(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）帯状の被熱処理物を熱処理用の流体中にガイドするガイド部を、所定の温度に保持された前記流体に接触させ、前記被熱処理物を熱処理する温度に前記流体を保持し、
（ｂ）帯状の非晶質軟磁性合金と、帯状の補強部を帯の長さ方向に接合して前記被熱処理物を形成し、
（ｃ）前記被熱処理物のうち、前記補強部のみを前記流体に浸漬し、前記ガイド部のうち前記流体中にある部分に前記補強部の上面を接触させ、
（ｄ）前記ガイド部のうち前記流体中にある部分をガイドにして前記補強部を前記流体から引き揚げつつ前記非晶質軟磁性合金を前記流体に浸漬し、前記流体からの伝熱により少なくとも前記非晶質軟磁性合金の一部を結晶化させ、
（ｅ）熱処理後の前記非晶質軟磁性合金を前記流体から引き揚げ、巻き取り部と補助ローラで前記非晶質軟磁性合金を挟みながら前記巻き取り部に前記非晶質軟磁性合金を巻き取ることを有し、
前記（ｅ）は、前記流体の液面よりも上方で、かつ前記ガイド部と前記巻き取り部の間に設けられた下流側ローラに前記被熱処理物の下面側を接触させながら前記巻き取り部に前記非晶質軟磁性合金を巻き取り、
かつ、前記下流側ローラと前記巻き取り部の間に設けられた昇降ローラを、前記非晶質軟磁性合金と前記補強部との接合部が前記下流側ローラと接触する前は前記被熱処理物よりも下方で前記被熱処理物と接触しない位置に配置し、
前記非晶質軟磁性合金と前記補強部の接合部が前記下流側ローラと接触する際に前記補強部を持ち上げて、持ち上げない場合と比べて前記接合部と前記下流側ローラとの接触時間および接触面積を小さくし、
前記接合部が前記下流側ローラを通過した後に前記昇降ローラを前記被熱処理物よりも下方で前記被熱処理物と接触しない位置に戻すこと、
を有する非晶質軟磁性合金の熱処理方法。
【請求項２】
前記ガイド部はローラである、請求項１に記載の非晶質軟磁性合金の熱処理方法。
【請求項３】
前記（ｃ）は、前記流体の液面よりも上方で、かつ引き出し部と前記ガイド部の間の上流側ローラに接触させながら前記補強部の長さ方向の開放端側から前記被熱処理物を前記流体に浸漬し、前記ガイド部のうち前記流体中にある部分と接触させる、請求項１または２に記載の非晶質軟磁性合金の熱処理方法。
【請求項４】
帯状の非晶質軟磁性合金と帯状の補強部とが接合部を介して互いに接合された帯状の被熱処理物に含まれる前記非晶質軟磁性合金を熱処理するための所定の温度に保持された流体を保持する容器と、
前記容器中に、前記流体が前記容器中に保持された状態で前記流体と少なくとも一部が接触する位置に設けられ、前記被熱処理物を熱処理用の流体中にガイドするガイド部と、
前記流体中を移動して当該流体から引き揚げられた前記被熱処理物を挟みながら巻き取る補助ローラ及び巻き取り部と、
前記流体の液面よりも上方で、かつ前記ガイド部と前記巻き取り部の間に設けられた下流側ローラと、
前記下流側ローラと前記巻き取り部との間に設けられており、前記下流側ローラと前記巻き取り部との間を通過する前記被熱処理物の下方にて当該被熱処理物と接触しない第１位置と、前記下流側ローラと前記巻き取り部の間を通過する前記被熱処理物を持ち上げることによって、前記第１位置に位置付けられた場合よりも前記被熱処理物と前記下流側ローラとの接触時間および接触面積が小さくする第２位置との間で昇降する昇降ローラとを有し、
前記ガイド部は、前記補強部のみを前記流体に浸漬した後に、当該補強部を前記流体から引き揚げつつ前記非晶質軟磁性合金を前記流体に浸漬するように前記被熱処理物をガイドする
非晶質軟磁性合金の熱処理装置。
【請求項５】
（Ａ）前記接合部が前記下流側ローラと接触する前は前記昇降ローラを前記第１位置に位置付け、（Ｂ）前記接合部が前記下流側ローラと接触する際に前記昇降ローラを前記第２位置に位置付け、（Ｃ）前記接合部が前記下流側ローラを通過した後に前記昇降ローラを前記第１位置に戻す制御部をさらに備える
ことを特徴とする請求項４に記載の非晶質軟磁性合金の熱処理装置。
【請求項６】
前記ガイド部はローラである、請求項４または５に記載の非晶質軟磁性合金の熱処理装置。
【請求項７】
前記非晶質軟磁性合金を引き出す引き出し部と、
前記容器よりも上方で、かつ前記引き出し部と前記ガイド部の間に設けられた上流側ローラを有する、請求項４〜６のいずれか一項に記載の非晶質軟磁性合金の熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非晶質軟磁性合金の熱処理方法および非晶質軟磁性合金の熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧粉磁芯に用いられる軟磁性粉末としては、単ロール法等を用いて溶融した合金を帯状の非晶質軟磁性材料とし、当該非晶質軟磁性材料を粉砕して粉末状にしたものがある。
【０００３】
一方で、非晶質軟磁性材料をそのまま非晶質の状態で用いて圧粉磁芯を製造した場合、圧粉磁芯の形状に成型した状態で加熱すると、相変態に伴う発熱により合金温度が急上昇して結晶粒の粗大化や不純物の生成が引き起こされ、磁気特性が劣化する恐れがある。
【０００４】
そこで、特許文献１では非晶質軟磁性材料の少なくとも一部を結晶化した構造が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２９４４１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、非晶質軟磁性材料を結晶化するためには非晶質軟磁性材料を熱処理する必要がある。
【０００７】
しかしながら、帯状の非晶質軟磁性材料は、特に結晶化した後は非常に脆いため、熱処理の際に破断しやすいという問題があった。この点は加熱した液体中で帯状の非晶質軟磁性材料の加熱を行う際に特に顕著であった。
【０００８】
また、破断を防ぐためには帯状の非晶質軟磁性材料を引き出しロールと巻き取りロールに巻き付けた状態で、予め熱処理温度に保持した液体中に搬送経路を決めるガイドローラを介して浸漬する方法もある。しかしながらこの方法では非晶質軟磁性材料を浸漬する際に浸漬する前のガイドローラの温度と浸漬させた後のガイドローラの温度との間の温度差に起因して液体の温度が変化するため、熱処理温度が安定しないという問題があった。
【０００９】
本発明は上記課題を解決するためのものである。即ち、本発明の目的は非晶質軟磁性材料を破断させずに安定した熱処理温度で熱処理が可能な非晶質軟磁性合金の熱処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明の第１の態様は、
（ａ）帯状の被熱処理物を熱処理用の流体中にガイドするガイド部を、所定の温度に保持された前記流体に接触させ、前記被熱処理物を熱処理する温度に前記流体を保持し、
（ｂ）帯状の非晶質軟磁性合金と、帯状の補強部を帯の長さ方向に連結して前記被熱処理物を形成し、
（ｃ）前記被熱処理物のうち、前記補強部のみを前記流体に浸漬し、前記ガイド部のうち前記流体中にある部分に前記補強部の上面を接触させ、
（ｄ）前記ガイド部のうち前記流体中にある部分をガイドにして前記補強部を前記流体から引き揚げつつ前記非晶質軟磁性合金を前記流体に浸漬し、前記流体からの伝熱により少なくとも前記非晶質軟磁性合金の一部を結晶化させ、
（ｅ）熱処理後の前記非晶質軟磁性合金を前記流体から引き揚げ、巻き取り部と補助ローラで前記非晶質軟磁性合金を挟みながら前記巻き取り部に前記非晶質軟磁性合金を巻き取ることを有し、
前記（ｅ）は、前記流体の液面よりも上方で、かつ前記ガイド部と前記巻き取り部の間に設けられた下流側ローラに前記被熱処理物の下面側を接触させながら前記巻き取り部に前記非晶質軟磁性合金を巻き取り、
かつ、前記下流側ローラと前記巻き取り部の間に設けられた昇降ローラを、前記非晶質軟磁性合金と前記補強部との接合部が前記下流側ローラと接触する前は前記被熱処理物よりも下方で前記被熱処理物と接触しない位置に配置し、
前記非晶質軟磁性合金と前記補強部の接合部が前記下流側ローラと接触する際に前記補強部を持ち上げて、持ち上げない場合と比べて前記接合部と前記下流側ローラとの接触時間および接触面積を小さくし、
前記接合部が前記下流側ローラを通過した後に前記昇降ローラを前記被熱処理物よりも下方で前記被熱処理物と接触しない位置に戻すこと、を有する非晶質軟磁性合金の熱処理方法である。
【００１１】
本発明の第２の態様は、
帯状の非晶質軟磁性合金と帯状の補強部とが接合部を介して互いに接合された帯状の被熱処理物に含まれる前記非晶質軟磁性合金を熱処理するための所定の温度に保持された流体を保持する容器と、
前記容器中に、前記流体が前記容器中に保持された状態で前記流体と少なくとも一部が接触する位置に設けられ、前記被熱処理物を熱処理用の流体中にガイドするガイド部と、
前記流体中を移動して当該流体から引き揚げられた前記被熱処理物を挟みながら巻き取る補助ローラ及び巻き取り部と、
前記流体の液面よりも上方で、かつ前記ガイド部と前記巻き取り部の間に設けられた下流側ローラと、
前記下流側ローラと前記巻き取り部との間に設けられており、前記下流側ローラと前記巻き取り部との間を通過する前記被熱処理物の下方にて当該被熱処理物と接触しない第１位置と、前記下流側ローラと前記巻き取り部の間を通過する前記被熱処理物を持ち上げることによって、前記第１位置に位置付けられた場合よりも前記被熱処理物と前記下流側ローラとの接触時間および接触面積が小さくする第２位置との間で昇降する昇降ローラとを有し、
前記ガイド部は、前記補強部のみを前記流体に浸漬した後に、当該補強部を前記流体から引き揚げつつ前記非晶質軟磁性合金を前記流体に浸漬するように前記被熱処理物をガイドする非晶質軟磁性合金の熱処理装置である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、非晶質軟磁性材料を破断させずに安定した熱処理温度で熱処理が可能な非晶質軟磁性合金の熱処理方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る熱処理装置１を示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る熱処理装置１を用いた非晶質軟磁性合金の熱処理方法を示すフロー図である。
【図３】本発明の実施形態に係る熱処理装置１を用いた非晶質軟磁性合金の熱処理方法を示す図である。
【図４】本発明の実施形態に係る熱処理装置１を用いた非晶質軟磁性合金の熱処理方法を示す図である。
【図５】本発明の実施形態に係る熱処理装置１を用いた非晶質軟磁性合金の熱処理方法を示す図である。
【図６】本発明の実施形態に係る熱処理装置１を用いた非晶質軟磁性合金の熱処理方法を示す図である。
【図７】本発明の実施形態に係る熱処理装置１を用いた非晶質軟磁性合金の熱処理方法を示す図である。
【図８】本発明の実施形態に係る熱処理装置１を用いた非晶質軟磁性合金の熱処理方法を示す図である。
【図９】本発明の実施形態に係る熱処理装置１を用いた非晶質軟磁性合金の熱処理方法を示す図である。
【図１０】比較例に係る熱処理装置５１を用いた非晶質軟磁性合金の熱処理方法を示す図である。
【図１１】比較例に係る熱処理装置５１を用いた非晶質軟磁性合金の熱処理方法を示す図である。
【図１２】比較例に係る熱処理装置５１を用いた非晶質軟磁性合金の熱処理方法を示す図である。
【図１３】実施例および比較例における熱処理中の塩浴中の温度の時間による変動を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
まず、図１を参照して本実施形態に係る熱処理装置１の構成について説明する。
【００１６】
ここでは熱処理装置１として、帯状の非晶質軟磁性合金を熱処理により結晶化する装置が例示されている。なお、以下の説明における「結晶化」とはナノ結晶を析出させることをいい、非晶質軟磁性合金がＦｅ基軟磁性合金の場合はα鉄相等のナノ結晶を析出させることをいう。
【００１７】
図１に示すように熱処理装置１は、帯状の非晶質軟磁性合金を熱処理する流体２１を保持する容器２２と、容器２２中において、流体２１が容器２２中に保持された状態で流体２１と少なくとも一部が接触する位置に設けられ、前記非晶質軟磁性合金を流体２１中にガイドするガイド部としてのガイドローラ１３を有する。
【００１８】
なお、熱処理装置１は流体２１を加熱するためのヒータ２３を容器２２の周囲に有している。
【００１９】
熱処理装置１はまた、熱処理後の非晶質軟磁性合金を巻き取る、巻き取り部としての巻き取りロール１６と、巻き取りロール１６と協働して前記非晶質軟磁性合金を挟みこむ補助ローラ１７を有する。補助ローラ１７はここでは巻き取りロール１６の上方に設けられている。なお、ここでいう「上方に設けられている」とは一方の部材が鉛直方向においてより高い位置に設けられていることを意味し、以下の説明でも同様とする。例えば図１では矢印Ａで表される向きが鉛直上向きを意味するため、Ａの向きに対して高い方が「上方」になる。逆にＡの向きに対して低い方が「下方」になる。
【００２０】
さらに、以下の定義ではＡの向きを「上向き」とし、Ａと並行で逆の向きであるＢの向きを「下向き」とする。
【００２１】
熱処理装置１はさらに、容器２２よりも上方、より正確には流体２１の液面４１よりも上方で、ガイドローラ１３と巻き取りロール１６の間に設けられた下流側ローラ１４と、下流側ローラ１４と巻き取りロール１６の間に設けられ、前記下流側ローラ１４と巻き取りロール１６の上端を結ぶ面である搬送経路３１をまたぐように上下動可能な昇降ローラ１５を有する。ここで、上下動とは、図１のＡおよびＢの向きに移動することを示す。昇降ローラ１５は下限位置１５ａおよび上限位置１５ｂの間を図示しない駆動装置を用いて移動可能である。
【００２２】
また、熱処理装置１は非晶質軟磁性合金を引き出す引き出し部としての引き出しロール１１と、容器２２よりも上方、より正確には流体２１の液面４１よりも上方で、かつ引き出しロール１１とガイドローラ１３の間に設けられた上流側ローラ１２を有する。
【００２３】
なお図１には、熱処理の際の帯状の非晶質軟磁性合金の搬送経路３１を点線で示している。即ち、詳細は後述するが、非晶質軟磁性合金は引き出しロール１１から引き出された後で上流側ローラ１２と非晶質軟磁性合金の下面、即ち鉛直方向下側の面とが接触し、ガイドローラ１３と非晶質軟磁性合金の上面、即ち鉛直方向上側の面とが接触し、下流側ローラ１４と非晶質軟磁性合金の下面とが接触しながら搬送経路３１を搬送され、巻き取りロール１６と補助ローラ１７との間に挟み込まれながら巻き取りロール１６に巻き取られる。また、この過程で非晶質軟磁性合金の表面の少なくとも一部が流体２１と接触することにより、流体２１からの伝熱で非晶質軟磁性合金が熱処理され、非晶質軟磁性合金の少なくとも一部が結晶化される。 
以上が熱処理装置１の構成の説明である。
【００２４】
次に、熱処理装置１を用いた熱処理方法について、図２〜図９を参照して説明する。
【００２５】
なお、以下に示す熱処理方法は、各手順を作業者が行ってもよいし、制御部を有するロボット等を用いて自動で行ってもよい。
【００２６】
また、熱処理前の状態では、昇降ローラ１５は下限位置１５ａにあるものとする。
【００２７】
まず、作業者またはロボットの制御部は、容器２２内の流体２１がガイドローラ１３と接触した状態にして、ヒータ２３を用いて流体２１を加熱し、保持する（図２のＳ１）。この際の保持温度は、図３に示す非晶質軟磁性合金３２を熱処理する温度である。
【００２８】
流体２１としては非晶質軟磁性合金３２と反応せずに熱処理が可能であり、かつ熱処理温度で流体である材料であれば特に限定されるものではない。例えば流体２１としてはＳｎ等の溶融金属や硝酸系の溶融塩を例示できる。
【００２９】
次に、作業者またはロボットは、引き出しロール１１に帯状の非晶質軟磁性合金３２を巻き付ける等して取り付ける（図２のＳ２）。
【００３０】
なお、非晶質軟磁性合金３２はここでは例えばＦｅ基の材料が挙げられるが、これに限定されるものではない。
【００３１】
次に、作業者またはロボットは図３に示すような帯状の補強部３３を用意し、補強部３３の長さ方向の端部と、非晶質軟磁性合金３２の長さ方向の端部とを、帯の長さ方向に接合する（図２のＳ３）。ここでは図３に示す接合された部分を接合部３４と称する。
【００３２】
補強部３３を構成する材料は、比熱がある程度大きく、非晶質軟磁性合金３２の端部を保護し、流体２１に浸漬した時、化学的に安定で、かつ、流体２１に浸漬した状態で巻き取りによって発生する張力で破断しない程度の機械的強度を有する材質であれば、特に限定されない。
【００３３】
さらに、補強部３３の材料としては、非晶質軟磁性合金３２の比熱、熱伝導率および線膨張係数と近い数値の材料が好ましい。
【００３４】
以上の条件を満たす材料としては、例えば非晶質軟磁性合金３２がＦｅ基軟磁性合金の場合、ニッケルが挙げられる。
【００３５】
また、補強部３３の形状・寸法は、非晶質軟磁性合金３２の幅および厚さと近い寸法を有する帯状の形状が好ましい。
【００３６】
さらに、非晶質軟磁性合金３２と補強部３３の接合方法としては例えば溶接が挙げられるが、後述する巻き取りによって発生する張力で接合部３４が破断しない方法であれば、溶接には限定されない。
【００３７】
なお、非晶質軟磁性合金３２と補強部３３を接合したものをここでは被熱処理物３５（図３参照）と称す。
【００３８】
次に、作業者またはロボットは図３に示すように搬送経路３１に沿って被熱処理物３５を配置し、補強部３３のみを流体２１に浸漬する（図２のＳ４）。
【００３９】
即ち、被熱処理物３５のうち、補強部３３のみを流体２１に浸漬し、ガイドローラ１３のうち流体２１にある部分に補強部３３の上面を接触させる。さらに補強部３３の長さ方向の開放端を下流側ローラ１４を介して巻き取りロール１６に巻き付ける。
【００４０】
次に、作業者またはロボットは図４に示すように非晶質軟磁性合金３２の熱処理を開始する（図２のＳ５）。
【００４１】
具体的には、作業者またはロボットは巻き取りロール１６を駆動して被熱処理物３５を搬送経路３１に沿って図４のＣの向きに搬送し、ガイドローラ１３のうち流体２１中にある部分をガイドにして補強部３３を流体２１から引き揚げる。
【００４２】
この際、非晶質軟磁性合金３２は補強部３３と連結されているため、引き出しロール１１から引き出され、上流側ローラ１２と非晶質軟磁性合金３２の下面が接触しつつ図４に示すように流体２１に浸漬され、ガイドローラ１３のうち流体２１にある部分と接触する。
【００４３】
この状態では、非晶質軟磁性合金３２は流体２１からの伝熱により少なくともその一部が結晶化する。
【００４４】
非晶質軟磁性合金３２は巻き取りロール１６の回転速度に対応した時間だけ熱処理され、図５に示すように流体２１から引き揚げられることにより熱処理が終了する。
【００４５】
ここで、作業者または制御部は搬送経路３１における接合部３４の位置を確認し、下流側ローラ１４と接触しているか、あるいは接触する直前か否かを判断し、接触している場合か、あるいは接触する直前の場合はＳ７に進み、それ以外は熱処理を続ける（図２のＳ６）。
【００４６】
接合部３４が下流側ローラ１４と接触している場合か、あるいは接触する直前の場合は図６に示すように昇降ローラ１５を上向き、即ちＡの向きに駆動して補強部３３を持ち上げて、持ち上げない場合と比べて、接合部３４と下流側ローラ１４との接触時間および接触面積を小さくする（図２のＳ７）。ここでは昇降ローラ１５を上限位置１５ｂまで持ち上げる。
【００４７】
次に、作業者またはロボットは搬送経路３１における接合部３４の位置を確認し、接合部３４が下流側ローラ１４を通過したか、あるいは下流側ローラ１４と接触しなくなったか否かを判断し、通過した場合はＳ９に進む（図２のＳ８）、なお、接合部３４が下流側ローラ１４を通過していない場合は、通過するまでＳ８の判断を続行する。
【００４８】
接合部３４が下流側ローラ１４を通過した場合は、昇降ローラ１５を図７のＢの向きに下降させて被熱処理物３５よりも下方で被熱処理物３５と接触しない位置、ここでは下限位置１５ａに戻す（図２のＳ９）。
【００４９】
このように、昇降ローラ１５を用いて接合部３４と下流側ローラ１４との接触時間および接触面積を小さくすること、理想としては接合部３４と下流側ローラ１４を非接触あるいは点接触とすることにより、接合部３４に曲げ応力が加わるのを防ぐことができ、熱処理による結晶化で脆化した非晶質軟磁性合金３２が、接合部３４を起点に破断するのを防ぐことができる。
【００５０】
この後は非晶質軟磁性合金を流体２１から引き揚げ、図８に示すように巻き取りロール１６と補助ローラ１７で非晶質軟磁性合金３２を挟みながら巻き取りロール１６に補強部３３を巻き取り、引き続いて図９に示すように非晶質軟磁性合金３２を巻き取る。このように、巻き取りロール１６と補助ローラ１７で被熱処理物３５を挟みながら巻き取ることにより、巻き取りロール１６のみを用いて巻き取る場合と比べて接合部３４に発生する曲げ応力を小さくすることができ、巻き取りの際に非晶質軟磁性合金３２が接合部３４を起点に破断するのを防ぐことができる。 
以上が熱処理装置１を用いた熱処理方法の説明である。
【００５１】
このように、本実施形態によれば、非晶質軟磁性合金３２を熱処理する際に非晶質軟磁性合金３２を補強部３３と連結し、ガイドローラ１３をガイドに補強部３３を流体２１に浸漬してから補強部３３を巻き取ることにより非晶質軟磁性合金３２を流体２１中に浸漬して熱処理を行う。
【００５２】
そのため、非晶質軟磁性合金３２を破断させずに安定した熱処理温度で熱処理が可能である。
【実施例】
【００５３】
以下、実施例に基づき、本発明を具体的に説明する。
【００５４】
（実施例）
熱処理装置１を用いて非晶質軟磁性合金３２の熱処理による結晶化を試みた。具体的な手順は以下の通りである。
【００５５】
まず、非晶質軟磁性合金３２の原料として工業鉄、Ｆｅ−Ｂ、Ｆｅ−Ｐ、電気銅を秤量し、この原料を高周波溶解で溶解して合金化した。次に、溶解した合金を単ロール急冷法を用いて急冷し、帯状の非晶質軟磁性合金３２として幅４０ｍｍ、厚さ２５μｍ、組成式Ｆｅ８４．３Ｂ６Ｐ９Ｃｕ０．７ａｔ％のＦｅ基軟磁性合金薄帯を製造した。製造したＦｅ基軟磁性合金帯をＸ線回折法で測定した所、非晶質単相であることが確認された。なお以下の説明ではＸ線回折法をＸＲＤと略す。
【００５６】
次に、Ｆｅ基軟磁性合金薄帯を裁断機により幅３０ｍｍで長さ方向に切断し、熱処理前Ｆｅ基軟磁性合金薄帯とした。
【００５７】
次に熱処理装置１として、図１に示す装置を用意した。
【００５８】
次に、熱処理装置１の容器２２に硝酸系溶融塩の原料を投入し、ヒータ２３で当該原料を加熱・溶融して溶融塩とし、これを流体２１として用いた。溶融塩の温度は４４０℃に保持した。
【００５９】
次に幅３０ｍｍに切断した熱処理前のＦｅ基軟磁性合金薄帯を同じ幅の紙管に巻き、紙管ごと引き出しロール１１の回転軸に取りつけた。
【００６０】
次に、補強部３３として幅３０ｍｍ、厚さ２０μｍのニッケル帯を用意し、ニッケル帯の一端と熱処理前Ｆｅ基軟磁性合金薄帯の最外周の一端を溶接にて接合した。
【００６１】
次にニッケル帯の他端を巻き取りロール１６にテープで固定すると共に、図１で図示した搬送経路３１上に配置した。搬送経路３１の一部には溶融塩中も含まれているが、そこにはニッケル帯のみを配置し、接合部３４は上流側ローラ１２と溶融塩の液面４１の間に位置するように配置した。この状態から巻き取りロール１６の回転軸に取り付けられている図示しないモータを回転させて、ニッケル帯を巻き取ると共に熱処理前Ｆｅ基軟磁性合金薄帯を引き込んで、溶融塩に浸漬させて熱処理を開始した。
【００６２】
この時、Ｆｅ基軟磁性合金薄帯が溶融塩に浸漬している時間、即ち熱処理時間が４秒になるようにモータの回転数を調整した。熱処理開始後、接合部３４が溶融塩から出てきて下流側ローラ１４の手前の位置まで移動した時点で、昇降ローラ１５を上昇させて、接合部３４が下流側ローラ１４と接触しないようにした。接合部３４が下流側ローラ１４を通過した後は昇降ローラ１５を下降させて接合部３４が昇降ローラ１５と接触しないように通過させた。その後、接合部３４が巻き取りロール１６まで移動し、補助ローラ１７に挟まれながら、巻き取りロール１６で巻き取った。この熱処理方法により、接合部３４での熱処理後Ｆｅ基軟磁性合金薄帯の破断が発生することはなかった。これは、接合部３４にて発生する曲げ応力が０もしくは小さく抑制できたためと考えられる。接合部３４以降、熱処理後Ｆｅ基軟磁性合金薄帯は下流側ローラ１４を経由し、同様に巻き取りロール１６にて順次巻き取っていったが、熱処理後Ｆｅ基軟磁性合金薄帯の破断は発生せず、連続熱処理することができた。このようにして熱処理した薄帯をＸＲＤによるＸ線回折パターンを調べたところ、α−Ｆｅ結晶に由来するピークが確認でき、所望の熱処理と、それに伴う結晶化ができたことが確認できた。
【００６３】
（比較例）
次に、比較例として図１０〜図１２に示す熱処理装置５１を用いて実施例と同じＦｅ基軟磁性合金薄帯を同じ溶融塩を用いて同じ熱処理温度・熱処理時間で熱処理を行った。
【００６４】
図１０に示すように、比較例の熱処理装置５１は実施例の熱処理装置１と比べると、補助ローラ１７および昇降ローラ１５がないこと、ガイドローラ１３が熱処理前は流体２１中にないことのみが異なる。なお、図１０において、図１と同様の機能を果たす要素については同一の番号を付している。
【００６５】
この熱処理装置５１を用いて、以下の手順でＦｅ基軟磁性合金薄帯の熱処理を行った。
【００６６】
まず、図１０に示すように、帯状の非晶質軟磁性合金３２として、Ｆｅ基軟磁性合金薄帯を引き出しロール１１に取り付け、その後Ｆｅ基軟磁性合金薄帯の一端を巻き取りロール１６にテープで固定し、さらにＦｅ基軟磁性合金薄帯の下面を上流側ローラ１２と下流側ローラ１４に接触させた。この状態ではＦｅ基軟磁性合金薄帯のうち、上流側ローラ１２と下流側ローラ１４の間にある部分は上方にガイドローラ１３が、下方に流体２１が位置しており、かつガイドローラ１３、Ｆｅ基軟磁性合金薄帯および流体２１はいずれも互いに接触していない。また、この構成から明らかなように、比較例では補強部３３を使用しなかった。
【００６７】
次に、図１０に示す状態から図１１に示すように、ガイドローラ１３を図１１のＢの向きに移動してＦｅ基軟磁性合金薄帯ごと溶融塩に浸漬させ、図１２に示すように巻き取りロール１６を用いてＦｅ基軟磁性合金薄帯を巻き取りつつ、Ｆｅ基軟磁性合金薄帯の熱処理を行った。
【００６８】
その他の条件は実施例と同じとした。
【００６９】
実施例および比較例における熱処理中の流体２１の温度の時間による変動を図１３に示す。なお、流体２１の温度は、実施例、比較例のいずれも上流側ローラ１２の近傍で測定した。
【００７０】
図１３から明らかなように、実施例では熱処理開始から熱処理中の流体２１の温度変動が１℃以下であった。
【００７１】
一方で比較例では熱処理開始直後に大きく流体２１の温度が低下し、開始後５分で約１２℃まで温度が低下した。その後温度は緩やかに上昇したが、１時間経過しても熱処理直前の温度には戻らなかった。
【００７２】
以上の結果から、実施例では非晶質軟磁性材料を破断させずに安定した熱処理温度で熱処理が可能であることが分かった。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
以上、実施形態に基づき本発明を説明したが、これら実施形態は単に例を挙げて発明を説明するためのものである。よって、これら実施形態は本出願人が本発明の範囲をこれらに限定することを意味するものではない。当業者であれば、上記記載に基づき各種変形例および改良例に想到するのは当然である。よって当該変形例および改良例も本発明の範囲である。
【符号の説明】
【００７４】
１      ：熱処理装置
１１    ：引き出しロール
１２    ：上流側ローラ
１３    ：ガイドローラ
１４    ：下流側ローラ
１５    ：昇降ローラ
１５ａ  ：下限位置
１５ｂ  ：上限位置
１６    ：巻き取りロール
１７    ：補助ローラ
２１    ：流体
２２    ：容器
２３    ：ヒータ
３１    ：搬送経路
３２    ：非晶質軟磁性合金
３３    ：補強部
３４    ：接合部
３５    ：被熱処理物
４１    ：液面
５１    ：熱処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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