(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料物質を検査するためのマイクロチャンバであって、前記試料物質は、マイクロチャンバを満たす場合に液体に浸され、前記マイクロチャンバは、前記試料物質を保持する検査空間を有し、前記検査空間は：
・第１剛性層と、
・前記第１剛性層から隔てられた第２剛性層と、
・前記第１及び第２剛性層の間の気密封止と、
により規定され、前記試料物質が浸されている液体で前記マイクロチャンバを満たす前に：
・少なくとも一方の剛性層の薄い部分は前記検査空間を外部から分離し、
・前記薄い部分は穿孔されるように設けられ、及び
・前記検査空間は真空の空間であり、
前記試料物質が浸されている液体は、前記薄い部分に配置されている場合に、前記薄い部分が穿孔されると前記検査空間の中に吸い込まれる、マイクロチャンバ。
【請求項２】
前記マイクロチャンバは、放射に対して透過的であるウィンドウを備え、その結果、前記放射は前記ウィンドウを通じて前記検査空間に出入りすることが可能であり、前記放射は、赤外光、可視光、紫外光、Ｘ線、エネルギー電子、中性子による群のうちの放射である、請求項１に記載のマイクロチャンバ。
【請求項３】
前記マイクロチャンバは放射に対して透過的な２つのウィンドウを備え、第１ウィンドウは第１剛性層に備わり、第２ウィンドウは第２剛性層に備わり、各ウィンドウは、一方のウィンドウを介して前記検査空間に入る放射が他方のウィンドウを介して前記検査空間を去ることができるように互いに位置付けられ、これにより前記放射に対する前記試料物質の透過性検査を可能にする請求項２に記載のマイクロチャンバ。
【請求項４】
前記マイクロチャンバは、放射に対して透過的であるウィンドウを備え、前記放射は、赤外光、可視光、紫外光、Ｘ線、エネルギー電子、中性子による群のうちの放射である、請求項１に記載のマイクロチャンバ。
【請求項５】
前記気密封止がエラストマーによって形成されている、請求項１に記載のマイクロチャンバ。
【請求項６】
前記気密封止は、前記第１及び第２剛性層を互いに結合することによって形成されている、請求項１に記載のマイクロチャンバ。
【請求項７】
前記第１及び第２剛性層は、互いに１０μｍ未満だけ隔てられている、請求項１に記載のマイクロチャンバ。
【請求項８】
前記第１及び第２剛性層のうちの少なくとも一方は半導体チップである、請求項１に記載のマイクロチャンバ。
【請求項９】
試料物質を検査するために請求項１に記載のマイクロチャンバを充填する方法であって：
・請求項１に記載のマイクロチャンバを提供するステップと、
・液体に浸されている試料物質を提供するステップと、
・試料物質が浸されている液体の滴を、前記マイクロチャンバの前記薄い部分に配置するステップと、
・前記薄い部分を穿孔するステップと、
・前記試料物質を検査するステップと、
を有する方法。
【請求項１０】
前記薄い部分を穿孔した後であって検査の前に、前記方法は、前記試料物質が浸されている液体を蒸発させるステップを有する請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記薄い部分を穿孔した後であって検査の前に、前記方法は、前記の穿孔を密封するステップを有する請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記試料物質の検査は、赤外光、可視光、紫外光、Ｘ線、エネルギー電子、中性子による群からの放射に前記試料物質をさらすことを含み、前記放射が試料に到る際に通るウィンドウは、前記放射に対して透過的である、請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
前記試料物質の検査は、前記試料物質により放出される放射を検出することを含み、前記放射は、赤外光、可視光、紫外光、Ｘ線、エネルギー電子、中性子による群からのものであり、前記放射が検出される際に通るウィンドウは、前記放射に対して透過的である、請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
前記薄い部分を穿孔した後であって前記試料物質の検査の前に、前記方法は、前記マイクロチャンバ及びその中の前記試料物質をガラス化するステップを有する請求項９に記載の方法。
【請求項１５】
試料物質を検査するための方法であって：
検査空間を有するマイクロチャンバを提供するステップであって、前記検査空間は、第１剛性層及び前記第１剛性層から隔てられた第２剛性層と、前記第１及び第２剛性層の間の気密封止とにより規定され且つ真空にされ、少なくとも一方の剛性層は、穿孔されるように設けられる薄い部分を有する、ステップ； 
液体に浸されている試料物質を提供するステップ；
試料物質が浸されている液体の滴を、前記マイクロチャンバの前記薄い部分に配置するステップ；
前記薄い部分を穿孔することにより、前記試料物質を含む液体を前記マイクロチャンバに入れるステップ；及び
前記試料物質を検査するステップ；
を有する方法。
【請求項１６】
前記マイクロチャンバは、放射に対して透過的であるウィンドウを有し、前記放射は、赤外光、可視光、紫外光、Ｘ線、エネルギー電子、中性子による群のうちの放射である、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記第１及び第２剛性層はそれぞれウィンドウを備え、前記ウィンドウは前記試料物質が前記ウィンドウ間に配置されるように配置され、前記試料物質の検査は前記試料物質を通過した放射を検出することを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記試料物質の検査は、前記試料物質から放出される放射を検出することを含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１９】
前記試料物質を検査する前に、前記試料物質が含まれている液体を蒸発させるステップを更に含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項２０】
前記試料物質を検査する前に、前記マイクロチャンバ及び包含されている前記試料物質をガラス化するステップを更に含む、請求項１５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料物質を検査するためのマイクロチャンバに関連し、試料物質(sample  material)は、マイクロチャンバを液体で満たす場合に液体に浸され、マイクロチャンバは：
・試料物質を保持する検査空間を有し、検査空間は：
・第1剛性層と、
・第1剛性層から隔てられた第2剛性層と、
・第1及び第2剛性層の間の気密封止と、を有する。
【０００２】
そのようなマイクロチャンバは、国際公開WO2006031104A1号等により知られている。この公知文献は、顕微鏡で使用するためのマイクロリアクタを述べており、マイクロリアクタは、第1及び第2剛性層を有し、剛性層は何れも電子顕微鏡の電子ビームに対して少なくとも局所的に透明であり、互いに対して或る相互距離で互いに隣接し且つ検査空間が囲まれるように延在する。(ここでは「チップ」又は「ウェファ」と呼ばれる)剛性層同士の隔たりは、典型的には10μm未満であり、数十ナノメートルの範囲にあってもよい。マイクロチャンバは、検査空間に対して試料物質を供給するための入口及び出口を更に有する。
【０００３】
マイクロリアクタの欠点は、検査空間を液体で満たして試料物質を浸すために、入口と液体供給部との間にコネクションが形成されなければならず、出口と真空ポンプとの間にコネクションが形成されなければならないことである。しばしば毛管力は十分に存在し得るが、それは、液体や、懸濁(suspension)における試料物質の量などに依存する点に留意を要する。したがってこれはしばしば当てにすることができない。マイクロチャンバのサイズは小さいので(典型的には、3x3mm2未満)、安定したコネクションを形成することは困難であり、時間を費やすプロセスとなってしまう。
【発明の概要】
【０００４】
本発明の課題は、革新的なマイクロリアクタを提供することである。より具体的には、本発明の課題は、上記の欠点を伴うことなく、そのマイクロリアクタが試料物質で占められるようにすることである。
【０００５】
これら及び他の目的は冒頭で言及したようなマイクロリアクタであって、以下の特徴を有するマイクロリアクタにより達成され、検査チャンバを液体で充填して試料物質を浸す前に：
・少なくとも1つの剛性層の薄い部分が、検査空間を外部から分離し、
・薄い部分は穿孔されるように設けられ、及び
・検査空間は空にされた空間であり、
その結果、液体及び浸された試料物質は、薄い部分に配置されている場合、薄い部分が穿孔されると検査空間の中に吸い込まれる。
【０００６】
この文脈において、試料物質を浸すこと(immersion)は、懸濁、乳濁、コロイド等を含んでよいことに留意を要する。「検査(inspection)」という用語が使用される場合、それは「観察(observation)」と同義である場合がある。
【０００７】
検査空間を予め空にし(真空化し)、その後に薄い部分を穿孔することにより、毛管力を当てにすることなく或いは外部ポンプコネクションを必要とすることなく、試料物質を浸していた液体は検査空間の中に吸い込まれる。薄い部分の穿孔は容易であり、そのような薄い部分を製造することは、半導体技術を利用すれば困難なことではない(この点については、後述する)。従って、本マイクロチャンバは、課題に対する、安価で簡易で高信頼性の解決手段を提案する。
【０００８】
以下の文献は、試料がそれぞれ0.5μmの厚さのアルミニウム層の間に保持され、それらの層は一緒に保持されるマイクロチャンバを開示していることに留意を要する：L.  Marton,  “Electron  Microscopy  of  Biological  Objects”,  Nature  133  (1934),  page  911。層を利用することは、層の間の分離が明確でないことを包含する。
【０００９】
米国特許US5,406,087は、2つの層を利用する同様なマイクロチャンバを説明しているが、そこでの薄膜は好ましくはポリマー層であることに更に留意を要する。
【００１０】
WO2006031104A1で説明されているマイクロチャンバに類似するマイクロチャンバは、以下の文献(以下、Creemer[-1-]と言及される)で説明されていることにも留意を要する：“An  all-in-one  nanoreactor  for  high-resolution  microscopy  on  nanomaterials  at  high  pressures”,  J.F.  Creemer  et  al.,  proceeding  of  MEMS  2011,  Cancun,  Mexico,  January  23-27,  2011。この場合における構造は、単独のシリコンチップ(第1剛性層)上に構築される。先ず、チップ上に犠牲層が形成され、その上に他の剛性層が形成される(第2剛性層)。第2剛性層の形成後に、犠牲層はウェットエッチで除去される。第1剛性層において、犠牲層及び第2剛性層ホールが形成され、必要に応じて、第1及び第2剛性層を一緒に封止又は結合し、入口及び出口の孔を設け、透明ウィンドウを形成し、ウェットエッチに必要なアクセスホールを設ける等々を行う。最終的なステップの1つとして、アクセスホールは、別の材料層を(局所的に)堆積することにより塞がれる。
【００１１】
以下の文献(以下、Mele[-2]と言及される)では、製造の途中で、空にされるチャンバを有するマイクロリアクタが説明されている(図5(c))：“Wafer-level  assembly  and  sealing  of  a  MEMS  nanoreactor  for  in  situ  microscopy”,  L.  Mele  et  al.,  J.  Micromech.  Microeng.  20  (2010)  085040。しかしながら、最終製品は口の開いた入口及び出口を有しており(図5(d))、従ってこの文献は真空化された検査空間を有するマイクロリアクタを開示していない。
【００１２】
一実施形態において、マイクロチャンバは、放射に対して透過的であるウィンドウを備え、その結果、放射はそのウィンドウを通じて検査空間に出入りすることが可能である。
【００１３】
剛性層は、試料を検査するために使用される種類の放射に対して透過的であってもよい。そうでない場合、例えば、電子に対して透過的なウィンドウを使用する場合、凹部の形状のウィンドウが形成され、その凹部又はウィンドウは電子に対して透過的であるが、剛性層の残りの部分は電子に対して相対的に透過的ではない又は全く透過的ではなく、或いは、凹部は薄い薄膜のみを残す。これは、例えば、シリコン中の凹部にあるシリコン窒化物又はそれに類似するものによる薄膜であってもよい。
【００１４】
この場合における「透過的(transparent)」という言葉は、ウィンドウを通過する場合に、放射の10％未満(より好ましくは、1％未満)が散乱又は吸収される場合に使用されることに留意を要する。
【００１５】
更なる実施形態では、マイクロチャンバは放射に対して透過的な2つのウィンドウを備え、第1ウィンドウは第1剛性層に備わり、第2ウィンドウは第2剛性層に備わり、各ウィンドウは、一方のウィンドウを介して検査空間に入る放射が他方のウィンドウを介して検査空間を去ることができるように互いに位置付けられ、これにより試料物質のトランスミッシブ検査(transmissive  inspection)を可能にする。
【００１６】
2つのウィンドウをそのように整合させることで、放射は2つの剛性層を経由して通過することができる。
【００１７】
更に別の実施形態では、放射は、赤外光、可視光、紫外光、X線、エネルギー電子、中性子による群からの放射であり、エントランスウィンドウはその放射に対して透過的である。
【００１８】
例えばUVを試料に照射することにより、試料物質において蛍光を誘起することが可能である。好ましくは、ウィンドウは或る範囲内の放射に対して透過的であるが、マイクロチャンバがUVに対して透過的な入口ウィンドウと可視光に対して透過的な観察ウィンドウとを備えることは排除されない。
【００１９】
別の実施形態では、気密封止がエラストマーによって形成される。
【００２０】
2つの剛性層をOリングにより互いに封止することにより、安定した封止が形成される。Oリングは金属酸化物とともにコーティングされてもよく、この点については例えば欧州特許出願公開第EP2722566号に示されている。Oリングは剛性層の双方又は一方の凹部に適合させてもよい。
【００２１】
更に別の実施形態では、気密封止が、第1及び第2剛性層を互いに結合することによって形成される。
【００２２】
2つの剛性層をボンディング(結合)することにより、気密封止が形成される。ボンディングは、半導体技術で良く知られた技術であり、マイクロチャンバを形成するために半導体プロセスを利用することが可能である。ボンディングは、2つのガラスをともに接続する方法としても知られており、その場合、ガラス基板が剛性層として使用されることが可能である。
【００２３】
更に別の実施形態では、第1及び第2剛性層は、互いに10μm未満(好ましくは、2.5μm未満)だけ隔てられる。
【００２４】
Mele[-2-]で説明されているマイクロチャンバの間隔は2μmであり、Creemer[-1]で説明されているマイクロチャンバの間隔は例えば0.5μmである。
【００２５】
一実施形態では、剛性層のうちの少なくとも一方は半導体チップである。
【００２６】
上記のWO2006031104A1で説明されているマイクロチャンバは2つのサンドイッチ構造の半導体チップを利用しており、Creemer[-1]及びMele[-2-]で説明されているマイクロチャンバは1つの半導体チップを利用しており、その半導体チップ上に第2剛性層が形成される。
【００２７】
本発明の一形態において、本発明によりマイクロチャンバを充填する方法は：
・  上記の何れかの請求項に従ってマイクロチャンバを提供するステップと、
・  液体に浸された試料物質を提供するステップと、
・  浸された試料物質を伴う液体の滴を、マイクロチャンバの薄い部分の上に配置するステップと、
・  薄い部分を穿孔するステップと、
・  試料物質を検査するステップと、
を有する方法である。
【００２８】
本方法の一形態では、薄い部分を穿孔するステップの後に、孔を塞ぐステップが続く。
【００２９】
孔を塞ぐことは、液体の蒸発が避けられるべき場合に有利である。液体は水だけでなく、例えば、アルコールその他の大きな蒸発率の他の液体であってもよい。例えば蜜蝋(bee  wax)のような封止剤が使用されてもよく、或いは、シアノアクリル接着剤(cyanoacrylic  glue)やエポキシ等のようなジェルが使用されてもよい。
【００３０】
別の実施形態では、試料物質を検査するステップに先行して、試料物質を浸していた液体が蒸発させられる。
【００３１】
試料物質が真空中で検査されるべき場合(例えば、電子顕微鏡のような場合)、検査の前に液体を除去し、液体が、検査に使用される放射の散乱を引き起こすことができないようにすることが望ましい。液体を除去することは、例えば、ウィンドウが穿孔されているマイクロチャンバを、長時間にわたって真空にさらすことによって行われることが可能である。試料物質が乾燥状態で検査されるべき場合も、液体は除去されるべきである。蒸発は、マイクロチャンバを真空にさらすことにより、あるいは、マイクロチャンバを加熱することにより達成されることが可能である。
【００３２】
検査が真空中で実行される場合には、薄い部分が真空にさらされる場合に液体の一部が押し戻されることを避けるために、蒸発法が好ましい点にも留意を要する。代替例として、薄い部分は上述したように再び密閉されてもよい。
【００３３】
本方法の別の実施形態では、試料物質の検査は、赤外光、可視光、紫外光、X線、エネルギー電子、中性子による群からの放射に試料物質をさらすことを含み、放射が試料に到る際に経由するウィンドウは、その放射に対して透過的である。
【００３４】
本方法の更に別の実施形態では、試料物質の検査は、試料物質により放出される放射を検出することを含み、その放射は、赤外光、可視光、紫外光、X線、エネルギー電子、中性子による群からのものであり、放射が検出される際に経由するウィンドウはその放射に対して透過的である。
【００３５】
試料を照射する放射は、しばしば、検出される放射と相違することに留意を要する。具体例は、UV光を照射すること、及び、UVにより誘起される蛍光を検出することであり、例えば蛍光は緑色光(可視光)である。そのような別の例は、電子の照射がいわゆるカソードルミネッセンスを引き起こすことであり、カソードルミネッセンスは検出されるべき可視光を放射する。
【００３６】
更に別の実施形態では、マイクロチャンバ(及び従ってマイクロチャンバ内の試料物質)が、ガラス化される検査(inspection  vitrified)の前におけるものである。
【００３７】
ガラス化は既存のプロセスであり例えば、生物学的なサンプルが(例えば、約135K未満の)低温で急速に冷却されるようなプロセスである。冷却が十分に急速である場合(例えば、105K/sの大きさのオーダーである場合)、氷の結晶を形成せずに及び氷の結晶に起因する試料への損傷なしに、アモルファス氷が形成される。より低い冷却速度で同様な結果を達成するために、高圧凍結が使用されてもよい。
【００３８】
以下、本発明は例示的な実施形態及び添付図面に基づいて詳細に説明され、図中、同様な参照番号は同様な特徴を示す。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】図1はマイクロチャンバを概略的に示す。
【図２】図2は試料物質が検査される時点におけるマイクロチャンバを概略的に示す。
【図３】マイクロチャンバを利用する方法例のフローチャートを示す。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
図1はマイクロチャンバを概略的に示す。
【００４１】
検査空間(又は検査体積)101は、第1剛性層102A+102B、第2剛性層103A+103B、及び、気密封止104により規定される。
【００４２】
第1剛性層はシリコンチップ102Aにより形成され、シリコンチップ102A上には薄膜(例えば、窒化シリコン)102Bが形成される。シリコンチップ102Aにおいては、放射に対して透過的なウィンドウ106Bが形成されるように、凹部108が形成される。Mele[-2-]で説明されているような薄い(ナイトライド)層の厚みは15nmであり、広範囲に及ぶ放射に対してウィンドウを透過的にする。
【００４３】
第2剛性層103A+103Bは同様にシリコンチップ103Aにより形成され、シリコンチップ上には薄膜(例えば、窒化シリコン)103Bが形成される。シリコンチップ103Aにおいては、放射に対して透過的なウィンドウ106Aが形成されるように、凹部107が形成される。
【００４４】
第2剛性層は別の凹部109を有し、薄い部分105が検査空間を外部から分離する。薄い部分は容易に孔を開けられる(又は穿孔される)。
【００４５】
気密封止104は、2つのチップをともに結合するために使用される。ボンディングが真空中でなされる場合、その後に封止される検査空間は、真空化又は空にされた検査空間となる。
【００４６】
マイクロチャンバは複数のウィンドウと、シリコンナイトライド層の変形(「起伏(bulging)」を避けるための別の構造(Creemer[-1-]では「pillars」と言及されている)と、温度を制御する一体化されたヒーター素子(例えば、高温での検査を可能にする)とを有してよいことに、留意を要する。
【００４７】
背中合わせにした2つのチップを密閉する代わりに、Mele[-2-]により説明されているプロセスを利用してマイクロチャンバを形成することも可能である点に留意を要する。当業者は多くの変形例を見出すであろう。剛性層がシリコンであることは必須ではなく、他の種類の半導体材料或いは例えばガラスのような他の材料であってもよいことに更に留意を要する。後者は、可視光の検査のみが望まれる場合に特に有益である。同様に、薄い層は別の材料で形成されてもよい。ポリマー(プラスチック)は、X線を利用する検査に使用されることが可能である。封止は、製造される製品固有の部分とすることが可能であり(例えば、Mele[-2-])、ボンディングとして形成されることも可能であるが(例えば、Creemer[-1-])、例えばOリングの形態やエポキシ接着剤のような形態を採用してもよい。
【００４８】
図2は、試料物質が挿入された時点におけるマイクロチャンバを概略的に示す。
【００４９】
図1において既に示されている段落で例示及び説明されているマイクロチャンバは、ここでは試料物質203を含む液体202の滴201を担っている。ニードル204は、薄い部分105を穿孔するために準備され、穿孔の後、滴は検査空間101の中に吸い込まれる。
【００５０】
専用のニードルで薄い部分を孔開けすることに対する代替例として、試料物質を含有する液体を充填した注射器は、注射器を薄い部分から僅かに移動させながら、先ず僅かな液体を絞り出すことによって、注射器が凹部に液体を適用した後に、薄い部分を穿孔するために使用され、その後、(試料物質を含む滴を介して)薄い部分が延びる方向で注射器を動かすことにより、薄い部分を穿孔するために注射器を使用することが可能である点に留意を要する。利点は、液体を適用する注射器が、穿孔用のニードルのために場所を空けるように除去される必要はないことである。
【００５１】
図3はマイクロチャンバを利用する方法例を示す。
【００５２】
ステップ301では、マイクロチャンバが提供される。
【００５３】
ステップ302では、浸された試料物質を含む液体が提供される。浸された試料物質を含む液体は、(細胞又はその一部分、酵素などのような)生体物質を含む水であってもよいし、生体物質は自然形態におけるものであってもよいし、或いは、染色又はマーカーでマーキング等がなされていてもよい。試料物質を含む液体は、浸された固体粒子を含む液体であってもよく、液体は水でもよいし或いは溶媒(アルコール、アセトン等)であってもよいし、固体粒子は例えば結晶、研磨された鉱物などであってもよい。
【００５４】
ステップ303では、試料物質が浸っている液体が、マイクロリアクタの薄い部分の上に配置される。
【００５５】
ステップ304では、薄い部分が穿孔される。これにより液体は一方の側で大気圧にさらされ、他方の側で真空にさらされ、滴が真空の検査空間の中に吸い込まれる結果となる。このステップは、例えば大気圧のように、マイクロチャンバ内の真空部分よりかなり高い圧力の環境で実行される必要がある点に留意を要する。上述したように、穿孔は、(図1に示されるように)専用のニードルで形成されることが可能であり、或いは、前段のステップで浸される試料物質に適用するために使用される注射器により形成されることが可能である。
【００５６】
選択的なステップ305において、液体が除去され、検査空間内に試料物質のみを残す。液体の除去は、マイクロリアクタを温めること、或いは、マイクロリアクタを真空チャンバ内に又は少なくとも減圧されたチャンバ内に配置することを含む。
【００５７】
選択的なステップ306において、薄い部分の穿孔は密封される。特に、真空中で検査する場合(例えば、電子顕微鏡での場合)、電子顕微鏡の真空チャンバへの蒸気の進入及び液体の蒸発を回避するため、及び/又は、試料物質の望まれない乾燥を回避するため、孔を塞ぐ必要がある。密封は、蜜蝋を加えること、(例えば、シアノアクリル接着剤のような)接着剤又はエポキシベースの樹脂を加えること等を含むことが可能である。
【００５８】
選択的なステップ307において、マイクロリアクタ(及びその中の試料物質)はガラス化される。低温電子顕微鏡観察におけるガラス化は、氷の結晶が形成されないほど速やかに水を凍らせるプロセスである。これは、典型的には、約135K未満の温度に対して約105K/sの速度で水を冷却することを意味する。ガラス化は電子顕微鏡で使用されており、その理由は、例えば酵素や細胞の細胞小器官などのような生理学的サンプルに対する放射のダメージが、高温よりも低温での方が少ないからである。
【００５９】
ステップ308において、試料物質が検査される。検査は、試料物質を光(可視光又はUV)にさらし、(光学顕微鏡により又は蛍光により)構造の配置を決定すること、或いは、X線検査、或いは、電子顕微鏡による検査、或いは、(時間的に順番に又は同時に行う)それらの組み合わせを含んでよい。
【００６０】
改善された検査のために、フォーカスされたイオンビームミリングのように、マイクロチャンバの材料をミリングして除去することにより、ウィンドウが作成可能であることに留意を要する。特に、ガラス化された試料を検査する場合、大気圧の氷及び組み込まれた試料物質のみが、(電子)ビームを散乱する。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【００６１】
【非特許文献１】J.F.  Creemer  et  al.,  “An  all-in-one  nanoreactor  for  high-resolution  microscopy  on  nanomaterials  at  high  pressures”,  proceeding  of  MEMS  2011,  Cancun,  Mexico,  January  23-27,  2011.
【非特許文献２】L.  Mele  et  al.,  “Wafer-level  assembly  and  sealing  of  a  MEMS  nanoreactor  for  in  situ  microscopy”,  J.  Micromech.  Microeng.  20  (2010)  085040.
【図１】
0006483063.tif 000002
【図２】
0006483063.tif 000003
【図３】
0006483063.tif 000004