(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性を有するプランジャと、
前記プランジャの周囲に巻回するように配置されたコイルばねと、を有するプローブピンであって、
前記プランジャは、
前記コイルばねの一端から突出する鉤型形状のプランジャ本体と、
前記コイルばねの他端から突出する端子と、を有し、
前記プランジャ本体の先端部に設けた第１接点と、
前記端子の先端部に設けた第２接点と、を同一方向に向け、
前記プランジャ本体が、
前記コイルばねの軸心に直交する方向に延在し、かつ、前記第１接点を備えた第１延在部と、
前記第１延在部と平行に延在する第２延在部と
を有し、
平行に延在した一対の前記第１延在部と前記第２延在部とが蛇腹状の基幹部で連結されコ字形状を有している、プローブピン。
【請求項２】
導電性を有するプランジャと、
前記プランジャの周囲に巻回するように配置されたコイルばねと、を有するプローブピンであって、
前記プランジャは、
前記コイルばねの一端から突出する鉤型形状のプランジャ本体と、
前記コイルばねの他端から突出する端子と、を有し、
前記プランジャ本体の先端部に設けた第１接点と、
前記端子の先端部に設けた第２接点と、を同一方向に向け、
前記プランジャ本体が、
前記コイルばねの軸心に直交する方向に延在し、かつ、前記第１接点を備えた第１延在部と、
前記第１延在部と平行に延在する第２延在部と
を有し、
平行に延在した一対の前記第１延在部と前記第２延在部とが、湾曲する基幹部で連結され、Ｕ字形状を有している、プローブピン。
【請求項３】
前記プランジャの両側端面から側方に突出するばね保持部と前記第２延在部との間に、前記コイルばねが保持されている、請求項１または２のプローブピン。
【請求項４】
導電性を有するプランジャと、
前記プランジャの周囲に巻回するように配置されたコイルばねと、を有するプローブピンであって、
前記プランジャは、
前記コイルばねの一端から突出する鉤型形状のプランジャ本体と、
前記コイルばねの他端から突出する端子と、を有し、
前記プランジャ本体の先端部に設けた第１接点と、
前記端子の先端部に設けた第２接点と、を同一方向に向け、
前記プランジャ本体と前記端子とを一体成形した、プローブピン。
【請求項５】
前記プランジャが、別体の前記プランジャ本体と前記端子とを、前記コイルばねの内部で係合一体化している、請求項１から４のいずれか１つのプローブピン。
【請求項６】
前記第１接点が、Ｖ字形状の切り欠き部を有する、請求項１から５のいずれか１つのプローブピン。
【請求項７】
前記第１接点が、一対の湾曲する弾性爪部で形成されている、請求項１から５のいずれか１つのプローブピン。
【請求項８】
前記第１接点が、円弧状に湾曲した弾性片で形成されている、請求項１から５のいずれか１つのプローブピン。
【請求項９】
導電性を有するプランジャと、前記プランジャの周囲に巻回するように配置されたコイルばねと、を有するプローブピンであって、前記プランジャが、前記コイルばねの一端から突出する鉤型形状のプランジャ本体と、前記コイルばねの他端から突出する端子と、を有し、前記プランジャ本体の先端部に設けた第１接点と、前記端子の先端部に設けた第２接点と、が同一方向に向けられた、プローブピンと、
前記コイルばねを挿通できる貫通孔を有するベースと、
前記プランジャを挿通できるスロットを有するカバーと
を有し、
前記プローブピンが、前記ベースに前記カバーを重ねあわせたときに連通する前記貫通孔及び前記スロットに収納されている、検査治具。
【請求項１０】
前記スロットが、前記コイルばねを抜け止めする断面形状を有する、請求項９の検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプローブピン、および、そのプローブピンを備えた検査治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プローブピンとしては、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、一端にコンタクト部が設けられた同一形状の２つのコンタクトピンと、コイルばねとを備えている。そして、２つのコンタクトピンは、コンタクト部が露出するようにコイルばねの両端からそれぞれ挿入されており、コイルばねの内部で、互いに直交し、かつ、スライド移動可能に結合されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００８−５１６３９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、近年、被検査物の複雑化および多様化に伴い、プローブピンが組み込まれた検査治具の配置に制限が課せられる場合が増えている。例えば、被検査物の上方に検査治具を設置するスペースを確保できない場合がある。このような場合には、前記プローブピンでは、両端のコンタクト部が被検査物の端子と検査装置の端子とに同時に接触できず、導通検査を行えないという問題がある。
【０００５】
本発明は、前記問題点に鑑み、被検査物の上方に検査治具を設置できるスペースが無くとも、被検査物を検査できるプローブピン、および、これを用いた検査治具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るプローブピンは、前記課題を解決すべく、導電性を有するプランジャと、前記プランジャの周囲に巻回するように配置されたコイルばねと、を有するプローブピンであって、前記プランジャは、前記コイルばねの一端から突出する鉤型形状のプランジャ本体と、前記コイルばねの他端から突出する端子と、を有し、前記プランジャ本体の先端部に設けた第１接点と、前記端子の先端部に設けた第２接点と、を同一方向に向けた構成としてある。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、本発明に係るプローブピンの第１，第２接点が、同一方向に向いている。このため、被検査物の上方に検査治具を設置できるスペースがなくとも、第１接点および第２接点が、被検査物の端子と検査装置の端子とにそれぞれ同時に接触できるプローブピンが得られる。
【０００８】
本発明の実施形態としては、前記プランジャ本体は、前記コイルばねの軸心に直交する方向に延在し、かつ、前記第１接点を備えた第１延在部を、有していてもよい。
本実施形態によれば、被検査物の検査に、第１延在部以上の高さを必要としないので、被検査物の上方に大きな設置スペースを必要としない。
【０００９】
本発明の他の実施形態としては、前記プランジャ本体が、前記第１延在部と平行に延在する第２延在部を、有していてもよい。
本実施形態によれば、第２延在部はストッパとして機能し、第２延在部よりも上方にコイルばねが移動できないので、組立工程における取り扱いが容易である。
【００１０】
本発明の別の実施形態としては、前記プランジャ本体が、平行に延在した一対の前記第１延在部と前記第２延在部とを有するコ字形状を有していてもよい。
本実施形態によれば、被検査物をコ字形状のプランジャ本体に押し当てることにより、被検査物を位置決めでき、検査精度が高い。
【００１１】
本発明の異なる実施形態としては、前記プランジャ本体が、平行に延在した一対の前記第１延在部と前記第２延在部とを蛇腹状の基幹部で連結することにより、コ字形状を有していてもよい。また、前記プランジャ本体が、平行に延在した一対の前記第１延在部と前記第２延在部とを円弧状に湾曲した基幹部で連結することにより、Ｕ字形状を有していてもよい。
本実施形態によれば、プランジャ本体の支点間距離が長く、弾性変形しやすので、被検査物を傷つけにくい。また、応力集中が生じにくく、疲労破壊が生じにくいので、プローブピンの寿命が長い。
【００１２】
本発明の他の実施形態としては、前記プランジャの両側端面から側方に突出するばね保持部と前記第２延在部との間に、前記コイルばねを保持してもよい。
本実施形態によれば、コイルばねがプローブピンから脱落することがなく、組立工程における取り扱いが容易である。
【００１３】
本発明の別の実施形態としては、前記プランジャを、別体の前記プランジャ本体と前記端子とを、前記コイルばねの内部で係合一体化してもよい。
本実施形態によれば、コイルばねの両端から、プランジャ本体と端子とをそれぞれ組み付けることができるので、プローブピンの組立性が向上する。
【００１４】
本発明の異なる実施形態としては、前記プランジャを、前記プランジャ本体と前記端子とを一体成形してもよい。
本実施形態によれば、部品点数が少なくなり、部品の管理が容易になる。また、１つの構成物品にコイルばねを圧入するだけでプローブピンを生産できるので、組立工数を低減できる。
【００１５】
本発明の他の実施形態としては、前記第１接点が、Ｖ字形状の切り欠き部を有していてもよい。
本実施形態によれば、被検査物の被検査部に第１接点が複数個所で接触するので、接触信頼性が高まる。
【００１６】
本発明の別の実施形態としては、前記第１接点を、一対の湾曲する弾性爪部で形成してもよい。
本実施形態によれば、弾性爪部を被検査物の被検査部に圧接して検査する際に、弾性爪部の先端がたわみ、ワイピング作用を行う。このため、被検査物の被検査部の汚れを除去でき、接触信頼性が高い。
【００１７】
本発明の異なる実施形態としては、前記第１接点を、円弧状に湾曲した弾性片で形成してもよい。
本実施形態によれば、円弧状に湾曲した弾性片が弾性変形するので、被検査物の被検査部に過度な接触圧が加わらず、被検査物を傷つけにくい。また、弾性片の自由端部がプランジャ本体の第１延在部と短絡するので、接触抵抗の小さいプローブピンが得られる。
【００１８】
本発明に係る検査治具は、前記コイルばねを挿通できる貫通孔を有するベースと、前記プランジャを挿通できるスロットを有するカバーと、前記ベースに前記カバーを重ねあわせたときに連通する前記貫通孔及び前記スロットに収納された上述のプローブピンと、を有している。
本発明によれば、プローブピンの第１，第２接点が、同一方向に向いている。このため、被検査物の上方に検査治具を設置できるスペースがなくとも、第１接点および第２接点が、被検査物の端子と検査装置の端子とにそれぞれ同時に接触できる検査治具が得られる。
【００１９】
本発明の実施形態としては、前記スロットが、前記コイルばねを抜け止めする断面形状を有していてもよい。
本実施形態によれば、プローブピンが上方へ移動する際にコイルばねが弾性圧縮され、第１，第２接点の接触圧を高めるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係る第１実施形態を示すプローブピンを組み込んだ検査治具の全体斜視図である。
【図２】図１に示す検査治具をＩＩ-ＩＩ線に沿って切断した断面を示す断面斜視図である。
【図３】図１に示す検査治具の分解斜視図である。
【図４】図４Ａは、本発明に係るプローブピンの第１実施形態を示す全体斜視図、図４Ｂは図４Ａに示すプローブピンの分解斜視図である。
【図５】図４Ｂにおける第１プランジャの下端から下方に伸びる一対の弾性腕部を示す部分拡大斜視図である。
【図６】図４Ｂにおける第１プランジャの一対の弾性腕部と第２プランジャの上部に設けられる係合孔との係合状態を表す部分拡大斜視図である。
【図７】図４Ｂにおける第２プランジャの上端の部分拡大斜視図である。
【図８】図１に示す検査治具に組み込んだプローブピンの使用前の状態を示し、かつ、図１に示す検査治具をＩＩ-ＩＩ線に沿って切断した断面を表す断面斜視図である。
【図９】図８における階段状のＩＸ-ＩＸ線に沿って切断した断面を表す正面断面図である。
【図１０】図１に示す検査治具に組み込んだプローブピンの使用途中の状態を示し、かつ、図１に示す検査治具をＩＩ-ＩＩ線に沿って切断した断面を表す断面斜視図である。
【図１１】図１０における階段状のＸＩ-ＸＩ線に沿って切断した断面を表す正面断面図である。
【図１２】図１に示す検査治具に組み込んだプローブピンの使用途中の状態を示し、かつ、図１に示す検査治具をＩＩ-ＩＩ線に沿って切断した断面を表す断面斜視図である。
【図１３】図１２における階段状のＸＩＩＩ-ＸＩＩＩ線に沿って切断した断面を表す正面断面図である。
【図１４】図１に示す検査治具に組み込んだプローブピンの使用後の状態を示し、かつ、図１に示す検査治具をＩＩ-ＩＩ線に沿って切断した断面を表す断面斜視図である。
【図１５】図１４における階段状のＸＶ-ＸＶ線に沿って切断した断面を表す正面断面図である。
【図１６】本発明に係る第２実施形態を示すプローブピンの部分拡大斜視図である。
【図１７】本発明に係る第３実施形態を示すプローブピンの部分拡大斜視図である。
【図１８】本発明に係る第４実施形態を示すプローブピンの部分拡大斜視図である。
【図１９】本発明に係る第５実施形態を示すプローブピンの部分拡大斜視図である。
【図２０】本発明に係る第６実施形態を示すプローブピンの部分拡大斜視図である。
【図２１】本発明に係る第７実施形態を示すプローブピンの全体斜視図である。
【図２２】本発明に係る第８実施形態を示すプローブピンのプランジャの全体斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の実施形態を説明するにあたり、図面に表された構成を説明するうえで、「上」、「下」、「左」、「右」等の方向を表す用語、および、それらを含む別の用語を使用するが、それらの用語を使用する目的は図面を通じて実施形態の理解を容易にするためである。
したがって、それらの用語は、本発明の実施形態が実際に使用されるときの方向を示すものとは限らないし、それらの用語によって特許請求の範囲に記載された技術的範囲が限定的に解釈されるべきではない。
【００２２】
[第１実施形態]
図１ないし図１５に示すように、本発明に係る第１実施形態のプローブピンを組み込んだ検査治具について説明する。
【００２３】
本実施形態に係る検査治具１０は、図２に示すように、ハウジング２０とプローブピン１５とを有する。ハウジング２０は、ベース２１とカバー２５とを有し、これらによってプローブピン１５が保持されている。
【００２４】
ベース２１は、図３に示すように、２つの貫通孔２２が設けられている。２つの貫通孔２２は、ベースの上下面に対して垂直に、かつ、平行に貫通している。なお、ベース２１は、例えば、耐熱性を備えた板状の樹脂成形品である。
【００２５】
カバー２５は、図１に示すように、ベース２１に対応した平面形状を有する板状の樹脂成形品である。そして、カバー２５は、図２に示すように、所定の位置に２つのスロット２６，２６が設けられている。スロット２６は、カバー２５の上下面に対して垂直に、かつ、平行に貫通している。また、スロット２６は、横断面矩形状を有している。そして、スロット２６と貫通孔２２とは、ベース２１とカバー２５とを重ね合わせたときに連通する。
【００２６】
本実施形態に係るプローブピン１５は、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０からなるプランジャ１６と、コイルばね５０とで構成されている。
【００２７】
第１プランジャ３０は、図４Ｂに示すように、略コ字形のプランジャ本体３１を有する。プランジャ本体３１は、上下方向に垂直に伸びる基幹部３９の両端から水平方向に平行に伸びる第１延在部３２と第２延在部３３とを有する。第１延在部３２には、その左端部を下方に伸ばして横断面矩形の第１接点３４が設けられている。第２延在部３３は、略中央部から下方に伸びる第１挿入部３５が形成されている。第１挿入部３５の下端部には、一対の第１弾性腕部３６ａと第２弾性腕部３６ｂとが、下方に平行に伸びている。また、第１弾性腕部３６ａと第２弾性腕部３６ｂは、異なる長さで形成されている（図５）。そして、第１、第２弾性腕部３６ａ，３６ｂの下端部には、互いに対向する方向に突出する圧接用突起３７，係合用突起３８がそれぞれ形成されている。なお、第１プランジャ３０の各部分は、一体成形されている。
【００２８】
第２プランジャ４０は、図４Ｂに示すように、端子４１と、端子４１の上端から上方に伸びる第２挿入部４２とを有する。端子４１の下端部は、第２接点４６として機能する。第２挿入部４２は、その上部に係合孔４３と、前記係合孔４３の下部に平面部４４とを有する。係合孔４３の大きさ、形状、位置は、第１プランジャ３０の係合用突起３８が係合するように設計されている。また、平面部４４の板厚は、第１プランジャ３０の圧接用突起３７が圧接するように設計されている。そして、端子４１と第２挿入部４２との境界に位置する両側端面から、すなわち、その巾方向の両側から外側に向けて一対のばね保持部４５がそれぞれ突出している。なお、第２プランジャ４０の各部分は一体成形されている。
【００２９】
コイルばね５０は、図４Ｂに示すように、弾性を有する金属線材を螺旋状に巻いて形成されている。
【００３０】
第１，第２プランジャ３０，４０は、各々導電性を有しており、例えば、それぞれ一枚の板材から打ち抜いて形成してもよく、あるいは、導電性の金属板を電気鋳造で形成してもよい。また、第１，第２プランジャ３０，４０は、必要に応じ、非導電性材料の表面に金属をめっき、あるいは、コーティング等の表面処理を行い、形成してもよい。
【００３１】
次にプローブピン１５の組み立て方法を、図４ないし図７を用いて説明する。
【００３２】
まず、図４Ｂに示すように、第１プランジャ３０の第１挿入部３５をコイルばね５０の軸心Ｐに沿って組み込む。そして、第２延在部３３がコイルばね５０の一端に当接するまでコイルばね５０の内部に第１挿入部３５を挿入する。
【００３３】
そして、コイルばね５０の他端から軸心Ｐに沿って第２プランジャ４０の第２挿入部４２を挿入する。この際、上方から見て、第１，第２プランジャの主面が直交するように向きを調整して挿入する。これにより、図６に示すように、コイルばね５０の内部で第１プランジャ３０の第１弾性腕部３６ａと第２弾性腕部３６ｂとの間に、第２プランジャ４０の第２挿入部４２が圧入される。
【００３４】
この状態で、第２弾性腕部３６ｂの係合用突起３８が第２プランジャ４０の係合孔４３に係合する。そして、第１弾性腕部３６ａの圧接用突起３７が第２プランジャ４０の平面部４４に圧接して、係合状態を維持する。これにより、第１，第２プランジャ３０，４０は一体となって軸心Ｐに沿って移動できる。また、第１弾性腕部３６ａの圧接用突起３７の接触状態が維持され、第１，第２プランジャ３０，４０間に安定した電気的接続状態を維持できる。
【００３５】
また、図４Ａに示すように、コイルばね５０は、圧縮された状態で第２延在部３３とばね保持部４５との間で保持される。さらに、第１プランジャ３０の第１接点３４と、第２プランジャ４０の第２接点４６とが同一方向に面している。
【００３６】
次に、検査治具１０の製造方法について図１ないし３および図１１を用いて説明する。
【００３７】
まず、図２に示すように、上述のように組み付け作られたプローブピン１５をハウジング２０に組み込む。例えば、図３に示すように、ベース２１の貫通孔２２に第２プランジャ４０の第２接点４６を挿入する。そして、ベース２１の上面に第２延在部３３が当接するまで挿入する。このとき、コイルばね５０も一緒に貫通孔２２内部に収納される。なお、図２に示すように、ベース２１の厚みは、第２プランジャ４０の端子４１がベース２１の下面から突出するように設計されている。
【００３８】
次に、前記ベース２１にカバー２５を重ね合わせ、スロット２６に第１プランジャ３０のプランジャ本体３１を挿入し、２本のプローブピン１５を上下動可能に支持する。
【００３９】
ベース２１の貫通孔２２の内部には、コイルばね５０が嵌め込まれている。そして、コイルばね５０の直径は、カバー２５のスロット２６の巾寸法Ｄ１の長さより大きい。このため、コイルばね５０はカバー２５の下面に接触し、コイルばね５０を抜け止めできる。この結果、図１１に示すように、第２プランジャ４０が上下に移動すると、第２プランジャ４０のばね保持部４５によってコイルばね５０は弾性変形する。
【００４０】
さらに、図２に示すように、第１プランジャ３０の第２延在部３３の長さは、ベース２１の貫通孔２２の直径より大きい。このため、第２延在部３３はベース２１の上面に当接し、ストッパとして機能し、貫通孔２２から抜け落ちることはない。
【００４１】
次に、検査治具１０の使用方法について、図８ないし図１５を用いて説明する。
【００４２】
まず、図８および図９に示すように、電源用基板６０の表面から露出し、かつ、外部回路に接続した検査用第２端子６１の直上に、検査治具１０に組み付けた第２プランジャ４０の第２接点４６を位置決めする。
【００４３】
次に、図１０および図１１に示すように、検査治具１０を下降し、第２接点４６を検査用第２端子６１に接触させる。さらに、検査治具１０を下降させると、コイルばね５０が弾性圧縮され、プローブピン１５が上方に押し上げられる。そして、第２延在部３３がカバー２５の上面直前まで押し上げられ、停止する。
【００４４】
このように、第２プランジャ４０の第２接点４６と、検査用第２端子６１とが圧接し、プローブピン１５と電源用基板６０とが電気的に接続する。特に、コイルばね５０が弾性圧縮されるので、第２プランジャ４０に下方への付勢力が働いている。このため、第２プランジャ４０の第２接点４６と検査用第２端子６１との接触圧を確保できる。また、プローブピン１５が押し上げられることにより、第１プランジャ３０の第１接点３４とカバー２５の上面との間に、後述するＩＣチップ７０を設置するためのスペースを確保できる。
【００４５】
次に、図１２および図１３に示すように、検査治具１０に、例えば、図示しない搬送機のアーム尖端に真空吸着したＩＣチップ７０を搬送する。そして、第１プランジャ３０のプランジャ本体３１にＩＣチップ７０を押し当て、位置決めする。このとき、第１プランジャ３０の第１接点３４の直下にＩＣチップ７０の検査用第１端子７１が位置決めされる。
【００４６】
なお、ＩＣチップ７０は、図示しない内部回路を有し、この内部回路の両端に検査用第１端子７１が接続されている。そして、検査用第１端子７１は、ＩＣチップ７０の上面から他の導電部材に電気接続できるように露出している。
【００４７】
次に、図１４および図１５に示すように、検査治具１０を、上昇させる。このとき、図１５に示すように、コイルばね５０の復帰力によってプローブピン１５が下方に付勢されている。そして、第１プランジャの第１接点３４とＩＣチップ７０の検査用第１端子７１とが圧接し、検査治具１０が停止する。
【００４８】
このとき、電源用基板６０の検査用第２端子６１と第２プランジャ４０の第２接点４６とが所定の接触圧を確保している。このため、電源用基板６０の検査用第２端子６１とＩＣチップ７０の検査用第１端子７１とが電気的に接続され、ＩＣチップ７０に電流が流れる。その結果、ＩＣチップ７０の内部回路が正常に導通するか否かを検査でき、ＩＣチップ７０が不良品か否かを判別できる。
【００４９】
[第２実施形態]
図１６は、本発明に係るプローブピン１５の第２実施形態を示している。前記第１実施形態と相違する点は、第１接点３４の接点面に略V字状の切り欠き部３４ａを設けた点である。なお、以下の実施形態において、前記第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照番号を付して、詳細な説明を省略する。
【００５０】
これにより、第１接点３４が、被検査物の検査用第１端子７１に複数個所で接触可能となり、接触信頼性が向上する。
【００５１】
[第３実施形態]
図１７は、本発明に係るプローブピン１５の第３実施形態を示している。第３実施形態では、第１接点３４に一対の弾性爪部３４ｂ、３４ｂを設けてある。弾性爪部３４ｂは、その先端が内側に湾曲した形状をしている。
【００５２】
これにより、一対の弾性爪部３４ｂが被検査物の検査用第１端子７１に圧接する際に、弾性爪部３４ｂの先端が歪んでワイピング作用を行う。このため、検査用第１端子７１の汚れ等を原因とする接触不良を防止できる。
【００５３】
[第４実施形態]
図１８は、本発明に係るプローブピン１５の第４実施形態を示している。第４実施形態では、第１接点３４が円弧状の弾性片３４ｃを有している。
【００５４】
円弧状の弾性片３４ｃが弾性変形することにより、被検査物の検査用第１端子７１に過大な接触圧が加わらず、被検査物を傷つけにくい。また、弾性片３４ｃの自由端部がプランジャ本体３１の第１延在部３２に短絡するので、接触抵抗の小さいプローブピン１５が得られる。
【００５５】
[第５実施形態]
図１９は、本発明に係るプローブピン１５の第５実施形態を示している。第５実施形態では、第１プランジャ３０のプランジャ本体３１が略Ｕ字形である。すなわち、第１延在部３２と第２延在部３３とを連結する基幹部３９が湾曲している。
【００５６】
これにより、プランジャ本体３１が弾性変形しやすく、被検査物を傷つけにくい。また、プランジャ本体３１に応力集中が生じにくいので、疲労破壊が生じにくく、寿命の長いプローブピン１５が得られる。
【００５７】
[第６実施形態]
図２０は、本発明に係るプローブピン１５の第６実施形態を示している。第６実施形態では、第１プランジャ３０のプランジャ本体３１が蛇腹状の基幹部３９を有している。
【００５８】
これにより、第１プランジャ３０の支点間距離が長いので、弾性変形しやすく、被検査物を傷つけにくい。また、応力集中が生じにくいので、疲労破壊が生じにくく、寿命の長いプローブピン１５が得られる。
【００５９】
[第７実施形態]
図２１は、本発明に係るプローブピン１５の第７実施形態を示している。第７実施形態では、プランジャ１６が略Ｌ字形を有する。そして、第１プランジャ３０は、第１延在部３２と基幹部３９とを備えたプランジャ本体３１と、基幹部３９と同一直線上に伸びる第１挿入部３５と、を有する。また、プランジャ本体３１と第１挿入部３５との境界に位置する両側端面から、一対のばね保持部３１ａ，３１ａが外側に向けてそれぞれ突出している。一対のばね保持部３１ａ，３１ａは、その両端の巾寸法が、ベース２１に設けた貫通孔２２の直径より小さい。
【００６０】
これにより、ばね保持部３１ａは貫通孔２２内に挿通できる。そして、第１延在部３２はスロット２６内に収納できる。
【００６１】
[第８実施形態]
図２２は、本発明に係るプローブピン１５の第８実施形態を示している。第８実施形態は、前述の実施形態のように別体の第１、第２プランジャを係合一体化するものではなく、プランジャ１６全体を単一素材から一体成形してある。なお、別体のプランジャ１６をコイルばね５０に組み付けた後に半田付け等で接続一体化してもよい。
【００６２】
これにより、部品点数が少なくなり、部品の管理が容易になる。また、１つの構成物品にコイルばね５０を圧入するだけでプローブピン１５を生産できる。このため、組立工数が少なくなるとともに、寸法精度の高いプローブピン１５が得られる。さらに、プランジャ１６を一回のプレス作業あるいは電気鋳造作業で生産できるので、生産性が高い。
【００６３】
以上のように本発明の実施形態に係るプローブピン１５を具体的に説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々変更して実施することが可能である。例えば、次のように変形して実施することができ、これらの実施形態も本発明の技術的範囲に属する。
【００６４】
鉤型形状のプランジャは、プランジャ１６がＬ字形状を有し、第１延在部３２が基幹部３９から前記コイルばね５０の軸心Ｐに直交する方向に伸びるものであってもよい。
また、プランジャ１６はＪ字形状を有し、第１延在部３２が、基幹部３９から第１接点３４に向かって湾曲した形状を有していてもよい。
【００６５】
第１接点３４は半円形であってもよい。これにより、片当たりを防止でき、接触信頼性が高まる。
【００６６】
また、第１プランジャ３０の弾性腕部３６の圧接用突起３７，係合用突起３８の形状、大きさは適宜選択できる。
【００６７】
第１プランジャ３０の第１延在部３２は、被検査物の検査用第１端子７１の位置に応じて種々の長さに変更してもよい。
【００６８】
そして、第２プランジャ４０の第２接点４６の形状は、検査用第２端子６１の形状に合わせて種々変形できる。例えば、第２接点４６は尖っていてもよい。
【００６９】
さらに、第２プランジャ４０の係合孔４３は、第１プランジャ３０の弾性腕部３６と係合したときにスライド移動してもよく、貫通していなくてもよい。
【００７０】
また、検査治具１０のハウジング２０に多数の孔を設けておき、多数本のプローブピン１５を組み込めるようにしてもよい。
【００７１】
そして、ベース２１とカバー２５とは、着脱可能な構造を有していてもよい。これにより、プローブピンが１本だけ壊れた場合にベース２１からカバー２５を取り外し、破損したプローブピンを交換できる。
【００７２】
さらに、検査治具１０が固定されており、電源用基板６０が上下左右自由に移動して、検査できるようにしてもよい。
【００７３】
また、被検査物は、ＩＣチップ７０以外、例えば、ＣＰＵチップ等の電子部品であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本実施形態に係る検査治具に限らず、本願発明に係るプローブピンを有するものであれば、他の電子機器に適用してもよい。
【符号の説明】
【００７５】
１０  検査治具
１５  プローブピン
１６  プランジャ
２０  ハウジング
２１  ベース
２２  貫通孔
２５  カバー
２６  スロット
３０  第１プランジャ
３１  プランジャ本体
３２  第１延在部
３３  第２延在部
３４  第１接点
３４ａ  切り欠き部
３４ｂ  弾性爪部
３４ｃ  弾性片
３５  第１挿入部
３６  弾性腕部
３６ａ  第１弾性腕部
３６ｂ  第２弾性腕部
３７  圧接用突起
３８  係合用突起
３９  基幹部
４０  第２プランジャ
４１  端子
４２  第２挿入部
４３  係合孔
４４  平面部
４５  ばね保持部
４６  第２接点
５０  コイルばね
６０  電源用基板
６１  検査用第２端子
７０  ＩＣチップ
７１  検査用第１端子
Ｐ  軸心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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