(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上面にレジストを塗布する工程と、
前記レジストに開口部を形成する工程と、
前記レジストの上に熱収縮するシュリンク剤を塗布し、前記開口部を埋め込むシュリンク剤塗布工程と、
前記シュリンク剤を加熱し熱収縮させることで、前記開口部の幅を狭める収縮工程と、
前記収縮工程の後に前記シュリンク剤を除去する除去工程と、
前記除去工程の後に、前記レジストの上と前記開口部にメタル層を形成するメタル層形成工程と、
前記メタル層のうち前記レジストの上の部分と、前記レジストと、を除去する工程と、
を備え、
前記収縮工程では、前記開口部を形成する前記レジストの側面が、前記レジストの厚さ方向の中央部において前記開口部の中心部に向かって突出した曲面を形成し、
前記除去工程では、水洗処理により前記シュリンク剤を除去することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記シュリンク剤は、前記レジストと反応しないことを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記メタル層形成工程の前に、前記シュリンク剤塗布工程と、前記収縮工程と、前記除去工程と、を繰り返し実施することを特徴とする請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記レジストの厚さは前記メタル層の厚さの２倍以上であることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記メタル層形成工程では、前記メタル層の材料を前記基板の上面に垂直な方向から堆積させることで、前記メタル層が形成されることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記開口部に形成されたメタル層の底面の幅は、前記開口部の前記基板上の幅よりも狭いことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  特許文献１には、フォトレジストの解像限界よりも小さい開口部を有するレジストパターンの形成方法が開示されている。この方法では、開口部が形成されたフォトレジストを膨潤化させ、開口部の側壁部分を逆テーパ状にしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】日本特許第３９０８２１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  一般に、トランジスタの高性能化にはゲート容量の低減が有効である。このため、ゲート頭寸法の縮小化が求められることがある。ここで、リフトオフによるゲート電極プロセスでは、フォトレジストにゲート電極の寸法に応じた開口部を形成する。このとき、フォトレジストの解像限界によって、電極パターンの縮小化が制限されることがある。【０００５】  フォトレジストの解像限界以下のレジストパターンの形成方法として、電子ビーム露光が用いられることがある。しかし、電子ビーム露光では、一般に、レジストパターンが一つ一つ直接描画される。このため、光学露光と比べてスループットが低く、生産性が低下する可能性がある。【０００６】  また、特許文献１のレジストパターンの形成方法では、膨潤化処理により開口部のレジストスカムが成長する可能性がある。このため、後の工程でパターン底部のレジスト残渣が除去できない可能性がある。また、特許文献１では開口部の端面においてフォトレジストと膨潤化膜とが化学反応し、フォトレジストが成長する。このとき、膨潤化処理の繰り返しにより、開口部が閉塞する可能性がある。【０００７】  本発明は上述の問題を解決するためになされたものであり、その目的は、電極パターンの寸法を縮小できる半導体装置の製造方法を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願の発明に係る半導体装置の製造方法は、基板の上面にレジストを塗布する工程と、該レジストに開口部を形成する工程と、該レジストの上に熱収縮するシュリンク剤を塗布し、該開口部を埋め込むシュリンク剤塗布工程と、該シュリンク剤を加熱し熱収縮させることで、該開口部の幅を狭める収縮工程と、該収縮工程の後に該シュリンク剤を除去する除去工程と、該除去工程の後に、該レジストの上と該開口部にメタル層を形成するメタル層形成工程と、該メタル層のうち該レジストの上の部分と、該レジストと、を除去する工程と、を備え、該収縮工程では、該開口部を形成する該レジストの側面が、該レジストの厚さ方向の中央部において該開口部の中心部に向かって突出した曲面を形成し、該除去工程では、水洗処理により該シュリンク剤を除去する。
【発明の効果】
【０００９】  本願の発明に係る半導体装置の製造方法では、シュリンク剤の熱収縮による応力でレジストの開口部の幅が狭められる。従って、電極パターンの寸法を縮小できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施の形態１に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図２】実施の形態１においてレジストに開口部を形成した状態を示す断面図である。
【図３】実施の形態１のシュリンク剤塗布工程を説明する図である。
【図４】実施の形態１の収縮工程を説明する図である。
【図５】実施の形態１の除去工程を説明する図である。
【図６】実施の形態１のメタル層形成工程を説明する図である。
【図７】実施の形態１においてレジストを除去した状態を示す断面図である。
【図８】第１の比較例に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図９】第１の比較例においてレジストの上に膨潤化剤を設けた状態を示す断面図である。
【図１０】第１の比較例においてレジストにミキシング領域を形成した状態を示す断面図である。
【図１１】第１の比較例において膨潤化剤を除去した状態を示す断面図である。
【図１２】実施の形態１の変形例に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図１３】第２の比較例に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図１４】実施の形態２に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図１５】実施の形態２においてレジストに開口部を設けた状態を示す断面図である。
【図１６】実施の形態２のシュリンク剤塗布工程を説明する図である。
【図１７】実施の形態２の除去工程を説明する図である。
【図１８】除去工程の後にシュリンク剤塗布工程を実施した状態を示す図である。
【図１９】開口部の幅がさらに狭められた状態を示す断面図である。
【図２０】実施の形態２のメタル層形成工程を説明する図である。
【図２１】実施の形態２においてレジストを除去した状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】  本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
【００１２】実施の形態１．  図１は、実施の形態１に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。まず、基板１０の上面１１にレジスト１２を塗布する。レジスト１２はフォトレジストである。また、レジスト１２はポジレジストである。次に、基板１０およびレジスト１２を９０℃〜１２０℃でプリベークする。これにより、レジスト１２に含まれる溶媒を揮発させる。微細パターンを形成するために、レジスト１２は高解像度レジストであることが望ましい。レジスト１２として例えば、東京応化工業製ＡＲ８０（商品名）を用いることができる。また、レジスト１２の膜厚は０．８μｍ程度である。レジストの厚さは基板１０に形成するメタル層の厚さの２倍以上に設定する。
【００１３】  次に、レジスト１２に開口部を形成し、基板１０を露出させる工程を実施する。図２は、実施の形態１においてレジスト１２に開口部１３を形成した状態を示す断面図である。まず、マスクを用いてレジスト１２を露光する。露光は、波長が３６５ｎｍの光を利用したｉ線ステッパ等の露光装置を用いる。次に、１１０℃でポストエクスポージャーベークを行う。次に、レジスト１２をアルカリ現像液で現像する。アルカリ現像液として、濃度が２．３８％のＴＭＡＨ（Ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌ  Ａｍｍｏｎｉｕｍ  Ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ）である東京応化工業製ＮＭＤ−３（商品名）等が使用できる。この結果、レジスト１２に開口部１３が形成される。本実施の形態では、開口部１３の幅は０．４０μｍである。開口部１３の幅は、これに限らない。
【００１４】  次に、シュリンク剤塗布工程を実施する。図３は、実施の形態１のシュリンク剤塗布工程を説明する図である。シュリンク剤塗布工程では、レジスト１２の上に熱収縮するシュリンク剤１４を塗布し、開口部１３を埋め込む。シュリンク剤１４は、水溶性ポリマーが主成分である。シュリンク剤１４は、レジスト１２と反応しない。また、シュリンク剤１４は、熱処理により収縮する。シュリンク剤１４として、例えば、東京応化工業製ＦＳＣ−５０００ＥＸ（商品名）等のパターンシュリンク剤が使用できる。
【００１５】  次に、収縮工程を実施する。図４は、実施の形態１の収縮工程を説明する図である。収縮工程では、シュリンク剤１４を加熱し熱収縮させる。本実施の形態では、シュリンク剤１４は、１１０℃〜１３０℃でベーキングされる。ベーキングにより、シュリンク剤１４は熱収縮する。これに伴い、レジスト１２には矢印１６に示す方向に応力が働く。つまり、レジスト１２は、開口部１３の中心部に向かって引っ張られる。このため、レジスト１２はシュリンク剤１４の熱収縮に追従し、開口部１３の幅が狭まる。
【００１６】  ここで、レジスト１２の上面およびレジスト１２の基板１０との接触部分において、レジスト１２は変形し難い。このため、開口部１３を形成するレジスト１２の側面１５は、レジスト１２の厚さ方向の中央部において、大きく変形し易い。従って、収縮工程では、開口部１３を形成するレジスト１２の側面１５が、レジスト１２の厚さ方向の中央部において開口部１３の中心部に向かって突出した曲面を形成する。
【００１７】  次に、除去工程を実施する。図５は、実施の形態１の除去工程を説明する図である。除去工程では、収縮工程の後にシュリンク剤１４を除去する。ここでは、シュリンク剤１４を水洗処理し除去する。以上から、幅の狭められた開口部１３を有するレジストパターンが得られる。
【００１８】  図５に示されるように、開口部１３は、レジスト１２の厚さ方向の中央部の幅が、レジスト１２の底面および上面における幅と比較して狭い。本実施の形態では、開口部１３の幅は、レジスト１２の厚さの半分の高さにおいて最も狭くなる。側面１５は、断面視において円弧状である。開口部１３の幅は、ベーキング温度に依存する。本実施の形態では、開口部１３の幅は、０．１０〜０．２０μｍ程度縮小し、０．２０μｍ〜０．３０μｍとなる。ここで、開口部１３の幅は、開口部１３の幅が最も狭い部分における値を示す。
【００１９】  次に、メタル層形成工程を実施する。図６は、実施の形態１のメタル層形成工程を説明する図である。メタル層形成工程では、除去工程の後に、レジスト１２の上と開口部１３にメタル層１８を形成する。開口部１３において、メタル層１８は基板１０の上面１１に形成される。メタル層１８は、蒸着またはスパッタにより成膜される。メタル層１８の厚さは、レジスト１２の厚さの半分以下とする。本実施の形態では、メタル層１８の厚さは０．４μｍ以下である。
【００２０】  メタル層形成工程では、メタル層１８の材料を基板１０の上面１１に垂直な方向から堆積させることで、メタル層１８が形成される。このとき、メタル層１８の材料は、開口部１３の中心部に向かって突出した側面１５によって遮られる。このため、メタル層１８の材料は、基板１０の開口部１３により露出した部分の端部には堆積しない。従って、メタル層１８は、基板１０の開口部１３により露出した部分の端部には形成されない。つまり、開口部１３に形成されたメタル層１８の底面の幅は、開口部１３の基板１０上の幅よりも狭い。
【００２１】  また、メタル層１８は側面１５に形成されない。従って、メタル層１８は、レジスト１２の上面に設けられる部分と、開口部１３内に形成された部分とが分断されている。メタル層１８の形成方法はこれに限定されない。
【００２２】  次に、リフトオフによりレジスト１２を除去する。図７は、実施の形態１においてレジスト１２を除去した状態を示す断面図である。ここでは、レジスト１２をマスクとして、メタル層１８の一部を除去する。これにより、メタル層１８のうちレジスト１２の上の部分と、レジスト１２とが除去される。以上から、基板１０上にメタル層１８が形成される。メタル層１８は例えばゲート電極である。
【００２３】  一般に、フォトレジストの解像限界は０．４μｍである。本実施の形態では、シュリンク剤１４の熱収縮により、レジスト１２の開口部１３の幅をフォトレジストの解像限界以下に狭めることができる。従って、電極パターンであるメタル層１８の寸法を縮小できる。また、開口部１３の幅を狭めるために電子ビーム露光を用いる必要がない。このため、スループットが向上され、生産性を向上できる。
【００２４】  また、一般に、リフトオフによる電極形成プロセスでは、レジストに設けられた開口部がメタル層によって完全に埋め込まれないようにすることが望ましい。このため、レジストの開口部を形成する側面の断面形状を、例えば逆テーパ状または庇状に形成することがある。これに対し、本実施の形態では、側面１５が、レジスト１２の厚さ方向の中央部において開口部１３の中心部に向かって突出した曲面を形成する。側面１５の突出した構造により、メタル層１８を堆積させる際に、メタル層１８のレジスト１２の上面に設けられる部分と、メタル層１８の基板１０の上面１１に設けられる部分とが分断される。従って、本実施の形態では、リフトオフが可能な開口部１３を得ることができる。
【００２５】  図８は、第１の比較例に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。まず、図８に示されるようにレジスト１１２に開口部１１３を設け、基板１１０を露出させる。次に、レジスト１１２の上に開口部１１３を埋め込む様に膨潤化剤１２０を設ける。図９は、第１の比較例においてレジスト１１２の上に膨潤化剤１２０を設けた状態を示す断面図である。ここで、レジスト１１２の開口部１１３付近には、親水性が強い領域１２２が広がっている。
【００２６】  次に、ベークを行い、親水性が強い領域１２２においてレジスト１１２と膨潤化剤１２０とをミキシングさせ、ミキシング領域１２３を形成する。図１０は、第１の比較例においてレジスト１１２にミキシング領域１２３を形成した状態を示す断面図である。さらに、ベークを行い、ミキシング領域１２３を架橋させる。次に、膨潤化剤１２０を除去する。図１１は、第１の比較例において膨潤化剤１２０を除去した状態を示す断面図である。
【００２７】  一般に、フォトレジストをパターンニングすると、開口部の底部にレジスト残渣が発生する。第１の比較例に係る半導体装置の製造方法では、膨潤化処理によりレジスト残渣が化学反応により成長する可能性がある。この場合、レジスト残渣の除去が困難となる可能性がある。
【００２８】  これに対し、本実施の形態では、シュリンク剤１４はレジスト１２と反応しない。このため、開口部１３に残るレジスト残渣が成長せず、レジスト残渣の除去が容易にできる。レジスト残渣の除去は、メタル層形成工程の前処理で行われる。
【００２９】  図１２は、実施の形態１の変形例に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。図１２に示されるように、メタル層２１８は、レジスト１２の開口部１３を形成する側面１５の一部を覆っても良い。この場合も、突出した側面１５によって、メタル層２１８は、レジスト１２の上面に形成された部分と、開口部１３に形成された部分とが分断される。
【００３０】  図１３は、第２の比較例に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。第２の比較例において、レジスト３１２に形成された開口部３１３の幅は一定である。この構造では、メタル層３１８を形成する際に、開口部３１３を形成する側面３１５にもメタル層３１９が形成される場合がある。レジスト３１２の上面のメタル層３１８と、側面３１５のメタル層３１９との間には、断切れが発生し易い。このとき、リフトオフの際にメタル層３１９が開口部３１３内に零れ落ちる可能性がある。
【００３１】  図１３では、開口部３１３の幅が一定である場合を示したが、第１の比較例に示される開口部１１３のように開口部が断面視において逆テーパ状の場合にも、同様の零れ落ちが発生する可能性がある。メタル層３１９の零れ落ちは、プロセス不良に繋がる場合がある。
【００３２】  これに対し、図１２に示される実施の形態１の変形例に係る半導体装置の製造方法では、側面１５にメタル層２１８が形成されても、開口部１３の中心部に向かって突出した側面１５によって、メタル層２１８の断切れが発生し難い。また、レジスト１２の上面と側面１５との境目においても、側面１５は曲面を形成している。このため、レジスト１２の上面と側面１５との境目において、メタル層２１８の断切れがさらに発生し難い。従って、リフトオフの際のメタル層２１８の零れ落ちを抑制できる。
【００３３】  本実施の形態では、レジスト１２としてポジレジストを用いた。レジスト１２は、これに限定されず、ネガレジスト、イメージリバーサルレジスト、ＥＢ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｂｅａｍ）レジスト等のレジストを用いても良い。この場合も、実施の形態１と同様のレジスト形状が得られる。
【００３４】  本実施の形態ではメタル層１８はゲート電極であるものとした。メタル層１８はこれに限定されず、リフトオフによるメタル層形成プロセスによって得られるものであれば良い。また、本実施の形態では、厚さがレジスト１２の膜厚の１／２以下である０．４μｍ以下のメタル層１８を形成した。メタル層１８の厚さはこれに限定されない。例えば、０．４μｍ以上の厚さのメタル層の形成にも本実施の形態を適用できる。
【００３５】  これらの変形は以下の実施の形態に係る半導体装置の製造方法について適宜応用することができる。なお、以下の実施の形態に係る半導体装置の製造方法については実施の形態１との共通点が多いので、実施の形態１との相違点を中心に説明する。
【００３６】実施の形態２．  図１４は、実施の形態２に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。実施の形態１ではパターンシュリンクを１回のみ実施した。これに対し、パターンシュリンクを繰り返し実施しても良い。本実施の形態において、実施の形態１と同様に、基板１０の上面１１にレジスト１２を形成する。次に、レジスト１２に開口部１３を設け、基板１０を露出させる。図１５は、実施の形態２においてレジスト１２に開口部１３を設けた状態を示す断面図である。
【００３７】  図１６は、実施の形態２のシュリンク剤塗布工程を説明する図である。シュリンク剤塗布工程において、実施の形態１と同様に、レジスト１２の上にシュリンク剤１４を、開口部１３を埋め込むように塗布する。次に、収縮工程を実施する。収縮工程では、シュリンク剤１４を、１１０℃〜１３０℃でベーキングし、熱収縮させる。これにより、シュリンク剤１４に引っ張られ、開口部１３の幅が狭まる。
【００３８】  次に、除去工程を実施する。図１７は、実施の形態２の除去工程を説明する図である。除去工程では、水洗処理によりシュリンク剤１４を除去する。以上から、幅の狭められた開口部１３を有するレジストパターンが得られる。
【００３９】  次に、さらにシュリンク剤塗布工程を実施する。図１８は、除去工程の後にシュリンク剤塗布工程を実施した状態を示す図である。このシュリンク剤塗布工程では、レジスト１２の上に熱収縮するシュリンク剤４１４を、開口部１３を埋め込むように塗布する。シュリンク剤４１４は、シュリンク剤１４と同じ種類であっても良い。次に、収縮工程を実施する。収縮工程では、シュリンク剤４１４を１１０℃〜１３０℃でベーキングし、熱収縮させる。これにより、シュリンク剤４１４に引っ張られ、開口部１３の幅がさらに狭まる。
【００４０】  次に、除去工程を実施する。除去工程では、水洗処理によりシュリンク剤４１４を除去する。図１９は、開口部１３の幅がさらに狭められた状態を示す断面図である。以上から、実施の形態１と比較して開口部１３の幅がさらに狭められたレジストパターンが得られる。
【００４１】  次に、メタル層形成工程を実施する。図２０は、実施の形態２のメタル層形成工程を説明する図である。メタル層形成工程では、開口部１３内の基板１０の上面１１とレジスト１２の上にメタル層４１８を形成する。メタル層４１８は、蒸着またはスパッタにより成膜される。
【００４２】  次に、リフトオフによりレジスト１２を除去する。図２１は、実施の形態２においてレジスト１２を除去した状態を示す断面図である。これにより、メタル層４１８のうちレジスト１２の上の部分と、レジスト１２とが除去される。以上から、基板１０上にメタル層４１８が形成される。
【００４３】  本実施の形態では、メタル層形成工程の前に、シュリンク剤塗布工程と、収縮工程と、除去工程と、を繰り返し実施する。これにより、実施の形態１よりもさらに幅の狭い電極パターンを得ることができる。
【００４４】  ここで、パターンシュリンクの繰り返し回数は２回より多くても良い。シュリンク剤塗布工程と収縮工程と除去工程とは、開口部１３が目標の幅に達するまで繰り返される。本実施の形態によれば、最小で０．１０μｍ程度の幅の開口部１３を得ることができる。
【００４５】  第１の比較例に係る半導体装置の製造方法では、レジスト１１２と膨潤化剤１２０とを化学反応させ、開口部１１３の幅を狭めている。このため、繰り返し膨潤化処理を行うと、０．１μｍのサブミクロン領域で開口部１１３が閉塞する可能性がある。このため、開口部１１３の最小の仕上がり寸法は０．２μｍ程度となる場合がある。
【００４６】  これに対し、本実施の形態では、シュリンク剤１４、４１４は、レジスト１２と反応しない。このため、パターンシュリンクを繰り返し実施しても、開口部１３は閉塞しない。従って、パターンシュリンクを繰り返し実施できる。これにより、開口部１３をさらに狭めることができる。この結果、０．１μｍの幅の開口部１３を高精度で形成できる。
【００４７】  次に、厚さがｘμｍであり、幅がｙμｍであるメタル層１８を得る方法について説明する。まず、厚さが２ｘμｍ以上のレジスト１２を基板１０上に塗布する。次に、レジスト１２に幅がｙμｍ以上の開口部１３を形成する。次に、シュリンク剤塗布工程と、収縮工程と、除去工程とを、開口部１３の幅がｙμｍになるまで、繰り返し実施する。次に、メタル層形成工程において厚さがｘμｍのメタル層１８を形成する。次に、リフトオフによりレジスト１２を除去する。以上から、目標とする電極の厚さｘμｍおよび電極の幅ｙμｍが得られる。
【００４８】  なお、各実施の形態で説明した技術的特徴は適宜に組み合わせて用いてもよい。
【符号の説明】
【００４９】  １０  基板、  １１  上面、  １２  レジスト、１３  開口部、  １４、４１４  シュリンク剤、  １５  側面、  １８、２１８  メタル層
【要約】  欠陥等の発生等を抑制しながら電極パターンの寸法を縮小するために、基板（１１）の上面（１０）にレジストを塗布する工程と、レジストに開口部（１３）を形成する工程と、レジスト（１２）の上に熱収縮するシュリンク剤を塗布し、開口部（１３）を埋め込むシュリンク剤塗布工程と、シュリンク剤を加熱し熱収縮させることで、開口部（１３）の幅を狭める収縮工程と、収縮工程の後にシュリンク剤を除去する除去工程と、除去工程の後に、レジスト（１２）の上と開口部（１３）にメタル層（１８）を形成するメタル層形成工程と、メタル層（１８）のうちレジスト（１２）の上の部分と、レジスト（１２）と、を除去する工程と、を備える半導体装置の製造方法において、収縮工程では、開口部（１３）を形成するレジスト（１２）の側面が、レジスト（１２）の厚さ方向の中央部において開口部（１３）の中心部に向かって突出した曲面を形成するようにした。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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