(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン孔が形成されたスクリーンマスクの下面に基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機であって、
前記スクリーンマスクの下面に付着したペーストを除去するクリーニング装置を備え、
前記クリーニング装置は、前記スクリーンマスクの下面をクリーニング方向に摺動することにより前記スクリーンマスクの下面に付着したペーストを掻き取る複数の掻き取り部材と、前記複数の掻き取り部材を保持する保持体を備え、
前記複数の掻き取り部材は、前記クリーニング方向に対して直列に並んで前記保持体に保持されており、
前記複数の掻き取り部材は、前記スクリーンマスクの下面に対して同じ向きに傾斜しており、
前記保持体にはその上面に対して傾斜した複数の切り込み部が形成され、個々の前記切り込み部に前記掻き取り部材が挿入されることを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記複数の掻き取り部材が前記スクリーンマスクの下面を摺動する際、前記スクリーンマスクと前記複数の掻き取り部材とのなす角が鋭角であることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
前記複数の掻き取り部材は前記保持体に対して取り外し自在であることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機。
【請求項４】
前記掻き取り部材により掻き取られたペーストが通過する開口部が形成されたプレート部材と、前記開口部を通過したペーストに含まれる半田粒子などの固形成分を捕捉するためのフィルタと、前記フィルタを通過したペーストに含まれる成分を吸引する吸引手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のスクリーン印刷機。
【請求項５】
前記プレート部材の前記開口部が複数あることを特徴とする請求項４に記載のスクリーン印刷機。
【請求項６】
前記プレート部材の前記開口部は円形状であることを特徴とする請求項４又は５に記載のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーンマスクを介して基板にクリーム半田等のペーストを印刷するスクリーン印刷機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田や導電性ペースト等のペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられた可撓性のスクリーンマスクを基板の下面に当接させ、スクリーンマスク上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するものである。
【０００３】
印刷作業時においては、スクリーンマスクの下面側に印刷部位からはみ出したペーストが付着し、又は基板上に完全に転写されなかったペーストがパターン孔に残留するなどの汚損が発生する。このようなペーストによる汚損は後続の基板への正常な印刷を妨げるため、印刷作業時における所定のタイミングでこれらのペーストを除去するためのクリーニングを行う必要がある。そこで従来、１個のへら状体（へら状の部材）をスクリーンマスクの下面に摺動させて掻き取り、掻き取ったペーストを吸引口を介して吸引するクリーニング装置が提案されている（例えば特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−１５５７２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来技術では、へら状体を摺動させながらスクリーンマスクの下面に付着したペーストを掻き取るクリーニング動作を反復して継続する過程で、吸引しきれなかった掻き取り後のペーストがへら状体の先端部に徐々に蓄積する事態が生じていた。そして、へら状体に蓄積するペーストの量が多くなると、へら状体が撓んでスクリーンマスクとの間に隙間が生じ、スクリーンマスクの下面に付着するペーストを十分に掻き取ることができなくなり、ひいては掻き取ったペーストがスクリーンマスクに再度付着してしまうといった問題が生じていた。このように、従来技術では、クリーニング動作を反復して継続するにつれて、スクリーンマスクの下面に付着したペーストを掻き取る力が低下するという課題があった。
【０００６】
そこで本発明は、クリーニング動作を反復して継続してもスクリーンマスクの下面に付着したペーストをより確実に掻き取ることができるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のスクリーン印刷機は、パターン孔が形成されたスクリーンマスクの下面に基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機であって、前記スクリーンマスクの下面に付着したペーストを除去するクリーニング装置を備え、前記クリーニング装置は、前記スクリーンマスクの下面をクリーニング方向に摺動することにより前記スクリーンマスクの下面に付着したペーストを掻き取る複数の掻き取り部材と、前記複数の掻き取り部材を保持する保持体を備え、前記複数の掻き取り部材は、前記クリーニング方向に対して直列に並んで前記保持体に保持されており、前記複数の掻き取り部材は、前記スクリーンマスクの下面に対して同じ向きに傾斜しており、前記保持体にはその上面に対して傾斜した複数の切り込み部が形成され、個々の前記切り込み部に前記掻き取り部材が挿入される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、クリーニング動作を反復して継続してもスクリーンマスクの下面に付着したペーストをより確実に掻き取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施における形態のスクリーン印刷機の側面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図
【図４】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図５】（ａ）本発明の一実施の形態におけるクスクリーン印刷機が備えるリーニング装置の平面図（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置の側面図
【図６】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置を構成するノズルユニットの斜視図
【図７】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置を構成するノズルユニットの分解斜視図
【図８】（ａ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置を構成するノズルユニットに含まれる保持体の平面図（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置を構成するノズルユニットに含まれる掻き取り部材と保持体の側面図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置を構成するノズルユニットの構造説明図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるクリーニング動作の説明図
【図１１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える制御系の構成を示すブロック図
【図１２】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるクリーニング動作の説明図
【図１３】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるクリーニング動作の説明図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に図１、図２及び図３を参照して、本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の構成について説明する。図１において、スクリーン印刷機１は基板２にクリーム半田や導電性ペースト等のペーストＰを印刷する機能を有し、基板位置決め部３の上方にスクリーン印刷部１２を配設して構成されている。以下、基板２の搬送方向をＸ方向、Ｘ方向と水平面内において直交する方向をＹ方向、ＸＹ平面に対して垂直な方向をＺ方向と定義する。
【００１１】
基板位置決め部３はＹ軸テーブル４、Ｘ軸テーブル５及びθ軸テーブル６を段積みし、更にその上に第１のＺ軸テーブル７、第２のＺ軸テーブル８を組み合わせて構成されている。第１のＺ軸テーブル７の構成を説明する。θ軸テーブル６の上面に設けられた水平なベースプレート６ａの上面側には、同様に水平なベースプレート７ａが昇降ガイド機構（図示省略）によって昇降自在に保持されている。ベースプレート７ａは、複数の送りねじ７ｃをモータ７ｂによってベルト７ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。
【００１２】
ベースプレート７ａには垂直フレーム７ｅが立設されており、垂直フレーム７ｅの上端部には基板搬送機構９が保持されている。基板搬送機構９はＸ方向に平行に配設された一対の搬送レールを備えており、これらの搬送レールによって基板２の両端部を支持して搬送する。第１のＺ軸テーブル７を駆動することにより、基板搬送機構９によって保持された状態の基板２を、基板搬送機構９とともにスクリーン印刷部１２に対して昇降させることができる。図２、図３に示すように、上流側から搬入された基板２は基板搬送機構９によって搬送され、さらに基板位置決め部３によって位置決めされる。そしてスクリーン印刷部１２によって印刷が行われた後の基板２は、基板搬送機構９によって下流側に搬出される。
【００１３】
第２のＺ軸テーブル８の構成を説明する。基板搬送機構９とベースプレート７ａの中間には、水平なベースプレート８ａが昇降ガイド機構（図示省略）に沿って昇降自在に配設されている。ベースプレート８ａは、複数の送りねじ８ｃをモータ８ｂによってベルト８ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート８ａの上面には、上面に基板２を保持する下受け面が設けられた基板下受部１０が配設されている。
【００１４】
第２のＺ軸テーブル８を駆動することにより、基板下受部１０は基板搬送機構９に保持された状態の基板２に対して昇降する。そして基板下受部１０の下受け面が基板２の下面に当接することにより、基板下受部１０は基板２を下面側から支持する。基板搬送機構９の上面にはクランプ機構１１が配設されている。クランプ機構１１は、左右対向して配置された２つのクランプ部材１１ａを備えており、一方側のクランプ部材１１ａを駆動機構１１ｂによって進退させることにより、基板２を両側からクランプして固定する。
【００１５】
次に、スクリーン印刷部１２について説明する。図１及び図２において、マスク枠１３ａには可撓性を有するスクリーンマスク１３が展張されており、またスクリーンマスク１３には基板２において印刷対象となる電極２ａの形状・位置（図３参照）に対応して、複数のパターン孔１３ｂが形成されている。このスクリーンマスク１３上には、ペースト供給機構（図示省略）によってペーストＰが供給される。
【００１６】
スクリーンマスク１３上にはスキージユニット１４が配設されている。スキージユニット１４は、水平なプレート１５にスキージ１６を昇降させるスキージ昇降機構１７を配設した構成となっている。スキージ１６は、スキージ昇降機構１７の駆動によって昇降し、これによりスクリーンマスク１３の上面に当接する。
【００１７】
図２において、縦フレーム２０上に配置されたブラケット２１上にはガイドレール２２がＹ方向に配設されており、ガイドレール２２にスライド自在に嵌合したスライダ２３は、プレート１５の両端に結合されている。これにより、スキージユニット１４はＹ方向にスライド自在となっている。プレート１５は、ナット２４、送りねじ２５及び送りねじ２５を回転駆動するスキージ移動用モータ（図示省略）を備えたスキージ移動手段によりＹ方向に水平移動する。
【００１８】
図１において、スクリーンマスク１３の下方にはカメラヘッドユニット２６及びクリーニング装置２７が配設されている。本実施の形態において、カメラヘッドユニット２６とクリーニング装置２７はＸ軸テーブル２８（図２）に装着されてＹ方向に一体的に移動する構成となっている。
【００１９】
カメラヘッドユニット２６は、基板２を上方から撮像するための基板認識カメラ２６ａと、スクリーンマスク１３を下面側から撮像するためのマスク認識カメラ２６ｂとを備えている。カメラヘッドユニット２６をＹ方向に水平移動させることによって基板２とスクリーンマスク１３の認識を同時に行うことができる。
【００２０】
図２において、縦フレーム２０上にはガイドレール２９がＹ方向に配設されており、ガイドレール２９にスライド自在に嵌合したスライダ３０は、Ｘ軸テーブル２８にブラケット２８ａを介して結合されている。これにより、Ｘ軸テーブル２８はＹ方向にスライド自在となっている。Ｘ軸テーブル２８は、ナット３１、送りねじ３２及び送りねじ３２を回転駆動する移動用モータ（図示省略）を備えたＹ軸移動機構３３によりＹ方向に水平移動する。このようにＸ軸テーブル２８及びＹ軸移動機構３３は、カメラヘッドユニット２６及びクリーニング装置２７をＹ方向に水平移動させる移動機構を構成する。
【００２１】
カメラヘッドユニット２６による基板２やスクリーンマスク１３の認識を行わず、またクリーニング装置によるクリーニングを行わないときには、図４（ａ）に示すように、カメラヘッドユニット２６、クリーニング装置２７はともに基板位置決め部３の上方から側方に退避する。そして各ユニットによる所定の動作を実行する際には、図４（ｂ）に示すように、カメラヘッドユニット２６及びクリーニング装置２７はスクリーンマスク１３の下方に進出する（矢印ａ）。
【００２２】
次に、スクリーン印刷部１２による印刷動作について説明する。なお、スクリーン印刷機１を構成する各機構は、スクリーン印刷機１が備える制御部５２（図１１）によって制御される。まず、基板搬送機構９によって基板２が印刷位置に搬入されると、基板下受部１０が上昇して基板２を下受けする。そしてこの状態で基板位置決め部３は基板２をスクリーンマスク１３に対して位置合わせする。次いで、第１のＺ軸テーブル７は基板２を基板搬送機構９とともに上昇させてスクリーンマスク１３の下面に当接させ、この状態でクランプ機構１１は基板２をクランプする。これにより、基板２の水平位置が固定される。次いで、スキージ１６はペーストＰが供給されたスクリーンマスク１３上を摺動する。これにより、パターン孔１３ｂを介して基板２にペーストＰがスクリーン印刷される。
【００２３】
以上説明したように、スクリーン印刷機１はパターン孔１３ｂが形成された可撓性のスクリーンマスク１３の下面に基板２を当接させ、スクリーンマスク１３上でスキージ１６を摺動させることによりパターン孔１３ｂを介して基板２にペーストＰを印刷する。
【００２４】
次に図５〜図１０を参照して、クリーニング装置２７について説明する。図５（ｂ）は、図５（ａ）に示すクリーニング装置２７のＡ−Ａ断面を示す。図５（ａ），（ｂ）において、クリーニング装置２７は、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着したペーストＰや、基板２に転写されずにパターン孔１３ｂに残留したペーストＰを除去してクリーニングする機能を有しており、箱体３５と、ノズルユニット３６と、ユニット昇降機構３７を含んで構成される。箱体３５はノズルユニット３６とユニット昇降機構３７を収納する収納部である。ユニット昇降機構３７は上下方向に突没自在なロッド３７ａを有しており、後述するノズルユニット３６を構成する枠状部材４１と結合している。図５（ｂ）に示すように、ノズルユニット３６はユニット昇降機構３７の駆動によって昇降する（矢印ｂ）。ユニット昇降機構３７は、ノズルユニット３６を昇降させる昇降手段となっている。
【００２５】
以下、ノズルユニット３６の詳細な構造について説明する。ノズルユニット３６は、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着するペーストＰを掻き取り、掻き取ったペーストＰを吸引して除去するクリーニング部である。図６及び図７において、ノズルユニット３６は、上方から順に保持体３８、プレート部材３９、フィルタ４０、枠状部材４１を積層し、保持体３８に保持される複数（本実施の形態では７枚）の掻き取り部材４２を含んで構成される。
【００２６】
掻き取り部材４２は、ＳＵＳ等の金属で成形された薄い「へら状」の可撓性を有する部材であり、図８（ｂ）に示すように、長手方向における両端部４２ｂが水平な水平部４２ａから下方に変位した形状となっている。クリーニング動作時においては、スクリーンマスク１３の下面１３ｃを水平部４２ａの上端が、基板２の搬送方向（Ｘ方向）と水平面内において直交する一の方向であるクリーニング方向（図１０に示す矢印ｃ）に摺動する。これにより、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着するペーストＰを掻き取ることができる。すなわち、複数の掻き取り部材４２は、スクリーンマスク１３の下面１３ｃをクリーニング方向に摺動することによりスクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着したペーストＰを掻き取る。なお、掻き取り部材４２は、ウレタンゴム等の弾性体で成形されたものでもよい。
【００２７】
図８（ｂ）において、保持体３８は長手方向における両端部３８ｂが水平な水平部３８ａから下方に変位した形状を有している。図７及び図８（ａ）に示すように、保持体３８は、長手方向に並列した複数（５個）の矩形の開口部４３が形成されており、隣接する開口部４３の間には保持体３８の本体であって隣接する開口部３２を仕切るための仕切り部４４が設けられている。
【００２８】
保持体３８には、長手方向に延びた複数（７個）の切り込み部４５が、仕切り部４４を含めてクリーニング方向に直列した状態で形成されている。図９（ａ）に示すように、切り込み部４５は、保持体３８の水平な上面３８ｃに対して傾斜した方向から切り込みを入れることによって形成され、掻き取り部材４２の厚みｓに対応した幅ｔを有する。図８（ｂ）に示すように、各々の切り込み部４５に掻き取り部材４２が挿入されることで、保持体３８は掻き取り部材４２を保持する。したがって、複数の掻き取り部材４２はクリーニング方向に対して直列に並んだ状態となる。また、掻き取り部材４２は保持体３８の上面３８ｃから所定長さだけ突出するとともに、保持体３８の上面３８ｃに対して傾斜した姿勢で保持体３８に保持される。
【００２９】
掻き取り部材４２は保持体３８に対して次のように固定される。すなわち、各部材の両端部４２ｂ，３８ｂを合わせた状態で切り込み部４５に掻き取り部材４２を挿入する。そして、各部材の両端部４２ｂ，３８ｂをＬ字状の取り付け部材４６（図７）で覆う。そして、取り付け部材４６に形成された開口部４６ａを介して保持体３８の両側面に形成されたネジ穴３８ｄにネジ４７を螺合させる。これにより、図６及び図９（ｃ）に示すように、掻き取り部材４２は保持体３８に対して固定される。保持体３８に保持される掻き取り部材４２を交換したい場合は、取り付け部材４６を取り外して掻き取り部材４２と保持体３８の固定を解除する。そして、新しい掻き取り部材４２を保持体３８の切り込み部４５に挿入し、取り付け部材４６で掻き取り部材４２と保持体３８を再び固定する。このように、複数の掻き取り部材４２は保持体３８に対して取り外し自在である。
【００３０】
図１０は、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに掻き取り部材４２の上端４２ｃを当接させた状態を示している。図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示す範囲Ｂの拡大図である。便宜上、プレート部材３９、フィルタ４０、枠状部材４１等の図示は省略している。スクリーンマスク１３の下面１３ｃに掻き取り部材４２が当接した状態では、スクリーンマスク１３の水平な下面１３ｃに対する掻き取り部材４２のアタック角（クリーニング方向に対してスクリーンマスク１３の下面１３ｃと掻き取り部材４２とのなす角）θは９０°より小さい角、すなわち鋭角となる。そして、この状態で掻き取り部材４２がクリーニング方向に摺動することで（矢印ｃ）、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着するペーストＰは掻き取られる。このように、複数の掻き取り部材４２がスクリーンマスク１３の下面１３ｃを摺動する際、スクリーンマスク１３と複数の掻き取り部材４２とのなす角が鋭角となる。ペーストＰを掻き取る具体的な態様は後述する。
【００３１】
図７において、プレート部材３９は複数の円形状の開口部４８が形成されている。掻き取り部材４２によって掻き取られたペーストＰは、保持体３８の開口部４３とプレート部材３９の開口部４８を通過して下方に導かれる。フィルタ４０は、開口部４８を通過したペーストＰに含まれる半田粒子などの固形成分を捕捉する。
【００３２】
枠状部材４１は、管路４９を介して真空吸引機構５０（図１１）と連通した複数（２個）の開口部５１が形成されている。真空吸引機構５０が駆動されることで、管路４９の内部は真空吸引される。これにより、掻き取り部材４２により掻き取られた後にフィルタ４０を下方に通過したペーストＰの成分が管路４９を介して吸引される。管路４９及び真空吸引機構５０は、フィルタ４０を通過したペーストＰに含まれる成分を吸引する吸引手段となっている。
【００３３】
次に図１１を参照して、制御系の構成を説明する。スクリーン印刷機１が備える制御部５２は、記憶部５３、機構駆動部５４、認識処理部５５を含んで構成される。また、制御部５２は、基板位置決め部３、スクリーン印刷部１２を構成する各機構、基板認識カメラ２６ａ、マスク認識カメラ２６ｂ、Ｘ軸テーブル２８、Ｙ軸移動機構３３、ユニット昇降機構３７、真空吸引機構５０等と接続されている。
【００３４】
記憶部５３は、基板２にペーストＰをスクリーン印刷するために必要な印刷作業データ、スクリーンマスク１３の下面１３ｃをクリーニングするために必要なクリーニング作業データ等を記憶する。機構駆動部５４は、制御部５２によって制御されて、基板位置決め部３やスクリーン印刷部１２を構成する各機構を駆動する。これにより、基板２の搬送及び位置決め作業、スクリーン印刷作業が実行される。また、機構駆動部５４は制御部５２によって制御されて、Ｘ軸テーブル２８、Ｙ軸移動機構３３、ユニット昇降機構３７、真空吸引機構５０を駆動する。これにより、スクリーンマスク１３の下面１３ｃのクリーニング作業が実行される。認識処理部５５は、基板認識カメラ２６ａとマスク認識カメラ２６ｂによって取得された画像を認識処理する。これにより、基板２とスクリーンマスク１３の位置を検出する。検出結果は、スクリーンマスク１３に対する基板２の位置を補正する際に用いられる。
【００３５】
本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は以上のように構成される。次に図１２及び図１３を参照して、クリーニング装置２７によってスクリーンマスク１３の下面１３ｃをクリーニングするスクリーンマスク１３のクリーニング方法について説明する。図１２（ａ）は、スクリーン印刷を終えた後のスクリーン印刷機１の正面図（一部）を示している。スクリーンマスク１３の下面１３ｃのクリーニングは、個々の基板２にペーストＰがスクリーン印刷される毎に行われる。
【００３６】
まず図１２（ａ）に示すように、クリーニング装置２７は、クリーニング開始位置であるスクリーンマスク１３の一端部（ここでは紙面左側）の下方に移動する（ＳＴ１：移動工程）（矢印ｄ）。次いで図１２（ｂ）に示すように、ノズルユニット３６は上昇し（矢印ｅ）、全ての掻き取り部材４２をスクリーンマスク１３の下面１３ｃに当接させる（ＳＴ２：当接工程）（図１０（ａ）も併せて参照）。なお、ノズルユニット３６の上昇時に、制御部５２は真空吸引機構５０を駆動させて管路４９の内部を真空吸引状態とする。これにより、スクリーンマスク１３の下面１３ｃは吸引された状態となる。
【００３７】
次いで図１２（ｃ）に示すように、スクリーンマスク１３の下面１３ｃを吸引した状態で、ノズルユニット３６はクリーニング方向に移動することにより（矢印ｆ）、スクリーンマスク１３の下面１３ｃやパターン孔１３ｂに付着するペーストＰを除去するクリーニング動作を実行する（ＳＴ３：クリーニング工程）。すなわち、ノズルユニット３６が移動する過程で、掻き取り部材４２がスクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着するペーストＰを掻き取り、掻き取ったペーストＰを吸引手段が吸引する。ノズルユニット３６がスクリーンマスク１３の他端部（紙面右側）まで移動したならば、制御部５２は真空吸引機構５０の駆動を停止させる。また、ノズルユニット３６は所定の位置まで下降する。その後、新たに搬入された基板２にペーストＰが印刷されたならば、（ＳＴ１）に戻って同様の動作を繰り返す。
【００３８】
ここで図１３を参照して、クリーニング工程（ＳＴ３）におけるクリーニング動作の詳細について説明する。図１３（ａ）は、保持体３８に保持された複数の掻き取り部材４２がスクリーンマスク１３の下面１３ｃをクリーニング方向に摺動している状態を示している。図１３（ａ）に示すように、掻き取り部材４２が摺動する過程で、クリーニング方向の先頭に位置する掻き取り部材４２Ａはスクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着するペーストＰを掻き取る。クリーニング動作の回数が少ない間は、先頭に位置する掻き取り部材４２Ａによって全てのペーストＰが漏れなく掻き取られる。
【００３９】
図１３（ｂ）は、クリーニング動作を反復して継続する過程で、保持体３８に保持された複数の掻き取り部材４２がスクリーンマスク１３の下面１３ｃをクリーニング方向に摺動している状態を示している。クリーニング動作を反復して継続する過程で、先頭の掻き取り部材４２Ａの上端には吸引手段によって吸引しきれなかったペーストＰが徐々に蓄積する。そして、ペーストＰの蓄積量が増加するにしたがって掻き取り部材４２Ａは後方（クリーニング方向とは反対の方向）に撓み、スクリーンマスク１３と掻き取り部材４２Ａとの間には隙間ｖ１が生じる。なお、隙間ｖ１は掻き取り部材４２の撓みのみならず、スクリーンマスク１３の下面１３ｃの凹凸によっても生じ得る。この隙間ｖ１により、掻き取り部材４２Ａによって掻き取れなかった一部のペーストＰがスクリーンマスク１３の下面１３ｃに残留してしまう。しかしながら、掻き取り部材４２Ａの後方では、次点に位置する掻き取り部材４２Ｂがスクリーンマスク１３の下面１３ｃを摺動しているため、残留したペーストＰはこの掻き取り部材４２Ｂによって掻き取られる。これにより、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着したペーストＰをより確実に掻き取ることができる。
【００４０】
図１３（ｃ）に示すように、クリーニング動作をさらに反復して継続すると、掻き取り部材４２Ａと同様に、掻き取り部材４２Ｂの上端にはペーストＰが徐々に蓄積する。これにより、掻き取り部材４２は後方に撓み、スクリーンマスク１３と掻き取り部材４２Ｂとの間には隙間ｖ２が生じるが、掻き取り部材４２Ｂの後方では次点に位置する掻き取り部材４２Ｃがスクリーンマスク１３の下面１３ｃを摺動しているため、残留したペーストＰはこの掻き取り部材４２Ｃによって掻き取られる。その後にクリーニング動作を反復して継続する過程で、掻き取り部材４２Ｃが撓んでスクリーンマスク１３との間に隙間が生じたならば、次点に位置する掻き取り部材４２Ｄが残留したペーストＰを掻き取る。このように、掻き取りきれずに残留したペーストＰの掻き取りは、最後尾に位置する掻き取り部材４２Ｇまで繰り返し行うことができる。
【００４１】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１が備えるクリーニング装置２７では、複数の掻き取り部材４２がクリーニング方向に対して直列に並んで保持体３８に保持されているため、クリーニング動作を反復して継続しても、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着したペーストＰを掻き取る力が低下せず、より確実にペーストＰを掻き取ることができる。より具体的に説明すると、クリーニング動作を反復して継続する過程で、特定の掻き取り部材４２が蓄積したペーストＰによってクリーニング方向とは反対の方向へ撓み、これによりペーストＰの掻き取り漏れが生じた場合であっても、その後方には他の掻き取り部材４２がスクリーンマスク１３の下面１３ｃを摺動しているため、スクリーンマスク１３の下面１３ｃに付着するペーストＰの掻き取り漏れを防止することができる。
【００４２】
本発明はこれまで説明した実施の形態に限られず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することができる。例えば、保持体３８に保持される掻き取り部材４２の数は任意でよく、ペーストＰが印刷される基板２の枚数に応じて、必要と想定される数の掻き取り部材４２を保持体３８に保持させてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明によれば、クリーニング動作を反復して継続してもスクリーンマスクの下面に付着したペーストをより確実に掻き取ることができ、ペーストが印刷された基板に部品を実装する実装分野に有用である。
【符号の説明】
【００４４】
１  スクリーン印刷機
２  基板
１３  スクリーンマスク
１３ｂ  パターン孔
１３ｃ  下面
１６  スキージ
３８  保持体
２７  クリーニング装置
３９  プレート部材
４０  フィルタ
４２  掻き取り部材
４９  管路
５０  真空吸引機構
Ｐ  ペースト
【図１】
0006535876.tif 000002
【図２】
0006535876.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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