(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に開口部を有し、内部に間隔を開けて基板が収納される容器本体と、前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える基板収納容器であって、
前記容器本体は、前記基板の両側縁部が摺接されて収納・取り出しをガイドするガイド溝と、前記開口部と対向する底板部に前記基板が装着され１枚の前記基板に対して少なくとも中央部の押さえ溝、及び前記中央部を挟む両側で押さえる押さえ溝と、を有し、
中央部の前記押さえ溝の表裏のいずれか一方の面と、中央部を挟む両側の前記押さえ溝の表裏のいずれか他方の面とで前記基板の面に交差する方向に位置をずらして前記基板を前記一方の面および前記他方の面の少なくとも３箇所で固定可能に構成されている、
ことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記中央部の前記押さえ溝と、前記中央部を挟む両側の押さえ溝は、前記基板をガイドする略Ｖ字状のガイド面と、前記ガイド面につながり前記基板を支持する装着溝と、からなる略Ｙ字状に構成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記基板収納容器は、前記容器本体と、前記蓋体とが中央部で開閉される同一形状で構成されている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記容器本体と前記蓋体とは、互いを開閉位置にガイドするガイド部材が設けられていると共に、
前記ガイド部材は、前記容器本体と前記蓋体との閉鎖状態を保持するロック機構が設けられている、
ことを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を収納する容器として、例えば特許文献１に開示された半導体ウエハ（基板）を収納する基板収納容器がある。
特許文献１に開示された基板収納容器は、容器本体の両側壁と底壁にそれぞれ間隔を開けて保持溝を形成し、両側壁と底壁の３箇所の保持溝に基板を支持させて収納し、容器本体の開口部を蓋体で覆って密閉するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１１１０５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、特許文献１の基板収納容器では、基板を円滑に収納するために、基板と保持溝との間に隙間が必要であり、基板と保持溝との隙間によって輸送中の振動・衝撃等で基板が動いてしまう。
このため、基板と保持溝とが擦れ、傷や割れ等による破損、発塵、あるいは化学的成分による基板への汚染等の問題がある。
【０００５】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、収納した基板の動きを押えることができる基板収納容器を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明にかかる基板収納容器は、
一端に開口部を有し、内部に間隔を開けて基板が収納される容器本体と、前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える基板収納容器であって、
前記容器本体は、前記基板の両側縁部が摺接されて収納・取り出しをガイドするガイド溝と、前記開口部と対向する底板部に前記基板が装着され１枚の前記基板に対して少なくとも中央部の押さえ溝、及び前記中央部を挟む両側で押さえる押さえ溝と、を有し、
中央部の前記押さえ溝の表裏のいずれか一方の面と、中央部を挟む両側の前記押さえ溝の表裏のいずれか他方の面とで前記基板の面に交差する方向に位置をずらして前記基板を前記一方の面および前記他方の面の少なくとも３箇所で固定可能に構成されている、
ことを特徴とする。
【０００７】
前記中央部の押さえ溝と、前記中央部を挟む両側の押さえ溝は、前記基板をガイドする略Ｖ字状のガイド面と、前記ガイド面につながり前記基板を支持する装着溝と、からなる略Ｙ字状に構成されている、
ことが好ましい。
【０００８】
前記基板収納容器は、前記容器本体と、前記蓋体とが中央部で開閉される同一形状で構成されている、
ことが好ましい。
【０００９】
前記容器本体と前記蓋体とは、互いを開閉位置にガイドするガイド部材が設けられていると共に、前記ガイド部材は、前記容器本体と前記蓋体との閉鎖状態を保持するロック機構が設けられている、
ことが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の基板収納容器によれば、収納した基板の動きを押えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の基板収納容器の一実施の形態にかかり、容器本体と蓋体とを外した状態の斜視図である。
【図２】本発明の基板収納容器の一実施の形態にかかり、容器本体と蓋体とを閉じた状態の斜視図である。
【図３】本発明の基板収納容器の一実施の形態の蓋体にかかる容器本体の斜視図である。
【図４】本発明の基板収納容器の一実施の形態にかかる容器本体の部分拡大斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の基板収納容器の一実施の形態について図面に基づき詳細に説明する。
本発明の基板収納容器１は、一端に開口部１１を有し、内部に間隔を開けて基板Ｗが収納される容器本体１０と、開口部１１を塞ぐ蓋体２０と、を備える基板収納容器１であって、容器本体１０は、基板Ｗの両側縁部が摺接されて収納・取り出しをガイドするガイド溝１２と、開口部１１と対向する底板部に基板Ｗが装着され１枚の基板Ｗに対して少なくとも中央部の押さえ溝１３、及び前記中央部の両側で押さえる押さえ溝１４，１４と、を有し、中央部の押さえ溝１３と両側の押さえ溝１４，１４とで基板Ｗの面に交差する方向に位置をずらして基板Ｗを固定可能に構成される。
これにより、基板Ｗを、中央部の押さえ溝１３と、その両側の押さえ溝１４，１４とに装着すると、中央部の押さえ溝１３と、その両側の押さえ溝１４，１４とが基板Ｗの面に交差する方向にずらしてあるので、基板Ｗの表面と裏面とが少なくとも３箇所で接して押えられ、基板Ｗの動きが防止される。
【００１３】
本実施の形態では、容器本体１０の一端の開口部１１が上方に向けて開口し、開口部１１と対向する底板部が容器本体１０の底板部１５となり、底板部１５に形成した押さえ溝１３，１４，１４で、垂直な基板Ｗを、間隔を開けて収納する場合を例に説明する。なお、基板収納容器１に基板Ｗを、間隔を開けて容器本体１０に収納し、蓋体２０を被せた収納完了後は、基板Ｗがどのような状態（基板Ｗの向きが、例えば垂直や水平等）で、基板収納容器１の搬送などが行われても良いものである。
【００１４】
本実施の形態では、基板収納容器１は、図１に示すように、容器本体１０と、容器本体１０に被せる蓋体２０とが、同一形状とされ、図２に示すように、上下方向中央の開口部１１同士を嵌合するように容器本体１０に蓋体２０を被せることで、密閉することができるようにしてある。
なお、以下の説明では、容器本体１０について説明し、上下が反転している蓋体２０についての説明は、省略する。
容器本体１０は、図１（ｂ）に示すように、中空円筒体の円筒面を中心で２つ割りにした略半円筒状とされ、開口部１１が矩形とされて上方に開口している。
容器本体１０は、平面状の底板部１５と、底板部１５の両端に連続して立ち上がる曲面と上端部の垂直面との左右壁部１６と、底板部１５と左右壁部１６の両側を塞ぐ底部が水平な直線状で両側に円弧状と垂直な直線状とで略半円形状の前後壁部１７と、を備えて構成されている。
これにより、基板収納容器１は、容器本体１０の開口部１１に蓋体２０を被せた状態では、図２に示すように、上下・左右が平面で、これらの間が曲面で構成された略正方形の４隅を円弧とした横断面の外形となっている。
容器本体１０には、前後壁部１７と平行に基板Ｗが、間隔を開けて収納される。基板Ｗの面と交差する方向、例えば直交する方向が左右壁部１６と平行な方向となる。
左右壁部１６は、左壁部１６と右壁部１６の間隔（幅）が、収納する基板Ｗの大きさ（直径）、例えば５インチ、６インチ、８インチ、１２インチ等のサイズに合わせてあり、基板Ｗの直径よりわずかに（例えば、直径より１〜２ｍｍ程度）大きくしてある。前後壁部１７の間隔は、収納する基板Ｗの枚数に応じて設定してあり、例えば図示例では、１３枚の基板Ｗを収納できるようにしてある。
左右壁部１６の内側には、左右に対向して基板Ｗをガイドするガイド溝１２が前後に所定の間隔で一体に形成されている。ガイド溝１２は、左右に対向するガイド溝１２で基板Ｗの両側縁部をガイドできる深さ（左右壁部ｌ６からのガイド板１２ａの突出し量）のガイド板１２ａとされ、図示例のように、基板Ｗにダイシングフレームを備え得る場合には、ダイシングフレーム部分をガイドするように設定し、ダイシングフレームを備えない場合には、基板Ｗの両側縁部をガイドするように設定される。
ガイド溝１２の前後の間隔は、図３に示すように、ガイド板１２ａを所定の間隔、例えば基板Ｗの収納および取り出しが円滑にできる間隔で設けられ、隣接するガイド板１２ａ，１２ａの間がガイド溝１２を構成する。
【００１５】
底板部１５には、図３及び図４に示すように、ガイド溝１２でガイドされて収納される基板Ｗを押えて固定するための中央部の押さえ溝１３と、中央部の押さえ溝１３の両側の押さえ溝１４とが上方に突き出すように底板部１５（容器本体１０）と一体に形成されている。
中央部の押さえ溝１３は、例えば２列の押さえ溝１３で構成され、各押さえ溝１３ａがガイド溝１２の前後方向の間隔に合わせて収納すべき基板Ｗの枚数分だけ形成してある。各押さえ溝１３ａは、略Ｖ字状のガイド面１３ｂと、ガイド面１３ｂにつながる底部の矩形の装着溝１３ｃとからなる略Ｙ字状の溝形状に形成してある。これにより、基板Ｗを収納する場合には、略Ｖ字状のガイド面１３ｂに基板Ｗが当たってガイドされ、装着溝１３ｃに装着されることになる。中央部の２列の押さえ溝１３の装着溝１３ｃは、前後方向の同一位置、前後壁部１７と平行に形成してある。
両側の押さえ溝１４は、中央部の２列の押さえ溝１３の両側に、それぞれ１列ずつ配置されて底板部１５（容器本体１０）と一体に形成されている。
両側の押さえ溝１４の各押さえ溝１４ａは、中央部の押さえ溝１３と同一形状とされ、ガイド面１４ｂがＶ字状に形成され、ガイド面１４ｂにつながる装着溝１４ｃによって略Ｙ字状に形成されている。各押さえ溝１４ａは、収納すべき基板Ｗの枚数に応じた個数が１列に形成されている。
【００１６】
両側の押さえ溝１４の各押さえ溝１４ａと、中央部の２列の押さえ溝１３の各押さえ溝１３ａとは、一直線上ではなく、中央部の押さえ溝１３に対して、両側の押さえ溝１４がずらしてある。例えば、図４中に矢印で示すように、中央部の押さえ溝１３を前方側（紙面奥側）に、両側の押さえ溝１４をそれぞれ方向側（紙面手前側）に、基板Ｗの厚みに合わせてずらしてある。
これにより、基板Ｗは、２箇所の中央部の押さえ溝１３に紙面手前側の表面が装着溝１３ｃに接触し、両側の押さえ溝１４に紙面奥側の表面が接触し、基板Ｗの表面と裏面とが４箇所で装着溝１３ｃ，１４ｃに接して押えられ、基板Ｗの動きが完全に防止される。
また、基板収納容器１では、蓋体２０が容器本体１０と同一形状としてあるので、収納された基板Ｗは、上下各４箇所、合計８箇所で装着溝１３ｃ，１４ｃに接して押えられることになる。
なお、中央部の押さえ溝１３を２列とし、両側の押さえ溝１４を１列ずつとしたが、それぞれの押さえ溝１３，１４は、少なくとも１列あれば良く、さらに複数列とするようにしても良い。
【００１７】
容器本体１０の開口部１１には、蓋体２０を被せて嵌合することでシールできるように、シール用凸部１１ａと、シール用凹部１１ｂとが形成してある。
シール用凸部１１ａは、矩形の開口部１１の前後壁部１７の角部から中央までの対角位置（矩形の開口部１１の対角線の交点を中心とした対角位置）と、左右壁部１６の一方に形成されている。矩形の開口部１１のシール用凸部１１ａ以外の前後壁部１７の角部から中央部までの対角位置と、左右壁部１６の他方にシール用凹部１１ｂが形成されている。
これにより、容器本体１０の開口部１１に、蓋体２０を上下及び左右に反転させて開口部１１同士を合わせるようにし、シール用凸部１１ａをシール用凹部１１ｂに挿し込むように嵌合することで、密封状態にすることができるようにしてある。
なお、シール用凹部１１ｂには、必要に応じてシール用のゴムパッキン等が装着される。
【００１８】
容器本体１０には、蓋体２０との開閉位置をガイドするガイド部材１８が設けられる。ガイド部材１８は、図１に示すように、開口部１１の対角位置に突き出すように設けられるガイドプレート１８ａで構成され、上端部が外側に曲げられている。ガイドプレート１８ａは、容器本体１０に収納された基板Ｗと蓋体２０のガイド溝１２のガイド板１２ａが接触する直前には、開口部１１同士の位置を見極めることができる突き出し量としてある。
これにより、容器本体１０に収納された基板Ｗを蓋体２０の対応するガイド溝１２に導くことができ、蓋体２０の位置を再調整する必要がなく、一度の操作で所定の位置に被せることができる。
【００１９】
容器本体１０には、蓋体２０を嵌合した状態で保持するロック機構１９が設けられる。ロック機構１９は、ガイド部材１８に形成したロック孔１９ａと、容器本体１０の前後壁部１７の対角位置に形成した係止突起１９ｂとで構成されている。
ロック孔１９ａは、図１に示すように、矩形の貫通孔をガイドプレート１８ａに形成して構成される。係止突起１９ｂは、開口部１１側が傾斜面とされて下端部が水平面とされた直角三角形状に形成されて構成される。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにすると、ガイド部材１８の上端部の外側に曲げられた部分が係止突起１９ｂの傾斜面に沿って下降し、容器本体１０に蓋体２０が嵌合される状態まで下降すると、ガイド部材１８のロック孔１９ａが係止突起１９ｂの傾斜面を乗り越えて下端の水平面に係止され、ロック状態となる。
ロックの解除は、ガイド部材１８の上端部の外側に曲げられた端部をさらに外側に押し戻すようにして係止突起１９ｂから引き上げるようにして行う。
【００２０】
なお、容器本体１０は、図１及び図２に示すように、左右壁部１６、前後壁部１７等の部材に、補強や他の工程でのハンドリング等のため、必要に応じて凹凸部やリブ等が形成されている。
【００２１】
基板収納容器１では、容器本体１０及び蓋体２０は、合成樹脂を用いた射出成形によって成形することができる。合成樹脂としては、ポリプロピレン系樹脂、ＡＢＳ系樹脂などの汎用プラスチック、ポリカーボネート系樹脂などのエンジニアリングプラスチックなどを挙げることができる。また、導電性プラスチックにより形成することが好ましい。導電性プラスチックとしては、導電性フィラーを添加したプラスチックやポリマーアロイ処理したプラスチック等が挙げられる。導電性フィラーとしては、カーボンブラック、グラファイトカーボン、グラファイト、炭素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コートした無機質微粉末、有機質微粉末や繊維等が挙げられる。あるいは、導電性プラスチックに代えて、成形後に樹脂表面に導電処理を施すようにしても良い。
【００２２】
このように構成した基板収納容器１によれば、一端に開口部１１を有し、内部に間隔を開けて基板Ｗが収納される容器本体１０と、開口部１１を塞ぐ蓋体２０と、を備える基板収納容器１であって、容器本体１０は、基板Ｗの両側縁部が摺接されて収納・取り出しをガイドするガイド溝１２と、開口部１１と対向する底板部に基板Ｗが装着され１枚の基板Ｗに対して少なくとも中央部の押さえ溝１３、及び中央部を挟む両側で押さえる押さえ溝１４と、を有し、中央部の押さえ溝１３の表裏のいずれか一方の面と、中央部を挟む両側の押さえ溝１４の表裏のいずれか他方の面とで基板Ｗの面に交差する方向に位置をずらして基板Ｗを一方の面および他方の面の少なくとも３箇所で固定可能に構成されているので、収納される基板Ｗは、少なくとも中央部の押さえ溝１３と、両側の押さえ溝１４とで基板Ｗの表裏の３箇所に接触して押えることができ、確実に基板Ｗの動きを押えることができる。
【００２３】
基板収納容器１によれば、中央部の押さえ溝１３と、中央部を挟む両側の押え溝１４は、基板Ｗをガイドする略Ｖ字状のガイド面１３ｂ、１４ｂと、ガイド面１３ｂ、１４ｂにつながり基板Ｗを支持する装着溝１３ｃ、１４ｃと、からなる略Ｙ字状に構成されているので、装着溝１３ｃ、１４ｃによって収納された基板Ｗがガイド面１３ｂ、１４ｂに沿って移動することがなく容器本体１０だけで確実に基板Ｗを押えることができる。
【００２４】
基板収納容器１によれば、基板収納容器１は、容器本体１０と、蓋体２０とが中央部で開閉される同一形状で構成されているので、一つの金型で容器本体１０と蓋体２０とを成形することができ、生産効率を向上することができる。
基板Ｗを収納する場合に、１対の容器本体１０と蓋体２０のいずれか１方に収納しても他方を蓋体として密封することができ、基板Ｗの収納を容易に行うことができる。
【００２５】
基板収納容器１によれば、容器本体１０と蓋体２０とは、互いを開閉位置にガイドするガイド部材１８が設けられていると共に、ガイド部材１８は、容器本体１０と蓋体２０との閉鎖状態を保持するロック機構１９が設けられているので、中央で分割された容器本体１０と蓋体２０であってもガイド部材１８によって開閉位置を見極めることができ、基板Ｗを損傷することなく、開閉することができる。また、ガイド部材１８を開閉位置に位置させることで容器本体１０と蓋体２０との閉鎖状態を保持することができる。
【００２６】
いずれの基板収納容器１でも、こうして容器本体１０に基板Ｗを収納し、蓋体２０を被せた後は、収納した基板Ｗは、中央部の押さえ溝１３及び両側の押さえ溝１４で基板Ｗの表裏が少なくとも３箇所で押えられているので、基板収納容器１を任意の方向にして搬送しても、基板Ｗは移動せず、基板Ｗと容器本体１０や蓋体２０と擦れ、傷や割れ等による破損、発塵、あるいは化学的成分による基板Ｗへの汚染等の問題を防止することができる。
【００２７】
なお、上記実施の形態では、容器本体１０と蓋体２０とを同一形状に構成したが、同一形状に限定するものではなく、それぞれを異なる形状とし、少なくとも、容器本体に中央部の押さえ溝とその両側の押さえ溝をずらして形成することで、基板Ｗを確実に押えて収納することができようにすればよく、例えば中央部の押さえ溝を可動式にしてもよい。
また、ガイド部材やロック機構は、上記実施の形態に限定するものではなく、蓋体を容器本体にガイドできれば良く、また、蓋体を密閉状態に保持できればどのような構成であっても良い。例えば、容器本体１０や蓋体２０における左右壁部１６の内部、或いは前後壁部１７の内部に適宜ガイド部を設け、容器本体１０に蓋体２０が被せ易くしてもよい。
さらに、本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００２８】
１      基板収納容器
１０    容器本体
１１    開口部
１１ａ  シール用凸部
１１ｂ  シール用凹部
１２    ガイド溝
１２ａ  ガイド板
１３    中央部の押さえ溝
１３ａ  各押さえ溝
１３ｂ  ガイド面
１３ｃ  装着溝
１４    両側の押さえ溝
１４ａ  各押さえ溝
１４ｂ  ガイド面
１４ｃ  装着溝
１５    底板部
１６    左右壁部
１７    前後壁部
１８    ガイド部材
１８ａ  ガイドプレート
１９    ロック機構
１９ａ  ロック孔
１９ｂ  係止突起
２０    蓋体
Ｗ     基板
【図１】
0006581441.tif 000002
【図２】
0006581441.tif 000003
【図３】
0006581441.tif 000004
【図４】
0006581441.tif 000005