(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの清掃面を清掃する清掃装置であって、
一方向に上記ワークを搬送する搬送機構、及び上記搬送機構によって搬送される上記ワークの清掃面に長尺状の清掃布の一部を接触させて上記清掃面を清掃すべく上記清掃布を送給する送給機構を備え、
上記清掃布の一方の面が上記ワークの搬送方向における少なくとも二箇所において上記ワークに接触して上記ワークの清掃面を清掃し、
上記二箇所の清掃箇所の間で、上記清掃布に洗浄液を供給する洗浄液供給機構をさらに備え、
上記ワークの清掃面に向けて上記清掃布を押圧する第１清掃部材、
上記第１清掃部材よりも上記ワークの搬送方向の下流側において上記ワークの清掃面に向けて上記清掃布を押圧する第２清掃部材を有し、
上記洗浄液供給機構が、二つの上記清掃部材間に位置する上記清掃布の下側から上記清掃布が上記清掃面と接触する側の面に洗浄液を供給することを特徴とする清掃装置。
【請求項２】
上記送給機構が、上記清掃布を上記ワークの搬送方向と逆方向に送る請求項１に記載の清掃装置。
【請求項３】
上記洗浄液供給機構が、上記ワークの搬送方向の上流側で上記ワークと接触する箇所に位置する清掃布の一部に含浸する洗浄液の量が、上記ワークの搬送方向の下流側で上記ワークと接触する箇所に位置する清掃布の一部に含浸する洗浄液の量よりも多くなるよう洗浄液を供給する請求項１又は請求項２に記載の清掃装置。
【請求項４】
上記洗浄液供給機構が、上記第１清掃部材及び上記第２清掃部材よりも清掃布供給方向上流側に位置する上記清掃布の部分にも洗浄液を供給する請求項１、請求項２又は請求項３に記載の清掃装置。
【請求項５】
上記ワークの清掃面に向けて上記清掃布を押圧するための押圧ヘッドをさらに備え、
上記第１清掃部材及び上記第２清掃部材が上記押圧ヘッドに取り付けられ、
上記第１清掃部材及び第２清掃部材が、上記清掃面の平面上であって、且つ上記ワーク搬送方向に直交する方向に往復動する請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の清掃装置。
【請求項６】
透明な板状のワークを清掃するワーク清掃システムであって、
上記ワークの第１面を清掃する請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の一の清掃装置と、
上記清掃装置から搬出された上記ワークを反転させる反転装置と、
上記反転装置によって反転された上記ワークを搬送しつつ上記ワークの第２面を清掃する請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の他の清掃装置と
を備えるワーク清掃システム。
【請求項７】
上記第１清掃装置及び上記第２清掃装置により清掃された上記ワークの少なくとも一方の面の付着物を除去する異物除去機構をさらに備えた請求項６に記載のワーク清掃システム。
【請求項８】
上記第１清掃装置及び上記第２清掃装置により清掃された上記ワークを検査する検査機構をさらに備えた請求項６又は請求項７に記載のワーク清掃システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、清掃装置及びワーク清掃システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話やスマートフォン等には、ガラス基板が用いられている。ガラス基板は、ガラス基板の製造装置によって製造される。ガラス基板を製造する際には、ガラス基板の表面に切削により生ずるガラス粉等が付着する場合がある。また、ガラス基板の搬送中にも埃等が付着するおそれがある。これらのガラス粉や埃等を取り除くためにはガラス基板の表面を清掃する必要がある。
【０００３】
ガラス基板の表面を清掃する装置としては、ベルトコンベア上に敷いた清浄な布の上に透明板を載置して、アルコールを含んだ布で透明板の上面全体の汚れを払拭する清掃装置が提案されている（中国特許出願公開第１０２６９８９８８号）。
【０００４】
また、ガラス基板の端子部を清掃するものとして国際公開２０１０／００４４５６号公報のものが提案されている。この公報所載の装置は、一枚の長尺シートが第１押付けヘッド及び第２押付けヘッドに架け渡されている。この第１押付けヘッドにおいて長尺シートに洗浄液が含浸され、長尺シートのアルコールが含浸した面で清掃を行い、第１押付けヘッドと第２押付けヘッドとの間で長尺シートがシート反転手段によって裏返され、長尺シートの裏返された面で乾拭きを行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】中国特許出願公開第１０２６９８９８８号公報
【特許文献２】国際公開２０１０／００４４５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の構成では、アルコールが多量に含まれた布で清掃した場合にはガラス板にアルコールによる筋が残る場合があったり、汚れが残るおそれがある。このため、アルコールが浸透させられた布で清掃した後に、乾燥した布で乾拭きすることも考えられるが、この場合、アルコールが浸透した布と乾拭き用の布とを用いるため、コスト高となるおそれがあり、またメンテナンスが複雑になる。
【０００７】
特許文献２に記載の構成では、長尺シートを反転させる機構が複雑であるため、コスト高となるおそれがある。
【０００８】
そこで、本発明は、ワークの清掃面を容易かつ確実に清掃でき、コスト高及びメンテンナンスの複雑性を抑制可能な清掃装置、及びワーク清掃システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するためになされた発明は、
ワークの清掃面を清掃する清掃装置であって、
一方向に上記ワークを搬送する搬送機構、及び上記搬送機構によって搬送される上記ワークの清掃面に長尺状の清掃布の一部を接触させて上記清掃面を清掃すべく上記清掃布を送給する送給機構を備え、
上記清掃布の一方の面が上記ワークの搬送方向における少なくとも二箇所において上記ワークに接触して上記ワークの清掃面を清掃することを特徴とする。
【００１０】
当該清掃装置にあっては、搬送機構によって搬送されるワークは、清掃面が清掃布に接触しつつ拭き取られることで清掃される。ここで、清掃面は、ワーク搬送中において、一枚の長尺状の清掃布の一方の面に少なくとも二回当接して清掃されるので、ワークの清掃面を確実に清掃することができる。また、当該清掃装置にあっては、従来の端子部の清掃装置のように清掃布の反転手段を設ける必要がないので、コスト高及びメンテンナンスの複雑性を抑制することができる。
【００１１】
当該清掃装置は、上記二箇所の清掃箇所の間で、上記清掃布に洗浄液を供給する洗浄液供給機構をさらに備えるとよい。これにより、二箇所の清掃箇所で洗浄液の含浸量が異なる清掃を行うことかできる。
【００１２】
上記洗浄液供給機構は、上記清掃布の上記清掃面に接触する側の面から洗浄液を供給するとよい。これにより、洗浄液が確実に含浸された清掃布の面によって清掃面を清掃できる。
【００１３】
上記送給機構は、清掃布を上記ワーク搬送方向と逆方向に送ることが好ましい。このように清掃布が送給機構によってワーク搬送方向と逆方向に送られることで、ワーク搬送方向下流側（清掃布送給方向上流側）において未使用（未当接）の清掃布がワークの清掃面と当接し、ワーク搬送方向上流側（清掃布送給方向下流側）において使用後（当接済）の清掃布がワークの清掃面と当接する。このため、ワーク搬送方向につれて汚れの少ない清掃布の部分でワークの清掃面を清掃することができる。なお、送給機構が清掃布をワーク搬送方向と逆方向に送るとは、少なくとも清掃布がワークと接触する箇所（清掃箇所）において清掃布がワークの搬送方向と逆方向に送られていることを意味し、ワークと接触していない箇所の送給方向は問わない。
【００１４】
上記洗浄液供給機構が、上記ワークの搬送方向の上流側で上記ワークと接触する箇所に位置する清掃布の一部に含浸する洗浄液の量が、上記ワークの搬送方向の下流側で上記ワークと接触する箇所に位置する清掃布の一部に含浸する洗浄液の量よりも多くなるよう洗浄液を供給するとよい。
【００１５】
これにより、ワーク搬送方向上流側において清掃面を洗浄液を多く含浸する清掃布の部分で清掃でき、またワーク搬送方向下流側において清掃面を洗浄液の含浸の少ない（又は洗浄液を含浸しない）清掃布の部分で清掃することができる。これにより、洗浄液を十分に含浸した清掃布によってワークの清掃面を清掃できるとともに、洗浄液による筋等の発生を的確に抑制でき、より確実な清掃を行うことができる。洗浄液の含浸の多い清掃布の一部で清掃することで、清掃面に付着した汚れを分解することができ、その後、洗浄液りの含浸の少ない清掃布の一部で拭き取ることで洗浄液を用いない場合や洗浄液供給量が一定の場合に比べて汚れを除去しやすい。なお、当接箇所が三か所以上の場合において、「ワークの搬送方向の上流側でワークと接触する箇所に位置する清掃布の一部に含浸する洗浄液の量が、ワークの搬送方向の下流側でワークと接触する箇所に位置する清掃布の一部に含浸する洗浄液の量よりも多い」とは、当接箇所のうち清掃布の最も洗浄液の含浸の多い当接箇所における洗浄液の含浸量が、ワークの搬送方向の最下流の当接箇所における清掃布の洗浄液の含浸量よりも多いことを意味する。
【００１６】
さらに、当該清掃装置は、記ワークの清掃面に向けて上記清掃布を押圧する第１清掃部材、上記第１清掃部材よりも上記ワークの搬送方向の下流側において上記ワークの清掃面に向けて上記清掃布を押圧する第２清掃部材を備え、上記洗浄液供給機構が、二つの上記清掃部材間に位置する上記清掃布の部分に洗浄液を供給するとよい。
【００１７】
これにより、第１清掃部材及び第２清掃部材における清掃布の部分がワークの清掃面に押圧されて、このワークの清掃面を清掃できる。この二つの上記清掃部材間に位置する清掃布の部分に洗浄液供給機構によって洗浄液か供給されるので、この二つの上記清掃部材において洗浄液の含浸量が異なる清掃を行うことかできる。
【００１８】
上記洗浄液供給機構は、上記第１清掃部材及び上記第２清掃部材よりも清掃布供給方向上流側に位置する上記清掃布の部分にも洗浄液を供給するとよい。
【００１９】
これにより、第１清掃部材及び第２清掃部材に接触する前の清掃布の部分にも洗浄液を含浸させることができる。このため、例えばワークの清掃面を乾拭きする場合、完全に乾燥した清掃布によるよりも若干洗浄液が含浸されている清掃布によって清掃することで、より綺麗に清掃面を清掃することができる場合があり、そのような場合に上記構成を採用することによって、より確実な清掃が可能となる。
【００２０】
当該清掃装置は、上記ワークの清掃面に向けて上記清掃布を押圧するための押圧ヘッドをさらに備え、上記第１清掃部材及び上記第２清掃部材が上記押圧ヘッドに取り付けられ、第１清掃部材及び第２清掃部材が、上記清掃面の平面上であって、且つ上記ワーク搬送方向に直交する方向に往復動する構成を採用するとよい。
【００２１】
これにより、清掃布が第１清掃部材及び第２清掃部材よってワークの清掃面に押圧されつつ、第１清掃部材及び第２清掃部材が上記方向に往復動することで、ワークの清掃面に接触した清掃布がワークの搬送方向の直交方向に摺動して、清掃面をより確実に清掃することができる。
【００２２】
上記課題を解決するためになされた別の発明は、
透明な板状のワークを清掃するワーク清掃システムであって、
上記ワークの第１面を清掃する上記構成からなる当該清掃装置と、
上記清掃装置から搬出された上記ワークを反転させる反転装置と、
上記反転装置によって反転された上記ワークを搬送しつつ上記ワークの第２面を清掃する上記構成からなる他の当該清掃装置と
を備えるワーク清掃システムである。
【００２３】
当該ワーク清掃システムは、一の当該清掃装置により一方の面が清掃された透明な板状のワークを反転しつつ他の当該清掃装置に移送することで、ワークの両面を効率的に清掃できる。また、当該ワーク清掃システムは、板状のワークの両面の清掃を当該清掃装置によって行うため、ワークの両面を確実に清掃することができる。
【００２４】
当該ワーク清掃システムは、上記第１清掃装置及び上記第２清掃装置により清掃された上記ワークの少なくとも一方の面の付着物を除去する異物除去機構をさらに備えるとよい。これにより、上記ワークに付着物が付着しても、異物除去機構によって的確に除去することができる。
【００２５】
当該ワーク清掃システムは、上記第１清掃装置及び上記第２清掃装置により清掃された上記ワークを検査する検査機構をさらに備えるとよい。これにより、上述のように清掃されたワークを検査機構によって検査することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の清掃装置及びワーク清掃システムは、ワークの清掃面を容易かつ確実に清掃でき、コスト高及びメンテンナンスの複雑性を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１実施形態のワーク清掃システムを示す模式的側面図である。
【図２】図１のワーク清掃システムの第１清掃装置の模式的側面図である。
【図３】図２の第１清掃装置の押圧ヘッドの模式的側面図である。
【図４】図１のワーク清掃システムの反転装置を示す模式的平面図である。
【図５】図４の反転装置の模式的側面図である。
【図６】図１と異なるワーク清掃システムを示す模式的側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。先ず、図１から図５を参照しながら、本発明の第１実施形態の清掃装置を具備するワーク清掃システム１について説明する。
【００２９】
［第１実施形態］
図１のワーク清掃システム１は、例えばスマートフォンに用いられるカバーガラスやタッチパネル等の透明板Ｐ（ワーク）を清掃するためのシステムである。より具体的には、本実施形態のワーク清掃システムは、自動的に、透明板Ｐの両面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２（清掃面））を清掃すると共に透明板Ｐに付着した異物を除去し、さらに透明板Ｐの欠陥を検査するシステムである。本実施形態においては、ワーク（清掃対象物）は上記透明板のような薄板状物であり、清掃面はこの薄板状物の両面である。
【００３０】
本実施形態のワーク清掃システム１は、二つの本実施形態の清掃装置を具備し、二つの当該清掃装置の間に反転装置が配置されている。具体的には、当該ワーク清掃システム１は、透明板Ｐを搬送しつつこの透明板Ｐの第１面ｐ１を清掃する第１清掃装置１０Ａ、この第１清掃装置１０Ａから搬出された透明板Ｐを反転させる反転装置３０、この反転装置３０によって反転された透明板Ｐを搬送しつつこの透明板Ｐの第２面ｐ２（第１面ｐ１の反対面）を清掃する第２清掃装置１０Ｂ、この第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去可能な異物除去装置５０、及び上記異物除去装置５０から排出される透明板Ｐを検査する検査装置７０を備えている。なお、図１等に示すように、第１清掃装置１０Ａの透明板Ｐの搬送方向Ｘと、第２清掃装置１０Ｂの透明板Ｐの搬送方向Ｘとは、同一方向である。ここで、搬送方向Ｘは、第１清掃装置１０Ａから第２清掃装置１０Ｂに向かう方向である。また、本実施形態のワーク清掃システム１は、第１清掃装置１０Ａに透明板Ｐを供給するローダ装置９０を有している。
【００３１】
本実施形態のワーク清掃システム１は、各種装置の動作を制御等する制御装置（図示省略）をさらに備えている。
【００３２】
＜清掃装置＞
本実施形態の第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、一方向（搬送方向Ｘ）にワーク（透明板Ｐ）を搬送する搬送機構１１、及びこの搬送機構１１によって搬送される透明板Ｐの清掃面に長尺状の清掃布Ｃの一部を接触させて清掃面を清掃すべく清掃布を送給する送給機構２５を備えている。具体的には、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、図２及び図３に示すように、透明板Ｐを搬送する搬送機構１１、透明板Ｐに当接する長尺状の清掃布Ｃ、清掃布Ｃを透明板Ｐに向けて押圧するための二つの押圧ヘッド１３、清掃布Ｃを送る送給機構２５、及び清掃布Ｃに洗浄液を供給する洗浄液供給機構２８を有している。この搬送機構１１、押圧ヘッド１３、送給機構２５及び洗浄液供給機構２８は、上記制御装置によって動作が制御されている。なお、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、後述するように一部の構成（例えば載置用長尺布）において相違し、他の部分は同一構成を有している。また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、搬送機構１１、清掃布Ｃ、押圧ヘッド１３、送給機構２５及び洗浄液供給機構２８を内蔵する筐体１０ｈを有している。この筐体１０ｈ（図１参照）は、透明板Ｐの搬入口及び搬出口（図示省略）を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂにおける透明板Ｐの清掃が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。なお、この筐体１０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。
【００３３】
（搬送機構）
搬送機構１１は、清掃対象物である透明板Ｐを搬送方向Ｘに搬送する機構である。搬送機構１１は薄板状物である透明板Ｐを透明板Ｐの平面方向に搬送し、具体的には、本実施形態においては、搬送機構１１は、透明板Ｐを清掃面（第１面及び第２面）が上方を向いた状態で載置され、水平方向に搬送する機構である。なお、「平面方向に搬送する」とは、透明板Ｐの清掃面（上記第１面ｐ１及び第２面ｐ２）に沿った方向のうちの１つの方向に搬送することを意味する。
【００３４】
第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１は、透明板Ｐを載置、つまりは透明板Ｐの下側に位置する面（第２面（清掃対象である第１面の反対側の面））の全面が接した状態で透明板Ｐを搬送する。このように透明板Ｐは第２面全面が接した状態で搬送されることで、搬送機構１１と清掃布Ｃとの間で全面的に挟持され、上方に位置する面（第１面）が清掃される。この第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１としては、例えばベルトコンベアから構成できる。
【００３５】
第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１は、透明板Ｐを載置、つまりは透明板Ｐの下側に位置する面（第１面（清掃対象である第２面の反対側の面））の全面が接した状態で透明板Ｐを搬送する。このように透明板Ｐは第１面が接した状態で搬送されることで、搬送機構１１と清掃布Ｃとの間で全面的に挟み込まれ、第２面が清掃される。この第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１としては、例えば図１に示すようにベルトコンベアと、このベルトコンベア上に供給され、ベルトコンベアと同じ速度で移動する清浄な載置用長尺シート１２とを有するものが採用できる。このように第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１が、載置用長尺シート１２を有することで、第１清掃装置１０Ａによって清掃された透明板Ｐの第１面が載置用長尺シート１２に接触した状態で載置されることとなり、第１面が第２清掃装置１０Ｂ内で汚れることを防止できる。なお、本実施形態では、第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１で搬送される透明板Ｐの高さ（上下高さ）は、第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１で搬送される透明板Ｐの高さ未満である。
【００３６】
上記ベルトコンベアについてさらに詳述する。ベルトコンベアは、搬送ベルト１１ａ、搬送従動ローラ１１ｂ及び搬送駆動ローラ１１ｃを備えている。搬送ベルト１１ａは無端状のベルト部材からなり、この搬送ベルト１１ａが搬送従動ローラ１１ｂ及び搬送駆動ローラ１１ｃに架け渡されており、搬送駆動ローラ１１ｃの回転に伴って搬送ベルト１１ａが循環すると共に搬送従動ローラ１１ｂも回転する。この搬送従動ローラ１１ｂは、後述する搬送方向Ｘにおいて上流側に位置する押圧ヘッド１３のさらに上流側に配され、搬送駆動ローラ１１ｃは、後述する搬送方向Ｘにおいて下流側に位置する押圧ヘッド１３のさらに下流側に配されている。なお、搬送駆動ローラ１１ｂと搬送従動ローラ１１ｃとの配設箇所を逆とすることも可能である。
【００３７】
また、第１清掃機構の搬送機構１１は、上記ローダ装置９０（図１参照）から透明板Ｐを受け取り、清掃後に反転装置３０に受け渡す第１受渡領域Ａ１（図５及び図６参照）まで透明板Ｐを搬送する。また、第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１は、反転装置３０から第２受渡領域Ａ２（図５及び図６参照）において透明板Ｐを受け取り、透明板Ｐの排出領域まで透明板Ｐを搬送して排出する。
【００３８】
（清掃布）
清掃布Ｃは、清掃箇所において透明板Ｐに接触されながら動かされることで透明板Ｐの清掃面（上側に位置する面）を清掃する。清掃布Ｃは、清掃箇所において一方の面が透明板Ｐの清掃面に対面するよう供給され、上記押圧ヘッド１３によって透明板Ｐの清掃面に押し付けられながら清掃面を拭き取ることで清掃面を清掃する。
【００３９】
この清掃布Ｃとしては、繊維製のものが用いられ、例えば織物が用いられる。この繊維としては、天然繊維、合成繊維等、種々のものが採用可能である。また繊維製の清掃布Ｃとして不織布を用いることもできる。不織布を用いる場合、不織布としては、乾式法、湿式法、メルトブロー法によってフリースが形成されるものを用いることができる。
【００４０】
（押圧ヘッド）
二つの上記押圧ヘッド１３は、図１及び図２に示すようにそれぞれ透明板Ｐの搬送方向Ｘに順次並べて配置されている。
【００４１】
各押圧ヘッド１３には、図２及び図３に示すように清掃布Ｃの一部を透明板Ｐに向けて押圧する第１清掃部材１４、及び清掃布Ｃの第１清掃部材１４よりも搬送方向Ｘの下流側の部分を透明板Ｐに向けて押圧する第２清掃部材１５が取付けられている。つまり、本実施形態においては、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、それぞれ清掃布Ｃと透明板Ｐとが接触する清掃箇所が、透明板搬送方向に並べて４箇所設けられている。なお、本実施形態においては、二つの押圧ヘッド１３は同一構成を有している。この第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５は、例えばシリコン等の弾性部材から構成される。
【００４２】
各押圧ヘッド１３は、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５それぞれを清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Ｘの直交方向に往復動させる清掃部材駆動機構（図示省略）を有している。なお、「清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Ｘの直交方向」とは、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５が清掃布Ｃを透明板Ｐの清掃面に接触させることのできる平面内における搬送方向Ｘの直交方向であることを意味し、具体的には清掃面と平行な面上であり且つ搬送方向Ｘの直交方向を意味する。
【００４３】
上記ヘッド１３は、上下動可能に設けられている。つまり、搬送機構１１（搬送ベルト）に対して接近及び離反可能に設けられている。このため、清掃作業に際しては、ヘッド１３を下降させることで清掃布Ｃを透明板Ｐの清掃面に当接させることができ、またメンテナンス作業等に際してはヘッド１３を上昇させることができる。
【００４４】
（送給機構）
図１を参照して送給機構２５について説明する。上記清掃布Ｃは、上述のように送給機構２５によって送られる。ここで、送給機構２５は、主動ローラ２５ａ及び従動ローラ２５ｂを有している。清掃布Ｃは、この主動ローラ２５ａ及び従動ローラ２５ｂに架け渡され、主動ローラ２５ａの回転によって透明板Ｐの清掃後の清掃布Ｃの部分は主動ローラ２５ａに巻き取られる。このとき、従動ローラ２５ｂから未使用の清掃布が繰り出される。
【００４５】
送給機構２５は、透明板Ｐの搬送方向Ｘと逆方向（図２のＹ方向）に清掃布Ｃを送るよう設けられている（図２参照）。つまり、清掃布Ｃは、送給機構２５によって、清掃箇所（透明板Ｐと当接する箇所）において清掃布Ｃが搬送方向Ｘの逆方向（図２のＹ方向）に送られる。上記主動ローラ２５ａは、全ての清掃部材１４，１５よりも搬送方向Ｘの上流側に配置され、上記従動ローラ２５ｂは、全ての清掃部材１４，１５よりも搬送方向Ｘの下流側に配置されている。なお、本実施形態においては、送給機構は、清掃布Ｃを連続的に送るが、間欠的に送ることも可能であり、例えば清掃箇所において透明板Ｐに接触する際に清掃布Ｃを送り、接触しない時に清掃布Ｃの送給を停止するよう設けることも可能である。
【００４６】
また、送給機構２５は、二つの上記押圧ヘッド１３の間に位置する清掃布Ｃの一部を、透明板Ｐから離間させるようにガイドしている。具体的には、送給機構２５は、二つの押圧ヘッド１３間においてベルトコンベアの上方に配されたローラ２６を有している。送給機構２５では、このローラ２６に二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃが架け渡されていることで二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃの一部が透明板Ｐから離間されている。
【００４７】
このローラ２６は、テンションローラから構成されている。つまり、送給機構２５はテンションローラを有するテンション調整部を備え、清掃布Ｃに作用するテンションがテンション調整部によって調整されている。具体的には、テンション調整部は、上下に並べて配された二つのテンションローラを有し、上方のテンションローラは搬送方向Ｘの下流側に配置された押圧ヘッド１３における清掃布Ｃの一部のテンションを調整し、下方のテンションローラは搬送方向Ｘの上流側に配置された押圧ヘッド１３における清掃布Ｃの一部のテンションを調整している。
【００４８】
なお、上記送給機構２５は、４つの清掃箇所（４つの清掃部材１４，１５）において清掃布Ｃを裏返していない。つまり、４つの清掃箇所において清掃布Ｃは一方の面において透明板Ｐの清掃面に接触し、他方の面は各清掃部材１４，１５に接触する。
【００４９】
（洗浄液供給機構）
上記清掃布Ｃには、上述のように洗浄液供給機構２８によって洗浄液が供給される。このため、洗浄液が含浸された清掃布Ｃによって透明板Ｐが清掃される。本実施形態において洗浄液供給機構２８は、搬送方向Ｘにおいて第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５間に位置する清掃布Ｃの一部にそれぞれ洗浄液を供給すると共に、後述するように押圧ヘッド１３よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する清掃布Ｃの一部にも洗浄液を供給している。
【００５０】
洗浄液供給機構２８は、図３に示すように第１清掃部材１４と第２清掃部材１５との間に設けられた供給ノズル２８ｂを有している。この供給ノズル２８ｂは、清掃布Ｃの清掃面に接触する側の面から洗浄液を供給している。具体的には、供給ノズル２８ｂは、第１清掃部材１４と第２清掃部材１５との間において清掃布Ｃの透明板Ｐに対面する面、より具体的には清掃布Ｃの下側の面に洗浄液を供給している。
【００５１】
供給ノズル２８ｂは図示しない洗浄液貯蔵タンクに接続されている。供給ノズル２８ｂは、上方に向かって洗浄液を供給する。供給ノズル２８ｂから供給された洗浄液は、清掃布Ｃに含浸して透明板Ｐの清掃面に到達する。供給ノズルから供給される洗浄液の量は、透明板Ｐに付着した汚れを分解可能であり、且つ清掃部材１５により清掃布Ｃの一部が押圧されて拭き取り動作が行われたとしても筋が残らないように調整されている。供給ノズル２８ｂは、先細形状となっている。本実施形態では、上述のような構成となっているが、清掃布Ｃの上方から下方に向かって洗浄液を供給する構成を採用することもできる。
【００５２】
上記洗浄液としては、特に限定されるものではないが、アルコールが好適に用いられ、中でもエタノールが特に好適に用いられる。
【００５３】
また、ワーク清掃システム１は、洗浄液供給機構２８として、搬送方向Ｘの下流側に配置された押圧ヘッド１３よりも清掃布Ｃの供給方向Ｙの上流側に位置している清掃布Ｃの部分に洗浄液を供給する洗浄液供給部２８をさらに有している（図１参照）。換言すれば、この洗浄液供給部２８は、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５よりも清掃布Ｃの供給方向Ｙの上流側に位置する清掃布の部分に洗浄液を供給している。この洗浄液供給部２８としては、噴射ノズル等の種々のものを採用可能である。なお、この洗浄液供給部２８における洗浄液の供給量は、清掃部材１４，１５における洗浄液の供給量よりも少ない。
【００５４】
＜反転装置＞
図１、図６及び図７を参照して反転装置３０について説明する。反転装置３０は、上述のように第１清掃装置１０Ａ（図１参照）から搬出された透明板Ｐを反転させて、第２清掃装置１０Ｂ（図１参照）に供給する装置である。具体的には、第１清掃装置１０Ａから順次第１受渡領域Ａ１（図６参照）に供給される透明板Ｐを、第２受渡領域Ａ２（図６参照）において第２清掃装置１０Ｂに受け渡している。
【００５５】
この反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１において透明板Ｐの第２面ｐ２を吸着し、第２受渡領域Ａ２において上記透明板Ｐを解放する保持部（吸着部３２）と、この保持部（吸着部３２）が一端側に付設されているアーム３３と、このアーム３３の他端側を支持する回転部３５とを備えている。なお、反転装置３０は、上記吸着部３２、アーム３３及び回転部３５等を内蔵する筐体３０ｈ（図１参照）を有し、この筐体３０ｈは、透明板Ｐの搬入口及び搬出口（図示省略）を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため反転装置３０における透明板Ｐの反転及び搬送が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。この反転装置３０の筐体３０ｈの搬入口は第１清掃装置１０Ａの筐体１０ｈの搬出口と気密に連結され、また、反転装置３０の筐体３０ｈの搬出口は第２清掃装置１０Ｂの筐体１０ｈの搬入口と気密に連結されている。なお、この反転装置３０の筐体３０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。
【００５６】
さらに、反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１に配設された仮受部材３１と、回転部３５に対して上記アーム３３を上記吸着部３２の吸引方向に突出又は後退する突出機構３４とを備える。反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１において一つの透明板Ｐを下側から支持する仮受部材３１を備えている。具体的には、仮受部材３１は、第１受渡領域Ａ１において第１清掃装置１０Ａ（図１参照）から排出された透明板Ｐの第２面ｐ２を一時的に支持する。吸着部３２は、仮受部材３１に支持されている透明板Ｐの第２面ｐ２を吸着する。アーム３３は伸縮可能である。具体的には、アーム３３は、吸着部３２が一端側に付設されており、回転部３５に支持される上記他端から吸着部３２が付設される上記一端に向かう方向に伸縮可能である。突出機構３４は、回転部３５とアーム３３との間に設けられ、上述のように回転部３５に対してアーム３３を吸着部３２の吸引方向に突出又は後退する機構である。具体的には、突出機構３４は、アーム３３の上記他端側を支持するエアシリンダからなる。回転部３５は、突出機構３４が固定され、これにより上述のようにアーム３３を支持している。回転部３５は、吸着部３２に吸着される透明板Ｐと平行な平面上に位置する回転軸を中心に回転可能である。具体的には、この回転軸は、水平方向（透明板Ｐを搬送する方向に垂直な方向）であり、また吸着部３２の吸引する方向に垂直な方向に設けられている。反転装置３０は、複数の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４を備えており、これら複数の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４はそれぞれ対をなし、一対の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４は、それぞれ回転部３５の回転軸を中心に略回転対称に配設されている。なお、「略回転対称」とは、完全に回転対称である場合のみならず、第１受渡領域Ａ１における一の透明板Ｐの吸着と第２受渡領域Ａ２における他の透明板Ｐの解放とを同時に行うことができる程度に配置されている場合を含むものである。例えば、略回転対称となる一対の受渡領域（又はアーム或いは吸着部３２）の一方と回転軸との距離が、他方と回転軸との距離の９０％以上１１０％以下である場合であっても、受渡領域同士は略回転対称である。回転軸に対する角度差も同様であり、具体的には例えば略回転対称となる一対の受渡領域（又はアーム或いは吸着部３２）の一方と回転軸とを結ぶ仮想直線と、他方と回転軸とを結ぶ仮想直線とが、１０°未満となるような場合も、受渡領域同士は略回転対称である。
【００５７】
＜異物除去装置＞
図１を参照して異物除去装置５０について説明する。異物除去装置５０は、上述のように第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去するための装置である。当該ワーク清掃システム１では、繊維製の清掃布Ｃ等に起因する異物が透明板Ｐに付着していたとしても上記異物除去装置５０によって除去することができる。
【００５８】
この異物除去装置５０は、透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に接触する粘着面を有する粘着部材と、この粘着部材の粘着面に付着する異物を除去可能な粘着力回復機構を備えている。本実施形態において、異物除去装置５０は、透明板Ｐを挟んで互いに対向する二つの粘着部材５１を備えている。具体的には、異物除去装置５０は、透明板Ｐを挟んで上下に対向する一対の粘着ローラ５１（粘着部材）を備え、この粘着ローラ５１は、外周面に粘着力を有する。
【００５９】
また、異物除去装置５０は、図１に示すように第２清掃装置１０Ｂが排出した透明板Ｐが載置されるフリーローラ５２を有しており、上下一対の上記粘着ローラ５１は互いに駆動モータ（図示省略）によって回転され、粘着ローラ５１の回転によって透明板Ｐが下流側に搬送される。
【００６０】
上記粘着力回復機構は、粘着ローラ５１の粘着面に接触可能な長尺状の粘着テープ５３を有している。この粘着テープ５３は、上下一対の粘着ローラ５１それぞれに対して設けられる。
【００６１】
上記粘着テープ５３は、上記粘着ローラ５１の粘着面（外周面）よりも強い粘着力を有する粘着面を有しており、この粘着テープ５３の粘着面が粘着ローラ５１の粘着面に貼着され剥離されることで粘着ローラ５１に付着した異物を除去することができる。
【００６２】
異物除去装置５０は、上記粘着テープ５３を送る粘着テープ送給機構５４を有している。ここで、粘着テープ送給機構５４は、間欠的に粘着テープ５３を粘着ローラ５１に接触させるよう設けられている。粘着テープ送給機構５４は、具体的には粘着テープ５３が架け渡されると共に粘着ローラ５１に対面する粘着テープ用ローラ５４（粘着テープ送給機構）が粘着ローラ５１に接近・離反可能に設けられている。
【００６３】
なお、異物除去装置５０は、上記粘着ローラ５１及び粘着力回復機構５３等を内蔵する筐体５０ｈを有している。この筐体５０ｈは、透明板Ｐの搬入口及び搬出口を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられている。このため、異物除去装置５０では、上述のような異物除去が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。また、異物除去装置５０の筐体５０ｈの搬入口は第２清掃装置１０Ｂの筐体１０ｈの搬出口と気密に連結されている。なお、この異物除去装置５０の筐体５０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。
【００６４】
＜検査装置＞
上記検査装置７０は、上述のように異物除去装置５０から排出される透明板Ｐを検査する装置である。
【００６５】
この検査装置７０は、透明板Ｐを搬送する機構（図示省略）、搬送される透明板Ｐに光線を照射する照明部７１、及び光線を照射された透明板Ｐを撮像するカメラ７２を有している。なお、検査装置７０は、上記照明部７１及びカメラ７２等を内蔵する筐体７０ｈを有している。この筐体７０ｈは、透明板Ｐの搬入口及び搬出口（図示省略）を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられている。このため、検査装置７０では、透明板Ｐの検査が気密状態で行われる。この検査装置７０の筐体７０ｈの搬入口は異物除去装置５０の筐体５０ｈの搬出口と気密に連結されている。なお、この検査装置７０の筐体７０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。
【００６６】
本実施形態においては、検査装置７０は、複数対の上記照明部７１及びカメラ７２を有しており、複数対の照明部７１及びカメラ７２によって、反射光や透過光等による種々の画像が撮像される。当該ワーク清掃システムにあっては、上記画像が上記制御装置に送信され、制御装置によって透明板Ｐに異物の付着や欠陥の有無等の良否判定が行われる。
【００６７】
＜利点＞
当該ワーク清掃システム１によれば、第１清掃装置１０Ａによって透明板Ｐの第１面ｐ１が清掃され、第１面ｐ１を清掃した後の透明板Ｐが反転装置３０によって反転され、この反転された透明板Ｐの第２面ｐ２が第２清掃装置１０Ｂによって清掃されるため、人が介在することなく透明板Ｐの両面を清掃できる。
【００６８】
また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、それぞれ搬送機構１１によって透明板Ｐを搬送しつつ、この透明板Ｐの清掃面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２）を一枚の長尺状の清掃布Ｃの一方の面によって複数回清掃できる。このため、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂでは、複数の清掃箇所において所望の清掃を行うことができ、透明板Ｐの両面を確実に清掃することができる。また、複数の清掃箇所において清掃布Ｃを反転させることなく清掃布Ｃの一方の面によって清掃面を清掃するので、従来の端子部の清掃装置のように反転手段を設ける必要がないので、コスト高及びメンテンナンスの複雑性を抑制することができる。
【００６９】
また、清掃布Ｃは、上述のように一枚の清掃布Ｃの一方の面で複数回清掃面を清掃し、かつ清掃布Ｃは搬送方向Ｘと逆方向に送られるので、搬送方向Ｘの下流側（清掃布送給方向上流側）において未使用（未接触）の清掃布Ｃによって透明板Ｐを清掃し、搬送方向Ｘ上流側（清掃布送給方向下流側）において使用後（接触済）の清掃布Ｃによって透明板Ｐを清掃できる。このため、清掃布Ｃの各部分を複数回の清掃に用いることができると共に、搬送方向Ｘにつれて汚れの少ない状態の清掃布Ｃで透明板Ｐを清掃することができる。
【００７０】
また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、清掃布Ｃに洗浄液を供給する洗浄液供給機構を備えているので、洗浄液を含有する清掃布Ｃによって透明板Ｐの清掃面を好適に清掃することができる。
【００７１】
さらに、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃのテンションを調整するテンションローラを具備するので、各押圧ヘッド１３において清掃布Ｃに十分なテンションを与えることができ、より確実な清掃を行うことができる。
【００７２】
上記洗浄液供給機構２８は、押圧ヘッド１３の清掃布供給方向上流側の清掃布Ｃにも筋が残らない程度に微量な洗浄液を供給しているので、完全に乾燥した清掃布Ｃによるよりも若干洗浄液が含浸されている清掃布Ｃによって清掃することで、より綺麗に清掃面を清掃することができ、より確実な清掃が可能となる。
【００７３】
上記洗浄液供給機構２８は、押圧ヘッド１３の下方に位置する清掃布Ｃの透明板Ｐと接触する面（下方の面）に洗浄液を直接供給するため、効率よく清掃布Ｃで透明板Ｐを清掃できる。
【００７４】
また、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５が、清掃時において上記透明板Ｐの搬送方向Ｘの直交方向に往復動することで、この第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５に清掃布Ｃが搬送方向Ｘの直交方向に往復動するため、清掃布Ｃによって清掃面をより確実に清掃することができる。
【００７５】
また、当該ワーク清掃システムは、上述のように第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去可能な異物除去装置５０を備えているので、仮に上記清掃段階で透明板Ｐに繊維製の清掃布Ｃ等が起因する異物が付着したとしても、異物除去装置５０によって異物を的確に除去することかできる。
【００７６】
上記異物除去装置５０は、粘着ローラ５１の粘着面に付着する異物を除去可能な粘着テープ５３を備えているので、粘着ローラ５１の粘着面から付着した異物を粘着テープ５３によって除去することができ、これにより粘着ローラ５１の粘着面の粘着力が回復し、当該ワーク清掃システムを長期間好適な状態で運転することができる。
【００７７】
また、異物除去装置５０は、粘着テープ５３を送る粘着テープ送給機構５４を有し、この粘着テープ送給機構５４は、間欠的に粘着テープ５３を粘着ローラ５１に接触させるよう設けられているので、粘着テープの使用量を低減することができる。
【００７８】
さらに、当該ワーク清掃システムは、異物除去装置５０から排出される透明板Ｐを検査する検査装置７０を備えるので、検査装置７０によって透明板Ｐの欠陥等を発見することができると共に、清掃段階で透明板Ｐに繊維等の異物が付着したとしても、上述のように異物除去装置５０によって上記異物を的確に除去することかできるため、上記検査装置７０において上記異物によって透明板Ｐの欠陥と判断されるおそれが少ない。
【００７９】
［その他の実施形態］
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更（構成の置換、付加及び削除）が含まれることが意図される。
【００８０】
つまり、上記実施形態においては、第２清掃装置の搬送機構で搬送される透明板Ｐの高さ（上下高さ）は、第１清掃装置の搬送機構で搬送される透明板Ｐの高さ未満であるものについて説明したが、本発明はこれに限定されず、第１清掃装置及び第２清掃装置の搬送装置で搬送される透明板の高さが同一であっても良い。但し、当該ワーク清掃システムにおいて、第１清掃装置の搬送装置が透明板を搬送する高さ（位置）と第２清掃装置の搬送装置が透明板を搬送する高さ（位置）とが異なり、両搬送装置が透明板を搬送する高さ（位置）の間に回転部の回転軸が上下方向位置するように設けることが好ましく、これにより、反転装置が、平面視で回転部に重なるように透明板を保持できるので、第１受渡領域と第２受渡領域とを近く設定でき、当該ワーク清掃システムの専有面積を小さくできる。具体的には、図６に示すように、第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１で搬送される透明板Ｐが、第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１で搬送される透明板Ｐよりも高いものも、本発明の意図する範囲内である。なお、図６において、第１実施形態と同一の構成及び機能を有する部材については同一符号を用いた。
【００８１】
また、上記実施形態においては、第２清掃装置の筐体の搬出口と異物除去装置の筐体の搬入口とを気密に接続しているものについて説明したが、第２清掃装置と異物除去装置との間に別途ローダを配置することも可能である。さらに、検査装置の下流側にラミネート装置を配置し、検査終了後の透明板の両面に保護フィルムを貼着することも可能である。
【００８２】
上記実施形態では第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂの搬送機構としてベルトコンベアを用いたが、本発明はこれに限らず、透明板Ｐの下面を吸着した状態で搬送方向Ｘに向かって移動可能な搬送機構等を用いてもよい。
【００８３】
上記実施形態では、第１清掃部材と第２清掃部材としてそれぞれ同形状のパッドを用いるものを図示しているが、各パッドの形状を異ならしめることも可能である。また、第１清掃部材と第２清掃部材が１つの部材で構成されていてもよい。
【００８４】
上記の実施形態では、搬送方向Ｘにおいて洗浄液供給機構が押圧ヘッドよりも下流側で洗浄液を清掃布に供給する量が、押圧ヘッドにおいて清掃布に洗浄液を供給する量よりも少ない構成を示したが、これに限られない。目的や構成に応じて、搬送方向Ｘにおいて洗浄液供給機構が押圧ヘッドよりも下流側で洗浄液を清掃布に供給する量が、押圧ヘッドにおいて清掃布に洗浄液を供給する量よりも多い構成であってもよい。
【００８５】
上記の実施形態において、洗浄液供給機構は、直接清掃布に洗浄液を供給する構成を採用したが、これに限らず、例えば洗浄液を気化させて洗浄液に供給する構成やローラを用いて洗浄液を供給する構成であってもよい。
【００８６】
上記の実施形態では、１枚の清掃布で２つの押圧ヘッド１３を用いて清掃したが、本発明はこれに限らず、２枚以上の清掃布を用いた構成であってもよい。１枚の清掃布に対して２箇所以上で透明板Ｐを清掃する構成であればよい。
【００８７】
上記の実施形態では、２つの押圧ヘッド１３を備えた構成を採用したが、本発明はこれに限らず、清掃対象、状況や環境等に応じて１つの押圧ヘッドしか備えていない構成や３つ以上の押圧ヘッドを備えた構成であってもよい。
【００８８】
上記の実施形態では、第１清掃部材及び第２清掃部材が一体に上下動する構成を採用したが、これに限らず、第１清掃部材及び第２清掃部材がそれぞれ個別に上下動する構成であってもよい。また、第１清掃部材及び第２清掃部材を、清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Ｘの直交方向にそれぞれ個別に移動するような構成を採用することもできる。
【００８９】
上記の実施形態では、上方に向かって洗浄液を供給するノズルで洗浄液を供給する機構を採用したが、この構成の洗浄液を供給する部分に向かって清掃布を押圧する構成を備えていてもよい。
【００９０】
上記の実施形態では、搬送方向Ｘにおいて上流側の押圧ヘッドに設けられた供給ノズルと、搬送方向Ｘにおいて下流側の押圧ヘッドに設けられた供給ノズルの洗浄液供給量は同じ程度であるが、本発明はこれに限らず、透明板の材質や種類、洗浄機の材質や種類等様々な要因に基づいて、一方の供給ノズルが他方の供給ノズルよりも多量の洗浄液を供給するようにしてもよい。
【００９１】
また、上記実施形態においては清掃装置が洗浄液供給機構を有するものについて説明したが、本発明は必ずしもこれに限定されるものではなく、洗浄液供給機構を設けた場合にあっても上記実施形態の供給箇所に限定されず、清掃対象物等に応じて適宜設計変更可能である。例えば、上記実施形態においては、洗浄液供給機構が、透明板搬送方向最上流の押圧ヘッドの清掃布供給方向上流側の清掃布にも洗浄液を供給する構成を採用したが、この部分に洗浄液を供給しないよう設計変更可能である。
【００９２】
さらに、第１清掃部材及び第２清掃部材の間の清掃布の部分に洗浄液を供給する場合にあっても、上記実施形態のように洗浄液供給機構が清掃布の下方から洗浄液を供給するものに限定されず、清掃布の上方から洗浄液を供給することも可能である。ただし、第１清掃部材及び第２清掃部材の間の部分において清掃布の清掃面に対面する面に洗浄液を供給することが好ましく、これにより上述のように効率よく清掃布で透明板を清掃できる。
【００９３】
また、上記実施形態では、第１清掃装置、反転装置、第２清掃装置、異物除去装置及び検査装置を備えるワーク清掃システムについて説明したが、清掃装置単独のものも本発明に係る清掃装置の意図する範囲内である。また本発明に係るワーク清掃システムも、二つの当該清掃装置及び反転装置を具備すれば足り、異物除去装置及び検査装置は必須の構成要素ではない。
【００９４】
上記の実施形態の異物除去装置では、粘着ローラ５１により透明板Ｐが搬送される構成を採用したが、本発明はこれに限らず、フリーローラの一部にモータを設けて透明板Ｐを搬送するようにしてもよい。
【００９５】
上記の実施形態の異物除去装置では、粘着テープ５３を送給するため、粘着テープ送給機構５４を設けているが、本発明はこれに限らず、粘着テープ５３を巻き取ることで送給するようにしてもよい。
【００９６】
また、異物除去装置を設ける場合にあっても、上記実施形態のように異物除去装置が透明板の両面の異物を除去可能に設けられているものに限定されるわけではなく、ワークの一つの清掃面（例えば透明板の一方の面のみ）の異物を除去可能に設けることも可能である。なお、上述のように清掃装置が繊維製の清掃布を用いて清掃を行うものである場合、その清掃布で清掃された清掃面の異物を異物除去装置が除去可能に設けられていることが好ましく、これにより繊維製の清掃布に起因して付着する異物を異物除去装置によって好適に除去することができる。
【産業上の利用可能性】
【００９７】
本発明の清掃装置及びワーク清掃システムは、携帯機器の表示装置に用いられるガラス基板等の透明板の清掃に好適に利用できる。
【符号の説明】
【００９８】
１０Ａ  第１清掃装置
１０Ｂ  第２清掃装置
１３  押圧ヘッド
１４  第１清掃部材
１５  第２清掃部材
２５  送給機構
２８  洗浄液供給機構
３０  反転装置
５０  異物除去装置
７０  検査装置
Ｃ  清掃布
Ｐ  透明板（ワーク）
ｐ１  透明板の第１面
ｐ２  透明板の第２面
Ｘ  透明板の搬送方向
Ｙ  透明板の搬送方向の逆方向
【図１】
0006517522.tif 000002
【図２】
0006517522.tif 000003
【図３】
0006517522.tif 000004
【図４】
0006517522.tif 000005
【図５】
0006517522.tif 000006
【図６】
0006517522.tif 000007