(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔を有する金属ブロックと、
前記貫通孔に配置されるグランドブッシュと、
前記グランドブッシュの内側を貫通するグランド用コンタクトプローブとを備え、
前記グランドブッシュは、筒状本体部と、前記筒状本体部の外面から側方に突出する突出部とを有する導体であり、前記突出部は前記金属ブロックにおける前記貫通孔の開口周辺部に当接し、
前記金属ブロックの一方の側に絶縁体板が重ね合わされ、前記突出部は、前記金属ブロックと前記絶縁体板とで挟持されていることを特徴とする検査ユニット。
【請求項２】
貫通孔を有する金属ブロックと、
前記貫通孔に配置されるグランドブッシュと、
前記グランドブッシュの内側を貫通するグランド用コンタクトプローブとを備え、
前記グランドブッシュは、筒状本体部と、前記筒状本体部の外面から側方に突出する突出部とを有する導体であり、前記突出部は前記金属ブロックにおける前記貫通孔の開口周辺部に当接し、
前記金属ブロックの一方の側に絶縁体板が重ね合わされ、
前記金属ブロックの前記絶縁体板を設ける側の反対側に絶縁部材が配設され、前記コンタクトプローブは、チューブと、前記絶縁部材の貫通穴部を貫通する第１のプランジャと、前記絶縁体板の貫通穴部を貫通する第２のプランジャとを有し、前記絶縁部材及び前記絶縁体板に形成された貫通穴部の前記チューブ端部が入る部分の内径よりも、前記グランドブッシュの内径が小さいことを特徴とする検査ユニット。
【請求項３】
前記金属ブロックは複数の分割体からなり、前記突出部は前記分割体で挟持されていることを特徴とする請求項２に記載の検査ユニット。
【請求項４】
前記突出部は前記筒状本体部の一端部又は中間部に形成されたフランジ部であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の検査ユニット。
【請求項５】
前記突出部は１個又は複数あり、前記筒状本体部の一端部又は中間部から一方向又は複数方向に放射状に延長していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の検査ユニット。
【請求項６】
前記コンタクトプローブには、検査動作中に前記貫通孔の中心軸に対して傾斜方向若しくは偏心方向の力が加わることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の検査ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路等の被検査電子部品の検査のために使用する検査ユニットに係り、とくにグランド用コンタクトプローブを有する検査ユニットにおけるグランド用コンタクトプローブと金属ブロックとの接続構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１２は、従来の高周波対応のソケットを構成する検査ユニット及びグランドチューブであって、（Ａ）はグランド用コンタクトプローブ取り付け部分の正断面図、（Ｂ）はグランド用コンタクトプローブと金属ブロックとを接続するグランドチューブの正面図である。図１２（Ａ）において、グランド用コンタクトプローブ１は、導電性円筒状チューブ２から、内蔵するスプリングにより導電性プランジャ３，４を突出方向に付勢した導電性構造体であり、金属ブロック(ピンブロック)１０の貫通孔１１を挿通する配置である。そして、金属ブロック１０の上下面に固定配置されたリテーナ（絶縁体の固定手段）１２，１３によりグランド用コンタクトプローブ１は貫通孔１１内周面に対して同軸に支持される。
【０００３】
グランド用コンタクトプローブ１と金属ブロック１０との接続は、図１２（Ｂ）のグランドチューブ２０を用いて行っている。グランドチューブ２０は金属板材を筒状に丸めて作製するものであり、一方の端部をグランド用コンタクトプローブ１の外周面に接触するようにプローブ１の外径より僅かに小さい内径となるように丸め、他方の端部を貫通孔１１内周面に接触するように広げた形状である。このグランドチューブ２０はプローブ１と金属ブロック１０の隙間に配設され、両者の電気的な接続を果たす。
【０００４】
図１２の従来技術は、下記特許文献１の従来例として記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−６０５２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、図１２のグランドチューブ２０は金属板材の片側をグランド用コンタクトプローブ１に接触する径に丸め、もう一方の側を金属ブロック１０の貫通孔内壁に接触させるために広げた形状となっており、広げられたグランドチューブ２０の弾性を利用して金属ブロック１０とコンダクトプローブ１に噛みつかせ、導通をとっている。このため、以下に列挙する問題点がある。
【０００７】
(1) グランドチューブ２０は、打ち抜いた金属板を手作業でラッパ形状に曲げて作られるため寸法の精度が出しづらく、手作業によるため、高コストである。
【０００８】
(2) グランドチューブ２０は、手作業によって作られるため、径のバラツキが大きく、以下に述べるように組立性が悪い問題がある。
ａ．コンタクトプローブ１にグランドチューブ２０の細い径の端が食い込み、コンタクトプローブ１の再利用が出来なくなることがある。
ｂ．金属ブロック１０側の貫通孔内面にグランドチューブ２０の径の大きい側の端が食いつき、グランドチューブ２０の抜き取りが困難になる。
ｃ．湾曲したグランドチューブ２０によってコンタクトプローブ１の動きが金属ブロック１０内で拘束され（コンタクトプローブ１を途中までしか挿入できない事態が生じ）、リテーナ１２，１３の組み付けが困難な場合がある。
【０００９】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、グランド用コンタクトプローブと金属ブロックとの電気的接続をグランドブッシュで確実かつ安定に行い、しかも保守性を向上させることが可能な検査ユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のある態様は検査ユニットである。この検査ユニットは、貫通孔を有する金属ブロックと、前記貫通孔に配置されるグランドブッシュと、前記グランドブッシュの内側を貫通するグランド用コンタクトプローブとを備え、
前記グランドブッシュは、筒状本体部と、前記筒状本体部の外面から側方に突出する突出部とを有する導体であり、前記突出部は前記金属ブロックにおける前記貫通孔の開口周辺部に当接し、
前記金属ブロックの一方の側に絶縁体板が重ね合わされ、前記突出部は、前記金属ブロックと前記絶縁体板とで挟持されていることを特徴とする。
本発明のもう一つの態様も検査ユニットである。この検査ユニットは、  貫通孔を有する金属ブロックと、前記貫通孔に配置されるグランドブッシュと、前記グランドブッシュの内側を貫通するグランド用コンタクトプローブとを備え、
前記グランドブッシュは、筒状本体部と、前記筒状本体部の外面から側方に突出する突出部とを有する導体であり、前記突出部は前記金属ブロックにおける前記貫通孔の開口周辺部に当接し、
前記金属ブロックの一方の側に絶縁体板が重ね合わされ、
前記金属ブロックの前記絶縁体板を設ける側の反対側に絶縁部材が配設され、前記コンタクトプローブは、チューブと、前記絶縁部材の貫通穴部を貫通する第１のプランジャと、前記絶縁体板の貫通穴部を貫通する第２のプランジャとを有し、前記絶縁部材及び前記絶縁体板に形成された貫通穴部の前記チューブ端部が入る部分の内径よりも、前記グランドブッシュの内径が小さいことを特徴とする。
【００１２】
前記態様において、前記金属ブロックは複数の分割体からなり、前記突出部は前記分割体で挟持されているとよい。
【００１３】
前記態様において、前記突出部は前記筒状本体部の一端部又は中間部に形成されたフランジ部であるとよい。
【００１４】
前記態様において、前記突出部は１個又は複数あり、前記筒状本体部の一端部又は中間部から一方向又は複数方向に放射状に延長しているとよい。
【００１５】
前記態様において、前記コンタクトプローブには、検査動作中に前記貫通孔の中心軸に対して傾斜方向若しくは偏心方向の力が加わる構成であるとよい。
【００１７】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る検査ユニットによれば、筒状本体部と、前記筒状本体部の外面から側方に突出する突出部を有するグランドブッシュを用いることで、グランド用コンタクトプローブと金属ブロックとの電気的接続を確実かつ安定に行うことができる。しかもグランド用コンタクトプローブの挿入、抜き取りを容易にして保守性を向上させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施の形態であって、検査ユニット、被検査電子部品及び検査用基板を示す一部を断面とした概略正面図。
【図２】図１の要部拡大断面図。
【図３】第１の実施の形態において、グランドブッシュを用いたグランド用コンタクトプローブ取り付け部分の正断面図。
【図４】前記グランドブッシュの要部であって、（Ａ）は部分断面図、（Ｂ）は底面図。
【図５】前記グランドブッシュを用いる場合の金属ブロックに対するグランド用コンタクトプローブの取付手順を示す分解断面図。
【図６】被検査電子部品側電極端子が、グランド用コンタクトプローブ及びグランドブッシュを介して金属ブロックに電気的に接続される経路を説明する正断面図。
【図７】グランド用コンタクトプローブとグランドブッシュ間の電気的接続が、グランド用コンタクトプローブのチューブの傾斜により確実に行われることを説明する正断面図。
【図８】本発明の第２の実施の形態におけるグランドブッシュの要部であって、（Ａ）は部分断面図、（Ｂ）は底面図。
【図９】本発明の第３の実施の形態におけるグランドブッシュの要部であって、（Ａ）は部分断面図、（Ｂ）は底面図。
【図１０】本発明の第４の実施の形態におけるグランドブッシュの要部であって、（Ａ）は部分断面図、（Ｂ）は底面図。
【図１１】本発明の第５の実施の形態における要部拡大断面図。
【図１２】従来の検査ユニット及びグランドチューブであって、（Ａ）はグランド用コンタクトプローブ取り付け部分の正断面図、（Ｂ）はグランド用コンタクトプローブと金属ブロックとを接続するグランドチューブの正面図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００２１】
図１は本発明の第１の実施の形態であって、検査ユニット（ソケット）３０、被検査電子部品８０及び検査用基板９０を示す一部を断面とした正面図、図２は図１の要部拡大断面図、図３はグランドブッシュ６０を用いたグランド用コンタクトプローブ４０Ａの取り付け部分の正断面図である。これらの図に示すように、高周波対応のソケットを構成する検査ユニット３０は、多数の貫通孔５１を形成した金属ブロック（ピンブロック）５０と、貫通孔５１に挿入、配置されるグランド用コンタクトプローブ４０Ａ、電源用コンタクトプローブ４０Ｂ及び高周波信号用コンタクトプローブ４０Ｃと、グランド用コンタクトプローブ４０Ａの周囲に配されるグランドブッシュ６０と、絶縁体板である樹脂プレート（ピンプレート）７０と、絶縁部材としてのインシュレータリング７５とを備えている。
【００２２】
なお、本例では金属ブロック５０の各貫通孔５１は同径であり、コンタクトプローブ４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃは径を同じくする同一のものを使用する。コンタクトプローブ４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃは、金属導体のチューブ４１の両端から金属導体のプランジャ４２，４３がチューブ４１に内蔵されるスプリングの弾性力で突出している（内部構造は後述する）。
【００２３】
金属ブロック５０は、真鍮やアルミニウム等の導体金属であり、その一方の平面（上面）には検査時に被検査電子部品８０をガイドするガイド部材３５が固着され、金属ブロック５０の検査用基板９０に対向する他方の平面（底面）には樹脂プレート７０を配置するために凹んだ段差面５３が形成されている。段差面５３には凹部５４が形成され、凹部５４の底面５４ａと樹脂プレート７０の対向面に隙間Ｇが形成されることになる（隙間Ｇを設ける理由は後述する）。凹部５４はコンタクトプローブ４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃの配置領域を内側に含む。
【００２４】
インシュレータリング７５は、円環状樹脂製で、内側にコンタクトプローブ４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃの肩部（チューブ４１の端部）を収容する大径内周部７５ａを形成すると共にコンタクトプローブ４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃのプランジャ４２が障害なく通れる程度の小径内周部７５ｂを形成している。一方、インシュレータリング７５の外側に貫通孔５１の大径部５１ａと同径の大径外周部７５ｃを形成すると共に貫通孔５１の一方の端部（被検査電子部品８０に対向する側、つまり上側）の小径部５１ｂに嵌合する小径外周部７５ｄを形成している。これにより、インシュレータリング７５が金属ブロック５０から抜けないようになっている。なお、インシュレータリング７５の大径内周部７５ａの径はコンタクトプローブ４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃの肩部（チューブ４１）の径よりも大径に形成されており、コンタクトプローブ４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃが貫通孔５１の中心軸に対して偏心する方向に移動できるようになっている。これにより、コンタクトプローブ４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃが僅かに傾くことができる。
【００２５】
金属ブロック５０のインシュレータリング７５を配置した側の反対側には、樹脂プレート７０が設けられ、樹脂プレート７０の金属ブロック５０に対向する側の面には、各コンタクトプローブの位置に合わせて凹部７１が形成されている。樹脂プレート７０の凹部７１は、インシュレータリング７５の内側と同様にコンタクトプローブ４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃの肩部（チューブ４１の端部）を収容する大径部７１ａとプランジャ４３が障害なく通れる程度の小径部７１ｂが形成されている。樹脂プレート７０の大径部７１ａの径はコンタクトプローブ４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃの肩部（チューブ４１）の径と同径に形成されているが、インシュレータリング７５と同様に大径にしてコンタクトプローブ４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃが貫通孔５１の中心軸に対して偏心する方向に移動できるようにしてもよい。さらに、大径部７１ａの金属ブロック側はテーパ状に拡がった形状とされている。
【００２６】
グランド用コンタクトプローブ４０Ａが収容される貫通孔５１にはグランドブッシュ６０が挿入されている。図４（Ａ）,（Ｂ）に示すように、グランドブッシュ６０は金属ブロック５０と同様の導体金属であり、内側をグランド用コンタクトプローブ４０が貫通するチューブ状（円筒状）の本体部６１と、チューブ状（円筒状）の本体部６１の一端部の外周面から側方（径方向）に突出する突出部としてのフランジ部６２とを有する。本体部６１は外径が貫通孔５１の大径部５１ａよりも若干小さく形成され、内径がコンタクトプローブ４０Ａよりも若干大きく形成されている。
【００２７】
グランドブッシュ６０の一端部に形成されたフランジ部６２は、樹脂プレート７０を金属ブロック５０の段差面５３に取り付けることによって、金属ブロック５０と樹脂プレート７０の前述の隙間Ｇに挟み込まれ、金属ブロック５０の一面に圧接される。つまり、金属ブロック５０側凹部５４の深さ寸法よりもフランジ部６２の厚みが僅かに大きく設定されており、この結果、フランジ部６２は凹部５４の底面５４ａと樹脂プレート７０の対向面で挟持されて金属ブロック５０における貫通孔５１の開口周辺に当接し、確実に電気的に接触する。なお、フランジ部６２は樹脂プレート７０に食い込むことになる。
【００２８】
フランジ部６２の径（突出量）は、隣接する貫通孔５１にグランドブッシュ６０を配置した際に干渉しない径に設定されている。また、グランドブッシュ６０の内径は、インシュレータリング７５の大径内周部７５ａ（チューブ４１の端部が入る部分）の径よりも小さくなるように形成されている。これによって、グランド用コンタクトプローブ４０Ａの外周が確実にグランドブッシュ６０の内側に接触することができる。この理由は図７を用いて後述する。
【００２９】
グランドブッシュ６０の長さは、貫通孔５１に挿入されたときに貫通孔５１の一端に配置されるインシュレータリング７５近傍まで、すなわち、貫通孔５１の略全長に亘って延びるように形成されている。但し、インシュレータリング７５には接触せず隙間を開けている。隙間を開けているのはフランジ部６２が金属ブロック５０（貫通孔５１の開口周辺部）に確実に接触するようにするためで、また、グランドブッシュ６０がインシュレータリング７５近傍まで延びているのは、被検査電子部品８０に近いところでコンタクトプローブ４０Ａに対して電気的導通をとると電気的な特性（とくに高周波特性）がよいからである。
【００３０】
図５にグランドブッシュ６０を用いる場合の金属ブロック５０に対するグランド用コンタクトプローブ４０Ａの取付手順を示す。金属ブロック５０の上下を反転して貫通孔５１の小径部５１ｂを下にする。そして、インシュレータリング７５、グランドブッシュ６０の順に貫通孔５１内に挿入し、グランドブッシュ６０の内周にグランド用コンタクトプローブ４０Ａを挿入して金属ブロック５０に樹脂プレート７０をネジ等で固定する。樹脂プレート７０及びインシュレータリング７５はリテーナとして機能し、金属ブロック５０からのグランド用コンタクトプローブ４０Ａ及びグランドブッシュ６０の抜けを防止する。また、樹脂プレート７０及びインシュレータリング７５は、他のコンタクトプローブ４０Ｂ，４０Ｃに関しては金属ブロック５０との間の絶縁を確保する機能も果たす。
【００３１】
図６を用いて被検査電子部品８０の電極端子８１が、グランド用コンタクトプローブ４０Ａ及びグランドブッシュ６０を介して金属ブロック５０に電気的に接続される経路を説明する。検査時において、グランド用コンタクトプローブ４０Ａのプランジャ４２が被検査電子部品８０の電極端子８１を押圧して接触し、プランジャ４２と導通しているチューブ４１がグランドブッシュ６０の内周面に接触し、グランドブッシュ６０のフランジ部６２が金属ブロック５０に圧接して、電気的接続を行う。さらに検査時においては、金属ブロック５０の下面に検査用基板９０を固定するので、検査用基板９０を金属ブロック５０に締め付ける力を利用して樹脂プレート７０を圧縮し、金属ブロック５０にグランドブッシュ６０のフランジ部６２を押し付ける効果で安定した電気的導通をとることができる。
【００３２】
図７を用いてグランド用コンタクトプローブ４０Ａとグランドブッシュ６０間の電気的接続が、グランド用コンタクトプローブ４０Ａのチューブ４１の傾斜により確実に行われることを説明する。図７に示すように、グランド用コンタクトプローブ４０Ａにおいて、検査時には上下のプランジャ４２，４３がコンタクト対象（被検査電子部品８０の電極端子８１、検査用基板９０の配線端子９１）に突き当たることでチューブ４１内に押し込まれるが、このときプランジャ４２，４３のスプリング４４を受ける面が傾斜面にされているため、プランジャ４２，４３のチューブ４１に摺動自在に収容されている大径部分４２ａ，４３ａがチューブ内面側へと移動してチューブ内面への側圧が発生する。この側圧によりチューブ４１がグランドブッシュ６０側に押されて、チューブ４１がグランドブッシュ６０の内側面に押し付けられる。これによって、グランド用コンタクトプローブ４０Ａとグランドブッシュ６０との電気的導通が確実なものとなる。図７では、それぞれのプランジャ４２，４３に形成される傾斜面が異なる方向を向いているため（プランジャ４２の傾斜面は左下向き、プランジャ４３の傾斜面は右上向き）、グランド用コンタクトプローブ４０Ａが傾斜してチューブ４１の上部と下部とがグランドブッシュ６０に接触する。
【００３３】
なお、プランジャ４２，４３に形成される傾斜面が左右いずれかの同方向を向いている場合（例えばプランジャ４２の傾斜面は左下向き、プランジャ４３の傾斜面は左上向き）、チューブ４１は側圧によって傾斜を伴わずに側方に移動してグランドブッシュ６０に接触する。
【００３４】
このように、プランジャ４２，４３のチューブ４１内面への側圧を利用して、コンタクトプローブ４０Ａを貫通孔５１の中心軸から偏心させることで、コンタクトプローブ４０Ａとグランドブッシュ６０との電気的導通を確実にすることができる。従って、被検査電子部品８０の電極端子８１と、検査用基板９０の配線端子９１間をグランド用コンタクトプローブ４０Ａで電気的に接続するとともに、電極端子８１をグランド用コンタクトプローブ４０Ａのプランジャ４２、チューブ４１、グランドブッシュ６０及びそのフランジ部６２の経路で金属ブロック５０に電気的に確実かつ安定に接続する。
【００３５】
従って、検査ユニット３０にガイド部材３５を利用して被検査電子部品８０を載置、固定し、検査ユニット３０の下方に検査用基板９０を配置、固定して検査を行う場合、グランド用コンタクトプローブ４０Ａ先端に接触した被検査電子部品８０側電極端子８１からグランド電流がコンタクトプローブ４０Ａに流れ、コンタクトプローブ４０Ａとグランドブッシュ６０の内側面の接触箇所を通りグランドブッシュ６０に流れ、さらにグランドブッシュ６０のフランジ部６２から金属ブロック５０に流れる。
【００３６】
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
【００３７】
(1) グランド導通の安定化を図ることができる。すなわち、グランドブッシュ６０のフランジ部６２を、樹脂プレート７０で金属ブロック５０の一面（貫通孔５１の開口周辺部）に押し付ける作用によって、グランド電流の導通がより安定化する。
【００３８】
(2) グランド用コンタクトプローブ４０Ａにおけるプランジャ４２，４３のチューブ４１内面への側圧を利用して、コンタクトプローブ４０Ａを金属ブロック５０の貫通孔５１の中心軸から偏心させることで、コンタクトプローブ４０Ａとグランドブッシュ６０との電気的導通を確実にすることができる。
【００３９】
(3) コスト低減を図ることができる。すなわち、グランドブッシュと６０は加工機による切削のみで製造が可能で、従来技術のグランドチューブの端を治具を使用して手作業で形成する必要が無いため、短時間での大量生産が可能であり、製造原価の大幅低減が可能になる。
【００４０】
(4) 組立性の改善を図ることができる。すなわち、グランドブッシュ６０は従来技術のグランドチューブのようにエッジ部を金属ブロック及びプローブ側面に食い込ませて導通を安定させる方法とは異なり、各金属部品同士を押し付ける力を利用して導通をとっている。そのため、ピンセットを使用して抵抗なくグランドブッシュ６０の挿抜を行うことができ、金属ブロック５０の貫通孔内面やグランド用コンタクトプローブ４０Ａの側面を傷めることが無く、部品の再利用が可能となる。
【００４１】
(5) グランドブッシュ６０の挿抜が容易であるから、金属ブロック５０の貫通孔５１の径をいずれも同一に形成するとともに、各コンタクトプローブとして同径のものを使用することで、被検査電子部品の電極パターンに対応させて、各種コンタクトプローブの配置を自由に変更することが可能となる。
【００４２】
図８（Ａ）,（Ｂ）は、本発明の第２の実施の形態を示す。この場合、グランドブッシュ６０は、チューブ状の本体部６１の外面から側方に突出する突出部としての舌片部６３が、本体部６１の一端部に２箇所（１８０度間隔で）形成されている（複数方向に放射状に延長している）。
【００４３】
図９（Ａ）,（Ｂ）は、本発明の第３の実施の形態を示す。この場合、グランドブッシュ６０は、チューブ状の本体部６１の外面から側方に突出する突出部としての舌片部６３が、本体部６１の一端部に４箇所（９０度間隔で）形成されている（複数方向に放射状に延長している）。
【００４４】
図１０（Ａ）,（Ｂ）は、本発明の第４の実施の形態を示す。この場合、グランドブッシュ６０は、チューブ状の本体部６１の外面から側方に突出する突出部としての舌片部６３が、本体部６１の一端部に１箇所形成されている（一方向に放射状に延長している）。
【００４５】
第２乃至第４の実施の形態においても、その他の構成を第１の実施の形態と同様の構成とすることで、第１の実施の形態と同様を作用効果が得られる。
【００４６】
図１１は本発明の第５の実施の形態を示す。この場合、グランドブッシュ６０と金属ブロック５０との電気的接続はグランドブッシュ６０中間部（円Ｐで示す部分）で行っている。すなわち、金属ブロック５０は上下に二分割され、上側分割体としての上側金属ブロック５０Ａと、下側分割体としての下側金属ブロック５０Ｂとを重ねて一体化した構造体である。そして、グランドブッシュ６０のチューブ状の本体部６１の中間部外面から側方に突出する突出部、つまりフランジ部６２又は舌片部６３は上側及び下側金属ブロック５０Ａ,５０Ｂにそれぞれ形成された凹部５５Ａ．５５Ｂの底面５６Ａ，５６Ｂ間に挟持されている（上側及び下側金属ブロック５０Ａ，５０Ｂにおける貫通孔５１の開口周辺部に当接する）。底面５６Ａ，５６Ｂ間距離よりもフランジ部６２又は舌片部６３の肉厚を僅かに大きくすることで、フランジ部６２又は舌片部６３を上側及び下側金属ブロック５０Ａ,５０Ｂに圧接させ、確実に導通をとることができる。なお、絶縁部材としてのインシュレータリング７５の代わりに、絶縁体板としての樹脂プレート７８を金属ブロック５０に重ねて各コンタクトプローブを共通に絶縁支持する構造としている。なお、その他の構成は前述の第１の実施の形態と同様である。
【００４７】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
【００４８】
第１の実施の形態において、グランド用コンタクトプローブでのプランジャのチューブ内面への側圧を発生させる構成として、図７のようにプランジャのスプリングを受ける面を傾斜面にしているが、この構造に限らず、例えば、プランジャのスプリング受け面を傾斜させず、スプリングのプランジャ当接部分を傾斜させてもよい。
【００４９】
第１の実施の形態では、コンタクトプローブの一端部（上側）をインシュレータリングで絶縁支持したが、インシュレータリングの代わりに絶縁体板としての樹脂プレートを用いてもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１，４０Ａ  グランド用コンタクトプローブ
３，４，４２，４３  プランジャ
１０，５０  金属ブロック
１１，５１  貫通孔
２０  グランドチューブ
３０  検査ユニット
４１  チューブ
６０  グランドブッシュ
６１  本体部
６２  フランジ部
６３  舌片部
７０  樹脂プレート
７５  インシュレータリング
８０  被検査電子部品
９０  検査用基板
【図１】
0006475479.tif 000002
【図２】
0006475479.tif 000003
【図３】
0006475479.tif 000004
【図４】
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【図５】
0006475479.tif 000006
【図６】
0006475479.tif 000007
【図７】
0006475479.tif 000008
【図８】
0006475479.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0006475479.tif 000011
【図１１】
0006475479.tif 000012
【図１２】
0006475479.tif 000013