(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエーターを駆動してノズルから液体を噴射する液体噴射部に前記液体を液体供給源から供給可能な液体供給経路と、
該液体供給経路に設けられた圧力調整機構であって、
前記液体供給源から供給される前記液体が流入する液体流入部と、
前記液体を内部に収容可能であってダイヤフラム部が変位することで内部の容積が変化する液体収容部と、
前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる連通経路と、
前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の内面となる第１の面にかかる圧力が前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の外面となる第２の面にかかる圧力より低く且つ前記第１の面にかかる圧力と前記第２の面にかかる圧力との差が所定値以上になると、前記連通経路において前記液体流入部と前記液体収容部とを非連通とする閉弁状態から前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる開弁状態となる開閉弁と、
を有する圧力調整機構と、
前記ダイヤフラム部を前記液体収容部の容積が小さくなる方向に押圧可能に設けられ、前記ダイヤフラム部を押圧することによって、前記開閉弁を前記液体流入部内の圧力に関わらず開弁状態とする押圧機構と、
を備え、
前記押圧機構は、
前記ダイヤフラム部の前記第２の面を覆い、孔を介して大気と連通する空気室と、
前記空気室内に設けられ、膨張及び収縮が可能な膨張収縮部と、を有し、
前記膨張収縮部は、該膨張収縮部内の圧力を前記空気室内の圧力より高い圧力に調整されることで、前記第２の面から離れた収縮状態から膨張し、該第２の面に大気圧が作用する前記ダイヤフラム部を押圧することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
前記押圧機構は、
前記膨張収縮部内の圧力を調整可能な圧力調整部を有し、
該圧力調整部が前記膨張収縮部内の圧力を大気圧より高い圧力に調整することで、前記ダイヤフラム部を押圧することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記圧力調整機構は、前記液体収容部の容積を小さくする方向へ変位する前記ダイヤフラム部に接触した状態で移動可能な移動部材をさらに有し、
前記押圧機構は、前記ダイヤフラム部において前記移動部材が接触する領域を押圧することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記ダイヤフラム部は円盤状であり、該ダイヤフラム部の中央部を中心とした同心円の凹部と凸部が、前記移動部材が接触する領域を除いて交互に形成されたコルゲート形状を備えることを特徴とする請求項３に記載の液体噴射装置。
【請求項５】
前記圧力調整機構の前記液体流入部に供給される前記液体を加圧可能な加圧機構をさらに備え、
前記押圧機構が前記ダイヤフラム部を押圧することによる前記開閉弁の開弁状態において、前記加圧機構により加圧された前記液体を前記液体噴射部に供給することを特徴とする請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項６】
前記開閉弁の開弁状態において、前記加圧機構による前記液体を加圧する加圧力を変更することを特徴とする請求項５に記載の液体噴射装置。
【請求項７】
前記加圧機構により前記液体が加圧された状態で、前記押圧機構による前記ダイヤフラム部の押圧状態を解除して前記開閉弁を閉弁状態とすることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の液体噴射装置。
【請求項８】
前記開閉弁を開弁状態から閉弁状態とする過程において、前記液体噴射部の前記アクチュエーターを駆動することを特徴とする請求項７に記載の液体噴射装置。
【請求項９】
アクチュエーターを駆動してノズルから液体を噴射する液体噴射部に前記液体を液体供給源から供給可能な液体供給経路と、
該液体供給経路に設けられた圧力調整機構であって、
前記液体供給源から供給される前記液体が流入する液体流入部と、
前記液体を内部に収容可能であってダイヤフラム部が変位することで内部の容積が変化する液体収容部と、
前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる連通経路と、
前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の内面となる第１の面にかかる圧力が前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の外面となる第２の面にかかる圧力より低く且つ前記第１の面にかかる圧力と前記第２の面にかかる圧力との差が所定値以上になると、前記連通経路において前記液体流入部と前記液体収容部とを非連通とする閉弁状態から前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる開弁状態となる開閉弁と、
を有する圧力調整機構と、
前記ダイヤフラム部を前記液体収容部の容積が小さくなる方向に押圧可能に設けられ、前記ダイヤフラム部を押圧することによって、前記開閉弁を前記液体流入部内の圧力に関わらず開弁状態とする押圧機構と、
前記液体供給経路の前記液体流入部より前記液体供給源側となる位置に設けられ、前記液体供給経路において該液体供給源側から該液体流入部へ向かう前記液体の流動を許容し、該液体流入部から該液体供給源側に向かう該液体の流動を規制する一方向弁と、
を備え、
前記押圧機構は、前記液体収容部内の圧力が、前記ノズルにおける気液界面に形成されるメニスカスが壊れる圧力より高くなるように、前記ダイヤフラム部を押圧することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項１０】
アクチュエーターを駆動してノズルから液体を噴射する液体噴射部に前記液体を液体供給源から供給可能な液体供給経路に設けられた圧力調整機構であって、
前記液体供給源から供給される前記液体が流入する液体流入部と、
前記液体を内部に収容可能であってダイヤフラム部が変位することで内部の容積が変化する液体収容部と、
前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる連通経路と、
前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の内面となる第１の面にかかる圧力が前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の外面となる第２の面にかかる圧力より低く且つ前記第１の面にかかる圧力と前記第２の面にかかる圧力との差が所定値以上になると、前記連通経路において前記液体流入部と前記液体収容部とを非連通とする閉弁状態から前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる開弁状態となる開閉弁と、
を有する圧力調整機構と、
前記ダイヤフラム部を前記液体収容部の容積が小さくなる方向に押圧可能に設けられ、前記ダイヤフラム部を押圧することによって、前記開閉弁を前記液体流入部内の圧力に関わらず開弁状態とする押圧機構と、
を備え、
前記押圧機構は、
前記ダイヤフラム部の前記第２の面を覆い、孔を介して大気と連通する空気室と、
前記空気室内に設けられ、膨張及び収縮が可能な膨張収縮部と、を有し、
前記膨張収縮部は、該膨張収縮部内の圧力を前記空気室内の圧力より高い圧力に調整されることで、前記第２の面から離れた収縮状態から膨張し、該第２の面に大気圧が作用する前記ダイヤフラム部を押圧することを特徴とする圧力調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばインクジェット式プリンターなどの液体噴射装置、及び液体噴射装置において液体の圧力を調整する圧力調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液体噴射装置の一例として、インクタンク（液体供給源）から供給されたインク（液体）をインクジェットヘッド（液体噴射部）から媒体に噴射することで印刷を行うインクジェットプリンターが知られている。そして、こうしたプリンターのなかには、インクジェットヘッドへ供給するインクの圧力を調整するダンパ（圧力調整装置）を備えたものがある（例えば特許文献１）。
【０００３】
このダンパは、タンク側液室（液体流入部）とヘッド側液室（液体収容部）とを接続するインク経路（連通経路）と、インク経路を開閉する弁（開閉弁）とを備えている。そして、弁は、圧力可変室（圧力調整室）の圧力に応じて開弁していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１７８８８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、インク経路の弁は、タンク側液室の圧力が圧力可変室の圧力よりも所定値以上高くなると閉弁する。そのため、例えばインクタンクから加圧供給されたインクをノズルから噴射する印刷時や、加圧供給されたインクをノズルから排出させるクリーニング時でも、インクを加圧する圧力が高くなると弁は閉弁してしまう。
【０００６】
すなわち、弁が閉弁するとインクジェットヘッドへインクが供給されず、印刷やクリーニングを行うことができなくなってしまう。そのため、プリンターでは、インクを供給する圧力を、この圧力が弁を閉弁させる圧力よりも低くなるように、制限並びに制御しなければならなかった。
【０００７】
なお、こうした課題は、インクジェット式プリンターに限らず、液体噴射装置及び液体噴射装置において液体の圧力を調整する圧力調整装置においては、概ね共通したものとなっている。
【０００８】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体噴射部に液体を安定して供給できる液体噴射装置、圧力調整装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決する液体噴射装置は、アクチュエーターを駆動してノズルから液体を噴射する液体噴射部に前記液体を液体供給源から供給可能な液体供給経路と、該液体供給経路に設けられた圧力調整機構であって、前記液体供給源から供給される前記液体が流入する液体流入部と、前記液体を内部に収容可能であってダイヤフラム部が変位することで内部の容積が変化する液体収容部と、前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる連通経路と、前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の内面となる第１の面にかかる圧力が前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の外面となる第２の面にかかる圧力より低く且つ前記第１の面にかかる圧力と前記第２の面にかかる圧力との差が所定値以上になると、前記連通経路において前記液体流入部と前記液体収容部とを非連通とする閉弁状態から前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる開弁状態となる開閉弁と、を有する圧力調整機構と、前記ダイヤフラム部を前記液体収容部の容積が小さくなる方向に押圧可能に設けられ、前記ダイヤフラム部を押圧することによって、前記開閉弁を前記液体流入部内の圧力に関わらず開弁状態とする押圧機構と、を備える。
【００１０】
この構成によれば、液体流入部内の圧力が変動したり高くなったりしても、押圧機構は液体流入部内の圧力に関わらず開閉弁を開弁状態にできる。そのため、液体噴射部に液体を安定して供給できる。
【００１１】
上記液体噴射装置において、前記押圧機構は、前記ダイヤフラム部の前記第２の面側に形成された圧力調整室内の圧力を調整可能な圧力調整部を有し、該圧力調整部が前記圧力調整室内の圧力を大気圧より高い圧力に調整することで、前記ダイヤフラム部を押圧するのが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、圧力調整部は、圧力調整室内の圧力を調整することでダイヤフラム部を液体収容部の容積が小さくなる方向に押圧する。そのため、押圧機構は、ダイヤフラム部の押圧を好適に行うことができる。
【００１３】
上記液体噴射装置において、前記押圧機構は、膨張及び収縮が可能で且つ前記圧力調整室を形成する膨張収縮部をさらに有し、前記圧力調整部が前記膨張収縮部を膨張させることで、前記ダイヤフラム部を押圧するのが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、圧力調整部は、膨張収縮部を膨張させることでダイヤフラム部を液体収容部の容積が小さくなる方向に押圧する。そのため、押圧機構は、ダイヤフラム部の押圧を好適に行うことができる。
【００１５】
上記液体噴射装置において、前記押圧機構は、前記液体収容部内の圧力が、前記ノズルにおける気液界面に形成されるメニスカスが壊れる圧力より高くなるように、前記ダイヤフラム部を押圧するのが好ましい。
【００１６】
例えば液体供給源側から加圧供給した液体をノズルから排出させる加圧クリーニング時には、メニスカスが壊れる圧力よりも高い圧力で液体を加圧供給する。その点、この構成によれば、押圧機構によりダイヤフラム部が押圧された液体収容部内の圧力は、メニスカスが壊れる圧力より高いため、加圧クリーニングを行う場合でも開閉弁を開弁状態とすることができる。
【００１７】
上記液体噴射装置において、前記圧力調整機構は、前記液体収容部の容積を小さくする方向へ変位する前記ダイヤフラム部に接触した状態で移動可能な移動部材をさらに有し、前記押圧機構は、前記ダイヤフラム部において前記移動部材が接触する領域を押圧するのが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、押圧機構は、ダイヤフラム部において移動部材が接する領域を押圧するため、圧力調整機構が移動部材を有していない場合に比べてダイヤフラム部の変形を制限できる。したがって、押圧機構がダイヤフラム部の押圧を解除し、ダイヤフラム部が液体収容部の容積を大きくする方向に変位した場合に、ノズルから気体などが引き込まれてしまう虞を低減できる。
【００１９】
上記液体噴射装置は、前記圧力調整機構に供給される前記液体を加圧可能な加圧機構をさらに備え、前記押圧機構が前記ダイヤフラム部を押圧することによる前記開閉弁の開弁状態において、前記加圧機構により加圧された前記液体を前記液体噴射部に供給するのが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、開閉弁を開弁した状態において、加圧機構により加圧された液体を液体噴射部に供給することにより、液体噴射部のクリーニングを好適に行うことができる。
【００２１】
上記液体噴射装置は、前記開閉弁の開弁状態において、前記加圧機構による前記液体を加圧する加圧力を変更するのが好ましい。
この構成によれば、液体流入部内の圧力に関わらず開閉弁を開弁状態とすることができるため、加圧機構により液体を加圧する加圧力を変更しても開閉弁は開弁状態を維持する。したがって、例えば液体噴射部の状態に応じた加圧力で液体を供給することができるため、クリーニングをより好適に行うことができる。
【００２２】
上記液体噴射装置は、前記加圧機構により前記液体が加圧された状態で、前記押圧機構による前記ダイヤフラム部の押圧状態を解除して前記開閉弁を閉弁状態とするのが好ましい。
【００２３】
押圧機構により押圧されたダイヤフラム部は、液体収容部の容積を小さくする方向に変位して開閉弁を開弁状態とするため、押圧機構の押圧を解除すると、ダイヤフラム部は液体収容部の容積を大きくする方向に変位しようとする。その点、この構成によれば、加圧機構により加圧された液体が圧力調整機構に供給されるため、液体噴射部側から液体を引き込む虞を低減できる。したがって、ノズルから気体などを引き込んでしまう虞を低減できる。
【００２４】
上記液体噴射装置は、前記開閉弁を開弁状態から閉弁状態とする過程において、前記液体噴射部の前記アクチュエーターを駆動するのが好ましい。
この構成によれば、液体噴射部は、アクチュエーターを駆動することにより、液体供給源から供給された液体をノズルから噴射する。すなわち、液体供給源側から液体噴射部側に向かって液体を流動させることができるため、ノズルから気体などを引き込んでしまう虞を低減できる。
【００２５】
また、上記課題を解決する圧力調整装置は、アクチュエーターを駆動してノズルから液体を噴射する液体噴射部に前記液体を液体供給源から供給可能な液体供給経路に設けられた圧力調整機構であって、前記液体供給源から供給される前記液体が流入する液体流入部と、前記液体を内部に収容可能であってダイヤフラム部が変位することで内部の容積が変化する液体収容部と、前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる連通経路と、前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の内面となる第１の面にかかる圧力が前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の外面となる第２の面にかかる圧力より低く且つ前記第１の面にかかる圧力と前記第２の面にかかる圧力との差が所定値以上になると、前記連通経路において前記液体流入部と前記液体収容部とを非連通とする閉弁状態から前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる開弁状態となる開閉弁と、を有する圧力調整機構と、前記ダイヤフラム部を前記液体収容部の容積が小さくなる方向に押圧可能に設けられ、前記ダイヤフラム部を押圧することによって、前記開閉弁を前記液体流入部内の圧力に関わらず開弁状態とする押圧機構と、を備え、前記押圧機構は、前記ダイヤフラム部の前記第２の面を覆い、孔を介して大気と連通する空気室と、前記空気室内に設けられ、膨張及び収縮が可能な膨張収縮部と、を有し、前記膨張収縮部は、該膨張収縮部内の圧力を前記空気室内の圧力より高い圧力に調整されることで、前記第２の面から離れた収縮状態から膨張し、該第２の面に大気圧が作用する前記ダイヤフラム部を押圧する。
【００２６】
この構成によれば、上記液体噴射装置と同様の効果を奏し得る。
また、上記課題を解決する液体噴射装置は、アクチュエーターを駆動してノズルから液体を噴射する液体噴射部に前記液体を液体供給源から供給可能な液体供給経路と、該液体供給経路に設けられた圧力調整機構であって、前記液体供給源から供給される前記液体が流入する液体流入部と、前記液体を内部に収容可能であってダイヤフラム部が変位することで内部の容積が変化する液体収容部と、前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる連通経路と、前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の内面となる第１の面にかかる圧力が前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の外面となる第２の面にかかる圧力より低く且つ前記第１の面にかかる圧力と前記第２の面にかかる圧力との差が所定値以上になると、前記連通経路において前記液体流入部と前記液体収容部とを非連通とする閉弁状態から前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる開弁状態となる開閉弁と、を有する圧力調整機構と、前記ダイヤフラム部を前記液体収容部の容積が小さくなる方向に押圧可能に設けられ、前記ダイヤフラム部を押圧することによって、前記開閉弁を前記液体流入部内の圧力に関わらず開弁状態とする押圧機構と、前記液体供給経路の前記液体流入部より前記液体供給源側となる位置に設けられ、前記液体供給経路において該液体供給源側から該液体流入部へ向かう前記液体の流動を許容し、該液体流入部から該液体供給源側に向かう該液体の流動を規制する一方向弁と、を備え、前記押圧機構は、前記液体収容部内の圧力が、前記ノズルにおける気液界面に形成されるメニスカスが壊れる圧力より高くなるように、前記ダイヤフラム部を押圧する。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】液体噴射装置の第１実施形態の模式図。
【図２】複数の圧力調整装置と圧力調整部の模式図。
【図３】開閉弁が開弁した状態の液体噴射装置の模式図。
【図４】第２実施形態の液体噴射装置における加圧機構の模式図。
【図５】圧力調整装置の第１変形例の模式図。
【図６】圧力調整装置の第２変形例の模式図。
【図７】圧力調整装置の第３変形例の模式図。
【図８】圧力調整装置の第４変形例の模式図。
【図９】圧力調整装置の第５変形例の模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
（第１実施形態）
以下、液体噴射装置と圧力調整装置の第１実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２９】
図１に示すように、液体噴射装置１１は、液体を噴射する液体噴射部１２と、液体の供給源である液体供給源１３から液体噴射部１２に液体を供給する供給機構１４とを備えている。
【００３０】
液体噴射部１２は、液体中の気泡や異物を捕捉する噴射部フィルター１６と、噴射部フィルター１６を通過した液体を貯留する共通液室１７とを備えている。さらに、液体噴射部１２は、ノズル形成面１８に形成された複数のノズル１９と共通液室１７とを連通させる複数の圧力室２０を備えている。この圧力室２０の壁面の一部は、振動板２１によって形成されていると共に、共通液室１７と圧力室２０は、連通孔２２を通じて連通している。さらに、振動板２１において、圧力室２０と面する部分の反対側の面であって、共通液室１７と異なる位置には、収容室２３に収容されたアクチュエーター２４が配設されている。
【００３１】
アクチュエーター２４は、例えば駆動電圧が印加された場合に収縮する圧電素子である。このアクチュエーター２４の収縮に伴って振動板２１を変形させた後、駆動電圧の印加を解除すると、容積が変化した圧力室２０内の液体がノズル１９から液滴として噴射される。すなわち、液体噴射部１２は、アクチュエーター２４を駆動してノズル１９から液体を噴射する。
【００３２】
液体供給源１３は、例えば液体を収容可能な収容容器であり、収容容器を交換することで液体を補給するカートリッジであってもよいし、装着部２６に固定された収容タンクであってもよい。装着部２６は、液体供給源１３がカートリッジである場合には、液体供給源１３を着脱可能に保持する。なお、液体供給源１３及び供給機構１４は、液体噴射部１２から噴射する液体の種類ごとに少なくとも１組（本実施形態では４組）設けられている。
【００３３】
また、供給機構１４は、液体の供給方向Ａにおいて上流側となる液体供給源１３から下流側となる液体噴射部１２に液体を供給可能な液体供給経路２７を備えている。なお、液体供給経路２７の一部は、循環経路形成部２８と協働して循環経路としても機能する。すなわち、循環経路形成部２８は、共通液室１７と液体供給経路２７とを接続する。そして、循環経路形成部２８には、循環経路において液体を循環方向Ｂに循環させる循環ポンプ２９が設けられている。
【００３４】
そして、液体供給経路２７において、循環経路形成部２８が接続された位置よりも液体供給源１３側には、液体供給源１３から供給方向Ａに液体を流動させることにより、液体を液体噴射部１２に向けて加圧供給する加圧機構３１が設けられている。さらに、液体供給経路２７において、循環経路形成部２８が接続された位置よりも下流側の循環経路としても機能する部分には、上流側から順にフィルターユニット３２、スタティックミキサー３３、液体貯留部３４、圧力調整機構３５が設けられている。
【００３５】
加圧機構３１は、可撓性を有する可撓性部材３７を往復運動させて液体に圧力を与える容積ポンプ３８と、液体供給経路２７において容積ポンプ３８の上流と下流にそれぞれ設けられた一方向弁３９，４０とを備えている。
【００３６】
容積ポンプ３８は、可撓性部材３７によって区切られたポンプ室４１と負圧室４２とを有する。さらに、容積ポンプ３８は、負圧室４２を減圧するための減圧部４３と、負圧室４２内に設けられて可撓性部材３７をポンプ室４１側に向けて付勢する付勢部材４４とを備えている。また、一方向弁３９，４０は、液体供給経路２７において上流側から下流側への液体の流動を許容し、下流側から上流側に向かう液体の流動を規制する。すなわち、加圧機構３１は、付勢部材４４が可撓性部材３７を介してポンプ室４１内の液体を付勢することにより、圧力調整機構３５に供給される液体を加圧可能である。そのため、加圧機構３１が液体を加圧する加圧力は、付勢部材４４の付勢力により設定されている。
【００３７】
フィルターユニット３２は、液体中の気泡や異物を捕捉し、交換可能に設けられている。また、スタティックミキサー３３は、液体の流れに方向転換や分割などの変化を起こし、液体中の濃度の偏りを低減させる。そして、液体貯留部３４は、ばね４５により付勢された容積可変の空間に液体を貯留し、液体の圧力の変動を緩和する。
【００３８】
次に、圧力調整装置４７について説明する。
図１に示すように、圧力調整装置４７は、液体供給経路２７に設けられてこの液体供給経路２７の一部を構成する圧力調整機構３５と、圧力調整機構３５を押圧する押圧機構４８とを備えている。
【００３９】
圧力調整機構３５は、液体供給源１３から液体供給経路２７を介して供給される液体が流入する液体流入部５０と、液体を内部に収容可能な液体収容部５１とが形成された本体部５２を備える。なお、液体供給経路２７と液体流入部５０は、壁部５３により仕切られていると共に、壁部５３に形成された貫通孔５４により連通している。また、貫通孔５４は、フィルター部材５５により塞がれている。すなわち、液体供給経路２７の液体は、フィルター部材５５を通過して液体流入部５０に流入する。
【００４０】
また、液体収容部５１は、壁面の一部がダイヤフラム部５６により構成されている。このダイヤフラム部５６は、液体収容部５１の内面となる第１の面５６ａに液体収容部５１内の液体の圧力を受ける一方で、液体収容部５１の外面となる第２の面５６ｂに大気圧を受ける。そのため、ダイヤフラム部５６は、液体収容部５１内の圧力に応じて変位する。そして、液体収容部５１は、ダイヤフラム部５６が変位することで内部の容積が変化する。また、液体流入部５０と液体収容部５１は、連通経路５７により連通されている。
【００４１】
圧力調整機構３５は、連通経路５７において液体流入部５０と液体収容部５１とを非連通とする閉弁状態（図１に示す状態）と、液体流入部５０と液体収容部５１とを連通させる開弁状態（図３に示す状態）とを切り替え可能な開閉弁５９を備えている。開閉弁５９は、連通経路５７を遮断可能な弁部６０と、ダイヤフラム部５６から圧力を受ける受圧部６１とを有し、受圧部６１がダイヤフラム部５６に押圧されることで移動する。すなわち、受圧部６１は、液体収容部５１の容積を小さくする方向へ変位するダイヤフラム部５６に接触した状態で移動可能な移動部材としても機能している。
【００４２】
また、液体流入部５０内には、上流側付勢部材６２が設けられていると共に、液体収容部５１内には、下流側付勢部材６３が設けられている。なお、上流側付勢部材６２と下流側付勢部材６３は、開閉弁５９を閉弁させる方向に付勢する。
【００４３】
そして、開閉弁５９は、第１の面５６ａにかかる圧力が第２の面５６ｂにかかる圧力より低く且つ第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力との差が所定値（例えば１ｋＰａ）以上になると、閉弁状態から開弁状態となる。なお、所定値とは、上流側付勢部材６２の付勢力、下流側付勢部材６３の付勢力、ダイヤフラム部５６を変位させるために必要な力、弁部６０によって連通経路５７を遮断するために必要な押圧力（シール荷重）、弁部６０の表面に作用する液体流入部５０内の圧力及び液体収容部５１内の圧力に応じて決まる値である。すなわち、上流側付勢部材６２と下流側付勢部材６３の付勢力が大きいほど所定値も大きくなる。また、この上流側付勢部材６２と下流側付勢部材６３の付勢力は、液体収容部５１内の圧力がノズル１９における気液界面にメニスカス６４を形成可能な範囲の負圧状態（例えば第２の面５６ｂにかかる圧力が大気圧の場合、−１ｋＰａ）となるように設定される。
【００４４】
なお、気液界面とは、液体と気体とが接する境界である。そして、メニスカス６４とは、液体がノズル１９と接してできる湾曲した液体表面であり、ノズル１９には液体の噴射に適した凹状のメニスカス６４が形成されるのが好ましい。
【００４５】
また、押圧機構４８は、ダイヤフラム部５６の第２の面５６ｂ側に圧力調整室６６を形成する膨張収縮部６７と、膨張収縮部６７を押える押え部材６８と、圧力調整室６６内の圧力を調整可能な圧力調整部６９とを備えている。
【００４６】
膨張収縮部６７は、例えばゴムや樹脂により風船状に形成され、圧力調整部６９が圧力調整室６６の圧力を調整するのに伴って膨張及び収縮が可能である。また、押え部材６８は、有底円筒形状をなし、底部に形成された挿通孔７０に膨張収縮部６７が挿通されている。
【００４７】
そして、押え部材６８において、内側面の開口部７１側の端は、面取りされて丸みが付けられている。また、押え部材６８は、開口部７１が圧力調整機構３５に塞がれるようにして圧力調整機構３５に取り付けられることにより、ダイヤフラム部５６の第２の面５６ｂを覆う空気室７２を形成する。なお、空気室７２内の圧力は大気圧とされ、ダイヤフラム部５６の第２の面５６ｂには大気圧が作用する。
【００４８】
すなわち、圧力調整部６９は、圧力調整室６６内の圧力を空気室７２の圧力である大気圧よりも高い圧力に調整することで膨張収縮部６７を膨張させる。そして、押圧機構４８は、圧力調整部６９が膨張収縮部６７を膨張させることで、ダイヤフラム部５６を液体収容部５１の容積が小さくなる方向に押圧する。また、このとき押圧機構４８は、ダイヤフラム部５６において受圧部６１が接する領域を押圧する。なお、ダイヤフラム部５６における受圧部６１が接する領域の面積は、連通経路５７の断面積よりも大きい。
【００４９】
図２に示すように、圧力調整部６９は、流体を加圧する加圧ポンプ７４と、加圧ポンプ７４と膨張収縮部６７とを接続する接続経路７５と、接続経路７５に設けられた検出部７６及び流体圧調整部７７とを備えている。なお、接続経路７５の下流側は、分岐していると共に、複数（本実施形態では４つ）設けられた圧力調整装置４７の膨張収縮部６７にそれぞれ接続されている。
【００５０】
すなわち、加圧ポンプ７４により加圧された流体は、接続経路７５を介してそれぞれの膨張収縮部６７に供給される。そして、検出部７６は、接続経路７５において供給される流体の圧力を検出し、流体圧調整部７７は、供給される流体の圧力が所定の圧力よりも高くなった場合に開弁して流体を逃がすことにより流体が所定の圧力となるように調整する。
【００５１】
また、液体噴射装置１１は、検出部７６が検出した流体の圧力に基づいて加圧ポンプ７４の駆動を制御する制御部７８を備えている。なお、この制御部７８は、液体噴射装置１１における各機構の駆動も統括的に制御する。
【００５２】
また、液体噴射装置１１は、ノズル形成面１８を払拭する払拭部材８０と、フラッシングなどに伴ってノズル１９から排出された液体を受容する液体受容部８１とを備えている。なお、フラッシングとは、アクチュエーター２４を駆動して、印刷とは無関係にノズル１９から液滴を強制的に噴射させる動作である。
【００５３】
次に、液体噴射部１２に供給される液体の圧力を調整する圧力調整装置４７の作用について説明する。
さて、図１に示すように、液体噴射部１２が液体を噴射すると、液体収容部５１に収容された液体が液体供給経路２７を介して液体噴射部１２に供給される。すると、液体収容部５１内の圧力が低下する。
【００５４】
なお、ダイヤフラム部５６は、第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力との差圧が大きくなるほど、液体収容部５１の容積を小さくする方向へ撓み変形する。そして、ダイヤフラム部５６の変形に伴って受圧部６１が押圧されて移動すると、開閉弁５９は開弁状態となる。
【００５５】
また、液体流入部５０内の液体は、加圧機構３１により加圧されている。そのため、開閉弁５９が開弁すると、液体流入部５０から液体収容部５１に液体が供給され、液体収容部５１内の圧力が上昇する。すると、ダイヤフラム部５６は、液体収容部５１の容積を増大させるように変形する。そして、第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力との差が所定値よりも小さくなると、開閉弁５９は開弁状態から閉弁状態になって液体の流動を規制する。
【００５６】
このようにして、圧力調整機構３５は、ダイヤフラム部５６を変位させて液体噴射部１２に供給される液体の圧力を調整することで、ノズル１９の背圧となる液体噴射部１２内の圧力を調整する。
【００５７】
次に、液体噴射部１２のメンテナンスのために、液体供給源１３から液体噴射部１２へ液体を強制的に流動させて加圧クリーニングを行う場合の作用について説明する。
さて、図２に示すように、制御部７８は、加圧ポンプ７４を駆動し、膨張収縮部６７に加圧された流体を供給する。
【００５８】
図３に示すように、流体が供給された膨張収縮部６７は、膨張すると共に、ダイヤフラム部５６において受圧部６１が接触する領域を押圧する。すなわち、押圧機構４８は、上流側付勢部材６２及び下流側付勢部材６３の付勢力に抗して受圧部６１を移動させることにより、開閉弁５９を開弁状態とする。なお、圧力調整部６９は、複数の圧力調整装置４７の膨張収縮部６７に接続されているため、これらの圧力調整装置４７の開閉弁５９が開弁状態となる。
【００５９】
また、このときダイヤフラム部５６は、液体収容部５１の容積を小さくする方向に変形するため、液体収容部５１に収容されていた液体は液体噴射部１２側に押し出される。すなわち、ダイヤフラム部５６が液体収容部５１を押圧した圧力が液体噴射部１２に伝わることにより、メニスカス６４が壊れてノズル１９から液体が溢れる。すなわち、押圧機構４８は、液体収容部５１内の圧力が、少なくとも１つのメニスカス６４が壊れる圧力（例えば、気液界面において、液体側の圧力が気体側の圧力より３ｋＰａ高くなる圧力）より高くなるように、ダイヤフラム部５６を押圧する。さらに押圧機構４８は、ダイヤフラム部５６を押圧することによって、開閉弁５９を液体流入部５０内の圧力に関わらず開弁状態とする。すなわち、押圧機構４８は、加圧機構３１が液体を加圧する圧力に前述の所定値を加えた圧力がダイヤフラム部５６に加わった場合に発生する押圧力よりも大きな押圧力でダイヤフラム部５６を押圧する。
【００６０】
そして、液体噴射装置１１は、押圧機構４８がダイヤフラム部５６を押圧することによる開閉弁５９の開弁状態において、減圧部４３を定期的に駆動することにより、加圧機構３１により加圧された液体を液体噴射部１２に供給する。すなわち、減圧部４３の駆動に伴って負圧室４２が減圧されると、可撓性部材３７はポンプ室４１の容積を増大させる方向に移動する。すると、液体供給源１３からポンプ室４１に液体が流入する。そして、減圧部４３による減圧が解除されると、可撓性部材３７は付勢部材４４によりポンプ室４１の容積を減少させる方向に付勢される。すなわち、ポンプ室４１内の液体は、可撓性部材３７を介して付勢部材４４により加圧され、下流側の一方向弁４０を通過して液体供給経路２７の下流側に供給される。
【００６１】
そして、開閉弁５９は、開弁状態が維持されるため、加圧機構３１が液体を加圧すると、加圧力が液体流入部５０、連通経路５７、液体収容部５１を介して液体噴射部１２に伝わり、ノズル１９から液体が排出される。
【００６２】
そして、加圧クリーニングを終了する場合には、液体噴射装置１１は、加圧機構３１により液体が加圧された状態で、押圧機構４８によるダイヤフラム部５６の押圧状態を解除して開閉弁５９を閉弁状態とする。さらに、液体噴射装置１１は、開閉弁５９を開弁状態から閉弁状態とする過程において、液体噴射部１２のアクチュエーター２４を駆動する。すなわち、アクチュエーター２４が駆動されると、ノズル１９から液体が噴射されると共に、噴射された分の液体が液体収容部５１から液体噴射部１２に供給される。そのため、開閉弁５９は、液体流入部５０から液体収容部５１に液体を流動させた状態で閉弁する。
【００６３】
その後、液体噴射装置１１は、払拭部材８０にノズル形成面１８を払拭させるワイピングを行うと共に、アクチュエーター２４を駆動してフラッシングを行う。すると、ノズル１９にはメニスカス６４が形成される。
【００６４】
次に、圧力調整機構３５と押圧機構４８とを接合して圧力調整装置４７を製造する製造方法について説明する。
なお、本実施形態の本体部５２は、レーザー光を吸収して発熱する光吸収性樹脂（例えばポリプロピレン）や、光を吸収する色素で着色された樹脂により形成されている。また、ダイヤフラム部５６は、例えばポリプロピレンとポリエチレンテレフタレートなどの異なる材料を積層させて形成され、レーザー光を透過させる透過性及び可撓性を有する。そして、押え部材６８は、レーザー光を透過する光透過性樹脂（例えばポリスチレンやポリカーボネート）により形成されている。すなわち、ダイヤフラム部５６の透明度は、本体部５２の透明度よりも高く、押え部材６８の透明度よりも低い。
【００６５】
さて、図１に示すように、まず挿通孔７０に膨張収縮部６７を挿通させた押え部材６８と本体部５２とによりダイヤフラム部５６を挟持させる（挟持工程）。そして、押え部材６８を介してレーザー光を照射する（照射工程）。すると、押え部材６８を透過したレーザー光を本体部５２が吸収して発熱する。そして、生じた熱により、本体部５２、ダイヤフラム部５６、押え部材６８が溶着される。そのため、押え部材６８は、圧力調整装置４７を製造する際にダイヤフラム部５６を押える治具としても機能する。
【００６６】
上記第１実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）液体流入部５０内の圧力が変動したり高くなったりしても、押圧機構４８は液体流入部５０内の圧力に関わらず開閉弁５９を開弁状態にできる。そのため、液体噴射部１２に液体を安定して供給できる。
【００６７】
（２）圧力調整部６９は、圧力調整室６６内の圧力を調整することでダイヤフラム部５６を液体収容部５１の容積が小さくなる方向に押圧する。そのため、押圧機構４８は、ダイヤフラム部５６の押圧を好適に行うことができる。
【００６８】
（３）圧力調整部６９は、膨張収縮部６７を膨張させることでダイヤフラム部５６を液体収容部５１の容積が小さくなる方向に押圧する。そのため、押圧機構４８は、ダイヤフラム部５６の押圧を好適に行うことができる。
【００６９】
（４）例えば液体供給源１３側から加圧供給した液体をノズル１９から排出させる加圧クリーニング時には、メニスカス６４が壊れる圧力よりも高い圧力で液体を加圧供給する。その点、押圧機構４８によりダイヤフラム部５６が押圧された液体収容部５１内の圧力は、メニスカス６４が壊れる圧力より高いため、加圧クリーニングを行う場合でも開閉弁５９を開弁状態とすることができる。
【００７０】
（５）押圧機構４８は、ダイヤフラム部５６において受圧部６１が接する領域を押圧するため、圧力調整機構３５が受圧部６１を有していない場合に比べてダイヤフラム部５６の変形を制限できる。したがって、押圧機構４８がダイヤフラム部５６の押圧を解除し、ダイヤフラム部５６が液体収容部５１の容積を大きくする方向に変位した場合に、ノズル１９から気体などが引き込まれてしまう虞を低減できる。
【００７１】
（６）開閉弁５９を開弁した状態において、加圧機構３１により加圧された液体を液体噴射部１２に供給することにより、液体噴射部１２のクリーニングを好適に行うことができる。
【００７２】
（７）押圧機構４８により押圧されたダイヤフラム部５６は、液体収容部５１の容積を小さくする方向に変位して開閉弁５９を開弁状態とするため、押圧機構４８の押圧を解除すると、ダイヤフラム部５６は液体収容部５１の容積を大きくする方向に変位しようとする。その点、加圧機構３１により加圧された液体が圧力調整機構３５に供給されるため、液体噴射部１２側から液体を引き込む虞を低減できる。したがって、ノズル１９から気体などを引き込んでしまう虞を低減できる。
【００７３】
（８）液体噴射部１２は、アクチュエーター２４を駆動することにより、液体供給源１３から供給された液体をノズル１９から噴射する。すなわち、液体供給源１３側から液体噴射部１２側に向かって液体を流動させることができるため、ノズル１９から気体などを引き込んでしまう虞を低減できる。
【００７４】
（９）液体流入部５０の圧力に関わらず開閉弁５９を開弁状態とすることができる。そのため、例えばノズル１９から液体を噴射して媒体に記録を行う記録時に液体流入部５０の圧力が高くなった場合でも、開閉弁５９を開弁状態とすることにより液体噴射部１２に液体を供給することができる。そのため、記録処理の中断や、中断に伴う記録品質の低下を抑制できる。
【００７５】
（１０）接続経路７５に流体圧調整部７７を設けたため、加圧ポンプ７４が予期しない駆動をして接続経路７５の圧力が高まった場合でも、膨張収縮部６７に供給される流体の圧力を調整することができる。したがって、膨張収縮部６７に予期しない圧力が加わる虞を低減することができる。
【００７６】
（１１）開閉弁５９を開弁状態から閉弁状態にした後、ワイピング及びフラッシングを行うことで、メニスカス６４を整えることができる。例えば、ダイヤフラム部５６が液体収容部５１の容積を増大させる方向に移動する場合に、受圧部６１と接触しない領域が液体収容部５１の容積を減少させる方向に移動してノズル１９から液体が溢れてしまった場合でも、メニスカス６４を整えることができる。
【００７７】
（第２実施形態）
次に、液体噴射装置の第２実施形態について図を参照しながら説明する。なお、この第２実施形態は、加圧機構が第１実施形態の場合とは異なっている。そして、その他の点では第１実施形態とほぼ同じであるため、同一の構成については同一符号を付すことによって重複した説明は省略する。
【００７８】
図４に示すように、液体供給源８３は、気密状態に形成された外郭ケース８４と、外郭ケース８４内に収容されると共に、液体が封入された状態で変形可能な液体パック８５とにより構成され、外郭ケース８４と液体パック８５との間は加圧室８６とされている。
【００７９】
そして、加圧機構８８は、加圧室８６を加圧することで圧力調整機構３５に供給される液体を加圧する。すなわち、加圧機構８８は、加圧室８６に接続された加圧経路８９と、加圧経路８９に設けられた開放弁９０、供給ポンプ９１、空気圧調整部９２とを備える。なお、開放弁９０は、開弁することにより加圧経路８９における空気の流動を許容し、閉弁することにより空気の流動を規制する。供給ポンプ９１は、加圧経路８９を介して加圧室８６に空気を供給する。空気圧調整部９２は、押圧機構４８が備える流体圧調整部７７と同様に、供給される空気の圧力を調整する。
【００８０】
そして、加圧室８６は、開放弁９０が開弁した状態で供給ポンプ９１が駆動されることにより加圧される。そして、供給ポンプ９１が加圧室８６を加圧した状態で開放弁９０が閉弁することにより、加圧室８６内は加圧状態に維持される。
【００８１】
次に、液体噴射部１２のメンテナンスのために、液体供給源８３から液体噴射部１２へ液体を強制的に流動させて加圧クリーニングを行う場合の作用について説明する。
さて、液体噴射装置１１は、第１実施形態と同様に押圧機構４８を駆動して開閉弁５９を開弁させる。そして、開閉弁５９の開弁状態において、加圧機構８８による液体を加圧する加圧力を変更する。すなわち、制御部７８は、例えば供給ポンプ９１を駆動して第１の加圧力で液体を加圧した後、供給ポンプ９１の駆動を変化させて第１の加圧力とは異なる第２の加圧力で液体を加圧する。なお、第１の加圧力は、第２の加圧力よりも大きくてもよいし、小さくてもよい。
【００８２】
そして、加圧力が変化すると、単位時間当たりに液体供給経路２７を流動して液体噴射部１２から排出される液体の量である流量が変化する。すなわち、例えば第２の加圧力よりも大きい第１の加圧力で液体を加圧した場合の流量は、第２の加圧力で液体を加圧した場合の流量よりも多くなる。
【００８３】
上記第２実施形態によれば、上記第１実施形態の（１）〜（１１）の効果に加えて以下のような効果を得ることができる。
（１２）液体流入部５０内の圧力に関わらず開閉弁５９を開弁状態とすることができるため、加圧機構８８により液体を加圧する加圧力を変更しても開閉弁５９は開弁状態を維持する。したがって、例えば液体噴射部１２の状態に応じた加圧力で液体を供給することができるため、クリーニングをより好適に行うことができる。
【００８４】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・図５に示すように、膨張収縮部６７は、側面が蛇腹状の鞴としてもよい（第１変形例）。すなわち、膨張収縮部６７は、圧力調整室６６が加圧されると蛇腹が伸びるように鞴が伸展し、圧力調整室６６の加圧が解除されると鞴が収縮する。
【００８５】
・図６に示すように、移動部材の一例である受圧部６１は、開閉弁５９とは別の部材としてもよい（第２変形例）。また、受圧部６１をダイヤフラム部５６に設け、ダイヤフラム部５６が変位するのに伴って受圧部６１を移動させてもよい。なお、押圧機構４８は、受圧部６１が開閉弁５９の凸部５９ａを押圧しない範囲でダイヤフラム部５６を変位させ、液体収容部５１の容積変化分の液体をノズル１９から排出させて液体噴射部１２のメンテナンスを行ってもよい。また、受圧部６１には、凸部５９ａと係合する凹部６１ａを形成してもよい。
【００８６】
・図６に示すように、円盤状のダイヤフラム部５６は、ダイヤフラム部５６の中央部を中心とした同心円の凹部と凸部が、中央部から端部にかけて交互に形成されたコルゲート（波型）形状としてもよい。すなわち、ダイヤフラム部５６は、第１の面５６ａ及び第２の面５６ｂが波紋状に形成されてもよい。また、ダイヤフラム部５６は、ゴムや樹脂などにより可撓性を有する厚みで形成される。
【００８７】
・図６に示すように、液体供給経路２７は、液体流入部５０において上流側付勢部材６２を支持する壁部５３とは異なる位置に接続されてもよい。また、フィルター部材５５は、壁部５３とは異なる位置に設けられてもよい。
【００８８】
・図６に示すように、下流側付勢部材６３を備えない構成としてもよい。すなわち、ダイヤフラム部５６は、弾性により液体収容部５１の容積を減少させた位置から増大させる方向に変位してもよい。また、ダイヤフラム部５６は、膨張収縮部６７に接合させてもよい。すなわち、ダイヤフラム部５６は、膨張収縮部６７が収縮するのに伴って液体収容部５１の容積を減少させた位置から増大させる方向に変位してもよい。
【００８９】
・図７に示すように、開閉弁５９は、軸９４を中心として揺動することで開弁状態と閉弁状態とを切り替えてもよい（第３変形例）。開閉弁５９を揺動させることにより、開閉弁５９を上流側付勢部材６２の付勢方向に移動させる場合に比べ、開閉弁５９の開弁動作を安定させることができる。なお、開閉弁５９は、軸９４が軸受部９５と支持部９６とにより挟持されるようにして支持されている。そして、開閉弁５９は、軸９４よりも一端側に弁部６０が設けられると共に、他端側が上流側付勢部材６２により付勢されている。すなわち、上流側付勢部材６２は、弁部６０が連通経路５７を閉塞する方向に開閉弁５９を付勢する。
【００９０】
・図８に示すように、開閉弁５９は、液体収容部５１に設けてもよい（第４変形例）。
・図８に示すように、押圧機構４８は、膨張収縮部６７を備えない構成としてもよい。すなわち、押え部材６８とダイヤフラム部５６とにより形成される空気室７２を圧力調整室６６として機能させてもよい。押圧機構４８は、圧力調整室６６を加圧することにより、ダイヤフラム部５６の第２の面５６ｂの全体を押圧し、ダイヤフラム部５６において受圧部６１が接触しない領域を押圧してもよい。
【００９１】
・図９に示すように、受圧部６１は、片もち支持された板ばねとし、先端がダイヤフラム部５６に押圧されることにより変形して開閉弁５９を開弁させてもよい（第５変形例）。なお、受圧部６１は、ダイヤフラム部５６に押圧される部分よりも基端部側の部分で開閉弁５９を押圧する。
【００９２】
この第５変形例によれば、受圧部６１は、てことなる。すなわち、受圧部６１は、基端部を支点、ダイヤフラム部５６に押圧される先端部が力点となり、支点と力点との間に開閉弁５９を押圧する作用点が位置する。そのため、受圧部６１は、ダイヤフラム部５６が押圧する力を、より大きな力に変えて開閉弁５９を押圧することができる。
【００９３】
・図９に示すように、圧力調整装置４７は、フィルターユニット３２を備えてもよい。また、液体噴射装置１１は、スタティックミキサー３３や液体貯留部３４を備えない構成としてもよい。
【００９４】
・上記各実施形態において、押圧機構４８は、圧力調整室６６に形成された噴出口から空気を噴出させることにより、ダイヤフラム部５６を押圧してもよい。なお、噴出口は、ダイヤフラム部５６において受圧部６１が接触する領域と対向する位置に形成されるのが好ましい。すなわち、圧力調整部６９が圧力調整室６６内の圧力を大気圧より高い圧力に調整するのに伴って噴出口から噴出された空気の圧力により、ダイヤフラム部５６において受圧部６１が接触する領域を押圧してもよい。
【００９５】
・上記各実施形態において、液体噴射装置１１は、圧力調整部６９を複数備えていてもよい。例えば、圧力調整部６９は、押圧機構４８ごとに設けてもよい。
・上記各実施形態において、受圧部６１は、ダイヤフラム部５６の第２の面５６ｂ側に設けてもよい。すなわち、押圧機構４８は、受圧部６１を介してダイヤフラム部５６を押圧してもよい。
【００９６】
・上記各実施形態において、液体噴射装置１１は、循環経路形成部２８及び循環ポンプ２９を備えない構成としてもよい。
・上記各実施形態において、圧力調整室６６に供給する流体は、空気などの気体や、水やオイルなどの液体としてもよい。
【００９７】
・上記各実施形態において、空気室７２の圧力を変更することにより、開閉弁５９が閉弁状態から開弁状態となる液体収容部５１の圧力を変更してもよい。すなわち、ダイヤフラム部５６は、第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力の差に応じて変位するため、第２の面５６ｂにかかる圧力の大きさを変更することで、開閉弁５９が開弁する条件を変更することができる。
【００９８】
・上記各実施形態において、開閉弁５９を開弁状態から閉弁状態とする過程で、アクチュエーター２４を駆動しなくてもよい。
・上記各実施形態において、加圧機構３１，８８による液体の加圧を解除してから、押圧機構４８によるダイヤフラム部５６の押圧状態を解除して開閉弁５９を開弁状態から閉弁状態としてもよい。
【００９９】
・上記第２実施形態において、開閉弁５９の開弁状態において、加圧機構８８による液体を加圧する加圧力は一定としてもよい。また、例えば液体噴射部１２の状態や、加圧クリーニングを行う頻度に応じて加圧機構８８による液体を加圧する加圧力を変更してもよい。
【０１００】
・上記各実施形態において、複数の加圧機構３１，８８や、種類の異なる加圧機構を備え、駆動する加圧機構を選択することにより液体を加圧する加圧力を変更してもよい。また、加圧機構としては、ギヤポンプ、ねじポンプ、ピストンポンプなど、任意に選択することができる。
【０１０１】
・上記各実施形態において、加圧機構３１，８８を備えない構成としてもよい。例えば、水頭により液体供給源１３，８３から液体噴射部１２に液体を供給してもよい。
・上記各実施形態において、受圧部６１を備えない構成としてもよい。
【０１０２】
・上記各実施形態において、押圧機構４８は、液体収容部５１内の圧力が、メニスカス６４が壊れる圧力より高くなるようにダイヤフラム部５６を押圧する際に、加圧機構３１がポンプ室４１内の液体を加圧する圧力（加圧機構８８の場合、液体パック８５内の液体を加圧する圧力）に前述の所定値を加えた圧力がダイヤフラム部５６に加わった場合に発生する押圧力よりも大きな押圧力でダイヤフラム部５６を押圧しなくてもよい。
【０１０３】
加圧クリーニングにおいて、ノズル１９から液体が排出されている場合、加圧機構３１のポンプ室４１より下流側（加圧機構８８の場合、液体パック８５より下流側）の液体供給経路２７、液体流入部５０、連通経路５７においても液体が流動しているので液体の流動による圧力損失が発生する。このため、ノズル１９から液体が排出されている場合、液体収容部５１内の圧力は、加圧機構３１がポンプ室４１内の液体を加圧する圧力（加圧機構８８の場合、液体パック８５内の液体を加圧する圧力）から前述の圧力損失分差し引いた圧力になる。この圧力損失を考慮して、例えば、押圧機構４８は、加圧機構３１がポンプ室４１内の液体を加圧する圧力（加圧機構８８の場合、液体パック８５内の液体を加圧する圧力）から前述の圧力損失分差し引いた圧力に前述の所定値を加えた圧力がダイヤフラム部５６に加わった場合に発生する押圧力よりも大きな押圧力でダイヤフラム部５６を押圧してもよい。
【０１０４】
・上記各実施形態において、押圧機構４８は、液体収容部５１内の圧力が、メニスカス６４が壊れる圧力より低くなるようにダイヤフラム部５６を押圧してもよい。
・上記各実施形態において、圧力調整部６９を備えない構成としてもよい。例えば、押圧機構４８は、例えばカム機構などにより機械的に押圧してもよい。
【０１０５】
・上記実施形態において、液体噴射装置は、インク以外の他の液体を噴射したり吐出したりする液体噴射装置であってもよい。なお、液体噴射装置から微小量の液滴となって吐出される液体の状態としては、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう液体は、液体噴射装置から噴射させることができるような材料であればよい。例えば、物質が液相であるときの状態のものであればよく、粘性の高い又は低い液状体、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような流状体を含むものとする。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散又は混合されたものなども含むものとする。液体の代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インク及び油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種液体組成物を包含するものとする。液体噴射装置の具体例としては、例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、面発光ディスプレイ、カラーフィルターの製造等に用いられる電極材や色材等の材料を分散又は溶解のかたちで含む液体を噴射する液体噴射装置がある。また、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置、捺染装置やマイクロディスペンサー等であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置であってもよい。また、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置であってもよい。
【符号の説明】
【０１０６】
Ａ…供給方向、Ｂ…循環方向、１１…液体噴射装置、１２…液体噴射部、１３，８３…液体供給源、１４…供給機構、１６…噴射部フィルター、１７…共通液室、１８…ノズル形成面、１９…ノズル、２０…圧力室、２１…振動板、２２…連通孔、２３…収容室、２４…アクチュエーター、２６…装着部、２７…液体供給経路、２８…循環経路形成部、２９…循環ポンプ、３１，８８…加圧機構、３２…フィルターユニット、３３…スタティックミキサー、３４…液体貯留部、３５…圧力調整機構、３７…可撓性部材、３８…容積ポンプ、３９…一方向弁、４０…一方向弁、４１…ポンプ室、４２…負圧室、４３…減圧部、４４…付勢部材、４５…ばね、４７…圧力調整装置、４８…押圧機構、５０…液体流入部、５１…液体収容部、５２…本体部、５３…壁部、５４…貫通孔、５５…フィルター部材、５６…ダイヤフラム部、５６ａ…第１の面、５６ｂ…第２の面、５７…連通経路、５９…開閉弁、５９ａ…凸部、６０…弁部、６１…受圧部（移動部材の一例）、６１ａ…凹部、６２…上流側付勢部材、６３…下流側付勢部材、６４…メニスカス、６６…圧力調整室、６７…膨張収縮部、６８…押え部材、６９…圧力調整部、７０…挿通孔、７１…開口部、７２…空気室、７４…加圧ポンプ、７５…接続経路、７６…検出部、７７…流体圧調整部、７８…制御部、８０…払拭部材、８１…液体受容部、８４…外郭ケース、８５…液体パック、８６…加圧室、８９…加圧経路、９０…開放弁、９１…供給ポンプ、９２…空気圧調整部、９４…軸、９５…軸受部、９６…支持部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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