(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンを形成する線状体を備え、
前記線状体は、
有色の樹脂材料から構成された樹脂部と、
導電性を有する材料から構成され、前記樹脂部上に形成された導体部と
を備え、
前記樹脂部は、前記線状体の延在方向に沿って形成された溝を有し、
前記導体部の少なくとも一部は、前記溝に埋設されており、
前記樹脂部の側面は、前記樹脂部の底面側から前記樹脂部の頂面側に向かうに従って前記樹脂部の内側へ傾斜したテーパ面である配線体。
【請求項２】
請求項１に記載の配線体であって、
前記樹脂部は、
前記延在方向に沿って延びる基部と、
前記基部の両側から立ち上がり、前記導体部の少なくとも一部を覆う一対の立上部と
を備える配線体。
【請求項３】
請求項２に記載の配線体であって、
前記立上部の先端は、前記導体部の側面の頂端に位置する配線体。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の配線体であって、
前記立上部との前記導体部の接触面の面粗さは、前記基部との前記導体部の接触面の面粗さに対して相対的に粗い配線体。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載の配線体であって、
前記導体部の底面は、前記基部に向かって凸状に湾曲している配線体。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか１項に記載の配線体と、
前記配線体を支持する支持体と
を備える配線基板。
【請求項７】
請求項６に記載の配線基板を備えるタッチセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線体、配線基板、及びタッチセンサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
透明な樹脂層に形成された所定パターンの凹部に導電性材料を充填した後、該導電性材料を焼結させることにより、所定パターンの導体線からなる導体層と、該導体層が埋め込まれた透明な樹脂層とを有する配線体を形成する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２０１５−５０１５０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記技術では、導体線での光の散乱を抑えることにより導体線を視認し難くする必要があるが、特許文献１に記載されているように導体線の断面形状が矩形状になる場合、導体線の側面や角部において光が散乱することにより、導体線が視認し易くなる。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、導体線を視認し難くすることができる配線体、配線基板、及びタッチセンサを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］本発明に係る配線体は、所定のパターンを形成する線状体を備え、前記線状体は、有色の樹脂材料から構成された樹脂部と、導電性を有する材料から構成され、前記樹脂部上に形成された導体部とを備え、前記樹脂部は、前記線状体の延在方向に沿って形成された溝を有し、前記導体部の少なくとも一部は、前記溝に埋設されている。
【０００７】
［２］上記発明において、前記樹脂部は、前記延在方向に沿って延びる基部と、前記基部の両側から立ち上がり、前記導体部の少なくとも一部を覆う一対の立上部とを備えてもよい。
【０００８】
［３］上記発明において、前記立上部の先端は、前記導体部の側面の頂端に位置してもよい。
【０００９】
［４］上記発明において、前記立上部との前記導体部の接触面の面粗さは、前記基部との前記導体部の接触面の面粗さに対して相対的に粗くてもよい。
【００１０】
［５］上記発明において、前記導体部の底面は、前記基部に向かって凸状に湾曲していてもよい。
【００１１】
［６］上記発明において、前記樹脂部の側面は、前記樹脂部の底面側から前記樹脂部の頂面側に向かうに従って前記樹脂部の内側へ傾斜したテーパ面であってもよい。
【００１２】
［７］本発明に係る配線基板は、上記配線体と、前記配線体を支持する支持体とを備える。
【００１３】
［８］本発明に係るタッチセンサは、上記配線基板を備える。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、導体部の少なくとも一部が、有色の樹脂材料で構成された樹脂部に形成された溝に埋め込まれていることにより、導体部の少なくとも一部が有色の樹脂部によって覆われる。これにより、導体部での光の散乱を抑制でき、導体部を視認し難くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係るタッチセンサを示す平面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るタッチセンサを示す分解斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る配線体を示す平面図である。
【図４】図３のIＶ-IＶ線に沿った断面図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｆ）は、本発明の一実施形態に係る配線体の製造方法を示す断面図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｆ）は、本発明の一実施形態に係る配線体の製造方法を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１７】
図１は本発明の一実施形態に係るタッチセンサ１を示す平面図、図２はそのタッチセンサ１を示す分解斜視図、図３は本発明の一実施形態に係る配線体４を示す平面図、図４は図３のIＶ-IＶ線に沿った断面図である。
【００１８】
本実施形態の第１の配線体４を備えるタッチセンサ１は、投影型の静電容量方式のタッチパネルセンサであり、例えば、表示装置（不図示）等と組み合わせて、タッチ位置を検出する機能を有する入力装置として用いられる。表示装置としては、特に限定されず、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、電子ペーパー等を用いることができる。このタッチセンサ１は、相互に対向して配置された検出電極と駆動電極（後述する電極４Ａと電極９Ａ）を有しており、この２つの電極の間には、外部回路（不図示）から所定電圧が周期的に印加されている。
【００１９】
このようなタッチセンサ１では、例えば、操作者の指（外部導体）がタッチセンサ１に接近すると、この外部導体とタッチセンサ１との間でコンデンサ（静電容量）が形成され、２つの電極間の電気的な状態が変化する。タッチセンサ１は、２つの電極間の電気的な変化に基づいて、操作者の操作位置を検出することができる。
【００２０】
図１及び図２に示すように、タッチセンサ１は、基材３と、第１の配線体４と、樹脂層８と、第２の配線体９とを備えた配線基板から構成されている。このタッチセンサ１は、上記表示装置の視認性を確保するために、全体的に透明性（透光性）を有するように構成されている。本実施形態における「タッチセンサ１」が本発明における「タッチセンサ」、「配線基板」の一例に相当する。また、本実施形態における「第１の配線体４」、「第２の配線体９」が本発明における「配線体」の一例に相当する。
【００２１】
基材３は、可視光線が透過可能であると共に第１の配線体４を支持する透明な基材である。こうした基材３を構成する材料としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド樹脂（ＰＩ）、ポリエーテルイミド樹脂（ＰＥＩ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、液晶ポリマー（ＬＣＰ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、シリコーン樹脂（ＳＩ）、アクリル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、グリーンシート、ガラス等を例示できる。この基材３に、易接着層や光学調整層が形成されていてもよい。本実施形態における「基材３」が本発明における「支持体」の一例に相当する。
【００２２】
第１の配線体４は、図３に示すように、複数の検出用の電極４Ａと、複数の引出線４Ｂと、複数の端子４Ｃとを有している。なお、この第１の配線体４が有する電極４Ａの数は、特に限定されず、任意に設定することができる。また、第１の配線体４が有する引出線４Ｂの数や端子４Ｃの数は、電極４Ａの数に応じて設定される。
【００２３】
それぞれの電極４Ａは、第１の線状体１０Ａと第２の線状体１０Ｂとを交差させて構成されており、全体として四角形を繰り返す網目形状を有している。また、それぞれの電極４Ａは、図中Ｙ方向に延在しており、複数の電極４Ａは、図中Ｘ方向に並列されている。それぞれの電極４Ａの長手方向一端には引出線４Ｂの一端が接続されている。また、各引出線４Ｂの他端には端子４Ｃが設けられている。この端子４Ｃが外部回路に電気的に接続される。なお、以下の説明では、必要に応じて「第１の線状体１０Ａ」及び「第２の線状体１０Ｂ」を「線状体１０」と総称する。
【００２４】
本実施形態の電極４Ａでは、以下のように、線状体１０を配する。第１の線状体１０Ａは、Ｘ方向に対して＋４５°傾斜した方向（以下、単に「第１の方向」との称する。）に沿って直線状に延びている。当該複数の第１の線状体１０Ａは、この第１の方向に対して直交する方向（以下、単に「第２の方向」とも称する。）に等ピッチＰ１で並べられている。これに対し、第２の線状体１０Ｂは、第２の方向に沿って直線状に延びており、当該複数の第２の線状体１０Ｂは、第１の方向に等ピッチＰ２で並べられている。そして、これら第１及び第２の線状体１０Ａ，１０Ｂが互いに直交することで、四角形状の単位網目を繰り返す網目状の電極４Ａが形成されている。
【００２５】
なお、電極４Ａの構成は、特に上述に限定されない。たとえば、本実施形態では、第１の線状体１０ＡのピッチＰ１と第２の線状体１０ＢのピッチＰ２とを同一として正方形になっているが（Ｐ１＝Ｐ２）、特にこれに限定されず、第１の線状体１０ＡのピッチＰ１と第２の線状体１０ＢのピッチＰ２とを異ならせてもよい（Ｐ１≠Ｐ２）。
【００２６】
また、本実施形態では、第１の線状体１０Ａの延在方向である第１の方向は、Ｘ方向に対して＋４５°傾斜した方向とされている。また、第２の線状体１０Ｂの延在方向である第２の方向は、第１の方向に対して直交する方向とされている。しかしながら、この第１及び第２の方向（すなわち、Ｘ軸に対する第１の方向の角度やＸ軸に対する第２の方向の角度）は、任意に設定することができる。
【００２７】
また、上記網目状の電極４Ａの単位網目の外形は、次のような幾何学模様であってもよい。すなわち、網目状の電極４Ａの単位網目の形状が、正三角形、二等辺三角形、直角三角形等の三角形でもよいし、平行四辺形、台形等の四角形でもよい。また、単位網目の形状が、六角形、八角形、十二角形、二十角形等のｎ角形や、円、楕円、星型等でもよい。
【００２８】
このように、網目状の電極４Ａとして、種々の図形単位を繰り返して得られる幾何学模様を、当該網目状の電極４Ａの単位網目の形状として用いることができる。また、本実施形態では、線状体１０は、直線状とされているが、特にこれに限定されず、たとえば、曲線状、馬蹄状、ジグザグ線状等にしてもよい。
【００２９】
図４に示すように、それぞれの線状体１０は、当該線状体１０の延在方向に対して実質的に直交する方向に沿って切断した場合の断面形状として、台形形状を有しており、基材３上に形成された樹脂部５と、この樹脂部５上に形成された導体部６とを備えている。本実施形態における第１の配線体４の網目状の電極４Ａでは、平面視において、導体部６が、網目状パターンを構成していると共に、樹脂部５が、導体部６と同様の網目状パターンを構成しており、導体部６が樹脂部５上に重ね合わされている。つまり、本実施形態における第１の配線体４では、相互に隣接する線状体１０の間の部分は空隙となっており、その部分に樹脂部５は介在していない。本実施形態における「樹脂部５」が本発明における「樹脂部」の一例に相当し、本実施形態における「導体部６」が本発明における「導体部」の一例に相当する。
【００３０】
線状体１０の樹脂部５は、基材３上に設けられた基部５２と、基部５２の両側から上方に向かって立ち上がる一対の立上部５３と、を備えている。基部５２の外面と立上部５３の外面とは、相互に連続的につながっており、線状体１０の側面１０Ｃを形成している。この線状体１０の側面１０Ｃは、上方に向かうに従って内側に傾斜するテーパ面を有している。
【００３１】
本実施形態では、一対の立上部５３の間に溝５Ａが形成されている。具体的には、基部５２の頂面５２Ａと一対の立上部５３の内面５３Ａとによって、溝５Ａが画定されており、この溝５Ａに導体部６が設けられている。立上部５３の先端は、導体部６の側面６Ｂの頂端に位置しており、導体部６の側面６Ｂの全域を立上部５３が覆っている。また、当該導体部６の頂面６Ｃは、一対の立上部５３の間で樹脂部５から上方に向かって露出している。一方、導体部６の底面６Ａは、線状体１０の底面側に向かって凸状に湾曲している。
【００３２】
本実施形態における「溝５Ａ」が本発明における「溝」に相当し、本実施形態における「基部５２」が本発明における「基部」に相当し、本実施形態における「立上部５３」が本発明における「立上部」に相当し、本実施形態における「側面１０Ｃ」が本発明における「樹脂部の側面」に相当する。さらに、本実施形態における「底面６Ａ」が本発明における「導体部の底面」に相当し、本実施形態における「側面６Ｂ」が本発明における「導体部の側面」に相当する。
【００３３】
なお、本実施形態における導体部６の底面６Ａの面粗さは、導体部６と樹脂部５とを強固に固定する観点から、頂面６Ｃの面粗さに対して相対的に粗いことが好ましい。具体的には、底面６Ａの面粗さＲａが０．１〜３．０μｍ程度であるのに対し、頂面６Ｃの面粗さＲａが０．００１〜１．０μｍ程度となっていることが好ましく、当該頂面６Ｃの面粗さＲａが０．００１〜０．３μｍであることがさらにより好ましい。
【００３４】
また、本実施形態における導体部６の側面６Ｂの面粗さは、当該側面６Ｂと立上部５３とを強固に固定する観点から、底面６Ａの面粗さに対して相対的に粗いことが好ましい。具体的には、側面６Ｂの面粗さＲａが０．３〜３．０μｍ程度であるのに対し、底面６Ａの面粗さＲａが０．１〜３．０μｍ程度となっていることが好ましい。なお、このような面粗さは、ＪＩＳ法（ＪＩＳ  Ｂ０６０１（２０１３年３月２１日改正））により測定することができる。
【００３５】
さらに、本実施形態では、樹脂部５が、有色（本実施形態では黒色）の樹脂材料で構成されている。ここで、「有色」とは、可視光を吸収することが可能な色であり、具体的には黒色等を例示することができる。
【００３６】
こうした有色の樹脂部５を構成する材料としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ビニル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等の熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂等を例示することができる。また、樹脂部５を着色する材料としては、カーボンブラック等の黒色顔料等を例示することができる。
【００３７】
本実施形態の導体部６は、導電性ペーストを塗布して硬化させることで形成されている。この導体部６を構成する導電性ペーストの具体例としては、導電性粉末もしくは金属塩が、バインダ樹脂、水もしくは溶剤、および各種添加剤を混合して構成される導電性ペーストを例示することができる。導電性粉末としては、銀、銅、ニッケル、スズ、ビスマス、亜鉛、インジウム、パラジウム等の金属や、グラファイト等を挙げることができる。金属塩としては、これら金属の塩を挙げることができる。また、導電性ペーストに含まれるバインダ樹脂としては、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ビニル樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等を例示することができる。導電性ペーストに含まれる溶剤としては、α-テルピネオール、ブチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトール、１−デカノール、ブチルセルソルブ、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、テトラデカン等を例示することができる。なお、上述の導電性ペーストに代えて、バインダ樹脂を含まない導電性ペーストを用いて導体部６を構成してもよい。
【００３８】
なお、本実施形態において、導体部６の幅は、５０ｎｍ〜１０００μｍであることが好ましく、５００ｎｍ〜１５０μｍであることがより好ましく、１μｍ〜１０μｍであることがさらに好ましい。また、導体部６の厚さ（高さ）は、５０ｎｍ〜３０００μｍであることが好ましく、５００ｎｍ〜４５０μｍであることがより好ましく、５００ｎｍ〜１０μｍであることがさらに好ましい。
【００３９】
図１及び図２に示すように、樹脂層８は、第１の配線体４を覆うように基材３の上に形成されている。この樹脂層８は、電極４Ａ、引出線４Ｂ、及び端子４Ｃが存在しない領域、並びに、電極４Ａの線状体１０間の空隙の領域では、基材３上に直接積層されている。
【００４０】
この樹脂層８は、第１の配線体４の導体部６（図４参照）と第２の配線体９の導体部（図示省略）との間の絶縁を確保する機能を有する絶縁層である。この樹脂層８は、可視光線が透過可能な透明性（透光性）を有する材料により構成されている。こうした透明な樹脂層８を構成する材料としては、例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ビニル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等のＵＶ硬化性樹脂、熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂等を例示することができる。
【００４１】
図１及び図２に示すように、第２の配線体９は、複数の電極９Ａと、複数の引出線９Ｂと、複数の端子９Ｃとを有している。なお、この第２の配線体９が有する電極９Ａの数は、特に限定されず、任意に設定することができる。また、第２の配線体９が有する引出線９Ｂの数や端子９Ｃの数は、電極９Ａの数に応じて設定される。
【００４２】
それぞれの電極９Ａは、第１の配線体４のそれぞれの電極４Ａに対して直交する方向（図中Ｘ方向）に延在しており、複数の電極４Ａは、図中Ｙ方向に並列されている。電極９Ａの構成は、第１の配線体４の電極４Ａと同様である。また、それぞれの電極９Ａの長手方向一端には引出線９Ｂの一端が接続されている。また、それぞれの引出線９Ｂの他端には端子９Ｃが設けられている。この端子９Ｃが外部回路に電気的に接続される。
【００４３】
次に、本実施形態における第１の配線体４の製造方法について説明する。図５（Ａ）〜（Ｆ）及び図６（Ａ）〜（Ｆ）は、本実施形態における第１の配線体４の製造方法を説明するための断面図である。
【００４４】
まず、図５（Ａ）〜図５（Ｅ）に示すように、第１の配線体４を製造するのに用いる凹版１１を作製する。凹版１１を構成する材料としては、シリコン、ニッケル、二酸化珪素等のガラス類、有機シリカ類、グラッシーカーボン、熱可塑性樹脂、光硬化性樹脂等を例示することができるところ、本実施形態では、シリコンを採用する。
【００４５】
凹版１１の作製工程では、まず、平板１２を準備する。この平板１２は、たとえば、ＣＭＰ（化学的機械的研磨）処理により、その両主面（少なくとも、溝１３（後述）が形成される面）が鏡面仕上げされていることが好ましい。
【００４６】
次に、図５（Ａ）〜図５（Ｄ）に示すように、平板１２の一方の主面に溝１３を形成する。まず、図５（Ａ）に示すように、平板１２の一方の主面にレジスト１４を形成する。次に、図５（Ｂ）に示すように、レジスト１４の溝１３に対応する領域を、選択的に露光することにより開口させる。
【００４７】
次に、図５（Ｃ）に示すように、エッチング処理により平板１２のレジスト１４の無い領域に溝１３を形成する。エッチング処理としては、フッ酸等を用いたウェットエッチングや、ＳＦ６（六フッ化硫黄）、Ｃ４Ｆ８（八フッ化シクロブタン）を用いたドライエッチング等を例示することができる。その後、図５（Ｄ）に示すように、溝１３を形成した凹版１１の一方の主面からレジスト１４を除去する。
【００４８】
ここで、エッチング処理工程では、上記のようなエッチングを行うことにより、溝１３の幅方向両側の壁部を、下方に向かうに従って内側へ傾斜したテーパ面を形成する。なお、本実施形態では、溝１３の幅は、５０ｎｍ〜１０００μｍであることが好ましく、５００ｎｍ〜１５０μｍであることがより好ましく、１μｍ〜１０μｍであることがさらに好ましい。溝１３の深さとしては、５０ｎｍ〜３０００μｍであることが好ましく、５００ｎｍ〜４５０μｍであることがより好ましく、５００ｎｍ〜１０μｍであることがさらに好ましい。
【００４９】
次に、図５（Ｅ）に示すように、凹版１１の一方の主面及び溝１３の表面に単分子膜１５を形成する。この単分子膜１５は、凹版１１の一方の主面及び溝１３の表面の濡れ性を低下させ、導体部６を形成するための導電性材料の溶剤の接触角を増大させる機能を発揮するものである。単分子膜１５を構成する材料としては、シランカップリング剤、チオール、ホスホン酸等を例示することができる。単分子膜１５の形成方法としては、ディッピング法や大気中又は真空中での気相成膜法等を例示することができる。
【００５０】
次に、図５（Ｆ）〜図６（Ｆ）に示すように、第１の配線体４を製造する。図５（Ｆ）に示すように、溝１３内に導電性材料１６を充填する。導電性材料１６としては、上述したような導電性ペーストを用いる。また、導電性材料１６を凹版１１の溝１３に充填する方法としては、例えばディスペンス法、インクジェット法、スクリーン印刷法を挙げることができる。もしくはスリットコート法、バーコート法、ブレードコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スピンコート法での塗工の後に溝１３以外に塗工された導電性材料１６をふき取るもしくは掻き取る、吸い取る、貼り取る、洗い流す、吹き飛ばす方法を挙げることができる。導電性材料１６の組成等、凹版１１の形状等に応じて適宜使い分けることができる。
【００５１】
ここで、導電性材料１６が溝１３の表面の単分子膜１５にはじかれる。また、導電性材料１６の粘度は所定範囲に設定されている。これにより、導電性材料１６と溝１３の側壁１３Ａとの間には微小な隙間Ｇが生じる。
【００５２】
次に、図６（Ａ）に示すように、溝１３に充填した導電性材料１６を加熱して焼成することにより導体部６を形成する。導電性材料１６の加熱条件は、導電性材料１６の組成等に応じて適宜設定することができる。
【００５３】
ここで、加熱処理により、導電性材料１６に体積収縮が生じる。この際、導電性材料１６の底面は、溝１３の底面に沿って平坦になるのに対して、導電性材料１６の側面及び頂面の形状は、溝１３の形状に影響されない。ここで、導電性材料１６の側面及び頂面には微細な凹凸形状が形成される。
【００５４】
次に、図６（Ｂ）に示すように、樹脂部５を形成するための樹脂材料１７を凹版１１上に塗布する。このような樹脂材料１７としては、上述した樹脂部５を構成することが可能な着色された樹脂材料を用いる。また、樹脂材料１７を凹版１１上に塗布する方法としては、スクリーン印刷法、スプレーコート法、バーコート法、ディップ法、インクジェット法、を例示することができる。この塗布により、溝１３内に樹脂材料１７が入り込む。ここで、樹脂材料１７は、導体部６と溝１３の側壁１３Ａとの微小な隙間Ｇに入り込む。
【００５５】
次に、図６（Ｃ）に示すように、凹版１１上に塗布された樹脂材料１７の層の上に基材３を配置する。本工程は、樹脂材料１７と基材３との間に気泡が入り込むことを抑制するために、真空下で行うことが好ましい。基材３の材料は上述したものを例示できる。
【００５６】
次に、樹脂材料１７を硬化させる。樹脂材料１７を硬化させる方法としては、紫外線、赤外線レーザ光等のエネルギ線照射、加熱、加熱冷却、乾燥等を例示することができる。その後、図６（Ｄ）に示すように、基材３、樹脂材料１７及び導体部６を凹版１１から離型することにより、樹脂材料１７及び導体部６を基材３に追従させて凹版１１から剥離させる。
【００５７】
次に、図６（Ｅ）に示すように、導体部６及び樹脂材料１７を覆うレジスト１８を形成した後に、レジスト１８の導体部６の無い領域を選択的に露光することにより開口させる。ここで、樹脂材料１７は、導体部６間で広がる平坦部１７Ａと、平坦部１７Ａから突出した突出部１７Ｂとで構成されるところ、レジスト１８は、突出部１７Ｂのみを被覆するように残存させる。
【００５８】
次に、図６（Ｆ）に示すように、エッチング処理によりレジスト１８から露出した樹脂材料１７の平坦部１７Ａを基材３から除去し、その後、レジスト１８を除去する。エッチング処理としては、フッ酸等を用いたウェットエッチング等を例示することができる。以上により、樹脂部５と導体部６とから構成される線状体１０を備え、導体部６の側部と底部とを黒色の樹脂部５で覆った配線体４を得ることができる。
【００５９】
なお、特に図示しないが、上記工程を実行して第１の配線体４を得た後、透明な樹脂材料を、第１の配線体４を覆うように塗布する。このような樹脂材料としては、上述した樹脂層８を構成することが可能な透明な樹脂材料を用いる。
【００６０】
なお、樹脂層８を構成する透明な樹脂材料の粘度は、塗布時の十分な流動性を確保する観点から、１ｍＰａ・ｓ〜１０，０００ｍＰａ・ｓであることが好ましい。また、硬化後の樹脂の貯蔵弾性率は、導体部６の耐久性の観点から、１０６Ｐａ以上、１０９Ｐａ以下であることが好ましい。樹脂層８の樹脂材料を塗布する方法としては、スクリーン印刷法、スプレーコート法、バーコート法、ディップ法、インクジェット法等を例示することができる。
【００６１】
また、特に図示しないが、樹脂層８の樹脂材料が硬化した後、樹脂層８上に第２の配線体９を形成することにより、本実施形態のタッチセンサ１を得ることができる。第２の配線体９は、第１の配線体４の形成方法と同様の方法により形成することができる。
【００６２】
以下、本実施形態に係る第１の配線体４の作用について説明する。図４に示すように、本実施形態に係る第１の配線体４の線状体１０では、線状に延在する黒色の樹脂部５にその延在方向に沿って溝５Ａが形成され、線状に延在する導体部６が、溝５Ａに頂面６Ｃが露出した状態で埋設されている。即ち、導体部６の側面６Ｂが、黒色の樹脂部５の立上部５３によって覆われている。このため、樹脂部５の立上部５３において光が吸収され、導体部６の側面６Ｂにおいて光の散乱が生じない。これにより、導体部６が視認し難くなる。
【００６３】
また、本実施形態に係る第１の配線体４では、黒色の樹脂部５の立上部５３の先端が、導体部６の側面６Ｂと頂面６Ｃとの境界（側面６Ｂの頂端）まで達している。このため、導体部６の側面６Ｂと頂面６Ｃとの境界において光が吸収され、該境界において光の散乱が生じない。さらに、導体部６の底面６Ａの全体が黒色の樹脂部５により被覆されており、導体部６の底面６Ａの全体において光の散乱が生じない。これにより、より一層、導体部６が視認し難くなる。
【００６４】
ここで、導体部６の材料中に黒色の着色料を添加することで光の散乱を抑えることができるが、かかる場合、導体部６の導電成分の含有率が低下することにより、極細の導体部６では導電性の確保が難しくなる。これに対して、本実施形態に係る第１の配線体４では、樹脂部５に黒色の着色料を添加することで導体部６の光の散乱を抑えたので、導体部６の導電成分の含有率を低下させることなく、極細の導体部６の導電性を確保できる。
【００６５】
また、本実施形態に係る第１の配線体４では、導体部６が、網目状パターンを構成し、樹脂部５が、導体部６と同様の網目状パターンを構成しており、導体部６が樹脂部５に重ね合わされている。これによって、導体部６の無い領域が有色の樹脂により塞がれることがないので、透明性（透光性）を有する第１の配線体４を得ることができ、第１の配線体４を通しての液晶画面等の視認性を確保できる。
【００６６】
また、本実施形態に係る第１の配線体４では、樹脂部５の立上部５３との導体部６の接触面（側面６Ｂ）の面粗さが、樹脂部５基部５２との導体部６の接触面（底面６Ａ）の面粗さに対して相対的に粗くなっている。これにより、導体部６の側部と樹脂部５５の立上部５３との密着性を向上でき、これらの剥離を抑制できる。
【００６７】
また、本実施形態に係る第１の配線体４では、樹脂部５の立上部５３が導体部６の側部の全域に接触している。これにより、立上部５３が形成されていない場合と比較して、導体部６と樹脂部５との接触面積が増大することで、これらの剥離を抑制できる。
【００６８】
さらに、本実施形態に係る第１の配線体４では、導体部６の底面６Ａが樹脂部５の基部５２側に向かって凸状に湾曲、導体部６の側面６Ｂは、外側に向かって凸状に湾曲している。これにより、導体部６の底面６Ａや側面６Ｂが平面で構成されている場合と比較して、導体部６と樹脂部５との接触面積が増大することで、これらの剥離を抑制できる。
【００６９】
なお、以上に説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００７０】
たとえば、タッチセンサ１から基材３を省略してもよい。この場合において、たとえば、樹脂部５の下面に剥離シートを設け、実装時に当該剥離シートを剥がして実装対象（フィルム、表面ガラス、偏光板、ディスプレイ等）に接着して実装する形態として配線体又は配線基板を構成してもよい。なお、この形態では、「樹脂部５」が本発明の「樹脂部」の一例に相当し、「実装対象」が本発明の「支持体」の一例に相当する。また、第１の配線体４を覆う樹脂層８を介して、上述の実装対象に接着して実装する形態として配線体又は配線基板を構成してもよい。
【００７１】
また、導体部６の全体が樹脂部５の溝５Ａ内に収まることが必須ではなく、導体部６の頂面側の一部が、溝５Ａ内から突出していてもよい。さらに、立上部５３が導体部６の側面６Ｂの全体に接着することも必須ではない。
【００７２】
また、上述の実施形態のタッチセンサ１は、２層の導体部からなる投影型の静電容量方式のタッチパネルセンサであるが、特にこれに限定されず、１層の導体層からなる表面型（容量結合型）静電容量方式のタッチパネルセンサにも、本発明を適用することができる。
【００７３】
また、上述の実施形態では、配線体又は配線基板は、タッチパネルセンサに用いられるとして説明したが、特にこれに限定されない。たとえば、配線体に通電して抵抗加熱等で発熱させることにより当該配線体をヒーターとして用いてもよい。また、配線体の導体部の一部を接地することにより当該配線体を電磁遮蔽シールドとして用いてもよい。また、配線体をアンテナとして用いてもよい。この場合、配線体を実装する実装対象が本発明の「支持体」の一例に相当する。
【符号の説明】
【００７４】
１・・・タッチセンサ
３・・・基材
４・・・第１の配線体
４Ａ・・・電極
４Ｂ・・・引出線
４Ｃ・・・端子
５・・・樹脂部
５Ａ・・・溝
５２・・・基部
５２Ａ・・・頂面
５３・・・立上部
５３Ａ・・・内面
６・・・導体部
６Ａ・・・底面
６Ｂ・・・側面
６Ｃ・・・頂面
８・・・樹脂層
９・・・第２の配線体
９Ａ・・・電極
９Ｂ・・・引出線
９Ｃ・・・端子
１０・・・線状体
１０Ａ・・・第１の線状体
１０Ｂ・・・第２の線状体
１１・・・凹版
１２・・・平板
１３・・・溝
１４，１８・・・レジスト
１５・・・単分子膜
１６・・・導電性材料
１７・・・樹脂材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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