(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被駆動体を駆動する圧電駆動部と、
前記圧電駆動部を駆動する駆動回路と、
を備え、
前記圧電駆動部は、
第１の圧電素子及び第２の圧電素子を有する圧電振動体と、
前記圧電振動体の長手方向の一方の側に配置される前記被駆動体に接触可能に設けられた接触部と、
を備え、
前記圧電振動体は、
少なくとも前記第１の圧電素子の一部が、前記圧電振動体の長手方向に沿った中央線に対して片側の一方に配置されており、
少なくとも前記第２の圧電素子の一部が、前記中央線に対して前記片側の他方に配置されており、
前記駆動回路は、
前記被駆動体の停止時または制動時の少なくとも一方において、前記第１の圧電素子には、所定の周期で周期的に電圧が変化する第１の駆動信号を供給し、前記第２の圧電素子には、前記第１の駆動信号とは異なる位相の前記所定の周期で周期的に電圧が変化する第２の駆動信号を供給することにより、前記接触部を前記長手方向に交わる幅方向に沿って振動させて、前記接触部が前記被駆動体に接触する摺動の状態と、前記接触部が前記被駆動体から離間する非摺動の状態と、を繰り返させる
ことを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電駆動装置であって、
前記圧電振動体は、前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子とが前記中央線に対して対称位置に配置されていることを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項３】
請求項２に記載の圧電駆動装置であって、
前記圧電振動体は、前記片側の一方に、前記長手方向に沿って前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子が配置されており、前記片側の他方に、前記長手方向に沿って前記第２の圧電素子と前記第１の圧電素子が配置されていることを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
前記駆動回路は、前記第１の駆動信号の電圧の振幅と前記第２の駆動信号の電圧の振幅と前記位相の差とのうち少なくとも一つを変化させる調整回路を含むことを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
前記圧電振動体は、さらに、前記中央線に沿って配置された第３の圧電素子を含み、
前記駆動回路は、前記停止時または制動時の少なくとも一方において、
ａ）前記第１の圧電素子に前記第１の駆動信号を供給するとともに、前記第２の圧電素子に前記第２の駆動信号の供給することにより、前記接触部を、前記幅方向に沿って振動させる屈曲振動と、
ｂ）前記第３の圧電素子に前記所定の周期で周期的に電圧が変化する第３の駆動信号を供給することにより、前記接触部を、前記長手方向に沿って振動させる縦振動と、
のいずれか一方を、切り替え可能に実行することを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項６】
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
前記駆動回路は、前記停止時または制動時の少なくとも一方において、
ａ）前記第１の圧電素子に前記第１の駆動信号を供給するとともに、前記第２の圧電素子に前記第２の駆動信号の供給することにより、前記接触部を前記幅方向に沿って振動させる屈曲振動と、
ｂ）前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子に前記所定の周期で周期的に電圧が変化する第３の駆動信号を供給することにより、前記接触部を前記長手方向に沿って振動させる縦振動と、
のいずれか一方を、切り替え可能に実行することを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
前記圧電振動体は振動板上に設けられていることを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項８】
複数のリンク部と
前記複数のリンク部を接続する関節部と、
前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の少なくとも一つの圧電駆動装置と、
を備えるロボット。
【請求項９】
請求項８に記載のロボットの駆動方法であって
前記圧電駆動装置の少なくとも一つを駆動することで前記複数のリンク部を前記関節部で回動させ、
前記複数のリンク部の前記関節部での回動の停止時または制動時の少なくとも一方において、前記第１の圧電素子に所定の周期で周期的に電圧が変化する第１の駆動信号を供給し、前記第２の圧電素子に前記第１の駆動信号とは異なる位相の前記所定の周期で周期的に電圧が変化する第２の駆動信号を供給することにより、前記接触部が前記圧電振動体の長手方向に交わる幅方向に沿って振動して、前記接触部が前記被駆動体としての前記関節部の回動部に接触する摺動の状態と、前記接触部が前記被駆動体から離間する非摺動の状態と、を繰り返すように、前記圧電駆動装置を駆動する、ロボットの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電駆動装置、ロボット及びその駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子によって振動体を振動させて被駆動体を駆動する圧電アクチュエーター（圧電駆動装置）として、例えば、特許文献１に記載の圧電駆動装置が知られている。この圧電駆動装置では、圧電素子への交流電圧の印加によって、振動体を長さ方向に伸縮させる伸縮振動（「縦振動」ともいう）と、振動体を幅方向に屈曲させる屈曲振動とによって、振動体に設けられた当接部を、略楕円の軌道を描くように運動させ、この楕円運動（「楕円振動」ともいう）に応じて当接部を被駆動体に当接させて被駆動体を駆動している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１３２１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電駆動装置の圧電素子への交流電圧の印加を停止し、被駆動体の駆動を停止すると、圧電駆動装置（振動体）の振動が停止する。このとき、当接部と被駆動体との間に働く大きな摩擦力によって被駆動体に過度な制動力が働き、圧電駆動装置を用いる装置から異音が発生する場合や、圧電駆動装置を用いる装置が滑らかに動作できない場合があった。また、大きな摩擦力によって当接部と被駆動体との間に滑りが生じ、当接部や被駆動体に摩擦による劣化が生じて耐久性が低下する場合があった。また、被駆動体の駆動を停止して被駆動体の動きが停止した状態では、被駆動体を手動により動かすことが困難であった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
本発明の一形態によれば、圧電駆動装置が提供される。この圧電駆動装置は；被駆動体を駆動する圧電駆動部と；前記圧電駆動部を駆動する駆動回路と；を備える。前記圧電駆動部は；第１の圧電素子及び第２の圧電素子を有する圧電振動体と；前記圧電振動体の長手方向の一方の側に配置される前記被駆動体に接触可能に設けられた接触部と；を備える。前記圧電振動体は；少なくとも前記第１の圧電素子の一部が、前記圧電振動体の長手方向に沿った中央線に対して片側の一方に配置されており；少なくとも前記第２の圧電素子の一部が、前記中央線に対して前記片側の他方に配置されている。前記駆動回路は、前記被駆動体の停止時または制動時の少なくとも一方において、前記第１の圧電素子には、所定の周期で周期的に電圧が変化する第１の駆動信号を供給し、前記第２の圧電素子には、前記第１の駆動信号とは異なる位相の前記所定の周期で周期的に電圧が変化する第２の駆動信号を供給することにより、前記接触部を前記長手方向に交わる幅方向に沿って振動させて、前記接触部が前記被駆動体に接触する摺動の状態と、前記接触部が前記被駆動体から離間する非摺動の状態と、を繰り返させる。
この形態によれば、接触部が幅方向に沿って振動するので、被駆動体の制動時には、被駆動体と、圧電振動体の長手方向に沿って配置される被駆動体に接触可能に設けられた接触部との間に働く摩擦力が低減し、被駆動体に過度な制動力が働くことを抑制することができる。これにより、圧電駆動装置を用いる装置の制動を滑らかに行うことができ、圧電駆動装置を用いる装置から異音が発生することを抑制することができる。また、被駆動体の停止時において、被駆動体を手動により動かすことが可能である。
その他、本発明は、以下の形態としても実現することが可能である。
【０００６】
（１）本発明の一形態によれば、圧電駆動装置が提供される。この圧電駆動装置は、被駆動体を駆動する圧電駆動部と；前記圧電駆動部を駆動する駆動回路と；を備える。前記圧電駆動部は、第１の圧電素子及び第２の圧電素子を有する圧電振動体と；前記被駆動体に接触する接触部と；を備える。前記圧電振動体は、少なくとも前記第１の圧電素子の一部が、前記圧電振動体の長手方向に沿った中央線に対して片側の一方に配置されており；少なくとも前記第２の圧電素子の一部が、前記中央線に対して前記片側の他方に配置されている。前記駆動回路は、前記被駆動体の停止時または制動時の少なくとも一方において、前記第１の圧電素子には、所定の周期で周期的に電圧が変化する第１の駆動信号を供給し、前記第２の圧電素子には、前記第１の駆動信号とは異なる位相の前記所定の周期で周期的に電圧が変化する第２の駆動信号を供給することにより、前記接触部を前記長手方向に交わる幅方向に沿って振動させる。
この形態によれば、接触部が幅方向に沿って振動するので、被駆動体の制動時には、被駆動体と接触部との間に働く摩擦力が低減し、被駆動体に過度な制動力が働くことを抑制することができる。これにより、圧電駆動装置を用いる装置の制動を滑らかに行うことができ、圧電駆動装置を用いる装置から異音が発生することを抑制することができる。また、被駆動体の停止時において、被駆動体を手動により動かすことが可能である。
【０００７】
（２）上記形態の圧電駆動装置において、前記圧電振動体は、前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子とが前記中央線に対して対称位置に配置されているとしてもよい。
この形態によれば、被駆動体の制動時には、効果的に被駆動体と接触部との間に働く摩擦力が低減し、被駆動体に過度な制動力が働くことを抑制することができる。また、被駆動体の停止時において、被駆動体を手動により動かすことが可能である。
【０００８】
（３）上記形態の圧電駆動装置において、前記圧電振動体は、前記片側の一方に、前記長手方向に沿って前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子が配置されており、前記片側の他方に、前記長手方向に沿って前記第２の圧電素子と前記第１の圧電素子が配置されているとしてもよい。
この形態によれば、被駆動体の制動時には、さらに効果的に被駆動体と接触部との間に働く摩擦力が低減し、被駆動体に過度な制動力が働くことを抑制することができる。また、被駆動体の停止時において、被駆動体を手動により動かすことが可能である。
【０００９】
（４）上記形態の圧電駆動装置において、前記駆動回路は、前記第１の駆動信号の電圧の振幅と前記第２の駆動信号の電圧の振幅と前記位相の差とのうち少なくとも一つを変化させる調整回路を含むこととしてもよい。
この形態によれば、例えば、第１の駆動信号と第２の駆動信号との位相差や振幅、ＤＣオフセット等を調整することにより、第１の圧電素子と第２の圧電素子の特性差の補償や、圧電駆動部の組み付位置の位置ズレの補償等を行うことができる。また、振動の中立点を調整することができる。
【００１０】
（５）上記形態の圧電駆動装置において、前記圧電振動体は、さらに、前記中央線に沿った配置された第３の圧電素子を含み；前記駆動回路は、前記停止時または制動時の少なくとも一方において、ａ）前記第１の圧電素子に前記第１の駆動信号を供給するとともに、前記第２の圧電素子に前記第２の駆動信号の供給することにより、前記接触部を、前記幅方向に沿って振動させる屈曲振動と、ｂ）前記第３の圧電素子に前記所定の周期で周期的に電圧が変化する第３の駆動信号を供給することにより、前記接触部を、前記長手方向に沿って振動させる縦振動と、のいずれか一方を、切り替え可能に実行することとしてもよい。
この形態によれば、被駆動体の停止時または制動時において、屈曲振動と縦振動を適宜切り替えて動作させることができる。
【００１１】
（６）上記形態の圧電駆動装置において、前記駆動回路は、前記停止時または制動時の少なくとも一方において、ａ）前記第１の圧電素子に前記第１の駆動信号を供給するとともに、前記第２の圧電素子に前記第２の駆動信号の供給することにより、前記接触部を前記幅方向に沿って振動させる屈曲振動と、ｂ）前記第１の圧電素子及び前記第２の圧電素子に前記所定の周期で周期的に電圧が変化する第３の駆動信号を供給することにより、前記接触部を前記長手方向に沿って振動させる縦振動と、のいずれか一方を、切り替え可能に実行することしてもよい。
この形態においても、被駆動体の停止時または制動時において、屈曲振動と縦振動を適宜切り替えて動作させることができる。
【００１２】
（７）上記形態の圧電駆動装置において、前記接触部は、前記圧電振動体の長手方向に沿って配置される前記被駆動体に対して接触可能に設けられており；前記縦振動は、前記長手方向に沿って前記被駆動体と前記接触部とが接触及び非接触を繰り返す振動であり；前記第１の屈曲振動及び前記第２の屈曲振動は、それぞれ、前記長手方向に交わる方向に沿って前記被駆動体と前記接触部とが摺動お非摺動を繰り返す振動である；としてもよい。
この形態によれば、圧電振動体の長手方向に沿って配置される被駆動体に過度な制動力が働くことを抑制することができる。また、被駆動体の停止時において、被駆動体を手動により動かすことが可能である。
【００１３】
（８）上記形態の圧電駆動装置において、前記圧電振動体は振動板上に設けられていてもよい。
【００１４】
本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、圧電駆動装置の他、圧電駆動装置の駆動方法、圧電駆動装置の製造方法、圧電駆動装置を搭載するロボット、圧電駆動装置を搭載するロボットの駆動方法、電子部品搬送装置、送液ポンプ、投薬ポンプ等、様々な形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１実施形態としての圧電駆動装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】圧電駆動部の概略構成図である。
【図３】振動板の平面図である。
【図４】圧電駆動部と駆動回路の電気的接続状態を示す説明図である。
【図５】第１及び第２の屈曲駆動信号と縦駆動信号の波形例を示す説明図である。
【図６】交流駆動電圧ＳＡＣの波形の例を示す説明図である。
【図７】圧電駆動部の縦振動動作を模式的に示す説明図である。
【図８】圧電駆動部の屈曲振動動作を模式的に示す説明図である。
【図９】圧電駆動部の楕円振動動作を模式的に示す説明図である。
【図１０】図８の屈曲振動の振動方向について示す説明図である。
【図１１】第２実施形態の圧電駆動装置における圧電駆動部と駆動回路の概略構成を示す説明図である。
【図１２】圧電駆動部の楕円振動動作について示す説明図である。
【図１３】圧電駆動部の屈曲振動動作について示す説明図である。
【図１４】圧電駆動部の縦振動動作について示す説明図である。
【図１５】本発明の他の実施形態としての圧電駆動部の断面図である。
【図１６】本発明の他の実施形態としての圧電駆動部の平面模式図である。
【図１７】圧電駆動装置を利用したロボットの一例を示す説明図である。
【図１８】ロボットの手首部分の説明図である。
【図１９】圧電駆動装置を利用した送液ポンプの一例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
Ａ．第１実施形態の圧電駆動装置：
Ａ１．圧電駆動装置の構成：
図１は、第１実施形態としての圧電駆動装置１０００の概略構成を示すブロック図である。圧電駆動装置１０００は、被駆動体（本例ではローター）５０を駆動する圧電駆動部１０と、圧電駆動部１０を駆動する駆動回路３００と、を備えている。
【００１７】
図２は、圧電駆動部１０の概略構成図である。図２（Ａ）は、圧電駆動部１０の平面図であり、図２（Ｂ）はそのＢ−Ｂ断面図である。圧電駆動部１０は、振動板２００と、振動板２００の両面（第１面２１１と第２面２１２）にそれぞれ配置された２つの圧電振動体１００とを備える。圧電振動体１００は、基板１２０と、基板１２０の上に形成された第１電極１３０と、第１電極１３０の上に形成された圧電体１４０と、圧電体１４０の上に形成された第２電極１５０と、を備えている。第１電極１３０と第２電極１５０は、圧電体１４０を挟持している。２つの圧電振動体１００は、振動板２００を中心として対称に配置されている。２つの圧電振動体１００は同じ構成を有しているので、以下では特に断らない限り、振動板２００の上側にある圧電振動体１００の構成を説明する。
【００１８】
圧電振動体１００の基板１２０は、第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０を成膜プロセスで形成するための基板として使用される。また、基板１２０は機械的な振動を行う振動板としての機能も有する。基板１２０は、例えば、Ｓｉ，Ａｌ２Ｏ３，ＺｒＯ２などで形成することができる。Ｓｉ製の基板１２０として、例えば半導体製造用のＳｉウェハーを利用することが可能である。この実施形態において、基板１２０の平面形状は長方形である。基板１２０の厚みは、例えば１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲とすることが好ましい。基板１２０の厚みを１０μｍ以上とすれば、基板１２０上の成膜処理の際に基板１２０を比較的容易に取扱うことができる。また、基板１２０の厚みを１００μｍ以下とすれば、薄膜で形成された圧電体１４０の伸縮に応じて、基板１２０を容易に振動させることができる。
【００１９】
第１電極１３０は、基板１２０上に形成された１つの連続的な導電体層として形成されている。一方、第２電極１５０は、図２（Ａ）に示すように、５つの導電体層１５０ａ〜１５０ｅ（「第２電極１５０ａ〜１５０ｅ」とも呼ぶ）に区分されている。中央にある第２電極１５０ｅは、基板１２０の幅方向の中央において、基板１２０の長手方向のほぼ全体に亘る長方形形状に形成されている。他の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄは、同一の平面形状を有しており、基板１２０の四隅の位置に形成されている。図２の例では、第１電極１３０と第２電極１５０は、いずれも長方形の平面形状を有している。第１電極１３０や第２電極１５０は、例えばスパッタリングによって形成される薄膜である。第１電極１３０や第２電極１５０の材料としては、例えばＡｌ（アルミニウム）や、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ｐｔ（白金）、Ｉｒ（イリジウム）などの導電性の高い任意の材料を利用可能である。なお、第１電極１３０を１つの連続的な導電体層とする代わりに、第２電極１５０ａ〜１５０ｅと実質的に同じ平面形状を有する５つの導電体層に区分してもよい。なお、第２電極１５０ａ〜１５０ｅの間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）と、第１電極１３０及び第２電極１５０ａ〜１５０ｅと駆動回路との間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）とは、図２では図示が省略されている。
【００２０】
圧電体１４０は、第２電極１５０ａ〜１５０ｅと実質的に同じ平面形状を有する５つの圧電体層として形成されている。この代わりに、圧電体１４０を、第１電極１３０と実質的に同じ平面形状を有する１つの連続的な圧電体層として形成してもよい。第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０ａ〜１５０ｅとの積層構造によって、５つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｅ（図２（Ａ））が構成される。５つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｅのうちの４つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｄは、第１の対角にある一対の圧電素子１１０ａ，１１０ｄと、第２の対角にある一対の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃとに区分され、これらは、圧電振動体１００の長手方向に沿った中央線ＣＸに対して、左右対称の位置関係にある。残りの圧電素子１１０ｅは、一対の圧電素子１１０ａ，１１０ｄと他の一対の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃに挟まれたて、中央線ＣＸに沿って圧電振動体１００の幅方向の中央位置にある。なお、以下では、一対の圧電素子１１０ａ，１１０ｄを「第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄ」とも呼び、他の一対の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃを「第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃ」とも呼ぶ。また、中央の圧電素子１１０ｅを「第３の圧電素子１１０ｅ」とも呼ぶ。
【００２１】
圧電体１４０は、例えばゾル−ゲル法やスパッタリング法によって形成される薄膜である。圧電体１４０の材料としては、ＡＢＯ３型のペロブスカイト構造を採るセラミックスなど、圧電効果を示す任意の材料を利用可能である。ＡＢＯ３型のペロブスカイト構造を採るセラミックスとしては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等を用いることが可能である。またセラミック以外の圧電効果を示す材料、例えばポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いることも可能である。圧電体１４０の厚みは、例えば５０ｎｍ（０．０５μｍ）以上２０μｍ以下の範囲とすることが好ましい。この範囲の厚みを有する圧電体１４０の薄膜は、成膜プロセスを利用して容易に形成することができる。圧電体１４０の厚みを０．０５μｍ以上とすれば、圧電体１４０の伸縮に応じて十分に大きな力を発生することができる。また、圧電体１４０の厚みを２０μｍ以下とすれば、圧電振動体１００（圧電駆動部１０）を十分に小型化することができる。
【００２２】
図３は、振動板２００の平面図である。振動板２００は、長方形形状の振動体部２１０と、振動体部２１０の左右の長辺からそれぞれ３本ずつ延びる接続部２２０とを有しており、また、左右の３本の接続部２２０にそれぞれ接続された２つの取付部２３０を有している。なお、図２では、図示の便宜上、振動体部２１０にハッチングを付している。取付部２３０は、ネジ２４０によって他の部材に圧電駆動部１０を取り付けるために用いられる。振動板２００は、例えば、シリコン、シリコン化合物、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、銅、銅合金、鉄−ニッケル合金などの金属、金属酸化物、またはダイヤモンド等の材料で形成することが可能である。
【００２３】
振動体部２１０の上面（第１面）及び下面（第２面）には、圧電振動体１００（図２）がそれぞれ接着剤を用いて接着される。振動体部２１０の長さＬと幅Ｗの比は、Ｌ：Ｗ＝約７：２とすることが好ましい。この比は、振動体部２１０がその平面に沿って左右に屈曲する超音波振動（後述）を行うために好ましい値である。振動体部２１０の長さＬは、例えば０．１ｍｍ以上３０ｍｍ以下の範囲とすることができ、幅Ｗは、例えば０．０５ｍｍ以上８ｍｍ以下の範囲とすることができる。なお、振動体部２１０が超音波振動を行うために、長さＬは５０ｍｍ以下とすることが好ましい。振動体部２１０の厚み（振動板２００の厚み）は、例えば２０μｍ以上７００μｍ以下の範囲とすることができる。振動体部２１０の厚みを２０μｍ以上とすれば、圧電振動体１００を支持するために十分な剛性を有するものとなる。また、振動体部２１０の厚みを７００μｍ以下とすれば、圧電振動体１００の変形に応じて十分に大きな変形を発生することができる。
【００２４】
振動板２００の一方の短辺には、突起部２０（「接触部」や「当接部」、「作用部」とも呼ぶ）が設けられている。突起部２０は、被駆動体と接触して、被駆動体に力を与えるための部材である。突起部２０は、セラミックス（例えばＳｉ，ＳｉＣ，Ａｌ２Ｏ３，Ｚｒ０２）などの耐久性がある材料で形成することが好ましい。
【００２５】
図４は、圧電駆動部１０と駆動回路３００の電気的接続状態を示す説明図である。圧電駆動部１０の５つの第２電極１５０ａ〜１５０ｅのうちで、第１の対角にある一対の第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄの第２電極１５０ａ，１５０ｄが配線１５１を介して互いに電気的に接続され、他の第２の対角の一対の第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃの第２電極１５０ｂ，１５０ｃも配線１５２を介して互いに電気的に接続されている。これらの配線１５１，１５２は成膜処理によって形成しても良く、或いは、ワイヤ状の配線によって実現してもよい。図４の右側にある３つの第２電極１５０ｂ，１５０ｅ，１５０ｄと、第１電極１３０（図２）は、配線３１０，３１２，３１４，３２０を介して駆動回路３００に電気的に接続されている。なお、図４に示した配線１５１，１５２，３１０，３１２，３１４，３２０を構成する配線（又は配線層及び絶縁層）は、図２では図示が省略されている。
【００２６】
圧電駆動回路３００は、交流駆動電圧発生回路３３２と、屈曲振動駆動回路３３４と、縦振動駆動回路３３６と、駆動選択回路３３８とを含んでいる。交流駆動電圧発生回路３３２は、接地電位に対してプラス側とマイナス側に変動する交流駆動電圧ＳＡＣを発生する。この交流駆動電圧ＳＡＣは、圧電駆動部１０の機械的な共振周波数に近い周波数の電圧信号であることが好ましい。
【００２７】
駆動選択回路３３８は、第１の選択回路ＳＷ１及び第２の選択回路ＳＷ２により、交流駆動電圧ＳＡＣを、屈曲振動駆動回路３３４と縦振動駆動回路３３６の少なくとも一方に供給する。具体的には、屈曲振動駆動回路３３４のみを動作させる場合には、第１の選択回路ＳＷ１を選択（ＯＮ）とし、第２の選択回路ＳＷ２を非選択（ＯＦＦ）として、屈曲振動駆動回路３３４にのみ交流駆動電圧ＳＡＣを供給する。縦振動駆動回路３３６のみを動作させる場合には、第１の選択回路ＳＷ１を非選択（ＯＦＦ）とし、第２の選択回路ＳＷ２を選択（ＯＮ）として、縦振動駆動回路３３６にのみ交流駆動電圧ＳＡＣを供給する。屈曲振動駆動回路３３４及び縦振動駆動回路３３６を動作させる場合には第１及び第２の選択回路ＳＷ１，ＳＷ２を選択（ＯＮ）として、両方の駆動回路３３４，３３６に交流駆動電圧ＳＡＣを供給する。
【００２８】
屈曲振動駆動回路３３４は、交流駆動電圧ＳＡＣに基づいて交流電圧または脈流電圧の２つの屈曲駆動信号ＳＢａ，ＳＢｂを生成する。屈曲振動駆動回路３３４は、第１の屈曲駆動信号ＳＢａを一対の第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄの第２電極１５０ａ，１５０ｄに配線３１４を介して供給し、第２の屈曲駆動信号ＳＢｂを他の一対の第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃの第２電極１５０ｂ，１５０ｃに配線３１０を介して供給する。なお、駆動回路３００は、接地電位と同電位の電圧を基準電圧信号ＳＣとして第１電極１３０に配線３２０を介して供給する。ここで、脈流電圧とは、交流電圧にＤＣオフセットを付加した電圧を意味し、その電圧（電界）の向きは、一方の電極から他方の電極に向かう一方向である。
【００２９】
縦振動駆動回路３３６は、交流駆動電圧ＳＡＣに基づいて交流または脈流の縦駆動信号ＳＳＶを生成し、中央の第３の圧電素子１１０ｅの第２電極１５０ｅに配線３１２を介して供給する。
【００３０】
図５は、第１及び第２の屈曲駆動信号ＳＢａ，ＳＢｂと縦駆動信号ＳＳＶの波形例を示す説明図である。第１及び第２の屈曲駆動信号ＳＢａ，ＳＢｂと縦駆動振動ＳＳＶは、基準電圧Ｖｃが接地電位（０Ｖ）であって、交流駆動電圧ＳＡＣの周波数に対応する所定の周期で周期的に変化する交流電圧の信号を例として示している。
【００３１】
図５（Ａ）に示すように、第２の屈曲駆動信号ＳＢｂは、第１の屈曲駆動信号ＳＢａに対して１８０度位相が遅れた交流電圧の信号であり、第２の屈曲駆動信号ＳＢｂの電圧は、第１の屈曲駆動信号ＳＢａの符号を、基準電圧Ｖｃを中心として反転させた電圧に等しい。なお、以下では、第１の屈曲駆動信号ＳＢａの電圧をＳＢａとも表し第２の屈曲駆動信号ＳＢｂの電圧をＳＢｂ＝−ＳＢａとも表す。
【００３２】
図５（Ｂ）に示すように、縦駆動信号ＳＳＶは、縦振動駆動回路３３６に含まれる不図示の位相調整回路によって、第１の屈曲駆動信号ＳＢａ及び第２の屈曲駆動信号ＳＢｂに対して位相が調整された信号である。図の例では、第１の屈曲駆動信号ＳＢａに対して９０度位相が進み、第２の屈曲駆動信号ＳＢｂに対して９０度位相が遅れた状態を示している。縦駆動信号ＳＳＶは、例えば、第１の屈曲駆動信号ＳＢａ及び第２の屈曲駆動信号ＳＢｂに対して、−１８０度〜＋１８０度の範囲で調整することができる。なお、以下では、縦駆動信号ＳＳＶの電圧をＳＳＶとも表す。
【００３３】
図６は、交流駆動電圧ＳＡＣの波形の例を示す説明図である。図６（Ａ）の交流駆動電圧ＳＡＣは、正弦波である。図６（Ｂ），（Ｃ）の交流駆動電圧ＳＡＣは、正弦波ではないが、周期的な波形を有している。これらの例からも理解できるように、交流駆動電圧ＳＡＣ及びこれに基づいて生成される駆動信号ＳＢａ，ＳＢｂ，ＳＳＶの交流成分は周期的に変化するものであれば良く、その波形としては種々のものを採用することが可能である。
【００３４】
圧電駆動部１０は、上記した第１の屈曲駆動信号ＳＢａが第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄに供給され、第２の屈曲駆動信号ＳＢｂが第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃに供給され、縦駆動信号ＳＳＶが第３の圧電素子１１０ｅに供給されることにより、以下で説明するように動作する。
【００３５】
Ａ２．圧電駆動部の動作：
＜縦振動動作（弱制動時）＞
図７は、圧電駆動部１０の縦振動動作を模式的に示す説明図である。なお、図７では、便宜上、振動板２００の図示を省略している。圧電駆動部１０は、中央の第３の圧電素子１１０ｅ（クロスハッチングで示した素子）に縦駆動信号ＳＳＶを供給することにより、振動板２００の振動体部２１０（図３）が長手方向に沿って伸縮し、突起部２０が長手方向に沿って振動する伸縮振動（以下、「縦振動」とも呼ぶ）で動作する。
【００３６】
図７（Ａ）において、縦駆動信号ＳＳＶの電圧が基準電圧Ｖｃである場合の圧電駆動部１０の状態Ｐ０を基準として、縦振動について説明する。ＳＳＶ＞Ｖｃの状態では、第３の圧電素子１１０ｅが長手方向に伸びて、振動板２００の振動体部２１０（図３）がその平面内で長手方向に伸びた状態ＰＳ１となり、ＳＳＶ＜Ｖｃの状態では、第３の圧電素子１１０ｅが長手方向に沿って縮んで、振動体部２１０がその平面内で長手方向に縮んだ状態ＰＳ２となる。これにより、圧電駆動部１０は、供給される縦駆動信号ＳＳＶに従って、その突起部２０が長手方向に沿って伸びた状態と縮んだ状態とに交互に変形する振動状態となる。このように、長手方向に沿って交互に変化する振動動作が「縦振動」である。なお、この長手方向を「縦振動方向」とも呼ぶ。この縦振動の振幅は、縦駆動信号ＳＳＶの電圧振幅に依存し、電圧振幅が大きいほど大きくなり、逆に電圧振幅が小さいほど小さくなる。
【００３７】
被駆動体５０を動作（本例では回転）させた状態において、図７（Ａ）に示すように圧電駆動部１０を縦振動させた場合、図７（Ｂ）に示すように、突起部２０が被駆動体５０の外周面を押圧した状態（図７（Ｂ）の左側）と、突起部２０が被駆動体５０から離間した状態（図７（Ｂ）の右側）と、を繰り返し、被駆動体５０を制動することができる。なお、被駆動体５０を動作させるための圧電駆動部１０の駆動動作については後述する。
【００３８】
突起部２０が被駆動体５０を押圧している間においては（図７（Ｂ）の左側）、押圧力Ｎｆに応じた摩擦力（動摩擦力）Ｆｋが発生する。この摩擦力Ｆｋは、運動（本例では回転）している被駆動体５０に対しては制動力として働き、被駆動体５０を制動することができる。これに対して、突起部２０が被駆動体５０から離間している場合（図７（Ｂ）の右側）には、摩擦力Ｆｋは発生しないので、被駆動体５０に対して制動力は働かない。この結果、縦振動の場合、圧電駆動部１０の駆動を停止して、突起部２０が被駆動体５０を常時押圧した状態の場合に比べて、実効的な制動力は小さくなる。特に、縦振動において突起部２０が被駆動体５０に接触する時間は非常に短いため、これによっても実効的な制動力はさらに小さくなる。従って、縦振動の場合、圧電駆動部１０の駆動を停止した場合の制動に比べて、なだらかな（滑らかな）減速を実行することができる。
【００３９】
縦振動による制動力は、縦駆動信号ＳＳＶの電圧の振幅の大きさを変えることにより調整することができる。例えば、電圧の振幅を大きくして振動の振幅が大きくなるほど押圧力が大きくなるので、制動力は大きくなって減速の度合いは大きくなる。これに対して、駆動電圧を小さくして振動の振幅が小さくなるほど押圧力が小さくなるので、制動力は小さくなって減速の度合いは小さくなる。
【００４０】
＜屈曲振動動作（中程度制動時）＞
図８は、圧電駆動部１０の屈曲振動動作を模式的に示す説明図である。なお、図８においても、図７と同様に振動板２００の図示を省略している。圧電駆動部１０の第１の対角である一対の第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄ（左斜め下向きのハッチングで示した素子）に第１の屈曲駆動信号ＳＢａを供給するとともに、第２の対角である他の一対の第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃ（右斜め下向きのハッチングで示した素子）に第２の屈曲駆動信号ＳＢｂを供給する。これにより、振動板２００の振動体部２１０が長手方向と交わる幅（横）方向で屈曲し、突起部２０が幅方向に沿って振動する横振動（以下、「屈曲振動」とも呼ぶ）で動作する。
【００４１】
図８（Ａ）において、ＳＢａ＝ＳＢｂ＝Ｖ０の場合の圧電駆動部１０の状態Ｐ０を基準として説明する。ＳＢａ＞Ｖ０，ＳＢｂ（＝−ＳＢａ）＜Ｖ０の状態では、第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄは長手方向に伸び、第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃは長手方向に縮む。従って、長手方向の中央線ＣＸに対して線対称な第１の圧電素子１１０ａと第２の圧電素子１１０ｃとで、及び、第１の圧電素子１１０ｄと第２の圧電素子１１０ｂとで、それぞれ、反対の変形となるとともに、中央線ＣＸに沿った第１の圧電素子１１０ａと第２の圧電素子１１０ｂとで、及び、第２の圧電素子１１０ｃと第１の圧電素子１１０ｄとで、それぞれ、反対の変形となる。従って、圧電駆動部１０は、振動体部２１０がその平面内で屈曲した蛇行形状（Ｓ字形状）の状態ＰＢ１となる。これに対して、ＳＢａ＜Ｖ０，ＳＢｂ（＝−ＳＢａ）＞Ｖ０の状態では、第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄは長手方向に縮み、第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃは長手方向に伸び、圧電駆動部１０は、状態ＰＢ１とは反対向きの蛇行形状（Ｓ字形状）の状態ＰＢ２となる。これにより、圧電駆動部１０は、供給される第１の屈曲駆動信号ＳＢａ及び第２の屈曲駆動信号ＳＢｂに従って、蛇行の向きが反対向きの状態に交互に変形する振動状態となり、圧電駆動部１０の突起部２０の位置が幅方向に変化する。このように、屈曲振動は、幅方向に沿って圧電駆動部１０（振動体部２１０）の屈曲方向が交互に変化し、圧電駆動部１０の突起部２０の位置が幅方向に沿って振動する動作である。図３で説明した振動板２００の３つの接続部２２０は、このような振動体部２１０の振動の節（ふし）の位置に設けられている。なお、この幅方向（短手方向）を「屈曲振動方向」とも呼ぶ。この屈曲振動の振幅は、第１の屈曲駆動信号ＳＢａ及び第２の屈曲駆動信号ＳＢｂの電圧振幅に依存し、電圧振幅が大きいほど大きくなり、逆に電圧振幅が小さいほど小さくなる。
【００４２】
被駆動体５０を動作（本例では回転）させた状態において、図８（Ａ）に示すように圧電駆動部１０を屈曲振動させた場合、図８（Ｂ）に示すように、突起部２０が被駆動体５０の外周面を摺動した状態（図８（Ｂ）の左側）と、突起部２０が被駆動体５０から離間した状態(図８（Ｂ）の右側)と、を繰り返し、被駆動体５０を制動することができる。なお、被駆動体５０を動作させるための圧電駆動部１０の駆動動作については後述する。
【００４３】
突起部２０が被駆動体５０を摺動している間においては（図８（Ｂ）の左側）、突起部２０が被駆動体５０に接触している間に、被駆動体５０の回転に応じて突起部２０に加わる変形力（突起部２０を変形させる力）Ｎｄに抗する変形抗力Ｎｒが発生する。この変形抗力Ｎｒは、運動（本例では回転）している被駆動体５０に対しては制動力として働き、被駆動体５０を制動することができる。但し、この変形抗力Ｎｒは、圧電駆動部１０が被駆動状体において突起部２０が被駆動体５０を押圧する押圧力による摩擦力（動摩擦力及び静止摩擦力）に比べて弱い。また、突起部２０が被駆動体５０から離間して非摺動の間においては（図８（Ｂ）の右側）、変形抗力Ｎｒは発生せず、被駆動体５０に対して制動力は働かない。この結果、屈曲振動の場合においても圧電駆動部１０の駆動を停止して、突起部２０が被駆動体５０を常時押圧した状態の場合に比べて、実効的な制動力は小さくなる。従って、屈曲振動の場合、圧電駆動部１０の駆動を停止した場合の制動に比べて、制動力を抑制してなだらかな（滑らかな）減速を実行することができる。
【００４４】
ここで、屈曲振動による制動力は、上記したように、突起部２０の摺動している間の変形抗力Ｎｒに基づく。また、縦振動による制動力は、上記したように、圧電駆動部１０が伸びて突起部２０が被駆動体に接触している間の摩擦力Ｆｋに基づく。そして、上記したように、変形抗力Ｎｒは摩擦力Ｆｋに比べて小さい。従って、単純には、屈曲振動による制動力のほうが縦振動による制動力に比べて弱いと考えられる。しかしながら、縦振動において突起部２０が被駆動体５０に接触している時間は、屈曲振動において突起部２０が被駆動体５０を摺動している時間に比べて非常に短い。このため、実効的な制動力としては、縦振動による制動力に比べて屈曲振動による制動力のほうが大きく、具体的には２倍程度大きくなる。従って、屈曲振動による制動のほうが縦振動による制動に比べて減速の傾斜が大きくなる。
【００４５】
屈曲振動による制動力は、屈曲駆動信号ＳＢａ，ＳＢｂの電圧の振幅の大きさや、ＤＣオフセットを変えることにより調整することができる。例えば、電圧の振幅を大きくして振動の振幅が大きくなるほど摺動時間が短くなるので、制動力は小さくなって減速の度合いは小さくなる。これに対して、電圧の振幅を小さくして振動の振幅が小さくなるほど摺動時間が長くなるので、制動力は大きくなって減速の度合いは大きくなる。また、ＤＣオフセットを高くするほど突起部２０の被駆動体５０に対する接触の度合いを高めることができるので、被駆動体５０を摺動する力が強くなり、これに応じて制動力は高くなる。これに対して、ＤＣオフセットを低くするほど突起部２０の被駆動体５０に対する接触の度合いを弱めることができるので、被駆動体５０を摺動する力が弱くなり、これに応じて制動力は弱くなる。
【００４６】
以上説明したように、屈曲振動駆動によっても被駆動体５０の制動を行なうことが可能である。但し、縦振動駆動の場合には、被駆動体５０に対して長手方向での振動であり、また、被駆動体５０への接触時間が短いため、と接触している間に被駆動体５０に加わる押圧力が高くなる傾向にあるため、押圧した際の衝撃によって、突起部２０及び被駆動体５０の接触面が劣化しやすく耐久性が低くなる可能性がある。また、縦振動駆動は屈曲振動駆動に比べてその制動力が小さく、制動力の調整効果も小さい。従って、屈曲振動駆動による制動の方が、縦振動駆動による制動に比べて制動効果、制動の調整効果、及び、耐久性の点で効果が高い、と言える。なお、全ての圧電素子１１０ａ〜１１０ｅへの電圧の印加を停止して圧電駆動部１０の動作を停止すれば、突起部２０が被駆動体５０に当接して押圧した状態を維持することにより強い制動とすることができる。但し、この場合には、課題で説明したように、過度な制動力が働き、急激な減速動作となる。
【００４７】
なお、所望する制動に応じて駆動選択回路３３８によって切り替えて、屈曲振動による制動と縦振動による制動とのいずれか一方の制動を実行することができる。例えば、弱い制動の場合には、縦振動による制動を用い、中程度の制動の場合には屈曲振動による制動を用いるようにすることができる。また、制動動作の途中で切り替えるようにしてもよい。
【００４８】
＜楕円振動動作（通常駆動時）＞
図９は、圧電駆動部１０の楕円振動動作を模式的に示す説明図である。なお、図９においても、図７と同様に振動板２００の図示を省略している。圧電駆動部１０の第１の対角である一対の第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄ（左斜め下向きのハッチングで示した素子）に第１の屈曲駆動信号ＳＢａを供給するとともに、第２の対角である他の一対の第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃ（右斜め下向きのハッチングで示した素子）に第２の屈曲駆動信号ＳＢｂを供給する。また、中央の第３の圧電素子１１０ｅにも縦駆動信号ＳＳＶを供給する。これにより、上記した屈曲振動と縦振動の両方が複合されて、突起部２０が略楕円の軌跡を描くように運動する楕円振動で動作する。なお、図の例では紙面手前方向から見て反時計回りとなっている。以下の説明では、特に断りの無い限り、回転の方向は紙面手前方向から見た場合を基準とする。この運動の方向は、図５に示した縦駆動信号ＳＳＶの位相を、第１の屈曲駆動信号ＳＢａに対して位相が９０度遅れ、第２の屈曲駆動信号ＳＢｂに対して位相が９０度遅れた信号とすれば、時計回りとすることができる。なお、位相の遅れと進みは９０度に限定されるものではなく、他の種々の数値としてもよく、この位相の値に応じて、楕円の軌跡の形状や方向を変化させることができる。
【００４９】
被駆動体５０を動作（本例では回転）させる通常駆動時において、図９（Ａ）に示すように圧電駆動部１０を楕円振動させた場合、図９（Ｂ）に示すように、突起部２０が楕円の軌跡を描くように運動する。この際、図９（Ｂ）の左側に示すように、突起部２０が被駆動体５０に接触している間に被駆動体５０を摺動して駆動力が発生し、図９（Ｂ）の右側に示すように、突起部２０が被駆動体５０から離間している間に被駆動体５０を摺動せずに楕円の軌跡をたどる。これにより、圧電駆動部１０の突起部２０は、被駆動体５０を一定方向にのみ摺動することができ、これに応じて被駆動体５０を一定方向に回転させることができる。なお、本例では、突起部２０の楕円の軌跡に応じて時計回りに回転する。なお、通常駆動時とは、圧電駆動部１０によって被駆動体（本例ではローター）５０を加速状態あるいは定速状態で駆動（回転）する場合を言うものとする。
【００５０】
なお、第１の対角にある一対の第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄに第１の屈曲駆動信号ＳＢａを供給することにより、圧電駆動部１０を反時計回りの楕円振動とし、被駆動体５０を時計回りで駆動することも可能である。また、第２の対角にある他の一対の第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃに第２の屈曲駆動信号ＳＢｂを供給することにより、圧電駆動部１０を時計回りの楕円振動とし、被駆動体５０を反時計回りで駆動することも可能である。また中央の第３の圧電素子１１０ｅに、縦駆動信号ＳＳＶを供給すれば、縦振動の成分が多く加わって、突起部２０から被駆動体５０に与える力をより大きくすることが可能である。なお、圧電駆動部１０（又は圧電振動体１００）のこのような動作については、先行技術文献（特開２００４−３２０９７９号公報、又は、対応する米国特許第７２２４１０２号）に記載されており、その開示内容は参照により組み込まれる。
【００５１】
＜屈曲振動の方向＞
図１０は、図８の屈曲振動の振動方向について示す説明図である。図１０（Ａ）は参考例として第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄのみに第１の屈曲駆動信号ＳＢａを供給した場合の屈曲振動（屈曲振動Ａ）を示し、図１０（Ｂ）は参考例として第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃのみに第２の屈曲駆動信号を供給した場合の屈曲振動（屈曲振動Ｂ）を示している。また、図１０（Ｃ）は図８の屈曲振動の方向を示している。
【００５２】
屈曲振動Ａでは、図１０（Ａ）に示すように、第１の対角にある一対の第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄ（ハッチングで示した素子）に第１の屈曲駆動信号ＳＢａが供給され、第２の対角にある他の一対の第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃ及び中央の第３の圧電素子１１０ｅには駆動信号は供給されていない。この場合、圧電駆動部１０の振動体部２１０に発生する振動は、幅方向（屈曲振動方向）の成分のみではなく、長手方向(縦振動方向)の成分も含まれることになり、例えば、紙面手前方向から見て、反時計回りの楕円であって、長軸が左斜め下方向に傾斜した楕円の軌跡を描く楕円振動ＶＲＡとなる。
【００５３】
また、屈曲振動Ｂでは、図１０（Ｂ）に示すように、第２の対角にある一対の第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃ（ハッチングで示した素子）に第２の屈曲駆動信号ＳＢｂが供給され、第１の対角にある一対の第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄ及び中央の第３の圧電素子１１０ｅには駆動信号は供給されていない。この場合、圧電駆動部１０の振動体部２１０に発生する振動は、同様に、楕円振動ＶＲＢとなる。但し、楕円振動ＶＲＢは、例えば、紙面手前方向から見て、楕円振動ＶＲＡとは反対の時計回りで、長軸が左斜め上方向に傾斜した軌跡となる。
【００５４】
図８に示した屈曲振動は、図１０（Ａ）の屈曲振動Ａの楕円振動を実行するとともに、図１０（Ｂ）の屈曲振動Ｂの楕円振動を実行したものである。但し、第２の圧電電素子１１０ｂ，１１０ｃに供給する第２の屈曲駆動信号ＳＢｂは、第１の屈曲駆動信号ＳＢａと１８０度位相が異なった差動信号であるので、長手方向の振動の位相が１８０度異なり、振動の基準点Ｓｒが１８０度異なっている。このため、図８の屈曲振動は、図１０（Ｃ）に示すように、長手方向の振動（縦振動）の成分がキャンセルされて、楕円振動ではなく、幅方向のみの横振動となる。なお、図１０（Ｃ）に示した屈曲振動Ａの楕円の軌跡及び屈曲振動Ｂの楕円の軌跡は、説明の便宜上、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示した長軸の傾斜を無視した状態で示している。
【００５５】
＜フリーモード時＞
被駆動部５０の駆動を停止して被駆動体５０の動作が停止した状態では、通常、圧電駆動部１０の突起部２０が被駆動体５０を押圧した状態を維持し、その押圧力により発生する摩擦力に応じた保持力によって被駆動体５０が固定状態（「ロック状態」ともいう）となる。このため、被駆動体５０に繋がっている装置、例えば、ロボットのアームに外力を与えて手動で動かすことは困難な場合が多い。そこで、圧電駆動装置を用いた装置では、この固定状態を解除して、外力によって手動で動かすことができる状態（いわゆる「フリモード」と呼ぶ）を備えることが好ましい。このフリーモードを備える装置、例えば、ロボットのアームでは、アームの動作を記憶させる操作、いわゆる「ティーチング」が可能となる。
【００５６】
ここで、上記した縦振動（図７）では、縦振動による被駆動体５０の制動を例に説明したが、被駆動体５０を静止状態に保つ保持力についても、制動力と同様に、圧電駆動部１０を縦振動させることにより低減することができる。
【００５７】
図示は省略するが、保持力は突起部２０の押圧力により発生する静止摩擦力に基づいて発生するものであり、制動力と同様に、縦振動によれば、突起部２０が被駆動体５０を押圧している間のみ保持力を発生させることにより、実効的な保持力を小さくすることができる。そして、この実効的な保持力よりも大きな外力を被駆動体５０（実際には、被駆動体５０に繋がっている装置）に与えることにより、被駆動体５０を手動で動かすことが可能となる。従って、縦振動を用いることにより、フリーモードを実現することができる。
【００５８】
また、上記した屈曲振動（図８）では、屈曲振動による被駆動体５０の制動を例に説明したが、被駆動体５０を保持する保持力についても、縦振動の場合と同様に、圧電駆動部１０を屈曲振動させることにより低減することができる。
【００５９】
図示は省略するが、屈曲振動においては、上記した変形抗力Ｎｒ（図８）が保持力として働き、この保持力よりも大きな外力を加えなければ、被駆動体５０が繋がった装置を動かすことはできない。ここで、上記したように、変形抗力Ｎｒは、圧電駆動部１０が被駆動の状態において突起部２０が被駆動体５０を押圧する押圧力による摩擦力（静止摩擦力および動摩擦力）に比べて弱い。また、突起部２０が被駆動体５０に接触していない非摺動の状態の間は発生しないので、実効的な保持力は変形抗力Ｎｒによる保持力よりも小さくなる。従って、変形抗力Ｎｒに基づく実効的な保持力よりも大きな外力を被駆動体５０（実際には、被駆動体５０に繋がっている装置）に与えることにより、被駆動体５０を手動で動かすことが可能となる。従って、屈曲振動を用いることにより、フリーモードを実現することができる。
【００６０】
なお、屈曲振動による保持力も、制動力と同様に、縦振動による保持力に比べて大きく、具体的には、２倍程度大きくなる。従って、より小さな外力で軽く装置を手動で動かす場合には、フリーモードにおいて縦振動を用いた方が好ましい。これに対して、装置の重さを感じながら装置を手動で動かす場合や、過度の力が加わって動かしすぎないようにしたい場合には、フリーモードにおいて屈曲振動を用いた方が好ましい。また、大きく動かす場合には縦振動駆動とし、小さく動かす場合には屈曲振動駆動とするように、途中で切り替えるようにしてもよい。
【００６１】
また、制動動作は屈曲振動駆動を用い、フリーモード動作は縦振動駆動を用いるようにしてもよい。
【００６２】
なお、以上の説明からわかるように、本実施形態において、第１及び第２の屈曲駆動信号ＳＢａ，ＳＢｂが発明の第１及び第２の駆動信号に相当し、縦駆動信号ＳＳＶが第３の駆動信号に相当する。
【００６３】
Ｂ．第２実施形態の圧電駆動装置：
Ｂ１．圧電駆動装置の構成：
図１１は、第２実施形態の圧電駆動装置１０００Ｂにおける圧電駆動部１０Ｂと駆動回路３００Ｂの概略構成を示す説明図である。なお、被駆動体５０については図示を省略している。
【００６４】
圧電駆動部１０Ｂは、圧電駆動部１０（図２参照）の中央の第３の圧電素子１１０ｅを備えていない点を除いて、圧電駆動部１０と同じである。すなわち、圧電駆動部１０Ｂは、第１の対角にある一対の第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄと第２の対角にある一対の第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃを備えており、これらの圧電素子が圧電振動体１００の中央線ＣＸに対して左右対称の位置関係にある構造を有している。
【００６５】
駆動回路３００Ｂは、交流駆動電圧発生回路３３２と、屈曲振動駆動回路３３４と、縦振動駆動回路３３６と、駆動選択回路３３８Ｂとを含んでいる。交流駆動電圧発生回路３３２と、屈曲振動駆動回路３３４と、縦振動駆動回路３３６のそれぞれの機能は、第１実施形態における駆動回路３００（図４）と同様であり、ここでは、説明を省略する。
【００６６】
駆動選択回路３３８Ｂは、第１の選択回路ＳＷ１１と第２の選択回路ＳＷ１２と第３の選択回路ＳＷ１３の組み合わせにより、屈曲駆動回路３３４で生成された２つの差動の屈曲駆動信号ＳＢａ，ＳＢｂの供給先を選択する。具体的には、第１の屈曲駆動信号ＳＢａのみを第１の駆動信号Ｓａとして選択するか、第１の屈曲駆動信号ＳＢａのみを第２の駆動信号Ｓｂとして選択するか、第１の屈曲駆動信号ＳＢａを第１の駆動信号Ｓａとし第２の屈曲駆動信号ＳＢｂを第２の駆動信号Ｓｂとして選択するか、いずれも選択しないか、を選択する。また、駆動選択回路３３８Ｂは、２つの屈曲駆動信号ＳＢａ，ＳＢｂを選択しない場合に、第４の選択回路ＳＷ１４によって、縦振動駆動回路３３６で生成された縦駆動信号ＳＳＶを第１の駆動信号Ｓａ及び第２の駆動信号Ｓｂとして選択する。
【００６７】
第１の駆動信号Ｓａは、配線３１４を介して第１の対角の一対の第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄの第２電極１５０ａ，１５０ｄに供給されるとともに、第２の駆動信号Ｓｂは、配線３１０を介して第２の対角の一対の第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃの第２の電極１５０ｂ，１５０ｃに供給される。第１電極１３０には、駆動回路３００Ｂの接地電位と同電位の基準電圧（＝０Ｖ）が基準電圧信号ＳＣとして、配線３２０を介して供給される。
【００６８】
圧電駆動部１０Ｂは、後述するように、供給される第１の駆動信号Ｓａ及び第２の駆動信号Ｓｂに基づいて、縦振動と屈曲振動と楕円振動のいずれかで振動し、この振動状態に応じて被駆動体５０を駆動する。
【００６９】
Ｂ２．圧電駆動部の動作：
＜楕円振動動作＞
図１２は、圧電駆動部１０Ｂの楕円振動動作について示す説明図である。図１２（Ａ）は、駆動選択回路３３８Ｂ（図１１）の第１の選択回路ＳＷ１１を選択（ＯＮ）とし、第２〜第４の選択回路ＳＷ１２〜ＳＷ１４を非選択（ＯＦＦ）とした場合の楕円振動駆動Ａについて示している。この場合、第１の屈曲駆動信号ＳＢａが第１の駆動信号Ｓａとして選択されて（図１１）、第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄ（ハッチングで示された素子）に供給されるので、圧電駆動部１０Ｂは、その突起部２０が楕円振動ＶＲＡの軌跡で振動することができる（図１０）。これにより、圧電駆動部１０Ｂは、被駆動体（ローター）５０を駆動することができ、時計回りで被駆動体５０を回転させることができる。
【００７０】
これに対して、図１２（Ｂ）は、駆動選択回路３３８Ｂの第２の選択回路ＳＷ１２を選択（ＯＮ）とし、第１，第３，第４の選択回路ＳＷ１１，ＳＷ１３，ＳＷ１４を非選択（ＯＦＦ）とした場合の楕円振動駆動Ｂについて示している。この場合、第１の屈曲駆動電圧ＳＢａが第２の駆動信号Ｓｂとして選択されて（図１１）、第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃ（ハッチングで示された素子）に供給されるので、圧電駆動部１０Ｂは、その突起部２０が楕円振動ＶＲＡの軌跡で振動することができる（図１０）。これにより、圧電駆動部１０Ｂは、被駆動体（ローター）５０を駆動することができ、反時計回りで被駆動体５０を回転させることができる。
【００７１】
＜屈曲振動動作＞
図１３は、圧電駆動部１０Ｂの屈曲振動動作について示す説明図である。圧電駆動部１０Ｂは、駆動選択回路３３８Ｂ（図１１）の第１，第３の選択回路ＳＷ１１，ＳＷ１３を選択（ＯＮ）とし、第２，第４の選択回路ＳＷ１２，ＳＷ１４を非選択（ＯＦＦ）とすることにより、屈曲振動駆動させることができる。この場合、第１の屈曲駆動電圧ＳＢａが第１の駆動信号Ｓａとして選択されて第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄ（右斜め上向きのハッチングで示した素子）に供給され、かつ、差動電圧である第２の屈曲駆動電圧ＳＢｂが第２の駆動信号Ｓｂとして選択されて第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃ（右斜め下向きのハッチングで示した素子）に供給される。これにより、圧電駆動部１０Ｂを、第１実施形態の圧電駆動部１０でも説明したように(図８)、幅方向に沿って屈曲振動させることができる。従って、圧電駆動部１０Ｂは、第１実施形態の圧電駆動部１０と同様に（図８）、被駆動体５０をなだらかに制動させることができ、また、フリーモード動作を実現できる。
【００７２】
＜縦振動駆動＞
図１４は、圧電駆動部１０Ｂの縦振動動作について示す説明図である。圧電駆動部１０Ｂは、駆動選択回路３３８Ｂ（図１１）の第１〜第３の選択回路ＳＷ１１〜ＳＷ１３を非選択（ＯＦＦ）とし、第４の選択回路ＳＷ１４を選択（ＯＮ）とすることにより、縦振動駆動させることができる。この場合、第１の屈曲駆動信号ＳＢａが第１，第２の駆動信号Ｓａ、Ｓｂとして選択されて第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄ及び第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃ（ハッチングで示した全ての素子）に供給される。これにより、第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄ及び第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃは、第１実施形態の圧電駆動部１０の第３の圧電素子１１０ｅと同様に動作し（図７）、長手方向に沿って縦振動させることができる。従って、圧電駆動部１０Ｂは、第１実施形態の圧電駆動部１０と同様に（図７）、被駆動体５０をなだらかに制動させることができ、また、フリーモード動作を実現できる。
【００７３】
なお、本実施形態においても、第１実施形態と同様に、駆動回路３３８Ｂによって切り替えて、屈曲振動による制動と縦振動による制動とのいずれか一方の制動を実行することができる。例えば、弱い制動の場合には、縦振動による制動を用い、中程度の制動の場合には屈曲振動による制動を用いるようにすることができる。また、制動動作の途中で切り替えるようにしてもよい。また、縦振動駆動によるフリーモードと、屈曲振動駆動によるフリーモードとは、使用状況に応じて種々の使い分けが可能である。また、制動動作は屈曲振動駆動を用い、フリーモード動作は縦振動駆動を用いるようにしてもよい。
【００７４】
なお、以上の説明からわかるように、本実施形態において、第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄに供給する第１の屈曲駆動信号ＳＢａが発明の第１の駆動信号に相当し、第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃに供給する第２の屈曲駆動信号ＳＢｂが発明の第２の駆動信号に相当する。また、第３の圧電素子１１０ｅに供給する第１の屈曲駆動信号ＳＢａが発明の第３の駆動信号に相当する。
【００７５】
Ｃ．圧電駆動部の他の実施形態：
図１５は、本発明の他の実施形態としての圧電駆動部１０Ｃの断面図であり、第１実施形態の図２（Ｂ）に対応する図である。この圧電駆動部１０Ｃでは、圧電振動体１００が、図２（Ｂ）とは上下を逆にした状態で振動板２００に配置されている。すなわち、ここでは、第２電極１５０が振動板２００に近く、基板１２０が振動板２００から最も遠くなるように配置されている。なお、図１５においても、図２（Ｂ）と同様に、第２電極１５０ａ〜１５０ｅの間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）と、第１電極１３０及び第２電極１５０ａ〜１５０ｅと駆動回路との間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）とは、図示が省略されている。この圧電駆動部１０Ｃも、第１実施形態と同様な効果を達成することができる。
【００７６】
図１６（Ａ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動部１０Ｄの平面模式図であり、第１実施形態の図８に対応する図である。図１６（Ａ），（Ｂ）では、図示の便宜上、振動板２００の接続部２２０や取付部２３０は図示が省略されている。図１６（Ａ）の圧電駆動部１０Ｄでは、中央線ＣＸに対して対称な位置の第１の圧電素子１１０ａと第２の圧電素子１１０ｃ（ハッチングで示した素子）に対して、差動の屈曲駆動信号を供給する構成を示している。また、図１６（Ｂ）の圧電駆動１０Ｅでは、中央線ＣＸにたいして対称な位置の第１の圧電素子１１０ｄと第２の圧電素子１１０ｂ（ハッチングで示した素子）に対して、差動の屈曲駆動信号を供給する構成を示している。ただし、これらの構成の場合圧電駆動部１０（図４参照）における配線１５１，１５２は削除され、各圧電素子の第２電極には、それぞれ、独立した配線が接続される必要がある。これらの圧電駆動部１０Ｄ，１０Ｅにおいても、幅方向に振動する屈曲振動を発生させることができる。すなわち、中央線ＣＸに対して対称位置にある第１の圧電素子と第２の圧電素子とに位差動の電圧が印加され構成とすれば、幅方向に振動する屈曲振動を発生させることができる。
【００７７】
Ｄ．圧電駆動装置を用いた装置の実施形態：
上述した圧電駆動部は、共振を利用することで被駆動体に対して大きな力を与えることができるものであり、各種の装置に適用可能である。圧電駆動装置は、例えば、ロボット、電子部品搬送装置（ＩＣハンドラー）、投薬用ポンプ、時計のカレンダー送り装置、印刷装置（例えば紙送り機構。ただし、ヘッドに利用される圧電駆動装置では、振動板を共振させないので、ヘッドには適用不可である。）等の各種の機器における駆動装置として用いることが出来る。以下、代表的な実施の形態について説明する。
【００７８】
図１７は、上述の圧電駆動装置１０００を利用したロボット２０５０の一例を示す説明図である。ロボット２０５０は、複数本のリンク部２０１２（「リンク部材」とも呼ぶ）と、それらリンク部２０１２の間を回動又は屈曲可能な状態で接続する複数の関節部２０２０とを備えたアーム２０１０（「腕部」とも呼ぶ）を有している。それぞれの関節部２０２０には、上述した圧電駆動装置１０００のうちの圧電駆動部１０が内蔵されており、圧電駆動部１０を用いて関節部２０２０を任意の角度だけ回動又は屈曲させることが可能である。アーム２０１０の先端には、ロボットハンド２０００が接続されている。ロボットハンド２０００は、一対の把持部２００３を備えている。ロボットハンド２０００にも圧電駆動部１０が内蔵されており、圧電駆動部１０を用いて把持部２００３を開閉して物を把持することが可能である。また、ロボットハンド２０００とアーム２０１０との間にも圧電駆動部１０が設けられており、圧電駆動部１０を用いてロボットハンド２０００をアーム２０１０に対して回転させることも可能である。なお、各圧電駆動部１０を制御する駆動回路３００は不図示の制御回路に含まれている。
【００７９】
図１８は、図１７に示したロボット２０５０の手首部分の説明図である。手首の関節部２０２０は、手首回動部２０２２を挟持しており、手首回動部２０２２に手首のリンク部２０１２が、手首回動部２０２２の中心軸Ｏ周りに回動可能に取り付けられている。手首回動部２０２２は、圧電駆動部１０を備えており、圧電駆動部１０は、手首のリンク部２０１２及びロボットハンド２０００を中心軸Ｏ周りに回動させる。ロボットハンド２０００には、複数の把持部２００３が立設されている。把持部２００３の基端部はロボットハンド２０００内で移動可能となっており、この把持部２００３の根元の部分に圧電駆動部１０が搭載されている。このため、圧電駆動部１０を動作させることで、把持部２００３を移動させて対象物を把持することができる。また、圧電駆動部１０をフリーモードで動作させることにより、アーム２０１０や手首を手動で動作させること(いわゆる「ティーチング」)ができ、ロボット２０５０に実行させる動作を記憶させることができる。
【００８０】
なお、ロボットとしては、単腕のロボットに限らず、腕の数が２以上の多腕ロボットにも圧電駆動部１０を適用可能である。ここで、手首の関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部には、圧電駆動部１０の他に、力覚センサーやジャイロセンサー等の各種装置に電力を供給する電力線や、信号を伝達する信号線等が含まれ、非常に多くの配線が必要になる。従って、関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部に配線を配置することは非常に困難だった。しかしながら、上述した実施形態の圧電駆動部１０は、通常の電動モーターや、従来の圧電駆動装置よりも駆動電流を小さくできるので、関節部２０２０（特に、アーム２０１０の先端の関節部）やロボットハンド２０００のような小さな空間でも配線を配置することが可能になる。
【００８１】
図１９は、上述の圧電駆動装置１０００を利用した送液ポンプ２２００の一例を示す説明図である。送液ポンプ２２００は、ケース２２３０内に、リザーバー２２１１と、チューブ２２１２と、圧電駆動部１０と、ローター２２２２と、減速伝達機構２２２３と、カム２２０２と、複数のフィンガー２２１３、２２１４、２２１５、２２１６、２２１７、２２１８、２２１９と、が設けられている。なお、駆動回路３００は不図示である。リザーバー２２１１は、輸送対象である液体を収容するための収容部である。チューブ２２１２は、リザーバー２２１１から送り出される液体を輸送するための管である。圧電駆動部１０の突起部２０は、ローター２２２２の側面に押し付けた状態で設けられており、圧電駆動部１０がローター２２２２を回転駆動する。ローター２２２２の回転力は減速伝達機構２２２３を介してカム２２０２に伝達される。フィンガー２２１３から２２１９はチューブ２２１２を閉塞させるための部材である。カム２２０２が回転すると、カム２２０２の突起部２２０２Ａによってフィンガー２２１３から２２１９が順番に放射方向外側に押される。フィンガー２２１３から２２１９は、輸送方向上流側（リザーバー２２１１側）から順にチューブ２２１２を閉塞する。これにより、チューブ２２１２内の液体が順に下流側に輸送される。こうすれば、極く僅かな量を精度良く送液可能で、しかも小型な送液ポンプ２２００を実現することができる。なお、各部材の配置は図示されたものには限られない。また、フィンガーなどの部材を備えず、ローター２２２２に設けられたボールなどがチューブ２２１２を閉塞する構成であってもよい。上記のような送液ポンプ２２００は、インシュリンなどの薬液を人体に投与する投薬装置などに活用できる。ここで、上述した実施形態の圧電駆動部装置１０００を用いることにより、従来の圧電駆動装置よりも駆動電流が小さくなるので、投薬装置の消費電力を抑制することができる。従って、投薬装置を電池駆動する場合は、特に有効である。
【００８２】
Ｅ．変形例：
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【００８３】
（１）上記実施形態では、基板１２０の上に第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０とが形成されていたが、基板１２０を省略して、振動板２００の上に第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０とを形成するようにしてもよい。
【００８４】
（２）上記実施形態では、振動板２００の両面にそれぞれ１つの圧電振動体１００を設けていたが、圧電振動体１００の一方を省略することも可能である。但し、振動板２００の両面にそれぞれ圧電振動体１００を設けるようにすれば、振動板２００をその平面内で屈曲した蛇行形状に変形させることがより容易である点で好ましい。
【００８５】
（３）上記各実施形態では、圧電素子として、成膜プロセスにより形成した圧電体を用いるものを例に取り説明したが、圧電体は、バルクの圧電体であってもよい。
【００８６】
（４）上記実施形態では、振動体部２１０の左右の長辺からそれぞれ３本ずつ延びる接続部２２０によって振動体部２１０を振動可能に支持する構成を例に説明したが、接続部２２０の配置位置や数は、これに限定されるものではなく、種々の配置位置や数を採用することができる。例えば、長手方向に沿った片側のみに接続部を設けて、振動体部２１０を片持ち状態で支持する構造としても良い。また、振動体部２１０の突起部２０とは反対側の短辺に接続部を設けて、振動体部２１０を片持ち状態で支持する構造としても良い。
【００８７】
（５）上記実施形態では、屈曲振動において第１の圧電素子１１０ａ，１１０ｄへ供給する第１の駆動信号と第２の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃへ供給する第２の駆動信号とは、位相が１８０度異なる差動電圧の信号を例として説明した。しかしながら、第１の駆動振動と第２の駆動信号とは差動電圧の信号に限定されるものではない。屈曲振動駆動回路３３４に、２つの屈曲駆動信号ＳＢａ，ＳＢｂのそれぞれの電圧の振幅や、位相差、ＤＣオフセットを変化させる調整回路を備えて、種々の位相差を有する信号や、振幅が異なる電圧の信号、ＤＣオフセットが異なる電圧の信号としてもよい。第１の駆動信号と第２の駆動信号との位相差や振幅、ＤＣオフセット等を調整することにより、第１の圧電素子と第２の圧電素子の特性差の補償や、圧電駆動部の組み付位置の位置ズレの補償等を行うことができる。また、振動の中立点の位置を変化させることが可能となり、屈曲振動や縦振動によるフリーモードにおいて、接触部の被駆動体への接触力を変化させて、被駆動体に繋がった装置を動かすための外力を変化させることができる。
【００８８】
（６）上記実施形態では、屈曲振動、縦振動のための駆動信号を、圧電駆動部１０の機械的な共振周波数に近い周波数の電圧信号である交流駆動電圧ＳＡＣに基づいて生成し、交流駆動電圧ＳＡＣと同じ周波数（周期）の信号としたが、例えば、縦振動による制動の場合の縦駆動信号の周波数（周期）は、屈曲振動の屈曲駆動信号の周波数よりも高い周波数としてもよい。
【００８９】
（７）上記実施形態では、一対の圧電振動体を振動板に接合した構成を例に説明したが、圧電振動体は１つであっても良い。また、複数の圧電振動体を積層した構成としてもよい。
【００９０】
（８）上記した実施形態では、振動板上に圧電振動体が設けられている構成を例に説明したが、振動板は必須の構成ではなく省略することも可能である。
【００９１】
（９）上記した実施形態では、圧電振動体の長手方向に交わる幅方向に沿った一方の短辺に突起部（接触部）が設けられている構成を例に説明したが、長手方向に沿った一方の長辺に突起部（接触部)が設けられた構成でもよい。
【００９２】
本発明は、上述の実施形態や実施例、変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、実施例、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部または全部を解決するために、或いは、上述の効果の一部または全部を達成するために、適宜、差し替えや組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【００９３】
１０００，１０００Ｂ…圧電駆動装置
１０，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ…圧電駆動部装置
１２…チューブ
２０…突起部（接触部、作用部）
５０…ローター（被駆動体）
５１…被駆動体の中心
１００…圧電振動体
１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ，１１０ｄ，１１０ｅ…圧電素子
１２０…基板
１２５…絶縁層
１３０…第１電極
１４０…圧電体
１５０，１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄ，１５０ｅ…第２電極
１５１，１５２…配線
２００…振動板
２０１…振動体部（振動板）の中心
２０２…中央線
２１０…振動体部
２２０…接続部
２３０…取付部
２４０…ネジ
３００，３００Ｂ…駆動回路
３１０，３１２，３１４，３２０…配線
３３２…交流駆動電圧発生回路
３３４…屈曲振動駆動回路
３３６…縦振動駆動回路
３３８，３３８Ｂ…駆動選択回路
２０００…ロボットハンド
２００３…把持部
２０１０…アーム
２０１２…リンク部
２０２０…関節部
２０２２…手首回動部
２０５０…ロボット
２２００…送液ポンプ
２２０２…カム
２２０２Ａ…突起部
２２１１…リザーバー
２２１２…チューブ
２２１３…フィンガー
２２２２…ローター
２２２３…減速伝達機構
２２３０…ケース
ＳＷ１，ＳＷ２…選択回路
ＳＷ１１，ＳＷ１２，ＳＷ１３，ＳＷ１４…選択回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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