(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤー張設用のガイド溝を備えワイヤーが複数回巻き掛けられるガイドローラー群と、被加工物を固定する基台と、該基台と該ワイヤーとを相対的に移動させ該基台に固定した被加工物に該ワイヤーを切り込ませる移動手段と、を有するワイヤーソーの該ガイドローラー群に巻き掛けられた第１のワイヤーの一端部に、該第１のワイヤーとは別の第２のワイヤーの一端部を接続するワイヤーの接続方法であって、
内部にワイヤーが挿通した状態で該ガイド溝に沿って該ガイドローラー群に巻き掛けることのできるチューブ状のカバー部材を準備するカバー部材準備ステップと、
該第１のワイヤーの一端側又は該第２のワイヤーの一端側を該カバー部材に挿通するワイヤー挿通ステップと、
該ワイヤー挿通ステップを実施した後、該第１のワイヤーの一端部と該第２のワイヤーの一端部とを交差させ、該第１のワイヤーと該第２のワイヤーとの交差部を溶接して該第１のワイヤーと該第２のワイヤーとを接続する溶接ステップと、
該溶接ステップを実施した後、該カバー部材を該第１のワイヤー及び該第２のワイヤーに沿って移動させ、該第１のワイヤーの一端部及び該第２のワイヤーの一端部を該カバー部材の内部に収容する端部収容ステップと、を備えることを特徴とするワイヤーの接続方法。
【請求項２】
該カバー部材の長さは、該第１のワイヤーの一端から該交差部までの長さと該第２のワイヤーの一端から該交差部までの長さの和以上であることを特徴とする請求項１記載のワイヤーの接続方法。
【請求項３】
該ワイヤーソーは、ワイヤー及び被加工物に高周波パルス電力を供給する高周波パルス電源ユニットをさらに有し、被加工物を放電加工することを特徴とする請求項１又は請求項２記載のワイヤーの接続方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤーソーで使用されるワイヤーの接続方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インゴット等の被加工物からウェーハを切り出す場合には、ワイヤーソー（マルチワイヤーソー）と呼ばれる加工装置を用いるのが一般的である（例えば、特許文献１参照）。このワイヤーソーは、複数のガイドローラーに巻き掛けられたワイヤーを所定の方向に送りながら被加工物に切り込ませることで、薄いウェーハを切り出す。
【０００３】
一方、このワイヤーソーを用いる加工方法では、ガイドローラーに巻き掛けられたワイヤーに対して砥粒を分散させたスラリーを供給し続けなければならないので、工程が煩雑である。また、被加工物に対してワイヤーが直に接触するので、工程中にワイヤーが切れる可能性も高かった。
【０００４】
これらの問題に対し、近年では、導電性を備えたワイヤーと被加工物との間で発生する放電を利用して、ウェーハを非接触で切り出すワイヤーソーも提案されている（例えば、特許文献２参照）。このワイヤーソーでは、ワイヤーと被加工物との間にパルス電圧を印加し、ワイヤーを所定の方向に送りながら被加工物に切り込ませることで、ウェーハを非接触で切り出すことができる。
【０００５】
ところで、上述のようなワイヤーソーでは、例えば、ワイヤーが途中で切れてしまった場合や、セットされているワイヤーを全て使い切った場合等に、新たなワイヤーをガイドローラー群に巻き掛ける必要がある。しかしながら、例えば、直径が１００μｍ〜２００μｍの細いワイヤーを、０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度の狭いピッチで幾重にも巻き掛けるには、熟練したオペレータであっても３０分以上の時間が掛かっていた。
【０００６】
ワイヤーの交換に要する時間を短縮するために、ガイドローラー群に巻き掛けられたワイヤーの一端面に、新たなワイヤーの一端面を接触させて、２本のワイヤーを溶接するワイヤーの接続方法が提案されている（例えば、特許文献３参照）。このワイヤーの接続方法によれば、元のワイヤーを巻き取ることによって新たなワイヤーを巻き掛けることができるので、ワイヤーの交換に要する時間は大幅に短縮される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−９４７５５号公報
【特許文献２】特開２０１１−１４００８８号公報
【特許文献３】特開２００４−１９５６１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、上述のようにワイヤーの端面同士を接触させて溶接する方法では、接続不良が発生し易く、溶接部分でワイヤーが切れてしまうこともあった。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ワイヤーソーで使用されるワイヤーを簡単かつ確実に接続できるワイヤーの接続方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、ワイヤー張設用のガイド溝を備えワイヤーが複数回巻き掛けられるガイドローラー群と、被加工物を固定する基台と、該基台と該ワイヤとを相対的に移動させ該基台に固定した被加工物に該ワイヤを切り込ませる移動手段と、を有するワイヤーソーの該ガイドローラー群に巻き掛けられた第１のワイヤーの一端部に、該第１のワイヤーとは別の第２のワイヤーの一端部を接続するワイヤーの接続方法であって、内部にワイヤーが挿通した状態で該ガイド溝に沿って該ガイドローラー群に巻き掛けることのできるチューブ状のカバー部材を準備するカバー部材準備ステップと、該第１のワイヤーの一端側又は該第２のワイヤーの一端側を該カバー部材に挿通するワイヤー挿通ステップと、該ワイヤー挿通ステップを実施した後、該第１のワイヤーの一端部と該第２のワイヤーの一端部とを交差させ、該第１のワイヤーと該第２のワイヤーとの交差部を溶接して該第１のワイヤーと該第２のワイヤーとを接続する溶接ステップと、該溶接ステップを実施した後、該カバー部材を該第１のワイヤー及び該第２のワイヤーに沿って移動させ、該第１のワイヤーの一端部及び該第２のワイヤーの一端部を該カバー部材の内部に収容する端部収容ステップと、を備えることを特徴とするワイヤーの接続方法が提供される。
【００１０】
本発明の一態様において、該カバー部材の長さは、該第１のワイヤーの一端から該交差部までの長さと該第２のワイヤーの一端から該交差部までの長さの和以上であることが好ましい。
【００１１】
また、本発明の一態様において、該ワイヤーソーは、ワイヤー及び被加工物に高周波パルス電力を供給する高周波パルス電源ユニットをさらに有し、被加工物を放電加工することが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一態様に係るワイヤーの接続方法では、第１のワイヤーの一端部と第２のワイヤーの一端部とを交差させ、その交差部を溶接することで第１のワイヤーと第２のワイヤーとを接続するので、端面同士を接触させて溶接する従来の接続方法に比べて、第１のワイヤーと第２のワイヤーとを簡単かつ確実に接続できる。
【００１３】
また、本発明の一態様に係るワイヤーの接続方法では、第１のワイヤーと第２のワイヤーとを接続した後に、チューブ状のカバー部材の内部に第１のワイヤーの一端部及び第２のワイヤーの一端部を収容するので、接続後の第１のワイヤー及び第２のワイヤーの形状が整えられ、第１のワイヤー及び第２のワイヤーがガイド溝からずれることもない。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】ワイヤーソーの構成例を模式的に示す図である。
【図２】被加工物が加工される様子を模式的に示す斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は、カバー部材準備ステップ及びワイヤー挿通ステップを模式的に示す図であり、図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）は、溶接ステップを模式的に示す図であり、図３（Ｄ）及び図３（Ｅ）は、端部収容ステップを模式的に示す図である。
【図４】図４（Ａ）は、第１ガイドローラー、第２ガイドローラー、第３ガイドローラー、及び第４ガイドローラーとなるローラーの構造を模式的に示す図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の一部の領域を拡大した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。本実施形態に係るワイヤーの接続方法は、カバー部材準備ステップ（図３（Ａ）参照）、ワイヤー挿通ステップ（図３（Ａ）参照）、溶接ステップ（図３（Ｂ）、図３（Ｃ）参照）、及び端部収容ステップ（図３（Ｄ）、図３（Ｅ）参照）を含む。
【００１６】
カバー部材準備ステップでは、内部にワイヤーを通すことができるチューブ状のカバー部材を準備する。ワイヤー挿通ステップでは、ワイヤーソーのガイドローラー群に巻き掛けられている第１のワイヤーの一端側、又は第１のワイヤーとは別の第２のワイヤーの一端側をカバー部材に通す。
【００１７】
溶接ステップでは、第１のワイヤーの一端部と第２のワイヤーの一端部とを交差させ、その交差部を溶接する。端部収容ステップでは、第１のワイヤー及び第２のワイヤーに沿ってカバー部材を移動させ、第１のワイヤーの一端部及び第２のワイヤーの一端部をカバー部材の内部に収容する。以下、本実施形態に係るワイヤーの接続方法について詳述する。
【００１８】
まず、本実施形態で接続されるワイヤーを使用するワイヤーソーの例を説明する。図１は、ワイヤーソーの構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、ワイヤーソー（マルチワイヤーソー）２は、ワイヤー４が巻回された繰り出しボビン６を支持する円柱状の繰り出しローラー８を備えている。
【００１９】
繰り出しローラー８の上方には、巻き取りボビン１０を支持する円柱状の巻き取りローラー１２が配置されている。繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤー４は、加工に使用された後、巻き取りボビン１０に巻き取られる。ワイヤー４は、例えば、直径が５０μｍ〜１４０μｍのピアノ線等をベースに構成されており、被加工物１１の加工に必要な導電性を備えている。
【００２０】
繰り出しローラー８に隣接する位置には、繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤー４を下流側に送る第１供給ローラー１４、第２供給ローラー１６、第３供給ローラー１８及び第４供給ローラー２０が配置されている。また、第２供給ローラー１６と第３供給ローラー１８との間には、ワイヤー４の張力を調整する第１調整ローラー２２が設けられている。
【００２１】
繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤー４は、第１供給ローラー１４、第２供給ローラー１６、第１調整ローラー２２、第３供給ローラー１８、第４供給ローラー２０の順に巻き掛けられて、下流側に送られる。
【００２２】
第４供給ローラー２０の下方には、第４供給ローラー２０から送られたワイヤー４を案内する円柱状の第１ガイドローラー２４が配置されている。第４供給ローラー２０から送られたワイヤー４は、第１ガイドローラー２４に巻き掛けられて下方に案内される。この第１ガイドローラー２４は、例えば、ワイヤー４の移動に合わせて回転する従動ローラーである。
【００２３】
第１ガイドローラー２４の下方には、第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤー４をさらに案内する円柱状の第２ガイドローラー２６が配置されている。第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤー４は、第２ガイドローラー２６に巻き掛けられて水平方向に案内される。この第２ガイドローラー２６は、例えば、モーター等の回転駆動源に連結されワイヤー４を移動させる駆動ローラーである。
【００２４】
第２ガイドローラー２６から水平方向に離れた位置には、第２ガイドローラー２６で案内されたワイヤー４をさらに案内する円柱状の第３ガイドローラー２８が配置されている。第２ガイドローラー２６で案内されたワイヤー４は、第３ガイドローラー２８に巻き掛けられて上方に案内される。この第３ガイドローラー２８は、例えば、ワイヤー４の移動に合わせて回転する従動ローラーである。また、第３ガイドローラー２８によって上方に案内されたワイヤー４の一部は、被加工物１１を加工する加工部４ａとなる。
【００２５】
第３ガイドローラー２８の上方には、第３ガイドローラー２８で案内されたワイヤー４をさらに案内する円柱状の第４ガイドローラー３０が配置されている。第３ガイドローラー２８で案内されたワイヤー４は、第４ガイドローラー３０に巻き掛けられて水平方向に案内される。この第４ガイドローラー３０は、例えば、モーター等の回転駆動源に連結されワイヤー４を移動させる駆動ローラーである。
【００２６】
第１ガイドローラー２４と第４ガイドローラー３０との間の位置には、第４ガイドローラー３０で案内されたワイヤー４を巻き掛ける第５供給ローラー３２が配置されている。第４ガイドローラー３０で案内されたワイヤー４は、第５供給ローラー３２に巻き掛けられて第１ガイドローラー２４に送られる。
【００２７】
第５供給ローラー３２から第１ガイドローラー２４に送られたワイヤー４は、第１ガイドローラー２４に再び巻き掛けられて第２ガイドローラー２６に案内される。上述のように、第１ガイドローラー２４には、既にワイヤー４が巻き掛けられているので、ここでは、第１ガイドローラー２４の別の位置にワイヤー４が巻き掛けられる。具体的には、既に巻き掛けられているワイヤー４に対して第１ガイドローラー２４の回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤー４が再度巻き掛けられる。
【００２８】
同様に、第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤー４は、第２ガイドローラー２６に再び巻き掛けられて第３ガイドローラー２８に案内される。また、第２ガイドローラー２６で案内されたワイヤー４は、第３ガイドローラー２８に再び巻き掛けられて第４ガイドローラー３０に案内される。さらに、第３ガイドローラー２８で案内されたワイヤー４は、第４ガイドローラー３０に再び巻き掛けられ、第５供給ローラー３２を経て第１ガイドローラー２４に案内される。
【００２９】
第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８、第４ガイドローラー３０、及び第５供給ローラー３２にも既にワイヤー４が巻き掛けられているので、ここでも、第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８、第４ガイドローラー３０、又は第５供給ローラー３２の回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤー４が再度巻き掛けられる。第５供給ローラー３２で案内されたワイヤー４は、第１ガイドローラー２４にさらに巻き掛けられて第２ガイドローラー２６に案内される。
【００３０】
このように、第１ガイドローラー２４、第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８及び第４ガイドローラー３０（以下、ガイドローラー群）には、回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤー４が複数回巻き掛けられる。これにより、第３ガイドローラー２８と第４ガイドローラー３０との間には複数の加工部４ａが並列されて、被加工物１１から複数のウェーハを一度に切り出すことができる。
【００３１】
第３ガイドローラー２８及び第４ガイドローラー３０に巻き掛けられるワイヤー４の回転軸方向の間隔（すなわち、隣接する加工部４ａの間隔）は、切り出されるウェーハの厚みに対応し、例えば、０．５ｍｍ〜１ｍｍに設定される。ただし、ワイヤー４の回転軸方向の間隔（隣接する加工部４ａの間隔）は、ウェーハの仕様等に応じて任意に変更できる。同様に、ワイヤー４を巻き掛ける回数は、被加工物１１やウェーハの仕様等に応じて任意に設定される。
【００３２】
巻き取りローラー１２に隣接する位置には、加工に使用されたワイヤー４を送る第６供給ローラー３４、第７供給ローラー３６及び第８供給ローラー３８が配置されている。また、第７供給ローラー３６と第８供給ローラー３８との間には、ワイヤー４の張力を調整する第２調整ローラー４０が設けられている。
【００３３】
上述のようにガイドローラー群に複数回巻き掛けられたワイヤー４は、第１ガイドローラー２４で鉛直方向に案内される。第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤー４は、第６供給ローラー３４、第７供給ローラー３６、第２調整ローラー４０、第８供給ローラー３８の順に巻き掛けられて、巻き取りボビン１０で巻き取られる。
【００３４】
上述のように、第２ガイドローラー２６及び第４ガイドローラー３０には、モーター等の回転駆動源が連結されている。この回転駆動源で、第２ガイドローラー２６及び第４ガイドローラー３０を回転させれば、ワイヤー４は、所定の送り方向に送られる。なお、回転駆動源は、繰り出しローラー８、巻き取りローラー１２、第１調整ローラー２２、第２調整ローラー４０等に連結されていても良い。
【００３５】
加工部４ａの側方には、被加工物１１を固定する基台４２が配置されている。基台４２は、アーム状の本体４４と、本体４４の一端部に装着される被加工物固定部材４６とを含む。
【００３６】
被加工物１１は、例えば、シリコンやＳｉＣ、ダイヤモンド（単結晶ダイヤモンド）等の材料で円柱状に形成されたインゴットであり、ワイヤー４（加工部４ａ）の送り方向に対して被加工物１１の高さ方向（代表的には、結晶成長方向）が垂直になるように、導電性接着剤や半田等で被加工物固定部材４６に接着される。ただし、被加工物１１の種類に特段の制限はない。
【００３７】
本体４４の他端部には、基台４２を水平方向に移動（加工送り）させる移動機構（移動手段）４８が連結されている。この移動機構４８によって、基台４２とワイヤー４とを相対的に移動（加工送り）させることで、ワイヤー４の加工部４ａを被加工物１１に切り込ませることができる。
【００３８】
本体４４には、放電加工用の高周波パルス電圧を発生する高周波パルス電源ユニット５０の第１端子が接続されている。一方、第４ガイドローラー３０と第５供給ローラー３２との間には、高周波パルス電源ユニット５０の第２端子に接続された給電ローラー５２が配置されている。
【００３９】
この給電ローラー５２は、第４ガイドローラー３０と第５供給ローラー３２との間でワイヤー４に接触している。すなわち、ワイヤー４には、高周波パルス電源ユニット５０の第２端子が電気的に接続されている。
【００４０】
高周波パルス電源ユニット５０は、例えば、高周波パルス電圧の発生を制御し、パルス幅や繰り返し周波数を調整するパルス調整部５０ａと、電圧を調整する電圧調整部５０ｂと、を含んでいる。この高周波パルス電源ユニット５０により、放電加工に必要なパルス電圧を発生できる。
【００４１】
第１端子に接続される基台４２の本体４４及び被加工物固定部材４６は、例えば、カーボン、金属等の導電性材料で構成されており、被加工物１１は、電性接着剤や半田等で被加工物固定部材４６に接着される。また、給電ローラー５２を介して第２端子に接続されるワイヤー４は、導電性を備えている。そのため、高周波パルス電源ユニット５０で発生した高周波パルス電圧は、ワイヤー４と被加工物１１との間に印加される。
【００４２】
なお、本実施形態のワイヤーソー２では、給電ローラー５２とワイヤー４との接触面積を増やすために、給電ローラー５２に対してワイヤー４を押し当てることができる位置に第５供給ローラー３２と給電ローラー５２とを配置している。これにより、ワイヤー４に対して高周波パルス電圧を適切に印加できる。また、本実施形態のワイヤーソー２では、給電ローラー５２にのみ高周波パルス電源ユニット５０の第２端子を接続しているが、第５供給ローラー３２に高周波パルス電源ユニット５０の第２端子を接続しても良い。
【００４３】
第２ガイドローラー２６及び第３ガイドローラー２８を囲む位置には、加工槽５４が配置されている。加工槽５４の内部には、純水等の加工液５６が貯留されており、少なくとも、ワイヤー４の加工部４ａ及び被加工物１１が加工液５６に浸漬している。
【００４４】
次に、上述したワイヤーソー２を用いる被加工物１１の加工方法について説明する。図２は、被加工物１１が加工される様子を模式的に示す斜視図である。まず、高周波パルス電源ユニット５０でワイヤー４と被加工物１１との間に高周波パルス電圧を印加する。また、ガイドローラー群等を回転させて、図２に示すように、ワイヤー４を所定の送り方向に送る。
【００４５】
次に、被加工物１１にワイヤー４（加工部４ａ）を切り込ませるように、移動機構４８で被加工物１１を水平方向に移動（加工送り）させる。加工液５６中で絶縁状態にある被加工物１１とワイヤー４の加工部４ａとが十分に近づくと、絶縁が破壊されて被加工物１１と加工部４ａとの間で放電が生じる。
【００４６】
その結果、放電に伴う熱で被加工物１１の加工部４ａに近接する部分が溶融される。また、加工液５６の温度が急激に上昇して沸騰し、体積が膨張して被加工物１１の溶融した部分を飛散（拡散）させる。このように、ワイヤー４と被加工物１１との間に高周波パルス電圧を供給しながら被加工物１１を水平方向に移動させることで、被加工物１１に対する加工部４ａの移動経路に応じた位置で被加工物１１を加工できる。
【００４７】
被加工物１１の水平方向への移動は、ワイヤー４の加工部４ａによって被加工物１１が完全に切断されるまで続けられる。以上により、被加工物１１から複数のウェーハを同時に切り出すことができる。
【００４８】
次に、上述のワイヤー４を交換等する際に実施されるワイヤーの接続方法を説明する。本実施形態に係るワイヤーの接続方法では、まず、内部にワイヤー４を通すことができるカバー部材を準備するカバー部材準備ステップを実施する。図３（Ａ）は、カバー部材準備ステップ及び次のワイヤー挿通ステップを模式的に示す図である。
【００４９】
カバー部材６２は、例えば、２本のワイヤー４を通すことができるチューブ状（円筒状）に形成されている。カバー部材６２の内径（直径）は、例えば、２００μｍ〜２４０μｍであり、カバー部材６２の外径（直径）は、例えば、２８０μｍ〜３００μｍである。
【００５０】
このカバー部材６２は、例えば、ポリイミド等の比較的柔軟な樹脂材料で形成されている。そのため、内部に形成された円柱状の空間に対して２本のワイヤー４を容易に通すことができる。また、２本のワイヤー４と共にカバー部材６２をガイドローラー群に巻き掛けることもできる。
【００５１】
カバー部材準備ステップの後には、既にガイドローラー群に巻き掛けられているワイヤー４、又は、このワイヤー４に接続される別のワイヤー４をカバー部材６２に通すワイヤー挿通ステップを実施する。
【００５２】
図３（Ａ）に示すように、本実施形態では、既にガイドローラー群に巻き掛けられている第１のワイヤー６４の一端（下流端）６４ａ側をカバー部材６２に通す。なお、第１のワイヤー６４は、少なくとも一端６４ａがカバー部材６２から露出する位置まで挿入される。
【００５３】
ワイヤー挿通ステップの後には、第１のワイヤー６４の一端６４ａ側の一部（一端部）と別のワイヤー４の一端側の一部（一端部）とを交差させ、その交差部を溶接する溶接ステップを実施する。図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）は、溶接ステップを模式的に示す図である。
【００５４】
本実施形態では、図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）に示すスポット溶接機７２を用いて第１のワイヤー６４の一端６４ａ側の一部と、第２のワイヤー６６の一端（上流端）６６ａ側の一部（一端部）とを溶接する。スポット溶接機７２は、例えば、対向して配置された第１電極７４及び第２電極７６を備えている。第１電極７４及び第２電極７６で第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６を挟み込んで加圧し、大電流を集中させることで、第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６を点状に溶接できる。
【００５５】
具体的には、図３（Ｂ）に示すように、第１のワイヤー６４の一端６４ａ側の一部と第２のワイヤー６６の一端６６ａ側の一部とを交差させて、交差部６８を形成する。次に、図３（Ｂ）に示すように、上述したスポット溶接機７２の第１電極７４及び第２電極７６で交差部６８を挟み込んで溶接する。これにより、第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とを簡単かつ確実に接続できる。
【００５６】
溶接ステップの後には、互いに接続された第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６に沿ってカバー部材６２を移動させ、第１のワイヤー６４の一端６６ａ側の一部と第２のワイヤー６６の一端６６ａ側の一部とをカバー部材６２の内部に収容する端部収容ステップを実施する。図３（Ｄ）及び図３（Ｅ）は、端部収容ステップを模式的に示す図である。
【００５７】
本実施形態では、第１のワイヤー６４の一端６４ａ側をカバー部材６２に通しているので、図３（Ｄ）に示すように、カバー部材６２を第２のワイヤー６６側に移動させる。これにより、図３（Ｅ）に示すように、第１のワイヤー６４の一端６６ａ側の一部及び第２のワイヤー６６の一端６６ａ側の一部（すなわち、交差部６８）をカバー部材６２の内部に収容できる。
【００５８】
このように、接続後の第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６の形状をカバー部材６２で整えることにより、例えば、第１のワイヤー６４を巻き取りボビン１０に巻き取らせて第２のワイヤー６６をガイドローラー群に巻き掛ける際に、第２のワイヤー６６の位置がずれ難くなる。
【００５９】
図４（Ａ）は、第１ガイドローラー２４、第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８、及び第４ガイドローラー３０となるローラーの構造を模式的に示す図である。図４（Ａ）に示すように、ローラー８２の側面（周面）８２ａには、ワイヤー４を巻き掛ける位置を規定する溝（ガイド溝）８２ｂが形成されている。この溝８２ｂは、例えば、直径が３００μｍ以下のワイヤー４等に適合する深さ、幅等の条件で形成されている。
【００６０】
図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の一部の領域８２ｃを拡大した断面図である。なお、図４（Ｂ）では、ローラー８２に第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６が巻き掛けられた状態を示している。
【００６１】
上述のように、本実施形態では、溝８２ｂの適合範囲（例えば、直径が３００μｍ以下）内の外径（直径）（例えば、２８０μｍ〜３００μｍ）を持つカバー部材６２が使用されている。また、カバー部材６２は、ローラー８２に巻き掛けることができる程度に柔軟である。
【００６２】
そのため、第１のワイヤー６４、第２のワイヤー６６、及びこれらを収容するカバー部材６２は、図４（Ｂ）に示すように、溝８２ｂに沿って巻き掛けられて、溝８２ｂからずれてしまうことがない。これにより、ワイヤー４の交換作業を、迅速かつ確実に遂行できる。
【００６３】
以上のように、本実施形態に係るワイヤーの接続方法では、第１のワイヤー６４の一端６４ａ側の一部（一端部）と第２のワイヤー６６の一端６６ａ側の一部（一端部）とを交差させ、その交差部６８を溶接することで第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とを接続するので、端面同士を接触させて溶接する従来の接続方法に比べて、第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とを簡単かつ確実に接続できる。
【００６４】
また、本実施形態に係るワイヤーの接続方法では、第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とを接続した後に、チューブ状のカバー部材６２の内部に第１のワイヤー６４の一端６４ａ側の一部及び第２のワイヤー６６の一端６６ａ側の一部を収容するので、接続後の第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６の形状が整えられ、第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６が溝（ガイド溝）８２ｂからずれることもない。
【００６５】
さらに、本実施形態に係るワイヤーの接続方法では、第１のワイヤー６４の一端６４ａ側の一部と第２のワイヤー６６の一端６６ａ側の一部とを交差させ、その交差部６８を溶接することで第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とを強固に接続できるので、例えば、上述のように、第５供給ローラー３２と給電ローラー５２との間でワイヤー４が大きく湾曲されるような場合にも、交差部６８でのワイヤー４の切断を防いで適切に送ることができる。
【００６６】
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態のワイヤー挿通ステップでは、既にガイドローラー群に巻き掛けられている第１のワイヤー６４の一端６４ａ側をカバー部材６２に通しているが、第２のワイヤー６６の一端６６ａ側をカバー部材６２に通しても良い。
【００６７】
また、上記実施形態の溶接ステップでは、第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とが交差する交差部６８の１点で溶接しているが、複数の点で溶接しても良い。また、第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とを、スポット溶接以外の方法で溶接することもできる。
【００６８】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００６９】
２  ワイヤーソー
４  ワイヤー
４ａ  加工部
６  繰り出しボビン
８  繰り出しローラー
１０  巻き取りボビン
１２  巻き取りローラー
１４  第１供給ローラー
１６  第２供給ローラー
１８  第３供給ローラー
２０  第４供給ローラー
２２  第１調整ローラー
２４  第１ガイドローラー（ガイドローラー群）
２６  第２ガイドローラー（ガイドローラー群）
２８  第３ガイドローラー（ガイドローラー群）
３０  第４ガイドローラー（ガイドローラー群）
３２  第５供給ローラー
３４  第６供給ローラー
３６  第７供給ローラー
３８  第８供給ローラー
４０  第２調整ローラー
４２  基台
４４  本体
４６  被加工物固定部材
４８  移動機構（移動手段）
５０  高周波パルス電源ユニット
５０ａ  パルス調整部
５０ｂ  電圧調整部
５２  給電ローラー
５４  加工槽
５６  加工液
６２  カバー部材
６４  第１のワイヤー
６４ａ  一端
６６  第２のワイヤー
６６ａ  一端
６８  交差部
７２  スポット溶接機
７４  第１電極
７６  第２電極
８２  ローラー
８２ａ  側面（周面）
８２ｂ  溝（ガイド溝）
８２ｃ  領域
１１  被加工物
【図１】
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【図２】
0006558538.tif 000003
【図３】
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【図４】
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