(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極基板と被検査基板との間に配置されて基板検査に使用されるワイヤープローブ用治具であって、
ワイヤープローブの後端部を保持して電極基板に接触可能に配置されるベース部と、
ワイヤープローブの先端部を保持して被検査基板に接触可能に配置されるヘッド部と、
前記ヘッド部と前記ベース部とを互いに離れる方向に付勢する付勢手段と、
を備え、
前記ベース部と前記ヘッド部とは互いに移動可能に設けられ、前記ワイヤープローブ用治具を被検査基板に押し付けたときに、前記付勢手段の付勢力に抗して前記ヘッド部が前記ベース部の方向へ移動するように構成されており、
前記ベース部は、第１ベースプレートと、前記第１ベースプレートよりも被検査基板側に配置される第２ベースプレートと、を備え、
前記第１ベースプレートには、ワイヤープローブを挿通可能な第１ガイド孔が設けられ、
前記第２ベースプレートには、前記第１ガイド孔に挿通されたワイヤープローブを挿通可能な第２ガイド孔が設けられ、
前記第２ガイド孔は、前記第１ガイド孔に対して所定の方向へ中心をずらして設けられており、
前記ヘッド部には、前記第２ガイド孔に挿通されたワイヤープローブを挿通可能な第３ガイド孔が設けられ、
前記第３ガイド孔は、前記第２ガイド孔に対して前記所定の方向とは異なる方向へ中心をずらして設けられ、
前記第１ガイド孔と前記第２ガイド孔と前記第３ガイド孔とでワイヤープローブをくの字形に保持可能であることを特徴とする、ワイヤープローブ用治具。
【請求項２】
前記第１ガイド孔および前記第２ガイド孔は、漏斗状の拡開部を備え、前記第１ガイド孔の拡開部と前記第２ガイド孔の拡開部とが互いに臨むように配置されていることを特徴とする、請求項１記載のワイヤープローブ用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電極基板と被検査基板との間に配置されて基板検査に使用されるワイヤープローブ用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路等（被検査基板）の導通検査や電気的特性検査において、極細のワイヤープローブを用いた検査が実施されている。例えば、複数のワイヤープローブをワイヤープローブ用治具によって保持し、このワイヤープローブ用治具を電極基板と被検査基板との間に挟み、ワイヤープローブの両端をそれぞれ電極基板の端子と被検査基板の端子とに接触させて検査を行う方法が知られている。
このような検査方法において、ワイヤープローブの両端を確実に電極基板の端子と被検査基板の端子とに接触させるために様々な方法が提案されている。
【０００３】
例えば特許文献１には、プローブの先端側部分が挿通される先端側挿通孔および検査対象に対向する対向面が形成される先端側支持体と、上記先端側支持体の後方に所定の隙間を介して配置され、上記プローブの後端側部分が挿通される後端側挿通孔が形成される後端側支持体と、上記先端側支持体と上記後端側支持体とを連結する連結体と、上記プローブの後端が接触する接触面が形成され、上記後端側支持体の後方に配置される電極と、上記接触面と上記対向面とが離れる方向に付勢する付勢機構とを備えたワイヤープローブ用治具が開示されている。この特許文献１記載の構成では、被検査基板にワイヤープローブ用治具を押しつけたときに、後端側支持体が付勢機構に抗して移動し、これによりワイヤープローブの先端をワイヤープローブ用治具から突出させるようにしている。
【０００４】
また、例えば特許文献２には、ワイヤープローブを挿通したプレートを複数枚重ね合わせ、これらのプレートを互いに離れる方向に付勢したワイヤープローブ用治具が開示されている。この特許文献２記載の構成によれば、被検査基板にワイヤープローブ用治具を押しつけたときに離れていたプレートが互いに当接し、これによりワイヤープローブの先端が外方へ突出するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−４７５１２号公報
【特許文献２】特開２０１０−８５３９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記した特許文献１記載の構造においては、被検査基板にワイヤープローブ用治具を押しつける動作を繰り返す度に、後端側挿通孔２０の中でワイヤープローブが摺動することになる。このため、特に後端側挿通孔２０の開口縁（特許文献１の図５における１５ｂの引き出し線が示す付近）において摩耗が発生し易い。摩耗により摺動抵抗が増すと、後端側挿通孔２０の中でワイヤープローブがスムーズに摺動しなくなり、ワイヤープローブの先端が電極基板の接触端子へ接触できなくなるという問題があった。
【０００７】
加えて、上記した特許文献１記載の構造においては、ワイヤープローブの先端が電極基板の接触端子に付いたり離れたりするため、ワイヤープローブの先端が摩耗したり、ゴミが付着したりして接触不良となる可能性があった。
【０００８】
また、上記した特許文献２記載の構造においては、被検査基板にワイヤープローブ用治具を押しつけるたびに、保持孔２１の中でワイヤープローブが摺動することになる。このとき、ワイヤープローブは所定の方向に撓ませるために斜め方向に配置されているため、保持孔２１の開口縁（ベースプレート１４に臨む開口縁）において摩耗が発生し易くなる。摩耗により摺動抵抗が増すと、保持孔２１の中でワイヤープローブがスムーズに摺動しなくなり、ワイヤープローブの先端が電極基板の接触端子へ接触できなくなるという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、ワイヤープローブの両端を確実に電極基板の端子と被検査基板の端子とに接触させることができ、かつ、ワイヤープローブの摩耗が発生しにくいワイヤープローブ用治具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記した課題を解決するためになされたものであり、以下を特徴とする。
【００１１】
請求項１記載の発明は、電極基板と被検査基板との間に配置されて基板検査に使用されるワイヤープローブ用治具であって、ワイヤープローブの後端部を保持して電極基板に接触可能に配置されるベース部と、ワイヤープローブの先端部を保持して被検査基板に接触可能に配置されるヘッド部と、前記ヘッド部と前記ベース部とを互いに離れる方向に付勢する付勢手段と、を備え、前記ベース部と前記ヘッド部とは互いに移動可能に設けられ、前記ワイヤープローブ用治具を被検査基板に押し付けたときに、前記付勢手段の付勢力に抗して前記ヘッド部が前記ベース部の方向へ移動するように構成されており、前記ベース部は、第１ベースプレートと、前記第１ベースプレートよりも被検査基板側に配置される第２ベースプレートと、を備え、前記第１ベースプレートには、ワイヤープローブを挿通可能な第１ガイド孔が設けられ、前記第２ベースプレートには、前記第１ガイド孔に挿通されたワイヤープローブを挿通可能な第２ガイド孔が設けられ、前記第２ガイド孔は、前記第１ガイド孔に対して所定の方向へ中心をずらして設けられており、前記ヘッド部には、前記第２ガイド孔に挿通されたワイヤープローブを挿通可能な第３ガイド孔が設けられ、前記第３ガイド孔は、前記第２ガイド孔に対して前記所定の方向とは異なる方向へ中心をずらして設けられ、前記第１ガイド孔と前記第２ガイド孔と前記第３ガイド孔とでワイヤープローブをくの字形に保持可能であることを特徴とする。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、上記した請求項１に記載の発明の特徴点に加え、前記第１ガイド孔および前記第２ガイド孔は、漏斗状の拡開部を備え、前記第１ガイド孔の拡開部と前記第２ガイド孔の拡開部とが互いに臨むように配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は上記の通りであり、ワイヤープローブの後端部を保持して電極基板に接触可能に配置されるベース部とワイヤープローブの先端部を保持して被検査基板に接触可能に配置されるヘッド部とが互いに移動可能に設けられている。このような構成によれば、被検査基板にワイヤープローブ用治具を押しつけたときに、ワイヤープローブが撓むことで、ワイヤープローブの先端をワイヤープローブ用治具から突出させる弾性力が発生する。よって、ワイヤープローブの先端を確実に被検査基板に接触させることができる。
【００１４】
しかも、被検査基板にワイヤープローブ用治具を押しつけたときにワイヤープローブがベース部やヘッド部の内部で摺動する構造ではないので、ワイヤープローブの摩耗が発生しにくい。
【００１５】
ところで、本発明のような構造とした場合、上記した特許文献１記載の構造や特許文献２記載の構造と比較してワイヤープローブを保持していない中間部の距離が大きくなるため、何かの力が働いたときにワイヤープローブが動きやすくなる可能性がある。例えば、ワイヤープローブの自重によってワイヤープローブがガイド孔の内部で移動する可能性や、被検査基板からワイヤープローブ用治具を離したときにワイヤープローブをガイド孔から引き抜こうとする力が働くことでワイヤープローブがガイド孔の内部で移動する可能性が増大する。
【００１６】
この点、本発明は、前記ベース部は、第１ベースプレートと、前記第１ベースプレートの内側に配置される第２ベースプレートと、を備え、前記第１ベースプレートには、ワイヤープローブを挿通可能な第１ガイド孔が設けられ、前記第２ベースプレートには、前記第１ガイド孔に挿通されたワイヤープローブを挿通可能な第２ガイド孔が設けられ、前記第２ガイド孔は、前記第１ガイド孔に対して所定の方向へ中心をずらして設けられている。このような構成によれば、ガイド孔のずれによってワイヤープローブが動かないように固定することができるので、例えば被検査基板からワイヤープローブ用治具を離したときにワイヤープローブをガイド孔から引き抜こうとする力が働いたとしても、ベース部のガイド孔の内部でワイヤープローブが動かないようにすることができる。
【００１７】
このように、本発明は、被検査基板にワイヤープローブ用治具を押しつけたときにヘッド部からワイヤープローブの先端を突出させるとともに、ベース部においてはワイヤープローブが動かないように固定することで、ワイヤープローブの両端を確実に電極基板及び被検査基板に接触させることと、ワイヤープローブの摩耗を抑制することとを両立させている。
【００１８】
また、このような構成によれば、ワイヤープローブの後端部が電極基板の接触端子に付いたり離れたりすることもないため、ワイヤープローブの後端部が摩耗する問題や、ワイヤープローブの先端にゴミが付着する問題も生じない。
【００１９】
また、前記ヘッド部には、前記第２ガイド孔に挿通されたワイヤープローブを挿通可能な第３ガイド孔が設けられ、前記第３ガイド孔は、前記第２ガイド孔に対して前記所定の方向とは異なる方向へ中心をずらして設けられている。すなわち、第１ガイド孔と第２ガイド孔と第３ガイド孔とが「くの字形」に配置されている。このような構造によれば、ワイヤープローブとベース部のガイド孔との間の摩擦力を大きくすることで、更にワイヤープローブのベース部内における動きを制限することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】ワイヤープローブ用治具の（ａ）斜視図、（ｂ）側面図である。
【図２】待機状態のワイヤープローブ用治具の側断面図である。
【図３】検査状態のワイヤープローブ用治具の側断面図である。
【図４】待機状態のワイヤープローブ用治具の一部拡大側断面図である。
【図５】検査状態のワイヤープローブ用治具の一部拡大側断面図である。
【図６】ガイド孔の配置を説明する側面図である。
【図７】ガイド孔の配置を説明する平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の実施形態について、図を参照しながら説明する。
【００２２】
本実施形態に係るワイヤープローブ用治具１０は、基板検査に使用するワイヤープローブ４５を保持するためのものであって、被検査基板５５と電極基板５０との間に配置される。このワイヤープローブ用治具１０は、図１に示すように、複数本のワイヤープローブ４５を互いに接触しないように保持している。このワイヤープローブ用治具１０は、一方の面を電極基板５０の表面に固定した状態で、他方の面を半導体集積回路等の被検査基板５５に押し付け、保持したワイヤープローブ４５の両端をそれぞれ電極基板５０の端子と被検査基板５５の端子とに接触させるために使用される。
【００２３】
ワイヤープローブ４５は、図２等に示すように、後端部４５ａと先端部４５ｂとが露出するようにワイヤープローブ用治具１０に保持されている。検査時には、露出した後端部４５ａが電極基板５０の端子に接触し、露出した先端部４５ｂが被検査基板５５の端子に接触する。
【００２４】
電極基板５０には、ワイヤープローブ４５の後端部４５ａに接触する位置に配線５１の端部が露出して設けられている。この配線５１は検査用のスキャナ（図示せず）に対して電気的に接続されており、これにより、ワイヤープローブ４５を使用して被検査基板５５の所定の箇所の検査が実行できるようになっている。
【００２５】
本実施形態に係るワイヤープローブ用治具１０は、図２及び図３に示すように、電極基板５０側に配置されるベース部１１と、被検査基板５５側に配置されるヘッド部２０と、ベース部１１とヘッド部２０との間に設けられたスペーサ３５と、ヘッド部２０とスペーサ３５とを互いに移動可能に接続するガイドピン４３と、ベース部１１とヘッド部２０とを互いに離れる方向に付勢する付勢手段４０と、を備える。
【００２６】
ベース部１１は、ワイヤープローブ４５の後端部４５ａを保持して電極基板５０に接触可能に配置される板状部であり、本実施形態においては第１ベースプレート１２及び第２ベースプレート１５の２枚のプレートを重ね合わせて構成されている。２枚のプレートはベース固定ネジ４１によって連結されている。なお、２枚のプレートを連結するベース固定ネジ４１はスペーサ３５に螺着されており、これにより、ベース部１１とスペーサ３５とは一体的に固定されて動かないようになっている。
【００２７】
第１ベースプレート１２は、ベース部１１の外側、すなわち、電極基板５０に臨むように配置されるプレートである。この第１ベースプレート１２の表面が、電極基板５０に当接するベース部１１の表面１１ａとなっている。第１ベースプレート１２には、ワイヤープローブ４５を挿通可能な第１ガイド孔１３が設けられている。この第１ガイド孔１３は、保持するワイヤープローブ４５の数だけ設けられている。この第１ガイド孔１３の形状は、図４及び図５に示すように、小径の筒状の縮径部１３ａと、大径の漏斗状の拡開部１３ｂと、が連続した形状であり、縮径部１３ａが電極基板５０側に配置され、拡開部１３ｂが被検査基板５５側に配置されている。この第１ガイド孔１３の中心軸Ｃ１は、ベース部１１に垂直となっている。
【００２８】
第２ベースプレート１５は、第１ベースプレート１２の内側、すなわち、第１ベースプレート１２よりも被検査基板５５側に配置されるプレートである。この第２ベースプレート１５には、第１ガイド孔１３に挿通されたワイヤープローブ４５を挿通可能な第２ガイド孔１６が設けられている。この第２ガイド孔１６は、第１ガイド孔１３に連通するように、保持するワイヤープローブ４５の数だけ設けられている。この第２ガイド孔１６の形状は、図４及び図５に示すように、小径の筒状の縮径部１６ａと、大径の漏斗状の拡開部１６ｂと、が連続した形状であり、縮径部１６ａが被検査基板５５側に配置され、拡開部１６ｂが電極基板５０側に配置されている。すなわち、第２ガイド孔１６の拡開部１６ｂが、第１ガイド孔１３の拡開部１３ｂに臨むように配置されている。なお、第２ガイド孔１６の拡開部１６ｂは、第１ガイド孔１３の拡開部１３ｂよりも大きく開口している。この第２ガイド孔１６の中心軸Ｃ２は、ベース部１１に垂直となっている。
【００２９】
ヘッド部２０は、ワイヤープローブ４５の先端部４５ｂを保持して被検査基板５５に接触可能に配置される板状部であり、本実施形態においては第１ヘッドプレート２１及び第２ヘッドプレート２６の２枚のプレートを重ね合わせて構成されている。２枚のプレートはヘッド固定ネジ４２によって互いに連結されている。
【００３０】
第１ヘッドプレート２１は、ヘッド部２０の内側、すなわち、第２ヘッドプレート２６よりも電極基板５０側に配置されるプレートである。この第１ヘッドプレート２１には、ワイヤープローブ４５を挿通可能な第１挿通孔２２が設けられている。この第１挿通孔２２は、保持するワイヤープローブ４５の数だけ設けられている。この第１挿通孔２２の形状は、図４及び図５に示すように、小径の筒状の縮径部２２ａと、大径の漏斗状の拡開部２２ｂと、が連続した形状であり、縮径部２２ａが被検査基板５５側に配置され、拡開部２２ｂが電極基板５０側に配置されている。
【００３１】
第２ヘッドプレート２６は、ヘッド部２０の外側、すなわち、被検査基板５５に臨むように配置されるプレートである。この第２ヘッドプレート２６の表面が、被検査基板５５に当接するヘッド部２０の表面２０ａとなっている。第２ヘッドプレート２６には、第１挿通孔２２に挿通されたワイヤープローブ４５を挿通可能な第２挿通孔２７が設けられている。この第２挿通孔２７は、第１挿通孔２２に連通するように、保持するワイヤープローブ４５の数だけ設けられている。この第２挿通孔２７の形状は、図４及び図５に示すように、小径の筒状の縮径部２７ａと、大径の漏斗状の拡開部２７ｂと、が連続した形状であり、縮径部２７ａが被検査基板５５側に配置され、拡開部２７ｂが電極基板５０側に配置されている。なお、第２挿通孔２７の拡開部２７ｂは、第１挿通孔２２の拡開部２２ｂと略同じ大きさで開口している。なお、第２挿通孔２７の縮径部２７ａ及び第１挿通孔２２の縮径部２２ａは、第２ガイド孔１６の縮径部１６ａ及び第１ガイド孔１３の縮径部１３ａよりも小さく開口している。これにより、ベース部１１側からワイヤープローブ４５を挿通してワイヤープローブ用治具１０にワイヤープローブ４５を取り付けたときに、ワイヤープローブ４５のコーティング部が第１挿通孔２２の縮径部２２ａに係合し、ワイヤープローブ４５がヘッド部２０の外方へ抜け落ちないようになっている。
【００３２】
上記した第１挿通孔２２及び第２挿通孔２７は、同一軸上で連通する第３ガイド孔２０ｂを形成している。第３ガイド孔２０ｂは、第２ガイド孔１６に挿通されたワイヤープローブ４５を挿通可能となっており、すなわち、ワイヤープローブ４５は、第１ガイド孔１３と第２ガイド孔１６と第３ガイド孔２０ｂとに連続的に挿通されてワイヤープローブ用治具１０に保持される。この第３ガイド孔２０ｂの中心軸Ｃ３は、ベース部１１に垂直となっている。
【００３３】
スペーサ３５は、ベース部１１とヘッド部２０とを所定の間隔を設けて連結する部材である。本実施形態においては、スペーサ３５として複数の柱状の部材を用いているが、これに限らず、例えば板状の部材を用いてスペーサ３５を構成してもよい。このスペーサ３５は、一方の端部がベース固定ネジ４１によってベース部１１に固定されている。また、このスペーサ３５の他方の端部は、ガイドピン４３によってヘッド部２０に移動可能に取り付けられている。
【００３４】
ガイドピン４３は、ヘッド部２０とスペーサ３５とを互いに移動可能に連結するための部材である。このガイドピン４３は、先端部に設けられておねじが切られた螺着部４３ａと、螺着部４３ａに連続する円筒形状のガイド部４３ｂと、後端部に設けられてガイド部４３ｂよりも大径に形成された抜け止め部４３ｃと、を備える。このガイドピン４３は、螺着部４３ａがスペーサ３５に形成されためねじ部３６に螺着され、ガイド部４３ｂが第１ヘッドプレート２１に形成されたガイド孔２３を貫通し、抜け止め部４３ｃが第２ヘッドプレート２６に形成された係合孔２８に係合することで、スペーサ３５とヘッド部２０とを互いに移動可能に連結している。
【００３５】
すなわち、図４に示すように、第２ヘッドプレート２６に形成された係合孔２８は、抜け止め部４３ｃよりも小径の小径部２８ａと、抜け止め部４３ｃよりも大径の大径部２８ｂと、を備えており、小径部２８ａと大径部２８ｂとの境目の段差に抜け止め部４３ｃを係合させることで、ガイドピン４３がストッパとなり、第２ヘッドプレート２６が第１ヘッドプレート２１から外れないようになっている。また、ガイド部４３ｂの長さは、ガイド孔２３の長さと係合孔２８の小径部２８ａの長さとを足した長さよりも長く設定されているため、ヘッド部２０はガイドピン４３のガイド部４３ｂに沿って上下に移動可能となっている。具体的には、図４に示す摺動距離Ｌの分だけ、ヘッド部２０はスペーサ３５（すなわちベース部１１）に対して上下に移動可能となっている。なお、摺動距離Ｌは、「（ガイド部４３ｂの長さ）−（ガイド孔２３の長さ）−（係合孔２８の小径部２８ａの長さ）」である。
【００３６】
付勢手段４０は、ヘッド部２０とスペーサ３５（すなわちベース部１１）とを互いに離れる方向に付勢するスプリングであり、図４に示すように、一方の端部が第２ヘッドプレート２６のバネ受部２９に支持されて、第１ヘッドプレート２１のバネ用孔２４を貫通し、他方の端部がスペーサ３５のバネ受部３７に支持されている。この付勢手段４０は自然状態で圧縮されているため、この付勢手段４０の付勢力によって、図４に示すようにヘッド部２０とスペーサ３５（すなわちベース部１１）とが摺動距離Ｌを保つように離反した状態となっている。
【００３７】
上記のように構成されたワイヤープローブ用治具１０を被検査基板５５に押し付けると、図３及び図５に示すように、付勢手段４０の付勢力に抗してヘッド部２０がスペーサ３５（ベース部１１）の方向へ移動する。これにより、ヘッド部２０とベース部１１との距離が狭まるので、ヘッド部２０及びベース部１１に両端を保持されたワイヤープローブ４５が撓み、その弾性力によってワイヤープローブ４５の先端部４５ｂを外方に押し出そうとする力が発生するので、ワイヤープローブ４５の先端部４５ｂを確実に被検査基板５５に押し付けることができる。
【００３８】
このとき、ベース部１１を構成する第１ベースプレート１２及び第２ベースプレート１５は互いに移動しない。また、ヘッド部２０を構成する第１ヘッドプレート２１及び第２ヘッドプレート２６は互いに移動しない。よって、ベース部１１やヘッド部２０の内部でワイヤープローブ４５が移動する動きは発生しないか、もしくは動いたとしてもごく小さい動きであるので、ワイヤープローブ４５の摩耗を最小限とすることができる。
【００３９】
なお、検査終了後にワイヤープローブ用治具１０を被検査基板５５から離すと、図２及び図４に示すように、付勢手段４０の付勢力によってヘッド部２０がスペーサ３５（ベース部１１）から離れる方向へ移動する。これにより、ヘッド部２０とベース部１１との距離が広くなる。このとき、ワイヤープローブ４５の撓みが解消されて伸びようとするため、ワイヤープローブ４５の端部をヘッド部２０及びベース部１１から引き抜こうとする力が働く場合がある。
【００４０】
しかしながら、本実施形態においては、ワイヤープローブ４５をロックすることでベース部１１内でのワイヤープローブ４５の動きを制限している。すなわち、図６に示すように、本実施形態に係る第１ガイド孔１３の中心軸Ｃ１と第２ガイド孔１６の中心軸Ｃ２は、所定の方向へ中心をずらして設けられており、これにより、第１ガイド孔１３及び第２ガイド孔１６の中においてワイヤープローブ４５が動かないようにロックしている。このようにワイヤープローブ４５の動きを抑制することで、ワイヤープローブ４５の摩耗を防止するとともに、ワイヤープローブ４５の後端部４５ａが配線５１に付いたり離れたりする動きを防止し、ワイヤープローブ４５と配線５１との接点Ｐにおけるごみの付着や表面摩耗を防止できるようにしている。
【００４１】
更には、本実施形態に係る第３ガイド孔２０ｂの中心軸Ｃ３は、図６に示すように、第２ガイド孔１６の中心軸Ｃ２に対して中心をずらして設けられている。そして、第１ガイド孔１３の中心軸Ｃ１から見た第２ガイド孔１６の中心軸Ｃ２の方向と、第２ガイド孔１６の中心軸Ｃ２から見た第３ガイド孔２０ｂの中心軸Ｃ３の方向とが、互いに異なるように配置されている。このため、これらの３つのガイド孔に挿通されたワイヤープローブ４５は「くの字形」に保持されることとなる。このような保持方法によれば、ワイヤープローブ４５とベース部１１のガイド孔との摩擦力が大きくなるので、ベース部１１内におけるワイヤープローブ４５の動きを更に抑制することができる。
【００４２】
なお、本実施形態においては、平面視において、第１ガイド孔１３の中心軸Ｃ１から見た第２ガイド孔１６の中心軸Ｃ２の方向（図６における左方向）が、第２ガイド孔１６の中心軸Ｃ２から見た第３ガイド孔２０ｂの中心軸Ｃ３の方向（図６における右方向）の正反対の方向になるようにしている。言い換えると、図７（ａ）に示すように、平面視においてＣ１とＣ３とを結んだ線とＣ１とＣ２とを結んだ線とで成す角度θが１８０度となるようにしている。しかしながら、本発明の実施形態としてはこれに限らない。例えば、図７（ｂ）に示すように、角度θが鈍角となるようにしてもよいし、図７（ｃ）に示すように、角度θが鋭角となるようにしてもよい。ただし、ワイヤープローブ４５の移動を阻止するという目的のためには、角度θが鈍角であることが望ましく、角度θが１８０度であれば更に望ましい。
【００４３】
以上説明したように、本実施形態においては、ワイヤープローブ４５の後端部４５ａを保持して電極基板５０に接触可能に配置されるベース部１１と、ワイヤープローブ４５の先端部４５ｂを保持して被検査基板５５に接触可能に配置されるヘッド部２０とが、互いに移動可能に設けられている。このような構成によれば、被検査基板５５にワイヤープローブ用治具１０を押しつけたときに、ワイヤープローブ４５が撓むことで、ワイヤープローブ４５の先端４５ｂをワイヤープローブ用治具１０から突出させる弾性力が発生する。よって、ワイヤープローブ４５の先端４５ｂを確実に被検査基板５５に接触させることができる。
【００４４】
しかも、被検査基板５５にワイヤープローブ用治具１０を押しつけたときでもガイド孔の内部でワイヤープローブ４５がほとんど動かないので、ワイヤープローブ４５の摩耗が発生しにくい。
【００４５】
また、前記ベース部１１は、第１ベースプレート１２と、前記第１ベースプレート１２の内側に配置される第２ベースプレート１５と、を備え、前記第１ベースプレート１２には、ワイヤープローブ４５を挿通可能な第１ガイド孔１３が設けられ、前記第２ベースプレート１５には、前記第１ガイド孔１３に挿通されたワイヤープローブ４５を挿通可能な第２ガイド孔１６が設けられ、前記第２ガイド孔１６は、前記第１ガイド孔１３に対して所定の方向へ中心をずらして設けられている。このような構成によれば、ガイド孔のずれによってワイヤープローブ４５が動かないように固定することができるので、例えば被検査基板５５からワイヤープローブ用治具１０を離したときにワイヤープローブ４５をガイド孔から引き抜こうとする力が働いたとしても、ベース部１１のガイド孔の内部でワイヤープローブ４５が動かないように固定することができる。そして、このようにワイヤープローブ４５の後端４５ａを固定することで、ワイヤープローブ４５の後端４５ａが電極基板５０に接触した状態を維持することができる。
【００４６】
また、このような構成によれば、ワイヤープローブ４５の後端部４５ａが電極基板５０の接触端子に付いたり離れたりすることもないため、ワイヤープローブ４５の先端が摩耗する問題や、ワイヤープローブ４５の後端部４５ａにゴミが付着する問題も生じない。
【００４７】
また、前記ヘッド部２０には、前記第２ガイド孔１６に挿通されたワイヤープローブ４５を挿通可能な第３ガイド孔２０ｂが設けられ、前記第３ガイド孔２０ｂは、前記第２ガイド孔１６に対して前記所定の方向とは異なる方向へ中心をずらして設けられている。すなわち、第１ガイド孔１３と第２ガイド孔１６と第３ガイド孔２０ｂとが「くの字形」に配置されているため、ワイヤープローブ４５を確実にベース部１１においてロックすることができる。よって、ベース部１１のガイド孔の内部でワイヤープローブ４５が動かないので、ワイヤープローブ４５の摩耗を発生しにくくすることができる。
【００４８】
なお、上記した実施形態においては、ベース部１１とヘッド部２０とをそれぞれ２枚のプレートで形成することとした。しかしながら、本発明の実施形態としてはこれに限らず、ベース部１１を３枚以上のプレートで形成してもよい。このとき、３枚以上のプレートにそれぞれワイヤープローブ４５を挿通するガイド孔を設け、それぞれのガイド孔の中心が互い違いになるように配置してもよい。また、ヘッド部２０については、１枚のプレートで形成してもよいし、３枚以上のプレートで形成してもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１０  ワイヤープローブ用治具
１１  ベース部
１１ａ  表面
１２  第１ベースプレート
１３  第１ガイド孔
１３ａ  縮径部
１３ｂ  拡開部
１５  第２ベースプレート
１６  第２ガイド孔
１６ａ  縮径部
１６ｂ  拡開部
２０  ヘッド部
２０ａ  表面
２０ｂ  第３ガイド孔
２１  第１ヘッドプレート
２２  第１挿通孔
２２ａ  縮径部
２２ｂ  拡開部
２３  ガイド孔
２４  バネ用孔
２６  第２ヘッドプレート
２７  第２挿通孔
２７ａ  縮径部
２７ｂ  拡開部
２８  係合孔
２８ａ  小径部
２８ｂ  大径部
２９  バネ受部
３５  スペーサ
３６  めねじ部
３７  バネ受部
４０  付勢手段
４１  ベース固定ネジ
４２  ヘッド固定ネジ
４３  ガイドピン
４３ａ  螺着部
４３ｂ  ガイド部
４３ｃ  抜け止め部
４５  ワイヤープローブ
４５ａ  後端部
４５ｂ  先端部
５０  電極基板
５１  配線
５５  被検査基板
Ｐ  接点
Ｌ  摺動距離
Ｃ１  第１ガイド孔の中心軸
Ｃ２  第２ガイド孔の中心軸
Ｃ３  第３ガイド孔の中心軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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