(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
主面同士が貼り合わされた第１板状体と第２板状体とを剥離させる剥離装置において、
上面が略水平な保持面となっており、前記第２板状体とは反対側の主面を下向きにして前記保持面に載置される前記第１板状体を保持する保持手段と、
前記保持面に設けられた開口部から前記保持面よりも上方に上端部が突出した突出位置と、前記開口部内で前記保持面よりも下方に前記上端部が退避した退避位置との間を移動し、前記突出位置で前記第１板状体を前記保持面から離間させて下方から支持する支持部材と、
前記第２板状体を保持して前記第１板状体から離間する方向に移動し、前記第２板状体を前記第１板状体から剥離させる剥離手段と、
前記第２板状体のうち前記第１板状体とは反対側の主面に当接して、前記剥離手段による前記第２板状体の剥離の進行を規制する規制手段と
を備え、前記規制手段は、
各々が前記第２板状体に当接して前記第２板状体との間に当接ニップを形成する複数のローラ部材と、
前記複数のローラ部材の各々を、前記保持面に平行な軸方向に沿った回転軸周りに回転自在に、かつ互いに独立に支持する支持部と、
前記支持部を、前記保持面に平行かつ前記軸方向と直交する剥離方向に移動させる移動機構と
を有し、
前記ローラ部材の各々が形成する前記当接ニップが前記軸方向において互いに離隔し、前記当接ニップの前記剥離方向における後端部の位置が前記剥離方向において等しく、前記保持面の開口部は、前記軸方向において隣り合う２つの前記当接ニップ間のギャップ部に対応する位置に設けられる剥離装置。
【請求項２】
前記複数のローラ部材の直径が同一で、各々の回転軸が一致する請求項１に記載の剥離装置。
【請求項３】
前記支持部は、前記ローラ部材の各々を個別に支持する複数の支持フレームと、前記複数の支持フレームを一体的に保持するベース部材とを有する請求項１または２に記載の剥離装置。
【請求項４】
前記支持フレームの少なくとも１つは、前記ベース部材に対する取り付け位置が調整可能である請求項３に記載の剥離装置。
【請求項５】
前記支持フレームの各々は、一の前記ローラ部材の前記軸方向における両端部を回転自在に支持する請求項３または４に記載の剥離装置。
【請求項６】
前記剥離手段は、前記剥離方向において前記ローラ部材よりも上流側で前記第２板状体を保持する請求項１ないし５のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項７】
前記剥離手段は、前記第２板状体の前記剥離方向における上流側端部を保持して前記第１板状体から離間させる請求項６に記載の剥離装置。
【請求項８】
前記保持面には、前記軸方向に位置の異なる複数の前記開口部が設けられており、前記第２板状体の前記第１板状体とは反対側の主面のうち、前記開口部を仮想的に前記剥離方向に延長した帯状領域によって区分される複数の部分領域の各々に対し、前記ローラ部材が１つずつ当接する請求項１ないし７のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項９】
前記保持面には、前記軸方向において同一位置かつ前記剥離方向において位置の異なる複数の開口部が設けられている請求項１ないし８のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項１０】
前記ローラ部材の各々は、表面が弾性材料により形成されている請求項１ないし９のいずれかに記載の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、互いに貼り合わされた２枚の板状体を剥離させる剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板や半導体基板などの板状体に所定のパターンや薄膜を形成する技術として、他の板状体に担持されたパターンや薄膜（以下、「パターン等」という）を基板に転写するものがある。この技術においては、２枚の板状体を密着させてパターン等を一方から他方に転写した後、パターン等を損壊させることなく２枚の板状体を剥離する必要がある。
【０００３】
この目的のために利用可能な技術として、例えば特許文献１に記載されたものがある。この技術においては、互いに密着した第１板状体および第２板状体からなる密着体が、第１板状体がステージに吸着保持されることにより水平姿勢に保持される。そして、第２板状体側に配列された複数の剥離手段が順番に第２板状体に当接し、第２板状体を保持しながら第１板状体から離間する方向に移動することにより、第１板状体と第２板状体との間の剥離が所定の剥離方向に進行する。このとき、ローラ状の当接部材が第２板状体の表面に当接しながら剥離方向に移動することによって、剥離が一定の速度で進行するように管理される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１８９３５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
板状体のサイズが大型になると、上記従来技術においてはさらなる改良が求められる。すなわち、大判の板状体は撓みが生じやすく、板状体を水平状態に維持しながら装置に搬入および搬出するための機構が必要となる。また、板状体の大型化に伴いローラ状の当接部材も長尺になるため、板状体に印加される押圧力がローラの撓みによって不均一となることがある。このような押圧力のばらつきは被転写物の損傷や剥離不良の原因となり得るものである。
【０００６】
このように、大型の板状体についても剥離を良好に実行するためには、板状体やローラ状部材の撓みへの対応が必要であり、この点において上記従来技術には改良の余地が残されている。
【０００７】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、互いに貼り合わされた２枚の板状体を剥離させる剥離装置において、大型の板状体についても剥離を良好に実行することのできる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の一の態様は、主面同士が貼り合わされた第１板状体と第２板状体とを剥離させる剥離装置において、上記目的を達成するため、上面が略水平な保持面となっており前記第２板状体とは反対側の主面を下向きにして前記保持面に載置される前記第１板状体を保持する保持手段と、前記保持面に設けられた開口部から前記保持面よりも上方に上端部が突出した突出位置と、前記開口部内で前記保持面よりも下方に前記上端部が退避した退避位置との間を移動し前記突出位置で前記第１板状体を前記保持面から離間させて下方から支持する支持部材と、前記第２板状体を保持して前記第１板状体から離間する方向に移動し前記第２板状体を前記第１板状体から剥離させる剥離手段と、前記第２板状体のうち前記第１板状体とは反対側の主面に当接して前記剥離手段による前記第２板状体の剥離の進行を規制する規制手段とを備えている。
【０００９】
ここで、前記規制手段は、各々が前記第２板状体に当接して前記第２板状体との間に当接ニップを形成する複数のローラ部材と、前記複数のローラ部材の各々を前記保持面に平行な軸方向に沿った回転軸周りに回転自在にかつ互いに独立に支持する支持部と、前記支持部を、前記保持面に平行かつ前記軸方向と直交する剥離方向に移動させる移動機構とを有し、前記ローラ部材の各々が形成する前記当接ニップが前記軸方向において互いに離隔し、前記当接ニップの前記剥離方向における後端部の位置が前記剥離方向において等しく、前記保持面の開口部は、前記軸方向において隣り合う２つの前記当接ニップ間のギャップ部に対応する位置に設けられる。
【００１０】
このように構成された発明では、剥離手段が保持面に保持された第１板状体から第２板状体を引き離す方向に移動させることで、剥離が実行される。そして、ローラ部材が第２板状体と当接して形成される当接ニップが剥離の進行を規制し、該当接ニップが剥離方向に移動することにより、剥離の進行が管理される。これにより、剥離を良好に進行させることができる。
【００１１】
剥離の進行を規制するためのローラ部材が単一である場合、第２板状体のサイズ、特にローラの軸方向における長さが大きくなると、ローラ径の軸方向における変動や動作時の撓みが発生しやすくなるため、当接ニップにおける第２板状体に対する当接圧が軸方向にばらつくおそれがある。このように当接圧がばらつくと、剥離を規制する機能が軸方向位置によって異なることによって剥離の進行を適正に管理することができなくなり、剥離不良の原因となり得る。また、長尺のローラ部材を高い加工精度で製造するためにより高い製造技術が必要となり、装置コストの上昇を招く。
【００１２】
一方、本発明では、ローラ部材は軸方向に複数配置されており、各ローラ部材は互いに独立して支持されている。そのため、個々のローラ部材の軸方向長さはより短くて済み、ローラ径の変動や撓みを小さくすることができる。これにより、当接ニップにおける当接圧を均一にして剥離を良好に進行させることができる。また、長尺ローラを製造する場合に比べて製造コストを抑えることもできる。
【００１３】
また、本発明では、保持手段の保持面に設けられた開口部に支持部材が設けられている。支持部材は、第１板状体を保持面から離間させた状態で支持する。これにより、例えば貼り合わされた第１板状体と第２板状体とが保持面に載置される際または剥離後の第１板状体が保持面から搬出される際に第１板状体の撓みを抑えて、外部からのアクセスを容易にすることができる。
【００１４】
保持面に載置される第１板状体のうち保持面の開口部の周縁に対応する部位では、ローラ部材からの押圧を受けると当該部位に局所的に高い応力が作用し、第１板状体が損傷するおそれがある。また、このような応力集中が剥離不良のきっかけとなるおそれがある。一方、本発明では、複数のローラ部材により形成される複数の当接ニップ間のギャップに対応する位置に開口部が設けられるため、開口部の直上において第１および第２板状体がローラ部材からの押圧を受けることがない。これにより、開口部上での押圧に起因する板状体の損傷や剥離不良を防止することができる。
【発明の効果】
【００１５】
このように、本発明では、軸方向に配置された複数のローラ部材が第２板状体に当接して当接ニップを形成し、保持手段の保持面のうち当接ニップ間のギャップに当たる部位に設けられた開口部から突出して第１板状体を支持する支持部材が設けられている。このため、本発明では、第１および第２板状体のサイズが大型になった場合でもこれらの剥離を良好に実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】この発明にかかる剥離装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】この剥離装置の主要構成を示す斜視図である。
【図３】ローラユニットの構造を示す図である。
【図４】リフタ機構の構成例を示す断面図である。
【図５】この剥離装置の電気的構成を示すブロック図である。
【図６】剥離動作の過程における各部の動作を示す図である。
【図７】ローラユニットとワークとの当接状態を示す図である。
【図８】剥離ローラが単一の場合と複数の場合とを比較した図である。
【図９】ステージ上の開口部と剥離ローラとの位置関係を示す図である。
【図１０】ステージとこれに載置されるワークとの位置関係を示す図である。
【図１１】剥離装置の変形例を示す図である。
【図１２】ローラ径の異なる剥離ローラの組み合わせ例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１はこの発明にかかる剥離装置の一実施形態を示す斜視図である。以下の各図における方向を統一的に示すために、図１右下に示すようにＸＹＺ直交座標軸を設定する。ここでＸＹ平面が水平面、Ｚ軸が鉛直軸を表す。より詳しくは、（＋Ｚ）方向が鉛直上向き方向を表している。
【００１８】
この剥離装置１は、主面同士が互いに密着した状態で搬入される２枚の板状体を剥離させるための装置である。例えばガラス基板や半導体基板等の基板の表面に所定のパターンを形成するパターン形成プロセスの一部において用いられる。より具体的には、このパターン形成プロセスでは、被転写体である基板に転写すべきパターンを一時的に担持する担持体としてのブランケット表面にパターン形成材料を均一に塗布し（塗布工程）、パターン形状に応じて表面加工された版をブランケット上の塗布層に押し当てることによって塗布層をパターニングし（パターニング工程）、こうしてパターンが形成されたブランケットを基板に密着させることで（転写工程）、パターンをブランケットから基板に最終転写する。
【００１９】
このとき、パターニング工程において密着された版とブランケットとの間、または転写工程において密着された基板とブランケットとの間を離間させる目的のために、本装置を好適に適用することが可能である。もちろんこれらの両方に用いられてもよく、これ以外の用途で用いられても構わない。例えば担持体に担持された薄膜を基板に転写する際の剥離プロセスにも適用することができる。
【００２０】
この剥離装置１は、筺体に取り付けられたメインフレーム１１の上にステージブロック３および上部吸着ブロック５がそれぞれ固定された構造を有している。図１では装置の内部構造を示すために筐体の図示を省略している。また、これらの各ブロックの他に、この剥離装置１は制御ユニット７０（図５）を備えている。
【００２１】
ステージブロック３は、版または基板とブランケットとが密着されてなる密着体（以下、「ワーク」という）を載置するためのステージ３０を有しており、ステージ３０は、上面が略水平の平面となった水平ステージ部３１と、上面が水平面に対して数度（例えば２度程度）の傾きを有する平面となったテーパーステージ部３２とを備えている。ステージ３０のテーパーステージ部３２側、すなわち（−Ｙ）側の端部近傍には初期剥離ユニット３３が設けられている。また、水平ステージ部３１を跨ぐようにローラユニット４が設けられる。
【００２２】
一方、上部吸着ブロック５は、メインフレーム１１から立設されるとともにステージブロック３の上部を覆うように設けられた支持フレーム５０と、該支持フレーム５０に取り付けられた第１吸着ユニット５１、第２吸着ユニット５２、第３吸着ユニット５３および第４吸着ユニット５４とを備えている。これらの吸着ユニット５１〜５４は（＋Ｙ）方向に順番に並べられている。なお、吸着ユニットの配設数は上記に限定されず任意である。
【００２３】
図２はこの剥離装置の主要構成を示す斜視図である。より具体的には、図２は、剥離装置１の各構成のうちステージ３０、ローラユニット４および第２吸着ユニット５２の構造を示している。ステージ３０は、上面３１０が略水平面となった水平ステージ部３１と上面３２０がテーパー面となったテーパーステージ部３２とを備えている。水平ステージ部３１の上面３１０は載置されるワークの平面サイズより少し大きい平面サイズを有している。
【００２４】
テーパーステージ部３２は水平ステージ部３１の（−Ｙ）側端部に密着して設けられており、その上面３２０は、水平面３２１とテーパー面３２２とを有している。より具体的には、テーパーステージ部３２の上面３２０のうち、水平ステージ部３１と接する部分は水平ステージ部３１の上面３１０と同じ高さ（Ｚ方向位置）に位置する水平面３２１となっている。一方、該水平面３２１よりも（−Ｙ）方向側では、テーパーステージ部３２の上面３２０は、水平ステージ部３１から（−Ｙ）方向に離れるにつれて下方、つまり（−Ｚ）方向へ後退する下り勾配を有するテーパー面３２２となっている。したがって、ステージ３０全体では、水平ステージ部３１の上面３１０の水平面とテーパーステージ部３２の上面３２０のうち水平面３２１とが連続して一体の水平面となっており、該水平面の（−Ｙ）側端部にテーパー面３２２が接続している。水平面３２１とテーパー面３２２とが接続する稜線部ＥはＸ方向に延びる直線状となっている。
【００２５】
水平ステージ部３１の上面３１０には格子状の溝が刻設されている。より具体的には、水平ステージ部３１の上面３１０の中央部に格子状の溝３１１が設けられるとともに、該溝３１１が形成された領域を取り囲むように、溝３１２が水平ステージ部３１の上面３１０周縁部に設けられている。これらの溝３１１，３１２は制御バルブを介して後述する負圧供給部７４（図５）に接続されており、負圧が供給されることで、ステージ３０に載置されるワークを吸着保持する吸着溝としての機能を有する。２種類の溝３１１，３１２はステージ上では繋がっておらず、また互いに独立した制御バルブを介して負圧供給部７４に接続されているので、両方の溝を使用した強力な吸着の他に、一方の溝のみ使用した吸着も可能となっている。
【００２６】
図１に示すように、ステージ３０の（−Ｙ）側端部近傍には初期剥離ユニット３３が配置されている。初期剥離ユニット３３は、テーパーステージ部３２の上方でＸ方向に延設された棒状の押圧部材３３１を有しており、押圧部材３３１は支持アーム３３２により支持されている。支持アーム３３２は鉛直方向に延設されるガイドレール３３３を介して柱部材３３４に昇降自在に取り付けられており、昇降機構３３５の作動により、支持アーム３３２が柱部材３３４に対して上下動する。柱部材３３４はメインフレーム１１に取り付けられたベース部３３６により支持されるが、位置調整機構３３７によりベース部３３６上での柱部材３３４のＹ方向位置が所定の範囲内で調整可能となっている。
【００２７】
後述するように、ステージ上面３１０の所定位置にワークが載置された状態では、ワークの（−Ｙ）側端部がテーパーステージ部３２の上方に突出する。制御ユニット７０からの制御指令に応じて支持アーム３３２が下方へ移動し、押圧部材３３１の下端がワークに当接してこれを下方へ押し下げる。これが剥離のきっかけを作る。
【００２８】
上記のように構成されたステージ３０を跨ぐように、ローラユニット４が設けられる。具体的には、水平ステージ部３１のＸ方向両端部に沿って、１対のガイドレール３５１，３５２がＹ方向に延設されており、これらのガイドレール３５１，３５２はメインフレーム１１に固定されている。そして、ガイドレール３５１，３５２に対し摺動自在にローラユニット４が取り付けられている。
【００２９】
ローラユニット４は、ガイドレール３５１，３５２とそれぞれ摺動自在に係合するスライダ４１，４２を備えており、これらのスライダ４１，４２を繋ぐように、ステージ３０上部を跨いでＸ方向に延設された下部アングル４３が設けられている。下部アングル４３には適宜の昇降機構４４を介して上部アングル４５が昇降自在に取り付けられている。そして、上部アングル４５に対して複数の、この例では３基のローラアセンブリ４０が取り付けられる。
【００３０】
図３はローラユニットの構造を示す図である。より具体的には、図３（ａ）はローラユニット４の主要部の構造を示す分解斜視図であり、図３（ｂ）はローラユニット４の主要部をＸ方向から見た図である。ローラアセンブリ４０の各々は、Ｘ方向を長手方向とする円柱状の剥離ローラ４０１と、剥離ローラ４０１をＸ方向に沿った回転軸周りに回転自在に支持するローラ支持部４０２とを備えている。
【００３１】
剥離ローラ４０１は、例えば鉄、ステンレス鋼、アルミニウム合金または真鍮等の金属材料により形成された芯金の表面を弾性材料、例えばゴムによる表面層により覆った構造となっており、その表面は弾性を有している。ローラ支持部４０２は剥離ローラ４０１を回転自在に軸支し、剥離ローラ４０１は回転軸周りに自由回転する。
【００３２】
各ローラアセンブリ４０は、適宜の固定部材、例えばねじ４６により上部アングル４５に固定されている。上部アングル４５は、Ｘ方向に垂直な断面形状が略Ｌ字型でＸ方向に延びる部材である。上部アングル４５には、Ｙ方向を長手方向とする貫通孔４５１が複数設けられており、貫通孔４５１の各々にねじ４６が挿通される。１つのローラアセンブリ４０に対して２つの貫通孔４５１が、ローラ支持部４０２のＸ方向両端部に対応して設けられている。
【００３３】
各ローラアセンブリ４０はそれぞれ２つのねじ４６によって上部アングル４５に固定される。図３（ｂ）に示すように、上部アングル４５下部には鉛直平面に仕上げられた位置出し用基準面４５２が設けられている。ローラ支持部４０２の（＋Ｙ）側端面が位置出し用基準面４５２に突き当てられることで、各ローラアセンブリ４０の位置が揃えられる。貫通孔４５１が長穴となっているため、各ローラアセンブリ４０の上部アングル４５への取り付け位置は、Ｙ方向およびＺ軸周りに所定範囲で調整可能となっている。また、別途用意されたシム（スペーサ）４０３が、必要に応じて上部アングル４５とローラ支持部４０２との間に挟み込まれることで、ローラアセンブリ４０のＺ方向位置が調整される。
【００３４】
各ローラアセンブリ４０は同一構造であるが、上記構造が採られることで、仕上がり寸法のばらつきに起因する位置ずれを調整作業により補正することが可能となっている。ローラアセンブリ４０の組み立て時には、これらの位置調整機能を用いて各剥離ローラ４０１の回転軸が互いに一致するように予め調整がなされる。
【００３５】
この例では、３基のローラアセンブリ４０はいずれも同一の構造を有しており、剥離ローラ４０１のサイズ、すなわち直径およびＸ方向長さは互いに等しい。そして、複数の剥離ローラ４０１の回転軸は互いに一致する。しかしながら、後述するように、サイズや回転軸が互いに異なる複数の剥離ローラも使用可能である。
【００３６】
図２に戻って説明を続ける。上部アングル４５が昇降機構４４により下方、つまり（−Ｚ）方向に下降されると、ステージ３０に載置されたワークの上面に剥離ローラ４０１の下面が当接する。一方、上部アングル４５が昇降機構４４により上方、つまり（＋Ｚ）方向の位置に位置決めされた状態では、剥離ローラ４０１はワークの上面から上方に離間した状態となる。
【００３７】
ローラユニット４は、メインフレーム１１に取り付けられたモータ３５３によりＹ方向に移動可能となっている。より具体的には、下部アングル４３が、モータ３５３の回転運動を直線運動に変換する変換機構としての例えばボールねじ機構３５４に連結されており、モータ３５３が回転すると下部アングル４３がガイドレール３５１，３５２に沿ってＹ方向に移動し、これによりローラユニット４がＹ方向に移動する。ローラユニット４の移動に伴う剥離ローラ４０１の可動範囲は、（−Ｙ）方向には水平ステージ部３１の（−Ｙ）側端部の近傍まで、（＋Ｙ）方向には水平ステージ部３１の（＋Ｙ）側端部よりも外側、つまりさらに（＋Ｙ）側へ進んだ位置までとされる。
【００３８】
次に第２吸着ユニット５２の構成について説明する。なお、第１ないし第４吸着ユニット５１〜５４はいずれも同一構造を有しており、ここでは代表的に第２吸着ユニット５２の構造について説明する。第２吸着ユニット５２は、Ｘ方向に延設されて支持フレーム５０に固定される梁部材５２１を有しており、該梁部材５２１には鉛直下向き、つまり（−Ｚ）方向に延びる１対の柱部材５２２，５２３がＸ方向に互いに位置を異ならせて取り付けられている。柱部材５２２，５２３には図では隠れているガイドレールを介してプレート部材５２４が昇降自在に取り付けられており、プレート部材５２４はモータおよび変換機構（例えばボールねじ機構）からなる昇降機構５２５により昇降駆動される。
【００３９】
プレート部材５２４の下部にはＸ方向に延びる棒状のパッド支持部材５２６が取り付けられており、該パッド支持部材５２６の下面に複数の吸着パッド５２７がＸ方向に等間隔で配列されている。図２では第２吸着ユニット５２を実際の位置よりも上方に移動させた状態を示しているが、昇降機構５２５によりプレート部材５２４が下方へ移動されたとき、吸着パッド５２７が水平ステージ部３１の上面３１０にごく近接した位置まで下降することができ、ステージ３０にワークが載置された状態では該ワークの上面に当接する。各吸着パッド５２７には後述する負圧供給部７４からの負圧が付与されて、ワークの上面が吸着保持される。
【００４０】
ステージ３０の水平ステージ部３１とテーパーステージ部３２とは別体に形成されて分離可能となっている。テーパーステージ部３２は図示を省略する水平移動機構により水平ステージ部３１に対して水平方向に接近・離間移動可能となっている。テーパーステージ部３２が水平ステージ部３１の側面に密着することで、水平ステージ部３１とテーパーステージ部３２とが一体的にステージ３０として機能する。
【００４１】
水平ステージ部３１の上面３１０には、上記した吸着溝３１１，３１２の他に、互いに形状の異なる開口３１３，３１４が設けられている。より具体的には、水平ステージ部３１の上面３１０のうち吸着溝３１１と吸着溝３１２との間の平坦部分の複数箇所に、長円形状を有する複数の第１の開口３１３が分散配置される。また、水平ステージ部３１の上面３１０の中央部の互いに離隔する４箇所に、略円形の第２の開口３１４が設けられている。第１の開口３１３および第２の開口３１４はいずれも、水平ステージ部３１の上面３１０において吸着溝３１１，３１２とは接続していない。このために、第２の開口３１４の周囲では吸着溝３１１が分断されている。これらの開口３１３，３１４の内部にはリフタ機構が配設されている。
【００４２】
図４はリフタ機構の構成例を示す断面図である。ここでは第２の開口３１４に配設されるリフタ機構３６を例としてその構造を説明するが、リフタピンの形状を適宜に変更することで、第１の開口３１３に配設されるリフタ機構にも同じ構造を適用することが可能である。リフタ機構３６は、水平ステージ部３１に設けられた第２の開口３１４に挿通されたリフタピン３６１と、水平ステージ部３１の底面に取り付けられたハウジング３６２と、ハウジング３６２に設けられてリフタピン３６１を昇降させる駆動部３６３とを備えている。駆動部３６３としては、エアシリンダ、ソレノイド、圧電アクチュエータ等の各種アクチュエータを用いることができる。
【００４３】
制御ユニット７０からの制御指令に応じて駆動部３６３が作動することにより、リフタピン３６１は、その上端がステージ上面３１０よりも下方に退避した図３（ａ）に示す退避位置と、上端がステージ上面３１０よりも上部に突出した図３（ｂ）に示す突出位置との間を昇降移動する。図３（ｃ）に示すように、複数のリフタピン３６１が突出位置に位置決めされることにより、ワークＷＫ（後述）をステージ上面３１０から離間した状態で支持することが可能となる。複数のリフタピン３６１の上端が同一高さとなるように位置決めされると、ワークＷＫを水平姿勢に支持することができる。ワークをより確実に保持するために、各リフタピン３６１が吸着保持機能を有していてもよい。
【００４４】
図５はこの剥離装置の電気的構成を示すブロック図である。装置各部は制御ユニット７０により制御される。制御ユニット７０は、装置全体の動作を司るＣＰＵ７０１と、各部に設けられたモータ類を制御するモータ制御部７０２と、各部に設けられたバルブ類を制御するバルブ制御部７０３と、各部に供給される負圧を制御する負圧制御部７０４と、ユーザからの操作入力の受け付けや、装置の状態をユーザに報知する機能を有するユーザインターフェース（ＵＩ）部７０５とを備えている。
【００４５】
モータ制御部７０２は、ステージブロック３に設けられたモータ３５３および昇降機構３３５，４４，３６５、水平移動機構、上部吸着ブロック５の各吸着ユニット５１〜５４にそれぞれ設けられた昇降機構５２５などのモータ群を駆動制御する。なお、ここでは各可動部の駆動源として代表的にモータを記載しているが、これに限定されるものではなく、その用途に応じて例えばエアシリンダ、ソレノイド、圧電素子などの各種アクチュエータを駆動源として用いてもよい。負圧制御部７０４は、負圧供給部７４が発生し必要に応じて装置各部に供給される負圧の大きさを制御する。なお、工場用力など外部から供給される負圧を利用可能である場合には、当該剥離装置が負圧供給部を備えていなくてもよい。
【００４６】
バルブ制御部７０３は、負圧供給部７４から水平ステージ部３１に設けられた吸着溝３１１，３１２につながる配管経路上に設けられてこれらの吸着溝に対し所定の負圧を個別に供給するためのバルブ群Ｖ3、負圧供給部７４から各吸着ユニット５１〜５４の吸着パッド５１７等につながる配管経路上に設けられて各吸着パッド５１７等に所定の負圧を供給するためのバルブ群Ｖ5などを制御する。
【００４７】
次に、上記のように構成された剥離装置１の動作について説明する。この剥離装置１により実行される剥離動作は、前述の特許文献１（特開２０１４−１８９３５０号公報）に記載された剥離装置における剥離動作と基本的に同一である。そこで、この剥離装置１における剥離動作についての詳しい説明を省略し、ここでは剥離動作における各部の動きを簡単に説明する。
【００４８】
図６は剥離動作の過程における各部の動作を示す図である。ここでは、パターン形成材料により予め所定のパターンが形成されたパターン担持体としてのブランケットＢＬと、このパターンが転写される被転写体としての基板ＳＢとがパターンを介して貼り合わされたものを剥離対象物たるワークＷＫとして、このワークＷＫからブランケットＢＬと基板ＳＢとを剥離させる動作について説明する。ＣＰＵ７０１が所定の制御プログラムを実行し、制御ユニット７０が装置各部を制御することで剥離動作が実行される。
【００４９】
最初に、剥離装置１に外部からワークＷＫが搬入されステージ３０の所定位置に載置される。このとき、開口３１３，３１４に配設されたリフタピンがステージ上面３１０より上方に突出した突出位置に位置決めされることで、外部の搬送装置からのワークＷＫの受け渡しを容易にすることができる。リフタピンはワークＷＫを受け取った後退避位置まで下降し、これによりワークＷＫはステージ上面３１０に載置される。
【００５０】
ワークＷＫが搬入された直後の初期状態では、ワークＷＫが吸着溝３１１，３１２の一方または両方によって吸着保持され、初期剥離ユニット３３の押圧部材３３１、ローラユニット４の剥離ローラ４０１、第１ないし第４吸着ユニット５１〜５４の吸着パッド５１７〜５４７はいずれもワークＷＫから離間している。各吸着ユニット５１〜５４は、Ｙ方向に走行するローラユニット４と干渉することがないように、吸着パッド５１７〜５４７と基板ＳＢとの間に十分なギャップを隔てて配置される。また剥離ローラ４０１は、第１吸着ユニット５１の吸着パッド５１７よりもわずかに（＋Ｙ）側に寄った位置で、ワークＷＫから離間した状態にある。この状態から剥離動作が実行される。
【００５１】
剥離動作では、最初に第１吸着ユニット５１が下降し、負圧を供給された吸着パッド５１７が基板ＳＢの（−Ｙ）側端部上面に当接して基板ＳＢを吸着保持する。また、剥離ローラ４０１が下降して基板ＳＢの上面に当接する。この状態から、図６（ａ）に示すように、押圧部材３３１が下降してブランケットＢＬの端部を押し下げる。ブランケットＢＬの端部はテーパーステージ部３２の上方に突出しており、その下面とテーパーステージ３２の上面３２０との間には隙間がある。したがって、押圧部材３３１がブランケットＢＬの端部を下方へ押圧することにより、ブランケットＢＬの端部がテーパーステージ部３２のテーパー面に沿って下方へ屈曲する。その結果、第１吸着ユニット５１により吸着保持される基板ＳＢの端部とブランケットＢＬとの間が離間し剥離が開始される。
【００５２】
続いて、図６（ｂ）に示すように、第１吸着ユニット５１の上昇が開始されるとともに、剥離ローラ４０１が基板ＳＢ表面に当接して転動しながら（＋Ｙ）方向に移動する。これにより、基板ＳＢとブランケットＢＬとの剥離が（＋Ｙ）方向に向かって進行するが、剥離ローラ４０１を当接させているため、剥離ローラ４０１が基板ＳＢに当接する領域を超えて剥離が進行することはない。剥離ローラ４０１を基板ＳＢに当接させながら一定速度で（＋Ｙ）方向に移動させることで、剥離の進行速度を一定に維持することができる。
【００５３】
剥離ローラ４０１が通過した後の基板ＳＢに対して、吸着ユニット５２，５３，５４が順次下降し、ブランケットＢＬから剥離した後の基板ＳＢに当接してこれを保持する。具体的には、図６（ｃ）に示すように、第２吸着ユニット５２は、その直下位置を剥離ローラ４０１が通過すると下降を開始し基板ＳＢに向けて進行する。吸着パッド５２７が基板ＳＢ上面に当接すると、負圧供給部７４から供給される負圧によって、第２吸着ユニット５２による基板ＳＢの吸着保持が開始される。
【００５４】
第２吸着ユニット５２は、基板ＳＢの吸着保持を開始すると上昇に転じる。これ以後、基板ＳＢは、第１吸着ユニット５１と第２吸着ユニット５２とによって保持されることとなる。これにより、ブランケットＢＬとの剥離が進行する基板ＳＢがより確実に保持され、基板ＳＢが下向きに撓んでブランケットＢＬと再接触したり、吸着パッド５１７から脱落したりするという問題が防止される。また、剥離境界線近傍における基板ＳＢとブランケットＢＬとの角度を適正に保つことで、剥離を良好に進行させる効果も得られる。
【００５５】
他の吸着ユニット５３，５４も同様に、当該吸着ユニットの下方を剥離ローラ４０１が通過すると下降を始め、吸着パッドが基板ＳＢに当接した時点で吸着保持を開始し上昇することにより、基板ＳＢを上方へ引き上げる。各吸着ユニットはステージ３０から所定の高さまで上昇した時点で停止する。
【００５６】
剥離進行方向の最下流側、つまり最も（＋Ｙ）側の吸着ユニット５４が基板ＳＢを保持して所定位置まで上昇することにより、図６（ｄ）に示すように、基板ＳＢとブランケットＢＬとが完全に分離し、剥離が完了する。剥離ローラ４０１および押圧部材３３１が基板ＳＢ、ブランケットＢＬのいずれからも離間した位置に退避することで、互いに分離された基板ＳＢとブランケットＢＬとが搬出可能となる。このときリフタピンが再び突出位置に位置決めされることで、ステージ３０上に残るブランケットＢＬがステージ上面３１０から離間した状態で支持される。これにより、外部の搬送装置へのブランケットＢＬの受け渡しが容易になる。こうして基板ＳＢおよびブランケットＢＬが搬出されて、剥離動作が完了する。
【００５７】
図７はローラユニットとワークとの当接状態を示す図である。ステージ３０にワークＷＫが載置された状態でローラユニット４が下降すると、３つの剥離ローラ４０１がそれぞれ基板ＳＢの上面に当接して当接ニップを形成する。図７に示すように、３つの剥離ローラ４０１と基板ＳＢ上面との間に形成される３つの当接ニップを、（−Ｘ）側から（＋Ｘ）側に順に符号Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３を付す。各当接ニップＮ１，Ｎ２，Ｎ３は、Ｘ方向において互いに離隔している。すなわち、Ｘ方向における当接ニップＮ１，Ｎ２間のギャップＧ１２、当接ニップＮ２，Ｎ３間のギャップＧ２３はいずれも０より大きい。
【００５８】
また、Ｙ方向においては、図に点線で示すように、Ｘ方向に延びる当接ニップＮ１〜Ｎ３の（−Ｙ）側端部の位置が同一である。ローラユニット４の移動に伴って当接ニップＮ１〜Ｎ３は（＋Ｙ）方向に移動し、当接ニップＮ１〜Ｎ３の（−Ｙ）側端部はその移動方向における後端部に該当する。ブランケットＢＬからの基板ＳＢの剥離は（＋Ｙ）方向に向かって進行するので、当接ニップＮ１〜Ｎ３の（−Ｙ）側端部は剥離進行方向における後端部ということもできる。
【００５９】
当接ニップＮ１〜Ｎ３の後端部よりも剥離進行方向における上流側、つまり（−Ｙ）側では、吸着ユニット５１等による引き上げで基板ＳＢが既に剥離されブランケットＢＬから離間した状態にある。一方、これより下流側、つまり（＋Ｙ）側では、剥離ローラ４０１によって剥離の進行が規制されており、基板ＳＢとブランケットＢＬとはまだ密着した状態にある。したがって、当接ニップＮ１〜Ｎ３の後端部は、剥離済みの領域と未剥離の領域との境界に当たる。
【００６０】
３つの当接ニップＮ１〜Ｎ３の後端部のＹ方向位置が等しく、この関係を保ちながら当接ニップＮ１〜Ｎ３が（＋Ｙ）方向に移動することで、剥離済み領域と未剥離領域との境界線（以下、「剥離線」という）がＸ方向に延びる一直線の状態のまま（＋Ｙ）方向に進行する。これにより、剥離の進行速度が局所的に変動することに起因する応力集中の影響を低減して、剥離を良好に進行させることができる。剥離線の乱れを防止するために、当接ニップ間のギャップＧ１２，Ｇ２３については、構造上可能な範囲で狭くすることが好ましい。例えば基板ＳＢがガラス基板のように比較的剛性の高いものである場合、剥離ローラ間のギャップは１０ミリメートル程度としても剥離品質に問題がないことが、本願発明者の実験により確認されている。
【００６１】
一直線状の剥離線を形成するとの観点からは、基板ＳＢの（−Ｘ）側端部から（＋Ｘ）側端部までを単一のローラ部材で押圧することが理想的である。しかしながら、基板サイズの大型化を図る上では、このことは必ずしも容易でない。
【００６２】
図８は剥離ローラが単一の場合と複数の場合とを比較した図である。剥離ローラを単一部材とする場合、図８（ａ）に示すように、ローラ部材Ｒの長さは、少なくともＸ方向における基板ＳＢの長さよりも長くなければならない。近年ではこの長さが１メートル以上となる場合もあり、このような長尺で十分な強度を有するローラ部材を寸法精度よく製造することは難しくなってきている。ローラ径を大きくすることも考えられるが、そうすると当接ニップの近傍で吸着パッド５１７等を基板ＳＢに当接させることができないため、剥離の品質に問題が生じるおそれがある。また、ローラ質量の増加に伴う周囲部材の高剛性化・大型化のために、製造コストが増大する原因ともなる。
【００６３】
また、図８（ｂ）に示すように、長尺のローラ部材Ｒを基板ＳＢに押圧したときにローラ部材Ｒが撓み、軸受に近い端部付近では基板ＳＢに対し十分な押圧力が作用したとしても、特に中央部分で十分な押圧力が加わらないことがある。このような不均一な押圧は、剥離不良の原因となり得る。ローラ部材Ｒにバックアップローラを当接させることで撓みを抑制することもできるが、特にローラ表面が弾性材料で構成されている場合、表面層の弾性変形により、バックアップの効果が十分に得られないことがある。
【００６４】
このような問題に鑑み、この実施形態のローラユニット４では、図８（ｃ）に示すように、剥離ローラ４０１をＸ方向において複数に分割し、これらの位置を揃えた上で一体的に移動させることで、単一のローラ部材と同様の剥離規制効果を得つつ、上記した単一ローラの問題点の解消が図られている。すなわち、各剥離ローラ４０１のＸ方向長さを短くすることで、寸法のばらつきを抑え、また撓みの生じにくい構造とすることができる。
【００６５】
また、個々の剥離ローラ４０１が短くても、それらが単一の支軸により支持された構造では、支軸の撓みによってやはり押圧力の不均一さを招くことがある。この実施形態では、各剥離ローラ４０１がそれぞれ独立してローラ支持部４０２に支持されることで、各剥離ローラ４０１の両端位置の変動が抑えられ、基板ＳＢへの押圧力をより均一にすることができる。
【００６６】
さらに、剥離ローラを分割することによって、ステージに設けられた開口部を避けて基板ＳＢを押圧することができるという効果がある。すなわち、この実施形態では、図８（ｃ）に示すように、隣り合う２つの剥離ローラ間のギャップ部がステージ上面３１０に設けられた開口３１４の上方に位置するように、剥離ローラ４０１の寸法と開口３１４の位置とが設定されている。
【００６７】
ワークが大判になると、ワークのステージ３０への搬入およびステージ３０からの搬出時にワークを水平姿勢に維持することが困難となる。この実施形態では、ステージ上面３１０に分散配置した開口３１３，３１４からリフタピンを突出させワークを下方から支持することで、ワークの撓みを抑えて水平姿勢を保つようにしている。しかしながら、剥離ローラによる押圧の点では、ステージはできるだけ平坦で開口がないことが好ましい。
【００６８】
図９はステージ上の開口部と剥離ローラとの位置関係を示す図である。図９（ａ）に示すように、剥離ローラが単一のローラ部材Ｒである場合、あるいは、剥離ローラが複数に分割されていても１つのローラ部材Ｒが開口３１４の上部に配置されているとき、ローラ部材Ｒにより押圧されたワークＷＫ（基板ＳＢおよびブランケットＢＬ）が開口３１４の位置で開口３１４の内部に押し込まれる。このとき、特に開口３１４の周縁部に相当する位置で基板ＳＢおよびブランケットＢＬに応力集中が生じ、これにより基板ＳＢまたはブランケットＢＬがダメージを受けるおそれがある。また、基板ＳＢとブランケットＢＬとの間にパターンが担持されているとき、当該位置でパターンの断裂を招くおそれがある。
【００６９】
一方、この実施形態では、図９（ｂ）に示すように、水平ステージ部３１の開口３１４の上方に２つの剥離ローラ４０１間のギャップ部が位置するようになっており、しかも、剥離ローラ４０１間の間隔Ｇ１２（またはＧ２３）が、開口３１４の直径（より厳密にはＸ方向における開口径）Ｄｘよりも大きくなっている。このため、開口３１４やその周縁部の上方でワークＷＫが剥離ローラ４０１に押圧されることが回避され、上記のような応力集中は発生しない。
【００７０】
前記した通り、剥離の品質の観点からは、ステージ上の開口および剥離ローラ間のギャップはできるだけ小さいものであることが望ましい。したがって、ワークを支持することができる強度を確保できる限りにおいてリフタピンを細くし、開口を小さくすることが好ましい。また、剥離ローラ間のギャップもできるだけ小さくすることが好ましい。
【００７１】
図１０はステージとこれに載置されるワークとの位置関係を示す図である。基板ＳＢとブランケットＢＬとが密着してなるワークＷＫにおいては、ブランケットＢＬが基板ＳＢより大きな平面サイズを有している。このため、基板ＳＢではその全面がブランケットＢＬに対向しているのに対して、ブランケットＢＬはその中央部分が基板ＳＢと対向しているが、周縁部は基板ＳＢと対向しない余白部分となっている。基板ＳＢの表面領域のうち周縁部を除く中央部分に、パターンが有効に転写されてデバイスとして機能する有効領域ＡＲが設定される。
【００７２】
基板ＳＢの有効領域ＡＲの全体が水平ステージ部３１の上面３１０に位置するように、ワークＷＫはステージ３０に載置される。一方、有効領域ＡＲよりも外側において、基板ＳＢの（−Ｙ）側端部はステージ３０の水平面とテーパー面との境界の稜線部Ｅよりも僅かに（−Ｙ）側に突出した位置に位置決めされる。
【００７３】
図においてドットを付した領域Ｒ１は吸着溝３１１によりブランケットＢＬが吸着される領域を示している。吸着溝３１１により吸着される領域Ｒ１は有効領域ＡＲ全体をカバーする。また、領域Ｒ２は吸着溝３１２によりブランケットＢＬが吸着される領域を示している。吸着溝３１２は有効領域ＡＲよりも外側でブランケットＢＬを吸着する。したがって、例えば吸着溝３１２のみによってブランケットＢＬを吸着する態様では、有効領域ＡＲ内のパターンが吸着の影響を受けることが回避される。
【００７４】
領域Ｒ３は、剥離の開始時に初期剥離ユニット３３の押圧部材３３１が基板ＳＢに当接する領域を示している。この領域Ｒ３においてブランケットＢＬが押圧部材３３１により下方、すなわち（−Ｚ）方向に押し下げられることで、基板ＳＢとブランケットＢＬとの間で剥離が開始される。
【００７５】
領域Ｒ４は、基板ＳＢ上面のうち吸着ユニット５１の吸着パッド５１７により吸着される領域を示している。基板ＳＢがこの領域Ｒ４において吸着ユニット５１により吸着保持され、上方、すなわち（＋Ｚ）方向に引き上げられることで、基板ＳＢがブランケットＢＬから離間し剥離が進行する。
【００７６】
領域Ｒ５は、ステージ上の開口３１４の開口位置を示している。開口３１４は、ワークＷＫの中央部をリフタピン３６１で支持するために、基板ＳＢの有効領域ＡＲの中に設けられている。このため、開口３１４の上方でワークＷＫが剥離ローラ４０１による押圧を受けるとパターンが損傷する場合がある。この実施形態では、開口３１４に対応する領域Ｒ５は、３つの剥離ローラ４０１が基板ＳＢとの間で形成する当接ニップＮ１，Ｎ２，Ｎ３の間でＸ方向に生じるギャップ部分に設定されている。言い換えれば、基板ＳＢの有効領域ＡＲのうち、３つの剥離ローラ４０１のいずれとも当接しない部分の下方に、開口３１４が設けられる。
【００７７】
この例では、開口３１４に対応する領域Ｒ５がＸ方向およびＹ方向に位置を異ならせて２つずつ、計４つ設けられる。Ｘ方向に位置の異なる２つの領域Ｒ５は、当接ニップＮ１，Ｎ２の間、および当接ニップＮ２，Ｎ３の間のギャップ部分に分散配置される。また、Ｙ方向に位置の異なる２つの領域Ｒ５は、Ｘ方向には同一位置にあり、いずれも当接ニップのギャップ部分に当たる位置にある。このような配置とすることで、４つの領域Ｒ５の全てが剥離ローラ４０１による押圧を免れる。これにより、開口３１４でのパターン断裂等を防止することができる。
【００７８】
一方、剥離を良好に進行させる観点からは、基板ＳＢの（−Ｘ）側端部から（＋Ｘ）側端部までできるだけ連続して当接ニップが形成されることが望ましい。そこで、Ｘ方向における開口３１４の位置に、開口３１４を避けるための最小限のギャップだけを設け、それ以外の領域については連続した当接ニップが形成されるようにする。つまり、開口３１４のＸ方向長さと略同じ幅を有し、開口３１４の位置を含んでＹ方向に延びる仮想的な帯状領域を考えたとき、基板ＳＢ上面を帯状領域によって区分してなる部分領域の各々に１つずつ剥離ローラ４０１が当接することが好ましく、各剥離ローラ４０１のＸ方向長さは対応する部分領域の幅にできるだけ近いことがより好ましい。
【００７９】
図１０に示すように、この例では、基板ＳＢ上面のうち開口３１４に対応する領域Ｒ５を含む細い帯状領域以外の領域は、３つの剥離ローラ４０１により形成される当接ニップＮ１〜Ｎ３のいずれかが通過し剥離ローラ４０１による押圧を受けることになる。１つの帯状領域に複数の開口３１４が設けられることにより、基板ＳＢのうち剥離ローラ４０１により押圧されない領域の面積を増やすことなくリフタピンの配設数を多くすることが可能となる。
【００８０】
また領域Ｒ６は、ステージ上の開口３１３に配設されたリフタピンが当接するブランケットＢＬの下面領域を示している。このリフタピンは、ワークＷＫのうち、基板ＳＢとブランケットＢＬとが重なり合う領域であって、かつ有効領域ＡＲよりも外側の領域において、ブランケットＢＬの下面に当接する。これにより、支持の際に有効領域ＡＲ内のパターン等に押圧力が加わるのを防止することができる。また基板ＳＢの剛性とブランケットＢＬの剛性とでワークＷＫを支持するので、大型で自重の大きいワークＷＫであっても確実に支持することができる。
【００８１】
このように、この実施形態では、開口３１４での押圧を避けつつ基板ＳＢのできるだけ広い範囲を剥離ローラ４０１により押圧して剥離を良好に進行させる観点、および、複数のリフタピン３６１を配してワークＷＫの水平姿勢を保つ観点から、これらを両立させるように、各部の配置および寸法が定められている。
【００８２】
以上のように、この実施形態では、ブランケットＢＬと基板ＳＢとが貼り合わされたワークＷＫから互いを剥離させるため、ステージ３０によってブランケットＢＬが吸着保持され、吸着ユニット５１等が基板ＳＢを保持しつつ上方、つまりブランケットＢＬから離間する方向に移動する。このとき、剥離ローラ４０１が基板ＳＢに当接し、吸着ユニット５１等の移動に連動して剥離方向、つまり（＋Ｙ）方向に移動することで、剥離の進行を規制する。
【００８３】
剥離ローラ４０１は剥離方向に直交するＸ方向に複数配列されており、これらが一体的に剥離方向に移動することで、剥離済み領域と未剥離領域との境界の剥離線を直線状に維持しつつ剥離方向に進行させる。こうすることで、剥離の進行速度が局所的に変動することに起因する剥離不良を抑制することができる。剥離ローラを単一のローラ部材とする場合、ローラの撓みに起因して押圧力が不均一になるという問題や、ローラの製造コストが増大するという問題があるが、複数の剥離ローラ４０１に分割することで、このような問題を回避することができる。
【００８４】
また、ステージ３０近傍でワークＷＫを水平姿勢に保持するために、この実施形態では、ステージ上面３１０からリフタピン３６１が突出してワークＷＫを下面から支持する。リフタピン３６１を配設するために、ステージ上面３１０には開口３１４が設けられる。この開口３１４は、ステージ上面３１０のうち複数の剥離ローラ４０１により形成される当接ニップＮ１〜Ｎ３のギャップ部分に対応する位置に設けられる。したがって、開口３１４の上方でワークＷＫが剥離ローラ４０１により押圧されることはなく、開口３１４の位置でワークＷＫに応力集中が生じ剥離不良を引き起こすことが防止される。
【００８５】
以上説明したように、この実施形態では、ブランケットＢＬおよび基板ＳＢがそれぞれ本発明の「第１板状体」および「第２板状体」に相当している。また、上記実施形態では、ステージ３０が本発明の「保持手段」として機能しており、水平ステージ部３１の上面３１０が本発明の「保持面」に相当している。また、第２の開口３１４が、本発明の「開口部」に相当する。また、上記実施形態では、リフタピン３６１が本発明の「支持部材」として機能し、吸着ユニット５１〜５４がそれぞれ本発明の「剥離手段」として機能している。
【００８６】
また、ローラユニット４が本発明の「規制手段」として機能しており、剥離ローラ４０１が本発明の「ローラ部材」として機能している。また、ローラ支持部４０２および上部アングル４５がそれぞれ本発明の「支持フレーム」および「ベース部材」として機能し、これらが一体的に本発明の「支持部」として機能する。また、モータ３５３およびボールねじ機構３５４が一体として本発明の「移動機構」として機能している。
【００８７】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態の剥離装置１は、本発明の「剥離手段」として４組の吸着ユニット５１〜５４を備えているが、剥離手段の配設数は任意であり、例えば次のように１つだけでもよい。
【００８８】
図１１は剥離装置の変形例を示す図である。この変形例では、上記実施形態の剥離装置１から第２〜第４吸着ユニット５２〜５４が省かれ、１つの吸着ユニット５１のみが「剥離手段」として設けられている。この点を除く各部の構成は上記実施形態と同一であり、詳しい説明を省略する。この変形例では、ワークＷＫをなす基板ＳＢの（−Ｙ）側端部を吸着ユニット５１が保持し、吸着ユニット５１が上昇するのに連動して剥離ローラ４０１が（＋Ｙ）方向に移動することで剥離が進行する。このように、剥離手段が１つだけの構成においても、上記したステージ３０およびローラユニット４を適用して、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００８９】
また、上記実施形態では、３組のローラアセンブリ４０が同一構造を有し、３つの剥離ローラ４０１は同一サイズを有している。しかしながら、複数の剥離ローラは長さが異なっていてもよく、また、次に例示するように、剥離ローラの直径が異なっていてもよい。
【００９０】
図１２はローラ径の異なる剥離ローラの組み合わせ例を示す図である。図１２（ａ）に示す例では、（−Ｘ）側から（＋Ｘ）側に向かって３つの剥離ローラ４６１，４６２，４６３が並べられる。このうち中央の剥離ローラ４６２は他の剥離ローラ４６１，４６３よりも直径が大きく、軸方向（Ｘ方向）長さが短い。中央の剥離ローラ４６２の回転軸（二点鎖線で示す）の位置と他の剥離ローラ４６１，４６３の回転軸（一点鎖線で示す）の位置とをＺ方向に異ならせることにより、これらを共に基板に当接させることが可能である。
【００９１】
図１２（ｂ）に示すように、剥離ローラ４６１，４６２，４６３がそれぞれ基板ＳＢと当接して形成する当接ニップＮ６１，Ｎ６２，Ｎ６３は、剥離方向である（＋Ｙ）方向における後端部、つまり当該当接ニップの（−Ｙ）側端部のＹ方向位置が互いに揃うことが必要である。前述の通り、当接ニップの後端部は剥離済み領域と未剥離領域との境界であり、複数の剥離ローラがなす当接ニップにおいて後端部の位置が揃っていれば剥離線をＸ方向の一直線とすることができる。当接ニップの前端部は未剥離領域にあり、当接ニップ間でその位置を揃える必要はない。中央の剥離ローラ４６２の回転軸の位置と他の剥離ローラ４６１，４６３の回転軸の位置とをＹ方向に異ならせることにより、このような位置関係を現出することが可能である。
【００９２】
このように、複数の剥離ローラは、形成される当接ニップの位置が軸方向に離隔し、かつ剥離方向における当接ニップ後端部の位置が揃っていればよく、同一の形状を有する必要はない。上記実施形態のように全てを同一形状とした場合、異なる形状のローラ部材を製造する場合に比べて製造コストの低減を図ることが可能となる。一方、当接ニップの大きさを異ならせる必要があるときは、当接ニップが上記の位置関係となるように、各剥離ローラのサイズや位置が調整されればよい。
【００９３】
また、上記実施形態では、３組のローラアセンブリ４０の全てについて上部アングル４５に対する位置調整が可能となっているが、複数の剥離ローラのうち１つについては予め位置が決められていてもよい。この剥離ローラの位置を基準として他の剥離ローラの位置調整を行うことで、上記と同様の位置関係を得ることができるからである。
【００９４】
また、上記実施形態は３つの剥離ローラ４０１を備えるが、剥離ローラの個数はこれに限定されない。リフタピンの本数についても同様である。
【００９５】
以上、具体的な実施形態を例示して説明してきたように、本発明においては、複数のローラ部材の直径が同一で、各々の回転軸が一致するように配置されてもよい。複数のローラ部材を同一径とすることで、部材の製造コストの低減を図ることができる。ローラ部材の直径が同じである場合、それぞれの回転軸を一致させることで、当接ニップの位置を揃え、また各当接ニップ間での当接圧を揃えることができる。
【００９６】
また、支持部は、ローラ部材の各々を個別に支持する複数の支持フレームと、複数の支持フレームを一体的に保持するベース部材とを有するものであってもよい。ローラ部材ごとに個別に支持フレームを設けることで、支持部の組み立てや調整の作業を容易にすることができる。また、支持フレームが共通のベース部材に取り付けられることで、当接ニップ間の相対的な位置関係が維持されたまま、ベース部材の移動に伴って各当接ニップを移動させることが可能となる。
【００９７】
この場合、支持フレームの少なくとも１つは、ベース部材に対する取り付け位置が調整可能であることが好ましい。こうすることで、複数のローラ部材により形成される複数の当接ニップ間の位置合わせを行うことができ、ローラ部材による剥離の進行管理をより適切に行うことが可能となる。
【００９８】
また、支持フレームの各々は、一のローラ部材の軸方向における両端部を回転自在に支持するものであってもよい。このような構成では、各ローラ部材の両端位置が安定するので、当接ニップにおける当接圧のばらつきを小さくすることができる。
【００９９】
また、剥離手段は、剥離方向においてローラ部材よりも上流側で第２板状体を保持するものであってもよい。第２板状体に当接しながら剥離方向に移動するローラ部材の上流側で剥離手段により第２板状体を第１板状体から離間させることで、第１板状体と第２板状体との剥離を剥離方向に沿って一方向に進行させることができる。この場合、剥離手段は、特に第２板状体の剥離方向における上流側端部を保持して第１板状体から離間させるように構成されてもよい。
【０１００】
また、保持手段の保持面には、軸方向に位置の異なる複数の開口部が設けられており、第２板状体の第１板状体とは反対側の主面のうち、開口部を仮想的に剥離方向に延長した帯状領域によって区分される複数の部分領域の各々に対し、ローラ部材が１つずつ当接するように構成されてもよい。軸方向に位置を異ならせて複数の開口部を設け支持部材を配設することで、第１板状体をより安定に支持することができる。この場合、軸方向において２つの開口部の間に１つのローラ部材を配置するようにすれば、開口部間の領域についてはギャップのない連続した当接ニップを形成することができる。
【０１０１】
また、保持面には、軸方向において同一位置かつ剥離方向において位置の異なる複数の開口部が設けられていてもよい。剥離方向に位置を異ならせて複数の開口部を設けることで、第１板状体をより安定に支持することができる。この場合、複数の開口部の軸方向位置が同じであれば、それらの開口部を避けるための当接ニップ間の軸方向ギャップ位置を同じにすることができる。
【０１０２】
また、この発明は、ローラ部材の各々が、その表面が弾性材料により形成されている場合に特に好適である。表面に弾性層を有するローラ部材では、長尺になると当接圧の均一な当接ニップを形成することが特に難しくなる。本発明の適用により複数のローラ部材を設けることで、当接圧の均一な当接ニップを形成して剥離を良好に進行させることが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【０１０３】
この発明は、互いに貼り合わされた２枚の板状体を剥離させる剥離処理に好適に適用することができ、特に板状体のサイズの大型化にも対応することができるものである。
【符号の説明】
【０１０４】
１  剥離装置
４  ローラユニット（規制手段）
３０  ステージ（保持手段）
４５  上部アングル（ベース部材、支持部）
５１〜５４  吸着ユニット（剥離手段）
３１０  （水平ステージ部３１の）上面（保持面）
３１４  第２の開口（開口部）
３５３  モータ（移動機構）
３５４  ボールねじ機構（移動機構）
３６１  リフタピン（支持部材）
４０１  剥離ローラ（ローラ部材）
４０２  ローラ支持部（支持フレーム、支持部）
ＢＬ  ブランケット（第１板状体）
ＳＢ  基板（第２板状体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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