(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井側に形成された走行経路に沿って走行して物品を搬送する搬送装置と、前記搬送装置による物品の搬送元又は搬送先となる搬送対象部と、を備え、
前記搬送対象部が、前記走行経路よりも下側であって、前記走行経路の幅方向である経路幅方向で前記走行経路の外側に配置され、
前記搬送装置が、前記走行経路内を前記走行経路に沿って走行する走行部と、物品を支持する第一支持部と、前記第一支持部を吊り下げ支持する第二支持部と、前記第一支持部を前記第二支持部に対して昇降させる第一駆動部と、前記走行経路内の引退位置と上下方向に見て前記搬送対象部と重なる突出位置との間で前記第二支持部を前記走行部に対して前記経路幅方向に移動させる第二駆動部と、を備えた物品搬送設備であって、
前記第二支持部が前記突出位置に位置する状態である突出状態において、前記第一支持部の前記第二支持部に対する昇降移動を許容する状態で前記第二支持部を下側から支持する支持部材を備え、
前記支持部材が、前記天井に直接的に又は間接的に支持され、
前記走行部は、前記天井から吊り下げられた走行レールに支持された状態で、前記走行経路に沿って走行し、
前記支持部材に作用する荷重の少なくとも一部が前記走行レールを介して前記天井に支持されるように、前記支持部材が前記走行レールに対して取り付けられている物品搬送設備。
【請求項２】
天井側に形成された走行経路に沿って走行して物品を搬送する搬送装置と、前記搬送装置による物品の搬送元又は搬送先となる搬送対象部と、を備え、
前記搬送対象部が、前記走行経路よりも下側であって、前記走行経路の幅方向である経路幅方向で前記走行経路の外側に配置され、
前記搬送装置が、前記走行経路内を前記走行経路に沿って走行する走行部と、物品を支持する第一支持部と、前記第一支持部を吊り下げ支持する第二支持部と、前記第一支持部を前記第二支持部に対して昇降させる第一駆動部と、前記走行経路内の引退位置と上下方向に見て前記搬送対象部と重なる突出位置との間で前記第二支持部を前記走行部に対して前記経路幅方向に移動させる第二駆動部と、を備えた物品搬送設備であって、
前記第二支持部が前記突出位置に位置する状態である突出状態において、前記第一支持部の前記第二支持部に対する昇降移動を許容する状態で前記第二支持部を下側から支持する支持部材を備え、
前記支持部材が、前記天井に直接的に又は間接的に支持され、
前記搬送対象部を第一搬送対象部として、前記第一搬送対象部よりも高い位置であって前記経路幅方向で前記走行経路の外側に配置され、前記搬送装置による物品の搬送元又は搬送先となる第二搬送対象部と、前記搬送装置の作動を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記第一搬送対象部が前記搬送装置による物品の搬送元又は搬送先である場合には、前記搬送装置を前記走行経路における前記第一搬送対象部に対応する位置まで走行させた後、前記第二支持部を、第一加速度で加速させた後に第一減速度で減速させて、前記引退位置から前記突出位置まで移動させる制御を行い、
前記制御装置は、前記第二搬送対象部が前記搬送装置による物品の搬送元又は搬送先である場合には、前記搬送装置を前記走行経路における前記第二搬送対象部に対応する位置まで走行させた後、前記第二支持部を、第二加速度で加速させた後に第二減速度で減速させて、前記引退位置から、上下方向に見て前記第二搬送対象部と重なる位置まで移動させる制御を行い、
前記第一加速度の絶対値が前記第二加速度の絶対値よりも小さいことと、前記第一減速度の絶対値が前記第二減速度の絶対値よりも小さいことの、少なくとも一方が満たされるように、前記第一加速度、前記第一減速度、前記第二加速度、及び前記第二減速度が設定されている物品搬送設備。
【請求項３】
前記支持部材は、前記第二支持部に設けられた被支持部に対して前記突出状態において上下方向に見て下側に重なる位置に配置される支持部分を備え、
前記第一駆動部は、前記第二支持部が前記引退位置に位置する状態で前記第一支持部が前記走行経路内に位置する第一高さと、前記第一高さよりも低い高さであって、前記搬送対象部と前記第一支持部との間で物品を移載する高さである第二高さとの間で、前記第一支持部を昇降させるように構成され、
前記突出状態における前記支持部分と前記被支持部との上下方向の間隔が、前記第一支持部が前記第一高さに位置する状態で、ゼロより大きな値となるように設定されている請求項１又は２に記載の物品搬送設備。
【請求項４】
前記支持部材は、前記第二支持部に設けられた被支持部に対して前記突出状態において上下方向に見て下側に重なる位置に配置される支持部分を備え、
前記第二支持部は、前記被支持部と前記支持部分とが接触した状態で、前記支持部材により下側から支持され、
前記被支持部は、前記走行経路に沿う軸心周りに回転自在な回転ローラであり、
前記支持部分は、前記経路幅方向に延びる平坦な支持面を上側に有している請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
【請求項５】
前記第二支持部は、前記走行経路に沿う方向で当該第二支持部の中央部に対して両側に分かれて配置される２つの被支持部である第一被支持部と第二被支持部とを備え、
前記支持部材は、前記第一被支持部に対して前記突出状態において上下方向に見て下側に重なる位置に配置される支持部分である第一支持部分と、前記第二被支持部に対して前記突出状態において上下方向に見て下側に重なる位置に配置される支持部分である第二支持部分と、を備え、
前記第二支持部は、前記第一被支持部と前記第一支持部分とが接触し且つ前記第二被支持部と前記第二支持部分とが接触した状態で、前記支持部材により下側から支持される請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井側に形成された走行経路に沿って走行して物品を搬送する搬送装置と、搬送装置による物品の搬送元又は搬送先となる搬送対象部と、を備えた物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような物品搬送設備として、特開２００９−１２９１６号公報（特許文献１）に記載された設備が知られている。特許文献１の物品搬送設備に備えられる搬送装置は、走行経路内を走行経路に沿って走行する走行部（走行部１１０）と、物品を支持する第一支持部（把持部１５０）と、第一支持部を吊り下げ支持する第二支持部（移動部１４０）と、を備えている。この搬送装置は、特許文献１の図１及び図２に示されるように、走行経路内の引退位置と、走行経路に対して側方に位置する突出位置との間で、第二支持部を走行部に対して経路幅方向（走行経路の幅方向）に移動させることが可能に構成されている。そして、第二支持部の引退位置から突出位置への移動に伴う重心移動によって搬送装置が傾くことを防止するため、特許文献１の搬送装置には、走行レール（軌道部３００）に対して下側から接することで搬送装置の傾きを防止する傾き防止機構（アウトリガ部２００）が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１２９１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、製造コストの低減の観点から、搬送装置の構成の複雑化を抑制できることが望ましく、エネルギ消費量の低減の観点から、走行経路に沿って走行する搬送装置の重量の増大を抑制できることが望ましい。この点に関し、特許文献１の技術では、第二支持部が突出位置に位置する状態である突出状態における搬送装置の傾きを、搬送装置に設けられる傾き防止機構のみにより防止する構成であるため、傾き防止機構の構成が複雑化しやすく、傾き防止機構の重量も増大しやすい。この結果、特許文献１の技術では、傾き防止機構が備えられる搬送装置について、構成の複雑化や重量の増大を抑制することが容易ではない。
【０００５】
そこで、搬送装置の構成の複雑化や搬送装置の重量の増大を抑制しつつ、突出状態における搬送装置の傾きを制限することが可能な物品搬送設備の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記に鑑みた、物品搬送設備は、以下のように構成される。すなわち、天井側に形成された走行経路に沿って走行して物品を搬送する搬送装置と、前記搬送装置による物品の搬送元又は搬送先となる搬送対象部と、を備え、前記搬送対象部が、前記走行経路よりも下側であって、前記走行経路の幅方向である経路幅方向で前記走行経路の外側に配置され、前記搬送装置が、前記走行経路内を前記走行経路に沿って走行する走行部と、物品を支持する第一支持部と、前記第一支持部を吊り下げ支持する第二支持部と、前記第一支持部を前記第二支持部に対して昇降させる第一駆動部と、前記走行経路内の引退位置と上下方向に見て前記搬送対象部と重なる突出位置との間で前記第二支持部を前記走行部に対して前記経路幅方向に移動させる第二駆動部と、を備えた物品搬送設備であって、その特徴構成は、前記第二支持部が前記突出位置に位置する状態である突出状態において、前記第一支持部の前記第二支持部に対する昇降移動を許容する状態で前記第二支持部を下側から支持する支持部材を備え、前記支持部材が、前記天井に直接的に又は間接的に支持され、前記走行部は、前記天井から吊り下げられた走行レールに支持された状態で、前記走行経路に沿って走行し、前記支持部材に作用する荷重の少なくとも一部が前記走行レールを介して前記天井に支持されるように、前記支持部材が前記走行レールに対して取り付けられている。
【０００７】
上記の特徴構成によれば、突出状態において第二支持部を下側から支持する支持部材が、物品搬送設備に備えられる。よって、第二支持部が突出位置に位置するために搬送装置内に大きなモーメント荷重が発生しやすい突出状態において、第一支持部を吊り下げ支持する第二支持部の荷重を支持部材によって受けることができ、その分だけ、搬送装置で負担するモーメント荷重を低減することができる。この結果、突出状態において、搬送装置で負担するモーメント荷重の大きさを適切な範囲内に抑えて搬送装置の傾きを制限することが可能となる。
そして、支持部材は、搬送装置に設けられる部材ではなく、搬送装置には、支持部材に荷重を伝達させるための構造を設けるのみで良い。そのため、搬送装置の構成の複雑化や搬送装置の重量の増大を抑制しつつ、支持部材によって第二支持部の荷重を受ける構成を実現することができる。また、搬送装置に、支持部材とは別に傾き防止機構を設ける場合には、支持部材が負担する荷重の分だけ、当該傾き防止機構に必要な耐荷重性能を低減することができる。すなわち、傾き防止機構として簡素な構成のものを採用することができる。よって、搬送装置に支持部材とは別に傾き防止機構を設ける場合であっても、支持部材が設けられない場合に比べて、搬送装置の構成の複雑化や搬送装置の重量の増大を抑制することができる。
以上のように、上記の特徴構成によれば、搬送装置の構成の複雑化や搬送装置の重量の増大を抑制しつつ、突出状態における搬送装置の傾きを制限することが可能な物品搬送設備を実現することができる。なお、支持部材は、天井に直接的又は間接的に支持されるため、第二支持部の荷重を支持部材によって安定的に受けることができる。また、支持部材は、第一支持部の第二支持部に対する昇降移動を許容する状態で設けられるため、第二支持部の荷重を支持部材によって受けつつ、搬送装置と搬送対象部との間で物品を移載することができる。
更に、上記の特徴構成によれば、支持部材が走行レールに対して取り付けられない場合に比べて、支持部材と天井とを直接的に連結するための部材の数を少なく抑えることができ、又は、支持部材と天井とを直接的に連結するための部材を必要としない構成とすることができる。よって、照明装置や消火装置等が取り付けられる天井に対して支持部材を設置する場合であっても、支持部材が走行レールに対して取り付けられない場合に比べて、支持部材の配置位置についての制約を緩和することができる。すなわち、天井に取り付けられる他の部材に与える影響（レイアウトの変更等）を抑制しつつ、天井に直接的又は間接的に支持されるように支持部材を設けることができる。
【０００８】
上記に鑑みた、物品搬送設備は、以下のように構成される。すなわち、天井側に形成された走行経路に沿って走行して物品を搬送する搬送装置と、前記搬送装置による物品の搬送元又は搬送先となる搬送対象部と、を備え、前記搬送対象部が、前記走行経路よりも下側であって、前記走行経路の幅方向である経路幅方向で前記走行経路の外側に配置され、前記搬送装置が、前記走行経路内を前記走行経路に沿って走行する走行部と、物品を支持する第一支持部と、前記第一支持部を吊り下げ支持する第二支持部と、前記第一支持部を前記第二支持部に対して昇降させる第一駆動部と、前記走行経路内の引退位置と上下方向に見て前記搬送対象部と重なる突出位置との間で前記第二支持部を前記走行部に対して前記経路幅方向に移動させる第二駆動部と、を備えた物品搬送設備であって、その特徴構成は、前記第二支持部が前記突出位置に位置する状態である突出状態において、前記第一支持部の前記第二支持部に対する昇降移動を許容する状態で前記第二支持部を下側から支持する支持部材を備え、前記支持部材が、前記天井に直接的に又は間接的に支持され、前記搬送対象部を第一搬送対象部として、前記第一搬送対象部よりも高い位置であって前記経路幅方向で前記走行経路の外側に配置され、前記搬送装置による物品の搬送元又は搬送先となる第二搬送対象部と、前記搬送装置の作動を制御する制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記第一搬送対象部が前記搬送装置による物品の搬送元又は搬送先である場合には、前記搬送装置を前記走行経路における前記第一搬送対象部に対応する位置まで走行させた後、前記第二支持部を、第一加速度で加速させた後に第一減速度で減速させて、前記引退位置から前記突出位置まで移動させる制御を行い、前記制御装置は、前記第二搬送対象部が前記搬送装置による物品の搬送元又は搬送先である場合には、前記搬送装置を前記走行経路における前記第二搬送対象部に対応する位置まで走行させた後、前記第二支持部を、第二加速度で加速させた後に第二減速度で減速させて、前記引退位置から、上下方向に見て前記第二搬送対象部と重なる位置まで移動させる制御を行い、前記第一加速度の絶対値が前記第二加速度の絶対値よりも小さいことと、前記第一減速度の絶対値が前記第二減速度の絶対値よりも小さいことの、少なくとも一方が満たされるように、前記第一加速度、前記第一減速度、前記第二加速度、及び前記第二減速度が設定されている。
【０００９】
上記の特徴構成によれば、突出状態において第二支持部を下側から支持する支持部材が、物品搬送設備に備えられる。よって、第二支持部が突出位置に位置するために搬送装置内に大きなモーメント荷重が発生しやすい突出状態において、第一支持部を吊り下げ支持する第二支持部の荷重を支持部材によって受けることができ、その分だけ、搬送装置で負担するモーメント荷重を低減することができる。この結果、突出状態において、搬送装置で負担するモーメント荷重の大きさを適切な範囲内に抑えて搬送装置の傾きを制限することが可能となる。
そして、支持部材は、搬送装置に設けられる部材ではなく、搬送装置には、支持部材に荷重を伝達させるための構造を設けるのみで良い。そのため、搬送装置の構成の複雑化や搬送装置の重量の増大を抑制しつつ、支持部材によって第二支持部の荷重を受ける構成を実現することができる。また、搬送装置に、支持部材とは別に傾き防止機構を設ける場合には、支持部材が負担する荷重の分だけ、当該傾き防止機構に必要な耐荷重性能を低減することができる。すなわち、傾き防止機構として簡素な構成のものを採用することができる。よって、搬送装置に支持部材とは別に傾き防止機構を設ける場合であっても、支持部材が設けられない場合に比べて、搬送装置の構成の複雑化や搬送装置の重量の増大を抑制することができる。
以上のように、上記の特徴構成によれば、搬送装置の構成の複雑化や搬送装置の重量の増大を抑制しつつ、突出状態における搬送装置の傾きを制限することが可能な物品搬送設備を実現することができる。なお、支持部材は、天井に直接的又は間接的に支持されるため、第二支持部の荷重を支持部材によって安定的に受けることができる。また、支持部材は、第一支持部の第二支持部に対する昇降移動を許容する状態で設けられるため、第二支持部の荷重を支持部材によって受けつつ、搬送装置と搬送対象部との間で物品を移載することができる。
また、第一搬送対象部は第二搬送対象部よりも低い位置に配置されるため、一般に、第一搬送対象部に対して物品を移載する場合に許容される第一支持部の振動の程度（例えば、第二支持部を支点とする横揺れの許容角度）は、第二搬送対象部に対して物品を移載する場合に許容される第一支持部の振動の程度よりも低くなる。この点に関し、上記の構成によれば、第一加速度の絶対値が第二加速度の絶対値よりも小さいことと、第一減速度の絶対値が第二減速度の絶対値よりも小さいことの、少なくとも一方が満たされるように、第一加速度、第一減速度、第二加速度、及び第二減速度が設定されるため、第二支持部を引退位置から突出位置に移動させた時点での第一支持部の振動を、第二支持部を引退位置から、上下方向に見て第二搬送対象部と重なる位置に移動させた時点での第一支持部の振動よりも低い程度に抑えることができる。よって、第一搬送対象部と搬送装置との間での物品の移載に要する時間が長くなることを抑制して、設備全体の物品の搬送効率を適切に確保することが可能となる。
【００１０】
また、前記支持部材は、前記第二支持部に設けられた被支持部に対して前記突出状態において上下方向に見て下側に重なる位置に配置される支持部分を備え、前記第一駆動部は、前記第二支持部が前記引退位置に位置する状態で前記第一支持部が前記走行経路内に位置する第一高さと、前記第一高さよりも低い高さであって、前記搬送対象部と前記第一支持部との間で物品を移載する高さである第二高さとの間で、前記第一支持部を昇降させるように構成され、前記突出状態における前記支持部分と前記被支持部との上下方向の間隔が、前記第一支持部が前記第一高さに位置する状態で、ゼロより大きな値となるように設定されていると好適である。
【００１１】
この構成によれば、第二支持部を引退位置と突出位置との間で移動させる際に第一支持部を第一高さに位置させることで、第二支持部に備えられた被支持部と支持部材に備えられた支持部分との接触を基本的に回避することができる。この結果、物品の搬送効率の低下、物品或いは物品に収容された荷の損傷、塵埃の発生等の、被支持部と支持部分との接触により発生し得る問題を回避することが可能となる。なお、物品の搬送効率の低下は、被支持部と支持部分との接触衝撃により、第二支持部に吊り下げ支持された第一支持部の振動（横揺れ）が、搬送装置と搬送対象部との間で物品を適切に移載するために許容される範囲内に収まるまでの待機時間が長くなることにより生じ得る。
【００１２】
また、前記支持部材は、前記第二支持部に設けられた被支持部に対して前記突出状態において上下方向に見て下側に重なる位置に配置される支持部分を備え、前記第二支持部は、前記被支持部と前記支持部分とが接触した状態で、前記支持部材により下側から支持され、前記被支持部は、前記走行経路に沿う軸心周りに回転自在な回転ローラであり、前記支持部分は、前記経路幅方向に延びる平坦な支持面を上側に有していると好適である。
【００１３】
この構成によれば、被支持部と支持部分とが接触した状態で、支持部材によって第二支持部の荷重を適切に受けることができる。また、上記の構成によれば、被支持部が回転ローラであり、支持部分が平坦な支持面を上側に有しているため、引退位置と突出位置との間で第二支持部を移動させる際に被支持部と支持部分とが接触する場合であっても、支持面上を回転ローラが転動することによって、被支持部と支持部分との接触による衝撃を緩和して第二支持部を円滑に経路幅方向に移動させることが可能となったり、被支持部と支持部分との接触による塵埃の発生を抑制することが可能となる。
【００１４】
また、前記第二支持部は、前記走行経路に沿う方向で当該第二支持部の中央部に対して両側に分かれて配置される２つの被支持部である第一被支持部と第二被支持部とを備え、前記支持部材は、前記第一被支持部に対して前記突出状態において上下方向に見て下側に重なる位置に配置される支持部分である第一支持部分と、前記第二被支持部に対して前記突出状態において上下方向に見て下側に重なる位置に配置される支持部分である第二支持部分と、を備え、前記第二支持部は、前記第一被支持部と前記第一支持部分とが接触し且つ前記第二被支持部と前記第二支持部分とが接触した状態で、前記支持部材により下側から支持されると好適である。
【００１５】
この構成によれば、第一被支持部と第一支持部分とが接触し且つ第二被支持部と第二支持部分とが接触した状態で、支持部材によって第二支持部の荷重を適切に受けることができる。この際、第二支持部の荷重を、走行経路に沿う方向で当該第二支持部の中央部に対して両側のそれぞれで支持部材によって受けることができるため、第二支持部の荷重を支持部材によって受ける際の第二支持部の姿勢を安定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態に係る物品搬送設備の一部の斜視図
【図２】第二支持部が引退位置に位置し且つ第一支持部が第一高さに位置する状態を示す図
【図３】第二支持部が突出位置に位置し且つ第一支持部が第一高さに位置する状態を示す図
【図４】第二支持部が突出位置に位置し且つ第一支持部が第一高さと第二高さとの間の高さに位置する状態を示す図
【図５】実施形態に係る物品搬送設備の一部の正面図
【図６】実施形態に係る物品搬送設備の一部の側面図
【図７】実施形態に係る制御ブロック図
【図８】その他の実施形態に係る物品搬送設備の一部の正面図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
物品搬送設備の実施形態について、図面を参照して説明する。図５に示すように、物品搬送設備は、搬送装置１０と搬送対象部９０とを備えている。搬送装置１０は、天井側（天井３の側）に形成された走行経路に沿って走行して物品１を搬送する。ここで、走行経路は、搬送装置１０が走行する際に、搬送装置１０及びそれに支持された物品１が移動する空間である。本実施形態では、図２に示すように、搬送装置１０が走行する際には、物品１は、搬送装置１０に備えられる本体部１７の内部に位置する。よって、本実施形態では、搬送装置１０が走行する際に物品１が移動する空間は、搬送装置１０が走行する際に搬送装置１０が移動する空間に含まれる。
【００２０】
走行経路について“天井側に形成される”とは、天井３と床７０との間の高さを基準高さとして、走行経路の少なくとも一部が基準高さよりも高い位置に形成されることを意味する。基準高さは、例えば、天井３と床７０との間の中央の高さ、すなわち、天井３及び床７０のそれぞれから上下方向Ｚ（鉛直方向）に等距離な高さとし、或いは、物品搬送設備で作業を行う作業者の身長（平均身長）に相当する高さ等とすることができる。本実施形態では、図５に示すように、基準高さを天井３と床７０との間の中央の高さとして、走行経路の全体が、基準高さよりも高い位置に形成されている。なお、天井３は、物品搬送設備の設置空間の上限を定める面を構成し、床７０は、物品搬送設備の設置空間の下限を定める面を構成する。すなわち、天井３は、物品搬送設備の設置空間の上側を区画し、床７０は、物品搬送設備の設置空間の下側を区画する。以下では、走行経路に沿う方向（走行経路の長手方向）を経路長手方向Ｙとし、走行経路の幅方向を経路幅方向Ｘとする。経路幅方向Ｘは、経路長手方向Ｙ及び上下方向Ｚの双方に対して直交する方向である。
【００２１】
搬送対象部９０は、搬送装置１０による物品１の搬送元又は搬送先となる。すなわち、搬送装置１０は、搬送対象部９０から他の箇所（他の搬送対象部９０や保管装置等）に物品１を搬送する。また、搬送装置１０は、他の箇所から搬送対象部９０に物品１を搬送する。搬送対象部９０は、図５に示すように、走行経路よりも下側であって、経路幅方向Ｘで走行経路の外側に配置される。具体的には、搬送対象部９０における、搬送装置１０と搬送対象部９０との間で物品１を移載する際に物品１を支持する部分（図５に示す例では、二点鎖線で示す物品１を載置支持している部分）を物品支持部分とすると、搬送対象部９０における少なくとも物品支持部分が、走行経路よりも下側であって、経路幅方向Ｘで走行経路の外側に配置される。物品搬送設備は、複数の搬送対象部９０を備え、搬送対象部９０のそれぞれに対応する物品移載位置を経由するように、走行経路が形成されている。ここで、物品移載位置は、搬送対象部９０に対して経路幅方向Ｘにずれた位置であり、搬送装置１０と搬送対象部９０と間での物品１の移載は、搬送装置１０の後述する走行部１３が、当該搬送対象部９０に対応する物品移載位置に停止した状態で行われる。
【００２２】
本実施形態では、物品１は、半導体基板等の基板を収容する容器であり、具体的には、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）である。図５に示すように、物品搬送設備は、物品１に収容された基板に対して処理を行う処理装置２を備えており、搬送対象部９０は、処理装置２に隣接する状態で床７０に設置される支持台（ロードポート）により構成されている。詳細は省略するが、処理装置２は、搬送対象部９０と処理装置２の内部との間で物品１或いは物品１に収容された基板を搬送する装置を備えている。搬送対象部９０が、物品１を搬送するコンベヤ等を備えていても良い。
【００２３】
搬送装置１０は、図４に示すように、走行経路内を走行経路に沿って走行する走行部１３と、物品１を支持する第一支持部１１と、第一支持部１１を吊り下げ支持する第二支持部１２と、第一駆動部４１と、第二駆動部４２と、を備えている。第一駆動部４１は、第一支持部１１を第二支持部１２に対して昇降させる（すなわち、上下方向Ｚに移動させる）駆動部であり、第二駆動部４２は、第二支持部１２を走行部１３に対して経路幅方向Ｘに移動させる駆動部である。本実施形態では、搬送装置１０は、走行部１３に吊り下げ支持される本体部１７を備えており、第二支持部１２は、本体部１７を介して走行部１３に支持されている。そして、第二駆動部４２は、第二支持部１２を本体部１７に対して経路幅方向Ｘに移動させることで、第二支持部１２を走行部１３に対して経路幅方向Ｘに移動させる。なお、本体部１７は、走行部１３に対する上下方向Ｚの位置が固定され、第二支持部１２は、本体部１７に対する上下方向Ｚの位置が固定されている。これにより、第二支持部１２は、走行部１３に対する上下方向Ｚの位置が固定されている。
【００２４】
本実施形態では、図２に示すように、走行部１３は、天井３から吊り下げられた走行レール４に支持された状態で、走行経路に沿って走行するように構成されている。本体部１７は、走行レール４よりも下側に位置するように、走行部１３に吊り下げ支持されている。走行レール４は、図１に示すように、経路長手方向Ｙに沿って延びるように設置される。本実施形態では、走行レール４は、経路長手方向Ｙの複数の位置において、レール支持部材４ａにより天井３に固定されている。図２に示すように、走行部１３は、走行レール４の上面を転動する走行輪１４を備えており、走行部１３は、走行輪１４が走行レール４に対して上側から接触した状態で、走行レール４により支持される。本実施形態では、走行経路に沿って一対の走行レール４が設けられている。一対の走行レール４は、経路幅方向Ｘに互いに離間して設けられ、走行部１３は、一対の走行レール４の一方の上面を転動する走行輪１４と、一対の走行レール４の他方の上面を転動する走行輪１４とを備えている。本実施形態では、走行部１３は、当該走行部１３に備えられた走行用モータ８３（図７参照）の駆動力により走行する。具体的には、走行輪１４が走行用モータ８３により回転駆動されることで、走行部１３が走行経路に沿って走行する。このように、本実施形態では、走行部１３を走行経路に沿って走行させる駆動部である第三駆動部４３が、走行用モータ８３及び走行輪１４を備えている。
【００２５】
走行部１３は、走行部１３の経路幅方向Ｘの移動を規制して走行部１３の走行を案内する案内輪１５を備えている。案内輪１５は、鉛直軸周りに遊転するように構成され、案内輪１５が走行レール４の側面に接触案内された状態で、走行部１３が走行レール４の延在方向に沿って（すなわち、走行経路に沿って）走行する。本実施形態では、走行部１３は、一対の走行レール４の一方に対して経路幅方向Ｘの内側から接触する案内輪１５と、一対の走行レール４の他方に対して経路幅方向Ｘの内側から接触する案内輪１５とを備えており、案内輪１５のそれぞれが走行レール４に対して経路幅方向Ｘの内側から接触することで、走行部１３の経路幅方向Ｘの移動が規制される。なお、経路幅方向Ｘの内側は、経路幅方向Ｘで走行部１３の中央部に向かう側であり、経路幅方向Ｘの外側は、その反対側である。本実施形態では、経路幅方向Ｘの内側は、一対の走行レール４のそれぞれから経路幅方向Ｘで等距離な点に向かう側となる。
【００２６】
第二支持部１２は、第二駆動部４２により、走行経路内の引退位置と、上下方向Ｚに見て搬送対象部９０と重なる突出位置との間で移動される。突出位置は、走行経路外の位置である。図２は、第二支持部１２が引退位置に位置する状態の搬送装置１０を示している。また、図３〜図５は、第二支持部１２が突出位置に位置する状態の搬送装置１０を示している。本実施形態では、引退位置は、本体部１７に備えられたカバー部１８により経路長手方向Ｙの両側を区画された空間（以下、「収容空間」という。）の内部の位置である。カバー部１８は、第一支持部１１が後述する第一高さに位置し且つ第二支持部１２が引退位置に位置する状態（図２に示す状態）で、第一支持部１１に支持された物品１の経路長手方向Ｙの両側を覆うように設けられている。この収容空間は、経路幅方向Ｘの少なくとも一方側（本実施形態では両側）に形成された開口部において、収容空間の外部の空間（走行経路の外部の空間）に連通している（図６参照）。そして、第二支持部１２が引退位置と突出位置との間で移動される際には、第二支持部１２、第二支持部１２に吊り下げ支持された第一支持部１１、及び第一支持部１１に支持された物品１は、カバー部１８と接触することなく、当該開口部を介して収容空間の内部と外部との間で移動される。
【００２７】
本実施形態では、第二駆動部４２は、出退用モータ８２（図７参照）の駆動力により、第二支持部１２を引退位置と突出位置との間で移動させる。具体的には、図３に示すように、第二駆動部４２は、出退用モータ８２に加えて、第一移動部４２ａ、第二移動部４２ｂ、及び第三移動部４２ｃを備えている。第一移動部４２ａは、本体部１７に対して経路幅方向Ｘに相対移動可能に連結され、第二移動部４２ｂは、第一移動部４２ａに対して経路幅方向Ｘに相対移動可能に連結され、第三移動部４２ｃは、第二移動部４２ｂに対して経路幅方向Ｘに相対移動可能に連結されている。そして、第二支持部１２は、第三移動部４２ｃに固定されており、第三移動部４２ｃと一体的に経路幅方向Ｘに移動する。
【００２８】
第二駆動部４２は、第二支持部１２が引退位置に位置する状態（図２に示す状態）から、出退用モータ８２の駆動力により、第一移動部４２ａを本体部１７に対して経路幅方向Ｘの外側（以下、「突出位置側」という。）へスライド移動させ、第二移動部４２ｂを第一移動部４２ａに対して突出位置側へスライド移動させ、且つ、第三移動部４２ｃを第二移動部４２ｂに対して突出位置側へスライド移動させることで、第二支持部１２を突出位置に移動させる。また、第二駆動部４２は、第二支持部１２が突出位置に位置する状態（図３に示す状態）から、出退用モータ８２の駆動力により、第一移動部４２ａを本体部１７に対して経路幅方向Ｘの内側（以下、「引退位置側」という。）へスライド移動させ、第二移動部４２ｂを第一移動部４２ａに対して引退位置側へスライド移動させ、且つ、第三移動部４２ｃを第二移動部４２ｂに対して引退位置側へスライド移動させることで、第二支持部１２を引退位置に移動させる。詳細は省略するが、本実施形態では、第二駆動部４２は、第一移動部４２ａ、第二移動部４２ｂ、及び第三移動部４２ｃのそれぞれの経路幅方向Ｘの移動を互いに連動させる連動機構を備えており、第二駆動部４２は、１つの出退用モータ８２の駆動力により第二支持部１２を引退位置と突出位置との間で移動させるように構成されている。なお、第二駆動部４２が、２つ以上の出退用モータ８２の駆動力により第二支持部１２を引退位置と突出位置との間で移動させる構成としても良い。
【００２９】
第一支持部１１は、第一駆動部４１により、第一高さと第二高さとの間で昇降される。ここで、第一高さは、第二支持部１２が引退位置に位置する状態で第一支持部１１が走行経路内に位置する高さである。本実施形態では、第一高さは、第二支持部１２が引退位置に位置する状態で、第一支持部１１が上述した収容空間の内部に位置する高さである。図２及び図３における第一支持部１１の高さが、第一高さである。また、第二高さは、第一高さよりも低い高さであって、搬送対象部９０と第一支持部１１との間で物品１を移載する高さである。図５において二点鎖線で示す第一支持部１１の高さが、第二高さである。
【００３０】
本実施形態では、第一駆動部４１は、昇降用モータ８１（図３及び図７参照）の駆動力により、第一支持部１１を第一高さと第二高さとの間で昇降させる。具体的には、図３に示すように、第一駆動部４１は、昇降用モータ８１に加えて、ベルト４１ａ及び巻回体４１ｂを備えている。なお、ベルト４１ａは索状体の一例であり、ワイヤ等の他の索状体をベルト４１ａに代えて用いることも可能である。ベルト４１ａは、巻回体４１ｂに巻回されており、ベルト４１ａの先端部には第一支持部１１が連結されている。また、巻回体４１ｂは、第二支持部１２に対して固定されている。これにより、第二支持部１２は、ベルト４１ａにより第一支持部１１を吊り下げ支持している。第一駆動部４１は、昇降用モータ８１の駆動力により巻回体４１ｂを正方向又は逆方向に回転させることにより、ベルト４１ａを巻き取り又は繰り出して、第一支持部１１を上昇又は下降させる。なお、例えば、３本又は４本のベルト４１ａが第一駆動部４１に備えられる。
【００３１】
図６に示すように、本実施形態では、物品１の上部にフランジ部が形成されており、第一支持部１１は、当該フランジ部を把持する一対の把持部１１ａを備えている。なお、図６では、煩雑になることを避けるべく、走行部１３の図示を省略している。フランジ部は、物品１の本体部に対して上側に位置するように当該本体部に連結されており、本体部とフランジ部との間には挿入用空間が形成されている。一対の把持部１１ａは、当該一対の把持部１１ａのそれぞれの支持部分が挿入用空間に挿入された状態（図６に示す状態）で、当該フランジ部の下面を下側から支持する。第一支持部１１は、把持用モータ８４（図７参照）を備え、当該把持用モータ８４の駆動力により、一対の把持部１１ａの姿勢が、物品１を把持する把持姿勢（図６参照）と、物品１の把持を解除する解除姿勢との間で切り替えられる。すなわち、把持姿勢の一対の把持部１１ａのそれぞれの支持部分を互いに離間させることで、一対の把持部１１ａの姿勢が解除姿勢に切り替えられ、解除姿勢の一対の把持部１１ａのそれぞれの支持部分を互いに接近させることで、一対の把持部１１ａの姿勢が把持姿勢に切り替えられる。
【００３２】
物品搬送設備は、搬送装置１０の作動を制御する制御装置８０を備えている。制御装置８０は、図７に示すように、昇降用モータ８１（第一駆動部４１）、出退用モータ８２（第二駆動部４２）、走行用モータ８３（第三駆動部４３）、及び把持用モータ８４のそれぞれの駆動を制御可能に構成されている。制御装置８０は、昇降用モータ８１の駆動を制御することで第一支持部１１を昇降させ、出退用モータ８２の駆動を制御することで第二支持部１２を経路幅方向Ｘに移動させ、把持用モータ８４の駆動を制御することで一対の把持部１１ａの姿勢を切り替える。また、制御装置８０は、走行用モータ８３の駆動を制御することで走行部１３を走行させる。本実施形態では、図２及び図３に示すように、制御装置８０は、第一支持部１１が第一高さに位置する状態で、第二支持部１２を引退位置と突出位置との間で移動させるように構成されている。なお、制御装置８０は、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備え、これらのハードウェアと、プロセッサ等のハードウェア上で実行されるプログラムとの協働により、制御装置８０の各機能が実現される。
【００３３】
制御装置８０は、上位のコントローラ（図示せず）からの指令に基づいて、搬送装置１０の作動を制御する。制御装置８０により実行される制御には、第一支持部１１が物品を支持していない状態（以下、「空荷状態」という。）の搬送装置１０に、搬送元の搬送対象部９０から物品１を受け取らせる第一制御と、第一支持部１１が物品１を支持している状態（以下、「実荷状態」という。）の搬送装置１０に、搬送先の搬送対象部９０に物品を供給させる第二制御と、が含まれる。以下の説明から明らかなように、第一制御及び第二制御のいずれにも、搬送装置１０を走行経路における搬送対象部９０に対応する位置まで走行させた後、第二支持部１２を、加速させた後に減速させて、引例位置から突出位置まで移動させる制御が含まれる。なお、第二支持部１２が加速される加速期間の終了時点と、第二支持部１２が減速される減速期間の開始時点との間に、第二支持部１２が等速で移動される期間が含まれても良い。
【００３４】
第一制御では、第一走行制御及び第一移載制御が順に実行される。第一走行制御は、搬送元の搬送対象部９０に対応する物品移載位置まで、空荷状態の搬送装置１０（走行部１３）を走行させる制御である。なお、搬送装置１０の走行中は、第一支持部１１が第一高さに位置し且つ第二支持部１２が引退位置に位置する状態が維持される。第一移載制御は、第二支持部１２を引退位置から突出位置に移動させる制御、第一支持部１１を第一高さから第二高さまで下降させる制御、一対の把持部１１ａの姿勢を解除姿勢から把持姿勢に切り替える制御、第一支持部１１を第二高さから第一高さまで上昇させる制御、及び、第二支持部１２を突出位置から引退位置に移動させる制御を、搬送装置１０を物品移載位置に停止させた状態で順に実行する制御である。なお、第二高さは、一対の把持部１１ａを解除姿勢から把持姿勢に切り替えることで、物品１が搬送対象部９０に支持された状態を維持しつつ、一対の把持部１１ａのそれぞれの支持部分を上述した挿入用空間に挿入可能な高さに設定されている。そのため、第一支持部１１を第二高さから第一高さまで上昇させる制御の実行中、第一支持部１１が第二高さから僅かに上昇した時点で、物品１が搬送対象部９０に支持された状態から物品１が第一支持部１１（本実施形態では一対の把持部１１ａ）に支持された状態に移行する。
【００３５】
第二制御では、第二走行制御及び第二移載制御が順に実行される。第二走行制御は、搬送先の搬送対象部９０に対応する物品移載位置まで、実荷状態の搬送装置１０（走行部１３）を走行させる制御である。第二移載制御は、第二支持部１２を引退位置から突出位置に移動させる制御、第一支持部１１を第一高さから第二高さまで下降させる制御、一対の把持部１１ａの姿勢を把持姿勢から解除姿勢に切り替える制御、第一支持部１１を第二高さから第一高さまで上昇させる制御、及び、第二支持部１２を突出位置から引退位置に移動させる制御を、搬送装置１０を物品移載位置に停止させた状態で順に実行する制御である。なお、第一支持部１１を第一高さから第二高さまで下降させる制御の実行中、第一支持部１１が第二高さまで下降する直前に、物品１が第一支持部１１（本実施形態では一対の把持部１１ａ）に支持された状態から物品１が搬送対象部９０に支持された状態に移行する。そして、一対の把持部１１ａの姿勢を把持姿勢から解除姿勢に切り替える制御の実行により、物品１が搬送対象部９０に支持された状態で、一対の把持部１１ａのそれぞれの支持部分が上述した挿入用空間から抜き出される。
【００３６】
ところで、搬送装置１０の全体の荷重は、走行部１３の走行輪１４が上側から接触する一対の走行レール４を介して、天井３に支持される。すなわち、走行部１３に吊り下げ支持される本体部１７の荷重や、本体部１７に支持される第一支持部１１及び第二支持部１２のそれぞれの荷重は、走行部１３を介して天井３に支持される。そして、第二支持部１２が引退位置に位置する状態では、図２から明らかなように、本体部１７、第一支持部１１、及び第二支持部１２のそれぞれの重心は、経路幅方向Ｘで、走行部１３の重心位置を含む比較的狭い範囲内に位置する。よって、第二支持部１２が引退位置に位置する状態では、走行部１３には、大きなモーメント荷重は作用しない。すなわち、搬送装置１０で大きなモーメント荷重を負担する必要はない。
【００３７】
一方、第二支持部１２が突出位置に位置する状態では、図３から明らかなように、第一支持部１１及び第二支持部１２のそれぞれの重心は、経路幅方向Ｘで、走行部１３の重心から比較的大きく離れた位置に位置する。具体的には、走行部１３の重心が経路幅方向Ｘで一対の走行レール４の間に位置するのに対し、第一支持部１１や第二支持部１２の重心は、経路幅方向Ｘで、一対の走行レール４の間ではなくその外側に位置する。よって、第二支持部１２が突出位置に位置する状態では、第二支持部１２が引退位置に位置する状態に比べて、走行部１３に対して大きなモーメント荷重が作用する。すなわち、搬送装置１０で負担するモーメント荷重が大きくなる。そして、当該モーメント荷重が大きくなるに従って、搬送装置１０に別途設ける機構により搬送装置１０の傾き（走行部１３の傾きや本体部１７の傾き等）を制限する必要性や、搬送装置１０に含まれる各部材に許容されるモーメント荷重を高めるための特別な補強構造を設ける必要性が増す。これらの必要性が増すと、搬送装置１０の構成の複雑化等に伴い搬送装置１０のコストや重量が増加するため、走行部１３に対して作用するモーメント荷重の大きさは、すなわち、搬送装置１０で負担するモーメント荷重の大きさは、適切な範囲内に抑えられることが望ましい。
【００３８】
この点に鑑みて、物品搬送設備は、図１に示すように、支持部材５を備えている。支持部材５は、第二支持部１２が突出位置に位置する状態（以下、「突出状態」という。）において、第一支持部１１の第二支持部１２に対する昇降移動を許容する状態で第二支持部１２を下側から支持するように設けられる。よって、走行部１３に対して大きなモーメント荷重が作用しやすい突出状態において、第一支持部１１を吊り下げ支持する第二支持部１２の荷重を、支持部材５によって受けることが可能となっている。すなわち、搬送装置１０内で発生するモーメント荷重を、支持部材５によって受けることができ、その分だけ、走行部１３に対して作用するモーメント荷重を低減することができる。なお、支持部材５は、天井３に直接的に又は間接的に支持される。よって、第二支持部１２の荷重の少なくとも一部は、支持部材５を介して天井３に支持される。
【００３９】
図５に示すように、支持部材５は、搬送装置１０の走行経路に対して搬送対象部９０と経路幅方向Ｘの同じ側であって、搬送対象部９０よりも高い位置に配置されている。支持部材５は、走行経路の外部に配置されている。支持部材５は、搬送対象部９０のそれぞれに対して設けられ、支持部材５は、対応する搬送対象部９０と経路長手方向Ｙの同じ位置に配置されている。具体的には、支持部材５は、搬送対象部９０に対して上下方向Ｚに見て上側に重なる位置に配置されている。
【００４０】
本実施形態では、支持部材５に作用する荷重の少なくとも一部が走行レール４を介して天井３に支持されるように、支持部材５が走行レール４に対して取り付けられている。図１に示すように、支持部材５は、一対の走行レール４のうちの、経路幅方向Ｘで当該支持部材５に近い側の走行レール４に対して取り付けられている。具体的には、支持部材５と走行レール４とは、連結部材（第二連結部材７、第三連結部材８、及び第四連結部材９）により互いに連結されている。よって、支持部材５の荷重は、当該連結部材を介して走行レール４に支持される。なお、第二連結部材７は、当該第二連結部材７と走行レール４との連結部から上側に延びる柱状に形成され、第三連結部材８は、経路幅方向Ｘに延びて第二連結部材７と支持部材５の上部とを連結する板状に形成されている。なお、板状には、軽量化等を目的とする孔部が形成された板形状も含む。本実施形態では、２つの第二連結部材７が、経路長手方向Ｙで支持部材５の中央部に対して両側に分かれて設けられていると共に、２つの第三連結部材８が、経路長手方向Ｙで支持部材５の中央部に対して両側に分かれて設けられている。そして、第四連結部材９は、経路長手方向Ｙに延びて、経路長手方向Ｙの一方側の第二連結部材７と第三連結部材８との連結部と、経路長手方向Ｙの他方側の第二連結部材７と第三連結部材８との連結部とを連結する板状に形成されている。以下では、経路長手方向Ｙで支持部材５の中央部に向かう側を、経路長手方向Ｙの内側とし、その反対側を、経路長手方向Ｙの外側とする。
【００４１】
本実施形態では、図１及び図２に示すように、支持部材５は、第一連結部材６により、走行レール４を介さずに天井３に連結されている。具体的には、支持部材５の上部と、天井３に固定された固定部材３ａとが、第一連結部材６により互いに連結されており、支持部材５は、第一連結部材６を介して天井３に吊り下げ支持されている。よって、本実施形態では、支持部材５に作用する荷重の一部は走行レール４を介さずに天井３に支持される。すなわち、本実施形態では、支持部材５に作用する荷重の一部のみが走行レール４を介して天井３に支持されるように、支持部材５が走行レール４に対して取り付けられている。本実施形態では、２つの第一連結部材６が、経路長手方向Ｙで支持部材５の中央部に対して両側に分かれて設けられている。
【００４２】
以下、支持部材５の具体的構成について説明する。図１に示すように、支持部材５は、支持部分３０を備えている。支持部分３０は、図３、図４、及び図６に示すように、突出状態において、第二支持部１２に設けられた被支持部２０に対して上下方向Ｚに見て下側に重なる位置に配置される。そして、図４に示すように、第二支持部１２は、被支持部２０と支持部分３０とが接触した状態で、支持部材５により下側から支持される。被支持部２０は、第二支持部１２と一体的に経路幅方向Ｘに移動するように第二支持部１２に設けられる。本実施形態では、被支持部２０は、連結部材２３を介して、第二支持部１２が固定された第三移動部４２ｃに連結されている。
【００４３】
本実施形態では、図６に示すように、第二支持部１２は、経路長手方向Ｙで当該第二支持部１２の中央部に対して両側に分かれて配置される２つの被支持部２０である、第一被支持部２１と第二被支持部２２とを備えている。本実施形態では、第一被支持部２１及び第二被支持部２２のそれぞれが１つずつ設けられている。そして、第一被支持部２１及び第二被支持部２２のそれぞれは、第一支持部１１（第一高さに位置する第一支持部１１）及び第二支持部１２が占める空間の経路幅方向Ｘの外側の端部に位置するように設けられている。図６に示すように、第一被支持部２１と第二被支持部２２との経路長手方向Ｙの間隔は、具体的には、第一被支持部２１及び第二被支持部２２のそれぞれの互いに対向する側（経路長手方向Ｙの内側）の端部同士の経路長手方向Ｙの離間距離は、第一支持部１１の経路長手方向Ｙの幅よりも大きく設定されている。そして、第一被支持部２１及び第二被支持部２２は、第一高さに位置する第一支持部１１を第一被支持部２１と第二被支持部２２とにより経路長手方向Ｙの両側から挟む高さに配置されている。すなわち、被支持部２０の上下方向Ｚの配置領域の一部又は全体が、第一高さに位置する第一支持部１１の上下方向Ｚの配置領域と重複している。
【００４４】
第二支持部１２が第一被支持部２１と第二被支持部２２とを備えることに対応して、支持部材５は、図１及び図６に示すように、第一被支持部２１に対して突出状態において上下方向Ｚに見て下側に重なる位置に配置される支持部分３０である第一支持部分３１と、第二被支持部２２に対して突出状態において上下方向Ｚに見て下側に重なる位置に配置される支持部分３０である第二支持部分３２と、を備えている。そして、第二支持部１２は、第一被支持部２１と第一支持部分３１とが接触し且つ第二被支持部２２と第二支持部分３２とが接触した状態で、支持部材５により下側から支持される。なお、第一支持部１１の第二支持部１２に対する昇降移動を許容するように、第一支持部分３１と第二支持部分３２との経路長手方向Ｙの間隔は、具体的には、第一支持部分３１及び第二支持部分３２のそれぞれの互いに対向する側（経路長手方向Ｙの内側）の端部同士の経路長手方向Ｙの離間距離は、図６に示すように、第一支持部１１の経路長手方向Ｙの幅よりも大きく設定されている。
【００４５】
図１及び図６に示すように、支持部分３０は、上下方向Ｚに延びる第一延在部３４の下部に連結されている。支持部分３０は、第一延在部３４の下部から経路長手方向Ｙの内側に突出するように、第一延在部３４に連結されている。そして、第一支持部分３１が連結された第一延在部３４と第二支持部分３２が連結された第一延在部３４とが（すなわち、２つの第一延在部３４が）、経路長手方向Ｙに延びる第二延在部３５により互いに連結されている。図１に示すように、本実施形態では、２つの第一延在部３４のそれぞれは、上下方向Ｚ及び経路幅方向Ｘに延びる板状に形成されている。そして、２つの第二延在部３５が、経路幅方向Ｘで支持部材５の中央部に対して両側に分かれて設けられている。すなわち、２つの第一延在部３４は、経路幅方向Ｘの異なる２つの位置のそれぞれで、第二延在部３５により互いに連結されている。そして、２つの第二延在部３５のうちの経路幅方向Ｘの外側に配置される第二延在部３５の上部に、上述した第一連結部材６が連結されている。
【００４６】
図６に示すように、２つの第一延在部３４の経路長手方向Ｙの間隔は、具体的には、２つの第一延在部３４のそれぞれの互いに対向する側（経路長手方向Ｙの内側）の端部同士の経路長手方向Ｙの離間距離は、第一支持部１１（第一高さに位置する第一支持部１１）及び第二支持部１２が占める空間の経路長手方向Ｙの最大幅よりも大きく設定されている。これにより、第二支持部１２を引退位置から突出位置に移動させる際に、第二支持部１２及びそれに支持された第一支持部１１を、２つの第一延在部３４の間に形成される空間に対して経路幅方向Ｘに挿入することが可能となっている。なお、本実施形態では、２つの被支持部２０のそれぞれの経路長手方向Ｙの外側の端部同士の経路長手方向Ｙの離間距離が、第一支持部１１及び第二支持部１２が占める空間の経路長手方向Ｙの最大幅となっている。
【００４７】
ところで、引退位置と突出位置との間で第二支持部１２を移動させる際には、第二支持部１２に備えられる被支持部２０と支持部材５に備えられる支持部分３０との接触による衝撃を緩和できることが望ましく、好ましくは、被支持部２０と支持部分３０との接触を回避できることが望ましい。なぜなら、被支持部２０と支持部分３０との接触衝撃が大きい場合には、第二支持部１２に吊り下げ支持された第一支持部１１の振動（横揺れ）が、搬送装置１０と搬送対象部９０との間で物品１を適切に移載するために許容される範囲内に収まるまでの待機時間が長くなり、その分だけ搬送効率が低下するからである。また、第一支持部１１が物品１を支持している場合には、被支持部２０と支持部分３０との接触衝撃により物品１或いは物品１に収容された荷が損傷するおそれもある。更に、被支持部２０と支持部分３０との接触により塵埃が発生するおそれもあり、物品搬送設備の設置空間が半導体製造工場等におけるクリーン環境である場合、塵埃の発生は問題となり得る。
【００４８】
この点に鑑みて、本実施形態では、図３及び図６に示すように、突出状態における支持部分３０と被支持部２０との上下方向Ｚの間隔Ｄが、第一支持部１１が第一高さに位置する状態で、ゼロより大きな値となるように設定されている。上述したように、本実施形態では、第一支持部１１が第一高さに位置する状態で、第二支持部１２が引退位置と突出位置との間で移動される。そのため、第一支持部１１が第一高さに位置する状態での間隔Ｄをゼロより大きな値とすることで、引退位置と突出位置との間で第二支持部１２を移動させる際の、第二支持部１２に備えられた被支持部２０と支持部材５に備えられた支持部分３０との接触は、基本的に（すなわち、設計上）回避することができる。なお、空荷状態に比べて実荷状態の方が、モーメント荷重による撓みの影響で第二支持部１２が下側に位置し得る（すなわち、間隔Ｄが小さくなり得る）点を考慮して、第一支持部１１が第一高さに位置する状態且つ実荷状態での間隔Ｄがゼロより大きな値となる構成とすると好適である。なお、ここでの実荷状態は、例えば、搬送装置１０によって搬送される物品１として想定される最大の重量の物品１を、第一支持部１１が支持している状態とすることができる。本実施形態では、物品１は、基板を収容する容器であるため、容器内に基板を最大枚数収容した状態の物品１が、想定される最大の重量の物品１となる。
【００４９】
第一支持部１１を第一位置と第二位置との間で昇降させる際には、第一支持部１１の昇降速度の変化時（すなわち、加速時又は減速時）に、搬送装置１０内で発生するモーメント荷重が増加し得る。この点に鑑みて、本実施形態では、第一支持部１１が第一高さに位置する状態での間隔Ｄの大きさを、走行部１３に対して作用するモーメント荷重が許容値を超える前に間隔Ｄがゼロとなる（すなわち、被支持部２０と支持部分３０とが接触する）大きさに設定している。これにより、搬送装置１０内で発生するモーメント荷重が増加する状況において、走行部１３に対して作用するモーメント荷重が許容値に達する前に、支持部分３０を被支持部２０に接触させて、搬送装置１０内で発生するモーメント荷重を支持部材５によって受けることが可能となっている。例えば、第一支持部１１が第一高さに位置する状態での間隔Ｄは、１［ｍｍ］程度の値に設定される。なお、走行部１３に対して作用するモーメント荷重の許容値（搬送装置１０が負担するモーメント荷重の許容値）は、搬送装置１０（走行部１３や本体部１７等）に許容される傾きの程度や、搬送装置１０に含まれる各部材に許容されるモーメント荷重の大きさ等に応じて定まる。
【００５０】
本実施形態では、図３及び図６に示すように、被支持部２０として、走行経路に沿う軸心周りに（言い換えれば、経路長手方向Ｙに沿う軸心周りに）回転自在な回転ローラを採用している。そして、図１、図２、及び図６に示すように、支持部分３０を、経路幅方向Ｘに延びる平坦な支持面を上側に有するように形成している。これにより、例えば各部材についての、寸法の誤差、取付位置の誤差、経年変化による変形等により、引退位置と突出位置との間で第二支持部１２を移動させる際に被支持部２０と支持部分３０とが接触する場合であっても、支持面上を回転ローラが転動することによって、被支持部２０と支持部分３０との接触による衝撃を緩和して第二支持部１２を円滑に経路幅方向Ｘに移動させることが可能となったり、被支持部２０と支持部分３０との接触による塵埃の発生を抑制することが可能となる。
【００５１】
本実施形態では、支持部分３０の上面に形成される支持面は、経路長手方向Ｙの幅が経路幅方向Ｘに沿って均一となるように形成されている。また、この支持面は、水平面に沿うように形成されている。そして、本実施形態では、図１及び図２に示すように、支持部分３０の経路幅方向Ｘの内側の端部に、傾斜部３３が連結されている。傾斜部３３は、経路幅方向Ｘの内側に向かうに従って下側に向かう平坦な傾斜面を上面に有し、傾斜部３３の傾斜面は、支持部分３０の支持面の経路幅方向Ｘの内側の端部から連続して経路幅方向Ｘの内側に延びるように形成されている。この傾斜部３３を設けることで、被支持部２０と支持部分３０との接触による衝撃をより確実に緩和することが可能となっている。
【００５２】
〔その他の実施形態〕
物品搬送設備の、その他の実施形態について説明する。なお、以下のそれぞれの実施形態で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。
【００５３】
（１）上記の実施形態では、制御装置８０により実行される搬送装置１０の作動制御として、搬送装置１０と搬送対象部９０との間で物品１を移載するための第一制御及び第二制御を例に挙げて説明した。しかし、制御装置８０により実行される制御は、搬送装置１０と搬送対象部９０との間で物品１を移載するための制御に限定されず、搬送対象部９０（以下、「第一搬送対象部９１」という。）とは異なる第二搬送対象部９２と搬送装置１０との間で物品１を移載するための制御が、制御装置８０により実行される制御に含まれても良い。第二搬送対象部９２も、第一搬送対象部９１と同様に、搬送装置１０による物品１の搬送元又は搬送先となる。図８に示す例では、第二搬送対象部９２は、第一搬送対象部９１（図５参照）よりも高い位置であって経路幅方向Ｘで走行経路の外側に配置されている。この第二搬送対象部９２は、第一搬送対象部９１とは異なり、走行経路よりも下側ではなく、経路幅方向Ｘに見て走行経路と重複する高さに配置されている。図８では、一例として、天井３に吊り下げ支持されて物品１を一時保管する保管棚により構成された第二搬送対象部９２を示している。
【００５４】
上記の実施形態で説明したように、制御装置８０は、第一搬送対象部９１（搬送対象部９０）が搬送装置１０による物品１の搬送元又は搬送先である場合に、搬送装置１０を走行経路における第一搬送対象部９１に対応する位置まで走行させた後、第二支持部１２を、第一加速度で加速させた後に第一減速度で減速させて、引退位置から突出位置（以下、「第一突出位置」という。）まで移動させる制御を行う。同様に、制御装置８０は、第二搬送対象部９２が搬送装置１０による物品の搬送元又は搬送先である場合に、搬送装置１０を走行経路における第二搬送対象部９２に対応する位置まで走行させた後、第二支持部１２を、第二加速度で加速させた後に第二減速度で減速させて、引退位置から、上下方向Ｚに見て第二搬送対象部９２と重なる位置（図８に示す第二支持部１２の位置、以下、「第二突出位置」という。）まで移動させる制御を行う。詳細は省略するが、第二支持部１２が第二突出位置に位置している状態で、一対の把持部１１ａの姿勢切替制御等が行われて、第一支持部１１と第二搬送対象部９２との間で物品１が移載される。なお、第二突出位置の引退位置からの経路幅方向Ｘの突出量は、第一突出位置の引退位置からの経路幅方向Ｘの突出量と等しい。
【００５５】
上述したように、第二支持部１２に吊り下げ支持される第一支持部１１の振動が、搬送装置１０と搬送対象部９０との間で物品１を適切に移載するために許容される範囲内に収まるまでの待機時間が長くなると、その分だけ搬送効率が低下する。そして、物品１を適切に移載するために許容される第一支持部１１の振動の程度（例えば、第二支持部１２を支点とする横揺れの許容角度）は、一般に、搬送装置１０と第二搬送対象部９２との間で物品１を移載する場合よりも、第二搬送対象部９２よりも低い位置に配置される第一搬送対象部９１と搬送装置１０との間で物品１を移載する場合の方が低くなる。この点に鑑みて、上記の第一加速度、第一減速度、第二加速度、及び第二減速度（以下、これらをまとめて「各加減速度」という。）を、第一加速度の絶対値が第二加速度の絶対値よりも小さいことと、第一減速度の絶対値が第二減速度の絶対値よりも小さいことの、少なくとも一方が満たされるように設定すると好適である。このような設定を行うことで、第二支持部１２を引退位置から第一突出位置に移動させた時点での第一支持部１１の振動を、第二支持部１２を引退位置から第二突出位置に移動させた時点での第一支持部１１の振動よりも低い程度に抑えることができ、この結果、搬送効率を適切に確保することが可能となる。例えば、第一加速度の絶対値が第二加速度の絶対値よりも小さいことと、第一減速度の絶対値が第二減速度の絶対値よりも小さいことの、双方が満たされるように、各加減速度を設定することができる。また、例えば、実荷状態においてのみ、第一加速度の絶対値が第二加速度の絶対値よりも小さいことと、第一減速度の絶対値が第二減速度の絶対値よりも小さいことの、少なくとも一方が満たされるように、各加減速度を設定することもできる。
【００５６】
図８に示す例では、搬送装置１０は、走行部１３の傾きを防止するための一対の接触体１６を備えている。一対の接触体１６は、一対の走行レール４の間に配置されている。そして、搬送装置１０と第二搬送対象部９２との間で物品１を移載する際には、一対の接触体１６のそれぞれを走行レール４に対して経路幅方向Ｘの内側から接触させることで、第二支持部１２が第二突出位置に位置する状態での走行部１３の傾きを防止することが可能となっている。なお、接触体１６のそれぞれには、経路幅方向Ｘの外側に向かうに従って下側に向かう上向きの傾斜面が形成され、この傾斜面が、走行レール４に形成された、経路幅方向Ｘの外側に向かうに従って下側に向かう下向きの傾斜面に接触することで、走行部１３の傾きが防止される。このように、走行部１３の傾きを防止する傾き防止機構（本例では、一対の接触体１６）が設けられる場合に、搬送装置１０と第一搬送対象部９１（搬送対象部９０）との間で物品を移載する際にも、傾き防止機構を作動させて第二支持部１２が第二突出位置に位置する状態での走行部１３の傾きを防止する構成とすることもできる。この場合、支持部材５と傾き防止機構とが協働して、搬送装置１０内で発生するモーメント荷重を受けることができるため、例えば、支持部材５に必要とされる耐荷重性能を低減して支持部材５の構成の簡素化を図ることが可能となる。
【００５７】
なお、ここでは、第二搬送対象部９２が、経路幅方向Ｘに見て走行経路と重複する高さに配置される場合を例として説明したが、第二搬送対象部９２が、走行経路よりも下側であって第一搬送対象部９１よりも高い位置に配置される構成とすることもできる。この場合、第一搬送対象部９１と同様に、第二搬送対象部９２に対しても支持部材５を設け、第一搬送対象部９１及び第二搬送対象部９２の双方が、搬送対象部９０に相当する構成とすることもできる。
【００５８】
（２）上記の実施形態では、支持部材５に作用する荷重の一部のみが走行レール４を介して天井３に支持されるように、支持部材５が走行レール４に対して取り付けられる構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、支持部材５に作用する荷重の全てが走行レール４を介して天井３に支持されるように、支持部材５が走行レール４に対して取り付けられる構成とすることもできる。また、支持部材５に作用する荷重の全てが走行レール４を介さずに天井３に支持されるように、支持部材５が天井３に直接的に支持される構成とすることも可能である。
【００５９】
（３）上記の実施形態では、被支持部２０が、走行経路に沿う軸心周りに回転自在な回転ローラである構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、被支持部２０が、第二支持部１２に対して相対回転不能に取り付けられる部材により構成されても良い。被支持部２０が、第二支持部１２と別部材ではなく、第二支持部１２を構成する部材の一部であっても良い。また、上記の実施形態では、支持部分３０が、経路幅方向Ｘに延びる平坦な支持面を上側に有する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、支持部分３０が、支持面として、経路幅方向Ｘに延びる凹面（経路長手方向Ｙの中央部が経路長手方向Ｙの両側の部分よりも下側に窪んだ面）を上側に有する構成とすることも可能である。
【００６０】
（４）上記の実施形態では、第二支持部１２が２つの被支持部２０を備え、支持部材５が２つの支持部分３０を備える構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第二支持部１２が、１つ又は３つ以上の被支持部２０を備える構成とすることもできる。第二支持部１２が３つ以上の被支持部２０を備える場合、被支持部２０のそれぞれに対して各別に支持部分３０を設け、或いは、複数の被支持部２０に対して共通に支持部分３０を設けても良い。
【００６１】
（５）上記の実施形態では、突出状態における支持部分３０と被支持部２０との上下方向Ｚの間隔Ｄが、第一支持部１１が第一高さに位置する状態で、ゼロより大きな値となるように設定される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第一支持部１１が第一高さに位置する状態での間隔Ｄが、ゼロとなるように設定される構成とすることもできる。また、第一支持部１１が第一高さに位置する状態且つ空荷状態での間隔Ｄがゼロより大きな値となり、第一支持部１１が第一高さに位置する状態且つ実荷状態での間隔Ｄがゼロとなる構成とすることもできる。
【００６２】
（６）上記の実施形態では、支持部分３０の上面、すなわち支持部分３０に形成される支持面が、水平面に沿うように形成される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、支持部分３０の支持面が、経路幅方向Ｘの内側に向かうに従って下側に向かう傾斜状に形成される構成とすることもできる。
【００６３】
（７）上記の実施形態では、本体部１７が走行部１３に吊り下げ支持される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、本体部１７が走行部１３の上側に位置するように走行部１３に支持される構成とすることもできる。
【００６４】
（８）上記の実施形態では、物品１が半導体基板等の基板を収容する容器である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、物品１が、工業製品、食品、医薬品等の基板以外の物を収容する容器である構成としても良い。また、物品１が、容器以外の物品であっても良い。
【００６５】
（９）その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎないと理解されるべきである。従って、当業者は、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【符号の説明】
【００６６】
１：物品
３：天井
４：走行レール
５：支持部材
１０：搬送装置
１１：第一支持部
１２：第二支持部
１３：走行部
２０：被支持部
２１：第一被支持部
２２：第二被支持部
３０：支持部分
３１：第一支持部分
３２：第二支持部分
４１：第一駆動部
４２：第二駆動部
８０：制御装置
９０：搬送対象部
９１：第一搬送対象部
９２：第二搬送対象部
Ｄ：間隔
Ｘ：経路幅方向
Ｚ：上下方向
【図１】
0006477439.tif 000002
【図２】
0006477439.tif 000003
【図３】
0006477439.tif 000004
【図４】
0006477439.tif 000005
【図５】
0006477439.tif 000006
【図６】
0006477439.tif 000007
【図７】
0006477439.tif 000008
【図８】
0006477439.tif 000009