(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン単結晶引上げ装置内に設けられる部材の表面に付着したＳｉＯｘ及び／又は金属シリコンを除去して前記部材を再生する方法において、
前記ＳｉＯｘ及び／又は金属シリコンが表面に付着した部材を不活性ガス雰囲気下、２．６７ｋＰａ以下の圧力下、前記部材の表面温度が表面に付着した前記ＳｉＯｘ及び／又は金属シリコンの昇華を開始する温度以上でかつ前記部材が熱変形及び／又は熱変質を開始する温度未満の温度で少なくとも２時間熱処理して前記部材の表面に付着したＳｉＯｘ及び／又は金属シリコンを昇華し除去し、
前記熱処理した後に、前記熱処理温度から３〜１５℃／分の速度で室温まで冷却することを特徴とするシリコン単結晶引上げ装置内の部材の再生方法。
【請求項２】
前記部材が黒鉛部材であって、前記熱処理温度が少なくとも１７００℃である請求項１記載の再生方法。
【請求項３】
前記黒鉛部材がＳｉＣ被覆処理された黒鉛部材であって、前記熱処理温度が１７００℃以上２５００℃以下である請求項２記載の再生方法。
【請求項４】
前記黒鉛部材が炭素膜により被覆処理された黒鉛部材であって、前記熱処理温度が１７００℃以上２５００℃以下である請求項２記載の再生方法。
【請求項５】
前記黒鉛部材が熱遮蔽部材である請求項２ないし４のいずれか１項に記載の再生方法。
【請求項６】
前記部材が石英部材であって、前記熱処理温度が１４００℃以上１７００℃以下である請求項１記載の再生方法。
【請求項７】
前記石英部材が整流筒である請求項６記載の再生方法。
【請求項８】
請求項１ないし７のうちいずれか１項に記載された方法で再生された部材を用いて、シリコン単結晶を製造する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコン単結晶引上げ装置内に設けられた表面にＳｉＯｘ及び／又は金属シリコンが付着した部材からＳｉＯｘ及び／又は金属シリコンを除去して部材を再生する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、チョクラルスキー法でシリコン単結晶を引上げる装置内では、シリコン融液表面からＳｉＯ、ＳｉＯ２等のＳｉＯｘ及び／又は金属シリコン（以下、単に「シリコン等」という。）が蒸発し、このシリコン等は引上げ装置内に設けられた熱遮蔽部材、整流筒等の各種部材表面に付着し、徐々に固化していく。こうして付着し固化したシリコン等は、引上げ装置内を流れる不活性ガス流速の変化や、シリコン等が付着した部材の熱膨張の変化などによって部材表面から剥離し、シリコン融液に落下する場合があった。落下したシリコン等はシリコン融液の不純物となり、引上げられるシリコン単結晶の結晶化を阻害する要因になっていた。引上げ装置内に設けられた整流筒が石英製である場合、整流筒の石英表面にシリコン等が付着し、徐々に茶色に変色していった。石英製の整流筒を通して炉内の観察を行っている場合には、シリコン等の付着により、炉内観察ができなくなる不具合を生じていた。
【０００３】
この問題を解決するため、ブラシにより熱遮蔽部材、整流筒等の部材を清掃して、部材表面に付着したシリコン等を除去をしていたが、シリコン等を完全に除去することができなかった。そのため、シリコン等が付着した黒鉛部材である熱遮蔽部材をシリコン単結晶引上げ装置の外部で化学洗浄により除去し、再生利用し、この再生を適切な周期で行うことによりシリコン単結晶棒の品質のばらつきを抑える、単結晶引上げ装置の熱遮蔽部材の再生方法が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。この再生方法では、引上げ中にシリコン等が付着した熱遮蔽部材をシリコン単結晶引上げ装置の外部へ取出し、フッ酸と硝酸の混酸を貯えた薬液槽、純水を貯えたリンス槽内でＳｉＯｘの付着物を洗浄除去して熱遮蔽部材を再生している。
【０００４】
一方、表面に被覆されているＳｉＣを均一に除去でき、半導体製造工程における単結晶引き上げ用部材や、Ｓｉウェハーのエピタキシャル成長用サセプター等に用いられ、ライフエンドとなったＳｉＣ被覆黒鉛部材の再生方法が開示されている（例えば、特許文献２参照。）。この再生方法では、ＳｉＣ被覆黒鉛部材の基材表面に被覆されたＳｉＣを、１７００℃以上で、１．３３ｋＰａ以下の圧力下、又は、不活性ガス雰囲気下、又は、１．３３ｋＰａ以下の圧力下の不活性ガス雰囲気下で熱処理して昇華させて除去した後、この基材に、ＣＶＤ法によりＳｉＣを被覆してＳｉＣ被覆黒鉛部材として再利用している。そして、この特許文献２には、半導体製造工程に使用されたエピタキシャル成長用サセプターのＳｉＣの表面に金属シリコンが付着した場合には、上記熱処理時に、金属シリコンをＳｉＣとともに除去するか、上記熱処理前に、金属シリコンはフッ硝酸溶液で溶解させるか、或いは、研削砥石で機械的に除去してもよいことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−０１０８９５号公報（要約、図１）
【特許文献２】特開２００２−０３７６８４号公報（要約、段落[０００９]）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の化学洗浄によるエッチング処理方法で黒鉛部材である熱遮蔽部材を再生する場合、薬液洗浄に４〜５日、純水洗浄に４〜５日、乾燥に４〜５日かかり、再生処理が完了するまで２週間程度を必要とし、シリコン等が付着した熱遮蔽部材を効率良く再生することができなかった。またこのエッチング再生方法では、完全にシリコン等を取除くことが困難であるうえ、７０回程度再生すると、熱遮蔽部材としての再利用ができなかった。また特許文献１の化学洗浄によるエッチング処理方法で石英部材である整流筒を再生する場合、薬液洗浄し、純水洗浄し、乾燥した後、焼き上げるまでのサイクルタイムが最短でも２〜３日を必要とし、シリコン等が付着した整流筒を効率良く再生することができなかった。また整流筒をエッチングして再生する場合、エッチングにより整流筒の肉厚が減少するため、１００回程度再生すると、減肉により整流筒が所定の厚さを満たさなくなり、ライフエンドを迎えていた。
【０００７】
また熱遮蔽部材が黒鉛基材の表面にＳｉＣが被覆されている部材である場合、このエッチング再生方法では、黒鉛基材とＳｉＣ被覆の間に薬液が染み込んでＳｉＣ被覆が剥がれる問題点があった。更に黒鉛部材が炭素繊維を編んだ炭素繊維強化炭素複合材料（以下、「ＣＣコンポジット材」という。）である場合、薬液洗浄時に薬液が炭素繊維間に吸収され、乾燥に時間を要しかつ薬液が炭素繊維間に残留するおそれがあった。
【０００８】
特許文献２のＳｉＣ被覆黒鉛部材の再生方法では、ＳｉＣの表面に金属シリコンが付着した場合で、熱処理時に、金属シリコンをＳｉＣとともに除去するときには、ＳｉＣを基材表面に再度被覆する必要があり、再生に多くの時間を要した。また熱処理前に金属シリコンをフッ硝酸溶液で溶解させるときには、特許文献１の再生方法と同様の問題点があった。また金属シリコンを研削砥石で機械的に除去するときには、ＳｉＣ被覆黒鉛部材の肉厚が薄くなるか、部材表面を疵付けるおそれがあった。
【０００９】
本発明の第１の目的は、上記課題を解決するもので、シリコン単結晶引上げ装置内のシリコン等が付着する全ての部材に適用でき、再生に要する時間を短くして、部材の肉厚を薄くせず、部材表面を劣化又は疵付けるおそれがなく、シリコン等を完全に昇華し除去して、シリコン単結晶引上げ装置内の部材を再生する方法を提供することにある。本発明の第２の目的は、シリコン単結晶引上げ装置内の部材の使用可能期間を大幅に伸ばし、引上げるシリコン単結晶の単結晶化率を向上させ、この単結晶のライフタイムの品質を維持又は改善するシリコン単結晶引上げ装置内の部材の再生方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の観点は、シリコン単結晶引上げ装置内に設けられる部材の表面に付着したＳｉＯｘ及び／又は金属シリコン（シリコン等）を除去して前記部材を再生する方法において、前記シリコン等が表面に付着した部材を不活性ガス雰囲気下、２．６７ｋＰａ以下の圧力下、前記部材の表面温度が表面に付着した前記ＳｉＯｘ及び／又は金属シリコンの昇華を開始する温度以上でかつ前記部材が熱変形及び／又は熱変質を開始する温度未満の温度で少なくとも２時間熱処理して前記部材の表面に付着したＳｉＯｘ及び／又は金属シリコンを昇華し除去し、前記熱処理した後に、前記熱処理温度から３〜１５℃／分の速度で室温まで冷却することを特徴とする。
【００１２】
本発明の第２の観点は、第１の観点の発明であって、前記部材が黒鉛部材であって、前記熱処理温度が少なくとも１７００℃であることを特徴とする。
【００１３】
本発明の第３の観点は、第２の観点の発明であって、前記黒鉛部材がＳｉＣ被覆処理された黒鉛部材であって、前記熱処理温度が１７００℃以上２５００℃以下であることを特徴とする。
【００１４】
本発明の第４の観点は、第２の観点の発明であって、前記黒鉛部材が炭素膜により被覆処理された黒鉛部材であって、前記熱処理温度が１７００℃以上２５００℃以下であることを特徴とする。
【００１５】
本発明の第５の観点は、第２ないし第４の観点のうち、いずれか１つの観点に基づく発明であって、前記黒鉛部材が熱遮蔽部材であることを特徴とする。
【００１６】
本発明の第６の観点は、第１の観点の発明であって、前記部材が石英部材であって、前記熱処理温度が１４００℃以上１７００℃以下であることを特徴とする。
【００１７】
本発明の第７の観点は、第６の観点の発明であって、前記石英部材が整流筒であることを特徴とする。
【００１９】
本発明の第８の観点は、第１ないし第７の観点のうち、いずれか１つの観点の方法で再生された部材を用いて、シリコン単結晶を製造する方法である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の第１の観点の再生方法では、特許文献１の再生方法と異なり、薬液を用いず、熱処理でシリコン等を完全に昇華し除去するため、シリコン単結晶引上げ装置内のシリコン等が付着する全ての部材に適用できる。また特許文献１及び２の再生方法と異なり、薬液の使用や再度のＣＶＤによるＳｉＣの被覆を行わないため、再生に要する時間を短くすることができる。また特許文献１又は２の再生方法のように、薬液の使用により、或いは研削砥石によりシリコン等を除去しないため、部材の肉厚を薄くせず、部材表面を劣化又は疵付けるおそれがない。またシリコン単結晶引上げ装置内の部材の使用可能期間を大幅に伸ばし、引上げるシリコン単結晶の単結晶化率を向上させ、この単結晶のライフタイムの品質を維持又は改善することができる。
【００２１】
また本発明の第１の観点の再生方法では、前記熱処理した後に、熱処理温度から３〜１５℃／分の速度で室温まで急冷することにより、部材の熱膨張率とシリコン等の熱膨張率の差を利用して、シリコン等を部材から容易に剥離させ除去することができる。
【００２２】
本発明の第２の観点の再生方法では、部材が黒鉛部材であるときには、再生熱処理温度を少なくとも１７００℃にすることにより、黒鉛部材を再生することができる。
【００２３】
本発明の第３の観点の再生方法では、黒鉛部材がＳｉＣ被覆処理された黒鉛部材であるときには、再生熱処理温度の上限値を２５００℃にすることにより、黒鉛部材を被覆しているＳｉＣを昇華させずに黒鉛部材を再生することができる。
【００２４】
本発明の第４の観点の再生方法では、黒鉛部材が炭素膜により被覆処理された黒鉛部材であるときには、再生熱処理温度の上限値を２５００℃にすることにより、黒鉛部材を被覆している炭素膜を昇華させずに黒鉛部材を再生することができる。
【００２５】
本発明の第５の観点の再生方法では、黒鉛部材がシリコン融液から蒸発物が比較的多く付着する熱遮蔽部材であるため、再生による経済的効果が高い。
【００２６】
本発明の第６の観点の再生方法では、部材が石英部材であるときには、再生熱処理温度の上限値を１７００℃にすることにより、石英部材の熱変形及び／又は熱変質を生じさせずに石英部材を再生することができる。
【００２７】
本発明の第７の観点の再生方法では、石英部材がシリコン融液から蒸発物が比較的多く付着する整流筒であるため、再生による経済的効果が高い。
【００２９】
本発明の第８の観点の再生された部材を用いてシリコン単結晶を製造する方法は、引上げるシリコン単結晶の単結晶化率を向上させ、この単結晶のライフタイムの品質を維持又は改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る部材を再生する装置の構成図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係る部材を再生する装置の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
次に本発明を実施するための形態を図面を参照して説明する。
【００３２】
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係るシリコン単結晶引上げ装置内の部材である熱遮蔽部材を再生する装置の構成図である。この再生装置は、チョクラルスキー法でシリコン単結晶を引上げる装置を利用している。この実施の形態では、再生装置１０は、チャンバ１１と、ヒータ１２と、断熱体１３と、黒鉛坩堝１４、坩堝受け１５を備える。この再生装置１０では、シリコン単結晶引上げ時に使用する石英坩堝１６及び引上げワイヤ１７は外してあるため、石英坩堝１６、引上げワイヤ１７及び石英坩堝１６内に貯えるシリコン融液１８はそれぞれ破線で示している。
【００３３】
チャンバ１１は、上部は径が小さく下部は径が大きな外部雰囲気から密閉された容器であり、径の大きな下部には、ヒータ１２、断熱体１３、黒鉛坩堝１４、坩堝受け１５等が収容されている。チャンバ１１の上部には、チャンバ内部に不活性ガスを導入する図示しない不活性ガス導入部が設けられる。また、チャンバ１１の下部には不活性ガスの排出口１９が設けられ、図示しない排気管路を介して真空ポンプに接続される。また、チャンバ１１の径の小さい上部と径の大きい下部との間に位置する肩部には、覗き窓２０が設けられる。この覗き窓２０は、シリコン単結晶引上げ時には、シリコン単結晶の絞り工程におけるシリコンの径を測定するため使用されるが、この実施の形態では、再生熱処理時の熱遮蔽部材２１の表面を観察するのに使用される。
【００３４】
この実施の形態では、再生を必要とする部材は黒鉛部材である熱遮蔽部材２１である。この熱遮蔽部材２１はチャンバ１１内の断熱材１３の上部に設けられた支持部材２２に取付けられる。この熱遮蔽部材２１としては、基材が黒鉛製でその表面にＳｉＣ被覆がなされた部材、基材が黒鉛製でその表面に炭素（Ｃ）膜が被覆された部材又は基材が黒鉛製でその表面にＳｉＣも炭素膜も被覆されていない部材が例示される。熱遮蔽部材２１は、シリコン単結晶を引上げる際に、単結晶が石英坩堝１６内のシリコン融液１８から受ける輻射熱を抑制するために設けられ、下方に向けて径が狭まるテーパー形状を有し、その下端部は、シリコン単結晶の引上げ時において、シリコン融液表面の近傍に延びる。このため、熱遮蔽部材２１はシリコン融液１８からの蒸発物であるシリコン等が比較的多く付着する。
【００３５】
次に、この再生装置１０を用いて、シリコン等が付着し固化した熱遮蔽部材２１を再生する方法を説明する。まず上述したように、支持部材２２にシリコン等が付着し固化した熱遮蔽部材２１を取付ける。次いで、図示しない不活性ガス導入部から不活性ガスをチャンバ１１内に導入するとともに、図示しない真空ポンプを作動してチャンバ１１内の圧力を低くする。この不活性ガスの導入とチャンバ内の減圧と同時にヒータ１２により熱遮蔽部材２１を加熱する。
【００３６】
この熱遮蔽部材２１の熱処理は、不活性ガス雰囲気下、２．６７ｋＰａ（２０ｔｏｒｒ）以下の圧力下で行われ、熱遮蔽部材の表面温度が１７００℃以上でかつ熱遮蔽部材が熱変形及び／又は熱変質を開始する温度未満の温度で少なくとも２時間行われる。熱遮蔽部材２１の基材が黒鉛製でその表面にＳｉＣ被覆がなされた部材又は基材が黒鉛製でその表面に炭素（Ｃ）膜が被覆された部材である場合には、ＳｉＣ又は炭素膜の昇華を未然に防ぐために、熱遮蔽部材２１の表面温度の上限値を２５００℃以下の温度にする。熱遮蔽部材２１の表面温度が１０００℃以上になると、シリコン等の昇華が始まるが、この温度を１７００℃以上にすることにより、シリコン等の融点以上にしてシリコン等を完全に除去させることができる。熱エネルギー消費量を節約する観点から好ましい温度は１７００〜１８００℃である。
【００３７】
熱遮蔽部材の表面温度が１７００℃未満の場合には、不活性ガス雰囲気下であっても熱遮蔽部材の表面に付着したシリコン等の昇華が促進されにくく、完全にシリコン等を除去することができない。また熱遮蔽部材がＳｉＣ被覆されている場合又は炭素（Ｃ）膜により被覆されている場合、２５００℃を超えて再生処理を行うと、ＳｉＣ被膜又は炭素膜が昇華反応によりその膜厚が薄くなり、ＳｉＣ被膜又は炭素膜が剥がれてしまう不具合を生じる。
【００３８】
またチャンバ１１内の圧力を２．６７ｋＰａ以下の減圧にするのは、熱遮蔽部材２１の表面に付着したシリコン等の昇華をより早め、シリコン等をより均一に除去するためである。好ましい圧力は１．３３ｋＰａ（１０ｔｏｒｒ）以下である。２．６７ｋＰａを超える圧力では、熱遮蔽部材表面に付着したシリコン等の昇華が促進されにくく、完全にシリコン等を除去することができない。熱遮蔽部材２１の表面温度が上記温度に達してからその温度に保持する時間は少なくとも２時間である。２時間未満では、シリコン等を熱遮蔽部材２１から完全に除去させることが困難となる。熱エネルギー消費量を節約する観点から好ましい保持時間は３〜６時間である。熱遮蔽部材２１の熱処理中及び冷却中、不活性ガス導入部から導入した不活性ガスの流れに随伴して、昇華したシリコン等は不活性ガスの排出口１９から再生装置１０の外部に排出される。
【００３９】
熱処理した後、熱遮蔽部材２１の熱膨張率とシリコン等の熱膨張率の差を大きくして、シリコン等を熱遮蔽部材２１から剥離しやすくするため、熱遮蔽部材２１を熱処理温度から３〜１５℃／分の速度で室温まで冷却することが好ましい。３℃／分未満では熱遮蔽部材２１の熱膨張率とシリコン等の熱膨張率の差が大きくなく、シリコン等が熱遮蔽部材２１から剥離しにくい。また２０℃／分を超えると、熱遮蔽部材にクラックが入るおそれがある。熱遮蔽部材２１を冷却後、再生装置１０から熱遮蔽部材２１を取り出せば、シリコン等を完全に除去した再生された熱遮蔽部材が得られる。再生した熱遮蔽部材の品質をより高めるために、熱遮蔽部材の表面にブロアで空気を吹き付けるか、或いは熱遮蔽部材の表面をブラシや布で清掃することが好ましい。
【００４０】
＜第２の実施形態＞
図２は、本発明の第２の実施形態に係るシリコン単結晶引上げ装置内の部材である整流筒を再生する装置の構成図である。この再生装置は、第１の実施形態と同様に、チョクラルスキー法でシリコン単結晶を引上げる装置を利用している。図２において、図１と同一符号は同一要素を示している。この実施の形態では、再生を必要とする部材は整流筒２５である。この整流筒２５としては、石英製、黒鉛製又は基材が黒鉛製でその表面にＳｉＣ又は炭素膜が被覆された部材が例示される。この整流筒２５は、再生装置内では平坦な坩堝受け１５の上に載置される。
【００４１】
整流筒２５は円筒形の部材であり、単結晶引き上げ時には、図示しないが、チャンバ１１の径の小さい上部からシリコン融液の表面近傍まで延びていて、引上げられる単結晶がこの整流筒２５内部を通るように配置される。また、上述の不活性ガス導入部から流入された不活性ガスは、この整流筒２５の内部を通過して、シリコン融液１８の表面に導かれる。このため、整流筒２５にもシリコン融液からの蒸発物であるシリコン等が比較的多く付着する。
【００４２】
次に、この再生装置１０を用いて、シリコン等が付着し固化した整流筒２５を再生する方法を説明する。まずシリコン等が付着し固化した整流筒２５を平坦な坩堝受け１５の上に載置する。次いで、図示しない不活性ガス導入部から不活性ガスをチャンバ１１内に導入するとともに、図示しない真空ポンプを作動してチャンバ１１内の圧力を低くする。この不活性ガスの導入とチャンバ内の減圧と同時にヒータ１２により整流筒２５を加熱する。
【００４３】
この整流筒２５の熱処理は、不活性ガス雰囲気下、２．６７ｋＰａ（２０ｔｏｒｒ）以下の圧力下で１４００℃以上２５００℃以下の温度で行われる。整流筒２５が石英ガラス材料から形成されている場合には、整流筒２５の熱変形を未然に防ぐために、整流筒２５の表面温度の上限値を１７００℃以下の温度にする。また整流筒２５が黒鉛製である場合には、表面被膜を保護するために、整流筒２５の表面温度の上限値を２５００℃以下の温度にする。整流筒２５の表面温度が１０００℃以上になると、シリコン等の昇華が始まるが、この温度を１４００℃以上にすることにより、シリコン等の融点以上にしてシリコン等を完全に除去させることができる。熱エネルギー消費量を節約する観点から好ましい温度は１７００〜１８００℃である。またチャンバ１１内の圧力を２．６７ｋＰａ以下の減圧にするのは、整流筒２５の表面に付着したシリコン等の昇華をより早め、シリコン等をより均一に除去するためである。好ましい圧力は１．３３ｋＰａ（１０ｔｏｒｒ）以下である。整流筒２５の表面温度が上記温度に達してからその温度に保持する時間は少なくとも２時間である。２時間未満では、シリコン等を整流筒２５から完全に除去させることが困難となる。熱エネルギー消費量を節約する観点から好ましい保持時間は３〜６時間である。整流筒２５の熱処理中及び冷却中、不活性ガス導入部から導入した不活性ガスの流れに随伴して、昇華したシリコン等は不活性ガスの排出口１９から再生装置１０の外部に排出される。
【００４４】
熱処理した後、整流筒２５を熱処理温度から３〜１５℃／分の速度で室温まで冷却することが好ましい。３℃／分未満では整流筒２５の熱膨張率とシリコン等の熱膨張率の差が大きくなく、シリコン等が整流筒２５から剥離しにくい。また２０℃／分を超えると、整流筒にクラックが入るおそれがある。整流筒２５を冷却後、再生装置１０から整流筒２５を取り出せば、シリコン等を完全に除去した再生された整流筒が得られる。再生した整流筒の品質をより高めるために、整流筒の表面にブロアで空気を吹き付けるか、或いは整流筒の表面をブラシや布で清掃することが好ましい。
【００４５】
なお、再生する部材として、第１の実施の形態では熱遮蔽部材を、第２の実施の形態では整流筒を挙げたが、本発明の方法で再生可能な部材はこれらの部材に限らず、例えば、図１に示した支持部材２２、黒鉛製シードチャック、黒鉛製排気管、又は熱遮蔽部材を支持する部位に用いられるＣＣコンポジット材でもよい。ＣＣコンポジット材の場合、熱処理し冷却した後、その表面を掃除機のようなもので吸引して炭素繊維間に残存するシリコン等を除去することが好ましい。
【実施例】
【００４６】
次に本発明の実施例を比較例とともに詳しく説明する。
【００４７】
＜実施例１＞
特定の引上げ装置に基材が黒鉛製でその表面にＳｉＣ被覆がなされた熱遮蔽部材を取付け、シリコン単結晶を１０回引上げ、この熱遮蔽部材の表面にシリコン等を付着させた。付着量が比較的多い１０箇所の平均付着厚さは６１０μｍであった。図１に示す再生装置１０の支持部材２２にシリコン等が付着した上記熱遮蔽部材２１を取付け、不活性ガス導入部からアルゴンガスを導入し、チャンバ１１内をアルゴン雰囲気下にした。また真空ポンプを作動してチャンバ１１内の圧力を１．３３ｋＰａにした。この状態で熱遮蔽部材２１の表面温度が１７００℃になるまでヒータ１２を通電した。１７００℃で６時間維持した後、ヒータ１２を切電して室温まで、冷却した。冷却速度は４．０℃／分であった。
【００４８】
＜実施例２＞
シリコン単結晶の１０回の引上げにより平均付着厚さが５３０μｍであった熱遮蔽部材の表面温度を２５００℃になるまでヒータを通電した。２５００℃で５時間維持した後、冷却速度を５．９℃／分にした。それ以外は、実施例１と同じ装置で実施例１と同じＳｉＣ被覆がなされた熱遮蔽部材を実施例１と同様に熱処理した。
【００４９】
＜実施例３＞
実施例１で用いた引上げ装置と同一機種の引上げ装置に炭素膜が被覆された黒鉛製の熱遮蔽部材を取付け、シリコン単結晶を１０回引上げ、この熱遮蔽部材の表面にシリコン等を付着させた。付着量が比較的多い１０箇所の平均付着厚さは５４５μｍであった。この熱遮蔽部材を図１に示す再生装置１０を用いて熱処理した。熱遮蔽部材の表面温度を１７５０℃になるまでヒータを通電した。１７５０℃で６時間維持した。それ以外は、実施例１と同様にして、炭素膜が被覆された熱遮蔽部材を熱処理した。
【００５０】
＜実施例４＞
実施例１で用いた引上げ装置と同一機種の引上げ装置にＳｉＣも炭素膜も被覆がなされていない熱遮蔽部材を取付け、シリコン単結晶を１０回引上げ、この熱遮蔽部材の表面にシリコン等を付着させた。付着量が比較的多い１０箇所の平均付着厚さは５８０μｍであった。この熱遮蔽部材を図１に示す再生装置１０を用いて熱処理した。再生する熱処理保持温度を１７００℃に、保持時間を６時間に、チャンバ１１内の圧力を２．６７ｋＰａに、熱処理後の冷却速度を４．０℃／分にそれぞれ設定した。それ以外は、実施例１と同様にして、ＳｉＣも炭素膜も被覆がなされていない熱遮蔽部材を熱処理した。
【００５１】
＜実施例５＞
実施例１で用いた引上げ装置と同一機種の引上げ装置に石英ガラス材料からなる整流筒を取付け、シリコン単結晶を１０回引上げ、この整流筒の表面にシリコン等を付着させた。付着量が比較的多い１０箇所の平均付着厚さは１２３μｍであった。この整流筒を図２に示す再生装置１０を用いて熱処理した。再生する熱処理保持温度を１４００℃に、保持時間を３時間に、チャンバ１１内の圧力を１．３３ｋＰａに、熱処理後の冷却速度を３．１℃／分にそれぞれ設定した。それ以外は、実施例１と同様にして、石英ガラス材料からなる整流筒を熱処理した。
【００５２】
＜実施例６＞
シリコン単結晶の１０回の引上げにより平均付着厚さが１３５μｍであった整流筒の表面温度を１７００℃になるまでヒータを通電した。１７００℃で２時間維持した後、冷却速度を３．８℃／分にした。それ以外は、図２に示す再生装置１０を用いて、実施例５と同じ石英ガラス材料からなる整流筒を実施例１と同様に熱処理した。
【００５３】
＜実施例７＞
実施例１で用いた引上げ装置と同一機種の引上げ装置に黒鉛製のＳｉＣも炭素膜も被覆がなされていない整流筒を取付け、シリコン単結晶を１０回引上げ、この整流筒の表面にシリコン等を付着させた。付着量が比較的多い１０箇所の平均付着厚さは１４１μｍであった。この整流筒を図２に示す再生装置１０を用いて熱処理した。再生する熱処理保持温度を１７００℃に、保持時間を４時間に、チャンバ１１内の圧力を１．３３ｋＰａに、熱処理後の冷却速度を３．８℃／分にそれぞれ設定した。それ以外は、実施例１と同様にして、黒鉛製のＳｉＣも炭素膜も被覆がなされていない整流筒を熱処理した。
【００５４】
＜比較例１＞
実施例１で用いた引上げ装置と同一機種の引上げ装置に実施例１と同一の黒鉛製でその表面にＳｉＣ被覆がなされた熱遮蔽部材を取付け、シリコン単結晶を１０回引上げ、この熱遮蔽部材の表面にシリコン等を付着させた。付着量が比較的多い１０箇所の平均付着厚さは５２７μｍであった。この熱遮蔽部材を図１に示す再生装置１０を用いて熱処理した。再生する熱処理保持温度を１６５０℃に、保持時間を４時間に、チャンバ１１内の圧力を１．３３ｋＰａに、熱処理後の冷却速度を３．７℃／分にそれぞれ設定した。それ以外は、実施例１と同様にして、ＳｉＣ被覆がなされた熱遮蔽部材を熱処理した。
【００５５】
＜比較例２＞
実施例１で用いた引上げ装置と同一機種の引上げ装置に実施例１と同一の黒鉛製でその表面にＳｉＣ被覆がなされた熱遮蔽部材を取付け、シリコン単結晶を１０回引上げ、この熱遮蔽部材の表面にシリコン等を付着させた。付着量が比較的多い１０箇所の平均付着厚さは５８２μｍであった。この熱遮蔽部材を図１に示す再生装置１０を用いて熱処理した。再生する熱処理保持温度を２５５０℃に、保持時間を５時間に、チャンバ１１内の圧力を１．３３ｋＰａに、熱処理後の冷却速度を６．０℃／分にそれぞれ設定した。それ以外は、実施例１と同様にして、ＳｉＣ被覆がなされた熱遮蔽部材を熱処理した。
【００５６】
＜比較例３＞
実施例１で用いた引上げ装置と同一機種の引上げ装置に実施例１と同一の黒鉛製でその表面にＳｉＣ被覆がなされた熱遮蔽部材を取付け、シリコン単結晶を１０回引上げ、この熱遮蔽部材の表面にシリコン等を付着させた。付着量が比較的多い１０箇所の平均付着厚さは５６０μｍであった。この熱遮蔽部材を図１に示す再生装置１０を用いて熱処理した。再生する熱処理保持温度を１７５０℃に、保持時間を１．８時間にそれぞれ設定した。それ以外は、実施例１と同様にして、ＳｉＣ被覆がなされた熱遮蔽部材を熱処理した。
【００５７】
＜比較例４＞
実施例１で用いた引上げ装置と同一機種の引上げ装置に実施例４と同一のＳｉＣも炭素膜も被覆がなされていない熱遮蔽部材を取付け、シリコン単結晶を１０回引上げ、この熱遮蔽部材の表面にシリコン等を付着させた。付着量が比較的多い１０箇所の平均付着厚さは５０９μｍであった。この熱遮蔽部材を図１に示す再生装置１０を用いて熱処理した。再生する熱処理保持温度を１６５０℃に、保持時間を６時間に、チャンバ１１内の圧力を４．０ｋＰａにそれぞれ設定した。それ以外は、実施例１と同様にして、ＳｉＣも炭素膜も被覆がなされていない熱遮蔽部材を熱処理した。
【００５８】
＜比較例５＞
実施例１で用いた引上げ装置と同一機種の引上げ装置に実施例５と同じ石英ガラス材料からなる整流筒を取付け、シリコン単結晶を１０回引上げ、この整流筒の表面にシリコン等を付着させた。付着量が比較的多い１０箇所の平均付着厚さは１１５μｍであった。この整流筒を図２に示す再生装置１０を用いて熱処理した。再生する熱処理保持温度を１３５０℃に、保持時間を２時間に、チャンバ１１内の圧力を１．３３ｋＰａに、熱処理後の冷却速度を２．９℃／分にそれぞれ設定した。それ以外は、実施例１と同様にして、石英ガラス材料からなる整流筒を熱処理した。
【００５９】
＜比較例６＞
シリコン単結晶の１０回の引上げにより平均付着厚さが１２９μｍであった整流筒の表面温度を１７５０℃になるまでヒータを通電した。１７５０℃で３時間維持して熱処理した。それ以外は、実施例１と同じ装置で実施例５と同じ石英ガラス材料からなる整流筒を実施例１と同様に熱処理した。
【００６０】
＜比較例７＞
実施例１で用いた引上げ装置と同一機種の引上げ装置に実施例１と同一の黒鉛製でその表面にＳｉＣ被覆がなされた熱遮蔽部材を取付け、シリコン単結晶を１０回引上げ、この熱遮蔽部材の表面にシリコン等を付着させた。付着量が比較的多い１０箇所の平均付着厚さは５３２μｍであった。この熱遮蔽部材を特許文献１に示す方法に準じたエッチング処理方法で再生した。先ず薬液槽内に薬液であるフッ酸と硝酸の混酸を貯え、次いでシリコン等が付着した熱遮蔽部材を薬液に浸漬し、超音波洗浄した。シリコン等が洗浄除去された熱遮蔽部材を薬液槽から純水を貯えるリンス槽に移して浸漬した。このリンス層で薬液槽と同様に熱遮蔽部材を超音波洗浄した後、熱遮蔽部材をリンス槽から引上げ、乾燥して、再生した。
【００６１】
＜比較例８＞
実施例１で用いた引上げ装置と同一機種の引上げ装置に実施例１と同一の黒鉛製でその表面にＳｉＣ被覆がなされた熱遮蔽部材を取付け、シリコン単結晶を１０回引上げ、この熱遮蔽部材の表面にシリコン等を付着させた。付着量が比較的多い１０箇所の平均付着厚さは５９０μｍであった。この熱遮蔽部材の表面を特許文献２に記載の研削砥石（粒度１０００番）を用いて研磨し、熱遮蔽部材の表面に付着していたシリコン等を機械的に除去した。
【００６２】
＜比較試験その１と評価＞
実施例１〜７及び比較例１〜８で用いた熱遮蔽部材又は整流筒の部材について、再生後におけるシリコン等の付着状況、再生前後における部材肉厚の変化状況、再生後における部材表面の劣化又は疵の有無及び再生に要した時間を調べた。部材の肉厚はノギスで１０箇所測定し、再生前を１としたときの再生後の肉厚の平均値を割合（肉厚平均変化率）で示す。再生後におけるシリコン等の付着状況及び部材表面の劣化又は疵の有無は目視により判定した。これらの結果を表１に示す。
【００６３】
【表１】
0006471631.tif 000002
【００６４】
表１から明らかなように、１６５０℃で熱処理した比較例１のＳｉＣ被覆がなされた黒鉛製の熱遮蔽部材では、再生処理後にシリコン等が付着していた。また２５５０℃で熱処理した比較例２のＳｉＣ被覆がなされた黒鉛製の熱遮蔽部材では、再生処理後に熱遮蔽部材の表面のＳｉＣ被膜が剥離していた。また１７５０℃、１．３３ｋＰａの圧力下で１．８時間熱処理した比較例３のＳｉＣ被覆がなされた黒鉛製の熱遮蔽部材では、再生処理後にシリコン等が付着していた。また１６５０℃、４．０ｋＰａの圧力下で熱処理した比較例４のＳｉＣも炭素膜も被覆がなされていない黒鉛製の熱遮蔽部材では、再生処理後にシリコン等が付着していた。また１３５０℃で熱処理した比較例５の石英ガラス材料からなる整流筒では、再生処理後にシリコン等が付着していた。また１７５０℃で熱処理した比較例６の石英ガラス材料からなる整流筒では、再生処理後に整流筒が熱変形し、肉厚平均変化率０．９６となって示された。また化学洗浄によるエッチング処理方法で再生した比較例７のＳｉＣ被覆がなされた黒鉛製の熱遮蔽部材では、再生に３２６時間を要した。更に表面を研削砥石で研磨して表面に付着していたシリコン等を機械的に除去した比較例８のＳｉＣ被覆がなされた黒鉛製の熱遮蔽部材では、再生処理後にシリコン等が付着しており、かつ表面に研削疵が多数存在していた。
【００６５】
これに対して、実施例１〜７で再生した熱遮蔽部材及び整流筒は、再生処理後にシリコン等が全く付着しておらず、部材の肉厚平均変化率はいずれも１であって肉厚変化や熱変形は全くなく、被膜剥離や部材表面の疵は全く生じなかった。その上、再生に要した時間は９．５〜１３．５時間と比較的短く、速やかに再生することができた。
【００６６】
＜比較試験その２と評価＞
同一機種のシリコン単結晶引上げ装置を２台選び、２台の引上げ装置に、同一の製造ロットから選ばれた基材が黒鉛製でその表面にＳｉＣ被覆がなされた２つの熱遮蔽部材を各別に取付け、かつ同一のシリコン原料をそれぞれの坩堝に入れ、これをシリコン融液にした後、２台とも同一の引上げ条件でシリコン単結晶を引上げた。２台の引上げ装置の坩堝を交換し、それぞれ同一の引上げ条件でシリコン単結晶を１０回繰り返し引上げたところ、２つの熱遮蔽部材の各表面にシリコン等が付着した。１つの熱遮蔽部材を実施例１による方法により、他の１つの熱遮蔽部材を比較例７による方法により、それぞれ再生した。再生後、再び２つの熱遮蔽部材を同一の引上げ装置に取付け、同様に２つの熱遮蔽部材の各表面にシリコン等を付着させた。２つの熱遮蔽部材の再生とシリコン等の付着を繰り返し行い、双方の熱遮蔽部材のＳｉＣ被覆が剥がれるまでの回数を測定した。その結果、比較例７による方法では、７０回でＳｉＣ被覆が剥がれ始めたのに対して、実施例１による方法では、２２０回でＳｉＣ被覆が剥がれ始めた。これにより、実施例１により再生した熱遮蔽部材は、比較例７により再生した熱遮蔽部材よりも、３倍以上長く使用することができ、熱遮蔽部材のライフエンドを大幅に伸ばすことができた。
【００６７】
＜比較試験その３と評価＞
同一機種のシリコン単結晶引上げ装置を３台選び、３台の引上げ装置に、同一の製造ロットから選ばれた基材が黒鉛製でその表面にＳｉＣ被覆がなされた３つの熱遮蔽部材を各別に取付け、かつ同一のシリコン原料をそれぞれの坩堝に入れ、これをシリコン融液にした後、３台とも同一の引上げ条件でシリコン単結晶を引上げた。それぞれ同一の引上げ条件でシリコン単結晶を１０回繰り返し引上げたところ、３つの熱遮蔽部材の各表面にシリコン等が付着した。１つの熱遮蔽部材は実施例１の方法により再生した。もう１つの熱遮蔽部材は比較例１の方法により再生した。残りの１つの熱遮蔽部材は再生しなかった。これら３つの熱遮蔽部材を同一の引上げ装置に取付けて、更に続けて同一の引上げ条件でそれぞれ１０本シリコン単結晶を引上げた。３台の引上げ装置で引上げたそれぞれ１０本のシリコン単結晶の単結晶化率（Disloction Free Ratio）を測定した。その結果、再生しなかった熱遮蔽部材を用いて引上げたシリコン単結晶の単結晶化率を１００としたときに、比較例１の方法により再生した熱遮蔽部材を用いて引上げたシリコン単結晶の単結晶化率が１００．４であったのに対して、実施例１の方法により再生した熱遮蔽部材を用いて引上げたシリコン単結晶の単結晶化率は、平均１０２．２であり、単結晶化率が約２％向上した。単結晶化率が向上したのは、熱遮蔽部材からシリコン等がシリコン融液に落下して混入する量が他の２例よりも少なかったためと推察された。
【００６８】
＜比較試験その４と評価＞
比較例７のエッチング処理方法により再生した熱遮蔽部材を有する引上げ装置で直径２００ｍｍのｐ型で結晶方位が＜１００＞であるシリコン単結晶を２９５本引上げた。これらの単結晶からそれぞれ切り出したシリコンウェーハの抵抗率を四端子法にて測定した。抵抗率が５Ω・ｃｍ以上のシリコンウェーハのライフタイムを１０Ω・ｃｍに換算し、これらのライフタイムの平均値を１として各ライフタイムを相対値で求めた。一方、実施例１の方法で再生した熱遮蔽部材以外は上記と同じ引上げ装置で同一原料を用いて同一引上げ方法により直径２００ｍｍのｐ型で結晶方位が＜１００＞であるシリコン単結晶を１０本引上げた。これらの単結晶からそれぞれ切り出したシリコンウェーハの各抵抗率を上記と同じ方法で測定し、得られた抵抗率をそれぞれ上記と同様に１０Ω・ｃｍに換算した。換算して得られたライフタイムの各相対値を、比較例７の抵抗率のライフタイムの平均値と比較したところ、実施例１の方法で再生した熱遮蔽部材を有する引上げ装置から製造されたシリコンウェーハのライフタイムは、比較例７の方法で再生した熱遮蔽部材を有する引上げ装置から製造されたシリコンウェーハのライフタイムよりも平均で約１８％向上し、かつばらつきも小さかった。この結果、比較例７の方法で熱遮蔽部材を再生処理するよりも、実施例１の方法で熱遮蔽部材を再生処理する方が、清浄化の度合いが高いことが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明の再生方法は、シリコン単結晶引上げ装置内のシリコン等が付着する部材からシリコン等を昇華除去して再生するのに用いられる。
【図１】
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【図２】
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