(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カルボキシル基を含む重合単位と、アルコキシシリル基を含む重合単位とを有効成分として含有する共重合体が溶媒に溶解された絶縁膜形成用アルカリ可溶性樹脂溶液であって、
前記溶媒は、アルキル基の炭素数が４又は５の直鎖又は分岐鎖を有するアルコールを含むことを特徴とする絶縁膜形成用アルカリ可溶性樹脂溶液。
【請求項２】
前記カルボキシル基を含む重合単位は不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物又はこれらの混合物から誘導される重合単位であり、アルコキシシリル基を含む重合単位は下記の式（１）で表される単量体から誘導される重合単位であり、さらに共重合体が前記以外の共重合性単量体から誘導される重合単位を含有することを特徴とする請求項１に記載の絶縁膜形成用アルカリ可溶性樹脂溶液。
Ｘ−（ＣＨ２）ａ−Ｓｉ（ＯＲ）ｂ（ＣＨ３）３−ｂ  ・・・（１）
但し、式（１）中のＸはビニル基、スチリル基又は（メタ）アクリロイル基、Ｒはメチル基又はエチル基、ａは０〜３の整数、ｂは１〜３の整数である。
【請求項３】
前記共重合体が水酸基含有不飽和単量体から誘導される水酸基を含む重合単位を含有する請求項２に記載の絶縁膜形成用アルカリ可溶性樹脂溶液。
【請求項４】
前記アルコールは、アルキル基の炭素数が４又は５の第一級アルコール又は第二級アルコールである請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の絶縁膜形成用アルカリ可溶性樹脂溶液。
【請求項５】
前記アルコールは、アルキル基の炭素数が４又は５の第一級アルコールである請求項４に記載の絶縁膜形成用アルカリ可溶性樹脂溶液。
【請求項６】
前記アルキル基の炭素数が４の第一級アルコールは、１−ブタノールである請求項５に記載の絶縁膜形成用アルカリ可溶性樹脂溶液。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の絶縁膜形成用アルカリ可溶性樹脂溶液と、架橋剤と、感光剤とを含有する感光性樹脂組成物。
【請求項８】
請求項７に記載の感光性樹脂組成物を活性エネルギー線により硬化させてなる硬化物の製造方法。
【請求項９】
アルカリ可溶性樹脂溶液と、架橋剤と、感光剤とを含有する感光性樹脂組成物であって、
前記アルカリ可溶性樹脂溶液は、カルボキシル基を含む重合単位と、アルコキシシリル基を含む重合単位とを有効成分として含有する共重合体が溶媒に溶解されたアルカリ可溶性樹脂溶液であって、
前記溶媒は、アルキル基の炭素数が４又は５の直鎖又は分岐鎖を有するアルコールを含むことを特徴とする、感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記カルボキシル基を含む重合単位は不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物又はこれらの混合物から誘導される重合単位であり、アルコキシシリル基を含む重合単位は下記の式（１）で表される単量体から誘導される重合単位であり、さらに共重合体が前記以外の共重合性単量体から誘導される重合単位を含有することを特徴とする請求項９に記載の感光性樹脂組成物。
Ｘ−（ＣＨ２）ａ−Ｓｉ（ＯＲ）ｂ（ＣＨ３）３−ｂ  ・・・（１）
但し、式（１）中のＸはビニル基、スチリル基又は（メタ）アクリロイル基、Ｒはメチル基又はエチル基、ａは０〜３の整数、ｂは１〜３の整数である。
【請求項１１】
前記共重合体が水酸基含有不飽和単量体から誘導される水酸基を含む重合単位を含有する請求項１０に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
前記アルコールは、アルキル基の炭素数が４又は５の第一級アルコール又は第二級アルコールである請求項９から請求項１１のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１３】
前記アルコールは、アルキル基の炭素数が４又は５の第一級アルコールである請求項１２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１４】
前記アルキル基の炭素数が４の第一級アルコールは、１−ブタノールである請求項１３に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１５】
請求項９乃至１４のいずれか１項記載の感光性樹脂組成物を活性エネルギー線により硬化させてなる硬化物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気絶縁性、耐熱性、耐水性、耐薬品性、機械的強度等の特性に優れ、半導体素子の表面保護膜や層間絶縁膜等の材料として好適に利用することができるアルカリ可溶性樹脂、感光性樹脂組成物及びその用途に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子材料分野におけるパソコン、スマートフォン、タブレット等の電子回路素子では、高精細化が急速に進んでおり、画素の開口率を維持するために配線の細線化が進行している。それに伴って、配線を保護する電気絶縁膜も一層の細線化が求められている。例えば、ＴＦＴ液晶表示素子、有機ＥＬ表示素子、集積回路表示素子等では、層間に配置される配線の間を電気的に絶縁するために層間絶縁膜が形成されている。
【０００３】
この種の層間絶縁膜として用いられる感光性樹脂組成物が特許文献１に開示されている。当該感光性樹脂組成物は、不飽和カルボン酸、エポキシ基含有不飽和化合物及びシラン系単量体を共重合させて得られるアクリル系共重合体と、１，２−キノンアジド化合物と、溶媒とを含むものであり、アルカリ可溶性を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２０９１１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記特許文献１に記載されている従来の感光性樹脂組成物を構成するアクリル系共重合体にはカルボン酸が含まれるとともに、シラン系単量体中には加水分解性のシリル基が含まれている。このシラン系単量体の加水分解性シリル基には、メトキシ基やエトキシ基が含まれている。従って、シラン系単量体は経時的にシリル基の加水分解を起こしやすく、その結果架橋反応が生じてアクリル系共重合体の分子量が増大する。このような分子量が増大したアクリル系共重合体を感光性樹脂として使用すると、感光の際に現像性が極端に悪くなり、適切なパターン形成が困難になるという問題がある。
【０００６】
そこで本発明の目的とするところは、加水分解性シリル基の架橋反応を抑制して経時的安定性を得ることができるアルカリ可溶性樹脂、感光性樹脂組成物及びその用途を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明のアルカリ可溶性樹脂は、カルボキシル基を含む重合単位と、アルコキシシリル基を含む重合単位とを有効成分として含有する共重合体が溶媒に溶解されたアルカリ可溶性樹脂であって、前記溶媒は、アルキル基の炭素数が４又は５の直鎖又は分岐鎖を有するアルコールを含むことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の発明のアルカリ可溶性樹脂は、請求項１に係る発明において、前記カルボキシル基を含む重合単位は不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物又はこれらの混合物から誘導される重合単位であり、アルコキシシリル基を含む重合単位は下記の式（１）で表される単量体から誘導される重合単位であり、さらに共重合体が前記以外の共重合性単量体から誘導される重合単位を含有することを特徴とする。
【０００９】
Ｘ−（ＣＨ２）ａ−Ｓｉ（ＯＲ）ｂ（ＣＨ３）３−ｂ  ・・・（１）
但し、式（１）中のＸはビニル基、スチリル基又は（メタ）アクリロイル基、Ｒはメチル基又はエチル基、ａは０〜３の整数、ｂは１〜３の整数である。
【００１０】
請求項３に記載の発明のアルカリ可溶性樹脂は、請求項２に係る発明において、前記共重合体が水酸基含有不飽和単量体から誘導される水酸基を含む重合単位を含有する。
請求項４に記載の発明のアルカリ可溶性樹脂は、請求項１から請求項３のいずれか１項に係る発明において、前記アルコールは、アルキル基の炭素数が４又は５の第一級アルコール又は第二級アルコールである。
【００１１】
請求項５に記載の発明のアルカリ可溶性樹脂は、請求項４に係る発明において、前記アルコールは、アルキル基の炭素数が４又は５の第一級アルコールである。
請求項６に記載の発明のアルカリ可溶性樹脂は、請求項５に係る発明において、前記アルキル基の炭素数が４の第一級アルコールは、１−ブタノールである。
【００１２】
請求項７に記載の発明の感光性樹脂組成物は、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のアルカリ可溶性樹脂と、架橋剤と、感光剤とを含有するものである。
請求項８に記載の発明の感光性樹脂組成物の硬化物は、請求項７に記載の感光性樹脂組成物を活性エネルギー線により硬化させてなるものである。
【００１３】
請求項９に記載の発明の層間絶縁膜は、請求項８に記載の硬化物により形成され、層間に配置される配線間を電気的に絶縁するものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のアルカリ可溶性樹脂によれば、加水分解性シリル基の架橋反応を抑制して経時的安定性を得ることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を具体化した実施形態について詳細に説明する。
まず、アルカリ可溶性樹脂について説明する。本実施形態のアルカリ可溶性樹脂は、カルボキシル基（−ＣＯＯＨ）を含む重合単位と、アルコキシシリル基〔後述する式（１）の−Ｓｉ（ＯＲ）ｂ（ＣＨ３）３−ｂ〕を含む重合単位とを有効成分として含有する共重合体が溶媒に溶解されたものである。前記溶媒は、アルキル基の炭素数が４又は５の直鎖又は分岐鎖を有する特定のアルコールを含んでいる。このアルカリ可溶性樹脂は、カルボキシル基を有する単量体及びアルコキシシリル基を有する単量体等の単量体が溶媒中で重合開始剤により常法に従って重合されて形成され、通常ランダム共重合体が溶媒に溶解された状態で形成される。
【００１６】
前記カルボキシル基を含む重合単位は、側鎖にカルボキシル基を含む重合単位であればよいが、不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物又はこれらの混合物から誘導される重合単位が好ましい。
【００１７】
前記アルコキシシリル基を含む重合単位は、側鎖にアルコキシシリル基を含む重合単位であればよいが、下記の式（１）で表される単量体から誘導される重合単位が好ましい。
Ｘ−（ＣＨ２）ａ−Ｓｉ（ＯＲ）ｂ（ＣＨ３）３−ｂ  ・・・（１）
但し、式（１）中のＸはビニル基、スチリル基又は（メタ）アクリロイル基、Ｒはメチル基又はエチル基、ａは０〜３の整数、ｂは１〜３の整数である。
【００１８】
また、前記共重合体には、水酸基含有不飽和単量体から誘導される水酸基を含む重合単位を含有することが好ましい。
さらに、共重合体には、前記単量体以外のその他の共重合性単量体から誘導されるその他の重合単位を含有することが好ましい。
【００１９】
次に、アルカリ可溶性樹脂の各構成要素について順に説明する。
〔共重合体〕
（カルボキシル基を含む重合単位）
このカルボキシル基を含む重合単位は、共重合体をアルカリ性現像液により溶解させる機能を発現する。カルボキシル基を含む重合単位を形成するための不飽和カルボン酸としては、例えば(メタ)アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸及びケイ皮酸等が挙げられる。不飽和カルボン酸無水物としては、例えば無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒト゛ロフタル酸、無水トリメリット酸及び無水ヒ゜ロメリット酸等が挙げられる。また、これらの不飽和カルボン酸と不飽和カルボン酸無水物との混合物を用いてもよい。
【００２０】
これらの中でも、（メタ）アクリル酸は、層間絶縁膜を形成するとき綺麗なパターン形状が得られることから好ましい。共重合体中におけるカルボキシル基を含む重合単位の含有量は、アルカリ可溶性樹脂中のアルカリ性現像液により溶解させたい部分を綺麗に溶解させるために３質量％以上が好ましく、一方溶解させない部分をしっかり残すために５０質量％以下が好ましい。このカルボキシル基を含む重合単位の含有量は、５〜３０質量％が特に好ましい。
【００２１】
（アルコキシシリル基を含む重合単位）
このアルコキシシリル基を含む重合単位は、共重合体の耐熱性、耐薬品性等の特性を発現させる機能を有する。アルコキシシリル基を含む重合単位を形成する前記式（１）で表される単量体としては、式（１）の条件を満たす単量体であれば特に制限されないが、ｂが２又は３であることが好ましい。ｂが１の場合、共重合体の架橋密度が低くなり、充分な耐熱性や耐薬品性が得られない傾向を示す。
【００２２】
このような単量体としては、例えば3-(メタ)アクリロキシフ゜ロヒ゜ルメチルシ゛メトキシシラン、3-(メタ)アクリロキシフ゜ロヒ゜ルトリメトキシシラン、3-(メタ)アクリロキシフ゜ロヒ゜ルメチルシ゛エトキシシラン、3-(メタ)アクリロキシフ゜ロヒ゜ルトリエトキシシラン、p-スチリルトリメトキシシラン、ヒ゛ニルトリメトキシシラン、ヒ゛ニルトリエトキシシラン、ヒ゛ニルトリアセトキシシラン、アクリルトリメトキシシラン等又はこれらの単量体をオリゴマー化又はポリマー化した化合物が挙げられる。
【００２３】
共重合体中におけるアルコキシシリル基を含む重合単位の含有量は、共重合体の耐熱性及び耐薬品性を得る上で１質量％以上が好ましく、貯蔵安定性を損なわないために５０質量％以下が好ましい。このアルコキシシリル基を含む重合単位の含有量は、５〜３０質量％が特に好ましい。
【００２４】
（水酸基を含む重合単位）
この水酸基を含む重合単位は、共重合体に架橋構造を形成し、機械的強度等の特性を付与する機能を発現する。水酸基を含む重合単位を形成する水酸基含有不飽和単量体としては、水酸基を含有する単量体であれば特に制限されない。この水酸基含有不飽和単量体としては、例えば2-ヒト゛ロキシエチル(メタ)アクリレート、4-ヒト゛ロキシフ゛チル(メタ)アクリレート、5-ヒト゛ロキシヘ゜ンチル(メタ)アクリレート、6-ヒト゛ロキシヘキシル(メタ)アクリレート、8-ヒト゛ロキシオクチル(メタ)アクリレート等のアルキル基の炭素数が１〜１６の(メタ)アクリル酸ヒト゛ロキシアルキルエステル、カフ゜ロラクトン変性2-ヒト゛ロキシエチル(メタ)アクリレート等のカフ゜ロラクトン変性単量体、シ゛エチレンク゛リコール(メタ)アクリレート、ホ゜リエチレンク゛リコール(メタ)アクリレート等のオキシアルキレン変性単量体、その他2-アクリロイロキシエチル-2-ヒト゛ロキシエチルフタル酸、N-メチロール(メタ)アクリルアミト゛、N-ヒト゛ロキシエチル(メタ)アクリルアミト゛、1,4-シクロヘキサンシ゛メタノールモノアクリレート等の第１級水酸基含有単量体;2-ヒト゛ロキシフ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、2-ヒト゛ロキシフ゛チル(メタ)アクリレート、2-ヒト゛ロキシ-3-フェノキシフ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、3-クロロ2-ヒト゛ロキシフ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート等の第２級水酸基含有単量体;2,2-シ゛メチル2-ヒト゛ロキシエチル(メタ)アクリレート等の第３級水酸基含有単量体が挙げられる。
【００２５】
また、水酸基含有不飽和単量体としてシ゛エチレンク゛リコール(メタ)アクリレート、ホ゜リエチレンク゛リコールモノ(メタ)アクリレート等のホ゜リエチレンク゛リコール誘導体、ホ゜リフ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノ(メタ)アクリレート等のホ゜リフ゜ロヒ゜レンク゛リコール誘導体、ホ゜リ(エチレンク゛リコール-フ゜ロヒ゜レンク゛リコール)モノ(メタ)アクリレート、ホ゜リ(エチレンク゛リコール-テトラメチレンク゛リコール)モノ(メタ)アクリレート、ホ゜リ(フ゜ロヒ゜レンク゛リコール-テトラメチレンク゛リコール)モノ(メタ)アクリレート等のオキシアルキレン変性単量体、ク゛リセロール(メタ)アクリレートを用いてもよい。
【００２６】
共重合体中における水酸基を含む重合単位の含有量は、共重合体の機械的強度等の特性を得る上で３質量％以上が好ましく、貯蔵安定性を損なわないために４０質量％以下が好ましい。この水酸基を含む重合単位の含有量は、５〜３５質量％が特に好ましい。
【００２７】
（その他の重合単位）
その他の重合単位は、共重合体の主な骨格を形成し、共重合体の機械的強度等の特性を得るためのものである。その他の重合単位を形成するその他の共重合性単量体は、特に制限されない。その他の共重合性単量体として具体的には、スチレン、α-メチルスチレン、tert-フ゛チルスチレン、o-ヒ゛ニルトルエン、m-ヒ゛ニルトルエン、p-ヒ゛ニルトルエン、p-クロロスチレン、o-メトキシスチレン、m-メトキシスチレン、p-メトキシスチレン、o-ヒ゛ニルヘ゛ンシ゛ルメチルエーテル、m-ヒ゛ニルヘ゛ンシ゛ルメチルエーテル、p-ヒ゛ニルヘ゛ンシ゛ルメチルエーテル、o-ヒ゛ニルヘ゛ンシ゛ルク゛リシシ゛ルエーテル、m-ヒ゛ニルヘ゛ンシ゛ルク゛リシシ゛ルエーテル、及びp-ヒ゛ニルヘ゛ンシ゛ルク゛リシシ゛ルエーテル等の芳香族ヒ゛ニル化合物、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n-フ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、i-フ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、n-フ゛チル(メタ)アクリレート、i-フ゛チル(メタ)アクリレート、sec-フ゛チル(メタ)アクリレート、t-フ゛チル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、n-ノニル(メタ)アクリレート、i-ノニル(メタ)アクリレート、n-テ゛シル(メタ)アクリレート、i-テ゛シル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、トリテ゛シル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)アクリレート、n-ステアリル(メタ)アクリレート、i-ステアリル(メタ)アクリレート、ヘ゛ヘニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、テトラヒト゛ロフリフリル(メタ)アクリレート、イソホ゛ルニル(メタ)アクリレート、2-メチル-2-アタ゛マンチル(メタ)アクリレート、2-エチル-2-アタ゛マンチル(メタ)アクリレート及び2-イソフ゜ロヒ゜ル-2-アタ゛マンチル(メタ)アクリレート、2-メトキシエチル(メタ)アクリレート、2-フェノキシエチル(メタ)アクリレート、シ゛エチレンク゛リコールモノメチルエーテル(メタ)アクリレート、トリエチレンク゛リコールモノメチルエーテル(メタ)アクリレート、フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノメチルエーテル(メタ)アクリレート、シ゛フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノメチルエーテル(メタ)アクリレート、イソホ゛ルニル(メタ)アクリレート、2-ヒト゛ロキシ-3-フェノキシフ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、2-アミノエチル(メタ)アクリレート、2-シ゛メチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2-アミノフ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、2-シ゛メチルアミノフ゜ロヒ゜ルアクリレート、3-アミノフ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、3-シ゛メチ ルアミノフ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、ク゛リシシ゛ル(メタ)アクリレート、2,2,2-トリフロロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3-テトラフロロフ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、2,2,3,3,3-ヘ゜ンタフロロフ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、2,2,3,4,4,4-ヘキサフロロフ゛チル(メタ)アクリレート、2-(ハ゜ーフロロフ゛チル)エチル(メタ)アクリレート、3-ハ゜ーフロロフ゛チル-2-ヒト゛ロキシフ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、2-(ハ゜ーフロロヘキシル)エチル(メタ)アクリレート、3-ハ゜ーフロロヘキシル-2-ヒト゛ロキシフ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、1H,1H,3H-テトラフロロフ゜ロヒ゜ル(メタ)アクリレート、1H,1H,5H-オクタフロロヘ゜ンチル(メタ)アクリレート、1H,1H,7H-ト゛テ゛カフロロヘフ゜チル(メタ)アクリレート、ハ゜ーフロロオクチルエチル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸エステル等が挙げられる。
【００２８】
共重合体中におけるその他の重合単位の含有量は、共重合体の機械的強度等の特性を得る上で４０質量％以上が好ましく、共重合体中における前記有効成分を確保するために９０質量％以下が好ましい。その他の重合単位の含有量は、６０〜８０質量％が特に好ましい。
【００２９】
〔溶媒〕
（特定のアルコール）
溶媒のアルコールは、加水分解性シリル基の加水分解を抑え、架橋反応を抑制する観点から、アルキル基の炭素数が４又は５の直鎖又は分岐鎖を有する特定のアルコールが用いられる。この特定のアルコールとしては、例えば1-フ゛タノール、2-フ゛タノール、イソフ゛タノール、1-ヘ゜ンタノール、2-ヘ゜ンタノール、2-メチル-1-フ゛タノール、3-メチル-1フ゛タノール、3-メチル-2-フ゛タノール、2,2-シ゛メチル-1-フ゜ロハ゜ノール等が挙げられる。
【００３０】
これら特定のアルコールのうち、加水分解性シリル基の架橋反応を一層抑制できる点から、アルキル基の炭素数が４又は５の第一級アルコール又は第二級アルコールが好ましく、さらにアルキル基の炭素数が４又は５の第一級アルコールが好ましい。これらのうち、アルキル基の炭素数が４の第一級アルコールとしては、１−ブタノール（ｎ−ブタノール）及びイソブタノールが挙げられる。前記アルキル基の炭素数が４の第一級アルコールのうち、加水分解性シリル基の架橋反応を抑制する機能が最も高い点から、１−ブタノールが好ましい。
【００３１】
前記溶媒としては、上記特定のアルコール以外のアルコール等のその他の溶媒が含まれていてもよい。
溶媒中における特定のアルコールの含有量は、アルカリ可溶性樹脂の貯蔵安定性の観点から２０〜１００質量％が好ましく、４０〜１００質量％がさらに好ましく、６０〜１００質量％が特に好ましい。
【００３２】
前記共重合体に対する溶媒の含有量は、共重合性単量体の共重合の円滑な進行及び感光性樹脂組成物の調製や利用の容易性等の観点から、共重合体１００質量部に対して５０〜３００質量部が好ましく、１００〜２００質量部がさらに好ましい。
【００３３】
（その他の溶媒）
その他の溶媒として例えば、メタノール、エタノール、フ゜ロハ゜ノール、ヘキサノ-ル等の特定のアルコール以外のアルコール、エチレンク゛リコールモノメチルエーテルアセテート、エチレンク゛リコールモノエチルエーテルアセテート等のエチレンク゛リコールモノアルキルエーテルアセテート類、フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノメチルエーテル、フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノエチルエーテル等のフ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノアルキルエーテル類、フ゜ロヒ゜レンク゛リコールシ゛メチルエーテル、フ゜ロヒ゜レンク゛リコールシ゛エチルエーテル等のフ゜ロヒ゜レンク゛リコールシ゛アルキルエーテル類、フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノメチルエーテルアセテート、フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノエチルエーテルアセテート等のフ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノアルキルエーテルアセテート類、エチルセロソルフ゛、フ゛チルセロソルフ゛等のセロソルフ゛類、フ゛チルカルヒ゛トール等のカルヒ゛トール類、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸n-フ゜ロヒ゜ル、乳酸イソフ゜ロヒ゜ル等の乳酸エステル類、酢酸エチル、酢酸n-フ゜ロヒ゜ル、酢酸イソフ゜ロヒ゜ル、酢酸n-フ゛チル、酢酸イソフ゛チル、酢酸n-アミル、酢酸イソアミル、フ゜ロヒ゜オン酸イソフ゜ロヒ゜ル、フ゜ロヒ゜オン酸n-フ゛チル、フ゜ロヒ゜オン酸イソフ゛チル等の脂肪族カルホ゛ン酸エステル類、3-メトキシフ゜ロヒ゜オン酸メチル、3-メトキシフ゜ロヒ゜オン酸エチル、3-エトキシフ゜ロヒ゜オン酸メチル、3-エトキシフ゜ロヒ゜オン酸エチル、ヒ゜ルヒ゛ン酸メチル、ヒ゜ルヒ゛ン酸エチル等の他のエステル類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、2-ヘフ゜タノン、3-ヘフ゜タノン、4-ヘフ゜タノン、シクロヘキサノン等のケトン類、N-シ゛メチルホルムアミト゛、N-メチルアセトアミト゛、N,N-シ゛メチルアセトアミト゛、N-メチルヒ゜ロリト゛ン等のアミト゛類、γ-フ゛チロラクトン等のラクトン類等が挙げられる。
【００３４】
次に、感光性樹脂組成物について説明する。
本実施形態の感光性樹脂組成物は、前述したアルカリ可溶性樹脂と、架橋剤と、感光剤とを含有するものであるが、さらに増感剤、着色剤等が含まれていてもよい。以下に、アルカリ可溶性樹脂以外の成分について説明する。
【００３５】
〔架橋剤〕
架橋剤は、光反応性を有する多官能単量体又はオリゴマーを意味し、活性エネルギー線の照射により架橋、硬化する。前記光反応性は、ラジカル硬化型とカチオン硬化型とに分類される。
【００３６】
ラジカル硬化型の架橋剤としては、エチレンク゛リコールシ゛(メタ)アクリレート、シ゛シクロヘ゜ンテニルシ゛(メタ)アクリレート、トリエチレンク゛リコールシ゛アクリレート、テトラエチレンク゛リコールシ゛(メタ)アクリレート、トリシクロテ゛カンシ゛イルシ゛メチレンシ゛(メタ)アクリレート、トリス (2-ヒト゛ロキシエチル)イソシアヌレートシ゛(メタ)アクリレート、トリス(2-ヒト゛ロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、カフ゜ロラクトン変性トリス(2-ヒト゛ロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールフ゜ロハ゜ントリ(メタ)アクリレート、エチレンオキシト゛（以下、EOという）変性トリメチロールフ゜ロハ゜ントリ(メタ)アクリレート、フ゜ロヒ゜レンオキシト゛（以下、POという）変性トリメチロールフ゜ロハ゜ントリ(メタ)アクリレート、トリフ゜ロヒ゜レンク゛リコールシ゛(メタ)アクリレート、ネオヘ゜ンチルク゛リコールシ゛(メタ)アクリレート、ヒ゛スフェノールAシ゛ク゛リ シシ゛ルエーテルの両末端(メタ)アクリル酸付加物、1,4-フ゛タンシ゛オールシ゛(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンシ゛オールシ゛(メタ)アクリレート、ヘ゜ンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ヘ゜ンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ホ゜リエステルシ゛(メタ)アクリレート、ホ゜リエチレンク゛リコールシ゛(メタ)アクリレート、シ゛ヘ゜ンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、シ゛ヘ゜ンタエリスリトールヘ゜ンタ(メタ)アクリレート、シ゛ヘ゜ンタエリス リトールテトラ(メタ)アクリレート、カフ゜ロラクトン変性シ゛ヘ゜ンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カフ゜ロラクトン変性シ゛ヘ゜ンタエリスリトール ヘ゜ンタ(メタ)アクリレート、シ゛トリメチロールフ゜ロハ゜ンテトラ(メタ)アクリレート、EO変性ヒ゛スフェノールAシ゛(メタ)アクリレート、PO変性ヒ゛スフェ ノールAシ゛(メタ)アクリレート、EO変性水添ヒ゛スフェノールAシ゛(メタ)アクリレート、PO変性水添ヒ゛スフェノールAシ゛(メタ)アクリレート、EO変性 ヒ゛スフェノールFシ゛(メタ)アクリレート、フェノールノホ゛ラックホ゜リク゛リシシ゛ルエーテルの(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロイル基を持つシルセスキオキサン誘導体等が挙げられる。
【００３７】
カチオン硬化型の架橋剤としては、多官能エホ゜キシ化合物、ヒ゛スフェノールA型エホ゜キシ、ヒ゛スフェノールF型エホ゜キシ、水添ヒ゛スフェノールA型エホ゜キシ、水添ヒ゛スフェノールF型エホ゜キシ、ヒ゛スフェノールS型エホ゜キシ、臭素化ヒ゛スフェノールA型エホ゜キシ、ヒ゛フェニル型エホ゜キシ、ナフタレン型エホ゜キシ、フルオレン型エホ゜キシ、スヒ゜ロ環型エホ゜キシ、ヒ゛スフェノールアルカン類エホ゜キシ、フェノールノホ゛ラック型エホ゜キシ、オルソクレソ゛ールノホ゛ラック型エホ゜キシ、臭素化クレソ゛ールノホ゛ラック型エホ゜キシ、トリスヒト゛ロキシメタン型エホ゜キシ、テトラフェニロールエタン型エホ゜キシ、アルコール型エホ゜キシ、脂環型エホ゜キシ、オキセタン樹脂等が挙げられる。
【００３８】
さらに、架橋剤としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂にシリカ成分が含まれるハイブリット樹脂が挙げられ、具体的には荒川化学工業（株）製のコンホ゜セランE102B、E202Cが挙げられる。加えて、メチロールメラミン樹脂、アルコキシメチル化メラミン樹脂、アルコキシメチル化ヘ゛ンソ゛ク゛アナミン樹脂及びアルコキシメチル化尿素樹脂等が挙げられ、具体的には（株）三和ケミカル製のニカラックMW-30HM、MW-750LM、MW-270、MW-280、MW-290等が挙げられる。
【００３９】
また、架橋剤としてビニル基及びエポキシ基含有シルセスキオキサン誘導体が挙げられ、具体的には荒川化学工業（株）製のコンホ゜セランSQ506が挙げられる。
この架橋剤の含有量は、アルカリ可溶性樹脂を１００質量部とした場合、感光性樹脂組成物の硬化物に充分な強度を持たせるために１０質量部以上が好ましく、感光性樹脂組成物による充分なパターニング性を得るために１００質量部以下が好ましい。架橋剤の含有量は、アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して２０〜５０質量部が特に好ましい。
【００４０】
〔感光剤〕
（光カチオン重合開始剤）
光カチオン重合開始剤としての光酸発生剤は、光照射により酸が発生し、カチオン重合を開始させることが可能な化合物であれば特に制限されない。
【００４１】
代表的な光酸発生剤として、ヨート゛ニウム,4-メチルフェニル[4-(2-メチルフ゜ロヒ゜ル)フェニル]-ヘキサフルオロフォスフェート(1-)、トリフェニルスルホニウム,トリフルオロメタンスルホネート、シ゛フェニル-4-メチルフェニルスルホニウム,トリフルオロメタンスルホネート、シ゛フェニル-2,4,6-トリメチルフェニルスルホニウム,p-トルエンスルホネート、4-(4-ヘ゛ンソ゛イル-フェニルチオ)フェニル-シ゛-(4-フルオロフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート、4-(4-ヘ゛ンソ゛イルフェニルチオ)フェニル-シ゛-(4-(β-ヒト゛ロキシエトキシ)フェニル)スルホニウ ムヘキサフルオロアンチモネート、(トリルクミル)ヨート゛ニウムテトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)等が挙げられる。
【００４２】
光酸発生剤の含有量は、アルカリ可溶性樹脂を１００質量部とした場合、充分な反応性を得るために１質量部以上が好ましく、感光性樹脂組成物の貯蔵安定性を損なわないために１０質量部以下が好ましい。
【００４３】
（光ラジカル重合開始剤）
光ラジカル重合開始剤は、光照射によりラジカルを発生し、ラジカル重合を開始させることが可能な化合物であれば特に制限されない。光ラジカル重合開始剤の代表的な化合物として、ヒ゛ス(2,4,6-トリメチルヘ゛ンソ゛イル)-フェニルフォスフィンオキサイト゛、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノフ゜ロハ゜ン-1-オン、2-シ゛メチルアミノ-2-(4-メチルヘ゛ンシ゛ル)-1-(4-モルフォリン-4-イル-フェニル)-フ゛タン-1-オン、2-ヘ゛ンシ゛ル-2-シ゛メチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-フ゛タノン-1、ヒ゛ス(2,4,6-トリメチルヘ゛ンソ゛イル)-フェニルフォスフィンオキサイト゛、2,4,6-トリメチルヘ゛ンソ゛イルフェニルホスフィンオキサイト゛、1,2-オクタンシ゛オン,1-[4-(フェニルチオ)-,2-(O-ヘ゛ンソ゛イルオキシム)]、エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルヘ゛ンソ゛イル)-9H-カルハ゛ソ゛ール-3-イル]-,1-(0-アセチルオキシム)、ヒ゛ス(η5-2,4-シクロヘ゜ンタシ゛エン-1-イル)-ヒ゛ス(2,6-シ゛フルオロ-3-(1H-ヒ゜ロール-1-イル)-フェニル)チタニウム等が挙げられる。
【００４４】
光ラジカル重合開始剤の含有量は、アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、充分な反応性を得るために１質量部以上が好ましく、感光性樹脂組成物の貯蔵安定性を損なわないために２０質量部以下が好ましい。
【００４５】
〔増感剤〕
増感剤としては、2,4-シ゛エチルチオキサンテン-9-オン、1-メトキシナフタレン、1,4-ヒ゛ス(2-ヒト゛ロキシフ゛トキシ)ナフタレン等のナフタレン誘導体、9,10-シ゛メトキシアントラセン、2-エチル-9,10-シ゛メトキシアントラセン等のアントラセン誘導体、1,4-シ゛メトキシクリセン、1,4-シ゛エトキシクリセン等のクリセン誘導体、9-ヒト゛ロキシフェナントレン、9-メトキシフェナントレン等のフェナントレン誘導体、キサントン、チオキサントン、2,4-シ゛エチルチオキサンテン-9-オン等の(チオ)キサントン誘導体、カルハ゛ソ゛ール、N-ヒ゛ニルカルハ゛ソ゛ール等のカルハ゛ソ゛ール誘導体等が挙げられる。
【００４６】
この増感剤の含有量は、アルカリ可溶性樹脂１００質量部とした場合、充分な反応性を得るために１質量部以上が好ましく、感光性樹脂組成物の貯蔵安定性を損なわないために２０質量部以下が好ましい。
【００４７】
〔着色剤〕
着色剤としては、顔料、染料等が用いられる。この着色剤としては、有機系着色剤と無機系着色剤がある。有機系着色剤としては、例えば染料、有機顔料、天然色素等が挙げられる。また、無機系着色剤としては、例えば無機顔料、体質顔料等が挙げられる。
【００４８】
有機顔料の具体例としては、カラーインデックス（C.I.；THE SOCIETY OF DYERS AND COLOURISTS 社発行）においてピグメント（PIGMENT）に分類されている化合物、例えば、C.I.ピグメントイエロー１、C.I.ピグメントイエロー３、C.I.ピグメントイエロー１２、C.I.ピグメントイエロー１３、C.I. ピグメントイエロー１３８、C.I.ピグメントイエロー１５０、C.I.ピグメントイエロー１８０、C.I.ピグメントイエロー１８５等のイエロー系ピグ メント；C.I.ピグメントレッド１、C.I.ピグメントレッド２、C.I.ピグメントレッド３、C.I.ピグメントレッド２５４、C.I.ピグメント レッド１７７等のレッド系ピグメント；及び、C.I.ピグメントブルー１５、C.I.ピグメントブルー１５：３、C.I.ピグメントブルー１５：４、 C.I.ピグメントブルー１５：６等のブルー系ピグメント；C.I.ピグメントバイオレット２３：１９；C.I.ピグメントグリーン３６が挙げられる。
【００４９】
また、前記無機顔料又は体質顔料の具体例としては、酸化チタン、アルミナ白、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄(III)）、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、カーボンブラック（ＣＢ）、チタンブラック、酸化クロム、酸化鉄、アニリンブラック、ペリレン系顔料、及びＣ．Ｉ．ソルベントブラック１２３等カーボンブラック等が挙げられる。着色剤は、単独又は２種以上を混合して使用することができる。
【００５０】
着色剤の含有量は、アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、着色力を得るために１０質量部以上が好ましく、感光性樹脂組成物のパターニング性に悪影響を及ぼさないために７０質量部以下が好ましい。
【００５１】
次に、感光性樹脂組成物の硬化物について説明する。
感光性樹脂組成物の硬化物（硬化膜）は、例えば以下のようにして形成することができる。
【００５２】
上述した感光性樹脂組成物を、例えば電極付きガラス基板やシリコンウエハ等の支持体に塗工し、乾燥により溶媒等を揮発させる。その後、所望のマスクパターンを介して露光し、アルカリ性現像液により現像して、未露光部を溶解、除去することによって所望のパターンを得ることができる。さらに、高温で加熱処理を行うことにより、強固な硬化物を形成できる。
【００５３】
感光性樹脂組成物を支持体に塗布する方法としては、例えばディッピング法、スプレー法、バーコート法、ロールコート法、スピンコート法等が採用される。また、塗布の厚さは、塗布手段、感光性樹脂組成物の固形分濃度や粘度を調節することにより、適宜制御することができる。塗布後の加熱処理条件は特に制限されないが、感光性樹脂組成物に含まれる溶媒の沸点前後が好ましい。加熱設備としては、ホットプレート、オーブン、赤外線炉等が用いられる。
【００５４】
露光に用いられる活性エネルギー線としては、例えば低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、ｇ線ステッパ、ｉ線ステッパ等の紫外線や電子線、レーザ光線等が挙げられる。露光量は、使用する光源や塗布膜厚等によって適宜設定されるが、例えば超高圧水銀ランプからの紫外線照射の場合、塗布膜厚が１〜１０μmであれば、１０〜５００ｍＪ／ｃｍ２程度である。
【００５５】
アルカリ性現像液による現像方法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、浸漬現像法、パドル現像法等が挙げられ、現像条件は、通常２０〜４０℃で１〜１０分程度である。上記アルカリ性現像液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア水、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）等のアルカリ性化合物を水に溶解して濃度が０．１〜１０質量％程度になるように調製したアルカリ性水溶液が用いられる。前記アルカリ性水溶液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性の有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ性現像液で現像した後、パターニングした塗布膜を水で洗浄し、乾燥させる。
【００５６】
露光後の加熱処理条件は特に制限されず、感光性樹脂組成物の配合量や塗布膜厚等によって異なるが、通常１５０〜３００℃、好ましくは２００〜２５０℃で１〜１２０分程度である。加熱設備としては、ホットプレート、オーブン、赤外線炉等を使用できる。
【００５７】
得られる感光性樹脂組成物の硬化物は、電気絶縁性、耐熱性、耐水性、耐薬品性、機械的強度等の特性に優れている。従って、感光性樹脂組成物は、特に半導体素子の表面保護膜や層間絶縁膜等の材料として好適に使用することができる。これらの表面保護膜や層間絶縁膜等には、ホールパターン、レリーフパターン等のパターンが形成される。
【００５８】
次に、本実施形態のアルカリ可溶性樹脂及び感光性樹脂組成物について作用を説明する。
さて、アルカリ可溶性樹脂を調製する場合には、カルボキシル基を有する単量体、アルコキシシリル基を有するシラン系単量体等を前記特定のアルコールの存在下に共重合することにより得られる。このとき、シラン系単量体には加水分解性シリル基、すなわち加水分解しやすいアルコキシ基（−ＯＲ）が含まれており、そのアルコキシ基の加水分解が生じて架橋反応が進行する。この加水分解による架橋反応は、シラン系単量体のアルコキシ基がメトキシ基やエトキシ基の場合に生じやすい。
【００５９】
しかしながら、本実施形態で用いる溶媒には、アルキル基の炭素数が４又は５の特定のアルコールが含まれている。このため、特定のアルコールの炭素数４又は５のアルキル基がシラン系単量体のアルコキシ基に何らかの反応をし、アルコキシ基が置き換えられ難くなって加水分解が抑えられるものと推測される。その結果、加水分解性シリル基の加水分解が抑えられ、アルカリ可溶性樹脂の分子量の増大が抑制される。
【００６０】
このようにして得られたアルカリ可溶性樹脂に架橋剤、感光剤等が添加されて感光性樹脂組成物が調製される。この感光性樹脂組成物に例えば紫外線を照射することにより、感光性樹脂組成物が光重合して硬化物が形成され、層間絶縁膜等として用いられる。その後、アルカリ性現像液に浸漬させることにより、ホールパターン等のパターンが形成される。
【００６１】
以上の実施形態によって発揮される効果について、以下にまとめて記載する。
（１）本実施形態のアルカリ可溶性樹脂は、カルボキシル基を含む重合単位と、アルコキシシリル基を含む重合単位とを有効成分として含有する共重合体が溶媒に溶解されたものであり、その溶媒はアルキル基の炭素数が４又は５の直鎖又は分岐鎖を有する特定のアルコールを含んでいる。このため、特に共重合体を形成する際に特定のアルコールがアルコキシシリル基に作用してアルコキシシリル基の加水分解が抑えられる。従って、アルコキシシリル基の加水分解による架橋反応が規制され、アルカリ可溶性樹脂の分子量増大が防止される。
【００６２】
よって、本実施形態のアルカリ可溶性樹脂によれば、加水分解性シリル基の架橋反応を抑制して経時的安定性を得ることができるという効果を奏する。
（２）前記カルボキシル基を含む重合単位は不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物又はこれらの混合物から誘導される重合単位であり、アルコキシシリル基を含む重合単位は前記の式（１）で表される単量体から誘導される重合単位であり、さらに共重合体が前記以外の共重合性単量体から誘導される重合単位を含有している。
【００６３】
そのため、共重合体は、側鎖にカルボキシル基をもつ重合単位、側鎖にアルコキシシリル基をもつ重合単位及び側鎖にアルキル基等をもつ重合単位を含むように構成される。従って、アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性を示し、耐熱性、耐薬品性等の優れた特性を発揮することができる。
【００６４】
（３）前記共重合体は、水酸基含有不飽和単量体から誘導される水酸基を含む重合単位を含有する。従って、共重合体に架橋構造を形成でき、共重合体の機械的強度等の特性を向上させることができる。
【００６５】
（４）前記アルコールは、アルキル基の炭素数が４又は５の第一級アルコール又は第二級アルコールであることが好ましく、さらにアルキル基の炭素数が４又は５の第一級アルコールであることが好ましく、そのアルキル基の炭素数が４の第一級アルコールとしては１−ブタノールが好ましい。この場合、前記共重合体中のアルコキシシリル基の加水分解を有効に抑制することができる。
【００６６】
（５）感光性樹脂組成物は、前記アルカリ可溶性樹脂と、架橋剤と、感光剤とを含有し、活性エネルギー線により硬化して硬化物が形成される。このため、感光性樹脂組成物は、活性エネルギー線によって速やかに硬化して硬化物を形成することができ、半導体素子のパターン形成を容易に行うことができる。
【００６７】
（６）層間絶縁膜は、前記硬化物により形成され、層間に配置される配線間を電気的に絶縁するものである。従って、感光性樹脂組成物の硬化物により簡単に層間絶縁膜を形成でき、ＴＦＴ液晶表示素子、有機ＥＬ表示素子、集積回路表示素子等の層間に配置される配線相互間の絶縁を確保できる。
【実施例】
【００６８】
以下に、実施例及び比較例を挙げて前記実施形態をさらに具体的に説明する。
（実施例１〜１５及び比較例１〜３、アルカリ可溶性樹脂の調製）
撹拌機、温度計、コンデンサー及び窒素ガス導入管を備えたフラスコ内に表１に示す溶媒を仕込み、窒素ガス雰囲気下に適正温度まで昇温した。それとは別に、表１に示す単量体及び重合開始剤を混合して混合液を調製し、その混合液を前記溶媒中に４時間かけて滴下した。その後、３時間反応させてアルカリ可溶性樹脂を調製した。なお、表１中の配合量は質量部を表す。
【００６９】
【表１】
0006458236.tif 000002
表１中の略号を以下に示す。
【００７０】
AA：アクリル酸
MAA：メタクリル酸
KBM503：γ-メタクリロキシフ゜ロヒ゜ルトリメトキシシラン
KBM502：γ-メタクリロキシフ゜ロヒ゜ルメチルシ゛メトキシシラン
KBE503：γ-メタクリロキシフ゜ロヒ゜ルトリエトキシシラン
KBM1403：p-スチリルトリメトキシシラン
KBE502：γ-メタクリロキシフ゜ロヒ゜ルメチルシ゛エトキシシラン
KBM1003：ヒ゛ニルトリメトキシシラン
HEMA：2-ヒト゛ロキシエチルメタクリレート
HPMA：2-ヒト゛ロキシフ゜ロヒ゜ルメタクリレート
CHDMMA：1,4-シクロヘキサンシ゛メタノールモノアクリレート
Sty：スチレン
MMA：メチルメタクリレート
BMA：フ゛チルメタクリレート
CHMA：シクロヘキシルメタクリレート
IBX-A：イソホ゛ルニアクリレート
PBO：t-フ゛チルハ゜ーオキシ-2-エチルヘキサノエイト
〔アルカリ可溶性樹脂の経時安定性評価〕
（初期サンプルの作製）
実施例１〜１５及び比較例１〜３のアルカリ可溶性樹脂を、固形分が２質量％になるようにテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）に溶解させ、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）により質量平均分子量（ＭＷ）を測定した。その結果を初期分子量として表２に示した。
【００７１】
（経時安定性評価用サンプルの作製）
実施例１〜１５及び比較例１〜３のアルカリ可溶性樹脂を、４０℃のオーブンに入れて２週間静置した後、固形分が２質量％になるようにＴＨＦに溶解させ、ＧＰＣにより質量平均分子量（ＭＷ）を測定した。その結果を経時分子量として表２に示した。
【００７２】
また、初期分子量に対する経時分子量の分子量増加率（％）を表２に示した。
【００７３】
【表２】
0006458236.tif 000003
表２に示したように、実施例１〜１５のアルカリ可溶性樹脂では、初期分子量に対する経時分子量の増加を抑えることができ、分子量増加率を１４４％以下に抑制することができた。その一方、比較例１〜３のアルカリ可溶性樹脂では、分子量増加率が２４３〜１２９１％まで大きく増加した。
【００７４】
（実施例１６〜３３及び比較例４〜６、感光性樹脂組成物の調製及び評価）
実施例１〜１５及び比較例１〜３のアルカリ可溶性樹脂（調製初期のアルカリ可溶性樹脂と、４０℃、２週間静置したアルカリ可溶性樹脂とを使用）、表３に示す架橋剤及び感光剤を混合して感光性樹脂組成物を調製した。なお、表３中の配合量は質量部を表す。
【００７５】
【表３】
0006458236.tif 000004
表３中の略号を以下に示す。
【００７６】
架橋剤Ａ：3’,4’-エホ゜キシシクロヘキシルメチル 3,4-エホ゜キシシクロヘキサンカルホ゛キシレート
架橋剤Ｂ：エーテル化メチロールメラミン〔（株）三和ケミカル製のニカラックMW30M〕
架橋剤Ｃ：エホ゜キシシリカハイフ゛リット樹脂〔荒川化学工業（株）製のコンホ゜セランE102B〕
架橋剤Ｄ：トリメチロールフ゜ロハ゜ントリメタクリレート
感光剤Ｅ：ヨート゛ニウム,4-メチルフェニル[4-(2-メチルフ゜ロヒ゜ル)フェニル]-ヘキサフルオロフォスフェート
感光剤Ｆ：（2,4,6-トリメチルヘ゛ンソ゛イル）-フェニルフォスフィンオキサイト゛
次に、スピンコート法により約３μｍの膜厚になるように感光性樹脂組成物をガラス基板上に塗布し、１０５℃のホットプレート上で１３０秒プリベークした。続いて、線幅２０μｍのホールラインパターンの描写されたマスクを介して紫外線露光装置〔（株）三永電気製作所製のUVE-251S〕により紫外線を照射した。このとき、紫外線の積算照射量を２００ｍＪ／ｃｍ２とした。
【００７７】
次に、アルカリ性現像液として０．４質量％ＴＭＡＨ水溶液（温度：２５℃）を用い、３０秒間浸漬させた後水洗を行うことにより、所定のパターンを形成した。そして、下記の判定基準に基づいて感光性樹脂組成物のパターン形成の良否を判定した。これらの試験結果を表４に示した。
【００７８】
判定基準：
○：線幅２０μｍのホールラインパターンが描写された。
×：線幅２０μｍのホールラインパターンが描写されなかった。
【００７９】
前記調製初期のアルカリ可溶性樹脂についてのパターンを初期パターン、２週間静置したアルカリ可溶性樹脂についてのパターンを経時パターンとして表４に示した。
【００８０】
【表４】
0006458236.tif 000005
表４の結果より、実施例１６〜３３の感光性樹脂組成物では、初期パターン及び経時パターンのいずれについても線幅２０μｍのホールラインパターンを形成することができた。一方、比較例４〜６の感光性樹脂組成物では、初期パターンについては線幅２０μｍのホールラインパターンを形成することはできたが、経時パターンについては線幅２０μｍのホールラインパターンを形成することができなかった。
【００８１】
また、実施例１６〜２６及び３０〜３３の感光性樹脂組成物について、触針式表面形状測定装置〔（株）アルバック製のDekTak〕を用い、現像前後の膜厚（μｍ）を測定し、その差から残膜率を下記式により算出した。
【００８２】
残膜率（％）＝（現像後の膜厚／初期の膜厚）×１００
この試験結果を表５に示した。
【００８３】
【表５】
0006458236.tif 000006
前記残膜率は、パターニングの精度や塗布膜表面の平坦性を維持するために８０％以上であることが好ましい。表５に示した結果より、実施例１６〜２６及び３０〜３３の感光性樹脂組成物においては９０％以上の残膜率が得られ、パターニングの精度や塗布膜表面の平坦性を維持することができた。
【００８４】
次に、実施例１６〜３３の感光性樹脂組成物について、下記に示す方法で電気絶縁性を評価し、その結果を表６に示した。
（電気絶縁性の評価方法）
スピンコート法により約３μｍの厚さになるようにＩＴＯが蒸着されたガラス基板上に感光性樹脂組成物を塗布し、１０５℃のホットプレート上で１３０秒プリベークした。次に、前記と同じ紫外線露光装置により紫外線を照射した。このとき、紫外線の積算照射量を２００ｍＪ／ｃｍ２とした。次に、２３０℃に加熱したオーブンに投入し、１時間加熱した。そして、下記の判定基準に基づいて電気絶縁性を判定した。
【００８５】
（判定基準）
テスターを用いて、導通性のチェックを行った。
〇：導通性無し、×：導通性有り
【００８６】
【表６】
0006458236.tif 000007
表６の結果より、実施例１６〜３３では、いずれも導通性はなく、電気絶縁性が保持されていた。
【００８７】
なお、前記実施形態を、次のように変更して実施することも可能である。
・  前記溶媒として、アルキル基の炭素数が４又は５の直鎖又は分岐鎖を有する特定のアルコールを複数選択して使用してもよい。
【００８８】
・  前記共重合体のカルボキシル基を含む重合単位を、２種以上の不飽和カルボン酸又は２種以上の不飽和カルボン酸無水物で形成してもよい。
・  前記共重合体のアルコキシシリル基を含む重合単位を、前記式（１）で表される複数の単量体により形成してもよい。