(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１開口端および第２開口端を有する絶縁管と、
電子放出源を有し、前記絶縁管の前記第１開口端を閉塞するように配置された陰極と、
前記電子放出源からの電子が衝突することによってＸ線を発生するターゲットを有し、前記絶縁管の前記第２開口端を閉塞するように配置された陽極と、
前記絶縁管の内側空間において前記陽極から延びた管状導電部材と、を備え、
前記絶縁管は、前記第１開口端から離隔しかつ前記第２開口端から離隔した位置に管状リブを含み、
前記管状リブは、前記管状導電部材における前記陰極の側の端部から見て放射方向に配置されている、
ことを特徴とするＸ線発生管。
【請求項２】
前記管状導電部材における前記陰極の側の端部は、前記管状リブにおける前記陰極の側の端面を含む第１仮想平面と、前記管状リブにおける前記陽極の側の端面を含む第２仮想平面との間に位置する、
ことを特徴とする請求項１に記載のＸ線発生管。
【請求項３】
前記管状導電部材における前記陰極の側の端面は、前記管状リブにおける前記陰極の側の端面を含む第１仮想平面に属する、
ことを特徴とする請求項１に記載のＸ線発生管。
【請求項４】
前記管状導電部材は、前記管状導電部材の外側面と前記絶縁管の内側面との間に空間が構成されるように配置されている、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のＸ線発生管。
【請求項５】
前記管状リブは、前記内側空間に面するように配置されている、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のＸ線発生管。
【請求項６】
前記管状リブは、前記絶縁管の外側空間に向けて突出するように配置されている、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のＸ線発生管。
【請求項７】
前記管状リブは、前記内側空間に面するように配置された内側管状リブと、前記絶縁管の外側空間に向けて突出するように配置された外側管状リブと、を含む、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のＸ線発生管。
【請求項８】
前記絶縁管の外側を被覆するように配置され、電位が与えられる被覆部材を更に備え、
前記被覆部材のシート抵抗値は、前記絶縁管のシート抵抗値より小さい、
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のＸ線発生管。
【請求項９】
前記被覆部材は、前記陰極および前記陽極に電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項８に記載のＸ線発生管。
【請求項１０】
前記管状導電部材は、前記電子放出源における前記陽極の側の端部を取り囲むように配置されている、
ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のＸ線発生管。
【請求項１１】
第１開口端および第２開口端を有する絶縁管と、
電子放出源を有し、前記絶縁管の前記第１開口端を閉塞するように配置された陰極と、
前記電子放出源からの電子が衝突することによってＸ線を発生するターゲットを有し、前記絶縁管の前記第２開口端を閉塞するように配置された陽極と、
前記絶縁管の内側空間において前記陽極から延びた管状導電部材と、
前記絶縁管の外側を被覆するように配置され、前記絶縁管のシート抵抗値より小さいシート抵抗値を有し、電位が与えられる被覆部材と、を備え、
前記絶縁管は、前記管状導電部材における前記陰極の側の端部から見て放射方向に配置された管状リブを含み、
前記管状導電部材は、前記電子放出源における前記陽極の側の端部を取り囲むように配置されている、
ことを特徴とするＸ線発生管。
【請求項１２】
前記被覆部材は、前記陰極および前記陽極に電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項１１に記載のＸ線発生管。
【請求項１３】
前記管状導電部材の前記陰極の側の端部は、前記管状リブの前記陰極の側の端面を含む仮想平面と、前記第２開口端を含む仮想平面との間に位置する、
ことを特徴とする請求項１１又は１２に記載のＸ線発生管。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のいずれか１項に記載のＸ線発生管と、
前記Ｘ線発生管を駆動する駆動回路と、
を備えることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載のＸ線発生装置と、
前記Ｘ線発生装置から放射され物体を透過したＸ線を検出するＸ線検出装置と、
を備えることを特徴とするＸ線撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線発生管、Ｘ線発生装置およびＸ線撮像装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、絶縁管と、陰極と、陽極と、内周陽極層とを有するＸ線発生管が記載されている。絶縁管、陰極および陽極によって内部空間を規定する外囲器が構成され、内周陽極層は、絶縁管の内面に沿うように陽極から延びている。内周陽極層は、陽極に電気的に接続されているので、絶縁管の帯電を抑制する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１０３４５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
Ｘ線発生管の軽量化のために、絶縁管の厚さを薄くすることが望まれている。しかしながら、絶縁管の厚さを薄くすると、絶縁管あるいはＸ線発生管の強度が低下しうる。しかも、絶縁管の厚さを薄くすると、絶縁管の耐電圧が低下し、電界強度が強くなり易い内周陽極層の先端部（陰極側の端部）において、絶縁管を貫通する方向に放電が発生し、これによって形成される貫通孔を通してリークが発生しうる。【０００５】
本発明は、絶縁管を貫通する放電を抑制しつつ絶縁管の強度を確保しながらＸ線発生管を軽量化するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の側面は、Ｘ線発生管に係り、前記Ｘ線発生管は、第１開口端および第２開口端を有する絶縁管と、電子放出源を有し、前記絶縁管の前記第１開口端を閉塞するように配置された陰極と、前記電子放出源からの電子が衝突することによってＸ線を発生するターゲットを有し、前記絶縁管の前記第２開口端を閉塞するように配置された陽極と、前記絶縁管の内側空間において前記陽極から延びた管状導電部材と、を備え、前記絶縁管は、前記第１開口端から離隔しかつ前記第２開口端から離隔した位置に管状リブを含み、前記管状リブは、前記管状導電部材における前記陰極の側の端部から見て放射方向に配置されている。【０００７】
本発明の第２の側面は、Ｘ線発生管に係り、前記Ｘ線発生管は、第１開口端および第２開口端を有する絶縁管と、電子放出源を有し、前記絶縁管の前記第１開口端を閉塞するように配置された陰極と、前記電子放出源からの電子が衝突することによってＸ線を発生するターゲットを有し、前記絶縁管の前記第２開口端を閉塞するように配置された陽極と、前記絶縁管の内側空間において前記陽極から延びた管状導電部材と、前記絶縁管の外側を被覆するように配置され、前記絶縁管のシート抵抗値より小さいシート抵抗値を有し、電位が与えられる被覆部材と、を備え、  前記絶縁管は、前記管状導電部材における前記陰極の側の端部から見て放射方向に配置された管状リブを含み、前記管状導電部材は、前記電子放出源における前記陽極の側の端部を取り囲むように配置されている。
【０００８】
本発明の第３の側面は、Ｘ線発生装置に係り、前記Ｘ線発生装置は、前記第１又は第２の側面に係るＸ線発生管と、前記Ｘ線発生管を駆動する駆動回路と、を備える。【０００９】
本発明の第４の側面は、前記第３の側面に係るＸ線発生装置と、前記Ｘ線発生装置から放射され物体を透過したＸ線を検出するＸ線検出装置と、を備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、絶縁管を貫通する放電を抑制しつつ絶縁管の強度を確保しながらＸ線発生管を軽量化するために有利な技術を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態のＸ線発生管の構成を模式的に示す断面図。
【図２】本発明の第２実施形態のＸ線発生管の構成を模式的に示す断面図。
【図３】本発明の第３実施形態のＸ線発生管の構成を模式的に示す断面図。
【図４】本発明の第４実施形態のＸ線発生管の構成を模式的に示す断面図。
【図５】本発明の第５実施形態のＸ線発生管の構成を模式的に示す断面図。
【図６】本発明の第６実施形態のＸ線発生管の構成を模式的に示す断面図。
【図７】本発明の第７実施形態のＸ線発生管の構成を模式的に示す断面図。
【図８】本発明の第８実施形態のＸ線発生管の構成を模式的に示す断面図。
【図９】本発明の第９実施形態のＸ線発生管の構成を模式的に示す断面図。
【図１０】管状リブおよび管状導電部材の設計方法を例示的に説明する図。
【図１１】管状リブおよび管状導電部材の設計方法を例示的に説明する図。
【図１２】本発明の第１０実施形態のＸ線発生管の構成を模式的に示す断面図。
【図１３】Ｘ線発生管における電位を示すシミュレーション結果を示す図。
【図１４】Ｘ線発生管における電位を示すシミュレーション結果を示す図。
【図１５】本発明の一実施形態のＸ線発生装置の構成を例示する図。
【図１６】本発明の一実施形態のＸ線検出装置の構成を例示する図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明に必須のものとは限らない。実施形態で説明されている複数の特徴うち二つ以上の特徴が任意に組み合わされてもよい。また、同一若しくは同様の構成には同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１３】
図１には、本発明の第１実施形態のＸ線発生管１の構成が模式的に示されている。第１実施形態のＸ線発生管１は、絶縁管１０と、陰極２０と、陽極３０と、管状導電部材５０とを備えうる。絶縁管１０は、第１開口端ＯＰ１および第２開口端ＯＰ２を有する。絶縁管１０は、絶縁材料（例えば、セラミック又はガラス）で構成され、軸方向ＡＤに延びる管形状を有する。管形状は、軸方向ＡＤに直交する断面において、閉図形を構成する形状であり、例えば、円筒形状である。管形状の概念は、軸方向ＡＤの互いに異なる位置において断面積が互いに異なる形状を含みうる。
【００１４】
陰極２０は、絶縁管１０の第１開口端ＯＰ１を閉塞するように配置される。陰極２０は、電子を放出する電子放出源２２を有する。電子放出源２２は、例えば、フィラメント、および、フィラメントから放出された電子を収束させる収束電極等を含みうる。陰極２０には、例えば、陽極３０を基準として−１００ｋＶの電位が印加されうる。
【００１５】
陽極３０は、絶縁管１０の第２開口端ＯＰ２を閉塞するように配置される。陽極３０は、ターゲット３４と、ターゲット３４を保持するターゲット保持板３３と、ターゲット保持部３３を保持する電極３２とを含みうる。電極３２は、ターゲット３４に電気的に接続されていて、ターゲット３４に電位を与える。ターゲット３４は、電子放出源２２からの電子がターゲット３４に衝突することによってＸ線を発生する。発生したＸ線は、ターゲット保持板３３を透過してＸ線発生管１の外部に放射される。陽極３０は、例えば、接地電位に維持されうるが、他の電位に維持されてもよい。ターゲット３４は、融点が高く、Ｘ線の発生効率が高い材料、例えば、タングステン、タンタルまたはモリブデンで構成されうる。ターゲット保持板３３は、例えば、Ｘ線を透過する材料、例えば、ベリリウム、ダイヤモンド等で構成されうる。
【００１６】
管状導電部材５０は、絶縁管１０の内側空間において陽極３０から延びるように配置されている。管状導電部材５０は、軸方向ＡＤに延びる管形状を有する。管状導電部材５０は、陽極３０に電気的に接続されている。管状導電部材５０は、陰極２０とは離隔している。管状導電部材５０は、電子放出源２２から放出される電子の軌道（電子放出源２２とターゲット３４との間の経路）の少なくとも一部を取り囲むように配置されうる。管状導電部材５０は、絶縁管１０の帯電が電子放出源２２から放出される電子の軌道に与える影響を低減するように機能しうる。管状導電部材５０は、例えば、絶縁管１０の内側面に接触するように配置されうるが、絶縁管１０の内側面から離隔して配置されてもよい。管状導電部材５０は、陽極３０と一体的に構成されてもよいが、陽極３０とは別に構成され、陽極３０に結合または固定されてもよい。管状導電部材５０は、例えば、絶縁管１０の内側面上にＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等の気相成長法、または、めっき法、または、塗布法等によって形成された膜でありうる。あるいは、管状導電部材５０は、絶縁管１０とは分離して形成された後に絶縁管１０に挿入されてもよい。
【００１７】
絶縁管１０は、第１開口端ＯＰ１から離隔しかつ第２開口端ＯＰ２から離隔した位置に管状リブ１２を含みうる。絶縁管１０における管状リブ１２が配置された部分の厚さは、絶縁管１０における他の部分の厚さより大きい。管状リブ１２は、絶縁管１０の強度を向上する。よって、管状リブ１２を設けることは、絶縁管１０の管状リブ１２が設けられた部分以外の部分の厚さを薄くするために有利であり、これはＸ線発生管１の軽量化に寄与しうる。管状リブ１２は、絶縁管１０の内側空間に面するように配置されうる。
【００１８】
管状リブ１２は、管状導電部材５０における陰極２０の側の端部５２から見て放射方向ＲＤに配置されうる。管状導電部材５０の端部５２は電界強度が高くなり易い部分であるので、端部５２の放射方向ＲＤに管状リブ１２を設けることは、絶縁管１０を貫通する方向の放電を抑制するために効果的である。つまり、管状リブ１２は、絶縁管１０を貫通する放電の抑制と絶縁管１０の強度の確保とを同時に達成するために有利である。例えば、管状導電部材５０における陰極２０の側の端部５２は、管状リブ１２における陰極２０の側の端面を含む第１仮想平面ＶＰＬ１と、管状リブ１２の陽極３０の側の端面を含む第２仮想平面ＶＰＬ２との間に位置しうる。後述するように、耐電圧の向上の観点で、第１仮想面ＶＰＬ１と管状導電部材５０における陰極２０の側の端面５１とは、離隔していることが好ましい。
【００１９】
図１３には、Ｘ線発生管における電位を示すシミュレーション結果が示されている。電界強度は、等電位線の間隔が小さい部分において強い。符号Ａで示されるように、管状導電部材５０の端部における電界強度が強く、この部分において絶縁管１０を貫通するような放電が発生し易いことが分かる。そこで、この部分に管状リブ１２を設けて絶縁管１０の厚さを増すことは、放電を抑制するために効果的であることが分かる。
【００２０】
図２には、本発明の第２実施形態のＸ線発生管１の構成が模式的に示されている。第２実施形態として言及しない事項は、第１実施形態に従いうる。第２実施形態のＸ線発生管１は、絶縁管１０の外側を被覆するように配置され、電位が与えられる被覆部材４０を備える点で第１実施形態のＸ線発生管１と異なる。被覆部材４０は、陰極２０および陽極３０に電気的に接続されるように配置されうる。被覆部材４０は、例えば、陰極２０および陽極３０に接触するように、陰極２０、絶縁管１０および陽極３０を被覆しうる。被覆部材４０のシート抵抗値は、絶縁管１０のシート抵抗値より小さい。
【００２１】
一例において、絶縁管１０の１００℃における比抵抗を１×１０Ωｍ以上かつ１×１０１５Ωｍ以下で、絶縁管１０の１００℃におけるシート抵抗値をＲs１、被覆部材４０の１００℃におけるシート抵抗値をＲs２とする。この場合、Ｒs２／Ｒs１が１×１０−５以上かつ１×１０−１以下であることが好ましい。被覆部材４０は、例えば、コバールガラス、釉薬、フリットガラス等のガラス質材料、または、金属酸化膜で構成されうる。
【００２２】
被覆部材４０によって絶縁管１０を被覆することは、例えば、絶縁管１０の外側に平滑な面を形成するとともに、絶縁管１０を構成する粒子間に汚れが入り込むことを抑制するために有利である。その結果、絶縁管１０の外側表面における沿面耐電圧を向上させることができる。また、被覆部材４０が低い導電性を有することで、絶縁管１０の外側表面に帯電が起きたとしても、高電位差が生じる前に電荷を移動させることができ、絶縁管１０が損傷を受けるような放電が発生することを抑制できる。
【００２３】
しかし、一方で、図１４に示されるように、絶縁管１０を被覆部材４０によって被覆することによって、管状導電部材５０の端部における電界強度がより強くなりうる。図１４には、絶縁管１０を被覆部材４０で被覆したＸ線発生管における電位を示すシミュレーション結果が示されている。被覆部材４０を設けることによって、被覆部材４０の表面における電界強度（等電位線の間隔）は均一化される。しかし、それによって、符号Ａで示されるように、管状導電部材５０の端部の近傍において、管状導電部材５０の端部における電界強度がより強くなる。
【００２４】
したがって、端部５２の放射方向ＲＤに管状リブ１２を設けることは、被覆部材４０を設けた構成において、絶縁管１０を貫通する方向の放電を抑制するために、より高い効果を発揮しうる。
【００２５】
図３には、本発明の第３実施形態のＸ線発生管１の構成が模式的に示されている。第３実施形態として言及しない事項は、第１又は第２実施形態に従いうる。なお、以降の全ての実施形態において、絶縁管１０を被覆する被覆部材４０が設けられているが、被覆部材４０は、本発明における必須の構成ではない。第３実施形態では、被覆部材４０は、陰極２０および陽極３０に電気的に接続されるように配置されているが、陰極２０および陽極３０の側面を覆わないように配置さている。
【００２６】
図４には、本発明の第４実施形態のＸ線発生管１の構成が模式的に示されている。第４実施形態として言及しない事項は、第１又は第２実施形態に従いうる。第４実施形態では、被覆部材４０は、陰極２０および陽極３０に電気的に接続されるように配置されているが、陰極２０および陽極３０の側面を覆わないように配置さている。陰極２０は、被覆部材４０の側面の一部を覆う部分を有し、および／または、陽極３０は、被覆部材４０の側面の一部を覆う部分を有する。
【００２７】
図５には、本発明の第５実施形態のＸ線発生管１の構成が模式的に示されている。第５実施形態として言及しない事項は、第１乃至第４実施形態に従いうる。第５実施形態では、管状導電部材５０は、電子放出源２２における陽極３０の側の端部を取り囲むように配置されている。図５には、管状導電部材５０が電子放出源２２における陽極３０の側の端部を取り囲むように配置された構成が第２実施形態のＸ線発生管１に適用された例が示されているが、このような構成は、第１、第３、第４実施形態のＸ線発生管１にも適用可能である。
【００２８】
図６には、本発明の第６実施形態のＸ線発生管１の構成が模式的に示されている。第６実施形態として言及しない事項は、第１乃至第５実施形態に従いうる。第６実施形態では、管状導電部材５０は、管状導電部材５０の外側面と絶縁管１０の内側面との間に空間が構成されるように配置されている。このような構成は、第１乃至第５実施形態のＸ線発生管１にも適用可能である。
【００２９】
図７には、本発明の第７実施形態のＸ線発生管１の構成が模式的に示されている。第７実施形態として言及しない事項は、第１乃至第６実施形態に従いうる。第７実施形態では、管状導電部材５０における陰極２０の側の端面５１は、管状リブ１２における陰極２０の側の端面を含む第１仮想平面ＶＰＬ１に属する。このような構成は、第１、第３乃至第５実施形態のＸ線発生管１にも適用可能である。
【００３０】
図８には、本発明の第８実施形態のＸ線発生管１の構成が模式的に示されている。第８実施形態として言及しない事項は、第１乃至第７実施形態に従いうる。第８実施形態では、管状リブ１２は、絶縁管１０の外側空間に向けて突出する配置されている。このような構成は、第１、第３乃至第７実施形態のＸ線発生管１にも適用可能である。
【００３１】
図９には、本発明の第９実施形態のＸ線発生管１の構成が模式的に示されている。第９実施形態として言及しない事項は、第１乃至第７実施形態に従いうる。第９実施形態では、管状リブ１２は、絶縁管１０の内側空間に面するように配置された内側管状リブ１２１と、絶縁管１０の外側空間に向けて突出する配置された外側管状リブ１２２とを含む。このような構成は、第１、第３乃至第７実施形態のＸ線発生管１にも適用可能である。
【００３２】
以下、図１０および図１１を参照しながら管状リブ１２および管状導電部材５０の設計方法を例示的に説明する。絶縁管１０のうち管状リブ１２を有しない部分の厚さをＴ、管状リブ１２の厚さをＨ、絶縁管１０のうち管状リブ１２を有する部分の厚さをＴＴとする。第１仮想面ＶＰＬ１と管状導電部材５０における陰極２０の側の端面５１との距離をＬとする。
【００３３】
一般的に絶縁体においては、沿面の耐電圧は、バルクの耐電圧と比べて低く、実験的に、沿面の耐電圧は、１／３倍〜１／１０倍であることが知られている。絶縁管１０を構成する絶縁体のバルクの耐電圧をＥ１（ｋＶ／ｍｍ）、該絶縁体の沿面方向の耐電圧をＥ２（ｋＶ／ｍｍ）とする。絶縁管１０のうち管状リブ１２を有する部分の厚さ方向の耐電圧（経路ＰＨ１における耐電圧）は、Ｅ１×ＴＴ（ｋＶ）である。図１０の例では、管状リブ１２の沿面を介した耐電圧（経路ＰＨ２における耐電圧）は、Ｅ２×（Ｌ＋Ｈ）＋Ｅ１×Ｔである。図１１の例では、管状リブ１２の沿面を介した耐電圧（経路ＰＨ２における耐電圧）は、Ｅ２×Ｈ＋Ｅ１×Ｔである。図１０の構成が図１１の構成よりも、沿面を介した耐電圧の点で優れている。
【００３４】
以下、図１０の構成について説明する。沿面を介した放電を避けるためには、Ｅ２×（Ｌ＋Ｈ）＋Ｅ１×Ｔ≧Ｅ１×ＴＴであることが好ましい。ＴＴ＝Ｔ＋Ｈであるから、Ｌ≧（Ｅ１−Ｅ２）／Ｅ２×Ｈである。よって、沿面の耐電圧がバルクの耐電圧の１／３倍である場合（Ｅ１＝３×Ｅ２）、Ｌ≧２Ｈであることが好ましく、沿面の耐電圧がバルクの耐電圧の１／１０倍である場合（Ｅ１＝１０×Ｅ２）、Ｌ≧９Ｈであることが好ましい。ここで、Ｘ線発生管１の軽量化の観点からＴＴを５ｍｍに設定した場合、Ｌ≧６ｍｍであることが好ましく、Ｌ≧２７ｍｍであることが更に好ましい。
【００３５】
図１２には、本発明の第１０実施形態のＸ線発生管１の構成が模式的に示されている。第１０実施形態として言及しない事項は、第１乃至第９実施形態に従いうる。第１０実施形態では、絶縁管１０は、管状導電部材５０における陰極２０の側の端部から見て放射方向に配置された管状リブ１２を含む。管状導電部材５０における陰極２０の側の端部５２は、管状リブ１２における陰極２０の側の端面を含む第１仮想平面ＶＰＬ１と、管状リブ１２の陽極３０の側の端面を含む第２仮想平面ＶＰＬ２との間に位置しうる。第２仮想平面ＶＰＬ２は、絶縁管１０における陽極３０の側の端面を形成しうる。換言すると、管状リブ１２における陽極３０の側の端面は、絶縁管１０における陽極３０の側の端面と同一平面に属しうる。他の観点において、管状リブ１２は、陽極３０と接触するように配置されうる。
【００３６】
第１０実施形態のＸ線発生管１は、絶縁管１０の外側を被覆するように配置され、電位が与えられる被覆部材４０を備えうる。被覆部材４０は、陰極２０および陽極３０に電気的に接続されるように配置されうる。被覆部材４０は、例えば、陰極２０および陽極３０に接触するように、陰極２０、絶縁管１０および陽極３０を被覆しうる。被覆部材４０のシート抵抗値は、絶縁管１０のシート抵抗値より小さい。
【００３７】
図１５には、本発明の一実施形態のＸ線発生装置１００の構成が示されている。Ｘ線発生装置１００は、Ｘ線発生管１と、Ｘ線発生管１を駆動する駆動回路３とを備えうる。Ｘ線発生装置１００は、駆動回路３に昇圧された電圧を供給する昇圧回路２を更に備えうる。Ｘ線発生装置１００は、Ｘ線発生管１、駆動回路３および昇圧回路２を収納する収納容器４を更に備えうる。収納容器４の中には、絶縁油が充填されうる。
【００３８】
図１６には、本発明の一実施形態のＸ線撮像装置２００の構成が示されている。Ｘ線撮像装置２００は、Ｘ線発生装置１００と、Ｘ線発生装置１００から放射され物体１０６を透過したＸ線１０４を検出するＸ線検出装置１１０を備えうる。Ｘ線撮像装置２００は、制御装置１２０および表示装置１３０を更に備えてもよい。Ｘ線検出装置１１０は、Ｘ線検出器１１２と、信号処理部１１４とを含みうる。制御装置１２０は、Ｘ線発生装置１００およびＸ線検出装置１１０を制御しうる。Ｘ線検出器１１２は、Ｘ線発生装置１００から放射され物体１０６を透過したＸ線１０４を検出あるいは撮像する。信号処理部１１４は、Ｘ線検出器１１２から出力される信号を処理して、処理された信号を制御装置１２０に供給しうる。制御装置１２０は、信号処理部１１４から供給される信号に基づいて、表示装置１３０に画像を表示させる。
【００３９】
発明は上記の実施形態に制限されるものではなく、発明の要旨の範囲内で、種々の変形・変更が可能である。
【要約】
Ｘ線発生管は、第１開口端および第２開口端を有する絶縁管と、電子放出源を有し、前記絶縁管の前記第１開口端を閉塞するように配置された陰極と、前記電子放出源からの電子が衝突することによってＸ線を発生するターゲットを有し、前記絶縁管の前記第２開口端を閉塞するように配置された陽極と、前記絶縁管の内側空間において前記陽極から延びた管状導電部材とを含む。前記絶縁管は、前記第１開口端から離隔しかつ前記第２開口端から離隔した位置に管状リブを含む。前記管状リブは、前記管状導電部材における前記陰極の側の端部から見て放射方向に配置される。【図１】
0006609088.tif 000002
【図２】
0006609088.tif 000003
【図３】
0006609088.tif 000004
【図４】
0006609088.tif 000005
【図５】
0006609088.tif 000006
【図６】
0006609088.tif 000007
【図７】
0006609088.tif 000008
【図８】
0006609088.tif 000009
【図９】
0006609088.tif 000010
【図１０】
0006609088.tif 000011
【図１１】
0006609088.tif 000012
【図１２】
0006609088.tif 000013
【図１３】
0006609088.tif 000014
【図１４】
0006609088.tif 000015
【図１５】
0006609088.tif 000016
【図１６】
0006609088.tif 000017