(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
親水性ポリマー（Ａ）、及び、金属アルコキシドを原料としたゾルゲル法により合成されたセラミックゲル（Ｂ）を含む有機無機ハイブリッド組成物から形成された、誘電性シートであって、
前記金属アルコキシドが、
Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ，Ｙ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｐｂ、及びＢｉから選ばれる金属原子を含む金属アルコキシド（Ｉ）と、
Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｓｎ、Ｓｂから選ばれる金属原子を含む金属アルコキシド（ＩＩ）とを含む、誘電性シート。
【請求項２】
セラミックゲル（Ｂ）が、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）ゲルを含む、請求項１に記載の誘電性シート。
【請求項３】
親水性ポリマー（Ａ）が、非イオン型親水性ポリマー（Ａ１）を含む、請求項１又は２に記載の誘電性シート。
【請求項４】
親水性ポリマー（Ａ）が、親水性ポリビニル重合体（Ａ１１）を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の誘電性シート。
【請求項５】
親水性ポリマー（Ａ）の含有量が、前記有機無機ハイブリッド組成物の有効成分の全量に対して、５０〜９５質量％である、請求項１〜４のいずれか一項に記載の誘電性シート。
【請求項６】
セラミックゲル（Ｂ）の含有量が、前記有機無機ハイブリッド組成物中の親水性ポリマー（Ａ）１００質量部に対して、５〜１００質量部である、請求項１〜５のいずれか一項に記載の誘電性シート。
【請求項７】
厚さが１〜１０００μｍである、請求項１〜６のいずれか一項に記載の誘電性シート。
【請求項８】
先端部分の直径が１ｍｍのプランジャーを用いて、進入速度０．５ｍｍ／ｓｅｃで、深度１５ｍｍまで押し付けて測定した、クリープ試験による最大荷重が１．２０Ｎ／１ｍｍΦ以上である、請求項１〜７のいずれか一項に記載の誘電性シート。
【請求項９】
周波数１００ＭＨｚにおける誘電正接（ｔａｎδ）が５．０×１０−３以下である、請求項１〜８のいずれか一項に記載の誘電性シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電性シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高周波の電磁波を発信又は受信する高周波デバイスの開発が進んでいる。
例えば、携帯電話、高速無線ＬＡＮ、非接触型ＩＣカードシステム、危険物検知センサー、自動車に組み込まれた衝突回避システム、ＧＰＳ（Global Positioning System）測位システム、産業科学医療用機器等の装置は、１０ＭＨｚ以上の高周波を発信又は受信する高周波デバイスである。【０００３】
このような高周波デバイスは、消費電力が問題の一つとなっている。そのため、高周波デバイスを構成する部材には、消費電力の低減化に寄与するような材料が求められている。
また、消費電力に関する問題は、配線間距離が小さい集積回路を有する装置においても生じる事項であり、集積回路を構成する誘電材料についても、消費電力の低減効果が求められている。【０００４】
例えば、特許文献１には、合成樹脂マトリックス中に、メジアン径１０μｍ以上の粒状無機充填材を含有する誘電性樹脂組成物が開示されている。
特許文献１に記載の誘電性樹脂組成物は、ペレットに成形した後、射出成形機を用いて射出成形したり、スペーサー部に充填して加熱硬化することで、電子部品に加工している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１３６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、高周波デバイスに組み込まれる誘電材料として、厚さが１０００μｍ以下のシート状に成形された誘電性シートが求められる場合がある。
このような誘電性シートは、数μｍの間隙部分に組み込むことや、部品の表面を覆うように積層することができ、適用範囲は広い。【０００７】
特許文献１には、記載された誘電性樹脂組成物をシート状物に成形する旨の記載はない。
また、一般的に、シート状物である誘電性シートは、樹脂組成物を剥離材上に塗布して塗膜を形成した後、当該塗膜を加熱乾燥して製造される。
ところが、本発明者らの検討によれば、特許文献１に記載されたような、合成樹脂マトリックス中に粒状の無機充填材を含有する樹脂組成物を用いて、上記の方法で誘電性シートを製造した場合、得られる誘電性シートの内部には、粒状の無機充填材の存在に起因した空隙が多数生じてしまうことが分かった。
内部に空隙を有する誘電性シートは、膜強度が劣り、高周波デバイス等に組み込む際に加えられた応力によって、破断し易い。
また、このような誘電性シートは、誘電正接の値も高くなり易く、消費電力の点でも問題を有する。【０００８】
本発明は、優れた膜強度を有すると共に、高周波領域において誘電正接が低いため、搭載される装置の消費電力の低減化に寄与し得る、誘電性シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、親水性ポリマー、及び、金属アルコキシドを原料としたゾルゲル法によって合成されたセラミックゲルを含む有機無機ハイブリッド組成物から形成した誘電性シートが、上記課題を解決し得ることを見出した。【００１０】
すなわち、本発明は、下記［１］〜［１０］を提供する。
［１］親水性ポリマー（Ａ）、及び、金属アルコキシドを原料としたゾルゲル法により合成されたセラミックゲル（Ｂ）を含む有機無機ハイブリッド組成物から形成された、誘電性シート。
［２］前記金属アルコキシドが、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｐｂ、及びＢｉから選ばれる金属原子を含む金属アルコキシド（Ｉ）と、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｓｎ、Ｓｂから選ばれる金属原子を含む金属アルコキシド（II）とを含む、上記［１］に記載の誘電性シート。
［３］セラミックゲル（Ｂ）が、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）ゲルを含む、上記［１］又は［２］に記載の誘電性シート。
［４］親水性ポリマー（Ａ）が、非イオン型親水性ポリマー（Ａ１）を含む、上記［１］〜［３］のいずれか一項に記載の誘電性シート。
［５］親水性ポリマー（Ａ）が、親水性ポリビニル重合体（Ａ１１）を含む、上記［１］〜［４］のいずれか一項に記載の誘電性シート。
［６］親水性ポリマー（Ａ）の含有量が、前記有機無機ハイブリッド組成物の有効成分の全量に対して、５０〜９５質量％である、上記［１］〜［５］のいずれか一項に記載の誘電性シート。
［７］セラミックゲル（Ｂ）の含有量が、前記有機無機ハイブリッド組成物中の親水性ポリマー（Ａ）１００質量部に対して、５〜１００質量部である、上記［１］〜［６］のいずれか一項に記載の誘電性シート。
［８］厚さが１〜１０００μｍである、上記［１］〜［７］のいずれか一項に記載の誘電性シート。
［９］先端部分の直径が１ｍｍのプランジャーを用いて、進入速度０．５ｍｍ／ｓｅｃで、深度１５ｍｍまで押し付けて測定した、クリープ試験による最大荷重が１．２０Ｎ／１ｍｍΦ以上である、上記［１］〜［８］のいずれか一項に記載の誘電性シート。
［１０］周波数１００ＭＨｚにおける誘電正接（ｔａｎδ）が５．０×１０−３以下である、上記［１］〜［９］のいずれか一項に記載の誘電性シート。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の誘電性シートは、優れた膜強度を有すると共に、高周波領域において誘電正接が低いため、搭載される装置の消費電力の低減化に寄与し得る。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
〔誘電性シート〕
本発明の誘電性シートは、親水性ポリマー（Ａ）、及び、金属アルコキシドを原料としたゾルゲル法により合成されたセラミックゲル（Ｂ）を含む有機無機ハイブリッド組成物から形成されたシート状物である。
ところで、金属アルコキシドを原料としたゾルゲル法により合成されたセラミックゲル（Ｂ）の粒子は、結晶相からなるコア層を取り囲むようにアモルファスが存在するコア・シェル構造を取るものと考えられる。
そして、本発明の誘電性シートは、親水性ポリマー（Ａ）とセラミックゲル（Ｂ）とがナノメートルサイズで分散したナノ構造体として形成されるが、セラミックゲル（Ｂ）のアモルファス部分が、複数の粒子同士で連結し合い、セラミックゲル（Ｂ）による三次元網目構造が形成されるものと推測される。
【００１３】
なお、上述の特許文献１に記載されたような、合成樹脂マトリックス中に粒状の無機充填材を含有する樹脂組成物を用いてシート状物を形成した場合、当該樹脂組成物からなる塗膜の乾燥過程で、複数の無機充填材の間に存在する気泡が膨張して、得られる誘電性シートの内部に多数の空隙が生じてしまう傾向にある。
当該樹脂組成物からなるペレットを用いて射出成形で得た成形品や、スペーサー部に樹脂組成物を充填して加熱硬化して得た成形品であれば、厚さが数ｍｍであるため、内部に生じ得る空隙の影響は小さい。
しかしながら、厚さが１０００μｍ以下である誘電性シートにおいては、この空隙の存在によって、無機充填材の添加による誘電特性の向上があまり見られないだけでなく、膜強度の低下も生じ得る。
膜強度の低下は、高周波デバイス等に組み込む際に加えられた応力によって、誘電性シートの破断が生じ易く、作業性の低下を引き起こす。
【００１４】
一方で、本発明では、セラミックゲル（Ｂ）を用いているために、粒状の無機充填材を用いた場合と異なり、上述の空隙の発生を抑制し得るため、得られる誘電性シートの膜強度を高く調整することが可能である。
【００１５】
本発明の一態様の誘電性シートにおいて、先端部分の直径が１ｍｍのプランジャーを用いて、進入速度０．５ｍｍ／ｓｅｃで、深度１５ｍｍまで押し付けて測定した、クリープ試験による最大荷重が、好ましくは１．２０Ｎ／１ｍｍΦ以上、より好ましくは１．４０Ｎ／１ｍｍΦ以上、更に好ましくは１．６０Ｎ／１ｍｍΦ以上、より更に好ましくは１．８０Ｎ／１ｍｍΦ以上であり、また、通常、１００Ｎ／１ｍｍΦ以下である。
当該最大荷重が１．２０Ｎ／１ｍｍΦ以上の誘電性シートであれば、膜強度が十分高く、高周波デバイス等に当該誘電性シートを組み込む際に、加えられた応力によって、誘電性シートが破断するといった弊害を抑制し得る。
なお、本明細書において、上記のクリープ試験による最大荷重は、実施例に記載の方法により測定した値を意味する。
【００１６】
また、セラミックゲル（Ｂ）は、親水性ポリマー（Ａ）との相溶性が優れているため、セラミックゲル（Ｂ）のアモルファス部分が複数の粒子同士で連結し合い、三次元網目構造が形成されるため、誘電特性に優れたものとなり得ると推測される。
そのため、本発明の誘電性シートは、高周波領域において、比誘電率が高く、且つ誘電正接が低くなると考えられる。
なお、本明細書において、「高周波領域」とは、波長が通常１０ＭＨｚ以上（好ましくは５０ＭＨｚ以上、より好ましくは１００ＭＨｚ以上）の領域を意味する。
【００１７】
ところで、一般的に、消費電力の大小は、伝播信号の減衰の程度を示す減衰定数ａの値を指標とすることができ、減衰定数ａが小さい誘電性シートほど、消費電力の低減効果に優れているといえる。
そして、減衰定数ａは、下記式（ｉ）に示すように、周波数ｆ、比誘電率ε’、及び誘電正接ｔａｎδと関連することが知られている。
【００１８】
【数１】
0006594593.tif 000002
（上記式（ｉ）において、ａは減衰定数、ｆは周波数、ε’は比誘電率、ｔａｎδは誘電正接、Ｃは真空中の光速（＝299792458ｍ／ｓ）を表す。）
【００１９】
上記式（ｉ）からも判るとおり、例えば、静電容量方式タッチパネル等の低周波デバイスにおいては、ｆが小さいため、減衰定数ａはあまり大きくならず、消費電力が問題となる場合はあまり無い。
一方で、高周波デバイスにおいては、ｆが大きいために、減衰定数ａが大きくなり、消費電力の上昇が問題となる。ここで、上記式（ｉ）によれば、減衰定数ａは、特に誘電正接ｔａｎδの値に対する依存度が大きいと考えられる。そのため、減衰定数ａを小さくするためには、誘電正接ｔａｎδを小さくする必要がある。
本発明の誘電性シートは、高周波領域においても誘電正接が低いため、上記式（ｉ）から算出される減衰定数ａの値が小さくなり、消費電力が低減されると考えられる。
【００２０】
本発明の一態様の誘電性シートにおいて、周波数１００ＭＨｚにおける誘電正接（ｔａｎδ）としては、好ましくは５．０×１０−３以下、より好ましくは１．０×１０−３以下、更に好ましくは８．０×１０−４以下、より更に好ましくは６．０×１０−４以下であり、また、通常、１．０×１０−７以上である。
前記誘電正接（ｔａｎδ）が５．０×１０−３以下であれば、高周波デバイスや配線間距離が小さい配電板を備える装置の部材の固定に用いた際に、これらの装置の消費電力の抑制効果が高い。
【００２１】
なお、本発明の一態様の誘電性シートにおいて、周波数１００ＭＨｚにおける比誘電率としては、好ましくは１．５０〜３．２０、より好ましくは１．６０〜３．１０、更に好ましくは１．７０〜３．００である。
比誘電率が１．５０以上であれば、高周波デバイスに適用した際に、電波を効率良く発信及び受信できる。
一方、比誘電率が３．２０以下であれば、誘電正接をより小さくし、高周波デバイスや配線間距離が小さい配電板を備える装置の部材の固定に用いた際に、これらの装置の消費電力を効果的に低減させることができる。また、電磁波を受信する装置の小型化にも寄与する。さらに、配線間距離が小さい半導体集積回路に用いた場合、交流電流を流した際のリーク（漏電）を防止することもできる。
【００２２】
なお、本明細書において、誘電性シートの周波数１００ＭＨｚにおける比誘電率及び誘電正接（ｔａｎδ）は、実施例に記載の方法により、測定した値を意味する。
【００２３】
なお、本発明の一態様の誘電性シートの厚さとしては、好ましくは１〜１０００μｍ、より好ましくは５〜５００μｍ、更に好ましくは１０〜３００μｍ、より更に好ましくは１５〜１５０μｍである。
本発明の誘電性シートは、上記範囲のように厚さを薄くしても、膜強度が高いため、高周波デバイス等に当該誘電性シートを組み込む際に、加えられた応力によって、誘電性シートが破断するといった弊害を抑制し得る。
【００２４】
本発明の誘電性シートの形成材料である有機無機ハイブリッド組成物は、上述の成分（Ａ）及び（Ｂ）を含有するものであるが、本発明の効果を損なわない範囲で、更に成分（Ａ）及び（Ｂ）以外の他の添加剤を含有してもよい。
ただし、本発明の一態様において、成分（Ａ）及び（Ｂ）の合計含有量は、有機無機ハイブリッド組成物の有効成分の全量（１００質量％）に対して、好ましくは７０〜１００質量％、より好ましくは８０〜１００質量％、更に好ましくは９０〜１００質量％、より更に好ましくは９５〜１００質量％である。
なお、本明細書において、有効成分とは、有機無機ハイブリッド組成物中に含まれる成分から、誘電性シートの作製過程で蒸発除去される水や有機溶媒等の溶媒を除いた液体成分、並びに、常温で固形である成分を指す。
以下、有機無機ハイブリッド組成物に含まれる各成分について説明する。
【００２５】
［親水性ポリマー（Ａ）］
本発明で用いる親水性ポリマー（Ａ）としては、少なくとも水に溶解可能であり、親水基を有する重合体であればよいが、セラミックゲル（Ｂ）との相溶性を良好とし、誘電特性をより向上させた誘電性シートとする観点から、非イオン型親水性ポリマー（Ａ１）を含むことが好ましい。
【００２６】
非イオン型親水性ポリマー（Ａ１）としては、例えば、セルロース誘導体、親水性ポリビニル重合体、ポリアルキレングリコール、ポリアルキレングリコールエステル、ポリアルキレングリコールエーテル等が挙げられる。これらの中では、セルロース誘導体、及び親水性ポリビニル重合体から選ばれる１種以上が好ましい。
前記セルロース誘導体としては、例えば、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、カルボキシメチルセルロース等が挙げられる。
これらの非イオン型親水性ポリマー（Ａ１）は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００２７】
本発明の一態様において、非イオン型親水性ポリマー（Ａ１）の含有量は、有機無機ハイブリッド組成物中に含まれる成分（Ａ）の全量（１００質量％）に対して、好ましくは７０〜１００質量％、より好ましくは８０〜１００質量％、更に好ましくは９０〜１００質量％、より更に好ましくは９５〜１００質量％である。
【００２８】
さらに、セラミックゲル（Ｂ）との相溶性を良好とし、誘電特性をより向上させた誘電性シートとする観点から、本発明の一態様で用いる親水性ポリマー（Ａ）としては、親水性ポリビニル重合体（Ａ１１）を含むことがより好ましい。
親水性ポリビニル重合体（Ａ１１）は、−ＣＨ２ＣＨ（Ｒ）−で表される構成単位（ただし、Ｒは、水酸基、カルボキシル基、ピロリドン基、アミド基等の親水基を有する有機基）を有するもので、水溶性を示す重合体を意味する。
本発明で用いる水溶性ポリビニル重合体は、上記構成単位のみを含む単独重合体であってもよく、他の構成単位も含む共重合体であってもよい。
【００２９】
親水性ポリビニル重合体（Ａ１１）としては、水酸基含有ポリビニル重合体、カルボキシル基含有ポリビニル重合体、ピロリドン基含有ポリビニル重合体、アミド基含有ポリビニル重合体等が挙げられ、ピロリドン基含有ポリビニル重合体が好ましい。
なお、これらの親水性ポリビニル重合体（Ａ１１）は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００３０】
水酸基含有ポリビニル重合体としては、例えば、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ビニルアルコール−エチレン共重合体、ビニルアルコール−（Ｎ−ビニルホルムアミド）共重合体、ビニルアルコール−酢酸ビニル共重合体等が挙げられる。
カルボキシル基含有ポリビニル重合体としては、例えば、ポリアクリル酸（ＰＡＡ）、ポリメタクリル酸（ＰＭＡ）等が挙げられる。
ピロリドン基含有ポリビニル重合体としては、例えば、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン−エチレン共重合体、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン−酢酸ビニル共重合体等が挙げられる。
アミド基含有水溶性ポリビニル共重合体としては、例えば、ポリアクリルアミド等が挙げられる。
【００３１】
親水性ポリビニル重合体（Ａ１１）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは１０００〜２００万、より好ましくは１万〜１８０万、更に好ましくは１０万〜１５０万、より更に好ましくは５０万〜１３０万である。
なお、本発明において、質量平均分子量（Ｍｗ）の値は、ゲルパーミエイションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定された標準ポリスチレン換算の値である。
【００３２】
本発明の一態様において、親水性ポリビニル重合体（Ａ１１）の含有量は、有機無機ハイブリッド組成物中に含まれる成分（Ａ）の全量（１００質量％）に対して、好ましくは７０〜１００質量％、より好ましくは８０〜１００質量％、更に好ましくは９０〜１００質量％、より更に好ましくは９５〜１００質量％である。
【００３３】
本発明の一態様において、親水性ポリマー（Ａ）の含有量は、有機無機ハイブリッド組成物の有効成分の全量（１００質量％）に対して、好ましくは５０〜９５質量％、より好ましくは５５〜９２質量％、更に好ましくは６０〜９０質量％、より更に好ましくは６３〜８５質量％である。
【００３４】
［セラミックゲル（Ｂ）］
本発明で用いるセラミックゲル（Ｂ）は、金属アルコキシドを原料としたゾルゲル法により合成されたものである。
上述のとおり、ゾルゲル法により合成されたセラミックゲル（Ｂ）は、複数の粒子のアモルファス部分が互いに連結し合い、三次元網目構造を形成することで、誘電性シートの誘電特性の向上に寄与しているものと推測される。
なお、ゾルゲル法により合成されたセラミックゲル（Ｂ）は、上述のとおり、特殊なコア・シェル構造を有しているものと推測されるが、特に、コア部の結晶相とシェル部のアモルファス部分との分布の態様や、結合形態等の構造を一義的に特定することは困難であり、特定することは非現実的である。
そのため、本発明においては、セラミックゲル（Ｂ）の特定を、「ゾルゲル法」という製法で規定している。
【００３５】
セラミックゲル（Ｂ）の原料として用いる金属アルコキシドとしては、Ｍ（ＯＲ）ｐで表される化合物（Ｍ：金属原子、Ｒ：有機基、ｐ：Ｍの価数）であればよい。
Ｍとして選択し得る金属原子としては、例えば、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｐｂ、Ｂｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｓｎ、Ｓｂ等が挙げられる。
Ｒとして選択し得る有機基としては、炭素数１〜４のアルキル基が好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基等が挙げられる。
【００３６】
本発明の一態様において、誘電特性をより向上させた誘電性シートとする観点から、前記金属アルコキシドが、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ，Ｙ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｐｂ、及びＢｉから選ばれる金属原子を含む金属アルコキシド（Ｉ）と、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｓｎ、Ｓｂから選ばれる金属原子を含む金属アルコキシド（II）とを含むことが好ましい。
【００３７】
金属アルコキシド（Ｉ）としては、バリウムアルコキシド（Ｂａ（ＯＲ）２）が好ましく、金属アルコキシド（II）としては、チタンアルコキシド（Ｔｉ（ＯＲ）４）が好ましい。
【００３８】
金属アルコキシド（Ｉ）と金属アルコキシド（II）との配合量比〔（Ｉ）／（II）〕としては、モル比で、好ましくは０．８０〜１．２０、より好ましくは０．８５〜１．１５、更に好ましくは０．９０〜１．１０である。
【００３９】
セラミックゲル（Ｂ）のゾルゲル法による合成方法としては、下記工程（ｉ）〜（ii）を有する方法が好ましい。
・工程（ｉ）：不活性ガス雰囲気下、有機溶媒中に、原料である金属アルコキシドを添加する工程。
・工程（ii）：反応容器内に加水分解剤を加え、金属アルコキシドの加水分解反応を進行させる工程。
【００４０】
（工程（ｉ））
工程（ｉ）で使用する有機溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、２−メトキシエタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール等のアルコール類；メチルエチルケトン、アセトン等のケトン類；等が挙げられる。
有機溶媒は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
これらの中でも、有機溶媒としては、アルコール類が好ましく、メタノールと２−メトキシエタノールとの混合溶媒がより好ましい。
【００４１】
工程（ｉ）で使用する不活性ガスとしては、例えば、窒素、アルゴン等が挙げられる。
また、工程（ｉ）において、有機溶媒中に金属アルコキシドを添加した後、０〜９０℃で、２４〜１２０時間撹拌することが好ましい。
【００４２】
（工程（ii））
工程（ii）で使用する加水分解剤としては、水が好ましいが、例えば、無機酸、有機酸、水酸化物、有機アミン類等の酸又はアルカリの水溶液を用いてもよい。
工程（ii）において、加水分解剤の配合量としては、金属アルコキシドの全量１モルに対して、好ましくは２〜２０モル、より好ましくは４〜１５モル、更に好ましくは６〜１２モルである。
また、工程（ii）で加水分解剤を配合する際の温度条件としては、好ましくは−３０〜０℃、より好ましくは−２０〜０℃、更に好ましくは−１０〜０℃である。
【００４３】
なお、加水分解剤を配合後、エージング処理を行うことが好ましい。エージング処理を行うことで、ゲル中の前駆体組成に対応した結晶性物質の結晶相とアモルファスを含むゲルに調製し易くなる。
エージング処理の条件としては、０〜６０℃で、１〜４８０時間行うことが好ましい。
エージング処理後、容器に超音波をかけて、セラミックゲル（Ｂ）を均一に分散させた溶液に調製することが好ましい。
【００４４】
なお、本発明の一態様で用いるセラミックゲル（Ｂ）が、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）ゲルを含むことがより好ましい。
チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）ゲルは、金属アルコキシド（Ｉ）として、バリウムアルコキシド（Ｂａ（ＯＲ）２）を用い、金属アルコキシド（II）として、チタンアルコキシド（Ｔｉ（ＯＲ）４）を用いて、上記の合成方法によって得ることができる。
【００４５】
本発明の一態様において、セラミックゲル（Ｂ）の全量１００質量％中のチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）ゲルの含有割合としては、好ましくは７０〜１００質量％、より好ましくは８０〜１００質量％、更に好ましくは９０〜１００質量％、より更に好ましくは９５〜１００質量％である。
【００４６】
本発明の一態様において、有機無機ハイブリッド組成物中の親水性ポリマー（Ａ）１００質量部に対する、セラミックゲル（Ｂ）の含有量としては、誘電特性の向上の観点から、好ましくは５質量部以上、より好ましくは１０質量部以上、更に好ましくは１５質量部以上、より更に好ましくは２０質量部以上であり、また、膜強度の向上の観点から、好ましくは１００質量部以下、より好ましくは８０質量部以下、更に好ましくは７０質量部以下、より更に好ましくは６０質量部以下である。
【００４７】
また、本発明の一態様において、有機無機ハイブリッド組成物中のセラミックゲル（Ｂ）の含有量としては、有機無機ハイブリッド組成物の有効成分の全量（１００質量％）に対して、好ましくは３〜５０質量％、より好ましくは５〜４５質量％、更に好ましくは１０〜４０質量％、より更に好ましくは１５〜３７質量％である。
【００４８】
［他の添加剤］
本発明の一態様で用いる有機無機ハイブリッド組成物には、本発明の効果を損なわない範囲で、上記成分（Ａ）及び（Ｂ）以外の他の添加剤を含有してもよい。
成分（Ａ）及び（Ｂ）以外の他の添加剤としては、例えば、成分（Ａ）以外の樹脂成分、硬化剤、酸化防止剤、光安定剤、難燃剤、可塑剤、着色剤、防菌剤、防錆剤等が挙げられる。
これらの他の添加剤のそれぞれの含有量は、有機無機ハイブリッド組成物の全量に対して、好ましくは０〜２０質量％、より好ましくは０〜１０質量％、更に好ましくは０〜５質量％、より更に好ましくは０〜２質量％である。
【００４９】
［溶媒］
本発明の一態様で用いる有機無機ハイブリッド組成物には、さらに溶媒を含み、溶液の形態としてもよい。
有機無機ハイブリッド組成物に含まれる溶媒としては、セラミックゲル（Ｂ）の合成時に使用した溶媒（水やアルコール類、ケトン類等）や、成分（Ｂ）を溶解させている溶媒をそのまま用いてもよく、新たに添加してもよい。
【００５０】
具体的な溶媒としては、水や上述のアルコール類及びケトン類以外に、例えば、酢酸エチル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、シクロヘキサン、ｎ−ヘキサン、トルエン、キシレン、等が挙げられる。
これらの溶媒は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００５１】
なお、本発明の一態様で用いる有機無機ハイブリッド組成物を溶液の形態とした際、当該溶液の有効成分濃度としては、好ましくは３〜５０質量％、より好ましくは５〜４０質量％、更に好ましくは１０〜３０質量％である。
【００５２】
〔誘電性シートの製造方法〕
本発明の誘電性シートの製造方法としては、下記工程（１）〜（２）を有することが好ましい。
・工程（１）：金属アルコキシドを原料としてゾルゲル法により合成したセラミックゲル（Ｂ）に、親水性ポリマー（Ａ）を配合し、有機無機ハイブリッド組成物を調製する工程。
・工程（２）：剥離材の表面上に、前記有機無機ハイブリッド組成物を塗布して塗膜を形成し、当該塗膜を乾燥して、誘電性シートを形成する工程。
【００５３】
＜工程（１）＞
工程（１）では、上述のゾルゲル法により合成したセラミックゲル（Ｂ）に、親水性ポリマー（Ａ）を配合し、有機無機ハイブリッド組成物を調製する。
本工程においては、成分（Ａ）及び（Ｂ）以外の他の添加剤も配合してもよい。
また、本工程では、セラミックゲル（Ｂ）の合成時に使用した溶媒（水や上述のアルコール類及びケトン類）が残存するセラミックゲル（Ｂ）の溶液に、親水性ポリマー（Ａ）を配合することが好ましい。
また、親水性ポリマー（Ａ）を水に溶解させた溶液の形態で、配合することが好ましい。
【００５４】
＜工程（２）＞
工程（２）では、剥離材の表面上に、前記有機無機ハイブリッド組成物を塗布して塗膜を形成し、当該塗膜を乾燥して、誘電性シートを形成する。
なお、本発明の誘電性シートの製造方法においては、焼結工程を経る必要は無い。
【００５５】
コーティング溶液の塗布方法としては、例えば、スピンコート法、スプレーコート法、バーコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法等が挙げられる。
【００５６】
形成した塗膜の乾燥する際の温度条件としては、好ましくは７０〜１７０℃、より好ましくは８０〜１５０℃、更に好ましくは９０〜１２０℃である。
また、乾燥時間としては、好ましくは６秒〜１０分、より好ましく１〜５分である。
【００５７】
〔誘電性シートの用途〕
本発明の誘電性シートは、例えば、１０ＭＨｚ以上の高周波数の電磁波を発信又は受信する装置の部材や、配線間距離が３μｍ以下の集積回路を有する装置の部材に用いることで、これらの装置の消費電力の低減化に有効である。
また、本発明の誘電性シートは、優れた膜強度を有するため、当該誘電性シートをこれらの装置に組み込む際に、シートの破断が生じ難く、作業性の面での利点もある。
【００５８】
なお、本発明の誘電性シートの少なくとも一方の表面に粘着剤層を有する積層体として、上記の装置に組み込まれてもよい。
当該粘着剤層を構成する粘着剤としては、誘電性シートの用途に応じて適宜選択されるが、例えば、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤等が挙げられる。
また、当該粘着剤層の厚さとしては、好ましくは１〜２００μｍ、より好ましくは５〜１５０μｍ、更に好ましくは１０〜１００μｍである。
【００５９】
本発明において、１０ＭＨｚ以上の周波数の電磁波を発信又は受信する装置としては、例えば、携帯電話、高速無線ＬＡＮ、非接触型ＩＣカードシステム、危険物検知センサー、自動車に組み込まれた衝突回避システム、ＧＰＳ（Global Positioning System）測位システム、産業科学医療用機器等が挙げられる。
また、集積回路を有する装置において、本発明の誘電性シートは、カバーレイとしての機能を有し、消費電力の低減化と共に、配線間のリーク（漏電）も防止し得る。
【実施例】
【００６０】
実施例１
（１）セラミックゲル溶液の調製
窒素雰囲気下の反応容器内に、メタノール／２−メトキシエタノール＝１／１（モル比）の混合溶媒を加え、さらに、バリウムエトキシド／チタンテトライソプロポキシド＝１／１（モル比）にて配合して溶解させた。そして、窒素雰囲気下で、３０℃にて、７２時間撹拌した。
撹拌後、０℃まで冷却し、反応容器内にバリウムエトキシド１モルに対して、水を１８モル噴霧し、３０℃で１週間静置した。
そして、反応容器内の溶媒の一部を適宜除去し、有効成分濃度１７質量％のチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）ゲルの溶液を得た。【００６１】
（２）有機無機ハイブリッド組成物の溶液の調製
ポリビニルピロリドン（第一工業製薬株式会社製、製品名「ピッツコールＫ−９０」、Ｍｗ＝１２０万）１００質量部（有効成分）を、水１０００質量部で希釈した溶液に、上記（１）で調製したチタン酸バリウムゲルの溶液を、有効成分換算で４６．７質量部配合した。
そして、溶液を十分に撹拌して、有効成分濃度１０．７質量％の有機無機ハイブリッド組成物（ｉ）の溶液を得た。【００６２】
（３）誘電性シートの作製
剥離フィルム（リンテック株式会社製、製品名「ＳＰ−ＰＥＴ３８１０３１」）の面上に、上記（２）で調製した有機無機ハイブリッド組成物（ｉ）の溶液を、アプリケーターを用いて塗布し塗膜を形成し、当該塗膜を１００℃で３分間加熱した。加熱後、剥離フィルム上に、厚さ３０．０μｍの誘電性シートを形成した。【００６３】
実施例２
実施例１の有機無機ハイブリッド組成物の溶液の調製において、チタン酸バリウムゲルの溶液の配合量を、ポリビニルピロリドン１００質量部（有効成分）に対して、２３．４質量部（有効成分比）とした以外は、実施例１と同様にして、有効成分濃度１０．０質量％の有機無機ハイブリッド組成物（ii）の溶液を得た。
そして、有機無機ハイブリッド組成物（ii）の溶液を用いて、実施例１と同様にし、剥離フィルム上に、厚さ３０μｍの誘電性シートを形成した。【００６４】
比較例１
実施例１の有機無機ハイブリッド組成物の溶液の調製において、チタン酸バリウムゲルの溶液を配合せずに、上記ポリビニルピロリドン１００質量部（有効成分）を水１０００質量部で希釈した有効成分濃度９．１質量％の溶液を、有機無機ハイブリッド組成物（iii）の溶液とした。
そして、有機無機ハイブリッド組成物（iii）の溶液を用いて、実施例１と同様にし、剥離フィルム上に、厚さ３０μｍの誘電性シートを形成した。【００６５】
比較例２
実施例１の有機無機ハイブリッド組成物の溶液の調製において、チタン酸バリウムゲルの溶液に代えて、チタン酸バリウムフィラー（和光純薬工業株式会社製）を、ポリビニルピロリドン１００質量部に対して、４３．０質量部（有効成分比）配合した以外は、実施例１と同様にして、有効成分濃度１２．５質量％の有機無機ハイブリッド組成物（iv）の溶液を得た。
そして、有機無機ハイブリッド組成物（iv）の溶液を用いて、実施例１と同様にし、剥離フィルム上に、厚さ３０μｍの誘電性シートを形成した。【００６６】
作製した誘電性シートを用いて、下記の測定を行った。これらの結果を表１に示す。【００６７】
（１）比誘電率及び誘電正接（ｔａｎδ）の測定
実施例及び比較例で作製した誘電性シートから剥離フィルムを除去し、マテリアルアナライザ（アジレントテクノロジー社製、製品名「ＲＦインピーダンス／マテリアルアナライザ  Ｅ４９９１Ａ」）に誘導体テスト・フィクスチャ（アジレントテクノロジー社製、製品名「Ａｇｉｌｅｎｔ  １６４５３Ａ」）を接続して、２３℃、５０％ＲＨ（相対湿度）の環境下で、周波数１００ＭＨｚにおける誘電性シートの比誘電率ε’及び誘電損失ε”を測定した。
そして、１００ＭＨｚにおける誘電損失ε”と比誘電率ε’との比〔ε”／ε’〕を誘電正接（ｔａｎδ）として算出した。【００６８】
（２）クリープ試験による最大荷重の測定
実施例及び比較例で作製した誘電性シートを５０ｍｍ×５０ｍｍに切断し、剥離フィルムを除去したものを、中心に直径１ｃｍの中空部分を有する中空円柱の治具の上底面に、中空部分の直径１ｃｍの穴を塞ぐように載置した上で固定し、試験サンプルを作製した。
そして、下記の装置のクリープ試験モードの圧縮試験により、治具の中空部分を塞いでいる誘電性シートの表面に対して、プランジャーを押し付け、下記測定条件下での最大荷重（単位：Ｎ／１ｍｍΦ）を算出した。
なお、最大荷重は３回測定し、その平均値を測定対象となる誘電性シートのクリープ試験による最大荷重とした。
・測定装置：株式会社ヤマデン製、製品名「クリープメーターＲＥ２−３３０５Ｃ  ＹＡＭＡＤＥＮ」
・プランジャーサイズ：先端部分の直径１ｍｍ
・ブランジャーの進入速度：０．５ｍｍ／ｓｅｃ
・深度：１５ｍｍ【００６９】
【表１】
0006594593.tif 000003
【００７０】
実施例１及び２で作製した誘電性シートは、誘電特性が良好であると共に、クリープ試験による最大荷重の値が高く、優れた膜強度を有する結果となった。
一方、比較例１で作製した誘電性シートは、実施例の誘電性シートと比べて、誘電正接が高いため、消費電力の点で問題がある。
また、比較例２で作製した誘電性シートは、誘電正接が高いため、消費電力の点で問題を有するだけでなく、クリープ試験による最大荷重の値が小さく、膜強度が劣る結果となった。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明の誘電性シートは、例えば、前述した１０ＭＨｚ以上の高周波数の電磁波を発信又は受信する装置等の部材に用いることができ、当該装置の消費電力の低減化に有効である。また、前述のとおり、配線間距離が３μｍ以下の集積回路等を有する装置の部材に好適に用いることができ、当該装置において、本発明の誘電性シートは、カバーレイとしての機能を有し、消費電力の低減化と共に、配線間のリーク（漏電）も防止し得る。