(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内において作業員に対して注意喚起情報を提供する注意喚起情報提供システムであって、
所定の情報を表示する表示部を備えたヘッドマウントディスプレイ装置と、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置との間で信号の送受信を行う送受信装置と、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置に表示する所定の情報を生成する制御装置と、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の位置情報及びクリーンルーム内を移動する移動体の現在の位置情報を検出する位置情報検出装置と、を有し、
前記制御装置は、前記位置情報検出装置で検出した作業員の位置情報と、前記クリーンルーム内における移動体の現在の位置情報に基づいて求められる前記作業員と前記移動体との間の距離が予め設定された所定の値よりも小さくなったときは、前記移動体が作業員に近づいているものと判断して、注意喚起情報を生成し、
前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示することを特徴とする、注意喚起情報提供システム。
【請求項２】
前記制御装置は、前記作業員が高所作業中であることを通知する信号に基づき、前記作業員と前記移動体との接近を判定することを特徴とする、請求項１に記載の注意喚起情報提供システム。
【請求項３】
前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記通知を行うか否かを切り替えるための切替スイッチを有することを特徴とする、請求項２に記載の注意喚起情報提供システム。
【請求項４】
前記制御装置は、前記注意喚起情報として、前記移動体が将来的に作業員に近接することを通知する情報を送信することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の注意喚起情報提供システム。
【請求項５】
前記通知は、前記作業員が前記移動体の経路上に位置していること、あるいは数十秒後に移動体が近くを通過することを含むことを特徴とする請求項４に記載の注意喚起情報提供システム。
【請求項６】
前記位置情報検出装置は、移動体に設けられた発信器から得られる情報に基づき前記移動体の位置情報を検出することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の注意喚起情報提供システム。
【請求項７】
前記位置情報検出装置は、前記移動体の移動を制御する制御プログラムからの移動制御信号に基づき前記移動体の位置情報を検出することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の注意喚起情報提供システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作業員に対して注意喚起情報を提供するシステムに関し、特に、半導体デバイス製造工場のクリーンルーム内における注意喚起情報を提供するシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体デバイスの製造を行うクリーンルーム内には、半導体ウェハに対して塗布現像処理を行う装置や、露光装置、エッチング装置などの各種装置が設置されている。そして、これら各装置で所定の処理を実行することで、半導体デバイスが製造される。
【０００３】
上記の各装置間での半導体ウェハの搬送は、例えば特許文献１に示すような、半導体ウェハを収容するカセットを、作業員の頭上の空間を利用して搬送する搬送装置が用いられる。
【０００４】
このようなクリーンルーム内の各装置は、通常、複数台設けられており、例えば１台の装置をメンテナンスにより停止する際も、他の装置は継続して稼動している。
【０００５】
そのため、他装置の稼動中にメンテナンス作業を行う場合、周囲の作業員に対して注意を喚起するための警告表示や区画用のロープ設置等による安全対策がとられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２２９３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述の搬送装置のような移動体の移動ルートは、各種装置の上方を通過するように設定されている場合もある。したがって、メンテナンスのために作業員が装置上部へアクセスするような場合、搬送装置がメンテナンス作業中の作業員の死角から接近したり、作業員と衝突したりする可能性があり、潜在的な危険のリスクを完全にゼロにはできないのが現状である。また、このような移動体に対する安全管理は作業中の作業員に委ねられており、作業員の死角からの移動体の接近等の事象に対して、作業員の安全を確保する手段が求められている。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、作業員に対して注意喚起情報を提供して、作業員の安全を確保することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するため、本発明は、クリーンルーム内において作業員に対して注意喚起情報を提供する注意喚起情報提供システムであって、所定の情報を表示する表示部を備えたヘッドマウントディスプレイ装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置との間で信号の送受信を行う送受信装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置に表示する所定の情報を生成する制御装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の位置情報及びクリーンルーム内を移動する移動体の現在の位置情報を検出する位置情報検出装置と、を有し、前記制御装置は、前記位置情報検出装置で検出した作業員の位置情報と、前記クリーンルーム内における移動体の現在の位置情報に基づいて求められる前記作業員と前記移動体との間の距離が予め設定された所定の値よりも小さくなったときは、前記移動体が作業員に近づいているものと判断して、注意喚起情報を生成し、前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示することを特徴としている。なお、注意喚起情報とは、クリーンルーム内における高温部の位置や、落下・墜落の可能性のある場所、または移動体との干渉の可能性のある場所といった、潜在的な危険に対して注意を喚起するための情報である。
【００１０】
本発明によれば、位置情報検出装置で検出した作業員の位置情報とクリーンルーム内を移動する移動体の現在の位置情報に基づいて生成した注意喚起情報を、制御装置からヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、ヘッドマウントディスプレイ装置の表示部に当該注意喚起情報を表示する。したがって、作業員の死角からの移動体の接近等に対して作業員の注意を喚起することで、作業員の安全を確保することができる。
【００１１】
前記制御装置は、前記作業員が高所作業中であることを通知する信号に基づき、前記作業員と前記移動体との接近を判定するようにしてもよい。
かかる場合、前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記通知を行うか否かを切り替えるための切替スイッチを有するようにしてもよい。
【００１２】
前記制御装置は、前記注意喚起情報として、前記移動体が将来的に作業員に近接することを通知する情報を送信するようにしてもよい。
【００１３】
前記通知は、前記作業員が前記移動体の経路上に位置していること、あるいは数十秒後に移動体が近くを通過することを含むものであってもよい。
【００１４】
前記注意喚起情報提供システムにおいて、前記位置情報検出装置は、移動体に設けられた発信器から得られる情報に基づき前記移動体の位置情報を検出するものであってもよい。
【００１５】
前記注意喚起情報提供システムにおいて、前記位置情報検出装置は、前記移動体の移動を制御する制御プログラムからの移動制御信号に基づき前記移動体の位置情報を検出するものであってもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、作業員に対して注意喚起情報を提供して、作業員の安全を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施の形態にかかる注意喚起情報提供システムの構成の概略を示すブロック図である。
【図２】作業員がヘッドマウントディスプレイ装置を装着した状態を示す説明図である。
【図３】位置検出プログラムの配置情報を示す平面の説明図である。
【図４】作業員が高所作業をしている様子を示す説明図である。
【図５】作業員がヘッドマウントディスプレイ装置と撮像装置を装着した状態を示す説明図である。
【図６】撮像装置によりグレーチング床の開口部を撮像した撮像画像を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態にかかる注意喚起情報提供システム１の構成の概略を示す。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１９】
注意喚起情報提供システム１は、図１に示すように、所定の情報を表示する表示部ＤＰを備えたヘッドマウントディスプレイ装置１０と、ヘッドマウントディスプレイ装置１０との間で信号の送受信を行う複数の送受信装置１１と、ヘッドマウントディスプレイ装置１０に表示する所定の情報を生成する制御装置１２を有している。各送受信装置１１と制御装置１２は、通信バスＢを介して接続されている。通信バスＢとしては、インターネット回線やＬＡＮ回線などの、公知の通信手段が用いられる。なお送受信装置１１は必ずしも複数設ける必要はなく、例えば１台の送受信装置１１で作業員の移動範囲を全てカバーできれば、１台のみの設置であってもよい。
【００２０】
ヘッドマウントディスプレイ装置１０は、例えば図２に示すように、作業員ＯＰが頭部に装着可能なようにゴーグル型を有している。ヘッドマウントディスプレイ装置１０の表示部ＤＰは、当該表示部ＤＰに表示される情報と、作業員ＯＰの視界領域の双方を認識できるように、例えば半透過型の液晶ディスプレイなどが用いられる。また、ヘッドマウントディスプレイ装置１０は、送受信装置１１との間で信号を伝送する伝送部２０と、ＧＰＳ受信器２１を有している。伝送部２０と送受信装置１１との間の通信には、例えば無線ＬＡＮやＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）通信といった、公知の無線通信技術が用いられる。伝送部２０から送受信装置１１に送信される信号は、ＧＰＳ受信器２１で検出された位置情報である。送受信装置１１から伝送部２０に送信される信号については後述する。なお、表示部ＤＰには、網膜に直接映像を投影する、網膜投影ディスプレイを採用してもよい。また、半透過型ではなく、撮像画像を投影するタイプであってもよく、ヘッドマウントディスプレイ装置１０の表示部ＤＰをどのような機器により構成するかは任意に選択できる。
【００２１】
制御装置１２は、例えばコンピュータであり、プログラム格納部３０（図示せず）を有している。プログラム格納部３０には、例えば位置検出プログラムＰＳＴや、注意喚起情報生成プログラムＡＬＴといった、注意喚起情報提供システム１により作業員ＯＰに対して注意喚起情報を提供するためのプログラムが格納されている。また、プログラム格納部３０には、下記に示すクリーンルーム内の各種装置の動作を制御して、例えば半導体ウェハの処理を実行するためのプログラム（図示せず）が格納されている。なお、制御装置１２は、半導体デバイス製造工場のクリーンルーム内に設置された種々の処理装置を制御するホストコンピュータであってもよいし、ホストコンピュータと通信バスＢにより接続された、各種処理装置の制御部（図示せず）であってもよく、以下に説明する位置検出プログラムＰＳＴや、注意喚起情報生成プログラムＡＬＴを動作させると共に、送受信装置１１との間で所定の信号を入出力できるものであれば、その構成は任意に設定できる。
【００２２】
位置検出プログラムＰＳＴは、例えば図３に示すように、クリーンルームＣＬ内に設置された塗布現像処理装置ＰＲや露光装置ＥＸ、エッチング装置ＥＴ、半導体ウェハを収容するカセットＣを、レールＲＡを介して各装置間で搬送する搬送装置Ｍといった各種装置の配置情報ＬＯＣを備えると共に、搬送装置ＭのようなクリーンルームＣＬ内を移動する移動体の現在位置の情報、及びヘッドマウントディスプレイ装置１０を備えた作業員ＯＰの現在位置の情報を検出する。移動体の位置検出は、例えば移動体に設けられた発信器４０や、あるいは移動体の移動を制御するプログラムからの移動指令信号に基づいて行われる。また、作業員ＯＰの位置情報は、送受信装置１１を介して制御装置１２に入力されるＧＰＳ受信器２１の信号に基づいて求められる。なお、本発明においてヘッドマウントディスプレイ装置１０を装着した作業員ＯＰの位置情報を検出する位置情報検出装置は、この位置検出プログラムＰＳＴとＧＰＳ受信器２１、送受信装置１１といった、作業員ＯＰの位置を特定するための機器により構成されている。また、各プログラムＰＳＴ、ＡＬＴは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルデスク（ＭＯ）、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体Ｈに記録されていたものであって、その記憶媒体から制御装置１２にインストールされたものであってもよい。
【００２３】
注意喚起情報生成プログラムＡＬＴは、クリーンルーム内の危険個所についての情報を備えており、この危険個所の情報、上述の配置情報ＬＯＣ、及び位置検出プログラムＰＳＴで検出された作業員ＯＰの位置情報等に基づいて、作業員ＯＰに対して注意を喚起する注意喚起情報を生成する。危険個所の情報とは、作業員ＯＰが受傷する可能性のある箇所についての情報であり、予め注意喚起情報生成プログラムＡＬＴ内に登録されている。具体的な危険個所の情報としては、例えば火傷のおそれのある高温部であったり、クリーンルームＣＬ内で一時的にグレーチング床が取り外され、落下・墜落等の可能性のある場所であったり、搬送装置Ｍのような移動体との干渉により受傷したりする可能性のある場所の情報であるが、危険個所の情報の内容については本実施の形態の内容に限定されるものではなく、一般的な安全管理のための必要な情報であれば任意に設定できる。
【００２４】
注意喚起情報生成プログラムＡＬＴにおける注意喚起情報の生成にあたっては、先ず、配置情報ＬＯＣと危険個所の情報とに基づいてクリーンルーム中における危険個所の位置を特定する。そして、作業員ＯＰの位置情報に基づいて、例えば危険個所と作業員ＯＰとの間の距離が予め設定された所定の値より小さくなったときは、作業員ＯＰが危険個所に近づいているものと判断して、例えば作業員ＯＰからみた危険個所の方角、距離等の情報を生成する。そして、その情報を、送受信装置１１から送信し、ヘッドマウントディスプレイ装置１０の伝送部２０がその情報を受信すると、注意喚起情報が表示部ＤＰに表示される。
【００２５】
本実施の形態にかかる注意喚起情報提供システム１は以上のように構成されている。次に、この注意喚起情報提供システム１の実際の動作について説明する。説明にあたっては、例えば図４に示すように、塗布現像処理装置ＰＲの上部においてメンテナンス作業を行う場合や、図４の右側下方に示すように、グレーチング床ＦＬの一部が取り外された開口部７１が存在する場合を例にして説明する。
【００２６】
制御装置１２は、位置検出プログラムＰＳＴにより、ヘッドマウントディスプレイ装置１０を装着した作業員ＯＰのクリーンルームＣＬ内における位置情報を、連続的又は周期的に検出する。また、例えば搬送装置Ｍのような移動体についても、位置情報を連続的又は周期的に検出する。そして、例えば図４に示すように、塗布現像処理装置ＰＲの上部でメンテナンス作業を行う作業員ＯＰの後方から搬送装置Ｍのような移動体が接近し、作業員ＯＰと搬送装置Ｍとの距離が所定の値を下回ると、制御装置１２の注意喚起情報生成プログラムＡＬＴにより、搬送装置Ｍが接近している旨の注意喚起情報が生成される。
【００２７】
生成された注意喚起情報は、制御装置１２から送受信装置１１を介して送信される。そして、ヘッドマウントディスプレイ装置１０の伝送部２０により当該注意喚起情報が受信されると、表示部ＤＰに注意喚起情報が表示される。その結果、作業員ＯＰは、この注意喚起情報により移動体の接近を認識することができ、必要な安全対策をとることができる。
【００２８】
したがって本発明によれば、作業員ＯＰの死角から搬送装置Ｍのような移動体が接近してきた場合であっても、作業員ＯＰが当該移動体の接近を認識することができ、その結果、作業員ＯＰの安全を確保することができる。
【００２９】
また、例えばグレーチング床ＦＬの一部が取り外された場合、通常は囲いロープ（図示せず）や転落防止の注意喚起を行う看板（図示せず）等を設置する。しかしながら、例えば図４に示すように、塗布現像処理装置ＰＲの上部で作業を終えた後、グレーチング床ＦＬまで下りてくる場合のように、注意せねばならない事項が複数ある場合、作業員ＯＰの注意力にも限界がある。
【００３０】
そこで、例えばグレーチング床ＦＬの一部が取り外されているような場合は、図４に示すように、発信器５０を落下・墜落の可能性のある箇所の近傍に配置する。そして、位置検出プログラムＰＳＴにより、当該発信器５０の位置情報を把握すると共に、注意喚起情報生成プログラムＡＬＴにおいて危険個所であることを認識する。そして、作業員ＯＰがこの発信器５０に近づき、両者の距離が所定の値を下回ると、注意喚起情報生成プログラムＡＬＴにより注意喚起情報を生成して、ヘッドマウントディスプレイ装置１０を装着する作業者に対して注意喚起を行う。したがって、かかる場合においても、作業員ＯＰに対して注意喚起を行うことで、作業員ＯＰの安全を確保することができる。なお、高温部のように、基本的には移動することのない危険個所についても、上述のように配置情報ＬＯＣと危険個所の情報に基づいて、クリーンルーム中における高温部の位置が特定され、グレーチング床ＦＬの一部が取り外されているような場合と同様に、接近する作業員ＯＰに対して注意喚起が行われる。
【００３１】
なお、以上の実施の形態では、ＧＰＳ受信器２１により作業員ＯＰの位置情報を検出したが、作業員ＯＰの位置情報を検出する方法は本実施の形態の内容に限定されず、種々の公知の技術を用いることができる。例えば携帯電話のような移動体通信技術で用いられるように、伝送部２０が複数設けられた送受信装置１１のうちのどの送受信装置１１と通信を行っているかに基づいて、現在の位置を算出するようにしてもよい。
【００３２】
また、以上の実施の形態では、注意喚起情報が表示部ＤＰに表示される場合を例に説明したが、注意喚起情報に基づく作業員ＯＰへの注意喚起の方法は、本実施の形態の内容に限定されるものではなく、例えばヘッドマウントディスプレイ装置１０にスピーカや振動子を装備し、音や振動による注意喚起を併用してもよい。
【００３３】
なお、例えば注意喚起情報を生成するきっかけとなる危険個所が搬送装置Ｍのような移動体である場合、作業員ＯＰの装着しているヘッドマウントディスプレイ装置１０に対して注意喚起情報を伝送するのみでなく、例えば注意喚起情報の生成をトリガーとするインターロックを制御装置１２で設定するようにしてもよい。そして、搬送装置Ｍの移動経路上あるいは移動経路の近傍から作業員ＯＰが退避しない場合は、インターロックにより搬送装置Ｍを停止するようにしてもよい。
【００３４】
また、搬送装置Ｍのように、高所作業時のみ干渉の恐れがあるような箇所については、作業員ＯＰが高所作業中であることを知らせる信号をＯＮ、ＯＦＦする切替スイッチ（図示せず）をヘッドマウントディスプレイ装置１０に設け、高所作業時中であることを制御装置１２に対して通知するようにしてもよい。一般にＧＰＳによる高度の測定精度は数ｍ程度の誤差を含むが、クリーンルーム内においける高所作業についても、概ね数ｍ程度の高さで行われる。したがって、ＧＰＳ受信器２１による位置情報では、作業員ＯＰが高所作業中であるか否かを識別できない。かかる場合、例えば位置検出プログラムＰＳＴの配置情報ＬＯＣを三次元的に作成していたとしても、作業員ＯＰと搬送装置Ｍとが同一高さにおいて接近しているのか否かを判定できず、単に地上（グレーチング床ＦＬ上）にいる作業員ＯＰの頭上を搬送装置Ｍが通過するだけでもヘッドマウントディスプレイ装置１０に注意喚起情報が出力されてしまったり、インターロックにより搬送装置Ｍが停止してしまったりすることが考えられる。この点、上述の切替スイッチを設け、例えば注意喚起情報生成プログラムＡＬＴにおいて搬送装置Ｍと作業員ＯＰとの接近を判定するにあたり、切替スイッチのＯＮ、ＯＦＦ状態を考慮することで、無用なインターロック動作や注意喚起信号の出力を防止できる。
【００３５】
以上の実施の形態では、作業員ＯＰが危険個所に接近した際に注意喚起情報を作業員ＯＰに伝送したが、注意喚起情報を提供するタイミングは本実施の形態の内容に限定されない。例えば搬送装置Ｍのような移動体の経路上に作業員ＯＰが位置している場合は、制御装置１２からヘッドマウントディスプレイ装置１０に対して搬送装置Ｍの経路上に位置していることを通知したり、あるいは、数十秒後に搬送装置Ｍが近くを通過する等、将来的に危険個所が作業員ＯＰに接近することを通知したりしてもよい。
【００３６】
以上の実施の形態では、例えば発信器４０、５０や、移動体の移動を制御するプログラムからの移動指令信号に基づいて、特に搬送装置Ｍのような移動体の位置やグレーチング床ＦＬの一部が取り外されている箇所といった危険個所を把握したが、危険個所の位置を把握する方法については本実施の内容に限定されない。例えば図５に示すように、作業員ＯＰの周囲を撮像できるように、例えば全方位を撮像可能な撮像装置６０を備えたヘルメット６１を、ヘッドマウントディスプレイ装置１０と共に作業員ＯＰが装着し、撮像装置６０の撮像画像に基づいて危険個所の位置を把握するようにしてもよい。かかる場合、撮像装置６０で取得された撮像画像の情報は、例えば伝送部２０、送受信装置１１を介して制御装置１２に入力される。
【００３７】
具体的には、撮像装置６０で取得した撮像画像を画像解析して、移動している物体と静止している物体を区別する。そして、移動している物体が作業員ＯＰに対して近づいてくるようであれば、当該移動体をクリーンルーム内における危険箇所であると判断し、注意喚起情報生成プログラムＡＬＴにより注意喚起情報を生成して、ヘッドマウントディスプレイ装置１０へ伝送する。これにより、予め注意喚起情報生成プログラムＡＬＴに危険個所の位置情報が登録されていなくても、例えば移動体の接近等に対して注意喚起情報を提供することができる。なお、撮像装置６０としては、必ずしも全方位を撮像可能なものである必要はない。
【００３８】
また、グレーチング床ＦＬの一部が取り外されている箇所のように、危険個所が静止物である場合であっても、例えば撮像装置６０を赤外線カメラにより構成することで、危険個所の判別を行うことができる。具体的には、例えば図６に示すように、グレーチング床ＦＬの一部が取り外された箇所を撮像装置６０により撮像すると、取得された撮像画像７０においては、グレーチング床ＦＬの存在しない開口部７１は、赤外線反射がないため、黒で表示される（図６では、図示の都合上、白で表示している）。したがって、注意喚起情報生成プログラムＡＬＴでは、一定範囲の領域が黒表示になると、当該領域を危険個所である開口部７１として認識し、注意喚起情報を生成する。そして、注意喚起情報がヘッドマウントディスプレイ装置１０に伝送され、作業員ＯＰに対して開口部７１への注意喚起が行われる。なお、火傷の恐れのある高温部については、赤外線カメラにより明確に識別されるので、容易に特定可能である。
【００３９】
なお、以上の実施の形態では、ヘッドマウントディスプレイ装置１０で注意喚起情報を表示する場合を例に説明したが、ヘッドマウントディスプレイ装置１０に表示する情報は、注意喚起情報に限定されるものではなく、例えば、作業員ＯＰによるメンテナンス作業を支援するためのメンテナンスマニュアル情報であったり、例えば塗布現像処理装置ＰＲに収容されている薬液容器（図示せず）を交換する際に、交換対象となる薬液容器を識別するための情報といった、各種の作業用の情報を表示するようにしてもよい。例えばメンテナンスマニュアル情報を表示することで、通常は片手で持っていた紙のマニュアルを持つ必要がなくなるため、両手での作業が可能となり、作業効率が向上する。また、クリーンルームＣＬ内には上述のとおり同一型式の装置が複数設けられているので、例えば薬液容器の交換時に、誤って交換対象ではない装置の容器が交換されてしまうようなヒューマンエラーが起こりうるが、ヘッドマウントディスプレイ装置１０に交換対象の容器情報を表示することで、そのようなエラーを防止できる。
【００４０】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。即ち、本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、クリーンルーム内で作業員が作業を行う際に有用である。
【符号の説明】
【００４２】
１    基板処理システム
３０  現像処理装置
３１  下部反射防止膜形成装置
３２  レジスト塗布装置
３３  上部反射防止膜形成装置
４０  熱処理装置
４１  アドヒージョン装置
４２  周辺露光装置
１５１  シンナー供給ノズル
１７０  シンナー供給装置
２０１  フィルタ
５００  制御部
Ｐ１、Ｐ２  ポンプ
Ｗ    ウェハ
【図１】
0006501692.tif 000002
【図２】
0006501692.tif 000003
【図３】
0006501692.tif 000004
【図４】
0006501692.tif 000005
【図５】
0006501692.tif 000006
【図６】
0006501692.tif 000007