(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出口を備える吐出口形成部材と、前記吐出口に連通する圧力室と、前記圧力室に前記液体を供給する供給路を備えた基板と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
（１）前記基板上に、前記供給路の少なくとも一部を覆い前記圧力室となる流路形成用型材を形成する工程と、
（２）前記流路形成用型材の上に樹脂層を設け、前記樹脂層を押圧する工程と、
（３）前記樹脂層に前記吐出口を形成し、前記吐出口形成部材を形成する工程と、
を有し、
前記工程（２）において、前記樹脂層を押圧する第１期間と、前記第１期間よりも押圧荷重が弱められる、または前記樹脂層が押圧されない、前記第１期間に続く第２期間とを有する工程を１サイクルとして前記サイクルを複数回実行すること
を特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記工程（２）において、前記樹脂層を平板にて押圧する請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記工程（２）において、前記第１期間の長さは、前記流路形成用型材の動的粘弾性特性の損失係数が１．０未満となり、前記樹脂層の動的粘弾性特性の損失係数が１．０よりも大きくなる長さである請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記工程（２）において、前記複数回実行されるサイクルは、前記第１期間での押圧の荷重が前記サイクルごとに増加していく２回以上のサイクルを有する請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記工程（２）において、前記複数回実行されるサイクルは、前記第１期間での押圧の荷重が前記サイクルごとに減少して終了する２回以上のサイクルを有する請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記工程（２）において、前記第２期間が前記第１期間よりも長い請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記工程（２）において、前記第２期間では、前記押圧を停止する請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドは、基板に形成された液体の供給路と、供給路と連通する圧力室と、圧力室の一部に設けられた吐出エネルギー発生部と、吐出エネルギー発生部で発生するエネルギーによって液体を吐出する吐出口とを備えている。
【０００３】
特許文献１には、供給路が形成された基板にドライフィルムを用いて圧力室を形成する液体吐出ヘッドの製造方法が記載されている。このドライフィルムは、圧力室となる流路形成用型材として機能する。
特許文献２には、吐出口を備えた吐出口形成部材となるドライフィルムを積層する際にドライフィルムを押圧することでドライフィルムの表面を平坦にし、安定的な吐出特性を維持できる液体吐出ヘッドの製造方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２２４５９８号公報
【特許文献２】特開２００６−１３７０６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板上に供給路を覆う流路形成用型材を形成し、その基板上に樹脂層を設け、その樹脂層を押圧して吐出口形成部材を形成する液体吐出ヘッドの製造方法が考えられる。
【０００６】
しかし、この方法では、樹脂層に対する押圧に伴い、供給路上に既成されている流路形成用型材が変形して供給路内に入り込んでしまう可能性がある。これは、流路形成用型材が中空保持状態となっているためである。
流路形成用型材の変形は、結果として「圧力室の高さの低下」および「吐出口形成部材の厚さのバラツキ」を引き起こし、「流抵抗増加によるリフィル性能の低下」および「不均一な応力分布の発生による吐出口変形」などの原因となる可能性がある。
【０００７】
本発明の目的は、吐出口形成部材となる樹脂層に対する押圧が行われても流路形成用型材の変形を低減可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出する吐出口を備える吐出口形成部材と、前記吐出口に連通する圧力室と、前記圧力室に前記液体を供給する供給路を備えた基板と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、（１）前記基板上に、前記供給路の少なくとも一部を覆い前記圧力室となる流路形成用型材を形成する工程と、（２）前記流路形成用型材の上に樹脂層を設け、前記樹脂層を押圧する工程と、（３）前記樹脂層に前記吐出口を形成し、前記吐出口形成部材を形成する工程と、を有し、前記工程（２）において、前記樹脂層を押圧する第１期間と、前記第１期間よりも押圧荷重が弱められる、または前記樹脂層が押圧されない、前記第１期間に続く第２期間とを有する工程を１サイクルとして前記サイクルを複数回実行する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、吐出口形成部材となる樹脂層に対する押圧が行われても流路形成用型材の変形を低減可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明を適用可能な液体吐出ヘッドの構成例を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態の一例を示す断面模式図である。
【図３】本発明の実施形態の一例を示すプロセスフロー図である。
【図４】本発明の実施形態の一例を示す加重シーケンス図である。
【図５】本発明の実施形態の一例を説明する断面模式図である。
【図６】本発明の実施形態の一例を示す断面模式図である。
【図７】本発明の実施形態の一例を示す加重シーケンス図である。
【図８】本発明の実施形態の一例を示す加重シーケンス図である。
【図９】本発明の実施形態の一例を示す加重シーケンス図である。
【図１０】本発明の実施形態の一例を示すプロセスフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明を適用可能な液体吐出ヘッドの構成例を示す模式図である。
液体吐出ヘッドは、吐出エネルギー発生素子１が所定のピッチで並んで形成された基板２を有している。基板２には、インク等の液体の供給路３が設けられている。基板２上には、吐出口形成部材４によって、各吐出エネルギー発生素子１の上方で開口する吐出口５と、供給路３から各吐出口５に連通する個別の圧力室６が形成されている。図１に示した矢印は、液体の流れる方向の一例を示している。
吐出エネルギー発生素子１は、液体を吐出するための吐出エネルギーを発生する。吐出エネルギー発生素子１としては、電気熱変換素子（例えば発熱抵抗体）や圧電素子が用いられる。吐出エネルギー発生素子１は、吐出エネルギーを発生することにより吐出口５から液滴を吐出させる。
なお、この液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に搭載可能である。例えば、この液体吐出ヘッドは、バイオッチップ作成や電子回路印刷、薬物を噴霧状に吐出するなどの用途にも用いることができる。
【００１２】
次に、本発明の実施形態の一例について、図２、図３、図４を用いて説明する。
図２は、本発明の実施形態の一例の工程フローを示す断面模式図である。
【００１３】
まず、吐出エネルギー発生素子１と供給路３を有する基板２を準備する。その後、基板２上に供給路３を覆う流路形成用型材７を形成する（図２（ａ）、工程（１））。
流路形成用型材７は、将来的に圧力室６となるパターンに対応する。流路形成用型材７は、例えば、ドライフィルム化されたポジ型感光性樹脂を用いて成膜し、その後、フォトリソグラフィー工程を経ることで圧力室パターンを形成する。ポジ型感光性樹脂としては、例えば、ポリメチルイソプロペニルケトンや、メタクリル酸とメタクリレートとの共重合体が挙げられる。
なお、本実施形態では、流路形成用型材７が、基板２を貫通している供給路３を覆う例を示しているが、少なくとも一部が凹部となっている供給路３が基板上に形成され、その凹部を流路形成用型材７が覆っていてもよい。つまり、流路形成用型材７に覆われる部分の形状は、流路形成用型材７がテンティング状態となる形状であればよく、例えば一般的な凹部形状であってもよい。また、流路形成用型材７は、基板２上の供給路３の長さ方向における端部以外の部分を覆ってもよい。この場合、供給路３のうち流路形成用型材７にて覆われていない部分は、後述する工程で樹脂層８にて覆われる。このため、基板２上に、供給路３を覆う流路形成用型材７を形成する工程は、基板２上に、供給路３の少なくとも一部を覆う流路形成用型材７を形成する工程であればよい。
【００１４】
次に、吐出口形成部材４となる樹脂層８と支持部材９を有する転写部材１０を準備する。そして、基板２と押圧機構１１とで転写部材１０を挟みこむ位置関係で、基板２と転写部材１０が互いに接触しない様に、基板２と転写部材１０を押圧装置内に設置する（図２（ｂ））。この際、樹脂層８を流路形成用型材７と対向させる。
転写部材１０は、支持部材９の上に、樹脂層８となる樹脂が溶けている溶液を塗布・ベークすることで、事前に製造しておくことができる。
本実施形態においては、樹脂層８の一例として、ネガ型感光性樹脂を用いる。ネガ型感光性樹脂としては、エポキシ基、オキセタン基、ビニル基などを含む樹脂と、対応する重合開始剤とを含む組成物が挙げられる。支持部材９の材料としては、ポリエチレンテレフタラートやポリイミド等の有機フィルム材料のほか、石英やシリコンウェハ等の無機基板を使用してもよい。また、樹脂層８として、市販のドライフィルムなどを適宜選択して使用してもよい。
【００１５】
次に、工程（２）として、押圧機構１１を用いて、転写部材１０を、流路形成用型材７が形成されている基板２の表面に所定の荷重にて押しつけ所定の時間保持する。これにより、樹脂層８を基板２に設け、樹脂層８の表面形状を押圧機構１１の形状に成型する（図２（ｃ））。
本実施形態においては、押圧機構１１として平板（例えば、高精度平板）を用いている。このため、樹脂層８の表面を平坦に成形することができる。
【００１６】
その後、押圧機構１１を転写部材１０から離型し（図２（ｄ））、続いて支持部材９を樹脂層８から剥離する（図２（ｅ））。
その後、工程（３）として、フォトリソグラフィー工程やドライエッチング工程等により、樹脂層８に吐出口５を形成し、吐出口形成部材４を形成する。
その後、流路形成用型材７を除去することで圧力室６を形成する。これにより供給路３と吐出口５が圧力室６により連通され、液体吐出ヘッドが製造される。
【００１７】
次に、図２（ｂ）〜図２（ｄ）に至るプロセスフローを詳細に説明する。
図３は、本実施形態の一例を示したプロセスフロー図である。
樹脂層８と流路形成用型材７とが対向し、基板２と押圧機構１１とで転写部材１０を挟みこむ位置関係で、基板２と転写部材１０が互いに接触しない様に、基板２と転写部材１０を押圧装置内に設置する。その後、まず全体の真空引きを行う（ステップＳ３０１）。これは、最終的に吐出口形成部材４と基板２の間に気泡等の空隙が残存することを抑制するために有用である。
【００１８】
その後、転写部材１０を基板２表面に所定の荷重にて押圧し（ステップＳ３０２）、その押圧の状態を所定の時間保持した後に、該所定の荷重を弱めた状態で（ステップＳ３０３）一定時間保持する。
ここで、所定の時間は、樹脂層８を押圧する第１期間の一例である。また、一定時間は、所定の時間（第１期間）よりも押圧荷重が弱められた第２期間の一例である。以下、「押圧荷重が弱められた状態」を「除荷」とも称する。また、「転写部材１０を基板２表面に所定の荷重にて押圧した状態を所定の時間保持し、その後、該所定の荷重を弱めた状態で一定時間保持する」という工程を「調整工程」とも称する。
そして、この調整工程を１サイクルとして、このサイクルを複数回（Ｎ回）繰り返し実行して（ステップＳ３０４）、樹脂層８の流路形成用型材７の上への設置と、樹脂層８を吐出口５が備られていない吐出口形成部材４の形状への成形を行っていく。
以下、「調整工程のサイクル」を「押圧／除荷サイクル」とも称する。なお、Ｎは２以上の整数である。
【００１９】
図４は、押圧／除荷サイクルの押圧力（加重）シーケンスの経時的変化を模式的に示した図である。
押圧／除荷サイクル（調整工程）では、樹脂層８を変形させるために必要な押圧力Ｆ１をＴ１時間印加した後、Ｆ０＜Ｆ１となる関係性を有する押圧力Ｆ０でＴ２時間保持する。なお、押圧力Ｆ０としては「０」に近い値を設定することが好ましい。Ｔ１時間は第１期間の一例である。Ｔ２時間は第２期間の一例である。Ｔ１時間（第１期間、押圧時間）は、押圧期間の長さである。Ｔ２時間（第２期間）は、除荷期間の長さである。工程（２）は、押圧／除荷サイクルを複数回繰り返す押圧・除荷の繰返しシーケンスを有する。
【００２０】
押圧／除荷サイクルをＮ回繰り返した後に（ステップＳ３０４）、押圧機構１１を支持部材９から離型する（ステップＳ３０５）。その後、大気解放を行い（ステップＳ３０６）、その後、支持部材９を樹脂層８から剥離する（ステップＳ３０７）。
【００２１】
本実施形態では、真空下において押圧・除荷の繰返しシーケンスを実行することで、真空引きが１回ですむ。このため、真空引きを複数回実行する場合に比べて、処理時間を短縮できる。
また、離型をしてから大気解放することで、大気圧による不意な圧力で基板２が押圧機構１１に押しつけられて生じる不要な変形を抑制できる。
【００２２】
図５は、押圧・除荷の繰返しシーケンスを実施する際の樹脂層８と流路形成用型材７の変形状況を模式的に示した図である。
第１の押圧期間（図５（ａ））においては、樹脂層８は、流路形成用型材７の表面に接するとともに、横方向および基板２に向かう方向に流動移動を始める。その際、流路形成用型材７のうち供給路３上に存在する中空保持領域７ａは、押圧力によって供給路３に落ち込む方向に変形する。
次に、第１の除荷期間（図５（ｂ））を実行する。この期間では、押圧力が弱くなるので、樹脂層８は流動を停止し、中空保持領域７ａは復元方向の変形を生じる。中空保持領域７ａの形状がある程度復元されるまで、押圧力を弱めた状態が続く。
その後、第２の押圧期間（図５（ｃ））を実行すると、樹脂層８は流動を再開し、中空保持領域７ａは供給路３に落ち込む方向に再び変形する。
次に、第２の除荷期間（図５（ｄ））を実行すると、樹脂層８は流動を停止し、中空保持領域７ａは復元方向に変形を始める。
【００２３】
本実施形態によれば、上述したサイクルを繰り返すことで、樹脂層８は基板２上で累積的に流動変形するので、長期間一括押圧した時と同等の流動変形が生じる。一方で、流路形成用型材７は定期的な除荷期間の実行により、変形と復元を繰り返して累積的な変形が抑制され、長期間一括押圧した時に比較して変形が抑制される。このため、吐出口形成部材４を形成するために樹脂層８に対して押圧が行われても流路形成用型材７の変形を低減可能になる。
【００２４】
また、サイクルを繰り返す際に樹脂層８を平板の押圧機構１１にて押圧するので、流路形成用型材７の供給路３への落ち込み変形に起因する圧力室６の変形を抑制しながら、樹脂層８の表面を平坦にするまで加圧変形できる。結果として高精度な液体吐出ヘッドを製造できる。
【００２５】
本実施形態を効果的に実施するためには、流路形成用型材７および樹脂層８の粘弾性物性が非常に重要となる。
押圧・除荷の繰返しシーケンス下においては、表１に示すように、流路形成用型材７は弾性優位の特性を有し、樹脂層８は粘性優位の特性を有していることが好ましい。なぜなら、流路形成用型材７においては、弾性優位の物性を有していることで、可逆的な変形・回復の弾性変形の繰り返しが生じ、結果的に変位変形が抑制される。一方、樹脂層８においては、粘性優位の物性を有していることで、粘性的な不可逆変形が優勢となり、結果的に樹脂層８の表面の平坦性が向上する。
【００２６】
【表１】
0006525698.tif 000002
【００２７】
材料の粘弾性物性は、マスターカーブと呼ばれる表示形式に代表されるように、荷重の印加周波数によって大きく変化することが知られている。よって、押圧・除荷の繰返しシーケンスでの押圧期間の長さであるＴ１時間（押圧時間）は非常に重要なパラメータである。
押圧時間が短すぎる場合は、流路形成用型材７と樹脂層８とがともに弾性優位となってしまう。その結果、樹脂層８の平坦性が向上しづらくなる。
一方、押圧時間が長すぎる場合は、流路形成用型材７と樹脂層８とがともに粘性優位となってしまう。その結果、流路形成用型材７が累積的に供給路３に落ち込む流動変形を起こしてしまう。
以上のことから、押圧期間の長さ（Ｔ１時間）が、流路形成用型材７と樹脂層８の材料粘弾性物性を以下の関係にする長さであることが重要である。すなわち、押圧期間の長さは、流路形成用型材７の動的粘弾性特性の損失係数ｔａｎΔが１．０未満となり、かつ、樹脂層８の動的粘弾性特性の損失係数ｔａｎΔが１．０よりも大きくなる長さであることが好ましい。
ここで、損失係数ｔａｎΔとは、動的粘弾性測定において測定される貯蔵剛性率Ｇ’と損失剛性率Ｇ’’の比（Ｇ’’/Ｇ’）から得られる値である。この値が大きい程粘性的であり、この値が０に近い程弾性的であることを表わしている。
また、押圧期間において、流路形成用型材７の緩和剛性の値が、樹脂層８の緩和剛性の値より大きいとよい。好ましくは、押圧期間の長さが、流路形成用型材７の緩和剛性の値から樹脂層８の緩和剛性の値を差し引いた値が１０の４乗以上の値となる長さであると効果的である。なぜなら、流路形成用型材７と樹脂層８との材料のかたさに十分な差が存在することになるため、流路形成用型材７の変形を抑制しつつ樹脂層８を流動させるための条件マージンが拡大するためである。
【００２８】
なお、図６に示すように、押圧・除荷の繰返しシーケンスの初期段階においては、押圧期間を経るにつれて、樹脂層８と、流路形成用型材７を備えた基板２とが接する面積が段階的に増大していく（図６において、接触面積Ｓ１＜接触面積Ｓ２＜接触面積Ｓ３）。
よって、押圧・除荷の繰返しシーケンスの初期段階では、例えば図７に示したように、１回目のサイクルから押圧期間での押圧の荷重がサイクルごとに増加していく２回以上のサイクルを実行してもよい。つまり、複数回のサイクルは、押圧期間での押圧の荷重がサイクルごとに増加していく２回以上のサイクルを有してもよい。
図７では、７回以上のサイクルを実行する場合に、１回目から５回目のサイクルまで、押圧期間での押圧力（押圧の荷重）がＦ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４、Ｆ５と段階的に増加している。この場合、流路形成用型材７に印加される応力を一定値に抑える効果があるため、流路形成用型材７の供給路３への落ち込み変形を抑制可能となる。なお、複数のサイクル数は７に限らず適宜変更可能である。また、押圧期間での押圧力がサイクルごとに段階的に増加するサイクル数も５に限らず適宜変更可能である。また、押圧・除荷の繰返しシーケンスの初期段階であれば、１回目のサイクルからではなく２回目や３回目のサイクルから、押圧期間での押圧力をサイクルごとに段階的に増加してもよい。
【００２９】
また、例えば図８に示すように、押圧・除荷の繰返しシーケンスの終了段階において、押圧力がサイクルごとに段階的に減少していく２回以上のサイクルが実行されてもよい。つまり、複数回のサイクルは、押圧期間での押圧の荷重がサイクルごとに減少して工程（２）を終了する２回以上のサイクルを有してもよい。この場合、流路形成用型材７の弾性変形変位の振幅を徐々に減衰させていくことになるため、流路形成用型材７の最終的な形状を安定させることができる。
【００３０】
また、押圧・除荷の繰返しシーケンスの初期段階において押圧期間での押圧の荷重がサイクルごとに増加し、押圧・除荷の繰返しシーケンスの終了段階において押圧期間での押圧の荷重がサイクルごとに減少して終了してもよい。
【００３１】
また、例えば図９に示すように、除荷期間のＴ２時間がＴ１時間よりも長く設定されてもよい。この場合は、流路形成用型材７の復元に要する期間にマージンを取れるため、流路形成用型材７の変形が抑制されて効果的である。
【００３２】
また、図３に示したシーケンスでは、図４に示したように除荷期間においても押圧力Ｆ０で押圧機構１１が樹脂層８を押圧した。これに対して、図１０に示すように、除荷期間の代わりに、支持部材９と押圧機構１１を離型する離型期間（ステップＳ１００１）が用いられてもよい。この場合、離型期間では、押圧が停止される。離型期間は、第２期間の一例である。離型期間の長さは、除荷期間の長さと同じでもよい。
この場合、除荷期間が用いられるケースと比較して、第２期間において支持部材９と押圧機構１１が接触していないため、流路形成用型材７の復元変形時に、流路形成用型材７が樹脂層８から不要な圧力を受けなくなる。その結果、流路形成用型材７の復元に有利に働き、結果として流路形成用型材７の変形が抑制される。
【００３３】
以上説明した実施形態において、図示した構成は単なる一例であって、本発明はその構成に限定されるものではない。
【実施例】
【００３４】
以下、本発明の実施例を示すが、本発明はこれらに限定されない。
以下に示す工程によって液体吐出ヘッドを製造した。
まず、吐出エネルギー発生素子１として発熱抵抗体を、基板２としてのシリコン基板に形成した後、ＴＭＡＨ（水酸化テトラメチルアンモニウム）を用いて異方性エッチングにて供給路３を形成した。その後、ドライフィルム化されたポジレジスト（商品名；ＯＤＵＲ−１０１０Ａ、東京応化製）を用いて、圧力室パターンに対応する流路形成用型材７を、供給路３を覆うように基板２上に形成した（図２（ａ））。
次に、真空チャンバー内に平板の押圧機構１１を有する押圧装置の中に、基板２と、樹脂層８としてのドライフィルムであるネガ型レジスト（商品名；ＴＭＭＦ、東京応化製）を、互いが接触しないように設置した（図２（ｂ））。
その後、１００Ｐａまで真空引きを行った後に、押圧機構１１と基板２を８０℃に設定し、１５ｋＮで１０秒押圧し、その後、０．１ｋＮで６０秒の除荷期間を設けるというサイクルを、１８回繰り返した。
その後、樹脂層８としてのドライフィルムの表面と押圧機構１１を離型した後、大気解放を行った。
その後、支持部材９としてのベースフィルムを樹脂層８としてのドライフィルムから剥離後、露光機にて吐出口パターンを露光し、ＰＥＢ（Ｐｏｓｔ  Ｅｘｐｏｓｕｒｅ  Ｂａｋｅ）、現像を行って、吐出口５を備えた吐出口形成部材４を形成した。
その後、上部からＤｅｅｐＵＶを照射して流路形成用型材７を除去液に可溶化させた後、流路形成用型材７を除去液であるエチルセロソルブに溶解させて除去し、圧力室６を形成した。
供給路３上の圧力室６の高さの変化は無く、吐出口５の表面が平坦な液体吐出ヘッドを製造できた。
【００３５】
次に、比較例を説明する。
表２は、本実施例と比較例１、２との比較結果を示した表である。
【表２】
0006525698.tif 000003
【００３６】
（比較例１）
比較例１は、実施例での１５ｋＮで１０秒押圧し、その後０．１ｋＮで６０秒の除荷期間のサイクルを１８回繰り返した工程の代わりに、１５ｋＮで１０秒の押圧を行って、液体吐出ヘッドを作製した例である。比較例１では、吐出口形成部材４の表面は平坦だったが、供給路３上の圧力室６の高さが低くなっていた。
【００３７】
（比較例２）
比較例２は、実施例での１５ｋＮで１０秒押圧し、その後０．１ｋＮで６０秒の除荷期間のサイクルを１８回繰り返した工程の代わりに、１５ｋＮで１８０秒に押圧を行って、液体吐出ヘッドを作製した例である。比較例２では、吐出口形成部材４の表面が平坦にならなかった。
【符号の説明】
【００３８】
２  基板
３  供給路
４  吐出口形成部材
５  吐出口
６  圧力室
７  流路形成用型材
８  樹脂層
１１  押圧機構（平板に対応）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0006525698.tif 000010
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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