(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング内に、少なくとも一方端部及び他方端部の間の中央部が多孔質体からなるパイプ状の多孔質パイプを有し、上記ハウジング内で上記多孔質パイプの外部から気体を供給して、上記多孔質パイプ内を流れる液体中に上記気体の微小気泡を発生させる微小気泡発生装置であって、
上記多孔質パイプと上記ハウジングとの間に溜まった貯留液体を、上記ハウジング外に排出する排出部を備え、
上記排出部は、
上記貯留液体の排出を開閉する排出バルブを有し、
前記多孔質パイプよりも下方における、前記貯留液体の量を検知する液体センサを有する
微小気泡発生装置。
【請求項２】
請求項１に記載の微小気泡発生装置であって、
前記排出部は、
前記ハウジングの底部から下方に延びる形態を有する
微小気泡発生装置。
【請求項３】
請求項２に記載の微小気泡発生装置であって、
前記ハウジングは、
前記貯留液体が、前記排出部に集まる形態にされてなる
微小気泡発生装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の微小気泡発生装置であって、
前記液体センサを、前記排出部に設けてなる
微小気泡発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体中に微小気泡を発生させる微小気泡発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロバブル、ナノバブルと呼ばれる微小気泡を用いた技術の有用性が注目されている。例えば、微小気泡を含む液体を用いた洗浄技術、水の除菌及び脱臭、オゾン水の生成、健康・医療機器分野や、湖沼や養殖場の水質浄化、工場・畜産等の各種排水処理、及び、水素水などの機能水製造などへの利用が検討されている。
【０００３】
このようなマイクロバブル，ナノバブルを発生させる装置として、種々の構造を有する装置が提案されている（例えば、特許文献１〜３等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２２４４６１号公報
【特許文献２】特開２０１３−３４９７６号公報
【特許文献３】特開２００９−１０１２９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような装置として、ハウジング内に多孔質パイプを保持し、この多孔質パイプ内に液体を流すと共に、多孔質パイプ外に気体を供給して、液体内に微小気泡を発生させる微小気泡発生装置も考えられる。この形態の微小気泡発生装置では、多孔質パイプ内の液体の液圧に対し、多孔質パイプ外の気体の気圧を大きくして、液体中に気体の微小気泡を生成する。
【０００６】
しかし、液圧と気圧との差圧（＝圧力差＝気圧−液圧）が小さくなった場合や、差圧が逆転した場合、即ち、気圧が低下するなどにより液圧が気圧よりも高くなった場合には、多孔質パイプ内から液体がパイプ外に漏れ出し、ハウジング内に溜まることがある。なお、多孔質パイプからの液体の漏れは、気圧を回復させるなど、液圧と気圧との差圧を所定の状態に戻せば止まり、再び液中に微小気泡を発生させることができる。ハウジングのうち、保持する多孔質パイプをシールするシール部から、液体がハウジング内に漏れる場合もある。
そして、多孔質パイプとハウジングとの間に溜まった貯留液体の液量が多い場合には、多孔質パイプが液中に没して、微小気泡の発生量が低下したり発生不能となる場合がある。このような場合には、微小気泡発生装置を取り外して分解し、ハウジング内に溜まった液体を除去した上で、再び組み立てる必要があり、手間が掛かる上、微小気泡発生装置の稼働を停止させる時間が長く掛かっていた。
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、ハウジングと多孔質パイプの間に溜まった貯留液体を容易に排出できる微小気泡発生装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明の一態様は、ハウジング内に、少なくとも一方端部及び他方端部の間の中央部が多孔質体からなるパイプ状の多孔質パイプを有し、上記ハウジング内で上記多孔質パイプの外部から気体を供給して、上記多孔質パイプ内を流れる液体中に上記気体の微小気泡を発生させる微小気泡発生装置であって、上記多孔質パイプと上記ハウジングとの間に溜まった貯留液体を、上記ハウジング外に排出する排出部を備え、上記排出部は、上記貯留液体の排出を開閉する排出バルブを有し、前記多孔質パイプよりも下方における、前記貯留液体の量を検知する液体センサを有する微小気泡発生装置である。
【０００９】
この微小気泡発生装置は、排出バルブを有し貯留液体を排出する排出部を備える。このため、排出バルブを閉じた状態で、ハウジング内を気密にして気体を供給し、多孔質パイプ内に液体を流すことで、通常通り多孔質パイプを介して、液体中に気体の微小気泡を発生させることができる。一方、液体が、多孔質パイプからパイプ外に染み出したり、多孔質パイプとハウジングとのシール部から漏れ出したりして、ハウジング内に貯留液体として溜まったときには、排出バルブを開放することで、排出部から貯留液体を容易に外部に排出することができる。
また、微小気泡発生装置において、多孔質パイプの一部あるいは全部が貯留液体に没すると、多孔質パイプを流れる液体に発生する微小気泡が減少する、あるいは発生不能となる。
これに対し、上述の微小気泡発生装置では上述の液体センサを有するので、貯留液体が増加しても、液体センサで多孔質パイプが貯留液体に没する前の段階で、貯留液体の量を検知できる。
これにより、多孔質パイプの一部あるいは全部が貯留液体に没して、多孔質パイプを流れる液体に発生する微小気泡が減少する前に、貯留液体を排出することができる。
【００１０】
多孔質パイプは、この多孔質パイプのうち、少なくとも一方端部と他方端部の間の中央部（長手方向の中央部）が、多孔質体、具体的には、互いに三次元網目状に連結した多数の通気路を構成する多孔質体からなる。例えば、多孔質パイプ全体が多孔質セラミックスなどの多孔質体からなる多孔質パイプが挙げられる。
また、中央部（長手方向の中央部）が多孔質体からなる一方、一方端部及び他方端部は緻密質の材質からなる多孔質パイプや、管状の多孔質パイプ全体が多孔質体からなるが、一方端部及び他方端部については、ガラス、樹脂、溶融金属などを含浸させることより、気孔を塞いで通気性を無くした多孔質パイプも挙げられる。
【００１１】
また、多孔質体としては、例えば、アルミナ、チタニア、シリカ、ムライト、ジルコニアなどの酸化物セラミックスや、窒化ケイ素などの窒化物セラミックス、炭化ケイ素などの炭化物セラミックスなどからなる多孔質セラミックスが挙げられる。また、ステンレス、アルミニウム、銅合金、ニッケル合金、チタン合金等の金属からなる多孔質金属も用いうる。
多孔質体の細孔径Ｄが、Ｄ（１０）≦２μｍの多孔質体を用いると、効率よく、直径１μｍ以下の微小気泡を効率よく生成して、液中にこの微小気泡を吹き込むことができるので特に好ましい。なお、細孔径分布の測定手法としては、例えば、水銀圧入法を用いる。Ｄ（１０）は、得られた累積細孔径分布曲線において、細孔容積全体のうち大径側の上位１０％を占める細孔径である。
【００１２】
多孔質パイプの形状としては、円管状、角管状など、軸線方向に亘り横断面の形状が変化しない形態のほか、円錐台状、角錐台状など、軸線方向の一方側ほどテーパ状に窄まる形態や、軸線方向に進むに連れて径が周期的に変化する形状であっても良い。また、軸線が直線状に延びる直管状の形態のほか、軸線がＵ字状や蛇行状やらせん状に曲がった形態であっても良い。さらに、多孔質パイプは、内部に貫通穴を１本設けた単管状のほか、多数の貫通孔を設けた多穴管状でも良い。また、多孔質パイプは、１本でも複数本でも良い。
また、排出バルブとしては、バタフライ弁、ボール弁、ダイヤフラム弁など液体操作に使用する各種の弁を使用することができる。また、手動で開閉する手動バルブのほか、電気的に開閉を行わせる電磁弁も用いることができる。
【００１３】
また、微小気泡を含ませる液体としては、純水、飲料水、海水、各種の培養液、各種の水溶液、各種の汚水などの水系の液体や、有機溶媒、食用油や鉱物油などの油類、その他各種の液体が挙げられる。また、液体に微小気泡として含ませる気体としては、空気、酸素、オゾン、塩素ガス、水素、窒素、二酸化炭素など各種の気体が挙げられる。
また、液体センサとしては、多孔質パイプとハウジングとの間に溜まった貯留液体の量を検知できるように設置された液体センサであれば良く、例えば、フロート式、光学式、超音波式、静電容量式、電導率式、ピエゾ共振式、音叉式など、貯留液体の液面が所定位置に達したか否かを検知する各種の液面センサ(液面スイッチ）を用いることができる。
【００１４】
さらに、上述の微小気泡発生装置であって、前記排出部は、前記ハウジングの底部から下方に延びる形態を有する微小気泡発生装置とすると良い。
【００１５】
この微小気泡発生装置では、排出部がハウジングの底部から下方に延びているので、貯留液体を効果的に排出することができる。
【００１６】
さらに上述の微小気泡発生装置であって、前記ハウジングは、前記貯留液体が、前記排出部に集まる形態にされてなる微小気泡発生装置とすると良い。
【００１７】
この微小気泡発生装置では、ハウジングが、貯留液体が排出部に集まる形態とされているので、排出バルブを開けることにより、多孔質パイプとハウジングとの間に溜まった貯留液体の全部を、容易に排出できる。
【００２１】
さらに上述の微小気泡発生装置であって、前記液体センサを、前記排出部に設けてなる微小気泡発生装置とすると良い。
【００２２】
この微小気泡発生装置では、排出部に液体センサを設けたので、ハウジングに液体センサを設ける場合に比して、液体センサの設置が容易である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施形態に係る微小気泡発生装置を使用して微小気泡含有液体を製造する製造装置の概略構成を示す説明図である。
【図２】実施形態に係る微小気泡発生装置のうち、装置本体部の縦断面図を含む説明図である。
【図３】実施形態に係る微小気泡発生装置のうち、装置本体部の横断面図である。
【図４】変形形態に係る微小気泡発生装置の構造を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
(実施形態）
第１の実施形態を、図１〜図３を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る微小気泡含有液体の製造装置（以下、単に製造装置ともいう）１の概略構成を示す説明図である。また、図２は、実施形態に係る微小気泡発生装置１０のうち、装置本体部１００の断面構造を模式的に示す縦断面図を含む説明図であり、図３は装置本体部１００の横断面図である。
【００２５】
本実施形態に係る製造装置１は、図１に示すように、タンクＴＫ１に貯留した液体ＬＱ（例えば、水）をポンプＰＵにより圧送し、微小気泡発生装置（以下、単に発生装置ともいう）１０を通過させて、微小気泡ＢＢを含む微小気泡含有液体ＢＬＱを製造し、別のタンクＴＫ２に貯留する。この製造装置１では、ガスボンベＧＢから送出され、レギュレータＲＧによりゲージ圧で２気圧に調圧された気体ＧＡ（例えば、空気、水素）を、ガス配管ＧＳを通じて、これに接続した気体流入口１０Ｊから発生装置１０（装置本体部１００）内に流入させる。すると、この気体ＧＡは、発生装置１０（装置本体部１００）内に保持された複数の気泡発生管１１０の内側に流れている液体ＬＱ中に、微小気泡ＢＢとして吹き込まれ、微小気泡含有液体ＢＬＱが製造される。この発生装置１０は、各々の気泡発生管１１０が水平に保持されるように設置される。
【００２６】
製造装置１のうち発生装置１０は、大きく分けて、微小気泡含有液体ＢＬＱを製造する装置本体部１００と、この装置本体部１００内に溜まった貯留液体ＴＬＱを発生装置１０外に排出するための排出部２００とからなる。
【００２７】
まず、発生装置１０のうち、装置本体部１００について説明する（図２，図３参照）。装置本体部１００は、複数（本実施形態では１３本）の気泡発生管１１０と、これを保持し包囲するハウジング１２０とからなる。
このうち、気泡発生管１１０は、断面円形の直円管形状で、その全体が多孔質アルミナからなる。この気泡発生管１１０のうち、図２において左端部を一方端部１１２とし、右端部を他方端部１１３とし、一方端部１１２と他方端部１１３との間の部位を中央部１１４とする。気泡発生管１１０は、水銀圧入法（ＪＩＳ  Ｒ１６５５）を用いて細孔径分布を測定し、この細孔径分布において、大径側の上位１０％となる細孔径をＤ（１０）とすると、Ｄ（１０）＝２μｍ以下の多孔質アルミナからなる。具体的には、本実施形態１では、Ｄ（１０）＝１．４μｍである。このため、この気泡発生管１１０を用いて、その管外にゲージ圧で２気圧程度の気体ＧＡを送り込むと、管内の液体ＬＱ中に、１μｍ以下の気泡を含む微小気泡ＢＢを吹き込むことができる。
【００２８】
一方、ハウジング１２０は、複数の気泡発生管１１０の一方端部１１２（図２において左端部）をそれぞれ支持する一方側支持部１３０と、気泡発生管１１０の他方端部１１３（図２において右端部）をそれぞれ支持する他方側支持部１５０と、一方側支持部１３０と他方側支持部１５０との間隔を保って複数の気泡発生管１１０の周囲を包囲する筒状の胴部１７０と、を備える。
【００２９】
このうち一方側支持部１３０は、概略円板状の一方側保持具１３１と、第１パッキン１３９と、一方側保持具１３１を気泡発生管１１０の長手方向ＮＸの一方側ＮＸ１から覆う一方側カバー具１４０とからなる。
【００３０】
ステンレス材からなる一方側保持具１３１のうち、液分配部１３６には、気泡発生管１１０の一方端部１１２を挿通する１３ヶの発生管挿通孔１３２が、軸線ＡＸを中心とした所定の配置にそれぞれ穿孔されている（図３参照）。各々の発生管挿通孔１３２には、環状に拡径するパッキン溝１３３が設けられており、ＥＰＤＭからなる第１パッキン１３９（Ｏリング）が、このパッキン溝１３３内に配置されている。このため、発生管挿通孔１３２に気泡発生管１１０の一方端部１１２を挿通することにより、この気泡発生管１１０の一方端部１１２が、第１パッキン１３９を介して、それぞれ一方側保持具１３１に気密及び液密に保持され、一方側保持具１３１の一方側ＮＸ１から、液体ＬＱを各気泡発生管１１０内に送り込むことができる。
【００３１】
また、一方側保持具１３１のうち周囲部分は、段状に切り欠かれており、後述する管包囲部材１７１（胴部１７０）のうち一方側ＮＸ１の第１フランジ部１７３を嵌め込んで係止する係止段部１３４とされている。また、後述するように、一方側カバー具１４０、一方側保持具１３１及び管包囲部材１７１の第１フランジ部１７３を締結するボルト１４６の軸部１４７を挿通するボルト挿通孔１３５が、６箇所穿孔されている。
【００３２】
また液分配部１３６には、各発生管挿通孔１３２が存在する範囲に亘って、凹状の液分配凹部１３７が設けられており、後述する液流入部１４３から流入した液体ＬＱが、図２において黒矢印で示すように、液分配凹部１３７を介して、各々の気泡発生管１１０（一方端部１１２）の管内に分配される。
【００３３】
ステンレス材からなる一方側カバー具１４０は、円板状の一方端部カバー部１４１と、この中央から長手方向一方側ＮＸ１に突出する液流入部１４３とを有する。この液流入部１４３がなす液流入口１４４は、液配管ＬＳ（図１参照）が接続され、液体ＬＱが流入する液体流入口１０Ｉとなっている。また、一方端部カバー部１４１は、液分配凹部１３７を覆い、一方側保持具１３１の液分配部１３６との間に、流入した液体ＬＱを各気泡発生管１１０に分配する空間を形成する。
また、一方側カバー具１４０のうち周囲部分にも、ボルト１４６の軸部１４７を挿通するボルト挿通孔１４２が、一方側保持具１３１のボルト挿通孔１３５に重なる配置で、６箇所穿孔されている。
【００３４】
一方、他方側支持部１５０は、概略円板状の他方側保持具１５１と、第２パッキン１５９と、他方側保持具１５１を長手方向ＮＸの他方側ＮＸ２から覆う他方側カバー具１６０とからなる。
【００３５】
ステンレス材からなる他方側保持具１５１のうち、集合経路部１５６には、気泡発生管１１０の他方端部１１３を挿通する１３ヶの発生管挿通孔１５２が、軸線ＡＸを中心とした所定の配置にそれぞれ穿孔されている（図３参照）。各々の発生管挿通孔１５２には、環状に拡径するパッキン溝１５３が設けられており、ＥＰＤＭからなる第２パッキン１５９（Ｏリング）が、このパッキン溝１５３内に配置されている。このため、発生管挿通孔１５２に気泡発生管１１０の他方端部１１３を挿通することにより、この気泡発生管１１０の他方端部１１３が、第２パッキン１５９を介して、それぞれ他方側保持具１５１に気密及び液密に保持されている。
【００３６】
また、他方側保持具１５１のうち周囲部分は、段状に切り欠かれており、後述する管包囲部材１７１の他方側ＮＸ２の第２フランジ部１７４を嵌め込んで係止する係止段部１５４とされている。また、後述するように、他方側カバー具１６０、他方側保持具１５１及び管包囲部材１７１の第２フランジ部１７４を締結するボルト１６６の軸部１６７を挿通するボルト挿通孔１５５が、６箇所穿孔されている。
【００３７】
また集合経路部１５６には、各発生管挿通孔１５２が存在する範囲に亘って、凹状の集合経路凹部１５７が設けられており、各気泡発生管１１０の他方端部１１３から流出した微小気泡含有液体ＢＬＱが、図２において縞状黒矢印で示すように、集合経路凹部１５７を介して集められ、次述する液流出部１６３に導かれる。
【００３８】
ステンレス材からなる他方側カバー具１６０は、円板状の他方端部カバー部１６１と、この中央から長手方向他方側ＮＸ２に突出する液流出部１６３を有する。この液流出部１６３がなす液流出口１６４には、液配管ＬＳ（図１参照）が接続され、微小気泡含有液体ＢＬＱが流出する。また、他方端部カバー部１６１は、集合経路凹部１５７を覆い、他方側保持具１５１の集合経路部１５６との間に、各気泡発生管１１０の他方端部１１３から流出した微小気泡含有液体ＢＬＱを液流出部１６３に導く空間を形成する。
また、他方側カバー具１６０のうち周囲部分にも、ボルト１６６の軸部１６７を挿通するボルト挿通孔１６２が、他方側保持具１５１のボルト挿通孔１５５に重なる配置で、６箇所穿孔されている。
【００３９】
本実施形態において、胴部１７０は、一方側支持部１３０と他方側支持部１５０との間隔を保つと共に、気泡発生管１１０を包囲する管包囲部材１７１、及びボルト１４６，１６６を含む。ステンレスからなる筒状の管包囲部材１７１は、１３本の気泡発生管１１０の周囲を囲む、概略円筒状の管包囲部１７２のほか、この管包囲部１７２の長手方向一方側ＮＸ１の端部から径方向外側に向けて拡がる第１フランジ部１７３、管包囲部１７２の長手方向他方側ＮＸ２の端部から径方向外側に向けて拡がる第２フランジ部１７４を有する。
【００４０】
さらに、円筒状の管包囲部１７２の長手方向ＮＸ中央部分のうち上方には、気体流入口１７７をなす気体流入部１７６が、外側に突出する形態に設けられている。気体流入口１７７は、発生装置１０における気体流入口１０Ｊである（図１参照）。
【００４１】
一方、円筒状の管包囲部１７２の底部１７２Ｔ、即ち、ハウジング１２０の底部１２０Ｔのうち、長手方向ＮＸ中央部分には、排出口１７９をなして下方に突出する排出突部１７８が、外側に突出する形態に設けられている。この排出突部１７８の下方には、後述するように排出部２００が接続されている（図１参照）。
【００４２】
この管包囲部材１７１の第１フランジ部１７３を、一方側保持具１３１の係止段部１３４に嵌め込み、一方側カバー具１４０のボルト挿通孔１４２と一方側保持具１３１のボルト挿通孔１３５とを挿通したボルト１４６の雄ネジ部１４８を、第１フランジ部１７３に設けた雌ネジ孔１７３Ｈにねじ込むことにより、一方側カバー具１４０、一方側保持具１３１及び管包囲部材１７１（第１フランジ部１７３）が互いに締結されている。
また、管包囲部材１７１の第２フランジ部１７４を、他方側保持具１５１の係止段部１５４に嵌め込み、他方側カバー具１６０のボルト挿通孔１６２と他方側保持具１５１のボルト挿通孔１５５とを挿通したボルト１６６の雄ネジ部１６８を、第２フランジ部１７４に設けた雌ネジ孔１７４Ｈにねじ込むことにより、他方側カバー具１６０，他方側保持具１５１及び管包囲部材１７１（第２フランジ部１７４）が互いに締結されている。
また、この管包囲部材１７１により、一方側支持部１３０（一方側保持具１３１）と他方側支持部１５０（他方側保持具１５１）との間の間隔Ｍが、所定の寸法に規制されている。
【００４３】
装置本体部１００において、１３本の気泡発生管１１０は、図３に示すように配置されている。この図３は、図２おける発生装置１０のＣ−Ｃ断面のうち、１３本の気泡発生管１１０及び管包囲部材１７１（管包囲部１７２）の端面のみを示したものである。１３本の気泡発生管１１０は、軸線ＡＸの周りに６０度毎の回転対称に配置され、且つ、各々の気泡発生管１１０の中心が、互いに合同な仮想正三角形の頂点に位置する形態に配置されている。
複数の気泡発生管１１０を、このような形態に配置すると、複数の気泡発生管１１０を、中央の気泡発生管１１０を中心として、偏りなく配置することができ、複数の気泡発生管１１０を、一方側支持部１３０（一方側保持具１３１）及び他方側支持部１５０（他方側保持具１５１）で確実に支持した発生装置１０とすることができる。
【００４４】
またこの発生装置１０では、複数（本実施形態１では１３本）の気泡発生管１１０を用いており、液体ＬＱを各々の気泡発生管１１０に分配しているので、各々の気泡発生管１１０内で微小気泡ＢＢを発生させることができる。つまり、液体ＬＱに接する気泡発生管１１０（多孔質セラミックス）の面積を増やすことができ、液体ＬＱ中により多くの微小気泡ＢＢを吹き込むことができる。しかも、一本の長い気泡発生管を用いる場合に比して、各々の気泡発生管１１０の長さを短くできるので、各々の気泡発生管１１０の強度が高く信頼性のある微小気泡含有液体ＢＬＱの発生装置１０となる。
【００４５】
しかも、本実施形態の発生装置１０では、液体ＬＱに気体ＧＡの微小気泡ＢＢを吹き込むに当たり、液体ＬＱが外気に触れることがないので、清浄な状態で、液体ＬＱを微小気泡含有液体ＢＬＱにすることができる。
【００４６】
次いで、排出部２００について説明する。排出部２００は、管包囲部材１７１の排出突部１７８に接続されており、ハウジング１２０の底部１２０Ｔから下方に延びている。
排出部２００は、排出突部１７８に接続された排出管２１０と、この排出管２１０を開閉する排出バルブ２２０と、排出管２１０のうち、排出バルブ２２０よりも上方に配置され、排出管２１０内に溜まった貯留液体ＴＬＱの量を検知する液体センサ２３０とからなる。なお、排出突部１７８と排出管２１０との接続は、公知の手法で行えば良く、例えば両者にフランジ部を設けて締結するなどの管継手の手法を採用できる。
【００４７】
排出バルブ２２０は、気泡発生管１１０から漏れて、ハウジング１２０と気泡発生管１１０との間、特に、排出管２１０内に溜まった液体ＬＱ（貯留液体ＴＬＱ）を、排出管２１０を通じて外部に排出するバタフライバルブである。外気圧に対してハウジング１２０内を高い気圧に保った状態で、排出バルブ２２０を開放することで、排出管２１０内に溜まった貯留液体ＴＬＱを、容易に外部に排出できる。この排出管２１０の下端部分が、発生装置１０の液排出口１０Ｈに相当する。
【００４８】
液体センサ２３０は、検知部を排出管２１０内に配置した状態に設置されており、貯留液体ＴＬＱの液面ＴＬＱＬが検知部に達していない場合と、液面ＴＬＱＬが検知部に達した場合とで、出力が変化する音叉型の液体スイッチである。本実施形態では、液体センサ２３０の出力は、警告表示器ＷＬＢに入力されており、この警告表示器ＷＬＢは、気泡発生管１１０から漏れた貯留液体ＴＬＱが増加し、その液面ＴＬＱＬが排出管２１０内において上昇して、液面ＴＬＱＬが検知部に達すると、警告ランプＷＬを点滅させる。これを知った作業者は、ポンプＰＵを停止し、排出バルブ２２０を開放して貯留液体ＴＬＱを排出した後、排出バルブ２２０を閉じ、その後、ポンプＰＵを再起動させる。このようにすることで、貯留液体ＴＬＱが、気泡発生管１１０にまで達し、その一部あるいは全部が貯留液体ＴＬＱに没したために、気泡発生管１１０内を流れる液体ＬＱに微小気泡ＢＢを吹き込むことができなくなるのを、防止することができる。
【００４９】
このように、本実施形態では、液体センサ２３０を有するので、貯留液体ＴＬＱが増加しても、液体センサ２３０で気泡発生管１１０が貯留液体ＴＬＱに没する前の段階で、貯留液体ＴＬＱの量を検知できる。これにより、気泡発生管１１０の一部あるいは全部が貯留液体ＴＬＱに没して、気泡発生管１１０を流れる液体ＬＱに発生する微小気泡ＢＢが減少する前に、貯留液体ＴＬＱを排出することができる。
しかも、本実施形態の発生装置１０では、排出部２００の排出管２１０に液体センサ２３０を設けたので、ハウジング１２０に液体センサを設ける場合に比して、液体センサの設置が容易である。
【００５０】
また本実施形態の発生装置１０は、排出バルブ２２０を有し貯留液体ＴＬＱを排出する排出部２００を備えている。このため、排出バルブ２２０を閉じた状態で、ハウジング１２０内を気密にして気体ＧＡを供給し、気泡発生管１１０内に液体ＬＱを流すことで、通常通り気泡発生管１１０を介して、液体ＬＱ中に気体ＧＡの微小気泡ＢＢを発生させることができる。一方、液体ＬＱが、気泡発生管１１０から染み出したり、気泡発生管１１０とハウジング１２０とのシール部（第１パッキン１３９、第２パッキン１５９）から漏れ出したりして、ハウジング１２０内に貯留液体ＴＬＱとして溜まったときには、排出バルブ２２０を開放することで、排出部２００から貯留液体ＴＬＱを容易に外部に排出することができる。
特に、この発生装置１０では、排出部２００がハウジング１２０の底部１２０Ｔから下方に延びているので、貯留液体ＴＬＱを効果的に排出することができる。
【００５１】
（変形形態）
上述の実施形態の製造装置１では、発生装置１０において、管包囲部材１７１（胴部１７０）の円筒形状の管包囲部１７２を水平に配置して用いた例を示した。また、液体センサ２３０を、排出管２１０のうち、排出バルブ２２０の上方に設けた例を示した。
【００５２】
これに対し、本変形形態の製造装置１Ａでは、発生装置１０Ａ（図４参照）において、筒形状の管包囲部１７２Ａを有する管包囲部材１７１Ａ（胴部１７０Ａ）を用いる点では同じであるが、管包囲部１７２Ａの底部１７２ＡＴの形態を異ならせた。加えて、液体センサ２３０Ａを、この管包囲部１７２Ａの底部１７２ＡＴに設けた点でのみ異なる。
そこで、実施形態とは異なる点を中心に説明し、同様な部分は省略あるいは簡略化して説明する。
【００５３】
本変形形態の製造装置１Ａでは、管包囲部１７２Ａの底部１７２ＡＴを、その中央に開けた排出口１７９Ａに向けて貯留液体ＴＬＱが集まるテーパ状の形態とした（図４参照）。
このようにすることで、排出バルブ２２０を開けることにより、気泡発生管１１０とハウジング１２０Ａとの間に溜まった貯留液体ＴＬＱの全部を、容易に排出できる。
【００５４】
また、本変形形態の製造装置１Ａでは、液体センサ２３０Ａを、この管包囲部１７２Ａの底部１７２ＡＴ（ハウジング１２０Ａの底部１２０ＡＴ）に設け、底部１７２ＡＴ（１２０ＡＴ）に溜まった貯留液体ＴＬＱの液面ＴＬＱＬの高さ（貯留液体ＴＬＱの量）を検知する。
【００５５】
液体センサ２３０Ａは、検知部を管包囲部１７２Ａの底部１７２ＡＴより上方に配置した状態に設置されており、貯留液体ＴＬＱの液面ＴＬＱＬが検知部に達していない場合と、液面ＴＬＱＬが検知部に達した場合とで、出力が変化する液体スイッチである。
本変形形態でも、液体センサ２３０Ａの出力は、警告表示器ＷＬＢに入力されており、液面ＴＬＱＬが検知部に達すると、警告ランプＷＬを点滅させる。これにより、作業者が排出バルブ２２０を開放して貯留液体ＴＬＱを排出するのを促す。かくして、貯留液体ＴＬＱが、気泡発生管１１０にまで達し、その一部あるいは全部が貯留液体ＴＬＱに没したために、気泡発生管１１０内を流れる液体ＬＱに微小気泡ＢＢを吹き込むことができなくなるのを、防止することができる。
【００５６】
以上において、本発明を実施形態及び変形形態に即して説明したが、本発明は実施形態等に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
実施形態等では、気泡発生管１１０の数を１３本としたが、他の本数としても良い。また、気泡発生管１１０として多孔質アルミナからなるものを例示したが、他の多孔質セラミックス（チタニア、ジルコニア、シリカ、窒化ケイ素、炭化ケイ素など）で構成することもできる。
【００５７】
また、実施形態等においては、一方側支持部１３０、他方側支持部１５０、胴部１７０の各部材をステンレスなどの金属材で形成した例を示したが、液体ＬＱに接する部位（部材）を、フッ素樹脂などの樹脂やアルミナなどのセラミックスその他の非金属の材料で構成することができる。また、金属材のうち液体に接する部位を、フッ素樹脂等でライニングした部材を用いることもできる。
【００５８】
実施形態等では、貯留液体ＴＬＱの液面ＴＬＱＬが検知部に達すると、液体センサ２３０，２３０Ａの出力が変化するので、警告表示器ＷＬＢが警告ランプＷＬを点滅させるように構成した例を示した。しかし、貯留液体ＴＬＱの液面ＴＬＱＬが検知部に達したことによる液体センサの出力変化を利用して、警告ランプＷＬを点滅させるのと並行して、ポンプＰＵの駆動を止め、作業者が排出バルブ２２０を開いて、貯留液体ＴＬＱを排出した後に、ポンプＰＵを再起動させるようにしても良い。
【符号の説明】
【００５９】
１，１Ａ  微小気泡含有液体の製造装置
１０，１０Ａ  微小気泡発生装置
１００，１００Ａ  装置本体部
２００，２００Ａ  排出部
２１０  排出管
２２０  排出バルブ
２３０，２３０Ａ  液体センサ
ＬＱ  液体
ＢＬＱ  微小気泡含有液体
ＴＬＱ  貯留液体
ＴＬＱＬ  （貯留液体の）液面
ＧＡ  気体
ＢＢ  微小気泡
ＮＸ  （気泡発生管の）長手方向
ＮＸ１  （長手方向の）一方側
ＮＸ２  （長手方向の）他方側
１１０  気泡発生管（多孔質パイプ）
１１２  （気泡発生管の）一方端部
１１３  （気泡発生管の）他方端部
１１４  （気泡発生管の）中央部
１２０，１２０Ａ  ハウジング
１２０Ｔ，１２０ＡＴ  （ハウジングの）底部
１３０  一方側支持部
１５０  他方側支持部
１７０  胴部
１３１  一方側保持具（一方側支持部）
１３９  第１パッキン（一方側支持部）
１４０  一方側カバー具（一方側支持部）
１５１  他方側保持具（他方側支持部）
１５９  第２パッキン（他方側支持部）
１６０  他方側カバー具（他方側支持部）
１７１  管包囲部材（胴部）
１７２，１７２Ａ  （管包囲部材の）管包囲部
１７２Ｔ，１７２ＡＴ  （管包囲部の）底部
１７８，１７８Ａ  排出突部
１７９，１７９Ａ  排出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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