(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物（２）の寸法を測定する光学系のレンズ（３，４）の絞りとして用いられる絞り装置において、
前記レンズの主軸（Ｏ）を含む位置に所定の大きさに形成された開口部（１５）を有する固定絞り部（１２）と、
前記固定絞り部に対し主軸方向に重なる位置に設けられ、前記レンズの焦点位置を含み且つ前記レンズの主軸に垂直な平面上に設けられた複数の絞り孔（１１）を有する可動絞り部（１３）と、
前記レンズの主軸に垂直な平面に沿って前記可動絞り部を直線状に移動する駆動部（１４）と、を備え、
複数の前記絞り孔はそれぞれ、１個の前記絞り孔のみが前記開口部に重なるように前記可動絞り部が移動する方向に離れて配置されていると共に、前記可動絞り部が移動する方向に対し垂直方向にずれた位置に配置されているものである絞り装置。
【請求項２】
前記駆動部は、前記固定絞り部を移動することなく、前記可動絞り部のみを移動するものである請求項１に記載の絞り装置。
【請求項３】
前記開口部の大きさは、１個の前記絞り孔の直径より大きいものである請求項１または２に記載の絞り装置。
【請求項４】
前記固定絞り部は、前記開口部を複数の開口に仕切る仕切枠（２０）を有するものである請求項１から３のいずれか一項に記載の絞り装置。
【請求項５】
測定対象物（２）の寸法を測定する光学系のレンズ（３，４）の絞りとして用いられる絞り装置において、
前記レンズの主軸（Ｏ）を含む位置に所定の大きさに形成された開口部（１５）を有する固定絞り部（１２）と、
前記固定絞り部に対し主軸方向に重なる位置に設けられ、前記レンズの焦点位置を含み且つ前記レンズの主軸に垂直な平面上に設けられた複数の絞り孔（１１）を有する可動絞り部（１３）と、
前記レンズの主軸に垂直な平面に沿って前記可動絞り部を移動する駆動部（１４）と、を備え、
前記開口部は、複数の開口に仕切る仕切枠（２０）を有し、複数の前記絞り孔はそれぞれ、１個の前記絞り孔のみが前記開口部に重なるように前記可動絞り部が移動する方向に離れて配置されていると共に、前記可動絞り部が移動する方向に対し垂直方向にずれた位置に配置されているものである絞り装置。
【請求項６】
互いの主軸および焦点位置が一致するように配置された物体側レンズ（３）および像側レンズ（４）と、
前記物体側レンズおよび前記像側レンズの焦点位置を含み且つ前記物体側レンズおよび前記像側レンズの主軸に垂直な平面上に前記絞り孔が位置するように設けられた請求項１から５のいずれか一項に記載の絞り装置と、
前記測定対象物側から前記物体側レンズおよび前記像側レンズに向けて光を照射する光照射部（５）と、
前記光照射部から照射されて前記物体側レンズ、前記絞り孔および前記像側レンズを通過した光を撮像する撮像手段（６）と、
前記撮像手段により撮像される画像のうち最小の大きさのものを前記測定対象物の大きさとして判定する画像処理手段（７）と、を備える寸法測定装置。
【請求項７】
前記画像処理手段は、前記可動絞り部の移動に伴って複数の前記絞り孔がそれぞれ開口部を通過する間に前記測定対象物を前記撮像手段により複数回撮像するものである請求項６に記載の寸法測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学系に用いられる絞り装置、及び、それを用いた寸法測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズの焦点位置に絞りを設置し、レンズの像側または測定対象物側においてレンズの主軸に対して平行な光線のみを選択的に結像させるテレセントリック光学系が知られている。このテレセントリック光学系を用いた寸法測定装置は、測定対象物の結像に画角がほとんどないので、その結像から、レンズの主軸に対し垂直な方向の測定対象物の寸法を測定することが可能である。
特許文献１に記載の寸法測定装置は、そのテレセントリック光学系を応用し、レンズの主軸に垂直な平面上で絞りの位置を変えることを可能にしたものである。この寸法測定装置の絞りは、円盤状のアイリス盤に設けられた複数のスリットと、固定絞り部に設けられた開口とが重なる位置に形成される。複数のスリットはそれぞれ、アイリス盤の径方向に異なる位置に設けられている。固定絞り部の開口は、アイリス盤の径方向に延びている。アイリス盤が回転すると、絞りの位置は、固定絞り部の開口が延びる方向に移動する。これにより、寸法測定装置は、固定絞り部の開口が延びる方向に測定対象物が傾いている場合でも、その測定対象物の側面を見ることなく、測定対象物を真正面から見た結像を得ることができる。なお、測定対象物を真正面から見た結像とは、測定対象物の奥行方向に対して平行に測定対象物を見た結像をいうものとする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−２１７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の寸法測定装置は、測定対象物が、固定絞り部の開口が延びる方向に傾いているだけでなく、その方向に対し垂直な方向にも傾いている場合、その測定対象物を真正面から見た結像を得ることができないという問題がある。この問題を解消するため、特許文献１に記載の寸法測定装置において、仮に、固定絞り部を開口が延びる方向に対し垂直な方向へ移動するための駆動部を設けた場合、寸法測定装置はアイリス盤と固定絞り部とをそれぞれ駆動する２つの駆動部を備えることになる。したがって、寸法測定装置の構成が複雑になると共に、その体格が大型化することが懸念される。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、簡素な構成で体格を小型化することの可能な絞り装置、およびそれを用いた寸法測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１発明の絞り装置は、光学系の絞りとして用いられるものであり、固定絞り部（１２）、可動絞り部（１３）および駆動部（１４）を備える。固定絞り部は、レンズの主軸（Ｏ）を含む位置で所定の大きさに形成された開口部（１５）を有する。可動絞り部は、固定絞り部に対し主軸方向に重なる位置に設けられ、レンズの焦点位置を含み且つレンズの主軸に垂直な平面上に設けられた複数の絞り孔（１１）を有する。駆動部は、レンズの主軸に垂直な平面に沿って可動絞り部を移動する。このとき、本発明の第一の態様では、駆動部は当該可動絞り部を直線状に移動する。複数の絞り孔はそれぞれ、１個の絞り孔のみが開口部に重なるように可動絞り部が移動する方向に離れて配置されていると共に、可動絞り部が移動する方向に対し垂直方向にずれた位置に配置されている。本発明の第二の態様では、開口部は、複数の開口に仕切る仕切枠（２０）を有する。
【０００６】
ここで、レンズの主軸をＺ軸とした直交座標系を定義し、可動絞り部がＸ軸に沿ってＸＹ平面上をＸ軸方向に移動するものとする。このとき、複数の絞り孔はそれぞれ、１個の絞り孔のみが開口部に重なるようにＸ軸方向に離れて配置され、且つ、Ｙ軸方向にずれた位置に配置されているといえる。そのため、駆動部が可動絞り部をＸ軸方向に移動すると、所定の絞り孔が開口部に重なりＸ軸方向に移動した後、その所定の絞り孔に対しＹ軸方向にずれた位置にある次の絞り孔が開口部に重なりＸ軸方向に移動する。これにより、絞り装置は、駆動部が可動絞り部を移動することで、開口部と重なる絞り孔の位置を、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に変えることが可能である。したがって、絞り装置は、駆動部の構成を簡素なものとして、その体格を小型化することができる。
【０００７】
第２発明は、第１発明の絞り装置を用いた寸法測定装置の発明である。寸法測定装置は、絞り装置に加え、物体側レンズ（３）、像側レンズ（４）、光照射部（５）、撮像手段（６）および画像処理手段（７）を備える。物体側レンズと像側レンズとは、互いの主軸および焦点位置が一致するように配置される。絞り装置は、物体側レンズおよび像側レンズの焦点位置を含み且つ物体側レンズおよび像側レンズの主軸に垂直な平面上に絞り孔が位置するように設けられる。光照射部は、測定対象物側から物体側レンズおよび像側レンズに向けて光を照射する。撮像手段は、光照射部から照射されて物体側レンズ、絞り孔および像側レンズを通過した光を撮像する。画像処理手段は、撮像手段により撮像される画像のうち最小の大きさのものを測定対象物の大きさとして判定する。
【０００８】
これにより、光照射部から照射されて測定対象物の外縁の外側を通る光は、主軸に対して傾斜した平行な光が絞り孔を選択的に通過し、撮像手段で結像する。そのため、絞り孔をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動することにより、測定対象物が主軸に対してＸ軸およびＹ軸のいずれの方向に傾いている場合でも、画像処理手段は、測定対象物を真正面から見た画像を得ることが可能である。したがって、この寸法測定装置は、測定対象物の大きさを正確に測定することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態による寸法測定装置の構成図である。
【図２】図１のＩＩ部分の拡大図である。
【図３】第１実施形態の絞り装置を像側レンズ側から見た平面図である。
【図４】第１実施形態の絞り装置の動作を示す説明図である。
【図５】第１実施形態の絞り装置の動作を示す説明図である。
【図６】図１の状態の測定対象物を撮影した画像を示す模式図である。
【図７】測定対象物が主軸に対し傾いた状態を示す寸法測定装置の構成図である。
【図８】図７の状態の測定対象物を撮影した画像を示す模式図である。
【図９】絞り孔の位置を移動した状態を示す寸法測定装置の構成図である。
【図１０】図９のＸ部分の拡大図である。
【図１１】図１０の状態の測定対象物を撮影した画像を示す模式図である。
【図１２】第２実施形態の絞り装置の平面図である。
【図１３】第３実施形態の絞り装置の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の複数の実施形態を図面に基づき説明する。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態を図１〜図９に示す。第１実施形態の寸法測定装置１は、例えば熱交換器など種々の測定対象物２の大きさを測定するものである。
図１に示すように、寸法測定装置１は、物体側レンズ３、像側レンズ４、光照射部としてのバックライト５、撮像手段としてのＣＣＤカメラ６、画像処理手段としてのコンピュータ７、および、絞り装置１０を備えている。
【００１１】
バックライト５は、例えば面光源であり、その上に測定対象物２が設置される。バックライト５は、測定対象物２の物体側レンズ３とは反対側から物体側レンズ３に向けて光を照射する。なお、図１に示した測定対象物２は直方体であるが、本実施形態の寸法測定装置１は、直方体に限らず、種々の形状の測定対象物２の寸法を測定することが可能である。
【００１２】
バックライト５から所定距離離れた位置に鏡胴８が設けられる。鏡胴８には、測定対象物２側から順に、物体側レンズ３、絞り装置１０、像側レンズ４、およびＣＣＤカメラ６が固定されている。物体側レンズ３は、像側レンズ４と比べて大口径である。物体側レンズ３の主軸Ｏと像側レンズ４の主軸Ｏとは一致している。また、物体側レンズ３の像側の焦点位置と、像側レンズ４の測定対象物２側の焦点位置とは一致している。なお、以下の説明において、物体側レンズ３および像側レンズ４のことを「レンズ３、４」という。
【００１３】
ここで、説明の便宜上、レンズ３、４の主軸ＯをＺ軸とした直交座標系を定義する。
絞り装置１０は、レンズ３、４の絞りとして用いられる複数の絞り孔１１を有する。この絞り孔１１は、物体側レンズ３と像側レンズ４の焦点位置を含み、且つ、Ｚ軸に垂直なＸＹ平面上をＸ軸に沿って移動することが可能である。なお、図１では、絞り装置１０の有する複数の絞り孔１１のうちのいずれか１つが物体側レンズ３と像側レンズ４の主軸Ｏにある状態を示している。絞り装置１０の構成および動作については後述する。
【００１４】
ＣＣＤカメラ６は、ＣＣＤイメージセンサ６１を有する。バックライト５から照射された光は、図１の実線Ｌ１に示すように、物体側レンズ３、絞り孔１１、像側レンズ４を通過し、ＣＣＤイメージセンサ６１上で結像する。なお、絞り孔１１は、バックライト５から照射されて測定対象物２を通過した光のうち、物体側レンズ３よりも測定対象物２側で平行な光、且つ、像側レンズ４よりもＣＣＤカメラ６側で平行な光のみを選択的に通すものである。ＣＣＤカメラ６は、ＣＣＤイメージセンサ６１上で結像した光を電気信号に変換し、コンピュータ７に伝送する。これにより、ＣＣＤカメラ６は、測定対象物２の真正面の像を撮像することが可能である。なお、真正面の像とは、測定対象物２の奥行方向の軸Ｈに対して平行に測定対象物２を見た像をいうものとする。
【００１５】
コンピュータ７は、ＣＣＤカメラ６に電気的に接続されており、ＣＣＤカメラ６による撮像のタイミングを制御する。また、コンピュータ７は、ＣＣＤカメラ６から伝送された電気信号により取得した測定対象物２の画像をディスプレイ９に表示する。コンピュータ７は、そのＣＣＤカメラ６により撮像された複数の画像のうち最小の大きさのものを測定対象物２の大きさとして判定する。
【００１６】
次に、絞り装置１０の構成および動作について説明する。
図２および図３に示すように、絞り装置１０は、固定絞り部１２、可動絞り部１３、および駆動部１４を備えている。
固定絞り部１２は、像側レンズ４の測定対象物２側に配置され、図示していない支持部材により鏡胴８の内壁に固定されている。なお、固定絞り部１２は、鏡胴８の内壁に固定されたガイド部材１６に固定してもよい。固定絞り部１２は、レンズ３、４の主軸Ｏを含む位置で所定の大きさに形成された開口部１５を有する。この開口部１５の大きさは、１個の絞り孔１１の直径より大きい。なお、図３では、Ｚ軸方向から見た開口部１５を矩形としているが、開口部１５の形状は矩形に限らず、種々の形状を採用することが可能である。
【００１７】
可動絞り部１３は、固定絞り部１２に対し主軸Ｏ方向に重なる位置で、鏡胴８の内壁に固定されたガイド部材１６にブロック１７を介して設けられている。可動絞り部１３は、ガイド部材１６に沿ってＸＹ平面上を、Ｘ軸方向に往復移動可能である。可動絞り部１３は、Ｘ軸方向に往復移動した際、固定絞り部１２の開口部１５を常に遮蔽可能な大きさである。
【００１８】
可動絞り部１３は、上述した複数の絞り孔１１を有する。その複数の絞り孔１１は、レンズ３、４の焦点位置を含み、且つ、レンズ３、４の主軸Ｏに垂直なＸＹ平面上に設けられている。それぞれの絞り孔１１と絞り孔１１との距離Ａは、開口部１５の長さＢより離れている。そのため、複数の絞り孔１１はそれぞれ、可動絞り部１３がＸ軸に沿って移動する際に１個の絞り孔１１のみが開口部１５に重なる。また、それぞれの絞り孔１１と絞り孔１１とは、Ｙ軸方向にずれた位置に配置されている。そのため、絞り装置１０は、開口部１５に重なる絞り孔１１を変えることで、レンズ３、４の絞りの位置をＹ軸方向に変えることが可能である。
【００１９】
駆動部１４は、サーボモータ１８およびボールねじ１９を有している。サーボモータ１８は、コンピュータ７の指令により駆動制御される。ボールねじ１９は、ブロック１７に設けられた図示していない雌ねじに螺合しており、サーボモータ１８の駆動により軸周りに回転する。ボールねじ１９が正回転又は逆回転すると、ブロック１７および可動絞り部１３はＸ軸に沿って往復移動する。
【００２０】
図４および図５を参照して、絞り装置１０の動作を説明する。
なお、この説明では、可動絞り部１３が有する複数の絞り孔１１を、図４および図５の紙面右側から第１絞り孔１１１、第２絞り孔１１２および第３絞り孔１１３と称することとする。
図４（Ａ）に示す位置に可動絞り部１３があるとき、第１絞り孔１１１と開口部１５とが重なる。サーボモータ１８が駆動し、図４（Ａ）から（Ｂ）に示す位置に可動絞り部１３が移動すると、第１絞り孔１１１はＸ軸に沿って、開口部１５の左側から右側へ移動する。なお、図４（Ｂ），（Ｃ）及び図５（Ｄ）−（Ｆ）に記載した矢印Ｍの長さは、可動絞り部１３が図４（Ａ）示す位置から移動した距離を示している。
【００２１】
続いて図４（Ｃ）に示す位置に可動絞り部１３を移動すると、第２絞り孔１１２と開口部１５とが重なる。なお、図４（Ｃ）の矢印Ｄに示したように、第１絞り孔１１１と第２絞り孔１１２とはＹ軸方向にずれた位置に設けられたものである。サーボモータ１８が駆動し、図４（Ｃ）から図５（Ｄ）に示す位置に可動絞り部１３が移動すると、第２絞り孔１１２はＸ軸に沿って、開口部１５の左側から右側へ移動する。
【００２２】
次に図５（Ｅ）に示す位置に可動絞り部１３を移動すると、第３絞り孔１１３と開口部１５とが重なる。なお、図５（Ｅ）の矢印Ｅに示したように、第１絞り孔１１１と第２絞り孔１１２とはＹ軸方向にずれた位置に設けられたものである。サーボモータ１８が駆動し、図５（Ｅ）から（Ｆ）に示す位置に可動絞り部１３が移動すると、第３絞り孔１１３はＸ軸に沿って、開口部１５の左側から右側へ移動する。このようにして、絞り装置１０は、単一のサーボモータ１８を用いて可動絞り部１３をＸ軸方向のみに移動することにより、レンズ３、４の絞りの位置を、開口部１５の範囲内において、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に変えることが可能である。
【００２３】
続いて、寸法測定装置１による測定方法について説明する。
図１および図２は、レンズ３，４の主軸Ｏと測定対象物２の奥行方向の軸Ｈとが平行な状態で測定対象物２が設置され、且つ、絞り装置１０の有する絞り孔１１が主軸Ｏ上に位置する状態を示している。この状態で、バックライト５から照射されて測定対象物２の外縁の外側を通過した光は、図１および図２の実線Ｌ２に示すように、物体側レンズ３、絞り孔１１、像側レンズ４を通過し、ＣＣＤイメージセンサ６１上で結像する。その際、絞り孔１１は、測定対象物２を通過した光のうち、物体側レンズ３よりも測定対象物２側で主軸Ｏに平行な光、且つ、像側レンズ４よりもＣＣＤカメラ６側で主軸Ｏに平行な光のみを選択的に通す。したがって、図６に示すように、コンピュータ７のディスプレイ９には、測定対象物２の真正面の画像Ｇ１が表示される。コンピュータ７は、この画像Ｇ１から測定対象物２の大きさを測定することが可能である。
【００２４】
これに対し、図７は、測定対象物２の奥行方向の軸Ｈが主軸Ｏに対して傾斜した状態で測定対象物２が設置された状態を示している。この状態で、絞り孔１１が主軸Ｏに位置すると、その絞り孔１１は、図７の実線Ｌ２に示したように、測定対象物２の外縁の外側を通過した光のうち、物体側レンズ３よりも測定対象物２側で主軸Ｏに平行な光、且つ、像側レンズ４よりもＣＣＤカメラ６側で主軸Ｏに平行な光のみを選択的に通す。したがって、図８に示すように、コンピュータ７のディスプレイ９には、測定対象物２を主軸Ｏに対して平行に見た画像Ｇ２が表示される。この画像Ｇ２は、測定対象物２を真正面から見た画像よりも大きいものである。
【００２５】
そこで、寸法測定装置１は、絞り装置１０のサーボモータ１８を駆動し、可動絞り部１３をＸ軸方向に移動する。これにより、絞り孔１１の位置が、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動する。図９から図１１では、測定対象物２の奥行方向の軸Ｈが主軸Ｏに対して傾斜した状態で測定対象物２が設置され、且つ、絞り孔１１が主軸ＯからＸ軸方向およびＹ軸方向に移動した状態を示している。この状態で、絞り孔１１は、図９および図１０の実線Ｌ２に示したように、測定対象物２を通過した光のうち、物体側レンズ３よりも測定対象物２側で測定対象物２の奥行方向の軸Ｈに平行な光、且つ、像側レンズ４よりもＣＣＤカメラ６側で主軸Ｏに対して傾いた平行な光のみを選択的に通す。したがって、図１１に示すように、コンピュータ７のディスプレイ９には、測定対象物２の真正面の画像Ｇ３が表示される。
コンピュータ７は、絞り孔１１の位置がＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する際に、ＣＣＤカメラ６により測定対象物２を複数回撮像する。そして、コンピュータ７は、ＣＣＤカメラ６により撮像された複数の画像のうち最小の大きさのものを測定対象物２の大きさと判定する。これにより、寸法測定装置１は、測定対象物２の大きさを正確に測定することが可能である。
【００２６】
本実施形態では、次の作用効果を奏する。
（１）本実施形態の絞り装置１０は、可動絞り部１３に設けられた複数の絞り孔１１はそれぞれ、１個の絞り孔１１のみが開口部１５に重なるようにＸ軸方向に離れて配置され、且つ、Ｙ軸方向にずれた位置に配置されている。そのため、駆動部１４により可動絞り部１３をＸ軸方向に移動することで、開口部１５と重なる絞り孔１１の位置を、ＸＹ平面上においてＸ軸方向およびＹ軸方向に変えることが可能である。したがって、絞り装置１０は、駆動部１４の構成を簡素なものとして、その体格を小型化することができる。
【００２７】
（２）本実施形態の絞り装置１０は、駆動部１４により可動絞り部１３をＸ軸方向に直線状に移動するものである。
これにより、絞り装置１０は、駆動部１４の構成を簡素なものとして、その体格を小型化することができる。
【００２８】
（３）本実施形態の絞り装置１０は、開口部１５の大きさが、１個の絞り孔１１の直径より大きいものである。
これにより、絞り装置１０は、開口部１５と重なる絞り孔１１の位置を、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に変えることが可能である。
【００２９】
（４）本実施形態の寸法測定装置１は、レンズ３、４の焦点位置を含むＸＹ平面上に絞り装置１０の絞り孔１１を設置している。コンピュータ７は、ＣＣＤカメラ６により撮像された複数の画像のうち最小の大きさのものを測定対象物２の大きさとして判定する。
これにより、主軸Ｏから離れてＸ軸方向またはＹ軸方向に移動した絞り孔１１は、開口部１５の範囲の所定の位置において測定対象物２の奥行方向の軸Ｈに平行な光のみを選択的に通す。したがって、この寸法測定装置１は、測定対象物２が主軸Ｏに対してＸ軸およびＹ軸のいずれの方向に傾いている場合でも、測定対象物２を真正面から見た画像Ｇ３を得ることができるので、その測定対象物２の大きさを正確に測定することが可能である。
【００３０】
（５）本実施形態の寸法測定装置１は、可動絞り部１３の移動に伴って複数の絞り孔１１がそれぞれ開口部１５を通過する間に測定対象物２をＣＣＤカメラ６により複数回撮像する。
これにより、主軸Ｏに対してＸ軸方向およびＹ軸方向に傾いた平行な光により、測定対象物２の複数の画像が撮像される。したがって、コンピュータ７は、その複数の画像から、最小のものを測定することで、測定対象物２の大きさを正確に測定することが可能できる。
【００３１】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態の絞り装置１０を図１２に示す。第２実施形態では、固定絞り部１２が、開口部１５を複数の開口１５１に仕切る仕切枠２０を有する。仕切枠２０は、第１絞り孔１１１と第２絞り孔１１２との間、および、第２絞り孔１１２と第３絞り孔１１３との間に設けられている。仕切枠２０は、Ｘ軸方向に延びている。そのため、固定絞り部１２が有する開口部１５は、３つの開口１５１に仕切られている。
第２実施形態では、絞り装置１０は、開口部１５に仕切枠２０を設けたことにより、固定絞り部１２の剛性を高めることができる。
なお、第２実施形態において、仕切枠２０はＸ軸方向に延びるものとしたが、仕切枠２０の形状はこれに限らず、Ｙ軸方向に延びるものとしてもよく、また、格子状にしてもよい。
【００３２】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態の絞り装置１０を図１３に示す。第３実施形態では、可動絞り部１３が５個の絞り孔１１を有する。第３実施形態においても、それぞれの絞り孔１１と絞り孔１１とは、開口部１５の長さより離れて配置され、且つ、Ｙ軸方向にずれた位置に配置されている。
第３実施形態では、可動絞り部１３をＸ軸に沿って移動することで、絞り孔１１の位置をＹ軸方向に細かく変えることができる。
【００３３】
（他の実施形態）
（１）上述した実施形態では、物体側レンズ３と像側レンズ４とを有する両側テレセントリック光学系を応用した寸法測定装置１に用いられる絞り装置１０について説明した。これに対し、他の実施形態では、絞り装置１０は、像側レンズ４のみを有する像側テレセントリック光学系を応用した寸法測定装置に用いてもよい。また、他の実施形態では、絞り装置１０は、物体側レンズ３のみを有する物体側テレセントリック光学系を応用した寸法測定装置に用いてもよい。
【００３４】
（２）上述した実施形態では、絞り装置１０は、固定絞り部１２の測定対象物２側に可動絞り部１３を配置した。これに対し、他の実施形態では、可動絞り部１３は固定絞り部１２の像側レンズ４側に配置してもよい。
【００３５】
（３）上述した実施形態では、可動絞り部１３は、３個または５個の絞り孔１１を有するものとした。これに対し、他の実施形態では、可動絞り部１３が有する絞り孔１１の数は、測定対象物１１の寸法測定の要求に合わせて任意に設定することが可能である。
このように、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、上述した複数の実施形態を組み合わせることに加え、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【００３６】
１  ・・・寸法測定装置
２  ・・・測定対象物
３  ・・・物体側レンズ（レンズ）
４  ・・・像側レンズ（レンズ）
１０・・・絞り装置
１１・・・絞り孔
１２・・・固定絞り部
１３・・・可動絞り部
１４・・・駆動部
１５・・・開口部
【図１】
0006458694.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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