(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボディ内に嵌装されレーザ光線を集光するレンズユニットと、該レンズユニットと前記ボディとの境界に形成された冷却水流路と、該冷却水流路に冷却水を供給する給水管と、前記冷却水流路から前記冷却水を排出する排水管と、前記ボディの先端側に設けられ前記レーザ光線の光束形状と略相似形に形成された円錐状のノズルと、該ノズルの基部に設けたガス供給ブロックを介して前記ノズルに接続され、前記ボディの軸心と平行に延在し、前記ノズル内にアシストガスを供給するガス供給配管と、前記ボディの外周面に設けられ、該ボディとの間に所要の空間が形成される様前記ガス供給配管を固定可能な配管固定部とを具備し、前記冷却水流路に冷却水を流通させ、前記ノズルの先端より前記レーザ光線を照射すると共にアシストガスを噴出すると共に、前記ガス供給配管は前記ガス供給ブロックと前記配管固定部とに掛渡って設けられ、遠隔操作されるマニピュレータにより把持可能な把持部を構成することを特徴とするレーザ加工ヘッド。
【請求項２】
前記ノズルの先端部を着脱可能なノズルチップとし、該ノズルチップを前記ノズルよりも放熱性の高い材質とした請求項１のレーザ加工ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高出力のレーザ光線を照射し、金属を切断するレーザ加工ヘッド、特に遠隔装置により金属を切断するレーザ加工ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ加工ヘッドを遠隔操作する場合には、作業者が直接目視によりレーザ加工ヘッドが取付けられたロボットを操作し、レーザ加工ヘッドを予め定められた加工点迄移動させる場合が多かった。
【０００３】
又、原子炉の内部等、加工部分近傍に放射性物質が存在し、作業者が近づけない場合も存在する。この場合にはロボットにレーザ加工ヘッドを保持させ、作業者がカメラの映像を見ながらロボットを遠隔操作し、ロボットによりレーザ加工ヘッドを加工部分迄移動させていた。
【０００４】
然し乍ら、従来のレーザ加工ヘッドの場合、カメラの映像によりロボットを操作することは想定されておらず、レーザ加工ヘッドの先端部近傍にカメラを設置することができない。この為、カメラはロボットに取付けられ、レーザ加工ヘッドの斜め後方より加工箇所を撮影していた。又、従来のレーザ加工ヘッドのボディは段差が多い等死角が多く、視認性が悪かった。従って、従来はレーザ加工ヘッドを加工箇所迄精度よく移動させるのが困難であり、又死角が存在することで、移動の際にレーザ加工ヘッドが死角にある構造物と接触する虞れがあった。
【０００５】
又、遠隔操作を行う場合、レーザ加工ヘッドにはロボットで扱う為の重量制限があり、原子炉内部等の特殊環境下ではレーザ加工ヘッドの材質にも制限がある。従来では、レーザ加工ヘッドには比重の大きいステンレス等の金属が用いられており、又切断加工の際に用いるアシストガスの流路がレーザ加工ヘッドのボディ内に形成される等形状が複雑であり、レーザ加工ヘッドの重量化、大型化を避けることができず、ロボットでの扱いが困難であった。
【０００６】
尚、特許文献１には、ノズルや鏡筒を透明材料で作成することで、レーザ照射部品の過熱を防止するレーザ照射装置及びそれに用いる鏡筒、ノズルが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−３０００８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は斯かる実情に鑑み、軽量化を図ると共に死角の原因となる段差を低減させたレーザ加工ヘッドを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、ボディ内に嵌装されレーザ光線を集光するレンズユニットと、該レンズユニットと前記ボディとの境界に形成された冷却水流路と、該冷却水流路に冷却水を供給する給水管と、前記冷却水流路から前記冷却水を排出する排水管と、前記ボディの先端側に設けられ前記レーザ光線の光束形状と略相似形に形成された円錐状のノズルと、該ノズルに接続され、該ノズル内にアシストガスを供給するガス供給配管とを具備し、前記冷却水流路に冷却水を流通させ、前記ノズルの先端より前記レーザ光線を照射すると共にアシストガスを噴出するレーザ加工ヘッドに係るものである。
【００１０】
又本発明は、前記ガス供給配管は、前記ノズルの基部に設けたガス供給ブロックを介して前記ノズルに接続され、前記ガス供給配管は前記ボディの軸心と平行に延在しているレーザ加工ヘッドに係るものである。
【００１１】
又本発明は、前記ボディの外周面に前記ガス供給配管を固定可能な配管固定部を設け、前記ガス供給配管は前記ガス供給ブロックと前記配管固定部とに掛渡って設けられ、前記ガス供給配管が把持部とされるレーザ加工ヘッドに係るものである。
【００１２】
更に又本発明は、前記ノズルの先端部を着脱可能なノズルチップとし、該ノズルチップを前記ノズルよりも放熱性の高い材質としたレーザ加工ヘッドに係るものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ボディ内に嵌装されレーザ光線を集光するレンズユニットと、該レンズユニットと前記ボディとの境界に形成された冷却水流路と、該冷却水流路に冷却水を供給する給水管と、前記冷却水流路から前記冷却水を排出する排水管と、前記ボディの先端側に設けられ前記レーザ光線の光束形状と略相似形に形成された円錐状のノズルと、該ノズルに接続され、該ノズル内にアシストガスを供給するガス供給配管とを具備し、前記冷却水流路に冷却水を流通させ、前記ノズルの先端より前記レーザ光線を照射すると共にアシストガスを噴出するので、前記ノズルが殆ど段差の少ない形状となることで死角が減少し、死角の影にある構造物との接触を回避できると共に、前記ボディ内にアシストガスの流路を設ける必要がなく、該ボディの肉厚が減少され軽量化を図ることができるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施例に係るレーザ加工ヘッドを示す側断面図である。
【図２】本発明の実施例に係るレーザ加工ヘッドを示す平面図である。
【図３】（Ａ）は該レーザ加工ヘッドを移動させる移動装置を示す側面図であり、（Ｂ）は該移動装置が開となった状態を示す（Ａ）のＡ−Ａ矢視図であり、（Ｃ）は該移動装置が閉となった状態を示す（Ａ）のＡ−Ａ矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。
【００１６】
先ず、図１、図２に於いて、本発明の実施例に係るレーザ加工ヘッド１について説明する。尚、図１、図２中、紙面に対して左側を先端側、右側を基端側としている。
【００１７】
図１、図２中、２はボディを示している。該ボディ２の先端側にはノズル３が設けられ、前記ボディ２の基端側にはコネクタ接続部４が設けられている。
【００１８】
前記ボディ２は、円筒状で軽量の金属製、例えばチタン製であり、先端側ボディ部５と基端側ボディ部６とを有し、前記先端側ボディ部５内にはレンズユニット７が嵌装されている。
【００１９】
該レンズユニット７は前記先端側ボディ部５に嵌合するレンズホルダ８を有し、該レンズホルダ８には先端側から複数のレンズからなる集合レンズ組９、保護ガラス１１、スペーサ１２が順次嵌装されている。又、前記レンズホルダ８の基端部にリングナット１３が螺合されることで、前記レンズユニット７、前記スペーサ１２が前記先端側ボディ部５内で固定され、前記基端側ボディ部６はネジ等の固着具により前記先端側ボディ部５に固着される。
【００２０】
前記レンズユニット７の基端と前記スペーサ１２との間には前記保護ガラス１１が設けられており、該保護ガラス１１により前記レンズユニット７が前記基端側ボディ部６に対して気密に封止される。又、前記先端側ボディ部５と前記レンズホルダ８との境界には、該レンズホルダ８の全周に亘って冷却水流路１４が液密に形成されている。
【００２１】
前記先端側ボディ部５の周面の所要位置には、内部に流路（図示せず）が形成された給水ブロック１５が取付けられ、該給水ブロック１５の流路は前記冷却水流路１４と連通する。前記給水ブロック１５と対向する位置に内部に流路（図示せず）が形成された排水ブロック１６が取付けられ、該排水ブロック１６の流路は前記冷却水流路１４と連通する。
【００２２】
前記給水ブロック１５には、前記ボディ２の軸心と平行となる様給水管１７が接続され、該給水管１７は前記給水ブロック１５内の流路を介して前記冷却水流路１４と連通している。又、前記排水ブロック１６には、前記ボディ２の軸心と平行となる様排水管１８が接続され、該排水管１８は前記排水ブロック１６内の流路を介して前記冷却水流路１４と連通している。
【００２３】
前記給水管１７と前記排水管１８の基端側端には、それぞれ接続部１７ａ，１８ａが設けられている。該接続部１７ａ，１８ａには軸心方向から冷却水を供給、排出するホースが遠隔操作により連結解除可能となっている。又、前記接続部１７ａ，１８ａとホースとを連結した状態では、前記接続部１７ａ，１８ａとホースが液密となっている。前記給水管１７はホースを介して冷却水源に接続され、冷却水は前記給水管１７及び前記給水ブロック１５を経て前記冷却水流路１４に流入し、該冷却水流路１４を流通し、前記排水ブロック１６、前記排水管１８を経て排水される。冷却水の流通の過程で、前記レンズユニット７が冷却される。
【００２４】
又、前記先端側ボディ部５の周面の、前記給水管１７及び前記排水管１８から前記ボディ２の軸心を中心に９０°回転した位置には着脱部１９が設けられている。該着脱部１９は、例えば断面台形状であり、該着脱部１９にはヘッド把持部（図示せず）が軸心方向から嵌脱可能となっている。前記レーザ加工ヘッド１は、前記着脱部１９を介してヘッド把持部に取付けられる。又、該ヘッド把持部はクレーン等の移動装置に取付けられる。
【００２５】
更に、前記先端側ボディ部５の周面の、前記着脱部１９と１８０°回転した位置には、配管固定部２１が設けられている。該配管固定部２１は、例えば上下方向に２分割した構造となっており、後述するガス供給配管２２を上下方向から挾持し、該ガス供給配管２２を前記先端側ボディ部５に固定できる様になっている。
【００２６】
前記ノズル３は、軽量の金属製、例えばチタン製であり、先端側の中空の円錐部２３と、基端側の中空の円筒部２４と、該円筒部２４の基端部に形成されたフランジ部２５とを有している。
【００２７】
前記円錐部２３の先端には、先端部が円錐状となったノズルチップ２６が嵌入されている。該ノズルチップ２６は、前記円錐部２３等よりも放熱性の高い材質、例えば銅製であり、内部に円錐状の空間が形成され、該空間は軸心方向に貫通する。又、該ノズルチップ２６は、前記円錐部２３の先端に設けられた固定リング２７により、前記円錐部２３に対して着脱可能となっている。
【００２８】
前記ノズル３及び前記ノズルチップ２６の内部には、レーザ光線２８の光路となる円錐状の空洞２９が形成され、該空洞２９は後述する前記レーザ光線２８の光束の形状と相似、或は略相似に形成される。
【００２９】
前記ボディ２と前記ノズル３との間には、前記ボディ２と前記ノズル３とを接続する円筒状の接続部材３１が介設されている。該接続部材３１は、先端側と基端側にそれぞれフランジ部３２，３３が形成されており、該フランジ部３３を介して前記接続部材３１が前記先端側ボディ部５にボルト等で固着され、前記フランジ部３２と前記フランジ部２５を介して前記接続部材３１が前記ノズル３にボルト等で固着される。
【００３０】
又、前記ノズル３と前記接続部材３１との間には保護ガラス３４が介在しており、該保護ガラス３４により前記ノズル３内と前記レンズユニット７との間が気密に閉塞される。
前記集合レンズ組９は、光ファイバ３５の端面より射出された前記レーザ光線２８を前記ノズルチップ２６の先端、又は略先端で集光させる様構成されている。
【００３１】
前記円筒部２４の周面の前記配管固定部２１と対峙する位置には、内部にガス供給流路３６が形成されたガス供給ブロック３７が取付けられ、前記ガス供給流路３６は前記円筒部２４に穿設された孔３８を介して前記ノズル３内部と連通している。
【００３２】
又、前記ガス供給ブロック３７には、前記ガス供給配管２２の一端が螺子込み等により連結されている。該ガス供給配管２２は、前記先端側ボディ部５との間に所要の空間が形成される様、前記ガス供給ブロック３７と前記配管固定部２１とで支持され、前記ガス供給配管２２は前記ボディ２の軸心と平行となっている。前記ガス供給配管２２の他端には接続部３９が設けられ、前記ガス供給配管２２にガス導入管４１（図１中では一部のみ図示）が接続され、該ガス導入管４１はアシストガス供給源に接続されている。前記接続部３９と前記ガス導入管４１とはマニピュレータの遠隔操作により容易に着脱可能となっている。
【００３３】
尚、前記ガス供給配管２２の、前記ガス供給ブロック３７と前記配管固定部２１との間は、後述するチャック装置４２（図３参照）により把持される把持部となっている。
【００３４】
前記コネクタ接続部４は、前記基端側ボディ部６の基端側に取付けられた円筒状の雌型カップリング（図示せず）と光ファイバ芯合せ部４３とを有している。前記光ファイバ３５端部には雄型カップリング４４が取付けられ、前記コネクタ接続部４と前記雄型カップリング４４とは嵌脱可能となっている。又、該雄型カップリング４４の先端は、前記光ファイバ芯合せ部４３のセンタリング孔と嵌合する様になっている。
【００３５】
前記雄型カップリング４４を前記コネクタ接続部４に嵌入することで、前記雄型カップリング４４と前記コネクタ接続部４が結合すると共に、前記光ファイバ芯合せ部４３によりガイドされて芯合せが行われ、前記光ファイバ３５から射出される前記レーザ光線２８の光軸と、前記ボディ２の軸心とが一致する様になっている。
【００３６】
前記レーザ加工ヘッド１は、ヘッド把持部（図示せず）を介してマニピュレータ等の移動装置に取付けられ、該移動装置により前記レーザ加工ヘッド１を移動させることで、所要の作業が実行される。以下、該レーザ加工ヘッド１によるレーザ切断加工について具体的に説明する。
【００３７】
該レーザ加工ヘッド１により、被加工物の切断加工を行なう際には、前記ノズルチップ２６は被加工物の表面から所定距離離れた位置に保持される。前記光ファイバ３５より所定の光強度の前記レーザ光線２８が射出され、前記レンズユニット７により集光され、前記ノズルチップ２６の先端を透して被加工物に照射される。
【００３８】
この時、前記レーザ光線２８の焦点位置は、前記ノズルチップ２６の先端又は先端近傍とするのが望ましい。前記レーザ光線２８の焦点位置を、前記ノズルチップ２６の先端又は先端近傍とすることで、前記空洞２９を該ノズル３の外形形状と同様の円錐状とすることができ、前記ノズル３及び前記ノズルチップ２６は最小の形状とすることができる。又、前記ノズルチップ２６先端の開口面積を小さくすることができ、前記ノズル３の小型化が図れる。
【００３９】
又、前記レーザ光線２８の照射と並行して、アシストガス供給源（図示せず）より、前記ガス導入管４１、前記ガス供給配管２２、前記ガス供給流路３６、前記孔３８を介して、酸素等のアシストガスが前記ノズル３内に供給され、前記レーザ光線２８と共に前記ノズルチップ２６の先端より噴出される。アシストガスは、溶融金属を吹飛ばし、溶融金属による再固着を防止する。
【００４０】
更に、前記レーザ光線２８が前記ノズルチップ２６の先端又は先端近傍で集光することから、被加工物には前記レーザ光線２８はデフォーカス状態で照射される。この為、照射面でのビーム径が大きくなり、溶断幅が大きくなり、溶融金属による再固着が防止されると共に、アシストガスが効果的に溶融部に吹付けられる。
【００４１】
この時、該ノズルチップ２６先端の開口面積が小さくなっているので、該ノズルチップ２６より噴出されるアシストガスの流速を増大させることができ、切断効率を向上させることができる。又、アシストガスの流出方向は前記レーザ光線２８の光軸と一致しているので、アシストガスをより効果的に溶融部に吹付けられる。更に、前記ノズル３と前記レンズユニット７との間に前記保護ガラス３４が設けられているので、アシストガスが前記レンズユニット７内に流入せず、該レンズユニット７内にほこり等が侵入するのを防止することができる。
【００４２】
被加工物に対して前記レーザ光線２８を照射すると共に、アシストガスを吹付け、更に前記レーザ加工ヘッド１を所定の速度で移動させることで、被加工物の切断が行われる。
【００４３】
被加工物の切断加工中、前記給水管１７より冷却水が供給され、前記冷却水流路１４を流通することで、前記レンズユニット７が冷却され、該レンズユニット７を構成するレンズの熱変形が防止される。
【００４４】
本実施例に於いては、前記レーザ加工ヘッド１のヘッド把持部（図示せず）への取付け、前記レーザ加工ヘッド１に対する前記給水管１７、前記排水管１８、前記ガス導入管４１の取付け、及び前記ヘッド把持部を介した前記レーザ加工ヘッド１の加工箇所迄の移動等は、全て遠隔操作にて行われる様になっている。
【００４５】
次に、図３（Ａ）〜図３（Ｃ）に於いて、前記レーザ加工ヘッド１をヘッド把持部（図示せず）に取付ける場合、或は前記レーザ加工ヘッド１に前記雄型カップリング４４、前記ガス導入管４１、冷却水ホース等を着脱する際に、前記レーザ加工ヘッド１を保持する前記チャック装置４２について説明する。該チャック装置４２は、遠隔操作されるマニピュレータが把持し、チャッキング操作を行える構造となっている。
【００４６】
該チャック装置４２は、板状の固定板部４５を有し、該固定板部４５の下端部は２股形状に形成され、各股部の下端に水平方向に開放された断面コ字状の固定保持片４６が固着されている。
【００４７】
前記固定板部４５には、水平方向に延出する２本のシリンダ４７，４７が上下に固着されている。該シリンダ４７，４７の一端には端板４８，４８が固着され、該端板４８，４８に一端が固着されたガイドシャフト４９，４９が前記シリンダ４７，４７と同心に設けられている。該ガイドシャフト４９，４９は、前記固定板部４５及び後述する可動板部５１を貫通し、他端部にはそれぞれフランジ５２，５２が形成されている。
【００４８】
軸受５３，５３を介して前記可動板部５１が前記ガイドシャフト４９，４９に摺動自在に設けられている。前記シリンダ４７，４７内には押圧バネ５４，５４が嵌装され、又該押圧バネ５４，５４は前記端板４８，４８と前記軸受５３，５３との間に圧縮状態で設けられる。前記可動板部５１は、前記押圧バネ５４，５４により前記固定板部４５から離反する方向へと付勢されている。
【００４９】
前記可動板部５１の下端には、前記ガイドシャフト４９と平行に延伸し、中途部で下方に屈曲したＬ字形状の移動保持片５５が固着されており、該移動保持片５５は前記可動板部５１と一体に移動する様になっている。又、前記移動保持片５５は、前記固定保持片４６と干渉しない様に、該固定保持片４６，４６との間に設けられている。
【００５０】
通常状態、即ち前記可動板部５１が前記押圧バネ５４，５４により押圧された状態では、前記可動板部５１が前記固定板部４５から離反し、前記可動板部５１が前記フランジ５２，５２に当接した状態となっている（図３（Ｃ）参照）。この状態では、前記固定保持片４６と前記移動保持片５５との対峙する垂直面間の距離は前記ガス供給配管２２の外径より小さくなる様に設定されている。この時、前記フランジ５２，５２は前記可動板部５１の抜け止めとして機能する様になっている。
【００５１】
該可動板部５１を前記固定板部４５側に近接させ、前記押圧バネ５４，５４が圧縮された状態では、前記固定保持片４６と前記移動保持片５５とが離反し、両者の間に前記ガス供給配管２２が通過可能な空間が形成される（図３（Ｂ）参照）。
【００５２】
前記チャック装置４２により前記レーザ加工ヘッド１を保持させる場合には、図示しないマニピュレータにより把持部５６を把持すると共に、前記可動板部５１を押圧し、該可動板部５１を前記固定板部４５に近接させて、前記固定保持片４６と前記移動保持片５５とを離反させる。
【００５３】
前記固定保持片４６と前記移動保持片５５との間に前記ガス供給配管２２を挿入し（図３（Ｂ）参照）、前記可動板部５１への押圧を解除することで、前記押圧バネ５４の復元力で前記固定板部４５から離反する方向に移動する前記可動板部５１と共に前記移動保持片５５が移動し、前記ガス供給配管２２が前記固定保持片４６と前記移動保持片５５とにより保持される（図３（Ｃ）参照）。以上により、前記チャック装置４２を介して前記レーザ加工ヘッド１がマニピュレータに保持される。
【００５４】
この状態で、前記チャック装置４２を図示しないマニピュレータにより移動させ、前記レーザ加工ヘッド１の前記着脱部１９を介してヘッド把持部（図示せず）へ取付ける。取付け後は、上記と逆の手順で前記ガス供給配管２２から前記固定保持片４６と前記移動保持片５５とを取外し、前記レーザ加工ヘッド１の移動が完了する。
【００５５】
上述の様に、本実施例では、前記ノズル３を略円錐状とし、前記レーザ光線２８の光束の形状と相似にし、又殆ど段差のない形状としているので、死角が減少し、カメラの映像を見ながら前記レーザ加工ヘッド１を移動させる際に、該レーザ加工ヘッド１が死角の影にある障害物と接触するのを回避することができる。
【００５６】
又、本実施例では、前記ノズル３の前記円筒部２４に前記ガス供給ブロック３７を取付け、該ガス供給ブロック３７に前記ガス供給配管２２を接続し、前記ノズル３内に直接アシストガスを供給する構成となっているので、前記ボディ２にアシストガスを供給する為の流路を形成する必要がなく、該ボディ２の肉厚を減少させ軽量化が図れると共に、該ボディ２の形状を前記レーザ光線２８の光束の形状と相似とさせることができ、小型化することができる。
【００５７】
又、前記ボディ２に形成された流路ではなく、前記ガス供給配管２２から直接前記ノズル３にアシストガスを供給するので、加工上の制約がなくなり、アシストガスの流路を大きくすることができ、圧力損失を低減させることができる。
【００５８】
又、前記ボディ２及び前記ノズル３の外形形状が小さくなることで、特に前記ノズル３の形状が前記レーザ光線２８の光束形状に近くなっているので、カメラを前記レーザ光線２８の光軸により近い位置に設置することが可能となり、前記ノズル３の先端の視認性を向上させ、被加工物の加工点迄の移動精度を向上させることができる。
【００５９】
又、前記ボディ２と前記ノズル３とを軽量の金属、例えばチタン製とすることで、前記レーザ加工ヘッド１をより軽量化でき、遠隔操作を行うロボットにより移動可能な重量とすることができる。
【００６０】
又、前記ノズル３を分割構造とし、先端部の前記ノズルチップ２６を銅等の放熱性の高い材質としたことで、該ノズルチップ２６が高温となることが抑制され、レーザ加工の際の焼損を抑制できる。更に、温度が上昇し易い先端部のみを交換可能となり、保守コストを低減できる。
【００６１】
又、準備段階として、前記レーザ加工ヘッド１をヘッド把持部へ取付ける際に、前記チャック装置４２により前記ガス供給配管２２を保持して移動させる様になっているので、該ガス供給配管２２が取手の機能を兼ねることとなり、前記レーザ加工ヘッド１を把持する部位を別途設ける必要がなく、部品点数の低減、更なる軽量化を図ることができる。
【００６２】
又、前記ガス供給配管２２を前記ノズル３と前記先端側ボディ部５とに掛渡って設けたので、前記ガス供給配管２２が補強部材として機能し、前記ノズル３、前記先端側ボディ部５の軽量化を図ることができる。
【００６３】
又、前記ノズル３、前記ボディ２、前記コネクタ接続部４毎にユニット化しているので、組立て、製作が容易となると共に、前記先端側ボディ部５の液密処理、前記ノズル３の気密処理が容易となる。
【００６４】
更に、本実施例では、前記レーザ加工ヘッド１のヘッド把持部（図示せず）への取付け、前記レーザ加工ヘッド１に対する前記給水管１７、前記排水管１８、前記ガス導入管４１の取付け、及び前記ヘッド把持部を介した前記レーザ加工ヘッド１の加工点迄の移動等を全て遠隔操作で行うことができるので、設置、保守、交換等を全て遠隔操作で行うことができ、取扱い性を向上させることができる。
【符号の説明】
【００６５】
１    レーザ加工ヘッド      ２    ボディ
３    ノズル                １４  冷却水流路
１７  給水管                １８  排水管
２１  配管固定部            ２２  ガス供給配管
２３  円錐部                ２４  円筒部
２６  ノズルチップ          ２８  レーザ光線
３５  光ファイバ            ３７  ガス供給ブロック
４２  チャック装置
【図１】
0006523059.tif 000002
【図２】
0006523059.tif 000003
【図３】
0006523059.tif 000004