(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対向する面に形成される複数の噴射孔から空気が噴射されて前記基板を支持するエアベアリングテーブルと、
前記基板を挟んで前記エアベアリングテーブルと反対側に設けられて前記基板に力を加えて前記基板をブレイクするブレイクユニットと、を含み、
前記エアベアリングテーブルは、上下方向に互いに異なる方向を向く一対が隣接するように配置され、
前記一対のエアベアリングテーブルのうち上方を向く一つと対向する前記ブレイクユニットはピンブレイクユニットであり、
前記一対のエアベアリングテーブルのうち下方を向くもう一つと対向する前記ブレイクユニットはローラブレイクユニットであることを特徴とする基板ブレイク装置。
【請求項２】
前記エアベアリングテーブルの左右両側に設けられ、前記基板を支持しながら移送する移送ユニットを更に含む請求項１に記載の基板ブレイク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板ブレイク装置に関し、更に詳しくは、基板に衝撃荷重を効率的に伝達して基板の分断を容易に行うことができる基板ブレイク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、脆性材料基板の分断装置として、スクライブ装置及びブレイク装置が使用される。スクライブ装置は、基板にスクライブラインを形成し、ブレイク装置は、予めスクライブラインが形成された基板をブレイクする時に使用される。
【０００３】
ブレイクとは、結晶性の材料の基板において、分断されやすい結晶の特定方位に基板を分ける劈開の場合と、結晶の方位とは関係なく基板を分ける場合、また多結晶や非晶質材料等の特定方位への結晶性を有しない基板を分ける場合を含む概念である。
【０００４】
基板に分断予定線に沿ってスクライブラインが形成された後には、基板を完全に分断するためにブレイク工程を実施するが、基板のブレイク方法には、ローラやプッシャー等を使用して基板に衝撃を加える接触式方法と、レーザ又はスチーム等を使用して基板を加熱した上で冷却させる非接触式方法がある。
【０００５】
ところで、従来の接触式ブレイク工程では、硬度の高い天板及びベルトの上に基板を配置し、基板に物理的衝撃を加える方式であって衝撃荷重が伝達される効率が低く、これによりブレイク工程時に基板が完全分断されない場合が発生したり、無理な力が加わって表面不良が発生したりする問題点がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、前述した問題点を解決するためのものであって、基板に衝撃荷重を効率的に伝達して基板の分断を容易に行うことができる基板ブレイク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明の基板ブレイク装置は、基板に対向する面に形成される複数の噴射孔から空気が噴射されて前記基板を支持するエアベアリングテーブルと、前記基板を挟んで前記エアベアリングテーブルと反対側に設けられて前記基板に力を加えて前記基板をブレイクするブレイクユニットと、を含み、
前記エアベアリングテーブルは、上下方向に互いに異なる方向を向く一対が隣接するように配置され、
前記一対のエアベアリングテーブルのうち上方を向く一つと対向する前記ブレイクユニットはピンブレイクユニットであり、
前記一対のエアベアリングテーブルのうち下方を向くもう一つと対向する前記ブレイクユニットはローラブレイクユニットであることを特徴とする。
【０００８】
前記基板ブレイク装置は、前記エアベアリングテーブルの左右両側に設けられ、前記基板を支持しながら移送する移送ユニットを更に含むことができる。
【００１１】
前記一対のエアベアリングテーブルのうち上方を向く一つと対向する前記ブレイクユニットはピンブレイクユニットであり、前記一対のエアベアリングテーブルのうち下方を向くもう一つと対向する前記ブレイクユニットはローラブレイクユニットであってもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の基板ブレイク装置によると、基板に衝撃荷重を効果的に伝達することにより容易に基板を分断することができる。また、移送ユニットの間にエアベアリングテーブル及びブレイクユニットを配置することにより全体レイアウトを縮小することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施例に係る基板ブレイク装置の構成を示した図である。
【図２】図１の主要部分を拡大して示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の好ましい実施例を添付された図を参照して詳しく説明する。先ず、各図の構成要素に参照符号を付加するにおいて、同一の構成要素に対しては、たとえ他の図上に表示されるとしても、可能な限り同一の符号を有するようにする。また、以下で本発明の好ましい実施例を説明するが、本発明の技術的思想はこれに限定又は制限されず、通常の技術者により変形され、様々に実施され得ることは勿論である。
【００１５】
図１は、本発明の一実施例に係る基板ブレイク装置の構成を示した図であり、図２は、図１の主要部分を拡大して示した図である。
【００１６】
このような図１及び図２は、本発明を概念的に明確に理解するために、主要特徴部分のみを明確に図示したものであり、その結果、図解の様々な変形が予想され、図示された特定形状により本発明の範囲が制限される必要はない。
【００１７】
図１及び図２を参照すると、本発明の一実施例に係る基板ブレイク装置１は、エアベアリングテーブル１００、ブレイクユニット２００及び移送ユニット３００を含む。
【００１８】
エアベアリングテーブル１００は、上面に形成される複数の噴射孔から空気が噴射されて基板１０を支持する。本実施例において、エアベアリングテーブル１００は、樹脂、セラミックス等の多孔質材料を使用することにより噴射孔から噴射される空気の分布が均一化し、気流のばらつきを防止することができる。しかし、本発明の権利範囲は、これに制限される必要はなく、エアベアリングテーブル１００は金属素材の上面板に複数の噴射孔を形成して空気を噴射する一般的な方式が使用されることもある。
【００１９】
ブレイクユニット２００は、エアベアリングテーブル１００と対向する位置に設けられエアベアリングテーブル１００との間に位置される基板１０に力を加えて基板１０をブレイクする。ブレイクユニット２００は、基板１０に直接接触して力を加える加圧部と、加圧部と連結されて加圧部を基板１０に向かって接近又は離隔するように駆動させる駆動部を含む。
【００２０】
ブレイクユニット２００は、たとえばピンブレイクユニット２１０とローラブレイクユニット２２０から構成することができる。ピンブレイクユニット２１０は、基板１０に形成されたスクライブラインが交叉する部分を尖ったピン形状の加圧部で衝撃を加えて基板１０を分断し、ローラブレイクユニット２２０はローラ形状の加圧部で基板１０の板面を加圧して基板１０を分断する。
【００２１】
移送ユニット３００は、エアベアリングテーブル１００の左右両側に設けられ、基板１０を支持しながら移送する。移送ユニット３００は、高さが同一である一対のコンベヤベルトから構成され、コンベヤベルトの一端側から流入された基板１０を、スクライブラインが形成された部分がブレイクユニット２００と対面する位置に来るように移送する。
【００２２】
一方、本実施例において、エアベアリングテーブル１００は、上下方向に互いに異なる方向を向く一対が隣接するように配置される。すなわち、移送ユニット３００により移送された基板１０は、一対のコンベヤベルトの間に位置された部分のうち一部分が第１のエアテーブル１１０により下面が支持され、隣接する他の部分は第２のエアテーブル１２０により上面が支持される。これにより、基板１０の上下面がそれぞれエアベアリングテーブル１００により支持され、ブレイク工程時に基板１０のばらつきを効率的に抑制することができる。
【００２３】
本実施例において、一対のエアベアリングテーブル１００のうち上方を向く第１のエアテーブル１１０と対面するブレイクユニット２００は、ピンブレイクユニット２１０であり、一対のエアベアリングテーブル１００のうち下方を向く第２のエアテーブル１２０と対面するブレイクユニット２００は、ローラブレイクユニット２２０である。このような構成によりブレイクユニット２００による衝撃荷重をより効率的に伝達することができ、基板１０の分断を効果的に行うことができる。しかし、本発明の権利範囲はこれに制限される必要はなく、それぞれに使用されるブレイクユニット２００の種類、配置、個数等は、必要に応じて変更して使用されることができる。
【００２４】
このような構成を有する基板ブレイク装置１の作用を説明すると、次のとおりである。
先ず、スクライブ工程を済ませた基板１０が移送ユニット３００により移送されて基板ブレイク装置１内へ進入する。移送ユニット３００によりスクライブラインが形成された部分がブレイクユニット２００と対面する位置に置かれた後、エアベアリングテーブル１００が作動して空気噴射により基板１０が支持される。
【００２５】
エアベアリングテーブル１００により基板１０が支持された状態でブレイクユニット２００が作動して基板１０に衝撃を加えることにより、スクライブラインに沿って基板１０が分断される。この時、ブレイクユニット２００は基板１０を挟んでエアベアリングテーブル１００と対面しており、基板１０に衝撃を加える時に基板１０がエアベアリングテーブル１００により支持されるので、基板１０に衝撃荷重が極めて効果的に伝達される。
【００２６】
また、エアベアリングテーブル１００及びブレイクユニット２００が上下方向に一対が配置されることにより基板１０の分断を更に効果的に行うことができる。
【００２７】
このように、本発明の基板ブレイク装置１によると、基板１０に衝撃荷重を効果的に伝達することにより容易に基板１０を分断することができる。これにより、基板１０にスクライブラインを浅く形成させた場合にも基板１０の分断が可能であり、スクライブラインを浅く形成した上で基板１０を分断することにより分断面の品質及び剛性を向上させることができる。また、移送ユニット３００の間にエアベアリングテーブル１００及びブレイクユニット２００を配置することにより全体レイアウトを縮小することができる。
【００２８】
以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したものに過ぎず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、本発明の本質的な特性から外れない範囲内で様々な修正、変更及び置き換えが可能である。したがって、本発明に開示された実施例及び添付の図は、本発明の技術思想を限定するためのものではなく、一例として説明するためのものであり、このような実施例及び添付の図により本発明の権利範囲が限定されるものではない。本発明の権利範囲は特許請求の範囲により解釈されるべきであり、それと同等な範囲内にある全ての技術思想は、本発明の権利範囲に含まれるものとして解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００２９】
１  基板ブレイク装置
１０  基板
１００  エアベアリングテーブル
２００  ブレイクユニット
３００  移送ユニット
【図１】
0006520341.tif 000002
【図２】
0006520341.tif 000003