(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄槽に貯留された洗浄液に、導体で形成された洗浄対象物を浸漬した後、ケーブルを介してマイクロ波を前記洗浄対象物に伝送することで前記洗浄液の液面にマイクロ波を印加しながら前記洗浄対象物を前記洗浄液の液面から取り出す
ことを特徴とするマイクロ波洗浄方法。
【請求項２】
マイクロ波を発生するマイクロ波発振器と、
導体で形成された洗浄対象物が浸漬される洗浄液を貯留する洗浄槽と、
前記洗浄対象物を把持する把持機構と、
前記把持機構で把持される前記洗浄対象物を前記洗浄液の液面から取り出す取り出し機構と、
前記マイクロ波発振器を駆動して前記洗浄液の液面にマイクロ波を印加している状態で前記洗浄対象物が前記洗浄液の液面から取り出されるように前記取り出し機構を駆動する制御装置と、
前記マイクロ波発振器で発生したマイクロ波を前記洗浄対象物に伝送する伝送機構と、を備え、
前記伝送機構は、導体で形成された前記把持機構と、前記マイクロ波発振器及び前記把持機構に接続されたケーブルと、を備える
ことを特徴とするマイクロ波洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波洗浄方法及びマイクロ波洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
洗浄槽に貯留された洗浄液に洗浄対象物を浸漬し、洗浄液の液面上方からマイクロ波を照射することにより洗浄液中の洗浄対象物を洗浄するマイクロ波洗浄方法が知られている（例えば特許文献１など）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１７９１９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、マイクロ波は液体中で大きく減衰する特性を有している。そのため、洗浄液に浸漬された洗浄対象物に対して液面上方からマイクロ波を照射しても、マイクロ波は洗浄対象物に到達した時点で減衰しているため、マイクロ波を使った洗浄効果が十分に得られないおそれがある。
【０００５】
本発明はこうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、マイクロ波を使った洗浄効果を高めることのできるマイクロ波洗浄方法及びマイクロ波洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するマイクロ波洗浄方法は、洗浄槽に貯留された洗浄液に洗浄対象物を浸漬した後、前記洗浄液の液面にマイクロ波を印加しながら前記洗浄対象物を前記洗浄液の液面から取り出すことをその要旨とする。
【０００７】
洗浄液にマイクロ波を印加すると、洗浄液の水分子が反転を繰り返しながら激しく振動するため、こうした水分子の振動等によって洗浄対象物は洗浄される。
ここで、洗浄液に印加されたマイクロ波の減衰量は、液面近傍に印加されるマイクロ波の減衰量が最も少なく、液面からの水深が深くなるほどマイクロ波の減衰量は多くなる傾向があり、洗浄液にマイクロ波が印加されているときには、液面近傍が最も洗浄効果が高い。
【０００８】
そこで同方法では、洗浄液の液面にマイクロ波を印加しながら洗浄対象物を洗浄液の液面から取り出すようにしている。つまり、洗浄液の液面にマイクロ波を印加しながら、洗浄対象物が洗浄液の液面を通過して取り出されるようにしている。そのため、その取り出し過程において洗浄対象物は、最も洗浄効果の高い洗浄液の液面近傍を通過していくことになり、洗浄対象物全体が十分に洗浄される。従って、同方法によれば、マイクロ波を使った洗浄効果を高めることができる。
【０００９】
また、上記マイクロ波洗浄方法において、前記洗浄対象物は導体であり、ケーブルを介してマイクロ波を前記洗浄対象物に伝送することが好ましい。
同方法によれば、マイクロ波がケーブルを介して洗浄対象物に伝送される。ここで、洗浄対象物が誘電体（絶縁体）で形成されていると、洗浄対象物に伝送されたマイクロ波は洗浄対象物の内部を透過するとともにその透過過程において減衰してしまう。この点、同方法においては、洗浄対象物が導体で形成されているため、マイクロ波は洗浄対象物を透過することなく、洗浄対象物の外周面を流れながら放射されていく。こうした洗浄対象物の外周面からの放射により、マイクロ波が洗浄液に印加される。従って、洗浄対象物が洗浄液の液面を通過する過程において、洗浄対象物から洗浄液の液面に対してマイクロ波を印加することができる。
【００１０】
また、洗浄液から取り出された洗浄対象物の外周面は洗浄液で濡れているが、洗浄対象物の外周面から放射されるマイクロ波による誘電加熱により、外周面に付着した洗浄液自体が加熱されて気化するため、洗浄対象物の外周面は乾燥される。従って、洗浄液から洗浄対象物を取り出す過程において、洗浄対象物の洗浄及び乾燥を併せて行うことができるようになる。
【００１２】
一方、上記課題を解決するマイクロ波洗浄装置は、マイクロ波を発生するマイクロ波発振器と、洗浄対象物が浸漬される洗浄液を貯留する洗浄槽と、前記洗浄対象物を把持する把持機構と、前記把持機構で把持される前記洗浄対象物を前記洗浄液の液面から取り出す取り出し機構と、前記マイクロ波発振器を駆動して前記洗浄液の液面にマイクロ波を印加している状態で前記洗浄対象物が前記洗浄液の液面から取り出されるように前記取り出し機構を駆動する制御装置と、を備えている。
【００１３】
同構成では、マイクロ波発振器を駆動して洗浄液の液面にマイクロ波を印加している状態で洗浄対象物が洗浄液の液面から取り出されるように上記取り出し機構を駆動する制御装置を備えている。ここで、上述したように、洗浄液の液面近傍ではマイクロ波による洗浄効果が高くなるため、洗浄対象物を洗浄液から取り出す過程において、洗浄対象物は洗浄効果が最も高い洗浄液の液面近傍を通過していくことになり、洗浄対象物全体が十分に洗浄される。従って、同構成によれば、マイクロ波を使った洗浄効果を高めることができる。
【００１４】
また、上記マイクロ波洗浄装置において、前記洗浄対象物は導体で形成されており、前記マイクロ波発振器で発生したマイクロ波を前記洗浄対象物に伝送する伝送機構を備えることが好ましい。
【００１５】
同構成によれば、マイクロ波発振器で発生したマイクロ波は、伝送機構を介して洗浄対象物に伝送される。このときに洗浄対象物を洗浄液に浸漬しておくことにより、洗浄対象物に伝送されたマイクロ波は、導体で形成された洗浄対象物を透過することなく、洗浄対象物の外周面を流れながら放射されていき、その放射されたマイクロ波が洗浄液に印加される。また、制御装置は、マイクロ波発振器の駆動中に洗浄対象物が洗浄液の液面から取り出されるように上記取り出し機構を駆動するため、洗浄対象物は洗浄液の液面を通過するようになる。従って、同構成によれば、洗浄対象物が洗浄液の液面を通過するときに、洗浄対象物から洗浄液の液面に対してマイクロ波を印加することが可能になる。
【００１６】
なお、液面からの水深が深くなるほど、洗浄対象物の外周面を流れるマイクロ波の液中における減衰量は多くなっていく。そのため、液面近傍に印加されるマイクロ波の減衰量が最も少なく、液面からの水深が深くなるほどマイクロ波の減衰量は多くなる。従って、同構成でも、マイクロ波による洗浄効果は液面近傍が最も高くなる。
【００１７】
また、洗浄液から取り出された洗浄対象物の外周面は洗浄液で濡れているが、洗浄対象物の外周面から放射されるマイクロ波による誘電加熱により、外周面に付着した洗浄液自体が加熱されて気化するため、洗浄対象物の外周面は乾燥される。従って、同構成によれば、洗浄液から洗浄対象物を取り出す過程において、洗浄対象物の洗浄及び乾燥を併せて行うことができる。
【００１８】
上記伝送機構は、導体で形成された前記把持機構と、前記マイクロ波発振器及び前記把持機構に接続されたケーブルとを備えることが好ましい。
同構成によれば、マイクロ波発振器で発生したマイクロ波はケーブルを介して上記把持機構に伝送される。ここで、把持機構が誘電体で形成されていると、把持機構に伝送されたマイクロ波は把持機構の内部を透過するとともにその透過過程において減衰してしまう。この点、同構成では、把持機構が導体で形成されているため、把持機構に伝送されたマイクロ波は把持機構を透過することなく、把持機構の外周面を流れていき、その後、把持機構で把持された洗浄対象物の外周面に流れていく。従って、同構成によれば、マイクロ波発振器で発生したマイクロ波を、ケーブルと上記把持機構とを介して洗浄対象物に伝送することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】一実施形態のマイクロ波洗浄装置を示す模式図。
【図２】同実施形態のマイクロ波洗浄装置を使った洗浄工程を示す模式図。
【図３】同実施形態のマイクロ波洗浄装置を使った洗浄工程を示す模式図。
【図４】同実施形態のマイクロ波洗浄装置による作用を示す模式図。
【図５】同実施形態のマイクロ波洗浄装置による洗浄効果を示すグラフ。
【図６】同実施形態の変形例としてのマイクロ波洗浄装置を示す模式図。
【図７】同実施形態の変形例としてのマイクロ波洗浄装置を示す模式図。
【図８】同実施形態の変形例としてのマイクロ波洗浄装置を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、マイクロ波洗浄方法及びマイクロ波洗浄装置の一実施形態について、図１〜図５を参照して説明する。なお、本実施形態の洗浄対象物Ｗは金属などの導体で形成されている。
【００２４】
図１に示すように、マイクロ波洗浄装置１は、上部が開口しており洗浄液２０が貯留された洗浄槽１０を備えている。なお、洗浄液２０としては、純水や、界面活性剤を含む水など、洗浄対象物Ｗを洗浄するのに適した液体が用いられる。
【００２５】
洗浄槽１０の上方には、油圧式のシリンダ７０が設けられている。シリンダ７０は、洗浄槽１０に貯留された洗浄液２０の液面に向かって伸縮するピストンロッド７１を備えている。また、シリンダ７０には、ピストンロッド７１を伸縮させるための周知の油圧機構７３が接続されている。なお、油圧機構７３によるピストンロッド７１の伸縮は、油圧機構７３に設けられた切替弁７３Ａを操作することによって行われる。
【００２６】
ピストンロッド７１の先端には、洗浄対象物Ｗを把持する把持機構としてのチャック機構３０が取り付けられている。このチャック機構３０も金属などの導体で形成されており、洗浄対象物Ｗの上部を把持したり離したりすることが可能になっている。
【００２７】
シリンダ７０及び油圧機構７３は、チャック機構３０に把持された洗浄対象物Ｗを洗浄液２０の液面から取り出すための取り出し機構を構成する。
マイクロ波洗浄装置１は、マイクロ波を発生させるマイクロ波発振器５０や、マイクロ波発振器５０で発生したマイクロ波を洗浄対象物Ｗに伝送する伝送機構を備えている。この伝送機構は、マイクロ波発振器５０及びチャック機構３０に接続された同軸ケーブル６０と、導体で形成された上記チャック機構３０とで構成されている。マイクロ波発振器５０で発生したマイクロ波は、同軸ケーブル６０を介して導体で形成されたチャック機構３０に伝送される。そして、チャック機構３０によって洗浄対象物Ｗが把持されているときには、チャック機構３０を介して導体で形成された洗浄対象物Ｗにマイクロ波が伝送される。
【００２８】
次に、マイクロ波洗浄装置１を使って洗浄対象物Ｗを洗浄する方法について説明する。なお、本実施形態では、作業者によってチャック機構３０、シリンダ７０、及びマイクロ波発振器５０の操作が行われる。
【００２９】
図２に示すように、まず、洗浄対象物Ｗをチャック機構３０で掴み、その後、シリンダ７０のピストンロッド７１を延ばすことにより、洗浄対象物Ｗを洗浄液２０に浸漬させる。
【００３０】
次に、図３に示すように、マイクロ波発振器５０を駆動してマイクロ波を発生させつつ、ピストンロッド７１を縮めることにより、洗浄液２０の液面から洗浄対象物Ｗを徐々に取り出す。つまり、洗浄対象物Ｗが洗浄液２０の液面を通過して取り出されるようにしている。
【００３１】
そして、洗浄液２０から洗浄対象物Ｗ全体を取り出した後は、マイクロ波発振器５０の駆動を停止する。
次に、マイクロ波洗浄装置１及び上記洗浄方法による作用を説明する。
【００３２】
図４に示すように、マイクロ波発振器５０を駆動してマイクロ波を発生させると、発生したマイクロ波Ｍは同軸ケーブル６０を介してチャック機構３０に伝送される。ここで、チャック機構３０が誘電体で形成されていると、チャック機構３０に伝送されたマイクロ波Ｍは、チャック機構３０の内部を透過するとともにその透過過程において減衰してしまう。この点、本実施形態では、チャック機構３０が導体で形成されているため、チャック機構３０に伝送されたマイクロ波Ｍはチャック機構３０の内部を透過することなく、チャック機構３０の外周面を流れていき、チャック機構３０で把持された洗浄対象物Ｗに伝送される。
【００３３】
また、洗浄対象物Ｗが誘電体で形成されていると、洗浄対象物Ｗに伝送されたマイクロ波Ｍは、洗浄対象物Ｗの内部を透過するとともにその透過過程において減衰してしまうが、本実施形態では、上述したように洗浄対象物Ｗは導体で形成されている。そのため、洗浄液２０に浸漬された状態の洗浄対象物Ｗに対してマイクロ波Ｍが伝送されると、マイクロ波Ｍは洗浄対象物Ｗを透過することなく、洗浄対象物Ｗの外周面を流れながら放射されていく。こうした洗浄対象物Ｗの外周面からの放射により、マイクロ波Ｍが洗浄液２０に印加される。
【００３４】
そして、マイクロ波発振器５０を駆動してマイクロ波を発生させつつ、洗浄液２０の液面２０Ａから洗浄対象物Ｗを徐々に取り出すことにより、その取り出し過程では、洗浄対象物Ｗは洗浄液２０に対してマイクロ波Ｍを放射しつつ洗浄液２０の液面２０Ａを通過していき、洗浄液２０から取り出される。
【００３５】
洗浄液２０にマイクロ波を印加すると、洗浄液２０の水分子が反転を繰り返しながら激しく振動するため、こうした水分子の振動等によって洗浄対象物Ｗの表面が洗浄される。
上述したように、本実施形態ではチャック機構３０から伝わってきたマイクロ波が洗浄対象物Ｗの外周面を流れながら放射されていくことにより、洗浄対象物Ｗの外周面から洗浄液２０に対してマイクロ波Ｍが印加される。
【００３６】
ここで、液面２０Ａからの水深が深くなるほど、洗浄対象物Ｗの外周面を流れるマイクロ波の液中における減衰量は多くなっていく。そのため、液面２０Ａ近傍の洗浄液２０に印加されるマイクロ波Ｍの減衰量が最も少なく、液面２０Ａからの水深が深くなるほど洗浄液２０に印加されるマイクロ波Ｍの減衰量は多くなる。
【００３７】
この点、上記洗浄方法による洗浄対象物Ｗの洗浄過程では、外周面からマイクロ波Ｍを放射しつつ、洗浄対象物Ｗはマイクロ波Ｍの減衰量が最も少ない液面２０Ａ近傍の領域（図４に二点鎖線で示す領域Ｓ）を通過していく。そのため、マイクロ波Ｍの減衰量が最も少なく洗浄効果の最も高い上記領域Ｓを洗浄対象物Ｗ全体が通過していき、洗浄対象物Ｗの全体が十分に洗浄される。
【００３８】
また、洗浄液２０から取り出された洗浄対象物Ｗの外周面は洗浄液２０で濡れているが、洗浄対象物Ｗの外周面から放射されるマイクロ波Ｍによる誘電加熱により、外周面に付着した洗浄液２０自体が加熱されて気化するため、洗浄対象物Ｗの外周面は乾燥される。
【００３９】
図５に、本実施形態による洗浄効果の実験結果と、本実施形態の実験結果に対する比較例であって洗浄槽内の洗浄液に洗浄対象物を浸漬させた状態で洗浄液の上方からマイクロ波を照射した場合の洗浄効果の実験結果とを示す。
【００４０】
なお、この実験では、マイクロ波洗浄後の洗浄対象物Ｗの表面に残っている汚れ（例えば残渣や残渣の染みなど）の総面積Ｓ１を洗浄対象物Ｗの総表面積Ｓ２で除して「１００」を乗算した値を「残渣割合ＺＲ（％）：ＺＲ＝Ｓ１／Ｓ２×１００」として算出し、この残渣割合ＺＲを洗浄効果の指標値とした。なお、残渣割合ＺＲが小さいほど洗浄効果が高いことを示す。また、汚れの総面積Ｓ１は、周知のレーザ式欠陥検査装置を使って計測した。
【００４１】
図５に示すように、比較例での残渣割合ＺＲは約８２％であった。一方、本実施形態では残渣割合ＺＲが約３％であった。従って、本実施形態では、比較例に対して残渣割合ＺＲが約１／２７にまで低減しており、洗浄効果の向上が確認された。
【００４２】
以上説明した本実施形態によれば、次の効果を得ることができる。
（１）洗浄液２０の液面２０Ａにマイクロ波Ｍが印加されている状態で洗浄対象物Ｗを洗浄液２０の液面２０Ａから取り出すようにしているため、マイクロ波を使った洗浄効果を高めることができる。
【００４３】
（２）洗浄対象物Ｗにマイクロ波Ｍを伝送するようにしているため、洗浄液２０から洗浄対象物Ｗを取り出す過程において、洗浄対象物Ｗの洗浄及び乾燥を併せて行うことができる。
【００４４】
なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施することもできる。
・上記実施形態において、マイクロ波発振器５０で発生したマイクロ波を洗浄対象物Ｗに伝送する伝送機構は、マイクロ波発振器５０及びチャック機構３０に接続された同軸ケーブル６０と、導体で形成されたチャック機構３０とで構成されていた。
【００４５】
この他、マイクロ波発振器５０で発生したマイクロ波を洗浄対象物Ｗに伝送する伝送機構として、マイクロ波発振器５０及び洗浄対象物Ｗに接続された同軸ケーブル６０を備えることにより、同軸ケーブル６０から洗浄対象物Ｗに対して直接マイクロ波Ｍを伝送するようにしてもよい。なお、この変形例の場合には、チャック機構３０を介することなく、同軸ケーブル６０から洗浄対象物Ｗにマイクロ波Ｍが伝送されるため、チャック機構３０を導体以外の材料で形成することも可能である。
【００４６】
・上記実施形態では、洗浄液２０の液面２０Ａにマイクロ波を印加するために、同軸ケーブル６０を介して洗浄対象物Ｗにマイクロ波を伝送し、洗浄対象物Ｗの外周面から洗浄液２０に対してマイクロ波を印加するようにした。この他、そうした同軸ケーブル６０を省略して、洗浄液２０の上方からマイクロ波を照射するようにしてもよい。
【００４７】
このようにして洗浄液２０の上方からマイクロ波を照射した場合でも、液面２０Ａ近傍でのマイクロ波Ｍの減衰量が最も少なく、液面２０Ａからの水深が深くなるほどマイクロ波Ｍの減衰量は多くなる。従って、洗浄液２０の上方からマイクロ波を照射しながら洗浄対象物Ｗを洗浄液２０の液面２０Ａから取り出すようにすれば、上記実施形態と同様に、洗浄対象物Ｗはマイクロ波Ｍの減衰量が最も少ない液面２０Ａ近傍の領域を通過するため、マイクロ波Ｍの減衰量が最も少なく洗浄効果の最も高い領域を洗浄対象物Ｗ全体が通過していく。従って、洗浄対象物Ｗ全体を十分に洗浄することができる。また、洗浄対象物Ｗにマイクロ波を伝送する必要がないため、導体以外の材料で形成された洗浄対象物Ｗであっても洗浄することができる。
【００４８】
図６に、この変形例におけるマイクロ波洗浄装置２の構成を示す。なお、同図において上記実施形態と同一の部材については同じ符号を付している。
同図に示すように、このマイクロ波洗浄装置２では、上記同軸ケーブル６０が省略されている。そして、マイクロ波発振器５０には、マイクロ波を伝播させる導波管８０が接続されている。導波管８０にはマイクロ波を照射する照射口８１が設けられている。この照射口８１は、洗浄液２０の上方に配設されており、この照射口８１からは洗浄液２０の液面２０Ａに向けてマイクロ波Ｍが照射される。
【００４９】
そして、この変形例でも、作業者がシリンダ７０やマイクロ波発振器５０を操作することにより、導波管８０から液面２０Ａに向けてマイクロ波Ｍが照射されている状態で洗浄対象物Ｗを洗浄液２０の液面２０Ａから取り出す。こうした変形例でも、洗浄対象物Ｗの洗浄過程では、上述したようにマイクロ波Ｍの減衰量が最も少ない液面２０Ａ近傍を洗浄対象物Ｗが通過するため、上記（１）と同様な効果を得ることができる。
【００５０】
また、上述したように、洗浄液２０から取り出された洗浄対象物Ｗの外周面は洗浄液２０で濡れているが、導波管８０から照射されたマイクロ波Ｍが洗浄対象物Ｗの外周面に当たると、マイクロ波による誘電加熱によって外周面に付着した洗浄液自体が加熱されて気化するため、洗浄対象物Ｗの外周面は乾燥される。従って、この変形例でも、洗浄液２０から洗浄対象物Ｗを取り出す過程において、洗浄対象物Ｗの洗浄及び乾燥を併せて行うことができる。
【００５１】
・シリンダ７０は油圧式のシリンダであった。この他、シリンダ７０として、エア式のシリンダや電動式のシリンダを採用してもよい。
・洗浄対象物Ｗを洗浄液２０の液面２０Ａから取り出す取り出し機構としてシリンダ７０及び油圧機構７３を用いるようにしたが、他の機構、例えばアクチュエータを備えたスライダ等を用いるようにしてもよい。
【００５２】
・洗浄対象物Ｗを把持する把持機構としてチャック機構３０を備えるようにしたが、その他の機構で洗浄対象物Ｗを把持するようにしてもよい。
・マイクロ波発振器５０とチャック機構３０とを同軸ケーブル６０で接続するようにしたが、マイクロ波の放射を抑えるとともに伝送損失の低いケーブルであれば、同軸ケーブル６０以外のケーブルを用いてもよい。
【００５３】
・上記実施形態では、シリンダ７０及びマイクロ波発振器５０の操作を作業者が行うようにした。この他、そうした作業者による操作を制御装置を使って行うようにしてもよい。
【００５４】
図７に、この変形例におけるマイクロ波洗浄装置１の構成を示す。なお、同図において上記実施形態と同一の部材については同じ符号を付している。
同図に示すように、シリンダ７０に接続された油圧機構７３の切替弁７３Ａや、マイクロ波発振器５０には、それら切替弁７３Ａやマイクロ波発振器５０の駆動を制御する制御装置１００が接続されている。そして、制御装置１００に対して洗浄指令が入力されると、制御装置１００は、マイクロ波発振器５０を駆動してマイクロ波を発生させるとともに、マイクロ波の発生中に油圧機構７３の切替弁７３Ａを操作してピストンロッド７１を縮めることにより、洗浄液２０の液面から洗浄対象物Ｗを徐々に取り出す。こうした制御装置１００を備えるようにしても、上記実施形態で説明した洗浄方法を実施することができる。ちなみに、シリンダ７０及びマイクロ波発振器５０の操作に加えてチャック機構３０の操作も制御装置１００で行うようにしてもよい。
【００５５】
同様に、図８に示すように、先の図６に示したマイクロ波洗浄装置２においても、シリンダ７０に接続された油圧機構７３の切替弁７３Ａや、マイクロ波発振器５０には、それら切替弁７３Ａやマイクロ波発振器５０の駆動を制御する制御装置１００を接続する。そして、制御装置１００に対して洗浄指令が入力されると、制御装置１００は、マイクロ波発振器５０を駆動してマイクロ波を発生させるとともに、マイクロ波の発生中に油圧機構７３の切替弁７３Ａを操作してピストンロッド７１を縮めることにより、洗浄液２０の液面から洗浄対象物Ｗを徐々に取り出す。こうした制御装置１００を備えるようにしても、先の図６に示したマイクロ波洗浄装置２を使った洗浄方法を実施することができる。ちなみに、シリンダ７０及びマイクロ波発振器５０の操作に加えてチャック機構３０の操作も制御装置１００で行うようにしてもよい。
【００５６】
・洗浄液２０の液面から洗浄対象物Ｗを取り出す際には、洗浄液２０の上方から洗浄対象物Ｗを引き上げるようにした。この他、洗浄槽１０の底面から液面２０Ａの方向に洗浄対象物Ｗを押し上げる機構を設けて、洗浄対象物Ｗを押し上げることにより、洗浄液２０の液面から洗浄対象物Ｗを取り出すようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１、２…マイクロ波洗浄装置、１０…洗浄槽、２０Ａ…液面、３０…チャック機構、５０…マイクロ波発振器、６０…同軸ケーブル、７０…シリンダ、７１…ピストンロッド、７３…油圧機構、７３Ａ…切替弁、８０…導波管、８１…照射口、１００…制御装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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