(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプルと対物レンズとの間の距離を変化させる焦準部と、
前記焦準部を制御して前記サンプルに対する自動合焦制御を行う自動合焦制御部と、
前記自動合焦制御部及び前記焦準部を制御する制御部と、
自動合焦開始指示及び前記焦準部のマニュアル操作による駆動指示を入力する入力部と、
を備え、
前記制御部は、前記入力部により前記焦準部のマニュアル操作による駆動指示が入力され続けている間、前記焦準部の駆動速度を徐々に増加させるように制御し、
前記制御部は、前記入力部により前記自動合焦開始指示が入力された後に、前記入力部により前記焦準部のマニュアル操作による駆動指示が入力され続けた場合には、前記焦準部の駆動速度を所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御し、
前記制御部が、前記焦準部の駆動速度を前記所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御しているときに、前記自動合焦制御部による自動合焦制御により自動合焦が可能な状態になったときは、前記自動合焦制御部が、前記焦準部の駆動を停止させるように前記焦準部を制御した後に自動合焦制御を行う、
ことを特徴とする顕微鏡システム。
【請求項２】
前記制御部は、前記入力部により前記自動合焦開始指示が入力された場合に、前記自動合焦制御部による自動合焦制御を行わせるように前記自動合焦制御部を制御し、前記自動合焦制御の結果が自動合焦失敗であった後に、前記入力部により前記焦準部の駆動指示が入力され続けた場合に、前記焦準部の駆動速度を前記所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御する、
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡システム。
【請求項３】
前記焦準部の駆動速度を記憶する記憶部を更に備え、
前記制御部は、前記記憶部に記憶されている前記焦準部の駆動速度に基づいて、前記焦準部の駆動速度を前記所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御する、
ことを特徴とする請求項１または２記載の顕微鏡システム。
【請求項４】
前記制御部は、前記入力部により入力された前記焦準部の駆動指示に対する前記焦準部の駆動量を変更することにより、前記焦準部の駆動速度を前記所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御する、
ことを特徴とする請求項１または２記載の顕微鏡システム。
【請求項５】
前記焦準部の駆動指示は、前記距離を短くする方向又は長くする方向への前記焦準部の駆動指示である、
ことを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の顕微鏡システム。
【請求項６】
サンプルと対物レンズとの間の距離を変化させる焦準部を制御して前記サンプルに対する自動合焦制御を行う顕微鏡システムの制御方法であって、
前記顕微鏡システムに前記焦準部のマニュアル操作による駆動指示が入力され続けている間、前記焦準部の駆動速度を徐々に増加させるように制御し、
前記顕微鏡システムに自動合焦開始指示が入力された後に、前記顕微鏡システムに前記焦準部のマニュアル操作による駆動指示が入力され続けた場合には、前記焦準部の駆動速度を所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御し、
前記焦準部の駆動速度を前記所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御しているときに、前記自動合焦制御により自動合焦が可能な状態になったときは、前記焦準部の駆動を停止させるように前記焦準部を制御した後に自動合焦制御を行う、
ことを特徴とする制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サンプルと対物レンズとの間の距離を変化させる焦準部を制御してサンプルに対する自動合焦制御を行う顕微鏡システム、及び、その制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、顕微鏡は、生物分野の研究をはじめ工業分野の検査工程まで幅広く利用されている。顕微鏡を用いたサンプルの検査工程においては、検査時間を短縮するためにピント（焦点）合わせの効率化に対する要望が高まっている。
【０００３】
上記背景から、焦準部を電動化しピント合わせを自動で行う、所謂ＡＦ（Auto Focus：自動合焦）装置を搭載して作業効率を高めることが主流となってきている。このようなＡＦ装置は、サンプル表面へＡＦ用の参照光を照射し、その反射光を検出して電動焦準部を制御し、ＡＦを実施するものが多い。また、これらＡＦ装置では、ＡＦ開始後に所定の範囲に対してピント位置をサーチし（以下「ＡＦサーチ」という）、合焦位置の検出を１回だけ実施するＡＦ(以下「ワンショットＡＦ」という）や、ＡＦサーチを実施し、ピント位置を検出した後もサンプル表面からＡＦ可能な所定量以上の反射光量が得られ続ける限りサンプル表面にピントを合わせ続けるように焦準部を制御する追従型のＡＦ(以下「トラックＡＦ」という)が行われるのが一般的である。
【０００４】
しかしながら、ユーザが急峻かつ大きな高低差のあるサンプルをＸＹ方向（対物レンズの光軸に対して垂直方向）に移動させながら観察を行う場合には、次のような問題が生じ得る。ワンショットＡＦでは、上述のとおり、所定の範囲に対してのみピント位置のサーチが行われることから、ピント位置がＡＦサーチ範囲から外れている場合には、ピント位置近傍まで焦準部をマニュアル操作で駆動させてから再度ＡＦを行う必要がある。そのため、複数の観察ポイントで当該作業を実施しなければならず、ユーザは労力を要する。また、トラックＡＦでは、ワンショットＡＦでの欠点に加え、追従動作中に追従動作を継続するためのＡＦ可能な所定量以上の反射光量が得られない場合には、安全のため焦準部が停止することから、やはり再度ＡＦを行う必要がある。特に、焦準部の駆動ストロークが長い顕微鏡では、このような問題が頻発する。
【０００５】
これに対し、ＡＦの使い勝手を改善する次のような技術が知られている。
例えば特許文献１に記載の技術のように、ＡＦ開始後、合焦検出範囲外であればユーザによる焦準操作部のマニュアル操作を受け付けるが、合焦検出範囲内に入るとマニュアル操作から制御を取り戻してＡＦを再開するという技術(以下「アシストＡＦ」という)が知られている。このアシストＡＦを、例えば、上述のワンショットＡＦやトラックＡＦと組み合わせると、そのワンショットＡＦやトラックＡＦでのＡＦサーチ失敗の場合や、トラックＡＦ中にサンプルからＡＦ可能な所定量以上の反射光量が得られなくなった場合に、ＡＦ装置による焦準部の制御は一旦停止するが、サンプルへの参照光の照射とその反射光の検出は継続し(この状態を「ＡＦ待機状態」という)、そして、サンプルからＡＦ可能な所定量以上の反射光量が得られたらＡＦ装置による焦準部の制御を再開する、という制御が可能になる。このような制御によれば、ユーザがピント位置付近まで焦準部をマニュアル操作で駆動させるだけで、ＡＦ装置に自動的にピント合わせを再開させることができるので、ユーザの焦準部操作とＡＦ動作指示を繰り返すといった手間を省くことができる。
【０００６】
また、例えば特許文献２に記載の技術のように、標本と対物レンズを近接させる方向の近接方向速度と標本と対物レンズを遠ざける方向の遠方方向速度を各別に設定可能にすることで、オイル対物レンズ使用時における、オイルの粘性による対物レンズと標本の付着を防ぐという技術も知られている。さらに、例えば特許文献３に記載の技術のように、観察波長に対する対物レンズの焦点深度をもとに、標本を合焦判定範囲内に移動させる際の焦準移動速度を設定するという技術も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００―３５２６６１号公報
【特許文献２】特開２００２―３５０７３８号公報
【特許文献３】特開２００８―２５０２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ロングストロークタイプの焦準部は、焦準部の駆動に高速性が要求される。しかしながら、焦準部の駆動を担うアクチュエータは急加速、急停止ができないため、所定の加減速動作が必要となる。従って、上述のアシストＡＦにおいて、ＡＦ待機状態に入ってからユーザがマニュアル操作で焦準部を駆動させてＡＦ可能な所定量以上の反射光量が得られたとしても、駆動中の焦準部を停止させるための減速動作による焦準部のオーバーランにより、そのＡＦ可能な所定量以上の反射光量が得られる範囲を超えてしまう虞がある。特に、高倍率な対物レンズほどＡＦ可能な所定量以上の反射光量が得られる範囲が狭くなることから、このような現象が頻発する。そのため、アシストＡＦの操作性は必ずしも高いものとはいえなかった。
【０００９】
以上のような実情を踏まえ、本発明は、アシストＡＦの操作性を高める顕微鏡システム及びその制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の態様は、サンプルと対物レンズとの間の距離を変化させる焦準部と、前記焦準部を制御して前記サンプルに対する自動合焦制御を行う自動合焦制御部と、前記自動合焦制御部及び前記焦準部を制御する制御部と、自動合焦開始指示及び前記焦準部のマニュアル操作による駆動指示を入力する入力部と、を備え、前記制御部は、前記入力部により前記焦準部のマニュアル操作による駆動指示が入力され続けている間、前記焦準部の駆動速度を徐々に増加させるように制御し、前記制御部は、前記入力部により前記自動合焦開始指示が入力された後に、前記入力部により前記焦準部のマニュアル操作による駆動指示が入力され続けた場合には、前記焦準部の駆動速度を所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御し、前記制御部が、前記焦準部の駆動速度を前記所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御しているときに、前記自動合焦制御部による自動合焦制御により自動合焦が可能な状態になったときは、前記自動合焦制御部が、前記焦準部の駆動を停止させるように前記焦準部を制御した後に自動合焦制御を行う、顕微鏡システムを提供する。
【００１１】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記制御部は、前記入力部により前記自動合焦開始指示が入力された場合に、前記自動合焦制御部による自動合焦制御を行わせるように前記自動合焦制御部を制御し、前記自動合焦制御の結果が自動合焦失敗であった後に、前記入力部により前記焦準部の駆動指示が入力され続けた場合に、前記焦準部の駆動速度を前記所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御する、顕微鏡システムを提供する。
【００１３】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記焦準部の駆動速度を記憶する記憶部を更に備え、前記制御部は、前記記憶部に記憶されている前記焦準部の駆動速度に基づいて、前記焦準部の駆動速度を前記所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御する、顕微鏡システムを提供する。
【００１４】
本発明の第４の態様は、第１又は２の態様において、前記制御部は、前記入力部により入力された前記焦準部の駆動指示に対する前記焦準部の駆動量を変更することにより、前記焦準部の駆動速度を前記所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御する、顕微鏡システムを提供する。
【００１５】
本発明の第５の態様は、第１乃至４の何れか一つの態様において、前記焦準部の駆動指示は、前記距離を短くする方向又は長くする方向への前記焦準部の駆動指示である、顕微鏡システムを提供する。
【００１６】
本発明の第６の態様は、サンプルと対物レンズとの間の距離を変化させる焦準部を制御して前記サンプルに対する自動合焦制御を行う顕微鏡システムの制御方法であって、前記顕微鏡システムに前記焦準部のマニュアル操作による駆動指示が入力され続けている間、前記焦準部の駆動速度を徐々に増加させるように制御し、前記顕微鏡システムに自動合焦開始指示が入力された後に、前記顕微鏡システムに前記焦準部のマニュアル操作による駆動指示が入力され続けた場合には、前記焦準部の駆動速度を所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御し、前記焦準部の駆動速度を前記所定の駆動速度以下に制限して前記焦準部を制御しているときに、前記自動合焦制御により自動合焦が可能な状態になったときは、前記焦準部の駆動を停止させるように前記焦準部を制御した後に自動合焦制御を行う、制御方法を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、アシストＡＦの操作性を高める顕微鏡システム及びその制御方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１の実施形態に係る顕微鏡システムの構成例を示す図である。
【図２】第１の実施形態に係る顕微鏡操作部の外観構成例を示す図である。
【図３】第１の実施形態に係る顕微鏡制御部の内部構成例を示す図である。
【図４】内部記憶部にＬＵＴとして記憶される焦準部の駆動速度パラメータの一例を示す図である。
【図５】ＡＦユニットがＡＦ待機状態に移行したことをＣＰＵが認識した後の、第１の実施形態に係る顕微鏡システムの動作の一例を示すフローチャートである。
【図６】第２の本実施形態に係る顕微鏡操作部の外観構成例を示す図である。
【図７】第２の実施形態に係る顕微鏡制御部の内部構成例を示す図である。
【図８】ＡＦユニットがＡＦ待機状態に移行したことをＣＰＵが認識すると共に設定されている焦準部の駆動量の感度がＦＩＮＥになった後の、第２の実施形態に係る顕微鏡システムの動作の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る顕微鏡システムの構成例を示す図である。
【００２０】
図１に示したように、本実施形態に係る顕微鏡システムは、マニュアルＸＹステージ１０１に載置されたサンプル１０２の光学拡大像を観察するシステムであって、顕微鏡本体１００、顕微鏡操作部２００、及び顕微鏡制御部３００を含む。
【００２１】
顕微鏡本体１００は、マニュアルＸＹステージ１０１、光源ユニット１０３、投光管ユニット１０４、対物レンズ１０５、焦準部１０６、ＡＦユニット１０７、鏡筒ユニット１０８、及び接眼レンズ１０９を含む。
【００２２】
マニュアルＸＹステージ１０１は、サンプル１０２が載置され、ユーザの手動操作によりＸＹ方向（対物レンズ１０５の光軸に対して垂直方向）に移動する。
光源ユニット１０３は、サンプル１０２に照射する観察用の光を出射する。
【００２３】
投光管ユニット１０４は、光源ユニット１０３から出射された観察用の光をサンプル１０２へ導いたり、そのときのサンプル１０２からの反射光を鏡筒ユニット１０８へ導いたりする。また、投光管ユニット１０４は、ＡＦユニット１０７から出射されたＡＦ用の光をサンプル１０２へ導いたり、そのときのサンプル１０２からの反射光をＡＦユニット１０７へ導いたりする。
【００２４】
焦準部１０６は、サンプル１０２と対物レンズ１０５との間の距離を変化させる電動焦準部である。より詳しくは、焦準部１０６は、焦準モータ１０６ａ、焦準シャフト１０６ｂ、及び焦準支持部１０６ｃを含み、焦準モータ１０６ａの駆動による焦準シャフト１０６ｂの回転により焦準支持部１０６ｃが上下方向（対物レンズ１０５の光軸方向）に移動する。これにより、焦準支持部１０６ｃにより支持された対物レンズ１０５も上下方向に移動し、サンプル１０２と対物レンズ１０５との間の距離が変化する。なお、焦準モータ１０６ａは、例えばステッピングモータである。また、焦準支持部１０６ｃは、その他、投光管ユニット１０４、光源ユニット１０３、ＡＦユニット１０７、鏡筒ユニット１０８、及び接眼レンズ１０９をも支持する。
【００２５】
ＡＦユニット１０７は、サンプル１０２へ照射するＡＦ用の光を出射し、そのときのサンプル１０２からの反射光の光量を検出し、その検出結果に基づいて、焦準部１０６（焦準モータ１０６ａ）を制御してサンプル１０２に対するＡＦ制御を行う。
【００２６】
鏡筒ユニット１０８は、光源ユニット１０３からの観察用の光が照射されたサンプル１０２からの反射光を接眼レンズ１０９へ導く。
顕微鏡操作部２００は、各種のボタン等を備え、ユーザのボタン操作等に応じてＡＦ開始指示や焦準部１０６の駆動指示等を顕微鏡制御部３００に入力する。なお、顕微鏡操作部２００の詳細は、図２を用いて後述する。
【００２７】
顕微鏡制御部３００は、顕微鏡システムの全体動作を制御する。例えば、顕微鏡制御部３００は、光源ユニット１０３の制御や、顕微鏡操作部２００により入力されたＡＦ開始指示や焦準部１０６の駆動指示に応じてＡＦユニット１０７や焦準部１０６（焦準モータ１０６ａ）を制御する。
【００２８】
図２は、顕微鏡操作部２００の外観構成例を示す図である。
図２に示したように、顕微鏡操作部２００は、ＡＦ開始ボタン２０１、焦準ＵＰボタン２０２、及び焦準ＤＯＷＮボタン２０３を含む。
【００２９】
ＡＦ開始ボタン２０１は、ＡＦ（アシストＡＦ）の開始指示を行うためのボタンである。このＡＦ開始ボタン２０１の押下により、ＡＦ開始指示が、顕微鏡操作部２００から顕微鏡制御部３００に入力される。
【００３０】
焦準ＵＰボタン２０２は、焦準支持部１０６ｃを上方向へ移動させるように焦準部１０６を駆動指示するためのボタンである。この焦準ＵＰボタン２０２が押下されている間は、焦準支持部１０６ｃを上方向へ移動させるための焦準部１０６の駆動指示が継続して、顕微鏡操作部２００から顕微鏡制御部３００に入力される。なお、焦準ＵＰボタン２０２は、サンプル１０２と対物レンズ１０５との間の距離を長くする方向へ焦準部１０６を駆動指示するためのボタンでもある。
【００３１】
焦準ＤＯＷＮボタン２０３は、焦準支持部１０６ｃを下方向へ移動させるように焦準部１０６を駆動指示するためのボタンである。この焦準ＤＯＷＮボタン２０３が押下されている間は、焦準支持部１０６ｃを下方向へ移動させるための焦準部１０６の駆動指示が継続して、顕微鏡操作部２００から顕微鏡制御部３００に入力される。なお、焦準ＤＯＷＮボタン２０３は、サンプル１０２と対物レンズ１０５との間の距離を短くする方向へ焦準部１０６を駆動指示するためのボタンでもある。
【００３２】
図３は、顕微鏡制御部３００の内部構成例を示す図である。
図３に示したように、顕微鏡制御部３００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）３０１、ＲＡＭ（Random Access Memory）３０２、ＲＯＭ（Read Only Memory）３０３、コマンドＩ／Ｏ（Input/Output）３０４、及び焦準制御部３０５を含む。
【００３３】
ＣＰＵ３０１は、制御プログラムに従って顕微鏡システムの全体動作を制御する。例えば、ＣＰＵ３０１は、光源ユニット１０３の制御や、顕微鏡操作部２００により入力されたＡＦ開始指示や焦準部１０６の駆動指示に応じてＡＦユニット１０７や焦準部１０６（焦準モータ１０６ａ）を制御する。なお、ＣＰＵ３０１と顕微鏡操作部２００は、ボタン制御線により接続される。
【００３４】
ＲＡＭ３０２は、ＣＰＵ３０１による制御に必要なデータ等が一時的に格納される。
ＲＯＭ３０３は、上記制御プログラム等が格納される。
コマンドＩ／Ｏ３０４は、ＣＰＵ３０１、焦準制御部３０５、光源ユニット１０３、及びＡＦユニット１０７との間で、コマンド等の入出力を行う。なお、焦準制御部３０５、光源ユニット１０３、及びＡＦユニット１０７の各々とコマンドＩ／Ｏ３０４は、コマンド通信線により接続される。
【００３５】
焦準制御部３０５は、コマンドＩ／Ｏ３０４からのコマンドと、内部記憶部３０５ａにＬＵＴ（Look-Up Table）として記憶されている焦準部１０６の駆動速度パラメータとに基づいて、焦準部１０６（焦準モータ１０６ａ）の駆動を制御する。なお、焦準制御部３０５と焦準部１０６（焦準モータ１０６ａ）は、モータ制御線により接続される。
【００３６】
図４は、内部記憶部３０５ａにＬＵＴとして記憶される焦準部１０６の駆動速度パラメータの一例を示す図である。
図４に示したように、ＬＵＴには、焦準部１０６の駆動速度パラメータとして、焦準支持部１０６ｃの初速度[μm/s]、到達速度[μm/s]、及び加減速時間[ms]の組み合わせが４種類、インデックス１乃至４として示されている。これにより、インデックスを指定することで、対応する組み合わせの駆動速度パラメータに従って焦準部１０６の台形駆動を行わせることが可能になっている。
【００３７】
また、ＬＵＴでは、インデックス１乃至４において、初速度[μm/s]は何れも同じであるが、到達速度[μm/s]及び加減速時間[ms]は、インデックス１乃至４の順に、増加するようになっている。これにより、ユーザが焦準ＵＰボタン２０２又は焦準ＤＯＷＮボタン２０３を押下し続けている間は、指定するインデックスを徐々に増加することで、焦準支持部１０６ｃの移動速度を徐々に増加させることができる。また、焦準支持部１０６ｃの移動速度の増加に伴って加減速時間も長くするようにしたことにより、いずれのインデックスにおいても台形駆動による加減速度が一定になるようになっている。
【００３８】
なお、焦準支持部１０６ｃのオーバーランの移動量（移動中の焦準支持部１０６ｃが停止動作（減速動作）を開始してから実際に停止するまでの移動量）は、減速時間に比例する。従って、減速時間が短いほどオーバーランの移動量は小さくなる。
【００３９】
このような構成を有する本実施形態に係る顕微鏡システムにおいて、焦準部１０６は、サンプルと対物レンズとの間の距離を変化させる焦準部の一例である。ＡＦユニット１０７は、焦準部を制御してサンプルに対する自動合焦制御を行う自動合焦制御部の一例である。顕微鏡制御部３００は、自動合焦制御部及び焦準部を制御する制御部の一例である。顕微鏡操作部２００は、自動合焦開始指示及び焦準部の駆動指示を入力する入力部の一例である。内部記憶部３０５ａは、焦準部の駆動速度を記憶する記憶部の一例である。
【００４０】
次に、本実施形態に係る顕微鏡システムの動作について説明する。
本実施形態に係る顕微鏡システムでは、顕微鏡制御部３００の電源が投入されると、ＣＰＵ３０１は、コマンドＩ／Ｏ３０４を介して光源ユニット１０３に光源点灯指示コマンドを送信する。このコマンドを受信した光源ユニット１０３は、光源を点灯して観察用の光を出射する。光源ユニット１０３から出射された光は、投光管ユニット１０４に導入され、図示しない照明光学系を介して対物レンズ１０５によりサンプル１０２上に集光される。そして、このときのサンプル１０２からの反射光は、再び対物レンズ１０５及び投光管ユニット１０４を介した後、更に、ＡＦユニット１０７及び鏡筒ユニット１０８を介して接眼レンズ１０９に導かれる。これにより、ユーザは接眼レンズ１０９を通してサンプル１０２の光学拡大像の目視観察が可能になる。
【００４１】
ユーザは、サンプル１０２の光学拡大像の目視観察中に、サンプル１０２にピントを合わせたいと判断したら、顕微鏡操作部２００のＡＦ開始ボタン２０１を押下することにより、ＡＦ（アシストＡＦ）の開始を指示することができる。
【００４２】
ユーザがＡＦ開始ボタン２０１を押下すると、顕微鏡操作部２００によりＡＦ開始指示がＣＰＵ３０１に入力される。ＡＦ開始指示が入力されたＣＰＵ３０１は、コマンドＩ／Ｏ３０４を介してＡＦユニット１０７にＡＦ開始指示コマンドを送信する。このコマンドを受信したＡＦユニット１０７は、ＡＦサーチを行い、その結果、サンプル１０２からの反射光の光量がＡＦ開始閾値（ＡＦ可能な反射光量）未満であった場合には、ＡＦ待機状態に移行して、焦準部１０６の制御を一旦停止すると共に、ＡＦ失敗のコマンドレスポンスを、コマンドＩ／Ｏ３０４を介してＣＰＵ３０１に送信する。このコマンドレスポンスを受信したＣＰＵ３０１は、ＡＦユニット１０７がＡＦ待機状態に移行したことを認識する。
【００４３】
なお、ＡＦ待機状態に移行したＡＦユニット１０７は、焦準部１０６の制御は一旦停止するが、サンプル１０２へのＡＦ用の光の照射とその反射光の検出は継続し、その反射光の光量がＡＦ開始閾値以上になった場合には、後述するように、その旨を通知するコマンドレスポンスを、コマンドＩ／Ｏ３０４を介してＣＰＵ３０１に送信する。
【００４４】
ＡＦユニット１０７がＡＦ待機状態に移行したことをＣＰＵ３０１が認識すると、本実施形態に係る顕微鏡システムは、次のような動作を行う。
図５は、その動作の一例を示すフローチャートである。
【００４５】
図５に示したように、まず、ＣＰＵ３０１は、焦準ボタン（焦準ＵＰボタン２０２又は焦準ＤＯＷＮボタン２０３）が押下されているか否かを判定する（Ｓ１０１）。ここで、Ｓ１０１の判定結果がＮｏの場合には、本判定を繰り返す。
【００４６】
一方、Ｓ１０１の判定結果がＹｅｓの場合、ＣＰＵ３０１は、焦準部１０６の駆動速度パラメータのインデックスを１に設定する（ＴＢＬ＝１）（Ｓ１０２）。そして、焦準部１０６の駆動速度パラメータのインデックスを１とし、焦準部１０６の駆動方向をＳ１０１で押下されていた焦準ボタンに応じた方向とする引数として、焦準部１０６の駆動を指示するコマンド（例えば「MOVE 1，駆動方向」）を、コマンドＩ／Ｏ３０４を介してＡＦユニット１０７に送信する。このコマンドを受信したＡＦユニット１０７は、ＡＦ待機状態にあるので、そのコマンドを、コマンドＩ／Ｏ３０４を介して焦準制御部３０５に送信する。このコマンドを受信した焦準制御部３０５は、そのコマンドに従って焦準部１０６の駆動を開始する（Ｓ１０３）。
【００４７】
また、ＣＰＵ３０１は、その焦準部１０６の駆動開始と同時に、焦準部１０６の駆動速度を動的に変更するための動的速度変更用タイマをスタートする（Ｓ１０４）。
続いて、ＣＰＵ３０１は、ＡＦユニット１０７から、コマンドＩ／Ｏ３０４を介して、サンプル１０２からの反射光の光量がＡＦ開始閾値以上になったことを通知するコマンドレスポンスを受信したか否かを判定する（Ｓ１０５）。
【００４８】
ここで、Ｓ１０５の判定結果がＮｏの場合、ＣＰＵ３０１は、Ｓ１０１で押下されていた焦準ボタンが継続して押下されているか否かを判定する（Ｓ１０６）。
ここで、Ｓ１０６の判定結果がＹｅｓの場合、ＣＰＵ３０１は、動的速度変更用タイマがタイムアップしたか否かを判定する（Ｓ１０７）。ここで、その判定結果がＮｏの場合には、処理がＳ１０５に戻る。
【００４９】
一方、Ｓ１０７の判定結果がＹｅｓの場合、ＣＰＵ３０１は、設定されているインデックスが２未満（ＴＢＬ＜２）であるか否かを判定する（Ｓ１０８）。
ここで、Ｓ１０８の判定結果がＹｅｓの場合、ＣＰＵ３０１は、設定されているインデックスに１を加える（ＴＢＬ＝ＴＢＬ＋１）（Ｓ１０９）。
【００５０】
Ｓ１０９の後、ＣＰＵ３０１は、設定されているインデックス（すなわちＳ１０９で１を加えられたインデックス）を引数として、焦準部１０６の駆動速度の動的変更を指示するコマンド（例えば「SPEED インデックス」）を、コマンドＩ／Ｏ３０４を介してＡＦユニット１０７に送信する。このコマンドを受信したＡＦユニット１０７は、ＡＦ待機状態にあるので、そのコマンドを、コマンドＩ／Ｏ３０４を介して焦準制御部３０５に送信する。このコマンドを受信した焦準制御部３０５は、そのコマンドに従って焦準部１０６の駆動速度の動的変更を開始する（Ｓ１１０）。
【００５１】
Ｓ１１０の後、ＣＰＵ３０１は、ＡＦユニット１０７から、コマンドＩ／Ｏ３０４を介して、サンプル１０２からの反射光の光量がＡＦ開始閾値以上になったことを通知するコマンドレスポンスを受信したか否かを判定する（Ｓ１１１）。
【００５２】
ここで、Ｓ１１１の判定結果がＮｏの場合、ＣＰＵ３０１は、Ｓ１０６で押下されていた焦準ボタンが継続して押下されているか否かを判定する（Ｓ１１２）。
ここで、Ｓ１１２の判定結果がＹｅｓの場合、ＣＰＵ３０１は、焦準制御部３０５から、コマンドＩ／Ｏ３０４、ＡＦユニット１０７、及びコマンドＩ／Ｏ３０４を順に介して、焦準部１０６の駆動速度が動的変更されたことを通知するコマンドレスポンスを受信したか否かを判定する（Ｓ１１３）。
【００５３】
ここで、Ｓ１１３の判定結果がＮｏの場合には、処理がＳ１１１へ戻る。
一方、Ｓ１１３の判定結果がＹｅｓの場合、ＣＰＵ３０１は、動的速度変更用タイマをリスタート（リセット及びスタート）し（Ｓ１１４）、その後、処理がＳ１０５に戻る。
【００５４】
一方、Ｓ１０８の判定結果がＮｏの場合、ＣＰＵ３０１は、ＡＦユニット１０７から、コマンドＩ／Ｏ３０４を介して、サンプル１０２からの反射光の光量がＡＦ開始閾値以上になったことを通知するコマンドレスポンスを受信したか否かを判定する（Ｓ１１５）。
【００５５】
ここで、Ｓ１１５の判定結果がＮｏの場合、ＣＰＵ３０１は、Ｓ１０６で押下されていた焦準ボタンが継続して押下されているか否かを判定する（Ｓ１１６）。
ここで、Ｓ１１６の判定結果がＹｅｓの場合には、処理がＳ１１５へ戻る。
【００５６】
一方、Ｓ１０６の判定結果がＮｏ、又は、Ｓ１１２の判定結果がＮｏの場合、ＣＰＵ３０１は、動的速度変更用タイマをストップする（Ｓ１１７）。
一方、Ｓ１１６の判定結果がＮｏの場合、又は、Ｓ１１７の後、ＣＰＵ３０１は、焦準部１０６の駆動停止を指示するコマンドを、コマンドＩ／Ｏ３０４を介してＡＦユニット１０７に送信する。このコマンドを受信したＡＦユニット１０７は、ＡＦ待機状態にあるので、そのコマンドを、コマンドＩ／Ｏ３０４を介して焦準制御部３０５に送信する。このコマンドを受信した焦準制御部３０５は、そのコマンドに従って焦準部１０６の駆動停止動作（減速動作）を開始する（Ｓ１１８）。
【００５７】
Ｓ１１８の後、ＣＰＵ３０１は、焦準制御部３０５から、コマンドＩ／Ｏ３０４、ＡＦユニット１０７、及びコマンドＩ／Ｏ３０４を順に介して、焦準部１０６が停止したことを通知するコマンドレスポンスを受信したか否かを判定する（Ｓ１１９）。
【００５８】
ここで、Ｓ１１９の判定結果がＮｏの場合には、本判定を繰り返す。
一方、Ｓ１１９の判定結果がＹｅｓの場合には、本フローが終了する。
一方、Ｓ１０５がＹｅｓの場合、又は、Ｓ１１１がＹｅｓの場合、ＣＰＵ３０１は、動的速度変更用タイマをストップする（Ｓ１２０）。
【００５９】
Ｓ１２０の後、又は、Ｓ１１５がＹｅｓの場合、焦準部１０６の制御権限がＣＰＵ３０１からＡＦユニット１０７に切り換わり、ＡＦユニット１０７は、焦準部１０６の駆動停止を指示するコマンドを、コマンドＩ／Ｏ３０４を介して焦準制御部３０５に送信する。このコマンドを受信した焦準制御部３０５は、そのコマンドに従って焦準部１０６の駆動停止動作（減速動作）を開始する（Ｓ１２１）。
【００６０】
Ｓ１２１の後、ＡＦユニット１０７は、焦準制御部３０５から、コマンドＩ／Ｏ３０４を介して、焦準部１０６が停止したことを通知するコマンドレスポンスを受信したか否かを判定する（Ｓ１２２）。
【００６１】
ここで、Ｓ１２２の判定結果がＮｏの場合には、本判定を繰り返す。
一方、Ｓ１２２の判定結果がＹｅｓの場合、ＡＦユニット１０７は、ＡＦ制御を行い（Ｓ１２３）、本フローが終了する。
【００６２】
このような動作により、ＡＦ待機状態では焦準部１０６の駆動速度パラメータがインデックス２までの駆動速度パラメータに制限されていたので、Ｓ１２１で開始した焦準部１０６の駆動停止動作による焦準支持部１０６ｃのオーバーランの移動量（減速時間による焦準支持部１０６ｃのオーバーランの移動量）が、ＡＦ可能な反射光量が得られる範囲を超えることはなく、Ｓ１２３のＡＦ制御の結果がＡＦ失敗になることはない。
【００６３】
以上、本実施形態に係る顕微鏡システムによれば、ＡＦ待機状態においてユーザがマニュアル操作で焦準部１０６を駆動させる際の焦準部１０６の駆動速度を制限することにより、駆動中の焦準部１０６を停止させる際の、焦準支持部１０６ｃのオーバーランの移動量を抑制することができるので、ＡＦ再開時（焦準部１０６の駆動停止後のＡＦ時）に再びＡＦ失敗になることはなく、アシストＡＦの操作性を向上させることができる。
【００６４】
＜第２の実施形態＞
本発明の第２の実施形態に係る顕微鏡システムは、第１の実施形態に係る顕微鏡システムに対して、構成及び動作の一部が異なる。そこで、ここでは、その異なる点を中心に、本実施形態に係る顕微鏡システムの説明を行う。なお、その説明では、第１の実施形態に係る顕微鏡システムと同一の構成要素については同一の符号を付して説明する。
【００６５】
図６は、本実施形態に係る顕微鏡操作部の外観構成例を示す図である。
図６に示したように、本実施形態に係る顕微鏡操作部４００は、ＡＦ開始ボタン４０１、ＪＯＧハンドル４０２、ＪＯＧ感度切換ボタン４０３、及びＪＯＧ感度インジケータ４０４（４０４ａ、４０４ｂ）を含む。
【００６６】
ＡＦ開始ボタン４０１は、ＡＦ（アシストＡＦ）の開始指示を行うためのボタンである。このＡＦ開始ボタン４０１の押下により、ＡＦ開始指示が、顕微鏡操作部４００から後述の本実施形態に係る顕微鏡制御部５００に入力される。
【００６７】
ＪＯＧハンドル４０２は、サンプル１０２と対物レンズ１０５との間の距離を長くする方向又は短くする方向へ焦準部１０６を駆動指示するための回転ハンドルである。このＪＯＧハンドル４０２が回転操作されると、図示しないロータリエンコーダが回転し、その回転に応じたパルス信号が、顕微鏡操作部４００から顕微鏡制御部５００に入力される。
【００６８】
ＪＯＧ感度切換ボタン４０３は、ＪＯＧハンドル４０２の回転操作に対する焦準部１０６の駆動量の感度（ＦＩＮＥ／ＣＯＡＲＳＥ）を切換えるためのボタンである。このＪＯＧ感度切換ボタン４０３が押下される毎に、焦準部１０６の駆動量の感度切換指示が、顕微鏡操作部４００から顕微鏡制御部５００に入力される。
【００６９】
ＪＯＧ感度インジケータ４０４は、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度を示すためのインジケータであって、例えばＬＥＤ（Light Emitting Diode）等である。より詳しくは、ＪＯＧ感度インジケータ４０４ａは、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度がＣＯＡＲＳＥである場合に点灯し、ＦＩＮＥである場合に消灯するＬＥＤである。また、ＪＯＧ感度インジケータ４０４ｂは、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度がＦＩＮＥである場合に点灯し、ＣＯＡＲＳＥである場合に消灯するＬＥＤである。
【００７０】
図７は、本実施形態に係る顕微鏡制御部５００の内部構成例を示す図である。
図７に示したように、本実施形態に係る顕微鏡制御部５００は、ＣＰＵ５０１、ＲＡＭ５０２、ＲＯＭ５０３、コマンドＩ／Ｏ５０４、焦準制御部５０５、及びパルスＩ／Ｏ５０６を含む。
【００７１】
ＣＰＵ５０１は、制御プログラムに従って本実施形態に係る顕微鏡システムの全体動作を制御する。例えば、ＣＰＵ５０１は、光源ユニット１０３の制御を行う。また、例えば、ＣＰＵ５０１は、顕微鏡操作部２００により入力された感度切換指示に応じて、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度を切り換える。より詳しくは、設定されている感度がＣＯＡＲＳＥであった場合には、それをＦＩＮＥに切り換え、設定されている感度がＦＩＮＥであった場合には、それをＣＯＡＲＳＥに切り換える。また、例えば、ＣＰＵ５０１は、設定されている感度に応じて、ＪＯＧ感度インジケータ４０４ａ及び４０４ｂの一方を点灯し他方を消灯するようにＪＯＧ感度インジケータ４０４を制御する。また、例えば、ＣＰＵ５０１は、顕微鏡操作部４００により入力されたＡＦ開始指示や、パルスＩ／Ｏ５０６に一時的に蓄積されているパルス数に応じて、ＡＦユニット１０７や焦準部１０６（焦準モータ１０６ａ）を制御する。なお、ＣＰＵ５０１と顕微鏡操作部４００は、インジケータ制御線及びボタン制御線により接続される。
【００７２】
ＲＡＭ５０２は、ＣＰＵ５０１による制御に必要なデータ等が一時的に格納される。
ＲＯＭ５０３は、上記制御プログラム等が格納される。
コマンドＩ／Ｏ５０４は、ＣＰＵ５０１、焦準制御部５０５、光源ユニット１０３、及びＡＦユニット１０７との間で、コマンド等の入出力を行う。なお、焦準制御部５０５、ＡＦユニット１０７、及び光源ユニット１０３の各々とコマンドＩ／Ｏ５０４は、コマンド通信線により接続される。
【００７３】
焦準制御部５０５は、コマンドＩ／Ｏ５０４からのコマンドに応じて、焦準部１０６（焦準モータ１０６ａ）の駆動を制御する。なお、焦準制御部５０５と焦準部１０６（焦準モータ１０６ａ）は、モータ制御線により接続される。
【００７４】
パルスＩ／Ｏ５０６は、顕微鏡操作部４００により入力されたパルス信号（ロータリエンコーダの回転に応じたパルス信号）のパルス数を一時的に蓄積する。なお、パルスＩ／Ｏ５０６と顕微鏡操作部４００は、パルス信号線により接続される。
【００７５】
本実施形態に係る顕微鏡システムにおいて、焦準部１０６は、焦準モータ１０６ａと図示しないギア機構等を含み、顕微鏡操作部４００から顕微鏡制御部５００に入力されるパルス信号の１パルス当たり焦準支持部１０６ｃを０．０２[μm]移動するように構成されている。
【００７６】
ＣＰＵ５０１は、その焦準部１０６を制御する際に、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度がＦＩＮＥである場合には、パルスＩ／Ｏ５０６から取得したパルス数をそのまま使用して処理を行うが、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度がＣＯＡＲＳＥである場合には、パルスＩ／Ｏ５０６から取得したパルス数を、例えば２倍にして処理を行う。より詳しくは、ＣＰＵ５０１は、焦準部１０６を制御する際に、パルスＩ／Ｏ５０６に一時的に蓄積されているパルス数を３０[ms]間隔で取得し、下記式（１）を用いて、焦準支持部１０６ｃの移動時間が２０[ms]になるように、焦準部１０６の駆動速度として焦準支持部１０６ｃの移動速度を算出し、矩形駆動により焦準部１０６を駆動させるように制御する。
【００７７】
移動速度[μm/ms]＝０．０２[μm/pls]＊取得したパルス数[pls]／２０[ms]  （１）
なお、式（１）の「取得したパルス数」は、上述のとおり、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度がＦＩＮＥである場合には、パルスＩ／Ｏ５０６から取得したパルス数とされるが、それがＣＯＡＲＳＥである場合には、パルスＩ／Ｏ５０６から取得したパルス数の２倍とされる。
【００７８】
このような構成を有する本実施形態に係る顕微鏡システムにおいて、焦準部１０６は、サンプルと対物レンズとの間の距離を変化させる焦準部の一例である。ＡＦユニット１０７は、焦準部を制御してサンプルに対する自動合焦制御を行う自動合焦制御部の一例である。顕微鏡制御部５００は、自動合焦制御部及び焦準部を制御する制御部の一例である。顕微鏡操作部４００は、自動合焦開始指示及び焦準部の駆動指示を入力する入力部の一例である。
【００７９】
次に、本実施形態に係る顕微鏡システムの動作について説明する。
本実施形態に係る顕微鏡システムでは、顕微鏡制御部５００の電源が投入されると、ＣＰＵ５０１は、コマンドＩ／Ｏ５０４を介して光源ユニット１０３に光源点灯指示コマンドを送信する。このコマンドを受信した光源ユニット１０３は、光源を点灯して観察用の光を出射する。光源ユニット１０３から出射された光は、投光管ユニット１０４に導入され、図示しない照明光学系を介して対物レンズ１０５によりサンプル１０２上に集光される。そして、このときのサンプル１０２からの反射光は、再び対物レンズ１０５及び投光管ユニット１０４を介した後、更に、ＡＦユニット１０７及び鏡筒ユニット１０８を介して接眼レンズ１０９に導かれる。これにより、ユーザは接眼レンズ１０９を通してサンプル１０２の光学拡大像の目視観察が可能になる。
【００８０】
また、ＣＰＵ５０１は、焦準部１０６の駆動量の感度を初期値であるＦＩＮＥに設定すると共に、ＪＯＧ感度インジケータ４０４ａを消灯させ、ＪＯＧ感度インジケータ４０４ｂを点灯させる。これにより、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度がＦＩＮＥであることがユーザに通知される。
【００８１】
ユーザは、ＪＯＧハンドル４０２の回転操作中に、サンプル１０２にピントを合わせにくいと感じたら、ＪＯＧ感度切換ボタン４０３を押下することにより、焦準部１０６の駆動量の感度を自由に切り換えることができる。ユーザがＪＯＧ感度切換ボタン４０３を押下すると、顕微鏡操作部４００により焦準部１０６の駆動量の感度切換指示がＣＰＵ５０１に入力される。この感度切換指示が入力されたＣＰＵ５０１は、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度を切り換え、それに応じて、ＪＯＧ感度インジケータ４０４ａ及び４０４ｂの一方を点灯させ他方を消灯させる。これにより、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度が切り換えられたことがユーザに通知される。
【００８２】
また、ユーザは、サンプル１０２の光学拡大像の目視観察中に、サンプル１０２にピントを合わせたいと判断したら、顕微鏡操作部４００のＡＦ開始ボタン４０１を押下することにより、ＡＦ（アシストＡＦ）の開始を指示することができる。
【００８３】
ユーザがＡＦ開始ボタン４０１を押下すると、顕微鏡操作部４００によりＡＦ開始指示がＣＰＵ５０１に入力される。ＡＦ開始指示が入力されたＣＰＵ５０１は、コマンドＩ／Ｏ５０４を介してＡＦユニット１０７にＡＦ開始指示コマンドを送信する。このコマンドを受信したＡＦユニット１０７は、ＡＦサーチを行い、その結果、サンプル１０２からの反射光の光量がＡＦ開始閾値（ＡＦ可能な反射光量）未満であった場合には、ＡＦ待機状態に移行して、焦準部１０６の制御を一旦停止すると共に、ＡＦ失敗のコマンドレスポンスを、コマンドＩ／Ｏ５０４を介してＣＰＵ５０１に送信する。このコマンドレスポンスを受信したＣＰＵ５０１は、ＡＦユニット１０７がＡＦ待機状態に移行したことを認識する。また、ＣＰＵ５０１は、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度がＣＯＡＲＳＥである場合には、それをＦＩＮＥに切り換えると共に、ＪＯＧ感度インジケータ４０４ａを消灯させ、ＪＯＧ感度インジケータ４０４ｂを点灯させる。これにより、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度がＦＩＮＥに切り換えられたことがユーザに通知される。以降は、本フローが終了するまで、ＪＯＧ感度切換ボタン４０３の操作は無効とされる。
【００８４】
なお、ＡＦ待機状態に移行したＡＦユニット１０７は、焦準部１０６の制御は一旦停止するが、サンプル１０２へのＡＦ用の光の照射とその反射光の検出は継続し、その反射光の光量がＡＦ開始閾値以上になった場合には、後述するように、その旨を通知するコマンドレスポンスを、コマンドＩ／Ｏ５０４を介してＣＰＵ５０１に送信する。
【００８５】
ＡＦユニット１０７がＡＦ待機状態に移行したことをＣＰＵ５０１が認識すると共に、設定されている焦準部１０６の駆動量の感度がＦＩＮＥになると、本実施形態に係る顕微鏡システムは、次のような動作を行う。
【００８６】
図８は、その動作の一例を示すフローチャートである。
図８に示したように、まず、ＣＰＵ５０１は、パルスＩ／Ｏ５０６に一時的に蓄積されているパルス数を３０[ms]周期で取得するためのパルス取得タイマをスタートする（Ｓ２０１）。
【００８７】
続いて、ＣＰＵ５０１は、パルス取得タイマがタイムアップしたか否かを判定する（Ｓ２０２）。ここで、その判定結果がＮｏの場合には、本判定を繰り返す。
一方、Ｓ２０１の判定結果がＹｅｓの場合、ＣＰＵ５０１は、パルスＩ／Ｏ５０６に一時的に蓄積されているパルス数を取得する（Ｓ２０３）。
【００８８】
続いて、ＣＰＵ５０１は、Ｓ２０３で取得されたパルス数が０であるか否かを判定する（Ｓ２０４）。ここで、その判定結果がＹｅｓの場合、すなわち、ＪＯＧハンドル４０２が回転操作されていない場合には、処理がＳ２０１へ戻る。
【００８９】
一方、Ｓ２０４の判定結果がＮｏの場合、すなわち、ＪＯＧハンドル４０２が回転操作された場合、ＣＰＵ５０１は、上述の式（１）により、Ｓ２０３で取得されたパルス数を用いて、焦準部１０６の駆動速度を算出する（Ｓ２０５）。
【００９０】
続いて、ＣＰＵ５０１は、Ｓ２０５で算出された焦準部１０６の駆動速度と、焦準部１０６の駆動量（Ｓ２０３で取得したパルス数）を引数として、焦準部１０６の駆動を指示するコマンド（例えば「JOG_MOVE 駆動速度，駆動量」）を、コマンドＩ／Ｏ５０４を介してＡＦユニット１０７に送信する。なお、この場合に、焦準部１０６の駆動方向は、例えば、焦準部１０６の駆動量の正負符号により指示することができる。この場合、その正負符号は、対応するパルス数の元となったパルス信号に応じて付与される。このコマンドを受信したＡＦユニット１０７は、ＡＦ待機状態にあるので、そのコマンドを、コマンドＩ／Ｏ５０４を介して焦準制御部５０５に送信する。このコマンドを受信した焦準制御部５０５は、そのコマンドに従って焦準部１０６の駆動を開始する（Ｓ２０６）。
【００９１】
続いて、ＣＰＵ５０１は、ＡＦユニット１０７から、コマンドＩ／Ｏ５０４を介して、サンプル１０２からの反射光の光量がＡＦ開始閾値以上になったことを通知するコマンドレスポンスを受信したか否かを判定する（Ｓ２０７）。
【００９２】
ここで、Ｓ２０７の判定結果がＮｏの場合、ＣＰＵ５０１は、焦準制御部５０５から、コマンドＩ／Ｏ５０４、ＡＦユニット１０７、及びコマンドＩ／Ｏ５０４を順に介して、焦準部１０６の駆動が終了したことを通知するコマンドレスポンスを受信したか否かを判定する（Ｓ２０８）。
【００９３】
ここで、その判定結果がＮｏの場合には処理がＳ２０７へ戻り、Ｙｅｓの場合には処理がＳ２０１へ戻る。
一方、Ｓ２０７の判定結果がＹｅｓの場合、焦準部１０６の制御権限がＣＰＵ５０１からＡＦユニット１０７に切り換わり、ＡＦユニット１０７は、焦準部１０６の駆動停止を指示するコマンドを、コマンドＩ／Ｏ５０４を介して焦準制御部５０５に送信する。このコマンドを受信した焦準制御部５０５は、そのコマンドに従って焦準部１０６の駆動停止動作を開始する（Ｓ２０９）。なお、焦準部１０６の制御権限がＣＰＵ５０１からＡＦユニット１０７に切り換わると、以降、本フローが終了するまで、ＪＯＧハンドル４０２の回転操作は無効とされる。
【００９４】
続いて、ＡＦユニット１０７は、焦準制御部５０５から、コマンドＩ／Ｏ５０４を介して、焦準部１０６が停止したことを通知するコマンドレスポンスを受信したか否かを判定する（Ｓ２１０）。
【００９５】
ここで、Ｓ２１０の判定結果がＮｏの場合には、本判定を繰り返す。
一方、Ｓ２１０の判定結果がＹｅｓの場合、ＡＦユニット１０７は、ＡＦ制御を行い（Ｓ２１１）、本フローが終了する。
【００９６】
このような動作により、ＡＦ待機状態では焦準部１０６の駆動量の感度がＦＩＮＥに制限されていたので、Ｓ２０９で開始した焦準部１０６の駆動停止動作による焦準支持部１０６ｃのオーバーランの移動量が、ＡＦ可能な反射光量が得られる範囲を超えることはなく、Ｓ２１１のＡＦ制御の結果がＡＦ失敗になることはない。
【００９７】
以上、本実施形態に係る顕微鏡システムによれは、第１の実施形態に係る顕微鏡システムと同様の効果を得ることができると共に、ＡＦ待機状態において、ユーザが、ＪＯＧハンドル４０２を回転操作する前に、ＡＦ再開時に再びＡＦ失敗にならないようにするために焦準部１０６の駆動量の感度をＦＩＮＥに切り換えるという手間を省くこともできる。
【００９８】
以上、第１及び第２の実施形態に係る顕微鏡システムについて説明したが、各実施形態に係る顕微鏡システムにおいては各種の変形が可能である。
例えば、第１の実施形態に係る顕微鏡システムにおいて、ＡＦ待機状態では、焦準部１０６の駆動速度パラメータがインデックス２までの駆動速度パラメータに制限されていたが、これに限定されるものではない。焦準部１０６の制御がＣＰＵ３０１からＡＦユニット１０７に切り換わった後の焦準部１０６の駆動停止動作による焦準支持部１０６ｃのオーバーランの移動量が、ＡＦ可能（ＡＦ再開可能）な反射光量が得られる範囲を超えないのであれば、他のインデックスまでの駆動速度パラメータに制限されてもよい。
【００９９】
また、各実施形態に係る顕微鏡システムは、アクティブＡＦ方式によりＡＦを行う構成としたが、例えば、パッシブＡＦ方式によりＡＦを行う構成としてもよい。この場合は、ＡＦユニット１０７の代わりに、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子を用いてコントラストＡＦを行う構成等を備えるようにしてもよい。
【０１００】
以上、上述した各実施形態は、発明の理解を容易にするために本発明の具体例を示したものであり、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。本発明は、特許請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、さまざまな変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【０１０１】
１００      顕微鏡本体
１０１      マニュアルＸＹステージ
１０２      サンプル
１０３      光源ユニット
１０４      投光管ユニット
１０５      対物レンズ
１０６      焦準部
１０６ａ    焦準モータ
１０６ｂ    焦準シャフト
１０６ｃ    焦準支持部
１０７      ＡＦユニット
１０８      鏡筒ユニット
１０９      接眼レンズ
２００      顕微鏡操作部
２０１      ＡＦ開始ボタン
２０２      焦準ＵＰボタン
２０３      焦準ＤＯＷＮボタン
３００      顕微鏡制御部
３０１      ＣＰＵ
３０２      ＲＡＭ
３０３      ＲＯＭ
３０４      コマンドＩ／Ｏ
３０５      焦準制御部
３０５ａ    内部記憶部
４００      顕微鏡操作部
４０１      ＡＦ開始ボタン
４０２      ＪＯＧハンドル
４０３      ＪＯＧ感度切換ボタン
４０４（４０４ａ、４０４ｂ）  ＪＯＧ感度インジケータ
５００      顕微鏡制御部
５０１      ＣＰＵ
５０２      ＲＡＭ
５０３      ＲＯＭ
５０４      コマンドＩ／Ｏ
５０５      焦準制御部
５０６      パルスＩ／Ｏ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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