(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートの表面に複数の凹部からなる凹状パターンがアレイ状に配置されてなるモールドにおいて、
前記シートの裏面の一部に凹凸部が配置され、
前記シートの表面の前記凹状パターンの配置領域に対向する、前記シートの裏面の領域は平坦面とされ、
前記シートの表面の前記凹状パターンの非配置領域に対向する、前記シートの裏面の領域に前記凹凸部が配置される、モールド。
【請求項２】
前記モールドの前記凹部は針状凹部である、請求項１に記載のモールド。
【請求項３】
前記シートの裏面において、前記凹凸部の配置領域面は、前記凹凸部の配置領域面を除く領域面に対して突出されている、請求項１又は２に記載のモールド。
【請求項４】
前記モールドのショアＡ硬度が３５以上６０以下である、請求項１から３のいずれか１項に記載のモールド。
【請求項５】
前記モールドは、シリコーンゴム製である、請求項１から４のいずれか１項に記載のモールド。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のモールドを使用し、
前記モールドのシートの表面に配置された凹状パターンにポリマー溶解液を供給する供給工程と、
前記モールドの前記シートの裏面を検査台に載置して前記凹状パターンに供給された前記ポリマー溶解液の供給量を検査する検査工程と、
前記ポリマー溶解液を乾燥させてパターンシートに成形する乾燥工程と、
前記パターンシートを前記モールドから剥離するパターンシート剥離工程と、
を含むパターンシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はモールド及びパターンシートの製造方法に係り、特にマイクロニードルアレイを製造するためのモールド及びパターンシートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、痛みを伴わずにインシュリン（Insulin）、ワクチン（Vaccines）及び人成長ホルモン（ｈＧＨ：human Growth Hormone）等の薬剤を皮膚内に投与可能な新規剤型として、マイクロニードルアレイ（Micro-Needle Array：以下、「ＭＮＡ」と略す。）が知られている。ＭＮＡは、薬剤を含み、生分解性のある複数のマイクロニードル（微細針または微小針とも言う。）をアレイ状に配置したものである。このＭＮＡを皮膚に貼付することにより、マイクロニードルが皮膚に突き刺さり、マイクロニードルが皮膚内で吸収され、マイクロニードルに含まれた薬剤が皮膚内に投与される。
【０００３】
このようなＭＮＡの製造方法としては、その表面にマイクロニードルの反転型である複数の針状凹部（以下、「凹状パターン」と言う。）を有するモールドを製造し、このモールドの凹状パターンに、薬剤等を含む薬剤水溶液を供給して乾燥させることでＭＮＡを成形した後、ＭＮＡをモールドから剥離する方法が知られている（特許文献１）。
【０００４】
ＭＮＡの製造工程は、モールドの凹状パターンに薬剤水溶液を供給する供給工程と、薬剤水溶液を乾燥させてＭＮＡに成形する乾燥工程との間に、凹状パターンに供給された薬剤水溶液の供給量を検査する検査工程が存在する。この検査工程は、例えば、高精度電子天秤の検査台にモールドの裏面を載置することにより行われる。具体的には、薬剤水溶液の供給前のモールドの重量を、供給工程の前段階で予め測定しておき、そして、薬剤水溶液の供給後のモールドの重量を検査工程で測定し、薬剤水溶液の供給前後の重量差を求めることで、薬剤水溶液の供給量を求めている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１６２９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のモールドは、前述した検査工程において、モールドの裏面が高精度電子天秤の検査台に密着するため、モールドを検査台から容易に取り外すことができない場合があった。特に、シリコーンゴム製のモールドは、柔軟であるが故に検査台に強く密着してしまう。このようなモールドの密着問題に起因して、従来では、ＭＮＡのスループット（生産量）を上げることができないという問題があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、滑り性のよいモールドを提供すること、及びパターンシートのスループットを上げることができるパターンシートの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様のモールドは、シートの表面に複数の凹部からなる凹状パターンがアレイ状に配置されてなるモールドにおいて、シートの裏面の一部に凹凸部が配置される。
【０００９】
本発明の一態様は、モールドの凹部は針状凹部であることが好ましい。
【００１０】
本発明の一態様は、シートの表面の凹状パターンの配置領域に対向する、シートの裏面の領域は平坦面とされ、シートの表面の凹状パターンの非配置領域に対向する、シートの裏面の領域に凹凸部が配置されることが好ましい。
【００１１】
本発明の一態様は、シートの裏面において、凹凸部の配置領域面は、配置領域面を除く領域面に対して突出されていることが好ましい。
【００１２】
本発明の一態様は、モールドのショアＡ硬度が３５以上６０以下であることが好ましい。
【００１３】
本発明の一態様は、モールドは、シリコーンゴム製であることが好ましい。
【００１４】
本発明の一態様のパターンシートの製造方法は、本発明のモールドを使用し、モールドのシートの表面に配置された凹状パターンにポリマー溶解液を供給する供給工程と、モールドのシートの裏面を検査台に載置して凹状パターンに供給されたポリマー溶解液の供給量を検査する検査工程と、ポリマー溶解液を乾燥させてパターンシートに成形する乾燥工程と、パターンシートをモールドから剥離するパターンシート剥離工程と、を含む。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のモールドによれば、滑り性のよいモールドを提供することができる。また、本発明のパターンシートの製造方法によれば、パターンシートのスループットを上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態のモールドの正面図
【図２】図１に示したモールドの背面図
【図３】図１に示したモールドの断面図
【図４】電鋳金型を製造するモールドの製造方法の工程図
【図５】電鋳金型を製造するモールドの製造方法の工程図
【図６】電鋳金型を製造するモールドの製造方法の工程図
【図７】電鋳金型を製造するモールドの製造方法の工程図
【図８】電鋳金型を製造するモールドの製造方法の工程図
【図９】原版の斜視図
【図１０】電鋳金型を製造するモールドの斜視図
【図１１】図１０のモールドを用いた電鋳金型の製造方法の工程図
【図１２】図１０のモールドを用いた電鋳金型の製造方法の工程図
【図１３】図１０のモールドを用いた電鋳金型の製造方法の工程図
【図１４】電鋳金型を用いたモールドの製造方法の工程図
【図１５】電鋳金型を用いたモールドの製造方法の工程図
【図１６】電鋳金型を用いたモールドの製造方法の工程図
【図１７】電鋳金型を用いたモールドの製造方法の工程図
【図１８】モールドの変形例を示す斜視図
【図１９】ＭＮＡの製造工程を示したフローチャート
【図２０】モールドを用いたＭＮＡの製造方法の工程図
【図２１】モールドを用いたＭＮＡの製造方法の工程図
【図２２】モールドを用いたＭＮＡの製造方法の工程図
【図２３】モールドを用いたＭＮＡの製造方法の工程図
【図２４】モールドを用いたＭＮＡの製造方法の工程図
【図２５】モールドを用いたＭＮＡの製造方法の工程図
【図２６】モールドを用いたＭＮＡの製造方法の工程図
【図２７】検査工程で使用される検査装置の構成図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施形態について説明する。
【００１８】
実施形態では、本発明のパターンシートとしてＭＮＡを例示して説明するが、本発明のパターンシートはＭＮＡに限定されず、その表面に複数の突起を有する突起状パターンがアレイ状に配置されたパターンシートであれば適用できる。すなわち、本発明のモールドは、ＭＮＡを製造するモールドに限定されず、突起状パターンがアレイ状に配置されたパターンシートを製造するモールドであれば適用できる。なお、ＭＮＡは、パターンシートを突起状パターンごとに切断することにより、１枚のパターンシートから突起状パターンの数だけ得られるものである。
【００１９】
〔モールド１０〕
図１は、実施形態のモールド１０の表面の正面図であり、図２は、モールド１０の裏面の背面図であり、図３は、図１はモールド１０の断面図である。
【００２０】
図１に示すモールド１０は、矩形状のシート１２の表面１２Ａに１６個の凹部１４からなる１６個の凹状パターン１６がアレイ状に配置され、図２に示すようにシート１２の裏面１２Ｂの一部に凹凸部１８が配置されて構成される。
【００２１】
また、実施形態のモールド１０の凹部１４は、図３に示すように針状凹部であることが好ましい。また、図１〜図３に示すように、シート１２の表面１２Ａの凹状パターン１６の配置領域２０に対向する、シート１２の裏面１２Ｂの領域２２は平坦面とされ、シート１２の表面１２Ａの凹状パターン１６の非配置領域２４に対向する、シート１２の裏面１２Ｂの領域２６に凹凸部１８が配置されていることが好ましい。また、図３に示すように、シート１２の裏面１２Ｂにおいて、凹凸部１８の配置領域面２６Ａは、配置領域面２６Ａを除く領域面２２Ａに対して１０〜１００μｍ程度突出されていることが好ましい。なお、この突出量は、領域面２２Ａに対する凹凸部１８の凸部の頂部の高さと等価である。また、モールド１０は、ショアＡ硬度（JIS K6253）が３５以上６０以下のシリコーンゴム製であることが好ましい。
【００２２】
実施形態のモールド１０は、後述する射出成形用の金型のキャビティに電鋳金型３０（図１５参照）をインサートし、キャビティにシリコーンゴムを射出することにより製造される。まず、電鋳金型３０の製造方法について説明する。
【００２３】
<電鋳金型３０の製造方法>
図４〜図８は、電鋳金型３０を製造するモールド３２の製造方法の一例を示した工程図である。図９は原版３４の斜視図である。
【００２４】
図４及び図９に示すように、原版３４の表面３４Ｂには突起状パターン３４Ａが形成されている。原版３４の突起状パターン３４Ａは、最終製品のＭＮＡの突起状パターンと等価である。
【００２５】
原版３４は、母材である金属基板をダイヤモンドバイト等の切削工具等を用いて機械加工することにより製造される。金属基板としては、ステンレス、アルミニウム合金、ニッケル等を挙げることができる。
【００２６】
突起状パターン３４Ａとは、原版３４の表面３４Ｂから離間する方向に突出された複数（実施形態では１６個）の突起部３６が、原版３４の表面３４Ｂにアレイ状に配置されてなる形態をいう。突起部３６の個数、突起部３６の配置位置等は限定されない。また、原版３４の表面３４Ｂは完全な平面であっても、一見して平面であってもよい。
【００２７】
実施形態の突起部３６は、表面３４Ｂから離間する方向に先細りとなる針状に構成されている。突起部３６は、いわゆる錐体であり、錐体として角錐、円錐等が含まれる。
【００２８】
突起部３６は、例えば、原版３４の表面３４Ｂから１００〜２０００μｍの高さを有し、Φ５０μｍ以下の先端径を有することが好ましい。複数の突起部３６を有する場合、隣り合う突起部３６の間隔は３００〜２０００μｍであることが好ましい。また、突起部３６のアスペクト比（突起部３６の高さ／突起部３６の底面の幅）は、１〜５であることが好ましい。
【００２９】
図５は、モールド３２の母材である熱可塑性樹脂シート３８の側面図である。熱可塑性樹脂シート３８は、例えば厚さが０．５〜２．０ｍｍ、一辺の長さが１００×１００〜３００×３００ｍｍの大きさであり、表面３８Ｂに後述する凹状パターン３２Ａが形成される。熱可塑性樹脂シート３８の厚さは、少なくとも、原版３４の突起部３６の高さ以上であることが好ましい。
【００３０】
熱可塑性樹脂シート３８を構成する熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリエチレン、液晶ポリマー、ポリ乳酸等を好適に用いることができる。熱可塑性樹脂シート３８とは、膜厚が薄く、常温において自己支持性を有する状態にある熱可塑性樹脂を意味する。「自己支持性」とは、他の部材による支持がなくても、単体でその形態を保ち得ることをいう。
【００３１】
図６、図７は、位置決め工程、凹状パターン３２Ａを形成する形成工程、及び位置決め工程と形成工程とを繰り返し行うことを示している。
【００３２】
図６に示すように、原版３４と熱可塑性樹脂シート３８と相対的に移動して、原版３４を熱可塑性樹脂シート３８に押圧する位置（例えば、領域Ａ１）を決定する。位置決めは、例えば、熱可塑性樹脂シート３８を支持するテーブル（不図示）に、水平面内で互いに直交方向に移動するＸ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構を設けることにより実行される。
【００３３】
原版３４は、熱可塑性樹脂シート３８が軟化する程度の温度に予め加熱される。加熱方法は、ヒータ（不図示）により行わる。熱可塑性樹脂シート３８を構成する熱可塑性樹脂に応じて、原版３４は適正な温度に加熱される。
【００３４】
次に、加熱された原版３４の突起状パターン３４Ａを、熱可塑性樹脂シート３８の表面３８Ｂの領域Ａ１に押圧して差し込み、熱可塑性樹脂シート３８の領域Ａ１を一定時間加熱する。
【００３５】
次に、突起状パターン３４Ａを領域Ａ１に差し込んだ状態で、原版３４を冷却することにより、領域Ａ１を軟化温度以下になるまで冷却する。
【００３６】
次に、図７に示すように、原版３４と熱可塑性樹脂シート３８とを引き離す。これにより、熱可塑性樹脂シート３８の表面３８Ｂの領域Ａ１に、突起状パターン３４Ａの反転形状の凹状パターン３２Ａが形成される。
【００３７】
凹状パターン３２Ａとは、熱可塑性樹脂シート３８の表面３８Ｂから裏面３８Ｃに向けて延びる複数の針状凹部３８Ｄが、熱可塑性樹脂シート３８の表面３８Ｂにアレイ状に配置されてなる状態をいう。凹状パターン３２Ａは突起状パターン３４Ａの反転形状であるので、凹状パターン３２Ａの針状凹部３８Ｄの大きさ、数、及び配置は、原版３４の突起部３６の大きさ、数、及び配置と等価である。
【００３８】
次に、領域Ａ１に隣接する領域Ａ２に対し、原版３４と熱可塑性樹脂シート３８とを位置決めする。次に、加熱された原版３４の突起状パターン３４Ａを領域Ａ２に押圧して差し込み、領域Ａ２を一定時間加熱する。次いで、原版３４を冷却することにより領域Ａ２を軟化温度以下になるまで冷却する。次に、原版３４と熱可塑性樹脂シート３８とを引き離して、領域Ａ２に突起状パターン３４Ａの反転形状の凹状パターン３２Ａを形成する。
【００３９】
次に、領域Ａ２に隣接する領域Ａ３に対し、原版３４と熱可塑性樹脂シート３８とを位置決めし、加熱された原版３４の突起状パターン３４Ａを領域Ａ３に押圧して差し込み、同様の手順で領域Ａ３に凹状パターン３２Ａを形成する。
【００４０】
このように図６及び図７で説明した原版３４と熱可塑性樹脂シート３８との位置決め工程と、凹状パターン３２Ａを熱可塑性樹脂シート３８に形成する形成工程と、を繰り返す。これにより、図８に示すように、複数の凹状パターン３２Ａが形成されたモールド３２が製造される。
【００４１】
図１０は、モールド３２の一例を示す斜視図である。図９、図１０に示すように、一つの突起状パターン３４Ａを有する原版３４から、１６個の凹状パターン３２Ａがアレイ状に配置された樹脂製のモールド３２を製造することができる。
【００４２】
<モールド３２を用いた電鋳金型３０の製造方法>
図１１〜図１３は、モールド３２を用いた電鋳金型３０の製造方法の手順を示した工程図である。
【００４３】
図１１に示すように、モールド３２の表面３８Ｂには凹状パターン３２Ａが形成されている。
【００４４】
図１２は、モールド３２の凹状パターン３２Ａに、電鋳法により金属を埋める電鋳工程を示した工程図である。電鋳工程においては、まず、モールド３２に対して導電化処理を行う。モールド３２に、金属（例えば、ニッケル）をスパッターし、モールド３２の表面３８Ｂ及び凹状パターン３２Ａに金属を付着する。
【００４５】
次に、導電化処理を経たモールド３２を陰極に保持する。金属ペレットを金属製のケースに保持し陽極とする。モールド３２を保持する陰極と金属ペレットを保持する陽極とを電鋳液中に浸漬し、通電する。電鋳法により、モールド３２の凹状パターン３２Ａに金属を埋め込み、電鋳金型３０となる金属体４０を形成する。電鋳法とは、電気めっき法により型の表面に金属を析出させる方法をいう。
【００４６】
図１３は、モールド３２から金属体４０を剥離する剥離工程を示した工程図である。図１３に示すように、金属体４０をモールド３２から剥離する。これにより、突起状パターン３０Ａを有する電鋳金型３０を製造することができる。突起状パターン３０Ａは、モールド３２の凹状パターン３２Ａの反転形状となる。すなわち、突起状パターン３０Ａは、図９に示した原版３４の突起状パターン３４Ａと等価である。
【００４７】
〔電鋳金型３０を用いたモールド１０の製造方法〕
図１４〜図１７は、電鋳金型３０を用いたモールド１０の製造方法の手順を示した工程図である。
【００４８】
モールド１０は、射出成形用の金型４２のキャビティ４４に電鋳金型３０をインサートし、キャビティ４４に硬化前のシリコーンゴム４６を射出し、熱硬化し、成形品から電鋳金型３０を剥離することにより製造される。
【００４９】
金型４２は、キャビティ４４を有する下型４８と、突起状パターン３０Ａがキャビティ４４に向くように電鋳金型３０を保持する上型５０とから構成される。
【００５０】
射出成形によって電鋳金型３０の形状が転写することにより、モールド１０のシート１２の表面１２Ａが成形され、この際に電鋳金型３０の突起状パターン３０Ａの形状が転写することにより、凹状パターン１６が表面１２Ａに成形される。また、下型４８のキャビティ４４の底面４４Ａの一部には、凹凸部５２が備えられる。キャビティ４４の底面４４Ａの形状が転写することにより、シート１２の裏面１２Ｂが成形され、この際に底面４４Ａの凹凸部５２の形状が転写することにより、凹凸部１８が裏面１２Ｂに成形される。凹凸部５２は、凹凸部１８を反転させた形状であり、サンドブラスト等のシボ加工によって底面４４Ａに形成される。
【００５１】
実施形態では、図１〜図３に示したように、シート１２の表面１２Ａの凹状パターン１６の非配置領域２４に対向する、シート１２の裏面１２Ｂの領域２６に凹凸部１８が配置される。このため、凹凸部１８に対応した位置に凹凸部５２が備えられている。具体的には、シート１２の表面１２Ａの非配置領域２４は、アレイ状の１６箇所の配置領域２０を除く格子状の領域なので、凹凸部５２もその格子状の領域に対応した領域に備えられている。
【００５２】
なお、凹凸部１８の領域２６は、格子状の領域に限定されず、凹凸部１８の存在によってシート１２の裏面１２Ｂに滑り性を持たせることができる領域であれば、シート１２の裏面１２Ｂの任意の領域であればよい。例えば、図１８のモールド１０の裏面１２Ｂのように、凹凸部１８の領域は、四隅領域であっても中央領域であってもそれ以外の領域であっても構わない。
【００５３】
また、シート１２の表面１２Ａの凹状パターン１６の配置領域２０に対向する、シート１２の裏面１２Ｂの領域に凹凸部１８を配置してもよいが、後述する光学的な検査装置５４（図２７参照）を使用する検査工程によれば、非配置領域２４に対向する領域２６に凹凸部１８を配置し、配置領域２０に対向する領域２２を平坦面とすることが好ましい。
【００５４】
また、シート１２の裏面１２Ｂにおいて、凹凸部１８の配置領域面２６Ａは、配置領域面２６Ａを除く領域面２２Ａに対して１０〜１００μｍ程度突出されているので、凹凸部１８の突出量を考慮した深さに凹凸部５２が形成されている。
【００５５】
〔モールド３２を用いたＭＮＡの製造方法〕
図１９は、ＭＮＡの製造工程を示したフローチャートである。
【００５６】
ＭＮＡの製造工程は、モールド１０のシート１２の表面１２Ａに配置された凹状パターン１６にポリマー溶解液を供給する供給工程（Ｓ（Ｓｔｅｐ）１０）と、モールド１０のシート１２の裏面１２Ｂを検査台である透明ガラス基板６６（図２７参照）に載置して凹状パターン１６に供給されたポリマー溶解液の供給量を検査する検査工程（Ｓ２０）と、ポリマー溶解液を乾燥させてパターンシートに成形する乾燥工程（Ｓ３０）と、パターンシートをモールド１０から剥離するパターンシート剥離工程（Ｓ４０）と、パターンシートを切断してＭＮＡを得る切断工程（Ｓ５０）と、を含む。
【００５７】
図２０〜図２６は、モールド１０を用いたＭＮＡの製造方法の手順を示した工程図である。
【００５８】
図２０は、モールド１０の断面図であり、モールド１０の表面１２Ａには凹状パターン１６が形成されている。
【００５９】
図２１は、モールド１０の凹状パターン１６に薬剤を含有させたポリマー溶解液６０を供給する供給工程（Ｓ１０）を示している。
【００６０】
ここで、ポリマー溶解液６０に用いられる樹脂ポリマーの素材としては、生体適合性のある樹脂を用いることが好ましい。このような樹脂としては、グルコース、マルトース、プルラン、コンドロイチン硫酸ナトリウム、ヒアルロン酸ナトリウム、ヒドロキシエチルデンプン、ヒドロキシプロピルセルロースなどの糖類、ゼラチンなどのタンパク質、ポリ乳酸、乳酸グリコール酸共重合体などの生分解性ポリマーを使用することが好ましい。
【００６１】
ポリマー溶解液６０に含有させる薬剤は、生理活性を有する物質であればよく、特に限定されない。薬剤として、ペプチド、タンパク質、核酸、多糖類、ワクチン、医薬化合物、又は化粧品成分から選択することが好ましい。また、医薬化合物は水溶性低分子化合物に属するものであることが好ましい。ここで、低分子化合物とは数百から数千の分子量の範囲の化合物である。
【００６２】
濃度は材料によっても異なるが、薬剤を含まないポリマー溶解液中に樹脂ポリマーが１０〜５０質量％含まれる濃度とすることが好ましい。また、溶解に用いる溶媒は、温水以外であっても揮発性を有するものであればよく、メチルエチルケトン、アルコールなどを用いることができる。そして、ポリマー樹脂の溶解液中には、用途に応じて体内に供給するための薬剤を溶解させることが可能である。薬剤を含むポリマー溶解液６０のポリマー濃度（薬剤自体がポリマーである場合は薬剤を除いたポリマーの濃度）としては、０〜４０質量％の範囲であることが好ましい。
【００６３】
ポリマー溶解液６０の調製方法としては、水溶性の高分子（ゼラチンなど）を用いる場合は、水溶性粉体を水に溶解し、溶解後に薬剤を添加してもよいし、薬剤が溶解した液体に水溶性高分子の粉体を入れて溶かしてもよい。水に溶解しにくい場合、加温して溶解してもよい。温度は高分子材料の種類により、適宜選択可能であるが、約６０℃以下の温度で加温することが好ましい。ポリマー樹脂の溶解液の粘度は、薬剤を含む溶解液では１００Ｐａ・ｓ以下であることが好ましく、より好ましくは１０Ｐａ・ｓ以下とすることが好ましい。薬剤を含まない溶解液では２０００Ｐａ・ｓ以下であることが好ましく、より好ましくは１０００Ｐａ・ｓ以下とすることが好ましい。ポリマー樹脂の溶解液の粘度を適切に調整することにより、モールド１０の各凹部１４に容易にポリマー溶解液６０を供給することができる。
【００６４】
供給工程（Ｓ１０）におけるポリマー溶解液６０の供給方法としては、スピンコータを用いて供給する方法、スキージを移動させて供給する方法、スリットノズルを移動させながら供給する方法、及びディスペンサーを用いて供給する方法等を挙げることができる。
【００６５】
また、空気の存在により、凹部１４にポリマー溶解液６０が奥まで入り込み難い場合が考えられるので、供給工程（Ｓ１０）は減圧環境下で行うことが望ましい。減圧環境下とは大気圧以下の状態を意味する。例えば、減圧装置（不図示）内でモールド１０をセットし、減圧環境下で凹部１４内の空気を引き抜きながら凹部１４にポリマー溶解液６０を供給することにより、凹部１４の先端までポリマー溶解液６０を充填することができる。この場合、モールド１０が気体透過性の材質であると特に有効である。
【００６６】
図２７は、検査工程（Ｓ２０）で使用される検査装置５４の一例を示した構成図である。
【００６７】
検査装置５４は、光源６２、光学系６４、透明ガラス基板６６、結像レンズ６８及び撮像部７０を有する撮像ユニット７２と、画像データを解析してポリマー溶解液６０の供給量を検出する解析部７４と、によって構成される。
【００６８】
モールド１０は、ポリマー溶解液６０の供給後に、透明ガラス基板６６にその裏面１２Ｂが載置される。
【００６９】
モールド１０に供給されたポリマー溶解液６０は、水が約８０％を占め、薬剤の割合が数％であり、残りはＨＥＳ（hydroxyethyl starch）溶液等である。したがって、ポリマー溶解液６０は水及びＨＥＳ溶液等が約９５％を占めているので、ポリマー溶解液６０に含まれる水がポリマー溶解液６０の光学特性を決定している。このため、ポリマー溶解液６０中の薬剤の種類が変わったとしても、ポリマー溶解液６０の光学特性は大きくは変わらない。そこで、検査装置５４では、ポリマー溶解液６０に含まれる水の光吸収特性に着目して、凹状パターン１６の凹部１４に供給されたポリマー溶解液６０の供給量を測定する。
【００７０】
すなわち、検査装置５４による供給量の測定では、まず、光源６２と光学系６４とによってモールド１０の裏面１２Ｂに測定光を垂直に入射し、モールド１０の各部（ポリマー溶解液６０等）を透過して表面１２Ａから出射した透過光を、結像レンズ６８を介して撮像部７０で撮像し、透過光の画像データを得る。次に、解析部７４によって、画像データを解析して透過光の透過光強度を検出し、この検出結果に基づき、透過光が凹状パターン１６の凹部１４内のポリマー溶解液６０を透過した距離を検出する。凹状パターン１６の凹部１４内の液面６０ａの位置からそれぞれ出射する透過光についての距離を検出することで、それぞれの凹部１４内に供給されているポリマー溶解液６０の供給量を検出することができる。
【００７１】
この検査工程（Ｓ２０）では、結像レンズ６８の光軸に対してモールド１０の位置を調整するために、透明ガラス基板６６に裏面１２Ｂが載置されたモールド１０を、透明ガラス基板６６に対して滑らして位置決めする必要がある。この際、実施形態のモールド１０の裏面１２Ｂの一部には凹凸部１８が形成され、透明ガラス基板６６に対する滑り性が改善されている。
【００７２】
これにより、モールド１０の裏面１２Ｂは、透明ガラス基板６６に密着せず、透明ガラス基板６６に対して滑りながら位置決めされる。したがって、検査工程（Ｓ２０）にてモールド１０の裏面１２Ｂが透明ガラス基板６６に密着することに起因する検査時間のロスを無くすことができる。よって、ＭＮＡのスループットの低下を防止することができる。
【００７３】
また、実施形態のモールド１０は、図１〜図３に示したように、シート１２の表面１２Ａの凹状パターン１６の配置領域２０に対向する、シート１２の裏面１２Ｂの領域２２は平坦面とされている。これにより、光源６２からモールド１０の凹状パターン１６に入射する光は、シート１２の裏面１２Ｂで散乱せず、垂直光として入射するので、凹部１４に対するポリマー溶解液６０の供給量を正確に測定することができる。すなわち、シート１２の裏面１２Ｂに備えられる凹凸部１８は、領域２２を除く領域２６に備えられているので、ポリマー溶解液６０の供給量の測定に影響を与えない。
【００７４】
また、モールド１０のシート１２の裏面１２Ｂにおいて、凹凸部１８の配置領域面２６Ａは、配置領域面２６Ａを除く領域面２２Ａに対して１０〜１００μｍ程度突出されている。これにより、凹凸部１８が透明ガラス基板６６に載置され、領域面２２Ａは透明ガラス基板６６から離間した状態で保持されるので、領域面２２Ａが透明ガラス基板６６に密着することを確実に防止することができる。
【００７５】
更に、実施形態のモールド１０は、ショアＡ硬度（JIS K6253）が３５以上６０以下のシリコーンゴム製である。つまり、このような柔軟のモールド１０であるが故に発生していた検査台（透明ガラス基板６６と等価）への密着問題を、シート１２の裏面１２Ｂの一部に凹凸部１８を備えることで解消することができる。
【００７６】
図２２は、薬剤が含有したポリマー溶解液６０の上に、薬剤を含まないポリマー溶解液７６を塗布し、これらのポリマー溶解液６０、７６を乾燥させてパターンシート７８に成形する乾燥工程（Ｓ３０）が示されている。乾燥工程（Ｓ３０）では、モールド１０に供給されたポリマー溶解液６０、７６に風を吹付けることによりポリマー溶解液６０、７６を乾燥させる。これによって、パターンシート７８がモールド１０によって製造される。
【００７７】
図２３及び図２４は、パターンシート７８をモールド１０から剥離するパターンシート剥離工程（Ｓ４０）が示されている。剥離工程では、図２３に示すように、パターンシート７８の裏面７８Ｂに、シート状の基材８０を貼付してもよい。基材８０としては、例えば、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate：ポリエチレンテレフタレート）、ＰＰ（polypropylene：ポリプロピレン）、ＰＣ（polycarbonate：ポリカーボネート）、ＰＥ（Polyethylene：ポリエチレン）等を使用することができる。
【００７８】
次に、図２４に示すように、基材８０とパターンシート７８とを同時にモールド１０から剥離する。これにより、複数の突起状パターン８２が、その表面７８Ａにアレイ状に配置されたパターンシート７８を製造することができる。パターンシート７８の突起状パターン８２は、モールド１０の凹状パターン１６の反転形状となる。
【００７９】
図２５及び図２６は、パターンシート７８を突起状パターン８２ごと切断してＭＮＡ８４を得る切断工程（Ｓ５０）が示されている。
【００８０】
図２５に示すように、モールド１０から剥離したパターンシート７８と基材８０とを切断装置（不図示）にセットして、突起状パターン８２ごと切断し、複数のＭＮＡ８４を得る。なお、実施形態では、パターンシート７８と基材８０とを同時に切断する例を示したが、これに限定されない。例えば、モールド１０から剥離したパターンシート７８と基材８０とから、基材８０を剥離し、パターンシート７８を切断することによりＭＮＡ８４を得てもよい。
【００８１】
本発明は、上記の好ましい実施形態により説明したが、本発明の範囲を逸脱すること無く、多くの手法により変更を行うことができ、実施形態以外の他の実施形態を利用することができる。したがって、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８２】
１０…モールド
１２…シート
１２Ａ…表面
１２Ｂ…裏面
１４…凹部
１６…凹状パターン
１８…凹凸部
２０…配置領域
２２…領域
２２Ａ…領域面
２４…非配置領域
２６…領域
２６Ａ…配置領域面
３０…電鋳金型
３２…モールド
３２Ａ…凹状パターン
３４…原版
３４Ａ…突起状パターン
３４Ｂ…表面
３６…突起部
３８…熱可塑性樹脂シート
３８Ｂ…表面
３８Ｃ…裏面
３８Ｄ…針状凹部
４０…金属体
４２…金型
４４…キャビティ
４６…シリコーンゴム
４８…下型
５０…上型
５２…凹凸部
５４…検査装置
６０…ポリマー溶解液
６０ａ…液面
６２…光源
６４…光学系
６６…透明ガラス基板
６８…結像レンズ
７０…撮像部
７２…撮像ユニット
７４…解析部
７６…ポリマー溶解液
７８…パターンシート
８０…基材
８２…突起状パターン
８４…ＭＮＡ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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