(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
面板上面に所定方向に配列された複数の磁極部、及び隣り合う前記磁極部の間に形成された溝部を備え、前記磁極部の磁気力によって、前記磁極部の上面に工作物を吸着し固定する電磁チャック本体と、
前記溝部に、深さ方向に移動可能に配置され、前記工作物が前記磁極部の上面に固定された場合、前記工作物の下面に対し、前記磁極部による前記工作物に対する吸着力よりも小さな力で前記工作物を吸着方向と反対方向である押圧方向に押圧する押圧部材と、
前記押圧部材が前記工作物の前記下面を前記吸着力よりも前記小さな力で押圧するよう、前記押圧部材を前記押圧方向に付勢する付勢部材と、
前記押圧部材を支持し、前記押圧部材を前記溝部の前記深さ方向に案内するとともに前記面板における前記溝部が延びる方向への前記押圧部材の移動を規制するガイド部材と、
を備え、
前記ガイド部材は、前記溝部に配置され、前記溝部が延びる方向に弾性変形可能な板ばねであるとともに、前記溝部が延びる方向における前記押圧部材の内側端部及び外側端部の少なくとも一方を前記電磁チャック本体に固定する、電磁チャック。
【請求項２】
前記ガイド部材は、前記押圧部材の、前記面板における前記複数の磁極部の配列方向への移動を規制する、請求項１に記載の電磁チャック。
【請求項３】
前記押圧部材は、前記溝部が延びる方向に延在して形成され、
前記ガイド部材は、前記溝部が延びる方向に延在して形成される、請求項１又は２に記載の電磁チャック。
【請求項４】
前記板ばねは、前記押圧部材と前記工作物との接触面より前記溝部の底面側に上面が形成される、請求項１−３の何れか１項に記載の電磁チャック。
【請求項５】
旋回軸線回りに旋回可能な旋回テーブルと、
前記旋回テーブルにおける前記旋回軸線を中心とする円周上にそれぞれ設けられ、前記旋回軸線と平行な主軸線回りに回転可能な工作主軸を有する複数の主軸台と、
複数の前記工作主軸に設けられ、それぞれ前記工作物の保持が可能な複数の保持装置と、
前記旋回テーブルに対して相対移動可能にそれぞれ設けられ、前記旋回テーブルの旋回により前記工作物が順次搬送されることで、対応するそれぞれの研削旋回位置に前記工作物が位置決めされる場合に、対応する前記工作物を研削する複数の砥石と、
を備え、
前記保持装置は、請求項１−４の何れか一項に記載の電磁チャックである、複合研削盤。
【請求項６】
旋回軸線回りに旋回可能な旋回テーブルと、
前記旋回テーブルにおける前記旋回軸線を中心とする円周上にそれぞれ設けられ、前記旋回軸線と平行な主軸線回りに回転可能な工作主軸を有する複数の主軸台と、
複数の前記工作主軸に設けられ、それぞれ工作物の保持が可能な複数の保持装置と、
前記旋回テーブルに対して相対移動可能にそれぞれ設けられ、前記旋回テーブルの旋回により前記工作物が順次搬送されることで、対応するそれぞれの研削旋回位置に前記工作物が位置決めされる場合に、対応する前記工作物を研削する複数の砥石と、
を備え、
前記保持装置は、
面板上面に所定方向に配列された複数の磁極部、及び隣り合う前記磁極部の間に形成された溝部を備え、前記磁極部の磁気力によって、前記磁極部の上面に前記工作物を吸着し固定する電磁チャック本体と、
前記溝部に、深さ方向に移動可能に配置され、前記工作物が前記磁極部の上面に固定された場合、前記工作物の下面に対し、前記磁極部による前記工作物に対する吸着力よりも小さな力で前記工作物を吸着方向と反対方向である押圧方向に押圧する押圧部材と、
前記押圧部材が前記工作物の前記下面を前記吸着力よりも前記小さな力で押圧するよう、前記押圧部材を前記押圧方向に付勢する付勢部材と、
前記押圧部材を支持し、前記押圧部材を前記溝部の前記深さ方向に案内するとともに前記面板における前記溝部が延びる方向への前記押圧部材の移動を規制するガイド部材と、
を備える電磁チャックである、複合研削盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁チャック、及びその電磁チャックを備えた複合研削盤に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、工作物に対して切削、及び研削等の加工を行なう場合、工作物を、爪などによって締め付ける一般的な機械的チャックによって固定するのではなく、工作物の形状、及び加工したい部位に応じて、電磁気による吸着力（磁気吸引力）を利用して、面板上に固定する技術が有る（特許文献１−２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭５３−１１１５８４号公報
【特許文献２】特開昭５４−９０６７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１−２に開示される技術では、工作物、及び工作物が固定される電磁チャックの面板の材質は、通常、ともに金属である。このため、接触する工作物の下面と面板の上面との間の摩擦係数は小さくなりやすい。従って、たとえば、工作物の研削中に、工作物を固定する吸着力（磁気吸引力）を超える大きな力が工作物に付与された場合、工作物が面板上で、初期位置からずれる虞が有る。これに対し、コイルに流す電流量を増加させる、又はコイルの巻数を増加させる等、によって工作物に対する吸着力を向上させ、工作物に対する保持力を向上させる対策が考えられる。しかし、コイルに流す電流量を増加させる場合には、発熱量が増加するという課題がある。また、コイルの巻数を増加させる場合には、電磁チャックの体格が大きくなってしまうという課題がある。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、加工時において、十分な保持力によって工作物の固定が可能な小型の電磁チャック、及び電磁チャックを備えた複合研削盤を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、請求項１の電磁チャックは、面板上面に所定方向に配列された複数の磁極部、及び隣り合う前記磁極部の間に形成された溝部を備え、前記磁極部の磁気力によって、前記磁極部の上面に工作物を吸着し固定する電磁チャック本体と、前記溝部に、深さ方向に移動可能に配置され、前記工作物が前記磁極部の上面に固定された場合、前記工作物の下面に対し、前記磁極部による前記工作物に対する吸着力よりも小さな力で前記工作物を吸着方向と反対方向である押圧方向に押圧する押圧部材と、前記押圧部材が前記工作物の前記下面を前記吸着力よりも前記小さな力で押圧するよう、前記押圧部材を前記押圧方向に付勢する付勢部材と、前記押圧部材を支持し、前記押圧部材を前記溝部の前記深さ方向に案内するとともに前記面板における前記溝部が延びる方向への前記押圧部材の移動を規制するガイド部材と、を備え、前記ガイド部材は、前記溝部に配置され、前記溝部が延びる方向に弾性変形可能な板ばねであるとともに、前記溝部が延びる方向における前記押圧部材の内側端部及び外側端部の少なくとも一方を前記電磁チャック本体に固定する。
【０００７】
このように、面板上面に形成された溝部に、工作物の下面を押圧方向に押圧する押圧部材が配置される。押圧部材による工作物の下面への押圧は、付勢部材の押圧部材への付勢により行なわれる。このとき、押圧部材は、ガイド部材によって、溝部の深さ方向に案内されるとともに、面板における溝部が延びる方向への移動が規制される。このため、付勢部材によって押圧部材が押圧方向に付勢されても、押圧部材の側面が、溝部の側面に強く押し付けられる虞は低い。これにより、付勢部材による押圧部材の押圧方向への付勢力が、押圧部材の側面と溝部の側面との接触によって消費され低下する虞は低い。このため、押圧部材による工作物の下面への押圧によって、押圧部材の上面と工作物の下面との間の摩擦力は向上し、工作物への加工時においても工作物は面板上に良好に保持される。
【０００８】
また、上記課題を解決するため、請求項５の複合研削盤は、旋回軸線回りに旋回可能な旋回テーブルと、前記旋回テーブルにおける前記旋回軸線を中心とする円周上にそれぞれ設けられ、前記旋回軸線と平行な主軸線回りに回転可能な工作主軸を有する複数の主軸台と、複数の前記工作主軸に設けられ、それぞれ前記工作物の保持が可能な複数の保持装置と、前記旋回テーブルに対して相対移動可能にそれぞれ設けられ、前記旋回テーブルの旋回により前記工作物が順次搬送されることで、対応するそれぞれの研削旋回位置に前記工作物が位置決めされる場合に、対応する前記工作物を研削する複数の砥石と、を備え、前記保持装置は、上述の電磁チャックである。
また、上記課題を解決するため、請求項６の複合研削盤は、旋回軸線回りに旋回可能な旋回テーブルと、前記旋回テーブルにおける前記旋回軸線を中心とする円周上にそれぞれ設けられ、前記旋回軸線と平行な主軸線回りに回転可能な工作主軸を有する複数の主軸台と、複数の前記工作主軸に設けられ、それぞれ工作物の保持が可能な複数の保持装置と、前記旋回テーブルに対して相対移動可能にそれぞれ設けられ、前記旋回テーブルの旋回により前記工作物が順次搬送されることで、対応するそれぞれの研削旋回位置に前記工作物が位置決めされる場合に、対応する前記工作物を研削する複数の砥石と、を備え、前記保持装置は、面板上面に所定方向に配列された複数の磁極部、及び隣り合う前記磁極部の間に形成された溝部を備え、前記磁極部の磁気力によって、前記磁極部の上面に前記工作物を吸着し固定する電磁チャック本体と、前記溝部に、深さ方向に移動可能に配置され、前記工作物が前記磁極部の上面に固定された場合、前記工作物の下面に対し、前記磁極部による前記工作物に対する吸着力よりも小さな力で前記工作物を吸着方向と反対方向である押圧方向に押圧する押圧部材と、前記押圧部材が前記工作物の前記下面を前記吸着力よりも前記小さな力で押圧するよう、前記押圧部材を前記押圧方向に付勢する付勢部材と、前記押圧部材を支持し、前記押圧部材を前記溝部の前記深さ方向に案内するとともに前記面板における前記溝部が延びる方向への前記押圧部材の移動を規制するガイド部材と、を備える電磁チャックである。
【０００９】
このように、工作物の研削が連続的に多数行なわれる複合研削盤の保持装置に上記電磁チャックを適用することによって、工作物は、加工中に面板上でズレることなく安定して研削できる。これにより、工作物の加工精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施形態に係る複合研削盤の全体構成を示す概略図である。
【図２】図１の複合研削盤が備える旋回テーブルの平面図である。
【図３】図２の旋回テーブルのＥ−Ｅ矢視断面図である。
【図４】第一実施形態に係る電磁チャックの斜視図である。
【図５】第一実施形態に係る電磁チャックの平面図である。
【図６】工作物が固定された状態における図５の電磁チャックのＦ−Ｆ矢視断面図である。
【図７】工作物が固定された状態における図５の電磁チャックのＨ−Ｈ矢視断面図である。
【図８Ａ】複合研削盤の状態を説明する第一の図である。
【図８Ｂ】複合研削盤の状態を説明する第二の図である。
【図８Ｃ】複合研削盤の状態を説明する第三の図である。
【図８Ｄ】複合研削盤の状態を説明する第四の図である。
【図８Ｅ】複合研削盤の状態を説明する第五の図である。
【図８Ｆ】複合研削盤の状態を説明する第六の図である。
【図８Ｇ】複合研削盤の状態を説明する第七の図である。
【図９】工作物が固定されていない状態における図５の電磁チャックのＦ−Ｆ矢視断面図である。
【図１０】工作物が固定されていない状態における図５の電磁チャックのＨ−Ｈ矢視断面図である。
【図１１】図１０に相当する第二実施形態の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜第一実施形態＞
（１．複合研削盤の構成）
以下、本発明の第一実施形態に係る電磁チャックに相当する各保持装置６１，６２，６３，６４を、工作物Ｗであるベアリングの外輪Ｗａ及び内輪Ｗｂに対する複数種の研削を１台で行なう複合研削盤１に適用した場合について説明する。なお、図１においては、水平面で直交する方向をＸ軸線方向及びＹ軸線方向とし、Ｘ軸線方向及びＹ軸線方向に直交する方向をＺ軸線方向とする。図１に示すように、複合研削盤１は、ベッド２を備え、ベッド２上には、旋回テーブル５と、コラム３ａ，３ｂ，３ｃと、図略の駆動機構でＺ軸線方向と平行なＺｄ軸線回りに旋回可能な旋回アーム３ｄと、を備える。
【００１２】
旋回テーブル５は、図３に示す駆動機構５１によって、Ｚ軸線方向と平行なＣ軸線（旋回軸線）回りに旋回可能に構成される。図１及び図２に示すように、旋回テーブル５には、４つの保持装置６１〜６４（電磁チャック、後に詳述する）が、Ｃ軸線を中心とする同一円周上に等角度間隔（９０度間隔）で設けられる。図３に示すように、各保持装置６１〜６４には、主軸台８１〜８４がそれぞれ取り付けられる（ただし、図３では、代表として保持装置６１及び主軸台８１のみ示す）。ここでは、各保持装置６１〜６４は、同一装置であり、主軸台８１〜８４も同一主軸台となっている。主軸台８１は、主軸本体８１１と、工作主軸８１２とを備える。工作主軸８１２は、主軸本体８１１に内蔵される図略の駆動機構でＣ軸線方向と平行なＧ軸線（主軸線）回りに回転可能に、主軸本体８１１の上端から突出するように設けられる。工作主軸８１２の上端には、保持装置（図３では保持装置６１を示す）が固定される。
【００１３】
各保持装置６１〜６４が配置される旋回テーブル５には、貫通穴５２がそれぞれ穿設される。そして、主軸台８１の主軸本体８１１が、各貫通穴５２に対応する旋回テーブル５の裏面に固定され、主軸台８１の工作主軸８１２が、各貫通穴５２に貫装される。各保持装置６１〜６４は、磁気力で外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂ（工作物Ｗ）を吸引して面板の上面に保持し、工作主軸８１２とともにＧ軸線回りに回転する。
【００１４】
外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂは、図２の紙面上において左側に位置する保持装置（図２の状態では保持装置６１であるが、旋回テーブル５の旋回により入れ替わる。以下、同様である。）に搬入され、図２の紙面上において下側に位置する保持装置（図２の状態では保持装置６４であるが、旋回テーブル５の旋回により入れ替わる。以下、同様である。）から搬出される。外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂの搬入及び搬出は、図略のロボットにより行われる。ロボットは、外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂの中心軸線を保持装置６１の回転中心と一致させた状態で、外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂを搬入可能に構成される。なお、外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂの搬入及び搬出は、作業者により行なうようにしてもよく、その場合の上記中心位置合わせは、治具等を用いて行なう。
【００１５】
詳細は後述するが、旋回テーブル５は、図２の時計回りに所定角度で旋回して外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂを搬送する。そして、図２において、左側に位置する保持装置６１では、搬入される工作物Ｗが外輪Ｗａの場合には外周面研削が行われる。また、搬入される工作物Ｗが内輪Ｗｂの場合には内周面研削が行われる。上側に位置する保持装置６２では、外輪Ｗａの内周面に設けられる軌道溝ＷａＧに対する研削である外輪軌道溝面研削が行われる。
【００１６】
また、右側に位置する保持装置６３では、内輪Ｗｂの外周面に設けられる軌道溝ＷｂＧに対する研削である内輪軌道溝面研削が行われる。そして、下側に位置する保持装置６４では、外輪Ｗａの内周面に設けられる軌道溝ＷａＧに対して行なわれる外輪軌道溝面超仕上げ研削、又は内輪Ｗｂの外周面に設けられる軌道溝ＷｂＧに対して行なわれる内輪軌道溝面超仕上げ研削が行われて搬出される。なお、以下の説明では、旋回テーブル５において上記左側の位置は、周面研削位置Ｐｐ、上記上側の位置は、外輪研削位置Ｐｏ、上記右側の位置は、内輪研削位置Ｐｉ、上記下側の位置は、超仕上げ研削位置Ｐｂという。
【００１７】
コラム３ａ，３ｂ，３ｃは、駆動機構（図１にコラム３ａの駆動機構３Ａのみ示す）によって、Ｘ軸線方向と平行なＸａ軸線方向、Ｘｂ軸線方向、Ｘｃ軸線方向にそれぞれ往復移動（進退）可能に構成される。図１に示すように、各コラム３ａ，３ｂ，３ｃの側面には、駆動機構４１ａ，４１ｂ，４１ｃによって、Ｚ軸線方向と平行なＺａ軸線方向、Ｚｂ軸線方向、Ｚｃ軸線方向にそれぞれ昇降（進退）可能な砥石台４ａ，４ｂ，４ｃをそれぞれ備える。各砥石台４ａ，４ｂ，４ｃは、駆動機構９１ａ，９１ｂ，９１ｃによって、Ｚａ軸線（砥石軸線）回り、Ｚｂ軸線（砥石軸線）回り、Ｚｃ軸線（砥石軸線）回りにそれぞれ回転駆動可能なロータリー型の砥石車９ａ，９ｂ，９ｃをそれぞれ備える。各砥石車９ａ，９ｂ，９ｃは、下方に延びる保持軸９２ａ，９２ｂ，９２ｃの下端にそれぞれ保持される。
【００１８】
各砥石車９ａ，９ｂ，９ｃが、周面研削位置Ｐｐ、外輪研削位置Ｐｏ、内輪研削位置Ｐｉに対しそれぞれ進退可能となるように、各コラム３ａ，３ｂ，３ｃは、ベッド２上に配置される。砥石車９ａは、外輪Ｗａの外周面研削、又は内輪Ｗｂの内周面研削を行なうため、例えばＣＢＮ（Ｃｕｂｉｃ  Ｂｏｒｏｎ  Ｎｉｔｒｉｄｅ）砥石が用いられる。また、砥石車９ｂ，９ｃは、外輪Ｗａの外輪軌道溝面研削（内周面）、内輪Ｗｂの内輪軌道溝面研削（外周面）を行なうため、例えばアルミナ砥石が用いられる。
【００１９】
旋回アーム３ｄは、図略の駆動機構でＺ軸線方向と平行なＺｅ軸線方向に昇降可能且つＺｅ軸線（砥石軸線）回りに回転可能な単石型の砥石９ｄを備える。砥石９ｄは、旋回アーム３ｄの先端から下方に延びる保持軸９２ｄの下端部の外周面に砥石９ｄの研削部がＺｅ軸線に直角な方向を向くように保持される。砥石９ｄは、外輪Ｗａの内周面の外輪軌道面超仕上げ研削又は内輪Ｗｂの外周面の内輪軌道面超仕上げ研削を行うため、例えばＣＢＮ砥石が用いられる。なお、単石型の砥石９ｄに代えて、ロータリー型の砥石車でもよい。
【００２０】
（２．電磁チャック）
次に、本発明に係る電磁チャックである各保持装置６１〜６４について、図４〜図７に基づき説明する。図４〜図７に示すように、保持装置６１〜６４は、それぞれ電磁チャック本体１７０、押圧部材１８０、複数のバネ１８３（付勢部材に相当する）、及び二個のガイド部材１９０，１９１を備える。なお、保持装置６１〜６４は、電磁コイル等も備えるが、公知であるので、その構成、及び作動についての詳細な説明は省略する。また、図４には、一部の押圧部材１８０、及びガイド部材１９０，１９１のみ図示してある。
【００２１】
電磁チャック本体１７０は、例えば鉄系の磁性材料によって、底部である円形の面板１７１を上側にして有底筒状に形成される。図４，図５に示すように、面板１７１の上面は、磁極部１７２と、溝部１７３とを備える。磁極部１７２は、面板１７１上で、面板１７１の周方向（所定方向に相当）に複数配列される。本実施形態では、扇状に形成された８個（複数に相当）の磁極部１７２が、面板１７１のＧ軸線（主軸線）回りで周方向に等間隔に配列される。８個の磁極部１７２の上面高さは全て同一である。なお、以降、磁極部１７２の上面を保持面１７２ａと称す。８個の磁極部１７２は、磁化されると、周方向にＳ極、Ｎ極が順に形成される（図５参照）。また、溝部１７３は、面板１７１の周方向に配列された隣り合う磁極部１７２の間の凹部によって、面板１７１の径方向に延びるよう形成される。
【００２２】
図５に示すように、溝部１７３の幅は、面板１７１の中心（Ｇ軸線）から外周に向かって拡幅するよう形成される。なお、この態様に限らず、溝部１７３の幅は、面板１７１の中心（Ｇ軸線）から外周に向かって平行であってもよい。また、溝部１７３の幅は、面板１７１の中心（Ｇ軸線）から外周に向かって縮幅するよう形成されてもよい。また、磁極部１７２及び溝部１７３の数は、８個未満でもよいし、８個を超えて設けてもよい。
【００２３】
図６に示すように、溝部１７３は、側面１７３ａ，１７３ａ、及び底面１７３ｂを備える。前述したように、溝部１７３は、磁極部１７２の側面に沿って、面板１７１の中心（Ｇ軸線）から外周に向かって拡幅し、且つ面板１７１上において放射状に形成される。また、図７に示すように、溝部１７３は、面板１７１の中心から径方向外方に向かう全長に亘って、磁極部１７２の上面から底面１７３ｂまでの距離（深さ）が一定に形成される。溝部１７３に囲まれた部分は空間であるので、非磁性領域である。
【００２４】
図７に示すように、電磁チャック本体１７０が備える溝部１７３の底面１７３ｂには、六面体形状を呈する内側固定部１７４、及び外側固定部１７５が底面１７３ｂに固定されている。このとき、固定の方法は問わないが、本実施形態では、内側固定部１７４、及び外側固定部１７５の下面にそれぞれ凸部を突設し、各凸部を底面１７３ｂに設けた各嵌合孔に圧入している。内側固定部１７４は、面板１７１の径方向内側で中心近傍の底面１７３ｂ上に固定される。外側固定部１７５は、面板１７１の径方向外側の底面１７３ｂ上に固定される。内側固定部１７４、及び外側固定部１７５の上面からは、めねじ１７４ａ，１７５ａが内部に向って形成される。
【００２５】
押圧部材１８０は、非磁性体で形成される。また、押圧部材１８０は、面板１７１の径方向（溝部１７３が延びる方向に相当）に延在して形成され、溝部１７３内において、内側固定部１７４と外側固定部１７５との間に配置される。なお、以降の説明において、特別な説明なく径方向といった場合、面板１７１における径方向のことをいうものとする。押圧部材１８０は、隣り合う各磁極部１７２の間にそれぞれ形成される各溝部１７３の形状に合わせて形成されて各溝部１７３に嵌合される。
【００２６】
図６，図７に示すように、押圧部材１８０は、最表面部材１８１と、支持体１８２と、を備える。支持体１８２は、支持体本体１８２ａと、各ガイド部材１９０，１９１とそれぞれ連結されるための内側端部１８２ｂ、及び外側端部１８２ｃと、を備える（図７参照）。内側端部１８２ｂ、及び外側端部１８２ｃは、支持体本体１８２ａの径方向両側からそれぞれ径方向外方又は径方向内方に突出して形成される。支持体本体１８２ａの上面と、内側端部１８２ｂ，及び外側端部１８２ｃの各上面とは相互に平行である。内側端部１８２ｂ、及び外側端部１８２ｃの上面から下面にかけては、ともに、めねじが貫通して形成される。
【００２７】
内側端部１８２ｂ及び外側端部１８２ｃの上面は、最表面部材１８１の上面よりも溝部１７３の底面１７３ｂ側の低い位置に設けられる。なお、図６に示すように、面板１７１の周方向において、溝部１７３の両側面１７３ａ、１７３ａと、各側面１７３ａ、１７３ａに対向する押圧部材１８０の各側面１８０ｄ，１８０ｅとの間には、所定の隙間ｔを備えている。所定の隙間ｔは、押圧部材１８０が溝部１７３の深さ方向（図６における上下方向）に移動する際、側面１８０ｄ，１８０ｅが、溝部１７３の側面１７３ａ，１７３ａと接触せずに移動可能となるよう設けられる。
【００２８】
押圧部材１８０は、工作物Ｗが、磁気力によって磁極部１７２の保持面１７２ａに吸着されて固定された場合、工作物Ｗの下面に対して、磁極部１７２の磁化による工作物Ｗに対する吸着力Ｆｍａｇ（磁気吸引力）よりも小さな押圧力Ｆｇで工作物Ｗを吸着方向と反対方向（押圧方向）に押圧する（Ｆｍａｇ＞Ｆｇ）。そのため、図６，図７に示すように、押圧部材１８０の下面と、溝部１７３の底面１７３ｂとの間にＮ個（本実施形態では５個）のバネ１８３（付勢部材）を備える。押圧部材１８０は、圧縮された各バネ１８３の各反力の総和によって工作物Ｗを吸着方向と反対方向（押圧方向）に押圧する。つまり、押圧力Ｆｇは、一個のバネ１８３の押圧力ｆｇ×Ｎ個に等しい（Ｆｇ＝ｆｇ×Ｎ）。本実施形態においては、図５，図７に示すように、バネ１８３は、面板１７１の中心から径方向外方に向って、例えば、５個配置されている。
【００２９】
最表面部材１８１は、支持体本体１８２ａの上面に設けられる。最表面部材１８１は、非磁性体で形成され、上面が工作物Ｗの下面に当接する。最表面部材１８１は、例えば、エポキシ樹脂に所定の粒径の砥粒を混ぜ込んで形成される。詳細には、最表面部材１８１は、最表面部材１８１の上面と工作物Ｗの下面との間の摩擦係数μ２が、磁極部１７２の保持面１７２ａと工作物Ｗの下面との間の摩擦係数μ１より大きな高摩擦材によって形成される（μ１＜μ２）。ただし、この態様には限らず、μ１≧μ２でもよい。これによっても、最表面部材１８１が工作物Ｗの下面と当接しない場合と比較すれば、当接面積が増えた分だけ、工作物Ｗの下面と保持装置６１，６２，６３，６４の上面との間の摩擦力は向上するので、本発明に係る効果についても、相応に得ることができる。
【００３０】
支持体１８２は、例えば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等の非磁性体で形成される。支持体１８２は、最表面部材１８１と、バネ１８３との間に介在される。支持体１８２は、最表面部材１８１より、硬度が高い高硬度材料により形成される。このように配置されることで、最表面部材１８１とバネ１８３との直接の当接を回避し、バネ１８３による最表面部材１８１の摩耗を効果的に防止できる。ただし、この態様には限らず、支持体１８２の硬度が、最表面部材１８１の硬度以下でもよい。
【００３１】
また、支持体１８２の材質は、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等の金属に限らず樹脂によって形成してもよい。このとき、支持体１８２の硬度は、最表面部材１８１の硬度より高いほうが好ましい。しかし、上述したとおり、支持体１８２の硬度が、最表面部材１８１の硬度以下でもよい。なお、押圧部材１８０が溝部１７３内で深さ方向にスムーズに移動可能であれば、押圧部材１８０の側面１８０ｄ，１８０ｅのうち一方の側面と対向する溝部１７３の側面１７３ａとの間は若干、接触していてもよい。
【００３２】
バネ１８３（付勢部材）は、例えば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等の非磁性体で形成される。本実施形態では、バネ１８３は、ウェーブワッシャを含む複数（Ｎ個）の板バネである。前述したように、バネ１８３は、支持体１８２と底面１７３ｂとの間に、必要な個数（Ｎ個）だけ配置される。そして、工作物Ｗが、磁気力によって磁極部１７２の保持面１７２ａに吸着され固定された際に、最表面部材１８１が、工作物Ｗの下面に当接し、その下面に向かって所望の押圧力Ｆｇ（＝ｆｇ×Ｎ）で付勢する。なお、本実施形態では、一例として、バネ１８３は、支持体１８２と底面１７３ｂとの間に、それぞれ５個ずつ配置される。
【００３３】
ガイド部材１９０，１９１は、例えば、ＳＫ材（ＪＩＳ  Ｇ  ４８０２）によって形成され、同じ形状を有する。図５、図７、図１０に示すように、ガイド部材１９０，１９１は、厚みの薄い直方体形状で形成された薄板状部材である。そして、ガイド部材１９０，１９１は、長手方向が、面板１７１の径方向（溝部１７３が延びる方向）に延在するよう配置される。ガイド部材１９０，１９１は、延在する長手方向に所定の大きさの引張り力を付与されると、弾性変形域内において弾性変形が可能な板ばねである。なお、本発明では、ガイド部材１９０，１９１は、延在方向において、弾性変形域内で使用される。ガイド部材１９０，１９１の長手方向両端部には、それぞれ後述するボルトＢ１〜Ｂ４の軸部を挿通するための貫通孔が設けられる。
【００３４】
ガイド部材１９０は、押圧部材１８０に設けられた内側端部１８２ｂと溝部１７３に設けられた内側固定部１７４と、をボルトＢ１，Ｂ２により連結されて押圧部材１８０を支持する。また、ガイド部材１９１は、押圧部材１８０に設けられた外側端部１８２ｃと溝部１７３に設けられた外側固定部１７５と、をボルトＢ３，Ｂ４により連結して押圧部材１８０を支持する。このとき、図１０に示すように、工作物Ｗが、磁極部１７２の保持面１７２ａに、磁気力によって吸着されていない場合には、押圧部材１８０は、自由長状態のバネ１８３の上端部に載置される状態となる。このような状態で、ガイド部材１９０，１９１は、ガイド部材１９０，１９１の平面部が、溝部１７３の底面１７３ｂと平行になるよう内側端部１８２ｂ，内側固定部１７４，外側端部１８２ｃ、及び外側固定部１７５に、ボルトＢ１〜Ｂ４によって固定される。
【００３５】
このように、押圧部材１８０の内側端部１８２ｂ、及び外側端部１８２ｃと、電磁チャック本体１７０の固定された内側固定部１７４、及び外側固定部１７５とが、ガイド部材１９０，１９１を介して連結固定される。これにより、ガイド部材１９０，１９１は、押圧部材１８０を径方向（溝部１７３が延びる方向）両側から支持し、溝部１７３の深さ方向に案内するとともに、面板１７１における周方向（磁極部１７２の配列方向）、及び径方向への押圧部材１８０の移動を良好に規制する。
【００３６】
このように構成された電磁チャック（保持装置６１，６２，６３，６４）は、電磁チャック本体１７０内の磁極用鋼材（図略）に巻いたコイル（図略）に通電されることによって磁極部１７２が磁化される。これにより、押圧部材１８０の最表面部材１８１上に載置された工作物Ｗを、保持面１７２ａ上に磁気力で吸引し、工作物Ｗの下面と磁極部１７２の保持面１７２ａとを密着固定する（図６，図７参照）。このとき、押圧部材１８０（最表面部材１８１）は、工作物Ｗの下面に押し込まれ、溝部１７３内に収容される。
【００３７】
図１に示すように、複合研削盤１は、制御装置３０を備えており、制御装置３０の機能的構成として、コラム３ａ，３ｂ，３ｃの送りの制御、砥石台４ａ，４ｂ，４ｃの昇降の制御、旋回テーブル５の旋回の制御、主軸台８１〜８４の回転と保持装置６１〜６４の吸引の制御、砥石車９ａ，９ｂ，９ｃの回転の制御、旋回アーム３ｄの旋回と砥石９ｄの回転及び昇降の制御、及びデータやプログラムの記録等を行なう。制御装置３０は、予め設定された制御データに基づき、各装置を制御することで、複数の研削工程を実施する。
【００３８】
（３．複合研削盤の作動）
次に、複数種類の工作物Ｗの研削としてベアリングの外輪Ｗａの外周面研削、外輪軌道面研削、外輪軌道面超仕上げ研削、及び内輪Ｗｂの内周面研削、内輪軌道面研削、及び内輪軌道面超仕上げ研削を行なう複合研削盤１の動作を図２及び図８Ａ〜図８Ｇを参照して説明する。ここで、複合研削盤１では、保持装置６１が周面研削位置Ｐｐに位置決めされている状態（図２、図８Ａに示す状態）を初期状態とし、この時の旋回テーブル５の旋回位置を基準位置の０度とする。
【００３９】
先ず、制御装置３０は、最初の外輪Ｗａａを磁気による吸着力（磁気吸引力）によって保持装置６１の磁極部１７２の保持面１７２ａに吸引固定する（図８Ａ参照）。そして、制御装置３０は、外周面研削プログラムに基づき外輪Ｗａａの外周面研削を制御する（図８Ａ参照）。
【００４０】
このとき、外輪Ｗａａの外周面を研削するため、砥石車９ａを外輪Ｗａａの外周面に押し付ける。これにより、外輪Ｗａａは、砥石車９ａとの接点において、法線方向、及び接線方向に大きな研削抵抗を受ける。保持装置６１は、外輪Ｗａａが、砥石車９ａから、このような大きな研削抵抗を受けても、面板（保持面１７２ａ）上で移動しないよう固定する必要がある。本発明は、このような場合に、外輪Ｗａａが面板上で移動しないよう、保持装置６１に大きな固定力（吸着力）を発生させることを目的とする。また、外輪Ｗａの内周面、及び各軌道溝面に対する各研削、又は内輪Ｗｂの外周面、内周面、及び各軌道溝面に対する各研削においても、外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂは、上記と同様に各砥石から大きな研削抵抗を受ける。そこで、このような研削抵抗を受けても、外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂが、保持装置６１〜６４の面板上（保持面１７２ａ）で移動しないよう十分な固定力（吸着力）を保持装置６１〜６４に発生させることを目的とする。なお、本発明に係る磁気の吸着力による外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂの保持装置６１〜６４への固定の詳細については、後に詳述する。
【００４１】
次に、制御装置３０は、外輪Ｗａａの外周面研削が完了したら、旋回テーブル５を９０度旋回させる（図８Ｂ参照）。これにより、保持装置６１は、外輪研削位置Ｐｏに位置決めされ、保持装置６４は、周面研削位置Ｐｐに位置決めされることになる。そして、制御装置３０は、最初の内輪Ｗｂａを保持装置６４に取り付ける（図８Ｃ図参照）。このときにも、保持装置６１における外輪Ｗａａと同様、内輪Ｗｂａは、保持装置６４の磁極部１７２の保持面１７２ａに磁気による吸着力（磁気吸引力）によって固定される。
【００４２】
そして、制御装置３０は、内周面研削プログラムに基づき内輪Ｗｂａの内周面研削を制御するとともに、外輪軌道溝面研削プログラムに基づき外輪Ｗａａの外輪軌道溝面研削を制御する（図８Ｃ参照）。これらの制御は、平行して行われる。なお、以降においても、保持装置６２、６３に対して、外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂは、保持装置６４の磁極部１７２の保持面１７２ａに磁気による吸着力によって固定される。
【００４３】
次に、制御装置３０は、内輪Ｗｂａの内周面研削、及び外輪Ｗａａの外輪軌道溝面研削が完了したら、旋回テーブル５を１８０度旋回させる（図８Ｄ参照）。これにより、保持装置６１は、超仕上げ研削位置Ｐｂに位置決めされる。保持装置６４は、内輪研削位置Ｐｉに位置決めされ、保持装置６２は、周面研削位置Ｐｐに位置決めされる。また、保持装置６３は、外輪Ｗａ及び内輪Ｗｂが吸着されていない空の状態で外輪研削位置Ｐｏに位置決めされる。
【００４４】
次に、制御装置３０は、磁気力によって次の外輪Ｗａｂを保持装置６２に固定する（図８Ｅ参照）。そして、制御装置３０は、外周面研削プログラムに基づき外輪Ｗａｂの外周面研削を制御する。また、制御装置３０は、内輪軌道溝面研削プログラムに基づき内輪Ｗｂａの内輪軌道溝面研削を制御する。さらに、制御装置３０は、外輪超仕上げ研削プログラムに基づき外輪Ｗａａの外輪軌道溝面超仕上げ研削を制御する（図８Ｅ参照）。これらの制御は、平行して行われる。
【００４５】
次に、制御装置３０は、外輪Ｗａａの外輪超仕上げ研削を完了後、砥石９ｄを待機位置へ退避させる。そして、制御装置３０は、保持装置６１の磁気吸着力を解除し、外輪Ｗａａを保持装置６１から取り出す（図８Ｅ参照）。
【００４６】
次に、制御装置３０は、外輪Ｗａａの外周面研削、及び内輪Ｗｂａの内輪軌道溝面研削が完了したら、旋回テーブル５を９０度旋回させる（図８Ｆ参照）。これにより、保持装置６１は、周面研削位置Ｐｐに位置決めされ、保持装置６２は、外輪研削位置Ｐｏに位置決めされ、保持装置６４は、超仕上げ研削位置Ｐｂに位置決めされる。そして、保持装置６３は、外輪Ｗａ及び内輪Ｗｂが吸着されていない空の状態で内輪研削位置Ｐｉに位置決めされることになる。
【００４７】
制御装置３０は、次の内輪Ｗｂｂを保持装置６１に磁気力によって固定する（図８Ｇ参照）。そして、制御装置３０は、内周面研削プログラムに基づき内輪Ｗｂｂの内周面研削を制御する。また、制御装置３０は、外輪軌道溝面研削プログラムに基づき外輪Ｗａｂの外輪軌道溝面研削（内周面）を制御する。さらに、制御装置３０は、内輪軌道溝面超仕上げ研削プログラムに基づき内輪Ｗｂａの内輪軌道溝面超仕上げ研削（外周面）を制御する（図８Ｇ参照）。これらの制御は、平行に行われる。
【００４８】
次に、制御装置３０は、内輪Ｗｂａの内輪超仕上げ加工の完了後、砥石９ｄを待機位置へ退避させる。そして、制御装置３０は、保持装置６４の磁気吸着力を解除し、内輪Ｗｂａを保持装置６４から取り出す（図８Ｇ参照）。
【００４９】
（４．電磁チャックの作用）
次に、保持装置６１〜６４（電磁チャック）の作用について詳細に説明する。説明には、代表として、外輪Ｗａａを磁気による吸着力（磁気吸引力）によって保持装置６１（電磁チャック）の磁極部１７２の保持面１７２ａに吸引固定する場合について説明する。
【００５０】
まず、外輪Ｗａａが、磁極部１７２の保持面１７２ａに載置されていない状態について説明する。外輪Ｗａａが磁極部１７２の保持面１７２ａ上に載置されていない状態において、押圧部材１８０を構成する最表面部材１８１及び支持体１８２と，バネ１８３（付勢部材）と、ガイド部材１９０，１９１とは、溝部１７３内において図９，図１０に示す状態で配置される。本実施形態においては、バネ１８３は、一つの溝部１７３に、例えば５個ずつ配置される（図５，図１０参照）。これにより、最表面部材１８１は、溝部１７３の開口から上方へ若干、突出（図９，図１０の寸法Ｌ参照）する。これは、バネ１８３が、圧縮されておらず自由高さ（自由長）状態であることによる。このときの溝部１７３の開口から突出する寸法は、例えば数十μｍ〜数百μｍオーダーである。ただし、この態様には限らず、溝部１７３の開口から突出する寸法Ｌは、工作物Ｗが保持装置６１の保持面１７２ａに吸着されたときに、押圧部材１８０が、溝部１７３内に完全に収容可能であれば、いくつでもよく任意に設定すればよい。
【００５１】
このとき、ガイド部材１９０，１９１の上面（平面）は、図１０に示すように、溝部１７３の底面１７３ｂとほぼ平行である。つまり、ガイド部材１９０，１９１は、曲げ応力も、延在方向への引張り応力も発生していない自由長状態である。
【００５２】
次に、磁極用鋼材（図略）に巻いたコイル（図略）に通電することによって磁極部１７２を磁化する。これにより、各磁極部１７２の保持面１７２ａに外輪Ｗａａの底面が磁気力によって吸引され、外輪Ｗａａの下面が各保持面１７２ａ上に密着固定される（図６，図７参照）。
【００５３】
このように、磁気力によって吸着され、外輪Ｗａａの下面が磁極部１７２の保持面１７２ａ上に固定された場合、外輪Ｗａａの下面が、吸着力が発生する前には溝部１７３の開口から上方へ突出していた最表面部材１８１の上面を下方に押圧して移動させる。そして、最表面部材１８１の上面と保持面１７２ａと、が同一面高さとなる。これに伴い、支持体１８２の下面に当接するバネ１８３（付勢部材）の上端部が、最表面部材１８１，支持体１８２を介して下方に押され、圧縮方向に所定の撓み量δ（＝Ｌ）だけ撓む。このとき、一個のバネ１８３のバネ定数をｋとすると、バネ１８３の１個あたりの押圧力ｆｇは、ｆｇ＝ｋδとなる。これにより、全部でＮ個配置されるバネ１８３は、撓みの反力としての押圧力Ｆｇ（＝ｆｇ×Ｎ）で、外輪Ｗａａを吸着方向と反対方向に押圧する。
【００５４】
このとき、押圧部材１８０は、図７に示すように、径方向両側に固定されたガイド部材１９０，１９１の作用によって、径方向両側から均等な力を受けながら溝部１７３の底面１７３ｂの方向に移動する。これに伴い、ガイド部材１９０，１９１は、図７に示すように弾性域内において均等に曲げ変形されるとともに、弾性域内において、延在方向に均等に伸長し、引張り応力Ｐを発生させる。ガイド部材１９０，１９１のこのような均等な変形によって、押圧部材１８０は、溝部１７３の深さ方向にバランスよく案内されながら溝部１７３の底面１７３ｂの方向に向って安定して移動する。また、このような状態においては、押圧部材１８０は、ガイド部材１９０，１９１によって、径方向及び周方向の移動も規制される。言い換えると、押圧部材１８０は、両端からのガイド部材１９０，１９１の作用によって、深さ方向（押圧方向）を移動する間、底面１７３ｂと平行な平面上における位置が良好に規制される。
【００５５】
このため、押圧部材１８０の側面１８０ｄ，１８０ｅが、底面１７３ｂと平行な平面上において大きく移動し、溝部１７３の側面１７３ａ，１７３ａと強く当接して、複数のバネ１８３による押圧部材１８０の上方への押圧力Ｆｇを減少させる虞はない。これにより、押圧部材１８０の最表面部材１８１が、外輪Ｗａａの下面を押圧力Ｆｇで押圧し、外輪Ｗａａの下面と最表面部材１８１との間の摩擦力を増加させて、外輪Ｗａａを良好に保持する。
【００５６】
なお、上述したガイド部材１９０，１９１の曲げ変形及び伸び変形の反力によって、押圧部材１８０が、ガイド部材１９０，１９１から押圧方向に付勢される場合もある。この場合には、バネ１８３による押圧力Ｆｇ（＝ｆｇ×Ｎ）に対し、ガイド部材１９０，１９１による押圧力も考慮に入れて演算すればよい。ただし、説明が複雑になるので、以降においては、上述したガイド部材１９０，１９１の変形により発生する反力に基づく押圧力は、考慮に入れずに説明する。
【００５７】
上記において、押圧力Ｆｇは、磁極部１７２の磁化による外輪Ｗａａ（工作物Ｗ）に対する吸着力Ｆｍａｇよりも小さな押圧力となるよう設定されている（Ｆｍａｇ＞Ｆｇ）。このため、押圧部材１８０（最表面部材１８１、支持体１８２、及びバネ１８３）は、磁気力による外輪Ｗａａの保持面１７２ａ上への固定によって、最表面部材１８１が外輪Ｗａａの下面と当接し、溝部１７３の内部に確実に押し込まれ収容される。
【００５８】
上記より、外輪Ｗａａ（工作物Ｗ）と保持装置６１との間の摩擦力Ｆは、（数１）式によって求められる。
（数１）
Ｆ＝μ１×（Ｆｍａｇ−Ｎ×ｆｇ）＋μ２×Ｎ×ｆｇ
Ｆ；外輪Ｗａａ（工作物Ｗ）と保持装置６１との間の摩擦力
μ１；各磁極部１７２の８個の保持面１７２ａ（上面）と外輪Ｗａａの下面との間の摩擦係数
Ｆｍａｇ；磁極部１７２の磁化による外輪Ｗａａに対する吸着力
μ２；８個の最表面部材１８１と外輪Ｗａａの下面との間の摩擦係数
Ｎ；バネ１８３の総個数
ｆｇ；バネ１８３の一個あたりの押圧力（バネ荷重）（ｆｇ＝ｋδ）
【００５９】
上記（数１）式からわかるように、吸着力Ｆｍａｇが変化した場合には、バネ１８３の総個数Ｎを変更する、若しくはバネ１８３の１個あたりの押圧力ｆｇ（バネ荷重）を構成するバネ定数ｋ、または撓み量δの少なくとも一方を変更することによって、対応すればよい。そして、摩擦力Ｆが所定の値以上となるよう、各数値を設定する。なお、摩擦力Ｆの所定の値は、事前に実験等によって設定すればよい。
【００６０】
上記より、保持装置６１だけでなく、保持装置６１と同様の構成を有する保持装置６２〜６４においても、外輪Ｗａａ（工作物Ｗ）又は内輪Ｗｂａ（工作物Ｗ）が、保持装置６１〜６４の各磁極部１７２の各保持面１７２ａに十分な摩擦力Ｆによって強固に固定される。これにより、工作物Ｗは、初期に保持装置６１〜６４の上面に配置された位置からずれないので、精度よく各研削ができる。
【００６１】
（５．実施形態による効果）
上述の説明から明らかなように、上記第一実施形態の保持装置６１〜６４（電磁チャック）によれば、円形の面板１７１上面に、所定方向（周方向）に配列された複数の磁極部１７２、及び隣り合う磁極部１７２の間に形成された溝部１７３を備え、磁極部１７２の磁気力によって、磁極部１７２の上面に工作物Ｗ，Ｗａ，Ｗｂを吸着し固定する電磁チャック本体１７０と、溝部１７３に、深さ方向に移動可能に配置され、工作物Ｗが磁極部１７２の上面に固定された場合、工作物Ｗの下面に対し、磁極部１７２による工作物Ｗに対する吸着力よりも小さな力で工作物Ｗを吸着方向と反対方向である押圧方向に押圧する押圧部材１８０と、押圧部材１８０が工作物Ｗの下面を吸着力よりも小さな力で押圧するよう、押圧部材１８０を押圧方向に付勢する付勢部材１８３と、押圧部材１８０を支持し、押圧部材１８０を溝部１７３の深さ方向に案内するとともに面板１７１における径方向（溝部１７３が延びる方向）への押圧部材１８０の移動を規制するガイド部材１９０，１９１と、を備える。
【００６２】
このように、面板１７１の上面に形成された溝部１７３に、工作物Ｗの下面を押圧方向に押圧する押圧部材１８０が配置される。押圧部材１８０による工作物Ｗの下面への押圧は、押圧部材１８０へのバネ１８３（付勢部材）の付勢により行なわれる。このとき、押圧部材１８０は、ガイド部材１９０，１９１によって支持され、溝部１７３の深さ方向に案内されるとともに、面板１７１における径方向への移動が規制される。このため、押圧部材１８０を溝部１７３に配置する際、押圧部材１８０の側面１８０ｄ，１８０ｅが、溝部１７３の側面１７３ａ，１７３ａに、強く接触しないよう配置すれば、バネ１８３（付勢部材）によって押圧部材１８０が押圧方向に付勢された場合にも、押圧部材１８０の側面１８０ｄ，１８０ｅが、溝部１７３の側面１７３ａ，１７３ａに強く押し付けられる虞は低い。
【００６３】
これにより、バネ１８３（付勢部材）による押圧部材１８０の押圧方向への押圧力Ｆｇ（＝ｆｇ×Ｎ）が、押圧部材１８０の側面１８０ｄ，１８０ｅと溝部１７３の側面１７３ａ，１７３ａとの接触によって消費され低下する虞は低い。従って、工作物Ｗの下面と、保持装置６１〜６４（電磁チャック）の面板１７１との間の摩擦力に加え、工作物Ｗの下面と押圧部材１８０との間の摩擦力が追加されるので、研削加工時においても工作物Ｗは面板１７１上に良好に保持される。
【００６４】
また、上記実施形態によれば、ガイド部材１９０，１９１は、押圧部材１８０の、面板１７１における周方向（磁極部１７２が配列される方向）への移動を規制する。これにより、押圧部材１８０の上面と工作物Ｗの下面とが周方向に相対移動し、表面を相互に摩耗させる虞はない。
【００６５】
また、上記実施形態によれば、押圧部材１８０は、径方向（溝部１７３が延びる方向）に延在して形成され、ガイド部材１９０，１９１は、押圧部材１８０の径方向における内側の内側端部１８２ｂ及び外側の外側端部１８２ｃで押圧部材１８０を電磁チャック本体１７０に固定する。これにより、押圧部材１８０の下面と溝部１７３の底面１７３ｂとの間には、バネ１８３（付勢部材）を配置するスペースを大きく確保できる。従って、バネ１８３による押圧部材１８０を押圧する押圧力の調整幅を広く取ることができ汎用性が向上する。
【００６６】
また、上記実施形態によれば、ガイド部材１９０，１９１は、径方向（溝部１７３が延びる方向）に延在し、延在する方向に弾性変形可能な板ばねである。これにより、押圧部材１８０の径方向両端で、押圧部材１８０を支持できるので、保持面１７２ａの径方向中央では、ガイド部材１９０，１９１の存在によって磁気力に影響を及ぼされる虞は少ないので、良好に工作物Ｗを吸着できる。
【００６７】
また、上記実施形態によれば、板ばねのガイド部材１９０，１９１は、押圧部材１８０と工作物Ｗとの接触面より溝部１７３の底面１７３ｂ側に上面が形成される。これにより、保持面１７２ａから上に突出する部材を排除しやすいので、工作物Ｗと保持面１７２ａから突出する部材とが干渉する虞がない。
【００６８】
また、上記実施形態によれば、複合研削盤１は、旋回軸線回りに旋回可能な旋回テーブル５と、旋回テーブル５における旋回軸線を中心とする円周上にそれぞれ設けられ、旋回軸線と平行な主軸線回りに回転可能な工作主軸８１２〜８４２（工作主軸８２２，８３２、８４２は図示しない）を有する複数の主軸台８１〜８４と、工作主軸８１２〜８４２に設けられ、それぞれ工作物Ｗの保持が可能な複数の保持装置６１〜６４と、旋回テーブル５に対して相対移動可能にそれぞれ設けられ、旋回テーブル５の旋回により工作物Ｗが順次搬送されることで、対応するそれぞれの研削旋回位置に工作物Ｗが位置決めされる場合に、対応する工作物Ｗを研削する複数の砥石と、を備え、保持装置６１〜６４は、上述の電磁チャックである。
【００６９】
このように、ベアリングの内輪及び外輪の研削が連続的に多数行なわれる複合研削盤１の保持装置６１〜６４に本発明に係る電磁チャックを適用することによって、Ｘ−Ｙ軸平面で研削抵抗を受ける工作物Ｗは、加工中に面板１７１上でズレることなく安定して研削できる。これにより、内輪Ｗｂ及び外輪Ｗａは、加工精度が向上する。また、工作物Ｗとして、加工精度が必要な複数の部品（組合わせて製品となる部品）を同時加工する場合には、加工効率も向上する（工作物Ｗとして、ボールベアリング，プレーンベアリングなどのベアリング、その他の組合せ製品等を適用した場合）。
【００７０】
<第二実施形態＞
上記、第一実施形態では、ガイド部材１９０，１９１を板状部材とし、ガイド部材１９０，１９１を押圧部材１８０と、電磁チャック本体１７０との間に固定した。しかし、この態様には、限らない。第二実施形態として、図１１に示すようにガイド部材２９０，２９１が、ブッシュ２８３，２８３と、ピン２８４，２８４とによって構成されてもよい。なお、第二実施形態では、第一実施形態と異なる部分のみ符号を替えて説明し、変更のない部分については、説明を省略するとともに、第一実施形態での説明と同じ符号を用いて説明する場合もある。
【００７１】
図１１に示すように、第二実施形態では、押圧部材２８０が、径方向（溝部１７３が延びる方向）に延在している。押圧部材２８０の上面全面には、最表面部材１８１が設けられている。そして、押圧部材２８０は、下面に開口する開口孔２８１，２８２を径方向における両端に一個ずつ備える。開口孔２８１，２８２には、ドライ軸受であるブッシュ２８３，２８３が各開口孔２８１，２８２にそれぞれ圧入されている。また、ピン２８４，２８４が、溝部１７３の底面１７３ｂの圧入孔に圧入により立設される。そして、各ピン２８４，２８４と各ブッシュ２８３，２８３とが軸線方向に相対移動可能に係合し、ガイド部材２９０，２９１が、構成される。これにより、ガイド部材２９０，２９１が、押圧部材２８０を溝部１７３の深さ方向に案内するとともに面板１７１における径方向（溝部１７３が延びる方向）、及び周方向（磁極部１７２が配列される方向）への移動を規制する。これによっても、第一実施形態と同様の効果が期待できる。
【００７２】
（６．その他）
なお、上記第一，第二実施形態においては、本発明に係る保持装置６１〜６４（電磁チャック）を複合研削盤１に適用したが、この態様には限らない。保持装置６１〜６４はどのような加工機の保持装置として適用してもよい。また、加工機に限らず、部品を固定する固定具として、どのような装置に用いてもよい。これらによっても同様の効果が期待できる。
【００７３】
また、上記第一，第二実施形態においては、最表面部材１８１は、例えば、エポキシ樹脂に所定の粒径の砥粒を混ぜ込んで形成されるものと説明した。しかし、この態様には限らない。最表面部材１８１は、どのような部材で形成されてもよい。たとえば、通常、自動車の変速機に使用されるクラッチ板を用いてもよい。また、さまざまな金属板の表面に凹凸を設けて摩擦係数を向上させたものでもよい。また、前述したように、摩擦係数μ２が、摩擦係数μ１より小さくてもよい。さらには、最表面部材１８１はなくてもよく、この場合、支持体１８２の上面を直接、工作物Ｗの下面に当接させればよい。
【００７４】
また、上記第一，第二実施形態においては、電磁チャックの磁極部１７２の磁化は、磁極用鋼材（図略）に巻いたコイル（図略）に通電することで実現するものとした。しかし、この態様には限らない。電磁チャックの磁極部１７２の磁化は、電磁チャック本体１７０内の永久磁石（図略）を移動することによって実現させる方式のものでもよい。これによっても同様の効果が得られる。
【００７５】
また、上記第一，第二実施形態においては、押圧部材１８０を溝部１７３の深さ方向に案内するガイド部材１９０，１９１，２９０，２９１は、面板１７１の径方向（溝部１７３が延びる方向）において押圧部材１８０，２８０の両端に設けられた。しかし、この態様には限らない。ガイド部材１９０，１９１，２９０，２９１は、径方向における押圧部材１８０，２８０のいずれか一方の端部のみに設けてもよい。これによっても、押圧部材１８０の径方向への移動は十分規制できる。また、ガイド部材１９０，１９１（２９０，２９１）のうち、いずれか一方のガイド部材１９０，１９１（２９０，２９１）を一個だけ設ける場合、押圧部材１８０，２８０に周り止めを設けて周方向（磁極部１７２が配列される方向）への移動を規制してもよい。
【００７６】
また、上記第二実施形態においては、ブッシュ２８３，２８３はドライ軸受であるとして説明した。しかし、この態様には、限らない。ピンに対してスラスト方向に相対移動するシャフト用の軸受であれば、何でもよい。たとえば、ニードルベアリングやボールベアリングでもよい。
【符号の説明】
【００７７】
１・・・複合研削盤、  ２・・・ベッド、  ５・・・旋回テーブル、  ９ａ，９ｂ，９ｃ・・・砥石車、  ９ｄ・・・砥石、  ３０・・・制御装置、  ６１〜６４・・・保持装置（電磁チャック）、  ８１〜８４・・・主軸台、  １７０・・・電磁チャック本体、  １７１・・・面板、  １７２・・・磁極部、  １７２ａ・・・保持面、  １７３・・・溝部、  １７３ａ・・・側面、  １７３ｂ・・・底面、  １７４・・・内側固定部、  １７５・・・外側固定部、  １８０，２８０・・・押圧部材、  １８０ｄ，１８０ｅ・・・側面、  １８２・・・支持体、  １８２ａ・・・支持体本体、  １８２ｂ・・・内側端部、  １８２ｃ・・・外側端部、  １８３・・・バネ（付勢部材）、  １９０，１９１，２９０，２９１・・・ガイド部材、  Ｆ・・・摩擦力、Ｆｇ，ｆｇ・・・押圧力、  Ｆｍａｇ・・・吸着力、  Ｗ・・・工作物、  Ｗａ，Ｗａａ，Ｗａｂ・・・外輪（工作物）、  ＷａＧ，ＷｂＧ・・・軌道溝、  Ｗｂ，Ｗｂａ，Ｗｂｂ・・・内輪（工作物）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図８Ｅ】
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【図８Ｆ】
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【図８Ｇ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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