(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから被処理物に向けて処理液を吐出する処理液吐出装置であって、
処理液供給源から前記ノズルに処理液を導く主配管と、
前記主配管に設けられたバルブと、
前記主配管のうち前記バルブよりも前記ノズルに近い部位から分岐されるサックバック配管と、
前記サックバック配管に設けられ、前記ノズルの配管抵抗よりも大きな配管抵抗を有するオリフィスと、
を備え、
前記オリフィスの前記主配管側とは反対側の二次側は気体空間と接触し、
前記オリフィスの前記二次側に前記主配管よりも内径の大きな排出管が接続されることを特徴とする処理液吐出装置。
【請求項２】
ノズルから被処理物に向けて処理液を吐出する処理液吐出装置であって、
処理液供給源から前記ノズルに処理液を導く主配管と、
前記主配管に設けられたバルブと、
前記主配管のうち前記バルブよりも前記ノズルに近い部位から分岐されるサックバック配管と、
前記サックバック配管に設けられ、前記ノズルの配管抵抗よりも大きな配管抵抗を有するオリフィスと、
を備え、
前記オリフィスの前記主配管側とは反対側の二次側は気体空間と接触し、
前記オリフィスの前記二次側に内壁が親水性とされた排出管が接続されることを特徴とする処理液吐出装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の処理液吐出装置において、
前記オリフィスの前記二次側は前記排出管を介して大気空間と連通していることを特徴とする処理液吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから半導体基板等の被処理物に向けて処理液を吐出する処理液吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程においては、ノズルから基板に処理液（薬液または純水）を吐出してエッチングや洗浄処理等の表面処理を行う液処理装置が多数用いられている。基板を１枚ずつ処理する枚葉式の液処理装置は、典型的には、基板をスピンチャックに保持して高速回転させつつ、その基板の表面にノズルから処理液を吐出して表面処理を行う。
【０００３】
このような液処理装置においては、ノズルからの処理液吐出を停止したときに、ノズル先端から不要な余剰の処理液が滴下することが問題となる（いわゆるボタ落ち）。ボタ落ちを防止するため、ノズルからの処理液吐出停止時にノズルから処理液を引き戻すサックバックが必要となる。例えば、特許文献１には、ノズルへの配管の形状を工夫することによって、サックバック時に処理液のボタ落ちを確実に防止する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１７０８０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、ノズルからの処理液吐出停止時には、慣性を有する液体の流れが急に止められることとなるため、ノズル近傍に瞬間的に強い負圧が発生し、それによってサックバックとは別にノズル内の処理液が急激に吸引されることがある。処理液が急激に吸引されると、ノズル内の配管内壁に処理液の液滴が付着して残ることがある。このようにノズル内壁に付着した独立した液滴は、その後にサックバック動作を行っても引き戻すことができないため、ノズルに液滴が付着したままとなり、その後にその液滴が基板上に落下するという問題が生じていた。特に、粘性の低い処理液はノズルの配管内壁に付着して液残りが生じやすい。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、処理液の吐出停止時にノズルの配管内壁への液滴付着を確実に防止することができる処理液吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、ノズルから被処理物に向けて処理液を吐出する処理液吐出装置において、処理液供給源から前記ノズルに処理液を導く主配管と、前記主配管に設けられたバルブと、前記主配管のうち前記バルブよりも前記ノズルに近い部位から分岐されるサックバック配管と、前記サックバック配管に設けられ、前記ノズルの配管抵抗よりも大きな配管抵抗を有するオリフィスと、を備え、前記オリフィスの前記主配管側とは反対側の二次側は気体空間と接触し、前記オリフィスの前記二次側に前記主配管よりも内径の大きな排出管が接続されることを特徴とする。
【０００８】
また、請求項２の発明は、ノズルから被処理物に向けて処理液を吐出する処理液吐出装置において、処理液供給源から前記ノズルに処理液を導く主配管と、前記主配管に設けられたバルブと、前記主配管のうち前記バルブよりも前記ノズルに近い部位から分岐されるサックバック配管と、前記サックバック配管に設けられ、前記ノズルの配管抵抗よりも大きな配管抵抗を有するオリフィスと、を備え、前記オリフィスの前記主配管側とは反対側の二次側は気体空間と接触し、前記オリフィスの前記二次側に内壁が親水性とされた排出管が接続されることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明に係る処理液吐出装置において、前記オリフィスの前記二次側は前記排出管を介して大気空間と連通していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１から請求項３の発明によれば、サックバック配管に設けられたオリフィスの主配管側とは反対側の二次側は気体空間と接触しているため、処理液の吐出停止時にノズルが閉じてオリフィスの主配管側に強い負圧が瞬間的に発生したときにはオリフィスの二次側からサックバック配管に気体が引き込まれることとなり、ノズル近傍の処理液が急激に吸引されるのを抑制して、ノズルの配管内壁への液滴付着を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る処理液吐出装置の要部構成を示す図である。
【図２】オリフィスの二次側が液密状態である場合の吐出停止時に生じる現象を説明するための図である。
【図３】ノズルへの液滴付着を示す図である。
【図４】本発明に係る処理液吐出装置での吐出停止時に生じる現象を説明するための図である。
【図５】第２実施形態の処理液吐出装置の要部構成を示す図である。
【図６】第３実施形態の処理液吐出装置の要部構成を示す図である。
【図７】第４実施形態の処理液吐出装置の要部構成を示す図である。
【図８】第５実施形態の処理液吐出装置の要部構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１９】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明に係る処理液吐出装置の要部構成を示す図である。この処理液吐出装置１は、枚葉式の基板処理装置に処理液吐出部として組み込まれているものであり、半導体の基板Ｗに所定の処理液を吐出する。処理液吐出装置１は、処理液として薬液または純水を吐出する。処理液吐出装置１が吐出する薬液は、処理目的に応じて適宜のものが使用され、例えばフッ酸、塩酸、硝酸、リン酸、ＳＣ１（アンモニア水、過酸化水素水および水の混合液）、ＳＣ２（塩酸、過酸化水素水および水の混合液）、有機溶剤等が使用される。また、処理液吐出装置１が吐出する薬液には、フォトリソグラフィに用いられるフォトレジスト液および現像液も含まれる。
【００２０】
処理液吐出装置１が組み込まれた基板処理装置が備える処理部８０はスピンチャック８１およびカップ８２を有する。スピンチャック８１は、基板Ｗを真空吸着または機械的把持によって保持するとともに、その基板Ｗを水平面内にて回転させる。スピンチャック８１に保持されて回転される基板Ｗの表面に処理液吐出装置１から処理液が吐出される。カップ８２は、スピンチャック８１の周囲を取り囲むように設けられており、高速回転する基板Ｗから飛散した処理液を受け止めて回収する。
【００２１】
処理液吐出装置１は、ノズル１０、主配管２０、バルブ２５、サックバック配管３０およびオリフィス５０を備える。主配管２０の先端にノズル１０が設けられるとともに、主配管２０の基端は処理液供給源２８に接続されている。処理液供給源２８は、図示を省略する処理液タンクおよび送給ポンプを有しており、主配管２０に処理液を送給する。
【００２２】
主配管２０の経路途中にはバルブ２５が設けられている。バルブ２５は、主配管２０の流路を開閉する。バルブ２５が主配管２０の流路を開放しているときには、主配管２０によって処理液供給源２８からノズル１０に向けて処理液が導かれる。バルブ２５が主配管２０の流路を閉止すると、処理液供給源２８からノズル１０に向けての処理液の流れが止められる。
【００２３】
図１に示すように、主配管２０の経路のうちバルブ２５よりもノズル１０に近い下流側の部位からサックバック配管３０が分岐されている。そのサックバック配管３０の端部（主配管２０からの分岐点とは反対側の端部）にオリフィス５０が設けられている。
【００２４】
主配管２０およびサックバック配管３０は、例えばフッ素樹脂の一種であるＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）にて形成されている。本実施形態においては、主配管２０およびサックバック配管３０の内径は４ｍｍであり、外径は６ｍｍである。
【００２５】
また、オリフィス５０の絞り部分の開口径は０．５ｍｍである。オリフィス５０から流出した処理液はドレン４５に回収される。
【００２６】
処理液吐出装置１から処理部８０の基板Ｗに処理液を吐出するときにはバルブ２５が主配管２０の流路を開放する。処理液供給源２８から送出された処理液は主配管２０の流路を流れてノズル１０に到達し、ノズル１０から基板Ｗに向けて吐出される。主配管２０の流路を流れる処理液の一部は、主配管２０から分岐されたサックバック配管３０にも流入する。サックバック配管３０に流入した処理液はオリフィス５０の開口から流れ出てドレン４５に回収される。すなわち、ノズル１０から基板Ｗに処理液を吐出するときには、オリフィス５０からも処理液が流出することとなるのである。但し、オリフィス５０の開口径は０．５ｍｍと非常に小さいため、主配管２０を流れてノズル１０から吐出される配管抵抗に比較してサックバック配管３０に流入してオリフィス５０から流出される配管抵抗は顕著に大きい。このため、処理液吐出時に、オリフィス５０からドレン４５に排出される処理液は少量に抑制される。なお、ドレン４５に回収された処理液を処理液供給源２８にて再利用するようにしても良い。
【００２７】
処理液吐出装置１からの処理液吐出を停止するときにはバルブ２５が主配管２０の流路を閉止する。バルブ２５が主配管２０の流路を閉止すると処理液供給源２８から主配管２０に送出された処理液の流れが止まり、ノズル１０からの処理液の吐出も停止する。ノズル１０からの処理液吐出が停止した後、ノズル１０から主配管２０およびサックバック配管３０を経由してオリフィス５０に至る経路に残留する処理液がサイフォンの原理によってオリフィス５０からドレン４５に排出される。すなわち、ノズル１０から主配管２０およびサックバック配管３０を経由してオリフィス５０に至る経路に残留する処理液のうちノズル１０の先端よりも下方にある処理液の自重によってノズル１０近傍の処理液までもオリフィス５０から排出されるのである。これにより、ノズル１０からの処理液吐出停止時にノズル１０に残留している処理液を引き戻すサックバックが行われることとなる。
【００２８】
ところで、処理液吐出停止時に、慣性を持った非圧縮性流体である処理液の流れがバルブ２５によって急激に止められることとなるため、いわゆるウォーターハンマー現象に付随する作用によってバルブ２５よりもノズル１０に近い下流側の流路にも強い負圧が瞬間的に発生する。仮に、オリフィス５０がサックバック配管３０の経路途中に設けられてオリフィス５０の二次側も処理液が満たされた液密状態である場合には、図２の矢印ＡＲ２に示すように、発生した負圧によってノズル１０近傍の処理液が急激に上流側に向けて（バルブ２５に向けて）吸引されることとなる。そうすると、図３に示すように、ノズル１０内の配管内壁に処理液の独立した液滴Ｄが付着して残ることがある。特に、粘性の低い処理液（例えば純水）の場合、ノズル１０から急激に吸引されたときに液滴Ｄがノズル１０の内壁に残りやすい傾向がある。このようにノズル内壁に付着した独立した液滴Ｄは、その後にサックバック動作を行っても引き戻すことができないため、ノズル１０に液滴Ｄが残ったままとなる。そして、このようにしてノズル１０の内壁に残った処理液の液滴Ｄは、その後のノズル１０の移動時などに基板Ｗの表面に落下して汚染の原因となることがある。なお、オリフィス５０の一次側とは処理液が流入する側（つまり、主配管２０の側）であり、二次側とは処理液が流出していく側（つまり、主配管２０とは反対側）である。
【００２９】
このため、本実施形態においては図１に示すように、オリフィス５０の二次側が大気開放されている。すなわち、オリフィス５０はサックバック配管３０の端部に設けられており、オリフィス５０の二次側はドレン４５に対向して大気開放されている。従って、オリフィス５０の二次側は大気空間と接触していることとなる。
【００３０】
オリフィス５０の二次側が大気空間と接触している本実施形態の処理液吐出装置１において、処理液吐出停止時にバルブ２５よりもノズル１０に近い下流側の流路に瞬間的に強い負圧が発生したとしても、図４の矢印ＡＲ４に示すように、オリフィス５０からサックバック配管３０に気体が引き込まれる。その結果、ノズル１０近傍の処理液が急激に上流側に向けて吸引されることが無くなり、ノズル１０の配管内壁に処理液の液滴Ｄが付着して残るのを防止することができる。
【００３１】
オリフィス５０からサックバック配管３０に気体が引き込まれた直後には、ノズル１０から主配管２０およびサックバック配管３０を経由してオリフィス５０に至る経路に残留する処理液がサイフォンの原理によってオリフィス５０からドレン４５に排出されるサックバックが行われる。なお、上述した処理液吐出停止時の瞬間的な負圧による処理液の吸引に比較してサックバックによるノズル１０からの処理液引き戻しは緩やかであるため、サックバック時にノズル１０の配管内壁に処理液の液滴が付着して残留することはない。
【００３２】
オリフィス５０の二次側も処理液が満たされた液密状態の場合には、オリフィス５０の一次側で強い負圧が瞬間的に発生したとしても、オリフィス５０の微小な開口を液体が通過する抵抗は非常に大きいため、オリフィス５０の二次側の処理液がその微小な開口を通過して一次側に逆流することは困難である。そのため、図２に示したように、より抵抗の小さなノズル１０からの処理液の急激な吸引が生じてノズル１０の内壁への処理液付着が生じることとなる。
【００３３】
本実施形態においては、オリフィス５０の二次側が大気開放されて大気空間と接触しているため、オリフィス５０の一次側で強い負圧が瞬間的に発生したときには、図４に示したように、オリフィス５０の二次側から一次側に向けて大気が微小な開口を通過してサックバック配管３０に気体が引き込まれることとなる。これは、液体に比べて気体がオリフィス５０の微小な開口を通過する抵抗が極めて小さいことに起因したものである。すなわち、本実施形態においては、微小開口を通過する抵抗が非常に小さい気体がオリフィス５０の二次側に接触した状態としておくことにより、処理液吐出停止時にオリフィス５０の一次側で強い負圧が瞬間的に発生したときにオリフィス５０からサックバック配管３０に気体が引き込まれるようにしているのである。そして、これにより、処理液吐出停止時にノズル１０近傍の処理液が急激に上流側に向けて吸引されるのを抑制し、ノズル１０の配管内壁に処理液の液滴Ｄが付着して残るのを確実に防止することができる。
【００３４】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図５は、第２実施形態の処理液吐出装置２の要部構成を示す図である。図５において、第１実施形態と同一の要素については同一の符合を付している。第２実施形態の処理液吐出装置２が第１実施形態と相違するのは、オリフィス５０の二次側に排出管５５を接続している点である。排出管５５を除く第２実施形態の処理液吐出装置２の残余の構成は第１実施形態の処理液吐出装置１と同じである。
【００３５】
排出管５５は、主配管２０およびサックバック配管３０と同じ材質（例えば、ＰＦＡ）で形成されているものの、主配管２０およびサックバック配管３０とは径が異なる。排出管５５は主配管２０およびサックバック配管３０よりも太く、排出管５５の内径は８ｍｍであり、外径は１０ｍｍである。すなわち、排出管５５の内径は主配管２０およびサックバック配管３０の内径よりも大きい。
【００３６】
排出管５５は、その長手方向（つまり管の軸心方向）が鉛直方向に沿うようにオリフィス５０に接続される。排出管５５の上端はオリフィス５０に接続されるとともに、排出管５５の下端はドレン４５に対向して大気開放されている。よって、オリフィス５０の二次側は排出管５５を介して大気空間と連通していることとなる。
【００３７】
ノズル１０から処理液を吐出するときには、小流量ながらもオリフィス５０の開口から処理液が流れ出ている。オリフィス５０の開口からは処理液の液滴が断続的に滴下するように処理液が流れ出るのであるが、排出管５５の内径は主配管２０およびサックバック配管３０の内径よりも大きいため、オリフィス５０から流れ出た処理液が排出管５５の内壁の一部に液滴として付着することはあっても、その液滴が排出管５５の流路を閉塞することは無い。
【００３８】
なお、排出管５５の内径が主配管２０およびサックバック配管３０の内径（４ｍｍ）と同じであると、オリフィス５０から流れ出た処理液が表面張力によって排出管５５の流路を閉塞するように排出管５５の内壁に付着するおそれがある。そのようになると、排出管５５に処理液が貯まり、オリフィス５０の二次側に処理液が満たされた液密状態となり、図２に示したように、処理液吐出停止時にノズル１０からの処理液の急激な吸引が生じてノズル１０の内壁への処理液付着が生じるおそれがある。
【００３９】
第２実施形態においては、内径の大きな排出管５５を介してオリフィス５０の二次側が大気空間と連通しており、第１実施形態と同様に、オリフィス５０の二次側は気体空間と接触していることとなる。このため、処理液吐出停止時にオリフィス５０の一次側で強い負圧が瞬間的に発生したときには、図４に示したように、オリフィス５０の二次側から一次側に向けて大気が微小な開口を通過してサックバック配管３０に気体が引き込まれることとなる。その結果、処理液吐出停止時にノズル１０近傍の処理液が急激に上流側に向けて吸引されるのを抑制し、ノズル１０の配管内壁に処理液の液滴Ｄが付着して残るのを確実に防止することができる。
【００４０】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。図６は、第３実施形態の処理液吐出装置３の要部構成を示す図である。図６において、第１および第２実施形態と同一の要素については同一の符合を付している。第３実施形態の処理液吐出装置３が第２実施形態の処理液吐出装置２と相違するのは、排出管５５の後段にさらにドレン管４８を接続している点である。ドレン管４８を除く第３実施形態の処理液吐出装置３の残余の構成は第２実施形態の処理液吐出装置２と同じである。
【００４１】
ドレン管４８は、主配管２０およびサックバック配管３０と同じ材質で形成され、その径も主配管２０およびサックバック配管３０と同じである。ドレン管４８は、その長手方向（つまり管の軸心方向）が水平方向に沿うように排出管５５に接続される。第３実施形態においては、排出管５５の上端はオリフィス５０に接続されるとともに、排出管５５の下端がドレン管４８に接続されている。そして、ドレン管４８はドレン４５に接続されている。
【００４２】
第２実施形態と同様に、ノズル１０から処理液を吐出するときには、小流量ながらもオリフィス５０の開口から処理液が流れ出ている。オリフィス５０の開口からは処理液の液滴が断続的に滴下するように処理液が流れ出るのであるが、排出管５５の内径は主配管２０およびサックバック配管３０の内径よりも大きいため、オリフィス５０から流れ出た処理液が排出管５５の内壁の一部に液滴として付着することはあっても、その液滴が排出管５５の流路を閉塞することは無い。
【００４３】
一方、排出管５５を経て水平方向のドレン管４８に流れ込んだ処理液はドレン管４８の流路に滞留して当該流路を閉塞することがある。従って、第３実施形態においては、厳密にはオリフィス５０の二次側が大気空間と連通していない。但し、オリフィス５０の二次側に直接接続されている排出管５５の流路が処理液によって閉塞されることはないため、オリフィス５０の二次側は、大気空間と連通はしていないものの、液密状態ではなく気体空間と接触していることとなる。
【００４４】
第３実施形態において、ノズル１０からの処理液吐出停止時にオリフィス５０の一次側で強い負圧が瞬間的に発生したときには、排出管５５内に滞留していた気体がオリフィス５０の二次側から一次側に向けて微小な開口を通過してサックバック配管３０に引き込まれることとなる。それにともなって、ドレン管４８の流路に滞留して当該流路を閉塞していた処理液も排出管５５に向けて若干逆流する。ドレン管４８の内径はオリフィス５０の開口径に比較して著しく大きい。従って、オリフィス５０の二次側から一次側に向けて処理液が微小な開口を通過する抵抗に比較してドレン管４８内を処理液が逆流する抵抗は顕著に小さい。
【００４５】
このため、ドレン管４８の流路に処理液が滞留して当該流路が閉塞されていたとしても、オリフィス５０の二次側が液密状態ではなく気体空間と接触していれば、処理液吐出停止時にオリフィス５０の二次側から一次側に向けて気体が微小な開口を通過してサックバック配管３０に気体が引き込まれることとなるのである。その結果、処理液吐出停止時にノズル１０近傍の処理液が急激に上流側に向けて吸引されるのを抑制し、ノズル１０の配管内壁に処理液の液滴Ｄが付着して残るのを確実に防止することができる。
【００４６】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。図７は、第４実施形態の処理液吐出装置４の要部構成を示す図である。図７において、第１実施形態と同一の要素については同一の符合を付している。第４実施形態の処理液吐出装置４が第１実施形態と相違するのは、サックバック配管３０の経路途中にオリフィス５０を設けるとともに、オリフィス５０の二次側近傍のサックバック配管３０に吸気穴３６を設けている点である。これらを除く第４実施形態の処理液吐出装置４の残余の構成は第１実施形態の処理液吐出装置１と同じである。
【００４７】
第１実施形態ではサックバック配管３０の端部にオリフィス５０が設けられていたのに対して、第４実施形態ではサックバック配管３０の経路途中にオリフィス５０が設けられている。そして、サックバック配管３０のうちオリフィス５０の二次側の近傍に吸気穴３６が形成されている。吸気穴３６の大きさは気体が通過可能な程度であれば良く、例えばオリフィス５０の開口径と同程度であっても良い。
【００４８】
ノズル１０から処理液を吐出するときには、オリフィス５０の開口から処理液が流れ出てサックバック配管３０を流れる。内径４ｍｍのサックバック配管３０では、オリフィス５０から流れ出た処理液が表面張力によってサックバック配管３０の流路を閉塞するようにサックバック配管３０の内壁に付着し、サックバック配管３０に処理液が貯まってオリフィス５０の二次側が処理液で満たされた液密状態となるおそれがある。そうすると、図２に示したように、処理液吐出停止時にノズル１０からの処理液の急激な吸引が生じてノズル１０の内壁への処理液付着が生じるおそれがある。
【００４９】
第４実施形態においては、サックバック配管３０のうちオリフィス５０の二次側の近傍に吸気穴３６を形成している。吸気穴３６を設けることによって、オリフィス５０から流れ出た処理液によるサックバック配管３０の閉塞が防止され、オリフィス５０の二次側は液密状態ではなく吸気穴３６を介して気体空間と接触していることとなる。
【００５０】
第４実施形態において、ノズル１０からの処理液吐出停止時にオリフィス５０の一次側で強い負圧が瞬間的に発生したときには、サックバック配管３０の外部から吸気穴３６を通って取り込まれた気体がオリフィス５０の二次側から一次側に向けて微小な開口を通過してサックバック配管３０に引き込まれることとなる。その結果、処理液吐出停止時にノズル１０近傍の処理液が急激に上流側に向けて吸引されるのを抑制し、ノズル１０の配管内壁に処理液の液滴Ｄが付着して残るのを確実に防止することができる。
【００５１】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態について説明する。図８は、第５実施形態の処理液吐出装置５の要部構成を示す図である。図８において、第１実施形態と同一の要素については同一の符合を付している。第５実施形態の処理液吐出装置５が第１実施形態と相違するのは、サックバック配管３０の経路途中にオリフィス５０を設けるとともに、オリフィス５０の二次側近傍のサックバック配管３０に吸気管５６を設けている点である。これらを除く第５実施形態の処理液吐出装置５の残余の構成は第１実施形態の処理液吐出装置１と同じである。
【００５２】
第１実施形態とは主配管２０の屈曲形状が異なるものの、第５実施形態の主配管２０およびサックバック配管３０の機能的構成は第１実施形態と同じである。すなわち、処理液供給源２８から送給された処理液は主配管２０によってノズル１０に導かれる。主配管２０の経路途中にはバルブ２５が設けられている。そして、主配管２０の経路のうちバルブ２５よりもノズル１０に近い下流側の部位からサックバック配管３０が分岐されている。
【００５３】
第４実施形態と同様に、第５実施形態でもサックバック配管３０の経路途中にオリフィス５０が設けられている。そして、サックバック配管３０のうちオリフィス５０の二次側の近傍に吸気管５６が接続されている。吸気管５６の材質および径は主配管２０およびサックバック配管３０と同じである。吸気管５６は、少なくともその先端近傍が上側を向くようにサックバック配管３０に接続されている。
【００５４】
第４実施形態の吸気穴３６と同じように、第５実施形態においては、吸気管５６を設けることによって、オリフィス５０から流れ出た処理液によるサックバック配管３０の閉塞が防止され、オリフィス５０の二次側は液密状態ではなく吸気管５６を介して気体空間と接触していることとなる。
【００５５】
第５実施形態において、ノズル１０からの処理液吐出停止時にオリフィス５０の一次側で強い負圧が瞬間的に発生したときには、サックバック配管３０の外部から吸気管５６を通って取り込まれた気体がオリフィス５０の二次側から一次側に向けて微小な開口を通過してサックバック配管３０に引き込まれることとなる。その結果、処理液吐出停止時にノズル１０近傍の処理液が急激に上流側に向けて吸引されるのを抑制し、ノズル１０の配管内壁に処理液の液滴Ｄが付着して残るのを確実に防止することができる。
【００５６】
また、第５実施形態の吸気管５６はその先端近傍が上側を向くように設けられているため、オリフィス５０から流れ出た処理液が吸気管５６から漏れ出ることが抑制される。
【００５７】
＜変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、第２および第３実施形態において径の太い排出管５５を設けるのに代えて、オリフィス５０の二次側近傍の排出管５５の内壁を凸状に膨らませるようにしても良い。このようにしてもオリフィス５０の二次側近傍に処理液が滞留して液密状態となることは抑制され、オリフィス５０の二次側が気体空間と接触することとなるため、処理液吐出停止時にオリフィス５０の二次側から一次側に向けて気体が微小な開口を通過してサックバック配管３０に引き込まれることとなる。
【００５８】
また、オリフィス５０の二次側近傍の排出管５５の内壁に親水化処理を施してぬれ性を高めることによって、処理液による排出管５５の閉塞を防止するようにしても良い。このようにしてもオリフィス５０の二次側近傍に処理液が滞留して液密状態となることは抑制され、オリフィス５０の二次側が気体空間と接触することとなるため、処理液吐出停止時にオリフィス５０の二次側から一次側に向けて気体が流れてサックバック配管３０に引き込まれることとなる。
【００５９】
要するに、オリフィス５０を通過した処理液の液滴が付着することによる閉塞が生じない排出管５５をオリフィス５０の二次側に接続するようにすれば、オリフィス５０の二次側が液密状態ではなく気体空間と接触することとなり、上記各実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６０】
また、オリフィス５０の二次側に空気貯まり室を設けてオリフィス５０の二次側が気体空間と接触するようにしても良い。集約すると、バルブ２５が開いてオリフィス５０から処理液が流れ出ているときにもオリフィス５０の二次側が液密状態とならずに気体空間と接触しており、バルブ２５が閉じて処理液吐出を停止したときにオリフィス５０の二次側から一次側に気体が通過可能な構成とされていれば良い。このようにすれば、処理液吐出停止時にオリフィス５０の二次側から一次側に向けて気体が流れてサックバック配管３０に引き込まれ、その結果、ノズル１０近傍の処理液が急激に上流側に向けて吸引されるのが抑制され、ノズル１０の配管内壁に処理液の液滴Ｄが付着して残るのを確実に防止することができる。
【００６１】
また、主配管２０に設けられたバルブ２５をスピードコントロール機能付きのバルブとしても良い。処理液吐出を停止するときのバルブ２５の閉止速度を遅くすれば、バルブ２５よりも下流側に生じる負圧が小さくなり、ノズル１０近傍の処理液が急激に上流側に向けて吸引されるのをより確実に防止することができる。
【符号の説明】
【００６２】
１，２，３，４，５  処理液吐出装置
１０  ノズル
２０  主配管
２５  バルブ
２８  処理液供給源
３０  サックバック配管
３６  吸気穴
４５  ドレン
４８  ドレン管
５０  オリフィス
５５  排出管
５６  吸気管
８０  処理部
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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