(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加熱体を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置の上方に設けられ、前記被加熱体を加熱する上部炉体と、
前記上部炉体を垂直方向に平行移動させる複数の昇降機構と、
前記上部炉体及び前記搬送装置を収納する筐体の一部をなし、前記上部炉体と共に垂直方向に平行移動されるフードと、
単一の駆動手段と前記複数の昇降機構の間に設けられた回転伝達機構部と
を備え、
前記昇降機構によって前記上部炉体及び前記フードが上昇した状態で、前記上部炉体及び前記フードのそれぞれの下方に開口が形成されるようにした搬送加熱装置。
【請求項２】
前記搬送装置が配置される空間を挟んで前記上部炉体と対向する下部炉体が設けられた請求項１に記載の搬送加熱装置。
【請求項３】
前記上部炉体の搬送方向に沿った両側にそれぞれ少なくとも二つの前記昇降機構が設けられ、
前記昇降機構の間に前記回転伝達機構部の軸がそれぞれ設けられた請求項１又は２に記載の搬送加熱装置。
【請求項４】
前記昇降機構が前記駆動手段によって回転されるスクリュー軸と、前記スクリュー軸に噛み合って昇降する台形ねじのナットに取り付けられた可動支柱とからなる請求項１乃至３のいずれかに記載の搬送加熱装置。
【請求項５】
前記搬送装置が搬送方向に沿って並列に設けられた複数の搬送コンベアを有する請求項１乃至４のいずれかに記載の搬送加熱装置。
【請求項６】
前記複数の搬送コンベアのそれぞれの間に隔壁が設けられ、前記隔壁が上部隔壁及び下部隔壁が接続位置で分離又は嵌合するようになされた請求項５に記載の搬送加熱装置。
【請求項７】
前記上部炉体及び前記フードを連結部によって連結し、前記昇降機構によって前記上部炉体及び前記フードを一体に昇降させるようにした請求項１に記載の搬送加熱装置。
【請求項８】
前記フード及び前記連結部の一方が前記上部炉体の熱膨張によってスライドするようになされた請求項７に記載の搬送加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばプリント基板のリフローを行うリフロー装置に対して適用できる搬送加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品又はプリント基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中に基板を搬送コンベアで搬送するリフロー装置が使用されている（例えば特許文献１参照）。リフロー装置は、基板を搬送する搬送コンベアと、この搬送コンベアによって被加熱物例えばプリント基板が供給されるリフロー炉本体とを備えている。リフロー炉は、例えば、搬入口から搬出口に至る搬送経路に沿って、複数のゾーンに分割されており、これらの複数のゾーンがインライン状に配列されている。複数のゾーンは、その機能によって、加熱ゾーン、冷却ゾーンなどの役割を有する。
【０００３】
リフロー炉本体は上部炉体及び下部炉体を有する。例えば上部炉体から基板に対して熱風が吹きつけられ、下部炉体から基板に対して熱風が吹きつけられることによって、はんだ組成物内のはんだを溶融させてプリント基板の電極と電子部品とがはんだ付けされる。リフロー装置では、加熱時の温度を所望の温度プロファイルにしたがって制御することによって、所望のはんだ付けがなされる。
【０００４】
このようなリフロー装置において、内部に付着したフラックスの除去等のメインテナンス作業を行うために、従来では、片側ヒンジ構造で上部炉体及びフード（ケース）を開放可能としていた（例えば特許文献２参照）。作業者は上部炉体及びフードを開放して片側からリフロー装置内に対するメインテナンス作業を行っていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−０２７９３１号公報
【特許文献２】特開２０１４−１５５９６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の構成では片側からのみしかアクセスすることができないので、奥側の箇所に対するメインテナンス作業を行うのに手間がかかっていた。特に二つの搬送コンベアを平行に配置するデュアル搬送構成のリフロー装置の場合では、奥側の搬送コンベアに対するメインテナンス作業を行うことが大変面倒であった。特許文献２に記載のものは、両側にヒンジを設けているので、作業のために開放する側を変えることによってメインテナンス作業が楽とできる。しかしながら、開放する側を変更する場合、上部炉体及びフードを一旦閉じてから再び反対側を開ける作業が必要で作業性が悪く、且つ二つの搬送コンベアを備えたデュアル搬送リフロー装置に対して本技術を適用しても同時にメインテナンスできないといった問題があった。
【０００７】
したがって、この発明の目的は、メインテナンス作業が従来に比して容易となり、作業性を向上することができる搬送加熱装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、被加熱体を搬送する搬送装置と、
搬送装置の上方に設けられ、被加熱体を加熱する上部炉体と、
上部炉体を垂直方向に平行移動させる複数の昇降機構と、
上部炉体及び搬送装置を収納する筐体の一部をなし、上部炉体と共に垂直方向に平行移動されるフードと、
単一の駆動手段と複数の昇降機構の間に設けられた回転伝達機構部と
を備え、
昇降機構によって上部炉体及びフードが上昇した状態で、上部炉体及びフードのそれぞれの下方に開口が形成されるようにした搬送加熱装置である。
【発明の効果】
【０００９】
少なくとも一つの実施形態によれば、炉体及びフードを上方に平行移動することによって両側に開口を形成することができる。したがって、ヒンジによって炉体及びフードを回転させる従来の構成と比較してメインテナンス作業が容易となる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果により本開示の内容が限定して解釈されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】この発明を適用できる従来のリフロー装置の概略を示す略線図である。
【図２】この発明の一実施の形態の説明に用いる斜視図である。
【図３】この発明の一実施の形態の説明に用いる斜視図である。
【図４】この発明の昇降機構の制御の説明に用いる略線図である。
【図５】この発明の昇降機構の制御の説明に用いるブロック図である。
【図６】この発明をシングル搬送に適用した第１の例の断面図である。
【図７】この発明をシングル搬送に適用した第２の例の断面図である。
【図８】この発明をシングル搬送に適用した第３の例の断面図である。
【図９】従来のシングル搬送の装置の説明に用いる断面図である。
【図１０】この発明をデュアル搬送に適用した第４の例の断面図である。
【図１１】この発明をデュアル搬送に適用した第５の例の断面図である。
【図１２】この発明をデュアル搬送に適用した第６の例の断面図である。
【図１３】従来のデュアル搬送の装置の説明に用いる断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、この発明を実施の形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
＜１．リフロー装置の一例＞
＜２．一実施の形態＞
＜３．変形例＞
なお、以下に説明する一実施の形態は、この発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発明の範囲は、以下の説明において、特にこの発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。
【００１２】
＜１．リフロー装置の一例＞
図１は、この発明を適用できる従来のリフロー装置１０１の概略的構成を示す。リフロー装置１０１は、炉体１０２と、被加熱物例えば両面に表面実装用電子部品が搭載されたプリント基板（以下、ワークと称する）Ｗを炉体１０２内を通過させる搬送コンベア１０３と、搬送コンベア１０３の移動経路を規定する回転体１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃ、１０５ｄと、下部筐体１０４及びフード１０６を備える。
【００１３】
炉体１０２は、上部炉体及び下部炉体によってワークＷを上下から加熱し、加熱後に冷却するためのものである。搬送コンベア１０３は、シングル搬送の場合は搬送方向に延びる一つの搬送コンベアであり、デュアル搬送の場合は搬送方向に平行して配されている二つの搬送コンベアである。例えば搬送コンベア１０３として、ローラチェーンが使用されている。リフロー装置１０１の下部全体を覆う下部筐体１０４と上部全体を覆うフード１０６が設けられている。下部筐体１０４上にフード１０６が載置される。
【００１４】
ワークＷは、搬入口１０７から炉体１０２内に搬入された後、搬送コンベア１０３によって所定速度で矢印方向（図１に向かって左から右方向）へ搬送され、最終的に搬出口１０８から取り出される。図示しないが、搬入口１０７の前段には、ワークＷを搬入するためのワーク搬入装置が設けられ、搬出口１０８の後段には、ワークＷを外部へ送り出すためのワーク搬出装置が配置されている。
【００１５】
搬入口１０７から搬出口１０８に至る搬送経路に沿って、炉体１０２が例えば９個のゾーンＺ１からＺ９に順次分割され、これらのゾーンＺ１〜Ｚ９がインライン状に配列されている。搬入口１０７側から７個のゾーンＺ１〜Ｚ７が加熱ゾーンであり、搬出口１０８側の２個のゾーンＺ８及びＺ９が冷却ゾーンである。冷却ゾーンＺ８及びＺ９に関連して強制冷却ユニット（図示しない）が設けられている。なお、ゾーン数は、一例であって、他の個数のゾーンを備えても良い。複数のゾーンＺ１〜Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがってワークＷの温度を制御する。加熱ゾーンＺ１〜Ｚ７のそれぞれは、それぞれ送風機を含む上部炉体及び下部炉体を有する。
【００１６】
最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部Ｒ１であり、次の区間は温度がほぼ一定のプリヒート（予熱）部Ｒ２であり、次の区間がリフロー（リフロー）部Ｒ３であり、最後の区間が冷却部Ｒ４である。昇温部Ｒ１は、常温からプリヒート部Ｒ２（例えば１５０℃〜１７０℃）まで基板を加熱する期間である。プリヒート部Ｒ２は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、ワークの加熱ムラをなくすための期間である。リフロー部Ｒ３（例えばピーク温度で２２０℃〜２４０℃）は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。リフロー部Ｒ３では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。最後の冷却部Ｒ４は、急速にプリント基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。なお、無鉛ハンダの場合では、リフロー部における温度は、より高温（例えば２４０℃〜２６０℃）となる。
【００１７】
かかる構成のリフロー装置１０１では、昇温部Ｒ１の温度制御を、主としてゾーンＺ１及びＺ２が受け持つ。プリヒート部Ｒ２の温度制御は、主としてゾーンＺ３、Ｚ４及びＺ５が受け持つ。リフロー部Ｒ３の温度制御は、ゾーンＺ６及びＺ７が受け持つ。冷却部Ｒ４の温度制御は、ゾーンＺ８及びゾーンＺ９が受け持つ。
【００１８】
＜２．一実施の形態＞
上述したリフロー装置１０１において、炉体１０２の上部炉体とフード１０６が上方に平行移動され、炉体１０２の搬送方向に沿った両側に作業用の開口が形成される。この開口を通じて作業を行い、フラックス除去等のメインテナンス作業がなされる。
【００１９】
図２及び図３は、一実施の形態の構成を示す。フードフレーム１に対して図示しないが金属板（外板）が貼り付けられてフード１０６が構成される。フードフレーム１は炉体１０２の上方全体を覆う屋根状に例えば角柱部材を組み立てたものである。
【００２０】
炉体１０２の上部炉体２（２点鎖線で示す）の両側面にそれぞれ２個の連結部としてのブラケット３ａ，３ｂ，３ｃ及び３ｄ（これらのブラケットを特に区別する必要がない場合は単にブラケット３と称する）が固定されている。連結部としては板状のものに限らず、棒状のものなどを使用してもよい。なお、図３Ａ及び図３Ｂではフードフレーム１の図示を省略し、上部炉体２を矩形の箱体として示している。上部炉体２に対してそのワーク搬入側から等距離の位置に２個のブラケット３ａ及び３ｃが取り付けられ、そのワーク搬出側から等距離の位置に２個のブラケット３ｂ及び３ｄが取り付けられる。すなわち、上部炉体２の４隅の近傍にブラケット３が取り付けられる。
【００２１】
ブラケット３は、金属板をＬ字状に加工して水平板と垂直板が約９０度の角度をなすもので、垂直板が上部炉体２の側面と固定されている。ブラケット３の水平板がフードフレーム１に取り付けられる。例えばフードフレーム１の炉体延長方向に延びる２本の角柱部材に対してブラケット３の水平板が取り付けられる。フードフレーム１及び上部炉体２の合計の重量は例えば１．２tonである。さらに、炉体１０２（上部炉体２）はリフロー動
作時に非動作時に比較して数ミリ程度熱膨張する。この炉体１０２の熱膨張によってブラケット３の位置が変化する。この変化を吸収するために、取付箇所において、フードフレーム１に対してブラケット３の水平板がスライド可能とされている。
【００２２】
一実施の形態では、フードフレーム１及び上部炉体２が垂直方向に昇降するようになされる。図３Ａはフードフレーム１及び上部炉体２が通常位置にある状態を示す。図３Ｂがフードフレーム１及び上部炉体２がメインテナンス位置にある状態を示す。メインテナンス位置ではフードが上方に平行移動され、フードと筐体の間に開口が形成される。この開口を通じてメインテナンス作業を行うことができる。
【００２３】
昇降動作によってフードフレーム１及び上部炉体２が平行移動される。平行移動とはフードフレーム１及び上部炉体２の全ての点が等しい距離移動することである。但し、歯車のバックラッシュ等の誤差に起因して通常生じる程度の相違が存在する場合も平行移動と称する。必要に応じて初期的な調整がなされ、フードフレーム１及び上部炉体２が水平に位置するようになされる。フードフレーム１とブラケット３の連結位置の近傍で、ブラケット３の下側に昇降機構４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ（これらの昇降機構を特に区別する必要がない場合は単に昇降機構４と称する）が配置されている。昇降機構４に対して単一の駆動手段としてモータ５が設けられる。モータ５の回転が図示しない制御部によって制御される。
【００２４】
モータ５と昇降機構４との間に、モータ５の駆動力を昇降機構４に伝達するための回転伝達機構部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ（これらの回転伝達機構部を特に区別する必要がない場合は単に回転伝達機構部６と称する）が設けられている。昇降機構４は、台形ねじで構成されたスクリュー軸７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ（これらのスクリュー軸を特に区別する必要がない場合は単にスクリュー軸７と称する）と、スクリュー軸７の回転によって昇降する可動支柱８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ（これらの可動支柱を特に区別する必要がない場合は単に可動支柱８と称する）を有している。
【００２５】
回転伝達機構部６には回転を伝達するための軸９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ（これらの軸を特に区別する必要がない場合は単に軸９と称する）が設けられている。モータ５は、一つの昇降機構例えば昇降機構４ａと回転伝達機構部６ａを介して結合されている。さらに、昇降機構４ｄの回転伝達機構部６ｄに手動で回転力を発生するためのハンドル１０が取り付けられている。なお、モータ５及び回転伝達機構部６は下部炉体の下側例えばリフロー装置の底部に設置される。下部炉体から離れるほどリフロー時の炉体の熱の影響を受けにくいので、モータ５及び回転伝達機構部６が熱で故障するおそれを低くできる。
【００２６】
回転伝達機構部６ａにおいて、モータ５の回転がスクリュー軸７ａ、軸９ａ及び９ｂに伝達される。モータ５の軸とほぼ同一の延長方向を有する軸９ａに対しては軸継手（カップリング）を介して回転力が伝えられる。モータ５の軸と異なる方向のスクリュー軸７ａ及び軸９ｂに対してはかさ歯車を介して回転力が伝えられる。軸９ａの回転が回転伝達機構部６ｂに伝達され、軸９ｂの回転が回転伝達機構部６ｃに伝達される。なお、かさ歯車は回転伝達機構の一例であり、ウォームギヤ等の他の機構を使用してもよい。
【００２７】
回転伝達機構部６ｂにおいて、かさ歯車を介して軸９ａの回転がスクリュー軸７ｂ及び軸９ｄに伝達される。回転伝達機構部６ｃにおいて、かさ歯車を介して軸９ｂの回転がスクリュー軸７ｃに伝達される。回転伝達機構部６ｄにおいて、かさ歯車を介して軸９ｄの回転がスクリュー軸７ｄに伝達される。軸９ｄに代えて軸９ｃによって回転を伝達するようにしてもよい。４本の軸９が水平面上で矩形を構成し、ねじれ等に対する強度を増すことができる。
【００２８】
上述したように、回転伝達機構部６ａにおいて、モータ５の回転がスクリュー軸７ａ、軸９ａ及び軸９ｂに伝達される。そして（軸９ａ→回転伝達機構部６ｂ（スクリュー軸７ｂ）→軸９ｄ→回転伝達機構部６ｄ（スクリュー軸７ｄ））の経路と、（軸９ｂ→回転伝達機構部６ｃ（スクリュー軸７ｃ））の経路でモータ５の回転が伝達される。軸９ａ，９ｂ，９ｄの回転が同期しているので、４本のスクリュー軸７ａ〜７ｄも同期して回転する。
【００２９】
スクリュー軸と噛み合う台形ねじのナットが可動支柱８に取り付けられている。スクリュー軸７の所定方向の回転によってナットが上昇し、反対方向の回転によってナットが下降するため、スクリュー軸７の回転によって可動支柱８が昇降する。可動支柱８の上側の端部の支持板がブラケット３の水平板の下面に取り付けられている。上述したように、上部炉体２が熱膨張するので、ブラケット３が変位可能に可動支柱８によって支持される。図３Ａ及び図３Ｂに示すように、スクリュー軸７の回転によって可動支柱８が昇降すると、フードフレーム１及び上部炉体２が昇降する。図３Ａが通常位置を示し、図３Ｂがメインテナンス時の位置を示す。
【００３０】
スクリュー軸７とナットの噛み合わせの構造は、セルフロック機能を有し、スクリュー軸７の回転が静止した時の可動支柱８の位置が保持される。したがって、モータ５及び回転伝達機構部６にブレーキ機構を設ける必要がない。ブレーキ機構を設けないので、例えば停電時にはハンドル１０を回転することによって、スクリュー軸を回転させてフードフレーム１及び上部炉体２が昇降させることができる。すなわち、ハンドル１０の回転が（回転伝達機構部６ｄ（スクリュー軸７ｄ）→軸９ｄ→回転伝達機構部６ｂ（スクリュー軸７ｂ）→軸９ａ→回転伝達機構部６ａ（スクリュー軸７ａ）→軸９ｂ→回転伝達機構部６ｃ（スクリュー軸７ｃ））の経路で伝達される。軸９ａ，９ｂ，９ｄの回転が同期するので、４本のスクリュー軸７ａ〜７ｄが同期して回転する。
【００３１】
回転伝達機構部６の損傷等の理由によって、４本のスクリュー軸７が同期して回転しない場合にはリフロー装置に損傷が与えられるおそれがある。そこで、可動支柱８にスクリュー軸７の回転を監視するために例えば光学式の回転検出センサを設けるようにしている。スクリュー軸７の回転の検出の代わりに可動支柱８の昇降を検出するようにしてもよい。４本のスクリュー軸７が全て回転している場合を正常動作として検出し、スクリュー軸７の１本でも正常に回転していない場合（停止及び回転速度の異常）を異常動作として検出する。異常動作の場合には、モータ５を強制的に停止させる。
【００３２】
図４に示すように、可動支柱８の昇降を検出するために、可動支柱８にセンサドグＳＤが取り付けられ、可動支柱８の昇降方向と平行し、且つ異なる高さの位置にセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３が配されている。センサドグＳＤがセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３と接近すると、光学的な検出動作、磁気的な検出動作又は静電的な検出動作に基づいて検出信号が発生する。さらに、非接触式に限らず、接触式のものを使用してもよい。一例としてマイクロフォトセンサが使用される。センサＳ１が例えば開始位置に設けられ、センサＳ３が最大高さの終了位置に設けられ、センサＳ２がセンサＳ１及びＳ２の間に設けられている。なお、図４では、一つの可動支柱８についてのみ示されているが、全ての可動支柱と関連してセンサが同様に設けられている。また、図４では、回転伝達機構部６としてかさ歯車が示されている。
【００３３】
可動支柱８の昇降動作は、駆動手段としてのモータ５によってなされるので、図５に示すように、モータ５の駆動を制御する制御部３１に対して全ての可動支柱と関連するセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３の検出信号が供給される。制御部３１は、マイクロプロセッサを有し、ソフトウェアにしたがってモータ５の回転を制御する。例えば初期位置からモータ５の回転が開始してセンサＳ１の検出信号が発生すると、モータ５の回転を停止し、可動支柱８の位置を初期位置とする。入力部３２から可動支柱８を上昇させる指令が制御部３１に供給されると、制御部３１はモータ５の回転を開始する。そして、センサＳ３からの検出信号が得られると、制御部３１はモータ５の回転を停止する。制御部３１は、センサＳ１、センサＳ２及びセンサＳ３の検出信号同士の時間間隔を測定することによって、可動支柱８の昇降速度を測定することができる。４個の昇降機構の可動支柱８の昇降速度が予め設定した値以上ばらつく場合には、制御部３１がモータ５の回転を緊急停止する。なお、図４及び図５に示すモータ５の回転の制御の構成は一例であって、他の構成を使用してもよい。
【００３４】
上述したように、この発明の一実施の形態では、駆動手段としてのモータ５が単一であって、４個の昇降機構４が設けられている。この発明と異なり、各昇降機構にモータを設けることも考えうる構成である。しかしながら、このように別々のモータを設けると、モータ間の同期をとることが難しく軸の噛み込みによる昇降不良が発生し、平行移動ができないおそれが高い。さらに、停電時には全てのモータが停止してしまうので、別々に手動で動かすことになり、平行移動が難しい問題がある。したがって、この発明のように、単一の駆動手段によって駆動する構成によって昇降機構の昇降動作を同期させることができ、また、停電時に手動で駆動することができる利点がある。
【００３５】
「シングル搬送の実施の形態」
さらに、この発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。図６は、加熱ゾーンの一つのゾーンを搬送方向と直交する面で切断した場合の断面を搬入口側から見た断面図である。図６に示すように、上部炉体２と下部炉体２１の対向間隙内で、ワークＷが、搬送コンベア１０３上に置かれて搬送される。
【００３６】
上部炉体２及び下部炉体２１により形成される空間内は、雰囲気ガスである例えば窒素（Ｎ2）ガスが充満している。なお、雰囲気ガスは窒素（Ｎ2）ガスに代えて大気ガスであってもよい。上部炉体２及び下部炉体２１は、ワークＷに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出してワークＷを加熱する。上部炉体２内には例えばターボファンの構成の送風機と、ヒータと、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）からなる加熱ユニットが配されている。
【００３７】
図６Ａに示す通常位置では、下部筐体１０４上にフード１０６が載置されている。フード１０６は、フードフレーム１に対して金属板（外板）を貼り付けた構成を有する。パネルの小孔を通過した熱風が、搬送コンベア１０３によって搬送されるワークＷに対して上側から吹きつけられる。下部炉体２１内にも同様の加熱ユニットが設けられ、ワークＷに対して下側から熱風が吹きつけられる。
【００３８】
メインテナンス時には、昇降機構４によって上部炉体２及びフード１０６が上方に平行移動され、図６Ｂに示す位置とされる。この位置において、下部筐体１０４とフード１０６との間に形成された両側の開口を通じて内部の清掃等のメインテナンス作業を行うことができる。
【００３９】
「シングル搬送の変形例」
この発明をシングル搬送に適用した場合の変形例を図７及び図８にそれぞれ示す。図７に示す構成では、上部炉体２の側面とフード１０６の内面との間がブラケット２２ａ及び２２ｂによって連結される。ブラケット３（３ｂ，３ｄ）の代わりに、上部炉体２の側面にブラケット１１ａ，１１ｂが設けられている。これらのブラケット２２ａ及び２２ｂ並びにブラケット１１ａ，１１ｂには、上部炉体２の熱膨張を吸収するための構成が設けられている。昇降機構４ｂ，４ｄの可動支柱８ｂ，８ｄの端部がブラケット１１ａ，１１ｂの下面を押し上げるようになされる。
【００４０】
図７Ａの通常位置では下部筐体１０４上にフード１０６が重なっており、メインテナンス時には図７Ｂに示すように、上部炉体２及びフード１０６が上方に平行移動される。そして、両側に形成された開口からメインテナンス作業を行うことができる。
【００４１】
図８に示す構成では、図７中のブラケット１１ａ，１１ｂの代わりにフード１０６の内面と可動支柱８ｂ，８ｄの間を連結するブラケット１２ａ，１２ｂが使用される。これらのブラケット２２ａ及び２２ｂ並びにブラケット１２ａ，１２ｂには、上部炉体２の熱膨張を吸収するための構成が設けられている。昇降機構４ｂ，４ｄの可動支柱８ｂ，８ｄの端部がブラケット１２ａ，１２ｂの下面を押し上げるようになされる。
【００４２】
図８Ａの通常位置では下部筐体１０４上にフード１０６が重なっており、メインテナンス時には図８Ｂに示すように、上部炉体２及びフード１０６が上方に平行移動される。そして、両側に形成された開口からメインテナンス作業を行うことができる。
【００４３】
図９は、従来の構成を示す。上部炉体２の側面とフード１０６の内面との間がブラケット２２ａ及び２２ｂによって連結される。ヒンジ部２３によって上部炉体２及びフード１０６が回転可能とされる。ヒンジ部２３が設けられていない側の上部炉体２の側面にブラケット２４が取り付けられる。回転軸２５及び可動支柱２６からなる駆動機構が設けられ、可動支柱２６の端部がブラケット２４を押し上げることによってフード１０６と下部筐体１０４の間に開口が形成される。かかる従来の構成では、片側のみに開口が形成されるので、奥側の箇所に対するメインテナンス作業が面倒となる問題がある。この発明では両側に開口が形成されるのでかかる問題が生じない。
【００４４】
「デュアル搬送の実施の形態」
さらに、この発明をデュアル搬送に適用した場合の構成について説明する。図１０は、加熱ゾーンの一つのゾーンを搬送方向と直交する面で切断した場合の断面を搬入口側から見た断面図である。
【００４５】
上部炉体２及び下部炉体２１内に、第１の搬送コンベア１０３ａと第２の搬送コンベア１０３ｂとが平行して設けられている。これらの搬送コンベア間に設けられた隔壁によって、炉体内の空間が第１の搬送コンベア１０３ａ側の空間と、第２の搬送コンベア１０３ｂ側の空間に仕切られている。隔壁は、上部炉体側の上部隔壁１５ａと下部炉体側の下部隔壁１５ｂとにより構成されている。
【００４６】
隔壁は、例えば、断熱作用を有するものである。上部隔壁１５ａ及び下部隔壁１５ｂは、例えばそれぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。上部隔壁１５ａ及び下部隔壁１５ｂの対向する対向端部の一方は先細り形状とされ、他方は開放形状とされている。先細り形状とされた一方の対向端部は、開放形状とされた他方の対向端部に嵌合／分離可能とされている。
【００４７】
上部炉体２、下部炉体２１、上部隔壁１５ａ及び下部隔壁１５ｂによって形成される搬送コンベア１０３ａ側の空間では、上部炉体２内の加熱ユニット及び下部炉体２１内の加熱ユニットがワークＷａに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出してワークＷａを加熱する。上部炉体２及び下部炉体２１には例えばターボファンの構成の送風機と、ヒータと、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）からなる加熱ユニットがそれぞれ設けられている。搬送コンベア１０３ｂ側の空間においては同様の加熱ユニットによってワークＷｂが加熱される。
【００４８】
図１０Ａに示す通常位置では、下部筐体１０４上にフード１０６が載置されている。フード１０６は、フードフレーム１に対して金属板（外板）を貼り付けた構成を有する。パネルの小孔を通過した熱風が、搬送コンベア１０３ａ及び１０３ｂによって搬送されるワークＷａ及びＷｂに対して上側及び下側から吹きつけられる。
【００４９】
メインテナンス時には、昇降機構４によって上部炉体２及びフード１０６が上方に平行移動され、図１０Ｂに示す位置とされる。この位置において、下部筐体１０４とフード１０６との間に形成された両側の開口を通じて内部の清掃等のメインテナンス作業を行うことができる。
【００５０】
「デュアル搬送の変形例」
この発明をデュアル搬送に適用した場合の変形例を図１１及び図１２にそれぞれ示す。図１１に示す構成では、上部炉体２の側面とフード１０６の内面との間がブラケット２２ａ及び２２ｂによって連結される。ブラケット３（３ｂ，３ｄ）の代わりに、上部炉体２の側面にブラケット１１ａ，１１ｂが設けられている。これらのブラケット２２ａ及び２２ｂ並びにブラケット１１ａ，１１ｂには、上部炉体２の熱膨張を吸収するためのスライド構成が設けられている。昇降機構４ｂ，４ｄの可動支柱８ｂ，８ｄの端部がブラケット１１ａ，１１ｂの下面を押し上げるようになされる。
【００５１】
図１１Ａの通常位置では下部筐体１０４上にフード１０６が重なっており、メインテナンス時には図１１Ｂに示すように、上部炉体２及びフード１０６が上方に平行移動される。そして、両側に形成された開口からメインテナンス作業を行うことができる。
【００５２】
図１２に示す構成では、図１１中のブラケット１１ａ，１１ｂの代わりにフード１０６の内面と可動支柱８ｂ，８ｄの端部間を連結するブラケット１２ａ，１２ｂが使用される。これらのブラケット２２ａ及び２２ｂ並びにブラケット１２ａ，１２ｂには、上部炉体２の熱膨張を吸収するためのスライド構成が設けられている。昇降機構４ｂ，４ｄの可動支柱８ｂ，８ｄの端部がブラケット１２ａ，１２ｂの下面を押し上げるようになされる。
【００５３】
図１２Ａの通常位置では下部筐体１０４上にフード１０６が重なっており、メインテナンス時には図１２Ｂに示すように、上部炉体２及びフード１０６が上方に平行移動される。そして、両側に形成された開口からメインテナンス作業を行うことができる。
【００５４】
図１３は、上部炉体側の上部隔壁１５ａと下部炉体側の下部隔壁１５ｂとを備えたデュアル搬送に従来技術の片側にヒンジ構造の開閉方式を適用した構成を示す。上部炉体２の側面とフード１０６の内面との間がブラケット２２ａ及び２２ｂによって連結される。ヒンジ部２３によって上部炉体２及びフード１０６が回転可能とされる。ヒンジ部２３が設けられていない側の上部炉体２の側面にブラケット２４が取り付けられる。回転軸２５及び可動支柱２６からなる駆動機構が設けられ、可動支柱２６の端部がブラケット２４を押し上げることによってフード１０６と下部筐体１０４の間に開口が形成される。かかる従来の構成では、片側にのみ開口が形成されるので、奥側の箇所に対するメインテナンス作業が面倒となる問題がある。特にデュアル搬送のようなマルチ搬送型の場合では、開口から遠い側の搬送部（図１３の例では搬送コンベア１０３ｂの側）の清掃等のメインテナンス作業を行うことが大変となる。この発明では両側に開口が形成されるのでかかる問題が生じない。
【００５５】
さらに、図１３に示す片側ヒンジ構造では斜め上から上部隔壁の凹部材が下部隔壁の凸部材に向かって移動するために、凹部材の開口を大きく設定する必要があり、その結果、密着の程度の低い嵌合部によって二つの空間の間の温度干渉を防止する効果が減少する。この発明では平行移動であるので、嵌合部の凹部材の開口を図１３に示す片側ヒンジ構造を採用した場合と比較して小さくすることができ、隔壁の温度干渉防止効果が損なわれない利点がある。
【００５６】
＜３．変形例＞
以上、本開示の実施の形態について具体的に説明したが、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、本開示の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば、この発明は、複数の昇降機構間の回転伝達機構としては軸以外にチェーンを使用するようにしてもよい。また、昇降機構の個数は、上述した実施の形態以外の数を設けてもよい。さらに、リフロー装置に限らず、樹脂の硬化のための加熱装置等に対しても適用できる。また、上述の実施の形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料及び数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料及び数値などを用いてもよい。また、上述の実施の形態の構成、方法、工程、形状、材料及び数値などは、本開示の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。
【符号の説明】
【００５７】
Ｗ，Ｗａ，Ｗｂ・・・ワーク
１・・・フードフレーム
２・・・上部炉体
３，３ａ〜３ｄ・・・ブラケット
４，４ａ〜４ｄ・・・昇降機構
５・・・モータ
６，６ａ〜６ｄ・・・回転伝達機構部
７，７ａ〜７ｄ・・・スクリュー軸
８，８ａ〜８ｄ・・・可動支柱
９，９ａ〜９ｄ・・・軸
１０・・・ハンドル
１１ａ，１１ｂ・・・ブラケット
１２ａ，１２ｂ・・・ブラケット
１５ａ・・・下部隔壁
１５ｂ・・・上部隔壁
１０１・・・リフロー装置
１０２・・・炉体
１０３，１０３ａ，１０３ｂ・・・搬送コンベア
１０６・・・フード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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