(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納可能であり、一面に開口部を有する容器本体と、
開口部を密閉可能な蓋体と、
前記容器本体の底面に装着され、容器識別部を有する板状部材と、
ＲＦ−ＩＤタグを取り付けるＲＦ−ＩＤ保持部材と、を有する基板収納容器であって、
前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記容器本体の底面又は板状部材に連結されるとともに、前記容器本体の外縁より内側に位置する第一の位置と、第一の位置よりも外側に位置する第二の位置との間を移動可能である基板収納容器。
【請求項２】
前記基板収納容器の輸送時に、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材を第一の位置に保持可能である、請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記第二の位置が、前記基板収納容器が基板加工装置上に配置された状態において、前記基板加工装置によるＲＦ−ＩＤの読み取り及び書き込みが可能な位置である、請求項１又は２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記容器本体の底面又は板状部材、及び前記ＲＦ−ＩＤ保持部材のいずれか一方には、スライドレールが設けられ、他方にはスライドレールが摺動可能に係合する被係合部が設けられている、請求項１から３のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記容器本体の底面又は板状部材、及び前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材を第一の位置及び／又は第二の位置に固定可能なロック機構を有している、請求項１から４のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記ＲＦ−ＩＤ保持部材が、前記板状部材に連結され、
前記板状部材と前記ＲＦ−ＩＤ保持部材とが着脱自在である請求項１から５のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記ＲＦ−ＩＤ保持部材が、前記容器本体の底面に連結され、
前記板状部材と前記ＲＦ−ＩＤ保持部材とが一体化されている請求項１から５のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記板状部材は、インフォパッドプラグを取り付け可能である容器識別部材である、請求項１から７のいずれかに記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＲＦ−ＩＤタグを取り付けるＲＦ−ＩＤ保持部材が移動可能に連結された基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハは、その製造過程を通じて、イオン等による汚染や塵等の付着を防止する必要があり、保管や輸送に当たっては、清浄性の維持された密閉可能な容器に収納することが必要である。半導体ウェハを収納するそのような容器としては、例えば、特許文献１に、開口部を有し基板を整列して収納する容器本体と、開口部を密閉可能な蓋体とを有する基板収納容器が開示されている。
【０００３】
ところで、特許文献１の基板収納容器を実際の半導体製造工程において使用する場合、半導体製造工程における各種装置により基板収納容器に収納されている基板の種類や数量、特性等を識別させて、効率的に半導体製造工程の工程管理を行う必要があり、基板収納容器にバーコード、ＲＦ−ＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ＩＤｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）タグ、インフォパッド等の識別部品を取り付け、これらの識別部品に収納された基板等に関する情報を保持させて使用していた。これらの識別部品のうち、ＲＦ−ＩＤタグは、非接触状態で情報の読み取りや書き込みが可能であり、効率的な工程管理に有用で、現在、半導体製造工程においても広く使用されている。
【０００４】
半導体製造工程に使用される、識別部品が保持された基板収納容器としては、例えば、特許文献２には、基部と基部から立ち上がる背面壁部及び側壁部とを有する識別部品の保持部材を有する基板収納容器が開示されており、ここで、背面壁部には、バーコードを表示する壁面と、カードケースを保持するカードケース保持部が設けられ、基部及び／又は背面壁部には、必要に応じて、ＲＦ−ＩＤタグを保持するＲＦ−ＩＤ保持部が少なくとも１箇所形成されることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５２５３４１０号
【特許文献２】特開２００８−０６８８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来、ＲＦ−ＩＤタグ等の読み取り・書き込みが可能な識別部品の保持部材を基板収納容器に取り付けて使用する場合、質問器（リーダ／ライタ）による読み取り及び書き込みが可能な位置にＲＦ−ＩＤタグを保持しなければならず、ＲＦ−ＩＤ保持部材の一部が基板収納容器の外縁からはみ出してしまい、基板収納容器を包装した際に、ＲＦ−ＩＤ保持部材と包装材料とが干渉して包装材料を損傷する危険性があった他、基板収納容器の外縁からはみ出したＲＦ−ＩＤ保持部材が、二次梱包材料等とも干渉して二次梱包材料をも損傷する危険性もあった。このように、包装材料や二次梱包材料を損傷した場合、輸送中における半導体ウェハの汚染の原因にもなるため、包装材料や二次梱包材料と干渉しない基板収納容器を提供することが求められていた。
【０００７】
また、ＲＦ−ＩＤタグに、実際の半導体製造工程で読み取り・書き込みを行う場合、質問器（リーダ／ライタ）の位置は、工場や製造装置によって異なるため、従来の基板収納容器の場合には、工場毎に異なるＲＦ−ＩＤ保持部材を取り付ける必要があった。
【０００８】
本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、効率的にＲＦ−ＩＤタグの読み取りや書き込みが可能である一方で、輸送中に包装材料や二次梱包材料を損傷せず、工場や装置によらず、ＲＦ−ＩＤタグの読み取りや書き込みを効率的に行うことができるＲＦ−ＩＤ保持部材を有する基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の発明者は、上記課題に鑑み、鋭意研究を行った。その結果、ＲＦ−ＩＤ保持部材が、容器本体の底面、又は容器本体の底面に装着された板状部材に連結されるとともに、ＲＦ−ＩＤ保持部材が、第一の位置と第二の位置との間を移動可能な基板収納容器によれば、上記課題を解決できることを見出し、本発明を解決するに至った。具体的には、本発明は以下のものを提供する。
【００１０】
（１）  本発明の第一の態様は、複数の基板を収納可能であり、一面に開口部を有する容器本体と、開口部を密閉可能な蓋体と、上記容器本体の底面に装着され、容器識別部を有する板状部材と、ＲＦ−ＩＤタグを取り付けるＲＦ−ＩＤ保持部材と、を有する基板収納容器であって、上記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、上記容器本体の底面又は板状部材に連結されるとともに、上記容器本体の外縁より内側に位置する第一の位置と、第一の位置よりも外側に位置する第二の位置との間を移動可能である基板収納容器である。
【００１１】
（２）  本発明の第二の態様は、（１）に記載の基板収納容器であって、上記基板収納容器の輸送時に、上記ＲＦ−ＩＤ保持部材を第一の位置に保持可能であることを特徴とするものである。
【００１２】
（３）  本発明の第三の態様は、（１）又は（２）に記載の基板収納容器であって、上記第二の位置が、上記基板収納容器が基板加工装置上に配置された状態において、上記基板加工装置によるＲＦ−ＩＤの読み取り及び書き込みが可能な位置であることを特徴とするものである。
【００１３】
（４）  本発明の第四の態様は、（１）から（３）のいずれかに記載の基板収納容器であって、上記容器本体の底面又は板状部材、及び上記ＲＦ−ＩＤ保持部材のいずれか一方には、スライドレールが設けられ、他方にはスライドレールが摺動可能に係合する被係合部が設けられていることを特徴とするものである。
【００１４】
（５）  本発明の第五の態様は、（１）から（４）のいずれかに記載の基板収納容器であって、上記容器本体の底面又は板状部材、及び上記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、上記ＲＦ−ＩＤ保持部材を第一の位置及び／又は第二の位置に固定可能なロック機構を有していることを特徴とするものである。
【００１５】
（６）  本発明の第六の態様は、（１）から（５）のいずれかに記載の基板収納容器であって、上記ＲＦ−ＩＤ保持部材が、上記板状部材に連結され、上記板状部材と上記ＲＦ−ＩＤ保持部材とが着脱自在であることを特徴とするものである。
【００１６】
（７）  本発明の第七の態様は、（１）から（５）のいずれかに記載の基板収納容器であって、上記ＲＦ−ＩＤ保持部材が、上記容器本体の底面に連結され、上記板状部材と上記ＲＦ−ＩＤ保持部材とが一体化されていることを特徴とするものである。
【００１７】
（８）  本発明の第八の態様は、（１）から（７）のいずれかに記載の基板収納容器であって、上記板状部材は、インフォパッドプラグを取り付け可能である容器識別部材であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の基板収納容器は、ＲＦ−ＩＤ保持部材が、第一の位置と第二の位置との間を移動可能に、容器本体の底面、又は容器本体の底面に装着された板状部材に連結されている。ここで、第一の位置は、容器本体の外縁よりも内側に位置するので、基板収納容器を移動する際に、ＲＦ−ＩＤ保持部材を第一の位置に保持することにより、包装材料や二次梱包材料を損傷することがない。また、基板収納容器を半導体製造工程において使用する際には、ＲＦ−ＩＤ保持部材を第一の位置と第二の位置の間のいずれかの位置に保持することにより、効率的にＲＦ−ＩＤの読み取り・書き込みを行うことができる上、ＲＦ−ＩＤ保持部材を保持する位置を変化させることにより、工場や装置によらず、ＲＦ−ＩＤの読み取り・書き込みを効率的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態の基板収納容器における容器本体を示す図面である。
【図２】本発明の一実施形態の基板収納容器における容器本体の底面を示す図面である。
【図３】本発明の一実施形態の基板収納容器において、ＲＦ−ＩＤ保持部材が第二の位置に保持された状態を示す図面である。
【図４】本発明の一実施形態の基板収納容器において、ＲＦ−ＩＤ保持部材が板状部材と移動可能に連結された態様を示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
＜＜用語の説明＞＞
本明細書において、ＲＦ−ＩＤとは、Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ＩＤｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎの略称であり、電波を使用してデータの読み取り・書き込みを行うための電子デバイスである。ＲＦ−ＩＤを使用したシステムは、基板収納容器にＲＦ−ＩＤタグを個別に取り付けて応答器とするとともに、半導体製造工程内に、ホストコンピュータやワークステーション、質問器（リーダ／ライタ）等を配置することにより構成される。質問器は、コントローラ、送受信器、及びアンテナから構成され、ホストコンピュータやワークステーションの制御下で、ホストコンピュータやワークステーションと情報を交換する。この質問器は、応答器の情報を読み込んで確認したり、書き込みする機能を有しており、半導体製造工程内の所定装置に設置される。
【００２１】
ＲＦ−ＩＤタグ（応答器）は、アンテナ、送受信器、及びメモリから構成され、ＲＦ−ＩＤ保持部材を介して基板収納容器に取り付けられて、例えば、半導体ウェハのロット、工程内の加工経過あるいは処理経過等を記録している。ＲＦ−ＩＤシステムでは、ＲＦ−ＩＤタグのデータを読み取り、確認と書き換えを行いながら工程を管理することが可能である。ＲＦ−ＩＤタグの具体的構成としては、アンテナ、送受信器、及びメモリをガラスや樹脂等の筒状筐体に封入したものや、これらを二重のフィルムに挟み込んだもの等が挙げられる。
【００２２】
インフォパッドは、基板収納容器を基板の加工装置に搭載したときに、基板収納容器の種類や、基板の収納枚数等を検出するためのもので、容器本体の所定位置に配置された貫通孔や凹部であって、基板の加工装置の所定位置に配置されたセンサをプラグ非検出とする貫通孔や凹部があるのか、あるいは、貫通孔や凹部がインフォパッドプラグにより塞がれてセンサをプラグ検出とするのか、に応じ、ＯＮ／ＯＦＦの結果を返し、このＯＮ／ＯＦＦの結果の組み合わせによって、基板収納容器の仕様を確認可能なものである。ここで、インフォパッドプラグは、貫通孔や凹部の周縁又は近傍に係止可能で、センサーにより検出される被検出面を有していればよい。
【００２３】
＜＜本発明の実施形態＞＞
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。本実施形態において、Ｚ方向とは、基板収納容器１における鉛直方向であり、基板収納容器１の底面から天井面に向かう方向を指す。
【００２４】
＜基板収納容器＞
図１は本実施形態の基板収納容器１における容器本体２を示す図面である。本発明の基板収納容器１は、例えば前面等の一面に開口部（図示せず）を有し複数の基板（図示せず）を水平に保持し、かつ、垂直方向に整列させて収納可能な容器本体２と、開口部を密閉可能な蓋体１１と、容器本体２の底面に装着され、容器識別部を有する板状部材３（後述、図１には図示せず）と、ＲＦ−ＩＤタグ５を取り付けるＲＦ−ＩＤ保持部材４（後述、図１には図示せず）と、を有する。ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、板状部材３に連結され、容器本体２の背面２ｂに取り付けられることが一般的であるが、容器本体２の背面２ｂに取り付けられる形態に限定されるわけではなく、容器本体２の側面等、容器本体２の開口部が形成された面以外の面に取り付けられていてもよい。
【００２５】
［容器本体及び蓋体］
容器本体２には、その対向する内面に一対の支持部材８が設けられ、支持部材８には、基板の周縁部を水平に保持する支持部がＺ方向に一定間隔で形成されている。また、蓋体１１の裏面にも、基板の周縁部を保持する保持部材が取り付けられる。図１に示すように、容器本体２の背面２ｂには、底面２ｄから天井面２ａにかけて、一対の突出部２２が形成されている。本発明においては、この一対の突出部２２が、容器本体２の背面２ｂ側の外縁となる。容器本体２の天井面２ａには、ロボティックフランジが着脱自在に装着されていてもよい。容器本体２の天井面２ａにこのロボティックフランジが装着された場合、ロボティックフランジが自動の天井搬送機に保持されることにより、基板収納容器１が工程内及び工程間を搬送される。
【００２６】
図２は、本実施形態の基板収納容器１における容器本体２の底面２ｄを示す図面である。図２に示すように、容器本体２の底面２ｄには、容器識別部を有する板状部材３（例えば、インフォパッド等の容器識別部材）が取り付け可能となっており、板状部材３が容器識別部材として機能できるようになっている。具体的には、容器本体２の底面には、板状部材３を固定するための一対の係止溝２１が形成されている。
【００２７】
蓋体１１は、例えば、蓋体本体と、蓋体本体の容器本体２側を覆うカバー部材とを有しおり、蓋体１１が容器本体２に係合した状態で蓋体１１を容器本体２に固定する施錠機構が備えられていてもよい。施錠機構が設けられることにより、半導体製造工程において、半導体ウェハを容器本体２から取り出す必要があるときには、蓋体１１を除去して容器本体２の開口部を開放しつつも、基板収納容器１を輸送する際等、基板収納容器１を密閉する必要がある際には、蓋体１１を容器本体２の開口部に固定して、半導体ウェハの汚染等を防止することができる。
【００２８】
［板状部材］
図３は、本実施形態の基板収納容器１において、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が第二の位置に保持された状態を示す図面であり、図４は、本実施形態の基板収納容器１において、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が板状部材３と移動可能に連結された態様を示す図面である。板状部材３は、容器本体２の底面２ｄに装着されるものであり、インフォパッドプラグ取り付け部等の容器識別部を有するものである。板状部材３は、例えば、容器本体２の底面２ｄに平行に取り付けられる基部３１と、一対の側壁部３２からなる。この側壁部３２は、断面Ｌ字状に基部３１の端部から突出し、上述した容器本体２の係止溝２１に係合する係止爪３３を有しており、これにより、板状部材３は容器本体２に固定される。
【００２９】
図４に示すように、本実施形態においては、板状部材３にＲＦ−ＩＤ保持部材４が連結されるが、板状部材３の基部３１のＲＦ−ＩＤ保持部材４への連結部３４と反対側には、板状部材３の幅方向の中央線に沿って略Ｕ字状をしたＵ字状切欠部３６が形成されている。このＵ字状切欠部３６により左右に分離された板状部材３の基部３１には、異なる半径を有する複数の貫通孔３７が幅方向の中心線を軸として対称に形成され、必要に応じて、インフォパッドプラグ（図示せず）が、これらの貫通孔３７を塞ぐように取り付けられている。貫通孔３７は、同心状である、大きな径をした外周円と、小さな径をした内周円とを有しており、外周円と内周円との間には段差部が形成され、インフォパッドプラグに設けられた係止爪が、この段差部に嵌合するようになっている。
【００３０】
なお、本発明においては、板状部材３を、容器固定部や容器位置決め部等を有するボトムプレートとして構成してもよく、その場合、ボトムプレートとなる板状部材には、容器固定部となる中心部の貫通孔や、容器位置決め部となる複数のＶグルーブを設けて、容器本体２の中心部を略中心とし、ＲＦ−ＩＤ保持部材４側を底部とする略Ｙ字形状の部材としてもよい。
【００３１】
［ＲＦ−ＩＤ保持部材］
図４に示すように、本実施形態においては、板状部材３とＲＦ−ＩＤ保持部材４とは、別々の金型から製造されており、板状部材３にＲＦ−ＩＤ保持部材４が着脱自在に連結されて使用される。ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、容器本体２の底面２ｄと平行で、板状部材３の連結部３４と連結する基部４２と、容器本体２の背面２ｂ側の側壁に平行となるように、基部４２から垂直に立ち上がる背面壁部４１とを有し、基部４２の板状部材３との連結部４４の反対側、及び背面壁部４１には、左右方向の中心線をまたぎ、その中心線に沿ってＲＦ−ＩＤタグ５を保持するための保持部４３が形成されている。図４に示すように、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、連結部３４において、板状部材３と連結するが、ＲＦ−ＩＤ保持部材４側の連結部４４には、少なくとも２つのスライドレール４５が設けられ、板状部材３側の連結部３４には、スライドレール４５が摺動可能に係合する被係合部３５が設けられている。このように、ＲＦ−ＩＤ保持部材４と、板状部材３とをスライドレール４５を介して連結したので、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、容器本体２の背面２ｂ側の外縁である、一対の突出部２２よりも内側に位置する第一の位置と、この第一の位置よりも外側に位置する第二の位置との間を摺動して移動可能となる（図４の矢印Ａ及び第二の位置を示す図３も参照）。なお、本発明においては、ＲＦ−ＩＤ保持部材４及び板状部材３が、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を第一の位置及び／又は第二の位置に固定可能なロック機構を有していてもよい（図示せず）。
【００３２】
このように、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が移動可能となったことにより、基板収納容器１の輸送時には、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を第一の位置に保持可能となり、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が容器本体２の背面２ｂ側の外縁である、一対の突出部２２よりも内側に位置することとなり、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が、輸送用の包装材料や二次梱包材料を損傷することを防止することができる。一方で、半導体製造工程において、基板収納容器が基板加工装置に配置され、これが使用される際には、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を第二の位置に保持することにより、基板加工装置に備えられた質問器による、ＲＦ−ＩＤの読み取り・書き込みが可能となる。
【００３３】
なお、本発明においては、ＲＦ−ＩＤ保持部材４側の連結部４４にスライドレール４５を、板状部材３側の連結部３４に被係合部３５を設けたが、ＲＦ−ＩＤ保持部材４側の連結部４４に被係合部を、板状部材３側の連結部３４にスライドレールを設けていてもよく、スライドレール４５と被係合部３５は２対のみ設けられる態様に限定されず、１対又は３対以上設けられていてもよい。また、ＲＦ−ＩＤ保持部材４と板状部材３とを連結する手段も、スライドレール４５と被係合部３５とを組み合わせた手段に限定されず、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を、第一の位置及び第二の位置の間で移動可能に板状部材３に連結可能な、従来公知の任意の手段を採用することができる。
【００３４】
なお、以上の説明においては、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が板状部材３に連結される態様を説明したが、本発明はそのような態様に限定されるわけではなく、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は容器本体２の底面２ｄに連結されていてもよい。この場合、ＲＦ−ＩＤ保持部材４及び容器本体２の底面２ｄのいずれか一方には、スライドレールが設けられ、他方にはスライドレールが摺動可能に係合する被係合部が設けられていてもよく、ＲＦ−ＩＤ保持部材４及び容器本体２の底面２ｄは、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を第一の位置及び／又は第二の位置に固定可能なロック機構を有していてもよい。また、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が容器本体２の底面２ｄに連結される態様においては、ＲＦ−ＩＤ保持部材４と板状部材とが一体成型されて一体化され、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が、板状部材とともに、第一の位置と第二の位置との間を移動可能なものであってもよい。
【００３５】
＜基板収納容器の製造方法＞
なお、容器本体２、蓋体１１、板状部材３、ＲＦ−ＩＤ保持部材４等は、金型成型の技術を使用して、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマー等の従来公知の合成樹脂やこれらのアロイ樹脂から形成することができる。また、これらの樹脂に、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブ等を添加して、導電性を付与してもよい。
【符号の説明】
【００３６】
１    基板収納容器
１１  蓋体
２    容器本体
２ａ  容器本体の天井面
２ｂ  容器本体の背面
２ｄ  容器本体の底面
２２  突出部
２１  係止溝
３    板状部材
３１  板状部材の基部
３２  板状部材の側壁部
３３  係止爪
３４  板状部材の連結部
３５  被係合部
３６  Ｕ字状切欠部
３７  貫通孔
４    ＲＦ−ＩＤ保持部材
４１  ＲＦ−ＩＤ保持部材の背面壁部
４２  ＲＦ−ＩＤ保持部材の基部
４３  保持部
４４  ＲＦ−ＩＤ保持部材の連結部
４５  スライドレール
５    ＲＦ−ＩＤタグ
【図１】
0006486257.tif 000002
【図２】
0006486257.tif 000003
【図３】
0006486257.tif 000004
【図４】
0006486257.tif 000005