(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のプローブピンにおける各接触側端部同士が互いに近接する状態で各々の先端部で当該各プローブピンをそれぞれ保持すると共に各々の基端部が固定部に固定される一対の保持部を備え、プロービング対象に前記各プローブピンを共にプロービング可能に構成されたプローブユニットであって、
前記各保持部は、一方の当該保持部における前記基端部から前記先端部に向かう当該一方の保持部の第１延在方向と、他方の当該保持部における前記基端部から前記先端部に向かう当該他方の保持部の第２延在方向とが、当該第１延在方向と当該第２延在方向との合成方向である第１方向における下流側において交差するように各々の当該基端部が前記固定部に固定されると共に、前記第１方向に沿って前記各プローブピンが並び、かつ前記第１方向における前記下流側から当該第１方向における上流側に向かう第１の向きで前記各プローブピンを観視したときに当該各プローブピンが重なり合うように当該各プローブピンを保持可能に構成されているプローブユニット。
【請求項２】
前記各保持部は、前記第１の向きで前記各プローブピンを観視したときに前記プロービング対象に対して接離する方向に沿って前記各プローブピンが延在するように当該各プローブピンを保持可能に構成されている請求項１記載のプローブユニット。
【請求項３】
前記各保持部は、同じ長さの前記各プローブピンを保持可能に構成されている請求項１または２記載のプローブユニット。
【請求項４】
前記各保持部は、各々の前記先端部同士が弾性を有する接合部によって互いに接合されている請求項１から３のいずれかに記載のプローブユニット。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のプローブユニットと、当該プローブユニットの前記プローブピンを介して入出力する電気信号に基づいて検査対象を検査する検査部とを備えている検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対のプローブピンをそれぞれ保持する一対の保持部を備えたプローブユニット、およびそのプローブユニットを備えた検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のプローブユニットとして、下記特許文献１において出願人が開示したプローブユニットが知られている。このプローブユニットは、一対のコンタクトプローブ、および各コンタクトプローブが固定されるプローブ保持部を備えて構成されている。各コンタクトプローブは、プローブピンと、リンク機構で構成されてプローブピンを先端部で保持する保持具とをそれぞれ備えて構成されている。このプローブユニットでは、各コンタクトプローブが固定されているため、一対のプローブピンを共に移動させて、１つのプロービング対象に対して各プローブピンを一度にプロービングさせることが可能となっている。この場合、このプローブユニットでは、各保持具の先端部の前方側から２つのプローブピンを観視したときに、各プローブピンがＶ字をなすように各保持具が各プローブピンをそれぞれ保持するように構成されており（図１５参照）、この構成により、プローブピンの先端部を互いに近接する状態で保持することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３３０００６号公報（第５−６頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記のプローブユニットには、改善すべき以下の課題がある。すなわち、このプローブユニットでは、正面視したときにＶ字をなすように各プローブピンが保持されているため、基板におけるパッドやランドの近傍に部品が配設されていたり、凹部が形成されたキャビティ基板の凹部の底面における壁面の近傍にパッドやランドが設けられたりする場合において、それらのパッドやランドをプロービング対象としてプロービングを行うときに、不都合が生じるおそれがある。具体的には、図１５に示すように、凹部（キャビティ）１０１を有するキャビティ基板１００における壁部１０４の近傍にパッド１０３が設けられている場合において、そのパッド１０３に２つのプローブ２０１をプロービングさせようとしたときには、２つのプローブ２０１のうちの１つのプローブ２０１（同図における右側のプローブ２０１）が壁部１０４に接触することがあり、このときには、パッド１０３に対する各プローブ２０１のプロービングが困難となるおそれがある。
【０００５】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、２つのプローブピンをプロービング対象に確実にプロービングさせ得るプローブユニットおよび検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載のプローブユニットは、一対のプローブピンにおける各接触側端部同士が互いに近接する状態で各々の先端部で当該各プローブピンをそれぞれ保持すると共に各々の基端部が固定部に固定される一対の保持部を備え、プロービング対象に前記各プローブピンを共にプロービング可能に構成されたプローブユニットであって、前記各保持部は、一方の当該保持部における前記基端部から前記先端部に向かう当該一方の保持部の第１延在方向と、他方の当該保持部における前記基端部から前記先端部に向かう当該他方の保持部の第２延在方向とが、当該第１延在方向と当該第２延在方向との合成方向である第１方向における下流側において交差するように各々の当該基端部が前記固定部に固定されると共に、前記第１方向に沿って前記各プローブピンが並び、かつ前記第１方向における前記下流側から当該第１方向における上流側に向かう第１の向きで前記各プローブピンを観視したときに当該各プローブピンが重なり合うように当該各プローブピンを保持可能に構成されている。
【０００７】
また、請求項２記載のプローブユニットは、請求項１記載のプローブユニットにおいて、前記各保持部は、前記第１の向きで前記各プローブピンを観視したときに前記プロービング対象に対して接離する方向に沿って前記各プローブピンが延在するように当該各プローブピンを保持可能に構成されている。
【０００９】
請求項３記載のプローブユニットは、請求項１または２記載のプローブユニットにおいて、前記各保持部は、同じ長さの前記各プローブピンを保持可能に構成されている。
【００１０】
また、請求項４記載のプローブユニットは、請求項１から３のいずれかに記載のプローブユニットにおいて、前記各保持部は、各々の前記先端部同士が弾性を有する接合部によって互いに接合されている。
【００１１】
請求項５記載の検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載のプローブユニットと、当該プローブユニットの前記プローブピンを介して入出力する電気信号に基づいて検査対象を検査する検査部とを備えている。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載のプローブユニット、および請求項５記載の検査装置では、各保持部の各延在方向の合成方向である第１方向に沿って各プローブピンが並び、かつ第１方向における下流側から上流側に向かう第１の向きで各プローブピンを観視したときに各プローブピンが重なり合うように各プローブピンを保持可能に各保持部が構成されている。このため、このプローブユニットおよび検査装置によれば、例えば、凹部を有するキャビティ基板における凹部を構成する壁部の近傍にプロービング対象が設けられている（つまり、プロービング対象の近傍に障害物が存在する）場合においても、壁部（障害物）にプローブピンを接触させることなく、プローブピンをプロービング対象に確実にプロービングさせることができる。
【００１３】
また、請求項２記載のプローブユニット、および請求項５記載の検査装置では、第１の向きで各プローブピンを観視したときにプロービング対象に対して接離する方向に沿って各プローブピンが延在するように各プローブピンを保持可能に各保持部が構成されている。このため、このプローブユニットおよび検査装置によれば、第１方向の下流側から上流側に向かってプロービング対象の右側および左側のいずれの側の近傍に障害物が存在しているとしても、その障害物にプローブピンを接触させることなくプローブピンをプロービング対象に確実にプロービングさせることができる。
【００１５】
また、請求項３記載のプローブユニット、および請求項５記載の検査装置では、同じ長さの各プローブピンを保持可能に各保持部が構成されている。このため、このプローブユニットおよび検査装置によれば、長さが異なる２つのプローブピンを用いる構成とは異なり、各プローブピンの力学的特性を等しくすることができるため、プロービングの際の各プローブピンの弾性変形量や振動状態を等しく（または、ほぼ等しく）することができる結果、各プローブピンを安定的にプロービングさせることができる。
【００１６】
また、請求項４記載のプローブユニット、および請求項５記載の検査装置では、各保持部の各先端部同士が弾性を有する接合部によって互いに接合されている。このため、このプローブユニットおよび検査装置によれば、各保持部の各先端部の移動量や振動状態を等しく（または、ほぼ等しく）することができる結果、各プローブピンをより安定的にプロービングさせることができる。また、このプローブユニットおよび検査装置によれば、接合部が弾性を有しているため、各保持部の各先端部同士の多少の離間が許容され、各先端部にそれぞれ保持されている各プローブピン同士が多少離間することが可能な結果、例えば、表面が曲面の（表面が平坦でない）プロービング対象に対して各プローブピンの双方を確実にプロービングさせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】プローブユニット３の斜視図である。
【図３】固定部１０の斜視図である。
【図４】プローブユニット３の正面をやや上方から見た斜視図である。
【図５】プローブユニット３の側面図である。
【図６】プローブユニット３の平面図である。
【図７】保持部１２ａの側面図である。
【図８】保持部１２ｂの側面図である。
【図９】プローブユニット３の使用方法を説明する第１の説明図である。
【図１０】プローブユニット３の使用方法を説明する第２の説明図である。
【図１１】プローブユニット３Ａの構成を説明する斜視図である。
【図１２】使用時におけるプローブユニット３Ａの動作を説明する説明図である。
【図１３】プローブユニット２０３の構成を説明する側面図である。
【図１４】プローブユニット３０３の構成を説明する側面図である。
【図１５】従来のプローブユニットの構成を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、プローブユニットおよび検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
最初に、検査装置の一例としての基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す基板検査装置１は、検査対象（例えば、同図および図９に示すキャビティ基板１００）を検査する検査装置であって、基板固定台２、一対のプローブユニット３、一対のプロービング機構４、測定部５、操作部６、記憶部７および制御部８を備えて構成されている。
【００２０】
基板固定台２は、検査対象のキャビティ基板１００を載置可能に構成されると共に、図外のクランプによってキャビティ基板１００を固定可能に構成されている。
【００２１】
各プローブユニット３は、図２に示すように、固定部１０、基板１１、一対の保持部１２ａ，１２ｂ（以下、区別しないときには「保持部１２」ともいう）、および一対のプローブピン１３ａ，１３ｂ（以下、区別しないときには「プローブピン１３」ともいう）をそれぞれ備え、プロービング対象（例えば、図９に示すキャビティ基板１００のパッド１０３）に各プローブピン１３を共に（一度に）プロービングさせることが可能に構成されている。
【００２２】
固定部１０は、図４に示すように、保持部１２ａ，１２ｂの基端部２２ａ，２２ｂ（以下、区別しないときには「基端部２２」ともいう）を固定可能に構成されている。また、固定部１０は、図３に示すように、一端部側（同図における紙面奥側）から他端部側（同図における紙面手前側）に向かうに従って幅が狭くなるように形成されており、図４に示すように、固定部１０に基端部２２ａ，２２ｂが固定された保持部１２ａ，１２ｂは、各先端部２１ａ，２１ｂ（以下、区別しないときには「先端部２１」ともいう）に向かうに従って互いに近接する姿勢に維持される。
【００２３】
基板１１は、図２に示すように、板状に形成されて、一端部（同図における下端部）が固定部１０に固定される。また、基板１１は、他端部（同図における上端部）がプロービング機構４における図外の取り付け部に固定される。また、基板１１は、図外の導線を介してプローブピン１３と電気的に接続可能に構成されている。なお、図４〜図１４では、基板１１の図示を省略している。
【００２４】
保持部１２ａは、図４〜図６に示すように、先端部２１ａでプローブピン１３ａを保持可能に構成されると共に、基端部２２ａが固定部１０に固定可能に構成されている（図５では、固定部１０の図示を省略している）。具体的には、保持部１２ａは、図７に示すように、固定部１０に固定される基体部１２１ａと、基体部１２１ａに各々の基端部が連結された一対のアーム部１２２ａ，１２３ａと、アーム部１２２ａ，１２３ａの各先端部を連結すると共にプローブピン１３ａを保持する連結部１２４ａとを備えて構成されている。この場合、アーム部１２２ａ，１２３ａの各基端部（基体部１２１ａとの各連結部分）、およびアーム部１２２ａ，１２３ａの各先端部（連結部１２４ａとの各連結部分）は、他の部分よりも肉薄に形成されて、弾性変形し易くなっている。このため、保持部１２ａは、アーム部１２２ａ，１２３ａがリンク（節）に相当し、アーム部１２２ａ，１２３ａの各基端部および各先端部がジョイント（関節または支点）に相当する四節リンク機構として機能する。
【００２５】
保持部１２ｂは、図４〜図６に示すように、先端部２１ｂでプローブピン１３ｂを保持可能に構成されると共に、基端部２２ｂが固定部１０に固定可能に構成されている。具体的には、保持部１２ｂは、図８に示すように、固定部１０に固定される基体部１２１ｂと、基体部１２１ｂに各々の基端部が連結された一対のアーム部１２２ｂ，１２３ｂと、アーム部１２２ｂ，１２３ｂの各先端部を連結すると共にプローブピン１３ｂを保持する連結部１２４ｂとを備えて構成されている。この場合、アーム部１２２ｂ，１２３ｂの各基端部（基体部１２１ｂとの各連結部分）、およびアーム部１２２ｂ，１２３ｂの各先端部（連結部１２４ｂとの各連結部分）は、他の部分よりも肉薄に形成されて、弾性変形し易くなっている。このため、保持部１２ｂは、保持部１２ａと同様に、四節リンク機構として機能する
【００２６】
プローブピン１３ａ，１３ｂは、図４，５，７，８に示すように、先端部３１ａ，３１ｂ（以下、区別しないときには「先端部３１」ともいう）が円錐形（テーパー形）をなす円柱状にそれぞれ形成されて、保持部１２ａ，１２ｂの連結部１２４ａ，１２４ｂによって基端部３２ａ，３２ｂがそれぞれ保持される。この場合、このプローブユニット３では、同じ長さのプローブピン１３ａ，１３ｂが用いられている。
【００２７】
ここで、このプローブユニット３では、図５に示すように、各プローブピン１３の各先端部３１同士が互いに近接する状態で各プローブピン１３をそれぞれ保持するように各保持部１２が構成されている。また、このプローブユニット３では、図６に示すように、基端部２２ａから先端部２１ａに向かう保持部１２ａ（アーム部１２２ａ，１２３ａ）の延在方向Ａ１（「一方の保持部の第１延在方向」の一例）、および基端部２２ｂから先端部２１ｂに向かう保持部１２ｂ（アーム部１２２ｂ，１２３ｂ）の延在方向Ａ２（「他方の保持部の第２延在方向」の一例）の合成方向である第１方向Ｂに沿って各プローブピン１３が並び、かつ第１方向Ｂにおける下流Ｂ１側（図５参照）から上流Ｂ２側（同図参照）に向かう第１の向きで各プローブピン１３を観視したときに、図４に示すように、各プローブピン１３が重なり合うように各プローブピン１３を保持可能に各保持部１２がそれぞれ構成されている。
【００２８】
また、このプローブユニット３では、図４に示すように、上記した第１の向きで各プローブピン１３を観視したときに、プロービングの際にプロービング対象に各プローブピン１３を接離させる方向（Ｚ方向：基板固定台２に固定されたキャビティ基板１００の表面に対して垂直な方向）に沿って各プローブピン１３が延在する状態（つまり、各プローブピン１３がキャビティ基板１００の表面に対して垂直となる状態）で各プローブピン１３を保持可能に各保持部１２がそれぞれ構成されている。
【００２９】
また、このプローブユニット３では、上記した第１方向Ｂに直交する第２方向Ｃ（図６参照）に沿って各プローブピン１３を観視したときに、図５に示すように、各プローブピン１３が第１方向Ｂに対して鋭角（直角よりも小さい角度）に傾斜するように各プローブピン１３を保持可能に各保持部１２がそれぞれ構成されている。より具体的には、各保持部１２は、上記した第２方向Ｃに沿って各プローブピン１３を観視したときに、各プローブピン１３のうちの第１方向Ｂの下流Ｂ１側に位置する一方のプローブピン１３（この例では、プローブピン１３ｂ）の第１方向Ｂに対する傾斜角度θ２（図５参照）が他方のプローブピン１３（この例では、プローブピン１３ａ）の第１方向Ｂに対する傾斜角度θ１（同図参照）よりも大きい状態で各プローブピン１３を保持可能に構成されている。
【００３０】
また、このプローブユニット３では、上記したように同じ長さのプローブピン１３ａ，１３ｂが用いられており、同じ長さのプローブピン１３ａ，１３ｂを上記したように（第１の向きで各プローブピン１３を観視したときに、各プローブピン１３が重なり合うように）保持可能に保持部１２ａ，１２ｂが構成されている。
【００３１】
各プロービング機構４は、制御部８の制御に従ってプロービング処理を実行する。この場合、このプロービング処理では、プロービング機構４は、基板固定台２に固定されているキャビティ基板１００の表面に沿った方向（ＸＹ方向）、およびキャビティ基板１００に接離する方向（Ｚ方向）にプローブユニット３を移動させて、プロービング対象としてのキャビティ基板１００のパッド１０３（図９参照）にプローブユニット３における各プローブピン１３の各先端部３１をプロービングさせる。
【００３２】
測定部５は、制御部８の制御に従い、キャビティ基板１００のパッド１０３にプロービングさせられているプローブユニット３の各プローブピン１３を介して入出力する電気信号に基づき、パッド１０３に接続されている図外の導体パターンの抵抗値（被測定量）を測定する測定処理を実行する。
【００３３】
操作部６は、各種のスイッチやキーを備えて構成され、これらが操作されたときに操作信号を出力する。記憶部７は、プロービング対象の（プローブユニット３のプローブピン１３をプロービングさせるべき）パッド１０３の位置を示す位置データを記憶する。また、記憶部７は、キャビティ基板１００（キャビティ基板１００に形成されている図外の導体パターン）の検査に用いる抵抗値の基準値を記憶する。
【００３４】
制御部８は、プロービング機構４および測定部５を制御する。また、制御部８は、測定部５と共に検査部として機能して、測定部５によって測定された抵抗値に基づいてキャビティ基板１００を検査する。
【００３５】
次に、基板検査装置１を用いて検査対象としてのキャビティ基板１００を検査する方法、およびその際の基板検査装置１の各部の動作について、図面を参照して説明する。なお、キャビティ基板１００には、図９に示すように、電気部品を収容（搭載）するための凹部１０１（キャビティ）が形成され、凹部１０１の底面１０２には、導体パターンに接続されているプロービング対象としてのパッド１０３が設けられているものとする。
【００３６】
まず、図１に示すように、基板固定台２にキャビティ基板１００を載置し、次いで、図外のクランプによってキャビティ基板１００を固定する。続いて、操作部６を操作して検査の開始を指示する。この際に、操作部６が操作信号を出力し、制御部８が操作信号に従って検査処理を実行する。この検査処理では、制御部８は、記憶部７から位置データを読み出して、記憶部７は、プロービング対象のパッド１０３の位置を位置データに基づいて特定する。
【００３７】
次いで、制御部８は、各プロービング機構４を制御して、プロービング処理を実行させる。このプロービング処理では、プロービング機構４は、基板固定台２に固定されているキャビティ基板１００の表面に沿った方向にプローブユニット３を移動させて、プロービング対象のパッド１０３の上方に各プローブピン１３の各先端部３１を位置させる。続いて、プロービング機構４は、図９に示すように、キャビティ基板１００に近接するＺ方向にプローブユニット３を移動させて、プロービング対象としてのキャビティ基板１００のパッド１０３に各プローブピン１３をプロービングさせる。
【００３８】
ここで、このプローブユニット３では、上記したように、第１方向Ｂに沿って各プローブピン１３が並び、かつ第１の向きで各プローブピン１３を観視したときに各プローブピン１３が重なり合うように、各プローブピン１３が保持されている。このため、図９に示すように、キャビティ基板１００の凹部１０１を構成する壁部１０４の近傍にパッド１０３が設けられている場合においても、壁部１０４にプローブピン１３を接触させることなく（壁部１０４にプローブピン１３を十分に近づけて）、プローブピン１３をパッド１０３にプロービングさせることが可能となっている。
【００３９】
また、このプローブユニット３では、上記したように、各プローブピン１３がＺ方向（キャビティ基板１００の表面に対して垂直な方向）に沿って延在するように保持されている。このため、第１方向Ｂの下流Ｂ１側（図５参照）から上流Ｂ２側（同図参照）に向かってパッド１０３の右側および左側のいずれの側の近傍に障害物となる壁部１０４が存在しているとしても（図９参照）、各壁部１０４に各プローブピン１３を接触させることなく各プローブピン１３をパッド１０３にプロービングさせることが可能となっている。
【００４０】
また、このプローブユニット３では、上記したように、各プローブピン１３が第１方向Ｂに対して鋭角に傾斜するように保持されている。このため、図１０に示すように、１つのプローブユニット３の各プローブピン１３と他の１つのプローブユニット３の各プローブピン１３とを互いに接触させることなく近接させることができる結果、近接する２つのパッド１０３に各プローブピン１３をプロービングさせることが可能となっている。
【００４１】
また、このプローブユニット３では、上記したように、同じ長さの２つのプローブピン１３が用いられている。この場合、例えば、２つのプローブピン１３の長さが異なる構成では、各プローブピン１３の力学的特性が異なるため、プロービングの際の各プローブピン１３の弾性変形量が互いに異なったり、プロービングの際の各プローブピン１３の振動状態（周波数特性）が互いに異なったりして安定的なプロービングが困難となるおそれがある。これに対して、各プローブピン１３の長さが等しいこの構成では、各プローブピン１３の力学的特性を等しくすることができるため、各プローブピン１３を安定的にプロービングさせることが可能となっている。
【００４２】
一方、制御部８は、キャビティ基板１００のパッド１０３に各プローブピン１３がプロービングさせられている状態で、図外の信号供給部を制御して検査用の電気信号を出力させる。次いで、制御部８は、測定部５を制御して、測定処理を実行させる。この測定処理では、測定部５は、各プローブピン１３を介して入出力する電気信号に基づき、パッド１０３に接続されている図外の導体パターンの抵抗値を測定する。
【００４３】
続いて、制御部８は、記憶部７から抵抗値の基準値を読み出して、測定部５によって測定された抵抗値と基準値とを比較し、導体パターンの良否（断線や短絡）を検査する。次いで、制御部８は、図外の表示部に検査結果を表示させると共に、記憶部７に検査結果を記憶させる。
【００４４】
この場合、この基板検査装置１では、上記したように、プロービング対象のパッド１０３に各プローブピン１３を確実にプロービングさせることが可能となっている。このため、この基板検査装置１では、キャビティ基板１００の検査を正確に行うことが可能となっている。
【００４５】
このように、このプローブユニット３および基板検査装置１では、各保持部１２の各延在方向の合成方向である第１方向Ｂに沿って各プローブピン１３が並び、かつ第１方向Ｂにおける下流Ｂ１側から上流Ｂ２側に向かう第１の向きで各プローブピン１３を観視したときに、各プローブピン１３が重なり合うように各プローブピン１３を保持可能に各保持部１２が構成されている。このため、このプローブユニット３および基板検査装置１によれば、例えば、キャビティ基板１００の凹部１０１を構成する壁部１０４の近傍にパッド１０３が設けられている（つまり、プロービング対象の近傍に障害物が存在する）場合においても、壁部１０４（障害物）にプローブピン１３を接触させることなく、プローブピン１３をパッド１０３に確実にプロービングさせることができる。
【００４６】
また、このプローブユニット３および基板検査装置１では、第１の向きで各プローブピン１３を観視したときにパッド１０３に対して接離するＺ方向に沿って各プローブピン１３が延在するように各プローブピン１３を保持可能に保持部１２が構成されている。このため、このプローブユニット３および基板検査装置１によれば、第１方向Ｂの下流Ｂ１側から上流Ｂ２側に向かってパッド１０３の右側および左側のいずれの側の近傍に障害物となる壁部１０４が存在しているとしても、各壁部１０４にプローブピン１３を接触させることなくプローブピン１３をパッド１０３に確実にプロービングさせることができる。
【００４７】
また、このプローブユニット３および基板検査装置１では、第１方向Ｂに直交する第２方向Ｃに沿って各プローブピン１３を観視したときに各プローブピン１３が第１方向Ｂに対して鋭角に傾斜するように各プローブピン１３を保持可能に各保持部１２が構成されている。このため、このプローブユニット３および基板検査装置１によれば、１つのプローブユニット３における各プローブピン１３の各先端部３１と他の１つのプローブユニット３における各プローブピン１３の各先端部３１とを各プローブピン１３同士の接触を回避しつつ近接させることができる結果、互いに接触させることなく、２つのプローブユニット３における各プローブピン１３の各先端部３１を近接する２つのパッド１０３に確実にプロービングさせることができる。
【００４８】
また、このプローブユニット３および基板検査装置１では、同じ長さの各プローブピン１３を保持可能に各保持部１２が構成されている。このため、このプローブユニット３および基板検査装置１によれば、長さが異なる２つのプローブピン１３を用いる構成とは異なり、各プローブピン１３の力学的特性を等しくすることができるため、プロービングの際の各プローブピン１３の弾性変形量や振動状態を等しく（または、ほぼ等しく）することができる結果、各プローブピン１３を安定的にプロービングさせることができる。
【００４９】
なお、プローブユニットおよび回路基板検査装置は、上記の構成に限定されない。例えば、図１１に示すプローブユニット３Ａ、およびこのプローブユニット３Ａを備えた基板検査装置を採用することもできる。なお、以下の説明において、上記したプローブユニット３と同じ構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。
【００５０】
このプローブユニット３Ａでは、図１１に示すように、保持部１２ａの先端部２１ａと、保持部１２ｂの先端部２１ｂとが、弾性を有する接合部１４によって互いに接合されている。接合部１４は、一例として、湿気硬化型のシリコーン接着剤、付加硬化型（加熱硬化型）のシリコーン接着剤、および紫外線硬化型のシリコーン接着剤等を各先端部２１ａ，２１ｂに塗布して硬化（ゴム状化）させることによって形成されている。なお、各先端部２１ａ，２１ｂに嵌め込み可能な形状の接合部１４をゴム等の弾性材料で形成し、この接合部１４を各先端部２１ａ，２１ｂに嵌め込んで先端部２１ａ，２１ｂ同士を互いに接合することもできる。
【００５１】
このプローブユニット３Ａによれば、各保持部１２ａ，１２ｂにおける各々の先端部２１ａ，２１ｂ同士を接合部１４によって互いに接合したことにより、先端部２１ａ，２１ｂの移動量や振動状態を等しく（または、ほぼ等しく）することができる結果、各プローブピン１３をより安定的にプロービングさせることができる。
【００５２】
この場合、弾性変形し難い接合部１４で先端部２１ａ，２１ｂ同士を互いに接合した構成では、先端部２１ａ，２１ｂ同士が離間し難いため、先端部２１ａ，２１ｂにそれぞれ保持されている各プローブピン１３同士も離間し難い状態となっている。このため、このような構成では、例えば図１２に示すように、表面が曲面の（表面が平坦でない）プロービング対象１０５に各プローブピン１３をプロービングさせるときに、一方のプローブピン１３ｂだけがプロービング対象１０５にプロービングされ、他方のプローブピン１３ａ（同図に破線で示す）のプロービングが困難となることがある。これに対して、このプローブユニット３Ａによれば、接合部１４が弾性を有しているため、先端部２１ａ，２１ｂ同士の多少の離間が許容され、先端部２１ａ，２１ｂにそれぞれ保持されている各プローブピン１３同士が多少離間することが可能な結果、同図に実線で示すように、表面が曲面のプロービング対象１０５に対して各プローブピン１３の双方を確実にプロービングさせることができる。
【００５３】
また、図１３に示すプローブユニット２０３、およびこのプローブユニット２０３を備えた基板検査装置を採用することもできる。このプローブユニット２０３は、上記したプローブユニット３の保持部１２ａ，１２ｂに代えて、同図に示す保持部２１２ａ，２１２ｂ（以下、区別しないときには「保持部２１２」ともいう）を備えると共に、上記したプローブユニット３の固定部１０に代えて、保持部２１２ａ，２１２ｂの基端部２２２ａ，２２２ｂを固定可能な図外の固定部を備えて構成されている。また、プローブユニット２０３は、長さの異なるプローブピン２１３ａ，２１３ｂ（以下、区別しないときには「プローブピン２１３」ともいう）を備えて構成されている。
【００５４】
このプローブユニット２０３では、図１３に示すように、保持部２１２ｂが保持部２１２ａの上方に配置されている。また、このプローブユニット２０３では、保持部２１２ａが長さの短いプローブピン２１３ａを保持し、保持部２１２ｂが長さの長いプローブピン２１３ｂを保持する。また、このプローブユニット２０３においても、各保持部２１２の各延在方向の合成方向である第１方向Ｂ（同図参照）に沿って各プローブピン２１３が並び、かつ第１方向Ｂにおける下流Ｂ１側（同図における右側）から上流Ｂ２側（同図における左側）に向かう第１の向きで各プローブピン２１３を観視したときに、各プローブピン２１３が重なり合うように各プローブピン２１３を保持可能に各保持部２１２がそれぞれ構成されている。このため、このプローブユニット２０３においても、プローブユニット３と同様にして、プロービング対象の近傍に障害物が存在する場合においても、障害物に各プローブピン２１３を接触させることなく、各プローブピン２１３をプロービング対象に確実にプロービングさせることができる。
【００５５】
また、上記したプローブユニット３では、プローブピン１３ａ，１３ｂの第１方向Ｂに対する傾斜角度θ１，θ２が互いに異なるように保持部１２がプローブピン１３ａ，１３ｂを保持しているが、図１４に示すように、傾斜角度θ１，θ２が等しくなるようにプローブピン１３ａ，１３ｂを保持する保持部３１２ａ，３１２ｂ（以下、区別しないときには「保持部３１２」ともいう）を備えたプローブユニット３０３を採用することもできる。この構成においても、各保持部３１２の各延在方向の合成方向である第１方向Ｂ（同図参照）に沿って各プローブピン１３が並び、かつ第１方向Ｂにおける下流Ｂ１側（同図における右側）から上流Ｂ２側（同図における左側）に向かう第１の向きで各プローブピン１３を観視したときに、各プローブピン１３が重なり合うように各プローブピン１３を保持可能に各保持部３１２をそれぞれ構成することで、プローブユニット３と同様にして、プロービング対象の近傍に障害物が存在する場合においても、障害物に各プローブピン１３を接触させることなく、各プローブピン１３をプロービング対象に確実にプロービングさせることができる。
【００５６】
また、凹部１０１（キャビティ）を有するキャビティ基板１００を検査対象とした例について上記したが、凹部１０１を有していない基板を検査対象とすることもできる。また、プローブピン１３（プローブピン２１３）を介して入出力する電気信号から被測定量としての抵抗値を測定する例について上記したが、他の被測定量（例えば、電流値や電圧値）を測定することもできる。
【符号の説明】
【００５７】
１  基板検査装置
３，２０３，３０３  プローブユニット
８  制御部
５  測定部
１３ａ，１３ｂ，２１３ａ，２１３ｂ  プローブピン
３１ａ，３１ｂ  先端部
２１ａ，２１ｂ  先端部
２２ａ，２２ｂ  基端部
１０  固定部
１２ａ，１２ｂ  保持部
２１２ａ，２１２ｂ  保持部
３１２ａ，３１２ｂ  保持部
１００  キャビティ基板
１０３  パッド
Ａ１，Ａ２  延在方向
Ｂ  第１方向
Ｃ  第２方向
θ１，θ２  傾斜角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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