(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステータと、
前記ステータと対向し、回転軸を中心に回転可能に設けられたロータと、
前記ステータに設けられ、前記回転軸を中心とした環状の第１領域に形成された第１受信巻線と、
前記ステータに設けられ、前記回転軸と直交する放射方向に前記第１領域と並ぶ環状の第２領域に形成された第２受信巻線と、
前記ステータに設けられ、前記第１領域の前記第２領域とは反対側に配置された第１送信巻線と、
前記ステータに設けられ、前記第２領域の前記第１領域とは反対側に配置された第２送信巻線と、
前記ロータに設けられ、前記回転軸を中心とした環状の領域であって前記回転軸に沿った軸方向に前記第１領域と重なる第３領域に形成された第１磁束結合体と、
前記ロータに設けられ、前記回転軸を中心とした環状の領域であって前記軸方向に前記第２領域と重なる第４領域に形成された第２磁束結合体と、
を備え、
前記第３領域の前記放射方向の幅は、前記第１領域の前記放射方向の幅よりも広く、
前記第４領域の前記放射方向の幅は、前記第２領域の前記放射方向の幅よりも広く、
前記第１領域と前記第２領域とは前記軸方向に重ならず、
前記第３領域の一部は、前記第４領域の一部と前記軸方向に重なることを特徴とする誘導検出型ロータリエンコーダ。
【請求項２】
前記第１送信巻線は、前記第２送信巻線と同層に設けられたことを特徴とする請求項１記載の誘導検出型ロータリエンコーダ。
【請求項３】
前記第１磁束結合体及び前記第１受信巻線は、前記回転軸を中心とした回転方向に第１ピッチで周期的に変化する形状に設けられ、
前記第２磁束結合体及び前記第２受信巻線は、前記回転軸を中心とした回転方向に前記第１ピッチと異なる第２ピッチで周期的に変化する形状に設けられたことを特徴とする請求項１または２に記載の誘導検出型ロータリエンコーダ。
【請求項４】
前記第１磁束結合体は、前記回転軸を中心として前記第１磁束結合体の内側半径と同じ半径で環状に設けられた第１環状電流経路を含み、
前記第２磁束結合体は、前記回転軸を中心として前記第２磁束結合体の外側半径と同じ半径で環状に設けられた第２環状電流経路を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の誘導検出型ロータリエンコーダ。
【請求項５】
前記第１磁束結合体の内側に前記回転軸を中心として環状に設けられた第１環状電流経路と、
前記第２磁束結合体の外側に前記回転軸を中心として環状に設けられた第２環状電流経路と、をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の誘導検出型ロータリエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロータとステータとに設けられた配線の間で生じる磁束結合を利用して回転角を測定する誘導検出型ロータリエンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
誘導検出型ロータリエンコーダは、送信巻線及び受信巻線が設けられたステータと、磁束結合体が設けられたロータとを備える。この誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、送信巻線には周期的に電流方向が変化する送信電流が流される。磁束結合体は、送信巻線に流される送信電流によって発生した磁界に基づく誘導電流を発生させる。受信巻線は、磁束結合体を流れる誘導電流によって発生した磁界に基づく誘導電圧を検出する。
【０００３】
例えば、特許文献１に開示される誘導検出型ロータリエンコーダにおいては、２つのトラックが同心円状に配置された構成を備える。１つのトラックはステータ側に送信巻線及び受信巻線と、ロータ側に設けられた磁束結合体との組によって構成される。２つのトラックは回転軸と直交する方向（放射方向）に並んで配置される。また、特許文献２に開示される誘導検出型ロータリエンコーダにおいては、同心円状の４つのトラックが放射方向に並んで配置された構成を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４８６９７６９号
【特許文献２】特許第５５４０３０８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、特許文献１、２に記載のアブソリュート型エンコーダにおいて、エンコーダの外径を小さくしようとした場合、隣接するトラックの間隔をできる限り狭くする必要がある。しかしながら、磁束結合体の放射方向の幅は、受信巻線の放射方向の幅と同等か、わずかに広くする必要があり、外径の小型化には限界がある。また、磁束結合体の放射方向の幅を狭くすると、回転軸に対するステータの偏芯やロータの偏芯などがあると、ロータの１回転で検出する信号にアンバランスが発生し、エンコーダの検出精度を低下させる原因となる。
【０００６】
本発明の目的は、エンコーダの大型化を抑制しつつ、ステータやロータの偏芯などのミスアライメントによる検出精度への影響を低減することができる誘導検出型ロータリエンコーダを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の誘導検出型ロータリエンコーダは、ステータと、ステータと対向し、回転軸を中心に回転可能に設けられたロータと、ステータに設けられ、回転軸を中心とした環状の第１領域に形成された第１受信巻線と、ステータに設けられ、回転軸と直交する放射方向に第１領域と並ぶ環状の第２領域に形成された第２受信巻線と、ステータに設けられ、第１領域の第２領域とは反対側に配置された第１送信巻線と、ステータに設けられ、第２領域の第１領域とは反対側に配置された第２送信巻線と、ロータに設けられ、回転軸を中心とした環状の領域であって回転軸に沿った軸方向に第１領域と重なる第３領域に形成された第１磁束結合体と、ロータに設けられ、回転軸を中心とした環状の領域であって軸方向に第２領域と重なる第４領域に形成された第２磁束結合体と、を備え、第３領域の放射方向の幅は、第１領域の放射方向の幅よりも広く、第４領域の放射方向の幅は、第２領域の放射方向の幅よりも広く、第３領域の一部は、第４領域の一部と軸方向に重なることを特徴とする。
【０００８】
このような構成によれば、第１磁束結合体が設けられる第３領域の一部と、第２磁束結合体が設けられる第４領域の一部とが軸方向に重なるため、第１磁束結合体及び第２磁束結合体の放射方向の幅を広くしても両結合体の干渉は発生しない。このため、エンコーダの外径の大型化を抑制しつつ、第１磁束結合体及び第２磁束結合体の放射方向の幅を拡げてステータやロータの偏芯に対する影響を低減することができる。
【０００９】
本発明の誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、第１送信巻線は、第２送信巻線と同層に設けられていてもよい。このような構成によれば、エンコーダの薄型化を図ることができる。
【００１０】
本発明の誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、第１磁束結合体及び第１受信巻線は、回転軸を中心とした回転方向に第１ピッチで周期的に変化する形状に設けられ、第２磁束結合体及び第２受信巻線は、回転軸を中心とした回転方向に第１ピッチと異なる第２ピッチで周期的に変化する形状に設けられていてもよい。このような構成によれば、ロータの回転角度における絶対値を得られるようになる。
【００１１】
本発明の誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、第１磁束結合体は、回転軸を中心として第１磁束結合体の内側半径と同じ半径で環状に設けられた第１環状電流経路を含み、第２磁束結合体は、回転軸を中心として第２磁束結合体の外側半径と同じ半径で環状に設けられた第２環状電流経路を含んでいてもよい。このような構成によれば、第１環状電流経路がシールドの役目を果たし、第２送信巻線から第１磁束結合体へのクロストークの影響を抑制することができる。また、第２環状電流経路がシールドの役目を果たし、第１送信巻線から第２磁束結合体へのクロストークの影響を低減することができる。
【００１２】
本発明の誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、第１磁束結合体の内側に回転軸を中心として環状に設けられた第１環状電流経路と、第２磁束結合体の外側に回転軸を中心として環状に設けられた第２環状電流経路と、をさらに備えていてもよい。このような構成によれば、第１環状電流経路がシールドの役目を果たし、第２送信巻線から第１磁束結合体へのクロストークの影響を抑制することができる。また、第２環状電流経路がシールドの役目を果たし、第１送信巻線から第２磁束結合体へのクロストークの影響を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】デジタル式マイクロメータを例示する正面図である。
【図２】第１実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダの構成を例示する断面図である。
【図３】ステータ及びロータの構成を例示する模式的断面図である。
【図４】送信巻線及び受信巻線を例示する平面図である。
【図５】第１受信巻線及び第２受信巻線の一つの受信巻線部を例示する平面図である。
【図６】第１磁束結合体を例示する平面図である。
【図７】第２磁束結合体を例示する平面図である。
【図８】第２実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダを例示する断面図である。
【図９】第２実施形態に係る磁束結合体を例示する平面図である。
【図１０】第２実施形態に係る磁束結合体を例示する平面図である。
【図１１】第３実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダを例示する断面図である。
【図１２】第３実施形態に係る磁束結合体を例示する平面図である。
【図１３】第３実施形態に係る磁束結合体を例示する平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。
図１は、第１実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダを適用したデジタル式マイクロメータを例示する正面図である。図１に表したように、デジタル式マイクロメータ１は、フレーム３と、シンブル５と、スピンドル７と、表示部９と、を備える。フレーム３は、シンブル５及びスピンドル７を支持する本体部３ａと、本体部３ａから間隔を開けて設けられるアンビル部３ｂとを有する。シンブル５は、フレーム３の本体部３ａに回転可能に取り付けられる。測定子であるスピンドル７は、フレーム３の本体部３ａで回転可能に支持される。
【００１５】
スピンドル７の一端７ａ側はフレーム３の本体部３ａからアンビル部３ｂに向けて突出している。アンビル部３ｂには、スピンドル７の一端７ａと対向するようにアンビル３ｃが取り付けられる。スピンドル７の他端側はフレーム３の本体部３ａに入り込む。スピンドル７の他端側には送りねじ（図１には示されない）が設けられる。この送りねじがシンブル５内に設けられたナット（図１には示されない）に嵌め込まれている。
【００１６】
フレーム３の本体部３ａの外装面には表示部９が設けられる。表示部９は、例えばセグメント方式で数値等を表示する液晶表示パネルである。このような構成において、シンブル５を正方向に回転させると、スピンドル７は、スピンドル７の軸（回転軸ＡＸ）に沿ってアンビル３ｃ側へ移動する。これにより、スピンドル７とアンビル３ｃとの間隔が狭くなる。一方、シンブル５を逆方向に回転させるとスピンドル７は回転軸ＡＸに沿ってアンビル３ｃとは反対側へ移動する。これにより、スピンドル７とアンビル３ｃとの間隔が広くなる。
【００１７】
対象物の大きさを測定する場合には、アンビル３ｃとスピンドル７の一端７ａとの間に対象物を配置し、シンブル５を正方向に回転させてアンビル３ｃとスピンドル７の一端７ａとの間で対象物を挟むようにする。この際のアンビル３ｃとスピンドル７の一端７ａとの間隔が測定結果として表示部９に表示される。
【００１８】
次に、本実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダの構成について説明する。
図２は、本実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダの構成を例示する断面図である。
図２に表したように、誘導検出型ロータリエンコーダ１１は、フレーム３の本体部３ａに設けられる。
【００１９】
誘導検出型ロータリエンコーダ１１は、ステータ１４と、ロータ１５とを備える。ステータ１４はステータブッシュ２１を介してフレーム３の本体部３ａに固定される。ロータ１５は、ステータ１４と対向し、回転軸ＡＸを中心に回転可能に設けられる。ロータ１５は、円筒状のロータブッシュ１９の端面に固定される。ロータブッシュ１９及びステータブッシュ２１にはスピンドル７が挿入される。
【００２０】
スピンドル７の表面には、シンブル５の内部に配置されたナットに嵌め込まれる送りねじ２３が形成される。また、スピンドル７の表面には、スピンドル７の長手方向（スピンドル７の進退方向）にキー溝２５が設けられる。キー溝２５には、ロータブッシュ１９に固定されたピン２７の先端部が嵌まっている。これにより、スピンドル７が回転すると、その回転力がピン２７を介してロータブッシュ１９に伝わり、ロータ１５が回転する。すなわち、スピンドル７の回転に連動してロータ１５が回転することになる。ピン２７はキー溝２５に固定されていないので、ロータ１５をスピンドル７とともに移動させずにロータ１５を回転させることができる。一方、ステータブッシュ２１はスピンドル７を回転させても回転しない。つまり、ステータ１４はスピンドル７を回転させても固定されたままである。
【００２１】
次に、ステータ１４及びロータ１５の構成について説明する。
図３は、ステータ及びロータの構成を例示する模式的断面図である。
図３に表したように、ステータ１４は、積層された絶縁層３３Ａ及び３３Ｂを有する。絶縁層３３Ａ及び３３Ｂは、ロータ１５から離れる方向にこの順で積層される。絶縁層３３Ａ及び３３Ｂには、スピンドル７を通すための貫通孔３４が設けられる。
【００２２】
ロータ１５は、積層された絶縁層４２Ａ及び４２Ｂを有する。絶縁層４２Ａ及び４２Ｂは、ステータ１４から離れる方向にこの順で積層される。絶縁層４２Ａ及び４２Ｂには、スピンドル７を通すための貫通孔４３が設けられる。
【００２３】
ステータ１４には、第１受信巻線３２ａ及び第２受信巻線３２ｂが設けられる。第１受信巻線３２ａは、回転軸ＡＸを中心とした環状の第１領域Ｒ１に形成される。第１受信巻線３２ａの一部は絶縁層３３Ａのロータ１５側に形成され、他部は絶縁層３３Ａと絶縁層３３Ｂとの間に形成される。これらは絶縁層３３Ａを貫通するスルーホール又はビアを介して接続される。
【００２４】
第２受信巻線３２ｂは、回転軸ＡＸを中心とした環状の第２領域Ｒ２に形成される。第２領域Ｒ２は、回転軸ＡＸと直交する放射方向に第１領域Ｒ１と並んで設けられる。本実施形態では、第２領域Ｒ２は、第１領域Ｒ１と同層で第１領域Ｒ１の内側に設けられる。第２受信巻線３２ｂの一部は絶縁層３３Ａのロータ１５側に形成され、他部は絶縁層３３Ａと絶縁層３３Ｂとの間に形成される。これらは絶縁層３３Ａを貫通するスルーホール又はビアを介して接続される。
【００２５】
さらに、ステータ１４には、回転軸ＡＸを中心とした環状の第１送信巻線３１ａ及び第２送信巻線３１ｂが設けられる。第１送信巻線３１ａはステータ１４の外周側に設けられ、第２送信巻線３１ｂはステータ１４の内周側に設けられる。第１送信巻線３１ａに流される電流の方向は周期的に変化する。この電流により発生する磁界をロータ１５に形成された第１磁束結合体４１ａに与える。また、第２送信巻線３１ｂに流される電流の方向は周期的に変化する。この電流により発生する磁界をロータ１５に形成された第２磁束結合体４１ｂに与える。
【００２６】
ロータ１５には、第１磁束結合体４１ａと、第２磁束結合体４１ｂとが設けられる。第１磁束結合体４１ａは、回転軸ＡＸを中心とした環状の第３領域Ｒ３に形成される。第１磁束結合体４１ａは、絶縁層４２Ａのステータ１４側に設けられる。第２磁束結合体４１ｂは、回転軸ＡＸを中心とした環状の第４領域Ｒ４に形成される。第２磁束結合体４１ｂは、絶縁層４２Ａと絶縁層４２Ｂとの間に形成される。
【００２７】
本実施形態では、回転軸ＡＸに沿った軸方向に第１領域Ｒ１と第３領域Ｒ３とが重なり、第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４とが重なる。すなわち、第１領域Ｒ１に設けられた第１受信巻線３２ａと第３領域Ｒ３に設けられた第１磁束結合体４１ａとが対向して第１トラックが構成され、第２領域Ｒ２に設けられた第２受信巻線３２ｂと第４領域Ｒ４に設けられた第２磁束結合体４１ｂとが対向して第２トラックが構成される。
【００２８】
ここで、誘導検出型ロータリエンコーダ１１の動作について説明する。
誘導検出型ロータリエンコーダ１１においては、第１送信巻線３１ａに流す送信電流の方向を周期的に変化させ、この送信電流により発生する磁界をロータ１５に形成された第１磁束結合体４１ａに与える。第１磁束結合体４１ａには、磁束結合による誘導電流が流れる。第１受信巻線３２ａは、第１磁束結合体４１ａに流れる誘導電流によって発生した磁界に基づく誘導電圧を検出する。
【００２９】
また、誘導検出型ロータリエンコーダ１１においては、第２送信巻線３１ｂに流す送信電流の方向を周期的に変化させ、この送信電流により発生する磁界をロータ１５に形成された第２磁束結合体４１ｂに与える。第２磁束結合体４１ｂには、磁束結合による誘導電流が流れる。第２受信巻線３２ｂは、第２磁束結合体４１ｂに流れる誘導電流によって発生した磁界に基づく誘導電圧を検出する。
【００３０】
本実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ１１において、第３領域Ｒ３の放射方向の幅ｗ３は、第１領域Ｒ１の放射方向の幅ｗ１よりも広く、第４領域Ｒ４の放射方向の幅ｗ４は、第２領域Ｒ２の放射方向の幅ｗ２よりも広い。ここで、幅とは、環状の領域の内側と外側との放射方向の距離のことを言う。さらに、誘導検出型ロータリエンコーダ１１において、第３領域Ｒ３の一部は、第４領域Ｒ４の一部と軸方向に重なっている。
【００３１】
このような構成によって、第１磁束結合体４１ａと第２磁束結合体４１ｂとは互いに異なる層に形成されることになる。したがって、第１磁束結合体４１ａ及び第２磁束結合体４１ｂの放射方向の幅を広くしても両結合体の干渉は発生しない。このため、エンコーダの外径の大型化を抑制しつつ、第１磁束結合体４１ａ及び第２磁束結合体４１ｂの放射方向の幅を拡げてステータ１４やロータ１５の偏芯に対する影響を低減することができる。
【００３２】
ここで、幅ｗ３及びｗ４が狭いとクロストークの影響は小さくなるものの、ステータ１４やロータ１５の偏芯に対する影響が大きくなる。一方、幅ｗ３及びｗ４が広いとステータ１４やロータ１５の偏芯に対する影響は小さくなるものの、クロストークの影響が大きくなる。
【００３３】
図４は、送信巻線及び受信巻線を例示する平面図である。
図４に表したように、第１送信巻線３１ａは、絶縁層３３Ａの外周に近い側に配置され、第２送信巻線３１ｂは、貫通孔３４に近い側に配置される。
【００３４】
第１受信巻線３２ａは、第１送信巻線３１ａ及び第２送信巻線３１ｂの間における第１送信巻線３１ａに近い位置に配置される。第１受信巻線３２ａは、回転方向に位相を異ならせた３つの受信巻線部３２１ａ〜３２３ａにて構成される。受信巻線部３２１ａ〜３２３ａにおける互いに交差する部分は、絶縁層３３Ａを介して上下に配列され、相互にスルーホール又はビアにて接続される。これにより、各々絶縁分離されて配置される。
【００３５】
また、第２受信巻線３２ｂは、第１送信巻線３１ａ及び第２送信巻線３１ｂの間における第２送信巻線３１ｂに近い位置に配置される。すなわち、第２受信巻線３２ｂは、第１受信巻線３２ａの内側に配置される。第２受信巻線３２ｂは、回転方向に位相を異ならせた３つの受信巻線部３２１ｂ〜３２３ｂにて構成される。受信巻線部３２１ｂ〜３２３ｂにおける互いに交差する部分は、絶縁層３３Ａを介して上下に配列され、相互にスルーホール又はビアにて接続される。これにより、各々絶縁分離されて配置される。
【００３６】
図５は、第１受信巻線及び第２受信巻線の一つの受信巻線部を例示する平面図である。
図５に表したように、受信巻線部３２１ａは、ロータ１５の回転方向にピッチλ１をもって周期的に変化するループ状（菱型状）の形状を有する。受信巻線部３２１ａにおいて、菱型状のパターン対ＰＡ１は１０個設けられる。なお、受信巻線部３２２ａ、３２３ａも受信巻線部３２１ａと同様の形状を有する。
【００３７】
また、受信巻線部３２１ｂは、ロータ１５の回転方向にピッチλ１とは異なるピッチλ２をもって周期的に変化するループ状（菱型状）の形状を有する。例えば、ピッチλ２は、ピッチλ１よりも長い。言い換えると、ピッチλ１は、ピッチλ２よりも短い。受信巻線部３２１ｂにおいて、菱型状のパターン対ＰＡ２は９個設けられる。なお、受信巻線部３２２ｂ、３２３ｂも受信巻線部３２１ｂと同様の形状を有する。
【００３８】
図６は、第１磁束結合体を例示する平面図である。
図６に表したように、第１磁束結合体４１ａは、スピンドル７に対して同軸的に形成され、第１受信巻線３２ａと空隙を介して重なるように形成される。第１磁束結合体４１ａは、第１受信巻線３２ａと同じピッチλ１をもってロータ１５の回転方向に周期的に変化する連続した歯車状の形状を有する。
【００３９】
第１磁束結合体４１ａは、スピンドル７に近づく方向に窪む凹部４１１ａと、スピンドル７から離れる方向に突出する凸部４１２ａとを交互に構成する。図６に表した例では、凹部４１１ａと凸部４１２ａとのパターン対ＰＡ３は１０個設けられる。また、軸方向にみて、第１磁束結合体４１ａの一部は、第２磁束結合体４１ｂの一部と重なるよう設けられる。
【００４０】
図７は、第２磁束結合体を例示する平面図である。
図７に表したように、第２磁束結合体４１ｂは、スピンドル７に対して同軸的に形成され、第１磁束結合体４１ａと同様な凹部４１１ｂと凸部４１２ｂとが交互に繰り返される歯車状の形状を有する。
【００４１】
第２磁束結合体４１ｂの凹部４１１ｂ及び凸部４１２ｂのピッチはλ２である。図７に表した例では、凹部４１１ｂと凸部４１２ｂとのパターン対ＰＡ４は９個設けられる。なお、第１磁束結合体４１ａ及び第２磁束結合体４１ｂの形状は歯車状、ｓｉｎ波状のほか、島状など他の形状であってもよい。
【００４２】
第１磁束結合体４１ａと第２磁束結合体４１ｂとは互いに異なる層に形成されるため、第１磁束結合体４１ａの幅ｗ３及び第２磁束結合体４１ｂの幅ｗ４を拡げても干渉しない。したがって、エンコーダの外径を大きくしなくても幅ｗ３及びｗ４を拡げることができ、ステータ１４やロータ１５の偏芯に対する影響を抑制することができる誘導検出型ロータリエンコーダ１１を提供することができる。
【００４３】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
図８は、第２実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダを例示する断面図である。
図９及び図１０は、第２実施形態に係る磁束結合体を例示する平面図である。
第２実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ１２において、第１磁束結合体４１ａは第１環状電流経路４１３ａを含み、第２磁束結合体４１ｂは第２環状電流経路４１３ｂを含む。
【００４４】
図９に表したように、第２実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ１２の第１磁束結合体４１ａは、回転軸ＡＸを中心として第１磁束結合体４１ａの内側半径と同じ半径で環状に設けられた第１環状電流経路４１３ａを含む。第１環状電流経路４１３ａの一部は凸部４１２ａと共通になっている。
【００４５】
また、図１０に表したように、第２磁束結合体４１ｂは、回転軸ＡＸを中心として第２磁束結合体４１ｂの外側半径と同じ半径で環状に設けられた第２環状電流経路４１３ｂを含む。第２環状電流経路４１３ｂの一部は凹部４１１ｂと共通になっている。
【００４６】
第２実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ１２において第１磁束結合体４１ａ及び第２磁束結合体４１ｂ以外の構成は第１実施形態と同様である。このような第２実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ１２によれば、第１環状電流経路４１３ａ及び第２環状電流経路４１３ｂのそれぞれがシールドの役目を果たすことになる。
【００４７】
例えば、第１環状電流経路４１３ａは第１磁束結合体４１ａの第２送信巻線３１ｂ側に設けられているため、第２送信巻線３１ｂで発生した磁界による影響を第１磁束結合体４１ａが受ける前に第１環状電流経路４１３ａで受けることができる。つまり、第１環状電流経路４１３ａは第２送信巻線３１ｂの磁界に対するシールドの役目を果たす。これにより、第１磁束結合体４１ａは、第２送信巻線３１ｂの磁界の影響をほとんど受けず、第１送信巻線３１ａの磁界による電流を十分に流すことができるようになる。
【００４８】
同様に、第２環状電流経路４１３ｂは第２磁束結合体４１ｂの第１送信巻線３１ａ側に設けられているため、第１送信巻線３１ａで発生した磁界による影響を第２磁束結合体４１ｂが受ける前に第２環状電流経路４１３ｂで受けることができる。つまり、第２環状電流経路４１３ｂは第１送信巻線３１ａの磁界に対するシールドの役目を果たす。これにより、第２磁束結合体４１ｂは、第１送信巻線３１ａの磁界の影響をほとんど受けず、第２送信巻線３１ｂの磁界による電流を十分に流すことができるようになる。
【００４９】
第２実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ１２によれば、第１環状電流経路４１３ａ及び第２環状電流経路４１３ｂのそれぞれによるシールド効果によって、クロストークの影響を抑制した精度の高い位置検出を行うことができる。
【００５０】
〔第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態を図面に基づいて説明する。
図１１は、第３実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダを例示する断面図である。
図１２及び図１３は、第３実施形態に係る磁束結合体を例示する平面図である。
第３実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ１３は、第１磁束結合体４１ａの内側に回転軸ＡＸを中心として環状に設けられた第１環状電流経路４１３ａと、第２磁束結合体４１ｂの外側に回転軸ＡＸを中心として環状に設けられた第２環状電流経路４１３ｂと、をさらに備えている。すなわち、第１環状電流経路４１３ａは、第１磁束結合体４１ａとは独立して環状に設けられ、第２環状電流経路４１３ｂは、第２磁束結合体４１ｂとは独立して環状に設けられる。これら以外の構成は第１実施形態と同様である。
【００５１】
第１磁束結合体４１ａと独立して第１環状電流経路４１３ａが設けられていても、第２実施形態と同様に、第１環状電流経路４１３ａは第２送信巻線３１ｂの磁界に対するシールドの役目を果たす。また、第２磁束結合体４１ｂと独立して第２環状電流経路４１３ｂが設けられていても、第２環状電流経路４１３ｂは第１送信巻線３１ａの磁界に対するシールドの役目を果たす。
【００５２】
第３実施形態では、第１環状電流経路４１３ａ及び第２環状電流経路４１３ｂが独立して設けられているため、第１磁束結合体４１ａ及び第２磁束結合体４１ｂのそれぞれは、第１送信巻線３１ａ及び第２送信巻線３１ｂのそれぞれからの磁界による電流が効率良く流れることになる。
【００５３】
第３実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ１３によれば、第１環状電流経路４１３ａ及び第２環状電流経路４１３ｂのそれぞれによるシールド効果によって、クロストークの影響を抑制した精度の高い位置検出を行うことができる。
【００５４】
以上説明したように、実施形態によれば、エンコーダの大型化を抑制しつつ、ステータやロータの偏芯などのミスアライメントによる検出精度への影響を低減することができる誘導検出型ロータリエンコーダ１１、１２及び１３を提供することが可能になる。
【００５５】
なお、上記に本実施形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
以上のように、本発明は、デジタル式マイクロメータのほか、デジタル式インジケータなど回転量を検出して測定値を求める各種測定器に好適に利用できる。
【符号の説明】
【００５７】
１…デジタル式マイクロメータ
３…フレーム
５…シンブル
７…スピンドル
９…表示部
１１，１２，１３…誘導検出型ロータリエンコーダ
１４…ステータ
１５…ロータ
３１ａ…第１送信巻線
３１ｂ…第２送信巻線
３３Ａ，３３Ｂ…絶縁層
４１ａ…第１磁束結合体
４１ｂ…第２磁束結合体
４２Ａ，４２Ｂ…絶縁層
４１３ａ…第１環状電流経路
４１３ｂ…第２環状電流経路
Ｒ１…第１領域
Ｒ２…第２領域
Ｒ３…第３領域
Ｒ４…第４領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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