(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアに収納された複数枚の基板について、一枚ずつ処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数枚の基板を処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、ある基板について前記処理部のリソースを使用する処理を配置する際に、ライフに達している前記処理部のメンテナンス処理がある場合には、メンテナンス優先または基板処理優先のいずれかが予めユーザによって設定されている優先設定に基づいて、優先設定が基板処理優先である場合には前記基板の処理を配置し、優先設定がメンテナンス優先である場合には前記基板の処理の前にメンテナンス処理を配置することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
処理手順を規定したレシピを設定され、基板ごとに対応づけられたプロセスジョブと、
どのキャリアに属しているかを設定され、基板ごとに対応づけられたコントロールジョブと、
が予め設定されており、
前記基板処理優先は、基板ごとまたはプロセスジョブごとまたはコントロールジョブごとに前記メンテナンス処理を配置するタイミングを設定可能であることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記メンテナンス処理は、前記処理部で使用する処理液の液交換処理または前記処理部を清浄にする洗浄処理であることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項４】
キャリアに収納された複数枚の基板について、一枚ずつ処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数枚の基板を処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、ある基板について前記処理部のリソースを使用する処理を配置する際に、ライフに達している前記処理部のメンテナンス処理がある場合には、メンテナンス優先または基板処理優先のいずれかが予めユーザによって設定されている優先設定に基づいて、優先設定が基板処理優先である場合には前記基板の処理を配置し、優先設定がメンテナンス優先である場合には前記基板の処理の前にメンテナンス処理を配置することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ用基板、プラズマディスプレイ用基板、有機ＥＬ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスプレイ用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、太陽電池用基板（以下、単に基板と称する）に所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムに係り、特に、実際に処理を実行する前に予めスケジュールを作成する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の方法として、処理液が使用された時間に応じて寿命を規定する「ライフタイム」を設定し、処理液を使用する処理部のリソースに、液交換処理をライフタイムごとに固定的に配置する。そして、そのように配置された定期液交換処理の間を縫うようにして、キャリア内の基板について各リソースの使用タイミングを配置していき、特定処理に付随した付随液交換処理が定期液交換処理に重複もしくは隣接または近接して配置される場合には、定期液交換処理を削除して特定処理を優先して配置する方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、上記のライフタイムに代えて、処理液の寿命を使用された回数に応じて規定する「ライフカウント」を設定する場合がある。この場合であっても、上記と同様に、寿命回数に達した場合には定期液交換処理を配置し、上記の特定処理に伴う付随液交換処理との重複等が生じた場合には、定期交換処理を削除して特定処理を優先して配置する方法がある。
【０００４】
なお、基板を一枚ずつ処理する枚葉処理では、処理部のリソースが所定時間使用（ライフタイム）されたり、所定回数使用（ライフカウント）されたりした場合には、処理部の洗浄を行って処理環境の清浄化を図る洗浄処理が行われることがある。これらについても上記と同様にライフに応じて配置される。つまり、ライフに応じた液交換処理や、ライフに応じた洗浄処理のメンテナンス処理が優先的に配置されることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２６６４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、基板処理装置のユーザには、ライフに達してもメンテナンス処理を配置せずに、同じキャリア内に収納されている複数枚の基板について全て同じ処理液や同じ処理環境で処理を行わせたいという「基板処理優先」的な要望や、ライフに達すれば同じキャリア内に収容されている複数枚の基板の処理途中であってもメンテナンス処理を配置するという、ライフを厳格に守って処理したいという「メンテナンス優先」的な要望がある。また、基板処理優先の要望には、ライフに達していても複数個のキャリアにわたって同じ処理液や同じ処理環境での処理を行いたいというものや、極端な場合、基板ごとにメンテナンス処理を行いたいというもの（ライフカウントが１とされた場合）がある。
【０００７】
つまり、従来の方法は、メンテナンス処理を付随液交換処理との兼ね合いでずらすことを行ってはいるものの、あくまでもスケジュールされた際の配置状況に応じてメンテナンス処理が移動されるだけである。したがって、メンテナンス優先や基板処理優先という優先処理に関するユーザの要望を反映させることができないという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、メンテナンス優先か基板処理優先かを選択できるようにすることにより、優先処理に関するユーザの要望を反映させることができる基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、キャリアに収納された複数枚の基板について、一枚ずつ処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数枚の基板を処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、ある基板について前記処理部のリソースを使用する処理を配置する際に、ライフに達している前記処理部のメンテナンス処理がある場合には、メンテナンス優先または基板処理優先のいずれかが予めユーザによって設定されている優先設定に基づいて、優先設定が基板処理優先である場合には前記基板の処理を配置し、優先設定がメンテナンス優先である場合には前記基板の処理の前にメンテナンス処理を配置することを特徴とするものである。
【００１０】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、制御部は、ある基板について処理部のリソースを使用する処理を配置する際に、処理部のメンテナンス処理がライフに達している場合には、予めユーザにより設定されている優先設定に基づいて、優先設定が基板処理優先である場合には基板の処理を配置し、優先設定がメンテナンス優先である場合には基板の処理の前にメンテナンス処理を配置する。したがって、優先処理に関するユーザの要望を反映させた処理を行うことができる。
【００１１】
また、本発明において、処理手順を規定したレシピを設定され、基板ごとに対応づけられたプロセスジョブと、どのキャリアに属しているかを設定され、基板ごとに対応づけられたコントロールジョブと、が予め設定されており、前記基板処理優先は、基板ごとまたはプロセスジョブごとまたはコントロールジョブごとに前記メンテナンス処理を配置するタイミングを設定可能であることが好ましい（請求項２）。
【００１２】
基板ごとや、プロセスジョブごとや、コントロールジョブごとにメンテナンス処理を配置するタイミングを設定すると、基板ごとや、同じレシピで処理される基板群ごとや、キャリアごとにメンテナンス処理を実行するタイミングを変えることができる。したがって、ユーザの処理に対する要望をきめ細かく反映させることができる。
【００１３】
また、本発明において、前記メンテナンス処理は、前記処理部で使用する処理液の液交換処理または前記処理部を清浄にする洗浄処理であることが好ましい（請求項３）。
【００１４】
処理部で使用する処理液の液交換処理や、処理部を清浄にする洗浄処理を実行すると、処理条件や処理環境が変わる。したがって、これらをメンテナンス処理として実施するタイミングをユーザの要望に応じて変えることで、基板の処理履歴をユーザが制御できる。
【００１５】
また、請求項４に記載の発明は、キャリアに収納された複数枚の基板について、一枚ずつ処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数枚の基板を処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、前記制御部は、ある基板について前記処理部のリソースを使用する処理を配置する際に、ライフに達している前記処理部のメンテナンス処理がある場合には、メンテナンス優先または基板処理優先のいずれかが予めユーザによって設定されている優先設定に基づいて、優先設定が基板処理優先である場合には前記基板の処理を配置し、優先設定がメンテナンス優先である場合には前記基板の処理の前にメンテナンス処理を配置することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る基板処理装置のスケジュール作成方法によれば、制御部は、ある基板について処理部のリソースを使用する処理を配置する際に、処理部のメンテナンス処理がライフに達している場合には、予めユーザにより設定されている優先設定に基づいて、優先設定が基板処理優先である場合には基板の処理を配置し、優先設定がメンテナンス優先である場合には基板の処理の前にメンテナンス処理を配置する。したがって、優先処理に関するユーザの要望を反映させた処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した側面図である。
【図３】実施例に係る基板処理装置のブロック図である。
【図４】スケジュール作成を示すフローチャートである。
【図５】仮タイムテーブルにブロックを配置した状態を示すタイムチャートである。
【図６】基板処理優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【図７】基板処理優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【図８】メンテナンス優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【図９】メンテナンス優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【図１０】メンテナンス優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【図１１】メンテナンス優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【図１２】メンテナンス優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【図１３】基板処理優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【図１４】基板処理優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【図１５】基板処理優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【図１６】基板処理優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【図１７】基板処理優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【図１８】基板処理優先のメンテナンス処理タイミングの例（基板ごと）を示す模式図である。
【図１９】基板処理優先のメンテナンス処理タイミングの（プロセスジョブごと）を示す模式図である。
【図２０】基板処理優先のメンテナンス処理タイミングの（コントロールジョブごと）を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明する。
図１は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図２は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した側面図であり、図３は、実施例に係る基板処理装置のブロック図である。
【００１９】
実施例に係る基板処理装置は、基板Ｗを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。具体的には、ステージＳＴ１〜ＳＴ４と、インデクサロボットＩＲと、受渡部ＰＳと、センターロボットＣＲと、処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２と、薬液供給部ＣＣ１，ＣＣ２とを備えている。
【００２０】
ステージＳＴ１〜ＳＴ４は、複数枚の基板Ｗが収納されたキャリアＣを載置される。各ステージＳＴ１〜ＳＴ４は、それぞれ一つのキャリアＣを載置可能に構成されている。インデクサロボットＩＲは、ステージＳＴ１〜ＳＴ４のいずれかにあるキャリアＣから基板Ｗを取り出したり、処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２のいずれかで処理された基板ＷをキャリアＣに収納したりする。
【００２１】
インデクサロボットＩＲは、上下に配置された異なる二本のアーム（上部アームＵＡと、下部アームＬＡ）を備えており、キャリアＣから基板Ｗを取り出すとともに、処理された基板ＷをキャリアＣに収納する動作をほぼ同時に実行できるようになっている。インデクサロボットＩＲは、ステージＳＴ１〜ＳＴ４のいずれにもアクセス可能なように水平方向に移動可能に構成され、また基板Ｗの受渡が可能なように昇降可能に構成されている。さらに、インデクサロボットＩＲは、ステージＳＴ１〜ＳＴ４側と受渡部ＰＳ側のいずれにも対向できるように垂直軸周りに旋回可能に構成されている。
【００２２】
受渡部ＰＳは、キャリアＣから取り出された基板Ｗが載置されたり、処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２で処理された基板Ｗが載置されたりする。受渡部ＰＳは、インデクサロボットＩＲと、センターロボットＣＲとによってアクセス可能に構成されている。したがって、インデクサロボットＩＲとセンターロボットＣＲとの間で基板Ｗを間接的に受け渡すことができる。
【００２３】
センターロボットＣＲは、受渡部ＰＳに隣接して配置されており、平面視で処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の中心部に配置されている。センターロボットＣＲは、インデクサロボットＩＲと同様に、上下に配置された異なる二本のアーム（上部アームＵＡと、下部アームＬＡ）を備えており、処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２のいずれかから処理済みの基板Ｗを搬出するとともに、未処理の基板Ｗを搬入する動作をほぼ同時に実行できる。
【００２４】
処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２は、下から処理部ＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ４，ＳＰＩＮ７，ＳＰＩＮ１０と、処理部ＳＰＩＮ２，ＳＰＩＮ５，ＳＰＩＮ８，ＳＰＩＮ１１と、処理部ＳＰＩＮ３，ＳＰＩＮ６，ＳＰＩＮ９，ＳＰＩＮ１２と積層配置されている。また、平面視では、処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ３と、処理部ＳＰＩＮ４〜ＳＰＩＮ６と、処理部ＳＰＩＮ７〜ＳＰＩＮ９と、処理部ＳＰＩＮ１０〜ＳＰＩＮ１２とが同じ位置に配置されている。センターロボットＣＲは、受渡部ＰＳ及び各処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２にアクセス可能なように、昇降可能に構成されているとともに、垂直軸周りに旋回可能に構成されている。
【００２５】
各処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２は、基板Ｗを一枚ずつ順次に処理するものであり、例えば、基板Ｗを回転させつつ洗浄液を供給して基板Ｗに対して洗浄処理するものがある。薬液供給部ＣＣ１，ＣＣ２は、例えば、処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２で使用する薬液を生成しておき、処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２での処理タイミングに合わせて各種薬液（酸、アルカリ、アルコール類等の薬液、温水、オゾン水、炭酸水等のいわゆる機能水等も含む）を供給する。その薬液は、生成時点からの経過時間に応じて薬液の寿命を規定するライフタイムや、薬液の使用回数に応じて薬液の寿命を規定するライフカウントなどにより、使用限度が規定される。その使用限度に達している場合、つまりライフに達している場合には、薬液の廃棄及び新液の生成のためのメンテナンス処理が行われるので、その薬液処理部ＣＣ１，ＣＣ２から薬液を供給されていた処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２はそのメンテナンス処理の間は処理を行うことができない。このようなメンテナンス処理は、後述するように配置が制御される。
【００２６】
上述した各部は、制御部５１により統括的に制御される。この制御部５１は、図示しないＣＰＵ等を備えている。制御部５１は、機能的には、スケジューリング部５３と、優先判定部５５と、処理実行指示部５７とを備えている。また、制御部５１には、設定部５９と、記憶部６１とが接続されている。
【００２７】
なお、上述したステージＳＴ１〜ＳＴ４と、インデクサロボットＩＲと、受渡部ＰＳと、センターロボットＣＲと、処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２と、薬液供給部ＣＣ１，ＣＣ２とが本発明における「リソース」に相当する。
【００２８】
設定部５９は、薬液などがライフに達している場合には基板の処理を継続することよりもメンテナンス処理を優先するメンテナンス優先か、ライフに達していても基板の処理を継続する基板処理優先かの優先設定をユーザがスケジューリングに先だって設定する際に使用される。また、ユーザが優先設定をどのように設定するかの指示を行う際にも使用される。優先設定のうち基板処理優先は、基板Ｗごと、処理手順を規定したレシピを設定され、基板Ｗごとに対応づけられるプロセスジョブごと、どのキャリアＣに属しているかを設定され、基板Ｗごとに対応づけられるコントロールジョブごとにメンテナンス処理のタイミングを予め設定することができる。さらに、設定部５９は、基板の処理手順を規定したレシピを設定する際や、スケジューリング開始の指示にも使用される。
【００２９】
記憶部６１は、予め設定されている各種のレシピを記憶している。また、後述するようにスケジューリングを行うプログラムや、このプログラムによって作成された基板Ｗの処理スケジュールを記憶する。
【００３０】
スケジューリング機能部５３は、複数枚の基板Ｗの処理順序に応じて、それぞれの基板Ｗに対応づけられたレシピに対応する各処理部の単一のスケジュールをブロックとして作成する。そして、薬液などのライフとともに、各基板Ｗのブロックを順次に配置していき、その際にライフに重なるブロックを優先設定に応じて処理しつつ、全ての基板Ｗのブロックを配置して全体のスケジュールを作成する。優先設定に応じた処理は、優先判定部５５によって判定される。このようにして作成された全体の処理スケジュールは、記憶部６１に記憶され、処理実行指示部５７によって読み出され、リソースの各部に指示が行われつつ実行される。これにより実際の処理が行われる。
【００３１】
次に、図４〜図１９を参照して、上述したように構成された基板処理装置におけるスケジュール作成の具体例について説明する。なお、図４は、スケジュール作成を示すフローチャートである。また、図５〜図１２は、基板処理優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートであり、図１３〜図１９は、メンテナンス優先の場合におけるスケジュール作成過程を示すタイムチャートである。
【００３２】
まず、優先設定がメンテナンス優先である場合を例にとって説明する。ここでは発明の理解を容易にするため、プロセスジョブが二種類設定され、いずれも前後処理がなく、処理には処理部ＳＰＩＮ１またはＳＰＩＮ２のいずれかの空いている一方を使い、それらには薬液処理部ＣＣ１から薬液が供給されるように条件を限定して処理を簡略化したものとする。
【００３３】
プロセスジョブの一方には、４枚の基板Ｗが対応づけられ、プロセスジョブの他方には、２枚の基板Ｗが対応付けられているものとするが、ここではそれぞれのレシピは同じものとする。また、ここでは、コントロールジョブについては考慮しないものとする。具体的なプロセスジョブのレシピは、図５に示す単一のスケジュールのブロックのように、インデクサロボットＩＲでカセットＣから基板Ｗが取り出された後、センターロボットＣＲにより、薬液供給部ＣＣ１で薬液が供給される処理部ＳＰＩＮ（１または２）に搬入され、その後、センターロボットＣＲによって搬出され、インデクサロボットＩＲでカセットＣに収納されるというものである。なお、後述するタイムチャートにおいては、プロセスジョブの一方の基板Ｗに符号Ａ、他方の基板Ｗに符号Ｂを付し、その符号に数字を付してプロセスジョブに対応づけられた基板Ｗの番号を表し、その数字に−数字を付してその基板Ｗのレシピ内における各処理を区別することにする。
【００３４】
ステップＳ１
ユーザが設定部５９を操作して、スケジューリングの開始を指示する。なお、ここでは、設定部５９を介して優先設定として予め「メンテナンス優先」が設定されているものとする。
【００３５】
ステップＳ２
制御部５１のスケジューリング機能部５３は、処理順序の一番目に相当する一枚目の基板Ｗに対応づけられたレシピを読み出し、単一のスケジュールを図５のように作成し、これをブロックとして取り扱う。このブロックは、レシピが異なれば、つまりプロセスジョブ内のレシピが異なれば、複数種類のブロックが作成されるが、ここでは同じレシピであるのでブロックも一つである。
【００３６】
ステップＳ３
スケジューリング機能部５３は、ブロックを全体スケジュールに配置するにあたり、配置可能な位置を検索する。
【００３７】
ステップＳ４
スケジューリング機能部５３は、ブロックを全体スケジュールに配置する（図６）。この時点では、配置されているブロックがなく、他のブロックとリソースの競合が生じないので、処理開始位置に配置することができる。
【００３８】
ステップＳ５
スケジューリング機能部５３は、メンテナンス処理が必要か否かを判断する。具体的には、全体スケジュールにおいて規定された、例えば薬液処理部ＣＣ１における薬液生成時点からのライフタイムが設定されているとすると、図６におけるＣＣ１ＬＴに矢印で示すように、その先端位置（点線の縦線で示す位置）がライフタイムのアップする時点であるとすると、この時点ではメンテナンス処理が不要であると判断できる。
【００３９】
ステップＳ１０
スケジューリング機能部５３は、全ての基板Ｗのブロックを配置できたか否かを判断して処理を分岐する。ここでは、配置すべき基板Ｗのブロックが残っているので、ステップＳ２に戻って次の基板Ｗのブロックを配置する。
【００４０】
ステップＳ２〜Ｓ１０（２枚目の基板Ｗ（Ａ２−１〜Ａ２−９））
スケジューリング機能部５３は、２枚目の基板Ｗのブロック（図中の符号Ａ２−１〜Ａ２−９）を配置する（図７）。なお、以下の説明においては、配置した直後のブロックを二点鎖線で囲って示すことにする。薬液処理部ＣＣ１がライフタイムのアップ時点に達していないので、ステップＳ５メンテナンス処理が不要と判断され、ステップＳ１０へ分岐する。
【００４１】
ステップＳ２〜Ｓ１０（３枚目の基板Ｗ（Ａ３−１〜Ａ３−９））
スケジューリング機能部５３は、３枚目の基板Ｗのブロック（図中の符号Ａ３−１〜Ａ３−９）を配置する（図８）。なお、図８では、都合上、Ａ３−７までしか描いていない。３枚目の基板Ｗのブロックを配置したことで、薬液処理部ＣＣ１のライフがアップするので、ステップＳ５においてメンテナンス処理が必要であると判断され、ステップＳ６に分岐する。そして、ステップＳ６において、優先判定部５５が基板処理優先ではなくメンテナンス優先であることを判断するので、ステップＳ８に分岐し、一旦、３枚目の基板Ｗのブロック（図中の符号Ａ３−１〜Ａ３−９）を全体スケジュールから削除し、図９に示すように、ステップＳ８にて薬液交換のメンテナンス処理ＥＸを薬液供給部ＣＣ１に配置し、ステップＳ９にて３枚目の基板Ｗのブロック（図中の符号Ａ３−１〜Ａ３−９）を配置し直す。そして、ステップＳ２に戻る。なお、メンテナンス処理ＥＸが完了した時点から新たにライフタイム（横の点線で示す）が設定される。
【００４２】
ステップＳ２〜Ｓ１０（４枚目の基板Ｗ（Ａ４−１〜Ａ４−９））
スケジューリング機能部５３は、４枚目の基板Ｗのブロック（図中の符号Ａ４−１〜Ａ４−９）を配置する（図１０）。薬液処理部ＣＣ１がライフタイムのアップ時点に達していないので、ステップＳ５でメンテナンス処理が不要と判断され、ステップＳ１０へ分岐する。
【００４３】
ステップＳ２〜Ｓ１０（次のプロセスジョブの１枚目の基板Ｗ（Ｂ１−１〜Ｂ１−９））
スケジューリング機能部５３は、次のプロセスジョブにおける１枚目の基板Ｗのブロック（図中の符号Ｂ１−１〜Ｂ１−９）を配置する（図１１）。薬液処理部ＣＣ１がライフタイムのアップ時点に達していないので、ステップＳ５メンテナンス処理が不要と判断され、ステップＳ１０へ分岐する。
【００４４】
なお、センターロボットＣＲにおいて、ブロックＡ３−１〜Ａ３−９のうちのＡ３−７とＢ１−３とが競合している。しかしながら、上述したようにセンターロボットＣＲが上部アームＵＡと下部アームＬＡとを備え、ほぼ同時に二枚の基板Ｗを取り扱うことができるので、このような競合が生じてもブロックを配置できる。この点は、インデクサロボットＩＲであっても同様である。
【００４５】
ステップＳ２〜Ｓ１０（次のプロセスジョブの２枚目の基板Ｗ（Ｂ２−１〜Ｂ２−９））
スケジューリング機能部５３は、次のプロセスジョブにおける２枚目の基板Ｗのブロック（図中の符号Ｂ２−１〜Ｂ２−９）を配置する（図１２）。薬液処理部ＣＣ１がライフタイムのアップ時点に達していないので、ステップＳ５メンテナンス処理が不要と判断され、ステップＳ１０へ分岐する。
【００４６】
以上のようにしてブロックの配置が進められた後、スケジューリング機能部５３は、ステップＳ１０において全てのブロックが配置できたと判断してステップＳ１１に移行し、最後のブロックの後にメンテナンス処理が必要であるので、ステップＳ１２でメンテナンス処理ＥＸを配置する（図１２）。そして、スケジューリング処理を終了する。
【００４７】
次に、上述したように二つのプロセスジョブにそれぞれ割り当てられた４枚の基板Ｗと２枚の基板のスケジューリングについて、優先設定が「基板処理優先」に設定されている場合を例にとって説明する。また、メンテナンス処理の配置タイミングが、プロセスジョブごとに設定されているものとする。
【００４８】
なお、上述したスケジューリングの過程のうち、図８に相当する３枚目の基板Ｗのブロック（図１３の符号Ａ３−１〜Ａ３−９）の配置までは同じであるので、そこまでの説明については省略し、それ以降について説明する。
【００４９】
ステップＳ３〜Ｓ７（３枚目の基板Ｗ（Ａ３−１〜Ａ３−９））
スケジューリング機能部５３は、図１３に示すように３枚目の基板Ｗのブロック（図１３の符号Ａ３−１〜Ａ３−９）を配置した後、優先判定部５５で判定された基板処理優先であるか否かに応じて処理を分岐する。具体的には、基板処理優先である場合には、ステップＳ７に分岐し、メンテナンス優先である場合には、ステップＳ１０に分岐する。ここでは、ステップＳ７した後、ステップＳ３へ分岐する。上述したメンテナンス優先では、３枚目の基板Ｗのブロック（図１３の符号Ａ３−１〜Ａ３−９）を配置した後に、ライフタイムがアップしているので、このブロックを削除してメンテナンス処理を配置したが、この例ではライフタイムがアップしていてもブロックの配置を継続する。
【００５０】
ステップＳ３〜Ｓ７（４枚目の基板Ｗ（Ａ４−１〜Ａ４−９））
スケジューリング機能部５３は、図１４に示すように４枚目の基板Ｗのブロック（図１４の符号Ａ４−１〜Ａ４−９）を配置した後、ライフタイムがアップしたままであるので、ステップＳ５でメンテナンスが必要と判断される。しかし、基板処理優先であるのでステップＳ６からステップ７に分岐し、ステップＳ３に分岐して配置を継続する。
【００５１】
ステップＳ３〜Ｓ７（次のプロセスジョブの１枚目の基板Ｗ（Ｂ１−１〜Ｂ１−９））
スケジューリング機能部５３は、図１５に示すように次のプロセスジョブにおける１枚目の基板Ｗのブロック（図１５の符号Ｂ１−１〜Ｂ１−９）を配置する。ここで、スケジューリング機能部５３は、優先設定が基板処理優先であることと、メンテナンス処理の配置タイミングがプロセスジョブであること、プロセスジョブが変わったこととに基づいて、ステップＳ６において優先設定が基板処理優先であってもステップＳ８に分岐する。そして、一旦、次のプロセスジョブにおける１枚目の基板Ｗのブロック（図中の符号Ｂ１−１〜Ｂ１−９）を全体スケジュールから削除し、図１６に示すように、ステップＳ８にて薬液交換のメンテナンス処理ＥＸを薬液供給部ＣＣ１に配置し、ステップＳ９にて１枚目の基板Ｗのブロック（図中の符号Ｂ１−１〜Ｂ１−９）を配置し直す。その後、ステップＳ１０からステップＳに戻る。なお、メンテナンス処理ＥＸが完了した時点から新たにライフタイム（横の点線で示す）が設定される。
【００５２】
ステップＳ２〜Ｓ１０（次のプロセスジョブの２枚目の基板Ｗ（Ｂ２−１〜Ｂ２−９））
スケジューリング機能部５３は、次のプロセスジョブにおける２枚目の基板Ｗのブロック（図中の符号Ｂ２−１〜Ｂ２−９）を配置する（図１７）。薬液処理部ＣＣ１がライフタイムのアップ時点に達していないので、ステップＳ５メンテナンス処理が不要と判断され、ステップＳ１０へ分岐する。
【００５３】
以上のようにしてブロックの配置が進められた後、スケジューリング機能部５３は、ステップＳ１０において全てのブロックが配置できたと判断してステップＳ１１に移行し、最後のブロックの後であってライフタイムがアップする時点でメンテナンス処理が必要であるので、ステップＳ１２でメンテナンス処理ＥＸを配置する（図示省略）。そして、スケジューリング処理を終了する。
【００５４】
上述したように、本実施例によると、制御部５１は、ある基板Ｗについて処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２のリソースを使用する処理を配置する際に、処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２のメンテナンス処理がライフに達している場合には、予めユーザにより設定されている優先設定に基づいて、優先設定が基板処理優先である場合には基板Ｗの処理を配置し、優先設定がメンテナンス優先である場合には基板Ｗの処理の前にメンテナンス処理を配置する。したがって、優先処理に関するユーザの要望を反映させた処理を行うことができる。
【００５５】
また、優先設定が基板処理優先である場合には、上述したようにプロセスジョブごとの設定がされている場合には、たとえライフタイムがアップしていても、基板の処理を優先する。但し、メンテナンス処理を配置するタイミングがプロセスジョブごとに設定されているので、プロセスジョブ間でメンテナンス処理を配置する。これにより、プロセスジョブ間においては異なる条件での処理となるが、プロセスジョブ内では同じ条件での処理が可能となる。
【００５６】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００５７】
（１）上述した実施例では、基板処理優先におけるメンテナンス処理の配置タイミングの例としてプロセスジョブごとの設定を例にとって説明したが、本発明はこのような設定に限定されるものではない。ここで、図１８〜図２０を参照する。なお、図１８は、基板処理優先のメンテナンス処理タイミングの例（基板ごと）を示す模式図であり、図１９は、基板処理優先のメンテナンス処理タイミングの（プロセスジョブごと）を示す模式図であり、図２０は、基板処理優先のメンテナンス処理タイミングの（コントロールジョブごと）を示す模式図である。なお、これらの図中に示した矢印は、メンテナンス処理の配置タイミングを表している。
【００５８】
図１８に示すように、メンテナンス処理タイミングを基板ごとに設定してもよい。この場合には、例えば、ライフカウントが１に設定されていると、一枚の基板Ｗを処理するごとに、メンテナンス処理をその処理後に配置する。したがって、基板Ｗごとに異なる条件での処理となる。このような設定は、例えば、基板Ｗを必ず新液で処理したい場合に用いられる。
【００５９】
図１９に示すように、メンテナンス処理タイミングをプロセスジョブごとに設定してもよい。この例は、上述した実施例と同じである。これによるとプロセスジョブ間では条件が変わるが、プロセスジョブ内では同じ条件となる。
【００６０】
図２０に示すように、メンテナンス処理タイミングをコントロールジョブごとに設定してもよい。コントロールジョブは、基板Ｗがどのキャリアに属しているかを示しているので、キャリアごとの設定を意味する。つまり、この例では、キャリア１とキャリア２との間でメンテナンス処理を配置する。したがって、キャリア間では条件が変わるが、キャリア内では同じ要件となる。
【００６１】
（２）上述した実施例では、メンテナンス処理として薬液交換を例にとって説明したが、本発明は、メンテナンス処理が薬液交換に限定されるものではない。例えば、処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の内部を清浄化した時点からの経過時間に応じて再び清浄化を行ったり、処理部ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２において処理した基板Ｗの枚数に応じて再び清浄化を行ったりする清浄化のメンテナンス処理であってもよい。
【００６２】
（３）上述した実施例では、図１に示すような構成の基板処理装置におけるスケジューリングを例にとって説明したが、本発明はそのような構成の基板処理装置に限定されない。
【００６３】
（４）上述した実施例では、図５に示したレシピで処理する基板のスケジューリングを例にとったが、本発明はこのレシピだけに限定されない。
【符号の説明】
【００６４】
Ｗ  …  基板
Ｃ  …  キャリア
ＳＴ１〜ＳＴ４  …  ステージ
ＩＲ  …  インデクサロボット
ＰＳ  …  受渡部
ＣＲ  …  センターロボット
ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２  …  処理部
ＣＣ１，ＣＣ２  …  薬液供給部
ＵＡ  …  上部アーム
ＬＡ  …  下部アーム
５１  …  制御部
５３  …  スケジューリング機能部
５５  …  優先判定部
５７  …  処理実行指示部
５９  …  設定部
６１  …  記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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