(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、
前記通気路に流入した気体を前記基板収納空間に供給する複数の開口部を有する気体噴出ノズル部と、を備え、
前記複数の開口部から均一化された流量で気体を流出可能とする気体流量均一化部を有し、
前記気体流量均一化部は、前記通気路と前記開口部との間に形成された分岐路であって、前記通気路からの気体の流れを分岐させる分岐路により構成され、
前記開口部は、前記容器本体の一端部に位置する前記容器本体開口部に向かう方向へ開口している第１開口部と、前記容器本体開口部に向かう方向とは反対の方向に対して鋭角をなす方向へ開口している第２開口部と、を有する基板収納容器。
【請求項２】
前記複数の開口部から均一化された流量で気体を流出可能とする気体流量均一化部を有し、
前記気体噴出ノズル部は、前記容器本体を洗浄する際に、前記開口部の近傍において前記開口部から前記通気路側への洗浄液の流入を阻む洗浄液流入阻害部を有する請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記気体流量均一化部は、前記通気路と前記気体噴出ノズル部の開口部との間に形成された気体滞留室であって、前記通気路と前記気体噴出ノズル部の開口部とを連通し気体が一時的に溜められ加圧されることによって前記通気路からの気体を所定の量で均一に保持可能な気体均一保持部を構成する気体滞留室により構成される請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記壁部は、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し、前記奥壁によって前記壁部の他端部が閉塞され、前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成され、
前記奥壁は、前記容器本体開口部へ向って突出する突出部を有し、
前記突出部は、前記開口部を有し前記気体噴出ノズル部を構成する請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記壁部は、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し、前記奥壁によって前記壁部の他端部が閉塞され、前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成され、
前記気体噴出ノズル部は、前記奥壁の中央部に配置され、
前記気体噴出ノズル部の開口部は、前記容器本体開口部に向って開口している請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記第１開口部は、前記容器本体開口部の向かう方向に指向する半円形状に開口して形成され、
前記第２開口部は、前記容器本体開口部に向かう方向とは反対の方向に対して４５°の角度をなす方向に指向する扇形形状に開口して形成されている請求項１〜請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記第２開口部の扇形形状の開口部の半径は、前記第１開口部の半円形状の開口部の半径よりも大きい請求項６に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハからなる基板を収納して、工場内の工程において搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている（例えば、特許文献１〜特許文献４参照）。【０００３】
容器本体の一端部は、容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。側方基板支持部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。側方基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。【０００４】
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表２０１６−５３８７３２号公報
【特許文献２】特開２０１７−１７２６４号公報
【特許文献３】特開２０１５−１６２５３１号公報
【特許文献４】米国特許第８３８７７９９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記公報に記載されている基板収納容器では、ディフューザへの置換気体の供給（ガスパージ）は、例えば、ディフューザの下部より勢いよく気体（窒素等の不活性ガスあるいは水分が除去（１％以下）されたドライエア（以下、パージガスという））を流し込むことにより行われる。しかし、ディフューザの下部、特に、ディフューザの根元付近においては、ベルヌーイ現象により、パージガスを容器内に吐き出すと同時に容器内の大気も吸い込む為、気体の置換を確実に行うことは困難である。【０００７】
本発明は、基板収納空間において気体の置換を確実に行うことが可能な基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に流入した気体を前記基板収納空間に供給する複数の開口部を有する気体噴出ノズル部と、を備え、前記複数の開口部から均一化された流量で気体を流出可能とする気体流量均一化部を有する基板収納容器に関する。【０００９】
また、前記気体流量均一化部は、前記通気路と前記気体噴出ノズル部の開口部との間に形成された気体滞留室であって、前記通気路と前記気体噴出ノズル部の開口部とを連通し気体が一時的に溜められ加圧されることによって前記通気路からの気体を所定の量で均一に保持可能な気体均一保持部を構成する気体滞留室により構成されることが好ましい。また、前記気体流量均一化部は、前記通気路と前記開口部との間に形成された分岐路であって、前記通気路からの気体の流れを分岐させる分岐路により構成されることが好ましい。【００１０】
また、前記壁部は、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し、前記奥壁によって前記壁部の他端部が閉塞され、前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成され、前記奥壁は、前記容器本体開口部へ向って突出する突出部を有し、前記突出部は、前記開口部を有し前記気体噴出ノズル部を構成することが好ましい。【００１１】
また、前記壁部は、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し、前記奥壁によって前記壁部の他端部が閉塞され、前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成され、前記気体噴出ノズル部は、前記奥壁の中央部に配置され、前記気体噴出ノズル部の開口部は、前記容器本体開口部に向って開口していることが好ましい。【００１２】
また、前記気体噴出ノズル部は、前記容器本体を洗浄する際に、前記開口部の近傍において前記開口部から前記通気路側への洗浄液の流入を阻む洗浄液流入阻害部を有することが好ましい。また、前記気体噴出ノズル部は、前記開口部から気体を下方向へ向けて流出させる下方流出部を有することが好ましい。【００１３】
また、前記気体噴出ノズル部においては、下側の前記開口部において気体が通過する流路の単位面積当たりの広さは、上側の前記開口部において気体が通過する流路の単位面積当たりの広さよりも広いことが好ましい。【００１４】
また、前記開口部は、前記基板収納空間において最も下側に収納されている基板よりも下側の空間へ気体を流通可能な位置に配置されていることが好ましい。また、前記通気路は、前記壁部の外側に形成されているか、前記壁部の内側に形成されているか、前記壁部の位置に形成されているか、のいずれかであることが好ましい。【００１５】
また、前記開口部は、前記容器本体の一端部に位置する前記容器本体開口部に向かう方向へ開口している第１開口部と、前記容器本体開口部に向かう方向とは反対の方向に対して所定の角度をなす方向へ開口している第２開口部と、を有することが好ましい。【００１６】
また、前記第１開口部は、前記容器本体開口部の向かう方向に指向する半円形状に開口して形成され、前記第２開口部は、前記容器本体開口部に向かう方向とは反対の方向に対して４５°の角度をなす方向に指向する扇形形状に開口して形成されていることが好ましい。【００１７】
また、前記第２開口部の扇形形状の開口部の半径は、前記第１開口部の半円形状の開口部の半径よりも大きいことが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、基板収納空間において気体の置換を確実に行うことが可能な基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す拡大側方断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の突出部８を示す拡大上方断面図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２におけるパージガスの流れを示す拡大側方断面図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の容器本体２Ａを示す上方斜視図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の奥壁側ノズル部８Ａを示す上方断面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の奥壁側ノズル部８Ｂを示す側方断面図である。
【図１１】本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の奥壁側ノズル部８Ｂの分岐路８０１１Ｂが分岐している部分を示す拡大側方断面図である。
【図１２】本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の突出部８Ｃを示す側方断面図である。
【図１３】本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の突出部８Ｃを示す拡大側方断面図である。
【図１４】本発明の第５実施形態に係る基板収納容器の容器本体２Ｄを示す拡大側方断面図である。
【図１５】本発明の第６実施形態に係る基板収納容器の容器本体２Ｅを示す拡大側方断面図である。
【図１６】本発明の第７実施形態に係る基板収納容器の奥壁側ノズル部８Ｆを示す拡大平面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。
なお、図４においては、便宜上、給気用フィルタ部９０、リブ２３５、及び、トップフランジ２３６の図示を省略している。
【００２１】
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
【００２２】
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
【００２３】
図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図２等参照）とを備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としての図示しないフロントリテーナを備えている。
【００２４】
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
【００２５】
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が基板支持板状部５と一体成形されて設けられている。
【００２６】
奥側基板支持部６（図２等参照）は、基板収納空間２７内において後述する図示しないフロントリテーナと対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
【００２７】
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。図示しないフロントリテーナは、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。図示しないフロントリテーナは、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
【００２８】
図示しないフロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。図示しないフロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。
【００２９】
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
【００３０】
以下、各部について、詳細に説明する。
図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
【００３１】
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
【００３２】
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
【００３３】
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
【００３４】
図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
【００３５】
図３に示すように、下壁２４の四隅には、通気路２１０として、２種類の貫通孔である給気孔２４２と排気孔２４３が形成されている。本実施形態においては、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２である。給気孔２４２としての貫通孔には、給気用フィルタ部９０が配置されており、排気孔２４３としての貫通孔には、排気用フィルタ部９１が配置されている。従って、給気用フィルタ部９０及び排気用フィルタ部９１の内部の気体の流路は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路２１０の一部を構成する。また、給気用フィルタ部９０と排気用フィルタ部９１とは、壁部２０に配置されており、給気用フィルタ部９０と排気用フィルタ部９１とにおいては、容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能である。
【００３６】
基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置された内装部品である。具体的には、図４等に示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部としての支持壁５２とを有している。板部５１と支持壁５２は、樹脂材料が一体成形されて構成されており、板部５１は、支持壁５２によって支持されている。
【００３７】
板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方には、もう一枚板部５１と平行に板状の部材５９が配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。
【００３８】
また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と平行な板状のガイドの役割をする部材５９は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
【００３９】
支持壁５２は、上下方向Ｄ２及び略前後方向Ｄ１に延びる板状を有している。支持壁５２は、図４に示すように、板部５１の長手方向において所定の長さを有しており、板部５１の側端縁に接続されている。板状の支持壁５２は、板部５１の外側端縁に沿って基板収納空間２７へ湾曲している。
【００４０】
即ち、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた支持壁５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた支持壁５２に接続されている。支持壁５２は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
【００４１】
このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
【００４２】
図４に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１及び支持壁５２と一体成形されて構成されている。従って、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６とは、容器本体２の内部において容器本体２に対して固定される結合した１つの内装部品を構成する。なお、奥側基板支持部６は、基板支持板状部５とは別体、即ち、奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１とは別体で構成されていてもよい。
【００４３】
奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述する図示しないフロントリテーナと対をなすような位置関係を有している。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、奥側端縁支持部６０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
【００４４】
図２等に示すように、奥壁２２は、気体噴出ノズル部としての突出部８を有している。突出部８は、２つで対をなしており、リブ状に容器本体開口部２１へ向って突出し、平行に奥壁２２の上端部から下端部に至るまで延びている。即ち、突出部８は中空の柱状を有している。突出部８の内部空間は、隔壁部８１（図６参照）によって前側の空間と、後側の空間とに区切られている。図６は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の突出部８を示す拡大上方断面図である。
【００４５】
前側の空間は、気体流出前保持室８０３を構成し、後側の空間は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路２１０（図５等参照）に連通する気体滞留室８０１を構成する。
図５は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す拡大側方断面図である。
なお、図５においては、便宜上、給気用フィルタ部９０の図示を省略している。
突出部８は、通気路２１０に流入した気体を基板収納空間２７に供給する複数の開口部８０２を有する。気体滞留室８０１は、パージガスが一時的に溜められ加圧されることによって、通気路２１０と突出部８の開口部８０２との間において、通気路２１０からの気体を所定の量で均一に保持可能な気体均一保持部であって、複数の開口部８０２から均一化された流量でパージガスを流出可能とする気体流量均一化部を構成する気体均一保持部を構成する。
【００４６】
通気路２１０には、気体としての窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア（以下、パージガスという）等が通過可能である。通気路２１０は、図５に示すように、気体流入部２１１と、水平方向延出部２１２とを有しており、水平方向延出部２１２には、気体滞留室８０１の下端部が接続されている。
【００４７】
気体流入部２１１は、下壁２４の後端部に形成され下方向Ｄ２２へ突出し給気孔２４２を形成する円筒状の気体供給装置接続部２０２の内部空間により構成されている。水平方向延出部２１２は、下壁２４の外面（下面）に沿って下壁２４の外側を、気体流入部２１１の上端部から後方向Ｄ１２へ延びており、下壁２４の外面と、下壁２４よりも下側に突出している下側流路形成部２０３との間の空間により構成されている。そして、水平方向延出部２１２に接続されている気体滞留室８０１は、前述のように突出部８の後側の空間によって構成されており、水平方向延出部２１２の後端部から上方向Ｄ２１へ奥壁２２の上端部に至るまで延びている。
【００４８】
隔壁部８１には、気体滞留室８０１からパージガスが流入する微小な流入口８１１が形成されている。流入口８１１は、多数形成されており、流入口８１１の総面積は、開口部８０２の総面積よりも小さい。
【００４９】
図７に示すように、複数の開口部８０２のうちの最も下側の開口部８０２は、基板収納空間２７において最も下側に収納されている基板Ｗよりも下側に配置されており、最も下側に収納されている基板Ｗよりも下側の空間に対向している。気体均一保持部としての気体滞留室８０１においては、通気路２１０からのパージガスが所定の量で均一に保持されているため、このように下側の低い位置における開口部８０２からも、十分な流量のパージガスが流出する。また、開口部８０２は、基板収納空間２７において収納されている複数の基板のうちの隣接する基板Ｗの間の空間に対向する位置関係を有しており、１番上に位置している開口部８０２は、１番上に収納ざれている基板Ｗの上側の空間に対向している。
図７は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２におけるパージガスの流れを示す拡大側方断面図である。
なお、図７においては、便宜上、給気用フィルタ部９０の図示を省略している。
【００５０】
蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
【００５１】
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
【００５２】
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの図示しない下側ラッチ部と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
【００５３】
蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、図示しない下側ラッチ部を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、図示しない下側ラッチ部が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
【００５４】
蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。
【００５５】
フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
【００５６】
上述のような基板収納容器１において、パージガスによるガスパージ（気体の置換）は以下のとおりに行われる。先ず、気体供給装置接続部２０２（図５参照）に設けられた給気用フィルタ部９０（図３参照）を、気体としてのパージガスを供給する図示しない気体供給装置の給気ノズルに接続させる。次に、気体供給装置の給気ノズルから通気路２１０へパージガスを供給する。これによりパージガスは、通気路２１０の気体流入部２１１、水平方向延出部２１２を通り、気体滞留室８０１の下端部から気体滞留室８０１の内部へ流入し、気体滞留室８０１の上端部へ向って勢いよく流れる。そして、パージガスは、図５において矢印で示すように、気体滞留室８０１において一次的に溜められて圧力が高まると、次に、隔壁部８１の流入口８１１から気体流出前保持室８０３へ流入する。
【００５７】
この際、流入口８１１は小さいため、パージガスは、流入口８１１から弱い勢いで気体流出前保持室８０３へ流入する。そしてパージガスは、気体流出前保持室８０３に一次的に溜められる。そして、このように一次的に溜められ加圧されたパージガスは、徐々に開口部８０２から基板収納空間２７へ流出する。
【００５８】
上記構成の本実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路２１０と、通気路２１０に流入した気体としてのパージガスを基板収納空間２７に供給する複数の開口部８０２を有する気体噴出ノズル部としての突出部８と、を備えている。
基板収納容器１は、複数の開口部８０２から均一化された流量で気体を流出可能とする気体流量均一化部（気体滞留室８０１）を有している。
【００５９】
気体流量均一化部を有していない場合には、突出部８の下部においては、ベルヌーイ現象により、パージガスを容器本体２内に流出すると同時に、容器本体２内の大気を吸い込み、置換が上手く出来ないという不具合、即ち、通気路２１０に勢いよく流入するパージガスが気体滞留室８０１に相当する流路に流入して当該流路の上端部から勢いよく基板収納空間２７へ流出し、且つ、当該流路の下端部から基板収納空間２７へあまり流出しないという不具合が従来は発生していた。しかし、通気路２１０からのパージガスが気体滞留室８０１に所定の量で均一に保持されるため、このような不具合を解消することが可能となる。
【００６０】
また、気体流量均一化部は、通気路２１０と気体噴出ノズル部としての突出部８の開口部８０２との間に形成された気体滞留室８０１であって、通気路２１０からの気体が一時的に溜められ加圧されることによって通気路２１０からの気体を所定の量で均一に保持可能な気体均一保持部を構成する気体滞留室８０１により構成される。
【００６１】
上記構成により、通気路２１０から気体滞留室８０１へ流入したパージガスは、気体滞留室８０１において一次的に溜められ、流れの勢いが抑えられる。このため、突出部８の上端部へ勢いよく流れたパージガスが、その勢いを維持したまま、突出部８の上端部の開口部８０２から基板収納空間２７へ流出することを抑えことが可能となる。また、勢いよくパージガスが通過する突出部８の下端部の開口部８０２において、基板収納空間２７内の気体がベルヌーイ現象により突出部８内に引き寄せられることを抑えることが可能となる。
【００６２】
また、壁部２０は、奥壁２２、上壁２３、下壁２４、及び一対の側壁２５、２６を有し、奥壁２２によって壁部２０の他端部が閉塞され、上壁２３の一端部、下壁２４の一端部、及び側壁２５、２６の一端部によって容器本体開口部２１が形成されている。
奥壁２２は、容器本体開口部２１へ向って突出する突出部８を有している。突出部８は、開口部８０２を有し気体噴出ノズル部を構成する。
【００６３】
上記構成により、奥壁２２は奥壁２２から突出する突出部８を有しており、奥壁２２と突出部８との間には、奥壁２２と突出部８との間に回り込む大気が存在する空間は形成されていない。このため、奥壁２２と突出部８との間の大気がパージガスによる気体の置換の際に巻き込まれて攪拌されることは生じない。この結果、効率の良い気体の置換を行うことが可能となる。
【００６４】
また、基板収納空間２７に略円柱形状の気体噴出ノズル部であるディフューザ等の部品を取り付けなくてよいため、容器本体２の洗浄時の清浄性、乾燥性においても改善を図ることが可能となる。また、半導体向けの基板収納容器１に対しては、各種の規定・規格が有り、容器内の寸法制約も厳しいが、突出部８は奥壁２２に設けられており、これらの規定・規格を容易に満たすことができる。
【００６５】
また、開口部８０２は、基板収納空間２７において最も下側に収納されている基板Ｗよりも下側の空間へパージガスを流通可能な位置に配置されている。この構成により、空気よりも軽い窒素等のパージガスが、基板収納空間２７において最も下側に収納されている基板よりも下側の空間に流通しないことを防ぐことが可能となる。
【００６６】
また、通気路２１０は、壁部２０の外側に形成されている。この構成により、壁部２０の内部に通気路２１０を確保することができない場合であっても、通気路２１０を壁部２０の外側に確保できる。即ち、基板収納容器１を取り扱う装置・基板収納容器１・基板収納容器１の製法の制約都合により、最適な構成を採ることが可能となり、基板収納容器１側の自由度を向上させることが可能となる。
【００６７】
次に、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図８は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の容器本体２Ａを示す上方斜視図である。図９は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の奥壁側ノズル部８Ａを示す上方断面図である。
なお、図８においては、便宜上、トップフランジ２３６の図示を省略している。
【００６８】
第２実施形態では、気体噴出ノズル部の構成が、第１実施形態の気体噴出ノズル部を構成する突出部８の構成とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００６９】
図８に示すように、奥壁２２は突出部８を有していない。奥壁２２には、気体噴出ノズル部としての奥壁側ノズル部８Ａが設けられている。
図９に示すように、奥壁側ノズル部８Ａは、一対の略円筒状壁部８２Ａ、中央壁部８３Ａと、とを有しており、これらは一体成形されて構成されている。具体的には、中央壁部８３Ａは、後方向Ｄ１２へ向って凸となる曲率半径の大きな曲面を有しており、左右方向Ｄ３における奥壁２２の中央部の略３分の１程度の部分に対して対向するように配置されている。中央壁部８３Ａには、開口部８０２Ａが形成されている。
【００７０】
開口部８０２Ａは、中央壁部８３Ａにおいて左右方向Ｄ３へ複数列形成されている。各列において開口部８０２Ａは、上下方向Ｄ２に複数形成されている。開口部８０２Ａの上下方向Ｄ２における幅、及び、開口部８０２Ａの左右方向Ｄ３における幅は、上方向Ｄ２１へ進むにつれて、徐々に小さくなっている。即ち、奥壁側ノズル部８Ａにおいては、下側の開口部８０２Ａにおいてパージガスが通過する流路の単位面積当たりの広さは、上側の開口部８０２Ａにおいてパーガスが通過する流路の単位面積当たりの広さよりも広い。開口部８０２Ａは、容器本体開口部２１に向って、即ち、前方向Ｄ１１へ向って開口している。
【００７１】
また、中央壁部８３Ａの後側には、隔壁部８１Ａが設けられている。隔壁部８１Ａは、中央壁部８３Ａと奥壁２２との間に位置するように配置されて中央壁部８３Ａに接続されている。隔壁部８１Ａと奥壁２２との間の空間は、気体滞留室８０１Ａを構成する。隔壁部８１Ａには、多数の流入口８１１Ａが形成されている。流入口８１１Ａの総面積は、開口部８０２Ａの総面積よりも小さい。
【００７２】
一対の略円筒状壁部８２Ａは、それぞれ中央壁部８３Ａの左右方向Ｄ３における両端部に一体的に接続されているとともに、奥壁２２に接続されている。これにより、略円筒状壁部８２Ａの内部空間と、奥壁２２と隔壁部８１Ａとの間の空間と、は連通して１つの空間を形成し、この１つの空間は、気体滞留室８０１Ａを構成する。
【００７３】
上記構成の本実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、基板収納容器１は、壁部２０は、奥壁２２、上壁２３、下壁２４、及び一対の側壁２５、２６を有し、奥壁２２によって壁部２０の他端部が閉塞され、上壁２３の一端部、下壁２４の一端部、及び側壁２５、２６の一端部によって容器本体開口部２１が形成されている。
気体噴出ノズル部を構成する奥壁側ノズル部８Ａは、奥壁２２の中央部に配置されている。気体噴出ノズル部の開口部８０２Ａは、容器本体開口部２１に向って開口している。
【００７４】
上記構成により、奥壁２２に対向し奥壁２２の近傍に位置している基板収納空間２７の部分を利用して、気体噴出ノズル部としての奥壁側ノズル部８Ａを配置させて、パージガスを基板収納空間２７に供給することが可能となる。
【００７５】
また、気体噴出ノズル部としての奥壁側ノズル部８Ａにおいては、下側の開口部８０２Ａにおいてパージガスが通過する流路の単位面積当たりの広さは、上側の開口部８０２Ａにおいてパージガスが通過する流路の単位面積当たりの広さよりも広い。この構成により、奥壁側ノズル部８Ａにおいて下側の開口部８０２Ａからのパージガスの流量を、上側の開口部８０２Ａからのパージガスの流量よりも容易に多くすることが可能となる。
【００７６】
次に、本発明の第３実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１０は、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の奥壁側ノズル部８Ｂを示す側方断面図である。図１１は、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の奥壁側ノズル部８Ｂの分岐路８０１１Ｂが分岐している部分を示す拡大側方断面図である。
【００７７】
第３実施形態では、気体噴出ノズル部としての奥壁側ノズル部８Ｂの構成が、第２実施形態の気体噴出ノズル部を構成する奥壁側ノズル部８Ａの構成とは異なる。これ以外の構成については、第２実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００７８】
通気路２１０Ｂの水平方向延出部２１２Ｂから上方向Ｄ２１へ延びる垂直方向延出部２１３の上端部と開口部８０２Ｂとの間には、通気路２１０Ｂからのパージガスの流れを分岐させ気体流量均一化部を構成する分岐路８０１１Ｂが形成されている。具体的には、図１０に示すように、隔壁部８１Ｂは、１つの流入口８１１Ｂを有している。隔壁部８１Ｂの前方向Ｄ１１には、分岐壁部８１２Ｂが設けられている。図１０において一点鎖線の丸で囲んだ部分に示すように、流入口８１１Ｂに対向する分岐壁部８１２Ｂの部分は、分岐凸部８１３Ｂを有している。
【００７９】
分岐凸部８１３Ｂは、図１１に示すように、流入口８１１Ｂに近づくにつれて（後方向Ｄ１２へ進むにつれて）先端が細くなる形状を有しており、流入口８１１Ｂから分岐凸部８１３Ｂに向って流出するパージガスを、上方向Ｄ２１と下方向Ｄ２２とに分岐させる。分岐凸部８１３Ｂによって分岐されたそれぞれの流れのパージガスの下流側には、吐出口８１４Ｂ（図１０参照）が形成されており、図１０において一点鎖線の丸で囲んだ部分に示すように、吐出口８１４Ｂに対向する分岐壁部８１２Ｂの部分は、分岐凸部８１３Ｂを有している。
【００８０】
同様に、開口部８０２Ｂに至るまで、吐出口８１４Ｂ及び吐出口８１４Ｂに対向する分岐凸部８１３Ｂがパージガスの流路を形成しており、このパージガスの流路は、あたかも、勝ち残り式トーナメント戦の対戦表のような形状を有する。本実施形態では、パージガスは、流入口８１１Ｂから開口部８０２Ｂまでの間に３回分岐されて、開口部８０２Ｂから容器本体開口部２１へ向って流出される。なお、最下流に位置している吐出口８１４Ｂに対向する隔壁部８１Ｂの部分は、分岐壁部８１２Ｂを有していない。
【００８１】
上記構成の本実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
気体流量均一化部は、通気路２１０Ｂと開口部８０２Ｂとの間に形成された分岐路８０１１Ｂであって、通気路２１０Ｂからのパージガスの流れを分岐させる分岐路８０１１Ｂにより構成される。この構成により、確実にパージガスの流れを分岐させることができる。この結果、通気路２１０Ｂから流出したパージガスを、各開口部８０２Ｂから同様の流れで流出させることが可能となり、ベルヌーイ現象を確実に緩和することが可能となる。また、前後方向Ｄ１において少ないスペースで、確実にベルヌーイ現象を確実に緩和することが可能となる。このため、気体噴出ノズル部をコンパクトな構成の気体噴出ノズル部８Ｂとすることが可能となる。
【００８２】
次に、本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１２は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の突出部８Ｃを示す側方断面図である。図１３は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の突出部８Ｃを示す拡大側方断面図である。
【００８３】
第４実施形態では、気体噴出ノズル部を構成する突出部８Ｃの構成が、第１実施形態の気体噴出ノズル部を構成する突出部８の構成とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００８４】
突出部８Ｃは、洗浄液流入阻害部を有している。洗浄液流入阻害部は、開口部８０２Ｃの近傍、より具体的には、開口部８０２Ｃの上側及び下側に、それぞれ前方向Ｄ１１へ進むにつれて下方向Ｄ２２に傾斜する傾斜庇８１５Ｃにより構成されている。傾斜庇８１５Ｃは、互いに平行に、開口部８０２Ｃの上下方向Ｄ２における幅の２〜３倍程度の長さＬで延びている。２〜３倍程度としたのは、２倍よりも短いと、洗浄液が開口部８０２Ｃへ流入することを阻害する効果がほとんど得られないからである。また、３倍よりも長くても、洗浄液が開口部８０２Ｃへ流入することを阻害する効果は３倍の場合とほとんど同じだからである。傾斜庇８１５Ｃは、容器本体２を洗浄する際に、開口部８０２Ｃの近傍において開口部８０２Ｃから通気路２１０Ｃ側への洗浄液の流入を阻む。また、傾斜庇８１５Ｃは、開口部８０２Ｃから気体を下方向Ｄ２２へ向けて流出させる下方流出部を構成する。
【００８５】
上記構成の本実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
突出部８Ｃは、容器本体２を洗浄する際に、開口部８０２Ｃの近傍において開口部８０２Ｃから通気路２１０Ｃ側への洗浄液の流入を阻む洗浄液流入阻害部としての傾斜庇８１５Ｃを有する。この構成により、容器本体２を洗浄する際に、開口部８０２Ｃから洗浄液が通気路２１０Ｃ側へ流入することが抑えられ、洗浄後の乾燥性を高めることが可能である。
【００８６】
また、突出部８Ｃは、開口部８０２Ｃからパージガスを下方向へ向けて流出させる下方流出部としての傾斜庇８１５Ｃを有する。この構成により、パージガスとして窒素（Ｎ２）が用いられる可能性が高いが、Ｎ２は一般に大気より軽いため、開口部８０２Ｃから流出後、基板収納空間２７の上側に集まりやすいが、このように容器本体２の上側に集まることを抑制することが可能となる。
【００８７】
次に、本発明の第５実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１４は、本発明の第５実施形態に係る基板収納容器の容器本体２Ｄを示す拡大側方断面図である。
なお、図１４においては、便宜上、給気用フィルタ部９０の図示を省略している。
【００８８】
第５実施形態では、通気路２１０Ｄの構成が、第１実施形態における通気路２１０Ｄの構成とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００８９】
図１４に示すように、通気路２１０Ｄの水平方向延出部２１２Ｄは、下壁２４の内面（上面）に沿って下壁２４の内側を、気体流入部２１１Ｄの上端部から後方向Ｄ１２へ延びており、下壁２４の内面と、下壁２４よりも内側に突出している上側流路形成部２０３Ｄとの間の空間により構成されている。
【００９０】
この構成により、壁部２０の外部に通気路を確保することができない場合であっても、通気路２１０Ｄを壁部２０の内側に確保できる。即ち、基板収納容器を取り扱う装置・基板収納容器・基板収納容器の製法の制約都合により、最適な構成を採ることが可能となり、基板収納容器側の自由度を向上させることが可能となる。
【００９１】
次に、本発明の第６実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１５は、本発明の第６実施形態に係る基板収納容器の容器本体２Ｅを示す拡大側方断面図である。なお、図１５においては、便宜上、給気用フィルタ部９０の図示を省略している。
【００９２】
第６実施形態では、通気路２１０Ｅの構成が、第１実施形態における通気路２１０の構成とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００９３】
図１５に示すように、通気路２１０Ｅの水平方向延出部２１２Ｅは、上下方向Ｄ２における下壁２４の位置に沿って気体流入部２１１Ｅの上端部から後方向Ｄ１２へ延びており、下壁２４が一部存在しない部分に形成された空間により構成されている。
【００９４】
この構成により、壁部２０の外部及び内部に通気路を確保することができない場合であっても、通気路２１０Ｅを、壁部２０の下壁２４の位置に確保できる。即ち、基板収納容器を取り扱う装置・基板収納容器・基板収納容器の製法の制約都合により、最適な構成を採ることが可能となり、基板収納容器側の自由度を向上させることが可能となる。
【００９５】
次に、本発明の第７実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１６は、本発明の第７実施形態に係る基板収納容器の奥壁側ノズル部８Ｆを示す拡大平面断面図である。
【００９６】
第７実施形態では、第３実施形態のノズル部８Ｂにおいて、開口部８０２Ｂを形成している部分に代えて、第４実施形態の開口部８０２Ｃを形成している部分により構成して、洗浄液流入阻害部としての傾斜庇８１５Ｃを設け、更に、開口部（第１開口部８０２１Ｆ、第２開口部８０２２Ｆ）の形状を、第７実施形態特有の形状としている。これ以外の構成については、第１実施形態、第３実施形態、第４実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００９７】
開口部８０２Ｆは、第１開口部８０２１Ｆと第２開口部８０２２Ｆとを有している。第１開口部８０２１Ｆは、図１６に示すように、容器本体２の一端部に位置する容器本体開口部２１に向かう方向である前方向Ｄ１１（図１６における矢印Ｆ１の指す方向）へ向かって半円形状に開口している。第２開口部８０２２Ｆは、容器本体開口部２１に向かう方向とは反対の方向である後方向Ｄ１２（図１６における矢印Ｆ０の指す方向）に対して所定の角度をなす方向（図１６における矢印Ｆ２の指す方向）へ向かって９０°の角度で開く扇形に開口している。
【００９８】
矢印Ｆ０と矢印Ｆ２とのなす角度ａは、４５°である。扇形形状の第２開口部８０２２Ｆの半径ｒ２は、半円形状の第１開口部８０２１Ｆの半径Ｒ１よりも大きく構成されている。これにより、第２開口部８０２２Ｆは、なす角度ａが４５°の扇形に形成されているが、第２開口部８０２２Ｆの開口の面積は、半円形状の第１開口部８０２１Ｆの開口の面積の８０％程度の広さで確保されている。なお、図１６には、右側の奥壁側ノズル部８Ｆのみが現われているが、容器本体２は、左右対象形状で、図示しない左側の奥壁側ノズル部を備えている。以上の構成により、パージガスは、第１開口部８０２１Ｆから主として矢印Ｆ１の方向へ向けて、また、第２開口部８０２２Ｆから主として矢印Ｆ２の方向へ向けて流出される。
【００９９】
この構成により、容器本体２の一端部に位置する容器本体開口部２１に向かう方向である前方向Ｄ１１と（図１６における矢印Ｆ１の指す方向）、容器本体開口部２１に向かう方向とは反対の方向である後方向Ｄ１２（図１６における矢印Ｆ０の指す方向）に対して所定の角度をなす方向（図１６における矢印Ｆ２の指す方向）とに向けて、適切な流量のパージガスをバランスよく流出することが可能となる。
【０１００】
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
【０１０１】
例えば、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。
【０１０２】
また、例えば、本実施形態では、気体流量均一化部は、気体均一保持部、分岐路により構成されていたが、これらに限定されない。また、気体均一保持部は、気体滞留室８０１、８０１Ａにより構成されていたが、これに限定されない。また、気体滞留室の構成は、本実施形態における気体滞留室８０１、８０１Ａの構成に限定されない。また、分岐路の構成は、分岐路８０１１Ｂに限定されない。
また、本実施形態では、洗浄液流入阻害部は傾斜庇８１５Ｃにより構成されたが、この構成に限定されない。例えば、開口部８０２が疎水性の膜や、ポーラス状の多孔体によって覆いがなされることにより、洗浄液流入阻害部が構成されてもよい。
【０１０３】
また、本実施形態では、流入口８１１が形成された隔壁部８１が用いられたが、この構成に限定されない。例えば、隔壁部８１に代えて、膜や、ポーラス（多孔体）を用いてもよい。
【０１０４】
また、第２実施形態においては、開口部８０２Ａの上下方向Ｄ２における幅、及び、開口部８０２Ａの左右方向Ｄ３における幅は、上方向Ｄ２１へ進むにつれて、徐々に小さくなっていたが、この構成に限定されない。例えば、開口部８０２Ａが膜又は多孔体によって覆われる場合には、膜又は多孔体の通気量が、下側の開口部８０２Ａの方が上側の開口部８０２Ａよりも多くなるように、下側の開口部８０２Ａにおいて気体が通過する流路の単位面積当たりの広さを、上側の開口部８０２Ａにおいて気体が通過する流路の単位面積当たりの広さよりも広く構成すればよい。
【０１０５】
また、第３実施形態では、通気路２１０Ｂと開口部８０２Ｂとの間には、通気路２１０Ｂからの気体の流れを分岐させる分岐路８０１１Ｂを有していたが、このような構成の場合には、分岐した後の流路の面積を調整することによって、吐出口８１４Ｂや開口部８０２Ｂから流出するパージガスの流量を調整してもよい。
【０１０６】
また、第１実施形態においては、開口部８０２は、図６に示すように、前方向Ｄ１１、左方向Ｄ３１、及び、右方向Ｄ３２へ向けて、それぞれ開口していたが、この構成に限定されない。例えば、これら３つの方向のうちのいずれかを採用するかについては、基板収納容器の形状に応じて異なる構成とすればよい。
【０１０７】
また、本実施形態では、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２であったが、この構成に限定されない。例えば、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔の少なくとも１つについても、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔としてもよい。このようにすることで、容器本体２の前端部における最も低い位置からパージガスを供給することが可能となる。
【０１０８】
また、奥側基板支持部は、本実施形態では奥側基板支持部６により構成されたが、この構成に限定されない。例えば、容器本体に一体成形されて構成されたリアリテーナによって、奥側基板支持部が構成されてもよい。
【０１０９】
また、第５実施形態では、通気路２１０Ｄの水平方向延出部２１２Ｄは、下壁２４の内面（上面）に沿って下壁２４の内側を、気体流入部２１１Ｄの上端部から後方向Ｄ１２へ延びており、また、第６実施形態では、通気路２１０Ｅの水平方向延出部２１２Ｅは、上下方向Ｄ２における下壁２４の位置に沿って気体流入部２１１Ｅの上端部から後方向Ｄ１２へ延びていたが、この構成に限定されない。
例えば、通気路の水平方向延出部は、分岐して、下壁の内面（上面）に沿って下壁の内側を、気体流入部の上端部から後方向へ延びるとともに、下壁の外面（下面）に沿って下壁の外側を、気体流入部の上端部から後方向へ延び、そして合流する構成を有していてもよい。
【０１１０】
また、第７実施形態における奥壁側ノズル部８Ｆにおいては、第１開口部８０２１Ｆは、半円形状に開口していたが、この形状に限定されない。また、第２開口部８０２２Ｆは、扇形に開口していたが、この形状に限定されない。また、第２開口部８０２２Ｆは、容器本体開口部２１に向かう方向とは反対の方向である後方向Ｄ１２（図１６における矢印Ｆ０の指す方向）に対して所定の角度をなす方向（図１６における矢印Ｆ２の指す方向）へ向かって９０°の角度で開く扇形に開口していたが、この方向に限定されない。また、矢印Ｆ０と矢印Ｆ２とのなす角度ａは、４５°であったがこの角度に限定されない。
【符号の説明】
【０１１１】
１  基板収納容器
２  容器本体
３  蓋体
８  突出部（気体噴出ノズル部）
８Ａ  奥壁側ノズル部（気体噴出ノズル部）
２０  壁部
２１  容器本体開口部
２２  奥壁
２３  上壁
２４  下壁
２５  第１側壁
２６  第２側壁
２７  基板収納空間
２８  開口周縁部
２１０  通気路
８０１  気体滞留室（気体均一保持部、気体流量均一化部）
８０２、８０２Ｆ  開口部
８１５Ｃ  傾斜庇（洗浄液流入阻害部、下方流出部）
８０１１Ｂ  分岐路（気体流量均一化部）
８０２１Ｆ  第１開口部
８０２２Ｆ  第２開口部
ａ  なす角度
ｒ１、ｒ２  半径
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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