(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に延び、波長が紫外線の波長領域にある光を照射する光源を有する照射部と；
所定の波長の光を透過させるフィルタを有し、前記照射部の下方に設けられたフィルタ部と；
第１の基台と、前記第１の基台に設けられ前記フィルタと対峙する複数の第１の偏光子と、前記第１の基台を前記第１の方向に移動させる第１の移動部と、を有し、前記フィルタ部の下方に設けられた偏光部と；
前記複数の第１の偏光子を透過した光が入射する第２の偏光子と、前記第２の偏光子を回転方向に移動させる第４の移動部と、前記第２の偏光子を透過した光を受光し、前記受光した光の光量に応じた電気信号を出力する検出部と、を有し、前記偏光部の下方に設けられた偏光光測定部と；
前記偏光光測定部による測定結果に基づいて、前記複数の第１の偏光子ごとに偏光方向の調整を行う調整部と；
を具備し、
前記第１の移動部は、前記第１の基台に設けられた複数のローラと、前記複数のローラの下端に接触する第１のレールと、前記複数のローラを挟んで、前記第１のレールと対峙する第２のレールと、を有し、前記第１の方向に直交する第２の方向、および、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する第３の方向における前記第１の基台の位置を維持し、
前記第１の基台を押圧して、前記複数のローラの上端と、前記第２のレールと、を接触させる固定部をさらに備えた偏光光照射装置。
【請求項２】
前記固定部は、前記第１の方向、前記第２の方向、および、前記第３の方向における前記第１の基台の位置を固定する請求項１記載の偏光光照射装置。
【請求項３】
前記照射部は、前記光源が設けられる第２の基台と、前記第２の基台を前記第１の方向に移動させる第２の移動部と、をさらに具備した請求項１または２に記載の偏光光照射装置。
【請求項４】
前記フィルタ部は、前記フィルタが設けられる第３の基台と、前記第３の基台を前記第１の方向に移動させる第３の移動部と、をさらに具備した請求項１〜３のいずれか１つに記載の偏光光照射装置。
【請求項５】
前記複数の第１の偏光子は、波長が２４０ｎｍ以上、４００ｎｍ以下の光を偏光させるワイヤーグリッド型の偏光子である請求項１〜４のいずれか１つに記載の偏光光照射装置。
【請求項６】
前記複数の第１の偏光子は、クロム（Ｃｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデンシリコン合金（ＭｏＳｉｘ）、およびシリコン（Ｓｉ）からなる群より選ばれた少なくとも１種を含む線状体を有する請求項１〜４のいずれか１つに記載の偏光光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、偏光光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示素子の配向膜や、視野角補償フィルムの配向膜などに配向処理を施す際には、配向膜に所定の波長の偏光光を照射している。  
この様な配向処理方法は、光配向法と呼ばれている。  
一般的には、配向膜の材料の感度波長は、２５４ｎｍ、３１３ｎｍ、３６５ｎｍである。
この場合、酸化チタンからなる線状体を有するワイヤーグリッド型の偏光子は、２５４ｎｍ付近の波長を有する光に対して良好な偏光性能を有している。アルミニウムからなる線状体を有するワイヤーグリッド型の偏光子は、３００ｎｍ付近の波長を有する光に対して良好な偏光性能を有している。
【０００３】
しかしながら、酸化チタンからなる線状体を有するワイヤーグリッド型の偏光子は、３００ｎｍ以上の波長を有する光に対しては偏光性能が悪くなる。アルミニウムからなる線状体を有するワイヤーグリッド型の偏光子は、３００ｎｍ以下の波長を有する光に対しては偏光性能が悪くなる。  
そのため、これらの偏光子を用いる場合には、波長域を制限するためのフィルタが必要となる。  
また、光源である水銀ランプは、２５４ｎｍ〜３６５ｎｍの波長の光を照射する。水銀と各種金属を封入したメタルハライドランプは、３６５ｎｍ付近の波長の光を増大させたい場合に用いられる。
【０００４】
そのため、同じ偏光光照射装置において感度波長が異なる配向膜を配向処理する場合には、偏光子、フィルタ、および光源の少なくともいずれかを交換する必要が生じる場合がある。  
偏光子、フィルタ、および光源の交換には、時間を要する。  
そこで、複数の偏光子が設けられた偏光ユニットを偏光光照射装置から引き出す技術が提案されている。  
しかしながら、単に、偏光ユニットを偏光光照射装置から引き出すようにすると、上下左右方向のがたつきにより偏光軸ズレが発生するおそれがある。  
偏光軸ズレが発生すると、再調整に膨大な時間を必要とする。  
そのため、偏光子の交換作業における作業性の向上と、偏光軸ズレの発生の抑制とを図ることができる技術の開発が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−２１８１９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、偏光子の交換作業における作業性の向上と、偏光軸ズレの発生の抑制とを図ることができる偏光光照射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態に係る偏光光照射装置は、第１の方向に延び、波長が紫外線の波長領域にある光を照射する光源を有する照射部と；所定の波長の光を透過させるフィルタを有し、前記照射部の下方に設けられたフィルタ部と；第１の基台と、前記第１の基台に設けられ前記フィルタと対峙する複数の第１の偏光子と、前記第１の基台を前記第１の方向に移動させる第１の移動部と、を有し、前記フィルタ部の下方に設けられた偏光部と；前記複数の第１の偏光子を透過した光が入射する第２の偏光子と、前記第２の偏光子を回転方向に移動させる第４の移動部と、前記第２の偏光子を透過した光を受光し、前記受光した光の光量に応じた電気信号を出力する検出部と、を有し、前記偏光部の下方に設けられた偏光光測定部と；前記偏光光測定部による測定結果に基づいて、前記複数の第１の偏光子ごとに偏光方向の調整を行う調整部と；を具備している。
前記第１の移動部は、前記第１の基台に設けられた複数のローラと、前記複数のローラの下端に接触する第１のレールと、前記複数のローラを挟んで、前記第１のレールと対峙する第２のレールと、を有し、前記第１の方向に直交する第２の方向、および、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する第３の方向における前記第１の基台の位置を維持し、前記第１の基台を押圧して、前記複数のローラの上端と、前記第２のレールと、を接触させる固定部をさらに備えている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の実施形態によれば、偏光子の交換作業における作業性の向上と、偏光軸ズレの発生の抑制とを図ることができる偏光光照射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態に係る偏光光照射装置１を例示するための模式斜視図である。
【図２】（ａ）は図１におけるＡ部の模式図である。（ｂ）は他の実施形態に係る偏光部２を例示するための模式断面図である。
【図３】図２におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】他の実施形態に係る偏光光測定部１６を例示するための模式斜視図である。
【図５】偏光光照射装置１による偏光光Ｌｐの生成と、偏光光測定部６による偏光光Ｌｐの偏光方向の測定について例示をするための模式斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
実施形態に係る発明は、第１の方向に延び、波長が紫外線の波長領域にある光を照射する光源を有する照射部と；所定の波長の光を透過させるフィルタを有し、前記照射部の下方に設けられたフィルタ部と；第１の基台と、前記第１の基台に設けられ前記フィルタと対峙する複数の第１の偏光子と、前記第１の基台を前記第１の方向に移動させる第１の移動部と、を有し、前記フィルタ部の下方に設けられた偏光部と；前記複数の第１の偏光子を透過した光が入射する第２の偏光子と、前記第２の偏光子を回転方向に移動させる第４の移動部と、前記第２の偏光子を透過した光を受光し、前記受光した光の光量に応じた電気信号を出力する検出部と、を有し、前記偏光部の下方に設けられた偏光光測定部と；
前記偏光光測定部による測定結果に基づいて、前記複数の第１の偏光子ごとに偏光方向の調整を行う調整部と；を具備した偏光光照射装置である。
前記第１の移動部は、前記第１の基台に設けられた複数のローラと、前記複数のローラの下端に接触する第１のレールと、前記複数のローラを挟んで、前記第１のレールと対峙する第２のレールと、を有し、前記第１の方向に直交する第２の方向、および、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する第３の方向における前記第１の基台の位置を維持し、前記第１の基台を押圧して、前記複数のローラの上端と、前記第２のレールと、を接触させる固定部をさらに備えている。
この偏光光照射装置によれば、第１の偏光子の交換作業および第１の偏光子の調整作業における作業性の向上と、偏光軸ズレの発生の抑制とを図ることができる。
【００１７】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
なお、図中の矢印Ｘ、Ｙ、Ｚは、互いに直交するＸ方向（第２の方向の一例に相当する）、Ｙ方向（第１の方向の一例に相当する）、およびＺ方向（第３の方向の一例に相当する）を表している。  
また、処理物２００は、例えば、液晶表示素子や視野角補償フィルムなどの配向膜を有するものとすることができる。  
ただし、処理物２００は、例示をしたものに限定されるわけではなく、光配向法により配向処理が施されるものであればよい。
【００１８】
図１は、本実施の形態に係る偏光光照射装置１を例示するための模式斜視図である。  
図２（ａ）は、図１におけるＡ部の模式図である。図２（ｂ）は他の実施形態に係る偏光部２を例示するための模式断面図である。  
図３は、図２におけるＢ−Ｂ線断面図である。  
図１および図２（ａ）に示すように、偏光光照射装置１には、偏光部２、フィルタ部３、照射部４、搬送部５、偏光光測定部６、および制御部７が設けられている。
【００１９】
図２（ａ）および図３に示すように、偏光部２は、偏光子２１（第１の偏光子の一例に相当する）、枠部２２、基部２３、移動部２４（第１の移動部の一例に相当する）、および固定部２５を有する。  
偏光子２１は、光源４１から照射された光を、特定の偏光方向を持つ偏光光Ｌｐにする。
【００２０】
偏光子２１は、例えば、ワイヤーグリッド型の偏光子とすることができる。  
偏光子２１は、例えば、石英などからなる基板と、基板上に互いに平行となるように設けられた複数の直線状の線状体を有するものとすることができる。  
この場合、複数の線状体は、等間隔に設けられている。線状体のピッチ寸法は、入射する光の波長以下とすることができる。線状体のピッチ寸法は、入射する光の波長の１／３以下とすることが好ましい。
【００２１】
線状体の材料は、例えば、クロム（Ｃｒ）やアルミニウム（Ａｌ）などの金属、モリブデンシリコン合金（ＭｏＳｉｘ）やアモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）などのシリコン（Ｓｉ）を含む材料などとすることができる。
【００２２】
ここで、偏光子２１は、なるべく広い波長領域において良好な偏光性能を有するものとすることが好ましい。  
後述するように、光源４１からは、波長が紫外線の波長領域（例えば、２００ｎｍ以上、４００ｎｍ以下の波長領域）にある光が照射される。  
そのため、波長が４５０ｎｍ以下の光を透過させるフィルタ３１を用いる場合には、アモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）などのシリコン（Ｓｉ）からなる線状体を有する偏光子２１とすることが好ましい。  
この様にすれば、配向膜の材料の感度波長が、２５４ｎｍ、３１３ｎｍ、３６５ｎｍなどの場合に、偏光子２１を交換する必要がなくなる。
【００２３】
またさらに、波長が２４０ｎｍ以上、４００ｎｍ以下の光を偏光させるワイヤーグリッド型の偏光子２１とすれば、感度波長の異なる配向膜の処理を行う際に、偏光子２１を交換する必要がなくなる。  
例えば、アルミニウム（Ａｌ）やモリブデンシリコン合金（ＭｏＳｉｘ）からなる線状体を有する偏光子２１とすれば、少なくとも波長が２４０ｎｍ以上、４００ｎｍ以下の範囲において良好な偏光性能を得ることができる。  
そのため、アルミニウム（Ａｌ）やモリブデンシリコン合金（ＭｏＳｉｘ）からなる線状体を有する偏光子２１とすれば、感度波長の異なる配向膜の処理を行う際に、偏光子２１を交換する必要がなくなる。
【００２４】
枠部２２は、枠状を呈し、偏光子２１の周縁を保持する。  
偏光子２１の基板は、石英などから形成されるので、偏光子２１の端部などが欠けやすくなる。そのため、枠部２２は、偏光子２１を保護するために設けられている。  
なお、偏光子２１の欠損などが生じにくい場合には、枠部２２を設ける必要はない。
【００２５】
枠部２２の一方の端面の中央部分には、断面形状が半円状の凹部２２ａが設けられている。  
枠部２２の凹部２２ａが設けられた端面と対峙する端面には、断面形状が矩形状の凹部２２ｂが設けられている。凹部２２ｂは、中央部分からずれた位置（例えば、枠部２２の角部の近傍）に設けられている。    
長さの長い偏光子２１を製造するのは困難である。そのため、偏光子２１および枠部２２は、光源４１が延びる方向（Ｙ方向）に沿って複数組並べられている。  
なお、複数の枠部２２同士の間には、所定の隙間が設けられ、後述する傾き調整（偏光方向の調整）ができるようになっている。
【００２６】
基部２３は、基台２３ａ（第１の基台の一例に相当する）、支持部２３ｂ、弾性部２３ｃ、および調整部２３ｄを有する。  基台２３ａは、光源４１が延びる方向（Ｙ方向）に延びている。基台２３ａは、凹部２３ａ１を有する。凹部２３ａ１は、光源４１が延びる方向（Ｙ方向）に延びている。凹部２３ａ１の内部には、複数の枠部２２が設けられている。凹部２３ａ１の底面には孔が設けられ、偏光光Ｌｐが透過できるようになっている。
【００２７】
支持部２３ｂ、弾性部２３ｃ、および調整部２３ｄは、１つの枠部２２に対して１組設けられている。  
支持部２３ｂは、円柱状を呈し、凹部２２ａに接触している。  
弾性部２３ｃは、弾性力により、枠部２２を支持部２３ｂに押し付ける。  
弾性部２３ｃは、保持部２３ｃ１およびコイルバネ２３ｃ２を有する。  
保持部２３ｃ１は、基台２３ａに設けられている。保持部２３ｃ１は、凹部２２ｂと対峙する位置に設けられている。  
コイルバネ２３ｃ２は、保持部２３ｃ１と凹部２２ａの間に設けられている。
【００２８】
調整部２３ｄは、弾性部２３ｃと離隔させて設けられている。  
調整部２３ｄは、例えば、枠部２２の中心線２２ｃに対して弾性部２３ｃと線対称となる位置に設けることができる。  
調整部２３ｄは、保持部２３ｄ１および突出部２３ｄ２を有する。  
保持部２３ｄ１は、基台２３ａに設けられている。
【００２９】
突出部２３ｄ２は、保持部２３ｄ１に設けられている。突出部２３ｄ２は、保持部２３ｄ１から突出している。突出部２３ｄ２の先端は、枠部２２と接触している。突出部２３ｄ２は、保持部２３ｄ１からの突出長さＤを変化させることができる。換言すれば、突出長さＤを変化させることで、偏光子２１を傾きαだけ変化させることができる。
突出部２３ｄ２は、例えば、段階的に突出する機構やねじ機構を有し、偏光光測定部６による測定結果に基づいて突出長さＤを変化させるものとすることができる。  
この場合、ねじ機構を有する突出部２３ｄ２とすれば、無段階の調整が可能となるので、段階的に突出するものよりも微調整が容易となる。  
なお、作業員が突出部２３ｄ２を操作して突出長さＤを変化させてもよいし、突出部２３ｄ２に設けられた駆動機構により突出部２３ｄ２を駆動して突出長さＤを変化させてもよい。
【００３０】
１組の支持部２３ｂ、弾性部２３ｃ、および調整部２３ｄにより、１つの枠部２２が３点支持されている。  
図３に示すように、突出部２３ｄ２の突出長さＤを変化させれば、支持部２３ｂを支点として、枠部２２、ひいては偏光子２１を回転方向に移動させることができる。偏光子２１を回転方向に移動させれば、偏光子２１に設けられた線状体が延びる方向を変化させることができる。  
そのため、偏光光測定部６による測定結果に基づいて突出長さＤを変化させることで、複数の偏光子２１ごとに偏光方向の調整を行うことができる。
【００３１】
移動部２４は、基台２３ａを光源４１が延びる方向（Ｙ方向）に移動させる。  
移動部２４は、Ｘ方向およびＺ方向における基台２３ａの位置を維持する。  
移動部２４は、ローラ（roller）２４ａ、レール２４ｂ、およびレール２４ｃを有する。
ローラ２４ａは、例えば、円筒状を呈し、転がり軸受を有したものとすることができる。
ローラ２４ａは、Ｘ方向における基台２３ａの両側の側面に複数設けられている。複数のローラ２４ａは、基台２３ａが延びる方向（Ｙ方向）に沿って並べて設けられている。
また、図２（ｂ）に示すように、ローラ２４ａは、基台２３ａの内部に設けられ、レール２４ｂ側の端部が基台２３ａから露出するようにしてもよい。
【００３２】
レール２４ｂは、Ｙ方向に延びている。レール２４ｂは、ローラ２４ａの下端に接触している。レール２４ｂは、ローラ２４ａを介して、基台２３ａを支持する。  
また、レール２４ｂは、ローラ２４ａの基台２３ａ側とは反対側の側面に接触している。レール２４ｂは、ローラ２４ａを介して、基台２３ａのＸ方向における位置を維持する。
【００３３】
レール２４ｃは、Ｙ方向に延びている。レール２４ｃは、レール２４ｂの上方に設けられている。レール２４ｃは、レール２４ｂと対峙している。  
ローラ２４ａは、レール２４ｂとレール２４ｃの間に設けられている。そのため、ローラ２４ａ、レール２４ｂ、およびレール２４ｃは、協働して基台２３ａのＺ方向における位置を維持する。  
この場合、基台２３ａは、Ｙ方向に移動することができる。すなわち、偏光光照射装置１から基台２３ａを引き出すことができる。そのため、基台２３ａに設けられた偏光子２１、枠部２２、および調整部２３ｄなども偏光光照射装置１から引き出すことができる。  その結果、偏光光照射装置１の外側において、作業員が、偏光子２１の交換や偏光子２１の傾き調整を行うことができるので、偏光子２１の交換作業などにおける作業性を向上させることができる。
【００３４】
レール２４ｃとローラ２４ａの上端との間には隙間が設けられていてもよいし、レール２４ｃとローラ２４ａの上端とが接触していてもよい。  
レール２４ｃとローラ２４ａの上端との間に隙間が設けられていれば、ローラ２４ａの回転が円滑になる。一方、レール２４ｃとローラ２４ａの上端との間の隙間が大きくなる程、Ｚ方向（上下方向）のがたつきが大きくなり、偏光軸ズレが大きくなるおそれがある。
そのため、レール２４ｃとローラ２４ａの上端との間には、僅かな隙間が設けられるようにすることが好ましい。  
この様にすれば、ローラ２４ａの回転を円滑にすることができ、且つ、偏光軸ズレの発生を抑制することができる。
【００３５】
なお、ローラ２４ａ、レール２４ｂ、およびレール２４ｃを有する移動部２４を例示したが、これに限定されるわけではない。  
移動部２４は、基台２３ａを光源４１が延びる方向（Ｙ方向）に移動させることができ、且つ、Ｘ方向およびＺ方向における基台２３ａの位置を維持することができるものであればよい。  
例えば、移動部２４は、スライドレール、スライドユニット、直動軸受とガイドを備えたもの、すべり軸受とガイドを備えたものなどとしてもよい。
【００３６】
固定部２５は、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向における偏光子２１の位置を固定する。  固定部２５は、レール２４ｂに設けられている。複数の固定部２５は、レール２４ｂが延びる方向（Ｙ方向）に沿って並べて設けられている。  
固定部２５は、基台２３ａをレール２４ｃ側に向けて押圧する。基台２３ａが固定部２５により持ち上げられるので、ローラ２４ａの上端とレール２４ｃとが接触する。  
なお、図２は、固定部２５による押圧が行われる前の状態（レール２４ｃとローラ２４ａの上端との間に隙間がある状態）を表している。  
ローラ２４ａの上端とレール２４ｃとが接触すれば、Ｚ方向（上下方向）のがたつきがなくなる。また、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向における偏光子２１の位置が固定される。そのため、偏光軸ズレの発生をさらに抑制することができる。
【００３７】
固定部２５は、例えば、ねじ機構を有するものとすることができる。ねじ機構は、例えば、蝶ねじなどのように作業者が操作するものであってもよいし、駆動機構により操作されるものであってもよい。  
なお、固定部２５は、ねじ機構を有するものに限定されるわけではない。  
固定部２５は、例えば、エアシリンダ、油圧シリンダ、ソレノイド、トグルクランプなどであってもよい。
【００３８】
また、固定部２５は、レール２４ｃや他の部材に設けることもできる。固定部２５がレール２４ｃに設けられる場合には、固定部２５は基台２３ａをレール２４ｂ側に向けて押圧する。ローラ２４ａはレール２４ｂ上に押さえつけられるので、Ｚ方向（上下方向）のがたつきがなくなる。また、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向における偏光子２１の位置が固定される。そのため、偏光軸ズレの発生をさらに抑制することができる。
【００３９】
また、基台２３ａを押圧する固定部２５を例示したが、他の部材を介して基台２３ａを押圧する固定部２５、ローラ２４ａを押圧する固定部２５などであってもよい。  
また、固定部２５は、基台２３ａやローラ２４ａなどを引き寄せるものであってもよい。例えば、固定部２５は、電磁石などであってもよい。  
すなわち、固定部２５は、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向における偏光子２１の位置を固定することができるものであればよい。
【００４０】
また、偏光部２には、偏光光を透過する窓材などを設けてもよい。  
この場合、窓材は、紫外光を反射・遮光する反射材または遮光材により支持されるようにしてもよい。  
窓材は、例えば、合成石英ガラスなどから形成することができる。
【００４１】
フィルタ部３は、偏光部２の上方に設けられている。  
フィルタ部３は、フィルタ３１、反射部３２、基台３３（第３の基台の一例に相当する）、および移動部３４（第３の移動部の一例に相当する）を有する。
フィルタ３１は、基台３３に設けられている。  
フィルタ３１は、所定の波長の光を透過させる。  
フィルタ３１は、例えば、バンドパスフィルタとすることができる。  
【００４２】
フィルタ３１は、所定の透過率分布をもつものとすることができる。  
フィルタ３１は、例えば、波長が２５４ｎｍの光を９０％以上透過させ、波長が３１３ｎｍおよび３６５ｎｍの光を透過させないものとすることができる。  
この様な透過率分布をもつフィルタ３１とすれば、波長が２５４ｎｍの光を処理物２００に照射し、波長が３１３ｎｍおよび３６５ｎｍの光を処理物２００に照射しないようにすることができる。
【００４３】
フィルタ３１は、例えば、波長が３１３ｎｍの光を９０％以上透過させ、波長が２５４ｎｍおよび３６５ｎｍの光を透過させないものとすることができる。  
この様な透過率分布をもつフィルタ３１とすれば、波長が３１３ｎｍの光を処理物２００に照射し、波長が２５４ｎｍおよび３６５ｎｍの光を処理物２００に照射しないようにすることができる。
【００４４】
フィルタ３１は、例えば、波長が３６５ｎｍの光を９０％以上透過させ、波長が２５４ｎｍおよび３１３ｎｍの光を透過させないものとすることができる。  
この様な透過率分布をもつフィルタ３１とすれば、波長が３６５ｎｍの光を処理物２００に照射し、波長が２５４ｎｍおよび３１３ｎｍの光を処理物２００に照射しないようにすることができる。
【００４５】
フィルタ３１は、例えば、波長が２５４ｎｍおよび３１３ｎｍの光を９０％以上透過させ、波長が３６５ｎｍの光を透過させないものとすることができる。  
この様な透過率分布をもつフィルタ３１とすれば、波長が２５４ｎｍおよび３１３ｎｍの光を処理物２００に照射し、波長が３６５ｎｍの光を処理物２００に照射しないようにすることができる。
【００４６】
フィルタ３１は、例えば、波長が３１３ｎｍおよび３６５ｎｍの光を９０％以上透過させ、波長が２５４ｎｍの光を透過させないものとすることができる。  
この様な透過率分布をもつフィルタ３１とすれば、波長が３１３ｎｍおよび３６５ｎｍの光を処理物２００に照射し、波長が２５４ｎｍの光を処理物２００に照射しないようにすることができる。
【００４７】
フィルタ３１は、例えば、波長が２５４ｎｍの光を７０％以上透過させ、波長が３１３ｎｍの光を８０％以上透過させ、波長が３６５ｎｍの光を９０％以上透過させるものとすることができる。  
この様な透過率分布をもつフィルタ３１とすれば、波長が２５４ｎｍ、３１３ｎｍ、および３６５ｎｍの光を処理物２００に照射することができる。
【００４８】
反射部３２は、基台３３に設けられている。  
反射部３２は、フィルタ３１を囲うように設けられている。  
反射部３２は、一方が開口した樋形状を有し、基台３３が延びる方向（Ｙ方向）に延びている。  
反射部３２の断面形状は、円形、楕円、放物線などの湾曲形状の他、平面形状とすることができる。  
反射部３２の内面は、反射鏡となっている。
【００４９】
反射部３２は、光源４１から出射しフィルタ３１の近傍に向かう光を照射部４の反射部４２に向けて反射する。反射部３２により反射され照射部４の反射部４２に入射した光は、フィルタ３１に向かうようになっている。  
なお、反射部３２は、入射した光がフィルタ３１に向かうように反射するものであってもよい。  
反射部３２は、必ずしも必要ではないが、反射部３２を設けるようにすれば、光源４１から出射した光の利用効率を向上させることができる。  
また、反射部３２が基台３３に設けられる場合を例示したが、反射部３２は照射部４に設けられていてもよいし、他の部材に設けられていてもよい。
【００５０】
基台３３は、光源４１が延びる方向（Ｙ方向）に延びている。基台３３には凹部が設けられ、凹部にフィルタ３１が設けられている。凹部の底面には孔が設けられ、フィルタ３１を透過した光が偏光子２１に入射するようになっている。
【００５１】
移動部３４は、基台３３を光源４１が延びる方向（Ｙ方向）に移動させる。  
移動部３４は、Ｘ方向における基台３３の位置を維持する。  
移動部３４は、ローラ（roller）３４ａ、およびレール３４ｂを有する。  
ローラ３４ａは、例えば、円筒状を呈し、転がり軸受を有したものとすることができる。
ローラ３４ａは、Ｘ方向における基台３３の両側の側面に複数設けられている。複数のローラ３４ａは、基台３３が延びる方向（Ｙ方向）に沿って並べて設けられている。
【００５２】
レール３４ｂは、Ｙ方向に延びている。レール３４ｂは、ローラ３４ａの下端に接触している。レール３４ｂは、ローラ３４ａを介して、基台３３を支持する。  
また、レール３４ｂは、ローラ３４ａの基台３３側とは反対側の側面に接触している。レール３４ｂは、ローラ３４ａを介して、基台３３のＸ方向における位置を維持する。
【００５３】
この場合、基台３３は、Ｙ方向に移動することができる。すなわち、偏光光照射装置１から基台３３を引き出すことができる。そのため、基台３３に設けられたフィルタ３１なども偏光光照射装置１から引き出すことができる。    
その結果、偏光光照射装置１の外側において、作業員が、フィルタ３１の交換を行うことができるので、フィルタ３１の交換作業における作業性を向上させることができる。
【００５４】
なお、ローラ３４ａ、およびレール３４ｂを有する移動部３４を例示したが、これに限定されるわけではない。  
移動部３４は、基台３３を光源４１が延びる方向（Ｙ方向）に移動させることができるものであればよい。  
例えば、移動部３４は、スライドレール、スライドユニット、直動軸受とガイドを備えたもの、すべり軸受とガイドを備えたものなどとしてもよい。
【００５５】
照射部４は、フィルタ部３の上方に設けられている。  
照射部４は、光源４１、反射部４２、基台４３（第２の基台の一例に相当する）、および移動部４４（第２の移動部の一例に相当する）を有する。  
光源４１は、基台４３に設けられている。  
光源４１は、直線状に延びた形態を有している。  
光源４１は、処理物２００を搬送する方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）に延びるように設けられている。  
光源４１は、波長が紫外線の波長領域にある光を照射する。  
光源４１から照射された光は、さまざまな振動方向成分を有するいわゆる非偏光の光である。  
光源４１は、例えば、波長が２５４ｎｍの光を照射する水銀ランプ、波長が３１３ｎｍの光を照射する水銀ランプ、波長が３１３ｎｍの光を照射するメタルハライドランプ、波長が３６５ｎｍの光を照射するメタルハライドランプなどとすることができる。  
また、光源４１は、波長が紫外線の波長領域にある光を照射する蛍光ランプや、発光素子（例えば、発光ダイオード、レーザーダイオード、有機発光ダイオードなど）などであってもよい。なお、点光源である発光素子を用いる場合には、複数の発光素子を直線状に並べて擬似的な線状光源とすればよい。
【００５６】
反射部４２は、基台４３に設けられている。  
反射部４２は、光源４１を囲うように設けられている。  
反射部４２は、一方が開口した樋形状を有し、基台４３が延びる方向（Ｙ方向）に延びている。    
反射部４２の断面形状は、放物線または楕円の一部とすることができる。  
反射部４２の内面は、反射鏡となっている。  
反射部４２は、光源４１から出射し反射部４２の内面に向かう光をフィルタ３１に向けて反射する。  
反射部４２を設けるようにすれば、光源４１から出射した光の利用効率を向上させることができる。  
また、反射部４２が基台４３に設けられる場合を例示したが、反射部４２はフィルタ部３に設けられていてもよいし、他の部材に設けられていてもよい。
【００５７】
基台４３は、光源４１が延びる方向（Ｙ方向）に延びている。基台４３には凹部が設けられ、凹部の内部に反射部４２と光源４１が設けられている。
【００５８】
移動部４４は、基台４３を光源４１が延びる方向（Ｙ方向）に移動させる。  
移動部４４は、Ｘ方向における基台４３の位置を維持する。  
移動部４４は、ローラ（roller）４４ａ、およびレール４４ｂを有する。  
ローラ４４ａは、例えば、円筒状を呈し、転がり軸受を有したものとすることができる。
ローラ４４ａは、Ｘ方向における基台４３の両側の側面に複数設けられている。複数のローラ４４ａは、基台４３が延びる方向（Ｙ方向）に沿って並べて設けられている。
【００５９】
レール４４ｂは、Ｙ方向に延びている。レール４４ｂは、ローラ４４ａの下端に接触している。レール４４ｂは、ローラ４４ａを介して、基台４３を支持する。  
また、レール４４ｂは、ローラ４４ａの基台４３側とは反対側の側面に接触している。レール４４ｂは、ローラ４４ａを介して、基台４３のＸ方向における位置を維持する。
【００６０】
この場合、基台４３は、Ｙ方向に移動することができる。すなわち、偏光光照射装置１から基台４３を引き出すことができる。そのため、基台４３に設けられた光源４１なども偏光光照射装置１から引き出すことができる。  
その結果、偏光光照射装置１の外側において、作業員が、光源４１の交換を行うことができるので、光源４１の交換作業における作業性を向上させることができる。
【００６１】
なお、ローラ４４ａ、およびレール４４ｂを有する移動部４４を例示したが、これに限定されるわけではない。  
移動部４４は、基台４３を光源４１が延びる方向（Ｙ方向）に移動させることができるものであればよい。  
例えば、移動部４４は、スライドレール、スライドユニット、直動軸受とガイドを備えたもの、すべり軸受とガイドを備えたものなどとしてもよい。
【００６２】
ここで、処理物２００に設けられた配向膜に配向処理を施す際には、配向膜の材料の感度波長に応じて、適切な光源４１、フィルタ３１、および偏光子２１を選定する。  
適切な光源４１が偏光光照射装置１に設けられていない場合には、光源４１を交換する。
基台４３は、Ｙ方向に移動することができるので、偏光光照射装置１から基台４３を引き出すことができる。そのため、偏光光照射装置１の外側において、作業員が、光源４１の交換を行うことができるので、光源４１の交換作業における作業性を向上させることができる。
【００６３】
また、適切なフィルタ３１が偏光光照射装置１に設けられていない場合には、フィルタ３１を交換する。  
基台３３は、Ｙ方向に移動することができるので、偏光光照射装置１から基台３３を引き出すことができる。そのため、偏光光照射装置１の外側において、作業員が、フィルタ３１の交換を行うことができるので、フィルタ３１の交換作業における作業性を向上させることができる。
【００６４】
また、適切な偏光子２１が偏光光照射装置１に設けられていない場合や、後述する偏光子２１の傾き調整が必要となった場合には、偏光子２１の交換や偏光子２１の傾き調整を行う。  
基台２３ａは、Ｙ方向に移動することができるので、偏光光照射装置１から基台２３ａを引き出すことができる。そのため、偏光光照射装置１の外側において、作業員が、偏光子２１の交換や偏光子２１の傾き調整を行うことができるので、偏光子２１の交換作業などにおける作業性を向上させることができる。
【００６５】
また、前述したように、少なくとも波長が２４０ｎｍ以上、４００ｎｍ以下の範囲において良好な偏光性能を有する偏光子２１（アルミニウム（Ａｌ）やモリブデンシリコン合金（ＭｏＳｉｘ）からなる線状体を有する偏光子２１）とすれば、感度波長の異なる配向膜の処理を行う際に、偏光子２１を交換する必要がなくなる。  
この場合、基台４３および基台３３は、それぞれがＹ方向に独立して移動することができるので、光源４１やフィルタ３１の交換の際に、偏光子２１の位置がずれることがない。
また、基台４３、基台３３、および基台２３ａは、偏光光照射装置１の同一面側からＹ方向に引き出すことができるので、同じ位置から各作業を行うことができる。そのため、作業性をさらに向上させることができる。
【００６６】
搬送部５は、偏光部２の下方に設けられている。  
搬送部５は、光源４１が延びる方向と直交する方向（Ｘ方向）に処理物２００を搬送する。  
搬送部５は、偏光部２の下方を処理物２００が通過するように処理物２００を搬送する。
搬送部５は、例えば、処理物２００を保持する保持装置と、単軸ロボットなどの搬送装置を備えたものとすることができる。
【００６７】
偏光光測定部６は、偏光部２の下方に設けられている。  
偏光光測定部６は、処理物２００の搬送位置よりは下方に設けられている。  
偏光光測定部６は、偏光部６１、検出部６２、移動部６３、移動部６４、および制御部６５を有する。  
偏光部６１は、偏光子６１ａ（第２の偏光子の一例に相当する）、保持部６１ｂ、および移動部６１ｃ（第４の移動部の一例に相当する）を有する。  
偏光子６１ａには、偏光子２１を透過した偏光光Ｌｐが入射する。  
偏光子６１ａは、偏光光Ｌｐの偏光方向を測定する際に用いられる。偏光子６１ａは、検光子と呼ばれることもある。
【００６８】
偏光子６１ａは、偏光光Ｌｐの所定の方向に振動する成分のみを透過させて、偏光光Ｌｐｐとする。  
偏光子６１ａは、ワイヤーグリッド型の偏光子とすることができる。  
偏光子６１ａは、例えば、前述した偏光子２１と同様の構成を有するものとすることができる。
【００６９】
保持部６１ｂは、例えば、円筒状を呈したものとすることができる。
保持部６１ｂは、偏光子６１ａを保持する。偏光子６１ａを透過した光は、保持部６１ｂの内部を通って検出部６２に入射するようになっている。
【００７０】
移動部６１ｃは、光源４１から検出部６２に向う軸を中心として、保持部６１ｂを回転方向に移動させる。保持部６１ｂが回転方向に移動することで、偏光子６１ａが回転方向に移動する。そのため、偏光子６１ａに設けられた線状体が延びる方向を変化させることができる。
【００７１】
検出部６２は、偏光部６１の下方に設けられている。  
検出部６２は、偏光子６１ａを透過した光を受光し、受光した光の光量に応じた電気信号を出力する。検出部６２は、例えば、フォトダイオードなどの光電変換素子を備えたものとすることができる。  
また、検出する光の波長に応じて複数種類の検出部６２ａ〜６２ｃを設けることもできる。  
例えば、波長が２５４ｎｍの光を検出する検出部６２ａ、波長が３１３ｎｍの光を検出する検出部６２ｂ、波長が３６５ｎｍの光を検出する検出部６２ｃを設けることができる。
【００７２】
移動部６３は、検出部６２ａ〜６２ｃを保持し、Ｙ方向に移動させる。  
すなわち、移動部６３は、検出する光の波長に応じて検出部６２ａ〜６２ｃの切り替えを行う。  
移動部６３は、例えば、検出部６２ａ〜６２ｃを所定の方向に移動させるためのガイド、サーボモータやエアシリンダなどの駆動機器、検出部６２ａ〜６２ｃの位置を検出する位置検出器などを備えたものとすることができる。
【００７３】
移動部６４は、移動部６３を保持し、Ｙ方向に移動させる。  
すなわち、移動部６４は、測定対象となる偏光子２１の下方に偏光部６１および検出部６２が位置するように、移動部６３を移動させる。  
移動部６４は、例えば、移動部６３と同様の構成を有するものとすることができる。
【００７４】
制御部６５は、偏光光測定部６に設けられた各要素の動作を制御する。  
例えば、制御部６５は、移動部６３を制御して、所望の検出部６２ａ〜６２ｃが偏光子６１ａの下方に位置するようにする。  
制御部６５は、移動部６１ｃを制御して、偏光子６１ａの中心軸回りに所定の角度だけ偏光子６１ａを回転移動させる。
【００７５】
また、制御部６５は、制御部７からの指令に基づいて、偏光光Ｌｐの測定を行う。  
例えば、制御部６５は、検出部６２からの出力と、移動部６１ｃからの回転位置情報に基づいて、偏光光Ｌｐの偏光方向を演算する。  
演算された偏光光Ｌｐの偏光方向は、図示しない表示装置などに出力することもできるし、制御部７に向けて出力することもできる。
【００７６】
また、制御部６５は、移動部６４を制御して、測定対象となる偏光子２１の下方に偏光部６１および検出部６２が位置するように、移動部６３を移動させる。  
なお、制御部６５は、制御部７と一体的に設けられていてもよいし、制御部７が制御部６５の機能を併せ持つようにしてもよい。
【００７７】
図４は、他の実施形態に係る偏光光測定部１６を例示するための模式斜視図である。  
なお、煩雑となるのを避けるために、移動部６１ｃを省いて描いている。
【００７８】
図４に示すように、偏光光測定部１６は、偏光部６１、検出部６２、移動部１６３、および移動部６４を有する。
また、偏光光測定部１６は、前述した偏光光測定部６と同様に制御部６５を備えることができる。
移動部１６３は、検出部６２ａ〜６２ｃを保持し、回転方向に移動させる。  
すなわち、移動部１６３は、検出する光の波長に応じて検出部６２ａ〜６２ｃの切り替えを行う。  
移動部１６３は、例えば、サーボモータやパルスモータなどの制御モータを備えた回転テーブルとすることができる。
【００７９】
制御部７は、照射部４および搬送部５の動作を制御する。  
例えば、制御部７は、光源４１を制御して、光源４１から波長が紫外線の波長領域にある光Ｌを照射させる。  
制御部７は、搬送部５を制御して、偏光部２の下方を処理物２００が通過するように、搬送部５に処理物２００を搬送させる。  
また、制御部７は、偏光光測定部６による測定結果に基づいて、突出部２３ｄ２に設けられた駆動機構を制御して、複数の偏光子２１ごとに偏光方向の調整を行うこともできる。
【００８０】
次に、偏光光照射装置１による偏光光Ｌｐの生成と、偏光光測定部６による偏光光Ｌｐの偏光方向の測定について説明する。  
図５は、偏光光照射装置１による偏光光Ｌｐの生成と、偏光光測定部６による偏光光Ｌｐの偏光方向の測定について例示をするための模式斜視図である。  
制御部７は、光源４１を制御して、光源４１から波長が紫外線の波長領域にある光Ｌを照射させる。光源４１から照射された光Ｌは、直接または反射部４２の内面で反射して、反射部４２の開口から出射する。反射部４２の開口から出射した光Ｌは、様々な方向、例えば、Ｂ方向やＣ方向に振動する成分を含んでいる。
【００８１】
光Ｌは、フィルタ３１に入射し、所望の波長を有する光Ｌが偏光子２１に入射する。  
偏光子２１に入射した光Ｌは、偏光子２１を透過することで偏光光Ｌｐとなる。
【００８２】
前述したように、偏光子２１には、所定の方向に延びる複数の線状体が設けられている。そのため、偏光子２１は、光Ｌの成分のうち、線状体が延びる方向と直交する方向に振動する成分のみを透過させる。そのため、光Ｌは、偏光子２１を透過すると、所定の方向（例えば、Ｃ方向）に振動する成分のみを持つ偏光光Ｌｐとなる。  
以上の様にして、偏光光Ｌｐを生成することができる。
【００８３】
偏光光Ｌｐの偏光方向の測定は、処理物２００が無い状態で行われる。  
制御部６５は、移動部６３を制御して、所望の検出部６２ａ〜６２ｃが偏光子６１ａの下方に位置するようにする。  
偏光光Ｌｐは、偏光子６１ａを透過することで偏光光Ｌｐｐとなる。  
偏光光Ｌｐｐは、検出部６２に入射し、受光した光の光量に応じた電気信号が出力される。  
また、制御部６５は、移動部６１ｃを制御して、偏光子６１ａを回転方向に移動させる。すなわち、制御部６５は、移動部６１ｃを制御して、偏光子６１ａに設けられた線状体が延びる方向を変化させる。
【００８４】
線状体が延びる方向が変化すれば、偏光光Ｌｐの偏光方向に応じて偏光光Ｌｐｐの照度が変化する。例えば、回転角度θが、０°、−２０°、９０°では、偏光光Ｌｐｐの照度が異なるものとなり、検出部６２から出力される電気信号の値が異なるものとなる。  
そのため、検出部６２から出力された電気信号の値が最大または最小となった時の回転角度θが分かれば、予め求められた回転角度θと偏光光Ｌｐの偏光方向との関係から偏光光Ｌｐの偏光方向を求めることができる。
【００８５】
例えば、回転角度θが９０°の場合をＸ方向、回転角度θが０°の場合をＹ方向とし、回転角度θが０°の場合に検出部６２から出力された電気信号の値が最大となった場合には、偏光光Ｌｐの偏光方向はＹ方向となる。  
なお、回転角度θが０°の場合に検出部６２から出力された電気信号の値が最小となった場合には、偏光光Ｌｐの偏光方向はＸ方向となる。
【００８６】
偏光光Ｌｐの偏光方向の測定においては、検出部６２から出力された電気信号の最大値または最小値の前後を測定するだけで十分である。  
以上の様に、制御部６５は、検出部６２からの出力と、移動部６１ｃからの回転位置情報に基づいて、偏光光Ｌｐの偏光方向を演算する。
【００８７】
また、制御部６５は、移動部６４を制御して、測定対象となる偏光子２１の下方に偏光部６１および検出部６２が位置するように、移動部６３を移動させる。  
そして、複数の偏光子２１毎に、前述した偏光光Ｌｐの偏光方向の測定を行う。  
以上のようにして、偏光光Ｌｐの偏光方向の測定を行うことができる。
【００８８】
次に、必要に応じて、偏光子２１の傾きを調整する。例えば、図３に示すように、調整部２３ｄの突出部２３ｄ２の突出長さＤを変えることで、偏光子２１を角度αだけ傾けるように調整する。  
偏光光Ｌｐの偏光方向の測定結果は、制御部６５から制御部７に送られる。
【００８９】
偏光光Ｌｐの偏光方向が所定の範囲内にない場合には、偏光子２１の傾きを調整する。  この場合、制御部６５または制御部７から表示装置などに出力された情報に基づいて、作業者が突出部２３ｄ２を操作して偏光子２１の傾きを調整することができる。  
また、制御部７が、突出部２３ｄ２に設けられた駆動機構を制御して偏光子２１の傾きを調整することもできる。
【００９０】
偏光子２１の傾き調整の後には、調整を行った偏光子２１における偏光光Ｌｐｐの偏光方向を再度測定する。  
そして、偏光光Ｌｐの偏光方向が所定の範囲内となるまで、前述した手順が繰り返される。
【００９１】
偏光光Ｌｐの偏光方向が所定の範囲内となった場合には、処理物２００の配向処理を行う。  
まず、制御部６５は、移動部６４を制御して、処理物２００の搬送領域外に偏光部６１および検出部６２を退避させる。  
この様にすれば、処理物２００と、偏光部６１および検出部６２との干渉を回避することができる。
【００９２】
次に、制御部７は、光源４１を制御して、光源４１から波長が紫外線の波長領域にある光Ｌを照射させる。  
また、制御部７は、搬送部５を制御して、光源４１の偏光部２が設けられた側の下方を処理物２００が通過するようにする。  
光源４１から出射した光Ｌは、偏光子２１に入射し、偏光子２１を透過することで偏光光Ｌｐとなる。  
偏光光Ｌｐは、処理物２００に入射し、偏光光Ｌｐにより配向処理が施される。  
また、光源４１の偏光部２が設けられた側の下方を処理物２００が通過することで、処理物２００の全域に配向処理が施される。
【００９３】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００９４】
１  偏光光照射装置、２  偏光部、３  フィルタ部、４  照射部、５  搬送部、６  偏光光測定部、１６  偏光光測定部、２１  偏光子、２３  基部、２４  移動部、２５  固定部、３１  フィルタ、３２  反射部、３３  基台、３４  移動部、４１  光源、４２  反射部、４３  基台、４４  移動部、６１  偏光部、６１ａ  偏光子、６１ｂ  保持部、６１ｃ  移動部、６２  検出部、６３  移動部、６４  移動部、２００  処理物、Ｌ  光、Ｌｐ  偏光光、Ｌｐｐ  偏光光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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