(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを処理するウェーハ処理システムであって、
ウェーハをダイシングテープを介して環状フレームに支持されたウェーハユニットの状態で収容するトレーと、
該トレーに収容されたウェーハユニットの状態のウェーハを搬送するコンベアと、
該コンベアに沿って互いに離間して配設された、該コンベアから該トレーを搬出すると共に、搬出した該トレーを該コンベアへ搬入する第一及び第二のトレー保持装置と、
該第一及び第二のトレー保持装置に対応して配設され、それぞれ該コンベアによって搬送されるウェーハユニットの状態のウェーハを処理する処理手段と、該第一又は第二のトレー保持装置に保持された該トレーからウェーハユニットの状態のウェーハを搬出又は搬入する搬出入手段と、を有する第一及び第二の装置と、を備え、
該トレーは、箱体と、該箱体の上部を閉鎖するカバーとを含み、該箱体にはウェーハユニットのフレームを支持する一対の支持部材が固定されており、
該第一及び該第二のトレー保持装置は、該トレーを保持する第一のトレー保持部と該第一のトレー保持部の下方の第二のトレー保持部とをそれぞれ有し、該第一のトレー保持部で該トレーを保持したまま該第二のトレー保持部と該コンベアとの間で他のトレーの搬出又は搬入が可能であり、
ウェーハを１枚毎に処理することを特徴とするウェーハ処理システム。
【請求項２】
該搬出入手段は、該第一又は該第二のトレー保持装置の該第一のトレー保持部が該トレーを保持したまま、該他のトレーが該コンベアから該第二のトレー保持部に搬入された後に該第二のトレー保持部が保持する該他のトレーからウェーハユニットの状態の該ウェーハを該処理手段に搬入できることを特徴とする請求項１記載のウェーハ処理システム。
【請求項３】
該処理手段での処理は、ウェーハユニットの状態のウェーハを加工及び検査する処理を含む請求項１又は２記載のウェーハ処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、１枚毎のウェーハに加工工程及び検査工程を含む一連の処理を連続して施すことのできるウェーハ処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハの切削工程又は研削工程等のウェーハの加工工程では、ウェーハは複数枚（例えば２５枚）毎にカセットに収容され、カセット単位で装置間をオペレータによって移動され各種工程を遂行している（例えば、特開平９−０２７５４３号公報参照）。
【０００３】
研削装置では、ウェーハの表面に保護テープが貼着された複数枚のウェーハがカセット中に収容され、ウェーハ搬送ロボットでカセット中からウェーハを取り出してウェーハの裏面の研削加工を実施し、研削終了後にはウェーハ搬送ロボットで他のカセット中にウェーハを複数枚収容するようにしている。
【０００４】
一方、切削装置では、ウェーハはダイシングテープを介して環状フレームで支持されたウェーハユニットの形態でカセット中に複数枚収容され、搬出入装置でウェーハをカセット中から１枚ずつ取り出して切削加工を施し、加工終了後に洗浄したウェーハを搬出入装置により同一のカセット中に収容するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−０２７５４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来はカセット中に複数枚のウェーハを収容し、１枚ずつ取り出して処理をしているため、ある工程で次のカセットの投入が可能な待機状態となっても、前の工程でカセット中の全てのウェーハの加工が終了していない場合、無駄な待機時間が発生してしまい、非効率的であるという課題があった。これは、オペレータによるカセット移動を搬送ロボット等で自動化しても避けられない非効率状態である。
【０００７】
また、オペレータがウェーハを１枚毎に装置間を搬送し、効率的な工程の遂行を実施するようにした場合、オペレータの仕事量が激増し、オペレータの増員を余儀なくされるため、高コストにつながるという問題がある。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、無駄な待機時間を削減することが可能なウェーハ処理システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によると、ウェーハを処理するウェーハ処理システムであって、ウェーハをダイシングテープを介して環状フレームに支持されたウェーハユニットの状態で収容するトレーと、該トレーに収容されたウェーハユニットの状態のウェーハを搬送するコンベアと、該コンベアに沿って互いに離間して配設された、該コンベアから該トレーを搬出すると共に、搬出した該トレーを該コンベアへ搬入する第一及び第二のトレー保持装置と、該第一及び第二のトレー保持装置に対応して配設され、それぞれ該コンベアによって搬送されるウェーハユニットの状態のウェーハを処理する処理手段と、該第一又は第二のトレー保持装置に保持された該トレーからウェーハユニットの状態のウェーハを搬出又は搬入する搬出入手段と、を有する第一及び第二の装置と、を備え、該トレーは、箱体と、該箱体の上部を閉鎖するカバーとを含み、該箱体にはウェーハユニットのフレームを支持する一対の支持部材が固定されており、該第一及び該第二のトレー保持装置は、該トレーを保持する第一のトレー保持部と該第一のトレー保持部の下方の第二のトレー保持部とをそれぞれ有し、該第一のトレー保持部で該トレーを保持したまま該第二のトレー保持部と該コンベアとの間で他のトレーの搬出又は搬入が可能であり、ウェーハを１枚毎に処理することを特徴とするウェーハ処理システムが提供される。
【００１０】
好ましくは、該搬出入手段は、該第一又は該第二のトレー保持装置の該第一のトレー保持部が該トレーを保持したまま、該他のトレーが該コンベアから該第二のトレー保持部に搬入された後に、該第二のトレー保持部が保持する該他のトレーからウェーハユニットの状態の該ウェーハを該処理手段に搬入できる。また、好ましくは、該処理手段での処理は、ウェーハユニットの状態のウェーハを加工及び検査する処理を含む。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のウェーハ処理システムによると、コンベアを用いてウェーハを１枚毎に搬送し、各装置に供給するため、無駄な待機時間を極限まで削減でき、少ないオペレータで効率的にウェーハを処理することができる。ウェーハはトレーに収容されてコンベアで搬送されるため、搬送中のウェーハの破損等を防止できる。
【００１２】
トレー保持装置には２つのトレー保持部を設けたことから、トレー保持装置はトレーの仮置き機能も有するため、コンベアの停止が避けられ効率的にウェーハを各装置に供給できるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明実施形態に係るウェーハ処理システムの全体構成を示す平面図である。
【図２】ウェーハユニットの斜視図である。
【図３】ウェーハユニットをトレーに収容する状態を示す斜視図である。
【図４】コンベアで搬送される複数のトレーの斜視図である。
【図５】切削装置の斜視図である。
【図６】トレー保持装置中にトレーを収容する様子を示す斜視図である。
【図７】トレーが内部に収容された状態のトレー保持装置の断面図である。
【図８】トレー保持装置に収容されたトレーからウェーハユニットを突き出す様子を示す斜視図である。
【図９】図８の縦断面図である。
【図１０】トレーに収容されてコンベアで搬送されるウェーハユニットに紫外線を照射する様子を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係るウェーハ処理システムの全体構成を示す模式的平面図が示されている。ウェーハ処理システム２は、矢印Ａ方向に移動されるベルトコンベア等のコンベア４を備えている。
【００１５】
本実施形態では、コンベア４に沿って、第一の装置としての第一切削装置６、第二の装置としての第二切削装置６Ａ、第３の装置としての紫外線を照射するＵＶ照射器８、第四の装置としてのダイボンダ１０が互いに離間して配設されている。
【００１６】
図１に示した形態は、本発明のウェーハ処理システムの一実施形態の装置の配設を模式的に示したものであり、装置の配設形態はこれに限定されるものではなく、複数の装置がコンベア４に沿って配設されているものであればよい。
【００１７】
本実施形態のウェーハ処理システムは、切削装置を主体とするものであるため、ウェーハ１１は、図２に示すように、ダイシングテープＴを介して環状フレームＦに支持されたウェーハユニット１７の状態でウェーハ処理システムに投入される。
【００１８】
ウェーハ１１の表面には、格子状に形成された複数の分割予定ライン１３によって区画された各領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイス１５が形成されている。外周部が環状フレームＦに貼着されたダイシングテープＴにウェーハ１１の裏面を貼着することにより、ウェーハユニット１７が形成される。
【００１９】
本実施形態では、ウェーハ１１はウェーハユニット１７の形態でウェーハ処理システムに投入されるが、本発明はこれに限定されるものではなく、ウェーハ処理システムの実施形態によっては、ウェーハ１１単体で投入される形態であってもよい。
【００２０】
例えば、ウェーハ１１をハーフカットする形態又はウェーハの外周部をエッジトリミングする形態では、ウェーハ１１単体をウェーハ処理システムに投入するようにしてもよい。或いは、研削装置及び／又は研磨装置が主体のウェーハ処理システムでは、ウェーハ１１の表面に保護テープが貼着された状態で、ウェーハ１１はウェーハ処理システムに投入される。
【００２１】
本実施形態のウェーハ処理システムでは、ウェーハユニット１７は、図３に示すように、トレー１４中に収容された状態でコンベア４により搬送される。トレー１４は、底板１６ａを有する箱体１６と、箱体１６の上部を閉鎖するカバー２０とから構成される。箱体１６の底板１６ａ上にはウェーハユニット１７の環状フレームＦを支持する一対の支持部材１８が固定されている。
【００２２】
カバー２０は、箱体１６より所定距離側方に突き出た枠体２２と、枠体２２に支持されたポリカーボネート等の透明樹脂から形成された透明カバー部材２４とから構成される。ウェーハ処理システムで処理されるべきウェーハ１１には、ウェーハの処理内容、加工の順序等をコード化したバーコード１９が貼付されている。
【００２３】
再び図１を参照すると、ウェーハユニット１７はウェーハ投入カセット１２中に複数枚収容されて、コンベア４上のトレー１４中に収容される。トレー１４中へのウェーハユニット１７の収容は、好ましくは、搬送を停止されたコンベア４上のトレー１４中に図示しない搬入装置により自動的に搬入する。または、ウェーハユニット１７が予め搬入されたトレー１４を搬送運転中のコンベア４上に載置しても良い。
【００２４】
ウェーハユニット１７をトレー１４中に収容するのは、搬送時にウェーハ１１に何らかの傷が付くのを防止するためである。トレー１４中に収容されたウェーハユニット１７は、図４に示すように、コンベア４上に載置されて、コンベア４の移動に伴い搬送される。
【００２５】
次に、図５を参照して、第一の切削装置６の構成について説明する。２８は第一の切削装置６のベースであり、ベース２８の概略中央部にはチャックテーブル３０が配設されており、チャックテーブル３０は回転可能且つ図示しない加工送り機構によりＸ軸方向に往復動される。
【００２６】
チャックテーブル３０の周囲には、ウェーハユニット１７の環状フレームＦをクランプして固定する複数の（本実施形態では４個）クランプ３２が配設されている。３４はチャックテーブル３０の加工送り機構を覆う蛇腹である。
【００２７】
ベース２８の後方には第一の門型フレーム３６が立設されており、この第一の門型フレーム３６には第一切削ユニット３８Ａ及び第二切削ユニット３８ＢがＹ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ独立して移動可能に搭載されている。
【００２８】
ベース２８の中間部分に立設された第二の門型フレーム４０には、ガイドレール４２，４４がＹ軸方向に伸長するように固定されている。第一搬送ユニット４６がガイドレール４２に案内されてＹ軸方向に移動可能に搭載されており、第二搬送ユニット５４がガイドレール４４に案内されてＹ軸方向に移動可能に搭載されている。
【００２９】
第一搬送ユニット４６は、ガイドレール４２に案内されてＹ軸方向に移動可能な支持部材４８と、Ｚ軸方向（上下方向）に移動可能に支持部材４８に支持された十字形状の吸着部５０とから構成される。
【００３０】
十字形状の吸着部５０でウェーハユニット１７の環状フレームＦを吸着する。十字形状の吸着部５０の先端にはウェーハユニット１７の環状フレームＦを把持する把持部５２が取り付けられている。第二搬送ユニット５４は、切削加工後のウェーハユニット１７を吸引保持してスピンナー洗浄ユニット５６まで搬送する。
【００３１】
図１を再び参照すると、第一の切削装置６、第二の切削装置６Ａ、ダイボンダ１０に対応して、トレー保持装置６２が上下方向に段階的に移動可能に配設されている。図６乃至図９を参照して、トレー１４を内部に保持して各装置６，６Ａ，１０にトレー１４中のウェーハユニット１７を搬出入するトレー保持装置６２の詳細構成について説明する。
【００３２】
トレー保持装置６２は、図示しない移動機構により上下方向に段階的に移動される支持部６６と、支持部６６に支持されたトレー保持装置本体６８とから構成される。コンベア４の移動方向の本体６８は、図７に示すように、大きく開口されており、一対の側板６８ａが垂下して形成されている。支持部６６の移動機構は特に図示しないが、エアシリンダ、又はボールねじとパルスモータとを組み合わせた従来公知の移動機構を採用可能である。
【００３３】
各側板６８ａには、トレー１４のカバー２０の枠体２２を保持する第一保持部７２及び第二保持部７４が形成されている。第一の切削装置６に対向する側板６８ａにはトレー保持装置６２の第一保持部７２で保持されたトレー１４に対してウェーハユニット１７を搬出入するための開口７０が形成されている。
【００３４】
図６乃至図９に示すように、コンベア４の両側に形成されてコンベア４の直線運動を規制する一対のレール部材２６のトレー保持装置６２に対応する部分には、トレー保持装置６２の下方への移動を許容する収容溝２７が形成されている。
【００３５】
本実施形態のトレー保持装置６２でトレー１４を保持する場合には、まず、トレー保持装置６２を最下方に移動して、トレー保持装置６２の側板６８ａをレール部材２６の収容溝２７中に収容する。この状態では、トレー保持装置６２の第一保持部７２がコンベア４により搬送されてくるトレー１４のカバー２０の枠体２２より僅かばかり下方に位置付けられる。
【００３６】
コンベア４で搬送されてくるトレー１４がトレー保持装置６２内に収容されたことを図示しないセンサで検知すると、支持部材６６を上下方向に移動する移動機構が作動されて、トレー保持装置６２を図７に示す中間位置に上昇する。
【００３７】
これにより、第一トレー１４ａが第一保持部７２に保持されてトレー保持装置６２内に保持される。この状態では、コンベア４で搬送されているトレー１４のカバー２０の枠体２２は第二保持部７４の上方に位置付けられる。
【００３８】
従って、コンベア４０で搬送されてくるトレー１４がトレー保持装置６２内に収容されたことをセンサで検出すると、トレー保持装置６２の支持部材６６がもう一段階上昇されて、図９に示すように、第二保持部７４で第二トレー１４ｂのカバー２０の枠体２２を保持する上昇位置に位置付けられる。トレー保持装置６２がこの上昇位置では、コンベア４０により搬送されてくるトレー１４の搬送はそのまま続行される。
【００３９】
図示しないセンサでトレー１４のトレー保持装置６２内への検出した際には、コンベア４の駆動を停止するのが好ましいが、コンベア４の移動が低速である時には、コンベア４の駆動を停止せずにコンベア保持装置６２を一段階、又は二段階上昇させるようにしてもよい。
【００４０】
再び図１を参照すると、第一の切削装置６に対向するトレー保持装置６２の上流側、第二の切削装置６Ａに対向するトレー保持装置６２の上流側、ＵＶ照射器８の上流側のコンベア４の上方には、ウェーハ１１のバーコード１９を読み取るバーコードリーダ６４が配設されている。
【００４１】
これらのバーコードリーダ６４で読み取ったウェーハ１１のバーコード１９の情報から、トレー１４内に収容されたウェーハユニット１７を第一の切削装置６、又は第二の切削装置６Ａ内に搬入してウェーハ１１に加工を施すかどうかを決定する。
【００４２】
バーコードリーダ６４で読み取ったウェーハ１１のバーコード１９の情報から、第一の切削装置６で切削加工を施す必要がないと判断した場合には、該ウェーハユニット１７を収容したトレー１４を第一の切削装置６に対向するトレー保持装置６２内に取り込まずに、コンベア４を駆動してウェーハユニット１７を収容したトレー１４を第一の切削装置６をスルーする。
【００４３】
図５に示すように、第一の切削装置６のベース２８上には、互いに近づく方向及び遠ざかる方向に同時に移動する一対の第一センタリングバー５８が配設されており、蛇腹３４の上方には互いに近づく方向及び遠ざかる方向に同時に移動する一対の第二センタリングバー６０が配設されている。
【００４４】
このようにセンタリングバー５８，６０を隣接して設けたのは、コンベア４上から第一の切削装置６のチャックテーブル３０までウェーハユニット１７を引き込む経路が長いためである。
【００４５】
以下、上述した本発明実施形態に係るウェーハ処理システムの作用について説明する。図５に示した第一の切削装置６では、ウェーハユニット１７が第一センタリングバー５８上に搭載されている。
【００４６】
従って、この状態では、図６及び図７に示すように、第一保持部７２で保持された第一トレー１４ａ内のウェーハユニット１７は第一搬送ユニット４６の把持部５２で把持されて第一の切削装置６内に引き込まれているため、ウェーハ保持装置６２の第一保持部７２に保持された第一トレー１４ａ内は空であり、ウェーハ保持装置６２は最下端位置から一段階上昇されている。
【００４７】
再び図５を参照すると、第一搬送ユニット４６の把持部５２で第一トレー１４ａから引き込んだウェーハユニット１７は、第一搬送ユニット４６をＹ軸方向に移動することにより、第一センタリングバー５８上をスライドして第二センタリングバー６０上に位置付けられる。
【００４８】
ここで、第二センタリングバー６０を互いに近づく方向に移動してウェーハユニット１７のセンタリングを実施した後、第一搬送ユニット４６の吸着部５０でウェーハユニット１７を吸着する。
【００４９】
第二センタリングバー６０を互いに遠ざかる方向に移動した後、チャックテーブル３０を第一搬送ユニット４６の吸着部５０に吸着したウェーハユニット１７の直下に移動し、ウェーハユニット１７をチャックテーブル３０上に載置する。
【００５０】
次いで、チャックテーブル３０でダイシングテープＴを介してウェーハ１１を吸引保持すると共に、クランプ３２でウェーハユニット１７の環状フレームＦをクランプして固定する。この状態で、第一切削ユニット３８Ａ及び／又は第二切削ユニット３８Ｂでウェーハ１１に切削加工を施して、ウェーハ１１を個々のデバイスチップに分割する。
【００５１】
ウェーハ１１の切削終了後、第二搬送ユニット５４でウェーハユニット１７を吸着保持してスピンナー洗浄ユニット５６まで移動する。スピンナー洗浄ユニット５６でウェーハユニット１７のスピン洗浄及びスピン乾燥を実施する。
【００５２】
次いで、第一搬送ユニット４６の吸着部５０でウェーハユニット１７を吸着して第一センタリングバー５８まで搬送し、第一搬送ユニット４６の把持部５２でウェーハユニット１７の環状フレームＦを把持して、ウェーハ保持装置６２の第一保持部７２で保持された第一トレー１４ａ内に切削加工の終了したウェーハユニット１７を挿入する。
【００５３】
図６及び図７に示したトレー保持装置６２の第一保持部７２で第一トレー１４ａを保持している状態から、第二保持部７４でコンベア４により搬送されてくるトレー１４を保持する際には、センサでトレー１４がトレー保持装置６２内に完全に収容されたことを検出した後、図８及び図９に示すように、トレー保持装置６２を最下端位置から２段階上昇して、トレー保持装置６２の第二保持部７４で第二トレー１４ｂを保持する。
【００５４】
この状態では、トレー保持装置６２に保持された第二トレー１４ｂとコンベア４により搬送されてくるトレー１４との間に十分な間隔があるため、コンベア４で搬送されてくるトレー１４はトレー保持装置６２で保持されている第二トレー１４ｂに干渉せずにトレー保持装置６２を通過することができる。
【００５５】
トレー保持装置６２の第二保持部７４で保持されている第二トレー１４ｂ内のウェーハユニット１７を第一の切削装置６に投入するには、第一搬送ユニット４６を図５でＹ軸方向手前側に移動して、図８及び図９に示すように、把持部５２でウェーハユニット１７の環状フレームＦを把持し、第一搬送ユニット４６をＹ軸方向奥側に移動することにより、ウェーハユニット１７を、図５に示すように、第一センタリングバー５８上に引き出して第一の切削装置６でウェーハ１１に切削加工を施すことができる。
【００５６】
第二の切削装置６Ａに対向しているトレー保持装置６２及びダイボンダ１０に対向しているトレー保持装置６２の作用も、第一の切削装置６に対向している上述したトレー保持装置６２の作用と同様なので、その説明を省略する。
【００５７】
一方、ウェーハユニット１７のダイシングテープＴが紫外線硬化型テープ（ＵＶテープ）であり、その粘着力を弱体化したい場合には、第三の装置であるＵＶ照射器８は矢印Ｂ方向に往復動可能であるので、バーコードリーダ６４で読み取ったウェーハ１１に貼付されたバーコード１９の情報により、ダイシングテープＴがＵＶテープであると判明した時には、ＵＶ照射器８を図１０に示すように、コンベア４の搬送経路の直下に移動する。
【００５８】
この実施形態の場合には、トレー１４の底板１４ａをポリカーボネート等の透明樹脂から形成しておき、ＵＶ照射器８からウェーハユニット１７に紫外線を照射してウェーハユニット１７のダイシングテープＴを硬化させ、その粘着力を低減化する。これにより後のピックアップ工程でピックアップ装置によりデバイスチップを容易にピックアップすることができる。
【００５９】
また、ＵＶ照射器８がコンベア４の搬送経路の直下に常設されても良いし、ＵＶ照射器８が第一搬送ユニット４６を備え、ＵＶ照射器８に対応して設置されたトレー保持装置６２からウェーハユニット１７を搬出入しても良い。
【００６０】
なお、ウェーハ処理システム２の全体構成を示す図１には特に図示していないが、ウェーハ処理システムの処理に検査処理を含むことが好ましい。この場合には、検査装置をコンベア４の搬送経路に沿って配設するようにすればよい。
【００６１】
上述した実施形態のウェーハ処理システムでは、コンベア４を用いてウェーハ１１をトレー１４内に収容して１枚ずつ搬送し、トレー保持装置６２内に一旦収容した後、各加工装置にウェーハを供給するため、無駄な待機時間を極限まで削減でき、少ないオペレータでウェーハを処理することができる。また、ウェーハ１１はトレー１４内に収容されてコンベア４で搬送されるため、搬送中のウェーハ１１の破損等を防止することができる。
【００６２】
上述した実施形態では、トレー保持装置６２は二つのトレー保持部７２，７４を有しているが、トレー保持部を一つだけ設けるようにしてもよい。この場合には、コンベア４で流れてくるトレー１４をトレー保持装置で一つ保持し、ウェーハを加工装置に投入した後、空のトレー１４をコンベア４に戻し、次のトレー１４を再度トレー保持装置で保持して２枚目のウェーハ１１を加工装置に投入し、加工装置内で待機させることで、装置内での効率的なウェーハの交換（加工済みのウェーハ１１をチャックテーブル３０から離脱させた直後に、未加工のウェーハ１１をチャックテーブル３０に保持させる）が可能となる。
【００６３】
本実施形態のトレー保持装置６２のように、第一トレー保持部７２及び第二トレー保持部７４を有している場合には、第一及び第二トレー保持部７２，７４の何れか一方は基本的に一つの空のトレー１４を保持し続けるため、コンベア４上をトレー１４が流れてこなくなった場合にも、加工済みのウェーハ１１を収容するトレー１４を確保することができ、コンベア４にウェーハ１１を戻すことができる。
【符号の説明】
【００６４】
２    コンベア処理システム
４    コンベア
６    第一の切削装置
６Ａ    第二の切削装置
８    ＵＶ照射器
１０    ダイボンダ
１１    ウェーハ
１２    ウェーハ投入カセット
１４    トレー
１７    ウェーハユニット
１９    バーコード
２２    枠体
３０    チャックテーブル
３８Ａ    第一切削ユニット
３８Ｂ    第二切削ユニット
４６    第一搬送ユニット
５２    把持部
５８，６０    センタリングバー
６２    トレー保持装置
７２    第一トレー保持部
７４    第二トレー保持部
【図１】
0006456177.tif 000002
【図２】
0006456177.tif 000003
【図３】
0006456177.tif 000004
【図４】
0006456177.tif 000005
【図５】
0006456177.tif 000006
【図６】
0006456177.tif 000007
【図７】
0006456177.tif 000008
【図８】
0006456177.tif 000009
【図９】
0006456177.tif 000010
【図１０】
0006456177.tif 000011