１２９はマニュアルバルブ作動感知部材１２８と制御部材１４０の間を信号伝達のために連結するものである。
【００１９】
マニュアルバルブ作動感知部材１２８には、例示的にスイッチタイプの感知センサを提示しても良い。前記スイッチタイプの感知センサの例には、マニュアルバルブ本体１２６に固定されるセンサ本体と前記センサ本体の上部から突出し、さらに弾性を有しているためバルブレバー１２７によって押さえられた状態で弾性力を蓄積していた後、バルブレバー１２７が回転によって上昇すると同時に元の状態に復元される金属棒を備えた一般的なスイッチタイプの感知センサが用いられ、金属棒が元の状態に復元されると信号ケーブル１２９を介してバルブレバー１２７の作動を感知したことを知らせる信号を伝達する。
【００２０】
バルブレバー１２７が作業者によって正回転して上昇する場合、マニュアルバルブ１２５がマニュアルバルブ作動感知部材１２８によってヒューム排気管１１０を開けると感知し、該感知信号が信号ケーブル１２９を介して制御部材１４０に伝達されると、制御部材１４０は真空ポンプ１３０を作動させヒューム排気管１１０内を真空に形成し、それにより半導体製造チャンバー１０内のヒュームがヒューム排気管１１０に沿って流れ込まれた後、外部へと排出されるようにする。
一方、バルブレバー１２７が作業者によって逆回転して下降する場合、マニュアルバルブ１２５がマニュアルバルブ作動感知部材１２８によってヒューム排気管１１０を閉めると感知し、その感知信号が信号ケーブル１２９を介して制御部材１４０に伝達されると、制御部材１４０は真空ポンプ１３０の作動を停止するようにする。
【００２１】
このように、マニュアルバルブ１２５の操作によってヒューム排気管１１０が手動で開閉されるが、その開閉を行うか否かがマニュアルバルブ作動感知部材１２８によって感知され、その感度に応じて真空ポンプ１３０の作動が制御され、そのためシンプルな構造でもヒューム除去を効率的に除去することが可能である。
ここで、マニュアルバルブ作動感知部材１２８においてマニュアルバルブ１２５がヒューム排気管１１０を開けると感知し、且つ蓋開閉感知部材１５０においてチャンバー蓋１１が開けられたと感知する場合に、制御部材１４０が真空ポンプ１３０の作動を行うように構成しても良い。
一方、マニュアルバルブ１２５は半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置１００が誤作動する際にもヒューム排気管１１０を開閉しても良い。例えば、半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置１００の誤作動が発生する場合、作業者がマニュアルバルブ１２５を閉めることができる。
ここで、マニュアルバルブ１２５及び真空ポンプ１３０はユニットで一体化しても良いし、真空ポンプ１３０のみ別途に取り外しができるように適用しても良い。
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の他の実施例に係る半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置について説明する。かかる説明を行うに当たって本発明の第１実施例において予め記載した内容及び重複説明はそれに譲り、ここでは省略する。
図３は本発明の第２実施例に係る半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置における構成を示す概略図である。
図３に示す通り、本実施例では、マニュアルバルブ２２５ではなくヒューム排気管開閉バルブ２２０が真空ポンプ２３０とユニットで一体化になるように構成する。
【００２３】
前述した本発明は特定の実施例に関して図示して説明したが、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、以下の特許請求の範囲に記載の本発明の本質的な特性から外れない範囲で多様な修正及び変形が可能である。しかし、このような技術的思想は本発明の権利範囲に含まれるものと解釈すべきである。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明の一側面による半導体製造チャンバー用のヒューム除去装置によれば、半導体製造チャンバーで迅速、簡単に、且つ信頼性を有してヒュームを除去することができるので、その産業上の利用可能性が高いと言える。
【符号の説明】
【００２５】
１０  半導体製造チャンバー
１１  チャンバー  蓋
２０  排出管
３０  バイパス管
４０  ターボポンプ
５０  アイソバルブ（ｉｓｏ  ｖａｌｖｅ）
６０  ラフィングバルブ（ｒｏｕｇｈｉｎｇ  ｖａｌｖｅ）
１００  ヒューム除去装置
１１０  ヒューム排気管
１２０  ヒューム排気管開閉バルブ
１２５  マニュアルバルブ（ｍａｎｕａｌ  ｖａｌｖｅ）
１２６  マニュアルバルブ本体
１２７  バルブレバー
１２８  マニュアルバルブ作動感知部材
１２９  信号ケーブル
１３０  真空ポンプ
１４０  制御部材
１５０  蓋開閉感知部材
１６０  圧力感知部材
２２０  ヒューム排気管開閉バルブ
２２５  マニュアルバルブ
２３０  真空ポンプ
【図１】
0006505209.tif 000002
【図２】
0006505209.tif 000003
【図３】
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