(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源を収納した光源ユニットと、光源ユニットの上側に配置された上部ユニットとを備え、下方に設定された照射領域に光源からの光を照射する光照射装置であって、
光源ユニットを上下動させる上下移動機構と、上下移動機構により光源ユニットが下方に移動した際に光源ユニットが載置される架台と、架台に光源ユニットが載置された状態で横方向に架台を移動させることで光源ユニットを上部ユニットの下方位置から退避させる退避機構とが設けられており、
光源ユニットは、光源を交換可能な状態で収容したユニットであり、
退避機構は、光源の交換が可能な交換位置まで架台を移動させることが可能な機構であることを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
前記光源ユニットは、前記上部ユニットに対して解除可能な状態で連結されており、
前記上下移動機構は、前記上部ユニットに対する連結が解除された状態で前記光源ユニットを下方に移動させて前記架台に載置することが可能な機構であることを特徴とする請求項１記載の光照射装置。
【請求項３】
前記光源ユニットの上側には、前記光源を上から覆うミラーを収容したミラーユニットが設けられており、
ミラーユニットは前記光源ユニットに対して解除可能な状態で連結されており、
前記上下移動機構は、ミラーユニットと前記光源ユニットとの連結が解除された状態で前記光源ユニットを上下動させることが可能な機構であることを特徴とする請求項１又は２記載の光照射装置。
【請求項４】
前記ミラーユニットと前記光源ユニットとの連結が解除された状態で前記上下移動機構が前記光源ユニットを上下動させた際、前記ミラーに対する前記光源の位置を所定の位置にする位置決め部材を備えていることを特徴とする請求項３記載の光照射装置。
【請求項５】
前記上下移動機構は、前記ミラーユニットが前記光源ユニットに連結されている状態で前記ミラーユニット及び前記光源ユニットを一体に上下動させることが可能な機構であることを特徴とする請求項３又は４記載の光照射装置。
【請求項６】
前記光源と前記照射領域の間に位置する光学素子を収容した素子ユニットを備えており、
素子ユニットは前記光源ユニットに連結されたユニットであり、
前記上下移動機構は、前記光源ユニットと素子ユニットとを一体に上下動させて架台に載置することが可能な機構であることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の光照射装置。
【請求項７】
前記素子ユニットは前記光源ユニットに対して解除可能に連結されたユニットであり、
前記上下移動機構は、前記光源ユニットと前記光源ユニットに連結された素子ユニットとを一体に上下動させて架台に載置した後、前記光源ユニットに対する前記素子ユニットの連結が解除された状態で前記光源ユニットを上昇させて前記素子ユニットが前記架台に載置されたままとすることが可能な機構であることを特徴とする請求項６記載の光照射装置。
【請求項８】
前記退避機構は、前記架台の移動をガイドするガイド部材を備えており、ガイド部材が延びる方向の任意の位置で前記架台を停止させることが可能な機構であることを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載の光照射装置。
【請求項９】
光照射の対象物を前記照射領域に搬送する搬送機構が設けられており、搬送機構は、対象物が載置されたステージをガイド部材に沿って移動させることで対象物を搬送する機構であり、
前記退避機構のガイド部材は、搬送機構のガイド部材を兼用したものであることを特徴とする請求項８に記載の光照射装置。
【請求項１０】
光照射の対象物を前記照射領域に搬送する搬送機構が設けられており、搬送機構は、対象物が載置されたステージをガイド部材に沿って移動させることで対象物を搬送する機構であり、
前記退避機構のガイド部材は、搬送機構のガイド部材とは別に設けられたものであることを特徴とする請求項８に記載の光照射装置。
【請求項１１】
前記光源ユニット及び前記上部ユニットを備えたランプハウスが複数設けられており、
各ランプハウスにおいて、前記上下移動機構は、他のランプハウスの上下移動機構から独立して駆動されることが可能な機構であって、他のランプハウスの光源ユニットは移動させないで当該上下移動機構が設けられたランプハウスの光源ユニットを移動させて前記架台に載置することが可能な機構であることを特徴とする請求項１乃至１０いずれかに記載の光照射装置。
【請求項１２】
前記光源ユニット及び前記上部ユニットを備えたランプハウスが複数設けられており、
前記上下移動機構は、少なくとも二つのランプハウスの前記光源ユニットを一緒に移動させて前記架台に載置することが可能な機構であることを特徴とする請求項１乃至１０いずれかに記載の光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願の発明は、光源の交換のための構造を備えた光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物の処理のために光エネルギーを利用することは、各種製品の製造プロセスにおいてしばしば行われている。このうち、紫外域の高いエネルギーの光を利用した処理は、感光材の光処理等、盛んに行われており、目的に応じた光源を搭載した各種光照射装置が使用されている。多くの場合、光源は消耗品であり、寿命等により交換する必要がある。このため、光照射装置は、光源の交換を考慮した構造を採用している。
【０００３】
このような光照射装置のうち、対象物が大型であったり、数多くの対象物に一度に光照射したりするような用途では、広い面積に一度に光照射する必要がある。これに伴い、大型の光源を搭載したり、複数の光源を搭載したりした構造となっており、装置が大型化している。
また、設定された照射領域に均一に光を照射するためにミラーを光源の背後に配置する場合も多く、照射する光の波長を制御するためのフィルタ等の光学素子が光源と照射領域との間に配置される場合も多い。このような点でも、装置の構造は複雑化する傾向にある。
【０００４】
一例を挙げると、近年、液晶ディスプレイの製造プロセスでは、光配向と呼ばれる技術が採用されるようになってきている。この技術は、液晶ディスプレイにおいて必要な配向膜を光照射によって得る技術である。ポリイミドのような樹脂製の膜に紫外域の偏光光を照射すると、膜中の分子が偏光光の向きに配列され、配向膜が得られる。ラビングと呼ばれる機械的な配向処理に比べ、高性能の配向膜が得られることから、高画質の液晶ディスプレイの製造プロセスとして多く採用されるようになってきている。
【０００５】
光配向では、膜材（配向膜の元になる膜）付きの液晶基板が光照射の対象物（ワーク）である。ワークは、製品の大型化や一枚のワークからより多くの製品を産出する観点から大型化している。大型化したワークに光照射するための構造として、ある方向に長い領域に光照射しておき（以下、この方向を長さ方向という）、照射領域のうち長さ方向に垂直な方向にワークを搬送して照射領域を通過させる構造が採用され得る（以下、この方向を搬送方向という）。特許文献１は、この種の構造を採用した光照射装置を開示している。照射領域の搬送方向の長さは、ワークに対する照射光量に関連する。ワークの大型化に伴い、また生産性を高くする観点から、照射領域は搬送方向でも大きくなる傾向がある。このようにより広い領域に光照射するため、各々光源を内蔵したランプハウスを複数設置した構造が採用されることもある。この種の構造を採用した光照射装置の一例が、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−１９１９３９号公報
【特許文献２】特開２０１４−１９７１８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように大型化、複雑化した光照射装置において、光源の交換のための構造が課題となっている。特許文献１では、光源ユニットの上側のユニットを光源ユニットから切り離し、光源ユニットの上側に空間を形成して光源の交換をすることが提案されている。この構造も実用的な構造の一つであるが、複数のランプハウスが搬送方向に並設される場合、問題が生じ得る。特許文献１では、光源の交換の際、ランプハウスに対して搬送方向の手前側又は向こう側に作業者が立って作業を行うことが想定されているが、ランプハウスが搬送方向に三つ以上並設された場合、内側のランプハウス内の光源については交換作業が困難となる。また、ランプハウスが一つのみの場合であっても、何らかの事情で搬送方向の手前側又は向こう側にランプ交換のためのスペースが確保できない場合もあり、この場合には問題が生じ得る。
【０００８】
また、特許文献２では、複数のランプハウスを同一平面上に配設した構造において、それら複数のランプハウスを一体に円弧移動させる構造を開示している。円弧移動の向きは、平面視で搬送方向に向いている。円弧移動によりミラーの開口面が横を向くので、光源の交換が可能となる。
しかしながら、上記特許文献２の構造では、多数のランプハウスを一体に円弧移動させるので、移動機構の構造が複雑である。照射領域の大型化のためにランプハウスの数をさらに多くすると、この問題がより顕著となる。また、特許文献２の構造では、光源の交換の際のランプハウスの配置位置（交換位置）を任意に選択できず、作業性を向上させることが難しい。
本願の発明は、このような課題を解決するために為されたものであって、大面積の照射領域に光照射すべく長尺な光源を採用したり又は複数のランプハウスを備えたりした光照射装置において、光源の交換が容易に行える構造を備えた光照射装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本願の請求項１記載の発明は、光源を収納した光源ユニットと、光源ユニットの上側に配置された上部ユニットとを備え、下方に設定された照射領域に光源からの光を照射する光照射装置であって、
光源ユニットを上下動させる上下移動機構と、上下移動機構により光源ユニットが下方
に移動した際に光源ユニットが載置される架台と、架台に光源ユニットが載置された状態で横方向に架台を移動させることで光源ユニットを上部ユニットの下方位置から退避させる退避機構とが設けられており、
光源ユニットは、光源を交換可能な状態で収容したユニットであり、
退避機構は、光源の交換が可能な交換位置まで架台を移動させることが可能な機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項２記載の発明は、前記請求項１の構成において、前記光源ユニットは、前記上部ユニットに対して解除可能な状態で連結されており、
前記上下移動機構は、前記上部ユニットに対する連結が解除された状態で前記光源ユニットを下方に移動させて前記架台に載置することが可能な機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項３記載の発明は、前記請求項１又は２の構成において、前記光源ユニットの上側には、前記光源を上から覆うミラーを収容したミラーユニットが設けられており、
ミラーユニットは前記光源ユニットに対して解除可能な状態で連結されており、
前記上下移動機構は、ミラーユニットと前記光源ユニットとの連結が解除された状態で前記光源ユニットを上下動させることが可能な機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項４記載の発明は、前記請求項３の構成において、前記ミラーユニットと前記光源ユニットとの連結が解除された状態で前記上下移動機構が前記光源ユニットを上下動させた際、前記ミラーに対する前記光源の位置を所定の位置にする位置決め部材を備えているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項５記載の発明は、前記請求項３又は４の構成において、前記上下移動機構は、前記ミラーユニットが前記光源ユニットに連結されている状態で前記ミラーユニット及び前記光源ユニットを一体に上下動させることが可能な機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項６記載の発明は、前記請求項１乃至５いずれかの構成において、前記光源と前記照射領域の間に位置する光学素子を収容した素子ユニットを備えており、
素子ユニットは前記光源ユニットに連結されたユニットであり、
前記上下移動機構は、前記光源ユニットと素子ユニットとを一体に上下動させて架台に載置することが可能な機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項７記載の発明は、前記請求項６の構成において、前記素子ユニットは前記光源ユニットに対して解除可能に連結されたユニットであり、
前記上下移動機構は、前記光源ユニットと前記光源ユニットに連結された素子ユニットとを一体に上下動させて架台に載置した後、前記光源ユニットに対する前記素子ユニットの連結が解除された状態で前記光源ユニットを上昇させて前記素子ユニットが前記架台に載置されたままとすることが可能な機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項８記載の発明は、前記請求項１乃至７いずれかの構成において、前記退避機構は、前記架台の移動をガイドするガイド部材を備えており、ガイド部材が延びる方向の任意の位置で前記架台を停止させることが可能な機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項９記載の発明は、前記請求項８の構成において、光照射の対象物を前記照射領域に搬送する搬送機構が設けられており、搬送機構は、対象物が載置されたステージをガイド部材に沿って移動させることで対象物を搬送する機構であり、
前記退避機構のガイド部材は、搬送機構のガイド部材を兼用したものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項１０記載の発明は、前記請求項８の構成において、光照射の対象物を前記照射領域に搬送する搬送機構が設けられており、搬送機構は、対象物が載置されたステージをガイド部材に沿って移動させることで対象
物を搬送する機構であり、
前記退避機構のガイド部材は、搬送機構のガイド部材とは別に設けられたものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項１１記載の発明は、前記請求項１乃至１０いずれかの構成において、前記光源ユニット及び前記上部ユニットを備えたランプハウスが複数設けられており、
各ランプハウスにおいて、前記上下移動機構は、他のランプハウスの上下移動機構から独立して駆動されることが可能な機構であって、他のランプハウスの光源ユニットは移動させないで当該上下移動機構が設けられたランプハウスの光源ユニットを移動させて前記架台に載置することが可能な機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項１２記載の発明は、前記請求項１乃至１０いずれかの構成において、前記光源ユニット及び前記上部ユニットを備えたランプハウスが複数設けられており、
前記上下移動機構は、少なくとも二つのランプハウスの前記光源ユニットを一緒に移動させて前記架台に載置することが可能な機構であるという構成を有する。
【発明の効果】
【００１０】
以下に説明する通り、本願の請求項１記載の発明によれば、光源ユニットが架台に載置されて退避するので、ランプハウスの直下位置とは別の位置で光源の交換作業を行うことができる。このため、光源の交換が容易となる。
また、請求項２の発明によれば、上記効果に加え、上部ユニットに対する連結が解除された状態で光源ユニットが下降して架台に載置されるので、この点で構造が簡略化し、交換位置の選択の自由度も高くなる。
また、請求項３の発明によれば、上記効果に加え、光源ユニットに対するミラーユニットの連結を解除した状態で光源ユニットを下降させて架台に載置することができるので、ミラーのない状態で光源の交換が行える。このため、光源の交換作業がより容易となる。
また、請求項４の発明によれば、上記効果に加え、ミラーに対する光源の位置決めが精度良く行われる。このため、最適な光照射状態とする作業が容易となる。
また、請求項５の発明によれば、上記効果に加え、ワークに対して最適な照射距離を確保するのが容易となる。
また、請求項６の発明によれば、上記効果に加え、光源ユニットの架台への載置の際、素子ユニットも一緒に下降して架台に載るので、構造的に簡略になる。
また、請求項７の発明によれば、上記効果に加え、素子ユニットを架台に載置した際、光源ユニットとの連結を切り離して光源ユニットを上昇させることができるので、素子ユニットのメンテナンス作業も容易である。
また、請求項８の発明によれば、上記効果に加え、架台は任意の位置で停止され得るので、任意の位置で光源の交換等のメンテナンス作業が行えることになり、作業性が高くなる。
また、請求項９の発明によれば、上記効果に加え、退避機構が搬送機構のガイド部材を兼用しているので、構造的に簡略化される。
また、請求項１０の発明によれば、上記効果に加え、退避機構が専用のガイド部材を備えているので、架台の退避位置の選択の自由度が高くなる。
また、請求項１１の発明によれば、上記効果に加え、個々のランプハウスについて独立して光源ユニットの架台への載置が行えるので、光源の交換が必要なランプハウスについてのみ載置動作を行えば良く、構造や作業が簡略化される。
また、請求項１２の発明によれば、上記効果に加え、複数のランプハウスについて一緒に架台への載置が行えるので、複数のランプハウスについて一括して光源の交換等のメンテナンス作業を行う場合、作業が簡略化される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本願発明の第一の実施形態に係る光照射装置の斜視概略図である。
【図２】一つのランプハウス１を示した側面断面概略図である。
【図３】選択機構７の主要部の斜視概略図である。
【図４】図３に示す選択機構７における選択用スライダ７２の斜視概略図である。
【図５】選択機構７の動作状態を示した斜視概略図である。
【図６】選択機構７の動作状態を示した斜視概略図である。
【図７】各ユニットの移動状態について示した側面断面概略図である。
【図８】各ユニットの移動状態について示した側面断面概略図である。
【図９】各ユニットの移動状態について示した側面断面概略図である。
【図１０】光源１１の交換のための光源ユニット１０の退避動作について示した正面断面概略図である。
【図１１】光源１１の交換のための光源ユニット１０の退避動作について示した正面断面概略図である。
【図１２】光源１１の交換のための光源ユニット１０の退避動作について示した正面断面概略図である。
【図１３】光源１１の交換のための光源ユニット１０の退避動作について示した正面断面概略図である。
【図１４】光源１１の交換のための光源ユニット１０の退避動作について示した正面断面概略図である。
【図１５】第二の実施形態に係る光照射装置の斜視概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
次に、本願発明を実施するための形態（実施形態）について説明する。
図１は、本願発明の第一の実施形態に係る光照射装置の斜視概略図である。図１に示す光照射装置は、光源１１を収納した光源ユニット１０を含むランプハウス１と、設定された照射領域に光源１１からの光が照射されている状態で照射領域を通過するようにしてワークＷを搬送する搬送機構２とを備えている。
【００１３】
この実施形態の装置において、ワークＷは液晶基板のような方形基板となっており、ワークＷが載置されるステージ２１が設けられている。搬送機構２は、ワークＷが載置されたステージ２１を水平方向に直線移動させる機構である。以下、説明の都合上、この直線移動の方向（搬送方向）をＸ方向とし、Ｘ方向に垂直な水平方向をＹ方向とする。尚、ステージ２１には、ワークＷを真空吸着によって吸着する機構が適宜設けられる。
【００１４】
搬送機構２は、図１に示すようにＸ方向に沿って設けられた左右一対のリニアガイド（以下、搬送用リニアガイドという）２２と、一対のリニアガイド２２の間に設けられた直線駆動源（以下、搬送用直線駆動源という）２３等から構成されている。
搬送用直線駆動源２３としては、例えばリニアモータが採用される。リニアモータは、Ｘ方向に沿って交互に異なる磁極の電磁石を備えたものとされる。ステージ２１の下面には、リニアモータに磁気的に結合する不図示の永久磁石が設けられており、リニアモータの各磁極の切り替えによってステージ２１をＸ方向に移動させる。
【００１５】
搬送機構２による搬送路上の一方の側（例えば図１上の左側）に設定されたロード位置の付近には、不図示のロボットが配置されている。この実施形態では、ステージ２１は、搬送路上を往復動してロード位置に戻るようになっており、ロボットは、ロード位置においてワークＷをステージ２１に載置するとともに、ロード位置に戻ってきたステージ２１からワークＷを取り去るようティーチングされている。
尚、ステージ２１は、不図示のアライメント機構を備えている。アライメント機構は、ワークＷに設けられた不図示のマークを読み取ってワークＷの位置や姿勢を微調整する機構である。
【００１６】
図１に示すように、この実施形態の装置は、多灯式即ち複数のランプハウス１を備えた装置となっており、具体的には三つのランプハウス１がＸ方向に並設されている。各ランプハウス１は、同様の構造のものである。図２は、一つのランプハウス１を示した側面断面概略図である。図２は、Ｘ方向での断面概略図となっている。
図１に示すように、ランプハウス１に収容された光源１１は、棒状の光源となっている。より具体的には、この実施形態の装置は紫外線をワークＷに照射する装置となっており、光源１１は高圧水銀ランプのような紫外線ランプとなっている。図１に示すように、棒状である各光源１１は、Ｙ方向に長さ方向が向くよう配置されており、従って互いに平行な姿勢である。
【００１７】
ランプハウス１は、光源ユニット１０を含む複数のユニットを備えている。具体的には、ランプハウス１は、図２に示すように、光源ユニット１０と、光源１１を上側から覆うミラー３を収容したミラーユニット３０と、ミラーユニット３０の上側に配置された上部ユニット４０と、光源ユニット１０の下側に配置された素子ユニット５０とを備えている。
光源ユニット１０は、光源１１と、光源１１を保持した光源保持フレーム１２等から構成されている。光源保持フレーム１２には、受け具１３と押さえ具１４とが設けられている。図２では詳細の図示が省略されているが、光源１１は、両端の口金の部分が受け具１３に載り、その上から押さえ具１４で押さえることで光源保持フレーム１２に保持されている。
【００１８】
尚、光源１１は、例えば３０００ｍｍ程度と非常に長尺なものとなっている。このため、点灯時には昇温により撓んでしまう可能性がある。これを考慮し、この実施形態では、光源１１を支持する支持具１５を長さ方向の途中の数カ所に設けている。支持具１５には、光源１１の封体に対して熱衝撃性を少なくすることや光遮蔽を少なくする観点から、石英製のものが使用される。支持具の詳細については、特開２０１１−２２２３４７号公報に開示されているので、これを参照することができる。
【００１９】
ミラーユニット３０は、ミラー３と、ミラー保持フレーム３１等から構成されている。ミラー３は、この実施形態では、光源１１の長さ方向に長い一対のものから成っている。一対のミラー３は、光源１１の真上にスリットを形成した状態で配置されており、一対でほぼ樋状のミラー３を形成するようになっている。尚、各ミラー３は、図２に成す断面形状で解るように湾曲している。この湾曲の形状は、楕円の一部又は放物線を成すものとされる。
各ミラー３は、基材上に反射膜を蒸着したものや、アルミのような金属で形成される。蒸着膜で反射させる構造の場合、蒸着膜形成の都合から複数のミラーをセグメント状に並べて一つの長尺なミラーとすることもある。また、蒸着膜として、対象物の昇温を抑えるため、熱線を透過させて反射しないようにした特性のものが採用されることもある。
【００２０】
ミラー保持フレーム３１は、各ミラー３を背後から保持するであり、各ミラー３を上端と下端において緩衝具３２を介して保持するものである。ミラー保持フレーム３１は、ミラー３が熱線を透過させるタイプのものである場合、熱線を受けて昇温するため、熱容量の大きいものとし、背後に放熱フィン３３を設けた構造とされる。尚、ミラー保持フレーム３１は、ミラーユニット３０の外枠となっているミラーユニット３４枠に固定されている。
【００２１】
素子ユニット５０は、光源１１と照射領域との間に配置される光学素子（以下、照射側光学素子という）５１，５２と、照射側光学素子５１，５２を保持した素子保持フレーム５３等から構成されている。照射側光学素子５１，５２としては、適宜のものを選択し得るが、この実施形態の光照射装置は、ワークＷに偏光光を照射するものであるため、一つの照射側光学素子５１は偏光素子となっている。より具体的には、この実施形態ではグリッド偏光素子が照射側光学素子５１として使用されている。グリッド偏光素子は、透明基板上に微細な縞状格子（グリッド）を形成したもので、縞状格子を構成する各線状部の長さ方向に電界成分が向いている直線偏光光を遮断し、各線状部の長さ方向に垂直な方向に電界成分が向いている直線偏光光を透過させることで光を偏光させる光学素子である。
【００２２】
光源１１と背後のミラー３による照射パターンは方形となっており、照射領域も方形の領域として設定されている。照射側光学素子５１，５２は、照射領域をカバーするものとなっている。グリッド偏光素子５１については、大面積のものを製作するのが難しいため、複数並べて配置され、照射領域をカバーしている。グリッド偏光素子５１は、不図示の素子枠に嵌め込まれ、素子台座５４の上に取り付けられている。素子台座５４は、素子保持フレーム５３上に設けられており、照射側光学素子３は、素子保持フレーム５３によって保持されている。
【００２３】
また、この実施形態では、グリッド偏光素子５１とは別の照射側光学素子５２として、フィルタが内蔵されている。フィルタ５２は照射側光学素子３を上側から覆った状態で設けられている。フィルタ５２は、素子保持フレーム５３上にフィルタ枠５５を介して取り外し可能に取り付けられている。フィルタ５２としては、例えば、照射する光の波長を選択する波長選択フィルタが用いられる。
【００２４】
一方、上部ユニット４０は、ランプハウス１全体の冷却のための空間を確保する等の目的で設けられたユニットである。上部ユニット４０は、全体としてはミラーユニット３０や光源ユニット１０等と同程度の長さ及び幅を有する箱状である。上部ユニット４０は、下面にミラーユニット３０からの冷却風が流入する流入口４１を有し、上面に冷却筒４２を有している。冷却筒４２は、生産ラインに配備された冷却用の排気筒４００に嵌め込まれている。但し、両者は固定されておらず隙間があり、静止した排気筒４００に対して上部ユニット４０全体が上下動することが可能となっている。
【００２５】
流入口４１は、光源１１の長さに対して十分な構造（大きさ、数等）で設けられている。排気筒４００から排気がされると、ランプハウス１内全体に冷却風が流れる。冷却風は、上部ユニット４０内の空間を経由して排出される。この冷却により、光源１１やミラー３、照射側光学素子５１，５２などの昇温が抑えられるようになっている。この他、上部ユニット４０には、光源１１の点灯回路等の設備が収容され得る。
【００２６】
実施形態の光照射装置は、前述した問題を解決すべく、光源１１の交換を容易にした構造を採用している。以下、この点について説明する。
まず、実施形態の光照射装置は、光源ユニット１０を上下動させる上下移動機構６を備えている。この実施形態では、光源１１の交換を含むメンテナンスを容易にするため、上部ユニット４０、ミラーユニット３０、光源ユニット１０及び素子ユニット５０について、全てのユニットを一緒に上下動させたり、任意の境界部分で上下に分離させて上側のユニット又はユニット群（以下、上側ユニット群と総称する）のみを上下動させたりすることができるようになっている。
【００２７】
具体的に説明すると、この実施形態では、最も上側に位置するのは上部ユニット４０であり、上下移動機構６は、直接的には上部ユニット４０を上下動させるものとなっている。図１に示すように、上下移動機構６は、上部ユニット４０に連結された上下用直線駆動源６１と、上下用直線駆動源６１による上部ユニット４０の上下動をガイドする上下リニアガイド６２とから主に構成されている。
上下用直線駆動源６１としては、この実施形態ではボールねじとサーボモータを組み合わせたものが使用されている。上部ユニット４０は平面視でＹ方向に長い長方形であるが、上下用直線駆動源６１は、上部ユニット４０の長手方向の両側に設けられている。各上下用直線駆動源６１の出力軸は、後述する選択用スライダ７２を介して上部ユニット４０に連結されている。各上下用直線駆動源６１は同期して（即ち、同じタイミングで同じストロークで）駆動されるようになっており、この駆動により上部ユニット４０が上下動する。尚、上下用直線駆動源６１としては、エアシリンダ等の流体圧を利用した駆動源が採用されることもある。
【００２８】
上下リニアガイド６２は、上部ユニット４０の長手方向の両側に設けられており、図１に示すように片側二本、計四本の上下リニアガイド６２が設けられている。上部ユニット４０の長手方向の両端には、各上下リニアガイド６２に対応した位置に各々上下スライダが固定されており、各上下スライダに上下リニアガイド６２が挿通されている。尚、ランプハウス１は、不図示の支持台によって全体に支持されている。各上下リニアガイド６２及び各上下用直線駆動源６１は、支持台に設けられたベース６３上に固定されている。また、上部ユニット４０は、上下用直線駆動源６１によって駆動された際に歪み等が生じないように、不図示の骨格部材によって保持されている。
【００２９】
一方、実施形態の光照射装置は、上記のように上下移動機構６が上部ユニット４０を上下動させる際、上部ユニット４０と一体に移動させるユニットを選択するための選択機構７を備えている。選択機構７について、図２、図３及び図４を使用して説明する。図３は、選択機構７の主要部の斜視概略図、図４は図３に示す選択機構７における選択用スライダ７２の斜視概略図である。
選択機構７は、ピンブロック７１と、ピンブロック７１をスライドさせる選択用スライダ７２等から構成されている。選択用スライダ７２は、上部ユニット４０よりも少し長い長方形の枠状の部材である。長辺の方向は、図１に示すＹ方向となっており、短辺の方向がＸ方向である。選択用スライダ７２の短辺のうち、一方は選択操作の際に掴んで操作される部位となっている。以下、この短辺の側を操作側と呼び、操作側とは反対側を奥側と呼ぶ。
【００３０】
一方、図２に示すように、上部ユニット４０は、外カバー４３を有している。外カバー４３は、光源１１よりも少し長い長方形の水平断面形状を成す枠状である。図２に示すように、外カバー４３には、袖板４４が固定されている。袖板４４は、外カバー４３の内面から内側に突出するよう設けられている。外カバー４３も同様に平面視でＹ方向に長い長方形であるが、袖板４４は、外カバー４３の長辺方向の側板部に設けられており、長辺方向に少なくとも二箇所に設けられている。そして、袖板４４には、選択用スライダ７２用の開口が形成されており、この開口に選択用スライダ７２が挿通されている。
【００３１】
図４に示すように、ピンブロック７１は、選択用スライダ７２に固定されている。ピンブロック７１は複数設けられており、選択用スライダ７２の各長辺の部分に２個〜３個程度設けられている。各ピンブロック７１は、第一から第三の三つのピン７３，７４，７５を有している。第一ピン７３は、各ピンブロック７１においてやや上部に位置し、奥側の端面から奥側に向けて水平に突出している。第二ピン７４は、各ピンブロック７１において第一ピン７３よりも下部に位置し、操作側の端面から操作側に水平に突出している。第三ピン７５は、ピンブロック７１の下面から下方に突出している。
【００３２】
ピンブロック７１における第一から第三ピン７３，７４，７５が選択的に係合するものとして、ミラーユニット３０は第一ピン孔ブロック３５を備えており、光源ユニット１０は第二ピン孔ブロック１６を備えている。また、素子ユニット５０は一対の係合フック５６を備えている。
図３に示すように、ミラー保持フレーム３１はフランジ部（以下、ミラー保持フランジ部）３１１を有しており、第一ピン孔ブロック３５はミラー保持フランジ部３１１に固定されている。また、同様に、光源保持フレーム１２はフランジ部（以下、光源保持フランジ部）１２１を有しており、第二ピン孔ブロック１６は光源保持フランジ部１２１に固定されている。
【００３３】
また、素子保持フレーム５３には、一対の係合フック５６が固定されている。図３に示すように、素子保持フレーム５３には、外側に突出するようにブラケット５７が固定されており、ブラケット５７上に一対の係合フック５６が固定されている。一対の係合フック５６は、選択用スライダ７２の短辺方向に並んで設けられたものであり、互いに向かい合った状態となっている。一対の係合フック５６の上端は、互いに近づく向きに曲がっており、先端は少し離間していてスリットが形成されている。
第三ピン７５は、逆Ｔ字状であって垂直部と水平部とから成る。垂直部の厚さ（Ｘ方向の幅）は、一対の係合フック５６が形成するスリットより少し小さい。水平部はＸ方向に長くその長さは、一対の係合フック５６の垂直部分の離間間隔より小さい。このため、選択用スライダ７２が長辺の方向に移動した際、第三ピン７５は、一対の係合フック５６の間を通り過ぎたり、一対の係合フック５６の間に収まった状態になったりするようになっている。
【００３４】
通常状態では、素子ユニット５０の上に光源ユニット１０が載り、光源ユニット１０の上にミラーユニット３０が載り、ミラーユニット３０の上に上部ユニット４０が載っている。即ち、図２及び図３に示すように、素子ユニット５０の素子保持フレーム５３上に光源保持フランジ部１２１が載っており、光源保持フランジ部１２１の上にミラー保持フランジ部３１１が載っており、ミラー保持フランジ部３１１の上に上部ユニット４０の外カバー４３を支持するフレームが載っている。尚、上部ユニット４０の外カバー４３は、ミラーユニット３０や光源ユニット１０についての目隠しにもなっており、通常状態では外カバー４３により内部のミラーユニット３０や光源ユニット１０が見えないようになっている。
【００３５】
尚、ピンブロック７１や第一ピン孔ブロック３５が光源保持フランジ部１２１に干渉しないよう、図３に示すように、光源保持フランジ部１２１には切り欠き（符号省略）が設けられている。通常状態では、ピンブロック７１や第一ピン孔ブロック３５はこの切り欠き内に位置する。
また、第一ピン孔ブロック３５には、選択用スライダ７２の長辺方向（Ｙ方向）に貫通したピン孔（以下、第一ピン孔）３５１が形成されており、第二ピン孔ブロック１６にも、長辺方向に貫通したピン孔（以下、第二ピン孔）１６１が形成されている。
【００３６】
長方形の枠状である選択用スライダ７２のうち、操作側の短辺７２１は、図４に示すように取っ手状となっている（以下、取っ手部と呼ぶ）。上下動させるユニットの切り替えの際には、作業者がこの取っ手部７２１を掴み、手前側に選択用スライダ７２を引いたり奥側に押したりして選択用スライダ７２の位置を調節する。この点について、図５〜図９を使用して説明する。図５及び図６は、選択機構７の動作状態を示した斜視概略図、図７〜９は、各ユニットの移動状態について示した側面断面概略図である。
【００３７】
選択機構７は、四つのユニット１０，２０，３０，４０を全体に上下動させる第一モード（通常モード）と、上部ユニット４０のみ上下動させる第二モードと、上部ユニット４０及びミラーユニット３０を一体に上下動させる第三モードと、上部ユニット４０、ミラーユニット３０及び光源ユニット１０を一体に上下動させる第四モードの中から任意のモードを選択して上下移動機構６を動作させる機構となっている。
【００３８】
第一モードで上下移動機構６を動作させる場合、図３に示す状態から選択用スライダ７１が水平移動し、第三ピン７５が一対の係合フック５６の間に収まった位置（以下、この位置を第一モード位置と呼ぶ）とする。この位置で、上下用直線駆動原６１が動作する。図２に示すように、選択用スライダ７２は上部ユニット４０の袖板４４に貫通しているので、上下移動機構６が動作して上部ユニット４０を上下動させると、上部ユニット４０とともに選択用スライダ７２が上下動する。この際、第三ピン７５は、一対の係合フック５６内に収まっているので、選択用スライダ７１はピンブロック７１を介して素子保持フレーム５３を保持した状態となる。このため、素子ユニット５０が上下動し、これに伴い素子ユニット４０の上に載っている光源ユニット１０、ミラーユニット３０及び上部ユニット４０が一体に上下動する。
【００３９】
第二、第三、第四モードは、四つのユニット１０，２０，３０，４０がいずれかの境界で上下に切り離され、上側ユニット群のみを上下動させるモードである。下側のユニット又はユニット群（以下、下側ユニット群と総称する）は、後述する架台８１に載置された状態とされる。
まず、第二モードで上下移動機構６を動作させる場合、図３に示すように、ピンブロック７１が第一ピン孔ブロック３５と第二ピン孔ブロック１６の丁度真ん中の位置になるように選択用スライダ７２の位置を調節する。この位置（以下、第二モード位置と呼ぶ）では、第一ピン７３は第一ピン孔ブロック３５から離れた状態であり、第一ピン孔３５１には挿入されていない状態である。また、第二ピン７４についても、第二ピン孔ブロック１６から離れた状態であり、第二ピン孔１６１には挿入されていない状態である。さらに、第三ピン７５は、一対の係合フック５６の間には収まっていない状態である。
【００４０】
また、第三モードで上下移動機構６を動作させる場合、図５に示すように、選択用スライダ７２を奥側に押し出し、第一ピン７３が第一ピン孔３５１に挿入される状態とする（この位置を、第三モード位置と呼ぶ）。第四モードで上下移動機構６を動作させる場合は、これとは逆で、図６に示すように、選択用スライダ７２を手前側に引き、第二ピン７４が第二ピン孔１６１に挿入された状態とする（この位置を、第四モード位置と呼ぶ）。
【００４１】
第二モードの場合には、ピンブロック７１の第一第二のいずれのピン７３，９４もピン孔３５１，１６１に挿入されておらず、第三ピン７５も一対の係合フック５６の間に収まっていないので、ピンブロック７１は、第一第二のピン孔ブロック３５，１６及び一対の係合フック５６のいずれからも切り離され、選択用スライダ７２とともに上下動する。このため、図７に示すように、ミラーユニット３０、光源ユニット１０及び素子ユニット５０は架台８１に載置された状態であり、上部ユニット４０のみが上下動する。
【００４２】
また、第三モードの状態で上下移動機構６が動作すると、図５に示すように、第一ピン７３が第一ピン孔３５１に挿入された状態で選択用スライダ７２が上昇するので、第一ピン孔ブロック３５を介して選択用スライダ７２がミラーユニット３０を保持した状態となる。このため、図８に示すように、上部ユニット４０とミラーユニット３０とが一体に上下動する。
【００４３】
また、第四モードの状態で上下移動機構６が動作すると、図６に示すように、第二ピン７４が第二ピン孔１６１に挿入された状態で選択用スライダ７２が上昇するので、第二ピン孔ブロック１６を介して選択用スライダ７２が光源ユニット１０を保持した状態となる。このため、図９に示すように、上部ユニット４０とミラーユニット３０と光源ユニット１０とが一体に上下動する。
【００４４】
尚、図４に示すように、選択機構７は、上記各モードでの上下移動機構６の動作が確実に行えるようピンブロック７１の位置をモニタするセンサ７５１〜７５４を備えている。センサ７５１〜７５４は、スライダ７２の位置を検出することで間接的にピンブロック７１の位置をモニタするようになっている。具体的には、図４に示すように、スライダ７２の一方の長辺のうち、取っ手部７２１に近い位置には、検出板７６が固定されている。
【００４５】
そして、図４に示すように、検出板７６の位置を検出する四つのセンサ７５１〜７５４が設けられている。四つのセンサ７５１〜７５４は、いずれもフォトセンサであり、検出板７６によって遮光されることで位置を検出するものである。四つのセンサのうち、第一センサ７５１はピンブロック７１が第一モード位置に位置すると検出板７６が遮光する位置に設けられている。第二センサ７５２はピンブロック７１が第二モード位置に位置すると検出板７６が遮光する位置に設けられている。第三センサ７５３はピンブロック７１が第三モード位置に位置すると検出板７６が遮光する位置に設けられている。第四センサ７５４はピンブロック７１が第四モード位置に位置すると検出板７６が遮光する位置に設けられている。
【００４６】
また、水平方向の位置合わせのため、適宜の位置に位置決め部材が設けられている。位置決め部材としては、例えば円錐状の先端部を有する位置決めピンと、位置決めピンの選択が嵌り込む円錐状の内面を有する凹部の組合せが採用できる。
具体的には、ミラーユニット３０と光源ユニット１０との位置決めを例にすると、図２に拡大して示すように、光源保持フレーム１２の上面に位置決めピン１０１が固定され、ミラーユニット枠３４の当該箇所の下面に凹部３０１が形成されている。位置決めピン１０１は、光源保持フレーム１２の平面視方形の枠の対角付近の位置に二箇所設けられており、それに対応してミラーユニット枠３４にも凹部３０１が二箇所設けられている。
【００４７】
尚、上部ユニット４０は、上下リニアガイド６２に規制されて水平方向には移動しないようになっており、その位置は上下リニアガイド６２によって精度良く保持される。そして、ミラーユニット３０も、不図示の位置決めピンと凹部の構造により上部ユニット４０に対して位置決めされるようになっている。したがって、光源ユニット１０がミラーユニット３０に対して位置決めされると、光源ユニット１０も同様に位置決めされる。素子ユニット５０も同様で、位置決めピンと凹部の構造によって光源ユニット１０に対して位置決めされるようになっている。
【００４８】
一方、このような構造及び動作である上下移動機構６とは別に、実施形態の光照射装置は、架台８１及び退避機構８２を備えている。架台８１は、ランプハウス１が任意の境界で切り離された際、下側ユニット群が載置される台である。退避機構８２は、光源１１の交換等のメンテナンスのため、下側ユニット群が載置された架台８１をランプハウス１の下側から退避させる機構である。
【００４９】
図１に示すように、架台８１は水平な台であり、水平方向の大きさはランプハウス１より少し大きい。退避機構８２は、直線移動機構によって構成されており、架台８１を支持した左右の脚部８１１の下部に設けられた退避用スライダが嵌合している一対のリニアガイドと、リニアガイドが延びる方向に架台８１を移動させる退避用直線駆動源８２１等から構成されている。退避用直線駆動源８２１としては、例えばリニアモータが使用できる。尚、図１に示すように、退避機構８２においてリニアガイドは、搬送用リニアガイド２２が兼用されている。
【００５０】
退避用直線駆動源８２１は、搬送用直線駆動源２３と干渉しないよう配置される。この実施形態では、Ｙ方向の中央位置に搬送用直線駆動源２３としてのリニアモータが配置され、その両脇に退避用直線駆動源８２１としてのリニアモータが配置される。尚、退避用直線駆動源８２１としては、各脚部８１１の下端部に貫通して設けられたねじ孔に螺合するボールねじとボールねじを回転させるサーボモータの組み合わせが採用されることもある。
【００５１】
尚、架台８１に対して下側ユニット群を載置すべく、前述した第一モードにおける上下移動機構６の動作量が設定されている。この点について、図２を使用して説明する。ランプハウス１の直下の位置は、通常、ワークＷが載置されたステージ２１が通過する位置であるが、説明のため、メンテナンス状態として、架台８１がランプハウス１の直下の位置に位置した状態が図２には描かれている。
実施形態の光照射装置において、上下方向の基準位置（以下、基準高さという）が設定されている。搬送機構２を構成する搬送用リニアガイド２２は、水平に直線性良く配置された部材であるので、例えば搬送用リニアガイド２２の上面の高さが基準高さとして設定され得る。
ランプハウス１においても、上下方向の原点位置（以下、高さ方向原点という）が設定されている。原点位置は、基準高さに対する離間距離として設定され、例えば素子ユニット５０の下端の位置について基準高さから２００ｍｍ離れた位置として設定される。
【００５２】
前述した第一モードでは、素子ユニット５０を含む四つのユニットがすべて上下動する状態となる。この場合、上下移動機構６の各上下用直線駆動源６１に対して、素子ユニット５０の下端と架台８１の上面との離間距離（図２のＬ）の分のだけ下降させるストローク（載置用ストローク）が指示できるようになっている。ランプハウス１が高さ方向原点にある場合、載置用ストロークＬは、基準高さに対する高さ方向原点の離間距離に等しい。上下移動機構６の各上下用直線駆動源６１が載置用ストロークＬの分だけ下方に駆動すると、素子ユニット５０の下端が架台８１の上面に接触し、下側ユニット群が架台８１の上に載る。
【００５３】
尚、実施形態の光照射装置は、全体を制御する不図示の主制御部を備えている。主制御部は、搬送機構２や各ランプハウス１内の光源１１の点灯電源等を制御する他、上下移動機構６の各上下用直線駆動源６１も制御するよう構成されている。
【００５４】
このような構成である実施形態の光照射装置の動作について、以下に説明する。
ＡＧＶ（Auto Guided Vehicle)のようなロット搬送機構、又はエアコンベアのような枚葉搬送機構により各ワークＷが不図示のロボットの動作範囲内の位置まで搬送される。主制御部は、ロボットに制御信号を送り、一枚のワークＷをステージ２１に載置させた後、アライメント機構に制御信号を送り、アライメントを行わせる。
【００５５】
主制御部は、各ランプハウス１の点灯電源に制御信号を送り、予め各光源１１を所定の電力で点灯させている。この状態で、主制御部は、搬送機構２に制御信号を送り、ステージ２１をＸ方向に移動させる。ステージ２１は、三つの照射領域を完全に通過した後、反転してロード位置に戻る。「完全に通過」とは、ステージ２１上のワークＷの搬送方向後方の縁が三つの照射領域を過ぎることである。
【００５６】
このような往復移動によりワークＷに光照射がされる。この実施形態では、各照射領域には各ランプハウス１内に設けられたグリッド偏光素子により偏光光が照射されており、ワークＷの上面に存在する膜材に偏光光が照射され、これにより光配向が行われる。ロボットは、ロード位置に戻ったステージ２１からワークＷを取り去り、次のワークＷをステージ２１に載置する。このようにして、各ワークＷに対して偏光光を照射し、光配向を行う。
【００５７】
このような動作を繰り返す実施形態の光照射装置において、光源１１の交換を含むメンテナンスが適宜の時期に行われる。メンテナンスは、任意のランプハウス１において行われる。この際、作業者は、当該ランプハウス（以下、メンテ対象ランプハウス）１全体を架台８１に載置した後、メンテ対象ランプハウス１における選択用スライダ７２の取っ手部７２１を掴み、手前側に選択用スライダ７２を引いたり奥側に押したりして選択用スライダ７２の位置を調節し、第二から第四のうちの任意のモードを選択する。
【００５８】
光源１１を交換する場合、第二モードが選択される。光源ユニット１０を架台８１に載せて退避させる動作について、図１０〜１４を使用して説明する。図１０〜図１４は、光源１１の交換のための光源ユニット１０の退避動作について示した正面断面概略図である。
【００５９】
各ランプハウス１において、選択用スライダ７２の位置は、通常モードである第一モード位置となっており、この位置で装置は稼働している。図１０に示すように、架台８１は、所定の待機位置で待機している。光源１１の交換をする場合、作業者は、主制御部を操作し、主制御部から退避機構８２に制御信号を送らせ、図１１に示すように、架台８１をメンテ対象ランプハウス１の直下に位置させる。
次に、作業者は、制御対象のランプハウス１の上下移動機構６に対して載置用ストロークだけ下降するよう主制御部から制御信号を送る。この際、選択用スライダ７２の位置は、第一モード位置のままとされる。この結果、図１２に示すように、全てのユニットが下降し、架台８１の上に載る。
【００６０】
次に、作業者は、第二モードとなるよう選択用スライダ７２の位置を調節し、主制御部を操作して所定の距離だけ上部ユニット４０とミラーユニット３０とを上昇させる。この結果、図１３に示すように、素子ユニット５０と光源ユニット１０のみが架台８１に残った状態となる。
【００６１】
次に、作業者は、主制御部から制御信号を送り、退避機構８２を動作させる。この結果、図１４に示すように、退避機構８２が所定距離、所定の向きで移動し、架台８１上の素子ユニット５０及び光源ユニット１０は、メンテ対象ランプハウス１の下側空間から退避して退避位置に位置する。
退避位置に位置した架台８１上では、素子ユニット５０の上に光源ユニット１０が載った状態であり、光源ユニット１０は上側に露出している。したがって、光源ユニット１０の上側のスペースを利用して容易に光源１１の交換を行うことができる。即ち、押さえ具１４を取り外した上で光源１１を上に持ち上げて取り去り、新しい光源１１を上方から装着する。
【００６２】
光源１１の交換後、素子ユニット５０及び光源ユニット１０をメンテ対象ランプハウス１に戻し、元の状態にする。即ち、退避機構８２を動作させて架台８１上の素子ユニット５０及び光源ユニット１０をメンテ対象ランプハウス１の直下の位置とする。そして、選択用スライダ７２の位置を第二モードのままとした状態で主制御部から上下移動機構６に制御信号を送り、上部ユニット４０とミラーユニット３０とを一体に所定の距離だけ下降させる。この距離は、ミラーユニット３０の下端が光源ユニット１０の上端に接触するのに必要な下降距離である。
【００６３】
上部ユニット４０とミラーユニット３０が下降してミラーユニット３０の下端が光源ユニット１０の上端に接触すると、下降が停止する。次に、作業者は、選択用スライダ７２を調節し、第一モードに戻す。この状態で、主制御部から上下移動機構６に制御信号を送り、載置用ストロークＬと同じ距離だけ各上下用直線駆動源６１を動作させる。この結果、四つのユニット１０，３０，４０，５０（ランプハウス１全体）が一体に上昇する。そして、ランプハウス１全体が高さ方向原点に達すると、上昇が停止する。これで、元の状態に復帰したことになる。
【００６４】
上記は光源１１の交換であったが、他のメンテナンスの作業も、上下移動機構６及び退避機構８２を適宜使用して行われる。例えば、上記のように素子ユニット５０及び光源ユニット１０を退避させた場合、ミラーユニット３０の下側の空間が開放される。したがって、作業者がランプハウス１の下に入ってミラー３の反射面の清掃等のメンテナンスを行うことができる。この場合、上部ユニット４０及びミラーユニット３０を一体に上昇させて作業をやり易くすることも可能である。
【００６５】
また、全体を架台８１に載置した後、第一モードから第二モードに変更して上部ユニット４０のみを上昇させると、ミラーユニット３０の上側の空間が開放される。ミラーユニット３０を含む下側ユニット群を任意の位置に退避させて作業を行うと、より作業が容易となる。
【００６６】
さらに、全体を架台８１に載置した後、第一モードから第四モードに変更して上部ユニット４０、ミラーユニット３０及び光源ユニット１０を全体に上昇させると、素子ユニット５０の上側の空間が開放される。このため、照射側光学素子５１，５２の交換等の作業が容易に行える。この場合も、架台８１を任意の位置に退避させて作業を行うと、より作業が容易となる。
【００６７】
上記実施形態では三つのランプハウス１が設けられているが、各上下移動機構６については全く同じ構成となっている。主制御部には、メンテ対象のランプハウス１を指定させる信号が入力されるようになっており、指定されたランプハウス１の上下移動機構６について上述したような各ユニットの上下動が行われる。また、三つ並んだランプハウス１の位置は、Ｘ方向の原点からの距離という形で特定される。架台８１に下側ユニットを載置する際、主制御部からは選択されたランプハウス１の直下の位置に架台８１が位置するよう退避機構８２に対して制御信号が予め送られ、この位置で架台８１が待機する。
【００６８】
尚、架台８１上に載る下側ユニット群の高さが最も高くなるのは、ミラーユニット３０、光源ユニット１０及び素子ユニット５０が載った際の高さであるが、その場合でも、他のランプハウス１の下端（素子ユニット５０の下端）よりも低い高さとなるよう架台８１の高さが選定されている。このため、三つのユニット１０，３０，５０が載った状態で退避動作が行われても、他のランプハウス１にぶつかることはない。
【００６９】
このように実施形態の光照射装置は、光源ユニット１０が架台８１に載置されて退避するので、ランプハウス１の直下位置とは別の位置で光源１１の交換作業を行うことができる。このため、光源１１の交換が容易となる。
また、光源ユニット１０が上部ユニット４０に対して解除可能に連結されており、架台８１への載置の際に光源ユニット１０は上部ユニット４０から切り離された状態となるので、構造が簡略化し、交換位置の選択の自由度も高くなる。本願発明の実施に際しては、光源ユニット１０が上部ユニット４０に解除できない状態で連結されている構造が採用されることもあり得る。例えば、上部ユニット４０が伸縮ダクトを介して排気筒４００に接続されていて、特に分離されない構造であり、この上部ユニット４０に解除できない状態で光源ユニット１０が連結される構造の場合もあり得る。このような場合も、伸縮ダクトを適宜の長さに伸長可能なものにしておけば、特に分離が必要ない場合もある。但し、長く伸長可能な伸縮ダクトの使用は構造が複雑化する欠点があり、また伸縮ダクトの使用は退避位置が限定される欠点もある。上部ユニット４０に対して光源ユニット１０の連結が解除可能な構造は、このような欠点がないため好適である。
【００７０】
また、光源ユニット１０に対するミラーユニット３０の連結を解除した状態で光源ユニット１１を下降させて架台８１に載置することができるので、ミラー３のない状態で光源１１の交換が行える。このため、光源１１の交換作業がより容易となる。
この際、ミラー３に対する光源１１の位置決めを行う位置決めピン１０１及び凹部３０１が設けられているので、ミラー３に対する光源１１の位置決めが精度良く行われる。ミラー３が断面楕円ミラーや断面放物面ミラーである場合、発光部の中心が焦点に位置するよう光源１１は精度良く配置される必要があるが、これが容易に実現される。位置決めピン１０１及び凹部３０１は位置決め部材の一例であるが、この他、リミットスイッチや各種センサを位置決め部材として用いることもできる。
【００７１】
実施形態の装置は素子ユニット５０を備えているが、上記光源ユニット１０の架台８１への載置の際、素子ユニット５０も一緒に下降して架台８１に載るので、構造的に簡略になっている。素子ユニット５０が一緒に下降しない場合、素子ユニット５０との連結を切り離して光源ユニット１０を横に取り出してから下降させるような機構が必要になり構造的に複雑になるが、実施形態ではそのような複雑な機構は不要である。
また、素子ユニット５０を架台８１に載置した際、光源ユニット１０との連結を切り離して光源ユニット１０を上昇させることができるので、素子ユニット５０のメンテナンス作業も容易である。
尚、上記説明から解るように、架台８１は搬送用リニアガイド２２上の任意の位置で停止され得る。この点は、任意の位置で光源１１の交換等のメンテナンス作業が行えることを意味し、作業性が高いことを意味する。
【００７２】
また、実施形態の構造において、素子ユニット５０が架台８１に載置されていない状態で第一モードから他のモードへの切り替えが誤って行われると、素子ユニット５０を含むユニットが落下する事故が生じ得る。これを防止するには、例えば素子ユニット５０の下面にセンサを設け、架台８１に載置された場合に限り第一モードから他のモードへの切り替えを許可するよう選択用スライダ７２にインターロック機構を設けると好適である。
【００７３】
次に、第二の実施形態について説明する。図１５は、第二の実施形態に係る光照射装置の斜視概略図である。第二の実施形態の装置は、退避機構８２の構成が第一の実施形態と異なっている。即ち、第二の実施形態では、退避機構８２は搬送機構２とは別に設けられていて搬送機構２の要素を兼用しないものとして設けられており、搬送用リニアガイド２２と別に設けられた退避用リニアガイド８２２と、退避用リニアガイド８２２に沿って架台８１を移動させる退避用直線駆動源８２１等から構成されている。退避用直線駆動源８２１には、同様にリニアモータが採用され得る。
【００７４】
この実施形態では、退避機構８２が搬送機構２の要素を兼用していないので、構造的には複雑になっているが、その一方でメリットもある。即ち、ステージ２１の位置とは無関係に架台８１を任意の位置に配置することができるというメリットである。
第一の実施形態では、退避機構８２が搬送用リニアガイド２２を兼用しているので、ステージ２１を越えた先に移動することができない。例えばステージ２１がロード位置に位置している場合、退避機構８２は、ロード位置よりもさらに外側（ランプハウス１から離れる側）に架台８１を退避させることはできない。一方、第二の実施形態では、図１５に示すように、退避用リニアガイド８２２にガイドされて架台８１が移動する際、架台８１は、ステージ２１よりも少し高い位置を移動してステージ２１をまたぐことができる。このため、ステージ２１よりもさらに外側に移動することができ、退避位置の選択の自由度が高くなっている。その他の動作及び作用効果については、第二の実施形態は第一の実施形態と同様である。
【００７５】
上述した各実施形態の光照射装置において、各モードの選択は手動で行い、各ユニットの上下動は上下移動機構６により行ったが、各モードの選択も自動機構により行う構成もあり得る。具体的には、選択用スライダ７２に前後移動機構を設け、主制御部からの信号により選択用スライダ７２の位置を自動制御する。前後移動機構には、ボールねじとサーボモータを組み合わせた機構が採用でき、主制御部からは各モードに応じて選択用スライダ７２の停止位置を指定する信号が送られる。前後移動機構は、前述した手動の場合と同じ位置に主制御部からの信号に従って選択用スライダ７２を位置させる。尚、下側ユニット群を架台８１に載置して退避させるために、主制御部にはシーケンスプログラムが実装される。シーケンスプログラムは、例えば選択用スライダ７２を第一モードの位置に位置させた状態で上下移動機構６に対して載置用ストロークの分だけ下降するように制御信号を送り、その後、第三モードに切り替えて上部ユニット４０とミラーユニット３０を所定距離上昇させてから、退避機構８２に動作信号を送るようプログラミングされる。
【００７６】
また、架台８１は、一定の高さの位置で水平方向に移動するように説明したが、架台８１に昇降機構を設けて高さを可変としても良い。例えば、左右の脚部８１１にエアシリンダのような駆動機構を設けて伸縮可能とする構成が考えられる。
尚、第一モードは、ランプハウス１全体が上下動するモードであるが、このモードは、照射距離（光源１１から照射領域までの距離）を調整するために利用されることもある。ランプハウス１全体の上限位置は不図示のストッパで規定されるが、上限より下方の位置で任意の位置のランプハウス１を配置し、照射距離の調整が必要に応じて行われる。このようにランプハウス１全体を上下動させて照射距離を調整する構造であると、ワークＷに対して最適な照射距離を確保するのが容易である。尚、照射距離の調整には、光源ユニット１０及びミラーユニット３０が一体に上下動すれば足り、他のユニットは上下動しなくても良い。
【００７７】
また、上記各実施形態では、複数設けられたランプハウス１のそれぞれに上下移動機構６が設けられており、各上下移動機構６は主制御部からの制御信号により各々独立して動作する。この点は、ランプハウス１の数が多くなっても必要なランプハウス１についてのみ上下移動機構を動作させて所望の下側ユニット群を架台８１に載置してメンテナンスが行えるというメリットがある。
また、複数のランプハウス１について一斉に点検するようなメンテナンスも考えられ、この場合には、複数（少なくとも二つ）のランプハウス１について下側ユニット群を一緒に架台８１に移載できると好適である。具体的には、複数のランプハウス１について、上部ユニット４０を連結する連結フレームを設け、連結フレームを上下動させることで、各ランプハウス１の上部ユニットが各上下リニアガイド６２に沿って上下動するように構成する。各ランプハウス１の下側ユニット群は、各選択機構により選択されて一緒に架台８１の上に載る。架台８１は、各ランプハウス１の下側ユニット群が一度に載るよう、適宜の大きさとされる。
【００７８】
また、上記各実施形態において、上下移動機構６は垂直方向の直線移動機構であったが、光源ユニット１０等が架台８１に載置され得るように下方にシフトするものであれば良く、円弧移動をするものや、水平移動の後に上下方向移動をするものであっても良い。
また、上記各実施時形態では、退避機構８２は、直線駆動原８２１によって架台８１を移動させるものであったが、特に駆動源はなくて手動にて移動させる機構であっても良い。例えば、退避機構は架台８１を移動させるガイドレールのような部材であっても良く、架台８１の各脚部の下端に設けられたキャスターのような機構であっても良い。ガイド部材については、リニアガイドの他、磁気結合によって架台８１の移動をガイドする磁石列等も採用され得る。ガイドは直線的である必要はなく、カーブした経路にガイドしても良い。
尚、退避機構８２による退避の方向は、上下方向に対する横方向であるが、この方向は、搬送方向（Ｘ方向）である必要はなく、これと垂直な水平方向（Ｙ方向）でも良い。また、多少斜め上又は斜め下の方向であっても、ランプハウス１の直下の位置から退避できる限り問題はない。
【００７９】
また、上記各実施形態において、特許第５３４４１０５号公報に開示されているように二つのステージを設け、交互に照射領域を往復させる構成が採用されることもあり得る。即ち、搬送機構２による搬送路の一方の側に設定されたロード位置から一方のステージが照射領域に向かって進み、照射領域を通過した後に反転して一方の側に戻るとともに、他方の側に設定されたロード位置から他方のステージが照射領域に向かって進み、照射領域を通過した後に反転して他方の側に戻る構成が採用されることもある。この場合、架台８１は、各ステージのロード位置よりもさらに外側（照射領域から離れた側）で待機することになる。但し、図１５に示す第二の実施形態の場合、ステージ２１は架台８１の下方を通って移動可能なので、架台８１の待機位置を照射領域とロード位置との間の位置とすることも可能である。
【００８０】
尚、上記各実施形態において、架台８１は単独の構造体としたが、ステージ２１と一体化したもの、又は連結されるものとしてもよい。また、ランプハウス１からの光による照度を測定する測定器や偏光軸の方向を測定する測定器を取り付ける台座に架台８１が兼用されることもある。即ち、これらのうち少なくとも一つの測定器が架台８１に取り付けられ、架台８１を移動して任意のランプハウス１の直下の位置に配置して照度測定及び又は偏光軸の向きの測定が行われることもあり得る。
【００８１】
光照射装置の用途としては、前述した光配向膜を得るための偏光光照射以外にも各種の用途があり得る。例えば、視野角補償フィルムを得るための偏光光照射処理に使用される場合もある。また、紫外線硬化型樹脂を硬化させるために紫外線を照射する用途や、フォトレジストの処理のために光照射する用途があり得る。これらの用途においても、照射領域の大面積化によりランプハウス１が大型化したり複雑化したりした場合、本願発明は好適に利用され得る。
【符号の説明】
【００８２】
１  ランプハウス
１１光源
１０  光源ユニット
１２  光源保持フレーム
２  搬送機構
２１  ステージ
２２  搬送用リニアガイド
２３  搬送用直線駆動源
３  ミラー
３０  ミラーユニット
３１  ミラー保持フレーム
４０  上部ユニット
４３  外カバー
４４  袖板
５０  素子ユニット
５１  照射側光学素子
５２  照射側光学素子
５３  素子保持フレーム
６  上下移動機構
６１  上下用直線駆動源
６２  上下リニアガイド
７  選択機構
７１  ピンブロック
７２  選択用スライダ
７３  第一ピン
７４  第二ピン
７５  第三ピン
８１  架台
８２  退避機構
８２１  退避用直線駆動源
８２２  退避用リニアガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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