(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主表面を有する絶縁性の第１基板と、
第２主表面を有し、前記第２主表面が前記第１主表面に対向するように配置された絶縁性の第２基板と、
前記第１主表面上において互いに間隔をあけて並んで設けられた複数の第１パターン電極部と、
前記第２主表面上において互いに間隔をあけて並んで設けられた複数の第２パターン電極部と、
前記第１基板に取り付けられた第１接続ユニットと、
前記第２基板に取り付けられた第２接続ユニットと、を備え、
前記第１接続ユニットは、前記複数の第１パターン電極部に接触する複数の第１接続端子部が設けられた第１ベース部と、前記複数の第１接続端子部を電気的に接続する第１配線部とを含み、
前記第２接続ユニットは、前記複数の第２パターン電極部に接触する複数の第２接続端子部が設けられた第２ベース部と、前記複数の第２接続端子部を電気的に接続する第２配線部とを含み、
前記複数の第１パターン電極部と前記複数の第２パターン電極部とが、互いに対向する部分を含むように前記第１基板と前記第２基板とが並ぶ方向において距離を隔てて配置されることにより、前記第１パターン電極部と前記第２パターン電極部とが対向する部分においてプラズマ生成部が構成され、
前記複数の第１パターン電極部と前記複数の第２パターン電極部との間に高電圧を印加することにより、前記プラズマ生成部においてプラズマが生成される、プラズマ生成素子。
【請求項２】
前記複数の第１パターン電極部のそれぞれは、直線状に延在する第１直線部を含み、
前記複数の第２パターン電極部のそれぞれは、直線状に延在する第２直線部を含み、
前記第１直線部と前記第２直線部とが対向する部分において前記プラズマ生成部が構成されている、請求項１に記載のプラズマ生成素子。
【請求項３】
前記第１直線部および前記第２直線部が、前記第１基板と前記第２基板とが並ぶ方向において互いに対向し、かつ、前記第１直線部が延在する第１方向と前記第２直線部が延在する第２方向とが平行となるように設けられている、請求項２に記載のプラズマ生成素子。
【請求項４】
前記第１直線部と前記第２直線部とが互いに交差するように設けられている、請求項２に記載のプラズマ生成素子。
【請求項５】
前記第２基板は、前記第２主表面と反対側に位置する第３主表面を含み、
前記第３主表面上において互いに間隔をあけて並んで設けられた複数の第３パターン電極部と、
第４主表面を有し、前記第２基板から見て前記第１基板と反対側に位置し、前記第４主表面が前記第３主表面に対向するように配置された絶縁性の第３基板と、
前記第４主表面上において互いに間隔をあけて並んで設けられた複数の第４パターン電極部と、をさらに備え、
前記複数の第３パターン電極部と前記複数の第４パターン電極部とが、互いに対向する部分を含むように前記第２基板と前記第３基板とが並ぶ方向において距離を隔てて配置されることにより、前記第３パターン電極部と前記第４パターン電極部とが対向する部分において他のプラズマ生成部が構成され、
前記複数の第３パターン電極部と前記複数の第４パターン電極部との間に高電圧を印加することにより、前記他のプラズマ生成部においてプラズマが生成される、請求項１から４のいずれか１項に記載のプラズマ生成素子。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のプラズマ生成素子と、
前記複数の第１パターン電極部と前記複数の第２パターン電極部との間に高電圧を印加する高電圧回路とを備えた、プラズマ生成装置。
【請求項７】
請求項６に記載のプラズマ生成装置と、
前記第１基板と前記第２基板との間に空気を通過させるための送風機とを備えた、電気機器。
【請求項８】
前記第１パターン電極部の延在方向および前記第２パターン電極部の延在方向のうち少なくともいずれか一方に平行な方向に沿って前記第１基板と前記第２基板との間に前記空気を通過させる、請求項７に記載の電気機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマを生成するプラズマ生成素子、プラズマ生成装置および電気機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
窒素や酸素を含む空気の環境下であってかつ大気圧下でプラズマを生成することができるプラズマ生成素子が開示された文献として、特許第４９８２８５１号公報（特許文献１）が挙げられる。
【０００３】
特許文献１に記載のプラズマ生成素子は、芯線が絶縁層で被覆された複数の被覆導線を撚り合わせて撚線構造とすること、または、複数の被覆導線を編み込んで組み合わせた組紐構造とすることにより構成される。
【０００４】
このように構成することにより、被覆導線同士が接触する部分の近傍に微小の隙間が形成される。この状態で、芯線間に電圧を印加することにより、当該隙間において誘電体バリア放電が発生する。この結果、プラズマを生成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４９８２８５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示のプラズマ生成素子においては、複数の導線を撚り合わせたり編み込んだりする必要があるため、構造が複雑となり、大面積化や生産性の面で難がある。また、１本の導線が破損したような場合には、複数の導線を撚り合わせた撚線構造および複数の導線を編み込んだ組紐構造を構成する導線を分解して組み直す必要が生じる。さらに、撚線構造および組紐構造では、芯線を被覆する絶縁層が接触する部分近傍でプラズマを発生させるため絶縁層が破損しやすく、耐久性に問題がある。
【０００７】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、簡易な構成を有するプラズマ生成素子、プラズマ生成装置および電気機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に基づくプラズマ生成素子は、第１主表面を有する絶縁性の第１基板と、第２主表面を有し、上記第２主表面が上記第１主表面に対向するように配置された絶縁性の第２基板と、上記第１主表面上において互いに間隔をあけて並んで設けられた複数の第１パターン電極部と、上記第２主表面上において互いに間隔をあけて並んで設けられた複数の第２パターン電極部と、上記第１基板に取り付けられた第１接続ユニットと、上記第２基板に取り付けられた第２接続ユニットと、を備え、上記第１接続ユニットは、上記複数の第１パターン電極部に接触する複数の第１接続端子部が設けられた第１ベース部と、上記複数の第１端子部を電気的に接続する第１配線部とを含み、上記第２接続ユニットは、上記複数の第２パターン電極部に接触する複数の第２接続端子部が設けられた第２ベース部と、上記複数の第２端子部を電気的に接続する第２配線部とを含み、上記複数の第１パターン電極部と上記複数の第２パターン電極部とが、互いに対向する部分を含むように上記第１基板と上記第２基板とが並ぶ方向において距離を隔てて配置されることにより、上記第１パターン電極部と上記第２パターン電極部とが対向する部分においてプラズマ生成部が構成され、上記複数の第１パターン電極部と上記複数の第２パターン電極部との間に高電圧を印加することにより、上記プラズマ生成部においてプラズマが生成される。
【０００９】
上記本発明に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記複数の第１パターン電極部のそれぞれは、直線状に延在する第１直線部を含むことが好ましく、上記複数の第２パターン電極部のそれぞれは、直線状に延在する第２直線部を含むことが好ましい。この場合には、上記第１直線部と上記第２直線部とが対向する部分において上記プラズマ生成部が構成されていることが好ましい。
【００１０】
上記本発明に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１直線部および上記第２直線部が、上記第１基板と上記第２基板とが並ぶ方向において互いに対向し、かつ、上記第１直線部が延在する第１方向と上記第２直線部が延在する第２方向とが平行となるように設けられていてもよい。
【００１１】
上記本発明に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１直線部と上記第２直線部とが互いに交差するように設けられていてもよい。
【００１２】
上記本発明に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第２基板は、上記第２主表面と反対側に位置する第３主表面を含んでいてもよい。この場合には、上記本発明に基づくプラズマ生成素子は、上記第３主表面上において互いに間隔をあけて並んで設けられた複数の第３パターン電極部と、第４主表面を有し、上記第２基板から見て上記第１基板と反対側に位置し、上記第４主表面が上記第３主表面に対向するように配置された絶縁性の第３基板と、上記第４主表面上において互いに間隔をあけて並んで設けられた複数の第４パターン電極部と、をさらに備えることが好ましい。さらにこの場合には、上記複数の第３パターン電極部と上記複数の第４パターン電極部とが、互いに対向する部分を含むように上記第２基板と上記第３基板とが並ぶ方向において距離を隔てて配置されることにより、上記第３パターン電極部と上記第４パターン電極部とが対向する部分において他のプラズマ生成部が構成されることが好ましく、上記複数の第３パターン電極部と上記複数の第４パターン電極部との間に高電圧を印加することにより、上記他のプラズマ生成部においてプラズマが生成されることが好ましい。
【００１３】
本発明に基づくプラズマ生成装置は、上記のいずれかに記載のプラズマ生成素子と、上記複数の第１パターン電極部と上記複数の第２パターン電極部との間に高電圧を印加する高電圧回路とを備える。
【００１４】
本発明に基づく電気機器は、上記に記載のプラズマ生成装置と、上記第１基板と上記第２基板との間に空気を通過させるための送風機とを備える。
【００１５】
上記本発明に基づく電気機器にあっては、上記第１パターン電極部の延在方向および上記第２パターン電極部の延在方向のうち少なくともいずれか一方に平行な方向に沿って上記第１基板と上記第２基板との間に上記空気を通過させることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、簡易な構成を有するプラズマ生成素子、プラズマ生成装置および電気機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施の形態１に係るプラズマ生成装置の概略図である。
【図２】図１に示す第１基板を第２基板側から見た正面図である。
【図３】図１に示す第２基板を第１基板とは反対側から見た正面図である。
【図４】図１に示すＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】実施の形態２に係るプラズマ生成装置の概略図である。
【図６】図５に示すプラズマ生成装置の第１基板側の正面図である。
【図７】図６に示すＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図である。
【図８】図６に示す第２基板を第１基板とは反対側から見た正面図である。
【図９】図５に示すＩＸ−ＩＸ線に沿った断面図である。
【図１０】実施の形態３に係るプラズマ生成装置の概略図である。
【図１１】図１０に示す第２基板を第１基板とは反対側から見た正面図である。
【図１２】図１１に示すＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った断面図である。
【図１３】実施の形態４に係るプラズマ生成装置の概略図である。
【図１４】実施の形態５に係るプラズマ生成装置の概略図である。
【図１５】実施の形態６に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。
【図１６】実施の形態６に係る空気清浄機の背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係るプラズマ生成装置の概略図である。図１を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１について説明する。
【００２０】
本実施の形態に係るプラズマ生成装置１は、プラズマ生成素子２および高電圧回路５０を備える。プラズマ生成素子２は、第１基板１１および第１基板１１上に設けられた放電用電極３０によって構成される第１ユニット１０と、第２基板２１および第２基板２１上に設けられた放電用電極４０とによって構成される第２ユニット２０とを含む。高電圧回路５０は、放電用電極３０と放電用電極４０との間に高電圧を印加する。
【００２１】
図２は、図１に示す第１基板を第２基板側から見た正面図である。図２を参照して、第１ユニット１０について説明する。
【００２２】
図２に示すように、第１ユニット１０は、第１基板１１および放電用電極３０を含む。第１基板１１は、短手方向および長手方向を有する矩形形状を有する。第１基板１１は、互いに向かい合う主表面１１ａ，１１ｂ（図１参照）を有する。第１基板１１としては、たとえばガラス基板等の絶縁性基板が用いられる。主表面１１ａは、後述する第２基板２１の主表面２１ａに対向する。主表面１１ａは、第１主表面に相当する。
【００２３】
放電用電極３０は、主表面１１ａ上に設けられている。放電用電極３０は、たとえば矩形波形状等の波形形状を有する。放電用電極３０は、複数の第１パターン電極部３１、複数の接続電極部３２および引出部３３を含む。
【００２４】
放電用電極３０を第１基板１１の主表面１１ａ上に形成する場合には、まず、第１基板１１の主表面１１ａ上に金属膜を成膜した後、金属膜上に感光性レジストを塗布する。その後、フォトリソグラフィ（露光・現像）によって感光性レジストをパターニングする。続いて、感光性レジストをマスクとして金属膜をウェットエッチング又はドライエッチングすることにより、放電用電極３０をパターニングする。次いで、エッチングの後にマスクとして用いた感光性レジストを剥離液によって除去する。これにより、放電用電極３０が形成される。
【００２５】
複数の第１パターン電極部３１は、第１基板１１の主表面１１ａ上において互いに間隔をあけて並んで設けられている。複数の第１パターン電極部３１は、第１基板１１の長手方向に並ぶように設けられている。
【００２６】
複数の第１パターン電極部３１のそれぞれは、第１基板１１の短手方向に沿って直線状に延在する。本実施の形態に係る複数の第１パターン電極部３１のそれぞれは、直線部（第１直線部）のみによって構成されている。
【００２７】
複数の接続電極部３２は、複数の第１パターン電極部３１を電気的に接続するように設けられている。複数の接続電極部３２は、第１パターン電極部３１が延在する方向における第１パターン電極部３１の一端側同士および他端側同士を交互に接続する。これにより、複数の第１パターン電極部３１が直列に接続される。複数の接続電極部３２は、第１基板１１の長手方向に沿って直線状に延在する。
【００２８】
引出部３３は、複数の第１パターン電極部３１が並ぶ方向における一方側に位置する第１パターン電極部３１から引き出されるように設けられている。引出部３３は、高電圧回路５０に接続された配線５１と放電用電極３０とを電気的に接続するための部位である。配線５１の端部がはんだ溶着等により引出部３３上に固定されることにより、高電圧回路５０と放電用電極３０とが電気的に接続される。
【００２９】
図３は、図１に示す第２基板を第１基板とは反対側から見た正面図である。図３を参照して、第２ユニット２０について説明する。
【００３０】
図３に示すように、第２ユニット２０は、第２基板２１および放電用電極４０を含む。第２基板２１は、短手方向および長手方向を有する矩形形状を有する。第２基板２１は、互いに向かい合う主表面２１ａ，２１ｂ（図１参照）を有する。第２基板２１としては、たとえばガラス基板等の絶縁性基板が用いられる。第２基板２１は、第２主表面としての主表面２１ａが第１基板１１の主表面１１ａに対向するように配置されている。第１基板１１および第２基板２１は、支持部材（不図示）によって支持されている。
【００３１】
放電用電極４０は、主表面２１ａ上に設けられている。放電用電極４０は、たとえば矩形波形状等の波形形状を有する。放電用電極４０は、複数の第２パターン電極部４１、複数の接続電極部４２および引出部４３を含む。
【００３２】
放電用電極４０を第２基板の主表面２１ａ上に形成する場合には、まず、第２基板２１の主表面２１ａ上に金属膜を成膜した後、金属膜上に感光性レジストを塗布する。その後、フォトリソグラフィ（露光・現像）によって感光性レジストをパターニングする。続いて、感光性レジストをマスクとして金属膜をウェットエッチング又はドライエッチングすることにより、放電用電極３０をパターニングする。次いで、エッチングの後にマスクとして用いた感光性レジストを剥離液によって除去する。これにより、放電用電極３０が形成される。
【００３３】
複数の第２パターン電極部４１は、第２基板２１の主表面２１ａ上において互いに間隔をあけて並んで設けられている。複数の第２パターン電極部４１は、第２基板２１の長手方向に並ぶように設けられている。
【００３４】
複数の第２パターン電極部４１のそれぞれは、第２基板２１の短手方向に沿って直線状に延在する。本実施の形態に係る複数の第２パターン電極部４１のそれぞれは、直線部（第２直線部）のみによって構成されている。
【００３５】
複数の接続電極部４２は、複数の第２パターン電極部４１を電気的に接続するように設けられている。複数の接続電極部４２は、第２パターン電極部４１が延在する方向における第２パターン電極部４１の一端側同士および他端側同士を交互に接続する。これにより、複数の第２パターン電極部４１が直列に接続される。複数の接続電極部４２は、第２基板２１の長手方向に沿って直線状に延在する。
【００３６】
引出部４３は、複数の第２パターン電極部４１が並ぶ方向における一方側に位置する第２パターン電極部４１から引き出される。引出部４３は、高電圧回路５０に接続された配線５２と放電用電極４０とを電気的に接続するための部位である。配線５２の端部がはんだ溶着等により引出部４３上に固定されることにより、高電圧回路５０と放電用電極４０とが電気的に接続される。
【００３７】
図４は、図１に示すＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。図４を参照して、第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１との位置関係について説明する。
【００３８】
図４に示すように、第２基板２１の主表面２１ａが第１基板１１の主表面１１ａに対向するように第１基板１１と第２基板２１とが配置された状態においては、複数の第１パターン電極部３１と複数の第２パターン電極部４１とは、第１基板１１と第２基板２１とが並ぶ方向において互いに対向するように距離を隔てて配置される。
【００３９】
具体的には、複数の第１パターン電極部３１のそれぞれと、複数の第２パターン電極部４１のそれぞれとが、第１基板１１と第２基板２１とが並ぶ方向において一対一で対応して対向し、かつ、第１パターン電極部３１が延在する延在方向（第１方向）と第２パターン電極部４１が延在する延在方向（第２方向）とが平行となる。
【００４０】
この場合においては、複数の第１パターン電極部３１が並ぶ方向における第１パターン電極部３１の幅と、複数の第２パターン電極部４１が並ぶ方向における第２パターン電極部４１の幅とが略同一であることが好ましい。また、第１基板１１と第２基板２１とが並ぶ方向から見た場合に、第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１とが全体的に重なることが好ましい。
【００４１】
第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１との間には、空気層が介在している。第１基板１１と第２基板２１とが並ぶ方向における第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１との間隔は、約０．３ｍｍ程度である。
【００４２】
高電圧回路５０は、高周波、高電圧を放電用電極３０と放電用電極４０との間に印加する。これにより、互いに対向する第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１との間に電位差を発生させる。たとえば、高電圧回路５０は、放電用電極３０と放電用電極４０との間に４ｋＶのパルス電圧を印加する。
【００４３】
放電開始電圧以上の電圧が互いに対向する第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１との間に印加されることにより、第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１とが対向する部分において放電が開始される。これにより、第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１とが対向する部分においてプラズマが生成される。
【００４４】
このように、第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１とが対向する部分においてプラズマ生成部が構成され、第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１との間に高電圧を印加することにより、プラズマ生成部においてプラズマが生成される。
【００４５】
プラズマを発生させつつ、第１基板１１および第２基板２１との間に空気等の処理対象気体を通過させることにより、処理対象気体中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の処理対象気体中に含まれる不純物ガスの分解除去を行なうことができる。これにより処理対象気体を浄化することができる。
【００４６】
以上のように、本実施の形態に係るプラズマ生成素子２およびこれを備えたプラズマ生成装置１にあっては、第１基板１１上に設けられた複数の第１パターン電極部３１と第２基板２１上に設けられた複数の第２パターン電極部４１とを、第１基板１１と第２基板２１とが並ぶ方向において対向する部分を含むように距離を隔てて配置し、複数の第１パターン電極部３１と第２基板２１上に設けられた複数の第２パターン電極部４１の間に高電圧を印加することにより、プラズマを生成させることができる。
【００４７】
本実施の形態に係るプラズマ生成素子２およびこれを備えたプラズマ生成装置１は、複数の第１パターン電極部３１が形成された第１基板１１および複数の第２パターン電極部４１が形成された第２基板２１を並べる構成であるため、複数の被覆導線を撚り合わせたり、編み込んだりする必要がなく、簡素な構成となる。
【００４８】
また、複数の第１パターン電極部３１が形成された第１基板１１および複数の第２パターン電極部４１に静電気力によって異物が付着した場合であっても、第１ユニット１０と第２ユニット２０とを引き離して、複数の第１パターン電極部３１が形成された第１基板１１の主表面１１ａと複数の第２パターン電極部４１が形成された第２基板２１の主表面２１ａをそれぞれ清掃することができる。
【００４９】
このため、複数の被覆導線を撚り合わせたり、編み込んだりすることにより形成される被覆導線同士の接触部近傍を清掃するよりも、本実施の形態に係るプラズマ生成素子２およびこれを備えたプラズマ生成装置１は、容易にかつ確実に清掃することができる。
【００５０】
また、複数の第１パターン電極部３１および複数の第２パターン電極部４１のいずれかが破損した場合には、破損した箇所を含む第１ユニット１０または第２ユニット２０を他の第１ユニット１０または他の第２ユニット２０と交換することによりプラズマ生成素子２およびプラズマ生成装置１を修理することができる。
【００５１】
このため、複数の被覆導線を撚り合わせたり、編み込んだりした構成と比較して複数の被覆導線を分解する必要がないため、本実施の形態に係るプラズマ生成素子２およびプラズマ生成装置１の修理が容易となる。これによりリペア性が向上する。
【００５２】
さらに、本実施の形態に係るプラズマ生成素子２およびプラズマ生成装置１においては、複数の被覆導線を撚り合わせたり編み込んだりした構成と比較して、複数の第１パターン電極部３１および複数の第２パターン電極部４１が必ずしも柔軟性を有する必要性がない。このため、複数の第１パターン電極部３１および複数の第２パターン電極部４１を構成する放電用電極３０および放電用電極４０として、機械的強度の高い材料を使用することができる。これにより、耐久性を向上させることができる。
【００５３】
また、本実施の形態においては、広範囲に亘って第１パターン電極と第２パターン電極とを対向させることができるため、プラズマの発生領域を大きくすることができる。これにより、処理対象気体を浄化する効果を高めることができる。
【００５４】
（実施の形態２）
図５は、本実施の形態に係るプラズマ生成装置の概略図である。図５を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１Ａについて説明する。
【００５５】
図５に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１Ａは、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１と比較した場合に、プラズマ生成素子２Ａの構成が相違する。プラズマ生成素子２Ａは、第１ユニット１０Ａおよび第２ユニット２０Ａを含む。
【００５６】
図６は、図５に示すプラズマ生成装置の第１基板側の正面図である。図７は、図６に示すＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図である。図５、図６および図７を参照して、第１ユニット１０Ａについて説明する。
【００５７】
図５、図６および図７に示すように、第１ユニット１０Ａは、第１基板１１、放電用電極３０Ａおよび放電用電極接続ユニット６０を含む。
【００５８】
放電用電極３０Ａは、複数の第１パターン電極部３１のみから成る。複数の第１パターン電極部３１は、第１基板１１の主表面１１ａ上において互いに間隔をあけて並んで設けられている。複数の第１パターン電極部３１のそれぞれは、第１基板１１の短手方向に沿って直線状に延在する。すなわち、本実施の形態に係る複数の第１パターン電極部３１のそれぞれは、直線形状を有し、直線部（第１直線部）のみによって構成されている。
【００５９】
放電用電極接続ユニット６０は、複数の第１パターン電極部３１と高電圧回路５０とを電気的に接続する。放電用電極接続ユニット６０は、ベース部６１、複数の接続端子部６２、接続配線部６３および引出配線部６５を含む。
【００６０】
ベース部６１は、断面視略Ｕ字型の角筒形状を有する。具体的には、ベース部６１は、第１基板１１の長手方向における一方側の端面から他方側の端面に連続して形成された溝部６０ａが形成された直方体形状を有する。当該溝部６０ａに第１基板１１の短手方向における一端側が差し込まれることにより、放電用電極接続ユニット６０が第１基板１１に装着される。ベース部６１としては、樹脂材料を採用することができる。
【００６１】
複数の接続端子部６２のそれぞれは、複数の第１パターン電極部３１が延在する方向における複数の第１パターン電極部３１のそれぞれの一端側に１対１で対応するように設けられている。放電用電極接続ユニット６０が第１基板１１に装着された状態においては、複数の接続端子部６２のそれぞれは、複数の第１パターン電極部３１のそれぞれに接触する。これにより、複数の接続端子部６２のそれぞれは、複数の第１パターン電極部３１のそれぞれに電気的に接続される。複数の第１パターン電極部３１のそれぞれは、並列に接続される。
【００６２】
接続配線部６３は、互いに隣り合う接続端子部６２を電気的に接続する。引出配線部６５は、複数の接続端子部６２が並ぶ方向における一方側に位置する接続端子部６２からベース部６１の外部に引き出される。引出配線部６５は、高電圧回路５０に電気的に接続される。
【００６３】
図８は、図６に示す第２基板を第１基板とは反対側から見た正面図である。図５および図８を参照して、第２ユニット２０Ａについて説明する。第２ユニット２０Ａは、基本的に第１ユニット１０Ａに準じた構成を有する。
【００６４】
図５および図８に示すように、第２ユニット２０Ａは、第２基板２１、放電用電極４０Ａおよび放電用電極接続ユニット７０を含む。
【００６５】
放電用電極４０Ａは、複数の第２パターン電極部４１のみから成る。複数の第２パターン電極部４１は、第２基板２１の主表面２１ａ上において互いに間隔をあけて並んで設けられている。複数の第２パターン電極部４１のそれぞれは、第２基板２１の短手方向に沿って直線状に延在する。すなわち、本実施の形態に係る複数の第２パターン電極部４１のそれぞれは、直線形状を有し、直線部（第２直線部）のみによって構成されている。
【００６６】
放電用電極接続ユニット７０は、複数の第２パターン電極部４１と高電圧回路５０とを電気的に接続する。放電用電極接続ユニット７０は、ベース部７１、複数の接続端子部７２、接続配線部７３および引出配線部７５を含む。
【００６７】
ベース部７１は、第２基板２１の長手方向における一方側の端面から他方側の端面に連続して形成された溝部７０ａが形成された直方体形状を有する。当該溝部７０ａに第２基板２１の短手方向における他端側が差し込まれることにより、放電用電極接続ユニット７０が第２基板２１に装着される。ベース部７１としては、樹脂材料を採用することができる。
【００６８】
複数の接続端子部７２のそれぞれは、複数の第２パターン電極部４１が延在する方向における複数の第２パターン電極部４１のそれぞれの他端側に１対１で対応するように設けられている。放電用電極接続ユニット７０が第２基板２１に装着された状態においては、複数の接続端子部７２のそれぞれは、複数の第２パターン電極部４１のそれぞれに接触する。これにより、複数の接続端子部７２のそれぞれは、複数の第２パターン電極部４１のそれぞれに電気的に接続される。複数の第２パターン電極部４１のそれぞれは、並列に接続される。
【００６９】
接続配線部７３は、互いに隣り合う接続端子部７２を電気的に接続する。引出配線部７５は、複数の接続端子部７２が並ぶ方向における一方側に位置する接続端子部７２からベース部７１の外部に引き出される。引出配線部７５は、高電圧回路５０に電気的に接続される。
【００７０】
図９は、図５に示すＩＸ−ＩＸ線に沿った断面図である。図９を参照して、第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１との位置関係について説明する。
【００７１】
図９に示すように、実施の形態１と同様に、第２基板２１の主表面２１ａが第１基板１１の主表面１１ａに対向するように第１基板１１と第２基板２１とが配置された状態においては、複数の第１パターン電極部３１のそれぞれと、複数の第２パターン電極部４１のそれぞれとが、第１基板１１と第２基板２１とが並ぶ方向において一対一で対応して対向し、かつ、第１パターン電極部３１が延在する延在方向（第１方向）と第２パターン電極部４１が延在する延在方向（第２方向）とが平行となる。
【００７２】
この場合においても、第１パターン電極部３１と複数の第２パターン電極部４１とが対向する部分においてプラズマ生成部が構成される。高電圧回路５０によって高電圧を複数の第１パターン電極部３１と複数の第２パターン電極部４１との間に印加することにより、第１パターン電極部３１と複数の第２パターン電極部４１とが対向する部分においてプラズマを発生することができる。
【００７３】
以上のように、本実施の形態に係るプラズマ生成素子２Ａおよびこれを備えたプラズマ生成装置１Ａは、複数の第１パターン電極部３１が形成された第１基板１１および複数の第２パターン電極部４１が形成された第２基板２１を並べる構成であるため、簡易な構成であり、また、清掃性、リペア性、耐久性等においても実施の形態１とほぼ同様の効果を得ることができる。また、実施の形態１同様に、広範囲に亘って第１パターン電極と第２パターン電極とを対向させることができるため、処理対象気体を浄化する効果を高めることができる。
【００７４】
（実施の形態３）
図１０は、本実施の形態に係るプラズマ生成装置の概略図である。図１０を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１Ｂについて説明する。
【００７５】
図１０に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１Ｂは、実施の形態２に係るプラズマ生成装置１Ａと比較した場合に、プラズマ生成装置１Ｂに具備されるプラズマ生成素子２Ｂにおける第２ユニット２０Ｂの構成が相違する。具体的には、第２ユニット２０Ｂの放電用電極４０Ｂの構成および放電用電極接続ユニット７０Ｂの設置位置が相違する。その他の構成は、ほぼ同様である。
【００７６】
図１１は、図１０に示す第２基板を第１基板とは反対側から見た正面図である。図１２は、図１１に示すＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った断面図である。図１０、図１１および図１２を参照して、本実施の形態に係る第２ユニット２０Ｂについて説明する。
【００７７】
図１０、図１１および図１２に示すように、第２ユニット２０Ｂは、第２基板２１、放電用電極４０Ｂおよび放電用電極接続ユニット７０Ｂを含む。
【００７８】
放電用電極４０Ｂは、複数の第２パターン電極部４１Ｂのみから成る。複数の第２パターン電極部４１Ｂは、第２基板２１の主表面２１ａ上において互いに間隔をあけて並んで設けられている。複数の第２パターン電極部４１Ｂは、第２基板２１の短手方向に並んで設けられている。
【００７９】
複数の第２パターン電極部４１Ｂのそれぞれは、第２基板２１の長手方向に沿って直線状に延在する。本実施の形態に係る複数の第２パターン電極部４１Ｂのそれぞれは、直線部（第２直線部）のみによって構成されている。
【００８０】
放電用電極接続ユニット７０Ｂは、複数の第２パターン電極部４１Ｂと高電圧回路５０とを電気的に接続する。放電用電極接続ユニット７０Ｂは、ベース部７１Ｂ、複数の接続端子部７２Ｂ、接続配線部７３および引出配線部７５を含む。
【００８１】
ベース部７１Ｂは、第２基板２１の短手方向における一端側の端面から他端側の端面に連続して形成された溝部７０ｃ（図１０参照）が形成された直方体形状を有する。当該溝部７０ｃに第２基板２１の長手方向における一方側が差し込まれることにより、放電用電極接続ユニット７０Ｂが第２基板２１に装着される。
【００８２】
複数の接続端子部７２Ｂのそれぞれは、複数の第２パターン電極部４１Ｂが延在する方向における複数の第２パターン電極部４１Ｂのそれぞれの一方端側に１対１で対応するように設けられている。放電用電極接続ユニット７０Ｂが第２基板２１に装着された状態においては、複数の接続端子部７２Ｂのそれぞれは、複数の第２パターン電極部４１Ｂのそれぞれに接触する。これにより、複数の接続端子部７２Ｂのそれぞれは、複数の第２パターン電極部４１Ｂのそれぞれに電気的に接続される。複数の第２パターン電極部４１Ｂのそれぞれは、並列に接続される。
【００８３】
接続配線部７３は、互いに隣り合う接続端子部７２Ｂを電気的に接続する。複数の接続端子部７２Ｂが並ぶ方向における一方側に位置する接続端子部７２Ｂからベース部７１Ｂの外部に引き出された引出配線部７５は、高電圧回路５０に電気的に接続される。
【００８４】
再び図１０に示すように、第１基板１１と第２基板２１とが並ぶ方向から見た場合に、複数の第２パターン電極部４１Ｂは、互いに平行に延在するように設けられた複数の第１パターン電極部３１と交差する方向に互いに平行に延在するように設けられている。すなわち、第１基板１１と第２基板２１とが並ぶ方向から見た場合に、第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１Ｂとは、互いに交差するように設けられている。具体的には、第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１Ｂと、略直交するように設けられている。
【００８５】
この場合には、第１基板１１と第２基板２１とが並ぶ方向から見た場合に第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１Ｂとが交差する部分において、第１基板１１と第２基板２１とが並ぶ方向において第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１Ｂとが対向する部分が形成される。
【００８６】
この場合においても、第１パターン電極部３１と複数の第２パターン電極部４１Ｂとが対向する部分においてプラズマ生成部が構成される。高電圧回路５０によって高電圧を複数の第１パターン電極部３１と複数の第２パターン電極部４１Ｂとの間に印加することにより、第１パターン電極部３１と複数の第２パターン電極部４１Ｂとが対向する部分においてプラズマを発生することができる。
【００８７】
以上のように、本実施の形態に係るプラズマ生成素子２Ｂおよびこれを備えたプラズマ生成装置１Ｂは、複数の第１パターン電極部３１が形成された第１基板１１および複数の第２パターン電極部４１Ｂが形成された第２基板２１を並べる構成であるため、簡易な構成であり、また、清掃性、リペア性、耐久性等においても実施の形態１とほぼ同様の効果を得ることができる。
【００８８】
また、本実施の形態においては、実施の形態１と比較して第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１Ｂとが対向する部分は減るものの、プラズマ発生領域を十分に確保することができる。このため、処理対象気体を浄化する効果を十分に確保することができる。また、第１パターン電極部３１と第２パターン電極部４１とが対向する部分を減少させることにより、プラズマ発生に伴って副生成物として発生するオゾンの量を抑制することができる。
【００８９】
（実施の形態４）
図１３は、本実施の形態に係るプラズマ生成装置の概略図である。図１３を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１Ｃについて説明する。
【００９０】
本実施の形態に係るプラズマ生成装置１Ｃは、第１ユニット１０Ｃ１，１０Ｃ２および複数の第２ユニット２０Ｃ１，２０Ｃ２によって構成されるプラズマ生成素子２Ｃと、高電圧回路５０とを備える。第１ユニット１０Ｃ１，１０Ｃ２および複数の第２ユニット２０Ｃ１，２０Ｃ２は、所定の方向に並んで配置されている。第１ユニット１０Ｃ１，１０Ｃ２は、上記所定の方向における両端側に配置され、複数の第２ユニット２０Ｃ１，２０Ｃ２は、第１ユニット１０Ｃ１および第１ユニット１０Ｃ２の間に交互に配置されている。
【００９１】
第１ユニット１０Ｃ１，１０Ｃ２は、実施の形態２に係る第１ユニット１０Ａに基本的に準じた構成を有する。具体的には、第１ユニット１０Ｃ１，１０Ｃ２は、基板１１Ｃと、基板１１Ｃの片側の主表面１１ａに互いに間隔をあけて並んで設けられた複数のパターン電極部３１Ｃと、放電用電極接続ユニット６０とを含む。第１ユニット１０Ｃ１，１０Ｃ２の基板１１Ｃは、その間に複数の第２ユニット２０Ｃ１，２０Ｃ２を挟んで、互いに複数のパターン電極部３１Ｃが形成された主表面１１ａが向かい合うように配置されている。
【００９２】
複数のパターン電極部３１Ｃは、実施の形態２同様に、基板１１Ｃの短手方向に沿って直線状に延在し、基板１１Ｃの長手方向（紙面垂直方向）に並んで配置されている。複数のパターン電極部３１Ｃのそれぞれは、放電用電極接続ユニット６０の接続端子部６２に接触する。互いに接続配線部（不図示）によって接続された複数の接続端子部６２のうち一端側に位置する接続端子部６２からは、引出配線部６５が引き出されている。引出配線部６５は、高電圧回路５０に接続された配線５２に接続される。このように、複数のパターン電極部３１Ｃは、接続端子部６２、引出配線部６５および配線５２を介して高電圧回路５０に電気的に接続される。
【００９３】
第２ユニット２０Ｃ１，２０Ｃ２は、基板２１Ｃ１，２１Ｃ２と、当該基板２１Ｃ１，２１Ｃ２の両側の主表面２１ａ，２１ｂに互いに間隔をあけて並んで設けられた複数のパターン電極部４１Ｃ１，４１Ｃ２と、放電用電極接続ユニット６０Ｃを含む。第２ユニット２０Ｃ２は、第２ユニット２０Ｃ１を上下反転させた構成を有する。
【００９４】
複数のパターン電極部４１Ｃ１，４１Ｃ２は、実施の形態２同様に、基板２１Ｃ１，２１Ｃ２の短手方向に沿って直線状に延在し、基板２１Ｃ１，２１Ｃ２の長手方向（紙面垂直方向）に並んで配置されている。
【００９５】
放電用電極接続ユニット６０Ｃは、基板２１Ｃ１，２１Ｃ２の主表面２１ａ，主表面２１ｂに互いに対応するように設けられた複数のパターン電極部４１Ｃ１，４１Ｃ２の一端側のそれぞれを一対の接続端子部６２Ｃによって基板２１Ｃ１，２１Ｃ２の両側から挟み込むように設けられている。
【００９６】
複数の一対の接続端子部６２Ｃは、断面視略Ｕ字型の角筒形状を有するベース部６１の側壁部に設けられている。複数の一対の接続端子部６２Ｃは、基板２１Ｃ１，２１Ｃ２の長手方向に沿って互いに離間するように設けられている。
【００９７】
複数のパターン電極部４１Ｃ１，４１Ｃ２のそれぞれは、放電用電極接続ユニット６０Ｃの接続端子部６２Ｃのそれぞれに接触している。互いに接続配線部（不図示）によって接続された複数の接続端子部６２Ｃのうち一端側に位置する接続端子部６２Ｃからは、引出配線部６５Ｃが引き出されている。
【００９８】
第２ユニット２０Ｃ１の接続端子部６２Ｃから引き出される引出配線部６５Ｃは、高電圧回路５０に接続された配線５１に接続される。このように、第２ユニット２０Ｃ１の複数のパターン電極部４１Ｃ１，４１Ｃ２は、接続端子部６２Ｃ、引出配線部６５Ｃおよび配線５１を介して高電圧回路５０の一方側に電気的に接続される。
【００９９】
第２ユニット２０Ｃ２の接続端子部６２Ｃから引き出される引出配線部６５Ｃは、高電圧回路５０に接続された配線５２に接続される。このように、第２ユニット２０Ｃ２の複数のパターン電極部４１Ｃ１，４１Ｃ２は、接続端子部６２Ｃ、引出配線部６５Ｃおよび配線５２を介して高電圧回路５０の他方側に電気的に接続される。
【０１００】
第１ユニット１０Ｃ１，１０Ｃ２および第２ユニット２０Ｃ２の複数のパターン電極部３１Ｃおよび複数のパターン電極部４１Ｃ１，４１Ｃ２には、配線５２側から第１極性の電位が印加される。第２ユニット２０Ｃ１の複数のパターン電極部４１Ｃ１，４１Ｃ２には、配線５１側から第１の極性と逆極性である第２極性の電位が印加される。
【０１０１】
上記のような構成を有するプラズマ生成装置１Ｃおよびプラズマ生成素子２Ｃにおいても、所定の方向に並ぶ複数の基板１１Ｃ，２１Ｃ１，２１Ｃ２のうち互いに隣り合う基板（第１基板および第２基板）に注目した場合には、互いに向かい合う２つの主表面のうち一方の主表面（第１主表面）に設けられた複数のパターン電極部（第１パターン電極部）と、互いに向かい合う２つの主表面のうち他方の主表面（第２主表面）に設けられた複数のパターン電極部（第２パターン電極部）とは、互いに対向する部分を含むように上記所定の方向（基板が並ぶ方向）に距離を隔てて配置されている。
【０１０２】
このため、一方の主表面（第１主表面）に設けられた複数のパターン電極部（第１パターン電極部）と、他方の主表面（第２主表面）に設けられた複数のパターン電極部（第２パターン電極部）とが対向する部分にプラズマ生成部が形成される。
【０１０３】
具体的には、一方の主表面（第１主表面）に設けられた複数のパターン電極部（第１パターン電極部）の直線状に延在する部分（第１直線部）と、他方の主表面（第２主表面）に設けられた複数のパターン電極部（第２パターン電極部）の直線状に延在する部分（第２直線部）とが対向する部分においてプラズマ生成部が形成される。この場合において、第１直線部と第２直線部とは、基板１１Ｃ，２１Ｃ１，２１Ｃ２の並ぶ方向から見た場合に全体的に重なりあうことが好ましい。
【０１０４】
上述のように高電圧回路５０によって極性の異なる電位を印加することで、一方の主表面（第１主表面）に設けられた複数のパターン電極部（第１パターン電極部）と他方の主表面（第２主表面）に設けられた複数のパターン電極部（第２パターン電極部）とが対向する部分においてプラズマが生成される。
【０１０５】
図１３に示す一点鎖線によって囲まれる部分を参照して、プラズマ生成装置１Ｃおよびプラズマ生成素子２Ｃにおいて、連続して並ぶ３つの基板に着目した場合の構成について説明する。一点鎖線によって囲まれる部分においては、第１ユニット１０Ｃ１、第２ユニット２０Ｃ１および第２ユニット２０Ｃ２に着目している。
【０１０６】
第１ユニット１０Ｃ１の基板１１Ｃを第１基板とした場合には、基板１１Ｃは、第１主表面として主表面１１ａを有しており、主表面１１ａ上には、複数の第１パターン電極部として複数のパターン電極部３１Ｃが、互いに間隔をあけて並んで設けられている。
【０１０７】
また、第２ユニット２０Ｃ１の基板２１Ｃ１を第２基板とした場合には、基板２１Ｃ１は、第１主表面（主表面１１ａ）に対向する第２主表面としての主表面２１ａと、主表面２１ａの反対側に位置する第３主表面としての主表面２１ｂとを有する。基板２１Ｃ１の主表面２１ａ上には、複数の第２パターン電極部として複数のパターン電極部４１Ｃ１が互いに間隔をあけて並んで設けられている。基板２１Ｃ１の主表面２１ｂ上には、複数の第３パターン電極部として複数のパターン電極部４１Ｃ２が互いに間隔をあけて並んで設けられている。
【０１０８】
また、第２ユニット２０Ｃ２の基板２１Ｃ２を第３基板とした場合には、基板２１Ｃ２は、第２基板としての基板２１Ｃ１から見た場合に第１基板としての基板１１Ｃと反対側に位置する。基板２１Ｃ２は、第３主表面としての第２ユニット２０Ｃ１の基板２１Ｃ１の主表面２１ｂに対向する第４主表面としての主表面２１ａを有する。第４主表面としての基板２１Ｃ２の主表面２１ａ上には、複数の第４パターン電極部として複数のパターン電極部４１Ｃ１が互いに間隔をあけて並んで設けられている。
【０１０９】
この場合においては、基板１１Ｃ上の複数のパターン電極部３１Ｃと基板２１Ｃ１上の複数のパターン電極部４１Ｃ１とが、互いに対向する部分を含むように、基板１１Ｃと基板２１Ｃ１とが並ぶ方向において距離を隔てて配置されることにより、プラズマ生成部が形成される。
【０１１０】
具体的には、基板１１Ｃ上の複数のパターン電極部３１Ｃの直線状に延在する部分（第１直線部）と基板２１Ｃ上の複数のパターン電極部４１Ｃ１とが対向する部分においてプラズマ生成部が構成されている。この場合において、第１直線部と第２直線部とは、基板１１Ｃ，２１Ｃ１，２１Ｃ２の並ぶ方向から見た場合に全体的に重なりあうことが好ましい。
【０１１１】
また、基板２１Ｃ１上の複数のパターン電極部４１Ｃ２と基板２１Ｃ２上の複数のパターン電極部４１Ｃ１とが、互いに対向する部分を含むように、基板２１Ｃ１と基板２１Ｃ２とが並ぶ方向において距離を隔てて配置されることにより、他のプラズマ生成部が形成される。
【０１１２】
具体的には、基板２１Ｃ１上の複数のパターン電極部４１Ｃ２の直線状に延在する部分（第３直線部）と、基板２１Ｃ２上の複数のパターン電極部４１Ｃの直線状に延在する部分（第４直線部）とが対向する部分においてプラズマ生成部が形成される。この場合において、第３直線部と第４直線部とは、基板１１Ｃ，２１Ｃ１，２１Ｃ２の並ぶ方向から見た場合に全体的に重なりあうことが好ましい。
【０１１３】
上述のように高電圧回路５０によって極性の異なる電位を印加することで、複数のパターン電極部３１Ｃと基板２１Ｃ１上の複数のパターン電極部４１Ｃ１とが互いに対向する部分および基板２１Ｃ１上の複数のパターン電極部４１Ｃ２と基板２１Ｃ２上の複数のパターン電極部４１Ｃ１とが互いに対向する部分において、プラズマが生成される。
【０１１４】
以上のように、本実施の形態に係るプラズマ生成素子２Ｃおよびこれを備えたプラズマ生成装置１Ｃは、片側の主表面上に複数のパターン電極が形成された基板と、両側の主表面上に複数のパターン電極が形成された基板とを、互いに向かい合う２つの主表面のうち一方の主表面に設けられた複数のパターン電極部と、互いに向かい合う２つの主表面のうち他方の主表面に設けられた複数のパターン電極部とが互いに対向する部分を含むように、複数枚並べる構成であるため、簡易な構成である。
【０１１５】
また、複数枚の基板のいずれかに設けられた複数のパターン電極の一部が破損した場合には、当該複数のパターン電極が設けられた基板を含むユニットを交換するのみで修理ができる。これにより、リペア性が向上する。また、清掃性の面においても一部の基板を取り出してパターン電極を清掃すればいいため、清掃も容易に行なうことができる。また、基板および複数のパターン電極は、必ずしも柔軟性を有する必要がないため、機械的強度の高い材料を使用することができ、耐久性が向上する。
【０１１６】
さらに、本実施の形態においては、基板数を増やすことにより、基板間を通過させる処理対象気体の量を増加させることができるため、浄化処理量を向上させることができる。
【０１１７】
（実施の形態５）
図１４は、本実施の形態に係るプラズマ生成装置の概略図である。図１４を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１Ｄについて説明する。
【０１１８】
図１４に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１Ｄは、実施の形態４に係るプラズマ生成装置１Ｃと比較した場合に、プラズマ生成装置１Ｄに具備されるプラズマ生成素子２Ｄにて、第２ユニット２０Ｃ１に代えて、第２ユニット２０Ｄ１が用いられている点において相違する。
【０１１９】
第２ユニット２０Ｄ１は、実施の形態４に係る第２ユニット２０Ｃ１と比較した場合に、複数のパターン電極部４１Ｄ１，４１Ｄ２が、基板２１Ｃ１の主表面２１ａ，２１ｂ上において基板２１Ｃ１の短手方向に沿って並んでいる点において相違する。
【０１２０】
これにより、所定の方向に並ぶ複数の基板１１Ｃ，２１Ｃ１，２１Ｃ２のうち互いに隣り合う基板（第１基板および第２基板）に注目した場合には、互いに向かい合う２つの主表面のうち一方の主表面（第１主表面）に設けられた複数のパターン電極部（第１パターン電極部）と、互いに向かい合う２つの主表面のうち他方の主表面（第２主表面）に設けられた複数のパターン電極部（第２パターン電極部）とが、複数の基板１１Ｃ，２１Ｃ１，２１Ｃ２の並ぶ方向から見た場合に交差する。
【０１２１】
これら複数の第１パターン電極部および複数の第２電極部が交差する部分において、プラズマ生成部が形成され、複数の第１パターン電極部および複数の第２電極部の間に高電圧を印加することにより、プラズマが生成される。
【０１２２】
図１４に示す一点鎖線によって囲まれる部分を参照して、プラズマ生成装置１Ｄおよびプラズマ生成素子２Ｄにおいて、連続して並ぶ３つの基板に着目した場合の構成について説明する。
【０１２３】
この場合においては、第１ユニット１０Ｃ１の基板１１Ｃが第１基板に相当し、第２ユニット２０Ｄ１の基板２１Ｃ１が第２基板に相当し、第２ユニット２０Ｃ２の基板２１Ｃ２が第３基板に相当する。
【０１２４】
本実施における連続して並ぶ３つの基板の構成においては、実施の形態４に係る連続して並ぶ３つの基板の構成と比較した場合に、第１主表面としての基板１１Ｃの主表面１１ａ上に互いに間隔をあけて並んで設けられた複数のパターン電極部３１Ｃ（複数の第１パターン電極部）と、第２主表面としての基板２１Ｃ１の主表面２１ａ上に互いに間隔をあけて並んで設けられて複数のパターン電極部４１Ｄ１（複数の第２パターン電極部）とが、複数の基板１１Ｃ，２１Ｃ１，２１Ｃ２の並ぶ方向から見た場合に、交差する点において相違する。
【０１２５】
これら複数の第１パターン電極部および複数の第２パターン電極部が交差する部分において、プラズマ生成部が形成され、複数の第１パターン電極部および複数の第２パターン電極部の間に高電圧を印加することにより、プラズマ生成部においてプラズマが生成される。
【０１２６】
また、第３主表面としての基板２１Ｃ１の主表面２１ｂ上に互いに間隔をあけて並んで設けられている複数のパターン電極部４１Ｄ２（複数の第３パターン電極部）と、第４主表面としての基板２１Ｃ２の主表面２１ａ上に互いに間隔をあけて並んで設けられている複数のパターン電極部４１Ｃ１（複数の第４パターン電極部）とが、複数の基板１１Ｃ，２１Ｃ，２１Ｃ２の並ぶ方向から見た場合に、交差する点において相違する。
【０１２７】
これら複数の第３パターン電極部および複数の第４パターン電極部が交差する部分において、他のプラズマ生成部が形成され、複数の第３パターン電極部および複数の第４パターン電極部の間に高電圧を印加することにより、他のプラズマ生成部においてプラズマが生成される。
【０１２８】
以上のように、本実施の形態に係るプラズマ生成素子２Ｄおよびこれを備えたプラズマ生成装置１Ｄは、片側の主表面上に複数のパターン電極が形成された基板と、両側の主表面上に複数のパターン電極が形成された基板とを、互いに向かい合う２つの主表面のうち一方の主表面に設けられた複数のパターン電極部と、互いに向かい合う２つの主表面のうち他方の主表面に設けられた複数のパターン電極部とが互いに対向する部分を含むように、複数枚並べる構成である。これにより、本実施の形態においても実施の形態４とほぼ同様の効果が得られる。
【０１２９】
また、本実施の形態においては、互いに向かい合う２つの主表面のうち一方の主表面に設けられた複数のパターン電極部と、互いに向かい合う２つの主表面のうち他方の主表面に設けられた複数のパターン電極部とを交差させることにより、これらパターン電極が対向する部分を調整し、プラズマ発生に伴って副生成物として発生するオゾンの量を抑制することができる。
【０１３０】
（実施の形態６）
図１５は、本実施の形態に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。図１６は、本実施の形態に係る空気清浄機の背面図である。図１５および図１６を参照して、本実施の形態に係る空気清浄機２００について説明する。なお、空気清浄機２００は、プラズマ生成装置を具備する電子機器の一例であり、プラズマ生成装置としては、たとえば実施の形態４に係るプラズマ生成装置１Ｃが用いられる。
【０１３１】
図１５および図１６に示すように、空気清浄機２００は、プラズマ生成装置１Ｃ、吸込口２２０および吹出口２３０が設けられた本体部２１０、送風経路２４０および送風機２５０を備える。
【０１３２】
吸込口２２０は、本体部２１０の背面側に設けられている。吹出口２３０は、本体部２１０の上方に設けられている。送風経路２４０は、本体部２１０内に設けられ、吸込口２２０および吹出口２３０を接続する。送風経路２４０内には、送風機２５０が設けられている。送風経路２４０の一部は、送風機２５０のケーシングによって規定される。
【０１３３】
送風機２５０は、吸込口２２０から吸い込んだ空気を吹出口２３０に向けて送風する。送風機２５０としては、シロッコファン、クロスフローファン等の各種の送風機を採用することができる。
【０１３４】
プラズマ生成装置１Ｃは、送風経路２４０に配置される。具体的には、プラズマ生成装置１Ｃは、吸込口２２０近傍の位置や、送風機２５０と吹出口２３０との間に位置する送風経路２４０に配置される。
【０１３５】
このようにプラズマ生成装置１Ｃを配置し、プラズマを生成しつつプラズマ生成装置１Ｃの基板間に空気を通過させることにより、空気中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の空気中に含まれる不純物ガスの分解除去を行なうことができる。これにより、吸込口２２０から吸い込まれる空気および吹出口２３０から吹出されることとなる空気を浄化することができる。これにより、吹出口２３０から清浄な空気を吹出すことができる。
【０１３６】
なお、本実施の形態においては電気機器の一例として空気清浄機について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、電気機器は、これ以外に空気調和機（エアコンディショナー）、冷蔵機器、掃除機、加湿器、除湿機などであってもよく、空気を吸込んで送風する際に、プラズマ生成装置１Ｃの基板間に空気を通過させるための送風機を有する電気機器であればよい。
【０１３７】
また、本実施の形態においては、プラズマ生成装置として実施の形態４に係るプラズマ生成装置１Ｃを用いる場合を例示して説明したが、これに限定されず、実施の形態１から３に係るプラズマ生成装置１，１Ａ，１Ｂおよび実施の形態５に係るプラズマ生成装置１Ｄのいずれかが用いられてもよい。
【０１３８】
上述した実施の形態１から５においては、第１パターン電極部および第２パターン電極部が直線状に延在し、直線部のみによって構成される場合を例示して説明したが、これに限定されず、所定の方向に延在する限り、正弦波形状、矩形波形状、三角波形状、鋸歯状波形状等の各種の波形形状を含む蛇行形状を有していてもよく、それらの形状は適宜変更することができる。
【０１３９】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【符号の説明】
【０１４０】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ  プラズマ生成装置、２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ  プラズマ生成素子、１０，１０Ａ，１０Ｃ１，１０Ｃ２  第１ユニット、１１  第１基板、１１Ｃ  基板、１１ａ，１１ｂ，２１ａ，２１ｂ  主表面、２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ１，２０Ｃ２，２０Ｄ１  第２ユニット、２１  第２基板、２１Ｃ１，２１Ｃ２，２１Ｃ  基板、３０，３０Ａ，４０，４０Ａ，４０Ｂ  放電用電極、３１  第１パターン電極部、３１Ｃ  パターン電極部、３２  接続電極部、３３  引出部、４１，４１Ｂ  第２パターン電極部、４１Ｃ１，４１Ｃ２，４１Ｄ１，４１Ｄ２  パターン電極部、４２  接続電極部、４３  引出部、５０  高電圧回路、５１，５２  配線、６０，６０Ｃ  放電用電極接続ユニット、６０ａ  溝部、６１  ベース部、６２，６２Ｃ  接続端子部、６３  接続配線部、６５，６５Ｃ  引出配線部、７０，７０Ｂ  放電用電極接続ユニット、７０ａ，７０ｃ  溝部、７１，７１Ｂ  ベース部、７２，７２Ｂ  接続端子部、７３  接続配線部、７５  引出配線部、２００  空気清浄機、２１０  本体部、２２０  吸込口、２３０  吹出口、２４０  送風経路、２５０  送風機。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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