(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物に対向配置され前記測定対象物の軸線方向に並ぶ２つの領域の温度を測定する赤外線センサであって、
基板と、
前記基板の上面に互いに離間して設けられた感熱部である第１のセンサ部及び第２のセンサ部と、
前記第１のセンサ部及び前記第２のセンサ部の上方に開口部を有して前記第１のセンサ部及び前記第２のセンサ部の感熱面の周囲を覆う筒状の導光路部とを備え、
前記導光路部が、前記第１のセンサ部及び前記第２のセンサ部の周囲を囲んだ外壁部と、前記外壁部内に設けられ前記第１のセンサ部の上方の開口部と前記第２のセンサ部の上方の開口部とを仕切ると共に前記外壁部よりも高い仕切り板部とを有し、
前記基板の上面の前記仕切り板部の直下に感熱部である第３のセンサ部を備え、
前記導光路部が、平面視長方形状に形成され、
前記仕切り板部が、前記導光路部の長手方向の中央に配されており、
前記外壁部のうち前記導光路部の長手方向に直交する外壁部が、前記導光路部の短手方向に直交する外壁部よりも低く設定され、
前記導光路部の長手方向が、前記軸線方向に沿って配され、
前記導光路部の長手方向に直交する外壁部と、前記導光路部の短手方向に直交する外壁部とが共に矩形状であることを特徴とする赤外線センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の赤外線センサにおいて、
前記仕切り板部の先端部が、前記第１のセンサ部側及び前記第２のセンサ部側に幅広に形成されていることを特徴とする赤外線センサ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の赤外線センサにおいて、
前記基板の上面に直接又は他の部材を介して設置された絶縁性フィルムを備え、
前記第１のセンサ部が、前記絶縁性フィルムの前記基板側である一方の面に設けられた第１の感熱素子と、
前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第１の感熱素子に接続された導電性の第１の配線膜とを備え、
前記第２のセンサ部が、前記絶縁性フィルムの一方の面に前記第１の感熱素子から離間させて設けられた第２の感熱素子と、
前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第２の感熱素子に接続された導電性の第２の配線膜とを備え、
前記第３のセンサ部が、前記絶縁性フィルムの一方の面であって前記仕切り板部の直下に設けられた第３の感熱素子と、
前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第３の感熱素子に接続された導電性の第３の配線膜と、
前記第３の感熱素子に対向して前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜とを備え、
前記赤外線反射膜と前記仕切り板部とが、隙間を空けて配されていることを特徴とする赤外線センサ。
【請求項４】
請求項３に記載の赤外線センサにおいて、
前記絶縁性フィルムが、前記第１のセンサ部と前記第３のセンサ部との間及び前記第２のセンサ部と前記第３のセンサ部との間にそれぞれ形成された一対のスリットを有していることを特徴とする赤外線センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物からの赤外線を検出して該測定対象物の温度を測定する赤外線センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、複写機やプリンタ等の画像形成装置に使用されている定着ローラ等の測定対象物の温度を測定するために、測定対象物に対向配置させ、その輻射熱を受けて温度を測定する赤外線センサが設置されている。
例えば、特許文献１には、保持体に設置した樹脂フィルムと、該樹脂フィルムに設けられ保持体の導光部を介して赤外線を検出する赤外線検出用感熱素子と、樹脂フィルムに遮光状態に設けられ保持体の温度を検出する温度補償用感熱素子とを備えた赤外線温度センサが提案されている。
【０００３】
一方、他の赤外線センサとして、例えば、特許文献２及び３には、絶縁性フィルムと、該絶縁性フィルムの一方の面に互いに離間させて設けられた第１の感熱素子及び第２の感熱素子と、絶縁性フィルムの一方の面に形成され第１の感熱素子に接続された導電性の第１の配線膜及び第２の感熱素子に接続された導電性の第２の配線膜と、第２の感熱素子に対向して絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜とを備えた赤外線センサが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１５６２８４号公報
【特許文献２】特開２０１２−２２５６９３号公報
【特許文献３】特開２０１２−２１１７８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
画像形成装置の定着ローラでは、印刷する紙のサイズ（例えば、Ａ４やＡ３のサイズ）により定着ローラに温度分布が生じるため、定着ローラの軸方向の２つの領域を測定することが必要である。このため、従来、図７に示すように、２つの赤外線センサ１０１Ａ，１０１Ｂを定着ローラＲに対向配置して２つの領域を測定している。しかしながら、この従来の測定方式の場合、２つの赤外線センサ１０１Ａ，１０１Ｂの視野が重なって測定領域も重なってしまうことを防ぐために、２つの赤外線センサ１０１Ａ，１０１Ｂを互いに十分に離して設置する必要があり、２つの赤外線センサ１０１Ａ，１０１Ｂを設置するスペースを広く設定しなければならなかった。また、２つの赤外線センサ１０１Ａ，１０１Ｂの設置が必要になり、部品点数が増大してしまう不都合があった。
【０００６】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、１つで２つの測定領域の温度を別々に測定することが可能な赤外線センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第１の発明に係る赤外線センサは、基板と、前記基板の上面に互いに離間して設けられた感熱部である第１のセンサ部及び第２のセンサ部と、前記第１のセンサ部及び前記第２のセンサ部の上方に開口部を有して前記第１のセンサ部及び前記第２のセンサ部の感熱面の周囲を覆う筒状の導光路部とを備え、前記導光路部が、前記第１のセンサ部及び前記第２のセンサ部の周囲を囲んだ外壁部と、前記外壁部内に設けられ前記第１のセンサ部の上方の開口部と前記第２のセンサ部の上方の開口部とを仕切ると共に前記外壁部よりも高い仕切り板部とを有していることを特徴とする。
【０００８】
この赤外線センサでは、導光路部が、第１のセンサ部及び第２のセンサ部の周囲を囲んだ外壁部と、外壁部内に設けられ第１のセンサ部の上方の開口部と第２のセンサ部の上方の開口部とを仕切ると共に外壁部よりも高い仕切り板部とを有しているので、高い仕切り板部が第１のセンサ部と第２のセンサ部との互いに重なる視野角の部分を遮って測定領域の重なりを低減することができる。このように２つのセンサ部を一体化すると共に、２つのセンサ部の視野ができるだけ重ならないように仕切り板部を設けたことで、第１のセンサ部と第２のセンサ部との距離を短く設定することができ、全体を小型化することが可能である。したがって、本発明の赤外線センサでは、１つで２つの測定領域を別々に高精度に測定可能であり、従来に比べて小さいスペースでも設置可能である。
【０００９】
第２の発明に係る赤外線センサは、第１の発明において、前記基板の上面の前記仕切り板部の直下に感熱部である第３のセンサ部を備えていることを特徴とする。
すなわち、この赤外線センサでは、基板の上面の仕切り板部の直下に感熱部である第３のセンサ部を備えているので、第３のセンサ部が仕切り板部の陰になることで赤外線の入射が妨げられて補償用のセンサ部とすることができる。
【００１０】
第３の発明に係る赤外線センサは、第１又は第２の発明において、前記仕切り板部の先端部が、前記第１のセンサ部側及び前記第２のセンサ部側に幅広に形成されていることを特徴とする。
すなわち、この赤外線センサでは、仕切り板部の先端部が、第１のセンサ部側及び第２のセンサ部側に幅広に形成されているので、仕切り板部の高さをより高く設定しなくても幅広な先端部によって第１のセンサ部と第２のセンサ部との互いの視野の重なりをより狭く設定することができる。
【００１１】
第４の発明に係る赤外線センサは、第２の発明において、前記基板の上面に直接又は他の部材を介して設置された絶縁性フィルムを備え、前記第１のセンサ部が、前記絶縁性フィルムの前記基板側である一方の面に設けられた第１の感熱素子と、前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第１の感熱素子に接続された導電性の第１の配線膜とを備え、前記第２のセンサ部が、前記絶縁性フィルムの一方の面に前記第１の感熱素子から離間させて設けられた第２の感熱素子と、前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第２の感熱素子に接続された導電性の第２の配線膜とを備え、前記第３のセンサ部が、前記絶縁性フィルムの一方の面であって前記仕切り板部の直下に設けられた第３の感熱素子と、前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第３の感熱素子に接続された導電性の第３の配線膜と、前記第３の感熱素子に対向して前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜とを備え、前記赤外線反射膜と前記仕切り板部とが、隙間を空けて配されていることを特徴とする。
すなわち、この赤外線センサでは、赤外線反射膜と仕切り板部とが、隙間を空けて配されているので、仕切り板部から熱が伝わって逃げてしまうことを防ぐことができ、特に補償用となる第３のセンサ部の精度を向上させることができる。
【００１２】
第５の発明に係る赤外線センサは、第４の発明において、前記絶縁性フィルムが、前記第１のセンサ部と前記第３のセンサ部との間及び前記第２のセンサ部と前記第３のセンサ部との間にそれぞれ形成された一対のスリットを有していることを特徴とする。
すなわち、この赤外線センサでは、絶縁性フィルムが、第１のセンサ部と第３のセンサ部との間及び第２のセンサ部と第３のセンサ部との間にそれぞれ形成された一対のスリットを有しているので、補償用となる第３のセンサ部と両側の第１のセンサ部及び第２のセンサ部との間で熱が伝わることをスリットで妨げることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係る赤外線センサによれば、導光路部が、第１のセンサ部及び第２のセンサ部の周囲を囲んだ外壁部と、外壁部内に設けられ第１のセンサ部の上方の開口部と第２のセンサ部の上方の開口部とを仕切ると共に外壁部よりも高い仕切り板部とを有しているので、高い仕切り板部が第１のセンサ部と第２のセンサ部との互いに重なる視野角の部分を遮って測定領域の重なりを低減することができる。したがって、定着ローラの２つの測定領域について温度の測定を行う場合に、従来は２つの赤外線センサを取り付ける必要があったのに対し、本発明の赤外線センサでは、１つだけで２つの測定領域について高精度に温度の測定を行うことができ、部材点数及び部材コストの削減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る赤外線センサの第１実施形態を示す断面図である。
【図２】第１実施形態において、導光路部を示す斜視図である。
【図３】第１実施形態において、第１から第３のセンサ部が設けられた絶縁性フィルムの他方の面（ａ）と、一方の面（ｂ）とを示す図である。
【図４】第１実施形態において、赤外線センサが定着ローラに対向配置された状態を示す説明図である。
【図５】本発明に係る赤外線センサの第２実施形態を示す断面図である。
【図６】本発明に係る赤外線センサの第３実施形態において、第１から第３のセンサ部が設けられた絶縁性フィルムの他方の面（ａ）と、一方の面（ｂ）とを示す図である。
【図７】本発明に係る赤外線センサの従来例において、２つの赤外線センサが定着ローラに対向配置された状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る赤外線センサの第１実施形態を、図１から図３を参照しながら説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能又は認識容易な大きさとするために縮尺を適宜変更している。
【００１６】
本実施形態の赤外線センサ１は、図１から図３に示すように、基板２と、基板２の上面に互いに離間して設けられた感熱部である第１のセンサ部３Ａ及び第２のセンサ部３Ｂと、第１のセンサ部３Ａ及び第２のセンサ部３Ｂの上方に開口部を有して第１のセンサ部３Ａ及び第２のセンサ部３Ｂの感熱面３ａ，３ｂの周囲を覆う筒状の導光路部４とを備えている。すなわち、この赤外線センサ１は、２つの赤外線検知用のセンサ部３Ａ，３Ｂを有した複眼型の非接触温度センサである。
【００１７】
上記導光路部４が、第１のセンサ部３Ａ及び第２のセンサ部３Ｂの周囲を囲んだ外壁部４ａ，４ｂと、外壁部４ａ，４ｂ内に設けられ第１のセンサ部３Ａの上方の開口部と第２のセンサ部３Ｂの上方の開口部とを仕切ると共に外壁部４ａ，４ｂよりも高い仕切り板部４ｃとを有している。この導光路部４は、平面視長方形状に形成され、長手方向の視野を広げるために長手方向に直交する外壁部４ａが短手方向に直交する外壁部４ｂよりも低く設定されている。
なお、導光路部４は、筐体５の外周を覆って基板２の上面に設置され、例えばステンレスやアルミニウム等の金属板で構成されている。
【００１８】
さらに、本実施形態の赤外線センサ１は、基板２の上面の仕切り板部４ｃの直下に感熱部である第３のセンサ部３Ｃと、基板２の上面に筐体５を介して設置された絶縁性フィルム６とを備えている。
上記第１のセンサ部３Ａは、図３に示すように、絶縁性フィルム６の基板２側である一方の面に設けられた第１の感熱素子７ａと、絶縁性フィルム６の一方の面に形成され第１の感熱素子７ｂに接続された導電性の第１の配線膜８Ａとを備えている。
上記第２のセンサ部３Ｂは、絶縁性フィルム６の一方の面に第１の感熱素子７ａから離間させて設けられた第２の感熱素子７ｂと、絶縁性フィルム６の一方の面に形成され第２の感熱素子７ｂに接続された導電性の第２の配線膜８Ｂとを備えている。
【００１９】
上記第３のセンサ部３Ｃは、絶縁性フィルム６の一方の面であって仕切り板部４ｃの直下に設けられた第３の感熱素子７ｃと、絶縁性フィルム６の一方の面に形成され第３の感熱素子７ｃに接続された導電性の第３の配線膜８Ｃと、第３の感熱素子７ｃに対向して絶縁性フィルム６の他方の面に設けられた赤外線反射膜９とを備えている。
すなわち、第３のセンサ部３Ｃは、温度補償用であり、第１のセンサ部３Ａ及び第２のセンサ部３Ｂは、赤外線検知用とされる。
上記赤外線反射膜９と上記仕切り板部４ｃとは、隙間を空けて配されている。すなわち、仕切り板部４ｃは、その両側の外壁部４ｂに両端が固定されており、下端部が下方の赤外線反射膜９と接触していない。
【００２０】
上記基板２は、例えばプリント基板（ＰＣＢ）であり、長方形状に形成されている。
上記第１の感熱素子７ａ、第２の感熱素子７ｂ及び第３の感熱素子７ｃは、両端部に端子電極が形成されたチップサーミスタである。このサーミスタとしては、ＮＴＣ型、ＰＴＣ型、ＣＴＲ型等のサーミスタがあるが、本実施形態では、第１の感熱素子７ａ、第２の感熱素子７ｂ及び第３の感熱素子７ｃとして、例えばＮＴＣ型サーミスタを採用している。このサーミスタは、Ｍｎ−Ｃｏ−Ｃｕ系材料、Ｍｎ−Ｃｏ−Ｆｅ系材料等のサーミスタ材料で形成されている。
【００２１】
特に、本実施形態では、第１の感熱素子７ａ、第２の感熱素子７ｂおよび第３の感熱素子７ｃとして、Ｍｎ，ＣｏおよびＦｅの金属酸化物を含有するセラミックス焼結体、すなわちＭｎ−Ｃｏ−Ｆｅ系材料で形成されたサーミスタ素子を採用している。さらに、このセラミックス焼結体は、立方晶スピネル相を主相とする結晶構造を有していることが好ましい。特に、セラミックス焼結体としては、立方晶スピネル相からなる単相の結晶構造が最も望ましい。
なお、これら第１の感熱素子７ａ、第２の感熱素子７ｂ及び第３の感熱素子７ｃは、各端子電極に対応する第１の配線膜８Ａ、第２の配線膜８Ｂ又は第３の配線膜８Ｃの上に接合させて絶縁性フィルム６に実装されている。
【００２２】
上記第１の配線膜８Ａ及び第２の配線膜８Ｂは、第１の感熱素子７ａ又は第２の感熱素子７ｂの周囲にまで配されて形成されている。
一対の第１の配線膜８Ａは、その間に第１の感熱素子７ａを配していると共に、一対の第２の配線膜８Ｂは、その間に第２の感熱素子７ｂを配している。
【００２３】
一対の第１の配線膜８Ａには、その一端部にそれぞれ絶縁性フィルム６上に形成された第１の接着電極８ａが接続されていると共に、他端部にそれぞれ絶縁性フィルム６の周縁部上に形成された第１の端子電極１０ａが接続されている。また、一対の第２の配線膜８Ｂには、その一端部にそれぞれ絶縁性フィルム６上に形成された第２の接着電極８ｂが接続されていると共に、他端部にそれぞれ絶縁性フィルム６の周縁部上に形成された第２の端子電極１０ｂが接続されている。さらに、一対の第３の配線膜８Ｃには、その一端部にそれぞれ絶縁性フィルム６上に形成された第３の接着電極（図示略）が接続されていると共に、他端部にそれぞれ絶縁性フィルム６の周縁部上に形成された第３の端子電極１０ｃが接続されている。
【００２４】
なお、第１の接着電極８ａと第１の端子電極１０ａとの間、第２の接着電極８ｂと第２の端子電極１０ｂとの間及び第３の接着電極と第３の端子電極１０ｃとの間は、線状の配線で接続されている。
また、上記第１の接着電極８ａ、第２の接着電極８ｂ及び第３の接着電極には、それぞれ対応する第１の感熱素子７ａ、第２の感熱素子７ｂ及び第３の感熱素子７ｃの各端子電極が半田等の導電性接着剤で接着される。
【００２５】
上記絶縁性フィルム６は、ポリイミド樹脂シートで形成され、赤外線反射膜９、第１の配線膜８Ａ、第２の配線膜８Ｂ及び第３の配線膜８Ｃが銅箔で形成されている。すなわち、これらは、絶縁性フィルム６とされるポリイミド基板の両面に、赤外線反射膜９、第１の配線膜８Ａ、第２の配線膜８Ｂ及び第３の配線膜８Ｃとされる銅箔のフロート電極がパターン形成された両面フレキシブル基板によって作製されたものである。
【００２６】
さらに、上記赤外線反射膜９は、図３の（ａ）に示すように、第３の感熱素子７ｃの直上及びその周辺に長方形状で配されている部分と、第１のセンサ部３Ａと第２のセンサ部３Ｂとの直上の吸収領域（受光領域）を囲むように枠状に形成されている部分とで構成されている。すなわち、枠状の赤外線反射膜９で囲まれた領域が、赤外線の吸収領域（感熱面３ａ，３ｂ）となる。
この赤外線反射膜９は、銅箔と、該銅箔上に積層された金メッキ膜とで構成されている。なお、金メッキ膜の他に、例えば鏡面のアルミニウム蒸着膜やアルミニウム箔等で形成しても構わない。
【００２７】
上記筐体５は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド樹脂）等の樹脂で箱形に形成されており、上部に絶縁性フィルム６を設置して第１の感熱素子７ａ、第２の感熱素子７ｂ及び第３の感熱素子７ｃを収納すると共に、基板２の上面に表面実装されている。
筐体５は、側面に設けられ第１の端子電極１０ａ、第２の端子電極１０ｂ及び第３の端子電極１０ｃに上端が接続されていると共に底部まで延在された複数の側面電極部（図示略）と、側面下部において側面電極部の下端に接続されて設けられ下部の基板２の上面の配線に接続させる複数の実装用外部端子（図示略）とを備えている。
【００２８】
このように本実施形態の赤外線センサ１では、導光路部４が、第１のセンサ部３Ａ及び第２のセンサ部３Ｂの周囲を囲んだ外壁部４ａ，４ｂと、外壁部４ａ，４ｂ内に設けられ第１のセンサ部３Ａの上方の開口部と第２のセンサ部３Ｂの上方の開口部とを仕切ると共に外壁部４ａ，４ｂよりも高い仕切り板部４ｃとを有しているので、高い仕切り板部４ｃが第１のセンサ部３Ａと第２のセンサ部３Ｂとの互いに重なる視野角の部分を遮って測定領域の重なりを低減することができる。
【００２９】
このように２つのセンサ部を一体化すると共に、２つのセンサ部の視野ができるだけ重ならないように仕切り板部４ｃを設けたことで、第１のセンサ部３Ａと第２のセンサ部３Ｂとの距離を短く設定することができ、全体を小型化することが可能である。したがって、本実施形態の赤外線センサ１では、１つで２つの測定領域を別々に高精度に測定可能であり、従来に比べて小さいスペースでも設置可能である。
【００３０】
また、基板２の上面の仕切り板部４ｃの直下に感熱部である第３のセンサ部３Ｃを備えているので、第３のセンサ部３Ｃが仕切り板部４ｃの陰になることで赤外線の入射が妨げられて補償用のセンサ部とすることができる。特に、赤外線反射膜９が第３のセンサ部３Ｃに対向して形成されていることで、赤外線反射膜９が開口部からの赤外線を反射し、仕切り板部４ｃと共に第３のセンサ部３Ｃへの赤外線の入射を防いでいる。
さらに、赤外線反射膜９と仕切り板部４ｃとが、隙間を空けて配されているので、仕切り板部４ｃから熱が伝わって逃げてしまうことを防ぐことができ、特に補償用となる第３のセンサ部３Ｃの精度を向上させることができる。
【００３１】
次に、本発明に係る赤外線センサの第２及び第３実施形態について、図５及び図６を参照して以下に説明する。なお、以下の実施形態の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００３２】
第２実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、仕切り板部４ｃが基板２の長手方向に対して直交する一枚の板だけを用いているのに対し、第２実施形態の温度センサ２１では、図５に示すように、仕切り板部２４ｃの先端部に基板２と平行な幅広板部２４ｄが固定されている点である。すなわち、第２実施形態では、導光路部２４における仕切り板部２４ｃの先端部が、第１のセンサ部３Ａ側及び第２のセンサ部３Ｂ側に幅広に形成されている。
【００３３】
上記幅広板部２４ｄは、第１のセンサ部３Ａ及び第２のセンサ部３Ｂの内側の視野を所定の範囲に狭める幅を有して、仕切り板部２４ｃに沿って延在している長方形状の板である。
このように第２実施形態の温度センサ２１では、仕切り板部４ｃの先端部が幅広に形成されているので、仕切り板部４ｃの高さをより高く設定しなくても幅広な先端部（幅広板部２４ｄ）によって第１のセンサ部３Ａと第２のセンサ部３Ｂとの互いの内側の視野をより狭く設定することができる。
【００３４】
次に、第３実施形態と第１実施形態の異なる点は、第１実施形態では、絶縁性フィルム６に孔が開いていないが、第２実施形態では、図６に示すように、絶縁性フィルム３６が、第１のセンサ部３Ａと第３のセンサ部３Ｃとの間及び第２のセンサ部３Ｂと第３のセンサ部３Ｃとの間にそれぞれ形成された一対のスリット３６ａを有している点である。すなわち、第３実施形態では、中央の赤外線反射膜９の両側に沿って延在する細長い貫通孔であるスリット３６ａが絶縁性フィルム３６に形成されている。
【００３５】
このように第３実施形態では、絶縁性フィルム３６が、第１のセンサ部３Ａと第３のセンサ部３Ｃとの間及び第２のセンサ部３Ｂと第３のセンサ部３Ｃとの間にそれぞれ形成された一対のスリット３６ａを有しているので、補償用となる第３のセンサ部３Ｃと両側の第１のセンサ部３Ａ及び第２のセンサ部３Ｂとの間で熱が伝わることをスリット３６ａで妨げることができる。したがって、第３のセンサ部３Ｃによる温度補償がより正確にでき、高精度に温度検出が可能になる。
【００３６】
なお、本発明の技術範囲は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００３７】
例えば、上記実施形態では、第１の感熱素子及び第２の感熱素子が赤外線を直接吸収した絶縁性フィルムから伝導される熱を検出しているが、第１の感熱素子及び第２の感熱素子の直上であって絶縁性フィルム上に赤外線吸収膜を形成しても構わない。この場合、さらに第１の感熱素子及び第２の感熱素子における赤外線吸収効果が向上して、赤外線検出用の第１の感熱素子及び第２の感熱素子と補償用の第３の感熱素子とのより良好な温度差分を得ることができる。すなわち、この赤外線吸収膜によって測定対象物からの輻射による赤外線を吸収するようにし、赤外線を吸収し発熱した赤外線吸収膜から絶縁性フィルムを介した熱伝導によって、直下の第１の感熱素子及び第２の感熱素子の温度が変化するようにしてもよい。
【００３８】
また、チップサーミスタの第１〜第３の感熱素子を採用しているが、薄膜サーミスタで形成された第１〜第３の感熱素子を採用しても構わない。
なお、感熱素子としては、上述したように薄膜サーミスタやチップサーミスタが用いられるが、サーミスタ以外に焦電素子等も採用可能である。
【００３９】
また、上記各実施形態の筐体では、第１〜第３の感熱素子を収納する一つの収納部を内部に設けているが、筐体内部に仕切り壁を設け、第１〜第３の感熱素子をそれぞれ個別に収納する一対の収納部を設けても構わない。また、収納部内は、絶縁性フィルムよりも熱伝導率の低い空気による空間としているが、絶縁性フィルムよりも熱伝導率の低い発泡樹脂を充填しても構わない。
また、上記各実施形態では、基板の上面に設置した筐体の上に絶縁性フィルムを設けているが、基板の上面に絶縁性フィルムを直接、設置して第１〜第３のセンサ部を設けても構わない。
【符号の説明】
【００４０】
１，２１…赤外線センサ、２…基板、３Ａ…第１のセンサ部、３Ｂ…第２のセンサ部、３Ｃ…第３のセンサ部、４，２４…導光路部、４ａ，４ｂ…外壁部、４ｃ，２４ｃ…仕切り板部、５…筐体（他の部材）、６，３６…絶縁性フィルム、７ａ…第１の感熱素子、７ｂ…第２の感熱素子、７ｃ…第３の感熱素子、８Ａ…第１の配線膜、８Ｂ…第２の配線膜、８Ｃ…第３の配線膜、９…赤外線反射膜、２４ｄ…幅広板部、３６ａ…スリット
【図１】
0006477058.tif 000002
【図２】
0006477058.tif 000003
【図３】
0006477058.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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