(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップの裏面に設けられた金属膜を保護する保護膜を形成するための保護膜形成用フィルムであって、
保護チオール基を有するカップリング剤が配合されてなる保護膜形成用組成物から形成されており、
前記カップリング剤が、下記一般式（１）で表される化合物であり、
前記保護膜形成用組成物における、溶媒以外の成分の総配合量に対する前記カップリング剤の配合量の割合が、０．０１〜７質量％であることを特徴とする保護膜形成用フィルム。
（Ｒ１Ｏ）３−Ｓｉ−Ｘ１−Ｓ−Ｙ１  ・・・・（１）
（式中、Ｒ１はアルキル基であり、３個のＲ１は互いに同一でも異なっていてもよく；Ｘ１はアルキレン基であり；Ｙ１はトリアルコキシシリル基、トリアルキルシリル基、トリアルキルシロキシ基、カルバメート基又はカーボネート基である。）
【請求項２】
前記保護膜形成用組成物は、無機充填剤を、前記保護膜形成用組成物における、溶媒以外の成分の総配合量に対する配合量の割合で、５５〜７５質量％の含有量で含有することを特徴とする請求項１に記載の保護膜形成用フィルム。
【請求項３】
前記保護膜形成用組成物は、ガラス転移温度が−３℃以上であるアクリル樹脂を含有することを特徴とする請求項１又は２に記載の保護膜形成用フィルム。
【請求項４】
前記保護膜形成用組成物は、アクリル樹脂を含有し、前記アクリル樹脂が、グリシジル（メタ）アクリレートを、前記アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して８質量％以下の割合で含む単量体を重合してなるものであることを特徴とする請求項１又は２に記載の保護膜形成用フィルム。
【請求項５】
半導体チップの裏面に設けられた金属膜が保護膜で保護された保護膜付き半導体チップの製造方法であって、
半導体ウエハの裏面に設けられた金属膜に、請求項１又は２に記載の保護膜形成用フィルムが積層されてなる積層体により、前記積層体の保護膜形成用フィルムから保護膜を形成した後にダイシングするか、又は、前記積層体をダイシングした後に保護膜形成用フィルムから保護膜を形成することを特徴とする保護膜付き半導体チップの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は、保護膜形成用フィルム、及びこの保護膜形成用フィルムを用いた保護膜付き半導体チップの製造方法に関する。本出願は、２０１４年３月２８日に日本に出願された特願２０１４−６７４６８号に基づき、優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】従来、フェースダウン方式と呼ばれる実装法を用いて、半導体装置が製造されている。フェースダウン方式において、半導体チップは、バンプ等の電極が形成されたチップ表面が基板等に対向させられて接合される一方で、チップ裏面が剥き出しとなるため、チップ裏面は保護膜によって保護されている。そして、半導体チップの裏面を保護する保護膜には、レーザー印字等によりマークや文字等が印字される。【０００３】  これまで、前記保護膜は、例えば、樹脂コーティング等によって形成されていたが、近年は、保護膜の膜厚の均一性を確保する等の目的で、保護膜形成用フィルムの貼付によって形成されるものが実用化されてきている（例えば、特許文献１参照）。この保護膜形成用フィルムは、例えば、エポキシ樹脂等からなる熱硬化性成分と、アクリル系樹脂等からなるバインダー樹脂成分とを含有し、支持シート上に設けられてなるものである。【０００４】  さらに、厳しい温度条件下においても高い信頼性を実現できる保護膜形成用フィルムが開示されている（特許文献２参照）。この保護膜形成用フィルムは、エポキシ系熱硬化性樹脂と、アクリル重合体と、エポキシ基と反応し得る官能基及び不飽和炭化水素基を１分子中に有する樹脂とを含有し、剥離シート（支持シート）上に設けられてなるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２８０３２９号公報
【特許文献２】特開２００８−２４８１２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  一方で、これまでの保護膜形成用フィルムの貼付対象は、チップ裏面におけるシリコン等の半導体材料が主なものであったが、近年のデバイスの薄型化に伴い、裏面に金属膜を備えたデバイスも薄型化されていることから、チップ裏面の金属膜を保護することが求められるようになってきている。しかし、従来の保護膜形成用フィルムは、金属膜へ貼付した場合の接着力が十分ではなく、特に高温条件に晒された場合に金属膜から剥離し易いという問題点があった。【０００７】  本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、半導体チップの裏面に設けられた金属膜を保護し、温度変化の履歴を経た場合でも前記金属膜からの剥離が抑制される保護膜を形成するための保護膜形成用フィルムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は、半導体チップの裏面に設けられた金属膜を保護する保護膜を形成するための保護膜形成用フィルムであって、保護チオール基を有するカップリング剤が配合されてなる保護膜形成用組成物から形成されており、前記カップリング剤が、下記一般式（１）で表される化合物であり、前記保護膜形成用組成物における、溶媒以外の成分の総配合量に対する前記カップリング剤の配合量の割合が、０．０１〜７質量％であることを特徴とする保護膜形成用フィルムを提供する。
（Ｒ１Ｏ）３−Ｓｉ−Ｘ１−Ｓ−Ｙ１  ・・・・（１）
（式中、Ｒ１はアルキル基であり、３個のＲ１は互いに同一でも異なっていてもよく；Ｘ１はアルキレン基であり；Ｙ１はトリアルコキシシリル基、トリアルキルシリル基、トリアルキルシロキシ基、カルバメート基又はカーボネート基である。）
本発明の保護膜形成用フィルムは、前記保護膜形成用組成物が、無機充填剤を、前記保護膜形成用組成物における、溶媒以外の成分の総配合量に対する配合量の割合で、５５〜７５質量％の含有量で含有するものが好ましい。
【０００９】  本発明の保護膜形成用フィルムは、前記保護膜形成用組成物が、さらに、ガラス転移温度が−３℃以上であるアクリル樹脂を含有するものが好ましい。  本発明の保護膜形成用フィルムは、前記保護膜形成用組成物が、さらにアクリル樹脂を含有し、前記アクリル樹脂が、グリシジル（メタ）アクリレートを、前記アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して８質量％以下の割合で含む単量体を重合してなるものであるものが好ましい。  また、本発明は、半導体チップの裏面に設けられた金属膜が保護膜で保護された保護膜付き半導体チップの製造方法であって、半導体ウエハの裏面に設けられた金属膜に、前記保護膜形成用フィルムが積層されてなる積層体により、前記積層体の保護膜形成用フィルムから保護膜を形成した後にダイシングするか、又は、前記積層体をダイシングした後に保護膜形成用フィルムから保護膜を形成することを特徴とする保護膜付き半導体チップの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１０】  本発明によれば、半導体チップの裏面に設けられた金属膜を保護し、温度変化の履歴を経た場合でも前記金属膜からの剥離を抑制可能な保護膜を形成するための保護膜形成用フィルムが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る保護膜形成用フィルムを用いた保護膜形成用複合シートを模式的に例示する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】＜保護膜形成用フィルム及びその製造方法＞  本発明に係る保護膜形成用フィルムは、半導体チップの裏面に設けられた金属膜を保護する保護膜を形成するための保護膜形成用フィルムであって、チオール基（−ＳＨ）又は保護チオール基を有するカップリング剤（以下、「カップリング剤（Ｅ）」と略記することがある）が配合されてなる保護膜形成用組成物を用いて形成されたことを特徴とする。  かかる保護膜形成用フィルムは、チオール基（−ＳＨ）又は保護チオール基を有するカップリング剤を用いたことにより、この保護膜形成用フィルムを金属膜へ貼付して硬化させることで形成した保護膜は、金属膜への接着力が十分に高められる。また、この保護膜は、初期接着力に優れるだけでなく、温度変化の履歴を経た場合でも金属膜からの剥離が抑制され、高い信頼性を有する。
【００１３】［カップリング剤（Ｅ）］  カップリング剤（Ｅ）は、一分子中にチオール基及び保護チオール基の少なくとも一方を有し、さらに他の分子と反応（カップリング）可能な官能基を有する。ここで、「他の分子」には、例えば、後述する充填材が保護膜形成用組成物中に配合されている場合には、この充填材を構成している分子も包含される。なお、本明細書において「保護チオール基」とは、チオール基（−ＳＨ）の水素原子が水素原子以外の基（保護基）によって置換され、保護された基を意味する。
【００１４】  前記保護チオール基における保護基（チオール基の水素原子を置換している基）としては、トリアルコキシシリル基、トリアルキルシリル基、トリアルキルシロキシ基、カルバメート基（カルバマート基）、カーボネート基（カルボネート基）、アセチル基等が例示できる。前記保護基を構成しているアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状及び環状のいずれでもよく、炭素数は１〜１０であることが好ましい。
【００１５】  カップリング剤（Ｅ）としては、公知のものを用いることができる。  カップリング剤（Ｅ）が一分子中に有するチオール基及び保護チオール基の総数は、特に限定されないが、１〜３個であることが好ましく、１又は２個であることがより好ましい。
【００１６】  カップリング剤（Ｅ）としては、チオール基又は保護チオール基を分子の末端に有するものが好ましい。  また、カップリング剤（Ｅ）は、他の分子と反応可能な官能基とチオール基又は保護チオール基とが、炭素数が２以上の２価の有機基で連結されているものが好ましい。また、前記２価の有機基はアルキレン基であることが好ましく、炭素数が３以上のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数が３〜１０のアルキレン基であることが特に好ましい。
【００１７】  カップリング剤（Ｅ）で好ましいものとしては、下記一般式（１）で表される化合物が例示できる。  （Ｒ１Ｏ）３−Ｓｉ−Ｘ１−Ｓ−Ｙ１  ・・・・（１）  （式中、Ｒ１はアルキル基であり、３個のＲ１は互いに同一でも異なっていてもよく；Ｘ１はアルキレン基であり；Ｙ１は水素原子、トリアルコキシシリル基、トリアルキルシリル基、トリアルキルシロキシ基、カルバメート基又はカーボネート基である。）
【００１８】  上記一般式（１）中、Ｒ１はアルキル基であり、このアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状及び環状のいずれでもよく、環状である場合、前記アルキル基は単環状及び多環状のいずれでもよい。  上記のＲ１における直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基は、炭素数が１〜１０であることが好ましく、このアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、１−メチルブチル基、ｎ−ヘキシル基、２−メチルペンチル基、３−メチルペンチル基、２，２−ジメチルブチル基、２，３−ジメチルブチル基、ｎ−ヘプチル基、２−メチルヘキシル基、３−メチルヘキシル基、２，２−ジメチルペンチル基、２，３−ジメチルペンチル基、２，４−ジメチルペンチル基、３，３−ジメチルペンチル基、３−エチルペンチル基、２，２，３−トリメチルブチル基、ｎ−オクチル基、イソオクチル基、ノニル基、デシル基が例示できる。  上記のＲ１における環状のアルキル基は、炭素数が３〜１０であることが好ましく、前記アルキル基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、１−アダマンチル基、２−アダマンチル基、トリシクロデシル基が例示できる。さらに、Ｒ１における環状のアルキル基は、これら環状のアルキル基の１個以上の水素原子が、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基で置換されたものが例示できる。ここで、水素原子を置換する直鎖状、分岐鎖状及び環状のアルキル基としては、Ｒ１におけるアルキル基として例示した上記のものが挙げられる。  なお、上記一般式（１）で示した化合物は、４価のＳｉの三方の各々が（Ｒ１Ｏ）と結合していることを表している。また、３個のＲ１は互いに同一でも異なっていてもよく、すなわち、すべて同一であってもよいし、すべて異なっていてもよく、２個のみ同一であってもよい。
【００１９】  上記一般式（１）中、Ｘ１はアルキレン基であり、炭素数が３以上であることが好ましく、炭素数が３〜１０であることがより好ましく、プロパン−１，３−ジイル基等、上記の炭素数が３〜１０のアルキル基から１個の水素原子が除かれてなる２価の基が例示できる。
【００２０】  上記一般式（１）中、Ｙ１は水素原子、トリアルコキシシリル基、トリアルキルシリル基、トリアルキルシロキシ基、カルバメート基又はカーボネート基であり、トリアルコキシシリル基、トリアルキルシリル基、トリアルキルシロキシ基、カルバメート基及びカーボネート基を構成しているアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状及び環状のいずれでもよく、炭素数は１〜１０であることが好ましく、上記のＲ１におけるアルキル基と同様のものが例示できる。  これらの中でも、上記のＹ１は、水素原子又はトリアルコキシシリル基であることが好ましい。
【００２１】  保護チオール基を有するカップリング剤（Ｅ）は、臭気が少ないか、又は臭気を有さず、実用上取り扱い易いという点においては、チオール基を有するカップリング剤（Ｅ）よりも好ましい。保護チオール基を有するカップリング剤（Ｅ）としては、例えば、（ＣＨ３Ｏ）３Ｓｉ−Ｃ３Ｈ６−Ｓ−Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３）のようなシランカップリング剤が挙げられる。また、チオール基を有するカップリング剤（Ｅ）としては、例えば、（ＣＨ３Ｏ）３Ｓｉ−Ｃ３Ｈ６−ＳＨ）のようなシランカップリング剤が挙げられる。
【００２２】  保護膜形成用組成物における、溶媒以外の成分の総配合量に対するカップリング剤（Ｅ）の配合量の割合は、０．０１〜７質量％であることが好ましく、０．１〜２質量％であることがより好ましい。カップリング剤（Ｅ）の前記配合量の割合が前記下限値以上であることで、温度変化の履歴を経た場合でも前記保護膜の金属膜からの剥離を抑制するより高い効果が得られる。また、カップリング剤（Ｅ）の前記配合量の割合が前記上限値以下であることで、保護膜形成用フィルムが剥離フィルムと接触した場合に、カップリング剤（Ｅ）と剥離剤との反応によって剥離性が変動する可能性が低減される。
【００２３】  本発明においては、カップリング剤（Ｅ）を用いることで、金属膜を保護している保護膜中には、カップリング剤（Ｅ）、又はカップリング剤（Ｅ）に由来する硫黄原子を有する有機化合物（有機硫黄化合物）が存在する。このような化合物中の硫黄原子が、金属膜中の金属原子と結合を形成するなど、相互作用することによって、保護膜の金属膜との接着力が向上していると推測される。そして、その結果、保護膜は、金属膜への初期接着力に優れるだけでなく、温度変化の履歴を経た場合でも金属膜からの剥離が抑制されると推測される。
【００２４】［バインダー樹脂（Ａ）］  保護膜形成用組成物における、カップリング剤（Ｅ）以外の配合成分で好ましいものとしては、バインダー樹脂（Ａ）が例示できる。バインダー樹脂（Ａ）は、例えば、保護膜形成用フィルムに金属膜への良好な初期接着力を付与し、保護膜及び保護膜形成用フィルムに可撓性及び造膜性を付与するために用いられる成分である。  バインダー樹脂（Ａ）は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２５】  バインダー樹脂（Ａ）は、公知のものを用いればよく、好ましいものとしては、アクリル樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、アクリルウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ゴム系ポリマー等が例示でき、アクリル樹脂がより好ましい。すなわち、保護膜形成用組成物（保護膜形成用フィルム）は、アクリル樹脂を含有することが好ましい。
【００２６】  前記アクリル樹脂は、これを構成する単量体が、エポキシ基含有単量体を含まないもの、又は、エポキシ基含有単量体を単量体の総量に対して８質量％以下の割合で含むものが好ましい。
【００２７】  前記アクリル樹脂を構成する単量体が、エポキシ基含有単量体を含む場合、アクリル樹脂を構成する単量体は、具体的には、エポキシ基含有（メタ）アクリル酸エステル及び非アクリル系エポキシ基含有単量体からなる群から選択される１種以上のエポキシ基含有単量体と、エポキシ基を有しない各種の（メタ）アクリル酸エステルや非アクリル系エポキシ基非含有単量体とからなる。エポキシ基含有単量体が非アクリル系エポキシ基含有単量体のみからなる場合、アクリル樹脂を構成する単量体は、エポキシ基を有しない各種の（メタ）アクリル酸エステルを含む。  なお、本明細書において「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸及びメタクリル酸の両方を含む概念とする。
【００２８】  保護膜形成用組成物が、後述するエポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）が配合されたものである場合、アクリル樹脂を構成する単量体が、エポキシ基含有単量体を、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して８質量％以下の割合で含むことにより、前記アクリル樹脂とエポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）の硬化物との相溶性が低下して、後述の相分離構造が形成され易くなり、後述する保護膜付き半導体チップの信頼性が向上する。このような観点から、アクリル樹脂を構成する単量体は、エポキシ基含有単量体を、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して６質量％以下の割合で含むことが好ましい。
【００２９】  エポキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルとしては、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート、３−エポキシシクロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等が例示でき、グリシジル（メタ）アクリレートが好ましい。  非アクリル系エポキシ基含有単量体としては、グリシジルクロトネート、アリルグリシジルエーテル等が例示できる。  これらの中でも、エポキシ基含有単量体としては、エポキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルが好ましい。  なお、前記アクリル樹脂を構成する単量体は、エポキシ基含有単量体を含むことにより、相分離の進行に起因して進行する保護膜のグロス値の低下を抑制し易く、レーザー印字による印字部分の識別性を向上させ易くなる。したがって、良好な印字識別性を要求される用途に本発明を適用する場合には、アクリル樹脂を構成する単量体は、エポキシ基含有単量体を含むことが好ましい。そして、アクリル樹脂を構成する単量体は、エポキシ基含有単量体を、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して０．１質量％以上の割合で含むことが好ましく、１質量％以上の割合で含むことがより好ましく、３質量％以上の割合で含むことが特に好ましい。即ち、アクリル樹脂を構成する単量体は、エポキシ基含有単量体を、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して、０．１〜８質量％の範囲で含むことが好ましく、１〜６質量％の範囲で含むことがより好ましく、３〜５質量％の範囲で含むことが特に好ましい。
【００３０】  前記アクリル樹脂を構成する単量体がエポキシ基含有単量体を含まない場合、アクリル樹脂を構成する単量体は、具体的には、水酸基含有（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸アルキルエステル等の各種のエポキシ基を有しない（メタ）アクリル酸エステルと、適宜併用されるスチレン、エチレン、ビニルエーテル、酢酸ビニル等の非アクリル系エポキシ基非含有単量体とからなる。
【００３１】  前記アクリル樹脂を構成する単量体は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含むことが好ましい。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの炭素数の増減や、異なる炭素数の（メタ）アクリル酸アルキルエステルの併用により、アクリル樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）を容易に調節できる。  アクリル樹脂を構成する単量体は、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルを、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して５０質量％以上の割合で含むことが好ましく、７０質量％以上の割合で含むことがより好ましい。また、アクリル樹脂を構成する単量体は、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルを、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して９２質量％以下の割合で含むことが好ましい。即ち、アクリル樹脂を構成する単量体は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して、５０〜９２質量％の範囲で含むことが好ましく、７０〜９２質量％の範囲で含むことがより好ましい。  前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ｎ−オクチル、（メタ）アクリル酸ｎ−ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ラウリル等の、アルキル基の炭素数が１〜１８の（メタ）アクリル酸アルキルエステルが例示できる。
【００３２】  前記アクリル樹脂を構成する単量体は、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルのうち、アルキル基の炭素数が４以上の（メタ）アクリル酸アルキルエステルを、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して１２質量％以下の割合で含むことが好ましい。このように構成することで、アクリル樹脂のガラス転移温度を−３℃以上にしつつ、保護膜のグロス値を良好な値に容易に調節できる。このグロス値は、艶や光沢を表す指標であり、ＪＩＳ  Ｚ  ８７４１に準拠した方法で測定することができる。  そして、保護膜の信頼性を維持しつつ、保護膜のグロス値を向上させるためには、前記アクリル樹脂を構成する単量体は、アルキル基の炭素数が４以上の（メタ）アクリル酸アルキルエステルを、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して１〜１２質量％の割合で含むことが好ましく、５〜１２質量％の割合で含むことがより好ましい。  アルキル基の炭素数が４以上の（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、（メタ）アクリル酸ブチルが好ましい。
【００３３】  また、前記アクリル樹脂を構成する単量体は、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルのうち、アルキル基の炭素数が３以下の（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含むことが好ましい。このように構成することで、前記アクリル樹脂の熱安定性等を良好にしつつ、後述するように、前記アクリル樹脂のガラス転移温度を−３℃以上に容易に調節できる。そして、このような観点から、前記アクリル樹脂を構成する単量体は、アルキル基の炭素数が３以下の（メタ）アクリル酸アルキルエステルを、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して５０質量％以上の割合で含むことが好ましく、６０質量％以上の割合で含むことがより好ましい。  そして、前記アクリル樹脂を構成する単量体は、アルキル基の炭素数が３以下の（メタ）アクリル酸アルキルエステルを、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して９０質量％以下の割合で含むことが好ましい。  アルキル基の炭素数が３以下の（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、（メタ）アクリル酸メチル又は（メタ）アクリル酸エチルが好ましく、（メタ）アクリル酸メチルがより好ましい。さらに、前記アクリル樹脂を構成する単量体は、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルのうち、アルキル基の炭素数が４以上の（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、アルキル基の炭素数が３以下の（メタ）アクリル酸アルキルエステルとで、アクリル樹脂を構成する単量体の総量を占める構成としてもよい。
【００３４】  前記アクリル樹脂を構成する単量体は、水酸基含有（メタ）アクリル酸エステルを含んでいてもよい。水酸基含有（メタ）アクリル酸エステルを含むことにより、前記アクリル樹脂が水酸基を有することで、保護膜の半導体チップへの密着性や粘着特性の調節が容易となる。  前記水酸基含有（メタ）アクリル酸エステルとしては、（メタ）アクリル酸ヒドロキシメチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル等が例示できる。  前記アクリル樹脂を構成する単量体は、水酸基含有（メタ）アクリル酸エステルを、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して１〜３０質量％の割合で含むことが好ましく、５〜２５質量％の割合で含むことがより好ましく、１０〜２０質量％の割合で含むことが特に好ましい。
【００３５】  前記アクリル樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、保護膜形成用フィルムに可撓性及び造膜性をより効果的に付与するために、１万以上であることが好ましく、１．５万〜１００万であることがより好ましく、２万〜５０万であることが特に好ましい。  なお、本明細書において、重量平均分子量とは、特に断りのない限り、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）法により測定されるポリスチレン換算値である。
【００３６】  前記アクリル樹脂は、ガラス転移温度が−３℃以上であることが好ましい。ガラス転移温度が−３℃以上であることで、アクリル樹脂の運動性が十分に抑制され、保護膜の熱履歴に起因する変形を抑制する効果が高くなり、保護膜付き半導体チップの信頼性がより向上する。  また、前記アクリル樹脂は、ガラス転移温度が６℃以下であることが好ましい。前記アクリル樹脂のガラス転移温度が６℃以下であることで、上述した保護膜のグロス値が向上し、この保護膜にマークや文字等が印字された印字部の認識性がより良好となる。その理由は、必ずしも明らかではないが、前記アクリル樹脂が適度に運動性を有することに起因して、硬化後の保護膜の表面形状が平滑化するためであると推測される。  なお、本明細書において、アクリル樹脂のガラス転移温度は、特に断りのない限り、Ｆｏｘの式から求められる理論値である。
【００３７】  前記アクリル樹脂を構成する単量体は、エポキシ基含有単量体を全く含まないか、又はエポキシ基含有単量体を含む割合が小さいことで、保護膜においてアクリル樹脂に富む相と、後述するエポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）の硬化物に富む相とが相分離し易くなり、保護膜付き半導体チップの信頼性が向上する。これは、実装後の保護膜付き半導体チップが温度変化を経た場合であっても、温度変化に起因する変形による応力を、柔軟なアクリル樹脂に富む相が緩和するために、応力による保護膜の剥離が生じ難くなるためであると推測される。また、相分離している熱硬化後の保護膜形成用フィルム（すなわち、保護膜）においては、アクリル樹脂に富む相が連続相を形成していることが好ましい。これにより、上述した信頼性の向上効果がさらに高くなる。
【００３８】  前記アクリル樹脂に富む相と、エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）の硬化物に富む相とは、例えば、ラマン散乱分光測定により得られた、ある相の測定チャートから、どのような物質がその相の主成分となっているかを特定することで判別できる。また、相分離構造の大きさがラマン分光法での分解能よりも小さい場合には、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）のタッピングモード測定の硬さを指標に、より硬い方がエポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）の硬化物に富む相であり、より柔らかい方が前記アクリル樹脂に富む相であると推定できる。そのため、本発明においては、保護膜形成用フィルムを硬化して得られた保護膜を、ラマン散乱分光測定やＳＰＭ観察することにより、相分離構造が形成されているか否かを確認できる。
【００３９】  なお、保護膜形成用フィルムが相分離構造を形成するものか否かの判別は、後述する充填剤（Ｆ）及び着色剤（Ｇ）を含有しない保護膜形成用組成物を用いて保護膜形成用フィルムを作製し、これをシリコンウエハに積層して、熱硬化して得られた保護膜を観察して行うことが好ましい。これは、充填剤（Ｆ）及び着色剤（Ｇ）を含有する保護膜形成用フィルムでは、相分離構造の有無を判定し難いからである。
【００４０】  保護膜形成用フィルムにおける固形分換算の全質量に対する、前記アクリル樹脂の含有量の割合（保護膜形成用組成物における、溶媒以外の成分の総配合量に対する前記アクリル樹脂の配合量の割合）は、１０〜８０質量％であることが好ましく、１５〜５０質量％であることがより好ましい。
【００４１】  本発明において、保護膜形成用フィルム（または、保護膜形成用フィルムを形成するための保護膜形成用組成物）は、アクリル樹脂を含有し、前記アクリル樹脂のガラス転移温度が−３℃以上であるものが特に好ましい。  また、保護膜形成用フィルム（または、保護膜形成用フィルムを形成するための保護膜形成用組成物）は、アクリル樹脂を含有し、前記アクリル樹脂が、グリシジル（メタ）アクリレートを、アクリル樹脂を構成する単量体の総量に対して８質量％以下の割合で含む単量体を重合してなるものが特に好ましい。
【００４２】［エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）］、［熱硬化剤（Ｃ）］  保護膜形成用組成物のカップリング剤（Ｅ）以外の配合成分で好ましいものとしては、さらに、エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）が例示できる。エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）は、硬化により前記保護膜を硬質のものとする成分である。また、熱硬化剤（Ｃ）は、エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）に対する硬化剤として機能するものである。本発明においては、熱硬化剤（Ｃ）を用いずにエポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）を用いてもよいが、硬化反応の速度の調節が容易となる点と、前記保護膜の弾性率等の物性を好ましい範囲に容易に調節できる点から、エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）を併用することが好ましい。  エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）は、いずれも１種を単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００４３】  エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）は公知のものでよく、好ましいものとしては、ビフェニル化合物、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル及びその水添物、オルソクレゾールノボラックエポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェニレン骨格型エポキシ樹脂等、分子中に重合性基を２個以上有する２官能以上のエポキシ化合物が例示できる。
【００４４】  熱硬化剤（Ｃ）は公知のものでよく、好ましいものとしては、１分子中にエポキシ基と反応し得る官能基（構造）を２個以上有する化合物が例示できる。エポキシ基と反応し得る官能基としては、フェノール性水酸基、アルコール性水酸基、アミノ基、カルボキシ基、酸基が無水物された基等が例示でき、フェノール性水酸基、アミノ基、酸基が縮合して無水物化された基が好ましく、フェノール性水酸基、アミノ基がより好ましい。
【００４５】  フェノール性水酸基を有するフェノール系硬化剤としては、多官能系フェノール樹脂、ビフェノール、ノボラック型フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン系フェノール樹脂、ザイロック型フェノール樹脂、アラルキルフェノール樹脂等が例示できる。  アミノ基を有するアミン系硬化剤としては、ジシアンジアミドが例示できる。
【００４６】  保護膜形成用フィルムの熱硬化剤（Ｃ）の含有量（保護膜形成用組成物における熱硬化剤（Ｃ）の配合量）は、エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）１００質量部に対して、０．１〜１００質量部であることが好ましく、０．５〜５０質量部であることがより好ましく、１〜２０質量部であることが特に好ましい。  熱硬化剤（Ｃ）の含有量が前記下限値以上であることで、エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）の硬化が十分に進行し易くなり、保護膜の、半導体チップの前記金属膜に対する接着力がより向上する。また、熱硬化剤（Ｃ）の含有量が前記上限値以下であることで、保護膜形成用フィルムの吸湿率の上昇が抑制され、保護膜付き半導体チップの信頼性が向上する。
【００４７】  保護膜形成用フィルムにおけるエポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）の総含有量（保護膜形成用組成物におけるエポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）の総配合量）は、バインダー樹脂（Ａ）１００質量部に対して、２００質量部以下であることが好ましく、１５０質量部以下であることがより好ましく、１００質量部以下であることが特に好ましい。  また、保護膜形成用フィルムにおけるエポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）の総含有量（保護膜形成用組成物におけるエポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）の総配合量）は、バインダー樹脂（Ａ）１００質量部に対して、２０質量部以上であることが好ましく、４０質量部以上であることがより好ましく、６０質量部以上であることが特に好ましい。即ち、保護膜形成用フィルムにおけるエポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）の総含有量は、バインダー樹脂（Ａ）１００質量部に対して、２０〜２００質量部であることが好ましく、４０〜１５０質量部であることがより好ましく、６０〜１００質量部であることが特に好ましい。  エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）の前記総含有量がこのような範囲であることで、保護膜の、半導体チップの前記金属膜に対する接着力がより向上し、また、後述する支持シートからの剥離力がより適切な範囲となって、支持シートを保護膜から剥離するときの剥離不良等の抑制効果が高くなる。  さらに、エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）の前記総含有量が前記上限値以下であることで、上述した前記アクリル樹脂に富む相が連続相となり易く、保護膜付き半導体チップの信頼性が向上する。
【００４８】  保護膜形成用フィルムにおける固形分換算の全質量に対する、エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）の総含有量の割合（保護膜形成用組成物における、溶媒以外の成分の総配合量に対するエポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）の総配合量の割合）は、５〜６０質量％であることが好ましく、１０〜４０質量％であることがより好ましい。
【００４９】［硬化促進剤（Ｄ）］  保護膜形成用組成物における、カップリング剤（Ｅ）以外の配合成分で好ましいものとしては、さらに、硬化促進剤（Ｄ）が例示できる。  硬化促進剤（Ｄ）は、保護膜形成用フィルムの硬化速度を調整する成分である。  好ましい硬化促進剤（Ｄ）としては、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール等の第３級アミン；２−メチルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、２−フェニル−４−メチルイミダゾール、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾール類（１個以上の水素原子が水素原子以外の基で置換されたイミダゾール）；トリブチルホスフィン、ジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン等の有機ホスフィン類（１個以上の水素原子が有機基で置換されたホスフィン）；テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリフェニルホスフィンテトラフェニルボレート等のテトラフェニルボロン塩等が例示できる。  硬化促進剤（Ｄ）は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００５０】  保護膜形成用フィルムにおける硬化促進剤（Ｄ）の含有量（保護膜形成用組成物における硬化促進剤（Ｄ）の配合量）は、エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）及び熱硬化剤（Ｃ）の総量１００質量部に対して、０．０１〜１０質量部であることが好ましく、０．１〜５質量部であることがより好ましい。  硬化促進剤（Ｄ）の含有量がこのような範囲であることで、保護膜が、高温・高湿度条件下においても優れた接着特性を有し、保護膜付き半導体チップが、厳しい条件に曝された場合でも高い信頼性を有する。
【００５１】［充填剤（Ｆ）］  保護膜形成用組成物における、カップリング剤（Ｅ）以外の配合成分で好ましいものとしては、さらに、充填剤（Ｆ）が例示できる。  充填剤（Ｆ）は、保護膜に耐湿性、寸法安定性（弾性率）等を付与する成分であり、具体的には無機充填剤等が例示できる。また、保護膜にレーザーマーキング（レーザー光により保護膜表面を削り取り印字を行うこと）を施す場合、レーザー光により削り取られた部分（印字部分）は、充填剤（Ｆ）が露出して反射光を拡散させるため、非印字部分とのコントラストが大きくなって、識別性が向上する。  好ましい前記無機充填剤としては、シリカ、アルミナ、タルク、炭酸カルシウム、酸化チタン、酸化鉄、炭化珪素、窒化ホウ素等の粉末；これらシリカ等を球形化したビーズ；これらシリカ等の単結晶繊維；ガラス繊維等が例示でき、シリカフィラー及びアルミナフィラーが特に好ましい。また、これら無機充填剤の平均粒子径としては、例えば、０．００５〜２０μｍが好ましく、０．０１〜１５μｍがより好ましく、０．１〜１２μｍが特に好ましい。ここで、上記の平均粒子径とは、１個の粒子における外径の平均値のことをいう。また、無機充填剤としては、できるだけ平均粒子径の大きなものを用いることが、保護膜の信頼性が向上する観点から好ましい。  充填剤（Ｆ）は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００５２】  一方、保護膜形成用フィルムの充填剤（Ｆ）の含有量がある程度多くなることで、保護膜の線膨張係数が小さくなり、保護膜と半導体チップの前記金属膜との界面におけるせん断応力が大きくなって、保護膜付き半導体チップの信頼性（接着信頼性）が向上する。また、保護膜形成用フィルムの充填剤（Ｆ）の含有量がある程度少なくなることで、保護膜の初期接着力が大きくなり、工程適性が向上する。  このような観点から、本発明において、無機充填剤を用いる場合、保護膜形成用フィルムにおける固形分換算の全質量に対する、充填剤（Ｆ）の含有量の割合（保護膜形成用組成物における、溶媒以外の成分の総配合量に対する充填剤（Ｆ）の配合量の割合）は、５５〜７５質量％であることが特に好ましい。
【００５３】  また、保護膜付き半導体チップの、温度変化の履歴を経た場合の信頼性をより向上させることを考慮した場合には、保護膜形成用フィルムにおける固形分換算の全質量に対する、充填剤（Ｆ）の含有量の割合（保護膜形成用組成物における、溶媒以外の成分の総配合量に対する充填剤（Ｆ）の配合量の割合）は、５０〜８０質量％であることが好ましく、５５〜７５質量％であることがより好ましく、６０〜７０質量％であることがさらに好ましい。
【００５４】［着色剤（Ｇ）］  保護膜形成用組成物における、カップリング剤（Ｅ）以外の配合成分で好ましいものとしては、さらに、着色剤（Ｇ）が例示できる。  着色剤（Ｇ）は、保護膜付き半導体チップを機器に組み込んだ際に、周囲の装置から発生する赤外線等を遮蔽することで、半導体チップの誤作動を防止する成分として用いられることがある。また、着色剤（Ｇ）は、保護膜に製品番号やマーク等を印字した際の文字の識別性を向上させる成分として用いられることがある。すなわち、半導体チップに貼付された保護膜には、レーザーマーキング法により品番等が印字されることがあるが、この場合、保護膜が着色剤（Ｇ）を含有していることで、印字部分と非印字部分とのコントラストが大きくななって、識別性が向上する。また、着色剤（Ｇ）は、半導体ウエハの研削跡を見難くすることで、意匠性を付与する成分として用いられることがある。
【００５５】  着色剤（Ｇ）としては、有機顔料、無機顔料、有機染料、無機染料等が例示できる。  前記染料としては、特に限定されず、酸性染料、反応染料、直接染料、分散染料、カチオン染料等のいずれの染料であってもよい。前記顔料としても、特に限定されず、公知のものを用いることができる。  これらの中でも、着色剤（Ｇ）としては、電磁波や赤外線の遮蔽性が良好で、かつレーザーマーキング法による識別性がより向上する点から、黒色顔料を用いることが好ましい。  前記黒色顔料としては、カーボンブラック、酸化鉄、二酸化マンガン、アニリンブラック、活性炭等が例示できるが、これらに限定されない。保護膜付き半導体チップの信頼性を向上させるという観点からは、前記黒色顔料はカーボンブラックが特に好ましい。
【００５６】  着色剤（Ｇ）は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００５７】  保護膜形成用フィルムにおける固形分換算の全質量に対する、着色剤（Ｇ）の含有量の割合（保護膜形成用組成物における、溶媒以外の成分の総配合量に対する着色剤（Ｇ）の配合量の割合）は、０．０１〜２５質量％であることが好ましく、０．０３〜１５質量％であることがより好ましい。
【００５８】［その他の添加剤］  保護膜形成用組成物は、カップリング剤（Ｅ）、バインダー樹脂（Ａ）、エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）、熱硬化剤（Ｃ）、硬化促進剤（Ｄ）、充填剤（Ｆ）及び着色剤（Ｇ）以外に、本発明の効果を損なわない範囲内において、さらに、これらに該当しないその他の添加剤が配合されてなるものでもよい。  前記その他の添加剤としては、架橋剤、相溶化剤、レベリング剤、可塑剤、帯電防止剤、酸化防止剤、イオン捕捉剤、ゲッタリング剤、連鎖移動剤、エネルギー線重合性化合物、光重合開始剤等が例示できる。例えば、相溶化剤を用いることにより、保護膜形成用フィルムは、前記アクリル樹脂（バインダー樹脂（Ａ））に富む相と、エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）の硬化物に富む相との相溶性が適宜調整可能となり、適切な相分離構造を設計できる。
【００５９】  保護膜形成用フィルムが硬化して形成された前記保護膜の少なくとも一方の面は、ＪＩＳ  Ｚ  ８７４１に準拠して測定されたグロス値が２０以上であることが好ましい。この場合、保護膜形成用フィルムは、硬化によってグロス値が２０以上となる面とは反対側の面が、半導体ウエハに貼付されて硬化されることで、保護膜のレーザーマーキングによる被印字面において、グロス値が２０以上となる。そのため、レーザー印字される面が平滑となって、印字部と非印字部とのコントラストが向上し、印字部分の識別性が向上する。  前記グロス値は、印字部と非印字部とのコントラストがより向上して、印字部分の識別性がより向上する点から、２７以上であることがより好ましい。  一方、前記グロス値の上限値は、特に限定されないが、４５であることが好ましい。
【００６０】  前記グロス値は、前記アクリル樹脂（バインダー樹脂（Ａ））を構成するエポキシ基含有単量体や、アルキル基の炭素数が４以上の（メタ）アクリル酸アルキルエステル等の単量体の量の調節、保護膜形成用フィルム（保護膜）における充填剤（Ｆ）の種類又は含有量の調節、保護膜形成用フィルム（保護膜）における前記その他の添加剤の種類又は含有量の調節等により、適宜調節できる。
【００６１】［溶媒］  保護膜形成用組成物は、上述の各成分以外に、さらに希釈用の溶媒が配合されてなるものが好ましい。  前記溶媒は、特に限定されないが、好ましいものとしては、トルエン、キシレン等の炭化水素；メタノール、エタノール、２−プロパノール、イソブチルアルコール（２−メチルプロパン−１−オール）、１−ブタノール等のアルコール；酢酸エチル等のエステル；アセトン、メチルエチルケトン等のケトン；テトラヒドロフラン等のエーテル；ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミド（アミド結合を有する化合物）等が例示できる。  前記溶媒は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００６２】  保護膜形成用組成物における、全成分の総配合量に対する溶媒の配合量の割合は、２５〜７５質量％であることが好ましく、３５〜６５質量％であることがより好ましい。
【００６３】  保護膜形成用フィルムの厚さは、特に限定されないが、３〜２００μｍであることが好ましく、５〜１５０μｍであることがより好ましく、７〜８０μｍであることが特に好ましい。この保護膜形成用フィルムの厚さは、従来から一般的に用いられている測定機器及び測定方法によって測定することができる。
【００６４】  本発明に係る保護膜形成用フィルムは、通常、支持シート上に剥離可能に設けられ、積層物である保護膜形成用複合シートとして使用される。  保護膜形成用フィルムの支持シートへの対向面は、支持シートの保護膜形成用フィルムへの対向面と同じ形状及びサイズであるか、又は支持シートの保護膜形成用フィルムへの対向面よりも小さいサイズである。また、保護膜形成用フィルムの半導体ウエハへの対向面は、半導体ウエハの保護膜形成用フィルムへの対向面と略同等の形状及びサイズであるか、又は半導体ウエハの保護膜形成用フィルムへの対向面全面を被覆できる形状及びサイズである。
【００６５】  図１は、本発明に係る保護膜形成用フィルムを用いた保護膜形成用複合シートを模式的に例示する断面図である。  ここに示す保護膜形成用複合シート１は、支持シート１１の表面１１ａ上に保護膜形成用フィルム１２が積層されてなるものであり、保護膜形成用フィルム１２の支持シート１１への対向面は、支持シート１１の保護膜形成用フィルム１２への対向面（前記表面１１ａ）と同じ形状及びサイズである。ただし、上述のように、ここに示す保護膜形成用複合シート１は、本発明に係る保護膜形成用フィルムを用いたものの一実施形態を例示するに過ぎず、保護膜形成用複合シートはこれに限定されない。
【００６６】  前記支持シートの材質としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリイミド、フッ素樹脂等が例示でき、さらにこれらが架橋されたものも例示できる。  また、支持シートは着色フィルムであってもよい。
【００６７】  前記支持シートの厚さは、５〜２００μｍであることが好ましく、１０〜１６０μｍであることがより好ましい。この支持シートの厚さは、従来から一般的に用いられている測定機器及び測定方法方法によって測定することができる。
【００６８】  前記支持シートは、単層からなるものでもよいし、二層以上の複数層からなるものでもよい。支持シートが複数層からなる場合、これら複数層は、互いに同一でも、異なっていてもよい。すなわち、すべての層が同一であってもよいし、すべての層が異なっていてもよく、一部の層のみが異なっていてもよい。そして、複数層が互いに異なる場合、これら複数層の組み合わせは特に限定されない。ここで、複数層が互いに異なるとは、各層の材質及び厚さの少なくとも一方が互いに異なることを意味する。  なお、支持シートが複数層からなる場合には、各層の合計の厚さが、上記の好ましい支持シートの厚さとなるようにするとよい。
【００６９】  前記支持シートにおける保護膜形成用フィルムへの対向面（図１における支持シート１１の表面１１ａ）は、適宜、剥離処理が施されていてもよい。この剥離処理は公知の方法で行うことができ、剥離処理で使用される剥離剤としては、アルキッド系、シリコーン系、フッ素系、不飽和ポリエステル系、ポリオレフィン系及びワックス系等の各種剥離剤が例示でき、耐熱性を有する点から、アルキッド系、シリコーン系又はフッ素系の剥離剤が好ましい。
【００７０】  また、剥離フィルム上に粘着剤層を形成した粘着シートを支持シートとして用いてもよい。この場合、保護膜形成用フィルムは、支持シートに設けられた粘着剤層上に積層される。このような構成とすることで、特に、保護膜形成用複合シート上において、保護膜形成用フィルム又は保護膜ごとウエハをチップに個片化する場合に、ウエハやチップの固定性能に優れることとなるため、好ましい。また、粘着剤層を再剥離性粘着剤層とすることで、保護膜形成用フィルム又は保護膜を支持シートから分離することが容易となるため好ましい。再剥離性粘着剤層としては、保護膜形成用フィルムを剥離できる程度の粘着力を有する弱粘着性のものを使用してもよいし、エネルギー線照射により粘着力が低下するエネルギー線硬化性のものを使用してもよい。具体的には、再剥離性粘着剤層は、従来公知の種々の粘着剤（例えば、ゴム系、アクリル系、シリコーン系、ウレタン系、ビニルエーテル系等の汎用粘着剤、表面凹凸のある粘着剤、エネルギー線硬化型粘着剤、熱膨張成分含有粘着剤等）により形成できる。
【００７１】  保護膜形成用フィルムは、前記支持シートへの対向面とは反対側の面に、軽剥離性の剥離フィルムが貼り合わされることにより、保護されてもよい。
【００７２】  前記保護膜形成用組成物は、カップリング剤（Ｅ）、並びに、適宜、バインダー樹脂（Ａ）、エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）、熱硬化剤（Ｃ）、硬化促進剤（Ｄ）、充填剤（Ｆ）、着色剤（Ｇ）、その他の添加剤及び溶媒からなる群から選択される１種以上を、合計で１００％となるように配合することで得られる。この際、例えば、上記各成分を適量で混合及び撹拌し、さらに、混合物の温度が２５℃程度となるように温度管理しながら、この混合物にメチルエチルケトン等を混合して希釈することで、保護膜形成用組成物を調製することができる。  各成分の配合時における添加順序は特に限定されず、２種以上の成分を同時に添加してもよい。  配合時に各成分を混合する方法についても、特に限定されず、撹拌子又は撹拌翼等を回転させて混合する方法；ミキサーを用いて混合する方法；超音波を加えて混合する方法等、公知の方法から適宜選択すればよい。  各成分の添加及び混合時の温度並びに時間は、各成分が劣化しない限り特に限定されず、適宜調節すればよいが、例えば、温度は１５〜３０℃であることが好ましい。
【００７３】  本発明に係る保護膜形成用フィルム（または、保護膜形成用複合シート）は、例えば、前記支持シートの表面（図１においては支持シート１１の表面１１ａ）に保護膜形成用組成物を塗布し、これを乾燥させることで製造できる。また、前記支持シートとは異なる工程フィルムの表面に保護膜形成用組成物を塗布し、乾燥させることで形成した保護膜形成用フィルムを、支持シートの表面に貼り合わせ、前記工程フィルムを取り除くことでも保護膜形成用フィルム（または、保護膜形成用複合シート）を製造できる。前記工程フィルムにおける保護膜形成用フィルムの形成面は、上述の支持シートの場合と同様に、適宜剥離処理が施されていてもよい。また、保護膜形成用フィルムを支持シートの表面に貼り合わせ後の工程フィルムは、取り除かずに、上述の剥離フィルムとしてもよい。
【００７４】  保護膜形成用組成物の乾燥条件は、その配合成分の種類に応じて選択すればよく、特に限定されないが、例えば、６０〜１２０℃で１〜３０分間乾燥させることが好ましい。
【００７５】  保護膜形成用組成物の支持シートの表面又は工程フィルムの表面への塗布は、公知の方法で行えばよく、エアーナイフコーター、ブレードコーター、バーコーター、グラビアコーター、ロールコーター、ロールナイフコーター、カーテンコーター、ダイコーター、ナイフコーター、スクリーンコーター、マイヤーバーコーター、キスコーター等の各種コーターを用いる方法が例示できる。
【００７６】＜保護膜付き半導体チップ及びその製造方法＞  本発明に係る保護膜形成用フィルムは、半導体チップの裏面に設けられた金属膜が保護膜で保護された保護膜付き半導体チップの製造に利用できる。具体的には、半導体ウエハの裏面に設けられた金属膜に、前記保護膜形成用フィルムが積層されてなる積層体により、前記積層体の保護膜形成用フィルムから保護膜を形成した後にダイシングするか、又は、前記積層体をダイシングした後に保護膜形成用フィルムから保護膜を形成することにより、前記保護膜付き半導体チップを製造できる。詳細は以下のとおりである。
【００７７】  まず、保護膜形成用複合シートの保護膜形成用フィルムを、半導体ウエハの裏面に設けられた金属膜に貼付することで、保護膜形成用複合シートを半導体ウエハに貼付する。保護膜形成用フィルムが剥離フィルムで保護されている場合には、この剥離フィルムを除去して、露出した保護膜形成用フィルムを前記金属膜に貼り合わせればよい。これにより、支持シートを備えた状態の前記積層体が得られる。
【００７８】  保護膜形成用フィルムの貼付対象となる金属膜の金属種は、特に限定されないが、金、銀又は銅であることが好ましく、金又は銀であることがより好ましい。  金属膜は単層からなるものでもよいし、二層以上の複数層からなるものでもよく、複数層からなる場合、これら複数層は、互いに同一でも、異なっていてもよい。  保護膜形成用フィルムの貼付対象となる金属膜（複数層からなる金属膜の場合には、保護膜形成用フィルムが貼付される金属膜）の厚さは、通常、５０〜３００ｎｍであることが好ましい。
【００７９】  本発明において、半導体ウエハは、例えば、シリコンウエハであってもよいし、ガリウム・砒素等の化合物半導体ウエハであってもよい。典型的な半導体ウエハは、その表面側に回路が形成されているとともに、その反対の裏面側に適宜研削等が施され、厚さが５０〜５００μｍ程度のものである。
【００８０】  次いで、保護膜形成用フィルムから支持シートを剥離させ、半導体ウエハの金属膜に貼付されている保護膜形成用フィルムを熱硬化等により硬化させて、前記金属膜の全面に保護膜を形成する。この際、例えば、市販のテープマウンターを使用して、保護膜形成用フィルムを７０℃程度に加熱しながら金属膜の表面に貼付し、さらに剥離フィルムを除去した後、１３０℃で２時間程度、加熱することにより、保護膜形成用フィルムを硬化させることで保護膜を形成することができる。  次いで、この保護膜を備えた半導体ウエハ（保護膜付き半導体ウエハ）を、ウエハ表面に形成された回路毎にダイシングする。ダイシングは、半導体ウエハ及び保護膜を共に切断するように行われ、ダイシングによって保護膜付き半導体ウエハは、複数の保護膜を備えた半導体チップに分割される。このダイシングは、例えば、保護膜の表面にダイシングテープを貼付し、市販のダイシング装置を用いて、上記の保護膜が貼付されたシリコンウエハを適宜の寸法にダイシングする方法とすることができる。  次いで、得られた半導体チップを、コレット等の汎用手段によりピックアップすることで、裏面の金属膜が保護膜で保護された半導体チップ（保護膜付き半導体チップ）が得られる。
【００８１】  なお、支持シートの除去は、保護膜形成用フィルムの硬化前ではなく、硬化後（保護膜の形成後）に行ってもよいし、ダイシング後に行ってもよい。支持シートの除去をダイシング後に行う場合には、支持シートはダイシングシートを兼ねるものとなる。  また、保護膜形成用フィルムの硬化は、ダイシング前ではなくダイシング後に行ってもよい。
【００８２】  本発明に係る保護膜形成用フィルムから形成された保護膜により、半導体チップ裏面の金属膜が保護された保護膜付き半導体チップは、保護膜の金属膜への接着力が十分に高く、保護膜が、金属膜に対する初期接着力に優れるだけでなく、温度変化の履歴を経た場合でも金属膜からの剥離が抑制されるため、信頼性が高い。ここで、上述した信頼性としては、例えば、保護膜付き半導体チップに熱履歴を付与した際、半導体チップと保護膜との接合部における浮き・剥がれ、及び保護膜におけるクラックが発生した試験サンプルが、サンプル数＝２５個において０〜３個程度である場合に、信頼性が高いということができる。また、保護膜形成用フィルムの評価項目としては、臭気の評価も挙げられる。この臭気の評価は、例えば、保護膜形成用フィルムを２０ｃｍ×２０ｃｍの大きさに切り出し、切り出した試験片から、２５℃の温度条件下で剥離フィルムを剥離させた際の臭気の有無で官能評価することができる。
【実施例】
【００８３】  以下、具体的実施例により、本発明についてより詳細に説明する。ただし、本発明は、以下に示す実施例に、何ら限定されるものではない。【００８４】＜保護膜形成用フィルム（保護膜形成用複合シート）の製造＞［実施例１］  下記成分を下記表１に示す量で混合及び撹拌し、さらにメチルエチルケトン７００質量部を混合して希釈することで、保護膜形成用組成物を調製した。この間、混合物の温度は２５℃となるように調整した。【００８５】［バインダー樹脂（Ａ）］  （１）アクリル樹脂（Ａ−１）：アクリル酸ブチル（１０質量部）、アクリル酸メチル（７０質量部）、メタクリル酸グリシジル（５質量部）及びアクリル酸２−ヒドロキシエチル（１５質量部）を共重合してなる、重量平均分子量３５万、ガラス転移温度−１℃の共重合体  （２）アクリル樹脂（Ａ−２）：アクリル酸ブチル（１５質量部）、アクリル酸メチル（６５質量部）、メタクリル酸グリシジル（５質量部）及びアクリル酸２−ヒドロキシエチル（１５質量部）を共重合してなる、重量平均分子量３５万、ガラス転移温度−４℃の共重合体［エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ）］  （１）エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ−１）：ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（エポキシ樹脂当量２２０〜２４０ｇ／ｍｏｌ）  （２）エポキシ系熱硬化性樹脂（Ｂ−２）：ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂（ＤＩＣ社製「エピクロンＨＰ−７２００ＨＨ）（エポキシ当量２７４〜２８６ｇ／ｍｏｌ）［熱硬化剤（Ｃ）］  （１）熱硬化剤（Ｃ−１）：ジシアンジアミド（ＡＤＥＫＡ社製「アデカハードナー３６３６ＡＳ」）［硬化促進剤（Ｄ）］  （１）硬化促進剤（Ｄ−１）：２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール（四国化成工業社製「キュアゾール２ＰＨＺ）［チオール基又は保護チオール基を有するカップリング剤（Ｅ）］  （１）カップリング剤（Ｅ−１）：保護チオール基を有するシランカップリング剤（信越化学工業社製「Ｘ−１２−１０５６ＥＳ」、（ＣＨ３Ｏ）３Ｓｉ−Ｃ３Ｈ６−Ｓ−Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３）  （２）カップリング剤（Ｅ−２）：チオール基を有するシランカップリング剤（信越化学工業社製「ＫＢＭ−８０３」、（ＣＨ３Ｏ）３Ｓｉ−Ｃ３Ｈ６−ＳＨ）［充填剤（Ｆ）］  （１）無機充填剤（Ｆ−１）：溶融石英フィラー（平均粒径１０μｍ）［着色剤（Ｇ）］  （１）着色剤（Ｇ−１）：カーボンブラック（三菱化学社製「ＭＡ６００」、平均粒径２０ｎｍ）［チオール基及び保護チオール基を有しないカップリング剤（Ｈ）］  （１）カップリング剤（Ｈ−１）：チオール基及び保護チオール基をいずれも有しないオリゴマータイプシランカップリング剤（信越化学工業社製「Ｘ−４１−１０５６」）  （２）カップリング剤（Ｈ−２）：チオール基及び保護チオール基をいずれも有しないモノマータイプシランカップリング剤（信越化学工業社製「ＫＢＭ−４０３」）【００８６】  次いで、片面が剥離処理されたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（リンテック社製「ＳＰ−ＰＥＴ３８１１」）の前記剥離処理面に、上記で得られた保護膜形成用組成物を、乾燥後の厚さ（保護膜形成用フィルムの厚さ）が２５μｍとなるように塗布し、１００℃で３分間乾燥させることにより��ＰＥＴフィルム上に保護膜形成用フィルムを作製した（保護膜形成用複合シートを作製した）。この保護膜形成用フィルムには、さらに剥離フィルムを貼り合わせた。【００８７】＜保護膜付き半導体チップの製造＞  ＃２０００研磨したシリコンウエハ（２００ｍｍ径、厚さ２００μｍ）の研磨面に、チタン、ニッケル及び金を、この順で、それぞれ厚さが１００ｎｍとなるように蒸着して成膜した。そして、上記で得られた保護膜形成用複合シートから剥離フィルムを剥離させ、テープマウンター（リンテック社製「Ａｄｗｉｌｌ  ＲＡＤ−３６００  Ｆ／１２）を用いて、保護膜形成用フィルムを７０℃に加熱しながら金膜の表面に貼付した。次いで、もう一方の剥離フィルム（ＰＥＴフィルム）も除去し、１３０℃で２時間加熱することにより、保護膜形成用フィルムを硬化させ、シリコンウエハの裏面側における金膜の表面に保護膜を形成した。  次いで、前記保護膜の表面にダイシングテープ（リンテック社製「Ａｄｗｉｌｌ  Ｄ−６８６Ｈ」）を貼付し、ダイシング装置 （ディスコ社製「ＤＦＤ６５１」）を用いて、上記の保護膜が貼付されたシリコンウエハを３ｍｍ×３ｍｍのサイズにダイシングして、保護膜付き半導体チップを得た。【００８８】＜保護膜付き半導体チップの評価＞（信頼性の評価）  上記手順で得られた保護膜付き半導体チップを、半導体チップが実際に実装されるプロセスを模倣した条件（プレコンディション）で処理した。すなわち、まず、恒温器中において保護膜付き半導体チップを１２５℃で２４時間ベイキングし、さらに、恒温恒湿器中において８５℃、相対湿度８５％の条件下で１６８時間放置して吸湿させ、恒温恒湿器内から取り出した後、直ちにプレヒート１６０℃、ピーク温度２６０℃、加熱時間３０秒間の条件でＩＲリフロー炉に３回通した。これらプレコンディションで処理した保護膜付き半導体チップ２５個を、冷熱衝撃装置（ＥＳＰＥＣ社製「ＴＳＥ−１１−Ａ」）内に設置し、−６５℃で１０分間保持してから１５０℃で１０分間保持するサイクルを１０００回繰り返した。  次いで、走査型超音波探傷装置（日立建機ファインテック社「Ｈｉ−ｆｏｃｕｓ  ＳＴ１２０」）を用いた、１４０ＭＨｚの周波数による反射法での測定により、冷熱衝撃装置から取り出した２５個の保護膜付き半導体チップについて、半導体チップと保護膜との接合部における浮き・剥がれ、及び保護膜におけるクラックの有無を確認した。そして、浮き・剥がれ及びクラックの少なくとも一方が認められた保護膜付き半導体チップの個数が０個の場合を「ａ」、１〜３個の場合を「ｂ」、４個以上の場合を「ｃ」として評価した。結果を下記表１に示す。【００８９】＜保護膜形成用フィルムの評価＞（臭気の評価）  上記手順で得られた保護膜形成用フィルムを２０ｃｍ×２０ｃｍの大きさに切り出し、得られた試験片について、２５℃の温度条件下で剥離フィルムを剥離させ、このときの臭気の有無を官能評価し、臭気を感じなかった場合を「ａ」、臭気を感じた場合を「ｃ」として評価した。結果を下記表１に示す。【００９０】＜保護膜形成用フィルム及び保護膜付き半導体チップの製造並びに評価＞［実施例２〜５、比較例１〜２］  保護膜形成用組成物調製時の配合成分の種類��び量を下記表１に示すとおりとした点以外は、実施例１と同様に、保護膜形成用フィルム及び保護膜付き半導体チップを製造し、評価した。結果を下記表１に示す。【００９１】
【表１】
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【００９２】  上記結果から明らかなように、チオール基又は保護チオール基を有するカップリング剤（Ｅ）を用いた実施例１〜５の保護膜付き半導体チップは、半導体チップと保護膜との接合部における浮き・剥がれ、及び保護膜におけるクラックの発生が抑制されており、温度変化の履歴を経た場合の信頼性が高かった。なかでも、実施例１、４及び５の保護膜付き半導体チップが、特に信頼性に優れていた。実施例２が実施例１、４及び５よりも温度変化の履歴を経た場合の信頼性が低かったのは、バインダー樹脂（Ａ）としてガラス転移温度が−３℃未満のアクリル樹脂（Ａ−２）を用いたためであると推測される。また、実施例３が実施例１、４及び５よりも温度変化の履歴を経た場合の信頼性が低かったのは、保護膜形成用組成物における、溶媒以外の成分の総配合量に対する充填剤（Ｆ）の配合量の割合が、５５質量％未満であったためであると推測される。一方、保護チオール基を有するカップリング剤（Ｅ−１）を用いた実施例１〜４の保護膜形成用フィルムは、臭気の発生が抑制されていた。  これに対して、チオール基及び保護チオール基を有しないカップリング剤（Ｈ）を用いた比較例１〜２の保護膜付き半導体チップは、半導体チップと保護膜との接合部における浮き・剥がれ、又は保護膜におけるクラックの発生が認められ、温度変化の履歴を経た場合の信頼性が低かった。
【産業上の利用可能性】
【００９３】  本発明は、半導体チップの裏面等の金属膜の保護に利用可能である。
【符号の説明】
【００９４】  １・・・保護膜形成用複合シート、１１・・・支持シート、１１ａ・・・支持シートの表面、１２・・・保護膜形成用フィルム
【図１】
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