(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面を有する定盤と、
静圧気体軸受であって、
上部と下部と第１の方向に延びた側部とを含み中空部分が前記第１の方向に延びた中空構造を有し前記下部が前記上面に固定されたセラミック製の第１のガイド部と、
前記第１のガイド部と対向する位置に設けられ、前記第１の方向に沿って移動する第１の移動体と、
前記第１の移動体に設けられ、前記第１の方向に直交する第２の方向に延びたセラミック製の第２のガイド部と、
前記第２のガイド部と対向する位置に設けられ、前記第２の方向に沿って移動する第２の移動体と、
を有する静圧気体軸受と、
前記側部および前記上面に固定され前記第１のガイド部の変形を抑制するセラミック製の固定部と、
を備えたことを特徴とするエアステージ装置。
【請求項２】
前記固定部は、複数設けられ、
前記複数の固定部は、前記第１のガイド部の両側の前記側部に設けられたことを特徴とする請求項１記載のエアステージ装置。
【請求項３】
前記複数の固定部のうちの複数の一部は、前記第１のガイド部の両側の前記側部のいずれか一方に設けられ、
前記複数の固定部のうちの複数の他の一部は、前記第１のガイド部の両側の前記側部のいずれか他方に設けられたことを特徴とする請求項２記載のエアステージ装置。
【請求項４】
前記固定部は、締結部材により前記第１のガイド部に固定され、
前記締結部材の位置は、前記固定部の上下方向の中心よりも上方であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のエアステージ装置。
【請求項５】
前記第１のガイド部は、前記第１の移動体の移動方向に一列に並んで配置された複数の締結部材により前記定盤に固定されたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のエアステージ装置。
【請求項６】
前記固定部の上下方向の寸法は、前記第１の移動体が移動したときに前記固定部と干渉しない値に設定されたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のエアステージ装置。
【請求項７】
前記第１のガイド部は、前記中空部分に設けられ前記上部および前記下部に接続されたリブを有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載のエアステージ装置。
【請求項８】
前記第１のガイド部は、複数設けられ、
前記複数の第１のガイド部は、前記第２の移動体の移動方向に並んで設けられたことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載のエアステージ装置。
【請求項９】
前記第１のガイド部の数は、前記第２のガイド部の数よりも多いことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載のエアステージ装置。
【請求項１０】
前記第１の移動体は、前記側部の面と対向する位置に設けられた側板であって、前記複数の第１のガイド部のうちの前記第２の移動体の移動方向における中央領域に設けられた第１のガイド部の両側に設けられた側板を有することを特徴とする請求項９記載のエアステージ装置。
【請求項１１】
前記第１のガイド部は、前記下部の全体が前記上面に接触するように前記定盤に固定されることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１つに記載のエアステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の態様は、一般的に、エアステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エアステージ装置は、例えば、半導体や液晶用の露光装置および検査装置などに用いられる。半導体の分野では、デバイスのスループットの向上を図るため、半導体ウェーハのサイズが大きくなる傾向にある。半導体ウェーハの大型化に対応し、露光装置および検査装置に用いられるエアステージ装置は、大型化してきている。
【０００３】
例えば、エアステージ装置は、Ｘ軸ステージと、Ｙ軸ステージと、を備える。例えば、Ｙ軸ステージは、Ｘ軸ステージの上に設けられ、Ｘ軸ステージの移動方向と直交する方向に移動する。この場合において、エアステージ装置が大型化すると、Ｙ軸ステージの動きに基づいてＸ軸ステージに発生するモーメント（例えばヨーイング）が大きくなることがある。例えば、Ｘ軸ステージに発生するヨーイングが大きくなると、Ｘ軸ステージのガイド部に左右方向の負荷がかかり、ガイド部が変形することがある。
【０００４】
ガイド部の変形は、エアステージ装置の大型化により大きくなる傾向にある。そのため、ガイド部の変形を無視することができなくなってきている。エアステージ装置のガイド部の変形を低減することが求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−８５５０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、かかる課題の認識に基づいてなされたものであり、ガイド部の変形を低減することができるエアステージ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明は、上面を有する定盤と、静圧気体軸受であって、上部と下部と第１の方向に延びた側部とを含み中空部分が前記第１の方向に延びた中空構造を有し前記下部が前記上面に固定されたセラミック製の第１のガイド部と、前記第１のガイド部と対向する位置に設けられ、前記第１の方向に沿って移動する第１の移動体と、前記第１の移動体に設けられ、前記第１の方向に直交する第２の方向に延びたセラミック製の第２のガイド部と、前記第２のガイド部と対向する位置に設けられ、前記第２の方向に沿って移動する第２の移動体と、を有する静圧気体軸受と、前記側部および前記上面に固定され前記第１のガイド部の変形を抑制するセラミック製の固定部と、を備えたことを特徴とするエアステージ装置である。
【０００８】
このエアステージ装置によれば、固定部が定盤の上面と第１のガイド部の側部とに固定されることで、第１のガイド部の剛性が向上し、第１のガイド部の変形を低減することができる。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明において、前記固定部は、複数設けられ、前記複数の固定部は、前記第１のガイド部の両側の前記側部に設けられたことを特徴とするエアステージ装置である。
【００１０】
このエアステージ装置によれば、固定部が第１のガイド部の両側に設けられているため、第１のガイド部の変形をより低減することができる。
【００１１】
第３の発明は、第２の発明において、前記複数の固定部のうちの複数の一部は、前記第１のガイド部の両側の前記側部のいずれか一方に設けられ、前記複数の固定部のうちの複数の他の一部は、前記第１のガイド部の両側の前記側部のいずれか他方に設けられたことを特徴とするエアステージ装置である。
【００１２】
このエアステージ装置によれば、複数の固定部が第１のガイド部の両側のそれぞれに設けられているため、第１のガイド部の変形をより低減することができる。
【００１３】
第４の発明は、第１〜３のいずれか１つの発明において、前記固定部は、締結部材により前記第１のガイド部に固定され、前記締結部材の位置は、前記固定部の上下方向の中心よりも上方であることを特徴とするエアステージ装置である。
【００１４】
このエアステージ装置によれば、固定部は、固定部の上下方向の中心よりも上方で締結部材により第１のガイド部に固定されているため、第１のガイド部の変形をより低減することができる。
【００１５】
第５の発明は、第１〜４のいずれか１つの発明において、前記第１のガイド部は、前記第１の移動体の移動方向に一列に並んで配置された複数の締結部材により前記定盤に固定されたことを特徴とするエアステージ装置である。
【００１６】
このエアステージ装置によれば、第１の移動体の滑走面の面積をより広く確保することができる。ここで、第１の移動体の移動方向に一列に並んで配置された複数の締結部材により第１のガイド部が定盤に固定されると、Ｘ軸ガイド部が水平方向だけではなく垂直方向に変形する。これに対して、このエアステージ装置は、固定部を備える。そのため、第１のガイド部の水平方向および垂直方向の変形を低減することができる。
【００１７】
第６の発明は、第１〜５のいずれか１つの発明において、前記固定部の上下方向の寸法は、前記第１の移動体が移動したときに前記固定部と干渉しない値に設定されたことを特徴とするエアステージ装置である。
【００１８】
このエアステージ装置によれば、第１の移動体が固定部と干渉しないため、第１の移動体を全ストロークにわたって移動させることができる。
【００１９】
第７の発明は、第１〜６のいずれか１つの発明において、前記第１のガイド部は、前記中空部分に設けられ前記上部および前記下部に接続されたリブを有することを特徴とするエアステージ装置である。
【００２０】
このエアステージ装置によれば、第１のガイド部が中空部分に設けられたリブを有する場合であっても、固定部が設けられているため、第１のガイド部の変形を低減することができ、リブを有することによってガイドの剛性を向上させることができる。
【００２１】
第８の発明は、第１〜７のいずれか１つの発明において、前記第１のガイド部は、複数設けられ、前記複数の第１のガイド部は、前記第２の移動体の移動方向に並んで設けられたことを特徴とするエアステージ装置である。
【００２２】
このエアステージ装置によれば、複数の第１のガイド部が第２の移動体の移動方向に並んで設けられているため、第１の移動体および第２のガイド部のたわみを低減することができる。例えば、一辺が１メートルよりも長い寸法を有する大型のエアステージ装置では、第１の移動体、第２のガイド部、および第２の移動体の自重により、第１の移動体にたわみが生ずることがある。これに対して、このエアステージ装置では、第２の移動体が移動する方向に複数の第１のガイド部が並んで設けられているため、第１の移動体、第２のガイド部、および第２の移動体の自重により、第１の移動体に生ずるたわみを低減することができる。
【００２３】
第９の発明は、第１〜８のいずれか１つの発明において、前記第１のガイド部の数は、前記第２のガイド部の数よりも多いことを特徴とするエアステージ装置である。
【００２４】
このエアステージ装置によれば、第１の移動体、第２のガイド部、および第２の移動体の自重により第１の移動体に生ずるたわみを低減することができる。
【００２５】
第１０の発明は、第９の発明において、前記第１の移動体は、前記側部の面と対向する位置に設けられた側板であって、前記複数の第１のガイド部のうちの前記第２の移動体の移動方向における中央領域に設けられた第１のガイド部の両側に設けられた側板を有することを特徴とするエアステージ装置である。
【００２６】
このエアステージ装置によれば、第１の移動体の中央部を拘束し、第１のガイド部および第２のガイド部の組立精度によるエアステージ装置のかじり等を抑えることができる。
第１１の発明は、第１〜１０のいずれか１つの発明において、前記第１のガイド部は、前記下部の全体が前記上面に接触するように前記定盤に固定されることを特徴とするエアステージ装置である。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の態様によれば、ガイド部の変形を低減することができるエアステージ装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本実施形態にかかるエアステージ装置を表す模式的斜視図である。
【図２】本実施形態にかかるエアステージ装置を定盤の側から眺めた場合を表す模式的斜視図である。
【図３】本実施形態の変形例にかかるエアステージ装置を表す模式的斜視図である。
【図４】本実施形態のＸ軸ガイド部を表す模式的平面図である。
【図５】本実施形態のＸ軸ガイド部および固定部を斜めから眺めた場合を表す模式的斜視図である。
【図６】本実施形態の固定部を拡大した場合を表す模式的斜視図である。
【図７】図１に表したＸ軸ステージを矢印Ａ１１の方向にみたときの模式的平面図である。
【図８】図６に表した固定部を矢印１３の方向にみたときの模式的平面図である。
【図９】本実施形態の比較例にかかるエアステージ装置を表す模式的斜視図である。
【図１０】本比較例にかかるエアステージ装置を表す模式的平面図である。
【図１１】本比較例にかかるエアステージ装置を表す模式的平面図である。
【図１２】Ｘ軸ガイド部の水平方向の変形を説明する模式的平面図である。
【図１３】Ｘ軸ガイド部の垂直方向の変形を説明する模式的平面図である。
【図１４】本発明者が実施したシミュレーションにおけるエアステージ装置のモデルを表す模式的斜視図である。
【図１５】本シミュレーションにおけるＸ軸ガイド部および固定部のモデルを表す模式的平面図である。
【図１６】本シミュレーションの条件を説明する模式的平面図である。
【図１７】エアステージ装置の固有値のシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
【図１８】エアステージ装置の固有値のシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
【図１９】Ｘ軸ガイド部の水平方向の変形量のシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
【図２０】Ｘ軸ガイド部の水平方向の変形量のシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
【図２１】Ｘ軸ガイド部の垂直方向の変形量のシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
【図２２】Ｘ軸ガイド部の垂直方向の変形量のシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
図１は、本実施形態にかかるエアステージ装置を表す模式的斜視図である。  
図２は、本実施形態にかかるエアステージ装置を定盤の側から眺めた場合を表す模式的斜視図である。  
図３は、本実施形態の変形例にかかるエアステージ装置を表す模式的斜視図である。  
図４は、本実施形態のＸ軸ガイド部を表す模式的平面図である。  
図２では、説明の便宜上、定盤を省略している。  
図４（ａ）は、図１に表したＸ軸ガイド部（第１のガイド部）１１０を矢印Ａ１１の方向にみたときの模式的平面図である。図４（ｂ）は、図３に表したＸ軸ガイド部１１０ａを矢印Ａ１２の方向にみたときの模式的平面図である。
【００３０】
本実施形態にかかるエアステージ装置１０は、定盤２０と、静圧気体軸受３０と、固定部４０と、を備える。定盤２０は、静圧気体軸受３０および固定部４０の下に設けられ、静圧気体軸受３０および固定部４０を支持する。定盤２０の材料としては、例えば石などが挙げられる。固定部４０の材料としては、例えばセラミックなどが挙げられる。
【００３１】
静圧気体軸受３０は、Ｘ軸ステージ１００と、Ｙ軸ステージ２００と、を有する。Ｘ軸ステージ１００は、Ｘ軸ガイド部１１０と、Ｘ軸移動体（第１の移動体）１２０と、を有する。Ｙ軸ステージ２００は、Ｙ軸ガイド部（第２のガイド部）２１０と、Ｙ軸移動体（第２の移動体）２２０と、を有する。
【００３２】
Ｘ軸移動体１２０は、Ｘ軸ガイド部１１０と対向する位置に設けられている。Ｘ軸移動体１２０は、Ｘ軸エアパッド１２１と、Ｘ軸側板１２３と、Ｘ軸テーブル１２５と、を有する。
【００３３】
Ｘ軸ガイド部１１０は、定盤２０の上に設けられ、ねじやボルトなどの締結部材により定盤２０に固定されている。Ｘ軸ガイド部１１０の固定の詳細については、後述する。図１および図２に表したように、Ｘ軸ガイド部１１０は、１軸方向（Ｘ軸方向）に延びている。図４（ａ）に表したように、Ｘ軸ガイド部１１０は、中空構造を有する。つまり、Ｘ軸ガイド部１１０は、上部１１１と、下部１１２と、右側部１１３と、左側部１１４と、を有する。Ｘ軸ガイド部１１０は、上部１１１と、下部１１２と、右側部１１３と、左側部１１４と、で囲まれた部分に中空部分を有する。Ｘ軸ガイド部１１０の中空構造（中空部分）は、Ｘ軸方向（第１の方向）に延びている。Ｘ軸ガイド部１１０の材料としては、例えばセラミックなどが挙げられる。図１および図２に表したエアステージ装置１０では、３つのＸ軸ガイド部１１０が設けられている。複数のＸ軸ガイド部１１０は、Ｙ軸方向に並んで設けられている。なお、Ｘ軸ガイド部１１０の設置数は、「３」には限定されない。
【００３４】
Ｘ軸エアパッド１２１は、Ｘ軸ガイド部１１０と、Ｘ軸テーブル１２５と、の間に設けられ、Ｘ軸テーブル１２５に固定されている。複数のＸ軸ガイド部１１０が設けられている場合には、Ｘ軸エアパッド１２１は、複数のＸ軸ガイド部１１０のそれぞれと、Ｘ軸テーブル１２５と、の間に設けられている。Ｘ軸エアパッド１２１は、図示しない孔を有し、孔から加圧気体（例えば空気）をＸ軸ガイド部１１０の上面１１１ａ（図４（ａ）参照）に噴出することができる。
【００３５】
Ｘ軸側板１２３は、定盤２０と、Ｘ軸テーブル１２５と、の間の位置であって、Ｘ軸ガイド部１１０の両側面（右側面１１３ａおよび左側面１１４ａ：図４（ａ）参照）に対向する位置に設けられ、Ｘ軸エアパッド１２１およびＸ軸テーブル１２５に固定されている。Ｘ軸側板１２３は、複数のＸ軸ガイド部１１０のうちのＹ軸方向における中央領域に設けられたＸ軸ガイド部１１０の両側に設けられている。
【００３６】
Ｘ軸テーブル１２５は、Ｘ軸エアパッド１２１を介してＸ軸ガイド部１１０の上に設けられ、Ｘ軸エアパッド１２１およびＸ軸側板１２３を保持している。
【００３７】
Ｘ軸移動体１２０は、Ｘ軸エアパッド１２１と、Ｘ軸ガイド部１１０と、の間に加圧気体を送り込み、Ｘ軸ガイド部１１０から浮上した状態で図１に表した矢印Ａ１の方向（Ｘ軸方向）に移動することができる。言い換えれば、Ｘ軸移動体１２０は、Ｘ軸エアパッド１２１の孔からＸ軸ガイド部１１０の上面１１１ａに向かって加圧気体を噴出し、Ｘ軸ガイド部１１０から浮上した状態で図１に表した矢印Ａ１の方向（Ｘ軸方向）に移動することができる。Ｘ軸移動体１２０がＸ軸ガイド部１１０から浮上した状態において、Ｘ軸エアパッド１２１と、Ｘ軸ガイド部１１０と、の間の隙間は、例えば約４マイクロメートル（μｍ）程度である。
【００３８】
また、Ｘ軸側板１２３と、Ｘ軸ガイド部１１０の両側部（右側部１１３および左側部１１４）と、の間には、Ｘ軸エアパッド１２２（図７参照）が設けられている。Ｘ軸移動体１２０は、Ｘ軸エアパッド１２２の孔からＸ軸ガイド部１１０の両側部（右側部１１３および左側部１１４）に向かって加圧気体を噴出し、Ｘ軸ガイド部１１０から離れた状態で図１に表した矢印Ａ１の方向（Ｘ軸方向）に移動することができる。つまり、Ｘ軸ステージ１００は、Ｘ軸移動体１２０をＸ軸ガイド部１１０から浮上させた状態で移動させる非接触型の軸受（例えばエアスライド）である。Ｘ軸移動体１２０がＸ軸ガイド部１１０から離れた状態において、Ｘ軸エアパッド１２２と、Ｘ軸ガイド部１１０と、の間の隙間は、例えば約３μｍ程度である。
【００３９】
Ｘ軸ガイド部１１０およびＸ軸側板１２３は、Ｘ軸移動体１２０の移動方向を１軸方向に規制する。すなわち、Ｘ軸ガイド部１１０およびＸ軸側板１２３は、Ｘ軸移動体１２０を１軸方向に案内するガイドの役目を果たす。本実施形態では、Ｘ軸移動体１２０が移動する１軸方向は、Ｘ軸方向である。
【００４０】
Ｙ軸移動体２２０は、Ｙ軸ガイド部２１０と対向する位置に設けられている。Ｙ軸移動体２２０は、Ｙ軸エアパッド２２１と、Ｙ軸側板２２３と、Ｙ軸テーブル２２５と、を有する。
【００４１】
Ｙ軸ガイド部２１０は、Ｘ軸テーブル１２５の上に設けられ、ねじやボルトなどの締結部材によりＸ軸テーブル１２５に固定されている。図１に表したように、Ｙ軸ガイド部２１０は、１軸方向（Ｙ軸方向）に延びている。Ｙ軸ガイド部２１０は、中空構造を有する。Ｙ軸ガイド部２１０の中空構造は、Ｙ軸方向に延びている。Ｙ軸ガイド部２１０の材料としては、例えばセラミックなどが挙げられる。図１および図２に表したエアステージ装置１０では、２つのＹ軸ガイド部２１０が設けられている。複数のＹ軸ガイド部２１０は、Ｘ軸方向に並んで設けられている。なお、Ｙ軸ガイド部２１０の設置数は、「２」には限定されない。
【００４２】
Ｙ軸エアパッド２２１は、Ｙ軸ガイド部２１０と、Ｙ軸テーブル２２５と、の間に設けられ、Ｙ軸テーブル２２５に固定されている。複数のＹ軸ガイド部２１０が設けられている場合には、Ｙ軸エアパッド２２１は、複数のＹ軸ガイド部２１０のそれぞれと、Ｙ軸テーブル２２５と、の間に設けられている。Ｙ軸エアパッド２２１は、図示しない孔を有し、孔から加圧気体をＹ軸ガイド部２１０の上面に噴出することができる。
【００４３】
Ｙ軸側板２２３は、Ｘ軸テーブル１２５と、Ｙ軸テーブル２２５と、の間に設けられ、Ｙ軸エアパッド２２１およびＹ軸テーブル２２５に固定されている。図１および図２に表したエアステージ装置１０では、Ｙ軸側板２２３は、２つのＹ軸ガイド部２１０のうちのいずれか一方のＹ軸ガイド部２１０の両側に設けられている。
【００４４】
Ｙ軸テーブル２２５は、Ｙ軸エアパッド２２１を介してＹ軸ガイド部２１０の上に設けられ、Ｙ軸エアパッド２２１およびＹ軸側板２２３を保持している。
【００４５】
Ｙ軸移動体２２０は、Ｙ軸エアパッド２２１と、Ｙ軸ガイド部２１０と、の間に加圧気体を送り込み、Ｙ軸ガイド部２１０から浮上した状態で図１に表した矢印Ａ２の方向（Ｙ軸方向）に移動することができる。言い換えれば、Ｙ軸移動体２２０は、Ｙ軸エアパッド２２１の孔からＹ軸ガイド部２１０の上面に向かって加圧気体を噴出し、Ｙ軸ガイド部２１０から浮上した状態で図１に表した矢印Ａ２の方向（Ｙ軸方向）に移動することができる。また、Ｙ軸側板２２３と、Ｙ軸ガイド部２１０の両側部と、の間には、Ｙ軸エアパッド（図示せず）が設けられている。Ｙ軸移動体２２０は、Ｙ軸エアパッドの孔からＹ軸ガイド部２１０の両側部に向かって加圧気体を噴出し、Ｙ軸ガイド部２１０から離れた状態で図１に表した矢印Ａ２の方向（Ｙ軸方向）に移動することができる。つまり、Ｙ軸ステージ２００は、Ｙ軸移動体２２０をＹ軸ガイド部２１０から浮上させた状態で移動させる非接触型の軸受（例えばエアスライド）である。
【００４６】
Ｙ軸ガイド部２１０およびＹ軸側板２２３は、Ｙ軸移動体２２０の移動方向を１軸方向に規制する。すなわち、Ｙ軸ガイド部２１０およびＹ軸側板２２３は、Ｙ軸移動体２２０を１軸方向に案内するガイドの役目を果たす。本実施形態では、Ｙ軸移動体２２０が移動する１軸方向は、Ｙ軸方向である。
【００４７】
図３に表したエアステージ装置１０ａのＸ軸ステージ１００は、Ｘ軸ガイド部１１０ａを有する。図４（ｂ）に表したように、Ｘ軸ガイド部１１０ａは、中空リブ構造を有する。すなわち、Ｘ軸ガイド部１１０ａは、上部１１１と、下部１１２と、右側部１１３と、左側部１１４と、リブ１１５と、を有する。リブ１１５は、上部１１１および下部１１２に接続されている。図４（ｂ）に表したＸ軸ガイド部１１０ａは、２つのリブ１１５を有する。この場合には、Ｘ軸ガイド部１１０ａは、上部１１１と、下部１１２と、右側部１１３と、右側のリブ１１５と、で囲まれた部分に中空部分を有する。Ｘ軸ガイド部１１０ａは、上部１１１と、下部１１２と、右側のリブ１１５と、左側のリブ１１５と、で囲まれた部分に中空部分を有する。Ｘ軸ガイド部１１０ａは、上部１１１と、下部１１２と、左側のリブ１１５と、左側部１１４と、で囲まれた部分に中空部分を有する。つまり、リブ１１５は、上部１１１と、下部１１２と、右側部１１３と、左側部１１４と、で囲まれた中空部分に設けられ、上部１１１および下部１１２に接続されている。Ｘ軸ガイド部１１０ａの中空構造は、Ｘ軸方向に延びている。図３に表したエアステージ装置１０ａの他の構造は、図１および図２に関して前述したエアステージ装置１０の構造と同じである。
【００４８】
ここで、エアステージ装置は、例えば半導体ウェーハの大型化に対応して大型化してきている。エアステージ装置が大型化すると、Ｙ軸ステージの動きに基づいてＸ軸ステージに発生するモーメント（例えばヨーイング）が大きくなることがある。例えば、Ｘ軸ステージに発生するヨーイングが大きくなると、Ｘ軸ステージのガイド部に左右方向の負荷がかかり、ガイド部が変形することがある。なお、「ヨーイング」とは、進行方向（例えばＸ軸方向）に対して垂直方向（上下方向）に交わる軸の軸回りの運動をいう。ガイド部の変形は、エアステージ装置の大型化により大きくなる傾向にある。そのため、ガイド部の変形を無視することができなくなってきている。
【００４９】
これに対して、本実施形態にかかるエアステージ装置１０、１０ａは、固定部４０を備える。固定部４０は、定盤２０と、Ｘ軸ガイド部１１０、１１０ａと、に固定され、Ｘ軸ガイド部１１０、１１０ａが変形することを抑制する。  
本実施形態によれば、固定部４０が定盤２０とＸ軸ガイド部１１０、１１０ａとに固定されることで、Ｘ軸ガイド部１１０、１１０ａの剛性が向上し、Ｘ軸ガイド部１１０、１１０ａの変形を低減することができる。
【００５０】
また、前述したように、複数のＸ軸ガイド部１１０は、Ｙ軸移動体２２０が移動する方向（Ｙ軸方向）に並んで設けられている。これにより、Ｘ軸移動体１２０およびＹ軸ガイド部２１０のたわみを低減することができる。  
例えば、一辺が１メートル（ｍ）よりも長い寸法を有する大型のエアステージ装置では、Ｘ軸移動体、Ｙ軸ガイド部、およびＹ軸移動体の自重により、Ｘ軸移動体にたわみが生ずることがある。これに対して、本実施形態では、Ｙ軸移動体２２０が移動する方向（Ｙ軸方向）に複数のＸ軸ガイド部１１０が並んで設けられているため、Ｘ軸移動体１２０、Ｙ軸ガイド部２１０、およびＹ軸移動体２２０の自重により、Ｘ軸移動体１２０に生ずるたわみを低減することができる。
【００５１】
また、Ｘ軸ガイド部１１０の設置数がＹ軸ガイド部２１０の設置数よりも多い場合においても、Ｘ軸移動体１２０、Ｙ軸ガイド部２１０、およびＹ軸移動体２２０の自重によりＸ軸移動体１２０に生ずるたわみを低減することができる。
【００５２】
また、複数のＸ軸ガイド部１１０のうちのＹ軸方向における中央領域に設けられたＸ軸ガイド部１１０の両側にＸ軸側板１２３が設けられているため、Ｘ軸移動体１２０の中央部を拘束し、Ｘ軸ガイド部１１０およびＹ軸ガイド部２１０の組立精度によるエアステージ装置１０のかじり等を抑えることができる。
【００５３】
本実施形態の固定部４０について、図面を参照しつつさらに説明する。  
図５は、本実施形態のＸ軸ガイド部および固定部を斜めから眺めた場合を表す模式的斜視図である。  
図６は、本実施形態の固定部を拡大した場合を表す模式的斜視図である。  
図７は、図１に表したＸ軸ステージを矢印Ａ１１の方向にみたときの模式的平面図である。  
図８は、図６に表した固定部を矢印１３の方向にみたときの模式的平面図である。  
なお、図５〜図８に関する説明では、図１に表したエアステージ装置１０を例に挙げる。
【００５４】
図５および図６に表したように、固定部４０は、定盤２０と、Ｘ軸ガイド部１１０と、に固定されている。具体的には、固定部４０は、定盤２０と、Ｘ軸ガイド部１１０の右側部１１３と、に固定されている。つまり、固定部４０は、定盤２０の上面２１と、Ｘ軸ガイド部１１０の右側面１１３ａ（図４（ａ）および図４（ｂ）参照）と、に接触した状態で固定されている。また、固定部４０は、定盤２０と、Ｘ軸ガイド部１１０の左側部１１４と、に固定されている。つまり、固定部４０は、定盤２０の上面２１と、Ｘ軸ガイド部１１０の左側面１１４ａ（図４（ａ）および図４（ｂ）参照）と、に接触した状態で固定されている。
【００５５】
このように、固定部４０は、Ｘ軸ガイド部１１０の両側部（右側部１１３および左側部１１４）に固定されている。これにより、Ｘ軸ガイド部１１０の変形をより低減することができる。
【００５６】
図５に表したように、本実施形態にかかるエアステージ装置１０では、複数の固定部４０がＸ軸ガイド部１１０の右側部１１３に固定されている。また、複数の固定部４０がＸ軸ガイド部１１０の左側部１１４に固定されている。つまり、複数の固定部４０がＸ軸ガイド部１１０の両側部のそれぞれに固定されている。これにより、Ｘ軸ガイド部１１０の変形をより低減することができる。また、Ｘ軸ガイド部１１０の変形量が比較的多い箇所に固定部４０が設けられることで、Ｘ軸ガイド部１１０の変形を効率的に低減することができる。
【００５７】
図６に表したように、固定部４０は、第１の孔４１と、第２の孔４２と、を有する。固定部４０は、第１の孔４１に挿入されたねじやボルトなどの締結部材によりＸ軸ガイド部１１０の右側部１１３および左側部１１４のそれぞれに固定されている。また、固定部４０は、第２の孔４２に挿入されたねじやボルトなどの締結部材により定盤２０に固定されている。
【００５８】
図８に表したように、第１の孔４１に挿入された締結部材により固定部４０がＸ軸ガイド部１１０に固定された位置（締結位置）は、固定部４０の上下方向の中心Ｃ１よりも上方である。これにより、Ｘ軸ガイド部１１０の変形をより低減することができる。
【００５９】
固定部４０がＸ軸ガイド部１１０に固定された状態において、固定部４０のＸ軸方向の長さＬ１は、例えば約１００ミリメートル（ｍｍ）程度である。固定部４０がＸ軸ガイド部１１０に固定された状態において、固定部４０の上下方向の長さＬ２は、例えば約５０ｍｍ程度である。固定部４０がＸ軸ガイド部１１０に固定された状態において、固定部４０のＹ軸方向の長さＬ３は、例えば約５０ｍｍ程度である。固定部４０がＸ軸ガイド部１１０に固定された状態において、固定部４０の底面４４と、固定部４０の第１の孔４１の中心と、の間の距離Ｌ４は、例えば約３６〜３７ｍｍ程度である。
【００６０】
図５および図６に表したように、Ｘ軸ガイド部１１０は、第１の孔１１６と、第２の孔１１７と、を有する。図５および図６に表したＸ軸ガイド部１１０は、複数の第１の孔１１６と、複数の第２の孔１１７と、を有する。複数の第１の孔１１６は、Ｘ軸方向に一列（一軸）に並んでいる。複数の第２の孔１１７は、Ｘ軸方向に一列（一軸）に並んでいる。
【００６１】
Ｘ軸ガイド部１１０が定盤２０に固定されるときには、例えば工具が第１の孔１１６に挿入される。そして、締結部材３０１が第２の孔１１７を通して定盤２０と締結することで、Ｘ軸ガイド部１１０は、定盤２０に固定される。つまり、Ｘ軸ガイド部１１０は、Ｘ軸方向に一列（一軸）に並んで配置された複数の締結部材３０１により定盤２０に固定される。
【００６２】
これによれば、Ｘ軸移動体１２０の滑走面を確保することができる。すなわち、図１〜図４に関して前述したように、Ｘ軸移動体１２０は、Ｘ軸エアパッド１２１の孔からＸ軸ガイド部１１０の上面１１１ａに向かって加圧気体を噴出する。そのため、Ｘ軸方向に一列に並んで配置された複数の締結部材３０１によりＸ軸ガイド部１１０が定盤２０に固定されると、加圧気体が当たる面の面積をより広く確保することができる。
【００６３】
ここで、Ｘ軸方向に一列に並んで配置された複数の締結部材によりＸ軸ガイド部が定盤に固定されると、Ｘ軸ガイド部が水平方向（例えばＹ軸方向）だけではなく垂直方向に変形する。  
これに対して、本実施形態にかかるエアステージ装置１０は、固定部４０を備える。そのため、Ｘ軸ガイド部１１０の水平方向および垂直方向の変形を低減することができる。この詳細については、後述する。
【００６４】
図７に表したように、Ｘ軸側板１２３は、Ｘ軸テーブル１２５に固定され、Ｘ軸テーブル１２５から固定部４０へ向かって延びている。Ｘ軸側板１２３の底面１２３ａと、固定部４０の上面４５と、の間には、隙間が存在する。固定部４０の底面４４と、固定部４０の上面４５と、の間の距離Ｄ１は、固定部４０の上下方向の長さＬ２と同じ（例えば約５０ｍｍ程度）である。固定部４０の底面４４と、Ｘ軸側板１２３の底面１２３ａと、の間の距離Ｄ２は、例えば約６８ｍｍ程度である。これにより、Ｘ軸側板１２３の底面１２３ａと、固定部４０の上面４５と、の間には、隙間が存在する。固定部４０の底面４４と、固定部４０の上面４５と、の間の距離（Ｄ２−Ｄ１）は、例えば約１８ｍｍ程度である。固定部４０の底面４４と、Ｘ軸テーブル１２５の底面１２５ａと、の間の距離Ｄ３は、例えば約２０５ｍｍ程度である。このように、固定部４０の上下方向の長さＬ２は、Ｘ軸移動体１２０が移動したときに固定部４０と干渉しない値に設定されている。つまり、固定部４０の上面４５は、Ｘ軸側板１２３の底面１２３ａよりも低い位置に存在する。  
これによれば、Ｘ軸移動体１２０を全ストロークにわたって移動させることができる。
【００６５】
次に、本実施形態のＸ軸ガイド部１１０の変形について、図面を参照しつつさらに説明する。  
図９は、本実施形態の比較例にかかるエアステージ装置を表す模式的斜視図である。  
図１０は、本比較例にかかるエアステージ装置を表す模式的平面図である。  
図１１は、本比較例にかかるエアステージ装置を表す模式的平面図である。  
図１０は、図９に表したエアステージ装置１０ａを矢印Ａ１３の方向にみたときの模式的平面図である。図１１は、図９に表したエアステージ装置１０ａを矢印Ａ１４の方向にみたときの模式的平面図である。
【００６６】
図１〜８に関して前述したエアステージ装置１０は、固定部４０を備える。これに対して、本変形例にかかるエアステージ装置１０ｂは、固定部を備えていない。
【００６７】
図１０に表したように、本変形例にかかるエアステージ装置１０ｂは、Ｘ軸リニアモータ１３０を備える。Ｘ軸リニアモータ１３０は、モータ部１３１と、コイル部１３３と、を有する。Ｘ軸リニアモータ１３０のモータ部１３１は、定盤２０の上面２１に設けられている。Ｘ軸リニアモータ１３０のコイル部１３３は、Ｘ軸テーブル１２５の底面１２５ａに設けられている。
【００６８】
Ｘ軸移動体１２０は、Ｘ軸エアパッド１２１と、Ｘ軸ガイド部１１０と、の間に加圧気体を送り込み、Ｘ軸ガイド部１１０から浮上した状態において、Ｘ軸リニアモータ１３０により生成された力を受ける。これにより、Ｘ軸移動体１２０は、図９に表した矢印Ａ１および図１１に表した矢印Ａ３の方向（Ｘ軸方向）に移動することができる。
【００６９】
図１１に表したように、本変形例にかかるエアステージ装置１０ｂは、Ｙ軸リニアモータ２３０を備える。Ｙ軸リニアモータ２３０は、モータ部２３１と、コイル部２３３と、を有する。Ｙ軸リニアモータ２３０のモータ部２３１は、Ｘ軸テーブル１２５の上面１２５ｂに設けられている。Ｙ軸リニアモータ２３０のコイル部２３３は、Ｙ軸エアパッド２２１およびＹ軸側板２２３と同様に、Ｙ軸テーブル２２５の底面２２５ａに設けられている。
【００７０】
Ｙ軸移動体２２０は、Ｙ軸エアパッド２２１と、Ｙ軸ガイド部２１０と、の間に加圧気体を送り込み、Ｙ軸ガイド部２１０から浮上した状態において、Ｙ軸リニアモータ２３０により生成された力を受ける。これにより、Ｙ軸移動体２２０は、図９に表した矢印Ａ２および図１０に表した矢印Ａ４の方向（Ｙ軸方向）に移動することができる。
【００７１】
なお、図１〜８に関して前述したエアステージ装置１０は、本変形例にかかるエアステージ装置１０ｂと同様に、Ｘ軸リニアモータ１３０と、Ｙ軸リニアモータ２３０と、を備える。その他の構造は、図１〜８に関して前述したエアステージ装置１０の構造と同じである。
【００７２】
例えば、Ｙ軸移動体２２０が図１０に表した矢印Ａ５の方向に移動すると、Ｘ軸移動体１２０は、図１０に表した矢印Ａ６の方向の力（反作用の力）を受ける。すると、Ｘ軸移動体１２０は、図１０に表した矢印Ａ６の方向へ移動しようとする。具体的には、Ｙ軸移動体２２０がＹ軸リニアモータ２３０により生成された力を受けて図１０に表した矢印Ａ５の方向に移動すると、Ｙ軸リニアモータ２３０のモータ部２３１は、図１０に表した矢印Ａ５とは反対方向の力（反作用の力）を受ける。Ｙ軸リニアモータ２３０のモータ部２３１がＸ軸テーブル１２５の上面１２５ｂに設けられているため、Ｘ軸移動体１２０は、Ｙ軸リニアモータ２３０のモータ部２３１から伝達された反作用の力を受ける。すると、Ｘ軸移動体１２０は、図１０に表した矢印Ａ６の方向へ移動しようとする。このとき、複数のＸ軸側板１２３の間に設けられたＸ軸ガイド部１１０は、図１０に表した矢印Ａ７の方向の力を受ける。
【００７３】
図１〜図４に関して前述したように、Ｘ軸移動体１２０は、Ｘ軸エアパッド１２２（図６参照）の孔からＸ軸ガイド部１１０の両側部（右側部１１３および左側部１１４）に向かって加圧気体を噴出し、Ｘ軸ガイド部１１０から離れた状態で移動する。そのため、Ｘ軸ガイド部１１０は、直接的にはＸ軸側板１２３から力を受けない。しかし、Ｘ軸ガイド部１１０が空気を介してＸ軸側板１２３から力を受ける。これにより、Ｘ軸ガイド部１１０は、図１０に表した矢印Ａ７の方向（Ｙ軸方向）の力を受けて変形する。エアステージ装置１０ｂが大型化すると、Ｘ軸移動体１２０、及びＹ軸移動体２２０の重量が重くなる。すると、Ｘ軸ガイド部１１０が空気を介してＸ軸側板１２３から受ける力が大きくなるため、Ｘ軸ガイド部１１０の変形を無視することができない。
【００７４】
図１２は、Ｘ軸ガイド部の水平方向の変形を説明する模式的平面図である。  
図１３は、Ｘ軸ガイド部の垂直方向の変形を説明する模式的平面図である。  
図１２（ａ）および図１３（ａ）は、本実施形態のＸ軸ガイド部の周辺を表す模式的平面図である。図１２（ｂ）および図１３（ｂ）は、比較例にかかるＸ軸ガイド部の周辺を表す模式的平面図である。
【００７５】
図９〜図１１では、作用・反作用の法則に基づいて生ずるＸ軸ガイド部１１０の変形について説明した。  
ここでは、Ｙ軸ステージ２００の動きに基づいてＸ軸ステージ１００に発生するモーメント（例えばヨーイング）について説明する。
【００７６】
例えば、図９に表した矢印Ａ２１および矢印Ａ２２のように、エアステージ装置１０が大型化すると、Ｙ軸ステージ２００の動きに基づいてＸ軸ステージ１００にかかるモーメント（ヨーイング）が大きくなる。図９に表したように、Ｙ軸移動体２２０がＹ軸ガイド部２１０の一端に寄った状態でＸ軸移動体１２０が移動すると、Ｘ軸ステージ１００により大きなモーメント（ヨーイング）が発生する。
【００７７】
すると、図１２（ａ）および図１２（ｂ）に表した矢印Ａ８のように、Ｘ軸ガイド部１１０は、空気を介してＸ軸側板１２３から力を受け、変形する。ここで、図１２（ａ）に表したように、本実施形態にかかるエアステージ装置１０は、固定部４０を備える。固定部４０は、定盤２０と、Ｘ軸ガイド部１１０と、に固定され、Ｘ軸ガイド部１１０が水平方向に変形することを抑制する。そのため、Ｘ軸ステージ１００にモーメントが発生した場合において、本実施形態のＸ軸ガイド部１１０の変形量Ｄ１１は、比較例のＸ軸ガイド部１１０の変形量Ｄ１２よりも少ない。これにより、固定部４０は、Ｘ軸ガイド部１１０の水平方向の変形を低減することができる。
【００７８】
図５および図６に関して前述したように、Ｘ軸ガイド部１１０は、Ｘ軸方向に一列に並んで配置された複数の締結部材３０１により定盤２０に固定されている。そのため、図１３（ａ）および図１３（ｂ）に表したように、Ｘ軸ガイド部１１０は、矢印Ａ８の方向の力を受けると、水平方向だけではなく垂直方向に変形する。ここで、図１３（ａ）に表したように、本実施形態にかかるエアステージ装置１０は、固定部４０を備える。固定部４０は、定盤２０と、Ｘ軸ガイド部１１０と、に固定され、Ｘ軸ガイド部１１０が垂直方向に変形することを抑制する。そのため、Ｘ軸ステージ１００にモーメントが発生した場合において、本実施形態のＸ軸ガイド部１１０の変形量Ｄ１３は、比較例のＸ軸ガイド部１１０の変形量Ｄ１４よりも少ない。これにより、固定部４０は、Ｘ軸ガイド部１１０の垂直方向の変形を低減することができる。
【００７９】
また、固定部４０は、エアステージ装置１０の固有値（固有振動数）を向上させることができる。  
本発明者は、固定部４０が設けられた場合と、固定部４０が設けられていない場合と、においてシミュレーションを実施し、エアステージ装置１０の固有値と、Ｘ軸ガイド部１１０の変形量と、に対する固定部４０の効果を検討した。これについて、図面を参照しつつさらに説明する。
【００８０】
図１４は、本発明者が実施したシミュレーションにおけるエアステージ装置のモデルを表す模式的斜視図である。  
図１５は、本シミュレーションにおけるＸ軸ガイド部および固定部のモデルを表す模式的平面図である。  
図１６は、本シミュレーションの条件を説明する模式的平面図である。
【００８１】
図１４に表したように、本シミュレーションでは、図１に関して前述したエアステージ装置１０および図３に関して前述したエアステージ装置１０ａのモデルを使用した。また、図１５（ａ）〜図１５（ｄ）に表したように、Ｘ軸ガイド部がリブ１１５を有する場合と、Ｘ軸ガイド部がリブ１１５を有していない場合と、についてシミュレーションを実施した。さらに、図１５（ａ）〜図１５（ｄ）に表したように、固定部４０が設けられた場合と、固定部４０が設けられていない場合と、についてシミュレーションを実施した。
【００８２】
図１５（ａ）に表したモデルでは、Ｘ軸ガイド部１１０ａは、リブ１１５を有する。Ｘ軸ガイド部１１０ａの右側部１１３およびＸ軸ガイド部１１０ａの左側部１１４のそれぞれには、固定部４０が設けられている。  
図１５（ｂ）に表したモデルでは、Ｘ軸ガイド部１１０ａは、リブ１１５を有する。Ｘ軸ガイド部１１０ａの右側部１１３およびＸ軸ガイド部１１０ａの左側部１１４のそれぞれには、固定部４０が設けられていない。  
図１５（ｃ）に表したモデルでは、Ｘ軸ガイド部１１０は、リブ１１５を有していない。Ｘ軸ガイド部１１０の右側部１１３およびＸ軸ガイド部１１０の左側部１１４のそれぞれには、固定部４０が設けられている。  
図１５（ｄ）に表したモデルでは、Ｘ軸ガイド部１１０は、リブ１１５を有していない。Ｘ軸ガイド部１１０の右側部１１３およびＸ軸ガイド部１１０の左側部１１４のそれぞれには、固定部４０が設けられていない。
【００８３】
図１６に表したように、Ｘ軸ガイド部１１０ａのＹ軸方向の長さＤ２１は、３２０ｍｍである。Ｘ軸ガイド部１１０ａの上下方向の長さＤ２２は、１７０ｍｍである。Ｙ軸方向の長さＤ２１および上下方向の長さＤ２２は、リブ１１５を有していないＸ軸ガイド部１１０においても同様である。固定部４０の上下方向の長さＤ２３は、５０ｍｍである。固定部４０のＹ軸方向の長さＤ２４は、５０ｍｍである。
【００８４】
図１６に表した矢印Ａ２５のように、Ｘ軸ガイド部１１０ａは、Ｙ軸方向における下部１１２の中央部においてねじやボルトなどの締結部材により定盤２０に締結されている。図１６に表した矢印Ａ２６および矢印Ａ２７のように、Ｘ軸ガイド部１１０ａの一方の側に設けられた固定部４０は、ねじやボルトなどの締結部材により定盤２０およびＸ軸ガイド部１１０ａに締結されている。図１６に表した矢印Ａ２８および矢印Ａ２９のように、Ｘ軸ガイド部１１０ａの他方の側に設けられた固定部４０は、ねじやボルトなどの締結部材により定盤２０およびＸ軸ガイド部１１０ａに締結されている。これらの拘束条件は、リブ１１５を有していないＸ軸ガイド部１１０のモデルを用いる場合でも同様である。
【００８５】
このような拘束条件の下で、図１６に表した矢印Ａ２４のように、複数のＸ軸ガイド部１１０ａのうちのＹ軸方向における中央領域に設けられたＸ軸ガイド部１１０ａに対して、Ｙ軸方向の荷重を等分布で与えた。荷重を与えた部分は、Ｘ軸ガイド部１１０ａの上部１１１である。このときの荷重の大きさは、４９０ニュートン（Ｎ）である。
【００８６】
図１７および図１８は、エアステージ装置１０の固有値のシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。  
図１９および図２０は、Ｘ軸ガイド部の水平方向の変形量のシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。  
図２１および図２２は、Ｘ軸ガイド部の垂直方向の変形量のシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
【００８７】
図１７（ａ）、図１９（ａ）、および図２１（ａ）は、図１５（ａ）に表したモデルを用いたときのシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。  
図１７（ｂ）、図１９（ｂ）、および図２１（ｂ）は、図１５（ｂ）に表したモデルを用いたときのシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。  
図１８（ａ）、図２０（ａ）、および図２２（ａ）は、図１５（ｃ）に表したモデルを用いたときのシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。  
図１８（ｂ）、図２０（ｂ）、および図２２（ｂ）は、図１５（ｄ）に表したモデルを用いたときのシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
【００８８】
図１７（ａ）に表した矢印Ａ３１および矢印Ａ３２のように、図１５（ａ）に表したモデルでは、振動の一次モードがヨーイングである。このときのエアステージ装置１０の固有値は、１０２．４ヘルツ（Ｈｚ）である。
【００８９】
一方で、図１７（ｂ）に表した矢印Ａ３３および矢印Ａ３４のように、図１５（ｂ）に表したモデルでも、振動の一次モードがヨーイングである。このときのエアステージ装置１０の固有値は、１０１．２Ｈｚである。  
これにより、Ｘ軸ガイド部がリブ１１５を有する場合において、固定部４０は、エアステージ装置１０の固有値を向上させることができる。
【００９０】
図１８（ａ）に表した矢印Ａ３５および矢印Ａ３６、ならびに図１８（ａ）に表した矢印Ａ３７のように、図１５（ｃ）に表したモデルでは、振動の一次モードがヨーイング、及びピッチングである。このときのエアステージ装置１０の固有値は、８８．５Ｈｚである。なお、「ピッチング」とは、進行方向（例えばＸ軸方向）に対して垂直方向に交わる軸（例えばＹ軸方向）の軸回りの運動をいう。
【００９１】
一方で、図１８（ｂ）に表した矢印Ａ３８および矢印Ａ３９、ならびに図１８（ｂ）に表した矢印Ａ４１のように、図１５（ｄ）に表したモデルでも、振動の一次モードがヨーイング、及びピッチングである。このときのエアステージ装置１０の固有値は、８６．９Ｈｚである。  
これにより、Ｘ軸ガイド部がリブ１１５を有していない場合において、固定部４０は、エアステージ装置１０の固有値を向上させることができる。
【００９２】
図１９（ａ）に表したように、図１５（ａ）に表したモデルに前述した荷重が与えられると、Ｘ軸ガイド部１１０ａは、水平方向に変形する。このとき、Ｘ軸ガイド部１１０ａの水平方向の変形量は、０．３μｍである。
【００９３】
一方で、図１９（ｂ）に表したように、図１５（ｂ）に表したモデルに前述した荷重が与えられると、Ｘ軸ガイド部１１０ａは、水平方向に変形する。このとき、Ｘ軸ガイド部１１０ａの水平方向の変形量は、１．８μｍである。  
これにより、Ｘ軸ガイド部がリブ１１５を有する場合において、Ｘ軸ガイド部の水平方向の変形を低減することができる。
【００９４】
図２０（ａ）に表したように、図１５（ｃ）に表したモデルに前述した荷重が与えられると、Ｘ軸ガイド部１１０は、水平方向に変形する。このとき、Ｘ軸ガイド部１１０ａの水平方向の変形量は、０．９μｍである。
【００９５】
一方で、図２０（ｂ）に表したように、図１５（ｄ）に表したモデルに前述した荷重が与えられると、Ｘ軸ガイド部１１０は、水平方向に変形する。このとき、Ｘ軸ガイド部１１０の水平方向の変形量は、３．８μｍである。  
これにより、Ｘ軸ガイド部がリブ１１５を有していない場合において、Ｘ軸ガイド部の水平方向の変形を低減することができる。
【００９６】
図２１（ａ）に表したように、図１５（ａ）に表したモデルに前述した荷重が与えられると、Ｘ軸ガイド部１１０ａは、水平方向だけではなく垂直方向に変形する。これは、図１３（ａ）および図１３（ｂ）に関して前述した通りである。このとき、Ｘ軸ガイド部１１０ａの垂直方向の変形量は、０．２μｍである。
【００９７】
一方で、図２１（ｂ）に表したように、図１５（ｂ）に表したモデルに前述した荷重が与えられると、Ｘ軸ガイド部１１０ａは、水平方向だけではなく垂直方向に変形する。このとき、Ｘ軸ガイド部１１０ａの垂直方向の変形量は、１．５μｍである。  
これにより、Ｘ軸ガイド部がリブ１１５を有する場合において、Ｘ軸ガイド部の垂直方向の変形を低減することができる。
【００９８】
図２２（ａ）に表したように、図１５（ｃ）に表したモデルに前述した荷重が与えられると、Ｘ軸ガイド部１１０は、水平方向だけではなく垂直方向に変形する。このとき、Ｘ軸ガイド部１１０の垂直方向の変形量は、０．２μｍである。
【００９９】
一方で、図２２（ｂ）に表したように、図１５（ｄ）に表したモデルに前述した荷重が与えられると、Ｘ軸ガイド部１１０は、水平方向だけではなく垂直方向に変形する。このとき、Ｘ軸ガイド部１１０の垂直方向の変形量は、２．５μｍである。  
これにより、Ｘ軸ガイド部がリブ１１５を有していない場合において、Ｘ軸ガイド部の垂直方向の変形を低減することができる。
【０１００】
以上、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、エアステージ装置１０、１０ａなどが備える各要素の形状、寸法、材質、配置などや固定部４０の設置形態などは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。  
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【０１０１】
１０、１０ａ、１０ｂ エアステージ装置、  ２０ 定盤、  ２１ 上面、  ３０ 静圧気体軸受、  ４０ 固定部、  ４１ 第１の孔、  ４２ 第２の孔、  ４４ 底面、  ４５ 上面、  １００ Ｘ軸ステージ、  １１０ Ｘ軸ガイド部、  １１０ａ Ｘ軸ガイド部、  １１１ 上部、  １１１ａ 上面、  １１２ 下部、  １１３ 右側部、  １１３ａ 右側面、  １１４ 左側部、  １１４ａ 左側面、  １１５ リブ、  １１６ 第１の孔、  １１７ 第２の孔、  １２０ Ｘ軸移動体、  １２１、１２２ Ｘ軸エアパッド、  １２３ Ｘ軸側板、  １２３ａ 底面、  １２５ Ｘ軸テーブル、  １２５ａ 底面、  １２５ｂ 上面、  １３０ Ｘ軸リニアモータ、  １３１ モータ部、  １３３ コイル部、  ２００ Ｙ軸ステージ、  ２１０ Ｙ軸ガイド部、  ２２０ Ｙ軸移動体、  ２２１ Ｙ軸エアパッド、  ２２３ Ｙ軸側板、  ２２５ Ｙ軸テーブル、  ２２５ａ 底面、  ２３０ Ｙ軸リニアモータ、  ２３１ モータ部、  ２３３ コイル部、  ３０１ 締結部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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