(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造ライン上を進むサンプルを処理するための処理システムであって、当該処理システムが：
サンプル表面に少なくとも１回のラフ材料除去プロセスを適用するよう構成されたラフ材料除去システムであって、前記少なくとも１回のラフ材料除去プロセスが、化学機械研磨（ＣＭＰ）を含み、バルク材料の大部分をサンプル表面から除去することで、前記表面に沿った残りの層の材料の分布をもたらす、ラフ材料除去システムと；
前記ラフ材料除去システムによって処理された後、サンプルの表面から、前記残りの層の材料のうちファイン材料の除去を行うように構成された表面平坦化システムであって、前記ファイン材料の除去が、選択ウェットエッチングプロセスを前記表面に適用することを含む、表面平坦化システムと；
を含み、
前記表面平坦化システムが、
サンプルの全表面がエッチング液と相互作用するように、前記エッチング液中でサンプルを支持する支持ユニットと；
サンプルの表面内で局所化されたエネルギー分布を生成するように構成された操作可能な外部エネルギー源と；
サンプルの表面内の所定の温度パターンを生成し維持する前記局所化されたエネルギー分布が生成されることによって、平坦化プロセスの終点まで実行される、サンプルの表面内の温度に応じたエッチングパターンをもたらすように、サンプルの表面のマップデータに従ってエッチングマップデータを決定し、前記エネルギー源の動作パラメータを制御する動作データを作成するように構成された動作可能な制御ユニットと；
を含み、
前記処理システムが、
前記ラフ材料除去システムによって処理された後、サンプルを測定しサンプルの表面のマップデータを決定して、前記サンプル表面のマップデータを前記制御ユニットに示すプロセス制御データを作成するように構成された計測システムであって、エッチングマップの決定と前記表面平坦化システムの前記エネルギー源への動作データの生成を可能にする、計測システムを備えることを特徴とする処理システム。
【請求項２】
請求項１に記載の処理システムにおいて、前記計測システムが、前記表面平坦化システムに使われるその場計測モジュールを備えることを特徴とするシステム。
【請求項３】
請求項２に記載の処理システムにおいて、前記その場計測モジュールが、少なくとも１つのパラメーターを測定するように構成され動作可能であり、前記少なくとも１つのパラメーターは少なくとも１つのサンプルパラメーターおよび／または少なくとも１つのエッチング材料組成パラメーターを含むものであり、前記その場計測モジュールが、前記温度パターンを維持するために、エネルギー源の前記動作パラメーターを制御する前記プロセス制御データを作成するように構成され動作可能であることを特徴とするシステム。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか１項に記載の処理システムにおいて、前記ラフ材料除去システムが、化学機械研磨（ＣＭＰ）によって材料除去するよう構成されていることを特徴とするシステム。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか１項に記載の処理システムにおいて、前記外部エネルギー源が、処理領域内に前記所定の温度パターンを生成するように構成され、且つ前記制御ユニットによって操作可能であり、エッチング材料組成と相互作用するサンプル表面が前記処理領域に位置するとき、サンプル表面の異なる位置での温度パターンが、前記エッチング材料組成によって、異なる材料除去速度を生成し、前記処理領域の異なる位置が異なる温度になること特徴とするシステム。
【請求項６】
請求項５に記載のシステムにおいて、前記外部エネルギー源が１つ以上のヒーターを備えることを特徴とするシステム。
【請求項７】
請求項６に記載のシステムにおいて、前記１つ以上のヒーターが、電磁放射線を発生するよう構成されていることを特徴とするシステム。
【請求項８】
請求項６又は７に記載のシステムにおいて、前記外部エネルギー源が、離間した関係で平面に配置されたヒーターのマトリックスを備え、要求された動作パラメーターによる選択されたヒーターの作動が、処理領域内に前記局所化された温度分布を生成することを特徴とするシステム。
【請求項９】
請求項８に記載のシステムにおいて、前記動作パラメーターが、加熱温度、パルスまたはＣＷ動作モード、加熱の時間、加熱パルス形状、加熱パルスの時間パターンのうちの少なくとも１つを含むことを特徴とするシステム。
【請求項１０】
請求項１乃至９の何れか１項に記載のシステムにおいて、前記制御ユニットが、入力データを受け取って処理し、エネルギー源に動作データを作成するよう構成されたデータ処理装置を備えるプロセス制御器ユニットを備え、前記動作データが、処理領域内のエネルギー源によって作成される温度パターンを示していることを特徴とするシステム。
【請求項１１】
請求項１０に記載のシステムにおいて、前記入力データが、サンプル上の層の厚さプロファイルに対応するサンプルマップを備え、前記制御ユニットのデータ処理装置が、前記サンプルマップのデータを処理し、対応するエッチングマップを決定し、エネルギー源に前記対応する動作データを作成するよう構成されていることを特徴とするシステム。
【請求項１２】
請求項１０に記載のシステムにおいて、前記入力データが、システムによって処理されるべきサンプル上の層の厚さプロファイルを示すサンプルマップに対応するエッチングマップデータを備えることを特徴とするシステム。
【請求項１３】
請求項１０乃至１２の何れか１項に記載のシステムにおいて、前記制御ユニットが、前記入力データを受け取るために、外部システムと通信できるよう構成されていることを特徴とするシステム。
【請求項１４】
化学機械研磨（ＣＭＰ）ツール配置であって、
サンプルにラフＣＭＰ処理を適用してサンプル表面からバルク材料の大部分を除去し、前記表面に沿った残りの層の材料の分布をもたらす、少なくとも１つのＣＭＰステーションと；
前記少なくとも１つのＣＭＰステーションの下流側に位置し、ラフ材料除去システムによって処理された後に前記サンプル表面から前記残りの層の材料のうちファイン材料の除去を行うように構成された動作可能な表面平坦化システムであって、前記ファイン材料除去が、前記表面への選択ウェットエッチングプロセスによって前記サンプルにファイン表面平坦化を適用することを含む、表面平坦化システムと；
を備え、
前記表面平坦化システムが、
サンプルの全表面がエッチング液と相互作用するように、前記エッチング液中でサンプルを支持する支持ユニットと；サンプル表面内で局所化されたエネルギー分布を生成するように構成された操作可能な外部エネルギー源と；
サンプルの表面内の所定の温度パターンを生成し維持する前記局所化されたエネルギー分布が生成されることによって、平坦化プロセスの終点まで実行される、サンプルの表面内の温度に応じたエッチングパターンをもたらすように、サンプルの表面のマップデータに従ってエッチングマップデータを決定し、前記エネルギー源の動作パラメータを制御する動作データを作成するように構成された動作可能な制御ユニットと；
を備えることを特徴とする配置。
【請求項１５】
製造ライン上を進むサンプルを処理するための方法であって、当該方法が：
サンプル表面からバルク材料の大部分を除去し、前記表面に沿った残りの層の材料の分布をもたらすラフＣＭＰ処理を少なくとも１回のＣＭＰステップでサンプルに適用する工程と；
前記ラフＣＭＰ処理の後にサンプルに光学的計測による測定を適用し、サンプル表面のマップデータを決定して、サンプル上のターゲットとなる層のサンプル表面のマップデータを示すプロセス制御データを作成する工程と；
測定されたサンプルにファイン表面平坦化を適用し、残りの層の材料をサンプル表面から除去する工程と；
を備え、
当該ファイン表面平坦化を適用する工程が、
サンプルの全表面がエッチング材料組成と相互作用するように、エッチング液中でサンプルを支持するステップと、
前記エッチング材料組成との相互作用の間、サンプルにエネルギーを印加するために、エネルギー源の動作パラメータを制御する前記プロセス制御データを使用しエネルギー源を作動させるステップであって、それによって、測定したサンプル表面のマップデータに従って決定されたサンプル表面内の所定の温度パターンを生成し維持する局所化されたエネルギー分布を作成して、前記温度パターンが対応エッチングマップを作成し、サンプル表面において温度に応じた選択エッチングパターンをもたらすことにより、サンプル表面の異なる位置が、平坦化プロセスの終点まで、前記エッチング材料組成によって異なる材料除去速度になる、ステップと；
を含むことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
発明の属する技術分野および背景技術
本発明は、材料除去技術の分野にあり、表面平坦化のためのシステムおよび方法に関するものである。
【０００２】
「ムーアの法則」として知られている、マイクロ電子デバイスの寸法のスケーリングにより、そのような装置の製造で用いられる表面平坦化プロセスはますます重要になっている。高度に統合された半導体装置は、トランジスター、コンタクトおよび多数の金属層のスタックである。
【０００３】
すべてのバックエンドオブライン（ＢＥＯＬ）金属層は、最終段階で化学的／機械的研磨（ＣＭＰ）を含む、「デュアル・ダマシン」ＤＤプロセスを使用して製造される。このＣＭＰプロセスは、全ウェハー表面の平坦化だけでなく、必要とされる金属ラインの厚さ（ワイヤの抵抗を制御する）を生成する。同様のＣＭＰアプローチは、コンタクト、ゲート（置き換えゲートプロセス）の生成に適用され、置き換えフィンの生成のために使用されるよう設計されている。製造の種々のステージで適用されるこれらすべての表面平坦化プロセスは、すべてのプロセスが少なくとも２つのステージで説明できる、ＣＭＰ層タイプの「ストップオン」であり、ここで、第１のステージ（バルク除去）では、平坦化がターゲットとなる層に達しない位置まで通常実行され、第２のステージにおいて、完全な材料除去を保証し、ターゲットとなる層の望ましい厚さを達成するために、オーバーポリッシングが第１のステージの結果として得られる構成に適用される。
【０００４】
ＣＭＰプロセス中、基板の露出した表面は、通常、標準パッド（耐久性のある粗面を有する）または固定研磨パッド（収納媒体に保持された研磨粒子を有する）のいずれかとすることができる、回転する研磨パッド（ディスクパッドまたはベルトパッド）に対し位置している。基板は、研磨パッドに対し押し付けられるよう制御可能に装着される。少なくとも１つの化学的に反応する物質（および標準パッドが使用される場合は可能ならば研磨粒子）を含む研磨スラリーが、研磨パッドの表面に供給される。ＣＭＰプロセスは、シングルステップまたはマルチステップのオーバーポリッシングおよび／またはバッファリング材料除去ステージがその後に続く、シングルステップまたはマルチステップの「バルク」材料除去ステージを含む、各種の連続するステップで実施される。
【０００５】
図１Ａおよび１Ｂは、そのような連続ＣＭＰステップを実行するための通常使用されているＣＭＰツール配置１０を例示する。図１Ａに示すように、回転可能なマルチヘッドカルーセル１２は、それぞれがサンプル（部品）を保持するよう構成された４つのキャリアヘッド１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃおよび１４Ｄを支持し、研磨ステーションのプラテン１、プラテン２、プラテン３および移送ステーション１６の間を、サンプルを有するキャリアヘッドが移動するように、その軸の周りに回転する。キャリアヘッドは、サンプルＳを受け取って保持し、サンプルを研磨パッドに対し押し付け、プラテンの表面に向かうようにあるいはプラテンの表面から離れるように各サンプルを移動させることができる。研磨中、キャリアヘッドは、対応する研磨パッドに対し各サンプルを押し付け、プラテンは、その中心軸の周りに回転し、キャリアヘッドは、各中心軸の周りに回転するとともに研磨パッドの表面を横切って横方向に平行移動する。ＣＭＰツール配置は、サンプル上の膜／層の厚さの変化を決定する働きをする１つ以上のその場または統合された計測システムを含むことができる。その場計測システムは、測定がリアルタイムで成されるよう位置決めされ、膜が研磨される間、各研磨ステーションは、独立したその場測定システムを含むことができる。統合された計測ツールは、キャリアヘッドがサンプルを統合された計測ツールのサンプルホルダーに運ぶように、隣接する研磨ステーション間に設置することができる。図示したように、サンプルＳは、最上層（ターゲット層）の除去のためのＣＭＰツール配置を開始／入力し、これは、プラテン１により実行される「バルク」除去ステップ、および、プラテン２および３により実行される２つの連続するオーバーポリッシュおよびバッファリングステップによって、連続的に成される。
【０００６】
そのため、図１Ｂに線図的に示すように、従来のＣＭＰツール配置１０は、「バルク」除去ステップのための１つ以上のステーションおよびオーバーポリッシュおよび／またはバッファリング除去／平坦化のための少数のステーション１４を含む、プラテン１４を備える研磨ステーションのセットを含む。洗浄および乾燥モジュール１８および乾燥計測システム２０もまた、ＣＭＰツール１０内に含まれる。
【発明の概要】
【０００７】
マルチゾーン圧力制御、パッドの厚さ制御、パッドのコンディショニング、特別なスラリーおよびその他のものなどの近年のＣＭＰ技術の発展は、ＣＭＰパフォーマンスをあるレベルまで改善したが、このレベルは、現在の製造技術の厳密な要求に対しやっと十分な程度であり、技術のいかなる変化に対しても問題のあるものである。ガスクラスターイオンビーム技術（ＧＣＩＢ）は、ＣＭＰツールのパフォーマンスの微調整および／または補正および／または改善のための（ＵＳ８，６５４，５６２）で提案されている。この技術は、ＣＭＰプロセスのウェハー内（ＷＩＷ）厚さの均一性を改善することを目的としているが、腐食およびディッシングなどの有害なＣＭＰ効果の減少または除去、および、密度効果の減少または除去は、全ＣＭＰプロセス後ウェハートポグラフィを「修正する」ために、高価なプロセス機器を不可避的に要求する。
【０００８】
通常、プロセスがウェハー表面を単に平坦化するよう層の一部を除去するために使用されたとき、最良のＣＭＰパフォーマンスに達する（「ストップイン」層）。この場合、単一層除去のための最良のプロセスコンディションは、最適な高平坦化スラリーで達成される。現在の製造プロセスにおけるＣＭＰプロセスステップの過半数を表す「ストップオン」層のために、より複雑な状況が生じる。すべての「ステップオン」ＣＭＳステップ（限定されるものではないが、ストップオンＳｉＮによる酸化ＣＭＰ、ストップオン酸化物によるＳｉＮ  ＣＭＰ、ストップオンポリＳｉによる酸化ＣＭＰ、ストップオン酸化物によるＷ  ＣＭＰなどを含む）は、バルク除去およびその後に続くオーバーポリッシュおよび／またはバッファリングによるマルチステージプロセッシングを要求する。両ステージとも問題があるが、特に、複数材料の除去を組み合わせられ制御される第２のステージが要求される。この課題は、半導体装置において異なる密度を有する全ての構造体に対し、達成することは難しい。
【０００９】
従って、上述した後のＣＭＰ修正に対し提案された技術と同様に、「ストップイン」における層の完全な除去を可能とし、より精確な表面平坦化を可能とし、現在のＣＭＰの複雑化したオーバーポリッシュステップの必要性をなくす、材料除去技術に対する新規なアプローチの必要性が従来技術において存在する。
【００１０】
本発明の理解を簡単にするため、以下の点に注意すべきである。「ラフ」材料除去と称されたステップは、バルク材料の大部分の除去を参照するが、すべてのバルク材料の除去を参照していない。「ストップオン」層に対し、「ラフ」ＣＭＰ除去は、全ウェハー上に、除去した材料の薄い層を残す。通常、残存する材料の量は１０−１００Ａの範囲内であり、製法の最適化プロセスの結果を示している。「ファイン」材料除去は、残っている材料の最後の部分の除去（現在のＣＭＰ「ストップオン」ポイント）を参照し、また、最終外形を生成するオーバーポリッシュおよび／またはバファリングのすべてのステップを参照する。
【００１１】
上述したように、従来のＣＭＰプロセスは、その後にファイン材料除去ステージが連続するラフ材料除去ステージを含む。ラフＣＭＰ処理とファインＣＭＰ処理との相違は、ＣＭＰプロセス、パッドおよびスラリー材料のパラメータの相違にある。しかしながら、ＣＭＰステージの各々の間、研磨プロセスは、各々のステージに対し同じ研磨パラメータでサンプルの全表面に適用される。
【００１２】
発明者らは、ラフ材料除去ステージが完了したのち、現在のファイン材料除去ＣＭＰステージの代わりに、プロセスを大きく簡略化し、結果として得られるウェハー変動内の局所的および全体の平坦度を改善する、新規な材料除去を必要とすることを見いだした。
【００１３】
本発明の新規なファイン材料除去プロセスは、ラフＣＭＰステージの後に適用でき、サンプル（ウェハー）上の層の残りの厚さの知識、すなわち、サンプルマップに基づいている。この新規なファイン除去プロセスは、ウェハーの各点への外部エネルギーエッチング速度の適用によって、局所的に制御される残りの厚さの選択エッチング（すなわち、エッチングマップ）を利用し、エッチング速度は既知の残りの厚さに基づき計算され、その結果、残りの層は、同時に全ウェハー上のすべての異なる密度の場所から正確に除去される。これにより、オーバーポリッシュおよび／またはバッファリングを含む、すべてのファイン材料ＣＭＰステップが除去される。
【００１４】
本発明の局所化された選択エッチングは、また、スクラッチなどのＣＭＰの問題を解消し、ＣＭＰ洗浄プロセスの他のプロセスをより簡単にすることができる。
【００１５】
本発明の新規な材料除去／表面平坦化技術は、スタンドアローンの材料除去システムとして実施でき、あるいは、例えばラフＣＭＰステージに続く、「ラフ」材料除去のために使用される従来のＣＭＰシステムと統合することもできる。そのため、本発明は、各種の可能性のある構成において、ＣＭＰツールパフォーマンスの微調整および／または修正および／または改善のために使用することができる。
【００１６】
通常、本発明の新規な材料除去（あるいは表面平坦化）技術は、プラスチック、ガラスなどの半導体ウェハー以外の基板からターゲットとなる材料の除去のために使用され、また、例えばＬＣＤスクリーン、ＭＥＭＳ、システムズオンチップ（ＳＯＣ）、アドバンスドメモリーおよびロジック装置、パワースイッチなどの電子部品を製造するために、各種のアプリケーションにおいて使用される。
【００１７】
本発明は局所化された選択材料除去を利用する。この関係で、以下の点に注意すべきである。「選択的」の用語は、他の材料がそのまま残っている状態でのターゲットとなる材料の選択エッチングを参照する（ターゲットとなる材料のエッチング速度は他の材料のエッチング速度よりかなり大きい）。「局所化」の用語は、材料除去速度を制御するために、サンプル表面上の１つ以上の選択された／特定された場所（位置）上に、温度場などの外部場の適用によって発生した、エッチング速度の相違を参照する。「局所化」の用語は、また、ユーザーが定義したエッチング速度マップの生成を認める、外部エネルギー（温度）サンプル（ウェハー）マップを参照することもできる。「局所化された材料除去」の用語は、露出された場所のみを選択的にエッチングするリソグラフィーがサンプル上にパターンを生成するために使用されるときの、「マスク」ベースのアプローチとは基本的に異なっている。本発明の局所化された材料除去は、サンプルのすべての場所／位置上における「エッチング速度制御」局所化材料除去を利用し、すなわち、エッチング材料は、選択された場所／位置上で、材料除去が他の表面位置よりも速い状態で、全サンプル表面に適用される。
【００１８】
言い換えると、本発明によれば、エッチングによるサンプル表面の選択された場所からの材料除去は、エッチング材料との全サンプル表面の相互作用を利用するが、従来のアプローチとは異なり、サンプル内のエッチング速度のパターン／プロファイルを利用している、すなわち、エッチング速度が所定のパターンに従って表面内で変化する。その結果、サンプル表面の異なる位置が材料除去の異なるレベルとなる。処理前におけるサンプル上の層の厚さの知識は、全サンプル表面での異なる場所の正確な材料除去の目的を達成するために要求されるパターンを決定することを可能とする。ある実施例において、そのようなエッチング速度パターン（エッチング速度を変化させる）は、サンプル表面に、例えば温度パターンなどの、エッチングプロセスに影響を与える対応する局所化されたエネルギー分布を適用することによって達成される。そのため、ある実施例において、本発明は、局所的な加熱の結果として得られる局所的なサンプル温度によって定義される、サンプル上の各場所で可変のエッチング速度で、サンプル（例えば半導体ウェハー）上のターゲットとなる材料の選択除去を提供する。通常、サンプル表面上の望ましい温度パターンは、空間的に変化する外部放射／場を適用することによって達成することができる。
【００１９】
本発明の材料除去技術は、選択的ウェットエッチングプロセスを介してサンプルに適用できるが、例えば温度依存性など高い外部エネルギー依存性を有する他の選択的除去プロセスにも適用できることを理解すべきである。また、上述したように、本発明は、ターゲットとなる材料の完全な除去のためと同様に、望ましいターゲットとする厚さまでのターゲットとなる材料の部分的な除去のためにも使用可能である。
【００２０】
このように、本発明の１つの広い側面によれば、処理領域内で局所化されたエネルギー分布を作成するための外部エネルギー源と、前記局所化されたエネルギー分布によって、前記処理領域内に所定の温度パターンを生成するように、前記外部エネルギー源を操作するための制御ユニットと、を備え、エッチング材料組成と相互作用するサンプルが、前記処理領域に位置するとき、サンプル表面の異なる位置での温度パターンが、前記エッチング材料組成によって、異なる材料除去速度を生成する場合に、前記処理領域の異なる位置が異なる温度となることを特徴とする表面平坦化システムが提供される。  
【００２１】
ある実施例において、外部エネルギー源は１つ以上のヒーターを備える。ヒーターは電磁放射性維を発生するタイプとすることができる。ある実施例において、エネルギー源が、離間した関係で平面に配置されたヒーターのマトリックスを備え、要求された動作パラメーターによる選択されたヒーターの作動が、処理領域内に前記局所化されたエネルギー分布を生成する。そのような動作パラメーターは、加熱温度、パルスまたはＣＷ動作モード、加熱の時間、加熱パルス形状、パルスの時間パターン（加熱パルス期間および加熱パルス間の遅延）のうちの少なくとも１つを含むことができる。
【００２２】
制御ユニットは、入力データを受け取って処理し、エネルギー源に動作データを作成するよう構成されたデータ処理装置を備えるエネルギー制御器ユーティリティーを備えている。この動作データは、処理領域内のエネルギー源によって作成される温度パターンを示している。ある実施例において、入力データは、サンプル上の層の厚さプロファイルに対応するサンプルマップを備え、制御ユニットのデータ処理装置は、サンプルマップのデータを処理し、対応するエッチングマップを決定し、エネルギー源に対応する動作データを作成するよう構成されている。ある実施例において、入力データは、システムによって処理されるべきサンプル上の層の厚さプロファイルを示すサンプルマップに対応するエッチングマップデータを備える。制御ユニットは、前記入力データを受け取るために、外部システムと通信できるよう構成されている。そのような外部システムは、検査／測定／計測システム、または、そのような検査／測定／計測システムからデータを受け取る外部記憶装置とすることができる。そのようなシステムは、時には検査システムとして、また時には計測システムとして、以後参照する。本発明の目的のためには、サンプル層のための厚さプロファイルを決定するそのようなシステムの能力が要求されることを理解すべきである。計測システムは、例えばスペクトロメータ、反射率測定法、偏光解析法、およびこれらの技術の好適な組み合わせを使用する光学計測法のために構成することができる。
【００２３】
ある実施例において、表面平坦化システムは、また、温度場源の制御ユニットとデータ通信可能に構成されたその場計測モジュールを含む。その場計測モジュールは、サンプルおよび／またはエッチング材料組成パラメーターである、少なくとも１つのパラメーターを測定するように、および、要求された温度パターンを維持し、要求された結果が達成されたとき、平坦化プロセスの終点を定義するために、エネルギー源の動作パラメーターを制御するために（制御ユニットにより）使用されるプロセス制御データを作成するように、構成され動作可能とされている。
【００２４】
本発明の他の広い側面によれば、処理領域内に局所化されたエネルギー分布を作成することができる外部エネルギー源と；前記処理領域において、エッチング液中でサンプルを支持するための支持ユニットと；サンプルマップを示す入力データを受け取り、対応するエッチングマップを決定し、前記サンプル中に所定の温度パターンを生成する局所化されたエネルギー分布を作成するために、前記エネルギー源を操作するための動作データを作成するための制御ユニットと；を備え、それにより、サンプル中に温度に依存するエッチングパターンをもたらすことを特徴とする表面平坦化システムが提供される。
【００２５】
本発明の他の広い側面によれば、製造ライン上を進むサンプルを処理するための処理システムであって、システムが：
サンプル表面に少なくとも１回の「ラフ」材料除去プロセスを適用するよう構成された材料除去システムと；
「ラフ」材料除去システムによって処理された後の前記サンプルを処理するよう構成された上述した表面平坦化システムと；
サンプルを検査するように、および、前記表面平坦化システムに動作データの作成を可能にするプロセス制御データを作成するように、構成された検査システムと；
を備えることを特徴とする処理システムが提供される。
【００２６】
検査システムは、表面平坦化システムによる処理の前にサンプルに（例えば光学測定などの）測定を適用し、サンプルマップまたはエッチングマップに対応する出力データを作成するよう構成された統合された計測ツールを備えることができる。処理システムは、表面平坦化システムに使われ、少なくとも１つサンプルのパラメーターおよび／または少なくとも１つのエッチング材料組成パラメーターを含む１つ以上のパラメーターを測定するように、および、要求された温度パターンを維持するために、エネルギー源の動作パラメーターを制御するためのプロセス制御データを作成するように、構成され動作可能であるその場計測モジュールを含むことができる。
【００２７】
材料除去システムは、ＣＭＰによって材料除去するよう構成することができる。
【００２８】
本発明の更に他の側面によれば、サンプルにラフＣＭＰ処理を適用するための少なくとも１つのＣＭＰステーションと、ＣＭＰステーションの下流側に位置し、前記選択エッチングにより前記サンプルにファイン表面平坦化を適用するよう動作可能で上述した平面平坦化システムと、を備えることを特徴とする化学機械研磨（ＣＭＰ）ツール配置が提供される。
【００２９】
本発明の更に他の側面によれば、製造ライン上を進むサンプル（例えば半導体ウェハー）を処理するための方法であって、方法が：
少なくとも１回のＣＭＰステップにおいて、サンプルにラフＣＭＰ処理を適用する工程と；
前記ラフＣＭＰ処理の後にサンプルに光学的計測による測定を適用し、サンプル上のターゲットとなる層の厚さプロファイルを示すプロセス制御データを作成する工程と；
測定されたサンプルにファイン表面平坦化を適用する工程であって、前記ファイン表面平坦化が、エッチング材料組成とサンプルを相互反応させる工程と、前記エッチング材料組成との相互反応の間サンプルにエネルギーを適用する工程と、を備え、それによって、前記測定した厚さプロファイルに従って決定されたサンプルの温度パターンを作成し、前記温度パターンがサンプルの表面の対応するエッチングマップを作成し、サンプル表面の異なる位置が、前記エッチング材料組成によって異なる材料除去速度となることを特徴とする方法が提供される。
【００３０】
より具体的には、本発明は、通常ＣＭＰによってなされるウェハーの表面平坦化のための半導体工業に有益であり、そのため、この具体的な適用を参照して以下に例示する。しかしながら、本発明の本質は、上述したように、この具体的な適用に限定されず限定されるべきでないことを、理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
ここに記載された主題をより良く理解するために、および、実際にそれがどのように実施されるのかを例示するために、添付図面を参照して、制限されない例としてのみ、以下に実施例が記載される、ここにおいて：
【図１】図１Ａおよび１Ｂは、半導体工業で使用されるＣＭＰツール配置の構成および動作を線図的に示す；
【図２】図２は、本発明の表面平坦化システムの線図である；
【図３】図３Ａ−３Ｄは、サンプルの選択エッチングのために使用される本発明を例示し、ここで、図３Ａは、選択エッチングによって部分的な材料除去を行うためのサンプル構造、および、サンプルに適用される材料除去システムの主要な構成部材を示し、図３Ｂ−３Ｄは、選択エッチング前、選択エッチング中、および選択エッチング後の３つの連続する状態のサンプルを示す；
【図４】図４は、従来のファインＣＭＰステージに置き換えた、本発明の表面平坦化システムを利用する変更したＣＭＰツール配置を線図的に示す。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
図１Ａおよび１Ｂを参照して上述したように、製造ライン上を進む半導体ウェハーに従来適用される材料除去プロセスは、その後にいくつかのＣＭＰファインステージが続くＣＭＰラフ除去を含み、各ＣＭＰステージは、ウェハーの全表面の研磨から構成されている。
【００３３】
本発明の１００において、エッチング材料組成１１と相互作用する（被覆／埋め込み）サンプルＳに通常適用される、材料除去／表面平坦化システムを線図的に示す図２を参照する。システム１００は、外部エネルギー源１０２を含み、制御ユニット１０６と連携している。以下にさらに記載するように、制御ユニット１０６は、システム１００または検査／測定ステーションの部分、または、表面平坦化システム１００と検査ステーションとの間を相互接続した（例えば無線データ通信を介して）スタンドアローンのシステムの部分、とすることができ、あるいは、制御ユニットのソフトウェアユーティリティーが、そのようなシステム／ステーションの２つ以上の間に配布される。
【００３４】
エネルギー源１０２は、処理領域内に所定の温度パターンを生成するために、処理領域１０４内に局所化されたエネルギー／温度分布Ｅ（ｘ、ｙ）を発生するよう構成され作動可能であり、制御ユニット１０６によって動作可能であり、その結果、処理領域１０４の異なる位置が異なる温度となる。そのため、サンプルＳとエッチャー１１との間の相互反応界面が処理領域１０４内に位置するとき、サンプル表面の異なる位置での異なる温度が、エッチング材料組成によって異なる材料除去速度を生成するように、対応する温度パターンＴ（ｘ、ｙ）によって影響される。
【００３５】
外部エネルギー源は、例えばパルスまたはＣＷ放射を使用する、例えば、電気、光学（ランプ、レーザーなど）、磁気の公知の好適なタイプのものとすることができる。限定されない例において、エネルギー源１０２は、サンプル表面内に対応する位置のマトリックスと整列して配置された離間するヒーターのマトリックスを含むことができ、その結果、要求された動作パラメーター（加熱温度、動作モード（例えばパルス）、加熱期間、パルス形状、パルスの時間パターン）による選択ヒーターの作動が、サンプルを横断する温度分布パターンを生成する。
【００３６】
制御ユニット１０６は、局所化された温度分布Ｅ（ｘ、ｙ）、すなわち、処理領域内の温度場の空間変位、を生成するために、エネルギー源１０２に動作データを発生するよう構成され、その結果、対応する温度パターン／プロファイルＴ（ｘ、ｙ）は、処理領域１０４内に位置するサンプル表面Ｓ（エッチャーとの相互反応界面）で生成される。そのような温度プロファイルを有するサンプルが好適なエッチング材料組成と相互反応するとき、局所的なサンプル温度によって定義された、対応する材料除去パラメーターのプロファイルが（例えば、サンプル上の異なる位置での可変エッチング速度）、相互反応界面に沿って生成され、従って相互反応領域内のサンプルの異なる位置は温度場によって異なる影響を受け、例えばサンプル上の選択された位置における材料除去などの異なるサンプル位置での材料除去の異なるレベルを引き起こす。温度場パターンを生成するエネルギー源１０２の例は、ランプ、レーザー、および、その他の源、ＣＷまたはパルス源とすることができる。
【００３７】
制御ユニット１０６は、通常、データ入力および出力ユーティリティー１０８および１１０、および、エネルギー制御器ユーティリティー１１２などのユーティリティー（ハードウェアおよび／またはソフトウェア）を含む電気／コンピュータシステムである。エネルギー制御器ユーティリティー１１２は、そこから材料が除去されるべきサンプルの位置（座標）を示す入力データ（いわゆる「ウェハーマップ」または「エッチングマップ」）を処理し、サンプル表面が位置する処理領域中のエネルギー源によって作成される対応するエネルギー分布パターンＥ（ｘ、ｙ）を示すデータを作成する、パターンデータ発生器モジュール１１４を含むデータ処理装置である。
【００３８】
ある実施例において、そこから材料が除去されるべきサンプルの位置を示す入力データは、例えば、サンプル上で測定した層厚プロファイルの形式（いわゆる「ウェハーマップ」）で、制御ユニットに入力することができる。ウェハーマップデータは、検査システム（オンライン動作モード）から直接、あるいは、記憶装置（オフラインモード）から、受け取ることができる。コントロールユニットのデータ処理装置は、対応する温度パターンを生成するために、サンプルマップデータを処理し、対応するエッチングマップを決定し、エネルギー源への動作データを作成するよう予めプログラムされることができる。他のある実施例において、入力データは、処理すべきサンプル上の層厚プロファイルを示すサンプルマップに対応する、エッチングマップデータ（例えば、検査システムの制御器によって決定される）を含む。この場合、制御ユニットは、エッチングマップを解析し、生成すべき対応する温度パターンを示すエネルギー源への動作データを作成する。通常、サンプルマップおよび対応するエッチングマップを決定し、それを整合する温度パターンに変換するためのデータ処理アルゴリズムは、平坦化システム１００の制御ユニットの制御ユーティリティーと外部検査システム（統合またはスダンとアローン）の制御ユニットとの間に配布されたソフトウェアモジュールによって実行することができる。
【００３９】
さらに図２に点線で示すように、本発明の表面平坦化システム１００は、プロセス制御のためのその場計測モジュール／システム１１６と連携することができる。そのようなシステム１１６は、システム１００によって（すなわちエネルギー源操作によって）行われる選択エッチングプロセス中に、測定（例えば光学）をサンプルに適用し、アップデートした入力データ（例えば、場合によってサンプルマップまたはエッチングマップ）を、エネルギー源の動作パラメーターを制御するため、そのため選択除去プロセスを制御するために、制御ユニットに供給する。計測モジュール１１６は、選択エッチングプロセス中、ターゲットとなるパラメーターの単一またはマルチサイト／ポイント測定のために構成される。そのような測定したパラメーターは、制限されるものではないが、サンプルから部分的にまたは完全に除去された層厚を含む。リアルタイムのその場材料除去（選択ウェットエッチング）のためのそのような計測モジュール１１６が、サンプルのパラメーター測定に代わって、あるいは、それに加えて、エッチング液の組成／濃度をモニターすることができることには注意すべきである。
【００４０】
上述したように、本発明の選択材料除去技術（すなわち、サンプル表面上の異なる位置で材料除去の異なるレベル）は、温度依存性を有するいかなる材料除去プロセスにおいても使用することができる。ある実施例において、そのようなサンプル表面上の異なる位置で材料除去の異なるレベルは、局所的サンプル温度を変化させることによって定義される、サンプル上での材料の可変エッチング速度によって達成することができる。これは、例えば、選択ウェットエッチングプロセスを介して達成することができる。また、上述したように、本発明によって達成すべきターゲット材料の除去は、ターゲット材料の完全な除去と同様に、ターゲット厚さまでの材料の部分的除去を参照する。
【００４１】
また、エッチングモードそれ自体（温度／期間、エッチング材料組成）は、例えば半導体工業で使用されているような、通常リソグラフィーで使用されるエッチングプロセスの先行技術ですでに知られている、いかなる好適な技術をも利用することができる。選択エッチング微細加工プロセスの選択エッチング剤および温度依存性の例は、例えば文献：Ｋ．Ｒ  Ｗｉｌｌｉａｍｓ  ａｎｄ  Ｒ．Ｓ  Ｍｕｌｌｅｒ，“Ｅｔｃｈ  Ｒａｔｅｓ  ｆｏｒ  ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ  ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ”，Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ，Ｖｏｌ，Ｎｏ．４，ｐ２５６−２６９，Ｄｅｃｅｍｂｅｒ  １９９６に記載されているように、先行技術で知られている。
【００４２】
サンプルの選択エッチングに対し本発明がどのように使用されるかを例示する図３Ａ−３Ｄを参照する。図３Ａは、ターゲット材料の選択ウェットエッチングプロセスによって部分的な材料除去を行うサンプル構成Ｓ、および、サンプルに適用される表面平坦化システム１００を例示する。図示のように、サンプル構成Ｓは、基板（単一層または複数層）１５、および、選択位置から部分的に除去されるターゲット材料の最上層１７を含み、例えば層１７はパターン化され、そのパターニングは最終表面平坦化で目的とすることができる。この目的のため、エッチング溶液１１がサンプルに適用され、例えば、通常１２０におけるエッチング試薬供給システム（ノズル）を介して最上層１７上に堆積される。
【００４３】
材料供給システムの構造および動作は、知られており、本発明の部分を形成せず、そのため、パドルを生成するための回転機構を有する材料供給システムを含む、いかなる材料供給システムをも使用できることに注意する以外、具体的に記載する必要はない。システム１００は、処理領域１０４内に局所化されたエネルギー分布Ｅ（ｘ、ｙ）を生成できる外部加熱源１０２（エネルギー源を構成する）を含み、ここにエッチング材料と相互反応するサンプルが位置し、制御ユニット１０６によって操作可能であり、その結果、局所化されたエネルギー場分布は、サンプル−エッチング界面内に望ましい温度プロファイルＴ（ｘ、ｙ）を生成する。図に示したように、加熱源１０２は、間隔を開けて加熱放射がサンプル表面に向くように構成された、サンプル表面側に収納された加熱ユニットを含むことができ、および／または、サンプル保持チャック１２２内に収納された加熱ユニットを含むことができる。加熱ユニットは、制御ユニットのパターンデータ発生器からのデータによって操作可能であり、サンプル表面のいかなる部分の局所化された加熱を可能とする。上述したように、局所化された加熱は、いかなるパルス源またはＣＷ源によっても行うことができる。システム１００は、材料除去プロセスのリアルタイムその場制御のための計測モジュール（検査システム）と連携することができる。
【００４４】
図３Ｂ−３Ｄはシステム１００の操作を例示する。サンプルの３つの連続する状態が、システム１００による選択エッチング前、選択エッチング中、および選択エッチング後において示されている。図３Ｂに示すように、製造ラインを進む、例えば前のラフＣＭＰステージの結果として得られる、サンプルＳ’は、基板１５および基板上のターゲット材料１７を含む。ターゲット材料１７は、異なる厚さの３つの領域Ｒ１、Ｒ２およびＲ３としてここに例示されている、パターンすなわち表面レリーフを有している。このサンプルに、本発明の技術の表面平坦化処理を行い（図３Ｃ）：エッチング材料／層１１がターゲット材料１７上に加えられ、全構造が外部エネルギー源１０２によって生成された温度パターンにさらされる。上述したように、エネルギー源１０２は、望ましいエッチング速度パターン／プロファイルを達成するよう、界面内の望ましい熱（温度）分布の生成および熱適用の期間を確保するために、入力データ（加熱源のパラメーターと同様に、使用するエッチング材料、要求された最終厚さプロファイル）を利用して、表面平坦化システムの動作パラメーター（例えば、加熱温度マップ／パターン（望ましいエッチングマップを提供する）、パルスまたはＣＷ動作モードの最適な使用、加熱の期間、加熱パルス形状、加熱パルスの時間パターン）を決定する、制御ユニット１０６によって操作される。図３Ｃに示すように、そのような選択エネルギー分布が望ましい材料除去のパターンの結果となる、すなわち、サンプルＳ”は、単一ステージプロセスで達成された、ターゲット材料層１７’の望ましい厚さパターンを有する。
【００４５】
上述したように、本発明の技術は、各種の可能な構造において、ＣＭＰツールパフォーマンスの微調整および／または修正および／または改善のために使用することができる。例えば、本発明の表面平坦化システム１００は、プラテンの後のＣＭＰシーケンスに位置する付加モジュールとして、あるいは、プラテンの１つの代わりとして、あるいは、最後またはバッファリングプラテンの代わりとして、現在のＣＭＰプロセス装置の部分として統合または使用することができる。これは図４に線図的に示されている。ここで、表面平坦化システム１００は、ＣＭＰツール配置２００の部分として使用され、ラフＣＭＰステージ１２によって処理された後のサンプルを受け取り検査する、計測／検査ステーション１８（統合された計測手段）の下流側に組み込まれる。この例において、制御ユニットは、検査システム２２０から入力データを受け取り、表面平坦化システム１００の操作のための出力データを供給する。また、上述したように、本発明の表面平坦化システムは、標準ＣＭＰプロセス（例えば、図１Ａおよび１Ｂの従来のマルチステージ材料除去プロセス）が終了した後の修正のため、いわゆる「検証ステーション」として、スタンドアローン（ＳＡ）手段として使用することができる。
【００４６】
ＣＭＰツールパフォーマンスの微調整および／または修正および／または改善のための統合された技術は、研磨ステップによる再加工の除去または少なくともかなりの減少、プラテン数の減少、および、異なるＣＭＰスラリーの選択性の要求の減少により、より良い生産性、コストパフォーマンスおよびＣＭＰツール配置のより良いスループットを可能とする事に注意するべきである。また、そのようなＣＭＰプロセスの微調整および／または修正および／または改善は、スクラッチ、ＣＭＰ後に要求される洗浄プロセスの簡略化などＣＭＰ誘起効果の減少と同時に、ＣＭＰプロセスのウェハー内（ＷＩＷ）厚さ均一性の改善、腐食およびディッシングなどの有害なＣＭＰ効果の減少または除去、密度効果の減少または除去を含む、より良い全体性能を可能とする。また、現在問題のあるオーバーポリッシングステップおよび／またはバッファリングによるマルチプラテン処理を要求する全てのストップオンＣＭＰステップ（限定されるものではないが、  ストップオンＳｉＮによる酸化ＣＭＰ、ストップオン酸化物によるＳｉＮ  ＣＭＰ、ストップオンポリＳｉによる酸化ＣＭＰ、ストップオン酸化物によるＷ  ＣＭＰなどを含む）は、より単純な単一プラテンストップイン層バルク材料除去方法およびツールに本発明の技術を付加することで、減少することができることに注意すべきである。
【００４７】
本発明は、公知の選択エッチング剤および公知の温度依存性を使用する、酸化物、ＳｉＮ、Ｓｉ、金属などの選択除去またはエッチングに適用可能である。本発明は、限定されるものではないが、ＳＴＩ  ＣＭＰ、置き換えゲートＣＭＰ、Ｗ  ＣＭＰ、Ｃｕ  ＣＭＰなどを含む、誘起および金属ＣＭＰプロセスの両者に対し、ＣＭＰパフォーマンスを修正するために使用できる。ＣＭＰプロセスとの使用として上で例示した、本発明の技術は、パターニングプロセスまたは材料堆積プロセス、例えば、最終材料厚さプロファイルを制御／検証／修正するための化学蒸着（ＣＶＤ）、などの他の半導体製造プロセスに使用することができることに更に注意すべきである。
【００４８】
以下のことは、例えば図４に示され図４を参照して上に記載されているように、現存するＣＭＰプロセス装置の統合部分として、本発明の表面平坦化システム１００を使用するときに好適な高度プロセス制御スキームの例である。このプロセス制御スキームによれば、ウェットエリア統合計測（ＩＭ）ツール／ステーション２２０が、ＣＭＰ（例えば、ラフＣＭＰ）のプラテン１４の下流側でシステム１００の上流側に位置する。ウェハは、ＩＭツール２２０によって検査される間、乾燥または湿った状態に保たれる。ウェットエリアＩＭシステム２２０は、プラテン１４によるラフＣＭＰ後のターゲットパラメーターのウェハーマップを検査／決定するよう、および、要求された材料除去の必要性、すなわち、ケースによって最終厚さパターンまたは厚さ変化のパターン、を定義するよう、構成されている。このウェハーマップ（例えば、そこから材料を除去すべきサンプル位置を示すデータ）は、提案された統合選択エッチング除去システム１００に対するフィードフォワード高度プロセス制御のために使用され（すなわち、対応するエッチングマップの決定）、同じウェハーマップがＣＭＰプラテン１２に対するフィードバック高度プロセス制御として使用される。また、オプションとして、付加的な計測ツール２０（統合またはスタンドアローン）は、全ての材料除去および表面平坦化プロセスの終了後、すなわち、全体のプロセス品質制御の手段として機能するシステム１００の下流側で、使用できる。
【００４９】
表面平坦化システム１００が、標準ＣＭＰプロセスが終了した後に、修正のため分離したスタンドアローンステーション／ツール構成で使用される場合、スタンドアローンの計測システムは、選択ウェットエッチングプロセスの適用前（フードフォワード高度プロセス制御）に、要求された除去／平坦化の必要性のウェハーマップ（すなわち、要求された厚さプロファイル）を予め定義するために、および、選択ウェットエッチングプロセス後（フィードバック高度プロセス制御）に、全パフォーマンスを評価するために、使用することができる。
【００５０】
図２を参照して上述したように、また図４に例示したように、インプロセス制御は、オプションとして、選択除去プロセスを制御するために使用される。この場合、付加的なその場計測モジュール１１６は、制御モジュール１００に対する入力のために使用できる。この計測モジュール１１６は、限定されないが、部分的または完全に除去される層の厚さを含む、エッチングプロセス中ターゲットパラメーターの測定（単一または複数点／面積）を可能とする。上述したように、リアルタイムその場材料除去（選択ウェットエッチング）のための計測モジュール１１６は、サンプル測定に代えて、または、サンプル測定に付加して、エッチング溶液の組成／濃度をモニターすることができる。
【００５１】
例えば、本発明を使用するＳＴＩ  ＣＭＰプロセスは、以下のように成される：酸化物の薄い均一層が研磨されるウェハー上に残り、薄酸化物層がなお残るように、ウェハーは高効率酸化物スラリーで平坦にされる。ウェハーを横断する残りの酸化物層の厚さは、除去プロセスのための、要求された温度分布および加熱期間パターンを定義するために測定される。本発明に係る選択除去（エッチング）は、残っている酸化物層を完全に除去するために実行され、ＳｉＮは、ディッシング／腐食、過度のオーバーポリッシュなどのない状態で、ウェハーを横断して均一に露出される。この目的のために、ＳＴＩ  ＣＭＰツールは、例えば、以下のように変更される：研磨プラテンの１つが高い平坦化効率の酸化物スラリーでの平坦化のために使用され；ＩＭ（ドライ／ウェット）ウェットエリア計測モジュール２２０が、残りのウェハーマップを測定するために研磨ステージの下流側に位置し、本発明の表面平坦化システム１００が、次に、残りの層の選択除去のために適用される。その後、ウェハーが洗浄され乾燥された後、プロセスの全品質のためのドライ計測ツール２０（統合またはスタンドアローン）によって測定される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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