(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１取付具および筒状の第２取付具と、
前記第１取付具と前記第２取付具とを連結するゴム状弾性体から構成される防振基体と、
前記防振基体が少なくとも室壁の一部を構成する第１液室と、
前記第１液室の別の室壁の一部を構成し、前記第２取付具側に連結されると共に前記第２取付具の軸方向において前記防振基体に対面する位置に設けられる加振体と、
前記第２取付具の軸方向において前記加振体を挟んで前記第１液室の反対側に配置されると共に、前記加振体を駆動軸により軸方向へ加振するアクチュエータと、
前記第２取付具側に設けられると共に径方向内方へ突出するストッパ部とを備え、
前記加振体は、
ゴム状弾性体から構成されると共に前記第２取付具側に連結される弾性壁と、
前記弾性壁の径方向中央を厚さ方向に貫通する連結部を介して互いに連結され、前記弾性壁を軸方向の両側から挟む一対の仕切板とを備え、
前記一対の仕切板は、前記第２取付具の軸方向において前記ストッパ部の両側に配置されると共に、軸方向の投影においていずれも前記ストッパ部と一部が重なり、
前記ストッパ部は、周方向に断続的に設けられていることを特徴とする能動型防振装置。
【請求項２】
前記第２取付具側に設けられると共に前記ストッパ部の間から径方向内方へ張り出す内縁部を備え、
前記内縁部は、径方向の長さが前記ストッパ部の径方向の長さより小さく設定され、軸方向の投影において前記仕切板の径方向外方に位置することを特徴とする請求項１記載の能動型防振装置。
【請求項３】
第１取付具および筒状の第２取付具と、
前記第１取付具と前記第２取付具とを連結するゴム状弾性体から構成される防振基体と、
前記防振基体が少なくとも室壁の一部を構成する第１液室と、
前記第１液室の別の室壁の一部を構成し、前記第２取付具側に連結されると共に前記第２取付具の軸方向において前記防振基体に対面する位置に設けられる加振体と、
前記第２取付具の軸方向において前記加振体を挟んで前記第１液室の反対側に配置されると共に、前記加振体を駆動軸により軸方向へ加振するアクチュエータと、
前記第２取付具側に設けられると共に径方向内方へ突出するストッパ部とを備え、
前記加振体は、
ゴム状弾性体から構成されると共に前記第２取付具側に連結される弾性壁と、
前記弾性壁の径方向中央を厚さ方向に貫通する連結部を介して互いに連結され、前記弾性壁を軸方向の両側から挟む一対の仕切板とを備え、
前記一対の仕切板は、前記第２取付具の軸方向において前記ストッパ部の両側に配置されると共に、軸方向の投影においていずれも前記ストッパ部と一部が重なり、
前記弾性壁は、前記ストッパ部の突端より径方向内方に位置する部位であって前記仕切板に面する壁面に凹部が設けられ、
前記凹部は、軸直角方向の投影において前記ストッパ部と重なる位置に底部が形成されていることを特徴とする能動型防振装置。
【請求項４】
前記第２取付具側に連結されるゴム状弾性体から構成されると共に、前記第２取付具の軸方向において前記加振体を挟んで前記第１液室の反対側に配置されるダイヤフラムと、
前記ダイヤフラム及び前記加振体が少なくとも室壁の一部を構成する第２液室と、
前記第２取付具の内側に配置されると共に、前記第２液室と前記第１液室とを連通するオリフィスを形成する環状のオリフィス形成部材とを備え、
前記ストッパ部は、前記オリフィス形成部材の内周面から径方向内方へ突出し、
前記弾性壁は、前記オリフィス形成部材の内周面に連結されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の能動型防振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は能動型防振装置に関し、特にアクチュエータの駆動軸の軸方向の変位を制限できる能動型防振装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
第１取付具と筒状の第２取付具とを連結するゴム状の防振基体と、防振基体が少なくとも室壁の一部を構成する液室と、液室の別の室壁を構成し防振基体に対面する位置に設けられる加振体と、加振体を挟んで液室の反対側に配置されると共に駆動軸により加振体を軸方向へ加振するアクチュエータとを備え、加振体を軸方向へ加振することで振動体の振動を減衰できる能動型防振装置が知られている（特許文献１）。特許文献１に開示される技術では、軸直角方向へ突出する被ストッパ部が駆動軸に設けられる一方、径方向内方へ突出するストッパ部が第２取付具に設けられる。駆動軸の軸方向の変位によって被ストッパ部とストッパ部とが干渉することで、アクチュエータの駆動軸の軸方向の変位を制限できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−４３７０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら上述した従来の技術では、ストッパ部が占有するスペースが大きいという問題点がある。
【０００５】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、アクチュエータの駆動軸の軸方向の変位を制限できると共にストッパ部が占有するスペースを小さくできる能動型防振装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００６】
この目的を達成するために請求項１記載の能動型防振装置によれば、第１取付具と筒状の第２取付具とがゴム状弾性体から構成される防振基体で連結され、少なくとも第１液室の室壁の一部を防振基体が構成し、第１液室の別の室壁の一部を加振体が構成する。加振体は、第２取付具側に連結されると共に第２取付具の軸方向において防振基体に対面する位置に設けられる。加振体は、ゴム状弾性体から構成される弾性壁が第２取付具側に連結され、弾性壁の径方向中央を厚さ方向に貫通する連結部を介して互いに連結される一対の仕切板が、弾性壁を軸方向の両側から挟む。第２取付具の軸方向において加振体を挟んで第１液室の反対側に配置されるアクチュエータは、加振体を駆動軸により軸方向へ加振する。第２取付具側に設けられるストッパ部は、径方向内方へ突出する。一対の仕切板は、第２取付具の軸方向においてストッパ部の両側に配置されると共に、軸方向の投影においていずれもストッパ部と一部が重なる。そのため、一対の仕切板とストッパ部との干渉により、アクチュエータの駆動軸の軸方向の変位を制限できる。一対の仕切板の間にストッパ部が配置されるので、ストッパ部が占有するスペースを小さくできる効果がある。
【０００７】
【０００８】
ストッパ部は、周方向に断続的に設けられている。そのため、ストッパ部が周方向に連続的に設けられる場合と比較して、弾性壁の付け根の部分のばねを柔らかくすることができる。よって、アクチュエータにより仕切板を軸方向に往復動させ易くできる効果がある。
【０００９】
請求項２記載の能動型防振装置によれば、第２取付具側に設けられる内縁部が、ストッパ部の間から径方向内方へ張り出す。内縁部は、径方向の長さがストッパ部の径方向の長さより小さく設定され、軸方向の投影において仕切板の径方向外方に位置するので、内縁部がない場合と比較して、弾性壁の付け根の部分の剛性を向上できる。その結果、請求項１の効果に加え、例えば第１取付具または第２取付具から低周波数域の大振幅振動が入力されたときの仕切板の変位を規制する効果を向上できる。
【００１０】
請求項３記載の能動型防振装置によれば、第１取付具と筒状の第２取付具とがゴム状弾性体から構成される防振基体で連結され、少なくとも第１液室の室壁の一部を防振基体が構成し、第１液室の別の室壁の一部を加振体が構成する。加振体は、第２取付具側に連結されると共に第２取付具の軸方向において防振基体に対面する位置に設けられる。加振体は、ゴム状弾性体から構成される弾性壁が第２取付具側に連結され、弾性壁の径方向中央を厚さ方向に貫通する連結部を介して互いに連結される一対の仕切板が、弾性壁を軸方向の両側から挟む。第２取付具の軸方向において加振体を挟んで第１液室の反対側に配置されるアクチュエータは、加振体を駆動軸により軸方向へ加振する。第２取付具側に設けられるストッパ部は、径方向内方へ突出する。一対の仕切板は、第２取付具の軸方向においてストッパ部の両側に配置されると共に、軸方向の投影においていずれもストッパ部と一部が重なる。そのため、一対の仕切板とストッパ部との干渉により、アクチュエータの駆動軸の軸方向の変位を制限できる。一対の仕切板の間にストッパ部が配置されるので、ストッパ部が占有するスペースを小さくできる効果がある。
弾性壁は、ストッパ部の突端より径方向内方に位置する部位であって仕切板に面する壁面に凹部が設けられているので、凹部により弾性壁のばねを柔らかくできる。よって、例えば第１取付具または第２取付具から高周波数域の微振幅振動が入力されたときに、仕切板を軸方向に往復動させ易くして、動ばね定数を低減できる効果がある。
【００１１】
凹部は、軸直角方向の投影においてストッパ部と重なる位置に底部が形成されている。その結果、凹部により弾性壁のばねを柔らかくできる効果を確保しつつ、凹部による応力集中を生じ難くできる。その結果、弾性壁の疲労を抑制できる効果がある。
請求項４記載の能動型防振装置によれば、第２取付具側に連結されるゴム状弾性体から構成されるダイヤフラムが、第２取付具の軸方向において加振体を挟んで第１液室の反対側に配置される。ダイヤフラム及び加振体は、少なくとも第２液室の室壁の一部を構成する。第２取付具の内側に配置される環状のオリフィス形成部材は、第２液室と第１液室とを連通するオリフィスを形成する。ストッパ部は、オリフィス形成部材の内周面から径方向内方へ突出し、弾性壁は、オリフィス形成部材の内周面に連結される。よって、請求項１から３のいずれかの効果に加え、ストッパ部を別個の部材として設ける場合と比較して、部品点数の増加を抑制できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施の形態における能動型防振装置の軸方向断面図である。
【図２】仕切体の軸方向断面図である。
【図３】仕切体の分解図である。
【図４】オリフィス形成部材の斜視図である。
【図５】第２実施の形態における能動型防振装置のオリフィス形成部材の斜視図である。
【図６】仕切体の平面図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線における仕切体の軸方向断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の好ましい実施の形態について添付図面を参照して説明する。まず、図１を参照して能動型防振装置１０の構造について説明する。図１は本発明の第１実施の形態における能動型防振装置１０の軸方向断面図である。なお、図１では、エンジンを支持する前の状態（即ち、エンジンの重量が負荷される前の状態）を図示している。
【００１４】
能動型防振装置１０は、自動車のエンジン（振動体、図示せず）を支持固定しつつ、そのエンジン振動を車体フレーム（図示せず）へ伝達させないようにするための防振装置であり、図１に示すように、エンジン側に取り付けられる第１取付具１１と、エンジン下方の車体フレーム側に取付けられる筒状の第２取付具１２と、これらを連結すると共にゴム状弾性体から構成される防振基体１５と、第２取付具１２に取付けられて防振基体１５との間に液室（第１液室１９及び第２液室２０）を形成すると共にゴム状弾性体から構成されるダイヤフラム１７と、ダイヤフラム１７に連結される駆動軸３２を有すると共にダイヤフラム１７を挟んで液室と反対側に配設されるアクチュエータ３０と、アクチュエータ３０の駆動軸３２により軸方向へ加振変位される加振体７０とを備えている。
【００１５】
第１取付具１１は、アルミニウム合金などの金属材料から略円柱状に形成される部材であり、その上端面にボルトが上向きに突設されている。このボルトを介して第１取付具１１はエンジン側に取り付けられる。第２取付具１２は、防振基体１５が加硫成形される筒状金具１３と、その筒状金具１３の下方にかしめ加工により固着される底金具１４とを備えている。筒状金具１３は上広がりの開口を有する筒状に、底金具１４は底部を有するカップ状に、それぞれ鉄鋼材料などから形成されている。底金具１４の底部にボルトが下向きに突設されている。このボルトを介して第２取付具１２は車体側に取り付けられる。
【００１６】
防振基体１５は、ゴム状弾性体から円錐台形状に形成される部材であり、第１取付具１１の下面側と筒状金具１３の上端開口部との間に加硫接着されている。防振基体１５の下端部には、筒状金具１３の内周面を覆うゴム膜１６が連なっている。
【００１７】
ダイヤフラム１７は、ゴム状弾性体から蛇腹状に屈曲したゴム膜として形成されており、上面視円環状の取付板１８に外周が加硫接着され、軸状の軸状部材３４の外周面に内周が加硫接着されている。ダイヤフラム１７は、取付板１８が、筒状金具１３により底金具１４と共にかしめ加工により狭持固定されることで、第２取付具１２に取着される。その結果、ダイヤフラム１７の上面側と防振基体１５の下面側との間に液室が形成される。液室には、エチレングリコール等の不凍性の液体（図示せず）が封入される。
【００１８】
仕切体５０は、液室を区画するための部材であり、防振基体１５とダイヤフラム１７との間に配設される。仕切体５０は、オリフィス形成部材５１と、軸方向に往復動可能に形成される加振体７０とを備えている。仕切体５０は、オリフィス形成部材５１の外周面がゴム膜１６に密着することで、防振基体１５が室壁の一部を構成する第１液室１９と、ダイヤフラム１７が室壁の一部を構成する第２液室２０との２室に液室を仕切る。また、オリフィス形成部材５１と筒状金具１３との間に第１液室１９と第２液室２０とを連通するオリフィス２１が形成される。加振体７０はアクチュエータ３０により加振される。
【００１９】
アクチュエータ３０は、鉄心可動形の電磁石式のリニアアクチュエータであり、底金具１４により形成される収納空間に外部から密閉された状態で収納保持されている。アクチュエータ３０は、第２取付具１２に固定された固定子３１と、固定子３１に対して往復動可能に支持されると共に加振体７０に連結される可動子３３とを備えている。可動子３３は、第２取付具１２の軸心Ｏに沿って（本実施の形態では同軸に）縦姿勢に配設された軸状の部材であり、その先端部が、加振体７０に取り付けられた軸状部材３４に同軸に連結され、可動子３３と軸状部材３４とが一体となって加振体７０を軸心Ｏ方向に沿って上下に加振変位（往復動）させる。
【００２０】
駆動軸３２は、可動子３３と軸状部材３４とボルトとを備えて構成される。可動子３３は、軸心Ｏに沿って貫通孔を有する筒状に形成される一方、軸状部材３４は、基端側に開口し内周面にめねじが形成されためねじ部を備え、可動子３３の基端側から挿通されたボルトの先端を軸状部材３４のめねじ部に螺合することで、可動子３３と軸状部材３４とが一体に連結され、駆動軸３２が構成される。本実施の形態では、軸状部材３４は合成樹脂により成形されている。
【００２１】
可動子３３は、外周面に、電磁鋼板等の磁性金属よりなる多数の金属板を積層してなる可動子鉄心としての磁性材部３５が固設される。磁性材部３５は、軸心Ｏ方向に所定間隔を隔てつつ複数個（本実施の形態では２個）が設けられている。可動子３３は、上下一対の弾性支持材である板バネ３６を介して、固定子３１に対して、軸心Ｏ方向に往復動可能に、かつ、軸心Ｏ方向位置および軸心Ｏの直交方向位置を位置決めした状態に支持されている。
【００２２】
固定子３１は、可動子３３の外周を同軸に取り囲む環状をなし、その中空部において可動子３３を軸心Ｏ方向に往復動可能に支持しており、取付板３７によって底金具１４内に吊り下げ状態に保持されている。取付板３７は、筒状金具１３及びダイヤフラム１７の取付板１８と共に底金具１４によりかしめ固定されている。
【００２３】
固定子３１は、電磁鋼板等の磁性金属よりなる多数の環状の金属板を積層してなるヨーク３８と、ヨーク３８の中央部において磁性材部３５を挟んで相対向するように両側より径方向内方に向かって突出する一対の磁極部３９を備える。
【００２４】
磁性材部３５に対向する固定子３１の磁極部３９の先端（即ち、磁極部３９の内端）には、可動子３３の往復動方向（軸心Ｏ方向）に沿って隣り合った状態に並設されつつ可動子３３に対向する上下一対の円弧板状をなす永久磁石４０，４１が、それらの磁極が互いにＮＳ交互の異極をなすように、可動子３３の往復移動方向と直交する方向に磁極を並べて、かつ、互いの磁極（Ｎ極とＳ極）の並びが逆となる状態に配設されている。本実施の形態では、上下一対の永久磁石４０，４１が、磁性材部３５に対応させて、軸心Ｏ方向に２組が並設されている。
【００２５】
固定子３１の一対の磁極部３９には、それぞれその周りにコイル４２が、可動子３３の往復動方向（軸心Ｏ方向）と直交する方向の軸心周りに巻回され、一対の永久磁石４０，４１を通る磁束が発生可能に構成されている。本実施の形態では、一対の永久磁石４０，４１が、磁性材部３５を挟んで対向する固定子３１の一対の磁極部３９の内端部にそれぞれ設けられており、永久磁石４０，４１は、可動子３３の往復動方向と直交する方向で可動子３３を挟んで対向すると共に、この対向する磁極が互いに異極をなすように磁極の並びを左右（図１左右）で逆にして配設されている。
【００２６】
アクチュエータ３０のコイル４２が消磁状態にあるとき、固定子３１に対して軸心Ｏ方向（軸方向）へ変位可能に支持された駆動軸３２は、板バネ３６により支持され停止する。この状態からコイル４２に正方向の励磁電流を流すと、コイル４２に発生する起磁力の向きと上側の永久磁石４０の起磁力の向きとが同一となって、起磁力が強まる。一方、下側の永久磁石４１の起磁力の向きとコイル４２の起磁力の向きが反対になって、両者の起磁力が相殺されて弱まる。その結果、磁性材部３５に上向きの力が作用して、板バネ３６を弾性変形させながら可動子３３が上昇する。可動子３３に結合された加振体７０が上方へ移動するので、第１液室１９の容積が減少する。
【００２７】
一方、コイル４２に逆方向の励磁電流を流すと、上記とは反対に、磁性材部３５に下向きの力が作用して、板バネ３６を弾性変形させながら可動子３３が下降する。可動子３３に結合された加振体７０が下方へ移動するので、第１液室１９の容積が増加する。このように、コイル４２の励磁電流の向きを正逆に交互に切り替えることで、駆動軸３２及び加振体７０を上下に加振して第１液室１９の容積を変化させることができる。
【００２８】
次に図２から図４を参照して、仕切体５０について説明する。図２は加振体５０の軸方向断面図であり、図３は仕切体５０の分解図であり、図４はオリフィス形成部材５１の斜視図である。図２に示すように仕切体５０は、第２取付具１２の内側に配置される環状のオリフィス形成部材５１と、オリフィス形成部材５１の内周面６２で囲まれた部分を塞ぐ加振体７０とを備えている。加振体７０は、ゴム状弾性体から構成されると共にオリフィス形成部材５１の内周面６２に外周面が加硫接着された弾性壁７１と、弾性壁７１を軸方向の両側から挟む一対の仕切板８０，９０とを備えている。
【００２９】
オリフィス形成部材５１は、第２取付具１２の内周面（ゴム膜１６）との間に周方向へ延びるオリフィス２１を形成するための剛体からなる部材であり、図４に示すように、軸心Ｏと直交して配置される円環状の壁部５２と、壁部５２の内周に連設されると共に軸心Ｏ方向（軸方向）へ延びる筒状の胴部５４と、胴部５４の下端部から径方向外方へフランジ状に張り出す壁部５５とを備えている。オリフィス形成部材５１は、壁部５２，５５に切欠部５３、開口部５６がそれぞれ凹欠形成される。壁部５２，５５及び胴部５４を接続し切欠部５３と開口部５６とを隔てる縦壁５７が設けられるので、オリフィス２１は、縦壁５７により周方向に分断され、切欠部５３を介して第１液室１９に連通されると共に、開口部５６を介して第２液室２０に連通される。即ち、切欠部５３から開口部５６まで約１周の流路長をもつオリフィス２１が形成される。
【００３０】
オリフィス形成部材５１は、軸方向において壁部５２を挟んで胴部５４の反対側に延出される円環状の延出部５８が設けられ、延出部５８から径方向内方へ向かって鍔状に突出するストッパ部５９が設けられる。ストッパ部５９は、延出部５８の全周に亘って周方向に連続して設けられている。ストッパ部５９は、ストッパ部５９の突端６０から延出部５８までの径方向長さ（軸心Ｏと直交する軸直角方向の長さ）が、周方向に亘って同一の大きさに設定されている。
【００３１】
図２及び図３に戻って説明する。オリフィス形成部材５１は、延出部５８を挟んで壁部５２と反対側の延出部５８の径方向内側、且つ、ストッパ部５９より胴部５４側に円環状の凸部６１が設けられている。凸部６１は、径方向長さ（軸直角方向の長さ）が、ストッパ部５９の突端６０から延出部５８までの径方向長さより小さく設定されている。
【００３２】
弾性壁７１は、オリフィス形成部材５１の延出部５８、凸部６１の内周面６２及び内周面６２から突出したストッパ部５９に外周面が加硫接着されている。弾性壁７１は、径方向中央を厚さ方向（軸心Ｏ方向）に貫通する円形の中央孔７２が形成されており、軸方向両側へ突出する円環状の突条７３が、中央孔７２の周囲に設けられている。弾性壁７１は、突条７３近くの軸方向厚さ（壁面７５，７６間の距離）よりオリフィス形成部材５１近くの軸方向厚さが大きく設定されており、延出部５８及びストッパ部５９から軸心Ｏ方向へ隆起する円環状の隆起部７４が設けられている。
【００３３】
弾性壁７１は、湾曲面状に形成された壁面７５，７６の内、一方の壁面７６に、軸方向に陥没する凹部７７が形成されている。凹部７７は、ストッパ部５９の突端６０より径方向内方に位置する部位に設けられると共に、弾性壁７１の周方向に断続的に複数個（本実施の形態では６個）が等間隔に設けられている。凹部７７は、軸方向視が略円弧状に形成されており、軸方向に最も深く陥没した底部７８が、軸直角方向の投影においてストッパ部５９と重なる位置（ストッパ部５９の軸方向長さの範囲）に形成されている。また、凹部７７は、弾性壁７１の中心（中央孔７２の中心）を通る軸心Ｏとオリフィス形成部材５１の凸部６１の内周面とを結ぶ線分の中点より外周側に設けられている。
【００３４】
一対の仕切板８０，９０は、軸方向視において外形が弾性壁７１の外形より小さく設定された略円形状の部材であり、それぞれ熱可塑性樹脂により中央部８１，９１及び外周部８４，９４が一体に成形されている。中央部８１，９１は、弾性壁７１の突条７３の軸方向の両側が嵌合する環状溝８２，９２がそれぞれ形成されている。仕切板９０は、軸方向へ向けて突出する連結部９３が、中央部９１の中央に設けられており、仕切板８０は、中央部８１の中央に連結部９３が嵌合する嵌合凹部８３が形成されている。連結部９３が嵌合凹部８３に嵌合した状態で超音波溶着により固定されることで仕切板８０，９０は連結され、弾性壁７１は仕切板８０，９０によって軸方向の両側から挟まれる。
【００３５】
仕切板８０は、第１液室１９（図１参照）の室壁の一部を構成し、仕切板９０は、第２液室２０の室壁の一部を構成する。仕切板８０，９０の軸方向の変位量は弾性壁７１により規制される。仕切板９０の中央に形成された連結部９３の裏側の凹みには、軸状部材３４（図１参照）の先端が嵌挿される。軸状部材３４は、仕切板９０の凹みに先端が嵌挿された状態で、超音波溶着により仕切板９０に固定される。
【００３６】
外周部８４，９４は、弾性壁７１の壁面７５，７６に径方向内側の面が密着し、径方向外側へ向かうにつれて、壁面７５，７６との軸方向の隙間８５，９５が次第に大きくなるように湾曲している。弾性壁７１に形成された凹部７７は、弾性壁７１に荷重がかけられていない中立位置で、径方向外側の縁部（壁面７６）が仕切板９０に密着することなく、仕切板９０との間で隙間が確保されている。
【００３７】
仕切板８０，９０はストッパ部５９の軸方向の両側に配置されており、外周部８４，９４が湾曲することで、ストッパ部５９との軸方向の間隔がそれぞれ設けられる。また、仕切板８０，９０は、軸方向の投影においてストッパ部５９と一部が重なるような大きさ及び形状に設定されている。
【００３８】
以上のように構成された能動型防振装置１０（図１参照）の製造方法について説明する。第１取付具１１と筒状金具１３とが防振基体１５により連結された第１成形体と、ダイヤフラム１７が加硫成形されると共に取付板１８及び軸状部材３４が加硫接着された第２成形体とを、ゴム加硫金型によりそれぞれ加硫成形する。また、別のゴム加硫金型により、オリフィス形成部材５１に弾性壁７１を加硫成形した後、仕切板８０，９０を組み付けて仕切体５０を形成する。次に、仕切体５０の仕切板９０に第２成形体の軸状部材３４を固着して中間組立体を形成する。
【００３９】
次いで、中間組立体と第１成形体とを液体中に沈め、第１成形体の下方開口から中間組立体を仕切体５０側から筒状金具１３内へ挿入した後、筒状金具１３を縮径加工して、筒状金具１３に中間組立体を取り付ける。その後、第１取付具１１が下方となる姿勢で、この部材を液体外へ取り出し、この姿勢を維持しつつ、アクチュエータ３０をダイヤフラム１７の下面側から重ね、軸状部材３４と可動子３３とをボルトにより締結固定する。次いで、アクチュエータ３０に底金具１４を被せ、筒状金具１３の下方開口に底金具１４をかしめ加工により固着する。これにより能動型防振装置１０の製造が完了する。
【００４０】
次いで能動型防振装置１０の動作について説明する。第１取付具１１又は第２取付具１２から比較的大振幅の低周波振動が入力される場合には、能動型防振装置１０を制御する制御装置（図示せず）によってアクチュエータ３０の動作が停止される。この状態では、仕切板８０，９０の変位量が弾性壁７１によって規制されるので、仕切体５０に形成されたオリフィス２１を介して第１液室１９と第２液室２０との間を液体が流通する。能動型防振装置１０はオリフィス２１の液体流動効果によって振動を減衰できる。
【００４１】
一方、第１取付具１１又は第２取付具１２から比較的微振幅の高周波振幅が入力される場合には、制御装置（図示せず）によってアクチュエータ３０のコイル４２に正弦波交流電圧や矩形波交流電圧などを印加し、可動子３３（即ち駆動軸３２）を上下に往復動変位させ、駆動軸３２に連結された加振体７０を入力振動に対して逆位相で加振変位させる。その結果、仕切板８０，９０が一体となって往復動することで、第１液室１９の液圧を吸収して振動を低減できる。
【００４２】
能動型防振装置１０によれば、弾性壁７１は、オリフィス形成部材５１から径方向内方へ向けて張り出すストッパ部５９が付け根の部分に埋設されているので、弾性壁７１の付け根の部分の剛性を上げて、低周波大振幅時の仕切板８０，９０の変位を規制する効果を向上できる。その結果、オリフィス２１の液体流動効果による振動の減衰効果を確保できる。また、径方向内方へ向けて突出する凸部６１がオリフィス形成部材５１に設けられているので、弾性壁７１の付け根の部分の剛性を上げて、低周波大振幅時の仕切板８０，９０の変位を規制する効果を向上できる。さらに、隆起部７４も弾性壁７１の付け根の部分の剛性を高める効果がある。
【００４３】
弾性壁７１を軸方向の両側から挟む仕切板８０，９０は、ストッパ部５９の両側に配置されると共に、軸方向の投影においていずれもストッパ部５９と一部が重なる。そのため、仕切板８０，９０とストッパ部５９との干渉により、アクチュエータ３０の駆動軸３２の軸方向の変位を制限できる。即ち、ストッパ部５９により、アクチュエータ３０が制御不能となり暴走した場合にダイヤフラム１７や弾性壁７１等の損傷を防止し、大振幅の振動が入力された場合にアクチュエータ３０の損傷を防止できる。
【００４４】
仕切板８０，９０の間にストッパ部５９が配置されるので、ストッパ部５９が占有するスペースを小さくできる。そのため、駆動軸３２の軸方向の変位を規制する手段の軸方向の寸法が大きくなることを抑制できる。また、ストッパ部５９を設けるためのスペースを新たに確保しなくて良いので、能動型防振装置１０をコンパクト化できる。
【００４５】
さらに能動型防振装置１０は、液室の室壁を構成する仕切板８０，９０を利用してストッパ部５９によって変位を規制できるので、新たな部材の追加を抑制し、部品点数の増加や製品コストの増加を抑制できる。特に、能動型防振装置１０は、オリフィス形成部材５１にストッパ部５９が設けられているので、ストッパ部を別個の部材として設ける場合と比較して、部品点数の増加を抑制できる。また、ストッパ部５９が機能するときには、ストッパ部５９と仕切板８０，９０との間にそれぞれ弾性壁７１の一部（ゴム状弾性体）が介在するので、異音の発生を抑制できる。
【００４６】
弾性壁７１は、ストッパ部５９の突端６０より径方向内方に位置する部位であって、仕切板９０に面する壁面７６に凹部７７が設けられているので、凹部７７により弾性壁７１のばねを柔らかくできる。よって、アクチュエータ３０により仕切板８０，９０を軸方向に往復動させ易くできる。
【００４７】
凹部７７は、弾性壁７１の壁面７６の周方向に断続的に設けられているので、隣り合う凹部７７間の部分（陥没していない部分）は、仕切板８０，９０が軸方向に加振されている間も仕切板９０に接触した状態を維持できる。よって、弾性壁７１と仕切板９０との打音に起因する異音を抑制できる。
【００４８】
また、弾性壁７１に荷重がかけられていない中立位置で、凹部７７の径方向外側の縁部（壁面７６）が仕切板９０に密着することなく仕切板９０との間で隙間が確保されているので、その隙間に、オリフィス２１よりも高周波数域で作用する高周波オリフィスとしての機能をもたせることができる。この部分で特定の周波数帯における液共振を生じさせ、当該周波数帯の動ばね定数を低減できる。凹部７７の数や大きさ、隙間の大きさや長さ等を変えることで、特性のチューニングが可能である。なお、大振幅振動時には、仕切板９０が軸方向に変位することで、隙間が仕切板９０によって塞がれる。そのため、オリフィス２１による高減衰性能を確保できる。
【００４９】
凹部７７は、軸心Ｏ方向と直交する軸直角方向の投影においてストッパ部５９と重なる位置に底部７８が形成されている。その結果、凹部７７により弾性壁７１のばねを柔らかくできる効果を確保しつつ、凹部７７による応力集中を生じ難くできる。その結果、弾性壁７１の疲労を抑制できる。
【００５０】
凹部７７は、弾性壁７１の中心（中央孔７１の中心）を通る軸心Ｏとオリフィス形成部材５１の凸部６１の内周面６２とを結ぶ線分の中点より外周側に設けられているので、アクチュエータ３０による仕切板８０，９０の軸方向の往復動変位に、こじり方向の変位を加わり難くできる。仕切板８０，９０にこじり方向の変位が加わると、仕切板８０，９０の軸方向の加振による第１液室１９の液圧制御にばらつきが生じ、微振幅の高周波振幅が入力される場合の振動減衰性能が低下するおそれがある。能動型防振装置１０によれば弾性壁７１の外周側に凹部７７が設けられているので、軸心が傾くようなこじり方向の変位を抑えながら、軸心Ｏ方向に円滑に往復動させることができ、振動減衰性能を確保できる。
【００５１】
なお、制御装置（図示せず）によってアクチュエータ３０の動作が停止されていても、オリフィス２１で減衰する周波数帯よりも高周波数の微振幅の高周波振幅が入力される場合には、仕切板８０，９０が一体となって往復動することで、第１液室１９の液圧を吸収して振動を低減できる。そのため、高周波の微振幅振動に対して、動ばね定数を低減できる。弾性壁７１に凹部７７が形成されるので、弾性壁７１の剛性を低下させ、仕切板８０，９０をさらに往復動させ易くできる。
【００５２】
次に図５から図７を参照して第２実施の形態について説明する。第１実施の形態では、オリフィス形成部材５１の延出部５８及び凸部６１から径方向内方へ向かって突出するストッパ部５９が、周方向に亘って連続して設けられる場合について説明した。これに対し第２実施の形態では、オリフィス形成部材１５１の周方向に断続的にストッパ部１５２が設けられる場合について説明する。なお、第１実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付して以下の説明を省略する。図５は第２実施の形態における能動型防振装置のオリフィス形成部材１５１の斜視図であり、図６は仕切体１５０の平面図であり、図７は図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線における仕切体１５０の軸方向断面図である。なお、仕切体１５０は、第１実施の形態で説明した仕切体５０に代えて、能動型防振装置１０に内蔵される。
【００５３】
図５及び図６に示すように、仕切体１５０の外周部に位置するオリフィス形成部材１５１は、延出部５８及び凸部６１から径方向内方へ向かって鍔状に突出するストッパ部１５２が設けられている。ストッパ部１５２は、延出部５８の周方向に断続的に複数（本実施の形態では４つ）設けられている。また、オリフィス形成部材１５１は、延出部５８及び凸部６１から径方向内方へ向かって鍔状に張り出す複数（本実施の形態では４つ）の内縁部１５３が、ストッパ部１５２の間に設けられている。内縁部１５３の径方向の長さは、ストッパ部１５２の径方向の長さより小さく設定されている。
【００５４】
図７に示すようにストッパ部１５２は、軸方向の両側に仕切板８０，９０が配置され、軸方向の投影において仕切板８０，９０と一部が重なる大きさに設定されている。内縁部１５３は、ストッパ部１５２とは異なり、仕切板８０，９０の径方向外方に位置する大きさに設定されている。ストッパ部１５２は周方向に断続的に設けられているので、ストッパ部１５２が周方向に連続的に設けられる場合と比較して、弾性壁７１の付け根の部分のばねを柔らかくすることができる。よって、アクチュエータ３０により仕切板８０，９０を軸方向に往復動させ易くできる。
【００５５】
また、ストッパ部１５２の間に設けられた内縁部１５３は、軸方向の投影において仕切板８０，９０の径方向外方に位置するので、内縁部１５３が設けられていない場合と比較して、弾性壁７１の付け根の部分の剛性を向上できる。その結果、第１取付具１１又は第２取付具１２から低周波数域の大振幅振動が入力されたときの仕切板８０，９０の変位を規制する効果を向上できる。
【００５６】
以上、実施の形態に基づき本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変形が可能であることは容易に推察できるものである。例えば、弾性壁７１に形成された凹部７７の配置や数、形状は、この実施形態に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。壁面７６に凹部７７を設ける代わりに、壁面７５に凹部７７を形成しても良く、壁面７５，７６の両方に凹部７７を設けることも可能である。なお、弾性壁７１に凹部７７を設けること自体は必須ではない。
【００５７】
上記各実施の形態では、第１取付具１２に取り付けられるオリフィス形成部材５１，１５１にストッパ部５９，１５２が形成される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、軸心Ｏへ向かって突出するストッパ部５９，１５２を第２取付具１２（筒状金具１３）の内周面に設けることは当然可能である。また、第２実施の形態では、ストッパ部１５９が周方向に断続的に４つ設けられる場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、ストッパ部１５９の数は適宜設定できる。
【００５８】
上記各実施の形態では、仕切体５０によって第１液室１９及び第２液室２０が形成され、第１液室１９と第２液室２０との間がオリフィス２１によって接続される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではない。例えば、要求される防振性能に応じて、第１液室１９と第２液室２０との間を複数のオリフィスで接続することは当然可能である。また、第１液室１９及び第２液室２０に加え、さらに１乃至複数の副液室を有する構成とすることは当然可能である。この場合には、第１液室１９、第２液室２０及び副液室の内の２つの液室間を、オリフィス２１以外の他の１乃至複数のオリフィスによって連通させることができる。
【００５９】
上記各実施の形態では、自動車のエンジンを弾性支持するエンジンマウントとして能動型防振装置１０を用いる場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではない。ボディマウント、デフマウント等、任意の振動体の振動を抑制する防振装置に能動型防振装置１０を適用することは当然可能である。
【００６０】
上記各実施の形態では、防振基体１５の下方にダイヤフラム１７が配置されることで、第１液室１９の下方に第２液室２０が設けられる能動型防振装置１０について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、防振基体１５及びダイヤフラム１７は任意の位置に配置できる。例えば、防振基体１５の上方にダイヤフラムを配置して、第１液室の上方に第２液室を設けることは当然可能である。この場合には、防振基体１５の外周に、第１液室と第２液室とを接続するオリフィスが形成される。
【００６１】
上記実施の形態では、仕切板９０に軸状部材３４が超音波溶着により固定される場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、仕切板９０に軸状部材３４をねじ止め等により固定することは当然可能である。
【００６２】
上記各実施の形態では、アクチュエータ３０に交流電流（正弦波信号や矩形波信号など）を通電してコイル４２を励磁し、板バネ３６で弾性支持された駆動軸３２を往復動させる場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではない。コイルスプリングによって駆動軸が軸心Ｏ方向の一方へ付勢されているアクチュエータの場合には、コイルに直流電流を断続的に通電してコイルの励磁・消磁を断続的に行うと、コイルの励磁によりコイルスプリングを圧縮して駆動軸を変位させ、コイルの消磁によりコイルスプリングの復元力により駆動軸を変位させることができる。このようなアクチュエータが採用された能動型防振装置においても、本実施の形態と同様の作用・効果を実現できる。
【符号の説明】
【００６３】
１０          能動型防振装置
１１          第１取付具
１２          第２取付具
１５          防振基体
１７          ダイヤフラム
１９          第１液室
２０          第２液室
２１          オリフィス
３０          アクチュエータ
３２          駆動軸
５１，１５１  オリフィス形成部材
５９，１５２  ストッパ部
６０          突端
６２          内周面
７０          加振体
７１          弾性壁
７６          壁面
７７          凹部
７８          底部
８０，９０    仕切板
９３          連結部
１５３        内縁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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