(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着材料が置かれる加熱室と、前記加熱室の上方に位置し蒸着材料蒸気が混合するための混合室と、前記加熱室及び前記混合室を連通する通路と、を含み、
前記混合室は、一端が前記通路を介して前記加熱室に連通され、他端に前記蒸着材料蒸気を噴出するための複数のノズルが設けられ、
前記加熱室、前記混合室、前記通路及び前記ノズルの周囲に、それぞれにヒーターが設けられ、
前記通路の内壁にプレートが引っ掛かって固定され、前記蒸着材料蒸気を前記プレート当てることで、その流れを阻止すると共に混合し、
前記プレートには複数の貫通孔が設けられ、また、前記プレートの縁は鋸歯形状である
ことを特徴とする線形蒸発源。
【請求項２】
前記通路が複数設けられている
請求項１に記載の線形蒸発源。
【請求項３】
複数の前記通路は、前記加熱室と混合室の間に均一的に配列されている
請求項２に記載の線形蒸発源。
【請求項４】
前記通路に、流れた前記蒸着材料蒸気の流通速度及び流量を制御するバルブが設けられている
請求項１ないし３のいずれかに記載の線形蒸発源。
【請求項５】
前記ヒーターは、前記加熱室、前記混合室、前記通路又は前記ノズルの周囲に均一的に取り囲む電熱線である
請求項１に記載の線形蒸発源。
【請求項６】
前記加熱室、前記混合室、前記通路及び前記ノズルの周囲の電熱線は一体成型である
請求項５に記載の線形蒸発源。
【請求項７】
前記加熱室、前記混合室、前記通路及び前記ノズルの周囲のヒーターは加熱板である
請求項５に記載の線形蒸発源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸発源に関し、特に蒸着膜の厚みが均一であるように保証できる線形蒸発源に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＯＬＥＤ（有機発光ダイオード）の製造工程において、蒸着膜基板のサイズが大きくなることに従い、蒸着膜の厚みの均一性を保証すると同時に材料の利用率の向上を配慮するために、蒸着装置に使用された蒸発源は元の点源（ｐｏｉｎｔ  ｓｏｕｒｃｅ）を線源（ｌｉｎｅａｒ  ｓｏｕｒｃｅ）に変更した。
【０００３】
図１及び図２に示すように、従来使用した線源は一般的に坩堝１と坩堝１の上方に設けられた複数のノズル２からなり、坩堝１及びノズル２の外周に電熱線３が設けられ、坩堝１に対して加熱することにより、その蒸着材料が蒸気になり、坩堝１の内部で均一化になり、ノズル２から基板上に噴出して成膜される。
従来の線形蒸発源は、蒸着材料の加熱及び蒸気混合が同時に坩堝で行われることにより蒸気混合の均一化の空間が限られ、材料の蒸気が均一化になる前にノズルから噴出され、さらに蒸着膜の厚みの均一化が悪くなった。特に、材料が充填されたばかりの坩堝は材料の蒸気が圧力を均一化させるための空間としてさらに限られ、蒸着膜の厚みの均一化への影響が大きい。また、従来の蒸発源の電熱線３はセグメント加熱を採用し、その加熱方式が複雑である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記の事情に鑑みて作られたもので、蒸着膜の厚みを均一化させることができる線形蒸発源をを提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的に達するために、本発明は線形蒸発源を提供し、該線形蒸発源は、蒸着材料が置かれる加熱室と、前記加熱室の上方に位置し蒸着材料蒸気が混合するための混合室と、前記加熱室及び前記混合室を連通する通路と、を含み、前記混合室は、一端が前記通路を介して前記加熱室に連通され、他端に前記蒸着材料蒸気を噴出するための複数のノズルが設けられ、前記加熱室、前記混合室、前記通路及び前記ノズルの周囲に、それぞれにヒーターが設けられている。
【０００６】
前記通路が複数設けられている。
複数の前記通路は、前記加熱室と混合室の間に均一的に配列されている。
前記通路内に、前記蒸着材料蒸気が通るプレートが設けられ、前記プレートは前記通路の内壁に引っ掛かって固定される。
前記プレートに複数の貫通孔が設けられている。
前記プレートの縁は鋸歯形状である。
前記通路に、流れた前記蒸着材料蒸気の流通速度及び流量を制御するバルブが設けられている。
前記ヒーターは、前記加熱室、前記混合室、前記通路又は前記ノズルの周囲に均一的に取り囲む電熱線である。
前記加熱室、前記混合室、前記通路及び前記ノズルの周囲の電熱線は一体成型である。
前記加熱室、前記混合室、前記通路及び前記ノズルの周囲のヒーターは加熱板である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の線形蒸発源は、蒸着材料の加熱及び蒸着材料蒸気の混合が二つの独立の空間で行うため、蒸着膜の厚みがもっと良い均一性を有するように制御できる。また、本発明の加熱室、混合室、通路及びノズルの周囲に設けられたヒーターは同時に加熱でき、セグメント加熱が必要ではなく、加熱方式を簡素化させた。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】従来技術の線形蒸発源の構造の概略説明図
【図２】図１の側面図
【図３】本発明の線形蒸発源の構造の概略説明図
【図４】図３の側面図
【図５】本発明の線形蒸発源の他の実施例の構造の概略説明図
【図６】図５の側面図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の構造及び達した効果に対してさらに理解しやすいために、図面を合わせて比較的に好ましい実施例を例示して詳細に説明する。
図３及び図４に示すように、本発明の線形蒸発源は、加熱室４と、加熱室４の上方に位置する混合室５と、加熱室４及び混合室５を連通するための通路６と、を含み、該混合室５は、一端が通路６を介して加熱室４に連通し、他端に複数のノズル５０が設けられ、該加熱室４、混合室５、通路６及びノズル５０の周囲に、それぞれにヒーター７が設けられている。
【００１０】
本発明において、線形蒸発源は基板に蒸着を行う場合、蒸着材料を加熱室４に置き、加熱室４、、混合室５、通路６及びノズル５０の周囲のヒーター７はそれぞれにその対応した部分に加熱し、蒸着材料は加熱室４で溶融して、蒸着材料蒸気に蒸発し、または蒸着材料は直接に蒸着材料蒸気に気化し、蒸着材料蒸気は通路６から混合室５に入り、混合室５で蒸着材料蒸気の混合だけ行うため、蒸着材料蒸気は混合室５で圧力を均一化させ、混合均一化後の蒸着材料蒸気はノズル５０から噴出され、基板上に厚み均一の蒸着膜が成膜され、基板への蒸着が完成される。本発明の複数のノズル５０は、蒸着材料蒸気がノズル５０から均一的に噴出され、厚みがもっと均一な蒸着膜が製膜されるように、混合室５に均一的に設けられてもよい。
【００１１】
本発明は、加熱室４と混合室５の間の通路６内に、通路６の内壁に引っ掛かって固定されるプレート６０が設けられ、該プレート６０に複数の貫通孔が設けられ、蒸着材料が加熱室４で溶融した後、プレート６０によりまだ蒸発していない溶融液が飛び散り、混合室５に入ることを防止することができる。同時に、加熱室４の蒸着材料蒸気は混合室５に入る前にプレート６０に遭い、該プレート６０は蒸着材料に対してある程度に阻止する作用を発揮する。そのため、プレート６０は蒸着材料蒸気を初歩的に均一混合させ、混合室５で二回目の均一混合させることで、さらに基板上に成膜された蒸着膜の厚みが均一であることを保証できる。本発明のプレート６０の縁も鋸歯状に形成されてもいい。蒸着材料蒸気は、プレート６０と通路６の内壁の間の鋸歯の隙間から混合室５に入り、プレート６０はまだ蒸発していない溶融液が飛び散り、混合室５に入ることを防止し、蒸着材料蒸気が混合室５に入る前に該蒸着材料蒸気を初歩的に均一混合させることができる。
【００１２】
図５及び図６に示すように、本発明において、加熱室４と混合室５の間の通路６は複数設けられ、加熱室４と混合室５の間に均一的に配列され、各通路６に、それぞれにバルブ６１が設けられ、混合室５の蒸着材料蒸気がさらに均一化になるようにバルブ６１により各通路６に流れた蒸着材料蒸気の流通速度及び流量を制御してもいい。例えば、加熱室５においてある通路に対応する蒸着材料が多く、発生した蒸着材料蒸気も多く、該通路に流れた蒸着材料蒸気の速度が速く、流量が大きい場合、該通路上のバルブを制御することにより該通路に流れた蒸着材料蒸気の速度及び流量を制御できる。
【００１３】
本発明のヒーター７は、加熱室４、混合室５、通路６及びノズル５０の周囲に均一的に取り囲む電熱線であるため、基板の蒸着膜の厚みの均一性を制御するように、加熱室４の蒸着材料及び通路６、混合室５及びノズル５０に流れた蒸着材料蒸気に対して十分に均一的に加熱できる。加熱室４、混合室５、通路６及びノズル５０の周囲の電熱線は一体成型してもいい。本発明のヒーター７は、それぞれに対応した加熱室４、混合室５、通路６及びノズル５０を加熱する加熱板でもよく、実際の状況により各加熱板の温度を調整できる。
【００１４】
本発明の線形蒸発源は、蒸着材料の加熱及び蒸着材料蒸気の混合がそれぞれに加熱室４及び混合室５の二つの独立の空間で行うため、蒸着膜の厚みがもっと良い均一性を有するように制御できる。同時に、本発明の加熱室４、混合室５、通路６及びノズル５０の外周縁の電熱線は一体構造でもよく、セグメント加熱が必要ではなく、加熱方式を簡素化させた。
【００１５】
以上は本発明の比較的に好ましい実施例だけであり、本発明の保護範囲を限定するものではない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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