(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される前記原反における剥離シートを折り返して当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、前記接着シートの繰出方向後端部が前記剥離シートに仮着された状態で、当該接着シートの繰出方向前端部から当該接着シートの繰出方向中間部までの初期貼付領域を保持し、前記被着体と相対移動することで、前記繰出方向中間部から前記繰出方向前端部に向かって前記初期貼付領域を徐々に前記被着体に貼付し、さらに、前記被着体との相対移動に同期させて、前記剥離シートに仮着された前記接着シート部分を当該剥離シートから前記剥離手段で剥離しながら、少なくとも前記繰出方向中間部から前記繰出方向後端部までの後期貼付領域を徐々に前記被着体に貼付することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記被着体は、第１被着体と、当該第１被着体の周囲を囲う第２被着体とからなり、前記接着シートは、それら第１被着体と第２被着体とに貼付可能な大きさとされ、前記繰出方向前端部から繰出方向中間部までの押圧手段保持距離は、前記第２被着体の貼付開始位置から前記第１被着体の貼付開始位置までの第１被着体未貼付距離よりも長いことを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記第１被着体未貼付距離を計測可能な被着体検知手段を備えていることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出される前記原反における剥離シートを折り返して当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを有し、
前記押圧工程において、前記接着シートの繰出方向後端部が前記剥離シートに仮着された状態で、当該接着シートの繰出方向前端部から当該接着シートの繰出方向中間部までの初期貼付領域を保持し、前記被着体と相対移動することで、前記繰出方向中間部から前記繰出方向前端部に向かって前記初期貼付領域を徐々に前記被着体に貼付し、さらに、前記被着体との相対移動に同期させて、前記剥離シートに仮着された前記接着シート部分を当該剥離シートから剥離しながら、少なくとも前記繰出方向中間部から前記繰出方向後端部までの後期貼付領域を徐々に前記被着体に貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、保持ローラで接着シートを一旦吸着保持してウエハに貼付する装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３３９６０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の装置では、接着シートの貼付精度は向上するものの、接着シート全体を一旦保持ローラで保持してからウエハＷに貼付するため、被着体との相対移動に同期させて、剥離シートに仮着された接着シートを当該剥離シートから剥離しながら被着体に押圧して貼付する装置に比べ、単位時間当たりに接着シートを貼付する処理能力が低下するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、接着シートの貼付精度を向上させつつも、単位時間当たりに接着シートを貼付する処理能力が低下することを極力防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するために、本発明は、複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出される前記原反における剥離シートを折り返して当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記押圧手段は、前記接着シートの繰出方向後端部が前記剥離シートに仮着された状態で、当該接着シートの繰出方向前端部から当該接着シートの繰出方向中間部までの初期貼付領域を保持し、前記被着体と相対移動することで、前記繰出方向中間部から前記繰出方向前端部に向かって前記初期貼付領域を徐々に前記被着体に貼付し、さらに、前記被着体との相対移動に同期させて、前記剥離シートに仮着された前記接着シート部分を当該剥離シートから前記剥離手段で剥離しながら、少なくとも前記繰出方向中間部から前記繰出方向後端部までの後期貼付領域を徐々に前記被着体に貼付することを特徴とするシート貼付装置である。
【０００７】
前記被着体は、第１被着体と、当該第１被着体の周囲を囲う第２被着体とからなり、前記接着シートは、前記第１被着体と第２被着体とに貼付可能な大きさとされ、前記繰出方向前端部から繰出方向中間部までの押圧手段保持距離は、前記第２被着体の貼付開始位置から前記第１被着体の貼付開始位置までの第１被着体未貼付距離よりも長いことを特徴としてもよい。
【０００８】
前記第１被着体未貼付距離を計測可能な被着体検知手段を備えていることを特徴としてもよい。
【０００９】
本発明の他の態様は、複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記繰出工程で繰り出される前記原反における剥離シートを折り返して当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを有し、前記押圧工程において、前記接着シートの繰出方向後端部が前記剥離シートに仮着された状態で、当該接着シートの繰出方向前端部から当該接着シートの繰出方向中間部までの初期貼付領域を保持し、前記被着体と相対移動することで、前記繰出方向中間部から前記繰出方向前端部に向かって前記初期貼付領域を徐々に前記被着体に貼付し、さらに、前記被着体との相対移動に同期させて、前記剥離シートに仮着された前記接着シート部分を当該剥離シートから剥離しながら、少なくとも前記繰出方向中間部から前記繰出方向後端部までの後期貼付領域を徐々に前記被着体に貼付することを特徴とするシート貼付方法である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、接着シート全体を保持して貼付するのではなく、当該接着シートの初期貼付領域を一旦保持してから被着体に貼付し、当該接着シートの後期貼付領域を被着体との相対移動に同期させて剥離シートから剥離しながら被着体に貼付するので、接着シートの貼付精度を向上させつつも、単位時間当たりに接着シートを貼付する処理能力が低下することを極力防止することができる。
また、接着シートの押圧手段保持距離を第１被着体未貼付距離よりも長く設定することで、第２被着体および第１被着体の貼付開始位置への接着シートの貼付が確実に行われるようになり、それらの正確な位置に接着シートを貼付することができる。
さらに、第１被着体未貼付距離を計測するように構成すれば、押圧手段保持距離を極力短くすることができ、単位時間当たりに接着シートを貼付する処理能力が低下することを極力防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】シート貼付装置の側面図。
【図２】被着体および接着シートの説明図。
【図３】動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態に係るシート貼付装置１０を図面に基づいて説明する。
なお、実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１、２において、シート貼付装置１０は、複数の接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに所定の間隔をあけて仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出される原反ＲＳにおける剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３０と、接着シートＡＳを第１被着体としての半導体ウエハ（以下単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦおよび、当該ウエハＷＦの周囲を囲う第２被着体としてのリングフレームＲＦからなる被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧手段４０と、リングフレームＲＦにおける接着シートＡＳの貼付開始位置ＲＦ１からウエハＷＦにおける接着シートＡＳの貼付開始位置ＷＦ１までの第１被着体未貼付距離ＷＤを計測可能なカメラ等の撮像手段や光学センサ等の被着体検知手段５０とを備え、被着体ＷＫを支持して搬送する搬送手段６０の上方に配置されている。
なお、接着シートＡＳは、ウエハＷＦとリングフレームＲＦとに貼付可能な大きさであって、当該リングフレームＲＦの開口部ＲＦ２を塞ぐことのできる平面形状とされている。
【００１４】
繰出手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動され、ピンチローラ２４とで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２３と、図示しない駆動機器によって駆動され、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２５とを備えている。
【００１５】
押圧手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ４２と、直動モータ４２の出力軸４２Ａに支持されたブラケット４３と、ブラケット４３に支持され、駆動機器としての回動モータ４４Ａによって駆動される保持面４４Ｂを有する押圧ローラ４４と、保持面４４Ｂに保持力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備えている。このような構成により、押圧手段４０は、接着シートＡＳの繰出方向後端部ＡＳ３が剥離シートＲＬに仮着された状態で、当該接着シートＡＳの繰出方向前端部ＡＳ１から当該接着シートＡＳの繰出方向中間部ＡＳ２までの初期貼付領域ＡＳＦを保持し、被着体ＷＫと相対移動することで、繰出方向中間部ＡＳ２から繰出方向前端部ＡＳ１に向かって初期貼付領域ＡＳＦを徐々に被着体ＷＫに貼付し、さらに、被着体ＷＫとの相対移動に同期させて、剥離シートＲＬに仮着された接着シートＡＳ部分を当該剥離シートＲＬから剥離板３０で剥離しながら、少なくとも繰出方向中間部ＡＳ２から繰出方向後端部ＡＳ３までの後期貼付領域ＡＳＲを徐々に被着体ＷＫに貼付できるようになっている。
【００１６】
搬送手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１のスライダ６１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって被着体ＷＫを保持可能な支持面６２Ａを有する搬送テーブル６２を備えている。
【００１７】
次に、本実施形態におけるシート貼付装置１０の動作について説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート貼付装置１０に対し、作業者が原反ＲＳを同図のようにセットする。次に、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して、リングフレームＲＦの左端から右端までのフレーム幅ＲＦＤ（図２参照）や、当該リングフレームＲＦに貼付されたときの接着シートＡＳの左端から右端までのシート幅ＡＳＤ（図２参照）等のデータを図示しない制御手段に入力する。その後、入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段２０が回動モータ２３Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、図１に示すように、先頭の接着シートＡＳの繰出方向前端部ＡＳ１が剥離板３０で所定長さ剥離されたことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、回動モータ２３Ａの駆動を停止し、当該繰出手段２０がスタンバイ状態となる。次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段がウエハＷＦおよびリングフレームＲＦを支持面６２Ａ上に載置すると、搬送手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、それらを吸着保持した後、リニアモータ６１を駆動し、搬送テーブル６２を左方に移動させる。
【００１８】
そして、被着体ＷＫが被着体検知手段５０の直下を通過するときに、当該被着体検知手段５０がリングフレームＲＦの左端位置からウエハＷＦの左端位置までの被着体間距離ＷＫＤ（図２参照）を計測し、その計測結果を図示しない制御手段に出力する。ここで、図示しない制御手段には、フレーム幅ＲＦＤとシート幅ＡＳＤとが予め入力されているので、被着体間距離ＷＫＤが判明すれば、第１被着体未貼付距離ＷＤを算出できる。なお、リングフレームＲＦの左端から接着シートＡＳの貼付開始位置ＲＦ１までの距離は、予め図示しない制御手段に入力していてもよいし、被着体検知手段５０でフレーム幅ＲＦＤや開口部ＲＦ２の内径を計測し、それらとシート幅ＡＳＤとの差の２分の１の距離としてもよく、リングフレームＲＦの枠内に接着シートＡＳの繰出方向前端部ＡＳ１が貼付できればどんな距離でもよい。
【００１９】
被着体検知手段５０が計測結果を図示しない制御手段に出力すると、当該制御手段は、本計測結果を基に、繰出方向前端部ＡＳ１から繰出方向中間部ＡＳ２までの押圧手段保持距離ＡＳＨを算出する。なお、本実施形態の場合、押圧手段保持距離ＡＳＨは、図２に示すように、第１被着体未貼付距離ＷＤよりも所定距離ＭＤ分長くなるように設定されている。次いで、図示しない制御手段の算出結果を基に、繰出手段２０および押圧手段４０が回動モータ２３Ａ、４４Ａおよび図示しない減圧手段を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの初期貼付領域ＡＳＦが押圧ローラ４４の保持面４４Ｂで吸着保持されるように原反ＲＳを繰り出す。このとき、繰出方向中間部ＡＳ２が押圧ローラ４４の最下部である押圧位置に位置する状態となっている。
【００２０】
次いで、リングフレームＲＦの左端が押圧ローラ４４の最下部の位置よりも、被着体間距離ＷＫＤと所定距離ＭＤとを合わせた距離分だけ左方に進んだことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、搬送手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止する。そして、押圧手段４０が回動モータ４４Ａの回転をロックした状態で直動モータ４２を駆動し、図３（Ａ）に示すように、押圧ローラ４４を降下させて繰出方向中間部ＡＳ２をウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに押圧する。このとき、押圧ローラ４４の保持面４４Ｂで吸着保持している初期貼付領域ＡＳＦが当該保持面４４Ｂ内でずれないように、繰出手段２０が回動モータ２３Ａを駆動し、原反ＲＳを所定量繰り出してもよい。その後、押圧手段４０がリニアモータ４１を駆動し、図３（Ｂ）に示すように、押圧ローラ４４を左方に移動させて、初期貼付領域ＡＳＦをリングフレームＲＦおよびウエハＷＦに押圧して貼付した後、押圧手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止する。
【００２１】
次いで、押圧手段４０がリニアモータ４１を駆動し、押圧ローラ４４を中間押圧位置ＷＦ２に移動させた後、繰出手段２０および搬送手段６０が回動モータ２３Ａおよびリニアモータ６１を駆動し、図３（Ｃ）に示すように、搬送テーブル６２を左方へ移動させるとともに、当該搬送テーブル６２の移動速度と接着シートＡＳの繰出速度とが同速となるように原反ＲＳを繰り出す。これにより、剥離シートＲＬに仮着された接着シートＡＳ部分が当該剥離シートＲＬから剥離板３０で剥離されながら、後期貼付領域ＡＳＲが押圧ローラ４４によってウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに徐々に押圧されて貼付され、一体物ＷＫ１が形成される。その後、次の接着シートＡＳの繰出方向前端部ＡＳ１が剥離板３０で所定長さ剥離されたことが図示しない検出手段に検出されると、繰出手段２０が回動モータ２３Ａの駆動を停止し、当該繰出手段２０が再びスタンバイ状態となる。一体物ＷＫ１が形成されると、搬送手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止し、搬送テーブル６２を所定の位置で停止させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止するので、人手または図示しない移送手段が、一体物ＷＫ１を次工程に搬送する。そして、押圧手段４０および搬送手段６０がリニアモータ４１、直動モータ４２およびリニアモータ６１を駆動し、押圧ローラ４４および搬送テーブル６２を初期位置に復帰させた後、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２２】
以上のような本実施形態によれば、接着シートＡＳ全体を保持して貼付するのではなく、当該接着シートＡＳの初期貼付領域ＡＳＦを一旦保持してから被着体ＷＫに貼付し、当該接着シートＡＳの後期貼付領域ＡＳＲを被着体ＷＫとの相対移動に同期させて剥離シートＲＬから剥離しながら被着体ＷＫに貼付するので、接着シートＡＳの貼付精度を向上させつつも、単位時間当たりに接着シートＡＳを貼付する処理能力が低下することを極力防止することができる。
【００２３】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、複数の接着シートが帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された原反を繰り出すものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
【００２４】
繰出手段２０は、支持ローラ２１を回転駆動させる駆動機器を備えてもよく、このような駆動機器は、原反ＲＳに所定の張力を付与する張力付与手段として機能させてもよい。
繰出手段２０は、剥離シートＲＬの一方の面に帯状の接着シート基材が仮着された原反ＲＳを繰り出してもよい。この場合、繰出手段２０は、剥離板３０に対して原反ＲＳの繰出方向上流側に、接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に接着シートＡＳを形成する切断手段を備えていてもよい。このような切断手段は、カッター刃、カッターローラ、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材で構成してもよく、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしてもよい。
【００２５】
剥離手段は、剥離板３０の代わりに、丸棒や回転可能または回転不能な剥離用ローラを採用してもよい。
【００２６】
押圧手段４０は、接着シートＡＳの初期貼付領域ＡＳＦを被着体ＷＫに貼付する際、接着シートＡＳに対する図示しない減圧手段の保持力を弱めてもよい。
押圧手段４０は、押圧ローラ４４で初期貼付領域ＡＳＦを被着体ＷＫに貼付した後、押圧ローラ４４を中間押圧位置ＷＦ２に移動させる際、当該押圧ローラ４４を上昇させてもよいし、上昇させなくてもよいし、接着シートＡＳに対する押圧ローラ４４の押圧力を低減させてもよい。
押圧手段４０は、押圧ローラ４４で初期貼付領域ＡＳＦを被着体ＷＫに貼付した後、当該押圧ローラ４４を中間押圧位置ＷＦ２に移動させることなく、搬送テーブル６２の左方への移動速度と同速となるように繰り出される接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよく、少なくとも、接着シートＡＳの後期貼付領域ＡＳＲを被着体ＷＫに貼付できればよい。
押圧手段４０は、接着シートＡＳを押圧ローラ４４で押圧して貼付するとき、回動モータ４４Ａを駆動し、接着シートＡＳを貼付する方向に押圧ローラ４４を回転させてもよいし、回動モータ４４Ａの影響を殆どまたは、全く受けることなく押圧ローラ４４がフリー回転するようにしてもよい。
押圧手段４０は、接着シートＡＳの初期貼付領域ＡＳＦを保持面４４Ｂで吸着保持するとき、当該接着シートＡＳを保持面４４Ｂ方向に付勢する大気やガス等のエアの噴き付けやガイド棒等の付勢手段を備えていてもよい。
押圧ローラ４４は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で接着シートＡＳを保持してもよい。
押圧ローラ４４は、押圧手段４０とは別の適宜な駆動機器で移動されてもよい。
押圧手段４０は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよい。
押圧手段４０は、押圧ローラ４４を移動させずに被着体ＷＫを押圧ローラ４４に向けて移動させて押圧してもよいし、押圧ローラ４４と被着体ＷＫとの両方を互いに移動させて押圧してもよい。
【００２７】
被着体検知手段５０（図示しない制御手段）は、上記以外の算出方法で第１被着体未貼付距離ＷＤを算出してもよい。
【００２８】
搬送手段６０は、図３（Ａ）に示す状態から、図３（Ｂ’）に示すように搬送テーブル６２を右方に移動してもよく、この場合、押圧手段４０は、リニアモータ４１、直動モータ４２および回動モータ４４Ａを備えていてもよいし、備えていなくてもよい。
搬送手段６０は、被着体ＷＫを移動させずに、または、被着体ＷＫを移動させつつ、繰出手段２０、剥離板３０、押圧手段４０等の他の手段を適宜な方向に移動させて上記と同様の貼付動作を行ってもよい。
搬送手段６０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被着体ＷＫを保持する構成でもよい。
被着体ＷＫを他の装置で搬送する場合、シート貼付装置１０において搬送手段６０はあってもよいし、なくてもよく、その他被着体検知手段５０等の本願請求項１に記載のないものは、それぞれ必要に応じて採用すればよく、あってもよいし、なくてもよい。
【００２９】
接着シートＡＳにおける繰出方向中間部ＡＳ２は、任意の箇所とすることができ、押圧手段保持距離ＡＳＨは、第１被着体未貼付距離ＷＤよりも短くてもよいし、同じ距離でもよい。
シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、被着体ＷＫの下面や側面等に接着シートＡＳを貼付するように構成してもよい。
さらに、本発明における接着シートＡＳ、被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とからなるもの、それらの間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよいし、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、ウエハＷＦだけでもよいしリングフレームＲＦだけでもよいし、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３０】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３１】
１０・・・シート貼付装置
２０・・・繰出手段
３０・・・剥離板（剥離手段）
４０・・・押圧手段
５０・・・被着体検知手段
ＡＳ・・・接着シート
ＡＳ１・・・繰出方向前端部
ＡＳ２・・・繰出方向中間部
ＡＳ３・・・繰出方向後端部
ＡＳＦ・・・初期貼付領域
ＡＳＨ・・・押圧手段保持距離
ＡＳＲ・・・後期貼付領域
ＲＦ・・・リングフレーム（第２被着体）
ＲＦ１・・・第２被着体の貼付開始位置
ＲＬ・・・剥離シート
ＲＳ・・・原反
ＷＤ・・・第１被着体未貼付距離
ＷＦ・・・ウエハ（第１被着体）
ＷＦ１・・・第１被着体の貼付開始位置
ＷＫ・・・被着体
【図１】
0006501682.tif 000002
【図２】
0006501682.tif 000003
【図３】
0006501682.tif 000004