(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象に密着させる密着部と、
前記測定対象に前記密着部を密着させている場合に、前記測定対象との間で隙間を開けて配置され且つ前記測定対象から発生する検出対象を検出するセンサ素子と、
前記測定対象に前記密着部を密着させている場合に、前記測定対象および前記センサ素子とともに前記隙間を囲っている撥水部および吸水部と、
前記センサ素子を埋設しており、前記測定対象に前記密着部を密着させている場合に前記センサ素子よりも前記測定対象の側に突出している基板正面を有する撥水性基板と、
前記基板正面を覆っており、前記基板正面と対向する側の面とは反対側の面が前記密着部になっている吸水性シートとを備え、
前記撥水性基板には、前記測定対象に前記密着部を密着させている場合に前記センサ素子と前記測定対象との間に位置する領域において空洞部が形成されており、
前記吸水性シートには、前記測定対象に前記密着部を密着させている場合に前記センサ素子と前記測定対象との間に位置する領域において開口部が形成されており、
前記隙間は、前記空洞部および前記開口部であり、前記撥水部は、前記撥水性基板であり、前記吸水部は、前記吸水性シートであることを特徴とする密着型センサ。
【請求項２】
前記撥水性基板において前記基板正面とは反対側の面を基板背面とすると、基板背面から露出するように前記撥水性基板に埋設される複数の電子部品と、
前記電子部品同士を接続する配線と、
前記配線および前記複数の電子部品を封止するように前記基板背面に設けられる絶縁層と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の密着型センサ。
【請求項３】
測定対象に密着させる密着部と、
前記測定対象に前記密着部を密着させている場合に、前記測定対象との間で隙間を開けて配置され且つ前記測定対象から発生する検出対象を検出するセンサ素子と、
前記測定対象に前記密着部を密着させている場合に、前記測定対象および前記センサ素子とともに前記隙間を囲っている撥水部および吸水部と、を備え、
前記測定対象は身体表面であり、
さらに、前記密着部として機能する吸水性シートを備えたことを特徴とする密着型センサ。
【請求項４】
前記測定対象は身体表面であり、
前記センサ素子は、前記身体表面の温度を測定するために、前記身体表面から生じる赤外線を前記検出対象として検出するサーモパイルであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の密着型センサ。
【請求項５】
前記測定対象は身体表面であり、
前記センサ素子は、前記身体表面の発汗の程度を測定するために、前記身体表面から生じる汗の蒸気を検出対象として検出する湿度センサであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の密着型センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、身体の皮膚等の測定対象に密着させながら測定を行うようになっている密着型センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
体温あるいは体表面の湿度や発汗の測定を常時行うことの可能な密着型センサの需要が増加している。密着型センサは、日射病、熱疲労、熱射病等の熱中症の予防、あるいはインフルエンザ等の高温の発熱を伴う疾患の早期発見を目的としたものである。密着型センサは、人の身体の表面部（皮膚）に貼り付けられるものであり、発汗の程度や温度の測定を行うためのセンサ素子を備えており、薄型、軽量、小型、高耐水性のウエアラブルな電子機器である。
【０００３】
従来、このような密着型センサとして、特許文献１に提案されている身体発汗モニター装置が知られている。図１は、この身体発汗モニター装置を示した模式図である。図１に示すように、身体発汗モニター装置１１０は、センサ素子（温湿度センサ）１１４と、汗蒸気の流動を制御する遮蔽板１１３と、センサ感度が最適化されるように設計されているケース１１６とを備えており、皮膚１００からの発汗の程度を計測するものである。
【０００４】
また、特許文献２には、特許文献１の身体発汗モニター装置に含まれる構成要素と、熱放散を経時的に捉えるセンサ素子とを備え、熱中症の発症予測を行う警告装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−８５９８３号公報
【特許文献２】特開２０１３−９０８９４号公報
【特許文献３】特許第５３５９５５０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１、２にて提案されている装置では、図１に示すように、皮膚１００から放出される汗蒸気を流入させるための流入孔１１２が形成されている。この流入孔１１２から、汗蒸気のみならず、液体（一例として液体状態の汗）が装置内部に侵入することがあり、センサ素子１１４に液体が付着してしまうことがある。センサ素子１１４に液体が付着すると、測定誤差が生じやすく、また、センサ素子１１４が破損しやすくなるといった問題がある。
【０００７】
本発明は、前記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、密着型センサにおいて測定誤差およびセンサ素子の破損を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の課題を解決するために、本発明の密着型センサは、測定対象に密着させる密着部と、前記測定対象に前記密着部を密着させている場合に、前記測定対象との間で隙間を開けて配置され且つ前記測定対象から発生する検出対象を検出するセンサ素子と、前記測定対象に前記密着部を密着させている場合に、前記測定対象および前記センサ素子とともに前記隙間を囲っている撥水部および吸水部と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
本発明の構成によれば、前記隙間に液体が流入したとしても、当該液体を、撥水部で弾いて吸水部に移動させ、吸水部に吸収させることが可能になる。それゆえ、前記センサ素子に液体が付着してしまう事を抑制でき、これにより、測定誤差および素子の破損を抑制できるという効果を奏する。
【００１０】
また、本発明の密着型センサは、前記の構成に加えて、前記センサ素子を埋設しており、前記測定対象に前記密着部を密着させている場合に前記センサ素子よりも前記測定対象の側に突出している基板正面を有する撥水性基板と、前記基板正面を覆っており、前記基板正面と対向する側の面とは反対側の面が前記密着部になっている吸水性シートとを備え、前記撥水性基板には、前記測定対象に前記密着部を密着させている場合に前記センサ素子と前記測定対象との間に位置する領域において空洞部が形成されており、前記吸水性シートには、前記測定対象に前記密着部を密着させている場合に前記センサ素子と前記測定対象との間に位置する領域において開口部が形成されており、前記隙間は、前記空洞部および前記開口部であり、前記撥水部は、前記撥水性基板であり、前記吸水部は、前記吸水性シートであってもよい。
【００１１】
本発明の構成によれば、前記測定対象と前記センサ素子と前記撥水部と前記吸水部とに囲まれる隙間を簡易な構成で実現でき、このような構成を備えた密着型センサの製造が容易というメリットがある。
【００１２】
また、本発明の密着型センサは、前記構成に加えて、前記撥水性基板において前記基板正面とは反対側の面を基板背面とすると、基板背面から露出するように前記撥水性基板に埋設される複数の電子部品と、前記電子部品同士を接続する配線と、前記配線および前記複数の電子部品を封止するように前記基板背面に設けられる絶縁層と、を備えていてもよい。
【００１３】
本発明の構成によれば、前記電子部品および配線を空気に触れさせないようにできるため、空気中の湿気が前記電子部品および配線に触れることがなく、前記電子部品および配線に対して防水効果を有する。
【００１４】
また、本発明の密着型センサは、前記構成に加え、前記測定対象は身体表面であり、前記密着部として機能する吸水性シートを備えていてもよい。
【００１５】
本発明の構成によれば、身体表面と吸水性シートとの密着箇所において身体表面（皮膚）から生じる汗は吸水性シートに吸収されるため、皮膚からの発汗が阻害されることが抑制され、発汗の阻害に起因した皮膚炎の発生を抑制できる。
【００１６】
また、本発明の密着型センサは、前記構成に加え、前記測定対象は身体表面であり、前記センサ素子は、前記身体表面の温度を測定するために、前記身体表面から生じる赤外線を前記検出対象として検出するサーモパイルであってもよい。或いは、本発明の密着型センサは、前記構成に加え、前記測定対象は身体表面であり、前記センサ素子は、前記身体表面の発汗の程度を測定するために、前記身体表面から生じる汗の蒸気を検出対象として検出する湿度センサであってもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は、密着型センサにおいて測定誤差およびセンサ素子の破損を抑制することを目的とする。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】従来の身体発汗モニター装置を示した模式図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る密着型センサの正面図および断面図である。
【図３】皮膚から放たれる赤外線が図２の密着型センサのセンサ素子に向かっている状況を示した図である。
【図４】センサ素子と皮膚との隙間に液体が侵入した際の状況を示した図である。
【図５】変形例に係る密着型センサの製造工程を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面に基づいて、本発明の一実施形態の密着型センサを説明する。図２の（ａ）は、本発明の一実施形態の密着型センサを模式的に示した正面図であり、図２の（ｂ）は、（ａ）の密着型センサのＡＡ線の断面を模式的に示した図である。
【００２０】
本実施形態の密着型センサ２００は、測定対象である人の皮膚（身体表面）１０に密着させて使用するものであり、内部に取り付けられているサーモパイルによって人の体温を検出する電子機器である。なお、本実施形態では、図２の（ｂ）に示すように、密着型センサ２００において、皮膚１０に密着させる側を正面として、皮膚１０に密着させる側と反対側を背面とする。
【００２１】
図２に示されるように、密着型センサ２００は、吸水性シート２１１、樹脂基板（筐体）２１２、電子部品２１３、センサ素子２１４、配線２１５、絶縁層２１６、吸湿性シート２１７を備えている。
【００２２】
密着型センサ２００においては、正面側から背面側へ向けた方向に沿って、吸水性シート２１１、樹脂基板２１２、配線２１５、絶縁層２１６、吸湿性シート２１７が並んで配置されており、電子部品２１３およびセンサ素子２１４は、樹脂基板２１２に埋設されている。
【００２３】
樹脂基板２１２は、樹脂からなる略平板形状の部材であり、電子部品２１３およびセンサ素子２１４を埋設して支持する。また、本実施形態では、樹脂基板２１２のうち、吸水性シート２１１と対向している面を基板正面２１２ｃとし、基板正面２１２ｃとは反対側の面を基板背面２１２ｅとする。
【００２４】
電子部品２１３は、抵抗、コンデンサ、ＩＣ等である。センサ素子２１４は、測定対象である身体の温度（体温）を測定するために必要な赤外線を検出する素子である。具体的には、センサ素子２１４は、皮膚１０から放出される赤外線を検出するサーモパイルであり、皮膚１０から一定距離を離す必要がある素子である。
【００２５】
また、センサ素子２１４および電子部品２１３は、基板背面２１２ｅから露出するように樹脂基板２１２に埋め込まれる。基板背面２１２ｅにおけるセンサ素子２１４および電子部品２１３の露出箇所は電極として機能するものである。また、基板背面２１２ｅにおいて、電極同士を電気的に接続する配線２１５が形成される。
【００２６】
また、センサ素子２１４よりも基板正面２１２ｃの方が密着型センサ２００の正面側に突出するように、センサ素子２１４が樹脂基板２１２に埋設されている。つまり、密着型センサ２００を皮膚１０に密着させている際、センサ素子２１４よりも基板正面２１２ｃの方が皮膚１０の側に突出することになる。
【００２７】
さらに、図２の（ｂ）に示すように、密着型センサ２００は、吸水性シート２１１の両面のうち、基板正面２１２ｃと対向する側の面と反対側の面を密着部として、この密着部を皮膚１０に密着させて使用するようになっており、この時、センサ素子２１４と皮膚１０との間に隙間２００ａが形成されるようになっている。
【００２８】
具体的には、吸水性シート２１１において、センサ素子２１４と皮膚１０との間は開口部２１１ａが形成されており、樹脂基板２１２において、センサ素子２１４と皮膚１０との間は空洞部２１２ａが形成されている。そして、開口部２１１ａおよび空洞部２１２ａが隙間２００ａに相当する。
【００２９】
なお、センサ素子２１４のうち、密着型センサ２００の正面側の面をセンサ素子正面２１４ａとすると、図２の（ｂ）のように、空洞部２１２ａは、センサ素子正面２１４ａの一部を密着型センサ２００の正面側へ露出させるように形成されており、センサ素子正面２１４ａの他の部分（前記一部以外の部分）は樹脂基板２１２に覆われている。これにより、空洞部２１２ａの広さを、測定に必要十分量の赤外線がセンサ素子正面２１４ａ（検出面）に到達するだけのものに制限することで、不要物がセンサ素子正面２１４ａに到達することをできるだけ抑制している。
【００３０】
また、本実施形態では、樹脂基板２１２において、センサ素子正面２１４ａの一部と対向している部分を対向部２１２ｄとすると、対向部２１２ｄはセンサ素子正面２１４ａに密着する形態であるが、対向部２１２ｄとセンサ素子正面２１４ａとの間に隙間が形成されていてもよい。
【００３１】
続いて、本実施形態の密着型センサ２００について、その製造工程とともに説明する。
【００３２】
（工程Ａ）
最初に工程Ａが行われる。工程Ａは、電子部品２１３、センサ素子２１４、配線２１５および絶縁層２１６を搭載する樹脂基板２１２を形成する工程である。
【００３３】
まず、インサート成形によって、電子部品２１３およびセンサ素子２１４を埋設した樹脂基板２１２を成形する。このインサート成形によって、電子部品２１３およびセンサ素子２１４が基板背面２１２ｅから露出するように樹脂基板２１２に埋設される。
【００３４】
また、このインサート成形によって、基板正面２１２ｃの側からセンサ素子２１４が露出するように空洞部２１２ａが形成される（つまり、樹脂基板２１２のうち、皮膚１０とセンサ素子２１４との間に位置する領域に空洞部２１２ａが形成される）。
【００３５】
空洞部２１２ａは、言い換えると、樹脂基板２１２のうち基板表面２１２ｃの側に形成されている凹部であり、この凹部の底面がセンサ素子正面２１４ａに相当し、凹部の側面は図２の（ｂ）の対向部２１２ｄである。
【００３６】
つぎに、基板背面２１２ｅの側において、各電子部品２１３の電極同士（または電子部品２１３とセンサ素子２１４との電極同士）を結線する配線２１５を形成する。なお、配線２１５はプリント配線（印刷配線）である。
【００３７】
つぎに、基板背面２１２ｅを覆う絶縁層２１６を形成する。絶縁層２１６としては、絶縁性の樹脂を用いることができる。前記の絶縁性の樹脂としては、例えば、（１）ウレタンアクリレートなどの変性アクリレート系レジスト、あるいは、（２）ポリエステルエラストマやオレフィンエラストマ等の軟質なコート材を用いることができる。
【００３８】
なお、電子部品２１３およびセンサ素子２１４のうち基板背面２１２ｅから露出されている箇所、および、配線２１５も絶縁層２１６に覆われる。これにより、図２の（ｂ）に示すように、配線２１５および電子部品２１３は樹脂基板２１２および絶縁層２１６によって封止されることになる。
【００３９】
このようにして、電子部品２１３およびセンサ素子２１４が樹脂基板２１２に埋設され、配線２１５および絶縁層２１６が樹脂基板２１２の基板背面２１２ｅ上に設けられる。なお、工程Ａは、特許文献３（特許５３５９５５０号）にて提案されている手法を用いることで実現できる。
【００４０】
樹脂基板２１２は、樹脂製の基材に対して撥水性添加剤を添加することで作成する。本実施形態では、ＰＣ（ポリカーボネイト）を基材とし、フッ素系界面活性剤（商品名サーフロン：ＡＧＣセイミケミカル製）を撥水性添加剤として、ＰＣに対してフッ素系界面活性剤を１ｗｔ％程度添加することで樹脂基板２１２を作成した。これにより、樹脂基板２１２は、撥水性を有する撥水性基板（撥水部、撥水層）になる。
【００４１】
なお、樹脂基板２１２に用いる基材としては、ＰＣ以外に、ＰＥ（ポリエステル）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＰＣ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＰ（ポリプロピレン）、エラストマ等であってもよい。また、樹脂基板２１２に用いる撥水性添加剤としては、フッ素系界面活性剤以外にシリコン系ペレットを用いてもよい。
【００４２】
また、基材に対する撥水性添加剤の添加量は、１〜５ｗｔ％の範囲のうち、基材および撥水性添加剤の種類に応じた適切な値が設定される。
【００４３】
（工程Ｂ）
工程Ａの次に工程Ｂが行われる。工程Ｂは、電子部品２１３およびセンサ素子２１４が埋設された樹脂基板２１２を、吸水性シート２１１および吸湿性シート２１７で覆う工程である。
【００４４】
具体的には、基板正面２１２ｃおよび基板背面２１２ｅの各々よりも面積が広く、且つ、略矩形状の吸水性シート２１１および吸湿性シート２１７を用意する。そして、図２に示すように、吸水性シート２１１を、基板正面２１２ｃと対向配置させ、吸湿性シート２１７を、絶縁層２１６と対向配置させ、吸水性シート２１１の端部と吸湿性シート２１７の端部とを接着する。これにより、吸水性シート２１１が基板正面２１２ｃを覆い、吸湿性シート２１７が基板背面２１２ｅに形成されている絶縁層２１６を覆うように、樹脂基板２１２が吸水性シート２１１と吸湿性シート２１７とからなる袋の内部に入れられていることになる。
【００４５】
吸水性シート２１１は、密着型センサ２００の使用時において、皮膚１０と樹脂基板２１２との間に位置し、皮膚１０に密着するものである。吸水性シート２１１としては、布材（例えば、ガーゼ等の繊維と繊維の間に隙間のある構造の布材）、スポンジ、あるいは、発砲樹脂等の吸水性の良好な材料を用いる。これにより、密着型センサ２００を皮膚１０に密着させている間、皮膚１０から発生する液体状の汗は吸水性シート２１１に吸収される。
【００４６】
なお、吸水性シート２１１としては、ウレタン系等のスポンジ材を用いてもよく、発泡樹脂材を用いてもよい。ゲル材（当該ゲル材自体の重量の数百倍の水分を吸収可能なゲル材）を不繊布等に塗布してなるシートを吸水性シート２１１として用いることもできる。
【００４７】
吸湿性シート２１７は、密着型センサ２００において皮膚１０に密着させる側とは反対側（背面側）に位置するため、皮膚１０から蒸発した汗蒸気を吸湿する機能が優れていることが好ましい。それゆえ、吸湿性シート２１７としては、吸湿性の良好な天然繊維（綿、麻、或いは絹等）、或いは、再生繊維（レーヨン等）を用いる。
【００４８】
樹脂基板２１２を吸水性シート２１１および吸湿性シート２１７にて包んだあと、吸水性シート２１１のうち、空洞部２１２ａおよびセンサ素子１１４と対向する箇所に開口部２１１ａを形成する。
【００４９】
これにより、図３に示すように、密着型センサ２００の吸水性シート２１１を皮膚１０に密着させると、センサ素子２１４は皮膚１０から一定距離離れた位置に配され、且つ、センサ素子２１４と皮膚１０との間が隙間２００ａになる。それゆえ、隙間２００ａにおいて、皮膚１０から赤外線３００が生じ、且つ、この赤外線３００がセンサ素子正面２１４ａ（検出面）に到達するようになっており、これにより体温が測定される。
【００５０】
また、以上のようにして測定がなされるため、本実施形態の密着型センサ２００では、センサ素子２１４と皮膚１０との間で隙間２００ａを形成する必要があり、且つ、隙間２００ａに対して防水対策のための封止を行うことができない。
【００５１】
そこで、本実施形態の密着型センサ２００は、以上のように、（ａ）測定対象である皮膚１０に密着させる密着部（吸水性シート２１１）と、（ｂ）皮膚１０に吸水性シート２１１を密着させている場合に、皮膚１０との間で隙間２００ａを開けて配置され且つ皮膚１０から発生する赤外線（検出対象）３００を検出するセンサ素子２１４と、（ｃ）皮膚１０に吸水性シート２１１を密着させている場合に、皮膚１０およびセンサ素子２１４とともに隙間２００ａを囲っている撥水部（撥水層）および吸水部（吸水層）とを備えている。なお、樹脂基板２１２が撥水部として機能し、吸水性シート２１１が吸水部として機能する。
【００５２】
それゆえ、液体（例えば液体状態の汗）が皮膚１０とセンサ素子２１４との隙間２００ａに侵入したとしても、（１）図４の（ａ）に示すように、液体３０は、毛細管現象によって吸水性シート２１１からなる吸水部に吸収されるか、あるいは、（２）図４の（ｂ）に示すように、液体３０は、撥水部（樹脂基板２１２）の撥水効果によって弾かれて吸水部（吸水性シート２１１）に吸収される。
【００５３】
これにより、開口部２１１ａから、液体（例えば液体状態の汗）が皮膚１０とセンサ素子２１４との隙間２００ａに侵入したとしても、当該液体がセンサ素子２１４に到達してしまうことを抑制できるため、センサ素子２１４に液体が付着することに起因する問題（測定誤差および内部素子の破損）を抑制できる。
【００５４】
また、本実施形態の密着型センサ２００において、電子部品２１３および配線２１５は、樹脂基板２１２および絶縁層２１６によって封止されている。つまり、電子部品２１３および配線２１５は、外気に触れないように隙間なく樹脂基板２１２および絶縁層２１６に包まれている。これにより、電子部品２１３および配線２１５は空気中の湿気あるいは水分から遮断され、電子部品２１３および配線２１５に対する防水効果を得ることができる。
【００５５】
また、本実施形態の密着型センサ２００によれば、基板正面２１２ｃが吸水性シート２１１に覆われており、測定対象である皮膚１０に対して吸水性シート２１１を密着させて測定を行うようになっている。この密着型センサ２００では、皮膚１０と密着しているのは吸水性シート２１１であることから、密着箇所において、皮膚から生じる汗は吸水性シート２１１に吸収されるため、皮膚からの発汗が阻害されることが抑制され、発汗の阻害に起因した皮膚炎の発生を抑制できる。これに対し、従来の密着型センサでは、皮膚との密着面は吸水機能を持たない材質からなるため、皮膚からの発汗が阻害され、発汗の阻害に起因した皮膚炎が発生するという問題を有する。
【００５６】
また、密着型センサ２００によれば、樹脂基板２１２が吸水性シート２１１および吸湿性シート２１７に覆われていることから、樹脂基板２１２に実装されるセンサ素子２１４および電子部品２１３の防水性を高める効果がある。
【００５７】
なお、本実施形態では、センサ素子２１４としてサーモパイルを用いたが、皮膚１０から一定距離を離して使用するセンサ素子であればサーモパイルに限定されない。
【００５８】
例えば、センサ素子２１４として、電子式高分子型、抵抗変化型、あるいは静電容量変化型の湿度センサを用いることができる。この場合、センサ素子２１４は、皮膚１０から生じる汗の蒸気を検出し、密着型センサ２００は、発汗の程度を測定する発汗測定装置として機能する。そして、密着型センサ２００においては、皮膚１０とセンサ素子２１４との間に隙間２００ａ（外の環境の影響を受けにくい空間）が形成され、且つ、当該隙間２００ａは撥水部と吸水部とで囲われているため、センサ素子２１４として湿度センサを用いる場合であっても、センサ素子２１４と皮膚１０との間に測定に必要な空間を形成しつつ、センサ素子２１４に液体（例えば液体の状態の汗）が付着してしまうことを抑制できる。
【００５９】
[変形例]
以上にて説明した実施形態では、特許文献３（特許５３５９５５０）に開示されている方法を用いて樹脂基板２１２に電子部品２１３やセンサ素子２１４を埋設したが、特許文献３の方法以外の手法を用いてもよい。例えば、周知のプリント実装基板の製法を利用できる。この点について図５に基づいて説明する。
【００６０】
最初に、図５の（ａ）に示すように、ポリイミド樹脂製の絶縁層（絶縁性基板）３１６の一方の面に銅配線３１５を形成したプリント回路を製造する。続いて、図５の（ｂ）に示すように、絶縁層３１６のうち、銅配線３１５が形成されている側の面において、電子部品３１３（抵抗、コンデンサ、ＩＣ）と、センサ素子３１４とをはんだ付け等によって実装する。続いて、図５の（ｃ）に示すように、絶縁層３１６のうち、銅配線３１５、電子部品３１３、センサ素子３１４が実装されている側の面に樹脂基板３１２を形成する。
【００６１】
具体的には、銅配線３１５および電子部品３１３が樹脂基板３１２および絶縁層３１６によって封止され、且つ、センサ素子３１４のうち絶縁層３１６に密着している側とは反対側を露出する空洞部３１２ａが形成されるように、樹脂基板３１２が絶縁層３１６上にて形成される。なお、樹脂基板３１２は、樹脂基板３１２と同様、樹脂製の基材に対して撥水性添加剤を添加することで作成されるものである。
【００６２】
その後に工程Ｂを行う点は既に述べた実施形態と同様である。
【００６３】
以上の実施形態では、密着型センサについて、人の皮膚に密着させて使用する例を示したが、勿論、人の皮膚に限定されるものではなく、動物全般の皮膚に適用可能である。
【００６４】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６５】
１０      皮膚（身体表面、測定対象）
２００      密着型センサ
２００ａ    隙間
２１１      吸水性シート（吸水部、密着部）
２１１ａ    開口部
２１２      樹脂基板（撥水部、撥水性基板）
２１２ａ    空洞部
２１２ｃ    基板正面
２１２ｅ    基板背面
２１３      電子部品
２１４      センサ素子
２１５      配線
２１６      絶縁層
２１７      吸湿性シート
３００      赤外線（検出対象）
３１２      樹脂基板
３１２ａ    空洞部
３１３      電子部品
３１４      センサ素子
３１５      銅配線（配線）
３１６      絶縁層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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