(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも搬出入部にエアカーテンを備えたクリーンブースであって、
対象空間を覆う矩形平板状の天井部を備え、
前記エアカーテンは、当該天井部の四辺に沿って設けられており、高清浄度の空気を吹き出す吹出口を備え、
当該吹出口に対向する床面には、吸気口が設けられておらず、
当該吹出口は、当該天井部の内側から外側に向かって複層であり、
当該各層には、空気の吹き出し方向に向けて垂れ壁が設けられ、
前記天井部の角部において、隣り合う辺の各層の垂れ壁同士は、切れ目なく連続していることを特徴とするクリーンブース。
【請求項２】
前記天井部の角部において、隣り合う辺の各層の垂れ壁同士は、平面視で直線状に延びる垂れ壁で接続されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンブース。
【請求項３】
前記吹出口の各層の空気の吹き出し方向が前記吹出口から鉛直方向に対して角度が５°以上２０°以下に設定されていることを特徴とする請求項１または２に記載のクリーンブース。
【請求項４】
前記吹出口の内側の層の吹き出し方向を外側の層の吹き出し方向よりも小さな角度に設定したことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のクリーンブース。
【請求項５】
クリーンルーム内に設置されることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のクリーンブース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアカーテン構造を備えたクリーンブースに関する。詳しくは、クリーンルームなどに設置されるクリーンブースである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、工業製品や医薬品に塵埃が混入するのを防ぐため、空気中の塵埃を大幅に低減したクリーンルームが用いられる。具体的には、このクリーンルームの内部に製造装置を設置して、塵埃の少ない環境で製造装置を稼働させる。
【０００３】
ところで近年、このクリーンルームに設置する製造装置が大型化している。そのため、クリーンルームの容積を増大させる必要があるが、この場合、クリーンルーム全体に亘って高い空気の清浄度を維持するのはコストがかかる、という問題がある。
【０００４】
そこで、クリーンルームの内部空間の空気清浄度をある程度のレベルに抑えておき、製造装置が設置されるクリーンルームの一部の空間についてのみ高い空気清浄度とする局所クリーン化方式が提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
具体的には、局所クリーン方式では、製造装置が設置されて空気清浄度を高めたい空間を対象空間とし、この対象空間を覆うように局所空気清浄装置を配置する。この局所空気清浄装置は、具体的には、天井から吊り下げられた平板状の天井部と、この天井部の中央部や周縁部に設けられた複数の空気清浄化装置とを備える。この空気清浄化装置は、空気清浄化フィルタおよびファンを有する。
【０００６】
この局所空気清浄装置によれば、中央部の空気清浄化装置により下方に向かって高清浄度の空気を吹き出して、局所空気清浄装置の直下の対象空間の空気清浄度を高めるとともに、周縁部の空気清浄化装置から直下に向かって空気を吹き出すことで、この吹き出した空気により、周囲の空気が対象空間に侵入するのを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−１４８７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、周縁部の空気清浄化装置から下方に向かって空気を吹き出しても、実際には、エアカーテンの下端部つまり床面近傍では気流が拡散するので、遮断性の高いエアカーテンとしての機能は得られない。
【０００９】
そこで、周縁部に空気清浄化装置を設ける代わりに、対象空間の側面を覆うビニールカーテンや壁などの仕切部材を設けて、これら仕切部材で対象空間と外部とを完全に仕切ることも考えられる。しかしながら、このような仕切部材を設けると、この仕切部材が作業員の導線や製品の搬送路と干渉し、製品の製造効率が低下する、という問題があった。
【００１０】
本発明は、搬出入の障害にならないクリーンブースを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載のクリーンブース（例えば、後述のクリーンブース２０、２０Ａ、２０Ｂ）は、少なくとも搬出入部（例えば、後述の搬出入部２７）にエアカーテンを備えたクリーンブースであって、前記エアカーテンは、天井側に設けられた高清浄度の空気を吹き出す吹出口（例えば、後述の吹出口３０、３０Ａ、３０Ｂ）を備え、前記吹出口に対向する床面（例えば、後述の床面２）には、吸気口が設けられてないことを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載のクリーンブースは、空気の吹き出し方向が当該吹出口から鉛直方向に対して角度が５°以上２０°以下に設定されていることを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、鉛直方向から外側に角度をつけて空気を吹き出し、この吹き出した空気は、外側に拡散しながら下方に向かって流れて、周囲の空気が対象空間に侵入するのを防止するエアカーテンとなる。よって、対象空間の空気清浄度を周囲に比べて局所的に高めることができる。吹出口は、搬出入部以外にも設けることができる。
床面に吸気口を設ける必要がないので、クリーンブースの設置個所の制約がなく、大空間の局所クリーン箇所を自由に設置できる。特に、周壁の仕切り構造物を設ける必要がなく、天井側の上部構造だけでクリーンブースを設置できる。
【００１４】
また、エアカーテンによって外部との遮断性が向上して、従来の壁や幕のように対象空間と外部とを仕切る構成ではないので、作業員の導線や製品の搬送路に干渉することはなく、搬出入の障害にならない。よって、製品の製造効率が低下するのを防止できる。
また、吹出口から吹き出した空気は、床面に付近に到達した後、クリーンブースの外側に向かう気流と、クリーンブースの内側に向かう気流とに分かれる。本発明では、鉛直方向に対する角度を５°以上としたので、クリーンブースの内側に向かう気流が少なくなり、クリーンブース内に侵入する塵埃の量を大幅に低減できる。
【００１５】
空気の吹き出し角度が５°未満である場合には、内側に向かう気流が多くなり、床面付近の塵埃がこの内側に向かう気流に巻き込まれて、クリーンブース内に流入しやすくなる。
一方、吹き出し角度が２０°を超える場合には、吹出口から床面までの距離が長くなるので、気流が拡散し過ぎてしまい、エアカーテンとしての機能が低下する。
【００１６】
請求項４に記載のクリーンブースは、空気の吹き出し方向を複層とし、内側の層の吹き出し方向を小さな角度に設定したことを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、内側の層の吹き出し空気が、床面に到達した後、クリーンブースの外側に向かう方向に付勢された気流となる。よって、床面付近において、外側の層の気流は、内側の層の気流に押されて、クリーンブースの外側に向かうこととなり、外側の気流の分流が内側に侵入することをより確実に防止できる。内側の気流は、外側の気流よりも角度差の分流下する床までの距離が短くなるので、外側の気流よりも強い流れを形成することができ、外側への押し出し力も強くなる。
【００１８】
請求項１に記載のクリーンブースは、前記吹出口には、空気の吹き出し方向に向けて垂れ壁（例えば、後述のカーテン２５、後述の第２のカーテン２６、カーテン４１〜４７、５１〜５７、６１〜６６、７１〜７７、８１〜８７）を設けたことを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、垂れ壁の内壁面に沿って空気を吹き出すので、垂れ壁の範囲では外側の空気を巻き込まず、気流の方向と強さを保った状態で、垂れ壁の下方に送風することができるので、遮断性の向上および小型化が可能である。また、空気の吹き出し方向を垂れ壁によって規制することもできる。気流を複層の設ける場合は、垂れ壁の設置方向によって、分流することができる。
【００２０】
請求項５に記載のクリーンブースは、クリーンルーム（例えば、後述のクリーンルーム１）内に設置されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、エアカーテンによって外部との遮断性が向上する。従来の壁による仕切り空間のように対象空間と外部とを仕切る構成ではないので、作業員の導線や製品の搬送路と干渉することはなく、搬出入の障害にならない。よって、製品の製造効率が低下するのを防止できる。また、垂れ壁の鉛直方向に対する角度を５°〜２０°としたので、クリーンブースの内側に向かう気流が少なくなり、クリーンブース内に侵入する塵埃の量を大幅に低減できる。床面には吸気口を必要としないので、大空間内でクリーンブースの設置自由度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の参考例に係るエアカーテン構造が適用されたクリーンルームを示す断面図である。
【図２】前記参考例に係るクリーンルームに設けられたクリーンブースの一部の縦断面図である。
【図３】前記参考例の実施例に係る気流解析結果を示す図である。
【図４】前記参考例の実施例に係る気流解析結果を示す図である。
【図５】本発明の第２の参考例に係るエアカーテン構造が適用されたクリーンブースの一部の縦断面図である。
【図６】前記参考例の実施例に係る気流解析結果を示す図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係るエアカーテン構造が適用されたクリーンブースの断面図である。
【図８】前記実施形態に係るクリーンブースの空気清浄化装置の縦断面図である。
【図９】前記実施形態に係るクリーンブースの天井部の角部の平断面図である。
【図１０】本発明の第１の変形例に係るクリーンブースの天井部の角部の平断面図である。
【図１１】本発明の第２の変形例に係るクリーンブースの天井部の角部の平断面図である。
【図１２】本発明の第３の変形例に係るクリーンブースの天井部の角部の平断面図である。
【図１３】本発明の第２実施形態に係るエアカーテン構造が適用されたクリーンブースの空気清浄化装置の断面図である。
【図１４】前記実施形態の実施例についての実験方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の実施形態の説明にあたって、同一構成要件については同一符号を付し、その説明を省略もしくは簡略化する。
〔第１の参考例〕
図１は、本発明の第１の参考例に係るクリーンブース２０が設置されたクリーンルーム１を示す断面図である。
クリーンルーム１は、床面２、壁面３Ａ、３Ｂ、屋根面４で囲まれた空間であり、天井高が高く、大スパンの大空間である。
【００２４】
ここで、図１中左側の壁面を壁面３Ａ、図１中右側の壁面を壁面３Ｂとする。壁面３Ａ、３Ｂには、それぞれ、複数本の柱５Ａ、５Ｂが設けられており、柱５Ａと柱５Ｂとの間には、図１中左右方向に延びるトラス梁６が架設されており、屋根面４は、このトラス梁６により支持されている。
このクリーンルーム１には、天井材が設けられておらず、屋根面４の下面がクリーンルーム１の天井面となっている。
また、クリーンルーム１の室内には、クリーンブース２０が設置され、クリーンブース２０の内部には、大型の製造装置７が設置されている。
【００２５】
クリーンルーム１には、空調システム１０が設けられている。この空調システム１０は、トラス梁６内に設けられた空気冷却装置１１と、トラス梁６内に設けられた送風路としてのコールドアイル１２と、このコールドアイル１２の近傍に設けられた空気清浄化装置１３と、を備える。
【００２６】
空気冷却装置１１は、壁面３Ａ、３Ｂ側に設けられ、下面から空気を吸い込んで冷却し、この冷却した空気をコールドアイル１２に吹き出すものである。
コールドアイル１２は、トラス梁６に沿って延びており、空気冷却装置１１で冷却された空気（冷気）が流通するものである。
空気清浄化装置１３は、コールドアイル１２を流れる空気を清浄化して室内下方に吹き出すものである。
【００２７】
製造装置７は、高い空気清浄度が必要とされる装置である。この製造装置７の設置された空間を対象空間８とし、クリーンブース２０は、この対象空間８を覆っている。
【００２８】
クリーンブース２０は、対象空間８の上面を覆う矩形平板状の天井部２１と、この天井部２１を支持する図示しない支柱２２と、天井部２１の中央付近に設けられた空気清浄化装置２３と、天井部２１の周縁部に設けられた空気清浄化装置２４と、空気清浄化装置２４の外縁から斜め下方に延びて床面から所定の高さに至る垂れ壁としてのカーテン２５と、を備える。
【００２９】
空気清浄化装置２３、２４は、上面から空気を採り入れて清浄化し、下面の吹出口３０から吹き出すものである。
この吹出口３０は、作業員が出入りしたり製品を搬出入したりする搬出入部２７に設けられる。
また、吹出口３０は、床面２に対向しているが、この床面２には、吸気口が設けられていない。
【００３０】
図２は、クリーンブース２０の一部の縦断面図である。
天井部２１の周縁には、空気清浄化装置２４の吹出口３０が設けられている。
カーテン２５は、塩化ビニル製であり、下方に向かうに従って外方に拡がって、鉛直方向に対する角度が５°以上２０°以下、ここでは１５°となっている。
吹出口３０は、カーテン２５の内壁面に沿って延びており、空気清浄化装置２４で清浄化された高清浄度の空気を、カーテン２５の内壁面に沿って吹き出して、エアカーテンを形成する。
【００３１】
以上のクリーンルーム１では、これら空気冷却装置１１、コールドアイル１２、および空気清浄化装置１３により、クリーンルーム１の室内で空気が上下に循環する循環路を形成する。
【００３２】
すなわち、空気の循環路は、以下のようにして形成される。
図１に示すように、空気冷却装置１１から吹き出した冷気は、コールドアイル１２を略水平方向に流れて、空気清浄化装置１３により清浄化され、下方に向かって吹き出される。この空気は、クリーンルーム１の床面付近まで下降した後、コールドアイル１２の上方の天井面付近まで上昇して、空気冷却装置１１に吸い込まれて冷却されて、再びコールドアイル１２に供給される。
【００３３】
また、クリーンブース２０では、空気清浄化装置２３により直下に向かって高清浄度の空気を吹き出して、クリーンブース２０内部の対象空間８の空気清浄度を局所的に高めるとともに、空気清浄化装置２４から斜め下方に向かって高清浄度の空気を吹き出すことで、この吹き出した空気で対象空間８と周囲とを仕切って、周囲の空気が対象空間８に侵入するのを防止する。
【００３４】
図３は、本参考例の実施例に係る気流解析結果を示す図である。
吹出口からカーテンの内壁面に沿って吹き出した空気は、拡散しながら下方に向かって流れて、周囲の空気が対象空間に侵入するのを防止するエアカーテンとなっている。
そして、床面付近に到達した空気は、クリーンブースの外側に向かう気流と、クリーンブースの内側に向かう気流とに分かれる。図３に示すように、クリーンブースの内側に向かう気流は、クリーンブースの外側に向かう気流に比べて、大幅に低減されていることが判る。
【００３５】
図４は、本参考例の実施例に係る濃度解析結果を示す図である。
実験条件として、縦６ｍ、横６ｍ、高さ３ｍのクリーンブースを想定し、エアカーテンの吹出口の幅を１０ｃｍ、吹出風速０．８４ｍ／ｓとした。また、吹出口の外縁に高さ１ｍのカーテンを設けて、吹出角度を１５°とした。
その結果、図４に示すように、クリーンブース内の清浄度は、クリーンブース外の清浄度の１／１００程度となっていることが判る。
また、吹出風速を１．２ｍ／ｓとして実験を行った場合には、クリーンブース内部の外部に対する微粒子数の割合は、２．０％〜２．５％となった。
【００３６】
本参考例によれば、以下のような効果がある。
（１）吹出口３０からカーテン２５の内壁面に沿って吹き出すことで、鉛直方向から外側に角度をつけて空気を吹き出し、この吹き出した空気は、外側に拡散しながら下方に向かって流れて、周囲の空気が対象空間８に侵入するのを防止するエアカーテンとなる。よって、対象空間８の空気清浄度を周囲に比べて局所的に高めることができる。
【００３７】
床面２に吸気口を設けないので、クリーンブース２０の設置個所の制約がなく、大空間の局所クリーン箇所を自由に設置できる。特に、周壁の仕切り構造物を設ける必要がなく、天井側の上部構造だけでクリーンブースを設置できる。
【００３８】
また、エアカーテンによって外部との遮断性が向上して、従来の壁や幕のように対象空間８と外部とを仕切る構成ではないので、作業員の導線や製品の搬送路と干渉することはなく、搬出入の障害にならない。よって、製品の製造効率が低下するのを防止できる。
【００３９】
また、吹出口３０からカーテン２５の内壁面に沿って吹き出した空気は、床面２付近において、クリーンブース２０の外側に向かう気流と、クリーンブース２０の内側に向かう気流とに分かれる。ここで、カーテン２５の鉛直方向に対する角度を５°以上としたので、クリーンブース２０の内側つまり対象空間８に向かう気流が少なくなり、対象空間８に侵入する塵埃の量を大幅に低減できる。
【００４０】
（２）カーテン２５の内壁面に沿って空気を吹き出すので、カーテン２５の範囲では外側の空気を巻き込まず、気流の方向と強さを保った状態で、カーテン２５の下方に送風することができるので、遮断性の向上および小型化が可能である。また、空気の吹き出し方向をカーテン２５によって規制することもできる。
【００４１】
〔第２の参考例〕
図５は、本発明の第２の参考例に係るエアカーテン構造が適用されたクリーンブース２０Ａの周縁部の断面図である。
本参考例では、カーテン２５の内側に垂れ壁としての第２のカーテン２６を設けた点、および、吹出口３０Ａの形状が、第１の参考例と異なる。
具体的には、第２のカーテン２６は、塩化ビニル製であり、鉛直方向下方に延びている。
【００４２】
また、吹出口３０Ａは、カーテン２５の内壁面に沿って延びるとともに、第２のカーテン２６の内壁面に沿って延びている。これにより、空気清浄化装置２４で清浄化された高清浄度の空気を、カーテン２５の内壁面およびカーテン２６の内壁面に沿って吹き出して、エアカーテンを形成する。よって、空気の吹き出し方向が２層となり、内側の層の吹き出し方向が小さな角度ここでは略鉛直に設定される。
【００４３】
図６は、本参考例の実施例に係る気流解析結果を示す図である。
吹出口から内側の第２のカーテンの内壁面に沿って吹き出した空気は、鉛直方向下方に向かって流れて、床面に到達し、クリーンブースの外側に向かう気流と、クリーンブースの内側に向かう気流とに分かれる。
【００４４】
この第２のカーテンに沿って流れる気流が壁として機能するので、外側のカーテンに沿って流れる気流は、外側に拡散しながら下方に向かって流れる。
そして、床面付近において、外側のカーテンに沿って流れる気流は、内側の第２のカーテンに沿って流れる気流に押されて、クリーンブースの外側に向かう。
【００４５】
また、吹出風速を１．２ｍ／ｓとして実験を行った場合には、クリーンブース内部の外部に対する微粒子数の割合は、０．０３％〜０．４％となった。
【００４６】
本参考例によれば、上述の（１）、（２）の効果に加えて、以下のような効果がある。
（３）内側の第２のカーテン２６に沿って吹き出した空気が、床面２に到達した後、クリーンブース２０の外側に向かう方向に付勢された気流となる。よって、床面２付近において、外側のカーテン２５に沿って流れる気流は、内側の第２のカーテン２６に沿って流れる気流に押されて、クリーンブース２０の外側に向かうこととなり、外側の気流の分流が内側に侵入することをより確実に防止できる。内側の気流は、外側の気流よりも角度差の分流下する床までの距離が短くなるので、外側の気流よりも強い流れを形成することができ、外側への押し出し力も強くなる。
【００４７】
〔第１実施形態〕
図７は、本発明の第１実施形態に係るエアカーテン構造が適用されたクリーンブース２０Ｂの断面図である。
本実施形態では、天井部２１の周縁の空気清浄化装置２４Ｂおよびカーテン４１〜４７の構造が、第１の参考例と異なる。
すなわち、空気清浄化装置２４Ｂは、矩形平板状の天井部２１の四辺に設けられている。この空気清浄化装置２４Ｂは、空気清浄化装置２４よりも小型化されており、上下に昇降可能である。つまり、空気清浄化装置２４Ｂの高さＨは、適宜変更可能となっている。
【００４８】
図８は、空気清浄化装置２４Ｂの縦断面図である。
空気清浄化装置２４Ｂには、ＦＦＵ（ファンフィルタユニット）２８およびスクリーンメッシュ２９が内蔵されている。
この空気清浄化装置２４Ｂの吹出口３０Ｂには、内側から外側に向かって等間隔で配置された複数枚ここでは７枚のカーテン４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７が設けられている。これらカーテン４１〜４７は、それぞれ、下方に向かうに従って外方に拡がって、鉛直方向に対する角度が略５°となっている。
【００４９】
空気清浄化装置２４Ｂの吹出口３０Ｂは、清浄化された高清浄度の空気を、カーテン４１〜４７に沿って吹き出して、エアカーテンを形成する。つまり、本実施形態では、吹出口３０Ｂは、所定の一方向にのみ空気を吹き出している。
【００５０】
ここで、天井部２１の角部からクリーンブース２０Ｂの内部に侵入する微粒子が多いため、この角部において、隣り合う面のカーテン４１〜４７同士は切れ目無く接合される。具体的には、以下のようになる。
【００５１】
図９は、クリーンブース２０Ｂの天井部２１の角部の平断面図である。
天井部２１の角部では、隣り合う面の直線状に延びるカーテン４１〜４７同士が突合わされて接合されている。
なお、これに限らず、図１０に示すように、天井部２１の角部において、隣り合う面のカーテン４１〜４７同士を、平面視で直線状に延びるカーテン５１〜５７で接続してもよい。あるいは、図１１に示すように、隣り合う面のカーテン４１〜４７同士を、平面視で直線状に延びる直線状のカーテン５１〜５７で接続するとともに、天井部２１の角部にカーテン６１〜６６を設けてもよい。あるいは、図１２に示すように、隣り合う面のカーテン４１〜４７同士を、平面視で直線状に延びるカーテン７１〜７７で接続しつつ、これらカーテン７１〜７８同士の間隔をカーテン４１〜４７の間隔と等しくしてもよい。
【００５２】
本実施形態によれば、上述の（１）、（２）と同様の効果がある。
【００５３】
〔第２実施形態〕
図１３は、本発明の第２実施形態に係るエアカーテン構造が適用されたクリーンブース２０Ｂの空気清浄化装置２４Ｃの縦断面図である。
本実施形態では、カーテン８１〜８７の構造が、第１実施形態と異なる。
すなわち、空気清浄化装置２４Ｂの吹出口３０Ｂには、内側から外側に向かって所定間隔で配置された複数枚ここでは７枚のカーテン８１、８２、８３、８４、８５、８６、８７が設けられている。
これらカーテン８１〜８７のうち、内側のカーテン８１〜８３は、それぞれ、略鉛直に等間隔で取り付けられている。一方、外側のカーテン８４〜８７は、それぞれ、鉛直方向に対する角度が略５°で等間隔で取り付けられている。
【００５４】
空気清浄化装置２４Ｂの吹出口３０Ｂは、清浄化された高清浄度の空気を、カーテン８１〜８７に沿って吹き出して、エアカーテンを形成する。つまり、本実施形態では、吹出口３０Ｂは、二方向に空気を吹き出す。
【００５５】
本実施形態によれば、上述の（１）〜（３）と同様の効果がある。
【００５６】
次に、以下の２つの実施例について、実験を行った。
実施例１は、第１実施形態の実施例であり、空気清浄化装置の吹出口から一方向に空気を吹き出す構成である。
実施例２は、第２実施形態の実施例であり、空気清浄化装置の吹出口から二方向に空気を吹き出す鋼製である。
実験条件は、次の通りである。クリーンブースの四面のうち一面のみに空気清浄化装置を設け、この空気清浄化装置の吹出口を床面から２ｍの高さに配置した。また、クリーンブースの換気回数を１時間当たり１０回とし、吹出口の風量を一定（３７０ｍ３／ｈ・台）とした。
【００５７】
実験結果は、以下のようになった。
実施例１では、吹出口の風速が０．７６となり、クリーンブースの内外における直径０．５μｍ以上の微粒子数の比は、０．６５となった。
実施例２では、吹出口の風速が０．６９となり、クリーンブースの内外における直径０．５μｍ以上の微粒子数の比は、０．２４となった。
【００５８】
この実験結果より、吹き出し方向を二方向とすることにより、吹き出し方向を一方向とした場合に比べて、クリーンブース内部の微粒子を大幅に低減でき、効果的であることが判った。
【００５９】
また、以下の２つの実施例についても、実験を行った。
実施例３は、図１４に示すように、天井部の角部に、幅０．５ｍの遮風板を外側に突出させて設けた。なお、この遮風板は、床面から吹出口までの高さとなっている。
一方、実施例４は、遮風板を設けなかった。
【００６０】
実験条件は、次の通りである。クリーンブースの四面に空気清浄化装置を設け、クリーンブースの換気回数を１時間当たり３０回とした。また、吹出口の角部以外の部分における風速を０．６９とした。
【００６１】
実験結果は、以下のようになった。
実施例３では、クリーンブースの内外における直径０．５μｍ以上の微粒子数の比は、０．３１〜０．５９となった。
実施例４では、角部の風速が０．７１となり、クリーンブースの内外における直径０．５μｍ以上の微粒子数の比は、０．９５〜１．４８となった。
【００６２】
この実験結果より、遮風板を設置することにより、角部の吹き出しを実施しなくても、クリーンブース内部の微粒子を大幅に低減でき、効果的であることが判った。よって、遮風板を設けることにより、角部の吹き出しが不要となるので、省エネルギー化を実現して、コストを低減できる。
【００６３】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６４】
１…クリーンルーム
２…床面
３Ａ、３Ｂ…壁面
４…屋根面
５Ａ、５Ｂ…柱
６…トラス梁
７…製造装置
８…対象空間
１０…空調システム
１１…空気冷却装置
１２…コールドアイル
１３…空気清浄化装置
２０、２０Ａ、２０Ｂ…クリーンブース
２１…天井部
２２…支柱
２３、２４、２４Ｂ、２４Ｃ…空気清浄化装置
２５…カーテン（垂れ壁）
２６…第２のカーテン（垂れ壁）
２７…搬出入部
２８…ＦＦＵ
２９…スクリーンメッシュ
３０、３０Ａ、３０Ｂ…吹出口
４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７…カーテン（垂れ壁）
５１、５２、５３、５４、５５、５６、５７…カーテン（垂れ壁）
６１、６２、６３、６４、６５、６６…カーテン（垂れ壁）
７１、７２、７３、７４、７５、７６、７７…カーテン（垂れ壁）
８１、８２、８３、８４、８５、８６、８７…カーテン（垂れ壁）
【図１】
0006570174.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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