(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスタービン用部材である母材の表面に形成されたＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ、及びＹによって構成された金属間化合物を含む金属結合層であるアンダーコート層を除去する酸洗処理方法であって、
前記アンダーコート層に塩酸が添加された酸洗液を接触させる塩酸添加工程と、
前記アンダーコート層にフッ素イオンを含む酸洗液を接触させるフッ素イオン酸洗処理工程とを含む酸洗処理方法。
【請求項２】
前記フッ素イオン酸洗処理工程は、前記塩酸添加工程後に実施される請求項１に記載の酸洗処理方法。
【請求項３】
前記フッ素イオン酸洗処理工程は、前記塩酸が添加された酸洗液から発生する水素の発生量が予め定めた基準値を下回った場合に実施される請求項２に記載の酸洗処理方法。
【請求項４】
前記フッ素イオン酸洗処理工程を実施後に、前記フッ素イオンを含む酸洗液に硝酸を添加する硝酸添加工程を含む請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の酸洗処理方法。
【請求項５】
前記フッ素イオンを含む酸洗液は、テトラフルオロホウ酸が添加されている請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の酸洗処理方法。
【請求項６】
ガスタービン用部材である母材の表面に形成されたＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ、及びＹによって構成された金属間化合物を含む金属結合層であるアンダーコート層を除去する酸洗処理方法であって、
塩酸が添加された酸洗液を前記アンダーコート層に接触させる塩酸添加工程と、
前記塩酸添加工程を実施後に、前記塩酸が添加された酸洗液に硝酸を添加する硝酸添加工程を含む酸洗処理方法。
【請求項７】
運転後のガスタービン用部材から表面のＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ、及びＹによって構成された金属間化合物を含む金属結合層であるアンダーコート層と前記アンダーコート層との表面に形成されたトップコート層とを除去するコーティング除去方法であって、
前記トップコート層を除去するトップコート層除去工程と、
前記トップコート層除去工程後に実施される請求項１から請求項６のいずれ一項に記載の酸洗処理方法と、を含むコーティング除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸洗処理方法、及びこれを含むコーティング除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスタービンは効率向上を目的として運転温度が年々高くなってきている。このような高温化に対処するために、例えばガスタービン翼や燃焼器等の高温状態に曝されるガスタービン用部材の表面には、遮熱を目的としたコーティング層（ＴＢＣ：Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｂａｒｒｉｅｒ  Ｃｏａｔｉｎｇ）が形成されている。
【０００３】
このようなコーティング層は、ガスタービン用部材の母材上に形成されて合金からなるアンダーコート層と、アンダーコート層上に形成されてセラミックスからなるトップコート層とから構成されている。
【０００４】
ここで、運転後のガスタービン用部材の補修の際には、ガスタービン用部材の母材上に形成されたコーティング層を剥離させた後、改めて母材上に新たなアンダーコート層、トップコート層を形成することによりコーティング層を再生する。
【０００５】
コーティング層の剥離方法として、例えば、特許文献１に塩酸等を含む強酸性水溶液に対して、表面に溶射膜が形成された母材を浸漬させる酸洗処理方法が記載されている。この酸洗処理方法は、強酸性水溶液中の電位を測定し、測定した電位の変化に基づいて酸洗処理を終了する。これにより、この酸洗処理方法では、母材を腐食させずに被膜を除去している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１８０５４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記のようなコーティング層は、母材とアンダーコート層との界面にアンダーコート層を組成する金属間化合物が拡散した拡散層が形成されている。この拡散層は、長期間に渡って高温環境下に置かれることで酸化する。
【０００８】
しかしながら、酸化した拡散層は、従来の酸洗処理で使用される塩酸では溶解し難い。そのため、アンダーコート層を塩酸で溶解させた場合には、拡散層に達した時点で溶解速度が低下してしまい、アンダーコート層の除去が終了するまでの洗浄時間が長くなってしまう。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、アンダーコート層を短時間で除去することが可能な酸洗処理方法、及びこれを含むコーティング除去方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提案している。
本発明の第一の態様における酸洗処理方法は、ガスタービン用部材である母材の表面に形成されたＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ、及びＹによって構成された金属間化合物を含む金属結合層であるアンダーコート層を除去する酸洗処理方法であって、前記アンダーコート層に塩酸が添加された酸洗液を接触させる塩酸添加工程と、前記アンダーコート層にフッ素イオンを含む酸洗液を接触させるフッ素イオン酸洗処理工程とを含む。
【００１１】
上記構成によれば、塩酸添加工程によって塩酸が添加された酸洗液でアンダーコート層の一部を除去し、フッ素イオン酸洗処理工程で酸洗液中のフッ素イオンでアンダーコート層の拡散層及を除去することができる。したがって、塩酸では溶解しづらい拡散層をフッ素イオンを含む酸洗液で除去することができる。
【００１２】
また、上記酸洗処理方法では、前記フッ素イオン酸洗処理工程は、前記塩酸添加工程後に実施されてもよい。
【００１３】
上記構成によれば、フッ素イオン酸洗処理工程が塩酸添加工程の後に実施されることで、アンダーコート層の一部が除去されて露出した拡散層にフッ素イオンを含む酸洗液を接触させることができる。したがって、フッ素イオンを効率的に拡散層の除去に使用することができ、フッ素イオンの使用量を低減することができる。
【００１４】
また、上記酸洗処理方法では、前記フッ素イオン酸洗処理工程は、前記塩酸が添加された酸洗液から発生する水素の発生量が予め定めた基準値を下回った場合に実施されてもよい。
【００１５】
上記構成によれば、塩酸が添加された酸洗液から発生する水素の発生量が予め定めた基準値を下回った場合にフッ素イオン酸洗処理工程を実施することで、拡散層が露出していることを確認してから、フッ素イオンを含む酸洗液を接触させることができる。したがって、フッ素イオンを効率的に拡散層及びその近傍の除去に使用することができ、フッ素イオンの使用量をより低減することができる。
【００１６】
また、上記酸洗処理方法では、前記フッ素イオン酸洗処理工程を実施後に、前記酸洗液に硝酸を添加する硝酸添加工程を含んでいてもよい。
【００１７】
上記構成によれば、酸洗液に硝酸を添加することで、酸洗液中に反応性の高い塩化ニトロシルを形成することができる。酸洗液中に塩化ニトロシルが形成されることで、拡散層に含まれるＣｒの溶解を促進することができる。その結果、洗浄時間を短縮することができる。
【００１８】
また、上記酸洗処理方法では、前記フッ素イオンを含む酸洗液は、テトラフルオロホウ酸が添加されていてもよい。
【００１９】
上記構成によれば、フッ素イオン酸洗処理工程で、テトラフルオロホウ酸が添加された酸洗液をアンダーコート層に接触させることで、フッ酸を直接添加する場合に比べて揮散ロスを低減することができる。
【００２０】
また、本発明の第二の態様における酸洗処理方法は、ガスタービン用部材である母材の表面に形成されたＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ、及びＹによって構成された金属間化合物を含む金属結合層であるアンダーコート層を除去する酸洗処理方法であって、塩酸が添加された酸洗液を前記アンダーコート層に接触させる塩酸添加工程と、前記塩酸添加工程を実施後に、前記塩酸が添加された酸洗液に硝酸を添加する硝酸添加工程を含む。
【００２１】
上記構成によれば、酸洗液に硝酸を添加することで、酸洗液中に反応性の高い塩化ニトロシルを形成することができる。酸洗液中に塩化ニトロシルが形成されることで、拡散層に含まれるＣｒの溶解を促進することができる。その結果、洗浄時間を短縮することができる。
【００２２】
また、本発明の第三の態様におけるコーティング除去方法は、転後のガスタービン用部材から表面のＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ、及びＹによって構成された金属間化合物を含む金属結合層であるアンダーコート層と前記アンダーコート層との表面に形成されたトップコート層とを除去するコーティング除去方法であって、前記トップコート層を除去するトップコート層除去工程と、前記トップコート層除去工程後に実施される前記酸洗処理方法と、を含む。
【００２３】
上記構成によれば、母材上のトップコート層を除去した後に、アンダーコート層を短時間で除去できるため、コーティング層を効率的に除去することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、フッ素イオンによって拡散層を溶解することで、アンダーコート層を短時間で除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第一実施形態におけるコーティング除去方法の工程を説明するフロー図である。
【図２】本発明の酸洗処理方法のアンダーコート層の溶解量と洗浄時間との関係を示すグラフである。
【図３】本発明の第二実施形態におけるコーティング除去方法の工程を説明するフロー図である。
【図４】本発明の第三実施形態におけるコーティング除去方法の工程を説明するフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
《第一実施形態》
以下、本発明に係る実施形態について図１及び図２を参照して説明する。
図１は、本発明の第一実施形態におけるコーティング除去方法の工程を説明するフロー図である。図２は、本発明の酸洗処理方法のアンダーコート層の溶解量と洗浄時間との関係を示すグラフである。
【００２７】
本実施形態のコーティング除去方法Ｓ１００は、例えば、ガスタービン翼（ガスタービン動翼、ガスタービン静翼）や燃焼器等の運転後のガスタービン用部材を母材として、表面に形成されたコーティング層を剥離する方法である。
【００２８】
ガスタービン用部材はガスタービンの運転中に高温環境に曝されるため、その表面に遮熱を目的としたコーティング層（ＴＢＣ）が形成されている。このコーティング層は、母材であるガスタービン用部材の表面に積層されて合金を含む金属結合層であるアンダーコート層と、アンダーコート層上に積層されてセラミックスを含むトップコート層とを有する。
【００２９】
アンダーコート層は、Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｙ等によって構成された金属間化合物を含む金属結合層である。アンダーコート層は、トップコート層が積層されているトップコート層側が金属間化合物によって構成された表層部Ｘとなっており、母材との界面には表層の組成の一部が母材へ拡散した拡散層Ｙとなっている。つまり、拡散層Ｙは、アンダーコート層の一部であって、アンダーコート層の組成の一部が母材へ拡散した層である。
【００３０】
所定時間にわたってガスタービンの運転を行った後、ガスタービン用部材を補修する際には、ガスタービン用部材からコーティング層を剥離させた後、改めてガスタービン用部材の表面にコーティング層を再生する。本実施形態のコーティング除去方法Ｓ１００は、このような補修の際にガスタービン用部材の表面からコーティング層を剥離させるために用いられる。
【００３１】
本実施形態のコーティング除去方法Ｓ１００では、図１に示すように、トップコート層を除去するトップコート層除去工程Ｓ１と、トップコート層除去工程Ｓ１後にアンダーコート層を酸洗処理によって除去する酸洗処理方法Ｓ１０とを含んでいる。
【００３２】
トップコート層除去工程Ｓ１は、トップコート層が形成されたガスタービン用部材にブラストを行い、トップコート層を除去する。トップコート層除去工程Ｓ１は、投射材としての流体をガスタービン用部材の表面に衝突させることによって行われる。具体的には、投射材として砂や金属系の粉粒体やセラミック系の粉粒体を、圧縮空気によりガスタービンの表面に向かって噴射する。トップコート層除去工程Ｓ１は、ガスタービン用部材の表面のトップコート層を剥離させ、アンダーコート層を露出させる。
【００３３】
酸洗処理方法Ｓ１０は、アンダーコート層に塩酸が添加された酸洗液を接触させる塩酸添加工程Ｓ１１と、塩酸添加工程Ｓ１１が終了したか否かを判定する判定工程Ｓ１２と、アンダーコート層にフッ素イオンを含む酸洗液を接触させるフッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３とを含む。
【００３４】
塩酸添加工程Ｓ１１は、酸洗液に塩酸を添加し、この酸洗液にガスタービン用部材を浸漬することで施される。酸洗処理工程は、塩酸が添加された酸洗液にガスタービン用部材を接触させることで、アンダーコート層に含まれる金属間化合物を溶解させて、アンダーコート層の表層部Ｘを除去する。つまり、酸洗処理工程は、アンダーコート層と母材であるガスタービン用部材の表面との界面に形成される拡散層Ｙの近傍まで表層部Ｘを溶解する。
【００３５】
判定工程Ｓ１２は、フッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３を実施するか否かを判定する。本実施形態の判定工程Ｓ１２は、塩酸が添加された酸洗液から発生する水素の発生量が予め定めた基準値を下回っているか否かを判定する。判定工程Ｓ１２は、塩酸添加工程Ｓ１１によって拡散層Ｙの近傍までアンダーコート層が除去されて、拡散層Ｙが露出しているかを判定する。具体的には、塩酸添加工程Ｓ１１ではアンダーコート層の表層部Ｘが溶解されている間は、ガスタービン用部材を浸漬された塩酸が添加された酸洗液から一定量の水素が発生し続ける。そこで、本実施形態の判定工程Ｓ１２は、塩酸が添加された酸洗液に生じる水素の気泡を目視で確認し、気泡の量が基準値を下回っているか否かを判定する。これにより、判定工程Ｓ１２は、表層部Ｘが拡散層Ｙの近傍まで溶解されて、拡散層Ｙ及びその近傍が露出しているかを確認する。
【００３６】
なお、判定工程Ｓ１２で水素の発生量が予め定めた基準値を下回っているか否かを判定する方法は、本実施形態のように目視で確認する方法に限定されるものではなく、水素の発生量を確認できる方法であればよい。判定工程Ｓ１２では、例えば、センサーを用いて確認してもよい。
【００３７】
フッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３は、フッ素イオンを含む酸洗液である酸性水溶液にガスタービン用部材を浸漬することで施される。本実施形態のフッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３は、判定工程Ｓ１２で、塩酸が添加された酸洗液から発生する水素の発生量が予め定めた基準値を下回って、拡散層Ｙの近傍までアンダーコート層が除去されたと判定された場合に実施される。フッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３は、塩酸が添加された酸洗液にフッ酸を添加し、フッ素イオンが含まれる酸洗液を生成する。本実施形態のフッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３で添加されるフッ酸の添加量は、０．１％〜３．０％となることが好ましい。フッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３は、２時間から３時間程度にわたって実施されることが好ましい。
【００３８】
フッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３では、酸洗液中のフッ素イオンによって拡散層Ｙ中の組成物であるＡｌ，Ｙ，Ｃｒが、以下の式１から式３に従って酸洗液中で溶解する。
Ａｌ３＋＋３Ｆ−→ＡｌＦ３・・・（式１）
Ｙ３＋＋３Ｆ−→ＹＦ３・・・（式２）
Ｃｒ３＋＋Ｆ−→ＣｒＦ２＋・・・（式３）
【００３９】
上記のような第一実施形態のコーティング除去方法Ｓ１００によれば、塩酸添加工程Ｓ１１によって塩酸が添加された酸洗液でアンダーコート層の表層部Ｘを除去し、フッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３で酸洗液中にフッ酸を添加することで、酸洗液中のフッ素イオンで拡散層Ｙ及びその近傍を除去することができる。したがって、表層部Ｘを塩酸で除去しながら、塩酸では溶解しづらい拡散層Ｙをフッ素イオンを含む酸洗液で除去することができる。
【００４０】
ガスタービン用部材が所定時間にわたってガスタービンで使用されることで、アンダーコート層は、長時間にわたって高温環境下に曝される。そのため、アンダーコート層の拡散層Ｙ及びその近傍では、ＡｌやＮｉやＣｒが酸化してしまい、塩酸では溶解しづらい組成となってしまう。これにより、図２に示す様に、塩酸が添加された酸洗液のみでアンダーコート層を溶解させようとした場合には、洗浄時間が拡散層Ｙ及びその近傍まで溶解が進むα点に達すると、溶解速度が低下してしまう。その結果、アンダーコート層を除去し終わる洗浄時間がＢ点となってしまい、洗浄時間が長時間となってしまう。
【００４１】
ところが、本実施形態のようにフッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３を実施することで、α点に達した後に、酸化したＡｌやＮｉやＣｒをフッ素イオンで溶解させることができ、溶解速度の低下を抑制することができる。その結果、アンダーコート層を除去し終わるまでの洗浄し時間がＡ点となり、塩酸が添加された酸洗液のみでアンダーコート層を除去する場合に比べて、洗浄時間を短縮することができる。つまり、アンダーコート層の表層部Ｘを塩酸が添加された酸洗液で除去しながら、フッ素イオンを含む酸洗液によって拡散層Ｙを効率的に除去することができる。これにより、アンダーコート層を短時間で除去することができる。
【００４２】
また、フッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３が塩酸添加工程Ｓ１１の後に実施されることで、アンダーコート層の表層部Ｘが除去された後に酸洗液にフッ酸が添加される。そのため、表層部Ｘが除去されて露出した拡散層Ｙ及びその近傍にフッ素イオンを含む酸洗液を接触させることができる。したがって、酸洗液中のフッ素イオンを効率的に拡散層Ｙ及びその近傍の除去に使用することができ、フッ素イオンの使用量を低減することができる。これにより、添加するフッ酸の量を低減できる。
【００４３】
また、判定工程Ｓ１２で塩酸が添加された酸洗液から発生する水素の発生量が予め定めた基準値を下回ったか否かを判定することで、アンダーコート層の表層部Ｘが除去されて、拡散層Ｙ及びその近傍が露出している状態となっているかを判定して確認することができる。そのため、判定工程Ｓ１２後にフッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３を実施することで、拡散層Ｙ及びその近傍が露出していることを確認してから、フッ素イオンを含む酸洗液を接触させることができる。したがって、フッ素イオンを効率的に拡散層Ｙ及びその近傍の除去に使用することができ、フッ素イオンの使用量をより低減することができる。これにより、添加するフッ酸の量をより低減できる。
【００４４】
また、本実施形態のコーティング除去方法Ｓ１００では、母材上のトップコート層を除去した後に、アンダーコート層を短時間で除去できるため、コーティング層を効率的に除去することができる。
【００４５】
《第二実施形態》
次に、図３を参照して第二実施形態のコーティング除去方法Ｓ２００及び酸洗処理方法Ｓ２０について説明する。
第二実施形態においては第一実施形態と同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。この第二実施形態では、酸洗処理方法Ｓ２０が第一実施形態と相違する。
【００４６】
図３は、本発明の第二実施形態におけるコーティング除去方法Ｓ２００の工程を説明するフロー図である。
【００４７】
第二実施形態のコーティング除去方法Ｓ２００では、図３に示すように、第一実施形態と同様のトップコート層除去工程Ｓ１と、テトラフルオロホウ酸及び硝酸が添加された酸洗液を用いて酸洗処理する酸洗処理方法Ｓ２０とを含んでいる。
【００４８】
第二実施形態の酸洗処理方法Ｓ２０は、第一実施形態と同様の塩酸添加工程Ｓ１１と、テトラフルオロホウ酸を添加して形成したフッ素イオンを含む酸洗液をアンダーコート層に接触させるフッ素イオン酸洗処理工程Ｓ２３と、フッ素イオンを含む酸洗液に硝酸を添加する硝酸添加工程２４とを含んでいる。
【００４９】
第二実施形態のフッ素イオン酸洗処理工程Ｓ２３は、塩酸添加工程Ｓ１１を実施後の塩酸が添加された酸洗液中に、テトラフルオロホウ散を添加する。第二実施形態のフッ素イオン酸洗処理工程Ｓ２３で添加されるテトラフルオロホウ散は、フッ酸の沸点が１９．５℃であるのに対して、沸点が１３０℃となっている。酸洗液に添加されるテトラフルオロホウ酸の添加量は、０．１％〜３．０％となることが好ましい。フッ素イオン酸洗処理工程Ｓ２３では、酸洗液中に添加されたテトラフルオロホウ散は、以下の式４のように、酸洗液中で分解してフッ酸が形成される。
ＢＦ４−＋３Ｈ２Ｏ＋Ｈ＋→Ｂ（ＯＨ）３＋４ＨＦ・・・（式４）
【００５０】
硝酸添加工程２４は、フッ素イオン酸洗処理工程Ｓ２３を実施後に、フッ素イオンを含む酸洗液に硝酸を添加する。第二実施形態の硝酸添加工程２４で酸洗液に添加される硝酸の添加量は、２．５％〜７．５％の範囲であることが好ましく、５.０％となることがより好ましい。硝酸添加工程２４では、硝酸が酸洗液中で分解して塩化ニトロシルが形成される。
【００５１】
上記のような第二実施形態のコーティング除去方法Ｓ２００や酸洗処理方法Ｓ２０によれば、フッ素イオン酸洗処理工程Ｓ２３で、フッ酸ではなく、テトラフルオロホウ酸が添加された酸洗液をアンダーコート層に接触させることで、揮散ロスを低減することができる。具体的には、通常の酸洗処理は酸洗液の温度を６０℃程度にして実施されるために、沸点が１９．５℃のフッ酸を直接添加した場合には、多くのフッ酸が揮発してしまい、洗浄時間の経過と共に酸洗液中のフッ酸濃度が低下してしまう。一方、沸点が１３０℃のテトラフルオロホウ酸を添加した場合には、６０℃程度の酸洗液中に添加されてもほとんど揮発することがないため、揮発ロスを軽減することができる。これにより、洗浄時間の経過に伴う酸洗液中のフッ酸濃度の低下が抑制され、効率よくアンダーコート層を除去することができる。
【００５２】
また、沸点の高いテトラフルオロホウ酸を用いてフッ素イオン酸洗処理工程Ｓ２３を実施することで、高温の酸洗液で酸洗処理を実施でき、洗浄効率を向上させることができる。
また、テトラフルオロホウ酸はフッ酸と比較して毒性が低いため、直接フッ酸を添加する場合に比べて取扱が容易になる。
【００５３】
また、硝酸添加工程２４で、フッ素イオン酸洗処理工程Ｓ２３を実施後に、酸洗液に硝酸を添加することで、酸洗液中に反応性の高い塩化ニトロシルを形成することができる。酸洗液中に塩化ニトロシルが形成されることで、拡散層Ｙ及びその近傍に含まれる酸化したＣｒの溶解を促進することができる。その結果、フッ素イオンを含む酸洗液でアンダーコート層を除去する場合に比べて、洗浄時間をさらに短縮することができる。
【００５４】
《第三実施形態》
次に、図４を参照して第三実施形態のコーティング除去方法Ｓ３００及び酸洗処理方法Ｓ３０について説明する。
第三実施形態においては第一実施形態及び第二実施形態と同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。この第三実施形態では、酸洗処理方法Ｓ３０が第一実施形態及び第二実施形態と相違する。
【００５５】
図４は、本発明の第三実施形態におけるコーティング除去方法Ｓ３００の工程を説明するフロー図である。
【００５６】
第三実施形態のコーティング除去方法Ｓ３００では、図４に示すように、第一実施形態と同様のトップコート層除去工程Ｓ１と、が添加された酸洗液を用いて酸洗処理する酸洗処理方法Ｓ３０とを含んでいる。
【００５７】
第三実施形態の酸洗処理方法Ｓ３０は、第一実施形態と同様の塩酸添加工程Ｓ１１と、フッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３、Ｓ２３を実施せずに実施される硝酸添加工程３４とを含んでいる。
【００５８】
第三実施形態の硝酸添加工程３４は、塩酸添加工程Ｓ１１を実施後に、塩酸を含む酸洗液に硝酸を添加する。第三実施形態の硝酸添加工程３４で酸洗液に添加される硝酸の添加量は、第二実施形態と同様に、２．５％〜７．５％の範囲であることが好ましく、５.０％となることがより好ましい。硝酸添加工程３４では、硝酸が酸洗液中で分解して塩化ニトロシルが形成される。
【００５９】
上記のような第三実施形態のコーティング除去方法Ｓ３００や酸洗処理方法Ｓ３０によれば、硝酸添加工程３４で、塩酸添加工程Ｓ１１を実施後に、酸洗液に硝酸を添加することで、酸洗液中に反応性の高い塩化ニトロシルを形成することができる。酸洗液中に塩化ニトロシルが形成されることで、拡散層Ｙ及びその近傍に含まれる酸化したＣｒの溶解を促進することができる。その結果、塩酸が添加された酸洗液のみでアンダーコート層を除去する場合に比べて、洗浄時間を短縮することができる。
【００６０】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、各実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。また、本発明は実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。
【００６１】
なお、例えば、第一実施形態の判定工程Ｓ１２は、第二実施形態や第三実施形態の塩酸添加工程Ｓ１１後に実施されてもよく、第二実施形態の硝酸添加工程３４は、第一実施形態のフッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３後に実施されてもよい。
【００６２】
また、塩酸添加工程Ｓ１１とフッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３、Ｓ２３とを同時に実施して、酸洗液に塩酸とフッ酸やテトラフルオロホウ酸とを同時に添加してもよい。
また、添加される塩酸、フッ酸、テトラフルオロホウ酸、硝酸は酸洗処理が実施されることで消耗するため、洗浄時間や酸洗液中の濃度に応じて、追加してもよい。
【００６３】
また、第一実施形態及び第二実施形態のフッ素イオン酸洗処理工程Ｓ１３、Ｓ２３は、フッ素イオンを含む酸洗液のフッ化物イオン濃度測定を実施しながら行ってもよい。その際、フッ化物イオン濃度測定は、イオンメータによって測定する。
【符号の説明】
【００６４】
Ｓ１００、Ｓ２００、Ｓ３００…コーティング除去方法  Ｓ１…トップコート層除去工程  Ｓ１０、Ｓ２０、Ｓ３０…酸洗処理方法  １１…塩酸添加工程  １２…判定工程  Ｓ１３、Ｓ２３…フッ化イオン酸洗処理工程  Ｓ２４、Ｓ３４…硝酸添加工程  Ｘ…表層部  Ｙ…拡散層
【図１】
0006501246.tif 000002
【図２】
0006501246.tif 000003
【図３】
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【図４】
0006501246.tif 000005