(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れる流路の周囲に形成された弁座と、前記弁座と当接または離間することにより、流体の流れを制御する弁体と、前記弁体を制御する可動部材と、前記可動部材を摺動可能に保持したアクチュエータ部と、前記可動部材を前記弁座方向に付勢する付勢バネとを有する流体制御弁において、
前記弁体には、前記弁体と前記弁座の当接面に対しほぼ直角方向に前記付勢バネの付勢力が作用すること、
前記付勢バネの一端は、突出した位置決め凸部を有し、
前記アクチュエータ部には、前記位置決め凸部と係合することにより前記付勢バネの一端を所定の位置に保持する位置決め係合部を有すること、
前記付勢バネのもう一端は、自由な状態に保持され、前記可動部材に当接していること、
を特徴とする流体制御弁。
【請求項２】
請求項１に記載の流体制御弁において、
揺動軸を支点に揺動するシーソー板と、第１流路に設けられた第１弁座と当接または離間する第１弁体と、第２流路に設けられた第２弁座と当接または離間する第２弁体と、前記第１流路と前記第２流路とに連通する第３流路と、を有し、
前記シーソー板の揺動運動により、前記第１弁体と前記第２弁体とを共に移動させ、前記第１流路と前記第３流路との間の流体の流れと、前記第２流路と前記第３流路との間の流体の流れとを切り替えること、
を特徴とする流体制御弁。
【請求項３】
請求項１に記載の流体制御弁において、
ポペット式であること、
を特徴とする流体制御弁。
【請求項４】
請求項２に記載の流体制御弁において、
前記第１弁体と前記第１弁座の当接面、及び前記第２弁体と前記第２弁座の当接面は、水平面に対して所定の角度傾いて当接すること、
を特徴とする流体制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体が流れる流路の周囲に形成された弁座と、弁座と当接または離間することにより、流体の流れを制御する弁体と、弁体を制御する可動部材と、可動部材を摺動可能に保持したアクチュエータ部と、可動部材を弁座方向に付勢する付勢バネとを有する流体制御弁に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
サンプリングした検体（血液や尿等）を、試薬と反応させて検体を分析する医療用分析装置には、複数（一例として、装置１台に付き数十個）の流体制御弁が装着されている。このような医療用分析装置に装着されている流体制御弁の一例として、特許文献１の流体制御弁が開示されている。図６は、従来の流体制御弁１００の断面図である。図７は、従来の可動鉄心１１３の傾きを示す図である。なお、図７では、可動鉄心１１３の傾きをわかりやすくするため、可動鉄心１１３の隙間を強調して図示している。
【０００３】
流体制御弁１００では、図６に示すように、アクチュエータ部１０１と弁体部１０２を有する。
アクチュエータ部１０１では、固定鉄心１１２と可動鉄心１１３が中空状のコイルボビン１１４内に同軸上に設けられている。コイル１１５がコイルボビン１１４の周りに巻回されている。可動鉄心１１３は、コイル１１５への通電がＯＦＦの状態では、固定鉄心１１２と離間し、通電がＯＮの状態になると、固定鉄心１１２に吸着する。コイル１１５の外周は、コア１１６により覆われている。コイルボビン１１４とコア１１６は、駆動部支持部材１１７に立設されている。駆動部支持部材１１７は、シリンダブロック１１８に載置して固定されている。また、駆動部支持部材１１７と可動鉄心１１３の先端部１１３ａの間には、可動鉄心１１３を固定鉄心１１２と離間する方向に付勢する付勢バネ１１９が設けられている。
【０００４】
弁体部１０２は、樹脂製のシーソー板１１１と、ゴム製の第１弁体１０５と、第２弁体１０８とを有する。シーソー板１１１は、揺動軸１１０を支点に揺動する。第１弁体１０５と第２弁体１０８は、シーソー板１１１に一体的に結合されている。第１弁体１０５は、第１流路１０３に設けられた第１弁座１０４と当接または離間し、第２弁体１０８は、第２流路１０６に設けられた第２弁座１０７と当接または離間する。第１流路１０３と第２流路１０６の間には、両流路に連通する第３流路１０９が配設されている。流体制御弁１００は、シーソー板１１１の揺動運動により、第１弁体１０５と第２弁体１０８とを共に移動させ、第１流路１０３と第３流路１０９との間の流体の流れと、第２流路１０６と第３流路１０９との間の流体の流れとを切り替える。
【０００５】
コイル１１５への通電がＯＦＦの状態では、可動鉄心１１３が、コイルボビン１１４内を摺動しながら下降して、シーソー板１１１が揺動軸１１０を支点に反時計回り方向に回動することにより、第１弁体１０５が第１弁座１０４に当接して閉弁する。第１流路１０３と第３流路１０９との連通は遮断され、流体は第３流路１０９から第１流路１０３に流れない。その反対に、第２弁体１０８は上昇し、第２弁体１０８が第２弁座１０７と離間して開弁し、第２流路１０６と第３流路１０９とが連通して、流体は、第３流路１０９から第２流路１０６に流れる。
【０００６】
コイル１１５への通電がＯＮの状態では、可動鉄心１１３が、コイルボビン１１４内を摺動しながら上昇して、シーソー板１１１が揺動軸１１０を支点に時計回り方向に回動することにより、第２弁体１０８が第２弁座１０７に当接して閉弁する。第２流路１０６と第３流路１０９との連通が遮断され、流体は、第３流路１０９から第２流路１０６には流れない。その反対に、第１弁体１０５は上昇し、第１弁体１０５が第１弁座１０４と離間して開弁し、第１流路１０３と第３流路１０９とが連通して、流体は、第３流路１０９から第１流路１０３に流れる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１５−４５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の流体制御弁１００には、次のような問題があった。
コイルバネは、ターン数、平行度により、バネ荷重の作用線は、常に軸心から一定の方向に傾く特性がある。このようなコイルバネである付勢バネ１１９を組み込む際、付勢バネ１１９の円周方向における位置が一定ではなく、可動鉄心１１３とコイルボビン１１４の間には、図７に示すように、摩耗粉によるつまりを防ぐために径方向に一定以上の隙間が形成されているため、可動鉄心１１３が垂直線Ａに対し予期しない方向に必ず傾く恐れがあった（線Ａ１０に示す）。
このように、可動鉄心１１３、付勢バネ１１９の作用線の傾きは、第１弁体１０５の第１弁座１０４との当接面に作用する付勢力を不均一にするので、長時間使用することにより漏れが発生し、耐久性を悪くする問題があった。特に、シーソー式の流体制御弁では、揺動軸１１０を支点として揺動するため、第１弁体１０５及び第２弁体１０８は第１弁座１０４及び第２弁座１０７に傾いて当接するため、この問題が顕著に表れていた。
なお、図６では、可動鉄心１１３と付勢バネ１１９の作用線の傾きが当接面に影響しないように、可動鉄心１１３とシーソー板１１１との間に摺動部材１２０を配置している。しかし、部品点数が増え、コストアップする問題があった。  
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決するためのものであり、可動鉄心や付勢バネの作用線の方向を規制して、弁体の付勢力が弁体と弁座の当接面に対しほぼ直角に作用させて、当接面において付勢力を均一にすることによって耐久性が向上し、かつコストダウンを実現する流体制御弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明の流体制御弁は、次のような構成を有している。
（１）流体が流れる流路の周囲に形成された弁座と、弁座と当接または離間することにより、流体の流れを制御する弁体と、弁体を制御する可動部材と、可動部材を摺動可能に保持したアクチュエータ部と、可動部材を弁座方向に付勢する付勢バネとを有する流体制御弁において、弁体には、弁体と弁座の当接面に対しほぼ直角方向に付勢バネの付勢力が作用すること、を特徴とする。
【００１１】
（２）（１）に記載の流体制御弁において、付勢バネの一端は、突出した位置決め凸部を有し、アクチュエータ部には、位置決め凸部と係合することにより付勢バネの一端を所定の位置に保持する位置決め係合部を有すること、を特徴とする。この付勢バネは、バネのターン数、平行度により、バネ荷重の作用線は常に軸心から一定の方向に傾く特性を有する。
【００１２】
（３）（１）または（２）に記載の流体制御弁において、揺動軸を支点に揺動するシーソー板と、第１流路に設けられた第１弁座と当接または離間する第１弁体と、第２流路に設けられた第２弁座と当接または離間する第２弁体と、第１流路と第２流路とに連通する第３流路と、を有し、シーソー板の揺動運動により、第１弁体と第２弁体とを共に移動させ、第１流路と第３流路との間の流体の流れと、第２流路と第３流路との間の流体の流れとを切り替えること、を特徴とする。
（４）（１）または（２）に記載の流体制御弁において、ポペット式であること、を特徴とする。
（５）（３）に記載の流体制御弁において、第１弁体と第１弁座の当接面、及び第２弁体と第２弁座の当接面は、水平面に対して所定の角度傾いて当接すること、を特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
上記構成を有する本発明の流体制御弁の作用・効果について説明する。
（１）流体が流れる流路の周囲に形成された弁座と、弁座と当接または離間することにより、流体の流れを制御する弁体と、弁体を制御する可動部材と、可動部材を摺動可能に保持したアクチュエータ部と、可動部材を弁座方向に付勢する付勢バネとを有する流体制御弁において、弁体には、弁体と弁座の当接面に対しほぼ直角方向に付勢バネによる付勢力が作用すること、を特徴とするので、弁体は、弁体と弁座の当接面に対してほぼ直角に付勢され、当接面での付勢力が均一となり、長時間使用による漏れが発生せず、耐久性が向上する。また、摺動部材がなくても弁体を弁座の当接面に対し、ほぼ直角に付勢することができ当接面において付勢力が均一になることから、部品点数を減らすことができ、コストダウンできる。
【００１４】
（２）（１）に記載の流体制御弁において、付勢バネの一端は、突出した位置決め凸部を有し、アクチュエータ部には、位置決め凸部と係合することにより付勢バネの一端を所定の位置に保持する位置決め係合部を有すること、を特徴とするので、位置決め凸部と位置決め係合部が係合することにより、付勢バネを所定の位置に保持することができるため、付勢バネを円周方向において一定の位置に組み込むことができる。このため、付勢バネを弁体に対して所定の位置に保持することができるため、付勢バネの円周方向における位置が一定となる。このため、可動部材と付勢バネの作用線の傾きの方向を規制するので、弁体は弁座の当接面に対してほぼ直角に付勢される。所定の位置とは、付勢バネを意図する向きに組み付ける位置のことである。
【００１５】
（３）（１）または（２）に記載の流体制御弁において、揺動軸を支点に揺動するシーソー板と、第１流路に設けられた第１弁座と当接または離間する第１弁体と、第２流路に設けられた第２弁座と当接または離間する第２弁体と、第１流路と第２流路とに連通する第３流路と、を有し、シーソー板の揺動運動により、第１弁体と第２弁体とを共に移動させ、第１流路と第３流路との間の流体の流れと、第２流路と第３流路との間の流体の流れとを切り替えること、を特徴とするので、シーソー式の流体制御弁の耐久性を向上させることができる。
【００１６】
（４）（１）または（２）に記載の流体制御弁において、ポペット式であること、を特徴とするので、ポペット式の流体制御弁の耐久性を向上させることができる。
（５）（４）に記載の流体制御弁において、第１弁体と第１弁座の当接面、及び第２弁体と第２弁座の当接面は、水平面に対して所定の角度傾いて当接すること、を特徴とするので、シーソー式流体制御弁の第１弁体が揺動運動により所定角度傾いて第１弁座に当接するとき、第１弁座も、第１弁体が揺動運動により傾いた角度と同じ角度傾いているため、第１弁体と第１弁座の当接面の力がより均一となり、耐久性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１付勢バネの取付位置を図２の下方から視た図である。
【図２】流体制御弁の第１弁体が第１弁座に当接した状態における断面図である。
【図３】流体制御弁の第２弁体が第２弁座に当接した状態における図２の一部拡大図である。
【図４】図２の弁体部拡大図である。
【図５】可動鉄心の傾きを示す図である。
【図６】従来の流体制御弁の断面図である。
【図７】従来の可動鉄心の傾きを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の流体制御弁の実施形態について、図面を参照しながら以下に詳細に説明する。図２は、本発明の実施形態に係る流体制御弁１の断面図であり、第１弁体１８が第１弁座１７に当接した状態を示す。図３は、第２弁体２１が第２弁座２０に当接した状態における図２の一部拡大図である。図１は、第１付勢バネ１１の取付位置を、図２の下方から視た図である。図４は、図２の弁体部３の拡大図であり、図５は、可動鉄心５の傾きを示す図である。図５では、可動鉄心５の傾きをわかりやすくするため、可動鉄心５の傾きを強調して図示している。なお、本実施形態では、図２に示すように、第１弁体１８は、コイル７への通電がＯＦＦの状態で、閉弁（ＮＣ：Normal Closed）であり、第２弁体２１は、コイル７への通電がＯＦＦの状態で、開弁（ＮＯ：Normal Open）である。
【００１９】
（流体制御弁の構成）
はじめに、流体制御弁１の構成について説明する。図２に示すように、流体制御弁１は、アクチュエータ部２と弁体部３を有する。
アクチュエータ部２は、図２に示すように、可動鉄心５、駆動部支持部材１０、コイルボビン６、第１付勢バネ１１等からなる。アクチュエータ部２では、固定鉄心４と可動鉄心５が、中空状のコイルボビン６内に同軸上に設けられている。可動鉄心５は、コイルボビン６の内周に摺動可能に保持されている。コイル７は、コイルボビン６の周りに巻回されている。可動鉄心５は、コイル７への通電がＯＦＦの状態では、固定鉄心４と離間し、通電がＯＮの状態になると、固定鉄心４に吸着する。コイル７の外周は、コア８により覆われている。コイル７と電気的に接続するリード線９は、コア８外部に配線されている。コイルボビン６とコア８は、平板状の駆動部支持部材１０に立設されている。駆動部支持部材１０は、弁体部３に構成されるシリンダブロック２５に載置して固定されている。コア８全体とシリンダブロック２５の一部は、本体カバー１２に覆い被せられている。コア８外部に引き出されたリード線９が、ブッシュ１３により液密状態で、本体カバー１２の貫通孔１２ａから外部に配線されている。
【００２０】
駆動部支持部材１０と可動鉄心５の先端部５ａの間には、図２に示すように、可動鉄心５を固定鉄心４と離間する方向に付勢する第１付勢バネ１１が設けられている。第１付勢バネ１１の一端は、駆動部支持部材１０に当接し、その他端は、可動鉄心５の先端部５ａに当接している。第１付勢バネ１１の一端は、図１に示すように、径の外側方向に突出した位置決め凸部１１ａが形成されている。駆動部支持部材１０には、位置決め凸部１１ａと係合する位置決め係合部１０ａが形成されている。位置決め係合部１０ａは、位置決め凸部１１ａと係合することにより、図１に示すように、第１付勢バネ１１の一端を駆動部支持部材１０に係合して所定の位置に保持する。
ここで、所定の位置とは、第１付勢バネ１１を意図する向きに組み付ける位置のことをいう。第１付勢バネ１１は、ターン数、平行度により、バネの作用線は軸心に対して常に傾く。そこで、位置決め係合部１０ａが位置決め凸部１１ａと係合することにより、第１付勢バネ１１の円周方向におけるバラツキを解消し、後述するように、常に意図する向きに組み付けることができる。
【００２１】
弁体部３は、図２に示すように、ボディ２３、第１弁体１８、第２弁体２１、第１弁座１７、第２弁座２０、シーソー板１５等からなる。ボディ２３には、図２の左から順に第１流路１６、第３流路２２、第２流路１９が形成されている。シーソー板１５は、樹脂からなる板状部材である。シーソー板１５は、揺動軸１４を有し、揺動軸１４の軸心を支点に、揺動運動する。
第１弁体１８と第２弁体２１は、シーソー板１５に一体的に結合されている。第１弁体１８は、第１流路１６の周囲に形成された第１弁座１７と当接または離間する。第１弁体１８は、図４に示すように、揺動軸１４を支点に揺動運動するため、第１弁座１７に当接する際、水平線Ｂに対し角度θ１傾いている（線Ｂ１に示す）。第１弁座１７は、第１弁体１８の角度θ１とほぼ同じ角度θ２傾いて形成され、第１弁体１８に対しほぼ平行に形成されている（θ１≒θ２）（線Ｂ２に示す）。すなわち、第１弁体１８と第１弁座１７の当接面は、水平線Ｂに対して角度θ１（≒θ２）傾いて当接する。
【００２２】
位置決め係合部１０ａと位置決め凸部１１ａと係合することにより、第１付勢バネ１１の円周方向におけるバラツキを解消し、第１付勢バネ１１を常に意図する向きに組み付けることができる。ここで、意図する向きとは、可動鉄心５を、図４、図５に示すように、第１付勢バネ１１の作用線の傾きを利用して、垂直線Ａから角度θ３傾く向きのことである（線Ａ１に示す）。角度θ３は、角度θ１、θ２とほぼ同じ角度であり、線Ａ１は線Ｂ１、Ｂ２とほぼ直角に交わる。これにより、第１弁体１８を付勢する第１付勢バネ１１の付勢力は、第１弁体１８と第１弁座１７の当接面に対しほぼ直角に作用させることができる。
同様に、第２弁体２１は、第２流路１９の周囲に形成された第２弁座２０と当接または離間する。第２弁体２１と第２弁座２０の傾き角度は第１弁体１８と第１弁座１７の傾き角度と同じであるため、説明を省略する。
【００２３】
第２弁体２１より上方には、シリンダブロック２５が第２付勢バネ２４を覆うように配設されている。第２付勢バネ２４の一端は、駆動部支持部材１０の下面に当接し、その他端は、シリンダブロック２５に当接している。第２付勢バネ２４は、第１付勢バネ１１よりも小さい力で第２弁体２１を第２弁座２０と近接する方向に付勢する。
なお、可動鉄心５は、請求項に記載する「可動部材」に相当する。コイルボビン６及び駆動部支持部材１０は、請求項に記載する「アクチュエータ部」を構成する。
【００２４】
次に、流体制御弁１の作用について説明する。
流体制御弁１は、シーソー板１５の揺動運動により、第１弁体１８と第２弁体２１とを共に移動させ、第１流路１６と第３流路２２との間の流体の流れと、第２流路１９と第３流路２２との間の流体の流れとを切り替える。
コイル７への通電がＯＦＦの状態では、可動鉄心５が、コイルボビン６内を摺動しながら下降して、シーソー板１５が揺動軸１４を支点に反時計回り方向に回動することにより、第１弁体１８が第１弁座１７に当接して閉弁する。このとき、第１付勢バネ１１の付勢力は、第２付勢バネ２４の付勢力より大きい。これにより、第１流路１６と第３流路２２との連通は遮断され、流体は第３流路２２から第１流路１６に流れない。その反対に、第２弁体２１は上昇し、第２弁体２１が第２弁座２０と離間して開弁し、第２流路１９と第３流路２２とが連通して、流体は、第３流路２２から第２流路１９に流れる。
【００２５】
コイル７への通電がＯＮの状態では、可動鉄心５が、コイルボビン６内を摺動しながら上昇して、シーソー板１５が揺動軸１４を支点に時計回り方向に回動することにより、第２弁体２１が第２弁座２０に当接して閉弁する。これにより、第２流路１９と第３流路２２との連通が遮断され、流体は、第３流路２２から第２流路１９には流れない。その反対に、第１弁体１８は上昇し、第１弁体１８が第１弁座１７と離間して開弁し、第１流路１６と第３流路２２とが連通して、流体は、第３流路２２から第１流路１６に流れる。
【００２６】
以上、説明したように、本発明の流体制御弁１によれば、
（１）流体が流れる第１流路１６の周囲に形成された第１弁座１７と、第１弁座１７と当接または離間することにより、流体の流れを制御する第１弁体１８と、第１弁体１８を制御する可動鉄心５と、可動鉄心５を摺動可能に保持したアクチュエータ部２と、可動鉄心５を弁座方向に付勢する第１付勢バネ１１とを有する流体制御弁１において、第１弁体１８には、第１弁体１８と第１弁座１７の当接面に対しほぼ直角方向に第１付勢バネ１１の付勢力が作用すること、を特徴とするので、第１弁体１８は第１弁座１７の当接面に対してほぼ直角に付勢され、当接面での付勢力が均一となり、長時間使用による漏れが発生せず、耐久性が向上する。また、摺動部材がなくても弁体を弁座の当接面に対し、ほぼ直角に付勢することができ当接面において付勢力が均一になることから、部品点数を減らすことができ、コストダウンできる。
【００２７】
（２）（１）に記載の流体制御弁１において、第１付勢バネ１１の一端は、突出した位置決め凸部１１ａを有し、アクチュエータ部２には、位置決め凸部１１ａと係合することにより第１付勢バネ１１の一端を第１弁体１８に対して所定の位置に保持する位置決め係合部１０ａを有すること、を特徴とするので、位置決め凸部１１ａと位置決め係合部１０ａが係合することにより、第１付勢バネ１１を第１弁体１８に対して所定の位置に保持することができるため、第１付勢バネ１１の円周方向における位置のバラツキを解消することができる。このため、可動鉄心５と第１付勢バネ１１の作用線の傾きの方向を規制するので、第１弁体１８は第１弁座１７の当接面に対してほぼ直角に付勢される。所定の位置とは、第１付勢バネ１１を意図する向きに組み付ける位置のことである。
【００２８】
（３）（１）または（２）に記載の流体制御弁１において、揺動軸１４を支点に揺動するシーソー板１５と、第１流路１６に設けられた第１弁座１７と当接または離間する第１弁体１８と、第２流路１９に設けられた第２弁座２０と当接または離間する第２弁体２１と、第１流路１６と第２流路１９とに連通する第３流路２２と、を有し、シーソー板１５の揺動運動により、第１弁体１８と第２弁体２１とを共に移動させ、第１流路１６と第３流路２２との間の流体の流れと、第２流路１９と第３流路２２との間の流体の流れとを切り替えること、を特徴とするので、シーソー式の流体制御弁１の耐久性を向上させることができる。
【００２９】
（４）（３）に記載の流体制御弁１において、第１弁体１８と第１弁座１７の当接面、及び第２弁体２１と第２弁座２０の当接面は、水平面に対して角度θ１（θ２）傾いて当接すること、を特徴とするので、シーソー式の流体制御弁１の第１弁体１８が揺動運動により角度θ１傾いて第１弁座１７に当接するとき、第１弁座１７も、第１弁体１８及び第２弁体２１が揺動運動により傾いた角度とほぼ同じ角度θ２傾いているため、第１弁体１８と第１弁座１７の当接面と第２弁体２１と第２弁座２０の付勢力がより均一となり、耐久性を向上させることができる。
具体的には、位置決め係合部１０ａがと位置決め凸部１１ａと係合することにより、第１付勢バネ１１を常に意図する向きに組み付けることができる。意図する向きとは、図４に示すように、可動鉄心５を、第１付勢バネ１１のターン数、平行度を利用して、垂直線Ａから角度θ３傾く向きのことである（線Ａ１に示す）。角度θ３は、角度θ１、θ２とほぼ同じ角度であり、線Ａ１は線Ｂ１、Ｂ２とほぼ直角に交わる。
【００３０】
なお、本実施形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に、その要旨を逸脱しない範囲内で様々な改良、変形が可能である。
例えば、本実施形態では、シーソー式の流体制御弁を用いているが、ポペット式の流体制御弁に用いることもできる。ポペット式の流体制御弁において、樹脂ボディや剛性のないボディの場合、製品取付ネジの軸力により、弁座が傾く恐れがあり、シール不良を起こすという問題があった。しかし、弁座の傾き具合に合わせて可動部材を傾けることでシール荷重の分散を防ぐことができる。これにより、ポペット式の流体制御弁の耐久性を向上させることができる。
【００３１】
例えば、本実施形態では、位置決め手段は、図１に示すように位置決め凸部と位置決め係合部により構成されているが、付勢バネの一端を特別な形状（例えば、膨らみ部）に形成し、位置決め係合部も同じ形状に形成しても良い。
【符号の説明】
【００３２】
１    流体制御弁
２    アクチュエータ部
５    可動鉄心
６    コイルボビン
１０  駆動部支持部材
１０ａ  位置決め係合部
１１  付勢バネ
１１ａ  位置決め凸部
１４  揺動軸
１５  シーソー板
１６  第１流路
１７  第１弁座
１８  第１弁体
１９  第２流路
２０  第２弁座
２１  第２弁体
２２  第３流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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