(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の試料投入口を介して、内部のるつぼに投入した測定試料を加熱することにより、当該測定試料に含まれている成分をガスとして抽出し分析する試料分析装置と、前記試料分析装置における所定の取付位置に抜脱可能に取り付けられるように構成した試料搬送器とを具備したものであって、
前記試料搬送器が、前記測定試料を収容する収容室及び該収容室内部の測定試料を導出するための試料導出口を形成してなる収容体と、前記試料導出口を閉止する閉止体とを具備したものであって、前記収容室に前記測定試料を外気に晒されないように収容した状態で前記試料分析装置の取付位置に取り付けられるように構成されており、
該試料搬送器を前記取付位置に取り付けた取付状態において、前記閉止体又は収容体のいずれかを動かして開成させた前記試料導出口が前記試料投入口と連通するように構成してあるとともに、同取付状態において前記試料投入口にパージガスを正圧となるように導入するパージガス導入路が形成されるように構成してあることを特徴とする試料分析システム。
【請求項２】
前記試料分析装置に取り付けられるとともに、前記試料搬送器を保持する保持部を有した中間体をさらに具備し、
該中間体に、一端が前記試料導出口に接続されるとともに他端が前記試料投入口に接続される中間路を形成するとともに、該中間路に接続される前記パージガス導入路を形成していることを特徴とする請求項１記載の試料分析システム。
【請求項３】
前記閉止体はその側周面に貫通孔を形成してなり、該貫通孔が前記試料投入口に連通するように、前記試料分析装置の所定位置に抜脱可能に取り付けられる外筒体であり、
前記収容体はその側周面に前記試料導出口を設けてなり、該試料導出口が前記貫通孔と重合する開成位置と非重合となる閉止位置との間で前記外筒体にスライド可能に嵌入する内筒体であることを特徴とする請求項１記載の試料分析システム。
【請求項４】
前記内筒体に嵌入する試料保持体をさらに具備し、該試料保持体が、前記試料導出口の内側開口面を覆って測定試料を収容室内で保持する保持位置と、前記試料導出口の内側開口面を開放して測定試料を試料導出口から導出可能にする開放位置との間でスライド可能に構成してある請求項３記載の試料分析システム。
【請求項５】
前記収容体が、その収容室内に試料を導入するための試料導入口を前記試料導出口とは別に形成したものであり、
前記閉止体が、前記試料導入口を閉止すると同時に前記試料導出口をも閉止するように構成したものである請求項１記載の試料分析システム。
【請求項６】
前記試料導入口を収容室の底部に開口させているとともに、前記試料導出口を収容室の上部に開口させている請求項５記載の試料分析システム。
【請求項７】
所定の試料投入口を介して、内部に設置されたるつぼに投入した測定試料を加熱することにより、当該測定試料に含まれている成分をガスとして抽出し分析する試料分析装置に用いられ、前記試料分析装置における所定の取付位置に抜脱可能に取り付けられる試料搬送器であって、
前記測定試料を収容する収容室及び該収容室内部の測定試料を導出するための試料導出口を形成してなる収容体と、前記試料導出口を閉止する閉止体とを具備し、
前記収容室に前記測定試料を外気に晒されないように収容した状態で前記試料分析装置の取付位置に取り付けられるように構成されており、
前記取付位置に取り付けた取付状態において、前記閉止体又は収容体のいずれかを動かして開成させた前記試料導出口が前記試料投入口と連通するように構成してあるとともに、同取付状態において前記試料投入口にパージガスを正圧となるように導入するパージガス導入路が形成されるように構成してあることを特徴とする試料搬送器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定試料をるつぼに入れて加熱融解または燃焼させ、その際に発生するガス成分を測定することによって、当該測定試料を分析する試料分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の試料分析装置は、前記ガス成分を測定することにより、例えば測定試料中に含まれる窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）、酸素（Ｏ）等の元素や、場合によっては分子を分析することができる。しかして、特許文献１に示すものは、測定試料をるつぼ内で加熱する場合に、その際に大気中の酸素などが反応して測定誤差となることを防止すべく、るつぼが収容保持されているるつぼ保持室を不活性ガスでパージするようにしている。
【０００３】
しかしながら、測定試料が反応性の高い電池材料などでは、試料分析装置まで搬送する途中段階で大気等に触れ、該測定試料が変質してしまって、正しく測定できない場合が生じ得る。
【０００４】
この問題に対しては、例えば搬送経路も含む試料分析装置を、不活性ガスを充満したグローブボックスなどに収容してしまえばよいが、コスト、容量などの観点から非現実的である。
【０００５】
また、測定試料を、不活性ガス中が封入されたカートリッジに収容して試料分析装置までの搬送することも容易には考えられるが、カートリッジから測定試料を取り出してるつぼに入れるまでのわずかの時間ですら、大気に触れることが問題になることもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平２−２４２１５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであって、コスト面などの点で現実的な実施が可能であり、なおかつ、測定試料を試料分析装置のるつぼにまで、外気に触れることなく確実に搬送できる試料分析システム等を提供すべく図ったものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、本発明に係る試料分析システムは、所定の試料投入口を介して、内部のるつぼに投入した測定試料を加熱することにより、当該測定試料に含まれている成分をガスとして抽出して分析する試料分析装置と、前記試料分析装置における所定の取付位置に抜脱可能に取り付けられるように構成した試料搬送器とを具備したものである。
【０００９】
そして、前記試料搬送器が、前記測定試料を収容する収容室及び該収容室内部の測定試料を導出するための試料導出口を形成してなる収容体と、前記試料導出口を閉止する閉止体とを具備したものであり、該試料搬送器を前記取付位置に取り付けた取付状態において、前記閉止体又は収容部材を相対的に動かして開成させた前記試料導出口が前記試料投入口と連通するように構成してあるとともに、同取付状態において前記試料投入口にパージガスを正圧となるように導入するパージガス導入路が形成されるように構成してあることを特徴とする。
【００１０】
このようなものであれば、例えば、試料分析装置とは他所で、試料搬送器に例えば不活性ガスを充満して測定試料を収容し、試料分析装置まで搬送してくることが容易にできる。また、その後、試料搬送器を試料分析装置に取り付けた状態において、前記試料投入口にはパージガスが正圧で導入されており、開成時において該試料投入口に連通する試料導出口は、当然のことながら正圧のパージガス雰囲気下に置かれることとなるので、試料導出口の開成によっても外気が収容室に侵入してくることを防止でき、この開成した試料導出口から試料投入口を介して、測定試料を外気に晒すことなくるつぼに投入することができる。
なお、ここで、前記パージガス導入路によって正圧のパージガスが導入される部位を別の観点から説明しておくと、閉止体は動かず収容体が動いてその試料導出口が開閉される場合（すなわち、閉止体によって塞がれている位置から試料導出口が開成される位置、すなわち閉止体に設けた貫通孔に試料導出口が重合する位置にまで動く場合）には、前記貫通孔がパージガスの導入される部位となる。
一方、収容体は動かず、閉止体が動いて試料導出口を開閉する場合（すなわち、閉止体が開閉蓋として機能する場合）は、この開閉蓋が、パージガスの導入される部位となる。
【００１１】
したがって、本発明によれば、反応性の高い例えば電池材料などの分析精度を向上させることができるようになる。また、グローブボックスで試料分析装置全体を覆うといった実現性の乏しいものではなく、安価かつコンパクトな構造での実現が可能となる。さらに、既存の試料分析装置に試料搬送器を取り付けるだけなので、試料分析装置そのものを改造するといった手間も不要にできる。
【００１２】
前記試料分析装置に取り付けられるとともに、前記試料搬送器を保持する保持部を有した中間体をさらに具備し、該中間体に、一端が前記試料導出口に接続されるとともに他端が前記試料投入口に接続される中間路を形成するとともに、該中間路に接続される前記パージガス導入路を形成しているものであれば、中間体の試料分析装置に対する取付形態を変更するだけで、種々の試料分析装置に共通の試料搬送器を用いることができるようになる。さらに、中間体にパージガス導入路を設けておけば、試料分析装置に供給するパージガスとは独立して、試料搬送器専用にパージガスを導入できるので、パージガスの流量制御が容易になり、分析精度も従来どおりに担保できる。
【００１３】
前記試料搬送器を簡単な構成で実現する具体的態様としては、前記閉止体が、その側周面に貫通孔を形成してなり、該貫通孔が前記試料投入口に連通するように、前記試料分析装置の所定位置に抜脱可能に取り付けられる外筒体であり、前記収容体が、その側周面に前記試料導出口を設けてなり、該試料導出口が前記貫通孔と重合する開成位置と非重合となる閉止位置との間で前記外筒体にスライド可能に嵌入する内筒体であるものを挙げることができる。
【００１４】
内筒体を移動させても測定試料が安定して収容室内で保持されるようにするには、前記内筒体に嵌入する試料保持体をさらに具備し、該試料保持体が、前記試料導出口の内側開口面を覆って測定試料を収容室内で保持する保持位置と、前記試料導出口の内側開口面を開放して測定試料を試料導出口から導出可能にする開放位置との間でスライド可能に構成してあるものが好ましい。
【００１５】
収容体に測定試料を導入するための具体的態様としては、前記収容体が、その収容室内に試料を導入するための試料導入口を前記試料導出口とは別に形成したものであり、前記閉止体が、前記試料導入口を閉止すると同時に前記試料導出口をも閉止するように構成したものを挙げることができる。
測定試料を投下するためには、前記試料導入口を収容室の底部に開口させているとともに、前記試料導出口を収容室の上部に開口させているものが望ましい。
【発明の効果】
【００１６】
このように構成した本発明によれば、既存の試料分析装置をそのまま利用できるようにしながら、極めて簡単な構成で、測定試料を他所から試料分析装置のるつぼに、外気に実質的に晒すことなく搬送することができる。その結果、反応性の高い例えば電池材料などの分析精度を向上させることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態における元素分析システムを示す概略全体図。
【図２】同実施形態における試料搬送器を示し、内筒体が開成位置にあり、かつ、保持体が保持位置にある状態を示す縦断面図。
【図３】同実施形態における試料搬送器、中間体、及び元素分析装置の一部を示す分解斜視図。
【図４】同実施形態における中間体の中間路で切った断面図。
【図５】同実施形態における試料搬送器を示し、内筒体が閉止位置にある状態を示す縦断面図。
【図６】同実施形態における試料搬送器を示し、内筒体が開成位置にあり、かつ、保持体が開放位置にある状態を示す縦断面図。
【図７】本発明の他の実施形態における試料搬送器の外筒体を示す斜視図。
【図８】本発明のさらに他の実施形態における試料搬送器を示す縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００１９】
本実施形態に係る試料分析システムたる元素分析システム１００は、図１に模式的に示すように、るつぼＲ内に収容された測定試料を加熱溶解し、その際に発生するガス成分を分析することによって、当該試料に含まれている元素を測定する試料分析装置たる元素分析装置１と、この元素分析装置１に測定試料を搬送するための試料搬送器２とを具備するものである。
【００２０】
当該元素分析システム１００の特徴は主として前記試料搬送器２にあるが、この試料搬送器２の詳細な説明に先だって、前記元素分析装置１の概要を以下に説明する。
【００２１】
この元素分析装置１は、図１に示すように、るつぼＲを保持する保持室１ａを内部に有したものであり、前記るつぼＲを加熱する加熱機構１２と、るつぼＲ内で加熱され溶解した測定試料から発生する試料ガスを前記保持室１ａから導入し、その成分を分析する図示しない分析部とを具備したものである。
【００２２】
るつぼＲは、黒鉛を素材とした一端の開口する有底円筒状をなすものであり、開口が上を向くように前記保持室１ａに収容されている。この保持室１ａの上方には、前記るつぼＲの開口に連通する試料投入口１ｂが設けてある。また、この保持室１ａには、図示しない内部流路を介して不活性ガス等の試料と反応しないガス（パージガス）を導入できるようにしてあり、このパージガスを充満した雰囲気化で前記測定試料を加熱するようにしてある。
【００２３】
加熱機構１２は、るつぼＲを上下から挟みこむ下部電極１２２及び上部電極１２１を具備し、これら電極１２１、１２２を介してるつぼＲに電流を流すことにより、該るつぼＲを加熱することができるように構成したものである。
【００２４】
次に、前記試料搬送器２について説明する。
この試料搬送器２は、全体として円筒状をなす携帯可能なものであり、図１、図２等に示すように、内部に測定試料を気密に収容可能な収容室２ａを有してなる。そして、この試料搬送器２を、前記元素分析装置１における試料投入口１ｂの上部に取り付けることによって、収容室２ａ内の測定試料を大気に晒すこと無く、試料投入口１ｂからるつぼＲに投入することができるようにしてある。
【００２５】
詳述する。
この試料搬送器２は、図２等に示すように、外筒体３と、この外筒体３にスライド可能に挿入された内筒体４とを具備したものである。
前記外筒体３は、その先端をガス抜き孔の形成された端壁３１で閉じるとともに、その基端を開放させた円筒状をなすものであり、その側周壁３２の中央部分における互いに対向する部位には、それぞれ貫通孔３ａ、３ｂが設けてある。
【００２６】
前記内筒体４は、その先端を端壁４１で閉じるとともに、その基端を開放させた円筒状をなすものであり、その内部空間が前記収容室２ａとして機能するものである。先端側の側周壁４２には、測定試料を該収容室２ａに入れるための試料導入口４ａが形成してあるとともに、この試料導入口４ａと対向する位置に、測定試料を収容室２ａから試料投入口１ｂに出すための試料導出口４ｂが形成してある。また、試料導入口４ａ及び試料導出口４ｂを軸方向に挟む外側周面の２箇所には、シール材５（例えばＯリング）がそれぞれ巻回してあり、これらシール材５によって内筒体４の外側周面と外筒体３の内側周面との間からガスが漏れないように構成してある。
【００２７】
一方、この内筒体４の基端開口からは、先端を斜めにカットした円柱状をなす試料保持体６がスライド可能に挿入されて該開口を封止してある。この試料保持体６の外側周面には第２シール材７（例えばＯリング）が巻回してあり、該試料保持体６の外側周面と前記内筒体４の内側周面との間からガスが漏れないように構成してある。
【００２８】
かかる試料搬送器２は、前述したように、元素分析装置１における試料投入口１ｂの上部所定取付位置に取り付けられるが、この実施形態では、該試料搬送器２と前記元素分析装置１との間に、図１、図３、図４に示す中間体８を介在させている。
【００２９】
この中間体８は、概略板状をなすもので、その底面が元素分析装置１の試料投入口１ｂを覆うように取り付けられる。一方、その上面には、保持部たる断面半円形状の凹溝８ａが設けてあり、この凹溝８ａに前記試料搬送器２の被保持部たる底面半部が嵌まり込んで保持される。
【００３０】
この中間体８には、上端が前記凹溝８ａに開口し下端が底面に開口した、厚み方向に貫通する中間路８ｂが形成してある。該中間体８は、前記中間路８ｂの下端開口が前記試料投入口１ｂに重合するように元素分析装置１に取り付けられる一方、前記試料搬送器２は、その外筒体３に形成した前記下貫通孔３ｂが、前記中間路８ｂの上端開口に重合するように、前記中間体８に取り付けられる。
【００３１】
また、この中間体８の側面には、不活性ガス（パージガス）を導入するためのパージガス導入ポート８ｃが設けてあり、このパージガス導入ポート８ｃが、内部に形成したパージガス導入路８ｄを介して前記中間路８ｂに連通するように構成してある。
【００３２】
次に、このように構成した試料搬送器２の使用方法ないし動作について説明する。
例えば、大気に触れるとすぐに酸化する等、反応性の高い測定試料を分析する場合に、この試料搬送器２が用いられる。したがって、測定試料を試料搬送器２に収容するには、内部を不活性ガスで充満させた、測定試料の収納されているグローブボックス（図示しない）内でその操作を行う。
【００３３】
まず、図２に示すように、内筒体４を、その試料導入口４ａ及び試料導出口４ｂが、外筒体３の上貫通孔３ａ及び下貫通孔３ｂにそれぞれ重合する位置（開成位置）にスライドさせる。このスライド操作は、例えば、内筒体４の外側周面から、軸方向に延びる外筒体３のスリットＳを貫通して突出させた操作ピンＰを動かすことによって行う。なお、このスリットＳは、開成位置において周方向に折曲するロック部Ｓ１に繋がっており、このロック部Ｓ１に前記操作ピンＰを嵌入させることによって、内筒体４を前記開成位置から軸方向には自然には動かないように構成してある。
【００３４】
一方、試料保持体６は、その先端斜めカット面が上を向くように内筒体４の内部に挿入されており、ばねＱの弾性力によってその先端が内筒体４の先端壁４１に当接し、試料保持体６の先端部外側周面が、前記試料導出口４ｂを内側から覆うとともに、試料導入口４ａは覆わない状態となっている。
【００３５】
この状態で、測定試料を、外筒体３の上貫通孔３ａ及び内筒体４の試料導入口４ａを介して、上方から収容室２ａに導入する。導入された測定試料は、試料保持体６の先端斜めカット面と内筒体４の先端壁内面との間に嵌まり込んで保持されることとなる。
【００３６】
次に、操作ピンＰをスリットＳに沿って軸方向に動かし、図５に示すように、開成位置にある内筒体４を、その試料導入口４ａ及び試料導出口４ｂが、外筒体３の上貫通孔３ａ及び下貫通孔３ｂに非重合となる位置（閉止位置）にまでスライドさせる。この閉止位置では、前記試料導入口４ａ及び試料導出口４ｂが、外筒体３の内側周面及び前記一対のシール材５で気密に閉止され、測定試料を収容した収容室２ａが気密状態となる。また、この閉止位置においてもロック部Ｓ１が設けられており、このロック部Ｓ１に前記操作ピンＰを嵌入させることによって、内筒体４を自然には軸方向に動かないように構成してある。
このような状態にして、試料搬送器２をグローブボックスから取り出し、前記元素分析装置１に装着した中間体８に取り付ける。
【００３７】
そして、中間体８のパージガス導入ポート８ｃから不活性ガス（パージガス）を導入する。その結果、パージガスがパージガス導入路８ｄを通って中間路８ｂに流れ込み、さらに、それらに連通している元素分析装置１の試料投入口１ｂ、外筒体３の下貫通孔３ｂ及び上貫通孔３ａが正圧のパージガスで充満される。なお、下貫通孔３ｂと上貫通孔３ａとは、前記一対のシール材５間に形成されている、内筒体４の外側周面と外筒体３の内側周面との隙間で形成される流路を介して連通している。
【００３８】
その後、操作ピンＰを操作することにより、内筒体４を再度図２に示す開成位置に移動させる。このことによって、内筒体４の試料導入口４ａ及び試料導出口４ｂが、外筒体３の上貫通孔３ａ及び下貫通孔３ｂと連通する。このとき、前記上貫通孔３ａ及び下貫通孔３ｂは、前述したようにパージガスで充満しているから、内筒体４の試料導入口４ａ及び試料導出口４ｂもパージガス雰囲気下におかれ、これらから外気（大気）が収容室２ａ内に侵入してくることはない。
【００３９】
そして、図６に示すように、試料導入口４ａを内側から覆っていた試料保持体６を、その基端部に設けたつまみ６１をばね力に逆らって引っ張ることによって移動させると、先端斜めカット面に保持されていた測定試料が、試料導出口４ｂから、下貫通孔３ｂ及び中間路８ｂからなる連通路を通り、さらに試料投入口１ｂを通過して、るつぼＲに投入される。このときも、測定試料のこれら通り道は全てパージガスで充満されているから、測定試料が外気に一瞬たりとも晒されることはない。
【００４０】
このように本実施形態によれば、測定試料を外気に一切晒すことなく、確実にるつぼＲに投入することができる。したがって、反応性の高い例えば電池材料などの分析精度を向上させることができるようになる。
また、グローブボックスで元素分析装置１の全体を覆うといった実現性の乏しいものではなく、安価かつコンパクトな構造での実現が可能である。
さらに、既存の元素分析装置１に試料搬送器２を取り付けるだけなので、元素分析装置１そのものを改造するといった手間も必要ない。
【００４１】
特にこの実施形態では、中間体８を設けているので、中間体８の元素分析装置１に対する取付形状を変更するだけで、種々の元素分析装置１に共通の試料搬送器２を用いることができるようになる。
【００４２】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。例えば、パージガスを、中間体８のパージガス導入路８ｄから供給するのではなく、前述した元素分析装置１の内部流路から、試料投入口１ｂを介し、下貫通孔３ｂに向かってパージガスを供給してもよい。この場合、元素分析装置１に元来設けられている内部流路を利用できるという利点はあるが、元素分析装置１内を流れるパージガスの流量が増え、分析に悪影響を及ぼす場合がある。これに対し前記実施形態のように、中間体８にパージガス導入路８ｄを設け、元素分析装置１に供給されるパージガスとは独立してパージガスを導入するようにすれば、パージガスの流量制御が容易になり、分析精度も従来どおり担保できる。
【００４３】
パージガス導入路８ｄは、図７に示すように試料搬送器２の外筒体３に設けて良い。この例でのパージガスは導入路８ｂは、外筒体３の側面から前記一対のシール材５間に形成されている内筒体外側周面と外筒体内側周面との隙間に開口させてあり、パージガスはこの隙間を通って下貫通孔３ｂに流入し、そこから試料投入口（図示しない）に導かれる。また、この図示例では、外筒体３を直方体状にして、中間体８を介することなく、直接元素分析装置１に取り付けられるようにしてある。この図７に示す例は、試料搬送器と中間体とを一体に形成した例とも考えることができる。そうすると、前記下貫通孔３ｂは、試料投入口１ｂと内筒体の試料導出口（図示しない）とを連通させる連通路となるが、この連通路にパージガス導入路８ｄを接続してもよい。
【００４４】
試料搬送器２における下貫通孔３ｂと上貫通孔３ａとは、対向する位置に必ずしも設ける必要はなく、図８に示すように、軸方向にずらしても良い。
このとき、外筒体３の上貫通孔３ａと内筒体４の試料導入口４ａとが重合する位置が、収容室２ａへの試料導入位置である。
また、その隣の位置が、外筒体３の上貫通孔３ａ及び下貫通孔３ｂのいずれもが内筒体４の試料導入口４ａ及び試料導出口４ｂに連通しない前記閉止位置である。
また、その隣における外筒体３の下貫通孔３ｂと内筒体４の試料導出口４ｂとが重合する位置が前記開成位置となる。
【００４５】
この図示例では、内筒体４の両端を閉塞し、前記試料保持体６は設けないようにして構造の簡略化を図っている。ただし、前記実施形態では、試料保持体６を設けて収容室２ａ内で測定試料が内筒体４の試料導出口４ｂに嵌まり込まないようにしているので、内筒体４を移動させても測定試料が安定して保持されるのに対し、試料保持体６を設けないこの図示例では、試料導出口４ｂに測定試料が嵌まり込み、内筒体４を移動させた際に、外筒体３の内側周面に測定試料が摺動して磨耗し、その磨耗粉がシール材５に噛み込んで円滑なスライドが阻害されたり、気密性が悪化するといった不具合が生じ得る。
【００４６】
また、閉止体は外筒体のみならず、図示しないが、試料導出口を開閉可能に封止する蓋体でも構わない。この場合、元素分析装置に取り付けた状態で、蓋体ごと、例えば管体で気密に覆ってしまい、管体を通じて試料投入口と蓋体又は試料導出口が連通するようにして、この間に正圧のパージガスを導くようにすればよい。
その他、本発明は前記各実施形態に限られない。その各部分構成を組み合わせるなど、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１００・・・元素分析システム（試料分析システム）
１・・・元素分析装置（試料分析装置）
１ｂ・・・試料投入口
２・・・試料搬送器
２ａ・・・収容室
３・・・外筒体（閉止体）
４・・・内筒体（収容体）
４ａ・・・試料導入口
４ｂ・・・試料導出口
８ｄ・・・パージガス導入路８ｄ
Ｒ・・・るつぼ
【図１】
0006560491.tif 000002
【図２】
0006560491.tif 000003
【図３】
0006560491.tif 000004
【図４】
0006560491.tif 000005
【図５】
0006560491.tif 000006
【図６】
0006560491.tif 000007
【図７】
0006560491.tif 000008
【図８】
0006560491.tif 000009