(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の波長帯域の光を発生する光源と、
前記光源からの前記光により励起され前記第一の波長帯域とは異なる波長帯域の蛍光を生じさせる波長変換部材と、
該波長変換部材の前記光源からの前記光の照射位置に近接して配置され、前記波長変換部材から発生する前記蛍光を集光する集光光学系と、
前記集光光学系に対する前記波長変換部材の前記光の照射位置の、基準位置からの光軸方向への変化量を検出する変化量検出手段としての距離センサと、
該距離センサの検出結果と、予め設定されている出射光量の制御動作例とに基づいて、出射される前記蛍光の光量を制御する光量制御手段と、を備え、
前記距離センサは、前記波長変換部材の前記光の照射位置を介して前記集光光学系とは反対側に設けられ、前記波長変換部材までの距離を測定し、該距離センサによって検出される前記波長変換部材までの距離に基づいて、前記集光光学系に対する前記波長変換部材の前記光の照射位置の、基準位置からの変化量を検出し、
前記波長変換部材が、回転軸を中心として回転する金属製の回転体の一方の面に設けられ、
前記回転体における前記光の照射位置の裏に、前記距離センサの照準が合わせられていることを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記光源を駆動する光源駆動手段を備え、前記光量制御手段は、前記距離センサの検出結果に基づいて、前記光源駆動手段を制御して前記光源からの前記光の発光量を制御することを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記光量制御手段は、前記距離センサの検出結果に基づいて、出射される前記蛍光の光量が所定値となるように、前記光源からの前記光の発光量を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の光源装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光源装置と、映像信号に基づいて前記光源装置からの光源光を変調して画像形成光を生成する表示素子と、前記光源装置からの光源光を前記表示素子に照射する導光光学系と、前記表示素子の変調により生成された画像形成光を被投影面に向けて投影する投影光学系と、前記表示素子を少なくとも制御する映像処理部と、を備えることを特徴とする投影表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源装置及びこの光源装置を備えたプロジェクタ等の投影表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、大画面のディスプレイ装置が急速に普及してきており、それらを用いた会議やプレゼンテーション、研修などが一般的になってきている。このようなディスプレイとしては、液晶やプラズマなど様々なものがあり、場所の広さや参加人数などによって適当なものが選択されている。その中でも、スクリーン等の被投影面に画像を投影して拡大表示することができる投影表示装置（以後、「プロジェクタ」と呼ぶ）が選択されている。このプロジェクタは、比較的安価で可搬性にも優れているため（即ち小型軽量で持ち運びやすいため）、最も広く普及している大画面ディスプレイと言える。
【０００３】
そのような背景の中で、最近ではコミュニケーションの必要な場面や状況が益々増えてきている。例えば、オフィスにおいても小さな会議室や、パーテイション等で仕切られた打合せスペースが数多く設けられ、プロジェクタを使った会議や打合せなどが頻繁に行われるようになった。更には、会議室等が空いていなくても、例えば通路などの空きスペースを利用し、その通路の壁などにプロジェクタで情報を投影表示しながら打合せをしたい、などといった急な要求シーンも頻繁に見られるようになった。
【０００４】
このようなプロジェクタにおいて、従来は、例えば超高圧水銀ランプなどの高輝度の放電ランプを光源とするものが知られている。しかし、近年は、光源として、赤色、緑色、青色の発光ダイオード（ＬＥＤ）、有機ＥＬ素子等の固体発光素子を用いた製品も普及しつつある。可視光や紫外光を発生する固体光源を用い、固体光源から出射する可視光や紫外光を、これらとは異なる波長帯域の可視光に変換する蛍光体層を備えた光源装置及びプロジェクタが開発され、多くの提案がなされている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
特許文献１には、第１波長帯域の可視光を発生する固体発光素子と、固体発光素子から射出された第１波長帯域の可視光を第１光路と第２光路とに切り替える光路切り替え部材と、第２光路に設けられてその第１波長帯域の可視光が励起光として照射されて第２波長帯域の可視光としての蛍光を発生する蛍光体とを備えたプロジェクタが開示されている。この種のプロジェクタでは、光路切り替え部材により第１波長帯域の可視光と第２波長帯域の可視光とを時分割的に生成することにより、カラー画像を投影するように構成されている。
【０００６】
しかし、この場合、固体発光素子から射出された第１波長帯域の可視光が励起光として蛍光体に照射されるので、高出力（ハイパワー）の励起光が蛍光体の同一箇所に連続して照射され続けると、その箇所の温度が上昇する。この温度変化に伴って、光源装置の光路に配置されている集光光学手段のレンズ等の光学素子が熱的に損傷する等の不具合を生じる。
【０００７】
そこで、蛍光体をホイール（回転体）に取り付け、このホイールを駆動モータにより所定の回転速度で回転させることで、励起光による蛍光体の照射箇所を変化させる構成とした光源装置が用いられている（例えば、特許文献２、３参照）。
【０００８】
このような構成の光源装置では、モータ自身の軸ブレや回転体をモータの回転軸に取り付ける場合の精度ばらつきなどにより、回転体を回転させたときに面ブレが生じる場合がある。この面ブレにより、励起光の照射位置と集光光学手段との距離が変動してしまう。一般に、集光効率は、照射位置と集光光学手段との距離が近いほど高くなるが、このように面ブレが生じて励起光の照射位置と集光光学手段との距離が変動すると、集光効率が低下して、光源装置から出射される蛍光の光量が変動する不具合を生じてしまう。さらに、このような光源装置をプロジェクタに適用した場合には、所望の階調性能が得られないといった不具合を生じることもある。しかしながら、特許文献２、３に記載の従来技術では、面ブレへの対策がなされていないため、このような不具合を解消できなかった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、蛍光体で生成される蛍光の光量の変動を抑制して、安定した光量での蛍光の出射を可能とし、高品質な光学製品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る光源装置は、第一の波長帯域の光を発生する光源と、光源からの光により励起され第一の波長帯域とは異なる波長帯域の蛍光を生じさせる波長変換部材と、該波長変換部材の光源からの光の照射位置に近接して配置され、波長変換部材から発生する蛍光を集光する集光光学系と、該集光光学系により集光された蛍光を出射する出射光学系と、集光光学系に対する波長変換部材の光の照射位置の、基準位置からの光軸方向への変化量を検出する変化量検出手段としての距離センサと、該距離センサの検出結果と、予め設定されている出射光量の制御動作例とに基づいて、出射光学系から出射される蛍光の光量を制御する光量制御手段と、を備え、距離センサは、波長変換部材の光の照射位置を介して集光光学系とは反対側に設けられ、波長変換部材までの距離を測定し、該距離センサによって検出される波長変換部材までの距離に基づいて、集光光学系に対する波長変換部材の光の照射位置の、基準位置からの変化量を検出し、波長変換部材が、回転軸を中心として回転する金属製の回転体の一方の面に設けられ、回転体における光の照射位置の裏に、距離センサの照準が合わせられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、蛍光体で生成される蛍光の光量の変動を抑制して、安定した光量での蛍光の出射を可能とし、高品質な光学製品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本願の実施例１に係る光源装置の構成を概略的に示した図である。
【図２】図１に示すミラーホイールの一例を模式的に示した平面図である。
【図３】図１に示す蛍光ホイールの一例を模式的に示した平面図である。
【図４】実施例１の光源装置における出射光量の制御動作例を、タイミングチャートで概略的に示した図であり、（ａ）は、出射光量制御を行わない場合の様子を示し、（ｂ）は、出射光量制御を行う場合の様子を示す。
【図５】本願の実施例２に係る光源装置の構成を概略的に示した図である。
【図６】実施例２の光源装置における出射光量の制御動作例を、タイミングチャートで概略的に示した図である。
【図７】本願の実施例３に係る光源装置の構成を概略的に示した図である。
【図８】本願の実施例４に係る画像投影装置の構成を概略的に示した図であり、（ａ）は平面図を示し、（ｂ）は側面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（実施例１）
以下、本願の実施例１に係る照明装置について、図面を参照しながら説明する。図１は本願の実施例１における光源装置Ｇ１の要部構成を概略的に示した図である。この図１に示すように、実施例１の光源装置Ｇ１は、光源１、ＬＤ駆動部２、集光光学系３、光路切替部材４、ダイクロイックミラー６、蛍光部材８、拡散板１１、リレーレンズ１２、反射ミラー１３、リレーレンズ１４、ダイクロイックミラー１５、リレーレンズ１６、出射光学系１７、距離センサ１８及び制御部２０を備えて構成されている。
【００１４】
光源１は、第一の波長帯域の光を発生する。この第一の波長帯域の光は、励起光Ｐ１として機能するとともに、光源光Ｌとして出射される。実施例１では、この光源１はＬＤモジュールから構成されている。このＬＤモジュールは、ここでは、青色の波長帯域（例えば、４００ｎｍ〜４５０ｎｍ）のレーザ光（以下、「青色光」という）を励起光Ｐ１として発生する複数個のレーザダイオード（レーザ光源）ＬＤと、各レーザダイオードＬＤに対応してそれぞれ設けられたコリメータレンズＣＬと、を有する。各コリメータレンズＣＬは、各レーザダイオードＬＤから出射される光を平行光にコリメートする。
【００１５】
光源１を構成するＬＤモジュールは、レーザダイオードＬＤから発生する熱を放熱してレーザダイオードＬＤの温度上昇を抑制するヒートシンク機能を有している。これにより、レーザダイオードＬＤの温度は所定温度範囲に保たれる。
【００１６】
レーザダイオードＬＤは、光源駆動手段としてのＬＤ駆動部２によって発光制御される。励起光（青色光）Ｐ１の進行方向前方には、励起光（青色光）Ｐ１を集光すると共にこの集光された励起光（青色光）Ｐ１を平行光束に変換する集光光学系３が設けられている。
【００１７】
集光光学系３によって集光され平行光束に変換された励起光（青色光）Ｐ１は、光路切替部材４に導かれる。光路切替部材４として、本実施例では、駆動モータＭ２で回転するミラーホイール５を用いている。
【００１８】
ミラーホイール５は、例えば図２に示すような構成を有し、２つの領域Ａ５ａ及び領域Ｂ５ｂを備えた円盤状基板５ｃに形成される。このミラーホイール５は、電動モータＭ２の回転軸ｍ２に取り付けられる。本実施例のミラーホイール５は、領域Ａ５ａでは入射光である励起光（青色光）Ｐ１を反射し、領域Ｂ５ｂでは入射光である励起光（青色光）Ｐ１を透過する機能を備える。したがって、ミラーホイール５は、電動モータＭ２によって回転されることにより、入射光である励起光（青色光）Ｐ１を周期的に透過または反射して光路を切り替える光路切替手段として機能する。なお、このようなミラーホイール５は、例えば円盤状基板５ｃとして透明のガラス基板を用い、このガラス基板上の領域Ａ５ａ部分にのみアルミニウムなどの高反射率の材料を成膜することで実現することができる。
【００１９】
ミラーホイール５に導かれた励起光（青色光）Ｐ１は、領域Ｂ５ｂを透過してその後段（進行方向前方）に設けられたダイクロイックミラー（波長分離部材）６に導かれる第一の光路ＯＰ１と、領域Ａ５ａを反射してその後段（進行方向前方）に設けられた拡散板１１に導かれる第二の光路ＯＰ２に切り替えられる。
【００２０】
第一の光路ＯＰ１に設けられたダイクロイックミラー６は、励起光（青色光）Ｐ１の波長と蛍光部材８により生成される蛍光の波長との相違を利用して、蛍光ホイール９に導かれる励起光（青色光）Ｐ１と蛍光部材８により生成された蛍光とを分離する機能を有する。
【００２１】
本実施例のダイクロイックミラー６は、励起光Ｐ１である青色光は透過し、その他の波長帯域の光（蛍光）は反射する特性を備える。このダイクロイックミラー６を透過した励起光（青色光）Ｐ１は、その進行方向前方に設けられた集光光学系７によって更に集光されて蛍光部材８に導かれる。
【００２２】
集光光学系７は、蛍光部材８の蛍光ホイール９の照射位置Ｘに近接して設けられ、励起光（青色光）Ｐ１を集光して照射位置Ｘにスポット的に照射し、かつ、励起光（青色光）Ｐ１により励起された蛍光を集光して平行光束に変換する。
【００２３】
集光光学系７により励起光（青色光）Ｐ１が導かれる蛍光部材８は、駆動モータＭ１と波長変換部材としての蛍光ホイール（回転体）９とから構成されている。蛍光ホイール９は駆動モータＭ１の回転軸ｍ１に取り付けられ、駆動モータＭ１により回転軸ｍ１を中心として回転駆動される。集光光学系７によりスポット的に照射される励起光（青色光）Ｐ１によって、所望の光量の蛍光が生成されるように、蛍光ホイール９は、照射位置Ｘが、図１に示す基準位置Ｓに配置されるように設けられている。
【００２４】
図３は蛍光ホイール９の一例を示す平面図である。これらの図に示すように、蛍光ホイール９は、金属製の円盤状基板９ａと、この円盤状基板９ａ上に蛍光体材料が輪状に成膜されて形成された蛍光体層（蛍光体）１０とから構成される。蛍光体層１０は、円盤状基板９ａの、励起光（青色光）Ｐ１の入射側の面（以下、「入射面」と呼ぶ９ｂ）に配置されている。蛍光体層１０は、蛍光ホイール９の周回方向に、反時計回りに順に設けられた黄蛍光体層１０ａ、赤蛍光体層１０ｂ及び緑蛍光体層１０ｃから構成される。緑蛍光体層１０ｃと黄蛍光体層１０ａとの間には、蛍光体材料が成膜されていない非蛍光体領域１０ｄが設けられている。励起光（青色光）Ｐ１の照射位置Ｘに、この非蛍光体領域１０ｄが位置している期間は、励起光（青色光）Ｐ１が蛍光ホイール９に導かれず、光源光として出射される期間（図５のＴｂに対応）である。なお、蛍光体層１０以外の非蛍光体領域１０ｄを含む部分は、蛍光体材料が成膜されておらず、光を透過する透過部１０ｅとなっている。
【００２５】
赤蛍光体層１０ｂは、励起光（青色光）Ｐ１が照射されると赤色の波長帯域（例えば、６２０ｎｍ〜７５０ｎｍ）の光（以下、「赤色の蛍光Ｒ」という）を出射する蛍光体が含まれている。同様に、緑蛍光体層１０ｃ及び黄蛍光体層１０ａは、励起光（青色光）Ｐ１が照射されると、それぞれ緑色の波長帯域（例えば、５００ｎｍ〜５７０ｎｍ）の光（以下、「緑色の蛍光Ｇｒ」という）及び黄色の波長帯域（例えば、５７０ｎｍ〜５９０ｎｍ）の光（以下、「黄色の蛍光Ｙ」という）を出射する蛍光体が含まれている。
【００２６】
蛍光ホイール９で生成された各色の蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙは、集光光学系７によって集光され、ダイクロイックミラー６により反射されて第三の光路ＯＰ３に入射する。この第三の光路ＯＰ３を通過する各色の蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙは、該第三の光路ＯＰ３に設けられたリレーレンズ１６により、その進行方向前方に設けられたダイクロイックミラー１５に導かれる。
【００２７】
一方、ミラーホイール５を反射し第二の光路ＯＰ２を通過する励起光（青色光）Ｐ１の進行方向前方には、拡散板１１が設けられている。この拡散板１１は、励起光（青色光）Ｐ１を均一で且つインコヒーレントな青色光に変換する。拡散板１１を通過した励起光（青色光）Ｐ１の進行方向前方には、リレーレンズ１２、反射ミラー１３及びリレーレンズ１４が設けられ、これらの光学素子によって、励起光（青色光）Ｐ１は、その進行方向前方に設けられたダイクロイックミラー１５に導かれる。
【００２８】
このダイクロイックミラー１５は、励起光（青色光）Ｐ１は透過し、その他の波長帯域の光（各色の蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙ）は反射する特性を備え、励起光（青色光）Ｐ１と各色の蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙとを合成する。合成された光は、出射光学系１７を通して光源光Ｌとして光源装置Ｇ１から出射される。
【００２９】
距離センサ１８は、蛍光ホイール９の、蛍光体層１０が配置された入射側面９ｂとは反対側の面（以下、「反対側面」と呼ぶ）９ｃに面した位置に設けられている。距離センサ１８は、蛍光ホイール９の励起光（青色光）Ｐ１の照射位置Ｘの真裏の反対側面９ｃ上に照準を合わせて、この反対側面９ｃと距離センサ１８との距離を連続的に測定し、その測定結果（検出結果）を制御部２０に出力する。
【００３０】
なお、距離センサとしては、例えば、内部にＬＥＤやＬＤなどの光源と受光素子とを備え、光源から照射された光の測定対象（本実施例の場合は蛍光ホイール９の入射側面９ｂの励起光Ｐ１照射位置Ｘの真裏の反対側面９ｃ）からの反射光を受光素子にて受光し、評価及び演算して距離に換算し出力する構成のものが広く知られている。このような距離センサを本実施例の距離センサ１８としても使用することができるが、本願がこれに限定されることはなく、他の何れの距離センサを用いてもよい。
【００３１】
制御部２０は、制御信号の送受信により、ＬＤ駆動部２、光路切替部材４の駆動モータＭ１、蛍光部材８の駆動モータＭ２を制御して、光源１、ミラーホイール５、蛍光ホイール９を駆動制御するとともに、光源装置Ｇ１全体を制御する。制御部２０は、距離センサ１８からの検出結果に基づいて、集光光学系７に対する蛍光ホイール９の入射側面９ｂ上の励起光（青色光）Ｐ１の照射位置Ｘの基準位置Ｓからの変位量を導出する。すなわち、距離センサ１８と制御部２０とは、基準位置Ｓからの照射位置Ｘの変位量を検出する変化量検出手段として機能する。さらに、制御部２０は、この位置変動に対応して、光源１を駆動制御する光源駆動手段としてのＬＤ駆動部２を制御し、光源１からの励起光（青色光）Ｐ１の出射光量を制御することで、蛍光ホイール９で生成される各色の蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙの出射光量を制御する。すなわち、制御部２０は、光量制御手段として機能する。
【００３２】
制御部２０のハードウェア構成としては、ＣＰＵ（中央処理ユニット;Central Processing Unit）、ＲＯＭ（リードオンリーメモリ；Read Only Memory）、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ；Random Access Memory）等から構成される。制御部２０は、ＲＯＭに予め記憶されているプログラムに従って、ＲＡＭをワークメモリとして用いて、光源１、光路切替部材４、蛍光部材８を駆動制御する。
【００３３】
駆動モータＭ１，Ｍ２は、回転軸ｍ１，ｍ２の回転速度を示す回転検出信号ＭＸ１，ＭＸ２をそれぞれ生成し、制御部２０に出力する機能を備えている。本機能は、駆動モータＭ１，Ｍ２に内蔵又は外付けされて設けられ、駆動モータＭ１，Ｍ２のそれぞれの回転状態を検出する手段により行われる。
【００３４】
次に、制御部２０の制御によって行われる光源装置Ｇ１の動作について説明する。制御部２０には、例えば、外部装置（図示せず）、ユーザが操作する操作手段（図示せず）等により、起動命令としてのコントロール信号ＣＴＲＬが入力される。または、制御部２０が、光源装置Ｇ１の状態を、コントロール信号ＣＴＲＬとして外部装置やユーザ操作手段等に出力する。このようなコントロール信号ＣＴＲＬは、例えば、Ｉ２Ｃ、ＳＰＩ等のシリアル通信インターフェース（図示せず）を用いて、コマンドやデータを入出力することにより実現される。
【００３５】
制御部２０は、コントロール信号ＣＴＲＬによって起動命令が入力されると、駆動モータＭ１，Ｍ２に向けてモータ駆動信号ＭＤ１，ＭＤ２を出力し、駆動モータＭ１，Ｍ２を起動する。これにより、ミラーホイール５及び蛍光ホイール９が回転を開始する。また、駆動モータＭ１，Ｍ２は、回転検出信号ＭＸ１，ＭＸ２をそれぞれ生成し、制御部２０に向けて出力する。
【００３６】
制御部２０は、回転検出信号ＭＸ１，ＭＸ２を受信することで、駆動モータＭ１，Ｍ２の回転状態を検知する。制御部２０は、駆動モータＭ１，Ｍ２がともに所定の回転速度に達したことを検知すると、これらの回転周期に同期した信号ＳＹＮＣを生成して出力するとともに、該同期信号ＳＹＮＣに基づいて、レーザダイオードＬＤの発光を制御する制御信号ＬＤＣを生成し、ＬＤ駆動部２に向けて出力する。
【００３７】
ＬＤ駆動部２は、制御信号ＬＤＣを受信することにより駆動され、制御信号ＬＤＣに基づいてＬＤ駆動電流ＩＬ１を生成し、光源１に向けて出力する。光源１は、ＬＤ駆動電流ＩＬ１が通電されると、複数のレーザダイオードＬＤから励起光Ｐ１として青色の波長帯域の光（青色レーザ光）を出射する。
【００３８】
励起光（青色光）Ｐ１は、コリメータレンズＣＬで平行光にコリメートされた後、集光光学系３によって集光され、ミラーホイール５の領域Ｂ５ｂを透過してダイクロイックミラー６に導かれる。励起光（青色光）Ｐ１は、このダイクロイックミラー６を通過して集光光学系７により蛍光ホイール９にスポット的に照射される。
【００３９】
蛍光ホイール９に導かれた励起光Ｐ１（青色光）が、回転する蛍光ホイール９の黄蛍光体層１０ａを照射する期間（図４のＴｙに対応）では黄色の蛍光Ｙが生成される。赤蛍光体層１０ｂを照射する期間（図４のＴｒに対応）では赤色の蛍光Ｒが生成される。緑蛍光体層１０ｃを照射する期間で（図４のＴｇに対応）は緑色の蛍光Ｇｒが生成される。
【００４０】
蛍光ホイール９で生成された各色の蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙは、集光光学系７によって集光され、ダイクロイックミラー６により第三の光路ＯＰ３に向けて反射され、この第三の光路ＯＰ３に設けられたリレーレンズ１６を通過してダイクロイックミラー１５に導かれる。
【００４１】
一方、ミラーホイール５を反射し第二の光路ＯＰ２を通過した励起光（青色光）Ｐ１は、拡散板１１で均一で且つインコヒーレントな青色光に変換された後、リレーレンズ１２を通過し、反射ミラー１３で反射された後、リレーレンズ１４を通過して、ダイクロイックミラー１５に導かれる。
【００４２】
励起光（青色光）Ｐ１と各色の蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙとは、ダイクロイックミラー１５により合成され、光源光Ｌとして出射光学系１７を通して光源装置Ｇ１から出射される。
【００４３】
上述のように、光源装置Ｇ１から光源光Ｌが出射されている間、変化量検出手段としての距離センサ１８は、蛍光ホイール９の励起光（青色光）Ｐ１の照射位置Ｘの真裏の反対側面９ｃ上に照準を合わせて、距離センサ１８と反対側面９ｃとの距離を連続的に測定し、その測定データＬＯを制御部２０に出力する。
【００４４】
この測定データＬＯは、基準位置Ｓから照射位置Ｘが軸方向に位置ズレすることで変動する。すなわち、基準位置Ｓからの照射位置Ｘの位置ズレは、駆動モータＭ１の回転軸ｍ１の軸ブレや、蛍光ホイール９を回転軸ｍ１に取り付ける場合の精度のばらつき等により、蛍光ホイール９の回転時に面ブレを生じることで起こる。この測定データＬＯの変動により、集光光学系７での集光効率が低下し、光源装置から出射される蛍光の光量が変動して品質に影響することがある。
【００４５】
この蛍光の光量の変動を抑制すべく、変化量検出手段としての制御部２０は、距離センサ１８から測定データＬＯを受信すると、この測定データＬＯに基づいて蛍光ホイール９の入射側面９ｂ上の励起光（青色光）Ｐ１の照射位置Ｘと、集光光学系７との距離データＤＥＬＴＡを導出する（図４参照）。より具体的には、予めわかっている集光光学系７の位置及び蛍光ホイール９の厚みと、距離センサ１８で測定した蛍光ホイール９の反対側面９ｃまでの測定データＬＯとに基づいて、蛍光ホイール９の入射側面９ｂ上の励起光（青色光）Ｐ１の照射位置Ｘと、集光光学系７との距離データＤＥＬＴＡを導出する。これにより、制御部２０は、集光光学系７に対する蛍光ホイール９の入射側面９ｂ上の励起光（青色光）Ｐ１の照射位置Ｘの基準位置Ｓからの光軸方向の変化を把握することができる。
【００４６】
制御部２０は、さらに、光量制御手段として、距離データＤＥＬＴＡに基づいて、蛍光ホイール９から生成され光源光Ｌとして出射される各色の蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙを所望の出射光量にするためのＬＤ駆動電流ＩＬ１を導出する。制御部２０は、導出したＬＤ駆動電流ＩＬ１を、レーザダイオードＬＤの発光を制御する制御信号ＬＤＣとしてＬＤ駆動部２に対して出力する。
【００４７】
制御信号ＬＤＣを受信したＬＤ駆動部２は、この制御信号ＬＤＣに基づいて、制御部２０により導出されたＬＤ駆動電流ＩＬ１を光源１に向けて出力する。このＬＤ駆動電流ＩＬ１により、光源１のレーザダイオードＬＤでの発光量が制御され、蛍光ホイール９に照射される励起光（青色光）Ｐ１の光量が調整される。したがって、蛍光ホイール９から生成される各色の蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙの発光光量が調整され、光源装置Ｇ１から所望の出射光量の光源光を出射することができ、優れた光学性能を得ることができる。
【００４８】
以下、上述した動作を、図４のタイミングチャートを用いて詳細に説明する。図４は、実施例１の光源装置Ｇ１での同期信号ＳＹＮＣに対するＬＤ駆動電流ＩＬ１、距離データＤＥＬＴＡ、出射される光源光Ｌの光量の様子を示すタイミングチャートである。図４（ａ）（紙面上部）は、距離センサ１８から出力される測定データＬＯに基づく出射光量制御を行わない場合の様子を示す。図４（ｂ）（紙面下部）は、出射光量制御を行う場合の様子を示す。
【００４９】
同期信号ＳＹＮＣは、例えば周期Ｔ０のパルス信号であり、ミラーホイール５及び蛍光ホイール９の回転周期と同期している。より具体的には、周期Ｔ０において、ミラーホイール５及び蛍光ホイール９が一回転する。ＬＤ駆動電流ＩＬ１は、説明を簡単にするために、一定の電流値Ｉ１としている。
【００５０】
距離データＤＥＬＴＡは、制御部２０においてはデジタル・データとして処理されていてもよいが、図４では分かりやすく示すためにアナログの波形で示している。この距離データＤＥＬＴＡの波形は、蛍光ホイール９の入射側面９ｂ上の励起光（青色光）Ｐ１の照射位置Ｘと集光光学系７との距離が、最小のＤｍｉｎから最大のＤｍａｘまでの範囲で変動していることを示している。また、説明を簡単にするために、光源装置Ｇ１から出射される光源光Ｌの出射光量はＰＬ１としている。
【００５１】
図１に示す光源装置Ｇ１から出射される光源光Ｌとして、赤色、緑色、青色及び黄色の光が周期Ｔ０で順次出射される。図４のＴｒ，Ｔｇ，Ｔｂ及びＴｙはそれぞれの光の出射期間を示している。一般的に、集光光学系７と照射位置Ｘとの距離データＤＥＬＴＡが小さいほど、生成される蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙの集光効率を高くできる。
【００５２】
図４でも、これを踏まえ、距離データＤＥＬＴＡが、最小Ｄｍｉｎから最大Ｄｍａｘに変化する場合において、出射光量制御を行わない図４（ａ）では、距離データＤＥＬＴＡの値が小さいほど光源光Ｌの出射光量ＰＬ１が大きくなるように示している。すなわち、距離データＤＥＬＴＡが、最小Ｄｍｉｎのとき蛍光の出射光量ＰＬ１は最大になる。
【００５３】
なお、青色光（励起光Ｐ１）に関しては、蛍光ホイール９の面ブレとは無関係であるので、距離データＤＥＬＴＡの値によらず、その出射光量ＰＬ１は一定となる。また、各蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙについても、説明を簡単にするために、ＬＤ駆動電流ＩＬ１が同一の電流値Ｉ１で、かつ同一の距離データＤＥＬＴＡにおいては、色によらず出射光量ＰＬ１は一定として示している。そのため、図４（ａ）では、ＬＤ駆動電流値ＩＬ１が同一の電流値Ｉ１であっても、距離データＤＥＬＴＡが、最小Ｄｍｉｎから最大Ｄｍａｘに変化するのに伴って、蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙの集光効率が変動し、その結果、蛍光の出射光量ＰＬ１が変動している。
【００５４】
これに対して、図４（ｂ）では、光源光Ｌの出射光量がＰＬ１で一定になるようにＬＤ駆動電流ＩＬ１が制御されている様子を示している。すなわち、距離データＤＥＬＴＡの値が大きくなるほどＬＤ駆動電流ＩＬ１の値は大きくなるように制御され、距離データＤＥＬＴＡが最大のときＬＤ駆動電流ＩＬ１も最大（Ｉ２）となる。このＬＤ駆動電流ＩＬ１の制御により、距離データＤＥＬＴＡが、最小Ｄｍｉｎから最大Ｄｍａｘに変動した場合でも、蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙの集光効率の変動を抑制して、蛍光の出射光量をＰＬ１に保つことができる。
【００５５】
以上、実施例１では、距離センサ１８からの検出結果（測定データＬＯ）に基づいて、光量制御手段としての制御部２０が、光源１からの励起光（青色光）Ｐ１の出射光量を調整し、蛍光ホイール９にて生成される各色の蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙの出射光量ＰＬ１の変動を抑制する。これにより、面ブレ等で蛍光ホイール９への入射光の安定した光量での蛍光の出射が可能となる。また、安定した蛍光の出射が可能となることで、面ブレなどを考慮することなく波長変換部材を形成することができ、波長変換部材の製造コストを低減することができる。したがって、低価格でかつ高品質の光源装置Ｇ１を実現することができる。
【００５６】
また、実施例１では、光量制御手段としての制御部２０の制御により、光源駆動手段としてのＬＤ駆動部２で、光源１からの励起光（青色光）Ｐ１の発光量を制御することで、面ブレによる蛍光の出射光量を制御（補正）している。このように、面ブレによる蛍光の出射光量の補正制御の有無に関わらず必要な光源駆動手段で光量制御手段も兼ねるようにしたので、構成を簡単にすることができ、小型で低コストの光源装置Ｇ１を実現することができる。さらに、実施例１では、蛍光の出射光量が一定になるように光源１からの発光量を制御するようにしたので、高品質で有用性の高い光源装置Ｇ１を実現することができる。
【００５７】
なお、実施例１及び以降の実施例では、波長変換部材として、回転する蛍光ホイール９を用いている。しかしながら、波長変換部材が蛍光ホイール９に限定されることはない。例えば、表面に赤、緑、黄等の各色の蛍光体層を設けた無端ベルト状の波長変換部材を用いることができる。この場合も、無端ベルト状の波長変換部材を回転させることで、励起光の照射位置Ｘを回転方向において時間的に変化させ、各色の蛍光を時分割で生成することができる。また、この回転によって励起光の照射位置Ｘと集光光学系との間の距離が変動しても、変化量検出手段での検出結果に基づいた光量制御手段の制御により、蛍光の出射光量の変動を抑制することができる。
【００５８】
さらに異なる構成としては、例えば、波長変換部材の基板を、円盤状基板に替えて長尺な板形状基板とし、この板形状基板の表面に、長尺方向に延びる各色の蛍光体層を設けてもよい。この板状部材基板を、その長尺方向に往復移動させることにより、励起光の照射位置Ｘを往復移動方向において時間的に変化させ、各色の蛍光を時分割で生成することができる。また、板状部材基板の往復移動により、励起光の照射位置Ｘと集光光学系との間の距離が変動しても、変化量検出手段での検出結果に基づいた光量制御手段の制御により、蛍光の出射光量の変動を抑制することができる。
【００５９】
（実施例２）
次に、本願の実施例２に係る光源装置について、図面に基づいて説明する。図５は、実施例２の光源装置Ｇ２を概略的に示した図であり、図６は、実施例２における出射光量の制御動作例を、タイミングチャートで概略的に示した図である。図５に示す実施例２の光源装置Ｇ２は、蛍光部材８の移動手段としてのアクチュエータ２１を設けたこと以外は、図１に示す実施例１の光源装置Ｇ１と同様の基本構成を有している。そのため、実施例１と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００６０】
アクチュエータ２１は、蛍光部材８の位置を光軸方向に移動させることで、蛍光ホイール９の集光光学系７に対する位置を制御する機能を有する。アクチュエータ２１としては、例えばピエゾに代表される電歪素子、電磁駆動により動作するソレノイドなど様々な手段を適用することができる。
【００６１】
実施例２の制御部２０には、実施例１と同様の機能に加え、アクチュエータ２１の動作を制御するための制御信号ＡＤを生成してアクチュエータ２１に向けて出力する手段（機能）が設けられている。また、実施例１では、距離センサ１８での検出結果に基づいて、ＬＤ駆動電流ＩＬ１を変化させることで、各色の蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙの出射光量の変動を抑制している。これに対して、実施例２では、距離センサ１８での検出結果（測定データＬＯ）に基づいて、アクチュエータ２１によって蛍光ホイール９の位置を制御することで、各色の蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙの出射光量の変動を抑制するものである。
【００６２】
具体的には、図５に示す実施例２の光源装置Ｇ２では、実施例１の図４（ａ）に示すように変動した場合に、制御部２０が制御信号ＡＤによってアクチュエータ２１の変位量を調整する。すなわち、制御部２０は、距離データＤＥＬＴＡの値が大きくなるに従って、図６に示すように、制御信号ＡＤを大きくする。これにより、アクチュエータ２１の変位量を大きくして、蛍光ホイール９を集光光学系７に近づけるようにアクチュエータ２１を駆動制御する。すなわち、制御部２０は、距離データＤＥＬＴＡが最小Ｄｍｉｎから最大Ｄｍａｘに変動する変動範囲内において、アクチュエータ２１を駆動制御して蛍光ホイール９を集光光学系７に近づけるように光軸方向に移動させる。この移動により、図６に示すように、距離データＤＥＬＴＡを最小Ｄｍｉｎに保つようにする。
【００６３】
このような制御により、ＬＤ駆動電流ＩＬ１が一定でも光源光Ｌの出射光量を一定にすることができる。言い換えれば、実施例１では光源光Ｌの出射光量をＰＬ１に安定して制御するためにＬＤ駆動電流ＩＬ１の値を電流値Ｉ１よりも大きくしているが、構成を簡単にすることが可能となっている。これに対して、実施例２では、アクチュエータ２１やその制御手段をさらに備えているが、ＬＤ駆動電流ＩＬ１を大きくする必要がないので、実施例１に比べて消費電力を低減することが可能となる。さらに、レーザダイオードＬＤから一定の出射光量で励起光を出射することができ、光源１の制御が簡易となる。
【００６４】
なお、実施例２では、制御信号ＡＤの値が大きくなるほどアクチュエータ２１の変位量が大きくなって蛍光ホイール９を集光光学系７に近づけるとしたが、本願がこれに限定されることない。例えば、制御信号ＡＤの値が小さくなるほどアクチュエータ２１の変位量が大きくするなど、実施例２とは逆の極性での異なる構成例とすることも可能である。
【００６５】
以上、実施例２によっても、距離センサ１８からの検出結果（測定データＬＯ）に基づいて、制御部２０がアクチュエータ２１の変位量を制御することにより、安定した蛍光の出射が可能となるとともに、波長変換部材としての蛍光ホイール９やこれを備える蛍光部材８の製造コストを低減することができる。したがって、低価格でかつ高品質の光源装置Ｇ２を実現することができる。
【００６６】
また、実施例２では、蛍光ホイール９の集光光学系７に対する位置を移動制御することで、蛍光ホイール９の面ブレに起因する蛍光の出射光量を、直接補正することができ、高い補正性能を備えた高品質の光源装置Ｇ２を実現することができる。
【００６７】
さらに、実施例２では、蛍光ホイール９の励起光（青色光）Ｐ１の照射位置Ｘを基準位置Ｓに保ち、照射位置Ｘと集光光学系７との距離が一定になるように制御するようにしたので、蛍光の発光効率が向上し、より高性能の光源装置Ｇ２を実現することができる。これに加えて、蛍光ホイール９の励起光（青色光）Ｐ１の照射位置Ｘと集光光学系７との距離が、最小距離で一定になるように制御するようにしたので、発生した蛍光の集光効率を最大にすることができ、省電力で出射光量の大きい光源装置Ｇ２を実現することができる。
【００６８】
（実施例３）
次に、本願の実施例３に係る光源装置について、図面に基づいて説明する。図７は、実施例３の光源装置Ｇ３を概略的に示した図である。図７に示す実施例３の光源装置Ｇ３では、距離センサ１８に代えて蛍光光量検出部２２を設け、ダイクロイックミラー１５に代えてダイクロイックミラー１５’を設けたこと以外は、図５に示す実施例２の光源装置Ｇ２と同様の基本構成を有している。そのため、実施例２と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００６９】
蛍光光量検出部２２は、ＰＤ２３、増幅器２４及びＡＤＣ２５を有して構成される。蛍光光量検出部２２は、蛍光の一部を受光し、その光量を検出する。蛍光光量検出部２２の検出結果に基づいて、制御部２０が、集光光学系７に対する蛍光ホイール９の照射位置Ｘの基準位置Ｓからの変化量を検出する。すなわち、蛍光光量検出部２２と制御部２０とで、変化量検出手段として機能する。ダイクロイックミラー１５’は、入射される蛍光の一部を透過する特性を有するダイクロイックミラーで構成される。
【００７０】
図７に示す実施例３の光源装置Ｇ３は、出射される蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙの光量の変動が殆ど蛍光ホイール９の面ブレに起因している場合に好適に用いられる。実施例３の光源装置Ｇ３では、蛍光光量検出部２２で出射される蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙの光量を直接検出することで、蛍光ホイール９の入射側面９ｂ上の励起光（青色光）Ｐ１の照射位置Ｘと集光光学系７との距離の変動に換算して、照射位置Ｘの基準位置Ｓからの変化量を検出することができる。
【００７１】
図７において、ＰＤ２３はダイクロイックミラー１５’を通過してくる蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙの一部を受光し、受光量に応じた電流信号ＰＤＩを増幅器２４に向けて出力する。増幅器２４では、この電流信号ＰＤＩを電圧信号ＰＤＶに変換してＡＤＣ２５に向けて出力する。ＡＤＣ２５では、この電圧信号ＰＤＶをデジタル信号ＰＤＤにさらに変換し、制御部２０に向けて出力することで、このデジタル信号ＰＤＤが制御部２０に入力される。
【００７２】
制御部２０では、ＡＤＣ２５から入力されるデジタル信号ＰＤＤの値に応じて、アクチュエータ２１を制御する制御信号ＡＤを変動させる。すなわち、デジタル信号ＰＤＤの値が、所定の値に対して小さくなるほど制御信号ＡＤを大きくして、蛍光ホイール９を集光光学系７に近づけるようにアクチュエータ２１を駆動制御する。この制御によって、ＬＤ駆動電流ＩＬ１が一定でも、蛍光Ｒ，Ｇｒ，Ｙの光量の変動を抑制し、光源光Ｌの出射光量を一定にすることができる。
【００７３】
以上、実施例３では、蛍光光量検出部２２に基づいて、蛍光ホイール９の位置移動を検出し、制御部２０がアクチュエータ２１の変位量を制御することにより、安定した蛍光の出射が可能となるとともに、蛍光ホイール９や蛍光部材８の製造コストを低減することができる。したがって、低価格でかつ高品質の光源装置Ｇ３を実現することができる。
【００７４】
また、実施例３で用いる蛍光光量検出部２２は、一般的に用いられる安価な部品で小型に実装することができるので、構成を簡単にすることができ、小型で低コストの光源装置Ｇ３を実現することができる。
【００７５】
（実施例４）
次に、本願の実施例４に係る投影表示装置（プロジェクタ）について、図面に基づいて説明する。図８は、本願の光源装置Ｇを備えた投影表示装置１００を概略的に示した図である。図８（ａ）は、投影表示装置１００の平面図を示し、図８（ｂ）は、表示素子３５側から見た側面図を示す。図８（ａ）、（ｂ）に示すように、実施例４に係る投影表示装置１００は、光源装置Ｇと、導光光学系（導光装置）３０と、画像生成部３３と、投影光学系３６と、映像処理部３７と、を備えている。この投影表示装置１００は、被投影面であるスクリーン（図示せず）に画像を投影して拡大表示する装置である。
【００７６】
光源装置Ｇとしては、図１に示す実施例１の光源装置Ｇ１、図５に示す実施例２の光源装置Ｇ２、図７に示す実施例３の光源装置Ｇ３などを用いることができる。光源装置Ｇは、赤色、青色、緑色の３原色光、又は、さらに黄色等の色の光（光源光）を時分割に出力する。
【００７７】
導光光学系３０は、光源装置Ｇから出射された光（光源光Ｌ）を、画像生成部３３に導く。導光光学系３０は、光源装置Ｇから入射した光を均一な面状の照明光に変換するロッドインテグレータ（導光装置）３１と、ロッドインテグレータ３１を経て均一化された照明光を適宜集光して画像生成部３３の反射ミラー３４へと導く集光レンズ群３２と、を有している。
【００７８】
画像生成部３３は、導光光学系３０により導かれた照明光を用いて、画像生成データに基づくフルカラーの画像を形成する。画像生成部３３は、導光光学系３０により導かれた照明光を反射する反射ミラー３４と、反射ミラー３４により反射された各色の照明光を受光し、画素毎に諧調制御することでカラー投影画像を形成する表示素子３５と、を有している。
【００７９】
実施例４では、表示素子３５として、それぞれが表示画像の各画素を構成し、入射する照明光に対する角度を制御することにより照明光を画像光に変調するＤＭＤ（デジタルマイクロミラーデバイス；Digital Micromirror Device）を用いているが、本願がこれに限定されることはなく、例えば、液晶等を用いることもできる。
【００８０】
投影光学系３６は、画像生成部３３の表示素子３５により生成された投影画像をスクリーンに投影する。投影光学系３６は、固定鏡筒に設けられた固定レンズ群や可動鏡筒に設けられた可動レンズ群から構成される。この可動レンズ群を移動させることにより、フォーカス調整やズーム調整を行うことが可能となっている。
【００８１】
映像処理部３７は、投影表示装置１００全体の動作を統括制御する。映像処理部３７のハードウェア構成としては、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を有して構成される。映像処理部３７は、ＲＯＭに予め記憶されているプログラムに従って、ＲＡＭをワークメモリとして用いて、投影表示装置１００の各部を駆動制御する。
【００８２】
映像処理部３７は、光源装置Ｇ、画像生成部３３の表示素子３５、投影光学系３６の駆動機構（図示せず）等に接続されている。映像処理部３７は、所定の信号の送受信を行うことで、光源装置Ｇにおける各色の光の出射制御処理、表示素子３５における投影画像の生成制御処理、投影光学系３６におけるフォーカス調整やズーム調整の調整制御処理を実行する。
【００８３】
以下、実施例４の投影表示装置１００の動作を説明する。投影表示装置１００の映像処理部３７は、外部から映像信号ＶＩＮが入力されると、そのフレーム周波数に基づいて、駆動モータＭ１，Ｍ２の回転周期データを、コントロール信号ＣＴＲＬを介して光源装置Ｇに向けて出力する。映像処理部３７は、さらに、光源装置Ｇから同期信号ＳＹＮＣを受信し、この同期信号ＳＹＮＣに基づいて、レーザダイオードＬＤ（又はＬＥＤを用いている場合はＬＥＤ）の駆動波形データを順次出力する。
【００８４】
映像処理部３７は、上述のように各制御信号を出力して光源装置Ｇが所望の動作を行なうための設定が完了すると、起動コマンドを出力して光源装置Ｇを起動する。
【００８５】
光源装置Ｇは、映像処理部３７により起動されると、実施例１〜実施例３で説明したような動作で、赤色、緑色、青色、黄色の光（光源光）を所定のタイミングでシーケンシャルに出力する。光源装置Ｇから出射した光は、導光光学系３０のロッドインテグレータ３１に入射し、均一な面状の照明光に変換された後、集光レンズ群３２を通過して反射ミラー３４により反射され、表示素子３５の表示画素領域に照射される。
【００８６】
表示素子３５は、映像処理部３７からの制御信号ＶＤＯによって制御される。そのため、映像処理部３７は、映像信号ＶＩＮに基づいて赤色、緑色、青色、黄色に対応した表示信号を生成し、表示素子３５を駆動する制御信号ＶＤＯに変換して表示素子３５に向けて出力する。この制御信号ＶＤＯの入力によって、表示素子３５は、入射した照明光を画像形成光に変調する。この画像形成光は、投影光学系３６を介してスクリーンに投影され、該スクリーンに画像が表示される。
【００８７】
以上説明したように、実施例４に係る投影表示装置１００では、実施例１〜３に係る光源装置Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３を光源装置Ｇとして用いている。そのため、光源装置Ｇに設けられた蛍光ホイール９の回転による面ブレを生じても、その影響を補正して蛍光の安定した出射が可能となり、安定した投影光量の照明光を得ることが可能となる。その結果、階調表示性能に優れた高画質の投影表示装置１００を提供することが可能となる。
【００８８】
以上、本願の光源装置および投影表示装置を各実施例に基づき説明してきたが、具体的な構成については各実施例に限られるものではなく、本願の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。また、前記構成部材の数、位置、形状等は各実施例に限定されることはなく、本願を実施する上で好適な数、位置、形状等にすることができる。また、投影表示装置として、スクリーン等の投影面に画像を投影して拡大表示する投影装置（プロジェクタ）に適用した実施例を説明したが、本願がこれらの実施例に限定されることはない。例えば、半導体デバイスの制作工程でウェハー上に回路パターンを露光する露光装置としての投影装置等に適用することもできる。
【符号の説明】
【００８９】
１  光源    ２  ＬＤ駆動部（光源駆動手段）    ７  集光光学系
８  蛍光部材（波長変換部材）    ９  蛍光ホイール（波長変換部材、回転体）
１８  距離センサ（距離測定手段、変化量検出手段）
２０  制御部（変化量検出手段、光量制御手段）
２１  アクチュエータ（移動手段、変化量検出手段）
２２  蛍光光量検出部（光量検出部、変化量検出手段）
３０  導光光学系    ３５  表示素子    ３６  投影光学系
３７  映像処理部    １００  投影表示装置
Ｇ，Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３  光源装置    ＯＰ３  第三の光路
ｍ１  回転軸    Ｐ１  励起光（第一の波長帯域の光、光源光、青色光）
Ｒ，Ｇｒ，Ｙ  蛍光（光源光、第二の波長帯域の光）
ＶＩＮ  映像信号    Ｘ  照射位置
【先行技術文献】
【特許文献】
【００９０】
【特許文献１】特開２０１２−１４１５８１号公報
【特許文献２】特開２０１３−２５２１５号公報
【特許文献３】特開２０１３−１０９２８３号公報
【図１】
0006476602.tif 000002
【図２】
0006476602.tif 000003
【図３】
0006476602.tif 000004
【図４】
0006476602.tif 000005
【図５】
0006476602.tif 000006
【図６】
0006476602.tif 000007
【図７】
0006476602.tif 000008
【図８】
0006476602.tif 000009