(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
単一パイプの中で、３つ以上の流れている成分流を合流させて、混合スラリー及び／又は化学ブレンドを形成する混合モジュールを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置であって、
前記混合モジュールは、各成分流用のパイプと、混合モジュールポンプとを備え、
前記成分流が、原料スラリー、水、１つ以上の化学成分、１つ以上の水と混合された化学成分、一部混合スラリー、完全混合スラリー、一部混合化学ブレンド、及び完全混合化学ブレンドから選択され、前記パイプにおける前記成分流が前記混合モジュールポンプの上流、且つ２フィート（０．６１メートル）の範囲内で前記単一パイプに連結され合流し、
前記混合モジュールポンプの上流が、前記単一パイプに合流される第１のパイプ及び第２のパイプの第１の連結部、及び第３のパイプ及び第４のパイプの第２の連結部を含み、前記第１の連結部は、前記混合モジュールポンプにさらに近接しておりかつ２フィート以内であり、前記第１の連結部において、前記第１のパイプは１つ以上の水と混合された化学成分を含む第１の成分流を含み、前記第２のパイプは原料スラリーを含む第２の成分流を含み、前記第１の成分流は前記第２の連結部から流動し、前記第２の連結部では、前記第３のパイプの第３の成分流及び前記第４のパイプの第４の成分流が合流して前記第１の成分流を形成し、前記第３の成分流は水を含み、前記第４の成分流は１つ以上の化学成分を含んでおり、前記第２のパイプ、前記第３のパイプ及び前記第４のパイプはこれらの内部の成分の流量をコントロールする流動コントローラをこれらの内部に含む、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項２】
前記混合モジュールがさらに、前記第１の成分流のための前記第１のパイプ内にスタティックミキサーを備えた、請求項１に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項３】
完全混合スラリー、又は完全混合化学ブレンドの少なくとも１つの流れを前記混合モジュールの中に流動させる少なくとも１つの成分パイプを、前記混合モジュールがさらに備えた、請求項１又は２に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項４】
前記混合モジュールと流体連通する分析モジュールをさらに備え、前記混合モジュールポンプの下流での、前記混合スラリー及び／又は化学ブレンドの流れの少なくとも一部分が、前記分析モジュール内に流動し、これにより分析される、請求項１〜３のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項５】
分配モジュールをさらに備え、前記混合モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンドの流れの少なくとも一部分が、前記分配モジュールに輸送される、請求項１〜４のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項６】
流体連通する、分配モジュールと分析モジュールとをさらに備え、前記混合モジュールが、前記分析モジュール及び前記分配モジュールと流体連通し、混合モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンドの流れの少なくとも一部分が、前記分析モジュールへ流動し、前記分析モジュールからの流れの少なくとも一部分が、前記分配モジュールに流動する、請求項１〜３のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項７】
前記分配モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンドの流れの少なくとも１部分が前記混合モジュールへ、前記混合モジュールにおいて混合される更なる成分流として輸送される、請求項５又は６に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項８】
前記分配モジュールが分配タンクを備え、前記分配モジュールからの、前記混合スラリー又は化学ブレンドの流れが、前記分配タンクから前記混合モジュールへ輸送される、請求項７に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項９】
前記スラリー及び／又は化学ブレンド装置が分配モジュール及び分析モジュールをさらに備え、そして、前記分配モジュールがさらに、１つ以上のサンプルポートと、それぞれがスラリー及び／又は化学ブレンドを分析モジュールに提供する、前記１つ以上のサンプルポートに流体連通する、１つ以上のチューブ又はサンプルループとを備え、そして、前記分析モジュールが、インライン液体粒子計数器、粒度分布分析器、ｐＨセンサー、過酸化水素センサー、密度センサー、及び伝導度センサーからなる群から選択される１つ以上の分析装置を備えた、請求項１〜３のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項１０】
前記スラリー及び／又は化学ブレンド装置がさらに送出モジュールを備え、前記送出モジュールが、第１のポンプと、原料スラリーを保持する少なくとも１つの送出タンクとを備え、前記第１のポンプが、前記送出タンク中に原料スラリーをスラリー供給容器から輸送し、前記送出モジュールが、少なくとも１つの循環ループと、少なくとも１つの送出タンクに連結された前記少なくとも１つの循環ループ内の第２のポンプとをさらに備え、前記第２のポンプが、前記原料スラリーを前記送出タンクから前記循環ループを通じて前記送出タンクへ圧送して戻し、前記循環ループがさらに、混合モジュールがスラリーを混合している場合に、循環ループからの原料スラリーの一部分のみを前記混合モジュールへ供給するパイプを備え、前記循環ループがさらに、弁を含む背圧コントローラーと、循環ループ内の圧力を測定する圧力センサーとを備え、循環ループ内の圧力センサーで測定された圧力に基づいて前記背圧コントローラー内の弁を調整し、前記循環ループ全体通じて連続的に循環する原料スラリーを維持する、請求項１〜９のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項１１】
前記送出モジュールがさらに、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器を備える、請求項１０に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項１２】
前記スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置が、前記原料スラリー又は前記混合スラリーから、大きい又は小さい粒子を除去する、１つ以上のフィルターエレメント、１つ以上のメンブレン、又はその他の処理手段をさらに備えた、請求項１０又は１１に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項１３】
１つ以上のろ過器コンポーネントをさらに備え、前記ろ過器コンポーネントが、少なくとも１つの流量コントローラー、又は少なくとも１つのポンプの上流に位置する、請求項１〜１２のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項１４】
前記スラリー及び／又は化学ブレンド装置がさらに、少なくとも１つの送出タンク、又は少なくとも１つの分配タンクを備え、前記少なくとも１つの送出タンク又は前記少なくとも１つの分配タンクが、前記少なくとも１つの送出タンク又は前記少なくとも１つの分配タンクの底に１つ以上のエダクターを備え、前記少なくとも１つの送出タンク又は前記少なくとも１つの分配タンクが、１つ以上の側壁を備え、前記１つ以上のエダクターに連結されたパイプをさらに備え、前記１つ以上のエダクターに連結された前記パイプが、前記少なくとも１つの送出タンク又は前記少なくとも１つの分配タンクの底で側壁を貫通している、請求項１〜７及び９のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項１５】
分配モジュールを備えた前記スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置が、１つ以上の分配タンクと、１つ以上のポンプと、１つ以上の大域ループとを前記分配モジュール内に備え、前記分配モジュール内の、前記１つ以上の分配タンクと前記１つ以上のポンプと前記１つ以上の大域ループとが流体連通しており、前記分配モジュール内の前記１つ以上の大域ループにおける混合スラリー及び／又は化学ブレンドが、連続的に又はほぼ連続的に、前記分配モジュール内の前記１つ以上の大域ループの少なくとも１つにおいて循環する、請求項５、６、７又は９に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項１６】
前記１つ以上の大域ループが、前記混合スラリー及び／又は化学ブレンドを、前記分配モジュール内の前記大域ループにおいて連続的に又はほぼ連続的にろ過する１つ以上のフィルターエレメントを備え、前記１つ以上のフィルターエレメントが、前記分配モジュール内の１つ以上の大域ループと流体連通するツールの上流にある、請求項１５に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項１７】
前記スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置がさらに、送出タンクと、ポンプと、循環ループとを送出モジュール内に備えた前記送出モジュールを備え、前記送出モジュール内の前記送出タンクと前記ポンプと前記循環ループとが流体連通しており、さらに、前記送出モジュール内の前記循環ループにおける原料スラリーが、連続的に又はほぼ連続的に循環している、請求項１５又は１６に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
【請求項１８】
原料スラリーをスラリー供給容器から、スラリー及び／又は化学ブレンドの供給装置の送出モジュールの一部分である送出タンクに圧送する工程を含む、請求項１〜１７のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の使用。
【請求項１９】
原料スラリーを混合モジュールへ提供し、スラリーを混合し、前記分配モジュール内の大域ループにスラリーを供給するための、混合スラリーを１つ以上のＣＭＰ又はその他のツールに提供するための、及び／又は、スラリーを分析モジュールに提供するための、請求項１〜１７のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の使用。
【請求項２０】
化学ブレンドを混合するための、化学ブレンドを分配モジュール内の大域ループに提供するための、化学ブレンドを１つ以上のＣＭＰ又はその他のツールに提供するための、及び／又は、化学ブレンドを分析モジュールに提供するための、請求項１〜１７のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連特許
本特許出願は、２０１３年１１月４日に出願された米国特許出願第６１／８９９，５６０号、２０１３年８月２日に出願された米国仮出願第６１／８６１，７３９号、２０１３年３月１８日に出願された米国仮出願第６１／８０２，９５０号、及び２０１２年１１月１３日に出願された米国仮出願第６１／７２５，８６３号の利益を主張し、これらはすべて、同様な表題「スラリー供給及び／又は化学ブレンド供給装置、使用方法、及び製造方法」を有し、それぞれの内容は、本明細書により、あたかも完全に記載されたものとして参照により援用される。
【背景技術】
【０００２】
現代の半導体電子装置、例えば集積回路チップは、半導体基板上に、材料及び部品の複数の積層を形成することにより形成される。半導体装置は典型的には、基板上に形成された多くの電気的能動部品を組み込んでいる。金属伝導体のインターコネクトは、いくつかの実施形態では銅から形成されていることがあり、様々な付加的なパターニング及び堆積プロセス、例えばダマシン及びデュアルダマシンにより形成され、誘電材料の１つ以上の層内に形成した回路パス又はトレースにより能動素子を、電気的に１つに結合する。現代の半導体作製は、プロセス工程の反復手順が必要であり、それらには、材料（導電性及び非導電性誘電材料）の堆積、誘電材料内のフォトリソグラフィーによる回路パターニング、及び材料の除去、例えば積層された半導体装置構造を段階的に形成する、エッチング及びアッシングが挙げられる。
【０００３】
化学機械研磨又は平坦化（「ＣＭＰ」）は、均一な表面プロファイル、又は次に続く材料層をその上に形成しうる形状を提供するために、半導体作製において、基板上に形成した層の平坦化に使用される技術である。当業者には周知であるとおり、ＣＭＰは基本的には、研磨用の化学スラリーの供給を受ける研磨装置の使用が必要であり、化学スラリーには、研磨剤、例えばコロイド状の二酸化ケイ素、アルミナ、脱イオン水、及び化学溶媒、又は酸化剤、例えば過酸化水素、カリウム、又は水酸化アンモニウムが含有されていることがある。スラリーは典型的には、圧力下でＣＭＰステーションに、スラリー供給システムにより圧送され、半導体ウェーハの表面上に直接塗布される。スラリーはその後、ウェーハ表面上に、回転する研磨パッド又はヘッドにより擦り込まれ、表面を研磨／平面化する。
【０００４】
化学機械平坦化に使用されるスラリーは、３つの範疇に分けられることがあり、それらの範疇には、シリコン平坦化スラリー、誘電体研磨スラリー、及び金属研磨スラリーが含まれる。シリコン研磨スラリーは、ポリシリコン層を研磨し平坦化するように設計されている。シリコン研磨スラリーは、典型的にはスラリー内の粒子の割合を、１〜１５重量パーセントの範囲で含むことができる。酸化物研磨スラリーは、半導体ウェーハ上に形成された誘電層を研磨及び平坦化するのに使用してもよい。酸化物研磨スラリーは典型的には、スラリー内の粒子の割合を、１〜１５重量パーセントの範囲内で有する。半導体ウェーハ上の導電層は、化学機械研磨及び金属研磨スラリーを使用して研磨及び平坦化してもよい。金属研磨スラリーにおける粒子の割合は、１〜５重量パーセントの範囲内であってもよい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
多くのスラリー組成物は、混合スラリーであって、スラリー粒子、水、及び少なくとも１つの化学成分を含む原料の又は濃縮されたスラリーの混合物を含むものである。原料スラリー（濃縮スラリーと称してもよいもの）の例には、ヒュームドシリカ及びコロイド状シリカ、アルミナ、並びにセリアが挙げられる。ＣＭＰスラリーに使用してもよい化学成分の例には、酸、塩基、界面活性剤、及び酸化剤が挙げられる。原料スラリー、及び／又は水、及び／又は１つ若しくは複数の化学成分を含む混合スラリーの多くは、保存期間が長くなく、そしていったん混ぜ合わせると、使用しなければ数時間内に劣化が始まることがあり、従って、混合スラリーの成分をツールのそばで混ぜ合わせて、いったん混ぜ合わせたら、混合スラリーを２４時間未満の間に使用する必要がある。
【０００６】
スラリーは、コロイド、つまり液体中に粒子の懸濁したものである。液体中の粒子の懸濁は、原料スラリーに加えられる成分、具体的には化学成分、及び混合スラリーを構成する成分を加える方法や順序によって、悪影響を受けることがある。スラリーはまた、液体中での粒子の分散を保つために、動かし続けている必要がある。また、スラリーは時間と共に劣化するので、その特徴をチェックして、必要であればそれらを調整することが重要である。
【０００７】
さらに、半導体及びその他の業界では、洗浄用及び表面調整用化学ブレンドが必要であり、これらはスラリー粒子を含まないが、化学ブレンドが混合して所望により均一性を保つためには、化学ブレンドを使用前のわずかの時間に混合して動かさなければならないものである。
【０００８】
エレクトロニクス工場は、半導体部品のサイズと生産量を増加させ続けている。比較的大量の及び／又は一貫して混合されたスラリー及び／又は化学ブレンドを供給することができる装置が必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、装置、方法、及び装置を製造するプロセスを設計しており、そして装置及び方法は、スラリー及び／又は化学ブレンドを混合して、ＣＭＰツール、及び半導体製造のその他の場所、又はその他の工場に配送するために、１つ以上の以下の利益：同一のスラリー及び／又は化学ブレンドを一貫して提供することと、スラリー及び／又は化学ブレンドの成分を注意深く混合して、混合スラリー及び／又は化学ブレンドを混ぜ合わせた結果として生じる、スラリー懸濁液及び／又は化学ブレンドへの負の影響を回避することと、多数のＣＭＰツール及び／又はその他のツールに、同一のスラリー及び／又は化学ブレンドを提供し、その提供が、更なるスラリー及び／又は化学ブレンドの要望に速やかに答える能力と、スラリー及び／又は化学ブレンドの特定の特徴をインラインでチェック（監視）する能力とを伴うものであることと、スラリー及び／又は化学ブレンド（例えば、混合スラリー及び／若しくは化学ブレンド、並びに／又は、原料スラリー及び／若しくは化学ブレンド、並びに／又は一部混合スラリー及び／若しくは化学ブレンド）を動いている状態に保ち、液体中のスラリー及び／又は化学ブレンド粒子の分散を保つことと、を提供する。いくつかの実施形態では、本装置は、使用場所で混合するためのものではない、すなわち、そのツール、又は限られた数のツール、例えば、２つ又は３つのツールに供給するためのツールに隣接して混合するためのものではない。
【００１０】
本発明の一実施形態では、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、少なくとも１つの、送出モジュール、及び／若しくは混合モジュール、及び／若しくは分析モジュール、及び/若しくは分配モジュールを、単独で、若しくはいずれかの組み合わせて、又は送出モジュール、及び/若しくは混合モジュール、及び／若しくは分析モジュール、及び／若しくは分配モジュールの態様を単独で、若しくはいずれかの組み合わせで、並びに／又は本明細書に開示され記載される本発明のその他の態様との組み合わせで備える。例えば、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、混合モジュールと分配モジュール、又は送出モジュールと混合モジュールと分配モジュール、又は分析モジュールと混合モジュール、又は送出及び分析モジュール等を備えていてもよい。
【００１１】
本発明は、単独で、又は本明細書のあらゆる場所で開示されている本発明のその他の態様又は実施形態のいずれかとの組み合わせで送出モジュールを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置をさらに提供する。スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、送出モジュールを備えていてもよく、前記送出モジュールは、少なくとも１つのポンプと、原料スラリーを保持する少なくとも１つの送出タンクとを備える。この装置、並びに／又はスラリー及び／若しくは化学ブレンドの供給装置の送出モジュールは、少なくとも１つのタンクに連結された少なくとも１つの循環ループを備えていても、又はさらに備えていてもよく、タンクは、送出タンク、及び分配タンクからなる群から選択されてもよく、循環ループにより、タンク内の原料スラリーを循環させる。スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、タンクに連結された循環ループを備えていても、又はさらに備えていてもよく、タンクは、送出タンク又は分配タンクであってもよく、前記循環ループは、タンクの底で又はその近傍でパイプに連結された、そしてスラリーをタンクに返送する返送パイプに連結されたポンプを備えていてもよい。スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、循環ループを備えていてもよく、循環ループは、背圧コントローラー、及び／又は流量センサー（ポンプの速度を調整するのに使用してもよいもの）、及び／又は圧力センサーを備えていてもよく、圧力センサーは、背圧コントローラー内の弁を調節するのに使用してもよく、そして、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置内のあらゆるタンクに連結されていてもよい。送出タンクに連結された循環ループを有する、あらゆるスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、少なくとも１つのパイプをさらに備えていてもよく、パイプは、循環ループに連結されていてもよく、循環ループは、スラリーを混合モジュールへ、送出タンクから循環ループを介して転送し、好ましくは前記循環ループからの前記スラリーの一部分を転送するものである。本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置のあらゆる送出モジュールの別の態様又は実施形態は、送出モジュールが少なくとも１つ又は２つ以上のポンプを備えていてもよいということである。本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置のあらゆる送出モジュールの別の態様又は実施形態は、少なくとも１つのポンプが、少なくとも１つの原料スラリーポンプ（第１のポンプ）を備えていてもよく、原料スラリーポンプは、原料スラリーを１つ以上のスラリー供給容器から圧送し、スラリーを少なくとも１つの送出タンクに移送するものであり、及び／又は、少なくとも１つのポンプは、少なくとも１つのポンプを備えていてもよく（そして第２のポンプであってもよく）、このポンプは、原料スラリーを、好ましくは連続的に循環ループ内で循環させる、及び／又は原料スラリーを混合モジュールへ供給するものであり、原料スラリーは、必要（すなわち混合モジュールからの要望）に応じて混合モジュールに提供されてもよい、ということである。
【００１２】
スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、本発明により提供され、本明細書に記載の態様又は実施形態のいずれか１つ以上との組み合わせであってもよく、送出モジュールを備え、送出モジュールはさらにインライン液体粒子計数器、及び／又は粒度分布分析器を備え、粒度分布分析器は、送出モジュール内の少なくとも１つ以上の場所から分析のためにスラリー及び／又は化学ブレンドサンプルを取り出す。本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、少なくとも１つのフィルターエレメントを備えて提供され、フィルターエレメントはフィルターループであってもよく、フィルターループは、ループ内に、パイプ、少なくとも１つのフィルターエレメント、及びポンプを備えている。本発明はさらに、送出モジュール、及び／又は混合モジュール、及び／又は分析モジュール、及び／又は分配モジュールの内に少なくとも１つのフィルター又はフィルターループ（パイプに連結されたもの）を提供する。本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、随意の送出モジュールを、記載された本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置のその他の実施形態のいずれかとの組み合わせで備えていてもよく、それらには、随意の、混合モジュール、及び／又は分析モジュール、及び／又は分配モジュール、及び／又はその他の態様、例えば、それら１つ以上の随意の送出、及び／又は混合、及び／又は分配モジュール内のタンク中に存在するエダクター、及び／又はろ過器、フィルター、フィルターループ、希釈器具、流れの誘導方向を変える制限オリフィス、スプリットミキサー等であって、それら１つ以上のモジュールのパイプに又はその中で連結されたものが挙げられる。
【００１３】
本発明は、単独で、又は本明細書で開示される本発明のその他の態様又は実施形態のいずれか１つ以上との組み合わせで、分析モジュールを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を、さらに提供する。スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、液体粒子計数器、粒度分布分析器、ｐＨセンサー、過酸化水素センサー、密度センサー、及び伝導度センサーからなる群から選択されてもよい１つ以上の分析装置を備えた分析モジュールを、単独で、又は送出モジュール、及び／又は混合モジュール、及び／又は分配モジュール、又は本明細書に記載の本発明のその他の態様、例えば、ろ過器、フィルター、フィルターループ、希釈器具、流れの誘導方向を変える制限オリフィス、スプリットミキサー等との組み合わせで、備えていてもよい。本発明は、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置（本発明のその他の態様又は実施形態のいずれか１つ以上との組み合わせであってもよいもの）を提供し、供給装置は（インライン）分析モジュールを備え、前記分析モジュールは、液体粒子計数器、粒度分布分析器、ｐＨセンサー、過酸化水素センサー、密度センサー、及び伝導度センサーからなる群から選択される分析装置の少なくとも１つのタイプの２つ以上を備え、好ましくは分析モジュールは、少なくとも２つのｐＨセンサーを備えている。単独での、又はその他の態様又は実施形態のいずれかとの組み合わせでの、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、１つ以上の分析モジュールを備えていてもよく、少なくとも１つの前記分析モジュールは、スラリー及び／又は化学ブレンドサンプルの単一及び／又は二重の希釈を（それぞれ）実行する、インラインの単一希釈設備及び／又はインラインの二重希釈設備をさらに備え、前記インライン希釈設備は、前記少なくとも１つの分析モジュール内の少なくとも１つの分析装置の上流に位置する。スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、単独で、又は本発明のその他の１つまたは複数の態様若しくは実施形態のいずれかとの組み合わせで、分析モジュールを含み、分析モジュールは、少なくとも１つの蠕動ポンプと、少なくとも１つの流量センサーと、希釈されたサンプル分析するのに先立って、スラリー及び／又は化学ブレンドサンプルを希釈するのに使用してもよい少なくとも１つのニードル弁とをさらに含み、所望により希釈器具をさらに含む。本発明はさらに、分析モジュールを備えた、単独での、又は本発明のその他の１つ以上の態様若しくは実施形態のいずれかとの組み合わせでの、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、前記分析モジュールは、１つより多い流量センサーと、１つより多いニードル弁と、１つより多い空気圧制御式の弁とを備え、所望により１つより多い希釈器具をさらに備え、希釈器具は、希釈されたサンプルを分析するのに先立って、スラリー及び／又は化学ブレンドサンプルを希釈するのに使用してもよいものである。本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、前記分析モジュールは、少なくとも１つの希釈器具を、単独で、又は本発明の１つ以上のモジュール又はその他の態様又は実施形態とともに備えていてもよく、前記少なくとも１つの希釈器具は、スラリー及び／又は化学ブレンド（流）及びＵＰＷ（流）を混合して、希釈されたサンプルを生成し、その後、希釈されたサンプルを分析することを目的としている。本発明は、分析モジュールを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を、単独で、又は１つ若しくは複数のその他の態様又は実施形態と組み合わせて提供し、分析モジュールはさらに、ｐＨセンサー、過酸化水素センサー、密度センサー、伝導度センサー、粒度分布分析器、及び液体粒子計数器からなる群から選択される少なくとも２つの分析装置と、ｐＨセンサー、過酸化水素センサー、密度センサー、伝導度センサー、液体粒子計数器、及び粒度分布分析器からなる群から選択される少なくとも１つ又は２つのその他の装置、好ましくは２つのｐＨセンサーとを備える。希釈されたあらゆるサンプルは、廃液流に送られることになる。希釈されていないあらゆるサンプルは、本発明のモジュールの１つに返送してもよい。
【００１４】
本発明は、混合モジュールを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供する。スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、混合モジュールを、単独で、又は、送出モジュール、及び／若しくは分析モジュール、及び／若しくは分配モジュール、及び／若しくは本発明の１つ若しくは複数のその他の実施形態のいずれか、及び／又は本発明の１つ若しくは複数の態様、からなる群から選択される１つ以上のモジュールとの組み合わせで、備えていてもよい。本発明は、パイプ中で２つ以上の流動成分流を合流させて、混合スラリー及び／若しくは化学ブレンド流、又は一部混合スラリー及び／若しくは化学ブレンド流を形成する混合モジュールを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供する。混合モジュールは、各成分流用のパイプと、各成分パイプ内に、成分の流速を制御する少なくとも１つの流量コントローラーとを備えていてもよく、前記成分パイプは、連結され合流して単一パイプになり、混合スラリー及び／又は化学ブレンド流れを形成する。前記流動成分流の少なくとも１つは、送出モジュール、好ましくは本発明に準拠した送出モジュールからの、前記原料スラリー及び／又は化学成分であってもよい。本発明は、３つ以上の流動成分流を１つにしてもよい混合モジュールを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、前記混合モジュールは、３つ以上のパイプであって前記３つ以上の各成分流用に１つのパイプと、前記３つ以上の各パイプ内に、３つ以上の構成流の流速を制御する少なくとも１つの流量コントローラーとを備え、前記３つ以上のパイプの２つは、合流して単一（合流流）パイプになり、一部混合スラリー及び／又は一部混合化学ブレンド流を形成し、そしてその後、前記３つの以上のパイプの第３のパイプが、前記単一（単一流）パイプと合流し、第３の成分流を、第２の単一（合流流）パイプ内の一部混合スラリー及び／又は一部混合化学ブレンド流と合流させる。本発明はさらに、本発明の上の実施形態又は態様の１つ以上に準拠してもよい、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、供給装置はさらに混合モジュールを備え、前記混合モジュールはさらに、少なくとも１つのスタティックミキサーを備え、且つ／又は、スタティックミキサーは、混合モジュール内で３つ以上のパイプの少なくとも２つが連結されて単一のパイプになってその中に構分流が共に流れ込む場所の下流にあってもよい。本発明さらに、本発明の１つ以上の上の実施形態又は態様をさらに含んでいてもよい、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、供給装置は、混合モジュールと、分析モジュールとを備え、所望により、混合モジュールからの、混合スラリー及び／又は化学ブレンド流の少なくとも一部分が、分析モジュールを通過し、そこで分析される（装置は、装置内の様々な場所及び／又はモジュールからのサンプルの分析用に、１つの分析モジュールを備えていてもよい。）。混合モジュールへの及びそこを通過する、スラリー及び／又は化学ブレンド成分流の流れは、分配モジュールからの、混合スラリー及び／若しくは化学ブレンドの要求、並びに／又は混合スラリー及び／若しくは化学ブレンド用の分配タンクに余地のある限り、連続的である。本発明はさらに、本発明の１つ以上の実施形態又は態様をさらに含んでもよい、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、供給装置は、分配モジュールと、混合モジュールとを備え、前記混合モジュールは、混合スラリー又は化学ブレンドの成分として、混合済みスラリー及び／又は混合済み化学ブレンドを含み（混合し）、所望により、混合モジュールからの、混合スラリー及び／又は化学ブレンド流の少なくとも一部分が、分配モジュールに輸送される。
【００１５】
本発明はさらに、本発明の１つ以上の上の実施形態又は態様をさらに含んでもよい、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、供給装置は、分析モジュールと、分配モジュールとを備え、所望により、分析モジュールからの、混合スラリー及び／又は化学ブレンド流の少なくとも一部分が、分配モジュールに輸送される。本発明さらに、本発明の１つ以上の上の実施形態又は態様をさらに含んでいてもよい、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、供給装置は、混合モジュールと、分析モジュールとを備え、前記分析モジュール内で分析される、前記混合スラリー及び／又は化学ブレンド流は、前記分析モジュールへの流動に先立って、前記混合モジュール内で混合されたものである。本発明はさらに、さらに本発明の１つ以上の上の実施形態又は態様をさらに含んでもよい、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、供給装置は、分析モジュールと、混合モジュールとを備え、所望により、分析後の分析モジュールからの、混合スラリー及び／又は化学ブレンド流の少なくとも一部分が、混合モジュールへ輸送され（戻され）、スラリー又は化学ブレンドの成分（成分流）と混合される。本発明さらに、本発明の１つ以上の上の実施形態又は態様をさらに含んでいてもよい、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、供給装置は、混合モジュールポンプと、２つの以上の各成分流用の２つ以上の成分パイプとを備えた混合モジュールを備え、前記成分流は、原料スラリー及び／又は化学物質流、水、１つ以上の化学成分、１つ以上の水と混合された化学成分、並びに一部混合又は完全混合スラリー及び／又は化学ブレンド流からなる群から選択され、そしてさらに、前記少なくとも２つの成分パイプは、前記混合モジュールポンプの上流、１フィート（０．３０メートル）、又は２フィート（０．６１メートル）、又は５フィート（１．５２メートル）、又は１２フィート（３．６６メートル）の範囲内で、連結され合流して単一パイプになる。本発明さらに、本発明の１つ以上の、上の実施形態又は態様をさらに含んでいてもよい、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、供給装置は混合モジュールを備え、混合モジュールは、１つ若しくは複数のスタティックミキサー、及び／又はスラリーを混合する１つ若しくは複数の混合モジュールポンプ、及び／又は化学ブレンド成分流、及び／又は原料スラリーを１つ若しくは複数の原料スラリー供給容器から送出タンクに輸送して前記混合モジュールに供給する１つ若しくは複数の更なるポンプを有する。
【００１６】
本発明は、スラリー、及び／又は化学ブレンドの供給装置を、単独で、又はその他の１つ以上の態様又は実施形態のいずれかとの組み合わせで提供し、供給装置は、混合モジュールと、少なくとも２つの連結部の下流、１２フィート（３．６６メートル）の範囲内、又は５フィート（１．５２メートル）の範囲内、又は２フィート（０．６１メートル）の範囲内、又は１フィート（０．３０メートル）の範囲内にある混合モジュールポンプとを備え、少なくとも２つの連結部は、前記混合モジュール内の各前記連結部内の２つ以上の成分流が合流して単一流になる場所であり、前記３つ以上の流れは、原料スラリー流、水、１つ若しくは複数の化学物質又は１つ若しくは複数の化学物質と水を含む化学成分流、一部混合スラリー及び／又は一部混合化学ブレンド流、並びに完全混合スラリー及び／又は完全混合化学ブレンド流からなる群から選択される。本発明はさらに、本発明の１つ以上の上の実施形態又は態様をさらに含んでいてもよいスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、供給装置は、遠心ポンプ、ダイヤフラムポンプ、及び蠕動ポンプからなる群から選択される混合モジュールポンプ、好ましくはスラリー供給装置用の遠心ポンプを備えている。本発明の装置を使用して、化学ブレンドであってスラリーではないもの供給する場合には、ダイヤフラムポンプとパルス緩衝装置とを使用して、同様で定常的な流速を提供してもよく、これは、遠心ポンプによってなされ得るとおりである。化学ブレンドについては、ダイヤフラムポンプによってスラリー粒子に生じる粒子せん断は、問題とはならない。したがって、図示され以下に記載される実施形態については、ダイヤフラムポンプとパルス緩衝装置を、遠心ポンプの代わりとしてもよい。
【００１７】
本発明さらに、本発明の１つ以上の上の実施形態又は態様をさらに含んでいてもよい、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、供給装置は、成分流どうしの間の少なくとも１つの連結部を備えた混合モジュールを備え、前記１つ以上の連結部では、前記流れの３つは、合流して単一流になる。本発明はさらに、本発明の１つ以上の上の実施形態又は態様をさらに備えていてもよい、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、混合モジュールポンプの上流が、第１の連結部、及び第２の連結部であって、前記第１の連結部が前記ポンプにさらに近く、前記第１の連結部では第１の流れは、１つ以上の化学成分を含み、水が、原料スラリー及び/又は化学ブレンドを含む前記第２の流れと合流して、前記第１の流れは前記第２の連結部から流動し、前記第２の連結部では、第３の及び第４の流れが合流して、前記第３の流れが水を含み前記第４の流れが１つ以上の化学成分を含んでおり、これによって前記第１の流れが形成され、そして所望により、混合モジュールはさらに、少なくとも１つのスタティックミキサーを備え、スタティックミキサーは、第３及び第４の流れが合流した後に、及び／又は前記第１及び第２の流れが合流した後に存在する。本発明はさらに、本発明の１つ以上の上の実施形態又は態様を含んでもよい、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、完全混合スラリー及び／又は化学ブレンドの流れは、前記混合モジュール内で少なくとも１つの成分流と合流して、一部混合スラリー及び／又は化学ブレンド流、又は更なる完全混合スラリー及び／又は化学ブレンドを形成する（もし、一部混合スラリー及び／又は化学ブレンド流が形成されるならば、それは、１つ以上の成分流と合流して、混合スラリー及び／又は化学ブレンド流と同一の、更なる完全混合スラリー及び／又は化学ブレンドを形成することになり、これを、「更なる混合スラリー及び／又は更なる化学ブレンド」又は「混合スラリー及び／又は化学ブレンド」と称してもよい。）。スラリー、及び／又は化学ブレンドの供給装置はさらに、分析モジュールを備えていてもよく、「更なる」完全混合スラリー及び／又は「更なる」化学ブレンド流の少なくともサンプルは、分析モジュールへ送られてもよい。さらに本実施形態では、サンプルの少なくとも一部分は、混合モジュールへ、分析モジュールと混合モジュールの間のパイプ連結部において返送してもよく、且つ／又は分析モジュールは、混合モジュールポンプの下流であってもよく、返送されたサンプル用の、分析モジュールと混合モジュールの間のパイプ連結部は、混合モジュールポンプの上流であってもよい。あるいは、分析モジュールによる分析の後のサンプルは、分配モジュールに誘導してもよい。「及び／又は」の使用は、装置を使用して化学ブレンド又はスラリー又は両方のいずれかを形成してもよいが、しかしながら、装置及び方法工程を使用してこれらの生成物を別個に形成することを意味することに留意されたい。従って、混合スラリーは、化学ブレンドと混合されない。化学ブレンド成分のいくつかは、混合スラリーを形成するのに使用されるものと同一、又は異なっていてもよい。
【００１８】
代わりの実施形態では、単独で、又はその他の態様又は実施形態のいずれかとの組み合わせで、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、スプリットミキサーを備えている。
【００１９】
代わりの実施形態では、単独で、又はその他の態様又は実施形態のいずれかとの組み合わせで、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、スプリットミキサーを備えた混合モジュールを備えている。
【００２０】
代わりの実施形態では、単独で、又はその他の態様又は実施形態のいずれかと組み合わせで、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、１つ以上の圧力容器を備えた分配モジュールを備えている。
【００２１】
本発明はまた、１つ以上のフィルター、フィルター配列体、フィルターループを単独で備えた、又は本発明のいずれか１つ以上の更なる態様又は実施形態もまた備えた、スラリー、及び／又は化学ブレンドの供給装置を提供する。本発明は、混合モジュールを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンドの供給装置を提供し、混合モジュールは、少なくとも１つのフィルター（所望により少なくとも１つのフィルター配列体、又はフィルターループ）をさらに備え、これらは所望により、混合モジュールポンプの下流、又は、それ以外の場合では、成分流が合流して混合スラリー（又は更なる混合スラリー）、又は化学ブレンド（又は更なる化学ブレンド）を形成する場所の下流に位置する。本発明はまた、投与パイプを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し、投与パイプは、混合モジュールにおける成分流を分配モジュールに連結して、更なる１つ以上の成分を混合モジュールから分配モジュールに提供する。
【００２２】
本発明はさらに、単独で、又は本発明のその他の態様又は実施形態のいずれか１つ以上との組み合わせで分配モジュールを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供する。分配モジュールは、少なくとも１つの分配タンクを備えていてもよく、前記混合スラリー及び／又は化学ブレンド流の少なくとも一部分は、少なくとも１つの前記分配タンクに、前記混合モジュールから輸送される。
【００２３】
スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、単独で、又は本明細書で開示される、その他の態様又は実施形態と組み合わせで、流れの少なくとも一部分の誘導方向を変える手段を備え、前記手段は三方弁、パイプ、及び前記パイプの１つの内部に制限オリフィスを備え、前記三方弁は、前記制限オリフィスを内部に有する前記パイプに流れを誘導させることが可能である。分析モジュール、及び誘導方向を変える手段を備え、所望により、前記手段によって誘導方向を変えられた流れの少なくとも一部分が、混合スラリー及び／又は化学ブレンド流れであり、それを分析モジュール内に誘導する、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置であって、所望により混合モジュール、混合モジュールポンプをさらに備え、前記流れを、前記混合モジュールポンプの下流の前記分析モジュール内に誘導する（さらに、方向を変えられない流れの少なくとも一部分を、前記分配モジュールに連結するパイプを介して流動させもよい）供給装置。本発明のあらゆる装置又は方法は、誘導方向を変える手段を備えていてもよく、それは、本発明の装置のモジュール又は実施形態のいずれかにあってもよい。
【００２４】
単独で、又は本発明のその他の１つ以上の態様又は実施形態のいずれかとの組み合わせで、カーボイ区画を備え、前記カーボイ区画が、所望により混合モジュールの下流に位置する、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。カーボイ区画は、前記装置から、混合スラリー及び／又は化学ブレンドのサンプルを除去するためのものである。
【００２５】
１つ以上の分配タンク、及び／又は１つ以上の大域ループ、及び／又は１つ以上のポンプを備えた分配モジュールを、単独で、又は本発明のその他の態様又は実施形態のいずれかとの組み合わせで備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。本発明はさらに、分配モジュール、及び前記分配モジュール内に１つ以上のフィルターエレメントを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を、単独で、又は本発明のその他の態様又は実施形態のいずれかとの組み合わせで提供する。本発明はさらに、分析モジュール、及び少なくとも１つのその他のモジュール（例えば、送出、ブレンド、及び／又は分配モジュール）を備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を、単独で、又は本発明のその他の態様又は実施形態のいずれかとの組み合わせで提供し、前記少なくとも１つのその他のモジュールの少なくとも１つは、パイプ、及び前記パイプ内に１つ以上のサンプルポート、及び前記サンプルポートと流体連通する１つ以上のチューブを備えており、各サンプルポート及びチューブは、スラリー（又は原料スラリー）、及び／又は化学ブレンドを、分析モジュールへ分析のために提供する。本発明はさらに、分析モジュール、及び少なくとも１つのその他のモジュール（例えば送出、ブレンド、分配）を備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を、単独で、又は本発明のその他の態様又は実施形態のいずれかとの組み合わせで提供し、前記少なくとも１つのその他のモジュールはさらに、１つ以上のサンプルループを備えており、サンプルループは、スラリー及び／又は化学ブレンドを分析モジュールへ提供し、そしてそれを、少なくとも１つのその他のモジュールの少なくとも１つに返送し、ループは、スラリー及び／又は化学ブレンドを、スラリー及び／又は化学ブレンドの由来元と同一のモジュールに返送してもよく、あるいは、ループは、スラリー及び／又は化学ブレンドを、装置により現在使用されている分配タンクに返送してもよい。スラリー及び／又は化学ブレンド装置は、装置用の１つの分析モジュールを備えており、分析モジュールは、もし装置が混合モジュールを備えている場合には、送出モジュールに連結されていてもよい、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器を所望によりさらに備えている。分配モジュールは、１つ以上のサンプルポートを備えていてもよく、そして所望により、前記分析装置への、１つより多いサンプルループを備えていてもよい。スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、スラリー、及び／又は化学ブレンドの連続流を大域ループに提供する、ポンプ、及び１つ以上の圧力容器エレメントを備えた、分配モジュールを備えていてもよい。
【００２６】
単独で、又は本発明のその他の態様又は実施形態のいずれか１つ以上との組み合わせで、１つ以上の大域ループを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置であって、さらに、１つ以上の各大域ループ上に、１つ以上の背圧コントローラー、及び圧力センサーを備え、そして所望により、１つ以上の各大域ループ上に、１つ以上の流量センサーを備えた分配モジュールを備えた供給装置。大域ループは循環ループであり、大域ループは、（送出モジュール内の）循環ループ関して記載される態様を備えていてもよく、逆もまたしかりである。大域ループは、大域循環ループと称してもよい。大域ループは、１つ以上のフィルター、又はフィルターの配列体、又はフィルターループを、所望によりツールの上流に備えていてもよい。本発明はさらに、１つ以上のタンク（例えば、分配タンク、及び／又は送出タンク）を備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を、単独で、又は本発明のその他の態様又は実施形態のいずれかとの組み合わせで提供する、及び／又は１つ若しくは複数のタンクの少なくとも１つは、１つ以上の液位センサー（所望により超音波液位センサー）を備え、及び／又は１つ以上のタンクの少なくとも１つは、１つ以上のエダクターを備えていてもよく、エダクターに連結されたパイプは、タンクの底の近傍でタンクの壁を貫通する。本発明はさらに、二重の出口ループを備えたタンクを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を、単独で、又は本発明のその他の態様又は実施形態のいずれか１つ以上との組み合わせで提供する。
【００２７】
本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を使用するプロセスを、単独で、又は本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置のその他の態様又は実施形態のいずれかとの組み合わせで提供し、プロセスは、原料スラリーをスラリー供給容器から送出タンクに圧送する工程を含み、送出タンクは、スラリ及び／又は化学ブレンドの供給装置の送出モジュールの一部分である。原料スラリーを混合モジュールへ提供し（又は本発明のプロセスがさらに、原料スラリーを混合モジュールへ提供する１つ以上の工程を備えていてもよい）、スラリーを混合し、大域ループにスラリーを供給すること、混合スラリーを１つ以上のＣＭＰ又はその他のツールに提供する（ｔｏ  ｐｒｏｖｉｄｅ）（又は提供する（ｐｒｏｖｉｄｉｎｇ））こと、及び／又は、分析モジュール、及び／又はその他のモジュール／プロセスにスラリーを提供する（ｔｏ  ｐｒｏｖｉｄｅ）（又は提供する（ｐｒｏｖｉｄｉｎｇ））ことに、本発明の装置を使用してもよい。あるいは、又はさらに、化学ブレンドを混合する（ｔｏ  ｂｌｅｎｄ）又は混合する（ｆｏｒ  ｂｌｅｎｄｉｎｇ）すること、化学ブレンドを大域ループに提供する（ｔｏ  ｐｒｏｖｉｄｅ）又は提供する（ｐｒｏｖｉｄｉｎｇ）こと、化学ブレンドを１つ以上のＣＭＰ又はその他のツールに提供する（ｔｏ  ｐｒｏｖｉｄｅ）又は提供する（ｐｒｏｖｉｄｉｎｇ）こと、及び／又は、分析モジュール、及び／又はその他のモジュール／プロセスに化学ブレンドを提供する（ｔｏ  ｐｒｏｖｉｄｅ）又は提供する（ｐｒｏｖｉｄｉｎｇ）ことに、本発明の装置及びプロセスを使用してもよい。装置、及び本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を使用するプロセスは、循環ループ内の原料スラリーを前記スラリー供給容器から、ある期間、原料スラリーをスラリー供給容器から送出タンク中に圧送するのに先立って、及び／又はそれと同時に圧送する工程を、単独で、又は本発明のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合わせで、さらに含んでいてもよい。本発明はさらに、送出モジュール内の１つ以上のポンプの前で原料スラリーをろ過器に通す工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、前記スラリー供給容器からの前記原料スラリーを、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の送出タンクの中にそれを輸送するのに先立って、及び／又はそれと同時にろ過する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、スラリーをスラリー送出タンクへ転送するのに先立って、スラリー供給容器からの及びそこへのフィルターループにおける前記原料スラリーをろ過する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合せで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、もしスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の混合モジュールにおいて原料スラリーの差し迫った要求（送出タンク内の原料スラリーでは、たとえあったとしてもかなえられないもの）が存在するのであれば、送出タンクを迂回し、原料スラリーを混合モジュール���輸送する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、原料スラリーを、送出タンクから循環ループを通じて循環させ送出タンクへ戻す工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、混合モジュールがスラリーを混合している場合に、送出モジュールの循環ループ内のスラリーの少なくとも一部分を混合モジュールへ移送する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、混合モジュールがスラリーを混合してない場合には、送出モジュール内の循環ループからのスラリーを混合モジュールに転送するのを停止させ、そして所望により、スラリーを、それが循環ループ内で循環する場合にはろ過する工程を、単独で、又は本発明のいずれか１つ以上のその他のプロセス工程との組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、スラリーが混合モジュールへ転送されていない場合には、循環ループ内のスラリーをろ過し、スラリーが、混合モジュールへ転送さている場合には、循環ループ内のスラリーをろ過しない工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の１つ以上の（送出、及び／又はブレンド、及び／又は分配）モジュールからの、スラリー及び／又は化学ブレンドを（１つ以上の分析装置を使用して）分析する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組合せで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の１つ以上の（送出、及び／又はブレンド、及び／又は分配）モジュールからのスラリー及び／又は化学ブレンドを分析するのに先立って、スラリー及び／又は化学ブレンドの少なくとも一部分を希釈する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組合せで含むプロセスを提供し、前記希釈工程は、スラリー及び／又は化学ブレンドの、単一希釈又は二重希釈を提供してもよい。本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンドを、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の１つ以上の（送出、及び／又はブレンド、及び／又は分配）モジュールから、分析モジュールへサンプルチューブを介して、又はサンプルループを介して輸送する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組合せで含むプロセスを提供する。（サンプルループの使用には、スラリー及び／又は化学ブレンドを、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置に返送する更なる工程が含まれ、これは、スラリー及び／又は化学ブレンドが分析モジュールへ輸送された元の同一モジュールに戻るものであってもよい）。本発明はさらに、ニードル弁、蠕動ポンプ、ロータメーター、及び希釈器具からなる群から選択される１つ以上の設備を使用して、前記分析モジュール内の、スラリー及び／又は化学ブレンドの流れ、及び／又は希釈を制御する工程を、単独で、又は本発明のその他���プロセス工程のいずれか１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。
【００２８】
本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンドを、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の１つ以上の（送出、及び／又はブレンド、及び／又は分配）モジュールから分析モジュールへ輸送し、そしてスラリー及び／又は化学ブレンドを分析し、そして所望により、分析に先立ってスラリー及び／又は化学ブレンドを希釈し、そして所望により、スラリー及び／又は化学ブレンドを、スラリー及び／又は化学ブレンドが輸送された元の同一モジュールであってもよい、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置のモジュールに返送する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ以上とのいずれかの組合せで含むプロセスを提供する。代替的実施形態では、スラリー又は化学ブレンドは、分析モジュールから分配タンクへ、そこが装置内で、混合スラリー又は化学ブレンドのサンプルが輸送される（取り出される）元の場所、又は排出のために送られる先の場所であるかに関わらず、返送されてもよい。本発明は、スラリー及び／又は化学ブレンドを、複数のモジュールから連続的に、分析モジュール及び／又は分析装置による分析のために取り出す工程を、単独で、又はその他の工程の１つ以上との組み合わせで含むプロセスを提供する。分析モジュール、又はあらゆる分析装置、又は装置のいずれかの組み合わせによりなされる測定結果を、コントローラー（コンピューター）が使用して、測定に基づいた動作を行うように装置に指示してもよく、例えば、原料スラリー、及び／又は混合スラリー、及び／又は一部混合スラリー、及び／又は１つ若しくは複数の化学成分流、及び／又は一部混合化学ブレンド、及び／又は化学ブレンドの流れを廃液流に、装置内のいずれかのモジュールから誘導しても、又はスラリーを、１つ以上のフィルター、又はその他の処理手段に誘導しても、又は混合モジュールにおける組成を、混合モジュール内の流量コントローラーを調整することを通じて調整しても、又は１つ以上の成分の計量された（時間測定された）量を、分配タンクに混合モジュールから加えても、又は警告音を発生させて技術者に警告しても、又は、もし測定結果が、本明細書に記載の許容できる範囲若しくはその他の作用の範囲内であるならば、装置の通常操作を続けてもよい。
【００２９】
本発明はさらに、粒度分布分析器から得られたデータを、単独で、又は、スラリー又は化学ブレンド関して測定されたその他の分析データの１つ以上との組み合わせで使用して、スラリー及び／又は化学ブレンドの品質を実時間で制御するレシピ調整、及び/又は技術的通知の提供を実行する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで含むプロセスを提供する。粒子データ分布分析器、及びあらゆるその他の分析データは、送出モジュール内で測定される場合、良好な原料スラリーのバッチを不良な原料スラリーのバッチ (粒子の数、及び/又はスラリー粒子の粒子サイズ分布が所望の規格内にないことを意味するもの) から区別するために、送出モジュール内の送出タンクへ、及び/又は送出モジュールから混合モジュールへ原料スラリーを転送するための閾値制御を提供してもよい。本発明はさらに、原料スラリーを、送出タンクへ及び/又は混合モジュールへスラリーを転送するのに先立って、液体粒子計数器又は粒度分布分析器により分析し、事前に決定された許容できる範囲に対して結果をチェックする工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで含むプロセスを提供する。分析器を、単独で、又はいずれかの組み合せで使用して、混合モジュール内の原料スラリー、又は混合スラリー、又は化学ブレンドを測定する場合には、それを使用して、プロセス変動を最小限にするのに使用されるレシピの実時間調整を提供してもよい。粒度分布分析器及び／又はその他の分析装置からのその他の測定により、分配モジュール内のスラリー及び／又は化学ブレンドが測定する場合には、それによって、最終プロセス制御閾値が提供された後に、原料又は混合スラリー及び／若しくは化学ブレンドを、送出タンクへスラリー供給容器から転送することが、又は混合モジュールへ送出モジュールから、若しくはスラリー供給容器から移送することが、又は分配モジュールへ混合モジュールから、若しくは分析モジュールから転送することが、又は大域ループへ、及び平坦化若しくはその他の設備の中へ、分配モジュール若しくは混合モジュールから移送することが、許可される。本発明は、本発明の装置の様々なモジュールへ、又はそれらを通じて配送されるスラリー及び／又は化学ブレンドの品質を、１つ以上の上の方法を使用して向上させてもよい。
【００３０】
本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンドを、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置内の１つ以上のパイプ内のろ過器に通す、例えば、スラリー及び／又は化学ブレンドを、流量コントローラー、ポンプ、ニードル弁、その他の制限弁及びオリフィスからなる群から選択される設備の１つ以上の上流にあるろ過器に通して流動させる工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、循環ループ（又は大域ループ）を通る流れを、流量センサーを使用して流速を測定すること、及び測定された流速を使用して、ポンプ速度を調整すること、及び／又は圧力を測定し、循環ループ又は大域ループ内の圧力を使用して、ポンプ速度を調整すること、及び／又は圧力センサーを使用して、背圧コントローラーを調整することにより、調整する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。前記背圧コントローラーは、循環ループ（又は大域ループ）の返送部の近傍に位置しており、この返送部は、分配若しくは送出タンク及び／又はスラリー供給容器であってもよいものである。
【００３１】
本発明はさらに、（１つ以上のフィルターエレメント、例えばフィルター又はフィルター配列体を、所望によりフィルターループにおいて使用して）１つ以上のモジュール（例えば、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の、送出及び／又はブレンド及び／又は分配及び／又は分析モジュール）内のスラリー及び／又は化学ブレンドをろ過する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、別個のフィルターループ内のスラリー及び／又は化学ブレンドをろ過する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供し、前記フィルターループは、パイプループ、フィルターループポンプ、並びにパイプループと流体連通する１つ以上のフィルターを備える、並びに／又はさらに強力なパイプ及び連結部から、ループを構築する、並びに／又はさらに高いポンプ圧力、及び／若しくはフィルターがインラインである場合よりさらに小さい孔を有するフィルターを使用する。
【００３２】
本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置内の少なくとも２つの以上の成分流を混合する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供し、少なくとも２つの以上の成分流は、原料スラリー、水、１つ以上の化学成分、水とブレンドされ１つ以上の化学成分、一部混合スラリー、一部混合化学ブレンド流、完全混合スラリー、又は完全混合化学ブレンド流からなる群から選択され、前記プロセスは、少なくとも２つの流れを、合流することになるこれら各流れの測定量を提供する流量コントローラーに通して流動させ、少なくとも２つの流れを合流させて単一流を形成する工程と、ポンプを通じて前記単一流を流動させる工程とを含み、所望により、前記単一流を形成する合流工程は、ポンプの上流の、前記単一流のポンプまでの流動距離、５フィート（１．５２メートル）又は２フィート（０．６１メートル）未満、又は１フィート（０．３０メートル）、又は６インチ（１５．２４センチ）の範囲内で生じる。上のプロセスはさらに、前記原料スラリー流を、前記流量コントローラーの上流のろ過器を通して流動させる工程を含む。前記流動させる工程、及び前記合流工程が前記成分流の３つを合流させることを含む、上のプロセス。前記合流工程に先立つのが、少なくとも２つの前記成分流を合流させて、第１の一部混合スラリー及び／又は第１の一部混合化学ブレンド流を形成する第１の工程である、上のあらゆるプロセス。前記第１の一部混合流（スラリー又は化学ブレンド）が前記合流工程において合流する、上のあらゆるプロセス。前記第１の合流工程の後ではあるが、前記合流工程の前であるのが、前記成分流の少なくとも２つを合流させて、第２の一部混合（スラリー及び／又は化学ブレンド）流、又は完全混合（スラリー及び／又は化学ブレンド）流を形成する第２の工程であり、したがって前記合流工程が、第３の合流工程となる、上のあらゆるプロセス。前記第２の合流工程において合流する、前記少なくとも２つの成分流の１つが、前記第１の一部混合スラリー及び／又は第１の一部混合化学ブレンドである、上のあらゆるプロセス。第１の工程、又は第２の、又は第１及び第２の、又は第１、第２、及び第３の合流工程が、前記ポンプの上流、５フィート（１．５２メートル）、又は２フィート（０．６１メートル）、又は１フィート（０．３０メートル）の範囲内にある、上のあらゆるプロセス。本発明はさらに、完全混合スラリー又は完全混合化学ブレンドを、前記第１、第２、又は第３の合流工程のいずれかにおいて、前記混合モジュールにおいて、又は更なる合流工程（第４、又は第５のもの）において合流させる工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。これらの工程のいずれにおいても、混合モジュールを脱する、最終的な混合スラリー又は最終的な混合化学ブレンドは、完全混合スラリー、又は完全化学ブレンド、又は更なる完全混合スラリー、又は更なる混合化学ブレンドであってもよい。混合モジュール内でその他の成分流と合流する、混合スラリー又は混合化学ブレンドは、以下のモジュール：分析モジュール、混合モジュール、及び分配モジュール、の１つ以上に由来するものであってもよい。混合スラリー又は混合化学ブレンドを合流させる前記工程に先立つのが、前記混合スラリー又は化学ブレンドをろ過すること、前記混合スラリー又は化学ブレンド分析すること、又は前記混合スラリー又は化学ブレンドを、前記分布タンクから前記混合モジュールへ誘導すること、からなる群から選択される１つ以上の工程であってもよい、上のあらゆるプロセス。これらの流れの１つ、２つ、又は３つすべては、混合モジュールへ、所望により定常的な及び制御された流速で、連続的に誘導されてもよい。もし所望であれば、流量コントローラー、又はその他の弁若しくはポンプを使用して、混合モジュール内でその他の成分流と合流することになる、混合スラリー又は混合化学ブレンドの定常流を提供してもよい。これらのプロセスのいずれにおいても、混合工程のいずれかの後のブレンド流は、一部混合スラリー流、又は一部混合化学ブレンド流（化学成分の１つ以上の流れであってもよいものであって、所望により、水、及び／又は原料、又は混合スラリー、又はその他の成分、例えば、水及び原料又は混合スラリー、又は原料若しくは混合スラリー及び１つ若しくは複数の化学物質、又は２つ以上の化学物質、又は化学物質及び水、と混合したもの）、完全混合スラリー、又は完全混合化学ブレンド、又は更なる完全混合スラリー（完全混合済みスラリーの流れを合流した、完全混合スラリーの成分であるもの）、又は更なる完全混合化学ブレンド流（完全混合済みスラリーの流れと合流した完全混合スラリーの成分であるもの）からなる群から選択されてもよい。
【００３３】
本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンドを、送出、混合、分析、及び分配モジュール内に少なくとも１つにパイプに通して、又は１つのモジュールからその他のモジュールの少なくとも１つへ、１つ以上の遠心ポンプ、又は１つ以上のダイヤフラムポンプ、又は１つ以上の蠕動ポンプ、又はポンプのいずれかの組合せを使用して圧送する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ又はいずれかの組み合わせとのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。
【００３４】
本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の１つ以上の（送出、及び／又はブレンド、及び／又は分配）モジュール内の、それらの、又はそこからの、スラリー及び／又は化学ブレンドを分析する工程であって、１つ以上のインライン分析モジュールを使用して生じてもよい工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ又はいずれかの組み合わせとのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。そのような分析を、スラリー及び／又は化学ブレンドを監視する及び／又は制御する工程に使用してもよく、監視及び／又は制御は、スラリー及び／若しくは化学ブレンド供給装置並びに／又はその個々のモジュールを、コントローラーにより自動的に行うか又は技術者により手動によって行うかのいずれかによって制御することを通じてなされる。そのような１つのプロセスでは、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれかとの組み合わせで、前記プロセスが、（更なる）混合スラリー又は（更なる）化学ブレンドの少なくとも一部分を、前記混合モジュールから前記分析モジュール内に流動させる工程、及び／又は前記分析モジュールへの前記流動工程の前又は後のいずれかで、前記混合モジュールからの前記（更なる）混合スラリー又は（ならなる）化学ブレンドの前記少なくとも一部分を、処理手段、例えばフィルター内に流動させる工程を含む。本発明のプロセスは単独で、又は本明細書のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで、混合スラリー又は化学ブレンドを、１つ以上の分析的装置を備えた分析モジュール内に流動させること、及び前記スラリー又は化学ブレンドを分析することをさらに含む。本発明のプロセスは、前記分析装置による前記混合スラリー又は化学ブレンドの分析に応答して、前記分配タンクに１つ以上の成分を投与することを、単独で、又は本明細書のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで、さらに含む。本発明のプロセスは、前記分配タンクに１つ以上の成分を、前記分析装置による、前記混合スラリー又は化学ブレンドの分析に応答して、投与することを、単独で、又は本明細書のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで、さらに含み、投与は、（混合が生じているならば）前記混合モジュールにおける混合を停止すること、１つ以上の成分を、前記混合モジュールから前記分布タンクに流動させること、投与を停止すること（これは投与後、ある期間の時間であってもよい）、及び、化学ブレンドの混合スラリーを分配タンクがさらに要求していると仮定される場合には又は実際その場合には、所望により混合を再開することによりなされる。
【００３５】
本発明のプロセスは、スラリー又は化学ブレンドを、２つの以上の成分流をスプリットミキサー内に流動させることにより混合することを、単独で、又は本明細書のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで、さらに含む。
【００３６】
本発明は、混合スラリー及び／又は化学ブレンド（完全混合スラリー及び／又は完全混合化学ブレンド、又は更なる完全混合スラリー及び／又は更なる完全混合化学ブレンドであってもよいもの）を混合モジュールから分配モジュールへ、圧送する、又はそうでなければ、輸送する、又は流動させる工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程とのいずれか１つ又はいずれかの組み合わせとのいずれかの組み合わせで含むプロセスをさらに提供し、分配モジュールは、混合スラリー及び／又は化学ブレンドを受け入れる分配タンクを備えていてもよく、そしてプロセスはさらに、混合スラリー及び／又は化学ブレンドを、分配タンクから大域ループに通して、１つ以上のＣＭＰ又はその他のツールへ、圧送する、又はそうでなければ輸送する、又は流動させることを含んでいてもよい。大域ループをめぐるスラリー及び／又は化学ブレンドを圧送するプロセスはさらに、（装置が使用されていてスラリー及び／又は化学ブレンドが大域ループ内に存在する場合には、好ましくは連続的に）大域ループ内の混合スラリー及び／又は化学ブレンドの少なくとも一部分を、１つ以上の分配タンクに圧送により戻す工程を含んでいてもよく、プロセスはさらに、前記大域ループ内の圧力、及び／又は大域ループ内の混合スラリー及び／又は化学ブレンドの流速を測定し、そして測定された圧力及び／又は流速に応答してポンプ及び／又は背圧コントローラーの速度を調整して、大域ループ内の混合スラリー及び／又は化学ブレンドの流れを調整する、工程を含んでいてもよい。装置は、測定された圧力及び／又は流速情報を、装置用のコントローラーに連絡してもよく、そして装置（コントローラー）は、大域ループ内の測定された背圧、及び／又は分布タンク内の混合スラリー及び／又は化学ブレンドの測定されたレベルにもとづいて、混合モジュールを、ブレンドスラリー及び／又は化学ブレンドに誘導させる工程を実行してもよく、又は、もし、混合モジュールが混合を行っているならば、混合モジュール内の流量コントローラーを通る流れを比例的に増加させるように流量コントローラーに指示してもよい。
【００３７】
本発明は、第１及び第２の分配タンク、及び／又は第１及び第２のポンプ、及び／又は第１及び第２の大域ループ（そのうちのすべて又はいくつかは、あらゆる組み合わせで直接、流体連通してもよく、第１及び第２の分配タンクの少なくとも１つ又は両方は、混合モジュール及び／又は分析モジュールと直接、流体連通してもよい）を備えた分配モジュールを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し；そして分配モジュール内の第１の分配タンクから第２の分配タンクに、及び／又は第１のポンプから第２のポンプに、及び／又は第１の大域ループから第２の大域ループに切り替える工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ又はいずれかの組合せとのいずれかの組み合わせで含むプロセスをさらに提供する。装置が、第１及び／又は第２の分配タンク、第１及び第２の分配ポンプ、及び第１及び第２の大域ループを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し；そして、第１の分配タンク、第１のポンプ、及び第１の大域ループへの、またはそこを通る、混合スラリー及び／又は化学ブレンドの流れを、第２の分配タンク、第２のポンプ、及び第２の大域ループへ、またはそこを通るように切り替え、この切り替えが、第１の分配タンク、第１のポンプ、及び／又は第１の大域ループの故障、又は第１の分配タンクの汚染に応答したものであってもよい工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ又はいずれかの組み合わせとのいずれかの組み合わせで含むプロセス。第１及び第２の分配タンク、第１及び第２の分配ポンプ、及び第１及び第２の大域ループを含む、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供し；そして、混合スラリー及び／又は化学ブレンドを、第１の分布タンクから第１のポンプを介して（及びそれを通じて、及び／又はその作用により）、第１の大域ループへ圧送し、混合スラリー及び／又は化学ブレンドを、第２の分配タンクから第２のポンプを介して（及びそれを通じて、及び／又はその作用により）、第２の大域ループへ圧送する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ又はいずれかの組み合わせとのいずれかの組み合わせで含むプロセス。第１の分配タンク、第１のポンプ、及び第１の大域ループを通じて流動する（圧送される）、混合スラリー及び／又は化学ブレンドは、第２の分配タンク、第２のポンプ、及び第２の大域ループを通じて流動する（圧送される）、混合スラリー及び／又は化学ブレンドと同一又は異なっていてもよい。プロセスはさらに、１つ以上の混合スラリー及び／又は１つ以上の化学ブレンドを、混合モジュール内で混合することを、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ又はいずれかの組み合わせとのいずれかの組み合わせで含んでいてもよい。プロセスはさらに、第１の混合スラリー及び／又は第１の化学ブレンドを混合し、これを第１の分配タンクに輸送して、第１のポンプを介して（それを通じて、及び／又はその作用により）、第１の大域ループを通じて圧送してもよく、そして第２の混合スラリー及び／又は第２の化学ブレンドを混合して、これを第２の分配タンクに輸送して、第２のポンプを介して（それを通じて、及び／又はその作用により）、第２の大域ループを通じて圧送してもよい混合モジュールを備えていてもよい。プロセスはさらに、第１及び／若しくは第２の混合スラリー並びに／又は第１及び／若しくは第２の化学ブレンドを、混合モジュールにより混合するタイミング及び／又は容積を、第１及び／若しくは第２の混合スラリー並びに／又は第１及び／若しくは第２の化学ブレンドの、第１の大域ループ及び／又は第２の大域ループからの要望に基づいて制御することを含んでいてもよく、これは、１つ以上のタンク液位センサーにより測定された変数、及び／又は第１若しくは第２の大域ループ内で動作する１つ若しくは複数のポンプの速度、及び／又は１つ若しくは複数の流量センサーにより測定された流速、及び／又は大域ループ内にあってコントローラーと通信する１つ若しくは複数の圧力センサーにより測定された圧力に基づいて、装置のコントローラーにより制御してもよい。第１及び第２の混合スラリー並びに／又は第１及び第２の化学ブレンドは、同一又は異なっていてもよい。直前に記載されたいずれの実施形態でも、第１の分配タンクは、混合スラリーを保持してもよく、そして第２のタンクは、化学ブレンドを保持してもよい。上に記載された実施形態のいずれにおいても、装置は、ただ１つの分配分布タンク、及び１つより多い大域ループを備えていてもよく、各大域ループは、それ自体のポンプを備えていてもよい。上に記載された実施形態のいずれにおいても、１つ以上の分配タンクは、１つ以上の化学ブレンドをその中に含んでいてもよい。本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置からの、分配モジュール内の混合スラリーの要求に応答して、原料スラリーを送出タンク及び／又は混合モジュールへ供給する（これは、送出タンクを迂回しつつ、スラリー供給容器から混合モジュールへの供給であってもよい）工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ又はいずれかの組み合わせとのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、大域ループと流体連通する、ＣＭＰ又はその他のツールによる、混合スラリー及び／又は化学ブレンドの消費（使用）量の増加又は減少（流れ及び／若しくは圧力センサーにより測定されたもの、並びに／又は大域ループにおけるポンプ速度）に応答して、大域ループ供給ポンプの速度を増加させる又は減少させる工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ又はいずれかの組み合わせとのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、混合モジュール内で、多少なりとも混合スラリー及び／若しくは化学ブレンドを混合する、又は少なくとも１つの分配タンクにおける液位センサーが、混合スラリー及び／若しくは化学ブレンドの要求量の増加又は減少を示す場合には、混合モジュールにおいてブレンドを開始する又は停止する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ又はいずれかの組み合わせとのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明さらに、混合モジュールが消費する原料スラリーの量が増加した又は減少した場合に、循環ループ上で送出モジュールポンプ速度を増加させる又は減少させる工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ又はいずれかの組み合わせとのいずれか組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンドが大域ループへ供給されている場合には、送出モジュール、及び／又は混合モジュール、及び／又は分配モジュール、及び／又は分析モジュールに、少なくとも幾分かのスラリー及び／又は化学ブレンドを、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の大部分のパイプ、タンク、及びその他の部分、並びに設備を通じて連続的に輸送させる（及び／又は循環させる及び／又は混合させる、及び／又は分析させる）、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を操作する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。（大部分のパイプ、タンク及びその他の部分は、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を通じて、スラリー及び／又は化学ブレンドの（タンク又は設備を通じて最短の距離を測定して）全体の直線流動距離（スラリー及び／又は化学ブレンドがそこを通って流れる距離）の５０％超、又は７５％超、又は９０％超、又は９５％超を意味し、冗長モジュール又は使用されていない又はオンラインではない部分を除く）。本発明のプロセスはさらに、仮に混合モジュールが混合するのを停止することがあったとしても、送出モジュール内の循環ループ内に原料スラリーを循環させ続ける、そして混合スラリー及び／又は化学ブレンドを分配モジュール内の１つ以上の大域ループ内に循環させる工程を含む。本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンドをタンク内に、スラリー及び／又は化学ブレンドをエダクターに通すことによって流動させる工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、装置が動作中でありスラリー又は化学ブレンドが分配及び／又は送出タンク内に特定のレベル超で存在する場合に、流体をタンクに大域ループ又は循環ループから返送する工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程の１つ以上とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、背圧コントローラーを使用して、循環ループ（大域ループを含む）における圧力を制御する工程を、単独で、又は本発明のいずれか１つ以上のプロセス工程とのいずれか組合せで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、各タンクの底の出口開口から大域ループを含む循環ループを通り）返送パイプへ向かうスラリー及び／又は化学ブレンドを、タンクに輸送する、及び／又はスラリー及び／又は化学ブレンドを、タンク内部の返送パイプの端に位置する１つ以上のエダクターから流動させる工程を、単独で、又は本発明のその他のプロセス工程のいずれか１つ又はいずれかの組み合わせとのいずれかの組合せで含むプロセスを提供する。いかなる実施形態においても、循環ループのそれぞれは、スラリー及び／又は化学ブレンドの実質的に連続的な又はほぼ連続的な混合及び移動を提供し、これによって、スラリーの有害な沈殿及び／又は化学ブレンドの成分の分離が生じない。本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンドをタンクの底の出口開口から、二重ラインの出口ループ内に流動させる工程、及び／又はスラリー及び／又は化学ブレンドをポンプに流動させる、更なる工程を、単独で、又は本発明のあらゆるその他の態様、若しくは実施形態とのいずれかの組み合わせで含むプロセスを提供する。
【００３８】
本発明はさらに、スラリー又は化学ブレンド流の少なくとも一部分の流れの誘導方向を、制限オリフィス及び三方弁を使用して変える工程を、単独で、又は本発明のいずれか１つ以上のプロセス工程との組み合わせで、含むプロセスを提供し、制限オリフィス及び三方弁は、所望によりスラリー又は化学ブレンド流れの少なくとも一部分を分析モジュール内に誘導するのに使用してもよい。
【００３９】
本発明はさらに、スラリー又は化学ブレンドを、分配タンクから１つ以上の圧力容器エレメント（各圧力容器のエレメントは１つ以上の圧力容器を含む）内に圧送する工程を、単独で、又は本発明のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、１つ以上の圧力容器エレメント（１つ以上の圧力容器）を、圧力調整器及び加圧されたガス源への連結を介して一定の高い圧力下で維持する工程を、単独で又は本発明のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、前記１つ以上の圧力容器エレメント（１つ以上の圧力容器）が、１つ以上の大域ループに、スラリー又は化学ブレンドを連続的に供給している場合に、分配タンクからのスラリー又は化学ブレンドを、１つ以上の圧力容器エレメント（１つ以上の圧力容器）における圧力よりも大きい圧力で連続的に圧送して、１つ以上の圧力容器エレメントにスラリー又は化学ブレンドを連続的に供給する工程を、単独で、又は本発明のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで含むプロセスを提供する。本発明はさらに、分配モジュールにおいて、第１のポンプによる第１の圧力容器エレメントへの供給から第２のポンプによる第２の圧力容器エレメントへの供給に切り替えて、１つ以上の大域ループにスラリー又は化学ブレンドを供給する工程を、単独で、又は本発明のプロセス工程のいずれか１つ以上との組み合わせで含むプロセスを提供し、好ましくは第１のポンプ及び第１の圧力容器エレメントは、第２のポンプ及び第２の圧力容器エレメントとして、同一大域ループに供給を行う。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１Ａ】図１Ａ、１Ｂ、及び１Ｃは、１つ以上の以下のモジュール：送出モジュール、混合モジュール、分析モジュール、及び分配モジュールを備えた、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の一実施形態である。図１Ａは、送出モジュールの一実施形態を示す。
【図１Ｂ】図１Ｂは、混合モジュール、及び分析モジュールのそれぞれの一実施形態を示す。
【図１Ｃ】図１Ｃは、分配モジュールの一実施形態を示す。
【図２】図２は、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置において有用な送出モジュールの代替的実施形態である。
【図３】図３は、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置において有用な混合モジュールの代替的実施形態である。
【図４】図４は、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置において有用な混合モジュールの代替的実施形態であって、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置において有用な、分析モジュール、及び一部の分配モジュールも示す。
【図５】図５は、混合モジュール、及び分析モジュール、並びに関連するパイプの代替的実施形態を示す。
【図６】図６は、本スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置において有用な分配モジュールの代替的実施形態を示す。
【図７】図７は、送出タンク又は分配タンクのいずれかとして、本発明の装置及び方法に使用してもよいタンクの上面図を示す。
【図８】図８は、図７上で線Ｙ−Ｙ′に沿ったタンクの断面の側面図。
【図９】図９は、本発明において有用なエダクターである。
【図１０】図１０は、本発明において有用なろ過器である。
【図１１】図１１は、分析パッケージと分析モジュールへのサンプルループとを備えたインライン分析モジュールである。
【図１２】図１２は、分析装置を備えたインライン分析モジュールを示す。
【図１３】図１３は、分析装置を備えたインライン分析モジュールと、スラリー及び／又は化学ブレンドサンプルの単一希釈とを示す。
【図１４】図１４は、分析装置と、スラリー及び／又は化学ブレンドサンプルの２つの希釈と含むインライン分析モジュールを示す。
【図１５】図１５は、スラリー及び／又は化学ブレンドの希釈を有するインライン分析モジュールにおいて有用な希釈器具を示す。
【図１６】図１６は、タンクの底からの二重のインライン出口ループを示す。
【図１７】図１７は、本発明の、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置において有用な、混合モジュール、分析モジュール、及び一部の分配モジュールの代替的実施形態を示す。
【図１８】図１８は、本発明の、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置において有用な、混合モジュールのスプリットミキサーの実施形態を示す。
【図１９】図１９は、本発明の、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置において有用な分配モジュールの一部の代替的実施形態を示す。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
例示的実施形態のこの説明は、添付の図面とともに読むように意図されており、それらの図面は、本明細書全体の一部とみなすものとする。本明細書に開示されている実施形態の説明においては、方向又は配向に言及する場合にはいずれも、説明の簡便化を意図しているに過ぎず、本発明の範囲を限定することはできない。「下側の」、「上側の」、「水平な」、「垂直な」、「〜より上の」、「〜より下の」、「上へ」、「下へ」、「頂部」、及び「底部」、並びにこれらの派生語（例えば「水平に」、「下方に」、「上方に」など）のような相対語は、下に説明されているか、又は議論下の図面に示されている配向を指すと解釈すべきである。これらの相対語は、説明の簡便化のためのものに過ぎず、別段の定めのない限り、本発明の装置を特定の配向で構築又は操作することを求めることはできない。別段の明示的な記載がない限り、「取り付けられている」、「貼付されている」、「連結している」、及び「相互連結している」のような用語は、構造体が互いに、直接、又は介在構造体を通じて間接的に固定又は取り付けられている関係と、可動又は固定式の取り付け部又は関係を指す。「隣接する」という用語は、本明細書で用いる場合、構造体／コンポーネント間の関係に、参照する各構造体／成分間が直接接触することと、及び各構造体／コンポーネント間に他の介在構造体／コンポーネントが存在することの両方が含まれることを説明するためのものである。さらに、本発明の特徴及び利点は、好ましい実施形態に言及することによって例示されている。したがって、本発明は、単独で存在することも、特徴を別段に組み合わせた形で存在することもできる特徴の考え得る非限定的な組み合わせの一部を例示しているこのような好ましい実施形態に限定すべきではないのは明らかであり、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によって定義される。
【００４２】
本明細書及び特許請求の範囲で用いる場合、「備える」及び「含む」という用語は、包括的、すなわちオープンエンドであり、列挙されていない追加のエレメント、組成物成分、又は方法工程を排除しない。したがって、これらの用語には、上記よりも限定的な用語の「〜から本質的になる」及び「〜からなる」が含まれる。このため、オープンエンドな用語を用いる場合はいずれも、明示的に示されていない場合もあるが、「〜から本質的になる」及び「〜からなる」を含むものとして読むことができる。
【００４３】
本明細書で用いる場合、「ライン」、「パイプ」、及び「チューブ」という用語は、同義的に用いられており、当該技術分野において、液体（スラリーを含む）及び／又は気体物質、並びにこれらの組み合わせを運ぶために従来から用いられてきたいずれかのタイプ、サイズ、又は構成の流路を指す。加えて、これらの用語には、複数のパイプ部分が含まれることも、含まれないこともあり、この複数のパイプ部分には、インライン装置が設置されていてもされていなくてもよく、このような装置としては、ポンプ、流量センサー、圧力センサー、弁、装置、及び同種のものが挙げられる。（「インライン」という用語は、１つ以上の装置が、流体連通し合っていることを意味する。「オフライン」という用語は、装置が、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置のいずれのモジュールとも流体連通しておらず、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置とは別であるか、又はスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置から分離されていることを意味する。あるいは、インライン装置と流体連通しているとともに、その装置に若しくはその装置から通じている弁を閉じるか、及び／又は流動をその装置から離れた位置に誘導するバイパスラインを開くと、インライン装置は、例えば、その一部を修理又は交換する際に、一時的にオフラインにすることができる。）パイプが互いに、又は本発明の他のエレメント（ポンプ、フィルター、モジュールなど）に連結している場合、「流体連通している」という用語は、「連結している」と言い換えることができ、「連結している」という用語は、「流体連通している」と言い換えることができるが、その連結は、直接的であっても間接的であってもよい。本願の大半の箇所において、ライン、パイプ、及びチューブという用語の使用は、別段の記載のない限り、外径が１／８インチ〜１インチ（０．３２センチメートル〜２．５４センチメートル）のペルフルオロアルコキシ（ＰＦＡ）、ステンレス鋼（ＳＳ）、又はポリエチレン（ＰＥ）チューブを指してよい。有用なチューブは、Ｅｎｔｅｇｒｉｓ、Ｆｉｎｇｅｒ  Ｌａｋｅｓ  Ｅｘｔｒｕｓｉｏｎ、Ｓｗａｇｅｌｏｋ、Ｃａｒｄｉｎａｌ、Ｍａｒｃｏ  Ｔｕｂｉｎｇ、及びＶａｌｅｘから市販されている。チューブ間の連結部は、チューブに関して上に列挙した材料と同じ材料から作製してよく、連結部も市販されている。ｐＨが非常に高い（例えば１０超）か、又はｐＨが非常に低い（例えば４未満）スラリー又は化学ブレンドを装置が混合する場合、装置の部分のうち、ｐＨが非常に高いか又は非常に低い化学物質と接する部分、例えば、パイプ、チューブ、タンク、弁などは、Ｔｅｆｌｏｎコーティング部分にする。このような部分は、上に列挙した供給業者と同じ供給業者から入手可能である。
【００４４】
別段の定めのない限り、又は文脈から明らかでない限り、「スラリー」という場合にはいずれも、原料スラリー、混合スラリー、完全混合スラリー、更なる混合スラリー、又は混合済みスラリーを含む。別段の定めのない限り、「混合スラリー」という場合にはいずれも、混合スラリー、完全混合スラリー、更なる混合スラリー、又は混合済みスラリーを含む。別段の定めのない限り、又は文脈から明らかでない限り、「化学ブレンド」という場合にはいずれも、化学ブレンド、完全混合化学ブレンド、更なる混合化学ブレンド、又は混合済み化学ブレンドを含む。混合スラリーと完全混合スラリーは、同じものを指す。化学ブレンドと完全混合化学ブレンドは、同じものを指す。
【００４５】
本発明の装置内のソレノイドマニホールドの堅牢性を高めるために、カスタム金属コネクターを用いて、加圧空気をソレノイドマニホールドに供給するためのポリマーチューブを連結するとともに、ソレノイドマニホールドから出る加圧空気の返送チューブを連結してよい。本発明は、このようなソレノイドマニホールドを用いるスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供する。
【００４６】
本明細書及び特許請求の範囲で用いる場合、「フィルターエレメント」という用語には、１つ以上のハウジング内の１つ以上のフィルターが含まれる。「フィルター配列体」という用語は、単一のハウジング内の２つ以上のフィルター、直列の２つ以上のフィルター若しくはフィルター配列体、又は並列配置の２つ以上のフィルターを説明する目的で用いており、少なくとも２つのフィルター又は少なくとも２つのフィルター配列体が存在することを意味し、そのそれぞれが、少なくとも１つのフィルター又は少なくとも１つのフィルター配列体の上流及び下流にある別のラインと、少なくとも１つのフィルター又は少なくとも１つのフィルター配列体の上流又は下流のいずれか、好ましくは少なくとも上流、より好ましくは上流及び下流にある少なくとも１つの弁とを有し、少なくとも２つのフィルター又はフィルター配列体のうちの少なくとも１つのそれぞれにつながっている別のラインは、少なくとも同じ上流ラインと、所望により、並列なフィルター又はフィルター配列体の下流の同じラインと流体連通している。上記の弁は、フィルターを隔離させて、フィルターをオフラインにしたり、交換したりできるようにする。フィルターエレメントには、フィルターループ内のフィルター又はフィルターエレメントも含めてよく、この場合、フィルターループは、直列配置であっても並列配置であってもよい少なくとも１つのフィルター又はフィルター配列体と、ポンプとを備える。フィルター配列体は、２つ以上、例えば２〜５個のフィルターを密接させて連結したものであり、単一のフィルターハウジング内にあってもよい。
【００４７】
図１Ａ、１Ｂ、及び１Ｃを参照すると、本発明の一実施形態によるスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置２０であって、スラリー及び／又は化学ブレンド送出モジュール１００と、混合モジュール２００と、任意の分析モジュール３００と、分配モジュール４００とを備える装置が示されている。あるいは、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、下記のモジュール又はモジュールの態様のそれぞれを、単独又はいずれかの組み合わせで備えてもよい。例えば、本発明の装置は、特に化学ブレンド供給装置（送出モジュールを備えないことを意味する）である場合、混合モジュールと、分配モジュールと、任意の分析モジュールとを備えてもよい。
【００４８】
多くの市販のスラリーでは、スラリーは、最小限の流速で動かし続けなければならない。さもなければ、重力により、スラリー及び／又は化学ブレンドの粒子は、懸濁状態を失うことになる。最小限の流速は、スラリー粒子のタイプによって決まり、チューブを通じて、０．２フィート（０．０６メートル）／秒超であってよい場合もあれば、２．５フィート〜１０フィート（０．７６メートル〜３．０５メートル）／秒であってよい場合もあり、約３．５フィート（１．０７メートル）±１フィート（０．３０メートル）／秒であってよい場合もある。本発明の装置は、大量のスラリー及び／又は化学ブレンドを動かし続けて、スラリー粒子を懸濁状態に保ち、原料スラリーの場合には、いつでも混合できる状態にするように、又は、混合済みスラリー若しくは混合済み化学ブレンドの場合には、ＣＭＰ又はその他のツールによっていつでも使用できるように、ポンプと、循環ループと、タンクと、パイプと、弁と、エダクターとを備える。本発明の装置は、ファブのニーズに応えるために、すなわち、混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドをＣＭＰツールに送るとともに、ＣＭＰツールによって必要とされるのに応じて、混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドを作製するように、液位センサー、圧力センサー、及び流量センサーによる手段と、ポンプ速度を制御するコントローラーと、弁口と、流量コントローラーとを更に備える。加えて、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、スラリー及び／又は化学ブレンドの規格（又は特徴）が所望の範囲内となるように、周期的又は連続的、且つ迅速にチェックして、大量の規格外スラリー及び／又は規格外化学ブレンドが作られる前に、いずれかの調節を行えるようにするために、分析ツール（分析装置ともいう）を備えるインライン分析モジュールを１つ以上備える。この分析モジュールは、１つ以上の分析装置と、分析モジュールにつながっているか、及び／又は分析モジュールからつながっているパイプとを備えてよい。分析パッケージ及び分析モジュールという用語は、同義的に用いてよい。加えて、本発明は、大きすぎる（規格外である）スラリー粒子を除去して、ファブ内のＣＭＰツール用に、所望の粒度の規格内混合スラリーを大量の（又は必要に応じた）供給量で用意するように、且つ、最大許容寸法を超えるいずれかの粒子（不純物）を化学ブレンドから除去して、その化学ブレンドを必要とするツール用に、最大許容寸法を超えるいずれの粒子も含まない規格内化学ブレンドを大量の供給量で用意するように、１つ以上のインラインフィルターエレメントを備えるスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供する。
【００４９】
スラリー送出モジュール１００について、図１Ａ及び図２を参照しながら説明する。スラリー送出モジュール１００は、スラリーを１つ以上のスラリー供給容器３０Ａ、３０Ｂから取り出すためのスラリー移送ポンプ３１を少なくとも１つ備える。スラリー送出モジュール１００は、１つ以上のスラリー移送ポンプ３１（図では１つ示されている）によって得られる吸引力によって、供給容器３０Ａ、３０Ｂから取り出した原料スラリーを受け入れるために、１つ以上のスラリー移送ポンプと流体連通している１つ以上の原料スラリーデイタンク（スラリー送出タンク又は送出タンクともいう）８０（図では１つ示されている）を更に備える。スラリー送出モジュール１００は、スラリーを１つ以上のスラリー供給容器３０Ａ、３０Ｂから取り出すことができる。典型的には、原料スラリーは、ドラム又はトートで供給される。ドラムには典型的には、５５ガロン（２０８．２０リットル）収容され、トートには、３００ガロン（１１３．５６リットル）含まれる。したがって、スラリー供給容器は典型的には、５５〜３００ガロン（２０８．２０〜１１３．５６リットル）であるが、本発明のスラリー供給容器は、いずれの大きさであることもできる。「スラリー供給容器」という用語を本明細書で使用するものとし、この容器は、ドラム若しくはトート、又は他のタイプ若しくはサイズの容器であることができると理解されたい。典型的には、スラリー供給容器は、頂部のみに開口を有し、このことにより、典型的には、スラリーをスラリー供給容器からくみあげることができるポンプが必要となる。スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置２０のスラリー送出モジュール１００は、スラリー供給容器３０Ａ、３０Ｂに取り付けられているか、又は別段の形で、典型的にはスラリー供給容器３０Ａ、３０Ｂの頂部の開口を通じて、スラリー供給容器の中に配置されている１つ以上のパイプ又は連結部２９Ａ、２９Ｂを備える。パイプ又は連結部２９Ａ、２９Ｂは、そのパイプの開口のうち、そのパイプの末端にある開口（スラリーがパイプに入る開口）が、スラリー供給容器３０Ａ及び３０Ｂの底部又は底部のすぐ上（例えば、底部から１インチ（２．５４センチメートル）以内、又は３インチ（７．６２センチメートル）以内）にくるような大きさになっている。スラリー及び／又は化学ブレンド供給容器３０Ａ、３０Ｂは、加圧せず、常圧であるのが好ましく、大気に開放されていて、スラリーを容器から取り出す際に、ポンプによって、容器３０Ａ、３０Ｂの内部が真空にならないようになっていてよい。スラリー及び／又は化学ブレンド供給容器は、ろ過されて塵埃が除去された（清浄な）空気がインラインのスラリー容器内に流入するように、任意のフィルタースクリーン（図示なし）を上に備える蓋を有してよい。加えて、図１Ａに示されているように、ライン２９Ａ、２９Ｂには、スラリー供給容器に存在し得るか、又はスラリー供給容器の中に落下し得るいずれの屑も捕捉するろ過器コンポーネント３９Ａ、３９Ｂがある。ろ過器コンポーネントの一実施形態は、図１０に更に詳細に示されている。
【００５０】
図１０は、図１Ａに示されているような送出モジュールにおいて、ライン２９Ａ及び２９Ｂに連結できるともに、ライン２９Ａ及び２９Ｂ内で用いることができるハウジング１２１０内のフィルター１２１１を示すために、ろ過器コンポーネント１２００の一実施形態を切取内部図で示している。この代わりに、又はこれに加えて、１つ以上のろ過器コンポーネントは、本発明の装置のいずれのモジュール（混合モジュール、分析モジュール、分配モジュール）のうちの１つ以上において、１つ以上のラインに連結できるとともに、１つ以上のライン内で用いることができる。ろ過器コンポーネントは、屑を捕捉するためのろ過器、フィルター、網、又はメッシュを備え、流動を比較的妨げないとともに、制限しないように（ろ過器コンポーネントによる圧力の低下が比較的小さいだけである（例えば１ｐｓｉ未満）ことを意味する）、メッシュ、フィルター、又はその他の開口のサイズと、成分流面積及び／又は流速とが充分な大きさであるのが好ましい。加えて、ろ過器コンポーネント１２００は、長さＬと同じ長さのチューブであって、そのろ過器コンポーネントに連結しているチューブの流路面積及び流量容積よりも大きくてもよい流路面積及び流量容積を画定するとともに、スラリー及び／又は化学ブレンドをろ過器コンポーネント１２００に流すハウジング１２１０を備えてよい。ろ過器コンポーネントは、流体をろ過器コンポーネント１２００に運ぶパイプ（図１０には示されていない）に連結している流体導入口１２１５と、流体をろ過器コンポーネント１２００から運ぶパイプ（図１０には示されていない）に連結している流体排出口１２１６とを備える。図示されているように、ろ過器コンポーネント１２００は、円筒形フィルター１２１１と、フィルター１２１１を通って流体排出口１２１６から、ろ過器コンポーネント１２００の下流のパイプまで、スラリー及び／又は化学ブレンドの流動を誘導する任意の１つ以上の内部流動誘導部１２１２とを更に備える。図示されているように、ろ過器コンポーネント１２００は、その中までフィルター１２１１を延ばすことができるトラップ１２１３を有する。トラップ１２１３は、（大き目の）屑と、スラリー及び／又は化学ブレンドに存在する屑のうち、流体導入口１２１５を通るがフィルター１２１１を通らないいずれかの屑を取り除くためのねじ式の排出キャップ１２１４とを保持するための空間ももたらす。
【００５１】
本発明の一態様では、本発明は、任意のろ過器コンポーネントを１つ以上備えるスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供する。ろ過器コンポーネントは、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置のいずれかの実施形態において、モジュールのうちのいずれかの１つ以上の中で用いることができる。送出モジュール１００内のスラリー移送ポンプ３１の前のライン内にろ過器コンポーネントを加えて、スラリー供給容器の中に落下し得る屑が、送出タンク内に圧送されるのを防ぐことは有益である。また、スラリー供給容器内に形成され得るとともに、スラリーに存在するいずれかの凝集粒子を分散又は捕捉する手段を提供するという更なる利点ももたらす。後者の理由から、装置２０の１つ以上の他のラインのうちのいずれかにろ過器コンポーネントを加えて、スラリー及び／又は化学ブレンドに存在し得るいずれかの大きめの粒子を捕捉することも有益な場合がある。本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置では、平滑なパイプ及び継手が用いられており、循環ループのために、デッドレッグの数及びサイズが軽減されているか、及び／又はデッドレッグが排除されているが、凝集粒子が、湾曲部、連結部、及びデッドレッグで形成される可能性が依然として存在する。このため、１つ以上のろ過器コンポーネントを１つ以上のモジュール内の１つ以上のパイプ、又はスラリー及び／若しくは化学ブレンド供給装置の１つ以上のモジュール間のパイプに加えることが有益であるとともに、好ましい。ろ過器コンポーネントは、流量コントローラー（特に混合モジュール若しくは分析モジュール内の流量コントローラー）、ニードル弁、及び同種のものの前、並びに／又は１つ以上のセンサー若しくは１つ以上の分析装置の前など、開口が限られているか又は狭いコネクター又は機構の上流に存在するときに、特に有益である。ろ過器コンポーネントは、スラリー及び／又は化学ブレンドに存在するいずれかの大きめの粒子を除去することにより、このような粒子が、装置内のいずれかの小さいオリフィスをふさぐのを防ぐ助けとなる。ろ過器コンポーネントで用いるフィルター又はメッシュのメッシュサイズは、０．０５０〜１．２ミリメートル（ｍｍ）、０．１〜０．９ｍｍ、又は０．４〜０．６ｍｍであるのが好ましい。装置２０内の１つ以上のろ過器コンポーネントは、６カ月〜１年おきに洗浄するか、又は詰め替える（取り外して交換する）ことが好ましいとともに、スラリー及び／又は化学ブレンドの特徴に応じて、上記よりも高頻度又は低頻度で交換することもできる。
【００５２】
スラリー又は化学ブレンド供給装置の代替的実施形態では、（あまり好ましくないが、）チューブの断面に挿入した単純なろ過器、平坦なフィルター、又は同種のものをろ過器コンポーネントとして用いることができるが、単純なろ過器、平坦なフィルター、又は同種のものを、そのチューブの上流及び下流に連結させたパイプよりも断面が大きいチューブの断面に搭載する場合には更に好ましくないが、単純なろ過器、平坦なフィルター、又は同種のものをろ過器コンポーネントとして用いるのが、より好ましいであろう。図１０に示されているようなろ過器コンポーネントは、例えばＩＰＥＸから市販されている。
【００５３】
未希釈の濃縮スラリーをそれぞれ含む２つのスラリー供給容器３０Ａ、３０Ｂに関しては、図１Ａでは、スラリー供給容器３０Ａはパイプ２９Ａを介して、スラリー供給容器３０Ｂはパイプ２９Ｂを介して、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置２０に連結しているか、又は少なくともスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置２０と流体連通しているものとして示されている。弁操作（図示なし）により、１度に１つのスラリー供給容器のみをポンプで操作するのが好ましいが、代替的実施形態では、２つ以上のスラリー移送ポンプ又は１つの強力なスラリー移送ポンプによって、複数の容器を同時にポンプで操作することができる。図示されているように、吸引によるスラリー移送ポンプ３１と、パイプ２９Ａ、２８、２７が、スラリーを容器３０Ａからデイタンク（送出タンク）８０に運ぶ。スラリー移送ポンプ３１が、スラリーをスラリー供給容器３０Ａから運んでいる時には、ライン２９Ｂ内の弁（図示なし）は閉じており、ライン２９Ａ内の弁（図示なし）は開いている。送出モジュールは、スラリー移送ポンプ３１からの排出物（スラリー供給容器３０Ａから取り出したもの）を循環させて容器３０Ａに戻すための循環ループを形成するように、スラリー供給容器３０Ａに戻る任意の循環パイプ、すなわち返送パイプ３２Ａを有してよい。循環ループは、パイプ２９Ａと、ポンプ３１と、返送パイプとを備える。新たな容器をラインに入れたら、スラリーを所定の期間、循環ループに循環／再循環させて、粒子をスラリーの流体内に分散させるのが好ましい。所定の期間の経過後、循環ループを返送パイプ３２Ａ内の弁（図示なし）によって閉じ、パイプ２７内の任意の弁（図示なし）を開くことによって、スラリー供給容器から圧送したスラリーをデイタンク８０に運ぶ。あるいは、パイプ３２Ａ及び２７内の弁（図示なし）を部分的に開閉することによって、一部のスラリーを循環ループに循環させることができるとともに、一部のスラリーを送出タンク８０に運ぶことができる。あるいは、図示されていないが、スラリーをデイタンク（送出タンク）８０に運ぶためにオンラインにするのに備えて、スラリーを容器から取り出して循環させたり、容器に戻したりする別のポンプ及び循環ループを設けることもできる。スラリーをスラリー供給容器から循環させるための別のポンプ及び循環ループを有すると、所望に応じて、循環ポンプを用いて、同時に、１つ以上のスラリー供給容器内のスラリーを循環させるとともに、送出ポンプを用いて、スラリーを送出タンクに移送することが可能になる。さらに、スラリーをスラリー供給容器（単数若しくは複数）からデイタンク（単数若しくは複数）に移送するプロセス、及び／又は、スラリーをスラリー供給容器（単数若しくは複数）から圧送して循環させて、スラリー供給容器（単数若しくは複数）に戻すプロセスのいずれか又は両方の前及び／又は後に、スラリーを分散形態及び懸濁形態に保つために、容器３０Ａ及び３０Ｂはそれぞれ所望により、図示されているように、循環ライン３２Ａ及び３２Ｂ（若しくは循環ループ）の代わりに、又は循環ライン３２Ａ及び３２Ｂ（若しくは循環ループ）に加えて、メカニカルスターラー１１Ａ及び１１Ｂを有することができる。
【００５４】
スラリー移送ポンプ３１は、いずれのタイプのポンプであってもよい。スラリー供給容器３０内のスラリーは、典型的には、上記のように、スラリー供給容器の頂部から取り出すので、くみあげ力を有するとともに、スラリーを吸引力によって容器から、スラリー供給容器３０の底部に至るまでくみあげる際に、キャビテーションを発生させずに作動できるダイヤフラムポンプが、このプロセスには好ましい。ダイヤフラムポンプを用いる利点の１つは、スラリー供給容器３０のスラリーが無駄にならず、無駄になったとしても少量である点である。本発明の装置（送出モジュール）は、流量センサー３３を備えてよい。流量センサー３３は、好ましくはスラリー移送ポンプ３１の上流のラインに設けてよく、スラリー供給容器が空であることをコントローラー（図示なし）に通知する目的で用いる。流量センサーは、単純なセンサー、例えば光センサー、又は空気と比較して、液体（スラリー）の異なる静電容量を検知する静電容量センサー（Ｂａｌｌｕｆｆ製センサーなど）であってよい。ある期間にわたりスラリーが存在しないと、ライン２９Ａ及び２９Ｂにある弁（図示なし）は、コントローラーの制御下で、コントローラー（図示なし）からの電気信号によって、開状態から閉状態に、及び閉状態から開状態に自動的に切り換わって、ポンプ３１による吸引力がスラリー供給容器３０Ｂに加わるか、あるいは、ポンプ３１が、ポンプ操作を停止して、空のスラリー供給容器を交換するように技師に通知するようにしてよい。あるいは、本発明の装置は、スラリー供給容器が空になったら知らせて、空のスラリー供給容器を満杯のスラリー供給容器に交換させる目的で用いることができるスラリー供給容器用重量センサー又は液位センサーを含む他のタイプのセンサーを備えるように作製してもよい。
【００５５】
あるスラリー供給容器から別のスラリー供給容器に、例えばスラリー供給容器３０Ａからスラリー供給容器３０Ｂに切り換える際には、スラリーをスラリー供給容器から、スラリー移送ポンプ３１を介してデイタンク（送出タンク）８０に運ぶ前に、ある期間にわたり、典型的には１〜１２０分間、２〜３０分間、２分〜５分間、スラリーを再循環ループに圧送するのが好ましい。スラリー供給容器３０Ｂをポンプで操作しながら、空のスラリー供給容器３０Ａをライン２９Ａから外すことができるとともに、スラリーの入ったスラリー供給容器をライン２９Ａに取り付けるか、又は別段の形でライン２９Ａと流体連通させることができる。
【００５６】
スラリー移送ポンプ３１は、４０〜２５０リットル／分、９０〜２１０リットル／分、又は約１４０リットル／分のスラリーを圧送できるような大きさになっていて、それにより、１時間未満、３０分未満、又は１５分未満でドラムを空にできるのが好ましい。加えて、典型的には、ダイヤフラムポンプの吸い上げ高さは、１０〜３０フィート（３．０４８〜９．１４メートル）、又は１５〜２１フィート（４．５７〜６．４０メートル）であり、及び／又は、吐出圧力は約１２５ｐｓｉである。ポンプ性能は、供給される空気圧によって制限される。最大のポンプ性能を得るためには、ポンプに供給を行う調整器が、ポンプの対処できる最大圧力を供給できるが、スラリーに及ぶ影響を考慮しなければならず、一部のスラリーでは、低めのポンプ速度が求められることがある。
【００５７】
図１Ａに示されているように、ポンプ３１が、スラリーをスラリー供給容器３０Ｂから取り出すと、スラリーは、ライン２９Ｂ、ろ過器３９Ｂ、流量センサー３３、スラリー移送ポンプ３１、ライン２７を通って、デイタンク（送出タンク）８０まで流れる。ポンプから出たスラリーの全部又は一部を循環させてドラム３０Ｂに戻す場合には、ライン２７内の弁（図示なし）を閉じて、ライン３２Ｂ内の弁（図示なし）を開く。
【００５８】
送出モジュール１００は、所望により、分流３５に流入するスラリーを分析する粒子計数器及び／又は粒度分布分析器３４を備えてよい。分流３５は、デイタンク（送出タンク）８０に運ばれるライン２７内のスラリーのごく一部が、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器３４に流れるような大きさになっている。粒子計数器及び／又は粒度分布分析器３４を連続的又は断続的に用いて、スラリーの質をチェックできる。粒子計数器及び／又は粒度分布分析器３４は、取り付けて間もないスラリー供給容器であって、初期の再循環期間が終わり、デイタンク（送出タンク）８０への移送を始めたばかりのスラリー供給容器から、スラリーを移送し始める時のみに用いてよい。粒子計数器及び／又は粒度分布分析器３４は、スラリーに存在する粒子数／スラリーの体積をチェックすることによって、及び／又はこれらの粒子のサイズの範囲とサイズの分布が、所望の範囲内であるか割り出すことによって、スラリーの質をチェックする。有用なように、一部の粒子計数器では、存在する粒子の数とサイズを分析する前に、スラリーを希釈する必要がある。粒子の数とサイズを分析する前にスラリーを希釈する必要がない粒子計数器及び／又は粒度分布分析器を用いることも可能である。図示されているように、３４に運ばれるスラリーは、希釈して破棄し、代わりに、スラリーを希釈しない部分については、そのスラリーは、返送することができる。
【００５９】
上記の代わりに、又は上記に加えて、スラリーをデイタンク（送出タンク）８０に圧送し始めるために充分にスラリーが攪拌されて懸濁状態になった時点を割り出すように、１つ以上の粒子計数器及び／又は１つ以上の粒度分布分析器を再循環ライン３２Ａ及び３２Ｂに設けることができる。スラリーが所望の範囲内でないことを粒子計数器及び／又は粒度分布分析器３４が示した場合には、ライン２７内の弁（図示なし）を開状態から閉状態に切り換え、再循環ライン３２Ａ又は３２Ｂのいずれかの弁（図示なし）を閉状態から開状態に切り換えて、スラリーをデイタンク（送出タンク）８０に運ばずに、スラリーを再循環ループに流入させる。ドラム内のスラリーが規格外であることを粒子計数器及び／又は粒度分布分析器３４が示した場合には、供給ドラム３０Ａにつながっているライン２９Ａ及び供給ドラム３０Ｂにつながっているライン２９Ｂの開いた弁と閉じた弁（図示なし）を切り換えてよく、作業者に、規格外であるスラリーの入ったドラムを交換して、その中身をオフラインで試験するように通知してよい。
【００６０】
あるいは、スラリー（原料又は混合スラリー）が規格外であると１つ以上の粒子計数器及び／又は１つ以上の粒度分布分析器が判断した場合、１つ以上の粒子計数器及び／若しくは１つ以上の粒度分布分析器、又は本発明の装置用のコントローラーに備えられているアルゴリズムであって、本発明の装置用のコントローラーに通知される情報を用いるアルゴリズムによって、スラリーがどの程度規格外であるか、本発明の装置が、その規格外スラリーを修正できるかを割り出すことができ、修正できる場合には、コントローラーが、スラリーを適切な処理に誘導できる。例えば、スラリーに存在する大きい粒子の数が非常に多いと１つ以上の粒度分布分析器が判断した場合、本発明の装置は、その装置の提供する自動制御によって、スラリーの一部又は全部を処理手段、例えばフィルターエレメント、例えばフィルター又は配列体（特定のサイズを上回る粒子の一部又は大半を除去する目的で、装置自体のフィルターループに搭載されていてよい）に誘導できる。パイプに加減弁を設けて、スラリーに存在する規格外粒子の量に応じて、スラリーの所望の部分を処理手段の方に誘導することもできる。特に本発明の装置が２種類以上のスラリーを混合及び供給する場合、本発明の装置は、各種サイズの粒子をろ過するための様々なフィルターを備える様々なフィルターエレメントを備えることができる。加えて、スラリーに、小さい粒子が非常に多く存在する場合（１つ以上の粒度分布分析器によって判断）、小さい粒子を除去するために、スラリーの全部又は一部を処理手段に誘導できる。このような手段の１つは、１つ以上の流路（分岐流路であってよい）と、１つ以上の膜と、１つ以上のフィルターと、１つ以上の返送流路とを伴うことができる。例えば、分流を、例えばライン３２Ａ及び／又は３２Ｂ以外に設けることができ、その分流には、スラリー内の小さい粒子及び流体の一部のみを通して、小さい粒子のみを有する別のスラリー流であって、小さい粒子用の別のフィルターに誘導できるスラリー流をもたらす下流膜を有する逆止弁がある。スラリーの部分のうち、上記の膜を通らなかった部分は、ループ内で、送出モジュール、例えばライン３２Ａ及び／若しくは３２Ｂ、又は原料スラリー容器３０Ａ及び／若しくは３０Ｂに返送することができる。大きめの粒子が膜をふさがないように、上記の膜を連続的若しくは断続的に振動させることができ、又は、膜を通る流動を断続的に反転させることができる。例えば、小さい粒子を濾取した後、すでに膜又は膜の配列体を通ったろ過済みのスラリー（粒子を含むとしてもわずかである）は、膜を逆流させることによって、原料スラリーに戻してよい。この代わりに、又はこれに加えて、２つ以上の平行な膜又は膜の配列体（それぞれ、パイプと、各膜（又は膜の配列体）と関連する弁とを有する）を搭載及び使用することができる。膜（単数又は複数）を通るスラリーの流動は、目詰まりした膜（圧力の上昇によって判断する）から、未使用の膜に誘導でき、その際には、ろ過済みのスラリー（フィルターによって除去した小さい粒子を含まない）の流動を反転させ、目詰まりした膜に通して、大きめの粒子を目詰まりした膜から取り除くことにより、膜を通らなかった大きめの粒子を含む原料スラリーを再構成できる。小さい粒子を通す膜が、スラリー内の大きめの粒子によって詰まる期間の後、並列の膜の動作を再度切り換え、ろ過済みのスラリーの流動を誘導して、目詰まりした膜に逆流させる一方で、別の膜を用いて、小さい粒子をその膜に通して、小さい粒子をスラリーからフィルターによって下流に分離する。使用期間後、膜を交換したり、又は水（ＤＩＷ又はＵＰＷ）によって逆洗したりすることによって、大きい粒子を取り除く必要がある場合もあり、得られた流体（膜から取り除かれた水と粒子を含む）は、破棄又はリサイクルすることができる。（並列な膜を切り換える機構は、本明細書の別の部分に記載されている並列フィルターを切り換える機構と同様であってよい。）小さい粒子を除去するのに用いるフィルターも、本明細書の別の部分に記載されているように、フィルター又はフィルター配列体の圧力が上昇したら、互いに切り換えられる並列フィルター又はフィルター配列体であることができる。（代替的実施形態では、原料スラリーの一部又は全部を処理手段によって処理して、原料スラリーを送出タンクに圧送する前、又は、原料スラリーを混合モジュールに流入させる前に、小さい粒子を原料スラリーから除去できる。処理手段は、図２に示されているフィルター２３０と同様に、送出モジュールに組み込んで、原料スラリーが循環ループ内で循環する際に、原料スラリーを処理する目的で用いることができる。）
【００６１】
（スラリー又は化学ブレンドサンプルの希釈を分析装置、例えば粒子計数器及び／又は粒度分布分析器が必要とする場合、）希釈のために、スラリー若しくは化学ブレンド、及び／又は任意の水を粒子計数器及び／又は粒度分布分析器に流入させる操作は、ダイヤフラムポンプ又はその他のポンプからの圧力と連動して、圧力センサー（図示なし）、流量コントローラー（図示なし）、及び／若しくは蠕動ポンプ（図示なし）、並びに／又は弁（特にはニードル弁（単数又は複数））のうちの１つ以上によって制御する。スラリー若しくは化学ブレンド、及び／又は超純水（ＵＰＷ）若しくはＤＩＷ（脱イオン水）（ＵＰＷ又はＤＩＷは、サンプルを希釈するか、及び／又はサンプルの分析の完了後に、分析装置をすすぎ洗う目的で供給してよい）を分析装置に供給する装置及び方法の実施形態は、図１２、１３、及び１４との関連で後述されている。
【００６２】
サンプルを送出モジュールの様々な部分から採って、チューブを介して、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器３４に運んでよい。例えば図２に示されているように、フィルター２３０の前後に、ポート１０００とチューブを設けて、粒度、粒子数、及び粒度分布をチェックしてよい。（チューブは示されていない。）サンプルを分析する前に、液体粒子計数器がスラリーを希釈する場合、スラリーサンプルを分析後、スラリーサンプルを廃液ラインに誘導することになる。液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器がサンプルを希釈しない場合、サンプルループ（図示なし）を介して、スラリーを送出モジュールにポート１００１で返送してよい。サンプルの採取は、コントローラー（図示なし）、例えばコンピューター若しくはＰＬＣ、又は同種のものによって制御する。代替的実施形態では、ポート１０００Ａ、１０００Ｂ、及び１００１と、それらに取り付けたサンプルチューブ及び／又はサンプルループを用いて、スラリーを、スラリー供給（及び化学ブレンド供給）装置の一部である分析モジュールに運んでよい。送出モジュール１００の液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器３４は、１つ以上の分析モジュールに加えたものであっても、１つ以上の分析モジュールの代わりのものであってもよい。代替的実施形態では、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器３４は、送出モジュール１００又はスラリー及び／若しくは化学ブレンド供給装置の他の位置にあってよい分析モジュール（他の分析装置を備えても備えなくてもよい）の一部である１つ以上の分析装置である。これらの実施形態では、化学ブレンドを希釈しても、及び／又は分析してもよいとともに、破棄しても、又は本発明の装置に返送してもよい。
【００６３】
図１Ａ及び２に示されているように、スラリー移送ポンプ３１とデイタンク（送出タンク）８０との間に、任意のタンクバイパスライン２６が設けられている。例えば、洗浄のため、コンタミネーションの問題に対処するため、混合モジュールによって、スラリーを即座に供給することが求められる場合、又は、デイタンク８０を迂回する必要があるいずれかの理由で、デイタンク８０をオフラインにする際に、タンクバイパスライン２６を用いることができる。あるプロセスでタンクバイパスライン２６を使用中（デイタンク８０を未使用の際）には、循環ライン（図示なし）も用いて、スラリーを循環させて、スラリー供給容器３０Ａ（又は３０Ｂ）に戻すのが好ましい。循環ライン（図示なし）は、ライン２１（デイタンク（送出タンク）８０の上流にある）を、スラリーが取り出される１つ以上のスラリー供給容器に連結するとともに、タンク８０を迂回することになる。図１Ａに示されているように、タンクバイパスライン２６は、ライン２６内の弁（図示なし）を開くとともに、バイパスライン２６との連結部とデイタンク８０との間にあるライン５５内の弁（図示なし）を閉じることによって用いる。バイパスラインを用いて、所望又は必要に応じて、スラリーをループ８２に直接且つ迅速に送達でき、これにより、混合モジュールに通じるライン２１２に送達できる。
【００６４】
バイパスライン２６、並びにスラリー供給容器循環ループ３２Ａ及び３２Ｂ内の弁（図示なし）を閉じるか、又は部分的に閉じると、典型的には完全に閉じると、ライン２７は、スラリーをスラリー供給容器３０Ａ、３０Ｂからデイタンク又は送出タンク８０に送出する。
【００６５】
図２に示されている実施形態では、（１）１つ以上のスラリー供給容器３０Ａ、３０Ｂから出た原料スラリーの全部又は一部をろ過して、ろ過した原料スラリーを１つ以上のスラリー供給容器３０Ａ、３０Ｂに返送するか、（２）１つ以上のスラリー供給容器３０Ａ、３０Ｂから出た原料スラリーの全部又は一部をろ過して、ろ過した原料スラリーをデイタンク又は送出タンク８０に運ぶか、又は（３）デイタンク又は送出タンク８０から出た原料スラリーの全部又は一部をろ過して、ろ過した原料スラリーをデイタンク又は送出タンク８０に戻すように、スラリー送出装置２０の送出モジュール１００は、１つ以上のフィルター（フィルターエレメント）２３０（１つのフィルターが図示されている）と、それらの間にある連結ラインとを備えてよい。上記のリストで（１）が付されたプロセスでは、スラリー移送ポンプ３１が、スラリー供給容器３０Ａ（例えば）から出た原料スラリーの流動をパイプ２９、２８、２７に通し、パイプ２７′内の弁（図示なし）を閉じ、原料スラリーをパイプ１９からパイプ１７に通して、フィルター２３０に到達させる。（パイプ１８内の閉状態の弁又は逆止弁（図示なし）により、原料スラリーの流動は、パイプ１８には入らない。）原料スラリーが、フィルター２３０を通ってライン１６に至ったら、ライン１４内の弁（図示なし）を閉じると、原料スラリーは、ライン１５を介して、図２で２７″の符号が付されたラインの区間で、ライン２７に返送することができる。ライン２７から、ライン３２Ａ又は３２Ｂを介して、スラリーをスラリー供給容器のうちの１つに返送する。あるいは、上記のプロセス工程では、スラリーをろ過後、ライン１５又は２７″内の弁（図示なし）を閉じると、フィルター２３０から出たろ過済みのスラリー及び／又は化学ブレンドの流動は、ライン１４を通って、デイタンク又は送出タンク８０に至ることになる。
【００６６】
あるいは、ライン２７′内の弁（図示なし）を部分的に開いて、ライン２７の流動の一部をフィルター２３０に誘導し、その流動の一部をタンク８０に誘導してよい。ライン１８、１４、及び１５内の他の弁（図示なし）の１つ以上を部分的に開くことによって、連結しているライン間の流動を分割してよい。
【００６７】
代替的実施形態（図示なし）では、本発明の装置は、スラリー供給容器のうちの１つ以上から出たスラリーをろ過して、そのスラリー供給容器に戻すように、パイプループに１つ以上のフィルター（所望により、これらのフィルターは、様々なポアサイズを有してよく、所望により、これらのフィルターは、１つ以上のフィルター配列体に配置してよい）を有する別のパイプループ内にポンプを備える別のフィルターループを備えるように提供（製造）してよいことに留意されたい。あるいは、本発明の装置には、スラリー供給容器のうちの１つ以上から出たスラリーをろ過して、１つ以上のデイタンクに供給するか、１つ以上のデイタンクから出たスラリーをろ過して、その１つ以上のデイタンクに戻すか、及び／又は、他のタンク（例えば分配タンク若しくは貯蔵タンク）のうちの１つ以上から出たスラリーをろ過して、その他のタンクに戻すことができる１つ以上のフィルターループを設けてもよい。あるいは、このフィルターループは、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置内のいずれかのパイプ（例えばループ）内のスラリー又は化学ブレンドの一部又は全部をろ過して、そのスラリー若しくは化学ブレンドを取り出した同じパイプに、又はスラリー及び／若しくは化学ブレンド供給装置内の代わりの箇所（同じ若しくは異なるモジュール（単数又は複数）内のパイプ若しくはタンクを挙げてよい）に、スラリー又は化学ブレンドを返送してよい。例えば、スラリー又は化学ブレンドを大域ループから採り、フィルターループでろ過し、大域ループに返送するか、及び／又は分配タンクに返送することができる。別の実施形態では、混合スラリー又は混合化学ブレンドを混合モジュールから採り、フィルターループでろ過し、混合モジュールに返送するか、及び／又は大域ループに返送することができる。
【００６８】
独自のフィルターループポンプを有する別のフィルターループ（別のフィルターループは、分配モジュール４００に関する図１Ｃに示されている）を設ける利点の１つは、そのループ内の１つ以上のフィルターのポアサイズを非常に小さく、例えば＜０．５マイクロメートル未満にできるように、そのループを設計できる点である。別のフィルターループ内のポンプは、高圧ポンプであることができ、そのフィルターループで用いるチューブ及びチューブ連結部は、孔の小さいフィルターで必要とされる潜在的に高いポンプ圧力に耐えられるように、強度を高くすることができる。これに対して、孔の小さいインラインフィルターと、独自のフィルターループ内にない、例えばスラリー供給容器とデイタンクとの間にある更に高圧のポンプとを用いると、送出モジュールを停止させるリスクが高まる。フィルターがライン内にあり、別のフィルターループ内になく、フィルターが目詰まりしたり、又は動作圧力が、チューブが耐えられる圧力を上回ったりする場合、チューブが破裂することがあり、例えば混合モジュールへの流動を止めなければならなくなる。（混合モジュールが、スラリー又は化学ブレンドの混合を停止しても、分配タンク内の混合スラリー又は混合化学ブレンドがなくなるまで、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の分配モジュールは機能し続けることができるが、それでも、フィルターの問題により、混合モジュールへの流動を止めるのは望ましくない。）あるいは、何らかの理由で、フィルターループ用の別のポンプ、又は、フィルターループ内のフィルター及び／若しくはパイプが機能しなくなったら、そのループライン内の弁のうち、１つ以上のフィルターに通じるか、及び／又は１つ以上のフィルターからつながる１つ又は２つの弁を閉じると、フィルターループを装置の残りの部分から隔離できる。フィルターループ内のスラリー又は化学ブレンドの循環は止まるが、スラリー又は化学ブレンドは、フィルターループに通じるパイプを通り越して、装置内を流れることができるとともに、スラリー又は化学ブレンドは、分配モジュールに供給されるとともに、分配モジュールを通って、ツール又は製造ラインの他の箇所に至ることができる。例えば、送出モジュール内で、フィルターループ内のスラリーの循環が止まることがあるが、原料スラリーは、デイ（送出）タンクに流入し続けることができ、そのうえ、装置が混合モジュールで混合を続けられるとともに、混合スラリーを分配モジュールに供給し、混合スラリーを分配モジュールからＣＭＰ又はその他のツールに供給できるようになっている。
【００６９】
スラリー（又は化学ブレンド）をろ過する必要があり、スラリー（又は化学ブレンド）の特徴により、ろ過が困難である場合、予備のフィルターループ又はフィルターループの一部（例えばポンプ若しくはフィルター（単数若しくは複数））をバックアップとして設けることができる。フィルターループ（単数又は複数）は、２つ以上のフィルター又は２つ以上のフィルター配列体を備えてよく、フィルター又はフィルター配列体はそれぞれ、そのフィルター又はフィルター配列体につながるパイプと、フィルター又はフィルター配列体からつながるパイプと、そのパイプ内の弁とを有し、ある１つのフィルター又はフィルター配列体を通る流量が低下し、そのフィルターに通じるチューブ内の圧力が上昇し始めたら、スラリー（又は化学ブレンド）の流動を、ある１つのフィルターから別のフィルターに、又はある１つの配列体から別の配列体に迅速に切り換えられるようになっている。本発明は、ポンプと、パイプと、１つ以上のフィルター又はフィルター配列体とを備える１つ以上のフィルターループを備えるスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を提供する。これらのフィルターループは、本発明のいずれの実施形態においても、送出モジュール、混合モジュール、分析モジュール、及び分配モジュールのうちの１つ以上において用いても、いずれかのパイプに連結させてもよい。
【００７０】
装置２０で用いるフィルターのポアサイズは、０．１〜２０マイクロメートル、０．５〜１０マイクロメートル、又は１〜５マイクロメートルの範囲であってよい。有用なフィルターは、市販されている。フィルター配列体は、下流にいくほどポアサイズが小さくなるフィルターを備えてよく、例えば、第１のフィルターのポアサイズは１５〜２０μｍであることができ、第２のフィルターのポアサイズは１０〜１５μｍであることができ、第３のフィルターのポアサイズは５〜１０μｍであることができる。
【００７１】
図２には、スラリー供給容器と送出タンクとの間に、ライン２７にある液体粒子計数器及び／又は粒度分析装置３４が示されている。液体粒子計数器３４は、インライン液体粒子計数器又は液体粒子計数器に通じる分流内の粒子を連続的又は断続的に測定するものであってよい。（図２の分流１３３０、図１Ａの分流３５は、その分流が連結しているラインに流入する全スラリー流の一部のみを取り出す。）液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器の好ましい検知範囲内であるスラリー流を得るために、分流は、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器３４に入る前に希釈してもよい。スラリー（又は、別の実施形態では、化学ブレンド）が、単位体積当たりに、所望且つ期待される数の粒子を有するかを液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器がチェックする。典型的には、スラリー内のスラリー粒子は、０．１〜２マイクロメートル、又は０．５〜１マイクロメートルであり、期待される平均粒度及び粒度分布を有する。スラリー（又は化学ブレンド）の液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器への流量は、典型的には約４０〜８０ｍｌ／分である。まずスラリー（又は化学ブレンド）を希釈してから、液体粒子計数器が、希釈スラリー（又は化学ブレンド）を分析する場合、希釈の量を慎重に制御し、液体粒子計数器用のコントローラー（図示なし）又はコントロールシステムが、結果を分析する際の希釈の量を考慮する。液体粒子計数器又はその他の分析装置（分析モジュールの一部である）用のスラリー（又は化学ブレンド）の流動と希釈を制御するためのパイプ及び関連コンポーネントの実施形態は、本明細書では、図１２、１３、１４と関連させながら説明する。典型的には、粒子計数器は、レーザー回折によって機能する。本発明の装置で用いることができる有用なタイプの粒子計数器としては、Ｖａｎｔａｇｅ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｃｏｒｐ.のＳｌｕｒｒｙ  Ｓｃｏｐｅ、ＰＭＳのＬｉｑｕｉｄｌａｚ  Ｓ０５及びＳＯ２、並びにＲｉｏｎ  Ｃｏ．，ＬｔｄのＫＳ−７１が挙げられる。典型的な粒度分析装置は、サブマイクロメートルサイズの粒子の平均粒度と粒度分布を測定するように、レーザー光とフロースルーセルとを用いる動的光散乱によって作用する。本発明で用いることができる有用なタイプの粒度分布分析器としては、ＺｅｔａＳｉｚｅｒ  Ｎａｎｏ  Ｓ、ＺｅｔａＳｉｚｅｒ  Ｎａｎｏ  ＺＳ（Ｍａｌｖｅｒｎ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｌｔｄ.）が挙げられる。このような計器は、０．３ｎｍ〜１０マイクロメートル、又は３ｎｍ〜１００ｎｍの粒度範囲の粒度分布を測定できる。測定される固体粒子濃度範囲は、１０ｍｇ／ｍｌの固体から最大で４０％（ｗ／ｗ）、又は０．０１〜２０％ｗ／ｗであってよい。粒度分布分析器によって測定できるとともに、スラリー（又は化学ブレンド）をモニタリング及び制御する目的で用いることができる更なる粒子分布パラメーターとしては、分布幅、多分散性指数、モダリティ、測定されるＣＭＰスラリー（又は化学ブレンド）のｄ１０、ｄ５０、及びｄ９９のような特定の％における積算分布が挙げられる。
【００７２】
図１及び２の両方に関しては、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置２０が動作している時（スラリー供給容器に出入りする任意の初期再循環ループの後）、ポンプ３１は、ある期間にわたり、少なくとも１つのスラリー供給容器（３０Ａ又は３０Ｂ）からスラリーを取り出して、デイタンク又は送出タンク８０に原料スラリーを充填する。液位センサー８１（超音波液位センサーであってよい）によって検知した場合に、デイタンク８０が所定の液位（最小充填液位）まで達したら、ポンプ４１は、原料スラリーを循環ループ又は原料スラリーループ８２に圧送し始める。通常の動作では、スラリーがデイタンク８０に、最小充填液位を超えて存在する限り、ポンプ４１は、スラリーをデイタンク８０から原料スラリーループ８２に圧送し、原料スラリーループ８２は、返送ライン２１を介して、スラリー又はスラリーの少なくとも一部をデイタンク８０に返送する。スラリーループ８２は、タンク８０の出口開口７２７（図７及び８参照）に取り付けられたものとして示されており、ライン２５、２４、２３、２２、返送ライン２１、ポンプ４１、及び／又は流量センサー４２、及び／又は圧力センサー４４、及び／又は背圧コントローラー４３、及びタンク８０を備える。スラリーのループ８２での安定した流動を保つために、ポンプ４１、流量センサー４２、圧力センサー４４、及び背圧コントローラー４３は、一緒に動作してよい。ポンプは、滑らかに動作する磁気浮上式遠心ポンプであって、一定若しくはほぼ一定の速度で、又はクローズドループ制御モードで、一定若しくはほぼ一定の圧力若しくは流速で動作するポンプが好ましい。流量センサー４２は、ポンプの下流のループ内のスラリーの流速（質量流速であっても体積流速であってもよく、体積流速が好ましい）を測定し、その流速は、本発明の装置用のコントローラー（図示なし）（コンピューター又は同種のものなど）、及び／又は流速用にポンプと関連づけられたコントローラーによって、設定値と比較してよく、コントローラー（図示なし）を介して、フィードバック制御を用いて、その情報を用いて、ポンプ４１の速度を調節できる。圧力センサー４４は、ライン内の圧力を測定し、その値を圧力設定値と比較するコントローラーに測定値を送信し、コントローラー内で比例積分微分（ＰＩＤ）演算を用いて、背圧コントローラー４３内の弁を調節して、そのライン内の圧力を調節する。この圧力は、最小圧力を常に上回るように設定して、常にスラリーによってループ８２が満たされているが、ライン内で破損を発生させるような圧力を下回るようにする。ライン２２内の圧力を最小圧力よりも高く保つと、そのラインにおけるエアポケットの発生と、スラリーの間欠流が予防される。空気への暴露は望ましくなく、多くのスラリーの成分を劣化させる。加えて、ループ内のスラリーの不均一又は非連続的な流速（及び圧力）は、混合モジュール２００で用いる原料スラリー用の流量計（単数又は複数）を通るスラリーの量の正確な測定を阻害することになる。ループ８２における圧力と、得られる流速が制御されず、非連続的で一定でない場合、ループ８２と流体連通するライン２１２を介して、混合モジュールに入る原料スラリー及び／又は化学ブレンドの流速は、間欠的且つ変動的になり、その結果、混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドには、様々な量の原料スラリー及び／又は化学ブレンドが加わることになる。これは、望ましくない。
【００７３】
送出モジュール内のポンプ４１の典型的なポンプ速度は、２０Ｌ／分（ＬＰＭ）±５ＬＰＭであってよく、この速度は、１０００〜８０００ＲＰＭの間で様々であってよい。ポンプごとに、ポンプの速度を制御する流量センサー／発信機が設けられている。この制御は、流量センサー／発信機とポンプとの直接的な通信によって、又は、本発明の装置用のコントローラーを介して行うことができる。有用なポンプの例としては、Ｌｅｖｉｔｒｏｎｉｘ  ＢＰＳ−４、ＢＰＳ−２０００、及びＢＰＳ−６００、並びに他のポンプが挙げられる。送出モジュールにおいて、デイタンク又は送出タンク８０の下流で、ダイヤフラムポンプ又はパルスポンプを用いるのは好ましくない。得られる排出流であって、これらのポンプから出る排出流の流量と圧力にばらつきが生じ、混合モジュールにおける混合精度を低下させるからである。流量センサーによって検知される流速は典型的には、１０〜３０ＬＰＭ、１５〜２５ＬＰＭ、又は１８〜２２ＬＰＭである。循環ループ８２において、圧力は、５〜５０ｐｓｉ、１８〜３２ｐｓｉ、２０〜３０ｐｓｉ、又は２４〜２６ｐｓｉであってよい。
【００７４】
流量センサー４２及び圧力センサー４４、並びに、本発明の装置で用いる全て又は大半の検出装置及び分析装置は、超音波流量計、渦流量計、電磁流量計、パドルホイール機械式流量計、又は差圧式流量計、湿式圧力計、乾式圧力計、及び同種のものなど、測定値を電気信号として抽出できることが望ましい。出力は、信号ライン（図示なし）を通じて、記憶用のデータロガーと、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置２０全体を制御するコンピューター（図示なし）を備えるコントローラー（制御装置）に送る。同様に、本発明の装置に存在する空気弁のような弁の大半は、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置２０全体を制御するコントローラーによって制御できることが好ましい。
【００７５】
図１Ａ及び図２のライン２１２は、スラリーを送出モジュール１００から混合モジュール２００に運ぶ。ライン２１２は、原料スラリーループ８２を混合モジュール２００に連結する。ライン２１２は、混合モジュールがスラリーの混合を開始できる状態になると開くソレノイド二方弁（図示なし）を有する。この弁は、ライン８２にはない。ライン２１２内の弁（図示なし）を開く際には、原料スラリーループ８２から出た原料スラリーの一部のみが、ライン２１２に流入するように開く。ループ８２内のスラリーの一部がライン２１２に流入して混合モジュール２００に至ると、ライン２２内の圧力の低下を測定するとともに、圧力測定値の低下をコントローラー（図示なし）に伝達する圧力計４４によって、ライン２２内の圧力の低下が検出及び／又は測定され、ライン２２内の圧力の低下に応答したコントローラーが背圧コントローラー４３に伝達して、背圧コントローラー４３内の比例弁を調節することによって、背圧コントローラー４３を通る流動を制限し、それによって、そのライン（ライン２２）において、背圧コントローラー４３の上流の圧力を上昇させる。好ましい実施形態では、混合モジュール内の背圧制御部は、背圧コントローラー４３と圧力センサー４４とを備える。これに加えて、又はこの代わりに、コントローラー（図示なし）は、圧力センサーから得た測定値を用いることによって、信号をポンプ４１に送信して、ポンプ４１に、速度を向上するように伝達することによって、ループ８２への原料スラリーの供給量を増大させてよい。この代わりに、又はこれに加えて、流量センサーから得た測定値を用いて、ポンプ４１を別個に制御できる。
【００７６】
送出モジュールの説明においては、「デイタンク」という用語を用いるのは、いかなる形においても、限定するものとは意図されていないことに留意されたい。デイタンクは、充分な量の未混合スラリー又は原料スラリーを保持して、大量のスラリーをある期間（１時間、２時間、３時間、若しくは３時間超の数分の１、又は１日、２日、３日、４日以上、１週間、２週間、３週間、若しくは３週間超の数分の１であってよい）にわたり、デイタンク８０から取り出せるとともに、そのスラリーを用いて、混合モジュールで混合スラリーを作製してから、そのスラリーをＣＭＰ又はその他のツール（単数又は複数）によって、ある期間にわたり利用できるようにし、原料スラリーをスラリー供給容器から連続的に圧送する必要をなくすとともに、原料スラリーをデイタンク（単数又は複数）に断続的に追加できるようにする（この断続的な追加動作は、スラリー移送ポンプ３１を液位センサー８１の測定値に基づいてのみ動作させるコントローラーによるものであってよい）。未混合スラリーは典型的には、混合スラリーと比べて、時間が経過しても分解しにくいので、原料スラリーは、必要に応じて使用前に、デイタンク又は送出タンク（単数又は複数）に、数日又は数週間貯蔵できる。
【００７７】
循環ループ８２と混合モジュール２００を連結するとともに、循環ループ８２と混合モジュール２００との間にあるライン２１２内の弁（図示なし）を開くことによって、原料スラリーを混合モジュール２００に供給又は流入させる。混合モジュール２００の一実施形態では、混合モジュール２００は、１つ又は２つ以上のラインに、１つ又は２つ以上のスタティックミキサーを備える。スタティックミキサーのうちの少なくとも１つの上流で、２つ以上のラインが単一のラインに合流するように、スタティックミキサーを配置してよく、この場合、各ラインに流れるのは、混合スラリー又は混合化学ブレンドの少なくとも１つの成分である。混合モジュール２００の代替的実施形態では、混合モジュール２００は１つ以上のポンプを備えており、２つのラインが単一のラインに合流する１つ以上の連結部（この連結部において、各ライン内のスラリー又は化学ブレンドの１つ以上の成分が混合されて、混合スラリー若しくは混合化学ブレンド、又は一部混合スラリー若しくは一部混合化学ブレンドの単一のラインになる）に、あるいは、この１つ以上の連結部の下流に、少なくとも１つのポンプが配置されている。（一部混合スラリー流又は一部混合化学ブレンド流は、混合モジュールにおけるある工程又は段階で、単一の流路に合流する少なくとも２つの成分流の合流から得られる流動である。一部混合スラリー流は、原料スラリーを含んでも含まなくてもよい。原料スラリーは、混合モジュールにおける更に後の工程又は段階で、一部混合スラリー流と合流させてよい。化学ブレンドを混合モジュール内で作製する代替的実施形態では、一部混合化学ブレンド流を化学物質流又は水流と合流させて、混合モジュール内で混合化学ブレンド流を形成してよい。）混合モジュール２００の代替的実施形態では、混合モジュールは、１つ以上のポンプと、１つ以上のスタティックミキサーを備える。混合モジュールは、混合前、混合中、又は混合後に、スラリー又は化学ブレンドの成分の体積又は重量を測定するための１つ以上の混合タンク、別の容器、又はスケールを備えないのが好ましい。混合する個々の成分の量は、装置２０の混合モジュール２００を通る成分の流速を制御することによって制御する。通常の動作では、スラリー又は化学ブレンドを混合中、混合スラリー又は混合化学ブレンド内の個々の成分の流動と合流は、連続的である。コントローラー（図示なし）が、スラリー又は化学ブレンドを混合するように要求したら、混合モジュールにおいて、個々の成分の流動と合流を平行な連続流において、所望により１回以上の合流段階で行う。
【００７８】
原料スラリー、水、及び１つ以上の化学物質を混合すると、その混合体中のスラリーと粒子を化学変化させることがあり、その懸濁液中の粒子は、凝集することがある。すなわち、粒子同士が固着して大きめの粒子が形成されて、その大きめの粒子が懸濁状態を失ったり、又は大きすぎる粒子を含むスラリーが作られたりすることがあるので、このような粒子は、スラリーにおいて望ましくない。（大きいスラリー粒子は、ウエハを平坦化する目的で、もっと小さい粒度になるように調合したスラリーで用いると、ウエハの面を傷つける可能性がある。）理論に束縛されるものではないが、ｐＨショックが、混合スラリーを形成させるときの粒子の凝集の一因であると考えられる。スラリー中の溶解粒子の数及びサイズは、少なくとも部分的に、粒子上の電荷によるものであり、この電荷は、懸濁液のｐＨの影響を受ける。高ｐＨ又は低ｐＨの化学添加剤、例えば酸又は塩基を加えると、スラリー粒子上の電荷に影響が及ぶことになる。粒子上の電荷の変化は、電荷の弱い方（等電点に近い）の粒子同士を引き付けて固着させ、所望の粒度分布、及び／若しくはスラリーに懸濁する粒子数を乱すことになる大きめの粒子を潜在的に形成させ、並びに／又は、スラリーにおける所望の最大粒度を上回る粒子を発生させることになる。スラリーに対するｐＨショックが軽減されるのは、（１）タンクにおいてバッチプロセスで成分を組み合わせるのに比べて、混合スラリーを作製するための成分を単一のチューブに、同時且つ連続的若しくは半連続的に流入させながら合流させ、続いて、１つ以上のツールに供給する目的で用いる分配タンクに、同時及び／又は連続的若しくは半連続的に流入させる場合、並びに／あるいは（２）所望のｐＨ（例えば混合済みスラリーのｐＨ）又は所望のｐＨに近い液体成分流を、混合対象のスラリー成分のうち、所望のｐＨではない１つ以上の成分と組み合わせた場合、並びに／あるいは（３）ポンプを用いて混合スラリー成分を迅速に混合する場合、並びに／あるいは（４）スラリー成分を複数の段階で組み合わせる場合、並びに／あるいは（５）最後に、原料スラリーを、既に組み合わせた残りのスラリー成分と組み合わせる場合、並びに／あるいは（６）混合モジュールでスプリットミキサーを用いる場合、並びに／あるいは（７）（１）、（２）、（３）、（４）、（５）及び／若しくは（６）をいずれかで組み合わせた場合であると本発明者らは考える。また、ｐＨショックの可能性により、混合スラリーの成分を組み合わせる際には常に、混合スラリーの成分を組み合わせた後に、ろ過工程を行って、混合スラリーを分配モジュールに供給する前に、混合工程中に形成されたいずれの凝集粒子も除去するのが有益であると本発明者らは考える。
典型的には、化学ブレンド（スラリーを含まない化学ブレンド）を作製するのに用いる成分は、送出流に存在するいずれの粒子も有さないが、成分を組み合わせた時に、一部混合化学ブレンド流又は完全混合化学ブレンド内で粒子が形成されるか、又は成分間で有害な化学反応が生じる可能性が常に存在するので、（１）タンクにおいてバッチプロセスで成分を組み合わせるのに比べて、成分流を同時且つ連続的若しくは半連続的に単一のチューブに流入させてから、同時及び／又は連続的若しくは半連続的に、１つ以上のツールに供給する目的で用いる分配タンクに化学ブレンドを流入させながら、並びに／あるいは（２）所望のｐＨではない他の成分と組み合わせる前に、所望のｐＨ（例えば、最終混合化学ブレンドのｐＨ）であるか又は所望のｐＨに近い成分流を、混合対象の化学ブレンド成分のうち、所望のｐＨではない１つ以上の成分と組み合わせるように、並びに／あるいは（３）成分を単一のパイプに合流させ、それらの成分をポンプに通すことによって、迅速に混合することによって、並びに／あるいは（４）複数の段階で、並びに／あるいは（５）ｐＨの最も高い成分を最後の段階で、既に組み合わせた他の化学ブレンド成分と組み合わせる場合、並びに／あるいは（６）混合モジュールでスプリットミキサーを用いることによって、並びに／あるいは（７）（１）、（２）、（３）、（４）、（５）、及び／若しくは（６）をいずれかで組み合わせて、成分流を組み合わせるのが有益である。また、ｐＨショックの可能性により、化学ブレンドの成分を組み合わせる際には常に、化学ブレンドの成分を組み合わせた後に、ろ過工程を行うのが有益であると本発明者らは考える。
【００７９】
集積チップメーカーは、ＣＭＰスラリーにおいて粒度と粒度分布に非常にこだわり、特に、スラリーは、最大許容粒度を上回る粒子を含んではならないとしている。凝集が深刻な場合、得られる混合スラリーは、ＣＭＰスラリーの規格をはずれ、そのスラリーは、破棄しなければならなくなり、新たなスラリーを混合しなければならなくなる。化学ブレンドの化学成分を混合する際にも、同じ問題が生じ得る。凝集を回避する方法の１つは、混合スラリー（又は化学ブレンド）の成分をタンク内で、機械的に攪拌しながら、１つずつゆっくり且つ慎重に混合することであるが、これは、時間のかかる非効率的なプロセスであるとともに、依然としてｐＨショックの影響を受け得るプロセスである。
【００８０】
本発明者らは、混合スラリー又は混合化学ブレンドの化学的特徴を保持したまま、混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドを作製する方法を考案した。この方法及び装置は、混合スラリー又は混合化学ブレンドの成分を迅速に組み合わせる一方で、その混合方法又は装置により、いずれの凝集の潜在的な悪影響も限定及び／又は防止する。
【００８１】
混合スラリー又は混合化学ブレンドの成分を混合する際のスラリー又は化学ブレンドの化学的特徴の変動を回避することによって、凝集又はその他の悪影響を最小限にするか、又は実質的に防ぐ方法の１つは、異なる組成物を含む少なくとも２つの流動（典型的には、各流動内に少なくとも１つの成分を含む）を、ポンプから少し上流に流し、合流させた流動をそのポンプに流入させることによって、混合スラリー又は混合化学ブレンドの成分を組み合わせる混合装置を提供することである。２つ以上の流動は、ポンプの上流で、単一の流動に合流させる。２つ以上の流動は、原料スラリー流、水、１つ以上の化学物質若しくは１つ以上の化学物質及び水を含む化学物質流、一部混合スラリー流、完全混合スラリー流、完全混合化学ブレンド流、リサイクルスラリー流、又はリサイクル化学ブレンド流からなる群から選択する。成分又は成分流という用語は、完全混合スラリー又は完全混合化学ブレンドを作製する目的で混合する上記流動のいずれかを指す目的で用いる。
【００８２】
原料スラリー流は、Ａｉｒ  Ｐｒｏｄｕｃｔｓ  ａｎｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ，Ｉｎｃ．、Ｃａｂｏｔ  Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ、及びＦｕｊｉｍｉといった原料スラリーサプライヤーから供給されるようなＳｅｍｉ−Ｓｐｅｒｓｅ、ＰＬＡＮＥＲＬＩＴＥ、及びＣｏｐｐｅＲｅａｄｙのような新しい原料スラリーを意味する。原料スラリーは、メーカーから、各種容器及び容器サイズ（例えば、２０リットル、５５ガロンドラム（約２００リットル）、及び３００ガロン（１１３．５６リットル）トートなど）で市販されていることが多い。
【００８３】
水流は典型的には、高純度脱イオン水（ＵＰＷ又はＤＩＷ）である。本発明の装置によって加えるか又は用いる水に言及する場合にはいずれも、ＵＰＷ又はＤＩＷのいずれかを意味する。
【００８４】
化学成分流は、１つ以上の化学成分、例えば、クエン酸、ＨＣｌなどの酸、ＮＨ4ＯＨ、ＫＯＨなどの塩基、若しくは界面活性剤（ポリアクリル酸）、酸化剤（Ｈ2Ｏ2）、抑制剤（ベンゾトリアゾール）などのその他の化学成分、又はいずれかの２つ以上の化学成分の混合物を流動中に含んでよい。特に化学ブレンドを作製する場合の更なる化学成分流としては、過ヨウ素酸カリウム、過硫酸カリウム、硝酸アンモニウムセリウム、及び硫酸が挙げられる。
【００８５】
一部混合スラリー流は、１つ以上の成分を含む流動であり、１つ以上の追加成分をその中に混合して、完全混合スラリー流を作る。一部混合スラリー流は、スラリーを含んでも含まなくてもよい。例えば、一部混合スラリー流は、原料スラリーと水、１つ以上の化学物質と水、又は原料スラリーと完全混合スラリーを含んでよい。
【００８６】
リサイクルスラリーは、ＣＭＰ研磨ツールから回収したスラリー、又は別段に、スラリーをその原型若しくは実質的に原型の原料スラリー組成物に戻すことのできる１つ以上の工程を経たスラリーである。「実質的に」は、原型の組成物の重量パーセントから数重量パーセント、１０分のいくつか、若しくは百分のいくつかの範囲内であることを意味する。スラリーを回収する工程の例としては、ウエハから取り除かれた金属及びその他の粒子を除去するためのろ過工程と、濾液に含まれる水分の全部又は一部を除去するための第２ろ過工程又は同じろ過工程が挙げられる。場合によっては、スラリー粒子のみを回収し、新たな溶剤を加えて、原料スラリーを再構成する。原料スラリーという用語を使用する際には、リサイクルスラリーの全部又は一部を含んでも、リサイクルスラリーのいずれかの部分を含まなくてもよい。原料スラリーという用語を本明細書で使用するいずれの場合も、リサイクルスラリーは、全部又は部分的に、原料スラリーとして用いても、用いなくてもよい。リサイクルスラリーを本発明の装置において原料スラリーとして用いることができる場合を除き、スラリーを回収又はリサイクルする工程は、本発明の一部ではないことに留意されたい。
【００８７】
完全混合スラリーは、最終的な望ましい有用な組成物の形態のスラリーを意味し、完全混合スラリーを作製する目的で、原料スラリーを所要量の所要成分と混合し終えたものを意味し、得られた完全混合スラリーは、所望のｐＨ、所望の粒度分布、及び密度を有する。例えば、完全混合スラリーは、原料スラリー（スラリー粒子と水を含む）を０．１〜９９．９重量％、０．１〜９９重量％、若しくは２０〜８０重量％と、及び／又は水を１〜９９．９重量％、若しくは２０〜９９重量％と、及び／又は過酸化水素を０．１〜１０重量％、若しくは０．１〜２重量％含んでよい。例えば、別の完全混合スラリーは、原料スラリー（スラリー粒子と水を含む）を１〜２５重量％、水を６５〜９８．９重量％、水酸化カリウムを０．１〜１０重量％、及び／又はその他の添加剤を含んでよい。完全混合スラリーを他のスラリー成分と組み合わせて、ほぼ同じ完全混合スラリー（「更なる完全混合スラリー」という場合もある）を作製する場合、この完全混合スラリーは、完全混合スラリーを作製するのに用いたのと同じスラリー成分であって、更なる完全混合スラリーに加えられるスラリー成分を同じ比率で組み合わせることによって作製する。スラリー成分と組み合わせて、完全混合スラリーと同じ組成を有する更なる完全混合スラリーを作製する際に用いる完全混合スラリーは、（１）分配タンクにつながっているとともに、分配タンクからつながっている循環ループ、（２）スラリーを混合した後の混合モジュール、（３）混合モジュール若しくは分配モジュール内のろ過ループ、（４）分配モジュール内のろ過ループ、（５）グローバル供給ループ、（６）分配タンク、又は（７）分析モジュールから混合モジュールへの返送ループを介するうちの１つ以上から採った完全混合スラリーであってよい。上記リストで（５）及び（６）として記載されているものを除き、混合スラリー源を混合モジュールに連結する１つ以上の任意のパイプは、図には示されていない。混合モジュールで組み合わせる混合スラリーは、大域ループから採らないのが好ましい。混合モジュールで組み合わせる混合スラリーは、（２）、（３）、（４）、（６）、又は（７）から採るのが好ましい。
【００８８】
本発明の方法及び装置の一実施形態では、複数の成分流を通すパイプの数を順次減少させていき、混合スラリー又は混合化学ブレンドの作製に用いる全ての成分流を含む単一のパイプとなるまでそれを続けていくことによって、成分を少なくとも部分的に混合する。図１Ｂに示されている本発明の一実施形態では、混合モジュールは、そのライン内で用いられる１つ以上のスタティックミキサーを備える。流量は、成分送出ラインにおいて、流量コントローラーを用いて制御する。図１に示されているように、スラリー供給及び／又は化学ブレンド供給装置の一実施形態では、混合モジュール２００は、送出モジュールからつながる原料スラリー送出ライン２１２（原料スラリー送出ライン２１２は、ライン２１２Ａ、２１２Ｂのいずれか又は両方に流入できる）と、２つの追加成分送出ライン２１０及び２１１（例えば、２１０は水ライン、２１１は化学物質（単数又は複数）ラインであってよい）とを備える。成分送出ライン２１０は、ライン２１０Ａ及び２１０Ｂと流体連通している。成分送出ライン２１１は、ライン２１１Ａ及び２１１Ｂとそれぞれ流体連通している。ライン２１２Ａは流量コントローラー２６２Ａを、ライン２１０Ａは流量コントローラー２６０Ａを、ライン２１１Ａは流量コントローラー２６１Ａをそれぞれ有する。図１Ｂに示されているように、ライン２１２Ａ、２１０Ａ、及び２１１Ａのうちの１つ以上、並びに／又は流量コントローラー２６２Ａ、２６０Ａ、及び２６１Ａのうちの１つ以上に問題があった場合に備えて、装置２０の一部である混合モジュール２００は、別個の流量コントローラー２６０Ｂを有する予備ライン２１０Ｂ、別の流量コントローラー２６１Ｂを有する予備ライン２１１Ｂ、及び別の流量コントローラー２６２Ｂを有する予備ライン２１２Ｂを備える。混合モジュール２００の部分のうち、混合モジュールにおいて、数字の後にＢの符号が付された部分は、混合モジュールの任意のバックアップ（予備）部分である。図１Ｂに示されている実施形態は、Ａの符号で識別される部分における流動について説明していくが、この実施形態では、混合モジュールのＢのバックアップ部分もＡの部分と同じ形で作用し、Ａの部分の代わりに、又はＡの部分と同時に用いることができることを理解されたい。Ａ及びＢのラインの弁（図示なし）を開閉又は部分的に開閉して、成分の流動をＡの部分及び／又はＢの部分に誘導することになる。弁は、開くか又は閉じるかのいずれかであるのが好ましい。
【００８９】
所望の組成を有する混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドをもたらすために、流量コントローラー２６１Ａ、２６０Ａ、及び２６２Ａはそれぞれ、各成分の流動を制御するように予め設定されている。各流量コントローラーは、流量センサーと、比例弁、例えば空気弁と、制御ソフトウェアとを備える。流量センサーが流速を測定し、制御ソフトウェアが演算、例えばＰＩＤ演算を実行して、弁の開口を調節するか否かを判断してから、必要なコンポーネント（単数又は複数）と通信する（弁を開閉する空気圧制御）。いずれの通信も測定も、装置２０用の統括コントローラー（図示なし）とも通信する。図示されている実施形態では、各ラインの流量コントローラーから出た後、ライン２１０Ａ及び２１１Ａは、ライン２１４Ａに合流し、ライン２１４Ａは、任意のスタティックミキサー２４０に流入して、元々ライン２１０Ａ及び２１１Ａにあった成分を完全に混合し、ライン２１７で、（第１の）混合流体（一部混合スラリーともいう）を形成させてから、ライン２１７内の混合流体（一部混合スラリー）を、ライン２１２Ａに流れる原料スラリーと合流させ、任意のスタティックミキサー２４１に流入させ、ライン２１８においてスタティックミキサー２４１から出して、別の（第２の）混合流体（完全混合スラリー）を形成させる。この実施形態では、ライン２１８は、分配モジュール４００に流れるとともに、分配モジュール４００に向かう前に、図１Ｂに示されているように、任意の分析モジュール３００を通ってよい混合スラリーを含む（又はこの混合スラリーの一部若しくはサンプルが任意の分析モジュール３００を通ってよい）。２つの別個のライン内の少なくとも２つの成分が合流して（連結部で連結して）、第１の混合組成物を含む第１の合流ラインを形成し、第３のライン（１つ以上の追加又は同じ成分を含んでよい）を第１の合流ラインに加えて、第２の合流ラインを形成させる場合、これは、段階的混合と称することができる。少なくとも２つ（典型的には２つ）の成分ラインを合流させるごとに、一段階とする。上記の第１の合流ラインは第１の段階で形成され、第２の合流ラインは第２の段階で形成される。（第１の連結部が、最終混合スラリー及び／又は最終混合化学ブレンドの形成部（ポンプ、又は別の実施形態ではスタティックミキサーの近くであってよい）に一番近い連結部を指す場合、逆の番号付けを用いてもよいことに留意されたい。）段階的混合は、ライン内の連結部によって合流するいずれかの数の個別のラインに流れるいずれかの数の成分に行ってよく、所望の混合スラリー及び／又は混合化学ブレンド内の成分の全部又は大半を含む単一且つ最終的な合流ラインを最後に得られるのが好ましい。段階的混合は、その連結部で単一のラインに合流する（連結する）成分が流れるライン間の連結部又は連結部の近くに存在する１つ以上のスタティックミキサーを更に備えてもよい。単一の連結部に合流する（連結する）２つ以上のラインごとに、それぞれ、各ライン内の各流体の流速を制御するための流量コントローラーを有し、これは並列混合という。並列混合では、混合モジュール内の成分は全て、同時に流量コントローラーを通り、集流チューブ間の連結部を介して合流し、それらのチューブ内の成分が混じり合い、直接又は最終的に分配モジュールに流入する。本発明は、１つ以上の段階で行われる並列混合を提供する。
【００９０】
図１Ｂに示されている混合モジュール２００の実施形態では、水をライン２１１（２１１Ａ）で供給し、１つ以上の化学物質をライン２１０（２１０Ａ）で供給し、原料スラリーをライン２１２（２１２Ａ）で供給するのが好ましい。好ましい実施形態では、ライン２１４Ａは、水と化学成分との混合物である。水とスラリーの化学成分とを合流させることによって、原料スラリーと合流させる前に、スラリーの高ｐＨ又は低ｐＨ成分を希釈でき、化学物質と水との混合物であって、典型的には、未希釈の化学物質のｐＨよりも、ｐＨが原料スラリーのｐＨに近い混合物を作製できる。最初に水と１つ以上の化学物質とを合流させてから、その後の工程で、水と１つ以上の化学物質との混合物を原料スラリーと合流させることにより、この２つ以上の工程プロセス（段階）は、ｐＨショックを防ぐ助けとなるとともに、スラリーにおける凝集体の形成を防ぐ助けとなる。スラリーに加える追加の化学物質が存在する場合、それらの化学物質のｐＨによっては、それらの化学物質を別個の段階で１つずつ水流に加えてから、合流させた１つ以上の化学物質と水流を１つ以上の原料スラリー流に加えるのが有益である場合がある。代替的実施形態では、水流と原料スラリーを合流させて、一部混合スラリー流をもたらしてから、１つ以上の化学成分を一部混合スラリー流に合流させるか、又は３つ以上の流動を１つの連結部で合流させるのが望ましいことがある。
【００９１】
本発明では、最初の２つの合流成分流間の連結部は、別の成分流を加える次の連結部から（少なくともわずかな距離、例えば１インチ（２．５４センチメートル））離して配置するのが好ましいとともに、３つ以上の成分流を各連結部で一緒に合流させないのが好ましい。流動を合流させる連結部間の間隔により、別の成分を混合流に導入する前に、成分流を混ぜ合わせるための多少の時間と距離が得られるが、複数の流動を単一の連結部で合流させる他の実施形態も、本発明によって考えられる。代替的実施形態では、化学ブレンドを、図１Ｂに示されている混合モジュールで作製し、唯一の相違点は、化学ブレンドを混合している間は、ライン２１２が、原料スラリーを混合モジュールに一時的又はずっと供給しない点である。代替的実施形態では、ライン２１２は送出モジュールと流体連通せず（本発明の装置は、送出モジュールを備えなくてもよい）、代わりに、ライン２１２は、化学物質一括供給システムに連結していてもよい。
【００９２】
本発明の方法及び装置の別の実施形態では、図３、４に示されているように、混合スラリー又は混合化学ブレンドの作製に用いる全ての成分流を含む単一のパイプとなるまで、複数の成分流を通すパイプの数を減少させていくか、又は３つ以上の流路を合流させる単一の連結部、例えば、３つの流路を合流させる連結部を介して、全ての成分流を合流させてから、その流動をポンプに入れることによって（ポンプの排出物は、完全混合スラリー又は混合化学ブレンドである）、混合スラリー又は混合化学ブレンドの成分を少なくとも部分的に混合する。パイプの最後の連結部であって、ポンプ（及び／又は、代替的実施形態ではスタティックミキサー）に入る混合スラリー流又は混合化学ブレンド流の全ての成分を含む単一のパイプを形成させる連結部は、ポンプ（及び／又は、例えば、図１Ｂに示されている実施形態では、スタティックミキサー）から１２フィート（３．６６メートル）未満、１０フィート（３．０５メートル）未満、８フィート（２．４４メートル）未満、５フィート（１．５２メートル）未満、３フィート（０．９１メートル）未満、２フィート（０．６１メートル）未満、１フィート（０．３０メートル）未満、６インチ（０．１５メートル）未満、又は２インチ（０．０５メートル）未満上流にある。更に、成分流の２つ以上又は全て、例えば、図示されている実施形態では流路Ａ、Ｂ、及びＣは、ポンプ（及び／又は、例えば、図１Ｂに示されている実施形態では、スタティックミキサー）から１２フィート（３．６６メートル）未満、１０フィート（３．０５メートル）未満、８フィート（２．４４メートル）未満、５フィート（１．５２メートル）未満、３フィート（０．９１メートル）未満、２フィート（０．６１メートル）未満、１フィート（０．３０メートル）未満、６インチ（０．１５メートル）未満、４インチ未満上流で合流するのが好ましい。本発明では、少なくとも２つのパイプ内の少なくとも２つの成分流（各流動を独自のパイプに流す）を連結部（その少なくとも２つのパイプを、連結部の下流の単一のパイプに合流させる）に通して、ポンプに送ることによって、混合スラリー又は混合化学ブレンドの成分の大半を合流させる。ポンプにより、スラリー又は化学ブレンドの成分を混合できるようになり、その結果、完全混合スラリー又は混合化学ブレンドがポンプから出る。混合モジュール２００は、このポンプの上流に、１つ以上のスタティックミキサーも備えてよい。驚くべきことに、成分を迅速に合流させ、ポンプによって充分に混合すると、凝集が防止される。
【００９３】
流量コントローラーは、混合スラリー又は混合化学ブレンドを作製する目的で組み合わせる個々の成分に関して、流速を所望の範囲で制御するのに高く評価されている市販の流量コントローラー、例えばＥｎｔｅｇｒｉｓ製のコントローラーから選択する。化学成分（単数又は複数）とＤＩＷは、ほぼ一定の圧力及び流速で、それぞれの供給源（図示なし）から混合モジュールに供給する。スラリーを混合するとともに、送出モジュールを有する実施形態では、送出モジュール、特には送出モジュール内の再循環ループにより、一定の組成を有する原料スラリーを、混合モジュールに、ほぼ一定の圧力及び流速で供給する。一定の流速の成分供給流により、混合モジュール内の流量コントローラーは更に容易に、そのコントローラーを通る原料スラリー及び／又はその他のスラリー成分若しくは化学成分の流量を安定且つ一定に保てるようになる。原料スラリー以外の成分は典型的には、市販の送達供給システム、例えば化学物質一括送達システムによって、混合モジュール内の流量コントローラーに、一定の圧力で供給する。
【００９４】
図３は、スラリー及び／又は化学物質混合組成物を作製するのに有用である代替的混合モジュール２００を示している。図１Ｂに示されている混合モジュール２００で説明したように、使用する際の状態のスラリーは混合スラリー、若しくは完全混合スラリーといい、使用する際の状態の化学物質混合組成物は、混合化学ブレンド又は完全混合化学ブレンドといい、それぞれ、混合する成分を２つ以上、典型的には３つ以上を含む。図３に示されている装置を用いて、水、化学物質（含有）流及び／若しくは原料スラリー流、一部混合流、完全混合流、並びに／又はリサイクルスラリー流などの１つ以上の成分流を混合する。この装置は、連結し合っているとともに、流体連通し合っている１つ以上のパイプとポンプとを備える。各パイプは、流量コントローラーをその中に備えるのが好ましい。図示されているように、第３の流動Ａは第３のパイプ２１０、第２の流動Ｂは第２のパイプ２１１、第１の流動Ｃは第１のパイプ２１２を通り、これらのパイプは、いずれの種類のパイプ、例えばチューブ又は同種のものであってよい。パイプ２１０は第３の流量コントローラー２６０、パイプ２１１は第２の流量コントローラー２６１、パイプ２１２は第１の流量コントローラー２６２を有する。任意の原料スラリー（スラリー組成物用）と、化学物質（単数又は複数）と、ＤＩＷを供給するために、この実施形態における流量コントローラーは、図１と関連させながら説明した混合モジュール２００について上述したとおりに動作する。流動Ａを運ぶ第３のライン２１０と、流動Ｂを運ぶ第２のライン２１１は、連結部２９９で交わって合流して、流動Ａと流動Ｂを混ぜ合わせた混合物（一部混合スラリー流及び／又は一部混合化学ブレンド流）を含むパイプ２１４内で、第２の（単一の）合流流を形成する。（成分流と連結部の後の合流流を運ぶパイプのサイズを定める際には、各流動内の混合対象の流体（成分、水、及び／又はスラリーなど）の量を考慮する。図３を含め、全ての図に示されているようなパイプは、そのパイプの実際のサイズ又は相対的サイズを反映しているものではないことに留意されたい。
【００９５】
これらの導管は、外径が１／８インチ（０．３２センチメートル）〜１．５インチ（３．８１センチメートル）のチューブの大きさになっている。このチューブは、そのチューブを通るスラリー又はその他の成分を予測流量分収容できるとともに、スラリー若しくはスラリー成分、化学ブレンド成分、又は混ぜ合わせた混合物（すなわち一部混合スラリー又は一部混合化学ブレンド）の流動を制限しない大きさになっている。これらの導管を通る流速は、ポンプと流量コントローラーによって制御するので、チューブサイズは、これらの制御を阻害しないサイズでなければならない。
【００９６】
混合モジュール２００は、別の成分流である流動Ｃを更に備える。流動Ｃは第１のパイプ２１２を流れ、連結部２９８で、パイプ（第２の単一の合流流）２１４を流れる流動Ｄ（流動Ａ及びＢの成分を含む）と合流して、パイプ２１７で、第１の単一合流流である流動Ｇを形成する。連結部２９８の下流に、ポンプ２５１がある。この実施形態では、パイプ２１７を介してポンプ２５１に流入する流動Ｇは、混合スラリー又は混合化学ブレンドを作製する目的で合流させる原料スラリー又は化学ブレンドの全成分を含むのが好ましい。パイプ２１７内の流動Ｇは、流動Ｇの全成分を機械的に混合するポンプ２５１に注入するか、又は別段の形で流入させる。流動Ｇは、成分流Ａ、Ｂ、及びＣを含む。成分を合流させるこの方法と装置を用いることによって、並列な流動流Ａ、Ｂ、及びＣを合流パイプ内、且つポンプ２５１の近くで合流させて、ポンプ２５１によって、スラリー又は化学ブレンドを混合する速度は、所望の平衡状態に迅速に到達し、上記のｐＨショックの問題を実質的に回避する。成分流を通す導管（合流路）の数を連続的に減少させていき、その合流（成分）流をポンプの吸引側に流入させることによって、成分流を合流させる。完全混合スラリー又は完全混合化学ブレンドは、ポンプの排出側から出てパイプ２１８に入る。パイプ２１８は、流動Ｈ（完全混合スラリー又は完全混合化学ブレンドであるのが好ましい）を分配タンク、フィルター、分析モジュール、ツール、及び／又は大域ループに運ぶ。ポンプ２５１は、上記のような遠心ポンプであるのが好ましい。ポンプ２５１は、混合モジュールポンプ２５１と称することもある。
【００９７】
スラリー及び／又は化学物質混合組成物を作製するのに有用である本発明の混合装置又は混合モジュール２００の別の実施形態が、図４に示されている。図４は、図３と似ているが、本発明の装置及び方法で用いてよい追加の機器及びプロセス工程が示されている。（一部の図では、同じ数字又は同様の数字を用いて、図内の同様のエレメントを示している。）図４に示されている装置を用いて、１つ以上の成分流（１つ以上の化学成分流、原料スラリー流、一部混合流、完全混合流、混合スラリー流、及び／又は混合化学ブレンド流など）を混合する。これらの流動の供給源は、図には示されていない。ただし、図示されているように、混合スラリーライン２１２を作製する実施形態では、その供給源は、送出モジュール１００の原料スラリー送出ラインであってよいが、代替的実施形態では、ライン２１２は、別の位置に配置することができる。すなわち、混合モジュールのライン２１０又はライン２１１の位置と入れ替えることができる。化学ブレンドを作製するような代替的実施形態では、ライン２１２は、化学成分流又は水流であることができる。この実施形態の方法又は装置は、別の流動と合流させる成分流のうちの１つが、混合済みスラリー及び／又は混合済み化学ブレンドを含む方法又は装置である。図３に示されている実施形態と同様に、図４の装置は、１つ以上のパイプとポンプを備える。成分流Ａはパイプ２１０、成分流Ｂはパイプ２１１、成分流Ｃはパイプ２１２を流れる。パイプ２１０は成分流Ａを運び、パイプ２１１は成分流Ｂを運び、連結部２９９で交わって合流して、パイプ２１４で、流動Ａ及びＢの混合物（一部混合スラリー又は一部混合化学ブレンド）を含む第４の単一合流流（流動Ｄという）を形成する。パイプ２１４は、パイプ２１０の流動Ａ及びパイプ２１１の流動Ｂの成分を混合するのを助ける任意のスタティックミキサー２７０を備える。流動Ａ及びＢは、パイプ２１４及びスタティックミキサー２７０で混じり合い、流動Ｄを形成する。「一部混合スラリー又は一部混合化学ブレンド」という用語は、「完全混合スラリー若しくは完全混合化学ブレンド」、又はこの実施形態では、「更なる完全混合スラリー又は更なる完全混合化学ブレンド」を形成する際の中間流を指す目的で用いることに留意されたい。一部混合スラリーは、その中に（原料）スラリーを含んでも含まなくてもよい。
【００９８】
パイプ２１２内の別の成分流Ｃは、パイプ２１４で、第４の単一合流流と合流するが、図４に示されている実施形態では、パイプ２１４内の流動Ｄは、まず、パイプ２１５で流動Ｓと合流して、パイプ２１６で第３の単一合流流Ｅを形成する。パイプ２１４と２１５は、連結部２９７で、単一のパイプ２１６に合流する。続いて、パイプ２１６内の流動Ｅとパイプ２１２内の流動Ｃが連結部２９８で合流して、パイプ２１７で第１の単一合流流Ｇを形成する。連結部２９８の下流には、ポンプ２５１がある。流動Ｇは、パイプ２１７を介してポンプ２５１に入る。流動Ｇは、スラリー又は化学ブレンドの全成分、及び（所望により）この実施形態では、更なる量の完全混合スラリー又は完全混合化学ブレンドを作製するために合流させるいずれかの完全混合スラリー又は完全混合化学ブレンドを含む。ポンプ２５１は、全ての流動を迅速に混ぜ合わせる。成分流を複数の段階で混合する任意の個々の工程、任意にスタティックミキサー（５）を用いること、混合済みスラリー又は混合済み化学ブレンド（作製対象のスラリー又は化学ブレンドの成分である）の他の成分流に対する比率が最適化されること、ポンプで流動を混ぜ合わせることから、この混合法は、上記のｐＨショックの問題を実質的に軽減する。更に、この実施形態において流動を合流させる順序は、ｐＨショックによるいずれかの悪影響がスラリー又は化学ブレンドに及ぶ可能性を低下させるが、流動を合流させる他の順序も可能であり、他の順序も、ｐＨショックの可能性を低下させることになる。連結部間の距離は、上記の実施形態で説明した距離と同様である。
【００９９】
しかしながら、いずれかの凝集粒子が形成された場合、図４に示されている実施形態では、混合モジュール２００の混合流動Ｓと流体連通するとともに、混合流動Ｓを受け入れるパイプ２１９は、混合スラリー流又は混合化学ブレンド流Ｓからいずれの凝集粒子も除去する任意のフィルターエレメント、フィルター、又は２つ以上のフィルターからなる配列体、例えば一対のフィルター２３０に連結している。フィルター２３０は、混合スラリー又は混合化学ブレンドを分配タンク４９１に移送する前に、凝集粒子を除去する。図示されていないが、フィルターは、各配列体が１つ以上のフィルターからなる２組の別個の配列体を備え、それぞれ、そのフィルターに通じるパイプと、フィルターから出るパイプを有するとともに、それらのパイプに、フィルター及びパイプ２１９及び７１と流体連通している弁及び任意の逆止弁を更に備えることが好ましい。２組の別個のフィルター配列体は、それぞれ、上記のように、フィルター交換中に、又はその他の保守などのために、第１の配列体をオンラインにできるとともに、第２の配列体をオフラインにできるように、それぞれの上流及び下流に弁を備える状態で、並列して配置するのが好ましい。ろ過していない第２のフィルター又は配列体は、フィルター（単数又は複数）の上流側の弁を開いたままにすることによって、プレウェット処理するのが好ましい。この実施形態では、フィルター２３０は、混合スラリー流又は混合化学ブレンド流Ｓを分配タンク４９１に運ぶ前に、いずれの凝集粒子も混合スラリー又は混合化学ブレンド流Ｓから除去する。代替的実施形態では、フィルターループをポンプ２５１の後に連結することができる。代替的実施形態では、混合スラリー又は混合化学ブレンドは、ろ過せずに、あるいは、混合プロセスの後のモジュール、例えば分配モジュール内、大域ループ内、又はＣＭＰツール若しくはその他のツールの直前で連結しているフィルターによってろ過して、大域ループ、ＣＭＰツール、分配タンク、保持タンク、又はその他のタンクに運ぶことができる。図示されているように、スラリー又は化学ブレンドＳの一部は、パイプ２１５を介して、分配タンク４９１から送出して（運んで）、混合モジュール２００内で、１つ以上の他の成分流と合流させてから、混合モジュール（装置）２００のポンプ２５１によって、ポンプ２５１内で混ぜ合わせて、更なる混合スラリー又は混合化学ブレンドＳを作製する。（代替的実施形態では、更なる混合スラリー又は混合化学ブレンドを形成するために、スラリー又は化学ブレンド成分と合流させることになる混合スラリー又は混合化学ブレンドは、所望に応じて、大域ループ、分配モジュール内の他の部分、別の保持タンク、又はその他の混合スラリー若しくは混合化学ブレンド送出タンクから供給できる。）図４に示されているように、パイプ２１５を通る流動Ｓ（分配タンクから出た混合スラリー流又は混合化学ブレンド流）は、流動Ｄ（流動Ａと流動Ｂの混合成分流）と、ライン２１５とライン２１４との連結部２９７を介して合流し、続いて、ライン２１６とライン２１２との連結部２９８を介して、成分流Ｃを合流させる。
【０１００】
図４に示されている実施形態では、成分Ａは化学成分、成分ＢはＤＩＷ、成分Ｃは、スラリー混合物を調製する場合には原料スラリー、化学ブレンドを調製する場合には別の化学成分であるのが好ましい。一実施形態では、成分Ａの流量は、約０．５リットル／分（ｌｐｍ）、水の流量は約１０ｌｐｍ、原料スラリー又は別の化学成分の流量は約５ｌｐｍである。一部の実施形態では、ポンプ２５１によって排出される混合スラリー又は混合化学ブレンド全体の１０〜９０％、２５〜８０％、又は５０〜７０％が、更なる混合スラリー又は更なる混合化学ブレンドを形成するために、スラリー成分又は化学ブレンド成分と混合する混合済みスラリー又は混合済み化学ブレンド（流動Ｓ、及び、流動Ｊが存在する場合には流動Ｊ）で構成される。一実施形態では、混合済みスラリー流又は混合済み化学ブレンド流（流動Ｓ及び任意の流動Ｊ）は、ポンプ２５１からライン２１８に排出される混合スラリー全体又は混合化学ブレンド全体の５６〜６４％であり、化学成分Ｂ及び水は２６〜３４％であり、原料スラリー又はその他の化学成分は２〜１８％である。混合モジュール内での混合済みスラリー又は混合済み化学ブレンドの利用は、スラリー又は化学ブレンドのｐＨショックの可能性を低下させ、この利用は、感受性又は別段の反応性が高いスラリー又は化学成分を問題なく合流させるのに用いることができる方法である。
【０１０１】
図４は、下で更に説明する分配モジュール４００の一部である分配タンク４９１を示している。分配タンク４９１は、パイプ７４及び２１５に送出する出口パイプ１９０（タンクの出口開口７２７に連結している）を有する。パイプ７４は、混合スラリー又は混合化学ブレンドＳを大域ループ（図示されていないが、下で図１Ｃを参照しながら更に説明されている）に、又は直接ＣＭＰ若しくはその他のツール（図示なし）に供給する。パイプ２１５は、混合スラリー又は混合化学ブレンドＳの一部を分配タンクから混合装置に戻す。パイプ１９０、パイプ７４、及びパイプ２１５のうちの１つ以上にある弁（図示なし）であって、作業者が予め設定するか、又は装置２０用のコントローラー（図示なし）が制御する弁は、パイプ７４及び２１５に流入する混合スラリー又は混合化学ブレンドの量を制御する。加えて、７４及び２１５への流入量は、要求と、下流のポンプ１０１と、パイプ７４の下流の大域ループ用のポンプ、流量センサー、及び弁（図４には示されていない）と、並びに／又は混合モジュール及び／若しくは分配モジュール内の１つ以上の任意のフィルターループとによって修正又は制御してよい。あるいは、特に、その成分が、充分な混合成果を得るために、混合済みスラリー又は混合済み化学ブレンドを必要とする場合、パイプ７４内の混合済みスラリー又は混合済み化学ブレンドの流量を制御するために、流量コントローラーを設けることができる。
【０１０２】
図４に示されている一実施形態では、原料スラリー又は化学成分を運ぶライン２１２は、外径が０．５インチ（１．２７センチメートル）のチューブラインであってよく、化学物質／水混合物を運ぶライン２１４は、外径が０．７５インチ（１．９１センチメートル）のチューブラインであってよく、ライン２１５、２１７、２１９、７１はそれぞれ、外径が１インチ（２．５４センチメートル）のチューブラインであってよく、ライン２１３は外径が０．５のチューブラインであってよい。
【０１０３】
流体の速度は低く保たれるが、スラリー粒子を懸濁状態に保つのに必要な最小速度よりも速い。例えば、スラリーを含む特定のアルミナ及びセリアの最小速度は、２．５フィート／秒（０．７６メートル／秒）である。スラリーを過度に速く移動させないように、スラリーの速度を最小速度近辺又は最小速度超に保つのが有益である（過度に速い移動は、スラリー粒子を互いにたたきつけ、凝集体を形成させることがある）。この理由から、且つ、混合スラリーを作製する実施形態においては、遠心ポンプの速度は６０００ｒｐｍ前後に保ってよく、スラリー又は化学ブレンドの流速は、２０リットル／分超、２５リットル／分未満にしてよい。
【０１０４】
ポンプ２５１は、ダイヤフラムポンプ、遠心ポンプ、ベローズポンプ、又は蠕動ポンプのようないずれかのポンプであってよい。一実施形態では、ポンプ２５１は遠心ポンプ、例えば、モーター／軸受ステーターと接触しないように、磁気浮上するフルオロポリマーシェルに包まれている希土類磁石を含む低剪断磁気浮上式遠心ポンプである。このようなポンプは、Ｌｅｖｉｔｒｏｎｉｘから入手可能である。ポンプ２５１は、１分当たり回転数（ｒｐｍ）が多い状態で、すなわち、１０００ｒｐｍ超、典型的には１００〜２０，０００ｒｐｍ、１０００〜８０００ｒｐｍ、２０００〜７０００ｒｐｍで動作するのが好ましい。フィードバッククローズドループ制御を用いて、圧力センサー及び／又は流量センサーのフィードバックに基づき、ポンプ速度を調節してよい。（ポンプ速度を調節する圧力センサー及び／又は流量センサーは、図４には示されていないが、図２に示されているとともに、ポンプ４１を参照しながら説明したものと同様であることができる）。概ね、ダイヤフラムポンプは、スラリーを圧送するのには好ましくない。ダイヤフラムポンプは、スラリー粒子から溶剤を奪って凝集を起こす剪断力を発生させるからである。（ダイヤフラムポンプは、スラリーをスラリー供給容器からくみあげるその能力により、送出モジュールにおいてスラリー移送ポンプとして用いてもよい。）加えて、機械的作用面を有するポンプは好ましくない。スラリー中の粒子が、ポンプのその面に蓄積することがあるからである。これに対し、磁気浮上式遠心ポンプは、粒子が蓄積する機械的な面を有さず、剪断力も限られている。本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置で用いるその他のポンプは、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の他のモジュールにおいて、上記の遠心ポンプと同じであってよく、同じ速度で動作してよく、上記と同じか、同様か、又は上記を上回る（必要な場合）流速のスラリー又は化学ブレンドをもたらすことができる。
【０１０５】
図４に示されているように、混合装置は、ポンプ２５１の下流の流動Ｓの一部を分析する目的で用いる任意の分析モジュール３０１を備えてよい。流動Ｓは、完全（若しくは更なる完全）混合スラリー流又は完全（若しくは更なる完全）化学ブレンド流である。パイプ２１３内の分流Ｊは、パイプ２１８から、パイプ２１３をパイプ２１８に連結させる連結部２９６を介して流れる。分析パッケージ又はモジュールは、１つ以上のタイプの分析機器（分析装置ともいう）と、スラリー流又は化学ブレンド流を分析機器に、及び／又は分析機器から流すようにする連結パイプとを備えてよい。分析パッケージは、必要に応じて、１つ以上の粒子計数器、１つ以上の粒度分布分析器、１つ以上のｐＨメーター、１つ以上の伝導度センサー、１つ以上の密度センサー、及び／又はいずれかの他の測定装置をいずれかの組み合わせで備えてよい。任意の分析モジュール３０１に送られた流動Ｊの一部を分析後、パイプ２２１内の流動Ｊ、すなわち完全（若しくは更なる完全）混合スラリー又は完全（若しくは更なる完全）混合化学ブレンド流は、図示されているように、連結部２９５を介して、パイプ２１５内の流動Ｓに合流させてよい。（あるいは、特に、いずれかの分析において、分析のために、希釈又は他の化学物質との反応を必要とする場合には、流動Ｊの全部又は一部は、分析モジュール３０１を通過した後、別のパイプ（図示なし）内の廃液流を介して処分することもできる。）パイプ２１３と、分流をパイプ２１３に誘導して分析モジュール３０１に通す弁（図示なし）は、３〜６リットル／分（典型的には、流量（体積／時間）基準で、ライン２１８内の流動Ｓの１５〜３０％）で任意の分析モジュール３０１に誘導するような大きさにできる。分流は、所望に応じて、上記よりも多くても少なくてもよく、及び／又は、上記よりも多いか又は少ないサンプルを分析装置に供給してもよい。加えて、分析が不要であるか、分析パッケージをオフラインにする場合、分析パッケージが、装置の別の位置から採取したサンプルを測定する場合、又は、保守若しくは修理のために、分析パッケージを停止させる場合には、パイプ２１３内の１つ以上の弁（図示なし）を閉じて、分流Ｊが分析パッケージに入らないようにしてよい。
【０１０６】
分析モジュール３０１は、下記の分析モジュール３００と同じであっても異なってもよく、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置２０は、１つ又は２つ以上の別の分析モジュールを備えてよい。図４に示されている実施形態では、分析モジュール３０１は、分析モジュール３００（図１１に示されているようなもの）と同じであるのが好ましく、本発明の装置内の唯一の分析モジュールであってもよく、所望により、送出モジュールが、原料スラリーを分析するための液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器のみを備える分析モジュールを備えてよい。本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、図４に示されている混合モジュールを更に備えてもよい。例えば、混合スラリー又は混合化学ブレンドの特徴（ｐＨ、密度、伝導度、過酸化物の割合（％）、並びに混合スラリー中の粒子の数及び分布）のうちの１つ以上をチェックすることによって、各種成分に関して、新たに混合したスラリー又は化学ブレンドが、所要及び予測される組成範囲内であるかチェックするために、（図示されているように）混合モジュール内のポンプの後に連結している流路２１３は、（装置が作製するものに応じて）スラリー又は化学ブレンドの一部を分析モジュール３０１に運ぶためのものである。上記のセンサーのいずれかが、範囲外（規格外）である混合スラリー又は混合化学ブレンドを検知した場合、混合モジュール内の流量コントローラー及び弁への（装置用のコントローラーを介した）フィードバックによって、自動的に、（コントローラーを介して、）流量コントローラー及び／又は弁のうちの１つ以上を調節して、成分の流速を調節するか、又は、技師に警告することができる。センサー測定値が非常にかけ離れている場合には、コントローラー（図示なし）が技師に警告して、大量の混合スラリー若しくは混合化学ブレンドを混合したり、及び／又は、大量の混合スラリー若しくは混合化学ブレンドが分配タンクに流入したりする前に、問題に対処できるようにする。極端なケースでは、コントローラー又は技師が、混合スラリー若しくは化学ブレンドの全部又は一部を分配タンクから抜いて、廃液流に送ってから、規格外の混合スラリー若しくは混合化学ブレンドを完全に交換するか、又は、規格外の混合スラリー若しくは混合化学ブレンドを、規格内の混合スラリー又は混合化学ブレンドにするのに充分な規格内混合スラリー又は混合化学ブレンドと混合されるまで、新しいスラリーを混合してよい。あるいは、センサーを技師がチェックする必要がある場合があり、異常なセンサーを修理又は交換する必要がある場合がある。好ましい実施形態では、コントローラーは、フィードバックを用いずに、混合モジュール内のいずれかの弁又は流量コントローラーを自動的に調節する。所定の混合物のために１度設定したら、混合モジュール内の所定の混合物のための流量コントローラーと弁は、コントローラーによって修正せず、代わりに、定常状態に保つのが好ましい。何らかの問題があると技師が判断した場合、又は、混合モジュール内に問題のある箇所が存在する場合にのみ、混合モジュールを中断又は修正する。代替的実施形態では、上記のセンサーのいずれかが、範囲（規格）外の混合スラリー又は混合化学ブレンドを検知した場合、（本発明の装置用のコントローラーを介した）フィードバックによって、混合系をオフラインにしてよく、これにより、混合を停止するか（他の混合系がスタンバイになっていない場合）、又は、スタンバイになっている系に切り替え、その系を新たなオンライン系にすることになる。
【０１０７】
粒子の数又は分布が規格外であると液体粒子計数器又は粒度分布分析器が示した場合、規格外スラリー又は規格外化学ブレンドに対する上記の対応に加えて、大きい粒子がスラリー又は化学ブレンドに存在する場合、混合スラリー又は混合化学ブレンドを適切な処理手段（例えば、大きい粒子を除去するための１つ以上のフィルターエレメント、又は膜とフィルターエレメント）に誘導して、小さい粒子及び／又は大きい粒子を除去することができる。図４に示されている一実施形態では、パイプ２１９は、フィルター配列体につながっているので、スラリー又は化学ブレンドの全てをろ過して、大きい粒子を除去する。代替的実施形態では、粒度分布が規格外であり、大きめの粒子をスラリー若しくは化学ブレンドから除去する必要があると粒度分布分析器が示した場合に、フィルターエレメントを通ったスラリー及び／若しくは化学ブレンドを再誘導するために、別個の弁若しくはパイプを設けてよく、並びに／又は、コントローラーによって、分配モジュール内の別のフィルターループ７００内のポンプ１０１Ｄに、更に大きい割合のスラリー又は化学ブレンドを押し出させてフィルターループ７００に通して、大きめの粒子を除去してよい。同様に、図示されていないが、小さい粒子を除去するための処理手段（上述）を設けてよく、スラリー又は化学ブレンドが、小さい粒子を非常に多く含んでいると粒度分布分析器が示したら、規格外スラリー又は化学ブレンドをその処理手段に誘導するようにコントローラーをプログラムしてよい。別の実施形態では、粒子の数又は分布が規格外であると液体粒子計数器又は粒度分布分析器が示した場合、オンラインのフィルター配列体（単数又は複数）をオフラインにし、スタンバイになっているフィルター配列体（単数又は複数）をオンラインにすることになる。
【０１０８】
図４に示されている分析モジュール３０１を用いて、装置２０の他の部分、例えば、下で説明する分配モジュール４００から出た他の流動を分析してよい。図４に示されているような分析モジュール３０１の位置は、例示目的に過ぎない。分析モジュール３０１は、本発明の装置内に、いずれかの利便的な位置に取り付けてよく、下で説明するように、本発明の装置内の、ある位置（サンプルポート）からスラリー又は化学ブレンドを取り出すとともに、所望により、スラリー若しくは化学ブレンド、又はスラリー若しくは化学ブレンドの一部を（別の返送サンプルポートに）戻すスラリー又は化学ブレンドサンプルループを、本発明の装置内の複数の位置に設けてよく、このサンプルループは、分析機器をモジュールごとに設ける必要がなくなることによって、分析機器のコストを抑えるというという更なる利点をもたらす。図４に示されているスラリー又は化学ブレンドサンプルループは、混合モジュールポンプ２５１の下流にある分流２１３を備え、この分流２１３に、スラリー又は化学ブレンドが流入して、混合モジュールポンプ２５１の上流にあるチューブ２２１を介して戻る。
【０１０９】
加えて、図４又はいずれの図にも示されていないが、本発明の装置及び／又はモジュールは、パイプに連結部が存在する位置にはいずれも、いずれかの流動の逆流を防ぐために、逆止弁を備えてよい。逆止弁（図示なし）は、混合モジュール内の各流量コントローラーの後に存在し、所望に応じて、本発明の装置内のいずれかの場所で用いてよい。図４に示されている混合モジュールは、図１Ｂに示されている実施形態（Ａ及びＢの符号が付されている部分を有する）のように、追加の（予備バックアップの）混合系（パイプ、流量コントローラー、スタティックミキサーなど）も備えてよい。加えて、図４に示されている混合モジュールでは、スタティックミキサーとポンプが１つしか示されていないが、所望に応じて、１つ以上のスタティックミキサー及び／又は１つ以上のポンプを用いることができる。
【０１１０】
図４に示されている連結部２９９、２９８、２９７、及び２９５は、２つの流動を合流させ、それによって、連結部ごとに流動の数を２つから１つに減少させ、連結部２９６及び２９４は、１つのパイプを２つのパイプに分割する。連結部は、図面内の形と一致しなくてもよく、Ｔ字型若しくはＹ字型連結部、又は代わりにいずれかの形であることができる。
【０１１１】
図示されているように、パイプは、流量コントローラー、例えば、パイプ２１０内の流動Ａの流動を制御する体積流量コントローラー２６０と、パイプ２１１内の流動Ｂの流動を制御する体積流量コントローラー２６１と、パイプ２１２内の流動Ｃの流量を制御する体積流量コントローラー２６２とを備える。あるいは、これらのパイプの流量コントローラーは、（コリオリ）質量流量計を含む質量流量計によって制御することもできる。一部の実施形態では、所望に応じて、スラリー又は化学ブレンドの一部の成分の重量を測定するとともに、タンク内の混合スラリー又は混合化学ブレンドの重量をチェックするために、重量測定を用いるのが望ましいことがあるが、好ましい混合モジュールは、流量コントローラー（体積流量コントローラーであってよい）を用いて、スラリー又は化学ブレンドの少なくとも２つの組み合わせ、一部の実施形態では、スラリー又は化学ブレンドの全成分を制御する。
【０１１２】
図１Ｂ、３、及び４に示されている実施形態では、流路Ａ、Ｂ、及びＣは独立して、混合スラリー又は混合化学ブレンドの個々の成分を含むことができ、その成分としては、上記のように、原料スラリー、化学成分流（化学物質を１つ以上、そのままの形又は溶剤中で含む）、超純水（ＵＰＷ）若しくは脱イオン水（ＤＩＷ）（本明細書では、ＵＰＷとＤＩＷは同義的に用いる）、一部混合スラリー若しくは一部混合化学ブレンド（１つ以上の追加成分と混合した原料スラリー又は化学成分である）、リサイクルスラリー、又は完全混合スラリー若しくは完全混合化学ブレンドを挙げてよい。好ましい実施形態では、流動Ａは、溶剤中の化学成分、流動Ｂは水、流動Ｃは、混合スラリーを作製する場合には原料スラリー、又は化学ブレンドを作製する場合には化学成分である（混合スラリーを作製する場合、流動Ｃは典型的には、図１Ｂ、３、及び４に示されている実施形態において上記したように、パイプ２１２を介して送出モジュール１００から供給される原料スラリーである）。一部の実施形態では、（化学成分流（流動Ａ）を原料スラリー及び／又は別の化学成分と合流させる前に、）化学成分流（流動Ａ）を水（流動Ｂ）と合流させて、高ｐＨ又は低ｐＨの化学成分流であることが多い物質（酸又は塩基など）を中和及び希釈するのが有益である。図４に示されている実施形態では、水と化学物質との混合流を完全混合スラリー流又は完全混合化学ブレンド流Ｓと合流させて、化学物質と水との混合流（流動Ｄ）を完全混合スラリー流又は完全混合化学ブレンド流Ｓ内で更に希釈する。完全混合スラリー流又は完全混合化学ブレンド流（流動Ｓ）を、化学物質と水との混合流（流動Ｄ）と合流させて、一部混合スラリー流又は一部混合化学ブレンド流（流動Ｅ）を形成することによって、原料スラリー流又は化学成分流（流動Ｃ）を流動Ｅ内の一部混合スラリー又は一部混合化学ブレンドと合流させる際に、流動Ｃを流動Ｄと直接合流させる場合と比べて、原料スラリー流又は化学成分流（流動Ｃ）のｐＨへの影響が小さくなり、それにより、化学物質流と、混合スラリーを作製する場合には原料スラリー流、又は化学ブレンドを作製する場合には第２の化学成分流とを合流させる場合と比べて、ｐＨショックの影響が軽減したり、又は、ｐＨショックが回避されたりする。
【０１１３】
流動Ａが化学物質流を含み、過酸化水素又は別の過酸化物である場合には、図１Ｂに示されているように、過酸化物センサー３４５を設けるのが有益であることがある。過酸化物センサーは、屈折率又は自動滴定式センサーであることができるとともに、コントローラー（図示なし）に電気信号を送信するようにできる。過酸化物センサーによって測定され、コントローラー（図示なし）に通知された測定値に応じて、流量コントローラー２６０Ａによって、流動Ａ内の過酸化水素の流速を増減させることができ、あるいは、情報を単にデータロガーに保持して、許容範囲外である場合に、その情報を用いて、技師に警告してもよい。
【０１１４】
混合スラリー流又は化学物質流内の過酸化水素濃度は、存在する場合、時間の経過とともに低下し得る（すなわち、測定濃度が時間の経過とともに低下し得る）ので、センサー３４５によって、低い過酸化水素濃度が検知された場合、警告を生成して、過酸化水素供給源を交換するように技師に通知してよいとともに、混合済みスラリー又は混合済み化学ブレンドを破棄及び交換するか、あるいは、混合済みスラリー又は混合済み化学ブレンドに、新しいか又は追加の過酸化水素を加えて、分解したＨ2Ｏ2の埋め合わせを行ってよい。混合モジュールによって分配タンクへの添加を行う方法及び実施形態は、図１７を参照しながら下に図示及び説明されている。
【０１１５】
図４に示されている実施形態、又は混合スラリー若しくは混合化学ブレンドを作製するために、１つ以上の他の成分流と合流する混合済みスラリー流若しくは混合済み化学ブレンド流を備える混合モジュールの別の実施形態では、他の成分流、例えば原料スラリー、水、及び化学成分流と合流する混合済みスラリー流又は化学ブレンド流Ｓは、更なる混合スラリー流又は更なる混合化学ブレンド流（流動２１７）を形成する目的で合流及び混合させる流動の単位時間当たりの全体積（流速）の２〜８０％、１０〜７０％、２０〜６０％、又は２５〜５５％であることができる。図示されている実施形態では、これらの流動をポンプ２５１で混合して、更なる混合スラリー又は更なる混合化学ブレンド（その一部は、図示されているように、分配タンク４９１から出た混合済みスラリー流又は混合済み化学ブレンド流である）を形成する。別の実施形態では、混合済みスラリー又は混合済み化学ブレンドは、他の供給源、例えば分析モジュール、混合モジュール、又は分配モジュールの他の部分、例えば大域ループから出たものであることができる。好ましい実施形態として図示及び説明されているが、代替的実施形態では、流動Ａ、Ｂ、及びＣは、混合スラリー又は混合化学ブレンドを作製するのに有用なものとして説明されている考え得る成分のいずれかを含んでよく、あるいは、同じ送出流をパイプ内に再配置して、図示されている実施形態において、それらが別の順序（いずれかの順序）で合流するようにできる。図示されている実施形態は典型的には、３つの成分を混合するが、混合スラリー若しくは混合化学ブレンドを作製する目的で、４つ以上の成分用に用いることもでき、又は、４つ以上の成分を混合するように修正できることにも留意されたい。４つ以上の追加成分を混合して、混合スラリー又は混合化学ブレンドを作製するこれらの実施形態では、追加成分ごとに、その成分用の追加の送出ラインと、そのライン内の流量コントローラー（時間当たりの体積又は質量ベースの流速を調節するため）と、追加したラインと別の成分ライン又は混合済み成分流を運ぶラインとの連結部と、追加した連結部の下流にある任意のスタティックミキサーとを追加するのが望ましいことがある。代替的実施形態では、所望に応じて、図示されている実施形態におけるポンプ又はスタティックミキサーの前又は後に、追加の送出ラインを加えることができる。あるいは、混合スラリー又は混合化学ブレンドが、２つの成分しか含まない場合には、上記の各実施形態において、２つの送出ライン、例えばＡ及びＣのみを用いてよく、これらの実施形態は、所望に応じて、送出ラインのうちの１つ、例えばラインＢを除去することによって簡素化してよい。本発明の装置を用いて、スラリーと化学ブレンドを断続的に混合する実施形態では、その装置を用いて化学ブレンドを混合する際に、原料スラリー用のパイプ内の弁を閉じてよい。
【０１１６】
流動を合流させる好ましい順序を説明したが、本発明を用いて、混合スラリー又は混合化学ブレンドの成分を合流させた場合に、流動を別の順序で混合しても、凝集が軽減されるという利点を本発明は提供する。
【０１１７】
上述のように、成分（原料スラリー及び混合済みスラリー又は化学ブレンド以外）の供給源は、図に示されていない。化学物質と水の供給源は、ドラム、タンク、又はその他の容器であってよい。流動は、ポンプ若しくは重力によって各パイプ内に送出しても、圧力の高い供給源から圧力の低いパイプに送出してもよい。この概念は、当業者に理解されている。混合モジュール２００内の流量コントローラーの信頼性のために、成分を混合モジュール２００に、実質的に一定の流速且つ実質的に一定の圧力で供給するのが好ましい。例えば、流速は、その変動が、流量コントローラーにおけるフルスケール（典型的な総流速）の５％未満、２％未満、又は１％未満であるように、混合モジュール内の流量コントローラーの上流で保持しなければならない。例えば、圧力の変動は、各ラインにおいて、フルスケール（典型的な総流速）の５％未満、２％未満、又は１％未満であるのが好ましい。個々の成分ラインの流速又は圧力は、ラインの直径と、混合スラリー又は混合化学ブレンドを作製する目的で加える各成分の量を考慮して判断し、パイプの直径の大きさが変わると変化する。典型的には、水は、０超〜１００ｐｓｉ、又は１２〜１００ｐｓｉの圧力、且つ０超〜２０リットル／分（ｌｐｍ）の流速で供給する。典型的には、１つ以上の化学物質流は、７〜１７ｐｓｉ（差圧式流量コントローラーの場合）、１０〜１４ｐｓｉ、又は約１２ｐｓｉの圧力、且つ０．０５〜５ｌｐｍ、０．０８〜４ｌｐｍ、又は０．１〜２ｌｐｍの流速で供給する。典型的には、原料スラリー又は化学ブレンドは、２０〜３０ｐｓｉ、又は２２〜２８ｐｓｉの圧力、且つ１５〜２５ｌｐｍ、又は１８〜２２ｌｐｍの流速で供給する。典型的には、混合スラリー又は混合化学ブレンドは、２０〜３０ｐｓｉ、又は２２〜２８ｐｓｉの圧力、且つ１５〜２５ｌｐｍ、又は１８〜２２ｌｐｍの流速で供給する。
【０１１８】
図１Ｂに示されている実施形態では、混合モジュールから出るパイプ２１８と、分配モジュールに連結しているパイプ７１との間にバイパスライン（図示なし）がある。分析パッケージをオフラインにするか、又は、混合スラリー若しくは混合化学ブレンドを混合モジュール２００から分析モジュール３００に誘導する必要がないと作業者若しくは自動コントローラー（コンピューター）が判断した際に、このバイパスライン（図示なし）を用いる。一実施形態では、分析パッケージ３００は、本発明の装置用に設けた唯一の分析モジュールであってもよく、試験のために、スラリー又は化学ブレンドを、１つ以上のモジュール内の１つ以上の地点及び／又は２つ以上の地点から分析モジュール３００に誘導するために、パイプと弁を設けるのが望ましいことがある。このような実施形態では、各種スラリー又は化学ブレンド試験地点を分析モジュールに連結する１つ以上のライン及び関連する弁は、装置内の各種地点（サンプルポート）からサンプルを取り出して、装置内の各種地点（サンプルポート）から採ったスラリー又は化学ブレンドを順次試験し、続いて、その試験を連続的又は半連続的に繰り返すように、連続サイクルで動作してよい。試験は、所定のパターン又はランダムパターンであっても、作業者が指示するパターンであってもよい。あるいは、設けられた各種サンプルポートからサンプルを取り出す必要がある時点を、装置の動作に基づき判断するアルゴリズムに基づき、コントローラー（図示なし）がサンプル採取を制御してもよい。サンプルポートは、パイプ又はチューブ内のパイプ連結部又はチューブ連結部であってよい。サンプルポートは、分析モジュールに通じる連結チューブに、スラリー又は化学ブレンドの一部のみを流入させる大きさにできる。加えて、サンプルポート又は連結チューブは、所望に応じて、分析モジュールへの流量を制御するために、弁をその中に備えてよい。図１Ｃに示されているように、１９００、１９００Ａ、及び１９００Ｂの符号が付された円は、パイプ（図示なし）と弁（図示なし）が分析パッケージ３００（図１Ｂに示されている）に分配モジュール４００から連結しているポートを示している。ポート１９００、１９００Ａ、及び１９００Ｂのそれぞれに連結しているのは、分析パッケージ３００に通じるサンプルチューブ（図示なし）と、ループを形成するための返送チューブである。このサンプルループは、返送チューブ（図示なし）を介して、分析済みのスラリー又は化学ブレンドを分析モジュール３００から返送ポート１９０１、１９０１Ａ、又は１９０１Ｂにそれぞれ返送する。ポート１９００、１９００Ａ、１９００Ｂの１つ以上、又はこれらのポートのいずれかにおいて、作業者が機器（図示なし）内でのオフライン試験用にサンプルを取り出せるように、手動弁（図示なし）を設けてもよい。図２に示されているように、ポート１０００Ａ及び１００１Ｂを用いて、図２の液体粒子計数器３４による分析のために、スラリーをポート１０００Ａ又は１０００Ｂから採取して、分析後にポート１００１に返送するサンプルループ（図示なし）を形成するか、あるいは、単純な分析モジュールが装置用に搭載されている場合には、分析のために、サンプルをサンプルループ又はチューブを介して、分析モジュール３００に送ることができる。分析モジュール３００内でスラリーを分析する前に、スラリーの希釈を行う場合には、分析後、スラリーは、ポート１００１に返送しない。希釈したスラリーは、廃液ライン（図示なし）に誘導してよい。
【０１１９】
図５は、混合モジュール２００と分析モジュール３００との間のパイプと、分配モジュールに通じるパイプ７２Ａ、７２Ｂの一実施形態であって、混合スラリー又は混合化学ブレンドの流動の全部又は一部を、図示されているような混合モジュール２００（又はいずれかの混合モジュール）から分析モジュール３００に誘導するか、あるいは、混合スラリー又は混合化学ブレンドの全部又は一部を分配モジュールに、パイプ７２Ａ、７２Ｂを介して誘導するために、連続的又は断続的に用いることができる一実施形態を示している。混合モジュール２００は、いずれかの混合モジュールであることができる。分析モジュール３００は、いずれかの分析モジュール３００であることができる。分配モジュールに通じるパイプは、いずれかのパイプであることができ、及び／又は分配モジュール４００は、いずれかの分配モジュールであることができる。例えば、分配モジュールに通じる単一のパイプを用いてよい。実際、図５に示されている流動２１８の全部又は一部を再誘導する手段であって、三方弁５７９と、制限オリフィス３１１と、１つ以上の連結部と任意の追加の弁とを有する付随のパイプとを備える手段は、所望に応じて、第１のパイプ内の流動の少なくとも一部を第２のパイプに確実に誘導するか、又は、流動を第１のパイプのみ、若しくは第２のパイプのみに誘導するように、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置２０のいずれの位置でも用いることができる。この手段を用いて、第１のパイプと第２のパイプとの間で、流動を同時に分割して、所望に応じて、各パイプが、スラリー若しくは化学ブレンドを異なるモジュールに送達し、並びに／又は、いずれかのモジュール内の流動を同時に第１のパイプ及び／若しくは第２のパイプに誘導するようにできる。
【０１２０】
図５は、図１Ｂに示されている混合モジュールと類似の簡易混合モジュール２００を示している。（図５の混合モジュール２００は、図１Ｂに示されている混合モジュールのようなバックアップ流量コントローラーと付随のパイプとを有するバックアップ混合系を備えていない。）図５で用いられている同じ又は同様の数字は、図１Ｂに示されているものと同じ又は同様の部分を表している。また、図５には、１つ以上のセンサーを備える分析パッケージを備える分析モジュール３００と、混合モジュール２００内でスラリー又は化学ブレンドを混合した後に、スラリー流又は化学ブレンド流を分析パッケージに供給する付随のパイプも示されている。
【０１２１】
分析パッケージを迂回するために、三方弁５７９を開いて、混合モジュール２００からパイプ２１８に流れる混合スラリー又は混合化学ブレンドが、パイプ５１８を通って、三方弁５７９からパイプ５１９を通り、パイプ７１に至り、それによって分配モジュール（図５には示されていない）に到達するようにする。同時に、ライン２１８内の弁５５７を閉じて、混合スラリー又は混合化学ブレンドが分析パッケージ３１０に入るのを防ぐことができる。あるいは、混合スラリー又は混合化学ブレンドを混合モジュール２００から分析モジュール３００に部分的又は完全に誘導するために、三方弁５７９を１つの開放位置から第２の開放位置に変化させて、混合モジュール２００からパイプ２１８に流れる混合スラリー又は混合化学ブレンドが、パイプ５１８を通って、三方弁５７９からパイプ５２０を通り、制限オリフィス３１１に至るようにでき、この制限オリフィス３１１は、パイプ５２１、連結部５９５、パイプ５１９に流入してパイプ７１に至り、それによって、（例えば図１Ｃに示されているように、）ライン７２Ａ及び／又は７２Ｂを介して分配モジュール４００に到達する混合スラリー又は混合化学ブレンドがないようにするか、又はそのような混合スラリー又は混合化学ブレンドが一部のみであるようにする。（ライン５７１内の任意の弁５５８を閉じて、スラリー又は化学ブレンドがバイパスライン５１９から分析モジュール返送ライン５７１に流れるのを防いでよいが、スラリー又は化学ブレンドが、１つ以上の分析装置３１０を通っている時には、弁５５８を開くことに留意されたい。）三方弁５７９を第１の位置から第２の位置に変化させるのと連動して、ライン２１８内の任意の弁５５７を閉鎖位置から開放位置に切り換える。制限オリフィス３１１のために、パイプ５２０及び５１８内で制限された混合スラリー流又は化学ブレンド流によって、パイプ５２０及び５１８の上流の混合スラリー又は混合化学ブレンドが、パイプ２１８を通って、分析パッケージ３１０の分析装置（単一又は複数）の方に流れる。ライン２１８は、上流のスラリー又は化学ブレンドが混合モジュール２００に流入するのを防ぐために、逆止弁を有してもよい。制限オリフィス３１１は、スラリー又は化学ブレンドの少なくとも一部を分析モジュール３００の分析パッケージ３１０の分析装置（単一又は複数）に流入させる背圧を発生させる。パイプ２１８内の混合スラリー又は混合化学ブレンドは、開いた弁５５７を通って、分析パッケージ３１０の分析装置（単一又は複数）に流入し、弁５５８を通じて、分析パッケージ３１０の分析装置（単一又は複数）から出る。分析パッケージ３１０の分析装置（単一又は複数）を出た後、図５に示されているように、混合スラリー又は混合化学ブレンドは、パイプ５７１を通って、パイプ５７１内の開いた弁５５８（あるいは逆止弁）を通じてライン７１に入り、分配モジュールに到達する。（スラリー又は化学ブレンドが、連結部５９６でパイプ５１９に流入した場合、閉じた弁５７９又は制限オリフィス３１１を越えて流れることはない。加えて、パイプ５２０内の流動の一部は、制限オリフィス３１１を通り、連結部５９５を介して、パイプ５１９を流れ、分析パッケージ３１０の分析装置（単一又は複数）から出た分析済みのスラリー又は化学ブレンドと合流して、パイプ７１、並びに７２Ａ及び／又は７２Ｂを介して、分配モジュールに運ばれるのが好ましい。分配モジュールは、分配タンク及び／又は大域ループを備えてよい。説明されているように、弁を開閉することによって、スラリー又は化学ブレンドの一部又は全部が断続的又は連続的に分析モジュールに流れるのをコントローラーが制御することができる。
【０１２２】
装置が、任意のサンプルライン５９８とサンプル室５９９とを備えてよいことを図５は示しており、サンプルライン５９８とサンプル室５９９は、この実施形態では、分析モジュール３００と分配モジュール４００（図１Ｃに示されているようなもの）との間に位置しているが、代替的実施形態では、オフラインで試験するために、混合スラリー又は混合化学ブレンドのサンプルを採取するのが望ましいか、又は、大量の原料スラリー、混合スラリー、又は混合化学ブレンドを回収するのが望ましい場合のあるいずれの位置にも設けることができる。例えば、図示されていないが、大域ループ（下で説明する分配モジュール４００の部分）から戻る混合スラリー又は混合化学ブレンドのサンプルを回収して、そのサンプルをオフラインで分析するのが望ましいことがある。サンプル室５９９は、容器（図示なし）を入れることができるサンプル室である。サンプル室５９９は、ハウジングと、ドアと、（カーボイ）サンプル室５９９内に配置されている容器に充填するためのパイプ及び弁とを備えてよい。この容器を用いて、分配ループ用に作製したのではなく、例えば、一括試験及び／又は更なる分析の目的で作製した大量の混合スラリー又は混合化学ブレンドを回収することができる。例えば、容器は、５ガロン（１８．９３リットル）以上の容器であることができる。混合スラリー又は混合化学ブレンドを容器に回収する場合、ライン７１内の弁（図示なし）を開状態から部分的又は完全に閉じた状態に切り換え、ライン５９８内の弁（図示なし）を閉状態から部分的又は完全に開いた状態に切り換えて、制御量又は離散量の混合スラリー流又は混合化学ブレンド流を容器内に誘導する。容器に所望の量のスラリー又は化学ブレンドが入ったら（液位計（図示なし）、重量センサー（図示なし）によって表示させるか、又はライン５９８内の流量コントローラー５４１、その他のセンサー、若しくは手動制御によって測定する）、ライン７１内の弁（図示なし）を部分的又は完全に閉じた状態から開状態に切り換え、ライン５９８内の弁（図示なし）を部分的又は完全に開いた状態から閉状態に切り換える。（流量コントローラー５４１は、コントローラー（図示なし）の一部である集計ソフウェアと連動して動作して、所望の量のスラリー又は化学ブレンドが容器内に流入した時点を判断できる。所望の量のスラリー又は化学ブレンドが容器内にある場合、集計ソフトウェアは、ライン５９８内の弁を自動的に閉じて、混合スラリー又は混合化学ブレンドの容器への流入を停止させる。この代わりに、又はこれに加えて、手動弁を設けることができる。）続いて、容器をライン５９８及びサンプル室５９９から取り出すことができる。サンプル室５９９には、容器の充填を行っている間、容器への接触を防ぐように、安全にインターロックされるドアを設けるか、又は別段の形で、容器への接触を制御してよい。容器は、試験台又はその他の場所に運ぶことができる。
【０１２３】
加えて、本発明の装置は、図５又は１Ｂには示されていないが、所望に応じて、（図４に示されている実施形態、又は本明細書で図示及び説明されているいずれかのフィルター実施形態に示されているフィルターエレメントとろ過工程と同様に、）混合モジュール２００の後に、混合スラリー若しくは化学ブレンドが分配モジュール４００（例えば図１Ｃに示されている）に流入する前に、及び／又は混合スラリー若しくは化学ブレンドが任意の分析モジュール３００に流入する前に、任意のフィルターエレメントとろ過工程を備えてよい。図４のフィルター２３０は、２つのフィルターを備える単一のフィルター配列体として示されているが、あらゆるタイプのフィルターエレメント、例えばフィルターループ、並列フィルター、又は並列フィルター配列体など）の代表的なものに過ぎない。
【０１２４】
図１Ｂ及び５に示されているスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の実施形態は、分析モジュール３００を備える。この分析モジュールは、少なくとも１つ、一部の実施形態では複数のスラリー流又は化学ブレンド流のサンプル採取のために用いられている。混合スラリー流又は混合化学ブレンド流２１８は、図５に示されているように、分析パッケージ３１０を備える分析モジュール３００に送られる。上述のように、三方弁５７９を作動させて、ライン５２０を通じて制限オリフィス３１１を通る流動を発生させると、背圧が発生する。この背圧により、弁５５７及び５５８を開いた時に、分析パッケージ３１０を通る流動が発生する。
【０１２５】
分析パッケージ３１０は典型的には、１つ以上のｐＨセンサー、１つ以上の密度センサー、１つ以上の伝導度センサー、１つ以上の過酸化水素センサー、並びに１つ以上の液体粒子計数器及び／又は１つ以上の粒度分布分析器のような１つ以上の分析装置又は分析機器を備える。スラリー又は化学ブレンドの１つの特徴を測定及びモニタリングするために、２つ以上のセンサー（２つ以上の同じ分析装置）を用いる目的は、同じ特徴を測定する２つ以上の装置によって、測定値のばらつきをチェックすることである。分析装置のセンサーのうち、スラリー又は化学ブレンドの同じ特徴を測定しているセンサーによる測定値間のばらつきにより、スラリー若しくは化学ブレンドが規格外であること、又はセンサーの１つが作用していないことが示される場合がある。センサーは、経年劣化して、作用しなくなる。１つのセンサーが作用しなくなったら、交換することができると同時に、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置が、スラリー又は化学ブレンドの混合と分配を続けながら、第２のセンサー（分析装置）に依存して、スラリー又は化学ブレンドの特徴をモニタリングする。
【０１２６】
本発明の装置において有用なデンシトメーターの例としては、Ａｎａｌｙｔｉｃａｌ  Ｆｌｏｗ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ及びＡｎｔｏｎ  Ｐａａｒから市販されているような振動Ｕ字管式デンシトメーターが挙げられる。伝導度センサーの例は、Ｈｏｒｉｂａ及びＧｅｏｒｇ  Ｆｉｓｈｅｒから市販されている伝導度センサーである。過酸化水素センサーの例は、Ｊｅｔａｌｏｎの屈折率又は自動滴定式センサーである。ｐＨセンサーの例は、ＡＢＢから市販されている液体又は固体電解質式センサーである。
【０１２７】
追加の流動（図４又は５には示されていない）を分析モジュール３００の分析パッケージ３１０に別個に誘導してよい。スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置には、予備分析装置（スラリー又は化学ブレンドの同じ特徴を測定する２つ以上の装置（センサー）である）を有する単一の分析パッケージ３１０と、分析モジュール３００の一部であるパイプであって、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置内の各種サンプルポートから出たサンプル流を分析パッケージ３１０に流入させる目的で用いることができるパイプとを搭載してもよい。
【０１２８】
サンプル流を分析パッケージ（分析モジュールともいう）に流入させる１つの方法は、１つ以上の遠心ポンプが動作中に、サンプル流が分析モジュール３００に流入するように配置した１方向のサンプルチューブ又は２方向のチューブ（サンプルループという）を設けることである。分析パッケージに通じるサンプルチューブを設けるために、ポンプが動作するラインには、ポンプの排出側のライン内に、Ｔ字管（サンプルポート）を搭載してよい。あるいは、サンプルループを設けるために、ポンプが動作するラインには、ポンプの吸引側のライン内にＴ字管（サンプル返送ポート）を、ポンプの排出側のライン内に第２のＴ字管（サンプルポート）を搭載してもよい。排出側と吸引側との間には圧力差が生じることになり、排出側のＴ字管から、分析パッケージを通って、吸引側のＴ字管への流動を発生させることができる。このような実施形態の１つが図１１に示されている。記載されている流動は、ポンプの排出側にある排出側Ｔ字管（サンプルポート）１９００を通って、パイプ１１２０から三方弁１１２４（通常、開いている）を通り、パイプ（サンプルチューブ）１１２６から別の三方弁１１２８（通常、開いている）を通り、パイプ１１２７から別の排出側Ｔ字管（サンプルポート）１９０１に至る。サンプルパイプ１１２７は、サンプルループの一部であるサンプル返送チューブである。排出側三方弁１１２４にある通常閉じているポートは、分析パッケージ１３００に通じる導入パイプ１１２５に連結しており、吸引側三方弁１１２８にある通常閉じているポートは、分析パッケージから出る排出パイプ１１２９に連結している。両方の三方弁を作動させると、流動が、三方弁１１２４、１１２８にある通常閉じているポートに分岐し、スラリー又は化学ブレンドが、パイプ１１２５を通って分析パッケージ１３００に流れる。分析パッケージ１３００を通る流速は、分析パッケージにおいて、典型的には３〜６ｌｐｍの流速範囲で、１つのロータメーター１１３７又は２つ以上のロータメーター１１３７、１１４０によって制御する。ロータメーターは、流量を増減させるように調節できるニードル弁を備える。ポンプ速度によっても、分析パッケージを通る流量の程度を判断する。
【０１２９】
上の段落で説明されているサンプルチューブは、１つ若しくは複数のポンプのパイプ又は１つ若しくは複数のポンプの近くのパイプに連結できる（また、そのパイプから、スラリー又は化学ブレンドが送出される）。好ましい実施形態では、少なくとも１つのポンプを通るスラリー又は化学ブレンドは、分析モジュール３００によってサンプリングしてよい。一実施形態では、ポンプの後（ポンプの下流）の分析パッケージにサンプルを供給する１つのサンプルラインは、大域ループに供給を行うラインに連結している。別の実施形態では、別のサンプルラインは、図４に示されているように、分配タンク４９１に供給を行うラインと連結している（流体連通している）ポンプ２５１の後にあり、このポンプは、所望により、ろ過パッケージ（エレメント）に供給を行うとともに、動的混合（ポンプによる混合を意味する）に用いられる。図４のサンプルループは、ライン２１３から分析パッケージ３０１及び返送ライン２２１までである。図１Ｃに示されている分配ループでは、サンプル採取ポートには１９００Ａ、１９００Ｂ、及び１９００という符号が付されており、サンプルループ用の返送ポートはそれぞれ、１９０１Ａ、１９０１Ｂ、及び１９０１である。スラリー又は化学ブレンド用の２つのサンプルループである大域ループＡ及びＢと残りのループは、フィルター４３０又は４３１の後にサンプルを取り出し、返送は、フィルターループ内のフィルター４３０又は４３１の前である。
【０１３０】
本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、１つ以上のサンプルポートにそれぞれ連結している１つ以上のチューブを備える分析モジュールを備えてよく、それらのサンプルポートは、その供給装置において、分析モジュール以外のモジュール（送出モジュール、混合モジュール、及び／又は分配モジュール）内のパイプにある（連結している）。これらのサンプルポートは、分析モジュールでの分析のために、１つ以上のチューブを介してサンプルを分析モジュールから取り出したり、分析モジュールに運んだりするポートである。本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、１つ以上のサンプルループを備える分析モジュールを備えてよく、各ループは、少なくとも２つのチューブによって、装置において、分析モジュール以外のモジュール（すなわち、送出モジュール、混合モジュール、及び／又は分配モジュール）内のパイプにある少なくとも２つのサンプルポートに連結している。各ループの１つのサンプルポート及び連結チューブは、サンプルを分析モジュールから取り出したり、分析モジュールに運んだりするポート及びチューブであり、第２のチューブ及び第２のサンプルポートは、スラリー又は化学ブレンドサンプルの少なくとも一部を、典型的には、そのスラリー又は化学ブレンドサンプルを取り出したモジュールに返送するチューブ及びポートである。本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、送出モジュール、混合モジュール、及び／又は分配モジュールのいずれかの１つ以上又は全部に、１つ以上のサンプルポート（単数又は複数）及びチューブ（単数又は複数）、並びに／又はサンプルループを備えてよい。
【０１３１】
図１１は、サンプルループ２０００と、サンプルポート１９００及び１９０１と、サンプルループ２０００と流体連通しているポンプ１０１Ｄとを有する分析モジュール３００を示している。（サンプルポート１９００及び１９０１とポンプ１０１Ｄは、図１Ｃに示されているフィルターループ７００で見られるものと一致する。）サンプルポート１９００は、分析パッケージ１３００、１１１６に通じるサンプルポートであり、サンプルポート１９０１は、分析パッケージから通じるサンプルループ２０００から通じるサンプル返送ポートである。サンプルループ２０００は、分析パッケージ１３００に通じるパイプ１１２０と、分析モジュール３００から通じるパイプ１１２７と、任意のバイパスライン１１２６と、任意の弁（図示されているようなもの）と、流体を分析モジュール３００の分析パッケージに運ぶその他のパイプ（例えば１１２５、１１２２、１１３２）と、スラリー又は化学ブレンドをサンプル返送ポート１９０１に返送するパイプ１１２９（及びその他のパイプ）とを備える。分析モジュール３００は、分析モジュール３００の分析装置に通じるパイプと、弁と、分析モジュールを通る流量を制御するためのロータメーターとともに、サンプルループと分析パッケージ（複数の分析装置及びセンサー）とを備える。図示されているように、分析モジュールは、ｐＨセンサー１１１１、１１１２と、デンシトメーター１１１３と、伝導度センサー１１１４と、過酸化水素センサー１１１５と、任意の液体粒子計数器及び／又は任意の粒度分布分析器１１１６とを備えるが、代替的実施形態は、これよりも多いか若しくは少ないセンサー、及び／又はこれよりも多いか若しくは少ないタイプのセンサーを備えてよい。分析モジュールの代替的実施形態は、ｐＨセンサー、デンシトメーター、伝導度センサー、過酸化水素センサー、並びに液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器からなる群から選択した少なくとも１つのタイプのセンサー、あるいは、いずれかのセンサーを組み合わせて、少なくとも２つのタイプのセンサーを備えることができる。代替的実施形態では、分析モジュールは、１つ若しくは２つ以上のｐＨセンサー、１つ若しくは２つ以上のデンシトメーター、１つ若しくは２つ以上の伝導度センサー、１つ若しくは２つ以上の過酸化水素センサー、１つ若しくは２つ以上の液体粒子計数器センサー、１つ若しくは２つ以上の粒度分布分析器、及び／又は１つ若しくは２つ以上の他のタイプのセンサーをいずれかの組み合わせで備えてよい。化学ブレンドのみを供給する装置の一実施形態では、分析モジュールは、液体粒子計数器又は粒度分布分析器を必要としない場合がある。化学ブレンドの場合には、分析モジュールは、１つ又は２つのｐＨセンサー、伝導度センサー、及び過酸化物センサーを備えてよい。好ましい実施形態では、予備センサーを設けて、センサーの精度をチェックできるようにする。同じ量±許容範囲を測定するセンサーによって、センサーがいずれも正確であり、適切に動作していることが示される。センサーの１つが、予測値に近くないか、又は予測値から離れている可能性がある値を検出し始めた場合、それは、センサーが経年劣化し始めた可能性があること、及び���ンサーを交換しなければならないことを示す。１つのセンサーが、予測範囲内の測定値を生成し続ける場合、そのプロセスは継続し、技師に、センサー（又はセンサープローブ若しくはその他の分析機器）を交換するように、あるいは、診断検査を行うように、あるいは、スラリー若しくは化学ブレンドサンプル間の連結及び／又は電気供給をチェックするように、並びに／あるいはそのセンサーを新しいセンサーに交換するように警告することになる。技師がセンサーを修理又は交換しても、依然として、規格内の値を示さず、及び／又は全てのセンサーが範囲外である場合には、スラリー若しくは化学ブレンド、スラリー若しくは化学ブレンド供給成分に何らかの問題があり、及び／又は混合モジュール内の流量コントローラーの機能をチェックしなければならない。混合スラリー又は混合化学ブレンドが規格外である場合には、対処しなければならなくなる。スラリー又は化学ブレンドが規格外であり、センサーが機能している場合には、混合を終了させる工程、混合系（混合モジュール）内の流量コントローラーを調節して、作製している混合スラリー又は混合化学ブレンドの組成を変更する工程、（もっと多くの）原料若しくは混合スラリー又は原料若しくは混合化学ブレンドをフィルター又はその他の処理手段に再誘導する工程、及び／あるいは、１つ以上の分配タンク、送出タンク、又はその他のタンク内のスラリー又は化学ブレンドの全部又は一部を破棄するか、スラリー又は化学ブレンドをフィルターエレメント若しくは小粒子除去手段（処理手段）（例えば１つ以上の膜及び１つ以上のフィルター）又は廃液流に誘導する工程の１つ又は全部を自動的に行うようにコントローラー（コンピューター）をプログラムすることができ、あるいは、上記の工程の１つ又は全部を技師が行うことができる。
【０１３２】
図１１に示されているように、スラリー又は化学ブレンドのサンプルポート１９００からの分流は、スラリー又は化学ブレンドサンプルチューブ１１２０（サンプルループ２０００の一部）に入り、連結部１１２１でチューブ１１２３及び１１２２に分かれる。三方弁１１２４を開いて、チューブ１１２３がチューブ１１２５と流体連通するようにすると、チューブ１１２３内のスラリー又は化学ブレンドは、分析モジュール３００の分析パッケージ３１０（センサー１１１１、１１１２、１１１３、１１１４、１１１５を備える）の部分１３００の方に流れる。分析パッケージ３１０の部分１３００は、液体粒子計数器及び／又は粒子分布分析装置１１１６を備えない。代替的実施形態では、液体粒子計数器は、粒度分布分析器であることができ、及び／又は両方のセンサーが直列で存在することができる。弁１１３０を開いて、チューブ１１２２がチューブ１１３２と流体連通するようにすると、チューブ１１２２内のスラリー又は化学ブレンドが、液体粒子計数器１１１６に流入する。あるいは、三方弁１１２４をチューブ１１２５に対して閉じて、チューブ１１２６に対して開いて、弁１１２８を設定して、チューブ１１２６がチューブ１１２７と流体連通するようにすると、スラリー又は化学ブレンドは、連結点１９００からチューブ１１２０、１１２３を通り、弁１１２４を通じてチューブ１１２６に入り、弁１１２８を通じてチューブ１１２７に入り、サンプルポート１９０１を介して、分配モジュール４００内のフィルターループに戻る。（代替的実施形態では、スラリー又は化学ブレンドは、（好ましくは、混合スラリー又は混合化学ブレンドを作製した後に、）混合モジュールから採取して、混合モジュールに返送することができ、あるいは、図１Ｃに示されているように、サンプルポート１９００Ａ及び１９００Ｂで、分配モジュールの大域ループから採取して、サンプル返送ポート１９０１Ａ及び１９０１Ｂで、分配モジュールの大域ループに返送することができる。（図４に示されている混合モジュールでは、連結部２９６が、ポート９００と同様又は同じであってよく、連結部（サンプルポート）２９５が、図１１のポート１９００と同じであってよい。）
【０１３３】
弁１１２４を設定して、スラリー又は化学ブレンドが、分析パッケージ３００の部分１３００に流入するようにすると、ｐＨ、密度、及び伝導度が測定され、装置２０用のコントローラー（コンピューター、図示なし）に通知される。分析パッケージの部分１３００からチューブ１１３４に出たスラリー又は化学ブレンドは、弁１１３６、１１４０に基づき、チューブ１１３５と１１３８に分かれる。図１１に示されている実施形態では、分析モジュールは、ライン１１３８内の流量計１１３７と、ライン１１３５内の流量計１１４１とを更に備える。流量計はロータメーターであってよい。弁（ニードル弁であってよい）１１３６及び１１４０は、流量計の測定値に基づき、技師が手動で調節できる。代替的実施形態では、流量計は、コントローラーと通信でき、弁１１３６及び１１４０をコンピューター制御によって調節できる。弁１１４０は、過酸化水素センサー１１１５を通る流動の量を制御する。図示されている実施形態の過酸化水素センサーでは、そのセンサーを流れるサンプルは少量でなければならないからである。典型的には、分析パッケージ全体における流速は、３〜６リットル／分である（すなわち、チューブ１１２０内の流量が３〜６リットル／分である）。分析パッケージ３１０に流入するスラリー又は化学ブレンドのごく一部（例えば４０〜８０ｍｌ／分）のみが、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器１１１６に流入し、ごく一部（例えば３５〜４００ｍｌ／分）のみが、過酸化水素センサー１１１５を通る。流量計１１３７、１１４１の測定値によって、弁１１３６、１１４０内の流量を調節して、過酸化水素センサーにおいて所望の流速を実現できる。
【０１３４】
チューブ１１２２内の流体に対して弁１１３０を開くと、チューブ１１２２内の流体が、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器１１１６に流入する。図１１に示されている実施形態では、スラリー又は化学ブレンドを希釈して分析し、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器１１１６による分析のために、スラリー又は化学ブレンドを希釈した場合には、ライン１１３３を介して、スラリー及び／又は化学ブレンドを排水路に放出する。典型的には、化学ブレンドは、液体粒子計数器又は粒度分布分析器の前に希釈しない。
【０１３５】
図１２は、センサーと、付随の流量制御部と、弁とを備える分析モジュール３００であって、スラリー又は化学ブレンドを希釈しない分析モジュール３００の一実施形態を示している。図１２には、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器１２０４が示されているが、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器１２０４は、その中を通るスラリー又は化学ブレンドの流量を制御する必要があるが、希釈する必要がないいずれかのセンサーであることができる。スラリー又は化学ブレンドは、（本発明の装置内のモジュールのうちの１つから）サンプルパイプ１２０１を通じて、弁１２０２（ニードル弁であってよい）を通って、パイプ１２０３からセンサー１２０４を通り、パイプ１２０５に入り、（ニードル）弁１２０６を通ってパイプ１２０７に入り、流量センサー１２０８を通って、パイプ１２０９から空気圧制御式の弁１２１７を通じてパイプ１２１８に入り、そのパイプ１２１８が、スラリー又は化学ブレンドを供給装置に返送する。センサー（分析装置）１２０４を通る流量を制御するために、流量センサー１２０８は、パイプ１２０７内のスラリー又は化学ブレンドの流速を測定し、その流速をコントローラー１２５０と内部コントローラー１２１９に伝達する。所定の設定値を用いてＰＩＤ演算を行い、内部コントローラー１２１９が、コントローラー（ＰＬＣ、コンピューター、又はその他のもの）１２５０と通信し、コントローラー１２５０は、コントローラー１２５０が指示したように、弁１２１７を開閉させる空気圧制御式の比例弁１２１７に対する空気圧を調節するソレノイドマニホールド（図示なし）と通信する。図示されているニードル弁１２０２及び１２０６は、必要に応じて、別の洗浄工程に用いることのあるＤＩＷ供給源（図示なし）に連結していてよい三方弁であってよい。加えて、センサー１２０４は、ヒューマンマシンインターフェース１２６０と電気的に通信して、測定又は検出した値を表示するとともに、既に述べたように、装置２０用のコントローラー１２５０（ＰＬＣ又は同種のもの）にも電気的に伝達する。
【０１３６】
図１３は、本発明のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の一部であってよい分析モジュールの代替的実施形態を示している。分析モジュール３００（並びに／又はスラリー及び／若しくは化学ブレンド供給装置）は、センサー（分析装置）１３２３によってサンプルを分析する前に、スラリー又は化学ブレンドサンプルを希釈するのに用いる希釈装置を備える。図１３に示されているのは、液体粒子計数器又は粒度分布分析器のようなセンサー（分析装置）１３２３であり、その上流に、希釈工程を行って、液体粒子計数器又はその他の分析装置１３２３による測定に最適又は適切な範囲内である期待粒子濃度内のスラリー又は化学ブレンド、典型的にはスラリーをもたらすための希釈装置が配置されている。希釈装置は、超純水源、パイプ、並びに／又は、ポンプ（例えば蠕動ポンプ）、弁（例えばニードル弁）、ロータメーター、及び所望により希釈器具のそれぞれの１つ以上を備える。この分析モジュールはインラインであり、及び／又は希釈装置はインラインであるとともに、分析モジュールの一部である。希釈装置は、単回希釈又は二重希釈を含んでよい。分析モジュールは、１つ以上のサンプルループと、いずれかの１つ以上のモジュール、例えば送出モジュール、混合モジュール、及び／又は分配モジュールから通じるバイパスライン（上述）とを備えてよいか、又は備える。測定対象の原料若しくは混合スラリー又は原料若しくは混合化学ブレンドは、ライン１３３０（図２のライン１３３０であってよい）を介して供給し、超純水は、脱イオン水（ＤＩＷ）源（図示なし）から、ライン１３０９を介して供給する。任意の容器又はボトル１３０１及び１３０２もあり、容器１３０２と関連して、任意のポンプ、パイプ、及びロータメーター（流量計）もあり、これらは、測定対象のスラリー若しくは化学ブレンド又は溶剤に加える追加成分を供給するのに用いてよい。流量計は、ポンプ１３０５、１３０６の速度を制御するためのフィードバック制御ループで用いてよい。ライン１３０３を介してスラリー又は化学ブレンド供給ライン１３３０に連結している容器１３０１は、１３３０を介して供給するスラリー又は化学ブレンドと異なっても異なっていなくてもよいスラリー又は化学ブレンドサンプルを供給する目的で用いる容器又はボトルである。あるいは、容器１３０１は、既知の粒子濃度、サイズ、及び分布のサンプルを含んでもよく、液体粒子計数器又は粒度分布分析器が依然として、所望及び期待どおりに動作しているか較正又は確認する目的で用いる。
【０１３７】
ライン１３１２を介して超純水供給ライン１３１１に連結している容器１３０２は、スラリー又は化学ブレンドを希釈するのに用いる超純水の特性、典型的にはｐＨを調節するための追加の流体を供給するのに用いてよい容器又はボトルである。例えば、原料スラリー又は化学ブレンドサンプルのｐＨを変化させる作用を試験するために、ｐＨを調節するのが好ましい場合がある。容器１３０２内の流体の流量は、ポンプ１３０６、典型的には蠕動ポンプと、フィードバックによってそのポンプを制御できるか、又はポンプを手動で調節する目的で用いてよい流量計１３１３とによって制御する。流体を容器１３０２から流さない場合、ライン１３１２内の逆止弁（図示なし）又は閉じた弁（図示なし）が、ライン１３１２から流出するか、又はライン１３１２に流入するいずれの流動も防止する。
【０１３８】
１３０１に含まれるスラリー若しくは化学ブレンド、又はスラリーサンプル若しくは化学ブレンドサンプルは、ライン１３０４を介して、任意のポンプ１３０５（あるいは、既にサンプルが圧力下で別の供給源から流れている場合には、流量コントローラーを用いてよい）、典型的には、蠕動ポンプによって、液体粒子計数器又は粒度分布分析器１３２３に送達する。ポンプ１３０５からライン１３１７に排出されるスラリー又は化学ブレンドの流速を流量インジケーター１３１８によって測定し、この流量インジケーター１３１８を技師が用いて、ポンプ１３０５（あるいは、ポンプの代わりに流量コントローラーを用いる場合には流量コントローラー）の流量を調節してもよい。あるいは、流量インジケーター１３１８によって測定した流速を用いて、ポンプ１３０５を制御するために、コントローラーを用いることができる。ライン１３０９を介して供給した超純水は、機器類からの圧力によって液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器１３２３に送達する。ロータメーター１３１０は、ライン１３０９内の供給済み超純水の流速を表示し、ニードル弁１３０７は、ライン１３０９の供給超純水の流速の調節を行う。任意の容器１３０２内の流体は、所望により、ポンプ１３０６、典型的には蠕動ポンプによって送達し、ライン１３１４及びライン１３１２を介して、超純水流のライン１３１１に連結し、その流速は、流量インジケーター１３１３によって表示される。手動弁１３１５、典型的にはニードル弁は、所望により容器１３０２からの流体と合流させた超純水、又はライン１３１１内のＵＰＷのみの流動を調節又は遮断するのに使用するとともに、容器１３０２からの流体が存在する場合、超純水と容器１３０２からの流体の２つを混合する作用も提供する。手動弁１３２０、典型的にはニードル弁は、容器１３０２及び１３０１からライン１３１９を介して流れるスラリー又は化学ブレンドと超純水と任意の組成物との混合物流（ライン１３２１及びライン１３２２を介して、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器（又はその他の分析装置）１３２３に送達される）を調節又は遮断するのに使用し、これらの２つ、３つ、又は４つの流動を混合する作用も提供する。液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器１３２３は、コントローラー（図示なし）によって制御し、センサー１３２３に電気的に接続しているヒューマンマシンインターフェース１３６０と通信する。ライン１３２４、手動弁１３２５、典型的にはニードル弁１３２５、及びライン１３２６を介するバイパス連結部があり、このバイパス連結部は、流体を液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器１３２３に通さずに、排水路に直接導く。バイパスライン１３２４を通る流動は、手動弁１３２５によって調節又は遮断できる。粒子計数器及び／又は粒度分布分析器１３２３を通った後の流体は、ライン１３２７、ロータメーター１３２８、弁１３３１、及びライン１３２９を介して、排水路に流入する。センサー１３２３を通る流速は、ロータメーター１３２８によって測定及び表示するとともに、ニードル弁１３３１を（手動で）調節することによって、調節できる。
【０１３９】
図１４は、センサー１４３４と、スラリー又は化学ブレンドの特徴をセンサーが測定する前に、スラリー又は化学ブレンドを２つの工程で希釈するためのパイプ及び弁とを備えるインライン分析モジュールを示している。図示されている分析モジュールに、パイプ１４１６を介して、ＵＰＷを供給し、パイプ１４１７及び１４１４に分割する。ＵＰＷは、弁１４１５とロータメーター１４１８を通り、パイプ１４１９を通じてパイプ１４１０に入る。パイプ１４１０には、スラリー又は化学ブレンドが流れている。スラリー又は化学ブレンドは、図示されている分析モジュールに、パイプ１４０１を介して供給される。弁１４１５を通る水の流量は、上記のとおり、流量計１４１８による測定値を用いて、手動によるか、又は弁１４１５に対するフィードバック制御を用いるかのいずれかによって制御する。パイプ１４０１内のスラリー又は化学ブレンドの流量は、流量センサー１４０２と、内部弁コントローラー１４０６を有する空気圧制御式の弁１４０４と、空気圧制御式の弁１４０５とを備える流量コントローラーによって制御する。このような弁は、例えばＳＭＣ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃから市販されている。流量センサー１４０２の測定値を内部弁コントローラー１４０６によって用いて、弁１４０５への空気圧の流れを修正して、弁１４０４を開閉する。スラリー又は化学ブレンドは、空気圧制御式の弁１４０４を通じて、視覚センサー流量計１４０９を通り、パイプ１４１９から流れるＵＰＷにスラリー又は化学ブレンドを混合させるのに用いる希釈器具１５００Ａに入る。（希釈器具１５００Ａは図１５に示されており、後述されている。）続いて、希釈スラリー流又は希釈化学ブレンド流を調節及び混合するのを助けるニードル弁１４２０に、パイプ１４１０内の希釈スラリー流又は希釈化学ブレンド流を通す。ライン１４２１内の弁１４２２は、ライン１４４０を介して、希釈スラリー流又は希釈化学ブレンド流を排水路に誘導するか、又は、ライン１４２３を介して更なる処理を行うかを決定する。ライン１４２３内の希釈スラリー又は希釈化学ブレンドは、ライン１４２３に連結しているライン１４４１を介して、第２の希釈工程に入るか、又はライン１４４２に入って、ライン１４４９及びセンサーの方に流れ、第２の希釈工程を飛ばす。ライン１４４１内の弁１４２４を開き、ライン１４４２内の弁１４３２を閉じると、第１の希釈工程から出た希釈スラリー又は希釈化学ブレンドはライン１４４１に流れて、第２の希釈工程に入る。ライン１４４１内の弁１４２４を閉じ、ライン１４４２内の弁１４３２を開くと、第１の希釈工程から出た希釈スラリー又は希釈化学ブレンドは、１回の希釈工程後、ライン１４４２に入り、センサー１４３４の方に流れる。弁１４２４を開いた場合、スラリー又は希釈化学ブレンドは、流量センサー１４２５と、内部コントローラー１４２６と、空気圧制御式の弁１４２７と、弁１４２８とを備える空気圧制御式の弁１４２８を通る。弁１４２８は、第１の希釈工程から出た希釈スラリー又は希釈化学ブレンドのライン１４４３における流速を制御する。希釈スラリー又は希釈化学ブレンドは、ライン１４４３、視覚流量センサー１４２９、ライン１４４４から、ＵＰ���ライン１４４５と希釈スラリーライン又は希釈化学ブレンドライン１４４４との連結部にある希釈器具１５００Ｂに入る。ＵＰＷの希釈器具１５００Ｂへの流量は、ＵＰＷラインにおいて、ロータメーター１４３０及び加減ニードル弁１４４６を介して制御する。希釈器具１５００Ｂの後、２倍希釈スラリー又は２倍希釈化学ブレンドがライン１４４７に流入し、その２倍希釈スラリー又は２倍希釈化学ブレンドを混合するのを助けるニードル弁１４３１を通って、ライン１４４８に入り、連結部１４５４を通ってライン１４４９に入り、連結部１４５５を通ってライン１４５０からセンサー１４３４に入り、ライン１４５１からニードル弁１４５６とロータメーター１４３５を通って、ライン１４５２から排水路に入る。ニードル弁１４５６とロータメーターは、センサー１４３４を通る流速の最終調整を行う。ライン１４４９との連結部１４５５に、バイパスライン１４５３も設けられている。バイパスは、２倍希釈スラリー又は２倍希釈化学ブレンドをライン１４４９からバイパスに流入させるために開かなければならない弁１４３３からなる。この弁から、２倍希釈スラリー又は２倍希釈化学ブレンドがライン１４５３に流れ、ライン１４４０を通って、ライン１４５２から排水路に入る。
【０１４０】
スラリー及び化学ブレンドに関する希釈装置と工程が説明されているが、スラリーの方が、粒子計数器又は粒子分布分析装置によって後で分析を行うために希釈する傾向が高いことに留意されたい。
【０１４１】
上記のようなロータメーターは、流速を表示するタイプであってよく、隣接するか又は内蔵されているニードル弁は、所望の流速をもたらすように手動で調節してよい。センサーを通る流速は、いずれかの流速、又は１ｍｌ／分〜２５リットル／分、１〜２００ｍｌ／分、若しくは６〜８ｍｌ／分であってよい。粒子計数器では、分析する流体の体積の制御非常に重要であり、出発スラリー又は出発化学ブレンドの希釈も非常に重要である。この理由から、正確且つ高品質な流量センサー及び弁を用いることが重要である。代替的実施形態では、希釈プロセスは、手動弁及び視覚リーダーの代わりに、機械読み取り可能センサーと電気信号制御式の弁（空気弁など）によって、全自動であってもよい。
【０１４２】
図１４に示されているように、１つ以上の希釈工程で用いてよい希釈器具１５００Ａは、図１５に更に詳細に示されている。希釈器具１５００Ａは、Ｔ字型パイプコネクター１５０５に連結しているチューブ１４４０を備える。パイプコネクター１５０５は、チューブ１４４０を押し入れて、適所に圧縮保持する開口の１つを覆うキャップ１５０６を有する。（低い流速及び圧力により、連結部は漏れない。）Ｔ字型パイプコネクターの残りの２つの開口はそれぞれ、チューブ継手１５６１及び１５６０を介して、チューブ１４１９及び１４１０に取り付けられている。ＵＰＷは、チューブ１４１９からＴ字型パイプコネクターに流入する。スラリー若しくは化学ブレンド、又は希釈スラリー若しくは希釈化学ブレンド（実施形態による）は、チューブ１４４０を介してＵＰＷに入れる。スラリー若しくは化学ブレンド、又は希釈スラリー若しくは希釈化学ブレンドは、チューブからＵＰＷに滴下する。希釈スラリー又は希釈化学ブレンドは、パイプ１４１０を介してＴ字型パイプコネクターから出る。チューブは、所望の流量に応じて、いずれのサイズであることができる。低流量を必要とする本発明の実施形態では、スラリー又は化学ブレンドを導くチューブ１４４０は、１／８インチ（０．３２センチメートル）チューブであり、チューブ１４１９及び１４１０は、１／４インチ（０．６４センチメートル）チューブである。希釈対象のスラリー又は化学ブレンドの流量は典型的には、１〜１００ｍｌ／分、２〜５０ｍｌ／分、又は５〜１０ｍｌ／分であり、ＵＰＷの流量は、１０〜５００ｍｌ／分、２０〜１５０ｍｌ／分、又は４０〜１００ｍｌ／分である。
【０１４３】
図に示されている分析モジュールには、上記のように、装置内の各種サンプルポート及びサンプルループからスラリー又は化学ブレンドサンプルを供給できる。装置内の少なくとも１つの分析モジュールを連続的に用いて、スラリー又は化学ブレンドをモニタリングするとともに、その少なくとも１つの分析モジュールが、装置内の１つ以上のサンプルポートから、その分析モジュールを連続的に流れるスラリー、化学ブレンド、又はＵＰＷを有するのが好ましい。センサーを単独で流れるＵＰＷは、分析モジュールのすすぎ洗いを行うためのものである。２つ以上のサンプルポートがある場合、サンプルポートからサンプルを採取する順序は簡潔に、第１のサンプルポート、第２のサンプルポート、第３のサンプルポート、第４のサンプルポート…のように、順番どおりであってよく（存在するサンプルポートがいずれかの数であり、サンプルポートに、スラリー又は化学ブレンドが流れる場合）、このプロセスは、サンプルポートごとに繰り返してもよく、再び第１のサンプルポートから始めてよい。代替的実施形態では、サンプルポートからのサンプル採取は、異なるパターンに従ってよく、いずれかのパターンであることも、全くパターンがないこともできる。ＵＰＷによるすすぎ洗いは、各サンプル間、又は１サンプルおき、１日に１回、又はいずれかの所望の間隔で行ってよい。装置２０用のコントローラー内のソフトウェアは、サンプルポートからのサンプルの採取と、各ポートからのサンプル採取の順序及びタイミングを制御でき、この制御は、必要に応じて、技師が解除できる。
【０１４４】
本発明の一実施形態では、本発明の装置は、少なくとも２つの液体粒子計数器及び／又は粒子分布分析装置を備える。この実施形態では、第１の液体粒子計数器及び／又は第２の粒度分布分析器は、原料スラリーを分析するための送出モジュールで用い、第２の液体粒子計数器及び／又は第２の分布分析装置は、混合モジュール及び分配モジュールからサンプルとして採取した混合スラリーを分析するために用いる。これらの別個のモジュール用に別個の液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器を有することによって、これらのセンサーの上流の希釈工程（単一又は複数）（流速、弁口、ポンプ速度、ロータメーター測定値など）を別個に慎重に構築できるとともに、原料スラリー及び混合スラリー用に変更しないで済み、希釈の信頼性を向上させるので、センサー測定値の信頼性を向上させる。
【０１４５】
スラリー又は化学ブレンドは、混合モジュール２００と任意の分析モジュール３００の後、図１Ｃ及び図６に示されているように、１つ以上の分配タンクと、ポンプと、大域ループとを含むことができる分配モジュール４００、図１９に示されているように、１つ以上のポンプと、１つ以上の圧力容器と、１つ以上の大域ループとを含むことができる分配モジュール４００、又は、１つ以上のポンプと、１つ以上の加圧サンプラーと、１つ以上の大域ループとを備えることができる分配モジュール４００に運ぶ。
【０１４６】
図１Ｂ及び図１Ｃに示されている装置２０の実施形態では、混合スラリー若しくは（混合）化学ブレンド、又は混合スラリー若しくは（混合）化学ブレンドの一部は、１つ以上の分配タンクに流入する前に、分析モジュール３００又は分析モジュールのバイパス（図１Ｂには示されていないが、図５の実施形態に示されている）を通る。図１Ｂ及び図１Ｃに示されているように、スラリー又は化学ブレンドは、ライン７１を介して、分析モジュール又はバイパスから、ライン７２Ａ及び７２Ｂの一方又は両方を通り、分配タンク４９１Ａ及び４９１Ｂの一方又は両方に運ばれる。分配モジュール４００は、１つ以上の分配タンクを備えてよい。混合スラリー又は（混合）化学ブレンドに対する需要が高い大規模なファブ用には、２つ以上の分配タンクを設けてもよく、その２つ以上の分配タンクは、１つ以上の大域ループに供給を行ってよい。あるいは、第１の分配タンクが機能しなくなったか、又は一方の分配タンク内のスラリー若しくは化学ブレンドが、何らかの形で汚染され、破棄しなければならなくなり、タンクを洗浄する場合に、その分配タンクに対するバックアップとして別の分配タンクを設けてもよい。予備の分配タンク、ポンプ、及び大域ループは、必要になるまでアイドル状態にできる。２つ以上の分配タンクを有する一部の実施形態では、好ましくないが、第２の分配タンクを、第１の分配タンクと同じスラリー又は化学ブレンドで満たすことができ、第１の分配タンク及びループから第２の分配タンク及びループへの切り替えが必要になるとともに、この切り替えがコントローラーによってもたらされるまで、第１の分配タンクを用いて、大域ループを通じてスラリー又は化学ブレンドを供給して、ツールに分配できる。あるいは、送出モジュールと、混合モジュールと、任意の分析モジュールと、２つ以上の分配タンク及び分配ループライン（大域ループライン、分配ループ、又は大域ループと称することもできる）とを備える分配モジュールとを備える装置２０は、（同じ成分を有するが、異なるスラリー及び／又は化学物質濃度（単数又は複数）を有する最も単純な実施形態において、）順次に各分配タンクに対して、異なるスラリー及び／又は化学ブレンドを混合できるとともに、混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドを各（第１及び第２の）分配タンクから、同じ大域ループに順次に、又は２つの異なる（第１及び第２の）大域ループに同時に供給できる。続いて、第１及び第２の大域ループを用いて、スラリー又は化学ブレンドを同じツールに順次に、又は各大域ループと流体連通している異なるツールに供給できる。本発明は、単一又は２つ以上の分配タンクから混合スラリー又は混合化学ブレンドを同時に混合して、（１つ以上の大域ループ、及び／又は１つ以上のＣＭＰ若しくはその他のツールに）供給できる装置を提供する。流量コントローラー、（段階的）静的並行混合、及び／又は（ポンプを用いる）（段階的）動的並行混合を用いる混合モジュールによって、これが可能になる。本発明の装置及び（その装置を用いる）方法には、混合プロセスの前又は混合プロセス中に成分を測定するロードセル又は同種のものを用いる一括混合プロセスは不要である。大域ループが、スラリー又は化学ブレンドの連続的な混合を必要とする場合、装置２０は、混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドを連続的に混合して、大域ループに供給できる。本発明の実施形態は、毎分１０リットル以上、毎分１４リットル以上、又は毎分１８リットル以上の混合スラリー又は混合化学ブレンドを複数のツール、例えば８個以上のツール、１０個以上のツール、１２個以上のツール、１６個以上のツール、２０個以上、又は２６個以上のツールに（大域ループを介して）連続的に供給できる。
【０１４７】
更に別の実施形態では、スラリー用に１つの分配タンクを用いてよく、また、別の大域ループ内で循環させてよいとともに、例えばすすぎ洗い用の流動として、例えば同じ又は異なるＣＭＰツール内で用いてよい別個に混合した化学ブレンド（スラリー粒子を含まない）用に、第２のタンクを用いてよい。一実施形態では、第１の分配タンクと、第２の分配タンクと、第１の大域ループと、第２の大域ループとを備える分配モジュールと流体連通している同じツールに、第１の分配タンク、第２の分配タンク、第１の分配タンクと流体連通している第１の大域ループ、及び第２の分配タンクと流体連通している第２の大域ループが、第１の分配タンク及び第１の大域ループからスラリーを供給することと、第２の分配タンク及び第２の大域ループから化学ブレンド（例えばＣＭＰ後洗浄剤）を供給することを交互に行うことができる。化学ブレンド（スラリー粒子を含まない）を混合する実施形態では、原料スラリーが混合モジュールに流入しないこと以外は、混合モジュールを上記のプロセスにおける方法と同じ方法で用いる。分析モジュールにおける化学ブレンドの下流ろ過流及び分析流の一部又は全部は、所望に応じて迂回させてよい。これらの工程は、適切な１つ以上の弁を閉じることによって行ってよい。
【０１４８】
図１Ｃには、第１の分配タンク４９１Ａに通じるライン７２Ａ及び第２の分配タンク４９１Ｂに通じるライン７２Ｂ内の開いた弁又は閉じた弁（図示なし）によって、分配モジュール４００内の混合スラリー又は混合化学ブレンドの流動をライン７２Ａ又はライン７２Ｂに誘導できることが示されている。ライン７２Ｂ内の弁（図示なし）を閉じ、ライン７２Ａ内の弁（図示なし）を開いた場合、混合スラリー又は混合化学ブレンドは、ライン７２Ａを通ってタンク４９１Ａのみに入る。第１の分配タンク４９１Ａは、所定の最低液位に達し（コントローラー（図示なし）と通信する液位センサー８２Ａによって測定）、その時点で、コントローラーが信号をポンプ１０１Ａに送信して、スラリー又は化学ブレンドの分配ループ１１１Ａへの圧送を開始させる。ポンプ１０１Ａは、ライン７４Ａからポンプ１０１Ａを通ってライン７５Ａに連結しているタンク出口開口７２７を介して、（重力を利用して）スラリー又は化学ブレンドを分配タンク４９１Ａから取り出し、分配ループ１１１Ａまで流し、分配ループ１１１Ａには、ライン７６Ａからライン７７Ａを流れ、任意の圧力センサー７８Ａから任意の流量センサー７９Ａを通り、ライン８０Ａに至るまでが含まれ、これらが、大域ループ又は分配ループ１１１Ａの全体である。分配ループ１１１Ａ、ライン８０Ａは、スラリー又は化学ブレンドを、大域ループとＣＭＰ又はその他のツール（図示なし）との間で流体連通している個々の分岐ライン（図示なし）に送達する。大域ループ１１１Ａに連結している個々のラインは、スラリー若しくは化学ブレンドに対して閉じてよい個々の弁（これも図示なし）を有し、又は、個々のライン若しくは大域ループは、各ツールと連結しているとともに、ＣＭＰ若しくはその他のツールが動作していない時に、スラリー若しくは化学ブレンドを大域ループに戻すバイパスループを有してよい。混合スラリー若しくは混合化学ブレンドが、ＣＭＰ若しくはその他のツールを迂回するか、又は別段の形で、ＣＭＰツールによって使われない場合には、大域ループ（単数又は複数）は、大域ループ返送パイプ８６Ａ、８６Ｂを介して、未使用の混合スラリー又は混合化学ブレンドを分配モジュール、例えば１つ以上の分配タンク４９１Ａ、４９１Ｂに返送する。動作中には、分配タンク４９１Ａに戻る大域ループの全体に、未使用の混合スラリー又は混合化学ブレンドが常に、多少存在するのが好ましい。図１Ｃに、分配ループ１１１Ａの全てが示されているわけではない。パイプ８０Ａ及び８３Ａに連結するパイプであって、混合スラリー又は混合化学ブレンドを分配タンク（単数又は複数）からＣＭＰ又はその他のツールに運ぶパイプと、混合スラリー又は混合化学ブレンドの一部を分配タンクに運ぶ（戻す）パイプが図示されていないことが分かる。大域ループ１１１Ａは、そのループ内に１つ以上の背圧コントローラーも備える。図１Ｃに示されているように、大域ループ１１１Ａは、分配タンク４９１Ａの比較的近くに位置する背圧コントローラー８４Ａを、大域ループ１１１Ａの一部として備える。背圧コントローラー８４Ａは、大域ループ１１１Ａにある、ＣＭＰ又はその他のツール（図示なし）への連結部（図示なし）の下流において、返送ライン８６Ａに近いライン８３Ａ（大域ループ１１１Ａの一部である）内に位置する。大域ループ内の１つ以上の背圧コントローラー（単数又は複数）８４Ａは、ポンプ１０１Ａ及び圧力センサー７８Ａと連動して動作する。圧力センサー７８Ａは圧力を測定し、その測定値は、本発明の装置用のコントローラー（コンピューター、ＬＰＣ、又は同種のもの）（図示なし）に通知され、そのコントローラーが、測定値を設定値と比較する。ＰＩＤ演算を行い、背圧コントローラー８４Ａに送信された、コントローラーの電気信号に基づき、背圧コントローラー弁を調節する。流量センサーは流速を測定し、コントローラー（コンピューター、ＬＰＣ）を介してポンプ速度を修正すべきか判断し、修正すべきならば、ポンプ１０１Ａと通信して、ポンプ速度を上昇又は低下させる。ポンプ速度と背圧コントローラーを調節するこれらのフィードバック制御ループは、測定、演算、及び調節工程を連続的に、１分おきに、又は１分よりも長くても短くてもよいいずれかの所望の所定間隔で繰り返す。分配ループ全体において、スラリー又は化学ブレンドを常に充分な量に保って、混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドを用いる動作中のＣＭＰ又はその他のツールに供給するが、最大圧力を制限して、パイプを破裂させないように、背圧コントローラーとポンプ速度を連続的に又は所定の間隔で調節する。
【０１４９】
好ましい態様では、分配タンクの最大液位にはあまり達することはなく、タンク内に存在する混合スラリー又は混合化学ブレンドの量は、装置２０が動作中の際にはほぼ常に、タンクの容積の２０％〜８０％、又は３０％〜７０％であり、装置２０用のコントローラー（図示なし）は、モジュール内の各種液位センサー、圧力センサー、及び流速センサーからのフィードバックを用いて、送出モジュール１００における送出速度（存在する場合）と、混合モジュール２００内の流速を調節して、分配タンクから出た混合スラリー又は混合化学ブレンドが、ＣＭＰ又はその他のツールによって消費される速度（体積／単位時間又は質量／単位時間）と同様及び好ましくはほぼ等しい（±２０％以内、±１５％以内、又は±１０％以内）体積速度で、混合スラリー又は混合化学ブレンドが作られるとともに、分配モジュール４００に供給され、大域ループを介して分配タンクに返送されないようにすることになる。分配モジュールから出たスラリー及び化学ブレンドの消費量が減少し、タンクの液位が高くなった場合には、液位センサーは、コントローラーを介して、混合モジュールにおけるスラリー又は化学ブレンドの混合を停止させる。送出モジュール内の原料スラリーは、送出モジュールループを循環し続けることになるが、送出モジュールと混合モジュールとの間の弁は閉じることになる。混合スラリー又は混合化学ブレンドは、大域ループを循環し続けることになる。分配タンクの液位が、特定の液位（比較的低い液位であってよく、混合速度と典型的な消費速度との比較に基づき定めてよい）に達したら、混合モジュールを再度作動させることになる。
【０１５０】
同様に、混合モジュール２００及び／又は分析モジュール３００の後、ライン７２Ａ内の弁（図示なし）を閉じ、ライン７２Ｂ内の弁（図示なし）を開くことによって、混合スラリー又は混合化学ブレンドの流動を、ライン７２Ｂから第２の分配タンク４９１Ｂに誘導してよい。第１の分配タンク及び第１の分配ループ（又は大域ループ）に関して上で説明したいずれも、第２の分配タンク及び第２の分配ループ（又は大域ループ）の一部であってもよく、第２の分配タンク及び第２の分配ループ（又は大域ループ）に関して説明したいずれも、第１の分配タンク及び第１の分配ループ（又は大域ループ）の一部であってもよいことに留意されたい。分配タンク４９１Ｂはまず、所定の最低液位まで充填し（液位センサー８２Ａによって測定）、その時点に、ポンプ１０１Ａは、コントローラー（図示なし）によって指示された場合、スラリー又は化学ブレンドを分配ループ１１１Ａに圧送し始める。分配タンクには、所定の最大液位に達するまで（液位センサー８２Ｂによって判断）、ライン７２Ｂを介して混合モジュール２００からの供給が継続され、最大液位に達したら、混合モジュール２００からの混合スラリー又は混合化学ブレンドの流動が停止する。需要の大きな増大が予測される場合、更なる混合スラリー又は混合化学ブレンドを作製して、分配タンク４９１Ｂに誘導して、分配タンク４９１Ａに対するバックアップ供給源として、少なくとも部分的にタンク４９１Ｂに混合スラリー又は混合化学ブレンドを充填できる。分配タンク４９１Ｂ内のスラリー又は化学ブレンドは、大域ループ１１１Ａ又は１１１Ｂ内を循環させて、必要になったら使用することができる。
【０１５１】
ポンプ１０１Ｂは、ライン７４Ｂからライン７５Ｂまでを介して、スラリー又は化学ブレンドを分配タンク４９１Ｂから（重力を利用して）取り出し、ポンプ１０１Ｂを通して、分配ループ１０１Ｂに流し、分配ループ１０１Ｂには、ライン７６Ｂからライン７７Ｂを流れ、任意の圧力センサー７８Ｂから任意の流量センサー７９Ｂを通り、ライン８０Ｂに至るまでが含まれ、これらは、大域ループ又は分配ループ１１１Ａの一部である。分配ループ１１１Ｂ、ライン８０Ｂは、大域ループとＣＭＰツール（図示なし）との間で流体連通している個々の分岐ライン（図示なし）に、スラリー又は化学ブレンドを送達する。大域ループ１１１Ｂに連結している個々のラインは、スラリー又は化学ブレンドに対して閉じてよい個々の弁（これも図示なし）を有し、あるいは、個々のライン又は大域ループは、大域ループからそれるバイパスループであって、ＣＭＰ又はその他のツールが動作していない時に、スラリー又は化学ブレンドを大域ループに返送するバイパスループを有してよい。ＣＭＰ若しくはその他のツールから迂回若しくは返送した後、又はライン若しくは分岐ラインをＣＭＰ若しくはその他のツールから迂回させた後、各大域ループは、未使用の混合スラリー又は混合化学ブレンドを１つ以上の分配タンクに返送する。大域ループ１１１Ｂは、そのループ内に１つ以上の背圧コントローラーも備える。図１Ｃに示されているように、大域ループ１１１Ｂは、大域ループ１１１Ｂの一部として、分配タンク４９１Ｂの比較的近くに位置する背圧コントローラー８４Ｂを備える。大域ループ１１１Ｂ内の１つ以上の背圧コントローラーは、上記のように、流量センサー７９Ｂ、ポンプ１０１Ｂ、及び圧力センサー７８Ｂと連動して動作する。
【０１５２】
図１Ｃに示されているように、各種分配タンク４９１Ａ、４９１Ｂ、ポンプ１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃ、及び大域ループ１１１Ａ、１１１Ｂと流体連通しているとともに、これらの間にある複数のラインであって、混合モジュールから入ってくる混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドをいずれかの分配タンクに導き、一方の分配タンクから、分配モジュール４００に設けられた複数のポンプ（図示されているように、１つ以上（例えば２つ又は２つ）の異なるポンプ１０１Ａ、１０１Ｂ、又は１０１Ｃ）のうちの１つに導き、図示されているように、これらのポンプのいずれかから大域ループ１１１Ａ及び１１１Ｂのいずれかに導く複数のラインが設けられている。製造工場で必要とされる混合スラリー若しくは混合化学ブレンドの量に対して、１つの分配タンクしか必要としない場合には、予備の分配タンク及び大域ループをバックアップシステムとして用いることができ、又は、複数の分配タンクと大域ループを同時に用いて、多くのＣＭＰツールに供給することもできる。図示されているように、分配タンクのうちの１つと、１つの大域ループとを使用する場合、図示されている実施形態では、２つのバックアップポンプが存在する。例えば、分配タンク４９１Ａ、ポンプ１０１Ａ、及び大域ループ１１１Ａを使用し始めた場合、ポンプ１０１Ｂはバックアップであり、任意のポンプ１０１Ｃもバックアップである。分配タンク４９１Ａ及び４９１Ｂの両方、ポンプ１０１Ａ及び１０１Ｂの両方、並びに大域ループ１１１Ａ及び１１１Ｂの両方が動作中の場合には、ポンプ１０１Ｃは、ポンプ１０１Ａ及び１０１Ｂの両方に対するバックアップポンプである。別の実施形態では、ポンプ１０１Ｃは、ポンプ１０１Ａ及び１０１Ｂをバックアップするだけであり、パイプは、ポンプ１０１Ａとポンプ１０１Ｃとを備える分配ループ１１１Ａから設けても、ポンプ１０１Ｂとポンプ１０１Ｃとを備える分配ループ１１１Ｂに対して設けてもよいが、分配ループ１１１Ａ内のポンプ１０１Ａから、分配ループ１１１Ｂ内のポンプ１０１Ｂまでのパイプを設けることはできないことを意味する。
【０１５３】
混合モジュール２００で作られている混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドの量が、１つ以上の大域ループで消費されている混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドの量とほぼ等しくなるように、装置２０を作動させて、混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドを混合モジュールから分配モジュールまで、ある程度連続的且つ安定して流せるように、更に、送出モジュール１００、混合モジュール２００（混合している間）、分配モジュール４００、及び任意の分析モジュール３００において、連続的に流動及び再循環するスラリー及び／又は化学ブレンドが少なくともごく一部であるようにするのが好ましい。スラリー及び／又は化学ブレンド（特にスラリー）が移動していない停滞モジュールが存在しないのが好ましい。ライン、タンク、センサーなどを使用してない場合には、スラリー又は化学ブレンドがラインから出た後に、ＤＩＷで洗い流し、廃液流を介して、洗い流した水を破棄するのが好ましい。
【０１５４】
１つ以上のフィルターエレメント（例えば、フィルター又はフィルター配列体）を加えて、装置内の１つ以上の位置で、スラリー若しくは化学ブレンド、又はスラリー若しくは化学ブレンドの一部をろ過して、原料スラリー若しくは化学成分（単数又は複数）に存在するか、又は本発明の装置内でスラリー若しくは化学成分を混合若しくは移動させたために、スラリー又は化学ブレンドに形成される大きい粒子を、スラリー又は化学ブレンドから除去することが可能且つ有益である。フィルターエレメントであって、そのフィルターに通じるラインと、そのフィルターから通じるラインを備えるフィルターエレメントは、ライン（フィルターからの迂回がないライン）を通るスラリー又は化学ブレンドを１００％ろ過するように、それらのラインの中に挿入してよい。フィルターは、使用の際、大きい粒子によって詰まることがあり、それにより、フィルターエレメントを通る流量が制限されるので、一部の実施形態では、フィルターの交換中に、スラリー又は化学ブレンドが流動し続けられるように、フィルターエレメントを迂回するためのバイパスラインを設けるのが好ましく、少なくとも２つのフィルター（又はフィルター配列体）をそれぞれ並列で設けて、１つ以上のフィルターを備える一方のフィルター又はフィルター配列体を交換中に、流動をもう一方のフィルター又はフィルター配列体に誘導できるようにするのが更に好ましい。並列フィルターは、フィルターループ内に配置してよい。送出モジュール、混合モジュール、及び分配モジュールのそれぞれに、少なくとも１つのフィルター、フィルター配列体、並列フィルター、又は並列フィルター配列体を有するのが好ましい。大域ループに、少なくとも１つのフィルター、フィルター配列体、並列フィルター、又は並列フィルター配列体（フィルターループ内、好ましくはツールの上流に配置してよい）を有するのが好ましい。そのフィルターエレメントは、ツールの上流の大域ループ内を流れる混合スラリー又は混合化学ブレンドの大半又は全部をろ過するのが好ましい。
【０１５５】
圧力センサーを用いて、フィルター（エレメント、例えばフィルター配列体）の上流又は下流の圧力を測定して、流動を第１のフィルター（又はその他のフィルターエレメント、例えば１つ以上のフィルターからなる配列体）並びに付随のパイプ及び弁から、第２のフィルター（又はその他のフィルターエレメント、例えば１つ以上のフィルターからなる配列体）並びにその不随のパイプ及び弁に誘導すべき時点、あるいは、並列フィルターが設けられていない場合には、バイパスパイプに通すべき時点を割り出すことができる。並列フィルターの場合には、圧力センサーは、本発明の装置用のコントローラーと通信して、弁を切り替えさせて、スラリー又は化学ブレンドを第１のフィルター（第１のフィルターエレメント、例えば１つ以上のフィルターからなる配列体）から第２のフィルター（又は第２のフィルターエレメント、例えば１つ以上のフィルターからなる配列体）に誘導することができる。スラリー及び／又は化学ブレンドの第１のフィルター（又は１つ以上のフィルターからなる配列体）への流動が停止したら、コントローラーは、フィルター（単数又は複数）を交換するように技師に信号を送信し、第２のフィルター（単数又は複数）又は第２のフィルターエレメントへの流量が制限されるまで、このプロセスを繰り返すことができる。少なくとも１つの大域ループと流体連通しているフィルター（単数若しくは複数）又はその他の１つ以上のフィルターエレメントの配置により、１つ若しくは両方の大域ループに（又は、フィルターエレメント、例えばフィルター若しくはフィルター配列体が配置されている箇所のいずれにも）、持続的なろ過作用がもたらされる。
【０１５６】
図１Ｃは、１つ以上のフィルター、具体的には、１つ以上のフィルターからなる並列配列体４３０及び４３１を備える分配モジュール４００の一実施形態を示している。図示されている実施形態では、スラリー又は化学ブレンドを供給源から、この実施形態では分配タンクから、１つ以上のフィルターに通すとともに、スラリー又は化学ブレンドを供給源に、この実施形態では分配タンクに返送するフィルターパイプループを備える別のフィルターループを分配タンクは備える。このフィルターループ内のパイプは、本発明の装置内の他のいずれのループ又はパイプからも独立していてよい。スラリー又は化学ブレンドを分配タンク（供給源）から１つ以上のフィルター又はフィルター配列体に流すとともに、分配タンク（供給源）に返送するポンプをフィルターループが備えるのが好ましい。フィルターループは、分配タンク（供給源）を、１つ以上のフィルター又はフィルター配列体に通じるポンプに連結するパイプを備える。このポンプは、装置２０の残りの部分から独立していて、単に、スラリー又は化学ブレンドを供給源からフィルターループに圧送するとともに、返送パイプを介して供給源又は供給源の近くに戻すのが好ましい。この実施形態では、スラリーは、分配モジュールから取り出すとともに、分配モジュールに返送する。分配タンクから取り出して、分配タンク若しくは大域ループに戻すことも、大域ループから取り出して、大域ループ若しくは分配タンクに戻すこともできる。フィルターループは、２つ以上のフィルター又は２つ以上のフィルターからなる配列体と、フィルター交換時の際に、第１のフィルター又はフィルター配列体から第２のフィルター又はフィルター配列体に切り換えるための適切な弁、センサー、及びパイプを備えるのが好ましい。
【０１５７】
分配タンク４９１Ａ内のスラリー又は化学ブレンドをろ過するのが望ましい場合には、フィルターループ７００によってろ過する。フィルターループ７００は、スラリー供給源又は化学ブレンド供給源（この実施形態では分配タンク４９１Ａ）と、ポンプ１０１Ｄと、１つ以上のフィルター４３０、４３１と、パイプと、任意の弁と、任意の圧力センサーとを備える。フィルターループ７００内でスラリー又は化学ブレンドをろ過するためには、ポンプ１０１Ｄを作動させ、ライン９１Ａ内の任意の弁（図示なし）、及び／又はライン７５Ａ内の任意の弁（図示なし）を調節して、スラリー又は化学ブレンドが、ライン９１Ａに入って、ポンプ１０１Ｄ、ライン９２、ライン９３、第１のフィルター配列体４３０、ライン９４、ライン９７、タンク返送ライン９８を通って、分配タンク４９１Ａに戻るようにできる。図示されている実施形態では、（ａ）フィルターが経年的限界を超えて、フィルター配列体を交換するか、（ｂ）分配タンクから大域ループに送出するスラリー又は化学ブレンドの量を増やす必要性が生じたとともに、スラリー又は化学ブレンドをフィルターループと大域ループに誘導し続けるには、分配タンク内のスラリー又は化学ブレンドが充分ではないか、（ｃ）圧力センサー（図示なし）が、ライン９３内の圧力の増大を検知し、コントローラーが、スラリー又は化学ブレンドの流動を第１のフィルター配列体４３０から第２のフィルター配列体４３１に切り換えるか、又は（ｄ）液体粒子計数器が規格外であり、フィルター交換が必要となる事態のうちの１つ以上が生じるまで、フィルターループ７００内のフィルター４３０を通るスラリー又は化学ブレンドの流動は、上記のように継続することになる。ライン９３の弁を開状態から閉状態に切り換え、ライン９５の弁を閉状態から開状態に切り換えることによって、流動をライン９３からライン９５に切り換える。続いて、ポンプ１０１Ｄの作用により、スラリー又は化学ブレンドをライン９５から第２のフィルター配列体４３１に続いて、ライン９６に流し、返送ライン９８を介して分配タンク４９１Ａに返送する。上記の（ａ）、（ｂ）、及び（ｄ）の事態の少なくとも１つが生じるか、又は（ｅ）第２のフィルター配列体４３１内のフィルターが詰まりつつあり、交換する必要があることをライン９５内の圧力センサーが検知するという事態が生じ、ライン９３内の弁を閉状態から開状態に切り換え、ライン９５内の弁を開状態から閉状態に切り換え、スラリー又は化学ブレンドの流動を第１のフィルター配列体４３０に切り換えるまで、ろ過は、フィルターループ７００内で第２のフィルター配列体４３１によって継続することになる。上記の弁の交換は、手動で行っても、スラリー又は化学ブレンド供給装置用のコントローラー（図示なし）によって自動的に行ってもよい。
【０１５８】
フィルターループ７００については、分配タンク４９１Ａであるスラリー供給源又は化学ブレンド供給源とともに説明した。スラリー供給源又は化学ブレンド供給源が、図１Ｃに示されている第２の分配タンク４９１Ｂである場合、ポンプ１０１Ｄが、ライン９１Ｂを介して、スラリー又は化学ブレンドを第２の分配タンク４９１Ｂから取り出す点を除き、フィルターループ７００は同じように動作する。ライン９１Ａ内の（弁（図示なし）を開状態から閉状態に切り換え、９１Ｂ内の弁（図示なし）を閉状態から開状態に切り換え、スラリー又は化学ブレンドを第２の分配タンク４９１Ｂからポンプ１０１Ｄを通して、残りのフィルターループ７００に流さなければならなくなる。フィルターループは、分配タンク４９１Ｂから送られたスラリー又は化学ブレンドの場合、（返送ライン９８の代わりに）返送ライン９９がスラリー又は化学ブレンドを分配タンク４９１Ｂに返送する点を除き、上記のとおりに動作することになる。代替的実施形態では、両方の分配タンクを同時に用いる必要がある場合、図１Ｃに示されているフィルターループ７００（第１の分配タンク４９１Ａが使用することになる）と同様に、第２の分配タンク４９１Ｂ用に、第２のフィルターループを設けることができる。
【０１５９】
分配タンクのいずれか又は両方が動作している場合、いずれか又は両方の分配タンクは、スラリー及び／又は化学ブレンドをフィルターループ７００、及び／又は大域ループ１１１Ａ、１１１Ｂに供給できる。分配タンクのいずれか又は両方は、スラリー（同じスラリー若しくは２つの異なるスラリー）、スラリーと化学ブレンド若しくは２つの異なる化学ブレンド、又は同じ化学ブレンドをフィルターループといずれか又は両方の大域ループに同時に供給できる。分配タンク４９１Ａの場合、ライン９１Ａ及び７５Ａ内の弁（図示なし）を設定又は制御して、ライン７４Ａ内のスラリー又は化学ブレンドの一部が、ポンプ１０１Ｄの作用によって、（連続的に、半連続的に、又はいずれかの所望の間隔で）フィルターループ７００を流れ、ライン７４Ａ内の残りのスラリー又は化学ブレンドが、ポンプ１０１Ａの作用によって、連続的に大域ループ１１１Ａを流れるようにできる。あるいは、分配タンクのいずれか又は両方は、あるいは、スラリー又は化学ブレンドをフィルターループに供給できる。分配タンク４９１Ａの場合、ライン９１Ａ及び７５Ａ内の弁（図示なし）を設定又は制御して、ライン７４Ａ内の全てのスラリー若しくは化学ブレンドが、ポンプ１０１Ｄの作用によって、フィルターループ７００を流れるか、又はライン７４Ａ内の全てのスラリー若しくは化学ブレンドが、ポンプ１０１Ａの作用によって、大域ループ１１１Ａを流れるようにできる。一部の実施形態では、大域ループに流す前に、一部のスラリー又は化学ブレンドのみをろ過することになる。あるいは、別の実施形態では、大域ループに送る前に、全てのスラリー又は化学ブレンドをろ過することになる。好ましい実施形態では、スラリー又は化学ブレンドを大域ループに供給しているとともに、同時に、スラリー又は化学ブレンドの一部をフィルターループに供給する分配タンクに、混合スラリー又は混合化学ブレンドを供給する。分配タンクから送られるスラリー又は化学ブレンドの一部を同時にろ過する場合、同時に、大域ループに供給してから、ポンプで大域ループに送る前に、統計量のスラリー又は化学ブレンドのみをろ過することになる。統計量は、フィルターに誘導するスラリー又は化学ブレンドの割り当てに基づき、増減することができる。
【０１６０】
分配タンク内のスラリー若しくは化学ブレンド又はその一部に、大きい粒子又は凝集体が存在する場合、スラリー若しくは化学ブレンド又はその一部から、その大きい粒子又は凝集体を連続的に除去するように、スラリー又は化学ブレンドがフィルターループ７００を通る流動は、連続的にできる。
【０１６１】
代替的実施形態では、パイプ９７は、好ましくはポンプ１０１の吸引側で、大域ループに戻すことができる。
【０１６２】
供給源が分配タンクである場合のフィルターループ７００について説明してきたが、スラリー又は化学ブレンドを装置内の他の部分でろ過するように、代替的供給源を用いるフィルターループを設けるのも有益であろう。例えば、フィルターループは、スラリー供給容器又はデイタンクを供給源（送出モジュールの一部）として用いるものも有益であろう。スラリー又は化学ブレンドは、時間の経過とともに分解したり、及び／又は装置中の移動（混合及び空気接触）によって分解したりする可能性があるので、２つ以上のモジュール、例えば、送出モジュールと分配モジュール、混合モジュールと分配モジュール、送出モジュールと混合モジュール、又は送出モジュールと、混合モジュールと、分配モジュールで、ろ過を行うのが好ましい。更に、上記の実施形態のいずれかと組み合わせて、分析モジュールもフィルターループを有してよい。送出モジュールと、分配モジュールと、所望により混合モジュールで、混合モジュールと分配モジュールで、又は上記モジュールのいずれかの組み合わせで、少なくとも１つのフィルターと、ポンプと、弁と、パイプとを備える独立したフィルターループを設けるのが好ましい。
【０１６３】
図６は、大域ループと、ポンプと、１つ以上のフィルターと、スラリー又は化学ブレンド供給ラインとを備える分配モジュール４００の代替的実施形態を示している。分配タンク４９１には、供給ライン７２（混合モジュール３００からつながっていてよい）を介して、混合スラリー又は混合化学ブレンドを供給する。分配タンク４９１は、ポンプ１０１の作用によって、混合スラリー又は混合化学ブレンドを大域ループ１１１に供給する。大域ループ１１１は、１つ以上のＣＭＰ又はその他のツール（図示なし）に供給を行い、大域ループ内には、混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドを分配タンク４９１に返送する前に、スラリー及び／又は化学ブレンドをろ過するフィルター配列体４３２がある。フィルターエレメント又はフィルター配列体を大域ループに加えると、特に、フィルター又はフィルター配列体をＣＭＰ又はその他のツールの上流に設けた場合、スラリー又は化学ブレンドがＣＭＰ又はその他のツールで使われる前に、全てのスラリー又は化学ブレンドがろ過されるとともに、ＣＭＰ又はその他のツールの近くでろ過されることになるという利点が得られる。１対のフィルター又はフィルター配列体（フィルターループ内にあってよい）を設けるのが好ましく、この１対のフィルター又はフィルター配列体は、並列で配置されているのが好ましく、上記のように、必要に応じて、第１のフィルター又はフィルター配列体から第２のフィルター又はフィルター配列体に切り換えることができる。第１のフィルター又はフィルター配列体から第２のフィルター又はフィルター配列体へのこの切り換えは、フィルター切り換えと称することもある。
【０１６４】
図１７は、混合モジュールと分配モジュールとを備える本発明のスラリー及び／又は化学混合物装置の別の実施形態を示している。分配モジュールの一部のみが図１７に示されている。図示されているように、分配モジュールは、分配タンクを備える。大抵の場合、代替的実施形態で用いられているのと同じ又は同様の数字を図１７で用いた。本発明の方法及び装置の別の実施形態では、混合スラリー又は混合化学ブレンドの作製に用いる全ての成分流を含む単一のパイプとなるまで、複数の成分流を通すパイプの数を減少させていくことによって、成分を少なくとも部分的に混合する。したがって、例えば、第１の成分パイプを流れる第１の成分と、第２の成分パイプを流れる第２の成分と、第３の成分パイプを流れる第３の成分とを有する混合モジュールの場合、第１及び第２の成分パイプが第１の合流パイプに流入でき、続いて、第１の合流パイプと第３の成分パイプが、第２の合流パイプに流入できる。第１、第２、第３、及び第４の成分パイプを流れる４つの成分を有する例の場合、第１及び第２の成分パイプが第１の合流パイプに流入でき、第１の合流パイプ、第３の成分パイプ、及び第４の成分パイプから選択してよい２つのパイプが、第２の合流パイプに流入し、第２の合流パイプと残りのパイプを合流させてよい。５つ以上の成分の場合には、もう１つの成分パイプを混合モジュールに加えて、同じプロセスを繰り返してよい。
【０１６５】
図１７に示されているように、混合モジュール（いずれかの混合モジュール）は、一部若しくは完全混合スラリー又は一部若しくは完全混合化学ブレンドを含むラインに、１つ以上のスタティックミキサーを備えてよい。流量は、成分送出ラインで、流量コントローラーを用いて制御する。図１７に示されているように、混合モジュール２００は、スラリー又は化学ブレンドを形成させるのに用いる３つの成分用のラインを備える。成分Ａはライン２１０を介して、成分Ｂはライン２１１を介して、成分Ｃはライン２１２を介して、混合モジュール２００に、典型的には、製造工場の化学物質一括供給部、又は混合スラリーを作製する場合には、送出モジュールから流入する。あるいは、化学物質又はその他の成分をドラムから供給できる。水若しくは化学物質を圧送したり、又は別の高圧供給源若しくは重力によって供給したりできる。化学物質Ａ用のライン２１０、化学物質Ｂ用のライン２１１、化学物質Ｃ用のライン２１２はそれぞれ、Ａ及びＢという符号の付されたラインであって、下記のように、その成分送出ラインと流体連通しているラインのいずれか又は両方に流入してよい（成分送出ライン２１０は、ライン２１０Ａ及び２１０Ｂと流体連通しており、成分送出ライン２１１は、ライン２１１Ａ及び２１１Ｂと流体連通しており、成分送出ライン２１２は、ライン２１２Ａ及び２１２Ｂと流体連通している）。ライン２１２Ａは流量コントローラー２６２Ａを、ライン２１０Ａは流量コントローラー２６０Ａを、ライン２１１Ａは流量コントローラー２６１Ａをそれぞれ、その中に有する。図１７に示されているように、装置２０の一部である混合モジュール２００は、別の流量コントローラー２６０Ｂを有する任意の予備ライン２１０Ｂと、別の流量コントローラー２６１Ｂを有する任意の予備ライン２１１Ｂと、別の流量コントローラー２６２Ｂを有する任意の予備ライン２１２Ｂとを備える。Ｂの符号が付されているパイプ及びその中の流量コントローラーは、ライン２１２Ａ、２１０Ａ、及び２１１Ａのうちの１つ以上、並びに／又は流量コントローラー２６２Ａ、２６０Ａ、及び２６１Ａのうちの１つ以上に問題がある際に用いてよい。混合モジュールのＡの部分とＢの部分は、別の混合系、すなわち混合系Ａ及び混合系Ｂと称してよい。一実施形態では、混合モジュール２００の部分のうち、混合モジュールにおいて数字の後にＢが付された部分は、混合モジュールにおけるバックアップ（予備）混合系Ｂの部分である。図１７に示されている実施形態については、Ａで識別される部分（混合系Ａ）を通る流動を説明していくが、混合モジュールのＢの部分も同じように動作するとともに、この実施形態におけるＡの部分の説明に従って、同時に又はバックアップとして使用できることが分かる。Ａ及びＢのライン内の弁（図示なし）を開閉又は部分的に開閉して、成分流を、Ａの符号が付された部分及び／又はＢの符号が付された部分に誘導することになる。弁を開閉するとともに、Ａの符号が付された混合系又はＢの符号が付された混合系を用いて、スラリー又は化学ブレンドを混合するのが好ましい。
【０１６６】
流量コントローラー２６１Ａ、２６０Ａ、及び２６２Ａは、図１Ｂ、図３、及び図４を参照しながら上で説明したように動作する。図１７に示されている実施形態では、ライン２１２Ａ及び２１１Ａは、各ライン内の流量コントローラーを出た後、成分Ｃと成分Ｂとを含む一部混合スラリー流又は一部混合化学物質流を形成させるライン２１４に合流し、ライン２１４は、流量コントローラー２６０Ａを出た後のライン２１０Ａと合流して、成分Ａと、成分Ｂと、成分Ｃとを含む混合スラリー流又は混合化学ブレンド流を形成させるライン２１５に入る。続いて、成分Ａと、成分Ｂと、成分Ｃとを含む混合流は、元々ライン２１０Ａ、２１１Ａ、及び２１２Ａに入っていた成分を混合するためのスタティックミキサー２４１に入る。
【０１６７】
代替的実施形態では、複数のスタティックミキサーを用いて、例えば、ライン２１０Ａ内の成分Ａの流動を流動２１４と合流させる前に、ライン２１４内の一部混合化学ブレンド（成分Ｂと成分Ｃとを含む）を混合できる。
【０１６８】
図１７に示されている実施形態では、ミキサー２４１から出た、ライン２１８内のスラリー又は化学ブレンド（混合済みの成分Ａ、Ｂ、及びＣを含む）は、任意のフィルター２６５を通る。このフィルターは、混合により生じる、成分間のいずれかの化学反応によって形成され得るいずれかの粒子、又は別段の、典型的には高純度の成分流Ａ、Ｂ、及びＣのうちの１つに、不純物として存在していたいずれかの粒子を回収する目的で設けられている。あるいは、直列又は並列の配置であることができる１つ以上のフィルター配列体を設けることができ、及び／又は１つ以上のフィルター配列体は、上記のいずれかの他のモジュール又は実施形態で用いるいずれかのフィルターエレメントについて上で説明したようなフィルターループ内にあってもよい。本発明の装置が、化学ブレンドのみを供給する場合には、ポアサイズが減少していく直列の２つ以上のフィルターが好ましい。
【０１６９】
フィルターループを含むフィルターエレメントは、送出モジュール、混合モジュール、分析モジュール、及び分配モジュールのうちの１つ以上で用いても、本発明のいずれかの実施形態におけるいずれかのパイプに連結させてもよい。
【０１７０】
スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置２０は、フィルターエレメント２６５の後に、フィルターエレメントと流体連通している任意の分析モジュール３１０を備えてよく、分析モジュール３１０には、フィルターから出たスラリー又は化学ブレンドが流入する。図示されているように、ライン７０は、フィルターモジュールから出たスラリー又は化学ブレンドを分析モジュール３１０に連結及び運搬する。分析モジュールから出たスラリー又は化学ブレンドは、ライン７１を介して、分配タンク４９１に流入する。分析モジュールの実施形態については上に詳述されており、ここでは説明を繰り返さない。代替的実施形態では、分析モジュールは、上記の代わりに、又は上記に加えて、分配タンク４９１の下流に配置してもよく、スラリー又は化学ブレンドを使用する地点（半導体製造工場の洗浄ツールなどのツール、又は別のスラリー供給装置などの別のスラリー若しくは化学ブレンド混合装置であってよい）に送達する前に、スラリー又は化学ブレンドを分析してもよい。分析モジュールは、必要に応じて、スラリー流若しくは化学ブレンド流の全部若しくは一部（ごく一部であってもよい）を受け入れて分析してよく、又は、一部のスラリー又は化学ブレンドでは、分析モジュールは、所望に応じて迂回させてもよい。フィルター及び分析モジュールの位置は、所望に応じて入れ換えてもよく、スラリー又は化学ブレンドを分析すべきであると分析モジュールによるスラリーの分析によって示されない場合は、フィルターエレメントを迂回してもよく、分析すべきと示された場合には、スラリーは、弁（図示なし）を開閉することによって、コントローラーによってフィルターエレメントに誘導して、フィルターエレメントによってろ過することになることに留意されたい。
【０１７１】
この実施形態では、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置２０は、化学ブレンドをタンク４９１に投入する手段を更に備えてよい。図示されているように、パイプ２１０Ｄが成分Ａ用に、パイプ２１１Ｄが成分Ｂ用に、パイプ２１２Ｄが成分Ｃ用に設けられている。例えば、分配タンク内にあるスラリー又は化学ブレンドに、１つ以上の化学成分を投入する必要があると作業者、分析モジュールの一部である１つ以上の分析装置、又はアルゴリズム（時間に基づくものであってよい）が判断した場合、パイプ２１０Ｄ、２１１Ｄ、及び２１２Ｄに連結している１つ以上の対応する三方弁２１０Ｖ、２１１Ｖ及び／又は２１２Ｖを開くことによって、パイプ２１０Ｄ、２１１Ｄ、及び２１２Ｄの１つ以上に、各成分（単数又は複数）を流入させることができる。図１７に示されている実施形態では、投入を行いながら、供給装置用の統括コントローラーが、１つ以上の流量コントローラー２６０Ａ（若しくは２６０Ｂ）、２６１Ａ（若しくは２６１Ｂ）、及び／又は２６２Ａ（若しくは２６２Ｂ）を通る成分（単数又は複数）の流動を調節して、分配タンクに投入するために、その成分（単数又は複数）のみが分配タンク４９１に流れるようにできる。１つ以上の成分の流動を停止させてもよい。投入工程のために、流量コントローラー２６０Ａ（若しくは２６０Ｂ）、２６１Ａ（若しくは２６１Ｂ）、及び／又は２６２Ａ（若しくは２６２Ｂ）によって測定する１つ以上の成分の流動が終わるまで、混合モジュールでの混合を一時的に中止するのが好ましい。上記の投入は、集計ソフウェアを用いるコントローラーによって調節して、分配タンクに投入される所望の成分又は成分の総量を供給してよい。化学ブレンドの成分の１つ以上の保存寿命が比較的短い場合、投入手段を設けるのが特に望ましい。加えて、分配タンクへの投入は、大域ループ（図示なし）において混合後又は運搬後に、分析モジュール３１０で分析したスラリー又は化学ブレンドの分析結果に応じたものであってよい。分析モジュール３１０は、サンプルポート及びチューブ、又は上記のようなループを介して、分析用のスラリー又は化学ブレンドを受け入れてよい。（別の実施形態では、パイプ２１０Ｄ、２１１Ｄ、及び２１２Ｄは、特に、流量コントローラー２６０Ａ、２６１Ａ、及び２６２Ａの上流にある場合、別の流量コントローラー（図示なし）を備えてもよい。）
【０１７２】
図１７に示されているスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の実施形態には、サンプル室５９９も設けられている。サンプル室については、図５を参照しながら説明してあり、唯一の違いは、弁５４２（上で説明されているが、図５には示されていない）が、図１７のライン５９８内に示されている点である。それ以外は、上記の説明を全て当てはめることができる。
【０１７３】
図１７に示されている実施形態では、成分の１つ以上が強酸又は強塩基（ｐＨが低く及び／又は高い）の場合、反応性が最も高い成分を、反応性が最も低い成分と混合するのが好ましい。すなわち、典型的には、強酸又は強塩基のいずれかはまず、水、非反応性希釈剤、又は非反応性溶剤と合流させなければならない。この方法では、反応性が最も高い成分は、一部混合スラリー若しくは一部混合化学ブレンドを作製する目的、又は完全混合スラリー若しくは完全混合化学ブレンドを作製する目的で加えられる次の成分と合流させる前に、希釈することになる。したがって、図１７に示されているように、水、非反応性希釈剤、又は非反応性溶剤を混合モジュール２００に流動Ｂとして導くのが好ましい。合流させる他の成分が２つある場合、典型的には、流動Ｃの反応性が最も高くなり、流動Ａの反応性は流動Ｃよりも低くなる。スラリーを混合する場合、原料スラリーは典型的には、流動Ａ又はＣである。
【０１７４】
図１８は、混合モジュールの一部の代替的実施形態を示しており、成分Ａ用のライン２１０、成分Ｂ用のライン２１１、及び成分Ｃ用のライン２１２を備える３つの個々の成分流が示されており、成分Ａ、Ｂ、及びＣは、スプリットミキサー６００に流入及び合流する。（図示されているスプリットミキサーは、他の図に示されている段階的混合又はポンプ（動的）混合を用いる混合系の代わりに用いる。代替的実施形態では、段階的混合又はポンプ混合に加えて、スプリットミキサーを用いることができる。）スプリットミキサーによって混合する成分Ａの量は流量コントローラー２６０によって、スプリットミキサーによって混合する成分Ｂの量は流量コントローラー２６１によって、スプリットミキサーによって混合する成分Ｃの量は流量コントローラー２６２によって制御する。スプリットミキサー６００は所望により、１つ以上のスタティックミキサー２４１と、合流する各成分流用の１つ以上の送出パイプであって、受け入れパイプ２２０に連結しているパイプ（図では、パイプ２１０、２１１、及び２１２）とを備え、その受け入れパイプ２２０は、（図示されているように）その受け入れパイプの相対する端部で、少なくとも２つのスプリットパイプ（３２Ａ及び３２Ｃの符号が付されている）に連結していて、成分のスプリットミキサーへの流動が、その少なくとも２つのスプリットパイプに分かれるようになっており、その少なくとも２つのスプリットパイプは、連結パイプ２１８で合流又は最終的に再連結し、再連結パイプ２１８では、全ての成分が、混合スラリー又は混合化学ブレンドとして存在する。１つ以上のスプリットパイプ３２Ａ及び３２Ｃは、１つ以上のスタティックミキサー２４１を備えてよい。送出パイプ２１０、２１１、２１２、及び受け入れパイプ２２０は、Ｔ字型コネクターとして示されているコネクター２２２を介して連結してよい。迅速に高濃度で混合した場合に、１つ以上の成分が、１つ以上の成分との反応性を有し得るか、又は潜在的に、１つ以上の成分から悪影響を受けるとともに、成分のうちの１つが、反応性成分のいずれかとの反応性を有さないときには、スプリットミキサー６００を用いるのが好ましい。この実施形態では、反応性が最も小さい成分（成分Ｂとして示されている）を１つ以上の反応性成分（成分Ａ及びＣとして示されている）の間に入れて、成分Ｂの流動が、スプリットパイプ３２Ａ及び３２Ｃに分かれるとともに、反応性成分Ａ及びＣのそれぞれをスプリットパイプ３２Ａ及び３２Ｃのそれぞれにおいて希釈するようにできる。典型的には、成分Ｂは、水又は非反応性液体希釈剤である。スプリットパイプ３２Ａ及び３２Ｃのそれぞれに入る成分Ｂの流動の量及び比率は、スプリットミキサー、パイプ内のいずれかの流動誘導部（存在する場合）、及び／又はコネクターに流入する成分の相対流速（コネクターの形及びパイプサイズを含む）によって決まることになる。図１８に示されている実施形態では、スプリットミキサーを用いて、成分Ａの大半（全部でない場合）が、成分Ｂの一部とともにパイプ３２Ａを通り、成分Ｃの大半（全部でない場合）が、スプリットミキサー６００に流入する残りの成分Ｂとともに、パイプ３２Ｃを通るようにできる。スプリットパイプ３２Ａ及び３２Ｃのそれぞれに入る成分Ａ、Ｂ、及びＣのそれぞれの流速は、スプリットミキサー内のパイプのサイズを調節するか、又はパイプ若しくは流動コネクターに流動誘導部を加えることによって調節でき、この流動誘導部は、Ｔ字型コネクターの代わりに、例えばＹ字型コネクターを用いて、成分流をスプリットミキサーに誘導する角度を変えることを含むことができる。流動誘導部の他の例としては、弁、例えば逆止弁、又は同種のもののように、パイプにおいていずれかのタイプの制限を加えて、パイプ内の流動を制限するか、又は流動の方向を変化させるものが挙げられる。パイプ３２Ａ及び３２Ｃ内の流動のいずれも、スタティックミキサーによって混合し、これらの流動は、パイプ３２Ａ及び３２Ｃに取り付けられているとともに、パイプ３２Ａ及び３２Ｃの中身を再連結パイプ２１８に合流させる連結部２２２で合流及び混合することになる。再連結パイプ２１８内の流動は、混合スラリー又は混合化学ブレンドである。４つ以上の成分を混合する代替的実施形態（図示なし）では、成分流のうちの２つをスプリットミキサーの上流又は下流で合流させる場合には、上記のスプリットミキサーをそのまま用いることができる。あるいは、別の送出パイプをスプリットミキサーに加えて、４つの送出パイプをパイプ２２０又はスプリットパイプ３２Ａ及び３２Ｃの１つ若しくは両方に設けることができる。パイプを通る期待流量又は所望の流量に応じて、パイプのサイズ設定を行うか、又は逆止弁をスプリットミキサー６００に設けて、所望の混合及び流量を実現できる。スプリットミキサーは、図１８では、長方形をしたものとして示されているが、少なくとも第１の成分流が、少なくとも２つの流動に分かれるとともに、第１の成分流の少なくとも第１の部分を第２の成分流の少なくとも一部（好ましくは少なくとも大半）と混合し、好ましくは同時に、第１の成分流の第２の部分を第３の成分流の少なくとも一部（好ましくは少なくとも大半）と混合する限りは、スプリットミキサーは、長方形、菱形、曲線形（例えば、受け入れパイプが、画定された端部を有さなくてよいとともに、受け入れパイプを曲げて、スプリットパイプ（隣接し合っているとともに、コネクターから再連結パイプにつながっていてよい）につながるようにしてよいことを意味する）、又はいずれかの所望の形であることができる。
【０１７５】
分配モジュール４００に流れるとともに、図１７に示されているように、任意のフィルターエレメント２６５及び／又は任意の分析モジュール３１０を通ってよい混合スラリー又は混合化学ブレンド（又はその一部若しくはサンプルが、任意のフィルターエレメント２６５及び／又は任意の分析モジュール３１０を通ってよい）を、図１８におけるライン２１８は含む。図１７に示されているように、化学ブレンド流又は混合スラリー流の全てをフィルターエレメント２６５でろ過し、化学ブレンド流又は混合スラリー流の全てを分析モジュール３１０で分析する。あるいは、混合スラリー流若しくは化学ブレンド流のサンプルのみを分析モジュールで分析し、及び／又は混合スラリー流若しくは化学ブレンド流の一部のみをフィルターエレメント２６５によってろ過する。代替的実施形態では、化学ブレンド又は混合スラリーを分配モジュール、フィルターエレメント、及び／又は分析モジュールの１つ以上に運ぶためにポンプが必要な場合、ライン２１８は、混合モジュールポンプと連結してよい。
【０１７６】
図１９は、他のモジュール（混合モジュール、分析モジュール、及び／若しくは送出モジュール）又は本発明の装置内の要素のいずれかと組み合わせて用いることができる本発明の分配モジュールの別の実施形態を示している。図１９に示されているように、ライン７１を介して、スラリー又は化学ブレンドを混合モジュールから、分配タンク４９１を備える分配モジュール４００に運ぶ。他の実施形態と同様に、ライン７１は、混合モジュール、分析モジュール、混合モジュール若しくは分析モジュールのいずれかの前後のフィルターエレメント、又は分析モジュール及びフィルターエレメントのいずれか若しくは両方のためのバイパスラインから直接連結して、これらからスラリーを直接運んでよい。分配モジュール４００は、１つ以上の分配タンク（図示されているようなもの、及び／又は上記の実施形態で説明したもの）を備えてよい。図１９に示されているように、分配モジュール４００は、１つ以上の分配タンク（図には、分配タンク４９１が１つ示されている）と、分配タンク４９１によって供給を受ける少なくとも１つの大域ループ（図には、２つの大域ループ１１１Ａ及び１１１Ｂが示されている）とを備える。加えて、この分配モジュール４００は、少なくとも１つの圧力容器エレメント（２つの圧力容器エレメント９２０Ａ及び９２０Ｂが示されている）を備え、各圧力容器エレメントは、分配タンク４９１と、大域ループ１１１Ａ又は１１１Ｂのうちの１つと流体連通している。分配モジュール４００は、１つ以上のフィルターエレメントを更に備えてよい。図示されているように、各圧力容器エレメントの下流に、２つのフィルターエレメント２６５Ａ、２６５Ｂがある。各大域ループは、少なくとも１つのフィルターエレメントを備える。加えて、分配モジュール４００は、少なくとも１つのポンプを備え、図示されているように、各圧力容器エレメント９２０Ａ及び９２０Ｂは、その圧力容器エレメントと流体連通しているとともに、スラリー又は化学ブレンドを分配タンク４９１から圧力容器エレメント９２０Ａ又は９２０Ｂに運ぶ少なくとも１つのポンプ１０１Ａ、１０１Ｂを有する。代替的実施形態では、少なくとも１つの弁又は２つ以上の弁と、スラリー又は化学ブレンドを１つ又は２つ以上の圧力容器エレメントに運ぶための付随のパイプとを加えた状態で、１つのポンプを用いることができる。更に、別の代替的実施形態では、１つの圧力容器エレメント９２０Ａは、混合スラリー又は混合化学ブレンドを１つ以上の大域ループに運ぶことができるが、好ましい態様には、２つの圧力容器エレメントがあり、その各圧力容器エレメントは、その圧力容器エレメントと流体連通している少なくとも１つのポンプを有する。これに加えて、又はこの代わりに、２つ以上の圧力容器エレメントは、単一の大域ループに供給を行うことができる。その実施形態では、圧力容器エレメント９２０Ａ、９２０Ｂはそれぞれ、同じ大域ループに連結することになり、この大域ループは、その大域ループにおいて、圧力容器エレメントの下流に、少なくとも１つのフィルターエレメントと、少なくとも１つの流量発信機とを備えるのが好ましい。圧力容器エレメント９２０Ａ、９２０Ｂは、同時又は交互に、同じ大域ループに供給を行うことができる。あるいは、１つの圧力容器エレメントは、他方の圧力容器エレメントが機能しなくなった場合のために、バックアップ目的のみで用いることができる。上述した実施形態におけるように、Ｂの符号が付されたポンプ、圧力容器エレメント、及び大域ループは、Ａの符号が付された部分のバックアップとして設けてもよく、不具合が生じた場合のみに使用することになる。代替的実施形態では、Ａ及びＢの符号が付された部分を同時に用いて、２つの異なる大域ループから２つの異なるツール一式若しくは同じツール一式に供給を行うか、又は両方の圧力容器エレメントを順次に用いて、同じ大域ループに供給を行うことになる。
【０１７７】
図１９に示されているように、分配モジュールは、圧力容器エレメント９２０Ａと加圧空気又は不活性ガス供給源９９２との間に連結部（パイプ）を備え、圧力容器エレメント９２０Ａと加圧空気又は不活性ガス供給源との間のパイプには、圧力調整器９９１Ａが配置されている。圧力調整器は、電子式圧力調整器であってよい。圧力調整器は、圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａ内の圧力を加圧空気又は不活性ガス供給源９９２の圧力以下、好ましくは、加圧空気又は不活性ガス供給源９９２の圧力未満に保つ。圧力容器エレメントの１つ以上の圧力容器に供給を行うポンプは、スラリー又は化学ブレンドを、圧力容器内の圧力よりも高い圧力で押し入れて、スラリー又は化学ブレンドが、圧力容器に流入できるように選択する。圧力容器エレメントに圧送される圧送スラリー又は化学ブレンドに対して、ポンプの作用により、不均一又は不安定な（パルス状の）圧力が加わっても、圧力調整器の作用によって、圧力容器エレメント（の１つ以上の圧力容器）内の圧力を実質的に安定した圧力に保つことになる。換言すると、圧力調整器９９１Ａを用いて圧力を調節して、圧力容器エレメントの１つ以上の圧力容器内の圧力を、圧力容器エレメントにおける所望の範囲内の安定した圧力に保つ。好ましい実施形態では、圧力容器エレメントによって大域ループに連続的に供給を行いながら、圧力容器エレメントと流体連通しているポンプが、圧力容器エレメントに、スラリー又は化学ブレンドを連続的に供給し、圧力調整器が、圧力容器エレメント内の圧力を安定した圧力に連続的に保持するので、大域ループへのスラリー又は化学ブレンドの供給が連続的且つ実質的に安定した流速で行われる。
【０１７８】
混合スラリー又は混合化学ブレンドをポンプ１０１Ａ及び／又は１０１Ｂのいずれか又は両方によって１つ以上の圧力容器エレメントに圧送する速度は典型的には、スラリー又は化学ブレンドが１つ以上の圧力容器エレメントから出て、１つ以上の大域ループに入る速度によって判断する。両方の圧力容器エレメントによって両方の大域ループに同時に供給する場合、分配タンクと、付随のポンプ及びパイプは、両方の大域ループに同時に供給できる大きさにできる。代替的実施形態では、両方の圧力容器エレメントに、順次に供給してよく、分配タンク、ポンプ、及びパイプは、その動作レベルに合った大きさにできる。スラリー又は化学ブレンドの大域ループへの流速は、圧力容器エレメントにおいて（圧力調整器によって）圧力を調整することによって調節できる。流速を上昇させるには、１つ又は両方の圧力容器エレメント内の圧力を上昇させることができ、流速を低下させるには、この圧力を低下させることができる。
【０１７９】
他の実施形態と同様、図１９の分配モジュールでは、混合スラリー又は混合化学ブレンドは、分配タンク４９１に流入して、所定の最低液位まで充填され（液位センサー９３９（超音波液位センサーであってよい）によって測定）、分配タンク４９１が、スラリー又は化学ブレンドを大域ループの少なくとも１つに供給できる状態にある旨を、液位センサー９３９がコントローラー（図示なし）に伝達する。コントローラーは、事前のプログラミング又は技師による入力によって、１つ又は両方の大域ループに供給すべきか、何をベースにして供給すべきか既に把握している。１つの大域ループに供給する場合、コントローラーは、信号を弁９３１Ａ及び９３１Ｂの両方に送信して、一方が閉じるように、もう一方が開くように誘導するとともに、信号を１つのポンプ１０１Ａ又は１０１Ｂに送信して、スラリー又は化学ブレンドの圧送を開始させる。（動作中のポンプと、開いた弁は、Ａ又はＢの符号の付された同じパイプラインに位置することになる。）例えば、大域ループ１１１Ａに供給する場合、弁９３１Ｂを閉じ（又は閉じたままにし）、ポンプ１０１Ｂをアイドル状態にし（又はアイドル状態のままにし）、弁９３１Ａを開くか、又は開いたままにし、ポンプ１０１Ａが、スラリー又は化学ブレンドを圧力容器エレメント９２０Ａに圧送する。ポンプ１０１Ａは圧送中、ライン７４に連結しているタンク出口開口７２７を介して、スラリー又は化学ブレンドを分配タンク４９１から取り出し、パイプ連結部９３０、弁９３１Ａ、ポンプ１０１Ａに通して、スラリー又は化学ブレンドを（圧力容器エレメント９２０Ａよりも高い圧力で、パイプ７６Ａから圧力容器エレメント９２０Ａに押し入れる。圧力容器エレメント９２０Ａは、１つ、２つ、又は３つ以上の圧力容器を備え、図には、２つの圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａが示されている。圧力容器エレメント９２０Ａは、圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａと、加圧空気又は不活性ガス供給源９９２に連結するパイプ９７２とを連結させるとともに、流体連通させるパイプ９７３及び９７４を更に備える。（一部の実施形態では、加圧不活性ガス供給源が好ましいか、又は必要となる。）パイプ９７２Ａは、加圧空気又は不活性ガス供給源９９２と、圧力容器エレメント９２０Ａの圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａとの連結部を制御する圧力調整器９９１Ａを備える。この（電子式）圧力調整器９９１Ａを用いて、各圧力容器エレメント９２０Ａにおいて圧力を所望の範囲内に保持する。
【０１８０】
ポンプ１０１Ａを作動中、スラリー又は化学ブレンドは、圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａに運ばれる。ポンプ１０１Ａは、圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａ内の調節済み圧力よりも高い圧力をもたらすことができる。このポンプは、いずれの種類のポンプ、例えば、上述したようなダイヤフラムポンプ又は遠心ポンプであることもできる。この実施形態では、ダイヤフラムが好ましい。スラリー又は化学ブレンドを圧力容器エレメント９２０Ａの圧力容器９８６Ａ、９８７Ａに運ぶには、高い圧力が必要であるからである。高いポンプ圧力と、ダイヤフラムポンプを用いて圧力容器９８６Ａ、９８７Ａに充填することから、この実施形態の分配モジュールは、化学ブレンドに好ましい。
【０１８１】
ポンプ１０１Ａは、必要に応じて、そのポンプ１０１Ａと流体連通している圧力容器（単数又は複数）（この実施形態では、圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａ）に、最大流速で圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａを空にするのに要する時間に対してある割合で（５０％未満又は３０％未満などで）充填できるような大きさになっているのが好ましく、例えば、１つ以上の圧力容器エレメントに供給を行うのに用いるポンプ１０１Ａは、適切に動作している場合、圧力容器９８６Ａ、９８７Ａから取り出すよりも多いスラリー又は化学ブレンドを圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａに常に供給できる。圧力容器９８６Ａ、９８７Ａに加圧空気又は不活性ガスが存在するとともに、ポンプ１０１Ａと圧力容器９８６Ａ、９８７Ａとの間のラインにも、圧力調整器９９１Ａと圧力容器９８６Ａ、９８７Ａとの間のラインにも弁がないことから、ポンプ１０１Ａによって圧送されるスラリー又は化学ブレンドは、パイプ７６Ａ及びポンプ１０１Ａと流体連通しているライン９７５及び９７６を介して、実質的に均等に（圧力バランスを保つように）両方の圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａに流入することになる。圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａの両方は、同じ圧力となる。圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａの最大充填液位に達したら、圧力容器９８６Ａの液位計８８２及び圧力容器９８７Ａの液位計９８２の１つ又は両方が、コントローラー（図示なし）又はポンプ１０１Ａと通信して、ポンプ１０１Ａに、スラリー又は化学ブレンドの圧力容器エレメント９２０Ａへの圧送を停止するように伝える。（分配モジュール４００が両方の圧力容器エレメントを断続的に用いる（１つの圧力容器エレメントのみに充填し、大域ループへの供給を１度に行うことを意味する）実施形態では、コンピューターが、タイマーに基づき、一方の圧力容器エレメント９２０Ａからもう一方の圧力容器エレメンントに切り換えることができる。圧力容器エレメント９２０Ａを用いて大域ループへの供給を行っており、圧力容器エレメント９２０Ｂに切り換える時期が迫っている場合、ポンプ１０１Ａは圧送を停止し、弁９３１Ａを開状態から閉状態に切り換え、弁９３１Ｂを閉状態から開状態に切り換え、ポンプ１０１Ｂが、圧力容器エレメント９２０Ａと同じように機能する圧力容器エレメント９２０Ｂに、スラリー又は化学ブレンドを分配タンク４９１から圧送し始める。圧力容器エレメント９２０Ｂをオンラインにする前に、大域ループに対する弁９２７Ｂを開くことによって、サンプルチューブ又はサンプルループを介して、スラリー又は化学ブレンドのサンプルを試験用の分析モジュールに送ることができ、スラリー又は化学ブレンドが規格内である場合のみに、スラリー又は化学ブレンドを圧力容器エレメント９２０Ｂから大域ループに送ることになる。圧力容器エレメント９２０Ｂから得たスラリー又は化学ブレンドを試験中、圧力容器エレメント９２０Ａ用のスラリー又は化学ブレンドは、圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａが空になるまで大域ループに送達し続ける。続いて、弁９２７Ａを閉じ、弁９２７Ｂを開き、圧力容器エレメント９２０Ｂから出たスラリー又は化学ブレンドを大域ループに供給する。加圧空気又は不活性ガス供給源９９２Ｂと圧力容器９８６Ｂ及び９８７Ｂとの間のパイプと圧力調整器９９１Ｂが、圧力容器９８６Ｂ及び９８７Ｂ内のスラリー又は化学ブレンドを大域ループに流入させ、好ましくは大域ループに通すために必要な押出力を実質的に均一にする。
【０１８２】
上述のように、一実施形態では、ポンプ１０１Ａの圧送速度は、圧力容器エレメント９２０Ａへのスラリー又は化学ブレンドの供給が、圧力容器エレメント９２０Ａから供給されるスラリー又は化学ブレンドの量と同様の速度となって、ポンプ１０１Ａが実質的に安定した速度で連続的に動作するようにできる。圧力容器エレメント９２０Ｂも、圧力容器エレメント９２０Ａと同じように動作することができ、ポンプ１０１Ｂは、ポンプ１０１Ａのように、（断続的な形式と比べて）連続的に動作できる。ただし、ポンプ１０１Ｂは、圧力容器エレメント９２０Ｂに供給を行う点が異なる。加えて、圧力容器エレメント９２０Ａ及び９２０Ｂと、圧力容器９８６Ａ、９８７Ａ、９８６Ｂ、及び９８７Ｂにはいずれも、スラリー又は化学ブレンドを連続的に供給することができるとともに、スラリー又は化学ブレンドを連続的に抜いて、１つ以上の大域ループに供給することができる。
【０１８３】
スラリー又は化学ブレンドは、圧力容器エレメント９２０Ａから出ると、パイプ７７Ａを通じて大域ループ１１１Ａに運ばれる。大域ループは、図示されているように、任意のフィルターエレメント２６５Ａと、任意の流量発信機７９Ａとを備える。圧力容器エレメント９２０Ａから出たスラリー又は化学ブレンドは、任意の流量センサー７９Ａを通って、ライン８０Ａに入る（これらは全て、大域ループ又は分配ループ１１１Ａの一部である）。分配ループ１１１Ａは、スラリー又は化学ブレンドを送達して、ＣＭＰ又はその他のツール（図示なし）に供給を行う。スラリー又は化学ブレンドがツールを迂回するか、又はさもなければ、ツールによって利用されない場合、大域ループ（単数又は複数）は、大域ループ返送パイプ８６Ａを介して、未使用のスラリー又は化学ブレンドを分配タンク４９１に返送する。上記のように、大域ループの全ての部分に、動作時には、未使用のスラリー又は化学ブレンドが常に多少存在し、それらのスラリー又は化学ブレンドを分配タンク４９１に戻すのが好ましい。完全な分配ループ１１１Ａ（又は１１１Ｂ）が図１９には示されているわけではない。大域ループ１１１Ａは、背圧コントローラー８４Ａを備える。背圧コントローラー８４Ａは、ライン８３Ａ内の大域ループ１１１Ａと流体連通しているツール（図示なし）への連結部（図示なし）の下流に位置するとともに、大域ループにおいて、返送ライン８６Ａの近くに位置する。圧力が大域ループにおいて特定のレベルを下回ると、大域ループ内の１つ以上の背圧コントローラー８４Ａは、コントローラー（コンピューター、ＬＰＣ）と通信する。コントローラーが、ポンプ速度１０１Ａを上昇させて、もっと多くの化学ブレンド又はスラリーを圧力容器エレメント９２０Ａに供給するか、及び／又は圧力調整器９９１Ａが、圧力容器エレメント９２０Ａ内の圧力を上昇させて、スラリー又は化学ブレンドの大域ループへの流動を増大させることができる。ポンプ速度、圧力調整器、及び背圧コントローラーの１つ以上を調節するこれらのフィードバック制御ループは、測定、演算、及び調節工程を連続的に、１分おきに、又はいずれかの所定の所望の間隔（１分おきよりも長くても短くてもよい）で繰り返す。背圧コントローラーと、圧力調整器及び／又はポンプ速度を連続的に又は所定の間隔で調節して、分配ループ内のあらゆる部分で、常に、スラリー又は化学ブレンドを保持する（動作中であるとともに、混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドを使用しているツールに供給するのに充分な量を含む）が、最大圧力を制限して、パイプが破裂しないようにする。
【０１８４】
図１９に示されている実施形態を動作させる方法の１つでは、特に、大域ループが、同じツールに供給を行うか、又はスラリー若しくは化学ブレンドを圧力容器エレメント９２０Ａ若しくは９２０Ｂのいずれかから供給する大域ループ（図示なし）が１つしかない場合、Ｂの部分が充填されてオフラインになったら（及び／又はＢの部分にあるスラリー若しくは化学ブレンドが分析モジュールに送られたら）、分配モジュールにおいてＡの符号が付された部分をオンラインにでき、圧力容器９８６Ｂ及び９８７Ｂが充填され始めたら、Ａの部分が空になるか、又は空に近くなるまで、Ｂの部分は、スタンバイ状態で待機できる。圧力容器エレメントを交互（オン・オフ）モードで用いる実施形態では、圧力容器エレメント９２０Ａにおいて、圧力容器９８６Ａ及び９８７Ａ内にあるスラリー又は化学ブレンドが空になるか、又は空に近くなったら、圧力容器エレメント９２０Ｂをオンラインにでき、圧力容器エレメント９２０Ａを、例えば洗浄又は保守のためにオフラインにできる。
【０１８５】
図１９に示されている分配モジュールを動作させる代替的実施形態では、圧力容器エレメント９２０Ａ及び９２０Ｂの両方を連続的にオンラインにし、圧力容器エレメント９２０Ａ及び９２０Ｂの両方が、それぞれ異なる大域ループ１１１Ａ及び１１１Ｂに供給を行うことができ、大域ループは、同じ又は異なるツールに供給を行うことができる。上記のように、好ましい態様では、分配タンクの最大液位に達することはあまりなく、タンクに存在する混合スラリー又は混合化学ブレンドの量は、装置２０が動作中である場合にはほぼ常に、タンクの容積の２０％〜８０％、又は３０％〜７０％であり、装置２０用のコントローラー（図示なし）は、モジュール内の各種液位センサー、圧力センター、及び流速センサーからのフィードバックを用いて、送出モジュール１００（存在する場合）内の送出速度と、混合モジュール２００内の流速を調節して、分配タンクから送られた混合スラリー又は混合化学ブレンドがＣＭＰ又はその他のツールによって消費される速度と同様、好ましくはほぼ等しい（±２０％以内、±１５％以内、又は±１０％以内）体積速度で、混合スラリー又は混合化学ブレンドが作られるとともに、分配モジュール４００に供給され、１つ以上の大域ループを介して分配タンクに返送されないようにすることにする。圧力容器９８６Ａ、Ｂ及び９８７Ａ、Ｂは、それぞれ化学ブレンド又はスラリーが圧力容器から１つ以上の大域ループに流れる際の所望の流速に応じて、例えば５〜２０リットル、８〜１７リットル、又は１０〜１５リットルであってよい。
【０１８６】
上記の実施形態と同様に、大域ループ１１１Ｂ及び（図示されている実施形態では）圧力容器エレメント９２０Ｂは、大域ループ１１１Ａ及び圧力容器エレメント９２０Ａについて説明した方法と同じ方法で動作する。加えて、ポンプ１０１Ａ及び１０１Ｂも、ポンプ１０１Ａについて上で説明した方法と同じ方法で動作する。ポンプ１０１Ｂ、圧力容器エレメント９２０Ｂ、圧力調整器９９１Ｂ、及び大域ループ１１１Ｂの動作については、ここでは繰り返さない。（代替的実施形態では、ポンプの後、及び／又は圧力容器エレメントの後に弁を設けて、スラリー又は化学ブレンドをいずれかの大域ループ又は両方の大域ループに同時に誘導することによって、単一のポンプ及び／又は単一の圧力容器エレメントを用いて、２つの大域ループに供給を行うことができる。加えて、図示されていないが、図１９に示されている実施形態では、少なくとも２つの弁からなる弁一式を１つ以上と、少なくとも１つのパイプを設けて、混合スラリー及び／又は混合化学ブレンドを大域ループ１１１Ａから大域ループ１１１Ｂに、パイプ７７Ａからパイプ７７Ｂに、及び／又はパイプ７６Ａからパイプ７６Ｂに導けるようにできる。ポンプ１０１Ａ、圧力容器エレメント９２０Ａ、圧力調整器９９１Ａ、任意のフィルターエレメント２６５Ａ、大域ループ１１１Ａのいずれかに問題が生じた場合に備えて、分配モジュール４００のＡの符号が付された部分と、Ｂの符号が付された部分との間のパイプ（図示なし）をバックアップ用に設けてもよい。ポンプ１０１Ａ、１０１Ｂ、圧力容器エレメント９２０Ａ、９２０Ｂ、及び大域ループ１１１Ａ、１１１Ｂの両方を使用している場合、問題が生じた場合に応じて、ポンプのうちの１つ、圧力容器エレメントのうちの１つ（正確な大きさになっている場合）を用いて、所望に応じて、１つ又は両方の大域ループに同時に供給を行ってよい。
【０１８７】
混合モジュール２００で作られている混合スラリー又は混合化学ブレンドの量が、１つ以上の大域ループで消費されている混合スラリー又は混合化学ブレンドの量と概ね等しくなるようにして、混合スラリー又は混合化学ブレンドが混合モジュールから分配モジュールに、ある程度連続的かつ安定して流動するように、加えて、送出モジュール１００（存在する場合）、分配モジュール４００、及び任意の分析モジュール３００内のスラリー及び／又は化学ブレンドであって、連続的に流動及び再循環するスラリー及び／又は化学ブレンドが存在する場合、そのようなスラリー及び／又は化学ブレンドが少なくともごく一部であるように、図１９に示されている分配モジュール４００を備える装置２０を動作させてよい。スラリー及び／又は化学ブレンド（特にスラリー）が移動しない停滞モジュールがないのが好ましい。ライン、タンク、センサーなどが未使用時の場合には、スラリー又は化学ブレンドがそのラインから出た後、そのライン、タンク、センサーなどをＤＩＷで洗い流し、廃液流を介して洗浄水を破棄するのが好ましい。
【０１８８】
図１９に示されているように、分配モジュール４００は、大域ループの前若しくは中のいずれの位置、又は分配モジュールのいずれの位置（例えばタンク出口又はいずれか若しくは両方のポンプの上流）にも存在できるフィルターエレメント２６５を備える。このフィルターエレメントは、上記のフィルターエレメントのいずれであることもできる。このフィルターエレメントは、分配モジュールの一部であるラインの中を移動しているスラリー又は化学ブレンド流の一部又は最大で１００％をろ過できる。他の実施形態において上で説明したように、フィルターエレメントを迂回するバイパスラインを設けるか、又は少なくとも２つのフィルター（又はフィルター配列体）を並列で設けて（及び／若しくは別のフィルターループ内に設けてもよい）、流動を１つ以上の詰まったフィルターから、詰まっていないフィルターに誘導できるようにするのが望ましいことがある。加えて、圧力センサーを設けて、フィルター（エレメント、例えばフィルター配列体）の上流又は下流の圧力を測定して、スラリー又は化学ブレンドの流動を第１の（詰まった）フィルター（又はその他のフィルターエレメント、例えば１つ以上のフィルターからなる配列体）、並びに付随のパイプ及び弁から、第２の（詰まっていない）フィルター（又はその他のフィルターエレメント、例えば１つ以上のフィルターからなる配列体）、並びに付随のパイプ及び弁に、上記のように誘導すべき時点を判断するとともに、フィルター交換を技師に通知することができる。少なくとも１つの大域ループと流体連通しているフィルター（単数若しくは複数）又はその他の１つ以上のフィルターエレメントの配置によって、１つ若しくは両方の大域ループ（又はフィルターエレメント、例えばフィルター若しくはフィルター配列体が配置されているいずれかの位置）に対するろ過機能が得られる。（２つ以上の大域ループを有する実施形態では、各大域ループが、独自のフィルターエレメントを有するのが好ましい。）ツールの近く及び（直接）上流の大域ループ内でスラリー及び／又は化学ブレンドをろ過することは、無用な粒子が、ツールに運ばれるのを防ぐのに有益である。一実施形態では、フィルターエレメント２６５は、２つのフィルターを直列で備え、第１のフィルターは比較的大きめの粒子用であり、第２のフィルターは比較的小さめの粒子用である。化学ブレンドの場合には、複数のフィルターエレメントを搭載及び配置することは、一部の化学ブレンドでは望ましいが、混合スラリーほどは重要ではないことに留意されたい。加えて、停滞しても成分が分離しない一部の化学ブレンドの場合、図１９に示されている実施形態、及び本明細書に記載されているその他の分配モジュールでは、化学ブレンド用の循環ループは不要である場合があるので（移動しなくても粒子が沈殿しないため）、大域ループを修正して、所望に応じて、先端を不通にして分配タンクに戻らないようにしてよい。
【０１８９】
分配モジュールは、サンプルポート９００、９００Ａ、及び９００Ｂを更に備える。９００、９００Ａ、及び９００Ｂに位置するポートに取り付けられているチューブ（図示なし）を備えるサンプルループを用いて、スラリー又は化学ブレンドのサンプルを取り出し、そのサンプルを分析モジュール（図１Ｂ、４、及び５に示されている分析モジュールのうちの１つなど）に運ぶことができる。あるいは、サンプルを分析モジュールに運び、分析モジュールで分析してから、廃液流（図示なし）に送ってもよい。代替的実施形態では、スラリー又は化学ブレンドのサンプルをポート９００、９００Ａ、又は９００Ｂから取り出し、チューブ（図示なし）を介して分析モジュールに運び、ライン９３６を介して分配タンク４９１に返送する。
【０１９０】
分配タンク４９１は、大気に開放されていても、されていなくてもよい。図１９に示されているように、特に、危険で、反応性が高く、及び／又は揮発性のスラリー又は化学ブレンド又はその成分の分配に分配タンク４９１を用いる場合、分配タンクは、大気から密閉されていてもよい。これらのケースでは、分配タンクにカバー９３８を設けてもよく、カバー９３８を閉じると、分配タンク４９１をほぼ又は完全に気密及び水密に封止するような形で、カバー９３８をタンク４９１に取り付けることになる。カバーとタンクには、嵌合ねじ部を設けてもよく、カバー及び／又はタンクは、１つ以上のガスケットと１つ以上の固定機構（ねじなど）を有してもよく、あるいは、カバーとタンクは、接着剤を用いて閉鎖及び密封してもよい。加えて、スラリー又は化学ブレンドの組成に応じて、分配タンクには、不活性ガスの加圧流をタンクの頂部のヘッドスペースに供給するパイプ９３７を設けてもよい。分配タンクのヘッドスペースに供給される不活性ガスを有する実施形態では、その不活性ガスは、いずれかのスラリー又は化学ブレンドを分配タンクに導入する前に分配タンクに導入して、スラリー又は化学ブレンドの空気との接触を低減又は回避してよい。
【０１９１】
この実施形態では、タンク４９１への送出パイプは、タンクカバー９３８を通ってタンクを貫通するように示されており、これは、タンクが、ポリテトラフルオロエチレン（例えばＴｅｆｌｏｎ（登録商標））又は類似の材料で作られたタンクライナーを有する場合に行うことができる。タンクライナーの破損を回避するために、いずれもカバーを通るいずれのパイプも、タンクの側壁を貫通しないようにした。代替的実施形態では、カバーを通る別のパイプを、タンク底部の出口開口の代わりにすることもできる。このタンクは、腐食性物質に特に適している。非腐食性の化学ブレンド及びスラリーをタンクで保持する場合には、図７及び８に示されているような代替的実施形態のタンクを代わりに用いてもよい。１つ以上のパイプ、例えば返送パイプ８６Ａ及び８６Ｂは、エダクターを有してもよい。別のタンクのこの実施形態及び代替的実施形態では、タンクは、エダクターの代わりに、又はエダクターに加えて、タンク内のスラリー又は化学ブレンドを混合するための機械的ミキサー又はその他のミキサー（図示なし）を備えてよい。
【０１９２】
他の図及び実施形態を参照しながら上で説明したフィルター及びフィルターエレメント、並びに、分配モジュールの他のいずれかの態様の説明は、図１９に示されている実施形態に適用可能であり、参照により、図１９に示されている実施形態に援用される。
【０１９３】
図７は、本発明において有用な分配タンク又はデイタンクであり得るタンクの上面図を示しており、タンク底部の２つのエダクターと、２つのキャップ付きエダクターコネクターが示されている。図８は、図７と同じタンクを線Ｙ−Ｙ′で切断した断面図を示しており、１つのエダクターとキャップ付きエダクターコネクターの側面図が示されている。図９は、本発明で用いてよいエダクターを示している。
【０１９４】
例えば（送出モジュールの）デイタンク用の再循環ラインと、（分配モジュールの）分配タンクに返送される混合スラリー又は混合化学ブレンド用のフィルターループ用の大域ループ又は返送パイプからの返送ラインとを介して、タンクに戻るスラリー又は化学ブレンドをタンクに流入させるために、底部の近く又は底部、換言すると、タンク底部部分に配置されたエダクターを用いるのが望ましい。（図７には、タンク７２５に通じる返送ライン７２８が示されており、この返送ライン７２８は、例えば送出モジュールでは、送出タンク８０用の再循環ループ８２の一部であるライン２１である。）単位時間当たりに、エダクターを通じてタンクに流入する返送スラリー又は返送化学ブレンドの体積ごとに、タンク内に存在するスラリー又は化学ブレンドが、上記の単位時間当たりの体積の倍数分、エダクターに吸い込まれるようにするために、エダクターを用いる。本発明のタンクで用いることができる有用なエダクターは、各エダクターを介してタンクに１ガロン（３．７９リットル）導入されるごとに、２〜２０ガロン（７．５７〜７５．７１リットル）、２〜１０ガロン（７．５７〜３７．８５リットル）、又は４〜５ガロン（１５．１４〜１８．９３リットル）を循環できる。これにより、タンクに存在する全てのスラリー及び／又は化学ブレンドを動かし続けるのを助ける。タンクのサイズと、典型的にはタンクに戻るスラリー又は化学ブレンドの体積流速と、タンク内で動かし続ける必要のあるスラリー又は化学ブレンドの体積とに応じて、いずれかの数のエダクター、例えば、１〜１０個、１〜８個、１〜６個、１〜４個、１〜３個、又は１〜２個のエダクターを用いることができる。タンク内の全てのスラリー又は化学ブレンドの総流量は、タンクの側壁又は側壁の近くよりも高いとともに、中心に近づくほど低下する平均回転速度であるのが好ましい。移動しているスラリー又は化学ブレンドの好ましい回転速度は、スラリー又は化学ブレンドの円運動が顕著となる程度であり、スラリー又は化学ブレンドの頂部は、多少攪拌されているが、スラリー又は化学ブレンドの頂部を挟む部分では、ほぼ水平である。スラリー又は化学ブレンドは、タンクの周囲に沿って円運動で流動しているうちに、タンク側壁の内面に沿ってゆっくり上昇してから、スラリー又は化学ブレンドの頂部又は頂部の近くで、スラリー又は化学ブレンドは、タンクの側壁から中心に向かって流れ、タンクの底部に流れていくと本発明では考えられる。その運動に関わらず、返送スラリー又は化学ブレンド用にエダクターを用いると、スラリー又は化学ブレンドは、タンクの底部から頂部まで混じり合うとみられる。タンク内の空気又は不活性ガスに半連続的又は連続的に暴露されることによって、スラリーがクラストを形成させることのある場合、エダクターによってもたらされる運動によって、タンクの底部又は底部近くのスラリー又は化学ブレンドは、タンクの底部に停滞せず、スラリー又は化学ブレンドの頂部も、そこに停滞しない。
【０１９５】
攪拌されるスラリー又は化学ブレンドによる水の喪失を防ぐために、タンク内のスラリー又は化学ブレンドの最大液位の上方に配置した小型パイプ（図示なし）であって、タンクの蓋又は上壁を通して挿入したパイプを介して、加湿空気、窒素、又はその他の不活性ガスをタンクの頂部に加えてよい。図７及び８に示されているタンクは、常圧であるのが好ましい。（図１９に示されているタンクは、カバーと、ヘッドスペースに加えた不活性ガスとにより、常圧よりも多少高い。）
【０１９６】
図７は、本発明の装置及び方法で、デイタンク又は分配タンクのいずれかとして用いてよいタンク７２５の上面図を示している。図８は、同じタンク７２５を図７の線Ｙ−Ｙ′で切断したものの側面図を示している。図示されているように、タンク７２５は、垂直又はほぼ垂直な側壁７８８と、円錐状の底壁７２６と、出口開口７２７と、返送スラリー又は化学ブレンド用の１つ以上のエダクターと、スラリー又は化学ブレンドを１つ以上のエダクターに流す１つ以上のラインとを備える。タンク７２５の円錐状の底壁７２６は、水平な状態から出口開口７２７に向かって、典型的には５〜３５度、又は２５〜３５度傾斜している。出口開口７２７は、再循環ループ及び／若しくは分配ループ、又はその他のパイプに連結していてよい。例えば、出口開口７２７は、タンクが、図１Ａに示されているデイタンク８０である場合にはライン２５に、タンクが、図１Ｃに示されている分配タンク４９１Ａ（４９１Ｂ）である場合にはライン７４Ａ（７４Ｂ）に連結していてよい。タンク７２５は、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、ポリビニリデンジフルオライド（ＰＶＤＦ）、又はその他のロト成形可能な樹脂で作られていてよいとともに、２５〜１０００ガロン（９４．６４〜３，７８５．４１リットル）、５０〜６００ガロン（１８９．２７〜２，２７１．２４リットル）、７５〜５００ガロン（２８３．９１〜１，８９２．７０リットル）、又は７５〜３５０ガロン（２８３．９１〜１，３２４．８９リットル）のスラリー又は化学ブレンドを保持するように、内径が３０〜４５インチ（７６．２〜１１４．３センチメートル）になっていてよい。有用なタンクは、Ｓｔ．Ｇｏｂａｉｎ及びＣｈｅｍｔａｉｎｅｒなどのサプライヤーから入手可能である。
【０１９７】
デイタンク８０に通じる再循環ループ８２の一部である返送ライン２１は、原料スラリー又は化学ブレンドをデイタンク８０の底部部分に返送できる。更に、大域ループ１１１Ａ（又は１１１Ｂ）から分配タンク４９１Ａ（又は４９１Ｂ）に通じる返送ライン８６Ａ（又は８６Ｂ）は、混合スラリー又は混合化学ブレンドをタンク４９１Ａ（又は４９１Ｂ）の底部部分に返送できる。タンクの底部部分は、タンクの高さの下半分であり、又はタンクの高さをタンクの出口開口７２７から頂部７７７まで測定する場合、４０％以下、３０％以下、２５％以下、２０％以下、１５％以下、若しくは１０％以下である。エダクターは、タンクの底部部分に、タンクのスラリー又は化学ブレンドの所定の最低液位よりも下方に配置することが好ましい。典型的には、スラリー又は化学ブレンドが、タンクにおける所定の最低液位を上回らない限りは、スラリー又は化学ブレンドをタンクから取り出す１つ以上のポンプは、動作を開始しないか、又は動作を継続しない。コントローラーと通信する液位センサーを用いて、タンク内のスラリー又は化学ブレンドの液位に基づき、ポンプを始動及び停止することができる。
【０１９８】
図７及び図８において、返送スラリー又は化学ブレンドをタンクに導く返送ラインには、７２８の符号が付されているが、例えば、図１Ａ及び１Ｃに示されているように、返送ライン２１若しくは８６Ａ（又は８６Ｂ）であることもできるのが分かる。加えて、図１Ｃに示されているように、フィルターループから出る返送ライン（例えば、図１Ｃの９８又は９９）も、ライン７２８に連結していてもよい。この実施形態に示されているように、ライン７２８は、実質的に水平なチューブと実質的に垂直なチューブを介して、エダクター７６１及び７６３に、二方、三方、及び四方管継手／コネクターと、９０度管継手／コネクターと、それらの間にあるエダクターコネクターとによって連結している。図７は、タンク７２５の周囲、好ましくは、タンク７２５の側壁７８８の外周の大部分にわたる実質的に水平なパイプ７９９を示している。図示されているように、パイプ７９９（パイプ部分７３０、７３２、及び７３４と、管継手７２９、７３１、７３３、及び７３５とを備える）は、タンク７２５の周囲（外周）の２７０度分にわたるとともに、４つの垂直なパイプ（図８には、垂直なパイプ７７１及び７７２のみが示されている）と連結するパイプ７９９に、返送スラリー又は化学ブレンドが流入するように取り付けられている。垂直なパイプは、タンク７２５の外側にもあるのが好ましい。パイプ７９９は、パイプ７２８との連結部から、最後の垂直なパイプ（エダクターにつながるパイプ）まで、周囲に沿って（周囲のいずれの位置であってもよい）、やや下に傾けて取り付けるのが好ましい。図示されていない２つの垂直なパイプは、２つのエダクター７６１、７６３と、それらのエダクターコネクター７４２及び７４６と流体連通している。図示されているように、エダクターコネクター７４０、７４４、７４２、７４６は、それらが連結しているとともに、流体連通しているエダクターの、タンクの底部からの高さとほぼ同じ高さで、タンク７２５の壁を貫通している。あるいは、水平なパイプ７９９が、タンク７２５の外周に沿って、３６０°以上、３６０°以内、３００°以内、２７０°以内、１８０°以内、９０°以内、又は４５°以内分、スラリー又は化学ブレンドを流動させて、いずれかの数のエダクターの中に誘導することができる。あるいは、パイプ７２８が、返送スラリー又は化学ブレンドを直接、単一のエダクターに導くこともできる。
【０１９９】
図示されているように、水平なパイプ７９９は、コネクター７２９、７３１、７３３、及び７３５と、パイプ部分７３０、７３２、７３４で構成されている。コネクター７２９、７３１、７３３、及び７３５は、パイプ７９９の水平部分と連結するとともに、流体連通しており、また、それぞれのエダクター７６１、７６３、及びそれぞれのエダクターコネクター７４２、７４６と流体連通している２つの垂直なパイプ（図示なし）に連結している。追加の垂直なパイプ７７１、７７２は、キャップ７４１、７４５を有するエダクターコネクター７４０、７４４と流体連通している。キャップ付きエダクターに通じる垂直なパイプ（７７１、７７２）、又はエダクターを取り付けてもよい垂直なパイプ（７７１、７７２）（ただし、この実施形態では用いられていない）の場合、その垂直なラインに、手動弁（手動弁７９５及び７９７が示されている）を取り付け、この弁を閉じて、スラリー又は化学ブレンドの垂直なチューブ（垂直なチューブ７７１、７７２が示されている）への流入を防いでよい。
【０２００】
図示されているように、エダクター７６３は、エダクターコネクター７４６に連結しているエルボーコネクター７５３に、エダクター７６１は、エダクターコネクター７４２に連結しているエルボーコネクター７５１に取り付けられており、このエダクターコネクター７４６及び７４２は、タンク７２５の側壁７８８を貫通するとともに、エルボー継手（エダクターに連結するものとしては示されていないが、キャップの付いたエダクターコネクター７４０及び７４４に対する７８５及び７８１として示されている）を介して、垂直なライン（キャップ付きエダクターコネクター７４０及び７４４に対して、垂直なライン７７２及び７７１が示されている）と連結し、続いて、パイプ連結部７３５及び７３１を通って、スラリー又は化学ブレンドをエダクターに流す（ほぼ）水平なライン７９９に連結している。コネクター及びパイプ（総称してパイプという）の、タンク内部にある１つ以上のエダクターまで（及び１つ以上の供給用導管まで）の長さを最小限にして（すなわち、エダクターの長さ（最大寸法）の１０倍未満、６倍未満、３倍未満、又は２倍未満にして）、タンク内のパイプと、タンク内のスラリー又は化学ブレンドの循環との間の干渉が最小限になるようにすることが好ましい。（この干渉は、カバーを貫通して、カバーからタンクの底部まで垂直に走るパイプと比較する。カバーから垂直に走るパイプは、タンク内のスラリー及び化学ブレンドの循環に干渉することになる。）エダクターから出たスラリー又は化学ブレンドを、ある角度（タンクの底面の方を向いた（水平面よりも下方に向いた）いずれかの角度であっても、水平であっても、又はタンクの頂面の方を向いた（水平面よりも上方に向いた）角度であってもよい）で誘導するように、エダクターがタンク内に取り付けられており、エダクターは、図７及び８に示されているように、所望により、部分的には、タンク側壁に向いているとともに、部分的には、タンク側壁に沿って走っている。エダクターから出たスラリー又は化学ブレンドによって、底壁の近く又は底壁沿いに位置するスラリー又は化学ブレンドを移動させるとともに、スラリー又は化学ブレンドをタンクの側壁に沿っても流動させる。図示されているように、エダクターから出たスラリー及び／又は化学ブレンドを、水平な点線から上方及び下方に０度〜４５度、０〜４０度、０〜３５度、５〜３５度、又は３〜４０度であってよいとともに、図８に示されている水平な線から測定してよい角度αで誘導するように、エダクターが配置されている。明確にするために、図８に示されているエダクターは、水平な線よりも下方の角度αである。
【０２０１】
タンク内のエダクターの角度と、エダクターの数は、連続的に移動するスラリー又は化学ブレンドをもたらすように選択する。タンクの動きによっては、タンク内で、大きな波又は飛沫は生じない。タンク内のスラリー又は化学ブレンドの動きは、スラリー及び／又は化学ブレンドの面で見えなければならない。一実施形態では、エダクターは、タンクの直径にわたって速度勾配をもたらす。すなわち、スラリー又は化学ブレンドの動きは、タンクの側壁に近いほど高速となり、タンクの中心に近づくほど、速度が低下する。この実施形態では、スラリー又は化学ブレンドの大半が、タンクの内壁に沿って、且つタンクの内壁の周りで、時計回り又は半時計回りの動作で移動するのが好ましく、スラリー又は化学ブレンドの速度は、側壁又は側壁に近い方が速く、タンクの中心の方が遅い。スラリー又は化学ブレンドの上記のような移動により、タンクの中心では、スラリー又は化学ブレンドの速度が遅くなり、側壁又は側壁の近くでは、スラリー又は化学ブレンドの速度が速くなる。
【０２０２】
タンクは、１つ以上の供給用導管、例えば、図７及び８に示されているような供給用導管７７８も備えてよい。１つ以上の供給用導管は、スラリー又は化学ブレンドを再循環ループ以外からタンクに供給するために用いる。例えば、分配タンク（図１Ｃに示されている）への供給は、ライン７２Ａ又は７２Ｂからとなり、デイタンク（図１Ａに示されている）の場合は、ライン５５からとなる。また、供給用導管は、大域ループに供給を行うために作動している際、タンクの底部部分に、スラリー又は化学ブレンドの最小期待液位よりも下で配置されている。この実施形態のタンクでは、供給用導管７７８はエダクターを備えず、タンクの底部の方に開くパイプに過ぎない。（別の実施形態では、各供給用導管がエダクターを備えてよい。）一部の実施形態では、パイプ開口部の角度と、パイプ開口部の方向は、１つ以上のエダクターについて説明したものと同様である。供給用導管７７８に通じるパイプは示されていないが、特に、２つ以上の供給用パイプをタンクに設ける場合には、返送ライン用のエダクターに通じるパイプと同様であってよい。エダクターと同様に、供給用パイプは、供給用パイプの出口がタンク内で配置されている高さとほぼ同じ高さでタンクの側壁を貫通する。タンクは、上記のように、ほぼ同じ高さで壁を貫通する供給ライン及び／又は返送ラインを備えるのが好ましい。
【０２０３】
タンク内の全てのスラリー又は化学ブレンドを移動させるために、エダクターの角度を最適にするには、エダクターの角度の調節が必要になる場合があるので、タンク内に設けられたエダクターには、調節手段、例えば調節エルボーが設けられている。エダクターの最適な角度と数を割り出すために、操作において、タンクの直径、タンクの底部の形、タンク内のスラリー又は化学ブレンドの量、エダクターの数、エダクターを通る流動の流速、エダクター乗算器、及びスラリー又は化学ブレンドの特徴を考慮しなければならない。一部の実施形態では、分配タンク又はデイタンクに流入する典型的な返送流速は、２０リットル／分±４〜５リットル／分であり、エダクターは、エダクターに１リットル流入するごとに、３〜４リットル循環させることができ、タンク直径は、内径が３１〜４５インチ（７８．７４〜１１４．３センチメートル）、（内径が３０〜５０インチ（７６．２〜１２７センチメートル））であってよく、タンクの高さは８フィート（２．４４メートル）であってよく、エダクターの角度は、水平な線から上方又は下方に４５度以内、例えば、水平な線から上方に６度、又は水平な線から下方に１５度であってよい。
【０２０４】
エダクターを通る流動の総体積流速は、毎分５〜４０リットル、又は毎分１０〜３０リットル＋エダクター循環乗算器（単数又は複数）による追加の流量であるのが好ましい。図示されているように、タンク７２５の周囲で、流出流動を同じ方向に誘導するように、２つのエダクター７６１、７６３が配置されている。しかしながら、返送スラリー又は化学ブレンドが過度な移動を引き起こすように、例えば、スラリー又は化学ブレンドが、タンク側壁に沿って非常に速く移動するとともに、スラリー又は化学ブレンドの半径方向速度が、スラリー又は化学ブレンドに悪影響を及ぼすように、エダクターからタンクに加わるスラリー又は化学ブレンドの流速がなっている場合には、既に存在するエダクターと反対方向に向いた第３の（又は２つ以上の）エダクターを加えることが望ましい場合がある。どの程度流速が変化するのが望ましいかに応じて、加えてよいエダクターは、タンク内に既に存在するエダクターよりも少なくてもよい。加えて、１つ以上のエダクターへの流量を増減させるために、垂直なライン内の弁を用いることによって、エダクターへの流量を減少させることができる。一方、２つのエダクターが、スラリー又は化学ブレンドを充分に移動させない場合、追加のエダクターを搭載及び配置して、全ての流動が、同じ周方向となるようにしてよい（全てのスラリー又は化学ブレンドが、エダクターから出て、同じ円方向でタンクに流入することを意味する）。タンクに返送されるスラリー又は化学ブレンドの量が、エダクターに対して多すぎる場合には、タンク７２５に、好ましくは、供給ラインと同様に底部の近くまで進入する追加のライン（図示なし）を設けて、エダクターを通るスラリー又は化学ブレンドの流動によって、タンク周囲の流速が、所定の最大値を上回らないようにしてもよい。
【０２０５】
図９は、本発明において有用であるエダクター７６３の一実施形態を示している。図示されているようなエダクターは、ＢＥＸから市販されている。このエダクターは、エルボー７５３（図示なし）のねじ部を介して、エルボー７５３（図７に示されている）に連結しているねじ部９９３を備える。
【０２０６】
図１６は、タンク７２５の底部のパイプを示している。装置２０は、タンク及びループ内を循環する混合済みスラリー又は化学ブレンドを有することによって、需要の急増に対応できる。タンク性能を向上させて、需要の急増に対応するために、タンクの底部のパイプは、ダブルラインループであってよい。分配タンク４９１Ａの一実施形態は、図１６に示されている。図示されている実施形態では、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、タンク４９１Ａから出るライン７４Ａであって、出口開口７２７（タンクの底部）に対する２つの連結部１６０１、１６０３を有し、パイプを介して、ダブルラインループ１６００を形成するライン７４Ａを備えるタンクを備える。（出口開口の２つの連結部は、出口開口７２７に連結しているパイプであって、ダブルループ１６００を形成するパイプ内に設けてよい。）ダブルラインループ１６００に連結しているのは、図１Ｃに示されているように、フィルターループに通じるライン９１Ａと、大域ループに通じるライン７５Ａである。需要が高い場合、タンクの底部の出口開口７２７への２つの連結部１６０１、１６０３により、タンクからのスラリー又は化学ブレンドの流量は、供給を制限せず、制限要因とならない。ダブルラインによってタンクから供給されるスラリー又は化学ブレンドの流量は、需要を満たすことになる。
【０２０７】
上記のように、本明細書に記載されている個々のモジュール及び装置を構築する目的で用いるパイプ、チューブ、手動弁、空気弁、ポンプ、タンク、エダクターなどは、ほとんどが既製のものである。パイプは、嵌合ねじ部を有する形で製造されているパイプ又はチューブコネクターを用いて連結させ、嵌合ねじ部は、チューブの場合には、チューブを切断して、チューブ末端を加熱することが必要になる場合もある。これらの製造技法は、当業者に知られている。
【０２０８】
本発明の装置は、１つ以上の混合スラリー及び／又は１つ以上の化学ブレンドの供給の面で柔軟性をもたらすように設計及び使用してよいが、多数（例えば８個以上）のツールに供給される大量（多くの場合、１０ｌｐｍ超）の高品質で均一に混合された（組成の割合及び粒度（スラリーの場合）のばらつきが小さい）スラリー又は化学ブレンドをもたらすように設計及び使用してもよい。従来技術のシステムの大半は、少量のスラリー又は化学ブレンドを供給するように、且つ、少数のツール（例えば１〜４個のツール）に供給するように設計されている。スラリーを混合する本発明の装置は、送出モジュール内の液体粒子計数器及び／又は粒度分配分析装置を用いて、原料スラリーを試験するのが好ましく、この液体粒子計数器及び／又は粒度分配分析装置を用いて、原料スラリーを分析して、スラリー供給容器から出た大半又はいずれかの体積の原料スラリーが、送出タンク又は混合モジュールに到達する前に、不良なスラリーを検知することができる。送出モジュール内の液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器は、（混合スラリーではなく）原料スラリーを分析する目的のみで用いることができるので、その液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器と関連する希釈装置（例えば、所望のスラリー及び水流速を得るための弁、ポンプ、パイプなど）を、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器用のスラリーの最適な希釈比（スラリー：水）に合わせて設定できる（希釈度をその機器の感度範囲に合わせることができる）とともに、不変にすることができる。（同様に、装置内の混合スラリーのみを分析するために、第２の液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器を設けることができ、必要に応じて、異なる最適希釈比を混合スラリー用に用いることができる。混合スラリーでは、第２の液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器による分析前に、（原料スラリーと比べて）異なる希釈比が必要となる可能性が高く、その液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器と関連する希釈装置（例えば、所望のスラリー及び水流速などを得るための弁、ポンプ、パイプなど）を混合スラリーに合わせて最適化できるとともに、第２の液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器による分析前に、混合スラリーの一定の希釈度をもたらすように設定でき、不変にすることができる。）本発明の装置を用いて、大量の同じ混合スラリーを混合する場合には、原料スラリー供給流のみの分析（連続的、半連続的、又は新しいスラリー供給容器を送出モジュールに加えるごとの分析）は、同じ原料スラリーの分析となる。原料スラリーを分析する目的のみで用いられる同じ分析機器で、原料スラリー供給流の質をチェックするとともに、原料スラリー供給流が、混合対象の大量のスラリー用の同じ原料スラリーであるので、希釈誤差、又はその他の誤差が出る可能性は低く、その機器による分析結果の信頼性が向上することになる。スラリー及び化学ブレンドの高い品質を保つために、混合モジュール及びその他のモジュール内のフィルターエレメント及び／又は処理手段も設けられている。スラリー供給及び／又は化学ブレンド供給装置全体は、大量の同じスラリー及び／又は化学ブレンドに対して、実質的に定常状態で設計及び操作できる。定常状態が確立されたら、装置全体の流速及び圧力は、実質的に一定に保持される。通常の動作では、送出モジュール及び分配モジュール内の大量のスラリー及び／又は化学ブレンドは、スラリー又は化学ブレンドが切れることなく、充分な緩衝量で、ツールによる需要の増加に対応できる体積（タンク液位）に保持して（スラリー又は化学ブレンドが循環ループ（大域ループ）内を連続的に循環するように、スラリー又は化学ブレンドを供給して）、需要が増加した場合に、混合モジュールが、定常状態の速度で動作できるとともに、分配タンク内の体積を補うことができ、必要に応じて、通常の定常状態動作の範囲内で、送出モジュール内の大量の原料スラリーを補うことができるようにする。送出モジュール及び分配モジュール内の緩衝体積によって、成分（圧力及び流速）を流量コントローラーに一貫して上流に供給しながら、混合モジュールの流量コントローラーを同じ（不変の）設定に（流量コントローラーごとに最も正確な範囲内に）保てるようにして、混合モジュールが混合を行っている際に、同じスラリー又は化学ブレンドを一貫して混合する。（２つ以上のスラリー及び／又は化学ブレンドを混合する場合、それぞれに対して、別の混合系を設けてよいとともに、各混合系内の流量コントローラーであって、混合対象の別個の物質に対して、（設定値を定めたら）設定値が不変の流量コントローラーを設けてよい。）機器の部品と設定を定め、装置を定常状態で動作させたら、装置は、複数のツールに一貫した高品質の混合スラリー又は混合化学ブレンドを供給するために、定常状態設定を用いて、数日、数週間、又は数カ月動作できる。本発明の装置によってＣＭＰツールに供給されるスラリーは、異なるスラリー供給装置を用いて同じＣＭＰツールに供給されるスラリーと比べて、スラリーによるウエハ欠陥を軽減できる。本発明の装置は、定期的な保守の際にのみ停止してよいが、予備のタンク、ポンプ、フィルターエレメント、及びパイプを本発明の装置内に設けて、保守のために装置全体を停止する間隔を、類似の機器よりも長くできるようにできる。
【０２０９】
本発明はさらに、装置を製造する方法を提供する。いくつかの実施形態は以下のとおりである：
送出モジュール及び／又は分析モジュール、及び／又は混合モジュール、及び／又は分配モジュールを構築する工程を含む、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を製造する。パイプに第１のポンプを連結する、及び前記パイプを前記少なくとも１つの送出タンクに連結することを、単独で、又は少なくとも１つの送出タンク、少なくとも１つのポンプ及びパイプを備えた送出モジュールを提供する前出の方法との組み合わせで含み、前記第１のポンプ、及び前記パイプが、原料スラリーを前記少なくとも１つの送出タンクへ、スラリー供給容器から輸送するためのものである製造方法であって、さらに、更なるパイプを前記少なくとも１つの送出タンクに連結して循環ループを形成する、及び前記循環ループにおける第２のポンプを連結してスラリーを前記少なくとも１つの送出タンクから取り出し、原料スラリーの少なくとも一部を前記少なくとも１つの送出タンクに返送する工程を含む方法。本発明は、単独で、又は直前に記載された製造方法のいずれかとの組み合わせで、前記送出モジュールの前記循環ループ内に背圧コントローラーを連結する工程を含む方法を提供する。
【０２１０】
本発明は、単独で、又は、前記循環ループ内の流量を測定するのに使用する、前記循環ループ内に流量センサーを連結する、及びさらに前記流量センサーを設置して前記測定された流量を使用して直接的に又は間接的に電気的に第２のポンプと通信して調整することができるようにする工程を含む方法との組み合わせで、前記の製造方法のいずれかを提供する。本発明はさらに、単独で又は、前記の製造方法のいずれかとの組み合わせで、前記循環ループ内の圧力センサー及び背圧コントローラーを連結する工程を含む方法を提供し、前記圧力センサーを使用して、前記循環ループ内の圧力を測定し、前記背圧コントローラー内の前記弁を、前記圧力センサーにより測定された圧力に基づき、電気的接続を介して調整し、電気的接続はまた、コントローラーに接続されていてもよい。混合モジュールに連結され、それにより原料スラリーをそこに移送する循環ループへの少なくとも１つのパイプを、単独で、又は連結する工程との組み合わせで含む、前記いずれかの製造方法。
【０２１１】
本発明はさらに、前記圧力センサーと第２の（供給）ポンプの間に電気的接続を接続して、圧力が設定点未満へ減少する結果、前記第２のポンプ速度が上昇するようにする工程を含む方法を、単独で、又は前記製造方法のいずれかとの組み合わせで提供する。本発明はさらに、インライン液体粒子計数器を、前記粒子計数器と送出モジュール内の第１の（スラリー転送）ポンプの下流のパイプとの間で連結された分流を介して連結し、液体粒子計数器が、原料スラリーのサンプルを分析することができるようにする工程を、単独で、又は、前記製造方法のいずれかとの組み合わせで含む方法を提供する。本発明はさらに、好ましくは第１の（コンテナーからの原料スラリー転送）ポンプの下流の、分流を介してインライン粒度分布分析器を連結し、粒度分布分析器が、送出モジュール内の原料スラリーのサンプルを分析することができるようにする工程を含む方法を、単独で、又は前記製造方法のいずれかとの組み合わせで提供する。さらに、粒度分布分析器の上流又は下流を液体粒子計数器に連結して、液体粒子計数器が原料スラリーのサンプルを分析することができるようにしてもよい。単一の分流又はパイプループが、粒度分布分析器及び／又は液体粒子計数器にサンプルを持ち込んでもよく、又は個別の分流又はパイプループが、それぞれに提供されていてもよい。あるいは、粒度分布分析器及び液体粒子計数器の１つ又は両方が、全原料スラリー流の分析を提供してもよい。本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置内のあらゆるモジュール内のパイプ内で連結されたサンプルポートからの分流又はサンプルループを連結する工程を含む、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を製造する方法を、単独で、又は前記方法のいずれかとの組み合わせで提供する。
【０２１２】
インライン分析装置を連結し、そして、それと流体結合させて、少なくとも１つの分流、好ましくは少なくとも２つの分流を連結して、前記分析装置が、スラリー又は化学ブレンドのサンプルを、モジュール内の少なくとも１つの場所から、モジュール内のパイプに連結されたサンプルポートに連結された１つ以上の分流を介して取り出すことができるようにする工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。前記分析装置からの分流を、サンプルが取り出された元の前記モジュール内のパイプへ提供することにより、前記分流を、サンプルループ内に配置させる工程を含む、前記いずれかの製造方法。希釈器具の連結を含んでもよい希釈装置を、前記インライン分析装置に先立って連結し、スラリー又は化学ブレンドのサンプルを分析するのに先立って、サンプルの希釈を提供することをさらに含む、前記いずれかの製造方法。前記希釈装置は、２つ以上の希釈器具を備えていてもよい多重の（例えば二重の）希釈装置であってもよく、前記方法はさらに、パイプ及び弁及び高純度の水源を、スラリー又は化学ブレンドのサンプルを運ぶ１つ以上のパイプに連結することを含む。
【０２１３】
前記分析モジュール（液体粒子計数器、及び／又は粒度分布分析器を含んでいてもよいもの）の上流に、少なくとも１つの蠕動ポンプ、少なくとも１つの流量センサー、及び少なくとも１つのニードル弁を連結し、スラリー又は化学ブレンド希釈されたサンプルを、サンプルを分析するのに先立って希釈する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。１つより多い流量センサー、１つより多いニードル弁、及び１つより多い空気圧制御式の弁を前記分析装置の上流で連結して、スラリー又は化学ブレンドのサンプルを、サンプルを分析するのに先立って希釈する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。１つ以上の分析装置、及び１つ以上の希釈器具を、前記１つ以上の分析装置の上流で連結する工程をさらに含み、前記希釈器具が、スラリー又は化学ブレンドをＵＰＷ内に導入して、希釈されたサンプル生成ことを目的とするものである、前記いずれかの製造方法。前記連結工程において連結された前記１つ以上の分析装置が、１つ以上のｐＨセンサー、１つ以上の過酸化水素センサー、１つ以上の密度センサー、１つ以上の伝導度センサー、１つ以上の液体粒子計数器、及び１つ以上の粒度分布分析器からなる群から選択される、前記いずれかの製造方法。前記原料スラリータンク、混合モジュールに連結された前記循環ループに連結することをさらに含む、前記いずれか製造方法であって、単一パイプ中に流動して、混合スラリー化学ブレンド流を形成する２つ以上の各流動成分流用のパイプを前記混合モジュールが備え、前記成分流の１つが前記循環ループからの前記原料スラリー流である方法。
【０２１４】
各成分流用のパイプ、及び各成分パイプ中に少なくとも１つの流量コントローラーを備えた前記混合モジュールを連結して、成分の流量を制御する工程をさらに含み、前記成分パイプが、単一のパイプに連結されて合流して、混合スラリー又は化学ブレンド流を形成する、前記いずれかの製造方法。３つ以上の各成分流用のパイプ、及びそれらの各パイプ中に少なくとも１つの流量コントローラーを備えた混合モジュールを連結して、成分の流量を制御する工程をさらに含み、前記成分パイプの２つが、各パイプ内の流量コントローラーの下流で合流して単一パイプとなって、一部混合スラリー又は化学ブレンド流を形成し、そしてその後、第３の成分流が、一部混合スラリー又は化学ブレンド流と、第３の成分パイプ内の流量コントローラーの下流で合流して、混合スラリー又は化学ブレンドを形成する、前記いずれかの製造方法。前記混合モジュール内で、成分パイプが連結されて成分流が一緒に流れる場所の下流で、スタティックミキサーを連結する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。混合モジュールからのパイプを分析モジュール（装置）に連結して、混合スラリー化学ブレンド流の少なくとも一部分を前記分析モジュール（装置）により分析する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。混合モジュールと分配モジュールとの間に少なくとも１つのパイプを連結して、混合モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンド流の少なくとも一部分を分配モジュールに輸送する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。
【０２１５】
分析モジュールと分配モジュールの間に少なくとも１つのパイプを連結して、分析モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンド流の少なくとも一部分を分配モジュールに輸送するする工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。分析モジュールと分配モジュールとの間に１つより多いパイプを連結して、分析モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンド流の少なくとも一部分を、分配モジュールへ、及びそこから輸送する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。混合モジュールから分配モジュールへ少なくとも１つのパイプを連結して、混合モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンド流の少なくとも一部分を、分配モジュールに輸送する工程を含む、前記いずれかの製造方法。分析モジュールから分配モジュールへ少なくとも１つのパイプを連結し、分析モジュールからの、スラリー又は化学ブレンド流れの少なくとも一部分を、分配モジュールに輸送する工程を含む、前記いずれかの製造方法。混合モジュールと前記送出モジュールの前記循環ループとの間にパイプを連結する工程をさらに含み、前記混合モジュールが、少なくとも２つのパイプとポンプとを含み、前記２つの各パイプが、成分流を流動させて前記混合モジュールにおいて混合するためのものであり、前記少なくとも２つのパイプが合流して、前記ポンプから1フィー（０．３０メートル）の範囲内の単一パイプ内で単一流を形成し、そして単一流をポンプに通して、流れを動的に混合する、前記いずれかの製造方法。前記混合モジュール内の前記単一パイプの上流の前記成分流用の前記２つのパイプ内に流量コントローラーを連結する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。前記送出モジュールと前記混合モジュールとの間にパイプを連結する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法であって、少なくとも３つの成分流の各１つ用に少なくとも３本のパイプ、少なくとも１つのスタティックミキサー、及び少なくとも１つのポンプを備えた前記混合モジュールが；前記少なくとも３本のパイプの２本を連結して第１の単一パイプとし、前記第１の単一パイプ内にスタティックミキサーを連結し;前記第１の単一パイプと少なくとも３本のパイプの最後のパイプとを連結して最後の単一パイプとし、前記最後の単一パイプにおける前記少なくとも３つの成分流の最終的な組合せが、前記ポンプに連結され、前記ポンプ内に流動して、流れを動的に混合する方法。分配モジュールと混合モジュールの間にパイプを連結して、前記分配モジュールからの、混合済みスラリー又は混合済み化学ブレンドの流れを提供し、混合済みスラリー又は混合済み化学ブレンドの流れが、混合モジュール内で(１つ以上の成分を含み、一部混合スラリー又は一部混合化学ブレンド流、又は完全混合スラリー又は完全混合化学ブレンド流れである）少なくとも１つの流れと合流することになる工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。前記連結工程が、分配モジュールからのパイプを、最後の単一パイプに連結し、単一パイプが、前記ポンプに流れを流動させて動的に混合するものである前記いずれかの製造方法。
【０２１６】
前記混合モジュールと分析モジュールの間に少なくとも１つのパイプ（チューブ又は分流であってもよい）を連結する工程をさらに含み、前記少なくとも１つのパイプが、流れを動的に混合する前記ポンプの下流の前記混合モジュールに連結される、前記いずれかの製造方法。分析モジュールからの少なくとも１つのパイプ（すなわち、前記分析モジュールにおける分析設備の下流）を、混合モジュールポンプの上流の混合モジュールに連結する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。前記混合モジュール内の少なくとも１つのフィルターを、混合モジュール内のポンプの下流のパイプ内で連結する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。前記混合モジュール内の少なくとも１つのフィルターを、前記混合モジュール内の最後の単一パイプ内で連結する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。混合モジュールと分配モジュールとの間に少なくとも１つのパイプを連結する工程をさらに含み、前記分配モジュールが、タンクを備え、前記少なくとも１つのパイプが、前記混合モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンド流を前記分配タンクへ輸送する、前記いずれかの製造方法。少なくとも１つのパイプ内に三方弁及び制限オリフィスを連結し、第２のパイプを前記三方弁に連結する工程をさらに含み、前記弁は、前記第２のパイプに対して開いている場合には、前記制限オリフィスを内部に有する前記パイプ内で、スラリー又は化学ブレンドの制限された流れを提供し、前記制限オリフィスを有する前記パイプを使用して、前記スラリー又は化学ブレンド流れの少なくとも一部分の誘導方向を変える、前記いずれかの製造方法。前記制限オリフィスを有する前記パイプを分析モジュールに連結する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。前記混合モジュールポンプと前記分配モジュールとの間にパイプを連結し、分流チューブを、前記混合モジュールポンプと前記分配モジュールの間の前記パイプに連結し、前記分流を前記分析モジュールに連結する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。前記混合モジュールからのパイプを、混合スラリー又は化学ブレンドのサンプルを除去するカーボイ区画に連結する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。前記製造方法のいずれかであって：１つ以上の分配タンク、１つ以上の分配大域ループ、及び１つ以上のポンプを備えた分配モジュールであって、前記少なくとも１つの分配タンク、少なくとも１つの分配大域ループ、及び少なくとも１つのポンプが流体連通する分配モジュールを提供し、前記分配モジュールを前記混合モジュールに、少なくとも１つのパイプを介して連結する工程をさらに含む方法。少なくとも１つのフィルター、又はフィルターエレメントを、少なくとも１つのパイプを介して連結し、前記分配タンクと流体連通させる工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。少なくとも１つのフィルター又はフィルターエレメントを大域ループ内で連結して、混合スラリー又は化学ブレンドが、大域ループから、少なくとも１つのフィルター又はフィルターエレメントの少なくとも１つを通って流れ、そして少なくとも１つのフィルター又はフィルターエレメントの少なくとも１つを通過した後に、混合スラリー又は化学ブレンドが、前記少なくとも１つのフィルター又はフィルターエレメントの少なくとも１つの下流の大域ループに返送される、前記いずれかの製造方法。前記分配モジュール内に１つ以上のサンプルポートを連結し、サンプルポートを、チューブ介して分析モジュールへ連結し、前記分配モジュールからのスラリー又は化学ブレンドを前記分析モジュールへ、試験のために供給する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。前記分配モジュール内に１つ以上のサンプルポートを連結し、そして、分析モジュールにも連結されて前記分配モジュールからのスラリー又は化学ブレンドを前記分析モジュールへ試験のために提供するサンプルポートチューブに連結し、また所望により、前記分析モジュールと前記分配モジュールとの間にチューブを連結して、サンプルの少なくとも一部分を分配モジュールへ、分析モジュールによる試験の後に返送する工程をさらに含み、所望によりただ１つの分析モジュールがスラリー及び／又は化学ブレンド装置に提供される、前記いずれかの製造方法。
【０２１７】
分配モジュールの大域ループ内に１つ以上の背圧コントローラー及び圧力センサーを連結する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。分配モジュール中の大域ループ内に、１つ以上の流量センサーを連結する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。分配モジュールの大域ループを、分配タンクの返送出口パイプに連結し、１つ以上のエダクターを、分配タンク中への大域ループの返送パイプの出口に取り付ける工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。
【０２１８】
少なくとも１つのパイプをタンクに連結し、少なくとも１つのエダクターを前記少なくとも１つのパイプに連結する工程を含む、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を製造する方法。前記装置がさらにタンクを備え、前記タンクが、前記タンクの底に位置する１つ以上のエダクターを備えた、前記請求項のいずれか１項に記載の、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の前記製造方法のいずれかであって、前記１つ以上のエダクターを、タンクの底に位置する返送パイプに取り付ける工程を含む方法。前記装置の少なくとも１つのパイプ内にろ過器を連結して、屑又は粒子を除去する工程を含む、前記いずれかの製造方法。タンクに、前記タンクの出口開口部においてパイプへの二重ラインループを連結する工程を含む、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を製造する前記いずれかの方法。遠心ポンプ、ダイヤフラムポンプ、及び蠕動ポンプのそれぞれの少なくとも１つを、スラリー、及び／又は化学ブレンドの供給装置に連結する工程をさらに含む、前記いずれかの製造方法。
【０２１９】
本発明はさらに、本明細書で開示される、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の実施形態のいずれかを製造する方法を提供し、方法は、図面を含め本明細書に記載され示されている、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置を製造するように、装置のエレメント部分、又は装置のモジュールを連結する工程を必要とするものである。本発明はさらに、スラリー及び／又は化学ブレンドを、混合する、供給する、希釈する、輸送する、及び／又は分析する、本明細書で開示される又は特許請求されるいずれかの装置の使用を提供する。
【０２２０】
本発明の更なる実施形態(可能な請求項）は、以下を含む:
１．  明細書又は請求項に記載のモジュール又はモジュールの態様又はコンポーネントのいずれかを、単独で又はいずれかの組み合わせで含む、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置、装置の使用方法、及び製造方法。
２．  少なくとも１つの、ポンプ、及び原料スラリーを保持するタンクと、タンク内の原料スラリーを循環させる、タンクに連結された循環ループとを備えた随意の送出モジュールを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
３．  前記循環ループがさらに、タンクの底で又はその近傍でパイプに連結されたポンプと、原料スラリーをタンクに返送する返送パイプとを備えた、請求項１〜２のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
４．  前記循環ループがさらに、背圧コントローラーを備えた、請求項１〜３のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンドの供給装置。
５．  前記循環ループが、流量センサー（ポンプの速度を調節するのに使用してもよいもの）を備えた、請求項１〜４のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
６．  前記循環ループが、圧力センサー（背圧コントローラーを調節するのに使用してもよいもの）を備えた、請求項１〜５のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
７．  前記循環ループが、スラリーを混合モジュールに移送する前記循環ループに連結された少なくとも１つのパイプを備えた、請求項１〜６のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
８．  前記循環ループが、１つ以上のスラリー供給容器から原料スラリーを圧送してスラリーを前記タンクに移送する１つ以上のポンプを備えた、請求項１〜７のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
９．  前記送出モジュールが、原料スラリーを混合モジュールへ、要求に応じて送出することができる、請求項１〜８のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
１０．  前記送出モジュールが、インライン液体粒子計数器、及び／又は粒度分布分析器、並びに前記送出モジュールにおける少なくとも１つ又は２つ以上の場所からスラリーサンプルを取り出すことのできる１つ以上のサンプルポートを、さらに備え又は備え、所望により前記スラリーは、前記スラリー供給容器から前記送出タンクへスラリーを輸送する前に分析することができ、前記インライン液体粒子計数器、及び／又は粒度分布分析器は所望により、混合スラリー及び／又は化学ブレンドのみを分析する第２の随意のインライン液体粒子計数器、及び／又は粒度分布分析器を備えた前記装置とともに、原料スラリーのみを分析してもよい、単独での、又は請求項１〜９のいずれか１項との組み合わせでの、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
１１．  インライン液体粒子計数器、及び／若しくは粒度分布分析器、又はその他の分析装置、センサー、若しくはモジュールをさらに備えた、単独での、又は請求項１〜１０に記載のいずれか１項との組み合わせでのスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
１２．  さらに、前記液体粒子計数器、及び／又は粒度分布分析器からその他の分析装置、センサー、又はモジュールが、単一の希釈手段を備える、又は、スラリーサンプルを分析するのに先立って単一の希釈工程を実行する、請求項１０〜１１のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
１３．  さらに、前記液体粒子計数器、及び／若しくは粒度分布分析器、又はその他の分析装置、センサー、若しくはモジュールが、スラリーサンプルを希釈する２回の希釈工程を、希釈されたサンプルを分析するのに先立って実行する二重希釈手段を備えた、請求項１０〜１２のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
１４．  前記液体粒子計数器、及び／若しくは粒度分布分析器、又はその他の分析装置、センサー、若しくはモジュールが、希釈されたサンプルを分析するのに先立ってスラリーサンプルを希釈する、少なくとも１つの蠕動ポンプ、流量センサー、及びニードル弁を備えた、請求項１０〜１３のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
１５．  前記液体粒子計数器、及び／若しくは粒度分布分析器、又はその他の分析装置、センサー、若しくはモジュールが、スラリーサンプルを、希釈されたサンプルを分析するのに先立って希釈する、１つ以上の流量センサー、１つ以上のニードル弁、及び１つ以上の空気圧制御式の弁を備えた、請求項１０〜１４のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
１６．  前記装置、及び／又は前記液体粒子計数器、及び／若しくは粒度分布分析器、又はその他の分析装置、センサー、若しくはモジュールがさらに、スラリー又は希釈されたスラリーをＵＰＷ中に導入して、希釈されたサンプルを生成することを目的とした１つより多い希釈器具を備えた、請求項１０〜１５のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンドの供給装置。
１７．  分析装置、センサー、又はモジュールが、１つ以上のｐＨセンサー、１つ以上の過酸化水素センサー、１つ以上の密度センサー、１つ以上の伝導度センサー、からなる群の１つ以上、所望により１つ以上の液体粒子計数器、及び所望により１つ以上の粒度分布分析器を備えた、請求項１０〜１６のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
１８．  ２つ以上の流動成分流を合流させて、混合スラリー又は化学ブレンドをパイプ中で形成する混合モジュールをさらに備えた又は備えた、単独での、又は請求項１〜１７のいずれか１項との組み合わせでの、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
１９．  前記混合モジュールが、各成分流用のパイプと、前記各成分パイプ内に、成分の流速を制御する少なくとも１つの流量コントローラーとを備え、前記成分パイプが連結され合流して、混合スラリー又は化学ブレンド流を形成する単一パイプになる、請求項１〜１８のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
２０．  前記混合モジュールが、３つ以上の流動成分流を合流させ、各成分流用のパイプと、それらの各パイプ内に、流速を制御する少なくとも１つの流量コントローラーとを備え、第１の及び第２の成分流を含む２つの成分パイプが、合流して単一パイプになり、一部混合スラリー又は一部混合化学ブレンド流を形成し、前記第３の成分流が、前記一部混合スラリー又は一部混合化学ブレンド流と合流する、請求項１〜１９のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
２１．  前記混合モジュールが、前記成分パイプいずれか２つ又はすべてが連結されて成分流が一緒に流動する場所の下流に、１つ以上のスタティックミキサーをさらに備えた、請求項１〜２０のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
２２．  前記混合モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンド流の少なくとも一部分が、１つ以上の分析装置を備えた、所望によりまた、単一又は二重希釈の設備を備えた、及び／又は所望により液体粒子計数器、及び／若しくは粒度分布分析器を備えた分析的モジュールを通過し、その中で分析される、請求項１〜２１のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
２３．  前記混合モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンド流の少なくとも一部分が、前記分配モジュールに輸送される、請求項１〜２２のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
２４．  前記分析モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンド流の少なくとも一部分が、前記分配モジュールに輸送される、請求項１〜２３のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
２５．  前記分析モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンド流の少なくとも一部分が、混合モジュールへ輸送される、請求項１〜２４のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
２６．  前記混合モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンド流の少なくとも一部分が、前記分配モジュール及び前記分析モジュールのそれぞれに同時に輸送される、請求項１〜２５のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
２７．  混合モジュールを備え、２つ以上の成分流が、原料スラリー、水、１つ以上の化学成分、水と混合された１つ以上の化学成分、一部混合スラリー、完全混合スラリー、一部混合化学ブレンド、及び完全混合化学ブレンドからなる群から選択され、前記混合モジュールは、混合モジュールポンプと、前記成分流の少なくとも２つとをさらに含み、前記成分流の少なくとも２つは、単一パイプに連結されその中で合流して、前記ポンプの上流１フィート（０．３０メートル）で単一流を形成し、前記単一パイプはポンプに連結されて、前記単一流を前記ポンプに通して流動させ、前記流れを動的に混合して、混合スラリー又は化学ブレンド流を形成させる、請求項１〜２６のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
２８．  他の成分と合流して、混合スラリー又は化学ブレンド流を形成する各成分の量を制御する流量コントローラーを、前記各成分流用の前記パイプがその内部に備えた、請求項２７に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド装置。
２９．  ３つの各成分流をその内部に流動させる前記パイプが、段階的に合流し、前記第１の２つの成分流用の前記第１の２つのパイプ（第１及び第２のパイプ）が合流し単一（合流）パイプとなり、前記単一（合流）パイプが、所望によりスタティックミキサーをその内部に有し、一部混合スラリー及び／又は一部混合化学ブレンド流を形成し、前記単一の（合流）パイプが、前記第３の成分流を含む第３のパイプに連結されて第２の単一パイプを形成し、前記第２の単一パイプが、下流のポンプと流体連通し、第１、第２、及び第３の成分流を動的に混合して、混合スラリー又は化学ブレンド流を形成する、請求項２６〜２８のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
３０．  混合済みスラリー又は混合済み化学ブレンドの流れが、その他のスラリー又は化学ブレンド成分流と、前記混合モジュール内で合流する、請求項２６〜２９のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
３１．  前記混合モジュールポンプの下流の前記混合モジュールへ連結されたパイプ、及び前記分析モジュールをさらに備え、混合スラリー又は化学ブレンド流の少なくともサンプルが、分析モジュールへ、前記混合モジュールポンプに続く前記パイプを介して送られる、請求項２６〜３０のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
３２．  前記サンプルの少なくとも一部分が、分析モジュールによる分析の後に、前記混合モジュールポンプの上流の前記混合モジュールへ返送される、請求項３１のいずれ１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
３３．  前記混合モジュールが、前記混合モジュールポンプの下流に位置する、少なくともの１つのフィルター又は少なくとも１つのフィルターエレメントをさらに備え、前記混合モジュールポンプの下流の、混合スラリー又は化学ブレンド流（又は更なる混合スラリー又は更なる混合化学ブレンド）がろ過される、請求項２６〜３２のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
３４．  直列又は平行配置された１つ若しくは複数のフィルター又はフィルター配列体からなる群から選択される少なくとも１つのフィルターエレメントをさらに備え、１つ若しくは複数のフィルター又はフィルター配列体は、少なくとも１つ、所望により少なくとも２つ、又は所望により少なくとも３つのモジュール内の１つ以上のフィルターループ内に所望によりあってもよいものである、単独での、又は請求項１〜３３のいずれか１項に記載の、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
３５．  平行配置された少なくとも１つのフィルター又はフィルター配列体を備え、フィルター又はフィルター配列体は、各フィルター又はフィルター配列体を分離する弁を備え、前記フィルター又はフィルター配列体は、順次動作する、すなわち、少なくとも１つのフィルター又はフィルター配列体がオンラインである場合に、その他の少なくとも１つのフィルター又はフィルター配列体がオフラインである、単独での、又は請求項１〜３４のいずれか１項に記載の、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
３６．  １つ以上のフィルターループをさらに備え、各フィルターループが、パイプループと、直列又は平行配置であってもよい少なくとも１つのフィルター又はフィルター配列体と、前記パイプループ内にポンプとを備え；前記パイプループが流入口及び排出口を備え、前記流入口が、前記少なくとも１つのモジュール内のパイプ又はタンクと連結及び流体連通し、パイプ又はタンクは、ろ過することになるスラリー又は化学ブレンドを供給するものであり、前記排出口が、少なくとも１つのモジュール（流入口が連結する先のパイプ又はタンクとは異なるモジュールであってもよいもの）内のパイプ又はタンクと連結及び流体連通し、パイプ又はタンクは、スラリー又は化学ブレンドを、ろ過の後に返送するものであり、前記フィルターループ内の前記ポンプは、スラリー又は化学ブレンドを、流入口が流体連通する前記モジュールから取り出し、少なくとも１つのフィルター又はフィルター配列体において、前記スラリー又は化学ブレンドをろ過し、それを、同一又は異なるモジュールに、前記排出口を介して返送する、単独での、又は請求項１〜３５のいずれか１項に記載の、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
３７．  前記フィルターループがさらに、１つ以上の弁を前記流入口内に、そして所望により、開閉されて前記フィルターループをオンライにする、又はフィルターループをオフラインにすることができる１つ以上の弁を前記排出口に備えた、請求項３６に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
３８．  さらに、少なくとも１つのフィルターが、直列に配置された少なくとも２つのフィルター又は２つのフィルター配列体の一部分であり、少なくとも２つのフィルター又は２つのフィルター配列体は、第１のフィルター又はフィルター配列体を出て第２のフィルター又はフィルター配列体に入る流れと直列に同時に動作する、又は動作することを含む、単独での、又は請求項１〜３７のいずれか１項に記載の、スラリー、及び／又は化学ブレンドの供給装置。
３９．  前記混合モジュールからの、前記混合スラリー又は化学ブレンド流の少なくとも一部分が、前記分配タンクに輸送される、請求項１〜３８のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
４０．  スラリー又は化学ブレンド流れの少なくとも一部分の誘導方向を変える手段をさらに備え、前記手段が、三方弁を使用して、制限オリフィスを内部に有するパイプ中に前記スラリー又は化学ブレンド流を誘導することを含む、請求項１〜３９のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
４１．  前記手段を使用して、混合スラリー又は化学ブレンドの流れの少なくとも一部分を分析モジュールに誘導する、請求項４０に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
４２．  前記混合モジュールポンプの後の前記スラリー又は化学ブレンド流に関して、前記混合スラリー及び／又は化学ブレンドの少なくとも一部分を分析モジュール中に誘導する、請求項１〜４１のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
４３．  前記混合スラリー又は化学ブレンドのサンプルを、前記スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置から除去するカーボイ区画を（前記混合モジュール内に又はその下流に）備えた、請求項１〜４２のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
４４．  さらに、少なくとも１つのモジュール内に、好ましくは少なくとも２つの、又は少なくとも３つのモジュール内に位置する、スラリー又は化学ブレンドを分析モジュールに提供する１つ以上のサンプルポートをさらに備えた、請求項１〜４３のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
４５．  さらに前記混合モジュールが、スラリー又は化学ブレンドを前記分析モジュールへ提供しそれを前記混合モジュールに返送する１つ以上のサンプルループをさらに備えた、請求項１〜４４のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
４６．  さらに、前記送出モジュールが、スラリー又は化学ブレンド前記を分析モジュールへ提供する１つ以上のサンプルポートをさらに備えた、請求項１〜４５のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
４７．  さらに、スラリー又は化学ブレンドを前記分析モジュールへ、及び／又は原料スラリー用の液体粒子計数器、又は粒度分布分析器へ提供して、それを前記送出モジュールに返送する１つ以上のサンプルループを、前記送出モジュールがさらに備えた、請求項１〜４６のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
４８．  １つ以上の分配タンク、及び１つ以上のポンプを備えた分配モジュールを備えた、単独での、又は請求項１〜４７のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
４９．  さらに、前記分配モジュールが、少なくとも１つの若しくは少なくとも２つのフィルター、又は少なくとも１つの若しくは少なくとも２つのフィルターエレメントを備えた、請求項４８に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
５０．  前記少なくとも１つのフィルター、又は少なくとも１つのフィルターエレメントが、前記大域ループ内にあり、所望により前記１つ以上のツールの上流にある、請求項１〜４９のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
５１．  さらに、前記分配モジュールが、スラリー又は化学ブレンドを前記分析モジュールへ提供する１つ以上のサンプルポートをさらに備えた、請求項１〜５０のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
５２．  さらに、スラリー又は化学ブレンドを前記分析モジュールへ提供し、それを分配モジュールに返送する１つ以上のサンプルループを、前記分配モジュールがさらに備えた、請求項１〜５１のいずれか１項に記載のスラリー、及び／又は化学ブレンドの供給装置。
５３．  さらに、１つ以上の大域ループ、１つ以上の背圧コントローラー、及び前記１つ以上の各大域ループ上に１つ以上の圧力センサーを、前記分配モジュールがさらに備えた、請求項１〜５２のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
５４．  さらに、前記分配モジュールが、１つ以上の流量センサーを、前記１つ以上の各大域ループ上に備えた、請求項１〜５３のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
５５．  前記少なくとも１つの大域ループが、前記分配タンクの底で又はその近傍でパイプに連結されたポンプと、原料スラリー又は化学ブレンドをタンクに返送する返送パイプとをさらに備えた、請求項１〜５４のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
５６．  前記少なくとも１つの大域ループが、背圧コントローラーをさらに備えた、請求項１〜５５のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
５７．  前記少なくとも１つの大域ループが、流量センサー（ポンプの速度を調節するのに使用してもよいもの）を備えた、請求項１〜５６のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
５８．  前記少なくとも１つの大域ループが、圧力センサー（背圧コントローラーを調節するのに使用してもよいもの）を備えた、請求項１〜５７のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
５９．  さらに、前記分配タンク、及び所望により前記送出タンクが、前記タンクの底で前記タンクの側壁を貫通する１つ以上のラインを備えた、請求項１〜５８のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
６０．  前記装置がさらにタンクを備え、前記タンクが１つ以上のエダクターを備えた、単独での、又は請求項１〜５９のいずれか１項の記載の、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
６１．  前記装置がさらにタンクを備え、前記タンクが、前記タンクの底に位置する１つ以上のエダクターを備え、前記エダクターに連結された前記ラインが、前記タンクの底で前記タンクの側壁を貫通する、単独での、又は請求項１〜６０のいずれか１項の、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
６２．  屑又は粒子を除去するあらゆるラインの中に（特に、スラリーをスラリー供給容器から取り出し、又は循環ループにおいて前記スラリーを循環させる前記送出モジュールにおけるポンプに先行するライン、及び／又は分析モジュールの上流（例えば、送出モジュール内の、又はそうでなければ装置内の、液体粒子計数器、及び／又は粒度分布分析器の上流）の１つ以上のラインの中に）ろ過器をさらに備えた、単独での、又は請求項１〜６１のいずれか１項の記載の、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
６３．  タンクが二重ラインループを出口に有する、単独での、又は請求項１〜６２のいずれか１項に記載の（例えば、送出、分配タンク）、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
６４．  粒度分布分析器、又は液体粒子計数器を備えた、単独での、又は請求項１〜６３のいずれか１項に記載の、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
６５．  単一流の供給をうけるポンプを備え、単一流用にポンプの上流１２フィート（３．７０メートル）の範囲内に少なくとも１つの連結部を備え、連結部で、２つ以上の流れが合流して単一流になり、前記２つ以上の流れは、原料スラリー又は化学ブレンド流、水、１つ若しくは複数の化学物質、又は１つ若しくは複数の化学物質と水を含む化学成分流、一部混合スラリー、一部混合化学ブレンドの流れ、及び完全混合スラリー又は完全混合化学ブレンドの流れからなる群から選択される、スラリー及び／又は化学ブレンドを混合してツールへ分配する、（単独での、又は本明細書で開示される実施形態又は請求項のいずれかとの組み合わせのいずれかの）装置。
６６．  前記流れ（２つ以上又は３つ以上）が、前記ポンプから５フィート（１．５２メートル）の範囲内（又は２フィートの範囲内、又は１フィート（０．３０メートル）の範囲内）で合流する、請求項６５、又は請求項１〜６５のいずれか１項に記載の装置。
６７．  前記ポンプが、遠心ポンプ、ダイヤフラムポンプ、及び蠕動ポンプからなる群から選択される、請求項６５、又は６６、又は請求項１〜６６のいずれか１項に記載の装置。
６８．  前記混合モジュールポンプが、遠心ポンプである、請求項６５〜６７のいずれか１項、又は請求項１〜６７のいずれか１項に記載の装置。
６９．  前記２つ以上流れが異なる、請求項６５〜６８のいずれか１項に記載の装置。
７０．  前記１つ以上の連結部において、前記流れの３つが合流して単一流となる、請求項６５〜６９、又は請求項１〜６９のいずれか１項に記載の装置。
７１．  前記ポンプの上流に、前記成分流の少なくとも２つを合流させて単一流とする２つ以上の連結部がある、請求項６５〜７０、又は請求項１〜７０のいずれか１項に記載の装置。
７２．  前記ポンプの上流が、第１の連結部及び第２の連結部であり、前記第１の連結部は、前記ポンプにさらに近接しており、前記第１の連結部では、第１の流れが１つ以上の化学成分を含み、前記第２の連結部から流動する、原料スラリー及び混合スラリーを含む第２の流れと、水が合流し、前記第２の連結部では、第３及び第４の流れが合流し、前記第３の流れが原料スラリーを含み、前記第４の流れが混合スラリーを含む、請求項６５〜７１、又は１〜７１のいずれか１項に記載の装置。
７３．  パイプループと、ポンプと、前記ループにおいて１つ以上のフィルター又はフィルターの配列体とを備えた１つ以上のフィルターループをさらに備え（又は１つ以上のフィルターがその一部分であり）、前記ポンプが、スラリー及び／又は化学ブレンドを、１つ以上のフィルター又はフィルターの配列体へ、又はそこから誘導し、所望により前記ポンプが、（例えば）分配モジュールにおけるその他のポンプよりも高圧で動作し、更に、又はあるいは、前記フィルターループにおいて使用される前記フィルターの１つ以上が、（フィルターループ内ではなく）（例えば）前記大域ループと前記フィルターとがあたかも流体連通しているとみなされるほどには大きくない孔を有する、請求項１〜７２のいずれか１項に記載の装置。
７４．  送出モジュール、混合モジュール、分析モジュール、及び分配モジュールを備え、毎分１０リットル超の混合スラリー又は化学ブレンドを混合し、複数のツールと流体連通している大域ループ（又は２つの大域ループの１つ）へ連続的に供給する、単独での、又は請求項１〜７３のいずれか１項の記載との組み合わせでの、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
７５．  前記分配モジュールが、少なくとも２つの分配タンクと、少なくとも２つの大域ループとを備えた、請求項１〜７４のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置であって、混合スラリーを混合し、前記少なくとも２つの分配タンクの第１に供給して、第１の分配タンクと流体連通する第１の大域ループに供給し、そして、化学ブレンドを混合し、前記少なくとも２つの分布タンクの第２に供給して、第２の分配タンクと流体連通する前記大域ループの第２に供給し、また所望により、第１及び第２のブレンド系を備え、第１のブレンド系における混合スラリー及び第２のブレンド系における化学ブレンドを混合する装置。
７６．  前記分配モジュールが、少なくとも２つの分配タンクと少なくとも２つの大域ループとを備えた、請求項１〜７５のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置であって、混合スラリーの１つのタイプを混合し、前記少なくとも２つの分配タンクの第１に供給して、第１の分配タンクと流体連通する前記大域ループの第１に供給し、そして、第２の混合スラリーを混合し、前記少なくとも２つの分布タンクの第２に供給して、第２の分配タンクと流体連通する前記大域ループの第２に供給し、また所望により、前記第１及び第２のスラリーのそれぞれを混合する第１及び第２のブレンド系を備えた装置。
７７．  前記第１及び第２の大域ループがそれぞれ、複数のツール（８台超のツールであってもよい）と流体連通しており、複数のツールは、各大域ループについて同一又は異なるツールであってもよい、請求項７５又は７６のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置。
７８．  請求項１〜７７のいずれか１項に記載の装置の使用。
７９．  請求項１〜７８のいずれか１項に記載の装置の作製方法。
８０．  原料スラリー又は化学ブレンド、水、１つ以上の化学成分、水と混合された１つ以上の化学成分、一部混合スラリー、完全混合スラリー、及び完全混合化学ブレンドからなる群から選択される少なくとも２つ以上の成分流を混合する方法であって、少なくとも２つの流れを合流させて、ポンプから２フィート（０．６１メートル）の範囲内で単一流を形成し、前記単一流を前記ポンプに通して、前記流れを、動的に混合する工程において動的に混合する方法。
８１．  前記流れが前記ポンプから１フィート（０．６１メートル）の範囲内で合流し、そして所望により、３つ以上又は４つ以上の成分流が合流する、請求項１〜８０のいずれか１項に記載の方法。
８２．  前記ポンプが、遠心ポンプである、請求項１〜８１のいずれか１項に記載の方法。
８３．  前記合流工程に先だって前記成分流の３つを混合する（合流させる）ことを含む、請求項１〜８２のいずれか１項に記載の方法。
８４．  前記合流工程の上流が、前記成分流の少なくとも２つを合流させて単一流にする第１の工程である、請求項１〜８３のいずれか１項に記載の方法。
８５．  前記さらに前の合流工程の後、そして前記合流工程の前が、前記成分流の少なくとも２つ合流させる第２の工程である、請求項８４に記載の方法。
８７．  前記第１の合流工程が、原料スラリー水、化学成分、一部混合スラリー、完全混合スラリー、一部混合化学ブレンド、及び完全混合化学ブレンドからなる群から選択される、少なくとも２つの以上の成分流を、ポンプから５フィート（１．５２メートル）の範囲内で合流させる、請求項１〜８５のいずれか１項に記載の方法。
【０２２１】
８８．  前記分析モジュールの一部分であってもよいいずれかの装置からの結果により、混合スラリー又は化学ブレンド、又は原料スラリーの誘導方向を変えて、以下の：１つ若しくは複数のフィルターエレメント（例えば、フィルター、フィルターループ、フィルター配列体）、１つ若しくは複数の小粒子除去手段、若しくは廃液流に向かわせる、又は前記装置に、前記混合モジュールにおけるスラリー、又は化学ブレンド成分流用の流量コントローラーを調整させる、又は前記分配タンクに１つ以上の成分流の投与量を受け入れさせる、又はアラーム音を発生させる、の１つ以上を行う、請求項１〜８７のいずれか１項に記載の方法。
【０２２２】
８９．  原料スラリー、混合スラリー若しくは化学ブレンド、又は原料スラリー及び少なくとも２つのタイプの混合スラリー、若しくは原料スラリー、混合スラリー及び化学ブレンド、又は２つのタイプの化学ブレンドを、混合する、供給する、希釈する、輸送する、循環させる、又は分析する、請求項１〜８８のいずれか１項に記載の装置のいずれかを使用する方法。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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