(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホーニング加工装置（１０１，１０３）に装着され、被加工部材（Ｗ１，Ｗ３）の孔の内周面（Ｗ１１，Ｗ３１）にホーニング加工を施す加工ツールであって、
中空円筒状をなし、内部空間と外部空間とを半径方向で連通させる連通部（２１１，２２１，２３１）を有する外筒部（２１，２２，２３）と、
前記外筒部に対して前記外筒部の軸線（Ｃ）方向に相対移動可能かつ一体に回転可能に前記外筒部の内側に挿入される内側シャフト（３１，３３）と、
前記内側シャフトの外周に前記内周面に対向して配置され、砥石面（４２１）、前記砥石面に形成される排出溝（６１，６２，６３，６４）を有し、前記内周面を加工する加工部（４１，５１）と、
前記内側シャフトに設けられ、前記内側シャフトの挿入方向（Ａ）に先細りした形状をなし、前記内側シャフトが前記外筒部に対して前記挿入方向にスライドしたとき、前記加工部を前記連通部に挿通させて前記外筒部の径外方向に押し出すように前記加工部とテーパ面（３１４）で接触するテーパコーン部（３１２，３３２，３３４）と、
前記テーパコーン部よりも前記挿入方向側に前記内側シャフトに一体に設けられ、前記内側シャフトが前記挿入方向とは反対側の退出方向（Ｂ）にスライドしたとき、前記加工部を前記退出方向に付勢可能に、前記加工部の前記挿入方向側の端面（４３３，５１２）に当接する当接部（３１３）と、
を備え、前記外筒部において前記連通部の前記退出方向側の端面は、前記退出方向に向かうほど前記軸線に近づくように、前記軸線と直交する仮想平面（Ｖ）に対して傾斜した第１傾斜面（２１２，２２２）として形成され、
前記加工部において前記第１傾斜面と対向する端面は、前記内側シャフトが前記退出方向にスライドしたとき、前記第１傾斜面に摺接して前記外筒部の径内方向に移動可能に、前記退出方向に向かうほど前記軸線に近づくように、前記仮想平面に対して傾斜した第２傾斜面（４３２，５１１）として形成され、
前記加工部は、前記内側シャフトの外周に放射状に複数配され、
前記当接部は、一つの前記加工部に当接する羽根状部位を前記加工部の個数分有している加工ツール。
【請求項２】
前記当接部は、前記軸線と直交する平面（３１５）を有する板状部材である請求項１に記載の加工ツール。
【請求項３】
前記排出溝（６１，６２）は、前記軸線方向に対して斜めをなしている請求項１または請求項２に記載の加工ツール。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の加工ツールと、
前記加工ツールを先端に備える回転主軸（１）と、
前記回転主軸を前記内周面の軸回りに回転駆動させる主軸回転駆動部（２）と、
前記回転主軸を前記内周面の軸方向に往復移動させる主軸往復駆動部（３）と、
前記内側シャフトを前記外筒部に対して相対的に前記外筒部の前記軸線方向に往復移動させる内側シャフト往復駆動部（４）と、
前記主軸回転駆動部、前記主軸往復駆動部、及び前記内側シャフト往復駆動部を制御する制御部（５）と、
を備える加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばホーニングツール、及びホーニング加工装置のように、被加工部材の孔の内周面を加工する加工ツール、及び加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えばシリンダブロックのボアなどワークに設けた孔の内周面に窪み加工を施す場合には、ワークを回転させて専用の刃具を用いて加工する旋削加工により行っていた。こうした刃具による加工では、刃具の一点または一線が被加工面に接触するため、跳ね返りによる逃げが生じやすい。また、刃具が摩耗するにつれて、逃げが次第に大きくなり、窪み加工の精度が低下するため、定期的に刃具を交換する必要があった。
【０００３】
しかし、上記旋削加工では刃具が摩耗するのが早いため、刃具の交換頻度が高く、加工コストが高くなっていた。さらに、交換に時間を要し、ワークの加工処理効率が低下するという問題が生じていた。
【０００４】
そこで、例えば特許文献１に記載されるように、旋削加工ではなく、砥石を用いたホーニング加工を施す加工装置が知られている。この加工装置では、ホーニングツールに回転と往復運動を与えることにより、ホーニングツールの砥石をテーパコーン部により拡張させながら、ワーク内周面に加工を行う。テーパコーン部の下降に伴って砥石台金が拡張し、砥石面が内周面に押し付けられる。また、テーパコーン部の上昇に伴って、リングばねの内側への付勢作用により砥石台金が中心方向に戻るようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１１４３４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、特許文献１に記載の加工装置では、砥石及び砥石台金を元の位置に戻すためにリングばねが必要であり、部品点数が増加することで装置構成が煩雑になるという問題が生じていた。
【０００７】
本発明は、このような点に鑑みて創作されたものであり、その目的は、簡易な構成で、被加工部材の孔の内周面に例えば窪み等の加工を効率良く行うことが可能な加工ツール及び加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の加工ツールは、ホーニング加工装置（１０１，１０３）に装着され、被加工部材（Ｗ１，Ｗ３）の孔の内周面（Ｗ１１，Ｗ３１）にホーニング加工を施す加工ツールであって、外筒部（２１，２２，２３）と、内側シャフト（３１，３３）と、加工部（４１，５１）と、テーパコーン部（３１２，３３２，３３４）と、当接部（３１３）と、を備える。
【０００９】
外筒部は、中空円筒状をなし、内部空間と外部空間とを半径方向で連通させる連通部（２１１，２２１，２３１）を有する。内側シャフトは、外筒部に対して外筒部の軸線（Ｃ）方向に相対移動可能かつ一体に回転可能に外筒部の内側に挿入される。加工部は、内側シャフトの外周に内周面に対向して配置され、砥石面（４２１）、砥石面に形成される排出溝（６１，６２，６３，６４）を有し、内周面を加工する。
【００１０】
テーパコーン部は、内側シャフトに設けられ、内側シャフトの挿入方向（Ａ）に先細りした形状をなし、内側シャフトが外筒部に対して挿入方向にスライドしたとき、加工部を連通部に挿通させて外筒部の径外方向に押し出すように加工部とテーパ面（３１４）で接触する。当接部は、テーパコーン部よりも挿入方向側に内側シャフトに一体に設けられ、内側シャフトが挿入方向とは反対側の退出方向（Ｂ）にスライドしたとき、加工部を退出方向に付勢可能に、加工部の挿入方向側の端面（４３３，５１２）に当接する。
【００１１】
外筒部において連通部の退出方向側の端面は、退出方向に向かうほど軸線に近づくように、軸線と直交する仮想平面（Ｖ）に対して傾斜した第１傾斜面（２１２，２２２）として形成されている。
【００１２】
加工部において第１傾斜面と対向する端面は、内側シャフトが退出方向にスライドしたとき、第１傾斜面に摺接して外筒部の径内方向に移動可能に、退出方向に向かうほど軸線に近づくように、仮想平面に対して傾斜した第２傾斜面（４３２，５１１）として形成されている。加工部は、内側シャフトの外周に放射状に複数配され、当接部は、一つの加工部に当接する羽根状部位を加工部の個数分有している。
【００１３】
本発明の構成によれば、内側シャフトが退出方向にスライドしたとき、当接部が加工部の端面に当接する。加工部は当接部により退出方向に付勢され、さらに加工部の第２傾斜面が第１傾斜面に沿って滑るよう摺接して、加工部が外筒部の径内方向に引き込まれる。すなわち、内側シャフトの退出方向への移動に伴い、自動的に加工部を外筒部内の元の位置に復帰させることができる。このように、ばね等の部材を用いることなくシンプルな構造で加工を施すこができる。
【００１４】
また、孔の内周面に窪みを形成する窪み加工において、加工部が砥石面を有するホーニング砥石である場合には、特に刃具を用いた旋削加工と比較して刃具の摩耗による交換頻度を低減でき、加工処理効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態によるホーニング加工装置を示す全体模式図。
【図２】図１のＩＩ部拡大図であって、ホーニングツールの一部を示す軸方向断面図。
【図３】加工中のホーニングツールを示す平面図。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線断面図。
【図５】第１実施形態によるホーニング加工装置による窪み加工中の一態様を示す図。
【図６】第１実施形態によるホーニング加工装置による窪み加工中の一態様を示す図。
【図７】第１実施形態によるホーニング加工装置による窪み加工中の一態様を示す図。
【図８】第１実施形態によるホーニング加工装置による窪み加工中の一態様を示す図。
【図９】本発明の第２実施形態による電解加工装置の一部を示し、特に電解加工ツールの先端を模式的に示す軸方向断面図。
【図１０】電解加工ツールを示す平面図。
【図１１】他の実施形態によるホーニング加工装置、特にホーニングツールの先端を示す模式図。
【図１２】他の実施形態において、ホーニング加工装置による窪み加工中の態様を示す模式図であり、（ａ）は窪みが形成される前を示し、（ｂ）は窪みが形成された後を示す。
【図１３】他の実施形態によるホーニング加工装置、特にホーニングツールの先端を示す断面模式図。
【図１４】他の実施形態による砥石面に形成される溝を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。
〈第１実施形態〉
［構成］
本発明の第１実施形態の加工装置としてのホーニング加工装置１０１について、図１〜図４を参照しつつ説明する。図１に示すように、本実施形態のホーニング加工装置１０１は、回転主軸１、主軸回転駆動部２、主軸往復駆動部３、内側シャフト往復駆動部４、ツール取付部５、制御部６、及びホーニングツール１１を主に備えている。ホーニング加工装置１０１は、ホーニングツール１１を回転及び軸方向に往復動させつつ、その外周に設けた砥石４２（図２参照）を径方向に移動させて、被加工部材としてのワークＷ１の孔の内周面Ｗ１１に所定の圧力で押し当てることにより窪み加工を施すものである。
【００１７】
なお、以下の説明において、ホーニングツール１１が回転主軸１に取り付けられる側であり図１〜図４に示す上側を軸方向の基端側、下側を軸方向の先端側として説明する。なお、図３では、ワークＷ１は省略し、ホーニングツール１１のみを示している。
【００１８】
まず、ホーニングツール１１の構成から説明する。図２に示すように、ホーニングツール１１は、外筒部２１、内側シャフト３１、及びホーニング砥石４１を主に備えている。外筒部２１は、中空円筒形状をなし、軸方向の先端寄りには、側面視矩形状のスリット２１１が、周方向等間隔に放射状に３つ形成されている。連通部としてのスリット２１１は、外筒部２１の内部空間と外部空間とを半径方向で連通させる。
【００１９】
スリット２１１は、後述するホーニング砥石４１を径方向へ突出及び退出可能に保持する。外筒部２１においてスリット２１１の基端側の端面は、基端側に向かうほど軸線Ｃに近づくように、径方向に延びる仮想平面Ｖに対して傾斜した第１傾斜面２１２として形成されている。なお、外筒部２１の軸線ＣとワークＷの内周面Ｗ１１の軸線とは一致している。
【００２０】
内側シャフト３１は、外筒部２１の内部空間に収容されている。内側シャフト３１は、円柱棒状をなす本体部３１１と、テーパコーン部３１２と、当接板３１３とを、軸方向の基端から先端側に連続して有している。本体部３１１の径は、外筒部２１の内部空間の径より僅かに小さく、内部空間内を摺動案内されるように構成されている。
【００２１】
テーパコーン部３１２は、基端側から先端側に向けて径が徐々に小さくなる先細りした形状をなし、外面がテーパ面３１４として形成されている。当接部としての当接板３１３は、円形状をなす板状部材であり、円形状をなす平面３１５を軸線に直交する方向に一致させて、図示しないねじによりテーパコーン部３１２に一体に設けられている。なお、ねじを用いず、テーパコーン部３１２と当接板３１３とを一体成形により形成しても良い。当接板３１３の径は、本体部３１１の径と略同じに形成されている。
【００２２】
加工部としてのホーニング砥石４１は、テーパコーン部３１２の外周に、周方向等間隔に３つ設けられている。ホーニング砥石４１は、砥石４２と、砥石台４３とを有し、これらが一体に接合されている。ホーニング砥石４１の外形形状は、スリット２１１の開口形状と略同じである。
【００２３】
砥石台４３は、軸方向断面が四角形状をなす柱状部材であり、例えば、アルミニウム等の金属材料で構成されている。砥石台４３の径方向外側の側面は、軸線Ｃと略平行に延びており、砥石４２が一体に接合されている。砥石台４３の軸線Ｃ側の側面は、テーパコーン部３１２のテーパ面３１４と平行な受圧面４３１とされている。
【００２４】
砥石台４３の軸方向基端側の面は、スリット２１１の第１傾斜面２１２と略平行な傾斜をなす第２傾斜面４３２とされている。すなわち、第２傾斜面４３２は、第１傾斜面２１２と同様に基端側に向かうほど軸線Ｃに近づくように、径方向に延びる仮想平面Ｖに対して傾斜している。砥石台４３の軸方向先端側の面４３３は、軸線Ｃに直交している。
【００２５】
砥石４２は、例えば微少なダイヤモンド砥粒による超砥粒研削砥石であり、所謂電着砥石とされている。砥石４２の外周面は、ワークＷ１の内周面Ｗ１１に施される窪み１４（図７参照）の形状に対応した砥石面４２１を形成している。
【００２６】
図２において矢印に示す挿入方向Ａへの内側シャフト３１の挿入動作により、テーパ面３１４がホーニング砥石４１の受圧面４３１に摺動係合することで、ホーニング砥石４１が径外方向へ押し出さて外筒部２１のスリット２１１から突出し、砥石面４２１がワークＷ１の内周面Ｗ１１を押圧するようになっている。
【００２７】
また、矢印に示す退出方向Ｂへの内側シャフト３１の退出動作により、当接板３１３が砥石台４３の先端面４３３に当接し砥石台４３を基端側へ持ち上げるように付勢する。これに伴い砥石台４３の第２傾斜面４３２が外筒部２１の第１傾斜面２１２に摺接することで、ホーニング砥石４１が径内方向へ引き戻されて外筒部２１内に収容されるようになっている。
【００２８】
再び、図１を参照する。上記ホーニングツール１１は、ホーニング加工装置１０１が備える回転主軸１の先端の取付部５に着脱可能に取り付けられる。主軸回転駆動部２は、例えばモータで構成され、このモータの駆動に伴い、回転主軸１に接続された外筒部２１と内側シャフト３１の両方を含むホーニングツール１１が軸線Ｃ回りに回転するようになっている。主軸往復駆動部３は、例えば油圧シリンダで構成され、この油圧シリンダの駆動に伴い、ホーニングツール１１が軸線Ｃに沿って移動するようになっている。
【００２９】
内側シャフト往復駆動部４は、例えば油圧シリンダで構成され、ホーニングツール１１の内側シャフト３１に接続している。この油圧シリンダの駆動に伴い、内側シャフト３１は外筒部２１に対して相対的に軸線Ｃ方向に移動可能となっている。
【００３０】
主軸回転駆動部２、主軸往復駆動部３、及び内側シャフト往復駆動部４は、制御部６に接続している。制御部６により、主軸回転駆動部２及び主軸往復駆動部３によるホーニングツール１１の回転駆動と直線移動、及び内側シャフト往復駆動部４による砥石４２の押し付け圧の増減のタイミングを同時に制御できるようになっている。
【００３１】
［作用］
次に、本実施形態のホーニング加工装置１０１による窪み加工について図２及び、図５〜図８を参照して説明する。まず、図２に示すように、ホーニング加工装置１０１のホーニングツール１１が、加工対象となるワークＷ１の孔に挿入される。すなわち、主軸往復駆動部３が駆動されることでホーニングツール１１が孔内の加工位置まで移動される。
【００３２】
次に、図５に示すように、内側シャフト往復駆動部４が駆動されることで、内側シャフト３１が外筒部２１に対して矢印Ｅ１方向に相対的に移動される。このとき、上記したようにテーパコーン部３１２のテーパ面３１４と受圧面４３１との摺接を介して、内側シャフト３１の押し下げ力が矢印Ｅ２に示すように径外方向への押圧力として砥石台４３に伝達される。
【００３３】
そして、図６に示すように、所定の押圧力が維持されつつ砥石面４２１が内周面Ｗ１１に当接した状態で、外筒部２１が矢印Ｅ３に示すように回転移動され、かつ矢印Ｅ４に示すように往復移動される。この回転移動と往復移動が連続的に繰り返されることで、内周面Ｗ１１が全周に亘って研削され、図７に示すように、砥石面４２１の形状に対応した窪み１４が内周面Ｗ１１に形成される。
【００３４】
こうして研削が終了したら、矢印Ｅ５に示す退出方向Ｂに内側シャフト３１が移動される。内側シャフト３１の退出方向Ｂへの移動開始時には、テーパコーン部３１２のテーパ面３１４と砥石台４３の受圧面４３１との間には隙間Δが形成されている。内側シャフト３１が退出方向Ｂに移動し、当接板３１３が砥石台４３の先端面４３３に当接したとき、砥石台４３の第２傾斜面４３２が外筒部２１の第１傾斜面２１２に当接する。さらに、内側シャフト３１が退出方向Ｂに移動されることで、砥石台４３の第２傾斜面４３２が外筒部２１の第１傾斜面２１２に摺接し、ホーニング砥石４１が図８に矢印Ｅ６に示すように径内方向に引き込まれる。
【００３５】
引き込まれた後は、テーパコーン部３１２のテーパ面３１４と砥石台４３の受圧面４３１との隙間Δは無くなり、ホーニング砥石４１は外筒部２１の外径内に収容される。ホーニング砥石４１が外筒部２１内に収容された状態で、ホーニングツール１１が退出方向Ｂに移動され、ワークＷ１の孔から外へ移動される。
【００３６】
［効果］
第１実施形態のホーニング加工装置１０１の効果について説明する。第１実施形態では、内側シャフト３１に一体に当接板３１３を設け、さらに外筒部２１の第１傾斜面２１２と砥石台４３の第２傾斜面４３２とを、軸線Ｃと直交する径方向に延びる仮想平面Ｖに対して傾斜させている。これにより、内側シャフト３１が退出方向Ｂに移動されることに伴い、自動的にホーニング砥石４１が外筒部２１のスリット２１１内に収容されるようになっている。加工時に径外方向へ突出した砥石４２が、窪み１４の軸方向端部に引っかかることもなく、ホーニングツール１１を滑らかにワークＷ１の孔から引き出すことができる。
【００３７】
さらに、ホーニング砥石４１を径内方向に戻すためのばね等の付勢部材を用いる必要もなく、ホーニングツール１１の構成を簡易な構成とすることができる。また、刃具による旋削加工に比較して、刃具費削減によるコスト低減を図ることができ、さらにサイクルタイムを短くして効率的に窪み加工を行うことができる。
【００３８】
また、上記では窪み加工を例に説明したが、例えば孔の仕上げ加工であれば、砥石４２の突出量や内周面Ｗ１１への押し付け圧を調整することで、一つのホーニングツール１１を用いて任意の孔径に加工することができる。
【００３９】
〈第２実施形態〉
次に、本発明の第２実施形態の加工装置としての電解加工装置１０２について、図９、図１０を参照して説明する。なお、第１実施形態と実質的に同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。第２実施形態の電解加工装置１０２は、電解加工により、ワークＷ１の孔の内周面Ｗ１１に窪み加工を施すものである。
【００４０】
電解加工装置１０２の内側シャフト３１の構成については第１実施形態と同様である。電解加工装置１０２は、加工ツールとしての電解加工ツール１２を備え、ホーニング砥石４１に代えて、電極５１を有している。図１０に示すように、電極５１は、内側シャフト３１の外周に等間隔に８つ設けられている。
【００４１】
内側シャフト３１が挿入方向Ａに外筒部２２に対して相対的に移動したとき、電極５１の受圧面５１３とテーパコーン部３１２のテーパ面３１４とが摺接する。外筒部２２には、電極５１を径方向に突出退入可能に保持する側面視矩形状のスリット２２１が、周方向等間隔に放射状に８つ形成されている。第１傾斜面２２２及び第２傾斜面５１１の構成及び作用は第１実施形態と同様である。
【００４２】
第２実施形態においても、内側シャフト３１が挿入方向Ａに移動されることで電極５１が径外方向に拡張し、内側シャフト３１が退出方向Ｂに移動されることで電極５１が自動的に径内方向へ引き戻される。
【００４３】
ワークＷ１の孔内には電解液Ｓが満たされており、加工時、電極５１は図示しない陰極に接続され、ワークＷ１は図示しない陽極に接続される。電解加工時には、加工ツールが矢印Ｅ７に示すように回転した状態で、電極５１が陰極に電位され、ワークＷ１が陽極に電位されて、電解液を介して電極５１と内周面Ｗ１１との間に発生する電流によりワークＷ１の内周面Ｗ１１に窪み加工が施される。
【００４４】
本実施形態によれば、内側シャフト３１の挿入量を調整し、電極５１とワークＷ１との距離を一定に保つことで、電解加工精度を向上させることができる。
【００４５】
〈第３実施形態〉
次に、本発明の第３実施形態のホーニング加工装置１０３について、図１１を参照して説明する。第３実施形態のホーニング加工装置１０３では、ワークＷ３の内周面Ｗ３１に軸方向に離隔した複数（本実施形態では２つ）の環状の窪み１４を加工する。なお、第１実施形態と実質的に同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
【００４６】
ホーニングツール１３が有する内側シャフト３３は、第１本体部３３１と、第１テーパコーン部３３２と、第２本体部３３３と、第２テーパコーン部３３４と、当接板３１３とを、軸方向の基端から先端側に連続して有している。すなわち、本実施形態では、テーパコーン部３３２，３３４が軸方向に離隔して２つ設けられている。
【００４７】
各テーパコーン部３３２，３３４の外周には、ホーニング砥石４１が、周方向等間隔に各３つ設けられている。外筒部２３には、各ホーニング砥石４１に対応する位置に、スリット２３１が形成されている。すなわち、スリット２３１は、軸方向同位置に放射状に３つと、これら３つのスリット２３１と軸方向に離隔した位置に放射状に３つ、合計６つ形成されている。
【００４８】
本実施形態によれば、退出方向Ｂへの内側シャフト３３の退出動作により、第２本体部３３３の退出方向Ｂ側の端面３３５が砥石台４３の先端面４３３に当接する。すなわち、第２本体部３３３の退出方向Ｂ側の端部が当接板３１３と同様の機能を奏する。
本実施形態においては、多段窪み加工において、第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００４９】
〈他の実施形態〉
上記各実施形態における加工装置１０１，１０２，１０３は、例えば、図１２に示すように、孔の内周面Ｗ４１がテーパ状になっているワークＷ４に対して窪み加工をする場合にも適応できる。図１２では、第１実施形態のホーニング加工装置１０１を用いた加工を示している。孔の入り口の径Ｄ１は、孔の底部の径Ｄ２より小さく、幅狭となっている。入り口の径Ｄ１が外筒部２１の外径より大きく、砥石４２が内周面Ｗ４１に押圧可能であれば、上記実施形態と同様の作動により窪み１６を加工することができる。なお、第２実施形態の電解加工装置１０２を用いた加工の場合には、電極５１と内周面Ｗ１１とが離間した状態で加工される。
【００５０】
上記第１実施形態において、図１３に示すように、砥石台５３の先端面を傾斜面５３１に形成し、当接板３１６の基端面を傾斜面３１７に形成しても良い。傾斜面５３１，３１７は、先端側に向かうほど軸線Ｃに近づくように傾斜する。この場合、外筒部２４のスリット２４１の先端面２４２も対応した傾斜面として形成する。この構成によれば砥石台５３を退出方向側へより確実に移動させやすくすることができる。
【００５１】
その他、当接板３１３は、砥石台４３または電極５１に当接して砥石台４３または電極５１を退出方向または退出方向より軸線Ｃ側に斜めの方向へ付勢することができれば良く、板状及び断面円形状に限らず種々変更可能である。例えば、一つの砥石台４３に当接する羽根を、砥石台４３の個数分有する羽根形状であっても良い。また、平面３１５を有さず、砥石台４３や電極５１に点接触または線接触で当接するものであっても良い。
【００５２】
上記第１実施形態及び第３実施形態の砥石面４２１に、研削屑を排出するための排出溝を形成しても良い。例えば、図１４（ａ）、図１４（ｂ）に示すように軸方向に対して斜めをなす溝６１，６２、図１４（ｃ）に示すようにクロス状をなす溝６３、図１４（ｄ）に示すように軸方向に平行な溝６４、等を形成することができる。なお、図１４における上下方向が軸方向と一致する。
【００５３】
上記実施形態では、ホーニング加工装置１０１，１０３及び電解加工装置１０２に本発明の加工装置を適用したが、その他の加工装置に適用することができる。例えば、砥石４２の代わりにブラシを設け、窪みのバリ取り加工装置や磨き加工装置、当接板３１３にドリル形状を設け、ドリル加工を同時に行う装置、砥石４２の代わりにチップ等の刃具を設けて加工する装置等に適用することができる。
【００５４】
上記各実施形態では、環状の窪み１４を形成する加工としたが、窪み１４の形状はこれらに限定されず、砥石面４２１または電極５１の形状を変更することで種々の形状とすることが可能である。さらに、砥石４１や電極５１の形状に合わせて、スリット２１１，２２１，２３１の形状も変更可能であって、例えば側面視形状が細長い楕円形状であっても良い。また、砥石４２及び電極５１の数は、３つや８つに限定されることなく、１つやその他複数個設ける構成としても良い。
【００５５】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【００５６】
１１    ・・・ホーニングツール（加工ツール）
２１    ・・・外筒部
２１１    ・・・スリット（連通部）
２１２    ・・・第１傾斜面
３１    ・・・内側シャフト
３１２    ・・・テーパコーン部
３１３    ・・・当接板（当接部）
４１    ・・・ホーニング砥石（加工部）
４３２    ・・・第２傾斜面
１０１    ・・・ホーニング加工装置
Ｃ    ・・・中心軸（軸線）
Ｗ１    ・・・ワーク（被加工部材）
Ｗ１１    ・・・内周面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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