(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送部材に備えられた穴に保持部材を係合させ、前記保持部材によって前記被搬送部材を保持して搬送する方法であって、
媒体が供給されることによって、前記穴の軸方向および当該軸方向と交差した径方向に沿ってそれぞれ伸縮する前記保持部材を用い、
前記保持部材を、内部に媒体を供給することによって、縮小させた状態から軸方向に沿って伸長させて前記穴に挿入し、径方向に沿って伸長させて前記穴の側面を押圧して前記穴に係合させ、前記被搬送部材を保持しつつ搬送する被搬送部材の搬送方法。
【請求項２】
前記穴は、貫通穴から構成し、
前記保持部材の端部を、軸方向に沿って伸長させつつ前記穴から突出させ、かつ、前記穴の縁よりも径方向に沿って大きく伸長させる請求項１に記載の被搬送部材の搬送方法。
【請求項３】
前記穴は、貫通穴から構成し、
前記被搬送部材は、前記穴の端部に係留する管状の係留部材を備え、
前記保持部材の先端部を、軸方向に沿って伸長させつつ前記係留部材の開口から突出させ、かつ、前記開口の縁よりも径方向に沿って大きく伸長させる請求項１に記載の被搬送部材の搬送方法。
【請求項４】
前記被搬送部材は、互いに離間した前記穴を複数備え、
複数のうち２つ以上の前記穴をそれぞれ前記保持部材によって係合する請求項１〜３のいずれか１項に記載の被搬送部材の搬送方法。
【請求項５】
被搬送部材に備えられた穴の軸方向および当該軸方向と交差した径方向に沿ってそれぞれ伸縮して前記穴を内方から押圧して前記穴に係合させ、前記被搬送部材を保持する保持部材と、
前記保持部材の基端部の側を支持し、前記被搬送部材を保持した前記保持部材を移動させる移動部材と、を有し、
前記保持部材は、前記基端部が開口し前記基端部から延在した先端部が閉塞し伸縮可能な筒形状から形成し、
前記基端部の側から前記保持部材の内部に供給する媒体の量を増減して前記保持部材を伸縮させる調整部を、さらに有する被搬送部材の搬送装置。
【請求項６】
前記保持部材は、外面と内面の間の層厚を前記基端部から前記先端部に向かって相対的に厚く形成した請求項５に記載の被搬送部材の搬送装置。
【請求項７】
前記保持部材は、軸方向に沿って長筒形状に形成し、折り畳んで縮小する請求項５または６に記載の被搬送部材の搬送装置。
【請求項８】
前記保持部材は、前記先端部が分岐している請求項５〜７のいずれか１項に記載の被搬送部材の搬送装置。
【請求項９】
前記調整部は、軸方向に沿って前記基端部と対向し径方向に沿って環状に配設し、前記媒体を前記基端部の側から前記内部に流入させる第１流路と、前記第１流路よりも径方向に沿った内方において前記基端部と対向して配設し、前記内部の前記媒体を前記基端部の側から排出させる第２流路と、を設けた請求項５〜８のいずれか１項に記載の被搬送部材の搬送装置。
【請求項１０】
前記第２流路は、前記媒体を前記基端部の側から排出させつつ、少なくとも前記先端部を折り畳んで収容する請求項９に記載の被搬送部材の搬送装置。
【請求項１１】
前記保持部材を回転させる回転部を、さらに有する請求項５〜１０のいずれか１項に記載の被搬送部材の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送部材の搬送方法および被搬送部材の搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、一対の保持部材（支持プレート）を用いて、被搬送部材（電池モジュールのようなワーク）を両側から保持して搬送する装置がある。この装置では、他の保持部材（ロケートピン）を、被搬送部材に備えられた穴に挿入して、その穴を基準とする位置決めを行っている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２０１５１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、被搬送部材が収容ボックスに密集して収容されていたり、被搬送部材の周囲に他の構造物が存在したりする場合がある。このような場合であっても、保持部材（支持プレート）は、被搬送部材に接近して保持するときに、収容ボックスや他の構造物との干渉を回避できることが望ましい。
【０００５】
また、他の保持部材（ロケートピン）を、収容ボックスや他の構造物との干渉を避けつつ被搬送部材の穴に挿入するときに、その穴を内方から十分に係合して脱落を防止できることが望ましい。
【０００６】
このように、被搬送部材が狭所に配設されている場合であっても、その被搬送部材を十分に保持して搬送することができる搬送方法および搬送装置が要望されている。
【０００７】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、被搬送部材を狭所において十分に保持して搬送することができる被搬送部材の搬送方法および搬送装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成する本発明に係る被搬送部材の搬送方法は、被搬送部材に備えられた穴に保持部材を係合させ、保持部材によって被搬送部材を保持して搬送する方法である。この搬送方法では、媒体が供給されることによって、穴の軸方向および当該軸方向と交差した径方向に沿ってそれぞれ伸縮する保持部材を用いる。ここで、保持部材を、内部に媒体を供給することによって、縮小させた状態から軸方向に沿って伸長させて穴に挿入し、径方向に沿って伸長させて穴の側面を押圧して穴に係合させ、被搬送部材を保持しつつ搬送する。
【０００９】
上記目的を達成する本発明に係る被搬送部材の搬送装置は、保持部材と、移動部材を有している。保持部材は、被搬送部材に備えられた穴の軸方向および当該軸方向と交差した径方向に沿ってそれぞれ伸縮して穴を内方から押圧して穴に係合させ、被搬送部材を保持する。移動部材は、保持部材の基端部の側を支持し、被搬送部材を保持した保持部材を移動させる。保持部材は、基端部が開口し基端部から延在した先端部が閉塞し伸縮可能な筒形状から形成する。被搬送部材の搬送装置はさらに、基端部の側から保持部材の内部に供給する媒体の量を増減して保持部材を伸縮させる調整部を有する。
【発明の効果】
【００１０】
上記のように構成した被搬送部材の搬送方法および搬送装置によれば、保持部材を軸方向および径方向に沿ってそれぞれ伸長させることによって、被搬送部材の穴を係合する。すなわち、保持部材を縮小させた状態において被搬送部材の穴に接近させてから、その保持部材を伸長させつつ被搬送部材の穴に挿入することができる。したがって、この被搬送部材の搬送方法および搬送装置は、被搬送部材を狭所において十分に保持して搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態に係る電池モジュールの搬送装置を模式的に示す斜視図である。
【図２】搬送装置の要部を示す原理図である。
【図３】搬送装置を用いた電池モジュールの搬送方法を模式的に示す斜視図であって、（Ａ）は搬送装置を収容容器に起立して収容されている電池モジュールに接近させている状態を示し、（Ｂ）は電池モジュールを保持し起立させたまま収容容器から取り出す状態を示し、（Ｃ）は取り出された電池モジュールを９０°回転させて水平にした状態を示し、（Ｄ）は水平にされた電池モジュールをスタックする状態を示している。
【図４】搬送装置を用いた電池モジュールの搬送方法に関し、保持部材を用いた電池モジュールの保持方法を示す模式図であって、（Ａ）は保持部材の基端部ａの側を電池モジュールの一端側に備えられた第１ハトメに当接させた状態を示し、（Ｂ）は保持部材の先端部を軸方向Ｘに沿って伸長させて第１ハトメを挿通しつつスリーブに挿入した状態を示し、（Ｃ）は保持部材の先端部をさらに軸方向Ｘに沿って伸長させて電池モジュールの他端側に備えられた第２ハトメから突出させた状態を示し、（Ｄ）は保持部材を径方向θに沿って伸長させて第１ハトメとスリーブおよび第２ハトメの内周面を径方向外方に押圧してそれらに係合させている状態を示している。
【図５】搬送装置を用いた電池モジュールの搬送方法に関し、保持部材を電池モジュールから離間させる方法を示す模式図であって、（Ａ）は保持部材によって第１ハトメとスリーブおよび第２ハトメを係合している状態を示し、（Ｂ）は保持部材を第１ハトメとスリーブおよび第２ハトメから抜去した状態を示している。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付した図面を参照しながら、本発明に係る実施形態について説明する。図面の説明において、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図面における部材の大きさや比率は、説明の都合上誇張され実際の大きさや比率とは異なる場合がある。
【００１３】
搬送装置１００は、被搬送部材（電池モジュール１０）に備えられた穴１０ａに保持部材１１１を係合させ、その保持部材１１１によって電池モジュール１０を保持して搬送する方法を具現化した装置である（図１〜図３等）。ここで、電池モジュール１０は、１つ以上の単電池を積層して、フレームに収容したものである。電池モジュール１０のフレームは、例えば、その四隅に穴１０ａを開口している。電池モジュール１０は、図３（Ｄ）に示すように複数積層した後、各々の穴１０ａに対して通しボルトを挿通させて互いに締結することによって、組電池を構成する。電池モジュール１０は、内部に収容した単電池から電力を出力したり、内部に収容した単電池を充電したりするときに、側面に備えた端子１０ｂを用いる（図３）。
【００１４】
電池モジュール１０は、穴１０ａの端部に管状の係留部材（ハトメ２０）を係留させることがある（図４）。電池モジュール１０は、穴１０ａに円筒状のスリーブ３０を挿通させて配設することがある（図４）。本実施形態において、被搬送部材に備えられた穴は、電池モジュール１０の穴１０ａに加えて、ハトメ２０の開口２０ａやスリーブ３０の開口３０ａを包含するものとして説明する。
【００１５】
まず、電池モジュール１０の搬送装置１００の構成について、図１および図２を参照しながら説明する。
【００１６】
図１は、実施形態に係る電池モジュール１０の搬送装置１００を模式的に示す斜視図である。図２は、搬送装置１００の要部を示す原理図である。
【００１７】
搬送装置１００は、電池モジュール１０を保持部材１１１によって保持する保持部１１０、保持部材１１１を伸縮させる調整部１２０、保持部材１１１を回転させる回転部１３０、保持部材１１１を移動させる移動部１４０、および調整部１２０と回転部１３０と移動部１４０をそれぞれ制御する制御部１５０を含んでいる。
【００１８】
保持部１１０は、図１および図２に示し、電池モジュール１０を保持部材１１１によって保持する。保持部１１０は、電池モジュール１０の穴１０ａに挿入して電池モジュール１０を保持する保持部材１１１と、複数の保持部材１１１を支持する支持板１１２を備えている。
【００１９】
保持部材１１１は、図２に示すように、基端部１１１ａを開口させ、かつ、基端部１１１ａから延在した先端部１１１ｃを閉塞させて構成することによって、長筒形状に形成している。保持部材１１１は、内部１１１ｂに媒体（空気）を流入させることによって、軸方向Ｘおよび軸方向Ｘと交差した径方向θに沿って伸長（伸展）する。一方、保持部材１１１は、内部１１１ｂから空気を排出させることによって、軸方向Ｘおよび径方向θに沿って縮小する。保持部材１１１は、弾性を備えたゴムや樹脂からなる。保持部材１１１は、先端部１１１ｃが分岐している。保持部材１１１は、図２中の拡大図に示すように、外面と内面の間の層厚を基端部１１１ａから先端部１１１ｃに向かって相対的に厚くなるように形成している。保持部材１１１は、図１に示すように、保持部１１０に例えば４つ設け、電池モジュール１０の４隅に備えられた穴１０ａをそれぞれ係合する。
【００２０】
保持部材１１１は、図２に示すように、調整部１２０によって軸方向Ｘに沿って伸長して、電池モジュール１０の穴１０ａに挿入しつつ、その先端部１１１ｃを穴１０ａから突出させる。さらに、保持部材１１１は、軸方向Ｘと交差した径方向θに沿って伸長することによって、電池モジュール１０の穴１０ａの側面を押圧しつつ、その先端部１１１ｃを穴１０ａの縁よりも径方向θに沿って大きく伸長させる。このようにして、保持部材１１１は、電池モジュール１０を保持する。
【００２１】
一方、保持部材１１１は、調整部１２０によって径方向θに沿って縮小して、電池モジュール１０の穴１０ａの側面への押圧を解除しつつ、軸方向Ｘに沿って縮小させて穴１０ａから離間する。このようにして、保持部材１１１は、電池モジュール１０の保持を止める。
【００２２】
支持板１１２は、板状に形成している。支持板１１２は、上面１１２ａから下面１１２ｂに向かって貫通した連通口１１２ｃを、四隅に備えている。４つの連通口１１２ｃの間隔は、電池モジュール１０の穴１０ａの間隔と同一である。支持板１１２は、４つの連通口１１２ｃの間隔を手動または自動によって可変する機構（例えば２軸のステージ）を付加して、電池モジュール１０の穴１０ａの様々な間隔に対応する構成としてもよい。支持板１１２は、保持部材１１１の基端部１１１ａを、その下面１１２ｂの側から連通口１１２ｃに接合している。支持板１１２は、調整部１２０の外管１２７Ｍの先端を、その上面１１２ａの側から連通口１１２ｃに接合している。支持板１１２は、回転アーム１３１の連結台１３１ｄを、その上面１１２ａの中央に接合している。
【００２３】
調整部１２０は、図１および図２に示し、保持部材１１１を伸縮させる。すなわち、調整部１２０は、基端部１１１ａの側から保持部材１１１の内部１１１ｂに供給する空気の量を増減して保持部材１１１を伸縮させる。
【００２４】
調整部１２０は、保持部材１１１の内部１１１ｂに空気を流入して保持部材１１１を伸長させる第１流路１２０Ｐと、保持部材１１１の内部１１１ｂから空気を排出して保持部材１１１を縮小させる第２流路１２０Ｑを設けている。
【００２５】
第１流路１２０Ｐは、保持部材１１１の基端部１１１ａの側から内部１１１ｂに向かって空気を流入させる。第１流路１２０Ｐは、図２に示すように、その下流側の端部に配置した外管１２７Ｍを、軸方向Ｘに沿って保持部材１１１の基端部１１１ａと対向させ、径方向θに沿って環状に配設している。第１流路１２０Ｐは、パージポンプ１２４によって外部から吸引した空気を、外管１２７Ｍを介して保持部材１１１の内部１１１ｂに流入させる。
【００２６】
第１配管１２２は、保持部材１１１に至る上流側に向かって、第１レギュレータ１２３Ｓ、パージポンプ１２４、マイクロバルブ１２５、流量圧力計１２６、および外管１２７Ｍの順に、それらの部材を連結している。第１配管１２２は、保持部１１０の移動に対応するように、少なくとも流量圧力計１２６と外管１２７Ｍの間の部分を、弾性変形するゴムチューブ等によって構成している。第１レギュレータ１２３Ｓは、エアー供給管１２１からパージポンプ１２４に供給される空気の流量を調整（増減）する。
【００２７】
パージポンプ１２４は、給気口１２４ａを介して外部から吸引した空気を保持部材１１１に向かって吐出して、その保持部材１１１の内部１１１ｂに流入させる。パージポンプ１２４は、エアー供給管１２１から供給される空気によって制御する。すなわち、パージポンプ１２４は、エアー供給管１２１から供給される空気を駆動源として用いる。マイクロバルブ１２５は、パージポンプ１２４から保持部材１１１に流入する空気の流量を調整（増減）する。流量圧力計１２６は、パージポンプ１２４から外管１２７Ｍに流入する空気の流量および圧力を測定して表示する。
【００２８】
外管１２７Ｍは、円筒形状に形成し、先端部分が開口し基端部分が閉塞している。外管１２７Ｍは、その先端部分（第１流路１２０Ｐの下流側）を保持部材１１１の基端部１１１ａに接合している。一方、外管１２７Ｍは、その基端部分（第１流路１２０Ｐの上流側）に第１配管１２２を挿通させている。外管１２７Ｍの径方向内方には、第２流路１２０Ｑの内管１２７Ｎが配設されている。パージポンプ１２４から外管１２７Ｍに向かって吐出される空気は、外管１２７Ｍと内管１２７Ｎの間の環状の空間を通って、保持部材１１１に流入する。すなわち、外管１２７Ｍと内管１２７Ｎの間から空気を吐出し、内管１２７Ｎから空気を吸引することから、これらは２重管の構造を備えている。
【００２９】
第２流路１２０Ｑは、保持部材１１１の内部１１１ｂの空気を基端部１１１ａの側から排出させる。第２流路１２０Ｑは、図２に示すように、その上流側の端部に配置した内管１２７Ｎを、第１流路１２０Ｐの外管１２７Ｍの径方向θに沿った内方において、保持部材１１１の基端部１１１ａと対向させて配設している。第２流路１２０Ｑは、サクションポンプ１２９によって内管１２７Ｎを介して保持部材１１１から吸引した空気を、外部に排出する。
【００３０】
第２配管１２８は、保持部材１１１から下流側に向かって、サクションポンプ１２９および第２レギュレータ１２３Ｔの順に、それらの部材を連結している。第２配管１２８は、保持部１１０の移動に対応するように、少なくとも内管１２７Ｎとサクションポンプ１２９の間の部分を、弾性変形するゴムチューブ等によって構成している。第２レギュレータ１２３Ｔは、エアー供給管１２１からサクションポンプ１２９に供給される空気の流量を調整（増減）する。
【００３１】
サクションポンプ１２９は、保持部材１１１の内部１１１ｂから空気を吸引し、その空気を排気口１２９ａを介して外部に排出する。サクションポンプ１２９は、パージポンプ１２４と同様に、エアー供給管１２１から供給される空気によって制御する。
【００３２】
内管１２７Ｎは、円筒形状に形成し、先端部分および基端部分が開口している。内管１２７Ｎは、外管１２７Ｍの内部に収容している。内管１２７Ｎは、その開口した基端部分（第２流路１２０Ｑの下流側）を外管１２７Ｍの閉塞した基端部分に密着させて接合している。内管１２７Ｎは、その開口した先端部分（第２流路１２０Ｑの上流側）を外管１２７Ｍの開口した先端部分に沿って配設している。内管１２７Ｎは、その基端部分（第２流路１２０Ｑの下流側）に、外管１２７Ｍの基端部分を介して第２配管１２８を挿通させている。保持部材１１１からサクションポンプ１２９に向かって吸引される空気は、内管１２７Ｎを通ってサクションポンプ１２９の排気口１２９ａから外部に排出される。このとき、保持部材１１１の少なくとも先端部１１１ｃは、内管１２７Ｎの内部に吸い込まれて収容される。
【００３３】
回転部１３０は、図１に示し、保持部材１１１を回転させる。回転部１３０は、保持部材１１１を回転させる回転アーム１３１を備えている。
【００３４】
回転アーム１３１は、モータ１３１ａ、ステータ用ケース１３１ｂ、一対のロータ用ケース１３１ｃ、連結台１３１ｄ、および一対の連結支柱１３１ｅから構成している。モータ１３１ａは、ステッピングモータからなり、ステータの両端から突出させたロータのシャフトを時計回りまたは反時計回りに沿って所定の角度（例えば９０°）に回転させる。ステータ用ケース１３１ｂは、円筒形状からなり、モータ１３１ａのステータを収容して固定している。ロータ用ケース１３１ｃは、一対から構成している。一対のロータ用ケース１３１ｃは、円筒形状からなり、ステータ用ケース１３１ｂの両端に配設され、モータ１３１ａのロータのシャフトの両端を収容して固定している。連結台１３１ｄは、長方体形状からなり、ステータ用ケース１３１ｂと支持板１１２を連結している。連結支柱１３１ｅは、一対から構成している。一対の連結支柱１３１ｅは、円柱形状からなり、一対のロータ用ケース１３１ｃとロボットアーム１４１を連結している。
【００３５】
モータ１３１ａを回転させると、ロボットアーム１４１によって吊り下げられている一対の連結支柱１３１ｅおよび一対のロータ用ケース１３１ｃは不動のまま、モータ１３１ａを収容したステータ用ケース１３１ｂおよび連結台１３１ｄが回転する。したがって、連結台１３１ｄに連結した支持板１１２が、連結台１３１ｄに従動して回転する。その結果、支持板１１２によって支持された複数の保持部材１１１が回転する。すなわち、回転部１３０は、図１中に示すように上下方向に起立している状態の保持部材１１１を例えば９０°回転させて水平方向に沿って配置したり、水平方向に沿って配置している状態の保持部材１１１を例えば９０°回転させて上下方向に起立させたりする。
【００３６】
移動部１４０は、図１に示し、保持部材１１１を移動させる。移動部１４０は、保持部材１１１を移動させる移動部材（ロボットアーム１４１）を備えている。
【００３７】
ロボットアーム１４１は、複数の支柱をそれぞれ回転自在な駆動軸によって連結して構成し、その先端部分を空間上の任意の位置に移動させる装置である。ロボットアーム１４１は、保持部材１１１の基端部１１１ａの側を支持し、電池モジュール１０を保持した保持部材１１１を、水平方向および垂直方向に移動させる。移動部材は、ロボットアーム１４１に替えて、工場の天井から吊り下げて用いるクレーンによって構成してもよい。また、移動部材は、ロボットアーム１４１に替えて、水平方向に加えて垂直方向に沿って駆動する３軸の直動ステージによって構成してもよい。
【００３８】
制御部１５０は、図１に示し、調整部１２０、回転部１３０および移動部１４０を制御する。制御部１５０は、調整部１２０と回転部１３０および移動部１４０の各々の駆動部材の駆動を制御するコントローラ１５１を備えている。
【００３９】
コントローラ１５１は、ＲＯＭ、ＣＰＵ、およびＲＡＭから構成している。ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）は、各々の駆動部材に関する制御プログラムを格納している。制御プログラムは、例えば、パージポンプ１２４の駆動タイミングや駆動時間に関するものである。ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）は、ＲＯＭに格納された制御プログラムに基づいて、各々の駆動部材を制御する。ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）は、制御中の各々の駆動部材に関する様々なデータを一時的に記憶する。データは、例えば、流量圧力計１２６によって計測された保持部材１１１に流入させる空気の流量および圧力に関するものである。
【００４０】
つぎに、搬送装置１００を用いた電池モジュール１０の搬送方法の概要について、図３を参照しながら説明する。
【００４１】
図３は、搬送装置１００を用いた電池モジュール１０の搬送方法を模式的に示す斜視図である。図３（Ａ）は、搬送装置１００を収容ボックス４０に起立して収容されている電池モジュール１０に接近させている状態を示している。図３（Ｂ）は、電池モジュール１０を保持し起立させたまま収容ボックス４０から取り出す状態を示している。図３（Ｃ）は、取り出された電池モジュール１０を９０°回転させて水平にした状態を示している。図３（Ｄ）は、水平にされた電池モジュール１０をスタックする状態を示している。
【００４２】
図３（Ａ）に示すように、収容ボックス４０は、電池モジュール１０を密集して収容している。各々の電池モジュール１０は、その穴１０ａが水平方向に沿って位置するように収容されている。搬送装置１００は、保持部材１１１を縮小させ支持板１１２を起立させた状態の保持部１１０を、電池モジュール１０と収容ボックス４０の間の狭い隙間や、隣り合う電池モジュール１０の間の狭い隙間に対して、上方から下方に向かって差し込む。
【００４３】
さらに、図３（Ｂ）に示すように、搬送装置１００は、伸長させた保持部材１１１によって電池モジュール１０の穴１０ａを係合した状態において、その電池モジュール１０を下方から上方に向かって移動させて収容ボックス４０から取り出す。すなわち、搬送装置１００は、電池モジュール１０を起立させた状態のまま収容ボックス４０から取り出す。
【００４４】
さらに、図３（Ｃ）に示すように、搬送装置１００は、回転部１３０によって、電池モジュール１０を９０°回転させて水平の状態にする。電池モジュール１０は、収容ボックス４０の上方において回転することから、収容ボックス４０と干渉しない。搬送装置１００は、電池モジュール１０を移動させながら回転させてもよい。
【００４５】
さらに、図３（Ｄ）に示すように、搬送装置１００は、水平に吊り下げている電池モジュール１０を、既に複数積層されている電池モジュール１０の上方に積み重ねる。電池モジュール１０の積層数に応じて、図３（Ａ）〜図３（Ｄ）に示す電池モジュール１０の搬送を繰り返す。
【００４６】
つぎに、保持部材１１１を用いた電池モジュール１０の保持方法について、図４を参照しながら説明する。
【００４７】
図４は、搬送装置１００を用いた電池モジュール１０の搬送方法に関し、保持部材１１１を用いた電池モジュール１０の保持方法を示す模式図である。図４（Ａ）は、保持部材１１１の基端部１１１ａの側を電池モジュール１０の一端側に備えられた第１ハトメ２１に当接させた状態を示している。図４（Ｂ）は、保持部材１１１の先端部１１１ｃを軸方向Ｘに沿って伸長させて第１ハトメ２１を挿通しつつスリーブ３０に挿入した状態を示している。図４（Ｃ）は、保持部材１１１の先端部１１１ｃをさらに軸方向Ｘに沿って伸長させて電池モジュール１０の他端側に備えられた第２ハトメ２２から突出させた状態を示している。図４（Ｄ）は、保持部材１１１を径方向θに沿って伸長させて第１ハトメ２１とスリーブ３０および第２ハトメ２２の内周面を径方向外方に押圧してそれらに係合させている状態を示している。
【００４８】
図４（Ａ）〜図４（Ｄ）に示す保持部材１１１を用いた電池モジュール１０の保持方法は、図３（Ａ）〜図３（Ｂ）に示す電池モジュール１０の搬送工程の間に行われるものである。
【００４９】
図４（Ａ）に示すように、搬送装置１００は、保持部材１１１を縮小させた保持部１１０を移動させて、保持部材１１１の基端部１１１ａの側を電池モジュール１０の一端側に備えられた第１ハトメ２１の縁に当接させる。このとき、搬送装置１００は、保持部材１１１の先端部１１１ｃを内管１２７Ｎの内部に吸い込んで収容している。
【００５０】
さらに、図４（Ｂ）に示すように、搬送装置１００は、保持部材１１１の基端部１１１ａから内部１１１ｂに向かって、外管１２７Ｍと内管１２７Ｎの間から空気を流入させる。この結果、保持部材１１１は、基端部１１１ａから先端部１１１ｃに向かって伸長し、その先端部１１１ｃが第１ハトメ２１を挿通しつつスリーブ３０の内部に挿入される。ここで、保持部材１１１は、外管１２７Ｍと内管１２７Ｎの間の環状の空間から注入される環状の気流によって、座屈したり偏心したりすることなく、軸方向Ｘに沿って直線状にスムーズに伸長する。
【００５１】
さらに、図４（Ｃ）に示すように、搬送装置１００は、保持部材１１１の基端部１１１ａから内部１１１ｂに向かって、さらに空気を流入させる。この結果、保持部材１１１は、基端部１１１ａから先端部１１１ｃに向かってさらに伸長し、その先端部１１１ｃがスリーブ３０を挿通しつつ電池モジュール１０の他端側に備えられた第２ハトメ２２から突出する。このとき、保持部材１１１は、その分岐した部分が互いに離間するように変形しつつ膨張して、第２ハトメ２２の縁を覆うように大きく伸長する。
【００５２】
さらに、図４（Ｄ）に示すように、搬送装置１００は、保持部材１１１の基端部１１１ａから内部１１１ｂに向かって、さらに空気を流入させる。この結果、軸方向Ｘに沿って伸長を終えた保持部材１１１は、径方向θに沿って伸長して、第１ハトメ２１とスリーブ３０および第２ハトメ２２の内周面を径方向外方に押圧してそれらに係合させる。さらに、保持部材１１１は、基端部１１１ａと先端部１１１ｃによって、第１ハトメ２１とスリーブ３０および第２ハトメ２２を軸方向Ｘに沿って挟み込むようにして係合する。
【００５３】
つぎに、保持部材１１１を電池モジュール１０から離間させる方法について、図５を参照しながら説明する。
【００５４】
図５は、搬送装置１００を用いた電池モジュール１０の搬送方法に関し、保持部材１１１を電池モジュール１０から離間させる方法を示す模式図である。図５（Ａ）は、保持部材１１１によって第１ハトメ２１とスリーブ３０および第２ハトメ２２を係合している状態を示している。図５（Ｂ）は、保持部材１１１を第１ハトメ２１とスリーブ３０および第２ハトメ２２から抜去した状態を示している。
【００５５】
図５（Ａ）〜図５（Ｂ）に示す保持部材１１１を電池モジュール１０から離間させる方法は、図３（Ａ）〜図３（Ｄ）に示す電池モジュール１０の搬送工程を終え、次の電池モジュール１０を搬送するために新たに図３（Ａ）の状態に移る前に行われるものである。
【００５６】
図５（Ａ）に示すように、搬送装置１００は、保持部材１１１の基端部１１１ａから内部１１１ｂに向かって空気を充填し続けることによって、保持部材１１１を用いて、第１ハトメ２１とスリーブ３０および第２ハトメ２２を係合している。この状態は、図３（Ｄ）に示す状態に相当する。
【００５７】
さらに、図５（Ｂ）に示すように、搬送装置１００は、保持部材１１１に対する空気の充填を停止する。同時に、搬送装置１００は、保持部材１１１の内部１１１ｂの空気を内管１２７Ｎから吸引して外部に排出する。この結果、保持部材１１１は、軸方向Ｘおよび径方向θに沿って縮小すると共に、その先端部１１１ｃが内管１２７Ｎの内部に吸い込まれて収容される。ここで、保持部材１１１は、軸方向Ｘに沿って基端部１１１ａの中央に向かう均等な気流によって、座屈したり偏心したりすることなく、軸方向Ｘに沿ってスムーズに縮小する。このようにして、保持部材１１１は、第１ハトメ２１とスリーブ３０および第２ハトメ２２から抜去される。
【００５８】
上述した実施形態によれば、以下の構成によって作用効果を奏する。
【００５９】
電池モジュール１０の搬送方法は、電池モジュール１０に備えられた穴１０ａに保持部材１１１を係合させ、その保持部材１１１によって電池モジュール１０を保持して搬送する方法である。この搬送方法では、軸方向Ｘおよび当該軸方向Ｘと交差した径方向θに沿ってそれぞれ伸縮する保持部材１１１を用いる。ここで、保持部材１１１を、縮小させた状態から軸方向Ｘに沿って伸長させて穴１０ａに挿入し、径方向θに沿って伸長させて穴１０ａの側面を押圧して穴１０ａに係合させ、電池モジュール１０を保持しつつ搬送する。
【００６０】
電池モジュール１０の搬送装置１００は、保持部材１１１と、ロボットアーム１４１を有している。保持部材１１１は、電池モジュール１０に備えられた穴１０ａの軸方向Ｘおよび当該軸方向Ｘと交差した径方向θに沿ってそれぞれ伸縮して穴１０ａを内方から押圧して穴１０ａに係合させ、電池モジュール１０を保持する。ロボットアーム１４１は、保持部材１１１の基端部１１１ａの側を支持し、電池モジュール１０を保持した保持部材１１１を移動させる。
【００６１】
このような構成の電池モジュール１０の搬送方法および搬送装置１００によれば、保持部材１１１を軸方向Ｘおよび径方向θに沿ってそれぞれ伸長させることによって、電池モジュール１０の穴１０ａを係合する。すなわち、保持部材１１１を縮小させた状態において電池モジュール１０の穴１０ａに接近させてから、その保持部材１１１を伸長させつつ電池モジュール１０の穴１０ａに挿入することができる。したがって、この電池モジュール１０の搬送方法および搬送装置１００は、電池モジュール１０を狭所において十分に保持して搬送することができる。
【００６２】
さらに、この搬送方法において、穴１０ａは、貫通穴から構成している。ここで、保持部材１１１の端部（先端部１１１ｃ）を、軸方向Ｘに沿って伸長させつつ穴１０ａから突出させ、かつ、穴１０ａの縁よりも径方向θに沿って大きく伸長させる。
【００６３】
このような構成の搬送方法によれば、保持部材１１１の基端部１１１ａと先端部１１１ｃによって、電池モジュール１０の穴１０ａを挟み込むように係合することができる。すなわち、保持部材１１１は、電池モジュール１０を強固に保持することができる。したがって、搬送中の電池モジュール１０が保持部材１１１から脱落することを防止できる。
【００６４】
特に、このような構成の搬送方法によれば、例えば保持部材１１１の基端部１１１ａを上方にして、かつ、先端部１１１ｃを下方に位置させて、電池モジュール１０を吊り下げるように搬送するような場合に効果的である。すなわち、保持部材１１１の先端部１１１ｃによって電池モジュール１０の穴１０ａの縁を下方から引っ掛けるようにして保持することができる。したがって、電池モジュール１０が、保持部材１１１から擦り抜けて脱落することを防止できる。
【００６５】
さらに、この搬送方法において、穴１０ａは、貫通穴から構成している。電池モジュール１０は、穴１０ａの端部に係留する管状のハトメ２０を備えている。ここで、保持部材１１１の先端部１１１ｃを、軸方向Ｘに沿って伸長させつつハトメ２０の開口２０ａから突出させ、かつ、開口２０ａの縁よりも径方向θに沿って大きく伸長させる。
【００６６】
このような構成の搬送方法によれば、保持部材１１１の基端部１１１ａと先端部１１１ｃによって、ハトメ２０および電池モジュール１０の穴１０ａを一体的に挟み込むように係合することができる。すなわち、保持部材１１１は、ハトメ２０を穴１０ａに係留させたまま、電池モジュール１０を強固に保持することができる。したがって、電池モジュール１０の搬送中に、電池モジュール１０に備えられたハトメ２０や、電池モジュール１０そのものが、保持部材１１１から脱落することを防止できる。
【００６７】
また、このような構成の搬送方法によれば、ハトメ２０が電池モジュール１０の穴１０ａから浮き上がったり抜け落ちたりしないことから、ハトメ２０が変形したり損傷したりすることを防止できる。また、ハトメ２０が電池モジュール１０の穴１０ａから抜け落ちないことから、ハトメ２０が電池モジュール１０（ハトメ２０が抜け落ちた電池モジュール１０、または抜け落ちたハトメ２０の下方に載置されている他の電池モジュール１０）の端子１０ｂに接触して内部の電気部材が短絡して故障することを防止できる。したがって、電池モジュール１０は、機械的および電気的な品質を維持することができる。
【００６８】
また、このような構成の搬送方法によれば、ハトメ２０が電池モジュール１０の穴１０ａから浮き上がったり抜け落ちたりしないことから、ハトメ２０の変形や損傷を防止すると共に、ハトメ２０と電池モジュール１０の穴１０ａの相対的な位置がずれたり、穴１０ａの両端に備えた一対のハトメ２０の間隔がずれたり（間隔が広がる）することを防止できる。したがって、電池モジュール１０を例えば複数積層したり別の場所に移動したりする場合に、変形や損傷が無く位置ずれが生じていないハトメ２０を基準にすることによって、電池モジュール１０の位置決めを精度良く行うことができる。このようなことから、特に、電池モジュール１０を積み重ねた後、各々の穴１０ａに対して通しボルトを挿通させて互いに締結することによって、組電池を構成するような場合に有効である。
【００６９】
さらに、この搬送方法において、電池モジュール１０は、互いに離間した穴１０ａを複数備え、複数のうち２つ以上の穴１０ａをそれぞれ保持部材１１１によって係合する。
【００７０】
このような構成の搬送方法によれば、保持部材１１１によって電池モジュール１０の穴１０ａを係合して搬送するときに、電池モジュール１０が１つの穴１０ａを軸にして回転することを防止できる。したがって、電池モジュール１０と周囲の構造物との干渉や、電池モジュール１０の位置（角度）ずれを防止することができる。
【００７１】
また、このような構成の搬送方法によれば、保持部材１１１による保持によって電池モジュール１０に掛かる負荷を、２つ以上の穴１０ａを用いて分散させることができる。すなわち、電池モジュール１０の１つの穴１０ａに応力が集中して、その電池モジュール１０が損傷することを防止できる。同様に、電池モジュール１０の自重によって保持部材１１１に掛かる負荷を、複数の保持部材１１１を用いて分散させることができる。すなわち、保持部材１１１が損傷することを防止できる。このように、電池モジュール１０および保持部材１１１にそれぞれ過度な負荷を掛けることなく、電池モジュール１０の搬送を安定的に行うことができる。
【００７２】
さらに、搬送装置１００において、保持部材１１１は、基端部１１１ａが開口し基端部１１１ａから延在した先端部１１１ｃが閉塞し伸縮可能な筒形状から形成している。搬送装置１００は、調整部１２０をさらに有している。調整部１２０は、基端部１１１ａの側から保持部材１１１の内部１１１ｂに供給する空気の量を増減して保持部材１１１を伸縮させる。
【００７３】
このような構成の搬送装置１００によれば、非常に簡便な構成によって、保持部材１１１を膨張させつつ電池モジュール１０の穴１０ａに挿入し、その穴１０ａを内方から押圧することによって、電池モジュール１０を保持することができる。さらに、搬送装置１００は、保持部材１１１を縮小させつつ電池モジュール１０の穴１０ａに対する押圧を解除し、その穴１０ａから離間することによって、電池モジュールの保持を止めることができる。
【００７４】
また、このような構成の搬送装置１００によれば、保持部材１１１は、伸縮可能な筒形状から形成したことによって、ロボットアームのような機械的な保持機構を含む大掛かりな構成と比べて、特に径方向θに沿った大きさを抑制することができる。したがって、保持部材１１１は、ロボットアームのような構成を用いた場合と比べて、より細径の穴１０ａに挿入して係合することができる。
【００７５】
また、このような構成の搬送装置１００によれば、保持部材１１１は、電池モジュール１０の穴１０ａの形状に応じて伸長させることができる。すなわち、保持部材１１１は、電池モジュール１０の穴１０ａの内面に沿うように膨張して、電池モジュール１０を保持することができる。したがって、保持部材１１１は、電池モジュール１０の穴１０ａの大きさや形状が様々であっても、その穴１０ａに応じて伸長して保持することができる。
【００７６】
また、このような構成の搬送装置１００によれば、保持部材１１１による電池モジュール１０の保持力を、保持部材１１１の膨張の大小によって容易に調整することができる。すなわち、電池モジュール１０の穴１０ａの形状、電池モジュール１０の自重、および保持部材１１１の材質等に応じて、保持部材１１１の内部１１１ｂに流入させる空気の量を調整することによって、適当な保持力を得ることができる。保持部材１１１が膨張する程、電池モジュール１０の穴１０ａを内方から押圧する押圧力が増加することから、保持部材１１１によって電池モジュール１０をより強固に保持することができる。
【００７７】
また、このような構成の搬送装置１００によれば、伸縮可能な筒形状から形成した保持部材１１１によって、電池モジュール１０の穴１０ａの内面を柔軟に係合することができる。したがって、保持部材１１１によって、電池モジュール１０の穴１０ａを損傷させることなく、十分に係合することができる。
【００７８】
また、このような構成の搬送装置１００によれば、保持部材１１１を縮小させた状態（穴１０ａの径よりも小さい状態）から伸長させつつ電池モジュール１０の穴１０ａに挿入することから、保持部材１１１と電池モジュール１０に位置ずれが多少生じていた場合であっても、保持部材１１１を電池モジュールの穴１０ａに挿入することができる。さらに、電池モジュール１０の穴１０ａに挿入した保持部材１１１は、径方向θに対して均等に膨張した状態で安定することから、径方向θに沿って伸長し終えたときに、電池モジュール１０の位置ずれをセルフアライメントのように補正することができる。すなわち、径方向θに対して均等に膨張した状態で安定する保持部材１１１は、位置決めピンのように機能させることができる。
【００７９】
さらに、搬送装置１００において、保持部材１１１は、外面と内面の間の層厚を基端部１１１ａから先端部１１１ｃに向かって相対的に厚く形成している。
【００８０】
このような構成の搬送装置１００によれば、保持部材１１１は、基端部１１１ａから先端部１１１ｃに向かってテーパーを備えていることから、相対的に層厚が厚い先端部１１１ｃよりも、相対的に層厚が薄い基端部１１１ａの方が変形し易い。このため、保持部材１１１の基端部１１１ａの側から内部１１１ｂに空気を流入させたときに、先端部１１１ｃよりも基端部１１１ａの側が大きく変形する。すなわち、保持部材１１１は、内部１１１ｂに空気が流入されると、基端部１１１ａから先に変形し始め、基端部１１１ａから先端部１１１ｃに向かって連続的に伸長するように変形する。したがって、保持部材１１１は、軸方向Ｘに沿って伸長させて電池モジュール１０の穴１０ａに挿入する際に、基端部１１１ａと先端部１１１ｃの間の部分や先端部１１１ｃが先に変形して座屈するようなことがなく、基端部１１１ａから先端部１１１ｃに向かって滑らかに伸長させることができる。
【００８１】
さらに、搬送装置１００において、保持部材１１１は、軸方向Ｘに沿って長筒形状に形成し、折り畳んで縮小する。
【００８２】
このような構成の搬送装置１００によれば、折り畳んで縮小した状態の保持部材１１１は、予め長筒形状に形成していることから、内部１１１ｂに空気が流入すると、軸方向Ｘに沿って折り返されるように速やかに伸長することができる。したがって、保持部材１１１は、軸方向Ｘに沿って伸長しつつ穴１０ａに十分に挿入した状態において、径方向θに沿って伸長させて穴１０ａの内面を押圧して穴１０ａに係合させることができる。すなわち、保持部材１１１は、例えば、軸方向Ｘに沿って伸長しつつ電池モジュール１０の穴１０ａに十分に挿入する前に、径方向θに沿って伸長して穴１０ａの側面を強く押圧してしまい、軸方向Ｘに沿った伸長が途中で妨げられるようなことを防止できる。
【００８３】
さらに、搬送装置１００において、保持部材１１１は、先端部１１１ｃが分岐している。
【００８４】
このような構成の搬送装置１００によれば、保持部材１１１は、分岐した先端部１１１ｃに空気が流入すると、その分岐した部分が互いに離間するように大きく変形しつつ膨張して、軸方向Ｘと共に径方向θに沿って大きく伸長する。このようなことから、保持部材１１１は、基端部１１１ａと、軸方向Ｘと共に径方向θに沿って大きく伸長した先端部１１１ｃによって、電池モジュール１０の穴１０ａを十分に挟み込んで係合することができる。すなわち、保持部材１１１は、大きく膨らんだ先端部１１１ｃがアンカーとなり、穴１０ａの縁に引っ掛かるようにして、電池モジュール１０を強固に保持することができる。したがって、搬送中の電池モジュール１０が保持部材１１１から脱落することを防止できる。
【００８５】
また、このような構成の搬送装置１００によれば、保持部材１１１は、基端部１１１ａと先端部１１１ｃによって、電池モジュール１０の穴１０ａを挟み込んで係合する。したがって、搬送装置１００は、保持部材１１１の基端部１１１ａの位置を基準にして、電池モジュール１０の位置決め精度を向上させることができる。このようなことから、特に、電池モジュール１０を積み重ねた後、各々の穴１０ａに対して通しボルトを挿通させて互いに締結することによって、組電池を構成するような場合に有効である。
【００８６】
さらに、搬送装置１００において、調整部１２０は、第１流路１２０Ｐと、第２流路１２０Ｑを設けている。第１流路１２０Ｐは、軸方向Ｘに沿って基端部１１１ａと対向し径方向θに沿って環状に配設し、空気を基端部１１１ａの側から内部１１１ｂに流入させる。第２流路１２０Ｑは、第１流路１２０Ｐよりも径方向θに沿った内方において基端部１１１ａと対向して配設し、内部１１１ｂの空気を基端部１１１ａの側から排出させる。
【００８７】
このような構成の搬送装置１００によれば、保持部材１１１を伸長させる場合、第１流路１２０Ｐによって、保持部材１１１の基端部１１１ａの縁から環状に空気を流入させる。したがって、保持部材１１１は、環状の均等な気流によって、座屈したり偏心したりすることなく、軸方向Ｘに沿ってスムーズに伸長させることができる。一方、保持部材１１１を縮小させる場合、第２流路１２０Ｑによって、保持部材１１１の基端部１１１ａの中央に向かって空気を吸引する。したがって、保持部材１１１は、径方向外方から中央に向かう均等な気流によって、座屈したり偏心したりすることなく、軸方向Ｘに沿ってスムーズに縮小させることができる。
【００８８】
さらに、搬送装置１００において、第２流路１２０Ｑは、空気を基端部１１１ａの側から排出させつつ、少なくとも先端部１１１ｃを折り畳んで収容する。
【００８９】
このような構成の搬送装置１００によれば、保持部材１１１は、第２流路１２０Ｑの内部に保護されることから、電池モジュール１０を保持していない状態で移動しているときに、電池モジュール１０や周囲の構造物との接触を回避し、それらとの接触による損傷を防止できる。特に、伸縮可能な筒形状からなり変形し易い保持部材１１１は、電池モジュール１０を保持していない状態で移動しているときに、周囲の構造物等との接触を防止するために、第２流路１２０Ｑの内部に保護することが好ましい。
【００９０】
さらに、搬送装置１００において、保持部材１１１を回転させる回転部１３０を、さらに有している。
【００９１】
このような構成の搬送装置１００によれば、例えば、上下方向に沿って起立している電池モジュール１０を回転部１３０によって水平方向に沿うように回転させて配置を変更することができる。同様に、搬送装置１００は、水平方向に沿って平置きしている電池モジュール１０を回転部１３０によって上下方向に沿うように回転させて配置を変更することができる。
【００９２】
特に、このような構成の搬送装置１００によれば、複数の電池モジュール１０が収容ボックス４０に密集して収容されて、かつ、電池モジュール１０の穴１０ａが水平方向に沿って位置するように配設されている場合に効果的である。すなわち、縮小した状態の保持部材１１１は、電池モジュール１０と収容ボックス４０の隙間や、隣り合う電池モジュール１０の隙間等の狭所に対して、上方から下方に向かって差し込むことができる。次に、保持部材１１１は、軸方向Ｘ（水平方向）および径方向θに向かって伸長して、電池モジュール１０の穴１０ａを係合することができる。その後、保持部材１１１は、電池モジュール１０を下方から上方に向かって移動して収容ボックス４０から取り出すことができる。ここで、回転部１３０によって、電池モジュール１０を９０°回転させて水平にすることができる。水平状態にした電池モジュール１０は、例えば上下方向に積み重ねるように積層することができる。
【００９３】
そのほか、本発明は、特許請求の範囲に記載された構成に基づき様々な改変が可能であり、それらについても本発明の範疇である。
【００９４】
例えば、被搬送部材に備えられた穴は、貫通穴に限定されない。搬送装置１００は、被搬送部材に備えられた穴が所定の深さの穴であっても、その穴に保持部材１１１を挿入して保持することができる。
【００９５】
また、被搬送部材に備えられた穴が貫通穴の場合、搬送装置１００は、複数の被搬送部材に備えられた各々の穴に対して、保持部材１１１を連通するように挿入して係合することによって、複数の被搬送部材を同時に搬送することができる。
【００９６】
また、被搬送部材に備えられた穴が複数の場合、搬送装置１００は、それらの穴のいずれか１つ以上の穴に対して、保持部材１１１を挿入して係合することができる。
【００９７】
また、保持部材１１１は、基端部１１１ａから先端部１１１ｃにかけて、いわゆる蛇腹形状に形成し、全体を軸方向Ｘに沿って均等に縮める構成としてもよい。この場合、保持部材１１１は、軸方向Ｘに沿って折り畳んで縮小した時に、内管１２７Ｎのような配管等に収容することなく、軸方向Ｘに沿って圧縮するように大幅に縮小させた状態で外部に露出させておくこともできる。
【００９８】
また、保持部材１１１は、軸方向Ｘを中心として径方向θ外方に向かって均等に伸長したり径方向θ内方に向かって均等に縮小したりする構成に限定されることはなく、軸方向Ｘを中心として径方向θに沿って偏心するように不均等に伸縮させてもよい。
【符号の説明】
【００９９】
１０      電池モジュール（被搬送部材）、
１０ａ    穴、
１０ｂ    端子、
２０      ハトメ（係留部材）、
２０ａ    開口、
２１      第１ハトメ、
２２      第２ハトメ、
３０      スリーブ、
３０ａ    開口、
４０      収容ボックス、
１００    搬送装置、
１１０    保持部、
１１１    保持部材、
１１１ａ  基端部、
１１１ｂ  内部、
１１１ｃ  先端部、
１１２    支持板、
１１２ａ  上面、
１１２ｂ  下面、
１１２ｃ  連通口、
１２０    調整部、
１２０Ｐ  第１流路、
１２０Ｑ  第２流路、
１２１    エアー供給管、
１２２    第１配管、
１２３Ｓ  第１レギュレータ、
１２３Ｔ  第２レギュレータ、
１２４    パージポンプ、
１２４ａ  給気口、
１２５    マイクロバルブ、
１２６    流量圧力計、
１２７Ｍ  外管、
１２７Ｎ  内管、
１２８    第２配管、
１２９    サクションポンプ、
１２９ａ  排気口、
１３０    回転部、
１３１    回転アーム、
１３１ａ  モータ、
１３１ｂ  ステータ用ケース、
１３１ｃ  ロータ用ケース、
１３１ｄ  連結台、
１３１ｅ  連結支柱、
１４０    移動部、
１４１    ロボットアーム（移動部材）、
１５０    制御部、
１５１    コントローラ、
Ｘ        軸方向、
θ        径方向。
【図１】
0006572677.tif 000002
【図２】
0006572677.tif 000003
【図３】
0006572677.tif 000004
【図４】
0006572677.tif 000005
【図５】
0006572677.tif 000006