(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心から外周までの距離が一定でない板状ワークの一方の面に所定の加工を施すため液状樹脂を押圧手段で押圧させ他方の面全面に押し広げた液状樹脂を硬化させ他方の面全面を保護する樹脂層を形成する保護部材の形成方法であって、
ステージ及び押圧手段のいずれか一方で板状ワークを保持し、ステージ上の板状ワークの中心又はステージの中心に所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、
該樹脂供給工程の後、該樹脂供給工程で供給した液状樹脂が押圧手段で押し広げられる際に板状ワークの外周まで液状樹脂が到達しないエリアに周辺樹脂を配置する周辺樹脂配置工程と、
該樹脂供給工程と該周辺樹脂配置工程との後、板状ワークの中心と該ステージの中心とを一致させ、該樹脂供給工程で供給した液状樹脂と該周辺樹脂配置工程で配置した周辺樹脂とを該押圧手段で押し広げ、該周辺樹脂が該樹脂供給工程で供給した液状樹脂の広がりをサポートして板状ワークの他方の面全面に液状樹脂を押し広げる拡張工程と、
該拡張工程で押し広げられた液状樹脂を硬化させる硬化工程と、からなり、
該周辺樹脂配置工程において、該樹脂供給工程で供給した液状樹脂の外周から離れた位置に該周辺樹脂を複数点在させ、該周辺樹脂は該樹脂供給工程で供給した液状樹脂よりも厚みが小さい保護部材の形成方法。
【請求項２】
矩形状の板状ワークの一方の面に所定の加工を施すため液状樹脂を押圧手段で押圧させ他方の面全面に押し広げた液状樹脂を硬化させ他方の面全面を保護する樹脂層を形成する保護部材の形成方法であって、
ステージ及び押圧手段のいずれか一方で板状ワークを保持し、ステージ上の板状ワークの中心又はステージの中心に所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、
該樹脂供給工程の後、該樹脂供給工程で供給した液状樹脂が押圧手段で押し広げられる際に板状ワークの外周まで液状樹脂が到達しないエリアに周辺樹脂を配置する周辺樹脂配置工程と、
該樹脂供給工程と該周辺樹脂配置工程との後、板状ワークの中心と該ステージの中心とを一致させ、該樹脂供給工程で供給した液状樹脂と該周辺樹脂配置工程で配置した周辺樹脂とを該押圧手段で押し広げ、該周辺樹脂が該樹脂供給工程で供給した液状樹脂の広がりをサポートして板状ワークの他方の面全面に液状樹脂を押し広げる拡張工程と、
該拡張工程で押し広げられた液状樹脂を硬化させる硬化工程と、からなり、
該周辺樹脂配置工程において、該樹脂供給工程で供給した液状樹脂を延ばし部で板状ワークの対角線に沿って延ばすことで該周辺樹脂が該液状樹脂から外周に向かって下方に傾斜するように形成される保護部材の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを保護する保護部材の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面に凸凹が形成された板状ワークを所定の厚みに研削するために、凸凹面に液状樹脂を塗布して凸凹面を平坦に均す方法が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。特許文献１、２では、ステージ上に載置された保護シートの上に液状樹脂を滴下し、円形の板状ワークをステージに対向させて液状樹脂の中心と板状ワークの中心とが一致するように板状ワークが液状樹脂に押しつけられる。これにより、板状ワークの一方の面全体に液状樹脂が押し広げられ、液状樹脂が硬化されると、板状ワークの一方の面には硬化された樹脂層及び保護シートによって保護部材が形成される。保護部材が形成された面は平坦に均されるため、保護部材（保護シート）を保持した状態で板状ワークの他方の面を研削することで研削厚みを均一にすることが可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１４３７２３号公報
【特許文献２】特開２０１２−１４３７２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１、２では、加工対象が円形の板状ワークであるため、液状樹脂に板状ワークを押し付けることで、液状樹脂を板状ワークの中心から外周に向かって全面に行き渡らせることができる。しかしながら、板状ワークが矩形状等の特殊な形状を有する場合、板状ワークの中心から外縁部までの距離が場所によって異なる。このため、板状ワークの中心から外側に向かって液状樹脂が押し広げられると、板状ワークの中心から外縁部までの距離が短い部分において、液状樹脂が板状ワークの外縁部からはみ出てしまい、液状樹脂を全面に行き渡らせることができないという問題があった。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、板状ワークの形状によらず、板状ワークの全面に液状樹脂を塗布することができる保護部材の形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の保護部材の形成方法は、中心から外周までの距離が一定でない板状ワークの一方の面に所定の加工を施すため液状樹脂を押圧手段で押圧させ他方の面全面に押し広げた液状樹脂を硬化させ他方の面全面を保護する樹脂層を形成する保護部材の形成方法であって、ステージ及び押圧手段のいずれか一方で板状ワークを保持し、ステージ上の板状ワークの中心又はステージの中心に所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、樹脂供給工程の後、樹脂供給工程で供給した液状樹脂が押圧手段で押し広げられる際に板状ワークの外周まで液状樹脂が到達しないエリアに周辺樹脂を配置する周辺樹脂配置工程と、樹脂供給工程と周辺樹脂配置工程との後、板状ワークの中心とステージの中心とを一致させ、樹脂供給工程で供給した液状樹脂と周辺樹脂配置工程で配置した周辺樹脂とを押圧手段で押し広げ、周辺樹脂が樹脂供給工程で供給した液状樹脂の広がりをサポートして板状ワークの他方の面全面に液状樹脂を押し広げる拡張工程と、拡張工程で押し広げられた液状樹脂を硬化させる硬化工程と、からなり、周辺樹脂配置工程において、樹脂供給工程で供給した液状樹脂の外周から離れた位置に周辺樹脂を複数点在させ、周辺樹脂は樹脂供給工程で供給した液状樹脂よりも厚みが小さいことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、樹脂供給工程によって板状ワークの中心に液状樹脂が供給され、周辺樹脂配置工程によって板状ワークの中心から離れた位置に周辺樹脂が配置される。拡張工程において、液状樹脂及び周辺樹脂が押し広げられ、液状樹脂の広がりが周辺樹脂によってサポートされる。これにより、樹脂供給工程で供給された液状樹脂単体では到達しない板状ワークの外周までのエリアにも液状樹脂を拡張させることができる。そして、硬化工程によって液状樹脂及び周辺樹脂を硬化させることにより、板状ワークの全面に保護部材を形成することができる。このように、板状ワークの形状によらず、板状ワークの全面に液状樹脂を塗布して保護部材を形成することができる。
【０００９】
また、本発明の他の保護部材の形成方法において、矩形状の板状ワークの一方の面に所定の加工を施すため液状樹脂を押圧手段で押圧させ他方の面全面に押し広げた液状樹脂を硬化させ他方の面全面を保護する樹脂層を形成する保護部材の形成方法であって、ステージ及び押圧手段のいずれか一方で板状ワークを保持し、ステージ上の板状ワークの中心又はステージの中心に所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、樹脂供給工程の後、樹脂供給工程で供給した液状樹脂が押圧手段で押し広げられる際に板状ワークの外周まで液状樹脂が到達しないエリアに周辺樹脂を配置する周辺樹脂配置工程と、樹脂供給工程と周辺樹脂配置工程との後、板状ワークの中心とステージの中心とを一致させ、樹脂供給工程で供給した液状樹脂と周辺樹脂配置工程で配置した周辺樹脂とを押圧手段で押し広げ、周辺樹脂が樹脂供給工程で供給した液状樹脂の広がりをサポートして板状ワークの他方の面全面に液状樹脂を押し広げる拡張工程と、拡張工程で押し広げられた液状樹脂を硬化させる硬化工程と、からなり、周辺樹脂配置工程において、樹脂供給工程で供給した液状樹脂を延ばし部で板状ワークの対角線に沿って延ばすことで周辺樹脂が液状樹脂から外周に向かって下方に傾斜するように形成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、板状ワークの形状によらず、板状ワークの全面に液状樹脂を塗布して保護部材を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施の形態に係る保護部材形成装置の模式図である。
【図２】本実施の形態に係る樹脂供給工程の一例を示す模式図である。
【図３】本実施の形態に係る周辺樹脂配置工程の一例を示す模式図である。
【図４】本実施の形態に係る拡張工程の一例を示す模式図である。
【図５】本実施の形態に係る硬化工程の一例を示す模式図である。
【図６】本実施の形態に係る保護部材の形成方法の一例を示す上面図である。
【図７】第１の変形例に係る保護部材の形成方法を示す模式図である。
【図８】第２の変形例に係る保護部材の形成方法を示す模式図である。
【図９】第３の変形例に係る周辺樹脂配置工程を示す模式図である。
【図１０】第３の変形例に係る周辺樹脂配置工程を示す模式図である。
【図１１】第４の変形例に係る保護部材の形成方法を示す模式図である。
【図１２】第５の変形例に係る周辺樹脂配置工程を示す上面模式図である。
【図１３】第５の変形例に係る周辺樹脂配置工程を示す側面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る保護部材形成装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る保護部材形成装置の模式図である。なお、本実施の形態に係る保護部材形成装置は、以下に示す構成に限定されず、適宜変更が可能である。また、本実施の形態では、板状ワークの一方の面に研削加工を施すために他方の面に保護部材を形成する構成について説明するが、この構成に限定されない。所定の加工を施すものであればよく、例えば、研削加工ではなく切削加工を施すために保護部材を形成してもよい。
【００１３】
図１に示すように、本実施の形態に係る保護部材形成装置１は、液状樹脂Ｒが塗布された保護シートＳを板状ワークＷの被研削面（一方の面）とは反対の面（他方の面）に対して貼着するように構成されている。保護部材形成装置１は、ステージ２の上に載置された保護シートＳの上に液状樹脂Ｒを塗布し、ステージ２の上方で押圧手段３に保持された板状ワークＷを保護シートＳに対して押し付けるように動作する。これにより、保護シートＳ上の液状樹脂Ｒが押し広げられ、板状ワークＷの他方の面全体に保護シートＳが貼着される。
【００１４】
板状ワークＷは、金属等の基板上に樹脂等を塗布したパッケージ基板や、基板の表面に複数の凸部が形成されたバンプウエーハで構成される。本実施の形態では、板状ワークＷが平面視円形状ではなく平面視矩形状を有している（図６参照）。具体的に本実施の形態では、中心（重心）から外周までの距離が一定でない板状ワークＷを保護部材形成の対象としている。なお、板状ワークＷは、これらの構成に限定されず、シリコン、ガリウムヒ素、セラミック、ガラス、サファイア等の材質で構成されるインゴットをワイヤーソーで薄くスライスして形成してもよい。また、板状ワークＷは矩形状に限らず、適宜変更が可能である。
【００１５】
保護シートＳは、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等のプラスチック材料で構成され、透光性を有している。保護シートＳは、板状ワークＷの外形より僅かに大きい矩形状に形成されている。また、液状樹脂Ｒは、光硬化型の樹脂であり、紫外線等の光が照射されることで光重合反応により硬化される。
【００１６】
保護部材形成装置１は、保護シートＳを吸引保持するステージ２と、保護シートＳに対して液状樹脂を塗布する樹脂供給手段４と、板状ワークＷを吸引保持し、当該板状ワークＷを保護シートＳ上の液状樹脂Ｒに向かって押圧する押圧手段３とを備えている。ステージ２は、保護シートＳや板状ワークＷの外形より大きい矩形形状を有しており、石英ガラス等の透光性材料によって形成されている。ステージ２には、図示しない吸引源が接続されており、ステージ２の上面に発生する負圧によって、保護シートＳがステージ２に吸引保持される。ステージ２の内部には、保護シートＳ上の液状樹脂Ｒに向かって紫外線等の光を照射する発光部５が設けられている。
【００１７】
樹脂供給手段４は、ステージ２の上方からステージ２上の保護シートＳに向けて液状樹脂を落下供給するノズル４０と、ノズル４０に液状樹脂Ｒを供給する液状樹脂供給源４１とを有している。液状樹脂供給源４１は図示しない配管を介してノズル４０に接続されている。また、ノズル４０は、図示しない移動機構により、ステージ２の上方において任意の位置に移動可能に構成される。これにより、保護シートＳ上の任意の箇所に液状樹脂Ｒを滴下することができる。
【００１８】
押圧手段３は、上面視矩形状のベース部材３０の下面側に板状のポーラス部材３１を嵌め込んで構成される。ポーラス部材３１は、板状ワークＷと略同じ外形の矩形状を有しており、ベース部材３０内の流路（不図示）を介して図示しない吸引源に接続されている。押圧手段３は、ポーラス部材３１の露出面（下面）生じる負圧により、板状ワークＷを吸引保持する。すなわち、ポーラス部材３１の露出面が板状ワークＷを保持する保持面３２を構成する。また、押圧手段３は、ボールネジ式の昇降手段３３によって鉛直方向に移動可能に構成されている。
【００１９】
このように構成される保護部材形成装置１では、ステージ２上で保護シートＳが吸引保持された後、保護シートＳの上にノズル４０から液状樹脂Ｒが塗布される。このとき、ステージ２の中心だけでなく、ステージ２の中心から離れた位置にも液状樹脂Ｒが塗布される。また、押圧手段３の保持面３２には板状ワークＷが吸引保持されている。押圧手段３が降下されて板状ワークＷが液状樹脂Ｒに押し付けられることにより、液状樹脂Ｒが板状ワークＷの全面に押し広げられる。そして、発光部５から液状樹脂Ｒに紫外線が照射されることで液状樹脂Ｒが硬化され、板状ワークＷに保護部材Ｐ（図５参照）が形成される。
【００２０】
上記したように、パッケージ基板等の板状ワークＷは、平面視矩形状を有しており、中心から外周までの距離が一定でない形状を有している。このため、円形状の板状ワークと同様に、保護シートＳ上の液状樹脂Ｒに対して板状ワークＷの中央部分を接触させて液状樹脂Ｒを拡張させると、板状ワークＷの長手方向の外縁部に液状樹脂Ｒが到達する前に、短手方向の外縁部から先に液状樹脂Ｒがはみ出てしまう。一方、短手方向の外縁部から液状樹脂Ｒがはみ出ないように液状樹脂Ｒの塗布量を調整すると、長手方向に液状樹脂が十分に行き渡らない。このように、板状ワークＷの表面全体に液状樹脂Ｒを押し広げることができないという問題があった。
【００２１】
そこで、本発明では、ステージ２の中心だけでなく、一箇所に塗布された液状樹脂Ｒ（後述する第１の液状樹脂Ｒ１）のみでは到達し得ない箇所にも液状樹脂Ｒ（後述する第２の液状樹脂Ｒ２）を塗布している。そして、これらの液状樹脂Ｒを押圧したときに、第１の液状樹脂Ｒ１と第２の液状樹脂Ｒ２とが結合される結果、第１の液状樹脂Ｒ１のみでは到達し得ないエリアにも第１の液状樹脂Ｒ１を流動させることができる。よって、板状ワークＷの表面全体に液状樹脂Ｒの塗布することができる。
【００２２】
次に、図２から図６を参照して、本実施の形態に係る保護部材の形成方法について説明する。図２は、本実施の形態に係る樹脂供給工程の一例を示す模式図である。図３は、本実施の形態に係る周辺樹脂配置工程の一例を示す模式図である。図４は、本実施の形態に係る拡張工程の一例を示す模式図である。図４Ａから図４Ｄは拡張工程における液状樹脂の流動状態の遷移図である。図５は、本実施の形態に係る硬化工程の一例を示す模式図である。図６は、本実施の形態に係る保護部材の形成方法の一例を示す上面図である。図６Ａは樹脂供給工程を示し、図６Ｂは周辺樹脂配置工程を示し、図６Ｃから図６Ｅは拡張工程を示している。なお、図２から図６においては、説明の便宜上、一部の構成を省略しており、特に図６では板状ワークを二点鎖線で示している。
【００２３】
図２から図６に示すように、本実施の形態に係る保護部材の形成方法（図６参照）は、樹脂供給工程（図２参照）と、周辺樹脂配置工程（図３参照）と、拡張工程（図４参照）と、硬化工程（図５参照）とによって構成される。樹脂供給工程では、ステージの中心に第１の液状樹脂Ｒ１（以下、液状樹脂Ｒ１と記す）が落下供給される。周辺樹脂配置工程では、ステージ２上の液状樹脂Ｒ１の周辺において、液状樹脂Ｒ１とは異なる位置に第２の液状樹脂Ｒ２（以下、液状樹脂Ｒ２（周辺樹脂）と記す）が配置（供給）される。拡張工程では、ステージ２上の液状樹脂Ｒ１、Ｒ２が押圧手段３によって拡張される。硬化工程では、拡張された液状樹脂Ｒ１、Ｒ２が硬化される。以上の工程により、板状ワークＷに樹脂層Ｌと保護シートＳで構成される保護部材Ｐが形成される。以下、保護部材Ｐの形成方法の各工程について説明する。
【００２４】
図２に示すように、ステージ２の上面には、保護シートＳがステージ２の中心と保護シートＳの中心とが一致するように載置され、ステージ２の上面に発生する負圧によって吸引保持されている。第１の液状樹脂供給工程では、ステージ２（保護シートＳ）の略中央上方にノズル４０が位置付けられ、ノズル４０の先端がステージ２（保護シートＳ）の中心に向けられる。そして、ノズル４０から所定量の液状樹脂Ｒ１が滴下される。
【００２５】
液状樹脂Ｒ１は、保護シートＳの中心に滴下された後、自重により径方向外側に向かって流動する。この結果、液状樹脂Ｒ１は、図６Ａに示すように、所定の厚みを有した状態で上面視円形状に拡散される。なお、液状樹脂Ｒ１の滴下量は、保護シートＳ上に滴下された液状樹脂Ｒ１が保護シートＳ（板状ワークＷ）の短手方向の幅より小さい円形状に広がるように調整されることが好ましい。
【００２６】
次に、周辺樹脂配置工程が実施される。周辺樹脂配置工程では、図３に示すように、ノズル４０がステージ２の中央上方から水平方向外側に移動され、ノズル４０の先端がステージ２（保護シートＳ）の中心から外側にずれた位置に位置付けられる。そして、ノズル４０から所定量の液状樹脂Ｒ２が滴下される。周辺樹脂配置工程では、図６Ｂに示すように、円形状の液状樹脂Ｒ１の外周から離れた位置に液状樹脂Ｒ２（周辺樹脂）が４箇所において滴下される。
【００２７】
より具体的には、保護シートＳの長手方向における液状樹脂Ｒ１の最外縁部（直径）よりも外側であって、短手方向における液状樹脂Ｒ１の最外縁部（直径）よりも内側に液状樹脂Ｒ２が滴下される。また、液状樹脂Ｒ２の滴下量は、液状樹脂Ｒ１の滴下量に比べ十分に少ない。このため、液状樹脂Ｒ１の厚みＴ１に対して液状樹脂Ｒ２の厚みＴ２が小さくなると共に、液状樹脂Ｒ１の外径より液状樹脂Ｒ２の外径が小さくなるように、液状樹脂Ｒ２が円形状に広がる（図３及び図６Ｂ参照）。これにより、後述する拡張工程において、ステージ２中央の液状樹脂Ｒ１が先に押圧され、その後外周側の液状樹脂Ｒ２が押圧されることで液状樹脂が中央から外周側に向かって徐々に押し広げられる。このため、液状樹脂Ｒ１と液状樹脂Ｒ２との間に気泡が入り難くなっている。
【００２８】
また、保護シートＳ上に滴下された液状樹脂Ｒ２の外縁と板状ワークＷの中心との最短距離Ｘ１が、板状ワークＷの中心から短手方向の外縁部までの距離Ｘ２より小さいことが好ましい。拡張工程において、液状樹脂Ｒ１が板状ワークＷの外縁部（長辺部）からはみ出る前に液状樹脂Ｒ１と液状樹脂Ｒ２とを結合させることができるためである。さらに、板状ワークＷの角部及び液状樹脂Ｒ２の外縁の距離Ｘ３と、板状ワークＷの長辺部から液状樹脂Ｒ１の外縁までの距離Ｘ４との差が、より小さくなる位置に液状樹脂Ｒ２が滴下されることが好ましい。液状樹脂Ｒ１又は液状樹脂Ｒ２が板状ワークＷの外縁部に到達するまで流動距離を、長手方向及び短手方向において可能な限り近づけるためである。これにより、拡張工程において、板状ワークＷの短手方向における外縁部から液状樹脂Ｒ１、Ｒ２がはみ出るときに、板状ワークＷの長手方向にも液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を行き渡らせることができる。
【００２９】
なお、本実施の形態においては、樹脂供給工程で供給された液状樹脂Ｒ１とは別に液状樹脂Ｒ１の周囲に周辺樹脂（液状樹脂Ｒ２）を配置（滴下）する構成としたが、この構成に限定されない。周辺樹脂は、拡張工程において液状樹脂Ｒ１の広がりを板状ワークＷの長手方向にサポートするものであり、後述する変形例（図９から図１３参照）のように、液状樹脂Ｒ１の一部を延ばすことで液状樹脂Ｒ１の周囲に配置される樹脂も周辺樹脂に含むものとする。
【００３０】
次に、拡張工程が実施される。押圧手段３の保持面３２に板状ワークＷの一方の面（被研削面）が吸引保持され、他方の面が下方（ステージ２側）に向けられている（図１参照）。また、ステージ２（保護シートＳ）の中心と板状ワークＷの中心（重心）とが一致されている。拡張工程では、図４に示すように、昇降手段３３（図１参照）によって押圧手段３が降下され、板状ワークＷの下面中央が、液状樹脂Ｒ２に対して比較的厚みの大きい液状樹脂Ｒ１の上面に接触する（図４Ａ参照）。
【００３１】
板状ワークＷが液状樹脂Ｒ１に接触して押圧手段３が徐々に降下され、板状ワークＷは液状樹脂Ｒ１を均一に押圧する。この結果、液状樹脂Ｒ１は径方向外側に向かって均一に押し広げられ、外径が大きくなる。そして、図４Ｂ及び図６Ｃに示すように、液状樹脂Ｒ２の上面が板状ワークＷに接触する前であって（図４Ｂ参照）、かつ液状樹脂Ｒ１の外縁が保護シートＳ（板状ワークＷ）の短手方向の外縁部に到達する前に（図６Ｃ参照）、液状樹脂Ｒ１と液状樹脂Ｒ２とが結合（合流）する。このとき、板状ワークＷの中央部分の液状樹脂Ｒ１が、押し広げられながら径方向外側の液状樹脂Ｒ２に合流するため、液状樹脂Ｒ１と液状樹脂Ｒ２との間に気泡が混入し難くなっている。
【００３２】
液状樹脂Ｒ１は、液状樹脂Ｒ２に結合するまでは保護シートＳ（板状ワークＷ）の中心から径方向外側に均一に広がるように流動していた。しかしながら、液状樹脂Ｒ１が液状樹脂Ｒ２に結合することで、保護シートＳ（板状ワークＷ）の短手方向における液状樹脂Ｒ１の流れが崩されて、液状樹脂Ｒ１は、結合された液状樹脂Ｒ２に向かって流動する。すなわち、それまで短手方向に流動していた液状樹脂Ｒ１が、液状樹脂Ｒ２に結合することで長手方向に流動するようになる。
【００３３】
さらに押圧手段３（板状ワークＷ）が降下されると、図４Ｃ及び図６Ｄに示すように、液状樹脂Ｒ１は液状樹脂Ｒ２に合流しながら長手方向に流動する一方、液状樹脂Ｒ２は、板状ワークＷの下面が液状樹脂Ｒ２の上面に接触されることで径方向外側に押し広げられる。液状樹脂Ｒ１、Ｒ２は一体となって長手方向外側に向かって流動する。そして、図４Ｄ及び図６Ｅに示すように、板状ワークＷの外周から液状樹脂Ｒ１、Ｒ２が僅かにはみ出るまで押圧手段３が降下されることにより、板状ワークＷの下面全体に液状樹脂Ｒ１、Ｒ２が押し広げられる。
【００３４】
このように、樹脂供給工程で液状樹脂Ｒ１をステージ２の中央に塗布し、周辺樹脂配置工程では、液状樹脂Ｒ１のみを押圧して拡径させた場合に当該液状樹脂Ｒ１が板状ワークＷの外周まで到達しないエリア（液状樹脂Ｒ１の周辺）に液状樹脂Ｒ２（周辺樹脂）を塗布している。そして、拡張工程によって液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を押し広げ、液状樹脂Ｒ２によって液状樹脂Ｒ１の広がりを途中から長手方向にサポートしている。この結果、矩形状の板状ワークＷであっても板状ワークＷの下面全面に液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を行き渡らせることができる。このように、液状樹脂Ｒ２は、拡張工程における液状樹脂Ｒ１の広がりを案内する役割を果たす。
【００３５】
次に、硬化工程が実施される。硬化工程では、図５に示すように、板状ワークＷの下面全体に押し広げられた液状樹脂Ｒ１、Ｒ２（図４Ｄ参照）に向かって発光部５から光が照射される。光は、透光性のステージ２及び保護シートＳを透過して液状樹脂Ｒ１、Ｒ２に吸収される。そして、液状樹脂Ｒ１、Ｒ２が光重合反応によって硬化され、板状ワークＷと保護シートＳとの間に均一な厚みの樹脂層Ｌが形成される。この結果、板状ワークＷの下面全体に樹脂層Ｌ及び保護シートＳで構成される保護部材Ｐが形成される。以上により、板状ワークＷの凸凹面が平坦に均される。
【００３６】
以上のように、本実施の形態に係る保護部材の形成方法によれば、樹脂供給工程によって板状ワークＷの中心（重心）に液状樹脂Ｒ１が供給され、周辺樹脂配置工程によって板状ワークＷの中心から離れた位置（液状樹脂Ｒ１の周辺）に液状樹脂Ｒ２（周辺樹脂）が配置（供給）される。拡張工程において、液状樹脂Ｒ１が押し広げられ、液状樹脂Ｒ１と液状樹脂Ｒ２とが結合することにより、液状樹脂Ｒ１の広がりが液状樹脂Ｒ２によってサポートされる。これにより、液状樹脂Ｒ１単体では到達しない板状ワークＷの外周までのエリアにも液状樹脂Ｒ１を拡張することができる。そして、硬化工程によって第１の液状樹脂Ｒ及び第２の液状樹脂Ｒ１を硬化させることにより、板状ワークＷの全面に保護部材Ｐを形成することができる。このように、板状ワークＷの形状によらず、板状ワークＷの全面に液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を塗布して保護部材Ｐを形成することができる。
【００３７】
次に、図７を参照して、第１の変形例に係る保護部材の形成方法について説明する。図７は、第１の変形例に係る保護部材の形成方法を示す模式図である。図７Ａは第１及び第２の液状樹脂が供給された直後の状態を示し、図７Ｂは拡張工程の途中の状態を示している。図７においては、第２の液状樹脂の供給方法が本実施の形態と異なる。以下、相違点を重点的に説明する。なお、本実施の形態と同一名称の構成については、同一の符号で説明する。
【００３８】
第１の変形例では、図７Ａに示すように、矩形状の保護シートＳの中心（重心）には、樹脂供給工程によって液状樹脂Ｒ１が滴下され、液状樹脂Ｒ１は円形状に拡散されている。そして、周辺樹脂配置工程では、液状樹脂Ｒ１のみを押圧して拡径させた場合に当該液状樹脂Ｒ１が板状ワークＷの外周まで到達しないエリアに液状樹脂Ｒ２（周辺樹脂）が４箇所において塗布（供給）される。より具体的には、液状樹脂Ｒ１の外側に略楕円形状の液状樹脂Ｒ２が保護シートＳ（板状ワークＷ）の対角線上に沿って延在するように４箇所において塗布される。そして、図７Ｂに示すように、拡張工程によって液状樹脂Ｒ１が押し広げられると、液状樹脂Ｒ１と液状樹脂Ｒ２とが結合されて、液状樹脂Ｒ２により液状樹脂Ｒ１の広がりが長手方向にサポートされる。この結果、矩形状の板状ワークＷであっても板状ワークＷの下面全面に液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を行き渡らせることができる。
【００３９】
次に、図８を参照して、第２の変形例に係る保護部材の形成方法について説明する。図８は、第２の変形例に係る保護部材の形成方法を示す模式図である。図８Ａは第１及び第２の液状樹脂が供給された直後の状態を示し、図８Ｂは拡張工程の途中の状態を示している。図８においては、板状ワーク及び保護シートの形状が矩形状ではなく、半円状（扇状）である点で本実施の形態と異なる。以下、相違点を重点的に説明する。なお、本実施の形態と同一名称の構成については、同一の符号で説明する。
【００４０】
第２の変形例では、図８Ａに示すように、保護シートＳ（板状ワークＷ）が半円状に形成されている。樹脂供給工程では、保護シートＳ（板状ワークＷ）の略中央に液状樹脂Ｒ１が滴下され、液状樹脂Ｒ１は円形状に拡散される。より具体的には、半円状の保護シートＳ（板状ワークＷ）の重心位置に液状樹脂Ｒ１が滴下（供給）される。そして、周辺樹脂配置工程では、液状樹脂Ｒ１のみを押圧して拡径させた場合に当該液状樹脂Ｒ１が板状ワークＷの外周まで到達しないエリアに液状樹脂Ｒ２（第２の液状樹脂）が２箇所において塗布される。
【００４１】
第２の変形例では、液状樹脂Ｒ１の外側であって長手方向（直径方向）の両側に円形状の液状樹脂Ｒ２が塗布される。そして、図８Ｂに示すように、拡張工程によって液状樹脂Ｒ１が押し広げられると、液状樹脂Ｒ１と液状樹脂Ｒ２とが結合されて、液状樹脂Ｒ２により液状樹脂Ｒ１の広がりが長手方向（直径方向）にサポートされる。この結果、半円状の板状ワークＷであっても板状ワークＷの下面全面に液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を行き渡らせることができる。
【００４２】
このように、第１及び第２の変形例においても、樹脂供給工程によって板状ワークＷの重心（中心）に液状樹脂Ｒ１が供給され、周辺樹脂配置工程によって板状ワークＷの中心から離れた位置に液状樹脂Ｒ２（周辺樹脂）が配置（供給）される。よって、拡張工程において、液状樹脂Ｒ１単体では到達しない板状ワークＷの外周までのエリアにも液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を拡張させることができる。そして、硬化工程によって液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を硬化させることにより、板状ワークＷの全面に保護部材Ｐを形成することができる。
【００４３】
次に、図９及び図１０を参照して、第３の変形例に係る保護部材の形成方法について説明する。図９及び図１０は、第３の変形例に係る周辺樹脂配置工程を示す模式図である。図９Ａから図９Ｃ及び図１０Ａから図１０Ｃは側面から見た周辺樹脂配置工程の動作遷移図を示し、図１０Ｄは周辺樹脂配置工程が終了したときの上面模式図を示している。図９及び図１０に示す第３の変形例では、樹脂供給工程で供給された液状樹脂を、周辺樹脂配置工程において延ばし部（後述するプレート６０）で延ばすことにより周辺樹脂を形成する点で本実施の形態と異なる。以下、相違点を重点的に説明する。なお、本実施の形態と同一名称の構成については、同一の符号で説明する。
【００４４】
図９Ａに示すように、上記した実施の形態と同様に樹脂供給工程でステージ２上の保護シートＳの中心に液状樹脂Ｒ１が滴下（供給）された後、周辺樹脂配置工程が実施される。周辺樹脂配置工程では、ステージ２の上方に、液状樹脂Ｒ１を所定のエリアに引き延ばすプレート６０が設けられている。プレート６０は、鉛直方向に延びる側面視矩形状の板状体で形成され、水平移動手段６１及び昇降手段６２によって水平方向及び鉛直方向に移動可能に構成されている。また、ステージ２は、図示しない回転手段により、ステージ２の中心を軸に回転可能に構成されている。
【００４５】
プレート６０は、保護シートＳ上の液状樹脂Ｒ１の真上（中心）に位置付けられ、プレート６０の短手方向が板状ワークＷ（保護シートＳ）の対角線上に向けられている（図１０Ｄ参照）。そして、図９Ｂに示すように、昇降手段６２によってプレート６０が降下され、プレート６０の下端が液状樹脂Ｒ１に接触（没液）する。さらに、プレート６０が昇降手段６２によって徐々に降下されプレート６０の高さが微調整されながら、プレート６０は、図９Ｃに示すように、水平移動手段６１によって板状ワークＷの対角線に沿って水平移動される。これにより、保護シートＳ上の液状樹脂Ｒ１の液溜まりが崩され、プレート６０によって液状樹脂Ｒ１は、板状ワークＷの角部に向かって引き延ばされる。この結果、液状樹脂Ｒ１の周辺に板状ワークＷの対角線上に沿う周辺樹脂Ｒ２が形成（配置）される。
【００４６】
一方向において液状樹脂Ｒ１が引き延ばされると、図１０Ａに示すようにプレート６０が上昇され、ステージ２が所定角度回転される。そして、新たな方向において液状樹脂Ｒ１の引き延ばし（周辺樹脂Ｒ２の配置）が実施される。図９と同様に、昇降手段６２によってプレート６０が降下され、プレート６０の下端が液状樹脂Ｒ１に接触（没液）する（図１０Ｂ参照）。さらに、プレート６０が昇降手段６２によって徐々に降下されプレート６０の高さが微調整されながら、プレート６０は、水平移動手段６１によって板状ワークＷの対角線に沿って水平移動される（図１０Ｃ参照）。これにより、新たな方向においても、液状樹脂Ｒ１の周辺に板状ワークＷの対角線上に沿う周辺樹脂Ｒ２が形成（配置）される。
【００４７】
そして、再びステージ２を所定角度回転させ、残りの対角線上においてもプレート６０を板状ワークＷの中央からそれぞれの角部に向かって移動させて液状樹脂Ｒ１を引き延ばす。以上により、図１０Ｄに示すように、液状樹脂Ｒ１の周辺に板状ワークＷの全ての対角線上に沿う周辺樹脂Ｒ２が形成（配置）される。
【００４８】
このように、第３の変形例では、周辺樹脂配置工程によって液状樹脂Ｒ１がステージ２の中央から板状ワークＷの外側に向かって引き延ばされることにより、液状樹脂Ｒ１のみを押圧して拡径させた場合に当該液状樹脂Ｒ１が板状ワークＷの外周まで到達しないエリアにも周辺樹脂Ｒ２を形成（配置）することができる。そして、上記した実施の形態と同様に、拡張工程によって液状樹脂Ｒ１及び周辺樹脂Ｒ２が押し広げられる結果、周辺樹脂Ｒ２により液状樹脂Ｒ１の広がりが板状ワークＷの長手方向にサポートされる。よって、矩形状の板状ワークＷであっても板状ワークＷの下面全面に液状樹脂Ｒ１、周辺樹脂Ｒ２を行き渡らせることができる（図６Ｅ参照）。
【００４９】
次に、図１１を参照して、第４の変形例に係る保護部材の形成方法について説明する。図１１は、第４の変形例に係る保護部材の形成方法を示す模式図である。図１１Ａは樹脂供給工程を示し、図１１Ｂは第４の変形例に係る仕切板（延ばし部）の斜視図を示し、図１１Ｃは周辺樹脂配置工程の側面模式図を示し、図１１Ｄは周辺樹脂配置工程の上面模式図を示している。図１１に示す第４の変形例では、樹脂供給工程で供給された液状樹脂を、周辺樹脂配置工程において、十字状に形成される仕切板で押し付けて延ばすことにより周辺樹脂を形成する点で本実施の形態（第３の変形例）と異なる。以下、相違点を重点的に説明する。なお、本実施の形態と同一名称の構成については、同一の符号で説明する。
【００５０】
図１１Ａに示すように、樹脂供給工程では、ステージ２上の保護シートＳの中心に液状樹脂Ｒ１が滴下（供給）される。そして、次に周辺樹脂配置工程が実施される。図１１Ｂに示すように、第４の変形例では、矩形状の板状ワークＷ（図１１Ｄ参照）の対角線に沿う十字状を有する仕切板７０によって、周辺樹脂配置工程が実施される。仕切板７０は、より具体的には、板状ワークＷの対角線に沿って延びる２枚の矩形板を板状ワークＷの中央でクロスさせた十字形状を有している。また、仕切板７０は、昇降手段７１により鉛直方向に移動可能に構成される。
【００５１】
図１１Ｃ及び図１１Ｄに示すように、ステージ２の上方には、液状樹脂Ｒ１を所定のエリアに流動させる仕切板７０が設けられており、ステージ２の中心と仕切板７０の交差部分が一致するように位置づけられている。周辺樹脂配置工程では、昇降手段７１によって仕切板７０が降下され、仕切板７０の下端が液状樹脂Ｒ１に接触する。さらに仕切板７０が降下されると、液状樹脂Ｒ１は、仕切板７０により上面視において４つのエリアに仕切られるように押圧される（図１１Ｄ参照）。液状樹脂Ｒ１は、仕切板７０によって押圧されると共に仕切板７０の延在方向（板状ワークＷの対角方向）に沿って流動する。これにより、保護シートＳ上の液状樹脂Ｒ１の液溜まりが崩され、図１１Ｄに示すように、液状樹脂Ｒ１の周辺に板状ワークＷの対角線上に沿う周辺樹脂Ｒ２が形成（配置）される。
【００５２】
このように、第４の変形例では、周辺樹脂配置工程によって液状樹脂Ｒ１がステージ２の中央から板状ワークＷの外側に向かって流動して延ばされることにより、液状樹脂Ｒ１のみを押圧して拡径させた場合に当該液状樹脂Ｒ１が板状ワークＷの外周まで到達しないエリアにも周辺樹脂Ｒ２を形成（配置）することができる。そして、上記した実施の形態と同様に、拡張工程によって液状樹脂Ｒ１及び周辺樹脂Ｒ２が押し広げられる結果、周辺樹脂Ｒ２により液状樹脂Ｒ１の広がりが板状ワークＷの長手方向にサポートされる。よって、矩形状の板状ワークＷであっても板状ワークＷの下面全面に液状樹脂Ｒ１、周辺樹脂Ｒ２を行き渡らせることができる（図６Ｅ参照）。
【００５３】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００５４】
例えば、上記した実施の形態では、液状樹脂が光硬化型の樹脂で構成されるとしたが、この構成に限定されない。液状樹脂は、熱硬化型の樹脂でもよい。この場合、硬化工程においては、発光部５の代わりにヒーター等を用いて液状樹脂を硬化させてもよい。
【００５５】
また、上記した実施の形態では、ステージ２に吸引保持された保護シートＳの上に液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を供給し、板状ワークＷを吸引保持する押圧手段３によって液状樹脂を押し広げる構成としたが、この構成に限定されない。ステージ２及び押圧手段３のいずれか一方で板状ワークＷを保持し、いずれか他方が板状ワークＷに対向して、ステージ２上の板状ワークＷの中心又はステージ２の中心に液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を供給できればどのように構成されてもよい。例えば、ステージ２に吸引保持された板状ワークＷの上に液状樹脂Ｒ１、Ｒ２供給し、その上から保護シートＳを載置した後、押圧手段によって液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を押し広げてもよい。この場合においても、液状樹脂Ｒ１が押し広げられた結果、液状樹脂Ｒ１と液状樹脂Ｒ２とが結合されて、液状樹脂Ｒ２により液状樹脂Ｒ１の広がりが長手方向にサポートされる。よって、矩形状の板状ワークＷであっても板状ワークＷの全面に液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を行き渡らせることができる。このように、板状ワークＷの形状によらず、板状ワークＷの全面に液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を塗布して保護部材Ｐを形成することができる。
【００５６】
また、上記した実施の形態では、樹脂供給手段４によって保護シートＳ上に液状樹脂が供給される構成としたが、この構成に限定されない。作業者が直接、保護シートＳ上に液状樹脂Ｒ１、Ｒ２を滴下してもよい。
【００５７】
また、上記した実施の形態では、保護シートＳを介して液状樹脂Ｒ１、Ｒ２が板状ワークに塗布される構成としたが、この構成に限定されない。保護シートＳは、必ずしも使用されなくてよい。
【００５８】
また、上記した本実施の形態では、液状樹脂Ｒ１を円形状に塗布し、周辺樹脂Ｒ２を円形状に塗布する構成としたが、この構成に限定されない。塗布される液状樹脂Ｒ１、Ｒ２の形状は適宜変更が可能である。例えば、周辺樹脂Ｒ２をステージ２（保護シートＳ又は板状ワークＷ）の中心側の面積が大きく、外周に向かうほど面積が小さくなるように塗布してもよい。また、周辺樹脂Ｒ２の滴下箇所は４箇所に限らず、２箇所や５個所以上に点在させてもよい。
【００５９】
また、上記した第３の実施の形態において、一枚のプレート６０で液状樹脂Ｒ１を対角線上に引き延ばす構成としたが、この構成に限定されない。図１２及び図１３に示す構成も可能である。以下、図１２及び図１３を参照して、第５の変形例に係る保護部材の形成方法について説明する。図１２は、第５の変形例に係る周辺樹脂配置工程を示す上面模式図であり、図１３は、第５の変形例に係る周辺樹脂配置工程を示す側面模式図である。第５の変形例においては、一対のプレートを厚み方向に対向配置し、当該一対のプレートで液状樹脂を引き延ばす点で第３の変形例と異なる。以下、相違点を重点的に説明する。なお、上記した実施の形態と同一名称の構成については、同一の符号で説明する。
【００６０】
図１２Ａ及び図１３Ａに示すように、樹脂供給工程でステージ２上の保護シートＳの中心に液状樹脂Ｒ１が滴下（供給）された後、周辺樹脂配置工程が実施される。周辺樹脂配置工程では、ステージ２の上方に、液状樹脂Ｒ１を所定のエリアに引き延ばす一対のプレート８０が設けられている。プレート８０は、鉛直方向に延びる側面視矩形状の板状体で形成され、図１２Ｂに示すように、一対のプレート８０は、厚み方向に対向し所定の隙間Ｄを空けて配置されている。また、一対のプレート８０は、図示しない水平移動手段及び昇降手段によって水平方向及び鉛直方向に移動可能に構成されると共に、互いの対向間隔（上記した隙間Ｄ）を自由に調整可能に構成される。また、ステージ２は、図示しない回転手段により、ステージ２の中心を軸に回転可能に構成されている。
【００６１】
図１２Ｂ及び図１３Ａに示すように、一対のプレート８０は、保護シートＳ上の液状樹脂Ｒ１の上方に位置付けられ、一対のプレート８０の短手方向が板状ワークＷ（保護シートＳ）の対角線上に向けられている。すなわち、一対のプレート８０が対向する方向と対角線の方向とが直交する方向に向けられている。そして、図１３Ｂに示すように、昇降手段６２によってプレート８０が降下され、プレート８０の下端が液状樹脂Ｒ１に接触（没液）する。このとき、液状樹脂Ｒ１は、粘性により一対のプレート８０の隙間Ｄの間の空間に入り込み、所定量の液状樹脂Ｒ１が当該隙間Ｄ内に保持される。
【００６２】
この状態で、一対のプレート８０が板状ワークＷの対角線に沿って（一対のプレート８０が対向する方向に対して直交する方向に）水平移動される（図１２Ｃから図１２Ｅ及び図１３Ｃから図１３Ｅ参照）。これにより、保護シートＳ上の液状樹脂Ｒ１の液溜まりが崩され、プレート６０によって液状樹脂Ｒ１は、板状ワークＷの角部に向かって引き延ばされる。このとき、一対のプレート８０が板状ワークＷの角に近づくに従って、隙間Ｄが徐々に広げられる。これにより、隙間Ｄに保持される液状樹脂Ｒ１の量を調整しながら、液状樹脂Ｒ１を対角線に沿って引き延ばすことができる。
【００６３】
このように、一対のプレート８０の隙間Ｄに液状樹脂Ｒ１を保持させたことにより、プレート６０が一枚の場合に比べてより多くの液状樹脂Ｒ１を保持することができる。よって、液状樹脂Ｒ１を保持した状態で２枚のプレート６０を対角線上に移動させることで、一度により多くの液状樹脂Ｒ１を流動させて周辺樹脂Ｒ２を形成することができる。この結果、図１２Ｅ及び図１３Ｅに示すように、液状樹脂Ｒ１の周辺に板状ワークＷの対角線上に沿う周辺樹脂Ｒ２が形成（配置）される。なお、上記したように、一対のプレート８０が板状ワークＷの角に近づくに従って、隙間Ｄを徐々に広げて隙間Ｄに保持される液状樹脂Ｒ１の量を調整したことにより、周辺樹脂Ｒ２は、液状樹脂Ｒ１から保護シートＳの外周に向かって僅かに下方に傾斜するように形成（配置）される。
【００６４】
一方向において液状樹脂Ｒ１が引き延ばされた後、ステージ２を所定角度回転させ、残りの対角線上においても一対のプレート８０を板状ワークＷの中央からそれぞれの角部に向かって移動させる。以上により、液状樹脂Ｒ１が引き延ばされた結果、液状樹脂Ｒ１の周辺に板状ワークＷの全ての対角線上に沿う周辺樹脂Ｒ２が形成（配置）される。
【００６５】
このように、第５の変形例では、周辺樹脂配置工程によって液状樹脂Ｒ１がステージ２の中央から板状ワークＷの外側に向かって引き延ばされることにより、液状樹脂Ｒ１のみを押圧して拡径させた場合に当該液状樹脂Ｒ１が板状ワークＷの外周まで到達しないエリアにも周辺樹脂Ｒ２を形成（配置）することができる。そして、上記した実施の形態と同様に、拡張工程によって液状樹脂Ｒ１及び周辺樹脂Ｒ２が押し広げられる結果、周辺樹脂Ｒ２により液状樹脂Ｒ１の広がりが板状ワークＷの長手方向にサポートされる。よって、矩形状の板状ワークＷであっても板状ワークＷの下面全面に液状樹脂Ｒ１、周辺樹脂Ｒ２を行き渡らせることができる（図６Ｅ参照）。
【００６６】
また、上記した第３及び第５の変形例において、引き延ばし部として側面視矩形状のプレート６０又は一対のプレート８０を用いる構成としたが、この構成に限定されない。引き延ばし部は、液状樹脂Ｒ１を引き延ばすことができればよく、引き延ばし部として、例えば、円柱状の棒やパイプを用いてもよい。
【００６７】
また、上記した第５の変形例において、一対のプレート８０が板状ワークＷの角に近づくに従って、隙間Ｄを徐々に広げる構成としたが、この構成に限定されない。例えば、隙間Ｄを広げる代わりに、一対のプレート８０が板状ワークＷの角に近づくに従って、一対のプレート８０を徐々に上昇させてもよい。これによっても、隙間Ｄに保持される液状樹脂Ｒ１の量を微調整しながら引き延ばすことができる。パイプを用いて液状樹脂Ｒ１を引き延ばすときも同様に、パイプの移動に応じてパイプを上昇させてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
以上説明したように、本発明は、板状ワークの形状によらず、板状ワークの全面に液状樹脂を塗布することができるという効果を有し、特に、板状ワークを保護する保護部材の形成方法に有用である。
【符号の説明】
【００６９】
Ｗ  板状ワーク
Ｒ、Ｒ１  液状樹脂
Ｒ２  周辺樹脂
Ｌ  樹脂層
Ｐ  保護部材
１  保護部材形成装置
２  ステージ
３  押圧手段
６０  プレート（延ばし部）
７０  仕切板（延ばし部）
８０  プレート（延ばし部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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