(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板および第２基板が貼り合わされた基板の両面に形成されたスクライブラインに沿って前記基板をブレイクするブレイク装置であって、
前記第１基板側に配された第１ブレイクユニットと、
前記第２基板側に配された第２ブレイクユニットと、を備え、
前記第１ブレイクユニットと、前記第２ブレイクユニットとは、前記基板を介して互いに対向して配置され、
前記第１ブレイクユニットおよび前記第２ブレイクユニットは、それぞれ、
前記スクライブラインに沿って延びるブレイクバーと、
前記ブレイクバーを前記基板に近付く方向および前記基板から離れる方向に移動させる第１駆動部と、
前記ブレイクバーが配される収容部と、
前記収容部を前記基板に近付く方向および前記基板から離れる方向に移動させる第２駆動部と、を備え、
前記収容部は、下端の前記ブレイクバーを挟む位置に前記基板を支持する２つの受け部が形成され、内部に前記ブレイクバーの上下方向の移動を案内する凹部が形成されている、
ことを特徴とするブレイク装置。
【請求項２】
請求項１に記載のブレイク装置において、
前記第１駆動部は、モータおよびボールねじを備える、
ことを特徴とするブレイク装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のブレイク装置において、
前記第２駆動部は、シリンダを備える、
ことを特徴とするブレイク装置。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れか一項に記載のブレイク装置において、
前記第１駆動部は、複数箇所で前記ブレイクバーを支持する、
ことを特徴とするブレイク装置。
【請求項５】
請求項１ないし４の何れか一項に記載のブレイク装置において、
前記ブレイクバーの端部は、Ｖ字状に形成されている、
ことを特徴とするブレイク装置。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れか一項に記載のブレイク装置において、
前記受け部は、前記スクライブラインを水平方向に横切る方向の幅が前記基板に近付くに従って狭くなるよう形成されている、
ことを特徴とするブレイク装置。
【請求項７】
請求項１ないし６の何れか一項に記載のブレイク装置と、
前記第１基板および前記第２基板が貼り合わされた前記基板を前記ブレイク装置に移送する移送部と、を備える、
ことを特徴とするブレイクシステム。
【請求項８】
第１基板および第２基板が貼り合わされた基板の両面に形成されたスクライブラインに沿って前記基板をブレイクする際に用いるブレイクユニットであって、
前記スクライブラインに沿って延びるブレイクバーと、
前記ブレイクバーを前記基板に近付く方向および前記基板から離れる方向に移動させる第１駆動部と、
前記ブレイクバーが配される収容部と、
前記収容部を前記基板に近付く方向および前記基板から離れる方向に移動させる第２駆動部と、を備え、
前記収容部は、下端の前記ブレイクバーを挟む位置に前記基板を支持する２つの受け部が形成され、内部に前記ブレイクバーの上下方向の移動を案内する凹部が形成されている、
ことを特徴とするブレイクユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板をブレイクする際に用いられるブレイク装置、ブレイクシステムおよびブレイクユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板の分断は、基板の両面にスクライブラインを形成した後、形成されたスクライブラインに沿って、基板の上面と下面に所定の力を付加してブレイクすることにより行われている。
【０００３】
以下の特許文献１には、基板を上流から下流に搬送する搬送ユニットと、下面に形成されたスクライブラインに沿って下側基板をブレイクする第１ブレイクユニットと、上面に形成されたスクライブラインに沿って上側基板をブレイクする第２ブレイクユニットと、を備えるブレイク装置が記載されている。第１ブレイクユニットと第２ブレイクユニットは、何れも上下方向において対向する位置に配置されたブレイクバーとバックアップバーを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−２００９４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載のブレイク装置では、第１ブレイクユニットと第２ブレイクユニットが、搬送方向に間を開けて並ぶように配置される。このため、装置が大型化し且つ構成が複雑になるとの問題が生じる。
【０００６】
かかる課題に鑑み、本発明は、簡素な構成で基板をブレイクすることが可能なブレイク装置、ブレイクシステムおよびブレイクユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様は、第１基板および第２基板が貼り合わされた基板の両面に形成されたスクライブラインに沿って前記基板をブレイクするブレイク装置に関する。本態様に係るブレイク装置は、前記第１基板側に配された第１ブレイクユニットと、前記第２基板側に配された第２ブレイクユニットと、を備える。前記第１ブレイクユニットと、前記第２ブレイクユニットとは、前記基板を介して互いに対向して配置される。前記第１ブレイクユニットおよび前記第２ブレイクユニットは、それぞれ、前記スクライブラインに沿って延びるブレイクバーと、前記ブレイクバーを前記基板に近付く方向および前記基板から離れる方向に移動させる第１駆動部と、前記ブレイクバーが配される収容部と、前記収容部を前記基板に近付く方向および前記基板から離れる方向に移動させる第２駆動部と、を備え、前記収容部は、下端の前記ブレイクバーを挟む位置に前記基板を支持する２つの受け部が形成され、内部に前記ブレイクバーの上下方向の移動を案内する凹部が形成されている。
【０００８】
本態様に係るブレイク装置によれば、第１基板をブレイクする場合、第１基板側に配された第１ブレイクユニットの２つの受け部が第１基板を支持した状態で、第２基板側に配された第２ブレイクユニットのブレイクバーが第２基板に押し付けられる。他方、第２基板をブレイクする場合、第２基板側に配された第２ブレイクユニットの２つの受け部が第２基板を支持した状態で、第１基板側に配された第１ブレイクユニットのブレイクバーが第１基板に押し付けられる。このように、本態様に係るブレイク装置によれば、第１および第２ブレイクユニットを第１基板側と第２基板側に対向するように配置することで、第１基板および第２基板を同じ位置でブレイクすることができる。よって、簡素な構成で基板をブレイクすることが可能となる。また、第１ブレイクユニットおよび第２ブレイクユニットは、それぞれ、ブレイクバーの上下方向の移動を案内するための案内部である凹部を備えている。このため、ブレイクバーをスクライブラインに対して所望の角度で適正に押し付けることができる。
【０００９】
本態様に係るブレイク装置において、前記第１駆動部は、モータおよびボールねじを備える構成とされ得る。こうすると、ブレイクバーの駆動を精度良く行うことができる。
【００１０】
本態様に係るブレイク装置において、前記第２駆動部は、シリンダを備える構成とされ得る。
【００１２】
本態様に係るブレイク装置において、前記第１駆動部は、複数箇所で前記ブレイクバーを支持する構成とされ得る。こうすると、第１駆動部からの力が分散してブレイクバーに伝わるため、第１駆動部が１箇所でブレイクバーを支持する場合に比べて、均等な力でブレイクバーを基板に対して押し付けることができる。
【００１３】
本態様に係るブレイク装置において、前記ブレイクバーの端部は、Ｖ字状に形成され得る。こうすると、スクライブラインに沿って基板を確実にブレイクすることができる。
【００１４】
本態様に係るブレイク装置において、前記受け部は、前記スクライブラインを水平方向に横切る方向の幅が前記基板に近付くに従って狭くなるよう形成され得る。こうすると、基板に対する受け部の接触面積が小さくなるため、他方のブレイクバーが基板に押し付けられた際に基板が所期の形状で撓みやすくなる。よって、基板のスクライブライン付近に適切に応力を生じさせることができ、基板を円滑にブレイクできる。
【００１５】
本発明の第２の態様に係るブレイクシステムは、上記第１の態様に係るブレイク装置と、前記第１基板および前記第２基板が貼り合わされた前記基板を前記ブレイク装置に移送する移送部と、を備える。
【００１６】
本態様に係るブレイクシステムよれば、上記第１の態様と同様の効果が奏され得る。
【００１７】
本発明の第３の態様は、第１基板および第２基板が貼り合わされた基板の両面に形成されたスクライブラインに沿って前記基板をブレイクする際に用いるブレイクユニットに関する。本態様に係るブレイクユニットは、前記スクライブラインに沿って延びるブレイクバーと、前記ブレイクバーを前記基板に近付く方向および前記基板から離れる方向に移動させる第１駆動部と、前記ブレイクバーが配される収容部と、前記収容部を前記基板に近付く方向および前記基板から離れる方向に移動させる第２駆動部と、を備え、前記収容部は、下端の前記ブレイクバーを挟む位置に前記基板を支持する２つの受け部が形成され、内部に前記ブレイクバーの上下方向の移動を案内する凹部が形成されている。
【００１８】
本態様に係るブレイクユニットによれば、第１基板側と第２基板側にそれぞれブレイクユニットが配され、２つのブレイクユニットが基板を介して互いに対向して配置されると、上記第１の態様と同様の効果が奏され得る。
【発明の効果】
【００１９】
以上のとおり、本発明によれば、簡素な構成で基板をブレイクすることが可能なブレイク装置、ブレイクシステムおよびブレイクユニットを提供することができる。
【００２０】
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、実施形態に係るブレイクシステムの構成を示す模式図である。
【図２】図２は、実施形態に係る基板がブレイクされる手順を示す図である。
【図３】図３（ａ）は、実施形態に係るブレイク装置の構成を示す側面図であり、図３（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、実施形態に係る第１基板および第２基板がブレイクされるときの状態を示す側面図である。
【図４】図４（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係るブレイクユニットの保持部材から基板側の構成を示す断面図である。
【図５】図５は、実施形態に係るブレイクユニットの構成を示す断面図である。
【図６】図６（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係る基板がブレイクされることを詳細に示す図である。
【図７】図７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る上流側および下流側のブレイクユニットの構成を示す模式図である。
【図８】図８（ａ）、（ｂ）は、変更例に係るブレイクユニットの保持部材から基板側の構成を示す断面図である。
【図９】図９（ａ）〜（ｃ）は、変更例に係るブレイクユニットの保持部材から基板側の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸＹＺ軸が付記されている。Ｘ−Ｙ平面は水平面に平行で、Ｚ軸正方向は鉛直上方向である。
【００２３】
図１は、ブレイクシステム１の構成を示す模式図である。
【００２４】
ブレイクシステム１の上流側（Ｘ軸負側）には、基板Ｇ１に対してスクライブラインを設けるためのスクライブ装置（図示せず）が設置されている。ブレイクシステム１は、スクライブ装置から搬送される基板Ｇ１を受け入れ、基板Ｇ１をスクライブラインに沿ってブレイクすることにより基板Ｇ２を生成し、基板Ｇ２をスクライブラインに沿ってブレイクすることにより、液晶パネルの原型となる基板Ｇ３を生成する。
【００２５】
基板Ｇ１は、基板Ｇ３が切り出されるマザー基板であって、第１基板と第２基板が相互に貼り合わされた、いわゆる貼り合わせ基板によって構成されている。第１基板には、カラーフィルタが形成されており、第２基板には、液晶を駆動するための薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）および外部接続のための端子が形成されている。第１基板と第２基板は、シール材を介して貼り合わされており、第１基板と、第２基板と、シール材によって形成される領域に液晶が注入されている。スクライブラインは、シール材に沿って第１基板の外側面と第２基板の外側面に形成されている。基板Ｇ１は、下面側（Ｚ軸負側）に第１基板が位置するよう、スクライブ装置からブレイクシステム１に搬送される。
【００２６】
ブレイクシステム１は、コンベア１１、１３、１７、１９、２０、２２と、ブレイク装置１２、１８、２１と、移送部１４、１５と、ガイド１６と、検査装置２３と、を備える。検査装置２３は、コンベア２３ａを備える。
【００２７】
コンベア１１は、上流のスクライブ装置から搬送された基板Ｇ１をＸ軸正方向に搬送する。ブレイク装置１２は、基板Ｇ１の第１基板側および第２基板側にそれぞれ配されたブレイクユニット１２ａを備える。２つのブレイクユニット１２ａは、Ｚ軸方向に見て、コンベア１１とコンベア１３の間に位置する。ブレイク装置１２は、２つのブレイクユニット１２ａにより、基板Ｇ１をブレイクして基板Ｇ２を生成する。コンベア１３は、生成された基板Ｇ２をＸ軸正方向に搬送し、移送部１４、１５による保持位置に位置付ける。
【００２８】
移送部１４、１５は、Ｙ軸方向に延びたガイド１６に沿ってＹ軸方向に移動可能に構成されている。移送部１４、１５は、コンベア１３上の保持位置に位置付けられた基板Ｇ２を上側から吸着することにより上方に引き上げる。移送部１４は、引き上げた基板Ｇ２をＹ軸正方向に移動させ、９０度回転させてコンベア１７上に載置する。移送部１５は、引き上げた基板Ｇ２をＹ軸負方向に移動させ、９０度回転させてコンベア２０上に載置する。基板Ｇ１から生成された基板Ｇ２は、移送部１４、１５により、交互にコンベア１７、２０に搬送される。
【００２９】
コンベア１７は、基板Ｇ２をＸ軸正方向に搬送する。ブレイク装置１８は、基板Ｇ２の第１基板側および第２基板側にそれぞれ配されたブレイクユニット１８ａを備える。２つのブレイクユニット１８ａは、Ｚ軸方向に見て、コンベア１７とコンベア１９の間に位置する。ブレイク装置１８は、２つのブレイクユニット１８ａにより、基板Ｇ２をブレイクして基板Ｇ３を生成する。コンベア１９は、生成された基板Ｇ３をＸ軸正方向に搬送する。
【００３０】
同様に、コンベア２０は、基板Ｇ２をＸ軸正方向に搬送する。ブレイク装置２１は、基板Ｇ２の第１基板側および第２基板側にそれぞれ配されたブレイクユニット２１ａを備える。２つのブレイクユニット２１ａは、Ｚ軸方向に見て、コンベア２０とコンベア２２の間に位置する。ブレイク装置２１は、２つのブレイクユニット２１ａにより、基板Ｇ２をブレイクして基板Ｇ３を生成する。コンベア２２は、生成された基板Ｇ３をＸ軸正方向に搬送する。
【００３１】
検査装置２３は、コンベア１９、２２により搬送された基板Ｇ３を上方向に持ち上げて取り込み、ブレイク装置１８、２１によるブレイクが適正に行われたか否かを検査する。検査により適正と判定された基板Ｇ３は、コンベア２３ａによりＸ軸正方向に搬送され、後段の研磨および洗浄を行う装置（図示せず）に搬送される。こうして、ブレイクシステム１による処理が終了する。
【００３２】
図２は、基板Ｇ１から、基板Ｇ２、Ｇ３が生成される手順を示す図である。図２は、ブレイクシステム１内を搬送される基板Ｇ１〜Ｇ３を、上側から見た図である。なお、基板Ｇ２、Ｇ３については、対応する側面図も併せて示されている。
【００３３】
ブレイクシステム１に搬送される基板Ｇ１は、上流のスクライブ装置によってスクライブラインＬ１〜Ｌ５が形成されている。スクライブラインＬ１は、基板Ｇ１の第１基板の下面においてＹ軸方向に沿って形成されている。スクライブラインＬ２は、基板Ｇ１の第２基板の上面においてＹ軸方向に沿って形成されている。Ｚ軸方向に見て、スクライブラインＬ１、Ｌ２の位置は同じである。スクライブラインＬ３、Ｌ５は、基板Ｇ１の第１基板の下面においてＸ軸方向に沿って形成されている。スクライブラインＬ４は、基板Ｇ１の第２基板の上面においてＸ軸方向に沿って形成されている。Ｚ軸方向に見て、スクライブラインＬ３、Ｌ４の位置は同じであり、スクライブラインＬ３、Ｌ４の位置とスクライブラインＬ５の位置は異なっている。
【００３４】
基板Ｇ１のスクライブラインＬ１、Ｌ２がブレイク装置１２によるブレイク位置に搬送されると、ブレイク装置１２により、第１基板と第２基板が、それぞれスクライブラインＬ１、Ｌ２に沿ってブレイクされる。これにより、基板Ｇ２が生成される。生成された基板Ｇ２は、図１に示した移送部１４、１５により、Ｙ軸正方向およびＹ軸負方向に搬送された後、Ｚ軸方向に見て時計回りに９０度回転され、コンベア１７、２０に載置される。
【００３５】
次に、基板Ｇ１のスクライブラインＬ５がブレイク装置１８によるブレイク位置に搬送されると、ブレイク装置１８により、第１基板がスクライブラインＬ５に沿ってブレイクされる。また、基板Ｇ２のスクライブラインＬ３、Ｌ４がブレイク装置１８によるブレイク位置に搬送されると、ブレイク装置１８により、第１基板がスクライブラインＬ３に沿ってブレイクされ、第２基板がスクライブラインＬ４に沿ってブレイクされる。これにより、基板Ｇ３が生成される。
【００３６】
このとき、スクライブラインＬ３、Ｌ５の間に相当する第１基板の部分が、スクライブラインＬ４、Ｌ５に対するブレイクにより除去される。これにより、生成される基板Ｇ３にはＹ軸方向に延びた切欠部Ｇ３ａが形成されるため、第２基板に形成されている端子が露出することになる。なお、除去された第１基板の部分は、ブレイク直後にコンベア１７、１９の間から下に落下することにより回収される。または、除去された第１基板の部分は、コンベア１９によって搬送されてコンベア１９のＸ軸正側に落下することにより回収される。
【００３７】
同様に、基板Ｇ２のスクライブラインＬ３、Ｌ４、Ｌ５がブレイク装置２１によるブレイク位置に搬送されると、ブレイク装置２１により、第１基板がスクライブラインＬ３、Ｌ５に沿ってブレイクされ、第２基板がスクライブラインＬ４に沿ってブレイクされる。これにより、基板Ｇ３が生成される。
【００３８】
検査装置２３は、レーザ式変位センサを用いることにより、生成された基板Ｇ３に対して適正に切欠部Ｇ３ａが形成されているか否かを検査する。適正に切欠部Ｇ３ａが形成されていると判定された基板Ｇ３は、ブレイクシステム１の下流側にある装置に搬送される。
【００３９】
図３（ａ）は、ブレイク装置１２をＹ軸負方向に見た場合の側面図である。
【００４０】
ブレイク装置１２は、上述したように２つのブレイクユニット１２ａを備える。２つのブレイクユニット１２ａは、コンベア１１上を搬送される基板Ｇ１を介して互いに対向して配置されており、基板Ｇ１を対称面として互いに対称な構成を有する。以下、図３（ａ）を参照して、上側のブレイクユニット１２ａの構成について説明する。
【００４１】
ブレイクユニット１２ａは、保持部材１０１と、ガイド１０２と、シリンダ１０３と、摺動部材１０４と、保持部材１０５と、収容部１０６と、ブレイクバー１０７と、を備える。
【００４２】
保持部材１０１は、ブレイクシステム１内に固定的に設置されており、Ｚ軸方向に延びたガイド１０２およびロッド１０３ａを有するシリンダ１０３を保持する。摺動部材１０４は、ガイド１０２に沿ってＺ軸方向に摺動可能に構成されている。シリンダ１０３のロッド１０３ａの下端は、摺動部材１０４の上面に設置されている。シリンダ１０３のロッド１０３ａがＺ軸方向に移動することにより、摺動部材１０４がガイド１０２に沿ってＺ軸方向に移動する。保持部材１０５は、摺動部材１０４の下面に設置されており、収容部１０６は、保持部材１０５の下面に設置されている。
【００４３】
収容部１０６内には、基板Ｇ１のスクライブラインＬ１、Ｌ２に沿ってＹ軸方向に延びるブレイクバー１０７が配されている。ブレイクバー１０７の下端には、Ｙ軸方向に延びる端部１０７ａが形成されている。ブレイクバー１０７は、収容部１０６の内部において、後述する機構によりＺ軸方向に移動可能に支持されている。収容部１０６の下端には、Ｙ軸方向に延びる２つの受け部１０６ａが形成されており、２つの受け部１０６ａは、ブレイクバー１０７を挟む位置にある。なお、収容部１０６、ブレイクバー１０７、および収容部１０６の内部の機構については、追って図４（ａ）〜図５を参照して説明する。
【００４４】
図３（ｂ）は、基板Ｇ１の下側の第１基板がブレイクされるときの状態を示す側面図であり、図３（ｃ）は、基板Ｇ１の上側の第２基板がブレイクされるときの状態を示す側面図である。
【００４５】
基板Ｇ１がＸ軸正方向に搬送されて、図３（ａ）に示すように、スクライブラインＬ１、Ｌ２がブレイクバー１０７の端部１０７ａの位置に合わせられると、図３（ｂ）に示すように、ブレイク装置１２が駆動される。具体的には、上側のブレイクバー１０７が下方向に駆動されることにより、上側のブレイクバー１０７の端部１０７ａが、第２基板に押し付けられる。また、下側のロッド１０３ａが上方向に駆動されることにより、下側の収容部１０６の受け部１０６ａが、第１基板に押し付けられる。
【００４６】
このように、第２基板のスクライブラインＬ２に、端部１０７ａが押し付けられ、第１基板のスクライブラインＬ１からＸ軸正方向およびＸ軸負方向に所定幅だけずれた位置に、受け部１０６ａが押し付けられる。これにより、第１基板がスクライブラインＬ１に沿ってブレイクされる。第１基板のブレイクについては、追って図６（ａ）を参照して詳細に説明する。
【００４７】
第１基板がブレイクされると、基板Ｇ１の位置は動かされることなく、次に、図３（ｃ）に示すように、ブレイク装置１２が駆動される。具体的には、上側のブレイクバー１０７が上方向に駆動され、上側のロッド１０３ａが下方向に駆動されることにより、上側の収容部１０６の受け部１０６ａが、第２基板に押し付けられる。また、下側のロッド１０３ａが下方向に駆動され、下側のブレイクバー１０７が上方向に駆動されることにより、下側のブレイクバー１０７の端部１０７ａが、第１基板に押し付けられる。
【００４８】
このように、第１基板のスクライブラインＬ１に、端部１０７ａが押し付けられ、第２基板のスクライブラインＬ２からＸ軸正方向およびＸ軸負方向に所定幅だけずれた位置に、受け部１０６ａが押し付けられる。これにより、第２基板がスクライブラインＬ２に沿ってブレイクされる。第２基板のブレイクについては、追って図６（ｂ）を参照して詳細に説明する。
【００４９】
図４（ａ）、（ｂ）と図５は、上側のブレイクユニット１２ａの保持部材１０５から下の構成を示す断面図である。図４（ａ）は、図４（ｂ）に示すＡ１−Ａ２断面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）に示すＢ１−Ｂ２断面図であり、図５は、図４（ａ）、（ｂ）に示すＣ１−Ｃ２断面図である。Ａ１−Ａ２断面は、ＸＺ平面に平行な断面であり、Ｂ１−Ｂ２断面は、ＹＺ平面に平行な断面であり、Ｃ１−Ｃ２断面は、ＸＹ平面に平行な断面である。
【００５０】
図４（ａ）、（ｂ）と図５に示すように、収容部１０６は、ＹＺ平面に平行な２つの壁部１０６ｂおよびＸＺ平面に平行な２つの壁部１０６ｃからなる。図４（ａ）、（ｂ）に示すように、受け部１０６ａは、２つの壁部１０６ｂの下端に形成されている。受け部１０６ａの外側面が収容部１０６の内側方向に傾斜していることにより、受け部１０６ａのＸ軸方向の幅（スクライブラインＬ１、Ｌ２を水平方向に横切る方向の幅）は、基板Ｇ１に近付くに従って狭くなっている。２つの壁部１０６ｃの下端は、受け部１０６ａの下端よりも上に位置付けられている。
【００５１】
壁部１０６ｂ、１０６ｃに囲まれた空間内に、モータ２０１と、ボールねじ２０２と、支持部材２０３、２０４と、ブレイクバー１０７と、が収容されている。モータ２０１は、保持部材１０５の下面に設置されている。ボールねじ２０２は、モータ２０１の回転軸に固定されている。支持部材２０３は、ボールねじ２０２のナットに固定されている。支持部材２０４の上端は、支持部材２０３の下面に固定されている。支持部材２０４の下端は、２つに分かれている。支持部材２０４の２つの下端は、Ｙ軸方向に離れた位置にあり、この下端にブレイクバー１０７が固定されている。ブレイクバー１０７の端部１０７ａの側面が傾斜していることにより、端部１０７ａのＸ軸方向の幅は、基板Ｇ１に近付くに従って狭くなっている。すなわち、ブレイクバー１０７の端部１０７ａは、Ｖ字状に形成されている。
【００５２】
図４（ａ）、（ｂ）と図５に示すように、壁部１０６ｃの内側面には、凹部１０６ｄが形成されている。Ｙ軸正側とＹ軸負側の壁部１０６ｃの凹部１０６ｄに、それぞれ、ブレイクバー１０７のＹ軸正側とＹ軸負側の端部が収容されている。
【００５３】
図５に示すように、基板Ｇ１のＹ軸方向の幅をＷ１、Ｙ軸正側の壁部１０６ｃの内側面とＹ軸負側の壁部１０６ｃの内側面との間隔をＷ２、Ｙ軸正側の凹部１０６ｄのＹ軸正側面とＹ軸負側の凹部１０６ｄのＹ軸負側面との間隔をＷ３、Ｙ軸正側の壁部１０６ｃの外側面とＹ軸負側の壁部１０６ｃの外側面との間隔をＷ４とすると、Ｗ１〜Ｗ４の関係は、Ｗ１＜Ｗ２＜Ｗ３＜Ｗ４となっている。ブレイクバー１０７のＸ軸方向の幅をＷ５、凹部１０６ｄのＸ軸方向の幅をＷ６とすると、Ｗ５、Ｗ６の関係は、Ｗ５＜Ｗ６となっている。
【００５４】
図４（ａ）、（ｂ）を参照して、ブレイクバー１０７が下方向に移動される場合、ボールねじ２０２のナットが下方向に移動するようモータ２０１が駆動される。これにより、ブレイクバー１０７を支持する支持部材２０３、２０４が下方向に移動され、ブレイクバー１０７が下方向に移動される。他方、ブレイクバー１０７が上方向に移動される場合、ボールねじ２０２のナットが上方向に移動するようモータ２０１が駆動される。これにより、ブレイクバー１０７を支持する支持部材２０３、２０４が上方向に移動され、ブレイクバー１０７が上方向に移動される。このとき、ブレイクバー１０７は、凹部１０６ｄに案内されることにより、確実に上下方向にのみ移動される。
【００５５】
図６（ａ）、（ｂ）は、収容部１０６の受け部１０６ａおよびブレイクバー１０７の端部１０７ａにより、基板Ｇ１がブレイクされることを詳細に示す図である。図６（ａ）、（ｂ）は、図４（ａ）と同様のＡ１−Ａ２断面図である。
【００５６】
図６（ａ）に示すように、第１基板がブレイクされる場合、上側のブレイクバー１０７の端部１０７ａが第２基板に押し付けられ、下側の収容部１０６の受け部１０６ａが第１基板の下面に押し付けられる。このとき、基板Ｇ１が下方向に撓むことにより、第１基板がブレイクされる。図６（ｂ）に示すように、第２基板がブレイクされる場合、上側の収容部１０６の受け部１０６ａが第２基板に押し付けられ、下側のブレイクバー１０７の端部１０７ａが第１基板に押し付けられる。このとき、基板Ｇ１が上方向に撓むことにより、第２基板がブレイクされる。
【００５７】
以上、図３（ａ）〜図６（ｂ）を参照して、ブレイク装置１２の構成と、ブレイク装置１２が基板Ｇ１をブレイクする動作について説明したが、ブレイク装置１８の構成と、ブレイク装置１８が基板Ｇ２をブレイクする動作も略同様であり、ブレイク装置２１の構成と、ブレイク装置２１が基板Ｇ２をブレイクする動作も略同様である。
【００５８】
図７（ａ）は、ブレイク装置１２の上側のブレイクユニット１２ａを示す模式図であり、図７（ｂ）は、ブレイク装置１８、２１の上側のブレイクユニット１８ａ、２１ａを示す模式図である。なお、ブレイク装置１８、２１は、互いに同じ構成を有している。
【００５９】
図７（ａ）、（ｂ）に示すように、ブレイクユニット１８ａ、２１ａは、ブレイクユニット１２ａと比較して、保持部材１０５、収容部１０６、およびブレイクバー１０７のＹ軸方向の長さが短い点において異なっている。ブレイクユニット１８ａ、２１ａのその他の構成は、ブレイクユニット１２ａと同様である。
【００６０】
また、ブレイクユニット１８ａ、２１ａにおいても、図５に示したＷ１〜Ｗ４の長さの関係は同様に設定されている。すなわち、図５において、Ｗ１を基板Ｇ２のＹ軸方向の幅とし、Ｗ２〜Ｗ４を、ブレイクユニット１８ａ、２１ａの対応する長さとすれば、Ｗ１〜Ｗ４の関係は、ブレイクユニット１２ａの場合と同様、Ｗ１＜Ｗ２＜Ｗ３＜Ｗ４となる。
【００６１】
また、ブレイク装置１８の２つのブレイクユニット１８ａは、基板Ｇ２を介して互いに対向して配置されており、基板Ｇ２を対称面として互いに対称な構成を有する。同様に、ブレイク装置２１の２つのブレイクユニット２１ａは、基板Ｇ２を介して互いに対向して配置されており、基板Ｇ２を対称面として互いに対称な構成を有する。したがって、ブレイク装置１８、２１は、ブレイク装置１２と同様にして、基板Ｇ２をブレイクできる。
【００６２】
＜実施形態の効果＞
本実施形態によれば、以下の効果が奏される。
【００６３】
基板Ｇ１、Ｇ２の第１基板をブレイクする場合、第１基板側に配されたブレイクユニット１２ａ、１８ａ、２１ａの２つの受け部１０６ａが第１基板を支持した状態で、第２基板側に配されたブレイクユニット１２ａ、１８ａ、２１ａのブレイクバー１０７が第２基板に押し付けられる。他方、基板Ｇ１、Ｇ２の第２基板をブレイクする場合、第２基板側に配されたブレイクユニット１２ａ、１８ａ、２１ａの２つの受け部１０６ａが第２基板を支持した状態で、第１基板側に配されたブレイクユニット１２ａ、１８ａ、２１ａのブレイクバー１０７が第１基板に押し付けられる。このように、本実施形態に係るブレイク装置１２、１８、２１によれば、２つのブレイクユニットを第１基板側と第２基板側に対向するように配置することで、第１基板および第２基板を同じ位置でブレイクすることができる。よって、簡素な構成で基板Ｇ１、Ｇ２をブレイクすることが可能となる。
【００６４】
また、ブレイクバー１０７を上下方向に駆動させるための駆動部が、モータ２０１およびボールねじ２０２からなる。これにより、たとえばモータ２０１のみによってブレイクバー１０７が上下方向に駆動される場合に比べて、ブレイクバー１０７の駆動を精度良く行うことができる。
【００６５】
また、ブレイクユニット１２ａ、１８ａ、２１ａは、ブレイクバー１０７の上下方向の移動を案内するための凹部１０６ｄを備えている。これにより、ブレイクバー１０７をスクライブラインに対して所望の角度で、すなわち基板に垂直な方向で適正に押し付けることができる。
【００６６】
また、モータ２０１とボールねじ２０２は、支持部材２０４により２箇所でブレイクバー１０７を支持している。すなわち、支持部材２０４は、Ｙ軸方向に離れた２箇所の部位でブレイクバー１０７に固定されている。これにより、モータ２０１とボールねじ２０２からの力が分散してブレイクバー１０７に伝わるため、支持部材２０４が１箇所でブレイクバー１０７に固定されている場合に比べて、Ｙ軸方向に均等な力でブレイクバー１０７を基板Ｇ１、Ｇ２に対して押し付けることができる。
【００６７】
また、ブレイクバー１０７の端部１０７ａは、Ｖ字状に形成されている。これにより、ブレイクバー１０７を基板Ｇ１、Ｇ２に押し付けながら、スクライブラインＬ１〜Ｌ５に沿って基板Ｇ１、Ｇ２を確実にブレイクすることができる。
【００６８】
また、ブレイク装置１２の受け部１０６ａは、スクライブラインＬ１、Ｌ２を水平方向に横切る方向の幅、すなわちＸ軸方向の幅が基板Ｇ１に近付くに従って狭くなるよう形成されている。同様に、ブレイク装置１８、２１の受け部１０６ａは、スクライブラインＬ３〜Ｌ５を水平方向に横切る方向の幅、すなわちＸ軸方向の幅が基板Ｇ２に近付くに従って狭くなるよう形成されている。これにより、基板Ｇ１、Ｇ２に対する受け部１０６ａの接触面積が小さくなるため、上下方向に向かい合う他方のブレイクバー１０７が基板Ｇ１、Ｇ２に押し付けられた際に、基板Ｇ１、Ｇ２が所期の形状で撓みやすくなる。よって、基板Ｇ１のスクライブラインＬ１、Ｌ２および基板Ｇ２のスクライブラインＬ３〜Ｌ５付近に適切に応力を生じさせることができ、基板Ｇ１、Ｇ２を円滑にブレイクできる。
【００６９】
＜変更例＞
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施形態も上記以外に種々の変更が可能である。
【００７０】
たとえば、上記実施形態では、基板Ｇ１、Ｇ２は液晶パネルであり、第１基板と第２基板が相互に貼り合わされることにより構成されたが、基板Ｇ１、Ｇ２は、上記実施形態に示すものに限定されない。ブレイク装置１８、２１がブレイク対象とする基板は、スクライブラインに沿ってブレイク可能な基板であれば良い。
【００７１】
また、上記実施形態では、ブレイク装置１２において、２つのブレイクユニット１２ａは互いに同じ構成とされ、ブレイク装置１８において、２つのブレイクユニット１８ａは互いに同じ構成とされ、ブレイク装置２１において、２つのブレイクユニット２１ａは互いに同じ構成とされた。しかしながら、これに限らず、２つのブレイクユニットは必ずしも同じ構成でなくても良い。
【００７２】
また、上記実施形態では、モータ２０１とボールねじ２０２は、支持部材２０４により２箇所でブレイクバー１０７を支持したが、これに限らず、支持部材２０４により３箇所以上でブレイクバー１０７を支持しても良い。この場合、支持部材２０４は、Ｙ軸方向に離れた３箇所以上の部位でブレイクバー１０７に固定される。なお、ブレイク装置１８、２１では、ブレイクバー１０７のＹ軸方向の長さは短いため、モータ２０１およびボールねじ２０２は、支持部材２０４により１箇所でブレイクバー１０７を支持しても良い。
【００７３】
また、上記実施形態では、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、壁部１０６ｃの基板側の端部は、受け部１０６ａの基板側の端部よりも、基板から離れた位置とされた。しかしながら、これに限らず、Ｚ軸方向において、壁部１０６ｃの基板側の端部は、受け部１０６ａの基板側の端部と同じ位置であっても良い。
【００７４】
図８（ａ）、（ｂ）は、この場合の構成を示す図である。この変更例では、Ｚ軸方向において、壁部１０６ｃの下端の位置が、受け部１０６ａの下端の位置と同じになっている。なお、この変更例においても、Ｃ１−Ｃ２断面は、図５と略同様になっている。
【００７５】
この変更例では、受け部１０６ａが基板を支持する際に、壁部１０６ｃの端部も基板に接触する。しかしながら、Ｚ軸方向に見て、壁部１０６ｃが基板に接触する領域は、向かい合う他方のブレイクバー１０７が基板に接触する領域と重ならない。このため、たとえば上側の受け部１０６ａが基板Ｇ１、Ｇ２を支持し、下側のブレイクバー１０７が基板Ｇ１、Ｇ２に押し付けられる場合に、上側の壁部１０６ｃの下端によって、基板Ｇ１、Ｇ２の撓みが妨げられない。これにより、上記実施形態と同様に第１基板と第２基板を撓ませて、基板Ｇ１、Ｇ２をブレイクできる。
【００７６】
また、上記実施形態では、受け部１０６ａは、図４（ａ）に示す形状とされたが、これに限らず、他の形状であっても良い。たとえば、図９（ａ）に示すように、受け部１０６ａの内側面も収容部１０６の外側方向に傾斜していることにより、受け部１０６ａがＶ字状に形成されても良い。また、図９（ｂ）に示すように、受け部１０６ａの外側面および内側面が、円弧状に形成されても良い。
【００７７】
なお、受け部１０６ａは、図９（ｃ）に示すように、矩形に形成されても良い。この場合、基板Ｇ１、Ｇ２に対する受け部１０６ａの接触面積が大きくなるため、向かい合う他方のブレイクバー１０７が基板Ｇ１、Ｇ２に押し付けられた際に、基板Ｇ１、Ｇ２が所期の形状で撓まなくなることが想定される。よって、受け部１０６ａは、図４（ａ）と図９（ａ）、（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向の幅が基板Ｇ１、Ｇ２に近付くに従って狭くなるように形成されるのが望ましい。
【００７８】
また、上記実施形態では、収容部１０６の基板側の端部に、連続的に受け部１０６ａが形成されたが、これに限らず、部分的に受け部１０６ａが形成されても良い。また、受け部１０６ａの形成される方向は、スクライブラインに平行とされたが、スクライブラインに平行でなくても良い。また、受け部１０６ａは、直線状に形成されたが、蛇行していても良い。
【００７９】
本発明の実施形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００８０】
１  ブレイクシステム
１１、１３、１７、２０  コンベア（移送部）
１４、１５  移送部
１２、１８、２１  ブレイク装置
１２ａ、１８ａ、２１ａ  ブレイクユニット（第１ブレイクユニット、第２ブレイクユニット）
１０３  シリンダ（第２駆動部）
１０６ａ  受け部
１０６ｄ  凹部（案内部）
１０７  ブレイクバー
１０７ａ  端部
２０１  モータ（第１駆動部）
２０２  ボールねじ（第１駆動部）
Ｇ１、Ｇ２  基板
Ｌ１〜Ｌ５  スクライブライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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