(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
目標値に応じた電流信号を制御出力として出力する演算部と、この演算部からの制御出力を磁力に変換する電磁コイルと、この電磁コイルが変換した磁力を空気圧に変換する空気圧変換部とを備えた電空変換装置において、
前記電磁コイルが生成する磁場を制御用磁場とし、この制御用磁場と前記電磁コイルに作用している外部磁場の前記制御用磁場と平行な方向の成分との合成磁場の向きと強さを検出する合成磁場検出部を備え、
前記演算部は、
前記合成磁場検出部によって検出される合成磁場の向きと強さが前記電磁コイルが生成すべき前記目標値に応じた磁場の向きと強さと同じとなるように前記制御出力を補正して、補正された制御出力を前記演算部に出力させる制御出力補正部
を備えることを特徴とする電空変換装置。
【請求項２】
請求項１に記載された電空変換装置において、
前記演算部は、
目標値情報を含む電流信号とフィードバックされてくる電流信号との差を入力とし、この入力される信号の差を零とする指令を前記目標値に応じた電流信号として生成し、この生成した目標値に応じた電流信号を前記制御出力とする制御出力生成部
を備えることを特徴とする電空変換装置。
【請求項３】
請求項２に記載された電空変換装置において、
前記フィードバックされてくる電流信号は、
前記空気圧変換部によって変換された空気圧に応じた電流信号である
ことを特徴とする電空変換装置。
【請求項４】
請求項２に記載された電空変換装置において、
前記フィードバックされてくる電流信号は、
前記空気圧変換部によって変換された空気圧が操作出力として与えられる調節弁の弁開度に応じた電流信号である
ことを特徴とする電空変換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電気信号を空気圧信号に変換する空気圧変換装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
〔従来例１：電空変換器〕
従来より、この種の電空変換装置として、図９に示すように構成された電空変換器１００が知られている（例えば、特許文献１参照）。図９はこの電空変換器１００の要部を示すブロック図であり、１はＣＰＵ等を備えた演算部、２は電空変換部、３は電空変換部２からのノズル背圧ＰNを増幅し出力空気圧Ｐoutとするパイロットリレー、４は出力空気圧Ｐoutを検出するフィードバックセンサである。
【０００３】
この電空変換器１００において、電空変換部２は、図１０に示すように平面視コ字状に形成された永久磁石５と、永久磁石５の上下面両端部に一端部を対向させてそれぞれ取り付けられたヨーク６と、上下のヨーク６間に配設された電磁コイル７と、ヨーク６間に適宜な隙間を保って配設されることにより電磁コイル７の中心を貫通し、その下端部が下側のヨーク６の一方に支点ばね８によって揺動自在に支持されたフラッパ（鉄片）９と、フラッパ９の下端に設けられたカウンタウェイト１０とで構成され、フラッパ９の上端部にはノズル１１が近接対向して配設されている。ノズル１１には絞り１２を介して空気圧供給源から所定圧ＰSの空気が供給されている。
【０００４】
このように構成された電空変換器１００において、入力電気信号（目標値情報を含む電流信号）Ｉin（４〜２０ｍＡ）が入力されると、フィードバックセンサ４からフィードバックされてくる電流信号（フィードバック信号）Ｉｆと比較され、入力電気信号Ｉinとフィードバック信号Ｉｆとの差が演算部１に入力される。
【０００５】
演算部１は、制御出力生成機能Ｆ１を備えており、入力電気信号Ｉinとフィードバック信号Ｉｆとの差（目標値情報を含む電流信号とフィードバックされてくる電流信号との差）ΔＩを入力し、この入力される信号差ΔＩを零とする指令を目標値に応じた電流信号Ｉｓとして生成し、この生成した目標値に応じた電流信号Ｉｓを制御出力Ｉｓとして電空変換部２に出力する。電空変換部２において、電磁コイル７は、演算部１からの制御出力Ｉｓを磁力に変換し、フラッパ９をノズル方向もしくは反ノズル方向に揺動させる。
【０００６】
これにより、ノズル１１とフラッパ９との離間距離ｘが変化し、すなわちノズル１１とフラッパ９とから構成されるノズルフラッパ機構（空気圧変換部）の離間距離ｘが変化し、ノズル１１の背圧（ノズル背圧）ＰNが変化する。ノズル背圧ＰNは、パイロットリレー３によって増幅された後、調節弁３００の弁軸を駆動する操作器に出力空気圧Ｐoutとして供給され、これによって調節弁３００の弁開度が制御される。
【０００７】
また、出力空気圧Ｐoutはフィードバックセンサ４によって検出され、フィードバック信号Ｉｆとして演算部１の入力側へ戻される。このため、入力電気信号Ｉinとフィードバック信号Ｉｆとの偏差が零になるところで調節弁３００の弁開度が安定する。
【０００８】
〔従来例２：電空ポジショナ〕
また、電空変換装置として、図１２に示すように構成された電空ポジショナ２００も知られている（例えば、特許文献２参照）。図１２はこの電空ポジショナ２００の要部を示すブロック図であり、２１は入力信号処理部、２２はＣＰＵ等を備えた演算部、２３は電空変換部、２４は電空変換部２３からのノズル背圧ＰNを増幅し出力空気圧Ｐoutとして調節弁３００へ供給する空気信号増幅部、２５は調節弁３００のリフト位置を弁開度として検出し、その検出した弁開度に応じた電流信号をフィードバック信号Ｉｆとして演算部２２の入力側に戻す弁開度検出部である。
【０００９】
このように構成された電空ポジショナ２００において、入力信号処理部２１には、入力電気信号（目標値情報を含む電流信号）Ｉin（４〜２０ｍＡ）が送られてくる。演算部２２は、制御出力生成機能Ｆ１を備えており、入力信号処理部２１からの入力電気信号Ｉinと弁開度検出部２５からのフィードバック信号Ｉｆとの差（目標値情報を含む電流信号とフィードバックされてくる電流信号との差）ΔＩを入力し、この入力される信号差ΔＩを零とする指令を目標値（設定値）に応じた電流信号Ｉｓとして生成し、この生成した目標値に応じた電流信号Ｉｓを制御出力Ｉｓとして電空変換部２３に出力する。電空変換部２３は、図１０に示した電空変換部２と同様、電磁コイルやノズルフラッパ機構（空気圧変換部）を備えており、演算部２２からの制御出力Ｉｓを磁力に変換し、この変換した磁力をノズル背圧ＰNに変換する。
【００１０】
電空変換部２３で変換されたノズル背圧ＰNは、空気信号増幅部２４によって増幅された後、調節弁３００の弁軸を駆動する操作器に出力空気圧Ｐoutとして供給され、これによって調節弁３００の弁開度が制御される。
【００１１】
また、調節弁３００の弁開度が弁開度検出部２５によって検出され、フィードバック信号Ｉｆとして演算部２２の入力側へ戻される。このため、入力電気信号Ｉinとフィードバック信号Ｉｆとの偏差が零になるところで調節弁３００の弁開度が安定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平７−１１０００３号公報
【特許文献２】特開平１１−５１７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、このような電空変換装置では、演算部からの制御出力を磁力に変換するために電磁コイルを用いているために、外部磁場の変動の影響を受けるという問題があった。
【００１４】
すなわち、図９に示した電空変換器１００を例にとると、図１０に示されるように、演算部１からの制御出力Ｉｓを磁力に変換するために電磁コイル７を用いている。このため、電磁コイル７が生成する磁場に外部磁場が作用し、この作用する外部磁場の変動の影響を受ける。
【００１５】
図１１に電磁コイル７が生成する磁場と電磁コイル７に作用している外部磁場との関係を例示する。同図において、φＳは電磁コイル７が生成する磁場（制御用磁場）であり、φＧは電磁コイル７に作用している外部磁場の制御用磁場φＳと平行な方向の成分である。
【００１６】
なお、この例において、演算部１は、ＣＰＵ１−１とコイル駆動回路１−２とを備えている。コイル駆動回路１−２は、ＣＰＵ１−１からの指示を受けて、制御出力Ｉｓを目標値に応じた電流（コイル駆動電流）Ｉｓとして電磁コイル７に流す。
【００１７】
この例では、電磁コイル７が生成する制御用磁場φＳに対して、制御用磁場φＳと平行で逆向きの磁場が外部磁場の制御用磁場φＳと平行な方向の成分φＧとして作用している。このため、制御用磁場φＳの強さが実質的に小さくなり、フラッパ９に作用する磁力が小さくなる。
【００１８】
電磁コイル７が生成する制御用磁場φＳに対して作用する外部磁場（外部磁場の制御用磁場φＳと平行な方向の成分φＧ）は電空変換器１００が置かれる環境によって異なり、この電磁コイル７が生成する制御用磁場φＳに対して作用する外部磁場が変動すると、フラッパ９に作用する磁力も変動する。このため、ノズル背圧ＰNが変動し、調節弁３００の弁開度の制御が不安定となる。
【００１９】
図１２に示した電空ポジショナ２００においても、電空変換部２３において電磁コイルを用いているので、電空変換器１００と同様の問題が生じる。電空変換器１００や電空ポジショナ２００では、出力空気圧Ｐoutや調節弁３００の弁開度を観測しているが、磁場を観測していないため、自身では対応できない。また、現場で不適合が発生した場合、原因特定まで時間がかかる。
【００２０】
なお、電磁コイルを磁気シールドすることが考えられるが、完全に外部磁界の影響をなくすことは困難である。また、調節弁の弁開度を制御する電空変換器や電空ポジショナなどの電空変換装置では、防爆構造に加え小型化が求められ、電磁コイルを磁気シールドすると、複雑かつ大型化する。すなわち、電磁コイルの周辺の小型化が難しくなり、組立構造が複雑となり、コストがアップしてしまう。また、本質安全防爆構造においては、通電部である電磁コイルを一定以上筐体から離さなければならない。
【００２１】
また、外部磁場の影響をキャンセルするめの補正用のコイルを設けることが考えられるが、すなわち補正用のコイルに電流を流して外部磁場をキャンセルするようにすることが考えられるが、補正用のコイルと合わせて、外部磁場を検出する回路、補正用のコイルを駆動する回路なども必要となり、その構成が複雑化する。
【００２２】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、電磁コイルを磁気シールドすることなく、また補正用のコイルを設けることなく、外部磁場の影響を排除することが可能な電空変換装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
このような目的を達成するために本発明は、目標値に応じた電流信号を制御出力として出力する演算部と、この演算部からの制御出力を磁力に変換する電磁コイルと、この電磁コイルが変換した磁力を空気圧に変換する空気圧変換部とを備えた電空変換装置において、電磁コイルが生成する磁場を制御用磁場とし、この制御用磁場と電磁コイルに作用している外部磁場の制御用磁場と平行な方向の成分との合成磁場の向きと強さを検出する合成磁場検出部を備え、演算部は、合成磁場検出部によって検出される合成磁場の向きと強さが電磁コイルが生成すべき目標値に応じた磁場の向きと強さと同じとなるように制御出力を補正して、補正された制御出力を演算部に出力させる制御出力補正部を備えることを特徴とする。
【００２４】
この発明によれば、「電磁コイルが生成する磁場（制御用磁場）」と「電磁コイルに作用している外部磁場の制御用磁場と平行な方向の成分」との合成磁場の向きと強さが、合成磁場検出部によって検出される。制御出力補正部は、この合成磁場検出部によって検出される合成磁場の向きと強さが電磁コイルが生成すべき目標値に応じた磁場の向きと強さと同じとなるように、電磁コイルへの制御出力を補正して、補正された制御出力を演算部に出力させる。すなわち、本発明では、合成磁場の向きと強さの検出と、この検出される合成磁場に基づく電磁コイルへの制御出力の補正のみで、外部磁場の影響が排除される。
【００２５】
本発明において、演算部は、目標値情報を含む電流信号とフィードバックされてくる電流信号との差を入力とし、この入力される信号の差を零とする指令を目標値に応じた電流信号として生成し、この生成した目標値に応じた電流信号を制御出力とする。この場合、フィードバックされてくる電流信号は、空気圧変換部によって変換された空気圧に応じた電流信号であってもよく、空気圧変換部によって変換された空気圧が操作出力として与えられる調節弁の弁開度に応じた電流信号であってもよい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、「電磁コイルが生成する磁場（制御用磁場）」と「電磁コイルに作用している外部磁場の制御用磁場と平行な方向の成分」との合成磁場の向きと強さを検出するようにし、この検出される合成磁場の向きと強さが電磁コイルが生成すべき目標値に応じた磁場の向きと強さと同じとなるように、電磁コイルへの制御出力を補正するようにしたので、電磁コイルを磁気シールドすることなく、また補正用のコイルを設けることなく、合成磁場の向きと強さの検出と、この検出される合成磁場に基づく電磁コイルへの制御出力の補正のみで、外部磁場の影響を排除することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係る電空変換装置の一実施の形態（電空変換器）の要部を示すブロック図である。
【図２】この電空変換器における電空変換部の構成を示す縦断面図である。
【図３】この電空変換器における演算部の要部を示す図である。
【図４】この電空変換器における演算部のＣＰＵが実行する処理動作を示すフローチャートである。
【図５】この電空変換器における電空変換用コイルが生成する制御用磁場φＳが補正される様子を示す図である。
【図６】本発明に係る電空変換装置の他の実施の形態（電空ポジショナ）の要部を示すブロック図である。
【図７】この電空ポジショナにおける電空変換部の構成を示す縦断面図である。
【図８】この電空ポジショナにおける演算部の要部を示す図である。
【図９】従来の電空変換器の要部を示すブロック図である。
【図１０】従来の電空変換器における電空変換部の構成を示す縦断面図である。
【図１１】従来の電空変換器における演算部の要部を示す図である。
【図１２】従来の電空ポジショナの要部を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２９】
〔実施の形態１：電空変換器〕
図１は本発明に係る電空変換装置の一実施の形態の要部を示すブロック図である。図１には、実施の形態１として、電空変換器の要部のブロック図を示している。
【００３０】
図１において、図９と同一符号は図９を参照して説明した構成要素と同一或いは同等の構成要素を示し、その説明は省略する。この電空変換器１００において、図９に示した従来の電空変換器１００と異なる点は、演算部１の機能および電空変換部２の構成にある。
【００３１】
以下、従来の電空変換器１００を電空変換器１００Ｂ、本実施の形態の電空変換器１００を電空変換器１００Ａとし、従来の電空変換器１００Ｂにおける演算部１および電空変換部２を演算部１Ｂおよび電空変換部２Ｂ、本実施の形態の電空変換器１００Ａにおける演算部１および電空変換部２を演算部１Ａおよび電空変換部２Ａとする。
【００３２】
本実施の形態において、電空変換部２Ａは、図２に示すように、上下のヨーク６間に設けられている電磁コイル７の下部に、この電磁コイル７と同軸かつ平行に合成磁場検出用コイル１３を設けている。この合成磁場検出用コイル１３は、電磁コイル（以下、電空変換用コイルと呼ぶ）７が生成する磁場（制御用磁場）と電空変換用コイル７に作用している外部磁場の制御用磁場と平行な方向の成分との合成磁場の向きと強さを検出する。
【００３３】
また、本実施の形態において、演算部１Ａは、制御出力生成機能Ｆ１に加え、合成磁場検出用コイル１３によって検出される合成磁場の向きと強さを入力とし、この合成磁場の向きと強さが電空変換用コイル７が生成すべき目標値に応じた磁場（目的の磁場）の向きと強さと同じとなるように、電空変換部２Ａへの制御出力Ｉｓを補正する制御出力補正機能Ｆ２を備えている。この制御出力補正機能Ｆ２が本発明でいう制御出力補正部に相当し、制御出力生成機能Ｆ１が制御出力生成部に相当する。
【００３４】
図３に演算部１Ａの要部を示す。演算部１Ａは、ＣＰＵ１−１と、コイル駆動回路１−２と、増幅器１−３と、Ａ／Ｄ変換器１−４と、メモリ１−５とを備えている。
【００３５】
演算部１Ａにおいて、コイル駆動回路１−２は、ＣＰＵ１−１からの指示を受けて、制御出力Ｉｓを目標値に応じた電流（コイル駆動電流）Ｉｓとして電空変換用コイル７に流す。
【００３６】
演算部１Ａにおいて、増幅器１−３とＡ／Ｄ変換器１−４とは合成磁場検出用コイル１３とＣＰＵ１−１との間の処理回路として設けられ、合成磁場検出用コイル１３が検出する合成磁場（電空変換用コイル７が生成する磁場（制御用磁場）φＳと電空変換用コイル７に作用している外部磁場の制御用磁場φＳと平行な方向の成分φＧとの合成磁場）の向きと強さをＣＰＵ１−１へ与える。
【００３７】
この演算部１Ａにおいて、制御出力生成機能Ｆ１や制御出力補正機能Ｆ２は、メモリ１−５に格納されているプログラムに従うＣＰＵ１−１の処理動作として実現される。
【００３８】
以下、図４に示すフローチャートを参照して、演算部１ＡにおけるＣＰＵ１−１が実行する本実施の形態特有の処理動作について説明する。
【００３９】
演算部１Ａにおいて、ＣＰＵ１−１は、入力電気信号Ｉinとフィードバック信号Ｉｆとの差（目標値情報を含む電流信号とフィードバックされてくる電流信号との差）ΔＩを入力し、この入力される信号差ΔＩを零とする指令を目標値に応じた電流信号（制御出力）Ｉｓとして生成する。
【００４０】
すなわち、ＣＰＵ１−１は、目標値を入力し（ステップＳ１０１）、目標値に応じた磁場（目的の磁場）が得られるような制御出力Ｉｓを求め（ステップＳ１０２）、この求めた制御出力Ｉｓを目標値に応じた電流（コイル駆動電流）Ｉｓとして電空変換用コイル７に流す（ステップＳ１０３）。これにより、電空変換用コイル７が制御用磁場φＳを生成する。
【００４１】
一方、合成磁場検出用コイル１３は、電空変換用コイル７が生成する制御用磁場φＳと電空変換用コイル７に作用している外部磁場の制御用磁場φＳと平行な方向の成分φＧとの合成磁場の向きと強さを検出する。この合成磁場検出用コイル１３によって検出された合成磁場の向きと強さは、増幅器１−３とＡ／Ｄ変換器１−４とから構成される処理回路を通してＣＰＵ１−１へ与えられる。
【００４２】
ＣＰＵ１−１は、合成磁場検出用コイル１３によって検出された合成磁場の向きと強さを取り込み（ステップＳ１０４）、この取り込んだ合成磁場の向きと強さと電空変換用コイル７が生成すべき目標値に応じた磁場（目的の磁場）の向きと強さとを比較する（ステップＳ１０５）。なお、この時の電空変換用コイル７が生成すべき目標値に応じた磁場（目的の磁場）は、演算式やテーブルから求められる値としてメモリ１−５に記憶されている。
【００４３】
ここで、ＣＰＵ１−１は、取り込んだ合成磁場の向きと強さと目的の磁場の向きと強さが一致していなければ（ステップＳ１０５のＮＯ）、取り込んだ合成磁場の向きと強さが目的の磁場の向きと強さと同じとなるような制御出力Ｉｓを求め（ステップＳ１０６）、すなわちコイル駆動回路１−２へ指示している現在の制御出力Ｉｓを補正し、この補正した制御出力Ｉｓを目標値に応じた電流（コイル駆動電流）Ｉｓとして電空変換用コイル７に流す（ステップＳ１０７）。
【００４４】
これにより、図５に示すように、電空変換用コイル７が生成する制御用磁場φＳが補正される。ＣＰＵ１−１は、合成磁場検出用コイル１３によって検出される合成磁場の向きと強さが目的の磁場の向きと強さと一致するまで（ステップＳ１０５のＹＥＳ）、ステップＳ１０４，Ｓ１０５，Ｓ１０６，Ｓ１０７の処理動作を繰り返す。すなわち、電空変換用コイル７が生成する制御用磁場φＳの補正を繰り返す。
【００４５】
ＣＰＵ１−１は、合成磁場検出用コイル１３によって検出される合成磁場の向きと強さが目的の磁場の向きと強さと一致した後も、ステップＳ１０４，Ｓ１０５，Ｓ１０７の処理動作を繰り返す。これにより、外部磁場が変動するなどして、合成磁場検出用コイル１３によって検出される合成磁場の向きと強さが目的の磁場の向きと強さとが一致しなくなった場合（ステップＳ１０５のＮＯ）、上述と同様にして電空変換用コイル７が生成する制御用磁場φＳが補正され（ステップＳ１０６，Ｓ１０７）、合成磁場検出用コイル１３によって検出される合成磁場の向きと強さが目的の磁場の向きと強さに合わせられる。
【００４６】
このようにして、本実施の形態では、合成磁場検出用コイル１３によって検出される合成磁場（電空変換用コイル７が生成する制御用磁場φＳと電空変換用コイル７に作用している外部磁場の制御用磁場φＳと平行な方向の成分φＧとの合成磁場）の向きと強さが目的の磁場の向きと強さに常に合わせられるものとなり、電空変換用コイル７をシールドすることなく、また補正用のコイルを設けることなく、外部磁場の影響を排除することができるようになる。
【００４７】
なお、図４に示した処理動作は、演算部１へ目標値が入力される毎に、すなわち入力電気信号Ｉinとフィードバック信号Ｉｆとの差（目標値情報を含む電流信号とフィードバックされてくる電流信号との差）が≠０として入力される毎に、実行される。
【００４８】
〔実施の形態２：電空ポジショナ〕
図６は本発明に係る電空変換装置の他の実施の形態の要部を示すブロック図である。図６には実施の形態２として電空ポジショナの要部のブロック図を示している。
【００４９】
図６において、図１２と同一符号は図１２を参照して説明した構成要素と同一或いは同等の構成要素を示し、その説明は省略する。この電空ポジショナ２００において、図１２に示した従来の電空ポジショナ２００と異なる点は、演算部２２の機能および電空変換部２３の構成にある。
【００５０】
以下、従来の電空ポジショナ２００を電空ポジショナ２００Ｂ、本実施の形態の電空ポジショナ２００を電空ポジショナ２００Ａとし、従来の電空ポジショナ２００Ｂにおける演算部２２および電空変換部２３を演算部２２Ｂおよび電空変換部２３Ｂ、本実施の形態の電空ポジショナ２００Ａにおける演算部２２および電空変換部２３を演算部２２Ａおよび電空変換部２３Ａとする。
【００５１】
この実施の形態においても、電空変換部２３Ａは、図２に示した電空変換部２Ａと同様、合成磁場検出用コイル１３を備えている（図７参照）。また、演算部２２Ａは、制御出力生成機能Ｆ１に加え、合成磁場検出用コイル１３によって検出される合成磁場の向きと強さを入力とし、この合成磁場の向きと強さが電空変換用コイル７が生成すべき目標値に応じた磁場（目的の磁場）の向きと強さと同じとなるように、電空変換部２３Ａへの制御出力Ｉｓを補正する制御出力補正機能Ｆ２を備えている。
【００５２】
演算部２２Ａの構成は図３に示した演算部１Ａの構成と同じである（図８参照）。この演算部２２Ａにおいて、ＣＰＵ２２−１は、入力信号処理部２１からの入力電気信号Ｉinと弁開度検出部２５からのフィードバック信号Ｉｆとの差（目標値情報を含む電流信号とフィードバックされてくる電流信号との差）ΔＩを入力し、この入力される信号差ΔＩを零とする指令を目標値に応じた電流信号（制御出力）Ｉｓとして生成する。この点が異なるのみで、演算部２２ＡにおけるＣＰＵ２２−１の処理動作は、演算部１ＡにおけるＣＰＵ１−１の処理動作と同じである。
【００５３】
なお、上述した実施の形態１，２では、合成磁場の検出にコイルを用いているが、合成磁場の向きと強さを検出することができればよく、コイルに限られるものではない。また、合成磁場を検出するコイルに対して増幅器とＡ／Ｄ変換器とから構成される処理回路を設けているが、これは一般的なセンサ出力の処理回路であり、この処理回路の種類や構成も応用は可能である。
【００５４】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００５５】
１…演算部、１−１…ＣＰＵ、１−２…コイル駆動回路、１−３…増幅器、１−４…Ａ／Ｄ変換器、１−５…メモリ、２…電空変換部、３…パイロットリレー、４…フィードバックセンサ、７…電磁コイル（電空変換用コイル）、９…フラッパ、１１…ノズル、１３…合成磁場検出用コイル、２１…入力信号処理部、２２…演算部、２２−１…ＣＰＵ、２２−２…コイル駆動回路、２２−３…増幅器、２２−４…Ａ／Ｄ変換器、２２−５…メモリ、２３…電空変換部、２４…空気信号増幅部、２５…弁開度検出器、１００…電空変換器、２００…電空ポジショナ、３００…調節弁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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