(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状に形成された検出素子と、前記検出素子を取り囲む筒状の空間が内部に形成された主体金具とを備えるセンサにおいて、前記検出素子の周囲を取り囲むように前記主体金具の内部に収容されるセラミック部品の製造方法であって、
前記セラミック部品が前記主体金具の内部に収容されたときに先端側となる先端面を形成するための先端面成形面が形成された先端面形成部と、
前記セラミック部品が前記主体金具の内部に収容されたときに後端側となる後端面を形成するための後端面形成部と、
前記セラミック部品の外周面を形成するための貫通孔が形成された外周面形成部とを用い、
前記貫通孔は、前記後端面形成部が位置する上側の端部から下側へ向けて延びる上部孔と、前記上部孔よりも径が小さくなるように形成されて前記先端面形成部が位置する下側の端部から上側へ向けて延びる下部孔と、前記上部孔と前記下部孔との間に配置されて前記上部孔との接続箇所から前記下部孔との接続箇所へ向うにつれて径が小さくなるように形成された接続孔とを備え、
前記貫通孔の内部にセラミック粉末を含むセラミック材料を投入し、前記先端面形成部と前記後端面形成部と前記外周面形成部とにより前記セラミック材料を圧縮することにより、前記セラミック材料を前記セラミック部品の形状となるように成形する
ことを特徴とするセラミック部品の製造方法。
【請求項２】
前記先端面形成部と前記後端面形成部と前記外周面形成部とにより前記セラミック材料を圧縮する場合に、前記先端面成形面は、前記接続孔よりも下側に位置する
ことを特徴とする請求項１に記載のセラミック部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスセンサの主体金具の内部に挿入されるセラミック部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検出素子と、検出素子を取り囲む筒状の空間が内部に形成された主体金具とを備えるガスセンサが知られている。
このようなガスセンサは、検出素子と主体金具との間に配置されるように主体金具の内部にセラミック部品を収容することにより、検出素子の先端と後端が主体金具から突き出た状態で検出素子を固定している（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−２１９０９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のガスセンサの製造工程において、主体金具の内部にセラミック部品を挿入する際に、主体金具とセラミック部品とが接触し、セラミック部品が破損してしまうおそれがあった。
【０００５】
本発明は、こうした問題に鑑みてなされたものであり、ガスセンサのセラミック部品の破損を軽減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するためになされた本発明は、長尺状に形成された検出素子と、主体金具とを備えるセンサにおいて、検出素子の周囲を取り囲むように主体金具の内部に収容されるセラミック部品の製造方法である。主体金具は、検出素子を取り囲む筒状の空間が内部に形成されたものである。
【０００７】
本発明のセラミック部品の製造方法は、先端面形成部と、後端面形成部と、外周面形成部とを用いる。先端面形成部は、セラミック部品が主体金具の内部に収容されたときに先端側となる先端面を形成するための先端面成形面が形成されたものである。後端面形成部は、セラミック部品が主体金具の内部に収容されたときに後端側となる後端面を形成するためのものである。外周面形成部は、セラミック部品の外周面を形成するための貫通孔が形成されたものである。
【０００８】
そして貫通孔は、上部孔と、下部孔と、接続孔とを備える。上部孔は、後端面形成部が位置する上側の端部から下側へ向けて延びる。下部孔は、上部孔よりも径が小さくなるように形成されて先端面形成部が位置する下側の端部から上側へ向けて延びる。接続孔は、上部孔と下部孔との間に配置されて上部孔との接続箇所から下部孔との接続箇所へ向うにつれて径が小さくなるように形成されたものである。
【０００９】
また、本発明のセラミック部品の製造方法は、貫通孔の内部にセラミック粉末を含むセラミック材料を投入し、先端面形成部と後端面形成部と外周面形成部とによりセラミック材料を圧縮することにより、セラミック材料をセラミック部品の形状となるように成形する。
【００１０】
このように構成された本発明のセラミック部品の製造方法では、セラミック部品の外周面の形状を上部孔の内周壁により形成することができ、セラミック部品の先端面の形状を先端面成形面と接続孔の内周壁とにより形成することができる。そして接続孔は、上部孔から下部孔へ向うにつれて径が小さくなるように形成されている。このため、外周面形成部の下部孔と先端面形成部との間の隙間にセラミック粉末が入り込むことにより、セラミック部品の先端面から突出するようにセラミック部品の先端面上に形成される突起部は、上部孔の径と下部孔の径との相違分、セラミック部品の外周面から離れた位置に形成される。
【００１１】
これにより、セラミック部品の先端面上に形成される突起部が外周面から離れた分、セラミック部品を主体金具の内部に挿入する際に、主体金具とセラミック部品の上記突起部とが接触し難くすることができる。このため、本発明のセラミック部品の製造方法は、ガスセンサの製造工程においてセラミック部品の破損を軽減するができ、ひいては、ガスセンサの製造工程においてセラミック部品を主体金具の内部に収容させる際の歩留まりを向上させることができる。
【００１２】
また本発明のセラミック部品の製造方法では、先端面形成部と後端面形成部と外周面形成部とによりセラミック材料を圧縮する場合に、先端面成形面は、接続孔よりも下側に位置するようにしてもよい。これにより、本発明のセラミック部品の製造方法は、先端面成形面と接続孔の内周壁とにより形成されるセラミック部品の先端面において、先端面成形面により形成される部分が接続孔の内周壁により形成される部分よりも後端側に凹んでしまう事態の発生を抑制することができる。このため、本発明のセラミック部品の製造方法は、先端面成形面により形成される部分が接続孔の内周壁により形成される部分よりも後端側に凹んでいるセラミック部品が製品として適格ではない場合に、ガスセンサの製造工程においてセラミック部品を主体金具の内部に収容させる際の歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】ガスセンサ１の構成を示す断面図である。
【図２】セラミックホルダ４１の後端側を示す平面図と、セラミックホルダ４１を一部破断して示す正面図である。
【図３】アルミナ粉末を圧縮する際における金型１００の第１の状態を示す断面図である。
【図４】アルミナ粉末を圧縮する際における金型１００の第２の状態を示す断面図である。
【図５】アルミナ粉末を圧縮する際における金型１００の第３の状態を示す断面図である。
【図６】円弧部１１１ｃの付近におけるダイ１０１と下型１０２とコアピン１０４の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明の実施形態を図面とともに説明する。
本発明が適用された実施形態のガスセンサ１は、図１に示すように、主体金具２と、ガスセンサ素子３と、保持部４と、プロテクタ５と、外筒６と、複数のリード線７と、複数の接続端子８と、分離部９と、グロメット１０を備える。図１において、ガスセンサ１の下端側を先端側ＦＥといい、ガスセンサ１の上端側を後端側ＢＥという。
【００１５】
主体金具２は、例えばステンレス等の耐熱金属で筒状に形成された部材である。主体金具２は、本体部２１と六角部２２を備える。
本体部２１は、ガスセンサ１の軸線Ｏの方向（以下、軸線方向ＤＡという）に延びる円筒状に形成され、その外周に雄ネジ２１ａが形成されている。雄ネジ２１ａは、ガスセンサ１を内燃機関の排気管に取り付けるために排気管に設けられている取付ネジ孔に嵌め合わせることが可能な形状を有する。また本体部２１は、軸線方向ＤＡに沿って貫通する貫通孔２１ｂを備える。貫通孔２１ｂの内周壁には、径方向内側に向かって突出する段部２１ｃが形成されている。
【００１６】
六角部２２は、本体部２１において雄ネジ２１ａよりも後端側ＢＥに位置する外周から径方向に沿って外側へ延びて外周が六角形の板状に形成されている。六角部２２は、ガスセンサ１を排気管に取り付けるときに六角レンチ等の取付工具を嵌合させるための部位である。
【００１７】
ガスセンサ素子３は、素子本体部３１と保護層３２を備える。素子本体部３１は、軸線方向ＤＡに延びる長尺の板状に形成されている。そして、素子本体部３１の先端側ＦＥに、ガスセンサ素子３が晒される測定対象ガス（本実施形態では内燃機関の排気ガス）に含まれる特定ガス（本実施形態では酸素）の濃度を検出する検知部３１ａが形成されている。保護層３２は、多孔質状のアルミナで形成されており、少なくとも検知部３１ａを覆うようにして素子本体部３１の先端側ＦＥに配置される。
【００１８】
保持部４は、セラミックホルダ４１と滑石リング４２とセラミックスリーブ４３とパッキン４４を備える。
セラミックホルダ４１は、本体部２１の段部２１ｃによって支持された状態で本体部２１の貫通孔２１ｂ内に収容可能な略円筒状に形成されたアルミナ製の部材である。セラミックホルダ４１には、軸線方向ＤＡに沿って貫通する貫通孔４１ａが形成されており、貫通孔４１ａ内にガスセンサ素子３が挿入される。
【００１９】
滑石リング４２は、滑石粉末を圧縮することにより略円筒状に形成された部材である。滑石リング４２には、軸線方向ＤＡに沿って貫通する貫通孔４２ａが形成されており、貫通孔４２ａ内にガスセンサ素子３が挿入される。滑石リング４２は、セラミックホルダ４１よりも後端側ＢＥで貫通孔２１ｂ内に収容される。
【００２０】
セラミックスリーブ４３は、本体部２１の貫通孔２１ｂ内に収容可能な略円筒状に形成されたアルミナ製の部材である。セラミックスリーブ４３には、軸線方向ＤＡに沿って貫通する貫通孔４３ａが形成されており、貫通孔４３ａ内にガスセンサ素子３が挿入される。これにより、セラミックスリーブ４３は、滑石リング４２よりも後端側ＢＥで本体部２１の貫通孔２１ｂ内に収容される。
【００２１】
パッキン４４は、本体部２１の貫通孔２１ｂ内に収容可能な円環状に形成された部材である。パッキン４４は、セラミックスリーブ４３と、本体部２１における後端側ＢＥの端部２１ｄとの間に配置される。本体部２１の端部２１ｄは、パッキン４４を介してセラミックスリーブ４３を先端側ＦＥへ押し付けるように加締められる。これにより、保持部４は、ガスセンサ素子３の先端側ＦＥが主体金具２の先端部よりも先端側ＦＥに突出するとともに、ガスセンサ素子３の後端側ＢＥが主体金具２の後端部よりも後端側ＢＥに突出する状態で、ガスセンサ素子３を保持する。
【００２２】
プロテクタ５は、主体金具２から突出するガスセンサ素子３の先端側ＦＥの端部を覆うように筒状に形成された金属製の部材である。プロテクタ５には、複数のガス取入孔５ａが形成されている。プロテクタ５は、溶接により、主体金具２の先端側ＦＥの外周に接合されている。
【００２３】
プロテクタ５は、二重構造をなしており、外側プロテクタ５１と内側プロテクタ５２を備える。外側には、有底円筒状の外側プロテクタ５１が配置され、内側には、有底円筒状の内側プロテクタ５２が配置される。
【００２４】
外筒６は、軸線方向ＤＡに延びる筒状に形成された金属製の部材である。外筒６は、先端側ＦＥの端部の開口部内に、主体金具２の後端側ＢＥの端部を嵌め込んだ状態で固定される。
【００２５】
複数のリード線７は、素子本体部３１の後端側ＢＥに形成された複数の電極パッド（不図示）のそれぞれに対応して設けられており、素子本体部３１と、ガスセンサ素子３を駆動制御するセンサ制御装置とを電気的に接続するための導線である（図１では３本のリード線７を示す）。
【００２６】
複数の接続端子８は、複数のリード線７のそれぞれに対応して設けられ、対応するリード線７の一端部に取り付けられる。
分離部９は、セパレータ９１と保持部材９２を備える。セパレータ９１は、軸線方向ＤＡに延びる円筒状に形成されたセラミック製の部材であり、外筒６内に配置される。セパレータ９１の内部には、複数の接続端子８と、素子本体部３１の後端側ＢＥの一部分とを収容可能な空間が形成されている。セパレータ９１は、複数の接続端子８の後端側ＢＥがセパレータ９１の後端側ＢＥより突出しており且つ複数の接続端子８が互いに接触しない状態を保持して、複数の接続端子８を内部に収容する。またセパレータ９１は、複数の接続端子８がそれぞれ素子本体部３１の電極パッドに接触している状態を保持する。また、セパレータ９１の後端側ＢＥの外周面には、径方向に沿って外側へ延びる鍔部９１ａが形成されている。
【００２７】
保持部材９２は、本体部９２ａと湾曲部９２ｂを備える。本体部９２ａは、軸線方向ＤＡに延びる筒状に形成された金属製の部材である。湾曲部９２ｂは、本体部９２ａの後端側ＢＥから延びてＵ字状に曲げられた部材である。保持部材９２は、鍔部９１ａよりも先端側ＦＥで主体金具２とセパレータ９１との間に位置するように設置される。これにより、本体部９２ａは、主体金具２の内周面に接触する状態となり、湾曲部９２ｂは、セパレータ９１の鍔部９１ａをその内側に向けて押し付ける状態となる。このため、セパレータ９１は保持部材９２によって外筒６内に保持される。
【００２８】
グロメット１０は、軸線方向ＤＡに延びる円筒状に形成されたフッ素ゴム製の弾性部材である。グロメット１０には、軸線方向ＤＡに沿って貫通する複数の貫通孔１０ａが形成されている。複数の貫通孔１０ａは、上記の複数のリード線７のそれぞれに対応して設けられており、複数の貫通孔１０ａには、それぞれ対応するリード線７が挿入される。
【００２９】
グロメット１０は、外筒６における後端側ＢＥの端部の開口部６ａの内側に配置され、外筒６を介して径方向に加締められる。これにより、外筒６における後端側ＢＥの端部の開口部６ａが閉塞される。
【００３０】
図２（Ａ）および図２（Ｂ）に示すように、セラミックホルダ４１における後端側ＢＥの面４１ｂ（以下、後端面４１ｂ）は、軸線方向ＤＡに対して垂直な平面である。貫通孔４１ａにおける後端側ＢＥの開口部４１ｃは、矩形状に形成されている。
【００３１】
図２（Ｂ）に示すように、セラミックホルダ４１における先端側ＦＥの面４１ｄ（以下、先端面４１ｄ）は、後端側ＢＥから先端側ＦＥへ向かうにつれて径が小さくなるようにテーパ状に形成されている。貫通孔４１ａにおける先端側ＦＥの開口部４１ｅは、開口部４１ｃよりも開口面積が大きくなるように形成されている。
【００３２】
次に、セラミックホルダ４１の製造方法を説明する。
図３に示すように、金型１００は、ダイ１０１と、下型１０２と、上型１０３と、コアピン１０４を備える。図３において、金型１００の下端側を下端側ＤＥといい、金型１００の上端側を上端側ＵＥという。
【００３３】
ダイ１０１には、下型１０２、上型１０３およびコアピン１０４を内部に挿入するために、軸線方向ＤＢに沿って貫通する貫通孔１１１が形成されている。
貫通孔１１１は、大径部１１１ａ、小径部１１１ｂおよび円弧部１１１ｃを備える。
【００３４】
大径部１１１ａは、ダイ１０１における上端側ＵＥの端部から下端側ＤＥへ向けて貫通する部分であり、小径部１１１ｂよりも大きい直径Ｄａを有する円筒状に形成されている。小径部１１１ｂは、ダイ１０１における下端側ＤＥの端部から上端側ＵＥへ向けて貫通する部分であり、大径部１１１ａよりも小さい直径Ｄｂを有する円筒状に形成されている。
【００３５】
円弧部１１１ｃは、大径部１１１ａと小径部１１１ｂとの間に配置されている。円弧部１１１ｃは、上端側ＵＥから下端側ＤＥへ向かうにつれて径が小さくなるように、断面が円弧状となる曲面が形成された内周面を有するように形成されている。
【００３６】
下型１０２は、貫通孔１１１の小径部１１１ｂの直径Ｄｂと略同じ外径を有して軸線方向ＤＢに延びる円筒状に形成されている。下型１０２には、コアピン１０４を内部に挿入するために、軸線方向ＤＢに沿って貫通する貫通孔１２１が形成されている。下型１０２における上端側ＵＥの面１２２は、セラミックホルダ４１の先端面４１ｄに対応した形状に成形されている。そして下型１０２は、ダイ１０１の下端側ＤＥから貫通孔１１１内に挿入される。
【００３７】
上型１０３は、貫通孔１１１の大径部１１１ａの直径Ｄａと略同じ外径を有して軸線方向ＤＢに延びる円筒状に形成されている。上型１０３には、コアピン１０４を内部に挿入するために、軸線方向ＤＢに沿って貫通する貫通孔１３１が形成されている。上型１０３における下端側ＤＥの面１３２は、セラミックホルダ４１の後端面４１ｂに対応した形状に成形されている。そして上型１０３は、ダイ１０１の上端側ＵＥから貫通孔１１１内に挿入される。
【００３８】
コアピン１０４は、下型挿入部１４１と上型挿入部１４２を備える。下型挿入部１４１は、軸線方向ＤＢに延びて、下型１０２の貫通孔１２１内で摺動可能に嵌め合わされる形状を有している。上型挿入部１４２は、下型挿入部１４１における上端側ＵＥの端部から軸線方向ＤＢに延びて突出し、上型１０３の貫通孔１３１内で摺動可能に嵌め合わされる形状を有している。
【００３９】
セラミックホルダ４１を製造するには、まず、下型１０２の上端側ＵＥ側がダイ１０１の貫通孔１１１の小径部１１１ｂに挿入され、さらに、コアピン１０４の下型挿入部１４１が下型１０２の貫通孔１２１に挿入された状態とする。これにより、下端側ＤＥが下型１０２とコアピン１０４により閉塞されるとともに上端側ＵＥが開放された空間ＥＳが、貫通孔１１１内に形成される。この空間ＥＳに、セラミックホルダ４１の原料となるアルミナ粉末を投入する。
【００４０】
その後、図４に示すように、下型１０２とコアピン１０４を貫通孔１１１内で上端側ＵＥ側へ向かって移動させ、また、上型１０３の貫通孔１３１内にコアピン１０４の上型挿入部１４２が挿入された状態で上型１０３を貫通孔１１１内で下端側ＤＥ側へ向かって移動させる。これにより、空間ＥＳ内のアルミナ粉末が圧縮される。
【００４１】
そして、図５に示すように、セラミックホルダ４１の形状に基づいて予め設定された目標移動位置まで、下型１０２、上型１０３およびコアピン１０４を移動させることによって、アルミナ粉末が所望の形状に成形される。なお、下型１０２の目標移動位置は、上端側ＵＥの面１２２が貫通孔１１１の円弧部１１１ｃよりも下端側ＤＥ側となるように設定されている。
【００４２】
このように構成されたセラミックホルダ４１は、長尺状に形成されたガスセンサ素子３と、主体金具２とを備えるガスセンサ１において、ガスセンサ素子３の周囲を取り囲むように主体金具２の内部に収容されるものである。主体金具２は、ガスセンサ素子３が軸線方向ＤＡに延びてガスセンサ素子３の先端と後端が突き出た状態でガスセンサ素子３を取り囲む筒状の空間が内部に形成されたものである。
【００４３】
セラミックホルダ４１の製造方法は、下型１０２と、上型１０３と、ダイ１０１とを用いる。下型１０２は、セラミックホルダ４１が主体金具２の内部に収容されたときに先端側ＦＥとなる先端面４１ｄを形成するための面１２２（以下、下型成形面１２２）が形成されたものである。上型１０３は、セラミックホルダ４１が主体金具２の内部に収容されたときに後端側ＢＥとなる後端面４１ｂを形成するためのものである。ダイ１０１は、セラミックホルダ４１の外周面を形成するための貫通孔１１１が形成されたものである。
【００４４】
そして貫通孔１１１は、大径部１１１ａと、小径部１１１ｂと、円弧部１１１ｃとを備える。大径部１１１ａは、上型１０３が位置する上端側ＵＥの端部から下端側ＤＥへ向けて延びる。小径部１１１ｂは、大径部１１１ａよりも径が小さくなるように形成されて下型１０２が位置する下端側ＤＥの端部から上端側ＵＥへ向けて延びる。円弧部１１１ｃは、大径部１１１ａと小径部１１１ｂとの間に配置されて大径部１１１ａとの接続箇所から小径部１１１ｂとの接続箇所へ向うにつれて径が小さくなるように形成されたものである。
【００４５】
また、セラミックホルダ４１の製造方法は、ダイ１０１の貫通孔１１１の内部にアルミナ粉末を投入し、下型１０２と上型１０３とダイ１０１とによりアルミナ粉末を圧縮することにより、アルミナ粉末をセラミックホルダ４１の形状となるように成形する。その後、成形体を焼成することにより、セラミックホルダ４１が得られる。
【００４６】
このようにセラミックホルダ４１の製造方法では、図６に示すように、セラミックホルダ４１の外周面４１ｆの形状を大径部１１１ａの内周壁により形成することができ、セラミックホルダ４１の先端面４１ｄの形状を下型成形面１２２と円弧部１１１ｃの内周壁とにより形成することができる。そして円弧部１１１ｃは、大径部１１１ａから小径部１１１ｂへ向うにつれて径が小さくなるように形成されている。このため、ダイ１０１の小径部１１１ｂと下型１０２との間の隙間（図６の隙間ＨＬを参照）にアルミナ粉末が入り込むことにより、セラミックホルダ４１の先端面４１ｄから突出するようにセラミックホルダ４１の先端面４１ｄ上に形成される突起部は、大径部１１１ａの直径Ｄａと小径部１１１ｂの直径Ｄｂとの差の２分の１だけ、セラミックホルダ４１の外周面４１ｆから離れた位置に形成される。
【００４７】
これにより、セラミックホルダ４１の先端面４１ｄ上に形成される突起部が外周面４１ｆから離れた分、セラミックホルダ４１を主体金具２の貫通孔２１ｂの内部へ後端側ＢＥから挿入する際に、主体金具２の端部２１ｄとセラミックホルダ４１の上記突起部とが接触し難くすることができる。このため、セラミックホルダ４１の製造方法は、ガスセンサ１の製造工程においてセラミックホルダ４１の破損を軽減するができ、ひいては、ガスセンサ１の製造工程においてセラミックホルダ４１を主体金具２の内部に収容させる際の歩留まりを向上させることができる。
【００４８】
また、セラミックホルダ４１の製造方法では、下型１０２と上型１０３とダイ１０１とによりアルミナ粉末を圧縮する場合に、下型成形面１２２は、円弧部１１１ｃよりも下端側ＤＥに位置する。これにより、セラミックホルダ４１の製造方法は、下型成形面１２２と円弧部１１１ｃの内周壁とにより形成される先端面４１ｄにおいて、下型成形面１２２により形成される部分が円弧部１１１ｃの内周壁により形成される部分よりも後端側ＢＥに凹んでしまう事態の発生を抑制することができる。
【００４９】
セラミックホルダ４１は、先端面４１ｄが主体金具２の段部２１ｃと接触した状態で主体金具２の内部に収容される。このため、下型成形面１２２により形成される部分が円弧部１１１ｃの内周壁により形成される部分よりも後端側ＢＥに凹んでいるセラミックホルダ４１は製品として適格ではない。したがって、このように構成されたセラミックホルダ４１の製造方法は、ガスセンサ１の製造工程においてセラミックホルダ４１を主体金具２の内部に収容させる際の歩留まりを向上させることができる。
【００５０】
以上説明した実施形態において、セラミックホルダ４１は本発明におけるセラミック部品、ガスセンサ素子３は本発明における検出素子、下型１０２は本発明における先端面形成部、上型１０３は本発明における後端面形成部、ダイ１０１は本発明における外周面形成部、下型成形面１２２は本発明における先端面成形面である。
【００５１】
また、大径部１１１ａは本発明における上部孔、小径部１１１ｂは本発明における下部孔、円弧部１１１ｃは本発明における接続孔、上端側ＵＥは本発明における上側、下端側ＤＥは本発明における下側、アルミナ粉末は本発明におけるセラミック粉末である。
【００５２】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採ることができる。
例えば上記実施形態では、ガスセンサの主体金具の内部に収容されるセラミック部品に適用したものを示したが、本発明はガスセンサの主体金具の内部に収容されるものに限定されるものではなく、主体金具を備えるセンサに収容されるセラミック部品であればよい。
【００５３】
また上記実施形態では、セラミックホルダ４１を製造するためのセラミック材料としてセラミック粉末を貫通孔１１１内に投入するものを示したが、セラミック粉末の代わりに、セラミック粉末を予め所定の形状に成形したセラミック成形体を投入するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５４】
１…ガスセンサ、２…主体金具、３…ガスセンサ素子、４１…セラミックホルダ、４１ｂ…後端面、４１ｄ…先端面、１００…金型、１０１…ダイ、１０２…下型、１０３…上型、１１１…貫通孔、１１１ａ…大径部、１１１ｂ…小径部、１１１ｃ…円弧部、１２２…下型成形面
【図１】
0006588376.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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