(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インゴットを供給して第１方向に移動可能に具備されるインゴット供給装置；
第１方向と交差する第２方向に移動可能に具備されて前記インゴットを切断するように具備される切断装置；
前記切断装置にスラリーを供給するように具備されるスラリー供給部；
前記切断装置に空気を供給するエア供給部；及び
前記エア供給部を制御するエア供給部制御部；を含み、
前記エア供給部制御部は、前記インゴット供給装置の位置によって前記エア供給部から排出される時間当りの空気供給量を可変させ、かつ前記切断装置と前記インゴットとが摩擦する横断面の面積が狭いほど前記エア供給部から排出される時間当り空気供給量を増加させ、かつ前記切断装置と前記インゴットとが摩擦する横断面の面積が広いほど前記エア供給部から排出される時間当りの空気供給量を減少させるように具備される、インゴット切断装置。
【請求項２】
前記エア供給部は、前記スラリー供給部と前記インゴットとの間に具備される、請求項１に記載のインゴット切断装置。
【請求項３】
前記エア供給部は、少なくとも一つ以上具備される、請求項２に記載のインゴット切断装置。
【請求項４】
前記エア供給部は、
外部から空気を前記エア供給部の内部に案内する流路を提供する空気流入ホース；及び
前記エア供給部の内部に流入された空気を一定の方向に排出させる空気排出口；を含む、請求項１乃至請求項３のうちいずれか一つに記載のインゴット切断装置。
【請求項５】
前記空気排出口は、前記空気排出口から排出される空気と前記切断装置とが成す角が９０゜以下になるように具備される、請求項４に記載のインゴット切断装置。
【請求項６】
前記エア供給部は、前記空気排出口に沿って延長されるように少なくとも一つ以上具備される、請求項４または請求項５に記載のインゴット切断装置。
【請求項７】
前記エア供給部制御部は、前記インゴット供給装置の位置によって前記エア供給部から排出される空気の温度を可変させるように具備される、請求項１乃至請求項６のうちいずれか一つに記載のインゴット切断装置。
【請求項８】
前記エア供給部制御部は、前記切断装置と前記インゴットとが摩擦する横断面の面積が狭いほど前記エア供給部から排出される空気の温度を増加させるように具備される、請求項７に記載のインゴット切断装置。
【請求項９】
前記エア供給部制御部は、前記切断装置と前記インゴットとが摩擦する横断面の面積が広いほど前記エア供給部から排出される空気の温度を減少させるように具備される、請求項７または請求項８に記載のインゴット切断装置。
【請求項１０】
前記エア供給部制御部は、前記エア供給部から排出される空気の方向を可変できるように具備される、請求項１乃至請求項９のうちいずれか一つに記載のインゴット切断装置。
【請求項１１】
前記エア供給部は、前記エア供給部制御部によって回動可能に具備される、請求項１０に記載のインゴット切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインゴット（Ｉｎｇｏｔ）切断装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体などの電子部品や太陽電池を生産するための素材として使用されるシリコンウェーハ（ｗａｆｅｒ）は、単結晶シリコンインゴット（ｉｎｇｏｔ）をウェーハ形状に薄く切断するスライシング工程、望むウェーハの厚さに研磨しながら平坦度を改善するラッピング工程（ｌａｐｐｉｎｇ）、ウェーハ内部の損傷（ｄａｍａｇｅ）層除去のための蝕刻工程（ｅｔｃｈｉｎｇ）、表面鏡面化及び平坦度を向上させるためのポリッシング工程（ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）、ウェーハ表面の汚染物質を除去するための洗浄工程（ｃｌｅａｎｉｎｇ）などの段階を経て生産される。
【０００３】
前述したスライシング工程において、インゴットはワイヤ（ｗｉｒｅ）とスラリー（ｓｌｕｒｒｙ）を用いて薄いウェーハ形状に切断される。
【０００４】
最近、ウェーハ（ｗａｆｅｒ）の大型化が必要になっており、この傾向にしたがってインゴット（Ｉｎｇｏｔ）を切断するインゴット切断装置が使用されている。
【０００５】
インゴット切断装置は、高速で往復可能に具備されるワイヤを用いてインゴットを切断する装置である。
【０００６】
高速で往復可能に具備されたワイヤの上部面に研磨材とスラリー（ｓｌｕｒｒｙ）を塗布してワイヤに付着した研磨材とインゴットの摩擦力を用いてインゴットを切断させてウェーハを生産する。
【０００７】
図１を用いて従来のインゴット切断装置に対して説明する。
【０００８】
従来のインゴット切断装置は、インゴット（Ｉ）を収容して供給するインゴット供給装置（２０）、インゴット供給装置（２０）から供給されたインゴット（Ｉ）を切断するように具備される切断装置（１０） 及び切断装置（１０）にスラリー（Ｓ）を供給するように具備されるスラリー供給部（３０）を含むことができる。ここで、インゴット供給装置（２１）はインゴット移送装置であり得、 切断装置（１０）はワイヤ回転装置であり得る。
【０００９】
インゴット供給装置（２０）は、インゴット（Ｉ）を収容したり切断装置（１０）に向けて移動させるように具備されるインゴット保管部（２１）、インゴット（Ｉ）を拘束するように具備される当て板（２３）、当て板（２３）を保持するように具備されるワークプレート（２２）を含むことができる。ここで、インゴット保管部（２１）はインゴット移送テーブルであり得、当て板（２３）はｓｌｉｃｅ  ｐａｄ  ｐｌａｔｅであり得、ワークプレート（２２）はインゴット（Ｉｎｇｏｔ）ｃｌａｍｐであり得る。
【００１０】
切断装置（１０）は、回転可能に具備されるローラー（１１）、ローラー（１１）に巻線されるように具備されて往復運動可能に具備されるワイヤ（１２）を含むことができる。
【００１１】
前述したインゴット供給装置（２０）は、上下運動するように具備されてワイヤ（１２）にインゴット（Ｉ）を移動させてインゴット（Ｉ）を切断することができる。
【００１２】
スラリー供給部（３０）は、図示されたようにワイヤ（１２）にスラリー(S)を塗布できるように具備される。
【００１３】
従来のインゴット切断装置は、インゴット（Ｉ）に塗布されたスラリー(S)が飛散してインゴット（Ｉ）の切断面に流入される問題があった。
【００１４】
これによって、インゴット（Ｉ）の切断された内部にスラリー(S)が流入されてインゴット（Ｉ）がワイヤ（１２）の移動方向と垂直方向に震動するベローズ運動（Ｂｅｌｌｏｗｓ  ｍｏｔＩｏｎ）が起き、震動による騷音とウェーハの切断品質が悪化する問題があった。
【００１５】
また、インゴット（Ｉ）の切断時、ワイヤ（１２）は前後方向に往復運動をするためウェーハ（ｗａｆｅｒ）の中心を基準にして両側面の厚さが中央の厚さより薄い特徴を示すが、前述した厚さの差によって発生する空間はワイヤ（１２）の震動及び偏向を惹起させてウェーハの品質を悪化させる問題があった。
【００１６】
また、インゴット（Ｉ）の切断時、ワイヤ（１２）の表面に塗布されるスラリー(S)の量が必要以上に多くて目標とするウェーハの厚さが薄くなる問題があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、ワイヤに供給されるスラリーの量を制御してウェーハの厚さが必要以上に薄くなることを防止するインゴット切断装置を提供することを課題とする。
【００１８】
また、本発明は、インゴットが切削される位置によってスラリーに向けて供給される空気の量を異ならせて制御できるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題とする。
【００１９】
また、本発明は、インゴットが切削される位置によってスラリーに向けて供給される空気の温度を異ならせて制御できるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題とする。
【００２０】
また、本発明はスラリーに向けて供給される空気とインゴットを切断するワイヤとの間の角度を異ならせることができるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、前述した課題を解決するために、インゴットを供給して第１方向に移動可能に具備されるインゴット供給装置、第１方向と交差する第２方向に移動可能に具備されて前記インゴットを切断するように具備される切断装置、前記切断装置にスラリーを供給するように具備されるスラリー供給部及び前記切断装置に空気を供給するエア供給部を含むことを特徴とするインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００２２】
また、本発明は、前記エア供給部は前記スラリー供給部と前記インゴットとの間に具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００２３】
また、本発明は、前記エア供給部は少なくとも一つ以上具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００２４】
また、本発明は、前記エア供給部は外部から空気を前記エア供給部の内部に案内する流路を提供する空気流入ホース及び前記エア供給部の内部に流入された空気を一定の方向に排出させる空気排出口；を含むインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００２５】
また、本発明は、前記空気排出口は前記空気排出口から排出される空気と前記切断装置とが成す角が９０゜以下になるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００２６】
また、前記エア供給部は、前記空気排出口に沿って延長されるように少なくとも一つ以上具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００２７】
また、前記エア供給部を制御するエア供給部制御部をさらに含み、前記エア供給部制御部は前記インゴット供給装置の位置によって前記エア供給部から排出される時間当りの空気供給量を可変させるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００２８】
また、前記エア供給部制御部は、前記切断装置と前記インゴットが摩擦する横断面の面積が狭いほど前記エア供給部から排出される時間当りの空気供給量を増加させるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００２９】
また、前記エア供給部制御部は、前記切断装置と前記インゴットが摩擦する横断面の面積が広いほど前記エア供給部から排出される時間当りの空気供給量を減少させるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００３０】
また、前記エア供給部を制御するエア供給部制御部を含み、前記エア供給部制御部は前記インゴット供給装置の位置によって前記エア供給部から排出される空気の温度を可変させるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００３１】
また、本発明は、前記エア供給部制御部は前記切断装置と前記インゴットが摩擦する横断面の面積が狭いほど前記エア供給部から排出される空気の温度を増加させるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００３２】
また、前記エア供給部制御部は、前記切断装置と前記インゴットが摩擦する横断面の面積が広いほど前記エア供給部から排出される空気の温度を減少させるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００３３】
また、前記エア供給部を制御するエア供給部制御部；を含み、前記エア供給部制御部は前記エア供給部から排出される空気の方向を可変することができるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００３４】
また、前記エア供給部は、前記エア供給部制御部によって回動可能に具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００３５】
また、インゴットを供給して第１方向に移動可能に具備されるインゴット供給装置、第１方向と交差する第２方向に移動可能に具備されて前記インゴットを切断するように具備される切断装置、前記切断装置にスラリーを供給するように具備されるスラリー供給部及び前記切断装置に空気を供給するエア供給部を含み、前記エア供給部は外部から空気を前記エア供給部の内部に案内する流路を提供する空気流入ホース及び前記エア供給部の内部に流入された空気を一定の方向に排出させる空気排出口を含むインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００３６】
また、前記空気排出口は、前記空気排出口から排出される空気と前記切断装置とが成す角が９０゜以下になるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００３７】
また、前記エア供給部は、前記空気排出口に沿って延長されるように少なくとも一つ以上具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００３８】
また、前記エア供給部を制御するエア供給部制御部をさらに含み、前記エア供給部制御部は前記インゴット供給装置の位置によって前記エア供給部から排出される空気の温度を可変させるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００３９】
また、前記エア供給部は、前記エア供給部制御部によって回動可能に具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【００４０】
また、前記エア供給部制御部は、前記切断装置と前記インゴットが摩擦する横断面の面積が狭いほど前記エア供給部から排出される時間当りの空気供給量を増加させるように具備されるインゴット切断装置を提供することを課題の解決手段とする。
【発明の効果】
【００４１】
本発明は、ワイヤに供給されるスラリーの量を制御してウェーハの厚さが必要以上に薄くなることを防止するインゴット切断装置を提供することを発明の効果とする。
【００４２】
また、本発明は、インゴットが切削される位置によってスラリーに向けて供給される空気の量を異ならせて制御できるように具備されるインゴット切断装置を提供することを発明の効果とする。
【００４３】
また、本発明は、インゴットが切削される位置によってスラリーに向けて供給される空気の温度を異ならせて制御できるように具備されるインゴット切断装置を提供することを発明の効果にする。
【００４４】
また、本発明は、スラリーに向けて供給される空気とインゴットを切断するワイヤとの間の角度を異ならせることができるように具備されるインゴット切断装置を提供することを発明の効果にする。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】従来のインゴット切断装置を図示したものである。
【図２】本発明のインゴット切断装置を図示したものである。
【図３】本発明のインゴット切断装置の制御部などを図示したものである。
【図４】図４ａ、図４ｂ及び図４ｃは、本発明のインゴット切断装置のエア供給部を図示したものである。
【図５】図５ａ、図５ｂ及び図５ｃは、本発明のインゴット切断装置のインゴット切断位置によるエア供給部の時間当りの空気供給量及び供給空気温度を図示したものである。
【図６】図６ａは、エア供給部が配置されていないワイヤの断面を図示したものであり、図６ｂは、エア供給部が配置された実施例のワイヤの断面を図示したものである。
【発明を実施するための形態】
【００４６】
以下、添付図面を参照して本発明の構成に対して詳細に説明すれば次のとおりである。
【００４７】
図２は、本発明のインゴット切断装置を図示したものである。
【００４８】
図２を参考すれば、本発明のインゴット切断装置は、インゴット（Ｉ）を収容して供給するインゴット供給装置（２０）、インゴット供給装置（２０）から供給されたインゴット（Ｉ）を切断するように具備される切断装置（１０）及び切断装置（１０）にスラリー（Ｓ）を供給するように具備されるスラリー供給部（３０）、切断装置（１０）に供給されるスラリーの量を調節するように具備されるエア供給部（４０）を含むことができる。ここで、インゴット供給装置（２１）はインゴット移送装置であり得、 切断装置（１０）はワイヤ回転装置であり得る。
【００４９】
インゴット供給装置（２０）は、インゴット（Ｉ）を収容したり切断装置（１０）に向けて送出させるように具備されるインゴット保管部（２１）、インゴット（Ｉ）を拘束するように具備される当て板（２３）、当て板（２３）を保持するように具備されるワークプレート（２２）を含むことができる。ここで、インゴット保管部（２１）はインゴット移送テーブルであり得、当て板（２３）はｓｌｉｃｅ  ｐａｄ  ｐｌａｔｅであり得、ワークプレート（２２）はインゴット（Ｉｎｇｏｔ）ｃｌａｍｐであり得る。
【００５０】
切断装置（１０）は、回転可能に具備されるローラー（１１）、ローラー（１１）に巻線されるように具備されて第１方向と交差する第２方向に往復運動可能に具備されるワイヤ（１２）を含むことができる。
【００５１】
前述したインゴット供給装置（２０）は、第１方向に運動するように具備されてワイヤ（１２）にインゴット（Ｉ）を移動させてインゴット（Ｉ）を切断することができる。
【００５２】
第１方向は、上下方向であり得、第２方向は左右方向であり得る。
【００５３】
スラリー供給部（３０）は、図示されたようにワイヤ（１２）にスラリー(S)を塗布できるように具備される。
【００５４】
エア供給部（４０）は、スラリー供給部（３０）からワイヤ（１２）に向けて塗布されたスラリー(S)の量を調節するように具備されるが、図１に図示されたようにエア供給部（４０）がない場合には、インゴット（Ｉ）の切断位置が下部に下れば下るほど前述したようにインゴット（Ｉ）の切断面に向けてスラリーが侵透してインゴット（Ｉ）がベローズ運動（Ｂｅｌｌｏｗｓ  ｍｏｔｉｏｎ）をして振動及びウェーハ品質低下の問題が発生したが、本発明のインゴット切断装置は、エア供給部（４０）を具備することによって適量のスラリーをワイヤ（１２）に供給するため、前述した問題が発生しない効果がある。
【００５５】
また、ワイヤ（１２）に供給されるスラリー(S)の量が多すぎる場合には、ワイヤ（１２）の切断直径が増加して最初に予想したよりウェーハの厚さが薄くなる問題があるが、本発明のインゴット切断装置は、エア供給部（４０）から空気を供給してワイヤ（１２）に供給されるスラリー(S)の量を調節することができるため、必要以上にワイヤ（１２）の切断直径が増加することを防止してウェーハの品質を向上させることができる効果がある。
【００５６】
エア供給部（４０）が供給する空気(A)の噴射角度、時間当りの空気供給量及び供給空気の温度に対しては後に詳しく説明する。
【００５７】
図３は、本発明のインゴット切断装置の制御部などを図示したものである。
【００５８】
図３を参考すれば、本発明のインゴット切断装置は、インゴット切断装置をすべて制御するように具備される制御部（５０）、エア供給部（４０）を制御するように具備されるエア供給部制御部（４１）、スラリー供給部（３０）を制御するように具備されるスラリー供給部制御部（３１）、切断装置（１０）を制御するように具備される切断装置制御部（１３）を含むことができる。
【００５９】
より望ましくは、制御部（５０）はインゴット供給装置（２０）を制御してインゴット（Ｉ）の切削位置を制御するように具備され得る。
【００６０】
インゴット（Ｉ）が切断される位置によってインゴット（Ｉ）と摩擦するワイヤ（１２）の面積が可変するため、これによって供給されるスラリーの量及びスラリーの温度が可変するように具備されなければならない。
【００６１】
したがって、より良いウェーハの品質のためには、インゴット（Ｉ）の切削位置によってスラリー供給部（３０）から供給されなければならないスラリーの量、供給されるスラリーの温度とエア供給部（４０）から供給されなければならない空気の時間当りの供給量、供給される空気の温度などが異なるように制御されなければならないためである。
【００６２】
制御部（５０）は、切断装置（１０）を制御する切断装置制御部（１３）を制御して切断装置（１０）のローラー（１１）の回転速度を可変させるように具備され得る。
【００６３】
制御部（５０）は、エア供給部（４０）を制御するエア供給部制御部（４１）を制御してエア供給部（４０）から供給する時間当たりの供給される空気の量及び供給される空気の温度を制御するように具備され得る。
【００６４】
また、制御部（５０）は、スラリー供給部（３０）を制御するスラリー供給部制御部（３１）を制御してワイヤ（１２）に供給されるスラリーの量及びスラリーの温度を制御するように具備され得る。
【００６５】
すなわち、本発明は、１次的にスラリー供給部（３０）から供給されるスラリーの量及びスラリーの温度を制御し、さらに２次的にエア供給部（４０）から供給される空気によって最終的にワイヤ（１２）に供給されるスラリーの量を制御して良い品質のウェーハを生産する効果がある。
【００６６】
図４ａ、図４ｂ及び図４ｃは、本発明のインゴット切断装置のエア供給部を図示したものである。
【００６７】
図４ａを参考すれば、エア供給部（４０）は、外部でエア供給部（４０）の内部に空気を供給するように具備される空気流入ホース（４３）、空気流入ホース（４３）から供給された空気がエア供給部（４０）の内部に流入されるための空間を提供する空気流入口（４４）、エア供給部（４０）の内部に供給された空気をワイヤ（１２）に向けて噴射するように具備される空気排出口（４２）を含むことができる。
【００６８】
空気流入ホース（４３）は、外部からエア供給部（４０）の内部に空気を流入するように具備されればよく、図面に図示された実施例に限定されない。
【００６９】
空気排出口（４２）は、空気が排出される方向と垂直となる方向に延長されるように具備され得るように図示されているが、エア供給部（４０）の内部の空気を決まった方向に向けて噴射するように具備されればよく、空気排出口（４２）の形状は本実施例に限定されない。
【００７０】
図４ｂを参考すれば、エア供給部（４０）は、複数個で具備されることができ、より詳しくは第１エア供給部（４０１）、第２エア供給部（４０３）及び第３エア供給部（４０５）で具備され得る。
【００７１】
これは、エア供給部（４０）から噴射されなければならない空気がより高い圧力で噴射されなければならなかったり時間当りの噴射される空気の量が多くなるようにするためである。
【００７２】
エア供給部（４０）の個数は、本実施例に限定されず、使用者の必要によって異なるように具備され得る。
【００７３】
第１エア供給部（４０１）は、第１エア供給部（４０１）に外部の空気を流入するように具備される第１空気流入ホース（４３１）、第１空気流入ホース（４３１）から供給された空気が第１エア供給部（４０１）の内部に流入されるための空間を提供する第１空気流入口（４４１）、第１エア供給部（４０１）の内部に供給された空気をワイヤ（１２）に向けて噴射するように具備される第１空気排出口（４２１）を含むことができる。
【００７４】
第２エア供給部（４０３）は、第２エア供給部（４０３）に外部の空気を流入するように具備される第２空気流入ホース（４３３）、第２空気流入ホース（４３３）から供給された空気が第２エア供給部（４０３）の内部に流入されるための空間を提供する第２空気流入口（４４３）、第２エア供給部（４０３）の内部に供給された空気をワイヤ（１２）に向けて噴射するように具備される第２空気排出口（４２３）を含むことができる。
【００７５】
第３エア供給部（405）は、第３エア供給部（405）に外部の空気を流入するように具備される第３空気流入ホース（４３５）、第３空気流入ホース（４３５）で供給された空気が第３エア供給部（405）の内部に流入されるための空間を提供する第３空気流入口（４４５）、第３エア供給部（405）の内部に供給された空気をワイヤ（１２）に向けて噴射するように具備される第３空気排出口（４２５）を含むことができる。
【００７６】
図４ｃは、エア供給部（４０）が噴射する空気(A)とワイヤ（１２）とが成す角度である噴射角（θ）を図示したものであるが、以下、これを参考して本実施例のエア供給部（４０）の噴射角（θ）を説明する。
【００７７】
本実施例のエア供給部（４０）の噴射角（θ）は０゜乃至９０゜であり得る。
【００７８】
もし、エア供給部（４０）の噴射角（θ）が９０゜以上になる場合、すなわちワイヤ（１２）と逆方向に空気を供給すると、スラリー（Ｓ）が飛散されてインゴット（Ｉ）にスラリー（Ｓ）が付着してインゴット（Ｉ）の切断面の品質が落ちる問題があった。
【００７９】
また、エア供給部（４０）から噴射される空気の噴射角（θ）が９０゜以上の場合には、インゴット（Ｉ）の温度を調節する機能を行うことができない問題がある。
【００８０】
したがって、エア供給部（４０）から噴射される空気の噴射角度（θ）は可変されるように具備され得、エア供給部（４０）から噴射される空気の噴射角度（θ）は０゜乃至 ９０゜であり得、より望ましくは３０゜乃至６０゜であり得る。
【００８１】
これによって、エア供給部（４０）は、スラリー（Ｓ）を制御してスラリー（Ｓ）の飛散を防止してインゴット（Ｉ）の切断面の品質を向上させ、切断によって上昇したインゴット（Ｉ）の温度を低めることができる効果がある。
【００８２】
図６aと図６ｂ を参照すれば、前述した効果が分かるが、図６ａはエア供給部（４０）が配置されていないワイヤ（１２）の断面を図示したものであり、図６ｂはエア供給部（４０）が配置された本実施例のワイヤ（１２）を図示したものである。
【００８３】
図６ａに図示されたように、従来エア供給部（４０）が配置されていないワイヤ（１２）の外周面は、スラリー（Ｓ）が均一にならないように付着されたことが分かる。
【００８４】
前述したようにワイヤ（１２）の外周面にスラリー（Ｓ）が付着されてスラリー（Ｓ）が付着されたワイヤ（１２）が往復運動をしながらインゴット（Ｉ）を切断するが、インゴット（Ｉ）の切断面の品質を保障するためにはワイヤ（１２）の切断面が均一に形成されなければならないが、ワイヤ（１２）の外周面にスラリー（Ｓ）が不均一に付着されると第２切断面（Ｌ２）のような形状に形成されることになる。
【００８５】
したがって、インゴット（Ｉ）の切断面の品質を保障しにくい問題があった。
【００８６】
しかし、図６ｂに図示された本実施例のインゴット切断装置（１０）は、エア供給部（４０）を含み、エア供給部（４０）から噴射される空気によってワイヤ（１２）の外周面にスラリー（Ｓ）が均一に付着されていることが分かる。
【００８７】
これによって、ワイヤ（１２）の切断面が第１切断面（Ｌ１）のような形状に形成されるようになってインゴット（Ｉ）の切断品質が向上される。
【００８８】
エア供給部制御部（４１）は、インゴット切断位置によって空気の噴射角度が可変できるように制御することができる。
【００８９】
ワイヤ（１２）とインゴット（Ｉ）が接する面積に反比例してエア供給部（４０）から噴射される角度を可変させることができる。
【００９０】
図５ａ、図５ｂ及び図５ｃは本発明のインゴット切断装置のインゴット切断位置によるエア供給部の時間当りの空気供給量及び供給空気温度を図示したものである。
【００９１】
図５a乃至図５ｃを参考すれば、インゴット（Ｉ）は、インゴット供給装置（２０）によって上下に垂直移動可能に具備され得るが、説明の便宜上、固定されるワイヤ（１２）がインゴット（Ｉ）のどの地点に位置してインゴット（Ｉ）を切断するかを説明するようにする。
【００９２】
図５ｂは、ワイヤ（１２）がインゴット（Ｉ）の位置によってエア供給部（４０）から供給する時間当りの空気供給量（Ｌ／ｍｉｎ）のプロファイル（ｐｒｏｆｉｌｅ）を図示したものであるが、ワイヤ（１２）がＡ位置にある場合ワイヤ（１２）が切削するインゴット（Ｉ）の横断面積が狭いためスラリーの供給量は小さくなければならない。したがってワイヤ（１２）がＡ位置にある場合には、エア供給部（４０）は９０（Ｌ／ｍｉｎ）の空気をワイヤ（１２）に向けて供給するようになる。
【００９３】
しかし、ワイヤ（１２）がＢ位置にある場合には、ワイヤ（１２）が切削するインゴット（Ｉ）の横断面積はワイヤ（１２）がＡ位置にある場合ワイヤ（１２）が切削するインゴット（Ｉ）の横断面積より広いため、より多いスラリーが供給されなければならず、したがってワイヤ（１２）がB位置にある場合エア供給部（４０）はより少ない7０（Ｌ／ｍｉｎ）の空気をワイヤ（１２）に供給するように具備され得る。
【００９４】
但し、ワイヤ（１２）が切削するインゴット（Ｉ）の横断面積の広さによってエア供給部（４０）が供給する時間当りの空気供給量は異なるように具備されればよく、前述した実施例で説明した数値に限定されない。
【００９５】
図５（ｃ）は、ワイヤ（１２）がインゴット（Ｉ）の位置によってエア供給部（４０）から供給する供給空気温度（℃）のプロファイル（ｐｒｏｆｉｌｅ）を図示したものであるが、ワイヤ（１２）がＡ位置にある場合ワイヤ（１２）が切削するインゴット（Ｉ）の横断面積が狭いため比較的摩擦による熱の発生が大きくない。したがって、ワイヤ（１２）がＡ位置にある場合には、エア供給部（４０）は２８（℃）の空気をワイヤ（１２）に向けて供給するようになる。
【００９６】
しかし、ワイヤ（１２）がＢ位置にある場合には、ワイヤ（１２）が切削するインゴット（Ｉ）の横断面積はワイヤ（１２）がＡ位置にある場合ワイヤ（１２）が切削するインゴット（Ｉ）の横断面積より広いため、摩擦によってより多い熱が発生するようになり、これをクーリング（Ｃｏｏｌｉｎｇ）するためにワイヤ（１２）がB位置にある場合エア供給部（４０）はより低い温度である１８（゜Ｃ）の空気をワイヤ（１２）に供給するように具備され得る。
【００９７】
但し、ワイヤ（１２）が切削するインゴット（Ｉ）の横断面積の広さによってエア供給部（４０）が供給する供給空気温度は異なるように具備されればよく、前述した実施例で説明した数値に限定されない。
【００９８】
本実施例において、図５ｂ、図５ｃで図示されたインゴット供給装置の変位による時間当りの空気供給量及び供給空気温度のプロファイル（ｐｒｏｆｉｌｅ）は直線で図示されているが、これは理解を助けるために直線で図示したものであり、これに限定されず、必要によって変曲点を基準にして曲線で具備され得る。
【００９９】
エア供給部（４０）に供給される空気は、空気流入ホース（４３）の上部に設置されたヒーター（図示せず）によって供給温度を制御することができる。
【０１００】
また、ヒーターは制御部を通じて制御できる。
【０１０１】
すなわち、本実施例のエア供給部（４０）から供給される空気の供給温度を制御することによって、エア供給部（４０）がワイヤ（１２）に供給する空気の温度を可変させることができる。
【０１０２】
以上の詳細な説明は本発明を例示するものである。また、前述した内容は本発明の望ましい実施形態を示して説明するものであり、本発明は多様な他の組合、変更、及び環境で使用することができる。すなわち、本明細書に開示された発明の概念の範囲、前述した開示内容と均等な範囲及び/又は当業界の技術または知識の範囲内において変更又は修正が可能である。前述した実施例は本発明の技術的思想を具現するための最善の状態を説明するものであり、本発明の具体的な適用分野及び用途で要求される多様な変更も可能である。したがって、以上の発明の詳細な説明は開示された実施状態で本発明を制限しようとする意図ではない。また、添付された請求範囲は他の実施状態も含むものと解釈されるべきである。
【０１０３】
［産業上利用可能性］
本発明は、ワイヤに供給されるスラリーの量を制御してウェーハの厚さが必要以上に薄くなることを防止するインゴット切断装置に使用され得る。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図４ｃ】
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【図５】
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【図６】
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