(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被計測物の一軸方向の変位を計測するリニアゲージであって、
少なくとも２つのボール溝が外周面の互いに対向する位置に長手方向に沿って設けられるスピンドルと、
前記ボール溝に接触する複数のボールを回動自在に保持しながら前記スピンドルの前記長手方向に沿って摺動可能に設けられるリテーナと、
前記リテーナがその外側に装着された前記スピンドルを前記長手方向に沿って摺動可能に支持するスプラインナットと、を備え、
前記スプラインナットの内周面には、前記スピンドルに設けられる前記ボール溝のそれぞれに対向する位置にスプライン溝が前記長手方向に沿ってそれぞれ設けられ、該スプライン溝は、その底面が前記スプラインナットの両端から中央に向けて前記スピンドルの中心軸からの距離が遠くなるように凹状に形成されることを特徴とするリニアゲージ。
【請求項２】
前記スピンドルの前記外周面には、４つの前記ボール溝が互いに対向する位置に前記長手方向に沿って設けられ、
前記スプラインナットの前記内周面には、４つの前記スプライン溝が前記ボール溝に対向する位置に前記長手方向に沿って設けられることを特徴とする請求項１に記載のリニアゲージ。
【請求項３】
前記ボールの外径は、前記リテーナの摺動に伴って前記ボールが前記スプラインナットの前記中央に配置された際に、前記スプライン溝に対して所定の大きさ以上の予圧を確保可能な大きさであることを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアゲージ。
【請求項４】
前記ボールは、前記リテーナの前記長手方向における端部側には、設けられ、かつ、前記リテーナの前記長手方向の中央側には、設けられていないことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のリニアゲージ。
【請求項５】
前記ボールは、前記リテーナの前記長手方向の端部側におけるボール溝に対向する位置にそれぞれ２つずつ設けられることを特徴とする請求項４に記載のリニアゲージ。
【請求項６】
有限直動案内装置であって、
少なくとも２つのボール溝が外周面の互いに対向する位置に長手方向に沿って設けられるスピンドルと、
前記ボール溝に接触する複数のボールを回動自在に保持しながら前記スピンドルの前記長手方向に沿って摺動可能に設けられるリテーナと、
前記リテーナがその外側に装着された前記スピンドルを前記長手方向に沿って摺動可能に支持するスプラインナットと、を備え、
前記スプラインナットの内周面には、前記スピンドルに設けられる前記ボール溝のそれぞれに対向する位置にスプライン溝が前記長手方向に沿ってそれぞれ設けられ、該スプライン溝は、その底面が前記スプラインナットの両端から中央に向けて前記スピンドルの中心軸からの距離が遠くなるように凹状に形成されることを特徴とする有限直動案内装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被計測物の一軸方向の変位を計測するリニアゲージ、及び所定の範囲内で摺動部材を直動するように案内する有限直動案内装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被計測物の一軸方向の変位を計測するリニアゲージとして、ボールスプライン構造が応用されたリニアゲージが提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載されたリニアゲージは、スプライン溝を有するスピンドルと、スピンドルに設けられたスケールと、ボールスプライン軸受構造によりスピンドルが開口端部の開口を介してスライドするようにスピンドルを支持する本体と、本体内に配置されてスケールを読み取るセンサと、スプライン溝に接触する凸部を有して本体の開口端部に設けられたパッキン材とを具備する。リニアゲージを係る構成とすることにより、リニアゲージ内にダスト等の異物侵入が防止される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２２３９０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、リニアゲージでの一軸方向での変位計測を繰り返すことによって、使用中にリニアゲージのスピンドルが全長まで伸びきらずに、途中で引っかかる不具合が発生していた。かかる不具合は、スピンドルの可動長の中間部で連続摺動させた際に、ボールがスリップしてリテーナがずれることによって、スピンドルの全長摺動より先にリテーナが本体の先端側に設けられるストッパーに接触して、スピンドルが全長まで伸びないことがその原因として考えられていた。すなわち、リニアゲージでの変位計測の精度を上げるために、リニアゲージを使用中にスピンドルの摺動に起因するリテーナずれの不具合の発生を防止する必要があった。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、スピンドルの摺動に起因するリテーナずれの不具合の発生を低減することの可能な、新規かつ改良されたリニアゲージ、及び有限直動案内装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、被計測物の一軸方向の変位を計測するリニアゲージであって、少なくとも２つのボール溝が外周面の互いに対向する位置に長手方向に沿って設けられるスピンドルと、前記ボール溝に接触する複数のボールを回動自在に保持しながら前記スピンドルの前記長手方向に沿って摺動可能に設けられるリテーナと、前記リテーナがその外側に装着された前記スピンドルを前記長手方向に沿って摺動可能に支持するスプラインナットと、を備え、前記スプラインナットの内周面には、前記スピンドルに設けられる前記ボール溝のそれぞれに対向する位置にスプライン溝が前記長手方向に沿ってそれぞれ設けられ、該スプライン溝は、その底面が前記スプラインナットの両端から中央に向けて前記スピンドルの中心軸からの距離が遠くなるように凹状に形成されることを特徴とする。
【０００７】
本発明の一態様によれば、スプライン溝の底面がスプラインナットの両端から中央に向けてスピンドルの中心軸からの距離が遠くなるように凹状に形成されることによって、リテーナの可動範囲におけるボールにかかる予圧の不均一の影響を軽減できるので、スピンドルの摺動に起因するリテーナずれの不具合の発生を低減できる。
【０００８】
このとき、本発明の一態様では、前記スピンドルの前記外周面には、４つの前記ボール溝が互いに対向する位置に前記長手方向に沿って設けられ、前記スプラインナットの前記内周面には、４つの前記スプライン溝が前記ボール溝に対向する位置に前記長手方向に沿って設けられることとしてもよい。
【０００９】
このようにすれば、スピンドルの摺動に伴う安定したボールスプライン動作を確保することができる。
【００１０】
また、本発明の一態様では、前記ボールの外径は、前記リテーナの摺動に伴って前記ボールが前記スプラインナットの前記中央に配置された際に、前記スプライン溝に対して所定の大きさ以上の予圧を確保可能な大きさであることとしてもよい。
【００１１】
このようにすれば、ボールによる予圧を高めることによってリテーナのスリップ発生を低減するので、リテーナずれを防止できる。
【００１２】
また、本発明の一態様では、前記ボールは、前記リテーナの前記長手方向における端部側には、設けられ、かつ、前記リテーナの前記長手方向の中央側には、設けられていないこととしてもよい。
【００１３】
このようにすれば、リテーナの長手方向における中央側でボールに余分な予圧がかからなくなるので、ボール予圧の不均一によるリテーナずれ発生のリスクを低減できる。
【００１４】
また、本発明の一態様では、前記ボールは、前記リテーナの前記長手方向の端部側におけるボール溝に対向する位置にそれぞれ２つずつ設けられることとしてもよい。
【００１５】
このようにすれば、ボールスプライン動作の安定したストロークを確保しながら、ボール予圧の不均一によるリテーナずれのリスクを低減できる。
【００１６】
本発明の他の態様によれば、有限直動案内装置であって、少なくとも２つのボール溝が外周面の互いに対向する位置に長手方向に沿って設けられるスピンドルと、前記ボール溝に接触する複数のボールを回動自在に保持しながら前記スピンドルの前記長手方向に沿って摺動可能に設けられるリテーナと、前記リテーナがその外側に装着された前記スピンドルを前記長手方向に沿って摺動可能に支持するスプラインナットと、を備え、前記スプラインナットの内周面には、前記スピンドルに設けられる前記ボール溝のそれぞれに対向する位置にスプライン溝が前記長手方向に沿ってそれぞれ設けられ、該スプライン溝は、その底面が前記スプラインナットの両端から中央に向けて前記スピンドルの中心軸からの距離が遠くなるように凹状に形成されることを特徴とする。
【００１７】
本発明の他の態様によれば、スプライン溝の底面がスプラインナットの両端から中央に向けてスピンドルの中心軸からの距離が遠くなるように凹状に形成されることによって、リテーナの可動範囲におけるボールにかかる予圧の不均一の影響を軽減できるので、スピンドルの摺動に起因するリテーナずれの不具合の発生を低減できる。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように本発明によれば、リニアゲージのスプラインナットにおける対向するボール溝で形成される断面形状を太鼓型にすることで、スピンドルの摺動に起因するリテーナずれの不具合の発生を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係るリニアゲージの長手方向における断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るリニアゲージに備わるボールスプライン構造を示す斜視図である。
【図３】図２のＣ−Ｃ断面図である。
【図４】（Ａ）は、本発明の一実施形態に係るリニアゲージに備わるスプラインナットに設けられるスプライン溝の長手方向における断面図であり、（Ｂ）及び（Ｃ）は、従来のリニアゲージに備わるスプラインナットに設けられるスプライン溝の長手方向における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【００２１】
まず、本発明の一実施形態に係るリニアゲージの構成について、図面を使用しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るリニアゲージの長手方向における断面図であり、図２は、本発明の一実施形態に係るリニアゲージに備わるボールスプライン構造を示す斜視図であり、図３は、図２のＣ−Ｃ断面図である。
【００２２】
本発明の一実施形態に係るリニアゲージ１００は、所定の範囲内で摺動部材を直動するように案内する有限直動案内装置であって、軸体となるスピンドル３と、ボールスプライン軸受構造２０により摺動部材となるスピンドル３の長手方向（軸方向）にスピンドル３がスライドするように、スピンドル３を支持する本体１とを備える。スピンドル３及びボールスプライン軸受構造２０により構成されるボールスプラインの材質は、例えば、鉄、ステンレス、その他の合金、又は、樹脂等から形成される。
【００２３】
本体１は、外筒となるスプラインナット１１と、当該スプラインナット１１の基端側に取り付けられ、スピンドル３を駆動するためのエアシリンダ機構２５と、当該エアシリンダ機構２５の基端側に取り付けられたカバーケース１２とを有し、スプラインナット１１にボールスプライン軸受構造２０が設けられている。スピンドル３は、本体１のスプラインナット１１の開口端部１１ａを介して、本体１に対して伸縮可能にスライドするようになっている。
【００２４】
スピンドル３の先端側には、被計測物の一軸方向の変位を計測する際に、当該被計測物に当接する接触子９が設けられており、スピンドル３の基端側には、スケール４がスピンドル３と一体成型で設けられている。なお、スケール４は、スピンドル３と別体の構成要素として、スピンドル３の基端側にネジ等の接続部材を介して取り付けられる構成としてもよい。スケール４は、カバーケース１２内に配置されており、スケール台４ａと、スケール台４ａに微細なピッチでパターンが刻まれて構成された位置情報とを有している。本体１内のスケール台４ａに対面する位置には、センサ５が配置されている。
【００２５】
センサ５は、本体１に対して固定されており、例えば、カバーケース１２内に設けられる不図示の固定部材に設置されている。センサ５の検出面とスケール台４ａの表面とのギャップは、約２０μm±５μmに設定されている。
【００２６】
このようにセンサ５を設けることによって、スピンドル３がスライドする際に、センサ５が位置情報となるスケール４を読み取るようになっている。センサ５は、フレキシブルプリント基板６及びコネクタ７を介して電気ケーブル８に接続されている。センサ５としては、典型的には磁気式が用いられるが、光学式または静電式等が用いられてもよい。
【００２７】
本実施形態では、スケール台４ａの軸方向に垂直な断面の形状は、Ｄ字状となっている。このため、当該スケール台４ａの加工が容易となり、スケール台４ａの表面上に位置情報を形成し易くなる。また、本実施形態では、センサ５の検出面とスケール台４ａの表面の間の領域、すなわちセンシング領域が実質的にスピンドル３と同軸上に配置されているため、アッベ誤差を少なくし、検出精度を高めることができる。
【００２８】
スピンドル３は、図２に示すように、その軸方向に形成されたボール溝３ａを有する。本実施形態では、図２及び図３に示すように、ボール溝３ａは、スピンドル３の外周面３ｂの互いに対向する位置に合計４本形成されている。各ボール溝３ａのスピンドル３の外周面３ｂ上の周方向での配置の角度間隔は、図３において上の２つについて６０〜７０°であり、下の２つも同様である。これら４つのボール溝３ａは、９０°に円周方向に均等な間隔で設けられていてもよい。
【００２９】
なお、ボール溝３ａは、３本設けられていてもよいし、１８０度間隔で２本設けられていてもよい。すなわち、スピンドル３の外周面３ａに少なくとも２本以上のボール溝３ａが長手方向に沿うように設けられていればよい。ボール溝３ａが２本または４本のように偶数となる場合、当該ボール溝３ａは、図３に示すように、上下対象（または左右対称）となるので、ボール溝３ａを形成するときのスピンドル３の加工精度が向上する。特に、ボール溝３ａが４本の場合には、スピンドル３の摺動に伴う安定したボールスプライン動作を確保することができる。
【００３０】
ボールスプライン軸受構造２０は、図２に示すように、複数のボール２１と、これらのボール２１を回動自在に保持しながら、スピンドル３の長手方向に沿って摺動可能に設けられる筒形状のリテーナ２２とを備える。リテーナ２２は、スプラインナット１１の内周面１１ｄとスピンドル３の外周面３ｂとの間に摺動可能に設けられている。当該リテーナ２２には、スピンドル３のボール溝３ａに対応するように軸方向に沿って複数の貫通穴２２ａが形成されている。これらの貫通穴２２ａ内にボール２１が回転自在にそれぞれ配置されている。
【００３１】
本実施形態では、図２に示すように、リテーナ２２には、ボール２１がリテーナ２２の長手方向の端部側にのみ設けられ、中央側には、設けられていないことを特徴とする。具体的には、リテーナ２２には、ボール２１がリテーナ２２の長手方向の端部側におけるボール溝３ａに対向する位置にそれぞれ２つずつ設けられる。
【００３２】
このように、リテーナ２２の端部側にのみボール２１を設け、複数のボールをリテーナの長手方向に均等に設けられていた従来のものよりもボール２１の数を減らすことによって、リテーナ２２の長手方向における中央側でボール２１による余分な予圧がかからなくなる。このため、ボール２１の予圧の不均一によって誘発されるリテーナ２２のスリップが発生し難くなるので、リテーナずれ発生のリスクを低減できる。特に、ボール２１がリテーナ２２の長手方向の端部側におけるボール溝３ａに対向する位置にそれぞれ２つずつ設けられることによって、ボールスプライン動作の安定したストロークを確保しながら、ボール２１の予圧の不均一によるリテーナ２２がずれるリスクを低減できる。
【００３３】
また、本実施形態では、ボール２１による予圧を高めることによって、リテーナ２２のスリップ発生を低減するために、ボール２１の外径は、リテーナ２２の摺動に伴ってボール２１がスプラインナット１１の中央に配置された際に、スプライン溝１１ｃに対して所定の大きさ以上の予圧を確保可能な大きさとすることが好ましい。具体的には、従来のボール径が１．０ｍｍとした場合に、ボール径を０．５μｍ大きくする。このように、ボール径を従来よりも拡大することによって、ボール２１による予圧が高まるので、リテーナ２２が後述するスプラインナット１１の内周面１１ｄに設けられるスプライン溝１１ｃに対して、スリップし難くなる。
【００３４】
スプラインナット１１の内周面１１ｄには、スピンドル３のボール溝３ａに対向する位置にスプライン溝１１ｃが長手方向に沿ってそれぞれ設けられている。本実施形態では、スプライン溝１１ｃは、その底面１１ｃ１がスプラインナット１１の両端１１ａ、１１ｅから中央に向けて、スピンドル１１の中心軸Ｘ（図４（Ａ）参照）からの距離が遠くなるように凹状に形成されることを特徴とする。なお、スプライン溝１１ｃの形状の詳細については、後述する。
【００３５】
リテーナ２２の厚さｔ１は、ボール２１の直径ｔ２より小さく形成されている。具体的には、ボール２１の直径ｔ２は、ボール２１が貫通穴２２ａ内に配置された状態で、スピンドル３のボール溝３ａとスプラインナット１１のスプライン溝１１ｃに接触するような値に設定されている。典型的には、リテーナ２２の厚さｔ１は、０．３〜０．７ｍｍであり、ボール２１の直径ｔ２は、１ｍｍとされる。また、スプラインナット１１の外径は、例えば、８ｍｍとされている。
【００３６】
このように、本体１のスプラインナット１１の内周面１１ｄ側にスプライン溝１１ｃが形成されることにより、少なくともボールスプライン軸受構造２０が設けられる部分のスプラインナット１１の外径を小さくすることができる。その結果、リニアゲージ１００の小型化を実現することができる。
【００３７】
図３の点Ａで示すように、ボールスプライン軸受構造２０のボール２１と、スピンドル３のボール溝３ａとの接触は、一点接触とされている。また、これらのボール２１とスプラインナット１１のスプライン溝１１ｃとの接触も一点接触（点Ｂ）とされている。つまり、これらのボール２１は、それぞれ二点接触とされる。これにより、一般的なボールスプラインの４点接触に比べ、スピンドル３の摺動抵抗を減らすことができる。
【００３８】
スピンドル３の摺動抵抗が小さいほど、スピンドル３がスムーズに動くので、例えば、後述するエアシリンダ機構２５のエア圧力は、大きいものを必要としない。従って、エアシリンダ機構２５の駆動エネルギーを低減でき、また、スピンドル３の先端部側に設けられた接触子９が不図示の被計測物に接触するときの被計測物の変形量を最小限に抑制することができる。
【００３９】
このように、リニアゲージ１００にボールスプラインが採用されることにより、スピンドル３の軸方向を中心としてトルクがスピンドル３に加えられても、スピンドル３の回転を防止することができる。スピンドル３の回転が防止されることにより、スケール台４ａの面と、センサ５の検出面との距離が一定に維持されながら、スピンドル３がスライド可能となる。従って、センサ５の検出精度が低下することがない。
【００４０】
スプラインナット１１のボールスプライン軸受構造２０が設けられる側と反対側には、スピンドル３を駆動するためのエアシリンダ機構２５が設けられている。エアシリンダ機構２５では、外筒となる筒状のケーシング２８内でスピンドル３に固定されたカラー２６がケーシング２８の長さ方向に移動可能に設けられている。そして、カラー２６とケーシング２８の基端側に設けられる内側凸部２８ｂとの間には、バネ２７を介して接続されて、エア領域２９が形成されている。
【００４１】
このようにして、本実施形態では、スピンドル３に固定されたカラー２６は、エアシリンダ機構２５のケーシング２８のエア領域２９内、すなわち、ケーシング２８の先端側に設けられるスプラインナット１１の基端部１１ｅとケーシング２８の基端側に設けられる内側凸部２８ｂとの間を、バネ２７を介して弾性的に移動可能になっている。また、本実施形態では、リニアゲージ１００がボールスプラインを採用されることにより、上記同様に、本体１内のスペースに余裕ができるので、従来品のようにエアにより伸縮するベローズ等を設ける代わりに、本体１と一体となったエアシリンダ機構２５を設けることができる。これによりリニアゲージ１００を小型化することができる。
【００４２】
スプラインナット１１の開口端部１１ａには、本体１からのスピンドル３の抜けを防止するために、ニトリルゴム、シリコン樹脂、又はジュラコン（登録商標）ＰＯＭ等から形成されるパッキン材１０が装着されている。そして、スプラインナット１１とパッキン材１０との固定を確実にするために、リング状の固定部材１５がパッキン材１０の位置よりスピンドル３の先端部側に配置されるようにして設けられている。
【００４３】
本実施形態のリニアゲージ１００は、接触子９を被計測物に当接させてスピンドル３を一軸方向に変位させることによって、エアシリンダ機構２５において、領域２８内のエアが減圧されることにより、カラー２６がバネ２７の弾性力に抗して図１中右側に移動し、これによりスピンドル３が本体１内に後退するように移動する。一方、エア領域２８のエアの減圧状態が解除されることにより、バネ２７の戻り力によって本体１からスピンドル３が進出して元の位置に戻る。これにより、測定対象物の位置や変位量が自動測定される。
【００４４】
次に、本発明の一実施形態に係るリニアゲージに備わるスプラインナットに設けられるスプライン溝の形状について、図面を使用しながら説明する。図４（Ａ）は、本発明の一実施形態に係るリニアゲージに備わるスプラインナットに設けられるスプライン溝の長手方向における断面図であり、図４（Ｂ）及び（Ｃ）は、従来のリニアゲージに備わるスプラインナットに設けられるスプライン溝の長手方向における断面図である。
【００４５】
本発明者は、前述した本発明の目的を達成するために鋭意検討を重ねた結果、図４（Ａ）に示すように、スプラインナット１１のスプライン溝１１ｃの底面１１ｃ１がスプラインナット１１の両端１１ａ、１１ｅから中央に向けて、スピンドル３の中心軸Ｘからの距離が遠くなるように凹状に形成されることによって、スピンドル３の摺動に起因するリテーナ２２がずれる不具合の発生を低減できることを見出した。このため、本実施形態では、スプラインナット１１のスプライン溝１１ｃの形状が両端１１ａ、１１ｅから中央に向けて、底部１１ｃ１が凹状となるように形成している。
【００４６】
従来では、図４（Ｂ）に示すように、スプラインナット１１１のスプライン溝１１１ｃの底面１１１ｃ１が先端部１１１ａから基端部１１ｅにかけて水平であるか、図４（Ｃ）に示すように、スプラインナット２１１のスプライン溝２１１ｃの底面２１１ｃ１が両端２１１ａ、２１１ｅから中央に向けて凸状に形成されていた。このような形状とした場合には、リニアゲージ１００を使用する際に、スピンドル３を摺動させると、リテーナ２２に回動自在に取り付けられたボール２１が滑ることによって、リテーナ２２がずれてスピンドル３にひっかかってしまい、スピンドル３が全長まで伸びきらない不具合が発生していた。
【００４７】
このため、本実施形態では、スプラインナット１１に設けられるスプライン溝１１ｃの底面１１ｃ１がスプラインナット１１の両端１１ａ、１１ｅから中央に向けてスピンドル３（図１参照）の中心軸Ｘからの距離が遠くなるように凹状に形成される構成としている。このように、スプライン溝１１ｃの底面１１ｃ１を凹状に形成することによって、リテーナ２２の可動範囲におけるボール２１にかかる予圧の不均一の影響を軽減できるので、スピンドル３の摺動に起因するリテーナ２２がずれる不具合の発生を低減できる。
【００４８】
また、本実施形態では、リテーナ２２の長手方向における端部側にのみボール２１を設けて、かつ、リテーナ２２の長手方向の中央側には、設けない構成としている。このため、ボール２１による予圧の不均一に起因するボール２１のスリップによって、リテーナ２２がずれる不具合の発生のリスクを低減している。
【００４９】
特に、ボール２１をリテーナ２２の長手方向の端部側におけるボール溝３ｃに対向する位置にそれぞれ２つずつ設けることによって、ボールスプライン動作の安定したストロークを確保しながら、ボール２１の予圧の不均一によるリテーナずれのリスクが低減されるようになる。このため、リニアゲージ１００での変位計測の精度が向上するようになる。
【００５０】
さらに、本実施形態では、リテーナ２２に取り付けられるボール２１の外径は、リテーナ２２の摺動に伴ってボール２１がスプラインナット１１の中央に配置された際に、スプライン溝１１ｃに対して所定の大きさ以上の予圧を確保可能な大きさとしている。具体的には、従来のボール径を１．０ｍｍとした場合に、ボール径を０．５μｍ大きくして、リテーナ２２のボール２１がスプラインナット１１の中央に配置された場合でも、スプライン溝１１ｃの底部１１ｃ１にボール２１からの予圧がかかるようにしている。
【００５１】
すなわち、スプライン溝１１ｃの長手方向における中央側の深さがボール２１の外径を拡大した分の大きさの深さとなるように、スプライン溝１１ｃの底面１１ｃ１を凹状に形成することによって、リテーナ２２の摺動に必要なボール２１の予圧を確保した上で過剰な予圧とならないようになる。このため、リテーナ２２がスプラインナット１１のスプライン溝１１ｃに対して、スリップし難くなるので、リテーナずれの不具合を防止できる。
【００５２】
なお、上記のように本発明の一実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項及び効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは、当業者には、容易に理解できるであろう。従って、このような変形例は、全て本発明の範囲に含まれるものとする。
【００５３】
例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義又は同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また、リニアゲージの構成、動作も本発明の一実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形実施が可能である。さらに、本発明は、リニアゲージ以外の有限直動案内装置にも適用可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１  本体、３  スピンドル、３ａ  ボール溝、３ｂ  外周面、４  スケール、５  センサ、６  フレキシブルプリント基板、７  コネクタ、８  電気ケーブル、１０  パッキン材、１１  スプラインナット、１１ａ  開口端部（両端）、１１ｃ  スプライン溝、１１ｃ１  底面、１１ｄ  内周面、１１ｅ  基端部（両端）、１５  固定部材、２０  ボールスプライン軸受構造、２１  ボール、２２  リテーナ、２２ａ  貫通穴、２５  エアシリンダ機構、２６  カラー、２７  ばね、２８  ケーシング、２８ｂ  内側凸部、２９  エア領域、１００  リニアゲージ（有限直動案内装置）
【図１】
0006616702.tif 000002
【図２】
0006616702.tif 000003
【図３】
0006616702.tif 000004
【図４】
0006616702.tif 000005