(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンドルと一体的に回転駆動されるチャック本体、周方向に間隔をおいて配設され且つ径方向に移動自在に前記チャック本体に支持された複数の第１爪部材、前記複数の第１爪部材の間に配設され且つ前記径方向に移動自在に前記チャック本体に支持された複数の第２爪部材を備えたチャック装置を用いて薄肉ワークをチャッキングする薄肉ワークのチャッキング方法であって、
前記複数の第１爪部材を前記径方向に移動させるための第１シリンダ機構を設けるとともに、前記複数の第２爪部材を前記径方向に移動させるための第２シリンダ機構を設け、更に、第１圧力の圧力流体を供給するための第１流体圧回路機構と、前記第１圧力よりも低い第２圧力の圧力流体を供給するための第２流体圧回路機構とを設け、
薄肉ワークを保持するときには、前記第２流体圧回路機構からの圧力流体を前記第２シリンダ機構に供給し、前記第２シリンダ機構によって前記複数の第２爪部材を前記径方向内方に移動させて前記薄肉ワークを位置決めし、次いで、前記第２流体圧回路機構からの圧力流体を前記第２シリンダ機構に供給した状態において、前記第１流体圧回路機構からの圧力流体を前記第１シリンダ機構に供給し、前記第１シリンダ機構によって前記複数の第１爪部材を前記径方向内方に移動させて前記薄肉ワークを挟持保持し、その後前記第１流体圧回路機構からの圧力流体を前記第２シリンダ機構に供給し、前記第１流体圧回路機構からの圧力流体を前記複数の第２爪部材及び前記複数の第１爪部材に作用させて前記薄肉ワークを挟持保持することを特徴とする薄肉ワークのチャッキング方法。
【請求項２】
前記複数の第１爪部材の挟持保持面は、前記薄肉ワークの外形形状に対応して円弧状に延びており、それらの挟持保持面の一部には、円弧状方向に延びる保持圧力逃し凹部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の薄肉ワークのチャッキング方法。
【請求項３】
前記複数の第２爪部材の位置決め面は、前記薄肉ワークの外形形状に対応して円弧状に延びており、それらの位置決め面の一部には、円弧状方向に延びる位置決め圧力逃し凹部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の薄肉ワークのチャッキング方法。
【請求項４】
スピンドルと一体的に回転駆動されるチャック本体、周方向に間隔をおいて配設され且つ径方向に移動自在に前記チャック本体に支持された複数の第１爪部材、前記複数の第１爪部材の間に配設され且つ前記径方向に移動自在に前記チャック本体に支持された複数の第２爪部材を備えたチャック装置を用いて薄肉ワークをチャッキングする薄肉ワークのチャッキング方法であって、
前記複数の第１爪部材を前記径方向に移動させるための第１シリンダ機構を設けるとともに、前記複数の第２爪部材を前記径方向に移動させるための第２シリンダ機構を設け、前記第１シリンダ機構に第１圧力の圧力流体を供給するように構成し、また前記第２シリンダ機構に前記第１圧力の圧力流体及び前記第１圧力よりも低い第２圧力の圧力流体を供給するように構成し、
薄肉ワークを保持するときには、前記第２圧力の圧力流体を前記第２シリンダ機構に供給し、前記第２シリンダ機構によって前記複数の第２爪部材を前記径方向内方に移動させて前記薄肉ワークを位置決めし、次いで、前記第２圧力の圧力流体を前記第２シリンダ機構に供給した状態において、前記第１圧力の圧力流体を前記第１シリンダ機構に供給し、前記第１シリンダ機構によって前記複数の第１爪部材を前記径方向内方に移動させて前記薄肉ワークを挟持保持し、その後、前記第１圧力の圧力流体を前記第２シリンダ機構に供給し、前記第１圧力の圧力流体を前記複数の第２爪部材及び前記複数の第１爪部材に作用させて前記薄肉ワークを挟持保持することを特徴とする薄肉ワークのチャッキング方法。
【請求項５】
スピンドルと一体的に回転駆動されるチャック本体、周方向に間隔をおいて配設され且つ径方向に移動自在に前記チャック本体に支持された複数の第１爪部材、前記複数の第１爪部材の間に配設され且つ前記径方向に移動自在に前記チャック本体に支持された複数の第２爪部材を備えたチャック装置を用いて薄肉ワークをチャッキングする薄肉ワークのチャッキング方法であって、
前記複数の第１爪部材を前記径方向に移動させて前記薄肉ワークを保持するための第１シリンダ機構を設けるとともに、前記複数の第２爪部材を前記径方向に移動させて前記薄肉ワークを保持するための第２シリンダ機構を設け、
更に、前記第１シリンダ機構に関連して第１流体圧回路機構を設け、前記第１流体圧回路機構からの圧力流体により前記第１シリンダ機構を介して前記複数の第１爪部材に第１挟持保持力を作用させるように構成し、また前記第２シリンダ機構に関連して第２流体圧回路機構を設け、前記第２流体圧回路機構からの圧力流体により前記第２シリンダ機構を介して前記複数の第２爪部材に前記第１挟持保持力及びこの第１挟持圧力よりも小さい第２挟持圧力を作用させるように構成し、
薄肉ワークを保持するときには、前記第２シリンダ機構によって前記複数の第２爪部材を前記径方向内方に移動させて前記薄肉ワークを前記第２挟持保持力でもって位置決めし、次いで、前記薄肉ワークを前記第２挟持保持力で位置決め保持した状態において、前記第１シリンダ機構によって前記複数の第１爪部材を前記径方向内方に移動させて前記薄肉ワークを前記第１挟持保持力でもって挟持保持し、その後、前記薄肉ワークを前記第１挟持保持力で挟持保持した状態において、前記第２シリンダ機構によって前記複数の第２爪部材に作用させて前記薄肉ワークを前記第１挟持保持力で挟持保持することを特徴とする薄肉ワークのチャッキング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械で加工する際に薄肉ワークをチャック装置でチャッキングする薄肉ワークのチャッキング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄肉ワークをチャッキングするチャック装置として、チャック本体に周方向に間隔をおいて配設された複数の外爪と、これら複数の外爪の内側に周方向に間隔をおいて配設された複数の内爪とを備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このチャック装置では、複数の内爪にばねが設けられ、これらばねの弾性力によって複数の内爪が径方向外方に移動されて薄肉ワークの内側に作用する。また、複数の外爪に関連して流体圧回路機構が設けられ、流体圧回路機構の流体圧力によって複数の外爪が径方向内方に移動されて薄肉ワークの外側に作用する。
【０００３】
薄肉ワークをチャックするときには、まず、複数の内爪により薄肉ワークの内側が支持され、この支持は、ばねの弾性力を利用して弱い力で行われ、その後、複数の外爪により薄肉ワークの外側が保持され、この保持は、流体圧回路機構の流体圧を利用して強い力で行われ、加工時には、主として複数の外爪により保持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１５６００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このチャック装置では、次の通りの解決すべき問題がある。第１に、複数の内爪を薄肉ワークの内側に配設する構成であるために、この薄肉ワークの内径が小さくなると、複数の内爪を小さくしなければならず、内径の比較的小さい薄肉ワークに適用するのが難しくなる。第２に、複数の内爪により薄肉ワークを支持する際に、各内爪に設けたばねの弾性力を利用しているために、薄肉ワークに作用する各内爪の力を均一にするのが難しく、内爪の作用力が均一でない場合、薄肉ワークを所望位置に位置付けて複数の外爪で保持することが難しくなる。
【０００６】
本発明の目的は、薄肉ワークを所望位置に位置付けて保持することができる薄肉ワークのチャッキング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１に記載の薄肉ワークのチャッキング方法は、スピンドルと一体的に回転駆動されるチャック本体、周方向に間隔をおいて配設され且つ径方向に移動自在に前記チャック本体に支持された複数の第１爪部材、前記複数の第１爪部材の間に配設され且つ前記径方向に移動自在に前記チャック本体に支持された複数の第２爪部材を備えたチャック装置を用いて薄肉ワークをチャッキングする薄肉ワークのチャッキング方法であって、
前記複数の第１爪部材を前記径方向に移動させるための第１シリンダ機構を設けるとともに、前記複数の第２爪部材を前記径方向に移動させるための第２シリンダ機構を設け、更に、第１圧力の圧力流体を供給するための第１流体圧回路機構と、前記第１圧力よりも低い第２圧力の圧力流体を供給するための第２流体圧回路機構とを設け、
薄肉ワークを保持するときには、前記第２流体圧回路機構からの圧力流体を前記第２シリンダ機構に供給し、前記第２シリンダ機構によって前記複数の第２爪部材を前記径方向内方に移動させて前記薄肉ワークを位置決めし、次いで、前記第２流体圧回路機構からの圧力流体を前記第２シリンダ機構に供給した状態において、前記第１流体圧回路機構からの圧力流体を前記第１シリンダ機構に供給し、前記第１シリンダ機構によって前記複数の第１爪部材を前記径方向内方に移動させて前記薄肉ワークを挟持保持し、その後、前記第１流体圧回路機構からの圧力流体を前記第２シリンダ機構に供給し、前記第１流体圧回路機構からの圧力流体を前記複数の第２爪部材及び前記複数の第１爪部材に作用させて前記薄肉ワークを挟持保持することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の請求項２に記載の薄肉ワークのチャッキング方法では、前記複数の第１爪部材の挟持保持面は、前記薄肉ワークの外形形状に対応して円弧状に延びており、それらの挟持保持面の一部には、円弧状方向に延びる保持圧力逃し凹部が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の請求項３に記載の薄肉ワークのチャッキング方法では、前記複数の第２爪部材の位置決め面は、前記薄肉ワークの外形形状に対応して円弧状に延びており、それらの位置決め面の一部には、円弧状方向に延びる位置決め圧力逃し凹部が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の請求項４に記載の薄肉ワークのチャッキング方法は、スピンドルと一体的に回転駆動されるチャック本体、周方向に間隔をおいて配設され且つ径方向に移動自在に前記チャック本体に支持された複数の第１爪部材、前記複数の第１爪部材の間に配設され且つ前記径方向に移動自在に前記チャック本体に支持された複数の第２爪部材を備えたチャック装置を用いて薄肉ワークをチャッキングする薄肉ワークのチャッキング方法であって、
前記複数の第１爪部材を前記径方向に移動させるための第１シリンダ機構を設けるとともに、前記複数の第２爪部材を前記径方向に移動させるための第２シリンダ機構を設け、前記第１シリンダ機構に第１圧力の圧力流体を供給するように構成し、また前記第２シリンダ機構に前記第１圧力の圧力流体及び前記第１圧力よりも低い第２圧力の圧力流体を供給するように構成し、
薄肉ワークを保持するときには、前記第２圧力の圧力流体を前記第２シリンダ機構に供給し、前記第２シリンダ機構によって前記複数の第２爪部材を前記径方向内方に移動させて前記薄肉ワークを位置決めし、次いで、前記第２圧力の圧力流体を前記第２シリンダ機構に供給した状態において、前記第１圧力の圧力流体を前記第１シリンダ機構に供給し、前記第１シリンダ機構によって前記複数の第１爪部材を前記径方向内方に移動させて前記薄肉ワークを挟持保持し、その後、前記第１圧力の圧力流体を前記第２シリンダ機構に供給し、前記第１圧力の圧力流体を前記複数の第２爪部材及び前記複数の第１爪部材に作用させて前記薄肉ワークを挟持保持することを特徴とする。
【００１２】
更に、本発明の請求項５に記載の薄肉ワークのチャッキング方法は、スピンドルと一体的に回転駆動されるチャック本体、周方向に間隔をおいて配設され且つ径方向に移動自在に前記チャック本体に支持された複数の第１爪部材、前記複数の第１爪部材の間に配設され且つ前記径方向に移動自在に前記チャック本体に支持された複数の第２爪部材を備えたチャック装置を用いて薄肉ワークをチャッキングする薄肉ワークのチャッキング方法であって、
前記複数の第１爪部材を前記径方向に移動させて前記薄肉ワークを保持するための第１シリンダ機構を設けるとともに、前記複数の第２爪部材を前記径方向に移動させて前記薄肉ワークを保持するための第２シリンダ機構を設け、
更に、前記第１シリンダ機構に関連して第１流体圧回路機構を設け、前記第１流体圧回路機構からの圧力流体により前記第１シリンダ機構を介して前記複数の第１爪部材に第１挟持保持力を作用させるように構成し、また前記第２シリンダ機構に関連して第２流体圧回路機構を設け、前記第２流体圧回路機構からの圧力流体により前記第２シリンダ機構を介して前記複数の第２爪部材に前記第１挟持保持力及びこの第１挟持圧力よりも小さい第２挟持圧力を作用させるように構成し、
薄肉ワークを保持するときには、前記第２シリンダ機構によって前記複数の第２爪部材を前記径方向内方に移動させて前記薄肉ワークを前記第２挟持保持力でもって位置決めし、次いで、前記薄肉ワークを前記第２挟持保持力で位置決め保持した状態において、前記第１シリンダ機構によって前記複数の第１爪部材を前記径方向内方に移動させて前記薄肉ワークを前記第１挟持保持力でもって挟持保持し、その後、前記薄肉ワークを前記第１挟持保持力で挟持保持した状態において、前記第２シリンダ機構によって前記複数の第２爪部材に作用させて前記薄肉ワークを前記第１挟持保持力で挟持保持することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の請求項１及び請求項４に記載の薄肉ワークのチャッキング方法によれば、薄肉ワークを保持するときには、第２圧力の圧力流体が第２シリンダ機構に供給され、その後、第２圧力の圧力流体を第２シリンダ機構に供給した状態において、この第２圧力よりも高い第１圧力の圧力流体が第１シリンダ機構に供給され、しかる後、第１圧力の圧力流体を第１シリンダ機構に供給した状態において、第１圧力の圧力流体が第２シリンダ機構に供給される。第２シリンダ機構からの第２圧力の圧力流体が供給されると、上述したように、第２爪部材による低い圧力でもってワークを位置決め保持することができ、また第２圧力よりも高い第１圧力の圧力流体が第１シリンダ機構に供給されると、上述したように、第２爪部材でもって薄肉ワークの変形を抑えながら第１爪部材の高い圧力でもって薄肉ワークを挟持保持することができる。更に、第１圧力の圧力流体が第２シリンダ機構に供給されると、第１爪部材で挟持保持した状態において第２爪部材でも高い圧力で保持され、その結果、加工時には第１及び第２爪部材により薄肉ワークを一層確実に挟持保持することができる。
【００１５】
また、本発明の請求項２に記載の薄肉ワークの加工方法によれば、第１爪部材の挟持保持面の一部に円弧状方向に延びる保持圧力逃し凹部が設けられているので、薄肉ワークを挟持保持したときに生じるおそれのある若干の変形をこの保持圧力逃し凹部でもって逃がすことができる。
【００１６】
また、本発明の請求項３に記載の薄肉ワークのチャッキング方法によれば、第２爪部材の位置決め面の一部に円弧状方向に延びる位置決め圧力逃し凹部が設けられているので、薄肉ワークを位置決め保持したときに生じるおそれのある若干の変形をこの位置決め圧力逃し凹部でもって逃がすことができる。
【００１７】
更に、本発明の請求項５に記載の薄肉ワークのチャッキング方法によれば、薄肉ワークを保持するときには、第２シリンダ機構によって複数の第２爪部材を前記径方向内方に移動させて薄肉ワークを第１挟持保持力よりも小さい第２挟持保持力でもって位置決めするので、この薄肉ワークを変形することなく位置決め保持することができる。そして、このように位置決めした状態において、第１シリンダ機構によって複数の第１爪部材を径方向内方に移動させて薄肉ワークを第１挟持保持力でもって挟持保持し、その後、薄肉ワークを第１挟持保持力で挟持保持した状態において、第２シリンダ機構によって複数の第２爪部材に作用させて薄肉ワークを第１挟持保持力で挟持保持するので、この薄肉ワークを確実に挟持保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に従う薄肉ワークのチャッキング方法が適用されるチャック構造の一例を示す正面図。
【図２】図１のチャック構造を、薄肉ワークを保持した状態で示す断面図。
【図３】図１のチャック構造を、薄肉ワークを保持していない状態（第１及び第２爪部材が開状態）で示す、図２に対応する断面図。
【図４】図１のチャック構造における第２流体圧回路機構の一部を示す断面図。
【図５】図１のチャック装置を用いたチャッキング方法を説明するための簡略図。
【図６】第１爪部材の先端部を示す部分正面図。
【図７】図１のチャック構造に適用される流体制御系の一例を、第１及び第２爪部材を開状態に保持するときの圧力流体の流れを示す流体回路図。
【図８】図７の流体制御系において第２爪部材により薄肉ワークを位置決め保持するときの圧力流体の流れを示す流体回路図。
【図９】図７の流体制御系において第１爪部材により薄肉ワークを挟持保持するときの圧力流体の流れを示す流体回路図。
【図１０】図７の流体制御系において第１及び第２爪部材により薄肉ワークを挟持保持するときの圧力流体の流れを示す流体回路図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して、本発明に従うチャッキング方法の一実施例を、ＮＣ旋盤のチャック装置に適用して説明する。図１及び図２において、図示のチャック装置２は、被加工物としての薄肉ワークＷが装着されるチャック本体４と、このチャック本体４と一体的に回動するスピンドル６とを備え、このスピンドル６が軸受手段を介して主軸ハウジングに回転自在に支持され、駆動源としての電動モータからの回動力により回転駆動される。
【００２０】
チャック本体４は、スピンドル６の前面（図２において右側面）側に取り付けられたチャック本体部８と、このチャック本体部８の前面（図２において右側面）側に取り付けられたチャックハウジング１０とを備え、このチャックハウジング１０の前面側にチャッキング爪手段１２が配設されている。チャッキング爪手段１２は、チャックハウジング１０の前面側に周方向に実質上等間隔（即ち、周方向に１２０度の間隔）をおいて配設された複数（この形態では、３つ）の第１爪部材１４と、これら第１爪部材１４の間（この形態では、隣接する第１爪部材１４の中間）に配設された複数（この形態では、３つ）の第２爪部材１６とから構成されている。そして、複数の第１爪部材１４に対応して、これら第１爪部材１４を移動させるための第１シリンダ機構１８が設けられているとともに、複数の第２爪部材１６に対応して、これら第２爪部材１６を移動させるための第２シリンダ機構２０が設けられている。
【００２１】
この形態では、複数の第１爪部材１４の各々に対応して第１シリンダ機構１８が設けられ、各第１シリンダ機構１８のシリンダ２２側がチャックハウジング１０の前面に取り付けられ、その出力ロッド２４側に対応する第１爪部材１４が装着されている。従って、第１シリンダ機構１８の伸張側に後述するように圧力流体が供給されると、その出力ロッド２４が伸張して第１爪部材１４が径方向内方に移動し、また第１シリンダ機構１８の収縮側に圧力流体が供給されると、その出力ロッド２４が収縮して第１爪部材１４が径方向外方に移動する。
【００２２】
また、複数の第２爪部材１６に対応して１つの第２シリンダ機構２０が設けられ、そのシリンダ本体３０がスピンドル６の後端面（図２において左側端面）に取り付けられ、シリンダ本体３０内に軸方向（図２において左右方向）に移動自在に収容されたピストン３２（図４参照）が後述する移動伝達機構３４を介して複数の第２爪部材１６に駆動連結されている。従って、第２シリンダ機構２０の伸張側に後述するように圧力流体が供給されると、そのピストン３２が図２及び図４において右方に移動し、移動伝達機構３４を介して第２爪部材１６が径方向外方に移動し、また第２シリンダ機構２０の収縮側に圧力流体が供給されると、そのピストン３２が図２及び図４において左方に移動し、移動伝達機構３４を介して第２爪部材１６が径方向内方に移動する。
【００２３】
この形態では、図示の第２爪部材１６は、チャックハウジング１０に径方向に移動自在に装着された親爪部３５を備え、この親爪部３５の径方向内側先端部に子爪部３６が取り付けられている。また、親爪部３５の背面側には支持連結部３８が取り付けられ、かかる支持連結部３８が移動伝達機構３４に連結されている。
【００２４】
主として図２及び図３を参照して、図示の移動伝達機構３４は、第２シリンダ機構２０のシリンダ本体３０を貫通して軸方向に移動自在に配設された中空の移動ロッド４０を備え、この移動ロッド４０の先端（図２及び図３において右端）側に中空の中間連結部材４２が装着され、この中間連結部材４２の先端（図２及び図３において右端）側に中空の駆動部材４４が装着され、かかる駆動部材４４の先端側がチャックハウジング１０の背面に取り付けられた支持スリーブ４６の外周面に移動自在に支持されている。また、その後端（図２及び図３において左端）側がシリンダ本体３０の突出部４８に移動自在に支持されている。
【００２５】
更に、チャック本体部８には、第２爪部材１６の各々に対応して揺動部材５０が配設され、各揺動部材５０が軸部材５２を介して揺動自在に支持されている。駆動部材４４の外周面には環状受け溝５４が設けられ、各揺動部材５０の第１アーム部５６の先端部がこの環状受け溝５４内に回動自在に受け入れられている。また、各第２爪部材１６の支持連結部３８の背面には受け溝部５８が設けられ、対応する揺動部材５０の第２アーム部６０の先端部が第２爪部材１６の受け溝部５８に回動自在に受け入れられている。
【００２６】
このように構成されているので、第２シリンダ機構２０の伸張側に後述するように圧力流体が供給されると、そのピストン３２（図４参照）が図４において右方（チャック本体４に近接する方向）に移動し、このピストン３２の移動に伴って移動ロッド４０、中間連結部材４２及び駆動部材４４が図３に示すように移動する。このように駆動部材４４が移動すると、この移動に伴って複数の揺動部材５０が同時に矢印６２（図３参照）で示す方向に揺動し、かかる揺動によって対応する第２爪部材１６が径方向外方に移動し、複数の第２爪部材１６は、図３に示す開放状態（即ち、薄肉ワークＷを受け入れる状態）に保持される。また、第２シリンダ機構２０の収縮側に圧力流体が供給されると、そのピストン３２が図４において左方（チャック本体４から離隔する方向）に移動し、このピストン３２の移動に伴って移動ロッド４０、中間連結部材４２及び駆動部材４４が図２に示すように引き込まれるように移動する。このように駆動部材４４が移動すると、この移動に伴って複数の揺動部材５０が同時に矢印６４（図２参照）で示す方向に揺動し、かかる揺動によって対応する第２爪部材１６が径方向内方に移動し、複数の第２爪部材１６は、図２に示す保持状態（即ち、薄肉ワークＷを常時保持する状態）に保持される。
【００２７】
この実施形態では、複数の第１シリンダ機構１８に関連して、第１圧力（例えば、０．２〜０．７Ｍｐａ程度）の圧力流体を供給するための第１流体圧回路機構７２が設けられており、この第１流体圧回路機構７２は第１回路接続部材７４を備え、また第２シリンダ機構２０に関連して、上記第１圧力よりも低い第２圧力（例えば、０．１〜０．５ＭＰａ程度）の圧力流体を供給するための第２流体圧回路機構７６を備え、この第２流体圧回路機構７６は第２回路接続部材７８を備えている。この形態では、第２シリンダ機構２０のシリンダ本体３０の突出部４８には第２回路接続部材７８が取り付けられ、この第２回路接続部材７８の後端部に第１回路接続部材７４が取り付けられている。
【００２８】
第１回路接続部材７４には、収縮側上流流路部８０及び伸張側上流流路部８２が設けられ、収縮側上流流路部８０に収縮側ポート８４が設けられ、伸張側上流流路８２に伸張側ポート８６が設けられている。また、この第１流体圧回路機構７２は、上述した移動伝達機構３４（具体的には、移動ロッド４０、中間連結部材４２及び駆動部材４４）の径方向内方に規定された収縮側中間流路部８８及び伸張側中間流路部９０と、チャック本体４のチャックハウジング１０に設けられた収縮側下流流路部９２並びにこのチャックハウジング１０及び支持スリーブ４６に設けられた伸張側下流流路部９４を含んでおり、収縮側上流流路部８０、収縮側中間流路部８８及び収縮側下流流路部９２が第１収縮側流路の一部を構成し、また伸張側上流流路部８２、伸張側中間流路部９０及び伸張側下流流路部９４が第１伸張側流路の一部を構成する。
【００２９】
更に説明すると、この形態では、収縮側中間流路部８８は、相互に連結された第１内側管部材９６及び第２内側管部材９８の径方向内側に規定され、第１内側管部材９６の端部が第１回路接続部材７４の収縮側上流路部８０に支持され、第２内側管部材９８が支持スリーブ４６の内周面に支持され、第２内側管部材９８とチャックハウジング１０との間に収縮側空間流路部１００が設けられ、各第１シリンダ機構１８の収縮側下流流路部９２はこの収縮側空間流路部１００に連通されている。また、伸張側中間流路部９０は、第１内側管部材９６の径方向外側に配設された外側管部材１０２などを利用して規定され、この外側管部材１００の端部が第１回路接続部材７４の伸張側上流流路部８２に支持され、その他端側が第２内側管部材９８の大径部１０４に設けられた大内径部に支持され、第１内側管部材９６と第１外側管部材１００との間の環状空間１０と、第１内側管部材９８の大径部１０４に設けられた貫通流路端部１０６と、第２内側管部材９８と中間連結部材４２との間の環状空間とにより構成される。そして、中間連結部材４２と支持スリーブ４６との間に伸張側環状空間流路部１０８が設けられ、各第１シリンダ機構１８の伸張側下流流路９４は、この伸張側環状空間流路部１０８に連通されている。
【００３０】
主として図４を参照して、第２回路接続部材７８には、収縮側上流流路部１１２及び伸張側上流流路部１１４が設けられ、収縮側上流流路部１１２に収縮側ポート１１６が設けられ、伸張側上流流路１１４に伸張側ポート１１８が設けられている。また、この第２流体圧回路機構７６は、第２シリンダ機構２０のシリンダ本体３０に設けられた収縮側下流流路部１２０及び伸張側下流流路部１２２を含み、伸縮側上流流路部１１２が伸縮側下流流路部１２０に連通され、また伸張側上流流路部１１４が伸張側下流流路部１２２に連通され、収縮側上流流路部１１２及び収縮側下流流路部１２０が第２収縮側流路（図７参照）の一部を構成し、伸張側上流流路部１１４及び伸張側下流流路部１２２が第２伸張側流路（図７参照）の一部を構成する。
【００３１】
上述したチャック装置による薄肉ワークＷのチャッキングは、例えば、次のようにして行われる。図２〜図５を参照して、チャッキングするには、まず、図５（ａ）に示すように、チャック本体４の径方向中央領域（即ち、複数の第１爪部材１４及び複数の第２爪部材１６の中心領域）にローダ装置（図示せず）などによって加工すべき薄肉ワークＷを位置付ける（薄肉ワークの位置付け工程）。そして、このように位置付けた状態にて、第２流体圧回路機構７６の圧力流体供給源（図示せず）からの圧力流体（例えば、圧油）を第２シリンダ機構２０の収縮側に供給する。
【００３２】
このように供給すると、圧力流体供給源（図示せず）からの圧力流体は、図２及び図４に示すように、第２回路接続部材７８の収縮側ポート１１６に供給され、収縮側上流流路部１１２及び収縮側下流流路部１２０（即ち、第２収縮側流路）を通して第２シリンダ機構２０の収縮側に供給される。このようにして第２シリンダ機構２０の収縮側に圧力流体が供給されると、そのピストン３２が図４において左方の収縮側に移動し、このピストン３２の移動によって移動ロッド４０、中間連結部材４２及び駆動部材４４を介して複数の揺動部材５０が矢印６４（図２参照）で示す方向に揺動し、かかる揺動によって対応する第２爪部材１６が径方向内方に移動し、図５（ｂ）で示すように、複数の第２爪部材１６は、薄肉ワークＷを位置決め保持する（薄肉ワークの位置決め保持工程）。
【００３３】
尚、第２シリンダ機構２０の収縮側に圧力流体が供給されると、それらの伸張側からの流体は、伸張側下流流路部１２２及び伸張側上流流路部１１４（即ち、第２伸張側流路）を通し、伸張側ポート１１８から圧力流体供給源（図示せず）に戻る。
【００３４】
この位置決め保持状態においては、第２流体圧回路機構７６から低い圧力の第２圧力Ｐ２でもって圧力流体が第２シリンダ機構３０のピストン３２に作用するので、小さい圧力でもって薄肉ワークＷが位置決め保持され、位置決め保持する際の薄肉ワークＷの変形を抑えることができる。
【００３５】
その後、このように位置決め保持した状態にて、第１流体圧回路機構７２の圧力流体供給源（図示せず）からの圧力流体（例えば、圧油）を第１シリンダ機構１８の伸張側に供給する。このように供給すると、圧力流体供給源（図示せず）からの圧力流体は、図２に示すように、第１回路接続部材７４の伸張側ポート８６に供給され、伸張側上流流路部８２、伸張側中間流路部９０を通して伸張側環状空間流路部１０８に流れ、この伸張側環状空間流路部１０８から対応する伸張側下流流路部９４を通して（即ち、第１伸張側流路を通して）各第１シリンダ機構１８の伸張側に供給される。このようにして複数の第１シリンダ機構１８に圧力流体が供給されると、それらの出力ロッド２４が伸張して第１爪部材１４が径方向内方に移動し、図５（ｃ）に示すように、複数の第１爪部材１４は薄肉ワークＷを挟持保持する（薄肉ワークの挟持保持工程）。
【００３６】
尚、複数の第１シリンダ機構１８が伸張すると、それらの収縮側からの流体は、収縮側下流流路部９２、収縮側空間流路部１００、収縮側中間流路部８８及び収縮側上流流路部８０（即ち、第１収縮側流路）を通し、収縮側ポート８４から圧力流体供給源（図示せず）に戻る。
【００３７】
その後、このように位置決め保持した状態にて、第２流体圧回路機構７６の圧力流体供給源（図示せず）からの圧力流体（例えば、圧油）を第２シリンダ機構２０の収縮側に供給する。
【００３８】
この挟持保持状態においては、第１流体圧回路機構７２から高い圧力の第１圧力Ｐ１でもって圧力流体が第１シリンダ機構１８の伸張側に作用するので、大きい圧力でもって薄肉ワークＷが挟持保持され、この薄肉ワークＷを確実に挟持保持することができる。また、複数の第１爪部材１４による挟持保持の際には、複数の第２爪部材１６が薄肉ワークＷの外周面に作用しているので、この薄肉ワークＷの変形を抑えながら確実に挟持保持することができる。
【００３９】
例えば、薄肉ワークＷに対する加工が終了して取り出すには、第１流体圧回路機構７２の圧力流体を第１シリンダ機構１８の収縮側に供給するとともに、第２流体圧回路機構７６の圧力流体を第２シリンダ機構２０伸張側に供給すればよい。
【００４０】
第１流体圧回路機構７２からの圧力流体がこのように供給されると、図３に示すように、圧力流体供給源（図示せず）からの圧力流体が第１回路接続部材７４の収縮側ポート８４に供給され、収縮側上流流路部８０及び収縮側中間流路部８８を通して収縮側空間流路部１００に流れる。かく供給された圧力流体は、この収縮側空間流路部１００から対応する収縮側下流流路部９２を通して（即ち、第１収縮側流路を通して）各第１シリンダ機構１８の収縮側に供給され、それらの出力ロッド２４が収縮して第１爪部材１４が径方向外方に移動し、図５（ａ）に示すように、複数の第１爪部材１４は薄肉ワークＷを開放する開放状態に保持される。尚、このとき、各第１シリンダ機構１８の伸張側の流体は、伸張側下流流路部９４、伸張側環状空間流路部１０８、伸張側中間流路部９０、伸張側上流流路部８２及び伸張側ポート８６（即ち、第１伸張側流路）を通して戻される。
【００４１】
また、第２流体圧回路機構７６からの圧力流体がこのように供給されると、図３に示すように、圧力流体供給源（図示せず）からの圧力流体が第２回路接続部材７８の伸張側ポート１１８に供給され、伸張側上流流路部１１４及び伸張側下流流路部１２２（即ち、第２伸張側流路）を通して第２シリンダ機構２０の伸張側に供給され、そのピストン３２が図４において右方の伸張側に移動する。そして、このピストン３２の移動によって移動ロッド４０、中間連結部材４２及び駆動部材４４を介して複数の揺動部材５０が矢印６２（図３参照）で示す方向に揺動し、この揺動によって第２爪部材１６が径方向外方に移動し、図５（ａ）で示すように、複数の第２爪部材１６は、薄肉ワークＷを開放する開放状態に保持される。尚、このとき、第２シリンダ機構２０の収縮側の流体は、収縮側下流流路部１２０、収縮側上流流路部１１２及び収縮側ポート１１６（即ち、第２収縮側流路）を通して戻される。
【００４２】
以上、本発明に従うチャッキング方法の一実施例をＮＣ旋盤のチャック装置に適用して説明したが、本発明はかかる実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変更乃至修正が可能である。
【００４３】
例えば、上述した実施例では、薄肉ワークＷを複数の第２爪部材１６により位置決め保持し（薄肉ワークの位置決め保持工程）、その後複数の第１爪部材１４により挟持保持している（薄肉ワークの挟持保持工程）が、この挟持保持工程の後に、更に第１流体圧回路機構７２からの圧力流体（即ち、第１圧力Ｐ１の圧力流体）を更に第２回路接続部材７６の収縮側ポート１１６に供給するようにしてもよい（薄肉ワークの第２挟持保持工程）。
【００４４】
この第２挟持保持工程を実行すると、上述した記載から理解されるように、第１流体圧回路機構７２からの圧力流体が第２シリンダ機構２０の収縮側に供給され、この圧力流体の第１圧力Ｐ１が第２シリンダ機構２０のピストン３２に作用し、このピストン３２に作用する圧力でもって第２爪部材１６が薄肉ワークＷに作用し、その結果、薄肉ワークＷは、第１爪部材１４によって確実に挟持保持されるとともに、これら第２爪部材１６によっても確実に挟持保持され、この薄肉ワークＷを一層確実に挟持保持することができる。尚、第１及び第２シリンダ機構１８，２０への圧力流体の供給制御は、後述する圧力流体制御系を用いて制御するようにしてもよい。
【００４５】
また、上述した実施形態では、図１などに示すように、第１爪部材１４の先端面の形状がチャックキングする薄肉ワークＷの外形（即ち、外周形状）に対応して円弧状に形成され、第１爪部材１４の先端面の実質上全域が薄肉ワークＷの外周面に作用して挟持保持する構成になっているが、このような構成に代えて、図６に示すように構成することもできる。図６において、この変形形態では、第１爪部材１４Ａの先端面は、薄肉ワークＷの外形に対応して円弧状に形成され、この円弧状先端面の円弧方向の一部（この実施形態では，その中間部）にこの円弧方向に延びる凹部、即ち保持圧力逃し凹部１４０が設けられ、このような保持圧力逃し凹部１４０を設けることによって、この円弧状先端面の円弧方向両端部に保持作用部１４２，１４４が存在し、これら保持作用部１４２，１４４が薄肉ワークＷの外周面に作用して挟持保持する。
【００４６】
このような第１爪部材１４Ａを用いた場合、第１爪部材１４Ａの先端面が広い範囲にわたって薄肉ワークＷに作用することがなく、従って、この薄肉ワークＷに若干の変形が生じたときにはかかる保持圧力逃し凹部１４０によってその圧力を逃がすことができ、大きな力でもって挟持保持する際に薄肉ワークＷが大きく変形するのを抑えることができる。
【００４７】
この変形形態では、第１爪部材１４Ａに凹部（保持圧力逃し凹部）を設けているが、このような凹部は、第２爪部材１６の先端面にも同様に設けることができる。この場合、第２爪部材１６の円弧状先端面（薄肉ワークＷの外形に対応した円弧状の先端面）の円弧方向の一部（例えば、その中間部）にこの円弧方向に延びる凹部、即ち位置決め圧力逃し凹部が設けられ、このような位置決め圧力逃し凹部を設けることによって、この円弧状先端面の円弧方向両端部に位置決め作用部が存在し、これら位置決め作用部が薄肉ワークＷの外周面に作用して位置決め保持する。このように構成した場合、この薄肉ワークＷに若干の変形が生じたときにはかかる位置決め圧力逃し凹部によってその圧力を逃がすことができ、位置決め保持する際に薄肉ワークＷが大きく変形するのを抑えることができる。
【００４８】
また、上述した実施形態では、圧力流体として液体（例えば、圧油）を利用しているが、液体に代えて気体（例えば、圧縮空気）を利用するようにしてもよい。
【００４９】
更に、上述した実施形態では、複数の第１爪部材１４については、それらの各々に対応して設けられた第１シリンダ機構１８により移動させ、複数の第２爪部材１６については、それらに対応して設けられた一つの第２シリンダ機構２０により移動させているが、このような構成とは反対に、複数の第２爪部材１６については、それらの各々に対応して第２シリンダ機構を設けて移動させ、複数の第１爪部材１４については、それらに対応して一つの第１シリンダ機構を設けて同時に移動させるようにしてもよい。
【００５０】
更にまた、このようなチャッキング方法は、通常のＮＣ旋盤などにも適用することができる。即ち、例えばＮＣ旋盤のチャッキング本体に支持された複数の爪部材を第１爪部材として機能させ、このチャッキング本体に、複数の第１爪部材と別個に複数の第２爪部材及び第２シリンダ機構を設けるとともに、この第２シリンダ機構に関連して第２流体圧回路機構を設けるようにしてもよく、このように第２流体圧回路機構、第２シリンダ機構及び第２爪部材を付加することによって、通常のＮＣ旋盤にも適用可能となる。
【００５１】
このようなチャッキング装置２は、図７〜図１０に示す圧力流体制御系により作動制御するようにしてもよい。主として図７を参照して、図示の圧力流体制御系２０２は、複数の第１シリンダ機構１８Ａ（図７〜図１０において１つのみ示す）を制御するための第１流体供給制御系２０４と、複数の第２シリンダ機構２０Ａ（図７〜図１０において１つのみ示す）を制御するための第２流体供給制御系２０６と、第１及び第２流体供給制御系２０４，２０６に圧力流体を供給するための圧力流体供給源２０８とを含み、この圧力流体供給源２０８は、流体を溜めるための流体タンク２１０と、流体タンク２１０内の流体を圧力流体として供給するための流体ポンプ２１２を備えている。
【００５２】
まず、第１流体供給制御系２０４について説明すると、この第１流体供給制御系２０４は、流体ポンプ２１２に接続された第１流体供給流路２１４と、流体タンク２１０に接続された第１流体戻り流路２１６と、第１シリンダ機構１８Ａの収縮側に接続された第１収縮側流路２１８と、第１シリンダ機構１８Ａの伸張側に接続された第１伸張側流路２２０とを備えている。第１流体供給流路２１４には第１減圧弁２１７が配設され、この第１減圧弁２１７は、第１流体供給流路２１４を流れる流体の圧力を第１圧力Ｐ１（例えば、０．２〜０．７ＭＰａ程度）に設定する。
【００５３】
また、第１流体供給流路２１４及び第１流体戻り流路２１６と第１収縮側流路２１８及び第１伸張側流路２２０との間には、流路を切り換えるための第１流路切換弁２２２（例えば、電磁切換弁から構成される）が配設されている。この第１流路切換弁２２２は、図７及び図８に示す第１切換位置と、図９及び図１０に示す第２切換位置とに選択的に位置付けられる。
【００５４】
この第１流路切換弁２２２が上記第１切換位置に位置するときには、第１供給側流路２１４と第１収縮側流路２１８とが連通され、圧力流体供給源２０８からの第１圧力Ｐ１の圧力流体が第１流体供給流路２１４及び第１収縮側流路２１８を通して第１シリンダ機構１８Ａの収縮側に送給されるともに、第１流体戻り流路２１６と第１伸張側流路２２０とが連通され、第１シリンダ機構１８Ａの伸張側の圧力流体が第１伸張側流路２２０及び第１流体戻り流路２１６を通して流体タンク２１０に戻され、これによって、第１シリンダ機構１８Ａは収縮される。また、第１流路切換弁２２２が上記第２切換位置に位置するときには、第１供給側流路２１４と第１伸張側流路２２０とが連通され、圧力流体供給源２０８からの第１圧力Ｐ１の圧力流体が第１流体供給流路２１４及び第１伸張側流路２２０を通して第１シリンダ機構１８Ａの伸張側に送給されるともに、第１流体戻り流路２１６と第１収縮側流路２１８とが連通され、第１シリンダ機構１８Ａの収縮側の圧力流体が第１収縮側流路２１８及び第１流体戻り流路２１６を通して流体タンク２１０に戻され、これによって、第１シリンダ機構１８Ａは伸張され、後述するように、複数の第１爪部材（図示せず）は、薄肉ワークを第１挟持保持力で挟持保持する。
【００５５】
次に、第２流体供給制御系２０６について説明すると、この第２流体供給制御系２０６は、圧力流体供給源２０８（上述のように第１流体供給制御系２０４の圧力流体供給源として機能している）の流体ポンプ２１２に接続された第２流体供給流路２２４と、圧力流体供給源２０８の流体タンク２１０に接続された第２流体戻り流路２２６と、第２シリンダ機構２０Ａの収縮側に接続された第２収縮側流路２２８と、第２シリンダ機構２０Ａの伸張側に接続された第２伸張側流路２３０と、第２流体供給流路２２４を流れる圧力流体の圧力を切換制御するための一対の流体中間流路２３２，２３４と、を備えている。
【００５６】
第２流体供給流路２２４には、第２減圧弁２３６及び第３減圧弁２３８が設けられており、第２減圧弁２３６は、第２流体供給流路２２４を流れる圧力流体の圧力を第１圧力Ｐ１に設定するためのものであり、第３減圧弁は、第２流体供給流路を流れる圧力流体の圧力を第１圧力よりも低い第２圧力Ｐ２（例えば、０．１〜０．５ＭＰａ程度）に設定するためのものである。
【００５７】
また、第２流体供給流路２２４及び第２流体戻し流路２２６と一対の流体中間流路２３２，２３４との間には、圧力切換弁２４０（例えば、電磁切換弁から構成される）が設けられ、この圧力切換弁２４０は、図７〜図９に示す第１切換位置と図１０に示す第２切換位置とに選択的に位置付けられる。圧力切換弁２４０が上記第１切換位置にあるときには、第２流体供給流路２２４が一対の液体中間流路２３２，２３４に接続され、第２流体戻し流路２２６が一対の液体中間流路２３２，２３４に連通されることなく、第２流体供給流路２２４からの圧力流体が一対の流体中間流路２３２，２３４に送給される。また、圧力流体切換弁２４０が上記第２切換位置にあるときには、第２流体供給流路２２４が一方の流体中間流路２３４に接続され、第２流体供給流路２２４からの圧力流体がこの流体中間流路２３４に送給されるとともに、第２流体戻し流路２４６が他方の流体中間流路２３２に接続され、この流体中間流路２３２内の圧力流体が第２流体戻し流路２２６を通して流体タンク２１０に戻される。
【００５８】
また、流体中間流路２３２に関連して、分岐流路２４２が設けられ、この分岐流路２４２の一端側が流体中間流路２３２に接続され、その他端側が第３減圧弁２３８に接続されている。更に、流体中間流路２３２の所定部位（具体的には、分岐流路２４２との接続部位よりも下流側）にチェック弁２４４が設けられ、このチェック弁２４４は、圧力流体切換弁２４０から流出する圧力流体の流れを許容し、この圧力切換弁２４０に流入する圧力流体の流れを阻止する。
【００５９】
一対の流体中間流路２３２，２３４が合流する合流中間流路２４６及び第２流体戻し流路２２６と第２収縮側流路２２８及び第２伸張側流路２３０との間に第２流路切換弁２４８（例えば、電磁切換弁から構成される）が設けられている。この第２流路切換弁２４８は、図７に示す第１切換位置と、図８〜図１０に示す第２切換位置とに選択的に位置付けられる。
【００６０】
この第２流路切換弁２４８が上記第１切換位置に位置するときには、合流中間流路２４６と第２伸張側流路２３０とが接続され、合流中間流路２４６からの圧力流体が第２伸張側流路２３０を通して第２シリンダ機構２０Ａの伸張側に送給されるとともに、第２収縮側流路２２８と第２流体戻し流路２２６とが接続され、第２シリンダ機構２０Ａの収縮側の圧力流体が第２収縮側流路２２８及び第２流体戻し流路２２６を通して流体タンク２１０に戻され、これによって、第２シリンダ機構２０Ａが伸張される。また、第２流路切換弁２４８が上記第２切換位置に位置するときには、合流中間流路２４６と第２収縮側流路２２８とが接続され、合流中間流路２４６からの圧力流体が第２収縮側流路２２８を通して第２シリンダ機構２０Ａの収縮側に送給されるとともに、第２伸張側流路２３０が第２流体戻し流路２２６に接続され、第２シリンダ機構２０Ａの伸張側の圧力流体が流体タンク２１０に戻され、これによって、第２シリンダ機構２０Ａが収縮される。このとき、合流中間流路２４６を通して第１圧力Ｐ１より小さい第２圧力Ｐ２の圧力流体が送給されると、複数の第２爪部材（図示せず）は、後述するように、薄肉ワークを第１挟持保持力よりも小さい第２挟持保持力でもって挟持保持し、またこの合流中間流路２４６を通して第１圧力の圧力流体が送給されると、複数の第２爪部材は、後述するように、この薄肉ワークを第１挟持保持力でもって挟持保持する。
【００６１】
この圧力流体制御系を用いた薄肉ワークのチャッキングは、次のように行われる。薄肉ワークをチャッキングする前の状態においては、第１及び第２流路切換弁２２２，２４８並びに圧力切換弁２４０は、図７に示す状態に保持される。即ち、第１流路切換弁２２２は第１切換位置に保持され、圧力流体供給源２０８からの圧力流体（第１減圧弁２１７により第１圧力Ｐ１に設定された圧力流体）が第１流体供給流路２１４及び第１収縮側流路２１８を通して第１シリンダ機構１８Ａの収縮側に送給されるとともに、第１シリンダ機構１８Ａの伸張側の圧力流体が第１伸張側流路２２０及び第２流体戻し流路２１６を通して流体タンク２１０に戻される。従って、第１シリンダ機構１８Ａは収縮され、第１シリンダ機構１８Ａの出力ロッドに取り付けられた第１爪部材（図示せず）は、径方向外方に移動した開放状態に保持される。
【００６２】
このとき、圧力切換弁２４０は第１切換位置に保持され、第２流体供給流路２２４からの圧力流体が一対の流体中間流路２３２，２３４に送給され、流体中間流路２３２を流れる圧力流体が分岐流路２４２を通して第３減圧弁２３８に作用し、これによって、この第３減圧弁２３８が圧力設定するように機能する。また、このとき、第２流路切換弁２４８は第１切換位置に保持され、合流中間流路２４６からの圧力流体が第２シリンダ機構２０Ａの伸張側に送給されるとともに、この第２シリンダ機構２０Ａの収縮側の圧力流体が第２流体戻し流路２２６を通して流体タンク２１０に戻される。
【００６３】
従って、圧力流体供給源２０８から第２流体供給流路２２４を通して供給される圧力流体は、第２減圧弁２３６を流れることによって第１圧力Ｐ１に設定され、その後第３減圧弁２３８を流れることによって第２圧力Ｐ２に設定され、この第２圧力Ｐ２の圧力流体が一対の流体中間流路２３２，２３４、合流中間流路２４６及び第２伸張側流路２３０を通して第２シリンダ機構２０Ａの伸張側に送給され、これによって、第２シリンダ機構２０Ａが伸張されて上述したようにして第２爪部材が径方向外方に移動した開放状態に保持される。
【００６４】
薄肉ワークをチャッキングする際の薄肉ワークの位置決め保持工程においては、図８に示すように、第１流路切換弁２２２が第１切換位置に、また圧力切換弁２４０が第１切換位置に保持した状態において、第２流路切換弁２４８が第２切換位置に切り換えられる。このように切り換えられると、合流中間流路２４６からの圧力流体が第２シリンダ機構２０Ａの収縮側に送給されるとともに、この第２シリンダ機構２０Ａの伸張側の圧力流体が第２流体戻し流路２２６を通して流体タンク２１０に戻される。従って、圧力流体供給源２０８からの圧力流体が第２圧力Ｐ２に設定された後に一対の流体中間流路２３２，２３４、合流中間流路２４６及び第２収縮側流路２２８を通して第２シリンダ機構２０Ａの収縮側に送給され、これによって、第２シリンダ機構２０Ａが収縮され、上述したようにして第２爪部材（図示せず）が径方向内方に移動して第２圧力Ｐ２、換言すると比較的小さい第２挟持保持力でもって薄肉ワークを位置決め保持する。
【００６５】
そして、第１爪部材によって薄肉ワークを挟持保持する薄肉ワークの挟持保持工程においては、図９に示すように、圧力切換弁２４０が第１切換位置に、また第２流路切換弁２４８が第２切換位置に保持された状態において、第１流路切換弁２２２が第２切換位置に位置付けられる。このように切り換えられると、圧力流体供給源２０８からの圧力流体が第１圧力Ｐ１に設定された後に第１伸張側流路２２０を通して第１シリンダ機構１８Ａの伸張側に送給されるとともに、この第１シリンダ機構１８Ａの収縮側の圧力流体が第１収縮側流路２１８及び第１流体戻し流路２１６を通して流体タンク２１０に戻され、これによって、第１シリンダ機構１８Ａが伸張され、第１爪部材（図示せず）は、第２爪部材により位置決め保持された薄肉ワークをこの第１圧力Ｐ１、換言すると比較的大きい第１挟持保持力でもって挟持保持する。
【００６６】
また、その後の薄肉ワークの第２挟持保持工程においては、図１０に示すように、第１流路切換弁２２２が第２切換位置に、また第２流路切換弁２４８が第２切換位置に保持された状態において、圧力切換弁２４０が第２切換位置に切り換えられる。このように切り換えられると、流体中間流路２３２及び分岐流路２４２の圧力流体が第２流体戻し流路２２６を通して流体タンク２１０内に戻され、この分岐流路２４２を介して第３減圧弁２３８に作用する圧力流体の圧力が実質上ゼロ（零）となり、この第３減圧弁２３８が機能しなくなる。従って、圧力流体供給源２０８からの圧力流体は、第２減圧弁２３６により第１圧力Ｐ１に設定された状態で流体中間流路２３４，合流中間流路２４６及び第２収縮側流路２２８を通して第２シリンダ機構２０Ａの収縮側に送給され、第２爪部材（図示せず）は、第１爪部材により挟持保持された薄肉ワークを挟持保持するようになり、かくして、薄肉ワークは、第１及び第２爪部材により第１圧力Ｐ１、換言すると比較的大きい第１挟持保持力でもって挟持保持される。
【００６７】
チャック装置（即ち、第１及び第２爪部材）により挟持保持された薄肉ワークを開放するには、図７に示すように、第１及び第２流路切換弁２２２、２４８を第１切換位置付けるとともに、圧力切換弁２４０を第１切換位置に位置付ければよい。尚、このとき、圧力切換弁２４０については、第２切換位置に保持していてもよい。
【００６８】
上述した実施形態では、第１シリンダ機構１８Ａに第１圧力Ｐ１の圧力流体を送給して複数の第１爪部材（図示せず）により薄肉ワークを第１挟持保持力で挟持保持するように構成し、また第２シリンダ機構２０Ａに第２圧力Ｐ２（又は第１圧力Ｐ１）の圧力流体を送給して複数の第２爪部材（図示せず）により薄肉ワークを第２挟持保持力（又は第１挟持保持力）で保持するように構成しているが、第１シリンダ１８Ａ及び第２シリンダ２０Ａの大きさを変えるなどした場合においても、第１爪部材による第１挟持保持力と第２爪部材による第１及び第２挟持保持力を上述した関係に保つことにより所望の効果を達成することができる。
【符号の説明】
【００６９】
２  チャック装置
４  チャック本体
６  スピンドル
１４  第１爪部材
１６  第２爪部材
１８，１８Ａ  第１シリンダ機構
２０，２０Ａ  第２シリンダ機構
３４  移動伝達機構
７２  第１流体圧回路機構
７６  第２流体圧回路機構
２０２  圧力流体制御系
２０４  第１流体供給制御系
２０６  第２流体供給制御系
２０８  圧力流体供給源
２１７  第１減圧弁
２２２  第１流路切換弁
２３６  第２減圧弁
２３８  第３減圧弁
２４０  圧力切換弁
２４８  第２流路切換弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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