(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削ブレードで切削する切削手段と、該チャックテーブルをＸ軸方向に移動させる加工送り手段と、該切削手段をＸ軸方向に垂直なＹ軸方向に移動させる割り出し送り手段と、該被加工物を撮像する撮像手段と、を備える切削装置の該切削ブレードが屈折しているか否かを検出する切削ブレードの屈折検出方法であって、
該被加工物を保持した該チャックテーブルをＸ軸方向に移動させながら、Ｙ軸方向で第１の基準位置に位置付けた該切削ブレードを該被加工物に切り込ませて、第１の深さの第１切削溝を形成する第１切削溝形成ステップと、
該被加工物を保持した該チャックテーブルをＸ軸方向に移動させながら、Ｙ軸方向で第２の基準位置に位置付けた該切削ブレードを該被加工物に切り込ませて、第１の深さよりも深い第２の深さの第２切削溝を形成する第２切削溝形成ステップと、
該撮像手段で該第１切削溝と該第２切削溝とを撮像して、該第１切削溝のＹ軸方向の位置と該第２切削溝のＹ軸方向の位置とをそれぞれ測定する測定ステップと、
該第１切削溝のＹ軸方向の位置及び該第２切削溝のＹ軸方向の位置を用いて、該切削ブレードの屈折量を算出する算出ステップと、
該屈折量と、あらかじめ設定されている閾値と、を比較して、該屈折量が該閾値より大きい場合に該切削ブレードが屈折していると判定する判定ステップと、を備え、
該第１の基準位置と該第２の基準位置とが異なる場合には、該算出ステップにおいて、該第１の基準位置及び該第２の基準位置、又はこれらの位置関係を更に用いて、該切削ブレードの屈折量を算出することを特徴とする切削ブレードの屈折検出方法。
【請求項２】
該判定ステップで該切削ブレードが屈折していると判定された場合にアラームを発する報知ステップを更に備えることを特徴とする請求項１に記載の切削ブレードの屈折検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置に装着された切削ブレードが屈折しているか否かを検出する切削ブレードの屈折検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を複数のチップへと分割等する際には、スピンドルの先端部に環状の切削ブレードが装着された切削装置を使用することがある（例えば、特許文献１参照）。この切削ブレードは、ダイヤモンド等の砥粒を金属や樹脂等の結合材で固定して形成され（例えば、特許文献２参照）、高速に回転した状態で被加工物に切り込まれる。
【０００３】
ところで、上述した切削ブレードの先端部（刃先）は、被加工物の加工時に加わる外力によって屈折してしまうことがある。切削ブレードの先端部が屈折した状態で被加工物の加工を進めると、切削によって形成される切断面が傾斜して予定されている形状のチップを得られない。そのため、加工中の任意のタイミングで切削ブレードの先端部の形状を確認していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１２１１６号公報
【特許文献２】特開２０１２−８６２９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
切削ブレードの先端部の形状は、例えば、テスト用の被加工物を切削ブレードで切削した後、この被加工物に形成された切断面の形状を顕微鏡等で観察することにより確認できる。ところが、この確認方法では、切削装置を停止させた後に切断面を顕微鏡等で観察する必要があるので、作業効率の点で問題があった。
【０００６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削装置に装着された切削ブレードが屈折しているか否かを効率良く検出できる切削ブレードの屈折検出方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削ブレードで切削する切削手段と、該チャックテーブルをＸ軸方向に移動させる加工送り手段と、該切削手段をＸ軸方向に垂直なＹ軸方向に移動させる割り出し送り手段と、該被加工物を撮像する撮像手段と、を備える切削装置の該切削ブレードが屈折しているか否かを検出する切削ブレードの屈折検出方法であって、該被加工物を保持した該チャックテーブルをＸ軸方向に移動させながら、Ｙ軸方向で第１の基準位置に位置付けた該切削ブレードを該被加工物に切り込ませて、第１の深さの第１切削溝を形成する第１切削溝形成ステップと、該被加工物を保持した該チャックテーブルをＸ軸方向に移動させながら、Ｙ軸方向で第２の基準位置に位置付けた該切削ブレードを該被加工物に切り込ませて、第１の深さよりも深い第２の深さの第２切削溝を形成する第２切削溝形成ステップと、該撮像手段で該第１切削溝と該第２切削溝とを撮像して、該第１切削溝のＹ軸方向の位置と該第２切削溝のＹ軸方向の位置とをそれぞれ測定する測定ステップと、該第１切削溝のＹ軸方向の位置及び該第２切削溝のＹ軸方向の位置を用いて、該切削ブレードの屈折量を算出する算出ステップと、該屈折量と、あらかじめ設定されている閾値と、を比較して、該屈折量が該閾値より大きい場合に該切削ブレードが屈折していると判定する判定ステップと、を備え、該第１の基準位置と該第２の基準位置とが異なる場合には、該算出ステップにおいて、該第１の基準位置及び該第２の基準位置、又はこれらの位置関係を更に用いて、該切削ブレードの屈折量を算出することを特徴とする切削ブレードの屈折検出方法が提供される。
【００１０】
本発明において、該判定ステップで該切削ブレードが屈折していると判定された場合にアラームを発する報知ステップを更に備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る切削ブレードの屈折検出方法では、被加工物に対する切り込み深さを変えて形成される第１切削溝と第２切削溝との位置を用いて、切削ブレードが屈折しているか否かを検出するので、従来のように、切削装置を停止させたり、切断面を顕微鏡等で観察したりする必要がない。
【００１２】
よって、本発明に係る切削ブレードの屈折検出方法によれば、切削装置に装着された切削ブレードが屈折しているか否かを効率良く検出できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】切削装置の構成例を模式的に示す図である。。
【図２】切削ユニットの構造を模式的に示す分解斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は、正常な切削ブレードを模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、正常な切削ブレードで切削された被加工物を模式的に示す断面図である。
【図４】図４（Ａ）は、切り刃が屈折した切削ブレードを模式的に示す断面図であり、図４（Ｂ）は、切り刃が屈折した切削ブレードで切削された被加工物を模式的に示す断面図である。
【図５】図５（Ａ）は、第１切削溝形成ステップ等を模式的に示す断面図であり、図５（Ｂ）は、第２切削溝形成ステップ等を模式的に示す断面図である。
【図６】切削ブレードの屈折量等の関係を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に係る切削ブレードの屈折検出方法は、第１切削溝形成ステップ（図５（Ａ）参照）、第２切削溝形成ステップ（図５（Ｂ）参照）、測定ステップ（図５（Ａ）及び図５（Ｂ）参照）、算出ステップ（図５（Ａ）、図５（Ｂ）、及び図６参照）、判定ステップ、及び報知ステップを含む。
【００１５】
第１切削溝形成ステップでは、Ｙ軸方向で第１の基準位置に位置付けた切削ブレードを被加工物に切り込ませて、第１の深さの第１切削溝を形成する。第２切削溝形成ステップでは、Ｙ軸方向で第２の基準位置に位置付けた切削ブレードを被加工物に切り込ませて、第１の深さよりも深い第２の深さの第２切削溝を形成する。
【００１６】
測定ステップでは、第１切削溝のＹ軸方向の位置と第２切削溝のＹ軸方向の位置とをそれぞれ測定する。算出ステップでは、第１切削溝のＹ軸方向の位置及び第２切削溝のＹ軸方向の位置を用いて、切削ブレードの屈折量を算出する。
【００１７】
判定ステップでは、算出された屈折量と、あらかじめ設定されている閾値と、を比較して、屈折量が閾値より大きい場合に切削ブレードが屈折していると判定する。報知ステップでは、切削ブレードが屈折していると判定された場合にアラームを発する。以下、本実施形態に係る切削ブレードの屈折検出方法について詳述する。
【００１８】
まず、本実施形態に係る切削ブレードの屈折検出方法が実施される切削装置の例について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置の構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、切削装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。
【００１９】
基台４の前方の角部には、矩形の開口４ａが形成されており、この開口４ａ内には、カセット支持台６が昇降可能に設置されている。カセット支持台６の上面には、複数の被加工物１１を収容する直方体状のカセット８が載せられる。なお、図１では、説明の便宜上、カセット８の輪郭のみを示している。
【００２０】
被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハであり、下面側には、大径のダイシングテープ１３が貼り付けられている。ダイシングテープ１３の外周部分は、環状のフレーム１５に固定されている。すなわち、被加工物１１は、ダイシングテープ１３を介してフレーム１５に支持されている。
【００２１】
なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状等に制限はない。例えば、セラミック、樹脂、金属等の材料でなる基板を被加工物１１として用いることもできる。
【００２２】
カセット支持台６の側方には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い矩形の開口４ｂが形成されている。この開口４ｂ内には、Ｘ軸移動テーブル１０、Ｘ軸移動テーブル１０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（加工送り手段）（不図示）及びＸ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー１２が設けられている。
【００２３】
Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備えており、Ｘ軸ガイドレールには、Ｘ軸移動テーブル１０がスライド可能に取り付けられている。Ｘ軸移動テーブル１０の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールに平行なＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。
【００２４】
Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させることで、Ｘ軸移動テーブル１０は、Ｘ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。
【００２５】
Ｘ軸移動テーブル１０の上方には、被加工物１１を保持するチャックテーブル１４が設けられている。チャックテーブル１４の周囲には、被加工物１１を支持する環状のフレーム１５を四方から固定する４個のクランプ１６が設置されている。
【００２６】
チャックテーブル１４は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１４は、上述のＸ軸移動機構でＸ軸方向に移動（加工送り）される。
【００２７】
チャックテーブル１４の上面は、被加工物１１を保持する保持面１４ａとなっている。この保持面１４ａは、チャックテーブル１４の内部に形成された吸引路（不図示）等を通じて吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル１４に近接する位置には、被加工物１１を搬送する搬送ユニット（不図示）が設けられている。
【００２８】
基台４の上面には、２組の切削ユニット（切削手段）２２を支持する門型の支持構造２４が、開口４ｂを跨ぐように配置されている。支持構造２４の前面上部には、各切削ユニット２２をＹ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる２組の切削ユニット移動機構（割り出し送り手段、昇降手段）２６が設けられている。
【００２９】
各切削ユニット移動機構２６は、支持構造２４の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２８を共通に備えている。Ｙ軸ガイドレール２８には、各切削ユニット移動機構２６を構成するＹ軸移動プレート３０がスライド可能に取り付けられている。
【００３０】
各Ｙ軸移動プレート３０の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２８に平行なＹ軸ボールネジ３２がそれぞれ螺合されている。各Ｙ軸ボールネジ３２の一端部には、Ｙ軸パルスモータ３４が連結されている。Ｙ軸パルスモータ３４でＹ軸ボールネジ３２を回転させれば、Ｙ軸移動プレート３０は、Ｙ軸ガイドレール２８に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００３１】
各Ｙ軸移動プレート３０の表面（前面）には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３６が設けられている。Ｚ軸ガイドレール３６には、Ｚ軸移動プレート３８がスライド可能に取り付けられている。
【００３２】
各Ｚ軸移動プレート３８の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３６に平行なＺ軸ボールネジ４０がそれぞれ螺合されている。各Ｚ軸ボールネジ４０の一端部には、Ｚ軸パルスモータ４２が連結されている。Ｚ軸パルスモータ４２でＺ軸ボールネジ４０を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３８は、Ｚ軸ガイドレール３６に沿ってＺ軸方向に移動する。
【００３３】
各Ｚ軸移動プレート３８の下部には、切削ユニット２２が設けられている。この切削ユニット２２には、円環状の切削ブレード４６が装着されている。また、切削ユニット２２に隣接する位置には、被加工物１１等を撮像するカメラ（撮像手段）４８が設置されている。
【００３４】
各切削ユニット移動機構２６でＹ軸移動プレート３０をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット２２及びカメラ４８は、Ｘ軸方向に垂直なＹ軸方向に移動（割り出し送り）される。また、各切削ユニット移動機構２６でＺ軸移動プレート３８をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット２２及びカメラ４８は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に垂直なＺ軸方向に移動（昇降）される。
【００３５】
開口４ｂに対して開口４ａと反対側の位置には、円形の開口４ｃが形成されている。開口４ｃ内には、切削後の被加工物１１等を洗浄する洗浄ユニット５０が設けられている。Ｘ軸移動機構、チャックテーブル１４、切削ユニット２２、切削ユニット移動機構２６、カメラ４８、洗浄ユニット５０等の構成要素は、制御ユニット５２に接続されている。
【００３６】
制御ユニット５２は、各種の処理を行う演算部５２ａと、制御用のソフトウェアや切削条件、切削ブレード４６が屈折しているか否かを判定する際の判定基準（閾値）等を記憶する記憶部５２ｂと、を備えており、被加工物１１を適切に切削できるように各部の動作を制御する。
【００３７】
図２は、切削ユニット２２の構造を模式的に示す分解斜視図である。なお、図２では、切削ユニット２２の構成要素の一部が省略されている。切削ユニット２２は、Ｚ軸移動プレート３８の下部に固定された筒状のスピンドルハウジング５４を備えている。スピンドルハウジング５４の内部には、Ｙ軸方向に平行な回転軸を構成するスピンドル５６が収容されている。
【００３８】
スピンドル５６の一端部は、スピンドルハウジング５４から外部に突出している。一方、スピンドル５６の他端側には、スピンドル５６を回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。
【００３９】
このスピンドル５６の一端部には、フランジ部材５８が装着される。フランジ部材５８は、円盤状のフランジ部６０と、フランジ部６０の表裏面中央からそれぞれ突き出た第１ボス部６２及び第２ボス部６４と、を含む。フランジ部材５８の中央には、第１ボス部６２、フランジ部６０及び第２ボス部６４を貫通する開口５８ａが形成されている。
【００４０】
フランジ部材５８の開口５８ａには、裏面側（スピンドルハウジング５４側）からスピンドル５６の一端部が嵌め込まれる。この状態で、開口５８ａ内にワッシャー６６を配置し、当該ワッシャー６６を通じて固定用のボルト６８をスピンドル５６のボルト穴５６ａに締め込めば、フランジ部材５８はスピンドル５６に固定される。
【００４１】
フランジ部６０の外周側の表面は、切削ブレード４６の裏面に接する接触面６０ａとなる。この接触面６０ａは、スピンドル５６の軸心方向（Ｙ軸方向）から見て円環状に形成されている。
【００４２】
第１ボス部６２は円筒状に形成されており、その先端側の外周面６２ａには、ネジ山が設けられている。切削ブレード４６の中央には、円形の開口４６ａが形成されている。この開口４６ａに第１ボス部６２を通すことで、切削ブレード４６は、フランジ部材５８に装着される。
【００４３】
切削ブレード４６は、いわゆるハブブレードであり、円盤状の支持基台７０の外周に、被加工物１１を切削するための円環状の切り刃７２が固定されている。切り刃７２は、例えば、金属や樹脂等のボンド材（結合材）に、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic  Boron  Nitride）等の砥粒を混合して所定の厚みに形成される。なお、切削ブレード４６として、切り刃のみで構成されたワッシャーブレードを用いてもよい。
【００４４】
この切削ブレード４６をフランジ部材５８に装着した状態で、切削ブレード４６の表面側には、円環状のプレート部材７４が配置される。プレート部材７４の中央部には、円形の開口７４ａが形成されており、当該開口７４ａの内壁面には、第１ボス部６２の外周面６２ａに形成されたネジ山に対応するネジ溝が設けられている。
【００４５】
プレート部材７４の外周側の裏面は、切削ブレード４６の表面に接する接触面（不図示）となる。接触面は、フランジ部材５８の接触面６０ａに対応する位置に設けられている。プレート部材７４の開口７４ａに、第１ボス部６２の先端を締め込むことで、切削ブレード４６は、フランジ部材５８とプレート部材７４とで挟持される。
【００４６】
このように構成された切削装置２で被加工物１１を切削する際には、まず、被加工物１１をカセット８から搬出してチャックテーブル１４に保持させる。次に、チャックテーブル１４を回転させて、被加工物１１に設定されている切削予定ラインをＸ軸方向に合わせる。また、チャックテーブル１４と切削ユニット２２とを相対的に移動させて、切削予定ラインの延長線上に切削ブレード４６を合わせる。
【００４７】
その後、切削ブレード４６を回転させつつ被加工物１１に接触可能な高さまで下降させ、更に、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動（加工送り）させる。これにより、切削予定ラインに沿って切削ブレード４６を切り込ませて被加工物１１を切削できる。切削後の被加工物１１は、例えば、チャックテーブル１４から搬出されて、洗浄ユニット５０で洗浄される。
【００４８】
図３（Ａ）は、正常な切削ブレード４６を模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、正常な切削ブレード４６で切削された被加工物１１を模式的に示す断面図である。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、切り刃７２が屈折していない正常な切削ブレード４６で被加工物１１を切削すると、切削ブレード４６が切り込まれた被加工物１１の上面１１ａ側には、Ｚ軸方向に平行な側面を持つ切削溝１７が形成される。
【００４９】
一方で、切削時に加わる外力等によって切り刃７２が屈折すると、切り刃７２の形状に応じて切削溝１７の側面も傾斜してしまう。図４（Ａ）は、切り刃７２が屈折した切削ブレード４６を模式的に示す断面図であり、図４（Ｂ）は、切り刃７２が屈折した切削ブレード４６で切削された被加工物１１を模式的に示す断面図である。
【００５０】
本実施形態に係る切削ブレードの屈折検出方法では、このような加工精度の低下を防ぐことができるように、切削ブレード４６（切り刃７２）が屈折しているか否かを検出する。なお、切削ブレードの屈折検出方法を構成する以下の各ステップは、制御ユニット５２の指示に基づいて遂行される。
【００５１】
本実施形態に係る切削ブレードの屈折検出方法では、まず、第１の深さの第１切削溝を被加工物１１に形成する第１切削溝形成ステップを実施する。図５（Ａ）は、第１切削溝形成ステップ等を模式的に示す断面図である。この第１切削溝形成ステップでは、まず、被加工物１１を保持したチャックテーブル１４と切削ユニット２２とを相対的に移動させて、第１切削溝が形成される第１切削溝形成予定ライン（不図示）の延長線上に切削ブレード４６を合わせる。
【００５２】
具体的には、Ｙ軸方向で第１切削溝形成予定ラインに対応する第１の基準位置ｙ１に切削ブレード４６を位置付ける。そして、この切削ブレード４６を回転させつつ被加工物１１に接触可能な第１の高さまで下降させ、更に、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動（加工送り）させる。これにより、被加工物１１の上面１１ａ側に切削ブレード４６を切り込ませて、第１の深さｚ１の第１切削溝１７ａをＸ軸方向に形成できる。
【００５３】
第１切削溝形成ステップの後には、第１の深さｚ１よりも深い第２の深さの第２切削溝を被加工物１１に形成する第２切削溝形成ステップを実施する。図５（Ｂ）は、第２切削溝形成ステップ等を模式的に示す断面図である。第２切削溝形成ステップでは、まず、被加工物１１を保持したチャックテーブル１４と切削ユニット２２とを相対的に移動させて、第２切削溝が形成される第２切削溝形成予定ライン（不図示）の延長線上に切削ブレード４６を合わせる。
【００５４】
具体的には、Ｙ軸方向で第２切削溝形成予定ラインに対応する第２の基準位置ｙ２に切削ブレード４６を位置付ける。なお、第２の基準位置ｙ２は、上述した第１の基準位置ｙ１とは異なる位置に設定されることが望ましい。ただし、第１切削溝１７ａと重ならない第２切削溝１７ｂを形成できるのであれば、第１の基準位置ｙ１と同じ位置に第２の基準位置ｙ２を設定しても良い。本実施形態では、主に、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２とが異なる場合について説明する。
【００５５】
次に、切削ブレード４６を回転させつつ被加工物１１に接触可能な第２の高さまで下降させ、更に、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動させる。ここで、第２の高さは、第１の高さより低くなるように設定される。すなわち、第２切削溝形成ステップでは、第１切削溝形成ステップよりもチャックテーブル１４の保持面１４ａに近い位置に切削ブレード４６が位置付けられる。これにより、被加工物１１の上面１１ａ側に切削ブレード４６を切り込ませて、第１の深さｚ１よりも深い第２の深さｚ２の第２切削溝１７ｂをＸ軸方向に形成できる。
【００５６】
なお、上述した第１切削溝形成ステップ及び第２切削溝形成ステップでは、第１の基準位置ｙ１及び第２の基準位置ｙ２がそれぞれ設定されても良いし、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２との位置関係（代表的には、オフセット量（ｙ１−ｙ２））のみが設定されても良い。少なくとも、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２との位置関係が分かれば、後の算出ステップで切削ブレード４６の屈折量を算出できる。
【００５７】
切削ブレード４６（切り刃７２）が屈折している場合には、上述の第１切削溝形成ステップで形成される第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置は、切削ブレード４６の第１の高さに応じて第１の基準位置ｙ１からずれる。同様に、第２切削溝形成ステップで形成される第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置も、切削ブレード４６の第２の高さに応じて第２の基準位置ｙ２からずれる。
【００５８】
そこで、第１切削溝形成ステップ及び第２切削溝形成ステップの後には、第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置と第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置とをそれぞれ測定する測定ステップを実施する。測定ステップでは、まず、カメラ４８を第１切削溝１７ａ及び第２切削溝１７ｂの上方に移動させて、被加工物１１の上面１１ａ側をそれぞれ撮像する。これにより、第１切削溝１７ａの開口を含む画像と、第２切削溝１７ｂの開口を含む画像とが形成される。形成された画像は、記憶部５２ｂに記憶される。
【００５９】
次に、制御ユニット５２は、上述の画像に基づいて、第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置ｙ１´と、第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置ｙ２´と、をそれぞれ求める（図５（Ａ）、図５（Ｂ））。制御ユニット５２にとって、画像形成時のカメラ４８の位置（座標）は既知なので、形成された画像に基づいて、位置ｙ１´と位置ｙ２´とを求めることができる。図５（Ａ）及び図５（Ｂ）には、第１の基準位置ｙ１と位置ｙ１´とのずれ量Δｙ１及び第２の基準位置ｙ２と位置ｙ２´とのずれ量Δｙ２を併せて示している。
【００６０】
なお、本実施形態では、第１切削溝１７ａの開口を幅方向（Ｙ軸方向）に二等分する点を位置ｙ１´とし、第２切削溝１７ｂの開口を幅方向（Ｙ軸方向）に二等分する点を位置ｙ２´としているが、本発明はこの態様に限定されない。例えば、第１切削溝１７ａの開口の縁を第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置とし、第２切削溝１７ｂの開口の縁を第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置としても良い。このようにして求められた位置ｙ１´と位置ｙ２´とは、記憶部５２ｂに記憶される。
【００６１】
測定ステップの後には、第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置ｙ１´及び第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置ｙ２´に基づいて切削ブレードの屈折量を算出する算出ステップを実施する。本実施形態では、この屈折量として、切削ブレード４６の傾きを算出する。図６は、切削ブレード４６の傾き等の関係を模式的に示す図である。
【００６２】
図６に示すように、切削ブレード４６の傾き（屈折量）θは、第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置ｙ１´、第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置ｙ２´、第１の基準位置ｙ１及び第２の基準位置ｙ２（又は、これらの位置関係（ｙ１−ｙ２））を用いて、下記式（１）で表現される。
【００６３】
【数１】
0006537423.tif 000002
【００６４】
すなわち、切削ブレード４６の傾きθは、下記式（２）から算出される。なお、｜ｚ１−ｚ２｜の値は、第１切削溝形成ステップにおける切削ブレード４６の第１の高さと、第２切削溝形成ステップにおける切削ブレード４６の第２の高さとの差に相当し、制御ユニット５２にとって既知である。傾きθの算出は、演算部５２ａで遂行され、算出された傾きθは、記憶部５２ｂに記憶される。
【００６５】
【数２】
0006537423.tif 000003
【００６６】
算出ステップの後には、算出された傾き（屈折量）θと、あらかじめ設定されている閾値と、を比較して、屈折量が閾値より大きい場合に切削ブレード４６が屈折していると判定する判定ステップを実施する。具体的には、記憶部５２ｂにあらかじめ記憶されている閾値θｔｈと、算出ステップで算出された傾きθと、を比較して、例えば、θ＞θｔｈを満たす場合に切削ブレード４６が屈折していると判定する。閾値θｔｈは、加工装置２に要求される加工精度等に応じて任意に設定できる。また、この比較は、演算部５２ａにおいて遂行される。
【００６７】
判定ステップにおいて切削ブレード４６が屈折していると判定された場合には、オペレータ等に対してアラームを発する報知ステップを実施する。アラームとしては、例えば、警告灯の点灯や、スピーカーからの警告音の発生、ディスプレイへの警告表示等が任意に用いられる。
【００６８】
以上のように、本実施形態に係る切削ブレードの屈折検出方法では、被加工物１１に対する切り込み深さを変えて形成される第１切削溝１７ａと第２切削溝１７ｂとの位置を用いて、切削ブレード４６が屈折しているか否かを検出するので、従来のように、切削装置２を停止させたり、切断面を顕微鏡等で観察したりする必要がない。そのため、切削装置２に装着された切削ブレード４６が屈折しているか否かを効率良く検出できる。
【００６９】
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２とが異なる場合について説明しているが、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２とが同じ場合にも、同様の手順で切削ブレード４６が屈折しているか否かを検出できる。
【００７０】
この場合には、ｙ１＝ｙ２であり、ｙ１−ｙ２＝０となる。よって、切削ブレード４６の傾き（屈折量）θは、この条件を上記式（１）に代入した下記式（３）で表現される。
【００７１】
【数３】
0006537423.tif 000004
【００７２】
すなわち、切削ブレード４６の傾きθは、下記式（４）から算出される。式（４）から、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２とが同じ場合には、第１切削溝のＹ軸方向の位置ｙ１´及び第２切削溝のＹ軸方向の位置ｙ２´を用い、第１の基準位置ｙ１及び第２の基準位置ｙ２（これらの位置関係（ｙ１−ｙ２））を用いることなく切削ブレード４６の傾きθを算出できるのが分かる。傾きθの算出は、演算部５２ａで遂行され、算出された傾きθは、記憶部５２ｂに記憶される。
【００７３】
【数４】
0006537423.tif 000005
【００７４】
また、上記実施形態では、第１切削溝形成ステップの後に、第２切削溝形成ステップを実施しているが、第２切削溝形成ステップの後に、第１切削溝形成ステップを実施しても良い。
【００７５】
また、上記実施形態では、第１切削溝形成ステップ及び第２切削溝形成ステップの後に測定ステップを実施しているが、例えば、第１切削溝形成ステップの後に、第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置ｙ１´を測定し、第２切削溝形成ステップの後に、第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置ｙ２´を測定することもできる。
【００７６】
更に、上記実施形態では、屈折量として、切削ブレード４６の傾きθを算出しているが、第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置ｙ１´と第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置ｙ２´との差から、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２との差（オフセット量）を引いた値｜ｙ１´−ｙ２´−（ｙ１−ｙ２）｜等を屈折量としても良い。
【００７７】
また、上記実施形態では、判定ステップにおいて切削ブレード４６が屈折していると判定された場合に報知ステップを実施しているが、切削ブレード４６の交換作業を自動で行う場合等には、報知ステップを省略することもできる。
【００７８】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００７９】
１１  被加工物
１１ａ  上面
１３  ダイシングテープ
１５  フレーム
１７  切削溝
１７ａ  第１切削溝
１７ｂ  第２切削溝
θ  傾き（屈折量）
２  切削装置
４  基台
４ａ，４ｂ，４ｃ  開口
６  カセット支持台
８  カセット
１０  Ｘ軸移動テーブル
１２  防塵防滴カバー
１４  チャックテーブル
１４ａ  保持面
１６  クランプ
２２  切削ユニット（切削手段）
２４  支持構造
２６  切削ユニット移動機構（割り出し送り手段）
２８  Ｙ軸ガイドレール
３０  Ｙ軸移動プレート
３２  Ｙ軸ボールネジ
３４  Ｙ軸パルスモータ
３６  Ｚ軸ガイドレール
３８  Ｚ軸移動プレート
４０  Ｚ軸ボールネジ
４２  Ｚ軸パルスモータ
４６  切削ブレード
４６ａ  開口
４８  カメラ（撮像手段）
５０  洗浄ユニット
５２  制御ユニット
５２ａ  演算部
５２ｂ  記憶部
５４  スピンドルハウジング
５６  スピンドル
５６ａ  ボルト穴
５８  フランジ部材
５８ａ  開口
６０  フランジ部
６０ａ  接触面
６２  第１ボス部
６２ａ  外周面
６４  第２ボス部
６６  ワッシャー
６８  ボルト
７０  支持基台
７２  切り刃
７４  プレート部材
７４ａ  開口
【図１】
0006537423.tif 000006
【図２】
0006537423.tif 000007
【図３】
0006537423.tif 000008
【図４】
0006537423.tif 000009
【図５】
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【図６】
0006537423.tif 000011