(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スキージと、
ナット部と上下方向に延在するシャフト部とを有し、該ナット部および該シャフト部のうち、一方は駆動部であり、他方は該駆動部に対して所定の可動範囲において従動すると共に該スキージが取り付けられる従動部であるボールねじ部と、該駆動部を動かすモータと、該モータの回転に応じて出力パルスを発生するエンコーダと、を有するスキージ位置調整部と、
記憶部を有し、該モータに駆動指示を出す制御装置と、
該スキージにより押し拡げられるフラックスが貯留された転写凹部と、
を備えるディップフラックスユニットであって、
前記転写凹部は、前記スキージと当接することにより、前記従動部の下方へのさらなる移動を妨げる底面を有し、
前記可動範囲には、該スキージの位置調整に用いられる該従動部の使用範囲に含まれず、該使用範囲の下限位置に対応する該底面の高度よりも下方に設定された基準位置と、該使用範囲に含まれ、該下限位置よりも上方に設定される補正位置と、が設定され、
前記制御装置は、該基準位置から該補正位置までの設定距離と、前記出力パルスのカウント値に基づく該基準位置から該補正位置までの算出距離と、の差分を基に、該算出距離を補正し、
前記記憶部は、該算出距離と該差分とを用いた補正式を保存し、
該制御装置は、該記憶部に保存された該補正式に基づいて、該使用範囲内の任意の位置を補正することを特徴とするディップフラックスユニット。
【請求項２】
前記使用範囲は、前記下限位置と、該転写凹部における該フラックスの最高液位に対応する上限位置と、の間に設定され、
前記補正位置は、該使用範囲の上下方向中央に設定される請求項１に記載のディップフラックスユニット。
【請求項３】
スキージと、
ナット部とシャフト部とを有し、該ナット部および該シャフト部のうち、一方は駆動部であり、他方は該駆動部に対して所定の可動範囲において従動すると共に該スキージが取り付けられる従動部であるボールねじ部と、該駆動部を動かすモータと、該モータの回転に応じて出力パルスを発生するエンコーダと、を有するスキージ位置調整部と、
を備えるディップフラックスユニットのスキージ位置補正方法であって、
前記可動範囲には、前記スキージの位置調整に用いられる前記従動部の使用範囲に含まれない基準位置と、該使用範囲に含まれる補正位置と、が設定され、
該従動部を、該基準位置に配置し、前記出力パルスのカウント値をリセットするリセット工程と、
該従動部を、該基準位置から該補正位置まで、設定距離だけ移動させる移動工程と、
該設定距離と、該出力パルスの該カウント値に基づく該基準位置から該補正位置までの算出距離と、の差分を基に該算出距離を補正する補正工程と、
該算出距離と該差分とを用いた補正式を保存する保存工程と、
保存された該補正式に基づいて、該使用範囲内の任意の位置を補正する任意位置補正工程と、
を有するスキージ位置補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品にフラックスを塗布するディップフラックスユニット、および当該ディップフラックスユニットのスキージ位置補正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に示すように、電子部品実装機には、ディップフラックスユニットが配置されている。ディップフラックスユニットは、電子部品の電極（バンプ、端子など）にフラックスを塗布する際に用いられる。すなわち、ディップフラックスユニットの転写テーブルには、フラックスの膜が形成されている。当該フラックスの膜に電子部品を浸漬することにより、電子部品にフラックスが塗布される。フラックスの膜厚は、フラックスの膜をスキージで押し拡げることにより、調整可能である。具体的には、スキージの位置（高度）を高く設定すると、転写テーブル底面からスキージまでの距離が大きくなるため、フラックスの膜厚を大きくすることができる。反対に、スキージの位置を低く設定すると、転写テーブル底面からスキージまでの距離が小さくなるため、フラックスの膜厚を小さくすることができる。【０００３】
ここで、スキージの位置の変更、つまりフラックスの膜厚の調整は、ボールねじにより行われる。ボールねじのシャフトは、モータにより駆動される。ボールねじのナットには、スキージが取り付けられている。モータは、制御装置からの指令に基づき作動する。エンコーダは、モータの回転に応じて出力パルスを発生する。【０００４】
ディップフラックスユニットの出荷前には、ボールねじのリセット作業が行われている。具体的には、シャフトの軸方向に延在するナットの可動範囲のうち、下限位置付近の位置を、基準位置に設定している。そして、当該基準位置の座標を、０に設定している。並びに、当該基準位置におけるエンコーダの出力パルスのカウント値を、０に設定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−７６１２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ボールねじは、位置決め誤差を有している。このため、スキージの位置を変更する際、制御装置の指令距離と、スキージの移動距離と、の間に誤差が発生してしまう。したがって、スキージの位置決め精度が低下してしまう。そこで、本発明は、スキージの位置決め精度を向上させることが可能なディップフラックスユニットおよびスキージ位置補正方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）上記課題を解決するため、本発明のディップフラックスユニットは、スキージと、ナット部とシャフト部とを有し、該ナット部および該シャフト部のうち、一方は駆動部であり、他方は該駆動部に対して所定の可動範囲において従動すると共に該スキージが取り付けられる従動部であるボールねじ部と、該駆動部を動かすモータと、該モータの回転に応じて出力パルスを発生するエンコーダと、を有するスキージ位置調整部と、該モータに駆動指示を出す制御装置と、を備えるディップフラックスユニットであって、前記可動範囲には、前記スキージの位置調整に用いられる前記従動部の使用範囲に含まれない基準位置と、該使用範囲に含まれる補正位置と、が設定され、前記制御装置は、該基準位置から該補正位置までの設定距離と、前記出力パルスのカウント値に基づく該基準位置から該補正位置までの算出距離と、の差分を基に、該算出距離を補正することを特徴とする。【０００８】
ここで、「設定距離」とは、例えばマスター治具や測定工具やスケールなどによる実測距離、制御装置からの指令距離など、出力パルスのカウント値に基づかない、基準位置から補正位置までの距離をいう。【０００９】
ボールねじ部は、位置決め誤差（シャフト部の軸方向における、従動部（ナット部またはシャフト部）の移動距離誤差）を有している。駆動部（シャフト部またはナット部）が１回転するたびに、誤差は累積される。このため、駆動部の回転量が多いほど、言い換えると基準位置からの距離が大きいほど、位置決め誤差は大きくなる。このため、基準位置を含むように従動部の使用範囲を設定すると、位置決め誤差を小さくすることができる。【００１０】
しかしながら、例えばディップフラックスユニットの構造など種々の事情により、従動部の使用範囲に基準位置を含めることができない場合がある。この場合、基準位置から使用範囲までの距離が大きくなりやすい。このため、位置決め誤差が大きくなりやすい。【００１１】
この点、本発明のディップフラックスユニットによると、従動部の使用範囲に、基準位置の代わりに、補正位置が含まれている。制御装置は、基準位置から補正位置までの設定距離と、基準位置から補正位置までの算出距離と、の差分を基に、算出距離を補正している。すなわち、基準位置から補正位置までの位置決め誤差を考慮して、算出距離、つまり補正位置の座標を補正している。このため、使用範囲における従動部の位置決め精度、つまりスキージの位置決め精度を、向上させることができる。【００１２】
（２）上記（１）の構成において、さらに、前記スキージにより押し拡げられるフラックスが貯留された転写凹部を備え、前記使用範囲は、該転写凹部の底面高度に対応する下限位置と、該転写凹部における該フラックスの最高液位に対応する上限位置と、の間に設定され、前記補正位置は、該使用範囲の上下方向中央に設定される構成とする方がよい。【００１３】
本構成によると、位置決め精度の高い補正位置を中心に、従動部の使用範囲を設定することができる。このため、さらに、従動部の位置決め精度、つまりスキージの位置決め精度を、向上させることができる。【００１４】
（３）上記（１）または（２）の構成において、前記制御装置は、前記差分を基に前記使用範囲内の任意の位置を補正する構成とする方がよい。本構成によると、差分を基に、補正位置のみならず、使用範囲内の任意の位置における位置決め精度を向上させることができる。【００１５】
（３−１）上記（３）の構成において、前記出力パルスのカウント値に基づく前記基準位置から前記補正位置までの算出距離をＬ１、該カウント値に基づく該基準位置から前記任意の位置までの算出距離をＬ２、前記差分をＨ、該基準位置から前記任意の位置までの補正距離をＬ３として、Ｌ３は以下の補正式から求められる構成とする方がよい。
Ｌ３＝Ｌ２＋（Ｌ２×Ｈ／Ｌ１）  ・・・（式１）【００１６】
本構成によると、差分Ｈを基に、基準位置から使用範囲内の任意の位置までの補正距離Ｌ３を、算出することができる。すなわち、任意の位置における位置決め精度を向上させることができる。【００１７】
（４）上記課題を解決するため、本発明のスキージ位置補正方法は、スキージと、ナット部とシャフト部とを有し、該ナット部および該シャフト部のうち、一方は駆動部であり、他方は該駆動部に対して所定の可動範囲において従動すると共に該スキージが取り付けられる従動部であるボールねじ部と、該駆動部を動かすモータと、該モータの回転に応じて出力パルスを発生するエンコーダと、を有するスキージ位置調整部と、を備えるディップフラックスユニットのスキージ位置補正方法であって、前記可動範囲には、前記スキージの位置調整に用いられる前記従動部の使用範囲に含まれない基準位置と、該使用範囲に含まれる補正位置と、が設定され、該従動部を、該基準位置に配置し、前記出力パルスのカウント値をリセットするリセット工程と、該従動部を、該基準位置から該補正位置まで、設定距離だけ移動させる移動工程と、該設定距離と、該出力パルスの該カウント値に基づく該基準位置から該補正位置までの算出距離と、の差分を基に該算出距離を補正する補正工程と、を有することを特徴とする。上記（１）に記載したように、本発明のスキージ位置補正方法によると、使用範囲における従動部の位置決め精度、つまりスキージの位置決め精度を、向上させることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によると、スキージの位置決め精度を向上させることが可能なディップフラックスユニットおよびスキージ位置補正方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の一実施形態であるディップフラックスユニットの模式図である。
【図２】図２は、同ディップフラックスユニットのスキージ位置調整部付近の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明のディップフラックスユニットおよびスキージ位置補正方法の実施の形態について説明する。
【００２１】
＜ディップフラックスユニットの構成＞
まず、本実施形態のディップフラックスユニットの構成について説明する。図１に、本実施形態のディップフラックスユニットの模式図を示す。図１に示すように、本実施形態のディップフラックスユニット１は、スキージ２と、スキージ位置調整部３と、制御装置４と、転写凹部５と、ユニット本体６と、を備えている。
【００２２】
ユニット本体６は、電子部品実装機（図略）に取り付けられている。転写凹部５は、上側に開口する皿状を呈している。転写凹部５は、ユニット本体６の上側に配置されている。転写凹部５は、自身の軸周りに回転可能である。転写凹部５には、フラックスｆの膜（図１においては強調して示す）が形成されている。電子部品実装機の吸着ノズル９０は、フラックスｆの膜に、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）などの電子部品ｐを、浸漬する。電子部品ｐには、フラックスｆが転写される。フラックス供給部（図略、例えばシリンジなど）は、転写凹部５に、フラックスｆを注ぎ足すことができる。
【００２３】
スキージ位置調整部３は、ユニット本体６に配置されている。スキージ位置調整部３は、ボールねじ部３０と、モータ３１と、エンコーダ３２と、を備えている。モータ３１は、サーボモータである。エンコーダ３２は、多回転ロータリーエンコーダである。エンコーダ３２は、モータ３１の回転に応じて、出力パルスを発生する。ボールねじ部３０は、従動部３００と駆動部３０１とを備えている。駆動部３０１は、シャフト部である。駆動部３０１は、上下方向に延在している。従動部３００は、ナット部である。従動部３００は、多数のボール（図略）を介して、駆動部３０１に螺合している。駆動部３０１は、モータ３１の回転軸に連結されている。従動部３００には、後述するスキージ２が取り付けられている。モータ３１を駆動すると、駆動部３０１は、自身の軸周りに回転する。従動部３００は、上下方向（駆動部３０１の延在方向）に、可動範囲Ａ内を移動可能である。
【００２４】
スキージ２は、転写凹部５の上側に配置されている。スキージ２は、フラックスｆの膜に、上側から離接可能である。スキージ２をフラックスｆの膜に当接させた状態で転写凹部５を回転させることにより、フラックスｆの膜を押し拡げることができる。また、スキージ２の位置（高度）、言い換えると従動部３００の位置（高度）を調整することにより、フラックスｆの膜厚を調整することができる。
【００２５】
制御装置４は、ユニット本体６に配置されている。制御装置４は、演算部４０と、記憶部４１と、入出力インターフェイス４２と、を備えている。演算部４０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）である。記憶部４１は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）と、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）と、を備えている。制御装置４は、モータ３１、エンコーダ３２に、電気的に接続されている。
【００２６】
＜従動部の使用範囲とスキージの使用範囲との対応＞
次に、従動部３００の使用範囲Ｂと、スキージ２の使用範囲Ｂ１と、の対応について説明する。前述したように、スキージ２は、従動部３００に取り付けられている。このため、従動部３００の使用範囲Ｂと、スキージ２の使用範囲Ｂ１と、は対応している。具体的には、従動部３００の補正位置Ｄと、スキージ２の補正位置Ｄ１と、は対応している。また、従動部３００の下限位置Ｆと、スキージ２の下限位置Ｆ１と、は対応している。また、従動部３００の上限位置Ｇと、スキージ２の上限位置Ｇ１と、は対応している。
【００２７】
スキージ２の上限位置Ｇ１は、転写凹部５におけるフラックスｆの最高液位である。このため、従動部３００の上限位置Ｇは、転写凹部５におけるフラックスｆの最高液位に対応している。なお、フラックスｆの液位は、液面センサ（図略）により監視されている。また、スキージ２の下限位置Ｆ１は、転写凹部５の底面高度である。このため、従動部３００の下限位置Ｆは、転写凹部５の底面高度に対応している。
【００２８】
スキージ２の補正位置Ｄ１は、下限位置Ｆ１と上限位置Ｇ１との上下方向略中央、つまり使用範囲Ｂ１の上下方向略中央に設定されている。同様に、従動部３００の補正位置Ｄは、下限位置Ｆと上限位置Ｇとの上下方向略中央、つまり使用範囲Ｂの上下方向略中央に設定されている。
【００２９】
＜スキージ位置補正方法＞
次に、本実施形態のスキージ位置補正方法について説明する。スキージ位置補正方法は、ディップフラックスユニット１の出荷前に実行される。図２に、本実施形態のディップフラックスユニットのスキージ位置調整部付近の模式図を示す。表１に、本実施形態のスキージ位置補正方法における数値一覧表を示す。なお、表中の数値は参考値であり、本発明の内容を何等限定するものではない。本実施形態のスキージ位置補正方法は、リセット工程と、移動工程と、補正工程と、を有している。
【表１】
0006467425.tif 000002
【００３０】
リセット工程においては、従動部３００を基準位置Ｃに配置する。まず、図１に示す演算部４０は、モータ３１を駆動し、記憶部４１に保存された基準位置Ｃに、従動部３００を配置する。なお、基準位置Ｃは、可動範囲Ａの下限位置付近に設定されている。基準位置Ｃは、使用範囲Ｂの下限位置Ｆに対して、下側に離間して設定されている。基準位置Ｃは、隣接する部品（モータ３１など）との干渉を回避可能な位置に、設定されている。次に、演算部４０は、基準位置Ｃの座標を、０にリセットする。並びに、基準位置Ｃにおけるエンコーダ３２の出力パルスのカウント値を、０にリセットする。
【００３１】
移動工程においては、図２に白抜き矢印で示すように、従動部３００を、基準位置Ｃから補正位置Ｄまで、上側に移動させる。図１に示す記憶部４１には、マスター治具９１により実測された設定距離Ｌ０（＝５００）が、保存されている。演算部４０は、モータ３１を駆動し、従動部３００を、基準位置Ｃから設定距離Ｌ０だけ上側に移動させる。すなわち、補正位置Ｄに、従動部３００を配置する。
【００３２】
なお、マスター治具９１において、設定距離Ｌ０の長さは、基準位置Ｃ（設計値）、転写凹部５におけるフラックスｆの最高液位（設計値）、転写凹部５の底面高度（設計値）を基に、設定されている。
【００３３】
補正工程においては、算出距離Ｌ１（＝４９０）を補正する。また、使用範囲Ｂを設定する。まず、図１に示す演算部４０は、エンコーダ３２の出力パルスのカウント値に基づいて、基準位置Ｃから補正位置Ｄまでの移動距離を算出する。つまり、演算部４０は、算出距離Ｌ１を算出する。ボールねじ部３０は、位置決め誤差（上下方向における従動部３００の移動距離誤差）を有している。このため、算出距離Ｌ１と設定距離Ｌ０とは一致しない。
【００３４】
次に、演算部４０は、設定距離Ｌ０（＝５００）と、算出距離Ｌ１（＝４９０）と、の差分である補正量Ｈ（＝１０）を算出する。補正量Ｈは、記憶部４１に保存される。なお、補正量Ｈは、ディップフラックスユニット１の固有値である。すなわち、補正量Ｈは、複数のディップフラックスユニット１において、一台ごとに異なっている。このため、補正量Ｈは、シリアルナンバーなどと共に、ＲＯＭに保存される。
【００３５】
続いて、演算部４０は、算出距離Ｌ１を補正する。具体的には、演算部４０は、算出距離Ｌ１（＝４９０）に補正量Ｈ（＝１０）を加算することにより、補正距離Ｌ３（＝５００）を算出する。
【００３６】
それから、演算部４０は、使用範囲Ｂを設定する。記憶部４１には、使用範囲Ｂの上下方向幅が記憶されている。演算部４０は、使用範囲Ｂの上下方向中央に補正位置Ｄが配置されるように、使用範囲Ｂつまり下限位置Ｆおよび上限位置Ｇを設定する。
【００３７】
また、記憶部４１には、エンコーダ３２の出力パルスのカウント値に基づく基準位置Ｃから任意の位置までの算出距離をＬ２として、以下の補正式が保存されている。
Ｌ３＝Ｌ２＋（Ｌ２×Ｈ／Ｌ１）  ・・・（式１）
【００３８】
ディップフラックスユニット１使用時において、演算部４０は、補正式（式１）を基に、算出距離Ｌ２を補正する。
【００３９】
＜作用効果＞
次に、本実施形態のディップフラックスユニットおよびスキージ位置補正方法の作用効果について説明する。図１、図２に示すように、本実施形態のディップフラックスユニット１によると、従動部３００の使用範囲Ｂに、基準位置Ｃではなく、補正位置Ｄが含まれている。表１に示すように、制御装置４は、基準位置Ｃから補正位置Ｄまでの設定距離Ｌ０（＝５００）と、基準位置Ｃから補正位置Ｄまでの算出距離Ｌ１（＝４９０）と、の差分である補正量Ｈ（＝１０）を基に、算出距離Ｌ１を補正している。すなわち、基準位置Ｃから補正位置Ｄまでの位置決め誤差を考慮して、算出距離Ｌ１、つまり補正位置Ｄの座標を補正している。このため、使用範囲Ｂにおける従動部３００の位置決め精度、つまりスキージ２の位置決め精度を、向上させることができる。
【００４０】
また、補正位置Ｄは、使用範囲Ｂの上下方向中央に設定されている。このため、位置決め精度の高い補正位置Ｄを中心に、従動部３００の使用範囲Ｂを設定することができる。したがって、従動部３００の位置決め精度、つまりスキージ２の位置決め精度を、向上させることができる。
【００４１】
また、制御装置４は、補正式（式１）を用いて、補正量Ｈを基に使用範囲Ｂ内の任意の位置を補正している。このため、補正位置Ｄのみならず、使用範囲Ｂ内の任意の位置における位置決め精度を向上させることができる。
【００４２】
また、スキージ位置補正方法は、ディップフラックスユニット１の出荷前に実行される。補正量Ｈは、ＲＯＭに保存されているため、書き換え不能である。したがって、ディップフラックスユニット１の固有値である補正量Ｈが、出荷後に書き換えられるのを、抑制することができる。
【００４３】
また、図２に示すように、設定距離Ｌ０は、マスター治具９１により実測される。マスター治具９１は、複数のディップフラックスユニット１において共用されている。このため、複数のディップフラックスユニット１において、設定距離Ｌ０がばらつくのを、抑制することができる。
【００４４】
＜その他＞
以上、本発明のディップフラックスユニットおよびスキージ位置補正方法の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
【００４５】
上記実施形態においては、ボールねじ部３０のナット部を従動部３００とした。並びに、ボールねじ部３０のシャフト部を駆動部３０１とした。しかしながら、シャフト部を従動部３００としてもよい。並びに、ナット部を駆動部３０１としてもよい。この場合、例えば、モータ３１の回転軸とナット部（駆動部）とをベルトやギアなどで連結し、ナット部を回転させてもよい。そして、ナット部（駆動部）に対して、シャフト部（従動部）を上下方向に移動させてもよい。また、シャフト部の延在方向は特に限定しない。例えば、水平方向であってもよい。また、モータ３１と駆動部３０１との間に、ベルトやギアを備える動力伝達機構を、介装してもよい。
【００４６】
補正量Ｈの設定のタイミングは、特に限定しない。補正量Ｈの設定は、ディップフラックスユニット１の出荷後に行ってもよい。また、記憶部４１のＲＡＭに補正量Ｈを保存してもよい。こうすると、ディップフラックスユニット１の出荷後に、補正量Ｈを書き換えることができる。また、補正量Ｈ自体はＲＯＭに保存し（書き換え不能とし）、当該補正量Ｈに対する追加補正量を、別途、ＲＡＭに保存してもよい。また、補正量Ｈを、ディップフラックスユニット１の制御装置４以外の制御装置（例えば、生産ラインのホストコンピュータ、電子部品実装機の制御装置、スマートフォンなどの携帯端末、パーソナルコンピュータなど）に、保存してもよい。
【００４７】
使用範囲Ｂの設定方法は特に限定しない。例えば、補正位置Ｄを基準として、補正位置Ｄの上下両側に等距離だけ離間した位置に、上限位置Ｇ、下限位置Ｆを設定してもよい。また、上限位置Ｇは、転写凹部５の立壁の上端に対応して、設定してもよい。また、下限位置Ｆは、転写凹部５にフラックスｆを注ぎ足す液位である補給液位に対応して、設定してもよい。また、電子部品ｐの電極（バンプ、端子など）の大きさに応じて、上限位置Ｇ、下限位置Ｆを設定してもよい。また、使用範囲Ｂにおける補正位置Ｄの座標は、特に限定しない。例えば、下限位置Ｆを補正位置Ｄに設定してもよい。また、上限位置Ｇを補正位置Ｄに設定してもよい。
【００４８】
また、演算部４０は、補正式（式１）を用いて、下限位置Ｆ、上限位置Ｇを補正してもよい。すなわち、エンコーダ３２の出力パルスのカウント値に基づく基準位置Ｃから下限位置Ｆまでの算出距離Ｌ２を補正式（式１）に代入することにより、基準位置Ｃから下限位置Ｆまでの補正距離Ｌ３を算出してもよい。同様に、エンコーダ３２の出力パルスのカウント値に基づく基準位置Ｃから上限位置Ｇまでの算出距離Ｌ２を補正式（式１）に代入することにより、基準位置Ｃから上限位置Ｇまでの補正距離Ｌ３を算出してもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１：ディップフラックスユニット、２：スキージ、３：スキージ位置調整部、３０：ボールねじ部、３００：従動部（ナット部）、３０１：駆動部（シャフト部）、３１：モータ、３２：エンコーダ、４：制御装置、４０：演算部、４１：記憶部、４２：入出力インターフェイス、５：転写凹部、６：ユニット本体、９０：吸着ノズル、９１：マスター治具、Ａ：可動範囲、Ｂ：使用範囲、Ｃ：基準位置、Ｄ：補正位置、Ｆ：下限位置、Ｇ：上限位置、Ｂ１：使用範囲、Ｄ１：補正位置、Ｆ１：下限位置、Ｇ１：上限位置、Ｈ：補正量（差分）、Ｌ０：設定距離、Ｌ１：算出距離、Ｌ３：補正距離、ｆ：フラックス、ｐ：電子部品。
【図１】
0006467425.tif 000003
【図２】
0006467425.tif 000004