(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
光学機能部を有する可動部と、
第１方向において前記可動部の一方の側に配置され、前記ベース及び前記可動部に接続された第１トーションバーと、
前記第１方向において前記可動部の他方の側に配置され、前記ベース及び前記可動部に接続された第２トーションバーと、
前記第１方向に垂直な第２方向において前記第１トーションバーの一方の側に配置され、前記可動部に接続された第１支持部と、
前記第２方向において前記第１トーションバーの他方の側に配置され、前記可動部に接続された第２支持部と、
前記第２方向において前記第２トーションバーの前記一方の側に配置され、前記可動部に接続された第３支持部と、
前記第２方向において前記第２トーションバーの前記他方の側に配置され、前記可動部に接続された第４支持部と、
前記第１支持部に設けられ、複数の第１可動櫛歯を有する第１可動櫛歯電極と、
前記第２支持部に設けられ、複数の第２可動櫛歯を有する第２可動櫛歯電極と、
前記第３支持部に設けられ、複数の第３可動櫛歯を有する第３可動櫛歯電極と、
前記第４支持部に設けられ、複数の第４可動櫛歯を有する第４可動櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第１可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第１固定櫛歯を有する第１固定櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第２可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第２固定櫛歯を有する第２固定櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第３可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第３固定櫛歯を有する第３固定櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第４可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第４固定櫛歯を有する第４固定櫛歯電極と、を備え、
隣り合う前記第１可動櫛歯と前記第１固定櫛歯とは、前記第１方向において互いに向かい合っており、
隣り合う前記第２可動櫛歯と前記第２固定櫛歯とは、前記第１方向において互いに向かい合っており、
隣り合う前記第３可動櫛歯と前記第３固定櫛歯とは、前記第１方向において互いに向かい合っており、
隣り合う前記第４可動櫛歯と前記第４固定櫛歯とは、前記第１方向において互いに向かい合っており、
前記第１可動櫛歯電極は、前記第１方向から見た場合に、前記第１支持部と前記第２方向における前記可動部の前記一方の側の第１端部との間に配置されており、
前記第２可動櫛歯電極は、前記第１方向から見た場合に、前記第２支持部と前記第２方向における前記可動部の前記他方の側の第２端部との間に配置されており、
前記第３可動櫛歯電極は、前記第１方向から見た場合に、前記第３支持部と前記可動部の前記第１端部との間に配置されており、
前記第４可動櫛歯電極は、前記第１方向から見た場合に、前記第４支持部と前記可動部の前記第２端部との間に配置されており、
前記第１支持部は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向における前記第１支持部の厚さが前記第３方向における前記第１トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第１梁部を有し、
前記第２支持部は、前記第３方向における前記第２支持部の厚さが前記第３方向における前記第１トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第２梁部を有し、
前記第３支持部は、前記第３方向における前記第３支持部の厚さが前記第３方向における前記第２トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第３梁部を有し、
前記第４支持部は、前記第３方向における前記第４支持部の厚さが前記第３方向における前記第２トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第４梁部を有する、光学デバイス。
【請求項２】
前記第１支持部は、前記第１可動櫛歯電極が設けられた第１本体部を更に有し、
前記第２支持部は、前記第２可動櫛歯電極が設けられた第２本体部を更に有し、
前記第３支持部は、前記第３可動櫛歯電極が設けられた第３本体部を更に有し、
前記第４支持部は、前記第４可動櫛歯電極が設けられた第４本体部を更に有し、
前記第１トーションバー、前記第１本体部及び前記第２本体部、並びに、前記第２トーションバー、前記第３本体部及び前記第４本体部は、前記第１方向に沿って延在している、請求項１に記載の光学デバイス。
【請求項３】
前記第１支持部は、前記第１本体部及び前記可動部に接続された第１接続部を更に有し、前記第１接続部は、前記第１トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈しており、
前記第２支持部は、前記第２本体部及び前記可動部に接続された第２接続部を更に有し、前記第２接続部は、前記第１トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈しており、
前記第３支持部は、前記第３本体部及び前記可動部に接続された第３接続部を更に有し、前記第３接続部は、前記第２トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈しており、
前記第４支持部は、前記第４本体部及び前記可動部に接続された第４接続部を更に有し、前記第４接続部は、前記第２トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈している、請求項２に記載の光学デバイス。
【請求項４】
前記第１トーションバーは、前記第３方向から見た場合に前記第１トーションバーの外縁及び前記可動部の外縁の曲率が連続するように、前記可動部に接続されており、
前記第２トーションバーは、前記第３方向から見た場合に前記第２トーションバーの外縁及び前記可動部の外縁の曲率が連続するように、前記可動部に接続されている、請求項１〜３のいずれか一項に記載の光学デバイス。
【請求項５】
前記可動部のうち前記第１端部を含む部分に設けられ、複数の第５可動櫛歯を有する第５可動櫛歯電極と、
前記可動部のうち前記第２端部を含む部分に設けられ、複数の第６可動櫛歯を有する第６可動櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第５可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第５固定櫛歯を有する第５固定櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第６可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第６固定櫛歯を有する第６固定櫛歯電極と、を更に備え、
隣り合う前記第５可動櫛歯と前記第５固定櫛歯とは、前記第１方向において互いに向かい合っており、
隣り合う前記第６可動櫛歯と前記第６固定櫛歯とは、前記第１方向において互いに向かい合っている、請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学デバイス。
【請求項６】
前記可動部には、可動櫛歯電極が設けられていない、請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学デバイス。
【請求項７】
前記可動部は、前記光学機能部が設けられた第５本体部と、前記第３方向から見た場合に前記第５本体部を囲むフレームと、前記第５本体部及び前記フレームに接続された複数の第５接続部と、前記第５本体部に設けられた本体梁部と、前記フレームに沿って延在するフレーム梁部と、を更に有し、
前記第１梁部、前記第２梁部、前記第３梁部及び前記第４梁部は、前記フレーム梁部に接続されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載の光学デバイス。
【請求項８】
前記可動部は、前記複数の第５接続部のそれぞれにおいて前記本体梁部及び前記フレーム梁部に接続された接続梁部を更に有する、請求項７に記載の光学デバイス。
【請求項９】
前記複数の第５接続部は、前記可動部の前記第１端部及び前記第２端部に対応する位置に配置されている、請求項７又は８に記載の光学デバイス。
【請求項１０】
前記光学機能部は、ミラーである、請求項１〜９のいずれか一項に記載の光学デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、例えばＭＥＭＳ（Micro  Electro  Mechanical  Systems）デバイスとして構成された光学デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
ベースと、光学機能部を有する可動部と、可動部の両側においてそれぞれがベース及び可動部に接続された一対のトーションバーと、複数の可動櫛歯を有する可動櫛歯電極と、複数の可動櫛歯と互い違いに配置された複数の固定櫛歯を有する固定櫛歯電極と、を備える光学デバイスが知られている。特許文献１に記載のデバイスでは、可動部からトーションバーに沿って延在する支持部に可動櫛歯電極が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００５／０１９４６５０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような可動櫛歯電極及び固定櫛歯電極は、駆動用の電極、モニタ用の電極、又は駆動兼モニタ用の電極として用いられる。駆動用の電極として可動櫛歯電極及び固定櫛歯電極が用いられる場合には、所定の軸線を中心線として可動部を揺動させるために、可動櫛歯電極と固定櫛歯電極との間に電圧が印加される。モニタ用の電極として可動櫛歯電極及び固定櫛歯電極が用いられる場合には、所定の軸線を中心線として揺動している可動部の位置（揺動角度）を把握するために、可動櫛歯電極と固定櫛歯電極との間の静電容量が検出される。【０００５】
いずれの用途に可動櫛歯電極及び固定櫛歯電極が用いられる場合にも、可動部が揺動している際に、可動櫛歯電極が可動部と一体的に揺動し、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間隔が一定に維持されることが好ましい。しかしながら、特許文献１に記載のデバイスでは、可動櫛歯電極が設けられた支持部が可動部からトーションバーに沿って延在しているため、可動部が揺動している際に可動櫛歯電極が歪み、デバイスとしての信頼性が低下するおそれがある。【０００６】
本開示は、信頼性の高い光学デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一側面の光学デバイスは、ベースと、光学機能部を有する可動部と、第１方向において可動部の一方の側に配置され、ベース及び可動部に接続された第１トーションバーと、第１方向において可動部の他方の側に配置され、ベース及び可動部に接続された第２トーションバーと、第１方向に垂直な第２方向において第１トーションバーの一方の側に配置され、可動部に接続された第１支持部と、第２方向において第１トーションバーの他方の側に配置され、可動部に接続された第２支持部と、第２方向において第２トーションバーの一方の側に配置され、可動部に接続された第３支持部と、第２方向において第２トーションバーの他方の側に配置され、可動部に接続された第４支持部と、第１支持部に設けられ、複数の第１可動櫛歯を有する第１可動櫛歯電極と、第２支持部に設けられ、複数の第２可動櫛歯を有する第２可動櫛歯電極と、第３支持部に設けられ、複数の第３可動櫛歯を有する第３可動櫛歯電極と、第４支持部に設けられ、複数の第４可動櫛歯を有する第４可動櫛歯電極と、ベースに設けられ、複数の第１可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第１固定櫛歯を有する第１固定櫛歯電極と、ベースに設けられ、複数の第２可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第２固定櫛歯を有する第２固定櫛歯電極と、ベースに設けられ、複数の第３可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第３固定櫛歯を有する第３固定櫛歯電極と、ベースに設けられ、複数の第４可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第４固定櫛歯を有する第４固定櫛歯電極と、を備え、隣り合う第１可動櫛歯と第１固定櫛歯とは、第１方向において互いに向かい合っており、隣り合う第２可動櫛歯と第２固定櫛歯とは、第１方向において互いに向かい合っており、隣り合う第３可動櫛歯と第３固定櫛歯とは、第１方向において互いに向かい合っており、隣り合う第４可動櫛歯と第４固定櫛歯とは、第１方向において互いに向かい合っており、第１可動櫛歯電極は、第１方向から見た場合に、第１支持部と第２方向における可動部の一方の側の第１端部との間に配置されており、第２可動櫛歯電極は、第１方向から見た場合に、第２支持部と第２方向における可動部の他方の側の第２端部との間に配置されており、第３可動櫛歯電極は、第１方向から見た場合に、第３支持部と可動部の第１端部との間に配置されており、第４可動櫛歯電極は、第１方向から見た場合に、第４支持部と可動部の第２端部との間に配置されており、第１支持部は、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向における第１支持部の厚さが第３方向における第１トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第１梁部を有し、第２支持部は、第３方向における第２支持部の厚さが第３方向における第１トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第２梁部を有し、第３支持部は、第３方向における第３支持部の厚さが第３方向における第２トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第３梁部を有し、第４支持部は、第３方向における第４支持部の厚さが第３方向における第２トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第４梁部を有する。【０００８】
この光学デバイスでは、第１及び第３可動櫛歯電極が、第１方向から見た場合に、第２方向における可動部の一方の側の第１端部よりも第１及び第２トーションバー側に位置しており、第２及び第４可動櫛歯電極が、第１方向から見た場合に、第２方向における可動部の他方の側の第２端部よりも第１及び第２トーションバー側に位置している。これにより、第１方向に平行な軸線を中心線として可動部を大きく揺動させたとしても、互いに隣り合う固定櫛歯間の領域から可動櫛歯の全体が外れるのを抑制することができる。更に、この光学デバイスでは、第１及び第２梁部が形成されることで、第３方向における第１及び第２支持部のそれぞれの厚さが、第３方向における第１トーションバーの厚さよりも大きくなっており、第３及び第４梁部が形成されることで、第３方向における第３及び第４支持部のそれぞれの厚さが、第３方向における第２トーションバーの厚さよりも大きくなっている。これにより、可動部が揺動している際に、第１、第２、第３及び第４支持部が歪むのを抑制することができる。したがって、第１、第２、第３、第４可動櫛歯電極を可動部と一体的に揺動させることができ、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間隔が変動するのを抑制することができる。以上により、信頼性の高い光学デバイスが得られる。【０００９】
本開示の一側面の光学デバイスでは、第１支持部は、第１可動櫛歯電極が設けられた第１本体部を更に有し、第２支持部は、第２可動櫛歯電極が設けられた第２本体部を更に有し、第３支持部は、第３可動櫛歯電極が設けられた第３本体部を更に有し、第４支持部は、第４可動櫛歯電極が設けられた第４本体部を更に有し、第１トーションバー、第１本体部及び第２本体部、並びに、第２トーションバー、第３本体部及び第４本体部は、第１方向に沿って延在していてもよい。これにより、構造の単純化を図りつつ、各部を効率良く配置することができる。【００１０】
本開示の一側面の光学デバイスでは、第１支持部は、第１本体部及び可動部に接続された第１接続部を更に有し、第１接続部は、第１トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈しており、第２支持部は、第２本体部及び可動部に接続された第２接続部を更に有し、第２接続部は、第１トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈しており、第３支持部は、第３本体部及び可動部に接続された第３接続部を更に有し、第３接続部は、第２トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈しており、第４支持部は、第４本体部及び可動部に接続された第４接続部を更に有し、第４接続部は、第２トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈していてもよい。これにより、第１及び第２トーションバーのそれぞれが可動部に接続される部分の設計の自由度を向上させることができる。更に、第１及び第２本体部を第１トーションバーに近付けることができると共に、第３及び第４本体部を第２トーションバーに近付けることができる。そのため、第１方向に平行な軸線を中心線として可動部を大きく揺動させたとしても、互いに隣り合う固定櫛歯間の領域から可動櫛歯の全体が外れるのを抑制することができる。【００１１】
本開示の一側面の光学デバイスでは、第１トーションバーは、第３方向から見た場合に第１トーションバーの外縁及び可動部の外縁の曲率が連続するように、可動部に接続されており、第２トーションバーは、第３方向から見た場合に第２トーションバーの外縁及び可動部の外縁の曲率が連続するように、可動部に接続されていてもよい。これにより、第１及び第２トーションバーのそれぞれが可動部に接続される部分において応力集中が起こり難くなるため、第１及び第２トーションバーが破損するのを抑制することができる。【００１２】
本開示の一側面の光学デバイスは、可動部のうち第１端部を含む部分に設けられ、複数の第５可動櫛歯を有する第５可動櫛歯電極と、可動部のうち第２端部を含む部分に設けられ、複数の第６可動櫛歯を有する第６可動櫛歯電極と、ベースに設けられ、複数の第５可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第５固定櫛歯を有する第５固定櫛歯電極と、ベースに設けられ、複数の第６可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第６固定櫛歯を有する第６固定櫛歯電極と、を更に備え、隣り合う第５可動櫛歯と第５固定櫛歯とは、第１方向において互いに向かい合っており、隣り合う第６可動櫛歯と第６固定櫛歯とは、第１方向において互いに向かい合っていてもよい。この場合、第５可動櫛歯電極と第５固定櫛歯電極との間、及び第６可動櫛歯電極と第６固定櫛歯電極との間のそれぞれに電圧を印加することで、これらの電極を駆動用の電極として用いることができる。このとき、第２方向における第１及び第２トーションバーからの距離については、第１可動櫛歯電極及び第３可動櫛歯電極よりも第５可動櫛歯電極のほうが大きくなり、第２可動櫛歯電極及び第４可動櫛歯電極よりも第６可動櫛歯電極のほうが大きくなる。そのため、駆動用の電極に発生させる静電気力の大きさ（すなわち、駆動用の電極に印加する電圧の大きさ）を大きくしなくても、可動部を揺動させるために必要なトルクを得ることができる。更に、第１可動櫛歯電極と第１固定櫛歯電極との間、第２可動櫛歯電極と第２固定櫛歯電極との間、第３可動櫛歯電極と第３固定櫛歯電極との間、及び第４可動櫛歯電極と第４固定櫛歯電極との間のそれぞれの静電容量を検出することで、これらの電極をモニタ用の電極として用いることができる。このとき、可動部を大きく揺動させたとしても、互いに隣り合う固定櫛歯間の領域から可動櫛歯の全体が外れることが抑制される。そのため、可動部が揺動する範囲の全体において可動部の位置（揺動角度）を把握することができる。【００１３】
本開示の一側面の光学デバイスでは、可動部には、可動櫛歯電極が設けられていなくてもよい。この場合、第１可動櫛歯電極と第１固定櫛歯電極との間、第２可動櫛歯電極と第２固定櫛歯電極との間、第３可動櫛歯電極と第３固定櫛歯電極との間、及び第４可動櫛歯電極と第４固定櫛歯電極との間のそれぞれに電圧を印加することで、これらの電極を駆動用の電極として用いることができる。このとき、可動部を大きく揺動させたとしても、互いに隣り合う固定櫛歯間の領域から可動櫛歯の全体が外れることが抑制される。そのため、印加する電圧の大きさ、周期等、駆動信号の設定の制御性を向上させることができる。更に、第１可動櫛歯電極と第１固定櫛歯電極との間、第２可動櫛歯電極と第２固定櫛歯電極との間、第３可動櫛歯電極と第３固定櫛歯電極との間、及び第４可動櫛歯電極と第４固定櫛歯電極との間のそれぞれの静電容量を検出することで、これらの電極をモニタ用の電極としても用いることができる。このとき、可動部を大きく揺動させたとしても、互いに隣り合う固定櫛歯間の領域から可動櫛歯の全体が外れることが抑制される。そのため、可動部が揺動する範囲の全体において可動部の位置（揺動角度）を把握することができる。【００１４】
本開示の一側面の光学デバイスでは、可動部は、光学機能部が設けられた第５本体部と、第３方向から見た場合に第５本体部を囲むフレームと、第５本体部及びフレームに接続された複数の第５接続部と、第５本体部に設けられた本体梁部と、フレームに沿って延在するフレーム梁部と、を更に有し、第１梁部、第２梁部、第３梁部及び第４梁部は、フレーム梁部に接続されていてもよい。これにより、第１及び第２トーションバーの捩れの影響が光学機能部に伝わり難くなるため、光学機能部が歪むのを抑制することができる。更に、可動部並びに第１、第２、第３及び第４支持部が一体として歪み難くなるため、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間隔が変動するのをより確実に抑制することができる。本開示の一側面の光学デバイスでは、可動部は、複数の第５接続部のそれぞれにおいて本体梁部及びフレーム梁部に接続された接続梁部を更に有してもよい。これにより、光学機能部、並びに、第１、第２、第３及び第４支持部が歪むのをより確実に抑制することができる。【００１５】
本開示の一側面の光学デバイスでは、複数の第５接続部は、可動部の第１端部及び第２端部に対応する位置に配置されていてもよい。これにより、第１及び第２トーションバーの捩れの影響が光学機能部に更に伝わり難くなるため、光学機能部が歪むのをより確実に抑制することができる。【００１６】
本開示の一側面の光学デバイスでは、光学機能部は、ミラーであってもよい。これにより、例えばレーザ光を所定の領域に好適に走査することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本開示によれば、信頼性の高い光学デバイスを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、一実施形態の光学デバイスの平面図である。
【図２】図２は、図１に示される光学デバイスの底面図である。
【図３】図３は、図１に示されるIII−III線に沿っての光学デバイスの断面図である。
【図４】図４は、図１に示されるIV−IV線に沿っての光学デバイスの断面図である。
【図５】図５は、変形例の光学デバイスの平面図である。
【図６】図６は、変形例の光学デバイスの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、各図において、同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する部分を省略する。
【００２０】
図１、図２、図３及び図４に示されるように、光学デバイス１は、ベース５と、可動部７と、第１トーションバー１１と、第２トーションバー１２と、を備えている。光学デバイス１は、ＳＯＩ（Silicon  On  Insulator）基板９によって、ＭＥＭＳデバイスとして構成されている。光学デバイス１は、例えば、矩形板状を呈している。光学デバイス１は、例えば、９ｍｍ×７ｍｍ×０．４ｍｍ（厚さ）程度のサイズを有している。
【００２１】
ベース５は、ＳＯＩ基板９を構成するハンドル層９１、デバイス層９２及び中間層９３の一部によって形成されている。ハンドル層９１は、第１シリコン層である。デバイス層９２は、第２シリコン層である。中間層９３は、ハンドル層９１とデバイス層９２との間に配置された絶縁層である。
【００２２】
可動部７は、軸線Ｌ１と軸線Ｌ２との交点を中心位置（重心位置）として配置されている。軸線Ｌ１は、Ｘ軸方向（Ｘ軸に平行な方向、第１方向）に延在する直線である。軸線Ｌ２は、Ｙ軸方向（Ｙ軸に平行な方向、第１方向に垂直な第２方向）に延在する直線である。可動部７は、Ｚ軸方向（Ｚ軸に平行な方向、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向）から見た場合に、軸線Ｌ１に関して線対称となり且つ軸線Ｌ２に関して線対称となる形状を呈している。
【００２３】
可動部７は、光学機能部７１と、第５本体部７２と、フレーム７３と、複数の第５接続部７４と、本体梁部７５と、フレーム梁部７６と、複数の接続梁部７７と、を有している。光学機能部７１は、第５本体部７２に設けられている。光学機能部７１は、第５本体部７２を構成するデバイス層９２におけるハンドル層９１とは反対側の表面９２ａに形成されたミラーである。このようなミラーは、例えば、第５本体部７２を構成するデバイス層９２の表面９２ａに蒸着によって金属膜を形成することで得られる。
【００２４】
第５本体部７２は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第５本体部７２は、例えば、Ｚ軸方向から見た場合に円形状を呈している。フレーム７３は、Ｚ軸方向から見た場合に第５本体部７２を囲んでいる。フレーム７３は、デバイス層９２の一部によって形成されている。フレーム７３は、例えば、Ｚ軸方向から見た場合に八角形環状を呈している。複数の第５接続部７４は、軸線Ｌ１上における第５本体部７２の両側、及び軸線Ｌ２上における第５本体部７２の両側にそれぞれ配置されている。具体的には、複数の第５接続部７４は、それぞれ、第１端部７ａに対応する位置（第１端部７ａと可動部７の中心位置との間の位置）、第２端部７ｂに対応する位置（第２端部７ｂと可動部７の中心位置との間の位置）、第１トーションバー１１の延長線上の位置、及び第２トーションバー１２の延長線上の位置に配置されている。各第５接続部７４は、第５本体部７２及びフレーム７３に接続されている。各第５接続部７４は、第５本体部７２とフレーム７３との間に架け渡されている。各第５接続部７４は、デバイス層９２の一部によって形成されている。
【００２５】
本体梁部７５は、第５本体部７２の外縁に沿って延在している。本体梁部７５は、ハンドル層９１及び中間層９３の一部によって形成されている。本体梁部７５は、第５本体部７２を構成するデバイス層９２におけるハンドル層９１側の表面９２ｂに形成されている。本体梁部７５は、例えば、Ｚ軸方向から見た場合に円形環状を呈している。フレーム梁部７６は、フレーム７３に沿って延在している。フレーム梁部７６は、ハンドル層９１及び中間層９３の一部によって形成されている。フレーム梁部７６は、フレーム７３を構成するデバイス層９２の表面９２ｂに形成されている。フレーム梁部７６は、例えば、Ｚ軸方向から見た場合に八角形環状を呈している。複数の接続梁部７７は、複数の第５接続部７４にそれぞれ配置されている。各接続梁部７７は、本体梁部７５及びフレーム梁部７６に接続されている。各接続梁部７７は、本体梁部７５とフレーム梁部７６との間に架け渡されている。各接続梁部７７は、ハンドル層９１及び中間層９３の一部によって形成されている。各接続梁部７７は、各第５接続部７４を構成するデバイス層９２の表面９２ｂに形成されている。
【００２６】
第１トーションバー１１は、Ｘ軸方向において可動部７の一方の側に配置されている。第１トーションバー１１は、軸線Ｌ１上においてＸ軸方向に沿って延在している。第１トーションバー１１は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第１トーションバー１１は、ベース５及び可動部７に接続されている。第１トーションバー１１は、ベース５と可動部７（光学デバイス１では、フレーム７３）との間に架け渡されている。第１トーションバー１１は、Ｚ軸方向から見た場合に第１トーションバー１１の外縁及び可動部７の外縁（光学デバイス１では、フレーム７３の外縁）の曲率が連続するように、可動部７に接続されている。具体的には、第１トーションバー１１のうち可動部７に接続される部分は、Ｙ軸方向における当該部分の幅が可動部７に近付くほど大きくなるように当該部分の両側面が凹状に湾曲した形状を呈している。第１トーションバー１１のうちベース５に接続される部分も同様に、Ｙ軸方向における当該部分の幅がベース５に近付くほど大きくなるように当該部分の両側面が凹状に湾曲した形状を呈している。
【００２７】
第２トーションバー１２は、Ｘ軸方向において可動部７の他方の側に配置されている。第２トーションバー１２は、軸線Ｌ１上においてＸ軸方向に沿って延在している。第２トーションバー１２は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第２トーションバー１２は、ベース５及び可動部７に接続されている。第２トーションバー１２は、ベース５と可動部７（光学デバイス１では、フレーム７３）との間に架け渡されている。第２トーションバー１２は、Ｚ軸方向から見た場合に第２トーションバー１２の外縁及び可動部７の外縁（光学デバイス１では、フレーム７３の外縁）の曲率が連続するように、可動部７に接続されている。具体的には、第２トーションバー１２のうち可動部７に接続される部分は、Ｙ軸方向における当該部分の幅が可動部７に近付くほど大きくなるように当該部分の両側面が凹状に湾曲した形状を呈している。第２トーションバー１２のうちベース５に接続される部分も同様に、Ｙ軸方向における当該部分の幅がベース５に近付くほど大きくなるように当該部分の両側面が凹状に湾曲した形状を呈している。
【００２８】
光学デバイス１は、第１支持部２１と、第２支持部２２と、第３支持部２３と、第４支持部２４と、を更に備えている。第１支持部２１は、Ｙ軸方向において第１トーションバー１１の一方の側に配置されており、可動部７に接続されている。第２支持部２２は、Ｙ軸方向において第１トーションバー１１の他方の側に配置されており、可動部７に接続されている。第３支持部２３は、Ｙ軸方向において第２トーションバー１２の一方の側に配置されており、可動部７に接続されている。第４支持部２４は、Ｙ軸方向において第２トーションバー１２の他方の側に配置されており、第４支持部２４は、可動部７に接続されている。
【００２９】
第１支持部２１は、第１本体部２１ａと、第１接続部２１ｂと、第１梁部２１ｃと、を有している。第１本体部２１ａは、第１本体部２１ａと第１トーションバー１１との間に隙間が形成された状態で、Ｘ軸方向に沿って延在している。第１本体部２１ａは、デバイス層９２の一部によって形成されている。第１接続部２１ｂは、第１本体部２１ａ及び可動部７に接続されている。第１接続部２１ｂは、第１本体部２１ａと可動部７（光学デバイス１では、フレーム７３）との間に架け渡されている。第１接続部２１ｂは、デバイス層９２の一部によって形成されている。第１接続部２１ｂは、第１トーションバー１１のうち可動部７に接続される部分から離れるように屈曲した形状を呈している。第１梁部２１ｃは、Ｚ軸方向における第１支持部２１の厚さがＺ軸方向における第１トーションバー１１の厚さよりも大きくなるように、第１本体部２１ａ及び第１接続部２１ｂに形成されている。第１梁部２１ｃは、第１本体部２１ａと第１接続部２１ｂとに渡って延在しており、フレーム梁部７６に接続されている。第１梁部２１ｃは、ハンドル層９１及び中間層９３の一部によって形成されている。Ｙ軸方向における第１梁部２１ｃの幅は、Ｙ軸方向における第１本体部２１ａの幅よりも小さい。第１梁部２１ｃは、第１本体部２１ａ及び第１接続部２１ｂを構成するデバイス層９２の表面９２ｂに形成されている。光学デバイス１では、第１梁部２１ｃは、Ｚ軸方向において、第１及び第２トーションバー１１，１２を構成するデバイス層９２の表面９２ｂから突出した部分である。
【００３０】
第２支持部２２は、第２本体部２２ａと、第２接続部２２ｂと、第２梁部２２ｃと、を有している。第２本体部２２ａは、第２本体部２２ａと第１トーションバー１１との間に隙間が形成された状態で、Ｘ軸方向に沿って延在している。第２本体部２２ａは、デバイス層９２の一部によって形成されている。第２接続部２２ｂは、第２本体部２２ａ及び可動部７に接続されている。第２接続部２２ｂは、第２本体部２２ａと可動部７（光学デバイス１では、フレーム７３）との間に架け渡されている。第２接続部２２ｂは、デバイス層９２の一部によって形成されている。第２接続部２２ｂは、第１トーションバー１１のうち可動部７に接続される部分から離れるように屈曲した形状を呈している。第２梁部２２ｃは、Ｚ軸方向における第２支持部２２の厚さがＺ軸方向における第１トーションバー１１の厚さよりも大きくなるように、第２本体部２２ａ及び第２接続部２２ｂに形成されている。第２梁部２２ｃは、第２本体部２２ａと第２接続部２２ｂとに渡って延在しており、フレーム梁部７６に接続されている。第２梁部２２ｃは、ハンドル層９１及び中間層９３の一部によって形成されている。Ｙ軸方向における第２梁部２２ｃの幅は、Ｙ軸方向における第２本体部２２ａの幅よりも小さい。第２梁部２２ｃは、第２本体部２２ａ及び第２接続部２２ｂを構成するデバイス層９２の表面９２ｂに形成されている。光学デバイス１では、第２梁部２２ｃは、Ｚ軸方向において、第１及び第２トーションバー１１，１２を構成するデバイス層９２の表面９２ｂから突出した部分である。
【００３１】
第３支持部２３は、第３本体部２３ａと、第３接続部２３ｂと、第３梁部２３ｃと、を有している。第３本体部２３ａは、第３本体部２３ａと第２トーションバー１２との間に隙間が形成された状態で、Ｘ軸方向に沿って延在している。第３本体部２３ａは、デバイス層９２の一部によって形成されている。第３接続部２３ｂは、第３本体部２３ａ及び可動部７に接続されている。第３接続部２３ｂは、第３本体部２３ａと可動部７（光学デバイス１では、フレーム７３）との間に架け渡されている。第３接続部２３ｂは、デバイス層９２の一部によって形成されている。第３接続部２３ｂは、第２トーションバー１２のうち可動部７に接続される部分から離れるように屈曲した形状を呈している。第３梁部２３ｃは、Ｚ軸方向における第３支持部２３の厚さがＺ軸方向における第２トーションバー１２の厚さよりも大きくなるように、第３本体部２３ａ及び第３接続部２３ｂに形成されている。第３梁部２３ｃは、第３本体部２３ａと第３接続部２３ｂとに渡って延在しており、フレーム梁部７６に接続されている。第３梁部２３ｃは、ハンドル層９１及び中間層９３の一部によって形成されている。Ｙ軸方向における第３梁部２３ｃの幅は、Ｙ軸方向における第３本体部２３ａの幅よりも小さい。第３梁部２３ｃは、第３本体部２３ａ及び第３接続部２３ｂを構成するデバイス層９２の表面９２ｂに形成されている。光学デバイス１では、第３梁部２３ｃは、Ｚ軸方向において、第１及び第２トーションバー１１，１２を構成するデバイス層９２の表面９２ｂから突出した部分である。
【００３２】
第４支持部２４は、第４本体部２４ａと、第４接続部２４ｂと、第４梁部２４ｃと、を有している。第４本体部２４ａは、第４本体部２４ａと第２トーションバー１２との間に隙間が形成された状態で、Ｘ軸方向に沿って延在している。第４本体部２４ａは、デバイス層９２の一部によって形成されている。第４接続部２４ｂは、第４本体部２４ａ及び可動部７に接続されている。第４接続部２４ｂは、第４本体部２４ａと可動部７（光学デバイス１では、フレーム７３）との間に架け渡されている。第４接続部２４ｂは、デバイス層９２の一部によって形成されている。第４接続部２４ｂは、第２トーションバー１２のうち可動部７に接続される部分から離れるように屈曲した形状を呈している。第４梁部２４ｃは、Ｚ軸方向における第４支持部２４の厚さがＺ軸方向における第２トーションバー１２の厚さよりも大きくなるように、第４本体部２４ａ及び第４接続部２４ｂに形成されている。第４梁部２４ｃは、第４本体部２４ａと第４接続部２４ｂとに渡って延在しており、フレーム梁部７６に接続されている。第４梁部２４ｃは、ハンドル層９１及び中間層９３の一部によって形成されている。Ｙ軸方向における第４梁部２４ｃの幅は、Ｙ軸方向における第４本体部２４ａの幅よりも小さい。第４梁部２４ｃは、第４本体部２４ａ及び第４接続部２４ｂを構成するデバイス層９２の表面９２ｂに形成されている。光学デバイス１では、第４梁部２４ｃは、Ｚ軸方向において、第１及び第２トーションバー１１，１２を構成するデバイス層９２の表面９２ｂから突出した部分である。
【００３３】
光学デバイス１は、第１可動櫛歯電極３１と、第２可動櫛歯電極３２と、第３可動櫛歯電極３３と、第４可動櫛歯電極３４と、第５可動櫛歯電極３５と、第６可動櫛歯電極３６と、を更に備えている。第１可動櫛歯電極３１は、第１支持部２１の第１本体部２１ａに設けられている。第２可動櫛歯電極３２は、第２支持部２２の第２本体部２２ａに設けられている。第３可動櫛歯電極３３は、第３支持部２３の第３本体部２３ａに設けられている。第４可動櫛歯電極３４は、第４支持部２４の第４本体部２４ａに設けられている。第５可動櫛歯電極３５は、可動部７のうち第１端部７ａを含む部分に設けられている。第１端部７ａは、Ｙ軸方向における可動部７の一方の側の端部である。光学デバイス１では、フレーム７３のうち、第１支持部２１の第１接続部２１ｂと第３支持部２３の第３接続部２３ｂとの間の部分であって、第１端部７ａを含む部分に、第５可動櫛歯電極３５が設けられている。第６可動櫛歯電極３６は、可動部７のうち第２端部７ｂを含む部分に設けられている。第２端部７ｂは、Ｙ軸方向における可動部７の他方の側の端部である。光学デバイス１では、フレーム７３のうち、第２支持部２２の第２接続部２２ｂと第４支持部２４の第４接続部２４ｂとの間の部分であって、第２端部７ｂを含む部分に、第６可動櫛歯電極３６が設けられている。
【００３４】
第１可動櫛歯電極３１は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第１可動櫛歯電極３１は、Ｘ軸方向から見た場合に、第１支持部２１の第１本体部２１ａと可動部７の第１端部７ａとの間に配置されている。第１可動櫛歯電極３１は、複数の第１可動櫛歯３１ａを有している。各第１可動櫛歯３１ａは、第１支持部２１の第１本体部２１ａにおける第１トーションバー１１とは反対側の側面に設けられている。各第１可動櫛歯３１ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。複数の第１可動櫛歯３１ａは、Ｘ軸方向において互いに隣り合う第１可動櫛歯３１ａ間の間隔が一定となるように配列されている。
【００３５】
第２可動櫛歯電極３２は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第２可動櫛歯電極３２は、Ｘ軸方向から見た場合に、第２支持部２２の第２本体部２２ａと可動部７の第２端部７ｂとの間に配置されている。第２可動櫛歯電極３２は、複数の第２可動櫛歯３２ａを有している。各第２可動櫛歯３２ａは、第２支持部２２の第２本体部２２ａにおける第１トーションバー１１とは反対側の側面に設けられている。各第２可動櫛歯３２ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。複数の第２可動櫛歯３２ａは、Ｘ軸方向において互いに隣り合う第２可動櫛歯３２ａ間の間隔が一定となるように配列されている。
【００３６】
第３可動櫛歯電極３３は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第３可動櫛歯電極３３は、Ｘ軸方向から見た場合に、第３支持部２３の第３本体部２３ａと可動部７の第１端部７ａとの間に配置されている。第３可動櫛歯電極３３は、複数の第３可動櫛歯３３ａを有している。各第３可動櫛歯３３ａは、第３支持部２３の第３本体部２３ａにおける第２トーションバー１２とは反対側の側面に設けられている。各第３可動櫛歯３３ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。複数の第３可動櫛歯３３ａは、Ｘ軸方向において互いに隣り合う第３可動櫛歯３３ａ間の間隔が一定となるように配列されている。
【００３７】
第４可動櫛歯電極３４は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第４可動櫛歯電極３４は、Ｘ軸方向から見た場合に、第４支持部２４の第４本体部２４ａと可動部７の第２端部７ｂとの間に配置されている。第４可動櫛歯電極３４は、複数の第４可動櫛歯３４ａを有している。各第４可動櫛歯３４ａは、第４支持部２４の第４本体部２４ａにおける第２トーションバー１２とは反対側の側面に設けられている。各第４可動櫛歯３４ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。複数の第４可動櫛歯３４ａは、Ｘ軸方向において互いに隣り合う第４可動櫛歯３４ａ間の間隔が一定となるように配列されている。
【００３８】
第５可動櫛歯電極３５は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第５可動櫛歯電極３５は、複数の第５可動櫛歯３５ａを有している。各第５可動櫛歯３５ａは、フレーム７３のうち第１端部７ａを含む部分における第５本体部７２とは反対側の側面に設けられている。各第５可動櫛歯３５ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。複数の第５可動櫛歯３５ａは、Ｘ軸方向において互いに隣り合う第５可動櫛歯３５ａ間の間隔が一定となるように配列されている。
【００３９】
第６可動櫛歯電極３６は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第６可動櫛歯電極３６は、複数の第６可動櫛歯３６ａを有している。各第６可動櫛歯３６ａは、フレーム７３のうち第２端部７ｂを含む部分における第５本体部７２とは反対側の側面に設けられている。各第６可動櫛歯３６ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。複数の第６可動櫛歯３６ａは、Ｘ軸方向において互いに隣り合う第６可動櫛歯３６ａ間の間隔が一定となるように配列されている。
【００４０】
光学デバイス１は、第１固定櫛歯電極４１と、第２固定櫛歯電極４２と、第３固定櫛歯電極４３と、第４固定櫛歯電極４４と、第５固定櫛歯電極４５と、第６固定櫛歯電極４６と、を更に備えている。第１固定櫛歯電極４１、第２固定櫛歯電極４２、第３固定櫛歯電極４３、第４固定櫛歯電極４４、第５固定櫛歯電極４５及び第６固定櫛歯電極４６は、ベース５に設けられている。
【００４１】
第１固定櫛歯電極４１は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第１固定櫛歯電極４１は、複数の第１固定櫛歯４１ａを有している。各第１固定櫛歯４１ａは、複数の第１可動櫛歯３１ａが設けられた第１本体部２１ａの側面と対向するベース５の側面に設けられている。各第１固定櫛歯４１ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。複数の第１固定櫛歯４１ａは、Ｘ軸方向において互いに隣り合う第１固定櫛歯４１ａ間の間隔が一定となるように配列されており、複数の第１可動櫛歯３１ａと互い違いに配置されている。隣り合う第１可動櫛歯３１ａと第１固定櫛歯４１ａとは、Ｘ軸方向において互いに向かい合っている。隣り合う第１可動櫛歯３１ａと第１固定櫛歯４１ａとの間隔は、例えば、数μｍ程度である。
【００４２】
第２固定櫛歯電極４２は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第２固定櫛歯電極４２は、複数の第２固定櫛歯４２ａを有している。各第２固定櫛歯４２ａは、複数の第２可動櫛歯３２ａが設けられた第２本体部２２ａの側面と対向するベース５の側面に設けられている。各第２固定櫛歯４２ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。複数の第２固定櫛歯４２ａは、Ｘ軸方向において互いに隣り合う第２固定櫛歯４２ａ間の間隔が一定となるように配列されており、複数の第２可動櫛歯３２ａと互い違いに配置されている。隣り合う第２可動櫛歯３２ａと第２固定櫛歯４２ａとは、Ｘ軸方向において互いに向かい合っている。隣り合う第２可動櫛歯３２ａと第２固定櫛歯４２ａとの間隔は、例えば、数μｍ程度である。
【００４３】
第３固定櫛歯電極４３は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第３固定櫛歯電極４３は、複数の第３固定櫛歯４３ａを有している。各第３固定櫛歯４３ａは、複数の第３可動櫛歯３３ａが設けられた第３本体部２３ａの側面と対向するベース５の側面に設けられている。各第３固定櫛歯４３ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。複数の第３固定櫛歯４３ａは、Ｘ軸方向において互いに隣り合う第３固定櫛歯４３ａ間の間隔が一定となるように配列されており、複数の第３可動櫛歯３３ａと互い違いに配置されている。隣り合う第３可動櫛歯３３ａと第３固定櫛歯４３ａとは、Ｘ軸方向において互いに向かい合っている。隣り合う第３可動櫛歯３３ａと第３固定櫛歯４３ａとの間隔は、例えば、数μｍ程度である。
【００４４】
第４固定櫛歯電極４４は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第４固定櫛歯電極４４は、複数の第４固定櫛歯４４ａを有している。各第４固定櫛歯４４ａは、複数の第４可動櫛歯３４ａが設けられた第４本体部２４ａの側面と対向するベース５の側面に設けられている。各第４固定櫛歯４４ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。複数の第４固定櫛歯４４ａは、Ｘ軸方向において互いに隣り合う第４固定櫛歯４４ａ間の間隔が一定となるように配列されており、複数の第４可動櫛歯３４ａと互い違いに配置されている。隣り合う第４可動櫛歯３４ａと第４固定櫛歯４４ａとは、Ｘ軸方向において互いに向かい合っている。隣り合う第４可動櫛歯３４ａと第４固定櫛歯４４ａとの間隔は、例えば、数μｍ程度である。
【００４５】
第５固定櫛歯電極４５は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第５固定櫛歯電極４５は、複数の第５固定櫛歯４５ａを有している。各第５固定櫛歯４５ａは、複数の第５可動櫛歯３５ａが設けられたフレーム７３の側面と対向するベース５の側面に設けられている。各第５固定櫛歯４５ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。複数の第５固定櫛歯４５ａは、Ｘ軸方向において互いに隣り合う第５固定櫛歯４５ａ間の間隔が一定となるように配列されており、複数の第５可動櫛歯３５ａと互い違いに配置されている。隣り合う第５可動櫛歯３５ａと第５固定櫛歯４５ａとは、Ｘ軸方向において互いに向かい合っている。隣り合う第５可動櫛歯３５ａと第５固定櫛歯４５ａとの間隔は、例えば、数μｍ程度である。
【００４６】
第６固定櫛歯電極４６は、デバイス層９２の一部によって形成されている。第６固定櫛歯電極４６は、複数の第６固定櫛歯４６ａを有している。各第６固定櫛歯４６ａは、複数の第６可動櫛歯３６ａが設けられたフレーム７３の側面と対向するベース５の側面に設けられている。各第６固定櫛歯４６ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。複数の第６固定櫛歯４６ａは、Ｘ軸方向において互いに隣り合う第６固定櫛歯４６ａ間の間隔が一定となるように配列されており、複数の第６可動櫛歯３６ａと互い違いに配置されている。隣り合う第６可動櫛歯３６ａと第６固定櫛歯４６ａとは、Ｘ軸方向において互いに向かい合っている。隣り合う第６可動櫛歯３６ａと第６固定櫛歯４６ａとの間隔は、例えば、数μｍ程度である。
【００４７】
ベース５を構成するデバイス層９２の表面９２ａには、複数の電極パッド２，３，４が設けられている。ベース５を構成するデバイス層９２には、その一部が溝によって画定されることで、複数の配線部５１，５２，５３が形成されている。各電極パッド２は、各配線部５１を介して、第１可動櫛歯電極３１、第２可動櫛歯電極３２、第３可動櫛歯電極３３、第４可動櫛歯電極３４、第５可動櫛歯電極３５及び第６可動櫛歯電極３６と電気的に接続されている。第５固定櫛歯電極４５の近傍に位置する電極パッド３は、第５固定櫛歯電極４５の近傍に位置する配線部５２を介して、第５固定櫛歯電極４５に電気的に接続されている。第６固定櫛歯電極４６の近傍に位置する電極パッド３は、第６固定櫛歯電極４６の近傍に位置する配線部５２を介して、第６固定櫛歯電極４６と電気的に接続されている。第１固定櫛歯電極４１の近傍に位置する電極パッド４は、第１固定櫛歯電極４１の近傍に位置する配線部５３を介して、第１固定櫛歯電極４１と電気的に接続されている。第２固定櫛歯電極４２の近傍に位置する電極パッド４は、第２固定櫛歯電極４２の近傍に位置する配線部５３を介して、第２固定櫛歯電極４２と電気的に接続されている。第３固定櫛歯電極４３の近傍に位置する電極パッド４は、第３固定櫛歯電極４３の近傍に位置する配線部５３を介して、第３固定櫛歯電極４３と電気的に接続されている。第４固定櫛歯電極４４の近傍に位置する電極パッド４は、第４固定櫛歯電極４４の近傍に位置する配線部５３を介して、第４固定櫛歯電極４４と電気的に接続されている。なお、図３及び図４では、複数の電極パッド２，３，４の図示が省略されている。
【００４８】
第５可動櫛歯電極３５及び第５固定櫛歯電極４５、並びに、第６可動櫛歯電極３６及び第６固定櫛歯電極４６は、駆動用の電極として用いられる。具体的には、複数の電極パッド２，３を介して、第５可動櫛歯電極３５と第５固定櫛歯電極４５との間、及び第６可動櫛歯電極３６と第６固定櫛歯電極４６との間のそれぞれに電圧が周期的に印加される。これにより、第５可動櫛歯電極３５と第５固定櫛歯電極４５との間、及び第６可動櫛歯電極３６と第６固定櫛歯電極４６との間のそれぞれに静電気力が発生し、当該静電気力と、第１トーションバー１１及び第２トーションバー１２に発生する反発力との協働によって、軸線Ｌ１を中心線として可動部７が揺動する（すなわち、光学機能部７１が揺動する）。
【００４９】
第１可動櫛歯電極３１及び第１固定櫛歯電極４１、第２可動櫛歯電極３２及び第２固定櫛歯電極４２、第３可動櫛歯電極３３及び第３固定櫛歯電極４３、並びに、第４可動櫛歯電極３４及び第４固定櫛歯電極４４は、モニタ用の電極として用いられる。具体的には、複数の電極パッド２，４を介して、第１可動櫛歯電極３１と第１固定櫛歯電極４１との間、第２可動櫛歯電極３２と第２固定櫛歯電極４２との間、第３可動櫛歯電極３３と第３固定櫛歯電極４３との間、及び第４可動櫛歯電極３４と第４固定櫛歯電極４４との間のそれぞれの静電容量が検出される。当該静電容量は、可動部７の揺動角度（すなわち、光学機能部７１の揺動角度）に応じて変化する。したがって、検出された静電容量に応じて駆動信号（印加する電圧の大きさ、周期等）を調整することで、可動部７の揺動角度（すなわち、光学機能部７１の揺動角度）をフィードバック制御することができる。
【００５０】
光学デバイス１では、光学機能部７１及び複数の電極パッド３，４を除く部分が、ＭＥＭＳ技術（パターニング及びエッチング）によってＳＯＩ基板９において一体的に形成されている。光学デバイス１では、少なくとも、ＳＯＩ基板９において一体的に形成された部分が、Ｚ軸方向から見た場合に、軸線Ｌ１に関して線対称となり且つ軸線Ｌ２に関して線対称となる形状を呈している。
【００５１】
以上説明したように、光学デバイス１では、第１及び第３可動櫛歯電極３１，３３が、Ｘ軸方向から見た場合に、可動部７の第１端部７ａよりも第１及び第２トーションバー１１，１２側に位置しており、第２及び第４可動櫛歯電極３２，３４が、Ｘ軸方向から見た場合に、可動部７の第２端部７ｂよりも第１及び第２トーションバー１１，１２側に位置している。これにより、軸線Ｌ１を中心線として可動部７を大きく揺動させたとしても、互いに隣り合う固定櫛歯（第１固定櫛歯４１ａ、第２固定櫛歯４２ａ、第３固定櫛歯４３ａ及び第４固定櫛歯４４ａのそれぞれ）間の領域から可動櫛歯（第１可動櫛歯３１ａ、第２可動櫛歯３２ａ、第３可動櫛歯３３ａ及び第４可動櫛歯３４ａのそれぞれ）の全体が外れるのを抑制することができる。更に、光学デバイス１では、第１及び第２梁部２１ｃ，２２ｃが形成されることで、Ｚ軸方向における第１及び第２支持部２１，２２のそれぞれの厚さが、Ｚ軸方向における第１トーションバー１１の厚さよりも大きくなっており、第３及び第４梁部２３ｃ，２４ｃが形成されることで、Ｚ軸方向における第３及び第４支持部２３，２４のそれぞれの厚さが、Ｚ軸方向における第２トーションバー１２の厚さよりも大きくなっている。これにより、可動部７が揺動している際に、第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４が歪むのを抑制することができる。したがって、第１、第２、第３、第４可動櫛歯電極３１，３２，３３，３４を可動部７と一体的に揺動させることができ、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間隔が変動するのを抑制することができる。以上により、信頼性の高い光学デバイス１が得られる。
【００５２】
なお、第１、第２、第３、第４支持部２１，２２，２３，２４が歪むのを抑制するために、Ｙ軸方向における第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４の幅を大きくすることも考えられるが、Ｙ軸方向における第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４の幅を大きくすることには、次のようなデメリットがある。すなわち、可動部７の揺動に起因する第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４の変形については、Ｙ軸方向における第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４の幅を大きくすることに比べ、Ｚ軸方向における第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４の厚さ大きくすることのほうが、当該変形を抑制する上で大きな効果がある。そのため、Ｚ軸方向における第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４の厚さ大きくすることと同程度の効果が得られるように、Ｙ軸方向における第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４の幅を大きくすると、第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４の質量が大きくなり、共振周波数レベルで可動部７を揺動させる上で不利となる。また、Ｙ軸方向において第１及び第２トーションバー１１，１２から第１、第２、第３、第４可動櫛歯電極３１，３２，３３，３４のそれぞれに至る距離は、Ｙ軸方向における第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４の幅を大きくした分だけ大きくなる。そのため、互いに隣り合う固定櫛歯間の領域から可動櫛歯の全体が外れるのを抑制しようとすると、可動部７の揺動角度が制限されてしまう。光学デバイス１のように、Ｚ軸方向における第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４の厚さ大きくすれば、以上のようなデメリットを回避しつつ、第１、第２、第３、第４支持部２１，２２，２３，２４が歪むのを抑制することができる。
【００５３】
また、光学デバイス１では、少なくとも、ＳＯＩ基板９において一体的に形成された部分であって、複数の電極パッド３，４を除く部分が、Ｚ軸方向から見た場合に、軸線Ｌ１に関して線対称となり且つ軸線Ｌ２に関して線対称となる形状を呈している。これにより、軸線Ｌ１を中心線として可動部７をバランス良く揺動させることができる。
【００５４】
また、光学デバイス１では、第１トーションバー１１、第１支持部２１の第１本体部２１ａ及び第２支持部２２の第２本体部２２ａ、並びに、第２トーションバー１２、第３支持部２３の第３本体部２３ａ及び第４支持部２４の第４本体部２４ａが、Ｘ軸方向に沿って延在している。これにより、構造の単純化を図りつつ、各部を効率良く配置することができる。
【００５５】
また、光学デバイス１では、第１支持部２１の第１接続部２１ｂが、第１トーションバー１１から離れるように屈曲した形状を呈しており、第２支持部２２の第２接続部２２ｂが、第１トーションバー１１から離れるように屈曲した形状を呈しており、第３支持部２３の第３接続部２３ｂが、第２トーションバー１２から離れるように屈曲した形状を呈しており、第４支持部２４の第４接続部２４ｂが、第２トーションバー１２から離れるように屈曲した形状を呈している。これにより、第１及び第２トーションバー１１，１２のそれぞれが可動部７に接続される部分の設計の自由度を向上させることができる。更に、第１及び第２本体部２１ａ，２２ａを第１トーションバー１１に近付けることができると共に、第３及び第４本体部２３ａ，２４ａを第２トーションバー１２に近付けることができる。そのため、軸線Ｌ１を中心線として可動部７を大きく揺動させたとしても、互いに隣り合う固定櫛歯間の領域から可動櫛歯の全体が外れるのを抑制することができる。
【００５６】
また、光学デバイス１では、第１トーションバー１１が、Ｚ軸方向から見た場合に第１トーションバー１１の外縁及び可動部７の外縁の曲率が連続するように、可動部７に接続されており、第２トーションバー１２が、Ｚ軸方向から見た場合に第２トーションバー１２の外縁及び可動部７の外縁の曲率が連続するように、可動部７に接続されている。これにより、第１及び第２トーションバー１１，１２のそれぞれが可動部７に接続される部分において応力集中が起こり難くなるため、第１及び第２トーションバー１１，１２が破損するのを抑制することができる。
【００５７】
また、光学デバイス１では、第５可動櫛歯電極３５と第５固定櫛歯電極４５との間、及び第６可動櫛歯電極３６と第６固定櫛歯電極４６との間のそれぞれに電圧を印加することで、これらの電極を駆動用の電極として用いることができる。このとき、Ｙ軸方向における第１及び第２トーションバー１１，１２からの距離については、第１可動櫛歯電極３１及び第３可動櫛歯電極３３よりも第５可動櫛歯電極３５のほうが大きくなり、第２可動櫛歯電極３２及び第４可動櫛歯電極３４よりも第６可動櫛歯電極３６のほうが大きくなる。そのため、駆動用の電極に発生させる静電気力の大きさ（すなわち、駆動用の電極に印加する電圧の大きさ）を大きくしなくても、可動部７を揺動させるために必要なトルクを得ることができる。更に、第１可動櫛歯電極３１と第１固定櫛歯電極４１との間、第２可動櫛歯電極３２と第２固定櫛歯電極４２との間、第３可動櫛歯電極３３と第３固定櫛歯電極４３との間、及び第４可動櫛歯電極３４と第４固定櫛歯電極４４との間のそれぞれの静電容量を検出することで、これらの電極をモニタ用の電極として用いることができる。このとき、可動部７を大きく揺動させたとしても、互いに隣り合う固定櫛歯間の領域から可動櫛歯の全体が外れることが抑制される。そのため、可動部７が揺動する範囲の全体において可動部７の位置（揺動角度）を把握することができる。
【００５８】
また、光学デバイス１では、第５本体部７２に設けられた本体梁部７５、フレーム７３に沿って延在するフレーム梁部７６、並びに、各第５接続部７４において本体梁部７５及びフレーム梁部７６に接続された接続梁部７７が可動部７に設けられており、第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４がそれぞれ有する第１、第２、第３及び第４梁部２１ｃ，２２ｃ，２３ｃ，２４ｃが、フレーム梁部７６に接続されている。これにより、第１及び第２トーションバー１１，１２の捩れの影響が光学機能部７１に伝わり難くなるため、光学機能部７１が歪むのをより確実に抑制することができる。更に、可動部７並びに第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４が一体として歪み難くなるため、互いに隣り合う可動櫛歯と固定櫛歯との間隔が変動するのをより確実に抑制することができる。
【００５９】
また、光学デバイス１では、複数の第５接続部７４が、それぞれ、第１端部７ａに対応する位置（第１端部７ａと可動部７の中心位置との間の位置）、第２端部７ｂに対応する位置（第２端部７ｂと可動部７の中心位置との間の位置）、第１トーションバー１１の延長線上の位置、及び第２トーションバー１２の延長線上の位置に配置されている。これにより、共振周波数レベルで可動部７を揺動させる際に、可動部７の揺動の共振周波数と他のモードの共振周波数との差を大きくして、可動部７の揺動に他のモードが重畳するのを抑制することができる。
【００６０】
また、光学デバイス１では、光学機能部７１がミラーである。これにより、例えばレーザ光を所定の領域に好適に走査することができる。
【００６１】
以上、本開示の一実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限定されない。例えば、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。一例として、Ｙ軸方向における第１、第２、第３及び第４梁部２１ｃ，２２ｃ，２３ｃ，２４ｃの幅は、それぞれ、Ｙ軸方向における第１、第２、第３及び第４本体部２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａの幅と同じであってもよい。また、第１、第２、第３及び第４梁部２１ｃ，２２ｃ，２３ｃ，２４ｃは、Ｘ軸方向に対して斜めに延在していたり、ジグザグ状に延在していたりしてもよい。ただし、その場合にも、軸線Ｌ１を中心線として可動部７をバランス良く揺動させる観点から、第１、第２、第３及び第４梁部２１ｃ，２２ｃ，２３ｃ，２４ｃは、Ｚ軸方向から見た場合に、軸線Ｌ１に関して線対称となり且つ軸線Ｌ２に関して線対称となる形状を呈していることが好ましい。
【００６２】
また、図５に示されるように、可動部７において、複数の第５接続部７４は、それぞれ、第１端部７ａに対応する位置（第１端部７ａと可動部７の中心位置との間の位置）、及び第２端部７ｂに対応する位置（第２端部７ｂと可動部７の中心位置との間の位置）に配置されており、第１トーションバー１１の延長線上の位置、及び第２トーションバー１２の延長線上の位置に配置されていなくてもよい。この場合、第１及び第２トーションバー１１，１２の捩れの影響が光学機能部７１に更に伝わり難くなるため、光学機能部７１が歪むのをより確実に抑制することができる。
【００６３】
また、図６に示されるように、光学デバイス１は、第５及び第６可動櫛歯電極３５，３６と、第５及び第６固定櫛歯電極４５，４６と、を備えていなくてもよい。つまり、可動部７に可動櫛歯電極が設けられていなくてもよい。この場合、第１可動櫛歯電極３１と第１固定櫛歯電極４１との間、第２可動櫛歯電極３２と第２固定櫛歯電極４２との間、第３可動櫛歯電極３３と第３固定櫛歯電極４３との間、及び第４可動櫛歯電極３４と第４固定櫛歯電極４４との間のそれぞれに電圧を印加することで、これらの電極を駆動用の電極として用いることができる。このとき、可動部７を大きく揺動させたとしても、互いに隣り合う固定櫛歯間の領域から可動櫛歯の全体が外れることが抑制される。そのため、印加する電圧の大きさ、周期等、駆動信号の設定の制御性を向上させることができる。更に、第１可動櫛歯電極３１と第１固定櫛歯電極４１との間、第２可動櫛歯電極３２と第２固定櫛歯電極４２との間、第３可動櫛歯電極３３と第３固定櫛歯電極４３との間、及び第４可動櫛歯電極３４と第４固定櫛歯電極４４との間のそれぞれの静電容量を検出することで、これらの電極をモニタ用の電極としても用いることができる。このとき、可動部７を大きく揺動させたとしても、互いに隣り合う固定櫛歯間の領域から可動櫛歯の全体が外れることが抑制される。そのため、可動部７が揺動する範囲の全体において可動部７の位置（揺動角度）を把握することができる。また、この場合、可動部７の構造の単純化を図ることができる。更に、可動部７の軽量化、延いては、可動部７の揺動の共振周波数の向上を図り、可動部７をより高速で揺動させることができる。
【００６４】
光学機能部７１は、ミラー以外であってもよく、例えば、レンズ等の光学素子が配置されていてもよい。また、本体梁部７５は、第５本体部７２の外縁に沿って延在するものに限定されず、例えば、第５本体部７２を横切るように延在するものであってもよい。また、可動部７は、各第５接続部７４において本体梁部７５及びフレーム梁部７６に接続された接続梁部７７を有していなくてもよい。その場合にも、光学機能部７１、並びに、第１、第２、第３及び第４支持部２１，２２，２３，２４が歪むのを確実に抑制することができる。また、隣り合う第１可動櫛歯３１ａと第１固定櫛歯４１ａとが、Ｘ軸方向において互いに向かい合っていれば、第１可動櫛歯３１ａ及び第１固定櫛歯４１ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在していなくてもよい。一例として、第１可動櫛歯３１ａ及び第１固定櫛歯４１ａは、Ｘ軸方向に垂直な平面に対して傾斜して延在していてもよいし、或いは、Ｚ軸方向から見た場合に弧状に湾曲した形状を呈していてもよい。つまり、互いに向かい合う第１可動櫛歯３１ａの側面と第１固定櫛歯４１ａの側面とが、Ｘ軸方向において互いに向かい合っていればよい。これらの点は、第２可動櫛歯３２ａ及び第２固定櫛歯４２ａ、第３可動櫛歯３３ａ及び第３固定櫛歯４３ａ、第４可動櫛歯３４ａ及び第４固定櫛歯４４ａ、第５可動櫛歯３５ａ及び第５固定櫛歯４５ａ、第５可動櫛歯３５ａ及び第５固定櫛歯４５ａのそれぞれについても同様である。
【符号の説明】
【００６５】
１…光学デバイス、５…ベース、７…可動部、７ａ…第１端部、７ｂ…第２端部、１１…第１トーションバー、１２…第２トーションバー、２１…第１支持部、２１ａ…第１本体部、２１ｂ…第１接続部、２１ｃ…第１梁部、２２…第２支持部、２２ａ…第２本体部、２２ｂ…第２接続部、２２ｃ…第２梁部、２３…第３支持部、２３ａ…第３本体部、２３ｂ…第３接続部、２３ｃ…第３梁部、２４…第４支持部、２４ａ…第４本体部、２４ｂ…第４接続部、２４ｃ…第４梁部、３１…第１可動櫛歯電極、３１ａ…第１可動櫛歯、３２…第２可動櫛歯電極、３２ａ…第２可動櫛歯、３３…第３可動櫛歯電極、３３ａ…第３可動櫛歯、３４…第４可動櫛歯電極、３４ａ…第４可動櫛歯、３５…第５可動櫛歯電極、３５ａ…第５可動櫛歯、３６…第６可動櫛歯電極、３６ａ…第６可動櫛歯、４１…第１固定櫛歯電極、４１ａ…第１固定櫛歯、４２…第２固定櫛歯電極、４２ａ…第２固定櫛歯、４３…第３固定櫛歯電極、４３ａ…第３固定櫛歯、４４…第４固定櫛歯電極、４４ａ…第４固定櫛歯、４５…第５固定櫛歯電極、４５ａ…第５固定櫛歯、４６…第６固定櫛歯電極、４６ａ…第６固定櫛歯、７１…光学機能部、７２…第５本体部、７３…フレーム、７４…第５接続部、７５…本体梁部、７６…フレーム梁部、７７…接続梁部。
【要約】
光学デバイスでは、第１、第２、第３及び第４可動櫛歯電極は、それぞれ、第１方向から見た場合に、第１支持部と第２方向における可動部の一方の側の第１端部との間、第２支持部と第２方向における可動部の他方の側の第２端部との間、第３支持部と可動部の第１端部との間、及び第４支持部と可動部の第２端部との間に配置されている。第１及び第２支持部は、それぞれ、その厚さが第１トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第１梁部及び第２梁部を有する。第３及び第４支持部は、それぞれ、その厚さが第２トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第３梁部及び第４梁部を有する。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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