(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
音を発生するマイクロ電気機械装置において：
移動エレメントのアレイであって、各々の移動エレメントが少なくとも一つの圧電部材に関連する少なくとも一つの屈曲部によって機械的サポートに接続されており、前記少なくとも一つの圧電部材が当該圧電部材に印加された電場によって変形するように作用し、これによって、前記圧電部材が接続されている屈曲部がたわみ、少なくとも一つの移動エレメントが少なくとも三つの屈曲部によって前記機械的サポートに接続されている移動エレメントアレイと；
電極群を具える電気配線であって、当該電極群の各電極が前記圧電部材の少なくとも一つに接続されており、前記電気配線が、異なる圧電部材に異なる電場シーケンスを同時に伝送することができ、これによって、音を作る前記アレイの移動エレメントの動きを制御可能に誘発し、前記電気配線が、前記少なくとも一つの移動要素を前記機械的サポートの平面に対して垂直に移動させる動きを生成しつつ、前記少なくとも一つの移動エレメントの平面が前記機械的サポートの平面と平行であるように保持することができる電気配線と；
対応する屈曲部と圧電部材を介して駆動されるときに、前記移動エレメントの各々の最大移動距離を維持する動き制限機構であって、前記動き制限機構が、前記移動エレメントの各々に関連する機械的ストッパのアレイを具え、複数の前記移動エレメントが、それぞれの軸に沿って交替で前後に移動するように制約されて作動し、前記各移動エレメントに接続された前記各圧電部材に印加した電場がしきい値を超えた場合に、前記機械的ストッパに対して保持される、動き制限機構と；
デジタル入力信号を処理し、この処理結果に基づいて、前記移動エレメントの少なくとも二つに関連する複数の圧電部材の各々に対する電場シーケンスの印加を制御するように作動するコントローラと；
を具えることを特徴とするマイクロ電気機械装置。
【請求項２】
請求項１に記載のマイクロ電気機械装置において、前記複数の移動エレメントの各々に接続した前記屈曲部の少なくとも一つについて、当該屈曲部が、圧電材料を備え、当該屈曲部の少なくとも一部が、前記屈曲部に関連する前記少なくとも一の圧電部材を構成していることを特徴とするマイクロ電気機械装置。
【請求項３】
請求項２に記載のマイクロ電気機械装置において、前記複数の移動エレメントが、前記圧電材料でできていることを特徴とするマイクロ電気機械装置。
【請求項４】
請求項１に記載のマイクロ電気機械装置において、前記複数の移動部材の各々に接続された前記屈曲部の少なくとも一つにおいて、当該屈曲部の少なくとも一部が導電材料でできており、前記屈曲部に関連する前記圧電部材に接続された電極の少なくとも一部を構成していることを特徴とするマイクロ電気機械装置。
【請求項５】
請求項１に記載のマイクロ電気機械装置において、前記電気配線が受動マトリックスアドレッシングを形成していることを特徴とするマイクロ電気機械装置。
【請求項６】
マイクロ電気機械装置によって音を発生する方法において：
異なる屈曲部に関連する異なる圧電部材に異なる電場シーケンスを、電気配線にわたって同時に伝送するステップであり、これによって、前記マイクロ電気機械装置の異なる移動エレメントの動きを制御可能に誘発し、前記各移動エレメントが機械的サポートに前記屈曲部の少なくとも一つによって接続されており、
少なくとも一つの移動エレメントは、少なくとも三つの屈曲部によって前記機械的サポートに接続されており、
前記電気配線が、前記少なくとも一つの移動要素を前記機械的サポートの平面に対して垂直に移動させる動きを生成しつつ、前記少なくとも一つの移動エレメントの平面が前記機械的サポートの平面と平行であるように保持することができるステップと；
機械的ストッパによって、前記移動エレメントについて最大移動距離に達した各移動エレメントの動きを停止させるステップであって、前記移動エレメントに接続された各圧電部材に印加した電場がしきい値を超えた場合に、前記移動エレメントを前記機械的ストッパに対して保持することを含むステップと；
を具えることを特徴とする方法。
【請求項７】
請求項６に記載の方法が更に、デジタル入力信号を処理するステップと、この処理の結果に基づいて複数の電場シーケンスを生成するステップと、前記移動エレメントの少なくとも二つに関連する圧電部材への前記複数の電場シーケンスのうちの異なる電場シーケンスの印加を制御するステップと、を具えることを特徴とする方法。
【請求項８】
請求項６に記載の方法において、前記電気配線が受動マトリックスアドレッシングを形成していることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
ここに開示されている主題は、マイクロ電気機械装置に関連するものであり、特に、物理的効果を発生するマイクロ電気機械装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ここに開示した主題の背景技術として関連すると考えられる公報を以下に列挙する。公報としての承認は、ここに開示する主題の特許性に関連することを意味するものではない。
【０００３】
米国特許出願第ＵＳ２０１１０１６９４０８号は、圧電素子マイクロスピーカとその製造方法を開示している。この圧電素子マイクロスピーカは、スルーホールを有する基板と；基板上に配置されてスルーホールを覆うダイアフラムと；圧電部材と、第１電極、及び第２電極を具える複数の圧電アクチュエータを具え、第１及び第２の電極は、圧電部材の電場を含むように構成されている。圧電アクチュエータは、これは、ダイアフラムの中央に配置されている中央アクチュエータと、この中央アクチュエータから所定の距離だけ離れて配置され、ダイアフラムの複数のエッジ部分に形成されたエッジアクチュエータを具える。
【０００４】
米国特許出願第ＵＳ２０１１００８０９２７号は、圧電素子マイクロスピーカとその製造方法を開示している。この圧電素子マイクロスピーカでは、ダイアフラムが第１領域と第２領域を具える。第１領域は、励振力を最大にできる材料で形成されており、第２領域は、第１領域より初期応力が小さくヤング率が小さい。
【０００５】
米国特許出願第ＵＳ２００３０６６９４２８号は、フレキシブルワイヤレスＭＥＭＳマイクロホンを開示しており、これは、フレキシブルポリマー材でできた基板と、この基板上にＰＥＣＶＤで形成したフレキシブルＭＥＭＳトランスデューサ構造と、外部電源と通信する基板上に印刷したアンテナと、フレキシブルＭＥＭＳトランスデューサとアンテナに電気的に接続する基板内に埋め込んだワイヤとインターフェース回路と、基板に電気的に接続されＭＥＭＳトランスデューサに電力を供給するフレキシブル電源層と、この電源層に電気的に接続されたフレキシブルブルーツースモジュールとを具える。フレキシブルＭＥＭＳトランスデューサは、フレキシブル基盤と、この基板上に被覆したメンブレン層と、メンブレン層上に形成した下側電極層と、下側電極層上に圧電ポリマを被覆して形成した活性層と、活性層の上に形成した上側電極層と、下側及び上側電極層にそれぞれ電気的に接続した第１及び第２の接続パッドと、を具える。
【発明の概要】
【０００６】
ここに開示した主題の所定の態様によれば、物理的効果を発生するマイクロ電気機械装置が提供されており、このマイクロ電気機械装置は：
移動エレメントアレイであって、各移動エレメントアレイが、少なくとも１の圧電部材に関連する少なくとも１の屈曲部によって機械的サポートに連結されており、圧電素材が圧電部材に印加した電場によってひずむように動作し、これによって、圧電部材が連結されている屈曲部がたわむ、移動エレメントアレイと；
電極群を具える電気配線であって、この電極群の中の各電極が圧電部材の少なくとも一つに連結されており、電気配線がシーケンスの異なる電場を異なる圧電部材に同時に伝達できるように作動し、これによって、アレイの移動エレメントの動きを制御可能に誘発して物理的効果を作り；
対応する屈曲部と圧電部材を介して稼働しているときの各移動エレメントについての最大移動距離を維持する動き制限機構と；
を具える。
【０００７】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、これは動き制限機構が、各々の移動エレメントアレイに関連する機械的ストッパアレイを具え、複数の移動エレメントの各々が、各軸に沿って交互に前後に移動するべく制約されて作動し、各移動エレメントに連結された各圧電部材に印加された電場がしきい値を超えると、機械的ストッパに対して保持される。
【０００８】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、これは、さらに、デジタル入力信号を処理して、この処理結果に基づいて、少なくとも二つの移動エレメントに関連する複数の圧電部材のうちのそれぞれに対して、一連の電場の印加を制御するように作動するコントローラを具える。
【０００９】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、この装置は、複数の移動エレメントの各々に連結した屈曲部の少なくとも一つについて、その屈曲部が圧電材料を具え、その屈曲部の少なくとも一部が、屈曲部に関連する少なくとも一の圧電部材を構成している。
【００１０】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、この装置は、複数の移動エレメントが圧電材料でできている。
【００１１】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、この装置は、複数の移動エレメントの各々に連結されている屈曲部の少なくとも一つについて、その屈曲部の少なくとも一部が導電材料でできており、その屈曲部に関連する圧電部材に接続された電極の少なくとも一部を構成している。
【００１２】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、この装置の物理的効果は音である。
【００１３】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、この装置の物理的効果は光の方向を変えることである。
【００１４】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、この装置の物理的効果は光の伝達速度を変えることであり、これによって光の位相が変わる。
【００１５】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、物理的効果を発生するマイクロ電気機械装置が提供されており、このマイクロ電気機械装置は、圧電部材に印加された電場によってひずみが生じるように動作する少なくとも一の圧電部材に関連する少なくとも一の屈曲部によって機械的サポートに連結された移動エレメントを具え、これによって圧電部材に連結されている屈曲部を屈曲させるように構成されており、これは；
少なくとも一の圧電部材に接続された少なくとも一の電極を具え、この少なくとも一の電極が少なくとも一の圧電部材に一連の電場を伝達するように動作し、これによって移動部材を制御可能に移動させて物理的効果を生じさせ；
機械的ストッパであって、移動エレメントが軸に沿って交互に前後に移動するよう制約されるよう作動し、移動エレメントが、移動エレメントに接続された少なくとも一の圧電部材に印加された電場がしきい値を超えた場合に、機械的ストッパに対して保持される。
【００１６】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、この装置の物理的効果は音である。
【００１７】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、この装置は更に、デジタル入力信号を処理して、この処理結果に基づいて、少なくとも二つの移動エレメントに関連する複数の圧電部材の各々に対して、一連の電場の印加を制御するように作動するコントローラを具える。
【００１８】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、この装置は、複数の移動エレメントの各々に連結した屈曲部の少なくとも一つについて、その屈曲部が圧電材料を具え、その屈曲部の少なくとも一部が、屈曲部に関連する少なくとも一の圧電部材を構成している。
【００１９】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、この装置は、複数の移動エレメントが圧電材料でできている。
【００２０】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置が提供されており、この装置は、複数の移動エレメントの各々に連結されている屈曲部の少なくとも一つについて、その屈曲部の少なくとも一部が導電材料でできており、その屈曲部に関連する圧電部材に接続された電極の少なくとも一部を構成している。
【００２１】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、マイクロ電気機械装置によって物理的効果を生じさせる方法が提供されており、この方法は：
電気配線上を、異なる電場シーケンスを異なる屈曲部に関連する異なる圧電部材に同時に伝送するステップであって、マイクロ電気機械装置の異なる移動エレメントの動きを制御可能に誘発し、各移動エレメントが少なくとも一の屈曲部によって機械的サポートに接続されている、ステップと；
機械的ストッパによって、移動エレメントについての最大移動距離に足した各移動エレメントの動きを止めるステップと；
を具える。
【００２２】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、方法が提供されており、ここでは、動きを止めるステップが、移動エレメントに接続された各圧電部材に印加された電場がしきい値を超えると機械的ストッパに対して移動エレメントを保持するステップを具える。
【００２３】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、方法が提供されており、この方法は更に、デジタル信号を処理して、この処理の結果に基づいて複数の電場シーケンスを生成し、複数の電場シーケンスの内の異なる電場シーケンスの、少なくとも二つの移動エレメントに関連する圧電部材への印加を制御するステップを具える。
【００２４】
ここに開示した主題の所定の実施例によれば、更に、方法が提供されており、ここでは物理的効果が音である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
本発明を理解し、どのように実施できるのかを理解するために、以下に、非限定的な例としてのみの貼付図面を参照して、以下に実施例を説明する。
【図１】図１は、ここに開示した主題によるマイクロ電気機械装置の画像の一例を示す図である。
【図２】図２は、ここに開示した主題によるマイクロ電気機械装置の一例を示す側面図である。
【図３】図３は、ここに開示した主題によるマイクロ電気機械装置の一例を示す側面図である。
【図４】図４は、ここに開示した主題によるマイクロ電気機械装置の画像の一例を示す図である。
【図５】図５は、ここに開示した主題によるマイクロ電気機械装置の一例を示す側面図である。
【図６】図６は、ここに開示した主題によるマイクロ電気機械装置の一例を示す側面図である。
【図７】図７は、本発明の主題によるマイクロ電気機械装置によって物理的効果を生じさせる方法の汎用フローチャートである。
【図８】図８は、本発明の主題によるマイクロ電気機械装置によって物理的効果を生じさせる方法の汎用フローチャートである。
【００２６】
図面の単純化と明確化のために、図に示す要素を実物大とする必要がないことは自明である。例えば、いくつかの要素の寸法は、明確化のために、その他の要素に対して誇張されている。更に、適当であると考えられる場合は、図面間で同じ符号を使って、同じ又は類似の要素を表している。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下の詳細な説明では、符号の詳細情報は、発明の全体的な理解を提供するために設定されている。しかしながら、当業者には、本発明をこれらの詳細情報なしで実施できることは理解されるであろう。他の例では、公知の特徴、構造、特徴、ステージ、方法、手順、モジュール、部品及びシステムは詳細に説明されておらず、本発明を不明確にしないようにしている。
【００２８】
特に記載がない限り、以下の説明から明らかであれば、明細書全体通して、「処理する」、「計算する」、「コンピュータで計算する」、「決定する」、「発生する」などの用語を用いた説明が、データを別のデータ、例えば電子量といった物理的両で表したそのデータ、及び／又は、物理的対象物を表すそのデータに操作する及び／又は変換するコンピュータの動作及び／又は処理を含むことは自明である。用語「コンピュータ」、「プロセッサ」、及び「コントローラ」は、広く解釈するべきであり、この開示内にそのように記載されていなくても、データ処理能力を持ち、ハードウエア、ソフトウエア、及び／又はファームウエアの組み合わせでできており、少なくともいくつかのハードウエアを具えるあらゆる種類の電子装置が対象になる。
【００２９】
ここにおける教示による動作は、所望の目的のために特に構成されたコンピュータによって、あるいは、持続的にコンピュータで読み取り可能な保存媒体に保存したコンピュータプログラムによって所望の目的のために特に構成した汎用目的のコンピュータによって実行することができる。用語「持続的」は、ここでは、一時的な信号の伝達を排除する意味で使用されているが、アプリケーションに適したあらゆる揮発性又は非揮発性コンピュータメモリ技術を含む。
【００３０】
ここで用いられているように、「例えば」、「のような」、「例えば」のフレーズ、及びこれらの変形フレーズは、ここに開示した主題の非限定的な実施例を記載するものである。明細書における「あるケース」、「いくつかのケース」、「その他のケース」あるいはこれらの変形例の引用は、ここに開示した主題の少なくとも一の実施例に、実施例に関連して述べた特定の特徴、構造又は特性が含まれることを意味する。従って、「あるケース」、「いくつかのケース」、「その他のケース」あるいはこれらの変形フレーズの出現は、必ずしも同じ実施例を引用しているということではない。
【００３１】
明細書中における、「一実施例」、「実施例」、「いくつかの実施例」、「別の実施例」、「その他の実施例」、「他の実施例」、「一例」、「ある場合」、「いくつかの場合」、「別の場合」、「その他の場合」、「他の場合」、「一のケース」、「ケース」、「いくつかのケース」、「別のケース」、「その他のケース」、「他のケース」、あるいはそれらの変形例は、その実施例に県連して述べた特定の特徴、構造、特性、ステージ法、モジュールが、ここに開示した主題の少なくとも一の非限定的実施例に含まれることを意味する。従って、「一実施例」、「実施例」、「いくつかの実施例」、「別の実施例」、「その他の実施例」、「他の実施例」、「一例」、「ある場合」、「いくつかの場合」、「別の場合」、「その他の場合」、「他の場合」、「一のケース」、「ケース」、「いくつかのケース」、「別のケース」、「その他のケース」、「他のケース」、あるいはそれらの変形例の出現は、必ずしも同じ実施例を引用しているということではない。
【００３２】
特に説明がない限り、明確化のために、個別の実施例のコンテキストで説明したここに開示した主題の所定の特徴は、単一の実施例において組み合わせて提供することもできる。逆に、簡潔化のために、単一実施例のコンテキストで説明したここに開示した主題の所定の特徴も、個別にあるいは適宜のサブコンビネーションで提供することができる。
【００３３】
このテキスト又は図面にある商標は、その所有者に所有権があり、ここでは、単に、ここに開示した主題を実施する方法の一例を説明するあるいは示すためにのみ使用されている。
【００３４】
図１は、ここに開示した主題によるマイクロ電気機械装置１００の画像の一例を示す図である。マイクロ電気機械装置１００は、物理的効果を生じるように動作する。例えば、この物理的効果は音であってもよく、その他のタイプの圧力波、光の反射、などであってもよい。マイクロ電気機械装置１００は、以下に述べるマイクロ電気機械装置２００などの、物理的効果を生じるように動作するより大きな装置内のサブユニットとして作動することもある。例えば、マイクロ電気機械装置２００は、複数のマイクロ電気機械装置１００ユニットを具えており、この場合、マイクロ電気機械装置２００によって生じる物理的効果は、少なくとも、複数のマイクロ電気機械装置１００ユニットによって生じる物理的効果から生じる。さもなければ、単一ユニットを具える単一ユニットのマイクロ電気機械装置１００を、図１を参照して述べるように、特定の使用に用いることもできる。複数ユニットを具えるマイクロ電気機械装置２００を使用するいくつかの方法を以下に述べる。例えば、マイクロ電気機械装置２００は、以下に述べるように、受動制御マトリックスを用いて動作する。
【００３５】
マイクロ電気機械装置１００（以下、ＭＥＭＳ１００ともいう）は、少なくとも一の屈曲部１２０によって機械的サポート１９０に接続されている移動エレメント１１０を具える。機械的サポート１９０は、固体かつ硬質シリコン層など、マイクロ電気機械装置１００の静止部分でもよい。静止部分は、移動エレメント１１０を移動させるために印加される圧電部材によって印加した機械的力によっては影響を受けない、あるいは、発生した物理的効果への影響を無視する程度（１％以下）に十分に小さい程度の影響を少なくとも受ける。
【００３６】
用語「屈曲部」は、この分野では良く知られており、屈曲ベアリング、スプリング、同様の機械部品を含む（限定するものではないが）非限定的な意味で解釈するべきである。
【００３７】
スプリング又は屈曲ベアリングなど、一またはそれ以上の屈曲部１２０がこの分野で知られている様々な方法で実装することができる。より一般的には、用語「屈曲部」は、この分野では良く知られており、屈曲ベアリングを含む（限定するものではないが）非限定的な方法に解釈すべきである。同様の部品を、異なる名前で呼ぶこともあり、「屈曲部」の異なる名前は、便宜上の理由で選択された名前である。屈曲ベアリングは、負荷担持エレメントの曲げによって動くベアリングである。必ずしもそうではないが、屈曲部１２０は、単一部分、二つの別の部分を合わせた（例えば、移動エレメント１１０と機械的サポート１９０）ものでできた屈曲ベアリングであってもよい。
【００３８】
マイクロ電気機械装置１１０の屈曲部１２０は、移動エレメント１１０と同じ材料でできていてもよく、おそらく、屈曲部１２０はと移動エレメント１１０を単一層として製造することができる。屈曲部１２０とマイクロ電気機械装置１１０は、機械的サポート１９０と同じ材料で作ってもよく、マイクロ電気機械装置１１０の屈曲部１２０は、移動エレメント１１０と同じ材料で作成してもよく、おそらく、単一層として製造することができる。各部品１１０、１２０及び１９０は、ＢａＴｉＯ３、ニオブ酸カリウムナトリウム、ジルコン酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、チタン酸塩、あるいは、シリコン、チタニウム、エポシキ−ガラス、及びセラミックなどの材料、などの圧電材料といった、様々な材料で作ることができる。
【００３９】
実装できるこのような組み合わせは以下のとおりである。
（ａ）移動エレメント１１０並びに一またはそれ以上の屈曲部が、圧電材料からできており、作動電極１４０を有する屈曲部１２０のみがその表面にある。
（ｂ）圧電材料でできた屈曲部１２０で支持されている非圧電材料の移動エレメント１１０。
（ｃ）移動エレメント１１０並びに一またはそれ以上の屈曲部１２０が、シリコン又はその他の材料でできており、一またはそれ以上の屈曲部１２０が一方の面又は両方の面に圧電材料層を有し、圧電部材１３０として作用する。例えば、このような圧電材料層は、ポリフッ化ビニリデンなどのポリマ圧電材料から構成することができる。
（ｄ）移動エレメント１１０並びに一またはそれ以上の屈曲部１２０が、金属、又はシリコン、又はその他の材料でできており、一またはそれ以上の屈曲部１２０は、一方の面又は両方の面に圧電材料層を有し、圧電部材１３０として作用し、屈曲部の材料は、屈曲部１２０の一方の面または両方の面に配置した圧電部材の一電極として作用する。
【００４０】
一またはそれ以上の屈曲部１２０の各々は、各圧電部材１３０に印加された電場によってひずむように作動する少なくとも一の圧電部材１３０に接続されており、これによって、圧電部材１３０が接続されている各屈曲部１２０がたわむ。図１に示す例を参照すると、屈曲部１２０（１）、１２０（２）及び１２０（３）の各々が、単一の圧電部材（１３０（１）、１３０（２）、１３０（３））にそれぞれ接続されており、電場Ｅ（ｉ）が圧電部材１３０（ｉ）（図に示す例では、ｉε｛１、２、３｝）に印加されると、各圧電部材１３０（ｉ）がひずむ（すなわち、収縮する、膨張する、及び／又は曲がる）。この圧電部材１３０（ｉ）の変形が、各屈曲部１２０をたわませる。屈曲部１２０のいずれか一つのたわみは、移動エレメントの動きとなる。
【００４１】
以下に説明するように、一またはそれ以上の圧電部材１３０に罹った電場によるこの圧電部材は制御可能な態様でひずみ、移動エレメント１１０の計画された移動を作る。例えば、全屈曲部１２０（１）、１２０（２）及び１２０（３）が同程度にひずむことによって、機械的サポート１９０の平面に直交する移動エレメント１１０の移動が生じる一方で、移動エレメント１１０の平面は機械的サポートの平面と平行なままである。同じ例で、屈曲部１２０（１）、１２０（２）、１２０（３）の異なる程度、及び／又は、異なる方向のひずみを用いて、機械的サポートの平面に対して平行でない平面間で移動エレメント１１０をひねることができる。
【００４２】
マイクロ電気機械装置１００は、また、圧電部材１３０の少なくとも一つに接続されている少なくとも一の電極１４０を具える。単一の電極１４０が単一の圧電部材１３０に接続されておいてもよく（図に示すように）、あるいは、一以上の圧電部材１３０に接続されていてもよい。また、二またはそれ以上の電極１４０が単一の圧電部材１３０に接続されていてもよい（例えば、圧電部材１３０を介して電流を流し、これによって、各圧電部材１３０に電場を印加するため）。
【００４３】
一またはそれ以上の電極１４０は、少なくとも一の圧電部材１３０に一連の電場を伝達するよう作用して、これによって、移動エレメント１１０の動きを制御可能に誘発して、物理的効果を作る。一またはそれ以上の電極が電源及び／又はコントローラに接続されており、これから電極に電圧が印加されて、一又はそれ以上の圧電部材を変形させる電場を生成する。
【００４４】
図２は、ここに開示した主題によるマイクロ電気機械装置１００の一例を示す側面図である。移動エレメント１１０を機械的サポート１９０に接続している一またはそれ以上の屈曲部１２０は、移動エレメント１１０がこれに沿って移動する軸（図２に符号１０１で示す）を規定している。屈曲部１２０及び／又はマイクロ電気機械装置の圧電材料に電場を印加するコントロールスキームが実装されており、移動エレメント１１０が他の方向（すなわち、軸に沿った方向以外の方向）に移動することを防止している。すなわち、移動エレメント１１０は、軸に沿って交互に前後に移動するよう制約されて動作する。同じ要因（構造的及び制御に関連する）も、移動エレメント１２０の静止位置を規定している（例えば、機械的サポート１９０の静止位置と同じ面において）。マイクロ電気機械装置１１０も、対応する屈曲部と圧電部材を介して駆動するときに、各移動エレメントの最大移動距離を維持する一またはそれ以上の動き制限機構を具える。
【００４５】
例えば、マイクロ電気機械装置１１０は、動き制限機構として、一またはそれ以上の機械的ストッパ１６０を具える。より一般的には、この動き制限機構は、移動エレメントの各アレイに関連する機械的ストッパアレイ１６０を具えており、複数の移動エレメントの各々が各軸に沿って交互に前後に移動するよう制約するよう動作し、各移動エレメント１１０に接続された各圧電部材１３０に印加された電場がしきい値を超えた場合に、機械的ストッパ１６０に対して保持される。
【００４６】
このような機械的ストッパ１６０は、軸１０１に沿った移動エレメント１１０の動きを制限する。移動エレメント１１０に接続された圧電部材１３０の少なくとも一つに印加された電場がしきい値を超えると、移動エレメント１１０は機械的ストッパ１６０に保持される。機械的ストッパ１６０は、移動エレメント１１０を軸に沿った移動の両端で制限する（例えば、図３に例示するように）、あるいは一方の端部のみで制限する（簡略化の理由のみで図５に示すように）ように実装できる。機械的ストッパ１６０は、移動エレメント１１０が装置表面に平行でない位置に止まるように構成することもできる。
【００４７】
マイクロ電気機械装置１１０は、選択的に、デジタル入力信号を処理し、処理結果に基づいて複数の圧電部材１３０（全部でもよい）の各々についての一連の電場の印加を制御するように動作する、コントローラ１５０を具えていてもよい。圧電部材１３０へのこの一連の電場の印加によって、移動エレメント１１０のいくつか又は全部の動きから生じる上述した物理的効果が発生することになる。一連の電場の印加の制御に先立って、コントローラ１５０は、上述したようにデジタル入力信号を処理した結果に基づいて各電場シーケンスを生成することが好ましい。
【００４８】
電場シーケンスの印加は、コントローラ１５０の外付け部品（例えば、専用の電気ドライバ）によって、あるいは、コントローラ自体で行うようにしてもよい。複数の圧電部材１３０への電場シーケンスの印加を制御するように動作し構成されていることに加えて、コントローラ１５０もこれらの電圧シーケンスを印加するように構成されている場合は（例えば、電極１４０に直接）、コントローラ１５０も所望の電圧を操作できるように構成する必要がある。換言すると、コントローラ１５０は、圧電部材１３０の圧電材料を操作するのに必要な比較的高い電圧を提供できる及び／又は比較的高い電圧に切り替えることができる。
【００４９】
デジタル入力信号は、コントローラ１５０内の有形的メモリユニット内に保存することができ、外部システムから受け取ってもよく、コントローラ１５０によって生成してもよく、これらの組み合わせでもよい。
【００５０】
ここで用いている用語「コントローラ」は、非限定的な例示により、パーソナルコンピュータ、サーバ、コンピュータシステム、通信装置、プロセッサ（例えば、デジタル信号処理装置（ＤＳＰ）、マイクロコントローラ、フィールドプログラム可能なゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、アプリケーション特定集積回路（ＡＳＩＣ）、その他）、その他の電子計算装置、及び／又はこれらの組み合わせを含む、データ処理能力を有するあらゆる種類の電子装置を含むものと、広く解釈すべきである。コントローラは、マイクロ電気機械装置の一部であってもよく、マイクロ電気機械装置に外付けしてもよい（別のマイクロ電気機械装置であるなしにかかわらず）。
【００５１】
上述した通り、マイクロ電気機械装置が作動して生成する物理的効果は音であってもよい。一般的には、マイクロ電気機械装置１００は、周期的にサンプリングしたデジタル入力信号の少なくとも一つの特性に対応する少なくとも一つの属性を有する物理的効果を生成するマイクロ電気機械装置であってもよい。例えば、この物理的効果は音であってもよく、その属性が音波の振幅及び／又は周波数であってもよい。
【００５２】
特に、この物理的効果は、可聴音であってもよい（超音波、その他であってもよい）。この場合、コントローラ１５０はサウンドファイル（ＷＡＶファイル、ＭＰ３ファイル、Ｏｇｇ  Ｖｏｒｂｉｓファイル）、Ｉ２Ｃ、その他）を取得して、それを処理する（例えば、移動エレメント１１０がいつトップ位置又はボトム位置にいる必要があるかを決定する、あるいは、移動エレメント１１０が上方に移動するべき時、下方に移動するべき時、あるいは静止しているべきかを決定する）。処理の結果に基づいて、コントローラ１５０は、マイクロ電気機械装置１００の電極１４０に処理に基づいた電位を印加するように構成することができる。マイクロ電気機械装置２００について述べたように、元のサウンドファイルに似た実際の音が、一群のマイクロ電気機械装置１００によって生成され、必ずしも単一音でなくてもよい。この場合、各マイクロ電気機械装置１００は、マイクロスピーカエレメントと呼ぶことができる。
【００５３】
屈曲部１２０と、各圧電部材１３０と、各電極１４０との間の関係は変化することがある。例えば、一またはそれ以上の屈曲部１２０が電極１４０として作用できる（例えば、図２に示すように）。例えば、一またはそれ以上の屈曲部１２０は、それぞれの圧電部材１３０として作用することができる。
【００５４】
図３は、ここに開示した主題によるマイクロ電気機械装置の一例を示す側面図である。すなわち、選択的に、少なくとも一の屈曲部１２０について、屈曲部１２０は圧電材料を具えており、屈曲部１２０の少なくとも一部が、屈曲部１２０に関連する少なくとも一の圧電部材１３０を構成している。屈曲部１２０全体が圧電材料でできていたとしても、必ずしも屈曲部全体が圧電部材１３０として作用する必要はない。屈曲部１２０をたわませる圧電部材１３０として作用する屈曲部１２０の部分は、制御可能な電場が印加される（例えば、電極１４０に挟まれた部分）部分である。選択的に、移動エレメント１１０は、屈曲部１２０として同じ圧電材料で作ることができる（後者が、実際に部分的に圧電材料でできている場合）。この場合、電極１４０は、移動エレメント１１０を構成している圧電材料の部分に接触していない。
【００５５】
上述した通り、選択的に、一またはそれ以上の屈曲部１２０は、電極１４０として作用する。すなわち、選択的に、少なくとも一の屈曲部１２０について、屈曲部１２０の少なくとも一部が導電材料でできており、その屈曲部に関連する圧電部材１３０に接続された電極１４０の少なくとも一部を構成する。
【００５６】
用語「導電」は、この分野では公知であり、電荷を一またはそれ以上の方向に流す物質又は材料のタイプを意味する非限定的な方法で解釈するべきである。例えば、導電面は、半導体業界で通常用いられているような、一またはそれ以上の導電材料で作ることができる。
【００５７】
マイクロ電気機械装置１００内の屈曲部１４０をたわませるのに使用できる圧電材料の例は、例えば、ＢａＴｉＯ３、ニオブ酸カリウムナトリウム、ポリフッ化ビニリデン、ジルコンチタン酸塩である。
【００５８】
図１、２、３の何れかに示す例の代替として、マイクロ電気機械装置１００は、いくつかの例では、これらの図面に示すものより、数個以上の及び／又は様々なモジュールを具えていてもよい。図１、２、３の何れかに示す例の代替として、マイクロ電気機械装置１００の機能が、いくつかの例では、角都に示すモジュール間で異なって分割されていてもよい。図１、２、３の何れかに示す例の代替として、ここに説明したマイクロ電気機械装置１００の機能が、いくつかの例で、画図面に示すものより、数個以上の及び／又は様々なモジュールに分割されていてもよく、及び／又は、マイクロ電気機械装置１００が、いくつかの例では、ここに述べた機能に追加した、この機能より少ない、及び／又は、この機能と異なる機能を具えるものであってもよい。
【００５９】
図４は、ここに開示した主題によるマイクロ電気機械装置２００の画像の一例を示す図である。マイクロ電気機械装置２００は、物理的効果を生じるように動作する。例えば、この物理的効果は音であってもよく、その他のタイプの圧力波、光の反射、その他であってもよい。
【００６０】
マイクロ電気機械装置は、上述したマイクロ電気機械装置１００とほぼ同じ多くのサブユニットを具えていてもよい。例えば、マイクロ電気機械装置２００は、複数のマイクロ電気機械装置１００を具えていてもよく、この場合、マイクロ電気機械装置２００によって生じる物理的効果は、複数のマイクロ電気機械装置１００によって生じる物理的効果から少なくとも生じる。しかしながら、必ずしもこの通りでなくてもよい。
【００６１】
マイクロ電気機械装置２００は、移動エレメントアレイ２１０を具えており、各移動エレメントは、少なくとも一の圧電部材２３０に関連する少なくとも一の屈曲部２２０で機械的サポート２９０に接続されている。各屈曲部に関連する少なくとも一の圧電部材２３０は、各々、その圧電部材２３０に印加した電場によって変形するように動作し、これによって、圧電部材２３０が接続されている屈曲部２２０をたわませる。
【００６２】
提案された発明を利用することで、圧電−電気的に作動するアクチュエータアレイの各エレメント（マイクロ電気機械装置２００の一つなど）を個別に制御することができる。これは、以前に出願され、ＡＵＤＩＯ  ＰＩＸＥＬＳ  ＬＴＤ社に譲渡された特許出願に記載されているような、受動マトリックスアプローチを用いている。これらの特許出願は、ＰＣＴ特許出願第ＩＬ２００７／０００６１８号、第ＩＬ２００８／００１５２４号、ＩＬ２０１１／０００２２６号、およびＩＬ２０１１／０５００１８号などであり、すべて全体として引用によりこの明細書に組み入れられている。このような、受動マトリックスを用いた圧電−電気的に作動するアクチュエータアレイの各エレメントの個別制御の様々な出願は、とりわけ、ラウドスピーカ、平行ミラーアレイ、偏向ミラーアレイの分野での使用を含む。
【００６３】
マイクロ電気機械装置２００は、また、電極群を含む電気配線（図示せず）を具えている。電極群の各電極２４０は、圧電部材２３０の少なくとも一つに接続されている。電気配線は、複数の圧電部材に少なくとも一つの電場シーケンスを同時に伝送するように動作可能であり、これによって、アレイの移動エレメントの動きを制御可能に誘発して、物理的効果を作る。
【００６４】
選択的に、マイクロ電気機械装置２００はコントローラ２５０を具えていてもよく、これは、デジタル入力信号を処理して、この処理結果に基づいて少なくとも二つの移動エレメントに関連する複数の圧電部材の各々への電場シーケンスの印加を制御するように作用する。コントローラ２５０は、一またはそれ以上の電場シーケンスの印加を制御して、上述した物理的効果が上述ので信号を表すように構成することができる。
【００６５】
より一般的には、マイクロ電気機械装置２００は、周期的にサンプリングしたデジタル入力信号の少なくとも一の特性に対応する少なくとも一の属性を有する物理的効果を発生するマイクロ電気機械装置である。例えば、この物理的効果が音であり、その属性は音波の振幅及び／又は周波数であってもよい。
【００６６】
その他の利用には、光線との相互作用がある。例えば、マイクロ電気機械装置から生じる物理的効果は、光の再方向づけであってもよい。光の再方向付けは、様々な移動エレメントに接続したミラー又はマイクロ光学部品によって行うことができる。これらのミラー（又は、プリズムやレンズなどその他の光学部品）を、圧電素子に印加する電場を制御することによって様々な位置に移動させることによって、マイクロ電気機械装置の様々な光学特性が生じ、これによって、入力光線に対して再方向付け挙動を変えることができる。
【００６７】
別の例では、マイクロ電気機械装置が発生するように作用する物理的効果が光の伝達時間を変えることであり、これによって、光の位相を変化させることができる。光の伝達時間の変更は、様々な移動エレメントに接続したミラー又はその他のマイクロ光学部品によって行うことができる。これらのミラー（又は、プリズムやレンズなどのその他の光学部品）を、圧電部材に印加する電場を制御することによって様々な位置に移動させることで、マイクロ電気機械装置の様々な光学的挙動が得られ、これによって、入射光線の伝達時間を変えることができる。
【００６８】
特に、この物理的効果は可聴音であってもよい（超音波、その他であってもよい）。この場合、コントローラ２５０は、デジタル入力信号として音ファイル又はリアルタイムのストリーミング音信号データを取得して処理する。この処理結果に基づいて、コントローラ２５０は、処理に基づくマイクロ電気機械装置２００の電極に電位を印加するように構成してもよい。元の音ファイルに似ている実際の音が、マイクロ電気機械装置のマイクロスピーカエレメント群（マイクロ電気機械装置１００など）によって発生する。
【００６９】
選択的に、電気配線は異なる圧電部材に異なる電場シーケンスを同時に伝送して、これによって、物理的効果を生じるアレイの移動エレメントの動きを制御可能に誘発することができる。
【００７０】
選択的に、コントローラ２５０は、このような異なる電場シーケンスの異なる圧電部材への同時印加（電気配線を介して）を制御して、これによって、物理的効果を生じるアレイの移動エレメントの動きを制御可能に誘発することができる。
【００７１】
マイクロ電気機械装置２００によって生じる物理的効果は、一またはそれ以上の異なる位置にそれぞれ配置された移動エレメント２１０の数（例えば、上部位置、底部位置、中央位置、その他）によって、及び／又は、一またはそれ以上の方向及び／又は速度にそれぞれ配置された移動エレメントの数（例えば、上方移動、下方移動、又は静止）によって、決まる。例えば、任意の瞬間における圧力波（音波）の大きさは、一方向に移動指定マイクロ電気機械装置２００の移動エレメント２１０の数と、他方向に動いている移動エレメント２１０の数によって決まる。
【００７２】
複数の移動エレメントを具える装置を制御する様々な方法が、本発明の譲受人であるＡｕｄｉｏ  Ｐｉｘｅｌ  ＬＴＤ．社によって開発されている。これらの技術（並びにその他の多くの技術）は全て、コントローラ２５０によって使用されうる。例えば、コントローラ２５０は、以下の特許出願のいずれかに開示されている、論理構造、物理構造、アルゴリズム及びプロセスのいずれも実装することができる：
（ａ）ＰＣＴ特許出願第ＰＣＴ／ＩＬ２０１１／０５００１８号（Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  Ｉｎｄｉｖｉｄｕａｌ  Ａｄｄｒｅｓｓｉｎｇ  ａｎｄ  Ｎｏｉｓｅ  Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ  ｉｎ  Ａｃｔｕａｔｏｒ  Ａｒｒａｙｓ）；
（ｂ）ＰＣＴ特許出願第ＰＣＴ／ＩＬ２０１３／０５０４４４号（Ａ  Ｓｙｓｔｅｍ，  ａ  Ｍｅｔｈｏｄ  ａｎｄ  ａ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ｐｒｏｇｒａｍ  Ｐｒｏｄｕｃｔ  ｆｏｒ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｉｎｇ  ａ  Ｓｅｔ  ｏｆ  Ａｃｔｕａｔｏｒ  Ｅｌｅｍｅｎｔｓ）；
（ｃ）ＰＣＴ特許出願第ＰＣＴ／ＩＬ２００７／０００６２１号（Ｖｏｌｕｍｅ  ａｎｄ  Ｔｏｎｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  ｉｎ  Ｄｉｒｅｃｔ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｐｅａｋｅｒｓ）；及び
（ｄ）ＰＣＴ特許出願第ＰＣＴ／ＩＬ２００７／０００６１８号（Ｄｉｒｅｃｔ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｐｅａｋｅｒ  Ａｐｐａｒａｔｕｓ  Ｈａｖｉｎｇ  ａ  Ｄｅｓｉｒｅｄ  Ｄｉｒｅｃｔｉｖｉｔｙ  Ｐａｔｔｅｒｎ）、
これらの出願は、全て全体を引用することにより、本明細書に組み込まれている。
【００７３】
上述した通り、マイクロ電気機械装置２００は、マイクロスピーカアレイとして実装することができる。マイクロスピーカアレイは、マイクロスピーカエレメント（及び、特に各移動エレメント）がここにアドレスすることができる場、より良い性能を発揮する。これは、様々な技術を用いてなされる。最も簡単なものは、各エレメントについて専用の導電体を用いることである。この方法は、より大きなスペースが必要で、従って、コストがかかる。もう一つの方法は、各エレメントにここに接触している電気回路の表面にエレメントアレイを接置することである。さらに別の方法は、アクティブマトリックスアプローチである。アクティブマトリックス構造では、各エレメントがスイッチ、通常は、トランジスタを具えており、マトリックス行列アドレスを用いてスイッチをオンオフすることができる。後者の二つの選択肢は、電子基板にシリコンを用いた場合にコストがかかる。アクティブマトリックスは、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）技術を使用すれば、最も多くのアプリケーションに対する経済的な解決となりうる。しかしながら、いくつかの使用においては、いくつかの静電及び圧電駆動方法に必要な電圧が、ＴＦＴスイッチングには高すぎることがある。
【００７４】
受動マトリックスは、多くのアプリケーションの良好な解決策である。この技術では、行／列アドレスが用いられており、所定の行／列アドレスに位置するエレメントのみが、その行／列に印加する全電圧をみる。しかしながら、静電及び圧電駆動においては、後のステップ／時間にマトリックスが別の行／列にアドレスしなければならない場合に、駆動位置にエレメントを残すことができない。なぜなら、元の行／列から電圧がオフに切り替わると、これらのエレメントの位置が変わるからである。
【００７５】
この問題を解決する静電装置用の方法が、本明細書に全体を引用することに組み込まれているＰＣＴ特許出願第ＩＬ２０１１／０５００１８号に記載されている。この方法は、静電アクチュエータの挙動におけるヒステリシスによって作動する。圧電装置では、機械的ストッパを用いてデバイスの更なる動きを保持するのであれば、駆動電圧が上がったとしても、同じ技術を使用することができる。このように、移動エレメントをストッパ位置まで移動させるのに高電圧を使用することができ、電圧が下がったとしても、より低い電圧が移動エレメントを機械的ストッパへ駆動するのに十分である限り、この位置はそのまま維持されるであろう。
【００７６】
マイクロ電気機械装置１００の部品に関して述べた、機能、構造、及び変形の全てを、マイクロ電気機械装置２００の各部品に実装できる。例えば、屈曲部１２０に関して述べた機能、構造、及び変形も、マイクロ電気機械装置２００、その他の一またはそれ以上の屈曲部２２０のいずれにも実装することができる。マイクロ電気機械装置１００の各対応する部品の対応する符号は、数字の最も左側の数が２の代わりに１で始まっている。
【００７７】
図５は、ここに開示した主題による、マイクロ電気機械装置２００の一例を示す側面図である。
【００７８】
すなわち、例えば、選択的に、複数の移動エレメント２１０の各々（すなわち、２又はそれ以上の移動エレメント２１０）に接続した少なくとも一の屈曲部２２０について言えば、屈曲部２２０は圧電材料を具え、屈曲部２２０は、その屈曲部に関連する少なくとも一の圧電部材を構成する（例えば、単一の移動エレメントについて、図３に示すように）。選択的に、この複数の移動エレメントの移動エレメント２１０は、圧電材料でできている。
【００７９】
図６は、ここに開示した主題による、マイクロ電気機械装置２００の一例を示す側面図である。選択的に、複数の移動エレメント２１０の各々（すなわち、２又はそれ以上の移動エレメント２１０）に接続した少なくとも一の屈曲部２２０について言えば、屈曲部２２０の少なくとも一部が導電材料でできており、屈曲部に関連する圧電部材２３０に接続された電極２４０の少なくとも一部を構成している。
【００８０】
マイクロ電気機械装置１００にあるように、機械的ストッパは、マイクロ電気機械装置２００の一またはそれ以上の移動エレメントの２１０に対して、その動きの一端、あるいは両端に、実装されている。選択的に、複数の移動エレメント２１０の各移動エレメントについて言えば、移動エレメント２１０は、画軸に沿って交互に前後に移動するよう制約を受けて作動し、マイクロ電気機械装置２２０は、移動エレメント２１０に接続された少なくとも一の圧電部材２３０に印加した電場がしきい値を超えると、移動エレメント２１０を保持する少なくとも一の機械的ストップ２６０を具える。
【００８１】
図４、５、及び６に示す例の代替として、マイクロ電気機械装置２００の幾つかの例では、これらの図に示すものより多くの及び／又はこれらの図に示すものと異なるモジュールをいくつか具える。図４、５、及び６に示す例の代替として、マイクロ電気機械装置２００の機能性は、いくつかの例においては、画図面に記載されたモジュールの間で様々に分割することができる。図４、５、及び６に示す例の代替として、マイクロ電気機械装置２００の機能性は、、これらの図に示すものより多くの及び／又はこれらの図に示すものと異なるいくつかのモジュールに分割することができ、及び／又は、マイクロ電気機械装置２００は、いくつかの例においては、ここに述べた機能に加えた、ここに述べた機能より少ない、あるいはここに述べた機能と異なる、機能を具えていてもよい。
【００８２】
図５及び６に例示したように、移動エレメント２１０は、個別異なる移動エレメント２１０が同時に異なる状態にあるように（あるいはグループ毎に）制御可能である。
【００８３】
図７は、本発明の主題によるマイクロ電気機械装置によって物理的効果を発生させる方法５００の一般化したフローチャートである。これより前の図面に関して述べた例を参照すると、方法５００は、マイクロ電気機械装置２００などのマイクロ電気機械装置によって実行される。
【００８４】
方法５００は、異なる屈曲部に関連する異なる圧電部材に異なる電場シーケンスを配線を介して同時に伝送するステージ５１０を具え、これによって、マイクロ電気機械装置の様々な移動エレメントの動きを制御可能に誘発する。ここで、各移動エレメントは、少なくとも一の屈曲部によって機械的サポートに接続されている。これ以前の図面に関連して記載した例を参照すると、ステージ５１０は、コントローラ１５０などのコントローラによって、おそらくは、一またはそれ以上の電極１４０と組み合わせて実行することができる。
【００８５】
方法５００は、また、移動エレメントの最大移動距離に到達した各移動エレメントの動きを機械的ストッパによって停止させるステージ５２０を具えている。以前の図面に関連して記載した例を参照すると、ステージ５２０は、機械的ストッパ１６０などの機械テキストッパアレイによって実行することができる。ステージ５２０は、ステージ５１０と同時に実行できる（例えば、いくつかの移動エレメントが停止して、その他の移動エレメントは、電場の印加の効果の下で移動する）。
【００８６】
ステージ５２０の停止は、移動エレメントに接続された各圧電部材に印加された電場がしきい値を超えた時に機械的ストッパに対して移動エレメントを保持することを含む（ステージ５２２）。
【００８７】
図８は、本発明の主題によるマイクロ電気機械装置によって物理的効果を発生する方法５００の一般化したフローチャートである。
【００８８】
方法５００は、デジタル入力信号を処理得るステージ５０２と、この処理結果に基づいて複数の電場シーケンスを生成するステージ５０４と、少なくとも二つの移動エレメントに関連する圧電部材への複数の電場シーケンスのうちから、異なる電場シーケンスの印加を制御するステージ５０６とを具える。図８以前の図面に関連して説明した例を参照すると、ステージ５０２、５０４、及び５０６は、コントローラ１５０などのコントローラで実行することができる。
【００８９】
方法５００全体を参照すると、必須ではないが、発生した物理的効果は音（例えば、可聴音、超音波）であってもよい。
【００９０】
必須ではないが、上述したマイクロ電気機械装置２００の操作工程は、方法５００の幾つかのあるいは全てのステージ、及びその変形例のステージに対応している。同様に、方法５００とそのいずれかのステージ、及びその可能な実装例は、マイクロ電気機械装置２００などのシステム、及び各ステージに関して述べたそれぞれの部品によって実装することができる。
【００９１】
ここに開示した主題は、本出願において、明細書に含まれる記載あるいは図面に記載した詳細に限定されない。ここに開示した主題は、その他の実施例も可能であり、様々なやり方で実施及び実行することができる。従って、ここで用いた行源及び用語は、説明の目的のためのものであり、限定と解するべきではない。このように、当業者は、ここに開示した主題の幾つかの目的を達成するその他の構造、方法、及びシステムを設計するベースとして、この開示の下になる概念を容易に利用できることは自明である。
【００９２】
ここに開示した主題によるシステムは、少なくとも部分的に、適切にプログラムしたコンピュータとして実装できることが理解される。同様に、ここに開示した主題は、開示したい方法を実行するためのコンピュータによって読み取り可能なコンピュータプログラムも視野に入れている。更に、ここに開示した主題は、開示した方法を実行する機会によって実行可能な指示プログラムを明らかに実施する機会で読み取り可能なメモリも視野に入れている。
【００９３】
本発明の所定の特徴を図に示して説明したが、多くの変形例、交換例、変更、及び均等物が当業者には自明である。従って、特許請求の範囲は、本発明の真の精神にあるこれらの全ての変形及び変更に亘ることを意図していると解するべきである。
【００９４】
上述した実施例は、例示したものであり、その様々な特徴及びこれらの特鋼の組み合わせは、変更及び変形することができる。
【００９５】
様々な実施例を示して説明したが、この開示によって本発明を限定する意図はないものと解され、むしろ、特許請求の範囲に規定したように、本発明の範囲内にあるすべての変形及び代替の構成に亘ることを意図している。
【図１】
0006472804.tif 000002
【図２】
0006472804.tif 000003
【図３】
0006472804.tif 000004
【図４】
0006472804.tif 000005
【図５】
0006472804.tif 000006
【図６】
0006472804.tif 000007
【図７】
0006472804.tif 000008
【図８】
0006472804.tif 000009