(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、
前記フレームに取り付けられた第１レール及び第２レールと、
前記第１レールに沿って移動できる第１可動部材、弾性部材によって前記第１可動部材に連結され且つ上下方向に移動できる第２可動部材、前記第２可動部材に取り付けられたカムフォロア、及び前記第２可動部材と共に上下方向に移動できる第１テーブルを備える第１スライダユニットと、
前記第２レールに沿って移動できる第２テーブルを備える第２スライダユニットと、
前記第１スライダユニット及び前記第２スライダユニットを第１停止位置及び第２停止位置の間で往復させる駆動ユニットと、
前記フレームに取り付けられ、水平面に対して角度をなす傾斜面である第１カム面を備える第１平面カムと、
前記第１平面カムとの間に距離をおいた位置で前記フレームに取り付けられ、水平面に対して角度をなす傾斜面である第２カム面を備える第２平面カムと、
を備え、
前記弾性部材は、前記カムフォロアが前記第１平面カムと前記第２平面カムとの間に位置するときに自然長となり、前記カムフォロアが前記第１カム面又は前記第２カム面に接するときに変形する搬送装置。
【請求項２】
前記第１カム面は、前記第２平面カムに近い端部が前記第２平面カムから遠い端部よりも上方に位置する傾斜面であり、
前記第２カム面は、前記第１平面カムに近い端部が前記第１平面カムから遠い端部よりも上方に位置する傾斜面である請求項１に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造装置等において、複数の加工工程を経る加工対象物（以下、ワークという）は、ある加工機械による加工の後、次の加工機械の位置に搬送される。ワークを搬送するために、ワークが載せられるテーブル及びテーブルを移動させる駆動装置を備えた搬送装置が従来から用いられている。搬送装置において、加工機械からワークを受け取る位置、及びワークを次の加工装置へ渡す位置は一定であることが好ましい。一方、１つのテーブルの往復によってワークが搬送される場合、搬送効率の向上には限界がある。これに対して、特許文献１には、２つのテーブルを備え、２つのテーブルの相互の干渉を回避するようにテーブルの軌跡を変更させる搬送装置が記載されている。これにより、給材位置及び除材位置が２つのテーブルで共通でありながら、１つのテーブルによりワークを搬送する場合に比較して搬送効率が向上する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−３０８６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載される搬送装置においては、ローラーがカム面を転がることによってテーブルが上下方向に移動させられる。ローラーがカム面を転がるので、ある程度の振動が生じる。また、カム面が給材位置から除材位置に亘って設けられているので、ローラーは常にカム面に接している。ローラーがカム面に接している時間が長いので、振動が生じやすくなる可能性がある。
【０００５】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、搬送効率を向上させることができ且つ振動の発生を抑制することができる搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため、本発明に係る搬送装置は、フレームと、前記フレームに取り付けられた第１レール及び第２レールと、前記第１レールに沿って移動できる第１可動部材、弾性部材によって前記第１可動部材に連結され且つ上下方向に移動できる第２可動部材、前記第２可動部材に取り付けられたカムフォロア、及び前記第２可動部材と共に上下方向に移動できる第１テーブルを備える第１スライダユニットと、前記第２レールに沿って移動できる第２テーブルを備える第２スライダユニットと、前記第１スライダユニット及び前記第２スライダユニットを第１停止位置及び第２停止位置の間で往復させる駆動ユニットと、前記フレームに取り付けられ、水平面に対して角度をなす傾斜面である第１カム面を備える第１平面カムと、前記第１平面カムとの間に距離をおいた位置で前記フレームに取り付けられ、水平面に対して角度をなす傾斜面である第２カム面を備える第２平面カムと、を備え、前記弾性部材は、前記カムフォロアが前記第１平面カムと前記第２平面カムとの間に位置するときに自然長となり、前記カムフォロアが前記第１カム面又は前記第２カム面に接するときに変形する。
【０００７】
これにより、カムフォロアが第１カム面又は第２カム面に接するときと接していないときとで、第１テーブルの上下方向（Ｚ方向）の高さが変わる。このため、第１テーブル及び第２テーブルは、立体交差することで、互いに干渉せずに交互にワークを搬送することができる。さらに、カムフォロアが第１平面カムと第２平面カムとの間に位置するときは、カムフォロアが第１カム面にも第２カム面にも接触しなくなる。すなわち、カムフォロアの外周面に摩擦が生じない区間がある。したがって、搬送装置は、搬送効率を向上させることができ且つ振動の発生を抑制することができる。
【０００８】
本発明の望ましい態様として、前記第１カム面は、前記第２平面カムに近い端部が前記第２平面カムから遠い端部よりも上方に位置する傾斜面であり、前記第２カム面は、前記第１平面カムに近い端部が前記第１平面カムから遠い端部よりも上方に位置する傾斜面であることが好ましい。
【０００９】
仮にカムフォロアが第１カム面又は第２カム面に接するときに第１テーブルが上がる場合、第２テーブルの上下方向の位置を第１テーブルの第１停止位置又は第２停止位置における上下方向の位置に合わせるための部材が必要となる。これに対して、本態様においては、カムフォロアが第１カム面又は第２カム面に接するときに第１テーブルが下がる。このため、第１テーブルの第１停止位置又は第２停止位置における上下方向の位置を、第２テーブルの上下方向の位置に合わせることが容易である。したがって、位置合わせのための部材が不要となるので、第２スライダユニットの軽量化が可能となる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、搬送効率を向上させることができ且つ振動の発生を抑制することができる搬送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。
【図２】図２は、本実施形態に係る搬送装置を示す正面図である。
【図３】図３は、本実施形態に係る搬送装置を示す平面図である。
【図４】図４は、本実施形態に係る搬送装置を示す右側面図である。
【図５】図５は、本実施形態に係る第１レール及び第１可動部材を拡大して示す斜視図である。
【図６】図６は、本実施形態に係る第２可動部材の周辺を拡大して示す斜視図である。
【図７】図７は、ワークが搬送されている途中における、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。
【図８】図８は、ワークが搬送されている途中における、本実施形態に係る搬送装置を示す右側面図である。
【図９】図９は、ワークが搬送された後における、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。
【図１０】図１０は、ワークが搬送された後における、本実施形態に係る搬送装置を示す右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。
【００１３】
（実施形態）
図１は、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。図２は、本実施形態に係る搬送装置を示す正面図である。図３は、本実施形態に係る搬送装置を示す平面図である。図４は、本実施形態に係る搬送装置を示す右側面図である。図５は、本実施形態に係る第１レール及び第１可動部材を拡大して示す斜視図である。図６は、本実施形態に係る第２可動部材の周辺を拡大して示す斜視図である。
【００１４】
本実施形態に係る搬送装置１は、例えば半導体等の製造装置に用いられる。搬送装置１は、ある加工機械からワーク１０を受け取った後、次の加工機械の位置までワーク１０を搬送する。搬送装置１によって搬送されたワーク１０は、次の加工機械に引き取られる。
【００１５】
図１から図４に示すように、搬送装置１は、フレーム２と、第１レール３ａと、第２レール３ｂと、駆動ユニット９と、第１スライダユニット４ａと、第２スライダユニット４ｂと、第１平面カム５と、第２平面カム６と、を備える。搬送装置１において、ワーク１０は、第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂによって、例えば水平方向に搬送される。第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂは、それぞれ第１停止位置Ｐ１と第２停止位置Ｐ２との間を往復する。図１から図４においては、第１スライダユニット４ａが第１停止位置Ｐ１に位置し、第２スライダユニット４ｂが第２停止位置Ｐ２に位置している。
【００１６】
以下の説明において、水平方向のうち第１停止位置Ｐ１と第２停止位置Ｐ２とを結ぶ直線に平行な方向はＸ方向と記載され、水平方向のうちＸ方向に対する直交方向はＹ方向と記載され、Ｘ方向及びＹ方向の両方に対する直交方向はＺ方向と記載される。すなわち、Ｚ方向は鉛直方向（上下方向）である。また、Ｘ方向のうち第１停止位置Ｐ１から第２停止位置Ｐ２に向かう方向は＋Ｘ方向と記載され、＋Ｘ方向とは反対方向は−Ｘ方向と記載される。水平面上において＋Ｘ方向に向かったときの左方向は＋Ｙ方向と記載され、＋Ｙ方向とは反対方向は−Ｙ方向と記載される。Ｚ方向のうち上方へ向かう方向は＋Ｚ方向と記載され、＋Ｚ方向とは反対方向は−Ｚ方向と記載される。
【００１７】
フレーム２は、第１レール３ａ、第２レール３ｂ、第１平面カム５、第２平面カム６、及び駆動ユニット９を支持するための部材である。図１から図３に示すように、フレーム２は、上板２１と、下板２２と、横板２３と、横板２４と、脚２５と、脚２６と、を備える。上板２１は、例えば水平面に平行な表面を有する板状部材である。下板２２は、上板２１に平行な板状部材であって、上板２１に対して隙間を空けて配置されている。横板２３及び横板２４は、上板２１及び下板２２の端部同士を連結する板状部材であって、上板２１から下板２２までの距離を規制している。脚２５及び脚２６は、下板２２に取り付けられた板状部材であって、下板２２のＺ方向の高さを規制している。
【００１８】
図１から図３に示すように、第１レール３ａは、Ｘ方向に沿う長尺部材であって、フレーム２の＋Ｚ方向側の表面に取り付けられている。第２レール３ｂは、Ｘ方向に沿う長尺部材であって、フレーム２の＋Ｚ方向側の表面に取り付けられている。第２レール３ｂは、第１レール３ａに平行に配置されており、且つ第１レール３ａよりも−Ｙ方向に位置している。
【００１９】
駆動ユニット９は、第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂに動力を伝える装置である。駆動ユニット９は、モータ９１と、駆動プーリー９２と、従動プーリー９４と、ベルト９３と、を備える。
【００２０】
モータ９１は、例えばサーボモータ等である。図２に示すように、モータ９１は、例えばフレーム２の下板２２に支持されている。具体的には、モータ９１は、下板２２の−Ｘ方向の端部に配置されている。モータ９１は、上板２１と下板２２との間に位置するシャフト９１１を備える。駆動プーリー９２は、シャフト９１１に取り付けられており、シャフト９１１と一体に回転する。従動プーリー９４は、下板２２の＋Ｘ方向の端部に設けられた軸受９４１に取り付けられている。ベルト９３は、環状の部材であって、図２に示すように駆動プーリー９２及び従動プーリー９４に取り付けられている。また、ベルト９３は、第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂに連結されている。これにより、モータ９１で生じた動力が、ベルト９３を介して第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂに伝達される。すなわち、駆動ユニット９は、動力伝達機構としてのベルトドライブを構成している。駆動ユニット９は、１つのモータ９１により第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂを移動させることができるので、第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂが独立して移動させられる場合よりも部品数を削減しながら搬送効率を向上できる。
【００２１】
第１スライダユニット４ａは、第１レール３ａに支持されており、第１レール３ａに沿って移動することができる。図１から図４に示すように、第１スライダユニット４ａは、第１スライダ４１ａと、第１可動部材４２と、第２可動部材４３と、カムフォロア４４と、弾性部材４５と、第１ベルト連結部材４８ａと、第１テーブル４９ａと、を備える。
【００２２】
第１スライダ４１ａは、Ｘ方向にスライドできるように第１レール３ａに取り付けられた部材である。すなわち、第１レール３ａは、第１スライダ４１ａをＸ方向に案内する。図５に示すように、第１スライダ４１ａは、第１レール３ａの表面３１に対向可能な第１対向面４１１と、第１レール３ａの側面３２に対向可能な第２対向面４１２と、第２対向面４１２から突出する２つの爪部４１３と、少なくとも一部が第１レール３ａの凹部３３に接する転動体４１４と、を備える。２つの爪部４１３は、それぞれ凹部３３に嵌まっている。すなわち、第１スライダ４１ａは、第１レール３ａをＹ方向の両側から挟んでいる。これにより、第１スライダ４１ａは、第１レール３ａに沿ってＸ方向にスライドすることができる。転動体４１４は、例えば玉である。転動体４１４は、凹部３３の内壁に接触しながら転がる。すなわち、第１レール３ａ及び第１スライダ４１ａが直動型玉軸受（Linear  Ball  Bearing）を構成している。凹部３３に沿って転動体４１４が転がることによって、第１スライダ４１ａは第１レール３ａを円滑に移動することができる。より具体的には、複数の転動体４１４は、環状に配置されており、且つＸ方向に沿う２列を形成している。２列のうち一方の列に位置する転動体４１４が凹部３３の内壁に接触する。２列のうち他方の列に位置する転動体４１４は、例えば第２対向面４１２に設けられた案内溝によって案内される。また、転動体４１４は、それぞれ転がりながら移動する。すなわち、複数の転動体４１４が無限循環路を形成している。なお、転動体４１４はころであってもよい。
【００２３】
第１可動部材４２は、第１スライダ４１ａに取り付けられ、第１スライダ４１ａと共にＸ方向にスライドする部材である。図４に示すように、第１可動部材４２は、Ｘ方向から見て略Ｌ字状の部材であり、Ｙ方向に対して直交する表面を有する。例えば、第１可動部材４２は、図４及び図６に示すように−Ｙ方向側の表面に第３スライダ４２１を備える。また、第１可動部材４２は、例えば−Ｙ方向に突出するピンである第１固定部４２５を２つ備える。例えば、２つの第１固定部４２５は、第３スライダ４２１の両側に配置されている。
【００２４】
第２可動部材４３は、第１可動部材４２と共にＸ方向にスライドし、且つ第１可動部材４２に対してＺ方向にスライドする部材である。図２に示すように、第２可動部材４３は、Ｙ方向から見て略矩形の板状部材であり、Ｙ方向に対して直交する表面を有する。例えば、第２可動部材４３は、図６に示すように＋Ｙ方向側の表面に第３レール４３１を備える。また、第２可動部材４３は、例えばＸ方向に突出するピンである第２固定部４３５を２つ備える。例えば、２つの第２固定部４３５は、第３レール４３１の両側に配置されており、互いに逆方向に突出している。また、第２固定部４３５は、第１固定部４２５に対して−Ｚ方向に位置している。
【００２５】
図６に示すように、第３スライダ４２１は、第３レール４３１の表面４３１１に対向可能な第１対向面４２１１と、第３レール４３１の側面４３１２に対向可能な第２対向面４２１２と、第２対向面４２１２から突出する２つの爪部４２１３と、少なくとも一部が第３レール４３１の凹部４３１３に接する転動体４２１４と、を備える。２つの爪部４２１３は、それぞれ凹部４３１３に嵌まっている。すなわち、第３スライダ４２１は、第３レール４３１をＸ方向の両側から挟んでいる。転動体４２１４は、例えば玉である。転動体４２１４は、凹部４３１３の内壁に接触しながら転がる。すなわち、第３レール４３１及び第３スライダ４２１が直動型玉軸受を構成している。凹部４３１３に沿って転動体４２１４が転がることによって、第３スライダ４２１は第３レール４３１を円滑に移動することができる。より具体的には、複数の転動体４２１４は、環状に配置されており、且つＺ方向に沿う２列を形成している。２列のうち一方の列に位置する転動体４２１４が凹部４３１３の内壁に接触する。２列のうち他方の列に位置する転動体４２１４は、例えば第２対向面４２１２に設けられた案内溝によって案内される。また、転動体４２１４は、それぞれ転がりながら移動する。すなわち、複数の転動体４２１４が無限循環路を形成している。なお、転動体４２１４はころであってもよい。
【００２６】
カムフォロア４４は、例えばシャフトと、シャフトの外周面に取り付けられたニードルベアリングと、ニードルベアリングの外周面で回転する外輪と、を備える軸受である。図２に示すように、カムフォロア４４は、第２可動部材４３の−Ｙ方向側の表面に取り付けられている。例えば、カムフォロア４４のシャフトが第２可動部材４３に固定されており、カムフォロア４４の外輪がＹ方向に平行な回転軸を中心に回転することができる。
【００２７】
弾性部材４５は、例えば引張コイルばねであり、２つ設けられている。２つの弾性部材４５は、例えばカムフォロア４４に対してＸ方向の両側に配置されている。弾性部材４５の一端は、第１固定部４２５に取り付けられる。弾性部材４５の他端は、第２固定部４３５に取り付けられる。第２固定部４３５が第１固定部４２５の−Ｚ方向に位置しているので、弾性部材４５の長手方向はＺ方向に沿っている。
【００２８】
第１テーブル４９ａは、ワーク１０が載せられる部材である。第１テーブル４９ａは、例えば水平面に平行な板状部材である。第１テーブル４９ａは、第２可動部材４３に取り付けられており、第１可動部材４２の＋Ｚ方向に位置している。
【００２９】
第１ベルト連結部材４８ａは、ベルト９３の動力を第１スライダユニット４ａに伝達するための部材である。第１ベルト連結部材４８ａは、例えば第１可動部材４２と一体に形成されており、ベルト９３に連結されている。具体的には、第１ベルト連結部材４８ａは、ベルト９３を把持している（クランプしている）。第１ベルト連結部材４８ａとベルト９３との間の摩擦力により、第１ベルト連結部材４８ａは、ベルト９３と共に移動する。これにより、第１スライダユニット４ａは、ベルト９３と共に移動することができる。
【００３０】
第２スライダユニット４ｂは、第２レール３ｂに支持されており、第２レール３ｂに沿って移動することができる。図１から図４に示すように、第２スライダユニット４ｂは、第２スライダ４１ｂと、第２テーブル４９ｂと、第２ベルト連結部材４８ｂと、を備える。
【００３１】
第２スライダ４１ｂは、Ｘ方向にスライドできるように第２レール３ｂに取り付けられた部材である。すなわち、第２レール３ｂは、第２スライダ４１ｂをＸ方向に案内する。また、上述した第１レール３ａ及び第１スライダ４１ａと同様に、第２レール３ｂ及び第２スライダ４１ｂが直動型玉軸受を構成している。
【００３２】
第２テーブル４９ｂは、ワーク１０が乗せられる部材である。第２テーブル４９ｂは、例えば水平面に平行な板状部材である。第２テーブル４９ｂは、第２スライダ４１ｂに取り付けられている。
【００３３】
第２ベルト連結部材４８ｂは、ベルト９３の動力を第２スライダユニット４ｂに伝達するための部材である。例えば、第２ベルト連結部材４８ｂの一端が第２テーブル４９ｂに連結されており、第２ベルト連結部材４８ｂの他端がベルト９３に連結されている。具体的には、第２ベルト連結部材４８ｂは、ベルト９３を把持している（クランプしている）。第２ベルト連結部材４８ｂとベルト９３との間の摩擦力により、第２ベルト連結部材４８ｂは、ベルト９３と共に移動する。これにより、第２スライダユニット４ｂは、ベルト９３と共に移動することができる。
【００３４】
第１平面カム５は、カムフォロア４４を案内するための部材である。図２に示すように、第１平面カム５は、例えばＹ方向から見て台形状である板状部材であって、第１カム面５１を備える。第１平面カム５は、例えば第１停止位置Ｐ１に対応する位置でフレーム２に支持されている。具体的には、フレーム２は、上板２１及び下板２２の−Ｙ方向側の側面に固定されている。第１カム面５１は、Ｙ方向から見て線分を描く傾斜面である。図２に示すように、第１カム面５１は、＋Ｘ方向側の端部５１１が−Ｘ方向側の端部５１２よりも＋Ｚ方向に位置するように傾斜している。言い換えると、第１カム面５１は、第２停止位置Ｐ２に近い端部５１１が第２停止位置Ｐ２から遠い端部５１２よりも上方に位置するように傾斜している。
【００３５】
第２平面カム６は、カムフォロア４４を案内するための部材である。図２に示すように、第２平面カム６は、例えばＹ方向から見て台形状である板状部材であって、第２カム面６１を備える。第２平面カム６は、例えば第１停止位置Ｐ１に対応する位置でフレーム２に支持されている。具体的には、フレーム２は、上板２１及び下板２２の−Ｙ方向側の側面に固定されている。第２平面カム６は、第１平面カム５に対して距離をおいて配置されている。第２カム面６１は、Ｙ方向から見て、第１カム面５１が描く線分に対して線対称である線分を描く傾斜面である。図２に示すように、第２カム面６１は、−Ｘ方向側の端部６１１が＋Ｘ方向側の端部６１２よりも＋Ｚ方向に位置するように傾斜している。言い換えると、第２カム面６１は、第１停止位置Ｐ１に近い端部６１１が第１停止位置Ｐ１から遠い端部６１２よりも上方に位置するように傾斜している。
【００３６】
図１から図４に示すように、第１スライダユニット４ａが第１停止位置Ｐ１にあるとき、カムフォロア４４は第１平面カム５の第１カム面５１に接している。第１スライダユニット４ａが第１停止位置Ｐ１にあるとき、弾性部材４５はＺ方向に伸びており、第１テーブル４９ａのＺ方向の位置が第２テーブル４９ｂのＺ方向の位置と同じである。
【００３７】
第１スライダユニット４ａが＋Ｘ方向に向かって移動を始めると、カムフォロア４４が第１カム面５１上を転がる。これにより、カムフォロア４４は＋Ｚ方向に移動するので、第２可動部材４３も＋Ｚ方向に移動する。カムフォロア４４が、第１カム面５１の第２停止位置Ｐ２側の端部５１１を過ぎると、弾性部材４５が自然長となる。すなわち、カムフォロア４４が第１カム面５１と第２カム面６１との間に位置するとき（カムフォロア４４が第１カム面５１及び第２カム面６１の両方に接していないとき）、弾性部材４５は自然長である。弾性部材４５のばね定数は、第２可動部材４３、カムフォロア４４、第１テーブル４９ａ及びワーク１０の重さでは伸びをほぼ生じない程度に大きい。このため、テーブル４９ａのＺ方向の位置は一定に保たれる。
【００３８】
図７は、ワークが搬送されている途中における、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。図８は、ワークが搬送されている途中における、本実施形態に係る搬送装置を示す右側面図である。図７に示すように、カムフォロア４４が第１カム面５１と第２カム面６１との間に位置するとき、第１テーブル４９ａが第２テーブル４９ｂよりも＋Ｚ方向に位置する。このため、第１テーブル４９ａが第２テーブル４９ｂと立体交差することができる。
【００３９】
図７に示す状態から、第１スライダユニット４ａが＋Ｘ方向に向かって移動すると、カムフォロア４４が第２カム面６１に達し、第２カム面６１上を転がる。これにより、カムフォロア４４が第２可動部材４３と共に−Ｚ方向に移動するので、第２固定部４３５も−Ｚ方向に移動する。一方、第１可動部材４２は第１スライダ４１ａに固定されているので、第１固定部４２５のＺ方向の位置は保たれる。このため、カムフォロア４４が第１カム面５１と第２カム面６１との間に位置する状態（図７に示す状態）と比較して、第１固定部４２５から第２固定部４３５までの距離が大きくなる。したがって、第１スライダユニット４ａが＋Ｘ方向に移動するにしたがって、弾性部材４５の一端から他端までの距離が大きくなるので弾性部材４５が伸びる。
【００４０】
図９は、ワークが搬送された後における、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。図１０は、ワークが搬送された後における、本実施形態に係る搬送装置を示す右側面図である。図９に示すように、第１スライダユニット４ａが第２停止位置Ｐ２にあるとき、カムフォロア４４は第２平面カム６の第２カム面６１に接している。カムフォロア４４が第２カム面６１に接しているとき、弾性部材４５はＺ方向に伸びており、第１テーブル４９ａのＺ方向の位置が第２テーブル４９ｂのＺ方向の位置と同じである。
【００４１】
なお、第１カム面５１は、必ずしも図２に示したような傾斜を有していなくてもよく、例えば端部５１１が端部５１２よりも下方に位置するように傾斜していてもよい。また、第２カム面６１は、必ずしも図２に示したような傾斜を有していなくてもよく、例えば端部６１１が端部６１２よりも下方に位置するように傾斜していてもよい。すなわち、第１カム面５１及び第２カム面６１のそれぞれの傾斜が、図２に示した傾斜と逆でもよい。このような場合、カムフォロア４４が第１カム面５１又は第２カム面６１に接するときに第１テーブル４９ａが上がることになる。例えば、第２固定部４３５が第１固定部４２５の＋Ｚ方向に配置されていればよい。これにより、弾性部材４５は、カムフォロア４４が第１平面カム５と第２平面カム６との間に位置するときに自然長となり、カムフォロア４４が第１カム面５１又は第２カム面６１に接するときに伸びる。
【００４２】
なお、弾性部材４５は、必ずしも引張コイルばねではなくてもよく、圧縮コイルばねであってもよい。このような場合、例えば第２固定部４３５が第１固定部４２５の＋Ｚ方向に配置されればよい。これにより、圧縮コイルばねである弾性部材４５は、カムフォロア４４が第１平面カム５と第２平面カム６との間に位置するときに自然長となり、カムフォロア４４が第１カム面５１又は第２カム面６１に接するときに縮む。または、第２固定部４３５が第１固定部４２５の−Ｚ方向に配置された状態で、第１カム面５１及び第２カム面６１のそれぞれの傾斜が図２に示した傾斜と逆であればよい。また、弾性部材４５は、必ずしも２つでなくてもよく、１つであってもよいし３つ以上であってもよい。また、弾性部材４５は、必ずしもコイルばねでなくてもよく、例えばゴム等であってもよい。
【００４３】
なお、駆動ユニット９は、必ずしもベルトドライブでなくてもよい。例えば、駆動ユニット９は、ローラーチェーン及びスプロケットを備えるチェーンドライブ等であってもよい。また、駆動ユニット９が備えるモータ９１は必ずしも１つでなくてもよく、例えば２つのモータ９１を備えていてもよい。例えば、駆動ユニット９は、２つのモータ９１の一方で第１スライダユニット４ａを移動させ、２つのモータ９１の他方で第２スライダユニット４ｂを移動させてもよい。これにより、搬送効率が向上する。
【００４４】
なお、モータ９１は、サーボモータに限定されず、例えばステッピングモータ、ダイレクトドライブモータであってもよい。また、駆動ユニット９が備える駆動源は必ずしもモータ９１でなくてもよく、例えばエアシリンダ等を用途に応じて適宜用いることができる。
【００４５】
以上で説明したように、搬送装置１は、フレーム２と、フレーム２に取り付けられた第１レール３ａ及び第２レール３ｂと、第１スライダユニット４ａと、第２スライダユニット４ｂと、駆動ユニット９と、第１平面カム５と、第２平面カム６と、を備える。第１スライダユニット４ａは、第１レール３ａに沿って移動できる第１可動部材４２、弾性部材４５によって第１可動部材４２に連結され且つ上下方向に移動できる第２可動部材４３、第２可動部材４３に取り付けられたカムフォロア４４、及び第２可動部材４３と共に上下方向に移動できる第１テーブル４９ａを備える。駆動ユニット９は、第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂを第１停止位置Ｐ１及び第２停止位置Ｐ２の間で往復させる。第１平面カム５は、フレーム２に取り付けられ、水平面に対して角度をなす傾斜面である第１カム面５１を備える。第２平面カム６は、第１平面カム５との間に距離をおいた位置でフレーム２に取り付けられ、水平面に対して角度をなす傾斜面である第２カム面６１を備える。弾性部材４５は、カムフォロア４４が第１平面カム５と第２平面カム６との間に位置するときに自然長となり、カムフォロア４４が第１カム面５１又は第２カム面６１に接するときに変形する。
【００４６】
これにより、カムフォロア４４が第１カム面５１又は第２カム面６１に接するときと接していないときとで、第１テーブル４９ａの上下方向（Ｚ方向）の高さが変わる。このため、第１テーブル４９ａ及び第２テーブル４９ｂは、立体交差することで、互いに干渉せずに交互にワークを搬送することができる。さらに、カムフォロア４４が第１平面カム５と第２平面カム６との間に位置するときは、カムフォロア４４が第１カム面５１にも第２カム面６１にも接触しなくなる。すなわち、カムフォロア４４の外周面に摩擦が生じない区間がある。したがって、搬送装置１は、搬送効率を向上させることができ且つ振動の発生を抑制することができる。
【００４７】
また、本実施形態に係る搬送装置１において、第１カム面５１は、第２平面カム６に近い端部５１１が第２平面カム６から遠い端部５１２よりも上方に位置する傾斜面である。第２カム面６１は、第１平面カム５に近い端部６１１が第１平面カム５から遠い端部６１２よりも上方に位置する傾斜面である。
【００４８】
仮にカムフォロア４４が第１カム面５１又は第２カム面６１に接するときに第１テーブル４９ａが上がる場合、第２テーブル４９ｂの上下方向の位置を第１テーブル４９ａの第１停止位置Ｐ１又は第２停止位置Ｐ２における上下方向の位置に合わせるための部材が必要となる。これに対して、本実施形態においては、カムフォロア４４が第１カム面５１又は第２カム面６１に接するときに第１テーブル４９ａが下がる。このため、第１テーブル４９ａの第１停止位置Ｐ１又は第２停止位置Ｐ２における上下方向の位置を、第２テーブル４９ｂの上下方向の位置に合わせることが容易である。したがって、位置合わせのための部材が不要となるので、第２スライダユニット４ｂの軽量化が可能となる。
【符号の説明】
【００４９】
１  搬送装置
１０  ワーク
２  フレーム
３ａ  第１レール
３ｂ  第２レール
４ａ  第１スライダユニット
４１ａ  第１スライダ
４２  第１可動部材
４２１  第３スライダ
４２５  第１固定部
４３  第２可動部材
４３１  第３レール
４３５  第２固定部
４４  カムフォロア
４５  弾性部材
４８ａ  第１ベルト連結部材
４９ａ  第１テーブル
４ｂ  第２スライダユニット
４１ｂ  第２スライダ
４８ｂ  第２ベルト連結部材
４９ｂ  第２テーブル
５  第１平面カム
５１  第１カム面
５１１、５１２  端部
６  第２平面カム
６１  第２カム面
６１１、６１２  端部
９  駆動ユニット
９１  モータ
９１１  シャフト
９２  駆動プーリー
９３  ベルト
９４  従動プーリー
Ｐ１  第１停止位置
Ｐ２  第２停止位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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