(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空部を有する被検査体の気体漏れ検査を行う気体漏れ検査装置であって、前記被検査体に導入された加圧気体の圧力と前記被検査体の気体漏れ検査の基準となる中空部を有する基準体に導入された加圧気体の圧力との差圧に基づいて前記被検査体の気体漏れを検出する気体漏れ検査の開始前に、前記基準体側にのみ加圧気体を通す第１のプリプロセス動作を行う手段と、前記基準体側と前記被検査体側の両方に加圧気体を通す第２のプリプロセス動作を行う手段とのうちの少なくとも第１のプリプロセス動作を行う手段を有して少なくとも第１のプリプロセス動作を行うことを可能とするプリプロセス動作実行手段と、該プリプロセス動作実行手段によるプリプロセス動作を開始させるためのプリプロセス開始操作手段を有することを特徴とする気体漏れ検査装置。
【請求項２】
プリプロセス動作実行手段は第１のプリプロセス動作を行う手段と第２のプリプロセス動作を行う手段とを有し、プリプロセス開始操作手段は、プリプロセス動作実行手段による第１のプリプロセス動作を開始させるための第１のプリプロセス開始操作手段と前記プリプロセス動作実行手段による第２のプリプロセス動作を開始させるための第２のプリプロセス開始操作手段を個別に備えていることを特徴とする請求項１記載の気体漏れ検査装置。
【請求項３】
プリプロセス動作実行手段によって第１のプリプロセス動作のみを行うか第２のプリプロセス動作のみを行うか第１と第２の両方のプリプロセス動作を行うかを選択するための動作選択操作部が設けられており、該動作選択操作部により選択された動作を前記プリプロセス動作実行手段により実行することを特徴とする請求項１記載の気体漏れ検査装置。
【請求項４】
配設される基準体の容積と、配設される被検査体の容積を検出する容積検出手段と、該容積検出手段によって検出される前記基準体の容積と前記被検査体の容積と予め定められるプリプロセス動作実行基準情報とに基づきプリプロセス動作実行手段により行うプリプロセス動作を第１のプリプロセス動作のみとするか第２のプリプロセス動作のみとするか第１と第２の両方のプリプロセス動作とするかを判断する実行動作判断手段とを有し、該実行動作判断手段の判断に基づいてプリプロセス動作実行手段により行うプリプロセス動作を決定する構成としたことを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３に記載の気体漏れ検査装置。
【請求項５】
基準体側と被検査体側の少なくとも一方に選択的に導入される気体の圧力を可変可能な圧力可変手段を有し、該圧力可変手段を制御することによってプリプロセス動作時に行われる第１と第２の対応するプリプロセス動作に応じて前記基準体側と前記被検査体側の少なくとも一方に選択的に導入される気体の圧力を気体漏れ検査時に前記基準体側と前記被検査体側に導入される気体の圧力よりも小さく調整する圧力調整手段を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載の気体漏れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば熱交換器や貯湯タンク等の、中空部を有する被検査体の気体漏れ検査を行う気体漏れ検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば給湯器等の熱源装置には、通水される水を加熱するための熱交換器が設けられており、また、熱源装置には、発電装置の廃熱や集熱機によって集熱した太陽光の熱等を貯湯する貯湯槽（貯湯タンク）が設けられたものもある。このような熱源装置の熱交換器や貯湯タンクには水を通したり収容したりする中空部が形成されている。その中空部の周壁等に外部に通じる貫通孔が形成されていると、その貫通孔を通して水漏れが生じ、熱源装置の故障等の問題が生じるため、熱源装置の出荷前には、前記熱交換器や貯湯タンク等に前記のような貫通孔が有るか無いかを検査して貫通孔が形成されていないことを確認する必要がある。
【０００３】
そこで、熱交換器や貯湯タンクに実際に水を通し、水漏れが生じるような貫通孔があるかどうかを実際に検査することも考えられるが、水の導入と排出には時間がかかるために不適であり、また、水道水等の水にはカルシウム等が含まれており、その不純物に起因して正確な検査が行えないといった問題も生じる。そこで、熱交換器等の中空部を有する被検査体に加圧気体を導入し、その加圧気体が漏れるかどうかの判断に基づいて貫通孔の有無を検出する気体漏れ検査が行われている（例えば特許文献１、参照）。
【０００４】
以下に、このような気体漏れ検査を行うための気体漏れ検査装置と、その気体漏れ検査装置を用いた気体漏れ検査方法の一例を述べる。図１３に示されるように、この気体漏れ検査装置１は、加圧気体の導入口２と、該加圧気体の導入口２から導入される加圧気体の導入用通路３とを有しており、該加圧気体の導入用通路３は、加圧気体を分岐する分岐部４と、該分岐部４により分岐された加圧気体を被検査体５側に導く被検査体側導入通路６と、分岐部３により分岐された加圧気体を基準体７側に導く基準体側導入通路８とを有している。
【０００５】
被検査体５は中空部を有する気体漏れ検査用の被検査体（ワーク）であり、例えば熱交換器や貯湯タンク等の様々なものがあるが、通常は、その検査毎に交換されるものである。基準体７は被検査体５の気体漏れ検査の基準となる基準体（マスタ）であり、取り付けた状態とされることもあるし、条件に応じて交換されることもあるが、一般には、基準体７の交換回数は被検査体５の交換回数よりも少ない。例えば、同種類の（形状や大きさ、素材等が同じ）被検査体５を数多く検査する場合には、基準体７は交換せずに同一のものが用いられることが多い。
【０００６】
なお、気体漏れ検査装置１の構成要素に基準体７や被検査体５は含まれないが、図１３を含め、気体漏れ検査装置１の構成説明図においては、説明を分かりやすくするために基準体７と被検査体５を取り付けた状態の図が模式的に示されている。また、この気体漏れ検査装置１を用いた気体漏れ検査は基準体７と被検査体５との差圧に基づいて行われるものであり、ハーゲン-ポアズイユの法則による換算を用いた水漏れと気体漏れとの相関関係を考慮し、例えば３００ｋＰａの加圧気体を通したときの基準体７側と被検査体５側との差圧が１２Ｐａ未満であれば、被検査体５に水漏れに対応する気体漏れは生じていない（水漏れの心配がない）と判断することが行われている。なお、この気体漏れ判断に用いられる差圧値は、被検査体５の容積や漏れ基準によっても異なる値とされる。
【０００７】
図１３において、加圧気体の導入用通路３における分岐部４よりも手前側（加圧気体流通の上流側）の通路と、基準体側導入通路８と被検査体側導入通路６にはそれぞれ、気体導入制御弁９，１０，１１が設けられ、気体導入制御弁１０，１１よりも気体通過の下流側位置において基準体側導入通路８と被検査体側導入通路６とをバイパスするバイパス通路１７が設けられている。バイパス通路１７には被検査体５内の気体の圧力と基準体７内の気体の圧力との差圧を検出する差圧検出部１２が設けられている。差圧検出部１２は、例えばダイヤフラム等を介して感圧素子で計測し、電気信号に変換する圧力計を有して形成されており、図１３ではダイヤフラム２０を有する差圧検出部１２が模式的に示されている。
【０００８】
また、基準体７側と被検査体５側から加圧気体を排出する気体排出通路１８が設けられており、気体排出通路１８には気体排出制御弁１９が設けられている。なお、気体排出制御弁１９や前記気体導入制御弁９，１０，１１の構成は特に限定されるものではないが、例えば弁の開閉を空気圧により行うエアオペレートバルブを適用することができる。
【０００９】
このような気体漏れ検査装置を用いて被検査体５の気体漏れ検査を行う場合は、まず、例えば図１３（ａ）に示されるように、気体排出制御弁１９を閉じ、気体導入制御弁９，１０，１１を開いて加圧気体の導入口２から被検査体５と基準体７の両方に加圧気体を導入する加圧気体導入工程（加圧工程）の動作が行われる。この加圧気体導入工程後に、図１３（ｂ）に示されるように、気体導入制御弁９，１０，１１を閉じ、被検査体５と基準体７を加圧気体の導入側と遮断して被検査体５内の気体の圧力と基準体７内の気体の圧力とを平衡させる平衡工程の動作が行われる。
【００１０】
そして、この平衡工程後に、図１３（ｃ）に示されるように、被検査体５内の気体の圧力と基準体７内の気体の圧力との差圧を差圧検出部１２によって検出する差圧検出工程（検出工程）の動作が行われる。図１３（ｃ）には、ダイヤフラム２０を有する差圧検出部１２を適用したときの、被検査体５側から気体が漏れた場合の様子が模式的に示されており、例えばこの図に示されるように、例えば被検査体５側から気体が漏れると差圧検出部１２によって被検査体５内の気体の圧力と基準体７内の気体の圧力との差圧が検出され、この検出値に基づき、図示されていない気体漏れ検出部によって被検査体５側の気体漏れが検出される。
【００１１】
なお、差圧検出部１２による検出値（検出差圧）に基づく気体漏れの検出（判断）も様々な方法が適用されるが、例えば検出差圧が予め与えられている閾値（例えば気体の圧力３００ｋＰａのときに１２Ｐａ）以上の場合に気体漏れが生じていると判断することができる。差圧検出部１２による差圧検出工程の動作後には、図１３（ｄ）に示されるように、気体導入制御弁１０，１１と気体排出制御弁１９が開かれ、気体排出通路１８を通して被検査体５内と基準体７内から気体を排出する気体排出工程（排出工程）の動作が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００４−６１２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、周知の如く、気体に圧力を加えて圧縮すると気体の温度は上昇するものであり、図１３に示したような気体漏れ検査装置においては、加圧工程（加圧気体導入時）には例えば図１４のＨで示す斜線部分の領域（被検査体５と基準体７の端部、差圧検出部１２のダイヤフラム２０付近、気体排出通路１８の出力側の気体排出制御弁１９付近）には吸気の際には熱が溜まりやすい。一方、排気の際には減圧されて熱が奪われ、減圧時には気体排出制御弁１９周辺の温度が最も低下し、系として熱的不均衡が生じることから、吸気排気が繰り返し行われると熱影響が生じやすい。
【００１４】
なお、気体漏れ検査において、前記の如く、被検査体５は検査毎に交換が行われるが、基準体７は被検査体５のように頻繁には交換が行われないため、気体漏れ検査を繰り返し行うと、基準体７内には特に吸気排気の繰り返しによる熱影響が生じやすい。
【００１５】
また、被検査体５の容積が大きかったり断熱性が高かったりすると、被検査体５の中空部内と外気温との温度差が大きくなり、例えば基準体７の中空部内が外気温とほぼ同等の温度のときには基準体７側と被検査体５側との温度が大きく異なる場合も考えられる。
【００１６】
このように、基準体７側と被検査体５側との温度差が生じていると、その熱に起因して被検査体５内と基準体７内の気体の圧力差に基づく被検査体５からの気体漏れ検出が正確に行われない。そのため、本発明者は、気体漏れ検出を正確に行えるようにするには、前記のように吸気排気の繰り返しによる熱影響が生じやすいことに起因する基準体７側と被検査体５側との温度差や、基準体７の中空部内の温度と被検査体５内の中空部内の温度との差をできるだけ少なくすることが必要であると考えた。
【００１７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、圧縮気体の吸気排気等に伴う熱の影響を受け難く、被検査体の気体漏れ検査を正確に行うことができる気体漏れ検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は上記目的を達成するために、次の構成をもって課題を解決する手段としている。すなわち、第１の発明は、中空部を有する被検査体の気体漏れ検査を行う気体漏れ検査装置であって、前記被検査体に導入された加圧気体の圧力と前記被検査体の気体漏れ検査の基準となる中空部を有する基準体に導入された加圧気体の圧力との差圧に基づいて前記被検査体の気体漏れを検出する気体漏れ検査の開始前に、前記基準体側にのみ加圧気体を通す第１のプリプロセス動作を行う手段と、前記基準体側と前記被検査体側の両方に加圧気体を通す第２のプリプロセス動作を行う手段とのうちの少なくとも第１のプリプロセス動作を行う手段を有して少なくとも第１のプリプロセス動作を行うことを可能とするプリプロセス動作実行手段と、該プリプロセス動作実行手段によるプリプロセス動作を開始させるためのプリプロセス開始操作手段を有する構成をもって課題を解決するための手段としている。
【００１９】
また、第２の発明は、前記第１の発明の構成に加え、プリプロセス動作実行手段は第１のプリプロセス動作を行う手段と第２のプリプロセス動作を行う手段とを有し、前記プリプロセス開始操作手段は、プリプロセス動作実行手段による第１のプリプロセス動作を開始させるための第１のプリプロセス開始操作手段と前記プリプロセス動作実行手段による第２のプリプロセス動作を開始させるための第２のプリプロセス開始操作手段を個別に備えていることを特徴とする。
【００２０】
さらに、第３の発明は、前記第１の発明の構成に加え、前記プリプロセス動作実行手段によって第１のプリプロセス動作のみを行うか第２のプリプロセス動作のみを行うか第１と第２の両方のプリプロセス動作を行うかを選択するための動作選択操作部が設けられており、該動作選択操作部により選択された動作を前記プリプロセス動作実行手段により実行することを特徴とする。
【００２１】
さらに、第４の発明は、前記第１または第２または第３の発明の構成に加え、配設される基準体の容積および配設される被検査体の容積を検出する容積検出手段と、該容積検出手段によって検出される前記基準体の容積と前記被検査体の容積と予め定められるプリプロセス動作実行基準情報とに基づきプリプロセス動作実行手段により行うプリプロセス動作を第１のプリプロセス動作のみとするか第２のプリプロセス動作のみとするか第１と第２の両方のプリプロセス動作とするかを判断する実行動作判断手段とを有し、該実行動作判断手段の判断に基づいてプリプロセス動作実行手段により行うプリプロセス動作を決定する構成としたことを特徴とする。
【００２２】
さらに、第５の発明は、前記第１乃至第４のいずれか一つの発明の構成に加え、前記基準体側と被検査体側の少なくとも一方に選択的に導入される気体の圧力を可変可能な圧力可変手段を有し、該圧力可変手段を制御することによってプリプロセス動作時に行われる第１と第２の対応するプリプロセス動作に応じて前記基準体側と前記被検査体側に選択的に導入される気体の圧力を気体漏れ検査時に前記基準体側と前記被検査体側に導入される気体の圧力よりも小さく調整する圧力調整手段を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明は、中空部を有する被検査体に導入された加圧気体の圧力と、被検査体の気体漏れ検査の基準となる中空部を有する基準体に導入された加圧気体の圧力との差圧に基づき、被検査体の気体漏れを検出する気体漏れ検査を行うが、この気体漏れ検査の開始前に、前記基準体側にのみ加圧気体を通す第１のプリプロセス動作と、前記基準体側と前記被検査体側の両方に加圧気体を通す第２のプリプロセス動作との少なくとも一方のプリプロセス動作を、プリプロセス動作実行手段によって行うことにより、基準体と被検査体の温度を安定化することができる。
【００２４】
つまり、気体漏れ検査装置内に加圧気体を導入すると、気体の圧縮に伴って発生する熱が気体漏れ検査装置内の特定の部位や基準体内の特定部位や被検査体内の特定部位に溜まりやすく、また、圧縮気体の排気の際には熱が奪われるので系の（気体漏れ検査装置や基準体、被検査体を含む構成要素内に）熱的不均衡が生じることになり、吸気排気が繰り返し行われると熱影響が生じやすいため、被検査体内と基準体内の気体の圧力差に基づく被検査体の気体漏れ検出が正確に行われないことがあったが、本発明においては、プリプロセス動作実行手段によって適宜のプリプロセス動作を行うことにより、基準体と被検査体の温度を安定化することができる。
【００２５】
例えば、気体漏れ検査において、一般に、被検査体は検査毎に交換が行われるが、基準体は被検査体のように頻繁には交換が行われないため、気体漏れ検査を繰り返し行うと、基準体内には特に吸気排気の繰り返しによる熱影響が生じやすい。それに対し、プリプロセス動作実行手段によって第１のプリプロセス動作を行って、気体漏れ検査の開始前に、基準体側にのみ加圧気体を通すことにより、基準体内の気体の温度を安定化でき（吸気排気の繰り返しによる熱影響を解消して例えば周囲温度や被検査体側と同等の温度にでき）、正確な気体漏れ検査を行うことができる。
【００２６】
また、例えば被検査体の容積が大きいときや、被検査体が例えば樹脂製であったりガラス製であったりして放熱性の低い素材（断熱性が高い）のものである場合等には、被検査体内の気体が、その周囲温度と同等の温度になるのに時間がかかり、例えば周囲温度と同等の温度になっている基準体内の気体との温度差が生じる可能性があるが、プリプロセス動作実行手段によって第２のプリプロセス動作を行って、気体漏れ検査の開始前に、基準体側と被検査体側の両方に加圧気体を通すことにより、基準体内の気体の温度と被検査体側の気体の温度とを同等にして安定化でき（被検査体側の温度残留歪み等の影響を抑制でき）、正確な気体漏れ検査を行うことができる。
【００２７】
さらに、第１と第２のプリプロセス動作の両方の動作を行うと、第１のプリプロセス動作によって、気体漏れ検査の開始前に基準体側にのみ加圧気体を通すことにより、吸気排気の繰り返しによる基準体内の熱影響を解消して熱的に安定化し、さらに、第２のプリプロセス動作によって、基準体側と被検査体側の両方に加圧気体を通すことにより、基準体内の気体の温度と被検査体側の気体の温度とを同等にして安定化でき、正確な気体漏れ検査を行うことができる。
【００２８】
なお、プリプロセス動作実行手段によるプリプロセス動作は、プリプロセス開始操作手段を操作することによって容易に行わせることができるものであり、例えば、プリプロセス開始操作手段を、プリプロセス動作実行手段による第１のプリプロセス動作を開始させるための第１のプリプロセス開始操作手段と前記プリプロセス動作実行手段による第２のプリプロセス動作を開始させるための第２のプリプロセス開始操作手段を個別に備える構成とすれば、その個別の操作手段を必要に応じて適宜操作することによって、適切なプリプロセス動作を容易に実行させることができる。
【００２９】
また、プリプロセス動作実行手段によって第１のプリプロセス動作のみを行うか第２のプリプロセス動作のみを行うか第１と第２の両方のプリプロセス動作を行うかを選択するための動作選択操作部を設け、該動作選択操作部により選択された動作を前記プリプロセス動作実行手段により実行するようにした場合も、動作選択操作部を操作してプリプロセス開始操作手段を操作することによって、適切なプリプロセス動作を容易に実行させることができる。
【００３０】
また、配設される基準体の容積および配設される被検査体の容積を検出する容積検出手段と、該容積検出手段によって検出される前記基準体の容積と前記被検査体の容積と予め定められるプリプロセス動作実行基準情報とに基づき、プリプロセス動作実行手段により行うプリプロセス動作を第１のプリプロセス動作のみとするか第２のプリプロセス動作のみとするか第１と第２の両方のプリプロセス動作とするかを判断する実行動作判断手段とを設けると、基準体の容積と被検査体の容積とに応じた適宜のプリプロセス動作を選択できる。
【００３１】
例えば、前記の如く、被検査体の容積が大きい場合には、その周囲温度と被検査体の中の温度が同等の温度になるのに時間がかかり、周囲温度と同等の温度になっている基準体内の気体との温度差が生じる可能性がある。そこで、このような場合に第２のプリプロセス動作を行うことにより、被検査体と基準体の温度を同等にして安定化することができる。
【００３２】
一方、被検査体の容積が小さい場合には、基準体のみに加圧気体を通すことにより、効率的に気体漏れ検査の準備動作を行うようにすることができる等、被検査体と基準体の容積に基づく実行動作判断手段の判断に基づいてプリプロセス動作実行手段により行うプリプロセス動作を決定することにより、適切なプリプロセス動作を容易に実行させることができる。
【００３３】
さらに、基準体側や被検査体側に導入される気体の圧力を可変可能な圧力可変手段を設けることにより、基準体側や被検査体側に導入する気体の圧力を必要に応じて可変できる。そして、圧力調整手段によって圧力可変手段を制御することにより、プリプロセス動作時に行われる第１と第２の対応するプリプロセス動作に対応させて前記基準体側と前記被検査体側に導入される気体の圧力を気体漏れ検査時に前記基準体側と前記被検査体側に導入される気体の圧力よりも小さく調整することにより、小さな圧力で効率的にプリプロセス動作を行うことができる。
【００３４】
つまり、プリプロセス動作は、基準体内や被検査体内の気体の温度が高くならないように調整するために行われるものであるから、圧力の高い気体を導入する必要はなく、気体圧縮による温度上昇抑制や排気等による減圧時に発生する温度低下等の観点から、むしろ、気体の圧力は小さい方が望ましいので、前記のように、導入する気体の圧力を大気圧よりは高めであっても試験圧よりは小さくすることにより適切にプリプロセス動作を行うことができ、気体漏れ検査時には高い圧力の気体を導入することによって、効率的に、かつ、適切に気体漏れ検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係る気体漏れ検査装置の第１実施例の要部構成を示す模式的な説明図である。
【図２】第１実施例の気体漏れ検査装置の要部制御構成を示すブロック図である。
【図３】第１実施例の気体漏れ検査装置の動作例を示すフローチャートである。
【図４】第１実施例の気体漏れ検査装置のウォーミングアップ運転動作例を示すフローチャートである。
【図５】第１実施例の気体漏れ検査装置の動作に伴う弁開閉動作を説明するためのタイムチャートである。
【図６】本発明に係る気体漏れ検査装置の第２実施例の要部構成を示す模式的な説明図である。
【図７】第２実施例の気体漏れ検査装置の要部制御構成を示すブロック図である。
【図８】第２実施例の気体漏れ検査装置の動作例を示すフローチャートである。
【図９】第２実施例の気体漏れ検査装置の差圧検出動作前後の電動ボールバルブ開閉動作例を示すフローチャートである。
【図１０】第２実施例の気体漏れ検査装置の差圧検出動作時とその前後の差圧変動例を説明するためのグラフである。
【図１１】第２実施例の気体漏れ検査装置の動作に伴う弁開閉動作を説明するためのタイムチャートである。
【図１２】第２実施例の変形例の要部構成を示す模式的な説明図である。
【図１３】気体漏れ検査動作の各工程例を模式的に示す説明図である。
【図１４】従来の気体漏れ検査装置における問題点を説明するための、気体加圧時の状態例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき実施例によって説明する。なお、本実施例の説明において、これまでの説明の例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略または簡略化する。
【実施例１】
【００３７】
図１には、本発明に係る気体漏れ検査装置の第１実施例の要部構成が模式的に示されており、図２には、その要部制御構成がブロック図により示されている。本実施例の気体漏れ検査装置は、従来例と同様に、中空部を有する被検査体の気体漏れ検査を行う気体漏れ検査装置であり、その基本構成は図１３に示した従来例と同様の構成要素を多く有している。本実施例の説明において、図１３に示した構成要素についての説明は省略または簡略化する。
【００３８】
図１に示されるように、本実施例の気体漏れ検査装置１には、空気導入通路３における空気導入部２と空気導入制御弁９との間に、気体の圧力を可変可能な試験圧設定手段１３と、導入経路切替弁１４（ＰＰＶ）とが設けられている。試験圧設定手段１３は、気体漏れ検査時に基準体７側と被検査体５側に導入される気体の圧力を予め定められる試験圧となるように設定（可変設定）する手段である。また、導入経路切替弁１４を迂回する迂回通路３３が形成されており、迂回通路３３には低圧ガバナ（調圧器）３５（ＰＰＲ；プリプロセス動作用レギュレータ）と逆止弁３０が設けられている。
【００３９】
空気導入通路３の分岐部４の手前側には分岐通路１５が接続され、分岐通路１５には気体排出制御弁１６（ＡＶ２）が設けられている。また、分岐部４よりも下流側の被検査体側導入通路６と基準体側導入通路８には、それぞれ、バイパス通路１７との接続部よりも下流側に手動開閉弁３６，３７が設けられており、これらの手動開閉弁３６，３７は、検査時は解放となっている。
【００４０】
また、本実施例では、気体排出通路１８は被検査体５側と基準体７側とにそれぞれ設けられており（符号１８ａ，１８ｂ、参照）、基準体７側から加圧気体を排出する基準体側排出通路１８ａと被検査体５側から加圧気体を排出する被検査体側排出通路１８ｂが形成されている。基準体側排出通路１８ａに気体排出制御弁１９（１９ａ）（ＥＸＨＶ１）が設けられ、被検査体排出通路１８ｂに気体排出制御弁１９（１９ｂ）（ＥＸＨＶ２）が設けられている。
【００４１】
本実施例において、これらの気体排出制御弁１９ａ，１９ｂおよび気体導入制御弁９（ＡＶ１），１０（ＡＶ３），１１（ＡＶ４），導入経路切替弁１４、気体排出制御弁１６は全て、スプリングバック式のエアオペレートバルブにより形成されている。なお、各弁はスプリングバック式ではないエアオペレートバルブにより形成することもできるし、エアオペレートバルブ以外の弁により形成することもできるが、電磁弁とすると開閉時に熱が発生するため、エアオペレートバルブにより形成ことが好ましい。
【００４２】
また、空気導入制御弁９は常時閉、その他の弁１０，１１，１４，１６，１９ａ，１９ｂは常時開の弁であり、空気導入制御弁１０，１１以外の弁体作動方向は、気体の流れとは逆方向に形成されている。そして、基準体７と被検査体５はそれぞれ、弁体が基準体７側と被検査体５側に向けた方向に作動するエアオペレートバルブにより挟まれており、各弁を閉じた状態で閉じ込められた気体側から各弁に圧力がかかっても気体の漏れが微少も生じないように形成されている。
【００４３】
図２に示されるように、本実施例の気体漏れ検査装置１は、制御装置２１を備えた制御構成を有して、スタートＡスイッチ２２、スタートＢスイッチ２３に信号接続されている。制御装置２１は、ウォーミングアップ運転実行手段２４、気体漏れ検査実行手段２５、気体漏れ検出部２６，圧力調整手段２７、プリプロセス動作実行手段２８を有しており、前記差圧検出部１２と試験圧設定手段１３と導入経路切替弁１４と弁９，１０，１１，１６，１９にも信号接続されている。
【００４４】
なお、図２に示されている弁９，１０，１１，１６，１９は、前記気体導入制御弁９，１０，１１と気体排出制御弁１６，１９を示すが、図２では、図を分かりやすくするためにこれらの各弁をまとめて表示している。
【００４５】
また、図１に示す構成を有する本実施例と図１３に示した従来例とはシステム構成は異なる部分はあるが、本実施例においても、気体漏れ検査動作は図１３の各工程とほぼ同様に行われ、被検査体５に導入された加圧気体の圧力と基準体７に導入された加圧気体の圧力との差圧に基づいて被検査体５の気体漏れ検査が行われるものであり、この動作は気体漏れ検査実行手段２５によって実行される。
【００４６】
つまり、気体漏れ検査実行手段２５は、各弁９，１０，１１，１６，１９の開閉動作を行い、また、圧力調整手段２７に指令を加えて導入気体の圧力を調整させ、被検査体５と基準体７の両方に加圧気体を導入する加圧気体導入工程（図１３（ａ）参照）を実行する。また、該加圧器体導入工程後に被検査体５内の気体の圧力と基準体７内の気体の圧力とを平衡させる平衡工程（図１３（ｂ）参照）と、該平衡工程後に被検査体５内の気体の圧力と基準体７内の気体の圧力との差圧を検出する差圧検出工程（図１３（ｃ）参照）と、該差圧検出工程後に被検査体５内と基準体７内から気体を排出する気体排出工程（図１３（ｄ）参照）とを実行する。
【００４７】
なお、本実施例では、基準体７側から加圧気体を導出する気体排出制御弁１９ａと被検査体５側から加圧気体を導出する気体排出制御弁１９ｂとが別々に設けられているので、気体漏れ検査実行手段２５は、前記４つの工程のうちの気体排出工程においては、気体排出制御弁１９ａ，１９ｂを共に開き、それ以外の工程においては気体排出制御弁１９ａ，１９ｂを共に閉じる。また、例えば加圧気体導入工程（ＣＨＧ）は３０秒程度、平衡工程（ＢＡＬ）は６０秒程度、差圧検出工程（ＤＥＴ）は６０秒程度、気体排出工程（ＥＸＨ）は１０秒程度行われるといったように、これらの各工程は、予め定められる設定時間で行われるものである。
【００４８】
本実施例において、差圧検出工程において差圧検出部１２によって検出される基準体７と被検査体５との圧力差は、例えば表示部３１に表示されると共に気体漏れ検出部２６に加えられ、気体漏れ検出部２６によって被検査体５に気体漏れがあるかどうかが検出される。
【００４９】
圧力調整手段２７は、試験圧設定手段１３を制御することによって気体漏れ検査動作時に導入する気体の圧力を調整すると共に、導入経路切替弁１４の開閉制御を行い、加圧気体の導入口２から導入される加圧気体を、導入経路切替弁１４を通して基準体７や被検査体５側に導くか、あるいは、低圧ガバナ３５を通して基準体７や被検査体５側に導くかを選択制御することにより、基準体７や被検査体５側に導かれる加圧気体の圧力を調整する。
【００５０】
圧力調整手段２７は、気体漏れ検査実行手段２５から気体漏れ検査実行時の圧力調整指令が加えられると、試験圧設定手段１３を制御することによって気体漏れ検査動作時に導入する気体の圧力を予め定められる設定試験圧（例えば３００〜５００ｋＰａ）とし、導入経路切替弁１４を開いて導入経路切替弁１４を通して試験圧の加圧気体を基準体７側と被検査体５側とに導入できるようにする。この圧力調整手段２７による導入気体圧力の調整と気体漏れ検査実行手段２５による弁９，１０，１１，１６，１９の開閉制御によって、従来例とほぼ同様の気体漏れ検査動作が行われることになる。
【００５１】
スタートＡスイッチ２２は、気体漏れ検査装置１による気体漏れ検査動作の準備動作開始のための操作手段であり、気体漏れ検査実行手段２５による気体漏れ検査動作の開始前に必要に応じて行われるウォーミングアップ運転や第１のプリプロセス動作を開始させるための操作手段である。スタートＡスイッチ２２が操作される（例えば押される）と、準備動作スタート信号がウォーミングアップ運転実行手段２４とプリプロセス動作実行手段２８とに加えられる。
【００５２】
ウォーミングアップ運転実行手段２４は、気体漏れ検査実行手段２５による気体漏れ検査動作の開始時に、予め定められる設定条件が満たされたときには、気体漏れ検査動作の複数の前記動作工程（図１３（ａ）〜（ｄ）、参照）を、該気体漏れ検査の動作時に行われる各工程の所要時間よりも短い予め定められている設定短縮時間で予め定められている設定回数だけ行ってから前記気体漏れ検査の動作を開始させるものである。
【００５３】
このウォーミングアップ運転実行手段２４によるウォーミングアップ運転実行の基準となる設定条件とは、例えば気体漏れ検査装置１の電源をオンしてからの初期運転時や、前回の計測（気体漏れ検査）終了後、予め定められる設定時間（Ｓ分以上であり、Ｓは例えば３０〜６０。例えばＳ分＝６０分＝１時間）経過したときとすることができ、ウォーミングアップ運転実行手段２４は、気体漏れ検査装置１の電源をオンしてからの初期運転時かどうかの判断手段と、前回計測終了時を把握する手段と時計機構（図示せず）とを有し、前記のような設定条件が満たされたときにはウォーミングアップ運転を実行する。
【００５４】
つまり、気体漏れ検査装置１の電源をオンしてからの初期運転時や、前回計測終了後に長時間（一定時間以上）経過した後に、直ぐに気体漏れ検査動作を行うと、気体漏れ検査装置１が安定せずに測定が正確に行われないことが多いので、気体漏れ検査装置１の電源をオンしてからの初期運転時と予め定められる設定時間以上経過したときにウォーミングアップ運転を実行することにより、気体漏れ検査装置の安定化を的確に行え、正確な気体漏れ検査動作を行うことができるようにする。
【００５５】
なお、ウォーミングアップ運転に必要であると判断する前記設定時間は、この時間経過後に直ぐに気体漏れ検査動作を行うと気体漏れ検査装置が安定せずに正確な測定が行われないと推定される時間であり、例えば実験等により予め求めて定められる時間である。
【００５６】
また、前記の如く、本実施例においても、気体漏れ検査動作自体は従来例とほぼ同様に行われるものであり、気体漏れ検査動作時には、加圧気体導入工程（ＣＨＧ）、平衡工程（ＢＡＬ）、差圧検出工程（ＤＥＴ）、気体排出工程（ＥＸＨ）の全工程を合わせて例えば１６０秒程度行われるが、ウォーミングアップ運転は、例えば全工程の時間を合わせて２０秒程度、またはそれ以下に短縮し、１回以上の予め定められる設定回数（例えば２〜３回）繰り返し行われる。
【００５７】
なお、ウォーミングアップ運転中の各工程の時間は、例えば時間設定パタンを複数設けて選択できるようにしてもよいし、典型パタンを予め設定しておいて必要に応じて可変できるようにしてもよい。また、ウォーミングアップ運転の設定回数も可変できるようにしてもよい。
【００５８】
例えば、冬等の気温が低いときにはウォーミングアップ運転の各工程の時間や設定回数を多めにし、その逆に夏等の気温が高い時には各工程の時間や設定回数を少なめにする等、外気温に応じてウォーミングアップ運転の設定を自動的に変更してもよいし、利用者が気温に対応させて設定を変更できるようにしてもよい。また、ウォーミングアップ運転実行手段２４にカレンダー機能を持たせて、そのカレンダーに応じて自動的に設定を変更してもよい。
【００５９】
また、気体漏れ検査装置１の停止時間に応じて、停止時間が長くなるほど各工程の時間や設定回数を多めにする等、ウォーミングアップ運転の設定を自動的に、または手動により変更してもよいし、測定する被検査体５の容積を考慮して、被検査体５の大きさが大きいほど、各工程の時間や設定回数を多めにする等、ウォーミングアップ運転の設定を自動的に、または手動により変更してもよい。
【００６０】
ウォーミングアップ運転実行手段２４は、ウォーミングアップ運転の実行に際し、各弁９，１０，１１，１６，１９の開閉を適宜行うと共に、圧力調整手段２７にウォーミングアップ運転実行信号を加え、加圧気体の導入口２から導入される加圧気体を、導入経路切替弁１４を通して基準体７や被検査体５側に導くようにしてウォーミングアップ運転を実行する。
【００６１】
圧力調整手段２７は、ウォーミングアップ運転実行手段２４からウォーミングアップ運転実行信号が加えられると、気体漏れ検査動作時と同様に、前記試験圧の加圧気体が基準体７や被検査体５側に導かれるように、試験圧設定手段１３を制御し、かつ、導入経路切替弁１４を開状態として、試験圧の加圧気体を基準体７や被検査体５側に導く。
【００６２】
なお、ウォーミングアップ運転実行手段２４によるウォーミングアップ運転中にも、検出工程においては、被検査体５側と基準体７側との差圧の検出が行われることになり、このときに検出される値は不適切な値となることが多い。つまり、ウォーミングアップ運転は、気体漏れ検査装置１を安定化するための運転であり、このウォーミングアップ運転が終了するまでの間は気体漏れ検査装置１の安定化が不十分である可能性があり、また、ウォーミングアップ運転は通常の気体漏れ検査動作に比べて各工程を非常に短い時間で行うものであるため、検出工程において被検査体５側と基準体７側との差圧の検出を正確に行うことはできない可能性がある。
【００６３】
そこで、本実施例では、ウォーミングアップ運転実行手段２４によるウォーミングアップ運転中には、気体漏れ検出部２８側からエラー信号が出力される可能性があるが、ウォーミングアップ運転実行手段２４は、ウォーミングアップ運転中に出力されるエラー信号は無視してウォーミングアップ運転を継続し、前記設定回数繰り返して行い、その後、ウォーミングアップ済み信号を出力してプリプロセス動作に移行する（プリプロセス動作が行われない場合には気体漏れ検査動作に移行する）ようにしている。
【００６４】
以上のようなウォーミングアップ運転を実行し、ごく短い時間であっても気体漏れ検査装置１に加圧気体を通し、弁９，１０，１１，１４，１６，１９を開閉制御することによって、例えば夕方から次の日の朝までの間や昼休みの時間をおいた後に測定を行う時等、気体漏れ検査装置１、接続配管、基準体７（マスタ）および外部弁等の起動後の過渡的な特性変化を解消することができ、気体漏れ検査装置１を安定化することができるので、休憩等を挟んだ断続的な検査でも精度の高い気体漏れ検査動作を行うことができる。
【００６５】
ウォーミングアップ運転実行手段２４は、以上のようなウォーミングアップ運転を実行した時の終了時とウォーミングアップ運転を実行しない時（する必要がないとき）とには、ウォーミングアップ済み信号をプリプロセス動作実行手段２８に加える。
【００６６】
プリプロセス動作実行手段２８は、気体漏れ検査実行手段２５による気体漏れ検査の開始前に、基準体７側にのみ加圧気体を通す第１のプリプロセス動作と、基準体７と被検査体５の両方に加圧気体を通す第２のプリプロセス動作との少なくとも一方の動作を行う手段である。プリプロセス動作実行手段２８は、ウォーミングアップ運転実行手段２４からウォーミングアップ済み信号が加えられると、例えば以下のタイミングで第１のプリプロセス動作を行う。
【００６７】
つまり、プリプロセス動作実行手段２８は、スタートＡスイッチ２２の操作が行われる度に（スタートＡスイッチ２２が押されてからウォーミングアップ済み信号が加えられる度に）第１のプリプロセス動作を行ってもよいし、例えばスタートＡスイッチ２２が予め定められる設定回数操作される毎に（スタートＡスイッチ２２が設定回数押されてウォーミングアップ済み信号がプリプロセス動作実行手段２８に設定回数加えられる度に）第１のプリプロセス動作を行ってもよい。
【００６８】
また、スタートＡスイッチ２２が押された後に初めてウォーミングアップ運転実行手段２４からウォーミングアップ済み信号が加えられたときと、その後、気体漏れ検査実行手段２５による気体漏れ検査実行終了後（気体漏れ検査実行手段２５から気体漏れ検査終了信号が加えられたとき）には自動的に毎回第１のプリプロセス動作を行う、あるいは、気体漏れ検査実行終了回数が設定回数となった毎に第１のプリプロセス動作を行う等、様々な制御パタンを設定することができる。また、以上のような固定の制御パタンを予め設定しておいてもよいし、必要に応じて制御パタンを可変できるようにしてもよい。
【００６９】
本実施例では、一例として、スタートＡスイッチ２２が操作された後に、押されてから初めてウォーミングアップ運転実行手段２４からウォーミングアップ済み信号が加えられたときと、その後、気体漏れ検査実行手段２５による気体漏れ検査実行終了後（気体漏れ検査実行手段２５から気体漏れ検査終了信号が加えられたとき）に毎回、自動的に第１のプリプロセス動作を行うように設定されている。
【００７０】
プリプロセス動作実行手段２８による第１のプリプロセス動作は、弁９，１０，１１，１６，１９の開閉制御と、導入経路切替弁１４の閉制御とによって、加圧気体を基準体７に通す動作であり、具体的には、プリプロセス動作実行手段２８は、第１のプリプロセス動作を行う際に、気体導入制御弁９，１０と気体排出制御弁１９ａを開き、気体導入制御弁１１と気体排出制御弁１６，１９ｂを閉じる。
【００７１】
また、プリプロセス動作時に導入する加圧気体の圧力は試験圧よりも小さく設定されるものであり、プリプロセス動作実行手段２８は、第１のプリプロセス動作を行う際に、圧力調整手段２７にプリプロセス動作実行信号を加え、導入経路切替弁１４を閉状態とし、低圧ガバナ３５を通して加圧気体を基準体７側に導くことにより、試験圧より小さい圧力（例えば１０ｋＰａを超える圧力で、かつ、１００ｋＰａ未満の圧力）の加圧気体を基準体７側に導き、加圧気体を基準体７に通して気体排出制御弁１９ａ側から排出するようにする。
【００７２】
なお、第１のプリプロセス動作および後述する第２のプリプロセス動作時に導入する加圧気体の圧力は特に限定されるものではないが、気体の流速が音速を超えると、衝撃波が生じ、振動等により損傷が生じたり発熱が生じたりするといった支障が生じるため、気体の流速が音速以下になるように調整されるものであり、そのために、本実施例では、例えば導入する加圧気体の圧力が１００ｋＰａを超えないように低圧ガバナ３５を設けて調整している。
【００７３】
なお、低圧ガバナ３５を設ける代わりに、圧力を定圧から高圧までの広い範囲で可変可能な電空レギュレータを設けて、導入する加圧気体の圧力を調整してもよい。
【００７４】
また、プリプロセス動作実行手段２８は、第１のプリプロセス動作時に、必要に応じ、ファン等を用いて基準体７内を冷却する等して温度安定化を図ってもよい。放熱性の高い基準体７を用いる場合等には、特に、ファンによる温度安定化が有効になる。
【００７５】
プリプロセス動作実行手段２８は、第１のプリプロセス動作を実行した後、直ちに、あるいは予め定められる設定待機時間経過後に第１のプリプロセス動作終了信号を発信し、表示部３１に加える。表示部３１には、第１のプリプロセス動作終了表示が行われる。なお、表示の仕方は特に限定されるものでなく適宜設定されるものである。また、表示部３１を設けて表示を行う代わりに、あるいは表示に加え、メッセージ発生やブザーやチャイム等の音の発生等、適宜の音声による報知を行うようにしてもよい。
【００７６】
スタートＢスイッチ２３は、気体漏れ検査装置１による気体漏れ検査動作の準備動作から気体漏れ検査動作に移行させるための操作手段である。例えば、スタートＡスイッチ２２が操作されてから、ウォーミングアップ運転や第１のプリプロセス動作が適宜行われ、表示部３１に第１のプリプロセス動作終了表示等の報知が行われたときに、利用者がスタートＢスイッチ２３を操作する（例えば利用者によって押される）と、検査移行スタート信号がプリプロセス動作実行手段２８と気体漏れ検査実行手段２５とに加えられる。
【００７７】
スタートＢスイッチ２３の操作によって検査移行スタート信号が加えられると、例えばその都度、プリプロセス動作実行手段２８が第２のプリプロセス動作を行うようにすることができる。つまり、スタートＢスイッチ２３は、プリプロセス動作実行手段２８による第２のプリプロセス動作を開始させるための第２のプリプロセス開始操作手段としても機能するものであり、また、前記の如く、スタートＡスイッチ２２がプリプロセス動作実行手段２８による第１のプリプロセス動作を開始させるための第１のプリプロセス開始操作手段としても機能することから、本実施例では、プリプロセス動作実行手段２８による第１と第２の少なくともプリプロセス動作を開始させるためのプリプロセス開始操作手段として、第１のプリプロセス開始操作手段と第２のプリプロセス開始操作手段を個別に備える態様と成している。
【００７８】
なお、スタートＢスイッチ２３の操作の度に第２のプリプロセス動作を行う代わりに、例えばスタートＢスイッチ２３が連続して２回押されるといった、特有の操作毎に、プリプロセス動作実行手段２８に検査移行スタート信号が加えられるようにして、この場合にのみ、第２のプリプロセス動作が行われるようにしてもよい。また、スタートＢスイッチ２３が第２のプリプロセス動作の開始用の操作手段と気体漏れ検査の開始用の操作手段を兼ねる構成とせずに、気体漏れ検査動作開始用の操作手段と第２のプリプロセス動作開始操作専用の操作手段を個別に設けてもよい。
【００７９】
プリプロセス動作実行手段２８は、スタートＢスイッチ２３の操作に伴う検査移行スタート信号が加えられると、気体導入制御弁９，１０，１１と気体排出制御弁１９ａ，１９ｂを開く。なお、気体排出制御弁１６は閉じたままとする。また、プリプロセス動作実行手段２８は、第２のプリプロセス動作を行う際にも、圧力調整手段２７にプリプロセス動作実行信号を加え、導入経路切替弁１４を閉状態とし、低圧ガバナ３５を通して加圧気体を基準体７側と被検査体５側とに導くことにより、試験圧より小さい圧力の加圧気体を基準体７側と被検査体５側とに導く。そして、加圧気体を基準体７に通して気体排出制御弁１９ａ側から排出するようにするとともに、加圧気体を被検査体５に通して気体排出制御弁１９ｂ側から排出するようにする。
【００８０】
プリプロセス動作実行手段２８は、第２のプリプロセス動作終了後、あるいは、第２のプリプロセス動作の必要がない場合には、プリプロセス動作済み信号を気体漏れ検査実行手段２５に加える。気体漏れ検査実行手段２５は、プリプロセス動作実行手段２８からプリプロセス動作済み信号が加えられると、前記のような気体漏れ検査動作を実行する。
【００８１】
本実施例は以上のように構成されており、以下、本実施例の気体漏れ検査装置を用いた動作について説明する。図３に示されるように、ステップＳ１で電源がＯＮ（オン）されるとステップＳ２で初期画面が表示され、ステップＳ３で計測設定画面が表示される。ここで、利用者により、計測設定操作が行われてスタートＡスイッチ２２が操作されると、ステップＳ４で、気体漏れ検査動作の準備動作が開始される。つまり、ステップＳ５で計測画面が表示され、ステップＳ６で、ウォーミングアップ運転実行手段２４によるウォーミングアップ運転（暖機運転）が、ウォーミングアップ運転を実行するために定められた前記設定条件を満たす場合には、適宜行われる。
【００８２】
このウォーミングアップ運転は、例えば図４に示されるように行われるものであり、ステップＤＳ１で気体漏れ検査動作の準備動作がスタートすると、ステップＤＳ２で、電源がオンされてから最初の運転（初期運転）かどうかが判断され、初期運転の場合にはステップＤＳ４に進み、初期運転でない場合にはステップＤＳ３で、前回計測終了後からＳ分（Ｓは例えば３０〜６０であり、ここではＳ分＝６０分＝１時間）経過したかどうかが判断され、経過した場合にはステップＤＳ４に進む。ステップＳ３で、前回計測終了後からＳ分経過していないと判断された場合にはステップＤＳ９に進み、ウォーミングアップ済み信号が出力されて、図３のステップＳ７に進む。
【００８３】
一方、図４のステップＤＳ４に進んだ場合には、ウォーミングアップ運転実行手段２４によるウォーミングアップ運転が順次行われる。つまり、ステップＤＳ４で、加圧気体導入工程（ＣＨＧ）の動作が例えば約５秒行われ、ステップＤＳ５で、平衡工程（ＢＡＬ）の動作が例えば約１秒行われ、ステップＤＳ６で、差圧検出工程（ＤＥＴ）の動作が例えば約１秒行われ、ステップＤＳ７で、気体排出工程（ＥＸＨ）の動作が例えば約１秒行われる。そして、ステップＤＳ８で、これらの全工程が前記設定回数（ここでは３回）終了したかどうかの判断が行われ、３回終了したらステップＤＳ９に進んでから図３のステップＳ７に進む。
【００８４】
図３のステップＳ７では、必要に応じて、第１のプリプロセス動作（ＰＰ１）が行われる。つまり、本実施例では、電源がオンされてから初回の運転時と気体漏れ検査動作終了後に、ウォーミングアップ運転実行手段２４からプリプロセス動作実行手段２８にウォーミングアップ済み信号が加えられて第１のプリプロセス動作開始信号（ＰＰ１信号）が出力されるので、その場合は、前記の如く第１のプリプロセス動作が開始される。
【００８５】
なお、図５には、第１のプリプロセス動作と第２のプリプロセス動作とを経て気体漏れ検査動作を行う際の一連の動作における各工程別の弁開閉状態が示されている。同図に示されるように、第１のプリプロセス動作時には、導入経路切替弁１４が閉じられ、気体導入制御弁９，１０と気体排出制御弁１９ａが開かれ、それ以外の弁１１，１６，１９ｂは閉じられる。
【００８６】
そして、第１のプリプロセス動作が終了すると、第１のプリプロセス動作終了が表示部３１に表示されるので、図３のステップＳ８で、利用者によるスタートＢスイッチ２３の操作が行われてステップＳ９に進み、ステップＳ９で、前記の如く第２のプリプロセス動作（ＰＰ２）が行われる。なお、ステップＳ９での第２のプリプロセス動作以降の弁開閉動作もそれぞれ、図５のタイムチャートに示されている。
【００８７】
第２のプリプロセス動作後には、気体漏れ検査実行手段２５によって、図３のステップＳ１０〜ステップＳ１４までの各動作が行われる。つまり、図３のステップＳ１０で、気体漏れ検査装置を安定化するために例えば予め定められる設定待機時間（例えば３０秒）経過するまで待ち（ＤＬＹ）、ステップＳ１１で、被検査体５と基準体７の両方に加圧気体を導入する加圧気体導入工程（ＣＨＧ）の動作を行い、ステップＳ１２で、被検査体５内の気体の圧力と基準体７内の気体の圧力とを平衡させる平衡工程（ＢＡＬ）の動作を行う。
【００８８】
その後、ステップＳ１３で、検査体５内の気体の圧力と基準体７内の気体の圧力との差圧を気体漏れ検出部２６によって検出する差圧検出工程（ＤＥＴ）の動作を行って、検出結果を表示部３１に表示したり、検出結果を気体漏れ検査装置１に信号接続されているパソコンのデータ格納部に格納してデータ処理等の適宜の操作に利用したり、記録用紙に記録したりするといった適宜の動作を行い、ステップＳ１４で、被検査体５内と基準体７内から気体を排出する気体排出工程（ＥＸＨ）の動作を実行する。
【００８９】
そして、気体排出工程の動作後には、図３のステップＳ５に戻り、計測画面の表示が行われて、次回の気体漏れ検査動作が行われることになるが、気体漏れ検査動作がほぼ連続して行われる場合には、ステップＳ６のウォーミングアップ運転は行われずにステップＳ７に進むことになる。そこで、気体漏れ検査を２回目以降行うときには、前回の気体漏れ検査動作の気体排出動作終了時から利用者による被検査体５の付け替え作業時に第１のプリプロセス動作を行うようにすることで、気体漏れ検査の準備から実際の測定動作までの時間の流れを有効に利用することができ、全体の計測時間を短縮できるので好ましい。
【００９０】
本実施例の気体漏れ検査装置１を用いて、熱交換器や貯湯タンクの気体漏れ検査を行ったところ、気体漏れ判定の結果がほぼ１００％適切な値となることが確認されている。
【実施例２】
【００９１】
次に、本発明に係る気体漏れ検査装置の第２実施例について説明する。なお、第２実施例の説明において、前記第１実施例および従来例と同一部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略または簡略化する。
【００９２】
図６には、本発明に係る気体漏れ検査装置の第２実施例の要部システム構成が模式的に示されており、図７には、その制御構成がブロック図により示されている。第２実施例のシステム構成が第１実施例となる特徴的なことは、基準体７側から加圧気体を排出する基準体側排出通路１８ａにおける加圧気体の出口３４側が、通路連通制御弁３２を介し、被検査体側導入通路６のバイパス通路１７への接続位置よりも気体通過の下流側位置に接続されていることである。
【００９３】
通路連通制御弁３２は電動ボールバルブ（ＢＶ）により形成されており、該電動ボールバルブは、開閉動作が緩慢で該開閉動作時に圧力変動が生じない又は殆ど生じない弁である。通路連通制御弁３２は、通路連通制御弁３２を制御する弁制御手段（図７の符号２９、参照）によって、差圧検出部１２による差圧検出時には閉じて該差圧検出時以外には開いた状態される。
【００９４】
また、第２実施例において、基準体側排出通路１８ａには気体排出制御弁が設けられておらず、基準体７側から加圧気体を排出する際には、加圧気体が基準体７の出口側（図の下部側）から基準体側排出通路１８ａを通して被検査体５に導入され、被検査体５と被検査体側排出通路１８ｂを通って排出される。また、被検査体５の交換作業時に、被検査体５への気体導入側が大気解放となる際に、そこから加圧気体を排出することもできる。
【００９５】
なお、第２実施例において、配置される基準体７については特に限定されるものではないが、基準体７の容積が被検査体５の容積に比べて格段に小さい小容器が適用されるようにすることが好ましい。基準体７を小容器により形成すると、基準体７からの気体排出を被検査体５側を通して行っても短時間で行える。
【００９６】
また、第２実施例の制御構成は図７に示され、図２に示した前記第１実施例の制御構成とほぼ同様に構成されているが、第２実施例では、制御装置２１内に弁制御手段２９が設けられており、気体漏れ検査実行手段２５による気体漏れ検査の実行動作時に通路連通制御弁３２の開閉制御が以下のように行われる。
【００９７】
つまり、気体漏れ検査実行手段２５は、気体漏れ検査の実行動作時に、前記第１実施例と同様に、図８のステップＳ１１，１２で、加圧気体導入工程、平衡工程を順に行った後、弁制御手段２９に通路連通制御弁３２の制御開始信号を加える。
【００９８】
弁制御手段２９は、この制御開始信号を受けて、通路連通制御弁３２（ＢＶ）を閉じる方向に動作させる（図８のステップＳ１３、参照）。そうすると、図１１のタイムチャートのボールバルブ駆動の蘭に示されるように、電動ボールバルブにより形成された通路連通制御弁３２は徐々に閉じていくので、例えば図９のステップＢＳ１に示されるように、通路連通制御弁３２が完全に閉じてから、予め定められる設定時間経過後（例えば図９のステップＢＳ２で３秒経過したことが確認された後）に、気体漏れ検出部２６に信号を加える。
【００９９】
気体漏れ検出部２６は、差圧検出部１２により検出される差圧に基づいて気体漏れの有無を検出し（図９のステップＢＳ３）、検出済み信号を、気体漏れ検査実行手段２５を介して弁制御手段２９に加える。弁制御手段２９は、この検出済み信号を受けて通路連通制御弁３２を開く方向に動作させ、徐々に開かせる（図９のステップＢＳ４、図１１のタイムチャートのボールバルブ駆動の蘭、図８のステップＳ１５、を参照）。以上のように、通路連通制御弁３２は、差圧検出部１２による差圧検出時には閉じて該差圧検出時以外には開いた状態される。
【０１００】
なお、第２実施例では、通路連通制御弁３２が開かれてから予め定められる設定時間経過後（例えば図９のステップＢＳ５で３秒経過したことが確認された後）に、図８のステップＳ１６で、気体排出動作が行われる。
【０１０１】
第２実施例では、通路連通制御弁３２を設けて差圧検出時以外は通路連通制御弁３２を開いておくことにより、図１０に示されるように、差圧検出時までは差圧検出部（差圧検出計）１２の両端を同一圧力にすることができて差圧を０とすることができる。また、通路連通制御弁３２を閉じたままにしておくと、基準体７に加圧気体が導入されることによって基準体７の出口側に熱が溜まるが、通路連通制御弁３２を開いておくことにより、熱を基準体７の出口側から被検査体５側に排出（逃がすことが）できて、基準体７側の熱歪みを解消でき、基準体７側と被検査体５側の温度を互いに等しいまたはほぼ等しい温度に安定化できる。
【０１０２】
そして、差圧検出時に通路連通制御弁３２を閉じることによって、基準体７と被検査体５とを非連通状態として（切り離した状態として）密閉し、基準体７と被検査体５との差圧計測を行うことで、基準体７側と被検査体５側が共に温度的に安定した状態で、かつ、差圧検出直前まで差圧を０とした状態で差圧を検出することによって基準体７と被検査体５との差圧を正確に検出することができる。なお、その差圧検出後も通路連通制御弁３２を開くことにより差圧検出部（差圧検出計）１２の両端を同一圧力にすることができて差圧を０とすることができる。
【０１０３】
第２実施例においては、通路連通制御弁３２を開閉動作が緩慢で該開閉動作時に圧力変動が生じない又は殆ど生じない弁である電動ボールバルブにより形成することによって、通路連通制御弁３２を閉じて基準体側と被検査体側を切り離す動作を緩やかに行うことができ、通路連通制御弁３２を閉じるときや開くときの圧力変動の影響を小さくできるので、差圧検出時に通路連通制御弁３２を閉じて基準体側と被検査体側とを切り離すときの圧力変動を殆ど生じないようにできることから、この切り離し動作時の圧力変動の影響も殆ど０にでき、非常に正確に差圧計測を行うことができる。
【０１０４】
また、第２実施例でも前記第１実施例と同様に、プリプロセス動作を行うによって基準体７側と被検査体５側をさらに温度的に安定した状態とするので、基準体７と被検査体５との差圧計測を正確に行うことができる。
【０１０５】
なお、第２実施例においては、配置される基準体７は、その容積が、配置される被検査体５の容積よりも小さいものとされるので、気体漏れ検出部２６は、基準体７の容積と被検査体５の容積との差に応じて生じる被検査体５内の気体の圧力と基準体７内の気体の圧力との差圧分（ドリフト分）を、差圧検出部１２による検出差圧値から差し引いた値に基づいて、被検査体５からの気体漏れを検出する。
【０１０６】
つまり、第２実施例の気体漏れ検査装置１を用いての気体漏れ検査は、配設される被検査体５に対し、配設される基準体７の容積が格段に小さくなるようにして被検査体５の気体漏れ検査動作が行われるようにすることを好ましい態様としており、このような場合には、基準体７の容積が小さいので、加圧気体の圧力が基準体７の気体導出側に強くかかっても、基準体７の容積が大きい場合に比べると、気体の温度は少しずつしか上昇しないといった利点があるが、その反面、配設される被検査体５と、配設される基準体７の容積とが異なると、その容積の違いにより、被検査体５側と基準体７側との差圧の検出に影響がある。
【０１０７】
そこで、例えば、予め実験等によって、気体漏れがあることが始めから分かっている被検査体５を用いる等して、被検査体５に漏れが生じている場合には被検査体５と基準体７との差圧がどのように検出されるかといったデータを基準体７の容積と被検査体５の容積に対応させて様々に求め、それらの相関関係をとっておき、その相関関係データと被検査体５および基準体７の容積のデータとに基づいて差圧検出のプログラムを変える等して被検査体５側と基準体７側との差圧を検出し、気体漏れ検査動作を行うようにする。
【０１０８】
なお、図１０には、第２実施例において検出される差圧検出時（ＤＥＴ）およびその前後の差圧値のイメージ図が示されており、この図において、例えば、特性線ａは差圧が判定閾値を超えているので気体漏れがあると判断され、特性線ｂの場合には差圧が判定閾値未満であるので気体漏れはないと判断される。
【０１０９】
また、第２実施例において、小容器の基準体７を設ける代わりに、図１２に示されるように、基準体側導入通路８に設けられた手動開閉弁３７と通路連通制御弁３２との間の通路（図の破線枠Ｍ内の通路部分）を基準体として機能するようにしてもよい。このようにする場合も、前記第２実施例と同様の効果を奏することができる。
【０１１０】
なお、本発明は、前記実施例に限定されるものでなく、本発明の技術的範囲を逸脱しない範囲において様々な態様を採り得る。例えば、前記各実施例では、プリプロセス開始操作手段は、第１のプリプロセス開始操作手段と第２のプリプロセス開始操作手段を個別に備える態様としたが、第１と第２のプリプロセス動作の開始のためのプリプロセス開始操作手段は一つの操作手段としてもよい。
【０１１１】
この場合、例えば図２、図７の破線に示されるように、プリプロセス動作実行手段２８によって第１のプリプロセス動作のみを行うか第２のプリプロセス動作のみを行うか第１と第２の両方のプリプロセス動作を行うかを選択するための動作選択操作部４０を設け、動作選択操作部４０により選択操作された動作を、プリプロセス開始操作手段の操作が行われたときにプリプロセス動作実行手段２８により実行するようにしてもよい。また、この場合は、例えば前記各実施例におけるスタートＢスイッチ２３は省略し、一つのスイッチが操作された後に、第１と第２のプリプロセス動作を自動的に適宜行うようにしてもよい。
【０１１２】
また、図２、図７の破線に示されるように、配設される基準体の容積と、配設される被検査体の容積を検出する容積検出手段４１と、容積検出手段４１が検出した結果に基づいてプリプロセス動作実行手段２８によるプリプロセス動作を決定する実行動作判断手段４２とを設けてもよい。なお、これらの容積検出手段４１と実行動作判断手段４２は制御装置２１内に設けてもよいし、制御装置２１とは別に設けて制御装置２１と信号接続されるようにしてもよい。
【０１１３】
このようにする場合、容積検出手段４１が検出した結果を実行動作判断手段４２に加え、実行動作判断手段４２が、容積検出手段４１によって検出される前記基準体の容積と前記被検査体の容積と予め定められるプリプロセス動作実行基準情報とに基づき、プリプロセス動作実行手段２８により行うプリプロセス動作を第１のプリプロセス動作のみとするか第２のプリプロセス動作のみとするか第１と第２の両方のプリプロセス動作とするかを判断するようにする。
【０１１４】
そして、実行動作判断手段４２による判断結果をプリプロセス動作実行手段２８に加え、例えば被検査体５の容積が大きいときには第１のプリプロセス動作と第２のプリプロセス動作の両方を行い、被検査体５の容積が小さいときには第１のプリプロセス動作のみを行うようにする等、プリプロセス動作実行手段２８が行うプリプロセス動作を決定してプリプロセス動作実行手段２８により実行する構成としてもよい。この場合も、例えば前記各実施例におけるスタートＢスイッチ２３は省略し、一つのスイッチが操作された後に、第１と第２のプリプロセス動作を自動的に適宜行うようにしてもよい。
【０１１５】
さらに、前記第２実施例では、通路連通制御弁３２として電動ボールバルブを用いたが、通路連通制御弁３２は電動ボールバルブに限定されるものではなく適宜設定されるものである。なお、通路連通制御弁３２は、開閉動作が緩慢で該開閉動作時に圧力変動が生じない又は殆ど生じない弁であることが望ましく、このような弁として、電動ボールバルブの代わりにモータスライドバルブ等を適用することもできる。
【０１１６】
さらに、前記各実施例で設けたウォーミングアップ運転実行手段２４は省略することもできる。
【産業上の利用可能性】
【０１１７】
本発明は、圧縮気体の吸気排気に伴う熱の影響を受け難く、被検査体の気体漏れ検査を正確に行うことができる気体漏れ検査装置であるので、熱交換器や貯湯タンク等の気体漏れを検査する装置として利用できる。
【符号の説明】
【０１１８】
１                    気体漏れ検査装置
２                    加圧気体の導入口
３                    加圧気体の導入用通路
４                    分岐部
５                    被検査体
６                    被検査体側導入通路
７                    基準体
８                    基準体側導入通路
９，１０，１１        気体導入制御弁
１２                  差圧検出部
１３                  試験圧設定手段
１４                  導入経路切替弁
１７                  バイパス通路
１８，１８ａ，１８ｂ  気体排出通路
１９  １９ａ，１９ｂ  気体排出制御弁
２１                  制御装置
２２                  スタートＡスイッチ
２３                  スタートＢスイッチ
２４                  ウォーミングアップ運転実行手段
２５                  気体漏れ検査実行手段
２６                  気体漏れ検出部
２７                  圧力調整手段
２８                  プリプロセス動作実行手段
２９                  弁制御手段
３２                  通路連通制御弁
３４                  出口
３５                  低圧ガバナ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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