(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する２つの側面と、複数の外周面を有する多角形の板状のベースと、
前記ベースの少なくとも１つの角に対して、
前記ベースの一方の側面より隣り合う２つの前記外周面に向けて形成された第１の傾斜面と、
前記ベースの他方の側面より隣り合う２つの前記外周面に向けて形成された第２の傾斜面と、
前記第１，第２の傾斜面の交線である稜線と、を具備し、
少なくとも前記稜線を含む部分がダイヤモンドで形成されており、
前記稜線の両端をポイントとするマルチポイントダイヤモンドツール。
【請求項２】
前記外周面より前記稜線の両端に向けて研磨した研磨面を有する請求項１記載のマルチポイントダイヤモンドツール。
【請求項３】
対向する２つの側面と、複数の外周面を有する多角形の板状のベースと、
前記ベースの少なくとも１つの角に対して、
前記ベースの一方の側面より形成され、互いに交差する第１，第２の傾斜面と、
前記ベースの他方の面より形成され、互いに交差する第３，第４の傾斜面と、
前記第１，第３の傾斜面が交わる第１の稜線と、前記第２，第４の傾斜面が交わる第２の稜線と、を具備し、
少なくとも前記第１，第２の稜線を含む部分がダイヤモンドで形成されており、
前記第１，第２の稜線の外側の両端をポイントとするマルチポイントダイヤモンドツール。
【請求項４】
前記ベースの外周面より前記第１，第２の稜線の両端に向けて研磨した研磨面を有する請求項３記載のマルチポイントダイヤモンドツール。
【請求項５】
前記各傾斜面は、レーザ加工により形成されたものである請求項１〜４のいずれか１項記載のマルチポイントダイヤモンドツール。
【請求項６】
前記各研磨面は機械加工により形成されたものである請求項２又は４記載のマルチポイントダイヤモンドツール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガラス基板やシリコンウエハ等の脆性材料基板をダイヤモンドポイントによってスクライブするためのマルチポイントダイヤモンドツールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来ガラス基板やシリコンウエハをスクライブするために、スクライビングホイールや単結晶ダイヤモンドによるダイヤモンドポイントを用いたツールが用いられている。ガラス基板に対しては、主に基板に対して転動させるスクライビングホイールが用いられてきたが、スクライブ後の基板の強度が向上するなどの利点より、固定刃であるダイヤモンドポイントの使用も検討されてきている。特許文献１，２にはサファイアウエハやアルミナウエハ等の硬度の高い基板をスクライブするためのポイントカッターが提案されている。これらの特許文献には、角錐の稜線上にカットポイントを設けたツールや、先端が円錐になったツールが用いられている。又特許文献３にはガラス板をスクライブするために円錐形の先端を有するガラススクライバを用いたスクライブ装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１８３０４０号公報
【特許文献２】特開２００５−０７９５２９号公報
【特許文献３】特開２０１３−０４３７８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の固定刃であるツールでスクライブを進めていくとポイントが摩耗するため、ポイントを変更する必要がある。角錐形や円錐形のツールでは使用可能な頂点となるポイントは２箇所又は最大で４箇所である。従って２箇所又は４箇所のポイントを変更するとツールを交換する必要があり、交換頻度が高くなるという問題点があった。また、ツールによるスクライブにおいては、ポイントが基板に対して適切な角度で接触する必要がある。しかし、従来のツールでは、ポイントを変更する場合ツールを軸方向に回転させる必要があり、この接触角度を精度良く調整することが容易ではなかった。
【０００５】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブに使用しているポイントが摩耗しても容易にポイント位置を変更して交換頻度を少なくすることができるダイヤモンドツールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題を解決するために、本発明のマルチポイントダイヤモンドツールは、対向する２つの側面と、複数の外周面を有する多角形の板状のベースと、前記ベースの少なくとも１つの角に対して、前記ベースの一方の側面より隣り合う２つの前記外周面に向けて形成された第１の傾斜面と、
前記ベースの他方の側面より隣り合う２つの前記外周面に向けて形成された第２の傾斜面と、
前記第１，第２の傾斜面が交わる稜線と、を具備し、少なくとも前記稜線を含む部分がダイヤモンドで形成されており、前記稜線の両端をポイントとするものである。 
【０００７】
ここで前記ベースの外周面より前記稜線の両端に向けて研磨した天面を有するようにしてもよい。
【０００８】
この課題を解決するために、本発明のマルチポイントダイヤモンドツールは、対向する２つの側面と、複数の外周面を有する多角形の板状のベースと、前記ベースの少なくとも１つの角に対して、前記ベースの一方の側面より形成された第１，第２の傾斜面と、前記ベースの他方の面より形成された第３，第４の傾斜面と、前記第１，第３の傾斜面が交わってベースの面と平行な第１の稜線と、前記第２，第４の傾斜面が交わり、ベースの面と平行な第２の稜線と、を具備し、少なくとも前記第１，第２の稜線を含む部分がダイヤモンドで形成されており、前記第１，第２の稜線の外側の両端をポイントとするものである。
【０００９】
ここで前記ベースの外周面より前記第１，第２の稜線の両端に向けて研磨した天面を有するようにしてもよい。
【００１０】
ここで前記各傾斜面は、レーザ加工により形成されたものとしてもよい。
【００１１】
前記各天面は機械加工により形成されたものとしてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
このような特徴を有する本発明によれば、ダイヤモンドツールの周囲に多数のポイントを設けることができる。従って１つのポイントが摩耗してもダイヤモンドツールの固定角度を変化させることで新たなポイントを使用することができ、ダイヤモンドツールの交換頻度を少なくすることができるという効果が得られる。さらに、基板に対してツールの取付角度を一定としたままポイントを変更することができるため、ポイントの接触角度を容易に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は本発明の第１の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの側面図及び正面図である。
【図２】図２は第１の実施の形態の変形例によるマルチポイントダイヤモンドツールの側面図及び正面図である。
【図３】図３は本発明の第１の実施の形態によるダイヤモンドツールを用いたスクライブを示す側面図及びその拡大図である。
【図４】図４は本発明の第１の実施の形態によるダイヤモンドツールを用いたスクライブを示す正面図である。
【図５】図５は本発明の第１の実施の形態によるダイヤモンドツールを用いたスクライブを示す側面図及びその拡大図である。
【図６】図６は本発明の第２の実施の形態によるダイヤモンドツールの側面図及び正面図である。
【図７】図７は本発明の第２の実施の形態の変形例によるダイヤモンドツールの側面図及び正面図である。
【図８】図８は本発明の第３の実施の形態によるダイヤモンドツールの側面図及び正面図である。
【図９】図９は本発明の第３の実施の形態によるダイヤモンドツールの主要部を拡大した側面図及び正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に本発明の第１の実施の形態について説明する。図１は本実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツール（以下、単にダイヤモンドツールという）１０の一例を示す側面図及び正面図である。このダイヤモンドツール１０は一定の厚さで回転対称の任意の数の辺から成る多角形の板材をベースとする。この実施の形態では、一定厚さの板状で正方形のベース１１を単結晶ダイヤモンドにより構成し、その中心に貫通孔１２を有している。このベース１１に対して図１に示すように四方の角部分の両側よりＶ字形に研磨する。即ち一方の側面１１ａよりベースの外周面に向けてベース１１の厚さの１／２以上となるまで切欠いて、第１の傾斜面１３ａを形成する。このとき第１の傾斜面１３ａとベース１１の２つの隣り合う外周面１６、１９とがそれぞれ成す角が互いに等しくなるように切欠くことが好ましい。同様に、同じ側面１１ａより他の角についても第１の傾斜面１３ｂ〜１３ｄを形成する。次にベース１１の他方の側面１１ｂより同様にしてベース１１の２つの隣り合う外周面１６、１９に向けてベース１１の厚さの１／２程度となるまで切欠いて、台形となる第２の傾斜面１４ａ〜１４ｄを形成する。このような傾斜面はレーザ加工によって容易に形成することができる。また、レーザ加工の後にさらに機械研磨を行い、稜線を形成する部分をより精密な研磨面としてもよい。こうすれば同一の角に対する一対の第１，第２の傾斜面１３ａと１４ａが交わってベース１１の厚さ方向の中間、好ましくは図１（ｂ）に示すように中央位置に、ベースの側面１１ａ，１１ｂに平行で、かつ側面視におけるベースの対角線に対して垂直な稜線１５ａが形成される。同様にして第１，第２の傾斜面１３ｂと１４ｂ，１３ｃと１４ｃ，１３ｄと１４ｄが交わって夫々ベース１１の厚さ方向の中間、好ましくは中央位置に、ベースの側面１１ａ，１１ｂに平行な稜線１５ｂ，１５ｃ，１５ｄが構成され、ベースの対角線に対して垂直な４つの稜線がベース１１の角の部分に形成されることとなる。ここでベース１１の四方の外周面は天面１６，１７，１８，１９となる。ここで天面とは、稜線を形成する第１、第２の傾斜面に接し、稜線の一端を共有する面をいう。１つの稜線１５ａが天面１６，１９と接する稜線の両端、すなわち第１の傾斜面１３ａ、第２の傾斜面１４ａと天面１６，１９との交点をポイントＰ１，Ｐ２とする。このポイントＰ１，Ｐ２における天面と稜線のなす角度αは約１３５°となる。その他の６箇所の傾斜面についても同様であり、稜線１５ｂ〜１５ｄの両端の天面と接する点、すなわち第１の傾斜面１３ｂ〜１３ｄ、第２の傾斜面１４ｂ〜１４ｄと天面１６〜１９との交点を夫々ポイントＰ３〜Ｐ８とする。このように稜線１５ａ〜１５ｄの両端をポイントＰ１〜Ｐ８とすることで、図１（ａ）に示すように側面視において八角形となったダイヤモンドツール１０について周囲に８箇所のポイントを形成することができる。
【００１５】
次に第１の実施の形態の変形例によるダイヤモンドツール２０について説明する。図２はこの変形例の側面図及び正面図であり、第１の実施の形態と同一部分は同一符号を付している。この変形例では第１の傾斜面１３ａ〜１３ｄ，第２の傾斜面１４ａ〜１４ｄを形成した後、図２に示すように各稜線１５ａ〜１５ｄについて夫々の両端部分から更に外周面に向け研磨して、ベース１１の四方の外周面とは異なる面を形成し、天面としたものである。すなわち、図２（ｂ）に示す三角形の小さな研磨面が天面２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂとなり、天面と稜線のなす角度αは第１の実施形態の１３５°よりも大きくなる。従ってこの場合には天面を機械加工で高精度に加工することができ、ポイントの位置を精密に加工することができる。又、天面と稜線の最小角度はスクライブの対象となる脆性材料基板の種類や厚さに合わせて１３５°より大きい値に調整することができる。
【００１６】
この実施の形態のダイヤモンドツール１０又は２０を用いてスクライブする場合について、図３〜図５を用いて説明する。スクライブする際には、図３（ａ）に示すようにダイヤモンドツール１０（又は２０）の１つのポイントＰ１を基板２５に接触させて、ダイヤモンドツール１０をポイントＰ１における稜線方向である図示の矢印Ａ方向に移動させ、スクライブを行う。ダイヤモンドツール１０は転動させないので、同じポイントでスクライブを行うことができる。このとき、図３（ｂ）にポイントＰ１周辺の拡大図を示すように、稜線と脆性材料基板とのなす角度θが好ましくは２〜１０°、さらに好ましくは３〜７°となるようにダイヤモンドツール１０を接触させる。図４は矢印Ａ方向から見てスクライブする状態を示す図である。本図に示すようにスクライビングホイールは薄い板状のベースを加工したものであるため、基板２５の上面に部品２６などが存在する場合であっても、部品の間の狭い隙間にダイヤモンドツールを移動させてスクライブすることができる。
【００１７】
そして基板２５に接しているポイントＰ１が摩耗により劣化した場合には、図５に示すように貫通孔１２を中心にダイヤモンドツール１０を回転させ、隣接するポイントＰ２を基板２５に接触させて同様にしてポイントＰ２における稜線方向である矢印Ｂ方向にスクライブを行う。図５（ｂ）はポイントＰ２の周辺を示す拡大図である。このとき、回転角度は稜線と脆性材料基板とのなす角度に応じて決定される。すなわち、稜線と脆性材料基板とのなす角度θがポイントＰ２を用いてスクライブする場合とポイントＰ１を用いる場合で等しくなるようにする。これを繰り返せばポイントが摩耗により劣化しても円板の周囲に形成したポイント数だけ新しいポイントでスクライブを行うことができる。また、ダイヤモンドツール１０を回転させても、ダイヤモンドツール１０の側面視において刃先の稜線が基板に接触する角度は変わらないため、ポイントの基板に対する接触角度を調整することが容易である。
【００１８】
尚、同一方向にダイヤモンドツール１０を用いる場合には、ポイントＰ１が摩耗すると、ダイヤモンドツール１０を９０°づつ回転させてポイントＰ３，Ｐ５，Ｐ７を順次用い、４箇所のポイントが全て摩耗すると、ダイヤモンドツール１０を反転させる。そして稜線と脆性材料基板がなす角度θが一定となるようにポイントＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８を順次接触させ、反転後も計４回ポイント位置を変化させてスクライブを行う。このようにすると合計８回ポイントを変化させてスクライブを行うことができる。ダイヤモンドツール２０を用いた場合も同様にして８回ポイントを変化させてスクライブすることができる。
【００１９】
次に本発明の第２の実施の形態について図６を用いて説明する。第２の実施の形態のダイヤモンドツール３０は、単結晶ダイヤモンドによる六角形のベース３１の中心に貫通孔３２を設け、ベース３１の角の両側より第１の実施の形態と同様にＶ字形に研磨して第１の傾斜面３３ａ〜３３ｆ、第２の傾斜面３４ａ〜３４ｆを形成している。こうすれば傾斜面３３ａと３４ａ，３３ｂと３４ｂ・・・の間に稜線３５ａ〜３５ｆが形成される。各稜線３５ａ〜３５ｆの両端はポイントＰ１〜Ｐ１２となっている。このような傾斜面はレーザ加工によって容易に形成することができる。また、レーザ加工の後にさらに機械研磨を行い、稜線を形成する部分により精密な傾斜面を形成してもよい。ここでベース３１の側面は天面３６〜４１となっている。そして稜線３５ａ〜３５ｆの両端をポイントとして１２箇所のポイントを形成することができる。この場合に天面と稜線の角度は１５０°となる。
【００２０】
次に第２の実施の形態の変形例によるダイヤモンドツール５０について説明する。図７はこの変形例の正面図及び側面図であり、第２の実施の形態と同一部分は同一符号を付している。この実施の形態においても前述した第１の実施の形態の変形例と同様に、図７に示すように稜線３５ａ〜３５ｆの両端部分の側方から更に研磨して、ベース１１の四方の外周面とは異なる面を形成し、天面とする。この場合、稜線３５ａ〜３５ｆの両端部分の側方からポイントＰ１〜Ｐ１２に向けての三角形の小さな研磨面が天面５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂ・・・５６ａ，５６ｂとなり、天面と稜線のなす角度αは第２の実施形態の１５０°よりも大きくなる。従ってポイントＰ１〜Ｐ１２の位置が変化することとなり、稜線がわずかに短くなる。この場合には小さな天面を研磨により高精度に加工することができ、ポイントの位置も精密に加工することができる。又天面と稜線の角度を１５０°より大きくすることができ、基板に合わせた適切な角度に調整することができる。
【００２１】
このダイヤモンドツール３０又は５０においてもスクライブする際に１つのポイントＰ１を基板２５に接触させてスクライブを行う。そしてこのポイントが摩耗した場合には、第１の実施の形態と同様にダイヤモンドツール３０又は５０の貫通孔に挿通した、図示しない軸に沿って回転させ、隣接するポイントを接触させてスクライブを行う。この場合にも、稜線と脆性材料基板がなす角度θが一定となるようにする。これを繰り返すことによって合計１２箇所のポイントでスクライブを行うことができる。
【００２２】
次に本発明の第３の実施の形態について図８及び図９を用いて説明する。この実施の形態のダイヤモンドツール６０も第１の実施の形態と同様に、単結晶ダイヤモンドによる正方形で一定の厚さの板状のベース６１の中心に貫通孔６２を有している。この実施の形態ではベース６１の角を形成する一方の側面６１ａより外周面に向けて第１，第２の傾斜面６２ａ，６２ｂを形成する。このとき、第１，第２の傾斜面はそれぞれベース６１の多角形の対角線に対して垂直から例えば５°傾けて研磨されることにより、互いに交差する。同様に、他方の側面６１ｂより第３，第４の傾斜面６３ａ，６３ｂを形成する。そして第１，第３の傾斜面の交線を第１の稜線６４ａとし、第２，第４の傾斜面６２ｂ，６３ｂの交線を第２の稜線６４ｂとする。この２つの稜線６４ａ，６４ｂはベース６１の側面６１ａ，６１ｂに平行とされることが好ましい。第１の稜線６４ａ，第２の６４ｂは、第１、第２の実施形態における稜線３５ａに対して、それぞれ例えば約５°ずつ傾けて形成される。したがって、第１の稜線と第２の稜線のなす角度は例えば約１７０°とされる。
【００２３】
又この角に隣接する他の１つの角については、同様にしてベース６１の一方の側面より第１，第２の傾斜面６５ａ，６５ｂ、他方の側面より第３，第４の傾斜面６６ａ，６６ｂを形成し、傾斜面６５ａ，６６ａの交線を第１の稜線６７ａ、傾斜面６５ｂ，６６ｂの交線を第２の稜線６７ｂとする。他の１つの角についても同様にして夫々第１〜第４の傾斜面６８ａ，６８ｂ，６９ａ，６９ｂを形成し、傾斜面の交線を第１の稜線７０ａ，第２の７０ｂとする。残りの角についても第１〜第４の傾斜面７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂを形成し、傾斜面の交線を第１の稜線７３ａ，第２の稜線７３ｂとする。
【００２４】
次に図８（ｂ），図９（ｂ）に示すようにベース６１の外周面より第１の稜線６４ａ，第２の稜線６４ｂに向けて研磨して天面７４ａ，７４ｂを形成する。こうすれば第１，第３の傾斜面６２ａ，６３ａと天面７４ａとで１つの頂点を形成することができ、これをポイントＰ１とする。同様にして第２，第４の傾斜面６２ｂ，６３ｂと側方から研磨した天面７４ｂとで頂点を形成することができ、これをポイントＰ２とする。こうすればベース６１の１つの角について２つのポイントを形成することができる。
【００２５】
この角に隣接する他の１つの角についても、ベース６１の外周面より第１の稜線６７ａ，第２の稜線６７ｂに向けて研磨して天面７５ａ，７５ｂを形成する。こうすれば第１，第３の傾斜面６５ａ，６６ａと天面７５ａとで１つの頂点を形成することができ、これをポイントＰ３とする。同様にして第２，第４の傾斜面６５ｂ，６６ｂと側方から研磨した天面７５ｂとで頂点を形成することができ、これをポイントＰ４とする。
【００２６】
又ベース６１の外周面より稜線７０ａ，７０ｂに向けて研磨して天面７６ａ，７６ｂを形成する。こうすれば第１，第３の傾斜面６８ａ，６９ａと天面７６ａとで１つの頂点を形成することができ、これをポイントＰ５とする。同様にして第２，第４の傾斜面６８ｂ，６９ｂと側方から研磨した天面７６ｂとで頂点を形成することができ、これをポイントＰ６とする。
【００２７】
更にベース６１の外周面より稜線７３ａ，７３ｂに向けて研磨して天面７７ａ，７７ｂを形成する。こうすれば第１，第３の傾斜面６２ａ，６３ａと天面７７ａとで１つの頂点を形成することができ、これをポイントＰ７とする。同様にして第２，第４の傾斜面６２ｂ，６３ｂと側方から研磨した天面７７ｂとで頂点を形成することができ、これをポイントＰ８とする。この実施の形態では、各ポイントを構成する天面と２つの傾斜面とはいずれも他のポイントを構成するものではなく独立しているため、他のポイントに影響を与えることなく精密な研磨が可能となる。こうすればベースの周囲に８つのポイントＰ１〜Ｐ８を形成することができる。
【００２８】
尚第３の実施の形態では、第１，第３と第２，第４の傾斜面で形成された２つの稜線の端に対して側面より更に研磨して三角形の天面を形成しているが、ベース６１の外周面をそのまま天面とし、傾斜面６２ａ，６３ａと側面、傾斜面６２ｂ，６３ｂと外周面によって形成される頂点を夫々ポイントとして形成するようにしてもよい。他の角のポイントについても同様である。
【００２９】
このダイヤモンドツール６０を用いてスクライブする際にも、１つのポイントＰ１を基板に接触させてスクライブを行う。その位置が摩耗した場合にはダイヤモンドツール６０を回転させて隣接するポイントを用いる。このとき、稜線と脆性材料基板がなす角度θがスクライブ時に一定になるようにする。こうすれば８回ポイント位置を変化させてスクライブを行うことができる。又ポイントＰ１が摩耗するとダイヤモンドツールを９０°づつ回転させてポイントＰ３，Ｐ５，Ｐ７を用い、４箇所のポイントが全て摩耗すると、ダイヤモンドツールを反転させ、稜線と脆性材料基板がなす角度θが一定となるように調整して４箇所のポイントＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８を使用し、合計８回のポイントを使用するようにしてもよい。
【００３０】
前述した各実施の形態では周囲に８又は１２箇所のポイントを設けているが、少なくとも１つの角にポイントを設ければよく、必ずしも全ての角に傾斜面とポイントを設ける必要はない。しかし隣接するポイントが互いに干渉しない範囲で外周部にはなるべく多くのポイントを設けておくことが好ましい。これにより各ポイントが摩耗したときダイヤモンドツールを回転させるだけでポイントを交換することができ、ダイヤモンドツールの交換頻度を少なくすることができる。また、ベースの形状は四角形及び六角形に限られず、任意の多角形とすることができる。
【００３１】
又前述した実施の形態ではベース全体を単結晶ダイヤモンドで構成しているが、脆性材料基板と接触する表面部分がダイヤモンドであれば足りるため、超硬合金や焼結ダイヤモンド製を用いて形成されたベースの外周面及び稜線の表面に多結晶ダイヤモンド層を形成し、これをさらに精密に研磨してポイントを形成してもよい。また、ボロン等の不純物をドープし、導電性を持たせた単結晶または多結晶ダイヤモンドを使用してもよい。導電性を有するダイヤモンドを用いることで、放電加工により傾斜面や貫通孔を容易に形成することができる。
【００３２】
又、前述した実施の形態ではダイヤモンドツールを各ポイントにおける稜線方向へ移動させてスクライブすることとしているが、各ポイントの天面方向へ移動させてスクライブしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明のマルチポイントダイヤモンドツールは脆性材料基板をスクライブするスクライブ装置に用いることができ、特にダイヤモンドツールの摩耗が多くなる硬度の高いスクライブ対象にも有効に使用することができる。
【符号の説明】
【００３４】
１０，３０，５０，６０  マルチポイントダイヤモンドツール
１１，３１，５１，６１  ベース
１１ａ，１１ｂ，６１ａ，６１ｂ  側面
１２，３２，５２，６２  貫通孔
１３，３３，４３  研磨面
１３ａ〜１３ｄ，１４ａ〜１４ｄ，３３ａ〜３３ｆ，３４ａ〜３４ｆ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂ，６５ａ，６５ｂ，６６ａ，６６ｂ，６８ａ，６８ｂ，６９ａ，６９ｂ，７２ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ  傾斜面
１５ａ〜１５ｄ，３５ａ〜３５ｆ，６４ａ，６４ｂ，６７ａ，６７ｂ，７０ａ，７０ｂ，７３ａ，７３ｂ  稜線
１６〜１９，２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ，３６〜４１，５１ａ〜５６ｂ，７４ａ〜７７ｂ  天面
Ｐ１〜Ｐ１２  ポイント
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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