(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を基板に実装する部品実装機であって、
前記部品を吸着する吸着面を有する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルの側方に配置され、前記吸着ノズルの先端、及び、前記吸着ノズルの先端より下方の背景を撮像し、ノズル撮像データを取得するカメラと、
前記吸着ノズルの吸着面の良否を判定する制御装置と、を備えており、
前記制御装置は、前記ノズル撮像データの前記吸着面に対して垂直となる方向に予め設定された複数のノズル検査線のうち、前記吸着ノズルを検知したノズル検査線の本数に基づいて、前記吸着面の良否を判定するように構成されている、部品実装機。
【請求項２】
前記吸着ノズルを支持し、前記吸着ノズルを移動させる移載ヘッドをさらに備えており、
前記カメラは、前記移載ヘッドと一体となって移動する、請求項１に記載の部品実装機。
【請求項３】
前記制御装置は、前記吸着ノズルを検知した前記ノズル検査線の本数に基づいて、前記吸着面を正常と判定した場合は、さらに、
前記ノズル撮像データから前記吸着面の平坦度を算出し、前記平坦度に基づいて前記吸着面の良否を判定するように構成されている、請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記制御装置は、前記ノズル撮像データを記憶する記憶部を備えており、
前記制御装置が前記吸着面を異常と判定したときに、前記記憶部は、その異常と判定されたときの前記ノズル撮像データを記憶する、請求項１から３のいずれか一項に記載の部品実装機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書に開示する技術は、部品を基板に実装する部品実装機に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、電子部品を吸着し移載する部品移載装置が開示されている。部品移載装置は、電子部品を吸着する吸着ノズルと、側面画像撮像用カメラと、画像メモリと、演算手段を備えている。側面画像撮像用カメラは、吸着ノズル及び吸着ノズルに吸着された電子部品を側方から撮像する。メモリは、電子部品を側方から撮像した電子部品単体の画像データを記憶する。演算手段は、部品吸着状態の吸着ノズルの画像データと吸着ノズル単体の画像データとの差から差分画像データを生成する。演算手段は、差分画像データと、電子部品単体の画像データを比較することで、吸着ノズルの吸着面の良否判定を実施している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１２３８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の部品移載装置では、部品吸着状態の吸着ノズルの画像データと、吸着ノズル単体の画像データと、電子部品単体の画像データを用いて、吸着ノズルの吸着面の良否を判定している。このため、部品吸着状態の吸着ノズルの画像データと、吸着ノズル単体の画像データを画像メモリに予め記憶しなければならない。この結果、部品移載装置に予め記憶される画像データの容量が大きくなるという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本明細書に開示する部品実装機は、部品を基板に実装する。この部品実装機は、部品を吸着する吸着面を有する吸着ノズルと、吸着ノズルの側方に配置され、吸着ノズルの先端のノズル撮像データを取得するカメラと、吸着ノズルの吸着面の良否を判定する制御装置と、を備えている。ノズル撮像データは、吸着ノズルの先端が撮影されるノズル領域と、吸着ノズルの先端より下方の背景が撮影される背景領域が含まれている。制御装置は、ノズル撮像データの吸着面に対して垂直となる方向に予め設定された複数のノズル検査線のうち、ノズル領域において吸着ノズルを検知したノズル検査線の本数に基づいて、吸着面の良否を判定するように構成されている。
【０００６】
上記の部品実装機では、吸着ノズルの先端を撮像したノズル撮像データのうちノズル領域に設定されたノズル検査線を走査し、吸着ノズルを検知したノズル検査線の本数に基づいて、吸着面の良否を判定している。即ち、ノズル撮像データのみから、吸着ノズルのノズル吸着面の良否を判定している。このため、部品実装機は、ノズル撮像データと比較する画像データを記憶する必要がない。この結果、部品実装機に予め記憶される画像データの容量を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】部品実装機の構成を模式的に表す側面図である。
【図２】部品実装機の制御系の構成を表すブロック図である。
【図３】判定処理の手順を示すフローチャートである。
【図４】吸着ノズル正常時のノズル検査データ周辺の拡大図の一例である。
【図５】吸着ノズル異常時のノズル検査データ周辺の拡大図の一例である。
【図６】吸着ノズル異常時のノズル検査データ周辺の拡大図の一例である。
【０００８】
以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。
【０００９】
（特徴１）部品実装機は、吸着ノズルを支持し、吸着ノズルを移動させる移載ヘッドをさらに備えていてよい。カメラは、移載ヘッドと一体となって移動してもよい。部品実装機は、部品を基板に実装するために、移載ヘッドを移動させる場合がある。カメラが、移載ヘッドと一体となっている場合、移載ヘッドを移動させている間に、吸着面の良否を判定することができる。
【００１０】
（特徴２）制御装置は、吸着面を正常と判定した場合は、さらに、ノズル撮像データから吸着面の平坦度を算出し、平坦度に基づいて吸着面の良否を判定するように構成されている。このような構成によると、吸着面の良否判定の精度を向上することができる。
【００１１】
（特徴３）制御装置は、ノズル撮像データを記憶する記憶部を備えており、制御装置が吸着面を異常と判定したときに、記憶部は、その異常と判定されたときのノズル撮像データを記憶してもよい。部品実装機が、吸着面の異常を判定した場合、作業者は、画像で、吸着面の異常状態を確認したい場合がある。このような構成によると、異常と判定されたノズル撮像データが記憶部に記憶される。これにより、例えば、部品実装機の作業者が、異常を判定したノズル撮像データを確認することができる。
【００１２】
（実施例）  以下、図１および図２を用いて、本実施例に係る部品実装機１０について説明する。部品実装機１０は、回路基板２に電子部品４を実装する装置である。部品実装機１０は、表面実装機やチップマウンタとも称される。通常、部品実装機１０は、はんだ印刷機、他の部品実装機及び基板検査機とともに併設され、一連の実装ラインを構成する。
【００１３】
図１に示すように、部品実装機１０は、複数の部品フィーダ１２と、フィーダ保持部１４と、実装ヘッド１６と、撮像ユニット２０と、実装ヘッド１６および撮像ユニット２０を移動させる移動装置１８と、基板コンベア２６と、操作パネル２８と、制御装置３０を備える。
【００１４】
各々の部品フィーダ１２は、複数の電子部品４を収容している。部品フィーダ１２は、フィーダ保持部１４に着脱可能に取り付けられ、実装ヘッド１６へ電子部品４を供給する。部品フィーダ１２の具体的な構成は特に限定されない。各々の部品フィーダ１２は、例えば、巻テープ上に複数の電子部品４を収容するテープ式フィーダ、トレイ上に複数の電子部品４を収容するトレイ式フィーダ、又は、容器内に複数の電子部品４をランダムに収容するバルク式フィーダのいずれであってもよい。
【００１５】
移動装置１８は、部品フィーダ１２と回路基板２との間で実装ヘッド１６および撮像ユニット２０を移動させる移動装置の一例である。本実施例の移動装置１８は、移動ベース１８ａをＸ方向及びＹ方向に移動させるＸＹロボットである。移動装置１８は、移動ベース１８ａを案内するガードレールや、移動ベース１８ａをガイドレールに沿って移動させる移動機構や、その移動機構を駆動するモータ等によって構成されている。移動装置１８は、部品フィーダ１２および回路基板２の上方に配置されている。移動ベース１８ａに対して実装ヘッド１６および撮像ユニット２０が取付けられている。実装ヘッド１６および撮像ユニット２０は、移動装置１８によって部品フィーダ１２の上方及び回路基板２の上方を移動する。
【００１６】
実装ヘッド１６は、電子部品４を吸着する吸着ノズル６を備えている。吸着ノズル６は、実装ヘッド１６に対して着脱可能とされている。吸着ノズル６は、Ｚ方向（図面上下方向）に移動可能に実装ヘッド１６に取り付けられている。吸着ノズル６は、実装ヘッド１６に収容されたアクチュエータ（図示省略）によって上下方向に昇降すると共に、また、電子部品４を吸着可能に構成されている。実装ヘッド１６により電子部品４を回路基板２に実装するには、まず、部品フィーダ１２に収容された電子部品４に吸着ノズル６の下面（吸着面）が当接するまで、吸着ノズル６を下方に移動させる。次いで、吸着ノズル６に電子部品４を吸着し、吸着ノズル６を上方に移動させる。次いで、移動装置１８により実装ヘッド１６を回路基板２に対して位置決めする。次いで、吸着ノズル６を回路基板２に向かって下降させることで、回路基板２に電子部品４を実装する。実装ヘッド１６による上記の動作を実装処理とする。
【００１７】
撮像ユニット２０は、移動ベース１８ａに取り付けられている。このため、実装ヘッド１６が移動すると、撮像ユニット２０も一体となって移動する。撮像ユニット２０は、カメラ支持部２２とカメラ２４を備えている。カメラ支持部２２は、移動ベース１８ａに取り付けられている。カメラ支持部２２には、カメラ２４が取付けられている。カメラ２４は、吸着ノズル６の側方（図面Ｙ方向）に配置されている。なお、実装ヘッド１６により、吸着ノズル６を上下方向に昇降することで、カメラ２４の撮像領域に含まれる吸着ノズル６の領域を調整することができる。
【００１８】
基板コンベア２６は、回路基板２の部品実装機１０への搬入、部品実装機１０への位置決め、及び部品実装機１０からの搬出を行う装置である。本実施例の基板コンベア２６は、例えば、一対のベルトコンベアと、ベルトコンベアに取り付けられると共に回路基板２を下方から支持する支持装置（図示省略）と、ベルトコンベアを駆動する駆動装置により構成することができる。操作パネル２８は、作業者の指示を受け付ける入力装置であるとともに、作業者に対して各種の情報を表示する表示装置でもある。
【００１９】
制御装置３０は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭを備えたコンピュータを用いて構成されている。図２に示すように、制御装置３０には、部品フィーダ１２と、実装ヘッド１６と、移動装置１８と、カメラ２４、操作パネル２８が通信可能に接続されている。制御装置３０は、これら各部（１２，１６，１８，２４、２８等）を制御することで、電子部品４の回路基板２への実装を行う。
【００２０】
制御装置３０は、記憶装置４０と通信可能に接続されている。記憶装置４０は、部品実装機１０の動作を制御するための演算プログラムが記憶されている。制御装置３０は、演算プログラムを実行することで、判定部３２と、動作制御部３４として機能する。判定部３２は、カメラ２４が撮像した撮像データに基づいて、吸着ノズル６の吸着面の良否を判定する。動作制御部３４は、記憶装置４０に記憶されている演算プログラムに基づいて、部品フィーダ１２、実装ヘッド１６、移動装置１８、カメラ２４、操作パネル２８の動作を制御し、回路基板２に電子部品４を実装する。動作制御部３４による各部１２，１６，１８，２４、２８の制御は、公知の方法で行われる。以下では、判定部３２が実行する判定処理について説明する。
【００２１】
判定部３２が実行する判定処理について、図３〜図５を用いて説明する。判定処理は、実装ヘッド１６による実装処理が完了した後に開始される処理である。即ち、判定処理は、実装ヘッド１６が、回路基板２の上方から、部品フィーダ１２の上方に移動している間に実行される。まず、ステップＳ１２において、制御装置３０は、カメラ２４の撮像領域Ｒを調整する。即ち、制御装置３０は、吸着ノズル６を上下方向に昇降することで、カメラ２４の撮像領域Ｒを調整する。具体的には、カメラ２４の撮像領域Ｒに、吸着ノズル６の先端と、吸着ノズル６の先端より下方の背景が撮影される背景領域が含まれるように、吸着ノズル６のＺ方向の位置を調整する。
【００２２】
次いで、ステップＳ１４において、制御装置３０は、カメラ２４により吸着ノズル６を側方（図面Ｙ方向）から撮像し、ノズル撮像データを取得する。ステップＳ１４で取得されたノズル撮像データは、ステップＳ１２の処理によって、吸着ノズル６の先端と、吸着ノズル６の先端より下方の背景が含まれている。次いで、ステップＳ１６において、制御装置３０は、Ｓ４で取得したノズル撮像データに対して、画像処理を実行して、ノズル検査データ１００を取得する。具体的には、制御装置３０は、ノズル撮像データに対して２値化処理を実行する。ノズル撮像データに対する２値化処理は、公知の方法で実行される。なお、二値化処理の輝度値の閾値は、吸着ノズル６と背景領域を区別することができる値を設定する。これにより、制御装置３０は、ノズル検査データ１００内の吸着ノズル６と背景領域とを明確に区別することができるようになる。
【００２３】
次いで、ステップＳ１８において、制御装置３０は、ステップＳ１６で取得したノズル検査データ１００に対して第１検査処理を実行する。第１検査処理について、図４を用いて説明する。図４は、吸着ノズル６が正常な場合のノズル検査データ１００の一例である。なお、図４は、見やすくするために、ノズル検査データ１００の領域外の吸着ノズル６の一部も図示している。また、第１検査処理（以下に説明する第２検査処理についても同様）を説明しやすくするために、複数のノズル検査線を図示している。制御装置３０は、ノズル検査データ１００に対して、複数のノズル検査線Ｌ1〜Ｌ15を設定し、設定したノズル検査線Ｌ1〜Ｌ15を走査する。具体的には、制御装置３０は、各ノズル検査線Ｌ1〜Ｌ15を、図面の下方から上方に向かって走査する。即ち、各ノズル検査線Ｌ1〜Ｌ15は、ノズル吸着面６ａに垂直となる方向（図面Ｚ方向）に走査される。また、制御装置３０は、各ノズル検査線Ｌ1〜Ｌ15が図面Ｘ方向に等間隔となるように、各ノズル検査線Ｌ1〜Ｌ15を走査する。次いで、制御装置３０は、複数のノズル検査線Ｌ1〜Ｌ15のうち、ノズル吸着面６ａを検知したノズル検査線の本数（以下、ノズル検知数とする）を算出する。例えば、図４の場合、Ｌ4〜Ｌ12がノズル吸着面６ａを検知するため、ノズル検知数は、９本となる。
【００２４】
次いで、ステップＳ２０において、制御装置３０は、ノズル検知数が所定の本数以上か否かを判定する。所定の本数は、ノズル吸着面を正常と判定することができる本数を設定する。図４から明らかなように、ノズル検査データ１００には、吸着ノズル６の先端と、吸着ノズル６の先端より下方の背景が含まれている。このため、吸着ノズル６の先端（吸着面６ａ）が破損等している場合には、ノズル検査データ１００に吸着ノズル６の先端の一部が含まれず、その分だけノズル検知数が減少する。したがって、ステップＳ２０では、ノズル検知数の本数で、ノズル吸着面が正常か否かを判定する。ノズル検知数が所定の本数以上（Ｓ１２でＹＥＳ）の場合、制御装置３０は、Ｓ２２に進む。ノズル検知数が所定の本数未満（Ｓ１２でＮＯ）の場合、制御装置３０は、Ｓ３２に進む。ノズル検知数が所定の本数未満の場合とは、例えば、図５に示すように、吸着ノズル６の先端の一部が欠けている場合などである。この場合に、吸着ノズル６により電子部品４を吸着すると、電子部品４が吸着面に対して傾いた状態になる場合がある。この結果、回路基板２に電子部品４を正常に実装できない可能性がある。
【００２５】
次いで、ステップＳ２２において、制御装置３０は、ノズル検査データ１００に対して第２検査処理を実行する。具体的には、制御装置３０は、ノズル吸着面６ａの平坦度を算出する。ノズル吸着面６ａの平坦度の算出方法の一例を、図４を用いて説明する。制御装置３０は、複数のノズル検査線Ｌ1〜Ｌ15のうち、ノズル吸着面６ａを検知したノズル検知線を用いて平坦度を算出する。図４の場合は、ノズル検査線Ｌ4〜Ｌ12を用いて平坦度を算出する。平坦度を算出するために、制御装置３０は、ノズル検査線Ｌ4〜Ｌ12のそれぞれがノズル吸着面６ａを検知したＺ方向の位置ｚ4〜ｚ12を検出する。次いで、制御装置３０は、ノズル検査線Ｌ4〜Ｌ12のそれぞれに対して、隣接するノズル検査線同士のＺ方向の位置との差分ｄ4〜ｄ11を算出する。例えば、差分ｄ4は、ノズル検査線Ｌ4のＺ方向の位置ｚ4とノズル検査線Ｌ5のＺ方向の位置ｚ5から算出される。次いで、制御装置３０は、差分ｄ4〜ｄ11ノ絶対値を合計して、ｄsumを算出する。次いで、制御装置３０は、差分ｄ4〜ｄ11の合計を平均する。制御装置３０は、差分ｄ4〜ｄ11の合計を平均した値を、ノズル吸着面６ａの平坦度ｄaveとする。このような算出方法によると、ノズル吸着面６ａが正常な場合、ノズル吸着面６ａの平坦度ｄaveは略０となる。
【００２６】
次いで、ステップＳ２４において、制御装置３０は、ノズル吸着面の平坦度ｄaveが所定値以下か否かを判断する。ノズル吸着面６ａの平坦度ｄaveが所定値以下の場合（Ｓ２４でＹＥＳ）、制御装置３０は、判定処理を終了する。制御装置３０は、判定処理を終了すると、実装ヘッド１６による、新たな実装処理を開始する。ノズル吸着面６ａの平坦度が所定値以下の場合（Ｓ２４でＮＯ）、ステップＳ２０に進む。なお、ノズル検知数がノズル吸着面が正常と判定される本数以上の場合で、かつ、ノズル吸着面６ａの平坦度が所定値以下の場合とは、ノズル吸着面６ａに、微小な欠けが複数発生している場合などである（例えば図６）。この場合に、吸着ノズル６により電子部品４を吸着すると、電子部品４が吸着面に対して傾いた状態となる場合がある。この結果、回路基板２に電子部品４を正常に実装できない可能性がある。
【００２７】
ステップＳ２０又はステップＳ２４でノズル吸着面６ａを異常と判定した場合、ステップＳ３２において、制御装置３０は、異常と判定したノズル撮像データを、記憶装置４０に記憶する。即ち、制御装置３０は、ノズル吸着面６ａを正常と判定した場合のノズル撮像データは、記憶装置４０に記憶しない。このような構成によると、記憶装置４０に記憶されるノズル撮像データの容量を小さくすることができる。
【００２８】
次いで、ステップＳ３４において、制御装置３０は、ノズル吸着面６ａの異常を判定したことを報知する。報知の方法としては、例えば、操作パネル２８にノズル吸着面異常判定を表示させるなどである。これにより、作業者は、判定処理によりノズル吸着面６ａが異常と判定されたことを知ることができる。記憶装置４０には、異常を判定したノズル撮像データが記憶されている。このため、作業者は、異常を判定したノズル撮像データを確認することで、ノズル吸着面６ａの異常判定の原因を特定しやすくなる。
【００２９】
なお、複数のノズル検査線Ｌの本数が多いほど、ノズル吸着面６ａの異常検出の精度を向上させることができる。しかしながら、ノズル検査線Ｌの本数が多いほど、判定処理に要する時間は長くなる。上述のように、判定処理は、実装ヘッド１６が、回路基板２の上方から、部品フィーダ１２の上方に移動している間に実行される場合が多い。複数のノズル検査線Ｌの本数が多いと、実装ヘッド１６の部品フィーダ１２の上方への移動が完了した時に、判定処理が終わっていない場合がある。この場合、制御装置３０は、実装処理の開始を待機する必要がある。この結果、部品実装機８の稼働率が低下する可能性がある。このため、ノズル検査線Ｌの本数は、実装ヘッド１６が、回路基板２の上方から、部品フィーダ１２の上方に移動している間に、制御装置３０による判定処理が完了する本数に設定されることが好ましい。
【００３０】
上述の説明から明らかなように、本実施例の部品実装機８では、ノズル撮像データのみで、吸着ノズル６の吸着面の良否を判定することができる。このため、記憶装置４０に、予めノズル撮像データ等を記憶しておく必要がない。この結果、記憶装置４０に予め記憶される各種データの容量を小さくすることができる。
【００３１】
（ケースＡ）
本実施例の構成によって、異常を判定することができる具体的なケースＡを説明する。図５は、吸着ノズル６の先端部の一部が欠けている場合である。
【００３２】
図５の場合、Ｓ１８の第１検査処理により算出されるノズル検知数は、ノズル検査線Ｌ7〜Ｌ12の６本となる。この場合、Ｓ２０において、制御装置３０は、ノズル検知数が所定本数（例えば、８本）未満であると判定する。ノズル吸着面６ａの異常を判定した場合、制御装置３０は、ノズル撮像データを記憶装置４０に記憶する（Ｓ３２）。次いで、制御装置３０は、操作パネル２８を用いて、ノズル吸着面６ａを異常と判定したことを報知する（Ｓ３４）。このような構成によると、吸着ノズル６の先端部の欠けがある程度大きい場合において、吸着ノズル６のノズル吸着面６ａの異常を判定することができる。
【００３３】
（ケースＢ）
本実施例の構成によって、異常を判定することができる具体的なケースＢを説明する。図６は、吸着ノズル６の先端部に微小な欠けが複数発生している場合である。
【００３４】
図６の場合、ステップＳ１８の第１検査処理により算出されるノズル検知数は、ノズル検査線Ｌ4〜Ｌ12の９本となる。この結果、制御装置３０は、ノズル検知数が所定の本数以上（Ｓ２０でＹＥＳ）と判定し、ステップＳ２２に進む。
【００３５】
ステップＳ２２において、制御装置３０は、ノズル吸着面６ａの平坦度を算出する。ノズル吸着面６ａの平坦度の算出には、ノズル検査線Ｌ4〜Ｌ12のそれぞれのＺ方向の位置ｚ4〜ｚ12が用いられる。制御装置３０は、隣接するノズル検査線同士のＺ方向の位置の差分ｄ4〜ｄ11を算出する。ノズル検査線Ｌ4のｚ方向の位置ｚ4とノズル検査線Ｌ5のｚ方向の位置ｚ5は、ほぼ同一であるため、差分ｄ4は略０となる。一方、差分ｄ5〜ｄ11は、隣接するノズル検査線同士のＺ方向の位置が異なるため（例えば、ノズル検査線Ｌ5のｚ方向の位置ｚ5とノズル検査線Ｌ6のｚ方向の位置ｚ6）、それぞれの位置の差分ｄ5〜ｄ11が算出される。制御装置３０は、差分ｄ4〜ｄ11を合計した後に、合計値ｄsumと平均して平坦度ｄaveを算出する。この場合、ステップＳ２４において、制御装置３０は、ノズル吸着面６ａの平坦度ｄaveが所定値以上であると判定する。ノズル吸着面６ａの異常を判定した場合、制御装置３０は、ノズル撮像データを記憶装置４０に記憶する（Ｓ３２）。次いで、制御装置３０は、操作パネル２８を用いて、ノズル吸着面６ａを異常と判定したことを報知する（Ｓ３４）。このような構成によると、吸着ノズル６の先端部の欠けが微小な場合でも、吸着ノズル６のノズル吸着面６ａの異常を判定することができる。
【００３６】
以上、本明細書に開示の技術に係る実施例について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【００３７】
上記の実施例では、撮像ユニット２０は、移動ベース１８ａに固定されている。しかしながら、撮像ユニット２０は、実装ヘッド１６に対して相対移動することが可能なように移動ベース１８ａに取り付けられてもよい。このような構成によると、吸着ノズル６を複数の角度から撮像することができる。
【００３８】
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００３９】
２：回路基板
４：電子部品
６：吸着ノズル
６ａ：ノズル吸着面
８：部品実装機
１０：部品実装機
１２：部品フィーダ
１４：フィーダ保持部
１６：実装ヘッド
１８：移動装置
１８ａ：移動ベース
２０：撮像ユニット
２２：カメラ支持部
２４：カメラ
２６：基板コンベア
２８：操作パネル
３０：制御装置
３２：判定部
３４：動作制御部
４０：記憶装置
１００：ノズル検査データ
Ｌ1〜Ｌ15：ノズル検査線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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