(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、
前記フレームに取り付けられた第１レール及び第２レールと、
前記第１レールに沿って移動できる第１可動部材、前記第１可動部材と共に移動し且つ上下方向に移動できる第２可動部材、前記第２可動部材に設けられたカムフォロア、及び前記第２可動部材と共に上下方向に移動できる第１テーブルを備える第１スライダユニットと、
前記第２レールに沿って移動できる第２テーブルを備える第２スライダユニットと、
前記第１スライダユニット及び前記第２スライダユニットを第１停止位置及び第２停止位置の間で往復させる駆動ユニットと、
前記第１停止位置と前記第２停止位置との間に位置する中間位置に配置された中間支持部材と、
前記中間支持部材に軸受を介して支持され且つ前記カムフォロアに嵌まることができる凹部を有するアームを備え、
前記第１スライダユニットが前記第１停止位置又は前記第２停止位置にあるとき、前記アームの長手方向は鉛直面に対して角度をなしており且つ前記第１レールに沿う方向で前記カムフォロアが前記凹部に対向している搬送装置。
【請求項２】
前記中間支持部材は、前記軸受よりも前記第１停止位置側に配置された突起である第１ストッパーと、前記軸受よりも前記第２停止位置側に配置された突起である第２ストッパーと、を備える請求項１に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造装置等において、複数の加工工程を経る加工対象物（以下、ワークという）は、ある加工機械による加工の後、次の加工機械の位置に搬送される。ワークを搬送するために、ワークが載せられるテーブル及びテーブルを移動させる駆動装置を備えた搬送装置が従来から用いられている。搬送装置において、加工機械からワークを受け取る位置、及びワークを次の加工装置へ渡す位置は一定であることが好ましい。一方、１つのテーブルの往復によってワークが搬送される場合、搬送効率の向上には限界がある。これに対して、特許文献１には、２つのテーブルを備え、２つのテーブルの相互の干渉を回避するようにテーブルの軌跡を変更させる搬送装置が記載されている。これにより、給材位置及び除材位置が２つのテーブルで共通でありながら、１つのテーブルによりワークを搬送する場合に比較して搬送効率が向上する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−３０８６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載される搬送装置においては、ローラーがカム面を転がることによってテーブルが上下方向に移動させられる。ローラーがカム面を転がるので、ある程度の振動が生じる。また、カム面が給材位置から除材位置に亘って設けられているので、ローラーは常にカム面に接している。ローラーがカム面に接している時間が長いので、振動が生じやすくなる可能性がある。
【０００５】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、搬送効率を向上させることができ且つ振動の発生を抑制することができる搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため、本発明に係る搬送装置は、フレームと、前記フレームに取り付けられた第１レール及び第２レールと、前記第１レールに沿って移動できる第１可動部材、前記第１可動部材と共に移動し且つ上下方向に移動できる第２可動部材、前記第２可動部材に設けられたカムフォロア、及び前記第２可動部材と共に上下方向に移動できる第１テーブルを備える第１スライダユニットと、前記第２レールに沿って移動できる第２テーブルを備える第２スライダユニットと、前記第１スライダユニット及び前記第２スライダユニットを第１停止位置及び第２停止位置の間で往復させる駆動ユニットと、前記第１停止位置と前記第２停止位置との間に位置する中間位置に配置された中間支持部材と、前記中間支持部材に軸受を介して支持され且つ前記カムフォロアに嵌まることができる凹部を有するアームを備え、前記第１スライダユニットが前記第１停止位置又は前記第２停止位置にあるとき、前記アームの長手方向は鉛直面に対して角度をなしており且つ前記第１レールに沿う方向で前記カムフォロアが前記凹部に対向している。
【０００７】
これにより、第１スライダユニットが移動するとカムフォロアが凹部に嵌まる。アームは、カムフォロアから第１レールに沿う方向の力を受けることで回転する。これにより、凹部が第１レールに沿う方向に移動しながら上方に移動するので、カムフォロアに上方に向かう力が加えられる。このため、第２可動部材と共に第１テーブルが上方に移動する。このように、中間位置において第１テーブルの上下方向の高さが変わる。このため、第１テーブル及び第２テーブルは、立体交差することで、互いに干渉せずに交互にワークを搬送することができる。さらに、従来技術のようにカムフォロア及びカム面が用いられる場合に比較して、カムフォロアがアームに接する時間が短いので振動が抑制される。したがって、搬送装置は、搬送効率を向上させることができ且つ振動の発生を抑制することができる。
【０００８】
本発明の望ましい態様として、前記中間支持部材は、前記軸受よりも前記第１停止位置側に配置された突起である第１ストッパーと、前記軸受よりも前記第２停止位置側に配置された突起である第２ストッパーと、を備えることが好ましい。
【０００９】
これにより、第１スライダユニットが第１停止位置又は第２停止位置にあるときの、アームの長手方向が鉛直面に対して角度が規定される。また、アームの根本側の移動速度は、アームの先端側の移動速度よりも小さい。仮に、アームの先端側に設けられたストッパーによってこの角度が規定される場合、ストッパーには比較的大きな衝撃が繰り返し加わる。これに対して、中間支持部材に第１ストッパー及び第２ストッパーが設けられることで、アームの根元側が第１ストッパー及び第２ストッパーに接する。このため、第１ストッパー及び第２ストッパーに加わる衝撃が比較的小さくなるので、第１ストッパー及び第２ストッパーの耐久性が向上する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、搬送効率を向上させることができ且つ振動の発生を抑制することができる搬送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。
【図２】図２は、本実施形態に係る搬送装置を示す正面図である。
【図３】図３は、本実施形態に係る搬送装置を示す平面図である。
【図４】図４は、図２におけるＡ−Ａ断面である。
【図５】図５は、本実施形態に係る第１レール及び第１可動部材を拡大して示す斜視図である。
【図６】図６は、本実施形態に係る第２可動部材の周辺を拡大して示す斜視図である。
【図７】図７は、カムフォロアがアームの凹部に接したときの、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。
【図８】図８は、第１スライダユニットが中間位置に位置するときの、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。
【図９】図９は、第１スライダユニットが中間位置に位置するときの、本実施形態に係る搬送装置を示す正面図である。
【図１０】図１０は、図９におけるＢ−Ｂ断面である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。
【００１３】
（実施形態）
図１は、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。図２は、本実施形態に係る搬送装置を示す正面図である。図３は、本実施形態に係る搬送装置を示す平面図である。図４は、図２におけるＡ−Ａ断面である。図５は、本実施形態に係る第１レール及び第１可動部材を拡大して示す斜視図である。図６は、本実施形態に係る第２可動部材の周辺を拡大して示す斜視図である。
【００１４】
本実施形態に係る搬送装置１は、例えば半導体等の製造装置に用いられる。搬送装置１は、ある加工機械からワーク１０を受け取った後、次の加工機械の位置までワーク１０を搬送する。搬送装置１によって搬送されたワーク１０は、次の加工機械に引き取られる。
【００１５】
図１から図４に示すように、搬送装置１は、フレーム２と、第１レール３ａと、第２レール３ｂと、駆動ユニット９と、第１スライダユニット４ａと、第２スライダユニット４ｂと、中間支持部材６と、アーム５１と、を備える。搬送装置１において、ワーク１０は、第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂによって、例えば水平方向に搬送される。第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂは、それぞれ第１停止位置Ｐ１と第２停止位置Ｐ２との間を往復する。図１から図４においては、第１スライダユニット４ａが第１停止位置Ｐ１に位置し、第２スライダユニット４ｂが第２停止位置Ｐ２に位置している。
【００１６】
以下の説明において、水平方向のうち第１停止位置Ｐ１と第２停止位置Ｐ２とを結ぶ直線に平行な方向はＸ方向と記載され、水平方向のうちＸ方向に対する直交方向はＹ方向と記載され、Ｘ方向及びＹ方向の両方に対する直交方向はＺ方向と記載される。すなわち、Ｚ方向は鉛直方向（上下方向）である。また、Ｘ方向のうち第１停止位置Ｐ１から第２停止位置Ｐ２に向かう方向は＋Ｘ方向と記載され、＋Ｘ方向とは反対方向は−Ｘ方向と記載される。水平面上において＋Ｘ方向に向かったときの左方向は＋Ｙ方向と記載され、＋Ｙ方向とは反対方向は−Ｙ方向と記載される。Ｚ方向のうち上方へ向かう方向は＋Ｚ方向と記載され、＋Ｚ方向とは反対方向は−Ｚ方向と記載される。
【００１７】
フレーム２は、第１レール３ａ、第２レール３ｂ、中間支持部材６及び駆動ユニット９を支持するための部材である。図１から図３に示すように、フレーム２は、上板２１と、下板２２と、横板２３と、横板２４と、脚２５と、脚２６と、を備える。上板２１は、例えば水平面に平行な表面を有する板状部材である。下板２２は、上板２１に平行な板状部材であって、上板２１に対して隙間を空けて配置されている。横板２３及び横板２４は、上板２１及び下板２２の端部同士を連結する板状部材であって、上板２１から下板２２までの距離を規制している。脚２５及び脚２６は、下板２２に取り付けられた板状部材であって、下板２２のＺ方向の高さを規制している。
【００１８】
図１から図３に示すように、第１レール３ａは、Ｘ方向に沿う長尺部材であって、フレーム２の＋Ｚ方向側の表面に取り付けられている。第２レール３ｂは、Ｘ方向に沿う長尺部材であって、フレーム２の＋Ｚ方向側の表面に取り付けられている。第２レール３ｂは、第１レール３ａに平行に配置されており、且つ第１レール３ａよりも−Ｙ方向に位置している。
【００１９】
駆動ユニット９は、第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂに動力を伝える装置である。駆動ユニット９は、モータ９１と、駆動プーリー９２と、従動プーリー９４と、ベルト９３と、を備える。
【００２０】
モータ９１は、例えばサーボモータ等である。図２に示すように、モータ９１は、例えばフレーム２の下板２２に支持されている。具体的には、モータ９１は、下板２２の−Ｘ方向の端部に配置されている。モータ９１は、上板２１と下板２２との間に位置するシャフト９１１を備える。駆動プーリー９２は、シャフト９１１に取り付けられており、シャフト９１１と一体に回転する。従動プーリー９４は、下板２２の＋Ｘ方向の端部に設けられた軸受９４１に取り付けられている。ベルト９３は、環状の部材であって、図２に示すように駆動プーリー９２及び従動プーリー９４に取り付けられている。また、ベルト９３は、第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂに連結されている。これにより、モータ９１で生じた動力が、ベルト９３を介して第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂに伝達される。すなわち、駆動ユニット９は、動力伝達機構としてのベルトドライブを構成している。駆動ユニット９は、１つのモータ９１により第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂを移動させることができるので、第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂが独立して移動させられる場合よりも部品数を削減しながら搬送効率を向上できる。
【００２１】
第１スライダユニット４ａは、第１レール３ａに支持されており、第１レール３ａに沿って移動することができる。図１から図４に示すように、第１スライダユニット４ａは、第１スライダ４１ａと、第１可動部材４２と、第２可動部材４３と、カムフォロア４４と、第１ベルト連結部材４８ａと、第１テーブル４９ａと、を備える。
【００２２】
第１スライダ４１ａは、Ｘ方向にスライドできるように第１レール３ａに取り付けられた部材である。すなわち、第１レール３ａは、第１スライダ４１ａをＸ方向に案内する。図５に示すように、第１スライダ４１ａは、第１レール３ａの表面３１に対向可能な第１対向面４１１と、第１レール３ａの側面３２に対向可能な第２対向面４１２と、第２対向面４１２から突出する２つの爪部４１３と、少なくとも一部が第１レール３ａの凹部３３に接する転動体４１４と、を備える。２つの爪部４１３は、それぞれ凹部３３に嵌まっている。すなわち、第１スライダ４１ａは、第１レール３ａをＹ方向の両側から挟んでいる。これにより、第１スライダ４１ａは、第１レール３ａに沿ってＸ方向にスライドすることができる。転動体４１４は、例えば玉である。転動体４１４は、凹部３３の内壁に接触しながら転がる。すなわち、第１レール３ａ及び第１スライダ４１ａが直動型玉軸受（Linear  Ball  Bearing）を構成している。凹部３３に沿って転動体４１４が転がることによって、第１スライダ４１ａは第１レール３ａを円滑に移動することができる。より具体的には、複数の転動体４１４は、環状に配置されており、且つＸ方向に沿う２列を形成している。２列のうち一方の列に位置する転動体４１４が凹部３３の内壁に接触する。２列のうち他方の列に位置する転動体４１４は、例えば第２対向面４１２に設けられた案内溝によって案内される。また、転動体４１４は、それぞれ転がりながら移動する。すなわち、複数の転動体４１４が無限循環路を形成している。なお、転動体４１４はころであってもよい。
【００２３】
第１可動部材４２は、第１スライダ４１ａに取り付けられ、第１スライダ４１ａと共にＸ方向にスライドする部材である。図４に示すように、第１可動部材４２は、Ｘ方向から見て略Ｌ字状の部材であり、Ｙ方向に対して直交する表面を有する。例えば、第１可動部材４２は、図４及び図６に示すように−Ｙ方向側の表面に第３スライダ４２１を備える。
【００２４】
第２可動部材４３は、第１可動部材４２と共にＸ方向にスライドし、且つ第１可動部材４２に対してＺ方向にスライドする部材である。図２に示すように、第２可動部材４３は、Ｙ方向から見て略矩形の板状部材であり、Ｙ方向に対して直交する表面を有する。例えば、第２可動部材４３は、図６に示すように＋Ｙ方向側の表面に第３レール４３１を備える。
【００２５】
図６に示すように、第３スライダ４２１は、第３レール４３１の表面４３１１に対向可能な第１対向面４２１１と、第３レール４３１の側面４３１２に対向可能な第２対向面４２１２と、第２対向面４２１２から突出する２つの爪部４２１３と、少なくとも一部が第３レール４３１の凹部４３１３に接する転動体４２１４と、を備える。２つの爪部４２１３は、それぞれ凹部４３１３に嵌まっている。すなわち、第３スライダ４２１は、第３レール４３１をＸ方向の両側から挟んでいる。転動体４２１４は、例えば玉である。転動体４２１４は、凹部４３１３の内壁に接触しながら転がる。すなわち、第３レール４３１及び第３スライダ４２１が直動型玉軸受を構成している。凹部４３１３に沿って転動体４２１４が転がることによって、第３スライダ４２１は第３レール４３１を円滑に移動することができる。より具体的には、複数の転動体４２１４は、環状に配置されており、且つＺ方向に沿う２列を形成している。２列のうち一方の列に位置する転動体４２１４が凹部４３１３の内壁に接触する。２列のうち他方の列に位置する転動体４２１４は、例えば第２対向面４２１２に設けられた案内溝によって案内される。また、転動体４２１４は、それぞれ転がりながら移動する。すなわち、複数の転動体４２１４が無限循環路を形成している。なお、転動体４２１４はころであってもよい。
【００２６】
カムフォロア４４は、例えばシャフトと、シャフトの外周面に取り付けられたニードルベアリングと、ニードルベアリングの外周面で回転する外輪と、を備える部材である。図２に示すように、カムフォロア４４は、第２可動部材４３の−Ｙ方向側の表面に取り付けられている。例えば、カムフォロア４４のシャフトが第２可動部材４３に固定されており、カムフォロア４４の外輪がＹ方向に平行な回転軸を中心に回転することができる。
【００２７】
第１ベルト連結部材４８ａは、ベルト９３の動力を第１スライダユニット４ａに伝達するための部材である。第１ベルト連結部材４８ａは、例えば第１可動部材４２と一体に形成されており、ベルト９３に連結されている。具体的には、第１ベルト連結部材４８ａは、ベルト９３を把持している（クランプしている）。第１ベルト連結部材４８ａとベルト９３との間の摩擦力により、第１ベルト連結部材４８ａは、ベルト９３と共に移動する。これにより、第１スライダユニット４ａは、ベルト９３と共に移動することができる。
【００２８】
第１テーブル４９ａは、ワーク１０が載せられる部材である。第１テーブル４９ａは、例えば水平面に平行な板状部材である。第１テーブル４９ａは、第２可動部材４３に取り付けられており、第１可動部材４２の＋Ｚ方向に位置している。例えば、第１スライダユニット４ａが第１停止位置Ｐ１又は第２停止位置Ｐ２に位置しているとき、第１テーブル４９ａの下面（−Ｚ方向側の表面）が第１可動部材４２に接している。この状態において、第１テーブル４９ａのＺ方向の位置は第２テーブル４９ｂのＺ方向の位置に等しい。
【００２９】
第２スライダユニット４ｂは、第２レール３ｂに支持されており、第２レール３ｂに沿って移動することができる。図１から図４に示すように、第２スライダユニット４ｂは、第２スライダ４１ｂと、第２テーブル４９ｂと、第２ベルト連結部材４８ｂと、を備える。
【００３０】
第２スライダ４１ｂは、Ｘ方向にスライドできるように第２レール３ｂに取り付けられた部材である。すなわち、第２レール３ｂは、第２スライダ４１ｂをＸ方向に案内する。また、上述した第１レール３ａ及び第１スライダ４１ａと同様に、第２レール３ｂ及び第２スライダ４１ｂが直動型玉軸受を構成している。
【００３１】
第２テーブル４９ｂは、ワーク１０が乗せられる部材である。第２テーブル４９ｂは、例えば水平面に平行な板状部材である。第２テーブル４９ｂは、第２スライダ４１ｂに取り付けられている。
【００３２】
第２ベルト連結部材４８ｂは、ベルト９３の動力を第２スライダユニット４ｂに伝達するための部材である。例えば、第２ベルト連結部材４８ｂの一端が第２テーブル４９ｂに連結されており、第２ベルト連結部材４８ｂの他端がベルト９３に連結されている。具体的には、第２ベルト連結部材４８ｂは、ベルト９３を把持している（クランプしている）。第２ベルト連結部材４８ｂとベルト９３との間の摩擦力により、第２ベルト連結部材４８ｂは、ベルト９３と共に移動する。これにより、第２スライダユニット４ｂは、ベルト９３と共に移動することができる。
【００３３】
中間支持部材６は、アーム５１を支持するための部材である。図４に示すように、中間支持部材６は、例えばＸ方向から見て略Ｌ字状の部材であって、フレーム２の下板２２に取り付けられている。中間支持部材６は、第１停止位置Ｐ１と第２停止位置Ｐ２との間に位置する中間位置Ｐ３に配置されている。例えば中間位置Ｐ３は、第１停止位置Ｐ１及び第２停止位置Ｐ２から等距離の位置である。すなわち、図２に示すように、第１停止位置Ｐ１から中間位置Ｐ３までの距離Ｄ２は、第１停止位置Ｐ１から第２停止位置Ｐ２までの距離Ｄ１の２分の１である。また、図４に示すように、中間支持部材６の先端は、第２可動部材４３よりも−Ｙ方向に位置している。中間支持部材６は、図２に示すようにシャフト６０と、第１ストッパー６１と、第２ストッパー６２と、を備える。
【００３４】
シャフト６０、第１ストッパー６１及び第２ストッパー６２は、例えば−Ｙ方向に突出する円柱状の突起である。例えば、シャフト６０は中間位置Ｐ３に配置されている。第１ストッパー６１は、シャフト６０の第１停止位置Ｐ１側に配置されている。第２ストッパー６２は、シャフト６０の第２停止位置Ｐ２側に配置されている。また、第１ストッパー６１のＺ方向の位置は、第２ストッパー６２のＺ方向の位置に等しい。シャフト６０は、第１ストッパー６１及び第２ストッパー６２の−Ｚ方向側に配置されている。
【００３５】
アーム５１は、第２可動部材４３と共に第１テーブル４９ａを＋Ｚ方向に移動させるための部材である。図２に示すように、アーム５１は、軸受５２を介してシャフト６０に支持されている。軸受５２は、例えば深溝玉軸受である。これにより、アーム５１は、シャフト６０を中心に回転可能である。第１スライダユニット４ａが第１停止位置Ｐ１にあるとき、アーム５１は第１ストッパー６１に接している。これにより、アーム５１の長手方向がＹＺ平面に対してなす角度が保持されている。また、アーム５１は、例えば板状部材であって、先端に凹部５１１を備える。Ｙ方向から見て、凹部５１１は、カムフォロア４４の外輪が描く円形の曲率に略等しい円弧を描いている。図２に示すように、第１スライダユニット４ａが第１停止位置Ｐ１にある時、凹部５１１のＺ方向の位置がカムフォロア４４のＺ方向の位置に等しい。また、図３に示すように、凹部５１１のＹ方向の位置がカムフォロア４４のＹ方向の位置に等しい。すなわち、第１スライダユニット４ａが第１停止位置Ｐ１にあるとき、凹部５１１はカムフォロア４４とＸ方向に対向している。
【００３６】
図７は、カムフォロアがアームの凹部に接したときの、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。図１の状態から第１スライダユニット４ａが＋Ｘ方向に向かって移動を始めると、図７に示すようにカムフォロア４４がアーム５１の凹部５１１に嵌まる。図７の状態から第１スライダユニット４ａが＋Ｘ方向に移動すると、アーム５１は、カムフォロア４４からＸ方向の力を受けることで回転する。これにより、凹部５１１が＋Ｘ方向に移動しながら＋Ｚ方向に移動するので、カムフォロア４４に＋Ｚ方向に向かう力が加えられる。このため、第２可動部材４３と共に第１テーブル４９ａが＋Ｚ方向に移動する。
【００３７】
図８は、第１スライダユニットが中間位置に位置するときの、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。図９は、第１スライダユニットが中間位置に位置するときの、本実施形態に係る搬送装置を示す正面図である。図１０は、図９におけるＢ−Ｂ断面である。図９に示すように、第１スライダユニット４ａが中間位置Ｐ３に位置するとき、アーム５１の長手方向がＹＺ平面と平行になる。中間位置Ｐ３において第１テーブル４９ａのＺ方向の位置が第２テーブル４９ｂのＺ方向の位置とずれるので、第１テーブル４９ａが第２テーブル４９ｂと立体交差することができる。
【００３８】
図８に示す状態から、第１スライダユニット４ａが＋Ｘ方向に向かって移動すると凹部５１１が＋Ｘ方向に移動しながら−Ｚ方向に移動する。そして、アーム５１が第２ストパー６２に接すると、カムフォロア４４が凹部５１１から外れる。その後、第１スライダユニット４ａが第２停止位置Ｐ２に至る。第１スライダユニット４ａが第２停止位置Ｐ２にあるとき、第１テーブル４９ａのＺ方向の位置は第２テーブル４９ｂのＺ方向の位置に等しい。
【００３９】
第１スライダユニット４ａが第２停止位置Ｐ２にあるとき、アーム５１は第２ストッパー６２に接している。これにより、アーム５１の長手方向がＹＺ平面に対してなす角度が保持されている。第１スライダユニット４ａが第２停止位置Ｐ２にあるとき、凹部５１１のＺ方向の位置がカムフォロア４４のＺ方向の位置に等しく、且つ凹部５１１のＹ方向の位置がカムフォロア４４のＹ方向の位置に等しい。すなわち、第１スライダユニット４ａが第２停止位置Ｐ２にあるとき、凹部５１１はカムフォロア４４とＸ方向に対向している。
【００４０】
なお、駆動ユニット９は、必ずしもベルトドライブでなくてもよい。例えば、駆動ユニット９は、ローラーチェーン及びスプロケットを備えるチェーンドライブ等であってもよい。また、駆動ユニット９が備えるモータ９１は必ずしも１つでなくてもよく、例えば２つのモータ９１を備えていてもよい。例えば、駆動ユニット９は、２つのモータ９１の一方で第１スライダユニット４ａを移動させ、２つのモータ９１の他方で第２スライダユニット４ｂを移動させてもよい。これにより、搬送効率が向上する。
【００４１】
なお、モータ９１は、サーボモータに限定されず、例えばステッピングモータ、ダイレクトドライブモータであってもよい。また、駆動ユニット９が備える駆動源は必ずしもモータ９１でなくてもよく、例えばエアシリンダ等を用途に応じて適宜用いることができる。
【００４２】
なお、第１スライダユニット４ａが第１停止位置Ｐ１又は第２停止位置Ｐ２にあるときの、アーム５１の長手方向がＹＺ平面となす角度は、必ずしも第１ストッパー６１及び第２ストッパー６２によって規定されていなくてもよい。例えば、アーム５１の先端に＋Ｙ方向に突出するストッパーが設けられており、このストッパーが下板２２に接することでアーム５１の長手方向がＹＺ平面となす角度が規定されていてもよい。
【００４３】
以上で説明したように、搬送装置１は、フレーム２と、フレーム２に取り付けられた第１レール３ａ及び第２レール３ｂと、第１スライダユニット４ａと、第２スライダユニット４ｂと、駆動ユニット９と、中間支持部材６と、アーム５１と、を備える。第１スライダユニット４ａは、第１レール３ａに沿って移動できる第１可動部材４２、第１可動部材４２と共に移動し且つ上下方向に移動できる第２可動部材４３、第２可動部材４３に設けられたカムフォロア４４、及び第２可動部材４３と共に上下方向に移動できる第１テーブル４９ａを備える。駆動ユニット９は、第１スライダユニット４ａ及び第２スライダユニット４ｂを第１停止位置Ｐ１及び第２停止位置Ｐ２の間で往復させる。中間支持部材６は、第１停止位置Ｐ１と第２停止位置Ｐ２との間に位置する中間位置Ｐ３に配置されている。アーム５１は、中間支持部材６に軸受５２を介して支持され且つカムフォロア４４に嵌まることができる凹部５１１を有する。第１スライダユニット４ａが第１停止位置Ｐ１又は第２停止位置Ｐ２にあるとき、アーム５１の長手方向は鉛直面（ＹＺ平面）に対して角度をなしており且つ第１レール３ａに沿う方向でカムフォロア４４が凹部５１１に対向している。
【００４４】
これにより、第１スライダユニット４ａが移動するとカムフォロア４４が凹部５１１に嵌まる。アーム５１は、カムフォロア４４から第１レール３ａに沿う方向（Ｘ方向）の力を受けることで回転する。これにより、凹部５１１が第１レール３ａに沿う方向（Ｘ方向）に移動しながら上方（＋Ｚ方向）に移動するので、カムフォロア４４に上方（＋Ｚ方向）に向かう力が加えられる。このため、第２可動部材４３と共に第１テーブル４９ａが上方（＋Ｚ方向）に移動する。このように、中間位置Ｐ３において第１テーブル４９ａの上下方向（Ｚ方向）の高さが変わる。このため、第１テーブル４９ａ及び第２テーブル４９ｂは、立体交差することで、互いに干渉せずに交互にワーク１０を搬送することができる。さらに、従来技術のようにカムフォロア及びカム面が用いられる場合に比較して、カムフォロア４４がアーム５１に接する時間が短いので振動が抑制される。したがって、搬送装置１は、搬送効率を向上させることができ且つ振動の発生を抑制することができる。
【００４５】
また、本実施形態に係る搬送装置１において、中間支持部材６は、軸受５２よりも第１停止位置Ｐ１側に配置された突起である第１ストッパー６１と、軸受６２よりも第２停止位置Ｐ２側に配置された突起である第２ストッパー６２と、を備える。
【００４６】
これにより、第１スライダユニット４ａが第１停止位置Ｐ１又は第２停止位置Ｐ２にあるときの、アーム５１の長手方向が鉛直面（ＹＺ平面）に対して角度が規定される。また、アーム５１の根本側の移動速度は、アーム５１の先端側の移動速度よりも小さい。仮に、アーム５１の先端側に設けられたストッパーによってこの角度が規定される場合、ストッパーには比較的大きな衝撃が繰り返し加わる。これに対して、中間支持部材６に第１ストッパー６１及び第２ストッパー６２が設けられることで、アーム５１の根元側が第１ストッパー６１及び第２ストッパー６２に接する。このため、第１ストッパー６１及び第２ストッパー６２に加わる衝撃が比較的小さくなるので、第１ストッパー６１及び第２ストッパー６２の耐久性が向上する。
【符号の説明】
【００４７】
１  搬送装置
１０  ワーク
２  フレーム
３ａ  第１レール
３ｂ  第２レール
４ａ  第１スライダユニット
４１ａ  第１スライダ
４２  第１可動部材
４２１  第３スライダ
４３  第２可動部材
４３１  第３レール
４４  カムフォロア
４８ａ  第１ベルト連結部材
４９ａ  第１テーブル
４ｂ  第２スライダユニット
４１ｂ  第２スライダ
４８ｂ  第２ベルト連結部材
４９ｂ  第２テーブル
５１  アーム
５１１  凹部
５２  軸受
６  中間支持部材
６０  シャフト
６１  第１ストッパー
６２  第２ストッパー
９  駆動ユニット
９１  モータ
９１１  シャフト
９２  駆動プーリー
９３  ベルト
９４  従動プーリー
Ｐ１  第１停止位置
Ｐ２  第２停止位置
Ｐ３  中間位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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