(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化物材料を含む圧電体層と、
前記圧電体層の下方に配置され前記圧電体層の変形に伴い変形する振動板と、
前記圧電体層と前記振動板との間に配置され、前記圧電体層における還元反応を抑制する還元抑制層と、
前記振動板と前記圧電体層との間に設けられた絶縁層と、を有し、
前記振動板は前記圧電体層の下方に配置される電極を構成し、
前記振動板の前記圧電体層と反対側に、インクの流路を形成するための流路形成層を有し、
前記振動板は、複数の層から構成され、これら複数の層の間に前記還元抑制層が配置されている、
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータにおいて、
前記圧電体層の上方に配置された電極と前記圧電体層との間に絶縁層を有する、
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のアクチュエータにおいて、
前記圧電体層は、チタン酸ジルコン酸鉛を含む材料により形成されている、
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記還元抑制層は、Ｎｉを含む材料により形成されている、
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
酸化物材料を含む圧電体層と、
前記圧電体層の下方に配置され前記圧電体層の変形に伴い変形する振動板と、
前記圧電体層と前記振動板との間に配置され、前記圧電体層における還元反応を抑制する還元抑制層と、を有し、
前記振動板は前記圧電体層の下方に配置される電極を構成し、
前記振動板の前記圧電体層と反対側に、インクの流路を形成するための流路形成層を有し、
前記振動板は、複数の層から構成され、これら複数の層の間に前記還元抑制層が配置されている、
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記振動板は、前記圧電体層側から順番に、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｕをそれぞれ含有する層を有し、これらの層のうち前記Ｎｉを含有する層が前記還元抑制層である、
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１ないし６の何れか一項に記載のアクチュエータと、
インクが充填され、前記アクチュエータが駆動されることにより前記インクの圧力が変化する圧力室と、
前記アクチュエータが駆動されることにより前記圧力室に充填された前記インクを吐出するノズルと、を備える、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項７に記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給部と、を備える
ことを特徴とするインクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電体薄膜を用いたアクチュエータ、並びに、当該アクチュエータを用いたインクジェットヘッドおよびインクジェット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット装置は、インクジェットヘッドからインクを吐出することにより、被印刷面に印字や描画を行う装置である。インクジェット装置に搭載されるインクジェットヘッドは、インクを充填するための圧力室と、圧力室にインクを導くための流路と、圧力室に繋がるノズルと、圧力室に充填されたインクに圧力を付与するアクチュエータとを備える。アクチュエータを駆動して圧力室内の圧力を高めることにより、圧力室に充填されたインクがノズルから吐出される。
【０００３】
上記構成のインクジェットヘッドでは、たとえば、アクチュエータの駆動源として圧電体薄膜が用いられ得る。この構成では、たとえば、圧力室に対してノズルと反対側に圧電体薄膜が形成される。圧電体薄膜に電圧を印加することにより、圧電体薄膜が変形し、圧力室の体積が減少する。これにより、圧力室内の圧力が高められ、ノズルからインクが吐出される。
【０００４】
以下の特許文献１には、圧電体に電圧を印加するための電極をＮｉ合金から形成する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２５２３９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、インクジェットヘッドを様々な温度環境にて使用するニーズが高まりつつある。たとえば、インクジェットヘッドの温度を高めることにより、通常よりも粘度の高いインクを用いることができる。
【０００７】
しかしながら、上記のようにアクチュエータの駆動源として圧電体薄膜を用いる場合に、高温環境下でインクジェットヘッドが所定時間使用され続けると、圧電体薄膜に変性が生じ、圧電体薄膜の特性が劣化するとの現象が起こり得る。たとえば、圧電体薄膜の材料としてＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を用いる場合、インクジェットヘッドが高温環境下で使用され続けると、圧電体薄膜内をリーク電流が流れるといった変性が圧電体薄膜に生じることが、本願発明者らにより確認された。
【０００８】
かかる課題に鑑み、本発明は、高温環境下で使用されても圧電体薄膜に変性が生じることを抑制可能なアクチュエータ並びにそれを用いたインクジェットヘッドおよびインクジェット装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の態様は、圧電体薄膜を用いたアクチュエータに関する。第１態様に係るアクチュエータは、酸化物材料を含む圧電体層と、前記圧電体層の下方に配置され前記圧電体層の変形に伴い変形する振動板と、前記圧電体と前記振動板との間に配置され、前記圧電体層における還元反応を抑制する還元抑制層と、前記振動板と前記圧電体層との間に設けられた絶縁層と、を有し、前記振動板は前記圧電体層の下方に配置される電極を構成し、前記振動板の前記圧電体層と反対側に、インクの流路を形成するための流路形成層を有し、前記振動板は、複数の層から構成され、これら複数の層の間に前記還元抑制層が配置されている。
【００１０】
本態様に係るアクチュエータによれば、還元抑制層によって圧電体層における還元反応が抑制される。これにより、アクチュエータが高温環境下で使用され続けても、圧電体層内をリーク電流が流れるといった変性が圧電体層に生じることが抑制される。よって、アクチュエータの特性を安定的に保つことができる。
【００１１】
なお、第１の態様において、「前記圧電体と前記振動板との間に配置され、前記圧電体層における還元反応を抑制する還元抑制層」とは、還元抑制層が振動板とは別に配置されている形態の他、還元抑制層が振動板中に含まれている形態をも含むものである。
【００１２】
本発明の第２の態様は、インクジェットヘッドに関する。第２態様に係るインクジェットヘッドは、第１の態様に係るアクチュエータと、インクが充填され、前記アクチュエータが駆動されることにより前記インクの圧力が変化する圧力室と、前記アクチュエータが駆動されることにより前記圧力室に充填された前記インクを吐出するノズルと、を備える。
【００１３】
本発明の第３の態様は、インクジェット装置に関する。第３態様に係るインクジェット装置は、第２の態様に係るインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給部と、を備える。
【００１４】
第２の態様および第３の態様によれば、上記第１の態様と同様、高温環境下で使用されても圧電体薄膜に変性が生じることを抑制可能なインクジェットヘッドおよびインクジェット装置を実現できる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のとおり、本発明によれば、高温環境下で使用されても圧電体薄膜に変性が生じることを抑制可能なアクチュエータ並びにそれを用いたインクジェットヘッドおよびインクジェット装置を提供することができる。
【００１６】
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１（ａ）は実施の形態に係るインクジェットヘッドの構成を示す図、図１（ｂ）は実施の形態に係るアクチュエータと構造体とを組み合わせた構成を模式的に示す図である。
【図２】図２（ａ）は実施の形態に係るアクチュエータと構造体の一部を拡大した図、図２（ｂ）は、メイン流路と圧力室の部分を模式的に示す図である。
【図３】図３（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、比較例に係るアクチュエータと構造体の構成を示す断面図である。
【図４】図４（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施例１に係るアクチュエータと構造体の構成を示す断面図である。
【図５】図５は、実施例１に係るアクチュエータの圧力室付近の構成を示す断面図である。
【図６】図６（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施例２に係るアクチュエータと構造体の構成を示す断面図である。
【図７】図７は、実施例２に係るアクチュエータの圧力室付近の構成を示す断面図である。
【図８】図８は、比較例、実施例１および実施例２の構成を備えるアクチュエータのリーク電流の測定結果を示す図である。
【図９】図９は、実施の形態に係るインクジェット装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】図１０は、変更例に係るアクチュエータの圧力室付近の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。便宜上、各図には、互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚ軸が付記されている。Ｚ軸方向がインクジェットヘッド１の高さ方向であり、Ｚ軸正方向が下方向である。また、Ｘ軸方向がインクジェットヘッド１の厚み方向で、Ｙ軸方向がインクジェットヘッド１の幅方向である。インクジェットヘッド１は、Ｚ軸正方向（下方向）にインクを吐出する。
【００１９】
図１（ａ）は、実施の形態に係るインクジェットヘッド１の構成を示す図であり、図１（ｂ）は、実施の形態に係るアクチュエータ３０と構造体４０とを組み合わせた構成を模式的に示す図である。
【００２０】
図１（ａ）に示すように、インクジェットヘッド１は、収納ボックス１０と、ヘッドベース２０とを備える。収納ボックス１０は、ヘッドベース２０に対して着脱可能となっている。
【００２１】
収納ボックス１０は、下面が開放された矩形の箱体からなっている。収納ボックス１０の上面には内部に繋がる切欠き１０ａが設けられ、この切欠き１０ａを介して回路基板１１が収納ボックス１０に収納されている。回路基板１１にはアクチュエータ３０を駆動するための駆動回路が実装されている。
【００２２】
ヘッドベース２０は、上下に貫通する矩形の開口２０ａを中央に有する枠体からなっている。開口２０ａのＹ軸正側とＹ軸負側に、それぞれ、開口２０ａと繋がる円形の穴部２０ｂが設けられている。開口２０ａの下端に、図１（ｂ）に示すアクチュエータ３０と構造体４０が設置される。アクチュエータ３０は、開口２０ａ内において回路基板１１と電気的に接続される。穴部２０ｂは、インク供給用のチューブ（図示せず）を開口２０ａ内部へと導くためのものである。
【００２３】
図１（ｂ）に示すように、アクチュエータ３０は、長方形の輪郭を有する板体からなっている。アクチュエータ３０は、構造体４０の上面に重ねられる。構造体４０には、長方形の輪郭を有する板体からなっている。また、構造体４０には、Ｘ軸方向に並ぶ４つのメイン流路５１が形成されている。
【００２４】
アクチュエータ３０のＹ軸正側の端部とＹ軸負側の端部には、それぞれ、上下に貫通する４つのインク供給口３１がＸ軸方向に並んで形成されている。Ｙ軸方向に並ぶ２つのインク供給口３１はそれぞれ、一つのメイン流路５１に繋がっている。また、アクチュエータ３０の裏面には溝が形成されている。アクチュエータ３０が板状の構造体４０に重ねられることにより、アクチュエータ３０裏面の溝と構造体４０の上面との間に、圧力室５２が形成される。圧力室５２は、構造体４０に形成された連絡流路５３（図２（ｂ）参照）を介してメイン流路５１に繋がっている。
【００２５】
図２（ａ）は、図１（ｂ）の構成のＹ軸正側の端部を拡大した図である。上記のようにメイン流路５１は、端部がインク供給口３１に繋がっている。メイン流路５１に沿って多数の圧力室５２が配置され、各圧力室５２が連絡流路５３によってメイン流路５１に繋がっている。
【００２６】
図１（ｂ）に戻り、８つのインク供給口３１には、それぞれ、個別に管（図示せず）が嵌められ、各管にインク供給用のチューブ（図示せず）が接続される。管は、開口２０ａ内に配された支持手段によって支持され、管に接続されたチューブが穴部２０ｂを介して外部に引き出される。インク供給用のチューブと管を介してインクがインク供給口３１に供給される。これにより、メイン流路５１および連絡流路５３を通ってインクが圧力室５２に供給される。Ｙ軸方向に並ぶ２つのインク供給口３１には同じ色のインクが供給され、Ｘ軸方向に並ぶ４つのインク供給口３１には互いに異なる色のインクが供給される。したがって、図１（ｂ）の構成では、４色のインクがアクチュエータ３０に供給される。これにより、Ｙ軸方向に並ぶ圧力室５２には同じ色のインクが充填され、Ｘ軸方向に並ぶ圧力室５２には互いに異なる色のインクが充填される。
【００２７】
図２（ｂ）は、図２（ａ）の構成を、圧力室５２のＹ軸方向の中央位置において、Ｘ−Ｚ平面に平行な面で切断した断面を模式的に示す断面図である。
【００２８】
メイン流路５１に流入されたインク６０は、連絡流路５３を通って圧力室５２に充填される。構造体４０は、メイン流路５１および連絡流路５３を有する上部材４０ａと、ノズル４１を有する下部材４０ｂからなっている。下部材４０ｂには、圧力室５２からＺ軸正方向に延びる流路の部分に、ノズル４１となる円形の孔が形成されている。ノズル４１は、Ｚ軸方向に向かうに従って次第に径が小さくなっており、出口付近で径が均一になっている。また、アクチュエータ３０には、圧力室５２の上側に、上下方向（Ｚ軸方向）に変形可能な圧電駆動部３２が形成されている。圧電駆動部３２が下方に変形すると、圧力室５２の容積が減少し、圧力室５２に充填されたインク６０の圧力が高まる。これにより、ノズル４１からインク６０の液滴６１が吐出される。圧電駆動部３２は、図１（ｂ）の圧力室５２ごとに個別に配されている。
【００２９】
本実施の形態では、圧電駆動部３２が圧電体薄膜からなる圧電体層と、圧電体層の変形に伴い変形する振動板とを備える構成となっている。以下、アクチュエータ３０の具体的構成例について説明する。
【００３０】
＜比較例＞
まず、比較例の構成について説明する。
【００３１】
図３（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、比較例に係るアクチュエータ３０と構造体４０の構成を模式的に示す断面図である。図３（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、比較例の構成を図２（ａ）のＡ−Ａ’の位置でＹ−Ｚ平面に平行な面で切断した断面図である。図３（ａ）はアクチュエータ３０を構造体４０に重ねる前の状態を示し、図３（ｂ）はアクチュエータ３０を構造体４０に重ねた後の状態を示している。
【００３２】
図３（ａ）に示すように、比較例では、アクチュエータ３０が、電極１０１と、絶縁層１０２と、圧電体層１０３と、振動板１０４と、流路形成層１０５とを積層した構成となっている。
【００３３】
電極１０１は、圧電体層１０３に電圧を印加するための上側電極である。絶縁層１０２は、圧電体層１０３に対して電極１０１を絶縁するための層である。圧電体層１０３は、電圧が印加されることにより上下に変形する圧電体薄膜であって、たとえば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の酸化物を含む材料からなっている。
【００３４】
振動板１０４は、圧電体層１０３の変形に伴い変形する層であって、Ｃｒを含有する層と、Ｃｕを含有する層が、積層されて形成されている。振動板１０４は、さらに、圧電体層１０３に電圧を印加するための下部電極として用いられる。
【００３５】
流路形成層１０５は、アクチュエータ３０の裏面に溝１０５ａを形成するための層であって、たとえばＮｉからなっている。図３（ｂ）に示すようにアクチュエータ３０が構造体４０に重ねられ、流路形成層１０５の溝１０５ａが構造体４０で塞がれることによって、上記のように、圧力室５２が形成される。
【００３６】
ところで、近年、インクジェットヘッド１を様々な温度環境において使用するニーズが高まりつつある。たとえば、インクジェットヘッド１の温度を高めることにより、通常よりも粘度の高いインクを用いることが可能となる。その反面、このような要求に応えるためには、インクジェットヘッド１が、様々な環境下において特性に劣化なく使用可能であることが要求される。
【００３７】
しかしながら、上記構造を有する比較例では、高温環境下でインクジェットヘッド１を所定時間使用し続けると、圧電体層１０３の特性に劣化が生じてしまう。本願発明者らは、このことを、圧電体層１０３の材料としてＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を用いたアクチュエータ３０について確認した。より詳細には、インクジェットヘッド１を高温環境下で使用し続けると、圧電体層１０３内をリーク電流が流れることを、本願発明者らは確認した。本願発明者らは、この現象が、圧電体層１０３内において還元反応が生じることによって引き起こされることを新たに見出した。圧電体層１０３内で還元反応が起こることにより、圧電体層１０３が変性し、圧電体層１０３内に電流が流れるパスが生じる。これにより、圧電体層１０３にリーク電流が流れ、圧電体層１０３の駆動力が所期の駆動力から低下する。本願発明者らは、上記のような還元反応が、振動板１０４を構成するＣｕ層等の酸化され易い金属層によって圧電体層１０３内の酸素が引かれて移動することにより生じると想定した。
【００３８】
このような検証に基づき、本願発明者らは、圧電体層１０３における還元反応を抑制するために、新たに還元抑制層をアクチュエータ３０に追加することを着想するに至った。以下、かかる着想に基づく実施例について説明する。
【００３９】
＜実施例１＞
図４（ａ）は、実施例１に係るアクチュエータ３０と構造体４０の構成を模式的に示す断面図である。図４（ａ）は、図３（ａ）、（ｂ）と同様にアクチュエータ３０を切断した場合の断面図である。
【００４０】
図４（ａ）の構成は、比較例に比べて、圧電体層１０３と振動板１０４との間に絶縁層１０６と還元抑制層１０７が配置されている点が相違している。絶縁層１０６は、絶縁層１０２と同様、絶縁するための層である。この他、絶縁層１０６の材料は、ＰＺＴにＮｂ、Ｌａ、Ｓｂ、Ｓｒ、Ｍｎ、Ｍｇ、Ｎｉ等を添加した複合酸化物や、金属酸化物（酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化チタン）等であっても良い。絶縁層１０２の材料も同様である。
【００４１】
還元抑制層１０７は、圧電体層１０３から振動板１０４のＣｕ層に酸素が移動することを抑制するための層である。還元抑制層１０７は、たとえば、主としてＮｉを含有する素材からなっている。圧電体層１０３から振動板１０４のＣｕ層に酸素が移動することを抑制可能であれば、還元抑制層１０７の材料として他の材料が用いられても良い。また、還元抑制層１０７は、振動板１０４のＣｕ層よりも圧電体層１０３側に配置されていれば良く、たとえば、還元抑制層１０７が振動板１０４中に含まれていても良い。
【００４２】
なお、図４（ａ）の構成には、さらに他の層を含めることができる。
【００４３】
図４（ｂ）は、図４（ａ）の構成に、密着層 １０８、インクストップ層１０９および電鋳下地層１１０を含めた場合の構成例を示す図である。
【００４４】
密着層１０８は、振動板１０４中、絶縁層１０６側にあるＣｒ層をより良好に製膜できるようにするための層である。インクストップ層１０９は、圧力室５２からインクが振動板１０４に到達するのを抑制するための層であり、アクリル樹脂やポリイミドからなっている。電鋳下地層１１０は、流路形成層１０５が電鋳により形成され易くするための下地層であって、たとえばＮｉからなっている。
【００４５】
図５は、実施例１のアクチュエータ３０の具体的な構成例を示す図である。図５の構成例では、電極１０１、絶縁層１０２、圧電体層１０３、振動板１０４、流路形成層１０５、絶縁層１０６、還元抑制層１０７、インクストップ層１０９、電鋳下地層１１０および層間絶縁層１１１が積層されることにより、アクチュエータ３０が構成されている。
【００４６】
振動板１０４は、主としてＣｒを含有するＣｒ層１０４ａと、主としてＣｕを含有するＣｕ層１０４ｂからなっている。Ｃｒ層１０４ａとＣｕ層１０４ｂとの間に、還元抑制層１０７が配置されている。層間絶縁層１１１は、配線の引き回しのための絶縁層であって、感光性ポリイミドからなっている。電極１０１、絶縁層１０２、圧電体層１０３、流路形成層１０５、絶縁層１０６、還元抑制層１０７、インクストップ層１０９および電鋳下地層１１０は、上述と同様の素材からなっている。
【００４７】
アクチュエータ３０の作製において、電極１０１、絶縁層１０２、圧電層１０３、振動板１０４の各層、絶縁層１０６、還元抑制層１０７、インクストップ層１０９および電鋳下地層１１０は、それぞれ、スパッタリングによる製膜工程により生成される。層間絶縁層１１１は、たとえば、緩効性ポリイミドを塗布して硬化させることにより生成される。流路形成層１０５は電鋳により生成される。
【００４８】
＜実施例２＞
図６（ａ）、（ｂ）は、実施例２に係るアクチュエータ３０と構造体４０の構成を模式的に示す断面図である。図６（ａ）、（ｂ）は、図３（ａ）、（ｂ）と同様にアクチュエータ３０を切断した場合の断面図である。
【００４９】
図６（ａ）、（ｂ）の構成は、実施例１に係る図４（ａ）、（ｂ）の構成から絶縁層１０６を省略したものである。図６（ａ）、（ｂ）のその他の構成は、実施例１に係る図４（ａ）、（ｂ）の構成と同じである。
【００５０】
図７は、実施例２のアクチュエータ３０の具体的な構成例を示す図である。図７の構成例では、実施例１に係る図５の構成から絶縁層１０６が省略されている。図７のその他の構成は、実施例１に係る図５の構成と同じである。実施例２のアクチュエータ３０の作製では、実施例１の作製工程から絶縁層１０６の生成工程が省略される。
【００５１】
＜実験＞
本願発明者らは、比較例、実施例１、２のアクチュエータ３０を連続駆動した場合に圧電体層１０３を流れるリーク電流を測定した。ここでは、実施例１、２のアクチュエータ３０として、図５および図７の構成のアクチュエータ３０を用いた。比較例のアクチュエータ３０は、実施例１に係る図５の構成から絶縁層１０６および還元抑制層１０７を除いた構成とした。８００の圧力室５２にそれぞれ対応づけられた８００の電極１０１に３５Ｖの電圧を印加し続けて、各電極１０１に流れるリーク電流を測定した。実験時間短縮のため、アクチュエータ３０に５０度の温度をかけて加速試験を行った。
【００５２】
図８は、実験結果を示すグラフである。図８において、横軸は各電極１０１に対して電圧を印加し続けた時間（駆動時間）であり、縦軸は、各電極１０１に流れた電流（リーク電流）である。縦軸のリーク電流は、各電極１０１に流れた電流を平均化したものである。
【００５３】
図８の実験結果から分かるとおり、比較例では、１００時間足らずの駆動時間で圧電体層１０３にリーク電流が流れ始めている。これに対して、実施例２では、駆動時間が３００時間を過ぎた辺りで圧電体層１０３にリーク電流が流れ始めており、比較例に比べて圧電体層１０３にリーク電流が流れ始める駆動時間が顕著に長くなっている。このことから、還元抑制層１０７を設けることがリーク電流の抑制に効果的であることが確認された。
【００５４】
また、実施例１では、駆動時間が１０００時間を超えても、圧電体層１０３にリーク電流が流れず、圧電体層１０３の特性が良好に維持されている。このことから、還元抑制層１０７とともに絶縁層１０６を設けることが、リーク電流の抑制に顕著な効果を発揮することが確認された。
【００５５】
図９は、実施の形態に係るインクジェット装置の構成を示すブロック図である。
【００５６】
インクジェット装置は、上記構成を備えたインクジェットヘッド１の他、インク供給部２と、コントローラ３と、インタフェース４とを備える。インク供給部２は、インクジェットヘッド１にインクを供給するための上述のチューブと、チューブに接続されたインクタンクと、インクタンクからチューブにインクを供給するためのポンプを備える。コントローラ３は、ＣＰＵとメモリを備え、メモリに保持されたプログラムに従ってインクジェットヘッド１およびインク供給部２を制御する。インタフェース４は、印刷すべき文字および図形等の描画情報の入力を受け付けて、当該描画情報をコントローラ３に出力する。コントローラ３は、入力された描画情報に従ってインクジェットヘッド１を制御し、被印刷面に印字や描画を行う。
【００５７】
＜実施形態の効果＞
以上、本実施の形態によれば、以下の効果が奏される。
【００５８】
還元抑制層１０７によって圧電体層１０３における還元反応が抑制される。これにより、図８に示すように、アクチュエータ３０が高温環境下で使用され続けても、圧電体層１０３内をリーク電流が流れるといった変性が圧電体層１０３に生じることが抑制される。よって、アクチュエータ３０の特性を安定的に保つことができる。
【００５９】
実施例１の構成では、振動板１０４と圧電体層１０３との間に絶縁層１０６が配されている。これにより、図８に示すように、圧電体層１０３における変性をより顕著に抑制できる。よって、アクチュエータ３０の特性を安定的に保つことができる。
【００６０】
圧電体層１０３の上方に配置された電極１０１と圧電体層１０３との間に絶縁層１０２が配されている。これにより、圧電体層１０３から酸素が電極１０１へと移動することを抑制でき、圧電体層１０３における変性を効果的に抑制できる。
【００６１】
振動板１０４が圧電体層１０３の下方に配置される電極に共用される。これにより、別途下方の電極を設ける必要がなく、アクチュエータ３０の構成を簡素化できる。
【００６２】
＜変更例＞
以上、本発明の実施の形態および実施例について説明したが、本発明は上記実施の形態および実施例に何らの制限を受けるものではない。
【００６３】
たとえば、図５の構成例（実施例１）では、Ｃｒ層１０４ａとＣｕ層１０４ｂとの間にＮｉからなる還元抑制層１０７が配置されたが、図１０に示すようにＣｒ層１０４ａと絶縁層１０６との間にＮｉからなる還元抑制層１０７が配置されても、図８と同様の効果が想定され得る。同様に、図７の構成例（実施例２）では、Ｃｒ層１０４ａとＣｕ層１０４ｂとの間にＮｉからなる還元抑制層１０７が配置されたが、Ｃｒ層１０４ａと圧電体層１０３との間にＮｉからなる還元抑制層１０７が配置されても、図８と同様の効果が想定され得る。
【００６４】
また、図５および図７の構成例に対して、たとえば、図４（ｂ）および図６（ｂ）に示されたような他の層が適宜追加されても良く、あるいは、図４（ａ）および図６（ａ）に示されたように、適宜、層が省略されても良い。これらの場合も、図８と同様の効果が想定され得る。
【００６５】
また、振動板１０４の層数および各層の組成も適宜変更可能であり、圧電体層１０３の構成および組成も適宜変更可能である。
【００６６】
さらに、図１（ｂ）の構成では、Ｙ軸方向に並ぶ２つのインク供給口３１からインクが供給されたが、一つのメイン流路に対して一つのインク供給口３１が設けられても良く、あるいは、インク供給口３１から圧力室５２を経由した後インクを排出させるための流路とインク排出口が設けられても良い。
【００６７】
この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００６８】
１  …  インクジェットヘッド
２  …  インク供給部
３０  …  アクチュエータ
４１  …  ノズル
５２  …  圧力室
１０１  …  電極
１０２  …  絶縁層
１０３  …  圧電体層
１０４  …  振動板
１０４ａ  …  Ｃｒ層
１０４ｂ  …  Ｃｕ層
１０５  …  流路形成層
１０６  …  絶縁層
１０７  …  還元抑制層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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