(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子ビームを用いて試料に図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
図形パターンの図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に前記図形パターンの各角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成することを特徴とする描画データの作成方法。
【請求項２】
荷電粒子ビームを用いて試料に少なくとも１つの図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
少なくとも１つの図形パターンの図形情報を入力し、前記少なくとも１つの図形パターンを取り囲む矩形枠を設定する工程と、
前記矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
前記少なくとも１つの図形パターンの図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に、前記矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成する工程と、
を備え、
前記図形情報には、複数の図形パターンの図形情報が定義され、
前記複数の図形パターンの図形情報を入力し、前記複数の図形パターンを連続する図形パターン群毎に少なくとも１つのグループにグループ化する工程をさらに備え、
前記矩形枠を設定する際、グループ毎に、当該グループの図形パターン群を取り囲む矩形枠を設定し、
前記ドーズ量或いはドーズ変調率を設定する際、グループ毎に、当該矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定し、
グループ毎に、当該グループの図形パターン群の図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に当該矩形枠の４つの角部の位置でのドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成することを特徴とする描画データの作成方法。
【請求項３】
荷電粒子ビームを用いて試料に少なくとも１つの図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
少なくとも１つの図形パターンの図形情報を入力し、前記少なくとも１つの図形パターンを取り囲む矩形枠を設定する工程と、
前記矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
前記少なくとも１つの図形パターンの図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に、前記矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成する工程と、
を備え、
前記ドーズ量情報は、さらに、前記矩形枠をｘ方向とｙ方向のうちの少なくとも１つの方向に分割する分割線と前記矩形枠のいずれかの辺との交点でのドーズ量或いはドーズ変調率を示すことを特徴とする描画データの作成方法。
【請求項４】
荷電粒子ビームを用いて試料に図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
図形パターンの図形情報を入力し、前記図形パターンの一部に矩形枠を設定する工程と、
前記図形パターンの残部を含む領域に固定サイズの複数のメッシュ領域を設定する工程と、
前記矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
前記複数のメッシュ領域にそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
前記図形パターンの図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に、前記矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示す第１のドーズ量情報と、前記固定サイズの複数のメッシュ領域に設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示す第２のドーズ量情報と、が連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成する工程と、
を備えたことを特徴とする描画データの作成方法。
【請求項５】
前記データフォーマットには、さらに、前記図形パターンの回転角を示す回転情報が定義されることを特徴とする請求項１記載の描画データの作成方法。
【請求項６】
荷電粒子ビームを用いて試料に少なくとも１つの図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
少なくとも１つの図形パターンの図形情報を入力し、前記少なくとも１つの図形パターンを取り囲む矩形枠を設定する工程と、
前記矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
前記少なくとも１つの図形パターンの図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に、前記矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成する工程と、
を備え、
前記矩形枠が設定された後、前記矩形枠の回転角を設定する工程をさらに備えたことを特徴とする描画データの作成方法。
【請求項７】
前記データフォーマットには、さらに、前記矩形枠の回転角を示す回転情報が定義されることを特徴とする請求項６記載の描画データの作成方法。
【請求項８】
荷電粒子ビームを用いて試料に少なくとも１つの図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
少なくとも１つの図形パターンの図形情報を入力し、前記少なくとも１つの図形パターンを取り囲む矩形枠を設定する工程と、
前記矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
前記少なくとも１つの図形パターンの図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に、前記矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成する工程と、
前記矩形枠が設定された後、前記矩形枠に取り込まれる図形全体を含むセル領域を設定する工程と、
を備え、
前記データフォーマットには、さらに、前記セル領域の原点から前記矩形枠の原点までのオフセット量が定義されることを特徴とする描画データの作成方法。
【請求項９】
前記セル領域が設定された後、前記セル領域の回転角を設定する工程をさらに備え、
前記データフォーマットには、さらに、前記セル領域の回転角を示す回転情報が定義されることを特徴とする請求項８記載の描画データの作成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、描画データの作成方法に係り、例えば、描画装置に入力される描画データの作成手法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＳＩの高集積化に伴い、半導体デバイスの回路線幅はさらに微細化されてきている。これらの半導体デバイスへ回路パターンを形成するための露光用マスク（レチクルともいう。）を形成する方法として、優れた解像性を有する電子ビーム（ＥＢ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  ｂｅａｍ）描画技術が用いられる。
【０００３】
例えば、マルチビームを使った描画装置がある。１本の電子ビームで描画する場合に比べて、マルチビームを用いることで一度に多くのビームを照射できるのでスループットを大幅に向上させることができる。かかるマルチビーム方式の描画装置では、例えば、電子銃から放出された電子ビームを複数の穴を持ったマスクに通してマルチビームを形成し、各々、ブランキング制御され、遮蔽されなかった各ビームが光学系で縮小され、偏向器で偏向され試料上の所望の位置へと照射される。
【０００４】
マルチビーム描画装置では、ＣＡＤデータから変換されたパターンデータ（描画データ）を入力する。そして、入力されたパターンデータに対してデータ変換処理を行って描画処理へと進んでいく。その際、描画装置へと入力されるパターンデータのデータ量は少ない方が望ましいことは言うまでもない。よって、複数の図形パターンを定義するパターンデータはデータ圧縮されたフォーマットで定義される（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
従来、描画装置内では、影響範囲が１０μｍ程度の後方散乱による近接効果、影響範囲がｍｍオーダーのかぶり効果、及び、影響範囲がｍｍオーダーのクロムローディング効果に起因する寸法変動についてパターン寸法ＣＤを補正する処理を行っている。かかる１０μｍ程度の影響範囲よりも小さい影響範囲の現象に起因する寸法変動を補正するためには、例えば、描画装置に入力する描画データの図形パターン自体にドーズ変調量を定義することが考えられる。しかし、かかる小さい影響範囲の補正のためには、図形パターン自体のサイズが大きすぎるため、かかる手法を用いるためには、図形パターンを複数の小図形パターンに分割し、小図形パターン毎に１つのドーズ変調量を定義する必要が生じる。よって、描画データのデータ量が膨大な量となってしまうといった問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−０７９１１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図１７は、ドーズ変調量の情報を含む図形パターンのパターンデータのデータフォーマットの一例を示す図である。図１７では、ｘ方向サイズがｗ、ｙ方向サイズがｈの矩形パターンを一例として示している。図１７に示すデータフォーマットでは、ドーズ変調量を示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＤＯＳＥ）、２バイトのドーズ変調量、図形種を示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。よって、図１７に示すデータフォーマットで、かかる図形パターンのパターンデータを作成した場合、１＋２＋１＋３×２＋２×２＝１４バイトのデータ量で定義できる。
【０００８】
図１８は、必要なドーズ変調量の小図形パターンに分割する場合のパターンデータのデータ量を説明するための図である。図１８の例では、例えば、２００ｎｍ×２００ｎｍの矩形パターンを示している。ドーズ変調量を定義しない場合には、図１７で示したデータフォーマットのうち、１バイトのコード（ｃｏｄｅＤＯＳＥ）と２バイトのドーズ変調量が不要となるので、１１バイトのデータ量で定義できる。しかし、例えば、１０ｎｍサイズでドーズ変調量を定義する場合、図１８に示す矩形パターンをｘ，ｙ方向にそれぞれ２０分割する必要がある。よって、図形数が１個から２０×２０＝４００個のドーズ変調量付きパターンデータが必要となる。図１７で説明したデータフォーマットを用いた場合、４００×１４＝５６００バイトのデータ量が必要となる。このように、上述した小さい影響範囲の補正のためには、例えば、１１バイトのデータ量が５６００バイトのデータ量に増えてしまうといった問題がある。
【０００９】
図１９は、必要なドーズ変調量の小図形パターンに分割する場合の試料単位でのパターンデータのデータ量を説明するための図である。図１９の例では、露光用マスク基板上に８０ｍｍ×１２０ｍｍのチップ領域（描画領域）が形成される場合を示している。そして、かかるチップ領域について、ドーズ変調量マップを作成する場合を想定する。ドーズ変調量マップでは、例えば、ドーズ変調量を１０ビットで定義する。例えば、１０ｎｍサイズのメッシュ領域毎にドーズ変調量を定義する場合、ドーズ変調量マップについて（８０００００００／１０）ｎｍ×（１２０００００００／１０）ｎｍ×１０ビット／８ビット＝１０９ＴＢ（テラバイト）のデータ量が必要となってしまう。ＩＴＲＳ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｒｏａｄｍａｐ  ｆｏｒ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ）２０１２の報告では、ハーフピッチＨＰ２８ｎｍ〜１０ｎｍのパターンの場合、１つのマスクあたり、２．２ＴＢ〜２．９ＴＢとなっており、かかるデータ量と比較しても図１９に示したデータ量が膨大であることがわかる。
【００１０】
そこで、本発明は、上述した問題点を克服し、ドーズ量を微細サイズで定義する必要がある場合でもデータ量を低減可能なデータフォーマットを用いた描画データの作成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様の描画データの作成方法は、
荷電粒子ビームを用いて試料に図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
図形パターンの図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に図形パターンの各角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成することを特徴とする。
【００１２】
また、ドーズ量情報は、さらに、図形パターンをｘ方向とｙ方向のうちの少なくとも１つの方向に分割する分割線と図形パターンのいずれかの辺との交点でのドーズ量或いはドーズ変調率を示すように構成すると好適である。
【００１３】
本発明の他の態様の描画データの作成方法は、
荷電粒子ビームを用いて試料に少なくとも１つの図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
少なくとも１つの図形パターンの図形情報を入力し、少なくとも１つの図形パターンを取り囲む矩形枠を設定する工程と、
矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
少なくとも１つの図形パターンの図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って描画データを作成する工程と、
を備えたことを特徴とする。
【００１４】
また、図形情報には、複数の図形パターンの図形情報が定義され、
複数の図形パターンの図形情報を入力し、複数の図形パターンを連続する図形パターン群毎に少なくとも１つのグループにグループ化する工程をさらに備え、
矩形枠を設定する際、グループ毎に、当該グループの図形パターン群を取り囲む矩形枠を設定し、
ドーズ量或いはドーズ変調率を設定する際、グループ毎に、当該矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定し、
グループ毎に、当該グループの図形パターン群の図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に当該矩形枠の４つの角部の位置でのドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成すると好適である。
【００１５】
また、ドーズ量情報は、さらに、矩形枠をｘ方向とｙ方向のうちの少なくとも１つの方向に分割する分割線と矩形枠のいずれかの辺との交点でのドーズ量或いはドーズ変調率を示すように構成すると好適である。
【００１６】
また、矩形枠外の領域に固定サイズの複数のメッシュ領域を設定する工程をさらに備え、
データフォーマットには、ドーズ量情報の他に、さらに、固定サイズのメッシュ領域毎にドーズ量或いはドーズ変調率を示す第２のドーズ量情報が定義されるように構成すると好適である。
【００１７】
本発明の他の態様の描画データの作成方法は、
荷電粒子ビームを用いて試料に図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
図形パターンの図形情報を入力し、図形パターンの一部に矩形枠を設定する工程と、
図形パターンの残部を含む領域に固定サイズの複数のメッシュ領域を設定する工程と、
矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
複数のメッシュ領域にそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
図形パターンの図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示す第１のドーズ量情報と、固定サイズの複数のメッシュ領域に設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示す第２のドーズ量情報と、が連続して定義されるデータフォーマットに従って描画データを作成する工程と、
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の一態様によれば、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。さらに、ドーズ量の補正サイズに関わらず描画データを作成できる。よって、データ量を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施の形態１における描画システムの構成を示す概念図である。
【図２】実施の形態１における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。
【図３】実施の形態１におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。
【図４】実施の形態１におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。
【図５】実施の形態１におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。
【図６】実施の形態１の効果を説明するための評価パターンを示す図である。
【図７】実施の形態１の効果を説明するための評価パターンの分割数の一例を示す図である。
【図８】実施の形態１の効果を説明するための評価パターンの分割数の他の一例を示す図である。
【図９】実施の形態１の分割数とデータ量の関係を示す図である。
【図１０】実施の形態２における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。
【図１１】実施の形態２における図形パターン群とドーズ量定義位置を説明するための図である。
【図１２】実施の形態２におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。
【図１３】実施の形態２における図形パターン群のグループ化の一例を示す図である。
【図１４】実施の形態３における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。
【図１５】実施の形態３におけるドーズ量定義位置の一例を説明するための図である。
【図１６】実施の形態３におけるドーズ量定義位置の他の一例を説明するための図である。
【図１７】ドーズ変調量の情報を含む図形パターンのパターンデータのデータフォーマットの一例を示す図である。
【図１８】必要なドーズ変調量の小図形パターンに分割する場合のパターンデータのデータ量を説明するための図である。
【図１９】必要なドーズ変調量の小図形パターンに分割する場合の試料単位でのパターンデータのデータ量を説明するための図である。
【図２０】実施の形態４における図形パターンの一例を示す図である。
【図２１】実施の形態４における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。
【図２２】実施の形態４における回転角を持った図形パターンとドーズ変調量付きデータフォーマットとの一例を示す図である。
【図２３】実施の形態５における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。
【図２４】実施の形態５における図形パターン群とドーズ量定義位置とドーズ変調量付きデータフォーマットの一例とを説明するための図である。
【図２５】実施の形態６における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。
【図２６】実施の形態６におけるセルと図形パターン群とドーズ量定義位置との一例とを説明するための図である。
【図２７】実施の形態６におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。
【図２８】実施の形態７におけるセルと図形パターン群とドーズ変調量付きデータフォーマットの一例とを説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、実施の形態では、荷電粒子ビームの一例として、電子ビームを用いた構成について説明する。但し、荷電粒子ビームは、電子ビームに限るものではなく、イオンビーム等の荷電粒子を用いたビームでも構わない。
【００２１】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１における描画システムの構成を示す概念図である。図１において、描画システムは、描画装置１００、及び描画データ変換装置３００を有している。
【００２２】
図１において、描画装置１００は、描画部１５０と制御部１６０を備えている。描画装置１００は、マルチ荷電粒子ビーム描画装置の一例である。描画部１５０は、電子鏡筒１０２と描画室１０３を備えている。電子鏡筒１０２内には、電子銃２０１、照明レンズ２０２、マルチビーム成形プレート２０３、ブランキングプレート２０４、縮小レンズ２０５、制限アパーチャ部材２０６、対物レンズ２０７、及び偏向器２０８が配置されている。描画室１０３内には、ＸＹステージ１０５が配置される。ＸＹステージ１０５上には、描画時には描画対象基板となるマスク等の試料１０１が配置される。試料１０１には、半導体装置を製造する際の露光用マスク、或いは、半導体装置が製造される半導体基板（シリコンウェハ）等が含まれる。また、試料１０１には、レジストが塗布された、まだ何も描画されていないマスクブランクスが含まれる。
【００２３】
制御部１６０は、制御計算機１１０、メモリ１１１、制御回路１２０、及び、磁気ディスク装置等の記憶装置１４０，１４２を有している。制御計算機１１０、メモリ１１１、制御回路１２０、及び記憶装置１４０，１４２は、図示しないバスを介して接続されている。制御計算機１１０内には、ショットデータ生成部１１２、照射量演算部１１３、及び描画制御部１１４が配置される。ショットデータ生成部１１２、照射量演算部１１３、及び描画制御部１１４といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。ショットデータ生成部１１２、照射量演算部１１３、及び描画制御部１１４に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１１１にその都度格納される。
【００２４】
描画データ変換装置３００には、磁気ディスク装置等の記憶装置３４０，３４２が図示しないバスを介して接続されている。
【００２５】
また、描画装置１００の制御計算機１１０には、図示しないネットワーク等を介して、描画データ変換装置３００、及び記憶装置３４０，３４２に接続されている。記憶装置３４０には、設計データであるレイアウトデータ（ＣＡＤデータ）が格納される。そして、描画データ変換装置３００内でデータ変換が行われ、描画装置１００に入力可能な描画データが作成される。作成された描画データは、記憶装置３４２に格納される。
【００２６】
ここで、図１では、実施の形態１を説明する上で必要な構成を記載している。描画装置１００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。また、描画装置１００には、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない。
【００２７】
描画装置１００で描画処理を行うためには、かかるレイアウトデータを描画装置１００へ入力可能な描画データにデータ変換する必要がある。また、描画装置１００では、図示しないが、一般に、その内部で、影響範囲が１０μｍ程度の後方散乱による近接効果、影響範囲がｍｍオーダーのかぶり効果、及び、影響範囲がｍｍオーダーのクロムローディング効果に起因する寸法変動についてパターン寸法ＣＤを補正する処理を行っている。しかし、描画装置内での計算されたドーズ量を使用しても補正残差等が残る場合もある。かかる補正残差の要因として、かかる１０μｍ程度の影響範囲よりも小さい影響範囲の現象に起因する寸法変動がある。例えば、影響範囲が１００ｎｍ程度の現象に起因する寸法変動が考えられる。影響範囲が例えば１００ｎｍ程度の現象に起因する寸法変動を補正するためには、ドーズ量或いはドーズ変調量を影響範囲の１／１０程度の例えば１０ｎｍのメッシュサイズ毎に定義する必要がある。そのため、ユーザは、描画装置へ入力する前の段階で、かかる微小サイズ毎にドーズ変調量を設定する。しかし、上述したように、例えば１０ｎｍのメッシュサイズ毎に定義するとなると描画データのデータ量が膨大な量となってしまう。
【００２８】
ここで、同一図形パターン内および隣接する図形パターン群内での上述した現象に起因する寸法変動量の変化は、急峻な変化をするものではなく、徐々に変化する。よって、必要なドーズ量或いはドーズ変調量（率）の情報は、急峻な変化をするものではなく、徐々に変化すればよい。そこで、実施の形態１では、上述した微小サイズ毎にドーズ量或いはドーズ変調量（率）を定義するのではなく、複数の代表点におけるドーズ量或いはドーズ変調量（率）を定義するデータフォーマットを用いる。
【００２９】
図２は、実施の形態１における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図２において、描画データ変換装置３００内には、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、及びメモリ１８が配置されている。分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、及び制御部１６といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、及び制御部１６に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１８にその都度格納される。
【００３０】
ここで、図２では、実施の形態１を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない。
【００３１】
図３は、実施の形態１におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。ここでは、図３（ｂ）に示すように、ｘ方向サイズがｗ、ｙ方向サイズがｈの矩形の図形パターン３０について定義している。図３（ｂ）の例では、図形パターン３０の４つの角部Ｐ００、Ｐ１０、Ｐ０１、及びＰ１１の各位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を定義する。ここでは、インデックス（００）が矩形の図形パターン３０の左下の角部を示す。インデックス（１０）が矩形の図形パターン３０の右下の角部を示す。インデックス（０１）が矩形の図形パターン３０の左上の角部を示す。インデックス（１１）が矩形の図形パターン３０の右上の角部を示す。また、図形パターン３０の左下の角部の座標を（ｘ０，ｙ０）で示す。
【００３２】
図３（ａ）に示すデータフォーマットでは、ドーズ量或いはドーズ変調量（率）であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤ０）、４つの角部Ｐ００、Ｐ１０、Ｐ０１、及びＰ１１の各位置での２バイトのドーズ量（或いはドーズ変調率）ｄ００、ｄ１０、ｄ１１、ｄ０１が定義される。そして、ドーズ量情報に引き続き、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）は、図形パターンの図形情報を示す。表現コード（ｃｏｄｅＤ０）、及び各ドーズ量（或いはドーズ変調率）ｄ００、ｄ１０、ｄ１１、ｄ０１は、ドーズ量情報を示す。ドーズ量情報は、図形パターンの図形情報の後に定義されても構わない。よって、図３（ａ）に示すデータフォーマットでは、１つの矩形パターンについて、１＋２×４＋１＋３×２＋２×２＝２０バイトで定義できる。
【００３３】
このように、描画データ変換装置３００は、図形パターン３０の図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に図形パターン３０の各角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って描画データを作成する。
【００３４】
描画装置１００内では、かかる描画データを使って、必要なサイズ毎のドーズ量を計算すればよい。図３（ｃ）に示す座標（ｘ，ｙ）のドーズ量（或いはドーズ変調量）ｄ（ｘ，ｙ）は、例えば、式（１）に示す１次補間（共一次内挿法）で計算すればよい。かかる計算により図形パターン３０内の各位置（ｘ，ｙ）のドーズ量を計算できる。
（１）  ｄ（ｘ，ｙ）＝（１／ｗ・ｈ）｛ｄ００（ｘ０＋ｗ−ｘ）（ｙ０＋ｈ−ｙ）
＋ｄ１０（ｘ−ｘ０）（ｙ０＋ｈ−ｙ）
＋ｄ０１（ｘ０＋ｗ−ｘ）（ｙ−ｙ０）
＋ｄ１１（ｘ−ｘ０）（ｙ−ｙ０）｝
【００３５】
図４は、実施の形態１におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。ここでは、図４（ｂ）に示すように、図３（ｂ）と同様の図形パターン３０の４つの角部Ｐ００、Ｐ１０、Ｐ０２、及びＰ１２の他に、さらに、辺の途中の追加点Ｐ０１、Ｐ１１でドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図４（ｂ）の例では、ドーズ量情報は、さらに、図形パターン３０をｙ方向の座標ｙ１（分割ｙ座標）の位置でｙ方向に分割する分割線と図形パターン３０の左辺との交点Ｐ０１と分割線と図形パターン３０の右辺との交点Ｐ１１でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図４（ｂ）の例では、図形パターン３０をｙ方向に分割する場合を示しているが、これに限るものではない。図形パターン３０をｘ方向に分割する場合であってもよい。かかる場合には、図形パターン３０をｘ方向に分割する分割線と図形パターン３０の上辺との交点と分割線と図形パターン３０の下辺との交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義すればよい。図４（ｂ）では、インデックス（００）が矩形の図形パターン３０の左下の角部を示す。インデックス（１０）が矩形の図形パターン３０の右下の角部を示す。インデックス（０２）が矩形の図形パターン３０の左上の角部を示す。インデックス（１２）が矩形の図形パターン３０の右上の角部を示す。また、インデックス（０１）が図形パターン３０をｙ方向に分割する分割線と図形パターン３０の左辺との交点を示す。また、インデックス（１１）が図形パターン３０をｙ方向に分割する分割線と図形パターン３０の右辺との交点を示す。また、図形パターン３０の左下の角部の座標を（ｘ０，ｙ０）で示す。計算対象の座標（ｘ，ｙ）のドーズ量（或いはドーズ変調量（率））は、図４（ｃ）に示すように、座標（ｘ，ｙ）の周囲のドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義されている直近の４点で取り囲む矩形枠の４隅のデータを用いて式（１）で計算すればよい。
【００３６】
図４（ａ）に示すデータフォーマットでは、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、図形パターンの２バイトのｘ方向への分割数ｎｄｉｖｘ、図形パターンの２バイトのｙ方向への分割数ｎｄｉｖｙ、３バイトの分割ｙ座標ｙ１、４つの角部Ｐ００、Ｐ１０、Ｐ０１、Ｐ１１及び途中の追加点Ｐ０１、Ｐ１１の各位置での２バイトのドーズ量（或いはドーズ変調率）ｄ００、ｄ１０、ｄ０１、ｄ１１、ｄ０２、ｄ１２が定義される。そして、ドーズ量情報に引き続き、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）は、図形パターンの図形情報を示す。表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、分割数ｎｄｉｖｘ、分割数ｎｄｉｖｙ、分割高さｙ１、及び各ドーズ量（或いはドーズ変調率）ｄ００、ｄ１０、ｄ０１、ｄ１１、ｄ０２、ｄ１２は、ドーズ量情報を示す。ドーズ量情報は、図形パターンの図形情報の後に定義されても構わない。よって、図４（ａ）に示すｙ方向分割１回のデータフォーマットでは、１つの矩形パターンについて、１＋２×２＋３＋２×６＋１＋３×２＋２×２＝３１バイトで定義できる。
【００３７】
図５は、実施の形態１におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。ここでは、図５（ｂ）に示すように、矩形の図形パターン３０の４つの角部の他に、さらに、図形パターン３０をｘ，ｙ方向に分割する各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図５（ｂ）の例では、図形パターン３０をｘ方向にｍ回、ｙ方向にｎ回分割する場合を示している。図５（ｂ）の例では、図形パターン３０をｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）で分割すると共に、ｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）で分割する。図形パターン３０の左下の角部の座標を（ｘ０，ｙ０）とした場合、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義される各位置のｘ座標はｘ方向に向かって順にｘ０、ｘ１、・・・、ｘｍ、ｘｍ＋１となり、各位置のｙ座標はｙ方向に向かって順にｙ０、ｙ１、・・・、ｙｎ、ｙｎ＋１となる。よって、インデックスも同様に、ｘ方向に向かって順に０、１、・・・ｍ、ｍ＋１となり、ｙ方向に向かって順に０、１、・・・ｎ、ｎ＋１となる値の組み合わせで示される。
【００３８】
図５（ａ）に示すデータフォーマットでは、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、図形パターンの２バイトのｘ方向への分割数ｎｄｉｖｘ、図形パターンの２バイトのｙ方向への分割数ｎｄｉｖｙ、各３バイトの分割ｘ座標ｘ１〜ｘｍ、各３バイトの分割ｙ座標ｙ１〜ｙｎ、図形パターン３０の４つの角部の他に、さらに、図形パターン３０をｘ，ｙ方向に分割する各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点の各位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００、ｄ１０、ｄ２０、ｄｍ０、ｄ（ｍ＋１）０、・・・ｄ０（ｎ＋１）、ｄ１（ｎ＋１）、ｄ２（ｎ＋１）、ｄｍ（ｎ＋１）、ｄ（ｍ＋１）（ｎ＋１）が定義される。そして、ドーズ量情報に引き続き、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。
【００３９】
図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）は、図形パターンの図形情報を示す。表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、分割数ｎｄｉｖｘ、分割数ｎｄｉｖｙ、分割ｘ座標ｘ１〜ｘｍ、分割ｙ座標ｙ１〜ｙｎ、４つの角部、各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点の各位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００、ｄ１０、ｄ２０、ｄｍ０、ｄ（ｍ＋１）０、・・・ｄ０（ｎ＋１）、ｄ１（ｎ＋１）、ｄ２（ｎ＋１）、ｄｍ（ｎ＋１）、ｄ（ｍ＋１）（ｎ＋１）は、ドーズ量情報を示す。ドーズ量情報は、図形パターンの図形情報の後に定義されても構わない。よって、図５（ａ）に示すｘ方向分割ｍ回及びｙ方向分割ｎ回のデータフォーマットでは、１つの矩形パターンについて、１＋２×２＋３×（ｍ＋ｎ）＋２×（ｍ＋２）（ｎ＋２）＋１＋３×２＋２×２＝（２４＋２ｍｎ＋７ｍ+７ｎ）バイトで定義できる。
【００４０】
以上のように、描画データ変換装置３００は、ドーズ量情報として、図形パターン３０の各角部の位置でのそれぞれのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））の他に、さらに、図形パターン３０をｘ方向とｙ方向のうちの少なくとも１つの方向に分割する分割線と図形パターンのいずれかの辺との交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示す。
【００４１】
かかるデータフォーマットの描画データの作成方法は、分割設定工程と、ドーズ量設定工程と、描画データ作成工程との各工程を実施する。
【００４２】
分割設定工程として、分割設定部１０は、記憶装置３４０からＣＡＤデータを読み出し、図形パターン毎に、ｘ方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。分割数ｎｄｉｖｘ＝ｍである場合には、ｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）を設定する。同様に、分割数ｎｄｉｖｙ＝ｎである場合には、ｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）を設定する。分割しない場合には、分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙをゼロに設定すればよい。或いは、分割しない場合には、分割設定工程を省略しても良い。
【００４３】
ドーズ量設定工程として、ドーズ量設定部１２は、図形パターン毎に、当該図形パターンの４つの角部のｘ座標ｘ０，ｘｍ＋１を含むｘ座標ｘ０，ｘ１，・・・，ｘｍ，ｘｍ＋１と、４つの角部のｙ座標ｙ０，ｙｎ＋１を含むｘ座標ｙ０，ｙ１，・・・，ｙｎ，ｙｎ＋１との組み合わせによる各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定する。分割しない場合には、４つの角部の各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。
【００４４】
描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、図形パターン毎に、図形パターンの図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、４つの角部を含む上述した各位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。
【００４５】
そして、制御部１６は、作成された各図形パターンのパターンデータをまとめた描画データを記憶装置３４２に出力し、格納する。以上のようにして、電子ビーム２００を用いて試料１０１に図形パターンを描画する描画装置１００に入力されるための描画データが作成される。
【００４６】
図６は、実施の形態１の効果を説明するための評価パターンを示す図である。図６では、例えば、１辺が２００ｎｍの複数の正方形が並ぶアレイ配置を示す。また、図形パターン間は、２００ｎｍの隙間（スペース部）を空けて配置される。ここで、図６に示すアレイ配置のうち、中央の正方形（Ａ）を評価対象とする。そして、例えば、１０ｎｍ毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を必要とする場合、従来の手法では、上述したように５６００バイトのデータ量が必要となる。また、パターンデータとは別にドーズマップを作成する場合には、正方形（Ａ）の１ピッチ分の４００ｎｍ×４００ｎｍの領域で計算すると、（４００／１０）×（４００／１０）×（１０／８）＝２０００バイトのデータ量が必要となる。これに対して、実施の形態１では、以下のデータ量に抑えることができる。
【００４７】
図７は、実施の形態１の効果を説明するための評価パターンの分割数の一例を示す図である。図７では、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する位置を設定するために、ｘ方向に２分割、ｙ方向に２分割した場合を示している。よって、図形パターン３０のパターンデータには、４隅の角部の他に、１２点の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義されていることになる。よって、かかるデータフォーマットに沿ってパターンデータを作成すると、図形情報に１１バイト、ドーズ量情報に４９バイトの計６０バイトのデータ量に抑えることができる。
【００４８】
図８は、実施の形態１の効果を説明するための評価パターンの分割数の他の一例を示す図である。図７では、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する位置を設定するために、ｘ方向に５分割、ｙ方向に５分割した場合を示している。よって、図形パターン３０のパターンデータには、４隅の角部の他に、４５点の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義されていることになる。よって、かかるデータフォーマットに沿ってパターンデータを作成すると、図形情報に１１バイト、ドーズ量情報に１３３バイトの計１４４バイトのデータ量に抑えることができる。
【００４９】
図９は、実施の形態１の分割数とデータ量の関係を示す図である。図９に示すように、、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する位置を設定するために、ｘ方向に２分割、ｙ方向に２分割した場合、１つの図形パターンのパターンデータは６０バイトのデータ量に抑えることができる。ｘ方向に３分割、ｙ方向に３分割した場合、１つの図形パターンのパターンデータは８４バイトのデータ量に抑えることができる。ｘ方向に４分割、ｙ方向に４分割した場合、１つの図形パターンのパターンデータは１１２バイトのデータ量に抑えることができる。ｘ方向に５分割、ｙ方向に５分割した場合、１つの図形パターンのパターンデータは１４４バイトのデータ量に抑えることができる。
【００５０】
以上のように、実施の形態１によれば、パターンデータ（描画データ）のデータ量を大幅に低減できる。
【００５１】
次に、描画装置１００では、かかる描画データを記憶装置３４２から入力（転送）し、記憶装置１４０に格納する。そして、描画装置１００において描画処理が行われる。
【００５２】
ショットデータ生成工程として、ショットデータ生成部１１２は、記憶装置１４０から描画データを読み出し、装置固有のショットデータを生成する。ショットデータ生成部１１２は、記憶装置１４０から描画データを読み出し、試料１０１の描画領域、或いは描画されるチップ領域がメッシュ状に仮想分割された複数の画素領域（メッシュ領域）の画素領域毎にその内部に配置されるパターンの面積密度を算出する。例えば、まず、試料１０１の描画領域、或いは描画されるチップ領域を所定の幅で短冊上のストライプ領域に分割する。そして、各ストライプ領域を上述した複数の画素領域に仮想分割する。画素領域のサイズは、例えば、ビームサイズ、或いは、それ以下のサイズであると好適である。例えば、１０ｎｍ程度のサイズにすると好適である。例えば、ストライプ領域毎に記憶装置１４０から対応する描画データを読み出し、描画データ内に定義された複数の図形パターンを画素に割り当てる。そして、画素毎に配置される図形パターンの面積密度を算出すればよい。
【００５３】
照射量演算工程として、まず、照射量演算部１１３は、描画データに定義されたドーズ量情報を用いて、所望する位置（ｘ，ｙ）でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ，ｙ）を演算する。ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ，ｙ）の計算手法は、式（１）と同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。但し、式（１）における座標（ｘ０，ｙ０）は、計算対象の座標（ｘ，ｙ）の周囲のドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義されている直近の４点で取り囲む矩形枠の左下の角部の座標を用いる。また、式（１）における幅寸法ｗは、かかる直近の４点で取り囲む矩形枠の幅寸法を用いる。また、式（１）における高さ寸法ｈは、かかる直近の４点で取り囲む矩形枠の高さ寸法を用いる。また、式（１）におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００は、かかる直近の４点で取り囲む矩形枠の左下の角部の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を用いる。また、式（１）におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ１０は、かかる直近の４点で取り囲む矩形枠の右下の角部の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を用いる。また、式（１）におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ０１は、かかる直近の４点で取り囲む矩形枠の左上の角部の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を用いる。また、式（１）におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ１１は、かかる直近の４点で取り囲む矩形枠の右上の角部の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を用いる。
【００５４】
ここでは、一例として、１次補間によってドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ，ｙ）を求めているがこれに限るものではない。定義された各点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を所定の多項式で近似してもよい。例えば、２次以上の多項式で近似してもよい。そして得られた近似式から所望する位置（ｘ，ｙ）でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ，ｙ）を演算してもよい。
【００５５】
そして、照射量演算部１１３は、得られたｄ（ｘ，ｙ）を用いて、各画素位置（ｘ，ｙ）での照射量Ｄ（ｘ，ｙ）を演算する。照射量Ｄ（ｘ，ｙ）は、基準照射量Ｄｂａｓｅにドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ，ｙ）と面積密度とを乗じた値で演算できる。描画データに定義されたドーズ量（ドーズ変調量）に近接効果補正分が考慮されていない場合には、近接効果を補正する近接効果補正照射係数をさらに乗じても好適である。或いは、さらに、かぶり効果を補正するかぶり効果補正照射係数やローディング効果を補正するローディング効果補正照射係数といった補正係数を乗じても好適である。近接効果補正等の各現象に対する補正計算は、従来と同様の手法で構わない。
【００５６】
描画工程として、描画制御部１１４は、制御回路１２０に描画処理を行うように制御信号を出力する。制御回路１２０は、画素毎の各補正照射量のデータを入力し、描画制御部１１４から制御信号に従って描画部１５０を制御し、描画部１５０は、マルチビーム２０を用いて、当該図形パターンを試料１００に描画する。具体的には、以下のように動作する。
【００５７】
電子銃２０１（放出部）から放出された電子ビーム２００は、照明レンズ２０２によりほぼ垂直にマルチビーム成形プレート２０３全体を照明する。マルチビーム成形プレート２０３には、縦（ｙ方向）ｍ列×横（ｘ方向）ｎ列（ｍ，ｎ≧２）の穴（開口部）が所定の配列ピッチでマトリクス状に形成されている。例えば、５１２×８列の穴が形成される。各穴は、共に同じ寸法形状の矩形で形成される。或いは、同じ外径の円形であっても構わない。電子ビーム２００は、すべての複数の穴が含まれる領域を照明する。複数の穴の位置に照射された電子ビーム２００の各一部が、かかるマルチビーム成形プレート２０３の複数の穴をそれぞれ通過することによって、例えば矩形形状の複数の電子ビーム（マルチビーム）２０ａ〜ｅが形成される。かかるマルチビーム２０ａ〜ｅは、ブランキングプレート２０４のそれぞれ対応するブランカー内を通過する。ブランキングプレート２０４には、マルチビーム成形プレート２０３の各穴に対応する位置にマルチビームのそれぞれビームの通過用の通過孔（開口部）が開口される。各通過孔の近傍位置に該当する通過孔を挟んでブランキング偏向用の対となる２つの電極の組（ブランカー）がそれぞれ配置される。すなわち、ビーム数に応じた複数のブランカーが配置される。かかるブランカーは、それぞれ、個別に通過する電子ビーム２０を偏向する（ブランキング偏向を行う）。
ブランキングプレート２０４を通過したマルチビーム２０ａ〜ｅは、縮小レンズ２０５によって、縮小され、制限アパーチャ部材２０６に形成された中心の穴に向かって進む。ここで、ブランキングプレート２０４の対応するブランカーによって偏向された電子ビーム２０は、制限アパーチャ部材２０６（ブランキングアパーチャ部材）の中心の穴から位置がはずれ、制限アパーチャ部材２０６によって遮蔽される。一方、ブランキングプレート２０４の対応ブランカーによって偏向されなかった電子ビーム２０は、図１に示すように制限アパーチャ部材２０６の中心の穴を通過する。かかる個別ブランキング機構のＯＮ／ＯＦＦによって、ブランキング制御が行われ、ビームのＯＮ／ＯＦＦが制御される。このように、制限アパーチャ部材２０６は、個別ブランキング機構によってビームＯＦＦの状態になるように偏向された各ビームを遮蔽する。そして、ビームＯＮになってからビームＯＦＦになるまでに形成された、制限アパーチャ部材２０６を通過したビームにより、１回分のショットのビームが形成される。制限アパーチャ部材２０６を通過したマルチビーム２０は、対物レンズ２０７により焦点が合わされ、所望の縮小率のパターン像となり、偏向器２０８によって、制限アパーチャ部材２０６を通過した各ビーム（マルチビーム２０全体）が同方向にまとめて偏向され、各ビームの試料１０１上のそれぞれの照射位置に照射される。また、例えばＸＹステージ１０５が連続移動している時、ビームの照射位置がＸＹステージ１０５の移動に追従するように偏向器２０８によって制御される。一度に照射されるマルチビーム２０は、理想的にはマルチビーム成形プレート２０３の複数の穴の配列ピッチに上述した所望の縮小率を乗じたピッチで並ぶことになる。描画装置１００は、ショットビームを連続して順に照射していく方式で描画動作を行い、所望のパターンを描画する際、パターンに応じて必要なビームがブランキング制御によりビームＯＮに制御される。
【００５８】
以上のように、実施の形態１によれば、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。さらに、ドーズ量の補正サイズに関わらず描画データを作成できる。よって、データ量を低減できる。また、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））のマップが図形の存在する箇所に作成されるので、従来のドーズ量マップのように図形の無い領域まで作成する必要はなく、その点からもデータ量を低減できる。また、分割線の位置は可変に設定できるので、可変メッシュサイズの格子を作成しやすい。よって、より圧縮されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成し易くなる。
【００５９】
実施の形態２．
実施の形態１では、１つの図形パターンについて、図形パターンの角部等の位置でドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義したデータフォーマットを示した。言い換えれば、各図形パターンの形状そのものをドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップに使用したデータフォーマットを示した。しかし、これに限るものではない。実施の形態２では、少なくとも１つの図形パターンを一群のグループとして、グループ毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義したデータフォーマットについて説明する。実施の形態２において、描画装置１００の構成は図１と同様である。また、以下に説明する点以外の内容は実施の形態１と同様である。
【００６０】
図１０は、実施の形態２における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図１０において、描画データ変換装置３００内に、さらに、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０が追加された点以外は、図２と同様である。分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１８にその都度格納される。
【００６１】
ここで、図１０では、実施の形態２を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない点は、実施の形態１と同様である。
【００６２】
図１１は、実施の形態２における図形パターン群とドーズ量定義位置を説明するための図である。図１１（ａ）〜図１１（ｆ）には、連続する図形パターン群の一例がそれぞれ示されている。ここでは、矩形パターンが連続する図形パターン群がそれぞれ示されている。実施の形態２では、かかる連続する図形パターン群を１つのグループとして、グループ毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成する。
【００６３】
グループ処理工程として、グループ処理部１９は、記憶装置３４０から複数の図形パターンの図形情報が定義されるＣＡＤデータを読み出し、ＣＡＤデータに定義された複数の図形パターンを連続する図形パターン群毎に少なくとも１つのグループにグループ化する。連続する図形パターン群が１つしか無い場合には、１つのグループが作成される。複数個の連続する図形パターン群が定義されていれば、複数のグループを作成すればよい。例えば、図１１（ｃ）に示す連続する一群の図形パターンを１つのグループとしてグループ化する。図１１（ａ）〜図１１（ｆ）のうち、残りの連続する図形パターン群についてもそれぞれグループ化すればよい。
【００６４】
矩形枠設定工程として、矩形枠設定部２０は、グループ毎に、当該グループの図形パターン群を取り囲む矩形枠を設定する。矩形枠は、例えば、図形パターン群の外接矩形を用いると好適である。但し、これに限るものではなく、図１１（ｇ）に示すように、矩形枠４０は、外接矩形よりも若干大きい枠であっても良い。例えば、後述する分割線を所定のグリッドに合わせて設定する場合に、矩形枠４０自体をかかるグリッドに合わせて設定してもよい。実施の形態２では、かかる矩形枠４０をドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップとして用いる。図１１（ｇ）に示すように、矩形枠設定部２０は、矩形枠４０（マップ）のｘ方向サイズをＷｍ、ｙ方向サイズをｈｍで定義する。また、矩形枠設定部２０は、矩形枠４０に取り囲まれた当該グループの図形パターン群のうち最初（例えば左端）の図形パターンの基準位置（例えば左下角）から矩形枠４０（マップ）の基準位置（例えば左下角）までのオフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）を定義する。よって、図１１（ｇ）に示す矩形枠４０付きの図形パターン群のパターンデータ（描画データ）は、図形パターン群の図形情報と、矩形枠４０をドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップ３２とするドーズ量情報とが定義されることになる。
【００６５】
分割設定工程として、分割設定部１０は、グループ毎に、矩形枠４０のｘ方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。分割数ｎｄｉｖｘ＝ｍである場合には、ｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）を設定する。同様に、分割数ｎｄｉｖｙ＝ｎである場合には、ｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）を設定する。分割しない場合には、分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙをゼロに設定すればよい。或いは、分割しない場合には、分割設定工程を省略しても良い。分割の仕方は、図４〜図６で説明した内容と同様で構わない。その際、図形パターンを矩形枠４０と読み替えればよい。
【００６６】
ドーズ量設定工程として、ドーズ量設定部１２は、グループ毎に、当該矩形枠４０の４つの角部のｘ座標ｘ０，ｘｍ＋１を含むｘ座標ｘ０，ｘ１，・・・，ｘｍ，ｘｍ＋１と、４つの角部のｙ座標ｙ０，ｙｎ＋１を含むｘ座標ｙ０，ｙ１，・・・，ｙｎ，ｙｎ＋１との組み合わせによる各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定する。分割しない場合には、４つの角部の各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。
【００６７】
図１２は、実施の形態２におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。ここでは、矩形枠４０の４つの角部の他に、さらに、矩形枠４０をｘ，ｙ方向に分割する各分割線と矩形枠４０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図１２の例では、矩形枠４０をｘ方向にｍ回、ｙ方向にｎ回分割する場合を示している。図１２の例では、矩形枠４０をｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）で分割すると共に、ｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）で分割する。矩形枠４０の左下の角部の座標を（ｘ０，ｙ０）とした場合、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義される各位置のｘ座標はｘ方向に向かって順にｘ０、ｘ１、・・・、ｘｍ、ｘｍ＋１となり、各位置のｙ座標はｙ方向に向かって順にｙ０、ｙ１、・・・、ｙｎ、ｙｎ＋１となる。よって、インデックスも同様に、ｘ方向に向かって順に０、１、・・・ｍ、ｍ＋１となり、ｙ方向に向かって順に０、１、・・・ｎ、ｎ＋１となる値の組み合わせで示される。
【００６８】
描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、グループ毎に、当該グループを構成する図形パターン群の図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠４０の４つの角部の位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。作成されたパターンデータ（描画データ）は記憶装置３４２に出力され、格納される。
【００６９】
図１２に示すデータフォーマットでは、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤＤ２）、矩形枠４０の２バイトのｘ方向への分割数ｎｄｉｖｘ、矩形枠４０の２バイトのｙ方向への分割数ｎｄｉｖｙ、各３バイトのオフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）、各２バイトの矩形枠４０のｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗｍ，ｈｍ）、各３バイトの分割ｘ座標ｘ１〜ｘｍ、各３バイトの分割ｙ座標ｙ１〜ｙｎ、矩形枠４０の４つの角部の他に、さらに、矩形枠４０をｘ，ｙ方向に分割する各分割線と矩形枠４０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点の各位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００、ｄ１０、ｄ２０、ｄｍ０、ｄ（ｍ＋１）０、・・・ｄ０（ｎ＋１）、ｄ１（ｎ＋１）、ｄ２（ｎ＋１）、ｄｍ（ｎ＋１）、ｄ（ｍ＋１）（ｎ＋１）が定義される。そして、ドーズ量情報に引き続き、各図形情報を単純に繰り返すノーマル表現を示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＮＲ）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、２バイトの図形パターン群の数、図形パターン群を構成する図形パターン１〜Ｎについて順に繰り返される各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。
【００７０】
１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＮＲ）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、２バイトの図形パターン群の数、図形パターン群を構成する図形パターン１〜Ｎについて順に繰り返される各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）は、図形パターン群の図形情報を示す。表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、分割数ｎｄｉｖｘ、分割数ｎｄｉｖｙ、オフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）、矩形枠４０のｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗｍ，ｈｍ）、分割ｘ座標ｘ１〜ｘｍ、分割ｙ座標ｙ１〜ｙｎ、４つの角部、各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点の各位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００、ｄ１０、ｄ２０、ｄｍ０、ｄ（ｍ＋１）０、・・・ｄ０（ｎ＋１）、ｄ１（ｎ＋１）、ｄ２（ｎ＋１）、ｄｍ（ｎ＋１）、ｄ（ｍ＋１）（ｎ＋１）は、ドーズ量情報を示す。ドーズ量情報は、図形パターンの図形情報の後に定義されても構わない。よって、図１２に示すｘ方向分割ｍ回及びｙ方向分割ｎ回のデータフォーマットでは、１つの矩形パターン（グループ：連続して繋がる図形パターン群）について、１＋２×２＋３×２＋２×２＋３×（ｍ＋ｎ）＋２×（ｍ＋２）（ｎ＋２）＋１＋１＋２＋Ｎ・（３×２＋２×２）＝（２７＋２ｍｎ＋７ｍ+７ｎ＋１０Ｎ）バイトで定義できる。
【００７１】
以上のように、描画データ変換装置３００は、ドーズ量情報として、矩形枠４０の各角部の位置でのそれぞれのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））の他に、さらに、矩形枠４０をｘ方向とｙ方向のうちの少なくとも１つの方向に分割する分割線と矩形枠４０のいずれかの辺との交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示す。
【００７２】
図１３は、実施の形態２における図形パターン群のグループ化の一例を示す図である。上述した例では、連続する図形パターン群全体で１つのグループを形成する場合を示したが、これに限るものではない。図１３に示すように連続する図形パターン群を複数のグループに設定してもよい。図１３の例では、連続する図形パターン群をグループ１〜４に分けた場合を示している。グループ化は、矩形枠が大きくなりすぎないように設定すると良い。図１３の例では、連結方向が９０度変化する位置で図形パターン群を分けている（グループ１，２間）。例えば幅サイズが大きく変化する位置で図形パターン群を分けている（グループ２，３，４間）。
【００７３】
なお、上述した例では、連続する複数の図形パターン（図形パターン群）により１つのグループを構成したが、これに限るものではない。１つの図形パターンにより１つのグループを構成してもよい。かかる１つの図形パターンが矩形の場合には、矩形枠と図形パターンが同じ形状になってしまう場合が想定されるが、かかる１つの図形パターンが矩形ではない場合、例えば、３角形、台形、その他の図形等の場合、矩形枠４０を設定した方がドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成しやすい場合がある。かかる場合には、特に、１つの図形パターンにより１つのグループを構成すると好適である。
【００７４】
よって、上述したグループ処理工程として、グループ処理部１９は、記憶装置３４０から少なくとも１つの図形パターンの図形情報が定義されるＣＡＤデータを読み出し、ＣＡＤデータに定義された少なくとも１つの図形パターンを少なくとも１つのグループにグループ化すればよい。同様に、矩形枠設定工程として、矩形枠設定部２０は、少なくとも１つの図形パターンの図形情報を入力し、少なくとも１つの図形パターンを取り囲む矩形枠を設定すればよい。同様に、描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、少なくとも１つの図形パターンの図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って描画データを作成すればよい。
【００７５】
以上のように、実施の形態２では、少なくとも１つの図形パターンで構成されるグループ毎に矩形枠４０を設定し、矩形枠について４隅等の角部、分割線と辺の交点、及び分割線同士の交点でドーズ量情報を定義したデータフォーマットを作成する。そして、作成された描画データを描画装置１００が入力する。そして、描画装置１００内で、かかる矩形枠４０を用いて定義された複数の点の情報を例えば１次補間等によりかかる複数の点以外の所望の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を計算する。計算手法は、実施の形態１と同様で良い。
【００７６】
以上のように、実施の形態２によれば、少なくとも１つの図形パターンで構成されるグループ毎にドーズ量情報を定義できる。よって、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。さらに、ドーズ量の補正サイズに関わらず描画データを作成できる。よって、データ量を低減できる。さらに、実施の形態２によれば、複数の図形パターンの図形情報とドーズ量情報とをまとめて定義するのでさらにデータ量を低減できる。また、従来のドーズ量マップのように図形の無い領域まで作成する必要はなく、その点からもデータ量を低減できる。また、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））のマップが図形群の近傍毎に作成されるので、従来のドーズ量マップのように図形の無い領域まで作成する必要はなく、その点からもデータ量を低減できる。また、分割線の位置は可変に設定できるので、可変メッシュサイズの格子を作成しやすい。よって、より圧縮されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成し易くなる。
【００７７】
実施の形態３．
実施の形態１，２では、図形パターン或いは矩形枠を用いて定義された複数の点のドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を使って、所望の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を計算可能にするデータフォーマットを説明した。但し、これに限るものではない。実施の形態３では、実施の形態１，２で説明した例えば１次補間用データが定義されたマップの他に、固定サイズの複数のメッシュ領域を設定して、メッシュ領域毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する構成について説明する。実施の形態３において、描画装置１００の構成は図１と同様である。また、以下に説明する点以外の内容は実施の形態１或いは実施の形態２と同様である。
【００７８】
図１４は、実施の形態３における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図１４において、描画データ変換装置３００内に、さらに、固定サイズメッシュ設定部２２、及びドーズ量設定部１３が追加された点以外は、図１０と同様である。分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、ドーズ量設定部１３、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、矩形枠設定部２０、及び固定サイズメッシュ設定部２２といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、ドーズ量設定部１３、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、矩形枠設定部２０、及び固定サイズメッシュ設定部２２に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１８にその都度格納される。
【００７９】
ここで、図１４では、実施の形態３を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない点は、実施の形態１，２と同様である。
【００８０】
グループ処理工程から矩形枠設定工程までの各工程の内容は、実施の形態２と同様である。矩形枠を使用せずに図形パターン毎に当該図形パターンの形状をそのまま使用する場合には、実施の形態１と同様、グループ処理工程から矩形枠設定工程までの各工程は実施しないで良い。
【００８１】
固定サイズメッシュ設定工程として、固定サイズメッシュ設定部２２は、矩形枠４０（或いは、１つの図形パターン３０）外の領域に固定サイズの複数のメッシュ領域４４を設定する。
【００８２】
図１５は、実施の形態３におけるドーズ量定義位置の一例を説明するための図である。図１５には、分割線で分割した、１つグループを構成する図形パターン群を取り囲む矩形枠４０（或いは、１つの図形パターン３０）部分と、矩形枠４０（或いは、１つの図形パターン３０）外の領域に固定サイズの複数のメッシュ領域４４との一例を示している。かかる矩形枠４０（或いは、１つの図形パターン３０）と複数のメッシュ領域４４によりドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成する。
【００８３】
分割設定工程として、分割設定部１０は、グループ毎（或いは図形パターン毎）に、矩形枠４０（或いは、１つの図形パターン３０）のｘ方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。分割数ｎｄｉｖｘ＝ｍである場合には、ｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）を設定する。同様に、分割数ｎｄｉｖｙ＝ｎである場合には、ｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）を設定する。分割しない場合には、分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙをゼロに設定すればよい。或いは、分割しない場合には、分割設定工程を省略しても良い。分割の仕方は、図４〜図６で説明した内容と同様で構わない。その際、図形パターンを矩形枠４０と読み替えればよい。
【００８４】
ドーズ量設定（１）工程として、ドーズ量設定部１２は、グループ毎（或いは図形パターン毎）に、当該矩形枠４０（或いは、当該図形パターン３０）の４つの角部のｘ座標ｘ０，ｘｍ＋１を含むｘ座標ｘ０，ｘ１，・・・，ｘｍ，ｘｍ＋１と、４つの角部のｙ座標ｙ０，ｙｎ＋１を含むｘ座標ｙ０，ｙ１，・・・，ｙｎ，ｙｎ＋１との組み合わせによる各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定する。分割しない場合には、４つの角部の各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。
【００８５】
ドーズ量設定（２）工程として、ドーズ量設定部１３は、固定サイズのメッシュ領域４４毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定する。例えば、矩形枠４０（或いは、当該図形パターン３０）の設定された複数の点のデータを用いて１次補間等の計算を行うのでは、局所的なドーズ変化に対応することが難しい。かかる場合には、固定サイズのメッシュ領域４４にかかる局所的なドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。
【００８６】
描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、グループ毎（或いは図形パターン毎）に、当該グループを構成する図形パターン群の図形情報（或いは当該図形パターンの図形情報）と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠４０（或いは、当該図形パターン３０）の４つの角部の位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報（第１のドーズ量情報）とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。かかるデータフォーマットには、矩形枠４０（或いは、当該図形パターン３０）を使った複数の点のドーズ量情報の他に、さらに、連続して、固定サイズのメッシュ領域４４毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報（第２のドーズ量情報）が定義される。作成されたパターンデータ（描画データ）は記憶装置３４２に出力され、格納される。
【００８７】
ここで、上述した例では、グループを構成する図形パターン群を取り囲む矩形枠４０、或いは図形パターン３０の外側の領域に複数のメッシュ領域４４を設定する場合を説明したがこれに限るものではない。
【００８８】
図１６は、実施の形態３におけるドーズ量定義位置の他の一例を説明するための図である。図１６では、図形パターン３３の一部に矩形枠４１を設定する。そして、図形パターン３３の残部を含む領域に固定サイズの複数のメッシュ領域４４を設定する。そして、矩形枠４１については、上述した分割線で分割し、矩形枠の４隅の角部、分割線と辺との交点、及び分割線同士の交点にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。かかる矩形枠４０と複数のメッシュ領域４４により、図形パターン３３のためのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成するようにしても好適である。図１６の例では、１つの図形パターン３３について矩形枠部分と固定サイズメッシュ部分に分けているが、複数の図形パターンで構成されるグループについて、矩形枠部分と固定サイズメッシュ部分に分けても良い。
【００８９】
以上のように、実施の形態３によれば、例えば１次補間等の関数計算では得られないような局所的なドーズ量（或いはドーズ変調量（率））についても定義できる。固定サイズメッシュ領域だけでマップ作成する場合に比べて、データ量を低減できる。例えば１次補間等の関数計算で十分な領域については、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。
【００９０】
そして、作成された描画データを描画装置１００が入力する。そして、描画装置１００内で、かかる矩形枠４０を用いて定義された複数の点の情報を例えば１次補間等によりかかる複数の点以外の所望の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を計算する。計算手法は、実施の形態１と同様で良い。また、所望の位置が、固定サイズメッシュ領域４４に対応する場合には、かかる固定サイズメッシュ領域４４に定義されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を用いればよい。
【００９１】
マルチビーム描画では、画素毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を求める必要があるが、１０μｍ程度の影響範囲よりも小さい影響範囲の現象に起因する寸法変動を補正するためには、ドーズ量等を微細サイズ毎に定義する必要がある。これに対して、実施の形態１〜３を用いることで、マルチビーム描画装置が入力する描画データの段階では、微細サイズ毎、或いは画素毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する必要を無くすことができる。上述したように、矩形枠（或いは図形パターン）の４隅の角部、分割線と辺との交点、及び分割線同士の交点に定義されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を用いて、マルチビーム描画装置内にて、所望の画素領域のドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を１次補間等により計算すればよい。このように、マルチビーム描画用の描画データとして、データ量を低減できる。
【００９２】
実施の形態４．
上述した実施の形態１では、水平（ｘ方向）、及び垂直（ｙ方向）方向の直交座標系の座標軸方向に沿って、分割位置等を設定する場合について説明したが、これに限るものではない。実施の形態４では、直交座標系の座標軸方向に平行でない図形パターン等について説明する。以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態１と同様である。
【００９３】
図２０は、実施の形態４における図形パターンの一例を示す図である。図２０において、例えば、メモリに使用されるパターン等では、ｘ，ｙ方向の直交座標系の座標軸方向に対して回転した図形パターンが使用される場合がある。かかる図形パターンについて上述したｘ，ｙ方向の直交座標系の座標軸方向に沿った２次元ドーズ量マップでは、１次補間によるデータ圧縮を最適に行うことが困難な場合も予想される。そこで、実施の形態４では、図２０に示したように、回転角θで回転された図形パターンの描画データについて定義可能なフォーマットについて説明する。
【００９４】
図２１は、実施の形態４における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図２１において、描画データ変換装置３００内には、さらに、回転角設定部１１が配置される。回転角設定部１１、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、及び制御部１６といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。回転角設定部１１、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、及び制御部１６に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１８にその都度格納される。
【００９５】
ここで、図２１では、実施の形態４を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない点は、実施の形態１と同様である。
【００９６】
図２２は、実施の形態４における回転角を持った図形パターンとドーズ変調量付きデータフォーマットとの一例を示す図である。図２２（ａ）の例では、矩形の図形パターン３０がｘ方向に対して反時計回りに角度θの回転した状態を示している。ここでは、図５（ｂ）と同様、図２２（ｃ）に示すように、ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に対して、矩形の図形パターン３０の４つの角部の他に、さらに、図形パターン３０をｘ’，ｙ’方向に分割する各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図２２（ｃ）の例では、図形パターン３０をｘ’方向にｍ回、ｙ’方向にｎ回分割する場合を示している。図２２（ｃ）の例では、図形パターン３０をｘ’方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）で分割すると共に、ｙ’方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）で分割する。図形パターン３０の左下の角部の座標を（ｘ０，ｙ０）とした場合、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義される各位置のｘ座標はｘ’方向に向かって順にｘ０、ｘ１、・・・、ｘｍ、ｘｍ＋１となり、各位置のｙ座標はｙ’方向に向かって順にｙ０、ｙ１、・・・、ｙｎ、ｙｎ＋１となる。よって、インデックスも同様に、ｘ’方向に向かって順に０、１、・・・ｍ、ｍ＋１となり、ｙ’方向に向かって順に０、１、・・・ｎ、ｎ＋１となる値の組み合わせで示される。
【００９７】
図２２（ｂ）に示すデータフォーマットでは、回転角であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）、図形パターンの４バイトの回転角θ、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、図形パターンの２バイトのｘ’方向への分割数ｎｄｉｖｘ、図形パターンの２バイトのｙ’方向への分割数ｎｄｉｖｙ、各３バイトの分割ｘ座標ｘ１〜ｘｍ、各３バイトの分割ｙ座標ｙ１〜ｙｎ、図形パターン３０の４つの角部の他に、さらに、図形パターン３０をｘ’，ｙ’方向に分割する各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点の各位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００、ｄ１０、ｄ２０、ｄｍ０、ｄ（ｍ＋１）０、・・・ｄ０（ｎ＋１）、ｄ１（ｎ＋１）、ｄ２（ｎ＋１）、ｄｍ（ｎ＋１）、ｄ（ｍ＋１）（ｎ＋１）が定義される。そして、ドーズ量情報に引き続き、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ’、ｙ’方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。なお、実際の座標値は、ｘ’，ｙ’座標系ではなく、角度θ回転させていないｘ，ｙ座標系における値が定義される。
【００９８】
回転角であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）、図形パターンの４バイトの回転角θ、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ’、ｙ’方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）は、図形パターンの図形情報を示す。表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、分割数ｎｄｉｖｘ、分割数ｎｄｉｖｙ、分割ｘ座標ｘ１〜ｘｍ、分割ｙ座標ｙ１〜ｙｎ、４つの角部、各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点の各位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００、ｄ１０、ｄ２０、ｄｍ０、ｄ（ｍ＋１）０、・・・ｄ０（ｎ＋１）、ｄ１（ｎ＋１）、ｄ２（ｎ＋１）、ｄｍ（ｎ＋１）、ｄ（ｍ＋１）（ｎ＋１）は、ドーズ量情報を示す。ドーズ量情報は、図形パターンの図形情報の後に定義されても構わない。よって、図２２（ａ）に示すｘ’方向分割ｍ回及びｙ’方向分割ｎ回のデータフォーマットでは、１つの矩形パターンについて、１＋４＋１＋２×２＋３×（ｍ＋ｎ）＋２×（ｍ＋２）（ｎ＋２）＋１＋３×２＋２×２＝（２９＋２ｍｎ＋７ｍ+７ｎ）バイトで定義できる。
【００９９】
かかるデータフォーマットの描画データの作成方法は、回転角設定工程と、分割設定工程と、ドーズ量設定工程と、描画データ作成工程との各工程を実施する。
【０１００】
回転角設定工程として、回転角設定部１１は、記憶装置３４０からＣＡＤデータを読み出し、図形パターン毎に、図形パターンの回転角θを設定する。
【０１０１】
分割設定工程として、分割設定部１０は、記憶装置３４０からＣＡＤデータを読み出し、図形パターン毎に、設定された回転角θに応じてｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に変換し、ｘ’方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ’方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。分割数ｎｄｉｖｘ＝ｍである場合には、ｘ’，ｙ’座標系でのｘ’座標からｘ，ｙ座標系でのｘ座標に換算したｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）を設定する。同様に、分割数ｎｄｉｖｙ＝ｎである場合には、ｘ’，ｙ’座標系でのｙ’座標からｘ，ｙ座標系でのｙ座標に換算したｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）を設定する。分割しない場合には、分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙをゼロに設定すればよい。或いは、分割しない場合には、分割設定工程を省略しても良い。
【０１０２】
ドーズ量設定工程として、ドーズ量設定部１２は、図形パターン毎に、当該図形パターンの４つの角部のｘ座標ｘ０，ｘｍ＋１を含むｘ座標ｘ０，ｘ１，・・・，ｘｍ，ｘｍ＋１と、４つの角部のｙ座標ｙ０，ｙｎ＋１を含むｘ座標ｙ０，ｙ１，・・・，ｙｎ，ｙｎ＋１との組み合わせによる各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定する。分割しない場合には、４つの角部の各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。
【０１０３】
描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、図形パターン毎に、図形パターンの図形情報の一部となる図形パターンの回転角を示す回転情報と、図形パターンの残りの図形情報と、回転情報以外の図形情報が定義される前或いは後に、４つの角部を含む上述した各位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。なお、図２２（ｂ）の例では、回転情報を示す表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）と回転角θが、他の図形情報と分離されてドーズ量情報よりも前に定義されているが、これに限るものではなく、ドーズ量情報の前或いは後に、回転情報が他の図形情報と連続して定義されても良い。
【０１０４】
そして、制御部１６は、作成された各図形パターンのパターンデータをまとめた描画データを記憶装置３４２に出力し、格納する。以上のようにして、電子ビーム２００を用いて試料１０１に図形パターンを描画する描画装置１００に入力されるための描画データが作成される。
【０１０５】
また、実施の形態４の照射量演算工程において、まず、照射量演算部１１３は、回転角θを用いて、ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が設定された位置（ｘ，ｙ）の座標を換算し、座標（ｘ’，ｙ’）を得る。その上で、描画データに定義されたドーズ量情報を用いて、所望する位置（ｘ’，ｙ’）でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ’，ｙ’）を演算する。ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ’，ｙ’）の計算手法は、式（１）の（ｘ，ｙ）を（ｘ’，ｙ’）と読み替えた上で、同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。そして、演算後に、ｄ（ｘ’，ｙ’）の座標（ｘ’，ｙ’）を（ｘ，ｙ）に換算すればよい。
【０１０６】
なお、上述した例では、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が設定された位置が、回転角θで回転していないｘ，ｙ座標系に換算された位置（ｘ，ｙ）で定義しているが、これに限るものではない。ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系での座標（ｘ’，ｙ’）で定義しても良い。かかる場合には、照射量演算工程において、式（１）の（ｘ，ｙ）を（ｘ’，ｙ’）と読み替えた上で、実施の形態１と同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。そして、演算後に、ｄ（ｘ’，ｙ’）の座標（ｘ’，ｙ’）を（ｘ，ｙ）に換算すればよい。
【０１０７】
以上のように、実施の形態４によれば、実施の形態１と同様の効果が得られる。さらに、図形パターンが回転していた場合でも、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。
【０１０８】
実施の形態５．
上述した実施の形態２では、水平（ｘ方向）、及び垂直（ｙ方向）方向の直交座標系の座標軸方向に沿って、矩形枠４０の分割位置等を設定する場合について説明したが、これに限るものではない。実施の形態５では、直交座標系の座標軸方向に平行でない少なくとも１つの図形パターンを一群のグループとする場合について説明する。以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態２と同様である。
【０１０９】
図２３は、実施の形態５における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図２３において、描画データ変換装置３００内に、さらに、回転角設定部１１が追加された点以外は、図１０と同様である。回転角設定部１１、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。回転角設定部１１、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１８にその都度格納される。
【０１１０】
ここで、図２３では、実施の形態５を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない点は、実施の形態２と同様である。
【０１１１】
図２４は、実施の形態５における図形パターン群とドーズ量定義位置とドーズ変調量付きデータフォーマットの一例とを説明するための図である。図２４（ａ）には、連続して繋がる図形パターン群の一例が示されている。図２４（ａ）の例は、図１１（ｃ）に示した連続して繋がる図形パターン群が角度θだけ回転した状態と同じ構成を示している。実施の形態５では、かかる連続して繋がる図形パターン群を１つのグループとして、グループ毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成する。
【０１１２】
グループ処理工程として、グループ処理部１９は、記憶装置３４０から複数の図形パターンの図形情報が定義されるＣＡＤデータを読み出し、ＣＡＤデータに定義された複数の図形パターンを連続して繋がる図形パターン群毎に少なくとも１つのグループにグループ化する。連続して繋がる図形パターン群が１つしか無い場合には、１つのグループが作成される。例えば、図２４（ａ）に示す連続して繋がる一群の図形パターン群を１つのグループとしてグループ化する。
【０１１３】
矩形枠設定工程として、矩形枠設定部２０は、グループ毎に、当該グループの図形パターン群を取り囲む矩形枠を設定する。矩形枠は、例えば、図形パターン群の外接矩形を用いると好適である。但し、これに限るものではなく、図２４（ａ）に示すように、矩形枠４０は、外接矩形よりも若干大きい枠であっても良い。例えば、後述する分割線を所定のグリッドに合わせて設定する場合に、矩形枠４０自体をかかるグリッドに合わせて設定してもよい。実施の形態５では、実施の形態２と同様、図２４（ｂ）に示すように、かかる矩形枠４０をドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップ３２として用いる。矩形枠設定部２０は、矩形枠４０（マップ）のｘ’方向サイズをＷｍ、ｙ’方向サイズをｈｍで定義する。また、矩形枠設定部２０は、矩形枠４０に取り囲まれた当該グループの図形パターン群のうち最初（例えば左端）の図形パターンの基準位置（例えば左下角）から矩形枠４０（マップ）の基準位置（例えば左下角）までのオフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）を定義する。
【０１１４】
回転角設定工程として、回転角設定部１１は、矩形枠４０が設定された後、矩形枠４０の回転角θを設定する。よって、図２４（ａ）に示す矩形枠４０付きの図形パターン群のパターンデータ（描画データ）は、図形パターン群の図形情報と、矩形枠４０をドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップ３２とするドーズ量情報と、回転角θとが定義されることになる。
【０１１５】
分割設定工程として、分割設定部１０は、グループ毎に、設定された回転角θに応じてｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に変換し、矩形枠４０のｘ’方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ’方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。分割数ｎｄｉｖｘ＝ｍである場合には、ｘ’，ｙ’座標系でのｘ’座標からｘ，ｙ座標系でのｘ座標に換算したｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）を設定する。同様に、分割数ｎｄｉｖｙ＝ｎである場合には、ｘ’，ｙ’座標系でのｙ’座標からｘ，ｙ座標系でのｙ座標に換算したｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）を設定する。分割しない場合には、分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙをゼロに設定すればよい。或いは、分割しない場合には、分割設定工程を省略しても良い。分割の仕方は、図４〜図６で説明した内容と同様で構わない。その際、図形パターンを矩形枠４０と読み替えればよい。
【０１１６】
ドーズ量設定工程として、ドーズ量設定部１２は、グループ毎に、当該矩形枠４０の４つの角部のｘ座標ｘ０，ｘｍ＋１を含むｘ座標ｘ０，ｘ１，・・・，ｘｍ，ｘｍ＋１と、４つの角部のｙ座標ｙ０，ｙｎ＋１を含むｘ座標ｙ０，ｙ１，・・・，ｙｎ，ｙｎ＋１との組み合わせによる各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定する。分割しない場合には、４つの角部の各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。
【０１１７】
図２４（ｃ）の例では、図１２と同様、矩形枠４０の４つの角部の他に、さらに、矩形枠４０をｘ，ｙ方向に分割する各分割線と矩形枠４０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図２４（ｃ）に示すドーズ変調量付きデータフォーマットは、回転情報を示す表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）と回転角θが追加された点以外は、図１２と同様である。
【０１１８】
描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、グループ毎に、当該グループを構成する図形パターン群の図形情報の一部となる図形パターン群の回転角を示す回転情報と、当該グループを構成する図形パターン群の図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠４０の４つの角部の位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。なお、図２４（ｃ）の例では、回転情報を示す表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）と回転角θが、他の図形情報と分離されてドーズ量情報よりも前に定義されているが、これに限るものではなく、ドーズ量情報の前或いは後に、回転情報が他の図形情報と連続して定義されても良い。作成されたパターンデータ（描画データ）は記憶装置３４２に出力され、格納される。
【０１１９】
以上のように、実施の形態５では、１つの矩形パターン（グループ：連続して繋がる図形パターン群）について、回転角であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）、図形パターンの４バイトの回転角θが図１２の構成について追加された。よって、図２４（ｃ）に示すｘ方向分割ｍ回及びｙ方向分割ｎ回のデータフォーマットでは、１＋４＋１＋２×２＋３×２＋２×２＋３×（ｍ＋ｎ）＋２×（ｍ＋２）（ｎ＋２）＋１＋１＋２＋Ｎ・（３×２＋２×２）＝（３２＋２ｍｎ＋７ｍ+７ｎ＋１０Ｎ）バイトで定義できる。
【０１２０】
また、実施の形態５の照射量演算工程において、まず、照射量演算部１１３は、回転角θを用いて、ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が設定された位置（ｘ，ｙ）の座標を換算し、座標（ｘ’，ｙ’）を得る。その上で、描画データに定義されたドーズ量情報を用いて、所望する位置（ｘ’，ｙ’）でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ’，ｙ’）を演算する。ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ’，ｙ’）の計算手法は、式（１）の（ｘ，ｙ）を（ｘ’，ｙ’）と読み替えた上で、同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。そして、演算後に、ｄ（ｘ’，ｙ’）の座標（ｘ’，ｙ’）を（ｘ，ｙ）に換算すればよい。
【０１２１】
なお、上述した例では、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が設定された位置が、回転角θで回転していないｘ，ｙ座標系に換算された位置（ｘ，ｙ）で定義しているが、これに限るものではない。ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系での座標（ｘ’，ｙ’）で定義しても良い。かかる場合には、照射量演算工程において、式（１）の（ｘ，ｙ）を（ｘ’，ｙ’）と読み替えた上で、実施の形態２と同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。そして、演算後に、ｄ（ｘ’，ｙ’）の座標（ｘ’，ｙ’）を（ｘ，ｙ）に換算すればよい。
【０１２２】
以上のように、実施の形態５によれば、実施の形態２と同様の効果が得られる。さらに、図形パターン群（グループ）が回転していた場合でも、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。
【０１２３】
実施の形態６．
上述した実施の形態２では、連続して繋がる図形パターン群を矩形枠４０で取り囲み、１つのグループとしてドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成する場合について説明したが、これに限るものではない。実施の形態６では、少なくとも１つの連続して繋がる図形パターン群（グループ）が含まれるセル単位で、内部の図形パターン群（グループ）毎のドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成する。同時に、セル単位で、内部の図形パターン群（グループ）毎に並ぶ、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報が定義されるデータフォーマットの描画データを作成する場合について説明する。以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態２と同様である。
【０１２４】
図２５は、実施の形態６における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図２５において、描画データ変換装置３００内に、さらに、セル設定部２１、及び回転角設定部１１が追加された点以外は、図１０と同様である。セル設定部２１、回転角設定部１１、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。セル設定部２１、回転角設定部１１、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１８にその都度格納される。
【０１２５】
ここで、図２５では、実施の形態６を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない点は、実施の形態２と同様である。
【０１２６】
図２６は、実施の形態６におけるセルと図形パターン群とドーズ量定義位置との一例とを説明するための図である。図２６には、連続して繋がる図形パターン群の一例が示されている。図２６の例は、図１１（ｃ）に示した連続して繋がる図形パターン群を１つのグループとして矩形枠４０で取り囲み、かかるグループを含むセル４２を示している。実施の形態６では、かかるグループ（及びそれを取り囲む矩形枠４０）を内部に含むセル毎に、セル４２内のグループのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップ３２を作成する。
【０１２７】
なお、図２６の例では、水平（ｘ方向）、及び垂直（ｙ方向）方向の直交座標系の座標軸方向に沿って、矩形枠４０が設定されているので、回転情報は必ずしも必要ではない。よって、図２６の例について描画データを作成する場合には、図２５に示した回転角設定部１１を省略しても構わない。
【０１２８】
グループ処理工程と矩形枠設定工程との内容は実施の形態２と同様である。但し、矩形枠設定部２０は、オフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）を定義する必要はない。
【０１２９】
セル設定工程として、セル設定部２１は、矩形枠４０が設定された後、矩形枠４０に取り込まれる図形全体を含むセル４２（セル領域）を設定する。セル４２は矩形で領域構成されると好適である。また、セル領域の原点から矩形枠の原点までのオフセット量が定義される。具体的には、セル設定部２１は、セル４２に取り囲まれた当該矩形枠４０の基準位置（例えば左下角）からセル４２（マップ）の基準位置（例えば左下角）までのオフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）を定義する。よって、セル４２内の図形パターン群のパターンデータ（描画データ）は、矩形枠４０（セル内のグループ）毎に、図形パターン群の図形情報と、矩形枠４０をドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップ３２とするドーズ量情報とが定義されることになる。
【０１３０】
分割設定工程として、分割設定部１０は、セル４２毎に、かつ矩形枠４０毎に、矩形枠４０のｘ方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。以降の分割設定工程の内容は実施の形態２と同様である。また、ドーズ量設定工程の内容は実施の形態２と同様である。
【０１３１】
図２７は、実施の形態６におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。図２７に示すデータフォーマットでは、同一セル内であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＣｅｌｌｓｔａｒｔ）が最初に追加された点、各３バイトのオフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）が図形パターン群と矩形枠４０とのオフセット量ではなく、矩形枠４０とセル４２との間のオフセット量である点、同一セル内の最後であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＣｅｌｌｅｎｄ）が最後に追加された点、及び、同一セル内の図形パターン群を構成する図形パターン１〜Ｎについて各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）までを１つのグループとして、グループ毎に１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）が最初に追加された点、以外は図１２と同様である。
【０１３２】
描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、セル毎に、当該セルを構成する図形パターン群の図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠４０の４つの角部の位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。作成されたパターンデータ（描画データ）は記憶装置３４２に出力され、格納される。
【０１３３】
よって、図２７に示すセル内に１つのグループが配置され、かつ当該グループが、ｘ方向分割ｍ回及びｙ方向分割ｎ回のデータフォーマットでは、１つのセルについて、１＋１＋２×２＋３×２＋２×２＋３×（ｍ＋ｎ）＋２×（ｍ＋２）（ｎ＋２）＋Ｎ・（１＋３×２＋２×２）＋１＝（２５＋２ｍｎ＋７ｍ+７ｎ＋１１Ｎ）バイトで定義できる。
【０１３４】
以上のように、実施の形態６によれば、少なくとも１つの図形パターンで構成されるグループを内部に配置するセル毎にドーズ量情報を定義できる。その他、実施の形態２と同様の効果を発揮できる。
【０１３５】
実施の形態７．
上述した実施の形態６では、水平（ｘ方向）、及び垂直（ｙ方向）方向の直交座標系の座標軸方向に沿って、セル４２を設定する場合について説明したが、これに限るものではない。実施の形態７では、直交座標系の座標軸方向に平行でないセルを設定する場合について説明する。描画データ変換装置３００の構成は図２５と同様である。以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態６と同様である。
【０１３６】
図２８は、実施の形態７におけるセルと図形パターン群とドーズ変調量付きデータフォーマットの一例とを説明するための図である。図２８（ａ）には、図２６に示したセル４０、セル４２内部の矩形枠４０、及び矩形枠４０で取り囲まれた図形パターン群が角度θだけ回転した状態と同じ構成を示している。実施の形態７では、セル４２単位で、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成する。
【０１３７】
グループ処理工程と矩形枠設定工程とが実施される。グループ処理工程と矩形枠設定工程との内容は実施の形態６（実施の形態２）と同様である。次に、セル設定工程が実施される。セル設定工程の内容は実施の形態６と同様である。セル４２を設定する場合に、セル内部の矩形枠４０の回転角と同様の回転角で回転させた矩形を用いてセルを設定する。
【０１３８】
回転角設定工程として、回転角設定部１１は、セル４２が設定された後、セル４２の回転角θを設定する。よって、図２８（ａ）に示すセル４２内の図形パターン群のパターンデータ（描画データ）は、図形パターン群の図形情報と、矩形枠４０をドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップ３２とするドーズ量情報と、セル４２の回転角θとが定義されることになる。
【０１３９】
分割設定工程として、分割設定部１０は、セル４２単位で、セル内部のグループ毎に、設定された回転角θに応じてｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に変換し、矩形枠４０のｘ’方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ’方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。分割数ｎｄｉｖｘ＝ｍである場合には、ｘ’，ｙ’座標系でのｘ’座標からｘ，ｙ座標系でのｘ座標に換算したｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）を設定する。同様に、分割数ｎｄｉｖｙ＝ｎである場合には、ｘ’，ｙ’座標系でのｙ’座標からｘ，ｙ座標系でのｙ座標に換算したｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）を設定する。分割しない場合には、分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙをゼロに設定すればよい。或いは、分割しない場合には、分割設定工程を省略しても良い。分割の仕方は、図４〜図６で説明した内容と同様で構わない。その際、図形パターンを矩形枠４０と読み替えればよい。
【０１４０】
ドーズ量設定工程の内容は、実施の形態６（実施の形態２）と同様である。
【０１４１】
図２８の例では、図２７と同様、矩形枠４０の４つの角部の他に、さらに、矩形枠４０をｘ，ｙ方向に分割する各分割線と矩形枠４０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図２８に示すドーズ変調量付きデータフォーマットは、回転情報を示す表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）と回転角θが追加された点以外は、図２７と同様である。
【０１４２】
描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、セル単位で（セル毎に）、かつセル内部のグループ毎に、当該グループを構成する図形パターン群の図形情報の一部となる図形パターン群の回転角を示す回転情報と、当該グループを構成する図形パターン群の図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠４０の４つの角部の位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。なお、図２８の例では、回転情報を示す表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）と回転角θが、他の図形情報と分離されてドーズ量情報よりも前に定義されているが、これに限るものではなく、ドーズ量情報の前或いは後に、回転情報が他の図形情報と連続して定義されても良い。作成されたパターンデータ（描画データ）は記憶装置３４２に出力され、格納される。
【０１４３】
以上のように、実施の形態７では、１つの矩形パターン（グループ：連続して繋がる図形パターン群）について、回転角であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）、図形パターンの４バイトの回転角θが図２７の構成について追加された。よって、図２８に示すｘ方向分割ｍ回及びｙ方向分割ｎ回のデータフォーマットでは、１つのセルについて、１＋１＋４＋１＋２×２＋３×２＋２×２＋３×（ｍ＋ｎ）＋２×（ｍ＋２）（ｎ＋２）＋Ｎ・（１＋３×２＋２×２）＋１＝（３０＋２ｍｎ＋７ｍ+７ｎ＋１１Ｎ）バイトで定義できる。
【０１４４】
また、実施の形態７の照射量演算工程において、まず、照射量演算部１１３は、回転角θを用いて、ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が設定された位置（ｘ，ｙ）の座標を換算し、座標（ｘ’，ｙ’）を得る。その上で、描画データに定義されたドーズ量情報を用いて、所望する位置（ｘ’，ｙ’）でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ’，ｙ’）を演算する。ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ’，ｙ’）の計算手法は、式（１）の（ｘ，ｙ）を（ｘ’，ｙ’）と読み替えた上で、同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。そして、演算後に、ｄ（ｘ’，ｙ’）の座標（ｘ’，ｙ’）を（ｘ，ｙ）に換算すればよい。
【０１４５】
なお、上述した例では、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が設定された位置が、回転角θで回転していないｘ，ｙ座標系に換算された位置（ｘ，ｙ）で定義しているが、これに限るものではない。ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系での座標（ｘ’，ｙ’）で定義しても良い。かかる場合には、照射量演算工程において、式（１）の（ｘ，ｙ）を（ｘ’，ｙ’）と読み替えた上で、実施の形態２と同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。そして、演算後に、ｄ（ｘ’，ｙ’）の座標（ｘ’，ｙ’）を（ｘ，ｙ）に換算すればよい。
【０１４６】
以上のように、実施の形態７によれば、実施の形態６と同様の効果が得られる。さらに、図形パターン群（グループ）が回転していた場合でも、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。
【０１４７】
以上、具体例を参照しつつ実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。上述した例では、マルチビーム方式の描画装置１００について説明したが、これに限るものではない。シングルビームを用いたラスタ（ガウシアンビーム）方式の描画装置用の描画データについても適用できる。
【０１４８】
また、装置構成や制御手法等、本発明の説明に直接必要しない部分等については記載を省略したが、必要とされる装置構成や制御手法を適宜選択して用いることができる。例えば、描画装置１００を制御する制御部構成については、記載を省略したが、必要とされる制御部構成を適宜選択して用いることは言うまでもない。
【０１４９】
その他、本発明の要素を具備し、当業者が適宜設計変更しうる全ての描画データの作成方法、描画装置及び方法は、本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【０１５０】
１０  分割設定部
１１  回転角設定部
１２  ドーズ量設定部
１３  ドーズ量設定部
１４  描画データ作成部
１６  制御部
１８  メモリ
１９  グループ処理部
２０  矩形枠設定部
２１  セル設定部
２２  固定サイズメッシュ設定部
３０，３３  図形パターン
３２  マップ
４０，４１  矩形枠
４２  セル
４４  メッシュ領域
１００  描画装置
１０１，３４０  試料
１０２  電子鏡筒
１０３  描画室
１０５  ＸＹステージ
１１０  制御計算機
１１１  メモリ
１１２  ショットデータ生成部
１１３  照射量演算部
１１４  描画制御部
１２０  制御回路
１４０，１４２，３４０，３４２  記憶装置
１５０  描画部
１６０  制御部
２００  電子ビーム
２０１  電子銃
２０２  照明レンズ
２０３  マルチビーム成形プレート
２０４  ブランキングプレート
２０５  縮小レンズ
２０６  制限アパーチャ部材
２０７  対物レンズ
２０８  偏向器
３００  描画データ変換装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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