(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）と、光ラジカル重合開始剤（Ｂ）と、光酸発生剤（Ｃ）と、酸硬化剤（Ｄ）と、フッ素原子を有する撥インク剤（Ｅ）とを含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、
前記撥インク剤（Ｅ）中の前記フッ素原子の含有率は１〜４０質量％であり、前記撥インク剤（Ｅ）はエチレン性二重結合を有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項２】
分子内に２つ以上の不飽和二重結合を有し、酸性基およびフッ素原子のいずれも有しない化合物（Ｆ）をさらに含有することを特徴とする、請求項１に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記酸硬化剤（Ｄ）がメラミン系化合物、尿素系化合物およびエポキシ系化合物から選ばれる、少なくとも１種である、請求項１または２に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項４】
有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイまたは薄膜太陽電池の製造に用いられる請求項１〜３のいずれか１項に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のネガ型感光性樹脂組成物を用いて形成されることを特徴とする樹脂硬化膜。
【請求項６】
基板表面をドット形成用の複数の区画に仕切る形に形成された隔壁であって、請求項５に記載の樹脂硬化膜からなることを特徴とする隔壁。
【請求項７】
基板表面に複数のドットと隣接するドット間に位置する隔壁とを有する光学素子であって、前記隔壁が請求項６に記載の隔壁で形成されていることを特徴とする光学素子。
【請求項８】
前記光学素子は、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイまたは薄膜太陽電池である請求項７に記載の光学素子。
【請求項９】
前記ドットをインクジェット法で形成する請求項７または８に記載の光学素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池等の光学素子の製造に用いるネガ型感光性樹脂組成物、樹脂硬化膜、隔壁および光学素子、具体的には、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイおよび薄膜太陽電池等に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ（Electro-Luminescence）素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）アレイ、薄膜太陽電池等の光学素子の製造においては、発光層等の有機層または無機層をドットとして、インクジェット（ＩＪ）法にてパターン印刷する方法を用いることがある。かかる方法においては、形成しようとするドットの輪郭に沿って隔壁を設け、該隔壁で囲まれた区画（以下、「開口部」ともいう。）内に、有機層または無機層の材料を含むインクを注入し、これを乾燥および／または加熱等することにより所望のパターンのドットを形成する。【０００３】
インクジェット（ＩＪ）法にてパターン印刷をする際には、隣接するドット間におけるインクの混合防止とドット形成におけるインクの均一塗布のため、隔壁上面は撥インク性を有する必要がある。その一方で、隔壁側面を含む隔壁で囲まれたドット形成用の開口部は親インク性を有する必要がある。そこで、上面に撥インク性を有する隔壁を得るために、撥インク剤を含ませた感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィ法によりドットのパターンに対応する隔壁を形成する方法が知られている。【０００４】
また、このような有機ＥＬ素子等の光学素子において、近年では、より精度の高い製品を得ることを目的として、例えば、特許文献１では、撥インク性、インク転落性に優れた塗膜を形成することができ、さらには微細なパターン形成が可能な感光性樹脂組成物が提案されている。特許文献１においては、隔壁形成のための感光性樹脂組成物として、（１）酸発生剤と、酸性基と架橋し得る反応性基を２個以上有する化合物である酸硬化剤とを含有する感光性樹脂組成物、または、（２）光ラジカル重合開始剤と、２個以上のエチレン性二重結合を有し、かつ酸性基を有しない化合物であるラジカル架橋剤とを含有する感光性樹脂組成物を用い、これに撥インク剤として特殊なフッ素樹脂を含有させることで上記効果を得ている。【０００５】
しかしながら、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池の製造においては、生産効率を向上させる観点から、撥インク剤を含有する感光性樹脂組成物において、特に、特許文献１における（２）に分類される感光性樹脂組成物においては、より高感度化が求められている。そこで、このような感光性樹脂組成物において、ラジカル開始剤のみ増量すれば、高感度化でき、低い露光量でも上面に撥インク性を有する隔壁は形成可能であるが、線幅が太りやすく、パターン形成性が悪化するという問題があった。【０００６】
また、例えば、特許文献２には、高感度、高解像度であり、かつ、その硬化物と基板との密着性に優れ、かつ優れた弾性回復特性を有するアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物として、親水性エポキシ樹脂（Ａ）、多官能モノマー（Ｂ）、カチオン重合性化合物（Ｃ）、加水分解性シラン化合物（Ｄ）、光ラジカル重合開始剤（Ｅ）、酸発生剤（Ｆ）を含有する有機ＥＬ素子用感光性組成物が提案されている。しかしながら、特許文献２における組成物では、高感度化が難しく、撥液性が不足していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−２７７４９４号公報
【特許文献２】特開２０１２−０１４９３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであって、生産効率を良好に保ちながら、得られる隔壁による微細で精度の高いパターンの形成を可能とするために、隔壁上面が良好な撥インク性を有するとともに開口部における残渣の低減が可能であり、さらには、プラスチック基板を使用したフレキシブルなアプリケーションにも適用可能な、例えば、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池等の光学素子の製造に用いられるネガ型感光性樹脂組成物の提供を目的とする。【０００９】
本発明は、上面に良好な撥インク性を有する樹脂硬化膜および上面に良好な撥インク性を有することで微細で精度の高いパターンの形成が可能であり、さらには、プラスチック基板を使用したフレキシブルなアプリケーションにも適用可能な、例えば、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池等の光学素子用の隔壁の提供を目的とする。【００１０】
本発明は、また、隔壁で仕切られた開口部にインクが均一塗布され精度よく形成されたドットを有する、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイおよび薄膜太陽電池等の光学素子、特には、プラスチック基板を使用したフレキシブルなアプリケーションを含む光学素子の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、以下［１］〜［９］の構成を有する、ネガ型感光性樹脂組成物、樹脂硬化膜、隔壁および光学素子を提供する。
［１］光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）と、光ラジカル重合開始剤（Ｂ）と、光酸発生剤（Ｃ）と、酸硬化剤（Ｄ）と、フッ素原子を有する撥インク剤（Ｅ）とを含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。
［２］分子内に２つ以上の不飽和二重結合を有し、酸性基およびフッ素原子のいずれも有しない化合物（Ｆ）をさらに含有することを特徴とする、［１］のネガ型感光性樹脂組成物。
［３］前記酸硬化剤（Ｄ）がメラミン系化合物、尿素系化合物およびエポキシ系化合物から選ばれる、少なくとも１種である、［１］または［２］のネガ型感光性樹脂組成物。
［４］有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイまたは薄膜太陽電池の製造に用いられる［１］〜［３］のいずれかのネガ型感光性樹脂組成物。
［５］前記［１］〜［４］のいずれかのネガ型感光性樹脂組成物を用いて形成されることを特徴とする樹脂硬化膜。
［６］基板表面をドット形成用の複数の区画に仕切る形に形成された隔壁であって、［５］の樹脂硬化膜からなることを特徴とする隔壁。
［７］基板表面に複数のドットと隣接するドット間に位置する隔壁とを有する光学素子であって、前記隔壁が［６］の隔壁で形成されていることを特徴とする光学素子。
［８］前記光学素子は、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイまたは薄膜太陽電池である［７］の光学素子。
［９］前記ドットがインクジェット法で形成されていることを特徴とする［７］または［８］の光学素子。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、生産効率を良好に保ちながら、得られる隔壁上面が良好な撥インク性を有するとともに開口部における残渣を低減することで、隔壁による微細で精度の高いパターンの形成が可能であり、さらには、プラスチック基板を使用したフレキシブルなアプリケーションにも適用可能な、例えば、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池等の光学素子の製造に用いられるネガ型感光性樹脂組成物を提供できる。【００１３】
本発明の樹脂硬化膜は上面に良好な撥インク性を有し、隔壁は上面に良好な撥インク性を有するとともに微細で精度の高いパターンの形成が可能であり、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池等、特には、プラスチック基板を使用したフレキシブルなアプリケーションを含む光学素子に好適に利用できる。【００１４】
本発明の光学素子は、隔壁で仕切られた開口部にインクが均一塗布され精度よく形成されたドットを有する光学素子、具体的には、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池等である。本発明によればプラスチック基板を使用したフレキシブルなアプリケーションを含む光学素子であっても上記効果を達成できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１Ａ】本発明の実施形態の隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図１Ｂ】本発明の実施形態の隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図１Ｃ】本発明の実施形態の隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図１Ｄ】本発明の実施形態の隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図２Ａ】本発明の実施形態の光学素子の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図２Ｂ】本発明の実施形態の光学素子の製造方法を模式的に示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本明細書において、次の用語は、それぞれ、下記の意味で使用される。
「（メタ）アクリロイル基」は、「メタクリロイル基」と「アクリロイル基」の総称である。（メタ）アクリロイルオキシ基、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、および（メタ）アクリル樹脂もこれに準じる。
【００１７】
式（ｘ）で表される基を、単に基（ｘ）と記載することがある。式（ｙ）で表される化合物を、単に化合物（ｙ）と記載することがある。ここで、式（ｘ）、式（ｙ）は、任意の式を示している。
【００１８】
「ある成分を主として構成される樹脂」または「ある成分を主体とする樹脂」とは、該成分の割合が樹脂全量に対して５０質量％以上を占めることをいう。
【００１９】
「側鎖」とは、炭素原子からなる繰り返し単位が主鎖を構成する重合体において、主鎖を構成する炭素原子に結合する、水素原子またはハロゲン原子以外の基である。
【００２０】
「感光性樹脂組成物の全固形分」とは、感光性樹脂組成物が含有する成分のうち後述する硬化膜を形成する成分を指し、感光性樹脂組成物を１４０℃で２４時間加熱して溶媒を除去した残存物から求める。なお、全固形分量は仕込み量からも計算できる。
【００２１】
樹脂を主成分とする組成物の硬化物からなる膜を「樹脂硬化膜」という。感光性樹脂組成物を塗布した膜を「塗膜」、それを乾燥させた膜を「乾燥膜」という。該「乾燥膜」を硬化させて得られる膜は「樹脂硬化膜」である。また、「樹脂硬化膜」を単に「硬化膜」ということもある。
【００２２】
樹脂硬化膜は、所定の領域を複数の区画に仕切る形に形成された隔壁の形態であってもよい。隔壁で仕切られた区画、すなわち隔壁で囲まれた開口部に、例えば、以下の「インク」が注入され、「ドット」が形成される。
【００２３】
「インク」とは、乾燥、硬化等した後に、光学的および／または電気的な機能を有する液体を総称する用語である。有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池、カラーフィルタ等の光学素子においては、各種構成要素としてのドットを、該ドット形成用のインクを用いてインクジェット（ＩＪ）法によりパターン印刷することがある。「インク」には、かかる用途に用いられるインクが含まれる。
【００２４】
「撥インク性」とは、上記インクをはじく性質であり、撥水性と撥油性の両方を有する。撥インク性は、例えば、インクを滴下したときの接触角により評価できる。「親インク性」は撥インク性と相反する性質であり、撥インク性と同様にインクを滴下したときの接触角により評価できる。または、インクを滴下したときのインクの濡れ広がりの程度（インクの濡れ広がり性）を所定の基準で評価することにより親インク性が評価できる。
【００２５】
「ドット」とは、光学素子における光変調可能な最小領域を示す。有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池、カラーフィルタ等の光学素子においては、白黒表示の場合に１ドット＝１画素であり、カラー表示の場合に例えば３ドット（Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）等）＝１画素である。「光学素子」は、エレクトロニクスデバイスを含む用語として用いる。「パーセント（％）」は、特に説明のない場合、質量％を表す。
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
［ネガ型感光性樹脂組成物］
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）と、光ラジカル重合開始剤（Ｂ）と、光酸発生剤（Ｃ）と、酸硬化剤（Ｄ）と、フッ素原子を有する撥インク剤（Ｅ）とを含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物である。本明細書において、酸硬化剤（Ｄ）とは、酸の存在下、カルボン酸やフェノール性水酸基等の酸性基と反応する硬化剤をいう。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池、カラーフィルタ等の光学素子の製造に好適に使用でき、特に、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池において顕著な効果が期待できる。
【００２７】
通常、ネガ型感光性樹脂組成物は露光により硬化して硬化膜を形成する。この際、マスキング等により所定の形状の露光部と非露光部を形成させれば、非露光部は硬化せずアルカリ現像液にて選択的に除去できる。その結果、硬化膜を、所定の領域を複数の区画に仕切る形の隔壁の形態とすることができる。
【００２８】
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、上記露光部においては、光ラジカル重合開始剤（Ｂ）から発生したラジカルによりアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）が重合して硬化して硬化膜を形成する。ここで、アルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）はフッ素原子を含有しない。撥インク剤（Ｅ）はフッ素原子を有することで硬化膜を形成する過程で上面に移行する性質（上面移行性）を有し、上面に移行した撥インク剤（Ｅ）は硬化膜上面に定着する。
【００２９】
ここで、光によるラジカル重合反応においては、硬化膜の大気に接する面ほど酸素による反応阻害を受けやすい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物においては、光酸発生剤（Ｃ）が露光により酸を発生し、酸硬化剤（Ｄ）が、該酸の存在下、アルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）のカルボン酸等の酸性基と反応して硬化する。また、その際、酸硬化剤（Ｄ）同士が反応して硬化に寄与することも考えられる。該硬化反応は、ラジカル重合反応とは異なり、酸素の影響を受けない。よって、本発明のネガ型感光性樹脂組成物によれば、硬化膜、特に硬化膜の上面におけるアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）の硬化性、および撥インク剤（Ｅ）の定着性が向上した硬化膜が得られる。または、低露光量でも従来の硬化膜と同等の硬化性、特に上面における硬化性を有する硬化膜が得られる。
【００３０】
上記のとおり、本発明のネガ型感光性樹脂組成物においては、光によるラジカル重合反応と光による酸の存在下での硬化反応を組み合わせることにより硬化膜内部の硬化も充分に行われる。よって、露光部である硬化部分は、現像の際のアルカリ現像液による浸食や剥離に耐性を有する。したがって、露光部が長時間の現像にも影響を受けにくいことから開口部の残渣の除去等に有利である。
【００３１】
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、分子内に２つ以上の不飽和二重結合を有し、酸性基およびフッ素原子のいずれも有しない化合物（Ｆ）（以下、「架橋剤（Ｆ）」ともいう。）、１分子中にメルカプト基を３個以上有するチオール化合物（Ｇ）（以下、「チオール化合物（Ｇ）」ともいう。）、リン酸化合物（Ｈ）、重合禁止剤（Ｉ）、溶媒（Ｊ）、着色剤（Ｋ）、その他の任意成分を含有する。
【００３２】
（アルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ））
アルカリ可溶性樹脂には符号（ＡＰ）、アルカリ可溶性単量体には符号（ＡＭ）を付して、それぞれ説明する。なお、以下の説明においてこれらを総称して「アルカリ可溶性樹脂（Ａ）」ということもある。
【００３３】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、光硬化性を有する。また、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）はフッ素原子を有しない。ネガ型感光性樹脂組成物においては露光により、光ラジカル重合開始剤（Ｂ）がラジカルを発生し、光酸発生剤（Ｃ）が酸を発生する。その際、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、上記ラジカルによりそれ自体が重合反応するとともに、上記酸の存在下、酸硬化剤（Ｄ）と反応して架橋することで充分に硬化する。なお、酸により、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）同士が反応することはない。
【００３４】
ネガ型感光性樹脂組成物は、露光部の硬化が上記のとおり充分に行われる。露光部をこのようにして充分に硬化した露光部はアルカリ現像液にて容易に除去されない。また、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）がアルカリ可溶であることで、アルカリ現像液にて、硬化していないネガ型感光性樹脂組成物の非露光部を選択的に除去できる。その結果、硬化膜を、所定の領域を複数の区画に仕切る形の隔壁の形態とすることができる。
【００３５】
アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、１分子中に酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂が好ましい。アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）は、分子中にエチレン性二重結合を有することで、上記光ラジカル重合開始剤（Ｂ）が発生したラジカルにより重合する。アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）は、分子中に酸性基を有することで、上記光酸発生剤（Ｃ）が発生した酸の存在下、酸硬化剤（Ｄ）と反応する。また、酸性基を有することでアルカリ可溶性である。
【００３６】
酸性基としては、カルボキシ基、フェノール性水酸基、スルホ基およびリン酸基等が挙げられ、これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
エチレン性二重結合としては、（メタ）アクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基およびビニルオキシアルキル基等の付加重合性を有する二重結合が挙げられる。これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。なお、エチレン性二重結合が有する水素原子の一部または全てが、メチル基等のアルキル基で置換されていてもよい。
【００３７】
エチレン性二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、酸性基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖とを有する樹脂（Ａ−１）、およびエポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とが導入された樹脂（Ａ−２）等が挙げられる。これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
このようなアルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、国際公開第２０１４／０４６２０９号（以下、ＷＯ２０１４／０４６２０９という）の例えば、段落［０１０８］、［０１２６］、国際公開第２０１４／０６９４７８号（以下、ＷＯ２０１４／０６９４７８という）の例えば、段落［００６７］［００８５］に記載されているものが使用できる。
【００３８】
アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、現像時の硬化膜の剥離が抑制されて、高解像度のドットのパターンを得ることができる点、ドットが直線状である場合のパターンの直線性が良好である点、平滑な硬化膜表面が得られやすい点で、樹脂（Ａ−２）を用いることが好ましい。なお、パターンの直線性が良好であるとは、得られる隔壁の縁に欠け等がなく直線的であることをいう。
【００３９】
樹脂（Ａ−２）としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、ビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂、フルオレニル置換ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂にそれぞれ酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂が特に好ましい。
【００４０】
アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）が、１分子中に有するエチレン性二重結合の数は、平均３個以上が好ましく、６個以上が特に好ましい。エチレン性二重結合の数が上記範囲の下限値以上であると、露光部分と未露光部分とのアルカリ溶解度に差がつきやすく、より少ない露光量での微細なパターン形成が可能となる。
【００４１】
アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、１．５×１０３〜３０×１０３が好ましく、２×１０３〜１５×１０３が特に好ましい。また、数平均分子量（Ｍｎ）は、５００〜２０×１０３が好ましく、１．０×１０３〜１０×１０３が特に好ましい。質量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）が上記範囲の下限値以上であると、露光時の硬化が充分であり、上記範囲の上限値以下であると、現像性が良好である。
【００４２】
なお、本明細書において、数平均分子量（Ｍｎ）および質量平均分子量（Ｍｗ）は、特に断りのない限り、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ法により、ポリスチレンを標準物質として、測定されたものをいう。
【００４３】
アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）の酸価は、１０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、３０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇが特に好ましい。酸価が上記範囲であると、ネガ型用感光性組成物の現像性が良好になる。
【００４４】
アルカリ可溶性単量体（ＡＭ）としては、例えば、酸性基とエチレン性二重結合とを有する単量体（Ａ−３）が好ましく用いられる。酸性基およびエチレン性二重結合は、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）と同様である。アルカリ可溶性単量体（ＡＭ）の酸価についても、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）と同様の範囲が好ましい。
単量体（Ａ−３）としては、２，２，２−トリアクリロイルオキシメチルエチルフタル酸等が挙げられる。
【００４５】
ネガ型感光性樹脂組成物に含まれるアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中のアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）の含有割合は、５〜８０質量％が好ましく、１０〜６０質量％が特に好ましい。含有割合が上記範囲であると、ネガ型感光性樹脂組成物の光硬化性および現像性が良好である。
【００４６】
（光ラジカル重合開始剤（Ｂ））
本発明における光ラジカル重合開始剤（Ｂ）は、活性光線によりラジカルを発生する光ラジカル重合開始剤としての機能を有する化合物であれば特に制限されない。以下、光ラジカル重合開始剤（Ｂ）を単に「光重合開始剤（Ｂ）」ともいう。
【００４７】
光重合開始剤（Ｂ）としては、ＷＯ２０１４／０４６２０９の例えば、段落［０１３０］、［０１３１］、ＷＯ２０１４／０６９４７８の例えば、段落［００８９］［００９０］に記載したもの等が挙げられる。
【００４８】
光重合開始剤（Ｂ）のなかでも、ベンゾフェノン類、アミノ安息香酸類および脂肪族アミン類は、その他のラジカル開始剤と共に用いると、増感効果を発現することがあり好ましい。光重合開始剤（Ｂ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００４９】
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の光重合開始剤（Ｂ）の含有割合は、０．１〜５０質量％が好ましく、０．５〜３０質量％がより好ましく、１〜１５質量％が特に好ましい。含有割合が上記範囲であると、ネガ型感光性樹脂組成物の光硬化性および現像性が良好である。
【００５０】
（酸発生剤（Ｃ））
光酸発生剤（Ｃ）は、活性光線を照射することで、分解して酸を発生する化合物であれば、特に制限されない。一般に、カチオン重合型のアルカリ可溶性樹脂を用いた感光性樹脂組成物において光酸発生剤として用いられる化合物の中から、任意の化合物を選択して使用することができる。以下、光酸発生剤（Ｃ）を単に「酸発生剤（Ｃ）」ともいう。
【００５１】
上記のとおり本発明のネガ型感光性樹脂組成物においては、酸発生剤（Ｃ）から生成される酸は、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と以下に説明する酸硬化剤（Ｄ）の結合に係わる。
【００５２】
酸発生剤（Ｃ）は活性光線の照射により分解して酸を発生する。該活性光線として、具体的には、紫外光、Ｘ線、電子線等の高エネルギー線が挙げられる。ネガ型感光性樹脂組成物を用いて光学素子用の隔壁を製造する場合、露光には、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）およびｇ線（４３６ｎｍ）が好ましく用いられる。酸発生剤（Ｃ）としては、露光に用いられる光線の波長において吸光度の大きい酸発生剤（Ｃ）を選択することが好ましい。３５０〜４５０ｎｍに吸収を有するものが好ましく、特に、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）およびｇ線（４３６ｎｍ）のうちの少なくとも１つを含む光線に吸収があるものが、硬化性が高く好ましい。
【００５３】
酸発生剤（Ｃ）として具体的には、オニウム塩系酸発生剤や非イオン系酸発生剤が挙げられる。オニウム塩系酸発生剤としては、例えば、下式（Ｃ０）で表されるモノ〜トリフェニルスルホニウム骨格を有する化合物のオニウム塩やヨードニウム塩系化合物等が挙げられる。
【００５４】
【化１】
0006536578.tif 000002
【００５５】
式（Ｃ０）中、Ｒａ１およびＲａ２は、置換基を有してもよい、炭素数１〜２０のアルキル基またはフェニル基を示し、Ｒａ３は１価の有機基を示す。ｗは０〜５の整数である。Ｘ−はアニオンを示し、具体的には、ＳｂＦ６−、リン系のアニオン、例えば、ＰＦ６−、（Ｒｆ１）ｎＰＦ６―ｎ−（Ｒｆ１はフロロアルキル基、ｎは１〜３）やスルホン酸塩系のアニオン、例えば、ＲａＳＯ３−（Ｒａは一部または全部がフッ素原子で置換されていてもよい炭素数１〜１２のアルキル基または炭素数６〜１８のアリール基）等が挙げられる。ＲａＳＯ３−のＲａとしては、例えば、−ＣＦ３、−Ｃ４Ｆ９、−Ｃ８Ｆ１７等のペルフルオロアルキル基、−Ｃ６Ｆ５等のペルフルオロアリール基、−Ｐｈ−ＣＨ３（ただし、Ｐｈはフェニル基を示す。）等のアリール基等が挙げられる。
【００５６】
化合物（Ｃ０）としては、Ｒａ１およびＲａ２が共にフェニル基（置換されていてもよい）である化合物が好ましい。具体的には、下式（Ｃ１）または、下式（Ｃ２）で表されるトリフェニルスルホニウム骨格を有する化合物のオニウム塩が好ましい。なお、化合物（Ｃ１）および化合物（Ｃ２）においてトリフェニルスルホニウム骨格のフェニル基の水素原子が置換された化合物も酸発生剤（Ｃ）として使用可能である。
【００５７】
【化２】
0006536578.tif 000003
【００５８】
式（Ｃ１）および式（Ｃ２）中、Ｘａ−およびＸｂ−はアニオンを示し、具体的には、上記式（Ｃ０）におけるＸ−と同様のアニオンが挙げられる。Ｘａ−およびＸｂ−としてはリン系のアニオンやスルホン酸塩系のアニオンが好ましい。
なお、これらのオニウム塩においては、カチオン部が照射された光を吸収し、アニオン部が酸の発生源となる。
【００５９】
化合物（Ｃ０）としては、モノフェニルスルホニウム骨格を有する化合物のオニウム塩として、下式（Ｃ０−１）で表されるオニウム塩が挙げられる。
また、トリフェニルスルホニウム骨格を有する化合物のオニウム塩である化合物（Ｃ１）および化合物（Ｃ２）において、例えば、露光をｉ線（３６５ｎｍ）で行うのに用いられる化合物として、下式（Ｃ１−１）で表されるトリフェニルスルホニウム・ノナフルオロブタンスルホネート、下式（Ｃ２−１）および下式（Ｃ２−２）でそれぞれ表されるトリアリールスルホニウム・ＰＦ６塩およびトリアリールスルホニウム・特殊リン系塩が挙げられる。これらの化合物は、波長３６５ｎｍにおける吸光度が大きい点や入手がしやすい点で好ましい。
【００６０】
【化３】
0006536578.tif 000004
式（Ｃ２−２）中、Ｒｆ１はフロロアルキル基、ｎは１〜３である。
【００６１】
ヨードニウム塩系化合物としては、ジアリールヨードニウム塩、トリアリールスルホニウム塩が挙げられる。
【００６２】
ジアリールヨードニウム塩のカチオン部分の具体例としては、ジフェニルヨードニウム、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウム、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム等が挙げられる。ジアリールヨードニウム塩のアニオン部分の具体例としては、トリフルオロメタンスルホネート、ノナフルオロブタンスルホネート、ｐ−トルエンスルホネート、ペンタフルオロベンゼンスルホネート、ヘキサフルオロホスフェート、テトラフルオロボレート、ヘキサフルオロアンチモネート等が挙げられる。
【００６３】
ジアリールヨードニウム塩は前記カチオン部分とアニオン部分とからなり、上記カチオン部分の具体例の１種とアニオン部分の具体例の１種との組み合わせからなる。例えば、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフルオロメタンスルホネートが一例となる。
【００６４】
トリアリールスルホニウム塩のカチオン部分の具体例としては、トリフェニルスルホニウム、ジフェニル−４−メチルフェニルスルホニウム、ジフェニル−２，４，６−トリメチルフェニルスルホニウム等が挙げられる。トリアリールスルホニウム塩のアニオン部分の具体例としては、前記ジアリールヨードニウム塩のアニオン部分の具体例が挙げられる。
【００６５】
トリアリールスルホニウム塩は前記カチオン部分とアニオン部分とからなり、上記カチオン部分の具体例の１種とアニオン部分の具体例の１種との組み合わせからなる。例えば、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネートが一例となる。
【００６６】
非イオン系の酸発生剤としては、例えば、ナフタルイミド骨格、ニトロベンゼン骨格、ジアゾメタン骨格、フェニルアセトフェノン骨格、チオキトサン骨格、トリアジン骨格を有し、塩素原子、アルカンスルホン酸、アリールスルホン酸等が結合した構造を有する化合物が挙げられる。
【００６７】
このような化合物として具体的には、下式（Ｃ３）、下式（Ｃ４）、下式（Ｃ５）、下式（Ｃ６）、下式（Ｃ７）でそれぞれ表される、ナフタルイミド骨格、ニトロベンゼン骨格（ただし、ニトロ基が１個の場合、その位置は２位または４位であり、ニトロ基が２個の場合、その位置は２，５位である。）、ジアゾメタン骨格、フェニルアセトフェノン骨格、チオキトサン骨格を有し、アルカンスルホン酸、アリールスルホン酸等が結合した構造を有する化合物が挙げられる。また、下式（Ｃ８）に示されるトリアジン骨格と塩素原子を有する化合物が挙げられる。さらに、下式（Ｃ９）で示されるジアルキルグリオキシムのスルホニル化合物、（Ｃ１０）で示されるスルホニルオキシイミノアセトニトリル化合物、（Ｃ１１）で示される（スルホニルオキシイミノ）チオフェン−３（２Ｈ）−イリデン−２−（２−メチルフェニル）アセトニトリル化合物等が挙げられる。
なお、化合物（Ｃ３）、（Ｃ４）、（Ｃ６）、（Ｃ７）、（Ｃ１１）においては、各化合物の骨格を形成するベンゼン環の水素原子が置換された化合物も酸発生剤として機能可能である。
【００６８】
【化４】
0006536578.tif 000005
【００６９】
式（Ｃ３）〜（Ｃ７）、（Ｃ９）、（Ｃ１０）、（Ｃ１１）におけるＲｂ１〜Ｒｂ５、Ｒｂ７、Ｒｂ９およびＲｂ１１はそれぞれ独立に一部または全部がフッ素原子で置換されていてもよい、直鎖状、分岐状または環状（ただし、部分的に環状構造を有するものも含む）の炭素数１〜１２のアルキル基または炭素数６〜１８のアリール基である。式（Ｃ８）、（Ｃ９）、（Ｃ１０）におけるＲｂ６、Ｒｂ８およびＲｂ１０は、それぞれ独立に置換基や不飽和結合を有してもよく、複素環を含んでもよい炭素数１〜１８の有機基である。
【００７０】
上記式（Ｃ４）で示されるニトロベンゼン骨格（ただし、ニトロ基が１個の場合、その位置は２位または４位であり、ニトロ基が２個の場合、その位置は２，５位である。）を有する化合物として、具体的には、２−ニトロベンジルｐ−トルエンスルホネート等が挙げられる。
【００７１】
上記式（Ｃ５）で示されるビススルホニルジアゾメタン化合物として、具体的には、ビス（ｐ−トルエンスルホニル）ジアゾメタン、ビス（２，４−ジメチルフェニルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（フェニルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（ｔｅｒｔ−ブチルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（ｎ−ブチルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（イソブチルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（イソプロピルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（ｎ-プロピルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（シクロヘキシルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（イソプロピルスルホニル）ジアゾメタン等が挙げられる。
【００７２】
上記式（Ｃ８）に示されるトリアジン骨格と塩素原子を有する化合物の具体例としては、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、下記式（Ｃ８−１）に示される２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（２−フリル）エテニル−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、下記式（Ｃ８−２）に示される２−（５−メチル−２−フリル）エテニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、下記式（Ｃ８−３）に示される２−（４−メトキシフェニル）エテニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン等が挙げられる。
【００７３】
【化５】
0006536578.tif 000006
【００７４】
上記式（Ｃ１０）に示されるスルホニルオキシイミノアセトニトリル化合物の具体例としては、α−（メチルスルホニルオキシイミノ）−フェニルアセトニトリル、α−（メチルスルホニルオキシイミノ）−４−メトキシフェニルアセトニトリル、α−（トリフルオロメチルスルホニルオキシイミノ）−フェニルアセトニトリル、α−（トリフルオロメチルスルホニルオキシイミノ）−４−メトキシフェニルアセトニトリル、α−（エチルスルホニルオキシイミノ）−４−メトキシフェニルアセトニトリル、α−（プロピルスルホニルオキシイミノ）−４−メチルフェニルアセトニトリル、α−（メチルスルホニルオキシイミノ）−４−ブロモフェニルアセトニトリル等が挙げられる。
【００７５】
上記式（Ｃ１１）で示される（スルホニルオキシイミノ）チオフェン−３（２Ｈ）−イリデン−２−（２−メチルフェニル）アセトニトリル化合物として具体的には、Ｒｂ１１がｎ−プロピル基である２−［２−（ｎ−プロピルスルホニルオキシイミノ）チオフェン−３（２Ｈ）−イリデン］−２−（２−メチルフェニル）アセトニトリル）、Ｒｂ１１がｎ−オクチル基である２−［２−（ｎ−オクチルスルホニルオキシイミノ）チオフェン−３（２Ｈ）−イリデン］−２−（２−メチルフェニル）アセトニトリル、Ｒｂ１１が４−メチルフェニル基である２−［２−（４−メチルフェニルスルホニルオキシイミノ）チオフェン−３（２Ｈ）−イリデン］−２−（２−メチルフェニル）アセトニトリル等が挙げられる。
【００７６】
なお、これらの非イオン系の酸発生剤においては、塩素原子、アルカンスルホン酸、アリールスルホン酸等が結合した部分が酸の発生源となる。
【００７７】
非イオン系の酸発生剤としては、例えば、露光をｉ線（３６５ｎｍ）で行うのに用いられる化合物としては、下式（Ｃ３−１）で表されるＮ−トリフルオロメタンスルホン酸−１，８−ナフタルイミド、下式（Ｃ６−１）で表される２−Ｐｈｅｎｙｌ−２−（ｐ−ｔｏｌｕｅｎｅｓｕｌｆｏｎｙｌｏｘｙ）ａｃｅｔｏｐｈｅｎｏｎｅ、および上記式（Ｃ８−３）で表される２−（４−メトキシフェニル）エテニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン等が波長３６５ｎｍにおける吸光度が大きい点や入手がしやすい点で好ましい。
【００７８】
【化６】
0006536578.tif 000007
【００７９】
非イオン系の酸発生剤として、例えば、露光を、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）およびｇ線（４３６ｎｍ）のうちの少なくとも１つを含む光線で行うのに用いられる化合物としては、上記式（Ｃ８）に示されるトリアジン骨格と塩素原子を有する化合物、上記式（Ｃ−１１）で示される（スルホニルオキシイミノ）チオフェン−３（２Ｈ）−イリデン−２−（２−メチルフェニル）アセトニトリル化合物等が挙げられる。特には、２−（２−フリル）エテニル−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、式（Ｃ８−２）に示される２−（５−メチル−２−フリル）エテニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、式（Ｃ８−３）に示される２−（４−メトキシフェニル）エテニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、式（Ｃ−１１）中、Ｒｂ１１がｎ−プロピル基、ｎ−オクチル基、または４−メチルフェニル基である化合物等が波長４０５ｎｍよび／または４３６ｎｍにおける吸光度が大きい点や入手がしやすい点で好ましい。
【００８０】
また、これらのオニウム塩系酸発生剤および非イオン系酸発生剤から光の作用で発生する酸は、塩酸、アルカンスルホン酸、アリールスルホン酸、部分的にまたは完全にフッ素化されたアリールスルホン酸、アルカンスルホン酸等である。
【００８１】
酸発生剤（Ｃ）は、上記化合物の１種からなってもよく、２種以上からなってもよい。ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の酸発生剤（Ｃ）の含有量は、０．０１〜１０質量％が好ましく、０．１〜５質量％がより好ましく、０．３〜３質量％が特に好ましい。酸発生剤（Ｃ）の含有量を上記範囲とすることで、上面に充分な撥インク性を有する微細で精度の高いパターンの形成が可能な隔壁が得られる。
【００８２】
なお、下記増感剤と併用することにより、感度が高くなり好ましい。酸発生剤に対する増感剤としては、９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジプロポキシアントラセン、９，１０−ジブトキシシアントラセン、９，１０−ビス（２−エチルヘキシロイキシ）アントラセン、９，１０−ビス（オクタノイロキシ）アントラセンなどがあげられる。
【００８３】
（酸硬化剤（Ｄ））
酸硬化剤（Ｄ）は酸の存在下、カルボン酸やフェノール性水酸基等の酸性基と反応する化合物であれば特に制限されない。
【００８４】
酸硬化剤（Ｄ）としては、アミノ樹脂、エポキシ化合物、オキサゾリン化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。これらの化合物は単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００８５】
アミノ樹脂としては、メラミン化合物、グアナミン化合物、尿素化合物等のアミノ基の一部もしくはすべてをヒドロキシメチル化した化合物、または該ヒドロキシメチル化した化合物のヒドロキシル基の一部もしくはすべてをメタノール、エタノール、ｎ−ブチルアルコール、２−メチル−１−プロパノール等でエーテル化した、下記式（Ｄ１）で示されるメラミン系化合物、下記式（Ｄ２）で示されるグアナミン系化合物、下記式（Ｄ３）、（Ｄ４）または（Ｄ５）で示される尿素系化合物もしくはその樹脂等が挙げられる。
【００８６】
【化７】
0006536578.tif 000008
【００８７】
式（Ｄ１）〜（Ｄ５）においてＲ１１〜Ｒ３２は、それぞれ独立に水素原子、ヒドロキシメチル基またはアルコキシメチル基である。Ｒ１１〜Ｒ１６のうち少なくとも１個、Ｒ１７〜Ｒ２０のうち少なくとも１個、Ｒ２１〜Ｒ２４のうち少なくとも１個、Ｒ２７〜Ｒ３０のうち少なくとも１個、Ｒ３１およびＲ３２のうち少なくとも１個、はアルコキシメチル基である。Ｒ３３〜Ｒ３６はそれぞれ独立して、水素原子、水酸基、アルキル基またはアルコキシ基であり、Ｘｃは、単結合、メチレン基または酸素原子である
【００８８】
Ｒ１１〜Ｒ３２がアルコキシメチル基の場合のアルコキシ基の炭素数は１〜６が好ましく、１〜３がより好ましい。Ｒ３３〜Ｒ３６がアルコキシ基の場合、その炭素数は１〜６が好ましく、１〜３がより好ましい。アルコキシ基となるアルコールとしては、例えば、メタノール、エタノール、ｎ−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコール、ｔｅｒｔ−ブチルアルコール、２−メチル−１−プロパノール等が挙げられる。
【００８９】
化合物（Ｄ１）〜（Ｄ４）においては、それぞれに有する置換基の全てが同一のアルコキシメチル基であることが、製造のし易さの点から好ましい。
上記式（Ｄ５）で示される尿素系化合物として、例えば、以下の化合物が挙げられる。
【化８】
0006536578.tif 000009
【００９０】
酸硬化剤（Ｄ）がアミノ樹脂である場合、以下の式（Ｄ１−１）で示される２，４，６−トリス［ビス（メトキシメチル）アミノ］−１，３，５−トリアジンまたはその樹脂、式（Ｄ３−１）で示される１，３，４，６−テトラキス（メトキシメチル）グリコールウリルまたはその樹脂等が好ましい。
【００９１】
【化９】
0006536578.tif 000010
【００９２】
エポキシ系化合物としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂等のグリシジルエーテル類、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス（２，３−エポキシシクロペンチル）エーテルなどの脂環式エポキシ樹脂、ジグリシジルヘキサヒドロフタレート、ジグリシジルテトラヒドロフタレート、ジグリシジルフタレート等のグリシジルエステル類、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルパラアミノフェノール等のグリシジルアミン類、トリグリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ樹脂などが挙げられる。
【００９３】
エポキシ系化合物として、例えば、以下の式（Ｄｅ１）で示されるジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、以下の式（Ｄｅ２）で示されるナフタレン型エポキシ樹脂が好ましい。
【化１０】
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（式（Ｄｅ１）中、ｎは０〜３０の整数である。）
【化１１】
0006536578.tif 000012
【００９４】
オキサゾリン化合物としては、２−ビニル−２−オキサゾリン、２−ビニル−４−メチル−２−オキサゾリン、２−ビニル−５−メチル−２−オキサゾリン、２−イソプロペニル−２−オキサゾリン、２−イソプロペニル−４−メチル−２−オキサゾリン等の重合性単量体の共重合体を挙げることができる。
【００９５】
酸硬化剤（Ｄ）としては、これらのなかでも、メラミン系化合物、尿素系化合物、エポキシ系化合物が好ましい。なお、酸硬化剤（Ｄ）は、上記化合物の１種からなってもよく、２種以上からなってもよい。ネガ型感光性樹脂組成物における酸硬化剤（Ｄ）の含有量は、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の１００質量部に対して０．１〜１００質量部が好ましく、１〜５０質量部がより好ましく、５〜２０質量部が特に好ましい。酸硬化剤（Ｄ）の含有量を上記範囲とすることで、上面に充分な撥インク性を有する微細で精度の高いパターンの形成が可能な隔壁が得られる。また、特に酸硬化剤（Ｄ）の上記含有量が５〜２０質量部の範囲であると、ネガ型感光性樹脂組成物における貯蔵安定性が良好となり、該組成物からはパターンの直線性に優れる隔壁が得られる。
【００９６】
（撥インク剤（Ｅ））
本発明における撥インク剤（Ｅ）は分子内にフッ素原子を有する。これにより、撥インク剤（Ｅ）は、これを含有するネガ型感光性樹脂組成物を用いて硬化膜を形成する過程で上面に移行する性質（上面移行性）および撥インク性を有する。撥インク剤（Ｅ）を用いることで、得られる硬化膜の上面を含む上層部は、撥インク剤（Ｅ）が密に存在する層（以下、「撥インク層」ということもある。）となり、硬化膜上面に撥インク性が付与される。
【００９７】
撥インク剤（Ｅ）中のフッ素原子の含有率は１〜４０質量％が好ましく、５〜３５質量％がより好ましく、１０〜３２質量％が特に好ましい。撥インク剤（Ｅ）のフッ素原子の含有率が上記範囲の下限値以上であると、硬化膜上面に良好な撥インク性を付与でき、上限値以下であると、ネガ型感光性樹脂組成物中の他の成分との相溶性が良好になる。
【００９８】
撥インク層において撥インク剤（Ｅ）は、それ自体が反応性でない場合には、ネガ型感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、酸硬化剤（Ｄ）等の光硬化成分の重合、架橋反応により得られる硬化樹脂中に埋め込まれる形で存在する。通常、エチレン性二重結合がラジカル重合する場合、硬化膜や隔壁の大気に接する面ほど酸素による反応阻害を受けやすい。撥インク層は大気に接することから、撥インク層部分でアルカリ可溶性樹脂（Ａ）が光硬化する際のラジカル重合については反応阻害を受けやすい。しかしながら、本発明のネガ型感光性樹脂組成物における、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と酸硬化剤（Ｄ）との反応は酸素による反応阻害が殆どなく、撥インク層部分でも充分に行われる。これにより、撥インク層における撥インク剤（Ｅ）の定着性は充分に確保される。
【００９９】
すなわち、撥インク層における撥インク剤（Ｅ）の定着性を向上させるためには、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と酸硬化剤（Ｄ）との硬化反応を充分に行わせることが重要である。そのために、特に低露光量での硬化に際しては、酸発生剤（Ｃ）として、比較的長波長（３５０〜４５０ｎｍ）の活性光線で酸を発生する硬化性の高い酸発生剤（Ｃ）を使用することが有利と言える。
【０１００】
また、撥インク層への撥インク剤（Ｅ）の定着性を向上させる観点から、撥インク剤（Ｅ）は、エチレン性二重結合を有する化合物が好ましい。撥インク剤（Ｅ）がエチレン性二重結合を有することで、上面に移行した撥インク剤（Ｅ）のエチレン性二重結合にラジカルが作用して、撥インク剤（Ｅ）同士または撥インク剤（Ｅ）とネガ型感光性樹脂組成物が含有するエチレン性二重結合を有する他成分と（共）重合による架橋が可能となる。なお、この反応は任意に含有するチオール化合物（Ｇ）（後述する）により促進される。
【０１０１】
これにより、ネガ型感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜の製造において、撥インク剤（Ｅ）の硬化膜の上層部、すなわち撥インク層における定着性を向上できる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物においては、特にチオール化合物（Ｇ）を含有する場合には、露光の際の露光量が低い場合であっても撥インク剤（Ｅ）を撥インク層に充分に定着させることができる。
【０１０２】
上記のとおり、通常、エチレン性二重結合がラジカル重合する場合、硬化膜や隔壁の大気に接する面ほど酸素による反応阻害を受けやすいが、チオール化合物（Ｇ）によるラジカル反応は酸素による阻害はほとんど受けないため、低露光量での撥インク剤（Ｅ）の定着に特に有利である。さらに、隔壁製造においては、現像を行う際に、撥インク剤（Ｅ）が撥インク層から脱離したり、撥インク層の上面が剥がれたりするのを充分に抑制できる。
【０１０３】
撥インク剤（Ｅ）としては、例えば、加水分解性シラン化合物の部分加水分解縮合物が挙げられる。加水分解性シラン化合物は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。加水分解性シラン化合物の部分加水分解縮合物からなり、かつフッ素原子を有する撥インク剤（Ｅ）として、具体的には、以下の撥インク剤（Ｅ１）が挙げられる。フッ素原子を有する撥インク剤（Ｅ）として、主鎖が炭化水素鎖であり、側鎖にフッ素原子を含む化合物からなる撥インク剤（Ｅ２）を用いてもよい。
撥インク剤（Ｅ１）および撥インク剤（Ｅ２）は、単独で、または組み合わせて用いられる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物においては、耐紫外線／オゾン性の点に優れる点で、特に撥インク剤（Ｅ１）を用いることが好ましい。
【０１０４】
＜撥インク剤（Ｅ１）＞
撥インク剤（Ｅ１）は、加水分解性シラン化合物混合物（以下、「混合物（Ｍ）」ともいう。）の部分加水分解縮合物である。該混合物（Ｍ）は、フルオロアルキレン基および／またはフルオロアルキル基、および、ケイ素原子に加水分解性基が結合した基とを有する加水分解性シラン化合物（以下、「加水分解性シラン化合物（ｓ１）」ともいう。）を必須成分として含み、任意に加水分解性シラン化合物（ｓ１）以外の加水分解性シラン化合物を含む。混合物（Ｍ）が任意に含有する加水分解性シラン化合物としては、以下の加水分解性シラン化合物（ｓ２）、（ｓ３）が挙げられる。混合物（Ｍ）が任意に含有する加水分解性シラン化合物としては、加水分解性シラン化合物（ｓ２）が特に好ましい。
【０１０５】
加水分解性シラン化合物（ｓ２）；ケイ素原子に４個の加水分解性基が結合した加水分解性シラン化合物。
加水分解性シラン化合物（ｓ３）；エチレン性二重結合を有する基とケイ素原子に加水分解性基が結合した基とを有し、フッ素原子を含まない加水分解性シラン化合物。
【０１０６】
混合物（Ｍ）は、任意に加水分解性シラン化合物（ｓ１）〜（ｓ３）以外の加水分解性シラン化合物を１種または２種以上含むことができる。
【０１０７】
その他の加水分解性シラン化合物としては、ケイ素原子に結合する基として炭化水素基と加水分解性基のみを有する加水分解性シラン化合物（ｓ４）、メルカプト基と加水分解性基とを有し、フッ素原子を含まない加水分解性シラン化合物（ｓ５）、エポキシ基と加水分解性基とを有し、フッ素原子を含有しない加水分解性シラン化合物（ｓ６）、オキシアルキレン基と加水分解性シリル基を有し、フッ素原子を含まない加水分解性シラン化合物（ｓ７）等が挙げられる。
【０１０８】
加水分解性シラン化合物（ｓ１）〜（ｓ３）およびその他の加水分解性シラン化合物としては、ＷＯ２０１４／０４６２０９の例えば、段落［００３４］〜［００７２］、ＷＯ２０１４／０６９４７８の例えば、段落［００９６］〜［０１３６］に記載されたもの等が挙げられる。
【０１０９】
撥インク剤（Ｅ１）の一例として、化合物（ｓ１）をｎ１含み、化合物（ｓ２）をｎ２、（ｓ３）をｎ３含む混合物（Ｍ）の部分加水分解縮合物が挙げられる。
ここで、ｎ１〜ｎ３は構成単位の合計モル量に対する各構成単位のモル分率を示す。ｎ１＞０、ｎ２≧０、ｎ３≧０、ｎ１＋ｎ２＋ｎ３＝１である。
【０１１０】
ｎ１：ｎ２：ｎ３は混合物（Ｍ）における化合物（ｓ１）、（ｓ２）、（ｓ３）の仕込み組成と一致する。
各成分のモル比は、各成分の効果のバランスから設計される。
ｎ１は、撥インク剤（Ｅ１)におけるフッ素原子の含有率が上記好ましい範囲となる量において、０．０２〜０．４が好ましい。
ｎ２は、０〜０．９８が好ましく、０．０５〜０．６が特に好ましい。
ｎ３は、０〜０．８が好ましく、０．２〜０．５が特に好ましい。
【０１１１】
撥インク剤（Ｅ１）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、５００以上が好ましく、１,０００,０００未満が好ましく、５，０００以下が特に好ましい。
質量平均分子量（Ｍｗ）が下限値以上であると、ネガ型感光性樹脂組成物を用いて硬化膜を形成する際に、撥インク剤（Ｅ１）が上面移行しやすい。上限値未満であると、開口部残渣が少なくなり好ましい。
撥インク剤（Ｅ１）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、製造条件により調節できる。
【０１１２】
撥インク剤（Ｅ１）は、上述した混合物（Ｍ）を、公知の方法により加水分解および縮合反応させることで製造できる。
この反応には、通常用いられる塩酸、硫酸、硝酸およびリン酸等の無機酸、あるいは、酢酸、シュウ酸およびマレイン酸等の有機酸を触媒として用いることが好ましい。また、必要に応じて水酸化ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）等のアルカリ触媒を用いてもよい。
上記反応には公知の溶媒を用いることができる。
上記反応で得られる撥インク剤（Ｅ１）は、溶媒とともに溶液の性状でネガ型感光性樹脂組成物に配合してもよい。
【０１１３】
＜撥インク剤（Ｅ２）＞
撥インク剤（Ｅ２）は、主鎖が炭化水素鎖であり、フッ素原子を有する側鎖を含む化合物である。撥インク剤（Ｅ２）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、１００〜１,０００,０００が好ましく、５，０００〜１００，０００が特に好ましい。質量平均分子量（Ｍｗ）が下限値以上であると、ネガ型感光性樹脂組成物を用いて硬化膜を形成する際に、撥インク剤（Ｅ２）が上面移行しやすい。上限値以下であると開口部残渣が少なくなり好ましい。
【０１１４】
撥インク剤（Ｅ２）として、具体的には、ＷＯ２０１４／０４６２０９の例えば［００７９］〜［０１０２］、ＷＯ２０１４／０６９４７８の例えば［０１４４］〜［０１７１］に記載されたもの等が挙げられる。
【０１１５】
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の撥インク剤（Ｅ）の含有割合は、０．０１〜１５質量％が好ましく、０．０１〜５質量％がより好ましく、０．０３〜１．５質量％が特に好ましい。含有割合が上記範囲の下限値以上であると、ネガ型感光性樹脂組成物から形成される硬化膜の上面は優れた撥インク性を有する。上記範囲の上限値以下であると、硬化膜と基材との密着性が良好になる。
【０１１６】
（架橋剤（Ｆ））
本発明のネガ型感光性樹脂組成物が任意に含有する架橋剤（Ｆ）は、１分子中に２個以上の不飽和二重結合、すなわちエチレン性二重結合を有し、酸性基およびフッ素原子のいずれも有しない化合物である。ネガ型感光性樹脂組成物が架橋剤（Ｆ）を含むことにより、露光時におけるネガ型感光性樹脂組成物の硬化性が向上し、低い露光量でも硬化膜を形成することができる。
【０１１７】
架橋剤（Ｆ）としては、具体的には、ＷＯ２０１４／０４６２０９の例えば［０１３７］、［０１３８］、ＷＯ２０１４／０６９４７８の例えば［０１９４］、［０１９５］に記載されたもの等が挙げられる。
架橋剤（Ｆ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【０１１８】
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の架橋剤（Ｆ）の含有割合は、１０〜６０質量％が好ましく、２０〜５５質量％が特に好ましい。
【０１１９】
（チオール化合物（Ｇ））
本発明のネガ型感光性樹脂組成物が任意に含有するチオール化合物（Ｇ）は、１分子中にメルカプト基を２個以上有する化合物である。本発明のネガ型感光性樹脂組成物がチオール化合物（Ｇ）を含有すれば、露光時に光重合開始剤（Ｂ）から生成したラジカルによりチオール化合物（Ｇ）のラジカルが生成してアルカリ可溶性樹脂（Ａ）のエチレン性二重結合に作用する、いわゆるエン−チオール反応が生起する。このエン−チオール反応は、通常のエチレン性二重結合がラジカル重合するのと異なり、酸素による反応阻害を受けないため、高い連鎖移動性を有し、さらに重合と同時に架橋も行うため、硬化物となる際の収縮率も低く、均一なネットワークが得られやすい等の利点を有する。
【０１２０】
本発明のネガ型感光性樹脂組成物が、チオール化合物（Ｇ）を含有する場合には、上述のようにして低露光量でも充分に硬化でき、特に酸素による反応阻害を受け易い隔壁上面を含む上層部においても光硬化が充分に行われることから隔壁上面に良好な撥インク性を付与することが可能となる。
【０１２１】
チオール化合物（Ｇ）中のメルカプト基は、１分子中に２〜１０個含むことが好ましく、３〜８個がより好ましく、３〜５個がさらに好ましい。
【０１２２】
チオール化合物（Ｇ）の分子量は特に制限されない。チオール化合物（Ｇ）における、［分子量／メルカプト基数］で示されるメルカプト基当量（以下、「ＳＨ当量」ともいう。）は、低露光量での硬化性の観点から、４０〜１，０００が好ましく、４０〜５００がより好ましく、４０〜２５０が特に好ましい。
【０１２３】
チオール化合物（Ｇ）としては、具体的には、トリス（２−メルカプトプロパノイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールトリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ジペンタエリスリトールヘキサチオグリコレート、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）、トリス−［（３−メルカプトプロピオニルオキシ）−エチル］−イソシアヌレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（３−メルカプトプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）、ジペンタエリスリトールヘキサ（３−メルカプトブチレート）、トリメチロールプロパントリス（２−メルカプトイソブチレート）、１，３，５−トリス（３−メルカプトブチリルオキシエチル）−１，３，５−トリアジン−２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）−トリオン、トリフェノールメタントリス（３−メルカプトプロピオネート）、トリフェノールメタントリス（３−メルカプトブチレート）、トリメチロールエタントリス（３−メルカプトブチレート）、２，４，６−トリメルカプト−Ｓ−トリアジン、１，４−ビス（３−メルカプトブチリルオキシ）ブタン等が挙げられる。
チオール化合物（Ｇ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【０１２４】
ネガ型感光性樹脂組成物がチオール化合物（Ｇ）を含有する場合、その含有割合は、ネガ型感光性樹脂組成物中の全固形分が有するエチレン性二重結合の１モルに対してメルカプト基が０．０００１〜１モルとなる量が好ましく、０．０００５〜０．５モルがより好ましく、０．００１〜０．５モルが特に好ましい。含有割合が上記範囲であると、低露光量においてもネガ型感光性樹脂組成物の光硬化性および現像性が良好である。
【０１２５】
なお、チオール化合物（Ｇ）の使用は、撥インク層における低露光量での撥インク剤（Ｅ）の定着には非常に有効であるが、同様に低露光量での撥インク剤（Ｅ）の定着効果を有する酸発生剤（Ｃ）および酸硬化剤（Ｄ）の使用に比べて、（Ａ）由来のカルボン酸が反応により消費されにくく、パターン形成性の向上には効果が少ない傾向にある。したがって、ネガ型感光性樹脂組成物がチオール化合物（Ｇ）を含有する場合においても、酸発生剤（Ｃ）および酸硬化剤（Ｄ）については、上記所定量を含有することが好ましい。
【０１２６】
（リン酸化合物（Ｈ））
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、得られる硬化膜における基材やＩＴＯ等の透明電極材料等に対する密着性を向上させるために、任意にリン酸化合物（Ｈ）を含むことができる。
【０１２７】
このようなリン酸化合物（Ｈ）としては、硬化膜の基材や透明電極材料等に対する密着性を向上できるものであれば特に限定されるものではないが、分子中にエチレン性不飽和二重結合を有するリン酸化合物であることが好ましい。
【０１２８】
分子中にエチレン性不飽和二重結合を有するリン酸化合物としては、リン酸（メタ）アクリレート化合物、すなわち、分子内に少なくともリン酸由来のＯ＝Ｐ構造と、（メタ）アクリル酸系化合物由来のエチレン性不飽和二重結合である（メタ）アクリロイル基とを有する化合物やリン酸ビニル化合物が好ましい。
【０１２９】
本発明に用いるリン酸（メタ）アクリレート化合物としては、モノ（２−（メタ）アクリロイルオキシエチル）アシッドホスフェート、ジ（２−（メタ）アクリロイルオキシエチル）アシッドホスフェート、ジ（２−アクリロイルオキシエチル）アシッドホスフェート、トリス（（メタ）アクリロイルオキシエチル）アシッドホスフェート、モノ（２−メタアクリロイルオキシエチル）カプロエートアシッドホスフェート等が挙げられる。
【０１３０】
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、リン酸化合物（Ｈ）として、これに分類される化合物の１種を単独で含有してもよいし、２種以上を含有してもよい。
【０１３１】
ネガ型感光性樹脂組成物がリン酸化合物（Ｈ）を含有する場合、その含有割合は、ネガ型感光性樹脂組成物中の全固形分に対して、０．０１〜１０質量％が好ましく、０．１〜５質量％が特に好ましい。含有割合が上記範囲であると、得られる硬化膜と基材等との密着性が良好である。
【０１３２】
（重合禁止剤（Ｉ））
本発明における重合禁止剤（Ｉ）は、重合禁止剤としての機能を有する化合物であれば特に制限されず、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の反応を阻害するラジカルを発生する化合物が好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物においては、露光時に照射される光の量を重合禁止剤（Ｉ）が調整し、重合を制御することで、該組成物の硬化を穏やかに進行させることが可能となる。これにより、非露光部における硬化の進行が抑制され、開口部の現像残渣の減少に寄与できる。さらに、高解像度のドットのパターンが得られるとともに、パターンの直線性の向上に寄与できる。
【０１３３】
重合禁止剤（Ｉ）として具体的には、ジフェニルピクリルヒドラジド、トリ−ｐ−ニトロフェニルメチル、ｐ−ベンゾキノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、ピクリン酸、塩化銅、メチルハイドロキノン、４−メトキシフェノール、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチル−１，４−ベンゾキノン、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール等の一般的な反応の重合禁止剤を用いることができる。なかでも、２−メチルハイドロキノン、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、４−メトキシフェノール等が好ましい。さらに、保存安定性の点からハイドロキノン系、キノン系重合禁止剤が好ましく、２−メチルハイドロキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチル−１，４−ベンゾキノンを用いるのが特に好ましい。
【０１３４】
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の重合禁止剤（Ｉ）の含有割合は０．００１〜２０質量％が好ましく、０．００５〜１０質量％がより好ましく、０．０１〜５質量％が特に好ましい。含有割合が上記範囲であると、ネガ型感光性樹脂組成物の現像残渣が低減され、パターン直線性が良好である。
【０１３５】
（溶媒（Ｊ））
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、溶媒（Ｊ）を含有することで粘度が低減され、ネガ型感光性樹脂組成物の基材表面への塗布がしやすくなる。その結果、均一な膜厚のネガ型感光性樹脂組成物の塗膜が形成できる。
溶媒（Ｊ）としては公知の溶媒が用いられる。溶媒（Ｊ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【０１３６】
溶媒（Ｊ）としては、アルキレングリコールアルキルエーテル類、アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、アルコール類、ソルベントナフサ類等が挙げられる。なかでも、アルキレングリコールアルキルエーテル類、アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、およびアルコール類からなる群から選ばれる少なくとも１種の溶媒が好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートおよび２−プロパノールからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶媒がさらに好ましい。
【０１３７】
ネガ型感光性樹脂組成物における溶媒（Ｊ）の含有割合は、組成物全量に対して５０〜９９質量％が好ましく、６０〜９５質量％がより好ましく、６５〜９０質量％が特に好ましい。
【０１３８】
（着色剤（Ｋ））
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、用途に応じて、硬化膜、特には隔壁に遮光性を付与する場合に、着色剤（Ｋ）を含有する。本発明における着色剤（Ｋ）としては、カーボンブラック、アニリンブラック、アントラキノン系黒色顔料およびペリレン系黒色顔料、具体的には、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、６、７、１２、２０、３１等が挙げられる。赤色顔料、青色顔料および緑色顔料等の有機顔料および／または無機顔料の混合物を用いることもできる。
【０１３９】
着色剤（Ｋ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物が、着色剤（Ｋ）を含有する場合には、全固形分中の着色剤（Ｋ）の含有割合は、５〜６５質量％が好ましく、１０〜５０質量％が特に好ましい。上記範囲であると得られるネガ型感光性樹脂組成物は感度が良好であり、また、形成される隔壁は遮光性に優れる。
【０１４０】
（その他の成分）
本発明におけるネガ型感光性樹脂組成物はさらに、必要に応じて、熱架橋剤、高分子分散剤、分散助剤、シランカップリング剤、微粒子、硬化促進剤、増粘剤、可塑剤、消泡剤、レベリング剤およびハジキ防止剤等の他の添加剤を１種または２種以上含有してもよい。
【０１４１】
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、上記各成分の所定量を混合して得られる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、例えば、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池、カラーフィルタ等の光学素子の製造に使用可能である。具体的には、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池等の光学素子に用いる硬化膜や隔壁の形成に用いることで特に効果が発揮できる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用いれば、上面に良好な撥インク性を有する硬化膜、特には隔壁の製造が可能である。また、撥インク剤（Ｅ）のほとんどは、撥インク層に充分に定着しており、撥インク層よりも下の部分の隔壁に低濃度で存在する撥インク剤（Ｅ）も隔壁が充分に光硬化しているため、現像時に、撥インク剤（Ｅ）が隔壁で囲まれた開口部内にマイグレートしにくく、よってインクが均一に塗布できる開口部が得られる。
【０１４２】
［樹脂硬化膜および隔壁］
本発明の実施形態の樹脂硬化膜は、上記の本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用いて形成される。本発明の実施形態の樹脂硬化膜は、例えば、基板等の基材の表面に本発明のネガ型感光性樹脂組成物を塗布し、必要に応じて乾燥して溶媒等を除去した後、露光することで硬化して得られる。本発明の実施形態の樹脂硬化膜は、光学素子、特には、有機ＥＬ素子や量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池に用いられる場合に特に顕著な効果が発揮される。
【０１４３】
本発明の隔壁は、基板表面をドット形成用の複数の区画に仕切る形に形成された上記の本発明の硬化膜からなる隔壁である。隔壁は、例えば、上記の樹脂硬化膜の製造において、露光前にドット形成用の区画となる部分にマスキングを施し、露光した後、現像することで得られる。現像によって、マスキングにより非露光の部分が除去されドット形成用の区画に対応する開口部が隔壁とともに形成される。本発明の実施形態の隔壁は、光学素子、特には、有機ＥＬ素子や量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池に用いられる場合に特に顕著な効果が発揮される。
【０１４４】
本発明の実施形態の隔壁は、例えば、以下に示すとおり、製造過程において高温処理を必ずしも必要としないため、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリカーボネート等のプラスチック基板を使用したフレキシブルなアプリケーションにも適用可能である。
【０１４５】
以下、本発明の実施形態の隔壁の製造方法の一例を、図１Ａ〜１Ｄを用いて説明するが、隔壁の製造方法は以下に限定されない。なお、以下の製造方法は、ネガ型感光性樹脂組成物が溶媒（Ｊ）を含有するものとして説明する。
【０１４６】
図１Ａに示すように、基板１の一方の主面全体にネガ型感光性樹脂組成物を塗布して、塗膜２１を形成する。このとき、塗膜２１中には撥インク剤（Ｅ）が全体的に溶解し、均一に分散している。なお、図１Ａ中、撥インク剤（Ｅ）は模式的に示してあり、実際にこのような粒子形状で存在しているわけではない。
【０１４７】
次に、図１Ｂに示すように、塗膜２１を乾燥させて、乾燥膜２２とする。乾燥方法としては、加熱乾燥、減圧乾燥および減圧加熱乾燥等が挙げられる。溶媒（Ｊ）の種類にもよるが、加熱乾燥の場合、加熱温度は５０〜１２０℃が好ましい。
この乾燥過程において、撥インク剤（Ｅ）は乾燥膜の上層部に移行する。なお、ネガ型感光性樹脂組成物が、溶媒（Ｊ）を含有しない場合であっても、塗膜内で撥インク剤（Ｅ）の上面移行は同様に達成される。
【０１４８】
次に、図１Ｃに示すように、隔壁に囲まれる開口部に相当する形状のマスキング部３１を有するフォトマスク３０を介して、乾燥膜２２に対して光を照射し露光する。乾燥膜２２を露光した後の膜を露光膜２３と称す。露光膜２３において、露光部２３Ａは光硬化しており、非露光部２３Ｂは乾燥膜２２と同様の状態である。
【０１４９】
照射する光としては、可視光；紫外線；遠紫外線；ＫｒＦエキシマレーザ光、ＡｒＦエキシマレーザ光、Ｆ２エキシマレーザ光、Ｋｒ２エキシマレーザ光、ＫｒＡｒエキシマレーザ光およびＡｒ２エキシマレーザ光等のエキシマレーザ光；Ｘ線；電子線等が挙げられる。
照射する光としては、波長１００〜６００ｎｍの光が好ましく、３００〜５００ｎｍの光がより好ましく、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）またはｇ線（４３６ｎｍ）を含む光が特に好ましい。また、必要に応じて３３０ｎｍ以下の光をカットしてもよい。
【０１５０】
なお、露光時に照射する光としては、ネガ型感光性樹脂組成物が含有する、光重合開始剤（Ｂ）および酸発生剤（Ｃ）について、それぞれを活性化する波長の光線を選択することが必要とされる。
【０１５１】
露光方式としては、全面一括露光、スキャン露光等が挙げられる。同一箇所に対して複数回に分けて露光してもよい。この際、複数回の露光条件は同一でも同一でなくても構わない。
【０１５２】
露光量は、上記いずれの露光方式においても、例えば、５〜１，０００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、５〜５００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、５〜３００ｍＪ／ｃｍ２がさらに好ましく、５〜２００ｍＪ／ｃｍ２が特に好ましく、５〜５０ｍＪ／ｃｍ２が最も好ましい。なお、露光量は、照射する光の波長、ネガ型感光性樹脂組成物の組成および塗膜の厚さ等により、適宜好適化される。
【０１５３】
単位面積当たりの露光時間は特に制限されず、用いる露光装置の露光パワーおよび必要な露光量等から設計される。なお、スキャン露光の場合、光の走査速度から露光時間が求められる。
単位面積当たりの露光時間は通常１〜６０秒程度である。
【０１５４】
本発明のネガ型感光性樹脂組成物によれば、上記露光部において、露光時にアルカリ可溶性樹脂（Ａ）のラジカル重合が行われるのと並行して、酸発生剤（Ｃ）が露光により酸を発生し、該酸の存在下、酸硬化剤（Ｄ）がアルカリ可溶性樹脂（Ａ）のカルボン酸等の酸性基と反応する。これにより、本発明のネガ型感光性樹脂組成物によれば、硬化膜、特に硬化膜の上面におけるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）の硬化性、および撥インク剤（Ｅ）の定着性が向上した硬化膜が得られる。または、低露光量でも従来の硬化膜と同等の硬化性、特に上面における硬化性を有する硬化膜が得られる。
【０１５５】
次に、図１Ｄに示すように、アルカリ現像液を用いた現像を行い、露光膜２３の露光部２３Ａに対応する部位のみからなる隔壁４が形成される。隔壁４で囲まれた開口部５は、露光膜２３において非露光部２３Ｂが存在していた部位であり、現像により非露光部２３Ｂが除去された後の状態を、図１Ｄは示している。非露光部２３Ｂは、上に説明したとおり、撥インク剤（Ｅ）が上層部に移行してそれより下の層にほとんど撥インク剤（Ｅ）が存在しない状態でアルカリ現像液により溶解、除去されるため、撥インク剤（Ｅ）は、開口部５にはほとんど残存しない。
【０１５６】
なお、図１Ｄに示す隔壁４において、その上面を含む最上層は撥インク層４Ａである。撥インク剤（Ｅ）がエチレン性二重結合を有する側鎖を有しない場合、露光の際に、撥インク剤（Ｅ）はそのまま最上層に高濃度に存在して撥インク層となる。露光の際、撥インク剤（Ｅ）の周辺に存在するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、特に酸発生剤（Ｃ）の発生する酸の存在下、酸硬化剤（Ｄ）と強固に光硬化し、撥インク剤（Ｅ）は撥インク層に定着する。さらにネガ型感光性樹脂組成物がチオール化合物（Ｇ）を任意に含有する場合には、エチレン性二重結合による反応が促進されて撥インク層の硬化がより強固に行われる。
【０１５７】
撥インク剤（Ｅ）がエチレン性二重結合を有する側鎖を有する場合においても、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、酸発生剤（Ｃ）の発生する酸の存在下、酸硬化剤（Ｄ）と強固に光硬化すると同時に、撥インク剤（Ｅ）は、互いにおよび／または、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、さらに任意に含有するチオール化合物（Ｇ）やその他の光硬化成分とともに光硬化して、撥インク剤（Ｅ）が強固に結合した撥インク層４Ａを形成する。
【０１５８】
上記のいずれの場合も、撥インク層４Ａの下側には、主としてアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、酸硬化剤（Ｄ）、および任意に含有するチオール化合物（Ｇ）、さらにそれ以外の光硬化成分が、光重合開始剤（Ｂ）の発生するラジカルによるラジカル重合および酸発生剤（Ｃ）が発生する酸の存在下のカチオン重合により光硬化して、撥インク剤（Ｅ）をほとんど含有しない層４Ｂが形成される。
このようにして、撥インク剤（Ｅ）は、撥インク層４Ａその下部層４Ｂを含む隔壁に充分に定着しているため、現像時に開口部にマイグレートすることがほとんどない。
【０１５９】
このように、本発明のネガ型感光性樹脂組成物においては、光によるラジカル重合反応と光による酸の存在下での硬化反応を組み合わせることにより硬化膜の表面および内部の硬化が充分に行われる。よって、露光部である硬化部分は、現像の際のアルカリ現像液による浸食や剥離に耐性を有する。したがって、露光部が長時間の現像にも影響を受けにくいことから開口部の残渣の除去等に有利である。
【０１６０】
現像後、隔壁４をさらに加熱してもよい。加熱温度は８０〜２５０℃が好ましい。加熱により隔壁４の硬化がより強固なものとなる。また、撥インク剤（Ｅ）は撥インク層４Ａ内により強固に定着する。本発明の組成は、低温硬化した場合でも、高い撥液性を発現することができ、さらに酸や有機溶媒などの薬品に浸漬後も、高い撥液性を有することができる。特にＰＥＴフィルムやポリカーボネートといったプラスチック基材を使用する場合は、加熱温度を低く設定する必要がある。その場合、好ましくは、１５０℃以下、特に好ましくは１２０℃以下の加熱温度が設定される。本発明の組成は、前記の様な低温で加熱する場合においても、撥液性が維持され、耐薬品も優れる。
【０１６１】
このようにして得られる本発明の樹脂硬化膜および隔壁４は、露光が低露光量で行われる場合であっても、上面に良好な撥インク性を有する。また、隔壁４においては、現像後、開口部５に撥インク剤（Ｅ）が存在することがほとんどなく、開口部５におけるインクの均一な塗工性を充分に確保できる。
【０１６２】
なお、開口部５の親インク性をより確実に得ることを目的として、上記加熱後、開口部５に存在する可能性があるネガ型感光性樹脂組成物の現像残渣等を除去するために、隔壁４付きの基板１に対して紫外線／オゾン処理を施してもよい。
【０１６３】
本発明のネガ型感光性樹脂組成物から形成される隔壁は、例えば、幅が１００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以下であることが特に好ましい。また、隣接する隔壁間の距離（パターンの幅）は３００μｍ以下であることが好ましく、１００μｍ以下であることが特に好ましい。隔壁の高さは０．０５〜５０μｍであることが好ましく、０．２〜１０μｍであることが特に好ましい。
【０１６４】
本発明のネガ型感光性樹脂組成物から形成される隔壁は、上記幅に形成された際の縁の部分に凹凸が少なく直線性に優れる。なお、隔壁における高い直線性の発現は、特に、アルカリ可溶性樹脂としてエポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とが導入された樹脂（Ａ−２）を用いた場合に顕著である。それにより、たとえ微細なパターンであっても精度の高いパターン形成が可能となる。このような精度の高いパターン形成が行えれば、特に、有機ＥＬ素子や量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池用の隔壁として有用である。
【０１６５】
本発明の隔壁は、ＩＪ法にてパターン印刷を行う際に、その開口部をインク注入領域とする隔壁として利用できる。ＩＪ法にてパターン印刷を行う際に、本発明の隔壁を、その開口部が所望のインク注入領域と一致するように形成して用いれば、隔壁上面が良好な撥インク性を有することから、隔壁を超えて所望しない開口部すなわちインク注入領域にインクが注入されることを抑制できる。また、隔壁で囲まれた開口部は、インクの濡れ広がり性が良好であるので、インクを所望の領域に白抜け等が発生することなく均一に印刷することが可能となる。
【０１６６】
本発明の隔壁を用いれば、上記のとおりＩＪ法によるパターン印刷が精巧に行える。よって、本発明の隔壁は、ドットがＩＪ法で形成される基板表面に複数のドットと隣接するドット間に位置する隔壁を有する光学素子、特に有機ＥＬ素子や量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ、薄膜太陽電池の隔壁として有用である。
【０１６７】
［光学素子］
本発明の光学素子、特には、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイまたは薄膜太陽電池は、基板表面に複数のドットと隣接するドット間に位置する上記本発明の隔壁とを有する光学素子である。本発明の光学素子、特には、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイまたは薄膜太陽電池においてドットはＩＪ法により形成されることが好ましい。
【０１６８】
有機ＥＬ素子とは、有機薄膜の発光層を陽極と陰極で挟んだ構造であり、本発明の隔壁は有機発光層を隔てる隔壁用途、有機ＴＦＴ層を隔てる隔壁用途、塗布型酸化物半導体を隔てる隔壁用途などに用いることができる。
【０１６９】
また、有機ＴＦＴアレイ素子とは、複数のドットが平面視マトリクス状に配置され、各ドットに画素電極とこれを駆動するためのスイッチング素子としてＴＦＴが設けられ、ＴＦＴのチャネル層を含む半導体層として有機半導体層が用いられる素子である。有機ＴＦＴアレイ素子は、例えば、有機ＥＬ素子あるいは液晶素子等に、ＴＦＴアレイ基板として備えられる。
【０１７０】
本発明の実施形態の光学素子、例えば、有機ＥＬ素子について、上記で得られた隔壁を用いて、開口部にＩＪ法によりドットを形成する例を以下に説明する。なお、本発明の有機ＥＬ素子等の光学素子におけるドットの形成方法は以下に限定されない。
図２Ａおよび図２Ｂは、上記図１Ｄに示す基板１上に形成された隔壁４を用いて有機ＥＬ素子を製造する方法を模式的に示すものである。ここで、基板１上の隔壁４は、開口部５が、製造しようとする有機ＥＬ素子のドットのパターンに一致するように形成されたものである。
【０１７１】
図２Ａに示すように、隔壁４に囲まれた開口部５に、インクジェットヘッド９からインク１０を滴下して、開口部５に所定量のインク１０を注入する。インクとしては、ドットの機能に合わせて、有機ＥＬ素子用として公知のインクが適宜選択して用いられる。
【０１７２】
次いで、用いたインク１０の種類により、例えば、溶媒の除去や硬化のために、乾燥および／または加熱等の処理を施して、図２Ｂに示すように、隔壁４に隣接する形で所望のドット１１が形成された有機ＥＬ素子１２を得る。
【０１７３】
本発明の実施形態の光学素子、特には、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイまたは薄膜太陽電池、は、本発明の隔壁を用いることで、製造過程において隔壁で仕切られた開口部にインクがムラなく均一に濡れ広がることが可能であり、これにより精度よく形成されたドットを有する光学素子、特には、有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイまたは薄膜太陽電池である。
【０１７４】
なお、有機ＥＬ素子は、例えば、以下のように製造できるがこれに限定されない。
ガラスやＰＥＴなどのプラスチックの透光性基板にスズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）等の透光性電極をスパッタ法等によって成膜する。この透光性電極は必要に応じてパターニングされる。
次に、本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用い、塗布、露光および現像を含むフォトリソグラフィ法により、各ドットの輪郭に沿って、平面視格子状に隔壁を形成する。
次に、ドット内に、ＩＪ法により、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、正孔阻止層および電子注入層の材料をそれぞれ塗布および乾燥して、これらの層を順次積層する。ドット内に形成される有機層の種類および数は適宜設計される。
最後に、アルミニウム等の反射電極を蒸着法等によって形成する。
【０１７５】
また、量子ドットディスプレイは、例えば、以下のように製造できるがこれに限定されない。
ガラスやＰＥＴなどのプラスチックの透光性基板にスズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）等の透光性電極をスパッタ法等によって成膜する。この透光性電極は必要に応じてパターニングされる。
次に、本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用い、塗布、露光および現像を含むフォトリソグラフィ法により、各ドットの輪郭に沿って、平面視格子状に隔壁を形成する。
次に、ドット内に、ＩＪ法により、正孔注入層、正孔輸送層、量子ドット層、正孔阻止層および電子注入層の材料をそれぞれ塗布および乾燥して、これらの層を順次積層する。ドット内に形成される有機層の種類および数は適宜設計される。
最後に、アルミニウム等の反射電極、またはＩＴＯ等の透光性電極を蒸着法等によって形成する。
【０１７６】
さらに本発明の実施形態の光学素子は、例えば以下のように製造される、青色光変換型の量子ドットディスプレイにも応用可能である。
ガラスやＰＥＴなどのプラスチックの透光性基板に本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用い、各ドットの輪郭に沿って、平面視格子状に隔壁を形成する。
【０１７７】
次に、ドット内に、ＩＪ法により青色光を緑色光に変換するナノ粒子溶液、青色光を赤色光に変換するナノ粒子溶液、必要に応じて青色のカラーインクを塗布、乾燥して、モジュールを作製する。青色を発色する光源をバックライトとして使用し前記モジュールをカラーフィルタ代替として使用することにより、色再現性の優れた液晶ディスプレイが得られる。
【０１７８】
ＴＦＴアレイは、例えば、以下のように製造できるがこれに限定されない。
ガラスやＰＥＴなどのプラスチックの透光性基板にアルミニウムやその合金等のゲート電極をスパッタ法等によって成膜する。このゲート電極は必要に応じてパターニングされる。
【０１７９】
次に、窒化ケイ素等のゲート絶縁膜をプラズマＣＶＤ法等によって形成する。ゲート絶縁膜上にソース電極、ドレイン電極を形成してもよい。ソース電極およびドレイン電極は、例えば、真空蒸着やスパッタリングでアルミニウム、金、銀、銅やそれらの合金などの金属薄膜を形成し、作成することができる。ソース電極およびドレイン電極をパターニングする方法としては、金属薄膜を形成後、レジストを塗装し、露光、現像して電極を形成させたい部分にレジストを残し、その後、リン酸や王水などで露出した金属を除去、最後にレジストを除去する手法がある。また、金などの金属薄膜を形成させた場合は、予めレジストを塗装し、露光、現像して電極を形成させたくない部分にレジストを残し、その後金属薄膜を形成後、金属薄膜と共にフォトレジストを除去する手法もある。また、銀や銅等の金属ナノコロイド等を用いてインクジェット等の手法により、ソース電極およびドレイン電極を形成してもよい。
【０１８０】
次に、本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用いて、塗布、露光および現像を含むフォトリソグラフィ法により、各ドットの輪郭に沿って、平面視格子状に隔壁を形成する。
次にドット内に半導体溶液をＩＪ法によって塗布し、溶液を乾燥させることによって半導体層を形成する。この半導体溶液としては有機半導体溶液、無機の塗布型酸化物半導体溶液も用いることができる。ソース電極、ドレイン電極は、この半導体層形成後にインクジェットなどの手法を用いて形成されてもよい。
最後にＩＴＯ等の透光性電極をスパッタ法等によって成膜し、窒化ケイ素等の保護膜を成膜することで形成する。
【実施例】
【０１８１】
以下、実施例に基づいて本発明を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。例１〜１０が実施例、例１１〜１３が比較例である。【０１８２】
各測定は以下の方法で行った。
［数平均分子量（Ｍｎ）、質量平均分子量（Ｍｗ）］
ゲルパーミエーションクロマトグラフィ法により、ポリスチレンを標準物質として、数平均分子量（Ｍｎ）および質量平均分子量（Ｍｗ）を測定した。ゲルパーミエーションクロマトグラフィとしては、ＨＰＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー社製）を使用した。カラムとしては、ｓｈｏｄｅｘ  ＬＦ−６０４を３本、接続したものを使用した。検出器としては、ＲＩ検出器を使用した。標準物質としては、ＥａｓｉＣａｌ  ＰＳ１（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ社製）を使用した。さらに、数平均分子量および質量平均分子量を測定する際は、カラムを３７℃で保持し、溶離液としては、テトラヒドロフランを用い、流速を０．２ｍＬ／分とし、測定サンプルの０．５％テトラヒドロフラン溶液４０μＬを注入した。【０１８３】
［フッ素原子の含有率］
フッ素原子の含有率は、１，４−ジトリフルオロメチルベンゼンを標準物質として、１９Ｆ  ＮＭＲ測定により算出した。【０１８４】
［酸価］
酸価は、原料の配合割合から理論的に算出した。
以下の各例において用いた化合物の略号を以下に示す。【０１８５】
（アルカリ可溶性樹脂（Ａ））
アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）組成物：クレゾールノボラック型エポキシ樹脂をアクリル酸、次いで１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸を反応させて、アクリロイル基とカルボキシ基とを導入した樹脂をヘキサンで精製した樹脂（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ）の組成物（固形分７０質量％、ＰＧＭＥＡ３０質量％）【０１８６】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）組成物：ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂にカルボキシル基とエチレン性二重結合を導入した樹脂（アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）、酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ）の組成物（固形分７０質量％、ＰＧＭＥＡ３０質量％）。
アルカリ可溶性樹脂（Ａ３）組成物：下記式（Ａ−２ａ）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂（アルカリ可溶性樹脂（Ａ３）、酸価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ）の組成物（固形分７０質量％、ＰＧＭＥＡ３０質量％）。【０１８７】
【化１２】
0006536578.tif 000013
（式（Ａ−２ａ）中、ｖは１〜５０の整数であり、２〜１０の整数が好ましい。またベンゼン環の水素原子はそれぞれ独立に、炭素原子数１〜１２のアルキル基、ハロゲン原子、または、一部の水素原子が置換基で置換されていてもよいフェニル基で置換されていてもよい。）【０１８８】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ−Ｒ−１）：撹拌機を備えた内容積１Ｌの反応槽に、アセトン（５５５ｇ）、ＡＡ（アクリル酸）（３６．０ｇ）、２−ＨＥＭＡ（１０８．０ｇ）、ＩＢＭＡ（７２．０ｇ）、連鎖移動剤ＤＳＨ（９．７ｇ）および重合開始剤Ｖ−７０（５．１ｇ）を仕込み、窒素雰囲気下に撹拌しながら、４０℃で１８時間重合させ、アルカリ可溶性樹脂（Ａ−Ｒ−１）の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂（Ａ−Ｒ−１）のアセトン溶液に水を加え再沈精製し、次いで石油エーテルにて再沈精製し、真空乾燥し、アルカリ可溶性樹脂（Ａ−Ｒ−１）の２３５ｇを得た。アルカリ可溶性樹脂（Ａ−Ｒ−１）の数平均分子量（Ｍｎ）は５，０００であり、アルカリ可溶性樹脂（Ａ−Ｒ−１）の酸価は、１１９ｍｇＫＯＨ／ｇであった。【０１８９】
（光重合開始剤（Ｂ））
ＩＲ９０７：２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン（ＢＡＳＦ社製、商品名ＩＲＧＡＣＵＲＥ９０７。）。
ＯＸＥ０２：エタノン１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）（ＢＡＳＦ社製、商品名：ＯＸＥ０２。）。
ＥＡＢ：４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（東京化成工業社製）。【０１９０】
（酸発生剤（Ｃ））
ＰＡＧ−Ａ：２−（５−メチル−２−フリル）エテニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン（上記式（Ｃ８−２）で示される化合物）。
ＰＡＧ−Ｂ：２−［２−（ｎ−プロピルスルホニルオキシイミノ）チオフェン−３（２Ｈ）−イリデン］−２−（２−メチルフェニル）アセトニトリル（上記式（Ｃ１１）で示される化合物のうち、Ｒｂ１１がｎ−プロピル基である化合物）。
ＷＰＡＧ１９９：ビス（ｐ−トルエンスルホニル）ジアゾメタン。
ＳＩ−１５０Ｌ：上記式（Ｃ０−１）で示される芳香族スルホニウムＳｂＦ６−塩（三新化学工業社製、商品名：サンエイドＳＩ−１５０Ｌ）。【０１９１】
（酸硬化剤（Ｄ））
エポキシＡ：上記式（Ｄｅ１）で示されるジシクロペンタン環含有のエポキシ化合物。
エポキシＢ：上記式（Ｄｅ２）で示されるナフタレン環含有のエポキシ化合物。
メラミンＡ：２，４，６−トリス［ビス（メトキシメチル）アミノ］−１，３，５−トリアジン（上記式（Ｄ１−１）で示される化合物）。
メラミンＢ：１，３，４，６−テトラキス（メトキシメチル）グリコールウリル（上記式（Ｄ３−１）で示される化合物）。【０１９２】
（撥インク剤（Ｅ１）の原料）
化合物（ｓ１）に相当する化合物（ｓ１−１）：Ｆ（ＣＦ２）６ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３（公知の方法で製造した。）。
化合物（ｓ２）に相当する化合物（ｓ２−１）：Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４（コルコート社製）。
化合物（ｓ３）に相当する化合物（ｓ３−１）：ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３（東京化成工業社製）。【０１９３】
化合物（ｓ５）に相当する化合物（ｓ５−１）
【化１３】
0006536578.tif 000014
【０１９４】
化合物（ｓ６）に相当する化合物（ｓ６−１）： 
【化１４】
0006536578.tif 000015
【０１９５】
（撥インク剤（Ｅ２）の原料）
Ｃ６ＦＭＡ：ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）６Ｆ
Ｘ−１７４ＤＸ：ジメチルシリコーン鎖含有メタクリレート（信越化学工業社製、商品名Ｘ−２２−１７４ＤＸ）
Ｘ−８２０１：ジメチルシリコーン鎖含有メタクリレート（信越化学工業社製、商品名Ｘ−２４−８２０１）
Ｃ４α−Ｃｌアクリレート：ＣＨ２＝Ｃ（Ｃｌ）ＣＯＯＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）４Ｆ
Ｃ８ＦＡ：ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）８Ｆ
ＣＨＭＡ：シクロヘキシルメタクリレート
ＭＡＡ：メタクリル酸
２−ＨＥＭＡ：２−ヒドロキシエチルメタクリレート
ＭＭＡ：メタクリル酸メチル
ＧＭＡ：グリシジルメタクリレート
ＩＢＭＡ：イソボルニルメタクリレート【０１９６】
Ｖ−６５：（２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル））
Ｖ−７０：２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）
ＤＳＨ：ｎ−ドデシルメルカプタン
ＢＥＩ：１，１−（ビスアクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート）
ＡＯＩ：２−アクリロイルオキシエチルイソシアネート）
ＤＢＴＤＬ：ジブチル錫ジラウレート
ＴＢＱ：t−ブチル−ｐ−ベンゾキノン
ＭＥＫ：２−ブタノン【０１９７】
（架橋剤（Ｆ））
ＤＰＨＡ：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（その他）
ＫＢＭ４０３：３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
チオール化合物：ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）
ＭＨＱ：２−メチルハイドロキノン
（溶媒（Ｊ））
ＰＧＭＥ：プロピレングリコールモノメチルエーテル
ＥＤＭ：ジエチレングリコールエチルメチルエーテル
ＩＰＡ：２−プロパノール
ＤＥＧＤＭ：ジエチレングリコールジメチルエーテル
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート【０１９８】
［撥インク剤（Ｅ）の合成］
撥インク剤（Ｅ）を以下のとおり合成、または準備した。【０１９９】
（合成例１：撥インク剤（Ｅ−１）の合成）
撹拌機を備えた内容積１，０００ｃｍ３のオートクレーブに、ＭＥＫの４２０．０ｇ、Ｃ６ＦＭＡの９９．０ｇ、ＭＡＡの９．０ｇ、２−ＨＥＭＡの１８．０ｇ、ＭＭＡの４５．０ｇ、ＩＢＭＡの９．０ｇ、重合開始剤Ｖ−６５の３．０ｇおよびＤＳＨの５．０ｇを仕込み、窒素雰囲気下で撹拌しながら、５０℃で２４時間重合させ、さらに７０℃にて５時間加熱し、重合開始剤を不活性化し、共重合体（撥インク剤（Ｅ−１））の溶液（固形分濃度；３０質量％）を得た。この溶液を後述するネガ型感光性樹脂組成物の製造に用いた。なお、以下の撥インク剤の合成において、撥インク剤がこれを含む溶液の状態で得られたものについては、固形分濃度を測定または調整した後、該溶液の状態でネガ型感光性樹脂組成物の製造に用いた。【０２００】
撥インク剤（Ｅ−１）は、数平均分子量が１４，２００、質量平均分子量が２１，５００であり、フッ素原子の含有率は３１．４質量％、酸価は３２．６（ｍｇＫＯＨ／ｇ）であった。【０２０１】
（合成例２：撥インク剤（Ｅ−２）の合成）
撹拌機を備えた内容積１，０００ｃｍ３のオートクレーブに、ＭＥＫの４１５．１ｇ、Ｃ６ＦＭＡの８１．０ｇ、ＭＡＡの１８．０ｇ、２−ＨＥＭＡの８１．０ｇ、重合開始剤Ｖ−６５の５．０ｇおよびＤＳＨの４．７ｇを仕込み、窒素雰囲気下で撹拌しながら、５０℃で２４時間重合させ、さらに７０℃にて５時間加熱し、重合開始剤を不活性化し、共重合体の溶液を得た。共重合体は、数平均分子量が５，５４０、質量平均分子量が１３，２００であった。【０２０２】
次いで、撹拌機を備えた内容積３００ｃｍ３のオートクレーブに上記共重合体の溶液の１３０．０ｇ、ＢＥＩの３３．５ｇ、ＤＢＴＤＬの０．１３ｇ、ＴＢＱの１．５ｇを仕込み、撹拌しながら、４０℃で２４時間反応させ、粗重合体を合成した。得られた粗重合体の溶液にヘキサンを加えて再沈精製した後、真空乾燥し、撥インク剤（Ｅ−２）を得た。撥インク剤（Ｅ−２）は、数平均分子量が７，５４０、質量平均分子量が１６，２００であり、フッ素原子の含有率は１４．８質量％、酸価は３５．１（ｍｇＫＯＨ／ｇ）であった。【０２０３】
（合成例３：撥インク剤（Ｅ−３）の合成）
撹拌機を備えた内容積１，０００ｃｍ３のオートクレーブに、ＭＥＫの４２０．０ｇ、Ｃ６ＦＭＡの９９．０ｇ、ＭＡＡの９．０ｇ、２−ＨＥＭＡの１８．０ｇ、ＧＭＡの１８．０ｇ、ＭＭＡの３６．０ｇ、重合開始剤Ｖ−６５の３．０ｇおよびＤＳＨの５．０ｇを仕込み、窒素雰囲気下で撹拌しながら、５０℃で２４時間重合させ、さらに７０℃にて５時間加熱し、重合開始剤を不活性化し、共重合体（撥インク剤（Ｅ−３））の溶液（固形分濃度；３０質量％）を得た。【０２０４】
撥インク剤（Ｅ−３）は、数平均分子量が１４，８５０、質量平均分子量が２２，７００であり、フッ素原子の含有率は３１．４質量％、酸価は３２．６（ｍｇＫＯＨ／ｇ）であった。【０２０５】
（撥インク剤（Ｅ−４）の準備）
撥インク剤（Ｅ−４）として、メガファックＲＳ１０２（商品名、ＤＩＣ社製：下記式（Ｅ２Ｆ）で示される繰り返し単位を有する重合体であり、ｎ／ｍ＝３〜４である。）を準備した。撥インク剤（Ｅ−４）は、数平均分子量が５，７００、質量平均分子量が８，８００であり、フッ素原子の含有率は１９．０質量％であった。【０２０６】
【化１５】
0006536578.tif 000016
【０２０７】
（合成例５：撥インク剤（Ｅ−５）の合成）
撹拌機を備えた内容積２，０００ｃｍ３のオートクレーブに、Ｃ４α−Ｃｌアクリレートの３１７．５ｇ、ＭＡＡの７９．４ｇ、ＩＢＭＡの４７．７ｇ、２−ＨＥＭＡの５２．９ｇ、ＤＳＨの４．６ｇ、重合開始剤Ｖ−７０の２．０ｇ、ＭＥＫの１１６０ｇを入れ、窒素雰囲気下で撹拌しながら、５０℃で２４時間重合させ、さらに７０℃にて５時間加熱し、重合開始剤を不活性化し、共重合体の溶液を得た。共重合体は、数平均分子量が５，０６０、質量平均分子量が８，７２０であった。固形分濃度を測定すると３０質量％であった。【０２０８】
次いで、撹拌機を備えた内容積３００ｃｍ３のオートクレーブに上記共重合体の溶液の１３０．０ｇ、ＡＯＩの３．６ｇ（共重合体の水酸基に対して０．８等量）、ＤＢＴＤＬの０．０１４ｇ、ＴＢＱの０．１８ｇを仕込み、撹拌しながら、４０℃で２４時間反応させ、粗重合体を合成した。得られた粗重合体の溶液にヘキサンを加えて再沈精製した後、真空乾燥し、撥インク剤（Ｅ−５）を得た。撥インク剤（Ｅ−５）は、数平均分子量が８，０００、質量平均分子量が１０，６００であり、フッ素原子の含有率は２８．０質量％、酸価は９３．３（ｍｇＫＯＨ／ｇ）であった。【０２０９】
（合成例６：撥インク剤（Ｅ−６）の合成）
撹拌機を備えた内容積１Ｌのオートクレーブに、アセトンの５５５．０ｇ、Ｃ６ＦＭＡの６０．０ｇ、Ｘ−１７４ＤＸの１２０．０ｇ、ＭＡＡの２４．０ｇ、ＣＨＭＡの３６．０ｇ、連鎖移動剤ＤＳＨの５．４ｇおよび重合開始剤Ｖ−７０の２．０ｇを仕込み、窒素雰囲気下に撹拌しながら、４０℃で１８時間重合させ、撥インク剤（Ｅ−６）の溶液を得た。【０２１０】
得られた撥インク剤（Ｅ−６）のアセトン溶液に水を加え再沈精製し、次いで石油エーテルにて再沈精製し、真空乾燥し、撥インク剤（Ｅ−６）を得た。撥インク剤（Ｅ−６）は、数平均分子量が９，０００、質量平均分子量が１１，７００であり、フッ素原子の含有率が１４．７質量％、酸価が６５ｍｇＫＯＨ／ｇであった。【０２１１】
（合成例７：撥インク剤（Ｅ−７）の合成）
撹拌機を備えた内容積１Ｌのオートクレーブに、アセトンの５５５．０ｇ、Ｃ８ＦＡの４８．０ｇ、Ｘ−８２０１の１２０．０ｇ、ＭＡＡの１２．０ｇ、ＩＢＭＡの６０．０ｇ、連鎖移動剤ＤＳＨの１０．８ｇおよび重合開始剤Ｖ−７０の３．０ｇを仕込み、窒素雰囲気下に撹拌しながら、４０℃で１８時間重合させ、撥インク剤（Ｅ−７）の溶液を得た。【０２１２】
得られた撥インク剤（Ｅ−７）のアセトン溶液に水を加え再沈精製し、次いで石油エーテルにて再沈精製し、真空乾燥し、撥インク剤（Ｅ−７）を得た。撥インク剤（Ｅ−７）は、数平均分子量が４，５００、質量平均分子量が５，５９０であり、フッ素原子の含有率が１２．５質量％、酸価が３３ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
上記で得られたまたは準備した撥インク剤（Ｅ−１）〜（Ｅ−７）の原料組成と特性を表１にまとめて示す。【０２１３】
【表１】
0006536578.tif 000017
【０２１４】
（合成例８：撥インク剤（Ｅ−８）の合成）
撹拌機を備えた１，０００ｃｍ３の三口フラスコに、化合物（ｓ１−１）の１５．０ｇ、化合物（ｓ２−１）の２０．０ｇ、化合物（ｓ３−１）の２７．０ｇを入れて、加水分解性シラン化合物混合物を得た。次いで、この混合物にＩＰＡの２８４．３ｇを入れて、原料溶液とした。【０２１５】
得られた原料溶液に、１％塩酸水溶液を３０．０ｇ滴下した。滴下終了後、４０℃で５時間撹拌して、撥インク剤（Ｅ−８）のＩＰＡ溶液（撥インク剤（Ｅ−８）濃度：１０質量％）を得た。
なお、反応終了後、反応液の成分をガスクロマトグラフィを使用して測定し、原料としての各化合物が検出限界以下になったことを確認した。【０２１６】
（合成例９、１０：撥インク剤（Ｅ−９）、（Ｅ−１０）の合成）
合成例８においてモノマー成分の加水分解性シラン化合物およびその量を表２のように変更した以外は合成例８と同様にして、撥インク剤（Ｅ−９）のＩＰＡ溶液（撥インク剤（Ｅ−９）濃度：１０質量％）、撥インク剤（Ｅ−１０）のＩＰＡ溶液（撥インク剤（Ｅ−１０）濃度：１０質量％）を得た。【０２１７】
得られた撥インク剤（（Ｅ−８）〜（Ｅ−１０））の製造に用いた原料加水分解性シラン化合物の仕込み量等を表２に示す。表２中、シラン化合物は、加水分解性シラン化合物を意味する。また、得られた撥インク剤（（Ｅ−８）〜（Ｅ−１０））の数平均分子量（Ｍｎ）、質量平均分子量（Ｍｗ）、フッ素原子の含有率（質量％）を測定した結果を、表２に示す。【０２１８】
【表２】
0006536578.tif 000018
【０２１９】
［例１：ネガ型感光性樹脂組成物の製造および硬化膜、隔壁（パターン膜）の製造］
（ネガ型感光性樹脂組成物の製造）
アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）組成物を固形分（樹脂（Ａ１））が１０．０ｇとなる量、ＩＲ９０７の０．３０ｇ、ＯＸＥ０２の０．１０ｇ、ＥＡＢの０．２０ｇ、ＰＡＧ−Ａの０．３０ｇ、エポキシＡの１．６０ｇ、撥インク剤（Ｅ−３）の０．０５ｇ、ＤＰＨＡの５．０ｇ、ＥＤＭの３０．０ｇ、全量が１００ｇとなるようにＰＧＭＥを加え、２００ｃｍ３の撹拌用容器に入れ、３時間撹拌してネガ型感光性樹脂組成物１を製造した。【０２２０】
（硬化膜の製造）
１０ｃｍ四方のガラス基板をエタノールで３０秒間超音波洗浄し、次いで、５分間のＵＶ／Ｏ３処理を行った。ＵＶ／Ｏ３処理には、ＵＶ／Ｏ３発生装置としてＰＬ２００１Ｎ−５８（センエンジニアリング社製）を使用した。２５４ｎｍ換算の光パワー（光出力）は１０ｍＷ／ｃｍ２であった。
上記洗浄後のガラス基板表面に、スピンナを用いて、上記で得られたネガ型感光性樹脂組成物１を塗布した後、１００℃で２分間、ホットプレート上で乾燥させ、膜厚２．４μｍ（例３のみ１．２μｍ）の乾燥膜を形成した。得られた乾燥膜に対して、３６５ｎｍ換算の露光パワー（露光出力）が３００ｍＷ／ｃｍ２である超高圧水銀ランプのＵＶ光を全面一括で照射した。この方法で、露光量が３０ｍＪ／ｃｍ２または５０ｍＪ／ｃｍ２となるように照射時間を調整して２種類の硬化膜を製造した。なお、いずれの場合も露光の際に、３３０ｎｍ以下の光はカットした。【０２２１】
次いで、上記露光処理後のガラス基板を２．３８％テトラメチル水酸化アンモニウム水溶液に１０秒間浸漬処理し、水により洗い流した後、乾燥させた。次いで、これをホットプレート上、２３０℃で６０分間加熱することにより、開口部のない硬化膜を得た。【０２２２】
（パターン膜１の製造）
１０ｃｍ四方のガラス基板をエタノールで３０秒間超音波洗浄し、次いで、５分間のＵＶ／Ｏ３処理を行った。ＵＶ／Ｏ３処理には、ＵＶ／Ｏ３発生装置としてＰＬ２００１Ｎ−５８（センエンジニアリング社製）を使用した。２５４ｎｍ換算の光パワー（光出力）は１０ｍＷ／ｃｍ２であった。【０２２３】
上記洗浄後のガラス基板表面に、スピンナを用いて、上記で得られたネガ型感光性樹脂組成物１を塗布した後、１００℃で２分間、ホットプレート上で乾燥させ、膜厚２．４μｍ（例３のみ１．２μｍ）の乾燥膜を形成した。得られた乾燥膜に対して、マスキング部（非露光部）が２．５ｃｍ×５ｃｍとなるフォトマスクを介して、３６５ｎｍ換算の露光パワー（露光出力）が３００ｍＷ／ｃｍ２である超高圧水銀ランプのＵＶ光を全面一括で照射した（露光量は３０ｍＪ／ｃｍ２または５０ｍＪ／ｃｍ２）。露光の際に、３３０ｎｍ以下の光はカットした。また、乾燥膜とフォトマスクとの離間距離は５０μｍとした。フォトマスクは、ライン／スペースが２０μｍ／５０μｍ、１０μｍ／５０μｍ、８μｍ／５０μｍ、６μｍ／５０μｍ、４μｍ／５０μｍの設計のものを使用した。【０２２４】
次いで、上記露光処理後のガラス基板を２．３８％テトラメチル水酸化アンモニウム水溶液に４０秒間浸漬して現像し、非露光部を水により洗い流し、乾燥させた。次いで、これをホットプレート上、２３０℃で６０分間加熱することにより、フォトマスクのマスキング部に対応した開口部を有する硬化膜としてパターン膜１を得た。【０２２５】
（パターン膜２の製造）
１０ｃｍ四方のガラス基板をエタノールで３０秒間超音波洗浄し、次いで、５分間のＵＶ／Ｏ３処理を行った。ＵＶ／Ｏ３処理には、ＵＶ／Ｏ３発生装置としてＰＬ２００１Ｎ−５８（センエンジニアリング社製）を使用した。２５４ｎｍ換算の光パワー（光出力）は１０ｍＷ／ｃｍ２であった。【０２２６】
上記洗浄後のガラス基板表面に、スピンナを用いて、上記で得られたネガ型感光性樹脂組成物１を塗布した後、１００℃で２分間、ホットプレート上で乾燥させ、膜厚２．４μｍ（例３のみ１．２μｍ）の乾燥膜を形成した。得られた乾燥膜に対して、マスキング部（非露光部）が２．５ｃｍ×５ｃｍとなるフォトマスクを介して、３６５ｎｍ換算の露光パワー（露光出力）が３００ｍＷ／ｃｍ２である超高圧水銀ランプのＵＶ光を全面一括で照射した（露光量は３０ｍＪ／ｃｍ２または５０ｍＪ／ｃｍ２）。露光の際に、３３０ｎｍ以下の光はカットした。また、乾燥膜とフォトマスクとの離間距離は５０μｍとした。フォトマスクは、ライン／スペースが２０μｍ／５０μｍ、１０μｍ／５０μｍ、８μｍ／５０μｍ、６μｍ／５０μｍ、４μｍ／５０μｍの設計のものを使用した。【０２２７】
次いで、上記露光処理後のガラス基板を２．３８％テトラメチル水酸化アンモニウム水溶液に２００秒間浸漬して現像し、非露光部を１．５ＭＰａの高圧水により１０秒洗い流し、乾燥させた。次いで、これをホットプレート上、２３０℃で６０分間加熱することにより、フォトマスクのマスキング部に対応した開口部を有する硬化膜としてパターン膜２を得た。【０２２８】
（パターン膜３の製造）
ガラス基板上にＩＴＯ層を有するＩＴＯ基板を用い、そのＩＴＯ層上に、スピンナを用いて、上記ネガ型感光性樹脂組成物１を塗布した後、１００℃で２分間ホットプレート上で乾燥させ、膜厚２．４μｍ（例３のみ１．２μｍ）の乾燥膜を形成した。得られた乾燥膜に対して、開口パターンを有するフォトマスク（遮光部が１００μｍ×２００μｍ、光透過部が２０μｍの格子状パターン）を介して、３６５ｎｍ換算の露光パワー（露光出力）が３００ｍＷ／ｃｍ２である超高圧水銀ランプのＵＶ光を全面一括照射した。露光の際に、３３０ｎｍ以下の光はカットした。また、乾燥膜とフォトマスクとの離間距離は５０μｍとした。各例において、露光条件は、露光時間が４秒間であり、露光量が１００ｍＪ／ｃｍ２であった。【０２２９】
次いで、上記露光処理後のガラス基板を２．３８質量％テトラメチル水酸化アンモニウム水溶液に４０秒間浸漬して現像し、非露光部を水により洗い流し、乾燥させた。次いで、ホットプレート上、２３０℃で６０分間加熱することにより、フォトマスクの開口パターンに対応したパターンを有する硬化膜としてパターン膜３を得た。【０２３０】
得られたネガ型感光性樹脂組成物１および硬化膜、パターン膜１〜３について、以下の評価を実施した。評価結果をネガ型感光性樹脂組成物１の組成とともに表３に示す。
（評価）
＜硬化膜の膜厚＞
レーザ顕微鏡（キーエンス社製、装置名：ＶＫ−８５００）を用いて測定した。【０２３１】
＜撥インク性＞
上記で得られた硬化膜上面のＰＧＭＥＡ接触角を下記の方法で測定し、撥インク性の評価とした。
静滴法により、ＪＩＳ  Ｒ３２５７「基板ガラス表面のぬれ性試験方法」に準拠して、硬化膜上面３ヶ所にＰＧＭＥＡ滴を載せ、各ＰＧＭＥＡ滴について測定した。液滴は２μＬ／滴とし、測定は２０℃で行った。接触角は、３測定値の平均値から求めた。
上記で得られた硬化膜上面のＰＧＭＥＡ接触角を上記の方法で測定した。【０２３２】
◎：接触角４５度以上
○：接触角４０度以上、４５度未満
△：接触角３５度以上、４０度未満
×：接触角３５度未満【０２３３】
＜パターン形成性＞
パターン膜１に関し、下記の基準でパターン形成性を評価した。ライン／スペースが２０μｍ／５０μｍのライン部分の線幅を測定した。
◎：マスク寸法に対し、±３μｍ以内の線幅である。
○：マスク寸法に対し、±３μｍ超５μｍ以内の線幅である。
×：マスク寸法に対し、線幅が±５μｍ超である、または、剥離が生じた。【０２３４】
＜現像時間（２００秒）残し解像度＞
パターン膜２に関し、下記の基準で長時間現像に対する耐剥離性を評価した。
◎：少なくとも１０μｍの線幅のラインが残っている。
○：少なくとも２０μｍの線幅のラインが残っている。
×：すべてのライン／スペースサンプルにおいてライン部分が剥離した。【０２３５】
＜開口部残渣＞
パターン膜３付きのＩＴＯ基板における開口部の中央部分について以下の条件でＸ線光電子分光法（ＸＰＳ）により表面解析を行った。ＸＰＳにより測定された開口部表面のＦ／Ｉｎ値（Ｆ１ｓ／Ｉｎ３ｄ５；炭素原子濃度に対するインジウム原子濃度の比の値）が１．０未満のものを「◎」、１．０〜２．０のものを「○」、２．０以上のものを「×」とした。【０２３６】
[ＸＰＳの条件]
装置：アルバックファイ社製Ｑｕａｎｔｅｒａ‐ＳＸＭ
Ｘ線源：Ａｌ  Ｋα
Ｘ線のビームサイズ：約２０μｍφ
測定エリア：約２０μｍφ
検出角：試料面から４５°
測定ピーク：Ｆ１ｓ
測定時間（Ａｃｑｕｉｒｅｄ  Ｔｉｍｅとして）：５分以内
解析ソフト：ＭｕｌｔｉＰａｋ【０２３７】
［例２〜１３］
例１において、ネガ型感光性樹脂組成物を表３、表４または表５に示す組成に変更した以外は、同様の方法で、ネガ型感光性樹脂組成物および隔壁、硬化膜を製造し、例１と同様の評価を行った。各例の評価結果をそれぞれネガ型感光性樹脂組成物の組成とともに表３、表４および表５に示す。【０２３８】
【表３】
0006536578.tif 000019
【０２３９】
【表４】
0006536578.tif 000020
【０２４０】
【表５】
0006536578.tif 000021
【０２４１】
本発明のネガ型感光性樹脂組成物の実施例に相当する例１〜１０では、不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、酸発生剤（Ｃ）および酸硬化剤（Ｄ）を含有することから、露光量が３０ｍＪ／ｃｍ２のように低露光量であっても高い撥液性が得られた。また、露光量５０ｍＪ／ｃｍ２あっても線幅が太りにくく、パターン形成性が良好である。【０２４２】
一方、比較例に相当する例１１、１２では、光重合開始剤（Ｂ）、酸発生剤（Ｃ）のいずれか一方を含有しないため、露光量が３０ｍＪ／ｃｍ２のように低露光量の場合に、撥液性が不充分であった。そのため、硬化膜上面は撥インク性が不充分であった。比較例に相当する例１３では、光重合開始剤（Ｂ）を増量したため、撥液性は十分であったが、酸発生剤（Ｃ）を含有しないため露光量が３０ｍＪ／ｃｍ２のように低露光量の場合でも、線幅が太りやすく、パターン形成性が不足していた。
【符号の説明】
【０２４３】
１…基板、２１…塗膜、２２…乾燥膜、２３…露光膜、２３Ａ…露光部、２３Ｂ…非露光部、４…隔壁、４Ａ…撥インク層、５…開口部、３１…マスキング部、３０：フォトマスク、９…インクジェットヘッド、１０…インク、１１…ドット、１２…光学素子。
【図１Ａ】
0006536578.tif 000022
【図１Ｂ】
0006536578.tif 000023
【図１Ｃ】
0006536578.tif 000024
【図１Ｄ】
0006536578.tif 000025
【図２Ａ】
0006536578.tif 000026
【図２Ｂ】
0006536578.tif 000027