(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の熱処理のためのランプ装置であって、
一対のリード線に連結されたフィラメントを封入するバルブと、
ランプベースと
を備え、前記ランプベースが、
前記ランプベースから離れるように第１方向に延在する前記バルブを前記ランプベースに接続するシールと、
一又は複数の壁及び２つの端部を有するスリーブであって、前記２つの端部の１つは前記シールを取り囲むシーリング端部であるスリーブと、
前記スリーブを通って設けられ、前記一対のリード線に連結されている一又は複数の電線と、
一又は複数の孔を有する一又は複数のフック掛け可能な特徴であって、フックが前記一又は複数のフック掛け可能な特徴の１つと係合しているとき、前記フックを前記第１方向に引っ張ることにより、電気的に接続された位置から前記ランプ装置を分離して取り外すようにフックの使用を可能にする、前記シーリング端部から１０ｍｍ以内に配置された、前記一対のリード線から電気的に隔離された一又は複数のフック掛け可能な特徴と
を含む、ランプ装置。
【請求項２】
前記一又は複数のフック掛け可能な特徴は、前記スリーブの少なくとも１つの壁を通る前記一又は複数の孔を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記一又は複数のフック掛け可能な特徴は、前記シーリング端部から延在する一又は複数のタブを備え、前記一又は複数のタブはそれぞれ前記一又は複数の孔を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記一又は複数のフック掛け可能な特徴は、前記シーリング端部から延在するカラーを備え、前記カラーは前記一又は複数の孔を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記一又は複数のフック掛け可能な特徴は、前記シーリング端部から延在する一又は複数のループを備える、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記一又は複数のフック掛け可能な特徴は、少なくとも１つのスリーブ壁の上に前記一又は複数の孔を形成するための一又は複数の弱くなった領域を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記一又は複数の弱くなった領域は、複数のミシン目を備える、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記一又は複数のフック掛け可能な特徴は、前記シーリング端部から２ｍｍ以内に配置される、請求項１に記載のランプ装置。
【請求項９】
基板の熱処理のためのランプ装置であって、
一対のリード線に連結されたフィラメントを封入するバルブと、
ランプベースと
を備え、前記ランプベースが、
前記ランプベースから離れるように第１方向に延在する前記バルブを前記ランプベースに接続するシールと、
縦軸の周りに延在して第１端部と第２端部を有するスリーブであって、前記第１端部は前記第２端部の反対側にあり、前記第１端部は前記シールを取り囲むスリーブと、
一又は複数の孔を有する一又は複数のフック掛け可能な特徴であって、フックが前記一又は複数のフック掛け可能な特徴の１つと係合しているとき、前記フックを前記第１方向に引っ張ることにより、電気的に接続された位置から前記ランプ装置を分離して取り外すようにフックの使用を可能にする、前記第１端部から１０ｍｍ以内に配置された、前記一対のリード線から電気的に隔離された一又は複数のフック掛け可能な特徴と
を含む、ランプ装置。
【請求項１０】
前記スリーブは、２つの短辺と２つの長辺を有する四辺形を備え、４つの辺はすべて前記縦軸を取り囲む、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記一又は複数のフック掛け可能な特徴は、前記短辺の少なくとも１つを通る前記一又は複数の孔を備える、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記一又は複数のフック掛け可能な特徴は、前記一又は複数の孔を有し、前記短辺の少なくとも１つから延在する一又は複数のタブを備え、前記一又は複数のタブは前記縦軸に向かって角度がつけられている、請求項１０に記載の装置。
【請求項１３】
前記一又は複数のフック掛け可能な特徴は、前記短辺の少なくとも１つの上に前記一又は複数の孔を形成するための一又は複数の弱くなった領域を含む、請求項１０に記載の装置。
【請求項１４】
前記一又は複数のフック掛け可能な特徴は、前記第１端部から２ｍｍ以内に配置される、請求項１０に記載のランプ装置。
【請求項１５】
基板を熱処理するためのランプ装置であって、
一対のリード線に連結されたフィラメントを封入するバルブと、
ランプベースと
を備え、前記ランプベースが、
前記ランプベースから離れるように第１方向に延在する前記バルブを前記ランプベースに接続するシールと、
縦軸の周りに延在して第１端部と第２端部を有するスリーブであって、前記第１端部は前記第２端部の反対側にあり、前記第１端部が前記シールを取り囲むスリーブと、
前記スリーブを充填する埋め込み用化合物と、
前記第１端部から１０ｍｍ以内に配置された一又は複数の孔を有する一又は複数のタブであって、フックが一又は複数のタブの孔の１つと係合しているとき、前記フックを前記第１方向に引っ張ることにより、電気的に接続された位置から前記ランプ装置を分離して取り外すようにフックの使用を可能にするため、前記一対のリード線から電気的に隔離され、前記第１端部から延在し、前記縦軸に向かって角度がつけられている一又は複数のタブと
を含む、ランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［０００１］  記載されている実施形態の態様は概して、半導体基板の熱処理に使用されるランプ装置に関する。より具体的には、記載されている実施形態は、ランプ装置が故障したとき、熱処理チャンバからランプ装置の取り外しを単純化する特徴を有するランプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
［０００２］  急速熱処理（ＲＴＰ）は、シリコンウエハなどの基板を急速に加熱及び冷却することを可能にする、熱処理技術の１つである。ＲＴＰウエハ処理応用には、とりわけ、アニーリング、ドーパント活性化、急速熱酸化、及びケイ素化などが含まれる。典型的なピーク処理温度は、約４５０℃から１１００℃の範囲となりうる。加熱は典型的に、ＲＴＰチャンバ内で、処理対象基板の上方又は下方に配置されるランプ装置によって行われる。
【０００３】
［０００３］  図１は、ＲＴＰチャンバ（図示せず）内で使用される従来のランプ５０の前面図である。バルブ７０はシール８０を通ってランプベース６０に接続されている。ランプ５０はまた、バルブ７０の中のフィラメント（図示せず）及びフィラメントを電源に接続する電線（図示せず）など、ランプの典型的な特徴を有する。ランプベース６０は、ランプ５０の使用時に電源（図示せず）に連結されるプラグ９０に連結されている。
【０００４】
［０００４］  すべてのランプに共通する問題は、最終的にはランプの故障である。ＲＴＰチャンバが基板を下方から加熱するようにランプを使用する場合、ランプを取り外すためのアクセスは、バルブ周囲の領域に限定されることが多い。例えば、ランプ５０などのランプがＲＴＰチャンバ内で故障した場合には、ランプ５０はバルブ７０をつかむ吸引端部を有するホースによって取り外すことができる。バルブ７０が破裂した場合には問題が発生し、別の事態が吸引装置を使用したランプ５０の取り外しを阻む。バルブ７０が破裂したランプ５０を取り除くためには、多くの場合、ランプ５０を収納するチャンバを分解しなければならない。ランプを取り除くためのチャンバの分解には時間がかかり、コスト効率がよくない。
【０００５】
［０００５］  そのため、熱処理チャンバからのランプの取り外しを単純化する改良されたランプが必要になっている。
【発明の概要】
【０００６】
［０００６］  一実施形態では、基板の熱処理のためのランプ装置が提供される。ランプ装置は、一対のリード線を有するフィラメントを封入するバルブを含む。ランプ装置は更にランプベースを含む。ランプベースは、バルブをランプベースに接続するシールと、一又は複数の壁及び一方の端部がシールを取り囲む２つの端部と、スリーブを充填する埋め込み用化合物と、スリーブと埋め込み用化合物を通って分布し、一対のリード線に連結された一又は複数の電線と、シール端部から１０ｍｍ以内に配置された一又は複数の吊るすことが可能な特徴とを含む。
【０００７】
［０００７］  別の実施形態では、基板の熱処理のためのランプ装置が提供される。ランプ装置は、一対のリード線を有するフィラメントを封入するバルブを含む。ランプ装置は更にランプベースを含む。ランプベースは、バルブをランプベースに接続するシールと、縦軸の周りに延在して第１端部と第２端部を有するスリーブであって、第１端部は第２端部に対向し、第１端部がシールを取り囲むスリーブと、スリーブを充填する埋め込み用化合物と、第１端部から１０ｍｍ以内に配置された一又は複数の吊るすことが可能な特徴とを含む。
【０００８】
［０００８］  別の実施形態では、基板の熱処理のためのランプ装置が提供される。ランプ装置は、一対のリード線を有するフィラメントを封入するバルブを含む。ランプ装置は更にランプベースを含む。ランプベースは、バルブをランプベースに接続するシールと、縦軸の周りに延在して第１端部と第２端部を有するスリーブであって、第１端部は第２端部に対向し、第１端部がシールを取り囲むスリーブと、スリーブを充填する埋め込み用化合物と、第１端部から１０ｍｍ以内に配置された一又は複数の孔を有する一又は複数のタブであって、第１端部から延在し、縦軸に向かって角度がつけられた一又は複数のタブとを含む。
【０００９】
［０００９］  上述の実施形態の列挙された特徴を詳細に理解することができるように、上記で簡単に概説した本開示のより具体的な説明は以下の実施形態を参照することによって得ることができ、これら実施形態の幾つかは添付の図面で示される。しかしながら、添付の図面は、典型的な実施形態のみを示しており、従って、他の等しく有効な実施形態を排除すべくその範囲を限定していると見なすべきではないことに、留意されたい。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】熱処理チャンバ内で使用される従来のランプの概略正面図である。
【図２】一実施形態によるランプの断面図である。
【図３Ａ】種々の実施形態によるランプを示す部分斜視図である。
【図３Ｂ】種々の実施形態によるランプを示す部分斜視図である。
【図３Ｃ】種々の実施形態によるランプを示す部分斜視図である。
【図３Ｄ】種々の実施形態によるランプを示す部分斜視図である。
【００１１】
［００１３］  理解を容易にするために、図に共通する同一の要素を指し示すために、可能な場合には、同一の参照番号を使用した。一実施形態で開示する要素は、具体的な記述がなくとも、他の実施形態で有益に利用できることが企図されている。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
［００１４］  改良されたランプは、ランプを収納する熱処理  チャンバからこのようなランプを取り外す際には利点をもたらす、と説明されている。
【００１３】
［００１５］  図２は、一実施形態による、ＲＴＰチャンバ（図示せず）内で使用されるランプ１００の断面図である。ランプ１００は、バルブ１１０及びランプベース１３０を含む。バルブ１１０はシール１３６を通ってランプベース１３０に接続されている。ランプベース１３０は、縦軸（図示せず）を取り囲み一又は複数のスリーブ壁１３２を有するスリーブ１３１と、シーリング端部１３４（第１端部とも称される）と、シーリング端部１３４に対向するプラグ端部１３８（第２端部とも称される）とを含む。シーリング端部１３４はシール１３６を取り囲む。スリーブ１３１の断面は、円形、正方形、長方形又はスリーブが典型的に有する任意の形状となりうる。プラグ端部１３８はプラグ１２０に連結されている。埋め込み用化合物１４０は、一又は複数のスリーブ壁１３２とシール１３６との間の領域を含むスリーブ１３１を充填する。バルブ１１０、及びスリーブ１３１は同軸になり、スリーブ１３１が取り囲む同一の縦軸を共有しうる。
【００１４】
［００１６］  バルブ１１０はフィラメント１１２を封入する。フィラメント１１２は一対のリード線１１４ａ、１１４ｂに連結されている。一対のリード線１１４ａ、１１４ｂは、フィラメントコネクタ１１６ａ、１１６ｂを通って、一対の電線１１８ａ、１１８ｂに連結されている。電線１１８ａ、１１８ｂは、プラグコネクタ１２２ａ、１２２ｂを通って、プラグ１２０に連結されている。プラグ１２０は、使用中にランプ１００に電力を供給する電源（図示せず）に連結されている。
【００１５】
［００１７］  熱処理チャンバ（図示せず）からのランプ１００の取り外しを容易にするため、ランプベース１３０は更に吊り下げ可能な特徴１８０を含む。吊り下げ可能な特徴１８０は、ランプベース１３０に対する付加又は修正であって、フック（図示せず）を使用してチャンバからランプ１００を取り外すことを可能にする。吊り下げ可能な特徴１８０は、シーリング端部１３４から約１ｍｍ〜２０ｍｍの間、例えば１０ｍｍの距離に配置される。幾つかの実施形態では、吊り下げ可能な特徴１８０は、シーリング端部１３４から５ｍｍ以内に、或いはシーリング端部１３４から２ｍｍ以内に配置されうる。吊り下げ可能な特徴１８０は、図２のスリーブ１３１のシーリング端部１３４から延在するループ１８２として表示されるが、吊り下げ可能な特徴１８０は様々な形態をとりうる。以下の段落は、吊り下げ可能な特徴１８０がとりうる様々な形態の幾つかの例を提供している。
【００１６】
［００１８］  図３Ａから図３Ｄは、種々の実施形態によるランプ装置の部分斜視図である。
【００１７】
［００１９］  図３Ａはランプ２１０の部分斜視図である。ランプ２１０は、ループ１８２の代わりに吊り下げ可能な特徴１８０として、スリーブ壁１３２を通る一又は複数の孔２１２を有する点を除いて、ランプ１００と同様である。吊り下げ可能な特徴１８０（本実施形態の孔２１２の上部）とシーリング端部１３４との間の距離２０２は、１ｍｍ〜２０ｍｍの間、例えば１０ｍｍとなりうる。フック（図示せず）は、スリーブ１３１の外側から孔２１２に挿入可能である。代替的に、フックは埋め込み用化合物１４０を取り除くために使用可能で、スリーブ１３１の内側から孔２１２を通って挿入可能である。
【００１８】
［００２０］  図３Ｂはランプ２２０の部分斜視図である。ランプ２２０は、ループ１８２の代わりに吊り下げ可能な特徴１８０として、スリーブ１３１のシーリング端部１３４から延在する孔２２４を備えるタブ２２２を有する点を除いて、ランプ１００と同様である。ランプ２２０は２つ以上のタブを有することがあり、タブ２２２は２つ以上の孔を有することがある。バルブ１１０、シール１３６、及びランプベース１３０はすべて、縦軸２０８に沿って配置されうる。タブ２２２は、図３Ｂに示したように、縦軸２０８に向かって角度をつけることができる。代替的に、タブ２２２は縦軸２０８に対して平行にすること、或いは縦軸２０８から離れるように角度をつけることができる。スリーブ１３１は、２つの短辺２３３と２つの長辺２３５を有する四辺形であってもよく、  ４つの辺２３３、２３５はすべて縦軸２０８を取り囲む。吊り下げ可能な特徴１８０は、短辺２３３の１つ又は長辺２３５の１つに取り付けられてもよく、或いはこれらを介して分布してもよい。例えば、タブ２２２は短辺２３３の１つのシーリング端部１３４から延在するように表示されている。吊り下げ可能な特徴１８０（本実施形態の孔２２４の上部）とシーリング端部１３４との間の距離２０２は、１ｍｍ〜２０ｍｍの間、例えば１０ｍｍとなりうる。
【００１９】
［００２１］  図３Ｃはランプ２３０の部分斜視図である。ランプ２３０は、ループ１８２の代わりに吊り下げ可能な特徴１８０として、スリーブ１３１のシーリング端部１３４から延在する孔２３４を備えるカラー２３２を有する点を除いて、ランプ１００と同様である。ランプ２２０は２つ以上のカラーを有することがあり、カラー２３２は２つ以上の孔を有することがある。バルブ１１０、シール１３６、及びランプベース１３０はすべて、縦軸２０８に沿って配置されうる。カラー２３２は、図３Ｃに示したように、縦軸２０８に向かって角度をつけることができる。代替的に、カラー２３２は縦軸２０８に対して平行にすること、或いは縦軸２０８から離れるように角度をつけることができる。吊り下げ可能な特徴１８０（本実施形態の孔２３４の上部）とシーリング端部１３４との間の距離２０２は、１ｍｍ〜２０ｍｍの間、例えば１０ｍｍとなりうる。
【００２０】
［００２２］  図３Ｄはランプ２４０の部分斜視図である。ランプ２４０は、ループ１８２の代わりに吊り下げ可能な特徴１８０として、スリーブ壁１３２上の弱くなった領域２４２を有する点を除いて、ランプ１００と同様である。弱くなった領域２４２は、フック（図示せず）によってスリーブ１３１が容易に穴開け可能となるように、スリーブ壁１３２に複数のミシン目２４４又は切り込み線（図示せず）を含みうる。弱くなった領域２４２はまた、フックによって容易に穴開け可能となるように、スリーブ壁１３２に凹み又は凹部（図示せず）を含みうる。代替的に、弱くはないが、吊り下げられるように構成された凹み又は凹部が使用されうる。このような弱くない凹み又は凹部は、フックを引っかけることができるようにする縁、枠又は他の特徴を有しうる。吊り下げ可能な特徴１８０（本実施形態の弱くなった領域２４２の上部）とシーリング端部１３４との間の距離２０２は、１ｍｍ〜２０ｍｍの間、例えば１０ｍｍとなりうる。
【００２１】
［００２３］  図２及び図３Ａを参照すると、ランプ１００は２つ以上の吊り下げ可能な特徴１８０を含みうる。２つ以上の吊り下げ可能な特徴１８０がある場合には、吊り下げ可能な特徴は同じ種類或いは異なる種類であってもよい。例えば、ランプ１００は２つ以上のループ１８２を含んでもよく、或いはランプ１００はループ１８２と孔２１２を含んでもよい。吊り下げ可能な特徴が異なることにより異なる利点がもたらされ、異なる機器の或いは異なる状況にある同一のランプ１００を容易に取り外すことができる。
【００２２】
［００２４］  以上の説明は典型的な実施形態を対象としているが、本開示の基本的な範囲を逸脱せずに他の実施形態及び更なる実施形態を考案してもよく、本開示の範囲は、添付の特許請求の範囲によって定められる。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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