(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性および熱溶融性を有する接合材によって基板上に直立させて接合される、全体に板状のプローブであって、
前記接合の際に前記基板上に当接される周縁部になる取り付け端を有して該取り付け端から前記基板と離れる方向に伸びるように設けられた取り付け部と、
前記板状による平面視において前記取り付け端と前記基板とが接する直線と交差する第１の方向に前記取り付け部と連なるように連結されたプローブ基部と、
前記板状による平面視において前記プローブ基部から前記第１の方向と交差する第２の方向に伸びるアーム部と、
前記アーム部において、前記基板から離れる方向に伸びる、先端に針先が形成される針先部とを有し、
前記取り付け部は、
前記取り付け端となる第１の周縁部と、該第１周縁部につながり前記プローブ基部に対向する第２の周縁部とを有する台座部と、
前記台座部の前記第２の周縁部と前記プローブ基部とを連結する支柱と、
前記支柱から離隔して前記プローブ基部から前記台座部に向かって伸び、その先端部分と該台座部の前記第２の周縁部との間に隙間が形成された柱状部と
を有することを特徴とするプローブ。
【請求項２】
前記台座部の前記第２の周縁部における前記支柱と連結される部分は、前記板状による平面視で、前記第１の周縁部における、前記取り付け端と前記基板とが接する直線から垂直方向上の範囲内に位置していることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
前記台座部の前記第２の周縁部における前記柱状部の先端部分と対向する部分は、前記板状による平面視で、前記第１の周縁部における、前記取り付け端と前記基板とが接する直線から垂直方向上の範囲内に位置していることを特徴とする請求項１または２に記載のプローブ。
【請求項４】
前記柱状部は、前記支柱を挟んで複数設けられており、前記台座部の前記第２の周縁部における前記複数の柱状部の先端部分と対向する部分が、前記支柱と連結する部分を挟んで複数設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項５】
前記台座部の前記第２の周縁部における前記柱状部の先端部分と対向する部分は、前記板状による平面視で凸状または凹状となるように丸みを備えた形状を有し、
前記柱状部の先端部分は、前記平面視でその対向する台座部の前記第２の周縁部の形状に沿うように、凹状または凸状となるように丸みを備えた形状を有していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項６】
前記台座部は、前記板状による平面視で、前記第１の周縁部の前記取り付け端を一辺とし前記第２の周縁部に他の３つの辺を有する略四角形状をなし、前記取り付け端と対向する辺である取付端対辺上に前記支柱と連結される部分を有し、
前記取り付け端と前記取付端対辺のそれぞれの端部の間を繋ぐ辺である取付端側辺上に前記柱状部の先端部分と対向する部分を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項７】
前記台座部が前記板状による平面視でなす略四角形状は、略台形状であることを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
【請求項８】
前記支柱における、前記板状による平面視で最も狭い部分の幅は、該支柱の板厚の１．５倍以上２倍以下であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項９】
前記支柱における、前記台座部の前記第２の周縁部との結合部分に形成される隅部は、該支柱の内部側に向かって凹むように丸みを帯びて形成されることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項１０】
前記取り付け部における、前記板状による平面視の表面の少なくとも一方に、導電性および熱溶融性を有する接合材からなる接合層を設けることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載のプローブを用い、基板上に前記取り付け部の前記取り付け端を当接させて、該基板上に該プローブを配置する配置工程と、
前記プローブの前記取り付け部の支柱を曲げ変形させ、前記基板に対する前記針先の高さ位置を調整する位置調整工程と、
導電性および熱溶融性を有する接合材を加熱溶融させて、前記プローブを前記基板上に取り付けるとともに、該接合材を前記柱状部の先端部分と前記台座部との間の前記隙間に配置し、前記柱状部の先端部分と前記台座部とを接合させて、前記位置調整工程により調整された高さ位置に前記針先を位置決めする取り付け工程と
を有することを特徴とするプローブ組立体の製造方法。
【請求項１２】
前記配置工程における前記取り付け部の前記取り付け端の前記基板への当接は、前記プローブを前記プローブ基部で保持し、該プローブの姿勢を維持しながら前記基板上へ該取り付け端を押しつけることにより行うことを特徴とする請求項１１に記載のプローブ組立体の製造方法。
【請求項１３】
前記位置調整工程における前記支柱の曲げ変形は、
前記取り付け端を前記基板上に当接させた状態で前記台座部に対するプローブ基部の向きを変えることにより行うことを特徴とする請求項１１に記載のプローブ組立体の製造方法。
【請求項１４】
前記位置調整工程における前記支柱の曲げ変形は、
前記取り付け端を前記基板上に当接させた状態で高平面性の面を前記基板に対して平行に向かい合わせながら相対的に接近させて針先を押すことにより行うことを特徴とする請求項１１に記載のプローブ組立体の製造方法。
【請求項１５】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載のプローブが基板上に複数取り付けられていることを特徴とするプローブ組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ、プローブ組立体の製造方法およびプローブ組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程において、半導体ウェーハ（以下、単に「ウェーハ」ともいう）の各チップ領域上に作り込まれた多数の半導体集積回路は、それぞれが半導体チップに分離されるのに先立って、それぞれ仕様書通りに製造されているか否かの試験を受けるのが通常である。すなわち、多数の半導体集積回路が作り込まれた被検査体としての半導体ウェーハは、その半導体ウェーハ上の個々の半導体集積回路（以下、一つの半導体集積回路を「ウェーハチップ」ともいう）が被測定デバイスとなって、ウェーハテストと呼ばれる電気的試験による検査を受ける。
【０００３】
ウェーハテストには、例えば、試験に必要な電力や信号を各被測定デバイスに供給するとともにその電気的特性を測定するテスタと、そのテスタのテストヘッドと被測定デバイスとの間に電気的に介在させて必要な信号や電力を伝達する一つまたは複数の電気的接続装置と、ウェーハを保持するとともに、ウェーハ上の被測定デバイスと電気的接続装置上のプローブとの相対的な位置決めや接続を行うプローバと、を備えた検査装置が使用される。この電気的接続装置としては、例えば、プローブカード、インサートリング、パフォーマンスボード等のボード類、それらボード類が機能的に組み合わさって一体となったものなどが含まれ、そのうち、ウェーハ上の半導体集積回路の電極に接続されるプローブが配列された電気的接続装置をプローブ組立体と呼ぶ事とする。このプローブ組立体として、例えばプローブカードは、一方の側の面に多数のプローブが配列され、他方の側の面にテストヘッドまたはテストヘッド側に位置する電気的接続装置へ電気的に接続するための接続部が設けられている（例えば、特許文献１を参照のこと。）。
【０００４】
そして、前記電気的試験用のプローブの例としては、全体に板状のプローブが知られている。例えば、プローブ組立体のプローブ基板に取り付けるための取り付け端を有してその取り付け端からプローブ基板と離れる方向の第１の方向に伸びるように設けられた取り付け部と、その取り付け部と第１の方向に連なるように、その取り付け部の第１の方向の端部に連結されたプローブ基部と、そのプローブ基部から第１の方向と交差する第２の方向に伸びるように設けられたアーム部と、そのアーム部に設けられて、取り付け部の取り付け端が位置する側と反対側に伸びる先端に針先が形成される針先部とを有するプローブが知られている（特許文献１、２を参照のこと。）。
【０００５】
上述のようなプローブを用いて構成されるプローブ組立体は、複数の板状のプローブと、それを支持するプローブ基板とを有してなる。プローブ基板のプローブが取り付けられる面（以下、「プローブ取付面」ともいう）には、プローブを固定して支持するための複数の取り付け用のパッド、すなわち、複数の接合パッドが設けられている。プローブ組立体は、複数の板状のプローブを、その取り付け部において、熱溶融性の接合材により、プローブ基板の各接合パッドに直立させて結合させている。これにより、各プローブは、取り付け部がプローブ基板の接合パッドに固定されて、プローブ基板に片持ち梁状に支持される。
【０００６】
そして、被検査体である半導体ウェーハのウェーハテストでは、プローブ組立体を、そのプローブが取り付けられている側をウェーハに対向させた状態で、プローブ基板とウェーハとを平行に保ちながら相対的に接近させることにより、半導体ウェーハ上に形成された複数のウェーハチップの電極パッドのそれぞれに、プローブ組立体のプローブの針先部を針先側からコンタクトさせて電気的特性試験を行うことができる。ウェーハチップの電極パッドとプローブの針先とのコンタクトは、一度の接触動作でウェーハ上の全てのウェーハチップと接続させて電気的特性試験を行ってもよいし、複数回の接触動作に分けて接続させてそれぞれの接続毎に電気的特性試験を行ってもよい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１１−１４１２１９号公報
【特許文献２】特開２００８−１７５７６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述のように、半導体ウェーハの電気的試験において、プローブ組立体がウェーハ上のウェーハチップとの電気的接続に好適に使用されるように、プローブ組立体においては、半導体ウェーハ上の複数のウェーハチップの電極パッドのそれぞれに、各プローブの針先が均一な条件でコンタクトすることが望ましい。
【０００９】
通常、被検査体となる半導体ウェーハ上の電極パッドは、その半導体ウェーハ上で均一な高さに設けられている。上述した通り、プローブ組立体上のプローブの針先と、ウェーハ上のウェーハチップの電極パッドとのコンタクトは、ウェーハとプローブ基板とを平行に対向させたまま相対的に接近させることにより行うため、プローブ組立体においては、複数のプローブの針先のプローブ基板上での高さ位置が、複数プローブ間で互いに等しくなることが好ましい。すなわち、プローブ組立体において、プローブ基板上に設けられた複数のプローブの針先の点が含まれる仮想面（以下、「仮想コンタクト面」ともいう）が、平坦な１つの平面を構成することが好ましい。仮想コンタクト面の平坦度を向上させると、プローブの各針先を均一な条件でコンタクトさせることができる。
【００１０】
そのため、プローブ基板に取り付けられる複数の板状のプローブは、そのプローブがなす平面内における取り付け端の辺の垂直方向での取り付け端から針先までの距離が、それぞれ等しい寸法で製造される。
【００１１】
しかしながら、そのようにそれぞれ等しい寸法で複数のプローブを形成できたとしても、プローブ基板への取り付け状態またはプローブ基板自体の形状の影響を受けて、プローブ基板における針先の高さ位置がばらつくことがあった。
【００１２】
例えば、プローブを取り付けるためのプローブ基板の接合パッドにおいて、形状のばらつきやプローブ基板上での高さのばらつきがあり、複数のプローブ間で同様の条件でプローブ基板の接合パッドに取り付けたとしても、製造されるプローブ組立体において、プローブの針先の高さ位置がばらつくことがあった。
【００１３】
また、接合パッドの形状やプローブ基板上での高さが均一であっても、プローブ基板において、うねりやそり等がある場合、同様に、製造されるプローブ組立体において、プローブの針先の高さ位置がばらつくことがあった。
【００１４】
すなわち、プローブ組立体において、プローブは、プローブ基板や接合パッドの形状に依存し、針先の高さ位置にばらつきが生じることがあった。このばらつきを抑えるためには、プローブ基板のプローブ取付面の平坦度を向上させることが有効であるが、近年、一度に測定できるウェーハチップの数を増加させるために、プローブ基板を大型化させたものも出てきており、大型化するほどプローブ取付面の平坦度を高くすることが困難になるという問題がある。
【００１５】
また、プローブをプローブ基板に接合する際に、プローブ基板に対するプローブの針先の位置が所定の高さになるようにプローブを保持した状態で、上述した熱溶融性の接合材を利用して接合することも考えられるが、その場合にプローブ基板のプローブ取付面の平坦度が低いと、プローブの取り付け部の取り付け端がプローブ基板に対し傾いて接合されたり、取り付け端がプローブ基板から浮いた状態で接合パッドと接合されたりする可能性がある。
【００１６】
そのような状態でプローブがプローブ基板の接合パッドに取り付けられた場合、複数のプローブ間でプローブの接合状態または接合強度にばらつきが生じ、プローブ組立体の信頼性を低下させる可能性がある。
【００１７】
したがって、プローブ組立体において、複数のプローブ間での針先の高さ位置のばらつきを抑える技術が求められている。そして、そのプローブの針先の高さ位置のばらつきを抑える技術は、プローブとプローブ基板の接合パッドとの間の取り付け強度を低下させることなく、各プローブの針先の高さ位置を調整可能とするものであることが好ましい。
【００１８】
本発明は、以上のプローブおよびプローブ組立体における問題に鑑みてなされたものである。
【００１９】
すなわち、本発明の目的は、針先の高さ位置を調整する機構を備えたプローブを提供することにある。
【００２０】
また、本発明の目的は、プローブの針先の位置ばらつきの低減に有効なプローブ組立体の製造方法を提供することにある。
【００２１】
また、本発明の目的は、プローブの針先の位置ばらつきが低減されたプローブ組立体を提供することにある。
【００２２】
本発明の他の目的および利点は、以下の記載から明らかとなるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明の第１の態様は、
全体に板状のプローブであって、
取り付け端を有する取り付け部と、
平面視において前記取り付け端と接する線と交差する第１の方向に前記取り付け部と連なるように、該取り付け部の端部に連結されたプローブ基部と、
前記プローブ基部から前記第１の方向と交差する第２の方向に伸びるアーム部と、
前記アーム部に設けられて、前記取り付け部の前記取り付け端が位置する側と反対側に伸びる先端に針先が形成される針先部とを有し、
前記取り付け部は、
前記取り付け端を有する台座部と、
前記台座部と前記プローブ基部の互いに対向する端部を連結する支柱と、
前記プローブ基部の前記台座部と対向する端部から該台座部に向かって伸び、その先端部分と該台座部との間に隙間が形成された柱状部と
を有することを特徴とするプローブに関する。
【００２４】
本発明の第１の態様において、前記取り付け部の前記台座部は、前記支柱と連結される部分が、平面視で、前記取り付け端からそこに接する直線の垂直方向上に位置していることが好ましい。
【００２５】
本発明の第１の態様において、前記取り付け部の前記台座部は、前記柱状部の先端部分と対向する部分が、平面視で、前記取り付け端からそこに接する直線の垂直方向上に位置していることが好ましい。
【００２６】
本発明の第１の態様において、前記取り付け部の前記柱状部は、前記支柱を挟んで複数設けられており、
前記取り付け部の台座部は、前記複数の柱状部の先端部分と対向する部分が、前記支柱と連結する部分を挟んで複数設けられていることが好ましい。
【００２７】
本発明の第１の態様において、前記取り付け部の前記台座部は、前記柱状部の先端部分と対向する部分が、平面視で凸状または凹状となるように丸みを備えた形状を有し、
前記取り付け部の前記柱状部は、前記台座部に向かって伸びる前記柱状部の先端部分が、平面視でその対向する台座部の部分の形状に沿うように、凹状または凸状となるように丸みを備えた形状を有していることが好ましい。
【００２８】
本発明の第１の態様において、前記取り付け部の前記台座部は、平面視で、前記取り付け端を一辺とする略四角形状をなし、前記取り付け端と対向する辺である取付端対辺上に前記支柱と連結される部分を有し、
前記取り付け端と前記取付端対辺のそれぞれの端部の間を繋ぐ辺である取付端側辺上に前記柱状部の先端部分と対向する部分を有することが好ましい。
【００２９】
本発明の第１の態様において、前記取り付け部の前記台座部は、平面視で、前記取り付け端を一辺とする略四角形状をなし、前記取り付け部の前記台座部が平面視でなす略四角形状は、略台形状であることが好ましい。
【００３０】
本発明の第１の態様において、前記取り付け部の前記支柱は、最も狭い部分の幅は、該支柱の板厚の１．５倍以上２倍以下であることが好ましい。
【００３１】
本発明の第１の態様において、前記台座部から伸びる前記支柱の、該台座部との結合部分に形成される隅部は、該支柱の内部側に向かって凹むように丸みを帯びて形成されることが好ましい。
【００３２】
本発明の第１の態様において、前記取り付け部の少なくとも一方の側面に、導電性および熱溶融性を有する接合材からなる接合層を設けることが好ましい。
【００３３】
本発明の第２の態様は、本発明の第１の態様のプローブを用い、基板上に前記取り付け部の前記取り付け端を当接させて、該基板上に該プローブを配置する配置工程と、
前記プローブの前記取り付け部の支柱を曲げ変形させ、前記基板に対する前記針先の高さ位置を調整する位置調整工程と、
導電性および熱溶融性を有する接合材を加熱溶融させて、前記プローブを前記基板上に取り付けるとともに、該接合材を前記柱状部の先端部分と前記台座部との間の前記隙間に配置し、前記柱状部の先端部分と前記台座部とを接合させて、前記位置調整工程により調整された高さ位置に前記針先を位置決めする取り付け工程と
を有することを特徴とするプローブ組立体の製造方法に関する。
【００３４】
本発明の第２の態様において、前記配置工程における前記取り付け部の前記取り付け端の前記基板への当接は、前記ブローブをプローブ基部で保持し、該プローブの姿勢を維持しながら基板上へ該取り付け端を押しつけることにより行うことが好ましい。
【００３５】
本発明の第２の態様において、前記位置調整工程における前記支柱の曲げ変形は、前記取り付け端を基板上に当接させた状態で前記台座部に対するプローブ基部の向きを変えることにより行うことが好ましい。
【００３６】
本発明の第２の態様において、前記位置調整工程における前記支柱の曲げ変形は、前記取り付け端を基板上に当接させた状態で高平面性の面を基板に対して平行に向かい合わせながら相対的に接近させて針先を押すことにより行うことが好ましい。
【００３７】
本発明の第３の態様は、本発明の第１の態様のプローブが基板上に複数取り付けられていることを特徴とするプローブ組立体に関する。
【発明の効果】
【００３８】
本発明の第１の態様によれば、針先の高さ位置を調整する機構を備えたプローブが提供される。
【００３９】
また、本発明の第２の態様によれば、プローブの針先の位置ばらつきの低減に有効なプローブ組立体の製造方法が提供される。
【００４０】
また、本発明の第３の態様によれば、プローブの針先の位置ばらつきが低減されたプローブ組立体が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の第１実施形態のプローブを示す図である。
【図２】本発明の第１実施形態の第１の変形例であるプローブを示す図である。
【図３】図２に示したプローブの取り付け部を拡大して示す図である。
【図４】本発明の第１実施形態のプローブ１における接合層が配置された状態を説明する図である。
【図５】本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法を説明する図である。
【図６】本発明の第３実施形態のプローブ組立体を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
本発明の実施形態であるプローブは、全体に板状のプローブであって、上述したように、プローブ基板に取り付けられて片持ち梁状に支持される。そして、本発明の実施形態のプローブは、本発明の別の実施形態である、プローブカードのようなプローブ組立体の製造方法に用いられ、本発明のさらに別の実施形態であるプローブ組立体を構成する。そして、本発明のさらに別の実施形態であるプローブ組立体は、本発明の実施形態であるプローブを備えた電気的接続装置として、被検査体である半導体ウェーハ等の電気的試験に使用することができる。
【００４３】
このとき、従来のプローブ組立体においては、プローブ基板におけるプローブ取付面や接合パッドの形状や高さに依存し、複数のプローブ間で、プローブの針先の高さ位置にばらつきが生じる可能性がある。このような問題に対し、本発明の実施形態であるプローブは、その内部に、針先の高さ位置を調整可能とする機構を含んで構成される。したがって、本発明のさらに別の実施形態であるプローブ組立体においては、本発明の実施形態であるプローブが有する位置調整のための機構の効果により、複数のプローブ間で、針先の高さ位置のばらつきを抑えることができる。そして、本発明の別の実施形態であるプローブ組立体の製造方法は、そのように複数のプローブ間で針先の高さ位置のばらつきが抑えられたプローブ組立体の提供に有効となる。
【００４４】
以下、本発明の実施形態のプローブ、本発明の別の実施形態のプローブ組立体の製造方法、および、本発明のさらに別の実施形態のプローブ組立体について、図面を用いて説明する。尚、各図面の記載において、共通する構成要素は同一の符号を付すようにし、重複する説明は極力省略することにする。
【００４５】
実施の形態１．
＜プローブ＞
図１は、本発明の第１実施形態のプローブを示す図である。
【００４６】
図１に示す本発明の第１実施形態のプローブ１は、全体に板状のプローブである。
【００４７】
そして、本発明の第１実施形態のプローブ１は、取り付け端２ａを有した取り付け部２と、プローブ１のなす平面内において取り付け端２ａと接する直線と交差する第１の方向に取り付け部２と連なるように、取り付け部２の第１の方向の先端側の端部に連結されたプローブ基部３と、プローブ基部３から第１の方向と交差する第２の方向に伸びるように設けられたアーム部４と、アーム部４のプローブ基部３側とは反対の側の先端部分に設けられて、取り付け部２の取り付け端２ａが位置する側と反対側に伸びる先端に針先５ａが形成される針先部５とを有して構成される。
【００４８】
尚、図１に示した本発明の第１実施形態のプローブ１においては、上述した第１の方向は、プローブ１のなす平面内における取り付け端２ａに接する直線に対して垂直な方向（以下、このような方向を「取り付け端の垂直方向」ともいう）となっており、第２の方向は、プローブ１のなす平面内における取り付け端２ａに接触する直線に対して平行な方向（以下、このような方向を「取り付け端の平行方向」ともいう）となっているので、第１の方向と第２の方向は、概略直交している。また、針先部５がアーム部４から第１の方向に伸びている。そして、図１において、第１の方向は図の上下方向であり、第２の方向は図の左右方向である。
【００４９】
プローブ１において、取り付け部２とプローブ基部３とアーム部４と針先部５とは、プローブ１の本体を構成する。図１に示すプローブ１において、プローブ１の本体の第２の方向の幅は、例えば２ｍｍ以上４ｍｍ以下、すなわち、２ｍｍ〜４ｍｍとすることができ、第１の方向の幅は、例えば１ｍｍ〜３ｍｍとすることができる。そして、プローブ１の本体の板厚、すなわち、取り付け部２、プローブ基部３、アーム部４および針先部５の厚さは、例えば２０μｍ〜１００μｍとすることができる。
【００５０】
これら取り付け部２、プローブ基部３、アーム部４および針先部５を本体とするプローブ１は、後述する本発明の第３実施形態のプローブ組立体の構成に用いられて、被検査体である半導体ウェーハ等の電気的試験（例えばウェーハテスト）に好適に用いられる。したがって、プローブ１の本体を構成する各部（取り付け部２、プローブ基部３、アーム部４および針先部５）は、プローブ１の構成に好適となるように、バネ性と導電性とを有することが望ましい。また、これら構成各部２、３、４、５は、プローブ組立体の製造工程や、それを用いた検査において、加熱を行う工程があっても変形や劣化等の不具合が生じないように、耐熱性を有することが好ましく、熱処理により疲労強度を向上させるような特性を有する材料から形成されるとより好ましい。
【００５１】
これらプローブ１の本体を構成する各部（取り付け部２、プローブ基部３、アーム部４および針先部５）は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）およびニッケル合金の少なくとも一方を用いて構成することができる。すなわち、本発明の第１実施形態のプローブ１は、ニッケルおよびニッケル合金の少なくとも一方を用いて構成されることが好ましい。
【００５２】
そして、プローブ１のこれら構成各部２、３、４、５を構成する上述のニッケル合金としては、具体的には、ニッケル・リン合金（Ｎｉ−Ｐ）、ニッケル・ボロン合金（Ｎｉ−Ｂ）、ニッケル・コバルト合金（Ｎｉ−Ｃｏ）、ニッケル・チタン（Ｎｉ−Ｔｉ）、ニッケル・銅（Ｎｉ−Ｃｕ）、ニッケル・クロム（Ｎｉ−Ｃｒ）およびニッケル・モリブデン（Ｎｉ−Ｍｏ）よりなる群から選択された少なくとも１種であることが好ましい。
【００５３】
プローブ１を上述の材料を用いて構成することにより、バネ性と導電性と耐熱性を併せ持つことができ、さらに、熱処理により疲労強度が向上されて、後述する本発明の第３実施形態のプローブ組立体の構成に用いることができ、被検査体である半導体ウェーハ等の電気的試験に好適に使用することができる。
【００５４】
以下、本発明の第１実施形態のプローブ１の本体を構成する各部について、より詳しく説明する。
【００５５】
プローブ１の取り付け部２は、後述するように、本発明の別の実施形態のプローブ組立体（図１中、図示されない）を構成する際に、プローブ組立体のプローブ基板（図１中、図示されない）に取り付けられる端部となる取り付け端２ａを有している。そして、この取り付け部２が、プローブ基板へのプローブ１の取り付けに用いられるとともに、針先部５の針先５ａの位置、より具体的には、取り付け部２の取り付け端２ａからの高さ位置を調整可能にする機構を構成する。すなわち、プローブ１は、針先５ａの高さ位置を調整する機構として、取り付け部２を有する。ここで、プローブ１における取り付け端２ａから針先５ａの高さ位置とは、プローブ１のなす平面内において取り付け端２ａの垂直方向における取り付け端２ａからの針先５ａまでの高さ位置をいう（以下、「プローブ上針先高さ位置」ともいう）。
【００５６】
具体的には、図１に示すように、プローブ１の取り付け部２は、上述の取り付け端２ａを有してその取り付け端２ａから第１の方向である図の上下方向の上方に伸びるように設けられた台座部１１を有する。また、取り付け部２は、プローブ基部３が取り付け部２と第１の方向である上下方向に連なるように、台座部１１の上方側端部から第１の方向である上下方向の上方に伸びて、台座部１１とプローブ基部３の互いに対向する端部を連結する支柱１２を有する。さらに、取り付け部２は、プローブ基部３の台座部１１と対向する端部からその台座部１１に向かって伸びるように設けられ、プローブ基部３側の一方の先端部分でプローブ基部３と接続されるとともに他方の先端部分１４では台座部１１と接続せずに、台座部１１との間に隙間が形成された柱状部１３を有する。
【００５７】
すなわち、プローブ１の取り付け部２は、図１に示すように、取り付け端２ａを有する台座部１１と、この台座部１１にプローブ基部３を連結して台座部１１上でプローブ基部３を支持する支柱１２と、プローブ基部３から台座部１１に向かって伸び、先端部分１４に台座部１１との隙間が形成された柱状部１３とを有して構成される。尚、柱状部１３の先端部分と台座部１１との隙間を、以下「隙間部」ともいう。
【００５８】
取り付け部２の支柱１２は、板状のプローブ１のなす平面内で曲げ変形が可能であり、この曲げ変形により、プローブ１のなす平面内において台座部１１に対するプローブ基部３の向きを傾けることができる。
【００５９】
支柱１２の平面視における幅は、支柱１２の全長にわたって一定にしてもよいし、不定にしてもよい。一定の場合は支柱１２の全長にわたって曲げ変形が生じ易くなり、不定の場合は幅が最も狭くなっている部分で曲げ変形が生じ易くなる。この図１に示した第１実施形態においては、支柱１２は、台座部１１側の端部が最も狭く、プローブ基部３側に向かうにしたがって幅が広くなっており、台座部との連結部分の隅部１５はいずれも鋭角に形成されている。このため、支柱１２は、台座部１１との連結部分で曲げ変形が生じ易くなっている。このように支柱１２に最も幅の狭い箇所を１つ設けるとその部分が曲げ変形の支点として働くため動きを制御し易く好ましい。また、最も幅が狭い箇所を支柱１２の台座部１１側の端部に設けているので、その最も幅が狭い箇所から、柱状部１３と台座部１１との間の隙間までの距離を短くできる。これによりプローブ上針先高さ位置の可動範囲に対する隙間の間隔の変動幅を小さくできるので、隙間の間隔が変動してもそこに毛細管現象によって接合材が入り込こめるように設定でき好ましい。
【００６０】
尚、支柱１２の形状はこれに限定されず、例えば、プローブ基部３側の端部の幅を最も狭くして台座部１１側に向かうに従って幅が広くなるようにしてもよいし、中間部分で最も狭くして台座部１１側およびプローブ基部３側に向かうにしたがって幅が広くなるようにしてもよい。支柱１２の幅が最も狭い部分の幅は、取り付け部２とプローブ基部３とアーム部４と針先部５とを含むプローブ１の本体の板厚、すなわち、支柱１２の板厚に対する比率に基づいて設定することができ、板厚の１．５倍以上２倍以下、すなわち、１．５倍〜２倍であることが好ましい。支柱１２をこのような幅にすることにより、板状のプローブ１のなす平面内で曲げ変形を生じさせることができるとともに、適度な強度を持たせることができる。
【００６１】
また、支柱１２は、アーム部４より曲げ変形し易いように形成すると好ましい。すなわち、プローブ１のなす平面内の方向で針先部５に対して力を加えた時に、支柱１２の方がアーム部４より曲げ変形し易い構造にすると、後述するように、針先部５やアーム部４に力を加えて支柱１２を曲げ変形させて針先５ａの高さ位置を調整する場合において、アーム部４の変形を抑えることができ、針先高さの位置決め精度を向上させることができる。
【００６２】
また、後述するように、針先５ａの位置調整と位置決めのために、取り付け部２の支柱１２に対し、板状のプローブ１のなす平面内で曲げ変形が加えられるが、そうした曲げ変形を生じやすくするとともに、曲げ変形による破損を抑制可能な構造を有することが好ましい。
【００６３】
図２は、本発明の第１実施形態の第１の変形例であるプローブを示す図である。
【００６４】
図３は、図２に示したプローブの取り付け部を拡大して示す図である。
【００６５】
図２および図３に示す本発明の第１実施形態の第１の変形例であるプローブ４０は、取り付け部４１の支柱４２と台座部４３とが接合する部分の構造が、図１に示した本発明の第１実施形態のプローブ１と異なる以外は同様の構造を有する。したがって、図２および図３を用いたプローブ４０の説明において、プローブ１と共通する構成要素については、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００６６】
図２に示すように、本発明の第１実施形態の第１の変形例であるプローブ４０において、取り付け部４１は、プローブ基板（図示されない）への取り付け端２ａを有してその取り付け端２ａから第１の方向である図の上下方向の上方に伸びるように設けられた台座部４３と、プローブ基部３が取り付け部４１と第１の方向である上下方向に連なるように、台座部４３の上方側端部から第１の方向である上下方向の上方に伸びて、台座部４３とプローブ基部３の互いに対向する端部を連結する支柱４２と、プローブ基部３の台座部４３と対向する端部からその台座部４３に向かって伸びるように設けられ、プローブ基部３側の一方の先端部分でプローブ基部３と接続されるとともに他方の先端部分１４では台座部４３と接続せずに、台座部４３との間に隙間が形成された柱状部１３とを有して構成される。
【００６７】
そして、図２および図３に示すように、プローブ４０においては、台座部４３の上方側端部と支柱４２の結合部分に形成される隅部４５、すなわち、台座部４３の上方側端部から突設された支柱４２の付け根部分の隅部４５が、鋭く曲がるような形状には形成されておらず、丸みを帯びて曲がった形状に形成されているとともに、台座部４３および支柱４２の内部側に凹む構造とされている。
【００６８】
このように台座部４３との結合部分に形成される隅部４５が丸みを帯びて凹んだ構造に形成されることにより、支柱４２に対し、針先５ａの位置調整のために、板状のプローブ１のなす平面内で曲げ変形が加えられた場合に、そうした曲げ変形を生じやすくするとともに、曲げ変形による隅部４５への応力の集中を低減され、台座部４３との結合部分の破損を抑制することができる。
【００６９】
次に、取り付け部２の台座部１１は、平面視での外形状において、取り付け端２ａとなる第１の周縁部１１ａと、その取り付け端２ａの一方の側に膨らんでその両端をつなぐ第２の周縁部１１ｂとを備えている。第１の周縁部１１ａ（取り付け端２ａ）は、プローブ基板の接合パッドに接合する部分であり、第２の周縁部１１ｂは、支柱１２と結合する部分２ｂ（以下、「支柱結合部」ともいう）と、柱状部１３の先端と隙間をあけて対向する部分２ｃ（以下、「柱状部対向部」ともいう）とを有している。
【００７０】
尚、第１の周縁部１１ａ（取り付け端２ａ）は、図１に示すように、直線状になっているが、凹凸を有していてもよい。その場合は、その凹凸の複数の突端を接合パッドに接触させて接合させる。
【００７１】
支柱結合部２ｂは、第２の周縁部１１ｂ上において第１の周縁部１１ａ（取り付け端２ａ）からその垂直方向上に位置しているとプローブ基板への接合工程中や接合後の強度の面で好ましく、第１の周縁部１１ａの中央からその垂直方向上に位置しているとさらに好ましい。
【００７２】
柱状部対向部２ｃは、第２の周縁部１１ｂ上において支柱結合部２ｂと第１の周縁部１１ａとの間に設けることができ、支柱結合部２ｂの左右両側の周縁上に設けてもよいし、片側の周縁上にだけ設けてもよい。この柱状部対向部２ｃは、第１の周縁部１１ａの端部に近い位置にあると、接合材が柱状部１３の先端部分１４との間の隙間に入り込み易いという点で好ましい。
【００７３】
また、柱状部対向部２ｃは、第１の周縁部１１ａからその垂直方向上に位置していると、プローブ基板への接合後の強度の面で好ましい。
【００７４】
台座部１１の平面視形状は、例えば、直線部分を第１の周縁部１１ａとした半円形、半楕円形、弓形などの略孤形状や、三角形、四角形、五角形、台形等の略多角形状にすることができる。
【００７５】
台座部１１の平面視形状が略四角形状の場合は、その略四角形状の１つの辺が取り付け端２ａとなって第１の周縁部１１ａをなし、他の３つの辺が第２の周縁部１１ｂをなす。第２の周縁部１１ｂは、第１の周縁部１１ａと対向する第１の辺１１ｅ（以下、「取付端対辺」ともいう）と、第１の周縁部１１ａおよび第１の辺１１ｅの両端の間をそれぞれ繋ぐ第２の辺１１ｃおよび第３の辺１１ｄ（以下、これらを「取付端側辺」ともいう）とを有している。第１の辺１１ｅは支柱結合部２ｂを有し、第２および第３の辺１１ｃ、１１ｄは柱状部対向部２ｃを有する。
【００７６】
このように、台座部１１の平面視形状を略四角形状にした場合は、柱状部対向部２ｃを取り付け端２ａの両端から立ち上がる辺である取付端側辺１１ｃ、１１ｄ上に設けることができる。これにより、柱状部１３と台座部１１の隙間の一端が取り付け端２ａに近い位置に設けられるので、接合材がその隙間により入り込み易くすることができ好ましい。
【００７７】
この略四角形状の台座部１１としては、図１に示すように、平面視で略台形状にすることができる。この場合、その略台形状の長い方の底辺（下底）が取り付け端２ａとなって第１の周縁部１１ａをなし、その略台形状の短い方の底辺（上底）および２つの脚が第２の周縁部１１ｂをなす。上底は、第２の周縁部１１ｂの第１の辺（取付端対辺）１１ｅをなし、２つの脚は、第２の周縁部の第２および第３の辺（取付端側辺）１１ｃ、１１ｄをなす。第１の辺１１ｅは支柱結合部２ｂを有し、第２および第３の辺１１ｃ、１１ｄは柱状部対向部２ｃを有する。そして、第２の周縁部１１ｂ、すなわち第１から第３の辺１１ｅ、１１ｃ、１１ｄは、第１の周縁部１１ａからその垂直方向上に位置している。
【００７８】
台座部１１をこのような略台形状にすることにより、取り付け端２ａの長さを確保しつつ、取り付け端２ａからその垂直方向上に柱状部対向部２ｃと支柱結合部２ｂを形成できる。これにより、プローブ１をプローブ基板上に強固に接合できるとともに、その接合工程中や接合後の強度を向上できる。
【００７９】
次に、取り付け部２の柱状部１３は、平面視で、プローブ基部３の台座部１１と対向する端部から台座部１１の第２の周縁部１１ｂに向かって伸びて、プローブ基部３側の一方の端部でプローブ基部３と連結されているとともに、他方の先端部分１４で第２の周縁部１１ｂとは接触せずに、第２の周縁部１１ｂとの間に隙間が形成された形状をしている。柱状部１３は、プローブ基部３の台座部１１と対向する端部に１つまたは複数設けることができる。柱状部１３は、針先５ａの高さ位置を調整する際には、その可動範囲を制限する働きをし、プローブ１をプローブ基板上に取り付ける際には、その先端部分１４が台座部１１に接合され、針先の高さが調整のために支柱１２が平面内で曲げ変形された状態を固定するとともに、プローブ基部と台座部との連結強度を強化する働きをする。このため、柱状部１３は、平面視で、支柱１２の最も狭い部分の幅より広い幅を有していると強度の面で好ましい。また、支柱１２を挟んで両側に柱状部１３を設けると、平面内で曲げ変更可能な構造の支柱１２に対して、その両側で柱状部１３が台座部１１に結合されるので、台座部１１とプローブ基部３との間の連結強度が増すため好ましい。柱状部１３の先端部分１４と、台座部１１の第２の周縁部１１ｂ上の柱状部対向部２ｃとの間に形成された隙間の幅は、プローブ１をプローブ基板に取り付けるときに、後述する熱溶融性の接合材が溶融されて液状になり毛細管現象によってその隙間内に入り込むことができる幅であることが好ましい。すなわち、その隙間は、熱溶融された液状の接合材を用いて、柱状部１３の先端部分１４と台座部１１との間を効率よく接合して強固に固定できるサイズであることが好ましい。
【００８０】
この隙間の幅は、概略均一な幅に形成されることが好ましい。また、支柱１２をプローブをなす平面内で変形させたとき、柱状部１３の先端部分１４と台座部１１の柱状部対向部２ｃとが全域で接触するような形状にすると好ましく、例えば、平面視において、柱状部１３の先端部分１４の端縁形状と、台座部１１の柱状部対向部２ｃの端縁形状とが、支柱の最も曲がり易い部分（支柱の幅が最も狭い部分の幅方向の中心）を支点として回転操作した時に一致するような形状を有していると好ましい。具体的には、柱状部１３の先端部分１４の端縁形状と台座部１１の柱状部対向部２ｃの端縁形状は、平面視でいずれも直線に形成してもよい。また、一方を凸曲線で他方を凹曲線に形成してもよく、その場合は、それぞれの曲線の曲率は同じであるとより好ましい。また、台座部１１の柱状部対向部２ｃが凸曲線で、柱状部１３の先端部分１４が凹曲線であるとより好ましい。そして、前記支点からの距離が遠い位置ほど、それら曲線の接線が取り付け端２ａの垂直方向に近づくような形状になっているとさらに好ましい。この場合は、その曲線の長さに対する隙間の幅の変化を小さくできるとともに、支点から遠い側の隙間の幅も狭くできる。
【００８１】
以上の構成のプローブ１の取り付け部２では、図１に示すように、例えば、台座部１１を略台形状にし、柱状部１３を支柱１２を挟んで２つ、つまり、支柱の両側に１つずつ設けることができる。すなわち、台座部１１は、上述した通り、略台形状の長い方の底辺である第１の周縁部１１ａと、略台形状の短い方の底辺である第２の周縁部１１ｂの第１の辺１１ｅと、略台形状の脚である第２の周縁部１１ｂの第２の辺１１ｃおよび第３の辺１１ｄとで構成でき、柱状部１３は第１の柱状部１３ａおよび第２の柱状部１３ｂからなるように構成できる。そして、第１の柱状部１３ａと支柱１２と第２の柱状部１３ｂとは、第２の方向に、すなわち、図の左右方向に、この順で並んで互いに離間するように設けられている。その結果、平面視で、第１の柱状部１３ａが、台座部１１の第２の辺１１ｃに向かって伸びて、その先端部分１４が、第２の辺１１ｃに対向し、第２の柱状部１３ｂが、台座部１１の第３の辺１１ｄに向かって伸びて、その先端部分１４が、第３の辺１１ｄに対向するように構成されている。そして、第１の柱状部１３ａの先端部分１４とそれに対向する台座部１１の第２の辺１１ｃとの間、および、第２の柱状部１３ｂの先端部分１４とそれに対向する台座部１１の第３の辺１１ｄとの間には、それぞれ隙間が形成されるように構成されている。尚、以下、支柱１２に対して針先側の隙間部（図においては第１の柱状部１３ａと第２の辺１１ｃとの間の隙間部）を「内側隙間部」ともいい、支柱１２に対して針先と反対側の隙間部（図においては第２の柱状部１３ｂと第３の辺１１ｄとの間の隙間部）を「外側隙間部」ともいう。
【００８２】
そして、取り付け部２の台座部１１は、第２の辺１１ｃおよび第３の辺１１ｄがそれぞれ、外部側に向かって凸状となるように丸みを備えた形状を有し、第１および第２の柱状部１３ａ、１３ｂは、それぞれの先端部分１４が、台座部１１の第２の辺１１ｃまたは第３の辺１１ｄの形状に沿うように、内部側に向かって凹状となるように丸みを備えた部分を有している。この例では、第２の辺１１ｃおよび第３の辺１１ｄの外形線、並びに、第１および第２の柱状部１３ａ、１３ｂの先端部分１４の外形線は、それぞれ同一の曲率からなる曲線からなっている。そして、対向する柱状部１３ａ、１３ｂの先端部分１４と台座部１１の取付端側辺１１ｃ、１１ｄとのそれぞれの曲線は、支柱１２の幅が最も狭い部分の幅方向の中心を支点として回転操作させた時に重なるような形状になっている。また、第２および第３の辺１１ｃ、１１ｄの外形線や、柱状部１３の先端部分１４の外形線は、取り付け端２ａに近い位置ほど、前記支点から遠くなっている。そして、それら外形線の接線は、取り付け端２ａに近い位置ほど、取り付け端２ａの垂直方向に近づくような形状になっている。尚、この図１に示した実施形態では、柱状部１３ａ、１３ｂと台座部１１は、取り付け端２ａの中心を通る垂直線に対して対称な形状になっている。
【００８３】
このように、支柱１２の左右両側に柱状部１３ａ、１３ｂを設けて、それぞれの柱状部１３ａ、１３ｂの先端部分１４と第２の周縁部１１ｂとの間に隙間を形成するようにすると、支柱１２を平面内で左右に曲げ変形させることができるので、針先５ａのプローブ上高さ位置の可動幅に対する前記隙間の最大間隔を狭くすることができるので好ましい。尚、前記隙間の間隔を設定するに当たっては、一方の側の隙間が接触するまで支柱１２を曲げ変形させた状態での他方の側の隙間の間隔が、溶融した接合材が毛細管現象により入り込める間隔となるように設定するとより好ましい。
【００８４】
その結果、接合層７を溶融させ、プローブ１をプローブ基板２１上に接合して固定的に取り付けるに際し、位置調整工程によって支柱１２をプローブ１のなす平面内で曲げ変形させて位置調整されたプローブ１およびそのような位置調整がなされなかったプローブ１のいずれのプローブ１においても、柱状部１３の先端部分１４と台座部１１との間に形成された隙間には、毛細管現象によって溶融された液状の接合材がその隙間内に入り込むことができる。
【００８５】
次に、本発明の第１実施形態のプローブ１のプローブ基部３は、図１に示すように、取り付け部２と第１の方向である上下方向に連なるように、取り付け部２の支柱１２を介して、取り付け部２の第１の方向の端部に連結される。
【００８６】
図１等に示すプローブ１において、プローブ基部３は、取り付け部２の支柱１２より、上述の第２の方向である左右方向の幅が大きい。したがって、プローブ基部３は、台座部１１側の端部に、支柱１２と離間するように取り付け部２の柱状部１３を配置させることができる。
【００８７】
また、プローブ基部３は、厚さ方向に貫通する複数の穴を第１の方向である上下方向に間隔をあけて配置することができる。
【００８８】
本発明の第１実施形態のプローブ１のアーム部４は、図１に示すように、プローブ基部３から第１の方向と交差する第２の方向に伸びるように設けられる。すなわち、取り付け部２と上下方向に連なるように連結されたプローブ基部３から、左右方向に伸びるように設けられる。
【００８９】
アーム部４は、図１に示すように、第１の方向である上下方向に間隔をあけて設けられた２つのアーム４ａ、４ｂにより形成されているが、単一または３つ以上のアームにより形成されていてもよい。
【００９０】
アーム部４は、針先部５を弾性的に支持するための部分であり、被測定デバイスの電極パッドに針先５ａが押しつけられた時に、アーム４ａ、４ｂが弾性変形する。
【００９１】
本発明の第１実施形態のプローブ１の針先部５は、図１に示すように、アーム部４の、プローブ基部３とは反対側の先端部分に設けられる。
【００９２】
針先部５は、アーム部４において、取り付け部２の取り付け端２ａが位置する側とは反対の側に伸び、図の上方側に突出する先端に針先５ａが形成される。針先部５の針先５ａは、その横断面積が最も小さい上端が、被検査体である半導体ウェーハ（図示されない）上の電極パッド（図示されない）に押圧されて、半導体ウェーハの各半導体集積回路を、プローブ１を備えたプローブ組立体を介して、検査装置の電気回路に接続させるようにする。
【００９３】
針先５ａは針先部５やアーム部４等のプローブ１の本体と同一の材料で、そのプローブの本体と一体的に形成することができる。しかしながら、耐久性の向上の点で、角錐状の針先５ａをコバルト、ロジウムあるいはそれらの合金のような高硬度金属材料で形成し、この針先５ａを針先部５の先端部分に埋め込んで形成することが好ましい。針先５ａの横断面積の最も大きい部分の板厚方向の寸法は、例えば、５μｍ〜２０μｍとすることができる。
【００９４】
そして、本発明の第１実施形態の板状のプローブ１においては、取り付け部２の少なくとも一方の側面に、導電性および熱溶融性を有する接合材からなる接合層７が配置される。
【００９５】
図４は、本発明の第１実施形態のプローブ１における接合層が配置された状態を説明する図である。
【００９６】
図４に示すように、本発明の第１実施形態の板状のプローブ１においては、台座部１１、支柱１２および柱状部１３を含む取り付け部２の一方の側面に、導電性および熱溶融性を有する接合材からなる接合層７を配置して有することができる。
【００９７】
接合層７の厚さは、例えば、２０μｍ〜５０μｍとすることができる。
【００９８】
尚、接合層７は、図４に示すように、プローブ１の取り付け部２とともに、プローブ基部３の下方側の端部を含む、プローブ基部３の台座部１１側の一部領域を含むようにして配置されてもよい。
【００９９】
接合層７は、図４に示すように、取り付け部２の各部の形状に対応して同様の形状を有する。すなわち、接合層７は、取り付け部２の台座部１１、支柱１２および柱状部１３のそれぞれに対応する同様の形状の部分を含んで構成される。そして、接合層７における第１の柱状部１３ａに対応する部分の先端部分と、それに対向する台座部１１の第２の辺１１ｃに対応する部分との間、および、第２の柱状部１３ｂに対応する部分の先端部分と、それに対向する台座部１１の第３の辺１１ｄに対応する部分との間には、取り付け部２と同様に、それぞれ隙間が形成されるように構成される。
【０１００】
接合層７を構成する接合材は、はんだ材であることが好ましい。接合材がはんだ材であることにより、接合層７は、熱溶融性を有することができる。そして、接合層７を加熱溶融させることにより、プローブ１は、取り付け部２の取り付け端２ａを用いて、プローブ組立体のプローブ基板に接合して電気的に接続されるとともに、強固な固定を実現することができる。
【０１０１】
接合層７を構成する接合材は、スズ（Ｓｎ）、スズ・ビスマス合金（Ｓｎ−Ｂｉ）、スズ・アンチモン合金（Ｓｎ−Ｓｂ）、スズ・銀合金（Ｓｎ−Ａｇ）、スズ・銀・銅合金（Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ）および金・スズ合金（Ａｕ−Ｓｎ）よりなる群から選択された少なくとも１種を用い形成されたものであることが好ましい。接合材を上述の材料を用いて形成することにより、プローブ１は、取り付け部２の取り付け端２ａを用いて、プローブ組立体のプローブ基板に接合して電気的に接続されるとともに、強固な固定を実現することができる。
【０１０２】
このとき、本発明の第１実施形態のプローブ１においては、取り付け部２の接合層７が設けられる領域の表面に、接合層７を構成する接合材の濡れ角を調整する調整材の層（図示されない）を設けることができる。すなわち、取り付け部２と接合層７との間には、調整材の層を配置することができる。
【０１０３】
このような調整材は、金（Ａｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、パラジウム（Ｐｄ）およびコバルト（Ｃｏ）よりなる群から選択された少なくとも１種を用い形成されたものであることが好ましい。特に、金を用いて形成されることが好ましい。
【０１０４】
調整材の層が、例えば、上記の材料を用いて形成される場合、調整材の層の厚さは、例えば、１μｍ程度とすることができる。
【０１０５】
本発明の第１実施形態のプローブ１においては、接合層７を加熱溶融させて、取り付け端２ａを用いた、プローブ組立体のプローブ基板への接合を行う。その際に、取り付け部２に上述のような調整材の層を設けることにより、接合層７による接合がより強固となって、より強固な固定および低抵抗な電気的接続を実現することができる。
【０１０６】
また、プローブ１においては、接合層７を加熱溶融させて、取り付け部２の取り付け端２ａを用いた、プローブ組立体のプローブ基板への取り付けを行う際に、取り付け部２に上述のような調整材の層を設けることにより、柱状部１３の先端部分１４と台座部１１との間の隙間に、溶融された液状の接合材が毛細管現象によって入り込むのが容易となる。その結果、溶融された液状の接合材を用い、柱状部１３の先端部分１４と台座部１１との間を効率よく接合して、互いの固定をより強固に行うことができる。
【０１０７】
以上の構成を備えた本発明の第１実施形態のプローブ１は、プローブ基板に取り付けられて、本発明の第３実施形態であるプローブ組立体を構成することができる。そして、複数のプローブ１をプローブ基板に取り付けるに際し、各プローブ１では取り付け部２を利用した、針先部５の針先５ａの位置調整を行うことができる。
【０１０８】
プローブ１の高さ位置の調整可能範囲は、例えば、プローブ基板の平坦度やプローブカードにおける針先の高さ位置の許容範囲等を考慮して決めることができる。ここでプローブ１における高さ位置の調整可能範囲とは、柱状部１３を支柱１２の両側に形成する場合においては、内側隙間部を形成する柱状部１３ａの先端部分１４と台座部１１とが接触するまで支柱１２をプローブ１のなす平面内で曲げ変形させた時の針先５ａの高さ位置から、外側隙間部を形成する柱状部１３ｂの先端部分１４と台座部１１とが接触するまで支柱１２を曲げ変形させた時の針先５ａの高さ位置までの範囲とする。そして、支柱が曲げ変形されない状態の針先の高さ位置を０として、針先５ａが押し込まれる方向をマイナス、引き上あげられる方向をプラスとして表すこととする。例えば、本発明の第１実施形態のプローブ基板が、中心の値から±Ｘμｍのうねりを有し、プローブ基板における針先５ａの高さ位置の設計値からの許容範囲が±Ｙμｍとする場合（ただし、Ｘ＞Ｙ）、プローブ１は、取り付け部２を利用した針先部５の針先５ａの位置調整により、針先５ａの高さ位置の調整範囲を、±（Ｘ−Ｙ）μｍ以上の範囲になるように構成するとよい。例えば、±（Ｘ−Ｙ）μｍ〜±Ｘμｍの範囲内に設定することができる。針先５ａの高さ位置調整範囲は、柱状部１３の先端部分１４と台座部１１の第２の周縁部１１ｂとの隙間の間隔や位置、アーム部４の長さ、支柱１２の位置等を変更することにより所定の範囲に設定することができる。
【０１０９】
したがって、本発明の別の実施形態のプローブ組立体では、複数のプローブの針先のそれぞれの位置、すなわち、プローブ基板上でのプローブ１の針先５ａのそれぞれの高さ位置を調整することができ、複数のプローブ１間での高さ位置の差を許容範囲内にすることができる。
【０１１０】
すなわち、本発明の第１実施形態のプローブ１は、針先５ａの高さ位置を調整する機構を備えたプローブであり、本発明の第１実施形態のプローブ１を用いることにより、複数のプローブの針先の位置ばらつきが低減された、本発明の別の実施形態であるプローブ組立体を提供することができる。
【０１１１】
以下で、本発明の第１実施形態のプローブ１を用いて行われる、本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法について説明する。
【０１１２】
実施の形態２．
＜プローブ組立体の製造方法＞
図５は、本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法を説明する図である。
【０１１３】
図５では、本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法を説明するため、プローブ組立体を構成するプローブ基板２１の一部と、そこに取り付けられる図４に示した本発明の第１実施形態のプローブ１とを示している。
【０１１４】
本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法では、図５に示すように、本発明の第１実施形態のプローブ１を用い、プローブ組立体を製造する。その際、プローブ１が取り付けられるプローブ基板２１や、プローブ基板２１を下面側に配置して構成される配線基板（図示されない）等の他の構成要素については、公知のものを使用することができる。したがって、本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法においては、図５に示し、また、後に詳述するように、プローブ基板２１にプローブ１を取り付ける方法以外について、特に、その際にプローブ１の針先部５の針先５ａの位置調整を行う方法以外については、公知の方法を利用して、プローブ組立体を製造することができる。
【０１１５】
したがって、以下の本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法の説明においては、主に、本発明の第１実施形態のプローブ１をプローブ基板２１に取り付ける方法、特に、その際にプローブ組立体におけるプローブ１の針先部５の針先５ａの位置調整を行う方法について説明する。そして、図５を用いた本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法の説明において、プローブ１など、図４を用いて説明したものと共通する構成要素については、同一の符号を付し、重複する説明は極力省略することにする。
【０１１６】
本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法は、以下の配置工程と、位置調整工程と、取り付け工程とを有する。
【０１１７】
配置工程は、プローブ組立体を構成する基板であるプローブ基板２１上に、プローブ１の取り付け部２の台座部１１にある取り付け端２ａを当接させて、プローブ基板２１上にプローブ１を配置する工程である。
【０１１８】
位置調整工程は、上述の配置工程によりプローブ１をプローブ基板２１上で配置した状態で、プローブ１の取り付け部２の支柱１２を、板状のプローブ１のなす平面内で曲げ変形させ、プローブ１のアーム部４の先端にある針先部５の針先５ａの高さ位置を、取り付け端２ａの垂直方向である第１の方向に変動させて、プローブ基板に対する針先５ａの高さ位置を調整し、その状態でプローブ１を保持する工程である。ここで、プローブ基板２１に対する針先５ａの高さ位置とは、プローブ基板の基準面の垂直方向におけるその基準面から針先５ａまでの高さ位置をいい、この基準面としては、例えば、プローブ基板２１の設計基準面、プローブ取付面の設計面、プローブ基板２１のプローブ組立体への取付面など、プローブ基板２１の厚さ方向における高さの基準となる面を用いることができる。（以下、このようなプローブ基板に対する針先５ａの高さ位置を「プローブ基板上針先高位置」ともいう）
【０１１９】
取り付け工程は、上述の位置調整工程によりプローブ１のプローブ基板上針先高さ位置が調整された状態で、取り付け部２の柱状部１３と台座部１１を固定するとともに、プローブ１をプローブ基板２１上に取り付ける工程である。
【０１２０】
以下で、本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法を構成する上述の各工程について、より詳しく説明する。
【０１２１】
（配置工程）
上述の配置工程においては、プローブ１の取り付けられる基板としてプローブ基板２１を使用する。使用されるプローブ基板２１は、例えば、セラミックにより円形平板状に形成されたセラミック基板と、ポリイミド樹脂のような電気絶縁性樹脂により円形平板状に形成されて、セラミック基板の上面に積層されたフレキシブル多層シートとを備える。そして、プローブ基板２１は、その下面が配線基板の上面に対向するように、配線基板に固定されて配置されるが、配線基板のテスタランドに電気的に接続される複数の内部配線２２を有し、その上面には、それら内部配線２２に電気的に接続された複数の接合パッド２３を備える。したがって、プローブ基板２１の上面（プローブ取付面）には、プローブ１を固定して支持するための複数の取り付け用のパッド、すなわち複数の接合パッド２３が設けられている。
【０１２２】
本発明の第１実施形態のプローブ１をプローブ基板２１に取り付けて、プローブ組立体を製造しようとする場合、この配置工程においては、プローブ１を用い、プローブ基板２１上に、プローブ１の取り付け部２の台座部１１に含まれる取り付け端２ａを当接させて、プローブ基板２１の上面にプローブ１を載置する。
【０１２３】
プローブ基板２１の上面には、上述したように、プローブ１を固定して支持するための複数の接合パッド２３が設けられている。したがって、プローブ１の１つが、プローブ基板２１における、対応する１つの接合パッド２３の上に、取り付け部２の取り付け端２ａがその全幅にわたって当接されつつ、プローブ基板２１に対して垂直に保持される。この保持状態は、次の位置調整工程まで維持される。
【０１２４】
この配置工程は、プローブ１の任意の部分を支持しながら行うことができるが、例えば、台座部１１やプローブ基部３を支持して行うと、支柱１２のその平面内での曲げ変形を妨げないで支持できるとともに、アーム部４の変形を伴わずに支持できるので好ましい。また、後の取り付け工程における接合材による接合の際にも邪魔にならないため好ましい。
【０１２５】
また、取り付け端２ａを接合パッド２３に当接させるに当たって接合パッドが傾斜している場合は、その傾斜に合わせてプローブ１をそのなす平面内で回転させて接合パッド２３に取り付け端２ａを沿わせてもよいし、プローブ１を押し付けることによる支柱１２の曲げ変形を利用して接合パッド２３に取り付け端２ａを沿わせてもよい。
【０１２６】
例えば、台座部１１を支持して配置工程を行う場合は、プローブ１を台座部１１の部分で支持（例えば挟持）して、プローブ１をプローブ基板２１に対して垂直にしつつ、取り付け端２ａを接合パッド２３に当接させ、その状態を維持する。この時、接合パッド２３の上面が傾斜しているような場合は、台座部１１をプローブ基板に対して垂直に維持しつつそのなす平面内で回転させて、取り付け端２ａをその全幅において接合パッド２３の表面に当接させるようにする。
【０１２７】
また、プローブ基部３を支持して配置工程を行う場合は、プローブ１をプローブ基部３の部分で支持（例えば挟持）して、プローブ１のなす平面をプローブ基板２１に対して垂直にし、かつ、アーム部４をプローブ基板２１に対して所定の向きに維持しつつ、取り付け端２ａを接合パッド２３に押し当て、その状態を維持する。この時、接合パッド２３の上面が傾斜している場合は、それに合わせて支柱１２がそのなす平面内で曲げ変形するので、アーム部４を正しい向きに保持しつつ、取り付け端２ａをその全幅で接合パッド２３に当接させることができる。このようにプローブ基部３を保持する場合は、プローブ１をプローブ基板２１に対して正しい姿勢に支持したまま接合パッドに押し当てるだけで、接合パッド２３の形状に合わせて取り付け端２ａを傾斜させることができるので、配置工程におけるプローブ保持操作が簡単になり好ましい。
【０１２８】
（位置調整工程）
次に、プローブ１をプローブ基板２１に固定的に接合して取り付けを行う取り付け工程の前に、プローブ基板２１に対するプローブ１の針先部５の針先５ａの高さ位置調整を行う位置調整工程を設けることができる。
【０１２９】
上述した配置工程において、プローブ１が、プローブ基板２１における、対応する１つの接合パッド２３の上に、プローブ基板２１基準面に対して垂直に保持されている。このとき、プローブ１では、取り付け部２の取り付け端２ａの底部が接合パッド２３に当接した状態に維持されている。この状態でプローブ基板２１に対する針先５ａの高さ位置を検査し、その結果が許容範囲内にある場合は、次の取り付け工程に移る。許容範囲外にある場合は、取り付け部２による針先５ａの高さ位置調整のための機構によって、プローブ基板２１に対する針先５ａの高さ位置が調整され、その調整された状態を維持したまま次の取り付け工程に移る。
【０１３０】
この針先５ａの高さ位置の調整は、支柱１２部分をその平面内で曲げ変形させることにより行うが、針先５ａの高さ位置が許容範囲より低い（プローブ基板２１側に近い）場合は、台座部１１の取り付け端２ａを接合パッド２３に密着させた状態のまま、取り付け部２の支柱１２より針先５ａ側の部分（プローブ基部３、アーム部４、または、針先部５）に力を加えて、支柱１２を板状のプローブ１のなす平面内で曲げ変形させ、それによって針先部５の針先５ａを上方に引き上げて、針先５ａの高さ位置を高くする調整を行うことができる。
【０１３１】
また、針先５ａの高さ位置が許容範囲より高い（プローブ基板２１から遠い）場合は、台座部１１の取り付け端２ａを接合パッド２３に密着させた状態のまま、取り付け部２の支柱１２より針先５ａ側の部分（プローブ基部３、アーム部４、または、針先部５）に力を加えて、支柱１２を板状のプローブ１のなす平面内で曲げ変形させ、それによって針先部５の針先５ａを下方に押し下げて、針先５ａの高さ位置を低くする調整を行うことができる。
【０１３２】
尚、この高さ調整のために力を加える部分は、プローブ基部３であると、アーム部４の変形を伴わずに針先５ａの位置を変更できるためより好ましい。その場合、支柱をそのなす平面内で曲げ変形させるようにプローブ基部を支柱の最も曲がり易い部分を支点に回動させるように力を加えると好ましい。例えば、プローブ基部３を支持してプローブ１を保持している場合は、取り付け端２ａを接合パッド２３に当接させた状態で、支柱１２をプローブ１のなす平面内で曲げ変形するように、保持しているプローブ基部３の向きをプローブ１のなす平面内で変えることにより針先５ａの高さ位置を許容範囲内にし、その状態を維持するようにプローブ基部３を保持する。
【０１３３】
また、位置調整工程において、複数のプローブ１の針先５ａの高さ位置を同時に調整することも可能である。例えば、複数のプローブ１においてプローブ基板に対する針先５ａの高さ位置が許容範囲を超えている場合、複数のプローブ１をプローブ基板に垂直に、かつ、台座部１１の取り付け端２ａをそれぞれ対応する接合パッド２３に当接させて保持した状態で、高平面性の面を備えた針高さ調整用の板を、その高平面性面をプローブ基板のプローブ取付面に平行に向かい合わせたまま、所定の間隔になるまで相対的に接近させその状態を維持する。これにより、針先５ａの高さ位置が許容範囲を超えている複数のプローブ１は、それぞれの支柱１２がそのなす平面内で曲げ変形させられて、針先５ａの高さ位置が許容範囲内に収まった状態で維持される。
【０１３４】
尚、位置調整工程における針先５ａの高さ位置の検査は、画像処理技術やセンサー技術を用いて行うことができる。
【０１３５】
（取り付け工程）
次に、取り付け工程では、上述した位置調整工程において、プローブ１が、取り付け端２ａを接合パッド２３に当接しつつ針先５ａがプローブ基板に対して所定の高さ位置になるようにプローブ基板２１上に保持された状態において、接合材を加熱溶融させて、プローブ１をプローブ基板２１上に固定して取り付けるとともに、柱状部１３と台座部１１とを接合させて、位置調整工程により調整された位置に針先５ａを位置決めする。
【０１３６】
より詳細には、上述の位置調整工程により保持された状態のプローブ１において、加熱によって、取り付け部２の側面に配置された接合層７が溶融される。すなわち、接合層７を取り付け部２上に設けたプローブ１を用い、取り付け部２の取り付け端２ａの底部が接合パッド２３に当接した状態に維持し、その状態で接合層７の加熱を行って、接合層７を溶融させる。これにより、接合層７を構成する接合材の溶融物が、プローブ基板２１の接合パッド２３とプローブ１の取り付け部２の取り付け端２ａとの間、接合パッド２３と台座部１１との隅部１５、および、柱状部１３の先端部分１４と台座部１１の柱状部対向部２ｃとの間の隙間に維持される。そして、接合層７への加熱が中止されると、溶融された接合材の温度が低下し固化する。その結果、プローブ１は、接合パッド２３と取り付け部２の取り付け端２ａとの間、接合パッド２３と台座部の隅部１５に存在していた接合材の凝固物により、接合パッド２３、ひいてはプローブ基板２１に強固に固定される。また、柱状部１３の先端部分１４と台座部１１の柱状部対向部２ｃとの間の隙間に存在していた接合材の凝固物により、柱状部１３と台座部１１が接合し、プローブ１の針先５ａの位置が、位置調整工程により調整された位置に位置決めされた状態で、プローブ基部３が台座部１１に強固に固定される。
【０１３７】
尚、プローブ１では、それを構成する接合材の融点を取り付け部２の構成材の融点より充分に低く設定しているので、接合層７は溶融するが、取り付け部２は軟化または溶融しない温度で接合層を加熱することができる。
【０１３８】
このとき、接合層７を加熱する方法としては、例えば、レーザ光線を照射する方法を用いることができる。レーザ光線を用いることにより、プローブ１の接合層７を局所的に加熱することができ、プローブ１の他の部分に対し、不要な加熱を避けることができる。また、加熱開始および加熱停止に対応する昇温と冷却の応答を向上させて、効率よい、接合層７の加熱を行うことができる。
【０１３９】
すなわち、上述したように、プローブ１の取り付け部２は、取り付け端２ａを含む台座部１１の他に、支柱１２および柱状部１３を含んで構成される。そして、取り付け部２の一方の側面に、導電性および熱溶融性を有する接合材からなる接合層７を配置して有する。このような構造の取り付け部２においては、上述したように、柱状部１３の先端部分１４と台座部１１との間に隙間が形成されている。そして、その隙間の幅は、熱溶融性の接合材が熱溶融されて形成される液状の接合材が毛細管現象によってその隙間内に入り込むことができる幅に設定されている。すなわち、その隙間は、熱溶融された液状の接合材を用いて、柱状部１３の先端と台座部１１との間を効率よく接合して強固に固定できるサイズに設定されている。
【０１４０】
そしてさらに、プローブ１においては、上述したように、取り付け部２の支柱１２に板状のプローブ１のなす平面内の曲げ変形が加えられて、針先部５の針先５ａの位置が上下方向に変動したとしても、柱状部１３の先端部分１４と台座部１１との間の隙間の幅の変動が小さく抑えられるように、柱状部１３の先端部分と台座部１１の形状が選択されている。例えば、上述したように、台座部１１が、平面視で、略台形状を有し、その斜辺のそれぞれが、外部側に向かって凸状となるように丸みを備えた形状を有し、一方で、柱状部１３の先端部分１４が、台座部１１の斜辺の形状に沿うように、内部側に向かって凹状となるように丸みを備えた部分を有するようにされている。
【０１４１】
その結果、接合層７を溶融させ、プローブ１をプローブ基板２１上に接合して固定的に取り付けるに際し、位置調整工程によって支柱１２をプローブ１のなす平面内で曲げ変形させて位置調整されたプローブ１およびそのような位置調整がなされなかったプローブ１のいずれのプローブ１においても、柱状部１３の先端部分１４と台座部１１との間に形成された隙間には、毛細管現象によって溶融された液状の接合材がその隙間内に入り込むことができる。
【０１４２】
特に、取り付け部２の接合層７が設けられる領域の表面に、上述したように、接合層７を構成する接合材の濡れ角を調整する調整材の層が設けられている場合、溶融された接合材の毛細管現象はより効率的に発生し、接合材が上述の隙間内に入り込みやすくされている。
【０１４３】
上述した配置工程と、位置調整工程と、取り付け工程とは、１つまたは複数のプローブ１毎に順番に実施してそれを繰り返すことにより、全てのプローブ１をプローブ基板２１上に取り付けてもよいし、全てのプローブに対してこれら３つの工程を順番に実施してもよい。
【０１４４】
尚、上述した第２実施形態では、接合材はプローブ１の取り付け部２に積層している場合を示したが、例えば、取り付け工程においてプローブ１の取り付け時に別途接合材を供給するようにしてもよい。
【０１４５】
また、プローブ１の保持動作や接合動作は自動制御された装置によって行う事ができる。
【０１４６】
以上の通り、配置工程と、位置調整工程と、取り付け工程とを備えた本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法においては、本発明の第１実施形態であるプローブ１の取り付け部２をプローブ基板２１への取り付けに用いるとともに、針先５ａの高さ位置を調整する機構として用いる。そして、取り付け部２をプローブ基板２１の接合パッド２３に強固に固定してプローブ１をプローブ基板２１上で片持ち梁状に正しい姿勢で支持するとともに、プローブ１の針先５ａのプローブ基板上での高さ位置を調整し、プローブ１の針先５ａの高さ位置の誤差やばらつきを抑えたプローブ組立体を提供することができる。すなわち、本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法は、プローブ１を用い、プローブ１の針先５ａの高さ位置の誤差やばらつきの低減に有効なプローブ組立体の製造方法となる。
【０１４７】
実施の形態３．
＜プローブ組立体＞
次に、本発明の第３実施形態のプローブ組立体について説明する。
【０１４８】
本発明の第３実施形態のプローブ組立体は、本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法によって製造されるものである。
【０１４９】
したがって、本発明の第３実施形態のプローブ組立体は、本発明の第１実施形態のプローブを用い、本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法によって製造するものとなる。したがって、その説明については、本発明の第１実施形態のプローブ等を示す図１〜図５等を適宜参照するとともに、共通する構成要素については同じ符号を付し、重複する説明は極力省略することにする。
【０１５０】
図６は、本発明の第３実施形態のプローブ組立体を示す図である。このプローブ組立体は、プローブカードの場合の例である。
【０１５１】
尚、図６は、本発明の第３実施形態のプローブ組立体３１を示し、それを構成する本発明の第１実施形態のプローブ１およびプローブ基板２１も示しているが、プローブ１およびプローブ基板２１の説明に使用した図１〜図５とは、プローブ１およびプローブ基板２１の配置が、便宜上、上下が逆になって示されている。
【０１５２】
図６に示すように、本発明の第３実施形態のプローブ組立体３１は、平坦な下面を有する補強部材３２と、補強部材３２の下面に保持された円形平板状の配線基板３３と、配線基板３３の下面に配置された円形平板状のプローブ基板２１と、プローブ基板２１の下面に配置された複数の、本発明の第１実施形態のプローブ１と、プローブ基板２１を配線基板３３に取り付ける取り付けリング３４とを含む。
【０１５３】
補強部材３２は、ステンレス板のような金属材料で製作された公知のものである（例えば、特開２００８−１４５２３８号公報参照）。そのような補強部材３２は、外側の環状部と、その環状部の内側を周方向に伸びる内側の取り付け部、環状部および取り付け部を一体的に連結する複数の連結部と、環状部から半径方向外方へ延びる複数の延長部とを有する。図６に示す例では、補強部材３２は、プローブ基板２１とほぼ同じ直径寸法を有する環状部から内側の箇所が上方に突出した状態に示されている。
【０１５４】
例えば、上述した特開２００８−１４５２３８号公報に記載されているように、補強部材３２の上側に補強部材３２の熱変形を抑制する環状の熱変形抑制部材、または配線基板の上方の空間を覆うカバーを配置してもよいし、その熱変形抑制部材の上に前記したカバーを配置してもよい。
【０１５５】
配線基板３３は、図６に示した例では、ガラス入りエポキシ樹脂のような電気絶縁樹脂により円板状に製作された公知の印刷配線基板である。そのような配線基板３３は、半導体ウェーハ等の被検査体を検査するため検査装置の電気回路、すなわち、試験用電気回路に対する試験信号の受け渡しをするように、試験用電気回路に電気的に接続される複数のテスタランド（図示せず）を上面外周縁部に有し、それらテスタランドに接続された複数の導電路（図示せず）を内部に有する。
【０１５６】
配線基板３３は、さらに、プローブ基板２１に電気的に接続される複数の端子（図示せず）を下面に有する。各端子は、上述した導電路に電気的に接続されている。
【０１５７】
プローブ基板２１は、図６に示す例では、上述したように、セラミックにより円形平板状に形成されたセラミック基板３５と、ポリイミド樹脂のような電気絶縁性樹脂により円形平板状に形成されて、セラミック基板３５の下面に積層されたフレキシブル多層シート３６とを備える。
【０１５８】
このようなプローブ基板２１は、配線基板３３の下面の端子に電気的に接続された複数の内部配線（図６中、図示されない）を、例えば、図５に示したように有している。そして、プローブ基板２１は、その下面に、上述の内部配線２２に電気的に接続された複数の接合パッド２３を備える。したがって、プローブ基板２１の下面には、プローブ１を固定して支持するための複数の取り付け用のパッド、すなわち複数の接合パッド２３が設けられている。
【０１５９】
本発明の第３実施形態のプローブ組立体３１は、上述した本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法によって製造され、各プローブ１が、少なくとも下方へ延びる状態に、接合パッド２３に取り付けられている。
【０１６０】
補強部材３２と配線基板３３とは、補強部材３２の下面と配線基板３３の上面とを互いに当接させた状態に、複数のねじ部材（図示せず）により同軸的に結合されている。これに対し、プローブ基板２１は、プローブ１が下方となるように、取り付けリング３４と複数のねじ部材（図示せず）とを用いて配線基板３３の下面に取り付けられている。
【０１６１】
プローブ組立体３１では、配線基板３３とプローブ基板２１との間に電気接続器を配置し、配線基板３３の導電路とプローブ基板２１の内部配線２２とをその電気接続器により電気的に接続してもよい。
【０１６２】
プローブ組立体３１において、プローブ１は、上述したように、図１および図４を用いて説明した本発明の第１実施形態のプローブ１である。そして、本発明の第３実施形態のプローブ組立体３１は、そのプローブ１を用いて、図５等を用いて説明した本発明の第２実施形態のプローブ組立体の製造方法により、プローブ基板２１にプローブ１を取り付けて、製造されたものである。
【０１６３】
したがって、プローブ組立体３１では、プローブ１が、上述したように、その取り付け部２の台座部１１および接合層７により、プローブ基板２１の接合パッド２３に強固に固定され、プローブ基板２１上で片持ち梁状に支持されるとともに、プローブ１の取り付け部２の支柱１２と接合層７等を用いた、針先５ａのプローブ基板２１上での位置調整と位置決めがなされている。
【０１６４】
以上により、本発明の第３実施形態のプローブ組立体３１は、プローブの針先の高さ位置の誤差やばらつきが低減されたプローブ組立体となる。
【０１６５】
尚、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々変形して実施することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１６６】
本発明のプローブおよびプローブ組立体によれば、最適な条件での被検査体の検査が可能であり、被検査体に対して正確な検査を行うことができる。
【０１６７】
また、本発明のプローブおよびプローブ組立体は、検査工程の効率向上、ひいては生産性の向上、並びに検査精度の向上が強く求められる、液晶ＴＶや携帯電子機器の液晶表示装置等の民生用の電子機器に用いるための半導体ウェーハの検査に特に有効である。
【符号の説明】
【０１６８】
１，４０    プローブ
２，４１    取り付け部
２ａ    取り付け端
３    プローブ基部
４    アーム部
４ａ，４ｂ    アーム
５    針先部
５ａ    針先
７    接合層
１１，４３    台座部
１１ａ    第１の周縁部
１１ｂ    第２の周縁部
１１ｃ    第２の辺
１１ｄ    第３の辺
１１ｅ    第１の辺
１２，４２    支柱
１３      柱状部
１３ａ    第１の柱状部
１３ｂ    第２の柱状部
１４    先端部分
２１    プローブ基板
２２    内部配線
２３    接合パッド
３１    プローブ組立体
３２    補強部材
３３    配線基板
３４    取り付けリング
３５    セラミック基板
３６    フレキシブル多層シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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