(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体に取り付けられたレトロリフレクタ、該レトロリフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記レトロリフレクタにより戻り方向に反射されたレーザ光の干渉を利用して前記レトロリフレクタ迄の距離を検出するレーザ干渉測長計、前記レーザ光の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器を有する追尾用光学装置、前記レーザ光の出射方向を変えることができる、互いに直交する２軸回転機構、該２軸回転機構の各軸に配設された角度検出器を有し、前記移動体が移動すると、前記レトロリフレクタより戻り方向に反射された前記レーザ光の光軸の位置ずれを前記光位置検出器で検出し、レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように前記２軸回転機構を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計を用い、前記移動体を複数の測定点に移動して、各測定点の位置を検出する際に、
同じ測定点での測定中における追尾式レーザ干渉計本体の配設位置のずれを検出し、
該配設位置のずれを検出した時は、同じ測定点であっても、ずれの前後で前記追尾式レーザ干渉計本体の配設位置が異なるデータとして扱うことを特徴とする追尾式レーザ干渉計を用いた空間位置測定方法。
【請求項２】
前記移動体が座標測定機のスピンドル先端であり、前記追尾式レーザ干渉計により前記座標測定機の空間補正パラメータを求めることを特徴とする請求項１に記載の追尾式レーザ干渉計を用いた空間位置測定方法。
【請求項３】
移動体に取り付けられたレトロリフレクタ、該レトロリフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記レトロリフレクタにより戻り方向に反射されたレーザ光の干渉を利用して前記レトロリフレクタ迄の距離を検出するレーザ干渉測長計、前記レーザ光の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器を有する追尾用光学装置、前記レーザ光の出射方向を変えることができる、互いに直交する２軸回転機構、該２軸回転機構の各軸に配設された角度検出器を有し、前記移動体が移動すると、前記レトロリフレクタより戻り方向に反射された前記レーザ光の光軸の位置ずれを前記光位置検出器で検出し、レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように前記２軸回転機構を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計と、
同じ測定点での測定中における該追尾式レーザ干渉計の配設位置のずれを検出する位置センサと、
該追尾式レーザ干渉計を用い、前記移動体を複数の測定点に移動して、各測定点の位置を検出する際に、同じ測定点での測定中に前記位置センサで追尾式レーザ干渉計本体の配設位置のずれを検出した時は、同じ測定点であっても、ずれの前後で前記追尾式レーザ干渉計本体の配設位置が異なるデータとして扱うデータ処理手段と、
を備えたことを特徴とする追尾式レーザ干渉計を用いた空間位置測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、追尾式レーザ干渉計を用いた空間位置測定方法及び装置に係り、特に、３次元座標測定機（ＣＭＭ）の空間補正パラメータの測定に用いるのに好適な、複数位置の測定途中に追尾式レーザ干渉計本体の位置がずれても、位置測定結果を生かして高精度の測定を行うことが可能な、追尾式レーザ干渉計を用いた空間位置測定方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
移動体を追尾しながら、その移動体の変位や位置を高精度に測定するための追尾式レーザ干渉計として、特許文献１〜３に記載されたものがある。これら追尾式レーザ干渉計は、ＣＭＭの空間補正パラメータの測定や、工作機械の校正を行う時に使用され、この補正／校正対象（ＣＭＭのＺ軸スピンドル先端や加工用刃物）には測定対象となるレトロリフレクタ（再帰反射体）が装着される。
【０００３】
図１に追尾式レーザ干渉計の構成例を示す。追尾式レーザ干渉計４０は、測定対象物である移動体２２に固定されたレトロリフレクタ４２と、レーザ光源６０、光学測定装置７０、２軸回転装置８０を備えた追尾式レーザ干渉計本体５０と、２軸回転装置８０の制御装置（以下、回転機構制御装置と称する）８２とから構成される。２軸回転装置８０は、互いに直交する２軸回転機構を含み、各軸に角度検出器（図示省略）を有している。レーザ光７４は、レーザ光源６０から光学測定装置７０へ光ファイバー６２を用いて導かれる。光学測定装置７０は、基準点Ｏからレトロリフレクタ４２までの距離（即ち長さ）Ｌを測定するレーザ干渉（測長）計（以下、単にレーザ干渉計と称する）７２と、レトロリフレクタ４２の追尾制御で使用される追尾用光学装置７６とからなる。
【０００４】
レトロリフレクタ４２は入射光と反射光の光軸が平行で、かつ、前記レトロリフレクタ４２の中心に対して入射光と反射光の光軸が点対称となる光学素子である。そのため、入射光がレトロリフレクタ４２の反射中心から離れた位置に入射すると、反射光は入射光に対してずれた位置に返る。追尾用光学装置７６は、その入射光と反射光のずれ量を観測する光位置検出器７８を有し、ずれ量を検出し、回転機構制御装置８２に送る。
【０００５】
前記回転機構制御装置８２では、追尾用光学装置７６から送られてきた信号（入射光と反射光のずれ量）と、２軸回転機構のそれぞれの回転軸にある角度検出器から出力される角度信号を用い、ずれ量が所定範囲内となるように２軸回転装置８０を制御する。
【０００６】
直交する２軸回転機構により構成されている２軸回転装置８０に取り付けられたレーザ干渉計７２は、レトロリフレクタ４２から戻ってきた光を干渉させ、干渉光の強度変化を位相で検出する検出器を有し、その２軸回転機構の回転中心（交点）を基準点Ｏとし、この基準点Ｏからレトロリフレクタ４２までの距離Ｌが、回転機構制御装置８２を介して測定される。
【０００７】
この構成により、追尾式レーザ干渉計４０の測定では、２軸回転装置８０の角度信号と、レーザ干渉計７２で観測される距離情報（Ｌ）が測定値として得られる。これら測定値を用いると、追尾式レーザ干渉計４０を、三次元座標計測用の装置として用いることができる。
【０００８】
又、複数台の追尾式レーザ干渉計４０を用いることにより、前記レーザ干渉計７２で観測される距離情報（Ｌ）のみを用いて、３辺測長を行い、三次元座標値を求めることもできる。
【０００９】
一方、出願人は、ＣＭＭの測定精度を高めるべく空間補正を行う技術を特許文献４、５で提案している。
【００１０】
さらに、補正対象のＣＭＭの空間補正パラメータを、追尾式レーザ干渉計を用いて測定する方法も知られている。この方法は、非特許文献１に記載されているように、ＣＭＭの空間補正パラメータを、マルチラテレーション(多辺測長)の原理を用いて算出している。マルチラテレーションの原理を用いる場合、遠距離では誤差が大きくなるロータリーエンコーダにより得られる角度の情報は使用せず、距離（長さ）の情報のみから空間補正パラメータを算出する。また、追尾式レーザ干渉計本体を移動させて、通常４箇所以上の場所から長さの測定を行う。
【００１１】
非特許文献１では、図２に例示するように、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４の４箇所の配設位置から長さ測定を行っている。それぞれの配設位置(Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４)から、レトロリフレクタの位置を変えて、通常数十点から数百点ずつの測定を行い、測定したデータからＣＭＭの空間補正パラメータを求める。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特許第２６０３４２９号公報
【特許文献２】米国特許第６１４７７４８号明細書
【特許文献３】特許第４７７６４５４号公報
【特許文献４】特許第２９０２２８５号公報
【特許文献５】特許第４６７５０４７号公報
【非特許文献】
【００１３】
【非特許文献１】Kenta Umetsuら、Geometric calibration of a coordinate measuring machine using a laser tracking system,Measurement Science and Technology, Vol.16, 2005, p.2466-2472.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、従来の技術には、測定中に、意図しない外力などにより追尾式レーザ干渉計本体の位置がずれると、得られるＣＭＭの空間補正パラメータに、この位置ずれの影響による誤差が生じてしまうという問題がある。
【００１５】
例えば、ある配設位置Ｐ１からレトロリフレクタまでの長さの測定を、レトロリフレクタの位置を変えながら１００回行う場合を考える。５０回目の測定が終了してから、５１回目の測定が始まるまでの間に、ケーブルにより引張られたり、追尾式レーザ干渉計本体を載せたテーブルが慣性等で動いたりして、意図しない外力により、追尾式レーザ干渉計本体の位置がずれたとする。従来の追尾式レーザ干渉計では、追尾式レーザ干渉計本体の位置がずれたことを判別することができないので、追尾式レーザ干渉計本体の位置は変わらず、レトロリフレクタの位置が変わったものとして、５１回目から１００回目のデータを取り扱ってしまう。これにより、従来法では、算出した空間補正パラメータが、位置ずれによる誤差の影響を受けてしまう。
【００１６】
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、例えばＣＭＭの空間補正パラメータの測定のような複数位置の測定途中に、意図しない外力等により追尾式レーザ干渉計本体の位置がずれても、算出される空間補正パラメータ等の値に影響を与えることがなく、位置測定結果を生かせるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、移動体に取り付けられたレトロリフレクタ、該レトロリフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記レトロリフレクタにより戻り方向に反射されたレーザ光の干渉を利用して前記レトロリフレクタ迄の距離を検出するレーザ干渉測長計、前記レーザ光の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器を有する追尾用光学装置、前記レーザ光の出射方向を変えることができる、互いに直交する２軸回転機構、該２軸回転機構の各軸に配設された角度検出器を有し、前記移動体が移動すると、前記レトロリフレクタより戻り方向に反射された前記レーザ光の光軸の位置ずれを前記光位置検出器で検出し、レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように前記２軸回転機構を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計を用い、前記移動体を複数の測定点に移動して、各測定点の位置を検出する際に、同じ測定点での測定中における追尾式レーザ干渉計本体の配設位置のずれを検出し、該配設位置のずれを検出した時は、同じ測定点であっても、ずれの前後で前記追尾式レーザ干渉計本体の配設位置が異なるデータとして扱うことを特徴とする追尾式レーザ干渉計を用いた空間位置測定方法により、前記課題を解決するものである。
【００１８】
ここで、前記移動体を座標測定機のスピンドル先端として、前記追尾式レーザ干渉計により前記座標測定機の空間補正パラメータを求めることができる。
【００１９】
本発明は、又、移動体に取り付けられたレトロリフレクタ、該レトロリフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記レトロリフレクタにより戻り方向に反射されたレーザ光の干渉を利用して前記レトロリフレクタ迄の距離を検出するレーザ干渉測長計、前記レーザ光の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器を有する追尾用光学装置、前記レーザ光の出射方向を変えることができる、互いに直交する２軸回転機構、該２軸回転機構の各軸に配設された角度検出器を有し、前記移動体が移動すると、前記レトロリフレクタより戻り方向に反射された前記レーザ光の光軸の位置ずれを前記光位置検出器で検出し、レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように前記２軸回転機構を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計と、同じ測定点での測定中における該追尾式レーザ干渉計の配設位置のずれを検出する位置センサと、該追尾式レーザ干渉計を用い、前記移動体を複数の測定点に移動して、各測定点の位置を検出する際に、同じ測定点での測定中に前記位置センサで追尾式レーザ干渉計本体の配設位置のずれを検出した時は、同じ測定点であっても、ずれの前後で前記追尾式レーザ干渉計本体の配設位置が異なるデータとして扱うデータ処理手段と、を備えたことを特徴とする追尾式レーザ干渉計を用いた空間位置測定装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、例えばＣＭＭの空間補正パラメータの測定のような複数位置の測定途中に、意図しない外力等により追尾式レーザ干渉計本体の位置がずれても、算出される空間補正パラメータ等の値に影響を与えることがなく、位置測定結果を生かすことができる。従って、追尾式レーザ干渉計によって測定される空間補正パラメータ等の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】従来の追尾式レーザ干渉計の構成例を示すブロック図
【図２】従来の追尾式レーザ干渉計を用いたＣＭＭの空間補正パラメータの測定状態を示す斜視図
【図３】本発明に係る測定装置の実施形態の要部構成を示す斜視図
【図４】図３のIV部を側面から見た拡大断面図
【図５】ＣＭＭへのレトロリフレクタへの取付状態を示す正面図
【図６】前記実施形態の処理手順を示す流れ図
【図７】前記実施形態でＣＭＭの空間補正パラメータを測定している状態を示す斜視図
【図８】同じくデータの状態を示す図
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施形態及び実施例に記載した内容により限定されるものではない。又、以下に記載した実施形態及び実施例における構成要件には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。更に、以下に記載した実施形態及び実施例で開示した構成要素は適宜組み合わせてもよいし、適宜選択して用いてもよい。
【００２３】
本発明を実施するための追尾式レーザ干渉計を用いた測定装置の実施形態を図３〜図５に示す。
【００２４】
本実施形態は、図１に示した従来例と同様の追尾式レーザ干渉計４０において、図３（要部構成を示す斜視図）、図４（図３のIV部を側面から見た拡大断面図）に示す如く、追尾式レーザ干渉計本体５０のベース板９０の下側に、該ベース板９０の配設位置を検出するための位置センサとして２次元スケール９２を配設するとともに、データ処理装置９４で、測定中に追尾式レーザ干渉計本体５０の配設位置が変化したときは、変化前後で追尾式レーザ干渉計本体５０の配設位置が異なるデータとして扱うようにしたものである。図において、８１はホルダである。
【００２５】
追尾式レーザ干渉計４０のレトロリフレクタ４２は、図５に示す如く、ＣＭＭ３０のＺ軸スピンドル３８の先端（図では下端）に配設される。図５において、３２は、ＣＭＭ３０の定盤、３４は、該定盤３２上を図の前後のＹ軸方向に移動する門型コラム、３６は、該門型コラム３４上を図の左右のＸ軸方向に移動するスライダであり、Ｚ軸スピンドル３８は、このスライダ３６上を図の上下方向のＺ軸方向に移動する。
【００２６】
前記２次元スケール９２は、測定対象物の２次元的な移動を検知するエンコーダであり、例えば株式会社ミツトヨ製ＭＩＣＳＹＳを用いることができる。これらの２次元エンコーダは、これに対向する平面との相対的な変位を測定するエンコーダであり、前記平面内で互いに直交する２つの方向への変位を検出することができる。２次元エンコーダとして、例えばパソコン用のマウスを用いることも可能である。
【００２７】
この２次元エンコーダが出力する２つの変位量を、δｘｓ、δｙｓとする。
【００２８】
以下、シーケンシャルマルチラテレーションの方法を用いて、補正対象のＣＭＭ３０の空間精度補正を行う場合について説明する。シーケンシャルマルチラテレーションは、１台の追尾式レーザ干渉計４０を用いてマルチラテレーションを行う方法であり、図２に示したように、配設位置Ｐ１〜Ｐ４に、順次追尾式レーザ干渉計本体５０を置いて、測定を行う方法である。
【００２９】
追尾式レーザ干渉計本体５０を、まず補正対象のＣＭＭ３０の定盤３２上の配設位置Ｐ１に固定し、図５に示したように、補正対象のＣＭＭ３０のＺ軸スピンドル３８の先端にレトロリフレクタ４２を取り付ける。
【００３０】
その後、図６に示すフローチャートに沿って測定を行う。
【００３１】
即ち、まず、ステップ１００でＣＭＭ３０を操作して最初の測定点Ｕ１にＺ軸スピンドル３８先端のレトロリフレクタ４２を移動する。
【００３２】
次いでステップ１１０で、変位量δｘｓ、δｙｓおよび、カウンタＥＴの値を０にリセットして初期化する。ここで、カウンタＥＴの値は、追尾式レーザ干渉計本体５０が測定中にずれた回数を示す変数である。
【００３３】
次いでステップ１２０で、レトロリフレクタ４２の測定点Ｕ１での距離ｄ１を追尾式レーザ干渉計４０で測定する。また同時に、補正対象のＣＭＭ３０で、測定点Ｕ１の座標ＵＣＭＭ１を測定する。
【００３４】
次いでステップ１３０で、追尾式レーザ干渉計本体５０が測定中にずれたか否かの判別を行う。具体的には、追尾式レーザ干渉計４０のデータ処理装置９４を用いて、２次元スケール９２の変位量δｘｓとδｙｓの自乗和の平方根δＳが、予め設定された追尾式レーザ干渉計本体５０のずれ量の閾値δＳＬ（例えば０．２μｍ）を超えているかいないかの比較を行う。
【００３５】
δＳ≦δＳＬでステップ１３０の判定結果が正の場合は、追尾式レーザ干渉計本体５０が測定中にずれていないと判定してステップ１４０に進み、距離ｄ１、座標ＵＣＭＭ１、およびこのときのカウンタＥＴの値ＥＴ１を、追尾式レーザ干渉計４０のデータ処理装置９４に記憶する。
【００３６】
一方、δＳ＞δＳＬでステップ１３０の判定結果が否の場合は、追尾式レーザ干渉計本体５０が測定中にずれたと判定して、ステップ１２０に戻り、測定をやり直す。ただし、測定をやり直す前に、ステップ１５０でカウンタＥＴの値を１に変更し、ステップ１６０で変位量δｘｓおよびδｙｓの値を０にリセットして初期化する。
【００３７】
次いでステップ２００に進み、ＣＭＭ３０を操作して次の測定点Ｕｍ（例えば２点目の測定点Ｕ２）にレトロリフレクタ４２を移動させる。
【００３８】
次いでステップ２１０に進み、ステップ１３０と同様の方法で、追尾式レーザ干渉計本体５０がレトロリフレクタ４２の移動中にずれたか否かの判定を行う。
【００３９】
δＳ≦δＳＬでステップ２１０の判定結果が正の場合は、追尾式レーザ干渉計本体５０がレトロリフレクタ４２の移動中にずれていないと判定して、ステップ２２０に進み、追尾式レーザ干渉計４０によるレトロリフレクタ４２までの距離ｄｍ（２点目の場合はｄ２）の測定と、補正対象のＣＭＭ３０による測定点Ｕｍ（２点目の場合はＵ２）の座標ＵＣＭＭｍ（２点目の場合はＵＣＭＭ２）の測定を同時に行う。
【００４０】
一方、δＳ＞δＳＬでステップ２１０の判定結果が否の場合は、追尾式レーザ干渉計本体５０がレトロリフレクタ４２の移動中にずれたと判定して、ステップ２３０でカウンタＥＴの値を、それまでの値ＥＴｍ−１（２点目の場合はＥＴ１）に１を加えた値に変更し、ステップ２４０で変位量δｘｓとδｙｓの値を０にリセットして初期化する。その後、ステップ２２０に進み、距離ｄｍ（２点目の場合はｄ２）と座標ＵＣＭＭｍ（２点目の場合はＵＣＭＭ２）の値の測定を同時に行う。
【００４１】
ステップ２２０終了後、ステップ２５０に進み、前出ステップ２１０と同様の判定を行う。ステップ２５０の判定結果が否の場合は、ステップ２６０、２７０に進み、前出ステップ２３０、２４０と同様の処理を行う。
【００４２】
一方、ステップ２５０の判定結果が正の場合は、ステップ２８０に進み、測定したｄｍ、ＵＣＭＭｍ、およびこのときのカウンタＥＴの値ＥＴｍを、追尾式レーザ干渉計４０のデータ処理装置９４に記憶する。
【００４３】
全ての測定点Ｕｍで測定が終了したかをチェックするステップ２９０の判定結果が正になるまで、上記ステップ２００〜２８０の手順を繰り返して、予め決められた全ての測定点Ｕ１〜Ｕｍにレトロリフレクタ４２を移動させて測定を行い、レトロリフレクタ４２までの距離ｄ１〜ｄｍ、補正対象のＣＭＭ３０で測定した測定点Ｕ１〜Ｕｍの座標ＵＣＭＭ１〜ＵＣＭＭｍ、及びカウンタＥＴの値ＥＴｍを記憶する。
【００４４】
上記ステップ１００〜２９０の配設位置Ｐ１からの測定が終了したら、次に追尾式レーザ干渉計本体５０を移動させて配設位置Ｐ２からの測定を同様に行い、その後同様に配設位置Ｐ３および配設位置Ｐ４からの測定を行う。
【００４５】
上記配設位置Ｐ１〜Ｐ４からの測定が終了したら、測定したデータを用いて、ＣＭＭ３０の空間精度パラメータの算出を行う。この算出の際、もし、測定中に追尾式レーザ干渉計本体５０の位置がずれていた場合には、ずれの前後のデータを、元の配設位置（例えばＰ１）とは別の配設位置（例えばＰ５）から測定したデータであるとして取り扱って、ＣＭＭ３０の空間精度パラメータの算出を行う。
【００４６】
例えば、追尾式レーザ干渉計本体５０を配設位置Ｐ１に設置して、レトロリフレクタ４２の位置を変えてｍ＝１００回の測定を行なっている際に、測定開始からｍ＝５０回目の測定終了までは追尾式レーザ干渉計本体５０の位置ずれがなく、ｍ＝５０回目の測定が終了してから、５１回目の測定が始まるまでの間に、意図しない外力により、追尾式レーザ干渉計本体５０の位置がδＳＬ以上ずれたとする。また、その後、ｍ＝１００回の測定が終了するまでに、δＳＬ以上の位置ずれが生じなかったとする。
【００４７】
このとき、記録されたｍ＝１〜５０回目の測定のときのカウンタＥＴの値、つまりＥＴ１〜ＥＴ５０は０であり、５１回目〜１００回目の測定のときのカウンタＥＴの値（ＥＴ５１〜ＥＴ１００）は１になっている。これを用いて、５１回目〜１００回目の測定データの距離(ｄｍおよび座標ＵＣＭＭｍ)を、図７及び図８に示すように、それまでの配設位置Ｐ１からではなく新しい配設位置Ｐ５から測定したものとしてＣＭＭ３０の空間精度パラメータの算出を行う。この際、配設位置Ｐ５の位置は、他の配設位置Ｐ１〜Ｐ４と同様に、長さの測定データの連立方程式を解くことにより求める。
【００４８】
位置ずれの回数が、ｎ回になった場合は、同様に新しい配設位置Ｐの数をｎ個増やしてＣＭＭ３０の空間精度パラメータの算出を行う。
【００４９】
前記実施形態に示した装置および方法を用いることにより、追尾式レーザ干渉計本体５０の位置が、予め設定された閾値δＳＬ以上変位した場合に、これを検知することができる。また、この閾値δＳＬ以上の変位発生前後のデータを、追尾式レーザ干渉計本体５０の配設位置Ｐが異なるデータとして扱ってＣＭＭ３０の空間補正パラメータを算出することにより、意図しない外力などにより、追尾式レーザ干渉計本体５０の位置がずれても、算出した空間補正パラメータは、この位置ずれの影響を受けない。従って、追尾式レーザ干渉計４０によって測定する空間補正パラメータの信頼性が向上する。
【００５０】
なお、実施形態においては本発明がＣＭＭの空間精度補正パラメータの測定に用いられていたが、本発明の適用対象はこれに限定されず、追尾式レーザ干渉計を用いて移動体を複数の測定点に移動し、同じ配設位置から各測定点の位置を検出する際に同様に適用することができる。
【符号の説明】
【００５１】
３０…三次元座標測定機（ＣＭＭ）
３２…定盤
３８…Ｚ軸スピンドル
４０…追尾式レーザ干渉計
４２…レトロリフレクタ
５０…追尾式レーザ干渉計本体
７０…光学測定装置
７２…レーザ干渉（測長）計
７４…レーザ光
７６…追尾用光学装置
７８…光位置検出器
８０…２軸回転装置
８１…ホルダ
９０…ベース板
９２…２次元スケール
９４…データ処理装置
Ｏ…基準点
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５…配設位置
【図１】
0006550621.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0006550621.tif 000009