(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
遅延線タイプのＳＡＷ素子（１５，１６）を備えるＳＡＷセンサ（３，１０３）と、
前記ＳＡＷセンサに駆動信号を出力し前記ＳＡＷセンサのＳＡＷ素子を介して遅延する遅延信号を検出するセンシング装置（４）と、
前記センシング装置により検出された遅延信号から位相角を算出しその位相角に基づいて前記ＳＡＷセンサに作用した物理量を算出する制御装置（１４）と、を備え、
前記センシング装置（４）は、前記ＳＡＷ素子の遅延信号の検出の際に２種類以上の異なる周波数の駆動信号を使用しており、
前記制御装置は、２種類以上の異なる周波数における前記ＳＡＷ素子の遅延信号の位相角の差を用いて、前記ＳＡＷ素子の物理量に対する感度を補正するものであり、
前記ＳＡＷセンサの感度の補正タイミングを検出するためのセンサ（２４）を備え、
前記センシング装置（４）は、前記センサのセンサ信号を基準として、使用周波数を切り替えるタイミングを制御し、
前記制御装置（１４）は、前記センサのセンサ信号を基準として、前記ＳＡＷ素子の物理量に対する感度の補正を行うタイミングを制御することを特徴とするセンシングシステム。
【請求項２】
遅延線タイプのＳＡＷ素子（１５，１６）を備えるＳＡＷセンサ（３，１０３）と、
前記ＳＡＷセンサに駆動信号を出力し前記ＳＡＷセンサのＳＡＷ素子を介して遅延する遅延信号を検出するセンシング装置（４）と、
前記センシング装置により検出された遅延信号から位相角を算出しその位相角に基づいて前記ＳＡＷセンサに作用した物理量を算出する制御装置（１４）と、を備え、
前記センシング装置（４）は、前記ＳＡＷ素子の遅延信号の検出の際に２種類以上の異なる周波数の駆動信号を使用しており、
前記制御装置は、２種類以上の異なる周波数における前記ＳＡＷ素子の遅延信号の位相角の差を用いて、前記ＳＡＷ素子の物理量に対する感度を補正するものであり、
前記センシング装置（４）は、外部から与えられるトリガ信号を基準として、使用周波数を切り替えるタイミングを制御し、
前記制御装置（１４）は、前記トリガ信号を基準として、前記ＳＡＷ素子の物理量に対する感度の補正を行うタイミングを制御することを特徴とするセンシングシステム。
【請求項３】
前記ＳＡＷセンサ（１０３）は、遅延線タイプの複数のＳＡＷ素子（１５，１６）を備えており、
前記センシング装置は、前記複数のＳＡＷ素子の遅延信号の検出の際に２種類以上の異なる周波数の駆動信号を使用しており、
前記制御装置は、前記複数のＳＡＷ素子のそれぞれについて、前記２種類以上の異なる周波数における遅延信号の位相角の差を用いて、前記複数のＳＡＷ素子の物理量に対するそれぞれの感度を補正することを特徴とする請求項１または２記載のセンシングシステム。
【請求項４】
前記センシング装置（４）は、前記ＳＡＷ素子の駆動信号の周波数を測定する測定手段（２３）を備えており、
前記制御装置は、前記測定手段の測定結果を用いて前記ＳＡＷ素子の駆動信号の周波数に対する位相角の勾配を算出し、前記位相角の勾配を用いて前記ＳＡＷ素子の物理量に対する感度を補正することを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のセンシングシステム。
【請求項５】
前記ＳＡＷセンサ（１０３）は、遅延線タイプの第１及び第２ＳＡＷ素子（１５，１６）を備えており、
前記センシング装置は、前記第１及び第２ＳＡＷ素子の遅延信号の検出の際に２種類以上の異なる周波数の駆動信号を使用しており、
前記制御装置は、前記第１及び第２ＳＡＷ素子のそれぞれについて、前記２種類以上の異なる周波数における遅延信号の位相角の差の比率を用いて、前記第１ＳＡＷ素子の物理量に対する感度と、前記第２ＳＡＷ素子の物理量に対する感度との比率を補正することを特徴とする請求項１または２記載のセンシングシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波（ＳＡＷ：Surface Acoustic Wave）センサを用いたセンシングシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＳＡＷ素子は、圧電体基板上に弾性表面波（ＳＡＷ：Surface Acoustic Wave）を発生させるための櫛形電極を形成した受動素子である。ＳＡＷ素子の電気的特性は、温度や力等の物理量の変化に応じて変化する。これは、ＳＡＷ素子の電気的特性を決定する櫛形電極の間隔やＳＡＷの伝搬特性が、温度や力等の物理量の変化に応じて変化するためである。この電気的特性の変化を検出することに基づいて測定対象の物理量を算出するシステムがＳＡＷセンシングシステムである。
【０００３】
圧電体上に入力用の櫛形電極と出力用の櫛形電極とを備えているトランスバーサル型ＳＡＷ遅延素子や、入出力兼用の櫛形電極とその櫛形電極から離れた位置に配置した反射器から成る反射型ＳＡＷ遅延素子等の、遅延線タイプのＳＡＷ素子を用いたＳＡＷセンサシステムは、ＳＡＷ遅延素子における遅延時間（通過・反射位相）や信号強度の変化量に基づいて測定対象の物理量を算出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表平５−５０６５０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、ＳＡＷセンシングシステムにより測定対象の物理量を正しく算出するためには、測定対象の物理量の変化に対するＳＡＷ素子の電気的特性の感度を正確に把握しておく必要がある。しかし、経時劣化等の要因によりこの感度は変動する。一例として下記の例が挙げられる。シリコン酸化膜を表面に積層したＳＡＷ素子は、高温高湿環境に長時間晒された場合、吸湿するためＳＡＷの伝搬速度が減少し感度が変動する。このようなＳＡＷの伝搬特性の変動による感度の変動は、センサシステムが測定対象の物理量の変化を算出する際に大きな誤差の原因となるため、その影響を抑制する必要がある。ＳＡＷの伝搬特性の変動を抑制する方法として、ＳＡＷ素子を密閉構造に封入する方法が考えられるが、組付に大きな制約を伴う。他の方法として、ＳＡＷ素子の表面に保護膜を形成する方法が考えられるが、保護膜の影響を考慮した電極設計が必要となり、設計上の制約が大きくなる。伝搬特性の変動による感度の変動に対し補正をかける方法としては、ＳＡＷ素子の共振周波数を別途測定することでＳＡＷの伝搬特性の変動を検出する方法が考えられる。しかし、トランスバーサル型ＳＡＷ遅延素子や反射型ＳＡＷ遅延素子を用いたＳＡＷセンサシステムでは、検出する電気的特性の違いから別途検出回路が必要となるため回路規模が大きくなる。
【０００６】
本発明は、ＳＡＷ素子のＳＡＷの伝搬特性の変動による物理量の算出誤差を補正できるようにしたセンシングシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明によれば、遅延線タイプのＳＡＷ素子を備えるＳＡＷセンサと、ＳＡＷセンサに駆動信号を出力しＳＡＷセンサのＳＡＷ素子を介して遅延する遅延信号を検出するセンシング装置と、センシング装置により検出された遅延信号の位相角を算出しその位相角に基づいてＳＡＷセンサに作用した物理量を算出する制御装置と、を備える。センシング装置がＳＡＷ素子の遅延信号を検出するときに、２種類以上の異なる周波数の駆動信号を使用し、制御装置は２種類以上の異なる周波数におけるＳＡＷ素子の遅延信号の位相角の差を用いてＳＡＷ素子の物理量に対する感度を補正する。
【０００８】
この請求項１記載の発明によれば、センシング装置は、２種類以上の異なる周波数におけるＳＡＷ素子の遅延信号の位相角の差を用いてＳＡＷ素子の物理量に対する感度を補正するので、ＳＡＷの伝搬特性の変動による物理量の算出誤差を補正できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態におけるセンサシステムの電気的構成を概略的に示すブロック図
【図２】ＳＡＷ素子の構造を模式的に示す図（（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図）
【図３】動作の流れを概略的に説明するフローチャート
【図４】第２実施形態におけるセンサシステムの電気的構成を概略的に示すブロック図
【図５】ＳＡＷ素子の構造を模式的に示す平面図
【図６】動作の流れを概略的に説明するフローチャート
【図７】第３実施形態におけるセンサシステムの電気的構成を概略的に示すブロック図
【図８】動作の流れを概略的に説明するフローチャート
【図９】第４実施形態における動作の流れを概略的に説明するフローチャート
【図１０】第５実施形態におけるセンサシステムの電気的構成を概略的に示すブロック図
【図１１】動作の流れを概略的に説明するフローチャート
【図１２】第６実施形態におけるセンサシステムの電気的構成を概略的に示すブロック図
【図１３】動作の流れを概略的に説明するフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、センシングシステムの幾つかの実施形態について図面を参照しながら説明する。以下に説明する各実施形態において、同一又は類似の動作を行う構成については、同一又は類似の符号を付して必要に応じて説明を省略する。
【００１１】
（第１実施形態）
図１〜図３は、第１実施形態の説明図を示す。図１のセンシングシステム１は、測定対象の物理量に応じ適切に配置されたセンサヘッドとしてのＳＡＷセンサ３と、このＳＡＷセンサ３に接続されたセンシング装置４と、を備える。
【００１２】
センシング装置４は、駆動信号を出力する信号源５と、送信用増幅器６と、送受信切換用のスイッチ７と、受信用増幅器８と、ミキサ９、１０と、低域通過フィルタ１１、１２と、移相器１３と、を備え、このセンシング装置４には制御装置１４が接続されている。信号源５は、例えば２００［ＭＨｚ］近傍の二種類以上の周波数（例えば２００ＭＨｚと２０１ＭＨｚ）を選択可能とされており、選択された周波数の駆動信号を出力する。
【００１３】
送信用増幅器６は、信号源５から駆動信号を入力すると、この駆動信号を増幅し、スイッチ７に出力する。スイッチ７は、制御装置１４から与えられる制御信号に応じて送信側／受信側に切換えする。スイッチ７は、送信用増幅器６側に切換えられていると送信用増幅器６の増幅された駆動信号をＳＡＷセンサ３に出力する。
【００１４】
ＳＡＷセンサ３は、遅延線タイプのＳＡＷ素子１５を１つ用いて構成される。ＳＡＷ素子１５は、図２（ａ）及び図２（ｂ）にその構造例を模式的に示すように、圧電体基板１７と、この圧電体基板１７にＳＡＷを生じさせるための櫛形電極１８と、この櫛形電極から離間して配置された反射器１９とを備える。圧電体基板１７は、例えばニオブ酸リチウムで構成されている。図２（ｂ）に示すように、櫛形電極１８及び反射器１９は、例えばアルミニウムにより構成され、圧電体基板１７の一端及び他端にそれぞれ配置されている。
【００１５】
櫛形電極１８は、一例として、櫛の歯数が数十本（例えば２０本）の２つの電極が対にして構成され、これらの歯が所定ピッチ（例えば９．６μｍ）で配置されている。ＳＡＷ素子１５の櫛形電極１８は、２つの電極１８ａ、１８ｂを対にして構成され、対となった電極のうち１つの電極１８ｂは接地されており、もう１つの電極１８ａがセンシング装置４に接続されている。
【００１６】
反射器１９は、例えば櫛形電極１８と同一材料であるアルミニウムにより構成される。この反射器１９は、ＳＡＷの進行方向と垂直な方向に延びた所定本（例えば４０本）の電極１９ａが所定ピッチ（例えば、９．６μｍピッチ）で配置されている。
【００１７】
図１に示すように、センシング装置４は、信号源５、送信用増幅器６、スイッチ７を通じて、櫛形電極１８に所定周波数の駆動信号を印加すると、図３（ｂ）に示す圧電体基板１７にＳＡＷを発生させることができる。このとき発生したＳＡＷは、櫛形電極１８から反射器１９に向けて進行する。そしてＳＡＷは反射器１９により反射され櫛形電極１８に戻る。本実施形態では、櫛形電極１８と反射器１９との間の距離は概ね数ｍｍ（例えば３ｍｍ）程度に設定されている。
【００１８】
前述したように、図１に示すスイッチ７は、制御装置１４から与えられる制御信号に応じて送信側／受信側を切換えるが、本実施形態では、制御装置１４は、駆動信号がＳＡＷ素子１５を伝搬している最中にスイッチ７を受信用増幅器８側に切換える。ＳＡＷ素子１５を伝搬した反射信号は遅延信号として受信用増幅器８に伝達される。受信用増幅器８はこの伝達された信号を増幅し、増幅信号を第１及び第２のミキサ９、１０に出力する。
【００１９】
移相器１３が、信号源５と第２ミキサ１０との間に構成されている。移相器１３は、信号源５から発生される駆動信号を所定角度だけ移相して第２ミキサ１０に出力する。本実施形態では、移相器１３は、駆動信号を例えば９０度移相して第２ミキサ１０に出力する。
【００２０】
第１ミキサ９は、例えばパッシブミキサにより構成され、信号源５から駆動信号を入力し、この入力信号と受信用増幅器８の増幅信号とを混合し低域通過フィルタ１１を通じて制御装置１４に出力する。また、第２ミキサ１０は、例えばパッシブミキサにより構成され、信号源５から移相器１３により９０度移相された駆動信号を入力し、この入力信号と受信用増幅器８の増幅信号とを混合し低域通過フィルタ１２を通じて制御装置１４に出力する。
【００２１】
制御装置１４は、例えばマイクロコンピュータを用いて構成できる。この制御装置１４は、制御の主体となる制御部２０と、Ａ／Ｄ変換器２１及び記憶部２２を備えている。制御部２０は、第１ミキサ９から低域通過フィルタ１１を通過した信号をＡ／Ｄ変換器２１によりデジタル変換処理して記憶部２２に記憶させると共に、第２ミキサ１０から低域通過フィルタ１２を通過した信号をＡ／Ｄ変換器２１によりデジタル変換処理して記憶部２２に記憶させる。制御装置１４は、記憶部２２に記憶されたＡ／Ｄ変換データに基づいて、ＳＡＷ素子１５の遅延信号の位相角を算出する。
【００２２】
ＳＡＷセンサ３は、測定対象の物理量に応じＳＡＷ素子１５の遅延信号の位相角が変化するように設置されている。例えば、測定対象の物理量として外的に与えられるＹ方向歪みを測定する場合は、その歪みに応じてＳＡＷ素子１５が変形するように設置されている。このとき、Ｙ方向歪みの変化量に比例して、ＳＡＷ素子１５の遅延信号の位相角が変化するため、位相角を用いて歪みの算出が可能となる。ただし、測定対象の物理量に対する位相角の変化量（感度）は、ＳＡＷ素子の経時劣化によるＳＡＷの伝搬特性（例えばＳＡＷの伝搬速度）の変動によって変化する。
【００２３】
ＳＡＷ素子１５が信号伝搬可能な周波数帯域内の周波数ｆａ、ｆｂ（＞ｆａ）の信号を、それぞれ信号源５が出力する駆動信号とし、ＬをＳＡＷ素子１５の実効的な伝搬経路長、ＶをＳＡＷ素子１５内における実効的なＳＡＷの伝搬速度、とすると、ＳＡＷ素子１５の位相回転角Ｐ［ｄｅｇ］は下記の（１）式のように導出される。
【００２４】
Ｐ  ＝  Ｌ／Ｖ  ×  ｆａ  ×  ３６０
＝  （θｂ−θａ）／（ｆｂ−ｆａ）  ×  ｆａ  …（１）
ＴＣＤ［ｐｐｍ／℃］を遅延時間の温度係数とすれば、ＳＡＷ素子１５の位相回転角の温度感度Ｇ［ｄｅｇ／℃］は下記の（２）式のように導出される。
【００２５】
Ｇ  ≒  Ｐ［ｄｅｇ］  ×  ＴＣＤ［ｐｐｍ／℃］  ∝  （θｂ−θａ）  …（２）
さらに、ＳＡＷ素子１５の位相回転角の歪み感度をＦ［ｄｅｇ］とすると、このＦ［ｄｅｇ］は下記の（３）式のように導出される。
【００２６】
Ｆ  ≒  Ｐ［ｄｅｇ］  ×  １［ε］  ∝  （θｂ−θａ）  …（３）
すなわち、周波数ｆａ、ｆｂの駆動信号に対する遅延信号の位相角の差（θｂ−θａ）を同一環境下で測定、比較することで、ＳＡＷ素子１５の伝搬特性（例えばＳＡＷの伝搬速度）の変動に基づく、測定対象となる物理量に対する感度の変動を補正できる。
【００２７】
このような技術思想を考慮すれば、制御装置１４が以下に示すように処理することで、測定対象となる物理量を極力正確に算出できるようになる。以下、図３を参照してこの説明を行う。
【００２８】
まず、制御装置１４の制御部２０は、センシング装置４により駆動信号の周波数ｆａ、ｆｂで遅延信号を検出する（Ｓ１）。そして、制御部２０は、周波数ｆａの遅延信号に基づいて位相角θａを算出し（Ｓ２）、周波数ｆｂの遅延信号に基づいて位相角θｂを算出する（Ｓ３）。そして、制御部２０は、これらの位相角の差（θｂ−θａ）を算出し（Ｓ４）、位相角の差（θｂ−θａ）及び比例係数を用いてＳＡＷ素子１５の物理量に対する感度を補正する（Ｓ５）。この比例係数は実験又はシミュレーションなどにより予め算出された係数であり、記憶部２２に予め記憶されている。したがって、制御部２０は、位相角の差（θｂ−θａ）と比例係数を用いてＳＡＷ素子１５の物理量に対する感度を補正できる。そして、制御部２０は、位相角θａ（もしくはθｂ）と補正後の感度を用いて物理量を演算する（Ｓ６）。このようにして測定対象となる物理量を極力正確に算出できる。
【００２９】
本実施形態によれば、２種類の異なる周波数ｆａ、ｆｂにおけるＳＡＷ素子１５の遅延信号の位相角の差（θｂ−θａ）を用いて、ＳＡＷ素子１５の物理量に対する感度を補正した。この結果、ＳＡＷ素子の経時劣化による変形やＳＡＷの伝搬特性（例えばＳＡＷの伝搬速度）の変動の影響を極力抑制でき、測定対象となる物理量を極力正確に算出できる。本実施形態によれば、演算処理により感度を補正し物理量を算出できるため、別途回路を設ける必要がなくなり回路規模の増大を抑制できる。また設計上の制約を極力排除できる。
【００３０】
（第２実施形態）
図４〜図６は第２実施形態の追加説明図を示す。第２実施形態では、図４に示すように、センシングシステム１０１は、測定対象の第１及び第２の物理量に応じて適切に配置されたＳＡＷセンサ１０３と、このＳＡＷセンサ１０３に接続されたセンシング装置４とを備える。ＳＡＷセンサ１０３は、複数（２つ）の第１及び第２のＳＡＷ素子１５及び１６により構成されている。
【００３１】
図５に示すように、これらの第１及び第２のＳＡＷ素子１５及び１６は並列接続されている。第１及び第２ＳＡＷ素子１５及び１６のそれぞれの櫛形電極１８は、２つの電極１８ａ、１８ｂを対にして構成され、対となった電極のうち１つの電極１８ｂは接地されており、もう１つの電極１８ａがセンシング装置４に接続されている。第１及び第２のＳＡＷ素子１５及び１６は、ＳＡＷ素子１５の第１の物理量に対する感度と第２の物理量に対する感度の比と、ＳＡＷ素子１６の第１の物理量に対する感度と第２の物理量に対する感度の比は異なるように設置されている。例えば、第１の物理量として測定対象のＸ方向に回転軸を持つ円柱のせん断歪、第２の物理量として温度の検出を想定する場合、第１及び第２のＳＡＷ素子１５及び１６は、その歪み検出方向が互いに交差するようにＸ−Ｙ平面上に設置されている。これらのＳＡＷ素子１５及び１６の歪み検出方向は互いに直交方向となるように設置することが望ましい。すなわち図５のθ＝４５°として設置することが望ましい。ＳＡＷ素子１５、１６の伝搬経路長ＬＡ、ＬＢは互いに異なる長さに設定されており、センシング装置４は遅延信号を互いに異なるタイミングで受信可能になっている。その他の構成は、第１実施形態と同様であるため、同一符号を付して説明を省略する。
【００３２】
本実施形態に示すように、第１及び第２のＳＡＷ素子１５及び１６を使用する場合、これらのＳＡＷ素子１５、１６のそれぞれについて、周波数ｆａ、ｆｂにおける位相角の差を算出して感度を補正すると良く、制御装置１４が、以下に示すように処理することで測定対象となる第１及び第２の物理量を極力正確に算出できる。以下、図６を参照してこの説明を行う。なお、θａ１を周波数ｆａにおけるＳＡＷ素子１５の測定上の位相角［ｄｅｇ］、θｂ１を周波数ｆｂにおけるＳＡＷ素子１５の測定上の位相角［ｄｅｇ］、θａ２を周波数ｆａにおけるＳＡＷ素子１６の測定上の位相角［ｄｅｇ］、θｂ２を周波数ｆｂにおけるＳＡＷ素子１６の測定上の位相角［ｄｅｇ］とする。
【００３３】
図６に示すように、制御部２０は、センシング装置４により周波数ｆａ、ｆｂで遅延信号を検出する（Ｔ１）。そして、制御部２０は、周波数ｆａにおける第１ＳＡＷ素子１５の位相角θａ１を算出し（Ｔ２１）、周波数ｆｂにおける第１ＳＡＷ素子１５の位相角θｂ１を算出し（Ｔ３１）、位相角の差（θｂ１−θａ１）を算出し（Ｔ４１）、位相角の差（θｂ１−θａ１）及び比例係数を用いて第１ＳＡＷ素子１５の第１及び第２の物理量に対する感度を補正する（Ｔ５１）。比例係数は実験又はシミュレーションなどにより予め算出された係数であり、記憶部２２に予め記憶されている。
【００３４】
さらに、制御部２０は、周波数ｆａにおける第２ＳＡＷ素子１６の位相角θａ２を算出し（Ｔ２２）、周波数ｆｂにおける第２ＳＡＷ素子１６の位相角θｂ２を算出し（Ｔ３２）、位相差（θｂ２−θａ２）を算出し（Ｔ４２）、位相差（θｂ２−θａ２）及び比例係数を用いて第２ＳＡＷ素子１６の第１及び第２の物理量に対する感度を補正する（Ｔ５２）。この比例係数もまた実験又はシミュレーションなどにより予め算出された係数であり、記憶部２２に予め記憶されている。そして、制御部２０は、位相角θａ１及びθａ２とステップＴ５１及びＴ５２で補正された後の感度を用いて第１及び第２の物理量を演算する（Ｔ６）。
【００３５】
本実施形態によれば、第１及び第２のＳＡＷ素子１５及び１６を使用する場合に、位相角の差（θｂ１−θａ１）、（θｂ２−θａ２）を用いて感度を補正できる。
（第３実施形態）
図７及び図８は第３実施形態の追加説明図を示す。第３実施形態も第２実施形態と同様に、第１及び第２のＳＡＷ素子１５及び１６を備えており、これらのそれぞれのＳＡＷ素子１５、１６を利用して感度を補正する別の形態について示す。
【００３６】
図７に示すように、センシングシステム２０１は、測定対象の第１及び第２の物理量に応じ適切に配置されたＳＡＷセンサ１０３と、このＳＡＷセンサ１０３に接続されたセンシング装置２０４と、を備える。センシング装置４に代わるセンシング装置２０４は、周波数を測定する測定部（測定手段相当）２３を備えている。この測定部２３は、周波数カウンタなどにより構成され、信号源５が出力する駆動信号の周波数を測定する。すなわち、センシング装置２０４は、第１又は第２実施形態のセンシング装置４に比較して、測定部２３による信号源５が出力する駆動信号の周波数を測定する機能を備える。
【００３７】
ＳＡＷ素子１５、１６が信号伝搬可能な周波数帯域内の周波数ｆａ、ｆｂ（＞ｆａ）をそれぞれ信号源５が出力する駆動信号とし、ＬＡをＳＡＷ素子１５の実効的な伝搬経路長、ＬＢをＳＡＷ素子１６の実効的な伝搬経路長、ＶＡをＳＡＷ素子１５における実効的なＳＡＷの伝搬速度、ＶＢをＳＡＷ素子１６における実効的なＳＡＷの伝搬速度、ＰＡをＳＡＷ素子１５の実効的な位相回転角、ＰＢをＳＡＷ素子１６の実効的な位相回転角、とすれば、下記の式（４）、（５）に示すように、位相回転角ＰＡ、ＰＢを導出できる。
【００３８】
ＰＡ［ｄｅｇ］  ＝  ＬＡ／ＶＡ  ×  ｆａ  ×  ３６０
＝  （θｂ１−θａ１）／（ｆｂ−ｆａ）  ×  ｆａ  …（４）
ＰＢ［ｄｅｇ］  ＝  ＬＢ／ＶＢ  ×  ｆａ  ×  ３６０
＝  （θｂ２−θａ２）／（ｆｂ−ｆａ）  ×  ｆａ  …（５）
ＴＣＤ［ｐｐｍ／℃］を遅延時間の温度係数とすれば、ＳＡＷ素子１５、１６の位相回転角の温度感度ＧＡ、ＧＢ［ｄｅｇ／℃］は下記の（６）、（７）式のように導出される。
【００３９】
ＧＡ  ≒  ＰＡ［ｄｅｇ］  ×  ＴＣＤ［ｐｐｍ／℃］                …（６）
ＧＢ  ≒  ＰＢ［ｄｅｇ］  ×  ＴＣＤ［ｐｐｍ／℃］                …（７）
さらに、ＳＡＷ素子１５、１６の位相回転角の歪み感度をＦＡ、ＦＢ［ｄｅｇ］とすると、このＦＡ、ＦＢ［ｄｅｇ］は下記の（８）、（９）式のように導出される。
【００４０】
ＦＡ  ≒  ＰＡ［ｄｅｇ］  ×  １［ε］                            …（８）
ＦＢ  ≒  ＰＢ［ｄｅｇ］  ×  １［ε］                            …（９）
すなわち、位相回転角ＰＡ、ＰＢを同一環境下で測定、比較することで、ＳＡＷ素子１５の伝搬特性（例えばＳＡＷの伝搬速度）の変動に基づく、測定対象となる第一、第二の物理量に対する感度の変動を補正できる。
【００４１】
このような技術思想を考慮すれば、制御装置１４が以下に示すように処理することで、測定対象となる第１及び第２の物理量を極力正確に算出できるようになる。以下、図８を参照してこの説明を行う。
【００４２】
図８に示すように、制御部２０は、センシング装置４により周波数ｆａ、ｆｂで遅延信号を検出する（Ｔ１）。そして、制御部２０は、センシング装置４の測定部２３により信号源５が出力する駆動信号の周波数ｆａを測定し（Ｔ２１ａ）、周波数ｆａにおける第１ＳＡＷ素子１５の位相角θａ１を算出する（Ｔ２１ｂ）。そして、制御部２０は、信号源５の周波数をｆｂに変更し、センシング装置４の測定部２３により信号源５が出力する駆動信号の周波数ｆｂを測定し（Ｔ３１ａ）、周波数ｆｂにおける第１ＳＡＷ素子１５の位相角θｂ１を算出する（Ｔ３１ｂ）。そして、制御部２０は、位相角の勾配（θｂ１−θａ１）／（ｆｂ−ｆａ）を算出する（Ｔ４１ａ）。制御部２０は、この位相角の勾配（θｂ１−θａ１）／（ｆｂ−ｆａ）を用いて第１ＳＡＷ素子１５の第１及び第２の物理量に対する感度を補正する（Ｔ５１ａ）。
【００４３】
さらに、制御部２０は、周波数ｆａにおける第２ＳＡＷ素子１６の位相角θａ２を算出し（Ｔ２２）、周波数ｆｂにおける第２ＳＡＷ素子１６の位相角θｂ２を算出し（Ｔ３２）、位相角の勾配（θｂ２−θａ２）／（ｆｂ−ｆａ）を算出する（Ｔ４２ａ）。そして、制御部２０は、この位相角の勾配（θｂ２−θａ２）／（ｆｂ−ｆａ）を用いて、第２ＳＡＷ素子１６の第１及び第２の物理量に対する感度を補正する（Ｔ５２ａ）。そして、制御部２０は、位相角θａ１及びθａ２（もしくは、位相角θｂ１及びθｂ２）と補正後の感度を用いて第１及び第２の物理量を演算する（Ｔ６ａ）。
【００４４】
本実施形態によれば、第１及び第２のＳＡＷ素子１５及び１６を使用する場合に、位相角の勾配（θｂ１−θａ１）／（ｆｂ−ｆａ）、（θｂ２−θａ２）／（ｆｂ−ｆａ）を用いて感度を補正できる。
【００４５】
また、測定部２３が信号源５の駆動信号の周波数ｆａ、ｆｂを測定しており、この測定結果に応じて算出される位相角の勾配を用いて感度を補正しているため、感度の補正精度を向上でき、さらに正確な第１及び第２の物理量を算出できる。
【００４６】
（第４実施形態）
図９は第４実施形態の追加説明図を示す。第４実施形態も第２実施形態と同様に、第１及び第２のＳＡＷ素子１５及び１６を備えており、これらのそれぞれのＳＡＷ素子１５、１６を利用して第１及び第２の物理量に対する感度の比を補正する別の形態について示す。
【００４７】
第１及び第２の物理量に対する感度の比は、下記のように導出できる。ここで、ＳＡＷ素子１５、１６が動作可能な周波数帯域内の周波数ｆａ、ｆｂ（＞ｆａ）をそれぞれ駆動信号とした場合、ＧＢ／ＧＡをＳＡＷ素子１５及び１６の遅延信号の間の位相の第１の物理量に対する感度の比（例えば温度感度比）、ＦＢ／ＦＡをＳＡＷ素子１５及び１６の遅延信号の間の位相の第１の物理量に対する感度の比（例えば歪み感度比）、αをＳＡＷ素子１５、１６の相互の影響度を表す係数（相対的な設置関係に依存）とすれば、下記の式（１０）、（１１）に示すように、位相回転角ＰＡ、ＰＢ、第１の物理量に対する感度の比ＧＢ／ＧＡ、第２の物理量に対する感度の比ＦＢ／ＦＡ、を導出できる。
【００４８】
ＧＢ／ＧＡ  ≒  （θｂ２  −  θａ２）／（θｂ１  −  θａ１）  …（１０）
ＦＢ／ＦＡ  ≒  （θｂ２  −  θａ２）／（θｂ１  −  θａ１）×α  …（１１）
このような技術思想を考慮すれば、制御装置１４が以下に示すように処理することで、第１及び第２の物理量を計算する過程において最も精度が要求される第１及び第２の物理量に対する感度の比に対し補正することができ、測定対象となる第１及び第２の物理量を極力正確に算出できる。以下、図９を参照してこの説明を行う。
【００４９】
図９に示すように、制御部２０は、センシング装置４により周波数ｆａ、ｆｂで遅延信号を検出する（Ｔ１）。そして、制御部２０は、周波数ｆａにおける第１ＳＡＷ素子１５の位相角θａ１を算出し（Ｔ２１）、周波数ｆｂにおける第１ＳＡＷ素子１５の位相角θｂ１を算出する（Ｔ３１）。さらに、制御部２０は、周波数ｆａにおける第２ＳＡＷ素子１６の位相角θａ２を算出し（Ｔ２２）、周波数ｆｂにおける第２ＳＡＷ素子１６の位相角θｂ２を算出する（Ｔ３２）。そして、制御部２０は位相角の差の比率（θｂ２−θａ２）／（θｂ１−θａ１）を算出する（Ｔ４ｂ）そして、制御部２０は、この位相角の差の比率を用いて、第１ＳＡＷ素子１５の第１及び第２の物理量に対する感度と、第２ＳＡＷ素子１６の第１及び第２の物理量に対する感度との比を補正する（Ｔ５ｂ）。制御部２０は、位相角θａ１とθａ２と、補正後の感度の比を用いて第１及び第２の物理量を演算する（Ｔ６ｂ）。
【００５０】
本実施形態によれば、第１及び第２のＳＡＷ素子１５及び１６を使用する場合に、位相角の差の比率（θｂ２−θａ２）／（θｂ１−θａ１）を用いて感度を補正できる。
（第５実施形態）
図１０及び図１１は第５実施形態の追加説明図を示す。第５実施形態は第１実施形態と同様に、１つの遅延線タイプのＳＡＷ素子１５を備えると共に、別途センサ２４を設けており、このセンサ２４のセンサ信号が規定値以内であるか否かに応じて処理を分けるところに特徴を備える。
【００５１】
図１０に示すように、センサ２４が制御装置１４に接続されており、制御装置１４の制御部２０が、センサ２４のセンサ信号を取得できるように構成される。センサ２４は、例えば湿度計又は／及び温度計など、ＳＡＷ素子１５の周辺の環境の変化を検出可能なセンサである。このセンサ２４は、例えば温度が同一範囲となる条件で概ね同一環境下で感度の補正処理を行うために設けても良い。
【００５２】
図１１に示すように、制御部２０は、センサ２４のセンサ信号を受付け、この簡易センサ２４のセンサ信号が規定値に入っているか否か（Ｓ１ａ、Ｓ３ａ）に応じて、１種類の周波数ｆａで遅延信号を検出する（Ｓ１１ａ）か、２種類の周波数ｆａ、ｆｂで遅延信号を検出する（Ｓ１２ａ）か、を分ける。
【００５３】
制御部２０は、感度の補正を行わない場合には、ステップＳ１ａ、Ｓ３ａでＮＯと判定し、周波数ｆａにおけるＳＡＷ素子１５の位相角θａを算出し（Ｓ２１）、この位相角θａと感度を用いて物理量を演算する（Ｓ６）。
【００５４】
逆に、制御部２０は、感度の補正を行う場合には、ステップＳ１ａ、Ｓ３ａでＹＥＳと判定し、周波数ｆａ、ｆｂにおけるＳＡＷ素子１５の位相角θａ、θｂを算出し（Ｓ２１、Ｓ３２）、位相角θｂと位相角θａとの差（θｂ−θａ）を演算し（Ｓ４２）、位相角の差（θｂ−θａ）を用いてＳＡＷ素子１５の物理量に対する感度を補正する（Ｓ５２）。そして、制御部２０は、この補正された感度と位相角θａ（もしくはθｂ）とを用いて物理量を演算する（Ｓ６）。
【００５５】
本実施形態によれば、センサ２４を設けているため、センシング装置４は使用周波数を切り替えるタイミングを制御でき、制御部２０は感度の補正タイミングを計ることができる。
【００５６】
（第６実施形態）
図１２及び図１３は第６実施形態の追加説明図を示す。第６実施形態は、外部から与えられるトリガ信号を基準として使用周波数を切り替えて感度を補正する形態を示す。図１２に示すように、センシング装置４及び制御装置１４には外部からトリガ信号が与えられる。このトリガ信号は、時間経過等に応じて発生するタイマ信号に相当する信号であり、センシング装置４及び制御装置１４はトリガ信号が与えられると、当該トリガ信号に対応して感度の補正を行うように使用周波数を切り替えて動作させる。具体的には第１実施形態で説明したように、信号源５は例えば２００［ＭＨｚ］近傍の二種類以上の周波数（例えば２００ＭＨｚと２０１ＭＨｚ）を選択可能な駆動信号して出力するが、センシング装置４及び制御装置１４はこのトリガ信号を受付けると、トリガ信号に対応して周波数ｆａ又はｆｂに切替えるように構成されている。感度の補正を行うタイミングが、このトリガ信号に応じて決定される。
【００５７】
図１３に示すように、トリガ信号が予め定められた規定値以外に設定されていると（Ｓ１ｂでＮＯ、Ｓ３１ｂでＮＯ）、センシング装置４は周波数ｆａで遅延信号を測定し（Ｓ１１ｂ）、制御部２０は周波数ｆａにおけるＳＡＷ素子１５の位相角θａを算出し（Ｓ２１）、予め定められた感度を用いて物理量を演算する（Ｓ６）。
【００５８】
他方、トリガ信号が予め定められた規定値に設定されているときには（Ｓ１ｂでＹＥＳ、Ｓ３１ｂでＹＥＳ）、センシング装置４は周波数ｆａ、ｆｂの双方で遅延信号を測定し（Ｓ１２ｂ）、制御部２０はこれらの位相角θａ、θｂを算出し（Ｓ１２ｂ、Ｓ３２）、位相角の差（θｂ−θａ）を用いてＳＡＷ素子１５の物理量に対する感度を補正し（Ｓ５２）、位相角θａと感度を用いて物理量を演算する（Ｓ６）。
【００５９】
このようにして、外部から与えられるトリガ信号に応じて、センシング装置４は使用周波数を切り替えるタイミングを制御しつつ、制御部２０は感度の補正タイミングを計ることができる。
【００６０】
（他の実施形態）
前述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に示す変形又は拡張が可能である。これらの各実施形態の構成は適宜組み合わせて適用できる。
【００６１】
ＳＡＷ素子１５、１６を２つ用いたが３つ以上用いても良い。２種類の異なる周波数を用いて位相角の差を算出するようにしたが、２種類を超える（すなわち２種類以上）の異なる周波数を用いて位相角の差を算出しても良い。この場合、ＳＡＷセンサ３等を駆動可能な周波数ｆａ、ｆｂ（＜ｆａ）とし、その中間周波数ｆｎ（但しｆａ＜ｆｎ＜ｆｂ）としたとき、前述の（１）式に代えて、下記の（１ａ）式を適用しても良い。
【００６２】
Ｐ  ＝  Ｌ／Ｖ  ×  ｆａ  ×  ３６０
＝  （θｂ−θａ）／（ｆｂ−ｆａ）  ×  ｆｎ  …（１ａ）
この場合にも、前述実施形態に示したように同様に補正することができ同様の効果を奏する。
【符号の説明】
【００６３】
図面中、１はセンシングシステム、３はＳＡＷセンサ、４はセンシング装置、１４は制御装置、１５はＳＡＷ素子（第１ＳＡＷ素子）、１６は第２ＳＡＷ素子、２０は制御部、２１はＡ／Ｄ変換器、２２は記憶部、２３は測定部（測定手段）、２４はセンサ、を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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