(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吸引する第１吸引口を有する吸引部と、
インクジェットヘッドのノズルプレートと接触する支持部と、を有し、
前記インクに対する前記ノズルプレートの接触角αと前記インクに対する前記支持部の接触角βと前記インクに対する前記吸引部の接触角γとの関係が、下式１であり、
さらに、前記吸引部の下部に位置する筐体部を有し、
前記筐体部に前記インクの漏れを防ぐ複数のガイド部があるインクジェットヘッドのクリーニング装置。
（式１）接触角α＞接触角β＞接触角γ
【請求項２】
前記支持部は複数あり、前記複数の支持部間に前記吸引部が配置された請求項１記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項３】
前記筐体部に、前記インクを吸引する第２吸引口がある請求項１または２に記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項４】
前記筐体部は、前記複数のガイド部の内側へ傾斜している請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項５】
前記吸引部の上面は、前記筐体部より、高さが３〜５ｍｍ高い請求項１から４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項６】
前記接触角βは３５°〜５５°であり、前記接触角γは１５°〜３０°である請求項１から５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項７】
前記第１吸引口は、スリット状であり、その短手方向の幅は、０．２５ｍｍ〜０．７５ｍｍである請求項１から６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項８】
前記支持部の硬さは、前記ノズルプレートよりも柔らかい請求項１から７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項９】
前記支持部のロックウエル硬さは２０〜５０（Ｒスケール）である請求項１から８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置と、インクジェット装置と、を備えた印字装置。
【請求項１１】
請求項１から９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置を、インクジェットヘッドのノズルプレートと接触させ、前記クリーニング装置を、前記ノズルプレートと相対的に移動させ、前記ノズルプレートをクリーニングするインクジェットヘッドのクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドのクリーニング装置、クリーニング方法、及び、インクジェットヘッドを用いた印字装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドのノズルプレートは、インクを吐出するノズル穴を有している。このようなインクジェットヘッドにおいては、ノズル穴からインクを吐出した際に、ノズル穴の周辺に余分なインクが残らないように、ノズルプレートの表面が撥インク性に保たれることが多い。図１（ａ）と図１（ｂ）とにインクジェットヘッドの構造を示す。
【０００３】
インクジェットヘッドは、液滴を吐出する複数のノズル１００、ノズルに連通する圧力室１１０、異なるノズルに対応する圧力室を隔てる隔壁１１１、圧力室の一部をなすダイアフラム１１２、ダイアフラムを振動させる圧電素子１３０、隔壁を支える圧電部材１４０、圧電素子１３０に電圧を印加する共通電極（図示せず）を有する。他に図示しない液体の導入口を有する。
【０００４】
また、液体を循環する種類のインクジェットヘッドにおいては、図示しない液体注入口と排出口とを有し、インクを流しながらインクを吐出する。圧電素子１３０と隔壁を支える圧電部材１４０とは、一つの圧電部材からダイシングによって分離されている。インクジェットヘッドが有するノズル１００は、直径２０μｍ〜５０μｍで、１００μｍ〜５００μｍの間隔で１００穴〜３００穴並んでいる。
【０００５】
このように構成されたインクジェットヘッドは、次のように動作する。圧電素子１３０の裏側の共通電極（図示せず）と、圧電素子１３０の間に電圧を印加すると、圧電素子１３０が図１（ａ）の状態から図１（ｂ）の状態に変形する。圧電素子１３０が変形する（圧電素子１３０の下部が変形）と、圧力室１１０の容積が小さくなり、液体に圧力を加えることができる。その圧力で液滴１５０を吐出させている。
【０００６】
インクジェットヘッドの構造としては、薄膜の圧電素子を用いた構造でもよい。図２（ａ）、図２（ｂ）は、薄膜型インクジェットヘッドの構造を示す図である。図２（ａ）に液体を吐出するためのノズル２００、ノズルに連通する圧力室２１０、圧力室に液体を供給する共通圧力室２３０が繋がっている。圧力室の一部を成すダイアフラム２１２の上部に薄膜圧電素子２２０が構成されている。このように構成されたインクジェットヘッドは次のように動作する。薄膜圧電素子２２０に電圧を印加すると、薄膜圧電素子２２０が図２（ａ）の状態から図２（ｂ）の状態に変形する。薄膜圧電素子２２０が変形すると、圧力室２１０の容積が小さくなり液体に圧力を伝達することができる。その圧力で液滴１５０を吐出させている。
【０００７】
このようなインクジェットヘッドに対して、ノズルプレート上のノズル穴近傍に付着したインク等のクリーニングを吸引ノズルで吸引クリーニングする技術がある。
【０００８】
例えば、図３には従来技術でのインク吸引ノズルを示している。負圧生成手段３に連通された局所吸引手段４をノズル２が配置されたヘッド本体１に接触させながら摺動させて吸引クリーニングを行うことが示されている（特許文献１）。局所吸引手段４の吸引用開口５でノズル２をクリーニングする。局所吸引手段４には、吸引用開口移動手段６で移動可能である。局所吸引手段４は、圧力変動手段８で、吸引力を制御できる。
【０００９】
また、局所吸引手段４がノズル２と接触しないように隙間を保って移動させて吸引クリーニングを行う方法が提案されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平５−２０１０２８号公報
【特許文献２】特開２００９−１３７２１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、特許文献１に示した方法では、ノズルと吸引手段とが接触するので、ノズルに傷が生じる可能性が高く、安定な吐出ができない。
【００１２】
特許文献２に示した方法では、ノズルに非接触のため、プレート表面のインクを取り去ることが不十分な場合がある。逆、吸引しすぎて、ノズル内部のインクの一部を吸引してしまう。結果、インクの吐出が不安定になる。
【００１３】
よって、本願の課題は、確実に、ノズルプレート表面のインクを取り去り、インクを安定吐出するインクジェットヘッドのクリーニング装置、クリーニング方法、及び、印字装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の課題を解決するために、インクを吸引する吸引口を有する吸引部と、インクジェットヘッドのノズルプレートと接触する支持部と、を有し、上記インクに対する上記ノズルプレートの接触角αと上記インクに対する上記支持部の接触角βと上記インクに対する上記吸引部の接触角γとの関係が、接触角α＞接触角β＞接触角γであるインクジェットヘッドのクリーニング装置を用いる。
また、上記インクジェットヘッドのクリーニング装置と、上記インクジェット装置と、を備えた印字装置を用いる。
【００１５】
さらに、上記インクジェットヘッドのクリーニング装置を、インクジェットヘッドのノズルプレートと接触させ、上記クリーニング装置を、上記ノズルプレートと相対的に移動させ、上記ノズルプレートをクリーニングするインクジェットヘッドのクリーニング方法を用いる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のインクジェットヘッドのクリーニング装置、インクジェットヘッドのクリーニング方法、及びインクジェットヘッドのクリーニング装置を具備した印字装置によれば、ノズルプレート上にインクを残すことなく、吸引することが可能となり、印字品質に優れた印字を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（ａ）従来のバルク型インクジェットヘッドの構造、（ｂ）（ａ）の薄膜型インクジェットヘッドで、圧電素子に電圧が印加されたときのヘッドの状態を示す図
【図２】（ａ）従来の薄膜型インクジェットヘッドの構造、（ｂ）（ａ）の薄膜型インクジェットヘッドで、圧電素子に電圧が印加されたときのヘッドの状態を示す図
【図３】従来の方法で、ノズルプレート上のインクを吸引する様子を示す図
【図４】（ａ）〜（ｅ）実施の形態でのインク吸引のフローを示す図
【図５】（ａ）〜（ｆ）構成部材の濡れ性の違いによりインク液滴の吸引状態の違いを示す実施の形態でのインクジェットヘッドクリーニング装置の断面図
【図６】（ａ）実施例でのインクジェットヘッドのクリーニング装置の模式図、（ｂ）比較例１〜３でのインクジェットヘッドのクリーニング装置の模式図、（ｃ）比較例１〜３でインク液滴がクリーニング装置の外に溢れ出すことを示す模式図
【図７】（ａ）〜（ｂ）実施例でのインクジェットヘッドのクリーニングによる吐出の特性を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（実施の形態）
実施の形態のインクジェットヘッドのクリーニング装置、インクジェットヘッドのクリーニング方法、及びインクジェットヘッドのクリーニング装置を具備した印字装置について説明する。実施の形態のインクジェットヘッドの構造は、図１で示したバルク型ピエゾのヘッド構造と同じである。
【００１９】
＜クリーニング装置を用いたインク液滴吸引フロー＞
図４（ａ）〜図４（ｅ）には、１実施の形態でのノズルプレート４０４上に付着したインク液滴４０２を、クリーニング装置４０３を用いて吸引するフローを示す図である。ノズルプレート４０４は、インクジェット装置でノズルが表面にでる部分である。ノズルプレート４０４からインクを長時間吐出させると、ノズルプレート４０４の表面にインク液滴４０２が現れる（図４（ｂ））。
【００２０】
あるタイミングで、ノズルプレート４０４のクリーニングを開始する。まず、インクジェットヘッドのクリーニング装置４０３がノズルプレート端部Ａの直下まで移動する。その後、クリーニング装置４０３が上昇しクリーニング装置４０３のノズル支持部（図示せず）がノズルプレートに接触して停止する（図４（ｃ））。
【００２１】
この状態でクリーニング装置４０３に連通している真空ポンプ（図示せず）が作動し、所定の吸引流量で吸いながら、一定の移動速度でノズルプレート上を掃引する。このとき掃引を開始するノズルプレート端部Ａとは逆側のノズルプレートの端部Ｂを通過するまでクリーニング装置４０３は移動する（図４（ｄ））。ノズルプレート端部Ｂを通過してからクリーニング装置４０３は下降して、インク液滴４０２の吸引動作は完了する（図４（ｅ））。
【００２２】
この一連の動作において、クリーニング装置４０３がノズルプレート端部Ｂを通過せずに、ノズルプレートの途中で掃引動作を終えて、クリーニング装置４０３が下降してしまうと、ノズルプレート上のインク液滴４０２はわずかながら残ってしまう。クリーニング装置４０３の第１吸引口より大きさの小さいインク液滴が吸引されずに残ってしまう。
【００２３】
よって、インク液滴の吸引時はクリーニング装置がノズルプレート端部を通過するまで移動させることが望ましいと言える。
【００２４】
なお、クリーニング装置４０３とノズルプレート４０４とは相対的に移動させればよい。
【００２５】
＜クリーニング装置の構成部材＞
図５（ａ）〜図５（ｆ）は、クリーニング装置４０３で、ノズルプレート４０４を清掃する時の断面図である。クリーニング装置４０３の上部に位置する吸引部５０３で、ノズルプレート４０４を清掃している。それぞれの図は、インク液滴４０２の吸引状態の違いを示している。
【００２６】
図５（ａ）〜図５（ｃ）は、クリーニング前、図５（ｄ）〜図５（ｆ）は、クリーニング後である。
【００２７】
インク液滴４０２に対する、ノズルプレート４０４、支持部５０２、吸引部５０３の接触角を、それぞれ接触角α、接触角β、接触角γとする。
【００２８】
なお、この例では、芳香族系の高分子溶液インクである。ノズルプレート４０４は、表面にシリコン系の撥水膜がコーティングされており、そのコーティングにおける接触角である。以下、第１，２パターンは比較例であり、第３パターンは実施例である。
【００２９】
接触角の測定はＫＲＵＳＳ社製のＤＳＡ１００を用いて測定した。
また、ノズルプレート４０４に対して、支持部５０２は接触して掃引するために、支持部５０２の硬さはノズルプレート４０４より柔らかいことが望ましい。あまりに硬さが硬いとノズルプレート４０４の表面をキズ付けてしまう。
【００３０】
＜第１パターン＞
図５（ａ）では、接触角α＞＞接触角β＝接触角γである状態である。具体的には接触角α＝６６°、接触角β＝接触角γ＝２６°である。接触角αの範囲は６０〜７０°である。接触角β及び接触角γの範囲は１５〜３０°であり、好ましくは２０〜３０°である。
【００３１】
この状態ではクリーニング装置４０３の各部材がインク液滴４０２に対して非常に濡れる状態であり、濡れ性の低いノズルプレート４０４上に付着しているインク液滴４０２は吸引部５０３の方に移りやすい状態である。
【００３２】
しかし、非常に濡れやすいため支持部５０２とノズルプレート４０４との間に微量のインク液滴４０２が毛細管現象で浸入していきやすい状態であり、ノズルプレート４０４上に残りやすい（図５（ｄ））。
【００３３】
＜第２パターン＞
図５（ｂ）は、接触角α≧接触角β＝接触角γである状態を示している。具体的には接触角α＝６６°、接触角β＝接触角γ＝４２°である。接触角αの範囲は６０〜７０°である。接触角β及び接触角γの範囲は３５〜５５°であり、好ましくは４０〜５０°であり得る。この状態はクリーニング装置４０３の各部材がインク液滴４０２に対してあまり濡れない状態であり、ノズルプレート４０４上に付着しているインク液滴４０２は吸引部５０３の方に移りにくい状態である。
【００３４】
結果、ノズルプレート４０４上にインク液滴４０２が残ってしまう場合が多い（図５（ｅ））。
【００３５】
＜第３パターン＞
図５（ｃ）には、接触角α＞接触角β＞接触角γである状態を示している。具体的には接触角α＝６６°、接触角β＝４２°、接触角γ＝２６°である。接触角αは６０〜７０°である。接触角βは３５〜５５°であり、好ましくは４０〜５０°である。接触角γは１５〜３０°であり、好ましくは２０〜３０°である。この状態は、吸引部５０３はインク濡れ性が高いため、濡れ性の低いノズルプレート４０４上のインク液滴４０２は吸引部５０３に移りやすい状態である。しかし支持部５０２のインクの濡れ性はあまり高くないため、インク液滴４０２は支持部５０２にまでは広がりにくい。よって、インク液滴４０２は効率的に吸引され、ノズルプレート４０４上にはインク液滴４０２が残りにくい状態になる（図５（ｆ））。
【００３６】
＜第１吸引口６０１＞
ここで、第１吸引口６０１がスリット形状で配置されており、その幅は約０．５ｍｍである。スリット幅が１．０ｍｍ程度に大きいと、吸引し切れずにノズルプレート４０４上にインク液滴４０２が残ってしまう。スリット幅が０．２ｍｍ程度に小さいと、インク液滴４０２の残りはないのだが、流路抵抗が大きくなり、吸引流量を増やす必要がある。実験の結果、スリット幅が０．２５ｍｍから０．７５ｍｍの間ではインク液滴の残りが無く吸引できることがわかった。
【００３７】
＜結果＞
以上より、クリーニング装置４０３を構成する部材の濡れ性は、ノズルプレート４０４に対して、支持部５０２の濡れ性が高く、吸引部５０３の濡れ性は更に高いことが望ましいことがわかる。なお、この濡れ性の違いは、部材の種類を変えることで実現しても構わないし、同じ部材であっても、表面処理などで実現させても構わない。
【００３８】
（実施例）
図６（ａ）には実施例でのクリーニング装置４０３を示している。
【００３９】
クリーニング装置４０３は、凸状の吸引部５０３が、上部にあり、その上部に支持部５０２がある。支持部５０２は、ライン状で２つある。支持部５０２は、ノズルプレート４０４に接触する部分である。接触を安定化するため、支持部５０２は、少なくとも２つ必要である。吸引部５０３には、インクを吸引する第１吸引口６０１がある。複数の支持部５０２の間に、第１吸引口６０１がある。
【００４０】
吸引部５０３の下部には、筐体部６０４がある。筐体部６０４は、吸引部５０３の前後にあり、平面台である。上面は平面が好ましいが、傾斜、曲面、球面でもよい。
筐体部６０４には、支持部５０２と連続して、ガイド部６０３が配置される。支持部５０２と同様に、少なくとも２つのガイド部６０３が必要である。
【００４１】
また、筐体部６０４は外側から内側に向かって（複数のガイド６０３間の内側に向かって）緩やかに傾斜しており、内側部に第２吸引口６０２が配置されている。
【００４２】
支持部５０２の材料はポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を用いている。吸引部５０３の材料はポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）を用いている。
【００４３】
なお、インクに対する接触角は、ＰＴＦＥが４２°、ＰＥＥＫが２６°である。ノズルプレート４０４は、シリコン系の撥水膜がコーティングされたもので、それらの接触角より高い。結果、上記第３パターンに相当する。以下の比較例に関しても、材質と、どのパターンであるかを表１に示した。
【００４４】
支持部５０２は吸引部５０３と比べて、高さが高くなっており、その高さの差は０．０５ｍｍ程度である。筐体部６０４と吸引部５０３との高さの差は５ｍｍ程度である。これはノズル穴から染み出すインク液滴の直径がおおよそ２〜３ｍｍであるため、この大きさを吸収できるように５ｍｍ程度に設定している。ノズルから染み出すインク液滴の直径が２〜３ｍｍであるため、筐体部６０４と吸引部５０３との高さの差は５ｍｍでなくても、３ｍｍ以上あればよい。
【００４５】
ガイド部６０３の材料はＰＴＦＥである。ガイド部６０３は、吸引部５０３から筐体部６０４に落ちてきたインクがクリーニング装置４０３の外にこぼれないようにガイドするために配置される。
【００４６】
この構造により、ノズルプレート上のインクの内、第１吸引口６０１で吸引しきれずに、筐体部６０４に流れ落ちたインクも効率的に第２吸引口６０２から吸引される。
【００４７】
＜試験＞
実施例、比較例のクリーニング装置を用いて、ノズルプレート４０４上のインク液滴の吸引試験と、ノズルプレートとの接触による耐久性試験と、多量のインク液滴を吸引した時のインク液滴のクリーニング装置外へのインク液滴の溢れ試験とを行った。
【００４８】
吸引試験は、吸引流量は約５Ｌ／分、掃引速度は１０ｍｍ／秒で行った。ノズル穴からのインク液滴の染み出し量は、直径１ｍｍ程度のインク液適量を６００穴のノズルから染み出させて行った。
【００４９】
ノズルプレート４０４との接触による耐久性試験は、４万回掃引させた後のノズルプレート表面を目視観察した。
【００５０】
インク液滴の溢れ試験は、ノズル穴から染み出させるインク液適量を、直径３〜４ｍｍ程度にして、クリーニング装置掃引によるインク液滴吸引を行った。
【００５１】
＜評価結果＞
実施例では、インク液滴の吸引試験はインク液滴の残りは確認されなかった。接触角の第３パターンのためである。
【００５２】
また、ノズルプレート４０４との接触での耐久性試験は、ノズルプレート４０４表面にキズなど物理的なダメージは確認できなかった。支持部５０２の材質のためである。さらに、ダメージを確認するため、接触角の測定も行った。クリーニング装置のノズルプレート４０４の接触部分と非接触部分とで測定値の違いはなく、ダメージなしという結果であった。
【００５３】
インク液滴の溢れ試験では、インク液滴の溢れは確認されなかった。吸引部５０３と筐体部６０４の高さの差が大きいためである。
【００５４】
以下、比較例１〜３でのクリーニング装置は、実施例と材質、寸法、構造が異なる。表１に材質、寸法、試験結果を示す。図６（ｂ）に、比較例１〜３でのクリーニング装置を示す。実施例のクリーニング装置と比べると、筐体部６０４と吸引部５０３との高さの差は小さく、第２吸引口６０２も配置されない。ガイド部６０３もない。
【００５５】
（比較例１）
インク液滴の吸引試験はインク液滴の残りがノズルプレート上に確認された。ＰＴＦＥがインク液滴の濡れ性が低いため、ノズルプレート上のインク液滴を吸引し切れなかったためである。接触角は第２パターンでありよくない。
【００５６】
ノズルプレート４０４の接触での耐久性試験はノズルプレート４０４の表面にキズなど物理的なダメージは確認できなかった。表面の接触角の測定結果でも、クリーニング装置のノズルプレート接触部と非接触部とで測定値の違いはなく、ダメージなしという結果であった。なお、ＰＴＦＥのロックウエル硬度はＲスケールで２０であり、ノズルプレートに対して柔らかい結果である。
【００５７】
インク液滴の溢れ試験では、図６（ｃ）に結果を示した。吸引口から吸い切れなかったインク４１０がクリーニング装置外に流れ出していることがわかった。これは、吸引部とインク筐体部との高さの差が小さいためと推定される。以下比較例２，３も同様である。
【００５８】
（比較例２）
インク液滴の吸引試験はインク液滴の残りがノズルプレート上に確認された。ただし、比較例１よりは液滴が残りにくい状態にあった。しかし、安定性に欠け、液摘の残りが生じやすい。
【００５９】
ノズルプレート接触での耐久性試験はノズルプレート表面にキズが確認された。ＰＥＥＫのロックウエル硬さはＲスケールで１２０であり、ノズルプレート表面に対して硬いという結果であった。
【００６０】
インク液滴の溢れ試験では、第１吸引口から吸い切れなかったインク液滴がクリーニング装置外に流れ出していることがわかった。これは、吸引部とインク筐体部との高さの差が小さいためと推定される。
【００６１】
（比較例３）
インク液滴の吸引試験はインク液滴の残りは確認されなかった。
【００６２】
ノズルプレート接触での耐久性試験はノズルプレート表面にキズなど物理的なダメージは確認できなかった。接触角の測定結果も、クリーニング装置のノズルプレート接触部と非接触部とで測定値の違いはなく、ダメージなしという結果であった。
【００６３】
インク液滴の溢れ試験では、第１吸引口から吸い切れなかったインク液滴がクリーニング装置外に流れ出していることがわかった。
【００６４】
【表１】
0006569083.tif 000002
【００６５】
（結果）
上記の結果から、第３パターンの接触角の関係が必要である。さらに、支持部５０２の材質はＰＴＦＥが良く、吸引部５０３の材質はＰＥＥＫが良く、吸引部５０３と筐体部６０４の高さの差は５ｍｍ程度あることが望ましいことがわかる。
【００６６】
また、耐久性試験に関しては、ノズルプレートとの接触部がポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）であってもノズルプレート表面にキズが付かないことを確認している。ちなみにＰＥＴのロックウエル硬度（Ｒスケール）は５６である。
【００６７】
（実施例でのクリーニング装置でのインクジェットヘッドのクリーニング性能の確認）
図７（ａ）には実施例での構造のクリーニング装置を用いて、インクジェットヘッドのクリーニング動作をしたときの、吐出ノズルの有効ノズル数の推移を示している。クリーニング動作前の有効ノズル数に比べて、クリーニング動作後は有効ノズル数が増えていることがわかる。クリーニング動作をすることによって、ノズル穴内のインクがリフレッシュされ、ノズルつまりなどの吐出不良が解消し、有効ノズル数が増えていると考えられる。なお、有効ノズルとはノズルつまりや飛翔曲がりがない正常なノズルのことである。
【００６８】
図７（ｂ）にはクリーニング動作後の、インクジェットヘッドのノズルから吐出される液滴の基材への着弾位置のばらつきの推移を示している。クリーニング動作により、インク液滴の吸引不良が発生し、ノズルプレート上にインク液滴が残っていると、着弾位置がばらつく恐れがあるが、クリーニング動作による着弾位置ばらつきの変化は見られないことがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明のインクジェットヘッドのクリーニング装置、インクジェットヘッドのクリーニング方法、及びインクジェットヘッドのクリーニング装置を具備した印字装置は、濡れ性の低いノズルプレート上のインク液滴も効率的に吸引することができ、インクの吐出性能を向上させ、ＯＬＥＤの発光層のインクの吐出や、ＵＶ硬化性インクなどを用いる加飾インクの吐出などに適用することができる。
【符号の説明】
【００７０】
１  ヘッド本体
２  ノズル
３  負圧生成手段
４  局所吸引手段
５  吸引用開口
６  吸引用開口移動手段
８  圧力変動手段
１００  ノズル
１１０  圧力室
１１１  隔壁
１１２  ダイアフラム
１３０  圧電素子
１４０  圧電部材
２００  ノズル
２１０  圧力室
２１２  ダイアフラム
２２０  薄膜圧電素子
４０２  インク液滴
４０３  クリーニング装置
４０４  ノズルプレート
４１０  インク
５０２  支持部
５０３  吸引部
６０１  第１吸引口
６０２  第２吸引口
６０３  ガイド部
６０４  筐体部
【図１】
0006569083.tif 000003
【図２】
0006569083.tif 000004
【図３】
0006569083.tif 000005
【図４】
0006569083.tif 000006
【図５】
0006569083.tif 000007
【図６】
0006569083.tif 000008
【図７】
0006569083.tif 000009