(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁座を有するベース部材と、電磁力を受けて筒状体内を往復移動するプランジャ及び前記プランジャの端部に設けられ前記プランジャの往復移動により前記弁座に対して接離する弁体を有する弁体ユニットと、を備え、前記弁座の環状シール部に対して前記弁体のシール部が接触することにより閉弁される電磁弁であって、
前記弁体は前記ベース部材が備える誘導部材により直線状に誘導され、該弁体のシール部が前記弁座の環状シール部に対して直線状に往復移動されるようになっており、
前記プランジャは、連結部により前記弁体に対して相対移動を許容して連結されていることを特徴とする電磁弁。
【請求項２】
前記連結部は、少なくとも前記弁体と前記プランジャの傾動を許容する傾動許容手段を有することを特徴とする請求項１に記載の電磁弁。
【請求項３】
前記連結部は、少なくとも前記弁体と前記プランジャの水平方向への移動を許容する水平動許容手段を有することを特徴とする請求項１に記載の電磁弁。
【請求項４】
前記連結部は、少なくとも前記弁体と前記プランジャの傾動を許容する傾動許容手段と、水平方向への移動を許容する水平動許容手段と、を有することを特徴とする請求項１に記載の電磁弁。
【請求項５】
前記連結部における前記プランジャ側には、円柱状の凹部が形成され、前記凹部には前記弁体の一端部に形成された載頭球形部が収納されるとともに、前記凹部底面と前記載頭球形部の先端とが当接するように板状弾性体により保持されてなることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の電磁弁。
【請求項６】
前記弁体は、前記誘導部材に摺接して案内されるステムと、該ステム先端に設けられ、前記弁座の環状シール部と接触して閉弁する載頭円錐形のシール部と、を備えることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の電磁弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁力を利用して弁体を弁座に対して接離させることで流路の開閉を行う電磁弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスや液体等の流体が流れる配管において、電磁石の磁力を用いてプランジャを往復移動させ、プランジャの先端に設けられた弁体を弁座に対して接離させることで流路の開閉制御を行う電磁弁がある。電磁弁は、ガスメータ等の取付け板のフランジにネジ等で固定されており、コイルの磁極になるヨークの内部に納められたボビンにコイルが巻き付けられている。コイルの中央部には、固定鉄心と永久磁石とが設けられ、可動鉄心であるプランジャは、ボビンの中央軸に取付けられるガイドパイプ内に挿入されている。プランジャとガイドパイプの間には、接触を減らしてプランジャを移動しやすくするための隙間が設けられ、コイルに電流が流れることによって生じる磁力を受けてプランジャがガイドパイプ内を往復移動する。これにより、電磁弁の特徴である高速で直線的な往復動作が可能となり、流路の開閉間隔が短く、かつ開閉回数が多い用途に多用されている。
【０００３】
また、電磁弁は、磁力を利用するため他のアクチュエータの使用が制限される極低温において使用可能となっているが、閉弁時の気密性で電動弁等に劣っていることから、閉弁時の気密性を向上させた電磁弁が開発されている。このような電磁弁には、例えば、特許文献１に開示されているような技術が採用されている。特許文献１によれば、双方向遮断弁（電磁弁）は、プランジャの先端に弁体が挿入されたパイロットピンが揺動自在に取付けられ、弁体を構成するゴム製のバルブシートが弁座に対して接離することにより流路の開閉制御を行う。また、弁体を支えるパイロットピンがプランジャに対して揺動自在に取付けられているため、弁座に対する弁体の角度を調整することができ、弁体が弁座に対して常に平行な角度で押し当てられた状態にすることにより閉弁時の気密性を向上させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１２２４１１号公報（第３頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１にあっては、弁体を支えるパイロットピンがプランジャに対して揺動自在に取付けられており、弁座に対する弁体の進入角度によっては、弁体の一部が弁座に対して片当たりした後、パイロットピンが揺動されることにより弁体のシール部によって弁座の環状シール部が閉め切られるようになっているため、弁体のシール部と弁座の環状シール部とを完全に密閉するまでに時間を要し、流路の開閉時における流量調整の精度が低くなるという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、流路の開閉時における流量調整の精度の高い電磁弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、本発明の電磁弁は、
弁座を有するベース部材と、電磁力を受けて筒状体内を往復移動するプランジャ及び前記プランジャの端部に設けられ前記プランジャの往復移動により前記弁座に対して接離する弁体を有する弁体ユニットと、を備え、前記弁座の環状シール部に対して前記弁体のシール部が接触することにより閉弁される電磁弁であって、
前記弁体は前記ベース部材が備える誘導部材により直線状に誘導され、該弁体のシール部が前記弁座の環状シール部に対して直線状に往復移動されるようになっており、
前記プランジャは、連結部により前記弁体に対して相対移動を許容して連結されていることを特徴としている。
この特徴によれば、筒状体内においてプランジャは低抵抗の往復動作性が維持される一方、誘導部材により弁座の環状シール部に対する弁体の開閉弁方向への直線動作性が確保されるため、高速性を維持しつつ開弁から閉弁に亘って安定した流量調整ができ、流路の開閉時における流量調整の精度を高めることができる。
【０００８】
前記連結部は、少なくとも前記弁体と前記プランジャの傾動を許容する傾動許容手段を有することを特徴としている。
この特徴によれば、プランジャに対して弁体が傾斜可能に連結されているため、筒状体内で生じるプランジャの往復移動方向に対する傾きに関わらず、誘導部材によって弁座の環状シール部に対して弁体のシール部を正しく誘導することができる。
【０００９】
前記連結部は、少なくとも前記弁体と前記プランジャの水平方向への移動を許容する水平動許容手段を有することを特徴としている。
この特徴によれば、プランジャに対して弁体が水平方向に移動可能に連結されているため、筒状体内で生じるプランジャの水平方向への移動に関わらず、誘導部材によって弁座の環状シール部に対して弁体のシール部を正しく誘導することができる。
【００１０】
前記連結部は、少なくとも前記弁体と前記プランジャの傾動を許容する傾動許容手段と、水平方向への移動を許容する水平動許容手段と、を有することを特徴としている。
この特徴によれば、プランジャに対して弁体の３次元方向の移動自由度が向上し、誘導部材によって弁座の環状シール部に対して弁体のシール部を正しく誘導することができる。
【００１１】
前記連結部における前記プランジャ側には、円柱状の凹部が形成され、前記凹部には前記弁体の一端部に形成された載頭球形部が収納されるとともに、前記凹部底面と前記載頭球形部の先端とが当接するように板状弾性体により保持されてなることを特徴としている。
この特徴によれば、プランジャに対して弁体の上下移動が板状弾性体によって規制され、かつ互いの傾動時には板状弾性体が一部変形し円滑に傾動を許容できることとなる。
【００１２】
前記弁体は、前記誘導部材に摺接して案内されるステムと、該ステム先端に設けられ、前記弁座の環状シール部と接触して閉弁する載頭円錐形のシール部と、を備えることを特徴としている。
この特徴によれば、載頭円錐形のシール部が前記弁座の環状シール部に侵入する際、弁座の環状シール部により弁体のシール部が調芯されていくので、誘導部材とステムとの間のクリアランスを僅かに確保でき、誘導部材とステムとの摺動抵抗を低減できることになる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施例における電磁弁の構造を示す断面図である。
【図２】弁座の構造を示す断面図である。
【図３】プランジャと弁体の取付け構造を示す分解斜視図である。
【図４】プランジャと弁体の連結部の構造を示す断面図である。
【図５】（ａ）は、開弁時における弁体と弁座の状態を示す断面図であり、（ｂ）は、閉弁時における弁体と弁座の状態を示す断面図である。
【図６】プランジャが往復移動方向に対して傾斜した場合のプランジャと弁体の連結部の状態を示す断面図である。
【図７】プランジャが水平方向に移動した場合のプランジャと弁体の連結部の状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明に係る電磁弁を実施するための形態を実施例に基づいて以下に説明する。
【実施例】
【００１５】
実施例に係る電磁弁につき、図１から図７を参照して説明する。以下、図１の画面手前側を電磁弁の正面側（前方側）とし、奥側を背面側（後方側）とし、その正面側から見たときの上下左右方向を基準として説明する。
【００１６】
本実施例の電磁弁１は、例えば、ＭＲＩ等の医療機器、冷凍機等に用いられる冷凍サイクルにおいて冷媒（例えば、液体ヘリウム等）が流出入する流路の開閉制御を行うために設けられる。尚、本実施例における電磁弁１は、常時閉弁式のものとして説明する。
【００１７】
図１に示されるように、電磁弁１は、冷媒の流入通路２１及び流出通路２２を有するベース部材２と、該ベース部材２に取付けられ流入通路２１及び流出通路２２の連通状態を変更する弁体ユニット３と、から主に構成されている。
【００１８】
図１及び図２に示されるように、ベース部材２は、その外縁側の上面２ａよりも内側の位置に平面視略環状の凸条部２３が形成されている。また、凸条部２３の内側には、上面２ａよりも若干凹んだ平面視略環状の凹条部２４が形成されており、さらに凹条部２４の内側（ベース部材２の中央部）には、凸条部２３よりも上方に突出した円筒状の突部２５が形成されている。また、凸条部２３の上面には、上方に突出する突起部２６が周方向に連続するように環状に設けられている。
【００１９】
この凸条部２３の中央には、該凸条部２３の軸方向に延びる凹部２７（誘導部材）と、凹部２７の内周面から斜め上方に向けて突部２５の上面に貫通する複数の貫通孔２８（本実施例では４つ）が放射状に穿設されている。また、凹部２７には、前述した流入通路２１が同軸方向に連通して延びている。この凹部２７と流入通路２１との連通箇所には、後述するように流入通路２１及び流出通路２２が非連通状態において弁体３１が接触する弁座２９が設けられている。この弁座２９は、凹部２７と中心軸を同じくし、凹部２７側に向けて環状に拡径するテーパ状に形成されている。また、凹条部２４の周方向の所定箇所の底面には、前述した流出通路２２がベース部材２の外部に連通するように穿設されている。尚、ベース部材２は、ステンレスの鋳造成形品に上述したように流入通路２１及び流出通路２２、凹部２７、貫通孔２８、弁座２９が穿設されることにより形成されている。さらに尚、凹部２７及び弁座２９は、突部２５から流入通路２１にかけて上下方向に貫通する孔を穿設した後、各部の寸法に合わせて孔の径を広げていくことにより形成されるため、凹部２７と弁座２９の中心軸を簡単に同軸上に揃えることができる。
【００２０】
図１に示されるように、弁体ユニット３は、弁体３１と、弁体３１が下方に取付けられた筒状のプランジャ３２と、プランジャ３２を上下方向に駆動させる駆動手段３３と、これらを被覆する有底筒状のキャップ３４と、から主に構成されている。各種部材は、キャップ３４の内部に収容されてユニット化されている。より詳しくは、各種部材を収容したキャップ３４を、ガスケット４を配置したベース部材２の凸条部２３の外側に嵌め込み、該キャップ３４の取付フランジ３４ａを図示しないボルト等で緊締することにより、弁体ユニット３とベース部材２とが連結される。尚、弁体３１は、ポリイミド樹脂製であり、耐寒性に優れ、液体ヘリウム（−２６９℃）が流体として使用されるような極低温下においても優れた物性を保つことができる。
【００２１】
弁体ユニット３とベース部材２とが連結された状態にあっては、弁体ユニット３とベース部材２との間にリング状のガスケット４が挟持されており、弁体ユニット３とベース部材２とが密封状に連結されている。また、弁体ユニット３とベース部材２との間（ガスケット４の内側）には、空間Ｓが形成されており、この空間Ｓは、流入通路２１及び流出通路２２に連通している。また、弁体３１の上下移動は、凹部２７の内周面によりガイドされるようになっており、この結果、弁体ユニット３とベース部材２とが連結された状態にあっては、弁体３１の中心軸が弁座２９の中心軸と同一直線上に配置された状態で凹部２７内に挿入される。
【００２２】
また、駆動手段３３は、プランジャ３２を収納する断面コ字状の筒状体３５と、筒状体３５の外周に設けられるコイル３６と、筒状体３５に固定されるベースコア３７と、筒状体３５の上方に設けられるマグネット３８と、プランジャ３２とベースコア３７との間に接続されるバネ３９と、を備える。
【００２３】
筒状体３５の下方側端縁に設けられたフランジ部３５ａの下端面３５ｂには、下方に突出する突起部３５ｃが周方向に連続するように環状に設けられている。この突起部３５ｃと前述したベース部材２の突起部２６とは、上下に対応する位置に設けられており、弁体ユニット３とベース部材２とが連結された状態にあっては、この突起部２６と突起部３５ｃとの間にガスケット４の一部が挟持されるようになっているため、空間Ｓ内の密封性が向上している。
【００２４】
次に、弁体ユニット３の開閉動作について説明する。駆動手段３３のコイル３６に開電流が通電されると、コイル３６の起磁力によりプランジャ３２が上方に移動し、プランジャ３２の下方に取付けられた弁体３１が弁座２９から離間することにより開弁される（図５（ａ）参照）。尚、プランジャ３２の吸引に必要な通電は瞬間的なものであり、プランジャ３２が開弁位置まで吸引された後は、通電を止めてマグネット３８の磁力によりプランジャ３２が開弁位置に吸着された状態を維持している。
【００２５】
また、コイル３６に開弁時と異なる方向の閉電流が通電されると、コイル３６の反対方向への起磁力によりプランジャ３２が下方に移動し、弁体３１が弁座２９に接触することにより閉弁される（図５（ｂ）参照）。尚、プランジャ３２の復帰に必要な通電は吸引と同様に瞬間的なものであり、プランジャ３２が閉弁位置に復帰した後は、通電を止めてプランジャ３２とベースコア３７との間に接続されるバネ３９の付勢力によりプランジャ３２を閉弁位置に維持している。このように、弁体ユニット３は瞬間的な通電によりプランジャ３２の往復移動が可能な自己保持型ソレノイドの構造を有し、省電力で開閉動作を行えるようになっている。
【００２６】
図１の拡大部に示されるように、プランジャ３２の外周面と筒状体３５の内周面との間には、所定の寸法の間隔Ｌ１が形成されている。これにより、プランジャ３２の外周面と筒状体３５の内周面とが接触しにくくなっているため、プランジャ３２が筒状体３５に対して相対移動できるようになっている。
【００２７】
図３及び図４に示されるように、弁体３１は、胴部３１ａ（ステム）と、胴部３１ａの下方側端部に設けられた先端部３１ｂと、胴部３１ａの上方側端部に設けられた頭部３１ｃ（載頭球形部）と、を備えている。胴部３１ａは、その外周面がベース部材２の凹部２７の内周面に対して摺動されることによって、弁体３１の上下移動が凹部２７の内周面によりガイドされるようになっている。先端部３１ｂは、胴部３１ａよりも小径を成し、その先端は下方に向かって漸次減径するテーパ面３１ｄとなっている。また、頭部３１ｃは、胴部３１ａよりも大径を成し、その上端部は略半球面形状を成している。
【００２８】
弁体３１のテーパ面３１ｄのテーパ角度は、弁座２９のテーパ角度よりも若干小さくなっており、弁座２９に対して弁体３１のテーパ面３１ｄが環状に接触することで閉弁される。このため、シール部分の接触荷重が小さくなり、プランジャ３２の推力が小さくても弁体３１による閉弁時の気密性を高めることができる。尚、以下に記述される弁体３１のシール部及び弁座２９の環状シール部とは、閉弁時において弁体３１のテーパ面３１ｄと弁座２９とが接触する部分のことである（図５（ｂ）参照）。さらに尚、弁座２９の環状シール部の形状は、円形であってもよいし、多角形であってもよい。
【００２９】
また、プランジャ３２との対向面に当たる弁体３１の頭部３１ｃ上端部は略半球面形状となっており、弁体３１をプランジャ３２に対して円滑に傾動させることができるようになっている。
【００３０】
プランジャ３２は、その外縁側の下面３２ａよりも内側の位置から下方に突出する環状突部３２ｂが設けられているとともに、その下面３２ａにおける中央部には、上方に凹む凹状部３２ｃが設けられている。環状突部３２ｂの内周面には、該環状突部３２ｂの全周に亘って段部３２ｄ及び凹溝部３２ｅが形成されている。
【００３１】
次に、弁体３１とプランジャ３２との連結態様について説明する。図３及び図４に示されるように、弁体３１は、Ｏリング５（板状弾性体，傾動許容手段）及びＣリング６を用いてプランジャ３２の下方に取付けられている。詳しくは、弁体３１の頭部３１ｃは、凹状部３２ｃ内に挿入されている。凹状部３２ｃは、頭部３１ｃよりも大径であって、その上底面が平面に形成されており、頭部３１ｃを凹状部３２ｃ内に挿入した状態にあっては、頭部３１ｃの外周面と凹状部３２ｃの内周面との間に所定の寸法で間隔Ｌ２（水平動許容手段）が形成されている。
【００３２】
また、段部３２ｄには、Ｏリング５が水平方向に移動可能に遊嵌されている。このＯリング５は、硬質ゴム等により形成されており、Ｏリング５の中央に設けられた貫通部５ａの径は、弁体３１の胴部３１ａよりも若干大径であるとともに、頭部３１ｃよりも小径となっている。環状突部３２ｂ内にＯリング５が配置された状態にあっては、Ｏリング５の中央に設けられた貫通部５ａ内に弁体３１の胴部３１ａが挿通されている。
【００３３】
また、凹溝部３２ｅには、ステンレス等により形成され弾性を備えたＣリング６が嵌入されている。このＣリング６が凹溝部３２ｅに嵌入された状態にあっては、Ｃリング６とプランジャ３２の下面３２ａとによりＯリング５を上下方向から挟み込み、Ｏリング５がプランジャ３２から離脱することが防止されている。尚、Ｃリング６は、凹溝部３２ｅよりも大径を成しており、Ｃリング６を縮径させた状態で凹溝部３２ｅ内に嵌入され、凹溝部３２ｅ内に嵌入後は、Ｃリング６の弾性復元力により凹溝部３２ｅ内に嵌入された状態が保たれる。
【００３４】
このように弁体３１がプランジャ３２の下方に取付けられているため、頭部３１ｃがＯリング５に係止され、弁体３１がプランジャ３２から離脱することが防止される。また、弁体３１がプランジャ３２の下方に取付けられた状態にあっては、頭部３１ｃの略半球面形状の外周面と凹状部３２ｃの内周面との間に間隔Ｌ２が形成されているため、弁体３１は、プランジャ３２の往復移動方向に対して直交する方向（水平方向）への相対移動が可能となっている。また、Ｏリング５は、硬質ゴム等により板状に形成された弾性体であり、若干弾性力を有するため、凹状部３２ｃに頭部３１ｃが挿入された状態で、凹状部３２ｃの底面と頭部３１ｃの先端とが当接するようにＯリング５により保持されることにより、プランジャ３２に対して弁体３１の上下移動がＯリング５によって規制され、かつ互いの傾動時にはＯリング５が一部変形し円滑に傾動を許容できるようになっている。
【００３５】
また、図４に示されるように、弁体３１とプランジャ３２の連結部は、弁体３１の頭部３１ｃ、プランジャ３２の凹状部３２ｃ、Ｏリング５から形成されており、該連結部によってプランジャ３２に対する弁体３１の３次元方向の移動自由度を向上させることができる。
【００３６】
以上説明したように、本実施例における電磁弁１は、弁体３１のシール部は、凹部２７により弁座２９の環状シール部に対して直線状にガイドされるので、筒状体３５内においてプランジャ３２は低抵抗の往復動作性が維持される一方、凹部２７により弁座２９の環状シール部に対する弁体３１の開閉弁方向への直線動作性が確保されるため、高速性を維持しつつ開弁から閉弁に亘って安定した流量調整ができ、流路の開閉時における流量調整の精度を高めることができる。
【００３７】
また、弁体３１の胴部３１ａは、その外周面が凹部２７の内周面に摺接され、弁体３１の先端のテーパ面３１ｄは、弁座２９の環状シール部と接触して閉弁する載頭円錐形のシール部を構成しているため、載頭円錐形のシール部が弁座２９の環状シール部に侵入する際、弁座２９の環状シール部により弁体３１のシール部が調芯されていくので、凹部２７と胴部３１ａとの間のクリアランスを僅かに確保でき、凹部２７と胴部３１ａとの摺動抵抗を低減することができる。
【００３８】
これによれば、弁体ユニット３の開閉動作においてプランジャ３２が筒状体３５に対して相対移動する際に、前述したプランジャ３２の外周面と筒状体３５の内周面との間に形成された間隔Ｌ１に起因するプランジャ３２の往復移動方向に対する傾き（図６参照）及び水平方向への移動（図７参照）に対して、弁体３１が相対移動可能になっているとともに、弁体３１のシール部は、凹部２７により弁座２９の環状シール部に対して直線状に円滑にガイドされるため、高速性を維持しつつ開弁から閉弁に亘って安定した流量調整ができ、流路の開閉時における流量調整の精度を高めることができる。
【００３９】
また、図５乃至図７に示されるように、弁体３１は、プランジャ３２に対して相対移動可能に軸支されているが、開閉弁時において、常に弁体３１の胴部３１ａが凹部２７に挿入された状態となっており、弁座２９に対する弁体３１の開閉弁方向以外の動きを規制されているため、流入通路２１及び流出通路２２の連通状態において、凹部２７や空間Ｓを通過する流体の影響を受けて弁体３１が動かない構造となっており、弁体３１を常に安定させた状態で開閉弁動作を行うことができるので、流路の開閉時における流量調整の精度を高めることができる。
【００４０】
尚、本実施例における弁体３１は、プランジャ３２の凹状部３２ｃに頭部３１ｃが挿入されたＯリング５により上下移動が規制され、かつ互いの傾動時にはＯリング５が一部変形し円滑に傾動を許容できるようになっている態様として説明したが、これに限られず、弁体３１の頭部３１ｃとプランジャ３２の凹状部３２ｃとの間にクリアランスを設けることにより、傾動を許容できるようにしてもよい。
【００４１】
また、本実施例においては、弁体３１の胴部３１ａを凹部２７に摺接させることにより弁体３１のシール部を弁座２９の環状シール部に対して直線状にガイドする態様として説明したが、これに限られず、弁体３１のシール部を弁座２９の環状シール部に対して直線状にガイドすることができれば誘導部材は自由に構成されてよく、例えば、ニードル型の弁体の先端が弁孔の縁部によってガイドされるような態様であってもよい。
【００４２】
また、本実施例における弁体３１は、プランジャ３２との対向面に当たる弁体３１の頭部３１ｃ上端部が略半球面形状となっている態様として説明したが、これに限られず、プランジャ３２の凹状部３２ｃの弁体３１の頭部３１ｃに対する対向面が略半球面形状となっていてもよいし、弁体３１とプランジャ３２の対向面が両方とも略半球面形状となっていてもよい。
【００４３】
また、本実施例における弁体３１は、弁座２９に対して挿嵌されることにより閉弁される態様として説明したが、これに限られず、弁体と弁座の閉弁の態様は自由に構成されてよく、例えば、円盤形状の弁体が弁座を覆うように圧着されることにより閉弁されるものであってもよい。
【００４４】
以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。
【００４５】
例えば、前記実施例では、弾性ゴム等により形成されたＯリング５によってプランジャ３２の下方に弁体３１が係止されていたが、弁体３１を係止可能な板状の弾性体であれば、どのような形状であってもよく、材質もステンレス等の金属により形成されてもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１                電磁弁
２                ベース部材
３                弁体ユニット
４                ガスケット
５                Ｏリング（板状弾性体）
６                Ｃリング
２１              流入通路
２２              流出通路
２７              凹部（誘導部材）
２８              貫通孔
２９              弁座
３１              弁体
３１ａ            胴部（ステム）
３１ｂ            先端部
３１ｃ            頭部（載頭球形部）
３１ｄ            テーパ面
３２              プランジャ
３３              駆動手段
３４              キャップ
３５              筒状体
３６              コイル
３７              ベースコア
３８              マグネット
３９              バネ
【図１】
0006472376.tif 000002
【図２】
0006472376.tif 000003
【図３】
0006472376.tif 000004
【図４】
0006472376.tif 000005
【図５】
0006472376.tif 000006
【図６】
0006472376.tif 000007
【図７】
0006472376.tif 000008