(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁石と、
前記磁石により磁界が印加される磁気ギャップに配置され、駆動用コイルを有するミラー部と、
前記磁気ギャップの磁束密度を調整する磁束密度調整部材と、
を備え、
前記ミラー部は、前記駆動用コイルに駆動電圧が印加されることにより発生する磁界と、前記磁石により前記磁気ギャップに印加される磁界とによって駆動され、
前記磁石の磁束は、前記磁束密度調整部材により前記磁気ギャップを介する磁束と前記磁束密度調整部材を介する磁束とに分けられ、
前記磁気ギャップの磁束密度は、前記磁気ギャップを介する磁束と前記磁束密度調整部材を介する磁束の比率により調整されている、
ことを特徴とする光スキャナ。
【請求項２】
前記磁束密度調整部材は軟磁性体で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光スキャナ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術を用いた光スキャナに関する。
【背景技術】
【０００２】
プロジェクタやヘッドマウントディスプレイ等の投射型の画像表示装置には光スキャナ（光偏向器）が用いられる。
【０００３】
光スキャナの偏向駆動されているミラーにレーザ光が照射されると、レーザ光はミラーによって反射され、ミラーの偏向方向に走査される。
【０００４】
２つの光スキャナによってレーザ光が水平方向及び垂直方向に走査されることで、スクリーン上に画像を表示させることができる。光の３原色である赤色、緑色、及び青色の各画像をスクリーン上に重畳させることで、カラー画像を表示させることができる。
【０００５】
特許文献１には、永久磁石と駆動用コイルとを用いてレーザ光を走査させる光スキャナが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１５−８７４４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一般的に、特許文献１に記載されているような光スキャナを用いた画像表示装置では、ミラーは駆動用コイルに正弦波形の駆動電圧が印加されることにより水平方向に高速で駆動される。また、ミラーは駆動用コイルに鋸刃状のランプ波形の駆動電圧が印加されることにより垂直方向に低速で駆動される。
【０００８】
通常、光スキャナは、構成部品の機械的特性、永久磁石の磁力、駆動用コイルの抵抗値等に対して光スキャナ毎にばらつきを有している。そのため、光スキャナの駆動感度、具体的にはミラーの偏向角度がばらつき、表示される画像が光スキャナ毎にばらついてしまう。特に垂直方向に低速で駆動される光スキャナの駆動感度のばらつきは画像品質を低下させる要因となる。
【０００９】
光スキャナの駆動電圧をサーボ回路等によって光スキャナ毎に制御することにより、光スキャナの駆動感度のばらつきを低減させることは可能である。
【００１０】
しかしながら、光スキャナ毎に駆動電圧を制御する場合、制御できる駆動電圧の範囲が限られているため、駆動感度が設定値から大きくずれている光スキャナに対しては制御することが困難である。また、メンテナンス等によって光スキャナを交換する場合、交換された光スキャナに対して駆動電圧の制御条件を新たに設定する必要がある。
【００１１】
本発明はこのような問題点に鑑み、簡易な構成で、光スキャナ毎の駆動感度のばらつきが低減されるように調整された光スキャナを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、磁石と、前記磁石により磁界が印加される磁気ギャップに配置され、駆動用コイルを有するミラー部と、前記磁気ギャップの磁束密度を調整する磁束密度調整部材と、を備え、前記ミラー部は、前記駆動用コイルに駆動電圧が印加されることにより発生する磁界と、前記磁石により前記磁気ギャップに印加される磁界とによって駆動され、前記磁石の磁束は、前記磁束密度調整部材により前記磁気ギャップを介する磁束と前記磁束密度調整部材を介する磁束とに分けられ、前記磁気ギャップの磁束密度は、前記磁気ギャップを介する磁束と前記磁束密度調整部材を介する磁束の比率により調整されている、ことを特徴とする光スキャナを提供する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の光スキャナによれば、簡易な構成で、光スキャナ毎の駆動感度のばらつきが低減される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１の実施形態の光スキャナをミラー側から見た状態を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａで切断した部分の断面図である。
【図３】第１の実施形態の光スキャナにおけるミラー駆動ユニットをミラーの反対側から見た状態を示す斜視図である。
【図４】磁束密度調整部材の厚さと磁気ギャップＪＧの磁束密度との関係を説明するための概念図である。
【図５】磁束密度調整部材と永久磁石との間隔と、磁気ギャップＪＧの磁束密度との関係を説明するための概念図である。
【図６】第２の実施形態の光スキャナの断面図である。
【図７】磁束密度調整部材が一方のヨーク側に固定されている状態における磁気ギャップの磁束密度を説明するための概念図である。
【図８】第１及び第２の実施形態の光スキャナの駆動感度の調整方法を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
［第１の実施形態］
図１〜図５を用いて、第１の実施形態の光スキャナ１を説明する。
【００１６】
図１は第１の実施形態の光スキャナ１をミラー２１側から見た状態を示す斜視図である。図２は図１のＡ−Ａで切断した断面部分を示す斜視図である。図３は光スキャナ１におけるミラー駆動ユニット１０をミラー２１の反対側から見た状態を示す斜視図である。
【００１７】
図１及び図２に示すように、光スキャナ１は、筐体２、磁石３、ヨーク４，５、ミラー駆動ユニット１０、及び、磁束密度調整部材３０を備えている。磁石３は例えば永久磁石である。磁石３、ヨーク４，５、ミラー駆動ユニット１０、及び、磁束密度調整部材３０は筐体２に固定されている。
【００１８】
図３に示すように、ミラー駆動ユニット１０は、フレーム１１、ベース１２、トーションバー１３，１４、端子群１５、端子１６ａ，１６ｂ、配線群１７、配線１８ａ，１８ｂ及び、導電性を有する弾性部材１９，２０を備えている。
【００１９】
トーションバー１３，１４は一端側がフレーム１１に接続され、他端側がベース１２に接続されて、フレーム１１とベース１２とを連結している。
【００２０】
ベース１２の一面側（図３における裏側）には、レーザ光を反射するためのミラー２１（図１に示す）が形成されている。ベース１２の他面側（図３における表側）には、ミラー２１を駆動させるための駆動用コイル２２、及び、ミラー２１の偏向角度を検出するための磁気センサ２３が固定されている。
【００２１】
ミラー２１、駆動用コイル２２、磁気センサ２３、及び、ベース１２により、ミラー部２５が構成される。
【００２２】
端子群１５、及び、端子１６ａ，１６ｂは、フレーム１１に形成されている。配線群１７は、フレーム１１からトーションバー１３，１４を介してベース１２までの範囲に形成されている。配線１８ａ，１８ｂはフレーム１１に形成されている。
【００２３】
端子群１５は配線群１７を介して磁気センサ２３に電気的に接続されている。
【００２４】
端子１６ａは配線１８ａを介して弾性部材１９の一端側に電気的に接続されている。弾性部材１９の他端側は駆動用コイル２２の一端側に電気的に接続されている。従って、端子１６ａは、配線１８ａ及び弾性部材１９を介して駆動用コイル２２の一端側に電気的に接続されている。
【００２５】
端子１６ｂは配線１８ｂを介して弾性部材２０の一端側に電気的に接続されている。弾性部材２０の他端側は駆動用コイル２２の他端側に電気的に接続されている。従って、端子１６ｂは、配線１８ｂ及び弾性部材２０を介して駆動用コイル２２の他端側に電気的に接続されている。
【００２６】
フレーム１１、ベース１２、及び、トーションバー１３，１４は一体的に形成されている。フレーム１１、ベース１２、トーションバー１３，１４、端子群１５、端子１６ａ，１６ｂ、配線群１７、及び、配線１８ａ，１８ｂは、例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）基板として作製することができる。
【００２７】
弾性部材１９，２０はトーションバー１３，１４と並行になるように、一端側がフレーム１１に固定され、他端側がベース１２に固定されている。弾性部材１９，２０は、トーションバー１３，１４と共に、捩りばねの機能を有する。弾性部材１９，２０として例えば銅等の導電性部材の線ばねを用いることができる。
【００２８】
駆動用コイル２２には、端子１６ａ，１６ｂ、配線１８ａ，１８ｂ、及び、弾性部材１９，２０を介して、ミラー部２５を偏向駆動させるための駆動電圧が印加される。
【００２９】
例えば、画像表示装置に用いられる光スキャナでは、レーザ光を垂直方向に低速で走査させる場合には駆動用コイル２２に鋸刃状のランプ波形の駆動電圧が印加される。また、レーザ光を水平方向に高速で走査させる場合には駆動用コイル２２に正弦波形の駆動電圧が印加される。
【００３０】
図１及び図２に示すように、ミラー部２５は、ヨーク４とヨーク５との間隙である磁気ギャップＪＧに配置されている。磁気ギャップＪＧには磁石３によりヨーク４，５を介して磁界が印加される。ミラー部２５は、駆動用コイル２２に駆動電圧が印加されることにより、磁石３により印加される磁界と駆動用コイル２２により発生される磁界とによって、回動中心軸Ｃ２５回りに往復回転駆動する。
【００３１】
ミラー２１は、ミラー部２５が往復回転駆動されることにより偏向駆動される。偏向駆動されているミラー２１に光の一形態であるレーザ光が照射されることにより、レーザ光はミラー２１によって反射され、ミラー２１の偏向方向に走査される。
【００３２】
磁気センサ２３は、磁石３の磁界強度を検出する。検出された磁界強度からミラー２１の偏向角度を検出することができる。磁気センサ２３として例えばホール素子を用いることができる。
【００３３】
図２に示すように、第１の実施形態の光スキャナ１では、磁束密度調整部材３０は、筐体２の磁気ギャップＪＧとは反対側の位置に固定されている。
【００３４】
磁束密度調整部材３０は、ミラー部２５、具体的にはミラー部２５の駆動用コイル２２に作用する磁気ギャップＪＧの磁束密度を調整するための部材である。磁束密度調整部材３０は、例えば、軟鉄、亜鉛めっき鋼板、ケイ素鋼板、パーマロイ等の軟磁性体で形成されている。
【００３５】
通常、トーションバー１３，１４や弾性部材１９，２０等の構成部品の機械的特性、磁石３の磁力、駆動用コイル２２の抵抗値等に対して光スキャナ１毎にばらつきを有している。そのため、光スキャナ１の駆動感度、具体的にはミラー２１の偏向角度がばらつき、表示される画像が光スキャナ１毎にばらついてしまう。
【００３６】
そこで、磁気ギャップＪＧの磁束密度を磁束密度調整部材３０で調整することにより、光スキャナ１毎の駆動感度のばらつきを低減させるための具体的な実施例を、図４及び図５を用いて説明する。
【００３７】
［実施例１］
例えば、磁束密度調整部材３０を厚くすることにより、磁気ギャップＪＧの磁束密度を低減させる方向に調整することができる。
【００３８】
図４（ａ）〜図４（ｃ）を用いて、磁束密度調整部材３０の厚さと磁気ギャップＪＧの磁束密度との関係を説明する。
【００３９】
図４（ａ）〜図４（ｃ）は磁気ギャップＪＧの磁束密度を磁束線の本数で模式的に示す概念図である。図４（ａ）は磁束密度調整部材３０が固定されていない状態を示している。図４（ｂ）は厚さｔ１の磁束密度調整部材３０が固定されている状態を示している。図４（ｃ）は厚さｔ２（ｔ１＜ｔ２）の磁束密度調整部材３０が固定されている状態を示している。なお、図４（ａ）〜図４（ｃ）では磁石３の磁束を模式的に８本の磁束線ＪＳで示している。
【００４０】
図４（ａ）に示すように、磁束密度調整部材３０が固定されていない状態では、磁石３の磁束は駆動用コイル２２が配置されている磁気ギャップＪＧに集中する。従って、磁気ギャップＪＧの磁束密度は８本の磁束線ＪＳで示される。
【００４１】
それに対して、図４（ｂ）及び図４（ｃ）に示すように、磁石３の磁束は、磁束密度調整部材３０によって、磁気ギャップＪＧを介する磁束と磁束密度調整部材３０を介する磁束とに分かれる。そのため、磁気ギャップＪＧの磁束密度を、磁束密度調整部材３０により低減させる方向に調整することができる。
【００４２】
説明をわかりやすくするために、図４（ｂ）では磁気ギャップＪＧの磁束密度を５本の磁束線ＪＳ、厚さｔ１の磁束密度調整部材３０の磁束密度を３本の磁束線ＪＳで模式的に示している。図４（ｃ）では磁気ギャップＪＧの磁束密度を４本の磁束線ＪＳ、厚さｔ２の磁束密度調整部材３０の磁束密度を４本の磁束線ＪＳで模式的に示している。
【００４３】
磁束密度調整部材３０が厚いほど、磁気ギャップＪＧを介する磁束に対して磁束密度調整部材３０を介する磁束の比率が高くなる。従って、磁束密度調整部材３０を厚くすることにより、磁気ギャップＪＧの磁束密度を低減させることができる。
【００４４】
磁束密度調整部材３０を、長さＬ１が７．２ｍｍ、幅（図４（ｂ）における紙面手前奥方向の長さ）が５ｍｍ、比透磁率が１００００の軟磁性体とする。ヨーク４の厚さｔ３及びヨーク５の厚さｔ４をそれぞれ１．２ｍｍとする。
【００４５】
例えば、磁束密度調整部材３０の厚さｔ１を１ｍｍとした場合、磁気ギャップＪＧの磁束密度を、磁束密度調整部材３０が固定されていない状態に対して約７４％の磁束密度に調整することができる。
【００４６】
磁束密度調整部材３０の厚さｔ２を２ｍｍとした場合、磁気ギャップＪＧの磁束密度を、磁束密度調整部材３０が固定されていない状態に対して約６１％の磁束密度に調整することができる。
【００４７】
厚さの異なる磁束密度調整部材３０を用いたり、磁束密度調整部材３０を厚さ方向に重ねたりすることにより、磁気ギャップＪＧの磁束密度を精度よく調整することができる。
【００４８】
また、磁束密度調整部材３０を長くしたり、磁束密度調整部材３０の幅を広くしたりすることによっても、磁気ギャップＪＧを介する磁束に対して磁束密度調整部材３０を介する磁束の比率を高くすることができる。即ち、磁束密度調整部材３０を長くしたり、磁束密度調整部材３０の幅を広くしたりすることによっても、磁気ギャップＪＧの磁束密度を低減させる方向に調整することができる。
【００４９】
即ち、磁束密度調整部材３０のサイズを大きくすることにより、磁気ギャップＪＧの磁束密度を低減させる方向に調整することができる。
【００５０】
また、磁束密度調整部材３０の材料として、透磁率（比透磁率）が高い軟磁性体を用いることにより、磁気ギャップＪＧを介する磁束に対して磁束密度調整部材３０を介する磁束の比率を高くすることができる。即ち、透磁率が高い軟磁性体を用いることによっても、磁気ギャップＪＧの磁束密度を低減させる方向に調整することができる。
【００５１】
［実施例２］
例えば、磁束密度調整部材３０と磁石３との間隔を広くすることにより、磁気ギャップＪＧの磁束密度を増加させる方向に調整することができる。
【００５２】
図５（ａ）〜図５（ｃ）を用いて、磁束密度調整部材３０と磁石３との間隔と、磁気ギャップＪＧの磁束密度との関係を説明する。
【００５３】
図５（ａ）〜図５（ｃ）は磁気ギャップＪＧの磁束密度を磁束線の本数で模式的に示す概念図である。図５（ａ）は磁束密度調整部材３０と磁石３との間隔が０の状態を示している。図５（ａ）は図４（ｂ）に対応している。図５（ｂ）は間隔がｄ１（０＜ｄ１）の状態を示している。図５（ｃ）は間隔がｄ２（ｄ１＜ｄ２）の状態を示している。なお、図５（ａ）〜図５（ｃ）では磁石３の磁束を模式的に８本の磁束線ＪＳで示している。
【００５４】
説明をわかりやすくするために、図５（ａ）では磁気ギャップＪＧの磁束密度を５本の磁束線ＪＳ、磁束密度調整部材３０の磁束密度を３本の磁束線ＪＳで模式的に示している。図５（ｂ）では磁気ギャップＪＧの磁束密度を６本の磁束線ＪＳ、磁束密度調整部材３０の磁束密度を２本の磁束線ＪＳで模式的に示している。図５（ｃ）では磁気ギャップＪＧの磁束密度を７本の磁束線ＪＳ、磁束密度調整部材３０の磁束密度を１本の磁束線ＪＳで模式的に示している。
【００５５】
磁束密度調整部材３０と磁石３との間隔が広いほど、磁気ギャップＪＧを介する磁束に対して磁束密度調整部材３０を介する磁束の比率が低くなる。従って、磁束密度調整部材３０と磁石３との間隔を広くすることにより、磁気ギャップＪＧの磁束密度を増加させることができる。
【００５６】
磁束密度調整部材３０を、厚さｔ５が１ｍｍ、長さＬ２が７．２ｍｍ、幅（図５（ａ）〜図５（ｃ）における紙面手前奥方向の長さ）が５ｍｍ、比透磁率が１００００の軟磁性体とする。ヨーク４の厚さｔ３及びヨーク５の厚さｔ４をそれぞれ１．２ｍｍとする。
【００５７】
例えば、磁束密度調整部材３０と磁石３との間隔ｄ１を０．５ｍｍとした場合、磁気ギャップＪＧの磁束密度を、間隔が０ｍｍの状態に対して約１１４％の磁束密度に調整することができる。
【００５８】
磁束密度調整部材３０と磁石３との間隔は、ねじ等を回転させたり、スペーサを介させたりすることより調整することができる。
【００５９】
よって、第１の実施形態の光スキャナ１によれば、光スキャナ毎に駆動感度のばらつきが生じた場合においても、サイズや透磁率の異なる磁束密度調整部材３０を用いることにより、光スキャナ毎の駆動感度のばらつきを低減させることができる。
【００６０】
また、第１の実施形態の光スキャナ１によれば、光スキャナ毎に駆動感度のばらつきが生じた場合においても、磁束密度調整部材３０と磁石３との間隔を異ならせることにより、光スキャナ毎の駆動感度のばらつきを低減させることができる。
【００６１】
［第２の実施形態］
図６及び図７を用いて、第２の実施形態の光スキャナ５０を説明する。
【００６２】
図６は第２の実施形態の光スキャナ５０を示す斜視図である。図６は図２に対応する。
【００６３】
第２の実施形態の光スキャナ５０は、第１の実施形態の光スキャナ１と比較して、磁束密度調整部材３０が筐体２の一方のヨーク４側に固定されている点で相違し、それ以外の構成部については第１の実施形態の光スキャナ１と同じである。そこで、説明をわかりやすくするために、同じ構成部には同じ符号を付す。
【００６４】
図７（ａ）〜図７（ｃ）を用いて、磁束密度調整部材３０が一方のヨーク４側に固定されている状態における磁気ギャップＪＧの磁束密度を説明する。
【００６５】
図７（ａ）〜図７（ｃ）は磁気ギャップＪＧの磁束密度を磁束線の本数で模式的に示す概念図である。図７（ａ）は磁束密度調整部材３０が固定されていない状態を示している。図７（ａ）は図４（ａ）に対応している。図７（ｂ）は長さＬ３の磁束密度調整部材３０が固定されている状態を示している。図７（ｃ）は長さＬ４（Ｌ３＜Ｌ４）の磁束密度調整部材３０が固定されている状態を示している。なお、図７（ａ）〜図７（ｃ）では磁石３の磁束を模式的に８本の磁束線ＪＳで示している。
【００６６】
図７（ａ）に示すように、磁束密度調整部材３０が固定されていない状態では、磁石３の磁束はヨーク４を介して磁気ギャップＪＧに作用する。従って、ヨーク４の磁束密度は８本の磁束線ＪＳで示される。
【００６７】
それに対して、図７（ｂ）及び図７（ｃ）に示すように、磁束密度調整部材３０が一方のヨーク４側に固定されている状態では、磁石３の磁束は、ヨーク４を介する磁束と磁束密度調整部材３０を介する磁束とに分かれる。これにより、磁気抵抗が増加して、磁気ギャップＪＧの磁束密度を低減させる方向に調整することができる。
【００６８】
説明をわかりやすくするために、図７（ｂ）ではヨーク４の磁束密度を７本の磁束線ＪＳ、磁束密度調整部材３０の磁束密度を１本の磁束線ＪＳで模式的に示している。図７（ｃ）ではヨーク４の磁束密度を６本の磁束線ＪＳ、磁束密度調整部材３０の磁束密度を２本の磁束線ＪＳで模式的に示している。
【００６９】
磁束密度調整部材３０を、厚さｔ６が１ｍｍ、幅（図７（ｂ）及び図７（ｃ）における紙面手前奥方向の長さ）が５ｍｍ、比透磁率が１００００の軟磁性体とする。ヨーク４の厚さｔ３及びヨーク５の厚さｔ４をそれぞれ１．２ｍｍとする。
【００７０】
例えば、磁束密度調整部材３０の長さＬ３を２．５ｍｍとした場合、磁気ギャップＪＧの磁束密度を、磁束密度調整部材３０が固定されていない状態に対して約９８％の磁束密度に調整することができる。
【００７１】
磁束密度調整部材３０の長さＬ４を５ｍｍとした場合、磁気ギャップＪＧの磁束密度を、磁束密度調整部材３０が固定されていない状態に対して約９６％の磁束密度に調整することができる。
【００７２】
第２の実施形態の光スキャナ５０は、第１の実施形態の光スキャナ１と比較して、磁束密度調整部材３０による磁気ギャップＪＧの磁束密度の変化量が小さい。
【００７３】
従って、光スキャナ毎に駆動感度のばらつきが生じた場合、ばらつきの大きい光スキャナに対しては第１の実施形態が好適であり、ばらつきの小さい光スキャナに対しては第２の実施形態が好適である。
【００７４】
第２の実施形態の光スキャナ５０においても、第１の実施形態の光スキャナ１と同様に、光スキャナ毎に駆動感度のばらつきが生じた場合に、サイズや透磁率の異なる磁束密度調整部材３０を用いたり、磁束密度調整部材３０と磁石３との間隔を調整したりすることにより、光スキャナ毎の駆動感度のばらつきを低減させることができる。
【００７５】
第１及び第２の実施形態の光スキャナ１，５０の駆動感度の調整方法を、図８のフローチャートを用いて説明する。
【００７６】
ステップＳ１にて、磁束密度調整部材３０が固定されていない状態で、光スキャナ１，５０に所定の駆動電圧を印加してミラー部２５を駆動させる。
【００７７】
ステップＳ２にて、ミラー部２５のミラー２１にレーザ光を照射する。
【００７８】
ステップＳ３にて、ミラー２１からのレーザ光の反射角度に基づいてミラー２１の偏向角度を検出する。なお、磁気センサ２３によりミラー２１の偏向角度を検出するようにしてもよい。磁気センサ２３を用いる場合はレーザ光の照射は不要である。
【００７９】
ステップＳ４にて、検出された偏向角度が設定値になるように、サイズや透磁率の異なる磁束密度調整部材３０を用いたり、磁束密度調整部材３０と磁石３との間隔を調整したりして、磁気ギャップＪＧの磁束密度を調整する。
【００８０】
上述した手順により、光スキャナ毎に駆動感度のばらつきが生じた場合においても、磁気ギャップＪＧの磁束密度を、磁束密度調整部材３０を用いて調整することにより、光スキャナ毎の駆動感度のばらつきを低減させることができる。
【００８１】
なお、本発明は上述した構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。
【００８２】
例えば、磁束密度調整部材３０は、第１の実施形態では筐体２の磁気ギャップＪＧとは反対側の位置に固定され、第２の実施形態では筐体２の一方のヨーク４側に固定される構成としている。磁束密度調整部材３０が筐体２に固定される位置は、磁石３の磁束に影響を及ぼす範囲内であれば、第１及び第２の実施形態に限定されるものではない。
【００８３】
磁束密度調整部材３０により磁気ギャップＪＧの磁束密度が調整された光スキャナ１，５０に対して、光スキャナ１，５０の駆動電圧をサーボ回路等によって光スキャナ１，５０毎に制御するようにしてもよい。これにより、光スキャナの駆動感度のばらつきをさらに低減させたり、駆動感度のばらつきの調整範囲を広げたりことができる。
【００８４】
ミラー部２５の駆動用コイル２２の内側の領域に、磁気センサ２３の周囲の温度に起因する誤差を補正するための温度補償素子等を配置するようにしてもよい。なお、温度補償素子の配置位置は駆動用コイル２２の内側の領域に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００８５】
１，５０  光スキャナ
３  磁石
２２  駆動用コイル
２５  ミラー部
３０  磁束密度調整部材
ＪＧ  磁気ギャップ
【図１】
0006520614.tif 000002
【図２】
0006520614.tif 000003
【図３】
0006520614.tif 000004
【図４】
0006520614.tif 000005
【図５】
0006520614.tif 000006
【図６】
0006520614.tif 000007
【図７】
0006520614.tif 000008
【図８】
0006520614.tif 000009