(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物に切削ブレードを切り込ませて切削加工する切削手段と、該切削手段と該保持テーブルとを相対的にＸ軸方向に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該保持テーブルとを相対的にＸ軸方向に直交する保持面方向であるＹ軸方向にインデックス送りするインデックス送り手段と、該切削手段と該保持テーブルとを相対的に該Ｘ軸方向および該Ｙ軸方向に直交し該保持面に対し直交するＺ軸方向に切込み送りする切込み送り手段とを備える切削装置におけるＸ軸方向の直進精度とＹ軸方向の直進精度とを測定する測定治具であって、
該切削手段は、該切削ブレードを囲繞するブレードカバーを備え、
該ブレードカバーに取り付け可能とし該Ｚ軸方向に延在するシャフトと、てこ式ダイヤルゲージが取り付けられるゲージ取り付け部を有し該シャフトに締結可能で該シャフトの延在方向に直交し該保持面方向に延在するアームとを備え、該切削ブレードが被加工物を切削する加工点に該てこ式ダイヤルゲージの測定点を位置付けて該測定点の位置を測定する測定治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置における切削送り方向の直進精度及びインデックス送り方向の直進精度を測定する測定治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、回転可能な切削ブレードを備えた切削装置によって切削され個々のデバイスに分割され、各種電子機器等に利用されている。
【０００３】
上記切削装置は、概ね、ウエーハを保持する保持テーブルと、ウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に装着する切削手段と、保持テーブルと切削手段とを相対的に切削送り方向（Ｘ軸方向）に切削送りする切削送り手段と、保持テーブルと切削手段とを相対的にインデックス送り方向（Ｙ軸方向）にインデックス送りするインデックス送り手段と、切削手段を切込み送り方向（Ｚ軸方向）に切込み送りする切込み送り手段とを備えている。そして、分割予定ラインに沿ってウエーハを正確に切削していくために、切削送り手段の切削送り方向及びインデックス送り手段のインデックス送り方向のそれぞれにおいて、測定装置（例えば、特許文献１参照）を用いてピッチング及びヨーイングについてそれぞれ測定を行い、ピッチング及びヨーイングがそれぞれ許容値内にあるか否かを検査している。なお、ピッチングとは、例えば、保持テーブルについては、切削送り方向（Ｘ軸方向）に対するＺ軸方向への姿勢変化、すなわち縦方向における回転振動の程度である。また、ヨーイングとは、例えば、切削手段については、インデックス送り方向（Ｙ軸方向）に対するＸ軸方向への姿勢変化、すなわち横方向における回転振動の程度である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０７−０５５４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
切削装置では回転する切削ブレードをウエーハに切り込ませて切削していく。そして、回転する切削ブレードがウエーハと接触する加工点は、ウエーハを保持する保持テーブルがＸ軸方向に移動するのに伴って移動していく。したがって、ウエーハを切削する際の加工点のＸ軸方向の移動範囲内（移動距離内）におけるピッチングとヨーイングとを測定することが、ウエーハを正確に切削するために特に重要となる。また、切削すべきウエーハの分割予定ラインに切削ブレードを位置付けるために、インデックス送り手段が切削手段をＹ軸方向に移動させるのに伴って、回転する切削ブレードがウエーハと接触する加工点もＹ軸方向に移動していく。したがって、ウエーハを切削する際の加工点のＹ軸方向の移動範囲内（移動距離内）におけるピッチングとヨーイングとを測定することも、ウエーハを正確に切削するために重要となる。つまり、切削送り方向及びインデックス送り方向のいずれにおいても、ピッチング及びヨーイングの測定は加工点で測定することが好ましい。
【０００６】
よって、切削装置において、切削送り方向及びインデックス送り方向におけるピッチング及びヨーイングを、測定治具を用いて測定する場合には、切削ブレードがウエーハと接触する加工点の移動範囲内において、測定治具の測定点を加工点と一致させてピッチング及びヨーイングを測定していくという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明は、被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物に切削ブレードを切り込ませて切削加工する切削手段と、該切削手段と該保持テーブルとを相対的にＸ軸方向に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該保持テーブルとを相対的にＸ軸方向に直交する保持面方向であるＹ軸方向にインデックス送りするインデックス送り手段と、該切削手段と該保持テーブルとを相対的に該Ｘ軸方向および該Ｙ軸方向に直交し該保持面に対し直交するＺ軸方向に切込み送りする切込み送り手段とを備える切削装置におけるＸ軸方向の直進精度とＹ軸方向の直進精度とを測定する測定治具であって、該切削手段は、該切削ブレードを囲繞するブレードカバーを備え、該ブレードカバーに取り付け可能とし該Ｚ軸方向に延在するシャフトと、てこ式ダイヤルゲージが取り付けられるゲージ取り付け部を有し該シャフトに締結可能で該シャフトの延在方向に直交し該保持面方向に延在するアームとを備え、該切削ブレードが被加工物を切削する加工点に該てこ式ダイヤルゲージの測定点を位置付けて該測定点の位置を測定する測定治具である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る測定治具は、切削ブレードを囲繞するブレードカバーに取り付け可能としＺ軸方向に延在するシャフトと、てこ式ダイヤルゲージが取り付けられるゲージ取り付け部を有しシャフトに締結可能でシャフトの延在方向に直交し保持面方向に延在するアームとを備え、切削ブレードが被加工物を切削する加工点にてこ式ダイヤルゲージの測定点を位置付けて測定点の位置を測定することが可能であるため、切削ブレードがウエーハと接触する加工点の移動範囲内でピッチング及びヨーイングについて正確に測定を行い、切削送り手段の駆動軸の直進精度及びインデックス送り手段の駆動軸の直進精度が許容値内にあるか否かを適切に判断することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】切削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】切削手段の一例を示す正面図である。
【図３】スライドカバー部をブレードカバー基部からスライド移動させてブレードカバーが開かれた状態を示す斜視図である。
【図４】測定治具の一例を示す斜視図である。
【図５】保持テーブルの切削送り方向のピッチングを測定する状態を示す斜視図である。
【図６】保持テーブルの切削送り方向のヨーイングを測定する状態を切削送り方向からみた側面図である。
【図７】切削手段のインデックス送り方向のピッチングを測定する状態を示す正面図である。
【図８】切削手段のインデックス送り方向のヨーイングを測定する状態を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示す切削装置１は、保持テーブル３０が保持する被加工物に対して、切削ブレード６３を備える切削手段６によって切削加工を施す装置である
【００１１】
切削装置１の基台１０上には、Ｘ軸方向に保持テーブル３０を往復移動させる切削送り手段１１が配設されている。切削送り手段１１は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ１１０と、ボールネジ１１０と平行に配設された一対のガイドレール１１１と、ボールネジ１１０を回動させるモータ１１２と、内部のナットがボールネジ１１０に螺合し底部がガイドレール１１１に摺接する可動板１１３とから構成される。そして、モータ１１２がボールネジ１１０を回動させると、これに伴い可動板１１３がガイドレール１１１にガイドされてＸ軸方向に移動し、可動板１１３上に配設された保持テーブル３０が可動板１１３の移動に伴いＸ軸方向に移動することで、保持テーブル３０に保持された被加工物が切削送りされる。
【００１２】
保持テーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、被加工物を吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は図示しない吸引源に連通し、吸着部３００の露出面であり枠体３０１の上面と面一に形成されている保持面３００ａ上で被加工物を吸引保持する。そして、保持面３００ａの保持面方向は水平方向となっている。保持テーブル３０は、保持テーブル３０の底面側に配設された回転手段３１により駆動されて回転可能となっている。また、保持テーブル３０の周囲には、固定クランプ３０４が図示の例では４つ配設されている。
【００１３】
基台１０上には、門型コラム１４が切削送り手段１１を跨ぐように立設されている。門型コラム１４の＋Ｘ方向側の面には、Ｙ軸方向に切削手段６を往復移動させるインデックス送り手段１２が配設されている。インデックス送り手段１２は、軸方向が保持テーブル３０の移動方向（Ｘ軸方向）に対し水平方向（保持面方向）に直交する方向（Ｙ軸方向）の軸心を有するボールネジ１２０と、ボールネジ１２０と平行に配設された一対のガイドレール１２１と、ボールネジ１２０を回動させるモータ１２２と、内部のナットがボールネジ１２０に螺合し側部がガイドレール１２１に摺接する可動板１２３とから構成される。そして、モータ１２２がボールネジ１２０を回動させると、これに伴い可動板１２３がガイドレール１２１にガイドされてＹ軸方向に移動し、可動板１２３上に配設された切削手段６が可動板１２３の移動に伴いＹ軸方向にインデックス送りされる。
【００１４】
可動板１２３上には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交し保持面方向に対し直交するＺ軸方向（鉛直方向）に切削手段６を往復移動させる切込み送り手段１６が配設されている。切込み送り手段１６は、Ｚ軸方向の軸心を有する図示しないボールネジと、ボールネジと平行に配設された一対のガイドレール１６１と、ボールネジを回動させるモータ１６２と、内部のナットがボールネジに螺合し側部がガイドレール１６１に摺接する支持部材１６３とから構成される。そして、モータ１６２がボールネジ１６０を回動させると、これに伴い支持部材１６３がガイドレール１６１にガイドされてＺ軸方向に移動し、支持部材１６３が支持する切削手段６が支持部材１６３の移動に伴いＺ軸方向に切込み送りされる。なお、図１に示す切削装置１においては、門型コラム１４の−Ｙ方向側の前面にも、インデックス送り手段１２、切込み送り手段１６及び切削手段６が配設されているが、これに限定されるものではない。
【００１５】
切削手段６は、軸方向がＹ軸方向であるスピンドル６０と、支持部材１６３の下端に固定されスピンドル６０を回転可能に支持するハウジング６１と、スピンドル６０を回転させる図示しないモータと、スピンドル６０に固定されている切削ブレード６３とを備えており、モータがスピンドル６０を回転駆動することに伴って、切削ブレード６３も高速回転する。
【００１６】
ハウジング６１の＋Ｘ方向側の側面には、被加工物の切削すべき位置を撮像して検出するためのアライメント手段６４が配設されている。アライメント手段６４は、被加工物の被切削面を撮像するアライメント用カメラ６４０を備えており、アライメント用カメラ６４０により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の画像処理によって被加工物の切削すべき位置を検出することができる。
【００１７】
切削手段６は、例えば、切削ブレード６３を囲繞する図２に示すブレードカバー６５を備えている。ブレードカバー６５は、ブレードカバー基部６５０と、ブレードカバー基部６５０の後方側（−Ｘ方向側）に配設されブレードカバー基部６５０に対してＸ軸方向にスライド可能なスライドカバー部６５１とで構成されている。
【００１８】
ブレードカバー基部６５０の前方側（＋Ｘ方向側）には、切削水ブロック６５２が配設されており、切削水ブロック６５２には、切削ブレード６３の外周方向から切削ブレード６３に向かって切削水を供給する切削水ノズル６５２ａが配設されている。切削水ノズル６５２ａの噴射口６５２ｃを通じて噴射される切削水によって、切削ブレード６３は冷却及び洗浄される。
【００１９】
図２に示すように、スライドカバー部６５１は、エアシリンダ６５３を介してブレードカバー基部６５０に連結されており、図３に示すように、ブレードカバー基部６５０の上面に配設されたカバー開閉手段６５３ａを通じて供給されるエアによってエアシリンダ６５３のピストンロッド６５３ｂがＸ軸方向に移動するのに伴って、Ｘ軸方向にスライド移動する。例えば、ブレードカバー基部６５０の正面６５０ａは、スライドカバー部６５１を−Ｘ方向側に向かってスライド移動させることで露出した状態になり、正面６５０ａには図４に示す測定治具９を取り付けるためのネジ孔６５０ｂが形成されている。
【００２０】
ブレードカバー６５をハウジング６１の前面６１ａに装着し、切削ブレード６３をスピンドル６０に装着した後に、スライドカバー部６５１を＋Ｘ方向に向かってスライドさせてブレードカバー６５を閉じれば、図２に示すように、切削ブレード６３をブレードカバー６５の内側に収容できる。切削ブレード６３を収容したブレードカバー６５は、ブレードカバー基部６５０とスライドカバー部６５１とで形成される開口部６５ａの中心が、スピンドル６０のＹ軸方向に延びる軸芯線上におおよそ位置する状態になる。
【００２１】
図３に示すように、スライドカバー部６５１は、−Ｙ方向側から見て略Ｌ字形状の一対の切削水ノズル６５５を支持している。すなわち、一対の切削水ノズル６５５は、それぞれその上端側が固定ナット６５５ａによりスライドカバー部６５１に固定されており、スライドカバー部６５１内を通り下方に延びた後、切削ブレード６３の下部を挟むようにして＋Ｘ方向側に互いに平行に延びている。一対の切削水ノズル６５５のそれぞれの上端は、図示しない切削水供給源と連通している。一対の切削水ノズルは切削ブレード６３の側面に向く複数のスリット６５５ｂを備えており、スリット６５５ｂを通じて噴射される切削水によって、切削ブレード６３は冷却及び洗浄される。例えば、一対の切削水ノズル６５５は、調整ネジ６５５ｄによってその高さ位置を調節できる。
【００２２】
図４に示す測定治具９は、図３に示すブレードカバー６５に取り付け可能としＺ軸方向に延在するシャフト９２と、てこ式ダイヤルゲージ９１が取り付けられるゲージ取り付け部９００を有しシャフト９２に締結可能でシャフト９２の延在方向（Ｚ軸方向）に直交し保持面方向（図示の例においては、Ｘ軸方向）に延在するアーム９０とを、少なくとも備えている。
【００２３】
ゲージ取り付け部９００は、例えば、アーム９０の一端９０ａ側（−Ｘ方向側）においてアーム９０に対して固定ネジ９００ｄによって締結されており、下方に向かって＋Ｘ方向に所定の角度で傾斜するように延在している。そして、固定ネジ９００ｄを緩めることで、ゲージ取り付け部９００は、アーム９０に対する取り付け角度を変えることができる。ゲージ取り付け部９００は、その下面９００ｂから上面９００ａへ貫通して形成される取り付け孔を備えており、この取り付け孔の孔径は取り付けネジ９００ｅによって拡縮することができ、後述するてこ式ダイヤルゲージ９１の接続部９１１をこの取り付け孔に挿嵌してから取り付けネジ９００ｅを締めることで、てこ式ダイヤルゲージ９１をゲージ取り付け部９００に取り付けた状態にすることができる。例えば、接続部９１１のゲージ取り付け部９００への挿嵌の度合いによって、てこ式ダイヤルゲージ９１の位置を矢印Ｒ１方向に変えることができる。
【００２４】
てこ式ダイヤルゲージ９１は、例えば、ゲージ本体部９１０と、ゲージ本体部９１０に一端が固定されもう一端がゲージ取り付け部９００に取り付けられる棒状の接続部９１１と、ゲージ本体部９１０の前端面９１０ｂから延出され先端に測定点となる測定子９１２ａを備えるスピンドル９１２とを備えている。てこ式ダイヤルゲージ９１は、てこの一部を形成するスピンドル９１２の矢印Ｒ２方向の微小な動きを機械的に回転運動としてゲージ本体部９１０内部の図示しない歯車に伝え、この歯車がスピンドル９１２の動いた量を拡大して円形の目盛り板９１０ａに指針によって表示する。作業者は、目盛り板９１０ａの表示を基に、スピンドル９１２の動いた量、すなわち各送り手段の送り方向におけるピッチングまたはヨーイングが許容値内にあるか否かを判断する。てこ式ダイヤルゲージ９１は、スピンドル９１２を矢印Ｒ２方向に回動させセットすることで、測定面に対してスピンドル９１２を水平にした状態で、測定子９１２ａを測定面に接触させることができる。なお、、てこ式ダイヤルゲージ９１が読み取ったピッチングまたはヨーイングについてのデータが、切削装置１の図示しない制御手段に送信されるようにしてもよい。
【００２５】
アーム９０の他端９０ｂ側（＋Ｘ方向側）は、例えば、＋Ｚ方向に延びさらに＋Ｘ方向に延在するエルボ部９０２が一体的に形成されており、エルボ部９０２の＋Ｘ方向側の端がアーム９０の他端９０ｂとなる。アーム９０の他端９０ｂには、ネジ９０３ａを回転させ締め付けることでシャフト９２に対しアーム９０を締結させるネジクランプ９０３が一体的に形成されている。アーム９０の他端９０ｂ側はシャフト９２と直交しており、ネジ９０３ａを緩めることで、アーム９０のＺ軸方向における高さ位置を変えることができ、また、シャフト９２を軸にしてアーム９０を回転させることができる。
【００２６】
Ｚ軸方向に延在するシャフト９２の上端には、例えば、図３に示すブレードカバー基部６５０の正面６５０ａのネジ孔６５０ｂに固定ネジ９２０ａを螺合させることで固定させるシャフト固定部９２０が配設されている。シャフト９２の外周面には、例えば、アーム９０の高さ位置、すなわち、測定子９１２ａの高さ位置を把握するための目盛りがＺ軸方向に向かって所定の間隔を保って形成されていてもよい。
【００２７】
以下に、図１〜５を用いて、測定治具９により切削装置１における保持テーブル３０の切削送り方向のピッチングを測定する場合の、測定治具９の動作について説明する。
【００２８】
切削装置１における切削送り方向のピッチングを測定するには、作業者等が、図１に示すスピンドル６０に装着された状態の切削ブレード６３の外径等から、切削ブレード６３の加工点位置（例えば、切削ブレード６３の最下端位置）を、例えばスピンドル６０の中心を基準として予め認識する。
【００２９】
図１に示す切削ブレード６３をスピンドル６０から取り外し、図５に示すようにハウジング６１に装着されたブレードカバー６５の開口部６５ａが空いている状態にする。次いで、スライドカバー部６５１を−Ｘ方向にスライドさせてブレードカバー６５を開いた状態にする。
【００３０】
ブレードカバー６５の図３に示すネジ孔６５０ｂにシャフト固定部９２０の固定ネジ９２０ａを螺合させて、測定治具９をブレードカバー６５に取り付ける。例えば、測定治具９がブレードカバー基部６５０の正面６５０ａに取り付けられることで、シャフト９２の軸芯線Ｌ１上にスピンドル６０の中心が位置する状態になる。
【００３１】
例えば、図４に示すネジ９０３ａを緩めアーム９０のＺ軸方向における高さ位置を変える、てこ式ダイヤルゲージ９１のスピンドル９１２を矢印Ｒ２方向に回動させる、固定ネジ９００ｄを緩めてゲージ取り付け部９００のアーム９０に対する取り付け角度を変える、又は、取り付けネジ９００ｅを緩めて接続部９１１のゲージ取り付け部９００への挿嵌の度合いを変えることで、図５に示すように、スピンドル６０の中心を基準とした切削ブレード６３の加工点位置に測定子９１２ａを位置付けると共に、シャフト９２のＺ軸方向に延びる軸芯線Ｌ１上に測定子９１２ａ、すなわち測定点を位置付けた状態にする。なお、スピンドル９１２は、保持テーブルの保持面３００ａに対して平行で、かつ、ピッチングの測定方向（Ｚ軸方向）に対して垂直な状態とすると好ましい。
【００３２】
保持テーブル３０の保持面３００ａ上の中央に、例えば、所定の厚みを備える直方体のストレートエッジ８を、その長手方向がＸ軸方向と平行になるように載置する。そして、保持面３００ａに連通する図示しない吸引源を作動させ、保持テーブル３０の保持面３００ａ上にストレートエッジ８を吸引保持する。ストレートエッジ８の上面８ａは、保持面３００ａと平行な水平面となる。
【００３３】
ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０が、切削送り手段１１によって−Ｘ方向に送られるとともに、図１に示すアライメント手段６４によってストレートエッジ８の上面８ａが撮像されて、例えば、ストレートエッジ８の上面８ａのＸ軸方向に延びる図示しない中心線上に、測定治具９の測定子９１２ａがおおよそ位置するように、切削手段６がインデックス送り手段１２によりＹ軸方向に駆動される。
【００３４】
ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０がさらに−Ｘ方向に送り出され、測定治具９の直下にストレートエッジ８が位置付けられる。次いで、測定治具９のスピンドル９１２がストレートエッジ８の上面８ａに接触して動いてしまわないようにしつつ、測定子９１２ａがストレートエッジ８の上面８ａに接触するように、切削手段６が切込み送り手段１６によって−Ｚ方向に切込み送りされ、所定の高さ位置に位置付けられる。例えば、測定子９１２ａがストレートエッジ８の上面８ａに接触したら、目盛り板９１０ａの指針を０基準に調整する。
【００３５】
次いで、作業者が目盛り板９１０ａを監視しつつ、切削ブレード６３による実際の加工時と同様に、ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０が−Ｘ方向に向かって切削送りされ、測定治具９による切削装置１における切削送り方向のピッチングが測定されていく。保持テーブル３０が切削送り手段１１によって−Ｘ方向に送られることで、測定子９１２ａがＺ軸方向に振動しない、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れたりせず変化しなければ、保持テーブル３０の切削送り方向（Ｘ軸方向）に対するＺ軸方向への姿勢変化であるピッチングはないと判断できる。一方、測定子９１２ａがＺ軸方向に振動する、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れることで変化が確認でき、保持テーブル３０の切削送り方向（Ｘ軸方向）におけるピッチングが確認できる場合には、作業者が確認できたピッチングが許容値内にあるか否かを判断する。そして、ピッチングが許容値外にある場合には、例えば、図１に示す切削送り手段１１のボールネジ１１０の直進精度等に問題があると判断できる。
【００３６】
測定治具９による切削装置１における保持テーブル３０の切削送り方向のピッチング測定は、測定治具９をストレートエッジ８の上面８ａに接触させてから、例えば、保持テーブル３０の直径と同距離分だけ保持テーブル３０を−Ｘ方向に切削送りすることで完了する。このように測定することで、保持テーブル３０上にウエーハ等の被加工物を吸引保持し切削加工を施していく場合における、切削ブレード６３がウエーハと接触する加工点の移動範囲内での保持テーブル３０のピッチングが測定できる。
【００３７】
以下に、図１〜６を用いて、測定治具９により切削装置１における保持テーブル３０の切削送り方向のヨーイングを測定する場合の、測定治具９の動作について説明する。
【００３８】
測定治具９をブレードカバー６５に取り付けるまでは、ピッチングを測定する場合と同様に行う。次いで、例えば、図５に示すアーム９０の延在方向（長手方向）がＹ軸方向と平行となるように、シャフト９２を軸にしてアーム９０を＋Ｚ方向からみて反時計回り方向に９０度回転させる。さらに、アーム９０のＺ軸方向における高さ位置を変える、てこ式ダイヤルゲージ９１のスピンドル９１２を矢印Ｒ２方向に回動させる、ゲージ取り付け部９００のアーム９０に対する取り付け角度を変える、又は、接続部９１１のゲージ取り付け部９００への挿嵌の度合いを変えることで、例えば、スピンドル６０の中心を基準とした切削ブレード６３の加工点位置に測定子９１２ａを位置付けると共に、シャフト９２のＺ軸方向に延びる軸芯線Ｌ１上に測定子９１２ａ、すなわち測定点を位置付けた状態にする。なお、スピンドル９１２は、保持テーブルの保持面３００ａに対して垂直な状態とすると好ましい。
【００３９】
保持テーブル３０の保持面３００ａ上の中央に、ストレートエッジ８を、その長手方向がＸ軸方向と平行になるように載置し、保持テーブル３０上に吸引保持する。吸引保持された状態のストレートエッジ８の−Ｙ方向側の側面８ｂは、保持面３００ａに対して垂直な面となる。
【００４０】
ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０が、切削送り手段１１によって−Ｘ方向に送られるとともに、切削手段６が切込み送り手段１６によって−Ｚ方向に切込み送りされ、図６に示すように、測定子９１２ａがストレートエッジ８の側面８ｂに接触する高さ位置に位置付けられる。なお、図６においては、切削手段６の構成の一部を省略して示している。
【００４１】
図１に示すアライメント手段６４によってストレートエッジ８の上面８ａが撮像されて、測定治具９のスピンドル９１２がストレートエッジ８の側面８ｂに接触して動いてしまわないようにしつつ、測定治具９の測定子９１２ａがストレートエッジ８の側面８ｂに接触するように、切削手段６がインデックス送り手段１２により−Ｙ方向にインデックス送りされる。測定子９１２ａがストレートエッジ８の−Ｙ方向側の側面８ｂに接触したら、目盛り板９１０ａの指針を０基準に調整する。
【００４２】
次いで、例えば、作業者が目盛り板９１０ａを監視しつつ、切削ブレード６３による実際の加工時と同様に、ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０がさらに−Ｘ方向に送り出され、測定治具９による切削装置１における切削送り方向のヨーイングが測定されていく。保持テーブル３０が切削送り手段１１によって−Ｘ方向に送られることで、測定子９１２ａがＹ軸方向に振動しない、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れたりせず変化しなければ、保持テーブル３０の切削送り方向（Ｘ軸方向）に対するＹ軸方向への姿勢変化であるヨーイングはないと判断できる。一方、測定子９１２ａがＹ軸方向に振動する、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れ変化が確認でき、保持テーブル３０の切削送り方向（Ｘ軸方向）におけるヨーイングが確認できる場合には、作業者が確認できたヨーイングが許容値内にあるか否かを判断する。そして、ヨーイングが許容値外にある場合には、例えば、図１に示す切削送り手段１１のボールネジ１１０の直進精度等に問題があると判断できる。
【００４３】
測定治具９による切削装置１における保持テーブル３０の切削送り方向のヨーイング測定は、測定治具９をストレートエッジ８の側面８ｂに接触させてから、例えば、保持テーブル３０の直径と同距離分だけ保持テーブル３０を−Ｘ方向に切削送りすることで完了する。このように測定することで、保持テーブル３０上にウエーハ等の被加工物を吸引保持し切削加工する場合における、切削ブレード６３がウエーハと接触する加工点の移動範囲内での保持テーブル３０のヨーイングが測定できる。
【００４４】
以下に、図１、図７を用いて、測定治具９により切削装置１における切削手段６のインデックス送り方向のピッチングを測定する場合の、測定治具９の動作について説明する。
【００４５】
切削装置１におけるインデックス送り方向のピッチングを測定するには、図１に示す切削ブレード６３の加工点位置（例えば、切削ブレード６３の最下端位置）を、例えばスピンドル６０の中心を基準として予め認識する。そして、図７に示すように、ブレードカバー６５の開口部６５ａが空いている状態し、かつ、スライドカバー部６５１を−Ｘ方向にスライドさせてブレードカバー６５を開いた状態にする。そして、測定治具９をブレードカバー６５に取り付ける。例えば、測定治具９がブレードカバー基部６５０の正面６５０ａに取り付けられることで、シャフト９２の軸芯線Ｌ１上に図１に示すスピンドル６０の中心が位置する状態になる。
【００４６】
例えば、ネジ９０３ａを緩めアーム９０のＺ軸方向における高さ位置を変える、てこ式ダイヤルゲージ９１のスピンドル９１２を矢印Ｒ２方向に回動させる、ゲージ取り付け部９００のアーム９０に対する取り付け角度を変える、又は、接続部９１１のゲージ取り付け部９００への挿嵌の度合いを変えることで、切削ブレード６３の加工点位置に測定子９１２ａを位置付けると共に、シャフト９２のＺ軸方向に延びる軸芯線Ｌ１上に測定子９１２ａ、すなわち測定点を位置付けた状態にする。なお、スピンドル９１２は、保持テーブルの保持面３００ａに対して平行で、かつ、ピッチングの測定方向（Ｚ軸方向）に対して垂直な状態とすると好ましい。
【００４７】
保持テーブル３０の保持面３００ａ上の中央に、ストレートエッジ８を、その長手方向がＹ軸方向と平行になるように載置し、保持面３００ａ上にストレートエッジ８を吸引保持する。保持テーブル３０の保持面３００ａ上に吸引保持されたストレートエッジ８の上面８ａは、保持面３００ａと平行な水平面となる。
【００４８】
ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０が、切削送り手段１１によって−Ｘ方向に送られるとともに、図１に示すアライメント手段６４によってストレートエッジ８の上面８ａが撮像されて、例えば、ストレートエッジ８の上面８ａのＹ軸方向に延びる図示しない中心線上に、測定治具９の測定子９１２ａがおおよそ位置するように、保持テーブル３０が切削手段６に対して位置付けられた後、−Ｘ方向への移動が停止される
【００４９】
次いで、測定治具９のスピンドル９１２がストレートエッジ８の上面８ａに接触して動いてしまわないようにしつつ、測定治具９の測定子９１２ａがストレートエッジ８の上面８ａに接触するように、切削手段６が切込み送り手段１６によって−Ｚ方向に切込み送りされ位置付けられる。測定子９１２ａがストレートエッジ８の上面８ａに接触したら、目盛り板９１０ａの指針を０基準に調整する。
【００５０】
例えば、作業者が目盛り板９１０ａを監視しつつ、切削ブレード６３による実際の加工時と同様に、切削手段６がインデックス送り手段１２によりＹ軸方向にインデックス送りされ、測定治具９による切削装置１におけるインデックス送り方向のピッチングが測定されていく。保持テーブル３０がインデックス送り手段１２によってＹ軸方向に送られることで、測定子９１２ａがＺ軸方向に振動しない、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れたりせず変化しなければ、保持テーブル３０のインデックス送り方向（Ｙ軸方向）に対するＺ軸方向への姿勢変化であるピッチングはないと判断できる。一方、測定子９１２ａがＺ軸方向に振動する、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れ変化が確認でき、保持テーブル３０のインデックス送り方向（Ｙ軸方向）におけるピッチングが確認できる場合には、作業者が確認できたピッチングが許容値内にあるか否かを判断する。そして、ピッチングが許容値外にある場合には、例えば、図１に示すインデックス送り手段１２のボールネジ１２０の直進精度等に問題があると判断できる。
【００５１】
測定治具９による切削装置１におけるインデックス送り方向のピッチング測定は、測定治具９をストレートエッジ８の上面８ａに接触させてから、例えば、保持テーブル３０の直径と同距離分だけ保持テーブル３０をＹ軸方向にインデックス送りすることで完了する。このように測定することで、保持テーブル３０上にウエーハ等の被加工物を吸引保持し切削加工する場合における、切削ブレード６３がウエーハと接触する加工点の移動範囲内での切削手段６のピッチングが測定できる。
【００５２】
以下に、図１、図８を用いて、測定治具９により切削装置１における切削手段６のインデックス送り方向のヨーイングを測定する場合の、測定治具９の動作について説明する。
【００５３】
測定治具９をブレードカバー６５に取り付けるまでは、ピッチングを測定する場合と同様に行う。図８に示すように、例えば、シャフト９２を軸にしてアーム９０を所定の角度回転させる、ネジ９０３ａを緩めアーム９０のＺ軸方向における高さ位置を変える、てこ式ダイヤルゲージ９１のスピンドル９１２を矢印Ｒ２方向に回動させる、ゲージ取り付け部９００のアーム９０に対する取り付け角度を変える、又は、接続部９１１のゲージ取り付け部９００への挿嵌の度合いを変えることで、切削ブレード６３の加工点位置に測定子９１２ａを位置付ける。なお、スピンドル９１２は、保持テーブルの保持面３００ａに対して垂直な状態とすると好ましい。
【００５４】
保持テーブル３０の保持面３００ａ上の中央に、ストレートエッジ８を、その長手方向がＹ軸方向と平行になるように載置し、保持テーブル３０上に吸引保持する。吸引保持された状態のストレートエッジ８の−Ｘ方向側の側面８ｂは、保持面３００ａに対して垂直な面となる。
【００５５】
ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０が、切削送り手段１１によって−Ｘ方向に送られるとともに、切削手段６が切込み送り手段１６によって−Ｚ方向に切込み送りされ、図８に示すように、測定子９１２ａがストレートエッジ８の側面８ｂに接触する高さ位置に切削手段６が位置付けられる。
【００５６】
図１に示すアライメント手段６４によってストレートエッジ８の上面８ａが撮像されて、測定治具９のスピンドル９１２がストレートエッジ８の側面８ｂに接触して動いてしまわないようにしつつ、測定治具９の測定子９１２ａがストレートエッジ８の側面８ｂに接触するように、切削手段６が切削送り手段１１により−Ｘ方向に切削送りされる。測定子９１２ａがストレートエッジ８の−Ｘ方向側の側面８ｂに接触したら、目盛り板９１０ａの指針を０基準に調整する。
【００５７】
次いで、例えば、作業者が目盛り板９１０ａを監視しつつ、切削ブレード６３による実際の加工時と同様に、ストレートエッジ８を保持する保持テーブル３０がＹ軸方向にインデックス送りされ、測定治具９による切削装置１におけるインデックス送り方向のヨーイングが測定されていく。保持テーブル３０がインデックス送り手段１２によってＹ軸方向に送られることで、測定子９１２ａがＸ軸方向に振動しない、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れたりせず変化しなければ、保持テーブル３０のインデックス送り方向（Ｙ軸方向）に対するＸ軸方向への姿勢変化であるヨーイングはないと判断できる。一方、測定子９１２ａがＸ軸方向に振動する、すなわち、目盛り板９１０ａの指針が振れ変化が確認でき、保持テーブル３０のインデックス送り方向におけるヨーイングが確認できる場合には、作業者が確認できたヨーイングが許容値内にあるか否かを判断する。そして、ヨーイングが許容値外にある場合には、例えば、図１に示す切削送り手段１２のボールネジ１２０の直進精度等に問題があると判断できる。
【００５８】
測定治具９による切削装置１における切削送り方向のヨーイング測定は、測定治具９をストレートエッジ８の側面８ｂに接触させてから、例えば、保持テーブル３０の直径と同距離分だけ保持テーブル３０をＹ軸方向にインデックス送りすることで完了する。このように測定することで、保持テーブル３０上にウエーハ等の被加工物を吸引保持し切削加工する場合における、切削ブレード６３がウエーハと接触する加工点の移動範囲内での切削手段６のヨーイングが測定できる。
【００５９】
本発明に係る測定治具９は、切削ブレード６３を囲繞するブレードカバー６５に取り付け可能としＺ軸方向に延在するシャフト９２と、てこ式ダイヤルゲージ９１が取り付けられるゲージ取り付け部９００を有しシャフト９２に締結可能でシャフト９２の延在方向に直交し保持面方向に延在するアーム９０とを備え、切削ブレード６３が被加工物を切削する加工点にてこ式ダイヤルゲージ９１の測定点を位置付けて測定することが可能であるため、切削ブレード６３がウエーハと接触する加工点の移動範囲内でピッチング及びヨーイングについて正確に測定を行い、切削送り手段１１の直進精度及びインデックス送り手段１２の直進精度が許容値内にあるか否かを適切に判断することができる。
【００６０】
なお、本発明に係る測定治具９は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている各構成の大きさや形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００６１】
１：切削装置１０：基台  １４：門型コラム
１１：切削送り手段  １１０：ボールネジ  １１１：一対のガイドレール  １１２：モータ  １１３：可動板
１２：インデックス送り手段  １２０：ボールネジ  １２１：一対のガイドレール  １２２：モータ  １２３：可動板
１６：切込み送り手段  １６１：一対のガイドレール  １６２：モータ  １６３：支持部材
３０：保持テーブル  ３００：吸着部  ３００ａ：保持面  ３０１：枠体
３１：回転手段  ３２：固定クランプ
６：切削手段  ６０：スピンドル  ６１：ハウジング  ６１ａ：ハウジングの前面  ６３：切削ブレード  
６４：アライメント手段  ６４０：アライメント用カメラ
６５：ブレードカバー  ６５ａ：開口部  ６５０：ブレードカバー基部  
６５１：スライドカバー部  
６５２：切削水ブロック  ６５２ａ：切削水ノズル
６５３：エアシリンダ  ６５３ａ：カバー開閉手段  ６５３ｂ：ピストンロッド
６５５：一対の切削水ノズル  
９：測定治具  
９０：アーム  ９０ａ：アームの一端  ９０ｂ：アームの他端  ９００：ゲージ取り付け部  ９０２：エルボ部  ９０３：ネジクランプ  ９０３ａ：ネジ
９１：てこ式ダイヤルゲージ  ９１０：ゲージ本体部  ９１０ａ：目盛り板  ９１１：接続部  ９１２：スピンドル  ９１２ａ：測定子  
９２：シャフト  ９２０：シャフト固定部
８：ストレートエッジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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