(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクが循環する第１の経路と、
前記第１の経路の分岐箇所から分岐した後、前記第１の経路の合流箇所に戻る第２の経路と、
前記第１の経路に挿入されて前記インクを移送する第１のポンプと、
前記第１の経路を循環する前記インクを加温するヒータと、
前記第２の経路に挿入され、前記第２の経路を流れる前記インクを液滴化して吐出するインクジェットヘッドと、
前記第２の経路に挿入されて前記インクを移送する第２のポンプと
を有するインク吐出装置。
【請求項２】
さらに、
前記第１の経路に補給される前記インクを貯蔵する補給タンクと、
前記補給タンクから前記第１の経路に前記インクが補給される補給状態と、前記インクが補給されない非補給状態とを切り替える補給バルブと、
前記第１の経路を循環している前記インクの温度を計測する第１の温度センサと、
前記補給バルブ、前記ヒータ、前記第１のポンプ、及び前記第２のポンプを制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記補給バルブを前記補給状態とし、前記第１のポンプを動作させて、前記インクを前記第１の経路に循環させながら、前記ヒータを制御して前記インクを加温し、
前記補給バルブを前記非補給状態に切り替えた後、前記第１の温度センサの計測結果に基づいて、前記第１の経路を循環する前記インクの温度が第１の目標温度に達したか否かを判定し、
前記インクの温度が前記第１の目標温度に達したと判定したら、前記第２のポンプを動作させて、前記第２の経路への前記インクの供給を開始する請求項１に記載のインク吐出装置。
【請求項３】
前記分岐箇所から前記合流箇所までの前記第１の経路を流れる前記インクの流量が、前記第２の経路を流れる前記インクの流量より大きくなるように、前記第１のポンプ及び前記第２のポンプの動作を制御する制御装置を、さらに有する請求項１に記載のインク吐出装置。
【請求項４】
前記第２のポンプは、前記インクジェットヘッドよりも下流側の前記第２の経路に挿入されており、
さらに、
前記インクジェットヘッドよりも上流側の前記第２の経路に挿入された第３のポンプと、
前記第２の経路を流れる前記インクの温度を計測する第２の温度センサと
を有し、
前記制御装置は、
前記第２の温度センサの計測結果に基づいて、前記第２の経路を流れる前記インクの温度が第２の目標温度に達したか否かを判定し、
前記第２の経路を流れる前記インクの温度が前記第２の目標温度に達したと判定したら、前記インクジェットヘッド内の前記インクの圧力が上昇するように、前記第２のポンプ及び前記第３のポンプを制御する請求項３に記載のインク吐出装置。
【請求項５】
さらに、前記インクジェットヘッド内の前記インクの圧力を計測する圧力センサを有し
前記制御装置は、
前記インクジェットヘッド内の前記インクの圧力が上昇するように、前記第２のポンプを制御した後、前記圧力センサの計測結果に基づいて、前記インクジェットヘッド内の前記インクの圧力が目標圧力まで上昇したか否かを判定し、
前記インクジェットヘッド内の前記インクの圧力が前記目標圧力まで上昇したと判定したら、前記圧力センサの計測結果に基づいて、前記インクジェットヘッド内の前記インクの圧力が許容範囲内に収まるように、前記第２のポンプ及び前記第３のポンプのフィードバック制御を行う請求項４に記載のインク吐出装置。
【請求項６】
インクが循環する第１の経路と、
前記第１の経路の分岐箇所から分岐した後、前記第１の経路の合流箇所に戻る第２の経路と、
前記第１の経路を循環する前記インクを加温するヒータと、
前記第２の経路に挿入され、前記インクを液滴化して吐出するインクジェットヘッドと
を有するインク吐出装置を用いて前記インクを吐出する方法であって、
前記第２の経路には前記インクを流さず、前記第１の経路に前記インクを循環させながら、前記ヒータで前記インクを加温し、
前記第１の経路を循環する前記インクの温度が第１の目標温度に達したら、前記第１の経路を循環する前記インクの一部を、前記第２の経路に流すことによって前記インクジェットヘッドに前記インクを供給し、
前記インクジェットヘッドに供給された前記インクを液滴化して、前記インクジェットヘッドから吐出するインク吐出方法。
【請求項７】
前記第１の経路を循環する前記インクの一部を前記第２の経路に流し始めた後、前記第２の経路を流れる前記インクの温度が第２の目標温度に達したら、前記インクジェットヘッド内の前記インクの圧力を上昇させる請求項６に記載のインク吐出方法。
【請求項８】
前記インクジェットヘッド内の前記インクの圧力を上昇させた後、前記インクジェットヘッド内の前記インクの圧力が許容範囲内に収まるように、前記第２の経路の流量を制御しながら、前記インクジェットヘッドから前記インクを液滴化して吐出する請求項７に記載のインク吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加温されたインクをインクジェットヘッドから吐出するインク吐出装置、及びインク吐出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１に、インクジェットヘッド（ノズルヘッド）からインク（液状の薄膜材料）を液滴化して吐出するインク吐出装置が開示されている。このインク吐出装置においては、インクを貯蔵するタンクからインクジェットヘッドにインクが供給され、余分なインクがインクジェットヘッドからタンクに回収される。インクの粘度を低下させるために、タンク内及びインクの輸送経路において、インクが加温される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１３／０１５０９３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
インクジェットヘッドからの吐出量が変動すると、輸送経路を循環するインクの流量も変動する。ヒータを通過するインクの流量が変動することにより、インクの温度も変動してしまう。インクジェットヘッドに供給されるインクの温度が変動すると、インクジェットヘッドからのインクの吐出が不安定になる。
【０００５】
本発明の目的は、インクジェットヘッドに供給されるインクの流量が変動しても、インクの温度の変動を抑制することが可能なインク吐出装置、及びインク吐出方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一観点によると、
インクが循環する第１の経路と、
前記第１の経路の分岐箇所から分岐した後、前記第１の経路の合流箇所に戻る第２の経路と、
前記第１の経路に挿入されて前記インクを移送する第１のポンプと、
前記第１の経路を循環する前記インクを加温するヒータと、
前記第２の経路に挿入され、前記第２の経路を流れる前記インクを液滴化して吐出するインクジェットヘッドと、
前記第２の経路に挿入されて前記インクを移送する第２のポンプと
を有するインク吐出装置が提供される。
【０００７】
本発明の他の観点によると、
インクが循環する第１の経路と、
前記第１の経路の分岐箇所から分岐した後、前記第１の経路の合流箇所に戻る第２の経路と、
前記第１の経路を循環する前記インクを加温するヒータと、
前記第２の経路に挿入され、前記インクを液滴化して吐出するインクジェットヘッドと
を有するインク吐出装置を用いて前記インクを吐出する方法であって、
前記第２の経路には前記インクを流さず、前記第１の経路に前記インクを循環させながら、前記ヒータで前記インクを加温し、
前記第１の経路を循環する前記インクの温度が第１の目標温度に達したら、前記第１の経路を循環する前記インクの一部を、前記第２の経路に流すことによって前記インクジェットヘッドに前記インクを供給し、
前記インクジェットヘッドに供給された前記インクを液滴化して、前記インクジェットヘッドから吐出するインク吐出方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
第２の経路を流れるインクの流量が変化すると、第１の経路を流れるインクの流量も変化する。このとき、第１の経路を流れるインクの全流量に対する変化量の比率は、第２の経路を流れるインクの全流量に対する変化量の比率より小さい。ヒータは、第１の経路を流れるインクを加温しているため、インクの温度変動を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、実施例によるインク吐出装置の概略図である。
【図２】図２は、他の実施例によるインク吐出装置の概略図である。
【図３】図３は、図２に示した実施例によるインク吐出装置の第１の経路の一部をより具体的に表した概略図である。
【図４】図４は、さらに他の実施例によるインク吐出装置の概略図である。
【図５】図５は、図４に示したインク吐出装置を用いたインク吐出方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１を参照して、実施例によるインク吐出装置について説明する。
図１に、実施例によるインク吐出装置の概略図を示す。実施例によるインク吐出装置は、インクが循環する第１の経路１０を有する。第１の経路１０の分岐箇所３１において、第２の経路２０が第１の経路１０から分岐する。第２の経路２０は、合流箇所３２において第１の経路１０に合流する。
【００１１】
ヒータ１１及び第１のポンプ１２が、第１の経路１０に挿入されている。ヒータ１１として、例えば電熱ヒータを用いることができる。第１のポンプ１２として、例えばダイアフラムポンプを用いることができる。ヒータ１１及び第１のポンプ１２は、合流箇所３２から分岐箇所３１に至る経路に挿入することが好ましい。第１のポンプ１２は、第１の経路１０内のインクを移送する。第１のポンプ１２によってインクが移送されることにより、インクが第１の経路１０を循環する。ヒータ１１は、第１の経路１０を循環するインクを加温する。
【００１２】
第１の温度センサ１３が、第１の経路１０を循環するインクの温度を計測する。計測結果が制御装置５０に入力される。
【００１３】
第２の経路２０に、インクジェットヘッド２１及び第２のポンプ２２が挿入されている。第２のポンプ２２として、第１のポンプ１２と同様に、例えばダイアフラムポンプを用いることができる。第２のポンプ２２は、第２の経路２０内のインクを移送する。第２のポンプ２２を動作させると、第１の経路１０を循環するインクの一部が分岐箇所３１において第２の経路２０に流入する。第２の経路２０に流入したインクは、第２の経路２０を流れた後、合流箇所３２において第１の経路１０を流れるインクに合流する。
【００１４】
インクジェットヘッド２１は、第２の経路２０から流入したインクを液滴化して吐出する。吐出されなかったインクが、インクジェットヘッド２１から流出し、第２の経路２０を経由して第１の経路１０に戻る。ステージ４０が、インクジェットヘッド２１に対向する位置に基板４１を保持する。インクジェットヘッド２１から吐出されたインクの液滴が基板４１に着弾することにより、基板４１にインクが塗布される。
【００１５】
次に、上記実施例の優れた効果について説明する。分岐箇所３１から合流箇所３２までの第１の経路１０を流れるインクの流量をＱ１で表し、第２の経路２０を流れるインクの流量をＱ２で表す。合流箇所３２から分岐箇所３１までの第１の経路１０を流れるインクの流量は、Ｑ１＋Ｑ２に一致する。インクジェットヘッド２１からインクが吐出されている場合は、インクジェットヘッド２１の上流側の第２の経路２０と、下流側の第２の経路２０とで、インクの流量が異なる。ここでは、インクジェットヘッド２１からのインクの吐出が行われていない状態について説明する。
【００１６】
ヒータ１１を流れるインクの流量はＱ１＋Ｑ２である。インクジェットヘッド２１を流れるインクの流量Ｑ２が変動し、Ｑ２＋ΔＱ２になると、ヒータ１１を流れるインクの流量もΔＱ２だけ変動する。ヒータ１１を流れる全流量に対する変化量の比率（変化率）は、ΔＱ２／（Ｑ１＋Ｑ２）で表される。
【００１７】
比較例として、１つの循環経路にインクジェットヘッドが挿入されている構成について考察する。１つの循環経路に、インクジェットヘッド及びヒータが挿入される。インクジェットヘッドを流れるインクの流量をＱ２で表すと、ヒータを流れるインクの流量もＱ２に等しくなる。インクジェットヘッドを流れるインクの流量がΔＱ２だけ変動すると、ヒータを流れるインクの流量もΔＱ２だけ変動する。このとき、ヒータ１１を流れるインクの全流量に対する変化量の比率（変化率）はΔＱ２／Ｑ２で表される。
【００１８】
実施例における変化率ΔＱ２／（Ｑ１＋Ｑ２）は、比較例における変化率ΔＱ２／Ｑ２よりも小さい。このように、実施例の構成を採用すると、比較例の構成と比べて、ヒータを流れるインクの流量の変化率が小さくなる。このため、インクジェットヘッド２１を流れるインクの流量が変化したときのインクの温度の変動幅を小さくすることができる。温度の変動幅が小さくなるため、インクの吐出の安定度を高めることができる。
【００１９】
ヒータ１１を流れるインクの流量の変化率を小さくするために、流量Ｑ１を流量Ｑ２より多くすることが好ましい。この流量は、第１のポンプ１２及び第２のポンプ２２の動作を制御することにより実現可能である。
【００２０】
次に、他の比較例として、１つの循環経路に大容量のインクタンクを挿入し、インクタンク内にヒータを配置する構成について考察する。この比較例においても、大容量のインクタンク内のインクの温度を一定に制御することにより、インクの流量が変化したときの温度の変化幅を小さくすることができる。ところが、インクの温度が高くなるに従って、インクの劣化の進行が速くなる。インクの劣化が進むと、インクを交換しなければならない。大容量のインクを加温した状態で貯蔵しておくと、インクを交換する際に、多くのインクを廃棄しなければならない。
【００２１】
上記実施例では、大容量のインクを加温された状態で貯蔵しておく必要がないため、インクを交換する際に、廃棄すべきインクの量を少なくすることができる。
【００２２】
次に、実施例によるインク吐出装置の動作開始時におけるインクの昇温開始から、インク吐出動作までの手順について説明する。
【００２３】
まず、第１のポンプ１２及びヒータ１１を動作させて、第１の経路１０にインクを循環させながらインクを加温する。このとき、第２のポンプ２２は停止させておく。このため、第２の経路２０にはインクが流入しない。第１の経路１０を流れるインクの温度が第１の目標温度に達したら、第２のポンプ２２を動作させることにより、第２の経路２０にインクを流入させる。その後、インクジェットヘッド２１を動作させて、インクの吐出を行う。
【００２４】
上記手順では、加温前の低温のインクが第２の経路２０に流入しない。低温のインクは粘度が高いため、低温のインクが第２の経路２０に流入すると、圧力損失が大きくなり、インクの流量が低下してしまう。このため、第２の経路２０を流れる期間におけるインクからの放熱量が多くなる。その結果、インクジェットヘッド２１内のインクの温度が目標の温度に到達するまでに長時間を要することとなる。実施例においては、加温された後のインクが第２の経路２０に流入するため、当初からインクの流量を多くすることが可能である。このため、インクジェットヘッド２１内のインクが目標の温度に到達するまでの時間を短縮することができる。
【００２５】
次に、図２〜図３を参照して、他の実施例によるインク吐出装置について説明する。以下、図１に示した実施例との相違点について説明し、共通の構成については説明を省略する。
【００２６】
図２に、本実施例によるインク吐出装置の概略図を示す。第２の温度センサ２４が、インクジェットヘッド２１内のインクの温度を計測する。第２の温度センサ２４の計測結果が制御装置５０に入力される。
【００２７】
圧力センサ２６が、インクジェットヘッド２１の入側に接続された第２の経路２０内のインクの圧力を計測する。圧力センサ２７が、インクジェットヘッド２１の出側に接続された第２の経路２０内のインクの圧力を計測する。圧力センサ２６、２７の計測結果が制御装置５０に入力される。制御装置５０は、圧力センサ２６、２７の計測結果に基づいて、インクジェットヘッド２１内のインクの圧力を算出することができる。
【００２８】
補給タンク１５が、第１の経路１０に補給されるインクを貯蔵している。第１の経路１０に補給バルブ１４が挿入されている。補給タンク１５から補給バルブ１４を介して、第１の経路１０にインクが補給される。補給バルブ１４は、補給タンク１５から第１の経路１０にインクが補給される補給状態と、インクが補給されない非補給状態とを切り替えることができる。制御装置５０が、ヒータ１１、第１のポンプ１２、及び補給バルブ１４を制御する。
【００２９】
図３に、本実施例によるインク吐出装置の第１の経路１０の一部をより具体的に表した概略図を示す。第１の経路１０に供給タンク６０が挿入されている。供給タンク６０内に、第１室６１、第２室６２、及び第３室６３が設けられている。第１の経路１０を流れて来たインクが供給タンク６０内に流入した後、第１室６１の下端から第１室６１内に流入する。第１室６１内にヒータ１１が配置されている。インクが第１室６１内を、下方から上方に向って流れるときに、ヒータ１１によって暖められる。
【００３０】
第１室６１に流入したインクの液面が上昇し、ある高さを超えると、インクが第１室６１から溢れて、第２室６２に流入する。第２室６２の下端に第２の経路２０の上流側の端部が接続されている。第２室６２と第２の経路２０との接続箇所が、分岐箇所３１（図２）に相当する。第２室６２内のインクが第２の経路２０を流れてインクジェットヘッド２１に供給される。上流側の端部からインクジェットヘッド２１までの第２の経路２０が、断熱カバー２３で覆われている。インクジェットヘッド２１の下方を向く面に、複数のノズル孔２５が設けられている。各ノズル孔２５から、液滴化されたインクが吐出される。
【００３１】
第２室６２内のインクの液面がある高さを超えると、インクが第２室６２から溢れて第３室６３に流入する。第３室６３の下端から流出したインクが第１の経路１０を通って、供給タンク６０に戻る。第１室６１、第２室６２、及び第３室６３が、第１の経路１０の一部を構成する。
【００３２】
第２の経路２０の下流側の端部が第３室６３の側面に接続されている。第２の経路２０を流れて来たインクが、第３室６３に流入する。第２の経路２０と第３室６３との接続箇所が、合流箇所３２（図２）に相当する。
【００３３】
インクジェットヘッド２１と第２のポンプ２２との間の第２の経路２０に、バッファタンク３４が挿入されている。バッファタンク３４は、第２のポンプ２２によって発生するインク流量の脈動がインクジェットヘッド２１まで伝わることを抑制する。
【００３４】
供給タンク６０の上面にエアバルブ６５が取付けられている。エアバルブ６５を開放した状態で、第１室６１、第２室６２、及び第３室６３内のインクの液面に大気圧が印加される。本実施例においては、インク吐出装置の動作中、エアバルブ６５が開放されている。
【００３５】
第２室６２からインクジェットヘッド２１に供給されるインクの流量よりも、第１の経路１０を通って供給タンク６０に流入するインクの流量の方が多くなるように、第１のポンプ１２及び第２のポンプ２２が制御されている。このため、第２室６２から第３室６３に、インクが常時溢れている。これにより、第２室６２内のインクの液面の高さが一定に維持される。第３室６３の液面の高さは、第２室６２の液面の高さより低い範囲で、インクの量に応じて上下に変動する。
【００３６】
供給タンク６０にレベルセンサ６６が設置されている。レベルセンサ６６は、第３室６３内のインクの液面の高さを計測する。レベルセンサ６６として、例えば、超音波式レベルセンサ、フロート式レベルセンサ等を用いることができる。レベルセンサ６６の計測結果が制御装置５０（図２）に入力される。
【００３７】
供給タンク６０に、さらに第１の温度センサ１３が設置されている。第１の温度センサ１３は、例えば第２室６２内のインクの温度を計測する。
【００３８】
インクジェットヘッド２１のノズル孔２５の位置に、ノズル孔２５から、第２室６２の液面までの高低差に依存する水頭圧が加わる。この高低差を調節することにより、ノズル孔２５の位置に加わる水頭圧を調節することができる。第１の経路１０及び第２の経路２０を流れるインクの総量が変化すると、第３室６３内のインクの液面の高さが変化するが、第２室６２内のインクの液面の高さは一定に保たれる。このため、第１の経路１０及び第２の経路２０を流れているインクの総量が増減しても、インクジェットヘッド２１のノズル孔２５の位置における水頭圧を一定に維持することができる。
【００３９】
次に、図４〜図５を参照して、さらに他の実施例について説明する。以下、図２〜図３に示した実施例との相違点について説明し、共通の構成については説明を省略する。
【００４０】
図４に、本実施例によるインク吐出装置の概略図を示す。図２及び図３に示した実施例では、インクジェットヘッド２１よりも下流側の第２の経路２０に第２のポンプ２２が挿入されていた。図４に示した実施例では、第２のポンプ２２の他に、インクジェットヘッド２１より上流側の第２の経路２０にも、第３のポンプ２８が挿入されている。第３のポンプ２８とインクジェットヘッド２１との間の第２の経路２０に、バッファタンク２９が挿入されている。
【００４１】
第２のポンプ２２と第３のポンプ２８との出力を制御することにより、インクジェットヘッド２１のノズル孔２５の位置におけるメニスカス圧を調節することができる。
【００４２】
図５に、図４のインク吐出装置を用いたインク吐出方法のフローチャートを示す。ステップＳ１において、制御装置５０が第１のポンプ１２を動作させることにより、第１の経路１０にインクを循環させる。ステップＳ２において、制御装置５０が、インクの補充が必要か否かを判定する。インク補充の要否は、供給タンク６０に取付けられたレベルセンサ６６で計測された第３室６３のインクの液面の高さに基づいて判定することができる。液面の高さが、予め設定されている基準値未満の場合、インクの補充が必要であると判定される。液面の高さが基準値以上であれば、インクの補充は不要であると判定される。
【００４３】
インクの補充が必要であると判定された場合は、ステップＳ３において、第１の経路１０にインクを補充する。具体的には、制御装置５０が、補給バルブ１４を補給状態に切り替える。これにより、補給タンク１５から第１の経路１０にインクが補給される。第３室６３内のインクの液面が基準値以上になったら、インクの補充を停止する。具体的には、制御装置５０が、補給バルブ１４を補給状態から非補給状態に切り替える。
【００４４】
ステップＳ２でインクの補充が不要と判定された場合、またはステップＳ２でインクの補充が完了した場合、ステップＳ４において、第１の経路１０内のインクの昇温を開始する。具体的には、制御装置５０がヒータ１１を動作させる。
【００４５】
ステップＳ５において、第１の経路１０内のインクの温度が第１の目標温度に達したか否かを判定する。この判定は、制御装置５０が第１の温度センサ１３の計測結果に基づいて行うことができる。インクの温度が第１の目標温度に達していない場合には、第１の目標温度に達するまで継続して、第１の経路１０にインクを循環させる。
【００４６】
第１の経路１０を循環するインクの温度が第１の目標温度に達したら、ステップＳ６において、第２の経路２０にインクを流し始める。具体的には、制御装置５０が第２のポンプ２２及び第３のポンプ２８を動作させる。これにより、インクジェットヘッド２１へのインクの供給が開始される。このとき、第２のポンプ２２及び第３のポンプ２８は、予め設定された出力で動作するように制御される。
【００４７】
第２の経路２０へのインクの供給開始時には、第２の経路２０を構成する管路、インクジェットヘッド２１等の温度が第１の目標温度より低い。このため、第２の経路２０に流入したインクの温度は、インクが第２の経路２０を流れるに従って低下する。このとき、第２の経路２０の管路、インクジェットヘッド２１等が、インクによって暖められる。
【００４８】
ステップＳ７において、インクジェットヘッド２１内のインクの温度が第２の目標温度に達したか否かを判定する。この判定は、制御装置５０が、第２の温度センサ２４の計測結果に基づいて行う。第２の目標温度は、第１の目標温度とほぼ同一に設定される。インクジェットヘッド２１内のインクの温度が第２の目標温度に達していない場合は、インクの温度が第２の目標温度に達するまで継続して、第２の経路２０にインクを流通させる。
【００４９】
インクジェットヘッド２１内のインクの温度が第２の目標温度に達したら、ステップＳ８において、インクジェットヘッド２１内のインクの圧力を上昇させる制御を開始する。例えば、制御装置５０が第２のポンプ２２（図２、図３）の出力を低下させることにより、インクジェットヘッド２１内のインクの圧力を上昇させることができる。このとき、第２の経路２０を流れるインクの流量は低下する。第２のポンプ２２は、予め設定された出力まで低下するように制御される。
【００５０】
その他に、第２のポンプ２２及び第３のポンプ２８の両方の出力を低下させてもよい。第３のポンプ２８の出力低下量よりも、第２のポンプ２２の出力低下量の方を大きくすると、インクジェットヘッド２１内のインクの圧力が上昇する。この場合も、第２の経路２０を流れるインクの流量が低下する。
【００５１】
ステップＳ９において、インクジェットヘッド２１内のインクの圧力が目標圧力まで上昇したか否かを判定する。この判定は、制御装置５０が、圧力センサ２６、２７（図２）の計測結果に基づいて行う。インクジェットヘッド２１内のインクの圧力が目標圧力まで上昇していない場合には、目標圧力に達するまで第２のポンプ２２及び第３のポンプ２８の出力を制御する。例えば、制御装置５０は、予め設定された刻み幅で出力を増減させる。
【００５２】
インクジェットヘッド２１内のインクの圧力が目標圧力に達したら、ステップＳ１０において、インクジェットヘッド２１内のインクの圧力が許容範囲内に収まるように、圧力センサ２６、２７の計測結果に基づいて第２のポンプ２２及び第３のポンプ２８の出力のフィードバック制御を行う。第２のポンプ２２及び第３のポンプ２８の出力のフィードバック制御を行いながら、インクジェットヘッド２１を動作させる。これにより、インクジェットヘッド２１からインクの液滴が吐出される。
【００５３】
次に、図４〜図５に示した実施例の優れた効果について説明する。本実施例では、第２の経路２０に流入するインクが第１の目標温度まで加温されている（ステップＳ５）。加温されることによってインクの粘度が低くなっているため、第２の経路２０を流れるインクの流量を、当初から高くすることが可能である。このため、図１に示した実施例と同様に、インクジェットヘッド２１内のインクの温度が第２の目標温度に達するまでの時間を短縮することができる。
【００５４】
さらに、図４〜図５に示した実施例では、第２の経路２０にインクを流し始めた時点（ステップＳ６）から、インクジェットヘッド２１内のインクの圧力を上昇させる（ステップＳ８）までの期間、インクジェットヘッド２１内のインクの圧力が、最終的な目標圧力より低くなる。このため、インクジェットヘッド２１からのインクの吐出を開始するまでの期間、インクジェットヘッド２１からのインクの漏洩を防止することができる。
【００５５】
ステップＳ６からステップＳ８までの期間は、上述のように第２のポンプ２２の出力、または第２のポンプ２２及び第３のポンプ２８の両方の出力が、インク吐出動作時（ステップＳ１１）の出力より高く設定される。このため、第２の経路２０を流れるインクの流量は、インク吐出動作時の流量より多い。第２の経路２０を流れるインクの流量を多くすることにより、インクジェットヘッド２１内のインクの温度が第２の目標温度に達するまでの期間を短縮することができる。
【００５６】
さらに、図４〜図５に示した実施例では、インクジェットヘッド２１内のインクの圧力が目標圧力に達した後に、インクジェットヘッド２１内の圧力を許容範囲に収めるためのフィードバック制御が行われる。インクジェットヘッド２１内のインクの圧力と、目標圧力との差が大きな状態で、このフィードバック制御を開始すると、フィードバック制御が不安定になる場合がある。上記実施例では、フィードバック制御の不安定性を回避することができる。
【００５７】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【符号の説明】
【００５８】
１０  第１の経路
１１  ヒータ
１２  第１のポンプ
１３  第１の温度センサ
１４  補給バルブ
１５  補給タンク
２０  第２の経路
２１  インクジェットヘッド
２２  第２のポンプ
２３  断熱カバー
２４  第２の温度センサ
２５  ノズル孔
２６、２７  圧力センサ
２８  第３のポンプ
２９  バッファタンク
３１  分岐箇所
３２  合流箇所
３４  バッファタンク
４０  ステージ
４１  基板
５０  制御装置
６０  供給タンク
６１  第１室
６２  第２室
６３  第３室
６５  エアバルブ
６６  レベルセンサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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