(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器に接続されたアンテナと、該アンテナからマイクロ波エネルギーが供給されて内部に共振電界である定在波が形成されるマイクロ波空洞と、該マイクロ波空洞内に設置され、封入物に水銀を含まない発光管から成る無電極ランプとを備えた光照射装置であって、
前記マイクロ波空洞の内部に配置され、ランプ始動時に前記共振電界を集中して、その電界の影響を前記発光管内部の放電空間に及ぼし、プラズマを強制的に励起して始動性を改善する補助電極を備え、
前記補助電極の先端部が、点灯により封入物が凝集する前記発光管の中央部及び両端部以外の領域で該発光管の近傍に設置され、該補助電極と該発光管の放電空間との間の距離ｄは、ｄ≦6ｍｍであり、該補助電極の前記マイクロ波空洞を形成する壁面から前記発光管の軸線方向の長さである突出長ＳＬ１は、15ｍｍ≦ＳＬ１≦25ｍｍの範囲内にある、光照射装置。
【請求項２】
請求項１に記載のマイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置において、
前記補助電極は、前記マイクロ波空洞を形成する壁面に機械的及び／又は電気的に接続されている、光照射装置。
【請求項３】
請求項１に記載のマイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置において、
前記補助電極の形状は、前記発光管の軸線方向に延在する直線状又は軸線方向に延在し途中で該発光管の方向に向かうＬ字状である、光照射装置。
【請求項４】
請求項１に記載のマイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置において、
距離ｄが5ｍｍ≦ｄ≦6ｍｍの場合は、突出長ＳＬ１は20ｍｍ≦ＳＬ１≦25ｍｍの範囲内にある、光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、可視光線及び／又は紫外線を放射する放電ランプとして、マイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置が開発されている。この光照射装置は、典型的には、マイクロ波発振器と、マイクロ波空洞とを備え、マイクロ波空洞内には放電管（発光管）である無電極ランプが設けられている。なお、本出願書類では、特に断らない限り、無電極ランプは、放電管又は発光管とも表現する。
【０００３】
更に、マイクロ波空洞内には、無電極ランプからの放射光を光出射口に向ける反射鏡が設けられている。光出射口は、マイクロ波に関しては不透過性であるが、放射光に関しては透過性の導電性メッシュで覆われている。
【０００４】
発光管には、始動用の希ガスと、金属及び金属ハロゲン化物等から成る発光物質が封入されている。この発光物質を適宜選択することによって、光照射装置から所望の波長の可視光線又は紫外線を得ることができる。例えば、ＵＶ−Ａ領域（波長400〜315ｎｍ）の紫外線は、塗料、樹脂等の硬化処理に用いられ、ＵＶ−Ｃ領域（波長280〜200ｎｍ）の紫外線は、殺菌処理に用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭57-55057「マイクロ波放電光源装置」(公開日：1982/04/01)出願人：三菱電機株式会社
【特許文献２】特開2005-285349「マイクロ波無電極放電ランプ装置」(公開日：2005/10/13)出願人：松下電工株式会社
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来、発光管に封入される主要な発光物質として、広く、水銀が用いられていた。近年、水銀は環境負荷物質として、使用を中止すべきとの要望が強くなっている。
しかし、水銀を用いない無水銀の無電極ランプでは、ランプを一定時間点灯すると、その後再点灯できない、即ち、始動特性が悪化するという問題が生じる。
従って、本発明は、始動特性を改善した、無水銀のマイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るマイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置は、一面では、マイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器により定在波が形成されるマイクロ波空洞と、該マイクロ波空洞内に設置され、封入物に水銀を含まない発光管から成る無電極ランプとを備えた光照射装置であって、前記マイクロ波空洞を形成する壁面に補助電極を備え、少なくとも該補助電極の先端部が、点灯により封入物が凝集する前記発光管の中央部及び両端部以外の領域で該発光管の近傍に設置されている。
【０００８】
更に、上記マイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置では、前記補助電極は、前記マイクロ波空洞を形成する壁面に機械的及び／又は電気的に接続されていてもよい。
【０００９】
更に、上記マイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置では、前記補助電極の形状は、前記発光管の軸線方向に延在する直線状又は軸線方向に延在し途中で該発光管の方向に向かうＬ字状であってもよい。
【００１０】
更に、上記マイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置では、前記補助電極と前記発光管の放電空間との間の距離ｄは、ｄ≦6ｍｍであり、前記補助電極の前記マイクロ波空洞を形成する壁面から前記発光管の軸線方向の長さである突出長ＳＬ１は、15ｍｍ≦ＳＬ１≦25ｍｍの範囲内にあってよい。
【００１１】
更に、上記マイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置では、距離ｄが5ｍｍ≦ｄ≦6ｍｍの場合は、突出長ＳＬ１は20ｍｍ≦ＳＬ１≦25ｍｍの範囲内にあってよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、始動特性を改善した、無水銀のマイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１Ａ】図１Ａは、本実施形態に係るマイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置の斜視図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、図１Ａに示す光照射装置の概略正面図である。
【図２】図２は、図１Ａに示す光照射装置に使用される放電管（無電極ランプ）を説明する図である。
【図３】図３は、共振器壁に固定された補助電極の突出長、及び放電管（無電極ランプ）に対する位置関係を説明する図である。ここで、図３（Ａ）は、補助電極が直線状導体の場合であり、図３（Ｂ）は、補助電極がＬ字状導体の場合である。
【図４】図４は、図３の補助電極の先端部形状を説明する図である。ここで、図４（Ａ）は、先端形状が球形の場合であり、図４（Ｂ）は、先端形状が尖った形の場合である。
【図５Ａ】図５Ａは、図１Ｂと同じ視点側（光照射装置の照射面側）から見た共振空洞内の電界強度分布図であり、補助電極が無い場合(従来例)のシミュレーション結果を、ベクトル表示した図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、図５Ａと同様の共振空洞内の電界強度分布図であり、補助電極を設けた場合のシミュレーション結果を、ベクトル表示した図である。
【図６】図６は、図１Ａに示す光照射装置の共振空洞内に配置された補助電極の放電管に対する位置関係を説明する図である。
【図７】図７は、放電管に対する補助電極の配置例を、まとめて説明する図表である。
【図８】図８は、表３に示す補助電極による光量低下の確認試験をグラフに示したものである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係るマイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置の実施形態について、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中、同じ要素に対しては同じ参照符号を付して、重複する説明を省略する。
【００１５】
［光照射装置全般］
図１Ａ及び図１Ｂは、本実施形態に係るマイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置１０の一例を説明する図である。図１Ａは、光照射装置１０の斜視図である。図１Ｂは、図１Ａの光照射装置１０を正面から見た概略正面図である。説明を容易にするため、図示のように、光照射装置１０のランプ軸線方向をＸ軸、光照射装置１０からの発光方向（矢印方向）をＺ軸、Ｘ−Ｚ面に垂直方向をＹ軸と規定する。
【００１６】
光照射装置１０は、矩形の筐体２を有し、筐体２の後側内部にマイクロ波発振器（図示なし）が設けられている。更に、光照射装置１０は、このマイクロ波発振器に接続されたアンテナ４と、アンテナ４からのマイクロ波エネルギーを受けて発光する無電極ランプ６と、無電極ランプ６の周囲を所定の間隔を空けてランプ軸線に沿って配置された反射鏡８とを有する。無電極ランプ６は、マイクロ波空洞５の内部で、左右の側壁１２に着脱自在に支持されている。
【００１７】
光照射装置１０は、更に、無電極ランプ６を冷却するための冷却空気供給機構を有する。冷却空気供給機構は、図示しない冷却空気源と、筐体２の上側に装着された冷却用送風ダクト１４（図１Ａ参照）を有する。
【００１８】
マイクロ波は、波長1ｍ〜100μｍ、周波数300ＭＨｚ〜3ＴＨｚの電磁波を指し、電波の中で最も短い波長域である。マイクロ波発振器として、マグネトロン、クライストロン、進行波管（ＴＷＴ）、ジャイロトロン、ガンダイオードを用いた回路等がある。本実施形態では、マイクロ波発振器としてマグネトロンを利用している。マグネトロンは、発振用真空管の一種であり、強力なノンコヒーレントマイクロ波を発生する。身近なところでは、マグネトロンは、レーダーや電子レンジに使われている。本実施形態では、電子レンジ、好ましくは業務用電子レンジに使用されているマグネトロンを利用している。なお、電子レンジでは周波数2,450ＭＨｚが使用されているが、これは技術的な制限によるものではなく、法的規制によるものである。
【００１９】
図２は、図１Ａに示す光照射装置１０に使用される直管型の放電管（無電極ランプ）６を説明する図である。無電極ランプ６は円筒状の放電容器６Ａと両側の突起部６Ｂとを有する。放電容器６Ａは、円筒形状に形成され、両側に端部が形成されている。この端部は、球面形状、楕円球面状等の回転曲面状に形成されている。
【００２０】
無電極ランプ６の軸線方向の全長をＬｅ、放電容器６Ａの軸線方向の寸法をＬｔ、各突起部６Ｂの軸線方向の寸法をＬｂとする。放電容器６Ａの外径をＬｄ、突起部６Ｂの外径をＤＬｂとする。本実施形態で使用される無電極ランプ６は、Ｌｅ＝Ｌｔ＋２Ｌｂ＝146〜158ｍｍ、Ｌｔ＝130〜140ｍｍ、Ｌｂ＝8.0〜9.0ｍｍである。このタイプの無電極ランプ６は、6インチタイプ又は150ｍｍタイプと呼ばれている。
【００２１】
無電極ランプ６は石英ガラス製である。即ち、放電容器６Ａは石英ガラス製の密閉容器によって形成されている。各突起部６Ｂは石英ガラス製の棒材である。放電容器６Ａには、始動用の希ガスと発光物質が封入されている。
【００２２】
マイクロ波発振器であるマグネトロンを発振させると、2,450ＭＨｚのマイクロ波エネルギーがマイクロ波空洞５に供給され、空洞内に共振電界である定在波が形成される。この影響を受けて、放電容器６Ａの内部にプラズマが励起され、破線で示すように、２つのプラズマ領域の定在波７が形成される。定在波７は、左右対称的に形成される。
【００２３】
プラズマ領域の定在波７は、腹とその両側の節を有する。この定在波７の波長は、λ＝伝播速度／周波数＝2.99×108[ｍ／ｓ]/2.45ＧＨｚ≒123ｍｍとなる。即ち、6インチタイプの無電極ランプ６では、放電容器６Ａの軸線方向長さは、一波長の長さに略等しく形成されている。
【００２４】
定在波７の腹の部分は、比較的温度が高く、比較的強い発光をする。この付近は、高温領域（ホットゾーン）６dと呼ばれる。定在波の節の部分は、比較的温度が低く、比較的弱い発光をする。この付近は、低温領域（コールドゾーン）６ｃ，６eと呼ばれる。低温領域６ｃ，６eでは、放電容器内に封入された発光物質の蒸発が阻害され、又は、再凝集が起こり易い。従って、無電極ランプ６の放電容器６Ａの温度分布は軸線方向に沿って不均一になっている。
【００２５】
（無水銀化による始動特性の悪化）
前述したように、無水銀の無電極ランプでは、ランプを一定時間点灯すると、ランプの始動特性が悪化するという問題が発生している。本発明者等は、始動特性の悪化の原因を次のように考えている。
【００２６】
第１に、従来の水銀が含まれたランプでは、ハロゲン化物は比較的少量ですむ。しかし、無水銀ランプの場合、所定の照度を確保するためには比較的多量のハロゲン化物が必要となる。このため、ランプを点灯すると放電空間内に遊離ハロゲンが発生する。その後消灯して冷却しても、一部は、ハロゲン化物に再結合したり、あるいは、ランプ管壁などに付着したりするが、ほとんどの遊離ハロゲンは放電空間内にガスとして残留する。放電空間内に残留したハロゲン単体は、電子との反応性が高いため、再始動時に希ガスの電離により発生した電子を捕捉してしまう。この結果、始動に必要な電子が減少し、始動特性が悪化するものと思われる。
【００２７】
第２に、マイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置では、共振電界を利用してランプを点灯している。ランプを始動する場合、低温領域６ｅにある放電ランプ端部の電界強度が最も強くなる（図５Ａ参照）。一方、放電容器６Ａに封入された発光物質（金属、ハロゲン化金属等）は、点灯中の温度勾配に応じて最冷部に輸送され、その結果、低温領域６ｃ，６ｅにある放電容器の中央部及び両端部の内周面に凝集することとなる。放電容器の両端部の内周面に凝集した発光物質は、放電容器外部から内部へのマイクロ波の電磁的影響を遮蔽し、両端部付近の放電空間内に強い電界が形成されるのを阻害する。その結果、始動特性が悪化するものと思われる。
【００２８】
［補助電極の採用］
（目的）
本発明者等は、これら始動特性の悪化の原因を検討し、新たに補助電極を採用して放電空間内に一層強い電界を形成することにより、始動特性を改善することとした。即ち、封入された発光物質が凝集している中央部及び両端部以外の領域で、放電容器の近傍に補助電極を設置し、始動時に補助電極に発生する強い電界の影響を容器内部の放電空間に及ぼしてプラズマを強制的に励起することにより、始動特性の改善を図ることとした。
【００２９】
図５Ａは、図１Ｂと同じ視点側（光照射装置の照射面側）から見た共振空洞内の電界強度分布図であり、補助電極が無い場合(従来例)のシミュレーション結果を、ベクトル表示した図である。このシミュレーションの結果、発光管６の両端部付近に強い電界が集中していることが分かる。
これに対して、図５Ｂは、図５Ａと同様の共振空洞内の電界強度分布図であり、発光管６の図で見て右側端部付近に補助電極１６を設けた場合のシミュレーション結果を、ベクトル表示した図である。このシミュレーションの結果、発光管６の端部付近に配置した補助電極１６（一カ所である。）の先端部付近に強い電界が集中することが判明した。このように、シミュレーション結果からは、補助電極を採用することにより、始動特性を改善することが期待できた。
【００３０】
（構造）
図３及び図４に示す補助電極１６は、導電率が高い導電性の材料から形成される。ランプ点灯時には放電容器は温度1,000°Ｃ付近まで高温になるため、補助電極は、耐熱性の高い金属であることが必要である。具体的には、補助電極は、Ａｇ（銀），Ｃｕ（銅），Ａｕ（金），Ａｌ（アルミニウム）又はこれらを主成分とする合金等から形成される。
【００３１】
補助電極１６は、強い電界の影響を放電容器内の放電空間に及ぼして始動特性を改善するために設けるので、理論的には、1カ所設ければよい。しかし、ランプ点灯後の放電空間内の電界の対称性を考慮すると、ランプの左右両側に設けることが好ましい。
【００３２】
図３に示すように、補助電極１６は、共振器側壁１２に固定して設置される。補助電極１６は、共振器側壁１２に対して機械的に接続されていればよく、電気的に接続されている必要は無い。しかし、電気的に接続されていてもよい。
【００３３】
補助電極１６は、図３（Ａ）に示すように、放電管６の軸線に沿って延在する直線状電極であってもよく、図３（Ｂ）に示すように、放電管６の軸線に沿って延在しほぼ直角に曲がって放電管に向かって延在するＬ字状電極であってもよい。
【００３４】
更に、図４（Ａ）に示すように、これらの補助電極１６の先端部１６ｔは、球形状であってもよく、図４（Ｂ）に示すように、電界が集中する傾向のある尖った形状の先端部１６ｔに形成してもよい。
【００３５】
（補助電極の配置例）
図６は、図１Ａに示す光照射装置１０の共振空洞５の内部に配置された補助電極１６の放電管６に対する位置関係を説明する図である。補助電極１６は、マイクロ波空洞内で発光管６に対して風上側に設置されている。補助電極１６の形状は、図３（Ａ）に示すような直線状であってもよく、図３（Ｂ）に示すようなＬ字状であってもよい。その先端部１６ｔは、図４（Ａ）に示すような球形状であってもよく、図４（Ｂ）に示すような尖った形状であってもよい。
【００３６】
図７は、放電管６に対する補助電極１６の配置例を、まとめて説明する図表である。基本実施例が、図６に関連して説明した補助電極１６の配置例である。変形例１〜４の配置例は、各々、ここに描かれている補助電極１６及び放電管６を、相互の位置関係をそのままにして、図６の補助電極１６及び放電管６と置換して理解されたい。
【００３７】
変形例1では、補助電極１６は、発光管６に対して風下側に設置される。変形例２では、補助電極１６は、図で見て発光管６の左側面に設置される。同様に、これとは反対側の右側面に設置してもよい。変形例３では、比較的幅の狭い補助電極１６が、基本実施例と同じように発光管６に対して風上側に設置される。変形例４では、補助電極１６の断面が、発光管６の断面外形に沿って湾曲した形状であって、基本実施例と同じように風上側に設置した例である。
【００３８】
各補助電極１６の形状は、図３に示したように、直線状であっても、Ｌ字形状であってもよい。更に、各補助電極１６の先端部形状は、図４に示したように、球形状であっても、尖った形状であってもよい。
【００３９】
各配置例の特徴について考察する。補助電極１６の電界集中の観点からは、変形例３の補助電極１６は幅が狭くなっているので非常に良好である。他は、同様である。補助電極の信頼性（寿命）の観点からは、変形例３の補助電極１６は幅が狭くなっているので、点灯中に高温に曝されることにより寿命が比較的短くなると考えられる。また、補助電極１６が冷却風に対する風よけ作用として働き、放電管６の発光物質の凝集を緩和する観点からは、変形例４のような放電管の風上側を覆う湾曲形状の補助電極１６は非常に良好である。
【００４０】
［補助電極の効果の確認試験］
（補助電極の有無による始動特性の比較）
補助電極を有する光照射装置に無電極ランプを装着して、補助電極の効果の確認試験を行った。補助電極の有無によるランプの始動特性を比較した始動試験結果を説明する。
【００４１】
試験条件は、次の通りである。
試験ランプ：内径φ6.5ｍｍ，肉厚2.0ｍｍ，発光長（内寸）138ｍｍ，内容積4.37ｃｃ，
ランプ封入物質：コバルト(Co)20μmol/cc,ヨウ化コバルト(CoI2)6.0μmol/cc,
亜鉛(Zn)3.5μmol/cc,アルゴン(Ar)5Ｔｏｒｒ
補助電極仕様：材質アルミ(板)，寸法  10ｍｍ幅×1ｍｍ板厚×20ｍｍ突出長，放電空間との距離4ｍｍ，配置位置は基本実施例に同じ。配置個数は放電管の左右両側2カ所（対称形）に配置。
装置：始動時に種電子を生成するためのエンハンサ（Ｘｅフラッシュランプ）を搭載して点灯した。始動電力に関しては、表１参照。
【００４２】
【表１】
0006516200.tif 000002
【００４３】
表１より、初期では、補助電極の有無に拘わらず、始動特性は良好であった。ランプ点灯時間20[ｈ]経過後では、補助電極無しでは、始動電力0.5，1.8[ｋＷ]のいずれに於いても始動不可が発生した。しかし、補助電極有りでは始動良好であった。
【００４４】
初期では、発光物質の凝集が始まっていないので、始動特性は良好である。点灯時間20[ｈ]経過後では発光物質の凝集により、補助電極無しでは始動特性の悪化が見られた。しかし、補助電極を採用することにより、始動特性が改善されることが判明した。
【００４５】
（好ましい補助電極の構造の決定）
この結果を踏まえて、好ましい補助電極の構造を決定する試験を行った。
先ず、図３を参照しながら、補助電極１６に関係する寸法を確認する。
【００４６】
突出長ＳＬ１は、補助電極１６の共振器側壁１２から発光管６の軸線方向の長さである。補助電極が、直線状又はＬ字状であっても同様である。
【００４７】
接近長ＳＬ２は、Ｌ字状補助電極が直線状部分から曲がって発光管６に接近する長さである。
【００４８】
距離dは、補助電極１６と発光管６の放電空間との間の距離であり、言い換えれば、補助電極１６と放電容器６Ａの内周面との間の距離である。
【００４９】
凝集領域Ｌｄｓは、放電容器６Ａに封入された発光物質（金属、ハロゲン化金属等）が点灯中の温度勾配に応じて最冷部である両端部に輸送され内周面に凝集した範囲と、突起部６Ｂの一部とを含み、共振器側壁１２から測定した数値とする。凝集領域Ｌｄｓは、
経験的には、10〜12ｍｍである。
【００５０】
ここで、試験条件は、次の事項以外は、表1の試験条件と同じである。
装置：始動電力は1.5[kW]一定である。
補助電極：形状は、直線状とＬ字状の2種類。
【００５１】
【表２】
0006516200.tif 000003
【００５２】
図３の配置において、距離ｄが短いほど、補助電極１６の効果が放電管６の内部空間に及ぶことは明らかである。表２の結果から、距離ｄは６ｍｍ以下であることが好ましいことが判明した。ｄ≦6ｍｍ。なお、補助電極１６による放電管６の損傷を避けるため、補助電極１６と放電管６とは接触してないことが好ましい。
【００５３】
突出長ＳＬ１は、15〜40ｍｍが好ましい。しかし、後で説明するように、突出長ＳＬ１が30ｍｍ以上になると光量（紫外線光量）の低下を招くことが判明した。従って、ＳＬ１は、15〜25ｍｍが好ましい。但し、距離ｄが5ｍｍ以上の場合は、20〜25ｍｍが好ましい。15ｍｍ≦ＳＬ１≦25ｍｍ  （但し、5ｍｍ≦ｄ≦6ｍｍの場合は、20ｍｍ≦ＳＬ１≦25ｍｍ）。
【００５４】
20ｍｍ≦ＳＬ１≦25ｍｍの場合に関しては、補助電極がＬ字状でも確認したが、始動特性は良好であった。
【００５５】
（補助電極による光量低下の確認試験）
共振空洞内に一定長以上の導体（補助電極１６）を入れると、始動特性の改善には有効であっても、共振空間を乱してしまうので、光量低下が懸念された。そこで、補助電極のトータル長を変化させて、紫外線光量を測定し、光量への影響を試験した。補助電極のトータル長は、直線状補助電極の場合はＳＬ１であり、Ｌ字状補助電極の場合は（ＳＬ１＋ＳＬ２）である。光量の低下があるか否かの判断は、補助電極が無し又は非常に短い場合（0〜20ｍｍの場合）で、新品ランプを基準とした。
【００５６】
ここで、試験条件は、次の事項以外は、表１及び２の試験条件と同じである。
ランプ：点灯100[h]経過後のランプである。
距離ｄ＝4ｍｍで一定である。
マイクロ波発生の入力電力は、1.5[ｋＷ]一定である。
積算光量の測定は、コンベア搬送速度6[ｍ／ｍｉｎ]に設置された照度計により測定した。
【００５７】
表３は、補助電極による光量低下の確認試験であり、図８は、これをグラフに示したものである。
【００５８】
【表３】
0006516200.tif 000004
【００５９】
図８に示すように、補助電極が無し又は短く且つ新品ランプの積算光量は、略500 ｍＪ／ｃｍ２である。これを基準に判断すると、直線状補助電極に関し、トータル長ＳＬ１が30ｍｍ以上になると、積算光量が急激に低下することが判明した。
【００６０】
Ｌ字状補助電極では、ＳＬ1＋ＳＬ２＝30ｍｍでも光量不足が発生している。従って、トータル長は、ＳＬ1＋ＳＬ２≦25ｍｍであることが好ましい。Ｌ字状補助電極の全長は、突出長ＳＬ1に接近長ＳＬ2の5ｍｍが加算されるので、Ｌ字状補助電極を採用する場合、光量不足に関しては予め試験して確認することが必要である。
【００６１】
［変形例等］
以上、本発明に係るマイクロ波無電極ランプを使用した光照射装置の実施形態について説明したが、これらは本発明の範囲を限定するものではない。当業者が、容易になし得る本実施形態に関する追加、削除，変更、改良等は、本発明の範囲に含まれる。本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められる。
【符号の説明】
【００６２】
２：筐体、  ４：アンテナ、  ５：マイクロ波空洞，共振空洞、  ６：発光管，放電管，無電極ランプ、  ６Ａ：光管円筒部，放電容器、  ６Ｂ：突起部、  ６ｃ，６ｅ：低温領域，コールドゾーン、  ６ｄ：高温領域，ホットゾーン、  ７：定在波、  ８：反射鏡、  １０：光照射装置、  １２：共振器側壁，側壁、  １４：冷却用送風ダクト、  １６：補助電極、  １６ｔ：補助電極の先端部、
d：距離、  ＳＬ１：突出長  ＳＬ2：接近長、  Ｌｄｓ：凝集領域
【図１Ａ】
0006516200.tif 000005
【図１Ｂ】
0006516200.tif 000006
【図２】
0006516200.tif 000007
【図３】
0006516200.tif 000008
【図４】
0006516200.tif 000009
【図５Ａ】
0006516200.tif 000010
【図５Ｂ】
0006516200.tif 000011
【図６】
0006516200.tif 000012
【図７】
0006516200.tif 000013
【図８】
0006516200.tif 000014