(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、イオンを放出するエミッタを有するガス電界電離イオン源を搭載した集束イオンビーム装置において、
前記エミッタは先鋭化された円錐部を有する単結晶イリジウム尖頭部と異種金属基部とを固着した形状であることを特徴とする集束イオンビーム装置。
【請求項２】
請求項１記載の集束イオンビーム装置において、
前記異種金属細線がタングステン、モリブデン、タンタル、ニオブのうちのいずれかであることを特徴とする集束イオンビーム装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の集束イオンビーム装置において、
前記エミッタは、先鋭化された先端部に１つの｛１００｝結晶面および２つの｛１１１｝結晶面により囲まれた＜２１０＞方位の頂点が１個のイリジウム原子である角錐構造を有することを特徴とする集束イオンビーム装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、ガス電界電離イオン源を搭載した集束イオンビーム装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  以下において、集束イオンビーム（ＦＩＢ：Ｆｏｃｕｓｅｄ  Ｉｏｎ  Ｂｅａｍ）装置のガス電界電離イオン源（ＧＦＩＳ：Ｇａｓ  Ｆｉｅｌｄ  Ｉｏｎ  Ｓｏｕｒｃｅ）におけるイオンを発生する先鋭化した針状電極をティップ（Ｔｉｐ）と呼ぶ。
従来、ガス電界電離イオン源を搭載した集束イオンビーム装置において高分解能の画像を得るためにティップの先端が数個程度の原子で構成されるまで先鋭化されている。【０００３】  まず、ガス電界電離イオン源のイオン発生原理について図１０を参照して説明する。
ガス電界電離イオン源室内にイオン化すべきガスが供給され、先鋭化されたティップ５００周辺にはイオン化すべきヘリウムや水素などのガス分子や原子（ここでは代表してガス分子と記載）５０１が存在する。ティップ５００は冷却装置（図示略）により冷却されている。【０００４】  そして、電源５０２によりティップ５００と引出し電極５０３との間に電圧が印加され、ティップ５００の先端の周辺に高電界が発生すると、ティップ５００周辺に漂うガス分子５０１は分極して、分極力によりティップ５００の先端に引き寄せられる。そして、引き寄せられたガス分子５０１はティップ５００の先端の高電界によりイオン化される。発生したイオン５０４は引出し電極５０３の開口部５０３ａから下流のイオン光学系（図示略）を通って試料（図示略）に向かって放出される。【０００５】  このガス電界電離イオン源は、イオン５０４のビーム（イオンビーム）が放出される領域の大きさ、つまり、ガス電界電離イオン源のソースサイズ（実質的なイオン放出領域）は極めて小さいので、輝度が高いイオン源となり、試料上で極めて細いＦＩＢを形成することが可能である。【０００６】  図１１（Ａ）〜（Ｃ）は、従来のティップ５００の概略形状を示している。図１１（Ａ）はティップ５００の全体形状を示す。ティップ５００は直径数１００μｍ以下の細線の先端を電解研磨（ウェットエッチングとも言う）等のプロセスによって細く尖った形状に形成されている。図１１（Ｂ）はティップ５００の先端部Ｐの拡大図であり、ティップ５００は先端部Ｐに微小突起５０５を備えている。微小突起５０５は、図１１（Ｃ）に示すように数段の原子層で形成された略三角錐形状であり、微小突起５０５の頂点部は複数個の原子から構成されている。集束イオンビームを形成する際には最先端（頂点）の原子位置でガス分子のイオン５０４が放出される。以下においては、このような微小突起５０５を角錐構造と呼ぶ。【０００７】  従来、タングステン製ティップを用いたガス電界電離イオン源、及び、タングステン製ティップを用いたガス電界電離イオン源を搭載したイオン顕微鏡（集束イオンビーム装置ともいう）が知られている。一般に、ティップ材は単結晶材料から電解研磨等で作製され、ティップ表面の原子密度が低い結晶面が先鋭化されやすいことが知られている。タンクステンティップの場合は＜１１１＞方向が先鋭化される。タングステンの｛１１１｝結晶面は３回回転対称であり、｛１１０｝結晶面または｛１１２｝結晶面が錐体構造の側面（錐面）となって三角錐構造となる。頂点部は３個の原子（３量体とも呼ばれる）で構成されている構造が安定となり、その３個の原子のそれぞれの位置からイオン放出される。【０００８】  タングステンティップにおいて。先端が数個の原子で構成されるように先鋭化する方法として、窒素または酸素を用いた電界誘起ガスエッチング、熱ファセット、およびリモールディングなどの方法が知られており、これらの方法により再現性良く＜１１１＞方向を先鋭化させることができる。【０００９】  このようなティップ５００はティップアセンブリに取り付けられ、ガス電界電離イオン源を構成する。図１２は、従来のティップアセンブリ５０６の斜視図である���
ティップアセンブリ５０６は、絶縁性のベース部材５０７に固定された１対の通電ピン５０８と、１対の通電ピン５０８の先端部間に接続されたタングステンなどの高融点細線から成るフィラメント５０９と、フィラメント５０９に電気的および機械的に固定された針状のティップ５００と、を備えている。ティップ５００は、スポット溶接などによってフィラメント５０９に固着接続され、通電ピン５０８間に電流を流すことでフィラメント５０９が高温加熱され、その熱がティップ５００に伝導され、ティップ５００を加熱することができる。ティップ５００の先端部からイオンを放出する。１本の針形状のティップ５００は、もともとフィラメント５０９に電気的および機械的に固定された円形断面の細線から成るティップ材を、電解研磨等のプロセスを経て、先端は原子オーダまで先鋭化する。ティップ５００は高純度のタングステンやイリジウムなどの単結晶から成る。【００１０】  図１３は、従来のガス電界電離イオン源５１０の基本構成例である。
ガス電界電離イオン源５１０は、引出し電極５０３と、ティップアセンブリ５０６と、イオン源ガス供給部５１１と、冷却装置５１２と、引出し電源部（図示略）などを備えて動作する。【００１１】  引出し電極５０３は、ティップ５００の先端から離間して配設され、開口部５０３ａを備えている。引出し電極５０３は、ティップ５００から放出したイオン５０４を、開口部５０３ａの下流のイオン光学系に導く。
引出し電源（図示略）は、引出し電極５０３とティップ５００との間に引出し電圧を印加することができ、これによって、ティップ５００の先端でガス分子５０１をイオン化させてイオン５０４を生成し、このイオン５０４を引出し電極５０３側に引き出す。【００１２】  イオン源ガス供給部５１１は、ティップ５００の周囲にイオン化すべきガス分子５０１からなる微量のガス（例えば、ヘリウムガスなど）を供給可能であり、バルブ５１１ａによって流量調整可能にガス導入管５１１ｂを介してイオン源室５１３に連通している【００１３】。
冷却装置５１２は、液体ヘリウムまたは液体窒素などの冷媒によってティップ５００、および、イオン源ガス供給部５１１からイオン源室５１３に供給されるガス分子５０１を冷却する。冷却装置５１２で発生した低温の冷媒は、接続部５１２ａを介してティップアセンブリ５０６を囲む壁面５１４およびガス導入管５１１ｂに接触して、これらとイオン源室５１３内も冷却する。【００１４】  次に、先端に微小突起を有するティップについて、従来の作製プロセスについて説明する。ティップの作製プロセスには、例えば、電解研磨、電界誘起ガスエッチング、熱ファセット、リモーディングなどの手法が知られている。【００１５】  電界誘起ガスエッチングは、電界イオン顕微鏡（ＦＩＭ：Ｆｉｅｌｄ  Ｉｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）によるヘリウムなどを結像ガスとしたＦＩＭ像の観察中に窒素ガスを導入して、タングステンティップをエッチングする方法である。窒素の電界電離強度はヘリウムの電界電離強度に比べて低いため、窒素ガスはＦＩＭ像が観察出来ている領域（つまりヘリウムが電界電離している領域）に近づくことができず、タングステンティップの先端から少し離れたティップ側面に吸着される。そして、窒素ガスはティップ表面のタングステン原子と結合してタングステン窒化物を形成する。タングステン窒化物の電界蒸発強度は低いため、窒素ガスが吸着された先端から少し離れたティップ側面のみが選択的にエッチングされる。このとき、タングステンティップの先端のタングステン原子はエッチングされないため、電解研磨されたティップよりも更に先鋭化された先端を有するティップが得られる（例えば、特許文献１参照）。【００１６】  熱ファセットは、電解研磨後のティップに対して、酸素雰囲気中で加熱することで特定の結晶面を成長させ、ティップの先端に多面体構造を形成する方法である（例えば、特許文献２参照）。
リモールディングは、電解研磨後のティップに対して、超高真空中で加熱および高電圧の印加によりティップの先端に結晶面を形成する方法である（例えば、特許文献３参照）。【００１７】  また、従来、ティップの先端が１個の原子となる構造のティップの形成方法として、タングステンまたはモリブデンのティップ表面に、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、またはこれらの合金をメッキした後に、電解研磨または加熱を施して単一原子で終端させる方法が知られている（例えば、特許文献４参照）。
また、従来、タングステンティップを用いたガス電界電離イオン源を搭載したヘリウムＦＩＢによる走査イオン顕微鏡（ＦＩＢ装置ともいう）が知られている（例えば、非特許文献１参照）。
また、従来、タングステンティップを用いたガス電界電離イオン源を搭載したヘリウムＦＩＢによる走査イオン顕微鏡において、イオンを放出するタングステンティップの先端が３個のタングステン原子から成る３量体で終端されていることが知られている（例えば、非特許文献２参照）。【００１８】  また、従来、ティップの素材としてタングステンより化学的な耐性が強いイリジウムに対し、イリジウム細線の先端が一個の原子である角錐構造を有するティップを形成するには、真空容器内に酸素を導入して加熱すること（熱ファセット）が必須であることが知られている（例えば、特許文献２参照）。【００１９】  また、従来、＜２１０＞イリジウム単結晶ティップの先端に、１つの｛１１０｝結晶面と２つの｛３１１｝結晶面からなる微小な三角錐構造が形成されることが知られている（例えば、非特許文献３参照）。【００２０】  また、従来、先鋭化された＜２１０＞イリジウム単結晶ティップの先端に、熱ファセットで１つの｛１１０｝結晶面と２つの｛３１１｝結晶面からなる微小な三角錐が形成され、さらにその頂点が一個の原子であることが知られている。このイリジウムティップを用いたガス電界電離イオン源が約２２５０秒間（約３７．５分）の連続動作したことが知られている（例えば、非特許文献４参照）。【００２１】  従来例のイリジウム単結晶ティップについて、その先端構造を図１４および図１５に示す。図１４（Ａ）および図１５（Ａ）は従来例のイリジウムティップを＜２１０＞方位から見た角錐構造を示すモデル図である。図１４（Ｂ）および図１５（Ｂ）は結晶面を判り易く示すために模式的に示す図であり、図１４は上記非特許文献３を参考に作成され、図１５は上記非特許文献４を参考に作成されている。【００２２】  図１４（Ａ）および図１５（Ａ）では、各結晶面の最上面（最表面）にあるイリジウム原子５５１が白丸で表示され、最上面以下の内部にあるイリジウム原子４１は灰丸で表示されている。三角錐形状の頂点には１個のイリジウム原子５５１（５５２）が位置し、三角錐形状の稜線に位置するイリジウム原子５５１（５５３）には黒三角印が付されている。図１４（Ｂ）および図１５（Ｂ）では、角錐構造が、３つの錐面５５４ａ、５５４ｂ、５５４ｃの各々が形成する稜線５５５ａ、５５５ｂ、５５５ｃと、１個のイリジウム原子５５１（５５２）による頂点５５６と、を備えていることを示している。【００２３】  図１４（Ｂ）および図１５（Ｂ）の錐面５５４ａは｛１１０｝結晶面であり、錐面５５４ｂ、５５４ｃは、同一の｛３１１｝結晶面である。つまり、イリジウム細線を用いることで、角錐構造は、＜２１０＞イリジウム単結晶ティップの先端に、１つの｛１１０｝結晶面と２つの｛３１１｝結晶面から成り、その頂点にイリジウム原子が１個存在する構造となる。【００２４】  図１４（Ａ）に示す原子配列と図１５（Ａ）に示す原子配列との差異は、錐面５５４ａの底辺を構成する原子５５１の個数が奇数か偶数かであり、図１４（Ａ）に示す原子配列では偶数であり、図１５（Ａ）では奇数である。この底辺を構成するイリジウム原子５５１の数が奇数か偶数かに因って、先端の最上層、つまり頂点のイリジウム原子５５１（５５２）の���下の第２層および第３層を構成するイリジウム原子５５１の配列が異なる。図１４（Ａ）に示す原子配列の第２層は３個のイリジウム原子５５１を備え、図１５（Ａ）に示す原子配列の第２層は６個のイリジウム原子５５１を備えている。これに伴い、図１５（Ａ）に示す角錐構造の頂点のイリジウム原子５５１（５５２）は、３本の稜線５５５ａ、５５５ｂ、５５５ｃの交点に位置する。これに対して、図１４（Ａ）に示す角錐構造の頂点のイリジウム原子５５１（５５２）は、３本の稜線５５５ａ、５５５ｂ、５５５ｃの交点よりも若干突き出た位置にずれて配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２５】
【特許文献１】  米国特許７４３１８５６号公報
【特許文献２】  特開２００９−１０７１０５号公報
【特許文献３】  特開２００８−２３９３７６号公報
【特許文献４】  特開２００６−１８９２７６号公報
【非特許文献１】  Ｗｉｌｌｉａｍ  Ｂ．Ｔｈｏｍｐｓｏｎら、第２８回ＬＳＩテスティングシンポジウム（ＬＳＩＴＳ２００８）会議録、（２００８年）２４９頁〜２５４頁、″Ｈｅｌｉｕｍ  Ｉｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ  ｆｏｒ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｄｅｖｉｃｅ  Ｉｍａｇｉｎｇ  ａｎｄ  Ｆａｉｌｕｒｅ  Ａｎａｌｙｓｉｓ  Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ”
【非特許文献２】  Ｂ．Ｗ．Ｗａｒｄら、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｖａｃｕｕｍ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ＆  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ、２４巻、（２００６年）２８７１頁〜２８７４頁、”Ｈｅｌｉｕｍ  ｉｏｎ  ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：Ａ  ｎｅｗ  ｔｏｏｌ  ｆｏｒ  ｎａｎｏｓｃａｌｅ  ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ  ａｎｄ  ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ”
【非特許文献３】  Ｉｖａｎ  Ｅｒｍａｎｏｓｋｉら、Ｓｕｒｆ．Ｓｃｉ．５９６巻、（２００５年）、８９頁〜９７頁”Ａｔｏｍｉｃ  ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ  ｏｆ  Ｏ／Ｉｒ（２１０）  ｎａｎｏｆａｃｅｔｓ”
【非特許文献４】  Ｈｏｎｇ−Ｓｈｉ  Ｋｕｏら、Ｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ、２０巻、（２００９年）３３５７０１号、″Ａ  Ｓｉｎｇｌｅ−ａｔｏｍ  ｓｈａｒｐ  ｉｒｉｄｉｕｍ  ｔｉｐ  ａｓ  ａｎ  ｅｍｉｔｔｅｒ  ｏｆ  ｇａｓ  ｆｉｅｌｄ  ｉｏｎ  ｓｏｕｒｃｅｓ″
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】  本発明が解決しようとする課題は、集束イオンビーム装置に搭載したガス電界電離イオン源が、高輝度で、イオンが光軸に沿って放出し、放出イオンビーム電流の安定性が良いことを満たすことである。以下に説明する。【００２７】（１）ガス電界電離イオン源の輝度
ガス電界電離イオン源は、現行のＦＩＢ装置に用いられている液体金属イオン源より高輝度であることは知られている。輝度が高いほど高分解能の画像を得られるなどの利点を有する。そのため、更に高分解の画像を実現するために、ガス電界電離イオン源の更なる高輝度化が望まれている。【００２８】  ガス電界電離イオン源を高輝度化するには、イオン発生領域を小さな領域に集中させることが一解決手段で、最近では、先鋭化した針状のタングステンティップ先端に原子オーダの微小突起を設けることで、イオン発生領域の微細化を実現している。【００２９】  さらには、ティップ先端（イオン放出部）が３個のタングステン原子から構成される事例がある。これは、ガス電界電離イオン源に用いられるタングステンティップが、３量体（トリマーとも言う）と呼ばれる３個の原子を頂点とした略三角錐状の微小突起を有し、これら３個の原子から３本のビームを同時に放出する。このガス電界電離イオン源を備えるＦＩＢ装置は、タングステンティップから放出される３本のビームのうちの１本のビームを、イオンビーム経路内に設置した絞りで選択して、ビームを集束させて試料に照射する。【００３０】  従って、試料に到達するビーム電流は、単純計算で全ビーム電流の１／３に減少することになる。また、ティップの先端から放出される全放出イオン電流値（３本の総放出イオン電流の合計値）が一定であっても、３個の原子のそれぞれから放出されるイオン電流量の均衡は常に安定とは限らない、つまり、選択したビーム電流が変動する虞がある。ビーム電流の変動は、画像化に際しては画質を劣化させたり、加工に際しては加工形状を損なったり、などという問題が生じる。よって、３個の原子で終端されたタングステンティップでは、観察画像や加工形状が不安定になる虞がある。【００３１】  また、タングステン先端に対して真空のイオン室内で加熱などの処理を行なうと、真空室内の残留ガス、特に酸素または窒素が容易にタングステンティップ表面に付着し、酸素または窒素がタングステンティップ表面に付着した場合に化学的反応を生じ、電界蒸発強度が低いタングステン酸化物または窒化物が生成される。これらの酸化物または窒化物が、低い電界強度でタングステンティップ表面から電界蒸発することによってティップ先端が損傷する虞がある。つまり、タングステンティップは化学的耐性が弱い。【００３２】  微量の酸素または窒素は、タングステンティップの先鋭化処理に用いられることから、タングステンティップ表面での酸化物または窒化物の生成は不可避であり、タングステンティップの先端に損傷が発生すれば、発生イオン電流の変動、さらにはイオン放出の停止が生じる虞がある。【００３３】  また、タングステンティップの先端に損傷が生じると、再度、先鋭化処理を行なう必要があり、このタングステンティップを搭載した装置のダウンタイム（装置停止時間）が増加するという問題が生じる。このような問題が生じることに対して、タングステンティップを搭載したガス電界電離イオン源からヘリウムイオンを放出させようとして、イオン源室にヘリウムガスを導入する場合には、高価な超高純度のヘリウムガスが必要となり、集束イオンビーム装置の運用面で費用が嵩むという問題が生じる。【００３４】  ガス電界電離イオン源の更なる高輝度化のためには、ティップ先端のイオン放出領域を究極の１個の原子にすることが望まれる。
タングステンティップが先端で３個の原子を頂点であること、化学的耐性が弱いという問題に対して、１個の原子を頂点とすることができると共に、化学的耐性がタングステンより強い素材としてイリジウムを用いることが知られている。（非特許文献３、４）
しかしながら、イリジウムティップの先端を先鋭化する仕上げ加工において、従来の手法を用いるだけでは、所望の形状を所望の位置に形成する、つまり、１個の原子を頂点として、長時間安定に保持される角錐構造を形成することは困難であることが、本発明者によって見出された。【００３５】  また、イリジウムは｛２１０｝結晶面の表面原子密度が低く、先鋭化されやすいため、イリジウムティップは＜２１０＞方向が先鋭化される。図１６に示すようにイリジウムの｛２１０｝結晶面を正面から見た場合の結晶は＜１１０＞の軸と＜２１０＞の軸が含まれる平面に対して鏡像対称なので、窒素エッチングを行なうと｛２１０｝結晶面と｛３１０｝結晶面の境界付近が残ることになるが、｛３１０｝面は長方形を成しているので奇数個の原子が残らない。つまりイリジウムでは、トリマーなども含めて終端の原子の個数を少ない状態で所望の位置に形成することが困難である。また、電界蒸発のみで最終の先鋭化仕上げ加工を行なうと、先端部の数層の原子層が塊状態で一度に電界蒸発する場合が多く、先端に所望の頂点を形成することが困難である。【００３６】（２）放出イオンの安定性：
上述したようにタングステンティップは、先端の微小突起の頂点が３個の原子で構成されるため、照射対象の試料への到達ビーム電流量の減少およびビーム変動が生じる虞がある。【００３７】  図１７（Ａ）、（Ｂ）は、其々、図１４（Ａ）、図１５（Ａ）で示した従来例のイリジウムティップの角錐構造における２種の錐面５５４ａ（｛１１０｝結晶面）と５５４ｂ、５５４ｃ（｛３１１｝結晶面）の各々を正面（つまり法線方向）から見た原子配列を模式的に示す図である。図１７（Ａ）、（Ｂ）において、最上面（最表面）のイリジウム原子５５７は白丸印で表示され、直下の第２面のイリジウム原子５５８が灰丸印で表示され、さらにそれ以下は省略されている。【００３８】  図１７（Ａ）、（Ｂ）から分かるように、従来例のイリジウムティップの角錐構造は最上面のイリジウム原子５５７同士の隙間が広い。このため、イオン源室内に残留する異種原子や異物がイリジウム原子５５７の間に嵌まり込み易い。イリジウムティップを用いたガス電界電離イオン源において、イリジウムの角錐構造に異種原子が嵌まり込むと、角錐構造を取り巻く電界分布の乱れや、イオンビーム電流の変動やノイズの発生、画像の乱れ、イオンビーム照射位置の変動、イオンビーム径の変動など問題が発生する。
このような最上面のイリジウム原子間に嵌まり込んだ異種原子は容易に除去することができないため、一旦、イオンビーム電流変動や画像の乱れが発生すると、イリジウムティップの角錐構造を高電界によって除去し、再度、角錐構造を形成し、イオン放出を安定化させる処理が必要となるなど、煩雑な作業および時間を要する処理が必要となり、連続した観察または加工が困難になるという問題が生じる。【００３９】  このように、従来の１個の原子を頂点とするイリジウムティップを、ＦＩＢ装置のガス電界電離イオン源に用いた場合、イリジウムティップの先端の角錐構造に装置内の残留不純物の原子や分子が付着し易いという問題が生じる。これにより、イオン源から放出されるイオンビームの電流の安定性が損なわれ、所望の観察画像を得ることができないなどの問題が生じる。【００４０】  また、従来の１個の原子を頂点とするイリジウムティップは、頂点の原子が短時間で脱落し易いため、たとえ、加熱などの処理により１個の原子を頂点にすることが再現できたとしても、ＦＩＢ装置のガス電界電離イオン源に装着された状態で頂点の原子が脱落する虞がある。この場合には、ＦＩＢ装置による観察または分析作業が中断され、イリジウムティップを１個の原子を頂点とするように再生処理が必要になるとともに、この再生処理の前後でビーム調整などの調整作業が必要になり、集束イオンビーム装置の実用面上、好ましくないことが、本発明者による実験によって見出された。【００４１】  このように、イリジウムティップは、従来のタングステンティップに比べて化学的に耐性が高いため、残留ガス等による先端の損傷は抑制され、イリジウムティップ先端の角錐構造の頂点を１原子にすることができるという利点を有するが、従来のイリジウムティップの角錐構造は、角錐構造を構成する結晶面｛１１０｝、｛３１１｝に起因して不純物が付着し易く、実用上、長期間に亘って安定にイオン放出させることが困難である。【００４２】（３）光軸に沿ってイオン放出するティップアセンブリ構造：
タングステン細線は剛性が高いため、たとえ直径０．１ｍｍ程度の細線であっても塑性変形は殆どせず、ティップ作製やティップアセンブリの作製時に直線性が保持され、ティップ材としては好適である。一方、高純度イリジウム細線はタングステン細線に比べて柔軟性が非常に高いため、ティップ作製やティップアセンブリの作製時に、ティップが曲がり易く、ほんの僅かな接触により塑性変形し易い。このため、ティップ先端が本来在るべき光軸から大きくずれ易く、放出イオンが本来望まれる光軸を通らず、集束性の良いＦＩＢが形成されない、または、ＦＩＢが試料に到達しないという致命的な問題を生じる。【００４３】  一般に、イオン源を光軸に対して垂直面内の移動、傾斜移動できる微調整機構を設けて、ティップ先端からのイオンを、上記の微調整機構を用いて光軸に合わせるようにすることは公知である。しかしながら、上述のようなティップ作製やティップアセンブリの作製時に曲げなどの変形量は、上記微調整機構では調整しきれないほど大きいため、根本的に、イリジウム製ティップがティップ作製やティップアセンブリの作製時に変形しにくいティップ形状や構造とすることが課題となる。【００４４】  本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、本発明の目的は、より高輝度なガス電界電離イオン源から放出したイオンが、イオン光学系の光軸に沿って長期間安定して継続放出して、集束イオンビームが長期間形成できるガス電界電離イオン源を搭載した集束イオンビーム装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００４５】  上記課題を解決して係る目的を達成するために、本発明は以下の態様を採用した。
（１）本発明の一態様に係る集束イオンビーム装置は、少なくとも、イオンビームを放出するエミッタを有するガス電界電離イオン源を搭載した集束イオンビーム装置において、前記エミッタは先鋭化されたイリジウムと異種金属細線とを固着した形状である。
（２）上記（１）に記載の集束イオンビーム装置は、前記異種金属細線がタングステン、モリブデン、タンタル、ニオブのうちのいずれかである。
（３）上記（１）または（２）のいずれかに記載の集束イオンビーム装置は、前記エミッタは、先鋭化された先端部に１つの｛１００｝結晶面および２つの｛１１１｝結晶面により囲まれた＜２１０＞方位の頂点が１個のイリジウム原子である角錐構造を有する。
【発明の効果】
【００４６】  上記態様によれば、より高輝度なガス電界電離イオン源から放出したイオンを、イオン光学系の光軸に沿って長期間安定して継続放出して、長期間、集束イオンビームを形成できる集束イオンビーム装置を提供することが可能にある。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】  本発明による集束イオンビーム装置におけるガス電界電離イオン源のティップの実施形態を説明する図である。特に、図１（Ａ）は一実施形態のティップを搭載したティップアセンブリの斜視図、図１（Ｂ）は一実施形態のティップ形状を説明するための図、図１（Ｃ）はイリジウムティップ先端を説明するための図である。
【図２】  本発明によるティップの別形態を説明する図である。
【図３】  本発明によるティップの別形態を説明する図である。
【図４】  本発明によるティップの別形態を説明する図である。
【図５】  本発明によるティップの別形態を説明する図である。
【図６】  本発明の実施形態に係るイリジウムティップの先端の角錐構造を説明するための図であり、特に、図６（Ａ）は角錐構造の原子モデル図であり、図６（Ｂ）は結晶面を明示するための説明図である。
【図７】  本発明の実施形態に係るイリジウムティップの先端の角錐構造における結晶面の原子の配列を示す図であり、特に、図７（Ａ）は錐面を成す｛１００｝結晶面を正面から見た図であり、図７（Ｂ）は錐面を成す｛１１１｝結晶面を正面から見た図である。
【図８】  本発明の実施形態に係るイリジウムティップの作製方法を示すフローチャートである。
【図９】  本発明の実施形態に係る集束イオンビーム装置の構成図である。
【図１０】  ガス電界電離イオン源におけるイオン化を説明するための概略構成図である。
【図１１】  従来のティップを説明するための概略図である。特に、図１１（Ａ）は従来ティップの斜視図、図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）における先端部Ｐの拡大図であり、図１１（Ｃ）は図１１（Ｂ）における先端の拡大図である。
【図１２】  従来例のティップアセンブリを説明するための斜視図である。
【図１３】  従来例のガス電界電離イオン源の構造を説明するための概略構成図である。
【図１４】  従来例のイリジウムティップの先端における角錐構造を説明するための図であり、特に、図１４（Ａ）は角錐構造の原子モデル図であり、図１４（Ｂ）は結晶面を明示するための説明図である。
【図１５】  従来例のイリジウムティップの先端における別の角錐構造を説明するための図であり、特に、図１５（Ａ）は角錐構造の原子モデル図であり、図１５（Ｂ）は結晶面を明示するための説明図である。
【図１６】  イリジウムの各結晶面の配置を示す図である。
【図１７】  従来例のイリジウムティップ先端の角錐構造における結晶面の原子の配列を示す図であり、特に、図１７（Ａ）は錐面を成す｛１１０｝結晶面を正面から見た図であり、図１７（Ｂ）は錐面を成す｛３１１｝結晶面を正面から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００４８】  以下、本発明の実施形態に係るティップ構造、イリジウムティップの形成方法、このティップを有するガス電界電離イオン源、さらにこのガス電界電離イオン源を搭載した集束イオンビーム装置について添付図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００４９】ティップ構造
本発明による集束イオンビーム装置におけるガス電界電離イオン源のティップの特徴を、以下、（１）ティップ材質、（２）ティップ形状、（３）ティップ先端の角錐構造、（４）角錐構造の頂点に分けて説明する。【００５０】（１）ティップ材質：
本発明で用いたティップ材は単結晶イリジウムである。
前述のように、タングステンティップを有するガス電界電離イオン源に化学的に活性な窒素ガスや酸素ガスを導入して、窒素イオンや酸素イオンを放出させようとすると、タングステンティップ先端で化学反応を起し、先端の望ましい原子構成が維持できなくなる。これは、イオン放出の変動、イオン電流の減少、イオンビーム集束性の劣化、最悪の場合はイオン放出停止など好ましくない症状を引き起こす。そこで、ティップ材としてタングステンより化学的耐性が強いイリジウムを用いる。【００５１】  （２）ティップ形状：
前述のように、高純度イリジウム細線は塑性変形し易いため、発生したイオンを確実にイオン光学軸に通せるように、本発明による集束イオンビーム装置では、以下のような形体とした。ここで言うイリジウム細線は塑性変形とは細線の円柱部の変形を指し、先の円錐部の変形は指さない。円錐部の塑性変形は明らかに欠陥品との位置付けであり、ガス電界電離イオン源には搭載しない。【００５２】（ａ）第１の形体
図１は、本発明によるティップの一形体例であり、特に、図１（Ａ）はティップアセンブリ１の全体形状であり、絶縁性のベース部材２に固定された１対の通電ピン３と、１対の通電ピン３の先端部間に接続されたタングステンなどの高融点細線から成るフィラメント４と、フィラメント４に電気的および機械的に固定されたティップ５と、を備えている。【００５３】  図１（Ｂ）は、本発明によるティップ５における第１の形体の拡大図である。ティップ５Ａは同一直径の尖頭部５Ａａと基部５Ａｂとから成り、基部５Ａｂがフィラメント４にスポット溶接されている。尖頭部５ａはイリジウムであり、基部５Ａｂはタングステンなど高融点で弾性の高い線材から成る。尖頭部５Ａａと基部５Ａｂの突き合わせを確実にすると共に、同軸性を確実にするために突き合せ部を、尖頭部５Ａａと基部５Ａｂの直径に比べて僅かに大きい内径を有する薄肉の円筒５Ａｃで覆った後、この円筒５Ａｃを圧着する。円筒５Ａｃは例えばタングステンから成る。フィラメントを通電加熱した熱は基部５Ａｂ、円筒５Ａｃを介して熱伝導により尖頭部５Ａａが加熱される。尖頭部５Ａａは基部５Ａｂと機械的、電気的に結合した後に、電解研磨などのプロセスを施して先鋭化する。なお、なお、ティップ５Ａは先鋭化後にフィラメントに固定しても良いし、ティップ材をフィラメントに固定した後に先鋭化しても良い。【００５４】  図１（Ｃ）は、ティップ５Ａの先端部Ｐの拡大図である。図中、丸表記はイリジウム原子であり、尖頭部５Ａａは頂点が１個のイリジウム原子Ａからなる角錐構造６を有していることを示している。通電ピン３間に通電して、フィラメントを加熱した熱は、基部５Ａｂと円筒５Ａｃを介して尖頭部５Ａａの先端まで加熱でき、角錐構造を形成することができる。
このようなティップの第１形体により、イリジウムから成る尖頭部５Ａａは短いため変形し難い。【００５５】（ｂ）第２の形体
図２は、本発明によるガス電界電離イオン源で実施したティップの第２の形体である。ティップ５Ｂは、尖頭部５Ｂａと基部５Ｂｂとから構成され、尖頭部５Ｂａと基部５Ｂｂは突き合わせてスポット溶接などによって同軸で機械的に固着されている。尖頭部５Ｂａはイリジウムであり、基部５Ｂｂはタングステンなど高融点で弾性のある材料である。尖頭部５Ｂａは基部５Ｂｂと固着する際には先鋭化されてない棒状であるが、固着後に電解研磨などの方法によって先鋭化する。このような形状により、イリジウムから成る尖頭部の長さが短いため、変形しにくい。【００５６】（ｃ）第３の形体
図３は、本発明によるガス電界電離イオン源で実施したティップの第３の形体である。ティップ５Ｃも尖頭部５Ｃａと基部５Ｃｂとから構成されるが、互いに同軸ではなく、尖頭部５Ｃａと基部５Ｃｂの軸に直交方向にスポット溶接して、両者を電気的、機械的に圧着する。ティップ５Ｃはスポット溶接、圧着によって生じた凹部７を有する。尖頭部５Ｃａと基部５Ｃｂとは同軸ではないが、両軸間の距離はティップ材直径と同程度であるので、尖頭部５Ｃａと引出し電極の開口中心と軸合せできる。
この形体においても、尖頭部５Ｃａは基部５Ｃｂと固着する際には先鋭化されてない棒状であるが、固着後に電解研磨など後述する方法によって先鋭化する。このような形状により、イリジウムから成る尖頭部５Ｃａが短いため変形しにくい。【００５７】（ｄ）第４の形体
図４は、本発明によるガス電界電離イオン源で実施したティップの第４の形体である。ティップ５Ｄは芯部５Ｄａと円管部５Ｄｂとから成り、円管部５Ｄｂの内径は芯部５Ｄａの外径より僅かに大きく、円管部５Ｄｂに芯部５Ｄａを通した状態で、芯部５Ｄａと円管部５Ｄｂを圧着する。芯部５Ｄａはイリジウム細線であり、円管部５Ｄｂはタングステンなど高融点材料である。芯部５Ｄａの先端は、円管部５Ｄｂから僅かに露出しているため、フィラメントへの固着時にもイリジウムの芯部５Ｄａの直線性は保たれる。【００５８】（ｅ）第５の形体
図５は、本発明によるガス電界電離イオン源で実施したティップの第５の形体である。ティップ５Ｅはイリジウム細線５Ｅａの表面に不純物がイオン注入（イオンインプランテーション）されている。イオン注入するイオン種は酸素、窒素、炭素などの気体イオンで、注入するイオンは１種類であっても良いし、複数種でもよい。これらのイオンを先鋭化する前のインジウムティップ材にイオン注入することでティップ材を硬化させることができる。つまり、高純度イリジウム細線は塑性変形し易いが、表面にこれらの元素をイオン注入することで、硬化し塑性変形しにくくなる。【００５９】  イオン注入によってティップ材表面に形成されるイオン注入層は、イオン種、イオン加速エネルギー、イオン入射角度によって異なるが、高々１μｍ程度であり、円柱状のティップ材直径のオーダが１００μｍであるので、ティップ材の表面部のみにイオン注入されている。このため、ティップ材を電解研磨等の先鋭化加工を施しても、角錐構造が形成される細線の中心部まで結晶性を破壊することはなく、硬化したイリジウム細線の先端に角錐構造を形成することができる。【００６０】  イオン注入は、公知のイオン注入装置（図示略）で行ない、イリジウム細線の側面全体にイオン注入層を形成するために、イオン注入装置内で、イリジウム細線を注入イオンの照射方向に対して垂直方向で軸回転できるように設置し、イリジウム細線を回転させながらイオン注入させればよい。また、この時、複数本の細線を同時に回転できるようにしておくことで、効率的に硬化したイリジウム細線を得ることができる。【００６１】（ｆ）第６の形体
本発明によるガス電界電離イオン源で実施したティップの第６の形体を説明する。
上述したように、高純度の単結晶イリジウム細線は、タングステン細線に比べて塑性変形し易い（曲がり易い）。しかし、高純度の単結晶イリジウムを製造する際に僅かに不純物を含ませることにより、細線への加工後、イリジウム細線は弾性的性質が強くなり、ティップ材への僅かな接触によっても塑性変形せず、元の形状を維持することができる。【００６２】  高純度イリジウムに含有させる不純物は、例えば、白金族金属（ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、白金（Ｐｔ））であり、これらのうち少なくともいずれかを０．０５原子％以上５原子％以下含有させる。望ましくは、ルテニウム、ロジウムのうちの少なくともいずれかを０．０５原子％以上５原子％以下含有させると良い。複数の不純物を含有させる場合は、全ての不純物の含有率の合計を０．０５原子％以上５原子％以下とする。【００６３】  これらの不純物の含有率が０．０５原子％未満の場合、イリジウムティップ材に弾性的性質が現れず、逆に、不純物の含有率が５原子％を超えるとイリジウムティップ先端の結晶性が損なわれる場合がある、また、イリジウム角錐構造の先端のイリジウム原子１個を維持することが難しくなる、などのために５原子％以下が望ましい。【００６４】  このように高純度イリジウムに僅かな不純物を含有させることで、イリジウムティップに弾性を持たせることができ、ティップが塑性変形しにくくなり、ティップ先端をイオンビーム光学系の光軸に設定し易くなる。【００６５】  なお、上記第５、及び、第６の形体のイリジウムティップを、第１から第４の形体例に記載の尖頭部５Ａａ、５Ｂａ、５Ｃａ、芯部５Ｄａに用いた形体でも良い。
また、第１から第４の形体に記載の基部５Ａｂ、５Ｂｂ、５Ｃｂ、及び、第１と第４の形体に記載の円管部５Ａｃ、５Ｄｂの材質をタングステンと説明したが、これに限定されることはなくモリブデン（Ｍｏ）、タンタル（Ｔａ）、ニオブ（Ｎｂ）であっても良い。【００６６】（３）ティップ先端の角錐構造：
従来、＜２１０＞イリジウム単結晶ティップの先端に、１つの｛１１０｝結晶面と２つの｛３１１｝結晶面からなる微小な三角錐構造が形成されることが知られている（図１４）。これに対して本発明によるガス電界電離イオン源では、これまで知られていない｛１００｝結晶面と｛１１１｝結晶面からなる微小な三角錐構造を有したイリジウムティップを用いており、従来構造とは異なる。【００６７】  イリジウム結晶は面心立方構造であり、イリジウムの原子は単位立方体の８個の角と６面の中央とに位置している。
図６（Ａ）、（Ｂ）は、本実施例によるイリジウムティップ５の先端の角錐構造を、発明者が行なったＦＩＭ像観察を基に作成した図であり、角錐構造を＜２１０＞方位から見たモデル図である。図６（Ａ）は、丸印を１個のイリジウム原子４１に対応させた原子の配列である。この角錐構造において、頂点は１個のイリジウム原子４２であり、稜線は三角印で示したイリジウム原子４３の列となっている。図６（Ｂ）は、図６（Ａ）の角錐構造の錐面を見やすく示した模式図であり、角錐構造は錐面４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、稜線４５ａ、４５ｂ、４５ｃから構成されている。【００６８】  図６（Ａ）に示す本実施例のイリジウムティップ５の角錐構造は、従来例である図１４（Ａ）および図１５（Ａ）に示すイリジウムティップの角錐構造と比べて、各稜線４５ａ、４５ｂ、４５ｃに位置するイリジウム原子４１（４３）同士の間隔が狭い。このことから、本実施例のイリジウムティップ５の角錐構造の各稜線４５ａ、４５ｂ、４５ｃおよび各錐面４４ａ、４４ｂ、４４ｃの傾斜が、従来例の各稜線５５５ａ、５５５ｂ、５５５ｃの傾斜、つまり各錐面５５４ａ、５５４ｂ、５５４ｃの傾斜よりも急であると言える。すなわち、本実施例のイリジウムティップ５の角錐構造は、従来例の角錐構造に比べて、より尖っており、イリジウムティップ５先端の角錐構造付近に電界が集中しやすい構造を有している。【００６９】  このことから、本実施例のイリジウムティップ５は、従来例のイリジウムティップに比べて低い引出し電圧でイオン放出が可能であり、引出し電圧を印加する電源（例えば、図９に示す電源１０７など）への負担を軽減することができると共に、イリジウムティップ５の先端と引出し電極（例えば、図９に示す引出し電極９４など）との間の異常放電の発生を抑制することができる。【００７０】  本実施例のイリジウムティップ５の角錐構造は、従来例のイリジウムティップの角錐構造に比べて、錐面を成す結晶面の次数が相違している。すなわち、本実施例のイリジウムティップ５の角錐構造の錐面を成す｛１００｝結晶面および｛１１１｝結晶面は、従来例のイリジウムティップの角錐構造の錐面を成す｛１１０｝結晶面および｛３１１｝結晶面に比べて、より原子密度が高い低次の指数を有している。【００７１】  図７（Ａ）及び（Ｂ）は、本実施例による角錐構造の３つの錐面４４ａ（｛１００｝結晶面）及び、錐面４４ｂ、４４ｃ（｛１１１｝結晶面）の各々を正面（つまり法線方向）から見た原子配列を模式的に示す図である。図７（Ａ）、（Ｂ）において、各錐面の最上面（最表面）のイリジウム原子４７を白丸印で表示され、直下の第２面のイリジウム原子４８は灰丸印で表示され、それ以下の面の原子は省略されている。【００７２】  図７（Ａ）、（Ｂ）に示す本実施例のイリジウムティップ５の角錐構造の最表面の原子配列は、図１７（Ａ）、（Ｂ）に示す従来例のイリジウムティップの角錐構造の最表面の原子配列に比べて、イリジウム原子が密に配列していることが視覚的に認められる。【００７３】  例えば定量的な比較では、格子定数をｄとすると、図７（Ａ）、（Ｂ）に示す本実施例におけるイリジウムティップ５の｛１００｝結晶面における近接する原子列の距離ｄ（１００）は０．５０ｄであり、｛１１１｝結晶面における近接する原子列の距離ｄ（１１１）は０．６１ｄである。これに対して、図１７（Ａ）、（Ｂ）に示す従来例のイリジウムティップの｛３１１｝結晶面および｛１１０｝結晶面の各々に対しては、距離ｄ（３１１）が１．１７ｄであり、距離ｄ（１１０）が１．００ｄである。すなわち、本実施例のイリジウムティップ５の角錐構造の錐面における原子列の距離は、従来例のイリジウムティップの角錐構造の錐面における原子列の距離に比べて、より狭い。【００７４】  また、各結晶面における表面原子の密度ｎにより、イリジウムの格子定数は０．３８３９ｎｍであることを考慮すると、｛１００｝結晶面では密度ｎが１３．６×１０１８／ｍ２であり、｛１１１｝結晶面では密度ｎが１５．７×１０１８／ｍ２であるのに対して、｛１１０｝結晶面では密度ｎが９．６×１０１８／ｍ２であり、｛３１１｝結晶面の密度ｎが８．２×１０１８／ｍ２である。すなわち、本実施例のイリジウムティップ５の角錐構造の最表面原子密度は、従来例のイリジウムティップの角錐構造の最表面原子密度に比べて高くなっており、本実施例は、従来例に比べて表面に存在する互いの原子間の隙間がより狭い。【００７５】  このように、従来例のイリジウムティップの角錐構造における最表面層の原子列の距離が広いこと、表面原子密度が小さいことから、互いのイリジウム原子の隙間に、例えば、ティップ周辺に漂う異種原子や分子が嵌まり込んでしまう確率が高いことが推測される。この異種原子の嵌まり込みは、イリジウムティップの先端のイリジウム結晶の原子配列を損ない、イリジウムティップの先端での電界分布を乱してしまう虞がある。その結果、イリジウムティップの先端からの放出イオン電流を不安定とさせ、試料表面に照射されるイオンビーム電流を変動させ、観察画像の乱れまたは加工表面の乱れが生じさせる虞がある。【００７６】  これに対して、本実施例のイリジウムティップ５の角錐構造の錐面を成す１個の｛１１０｝結晶面と２個の｛１１１｝結晶面では、原子間距離が従来例に比べて狭いため、イリジウム原子間に異種原子が嵌まり込むことが抑制され、結晶面上に異種原子が付着（物理吸着など）する程度の状態となるだけである。たとえ結晶面上に異種原子が付着したとしても、僅かな加熱またはイリジウムティップ５に加える窒素ガスのイオン化に必要な電界強度より弱い電界調整によって、結晶面上に付着した異種原子を容易に脱離させることができるため、イリジウム原子のみの結晶三角錐構造を保持することができる。その結果、放出イオン電流が長期間安定で、試料に照射されるイオンビーム電流の変動は抑制され、乱れの無い観察画像または加工表面を得ることが可能である。
さらに、本実施例のイリジウムティップ５の角錐構造が互いの原子間距離が小さい配置で構成されていることで温度などの外乱にも強い。【００７７】（４）角錐構造の頂点：
本発明によるイリジウムティップ５の先端の角錐構造は図６を用いて上述した。図６に示す角錐構造と従来の図１４、図１５の角錐構造を比較するため、角錐構造の頂点を形成する１個のイリジウム原子を第１層として、第１層の直下で、＜２１０＞軸に垂直でイリジウム原子を含む面を第２層、その直下を第３層として、第１層から第３層までのイリジウム原子の配置と個数を表１に示す。【００７８】
【表１】
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【００７９】  本発明の角錐構造は、第１層がイリジウム原子が１個、第２層は３個のイリジウム原子が正三角形に近い二等辺三角形（例えば、１辺の長さを仮に１とした場合の二等辺がおおよそ１．２２となる二等辺三角形）の各頂点に位置する。第３層の原子配置は、６個のイリジウム原子が三角形の頂点および辺に位置する。第１層から第３層まで各層を構成するイリジウム原子の個数は、順次、１個、３個、６個である。【００８０】  一方、従来の角錐構造は、第１層は角錐構造の頂点で、イリジウム原子が１個であることは本発明と共通しているが、第２層、第３層は、図１４（Ａ）の従来例では、順次、３個、１０個で、また、図１５（Ａ）に示す従来例の角錐構造では、順次、６個、１５個である。このことからも、従来例の角錐構造は、第２層または第３層の構成原子が多く、裾広がりが大きい角錐構造であるのに対して、本発明による角錐構造は裾広がりが小さい切り立った構造であると言える。【００８１】  このように、本実施例のイリジウムティップ５の角錐構造と、従来例のイリジウムティップの角錐構造とでは、第３層までの原子配列で相違していることが明らかである。また、このような構造は、実際にイリジウムティップを搭載したガス電界電離イオン源を動作させて、適切な電圧を印加して角錐構造の原子を１層づつ剥離させて、その様子をＦＩＭ像観察することで確認できる。未知のイリジウムティップ搭載ガス電界電離イオン源であっても、本発明による構造か、従来の構造であるかの判別ができる。【００８２】  なお、第２層および第３層の原子配置は、ＦＩＭ像の観察において電界調整によって強制的に各層のイリジウム原子４１を脱離させることで確認され、図６（Ａ）のモデル図と一致することが、本発明者によって見出された。【００８３】  なお、頂点のイリジウム原子４１（４２）が脱離した状態のイリジウムティップ５を、イオン源の針状電極として用いると、試料への到達ビーム電流の低下が生じるので好ましくない。この場合には、後述するティップ先端の再生処理を実行することによって、頂点の原子を１個の原子に保持することが可能であった。【００８４】  このように、本実施例のイリジウムティップ５は、従来例のイリジウムティップに比べてより尖っているため、より低い電圧でイオン放出が可能であり、外乱に強く、不純物が付着し難い構造であるため、長期間安定したイオン放出が可能である。
【実施例２】
【００８５】イリジウムティップ作製方法
次に、上記実施例１に記載の、頂点が１個の原子からなる角錐構造を有するイリジウムティップの作製方法について説明する。
イリジウムティップの作製方法は、図８に示すように、順次実行される電解研磨工程（ステップＳ１０）と、ＦＩＢ加工工程（ステップＳ２０）と、電界誘起ガスエッチング工程（ステップＳ３０）と、リモールディング工程（ステップＳ４０）と、を含む。以下に各工程について説明する。【００８６】  ステップＳ１０（電解研磨工程）では、先鋭化すべきイリジウムティップの原材料として、所定形状（例えば、直径０．１５ｍｍ、長さ８ｍｍなど）の丸棒状の単結晶イリジウムの細線であって、長手方向が＜２１０＞方位に揃ったティップ部材を用いる。また、実施例１のティップ形状（第４の形体や第５の形体）であっても良い。そして、例えば電解研磨により丸棒状のティップ部材を、円錐形状の先端径が所定値（例えば、数百ｎｍから数μｍなど）になるまで先鋭化してイリジウムティップとする。【００８７】  より詳細には、例えば水酸化カリウム１ｍｏｌ／Ｌの溶液中にイリジウムのティップ部材と白金の対向電極とを浸し、この２極間（つまりティップ部材１４と対向電極との間）に交流電圧を印加して電解研磨を実施する。印加する交流電圧は、例えば周波数６０Ｈｚでおよそ３０Ｖ（ｒｍｓ）に設定される。この電解研磨工程により、ティップ部材の先端は数百ｎｍから数μｍの先端径を有する円錐形状に形成される。そして、電解研磨の終了後、イリジウムティップを水とアセトンなどで洗浄し、電解溶液などの不純物をイリジウムティップから除去する。【００８８】  ステップＳ２０（ＦＩＢエッチング工程）は、イリジウムティップの先端径をさらに小さい数十ｎｍから数百ｎｍ程度にする工程である。ステップＳ１０の電解研磨工程の実行後に、イリジウムティップを従来公知のガリウムＦＩＢ（Ｇａ−ＦＩＢ）装置（図示略）に導入し、ＦＩＢエッチングを行なうことにより、先端径を数十ｎｍから数百ｎｍ程度にする。また、このステップＳ２０によって、ティップ先端の開き角（全角）を５°以上１５°未満に加工する。ティップ先端の開き角が５°未満の場合、先端の変形が発生しやすく、５°以上が好ましい。また、ティップ先端の開き角が１５°以上であると、引出し電圧が上昇するため、５°以上１５°未満が好ましい。さらに好ましい開き角は、８°以上１２°以下の開き角である。さらに、特に好ましい開き角は、９°以上１１°以下である。【００８９】  ステップＳ２０に続くステップＳ３０（電界誘起ガスエッチング工程）とステップＳ４０（リモールディング工程）は、ステップＳ２０を経たイリジウムティップの先端を更に先鋭化する工程である。ステップＳ２０とステップＳ３０のいずれもティップ作製装置（図示略）で行なう。【００９０】  ティップ作製装置は、少なくともガス電界電離イオン源、イオン化するガスを供給するガス供給装置、上記ガス電界電離イオン源と対面して配置され、放出イオンの照射を受けることでティップ先端の原子配列を顕在化させる蛍光板などを内蔵する真空容器、蛍光板の蛍光像を撮像するカメラなどの画像検出器、ガス電界電離イオン源や画像検出器に電圧を印加する電源、電源の制御、画像信号の取り込みなどを行なう計算処理器、真空容器内を真空引きする排気系などから構成されている。【００９１】  ティップ作製装置にお���ては、まず、ステップＳ２０を経たイリジウムティップを搭載したガス電界電離イオン源を設置して、真空容器内を真空状態にする。真空容器内の圧力をベース圧力（例えば、２×１０−８Ｐａなど）かつイリジウムティップの冷却温度を所定温度（例えば、６０Ｋ程度）になるように調整する。そして、ガス供給装置から真空容器内にヘリウムを、容器内の圧力が例えば１×１０−４Ｐａなどになるまで供給する。計算処理機は、イリジウムティップに電圧を印加するように電源を制御する。イリジウムティップに印加される電圧（ティップ電圧）が、例えば４ｋＶ程度に達すると、蛍光板にヘリウムのＦＩＭパターン（ＦＩＭ像）が現れ、これをカメラによって撮像すると共に画像を計算処理機に保存する。【００９２】  ステップＳ２０を経たイリジウムティップ、または先端構造が傷んだイリジウムティップでは、イリジウムティップの先端表面に不純物が多く吸着しているため、結晶性が無いパターンが得られる。ティップ電圧を徐々に高くし、ティップ先端の電界強度がイリジウムの電界蒸発強度より高くなると、イリジウム原子が電界蒸発し始める。イリジウムティップの先端表面の数層の原子層が電界蒸発すると、イリジウムの結晶性の有る清浄表面が現れる。この時のティップ電圧は、例えば５ｋＶから６ｋＶ程度に上昇する。そして、ティップ電圧を例えば約１ｋＶほど下げるとヘリウムによる画像が得られる最適電圧（ベストイメージング電圧）になり、規則正しい原子配列のＦＩＭパターンが現れる。清浄表面になると、結晶欠陥（原子の抜けや原子配列のズレなど）が観察されることがある。欠陥がない場合はステップＳ３０へ、またはステップＳ３０を行わずステップＳ４０（リモールディング工程）へ移る。ティップ先端表面の原子配列に結晶欠陥がある場合は、ステップＳ４０で所望の角錐構造を作ることができない。このような場合には、電界誘起ガスエッチングと電界蒸発を組み合せて、結晶欠陥が無い領域までティップ先端を削り込む（原子を除去する）。清浄表面を観察することにより、ステップＳ４０へ進めるかどうかを判断する。【００９３】  次に、電界蒸発で印加した最高電圧より０．５ｋＶほど低い値（例えば４．５ｋＶから５．５ｋＶ程度）に引出し電圧を設定して、エッチング用のガスとして窒素または酸素をガス供給装置から真空容器内の圧力が１×１０−４Ｐａから１×１０−３Ｐａ程度になるようにイリジウムティップの周辺に供給する。【００９４】  この場合、引出し電圧とイリジウムティップのエッチングされる領域とは所定の対応関係を有している。すなわち、引出し電圧が低いと電界の強いイリジウムティップの先端領域がエッチングされ、引出し電圧が高いとイリジウムティップの先端領域を除く周辺領域（例えば、付け根部分など）がエッチングされる。このため、本工程においては、ヘリウムが電界電離する程度に引出し電圧を高く設定し、イリジウムティップの先端領域を残し、その周辺領域をエッチングする。これにより、後述するステップＳ４０のリモールディング工程で移動するイリジウム原子の数を少なくすることができ、リモールディング工程の実行に要する時間を短縮することができる。また、イリジウムティップの先端が細く尖った形��になるので、リモールディング工程で所望していない位置に角錐構造が成長することを防止することができる。ここで、電界誘起ガスエッチングが進行すると、先端が細く尖るので、先端原子が電界蒸発しないように引出し電圧を下げる。【００９５】  先端が所望の範囲まで細く尖れば、引出し電圧を印加したまま、ガス供給装置によるエッチング用のガスの供給を停止し、残留したエッチング用のガスを真空排気する。この時のヘリウムのベストイメージング電圧はおよそ３．６ｋＶとなる。この後、窒素が電界電離する電界強度になるように引出し電圧を下げる。真空排気を十分に行うことによりイリジウムティップの先端領域がエッチングされることを防ぐ、または、引出し電圧を素早く下げることによってイリジウムティップの先端領域のエッチングをより抑制することも可能である。【００９６】  また、イリジウムティップの先端付近に結晶欠陥が存在する場合は、結晶欠陥が除去されるまで、イリジウムティップの先端領域をエッチングするように引出し電圧を制御する。これにより結晶欠陥がイリジウムティップの先端付近に存在する場合であっても、エッチングによって結晶欠陥が除去される。【００９７】  次に、ステップＳ４０では、ティップ作製装置を用いて、イリジウムティップの先端にナノ構造である角錐構造を形成する。
引出し電圧を例えばヘリウムによる最適電圧の約１／３、つまり１．２ｋＶ程度まで下げる。この電圧がほぼ窒素イメージング電圧と一致する。そして、真空容器内に窒素ガスを導入し、圧力を例えば１×１０−３Ｐａなどに調整する。引出し電圧を窒素のＦＩＭパターンが観察できるように微調整する。ここから本実施例のリモールディング工程を開始する。従来のリモールディングとは異なり窒素雰囲気中でリモールディングを実施する。また、従来のリモールディングはティップアセンブリのフィラメントの電流を一定にして加熱し、ティップ電圧を上げ、その後フィラメントの電流を下げながらティップ先端を先鋭化しているが、本実施例では、以下の手順で先鋭化を実施する。【００９８】  先ず、引出し電圧を印加した状態でフィラメントに、例えば３．５Ａの電流を３分間通電してイリジウムティップを加熱する。この加熱が終了すると、窒素のＦＩＭパターンがカメラによって撮像および観察される。【００９９】  そして、撮像および観察される窒素のＦＩＭパターンがほとんど変化していない場合は、例えば０．１Ａずつ電流を増やして加熱する。
そして、おおよそフィラメントが、例えば３．９ＡになるとＦＩＭパターンに変化が現れる。つまり、図４に示すような各結晶面のうち、｛１１１｝結晶面が広がり、｛１１０｝結晶面が小さくなる。また｛１００｝結晶面が広がり、｛３１１｝結晶面が小さくなる。このようにファセット面が大きく変化すると、イリジウムティップの先端が尖ってくるため、窒素のＦＩＭパターンがカメラによって撮像および観察されるティップ電圧（つまり、窒素のＦＩＭパターンが見えるティップ電圧）が、例えば数百Ｖ下がる。なお、窒素のＦＩＭパターンが見えるティップ電圧は、おおよそ０．９ｋＶ程度である。【０１００】  そして、窒素のＦＩＭパターンが見える電圧が下がれば、フィラメントの電流を、例えば３．９Ａで固定し、加熱時のティップ電圧を、例えばこの時点で窒素のＦＩＭパターンが見える引出し電圧の２０％から１８０％の値に設定する。多くの場合は低下側に変化させる。なお、加熱時のティップ電圧は、この時点で窒素のＦＩＭパターンが見えるティップ電圧以下の低下側に変化させることに限定されず、例えば窒素のＦＩＭパターンなどから得られるイリジウムティップの先端の結晶の変化状態に応じて、この時点で窒素のＦＩＭパターンが見える引出し電圧以上の増大側に変化させてもよい。【０１０１】  そして、例えば０．５ｋＶのティップ電圧でフィラメントの電流を３．９Ａで繰り返し加熱すると、数個から成る輝点パターンがカメラによって撮像および観察されるようになる。【０１０２】  そして、最終的には１点だけの輝点が残り、イリジウムティップの先端が１個の原子のみで構成された状態になる。
引出し電圧を窒素のＦＩＭパターンが見える値より増大側に変化させる例として、引出し電圧が８０％のリモールディングにおいて、２つの｛１１１｝結晶面で挟まれて作られる稜線が２重線のまま｛１１１｝結晶面が成長しない場合があり、引出し電圧を徐々に高くして１２０％まで引出し電圧を高くしたときに｛１１１｝結晶面が大きくなって１本線の稜線ができることもある。【０１０３】  なお、ステップＳ４０では、窒素ガスの代わりに酸素ガスを用いてイリジウムティップを作製することもできる。つまり、ガス供給装置から真空容器内へ窒素ガスの代わりに酸素ガスを供給し、窒素のＦＩＭパターンが見えるティップ電圧に設定して、イリジウムティップを加熱する。
そして、酸素ガスの供給を止め、窒素ガスを供給し、窒素のＦＩＭパターンが見えるティップ電圧を確認する。この電圧で窒素ガスの供給を止め、酸素ガスを供給し、イリジウムティップを加熱する。これらの処理を繰り返し実行する。ただし、この際、加熱温度を徐々に高くする。【０１０４】  そして、例えば窒素のＦＩＭパターンなどからイリジウムティップの先端原子が動き始めたことが検知されたら、引出し電圧を、例えばこの時点で窒素のＦＩＭパターン見える引出し電圧より２０％から１８０％の値に設定して、酸素ガスを供給して、イリジウムティップを加熱する。多くの場合では、引出し電圧は低下側に変化させる。なお、加熱時のティップ電圧は、この時点で窒素のＦＩＭパターンが見えるティップ電圧以下の低下側に変化させることに限定されず、例えば窒素のＦＩＭパターンなどから得られるイリジウムティップの先端の結晶の変化状態に応じて、この時点で窒素のＦＩＭパターンが見えるティップ電圧以上の増大側に変化させてもよい。
そして、最終的には１点だけの輝点が残り、イリジウムティップの先端が１個の原子のみで構成された状態になる。
また、酸素の代わりにヘリウムを用いてもよい。【０１０５】  上記のステップＳ１０からステップＳ４０の処理により、図７（Ａ）、（Ｂ）に示すような１つの｛１００｝結晶面と２つの｛１１１｝結晶面とで取り囲まれた＜２１０＞方位の１個の原子のみによる先端（頂点）を有する角錐構造を備えるイリジウムティップを作製することができる。【０１０６】  イリジウムティップを、後述するガス電界電離イオン源に用いる場合、ステップＳ３０の電界誘起ガスエッチング工程およびステップＳ４０のリモールディング工程を、イオンビームが放出されるガス電界電離イオン源内で実施することができる。これにより、イリジウムティップをガス電界電離イオン源の外部から移設する工程を不要とし、移設時の不純物の付着を防止することができ、作業効率を向上させることができる。【０１０７】  なお、上述した本実施例のイリジウムティップは、イリジウムの単結晶のティップティップ部材の先端を原子レベルに先鋭化させた構造を有するとしたが、これに限定されず、先鋭化されたイリジウムティップの表面上に、メッキなどによって、イリジウムの薄膜が被覆されてもよい。
【実施例３】
【０１０８】ガス電界電離イオン源
実施例１におけるイリジウム製のティップ５を用いた実態例としてガス電界電離イオン源について説明する。【０１０９】  本実施例のイリジウムティップ５はイリジウムから成り、先鋭化された＜２１０＞方位の単結晶の先端部に、１つの｛１００｝結晶面および２つの｛１１１｝結晶面により取り囲まれた＜２１０＞方位の１個のイリジウム原子のみにより形成された先端を有する角錐構造を備えている。これらの結晶面および角錐構造は、事前のＦＩＭ像観察により確認可能である。【０１１０】  イオン源ガス供給部９５からイオン源室８４に供給されるガス、つまりＦＩＢを形成するための原材料ガスは、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、およびキセノンなどのような希ガスでもよいし、水素、酸素、および窒素などの分子ガスでもよい。また、これらのガスの混合ガスでもよい。【０１１１】  本実施例ではイオン源ガスとして窒素ガスを用いている。従来の商用のガス電界電離イオン源ではタングステンのティップが用いられているが、窒素ガスはタングステンを腐食（エッチング）するため、窒素を主成分とするガスを用いて窒素イオンを積極的に放出させることはない。寧ろ、イオン源室８４に窒素が残留しないように、また、イオン源ガス供給部９５から供給されるガスには窒素が混入しないように設定され、窒素ガスの使用は抑制されている。また、ティップ先端形状を成形する場合に、ヘリウムなどの希ガスを主成分に極微量の窒素ガスが添加される程度である。【０１１２】  本実施例のイリジウムティップにより、イリジウムティップの先端の原子が長期間に亘って脱落することなく保持されるため、長期間安定してイオンを放出することができる。さらに、イリジウムティップ５の先端の角錐構造の各錐面の原子配列が緻密であるので、イリジウムティップ周辺の不純物粒子がイリジウムティップに付着し難く、電流変動または照射位置変動が極めて小さいＦＩＢを形成することができ、高性能なＦＩＢ装置を提供することができる。これにより、イリジウムティップ５の先端の原子を１個に復帰させる再生処理の実行が必要とされる回数を格段に減少させ、装置の保守に要する時間を削減し、ユーザの負担を大幅に軽減することができる。
【実施例４】
【０１１３】集束イオンビーム装置
本実施例は、ガス電界電離イオン源を備える集束イオンビーム（ＦＩＢ）装置である。ＦＩＢ装置は、走査イオン顕微鏡（ＳＩＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｉｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）ともいうが、主に対象試料の加工（例えば、穴開け、断面形成、およびデポジション膜形成など）と観察とを行なう装置をＦＩＢ装置と言い、専ら対象試料の形状観察を行なう装置を走査イオン顕微鏡という。従って、ＦＩＢ装置では対象試料を積極的にスパッタ可能なイオン種が用いられ、走査イオン顕微鏡では対象試料をスパッタし難い、質量の小さいヘリウムなどの軽元素イオンが用いられる。但し、何れの装置においても、イオンビームの集束性およびイオンビーム放出の長期安定性は共通して求められる。【０１１４】  図９は、ＦＩＢ装置８０の概略構成である。ＦＩＢ装置８０は、主に、イオンビーム鏡筒８１と、試料室８２と、制御部８３と、を備えている。
イオンビーム鏡筒８１は、少なくとも、イオンを発生するイリジウムティップ５を備えるイオン源室８４と、このイオン源室８４から放出されたイオンをＦＩＢ８５に集束させるコンデンサレンズ電極８６と、ＦＩＢ８５を試料８７にフォーカスさせる対物レンズ電極８８と、を備えている。【０１１５】  さらに、イオンビーム鏡筒８１は、イオン源室８４と試料室８２との間に中間室８９を備え、イオン源室８４と中間室８９との間と、試料室８２と中間室８９との間にオリフィス９０、９１を備えている。ＦＩＢ８５は、オリフィス９０、９１を通過して、試料８７に照射される。これにより、試料の微細部を拡大して観察することができ、この集束イオンビーム装置はイオン顕微鏡とも呼ばれる。
中間室８９は真空ポンプ９２に接続され、真空ポンプ９２によって真空度が調整可能であり、中間室８９は試料室８２とイオン源室８４との間で差動排気可能である。【０１１６】  イオン源室８４は、イリジウムティップ５を備えるとともにＦＩＢ８５を放出するガス電界電離イオン源９３と、イリジウムティップ５の周囲にＦＩＢ８５を引き出すための電界を形成する引出し電極９４と、を備えている。
イリジウムティップ５はイリジウムの単結晶からなる。実施例１で示したティップ形状のいずれかの形状を有している。なお、イリジウムティップ５は、イリジウムの単結晶からなる針状の基材の表面に、電気メッキまたは蒸着などでイリジウムが被覆されたものであってもよい。イリジウムティップ５は、先端部に上述した実施例３に記載の角錐構造を備えている。【０１１７】  イリジウムティップ５にはヒータ９５が接続されている。ヒータ９５はイリジウムティップ５の温度を調整可能であり、イリジウムティップ５の表面を洗浄する際およびイリジウムティップ５先端部の角錐構造を作製する際などに用いられる。【０１１８】  また、イオン源室８４には、イリジウムティップ５を冷却する冷却装置９６と、イオン源室８４内にイオン源ガスを供給するイオン源ガス供給部９７と、イオン源室８４を真空状態にする真空ポンプ９８となどが接続されている。
冷却装置９６は、液体窒素または液体ヘリウムなどの冷媒によってイリジウムティップ５またはイオン源ガス供給部９７からイオン源室８４に供給されるイオン源ガスを冷却する。例えば、冷却装置９６は、イオン源室８４を接続する接続部９９とイオン源室８４の壁部１００とを介して、イリジウムティップ５およびイオン源ガスを冷却する。【０１１９】  なお、冷却装置は、この構成に限定されるものではなく、少なくともイリジウムティップ５を冷却すればよく、例えば冷却ブロックや冷凍機などを備える構成であってもよい。また、イオン源室とティップアセンブリの間には、イリジウムティップ５の熱を放熱するためのコールドヘッドが配設されている。コールドヘッドは、アルミナもしくはサファイヤ、または窒化アルミニウムなどのセラミックス材料によりブロック型に形成され、ベース部材に固定されている。【０１２０】  イオン源ガス供給部９５から供給されるイオン源ガスは、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、およびキセノンなどの希ガスでもよいし、水素、酸素、および窒素などの分子ガスでもよい。イオン源ガスはイリジウムティップ５の先端からイオンとして放出され、ＦＩＢ８５のエネルギー分布幅が極めて狭いために色収差の影響は小さく抑えられる。本実施例のガス電界電離イオン源９３は、従来公知である例えばプラズマ型ガスイオン源または液体金属イオン源と比較して、イオン発生領域が極めて小さい高輝度なイオン源となる。本実施例ではイオン源ガスは窒素である。窒素は比較的低い電界強度（例えば、１７Ｖ／ｎｍ）で電界電離するが、イリジウムティップ５の表面に物理吸着した異物はそれより低い電界強度で脱離するため、窒素をイオン化する際にはイリジウムティップ５の表面は異物が除去された清浄な状態となる。【０１２１】  また、水素（電界電離の電界強度は約２２Ｖ／ｎｍ）と、ヘリウム（電界電離の電界強度は約４４Ｖ／ｎｍ）と、ネオン（電界電離の電界強度は約３５Ｖ／ｎｍ）と、アルゴン（電界電離の電界強度は約２２Ｖ／ｎｍ）などは、窒素に比べてより強電界でなければイオン化されない。このため、これらのガスがイオン源室８４に残留していてもイオン化されないので、イオン源ガス供給部９５から供給される窒素の純度は特に超高純度である必要はない。これにより、装置の運転に要する費用を削減することができる。【０１２２】  窒素ガスはある金属に対しては腐食性を有するため、従来のタングステンティップを用いたガス電界電離イオン源においては、ヘリウム中に僅かに窒素が混入しただけでも、タングステンティップが腐食（エッチング）され、ティップ形状が変形し、イオンを放出するためのティップ先端部が損傷する。このため、タングステンティップを用いた従来のガス電界電離イオン源では、窒素ガスを主成分として供給したとしても、窒素イオンビームの生成は実現困難であった。【０１２３】  なお、イオン源ガス供給部９５に備えられるガス種は１種類に限ることはなく、複数のガス種のガスボンベ（図示略）が設置されて、必要に応じてガス種が切替えられて、または複数のガス種が混合されて、イオン源室８４に供給されてもよい。【０１２４】  以下に、イリジウムティップ５の温度制御について説明する。
イリジウムティップ５の温度が低いとガス分子の吸着密度が高くなる。従って、イリジウムティップ５の温度を低くすることでＦＩＢ８５の電流量を増大させることができる。しかし、イリジウムティップ５の温度を低くすると、ガス種や冷却温度によっては、イオン源室８４の壁部１００または冷却装置９６とイオン源室８４との接続部９９にガス分子が吸着し、固体化する場合がある。固体化したガス分子はイオン源室８４の温度が上がった際に、一斉に気化するため、イオン源室８４のガス分圧が急激に高くなり、ガス電界電離イオン源の動作が不安定になったり、放電してティップ先端が損傷したりする虞がある【０１２５】  温度制御部１０１によりイリジウムティップ５の冷却温度は、イオン源ガス供給部９５から供給されるイオン源ガスのガス種によって異なるが、本実施例では約４０Ｋから２００Ｋの範囲で温度設定可能である。これにより、微細加工に必要な電流量のイオンビームを安定して照射することができる。【０１２６】  このガスイオンのＦＩＢは、試料８７の照射部（図示略）から発生する二次電子により試料表面の観察を可能とし、試料８７に照射されるイオンによる試料８７のスパッタリングにより試料表面の加工（例えば、穴開け、および表面層の除去など）を可能とする。
さらに、イオン源ガス供給部９７は、イオン源ガスを貯蔵するガス貯蔵部（図示略）とイオン源ガスをイリジウムティップ５近傍に供給するノズル部９６ａとを備え、ノズル９６ａとイオン源ガス供給部９７の間に高精度のバルブ９６ｂを設けて、イリジウムティップ５の先端に積極的に流量を調整しつつイオン源ガスを供給可能である。【０１２７】  また、イオンビーム鏡筒８１は、ガス電界電離イオン源９３のイリジウムティップ５の先端の原子配列を確認するためのＦＩＭ（電界イオン顕微鏡）像を得るための検出器（図示略）を備えている。この検出器は鏡筒内で移動可能であり、ＦＩＭ像の確認が不要な場合は、イオンビーム軸から遠ざけて待機させることも可能である。この検出器は、イオン電流が不安定になった場合または観察像が乱れてきた場合など、必要に応じてイリジウムティップ５の先端の原子配列を確認することができる。【０１２８】  試料室８２は、イオンビーム鏡筒８１から照射されるＦＩＢ８５の照射位置に試料８７を移動させる試料ステージ１０２を収容している。試料ステージ１０２は操作者の指示などに基づいて動作し、５軸に変位することができる。すなわち、試料ステージ１０２は、同一面内で互いに直交するＸ軸とＹ軸と、これらに直交するＺ軸とに沿って試料ステージ１０２を移動させるＸＹＺ軸機構（図示略）と、Ｘ軸またはＹ軸回りで試料ステージ１０２を回転させ傾斜させるチルト軸機構（図示略）と、Ｚ軸回りで試料ステージ１０２を回転させる回転機構（図示略）と、を備える変位機構（図示略）により支持されている。【０１２９】  試料室８２には、ＦＩＢ８５の走査照射により発生する二次イオンまたは二次電子を検出する検出器１０３を備えている。これにより、二次イオンまたは二次電子の検出信号とＦＩＢ８５の走査信号とから観察像を生成可能である。検出器１０３として反射イオン検出器を用いる場合、試料８７から発生した反射イオンを検出して、反射イオン像を形成可能である。【０１３０】  さらに、試料室８２には、ＦＩＢ８５の照射中に試料８７にガスを吹き付け可能なガス供給部１０４を備えている。ガス供給部１０４は、ガスを貯蔵するガス貯蔵部（図示略）とガスを試料８７近傍に吹き付けるノズル部１０４ａとを備えている。ガス供給部１０４は、ガスの流量を調整するマスフローコントローラなどのガス流量調整部（図示略）を備えてもよい。ガス供給部１０４から、試料８７の照射部（図示略）に、炭素系ガスまたはプラチナもしくはタングステンなどの金属を含有した炭素系化合物ガス（有機化合物ガス）などのデポジションガスを吹きつけながらＦＩＢ８５を照射することにより、試料表面にデポジション膜を形成可能である。逆に、ヨウ素などのハロゲン系のエッチングガスをガス供給部１０４から吹きつけながらＦＩＢを照射することにより、試料表面の異物を選択に除去したり、スパッタリングによる加工よりも早い速度で加工したりすることができる。
さらに、試料室８２には試料室８２内の真空度を調整可能な真空ポンプ１０５が接続されている。【０１３１】  制御部８３は、像形成部１０６と、引出し電圧制御部１０７と、イオン源ガス制御部１０８と、温度制御部１０１と、を備えている。さらに、制御部８３は、コンデンサレンズ電極（図示略）および対物レンズ電極（図示略）などへの電圧印加と、試料ステージ１０２の移動となどを制御可能である。【０１３２】  像形成部１０６は、検出器１０３から出力される検出信号から観察像を生成し、生成した観察像を表示部１０９に表示する。従って、ＦＩＢ８５を試料８７に照射し、発生した二次イオンまたは二次電子を検出器１０３により検出することで、試料８７の観察像を表示部１０９に表示して、観察可能な状態にすることができる。また、検出器１０３により二次電子を検出することで試料表面の形態を検知可能であり、検出器１０３により二次イオンを検出することで試料を構成する元素の分布を検知可能である。
引出し電圧制御部１０７は、引出し電極９４への印加電圧を制御する。引出し電圧制御部１０７は、放出イオン電流が調整される場合およびイリジウムティップ５の先端の角錐構造が作製または処理される場合などに用いられる。【０１３３】  イオン源ガス制御部１０８は、イオン源ガスの流量を調整するマスフローコントローラなどのガス流量調整部（図示略）を備えるイオン源ガス供給部９７を制御する。
温度制御部１０１は、イリジウムティップ５の温度またはイオン源ガスの温度を冷却する冷却装置９６と、イリジウムティップ５を加熱洗浄する際に用いられるヒータ９５と、を制御可能である。【０１３４】  このＦＩＢ装置８０によって、例えば直径１ｎｍ以下の集束窒素イオンビームを形成可能である。集束窒素イオンビームの安定性は、例えば１％／時間以下の高安定度であり、例えば約３０日間の連続動作であってもイリジウムティップ５の先端の原子が脱落することはなく、イオン放出が中断することは無い。また、イオン発生位置が変動すること無く、連続して集束窒素イオンビームが形成されることが、本発明者によって確認された。これは上記非特許文献１に記載の約２２５０秒（高々４０分）の連続動作に比べて遥かに長寿命である。このため、高分解能で表面形態や元素分布を可視化でき、長寿命で高安定なＦＩＢ装置８０を提供することができる。従来のガス電界電離イオン源を用いた商用ＦＩＢ装置では、ヘリウムイオンを用いるので、イオンの質量が非常に軽く、試料表面を殆ど加工することができなかった。これに対して、本実施例による窒素ガスを用いたＦＩＢ装置８により試料表面の加工が可能となり、その集束性により、従来の商用のガリウムＦＩＢ装置に比べても、更に微細な局所的加工が可能となった。【０１３５】  上述の実施例４では、ＦＩＢ装置８０について説明をしたが、このＦＩＢ装置８０に走査電子顕微鏡の鏡筒を搭載して、ＦＩＢ８５と電子ビームが試料表面のほぼ同位置に照射されるように配置した複合装置（イオン電子複合ビーム装置）を構成してもよい。【０１３６】  また、上述のＦＩＢ装置８０の試料室８２に二次イオン検出器を搭載し、試料の照射部（図示略）から発生する二次イオンを分析して照射部を構成する元素を同定することも可能である。例えば、ある領域をＦＩＢで走査し、元素分析することで、特定元素のマップを作成することができる。特に、酸素ＦＩＢを用いることで、微細領域の高感度な元素分析が可能となる。これに対して、従来のガリウムＦＩＢ装置を用いた二次イオンの分析では、試料内に打込まれたガリウムも検出され、試料に元々含まれていたガリウムと区別ができないという問題が生じるが、本実施例ではそのような問題は発生しない。また、本実施例のＦＩＢ装置８０は、従来のガリウムＦＩＢ装置に比べてビームの集束性が良好であるため、より微細領域の元素分析が可能である。【０１３７】  また、上述のＦＩＢ装置８０は、半導体製造時に用いるフォトマスク修正装置としても適用することができ、最近の極微小な半導体パターンに対応する複雑で超微細なマスクの欠陥部をＦＩＢ照射により除去し、デポジション機能でパターンを付加させることも可能である。【０１３８】  なお、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、上述した実施形態の構成はほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【符号の説明】
【０１３９】１…ティップアセンブリ、２…ベース部材、３…導通ピン、４…フィラメント、
５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅ…ティップ、６…角錐構造、７…凹部、
４１…イリジウム原子、４２…イリジウム原子、４３…イリジウム原子、
４４ａ、４４ｂ、４４ｃ…錐面、４５ａ、４５ｂ、４５ｃ…稜線、４６…頂点、
４７…最上面（最表面）のイリジウム原子、４８…第２面のイリジウム原子、
８０…集束イオンビーム（ＦＩＢ）装置、８１…イオンビーム鏡筒、８２…試料室、
８３…制御部、８４…イオン源室、８５…集束イオンビーム、
８６…コンデンサレンズ電極、８７…試料、８８…対物レンズ電極、８９…中間室、
９０、９１…オリフィス、９２…真空ポンプ、
９３…ガス電界電離イオン源（ＧＦＩＳ）、９４…引出し電極、９５…ヒータ、
９６…イオン源ガス供給部、９７…イオン源ガス供給部、９８…真空ポンプ、
９９…接続部、１００…壁部、１０１…温度制御部、１０２…試料ステージ、
１０３…検出器、１０４…ガス供給部、１０５…真空ポンプ、１０６…像形成部、
１０７…引出し電圧制御部、１０８…イオン源ガス制御部、１０９…表示部、
５００…ティップ、５０１…ガス分子、５０２…電源、５０３…引き出し電極、
５０３ａ…開口、５０４…イオン、５０５…微小突起、
５０６…ティップアセンブリ、５０７…ベース部材、５０８…通電ピン、
５０９…フィラメント、５１０…ガス電界電離イオン源（ＧＦＩＳ）、
５１１…イオン源ガス供給部、５１１ａ…バルブ、５１１ｂ…ガス導入管、
５１２…冷却装置、５１３…イオン源室、５１４…壁面、
５５１…イリジウム原子、５５２…イリジウム原子、５５３…イリジウム原子、
５５４ａ、５５４ｂ、５５４ｃ…錐面、５５５ａ、５５５ｂ、５５５ｃ…稜線、
５５６…頂点、５５７…最上面（最表面）のイリジウム原子、
５５８…第２面のイリジウム原子、
Ｓ１０…電解研磨工程、
Ｓ２０…ＦＩＢ加工工程、
Ｓ３０…電界誘起ガスエッチング工程、
Ｓ４０…リモールディング工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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