(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品に加工された貫通孔の貫通方向が、重力の方向と異なる方向となるように当該部品を支持する支持部と、
前記貫通孔の一方の側から前記貫通孔を通過する光を撮影する撮影部と、
前記撮影した画像に基づいて前記貫通孔に生じた欠陥の有無を判断する判断部と、
前記判断部による判断結果を出力する出力部と、を具備し、
前記支持部は、前記部品の搬送経路を構成する、下端部材と、前記下端部材の前記撮影部側に配設され所定の検査位置にくり抜き窓が設けられた第１カバー部材と、前記下端部材の前記第１カバー部材の反対側に前記第１カバー部材と対向して配設され前記所定の検査位置にくり抜き窓が設けられた第２カバー部材とを有し、
前記支持部の前記搬送経路は、前記下端部材、前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材により、前記貫通孔の貫通方向が水平となるように前記部品の姿勢を維持したまま自重により降下させ、
位置決めピンを前記搬送経路内に挿入し、前記搬送経路を降下する前記部品と前記位置決めピンとを当接させることにより、前記部品を前記所定の検査位置に所定の方向に向けて保持し、
前記撮影部は、前記検査位置に設けられた前記くり抜き窓と前記部品の前記貫通孔を通過する光を撮影する、
ことを特徴とする部品検査装置。
【請求項２】
前記支持部は、前記撮影部が撮影する際に、前記部品を前記くり抜き窓が形成された前記所定の検査位置に停止させ、
前記撮影部は、前記所定の検査位置に停止された前記部品を撮影する、
ことを特徴とする請求項１に記載の部品検査装置。
【請求項３】
前記判断部は、前記光が前記貫通孔を通過する部分の面積が、所定の基準面積以上である場合に欠陥が無いと判断し、前記所定の基準面積未満の場合に欠陥が有ると判断する、ことを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載の部品検査装置。
【請求項４】
前記貫通孔の他方の側から前記部品を照明する照明部を具備する、
ことを特徴とする請求項１、請求項２、又は請求項３に記載の部品検査装置。
【請求項５】
前記部品には、複数の貫通孔が形成されており、
前記判断部は、前記複数の貫通孔ごとに欠陥の有無を判断する、
ことを特徴とする請求項１から請求項４までのうちの何れか１の請求項に記載の部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品検査装置に関し、例えば、部品に加工された貫通孔を検査するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来は、ワークの加工状態を画像で確認する場合、例えば、テーブルや無端ベルト上にワークを載置してワークの下方から光を照射し、透過する光をワークの上側から撮影していた。
例えば、ワークとして貫通孔が形成された機械部品を検査する場合、貫通孔を通過する光によって、切り粉による詰まり、バリの発生、折れた刃物の残存などの欠陥を検出することができる。
このようにワークの下側から光を照射して、ワークの上側から撮影する技術として、特許文献１の「積層構造を有するワークの内部検査装置」がある。
この技術は、ウエハの下から光を照射してウエハの上から撮影し、ウエハ内部の異物や汚染の要否を判定するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１２６４３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ワークの下から光を照射する場合、切り粉やゴミなどの異物が光の照射部に落下・付着する虞がある。
このように照射部に異物が落下・付着すると、照射される光量が低下するため、撮影される画像の画質が低下して誤検知が発生する可能性があり、部品の良好な撮影状態を維持することは困難であった。
また、一般に、照射部のライトを保護するためにカバーガラスが設けられるが、ワークが自重をかけながらカバーガラス上を移動するため、カバーガラスが傷つきやすい。カバーガラスが傷つくと、照射される光の光量が低下し、やはり、部品の良好な撮影状態を維持することは困難であった。
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、部品の良好な撮影状態を維持する部品検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）請求項１に記載の発明では、部品に加工された貫通孔の貫通方向が、重力の方向と異なる方向となるように当該部品を支持する支持部と、前記貫通孔の一方の側から前記貫通孔を通過する光を撮影する撮影部と、前記撮影した画像に基づいて前記貫通孔に生じた欠陥の有無を判断する判断部と、前記判断部による判断結果を出力する出力部と、を具備し、前記支持部は、前記部品の搬送経路を構成する、下端部材と、前記下端部材の前記撮影部側に配設され所定の検査位置にくり抜き窓が設けられた第１カバー部材と、前記下端部材の前記第１カバー部材の反対側に前記第１カバー部材と対向して配設され前記所定の検査位置にくり抜き窓が設けられた第２カバー部材とを有し、前記支持部の前記搬送経路は、前記下端部材、前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材により、前記貫通孔の貫通方向が水平となるように前記部品の姿勢を維持したまま自重により降下させ、位置決めピンを前記搬送経路内に挿入し、前記搬送経路を降下する前記部品と前記位置決めピンとを当接させることにより、前記部品を前記所定の検査位置に所定の方向に向けて保持し、前記撮影部は、前記検査位置に設けられた前記くり抜き窓と前記部品の前記貫通孔を通過する光を撮影する、ことを特徴とする部品検査装置を提供する。
（２）請求項２に記載の発明では、前記支持部は、前記撮影部が撮影する際に、前記部品を前記くり抜き窓が形成された前記所定の検査位置に停止させ、前記撮影部は、前記所定の検査位置に停止された前記部品を撮影する、ことを特徴とする請求項１に記載の部品検査装置を提供する。
（３）請求項３に記載の発明では、前記判断部は、前記光が前記貫通孔を通過する部分の面積が、所定の基準面積以上である場合に欠陥が無いと判断し、前記所定の基準面積未満の場合に欠陥が有ると判断する、ことを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載の部品検査装置を提供する。
（４）請求項４に記載の発明では、前記貫通孔の他方の側から前記部品を照明する照明部を具備する、ことを特徴とする請求項１、請求項２、又は請求項３に記載の部品検査装置を提供する。
（５）請求項５に記載の発明では、前記部品には、複数の貫通孔が形成されており、前記判断部は、前記複数の貫通孔ごとに欠陥の有無を判断する、ことを特徴とする請求項１から請求項４までのうちの何れか１の請求項に記載の部品検査装置を提供する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、重力と異なる方向に撮影系を設定して部品からの異物の落下を避けるため、部品の良好な撮影状態を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】検査装置の構成を説明するための図である。
【図２】コンピュータの構成などを説明するための図である。
【図３】検査処理の手順を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
（１）実施形態の概要
検査装置１（図１）は、貫通孔の貫通方向が重力の方向に対して横方向（直角方向）となるように部品１０を向けて保持する。そして、部品１０の横方向の一方に照明５による光源を設けて貫通孔に光を照射し、対向する側に設置したカメラ６で部品１０の貫通孔を通過する光を撮影する。
検査装置１は、撮影した画像データから貫通孔の形成された領域で光が通過する部分の面積を解析し、当該面積が所定の基準面積以上である場合には欠陥が無く、基準面積未満である場合には欠陥が有ると判断する。
【０００９】
このように照明５とカメラ６が部品１０に対して横方向に設置されているため、切り粉やゴミが照明５やカメラ６に落下するのを防ぐことができ、部品１０に照射される光の光量や撮影される画像の画質を良好な状態に維持することができる。これにより、誤検知の発生を抑制することができる。
【００１０】
（２）実施形態の詳細
図１の各図は、検査装置の構成を説明するための図である。
図１（ａ）に示したように、検査装置１は、搬送レール２、照明５、カメラ６、コンピュータ７などから構成されている。
検査対象である部品１０（ワーク）は、一例として、円板状の機械部品であって、金属や樹脂などで形成されている。そして、部品１０には、マシニングセンタなどで複数の貫通孔（貫通穴）が厚さ方向に形成されている。
【００１１】
搬送レール２は、部品１０を搬送する搬送経路が内部の長手方向に形成された部材であって、長手方向が水平面に対して所定の角度だけ傾斜して設置されている。
また、部品１０の姿勢は、搬送経路によって規定されており、部品１０は、貫通孔の貫通方向が水平となる姿勢を維持したまま（即ち、部品１０の外径方向を立てた状態で）、搬送レール２内の搬送経路を高い側から低い側に自重により降下する。
【００１２】
搬送経路の途中には、搬送経路の底部に形成された貫通孔から位置決めピン３が搬送経路を遮る方向に挿入できるようになっており、搬送レール２の下部には、位置決めピン３を搬送経路に挿入したり引き抜いたりするピン駆動装置４が取り付けられている。
位置決めピン３がピン駆動装置４により挿入されると、搬送レール２を降下する部品１０が位置決めピン３に当接して、位置決めピン３により規定される所定の検査位置に停止し、位置決めピン３がピン駆動装置４により抜かれると、部品１０は、搬送レール２を更に降下する。
【００１３】
このように、搬送レール２の搬送経路は、部品１０の貫通孔の貫通方向が重力の方向と異なる方向に部品１０を支持したまま自重により降下させる支持部として機能しており、撮影による検査の際に部品１０を所定の検査位置に所定の方向に向けて停止させる。
【００１４】
検査位置における部品１０の一方の端面の側には、部品１０の当該一方の端面に光を照射する照明５が設置されており、他方の端面の側には、部品１０の当該他方の端面を撮影（撮像）するカメラ６が設置されている。ここで、照明５は、照明部として機能し、カメラ６は、撮影部として機能している。
部品１０の貫通孔の貫通方向と、照明５の光の照射方向、及びカメラ６の撮影方向は、何れも同じ直線上にあるため、照明５から照射された光は貫通孔を通過し、カメラ６によって撮影される。
【００１５】
コンピュータ７は、ピン駆動装置４を駆動すると共に、カメラ６の画像を解析して部品１０の貫通孔の欠陥の有無を判断する。
コンピュータ７は、部品１０が搬送レール２を降下してくる際に、ピン駆動装置４を駆動して位置決めピン３を搬送経路に挿入し、これに部品１０を当接させて、部品１０を検査位置に保持する。
【００１６】
そして、コンピュータ７は、カメラ６から送信されてくる画像データを受信し、これによって貫通孔を通過する光の状態を解析して欠陥の有無を判断する。
本実施の形態では、コンピュータ７は、一例として、貫通孔を通過する光の面積を基準面積と比較し、当該面積が基準面積以上の場合は、欠陥が無いと判断し、基準面積未満の場合には、例えば、貫通孔に切り粉が詰まるなどして塞がっているため、欠陥が有ると判断する。
基準面積は、貫通孔の設計上の断面積に基づいて規定され、例えば、貫通孔の設計上の断面積の所定割合（例えば８０％）に設定されている。
このようにコンピュータ７は、撮影した画像に基づいて貫通孔に生じた欠陥の有無を判断する判断部を備えている。
【００１７】
コンピュータ７は、欠陥の有無の判断を行うと、ピン駆動装置４を駆動して位置決めピン３を搬送経路から引き抜き、部品１０を自重によって搬出する。
図示しないが、搬送レール２の下端側には、合格品を搬送する合格品搬送路と不合格品を搬送する不合格品搬送路が形成されており、コンピュータ７は、経路切替装置を駆動して、合格品は、合格品搬送路に搬出し、不合格品は不合格品搬送路に搬出する。
このように、コンピュータ７は、判断結果を経路切替装置に出力する出力部を備えており、部品１０の貫通孔を検査して、合格品と不合格品を仕分けする。
【００１８】
搬送レール２は、図１（ｂ）に示したように、搬送経路２５のカメラ６側の側面を構成するガラス製のカメラ側カバー部材２１、搬送経路２５の上端面を構成する金属製の上端部材２３、搬送経路２５の下端面を構成する金属製の下端部材２２、及び搬送経路２５の照明５側（紙面手前側）の側面を構成する金属製の照明側カバー部材２４などから構成されている。なお、照明側カバー部材２４に関しては、図１（ｃ）の斜視図に示してある。
このように、搬送経路２５は、これら４つの部材に囲まれることにより形成されている。
【００１９】
搬送経路２５の幅、即ち、カメラ側カバー部材２１の内壁と照明側カバー部材２４の内壁の距離は、検査に影響を与えない範囲で部品１０の厚さより若干大きく設定してある。
これは、部品１０が搬送経路２５を降下する際に、部品１０の端面が両側面によって押圧され、摩擦によって降下が妨げられるのを防ぐためである。
搬送経路２５の高さ、即ち、上端部材２３の下端面と下端部材２２の上端面の距離も同様に部品１０の外径よりも若干大きく設定してある。
【００２０】
また、部品１０の下端部材２２に接する部分には、平坦部１３が形成されており、これによって、部品１０は、搬送経路２５を降下する際に円周方向に回転せず、部品１０の方向を維持したまま下端部材２２の上を滑り降りるようになっている。
このように、搬送経路２５の底面の形状とワーク外径底部の形状を合わせると、搬送が安定する。
なお、本実施の形態では、搬送経路２５の両サイド側をカメラ側カバー部材２１と照明側カバー部材２４で覆ったが、何れか一方だけを設けたり、又は、部品１０が降下する溝部だけで搬送経路２５を構成してもよい。
【００２１】
部品１０には、部品の仕様に応じて所定の位置に、所定の大きさの貫通孔（例えば、他の部品を螺結するためのねじが挿入される穴等）が形成されており、その一例として、基準貫通孔１１ａ、１１ｂ（パイロット穴）と貫通孔１２ａ、１２ｂが形成されている。
基準貫通孔１１ａ、１１ｂは、検査対象の貫通孔であると共に、詳しくは後述する画像データにおける貫通孔の位置を補正するための基準としての機能を兼ねており、画像認識しやすいように大きめの穴によって形成されている。
基準貫通孔１１ａ、１１ｂは、離れた位置に２個あるため、これらにより、カメラ６で撮影した画像データにおける部品１０の搬送経路方向のずれ、及び、回転方向のずれを補正（以下、単に「ズレ量補正」とする）することができる。この「ズレ量補正」の詳細については、後述する。
【００２２】
部品１０は、姿勢を維持したまま搬送経路２５を滑りながら降下し、位置決めピン３に当接して静止するため、これら貫通孔は、検査ごとにほぼ同じ場所に位置する。このため補正が容易となり、画像データにおける位置補正を高速、かつ、安定的に行うことができると共にプログラミングも容易となる。
【００２３】
なお、部品１０が搬送経路２５を転がり落ちることにより降下し、検査位置にて任意の姿勢で静止するように構成することもできる。貫通孔の貫通方向が搬送経路２５の搬送面（下端部材２２の上端面）にたいして垂直であれば、基準貫通孔１１ａ、１１ｂによって、各貫通孔の位置を補正することができる。
【００２４】
カメラ側カバー部材２１は、ガラス製なので、これを通して内部の様子が観察できるほか、部品１０に付着している切削油やゴミなどによってカメラ６が汚れるのを防いでいる。
カメラ側カバー部材２１の検査位置には、部品１０がカバーガラスに接触しないようにカバーガラスをくり抜いたくり抜き窓２６ｂが形成されている。
【００２５】
なお、部品１０がくり抜き窓２６ｂから落下せずに保持されるように、くり抜き窓２６ｂの上端側と下端側の距離が設定されている。
また、くり抜き窓２６ｂの縁の角部は、部品１０が引っかからないように面取り加工してある。
なお、このくり抜き窓２６ｂの上端側と下端側の距離は部品１０の形状、貫通孔の位置に応じて任意に設定することができ、例えば、部品１０に形成された貫通孔のうち、部品１０のもっとも外縁部側に形成された貫通孔の上部に重畳しないような距離に設定するようにしてもよい。
【００２６】
くり抜き窓２６ｂにより、検査位置にてカバーガラスと部品１０が摩擦して擦り傷が発生したり、部品１０の汚れが付着するのを防ぐことができるため、カメラ６は、明瞭な画像を撮影することができる。
【００２７】
照明側カバー部材２４は、例えば、金属部材によって構成されており、カメラ側カバー部材２１と同様に、縁を面取り加工したくり抜き窓２６ａが検査位置に形成されている。くり抜き窓２６ａにより、照明５の光を部品１０に直接照射することができる。
【００２８】
位置決めピン３の可動量は、挿入時に少なくとも部品１０の降下方向の最大外径に到達する量（例えば、部品１０のうち、搬送レール２と水平方向において、部品１０の外縁部を通過する仮想点のうち、対向する２つの仮想点間の距離が最も大きい部分に当接するまでの量等）とした。
位置決めピン３の突出量が最大外径に到達する量よりも小さいと、部品１０が位置決めピン３の先端部分に乗り上げて回転し、後端部が浮くことがあり、搬送効率の低下や画像認識率の低下などの原因となる。
これに対し、上記のように可動量を設定することより、このような不具合を防ぐことができる。
また、位置決めピン３の可動量を、部品１０が位置決めピン３の先端部分に乗り上げない最小量（例えば、部品１０における最大半径等）に設定することもできる。このように設定することによって、検査毎のピンの可動量が最小で済むため、装置の故障率の低下や消費電力の削減を図ることができる。
【００２９】
更に、図１（ｄ）に示したように、位置決めピン３の片側をＤカットにより平面部分３１とし、当該平面部分３１が部品１０の外周面と当接するようにしてある。
位置決めピン３が円柱形状である場合、部品１０の厚さが所定量より薄いと、部品１０が位置決めピン３の外径上（円柱面上）に乗り上げて、部品１０の位置決めにばらつきが生じたり、部品１０が位置決めピン３と搬送経路２５の側面の間に挟まったりすることがあるが、位置決めピン３をＤカットとすることにより、平面部分３１が部品１０の外周に当接して、乗り上げる方向の力が生ぜず、このような不具合を防ぐことができる。
【００３０】
図２（ａ）は、コンピュータ７のハードウェア的な構成を示した図である。
コンピュータ７は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）７１、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）７２、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）７３、インターフェース７４、入力装置７５、出力装置７６、記憶装置７７などがバスラインで接続して構成されている。
【００３１】
ＣＰＵ７１は、記憶装置などに記憶されたプログラムに従って、各種の情報処理や制御を行う中央処理装置である。
本実施の形態では、ピン駆動装置４の制御、カメラ６からの画像データの取り込み、画像データの位置補正、貫通孔の合否判定、及び合格品と不合格品の仕分け制御などを行う。
【００３２】
ＲＯＭ７２は、読み取り専用メモリであって、コンピュータ７が動作する際の基本的なプログラムやパラメータなどが記憶されている。
ＲＡＭ７３は、読み書きが可能なメモリであって、ＣＰＵ７１が動作する際のワーキングメモリを提供する。
より詳細には、ＣＰＵ７１は、カメラ６で撮影した画像データや貫通孔の判定に用いる各貫通孔の面積の基準値、即ち、基準面積をＲＡＭ７３上に展開し、画像上の光が通過した部分の面積と基準面積を比較して欠陥の有無を判断する。
【００３３】
記憶装置７７は、ハードディスクやＥＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ  Ｅｒａｓａｂｌｅ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｒｅａｄ−Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）などの記憶媒体を用いて構成されており、コンピュータ７を動作させる検査プログラム、検査に用いる基準面積データ、検査結果などを記憶している。
基準面積データは、部品１０の種類ごとに用意されており、完成品としての部品１０（仕様に応じた加工が施された部品１０）が示された画像ファイル（例えば、ビットマップ画像やベクタ画像等）、基準貫通孔１１ａ、１１ｂの座標値、基準面積の他、これら貫通孔の位置、直径、基準面積の公差（基準値と許容される範囲の最大値および最小値との差）等が規定されている。
また、基準貫通孔１１ａ、１１ｂの座標値とは、原点と座標軸が定義された座標系により、一点に定まるように規定された値であり、例えば、絶対原点を基準に設けられた座標軸（例えば、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）により、定点を示す座標値として規定されている。
即ち、基準貫通孔１１ａ、１１ｂの位置は、絶対原点からの座標値（Ｘ１、Ｙ１、Ｚ１）により、一点に定まるように規定されている。
ＣＰＵ７１は、検査プログラムを実行することにより、検査動作を行い、基準面積データを用いて欠陥の有無を判断する。
【００３４】
インターフェース７４は、コンピュータ７をカメラ６、ピン駆動装置４、経路切替装置などと接続するインターフェースである。
コンピュータ７は、インターフェース７４を介して通信することにより、カメラ６から画像データを受信したり、ピン駆動装置４や経路切替装置などを制御する。
【００３５】
入力装置７５は、例えば、キーボードやマウスなど、作業者が検査装置１を操作するための入力装置である。
出力装置７６は、例えば、検査画面を表示するモニタ画面、警告音などを出力するスピーカ、検査結果を印刷するプリンタなど各種の情報を作業者に提供するための出力装置である。
【００３６】
図２（ｂ）は、カメラ６が撮影した部品１０の画像の一例を示している。
画像には、基準貫通孔１１ａ、１１ｂ、及び貫通孔１２ａ、１２ｂを通過した照明５からの光、即ち、照明５によるバックライトで照明した貫通孔の陰影が撮影されている。
そして、撮影された画像データには、原点と座標軸が定義された座標系が定義されており、撮影対象の各部の位置が、座標値として一点に定まるように規定されている。
すなわち、撮影対象の各部としての基準貫通孔１１ａ、１１ｂ等の位置が、座標値として取得できるようになっている。
なお、貫通孔をバックライト方式で撮影したのは、コントラストを向上させるためであり、自然光で貫通孔が撮影できる場合、照明５は必要ない。
【００３７】
そして、コンピュータ７は、部品１０に形成された貫通孔に生じた欠陥の有無（例えば、部品１０の仕様に応じた所定の位置又は、所定の大きさの貫通孔が形成されているか等）を、基準面積データを参照して判断するようになっている。
かかる判断を行うため、コンピュータ７は、まず、「ズレ量補正」を行う。
この「ズレ量補正」とは、カメラ６で撮影した画像データにおける部品１０の搬送経路方向のずれ量、及び、回転方向のずれ量に応じて、基準面積データの座標系を補正することをいう。
「ズレ量補正」の概要について説明すると、まず、コンピュータ７は、画像上の基準貫通孔１１ａ、１１ｂが位置する付近の領域１１１ａ、１１１ｂにおいて基準貫通孔１１ａ、１１ｂを探索する。
【００３８】
ここで、領域１１１ａ、１１１ｂとは、上記基準面積データに規定された公差を考慮した基準貫通孔１１ａ、１１ｂが存在し得る位置及び大きさをいい、後述する他の貫通孔１２ａ、１２ｂの位置する領域１１２ａ、１１２ｂよりも大きく設定されている。
領域１１１ａ、１１１ｂを、領域１１２ａ、１１２ｂよりも大きく設定することによって、基準貫通孔１１ａ、１１ｂを他の貫通穴よりも優先的に探索するようになっている。
そして、コンピュータ７は、基準面積データを参照して、撮影された画像データから、例えば、公知のパターンマッチング処理等により、基準貫通孔１１ａ、１１ｂを特定する。
このパターンマッチング処理は公知の技術であるため詳しい説明は省略するが、基準貫通孔１１ａ、１１ｂの形状、配置等の特徴に基づいて、基準面積データと撮影された画像データに示された対象から、基準貫通孔１１ａ、１１ｂを特定する処理をいう。
次に、コンピュータ７は、特定した基準貫通孔１１ａ、１１ｂの画像データに規定された座標値と、基準面積データに基づいて取得した基準貫通孔１１ａ、１１ｂの座標値とを比較して、撮影された部品１０の傾きを検出する。
具体的には、コンピュータ７は、画像データに示される基準貫通孔１１ａ、１１ｂの座標値から算出される直線と、基準面積データに基づいて取得した基準貫通孔１１ａ、１１ｂの座標値から算出される直線とを比較して、画像データに示される部品１０が、画像基準面積データに示される部品１０に対してどの程度傾いているか、傾きを算出する。
そして、コンピュータ７は、算出された傾きに応じて、基準面積データを回転させることにより、ズレ量補正を行う。
そして、コンピュータ７は、ズレ量補正後の基準面積データを参照して、貫通孔１２ａ、１２ｂの面積を解析する。
換言すれば、コンピュータ７は、これによって探索された基準貫通孔１１ａ、１１ｂの位置を基準にして、貫通孔１２ａ、１２ｂの位置する領域１１２ａ、１１２ｂを補正して特定するのである。
このようにして、検査位置にある部品１０が傾いていたとしても、ずれ量補正を行うことによって、基準面積データを参照して、貫通孔１２ａ、１２ｂの位置や面積等を算出することができる。
【００３９】
領域が特定されると、コンピュータ７は、これら領域１１１ａ、１１１ｂ、１１２ａ、１１２ｂの光っている部分（貫通孔を通過した光がカメラ６の撮像面に投影される領域）の面積を解析する。
より詳細には、画像上では、部品１０の表面は黒く、光の通過する領域は白く写り、コンピュータ７は、領域内の白い部分の面積を解析する。
【００４０】
先に述べたように、記憶装置７７に記憶されている基準面積データには、これら個々の貫通孔の基準面積が記録されており、コンピュータ７は、個々の領域の光っている部分の面積と基準面積を比較して、光っている部分の面積が基準面積以上なら、欠陥がなく合格、基準面積未満なら欠陥が有り不合格と判断する。
このようにして、コンピュータ７は、部品１０に形成された複数の貫通孔について欠陥の有無を判断することができる。
【００４１】
図３は、コンピュータ７が行う検査処理の手順を説明するためのフローチャートである。以下の、処理は、ＣＰＵ７１が検査プログラムに基づいて行うものである。
まず、ＣＰＵ７１は、搬送経路２５が空の状態でピン駆動装置４を駆動し、位置決めピン３を搬送経路２５に挿入する（ステップ５）。
【００４２】
次に、ＣＰＵ７１は、部品１０を１個、搬送経路２５の上端に投入する（ステップ１０）。
この投入処理は、例えば、搬送経路２５の上流側で部品１０を他のピンで停止させておき、当該ピンを引き抜くことにより行うことができる。
【００４３】
投入された部品１０は、搬送経路２５を滑走して効果し、位置決めピン３に当接して検査位置に停止・保持される。
部品１０が検査位置に供給されたことは、センサで検知してもよいし、あるいは、部品１０を投入してから供給位置で停止するまでの時間はほぼ一定であるため、投入後一定時間経過したことにより判断してもよい。
【００４４】
部品１０が検査位置に停止すると、カメラ６が部品１０を撮影し（ステップ１５）、ＣＰＵ７１は、カメラ６が撮影した部品１０の画像データを受信する。
部品１０の撮影は、ＣＰＵ７１がカメラ６を制御して静止画を撮影させてもよいし、カメラ６が動画により検査位置を連続的に撮影している一連の画像から部品１０が写っているものを抽出してもよい。
【００４５】
ＣＰＵ７１は、受信した画像データをＲＡＭ７３に記憶する。そしてＣＰＵ７１は、記憶した画像データ上の領域１１１ａ、１１１ｂにおいて基準貫通孔１１ａ、１１ｂを探索し、これらの位置を特定する（ステップ２０）。
そして、ＣＰＵ７１は、特定した基準貫通孔１１ａ、１１ｂの位置に基づいて、上述した画像データのズレ位置補正を行う（ステップ２５）。
次に、ＣＰＵ７１は、貫通孔の番号を特定するパラメータｉをＲＡＭ７３に設定し、その初期値を１とする（ステップ３０）。
【００４６】
ｉを設定すると、ＣＰＵ７１は、画像データにおけるｉ番目の貫通孔が形成されている領域にて光の通過した部分の面積を計算する（ステップ３５）。
次に、ＣＰＵ７１は、計算した面積と基準面積データに記録されているｉ番目の基準面積を比較し、計算した面積が基準面積以上か否かを判断する（ステップ４０）。
【００４７】
所定値以上であった場合（ステップ４０；Ｙ）、ＣＰＵ７１は、当該貫通孔は欠陥を有しないと判断し、ｉを１だけインクリメントして、次の検査対象をｉ＋１番目の貫通孔に設定する（ステップ４５）。
次に、ＣＰＵ７１は、ｉが部品１０に形成された貫通孔の総数より大きいか否かを判断する（ステップ５０）。
【００４８】
ｉが貫通孔の総数以下の場合（ステップ５０；Ｎ）、まだ未検査の貫通孔が有るため、ＣＰＵ７１は、ステップ３５に戻り、次の貫通孔について検査する。
ｉが貫通孔の総数より大きい場合（ステップ５０；Ｙ）、全ての貫通孔について検査して、かつ、欠陥が無かったため、ＣＰＵ７１は、当該部品１０を合格品と判断する（ステップ５５）。
【００４９】
次に、ＣＰＵ７１は、ピン駆動装置４を駆動して位置決めピン３を引き抜くことにより位置決めピン３による位置決めを解除する（ステップ６０）。これにより部品１０は、搬送経路２５を降下する。
更に、ＣＰＵ７１は、経路切替装置を駆動して降下してくる部品１０を合格品の搬送路に誘導することにより合格品に対する処理を行う（ステップ６５）。
【００５０】
次に、ＣＰＵ７１は、未検査の部品１０が有るか否かを判断し（ステップ７０）、未検査の部品１０が有る場合は（ステップ７０；Ｙ）、ステップ５に戻り、未検査の部品１０が無い場合は（ステップ７０；Ｎ）、検査を終了する。
【００５１】
また、ステップ４０で、計算した面積が基準面積未満であった場合（ステップ４０；Ｎ）、欠陥が有ったため、ＣＰＵ７１は、当該部品１０を不合格品と判断する（ステップ７５）。
【００５２】
次に、ＣＰＵ７１は、ピン駆動装置４を駆動して位置決めピン３を引き抜くことにより位置決めピン３による位置決めを解除する（ステップ８０）。これにより部品１０は、搬送経路２５を降下する。
更に、ＣＰＵ７１は、経路切替装置を駆動して降下してくる部品１０を不合格品の搬送路に誘導することにより不合格品に対する処理を行い（ステップ８５）、ステップ７０に移行する。
【００５３】
なお、上記に説明した実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。そして、上記実施形態の中で説明されている組み合わせ全てが発明の課題解決に必須の構成であるとは限らない。
以上に説明した検査方法では、部品１０を検査位置に停止させて検査したが、位置決めピン３を設けずに、部品１０を一定間隔で連続的に降下させ、カメラ６で動画を撮影しながらリアルタイムで処理するように構成することも可能である。
また、単体の部品１０を斜面で降下させるのではなく、複数の部品１０が形成されたフープ材を用い、ロケート（位置決め）穴にピンを入れて、映画のフィルムを送るように送ってもよい。この場合は、搬送経路２５は、傾斜させる必要は無く、部品１０を立てたまま水平に送るように構成することもできる。
また、撮像装置１は、撮影した画像データから貫通孔の形成された領域で光が通過する部分の面積を解析し、当該面積が所定の基準面積以上である場合には欠陥が無く、基準面積未満である場合には欠陥が有ると判断するようになっているが、撮影した画像データから貫通孔の形成された領域で光が通過する部分の位置を解析し、貫通孔が所定の位置に形成されている場合には欠陥が無く、貫通孔が所定の位置に形成されていない場合には欠陥が有ると判断するようにしてもよい。
さらに、撮像装置１は、撮影した画像データから貫通孔の形成された領域で光が通過する部分の位置又は面積を解析し、貫通孔が所定の位置に形成されており、当該面積が所定の基準面積以上である場合には欠陥が無く、貫通孔が所定の位置に形成されておらず、基準面積未満である場合には欠陥が有ると判断するようにしてもよい。
【００５４】
以上に説明した実施の形態により、次のような効果を得ることができる。
（１）照明５やカメラ６などの撮影系は、重力方向に対して横方向に設置されているため、部品１０から落下した異物によって照明５やカメラ６が汚染されることがない。
（２）撮影系の汚染が抑制されるため、部品１０の撮影状態を良好に維持することができ、誤検知を抑制することができる。
（３）搬送レール２の検査位置にくり抜き窓２６ａ、２６ｂを設けたため、明瞭な画像を撮影することができる。
（４）位置決めピン３の挿入量が十分であり、また、平面部分３１が形成されているため、降下してくる部品１０を安定的な停止・保持することができる。
（５）部品１０は、自重により搬送経路２５を搬送されるため、複雑な機構や動力を必要としない。
【符号の説明】
【００５５】
１  検査装置
２  搬送レール
３  位置決めピン
４  ピン駆動装置
５  照明
６  カメラ
７  コンピュータ
１０  部品
１１ａ、１１ｂ  基準貫通孔
１２ａ、１２ｂ  貫通孔
１３  平坦部
２１  カメラ側カバー部材
２２  下端部材
２３  上端部材
２４  照明側カバー部材
２５  搬送経路
２６ａ、２６ｂ  くり抜き窓
３１  平面部分
７１  ＣＰＵ
７２  ＲＯＭ
７３  ＲＡＭ
７４  インターフェース
７５  入力装置
７６  出力装置
７７  記憶装置
１１１ａ、１１１ｂ、１１２ａ、１１２ｂ  領域
【図１】
0006521227.tif 000002
【図２】
0006521227.tif 000003
【図３】
0006521227.tif 000004