(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１プローブホールが形成される第１ガイドプレートと、
前記第１ガイドプレートと平行に位置し、複数の第２プローブホールが形成される第２ガイドプレートと、
前記第１ガイドプレートと前記第２ガイドプレートとの間に位置し、長孔形状の複数の中間ホールが形成された中間プレートと、
前記第１プローブホール、前記第２プローブホールおよび前記中間ホールに挿入される複数のプローブであって、前記複数のプローブの最も太い部分の直径が前記第１プローブホールと前記第２プローブホールの内径よりも小さい、前記プローブと、を含んでなり、
前記中間プレートは、前記第１ガイドプレートおよび前記第２ガイドプレートに対して相対的に移動可能であり、
前記中間プレートの移動によって前記プローブの少なくとも一部分が曲げられ、前記曲げられた部分が前記中間ホールの内壁面に接し、
前記中間ホールの長軸方向は前記プローブの曲げ方向であり、
前記プローブが検査体の電極に接触して押し付けられるときに、前記プローブがさらに曲げられ、前記中間ホールの前記内壁面の反対側を前記曲げ方向に押し付けることで、前記中間プレートはさらに移動され、
複数の前記プローブの長さが均一ではないため、複数の前記プローブが前記曲げ方向にさらに曲げられた曲げ程度が不均一であっても、前記中間ホールが前記プローブの曲げ程度の不均一を長軸方向に吸収することを特徴とする、検査接触装置。
【請求項２】
前記中間プレートは、前記プローブの前記曲げ方向と反対の方向には移動が制限されることを特徴とする、請求項１に記載の検査接触装置。
【請求項３】
前記第１ガイドプレートに第１ポストホールが形成されるか、或いは前記第２ガイドプレートに第２ポストホールが形成され、
前記中間プレートの移動制限は、前記第１ポストホールまたは前記第２ポストホールに挿入されたポストピンによって行われることを特徴とする、請求項２に記載の検査接触装置。
【請求項４】
前記中間プレートには前記ポストピンを挿入するための中間ポストホールが形成され、
前記中間ポストホールの内径は、前記中間プレートが移動できるように前記ポストピンの直径よりも大きく形成されることを特徴とする、請求項３に記載の検査接触装置。
【請求項５】
前記中間プレートを前記第１ガイドプレートおよび前記第２ガイドプレートに対して相対的に移動させるための位置調整ピンをさらに含む請求項１に記載の検査接触装置。
【請求項６】
前記位置調整ピンは、
前記第１ガイドプレートに形成された第１位置調整ホールまたは前記第２ガイドプレートに形成された第２位置調整ホールに回転可能に挿入され、前記第１位置調整ホールまたは前記第２位置調整ホール内で回転させたとき、前記中間プレートを押して移動させることができるように偏心回転する部分が備えられることを特徴とする、請求項５に記載の検査接触装置。
【請求項７】
前記第１位置調整ホールまたは前記第２位置調整ホールの内径が前記位置調整ピンの直径よりも大きく形成され、前記中間プレートを移動させた後に前記位置調整ピンを除去することが可能であることを特徴とする、請求項６に記載の検査接触装置。
【請求項８】
前記位置調整ピンは、前記検査接触装置の側面に形成された位置調整ホールに挿入され、前記中間プレートを移動させることができるように構成されることを特徴とする、請求項５に記載の検査接触装置。
【請求項９】
前記第１プローブホールのピッチと前記第２プローブホールのピッチとが互いに異なることを特徴とする、請求項１に記載の検査接触装置。
【請求項１０】
前記第１プローブホールの配列と前記第２プローブホールの配列とが互いに異なることを特徴とする、請求項１に記載の検査接触装置。
【請求項１１】
前記長孔形状の中間ホールの長軸方向が、隣接するプローブの中心同士を結んだ線に対して所定の角度傾いた方向であることを特徴とする、請求項１に記載の検査接触装置。
【請求項１２】
前記プローブのうち少なくとも一つのプローブに絶縁性被覆が形成されたことを特徴とする、請求項１に記載の検査接触装置。
【請求項１３】
前記プローブが自重によって重力方向に動かずに固定されていることを特徴とする、請求項１に記載の検査接触装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路の電気的特性を検査するプローブカード（ｐｒｏｂｅ  ｃａｒｄ）、または半導体パッケージＰＣＢの電気的特性を検査する電気検査治具（ｊｉｇ）などに備えられる検査接触装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査接触装置は、半導体集積回路や半導体パッケージＰＣＢなどの電子素子（ｅｌｅｃｔｒｉｃ  ｄｅｖｉｃｅ）が正確な仕様で製造されたかを検査（ｔｅｓｔ）するために、電子素子に接触して電気的信号を伝達する装置である。
【０００３】
表面に電極が形成された電子素子が、検査の対象である検査体（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）になり、検査接触装置に備えられたプローブの一端は検査体の電極に接触し、他端はスペーストランスフォーマ（Ｓｐａｃｅ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍｅｒ）に接触する。スペーストランスフォーマは、プリント基板を介してテスターに接続されて検査体を検査する。つまり、検査接触装置は、検査工程で検査体とスペーストランスフォーマとを電気的に接続する媒介体の役割を果たす。
【０００４】
図１は従来の検査接触装置６の構造を示す断面図である。従来の検査接触装置６は、複数のプローブ４０と、前記プローブを挿入するためのプローブホール１５、２５が形成された不導体のガイドプレート１０、２０とを含んで構成される。図１はプローブ４０としてコブラ（ｃｏｂｒａ）プローブが使用された例を示すものであるが、プローブ４０は直線状プローブなど、他のプローブであってもよい。ガイドプレート１０、２０の中央部分は、溝が形成されて相対的に厚さが薄く、この部分にはプローブ４０を挿入するためのプローブホール１５、２５が精密に形成される。プローブ４０の両端の直線部はそれぞれガイドプレート１０、２０のプローブホール１５、２５に挿入される。挿入されたプローブ４０はプローブホール１５、２５内で上下に遊動することができ、プローブ４０の両側先端（ｔｉｐ）はそれぞれ検査体およびスペーストランスフォーマに接触する。
【０００５】
通常、検査接触装置は、電極間の距離を広げるスペーストランスフォーマ（図示せず）と一体に組み立てられて使用される。検査接触装置６が検査体（図示せず）に密着すると、プローブ４０は検査体とスペーストランスフォーマとの間で垂直に押し付けられる。すると、プローブ４０の中間部分は弾性変形し、検査体とスペーストランスフォーマとがプローブ４０を介して電気的に接続される。
【０００６】
プローブ４０が検査体に密着するとき、すべてのプローブ４０の中間部分が同じ方向および程度に曲げられると、複数のプローブ４０が互いに一定の距離を保つことができるので、プローブ４０間の電気的短絡（ｓｈｏｒｔ）はない。しかし、プローブ４０の長さや検査体の電極高さなどが均一でない場合には、プローブ４０ごとに垂直に押し付けられる距離が互いに異なる。これにより、隣接するプローブ間の曲げ（ｂｅｎｄｉｎｇ）程度が互いに異なることがあり、このような変形量の差異によりプローブの中間部分（ｍｉｄｄｌｅ  ｐａｒｔ）が隣接の他のプローブの中間部分と接触してプローブ間の短絡が起こる。このような問題点は、特に、プローブがぎっしりと配列されたファインピッチ（ｆｉｎｅ  ｐｉｔｃｈ）の検査接触装置でさらに深刻に現れる。
【０００７】
検査工程中に発生するプローブ間の短絡問題を解決するために、プローブ４０の中間部分には、通常、絶縁性被覆４１がコートされている。しかし、微細なプローブにいちいち絶縁体をコートする方法は、生産性を下げるうえ、絶縁体コーティング過程でプローブの変形を引き起こすなどの問題点がある。
【０００８】
従来の検査接触装置６が持つもう一つの問題点は、プローブ４０の交換が難しいということである。検査接触装置６の組立が完了した時点で不良プローブを発見した場合或いは検査接触装置の使用途中でプローブが破損した場合にはプローブを交換しなければならないが、その過程が非常に複雑で難しい。従来の検査接触装置６は、プローブ４０を検査接触装置に組み立てられた状態に維持するために、プローブ４０の中間部分に太い部分が存在する。すなわち、従来の検査接触装置では、プローブの太い部分がプローブホール１５、２５に係止されて抜け出られなくなっており、それにより、プローブが検査接触装置に組み立てられた状態を維持することになる。
【０００９】
したがって、プローブ４０を交換するためには、検査接触装置６をスペーストランスフォーマと分離した後、検査接触装置６からガイドプレート１０、２０を分離してこそプローブ４０を交換することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上述したような従来技術の問題点を解決するためのもので、その目的は、ファインピッチ（ｆｉｎｅ  ｐｉｔｃｈ）でもプローブ間の短絡を防止することができる検査接触装置を提供することにある。
【００１１】
また、本発明の他の目的は、プローブの交換を容易に行うことができる検査接触装置を提供することにある。
【００１２】
また、本発明の別の目的は、プローブホール内におけるプローブの位置精度を改善することにある。
【００１３】
また、本発明の別の目的は、プローブ間の空間を広げる空間変形機能を有する検査接触装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するための本発明に係る検査接触装置は、第１プローブホールが形成される第１ガイドプレートと、前記第１ガイドプレートと平行に位置し、第２プローブホールが形成される第２ガイドプレートと、前記第１ガイドプレートと前記第２ガイドプレートとの間に位置し、中間ホールが形成された中間プレートと、前記第１プローブホール、前記第２プローブホールおよび前記中間ホールに挿入されるプローブとを含んでなり、前記中間プレートは、前記第１ガイドプレートおよび前記第２ガイドプレートに対して相対的に移動可能であることを特徴とする。この際、前記プローブは、少なくとも一部分が曲げられており、前記曲げられた部分が前記中間ホールの壁面に接していてもよい。また、前記中間プレートの相対的な移動により前記プローブの変形が発生してもよく、前記プローブは自重によって重力方向に動かずに固定されていてもよい。
【００１５】
このような構成により、前記プローブが検査体の電極に接触して押し付けられるとき、前記プローブは、前記曲げ方向にさらに曲げられながら、前記中間プレートを前記曲げ方向に移動させることができる。
【００１６】
前記中間プレートに形成される中間ホールは長孔形状であってもよく、前記長孔形状の中間ホールの長軸方向は隣接のプローブの中心同士を結んだ線に対して所定の角度傾いた方向であってもよい。
【００１７】
また、前記プローブの最も太い部分の直径は、前記第１プローブホールまたは前記第２プローブホールの内径よりも小さくてもよい。
【００１８】
また、前記プローブは、少なくとも一部分が曲げられており、前記中間プレートは、前記プローブが曲げられた方向にさらに移動可能であり、前記プローブが曲げられた方向と反対の方向には移動が制限されるものであってもよい。この際、前記第１ガイドプレートに第１ポストホールが形成されるか、或いは第２ガイドプレートに第２ポストホールが形成され、前記中間プレートの移動制限は、前記第１ポストホールまたは前記第２ポストホールに挿入されたポストピンによって行われ得る。また、前記中間プレートには前記ポストピンを挿入するための中間ポストホールが形成され、前記中間ポストホールの内径は、前記中間プレートが移動できるように前記ポストピンの直径よりも大きく形成できる。
【００１９】
本発明に係る検査接触装置は、前記中間プレートを前記第１ガイドプレートおよび前記第２ガイドプレートに対して相対的に移動させるための位置調整ピンをさらに含み、前記中間プレートの移動によって前記プローブの少なくとも一部分が曲げられ、前記曲げられた部分が前記中間ホールの壁面に接してもよい。前記位置調整ピンは、前記第１ガイドプレートに形成された第１位置調整ホールまたは前記第２ガイドプレートに形成された第２位置調整ホールに回転可能に挿入され、前記第１位置調整ホールまたは前記第２位置調整ホール内で回転させたとき、前記中間プレートを押して移動させることができるように偏心回転する部分が備えられてもよい。この際、前記第１位置調整ホールまたは前記第２位置調整ホールの内径は、前記位置調整ピンの最も太い部分の直径よりも大きく形成され、前記中間プレートを移動させた後に前記位置調整ピンが除去できるように構成されてもよい。
【００２０】
また、前記位置調整ピンは、前記検査接触装置の側面に形成された位置調整ホールに挿入され、前記中間プレートを押して移動させることができるように構成されてもよい。
【００２１】
本発明に係る検査接触装置は、前記第１プローブホールのピッチおよび／または配列が前記第２プローブホールのピッチおよび／または配列と異なってもよい。
【００２２】
また、本発明に係る検査接触装置は、前記プローブのうち少なくとも一つのプローブに絶縁性被覆が形成されてもよい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る検査接触装置によれば、中間プレートによってファインピッチでもプローブ間の短絡が防止されるという効果がある。
【００２４】
また、本発明は、プローブが曲げられながら、第１プローブホール、第２プローブホールおよび中間ホールによって支持されるので、プローブホールに係止される部分のないプローブを使用することができ、結果としてプローブの交換を容易にすることができるという効果がある。
【００２５】
また、本発明は、中間プレートによってすべてのプローブがプローブホール内で一定の方向に密着するので、プローブホール内におけるプローブの位置精度を改善することができるという効果がある。
【００２６】
また、本発明は、第１プローブホールと第２プローブホールのピッチおよび／または配列を異ならせることにより、プローブ間の空間を広げる空間変形機能を提供することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】従来の検査接触装置の構造を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る検査接触装置の構造を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る検査接触装置においてプローブが中間プレートによって固定される原理を示す断面図であって、（ａ）はプローブ挿入段階、（ｂ）はプローブ固定段階、（ｃ）は検査段階の断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る検査接触装置における、第１ガイドプレート、第２ガイドプレートおよび中間プレートの平面断面図と側面断面図である。
【図５】プローブと中間ホールの配列を示す平面図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係る検査接触装置の断面図であって、（ａ）はプローブ挿入段階、（ｂ）はプローブ固定段階の断面図である。
【図７】位置調整ピンが除去可能に構成された本発明の別の実施形態に係る検査接触装置の断面図である。
【図８】側面に位置調整ホールが形成された本発明の別の実施形態に係る検査接触装置の断面図である。
【図９】第１ガイドプレートおよび第２ガイドプレートのプローブホールの最小ピッチが互いに異なる本発明の別の実施形態に係る検査接触装置の断面図である。
【図１０】検査接触装置でプローブ間の距離を拡大する原理を示す概念図であって、（ａ）はプローブが互いに平行な場合、（ｂ）はプローブの上端の位置をｘ、ｙ方向に移動させた場合である。
【図１１】第１プローブホール、第２プローブホールの好ましい配列を例示する平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、添付図面を参照して本発明の好適な実施例を詳細に説明する。以下の説明では主に半導体ウエハーを検査する検査接触装置を中心に説明するが、本発明は、半導体ウエハー検査用の検査接触装置に限定されず、複数の垂直型プローブを有するすべての検査接触装置に適用可能である。
【００２９】
図２は本発明の一実施形態に係る検査接触装置１の構造を示す断面図である。図２を参照すると、本発明の一実施形態に係る検査接触装置１は、第１プローブホール１５が形成される第１ガイドプレート１０と、第１ガイドプレート１０と平行に位置し、第２プローブホール２５が形成される第２ガイドプレート２０と、第１ガイドプレート１０と第２ガイドプレート２０との間に位置し、中間ホール３５が形成された中間プレート３０と、両端がそれぞれ第１プローブホール１５および第２プローブホール２５に挿入され、中間部分が中間ホール３５に挿入される複数のプローブ５０とを含んでなることを特徴とする。
【００３０】
第１ガイドプレート１０と第２ガイドプレート２０は、検査時に検査体（図示せず）とスペーストランスフォーマ（図示せず）にそれぞれ接してもよい。また、プローブ５０は、検査時に検査体とスペーストランスフォーマとの間で押し付けられて中間部分が曲げられながら変形するプローブであってもよい。プローブ５０の変形は、ほとんど弾性変形であるが、塑性変形を排除するものではない。
【００３１】
第１ガイドプレート１０と第２ガイドプレート２０は、ポストピン６０によって相対的な位置が固定できる。すなわち、第１ガイドプレート１０と第２ガイドプレート２０にそれぞれ形成された第１ポストホール１６および第２ポストホール２６にポストピン６０が挿入され、第１、第２ガイドプレート１０、２０の相対的な位置を互いに固定させることができる。この際、中間プレート３０には長孔形状の中間ポストホール３６が形成され、ポストピン６０は中間ポストホール３６の一側面に接触して中間プレート３０を支持することができる。このような構成により、中間プレート３０は、ポストピン６０によって固定されず、第１、第２ガイドプレート１０、２０に対して相対的な位置移動ができるように構成される。
【００３２】
プローブ５０の曲げ加工時に曲げられる部分が前方に前進する方向を曲げ方向５５と定義すると、図２では、中間プレート３０が曲げ方向５５にやや移動した状態で元の位置に戻らないようにポストピン６０によって支持されている状態である。つまり、同じプローブ５０が共通に挿入されたホール間の位置を見ると、中間ホール３５が第１、第２プローブホール１５、２５に比べて曲げ方向にもう少し移動している。これにより、プローブ５０の中間部分は、曲げられて弾性復元力によって中間ホール３５の図面上の左側面に接触している。
【００３３】
プローブ５０が検査体に密着すると、プローブ５０の曲げ量がさらに大きくなりながら、プローブ５０の中間部分が中間ホール３５の図面上の右側面を押すことができる。中間プレート３０は、ポストピン６０によって固定された状態ではないので、プローブ５０によってさらに曲げ方向に移動することができる。すなわち、中間プレート３０に形成された長孔の中間ポストホール３６に挿入されたポストピン６０によって、中間プレート３０は、曲げ方向には移動することができるが、その反対方向には移動が制限される。図２では、中間プレート３０に形成された長孔の中間ポストホール３６にポストピン６０が挿入されるものと説明したが、ポストピン６０が中間プレート３０の外郭部分を支える構造も可能である。この場合にも、中間プレート３０は、ポストピン６０が在る方向には移動が制限されるが、その逆の方向、すなわち曲げ方向５５には移動が可能である。
【００３４】
プローブの位置を基準に、プローブの曲げ方向側に中間プレート３０のポストホール３６を形成することもできる。このようにポストホールの位置が反対側に変わると、プローブが挿入された中間ホールと中間プレートのポストホールとの間に発生する応力も、圧縮応力から引張応力に変わることになる。一つの中間プレートに複数のポストホールを形成して、ポストホールに加わる応力を分散させることもできる。従来の検査接触装置では、プローブのうちのいずれか一つの長さが長い場合、または接触する電極のうちのいずれか一つの高さが高い場合には、検査の際にプローブが不均一に変形して隣接のプローブが互いに接触することがある。よって、曲げ（ｂｅｎｄｉｎｇ）が起こるプローブの中間部分には、通常、絶縁性被覆が形成される。しかし、本発明に係る検査接触装置１の構造では、中間プレート３０によってすべてのプローブ５０が同様に変形するようにすることができる。従来では、プローブ５０に加わる垂直な力のみがプローブを変形させたが、本発明の構造では、垂直的な力と共に中間プレート３０による水平的な力がプローブ５０を変形させることができる。
【００３５】
したがって、本発明に係る検査接触装置１は、プローブ５０の曲げ程度が均一であり、中間プレート３０によって隣接のプローブ５０同士が接することが防止されるので、プローブ５０間の短絡が効果的に防止される。本発明の構造を使用すると、ファインピッチ（ｆｉｎｅ  ｐｉｔｃｈ）でもプローブ５０に絶縁性被覆を行わなくてもよいので、製作上で非常に効率的である。
【００３６】
図３は、本発明の一実施形態において、プローブ５０が中間プレート３０によって固定される原理を示す図である。図３（ａ）は検査接触装置１の組立の際にプローブ５０が挿入される段階を示す。検査接触装置に組み立てられる前のプローブ５０は、全体が均一な厚さを有し且つ中間部分に曲げがない一直線状のプローブであると仮定する。第１プローブホール１５、第２プローブホール２５および中間ホール３５がすべて一直線上に位置するように整列した状態で、直線状のプローブ５０が３つのホールを貫いて挿入される。
【００３７】
図３（ｂ）は、図３（ａ）の次の組立段階であって、中間プレート３０を曲げ方向に移動させてプローブ５０を固定させる段階である。プローブ５０が挿入された状態で、プローブ５０の長さ方向に対して垂直な方向に中間プレート３０を移動させるにつれて、プローブ５０の中間部分が曲げられながら弾性変形する。弾性変形したプローブ５０の側面一側が中間ホール３５の内壁を押し付ける弾性復元力により、プローブ５０は中間ホール３５に密着して固定される。このように固定されたプローブ５０は、重力による自重によってはホールから抜け出られなくなる。この状態で、一定の力以上でプローブ５０を垂直に押すと、プローブ５０は上下に遊動することができる。
【００３８】
図３（ｃ）は、検査接触装置１を用いて検査体を検査する段階であって、プローブ５０の一端が検査体に密着することによりプローブ５０が変形する段階を示す。プローブ５０の一端に力が加えられ、第１ガイドプレート１０の第１プローブホール１５にプローブ５０が押し上がってくるようになり、第１ガイドプレート１０と第２ガイドプレート２０との間でプローブ５０の曲げ量はさらに大きくなる。プローブ５０の曲げ方向５５は、検査接触装置の組立段階、すなわち、図３（ｂ）の段階で中間プレート３０を移動させた方向によって決定できる。
【００３９】
図３（ｂ）の組立段階では、中間プレート３０の移動によってプローブ５０が変形するが、使用段階ではプローブ５０の変形により中間プレート３０が移動することができる。つまり、検査接触装置１の組立段階では中間ホール３５の内壁がプローブ５０の側面を曲げ方向に押し、使用段階ではプローブ５０の曲げ部分が中間ホール３５の反対側の内壁を曲げ方向に押し付ける。よって、この２段階でプローブ５０の側面が中間ホール３５の内壁に当接する方向は互いに反対になる。
【００４０】
既存の検査接触装置では、プローブホールに挿入されたプローブがプローブホールに係止されてプローブホールを通過することができないように、プローブの中間に厚い部分を形成するか或いはプローブの側面に突出部を形成する。これに対して、本発明では、プローブ５０が弾性復元力によって中間ホール３５の内壁とプローブホール１５、２５の内壁に密着して固定される。つまり、プローブホールに係止されるプローブの太い部分または突出部がなくても、プローブが容易に抜けない構造である。したがって、本発明の構造では、プローブ５０の最も太い部分の断面の直径を第１、第２プローブホール１５、２５の内径よりも小さくすることで、プローブ５０がプローブホール１５、２５を通過することができるように構成することが可能である。すなわち、本発明の構造では、プローブホール１５、２５を介してプローブ５０を抜き出したり挿入したりすることができるので、ガイドプレート１０、２０を分離することなく、プローブホール１５、２５を介して簡単にプローブ５０を交換することができるように構成できる。
【００４１】
従来の検査接触装置では、プローブの太い部分を用いて、プローブがプローブホールを抜け出ないようにしたが、本発明の構造では、プローブ５０と中間ホール３５およびプローブホール１５、２５の内壁との間における摩擦力でプローブ５０を保持する。本発明の構造ですら、プローブ間の短絡が懸念されるほどにプローブの密集度が高い場合には、絶縁性被覆でコートされたプローブを使用することもできる。検査接触装置は、テストに使用されるので、極限の場合にも正確な性能を維持しなければならないので、二重、三重で短絡および漏れ電流を防止する構造を採用することができる。このようにプローブに太い部分がある場合でも、第１プローブホール１５および第２プローブホール２５の少なくとも一つをプローブの最も太い部分よりもさらに大きく形成してプローブを簡便に交換することができる。既存の検査接触装置とは異なり、プローブ５０が弾性復元力によって固定されるので、検査接触装置を覆す場合でも、プローブ５０は重力方向に動かず元の位置にそのまま固定されている。プローブ５０の弾性復元力による摩擦力に比べてプローブ５０の質量がはるかに軽いため、このような構造が可能となる。
【００４２】
また、従来の検査接触装置は、プローブホールの内径がプローブの外径に比べて大きい場合に、プローブホール内におけるプローブの動きが大きくなるので、プローブの位置精度は悪くなる。ところが、本発明の構造では、中間プレート３０がすべてのプローブ５０をプローブホール１５、２５の一方の方向に一定に押し、プローブホール内におけるプローブの動きがないので、プローブホール１５、２５が大きい場合でもプローブ５０の位置精度が非常に高くなるという利点がある。
【００４３】
図２および図３の実施形態では、直線の形態を有し、全体の太さが同じプローブを例に挙げて説明したが、コブラプローブを含めて中間部分が曲げられ得るプローブの場合にはいずれも本発明の技術思想が適用できる。中間部分が曲がった形態のコブラプローブの場合にも、プローブが挿入された位置でプローブホールと中間ホールの相対的な位置を少し移動させてプローブに弾性変形を与えると、プローブは与えられた位置で固定される。
【００４４】
また、ポゴプローブも同じ原理でプローブの中間部分に若干の弾性変形を与えながら固定させることができる。ポゴプローブの場合には、ガイドプレートのプローブホールの内壁にはプランジャー（ｐｌｕｎｇｅｒ）が密着し、中間プレートの中間ホールの内壁にはバレル（ｂａｒｒｅｌ）が密着することが望ましい。ポゴプローブは、圧縮されるときにも直線の形態を維持するので、ポゴプローブの変形による中間プレートの移動は殆どないこともある。
【００４５】
図４は、本発明の一実施形態に係る検査接触装置１における、第１ガイドプレート１０、第２ガイドプレート２０および中間プレート３０の平面断面図と側面断面図である。中間プレート３０は、上下に位置した第１、第２ガイドプレート１０、２０に比べて曲げ方向に移動しており、これにより、プローブ５０は弾性変形して中間ホール３５およびプローブホール１５、２５の内部に密着して固定されている。曲げ方向に移動した中間プレート３０は、プローブ５０の弾性復元力によって曲げ方向の反対方向に戻ろうとする力が加わるが、ポストピン６０によって支持されている。ポストピン６０は、第１、第２ガイドプレート１０、２０の第１、第２ポストホール１６、２６と中間プレートの中間ポストホール３６を貫いて挿入され、第１、第２ガイドプレート１０、２０と中間プレート３０の相対的な位置を指定する役割を果たす。第１、第２ガイドプレート１０、２０は互いに正確な位置に固定されなければならないので、第１ポストホール１６および第２ポストホール２６は平面形状が円形であってもよく、中間プレート３０は曲げ方向には動くが、その反対方向には押し付けられないように支持されなければならないので、中間ポストホール３６は平面形状が長孔形状であってもよい。
【００４６】
検査接触装置が使用される実際の状況は、理想的な状況とは異なり、すべてのプローブの長さが完全に均一ではなく、すべてのプローブの曲げ程度も同一でなくてもよい。中間ホール３５の内径からプローブ５０の外径を差し引いた距離が、このような曲げの不均一を吸収することが可能な空間になるので、中間ホール３５をある程度大きく形成する必要がある。しかし、密集した中間ホール３５間の距離が狭いため、中間ホール３５の大きさを大きくするのに制限がある。中間ホール３５を曲げ方向に長く形成すると、密集した中間ホール３５間の壁の厚さを厚く維持しながらも、曲げ方向５５にはプローブの曲げ不均一を吸収することが可能な空間を確保することができる。よって、中間ホール３５の平面形状が長孔、楕円形、長方形など長軸を有する形状になることが望ましい。
【００４７】
この際、中間ホール３５の長軸方向は、隣接するプローブ５０の中心同士を結んだ直線に対して所定の傾斜を持つ方向であることが好ましい。中間ホール３５の長軸方向は基本的にプローブ５０が曲げられる方向であるが、これは、プローブが曲げられながら隣接の他のプローブと当接し易いためである。すなわち、プローブが曲げられる方向は、隣接のプローブの中心同士を結んだ直線に対して所定の傾斜を持つ方向になることが好ましい。
【００４８】
図５は、プローブ５０と中間ホール３５の配列を示す平面図であって、プローブ５０が２次元平面に密集している場合を例示するものである。図５に示すように、中間ホール３５を長孔形状に形成し、その長軸方向が隣接のプローブ５０の中心同士を結んだ直線に対して４５度の方向となるようにすれば、中間ホール３５を最大限に長くすることができて空間効率性が最も高い。プローブ５０が一列に長く配列された場合には、中間ホール３５の長軸方向が隣接のプローブ５０の中心同士を結んだ直線に対して９０度となるように形成することが好ましい。隣接のプローブ５０の中心同士を結んだ直線方向と中間ホール３５の長軸方向とが一致することは、空間効率性の面では最も不利であり得る。
【００４９】
プローブを挿入するためのプローブホールが形成されたガイドプレートが２枚以上ある場合でも、本発明の技術思想が適用できる。この場合にも、プローブの曲げが起こる部分が貫いているプレートは中間プレートになり、中間部分が曲げられるように挿入されたプローブを支持する両側はガイドプレートになる。中間プレートに最も近いかつ検査体に近い側のガイドプレートが第１ガイドプレートになり、その反対側に中間プレートに最も近いガイドプレートが第２ガイドプレートになってもよい。
【００５０】
中間プレートも複数ありうる。プローブの曲げに応じてプローブの曲げ方向に動けるプレートはいずれも中間プレートであり得る。中間プレートがたくさんあるほど、プローブの挿入も容易になり、プローブ間の短絡も防止される。重なり合う中間プレートはポストピンを共有することができる。全体面積を２つ以上に分けて中間プレートを別途に形成することもできる。このような場合には、それぞれの中間プレートが独立してポストピンを持つことができる。
【００５１】
また、ポストピン６０の他に、第１ガイドプレート１０および第２ガイドプレート２０を相対的に固定させるための別途の固定装置がさらに含まれてもよい。例えば、第１ガイドプレート１０および第２ガイドプレート２０に位置固定ホールを形成し、位置固定ピンを位置固定ホールに挿入して第１、第２ガイドプレート１０、２０を固定させることができる。この場合、ポストピン６０は、必ずしも第１ガイドプレート１０および第２ガイドプレート２０を貫通しなければならないものではなく、第１、第２ガイドプレート１０、２０のいずれか一方にのみポストホールを形成し、ポストピン６０が挿入されるように構成してもよい。
【００５２】
図６は本発明の他の実施形態に係る検査接触装置２の断面図である。本実施形態に係る検査接触装置２は、中間プレート３０の位置を調整するための位置調整ピン７０が備えられることを特徴とする。
【００５３】
図６を参照して検査接触装置２の構造を説明すると、第１プローブホール１５が形成される第１ガイドプレート１０と、第１ガイドプレート１０と平行に位置し、第２プローブホール２５が形成される第２ガイドプレート２０と、第１ガイドプレート１０と第２ガイドプレート２０との間に位置し、中間ホール３５が形成された中間プレート３０と、両端がそれぞれ第１プローブホール１５および第２プローブホール２５に挿入され、中間部分が中間ホール３５に挿入される複数のプローブ５０とを含んでなる。第１、第２ガイドプレート１０、２０の表面にはそれぞれ溝が形成され、溝には第１、第２プローブホール１５、２５が精巧に形成されるが、このような構成は図２の検査接触装置１と同様である。
【００５４】
但し、図６の検査接触装置２は、第１ガイドプレート１０に第１位置調整ホール１７が、第２ガイドプレート２０に第２位置調整ホール２７が、中間プレート３０には中間位置調整ホール３７がそれぞれ備えられ、各位置調整ホール１７、２７、３７に位置調整ピン７０が挿入されて中間プレート３０の位置が調整できるように構成されたことを特徴とする。位置調整ピン７０は、中間プレート３０を曲げ方向５５に移動させた後、曲げられたプローブ５０の弾性復元力によって中間プレート３０が再び元の位置に戻ってくることを阻止するという点で、図２の検査接触装置１に備えられたポストピン６０の役割も果たすことができる。
【００５５】
位置調整ピン７０は、位置調整ホール１７、２７、３７内で回転可能に備えられ、中間位置調整ホール３７内に位置した部分の位置調整ピン７０の厚さが、第１、第２位置調整ホール１７、２７内に位置した部分の位置調整ピン７０の厚さと異なってもよい。図６には中間位置調整ホール３７内に位置した部分の位置調整ピンの厚さがさらに厚いものと示したが、さらに薄く形成することもできる。このような構成の位置調整ピン７０を回転軸を中心に回転させると、中間プレート３０は位置調整ピン７０に押し付けられて曲げ方向に移動できる。プローブが挿入された中間ホール３５の位置を基準に、プローブの曲げ方向側に中間位置調整ホール３７を形成してもよく、その反対側に中間位置調整ホールを形成してもよい。
【００５６】
このような中間プレート３０の移動を可能にし、かつ検査の際にプローブ５０の更なる曲げに応じて中間プレート３０が曲げ方向にさらに動けるように、中間位置調整ホール３７の内径は位置調整ピン７０の外径よりも大きく形成できる。或いは、中間位置調整ホール３７なしに、位置調整ピン７０が中間プレート３０の外郭を支持するように構成することもできる。位置調整ピン７０による中間プレート３０の移動を、図６を参照してさらに詳細に説明する。図６（ａ）は組立中間過程でプローブ５０の挿入が完了した段階の検査接触装置を示している。直線型のプローブ５０の挿入に有利であるように、第１プローブホール１５、第２プローブホール２５および中間ホール３５を一直線上に整列（ａｌｉｇｎ）した後、プローブ５０を第１プローブホール１５、第２プローブホール２５および中間ホール３５に共通に挿入した状態である。
【００５７】
プローブ挿入段階で、第１プローブホール１５、第２プローブホール２５および中間ホール３５が一直線上に位置するように、各プレート相互間の位置を正確に整列するために、図示していない別途のアラインホール（ａｌｉｇｎ  ｈｏｌｅ）とアラインピン（ａｌｉｇｎ  ｐｉｎ）を備えることもでき、或いは位置調整ホール１７、２７、３７と位置調整ピン７０がこのような役割を果たすようにすることもできる。第１、第２ガイドプレート１０、２０に位置固定ホール１８、２８を形成し、ここに位置固定ピン８０を挿入することで、整列された第１ガイドプレート１０と第２ガイドプレート２０の相対的な位置を固定させることができる。
【００５８】
図６（ｂ）は、組立が完了した状態であって、プローブ５０が挿入された後に中間プレート３０がプローブ５０の長さ方向に対して垂直な方向に移動して、プローブ５０の中間部分が曲げられている状態である。プローブ５０が挿入された状態で、位置調整ホール１７、２７、３７に挿入された位置調整ピン７０を回転させると、中間プレート３０が位置調整ピン７０に押し付けられて右へ水平移動できる。中間プレート３０の移動によって、プローブ５０はプローブホール１５、２５、３５内で一定に一方の方向に密着して固定される。
【００５９】
図６の位置調整ピン７０は、互いに太さの異なる二つの部分から構成されており、かつ、この二つの部分が断面中心も互いに一致していない。このように部分的に偏心を持つ位置調整ピン７０を回転させるにつれて、第１、第２ガイドプレート１０、２０と中間プレート３０は互いに相対的な位置が変わる。そして、中間プレート３０の移動により、プローブ５０は、弾性変形しながら、中間プレート３０の中間ホール３５の内壁に密着して固定される。図６の位置調整ピン７０は、位置調整ホール１７、２７、３７に挿入された状態で検査接触装置に残って中間プレート３０が一方の方向には移動できないように支持するポストピンの役割を果たすことができる。位置調整ピン７０は、回転に適するように、全体的には断面形状が円形を有することが好ましく、厚さの異なる部分の断面形状は円形、または長い円形、または一方が切り捨てられた円形の断面形状を有することが好ましい。
【００６０】
位置調整ピン７０を回転させるにつれて第１ガイドプレートと中間プレートの相対的な位置が変化するためには、第１ガイドプレートに形成された位置調整ホールの中心と、中間プレートに形成された位置調整ホールの中心とが互いに一致しないか、或いは、第１ガイドプレートに形成された位置調整ホールの形状と中間プレートに形成された位置調整ホールの形状とが互いに同一であってはならない。
【００６１】
図６の構造では位置調整ピン７０が第１、第２位置調整ホール１７、２７を介して外部に露出しており、検査接触装置２が組み立てられた状態で外部に露出している位置調整ピン７０を回転させて中間プレート３０を移動させることができる。位置調整ピン７０の先端部分を突出させて、突出部分を握って回転させることができるが、このためには、位置調整ピン７０の突出部は四角形や六角形などの多角形の断面形状を有することが好ましい。位置調整ピン７０の先端部分がガイドプレート１０、２０の外に突出しない場合には、外部に露出している位置調整ピン７０の断面に一字状または十字状の溝を形成してドライバによって位置調整ピン７０を回転させることもできる。位置調整ピン７０を安定して固定するために、位置調整ピン７０の一側にはねじ山を形成することができる。
【００６２】
位置調整ピン７０を用いて中間プレート３０を動かすことにより、プローブ５０は、中間プレート３０の中間ホール３５の内壁に密着して固定されるが、この過程でプローブ５０が全体的には直線状から曲率のある曲線状に弾性変形することになる。元の曲線状を持つプローブの場合には、弾性変形によってプローブの曲率がさらに大きくなることができる。プローブホールにプローブを挿入する工程では、直線状を有するプローブがさらに適するが、プローブが曲げられるときは、プローブがある程度の曲率を有することが、プローブ間の側面距離の維持にさらに有利である。プローブが曲げられる第１ガイドプレートの第１プローブホールと第２ガイドプレートの第２プローブホールとの距離を座屈長さ（ｂｕｃｋｌｉｎｇ  ｌｅｎｇｔｈ）と定義し、プローブの中間部分が曲げられながら曲げ方向に移動した距離を曲げ距離（ｂｅｎｄｉｎｇ  ｄｉｓｔａｎｃｅ）と定義するとき、位置調整ピンを用いた曲げ距離は座屈長さの２％以上になることが好ましい。曲げ距離が座屈長さの２％水準である場合には、曲げ量があまり少ないため、全体的にはプローブが全く曲げられていない直線の如く見えることもあるが、この程度の小さな曲げでもプローブの曲げ方向を指定し、中間ホールの内壁とプローブとが接触してプローブが固定される効果を得ることができる。
【００６３】
図７は、本発明の別の実施形態に係る検査接触装置３であって、中間プレート３０を移動させた後、位置調整ピン７０を除去することができるように構成された例である。図６の実施形態と対比して説明すると、図６の位置調整ピン７０は中間に一部分が位置調整ホール１７、２７に比べてさらに太い形状であるのに対し、図７の位置調整ピン７０は全体が第１位置調整ホール１７よりも細く形成されている。よって、位置調整ピン７０を用いて中間プレート３０を曲げ方向に移動させた後、第１位置調整ホール１７を介して位置調整ピン７０を除去することができる。
【００６４】
位置調整ピン７０を除去すると、プローブ５０の弾性復元力によって中間プレート３０が元の位置に戻ってくることができるので、これを防止するためにポストピン６０を使用する。すなわち、第１、第２ガイドプレート１０、２０に第１、第２ポストホール１６、２６を形成し、ここにポストピン６０を挿入することができる。図面において、ポストピン６０は、中間プレート３０が左には動けないように中間プレート３０を支持している。ポストピン６０は、中間プレート３０に形成された中間ポストホール３６の内壁を支持するように構成してもよく、中間プレート３０の外郭側面を支持するように構成してもよい。ポストピンが中間プレートの外郭側面を支持する構造では、中間プレートに別途のポストホールを形成する必要がない。ポストピン６０が備えられた構造では位置調整ピン７０を除去することができるので、組立が完了した状態では位置調整ピン７０のない位置調整ホール１７、２７、３７のみが残っていることができる。
【００６５】
図７に示すようにポストピン６０が中間ポストホール３６に挿入される場合、プローブの曲げに応じて中間プレート３０が右へ動けるように、中間ポストホール３６の内径はポストピン６０の外径よりも大きく形成できる。図７に示すように、中間ポストホール３６を細長い長孔の形状に形成することができる。中間プレートが曲げ方向には自由に動けると同時に、他の方向への動きを減らすことができるので、中間ポストホールは、円形よりは、プローブの曲げ方向に長く形成された長孔の形状であることがさらに好ましい。プローブの断面が四角形である場合には、曲げ方向に長く形成された長方形の形状が好ましい。
【００６６】
検査接触装置の面積が広い場合には、小さな面積の中間プレートを複数個設置し、各中間プレートごとに別個の位置調整ピンを用いて独立に位置調整を行うことができる。このような場合、形状が複雑で比較的加工が難しい位置調整ピンは、組立段階でのみ使用し、形状が相対的に単純であって比較的加工しやすいポストピンを組み立てた後、実際の製品に残るようにすることがさらに経済的である。ポストピンの一端にネジを構成してポストピンをボルトとして構成すると、ポストピンがガイドプレートに固定されるのに役立つ。また、このような構造の検査接触装置では、後述する図８の如く位置調整ピンをガイドプレートの側面に設置することよりは、図７の如く平面に設置することが空間活用の面でさらに有利である。
【００６７】
また、位置調整ホールは、第１ガイドプレート１０および第２ガイドプレート２０のいずれか一方にのみ形成することもできる。
【００６８】
図７には示していないが、組み立ての最初の段階で、第１、第２ガイドプレート１０、２０と中間プレート３０の相対的な位置を整列するために、別途のアラインホールとアラインピンを備えることができる。または、位置調整ホール１７、２７、３７と位置調整ピン７０がこのような役割を兼ねるようにすることができる。
【００６９】
第１ガイドプレート１０と第２ガイドプレート２０の相対的な位置を固定するために、位置固定ピン８０が備えられてもよい。位置固定ピン８０が挿入される位置固定ホール１８、２８は、耐久性を持つことができるように、ガイドプレート１０、２０における、溝が形成されていない厚い箇所に形成することが好ましい。アラインピン（図示せず）や位置調整ピン７０などを用いて第１ガイドプレート１０と第２ガイドプレート２０の相対的な位置を整列した後に、位置固定ピン８０を位置固定ホール１８、２８に挿入してしっかりと固定させる。ドライバなどで回転させてしっかりと固定させることができるように、位置固定ピン８０にはねじ山が形成されていてもよい。図面では位置固定ピン８０が１つのみ示されているが、実際には２つ以上の位置固定ピンがプローブの配列を中心に上下左右に対称的に備えられてもよい。
【００７０】
図８は、本発明の別の実施形態に係る検査接触装置４の断面図であって、位置調整ホール１７および位置調整ピン７０が側面に配置されることを特徴とする。図８の検査接触装置４は、位置調整ホール１７が側面に形成されており、位置調整ホール１７に挿入された位置調整ピン７０によって中間プレート３０が移動する構造である。位置調整ピン７０は、中間プレート３０の位置を調整するために使用されるとともに、中間プレート３０がプローブ５０の曲げ方向の反対方向には移動できないように支持するポストピンの役割を果たすことができる。位置調整ピン７０にねじ山を形成することにより、位置調整ピン７０の回転に応じて位置調整ピン７０の位置が変化しながら中間プレート３０を押すことができるように構成することができ、ボルトの形であってもよい。
【００７１】
プローブ５０は、第１プローブホール１５、第２プローブホール２５および中間ホール３５の位置を正確に整列した状態で挿入する。この際、第１ガイドプレート１０、第２ガイドプレート２０および中間プレート３０にそれぞれアラインホール１９、２９、３９を形成し、図示していないアラインピンを挿入する方式で、プレート１０、２０、３０の相対的な位置を正確に整列することができる。アラインピンは、断面が円形を有し、長さ方向には厚さが全体的に均一な直線の形態であってもよい。
【００７２】
プローブ５０の挿入が完了すると、中間プレート３０を動かすためにアラインピンは除去する。よって、組立が完了した検査接触装置４には、図８の如くアラインピンは除去されており、アラインホール１９、２９、３９のみが残っている。アラインホールを２つ以上形成し、複数のアラインホールのうちの少なくとも一つは長孔形状に形成することもできる。
【００７３】
一方、本発明に係る検査接触装置は、第１ガイドプレート１０に形成された第１プローブホール１５の最小ピッチと、第２ガイドプレート２０に形成された第２プローブホール２５の最小ピッチとが異なるように形成することもできる。図９はこのような技術が適用された検査接触装置５の断面図である。図９には示されていないが、中間プレート３０を移動させるための位置調整ホールおよび位置調整ピン、中間プレートを支持するためのポストホールおよびポストピン、各プレートを整列するためのアラインホールおよびアラインピンなどの構成が選択的にさらに備えられてもよい。
【００７４】
図９を参照して説明すると、検査接触装置５は、第１プローブホール１５のピッチよりも第２プローブホール１５のピッチがさらに大きく形成される。第１プローブホール１５から突出したプローブ５０の下端は、検査体の表面に形成された電極と同一の配列を有するように形成される。これに対し、第２プローブホール２５は、さらに広く配列されることにより、プローブ５０間の距離をさらに確保することができるように形成される。検査接触装置５が駆動されると、各プローブ５０は、曲げられながら互いに当接して短絡を起こすリスクがあるが、プローブ５０間の距離をさらに広くすることができれば、このようなリスクを減らすことができる。
【００７５】
図１０は検査接触装置５におけるプローブ５０間の距離を拡大する原理を示す概念図である。プローブ５０は、全体が伝導性物質からなっており、絶縁性被覆がない状態である。検査接触装置５が検査体に密着するにつれて、プローブ５０の下端が検査体の表面によって押し付けられることになり、プローブの曲げ量が大きくなる。図１０は曲げ量が大きくなった状態でガイドプレート１０、２０と中間プレート３０を全て省略し、プローブ５０のみを表現した。
【００７６】
図１０（ａ）は、第１プローブホール１５と第２プローブホール２５の配列が同じである場合であって、すべてのプローブ５０がｚ方向に互いに平行を維持している。プローブ５０の下端のピッチはプローブ５０の上端のピッチと同一である。このような構造では、不均一な曲げを持つプローブによってプローブ間の短絡が起こるリスクがある。特に１００μｍ以下のファインピッチではプローブ間の短絡が起こるリスクが非常に高い。中間プレートがあるにも拘わらず、非常に激しい不均一な曲げを持つプローブによって中間プレートとガイドプレートとの間でプローブ間の短絡または漏れ電流があり得る。
【００７７】
図１０（ｂ）は、第１プローブホール１５と第２プローブホール２５の相対的な配列を調整することにより、図１０（ａ）に比べて、各プローブ５０の上端の位置がｘとｙ方向に少しずつ移動してプローブ５０間の距離が拡張された構造である。このような構造によれば、検査体の表面にはプローブ５０が定められた配列で正確に接触しながらも、プローブ５０間の距離を拡張させることにより、プローブ５０相互間の接触が防止できる。プローブ５０の上端が移動することによりプローブ５０間の距離が遠くなるが、特にｘ方向にプローブ５０の上端が移動することにより、隣接のプローブ５０が持つ歪み曲線が互いに重なり合わなくなる。プローブ５０は、断面が円形であって、中間の最も膨らんだ部分が互いに接し易いが、プローブ５０の最も膨らんだ部分が重ならないので、プローブが接触して短絡する可能性は大幅に低くなる。
【００７８】
第１プローブホール１５の配列は検査体の電極配列によって決定されるので任意に変更することができないのに対し、第２ガイドプレート２０の第２プローブホール２５間の間隔と配列は変化が可能である。この場合、第２プローブホール２５の配列に合わせて、スペーストランスフォーマに形成される電極の配列も変化させなければならない。プローブが密集した状況では、このように第２プローブホール２５の配列を変化させることにより、プローブ５０間の短絡の可能性を大幅に減らすことができる。プローブ間の間隔があまりにも近いため、プローブ間の距離を伸ばしても、プローブ間の短絡が起こるおそれがある場合には、プローブの中間部分に絶縁体をコートしたプローブを使用することもできる。最小のピッチを有する２つのプローブのうちのいずれか一つにのみ絶縁体を被覆する場合でも、絶縁体被覆は効果がある。
【００７９】
第２プローブホール２５のピッチおよび配列に応じて、中間プレート３０に形成される中間ホール３５のピッチおよび配列も一緒に変わらなければならない。つまり、直線のプローブを挿入する場合には、挿入段階で第１プローブホール１５、中間ホール３５および第２プローブホール２５がすべて直線上にくるように各ホールの位置が整列されなければならない。中間プレート３０が第１ガイドプレート１０と第２ガイドプレート２０との中間地点にある場合には、中間プレート３０の中間ホール３５は第１プローブホール１５に比べて第２プローブホール２５が移動した距離の半分だけ移動するように構成することができる。
【００８０】
第２プローブホール２５のピッチを第１プローブホール１５のピッチよりも大きくすることにより、プローブ５０は垂直から外れて傾くようになり、ピッチを同一にした場合に比べて、第１プローブホール１５と第２プローブホール２５との距離はさらに遠くなる。しかし、実質的に第２ガイドプレート２０上で第２プローブホール２５が移動する距離は、第１ガイドプレート１０と第２ガイドプレート２０との間の距離に比べ１％水準と十分小さいので、第２プローブホール２５の移動による２つのプローブホール１５、２５間の距離の変化は無視できるレベルである。すなわち、プローブ５０の長さでは特別な変化がなくてもよいので、同じ長さの１種類のプローブで全体検査接触装置を製作することができる。プローブ５０は、ｘ方向とｙ方向にそれぞれ傾けることができ、２つの方向を合わせて垂直のプローブに比べて傾いた角度分だけプローブの長さに影響を与えるが、プローブの長さに大きな影響を与えない範囲内で、第２ガイドプレート２０の第２プローブホール２５の位置を変化させることが好ましい。このように第２プローブホール２５のピッチを変化させてプローブ間の間隔を変化させる技術は、コブラプローブ、ワイヤプローブ、ポコプローブを含むすべての垂直型プローブに同様に適用できる。
【００８１】
図１１は第１、第２プローブホール１５、２５の好ましい配列を例示する平面図である。図１１（ａ）は第１ガイドプレート１０に一列に形成された第１プローブホール１５を示す。図１１（ｂ）は第２ガイドプレート２０の第２プローブホール２５の一部をｘ方向に移動させた構造を示している。
【００８２】
第１プローブホール１５のピッチ（ｐｉｔｃｈ）５８に比べて第２プローブホール２５のピッチ５９が増加しているとともに、第２プローブホール２５の配列も変わっている。第２プローブホール２５の配列が広く配置されると、それに相応するスペーストランスフォーマの電極形成もさらに有利になるという利点がある。図１１においてプローブ５０の曲げ方向がｘ方向である場合、互いに隣接したプローブ５０の歪み曲線が互いに重なり合わなくなる。歪み曲線が重なり合わなければ、隣接するプローブ５０が互いに重ならないため、プローブ５０の中間部分がｙ方向に揺れる場合でも、隣接するプローブ５０が互いに接触する確率が大幅に低くなる。
【００８３】
以上、限られた実施形態および図面を参照して説明したが、これは一実施形態に過ぎず、本発明の技術思想の範囲内で様々な変形実施が可能であることは通常の技術者にとって自明である。各実施形態によって説明された検査接触装置は、他の構成が追加されることを排除するものではなく、例えば、互いに異なる実施形態が選択的に組み合わされて実施され得る。よって、本発明の保護範囲は特許請求の範囲の記載およびその均等範囲によって定められるべきである。
【図１】
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【図２】
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【図３（ａ）】
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【図３（ｂ）】
0006619014.tif 000005
【図３（ｃ）】
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【図４】
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【図５】
0006619014.tif 000008
【図６（ａ）】
0006619014.tif 000009
【図６（ｂ）】
0006619014.tif 000010
【図７】
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【図８】
0006619014.tif 000012
【図９】
0006619014.tif 000013
【図１０】
0006619014.tif 000014
【図１１（ａ）】
0006619014.tif 000015
【図１１（ｂ）】
0006619014.tif 000016