(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物が搭載される搭載部への前記搬送対象物の搬入および前記搭載部からの前記搬送対象物の搬出を行う産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物を把持し水平方向へ直線的に移動するハンドと、前記ハンドを昇降させる昇降機構とを備えるとともに、前記搭載部に対して前記搬送対象物を搬送するときの前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、前記ハンドを前記第１方向へ移動させる移動機構と、発光素子と受光素子とを有し前記ハンドに取り付けられる第１センサおよび第２センサとを備え、
前記第１センサは、前記第１センサの前記発光素子の光軸および前記受光素子の光軸が前記第２方向と平行になるように配置され、
前記第２センサは、前記第２センサの前記発光素子の光軸および前記受光素子の光軸が前記第１方向および前記第２方向に対して傾いた方向であってかつ水平方向と平行になるように配置され、
前記搭載部に搭載される前記搬送対象物の位置が教示されるときに、前記昇降機構によって前記ハンドを昇降させて、前記第１センサによって前記搭載部の上下方向の位置を検知し、前記移動機構によって前記ハンドを前記第１方向へ移動させて、前記第１センサによって前記搭載部の前記第１方向の位置を検知するとともに、前記移動機構によって前記ハンドを前記第１方向へ移動させて、前記第２センサによって前記搭載部の前記第１方向の位置を検知し、前記搭載部の前記第２方向の位置を算出することを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記第２センサは、前記ハンドに前記搬送対象物が把持されていることを検知するためのセンサであることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項３】
搬送対象物を把持し水平方向へ直線的に移動するハンドと、前記ハンドを昇降させる昇降機構とを備えるとともに、前記搬送対象物が搭載される搭載部に対して前記搬送対象物を搬送するときの前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、前記ハンドを前記第１方向へ移動させる移動機構と、発光素子と受光素子とを有し前記ハンドに取り付けられる第１センサおよび第２センサとを備え、前記第１センサは、前記第１センサの前記発光素子の光軸および前記受光素子の光軸が前記第２方向と平行になるように配置され、前記第２センサは、前記第２センサの前記発光素子の光軸および前記受光素子の光軸が前記第１方向および前記第２方向に対して傾いた方向であってかつ水平方向と平行になるように配置されている産業用ロボットの教示方法であって、
前記昇降機構によって前記ハンドを昇降させて、前記第１センサによって前記搭載部の上下方向の位置を検知し、前記移動機構によって前記ハンドを前記第１方向へ移動させて、前記第１センサによって前記搭載部の前記第１方向の位置を検知するとともに、前記移動機構によって前記ハンドを前記第１方向へ移動させて、前記第２センサによって前記搭載部の前記第１方向の位置を検知し、前記搭載部の前記第２方向の位置を算出して、前記搭載部に搭載される前記搬送対象物の位置を教示することを特徴とする産業用ロボットの教示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。また、本発明は、所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットの教示方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハを搬送するロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のロボットは、昇降自在な円柱状の支柱部と、支柱部にその基端側が回動可能に連結されるアームと、アームの先端側に回動可能に連結されるウエハ把持部（ハンド）とを備えている。また、このロボットは、支柱部を昇降させる昇降機構と、支柱部に対してアームを回動させる回動機構と、アームを伸縮させるアーム駆動機構とを備えている。ウエハ把持部は、Ｙ形状に形成されており、ウエハ把持部の先端には、発光部と受光部とを有する透過式センサが配置されている。
【０００３】
特許文献１に記載のロボットにおいて、収容容器等のウエハ載置場所に載置される半導体ウエハの位置をロボットに教示する際には、教示用治具が使用される。この教示用治具は、大円板部と小円板部とを備えており、大円板部と小円板部とは、大円板部の軸心と小円板部の軸心とが一致するように上下方向で重なっている。大円板部の直径は、実物の半導体ウエハの直径と等しくなっている。教示用治具は、ウエハ載置場所に載置されて使用される。
【０００４】
また、特許文献１に記載のロボットにおいて、ウエハ載置場所に載置される半導体ウエハの位置をロボットに教示する際には、まず、昇降機構によってウエハ把持部を上下動させて、透過式センサによって、ウエハ載置場所に載置された教示用治具の小円板部の上下方向の位置を検知する。その後、回動機構およびアーム駆動機構によって、小円板部の径方向の外側から小円板部に対してウエハ把持部を接近させて、透過式センサによって小円板部の径方向外側端の位置を検知する。また、様々な方向から小円板部に対してウエハ把持部を接近させてこの検知動作を繰り返し、透過式センサによって検知された小円板部の径方向外側端の複数の位置に基づいて、水平方向における小円板部の中心位置を検知する。特許文献１に記載のロボットでは、教示用治具の小円板部の上下方向の位置および小円板部の水平方向の中心位置の検知結果に基づいて、ウエハ載置場所に載置される半導体ウエハの位置が自動的に教示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第０３／０２２５３４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のように、特許文献１に記載のロボットの場合、ウエハ載置場所に載置される半導体ウエハの位置をロボットに自動で教示する際に、小円板部の径方向の外側から、かつ、様々な方向から小円板部に対してウエハ把持部を接近させなければならない。そのため、このロボットの場合、ウエハ載置場所の周囲に、様々な方向から小円板部に対してウエハ把持部を接近させるための空間がないと、ウエハ載置場所に載置される半導体ウエハの位置をロボットに自動で教示することができない。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、搬送対象物が搭載される搭載部の周囲の空間が狭くても、搭載部に搭載される搬送対象物の位置を自動で教示することが可能な産業用ロボット、および、産業用ロボットの教示方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載される搭載部への搬送対象物の搬入および搭載部からの搬送対象物の搬出を行う産業用ロボットにおいて、搬送対象物を把持し水平方向へ直線的に移動するハンドと、ハンドを昇降させる昇降機構とを備えるとともに、搭載部に対して搬送対象物を搬送するときのハンドの移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、ハンドを第１方向へ移動させる移動機構と、発光素子と受光素子とを有しハンドに取り付けられる第１センサおよび第２センサとを備え、第１センサは、第１センサの発光素子の光軸および受光素子の光軸が第２方向と平行になるように配置され、第２センサは、第２センサの発光素子の光軸および受光素子の光軸が第１方向および第２方向に対して傾いた方向であってかつ水平方向と平行になるように配置され、搭載部に搭載される搬送対象物の位置が教示されるときに、昇降機構によってハンドを昇降させて、第１センサによって搭載部の上下方向の位置を検知し、移動機構によってハンドを第１方向へ移動させて、第１センサによって搭載部の第１方向の位置を検知するとともに、移動機構によってハンドを第１方向へ移動させて、第２センサによって搭載部の第１方向の位置を検知し、搭載部の第２方向の位置を算出することを特徴とする。
【０００９】
また、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの教示方法は、搬送対象物を把持し水平方向へ直線的に移動するハンドと、ハンドを昇降させる昇降機構とを備えるとともに、搬送対象物が搭載される搭載部に対して搬送対象物を搬送するときのハンドの移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、ハンドを第１方向へ移動させる移動機構と、発光素子と受光素子とを有しハンドに取り付けられる第１センサおよび第２センサとを備え、第１センサは、第１センサの発光素子の光軸および受光素子の光軸が第２方向と平行になるように配置され、第２センサは、第２センサの発光素子の光軸および受光素子の光軸が第１方向および第２方向に対して傾いた方向であってかつ水平方向と平行になるように配置されている産業用ロボットの教示方法であって、昇降機構によってハンドを昇降させて、第１センサによって搭載部の上下方向の位置を検知し、移動機構によってハンドを第１方向へ移動させて、第１センサによって搭載部の第１方向の位置を検知するとともに、移動機構によってハンドを第１方向へ移動させて、第２センサによって搭載部の第１方向の位置を検知し、搭載部の第２方向の位置を算出して、搭載部に搭載される搬送対象物の位置を教示することを特徴とする。
【００１０】
本発明では、第１センサは、第１センサの発光素子の光軸および受光素子の光軸が第２方向と平行になるように配置され、第２センサは、第２センサの発光素子の光軸および受光素子の光軸が第１方向および第２方向に対して傾いた方向であってかつ水平方向と平行になるように配置されている。また、本発明では、搭載部に搭載される搬送対象物の位置が産業用ロボットに教示されるときに、昇降機構によってハンドを昇降させて、第１センサによって搭載部の上下方向の位置を検知し、移動機構によってハンドを第１方向へ移動させて、第１センサによって搭載部の第１方向の位置を検知している。さらに、本発明では、搭載部に搭載される搬送対象物の位置が産業用ロボットに教示されるときに、移動機構によってハンドを第１方向へ移動させて、第２センサによって搭載部の第１方向の位置を検知し、搭載部の第２方向の位置を算出している。すなわち、本発明では、搭載部に搭載される搬送対象物の位置を産業用ロボットに教示するときに、搭載部に対して搬送対象物を搬送する際のハンドの移動方向に直交する第２方向へハンドを移動させることなく、搭載部の第２方向の位置を算出している。そのため、本発明では、搭載部の周囲の空間が狭くても、第１センサでの検知結果と第２センサでの検知結果とに基づいて、搭載部に搭載される搬送対象物の位置を産業用ロボットに自動で教示することが可能になる。
【００１１】
本発明において、第２センサは、ハンドに搬送対象物が把持されていることを検知するためのセンサであることが好ましい。このように構成すると、ハンドに搬送対象物が把持されていることを検知するためのセンサに加えて、第２センサが設けられている場合と比較して、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように、本発明では、搬送対象物が搭載される搭載部の周囲の空間が狭くても、搭載部に搭載される搬送対象物の位置を産業用ロボットに自動で教示することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの概略構成を示す側面図である。
【図２】図１に示すハンドの平面図である。
【図３】図１に示す産業用ロボットの動作を説明するための図である。
【図４】図１に示す産業用ロボットが搭載部の上下方向の位置を検知するときのハンドの動作を説明するための図である。
【図５】図１に示す産業用ロボットが搭載部の前後方向の位置を検知するときのハンドの動作を説明するための図である。
【図６】図１に示す産業用ロボットが搭載部の左右方向の位置を検知するときのハンドの動作を説明するための図である。
【図７】図１に示す産業用ロボットにおける搭載部の左右方向の位置の算出方法を説明するための図である。
【図８】図７のＥ部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１５】
（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の概略構成を示す側面図である。図２は、図１に示すハンド４の平面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の動作を説明するための図である。
【００１６】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するロボットである。具体的には、ロボット１は、ウエハ２が搭載される搭載部３へのウエハ２の搬入および搭載部３からのウエハ２の搬出を行うロボットである。ウエハ２は、円板状に形成されている。搭載部３は、たとえば、ウエハ２に対して所定の処理を行う処理装置の内部に配置されている。また、本形態の搭載部３は、円板状に形成されている。
【００１７】
ロボット１は、ウエハ２を把持するハンド４と、ハンド４を昇降可能に保持する柱部５と、柱部５を水平方向へ移動可能に保持するベース部６と、柱部５に対してハンド４を昇降させる昇降機構８とを備えている。また、ロボット１は、ベース部６に対してハンド４および柱部５を水平方向へ直線的に移動させる移動機構９を備えており、ハンド４は、ウエハ２を搬送する際に水平方向へ直線的に移動する。以下の説明では、搭載部３に対してウエハ２を搬送する際（すなわち、搭載部３へのウエハ２の搬入および搭載部３からのウエハ２の搬出を行う際）のハンド４の移動方向（図１等に示すＹ方向）を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向（図１等に示すＸ方向）を左右方向とする。本形態では、前後方向は第１方向であり、左右方向は第２方向である。
【００１８】
柱部５は、上下方向に細長い柱状に形成されている。昇降機構８は、たとえば、柱部５に回転可能に取り付けられるボールネジと、このボールネジに係合するとともにハンド４に固定されるナット部材と、このボールネジを回転させるモータと、ハンド４を上下方向へ案内するガイド部とを備えている。この昇降機構８は、中空状に形成される柱部５の内部に配置されている。
【００１９】
ベース部６は、前後方向に細長いブロック状に形成されている。移動機構９は、たとえば、ベース部６に回転可能に取り付けられるボールネジと、このボールネジに係合するとともに柱部５に固定されるナット部材と、このボールネジを回転させるモータと、柱部５を前後方向へ案内するガイド部とを備えている。この移動機構９は、中空状に形成されるベース部６の内部に配置されており、ハンド４および柱部５を前後方向へ移動させる。
【００２０】
ハンド４は、たとえば、棒状に形成される２本のフォーク部１１と、フォーク部１１の基端が取り付けられるフォーク支持部１２とを備えている。フォーク部１１は、直線状に形成されている。２本のフォーク部１１は、互いに略平行に配置されるとともに、左右方向に所定の間隔をあけた状態で配置されている。２本のフォーク部１１の間隔は、搭載部３の直径よりも大きくなっている。また、２本のフォーク部１１は、上下方向において同じ位置に配置されている。図２に示すように、ウエハ２は、２本のフォーク部１１の上面に搭載されている。また、フォーク部１１の上面側には、ウエハ２を把持する把持機構（図示省略）が取り付けられている。フォーク支持部１２は、ブロック状に形成されており、柱部５に昇降可能に保持されている。
【００２１】
図２に示すように、ハンド４には、第１センサとしてのセンサ１４と、第２センサとしてのセンサ１５とが取り付けられている。センサ１４は、発光素子を有する発光部１６と、受光素子を有する受光部１７とを備える透過型の光学式センサである。同様に、センサ１５は、発光素子を有する発光部１８と、受光素子を有する受光部１９とを備える透過型の光学式センサである。なお、図１では、センサ１５の図示を省略している。
【００２２】
発光部１６は、２本のフォーク部１１のうちの一方のフォーク部１１の先端部分に取り付けられ、受光部１７は、２本のフォーク部１１のうちの他方のフォーク部１１の先端部分に取り付けられている。発光部１６と受光部１７とは、左右方向で対向するように配置されている。すなわち、センサ１４は、発光部１６および受光部１７の光軸（具体的には、発光部１６の発光素子および受光部１７の受光素子の光軸）Ｌ１が左右方向と平行になるように配置されている。
【００２３】
発光部１８は、２本のフォーク部１１のうちの一方のフォーク部１１の基端側部分に取り付けられ、受光部１９は、２本のフォーク部１１のうちの他方のフォーク部１１の先端側部分に取り付けられている。発光部１８と受光部１９とは、前後方向および左右方向に対して傾いた方向で対向するように配置されている。すなわち、センサ１５は、発光部１８および受光部１９の光軸（具体的には、発光部１８の発光素子および受光部１９の受光素子の光軸）Ｌ２が前後方向および左右方向に対して傾いた方向であってかつ水平方向と平行になるように配置されている。また、発光部１８および受光部１９は、フォーク部１１の上面側に取り付けられている。本形態では、センサ１５は、ハンド４にウエハ２が把持されていることを検知する機能を果たしている。
【００２４】
以上のように構成されたロボット１は、ハンド４の上下動と前後方向への水平移動との組合せによって、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、搭載部３へのウエハ２の搬入と、搭載部３からのウエハ２の搬出とを行う。
【００２５】
（搭載部に搭載されるウエハの位置の教示方法）
図４は、図１に示すロボット１が搭載部３の上下方向の位置を検知するときのハンド４の動作を説明するための図である。図５は、図１に示すロボット１が搭載部３の前後方向の位置を検知するときのハンド４の動作を説明するための図である。図６は、図１に示すロボット１が搭載部３の左右方向の位置を検知するときのハンド４の動作を説明するための図である。図７は、図１に示すロボット１における搭載部３の左右方向の位置の算出方法を説明するための図である。図８は、図７のＥ部の拡大図である。
【００２６】
本形態では、搭載部３の上下方向の位置、前後方向の位置および左右方向の位置の検知結果に基づいて、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に自動で教示する。すなわち、本形態では、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に教示する際に、搭載部３の上下方向の位置、前後方向の位置および左右方向の位置を検知する。具体的には、センサ１４の光軸Ｌ１が搭載部３を通過するように昇降機構８によってハンド４を昇降させて、センサ１４によって搭載部３の上下方向の位置を検知する（図４参照）。より具体的には、昇降機構８によってハンド４を昇降させて、センサ１４によって搭載部３の下面または上面の位置を検知する。また、センサ１４の光軸Ｌ１が搭載部３を通過するように移動機構９によってハンド４を前後方向へ移動させて、センサ１４によって搭載部３の前後方向の位置を検知する（図５参照）。より具体的には、移動機構９によってハンド４を前後方向へ移動させて、センサ１４によって搭載部３の側面の位置を検知する。
【００２７】
さらに、センサ１５の光軸Ｌ２が搭載部３を通過するように移動機構９によってハンド４を前後方向へ移動させて、センサ１５によって搭載部３の前後方向の位置を検知する（図６参照）。より具体的には、移動機構９によってハンド４を前後方向へ移動させて、センサ１５によって搭載部３の側面の位置を検知する。また、センサ１５によって検知された搭載部３の前後方向の位置に基づいて搭載部３の左右方向の位置を算出する。すなわち、センサ１５によって搭載部３の前後方向の位置を検知して搭載部３の左右方向の位置を算出する。
【００２８】
具体的には、図７、図８に示すように、左右方向における搭載部３の設計上の位置（図７の二点鎖線で示す位置）に搭載部３が配置されている場合に、センサ１５によって搭載部３が検知されるときの前後方向の座標（Ｙ座標）を「Ｙ１」とし、図７の実線で示す位置に配置された搭載部３がセンサ１５によって検知されたときの前後方向の座標を「Ｙ２」とし、前後方向に対する光軸Ｌ２の傾きを「θ」とすると、搭載部３が実際に配置されている位置と、左右方向における搭載部３の設計上の位置との左右方向のずれ量ΔＸは、下式（１）によって算出される。
ΔＸ＝（Ｙ２−Ｙ１）×ｔａｎθ・・・（式１）
また、このずれ量ΔＸに基づいて、搭載部３の左右方向の位置が算出される。
【００２９】
なお、図７に示すように、上下方向から見たときの搭載部３の中心を「Ｏ」とし、搭載部３の半径を「ｒ」とし、センサ１４によって検知された搭載部３の前後方向の座標を「Ｙ０」とすると、座標Ｙ１は、下式（２）によって算出される。
Ｙ１＝Ｙ０＋（ｒ−ｒｓｉｎθ）・・・（式２）
すなわち、搭載部３の左右方向の位置は、センサ１４によって検知された搭載部３の前後方向の位置とセンサ１５によって検知された搭載部３の前後方向の位置とに基づいて算出される。
【００３０】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、センサ１５は、発光部１８および受光部１９の光軸Ｌ２が前後方向および左右方向に対して傾いた方向であってかつ水平方向と平行になるように配置されている。また、本形態では、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に教示するときに、ウエハ２を搬送する際のハンド４の移動方向である前後方向へ移動機構９によってハンド４を移動させて、センサ１５によって搭載部３の前後方向の位置を検知し、搭載部３の左右方向の位置を算出している。すなわち、本形態では、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に教示するときに、ウエハ２を搬送する際のハンド４の移動方向に直交する左右方向へハンド４を移動させることなく、センサ１５の検知結果に基づいて搭載部３の左右方向の位置を算出している。そのため、本形態では、搭載部３の周囲の空間が狭くても、センサ１４によって検知される搭載部３の上下方向の位置と、センサ１４によって検知される搭載部３の前後方向の位置と、センサ１５の検知結果から算出される搭載部３の左右方向の位置とに基づいて、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に自動で教示することが可能になる。
【００３１】
本形態では、センサ１５は、ハンド４にウエハ２が把持されていることを検知する機能も果たしている。そのため、本形態では、ハンド４にウエハ２が把持されていることを検知するためのセンサに加えて、センサ１５が設けられている場合と比較して、ロボット１の構成を簡素化することが可能になる。
【００３２】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００３３】
上述した形態では、センサ１４、１５によって、搭載部３の上下方向の位置、前後方向の位置および左右方向の位置を検知するとともに、その検知結果に基づいて、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に教示している。この他にもたとえば、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に教示する際に、搭載部３に教示用治具を搭載しても良い。この場合には、上述した形態と同様に、教示用治具の上下方向の位置、前後方向の位置および左右方向の位置をセンサ１４、１５によって検知するとともに、その検知結果に基づいて、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に教示する。なお、この場合には、教示用治具を設計上の位置に配置すれば、上述の座標Ｙ１に相当する教示用治具のＹ座標を、上記の式（２）に相当する算出式を用いなくても、センサ１５によって直接、検知することが可能になる。
【００３４】
上述した形態では、ウエハ２は、ハンド４の上面（具体的には、２本のフォーク部１１の上面）に搭載されて把持されている。この他にもたとえば、所定のウエハホルダにウエハ２が固定され、２本のフォーク部１１が左右方向へ移動可能に構成されるとともに、ウエハホルダの所定の箇所が２本のフォーク部１１の間に挟まれることで、ウエハ２がハンド４に把持されても良い。すなわち、ウエハ２は、ウエハホルダを介してハンド４に把持されても良い。また、この場合には、ウエハホルダの所定の箇所が搭載部３に搭載されても良い。すなわち、ウエハ２は、ウエハホルダを介して搭載部３に搭載されても良い。
【００３５】
上述した形態では、センサ１５は、ハンド４にウエハ２が把持されていることを検知する機能も果たしている。この他にもたとえば、センサ１５に加えて、ハンド４にウエハ２が把持されていることを検知するためのセンサが設けられていても良い。また、上述した形態では、センサ１４、１５は、透過型の光学式センサであるが、センサ１４、１５は、反射型の光学式センサであっても良い。
【００３６】
上述した形態では、搭載部３は、円板状に形成されているが、搭載部３は、円板状以外の形状に形成されても良い。たとえば、搭載部３は、楕円板状に形成されても良いし、四角板状等の多角板状に形成されても良いし、所定形状をなすブロック状に形成されても良い。搭載部３が円板状以外の形状に形成される場合には、座標Ｙ１は、上記の式（２）によって算出されるのではなく、搭載部３の形状に応じた所定の算出式によって算出される。この場合には、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ａｓｓｉｓｔｅｄ  Ｄｒａｗｉｎｇ）を用いることで、座標Ｙ１が算出されても良い。また、搭載部３が円板状以外の形状に形成される場合に、搭載部３に教示用治具を搭載して、教示用治具の上下方向の位置、前後方向の位置および左右方向の位置をセンサ１４、１５によって検知するとともに、その検知結果に基づいて、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に教示しても良い。この場合、教示用治具を設計上の位置に配置すれば、座標Ｙ１に相当する教示用治具のＹ座標を、算出式を用いなくても、センサ１５によって直接、検知することが可能になる。
【００３７】
また、上述した形態では、円板状に形成される搭載部３の座標Ｙ１が式（２）によって算出されているが、式（２）以外の所定の算出式によって、円板状に形成される搭載部３の座標Ｙ１が算出されても良い。この場合には、ＣＡＤを用いることで、座標Ｙ１が算出されても良い。
【００３８】
上述した形態において、ロボット１は、その先端側にハンド４が回動可能に連結される伸縮可能なアームを備えていても良い。この場合には、アームの基端側は、柱部５に回動可能に連結される。また、アームの伸縮動作によってハンド４は、前後方向へ直線的に移動する。また、上述した形態において、ロボット１は、上下方向を回動の軸方向として柱部５を回動させる回動機構を備えていても良いし、左右方向へ柱部５を移動させる移動機構を備えていても良い。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、ウエハ２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、ガラス基板等のウエハ２以外のものであっても良い。
【符号の説明】
【００３９】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
３  搭載部
４  ハンド
８  昇降機構
９  移動機構
１４  センサ（第１センサ）
１５  センサ（第２センサ）
Ｌ１  光軸（第１センサの発光素子および受光素子の光軸）
Ｌ２  光軸（第２センサの発光素子および受光素子の光軸）
Ｘ  第２方向
Ｙ  第１方向
【図１】
0006522325.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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