(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被収納部材を、それの両縁部において支持することで収納する収納庫と、
前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に挿入されるロアアームと、その被収納部材の上方に挿入されるアッパアームとを有し、前記ロアアームと前記アッパアームとによって、その被収納部材を把持する把持具と、
前記把持具を前記収納庫に接近・離間させる方向に移動させる第１移動装置と、
前記把持具と前記収納庫とを相対的に上下方向に移動させる第２移動装置と、
前記把持具と前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置が、
前記ロアアームを前記アッパアームに向かって移動させることで、前記被収納部材を前記把持具により把持し、前記被収納部材を把持した前記把持具を前記収納庫から離間する方向に移動させることで、前記被収納部材を前記収納庫から引き出すように、前記把持具と前記第１移動装置との作動を制御することを特徴とする収納システムであって、
前記制御装置が、
前記把持具により前記被収納部材を把持する前に、前記把持具を上方に移動させ、前記把持具の上方への移動の後に、前記被収納部材を前記把持具により把持し、前記把持具により把持された前記被収納部材を前記収納庫から引き出すように、前記把持具と前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御することを特徴とする収納システム。
【請求項２】
当該収納システムが、
前記収納庫に収納された前記被収納部材の上下方向の位置を検出するための検出センサを備え、
前記制御装置が、
前記検出センサにより検出された検出値を利用して、前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に前記ロアアームが挿入されるとともに、その被収納部材の上方に前記アッパアームが挿入されるように、前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御することを特徴とする請求項１に記載の収納システム。
【請求項３】
前記制御装置が、
前記検出センサにより検出された前記被収納部材の最も下方に位置する地点の検出値を利用して、前記ロアアームが前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に挿入されるとともに、前記アッパアームがその被収納部材の上方に挿入されるように、前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御することを特徴とする請求項２に記載の収納システム。
【請求項４】
板状の被収納部材を、それの両縁部において支持することで収納する収納庫と、
前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に挿入されるロアアームと、その被収納部材の上方に挿入されるアッパアームとを有し、前記ロアアームと前記アッパアームとによって、その被収納部材を把持する把持具と、
前記把持具を前記収納庫に接近・離間させる方向に移動させる第１移動装置と、
前記把持具と前記収納庫とを相対的に上下方向に移動させる第２移動装置と、
前記収納庫に収納された前記被収納部材の上下方向の位置を検出するための検出センサと、
前記把持具と前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置が、
前記ロアアームを前記アッパアームに向かって移動させることで、前記被収納部材を前記把持具により把持し、前記被収納部材を把持した前記把持具を前記収納庫から離間する方向に移動させることで、前記被収納部材を前記収納庫から引き出すように、前記把持具と前記第１移動装置との作動を制御することを特徴とする収納システムであって、
前記制御装置が、
前記検出センサにより検出された前記被収納部材の最も下方に位置する地点の検出値を利用して、前記ロアアームが前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に挿入されるとともに、前記アッパアームがその被収納部材の上方に挿入されるように、前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御することを特徴とする収納システム。
【請求項５】
前記制御装置が、
前記把持具により前記被収納部材を把持する前に、前記把持具を上方に移動させ、前記把持具の上方への移動の後に、前記被収納部材を前記把持具により把持し、前記把持具により把持された前記被収納部材を前記収納庫から引き出すように、前記把持具と前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御することを特徴とする請求項４に記載の収納システム。
【請求項６】
前記被収納部材が、ウェハであることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の収納システム。
【請求項７】
板状の被収納部材を、それの両縁部において支持することで収納する収納庫と、
前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に挿入されるロアアームと、その被収納部材の上方に挿入されるアッパアームとを有し、前記ロアアームと前記アッパアームとによって、その被収納部材を把持する把持具と、
前記把持具を前記収納庫に接近・離間させる方向に移動させる第１移動装置と、
前記把持具と前記収納庫とを相対的に上下方向に移動させる第２移動装置と、
前記把持具と前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置が、
前記ロアアームを前記アッパアームに向かって移動させることで、前記被収納部材を前記把持具により把持し、前記被収納部材を把持した前記把持具を前記収納庫から離間する方向に移動させることで、前記被収納部材を前記収納庫から引き出すように、前記把持具と前記第１移動装置との作動を制御することを特徴とする収納システムであって、
前記制御装置が、
前記被収納部材の撓みを減らすように、前記ロアアームを上方に移動させ、前記ロアアームの上方への移動の後に、前記被収納部材を前記把持具により把持し、前記把持具により把持された前記被収納部材を前記収納庫から引き出すように、前記把持具と前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御することを特徴とする収納システム。
【請求項８】
板状の被収納部材を、それの両縁部において支持することで収納する収納庫から、ロアアームとアッパアームとを有する把持具によって、その被収納部材を引き出す引出方法において、
当該引出方法が、
前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に前記ロアアームが挿入され、その被収納部材の上方に前記アッパアームが挿入されるように、前記把持具を前記収納庫に接近させる接近工程と、
前記把持具により前記被収納部材を把持する前に、前記把持具を上方に移動させ、前記把持具の上方への移動の後に、前記ロアアームを前記アッパアームに向かって移動させることで、前記被収納部材を前記把持具により把持する把持工程と、
前記被収納部材を把持した前記把持具を前記収納庫から離間する方向に移動させることで、前記被収納部材を前記収納庫から引き出す離間工程と
を含むことを特徴とする引出方法。
【請求項９】
板状の被収納部材を、それの両縁部において支持することで収納する収納庫から、ロアアームとアッパアームとを有する把持具によって、その被収納部材を引き出す引出方法において、
当該引出方法が、
前記収納庫に収納された前記被収納部材の上下方向の位置を検出するための検出センサにより検出された前記被収納部材の最も下方に位置する地点の検出値を利用して、前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に前記ロアアームが挿入され、その被収納部材の上方に前記アッパアームが挿入されるように、前記把持具を前記収納庫に接近させる接近工程と、
前記ロアアームを前記アッパアームに向かって移動させることで、前記被収納部材を前記把持具により把持する把持工程と、
前記被収納部材を把持した前記把持具を前記収納庫から離間する方向に移動させることで、前記被収納部材を前記収納庫から引き出す離間工程と
を含むことを特徴とする引出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被収納部材を、それの両端部において支持することで収納する収納庫を備えた収納システムおよび、収納庫から被収納部材を引き出す引出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回路基板等に電子部品を装着する装着作業機等には、ウェハ等の板状の被収納部材を、それの両端部において支持することで収納する収納庫が設けられているものがあり、装着作業時に、収納庫からウェハ等の板状の被収納部材が引き出される。下記特許文献には、そのような収納庫を備えた収納システムの一例が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−０８４７１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ウェハ等の板状の被収納部材を、それの両端部において支持する構造の収納庫では、薄い被収納部材は、撓んだ状態で収納される場合がある。このように、撓んだ状態で収納された被収納部材が、収納庫から引き出される際に、把持具によって把持されると、被収納部材が損傷する虞がある。また、撓んだ状態で把持された被収納部材は、収納庫から引き出し難くなり、無理に被収納部材を引き出すと、被収納部材が損傷する虞がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、被収納部材の撓んだ状態での把持具による把持を抑制することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の収納システムは、板状の被収納部材を、それの両縁部において支持することで収納する収納庫と、前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に挿入されるロアアームと、その被収納部材の上方に挿入されるアッパアームとを有し、前記ロアアームと前記アッパアームとによって、その被収納部材を把持する把持具と、前記把持具を前記収納庫に接近・離間させる方向に移動させる第１移動装置と、前記把持具と前記収納庫とを相対的に上下方向に移動させる第２移動装置と、前記把持具と前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御する制御装置とを備え、前記制御装置が、前記ロアアームを前記アッパアームに向かって移動させることで、前記被収納部材を前記把持具により把持し、前記被収納部材を把持した前記把持具を前記収納庫から離間する方向に移動させることで、前記被収納部材を前記収納庫から引き出すように、前記把持具と前記第１移動装置との作動を制御し、前記制御装置が、前記把持具により前記被収納部材を把持する前に、前記把持具を上方に移動させ、前記把持具の上方への移動の後に、前記被収納部材を前記把持具により把持し、前記把持具により把持された前記被収納部材を前記収納庫から引き出すように、前記把持具と前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御することを特徴とする。また、本発明の収納システムは、板状の被収納部材を、それの両縁部において支持することで収納する収納庫と、前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に挿入されるロアアームと、その被収納部材の上方に挿入されるアッパアームとを有し、前記ロアアームと前記アッパアームとによって、その被収納部材を把持する把持具と、前記把持具を前記収納庫に接近・離間させる方向に移動させる第１移動装置と、前記把持具と前記収納庫とを相対的に上下方向に移動させる第２移動装置と、前記収納庫に収納された前記被収納部材の上下方向の位置を検出するための検出センサと、前記把持具と前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御する制御装置とを備え、前記制御装置が、前記ロアアームを前記アッパアームに向かって移動させることで、前記被収納部材を前記把持具により把持し、前記被収納部材を把持した前記把持具を前記収納庫から離間する方向に移動させることで、前記被収納部材を前記収納庫から引き出すように、前記把持具と前記第１移動装置との作動を制御することを特徴とする収納システムであって、前記制御装置が、前記検出センサにより検出された前記被収納部材の最も下方に位置する地点の検出値を利用して、前記ロアアームが前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に挿入されるとともに、前記アッパアームがその被収納部材の上方に挿入されるように、前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御することを特徴とする。また、本発明の収納システムは、板状の被収納部材を、それの両縁部において支持することで収納する収納庫と、前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に挿入されるロアアームと、その被収納部材の上方に挿入されるアッパアームとを有し、前記ロアアームと前記アッパアームとによって、その被収納部材を把持する把持具と、前記把持具を前記収納庫に接近・離間させる方向に移動させる第１移動装置と、前記把持具と前記収納庫とを相対的に上下方向に移動させる第２移動装置と、前記把持具と前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御する制御装置とを備え、前記制御装置が、前記ロアアームを前記アッパアームに向かって移動させることで、前記被収納部材を前記把持具により把持し、前記被収納部材を把持した前記把持具を前記収納庫から離間する方向に移動させることで、前記被収納部材を前記収納庫から引き出すように、前記把持具と前記第１移動装置との作動を制御することを特徴とする収納システムであって、前記制御装置が、前記被収納部材の撓みを減らすように、前記ロアアームを上方に移動させ、前記ロアアームの上方への移動の後に、前記被収納部材を前記把持具により把持し、前記把持具により把持された前記被収納部材を前記収納庫から引き出すように、前記把持具と前記第１移動装置と前記第２移動装置との作動を制御することを特徴とする。
【０００６】
また、上記課題を解決するために、本発明の引出方法は、板状の被収納部材を、それの両縁部において支持することで収納する収納庫から、ロアアームとアッパアームとを有する把持具によって、その被収納部材を引き出す引出方法であって、当該引出方法が、前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に前記ロアアームが挿入され、その被収納部材の上方に前記アッパアームが挿入されるように、前記把持具を前記収納庫に接近させる接近工程と、前記把持具により前記被収納部材を把持する前に、前記把持具を上方に移動させ、前記把持具の上方への移動の後に、前記ロアアームを前記アッパアームに向かって移動させることで、前記被収納部材を前記把持具により把持する把持工程と、前記被収納部材を把持した前記把持具を前記収納庫から離間する方向に移動させることで、前記被収納部材を前記収納庫から引き出す離間工程とを含むことを特徴とする。また、本発明の引出方法は、板状の被収納部材を、それの両縁部において支持することで収納する収納庫から、ロアアームとアッパアームとを有する把持具によって、その被収納部材を引き出す引出方法であって、当該引出方法が、前記収納庫に収納された前記被収納部材の上下方向の位置を検出するための検出センサにより検出された前記被収納部材の最も下方に位置する地点の検出値を利用して、前記収納庫に収納された前記被収納部材の下方に前記ロアアームが挿入され、その被収納部材の上方に前記アッパアームが挿入されるように、前記把持具を前記収納庫に接近させる接近工程と、前記ロアアームを前記アッパアームに向かって移動させることで、前記被収納部材を前記把持具により把持する把持工程と、前記被収納部材を把持した前記把持具を前記収納庫から離間する方向に移動させることで、前記被収納部材を前記収納庫から引き出す離間工程とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の収納システムおよび、引出方法では、把持具のアッパアームが、収納庫に収納された被収納部材の上方に挿入され、把持具のロアアームは、その被収納部材の下方に挿入される。そして、ロアアームをアッパアームに向かって移動させることで、被収納部材を把持具により把持し、被収納部材を把持した把持具が、収納庫から離間する方向に移動することで、被収納部材が収納庫から引き出される。つまり、撓んだ状態の被収納部材を、ロアアームによって下方から持ち上げた状態で、被収納部材が、アッパアームとロアアームとによって把持される。これにより、撓み量が低減された状態で、被収納部材をアッパアームとロアアームとによって把持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】電子部品装着機を示す斜視図である。
【図２】電子部品装着機を示す平面図である。
【図３】ダイ供給装置を示す斜視図である。
【図４】電子部品装着機の備える制御装置を示すブロック図である。
【図５】ラックに収容されたダイ集合体を示す概略図である。
【図６】撓んだ状態でアッパアームとロアアームとに把持されたダイ集合体を示す概略図である。
【図７】平らな状態でアッパアームとロアアームとに把持されたダイ集合体を示す概略図である。
【図８】ラック内にクランプが挿入された状態を示す概略図である。
【図９】クランプが上方に移動された状態を示す概略図である。
【図１０】平らな状態でアッパアームとロアアームとに把持されたダイ集合体を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。  
【００１０】
＜電子部品装着機の構成＞
図１および図２に、本発明の実施例の電子部品装着機１０を示す。図１は、電子部品装着機１０の斜視図であり、図２は、カバー１２等を取り外した電子部品装着機１０を上方からの視点において示した図である。電子部品装着機１０は、回路基板に電子部品を装着するための作業機である。電子部品装着機１０は、搬送装置２０と、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２２と、装着ヘッド２４と、ダイ供給装置３０とを備えている。なお、以下の説明において、電子部品装着機１０の幅方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。
【００１１】
搬送装置２０は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにベース４６上に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図４参照）４７の駆動により回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図４参照）４８によって固定的に保持される。
【００１２】
移動装置２２は、Ｙ軸方向に延びる１対のＹ軸方向ガイドレール５０と、Ｘ軸方向に延びるＸ軸方向ガイドレール５２とを有している。そのＸ軸方向ガイドレール５２は、１対のＹ軸方向ガイドレール５０に上架されている。そして、Ｘ軸方向ガイドレール５２は、電磁モータ（図４参照）５３の駆動により、Ｙ軸方向の任意の位置に移動する。また、Ｘ軸方向ガイドレール５２は、自身の軸線に沿って移動可能にスライダ５４を保持している。このスライダ５４は、電磁モータ（図４参照）５５の駆動により、Ｘ軸方向の任意の位置に移動する。そのスライダ５４には、装着ヘッド２４が取り付けられている。このような構造により、装着ヘッド２４は、ベース４６上の任意の位置に移動する。
【００１３】
装着ヘッド２４は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２４は、下端面に設けられた吸着ノズル６０を有している。吸着ノズル６０は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図４参照）６２に通じている。吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２４は、吸着ノズル６０を昇降させるノズル昇降装置（図４参照）６４を有している。そのノズル昇降装置６４によって、装着ヘッド２４は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。なお、吸着ノズル６０は、装着ヘッド２４に着脱可能である。
【００１４】
ダイ供給装置３０は、ベース４６のＹ軸方向における一端部に設けられている。詳しくは、ベース４６の縁部には、凹んだ形状の収納部８６が形成されており、その収納部８６にダイ供給装置３０の一部が収納されている。ダイ供給装置３０は、図３に示すように、ダイ集合体９０からダイ９２を供給するものである。ダイ集合体９０は、ウェハにダイシングシートを貼着したものをダイシングすることで形成される。
【００１５】
ダイ供給装置３０は、メインフレーム１００とダイ集合体収容装置１０２とダイ集合体保持装置１０４とピックアップヘッド１０６とピックアップヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）１０８とを有している。
【００１６】
メインフレーム１００の上面は、概して矩形とされており、その上面に、ダイ集合体保持装置１０４とピックアップヘッド１０６と移動装置１０８とが配設されている。そして、メインフレーム１００が収納部８６に収納されることで、ダイ供給装置３０がベース４６に取り付けられる。
【００１７】
ダイ集合体収容装置１０２は、ラック１１０と昇降テーブル１１２とを有している。ラック１１０は、昇降テーブル１１２の上に配設されており、ラック１１０の内部には、複数のダイ集合体９０が積み重ねられた状態で収容されている。詳しくは、ラック１１０は、概して箱形状をなし、前面が開口している。そして、図４に示すように、ラック１１０の互いに向かい合う１対の側面１１３の内側には、複数のウェハ受け部１１４が棚状に形成されている。複数のウェハ受け部１１４は、ラック１１０の内部に向かって突出する形状とされており、上下方向に等間隔で形成されている。また、１対の側面１１３の一方に形成されたウェハ受け部１１４と、１対の側面１１３の他方に形成されたウェハ受け部１１４とは、概ね水平に位置している。これにより、１対の側面１１３の各々に形成され、互いに水平な位置のウェハ受け部１１４の上に、ダイ集合体９０が載置されている。このような構造により、ラック１１０の内部に、複数のダイ集合体９０が積み重ねられた状態で収容されている。また、昇降テーブル１１２は、テーブル昇降機構（図４参照）１１５によって昇降されることで、上下方向に移動する。これにより、ラック１１０内に収容されたダイ集合体９０が、上下方向の任意の位置に移動する。
【００１８】
また、ダイ集合体保持装置１０４は、図２及び図３に示すように、１対のガイドレール１１６と保持フレーム１１８とを有している。１対のガイドレール１１６は、メインフレーム１００上にＹ軸方向に延びるように配設されており、保持フレーム１１８をＹ軸方向に移動可能に支持している。そして、保持フレーム１１８は、フレーム移動機構（図４参照）１１９によって、ガイドレール１１６に沿って、Ｙ軸方向に移動する。
【００１９】
ピックアップヘッド１０６は、ダイ集合体９０からダイ９２をピックアップするものであり、下面に複数の吸着ノズル１２０が装着されている。各吸着ノズル１２０は、正負圧供給装置（図４参照）１２１に通じている。吸着ノズル１２０は、負圧によってダイ９２を吸着保持し、保持したダイ９２を正圧によって離脱する。また、ピックアップヘッド１０６は、上下方向に反転し、吸着ノズル１２０のノズル口を上方に向けることが可能である。これにより、吸着ノズル１２０によって吸着保持されたダイ９２が、ピックアップヘッド１０６の上部において供給される。
【００２０】
移動装置１０８は、Ｙ軸方向に延びる１対のＹ軸方向ガイドレール１２２と、Ｘ軸方向に延びるＸ軸方向ガイドレール１２４とを有している。そのＸ軸方向ガイドレール１２４は、１対のＹ軸方向ガイドレール１２２に上架されている。そして、Ｘ軸方向ガイドレール１２４は、電磁モータ（図４参照）１２５の駆動により、Ｙ軸方向の任意の位置に移動する。また、Ｘ軸方向ガイドレール１２４は、自身の軸線に沿って移動可能にスライダ１２６を保持している。このスライダ１２６は、電磁モータ（図４参照）１２７の駆動により、Ｘ軸方向の任意の位置に移動する。そのスライダ１２６には、ピックアップヘッド１０６が取り付けられている。このような構造により、ピックアップヘッド１０６は、メインフレーム１００上の任意の位置に移動する。
【００２１】
移動装置１０８のＸ軸方向ガイドレール１２４の背面には、クランプ１２８が取り付けられている。クランプ１２８は、ダイ集合体収容装置１０２のラック１１０に収容されたダイ集合体９０を把持するものである。詳しくは、クランプ１２８は、ラック１１０の内部に向かって延び出すアッパアーム１３０とロアアーム（図５参照）１３２とを備えている。それらアッパアーム１３０とロアアーム１３２とは、上下方向に離間した状態で配設されており、アッパアーム１３０は、ロアアーム１３２の上方に位置している。そして、ロアアーム１３２は、電磁モータ（図示省略）の駆動により、アッパアーム１３０に接近する。これにより、アッパアーム１３０とロアアーム１３２との間に位置するダイ集合体９０が、アッパアーム１３０とロアアーム１３２とによって把持される。また、クランプ１２８は、位置センサ１３４を備えており、その位置センサ１３４は、ラック１１０内に収容されている複数のダイ集合体９０のうちの、クランプ１２８と向かい合う位置のダイ集合体９０の上下方向の位置を検出する。
【００２２】
また、電子部品装着機１０は、図４に示すように、制御装置１５０を備えている。制御装置１５０は、コントローラ１５２および複数の駆動回路１５４を備えている。複数の駆動回路１５４は、上記電磁モータ４７，５３，５５，１２５，１２７、基板保持装置４８、正負圧供給装置６２，１２１、ノズル昇降装置６４、テーブル昇降機構１１５、フレーム移動機構１１９に接続されている。コントローラ１５２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路１５４に接続されている。これにより、搬送装置２０、移動装置２２等の作動が、コントローラ１５２によって制御される。
【００２３】
＜電子部品装着機による装着作業＞
上述した構成により、電子部品装着機１０では、回路基板にダイ９２を装着する装着作業が行われる。具体的には、電子部品装着機１０のコントローラ１５２の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において回路基板が固定的に保持される。また、ダイ供給装置３０は、ピックアップヘッド１０６を用いてダイ９２を供給する。
【００２４】
具体的には、コントローラ１５２の指令により、昇降テーブル１１２が昇降され、ラック１１０に収容されている複数のダイ集合体９０のうちの任意のダイ集合体９０が、クランプ１２８と対向する位置に移動する。この際、Ｘ軸方向ガイドレール１２４は、ラック１１０から離間する方向に移動されており、クランプ１２８は、ラック１１０の内部から引き出されている。これにより、ラック１１０に収容されているダイ集合体９０は、クランプ１２８と干渉することなく、上下方向に移動する。
【００２５】
ラック１１０に収容されている複数のダイ集合体９０のうちの任意のダイ集合体９０が、クランプ１２８と対向する位置に移動すると、Ｘ軸方向ガイドレール１２４が、ラック１１０に接近する方向に移動され、クランプ１２８が、ラック１１０の内部に侵入する。この際、クランプ１２８のアッパアーム１３０は、クランプ１２８と対向する位置のダイ集合体９０の上方に挿入され、ロアアーム１３２は、そのダイ集合体９０の下方に挿入される。そして、アッパアーム１３０とロアアーム１３２とによってダイ集合体９０が把持されるが、ダイ集合体９０が撓んだ状態で把持される虞がある。
【００２６】
詳しくは、近年、厚みが２００μｍ以下の薄型のウェハがあり、このような薄型のウェハの外径が、例えば、６インチである場合には、そのようなウェハのダイ集合体９０がラック１１０内に収容されると、自重により１．５ｍｍ程度、撓む。このため、例えば、図６に示すように、撓んだ状態のダイ集合体９０が、アッパアーム１３０とロアアーム１３２とによって把持される虞がある。このように、撓んだ状態でダイ集合体９０が把持されると、ダイ集合体９０が損傷する虞がある。また、クランプ１２８によって把持されたダイ集合体９０は、ラック１１０から引き出されるが、撓んだ状態でクランプ１２８により把持されたダイ集合体９０は、ラック１１０から引き出し難くなり、ダイ集合体９０がラック１１０から引き出される際に、ダイ集合体９０が損傷する虞がある。
【００２７】
このようなことに鑑みて、ダイ供給装置３０では、ダイ集合体９０が撓むことなく、平らな状態で、クランプ１２８により把持される。詳しくは、ラック１１０に収容されている複数のダイ集合体９０のうちの把持対象のダイ集合体９０と、クランプ１２８とが対向するように、ラック１１０が昇降テーブル１１２により昇降される。なお、ラック１１０が昇降する際に、Ｘ軸方向ガイドレール１２４は、上述したように、ラック１１０から離間する方向に移動されており、クランプ１２８は、ラック１１０の内部から引き出されている。そして、ラック１１０が昇降する際に、図５に示すように、把持対象のダイ集合体９０がラック１１０のウェハ受け部１１４により支持されている個所の上下方向の位置と、アッパアーム１３０の下面の上下方向の位置とが一致するように、ラック１１０が昇降テーブル１１２により昇降される。つまり、撓んだ状態のダイ集合体９０の最も上方に位置する箇所の上下方向の位置（以下、「ダイ集合体９０の最上点の位置」と記載する場合がある）と、アッパアーム１３０の把持面の上下方向の位置とが一致するように、ラック１１０が昇降テーブル１１２により昇降される。なお、ラック１１０のウェハ受け部１１４の上下方向の位置が、コントローラ１５２に記憶されており、そのウェハ受け部１１４の上下方向の位置に基づいて、ダイ集合体９０の最上点の位置が演算される。
【００２８】
ラック１１０の昇降が完了すると、クランプ１２８に取り付けられている位置センサ１３４によって、把持対象のダイ集合体９０の上下方向の位置が検出される。この際、位置センサ１３４は、撓んだ状態のダイ集合体９０の最も下方に位置する箇所を検出する。そして、撓んだ状態のダイ集合体９０の最上点の位置と、アッパアーム１３０の把持面の上下方向の位置とが一致している状態で、クランプ１２８がラック１１０の内部に挿入された際に、撓んだ状態のダイ集合体９０の下方に、ロアアーム１３２が挿入されるか否かが、位置センサ１３４の検出値に基づいて判断される。
【００２９】
詳しくは、昇降テーブル１１２の作動量に基づいて、ダイ集合体９０の最上点の位置が演算される。次に、そのダイ集合体９０の最上点の位置と、位置センサ１３４の検出値、つまり、撓んだ状態のダイ集合体９０の最も下方に位置する箇所の上下方向の位置（以下、「ダイ集合体９０の最下点の位置」と記載する場合がある）とに基づいて、ダイ集合体９０の撓み量が演算される。そして、そのダイ集合体９０の撓み量が、クランプ１２８のアッパアーム１３０の把持面（下面）とロアアーム１３２の把持面（上面）との最大離間量より少ないか否かが判断される。なお、アッパアーム１３０の把持面とロアアーム１３２の把持面との最大離間量は、クランプ１２８の構造により特定されるものである。そして、ダイ集合体９０の撓み量が、アッパアーム１３０の把持面とロアアーム１３２の把持面との最大離間量より少ない場合には、クランプ１２８がラック１１０の内部に挿入された際に、撓んだ状態のダイ集合体９０の下方に、ロアアーム１３２が挿入されると判断される。一方、ダイ集合体９０の撓み量が、アッパアーム１３０の把持面とロアアーム１３２の把持面との最大離間量以上である場合には、クランプ１２８がラック１１０の内部に挿入された際に、撓んだ状態のダイ集合体９０の下方に、ロアアーム１３２が挿入されないと判断される。
【００３０】
上記手順により、クランプ１２８のラック１１０内への挿入時に、撓んだ状態のダイ集合体９０の下方に、ロアアーム１３２が挿入されると判断された場合には、Ｘ軸方向ガイドレール１２４がラック１１０に向かって移動し、クランプ１２８がラック１１０の内部に挿入される。これにより、図５に示すように、アッパアーム１３０が、把持対象のダイ集合体９０の上方に挿入されるととともに、ロアアーム１３２が、が、把持対象のダイ集合体９０の下方に挿入される。この際、アッパアーム１３０の把持面の上下方向の位置は、上述したように、ダイ集合体９０の最上点の位置と一致している。そして、コントローラ１５２の指令により、ロアアーム１３２が、アッパアーム１３０に接近する方向に移動する。これにより、把持対象のダイ集合体９０は、図７に示すように、撓むことなく、平らな状態で、アッパアーム１３０とロアアーム１３２とによって把持される。
【００３１】
また、把持対象のダイ集合体９０が、大きく撓んだ状態でラック１１０に収納されている際に、撓んだ状態のダイ集合体９０の最上点の位置と、アッパアーム１３０の把持面の上下方向の位置とが一致している状態で、クランプ１２８がラック１１０内に挿入されると、撓んだ状態のダイ集合体９０の下方に、ロアアーム１３２が挿入されない場合がある。つまり、上記手順により、クランプ１２８のラック１１０内への挿入時に、撓んだ状態のダイ集合体９０の下方に、ロアアーム１３２が挿入されないと判断される場合がある。このような場合には、位置センサ１３４の検出値、つまり、ダイ集合体９０の最下点の位置に基づいて、アッパアーム１３０とロアアーム１３２との間に、把持対象のダイ集合体９０が位置するように、昇降テーブル１１２が昇降される。なお、昇降テーブル１１２の昇降時には、上述したように、クランプ１２８はラック１１０内に挿入されていない。
【００３２】
そして、昇降テーブル１１２の昇降が完了すると、Ｘ軸方向ガイドレール１２４がラック１１０に向かって移動し、クランプ１２８がラック１１０の内部に挿入される。これにより、図８に示すように、アッパアーム１３０が、把持対象のダイ集合体９０の上方に挿入されるととともに、ロアアーム１３２が、把持対象のダイ集合体９０の下方に挿入される。ただし、アッパアーム１３０の把持面の上下方向の位置は、昇降テーブル１１２の昇降により、ダイ集合体９０の最上点の位置と一致していない。このため、クランプ１２８がラック１１０内に挿入された状態で、昇降テーブル１１２が昇降される。この際、図９にしめすように、アッパアーム１３０の把持面の上下方向の位置と、ダイ集合体９０の最上点の位置とが一致するように、昇降テーブル１１２が昇降される。そして、ロアアーム１３２が、アッパアーム１３０に接近する方向に移動する。これにより、把持対象のダイ集合体９０は、図１０に示すように、撓むことなく、平らな状態で、アッパアーム１３０とロアアーム１３２とによって把持される。
【００３３】
そして、ダイ集合体９０がアッパアーム１３０とロアアーム１３２とによって把持されると、Ｘ軸方向ガイドレール１２４が、Ｘ軸方向に移動する。これにより、アッパアーム１３０とロアアーム１３２とに把持されたダイ集合体９０が、保持フレーム１１８上に引き出される。なお、ラック１１０から引き出されたダイ集合体９０は、図２の実線で示される保持フレーム１１８の上に位置する。次に、ピックアップヘッド１０６が、ピックアップされるダイ９２の上方に移動し、吸着ノズル１２０がダイ９２を吸着保持する。
【００３４】
続いて、ピックアップヘッド１０６が上下方向に反転される。これにより、吸着ノズル１２０によって吸着保持されたダイ９２が、ピックアップヘッド１０６の上部において供給される。ダイ９２がピックアップヘッド１０６の上部において供給されると、装着ヘッド２４が、ピックアップヘッド１０６の上方に移動し、吸着ノズル６０がダイ９２を吸着保持する。そして、装着ヘッド２４が、回路基板上に移動し、回路基板にダイ９２が装着される。
【００３５】
また、ダイ供給装置３０では、ピックアップヘッド１０６を用いずに、ダイ供給装置３０から直接ダイ９２を供給することが可能となっている。詳しくは、ダイ集合体９０がラック１１０から保持フレーム１１８上に引き出された後に、保持フレーム１１８をＹ軸方向に移動させる。これにより、ダイ集合体９０は、図２の点線で示される保持フレーム１１８の上に位置する。そして、装着ヘッド２４が、ダイ集合体９０の上方に移動し、吸着ノズル６０によってダイ９２が吸着保持される。これにより、ダイ集合体９０から直接ピックアップしたダイ９２が、回路基板に装着される。
【００３６】
上述したように、ダイ供給装置３０では、ラック１１０に収容されたダイ集合体９０が、撓むことなく、平らな状態で、アッパアーム１３０とロアアーム１３２とによって把持される。このため、把持によるダイ集合体９０の損傷を防止することが可能となる。また、平らな状態で把持されたダイ集合体９０が、ラック１１０から引き出されるため、ダイ集合体９０のラック１１０からの引き出しが容易となり、ダイ集合体９０の無理な引出による損傷を防止することが可能となる。
【００３７】
ちなみに、上記実施例において、ダイ供給装置３０は、収納システムの一例である。ダイ集合体９０は、被収納部材およびウェハの一例である。移動装置１０８は、第１移動装置の一例である。ラック１１０は、収納庫の一例である。昇降テーブル１１２は、第２移動装置の一例である。クランプ１２８は、把持具の一例である。アッパアーム１３０は、アッパアームの一例である。ロアアーム１３２は、ロアアームの一例である。位置センサ１３４は、検出センサの一例である。制御装置１５０は、制御装置の一例である。
【００３８】
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、ダイ集合体９０が収納されているラック１１０が上下方向に移動することで、把持対象のダイ集合体９０とクランプ１２８との相対的な上下方向の位置が変更されているが、クランプ１２８が上下方向に移動することで、把持対象のダイ集合体９０とクランプ１２８との相対的な上下方向の位置が変更されてもよい。
【００３９】
また、上記実施例では、ダイ集合体９０がラック１１０から引き出される際に、本発明が適用されているが、トレイ等が収納庫から引き出される際に、本発明を適用することが可能である。
【００４０】
また、上記実施例では、ウェハ受け部１１４の上下方向の位置に基づいて、ダイ集合体９０の最上点の位置が演算されるが、位置センサ１３４によって、ダイ集合体９０の最上点の位置を検出してもよい。
【符号の説明】
【００４１】
３０：ダイ供給装置（収納システム）    ９０：ダイ集合体（被収納部材）（ウェハ）
１０８：移動装置（第１移動装置）    １１０：ラック（収納庫）    １１２：昇降テーブル（第２移動装置）    １２８：クランプ（把持具）    １３０：アッパアーム  
１３２：ロアアーム    １３４：位置センサ（検出センサ）    １５０：制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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