(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天板部と、該天板部の両端に設けられた側部と、各側部に設けられて相互に相対するクランプ部とを有し、該クランプ部にて両側部間に配置されるガイドレールをクランプするリニアブレーキの支持方法であって、
前記ガイドレールに対して該ガイドレールの延出方向に移動自在に配置される支持体に対し、前記天板部を緩衝体を介して支持するとともに、前記支持体と前記天板部との間にはクランプ時に前記リニアブレーキの変形を許容する間隙を有して配置し、
前記支持体に連結された一対の梁であって、前記クランプ部のクランプ方向の剛性が前記ガイドレールの延出方向への剛性よりも小さい一対の梁を、各クランプ部とガイドレールとの間にそれぞれ配置するリニアブレーキの支持方法。
【請求項２】
天板部と、該天板部の両端に設けられた側部と、各側部に設けられて相互に相対するクランプ部とを有し、該クランプ部にて両側部間に配置されるガイドレールをクランプするリニアブレーキと、
前記天板部を緩衝体を介して、前記リニアブレーキを支持した支持体であって、前記天板部との間には前記クランプ部による前記ガイドレールのクランプ時に前記リニアブレーキの変形を許容する間隙を有して位置し、前記ガイドレールに対して該ガイドレールの延出方向に移動自在に配置される支持体と、
前記支持体に連結され、前記リニアブレーキの両側部間を連結して相互に並列配置された一対の梁であって、前記クランプ部のクランプ方向の剛性が、前記クランプ方向と直交する延出方向の剛性よりも小さい一対の梁とを有し、
各クランプ部が前記ガイドレールをクランプする際に、各梁が前記ガイドレールと各クランプ部間で挟み込みされるリニアブレーキ組付体。
【請求項３】
前記一対の梁の両端は、一対の取付体にそれぞれ連結されていて、該取付体が前記支持体に対して固定されている請求項２に記載のリニアブレーキ組付体。
【請求項４】
前記支持体がテーブルである請求項２または請求項３に記載のリニアブレーキ組付体。
【請求項５】
ガイドレールに移動自在に配置されるとともにリニアブレーキを緩衝体を介して支持する支持体に対して取付けられるリニアブレーキアダプタであって、
前記支持体に対して、取付けられる一対または二対の取付体と、
対を一組として、一組の取付体同士または二組における各組の取付体同士を連結するとともに並列配置された一対の梁とを有し、
前記梁は、該梁の延出方向と直交する梁間方向の剛性が前記延出方向の剛性よりも小さくされており、
前記リニアブレーキが有する一対のクランプ部が前記ガイドレールをクランプする際に、前記一対の梁が前記ガイドレールと各クランプ部間でそれぞれ挟み込みされるリニアブレーキアダプタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアブレーキの支持方法、リニアブレーキ組付体及びリニアブレーキアダプタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
工作機械や液晶・半導体製造装置では、ワークを載置するテーブルの高精度かつ高剛性の位置保持が要求されている。それを実現するための部品の一つに、ガイドレールと併用するリニアブレーキ（特許文献１、特許文献２参照）がある。リニアブレーキは、駆動されるテーブル側に取付けられて、任意の位置でガイドレールをクランプすることで、テーブルとガイドレールとの間に弾性的な結合を発生することが可能である。
【０００３】
前記テーブルを直線移動させるボールネジを用いた一軸アクチュエータでは、リニアブレーキを用いたことによるテーブルの駆動軸方向の弾性的な結合の強さ、すなわち位置保持剛性は、一般的に、ボールネジに結合されたサーボモータによる位置保持剛性に比べて高い。そのため、リニアブレーキの使用によって、負荷時の位置ずれや、振動を抑制したことによる加工の高精度化や高速化を実現することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１７１８０号公報
【特許文献２】特表２０１０−５２５２５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、リニアブレーキの技術的課題として、クランプした瞬間の位置ずれがある。すなわち、従来から、リニアブレーキでは、ガイドレールをクランプした瞬間に、テーブルの駆動軸方向と該テーブルに対して垂直な方向とに、それぞれ数μｍのずれが発生することが経験的に知られている。このずれの原因は、リニアブレーキを構成する部品の移動や変形、或いはリニアブレーキで生じさせるクランプ力によるテーブルの変形が主な原因である。
【０００６】
本発明の目的は、クランプ時にリニアブレーキ及びそれを構成する部品の変形や移動が、テーブルの変形や移動となることを軽減できるリニアブレーキの支持方法、リニアブレーキ組付体及びリニアブレーキアダプタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のリニアブレーキの支持方法は、天板部と、該天板部の両端に設けられた側部と、各側部に設けられて相互に相対するクランプ部とを有し、該クランプ部にて両側部間に配置されるガイドレールをクランプするリニアブレーキの支持方法であって、前記ガイドレールに対して該ガイドレールの延出方向に移動自在に配置される支持体に対し、前記天板部を緩衝体を介して支持するとともに、前記支持体と前記天板部との間にはクランプ時に前記リニアブレーキの変形を許容する間隙を有して配置し、前記支持体に連結された一対の梁であって、前記クランプ部のクランプ方向の剛性が前記ガイドレールの延出方向への剛性よりも小さい一対の梁を、各クランプ部とガイドレールとの間にそれぞれ配置するものである。
【０００８】
また、本発明のリニアブレーキ組付体は、天板部と、該天板部の両端に設けられた側部と、各側部に設けられて相互に相対するクランプ部とを有し、該クランプ部にて両側部間に配置されるガイドレールをクランプするリニアブレーキと、前記天板部を緩衝体を介して、前記リニアブレーキを支持した支持体であって、前記天板部との間には前記クランプ部による前記ガイドレールのクランプ時に前記リニアブレーキの変形を許容する間隙を有して位置し、前記ガイドレールに対して該ガイドレールの延出方向に移動自在に配置される支持体と、前記支持体に連結され、前記リニアブレーキの両側部間を連結して相互に並列配置された一対の梁であって、前記クランプ部のクランプ方向の剛性が、前記クランプ方向と直交する延出方向の剛性よりも小さい一対の梁とを有し、各クランプ部が前記ガイドレールをクランプする際に、各梁が前記ガイドレールと各クランプ部間で挟み込みされるものである。
【０００９】
また、前記一対の梁の両端は、一対の取付体にそれぞれ連結されていて、該取付体が前記支持体に対して固定されていることが好ましい。
また、前記支持体がテーブルであってもよい。
【００１０】
また、本発明のリニアブレーキアダプタは、ガイドレールに移動自在に配置されるとともにリニアブレーキを緩衝体を介して支持する支持体に対して取付けられるリニアブレーキアダプタであって、前記支持体に対して、取付けられる一対または二対の取付体と、対を一組として、一組の取付体同士または二組における各組の取付体同士を連結するとともに並列配置された一対の梁とを有し、前記梁は、該梁の延出方向と直交する梁間方向の剛性が前記延出方向の剛性よりも小さくされており、前記リニアブレーキが有する一対のクランプ部が前記ガイドレールをクランプする際に、前記一対の梁が前記ガイドレールと各クランプ部間でそれぞれ挟み込みされるものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のリニアブレーキの支持方法及び本発明のリニアブレーキ組付体によれば、リニアブレーキ及びそれを構成する部品の変形や移動が、テーブルの変形や移動となることを軽減できる。
【００１２】
また、本発明のリニアブレーキアダプタは、上記リニアブレーキの支持方法に直接使用できる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】一実施形態のリニアブレーキ組付体の斜視図。
【図２】一実施形態のリニアブレーキ組付体の分解斜視図。
【図３】一実施形態のリニアブレーキアダプタの斜視図。
【図４】一実施形態のリニアブレーキ組付体の要部断面斜視図。
【図５】一実施形態のリニアブレーキ組付体の要部断面図。
【図６】一実施形態のリニアブレーキアダプタの取付状態を示す断面図。
【図７】（ａ）は他の実施形態の梁の断面図、（ｂ）は他の実施形態の梁の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（実施形態）
以下、本発明を具体化した実施形態のリニアブレーキの支持方法、リニアブレーキ組付体及びリニアブレーキアダプタ５０について、図１〜図６を参照して説明する。
【００１５】
図１、図２に示すように、リニアブレーキ組付体１０は、テーブル２０、リニアブレーキ３０、スライダ４０、及びリニアブレーキアダプタ５０を有する。
テーブル２０は平板状に形成されていて、長手方向の両端下面には、一対のスライダ４０が上面から挿通された複数のボルト２１により、締付け固定されている。なお、図１では、テーブル２０は、一部のみが図示されていて、他の部分は省略して図示されている。前記テーブルは、図示しないボールネジ機構により、一軸方向（後述するガイドレール６０の延出方向）に移動可能となっている。
【００１６】
リニアブレーキ組付体１０が乗るガイドレール６０は、断面Ｉ形に形成されており、頭部６２及び底部６４よりも腰部６６の厚みが狭く形成されている。スライダ４０は、前記ガイドレール６０の断面Ｉ形に合致した形状の嵌合溝４２を有しており、該嵌合溝４２がガイドレール６０の頭部６２及び腰部６６に嵌合した状態でガイドレール６０の長手方向に沿って移動自在になっている。
【００１７】
図４、図５に示すようにテーブル２０の長手方向の中央部下面には、リニアブレーキ３０が取付けられている。
詳説すると、テーブル２０の長手方向の中央部上面には、段２３付きの取付孔２２が複数個設けられている。また、取付孔２２は、段２３から上方を大径部２２ａとし、段２３からテーブル２０下面間には、中径部２２ｂ、小径部２２ｃ、及び小径部２２ｄが上から順に形成されている。小径部２２ｃの上面及び下面は、第１Ｏリング座２５及び第２Ｏリング座２６としている。
【００１８】
図４、図５に示すように、取付孔２２には、テーブル２０の上面から、取付ボルト２４が挿通されていてリニアブレーキ３０の天板部３１に穿設されたネジ孔３１ａに対して螺着されている。
【００１９】
取付ボルト２４の頭部は、第１Ｏリング座２５に取付けられたＯリング２７に係止されて、段２３とは接触しないようにされているとともに、大径部２２ａの内周面とも接触しないように小径となっている。また、第２Ｏリング座２６には、Ｏリング２８が取付けられていて、Ｏリング２８により、テーブル２０の下面と、天板部３１及び側部３２上面とは接触しないように間隙が介在されて離間されている。図５に示すようにこの離間距離は、Ｌとしている。
【００２０】
この離間距離Ｌは、後述するリニアブレーキ３０のクランプ部３３が、ガイドレール６０等をクランプしたときの反力により、リニアブレーキ３０の側部３２が上方へ反って変形するが、この変形時の側部３２にテーブル２０下面が干渉しないように設定されている。すなわち、側部３２の前記変形を許容するように離間距離Ｌは設定されている。上記のようにして、リニアブレーキ３０は、テーブル２０に対してＯリング２７、２８を介在させることにより弾性的に吊下げ支持されている。Ｏリング２７、２８は、緩衝体の一例である。テーブル２０は、支持体の一例である。
【００２１】
なお、後述する梁５４を介してクランプ部３３がガイドレール６０をクランプした時に、緩衝体を介してテーブル２０に伝わる力の調整は、緩衝体であるＯリング２７、２８の形状、材質によって調整されている。この調整によって、クランプ部３３がガイドレール６０をクランプしたときの一軸方向の移動を小さくしている。
【００２２】
図２に示すようにリニアブレーキ３０は、天板部３１と、天板部３１の両端に形成された一対の側部３２とにより、門形に形成されている。図５に示すように各側部３２には、クランプ部３３が設けられている。
【００２３】
クランプ部３３は、公知の空圧式、油圧式、或いは、モータ等により回転されるカム式等のいずれでもよく、また、ノーマルオープンタイプ、ノーマルクローズタイプのいずれでもよい。本実施形態のクランプ部３３は、空圧式のノーマルオープンタイプとしている。
【００２４】
図５に示すように各クランプ部３３は、互いに相対するブレーキシュー３４を備えており、各クランプ部３３がクランプ方向に作動すると、ブレーキシュー３４の側部３２内面からの突出量が増大して、両側部３２間にあるガイドレール６０の頭部６２を、後述するリニアブレーキアダプタ５０の梁５４を介してクランプする。
【００２５】
図２、図３に示すように、リニアブレーキアダプタ５０は、一対の取付体５１と、両取付体５１間に並設して設けられて、両取付体５１を連結する一対の梁５４とを有する。取付体５１は、立方体をなすようにブロック状に形成されており、下面には、ガイドレール６０の頭部６２の幅よりも溝幅が広く形成された嵌合溝５２を有している。図６に示すように、取付体５１は、上面に複数のネジ孔５３を有していてテーブル２０の上面から挿通された取付ボルト２９が螺着されることにより、テーブル２０に取付け固定されていて、嵌合溝５２により、ガイドレール６０の頭部６２に対して遊びを以て嵌合されている。
【００２６】
両梁５４の離間距離は、ガイドレール６０の頭部６２の幅よりも若干長くされている。そして、図５に示すように、各梁５４は、各ブレーキシュー３４と、ガイドレール６０の頭部６２間に介在して配置されている。
【００２７】
梁５４は、クランプ部３３のクランプ方向の剛性がガイドレール６０の延出方向への剛性よりも小さくされている。ここで、前記ガイドレール６０の延出方向は、各梁５４の延出方向と同方向であり、前記クランプ部３３のクランプ方向は、各梁５４の梁間方向と同方向である。すなわち、各梁５４は、梁５４の延出方向と直交する梁間方向の剛性が梁５４の延出方向の剛性よりも小さくされている。また、各梁５４の外面には、ブレーキシュー３４と対向する突部５４ｂを有し、また、突部５４ｂと対応するように、各梁５４の内面には、突部５４ａが形成されている。
【００２８】
一対の梁５４は、ガイドレール６０の延出方向（図５では紙面と直交する方向）に延びた中心軸Ｏを含む仮想鉛直面Ｅ（図５では上下方向に延びる仮想平面）に対して面対称の形状であることが好ましい。また、一対の梁５４は、前記仮想鉛直面Ｅに対して面対称に配置されていることが好ましい。
【００２９】
また、各梁５４の延出方向における中間部を挟む両部は、前記仮想鉛直面Ｅと直交し、かつ、その延出方向における中間部を通過する仮想平面に対して面対称の形状であることが好ましく、かつ、仮想平面に対して面対称に配置されていることが好ましい。上記のように各梁５４が形成されて配置されていることにより、一対の梁５４同士における剛性のバランスが良好に得られる、し
クランプ部３３がクランプ方向に作動していないときは、梁５４は、突部５４ａがガイドレール６０の頭部６２に対して離間した状態となるように、かつ突部５４ｂがブレーキシュー３４に常時当接するように配置されている。また、クランプ部３３がクランプ方向に作動した際には、梁５４は、突部５４ｂがブレーキシュー３４にクランプ方向に押圧されて、突部５４ａがガイドレール６０の頭部６２をクランプするように配置されている。
【００３０】
（実施形態の作用）
さて、上記実施形態の作用について説明する。
本実施形態では、図示しないボールネジ機構により、テーブル２０がガイドレール６０の延出方向に移動中は、リニアブレーキ３０はアンクランプ状態である。そして、テーブル２０が停止した後に、リニアブレーキ３０の両クランプ部３３がクランプ動作する。図５に示すように、両クランプ部３３が作動すると、各ブレーキシュー３４が、各梁５４の突部５４ｂをクランプ方向に押圧するため、突部５４ａがガイドレール６０の頭部６２をクランプする。
【００３１】
リニアブレーキ３０のクランプ部３３が、梁５４を介してガイドレール６０をクランプしたときの反力により、リニアブレーキ３０の側部３２が上方へ反って変形する。しかし、この変形時の側部３２にテーブル２０下面が干渉しないようにテーブル２０下面と側部３２上面の離間距離Ｌが設定されているため、この変形時の側部３２にテーブル２０下面が干渉することはない。
【００３２】
また、リニアブレーキ３０が緩衝体であるＯリング２７、２８を介してテーブル２０に支持されているため、リニアブレーキ３０のテーブル２０による拘束力は、テーブル２０に対して直接支持されている場合に比して低い。このため、リニアブレーキ３０はテーブル２０に対しては、前記Ｏリング２７、２８が許容する範囲で移動してクランプを完了する。この移動には、テーブル２０の一軸方向（ガイドレール６０の延出方向）も含む。
【００３３】
この緩衝体（本実施形態ではＯリング２７、２８）を介したことによるテーブル２０の一軸方向（ガイドレール６０の延出方向）の剛性の低下は、ガイドレール６０とリニアブレーキ３０との間に介在配置されている梁５４によって補われる。すなわち、梁５４は、クランプ部３３のクランプ方向の剛性がガイドレール６０の延出方向への剛性よりも小さくしていることからクランプ方向（クランプ力が作用する方向）に容易に変形する。また、梁５４は、テーブル２０の前記一軸方向に対しては大きな剛性を有していることから前述のテーブル２０の一軸方向の剛性の低下を補う。
【００３４】
この結果、梁５４を介してガイドレール６０をクランプ部３３にてクランプすることにより、リニアブレーキ及びそれを構成する部品の変形や移動が、テーブルの変形や移動となることを軽減でき、また、テーブルの位置保持剛性を高くすることができる。
【００３５】
本実施形態によれば、下記の特徴がある。
（１）本実施形態のリニアブレーキの支持方法は、ガイドレール６０に対してガイドレール６０の延出方向に移動自在に配置されるテーブル２０（支持体）に対し、天板部３１をＯリング２７、２８（緩衝体）を介して支持するとともに、テーブル２０と天板部３１間にはクランプ時にリニアブレーキ３０の変形を許容する間隙を有して配置する。また、テーブル２０（支持体）に連結された一対の梁５４であって、クランプ部３３のクランプ方向の剛性がガイドレール６０の延出方向への剛性よりも小さい一対の梁５４を、各クランプ部３３とガイドレール６０との間にそれぞれ配置する。
【００３６】
この結果、本実施形態のリニアブレーキの支持方法によれば、クランプ時にリニアブレーキによって、リニアブレーキ及びそれを構成する部品の変形や移動が、テーブルの変形や移動となることがない。
【００３７】
（２）本実施形態のリニアブレーキ組付体１０は、天板部３１と、天板部３１の両端に設けられた側部３２と、各側部３２に設けられて相互に相対するクランプ部３３とを有し、クランプ部３３にて両側部３２間に配置されるガイドレール６０をクランプするリニアブレーキ３０を有する。また、リニアブレーキ組付体１０は、天板部３１をＯリング２７、２８（緩衝体）を介してリニアブレーキ３０を支持したテーブル２０（支持体）を有する。テーブル２０と、リニアブレーキ３０間にはクランプ部３３によるガイドレール６０のクランプ時にリニアブレーキ３０の変形を許容する間隙を有して位置し、ガイドレール６０に対してガイドレール６０の延出方向に移動自在に配置される。
【００３８】
また、リニアブレーキ組付体１０は、テーブル２０（支持体）に連結され、リニアブレーキ３０の両側部３２間を連結して相互に並列配置された一対の梁５４を有する。梁５４は、クランプ部３３のクランプ方向の剛性が、クランプ方向と直交する延出方向の剛性よりも小さくしている。また、リニアブレーキ組付体１０は、各クランプ部３３がガイドレール６０をクランプする際に、各梁５４がガイドレール６０と各クランプ部３３間で挟み込みされる。
【００３９】
この結果、本実施形態のリニアブレーキ組付体１０によれば、上記リニアブレーキの支持方法に直接使用することによって、上記方法の作用効果を得ることができる。
（３）本実施形態のリニアブレーキ組付体１０では、前記一対の梁５４の両端は、一対の取付体５１にそれぞれ連結されていて、取付体５１がテーブル２０（支持体）に対して固定されている。この結果、一対の取付体５１をテーブル２０（支持体）に取付けることにより、一対の梁５４を同時に配置することができる。
【００４０】
（４）本実施形態のリニアブレーキ組付体１０は、支持体をテーブル２０としていることにより、テーブル２０自体を支持体とすることにより、上記の支持方法によってクランプ時にリニアブレーキ及びそれを構成する部品の変形や移動が、テーブルの変形や移動となることを軽減できる。
【００４１】
（５）本実施形態のリニアブレーキアダプタは、テーブル２０（支持体）に対して、取付けられる一対の取付体５１と、一対の取付体５１を連結するとともに並列配置された一対の梁５４とを有する。そして、梁５４は、梁５４の延出方向と直交する梁間方向の剛性が延出方向の剛性よりも小さくされている。そして、一対の梁５４は、リニアブレーキ３０が有する一対のクランプ部３３がガイドレール６０をクランプする際に、ガイドレール６０と各クランプ部３２間でそれぞれ挟み込みされる。
【００４２】
本実施形態のリニアブレーキアダプタ５０によれば、上記リニアブレーキの支持方法に直接使用することによって、上記方法の作用効果を得ることができる。
なお、実施形態は、前記実施形態に限定されるものではなく、下記のように構成してもよい。
【００４３】
・前記実施形態では、Ｏリングを緩衝体としたが、緩衝体はＯリングに限定するものではない。例えば、緩衝体を筒状に形成し、その緩衝体を、取付孔２２に装着し、この緩衝体に挿通した取付ボルト２４をリニアブレーキ３０の天板部３１に螺着してもよい。
【００４４】
・また、取付ボルト２４の代りに、天板部３１に植え込みボルトを立設し、該植え込みボルトの上部を前記緩衝体の上面から突出させて、突出した部分（突出部）にナットを螺着してもよい。
【００４５】
・また、リニアブレーキ３０のテーブル２０（支持体）への取付け方法は、ボルト以外の方法であってもよい。
・前記実施形態では、Ｏリング２７、２８をそれぞれ設けたが、取付ボルト２４をテーブル２０に接触しないようにして一方のＯリングのみで支持してもよい。
【００４６】
・前記実施形態では、ガイドレール６０は、断面Ｉ形としたが、ガイドレール６０の断面形状は断面Ｉ形に限定するものではない。例えば、断面長方形又は正方形のガイドレールとしてもよい。
【００４７】
・前記実施形態では、梁５４を頭部６２とブレーキシュー３４との間に配置したが、梁５４をガイドレール６０の腰部６６に相対するように配置するとともに、ブレーキシュー３４を該梁５４に相対するように配置して、腰部６６を梁５４を介してクランプするようにしてもよい。
【００４８】
・前記実施形態では、梁５４に突部５４ｂを設けたが、突部５４ｂを省略して、図７（ａ）に示すように梁５４において、ブレーキシューに対向する面を平面としてもよい。また、図７（ｂ）に示すように、梁５４において、ブレーキシューに対向する面に凹部５４ｃを設けてもよい。
【００４９】
・前記実施形態では、支持体をテーブル２０としたが、支持体はテーブル２０に限定するものではない。例えば、テーブル２０に一体に取付けられた別部材を支持体としてもよい。そして、この別部材に対して、緩衝体を介してリニアブレーキアダプタ５０を支持してもよい。この場合、リニアブレーキ組付体は、少なくともこの別部材と、リニアブレーキと、リニアブレーキアダプタとから構成される。また、テーブル、前記別部材、リニアブレーキ、及びリニアブレーキアダプタとからリニアブレーキ組付体を構成してもよい。
【００５０】
・前記実施形態では、一対の取付体５１間を一対の梁５４で連結したが、この構成に限定するものではない。一対の取付体５１の代りに二対の取付体５１を設けて、対をなす取付体間を梁で連結してもよい。すなわち、一対の取付体と、該一対の取付体間を連結する梁とを一組として、二組からなるリニアブレーキアダプタにして構成してもよい。
【００５１】
例えば、図３に示すリニアブレーキアダプタ５０を、梁間方向の中央部において、２分割した構成でもよい。
・前記実施形態では、一対の梁５４は、ガイドレール６０の延出方向（図５では紙面と直交する方向）に延びた中心軸Ｏを含む仮想鉛直面Ｅ（図５では上下方向に延びる仮想平面）に対して面対称の形状とした。また、一対の梁５４は、前記仮想鉛直面Ｅに対して面対称に配置するようにした。しかし、必ずしも、前記梁同士を面対称等にする必要はなく、両梁はその剛性がバランスよくなるようにその形状が形成され、または配置されていればよい。
【００５２】
・前記実施形態では、各梁５４の延出方向における中間部を挟む両部は、前記仮想鉛直面Ｅと直交し、かつ、前記中間部を通過する仮想平面に対して面対称の形状にし、かつ、前記仮想平面に対して面対称に配置した。しかし、必ずしも、各梁を上記のようにする必要はなく、各梁において、中間部を挟む両部の剛性がバランスよく形成または配置されていればよい。
【符号の説明】
【００５３】
１０…リニアブレーキ組付体、２０…テーブル（支持体）、２１…ボルト、
２２…取付孔、２２ａ…大径部、２２ｂ…中径部、
２２ｃ、２２ｄ…小径部、２３…段、２４…取付ボルト、
２５…第１Ｏリング座、２６…第２Ｏリング座、
２７、２８…Ｏリング（緩衝体）、２９…取付ボルト、
３０…リニアブレーキ、３１…天板部、
３１ａ…ネジ孔、３２…側部、３３…クランプ部、３４…ブレーキシュー、
４０…スライダ、４２…嵌合溝、５０…リニアブレーキアダプタ、
５１…取付体、５２…嵌合溝、５３…ネジ孔、５４…梁、
５４ａ、５４ｂ…突出部、５４ｃ…凹部、６０…ガイドレール、
６２…頭部、６４…底部、６６…腰部、Ｌ…離間距離。
【図１】
0006615664.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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