(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体自動化設備コンピューターと遠隔地コンピューターの間のＬＡＮ通信を中継するホストと前記半導体自動化設備コンピューターとの間に配置されて、前記ホスト及び前記半導体自動化設備コンピューターとＬＡＮ通信をして前記半導体自動化設備コンピューターの動作をモニタリングまたは制御する信号を伝達するための遠隔制御変換機と、
前記遠隔制御変換機で伝達される前記遠隔地コンピューターのマウス信号を半導体自動化設備コンピューターのタッチパネルデータに変換して伝達し、前記半導体自動化設備コンピューターのフロント及びリアコンピューターの間のタッチパネル信号を伝達するシリアル分配器と、を含み、
前記遠隔制御変換機は、
前記遠隔地コンピューターのマウスイベントデータをシリアルポートで出力するシリアルポート出力部、
前記半導体自動化設備コンピューターから前記遠隔地コンピューターに工程データおよび設定データを伝送する時、前記ホストのマックアドレスおよび同一のＩＰアドレスを設定して、前記半導体自動化設備コンピューターが前記遠隔制御変換機を前記ホストとして認識するようにするか、前記遠隔地コンピューターから前記半導体自動化設備コンピューターに入力装置制御信号を伝送する時、前記半導体自動化設備コンピューターのマックアドレスおよび同一のＩＰアドレスを設定して、前記ホストが前記遠隔制御変換機を前記半導体自動化設備コンピューターとして認識するようにしてデータ送受信作業を制御するネットワーク伝送処理部、および
前記半導体自動化設備コンピューターの映像出力部と連結されて、前記遠隔地コンピューターで処理できる映像データに変換する映像処理部を含み、
前記遠隔地コンピューターは、前記遠隔地コンピューターのマウスイベント発生時、マウスイベント発生地点の相対座標データを絶対座標に変換する座標変換部を含む
ことを特徴とする半導体自動化設備実時間遠隔制御システム。
【請求項２】
前記シリアル分配器は、
前記遠隔制御変換器から伝達された遠隔地コンピューターのモニター上のマウスポインタの絶対座標を前記半導体自動化設備コンピューターのタッチパネルデータに変換し、
前記タッチパネルデータは、
前記遠隔制御変換機から伝達された絶対座標のＸ軸、Ｙ軸座標情報、タッチ状態情報と、前記フロント及びリアコンピューターの間の１対１のタッチ情報を含むものを特徴とする請求項１に記載の半導体自動化設備実時間遠隔制御システム。
【請求項３】
前記シリアル分配器は、前記半導体自動化設備コンピューターから発生するタッチ信号と遠隔地コンピューターから発生するタッチ信号に関して、入力時間を基準に一定時間の間隔で出力信号を発生させることを特徴とする請求項１に記載の半導体自動化設備実時間遠隔制御システム。
【請求項４】
前記シリアル分配器は、少なくとも三つ以上のシリアルポートを連結するジェンダー形態であり、且つ
前記半導体自動化設備コンピューターのリアコンピューターのＲＳ−２３２Ｃポートと連結される第1の端子、
前記半導体自動化設備コンピューターのフロントコンピューターのＲＳ−２３２Ｃポートと連結される第２の端子、及び
前記遠隔制御変換器のＲＳ−２３２Ｃポートと連結される第３の端子
を含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体自動化設備実時間遠隔制御システム。
【請求項５】
前記画像処理部は、
前記半導体自動化設備コンピューターのＶＧＡ（Ｖｉｄｅｏ  ｇｒａｐｈｉｃ  ａｒｒａｙ）出力を受けると設定された映像スケールに変換して、モニター装置に分配する映像データ分配部と、
１６、８、４、２、１ビットビデオエンコーディングで出力された映像を圧縮し、色深度(ｃｏｌｏｒ  ｄｅｐｔｈ)を設定する映像エンコーディング部と、
前記映像エンコーディング部と連結されて、前記半導体自動化設備コンピューターの出力映像をキャプチャーする映像キャプチャー部と、
前記映像エンコーディング部で圧縮された映像データを外部に伝送する映像データ伝送部と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体自動化設備実時間遠隔制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体自動化設備の実時間遠隔制御技術に関し、詳しくは半導体自動化設備の可動状態を実時間でモニタリングし、IPアドレスの共有を可能にして多数の半導体自動化設備コンピューターを安定的に連結することができる半導体自動化設備実時間遠隔制御システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に遠隔制御システム(RCS-Remote control system)は、自動化された機器から遠く離れた所で、有線または無線の通信路を利用して、自動化機器を制御するシステムをいい、RCSを活用してコンピューター画面の映像を遠距離に伝送する方法は、顧客支援アフターサービスまたは遠隔サーバー管理などに多く使用され、特に半導体自動化設備制御に多く使用されている。
【０００３】
一般的に遠隔地で半導体自動化設備を制御する場合、キーボード及びマウス制御は、パーソナルコンピューター(PC)に設置されたUSBまたはPS/2ポートで信号をやりとりするが、従来の半導体自動化設備PCは、図12に図示されたように、USBまたはPS/2ポートを支援せず、タッチモニターに入力されるタッチ信号を伝達する方式を使用している。
【０００４】
半導体自動化設備のフロント(front)コンピューターとリア(rear)コンピューターの間はRS-232C通信フォーマットで接続され、USB/PS2ポートを支援しないのでタッチ入力だけが可能であり、従来USB/PS2ポートだけを支援するRCSの適用が不可能であり、遠隔地コンピューターでは、マウスの使用が不可能であるという問題点がある。
【０００５】
また、RCSによる従来の半導体自動化設備の遠隔制御システムは、図13に図示されたように、既存のネットワーク共有機を使用時、上位の通信部から降りてくる公認IPアドレスが下位で自動割り当てを受けて、内部通信用IPアドレスに変更され、この場合、固定IPアドレスを使用することができないので、上位通信部との通信が不可能になる。
【０００６】
したがって、IPアドレスの変更なしに、遠隔システムを使用するためには、遠隔制御用IPアドレスを増設して使用しなければならない問題点がある。
【０００７】
従来、半導体自動化設備の遠隔制御方式では、ソフトウェア方式とハードウェア方式に分けることができるが、ソフトウェア方式の場合には韓国の公開特許公報第10-2010-0011763号(2010.02.03.)に開示されたように、遠隔地コンピューターとローカルコンピューター内に遠隔制御のためのソフトウェアを設置する方式であるが、この場合、遠隔地コンピューターとローカルコンピューターの運営体制が同一ではない場合、連結が不可能であるという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】韓国公開特許公報10-2010-0011763A、2010.02.03、4頁ないし5頁。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、前記のような従来の問題点を解決するために提案されたものであって、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムの目的は遠隔地コンピューターのマウス信号を、半導体自動化設備コンピューターのシリアルポートを通じて伝達し、別途のIPアドレス割り当て作業なしに半導体自動化設備の動作をモニタリングまたは制御する信号を実時間で伝達することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムは、半導体自動化設備コンピューターと遠隔地コンピューターを連結して、半導体自動化設備の動作をモニタリングまたは制御する信号を伝達するための遠隔制御変換機および前記の遠隔制御変換機で伝達される前記遠隔地コンピューターのマウス信号を半導体自動化設備コンピューターのタッチパネルデータに変換して伝達し、前記半導体自動化設備のフロント(front)及びリア(rear)コンピューターの間のタッチパネル信号を伝達するシリアル分配器を含み、前記遠隔制御変換機は、前記遠隔地コンピューターのマウスイベントデータをシリアルポートで出力するシリアルポート出力部、前記半導体自動化設備コンピューターで、前記遠隔地コンピューターに伝送される工程データおよび設定データを伝送状況及び前記遠隔地コンピューターで前記半導体自動化設備コンピューターに入力装置制御信号を伝送する状況によって上位で伝達されるマックアドレス及び同一のIPアドレスを設定してデータ送受信作業を制御するネットワーク伝送処理部および前記半導体自動化設備の映像出力部と連結されて、前記遠隔地コンピューターで処理できる映像データに変換する映像処理部を含み、前記遠隔地コンピューターは、遠隔地コンピューターのマウスイベント発生時、マウスイベント発生地点の相対座標データを絶対座標に変換する座標変換部を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
以上で説明したように、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムは、遠隔地コンピューターのマウス信号を半導体自動化設備コンピューターのシリアルポートを通じて伝達することによって、USB/PS2ポートを支援しない半導体自動化設備も遠隔地コンピューターのマウスを通じて遠隔制御信号伝達が可能であり、別のIPアドレスの割り当て作業なしに半導体自動化設備の動作をモニタリングまたは制御する信号を実時間に伝達することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、シリアル分配器の連結状態を示す概念図である。
【図２】図２は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、遠隔制御変換機の詳細構成図である。
【図３】図３は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、シリアル分配器の信号伝達過程を示す概念図である。
【図４】図４は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、マウス相対座標および絶対座標の概念を示す概念図である。
【図５】図５は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、シリアル分配器の通信速度を示す実施例である。
【図６】図６は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、シリアル分配器の入力信号の発生による出力信号発生過程を示す図面である。
【図７】図７は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、遠隔制御変換器のネットワーク伝送処理部のIPアドレスの共有概念を示す図面である。
【図８】図８は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、遠隔制御変換機のネットワーク伝送処理部の動作を説明する一実施例図面である。
【図９】図９は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、遠隔制御変換機のネットワーク伝送処理部の動作を説明する一実施例図面である。
【図１０】図１０は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、映像処理部の詳細構成図である。
【図１１】図１１は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、映像処理部の動作を示す概念図である。
【図１２】図１２は、従来の半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、USB/PS2ポート未支援による問題点を説明する概念図である。
【図１３】図１３は、従来の半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、RCS適用によるIPアドレス自動割り当て及びIPアドレス増設の問題点を説明する概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムを実施するための具体的な内容を説明すると次のようである。
【００１４】
本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムは、半導体自動化設備コンピューターと遠隔地コンピューターを連結して、半導体自動化設備の動作をモニタリングまたは制御する信号を伝達するための遠隔制御変換機および前記遠隔制御変換機で伝達される前記遠隔地コンピューターのマウス信号を半導体自動化設備コンピューターのタッチパネルデータに変換して伝達し、前記の半導体自動化設備のフロント(front)及びリア(rear)コンピューターの間のタッチパネル信号を伝達するシリアル分配器を含む。
【００１５】
図１は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、シリアル分配器20、遠隔制御変換機30および遠隔地コンピューター40の連結状態を示す図であって、本発明による前記シリアル分配器20は、半導体自動化設備において、USB/PS2ポートが支援されなく、モニターのタッチ信号をシリアルポートで伝達するリア(Rear)コンピューター11及びフロント(Front)コンピューター12にそれぞれ連結され、遠隔制御変換機30のシリアルポート出力部31と連結される。
【００１６】
本発明による前記リアコンピューター11は、半導体自動化設備を制御するシステムを搭載しており、モニタータッチ信号を前記フロントコンピューター12に伝達し、本発明において、遠隔地コンピューター40は、マウスイベント発生時、マウスイベント発生地点の相対座標データを絶対座標に変換する座標変換部41を含む。
【００１７】
また、本発明による前記の遠隔制御変換機30は、図２に図示されたように、シリアルポート出力部31、ネットワーク伝送処理部32及び映像処理部33を含み、前記シリアルポート出力部31は、遠隔地コンピューター40のマウスイベント発生によるマウスポイント信号を前記シリアル分配器20に伝達する役割をする。
【００１８】
図３は、本発明において、前記遠隔地コンピューター40のマウスイベント発生による信号伝達過程を示す図であって、先に遠隔地コンピューター40でマウスイベントが発生すると、前記座標変換部41を通じてマウス移動による相対座標データを絶対座標データに変換する。
【００１９】
本発明による相対座標データは、図４の(a)に図示されるように、基準点から移動した座標値、即ち、ΔX、ΔY値で算出され、算出された相対座標データは、遠隔地コンピューター40に伝達されて、ディスプレイ上に表示される。また、本発明において、絶対座標データは、図４の(b)に図示されるように、モニターのX軸およびY軸の原点(0、0)からスタートして、各軸の末端(0xFFFF、0YFFFF)まで一定間隔で設定された座標値で、モニターの特定地点に関して固有の座標値(例-200、300)で表現することができる。
【００２０】
前記座標変換部41を通じて絶対座標データに変換されたマウス信号はイーサネット（登録商標）(Ethernet（登録商標））を通じて前記遠隔制御変換機30に伝達され、前記遠隔制御変換機30のシリアルポート出力部31を通じてシリアル分配器20に伝達される。
【００２１】
また、前記シリアル分配器20は受け取った絶対座標データをタッチパネルデータに変換し、既存のリア(Rear)コンピューター11及びフロント(Front)コンピューター12の間の1対1のモニタータッチ信号であるタッチパネルデータ間の優先順位を判断して、フロント(Front)コンピューター12にタッチパネルデータを伝達する。
【００２２】
図５は、本発明による前記シリアル分配器20の一実施例を示す図であって、少なくとも三つ以上のシリアルポートを連結するジェンダー形態で接続され、前記リアコンピューター11のRS-232Cポートと連結される第1の端子21、フロントコンピューター12のRS-232Cポートと連結される第2の端子22及び前記遠隔制御変換機のRS-232Cポートと連結される第3の端子23を含み、本発明の実施例では、前記リアコンピューター11と前記フロントコンピューター12間の1対1のタッチ信号伝達による通信速度は9.6Kbpsで測定され、前記遠隔制御変換機30と前記シリアル分配器20の間の絶対座標データ伝送による通信速度は57Kbpsで測定された。
【００２３】
図６は、本発明によるシリアル分配器の入力信号による出力信号発生の概念を示す実施例であって、前記リアコンピューター11と連結された第1の端子21に全3回(第1の信号、第3の信号、第5の信号)のタッチ信号が入力され、前記遠隔制御変換機30と連結された第3の端子23を通じて全3回(第2の信号、第4の信号、第6の信号)の遠隔地マウス信号が入力されると、入力時間を優先順位と認識して、第1の信号から第6の信号を一定の時間間隔(本発明の実施例では10msである)に順次出力することによって、リアコンピューター11のタッチ信号および遠隔地コンピューター40のマウス信号の漏れを無くして前記フロントコンピューター12に伝達することが可能である。
【００２４】
このように、本発明によるシリアル分配器20の構成を通じて遠隔地のPCとリナックス（登録商標）(Linux（登録商標））、リンクス(Lynx)（登録商標）、タッチスクリーン(Touch screen)、非ウィンドウズ（登録商標）のような非PC基盤の半導体自動化設備との通信が可能であり、半導体自動化設備システムにPS/2、またはUSBマウスポートが支援されなくても遠隔地のマウス信号を伝達することができ、半導体自動化設備ごとの通信プロトコルに対応が可能であるという長所がある。
【００２５】
図７は、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムにおいて、前記遠隔制御変換機30のネットワーク伝送処理部32のIPアドレス共有の概念を示す図面であって、前記ネットワーク伝送処理部32は、前記半導体自動化設備の工程データおよび設定データを伝送するポートと、前記遠隔地コンピューターから送信された入力装置制御信号を前記半導体自動化設備コンピューターに伝達するポートを同一のIPアドレスで通信するようにする。
【００２６】
このような本発明による前記ネットワーク伝送処理部32の動作をより詳細に説明すると次のようである。
【００２７】
図８は、前記遠隔地コンピューター40から前記半導体自動化設備10にデータを伝送する動作を示す図面であり、本発明による前記遠隔制御変換機30は前記ネットワーク伝送処理部32を通じて上位通信部であるホスト50のマックアドレス(00-00-00-00-00-00-12-34)と公認IPアドレス(10.10.10.1)を同時に設定する。この場合、ターゲットマック(Target MAC)は、前記半導体自動化設備のマックアドレスとなり、ソースマック(Source MAC)はホストのマックアドレスとなるので、前記半導体自動化設備10がホストのマックアドレスをチェックすることによってホストとMAC/IPアドレスが同一の前記遠隔制御変換機30を前記遠隔地コンピューター40として認識するようになって正常的な通信が可能である。また、図９は、前記半導体自動化設備10で前記遠隔地コンピューター40にデータを伝送する動作を示す図面であり、本発明による前記遠隔制御変換機30は前記ネットワーク伝送処理部32を通じて 前記半導体自動化設備10のマックアドレス(00-00-00-00-00-00-AA-AA)と、公認IPアドレス(10.10.10.100)を同時に設定する。この場合、ターゲットマック(Target MAC)は前記ホストのマックアドレスとなり、ソースマック(Source MAC)は半導体自動化設備コンピューターのマックアドレスとなるので、ホスト50が 前記半導体自動化設備10のマックアドレスをチェックすることによって半導体自動化設備コンピューター10とMAC/IPアドレスが同一の前記遠隔制御変換機30を 前記半導体自動化設備10として認識することになって、正常的な通信が可能である。
【００２８】
このように、本発明による前記ネットワーク伝送処理部32は、マックアドレスの通信方式とIPアドレスの通信方式を同時に使用するので、遠隔地コンピューターに伝達されるデータと下部半導体自動化設備に伝達されるデータを分離することができ、上位で伝達される公認IPアドレスのみを使用した通信が可能であり、従来のような遠隔地制御用IPアドレスの増設が必要ではないという長所がある。
【００２９】
図１0は、本発明による前記映像処理部33は、半導体自動化設備10から出力される映像データを受けて、前記遠隔地コンピューター40で処理できる映像データに変換させる役割をし、映像データ分配部331、映像エンコーディング部332、映像データ伝送部333及び映像キャプチャー部334を含む。
【００３０】
前記映像データ分配部331は、前記半導体自動化設備10のVGA(Video graphic array)出力を受けると、設定された映像スケールに変換して、モニター装置に分配する役割をし、前記映像エンコーディング部332は16、8、4、2、1ビットビデオエンコーディングで出力された映像を圧縮(H.264映像圧縮技術適用)し、色深度(color depth)を設定する役割をする。
【００３１】
また、前記映像データ伝送部333は、前記映像エンコーディング部332で圧縮された映像データを外部に伝送する役割をし、前記映像キャプチャー部334は、前記映像エンコーディング部333と連結されて、前記半導体自動化設備10の出力映像をキャプチャーする役割をする。
【００３２】
図１1は、前記映像処理部33の動作を示すフローチャートであり、このような映像処理部33を通じて前記半導体自動化設備10から出力される映像データを圧縮して、歪曲のない映像データを前記遠隔地コンピューター40に提供することができる。
【００３３】
以上で説明したように、本発明による半導体自動化設備実時間遠隔制御システムを適用する時、遠隔地コンピューターのマウス信号を半導体自動化設備コンピューターのシリアルポートを通じて伝達することによって、USB/PS2ポートを支援しない半導体自動化設備も遠隔地コンピューターのマウスを通じて遠隔制御信号伝達が可能であり、別のIPアドレスの割り当て作業なしに半導体自動化設備の動作をモニタリングまたは制御する信号を実時間に伝達することができる。
【００３４】
以上、本発明の実施例で説明したが、本発明の技術的思想が前記実施例に限定されなく、本発明の技術的思想を超えない範囲で様々な半導体自動化設備実時間遠隔制御システムとして具現することができる。
【符号の説明】
【００３５】
3  従来のRCS
10  半導体自動化設備
11  半導体自動化設備において、リア(Rear)コンピューター
12  半導体自動化設備において、フロント(Front)コンピューター
20  シリアル分配器
21  第1の端子
22  第2の端子
23  第3の端子
30  遠隔制御変換機
31  シリアルポート出力部
32  ネットワーク伝送処理部
33  映像処理部
40  遠隔地コンピューター
41  座標変換部
50  ホスト
100  半導体自動化設備実時間遠隔制御システム
331  映像データ分配部
332  映像エンコーディング部
333  映像データ伝送部
334  映像キャプチャー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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