(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送経路に沿ってシート状部材を搬送する搬送手段と、
第１開口と第２開口との間を前記搬送経路に沿って延び、前記第２開口から進入するシート状部材を前記第１開口から退出させる洗浄通路が形成された洗浄液流動槽と、
前記シート状部材の搬送方向における上流側に向かって前記洗浄通路内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記洗浄液流動槽に取り付けられ、前記洗浄通路内を進行するシート状部材に付着した異物を前記洗浄液内で除去する異物除去手段と、
を備え、
前記シート状部材の搬送方向における上流側に向かって前記洗浄通路内を流動する洗浄液は、前記第２開口から前記洗浄通路外に流出するようになっており、
前記洗浄液供給手段は、前記シート状部材と間隔を空けて配置され当該シート状部材の幅方向に沿って延びる第１本体部を有し、
前記第１本体部には、前記シート状部材の幅方向に沿って延びる吐出口、または、前記シート状部材の幅方向に沿って並べられた複数の吐出口が設けられ、
前記第１本体部は、前記シート状部材の搬送方向における上流側を向き前記吐出口が設けられた対向面と、前記対向面よりも前記シート状部材の搬送方向における下流側となる位置で前記対向面に対向して設けられた裏面と、を含み、
前記洗浄液供給手段は、前記裏面に向けて洗浄液を放出する供給ノズルを前記第１本体部内に有している、洗浄装置。
【請求項２】
搬送経路に沿ってシート状部材を搬送する搬送手段と、
第１開口と第２開口との間を前記搬送経路に沿って延び、前記第２開口から進入するシート状部材を前記第１開口から退出させる洗浄通路が形成された洗浄液流動槽と、
前記シート状部材の搬送方向における上流側に向かって前記洗浄通路内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記洗浄液流動槽に取り付けられ、前記洗浄通路内を進行するシート状部材に付着した異物を前記洗浄液内で除去する異物除去手段と、
を備え、
前記シート状部材の搬送方向における上流側に向かって前記洗浄通路内を流動する洗浄液は、前記第２開口から前記洗浄通路外に流出するようになっており、
前記洗浄液供給手段は、前記シート状部材と間隔を空けて配置され当該シート状部材の幅方向に沿って延びる第１本体部を有し、
前記第１本体部には、前記シート状部材の幅方向に沿って延びる吐出口、または、前記シート状部材の幅方向に沿って並べられた複数の吐出口が設けられ、
前記洗浄液供給手段は、前記シート状部材を基準として前記第１本体部の反対側に設けられ、前記シート状部材の幅方向に沿って延びる第２本体部を有し、
前記第２本体部には、前記シート状部材の幅方向に沿って延びる吐出口、または、前記シート状部材の幅方向に沿って並べられた複数の吐出口が設けられている、洗浄装置。
【請求項３】
搬送経路に沿ってシート状部材を搬送する搬送手段と、
第１開口と第２開口との間を前記搬送経路に沿って延び、前記第２開口から進入するシート状部材を前記第１開口から退出させる洗浄通路が形成された洗浄液流動槽と、
前記シート状部材の搬送方向における上流側に向かって前記洗浄通路内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記洗浄液流動槽に取り付けられ、前記洗浄通路内を進行するシート状部材に付着した異物を前記洗浄液内で除去する異物除去手段と、
を備え、
前記シート状部材の搬送方向における上流側に向かって前記洗浄通路内を流動する洗浄液は、前記第２開口から前記洗浄通路外に流出するようになっており、
前記第１開口及び前記第２開口は、鉛直方向における上方を向き、
前記第２開口は、前記第１開口よりも鉛直方向における下方に位置している、洗浄装置。
【請求項４】
搬送経路に沿ってシート状部材を搬送する搬送手段と、
第１開口と第２開口との間を前記搬送経路に沿って延び、前記第２開口から進入するシート状部材を前記第１開口から退出させる洗浄通路が形成された洗浄液流動槽と、
前記シート状部材の搬送方向における上流側に向かって前記洗浄通路内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記洗浄液流動槽に取り付けられ、前記洗浄通路内を進行するシート状部材に付着した異物を前記洗浄液内で除去する異物除去手段と、
前記第２開口から流出する洗浄液を受け止めるオーバーフロータンクと、
前記オーバーフロータンクに受け止められた洗浄液を前記洗浄液供給手段に導く循環手段と、
を備え、
前記シート状部材の搬送方向における上流側に向かって前記洗浄通路内を流動する洗浄液は、前記第２開口から前記洗浄通路外に流出するようになっている、洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄液供給手段は、前記シート状部材と間隔を空けて配置され当該シート状部材の幅方向に沿って延びる第１本体部を有し、
前記第１本体部には、前記シート状部材の幅方向に沿って延びる吐出口、または、前記シート状部材の幅方向に沿って並べられた複数の吐出口が設けられている、請求項３又は４に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記第１本体部は、前記シート状部材の搬送方向における上流側を向き前記吐出口が設けられた対向面と、前記対向面よりも前記シート状部材の搬送方向における下流側となる位置で前記対向面に対向して設けられた裏面と、を含み、
前記洗浄液供給手段は、前記裏面に向けて洗浄液を放出する供給ノズルを前記第１本体部内に有している、請求項５に記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記洗浄液供給手段は、前記第１本体部内で前記供給ノズルよりも前記対向面に近接した位置に配置された整流部材をさらに有している、請求項１又は６に記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記洗浄液供給手段は、前記シート状部材を基準として前記第１本体部の反対側に設けられ、前記シート状部材の幅方向に沿って延びる第２本体部を有し、
前記第２本体部には、前記シート状部材の幅方向に沿って延びる吐出口、または、前記シート状部材の幅方向に沿って並べられた複数の吐出口が設けられている、請求項１、５、６又は７に記載の洗浄装置。
【請求項９】
前記第１開口及び前記第２開口は、鉛直方向における上方を向き、
前記第２開口は、前記第１開口よりも鉛直方向における下方に位置している、請求項１、２、４、５、６、７又は８に記載の洗浄装置。
【請求項１０】
前記第２開口から流出する洗浄液を受け止めるオーバーフロータンクと、
前記オーバーフロータンクに受け止められた洗浄液を前記洗浄液供給手段に導く循環手段と、をさらに備える、請求項１、２、５、６、７、８又は９に記載の洗浄装置。
【請求項１１】
前記循環手段は、当該循環手段内を流動する洗浄液を濾過するフィルターと、前記オーバーフロータンクから前記洗浄液供給手段に向けて洗浄液を送り出すポンプと、を有している、請求項４又は１０に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状部材を搬送しながら洗浄する洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ロールｔｏロールにて搬送されるシート状部材を洗浄する洗浄装置が利用されている。典型的な洗浄装置としては、搬送中のシート状部材に洗浄液を噴射してシート状部材に付着した異物を除去するスプレー式洗浄装置と、搬送中のシート状部材にディップ槽を通過させシート状部材に付着した異物を除去するディップ式洗浄装置（例えば特許文献１参照）と、が知られている。
【０００３】
図５に、スプレー式洗浄装置２００を模式的に示す。図５に示すスプレー式洗浄装置２００は、シート状部材２の幅方向に並べられた複数のノズル２３０を有し、各ノズル２３０から搬送中のシート状部材２の表面に洗浄液が噴射されるようになっている。
【０００４】
一方、図６及び図７に、特許文献１に記載のディップ式洗浄装置３００を模式的に示す。図６及び図７に示すディップ式洗浄装置３００は、搬送中のシート状部材２が洗浄液３０３を貯留したディップ槽３２０内を通過するようになっている。ディップ槽３２０の側面には、超音波発生装置３５０が設けられており、超音波発生装置３５０により生成されたキャビテーションを利用してシート状部材２から異物４を除去するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１８１５１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図５に示すスプレー式洗浄装置２００では、各ノズル２３０からシート状部材２に洗浄液３が勢いよく吹き付けられる。このため、シート状部材２の剛性が低い場合、吹き付けによるシート状部材２への局所的な負荷により、シート状部材２に折れや凹みによる塑性変形や損傷を引き起こしてしまう、という問題があった。
【０００７】
一方、図６及び図７に示すディップ式洗浄装置３００では、シート状部材２から除去された異物４がディップ槽３２０内で滞留してしまう。このため、シート状部材２から除去された異物４がシート状部材２に再び付着してしまう、という問題があった。
【０００８】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、搬送するシート状部材を変形させることなく、異物を効果的に除去することが可能な洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による洗浄装置は、搬送経路に沿ってシート状部材を搬送する搬送手段と、第１開口と第２開口との間を前記搬送経路に沿って延び、前記第２開口から進入するシート状部材を前記第１開口から退出させる洗浄通路が形成された洗浄液流動槽と、前記シート状部材の搬送方向における上流側に向かって前記洗浄通路内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記洗浄液流動槽に取り付けられ、前記洗浄通路内を進行するシート状部材に付着した異物を洗浄液内で除去する異物除去手段と、を備え、
前記シート状部材の搬送方向における上流側に向かって前記洗浄通路内を流動する洗浄液は、前記第２開口から前記洗浄通路外に流出するようになっている。
【００１０】
本発明による洗浄装置において、前記洗浄液供給手段は、前記シート状部材と間隔を開けて配置され当該シート状部材の幅方向に沿って延びる第１本体部を有し、前記第１本体部には、前記シート状部材の幅方向に沿って延びる吐出口、または、前記シート状部材の幅方向に沿って並べられた複数の吐出口が設けられていてもよい。
【００１１】
本発明による洗浄装置において、前記第１本体部は、前記シート状部材の搬送方向における上流側を向き前記吐出口が設けられた対向面と、前記対向面よりも前記シート状部材の搬送方向における下流側となる位置で前記対向面に対向して設けられた裏面と、を含み、前記洗浄液供給手段は、前記裏面に向けて洗浄液を放出する供給ノズルを前記第１本体部内に有していてもよい。
【００１２】
本発明による洗浄装置において、前記洗浄液供給手段は、前記第１本体部内で前記供給ノズルよりも前記対向面に近接した位置に配置された整流部材をさらに有していてもよい。
【００１３】
本発明による洗浄装置において、前記洗浄液供給手段は、前記シート状部材を基準として前記第１本体部の反対側に設けられ、前記シート状部材の幅方向に沿って延びる第２本体部を有し、前記第２本体部には、前記シート状部材の幅方向に沿って延びる吐出口、または、前記シート状部材の幅方向に沿って並べられた複数の吐出口が設けられていてもよい。
【００１４】
本発明による洗浄装置において、前記第１開口及び前記第２開口は、鉛直方向における上方を向き、前記第２開口は、前記第１開口よりも鉛直方向における下方に位置していてもよい。
【００１５】
本発明による洗浄装置は、前記第２開口から流出する洗浄液を受け止めるオーバーフロータンクと、前記オーバーフロータンクに受け止められた洗浄液を前記洗浄液供給手段に導く循環手段と、をさらに備えてもよい。
【００１６】
本発明による洗浄装置において、前記循環手段は、当該循環手段内を流動する洗浄液を濾過するフィルターと、前記オーバーフロータンクから前記洗浄液供給手段に向けて洗浄液を送り出すポンプと、を有していてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、洗浄液が流動する洗浄通路内をシート状部材が通過するため、シート状部材に局所的な負荷をかけることなく、シート状部材から異物を除去することができる。また、洗浄通路内で洗浄液がシート状部材の搬送方向における上流側に向かうため、シート状部材から除去された異物が洗浄液と共にシート状部材の上流側に向かっていく。このため、シート状部材から除去された異物がより下流側で再びシート状部材に付着することを抑制することができる。その上、洗浄液と共に運ばれる異物は、シート状部材の上流側に位置する第２開口から流出していくため、シート状部材から除去された異物が洗浄通路内に溜まることもない。このため、洗浄液内に留まった異物が再びシート状部材に付着することも抑制することができる。
以上のことから、本発明によれば、搬送するシート状部材を変形させることなく、異物を効果的に除去することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】一実施の形態による洗浄装置を示す概略側面図。
【図２】図１に示す洗浄装置を構成する洗浄液供給手段を示す正面図。
【図３】図２に示す洗浄液供給手段の他の例を示す正面図。
【図４】図１に示す洗浄装置の作用を説明するための側面図。
【図５】従来のスプレー式洗浄装置を模式的に示す斜視図。
【図６】特許文献１に記載のディップ式洗浄装置を模式的に示す斜視図。
【図７】図６に示すディップ式洗浄装置の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。図１乃至図５は、一実施の形態を説明するための図である。このうち、図１は、一実施の形態による洗浄装置１を示す概略側面図である。
【００２０】
図１に示す洗浄装置１は、搬送中のシート状部材２を洗浄する洗浄装置である。とりわけ、剛性の低い材料からなるシート状部材２を洗浄する場合、シート状部材２に局所的な負荷を与えると、シート状部材２に塑性変形を生じさせたり損傷を与えてしまうおそれがある。そこで、本実施の形態の洗浄装置１は、シート状部材２に局所的な負荷をかけることを避けるべく、洗浄液３が流動する洗浄通路２３内をシート状部材２が通過するようになっている。ただし、洗浄通路２３内にシート状部材２から除去された異物４（図４参照）が溜まってしまうと、除去された異物４がシート状部材２に再度付着してしまうおそれが高まる。そこで、本実施の形態による洗浄装置１では、洗浄通路２３内に除去された異物４が再びシート状部材２に付着することがないよう、洗浄液３の流動方法について工夫が施されている。
【００２１】
なお、洗浄装置１にて洗浄及び搬送されるシート状部材２は、シート状の部材であれば特に限定されない。一例として、紙や樹脂製のシート、薄い金属製のシートが挙げられる。また、本明細書において、「板」、「シート」、「フィルム」の用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「シート」は板やフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念である。
【００２２】
図１に示すように、洗浄装置１は、搬送経路ｐｓに沿ってシート状部材２を搬送する搬送手段１０と、搬送経路ｐｓの一部に沿って延び、シート状部材２及び洗浄液３がその内部を通る洗浄通路２３をもつ洗浄液流動槽２０と、を有している。
【００２３】
図１に示す搬送手段１０は、搬送経路ｐｓに沿って配置された複数のローラ１１を有している。各ローラ１１を通るようにシート状部材２が掛け渡されており、各ローラ１１によってシート状部材２が搬送経路ｐｓに沿って案内されるようになっている。とりわけ、複数のローラ１１のうちのいくつかは、洗浄液流動槽２０の洗浄通路２３内に設けられている。したがって、複数のローラ１１によって案内されるシート状部材２は、洗浄液流動槽２０の洗浄通路２３内を通過するようになっている。
【００２４】
図１に示す例では、シート状部材２は、略Ｕ字状の搬送経路ｐｓに沿って搬送手段１０により搬送されている。具体的には、紙面の右側から進入したシート状部材２は、鉛直方向ｖｄにおける下方に向かった後に水平方向ｈｄに移動し、その後、鉛直方向ｖｄにおける上方に向かった後に紙面の左側に進行していく。
【００２５】
この搬送経路ｐｓの一部に沿って洗浄通路２３が設けられている。洗浄通路２３の両端に第１開口２１及び第２開口２２が形成され、各開口２１、２２は外部に開放している。本実施の形態では、第１開口２１及び第２開口２２は、いずれも鉛直方向ｖｄにおける上方を向き、第１開口２１は、第２開口２２よりも鉛直方向ｖｄにおける上方に位置している。そして、洗浄通路２３は、第１開口２１と第２開口２２との間を搬送経路ｐｓに沿って延び、略Ｊ字状の形状を規定している。
【００２６】
このような洗浄通路２３は、洗浄液流動槽２０の壁面によってその境界を規定されている。本実施の形態の洗浄液流動槽２０は、透明な中空の薄肉部材にて構成され、中空の薄肉部材の内面にて洗浄通路２３を規定している。
【００２７】
図１に示すように、第１開口２１の周りに位置する洗浄液流動槽２０の壁面に、洗浄液供給手段３０が取り付けられている。洗浄液供給手段３０は、洗浄通路２３内に洗浄液３を供給する。洗浄液供給手段３０から供給される洗浄液３は、第１開口２１側から第２開口２２側に向かう流動方向ｆｄに沿って洗浄通路２３内を流動する。図１において、洗浄通路２３は、流動する洗浄液３によって満たされている。なお、洗浄液供給手段３０の構成については、図２を参照して後述する。
【００２８】
洗浄液３が洗浄通路２３内を流動方向ｆｄに進行するのに対し、シート状部材２は、流動方向ｆｄとは反対側となる搬送方向ａｄに沿って進行する。具体的には、シート状部材２は、第２開口２２から洗浄通路２３内に進入して第１開口２１から洗浄通路２３外に出て行く。
【００２９】
また、図１に示すように、シート状部材２の搬送方向ａｄにおける上流側すなわち流動方向ｆｄにおける下流側に、異物除去手段５０が設けられている。異物除去手段５０は、洗浄通路２３内を進行するシート状部材２に付着した異物４を洗浄液３内に除去するためのものである。本実施の形態の異物除去手段５０は、第２開口２２付近となる位置で洗浄液流動槽２０に取り付けられている。
【００３０】
図１に示す異物除去手段５０は、超音波発生装置５１を有している。超音波発生装置５１は、超音波によるキャビテーションを利用してシート状部材２から異物４を除去するよう構成されている。ここでいうキャビテーションとは、超音波の振動によって洗浄通路２３内の洗浄液３の圧力を局所的に急変させ、短時間に多くの気泡の発生と消滅とを発生させる現象をいう。すなわち、キャビテーションによる気泡の発生と消滅とを利用することで、洗浄通路２３内のシート状部材２から異物４を除去することが可能となっている。
【００３１】
本実施の形態では、異物除去手段５０は、一対の超音波発生装置５１を有しており、一対の超音波発生装置５１の間をシート状部材２が通過するようになっている。このため、シート状部材２の表裏両面から、異物除去手段５０によって異物４を除去することが可能となる。なお、各超音波発生装置５１から発せられる超音波の周波数は、ノイズの観点から、例えば、２０ｋＨｚ〜５０ｋＨｚ程度に設定され得る。
【００３２】
次に、上述した洗浄液供給手段３０の構成をさらに詳細に説明する。図１に示すように、洗浄液供給手段３０は、シート状部材２と間隔を開けて配置された第１本体部３１と、シート状部材２を基準として第１本体部３１の反対側に設けられた第２本体部４１と、を有している。この場合、第１本体部３１と第２本体部４１との間を、シート状部材２が通過するようになっている。また、第１本体部３１及び第２本体部４１は、洗浄通路２３内で、洗浄液流動槽２０の壁面に固定されている。
【００３３】
図２に、第１本体部３１及び第２本体部４１の構成を拡大して示す。なお、第１本体部３１及び第２本体部４１は、シート状部材２を基準として対称に構成することができるため、以下の説明では、第１本体部３１及び第２本体部４１に共通の構成については、符号を付した状態で単に本体部３１、４１と表記する。
【００３４】
本体部３１、４１は、シート状部材２の幅方向ｗｄにむらなく洗浄液３を提供するために設けられている。図２に示すように、本体部３１、４１は、シート状部材２の幅方向ｗｄに沿った長手方向をもつ。本実施の形態の本体部３１、４１は、略直方体状に成形されている。直方体状の本体部３１、４１は、シート状部材２の搬送方向ａｄにおける上流側を向く対向面３１ａ、４１ａと、対向面３１ａ、４１ａに対向しシート状部材２の搬送方向ａｄにおける下流側を向く裏面３１ｂ、４１ｂと、を含んでいる。そして、裏面３１ｂ、４１ｂは、対向面３１ａ、４１ａよりもシート状部材２の搬送方向ａｄにおける下流側となる位置に配置されている。
【００３５】
本体部３１、４１の対向面３１ａ、４１ａには、シート状部材２の幅方向ｗｄに沿って並べられた複数の吐出口３２、４２が設けられている。この吐出口３２、４２は、洗浄通路２３内に洗浄液３を吐出するためのものである。各吐出口３２、４２は、シート状部材２の幅方向ｗｄに沿って偏りなく洗浄液３を流動させるよう、その大きさ及び配置が決定されている。
【００３６】
図２に示すように、本体部３１、４１内に、対向面３１ａ、４１ａ側から裏面３１ｂ、４１ｂ側に向かって、整流部材３５、４５及び供給ノズル３３、４３がこの順で収容されている。
【００３７】
このうち、供給ノズル３３、４３は、本体部３１、４１内に洗浄液３を供給するためのものである。供給ノズル３３、４３には、シート状部材２の幅方向ｗｄに沿って並べられた複数の供給口３４、４４が設けられている。本実施の形態の供給口３４、４４は、対向面３１ａ、４１ａ側ではなく、裏面３１ｂ、４１ｂ側を向いている。ゆえに、供給口３４、４４は、本体部３１、４１内から対向面３１ａ、４１ａに向けてではなく、裏面３１ｂ、４１ｂに向けて洗浄液３を放出する。
【００３８】
仮に、各供給口３４、４４から対向面３１ａ、４１ａに向けて洗浄液３を直接的に放出する場合、各供給口３４、４４からの放出圧や放出方向の影響により、対向面３１ａ、４１ａに設けられた吐出口３２、４２から吐出される洗浄液３に偏りが生じてしまいやすい。吐出口３２、４２から吐出される洗浄液３に偏りが生じてしまうと、洗浄液３で満たされた洗浄通路２３内に洗浄液３の流れの滞留が生じ易くなり、この滞留によりシート状部材２をむらなく洗浄することができなくなるおそれが高まる。
【００３９】
これに対して、各供給口３４、４４から裏面３１ｂ、４１ｂに向けて洗浄液３を放出する場合、放出される洗浄液３は、裏面３１ｂ、４１ｂでの反射や本体部３１、４１内での拡散を経た後に、対向面３１ａ、４１ａの吐出口３２、４２に到達する。このため、吐出口３２、４２に到達する洗浄液３は、ある程度分散され、偏りなく各供給口３４、４４から放出され易い。ゆえに、洗浄通路２３内に洗浄液３の流れの滞留が生じ難くなり、結果としてシート状部材２をむらなく洗浄することに寄与する。
【００４０】
その上、供給口３４、４４から供給される洗浄液３は、整流部材３５、４５を通過した後に吐出口３２、４２に到達するようになっている。整流部材３５、４５は、供給口３４、４４から供給される洗浄液３を整流して吐出口３２、４２に送るべく設けられている。図２に示す整流部材３５、４５は、第１整流層３５ａ、４５ａと、当該第１整流層３５ａ、４５ａとは異なる第２整流層３５ｂ、４５ｂと、を含んでいる。図２に示す例では、第１整流層３５ａ、４５ａが相対的に裏面３１ｂ、４１ｂ寄りに配置され、第２整流層３５ｂ、４５ｂが相対的に対向面３１ａ、４１ａ寄りに配置されている。異なる２層の整流層を組み合わせることにより、洗浄液３をより効果的に整流することが可能となる。
【００４１】
本実施の形態では、第１整流層３５ａ、４５ａ及び第２整流層３５ｂ、４５ｂは、いずれも多孔質の層として構成されている。ただし、第１整流層３５ａ、４５ａと第２整流層３５ｂ、４５ｂとは、その空隙率や空隙の分布が異なっている。このような多孔質の層として、いわゆるハニカム構造が挙げられる。
【００４２】
このようにして、本実施の形態の洗浄液供給手段３０によれば、シート状部材２の幅方向ｗｄに偏りなく、洗浄液３を供給することが可能となる。なお、図２に示す例では、複数の吐出口３２、４２が、シート状部材２の幅方向ｗｄに沿って並べられた例を示したが、吐出口３２、４２の形態は、このような例に限定されない。図３に、吐出口３２、４２の他の例を示す。図３に示す例では、対向面３１ａ、４１ａに形成された単一の吐出口３２、４２が、シート状部材２の幅方向ｗｄに沿って延びている。また、供給ノズル３３、４３に形成された単一の供給口３４、４４も、シート状部材２の幅方向ｗｄに沿って延びている。
【００４３】
さて、図１に戻って、第１開口２１側から第２開口２２側に向かって洗浄通路２３内を流動する洗浄液３は、第２開口２２から洗浄通路２３外に流出するようになっている。すなわち、洗浄通路２３内を流動する洗浄液３は、第２開口２２からオバーフローする。洗浄通路２３内を流動する洗浄液３が第２開口２２からオバーフローすることにより、シート状部材２から除去された異物４が洗浄通路２３内に溜まることを抑制することができる。
【００４４】
第２開口２２から溢れ出た洗浄液３は、オーバーフロータンク６０によって受け止められる。オーバーフロータンク６０は、洗浄液流動槽２０の下方に配置されている。本実施の形態のオーバーフロータンク６０は、当該オーバーフロータンク６０の底を形成する底部６１と、底部６１の上方を環状に取り囲んだ胴部６２と、を有している。底部６１と胴部６２とによって囲まれる空間内に、溢れ出た洗浄液３を受け止める受容空間Ｓが規定されている。
【００４５】
図１に示すように、オーバーフロータンク６０に受け止められた洗浄液３は、循環手段７０を介して洗浄液供給手段３０に戻される。すなわち、循環手段７０は、オーバーフロータンク６０に受け止められた洗浄液３を洗浄液供給手段３０に戻すためのものである。本実施の形態の循環手段７０は、オーバーフロータンク６０から洗浄液供給手段３０に洗浄液３を導く配管７１と、配管７１内に設けられたフィルター７２と、配管７１内の洗浄液３を洗浄液供給手段３０に向けて送り出すポンプ７３と、を有している。
【００４６】
図１に示す例では、配管７１は、オーバーフロータンク６０の底部６１と、洗浄液供給手段３０の供給ノズル３３、４３と、に接続されている。一方、配管７１内に設置されたフィルター７２は、当該循環手段７０内を流動する洗浄液３を濾過する。フィルター７２は、洗浄液３を透過させると共に異物４を除去できるものであれば、特に限定されない。
【００４７】
また、本実施の形態のポンプ７３は、フィルター７２と洗浄液供給手段３０の供給ノズル３３、４３との間に設けられている。ポンプ７３がフィルター７２よりも下流側に設けられていることにより、ポンプ７３に異物が堆積することによる誤作動を軽減することができる。なお、ポンプ７３としては、洗浄液を流動させるために用いられるそれ自体既知のポンプを用いることができる。
【００４８】
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について、図４を参照して説明する。図４は、図１に示す洗浄装置１の作用を説明するための側面図である。
【００４９】
図４に示すように、シート状部材２が、第２開口２２から洗浄通路２３内に進入して第１開口２１から洗浄通路２３外に出て行くように、搬送経路ｐｓに沿って搬送されていく。これに対し、洗浄液供給手段３０から供給される洗浄液３は、シート状部材２の搬送方向ａｄとは反対側となる流動方向ｆｄに沿って、第１開口２１側から第２開口２２側に流動していく。とりわけ、洗浄液供給手段３０から供給される洗浄液３は、洗浄通路２３内で満たされシート状部材２の周りに洗浄液３の流れを形成する。
【００５０】
とりわけ、シート状部材２の搬送方向ａｄにおける上流となる第２開口２２の周りには、一対の超音波発生装置５１が設けられている。このため、シート状部材２は、一対の超音波発生装置５１の間を通過する際に、超音波発生装置５１からの超音波によるキャビテーションの作用によって、異物４を除去される。除去された異物４は、流動方向ｆｄに沿って流動する洗浄液３と共に第２開口２２側に運ばれていく。このため、除去された異物４は、シート状部材２の搬送方向ａｄの下流側となる第１開口２１側には運ばれ難い。
【００５１】
また、流動方向ｆｄに沿って流動する洗浄液３は、第２開口２２から洗浄通路２３外に流出していく。このため、シート状部材２から除去された異物４は、洗浄通路２３内に溜まることなく洗浄通路２３外に運ばれることとなる。とりわけ、本実施の形態では、第１開口２１及び第２開口２２は、鉛直方向ｖｄにおける上方を向き、第２開口２２は、第１開口２１よりも鉛直方向ｖｄにおける下方に位置している。このような形態によれば、洗浄液３よりも比重の小さい異物４が第２開口２２側に浮力の作用で向かって行き易くなる。このため、異物４をさらに効率よく洗浄通路２３内から排出することができる。
【００５２】
他方で、異物除去手段５０によって異物４を除去されたシート状部材２は、第１開口２１側に向かっていく。上述のように、洗浄液３はシート状部材２の搬送方向ａｄとは反対（上流）側に向かうため、シート状部材２の搬送方向ａｄの下流側となる第１開口２１側には異物４は存在し難い。このため、異物４を除去されたシート状部材２に、搬送方向ａｄの下流側となる第１開口２１側で再び異物４が付着する、ということは起こり難い。したがって、シート状部材２は、効果的に異物４を除去された状態で第１開口２１から洗浄通路２３外に出て行くこととなる。
【００５３】
以上のように、本実施の形態によれば、搬送経路ｐｓに沿ってシート状部材２を搬送する搬送手段１０と、第１開口２１と第２開口２２との間を搬送経路ｐｓに沿って延び、第２開口２２から進入するシート状部材２を第１開口２１から退出させる洗浄通路２３が形成された洗浄液流動槽２０と、シート状部材２の搬送方向ａｄにおける上流側に向かって第１開口２１側から第２開口２２側に向かって洗浄通路２３内に洗浄液３を供給する洗浄液供給手段３０と、洗浄液流動槽２０に取り付けられ、洗浄通路２３内を進行するシート状部材２に付着した異物４を洗浄液３内に除去する異物除去手段５０と、を備え、シート状部材２の搬送方向ａｄにおける上流側に向かって洗浄通路２３内を流動する洗浄液３は、第２開口２２から洗浄通路２３外に流出するようになっている。
【００５４】
このような形態によれば、洗浄液３が流動する洗浄通路２３内をシート状部材２が通過するため、シート状部材２に局所的な負荷をかけることなく、シート状部材２から異物４を除去することができる。また、洗浄通路２３内で洗浄液３がシート状部材２の搬送方向ａｄにおける上流側に向かうため、シート状部材２から除去された異物４が洗浄液３と共にシート状部材２の搬送方向ａｄにおける上流側に向かっていく。このため、シート状部材２から除去された異物４が、より搬送方向ａｄにおける下流側で再びシート状部材２に付着する、ということを抑えることができる。その上、洗浄液３と共に運ばれる異物４は、シート状部材２の上流側に位置する第２開口２２から流出していくため、シート状部材２から除去された異物４が洗浄通路２３内に溜まることもない。このため、洗浄液３内に留まった異物４が再びシート状部材２に付着することも抑制することができる。以上のことから、本実施の形態によれば、搬送するシート状部材２を変形させることなく、異物４を効果的に除去することが可能となる。
【００５５】
また、本実施の形態によれば、洗浄液供給手段３０は、シート状部材２と間隔を開けて配置され当該シート状部材２の幅方向ｗｄに沿って延びる第１本体部３１を有し、第１本体部３１には、シート状部材２の幅方向ｗｄに沿って延びる吐出口３２、または、シート状部材２の幅方向ｗｄに沿って並べられた複数の吐出口３２が設けられている。この場合、吐出口３２から吐出する洗浄液３をシート状部材２の幅方向ｗｄに偏りなく流動させることに寄与する。この結果、洗浄通路２３内に洗浄液３の流れの滞留が生じ難くなり、結果としてシート状部材２をむらなく洗浄することに寄与する。
【００５６】
さらに、本実施の形態によれば、第１本体部３１は、シート状部材２の搬送方向ａｄにおける上流側を向き吐出口３２が設けられた対向面３１ａと、対向面３１ａよりもシート状部材２の搬送方向ａｄにおける下流側となる位置で対向面３１ａに対向して設けられた裏面３１ｂと、を含み、洗浄液供給手段３０は、裏面３１ｂに向けて洗浄液３を放出する供給ノズル３３を第１本体部３１内に有している。このような形態によれば、各供給口３４、４４から裏面３１ｂ、４１ｂに向けて洗浄液３を放出するため、放出される洗浄液３は、裏面３１ｂでの反射や本体部３１内での拡散を経た後に、対向面３１ａの吐出口３２に到達する。このため、吐出口３２に到達した洗浄液３は、ある程度分散され、偏りなく供給口３４から放出され易い。ゆえに、洗浄通路２３内に洗浄液３の流れの滞留が生じ難くなり、結果としてシート状部材２をさらにむらなく洗浄することに寄与する。
【００５７】
さらに、本実施の形態によれば、洗浄液供給手段３０は、第１本体部３１内で供給ノズル３３よりも対向面３１ａに近接した位置に配置された整流部材３５をさらに有している。この場合、供給ノズル３３から供給される洗浄液３は、整流部材３５によって整流された後に吐出口３２に到達する。このため、吐出口３２から吐出する洗浄液３をシート状部材２の幅方向ｗｄに偏りなく流動させることに寄与する。この結果、洗浄通路２３内に洗浄液３の流れの滞留が生じ難くなり、結果としてシート状部材２をさらにむらなく洗浄することに寄与する。
【００５８】
また、本実施の形態によれば、洗浄液供給手段３０は、シート状部材２を基準として第１本体部３１の反対側に設けられ、シート状部材２の幅方向ｗｄに沿って延びる第２本体部４１を有し、第２本体部４１には、シート状部材２の幅方向ｗｄに沿って延びる吐出口４２、または、シート状部材２の幅方向ｗｄに沿って並べられた複数の吐出口４２が設けられている。このような形態によれば、異物除去手段５０によって、シート状部材２の表裏両面から異物４を除去することが可能となる。
【００５９】
また、本実施の形態によれば、第１開口２１及び第２開口２２は、鉛直方向ｖｄにおける上方を向き、第２開口２２は、第１開口２１よりも鉛直方向ｖｄにおける下方に位置している。このような形態によれば、洗浄通路２３内の洗浄液３は、重力の作用によって、第１開口２１側から第２開口２２側に送られ易くなる。このため、洗浄液３を洗浄通路２３内で流動させるための動力を節約することができ、省エネルギーに貢献する。また、洗浄液３よりも比重の小さい異物４が第２開口２２側に浮力の作用によって向かって行き易くなるため、異物４を効率よく洗浄通路２３内から排出することができる。
【００６０】
また、本実施の形態によれば、第２開口２２から流出する洗浄液３を受け止めるオーバーフロータンク６０と、オーバーフロータンク６０に受け止められた洗浄液３を洗浄液供給手段３０に導く循環手段７０と、をさらに備える。このような形態によれば、循環手段７０によって、第２開口２２から流出した洗浄液３を洗浄液供給手段３０に再び戻すことができる。すなわち、洗浄液３を繰り返し使用することができる点で効率的である。
【００６１】
さらに、本実施の形態によれば、循環手段７０は、当該循環手段７０内を流動する洗浄液３を濾過するフィルター７２と、オーバーフロータンク６０から洗浄液供給手段３０に向けて洗浄液３を送り出すポンプ７３と、を有している。このような形態によれば、フィルター７２によって、循環手段７０内を流動する洗浄液３から異物４を除去することができる。このため、洗浄液３を有効に活用した上で、シート状部材２に異物４が再付着することも効果的に抑制することができる。
【００６２】
なお、上述した洗浄装置１において、洗浄通路２３内の洗浄液３の流速を調整するためには、ポンプ７３から送り出される洗浄液３の流速を変化させることが考えられる。また、洗浄通路２３の大きさを変更することにより、洗浄通路２３内の洗浄液３の流速を変化させてもよい。ただし、シート状部材２の表裏方向に沿った洗浄通路２３の幅が１ｃｍ以下になると、洗浄通路２３内にローラ１１を配置することが困難になることに留意すべきである。
【符号の説明】
【００６３】
１    洗浄装置
２    シート状部材
３    洗浄液
４    異物
１０  搬送手段
２０  洗浄液流動槽
２１  第１開口
２２  第２開口
２３  洗浄通路
３０  洗浄液供給手段
３１  第１本体部
４１  第２本体部
３１ａ、４１ａ  対向面
３１ｂ、４１ｂ  裏面
３２、４２  吐出口
３３、４３  供給ノズル
３４、４４  供給口
３５、４５  整流部材
５０  異物除去手段
６０  オーバーフロータンク
７０  循環手段
７２  フィルター
７３  ポンプ
ｐｓ  搬送経路
ａｄ  搬送方向
ｗｄ  シート状部材の幅方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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