(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側から内側に、それぞれ隣接する層とは異なる複数の層を、ツールによる摩擦熱を利用した塑性流動により１層ずつ順次形成して前駆体を作製し、前記複数の層のうち、少なくとも１層を発泡剤が含まれた金属層として形成し、少なくとも１層を発泡剤が含まれていない金属層として形成する工程と、
その後、前記前駆体を加熱することにより、前記前駆体の前記発泡剤を使用して金属を発泡させて、前記発泡剤が含まれた金属層からポーラス金属層を形成し、前記発泡剤が含まれていない金属層から金属パイプを形成する工程を含む
ポーラス金属層を有するパイプの製造方法。
【請求項２】
前記複数の層の最も外側から１層以上が前記発泡剤を含む金属層であり、前記発泡剤を含む金属層よりも内側の層が前記発泡剤を含まない金属層である前記前駆体を作製し、前記前駆体を加熱することにより、前記金属パイプの外側に前記ポーラス金属層を形成する、請求項１に記載のポーラス金属層を有するパイプの製造方法。
【請求項３】
前記複数の層の最も外側から１層以上が前記発泡剤を含まない金属層であり、前記発泡剤を含まない金属層よりも内側の層が前記発泡剤を含む金属層である前記前駆体を作製し、前記前駆体を加熱することにより、前記金属パイプの内側に前記ポーラス金属層を形成する、請求項１に記載のポーラス金属層を有するパイプの製造方法。
【請求項４】
前記金属パイプ又は前記ポーラス金属層となる各層のうち、少なくとも１層を、部分毎に材料が異なる複数の部分を有する構成として形成する、請求項１に記載のポーラス金属層を有するパイプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポーラス金属層を有するパイプの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
多くの気泡を含むポーラス金属は 、軽量で衝撃エネルギー吸収特性や消音特性に優れ、自動車、鉄道、航空宇宙、建築など様々な分野で超軽量な多機能素材として注目されている。
【０００３】
しかしながら、従来から提案されている、金属粉末からポーラス金属を製造する方法では、高コストとなり実用化を阻害している。
【０００４】
そこで、本発明の発明者らは、２個の平板状の母材を、間に発泡剤を配置して重ね合わせた後に、摩擦撹拌により接合して発泡金属用前駆体を製造し、この発泡金属用前駆体を加熱して発泡させることにより、発泡金属を製造する方法を提案している。（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２０１０／０２９８６４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ポーラス金属のさらなる機能向上のために、ポーラス金属と他の構造材とを複合させることが考えられる。例えば、金属製のパイプの内側もしくは外側にポーラス金属を形成して、パイプとポーラス金属を複合化させることが考えられる。
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載された方法では、平板状の前駆体からポーラス金属を製造するので、パイプのように閉じた空間内にポーラス金属を製造する場合には適用することができない。
【０００８】
上述した問題の解決のために、本発明においては、ポーラス金属層を含む様々な機能や特性を有する層をパイプに形成することを可能にする、ポーラス金属層を有するパイプの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のポーラス金属層を有するパイプの製造方法は、外側から内側に、それぞれ隣接する層とは異なる複数の層を、ツールによる摩擦熱を利用した塑性流動により１層ずつ順次形成して前駆体を作製し、前記複数の層のうち、少なくとも１層を発泡剤が含まれた金属層として形成し、少なくとも１層を発泡剤が含まれていない金属層として形成する工程と、その後、前記前駆体を加熱することにより、前記前駆体の前記発泡剤を使用して金属を発泡させて、前記発泡剤が含まれた金属層からポーラス金属層を形成し、前記発泡剤が含まれていない金属層から金属パイプを形成する工程を含む。
【００１０】
上記本発明のポーラス金属層を有するパイプの製造方法において、前記複数の層の最も外側から１層以上が前記発泡剤を含む金属層であり、前記発泡剤を含む金属層よりも内側の層が前記発泡剤を含まない金属層である前記前駆体を作製し、前記前駆体を加熱することにより、前記金属パイプの外側に前記ポーラス金属層を形成することも可能である。
【００１１】
上記本発明のポーラス金属層を有するパイプの製造方法において、前記複数の層の最も外側から１層以上が前記発泡剤を含まない金属層であり、前記発泡剤を含まない金属層よりも内側の層が前記発泡剤を含む金属層である前記前駆体を作製し、前記前駆体を加熱することにより、前記金属パイプの内側に前記ポーラス金属層を形成することも可能である。
【発明の効果】
【００１４】
上述の本発明ポーラス金属層を有するパイプの製造方法によれば、複数の層のうち、少なくとも１層を発泡剤が含まれた金属層として形成するとともに、少なくとも１層を発泡剤が含まれていない金属層として形成して、その後、発泡剤を使用して金属を発泡させて、発泡剤が含まれた金属層からポーラス金属層を形成し、発泡剤が含まれていない金属層から金属パイプを形成する。これにより、金属パイプに接してポーラス金属層を形成することができる。そして、ポーラス金属層による様々な機能や特性をパイプにおいて実現することができる。
また、複数の層のうちの発泡剤が含まれていない金属層から金属パイプを形成するので、既製の金属パイプを用意しなくても、金属パイプに接してポーラス金属層を形成することができる。これにより、材料や寸法（厚さや外径等）や形状が限られている、既製の金属パイプを使用して金属パイプにポーラス金属層を形成する場合と比較して、金属パイプの材料や寸法や形状の設計の自由度を大きくすることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】Ａ〜Ｄ  本発明のパイプの製造方法の第１の実施の形態の製造工程を示す製造工程図である。
【図２】Ｅ〜Ｈ  本発明のパイプの製造方法の第１の実施の形態の製造工程を示す製造工程図である。
【図３】Ｉ〜Ｋ  本発明のパイプの製造方法の第１の実施の形態の製造工程を示す製造工程図である。
【図４】Ａ〜Ｄ  本発明のパイプの製造方法の第２の実施の形態の製造工程を示す製造工程図である。
【図５】Ｅ〜Ｈ  本発明のパイプの製造方法の第２の実施の形態の製造工程を示す製造工程図である。
【図６】材料が異なる金属材が積層された積層金属材の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明のポーラス金属層を有するパイプの製造方法は、外側から内側に、それぞれ隣接する層とは異なる複数の層を、ツールによる摩擦熱を利用した塑性流動により１層ずつ順次形成して前駆体を作製し、複数の層のうち、少なくとも１層を発泡剤が含まれた金属層、即ちポーラス金属層前駆体として形成し、少なくとも１層を発泡剤が含まれていない金属層として形成する工程を有する。その工程の後に、前駆体を加熱することにより前駆体の内部の発泡剤を使用して金属を発泡させて、発泡剤が含まれた金属層からポーラス金属層を形成し、発泡剤が含まれていない金属層から金属パイプを形成する工程を含む。
【００１８】
上記本発明の製造方法において、複数の層の最も外側から１層以上が発泡剤を含む金属層であり、発泡剤を含む金属層よりも内側の層が発泡剤を含まない金属層である前駆体を作製し、前駆体を加熱することにより、金属パイプの外側にポーラス金属層を形成する構成とすることもできる。
また、上記本発明の製造方法において、複数の層の最も外側から１層以上が発泡剤を含まない金属層であり、発泡剤を含まない金属層よりも内側の層が発泡剤を含む金属層である前駆体を作製し、前駆体を加熱することにより、金属パイプの内側にポーラス金属層を形成する構成とすることもできる。
【００１９】
本発明の製造方法において、発泡剤を含む金属層、又は、発泡剤を含まない金属層を、２層以上形成することも可能である。特に、２層以上を隣同士で形成した場合には、材料が順次変化するポーラス金属層又は金属パイプを形成することができる。
ただし、２層の発泡剤を含まない金属層で発泡剤を含む金属層を挟んでしまうと、発泡による膨張が抑制されるので、好ましくない。発泡剤を含まない金属層を２層以上形成する場合には、それらを隣同士に形成することが好ましい。
【００２０】
本発明の製造方法において、金属層の材料となる金属材料としては、各種の金属元素及び金属元素の合金を使用することができる。そして、ツールによる摩擦熱を利用して塑性流動させることが可能であれば、任意の金属材料を使用することができる。好適な金属材料としては、例えば、アルミニウム及びその合金、マグネシウム及びその合金、チタン及びその合金、鉄及び鉄鋼材料、銅及びその合金等を挙げることができる。
ただし、発泡剤を含まない金属層を、発泡剤を含む金属層に対して、融点が同等以下の金属材料で形成してしまうと、前駆体を加熱してポーラス金属層を形成する際に、発泡剤を含まない金属が変形、あるいは気孔の侵食が起こってしまう可能性があるので、金属パイプとポーラス金属層の複合化が難しくなる。そのため、発泡剤を含まない金属層は、発泡剤を含む金属層に対して、融点が高い金属材料で形成するのが好ましい。
【００２１】
本発明の製造方法において、発泡剤としては、従来公知の各種の発泡剤、例えば、水素化チタン、水素化ジルコニウム、炭酸カルシウム、等を使用することができる。
発泡剤を含む金属層は、原料として、金属材料と発泡剤とを混合した、固形材や粉体等を使用することができる。
【００２２】
本発明の製造方法において、ツールによる摩擦熱を利用した塑性流動によって、複数の層を順次形成するには、具体的には、例えば、以下のように実行することができる。
まず、円筒状の治具の内部の空間に、第１層の原料となる材料（金属の固形材や粉体、もしくは、それらに発泡剤を混ぜたもの）を置いて、円筒状の治具の内径よりも小さい外径のツールによる摩擦熱を利用した塑性流動により、ツールと円筒状の治具との間に、第１層を形成する。このとき、摩擦熱によって、金属が融けてはいないが柔らかくなった状態となり、第１層が形成される。
次に、第１層の内部の空間に、第２層の原料となる材料を置いて、前回のツールよりも外径の小さいツールを使用して、摩擦熱を利用した塑性流動をさせて、ツールと第１層の間に、第２層を形成する。
以降は、前回のツールよりも外径の小さいツールを使用して、摩擦熱を利用した塑性流動をさせることを繰り返して、第１層から第ｎ層（ｎは２以上の整数）まで形成する。
【００２３】
前駆体の複数の層のうちの最も外側から１層以上を、発泡剤を含む金属層で形成した場合には、前駆体を加熱することにより発泡剤を使って金属が発泡すると外側に膨張するので、膨張を制御するために、前駆体の外側に治具を設けることが望ましい。この場合の治具としては、治具の内部の空間が円柱である円筒状が好ましいが、円筒状に限定されるものではなく、例えば治具の内部の空間が三角柱や四角柱である形状であっても構わない。
【００２４】
本発明の製造方法により製造される、ポーラス金属層を有するパイプ、並びに、本発明のポーラス金属層を有するパイプは、例えば、自動車部品、航空宇宙関係部品、土木建築部材、鉄道関係部品、産業用機械部品、スポーツ用品、バイオ関係、熱交換器等の各種製品に適用することができる。
【００２５】
次に、本発明のパイプの製造方法の第１の実施の形態を、図１〜図３を参照して説明する。
本実施の形態は、２層構造で、内側の層を金属パイプとし、外側の層をポーラス金属層として、パイプを製造する。
【００２６】
まず、図１Ａに断面図を示すように、平板状の治具１１１の上に、円筒状の治具１１２を設置して、これらの治具１１１，１１２により形成された空間内に、発泡剤を含む第１の金属１１を置く。第１の金属１１には、アルミニウム等の金属元素や合金を使用することができ、発泡剤としては、前述した各種の発泡剤、例えば、水素化チタン（ＴｉＨ２）を使用することができる。
【００２７】
次に、図１Ｂに示すように、円筒状の治具１１２の内径より小さい外径を有する、第１のツール１１３を上から回転させながら押し込むことにより、図１Ａに示した第１の金属１１に対して摩擦熱を利用した塑性流動をさせて、第１の金属層１２を形成する。
この第１の金属層１２は、発泡剤を含んでおり、ポーラス金属層前駆体である。
図１Ｂの工程が終了して、第１のツール１１３を除いた状態を、図１Ｃに示す。図１Ｃに示すように、円筒状の治具１１２の内壁に沿って、発泡剤を含む第１の金属層１２が形成されている。
【００２８】
次に、図１Ｄに示すように、第１の金属層１２の内側に、発泡剤を含まない第２の金属１３を置く。第２の金属１３には、アルミニウム等の金属元素や合金を使用することができる。
【００２９】
次に、図２Ｅに示すように、第１のツール１１３の外径よりも小さい外径を有する、第２のツール１１４を上から回転させながら押し込むことにより、図１Ｄに示した第２の金属１３に対して摩擦熱を利用した塑性流動をさせて、第２の金属層１４を形成する。
この第２の金属層１４は、発泡剤を含んでいない金属層である。
図２Ｅの工程が終了して、第２のツール１１４を除いた状態を、図２Ｆに示す。図２Ｆに示すように、第１の金属層１２の内側に沿って、第２の金属層１４が形成されている。
【００３０】
次に、図２Ｇに示すように、治具１１１，１１２から取り出して、図中鎖線２００で示す面で切断する。これにより、図２Ｈに示すように、外側に第１の金属層１２が形成され、内側に第２の金属層１４が形成された、円筒状の前駆体が形成される。
【００３１】
次に、図３Ｉに示すように、図２Ｈで形成した前駆体の外側に少し離して、円筒状の治具１１５を配置する。
続いて、図３Ｊに示すように、加熱１１６を行うことにより、第１の金属層１２の発泡剤を使用して第１の金属層１２の金属を発泡させる。これにより、孔１６を含むポーラス金属層１５が形成される。ポーラス金属層１５は、外側の治具１１５に達するまで膨張して形成される。このとき、第２の金属層１４は発泡剤を含んでいないので、特に変化はしない。
【００３２】
次に、図３Ｋに示すように、治具１１５を取り除く。
これにより、第２の金属層１４からなる金属パイプの外側に、ポーラス金属層１５を有する、パイプ１０が形成される。
【００３３】
このようにして、ポーラス金属層１５を有するパイプ１０を製造することができる。
このパイプ１０は、第２の金属層１４からなる金属パイプの内部において、液体や気体を流すことができる。そして、金属パイプの外側にポーラス金属層１５が形成されているので、表面積の多いポーラス金属層１５で熱交換を効率的に行うことができ、放熱効果の高いパイプ１０を構成することができる。
【００３４】
また、このパイプ１０は、第２の金属層１４をツールによって摩擦熱を利用した塑性流動をさせることにより形成したので、第２の金属層１４がポーラス金属層１５に隙間なく接合されている。これにより、金属層にポーラス金属層を接着材層で接着した構成と比較して、接着剤層が不要になるので、材料コストを低減することができる。
【００３５】
また、本実施の形態の製造方法によれば、金属パイプの第２の金属層１４もツールによって摩擦熱を利用した塑性流動をさせることにより形成するので、材料や寸法（厚さや外径等）や形状が限られている、既製の金属パイプの外にポーラス金属層を形成した場合と比較して、金属パイプの材料や寸法や形状の自由度を大きくすることができる。金属パイプ（第２の金属層１４）の寸法は、第１のツール１１３の外径と第２のツール１１４の外径を選定することにより、自在に設定することができる。
【００３６】
次に、本発明のパイプの製造方法の第２の実施の形態を、図４〜図５を参照して説明する。
本実施の形態は、２層構造で、内側の層をポーラス金属層とし、外側の層を金属パイプとして、パイプを製造する。
【００３７】
まず、図４Ａに断面図を示すように、平板状の治具１２１の上に、円筒状の治具１２２を設置して、これらの治具１２１，１２２により形成された空間内に、発泡剤を含まない第１の金属２１を置く。第１の金属２１には、アルミニウム等の金属元素や合金を使用することができる。
【００３８】
次に、図４Ｂに示すように、円筒状の治具１２２の内径より小さい外径を有する、第１のツール１２３を上から回転させながら押し込むことにより、図４Ａに示した第１の金属２１に対して摩擦熱を利用した塑性流動をさせて、第１の金属層２２を形成する。
この第１の金属層２２は、発泡剤を含んでいない金属層である。
図４Ｂの工程が終了して、第１のツール１２３を除いた状態を、図４Ｃに示す。図４Ｃに示すように、円筒状の治具１２２の内壁に沿って、第１の金属層２２が形成されている。
【００３９】
次に、図４Ｄに示すように、第１の金属層２２の内側に、発泡剤を含む第２の金属２３を置く。第２の金属２３には、アルミニウム等の金属元素や合金を使用することができ、発泡剤としては、前述した各種の発泡剤、例えば、水素化チタン（ＴｉＨ２）を使用することができる。
【００４０】
次に、図５Ｅに示すように、第１のツール１２３の外径よりも小さい外径を有する、第２のツール１２４を上から回転させながら押し込むことにより、図４Ｄに示した第２の金属２３に対して摩擦熱を利用した塑性流動をさせて、第２の金属層２４を形成する。
この第２の金属層２４は、発泡剤を含んでおり、ポーラス金属層前駆体である。
図５Ｅの工程が終了して、第２のツール１２４を除いた状態を、図５Ｆに示す。図５Ｆに示すように、第１の金属層２２の内側に沿って、第２の金属層２４が形成されている。
【００４１】
次に、治具１２１，１２２から取り出すことにより、図５Ｇに示すように、外側に第１の金属層２２が形成され、内側に第２の金属層２４が形成された、円筒状の前駆体が形成される。
【００４２】
続いて、図５Ｇに示した前駆体に対して加熱を行うことにより、第２の金属層２４の発泡剤を使用して第２の金属層２４の金属を発泡させる。これにより、図５Ｈに示すように、第２の金属層２４から、孔２６を含むポーラス金属層２５が形成される。ポーラス金属層２５は、外側の第１の金属層２２の内部の空間を埋めるまで膨張して形成される。このとき、第１の金属層２２は発泡剤を含んでいないので、特に変化はしない。
【００４３】
この後は、必要に応じて、不要な部分、例えば、第１の金属層２２よりも上に膨らんだ部分や、底面付近の部分等を除去する。
これにより、第１の金属層２２からなる金属パイプの内側に、ポーラス金属層２５を有する、パイプが形成される。
【００４４】
このようにして、ポーラス金属層２５を有するパイプを製造することができる。
このパイプは、ポーラス金属層２５と金属パイプ（第１の金属層２２）とを有しているので、内側のポーラス金属層２５で構造材の軽量化と衝撃吸収特性を実現することができると共に、外側の金属パイプによってポーラス金属層２５を補強して、引張強度や曲げ強度を向上することができる。
【００４５】
また、このパイプは、ポーラス金属層２５の前駆体であった第２の金属層２４をツールによって摩擦熱を利用した塑性流動をさせることにより形成したので、ポーラス金属層２４が金属パイプ（第１の金属層２２）に隙間なく接合されている。これにより、金属パイプ内にポーラス金属層を接着材層で接着した構成と比較して、接着剤層が不要になるので、材料コストを低減することができる。
【００４６】
また、本実施の形態の製造方法によれば、金属パイプの第１の金属層２２もツールによって摩擦熱を利用した塑性流動をさせることにより形成するので、材料や寸法（厚さや外径等）や形状が限られている、既製の金属パイプの内部にポーラス金属層を形成した場合と比較して、金属パイプの材料や寸法や形状の自由度を大きくすることができる。金属パイプ（第２の金属層１４）の寸法は、円筒状の治具の内径１２２と第１のツールの外径１２３を選定することにより、自在に設定することができる。
【００４７】
ここで、第２の実施の形態の図４Ａ〜図５Ｈに示した各工程により、本発明のポーラス金属層を有するパイプを実際に作製した。
まず、図４Ａに示したように、平板状の治具１２１と円筒状の治具１２２により形成された空間内に、第１の金属２１として、純アルミニウムの板材を置いた。円筒状の治具１２２の内径は、２０ｍｍとした。
【００４８】
次に、図４Ｂに示したように、外径が１５ｍｍの第１のツール１２３を、上から回転させながら押し込むことにより、第１の金属層２２を形成した。第１のツール１２３の回転数は８００ｒｐｍとし、押し込み速度は５ｍｍ／分とした。
【００４９】
次に、第１のツール１２３を回転させたまま引き抜き、図４Ｃに示したように、円筒状の治具１２２の内壁に沿って、第１の金属層（純アルミニウム層）２２を形成した。
【００５０】
次に、図４Ｄに示した第２の金属２３として、ＡＤＣ１２前駆体を作製した。ＡＤＣ１２（Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ系合金）板材に対して、発泡剤（ＴｉＨ２）粉末１質量％及び気孔形態安定剤（Ａｌ２Ｏ３）粉末５質量％の混合粉末を散布した。
次に、突起の付いたツールを高速回転させながら走査することで塑性流動を発生させ、ＡＤＣ１２板材中に粉末を攪拌させながら板材を接合して、ＡＤＣ１２前駆体を作製した。
このようにして作製した、ＡＤＣ１２前駆体からなる第２の金属２３を、第１の金属２１内に置いた。
【００５１】
次に、図５Ｅに示したように、外径が１１ｍｍの第２のツール１２４を、上から回転させながら押し込むことにより、第２の金属層２４を形成した。第２のツール１２４の回転数は８００ｒｐｍとし、押し込み速度は５ｍｍ／分とした。
【００５２】
次に、第２のツール１２４を回転させたまま引き抜き、図５Ｆに示したように、第１の金属層２２の内側に沿って、第２の金属層２４を形成した。
続いて、治具１２１，１２２から取り出すことにより、図５Ｇに示したように、外側に第１の金属層２２が形成され、内側に第２の金属層２４が形成された、円筒状の前駆体を得た。
【００５３】
最後に、温度７３０℃、保持時間４．５分で円筒状の前駆体を加熱して、前駆体の第２の金属層２４の発泡剤を使用して第２の金属層２４の金属を発泡させた。これにより、図５Ｈに示したように、第２の金属層２４からポーラス金属層２５を形成して、コア部分がポーラス金属層２５であるパイプを作製した。
【００５４】
また、上述したコア部分がポーラス金属層２５であるパイプの作製例に対して、純アルミニウムの板材とＡＤＣ１２前駆体を使用する順序を逆にすれば、純アルミニウムからなる金属パイプの外側にＡＤＣ１２からなるポーラス金属層を有するパイプを作製することができる。
【００５５】
上述した第１の実施の形態及び第２の実施の形態において、円筒状の治具１１２，１２２と第１の金属層１２，２２とが固着して、取れなくなることを防ぐ目的で、円筒状の治具１１２，１２２の内壁部を第１の金属層１２，２２よりも融点の高い金属で構成してもよい。例えば、第１の金属層１２，２２がアルミニウムやアルミニウム合金である場合に、融点の高い金属としてＳＵＳ３０４製パイプを使用することができる。また、この場合に、さらに、融点の高い金属の内壁面に離型剤を散布して、各金属層を形成した後に融点の高い金属を除去しやすくしてもよい。
【００５６】
本発明の製造方法において、金属パイプ又はポーラス金属層となる各層のうち、少なくとも１層を、部分毎に材料が異なる複数の部分を有する構成として形成することも可能である。
部分毎の材料の違いとしては、例えば、使用する金属元素（単体か合金か、合金の金属元素の組合せ等）や、各金属元素の組成、等が考えられる。
例えば、前述した各実施の形態において、図示した第１の金属１１，２１や第２の金属１３，２３の代わりに、図６に断面図を示すように、材料が異なる、下層の金属材３１と上層の金属材３２が上下に積層された積層金属材３０を使用することにより、上下方向に材料が異なる金属パイプ又はポーラス金属層を形成することができる。
そして、ポーラス金属層を、部分毎に材料が異なる複数の部分を有する構成として形成する場合には、各部分を形成するための金属材にそれぞれ発泡剤を含有させておく。
【００５７】
上述したように、ポーラス金属層を部分毎に材料が異なる複数の部分を有する構成とした場合には、材料の違いによって、破壊の順番の制御や、力学特性の制御が可能になる。
【符号の説明】
【００５８】
１０  パイプ、１１  第１の金属、１２  第１の金属層、１３  第２の金属、１４  第２の金属層、１５  ポーラス金属層、１６  孔、２１  第１の金属、２２  第１の金属層、２３  第２の金属、２４  第２の金属層、２５  ポーラス金属層、２６  孔、３０  積層金属材、３１  下層の金属材、３２  上層の金属材、１１１，１１２  治具、１１３  第１のツール、１１４  第２のツール、１１５  治具、１１６  加熱、１２１，１２２  治具、１２３  第１のツール、１２４  第２のツール
【図１】
0006624725.tif 000002
【図２】
0006624725.tif 000003
【図３】
0006624725.tif 000004
【図４】
0006624725.tif 000005
【図５】
0006624725.tif 000006
【図６】
0006624725.tif 000007