(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の貫通孔を有する基材ウエブを粘性係数η（Ｐａ・ｓ）の液中で搬送する際に前記基材ウエブを基材ウエブ搬送方向へ案内するためのガイドロールであって、前記基材ウエブの搬送速度がＶ（ｍ／ｓ）、前記基材ウエブの張力がＴ（Ｎ／ｍ）、前記基材ウエブの透水率係数がＫ（ｍ２）、前記基材ウエブの厚さがｔ（ｍ）、前記複数の貫通孔による前記基材ウエブの開口率がα（％）、前記基材ウエブの幅がＷ（ｍ）の条件下において用いられるガイドロールであり、
円筒状のロール表面を有するロール本体と、
それぞれ前記ロール表面に形成された１以上の凹状の液体収容部と
を備え、前記ロール表面の半径をＲ（ｍ）、前記基材ウエブおよび前記ロール表面の合成表面粗さをσ（ｍ）、前記ロール表面に対する前記基材ウエブのラップ角度をΘ（ｒａｄ）として、前記１以上の液体収容部が、前記基材ウエブの幅Ｗの範囲内で且つ前記ロール表面の全周において次式で表される液体収容量Ｑ（ｍ３）を有することを特徴とするガイドロール。
Ｑ＞［0.643Ｒ(12ηＶ／Ｔ)２／３−３σ−(ＫＴΘ／2ηｔＶ)×(α／100)］×２πＲＷ
【請求項２】
前記１以上の液体収容部は、それぞれ前記ロール表面の全周を囲むように形成された１以上の溝からなる請求項１に記載のガイドロール。
【請求項３】
前記１以上の溝は、前記ロール表面の中心軸方向に配列形成された複数の環状の溝からなる請求項２に記載のガイドロール。
【請求項４】
前記複数の環状の溝は、それぞれ前記ロール表面の中心軸に垂直な平面に沿って、あるいは、前記ロール表面の中心軸に傾斜する平面に沿って形成されている請求項３に記載のガイドロール。
【請求項５】
前記１以上の溝は、それぞれ前記ロール表面の中心軸方向に延びる１以上の螺旋状の溝からなる請求項２に記載のガイドロール。
【請求項６】
前記１以上の液体収容部は、それぞれ前記ロール表面の全周を囲むことなく前記ロール表面の周方向の一部に形成された１以上の溝からなる請求項１に記載のガイドロール。
【請求項７】
前記１以上の液体収容部は、前記ロール表面に点在する１以上の凹部からなる請求項１に記載のガイドロール。
【請求項８】
前記基材ウエブは、厚さ４０μｍ以下のアルミニウム基材からなる請求項１〜７のいずれか一項に記載のガイドロール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガイドロールに係り、特に、液中搬送される基材ウエブを案内するためのガイドロールに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガイドロールを用いて基材ウエブを搬送する際には、基材ウエブとガイドロールの表面との間に空気等の雰囲気流体が巻き込まれ、基材ウエブの搬送速度が上昇すると、巻き込まれる流体量が増加することが知られている。このようにして基材ウエブとガイドロールの表面との間に形成される流体の膜厚がしきい値以上になると、ガイドロールによる基材ウエブの牽引力が失われ、スリップを生じて基材ウエブを傷付ける、あるいは、スリップに伴う蛇行運動により基材ウエブに折れシワが発生するおそれがある。
また、基材ウエブが複数の貫通孔を有する場合には、基材ウエブとガイドロールの表面との間に巻き込まれた流体が貫通孔を通して基材ウエブの表面上に抜け出るために、ガイドロールによる牽引力が変化し、さらに、複数の貫通孔が形成されていることから基材ウエブの剛性が低下し、蛇行運動による折れシワが発生しやすくなる。
【０００３】
そこで、例えば、特許文献１には、表面に溝が形成された搬送ローラで微多孔プラスチックフィルムを搬送する技術が開示されている。搬送ローラが表面に溝を有することで、微多孔プラスチックフィルムと搬送ローラの表面との間に巻き込まれる空気の影響を低減し、牽引力を確保している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１３／１０００６２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、例えば、基材ウエブに処理液による表面処理を施すために基材ウエブを液中で搬送する場合には、空気中における搬送よりも、基材ウエブとガイドロールの表面との間に巻き込まれる液体による影響が大きく、ガイドロールによる基材ウエブの牽引力不足が顕著となる。このため、複数の貫通孔を有する基材ウエブの液中搬送に適したガイドロールが要求されている。
【０００６】
この発明は、このような従来の問題点を解消するためになされたもので、複数の貫通孔を有する基材ウエブを損傷することなく液中で搬送することができるガイドロールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係るガイドロールは、複数の貫通孔を有する基材ウエブを粘性係数η（Ｐａ・ｓ）の液中で搬送する際に基材ウエブを基材ウエブ搬送方向へ案内するためのガイドロールであって、基材ウエブの搬送速度がＶ（ｍ／ｓ）、基材ウエブの張力がＴ（Ｎ／ｍ）、基材ウエブの透水率係数がＫ（ｍ２）、基材ウエブの厚さがｔ（ｍ）、複数の貫通孔による基材ウエブの開口率がα（％）、基材ウエブの幅がＷ（ｍ）の条件下において用いられるガイドロールであり、円筒状のロール表面を有するロール本体と、それぞれロール表面に形成された１以上の凹状の液体収容部とを備え、ロール表面の半径をＲ（ｍ）、基材ウエブおよびロール表面の合成表面粗さをσ（ｍ）、ロール表面に対する基材ウエブのラップ角度をΘ（ｒａｄ）として、１以上の液体収容部が、基材ウエブの幅Ｗの範囲内で且つロール表面の全周において次式で表される液体収容量Ｑ（ｍ３）を有するものである。
Ｑ＞［0.643Ｒ(12ηＶ／Ｔ)２／３−３σ−(ＫＴΘ／2ηｔＶ)×(α／100)］×２πＲＷ
・・・（１）
【０００８】
１以上の液体収容部を、それぞれロール表面の全周を囲むように形成された１以上の溝から構成することができる。
ここで、１以上の溝は、ロール表面の中心軸方向に配列形成された複数の環状の溝から形成されていてもよい。この場合、複数の環状の溝は、それぞれロール表面の中心軸に垂直な平面に沿って形成される、あるいは、ロール表面の中心軸に傾斜する平面に沿って形成されることができる。また、１以上の溝を、それぞれロール表面の中心軸方向に延びる１以上の螺旋状の溝から形成してもよい。
１以上の液体収容部を、それぞれロール表面の全周を囲むことなくロール表面の周方向の一部に形成された１以上の溝から構成することもできる。
さらに、１以上の液体収容部を、ロール表面に点在する１以上の凹部から構成してもよい。
なお、基材ウエブとしては、厚さ４０μｍ以下のアルミニウム基材を用いることができる。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、ロール表面に形成された１以上の凹状の液体収容部が、基材ウエブの幅Ｗの範囲内で且つロール表面の全周において式（１）で表される液体収容量Ｑを有するので、複数の貫通孔を有する基材ウエブを損傷することなく液中で搬送することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施の形態１に係るガイドロールを示す斜視図である。
【図２】実施の形態１に係るガイドロールの複数の溝を示す部分拡大断面図である。
【図３】実施の形態１に係るガイドロールの作用を示す図である。
【図４】実施の形態１に係るガイドロールの溝の形状およびサイズを示す図である。
【図５】実施の形態２に係るガイドロールを示す側面図である。
【図６】実施の形態３に係るガイドロールを示す側面図である。
【図７】実施の形態４に係るガイドロールを示す斜視図である。
【図８】実施の形態５に係るガイドロールを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
実施の形態１
図１に実施の形態に係るガイドロール１を示す。ガイドロール１は、後述する基材ウエブを液中で搬送する際に、基材ウエブを基材ウエブ搬送方向へ案内するためのものであり、円柱形状のロール本体２を有している。ロール本体２は、円筒状のロール表面３を有し、このロール表面３に、図２に示されるような複数の溝４が形成されている。複数の溝４は、それぞれ、ロール表面３の全周を囲むように、ロール表面３の中心軸Ｃに垂直な平面に沿って延びる環状の溝で、凹状の液体収容部を構成し、ロール表面３の中心軸Ｃに沿った方向に配列形成されている。
【００１２】
図３に示されるように、このようなガイドロール１のロール表面３に基材ウエブ１１が巻き掛けられて液中搬送が行われる。基材ウエブ１１には、それぞれ基材ウエブ１１の表面１１Ａから裏面１１Ｂまで基材ウエブ１１の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔１２が形成されている。基材ウエブ１１としては、例えば、厚さ４０μｍ以下のアルミニウム基材が用いられる。
液中で基材ウエブ１１を搬送すると、基材ウエブ１１の裏面１１Ｂとガイドロール１のロール表面３との間に液体Ｌ１が巻き込まれて液体層Ｍを形成すると共に、搬送のために基材ウエブ１１にかけられた張力に起因して基材ウエブ１１の裏面１１Ｂとロール表面３との間から基材ウエブ１１の貫通孔１２を通して基材ウエブ１１の表面１１Ａ側に液体Ｌ２が抜け出し、さらに、ガイドロール１のロール表面３に形成されている溝４の中に液体Ｌ３が流入する。
【００１３】
このとき、ガイドロール１と基材ウエブとの間に作用する摩擦力は、有効摩擦係数μと垂直抗力Ｎの積（μ・Ｎ）により表される。また、有効摩擦係数μは、基材ウエブ１１のロール表面３からの浮上量ｈと、基材ウエブ１１およびロール表面３の合成表面粗さσを用いて表すことができ、基材ウエブ１１の裏面１１Ｂがロール表面３に接触するとき、すなわち、ｈ＝０のときの摩擦係数をμＣとして、ｈ≦σの場合は、μ＝μＣであるものの、σ＜ｈ＜３σでは、μ＝（μＣ／２）×（３−ｈ／σ）と徐々に小さくなり、３σ≦ｈになると、有効摩擦係数μは０になってしまう。
【００１４】
なお、基材ウエブ１１およびロール表面３の合成表面粗さσは、基材ウエブ１１の二乗平均平方根粗さσＷとガイドロール１のロール表面３の二乗平均平方根粗さσｒから、次式（２）により表される。
σ＝（σＷ２＋σｒ２）１／２  ・・・（２）
【００１５】
また、基材ウエブ１１を液中搬送する際における基材ウエブ１１のロール表面３からの浮上量ｈは、次式（３）により表すことができる。
ｈ＝0.643Ｒ(12ηＶ／Ｔ)２／３−(ｋＴΘ／2ηｔＶ)−ｎＳ／Ｗ  ・・・（３）
ここで、Ｒはロール表面３の半径、ηは搬送の雰囲気を形成する液体の粘性係数、Ｖは基材ウエブ１１の搬送速度、Ｔは基材ウエブ１１の張力、ｋは基材ウエブ１１の透液率、Θはロール表面３に対する基材ウエブ１１のラップ角度、ｔは基材ウエブ１１の厚さ、Ｗは基材ウエブ１１の幅、ｎは基材ウエブ１１の幅Ｗの範囲内に存在する溝４の本数、Ｓはそれぞれの溝４の断面積を示している。
【００１６】
式（３）の右辺の第１項［0.643Ｒ(12ηＶ／Ｔ)２／３］は、基材ウエブ１１に貫通孔１２が形成されておらずに基材ウエブ１１が透液性を有しないと共にロール表面３に複数の溝４が形成されていないと仮定した場合の、基材ウエブ１１とロール表面３との間に形成される液体層Ｍの膜厚を示している。
また、式（３）の右辺の第２項［ｋＴΘ／2ηｔＶ］は、基材ウエブ１１の裏面１１Ｂとロール表面３との間から基材ウエブ１１の貫通孔１２を通して基材ウエブ１１の表面１１Ａ側に抜け出る液体Ｌ２による液体層Ｍの膜厚の減少分を示している。
さらに、式（３）の右辺の第３項［ｎＳ／Ｗ］は、ロール表面３の複数の溝４に流入する液体Ｌ３による液体層Ｍの膜厚の減少分を示している。
【００１７】
ここで、複数の貫通孔１２を有しないものと仮定した場合の基材ウエブ１１の全体の面積をＳｔ、複数の貫通孔１２の開口面積の総計をＳｐとしたときの、Ｓｔに対するＳｐの比を基材ウエブ１１の開口率α（％）と定義すると、基材ウエブ１１の透液率ｋは、ｋ＝Ｋ・α／１００と表すことができる。なお、Ｋは、基材ウエブ１１の透液率係数を示している。すなわち、基材ウエブ１１の複数の貫通孔１２を通して基材ウエブ１１の表面１１Ａ側に抜け出る液体Ｌ２の量は、基材ウエブ１１の開口率αに比例する。
従って、式（３）の右辺の第２項は、［（ＫＴΘ／2ηｔＶ）×(α／100)］と表され、式（３）を次式（４）のように変形することができる。
ｈ＝0.643Ｒ(12ηＶ／Ｔ)２／３−(ＫＴΘ／2ηｔＶ)×(α／100)−ｎＳ／Ｗ
・・・（４）
【００１８】
また、ロール表面３の中心軸Ｃに沿った方向に配列形成されている複数の溝４の配列ピッチをＰとすると、配列ピッチＰは、基材ウエブ１１の幅Ｗと溝４の本数ｎを用いて、
Ｐ＝Ｗ／ｎ  ・・・（５）
と表される。
さらに、上述したように、基材ウエブ１１のロール表面３からの浮上量ｈが、基材ウエブ１１およびロール表面３の合成表面粗さσに対して、３σ≦ｈになると、有効摩擦係数μは０になる。すなわち、完全に有効摩擦係数μを失わない浮上量ｈの条件は、
ｈ＜３σ  ・・・（６）
となる。
【００１９】
そこで、上記の式（６）に、式（４）および式（５）を代入し、溝４の断面積Ｓの不等式にすると、
Ｓ＞［0.643Ｒ(12ηＶ／Ｔ)２／３−３σ−(ＫＴΘ／2ηｔＶ)×(α／100)］Ｐ
・・・（７）
となり、溝４の断面積Ｓが式（７）を満たすことで、スリップを生じないことが分かる。
さらに、基材ウエブ１１の透液率係数Ｋは、実験的に求めることができるので、式（７）は、
Ｓ＞［0.643Ｒ(12ηＶ／Ｔ)２／３−３σ−1.0×10-15×(ＴΘ／2ηｔＶ)×(α／100)］Ｐ
・・・（８）
と表すことができる。
【００２０】
なお、基材ウエブ１１の二乗平均平方根粗さσＷとガイドロール１のロール表面３の二乗平均平方根粗さσｒを、例えば、それぞれ、０．０１（μｍ）＜σＷ＜１．２５（μｍ）、０．７５（μｍ）＜σｒ＜３．１３（μｍ）と規定して、上記の式（２）により基材ウエブ１１およびロール表面３の合成表面粗さσを算出すると、０．７５（μｍ）＜σ＜３．３７（μｍ）となる。
【００２１】
液中搬送で使用されるガイドロール１の形成材料として、樹脂を用いることができる。樹脂の成形品に溝を切削加工する際には、加工時に発生する切り粉が巻き付いて溝を傷つけてしまい、切削した溝形状を維持できなくなるおそれがある。このため、溝の切り込み深さを大きくする、あるいは、溝の対向内面の角度を小さくすると、目的とする溝形状を得ることが難しくなる。
そこで、ガイドロール１のロール表面３に形成される溝４は、図４に示されるように、溝４の開口幅Ｇを０．５ｍｍ以下、溝４の深さＤを１ｍｍ以下、溝４の配列ピッチＰを２ｍｍ以下、溝４の対向内面の角度Ａを１５度以上、溝４の開口端部に位置する肩部すなわち山肩４Ａの曲率半径Ｒ２を０．０１ｍｍ以上で且つ０．６ｍｍ以下、溝４の底部の曲率半径Ｒ１を０．０１ｍｍ以上に規定することが望ましい。
【００２２】
溝４の各部のサイズを上記のように規定した場合の溝４の断面積Ｓの最大値を算出すると、０．３７×１０−６ｍ２となる。
このため、スリップを生じないための溝４の断面積Ｓの条件は、上記の式（８）の右辺の値より大きく且つ０．３７×１０−６ｍ２より小さい値となる。
このようにして規定された断面積Ｓを有する溝４をロール表面３に形成することにより、複数の貫通孔１２を有する基材ウエブ１１を損傷することなく液中で搬送することが可能となる。
【００２３】
なお、基材ウエブ１１の幅Ｗの範囲内に存在するｎ本の溝４が、ロール表面３の全周において収容し得る液体Ｌ３の総量、すなわち、複数の溝４が基材ウエブの幅Ｗの範囲内で且つロール表面３の全周において収容する液体収容量をＱとすると、
Ｑ＝ｎＳ×２πＲ      ・・・（９）
となるので、式（３）の右辺の第３項［ｎＳ／Ｗ］は、液体収容量Ｑを用いて、
ｎＳ／Ｗ＝Ｑ／２πＲＷ      ・・・（１０）
と表される。
【００２４】
そこで、基材ウエブ１１を液中搬送する際における基材ウエブ１１のロール表面３からの浮上量ｈを表す式（４）は、
ｈ＝0.643Ｒ(12ηＶ／Ｔ)２／３−(ＫＴΘ／2ηｔＶ) ×(α／100)−Ｑ／２πＲＷ
・・・（１１）
となる。
さらに、式（６）で表される、完全に有効摩擦係数μを失うことのない浮上量ｈの条件、ｈ＜３σに式（１１）を代入して液体収容量Ｑの不等式にすると、
Ｑ＞［0.643Ｒ(12ηＶ／Ｔ)２／３−３σ−(ＫＴΘ／2ηｔＶ)×(α／100)］×２πＲＷ
・・・（１２）
を導出することができる。
【００２５】
すなわち、基材ウエブ１１の搬送速度がＶ（ｍ／ｓ）、基材ウエブ１１の張力がＴ（Ｎ／ｍ）、基材ウエブ１１の透水率係数がＫ（ｍ２）、基材ウエブ１１の厚さがｔ（ｍ）、複数の貫通孔１２による基材ウエブ１１の開口率がα（％）、基材ウエブ１１の幅がＷ（ｍ）の条件下において、基材ウエブ１１を粘性係数η（Ｐａ・ｓ）の液中で搬送する際に、ロール表面３の半径をＲ（ｍ）、基材ウエブ１１およびロール表面３の合成表面粗さをσ（ｍ）、ロール表面３に対する基材ウエブ１１のラップ角度をΘ（ｒａｄ）として、式（１２）を満たすような液体収容量Ｑを有する複数の溝４がロール表面３に形成されたガイドロール１を用いることにより、複数の貫通孔１２を有する基材ウエブ１１を損傷することなく搬送することが可能となる。
なお、上記の実施の形態１では、ロール表面３に複数の溝４が形成されているが、必ずしも複数の溝４に限るものではなく、例えば１本の溝４でも、式（１２）を満たす液体収容量Ｑを有していれば、同様の効果が得られる。
【００２６】
実施の形態２
上記の実施の形態１では、ロール表面３に形成された複数の溝４が、それぞれロール表面３の中心軸Ｃに垂直な平面に沿って延びる環状の溝であるが、これに限るものではない。例えば、図５に示されるように、凹状の液体収容部として、それぞれロール表面３の中心軸Ｃに対して傾斜する平面に沿って延びる複数の環状の溝２４がロール表面３に形成されているガイドロール２１を用いることもできる。
【００２７】
環状の溝２４が、式（１２）を満たす液体収容量Ｑを有していれば、実施の形態１のガイドロール１と同様に、基材ウエブ１１とロール表面３との間におけるスリップの発生を防止して、複数の貫通孔１２を有する基材ウエブ１１を損傷することなく液中で搬送することができる。
この実施の形態２においても、必ずしも複数の溝２４に限るものではなく、例えば１本の溝２４でも、式（１２）を満たす液体収容量Ｑを有していれば、同様の効果が得られる。
【００２８】
実施の形態３
図６に、実施の形態３に係るガイドロール３１を示す。このガイドロール３１は、ロール本体２のロール表面３に、凹状の液体収容部として、ロール表面３の中心軸Ｃ方向に延びる螺旋状の１本の溝３４を形成したものである。すなわち、螺旋状の溝３４は、ロール表面３と共通の中心軸Ｃを有している。
【００２９】
このようなガイドロール３１を液中で使用すると、螺旋状の溝３４の中に液体Ｌ３が流入するため、溝３４が式（１２）を満たす液体収容量Ｑを有していれば、実施の形態１のガイドロール１および実施の形態２のガイドロール２１と同様に、基材ウエブ１１とロール表面３との間におけるスリップの発生を防止して、複数の貫通孔１２を有する基材ウエブ１１を損傷することなく液中で搬送することが可能となる。
なお、螺旋状の溝３４は、１本に限るものではなく、それぞれロール表面３の中心軸Ｃ方向に延びる複数本の螺旋状の溝３４がロール表面３に形成されていてもよい。
【００３０】
実施の形態４
上記の実施の形態１における環状の溝４、実施の形態２における環状の溝２４および実施の形態３における螺旋状の溝３４は、いずれもロール表面３の全周を囲むようにロール表面３の中心軸Ｃの回りに形成された溝であるが、図７に示されるガイドロール４１のように、それぞれロール表面３の全周を囲むことなくロール表面３の周方向の一部に形成された複数の溝４４を、凹状の液体収容部としてロール表面３に形成することもできる。
このような溝４４であっても、式（１２）を満たす液体収容量Ｑを有していれば、基材ウエブ１１とロール表面３との間におけるスリップの発生を防止して、複数の貫通孔１２を有する基材ウエブ１１を損傷することなく液中で搬送することが可能となる。
【００３１】
なお、図７に示される複数の溝４４は、それぞれロール表面３の中心軸Ｃに対して、傾斜する方向に延びているが、ロール表面３の中心軸Ｃと平行な溝をロール表面３に形成してもよい。
また、複数の溝４４に限らず、１本の溝４４でも、式（１２）を満たす液体収容量Ｑを有していれば、同様の効果が得られる。
【００３２】
実施の形態５
図８に、実施の形態５に係るガイドロール５１を示す。このガイドロール５１は、凹状の液体収容部として、ロール本体２のロール表面３に点在する複数の凹部５４を形成したものである。
このようなガイドロール５１を液中で使用しても、複数の凹部５４の中に液体Ｌ３が流入するため、複数の凹部５４が式（１２）を満たす液体収容量Ｑを有していれば、基材ウエブ１１とロール表面３との間におけるスリップの発生を防止して、複数の貫通孔１２を有する基材ウエブ１１を損傷することなく液中で搬送することが可能となる。
【００３３】
なお、ガイドロール５１が液中で使用された際に、それぞれの凹部５４の中に液体Ｌ３が流入されればよく、凹部５４の形状、すなわち、ロール表面３に現れる凹部５４の開口部の形状、ロール本体２内における凹部５４の断面形状に限定されるものではない。
また、複数の凹部５４に限らず、１つの凹部５４でも、式（１２）を満たす液体収容量Ｑを有していれば、同様の効果を得ることができる。
【００３４】
なお、上記の実施の形態１では、基材ウエブ１１として、厚さ４０μｍ以下のアルミニウム基材を用いたが、これに限るものではなく、この発明のガイドロールは、各種の基材ウエブの液中搬送に対して、顕著な効果を奏することができる。
【符号の説明】
【００３５】
１，２１，３１，４１，５１  ガイドロール、２  ロール本体、３  ロール表面、４，２４，３４，４４  溝、４Ａ  山肩、１１  基材ウエブ、１１Ａ  基材ウエブの表面、１１Ｂ  基材ウエブの裏面、１２  貫通孔、５４  凹部、Ｃ  中心軸、Ｌ１〜Ｌ３  液体、ｈ  浮上量、Ｐ  溝の配列ピッチ、Ｇ  溝の開口幅、Ｄ  溝の深さ、Ａ  溝の対向内面の角度、Ｒ１  溝の底部の曲率半径、Ｒ２  山肩の曲率半径。
【図１】
0006543220.tif 000002
【図２】
0006543220.tif 000003
【図３】
0006543220.tif 000004
【図４】
0006543220.tif 000005
【図５】
0006543220.tif 000006
【図６】
0006543220.tif 000007
【図７】
0006543220.tif 000008
【図８】
0006543220.tif 000009