(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する板状のマグネットヨークを構成する長尺でなる板状のベッド，前記ベッドの長手方向にボールスプラインを介して往復移動自在な可動テーブル，前記マグネットヨークの対向面における長手方向に交互に極性が異なり且つ対向する前記極性が反対極性にそれぞれ配設された複数のマグネットから構成された界磁マグネット，前記界磁マグネット間の空隙に位置し且つ前記可動テーブルに固定されたコイル基板に配設された複数の電機子コイルを備えた電機子組立体を有しており，前記電機子組立体を流れる電流と前記界磁マグネットに生じる磁束との電磁相互作用で前記ベッドに対して前記可動テーブルを往復移動させる可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置において，
前記可動テーブルに形成された長手方向に延びる挿通孔には，前記ボールスプラインを構成する通し孔を備えた中空状ボールスプライン軸が嵌挿して固定され，前記ボールスプライン軸は，前記ベッドの下部に固定されたボールを備えた第１外筒と上部に固定されたボールを備えた第２外筒によって摺動自在に支持されており，
前記ボールスプライン軸の前記通し孔の下部は先端ノズル部に形成され，前記ボールスプライン軸の前記通し孔の上部は後端ノズル部に形成されており，
前記ベッドは，互いに対向する前記マグネットヨークの一方を構成する長尺の矩形板状の基板部，前記マグネットヨークの他方を構成して前記基板部に所定の間隔を有して平行に対向配置され且つ前記基板部よりも短尺で幅小の矩形板状の対向板部，及び前記基板部の取付け基準面となって前記基板部と前記対向板部との一方の側部に固定された側板部から構成されていることを特徴とする可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項２】
前記第１外筒及び前記第２外筒は，ブラケットを介して前記ベッドにねじ止めで固定されていることを特徴とする請求項１に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項３】
前記ボールスプライン軸は，前記テーブルの前記通し孔にねじ止めで固定されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項４】
前記ボールスプライン軸に形成された前記先端ノズル部と前記後端ノズル部とは，中空状の通し孔であって，長手方向全長にわたって同一径の空孔に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項５】
前記対向板部に対向する部分以外の前記基板部の部分は，前記基板部に対して所定間隔で固設されて前記対向板部と面一に配設されるカバーで覆われており，前記基板部に対向する前記対向板部の平面が前記リニアモータの取付け基準面に形成されて前記基板部の前記取付け基準面から前記カバーの外側平面までが幅寸法に構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項６】
前記外筒に対向する前記ベッドの前記基板部の部分と前記カバーの部分には，逃げ孔が形成されると共に，それぞれの前記逃げ孔に嵌入した前記第１外筒と第２外筒の部分は，前記基板部と前記カバーとの厚さ寸法内に収まる平面に形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項７】
前記可動テーブルを構成する前記先端ノズル部と前記後端ノズル部は，前記ベッドの前記長手方向の端面から突出入して往復移動することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項８】
当該スライド装置は厚さ方向に複数個積層して取付け板に配設して固定されており，それぞれの前記可動テーブルがアクチュエータを構成することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は，半導体製造装置，組立装置，測定・検査装置，試験装置，工作機械等の各種装置に使用される可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年，リニアモータを内蔵したスライド装置は，半導体製造装置，組立装置，測定装置等の各種装置に益々多用途にわたって使用されている。スライド装置は，装置そのものを小形にしてコンパクトでシンプルに構成され，高推力があり，高精度で，耐久性・安全性を有し，使い勝手がよく，しかも消費電力が小さく，安価であることが求められている。また，立軸用スライド装置としては，縦軸駆動のため，可動テーブル部分を軽量化することが求められている。更に，リニアモータを内装したスライド装置では，小形でありながら，従来のスライド装置よりもテーブルのストローク長さが長く，種々の使用用途にも対応可能で応用範囲が広い使い勝手のよいものが要望されている。
【０００３】
本出願人は，先に各種のリニアモータを内蔵したスライド装置を開発して特許出願した。該スライド装置は，可動コイル型リニアモータを内蔵し，ベッドを断面角形フック状に形成し，断面高さが小さく形成され幅も小さく形成されて断面寸法が最もコンパクトに形成され，使用用途に合わせてベッドの長さを種々に設定して種々のストローク長さが得られ，使い勝手が良いものであった。ベッドは，長尺の矩形板状の基板部，基板部に所定間隔で平行に対向配置され且つ基板部より幅小の矩形板状の上板部，及び基板部と上板部との一方の側部を一体構造に構成する側壁部から構成されている。更に，上記スライド装置は，上板部と基板部との対向する内側面がマグネットヨークの対向面に形成されており，該対向面から延出している領域の基板部の側部に長手方向に沿って直動案内ユニットの軌道レールが配設され，基板部上を移動するテーブルに直動案内ユニットのスライダが固定されている（例えば，特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２１９３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで，上記の可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置は，コア形のコイルステーを電機子コイルに使用し，コの字形のベッドと一体構造のマグネットヨークを使用しているので，テーブルを水平置きでは運転速度が遅い半導体の検査装置等に適したものである。しかしながら，上記スライド装置は，立軸タイプのものに使用すると，可動テーブルが大型であり，その自重が重く，縦軸使用ではリニアモータでの推力が不足し，可動テーブルを高精度，高タクトで駆動するのには問題があった。
【０００６】
そこで，本出願人は，可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置として，可動テーブルをテーブル本体，その下側に先端ノズル及び上側に後端ノズルから構成し，ベッドを基板部，それに対向する対向板部及び両者を固定する側板部から構成し，対向板部に対向する領域以外の基板部をカバーで覆い，可動テーブルを高推力で高精度に駆動可能にし，使い勝手がよく，耐久性・安全性に富み，しかも消費電力が小さくて安価でなるように構成したものを開発し，先に特許出願した（例えば，特願２０１３−２３７０６６号参照）。
【０００７】
しかしながら，上記可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置では，可動テーブルに形成した通し孔に，その下側に先端ノズルを且つ上側に後端ノズルを連結し，可動テーブルに取り付けた先端ノズルを案内する直動案内ユニットと後端ノズルを案内軸とするストロークロータリブッシングとを配置しているため，エア吸着用の先端ノズルの中心位置と可動テーブル取付基準面との平行度の調整が難しく，また，可動テーブルと先端ノズル及び後端ノズルとは別の部材から構成していたため，連結部の隙間からエアが漏れるという現象が発生し，更に，板金ベース取付面から先端ノズル中心距離，及び取付用位置決めピン孔と先端ノズル中心に対する位置精度等の要求精度に応えることが難しかった。  
【０００８】
この発明の目的は，上記の問題を解決することであり，駆動部のリニアモータを可動コイル型に構成したものであり，可動テーブルに設けたボールスプライン軸の通し孔の下部を先端ノズル部に形成し，該通し孔の上部を後端ノズル部に構成して，継ぎ目の無い通し孔に構成し，該ボールスプライン軸をブラケットを介してベース即ちベッドに固定し，それに応じて可動テーブルに電機子組立体をコンパクトにシンプルに構成し，ボールスプライン軸の取り付けを容易で簡単に構成し，エア通路に継ぎ目を無くしてノズル部からの漏れの心配を無くし，勝手がよく，耐久性・安全性に富み，しかも消費電力が小さくて安価でなるように構成したことを特徴とする可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は，互いに対向する板状のマグネットヨークを構成する長尺でなる板状のベッド，前記ベッドの長手方向にボールスプラインを介して往復移動自在な可動テーブル，前記マグネットヨークの対向面における長手方向に交互に極性が異なり且つ対向する前記極性が反対極性にそれぞれ配設された複数のマグネットから構成された界磁マグネット，前記界磁マグネット間の空隙に位置し且つ前記可動テーブルに固定されたコイル基板に配設された複数の電機子コイルを備えた電機子組立体を有しており，前記電機子組立体を流れる電流と前記界磁マグネットに生じる磁束との電磁相互作用で前記ベッドに対して前記可動テーブルを往復移動させる可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置において，
前記可動テーブルに形成された長手方向に延びる挿通孔には，前記ボールスプラインを構成する通し孔を備えた中空状ボールスプライン軸が嵌挿して固定され，前記ボールスプライン軸は，前記ベッドの下部に固定されたボールを備えた第１外筒と上部に固定されたボールを備えた第２外筒によって摺動自在に支持されており，
前記ボールスプライン軸の前記通し孔の下部は先端ノズル部に形成され，前記ボールスプライン軸の前記通し孔の上部は後端ノズル部に形成されており，
前記ベッドは，互いに対向する前記マグネットヨークの一方を構成する長尺の矩形板状の基板部，前記マグネットヨークの他方を構成して前記基板部に所定の間隔を有して平行に対向配置され且つ前記基板部よりも短尺で幅小の矩形板状の対向板部，及び前記基板部の取付け基準面となって前記基板部と前記対向板部との一方の側部に固定された側板部から構成されていることを特徴とする可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置に関する。
【００１０】
また，前記第１外筒及び前記第２外筒は，ブラケットを介して前記ベッドにねじ止めで固定されている。また，前記ボールスプライン軸は，前記テーブルの前記通し孔にねじ止めで固定されている。
【００１１】
また，この可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置では，前記ボールスプライン軸に形成された前記先端ノズル部と前記後端ノズル部とは，中空状の通し孔であって，長手方向全長にわたって同一径の空孔に形成されている。
【００１２】
また，前記対向板部に対向する部分以外の前記基板部の部分は，前記基板部に対して所定間隔で固設されて前記対向板部と面一に配設されるカバーで覆われており，前記基板部に対向する前記対向板部の平面が前記リニアモータの取付け基準面に形成されて前記基板部の前記取付け基準面から前記カバーの外側平面までが幅寸法に構成されている。
【００１３】
この可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置は，前記外筒に対向する前記ベッドの前記基板部の部分と前記カバーの部分には，逃げ孔が形成されると共に，それぞれの前記逃げ孔に嵌入した前記第１外筒と第２外筒の部分は，前記基板部と前記カバーとの厚さ寸法内に収まる平面に形成されている。
【００１４】
また，前記可動テーブルを構成する前記先端ノズル部と前記後端ノズル部は，前記ベッドの前記長手方向の端面から突出入して往復移動するものである。
【００１５】
また，可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置は，厚さ方向に複数個積層して取付け板に配設して固定されており，それぞれの前記可動テーブルがアクチュエータを構成するものである。
【発明の効果】
【００１６】
この可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置は，上記のように，可動テーブルのテーブル本体に形成した貫通孔即ち挿通孔にその上下端面に設けた先端ノズル部と後端ノズル部とを一体構造に構成したボールスプライン軸を挿通固定し，先端ノズル部と後端ノズル部とのエア通路をボールスプライン軸に形成した通し孔で構成したので，エア漏れが発生せず，極めて簡素で信頼性に富んだ可動テーブルを提供できる。また，可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置における可動テーブルの直動案内を，ボールスプライン軸と一対の外筒とから成るボールスプラインで構成し，ボールスプライン軸をテーブル本体を貫通する挿通孔にねじ止めで固定し，外筒をベッドにブラケットを介してねじ止めで固定したので，ベッドに対する可動テーブルの往復移動を，安定した高精度に行うことができ，信頼性に富んだ装置を提供できる。更に，可動テーブルをマグネットヨークを構成するベッドに一対の直動案内ユニットによって摺動自在に案内支持したので，極めて安定した高精度で高タクトに可動テーブルをリニアモータによってベッド上で往復作動でき，可動テーブルを軽量でスリムなアクチュエータに構成することができる。また，ベッドは，互いに対向するマグネットヨークの一方を構成する基板部，他方のマグネットヨークを構成する対向板部，及び前記基板部と前記対向板部との一方の側部に一体構造に構成される側板部から構成したので，ベッドの断面高さや幅も小さく形成でき，断面寸法が薄くコンパクトに形成でき，使用用途に合わせてベッドの長さを種々に設定することによって，スライド装置そのものを薄型に構成することができる。更に，この可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置は，複数個，例えば，８個を積層してもコンパクトに構成でき，所定のスペース内に組み込むことができ，テーブルのストローク長さを種々に構成することができ，使い勝手が良いものに構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】この発明による可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１のスライド装置からカバーを外し且つ対向板部の一部を破断してマグネットを示す正面図である。
【図３】図１のスライド装置からカバーを外した状態を示す正面図である。
【図４】図３の可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置のＡ−Ａ断面を示す断面図である。
【図５】図３の可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置のＢ−Ｂ断面を示す断面図である。
【図６】この可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置に組み込まれたベッドを示す背面図である。
【図７】図６のベッドの一方の側面を示す側面図である。
【図８】この可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置に組み込まれたベッドを示す正面図である。
【図９】図６のベッドの他方の側面を示す側面図である。
【図１０】この可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置に組み込まれた可動テーブルを示す背面図である。
【図１１】図１０の可動テーブルを示す側面図である。
【図１２】図１１の可動テーブルのＣ−Ｃ断面を示す断面図である。
【図１３】この可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置に組み込まれた可動テーブルにおけるテーブル本体を示す背面図である。
【図１４】図１３のテーブル本体の下端面を示す端面図である。
【図１５】図１３のテーブル本体を示す側面図である。
【図１６】図１３のテーブル本体を示す正面図である。
【図１７】この可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置における外筒に嵌挿したボールスプライン軸を示す正面図である。
【図１８】図１７の外筒に嵌挿したボールスプライン軸を示す下端面図である。
【図１９】この可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置に組み込まれたブラケットを示す側面図である。
【図２０】図１９のブラケットを示す正面図である。
【図２１】図１の可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置を複数個（８軸）積層して組み付け設置したアクチュエータの一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下，図面を参照して，この発明による可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置の一実施例を説明する。この立軸用スライド装置は，半導体製造装置，組立装置，測定・検査装置，試験装置，工作機械等の各種装置にアクチュエータとして組み込んで使用され，アクチュエータの可動テーブルを種々のストローク長さに構成でき，使い勝手がよいものになっている。
【００１９】
この可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置２０は，図１〜図５に示すように，概して，互いに対向する板状のマグネットヨークを構成する長尺でなる板状のベース板でなるベッド２，ベッド２の長手方向に一対のボールスプライン６０を介して往復移動自在な可動テーブル１，基板部３と対向板部４とに形成されるマグネットヨーク１７の対向面における長手方向に交互に極性が異なり且つ対向する極性が反対極性にそれぞれ配設された複数個のマグネット７から構成された一対の界磁マグネット６，界磁マグネット６間の隙間即ち空隙４９（図５）に位置し且つ可動テーブル１に固定されたコイルスティを兼ねるコイル基板１０に配設されたコアレスタイプの複数個の電機子コイル９を備えた電機子組立体８を有する。ボールスプライン６０は，ベッド２に固定されたボール（図示せず）が循環内蔵された外筒１４，１５と外筒１４，１５に往復摺動自在に嵌挿したボールが転動する軌道溝３４を備えたボールスプライン軸１６とから構成されている。可動コイル型リニアモータ３０（図５）は，対向配設された界磁マグネット６，及び界磁マグネット６間で可動な電機子組立体８から構成されており，電機子組立体８を流れる電流と界磁マグネット６に生じる磁束との電磁相互作用によってベッド２に対して可動テーブル１を往復移動させることができる。可動コイル型のリニアモータ３０は，駆動方法としては，例えば，三相駆動方式を採用している。
【００２０】
立軸用スライド装置２０の実施例では，例えば，図１２に示すように，可動テーブル１の長手方向に配設された電機子コイル９に対して，電機子コイル９に対向したマグネット７がベッド２に配設されている。マグネット７は，取付け治具等によりフック形状のベッド２のマグネットヨーク１７間即ち空隙４９に入れ込んでマグネットヨーク１７のベッド２に接着固定されている。界磁マグネット６は，磁極が矩形板状に形成され，対向配設されたマグネットヨーク１７の内側の対向面に，ベッド２の長手方向の略全長に渡って矩形板状の長辺が長手方向に直交する方向で極性が交互に異なる磁極が隣接してそれぞれ並設され且つ互いに対向する磁極の極性が反対極性とされた多数のマグネット７の磁極が配設されて構成されている。電機子組立体８は，可動テーブル１に支持されて界磁マグネット６間に形成される空隙４９内に複数個の扁平のコアレスの電機子コイル９が長手方向と直交する方向に且つコア部が界磁マグネット６の磁極に対向する方向にして長手方向に沿って隣接して並設されて構成されている。電機子コイル９は，Ｕ，Ｖ，Ｗ相の三相通電方式であり，各相の電流が供給される複数個の捲線コイルが一組として構成され，界磁マグネット６のマグネット７の磁極に対応している。
【００２１】
立軸用スライド装置２０は，特に，可動テーブル１が長手方向に延びる貫通孔である挿通孔１８が形成されたテーブル本体１１から構成されており，可動テーブル１に形成された長手方向に延びる貫通孔である挿通孔１８には，ボールスプライン６０を構成する通し孔４８を備えた中空状ボールスプライン軸１６が嵌挿し，ボールスプライン軸１６に設けたねじ孔２２にねじ（図示せず）を螺入してボールスプライン軸１６とテーブル本体１１とが互いに固定されている。ボールスプライン軸１６は，ベッド２の下部に固定されたボールを備えた外筒１５と上部に固定されたボールを備えた外筒１４によって往復摺動自在に支持されている。ボールスプライン軸１６の通し孔４８の下部はエアの吸込み口４３を備えた先端ノズル部１２に形成され，ボールスプライン軸１６の通し孔４８の上部はエアの吸込み口４４を備えた後端ノズル部１３に形成されている。外筒１４，１５は，ブラケット１９に形成した取付け孔４０にねじ２１を挿通し，ねじ２１を外筒１４，１５に形成したねじ孔３３に螺入することによって固定されている。ブラケット１９にはねじ孔３９が形成され，ブラケット１９はねじ孔３９にねじ５２を螺入することよってベッド２に固定されている。従って，外筒１４，１５は，ブラケット１９を介してベッド２に固定されている。また，可動テーブル１は，ベッド２上を上下方向に往復移動するように構成されている。また，立型で上方に位置する後端ノズル部１３は，外筒１４に嵌挿して案内支持されている。後端ノズル１３部は，丸軸であってその外径が外筒１４の軌道面として機能し，後端ノズル部１３が外筒１４を往復移動できることになる。
【００２２】
また，ベッド２は，対向する一対のマグネットヨーク１７を構成するように磁性材から形成されている。ベッド２は，特に，図７〜図９に示すように，一方のマグネットヨーク１７を構成する矩形板状の基板部３，基板部３に対向して他方のマグネットヨーク１７を構成し且つ基板部３よりも短尺で幅小の矩形板状の上板部である対向板部４，及びベッド２の取付基準面５３となる基板部３と対向板部４との一方の側部と一体構造に構成される側板部５から長手方向に直交する断面で見て角形フック形状に形成されている。更に，基板部３には，その上端にＬ形に曲がった基板上部３Ｐが後端ノズル部１３，モータコード２６及びモータコード２６を通す領域の切欠き部３５を除いて，上面側を覆うために形成されている。ベッド２における基板部３と側板部５は，研削加工されて研削面が取付基準面５３に形成されている。対向板部４は，基板部３の長手方向側部に予め決められた所定の間隔の空隙４９を有して平行に対向配置されており，基板部３よりも長手方向に短く且つ幅方向に小さく形成されている。可動テーブル１は，対向板部４の長手方向側方に沿って基板部３上を対向して往復移動するように配設構成されている。可動テーブル１のテーブル本体１１には，取付けねじ孔２３が形成されており，ねじ孔２３にコイル基板１０の取付け孔に通したねじ３２を螺入することによって，コイル基板１０がテーブル本体１１に固定されている。基板部３と対向板部４との空隙４９には，可動テーブル１に固定されたコイル基板１０が位置して往復移動自在に配設されている。また，コイル基板１０には，コアレス構造の電機子コイル９が配設されている。
【００２３】
また，可動テーブル１は，図２に示すように，ボールスプライン軸１６がベッド２に対して一対の外筒１４，１５とによって２点で支えられることによって，ボールスプライン軸１６を介してベッド２上を往復移動できるように構成されている。外筒１４，１５は，ベッド２に固定されたブラケット１９によって固定支持されている。また，立軸用スライド装置２０には，ベッド２の下端部に固定されて外筒１５とテーブル本体１１との間で且つボールスプライン軸１６に嵌挿して配設され且つ可動テーブル１を上限位置へと付勢するスプリング２４が設けられている。言い換えれば，スプリング２４は，ボールスプライン軸１６に嵌挿して，可動テーブル１を支えるばねとして機能している。また，立軸用スライド装置２０では，可動テーブル１を構成するボールスプライン軸１６の下部の先端ノズル部１２と上部の後端ノズル部１３は，ベッド２の長手方向の端面５４から突出入して往復移動させるように構成されている。また，可動テーブル１は，ベッド２に固定されたゴム等から成るメカストッパのストッパ（図示せず）によって往復移動の上限と下限とが規制されている。また，可動テーブル１を上限に付勢するスプリング２４は，そのばね力をストッパに当てることによって，可動テーブル１の縦軸即ち立軸方向の往復動作時の自重をキャンセルするように構成されている。
【００２４】
立軸用スライド装置２０において，可動テーブル１を構成するテーブル本体１１の貫通孔である挿通孔１８には，ボールスプライン軸１６が嵌挿され，ボールスプライン軸１６には同一径の中空孔の通し孔４８に形成されている。通し孔４８は，例えば，実装機の機器吸着用のエア通孔を構成できるものである。また，対向板部４以外の基板部３に対向する部分は，基板部３に対して所定間隔で固設されたカバー２５で覆われており，基板部３に対向する対向板部４の平面がリニアモータ３０の基準面に形成され，基板部３の基準面からカバー２５の外側平面までがスライド装置２０の幅寸法に構成されている。カバー２５は，ベッド２の基板部３に対向した対向板部４以外の基板部３の部分を覆っている。カバー２５は，リニアモータ３０の界磁マグネット６間の空隙４９，リニアエンコーダ，可動テーブル１等の内部に異物が侵入しないように配設されている。カバー２５は，ステンレス材等で防錆された矩形板状で成り，カバー固定用支柱２９の上面に形成したねじ孔４１に取付けねじ５７により固着されている。
【００２５】
また，スライド装置２０を構成するベッド２には，異物の侵入を防止するため，ベッド２を構成する基板部３の縁部をＬ字状に曲げた基板上部３Ｐと基板側部３Ｓで，基板部３とカバー２５との上端間と側端間を塞ぎ，ベッド２を構成する対向板部４の下端部をＬ字状に曲げた対向板下部４Ｕで基板部３と対向板部４との下端間を塞いでいる。カバー２５は，その取付け孔にねじ５７を通してベッド２の基板部３に設けたカバー固定用支柱２９に所定の間隔を有して固定されている。また，カバー２５は，小さい方のマグネットヨーク１７を構成する対向板部４の領域を除いたベッド２の基板部３の領域を隔置して対向板部４と同一面になって覆うように形成されている。立軸用スライド装置２０は，概して矩形形状に形成されており，ベッド２にカバー２５を取り付けた状態では，テーブル本体１１の下側に先端ノズル１２と上側に後端ノズル１３が突出した状態に形成されている。また，立軸用スライド装置２０は，電機子組立体８に電流を供給するため，コイル基板１０に設けられたコネクタ５８の端子４６に接続されたＦＰＣ(Flexible Printed Circuits) ２８を通じて供給される。ＦＰＣ２８は，ベッド２に設けた基板ブラケット３６に設けたコネクタ３７に連結され，コネクタ５９には，合成樹脂チューブで保護された単芯電線４７が接続され，単芯電線４７は電流を供給する電源に接続されている。また，可動テーブル１の裏面には，リニアスケール（図示せず）が取り付けられている。また，ベッド２には，可動テーブル１に信号を発したり受信するため，エンコーダヘッド（図示せず）が設けられており，可動テーブル１の位置を制御したり認識するための上記エンコーダヘッドに接続するエンコーダコード２７（図１）が設けられている。
【００２６】
また，立軸用スライド装置２０は，ボールスプライン６０を構成する外筒１４，１５に対向するベース板であるベッド２の基板部３の部分，及びカバー２５の部分には，長方形の孔である逃げ孔５０，５１に形成されている。カバー２５に形成された逃げ孔５０とベッド２に形成された逃げ孔５１とに嵌入した外筒１４，１５の寸法は，基板部３とカバー２５との厚さ寸法内に収まるように形成され，ほぼ面一に構成されている（図４参照）。また，立軸用スライド装置２０は，可動テーブル１を構成するテーブル本体１１の長手方向一端面即ち下端面５５にボールスプライン軸１６がねじ止めして一体化され，また，テーブル本体１１の長手方向他端面即ち上端面５６にボールスプライン軸１６がねじ止めして一体化されている。この立軸用スライド装置２０では，可動テーブル１には，電機子組立体８が固定されている。ベッド２は，磁性材から成り，マグネットヨーク１７を構成しており，プレス成型した基板部３，対向板部４及び側板部５を構成する板金は，それらの縁部が互いに凹凸嵌合して互いに溶接部３８でスポット溶接して断面角形フック形状に固定されている。
【００２７】
この立軸用スライド装置２０については，案内部の平行調整は，まず，ボールスプライン軸１６を可動テーブル１のテーブル本体１１にねじ固定した後に，可動テーブル１をストロークさせ，可動テーブル１のベッド２に対する摺動状態をみながら，外筒１４，１５の固定用ブラケット１９をベッド２にねじ固定する。また，スライド装置２０は，断面高さが小さく断面寸法を最もコンパクトに形成し，高推力を発揮できるものになっており，滑らかな摺動が可能になり，高速・高応答に対応可能になっている。
【００２８】
この立軸用スライド装置は，例えば，図２１に示すように，複数個（例えば，８個）が積層して配設されてアクチュエータを構成しており，該アクチュエータは，例えば，半導体製造装置等の実装機の機台４５に取付板４２を介して取り付けられ，実装機の吸着ヘッドを作動するアクチュエータとして使用されるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
この発明による可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置は，半導体製造装置，組立装置，測定・検査装置，試験装置，位置決めテーブル，スライドテーブル等の各種装置にアクチュエータとして組み込んで好ましいものである。
【符号の説明】
【００３０】
１      可動テーブル
２      ベッド
３      基板部
４      対向板部
５      側板部
６      界磁マグネット
７      マグネット
８      電機子組立体
９      電機子コイル
１０    コイル基板
１１    テーブル本体
１２    先端ノズル部
１３    後端ノズル部
１４    外筒（第２外筒）
１５    外筒（第１外筒）
１６    ボールスプライン軸
１７    マグネットヨーク
１８    挿通孔
１９    ブラケット
２０    立軸用スライド装置
２５    カバー
３０    リニアモータ
４２    取付け板
４８    通し孔
４９    空隙
５０，５１    逃げ孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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