(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
継手に連結された複数の流体制御機器により構成されるガスラインを覆うための断熱カバーであって、
前記ガスラインの短手方向における前記継手の両側面に当接し前記複数の流体制御機器に前記短手方向において対向するための一対の側壁部と、前記側壁部の端部に設けられる端壁部と、を有するサイドカバー部と、
前記サイドカバー部の上部に設けられる上部カバー部と、を備える断熱カバー。
【請求項２】
前記サイドカバー部および前記上部カバー部は、それぞれ、金属製の薄板材と、前記薄板材に重なるように設けられた断熱材と、により構成される、請求項１に記載の断熱カバー。
【請求項３】
前記サイドカバー部と、前記上部カバー部とは、前記短手方向における前記一対の側壁部の中央を通り、前記側壁部に平行な面に沿って、それぞれ２分割に構成されている、請求項１または請求項２に記載の断熱カバー。
【請求項４】
前記一対の側壁部を外側から狭圧する一対の狭圧部と、一対の狭圧部を連結する連結部を有する第１クリップを更に備え、
前記一対の側壁部には、それらの上端に開口し、前記連結部が挿入されるスリットが形成され、
前記一対の狭圧部は、前記連結部よりも上側に突出する突出部を備え、
前記突出部の間に、前記上部カバー部が配置され、前記連結部は、前記上部カバー部を下側から支持する、請求項３に記載の断熱カバー。
【請求項５】
前記サイドカバー部と前記上部カバー部とを、一体化し、かつ、前記ガスラインに装着するための第２クリップを備える、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の断熱カバー。
【請求項６】
前記サイドカバー部の一方の側壁部には、前記継手に当接するヒーターが収まる切欠きが形成され、
前記第２クリップは、前記サイドカバーと共に前記ヒーターを前記ガスラインに装着するように構成されている、請求項５に記載の断熱カバー。
【請求項７】
継手に固定された複数の流体制御機器により構成されるガスラインの一部を覆う請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の断熱カバーを備える流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置等に使用される流体制御装置で用いられる断熱カバーおよびその断熱カバーを備える流体制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、複数のガスラインを備える流体制御装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。各ガスラインは、複数の流体制御機器と、複数の継手とを有し、複数の継手の上面に複数の流体制御機器を装着することにより、複数の流体制御機器同士が接続され、流体が供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３４９７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、常温で液化するガスを使用する時には、ガスラインに対し面状ヒーターが装着される。また、複数のガスラインは、排気ダクトが装着された筐体内に配置されており、使用時には、万が一流体制御装置から筺体内部にリークが発生した際、筺体外部へのガスの外部リークを防止するために、ポンプで筐体内部を減圧状態にして、排気ダクトを介して、筐体内の空気を所定の排気口へ排出するようにしている。このため、筐体内では、常に空気の流れが発生している。
【０００５】
そして、当該空気の流れが、加温されたガスラインに当たることにより、ガスの温度が変動する。これにより、成膜プロセスが影響を受け、成膜精度が低下してしまう。
【０００６】
そこで本発明は、筐体内の空気の流れによるガスラインを流れるガスの温度変動を抑制することが可能な断熱カバーおよびそれを備える流体制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を解決するために、本発明の一態様である断熱カバーは、継手に連結された複数の流体制御機器により構成されるガスラインを覆うための断熱カバーであって、前記ガスラインの短手方向における前記継手の両側面に当接し前記複数の流体制御機器に前記短手方向において対向するための一対の側壁部と、前記側壁部の端部に設けられる端壁部と、を有するサイドカバー部と、前記サイドカバー部の上部に設けられる上部カバー部と、を備える。
【０００８】
また、前記サイドカバー部および前記上部カバー部は、それぞれ、金属製の薄板材と、前記薄板材に重なるように設けられた断熱材と、により構成されても良い。
【０００９】
また、前記サイドカバー部と、前記上部カバー部とは、前記短手方向における前記一対の側壁部の中央を通り、前記側壁部に平行な面に沿って、それぞれ２分割に構成されても良い。
【００１０】
また、前記一対の側壁部を外側から狭圧する一対の狭圧部と、一対の狭圧部を連結する連結部を有する第１クリップを更に備え、前記一対の側壁部には、それらの上端に開口し、前記連結部が挿入されるスリットが形成され、前記一対の狭圧部は、前記連結部よりも上側に突出する突出部を備え、前記突出部の間に、前記上部カバー部が配置され、前記連結部は、前記上部カバー部を下側から支持しても良い。
【００１１】
また、前記サイドカバー部と前記上部カバー部とを、一体化し、かつ、前記ガスラインに装着するための第２クリップを備えても良い。
【００１２】
また、前記サイドカバー部の一方の側壁部には、前記継手に当接するヒーターが収まる切欠きが形成され、前記第２クリップは、前記サイドカバーと共に前記ヒーターを前記ガスラインに装着するように構成されても良い。
【００１３】
また、本発明の一態様である流体制御装置は、継手に固定された複数の流体制御機器により構成されるガスラインの一部を覆う上記の断熱カバーを備える。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、筐体内の空気の流れによるガスラインを流れるガスの温度変動を抑制することが可能な断熱カバーおよびそれを備える流体制御装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態に係る断熱カバーを備える流体制御装置の平面図を示す。
【図２】ガスラインの斜視図を示す。
【図３】断熱カバー等が装着されたガスラインの斜視図を示す。
【図４】断熱カバー等が装着されたガスラインを図３とは異なる角度から見た斜視図を示す。
【図５】断熱カバーの斜視図を示す。
【図６】断熱カバーを図５とは異なる角度から見たときの分解斜視図を示す。
【図７】ガスラインにサイドカバー部および第１クリップを装着した状態を示す図である。
【図８】ガスラインにサイドカバー部、上部カバー部、および第１クリップを装着した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の実施形態に係る断熱カバーおよび流体制御装置について、図面を参照して説明する。以下の説明における上下は、図２〜４の上下とする。入口配管４側をガスの流れの上流側、出口配管５側をガスの流れの下流側とする。
【００１７】
図１は、本実施形態に係る流体制御装置１の平面図を示している。図２は、ガスライン３の斜視図を示している。
【００１８】
図１に示すように、流体制御装置１は、基盤２と、複数（４ライン）のガスライン３とを備えている。各ガスライン３の構成は同じであるので、以下では複数のガスライン３のうちの一つのガスライン３についてのみ説明を行う。
【００１９】
図１および図２に示すように、ガスライン３は、複数の継手４〜６と、複数の流体制御機器７〜１３と、を備える。
【００２０】
複数の継手４〜６は、基盤２上に一列に並ぶように設けられ、流体の入口となる入口配管４と、流体の出口となる出口配管５と、入口配管４と出口配管５との間に配置される複数のブロック状の継手６とにより構成される。各継手４〜６には、ガスの流路が形成されている。また、複数の継手６は、図示せぬボルトにより基盤２に固定されている。
【００２１】
複数の流体制御機器７〜１３は、自動弁（例えば流体駆動式の自動弁）７〜１０と、手動式のレギュレータ（減圧弁）１１と、圧力計１２と、流量制御機器（例えば、マスフローコントローラ（ＭＦＣ：Ｍａｓｓ  Ｆｌｏｗ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ））１３と、により構成されている。図２に示すように、各流体制御機器７〜１３は固定部７Ａ〜１３Ａを備え、固定部７Ａ〜１３Ａにボルト２０（図の簡略化のため一つのボルトにのみ参照番号を付している。）が挿入されることにより、継手６に対しそれぞれ連結されている。  
【００２２】
図３は、断熱カバー３０等が装着されたガスライン３の斜視図を示している。図４は、断熱カバー３０等が装着されたガスライン３を図３とは異なる角度から見た斜視図を示している。
【００２３】
図３、４に示すように、ガスライン３に対し、アルミブロック１４、ヒーター１５、ヒーター支持板１６、断熱カバー３０、ＭＦＣヒーター１７、ヒーター固定具１８、サーモスタット１９が装着されている。
【００２４】
アルミブロック１４は、入口配管４を覆うように設けられている。
【００２５】
ヒーター１５は、面状ヒーターであり、自動弁７およびレギュレータ１１の固定部７Ａ、１１Ａの側面と、固定部７Ａ、１１Ａが固定された継手６の側面に当接するように設けられている。ヒーター１５からの熱により、入口配管４を介して流入するガス（例えば、フッ化水素）が加温され、常温で液化するガスの液化が防止される。
【００２６】
ヒーター１５の外側には、ヒーター支持板１６が設けられている。ヒーター支持板１６は、ヒーター１５を支持し、ヒーター１５を、継手６と自動弁７およびレギュレータ１１の固定部７Ａ、１１Ａとに密着させる。
【００２７】
断熱カバー３０は、継手６の両側面と、自動弁７〜９、レギュレータ１１、および圧力計１２の一部を覆うように設けられている。断熱カバー３０の詳細な構成については後述する。
【００２８】
ＭＦＣヒーター１７は、面状ヒーターであり、マスフローコントローラ１３の下部の両側面に当接するように一対設けられている。ＭＦＣヒーター１７からの熱により、マスフローコントローラ１３を通過するガスが加温され、ガスの液化が防止される。
【００２９】
ヒーター固定具１８は、ＭＦＣヒーター１７の外側から、マスフローコントローラ１３の下部の外周全体を覆うように、マスフローコントローラ１３に対し装着されている。ヒーター固定具１８により、一対のＭＦＣヒーター１７がマスフローコントローラ１３に対し密着される。
【００３０】
サーモスタット１９は、マスフローコントローラ１３のガスの流れの上流側の端部に設けられ、ガスの温度を所定の温度以下に保持している。
【００３１】
次に、断熱カバー３０の詳細な構成について、図５、６に基づき説明する。
【００３２】
図５は、断熱カバー３０の斜視図を示し、図６は、断熱カバー３０を図５とは異なる角度から見たときの分解斜視図を示している。
【００３３】
図５に示すように、断熱カバー３０は、サイドカバー部３１と、上部カバー部３２と、第１クリップ３３と、第２クリップ３４とを備える。
【００３４】
図６に示すように、サイドカバー部３１は、第１サイドカバー３５と、第２サイドカバー３６と、第１サイド断熱部材３７と、第２サイド断熱部材３８とを有する。
【００３５】
第１サイドカバー３５は、アルミニウム合金の薄板材を曲げ加工することにより形成され、第１側壁部３５Ａと、第１上流側端壁部３５Ｂと、第１下流側端壁部３５Ｃと、第１支持部３５Ｄとを有する。第１側壁部３５Ａは、ガスライン３の長手方向に沿って延びる略矩形状をなし、下部が継手６の一方の側面に当接し、上部がガスライン３の短手方向において自動弁７〜９、レギュレータ１１、および圧力計１２に対向している。また、第１側壁部３５Ａの下部のガスの流れの上流側には、切欠き３５ｅが形成されている。切欠き３５ｅ内に、ヒーター１５およびヒーター支持板１６が収まるように構成されている。また、第１側壁部３５Ａの自動弁８、９の間に相当する位置には、上下方向に延びるスリット３５ｆが形成されている。
【００３６】
第１上流側端壁部３５Ｂは、略矩形状をなし、第１側壁部３５Ａのガスの流れの上流側の端部に、第１側壁部３５Ａに対し略直角に設けられている。第１上流側端壁部３５Ｂの先端は、ガスライン３の短手方向の中央付近に位置している。なお、ガスライン３の短手方向とは、ガスライン３の長手方向および上下方向の両方に直交する方向をいう。
【００３７】
第１下流側端壁部３５Ｃは、略矩形状をなし、第１側壁部３５Ａの下流側の端部に、第１側壁部３５Ａに対し略直角に設けられている。
【００３８】
第１支持部３５Ｄは、第１側壁部３５Ａの上端部に、ガスライン３の長手方向に沿って複数設けられている。
【００３９】
第２サイドカバー３６は、ガスライン３の長手方向および上下方向に平行をなしガスライン３の短手方向の中心を通る面を対称面として、第１サイドカバー３５に対し、略面対称の形状をなしている。すなわち、第２サイドカバー３６は、アルミニウム合金の薄板材を曲げ加工することにより形成され、第１側壁部３５Ａに対応する第２側壁部３６Ａと、第１上流側端壁部３５Ｂに対応する第２上流側端壁部３６Ｂと、第１支持部３５Ｄに対応する第２支持部３６Ｄを有する。なお、第２サイドカバー３６は、第１下流側端壁部３５Ｃに対応する部分は有していない。
【００４０】
第２側壁部３６Ａは、下部が継手６の他方の側面に当接し、上部がガスライン３の短手方向において自動弁７〜９、レギュレータ１１、および圧力計１２に対向している。第２側壁部３６Ａの自動弁８、９の間に相当する位置には、上下方向に延びるスリット３６ｆが形成されている。なお、第２側壁部３６Ａには、切欠き３５ｅに相当する切欠きは形成されていない。
【００４１】
第２上流側端壁部３６Ｂの先端は、ガスライン３の短手方向の中央付近に位置し、第１上流側端壁部３５Ｂの先端に近接対向している。
【００４２】
第１サイド断熱部材３７は、シリコーンスポンジ等の断熱材料により構成されている。第１サイド断熱部材３７は、第１サイドカバー３５の外側に設けられ、第１下流側端壁部３５Ｃおよび第１支持部３５Ｄに相当する部分を有さない以外は、第１サイドカバー３５と略同形状をなしている。すなわち、第１サイド断熱部材３７は、第１側壁部３５Ａに対応する第３側壁部３７Ａと、第１上流側端壁部３５Ｂに対応する第３上流側端壁部３７Ｂとを有する。よって、第３側壁部３７Ａには、切欠き３７ｅが形成され、切欠き３７ｅ内に、ヒーター１５およびヒーター支持板１６が収まる。第３側壁部３７Ａの自動弁８、９の間に相当する位置には、上下方向に延びるスリット３７ｆが形成されている。
【００４３】
第１サイドカバー３５と第１サイド断熱部材３７とは、接着剤により互いに結合され層状に重なった状態で、ガスライン３に装着される。
【００４４】
第２サイド断熱部材３８は、シリコーンスポンジ等の断熱材料により構成されている。第２サイド断熱部材３８は、第２サイドカバー３６の外側に設けられ、第２支持部３６Ｄに相当する部分を有さない以外は、第２サイドカバー３６と略同形状をなしている。すなわち、第２サイド断熱部材３８は、第２側壁部３６Ａに対応する第４側壁部３８Ａと、第２上流側端壁部３６Ｂに対応する第４上流側端壁部３８Ｂとを有する。第４側壁部３８Ａの自動弁８、９の間に相当する位置には、上下方向に延びるスリット３８ｆが形成されている。
【００４５】
第２サイドカバー３６と第２サイド断熱部材３８とは、接着剤により互いに結合され層状に重なった状態で、ガスライン３に装着される。
【００４６】
上部カバー部３２は、第１上部カバー３９と、第２上部カバー４０と、第１上部断熱部材４１と、第２上部断熱部材４２とを有する。
【００４７】
第１上部カバー３９は、アルミニウム合金の薄板材により構成され、第１支持部３５Ｄ上に配置されている。第１上部カバー３９は、略矩形状をなし、その長手方向および短手方向の幅は、第１サイド断熱部材３７と略等しく構成されている。第１上部カバー３９の第２サイドカバー３６側には、略半円形の切欠き３９ａ（図の簡略化のため一つの切欠きにのみ参照番号を付している。）が複数形成されている。また、第１上部カバー３９の第３側壁部３７Ａ側には、上方へ延びる把持部３９Ｂが設けられている。
【００４８】
第２上部カバー４０は、アルミニウム合金の薄板材により構成され、第２支持部３６Ｄ上に配置されている。第２上部カバー４０は、ガスライン３の長手方向および上下方向に平行をなしガスライン３の短手方向の中心を通る面を対称面として、第１上部カバー３９に対し、略面対称の形状をなしている。よって、第２上部カバー４０には、略半円形の切欠き４０ａ（図の簡略化のため一つの切欠きにのみ参照番号を付している。）が複数形成され、把持部４０Ｂが設けられている。
【００４９】
第１上部断熱部材４１は、シリコーンスポンジ等の断熱材料により構成されている。第１上部断熱部材４１は、第１上部カバー３９の上側に設けられ、把持部３９Ｂに相当する部分を有さない以外は、第１上部カバー３９と略同形状をなしている。よって、第１上部断熱部材４１の第２サイドカバー３６側には、略半円形の切欠き４１ａ（図の簡略化のため一つの切欠きにのみ参照番号を付している。）が複数形成されている。
【００５０】
第１上部カバー３９と第１上部断熱部材４１とは、接着剤により互いに結合され層状に重なった状態で、ガスライン３に装着される。
【００５１】
第２上部断熱部材４２は、シリコーンスポンジ等の断熱材料により構成されている。第２上部断熱部材４２は、第２上部カバー４０の上側に設けられ、把持部４０Ｂに相当する部分を有さない以外は、第２上部カバー４０と略同形状をなしている。よって、第２上部断熱部材４２には、略半円形の切欠き４２ａ（図の簡略化のため一つの切欠きにのみ参照番号を付している。）が複数形成されている。
【００５２】
第２上部カバー４０と第２上部断熱部材４２とは、接着剤により互いに結合され層状に重なった状態で、ガスライン３に装着される。また、上部カバー部３２が、ガスライン３に装着された状態では、図５に示すように、略半円形の切欠き３９ａ〜４２ａにより、略円形の貫通孔３２ａが複数形成される。なお、ガスの流れの最も下流側に位置する貫通孔３２ａは一部が開口している。
【００５３】
第１クリップ３３は、薄板材を曲げ加工することにより形成され、一対の狭圧部３３Ａと連結部３３Ｂとにより構成される。一対の狭圧部３３Ａは、上下方向に延び、第３側壁部３７Ａおよび第４側壁部３８Ａと平行をなしている。連結部３３Ｂは、ガスライン３の短手方向に沿って延び、一対の狭圧部３３Ａを連結している。連結部３３Ｂは、スリット３５ｆ〜３８ｆに挿入可能に構成され、スリット３５ｆ〜３８ｆの上下方向の幅と略等しい上下方向の幅を有する。また、各狭圧部３３Ａの上端部３３Ｃは、連結部３３Ｂよりも上方へ突出するように構成されている。上端部３３Ｃは、突出部に相当する。第１クリップ３３は、一対の狭圧部３３Ａにより、継手６と、第１サイドカバー３５と、第２サイドカバー３６と、第１サイド断熱部材３７と、第２サイド断熱部材３８とを挟圧している。また、第１クリップ３３は、連結部３３Ｂにより、上部カバー部３２を下側から支持し、上端部３３Ｃにより、上部カバー部３２のずれを防止する。
【００５４】
第２クリップ３４は、第１クリップ３３よりもガスの流れの上流側に位置し、薄板材を曲げ加工することにより形成され、一対の狭圧部３４Ａと連結部３４Ｂとにより構成される。一対の狭圧部３４Ａは、上下方向に延び、第３側壁部３７Ａおよび第４側壁部３８Ａと平行をなしている。連結部３４Ｂは、ガスライン３の短手方向に沿って延び、一対の狭圧部３４Ａを連結している。第２クリップ３４は、一対の狭圧部３４Ａにより、継手６と、ヒーター１５と、ヒーター支持板１６と、第１サイドカバー３５と、第２サイドカバー３６と、第１サイド断熱部材３７と、第２サイド断熱部材３８とを挟圧している。また、第２クリップ３４は、連結部３４Ｂにより、上部カバー部３２を上側から押え、一対の狭圧部３４Ａにより、上部カバー部３２のずれを防止する。第２クリップ３４により、サイドカバー部３１と上部カバー部３２とが一体化される。また、第２クリップ３４により、ヒーター１５およびヒーター支持板１６も、ガスライン３に装着される。
【００５５】
上記のように、サイドカバー部３１と、上部カバー部３２とは、ガスライン３の短手方向における第１側壁部３５Ａと第２側壁部３６Ａの中央を通り、第１側壁部３５Ａに平行な面に沿って、それぞれ２分割に構成されている。
【００５６】
次に、断熱カバー３０をガスライン３に装着する方法について、図３、７、８を参照して説明する。
【００５７】
図７は、ガスライン３にサイドカバー部３１および第１クリップ３３を装着した状態を示す図である。図８は、ガスライン３にサイドカバー部３１、上部カバー部３２、および第１クリップ３３を装着した状態を示す図である。
【００５８】
はじめに、接着剤により互いに結合された第１サイドカバー３５および第１サイド断熱部材３７と、接着剤により互いに結合された第２サイドカバー３６および第２サイド断熱部材３８と、をガスライン３の短手方向の両側に配置する。第１クリップ３３の連結部３３Ｂがスリット３５ｆ〜３８ｆ（図６）に挿入されるように、第１クリップ３３を下降させて、一対の狭圧部３３Ａにより、継手６と、第１サイドカバー３５と、第２サイドカバー３６と、第１サイド断熱部材３７と、第２サイド断熱部材３８とを挟圧する。これにより、断熱カバー３０は、図７に示す状態となる。
【００５９】
次に、第１上部カバー３９の把持部３９Ｂを持って、接着剤により互いに結合された第１上部カバー３９および第１上部断熱部材４１を、第１支持部３５Ｄおよび連結部３３Ｂの上に配置する。同様に、第２上部カバー４０の把持部４０Ｂを持って、接着剤により互いに結合された第２上部カバー４０および第２上部断熱部材４２を、第２支持部３６Ｄおよび連結部３３Ｂの上に配置する。これにより、図８に示すように、貫通孔３２ａが複数形成され、各貫通孔３２ａを、自動弁７〜９、レギュレータ１１、および圧力計１２が貫通した状態となる。
【００６０】
第２クリップ３４の連結部３４Ｂが自動弁７とレギュレータ１１との間に位置するように、第２クリップ３４を下降させて、一対の狭圧部３４Ａにより、継手６と、ヒーター１５と、ヒーター支持板１６と、第１サイドカバー３５と、第２サイドカバー３６と、第１サイド断熱部材３７と、第２サイド断熱部材３８とを挟圧する。このようにして、図３に示すように、断熱カバー３０がガスライン３に対し装着される。
【００６１】
上記のような断熱カバー３０によれば、サイドカバー部３１と上部カバー部３２とにより、ガスライン３の一部を覆うように構成されているので、流体制御装置１の図示せぬ筐体内の空気の流れによるガスライン３内を流れるガスの温度変動を抑制することができる。
【００６２】
サイドカバー部３１と上部カバー部３２とは、金属製（アルミニウム合金）の薄板材からなる第１サイドカバー３５、第２サイドカバー３６、第１上部カバー３９、および第２上部カバー４０と、それらの外側に設けられた断熱材からなる第１サイド断熱部材３７、第２サイド断熱部材３８、第１上部断熱部材４１、および第２上部断熱部材４２とにより構成される。かかる構成により、熱伝導率が比較的良い金属により、ヒーター１５が発生する熱を自動弁７等へ伝えつつ、外側の断熱材により、外部からの空気を遮断し、放熱を抑制することができる。この結果、ガスライン３内を流れるガスの温度変動を抑制することができる。
【００６３】
また、サイドカバー部３１と、上部カバー部３２とは、ガスライン３の短手方向における第１側壁部３５Ａと第２側壁部３６Ａの中央を通り、第１側壁部３５Ａに平行な面に沿って、それぞれ２分割に構成されている。かかる構成により、改造等により既存のガスライン３に取り付ける場合であっても、上からのアクセスにより容易にガスライン３に対し装着することができる。
【００６４】
第２クリップ３４により、サイドカバー部３１と上部カバー部３２とが一体化されて、ガスライン３に装着されるので、ネジ等を用いることなく、断熱カバー３０をガスライン３に対して容易に装着することができる。
【００６５】
第２クリップ３４により、ヒーター１５およびヒーター支持板１６も、ガスライン３に装着されるので、ヒーター１５等を装着する部品を別に設ける必要がないので、部品点数を削減することができる。
【００６６】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されない。当業者であれば、本発明の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。
【００６７】
例えば、上記の実施形態では、断熱カバー３０は、流体制御機器７〜９、１１、１２の一部を覆うように構成したが、少なくとも流体制御機器７〜９、１１、１２の流路が形成された部分を覆うように構成すれば良く、流体制御機器７〜９、１１、１２の全体を覆うように構成しても良い。
【００６８】
また、第１サイドカバー３５、第２サイドカバー３６、第１上部カバー３９、および第２上部カバー４０は、アルミニウム合金により構成したが、熱伝導性が良い材料であれば、他の材料であっても良い。また、第１サイド断熱部材３７、第２サイド断熱部材３８、第１上部断熱部材４１、および第２上部断熱部材４２は、シリコーンスポンジにより構成したが、断熱性が良い材料であれば、他の材料であっても良い。また、サイドカバー部３１は、長手方向に沿って２分割されていたが、短手方向に沿って２分割されても良いし、一体に構成されていても良い。サイドカバー部３１および上部カバー部３２は、金属製の薄板材の外側に層状に重なるように断熱材を設ける構成であったが、断熱材の外側に層状に重なるように金属製の薄板材を設ける構成であっても良い。
【００６９】
サイドカバー部３１のガスの流れの下流側の端部は、サーモスタット１９があるために開口していたが、サーモスタット１９が無い場合には、上流側と同様に閉じるように構成しても良い。
【００７０】
第１クリップ３３および第２クリップ３４により、断熱カバー３０をガスライン３に装着するように構成したが、第２クリップ３４のみで断熱カバー３０をガスライン３に装着するように構成しても良い。
【００７１】
上記の実施形態では、流体制御装置１は、流体制御機器として自動弁、圧力計、レギュレータ、およびマスフローコントローラを備えていたが、これらの他に、手動弁、フィルタ等を備えていても良い。
【符号の説明】
【００７２】
１：流体制御装置
３：ガスライン
６：継手
７〜１３：流体制御機器
１５：ヒーター
３０：断熱カバー
３１：サイドカバー部
３２：上部カバー部  
３３：第１クリップ
３３Ａ：狭圧部  
３３Ｂ：連結部  
３３Ｃ：上端部
３４：第２クリップ
３５：第１サイドカバー
３５Ａ：第１側壁部
３５Ｂ：第１上流側端壁部
３６：第２サイドカバー
３６Ａ：第２側壁部
３６Ｂ：第２上流側端壁部
３７：第１サイド断熱部材
３７Ａ：第３側壁部
３７Ｂ：第３上流側端壁部
３８：第２サイド断熱部材
３８Ａ：第４側壁部
３８Ｂ：第４上流側端壁部
３９：第１上部カバー
４０：第２上部カバー
４１：第１上部断熱部材
４２：第２上部断熱部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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