(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板の端面と対向するように配置されている研削手段を前記端面に接触させながら、前記研削手段と前記ガラス板とを前記端面の長手方向に沿って相対的に移動させて、前記研削手段の加工領域において前記端面を研削する研削工程と、
前記ガラス板の端部であって、前記研削工程において研削される前記端面を含む前記端部を、前記ガラス板の主表面と直交する第１方向に沿って位置調整可能であるフロートパネルを用いて、非接触で支持する端部支持工程と、
を備え、
前記主表面は、水平面に平行であり、
前記フロートパネルは、
前記端部の前記主表面と対向するパネル表面と、
前記パネル表面に形成され、前記パネル表面と対向する前記端部の前記主表面に向かって流体を噴出し、前記ガラス板に上向きの力を作用させる複数の流体噴出孔と、
前記パネル表面に形成され、前記パネル表面と前記端部の前記主表面との間の空間から前記流体を吸引し、前記ガラス板に下向きの力を作用させる複数の流体吸引孔と、
を有し、
前記端部支持工程は、前記フロートパネルに対する前記研削手段の位置、前記上向きの力、および、前記下向きの力を調整して、前記端面を前記加工領域に導き、
前記フロートパネルは、多孔質体から成形され、
前記流体噴出孔は、前記多孔質体の細孔であり、
前記流体吸引孔は、前記長手方向、および、前記長手方向および前記第１方向に直交する第２方向における複数の位置に形成されている、
ガラス板の製造方法。
【請求項２】
前記端部支持工程は、前記ガラス板の上側の前記主表面に含まれ、前記研削工程における前記端面の研削によって除去される領域の前記第２方向の寸法である第１研削幅、および、前記ガラス板の下側の前記主表面に含まれ、前記研削工程における前記端面の研削によって除去される領域の前記第２方向の寸法である第２研削幅に関して、前記第１研削幅と前記第２研削幅との差である面幅差を小さくするように、前記端部を支持する、
請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記研削手段は、前記加工領域を有する加工溝が形成された研削ホイールであり、
前記端部支持工程は、前記ガラス板の前記第１方向の中心と、前記加工溝の前記第１方向の中心とが、前記加工領域において一致するように、前記端面を前記加工領域に導く、
請求項１または２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記ガラス板は、０．２５ｍｍ以下の厚みを有する、
請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
【請求項５】
ガラス板の端面と対向するように配置され、前記端面と接触しながら、前記端面の長手方向に沿って前記ガラス板に対して相対的に移動することで前記端面を研削する加工領域を有する研削部と、
前記ガラス板の端部であって、前記研削部によって研削される前記端面を含む前記端部を非接触で支持し、かつ、前記ガラス板の主表面と直交する第１方向に沿って位置調整可能であるフロートパネルと、
制御部と、
を備え、
前記主表面は、水平面に平行であり、
前記フロートパネルは、
前記端部の前記主表面と対向するパネル表面と、
前記パネル表面に形成され、前記パネル表面と対向する前記端部の前記主表面に向かって流体を噴出し、前記ガラス板に上向きの力を作用させる複数の流体噴出孔と、
前記パネル表面に形成され、前記パネル表面と前記端部の前記主表面との間の空間から前記流体を吸引し、前記ガラス板に下向きの力を作用させる複数の流体吸引孔と、
を有し、
前記制御部は、前記フロートパネルに対する前記研削手段の位置、前記上向きの力、および、前記下向きの力を調整して、前記端面を前記加工領域に導き、
前記フロートパネルは、多孔質体から成形され、
前記流体噴出孔は、前記多孔質体の細孔であり、
前記流体吸引孔は、前記長手方向、および、前記長手方向および前記第１方向に直交する第２方向における複数の位置に形成されている、
ガラス板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の製造方法、および、ガラス板の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイおよびプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス板は、面取りされている。所定の寸法に切断されたガラス板の切断面には、ガラス板の割れおよび欠けの原因となり得る微小の凹凸およびクラックが形成されやすい。そのため、ガラス板の切断面の角部を面取りすることで、微小の凹凸およびクラックの発生が抑制される。
【０００３】
従来、ガラス板の面取り加工には、研削ホイールが使用されている。研削ホイールは、円盤形状の砥石である。研削ホイールを回転させて、研削ホイールの側周面に形成されている溝をガラス板の切断面に押し当てることで、ガラス板の切断面の角部が研削されて、ガラス板が面取りされる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、ガラス板の大型化および薄型化が進み、ガラス板の加工精度についての要求は厳しくなっている。特に、大型のガラス板を金属定盤に吸着固定して面取りする場合には、金属定盤の平坦度、および、研削ホイールの走行軸と、ガラス板の切断面であるガラス板端面との間の平行度には、高い精度が求められる。
【０００５】
また、ガラス板を面取りする時に発生する微小なガラス片によって、ガラス板の表面に傷が形成されるおそれがある。ＦＰＤ用のガラス板の表面に形成される傷は、ＦＰＤの品質に大きな影響を与える。ガラス板の表面における傷の形成を抑制するために、金属定盤に保護シートを貼り付ける方法が知られている。しかし、保護シートで覆われた金属定盤を使用する場合、大型のガラス板の表面全体に均等に吸着圧力を発生させることが困難である。そのため、ガラス板の一部が保護シートに沈み込み、ガラス板が局所的に変形して、ガラス板の端面と研削ホイールとの間の鉛直方向の位置関係が不確定または不安定になるおそれがある。さらに、ガラス板は、完全に均一な平坦度を有しておらず、局所的な反りを有している。そのため、ガラス板の固有の反りに起因して、ガラス板の端面と研削ホイールとの間の鉛直方向の位置関係が不確定または不安定になる場合がある。特に、ガラス板のサイズが大きく、ガラス板の厚さが小さいほど、ガラス板の端面の反り量が大きくなり、ガラス板の端面と研削ホイールとの間の位置関係がより不確定になる。また、ガラス板の厚さが小さいほど、ガラス板の剛性が低くなり、ガラス板端面の加工が困難となる。
【０００６】
例えば、特許文献１（特開２００２−１６０１４７号公報）に開示されるガラス板の端面加工方法では、側周面に凹部が形成された研削ホイールが使用されている。この方法では、研削ホイールの凹部の表面をガラス板の端面に押し当てることで、ガラス板の端面が曲面状に研削されて、端面の角部が面取りされる。この方法では、研削ホイールの凹部と、ガラス板の端面との鉛直方向の位置関係が適切に調節することが難しく、ガラス板の上側の表面と、ガラス板の下側の表面とが、均等に研削されないおそれがある。このように、ガラス板の上側の表面の研削量と、ガラス板の下側の表面の研削量とが異なる場合、ガラス板端面の断面形状が非対称になり、ガラス板の強度が低下したり、加工後のガラス板端面からのガラス粉の発塵が増加したりするおそれがある。
【０００７】
本発明の目的は、精度良くガラス板端面を加工することができるガラス板の製造方法、および、ガラス板の製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るガラス板の製造方法は、研削工程と、端部支持工程とを有する。研削工程は、ガラス板の端面と対向するように配置されている研削手段を端面に接触させながら、研削手段とガラス板とを端面の長手方向に沿って相対的に移動させて、研削手段の加工領域において端面を研削する。端部支持工程は、ガラス板の端部であって、研削工程において研削される端面を含む端部を、フロートパネルを用いて非接触で支持する。フロートパネルは、ガラス板の主表面と直交する第１方向に沿って位置調整可能である。フロートパネルは、端部の主表面と対向するパネル表面と、パネル表面に形成される複数の流体噴出孔と、パネル表面に形成される複数の流体吸引孔とを有する。流体噴出孔は、パネル表面と対向する端部の主表面に向かって流体を噴出して、ガラス板に上向きの力を作用させる。流体吸引孔は、パネル表面と端部の主表面との間の空間から流体を吸引して、ガラス板に下向きの力を作用させる。端部支持工程は、フロートパネルに対する研削手段の位置、上向きの力、および、下向きの力を調整して、端面を加工領域に導く。
【０００９】
このガラス板の製造方法は、ダウンドロー法等によって成形され、製品サイズの寸法に切断されたガラス板の端面を加工する方法を含む。切断されたガラス板の切断面である端面には、ガラス板の割れおよび欠けの原因となり得る微小の凹凸およびクラックが形成されやすい。ガラス板端面を研削してガラス板を面取りすることで、微小の凹凸およびクラックの発生が抑制される。このガラス板の製造方法では、例えば、研削ホイール等の研削手段をガラス板端面に押し当てた状態で、研削手段をガラス板端面に沿って移動させて、ガラス板端面を研削する。研削ホイールは、円盤形状を有し、円盤形状の側周面に凹部が形成されている部材である。研削ホイールは、複数の凹部を有してもよい。
【００１０】
このガラス板の製造方法では、ガラス板の端面を研削する際において、ガラス板の端部がフロートパネルによって非接触で支持されている。フロートパネルは、流体を噴出し、流体を吸引する。フロートパネルの上方にガラス板の端部がある場合、流体は、ガラス板の端部に鉛直方向上向きの力を与え、流体は、ガラス板の端部に鉛直方向下向きの力を与える。これにより、フロートパネルの上方においてガラス板の端部が非接触で支持されるので、ガラス板端部の端面の鉛直方向の位置が安定化する。
【００１１】
また、フロートパネルの鉛直方向の位置を予め調節することで、フロートパネルに非接触で支持されるガラス板端部の端面と、研削ホイールとの鉛直方向の位置関係を調節することができる。ガラス板の研削工程では、ガラス板端面を研削する際に、ガラス板端面と隣接しているガラス板主表面の一部も研削される。このガラス板の製造方法では、ガラス板の上側の主表面の研削量と、ガラス板の下側の主表面の研削量との差ができるだけ小さくなるように、フロートパネルの鉛直方向の位置が調節される。これにより、研削工程において、ガラス板の端部は、フロートパネルによって、ガラス板の両主表面の研削量の差が小さくなるような高さ位置に導かれるので、例えば、鉛直方向において断面形状が対称となるように、精度良くガラス板端面を研削加工することができ、端面加工によるガラス板の強度の低下を抑えることができる。従って、このガラス板の製造方法は、ガラス板端面を面取り加工する前に、研削手段とガラス板端面との間の位置関係を調節することで、ガラス板の強度（例えば、曲げ強度）の低下を抑えつつ、精度良くガラス板端面を加工することができる。
【００１２】
また、このガラス板の製造方法では、フロートパネルは、多孔質体から成形されていることが好ましい。この場合、流体噴出孔は、多孔質体の細孔であり、流体吸引孔は、長手方向および第２方向における複数の位置に形成されていることが好ましい。第２方向は、長手方向および第１方向に直交する方向である。
【００１３】
また、このガラス板の製造方法では、流体噴出孔および流体吸引孔は、長手方向および第２方向における複数の位置に形成されていることが好ましい。第２方向は、長手方向および第１方向に直交する方向である。
【００１４】
また、このガラス板の製造方法では、端部支持工程は、第１研削幅と第２研削幅との差である面幅差を小さくするように、端部を支持することが好ましい。第１研削幅は、ガラス板の上側の主表面に含まれ、研削工程における端面の研削によって除去される領域の第２方向の寸法である。第２研削幅は、ガラス板の下側の主表面に含まれ、研削工程における端面の研削によって除去される領域の第２方向の寸法である。面幅差ができるだけ小さくなるように、ガラス板端部の位置を調節することで、ガラス板端面を均一に加工することができる。
【００１５】
また、このガラス板の製造方法では、研削手段は、加工領域を有する加工溝が形成された研削ホイールであり、端部支持工程は、ガラス板の第１方向の中心と、加工溝の第１方向の中心とが、加工領域において一致するように、端面を加工領域に導くことが好ましい。
【００１６】
また、このガラス板の製造方法では、ガラス板は、０．２５ｍｍ以下の厚みを有することが好ましい。
【００１７】
本発明に係るガラス板の製造装置は、研削部と、フロートパネルと、制御部とを備える。研削部は、ガラス板の端面と対向するように配置され、端面と接触しながら、端面の長手方向に沿ってガラス板に対して相対的に移動することで端面を研削する加工領域を有する。フロートパネルは、ガラス板の端部であって、研削部によって研削される端面を含む端部を非接触で支持する。フロートパネルは、ガラス板の主表面と直交する第１方向に沿って位置調整可能である。フロートパネルは、端部の主表面と対向するパネル表面と、パネル表面に形成される複数の流体噴出孔と、パネル表面に形成される複数の流体吸引孔とを有する。流体噴出孔は、パネル表面と対向する端部の主表面に向かって流体を噴出して、ガラス板に上向きの力を作用させる。流体吸引孔は、パネル表面と端部の主表面との間の空間から流体を吸引して、ガラス板に下向きの力を作用させる。制御部は、フロートパネルに対する研削手段の位置、上向きの力、および、下向きの力を調整して、端面を加工領域に導く。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係るガラス板の製造方法、および、ガラス板の製造装置は、精度良くガラス板端面を加工することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態に係るガラス板端面加工装置の概略図である
【図２】実施形態に係るガラス板の端面を加工する研削機構の外観図である。
【図３】研削ホイールの外観図である。
【図４】研削ホイールの断面図である。
【図５】フロートパネルによって非接触で支持されているガラス板の端部を示す図である。
【図６】図５に示されるフロートパネル近傍の拡大図である。
【図７】フロートパネルを鉛直方向に沿って上方から下方に向かって見た図である。
【図８】研削ホイールによって研削されるガラス板を示す外観図である。
【図９】研削ホイールによって研削されるガラス板を示す平面図である。
【図１０】ガラス板端部の研削される部位を表す断面図である。
【図１１】比較例としての、ガラス板端部の研削される部位を表す断面図である。
【図１２】変形例Ａに係る、ガラス板の上角部のみを面取りする研削機構を示す図である。
【図１３】変形例Ａに係る、ガラス板の下角部のみを面取りする研削機構を示す図である。
【図１４】変形例Ｂに係る研削機構を示す図である。
【図１５】変形例Ｃに係る、フロートパネルを鉛直方向に沿って上方から下方に向かって見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（１）ガラス板端面加工装置の構成
本発明に係るガラス板の製造方法、および、ガラス板の製造装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係るガラス板の製造方法、および、ガラス板の製造装置は、ガラス板の端面を加工するガラス板端面加工装置を用いる。図１は、ガラス板端面加工装置１の概略図である。ガラス板端面加工装置１は、ガラス板３を固定した状態で、ガラス板３の端面３ａを研削する。ガラス板端面加工装置１によって加工されるガラス板３は、フロート法およびダウンドロー法等によって熔融ガラスから成形された板状のガラスを、所定の寸法に切断して得られる。ガラス板端面加工装置１は、特に、０．２５ｍｍ以下の厚みを有するガラス板３の端面３ａの加工に適している。ガラス板端面加工装置１によって加工されたガラス板３は、必要に応じて研磨等による端面加工がさらに行われ、洗浄工程および検査工程等を経て、製品として出荷される。
【００２１】
図１に示されるように、ガラス板端面加工装置１は、主として、金属定盤１０および研削機構２０を備える。金属定盤１０は、ガラス板３の表面を吸着して、ガラス板３を固定する。ガラス板３は、ベルトコンベア等によって金属定盤１０の上面に載せられる。金属定盤１０の上面には多数の吸入孔が形成され、吸入孔の吸引力によって、ガラス板３が金属定盤１０の上面に吸着固定される。また、金属定盤１０の上面には、保護シートが貼り付けられている。ガラス板３がＦＰＤに用いられる場合、ガラス板３の表面に形成される傷は、ガラス板３の品質を低下させる主な原因となる。保護シートは、ガラス板３の表面が金属定盤１０の上面と直接接触することを防ぎ、ガラス板３の表面に傷が形成されることを抑制する。なお、ガラス板３の端面３ａの近傍の部分は、金属定盤１０の上面に吸着固定されない。ガラス板３が固定された金属定盤１０は、ガラスガイド（図示せず）によって端面方向に沿って移動可能である。そのため、金属定盤１０に固定されたガラス板３は、ガラスガイドによって端面方向に沿って移動可能である。
【００２２】
研削機構２０は、ガラス板３の一対の端面３ａのそれぞれと対向するように設置される。研削機構２０は、研削ホイール２１を有する。研削機構２０は、金属定盤１０によって固定されているガラス板３の端面３ａを研削する。研削機構２０は、ガラス板３の端面３ａに向かって、回転している研削ホイール２１を押し付ける。この状態で、ガラス板３を端面３ａに沿って移動させることで、研削機構２０は、端面３ａを研削する。図１において、研削ホイール２１が回転する方向、および、ガラス板３が移動する方向は、矢印で示されている。次に、研削機構２０の構成および動作の詳細について説明する。
【００２３】
（２）研削機構の構成
図２は、ガラス板３の一方の端面３ａを研削する研削機構２０の外観図である。図２には、金属定盤１０に固定された状態で金属定盤１０と共に移動するガラス板３の移動方向が矢印で示されている。図２に示される研削機構２０は、ガラス板３の他方の端面３ａを研削する研削機構２０と同じ構成および動作を有する。以下の説明において、「端面方向」は、ガラス板３の端面３ａの長手方向であって、ガラス板３が移動する方向を意味する。「幅方向」は、ガラス板３の表面に沿う方向であって、端面方向に直交する方向を意味する。「鉛直方向」は、ガラス板３の表面に直交する方向を意味する。図面において、端面方向は「ｙ軸」で示され、幅方向は「ｘ軸」で示され、鉛直方向は「ｚ軸」で示されている。鉛直方向に直交する平面を、「水平面」と呼ぶ。ガラス板３の表面は、水平面に平行である。
【００２４】
研削機構２０は、主として、研削ホイール２１と、フロートパネル２２と、基体２３と、移動機構２４と、研削ホイール位置調節機構２５と、制御部（図示せず）とから構成される。
【００２５】
（２−１）研削ホイール
研削ホイール２１は、円盤形状の砥石である。図３は、研削ホイール２１の外観図である。研削ホイール２１は、円盤形状の上表面２１ａ、円盤形状の下表面２１ｂ、および、上表面２１ａと下表面２１ｂとを連結する側周面２１ｃを有する。図３に示されるように、研削ホイール２１の側周面２１ｃには、凹部２１ｄが形成されている。凹部２１ｄは、側周面２１ｃの全周に亘って形成されている溝である。研削ホイール２１は、上表面２１ａの中心と下表面２１ｂの中心とを結ぶ回転軸２１ｅを中心に回転する。研削ホイール２１の回転方向は、図１に示されるように、ガラス板３が移動する方向と反対の方向にガラス板３を移動させようとする方向である。なお、研削ホイール２１は、複数の凹部２１ｄを有していてもよい。
【００２６】
研削ホイール２１は、メタルボンド砥石で成形されている。メタルボンド砥石は、複数種類の金属の粉末、または、合金の粉末を、鉄系の結合剤で固めて焼結し、焼結体の表面に砥粒を固定して製造される砥石である。砥粒は、ダイヤモンド、酸化アルミニウムおよび炭化ケイ素等の微小な粒である。メタルボンド砥石は、形状の保持力が高い砥石である。メタルボンド砥石は、例えば、ダイヤモンドホイールである。研削ホイール２１がダイヤモンドホイールである場合、ダイヤモンド砥粒の粒度は、♯４００〜＃１２００であることが好ましい。研削ホイール２１は、図示されない駆動モータによって回転駆動する。
【００２７】
図４は、研削ホイール２１の凹部２１ｄの近傍の拡大断面図である。図４は、回転軸２１ｅを含む平面で研削ホイール２１を切断した断面の一部を表す。図４に示されるように、凹部２１ｄの断面形状は、上表面２１ａと下表面２１ｂとの中間にある仮想的な平面である中間面２１ｆに対して対称な形状を有している。凹部２１ｄの表面は、上内面２１ｇと、中央内面２１ｈと、下内面２１ｉとから構成される。上内面２１ｇは、凹部２１ｄより上方に位置する側周面２１ｃと隣接する面である。下内面２１ｉは、凹部２１ｄより下方に位置する側周面２１ｃと隣接する面である。中央内面２１ｈは、上内面２１ｇおよび下内面２１ｉと隣接する面である。中央内面２１ｈは、凹部２１ｄの溝の底面に相当する。
【００２８】
研削ホイール２１の凹部２１ｄは、ガラス板３の端面３ａが加工される加工領域である。図４には、参考として、研削ホイール２１によって研削される前のガラス板３の断面の一部が示されている。ガラス板３は、端面３ａと、上側の主表面である上面３ｂと、下側の主表面である下面３ｃとを有する。ガラス板３の端面３ａは、上面３ｂと下面３ｃとを接続する面である。後述するように、上面３ｂと端面３ａとの間の角部である上角部３ｄは、研削ホイール２１の凹部２１ｄの上内面２１ｇによって面取りされ、下面３ｃと端面３ａとの間の角部である下角部３ｅは、研削ホイール２１の凹部２１ｄの下内面２１ｉによって面取りされる。以下、上角部３ｄおよび下角部３ｅを含み、かつ、端面３ａの近傍の部分を、ガラス板３の端部３ｆと呼ぶ。
【００２９】
（２−２）フロートパネル
フロートパネル２２は、金属定盤１０の幅方向両側にそれぞれ設置されている。すなわち、フロートパネル２２は、金属定盤１０と各研削ホイール２１との間に設置されている。フロートパネル２２は、ガラス板３の端部３ｆを非接触で支持して、端部３ｆを研削ホイール２１の凹部２１ｄに導くための装置である。フロートパネル２２の鉛直方向の位置は、フロートパネル位置調節機構（図示せず）によって調節可能である。フロートパネル２２の鉛直方向の位置は、ガラス板端面加工装置１の使用前に予め調節されている。図５は、フロートパネル２２によって非接触で支持されている端部３ｆを示す図である。図５は、図４に示される研削機構２０をｙ軸に沿って見た図に相当する。図５に示されるように、フロートパネル２２の上方において、ガラス板３の端部３ｆは、フロートパネル２２と接触することなく支持されている。端部３ｆとフロートパネル２２との間の隙間の鉛直方向の寸法は、例えば５μｍ〜４０μｍであり、好ましくは１０μ〜３０μｍであり、より好ましくは１５μ〜３０μｍである。図６は、図５に示されるフロートパネル２２近傍の拡大図である。
【００３０】
フロートパネル２２は、非接触で支持されている端部３ｆの下面３ｃと対向するパネル表面２２ａと、パネル表面２２ａに形成される複数の流体噴出孔２２ｂと、パネル表面２２ａに形成される複数の流体吸引孔２２ｃとを有する。流体噴出孔２２ｂは、パネル表面２２ａと対向する下面３ｃに向かって第１流体Ｆ１を噴出する。流体吸引孔２２ｃは、パネル表面２２ａと下面３ｃとの間の空間から第２流体Ｆ２を吸引する。第１流体Ｆ１および第２流体Ｆ２は、共に、純水である。なお、第１流体Ｆ１および第２流体Ｆ２は、それぞれ、他の液体または気体であってもよい。
【００３１】
流体噴出孔２２ｂは、端部３ｆに鉛直方向上向きの力を与える作用を有する。流体吸引孔２２ｃは、端部３ｆに鉛直方向下向きの力を与える作用を有する。流体噴出孔２２ｂおよび流体吸引孔２２ｃは、端部３ｆに鉛直方向の力を作用させて、端部３ｆの端面３ａの鉛直方向の位置、および、端部３ｆの形状を安定させる。また、フロートパネル２２は、流体噴出孔２２ｂから噴出される第１流体Ｆ１、および、流体吸引孔２２ｃに吸入される第２流体Ｆ２の流量を制御することで、端部３ｆの端面３ａの鉛直方向の位置を調節することができる。端面３ａの鉛直方向の位置の調整可能範囲は、最大３０μｍである。端部３ｆの下面３ｃとパネル表面２２ａとの間の間隔が小さいほど、端部３ｆが支持される力が強い。
【００３２】
図７は、フロートパネル２２を鉛直方向に沿って上方から下方に向かって見た図である。図７に示されるフロートパネル２２は、多孔質体から成形される。多孔質体の材質は、セラミックス、カーボンおよびアルミニウム等の、高温および高圧の液体および気体に対する高い耐久性を有する材質である。流体噴出孔２２ｂは、パネル表面２２ａに形成される、多孔質体の細孔である。流体吸引孔２２ｃは、ドリル等を用いてパネル表面２２ａに形成される孔であり、図７において白丸で示されている。流体吸引孔２２ｃの径は、多孔質体の細孔の径より大きく、０．３ｍｍ〜１．０ｍｍである。流体噴出孔２２ｂは、パネル表面２２ａの全体に形成されている。流体吸引孔２２ｃは、幅方向および端面方向における複数の位置に形成されている。すなわち、流体噴出孔２２ｂおよび流体吸引孔２２ｃは、幅方向および端面方向の両方において広がりを持って配置されている。
【００３３】
図７では、流体吸引孔２２ｃは、パネル表面２２ａにおいて格子点位置に形成されている。幅方向における流体吸引孔２２ｃの間隔ｄ１、および、端面方向における流体吸引孔２２ｃの間隔ｄ２は、ガラス板３の厚さ等に応じて適宜に設定される。例えば、ガラス板３の厚さが０．５ｍｍの場合、間隔ｄ１，ｄ２は１８ｍｍに設定され、ガラス板３の厚さが０．２５ｍｍの場合、間隔ｄ１，ｄ２は４ｍｍに設定されてもよい。
【００３４】
（２−３）基体
基体２３は、移動機構２４、研削ホイール位置調節機構２５およびカウンターウエイト（図示せず）を有する。カウンターウエイトは、研削ホイール２１を水平面内において移動させる動力を発生する機構である。カウンターウエイトは、例えば、研削ホイール２１の凹部２１ｄの表面をガラス板３の端面３ａに押し付け、または、研削ホイール２１の凹部２１ｄの表面をガラス板３の端面３ａから離す。
【００３５】
（２−４）移動機構
移動機構２４は、基体２３に固定され、基体２３を端面方向および幅方向に沿って移動させる。移動機構２４は、研削機構２０を端面方向および幅方向に沿って移動させて、研削ホイール２１の水平面内の位置を調節する。なお、本実施形態では、ガラス板３の端面３ａの加工時において、移動機構２４の位置は固定されている。
【００３６】
（２−５）研削ホイール位置調節機構
研削ホイール位置調節機構２５は、基体２３に固定され、研削ホイール２１を鉛直方向に沿って移動させる。研削ホイール位置調節機構２５は、研削ホイール２の鉛直方向の位置を調節する。
【００３７】
（２−６）制御部
制御部は、主として、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭおよびハードディスク等から構成されているコンピュータである。制御部は、研削機構２０の駆動モータおよびカウンターウエイト等に接続されている。制御部は、ＲＯＭ、ＲＡＭまたはハードディスク等に記憶されているプログラムおよびデータに基づいて、制御部に接続されている構成要素の制御を行う。例えば、制御部は、駆動モータを制御して、研削ホイール２１の回転速度を調節する。制御部は、カウンターウエイトを制御して、研削ホイール２１の水平面内の位置を調節し、研削ホイール２１がガラス板３の端面３ａに与える力を調節する。制御部は、フロートパネル２２の鉛直方向の位置、流体噴出孔２２ｂから噴出される第１流体Ｆ１の流量、および、流体吸引孔２２ｃに吸入される第２流体Ｆ２の流量を制御する。
【００３８】
（３）ガラス板端面加工装置の動作
ガラス板端面加工装置１が、ガラス板３の端面３ａを研削して、上角部３ｄおよび下角部３ｅを面取りする工程について説明する。最初に、ガラス板３が、金属定盤１０によって吸着固定される。図５に示されるように、ガラス板３の端部３ｆは、金属定盤１０によって吸着固定されていない。図５に示されていないガラス板３の他方の端部も、金属定盤１０によって吸着固定されていない。ガラス板３の幅方向の両端部であって、金属定盤１０の上面と接触していない部分の幅方向の寸法である非接触端部寸法Ｌは、１５ｍｍ〜４０ｍｍである。このとき、フロートパネル２２のパネル表面２２ａの鉛直方向の位置は、ガラス板３の下面３ｃより下方となるように予め調節されている。なお、非接触端部寸法Ｌは、研削ホイール２１とガラス板３との間の研削抵抗と、ガラス板３の剛性とのバランスから決定されることが好ましい。例えば、ディスプレイ用ガラス基板であるガラス板３の加工においては、非接触端部寸法Ｌは、ガラス板３の厚みに応じて決定されてもよい。ガラス板３の厚みが大きいほど、ガラス板３の剛性は高くなる。具体的には、ガラス板３の厚みが０．５ｍｍの場合、非接触端部寸法Ｌを３０ｍｍ〜４０ｍｍに設定し、ガラス板３の厚みが０．４ｍｍの場合、非接触端部寸法Ｌを２５ｍｍ〜３５ｍｍに設定し、ガラス板３の厚みが０．３ｍｍの場合、非接触端部寸法Ｌを１５ｍｍ〜２０ｍｍに設定してもよい。
【００３９】
次に、研削ホイール位置調節機構２５によって、研削ホイール２１の鉛直方向の位置が調節され、フロートパネル位置調節機構によって、フロートパネル２２の鉛直方向の位置が調節される。研削ホイール２１およびフロートパネル２２の鉛直方向の位置は、ガラス板３の鉛直方向（厚さ方向）の中心位置と、研削ホイール２１の凹部２１ｄの鉛直方向の中心位置とが一致するようにして、ガラス板３の上面３ｂの研削量と、ガラス板３の下面３ｃの研削量とが等しくなるように、調節される。例えば、フロートパネル２２によってガラス板３に作用する上向きの力と下向きの力とを調整することで、ガラス板３の端面３ａの鉛直方向の位置を所定の位置に安定的に調整することができる。また、フロートパネル２２に対する端面３ａの加工ポイントの鉛直方向の位置を、研削ホイール２１の位置調整機構２５により調整することができる。調節後、研削ホイール２１およびフロートパネル２２の鉛直方向の位置は、固定される。なお、研削ホイール２１およびフロートパネル２２の鉛直方向の位置は、テスト用のガラス板３を研削して、上面３ｂおよび下面３ｃの研削量を測定することで調節されてもよい。
【００４０】
次に、ガラスガイドによって、ガラス板３を固定する金属定盤１０が移動して、ガラス板３の端面方向の位置が調節される。これにより、金属定盤１０に固定されているガラス板３の端面３ａは、固定されている研削ホイール２１に対して端面方向に相対移動する。このとき、ガラス板３の端部３ｆは、フロートパネル２２によって非接触で支持されている。研削ホイール２１が端面３ａと接触する際に、ガラス板３の端部３ｆは、フロートパネル２２によって研削ホイール２１の凹部２１ｄに導かれる。このように、ガラス板３の端面３ａの鉛直方向の位置は、フロートパネル２２によって安定的に支持され、加工領域である研削ホイール２１の凹部２１ｄに端面３ａが導かれるように保持される。上述したように、ガラス板３の端面３ａの鉛直方向の位置は、ガラス板３の上面３ｂの研削量と、ガラス板３の下面３ｃの研削量とが等しくなるように、予め調節されている。このように、フロートパネル２２に対する研削ホイール２１の凹部２１ｄの位置、および、フロートパネル２２によりガラス板３に作用する上向きの力や下向きの力を調整することで、ガラス板３の端面３ａは、加工領域である凹部２１ｄに精度良く導かれる。
【００４１】
次に、フロートパネル２２によって鉛直方向の位置が固定された端面３ａが、研削ホイール２１によって研削される。ガラス板３の端面３ａは、研削ホイール２１の側周面２１ｃに形成される凹部２１ｄに入り、凹部２１ｄの表面である上内面２１ｇ、中央内面２１ｈおよび下内面２１ｉと接触する。このとき、研削ホイール２１がガラス板３の端面３ａを押し付ける力が発生しているので、ガラス板３の端面３ａは、研削ホイール２１の凹部２１ｄの表面２１ｇ，２１ｈ，２１ｉから力を受けている。その結果、ガラス板３の端面３ａは、研削ホイール２１の凹部２１ｄによって研削される。図８は、研削ホイール２１によって研削されるガラス板３を示す外観図である。図９は、研削ホイール２１によって研削されるガラス板３を示す平面図である。図８および図９において、研削ホイール２１が回転する方向、および、ガラス板３が移動する方向は、矢印で示されている。
【００４２】
なお、研削ホイール２１の代わりに樹脂ボンド材を用いた樹脂ホイール２１を使用する場合、初回使用時において、樹脂ホイール２１の側周面２１ｃに凹部２１ｄが形成されていなくてもよい。この場合、凹部２１ｄは、樹脂ホイール２１によるガラス板３の端面加工によって形成されてもよい。具体的には、凹部２１ｄを有さない樹脂ホイール２１を、ガラス板３の端面３ａに向かって、過度の力を加えて押し付けることで、樹脂ホイール２１の側周面２１ｃを故意に磨耗させて、側周面２１ｃに凹部２１ｄを形成してもよい。このとき、凹部２１ｄの所望の形状に合わせて端面３ａが予め加工されたガラス板３を用いることができる。
【００４３】
図１０は、ガラス板３の端部３ｆの研削される部位が示された、ガラス板３の端部３ｆの断面図である。図１０において、点線でハッチングされている領域は、研削ホイール２１によって研削されて除去される部分である。ガラス板３の上角部３ｄは、研削ホイール２１の凹部２１ｄの上内面２１ｇと接触し、ガラス板３の下角部３ｅは、研削ホイール２１の凹部２１ｄの下内面２１ｉと接触する。これにより、ガラス板３の上角部３ｄおよび下角部３ｅは、研削ホイール２１から力を受けて、面取りされる。
【００４４】
図１０に示されるように、ガラス板３の上面３ｂおよび下面３ｃの一部は、研削ホイール２１によって研削される。以下、上面３ｂの高さ位置において研削された部分の幅方向の寸法を、第１研削幅Ｗ１と呼び、下面３ｃの高さ位置において研削された部分の幅方向の寸法を、第２研削幅Ｗ２と呼ぶ。言い換えると、第１研削幅Ｗ１は、ガラス板３の上面３ｂに含まれ、かつ、研削ホイール２１による端面３ａの研削によって除去される領域の幅方向の寸法であり、第２研削幅Ｗ２は、ガラス板３の下面３ｃに含まれ、かつ、研削ホイール２１による端面３ａの研削によって除去される領域の幅方向の寸法である。また、第１研削幅Ｗ１と第２研削幅Ｗ２との間の差を、面幅差Ｄと呼ぶ。
【００４５】
フロートパネル２２は、面幅差Ｄができるだけ小さくなるように、ガラス板３の端面３ａの鉛直方向の位置を調節して、ガラス板３の端部３ｆを研削ホイール２１の凹部２１ｄに導く効果を有する。具体的には、フロートパネル２２は、面幅差Ｄが５０μｍ以下、好ましくは２０μｍ以下となるように、ガラス板３の端部３ｆを研削ホイール２１の凹部２１ｄに導くことが好ましい。そのために、研削ホイール２１によってガラス板３の端面３ａを研削する前に、研削ホイール２１の中間面２１ｆの鉛直方向の位置が、フロートパネル２２によって非接触で支持されているガラス板３の端面３ａの鉛直方向中央の高さ位置と一致するように、研削ホイール２１およびフロートパネル２２の鉛直方向の位置が調節される。これにより、ガラス板端面加工装置１は、精度良くガラス板３の端面３ａを加工することができる。
【００４６】
なお、加工後のガラス板３の端部３ｆの面幅差Ｄは、１０μｍ以下であることがより好ましく、５μｍ以下であることがさらに好ましい。また、加工後のガラス板３の端部３ｆの面幅差Ｄは、ガラス板３の厚みに応じて決定されてもよい。例えば、面幅差Ｄは、ガラス板３の厚みの１０％以下であることが好ましく、５％以下であることがより好ましく、３％以下であることがさらに好ましい。
【００４７】
（４）特徴
本実施形態に係るガラス板端面加工装置１は、フロート法およびダウンドロー法等によって熔融ガラスから成形され、製品サイズの寸法に切断されたガラス板３の端面３ａを研削する。ガラス板３の切断面である端面３ａには、ガラス板３の割れおよび欠けの原因となり得る微小の凹凸およびクラックが形成されやすい。ガラス板３の端面３ａを研削して、ガラス板３を面取りすることで、微小の凹凸およびクラックの発生が抑制される。ガラス板端面加工装置１は、研削ホイール２１をガラス板３の端面３ａに押し当てた状態で、ガラス板３を端面３ａに沿って移動させて、端面３ａを研削する。
【００４８】
ガラス板端面加工装置１は、ガラス板３の端面３ａを研削する前に、鉛直方向における研削ホイール２１と端面３ａとの間の位置関係を調節する。具体的には、ガラス板端面加工装置１は、研削ホイール２１の中間面２１ｆの鉛直方向の位置が、フロートパネル２２によって非接触で支持されるガラス板３の鉛直方向中央の高さ位置となるように、研削ホイール２１およびフロートパネル２２の鉛直方向の位置を予め調節する。これにより、鉛直方向において、研削ホイール２１の中間面２１ｆの位置が、フロートパネル２２によって支持されているガラス板３の上面３ｂと下面３ｃとの中間にある仮想的な平面の位置となるように、ガラス板３の端面３ａの鉛直方向の位置が設定される。その結果、第１研削幅Ｗ１と第２研削幅Ｗ２との間の差である面幅差Ｄができるだけ小さくなるように、ガラス板３の端面３ａの鉛直方向の位置が自動的に設定される。これにより、研削ホイール２１によって研削されたガラス板３の断面形状は、図１０に示されるように、ガラス板３の上面３ｂと下面３ｃとの中間にある仮想的な平面に対して、実質的に対称となる。
【００４９】
ここで、比較例として、面幅差Ｄが比較的大きい場合における、研削されたガラス板３の断面形状を図１１に示す。図１１に示されるように、面幅差Ｄが大きい場合、研削ホイール２１によって研削されたガラス板３の断面形状は、ガラス板３の上面３ｂと下面３ｃとの中間面に対して、実質的に対称とならない。この場合、研削されたガラス板３の端面３ａをさらに研磨する際に、端面３ａの一部が研磨されず、端面３ａ全体が研磨されない可能性がある。端面３ａの未研磨の部分からは、ガラスの微小な粒子が生じやすい。そのため、端面３ａ全体が研磨されないと、製品としてのガラス板３の品質が低下するおそれがある。また、ガラス板３の断面形状が中間面に対して実質的に対称とならない場合、ガラス板３の上面３ｂの加工量が設計値よりも大きくなる結果、設計通りの曲げ強度が得られず、製品としてのガラス板３の強度が低下するおそれがある。
【００５０】
従って、ガラス板端面加工装置１は、ガラス板３の端面３ａを研削ホイール２１で研削する前に、研削ホイール２１と端面３ａとの間の鉛直方向における位置関係を、研削ホイール位置調節機構２５、フロートパネル位置調整機構（図示せず）およびフロートパネル２２によって調節することで、ガラス板３の断面形状が中間面に対して実質的に対称となるように精度良く加工することができる。これにより、製品としてのガラス板３の品質を向上させることができる。
【００５１】
また、ガラス板端面加工装置１は、フロートパネル２２を用いて、ガラス板３の端部３ｆの上面３ｂおよび下面３ｃに他の部材を接触させることなく、ガラス板３の端部３ｆの鉛直方向の位置を調節することができる。従って、ガラス板端面加工装置１は、研削機構２０による加工後のガラス板３の端部３ｆの上面３ｂおよび下面３ｃの状態を良好に保つことができる。
【００５２】
また、ガラス板３の端部３ｆは、流体噴出孔２２ｂから噴出される第１流体Ｆ１、および、流体吸引孔２２ｃに吸引される第２流体Ｆ２によって支持されている。フロートパネル２２のパネル表面２２ａには、流体噴出孔２２ｂおよび流体吸引孔２２ｃが、幅方向および端面方向における複数の位置に形成されている。そのため、ガラス板３の端部３ｆは、幅方向における複数の支持ポイントにおいて支持されており、幅方向における１つの支持ポイントで支持されている場合に比べて、支持ポイントにおけるガラス板３の反りや、ガラス板３にかかる応力が小さい。すなわち、フロートパネル２２によってガラス板３の端部３ｆを非接触で支持することで、端部３ｆの上面３ｂおよび下面３ｃに形成される凹凸が抑えられる。その結果、端部３ｆの形状に起因する、端部３ｆの端面３ａの鉛直方向の位置の誤差が抑えられる。
【００５３】
従って、ガラス板端面加工装置１は、フロートパネル２２によってガラス板３の端面３ａの鉛直方向の位置精度を高くして、上述の面幅差Ｄを小さくすることができる。特に、厚さが０．２５ｍｍ以下の薄型のガラス板３の端面加工の場合、ガラス板３が撓みやすいため、金属定盤１０に固定されていない端部３ｆの反りを抑えることが重要である。そのため、ガラス板端面加工装置１は、薄型のガラス板３の端面加工に特に適している。
【００５４】
（５）変形例
（５−１）変形例Ａ
実施形態に係るガラス板端面加工装置１は、ガラス板３を金属定盤１０に固定した状態で、ガラス板３を端面方向に移動させて、ガラス板３の端面３ａを研削する。研削ホイール２１が端面３ａと接触する前に、ガラス板３の端部３ｆは、フロートパネル２２によって研削ホイール２１の凹部２１ｄに導かれる。ガラス板３の端面３ａは、凹部２１ｄの表面である上内面２１ｇ、中央内面２１ｈおよび下内面２１ｉと接触する。これにより、ガラス板３の上角部３ｄおよび下角部３ｅは、同時に面取りされる。
【００５５】
しかし、ガラス板３の上角部３ｄおよび下角部３ｅは、同時に面取りされなくてもよい。例えば、最初にガラス板３の上角部３ｄのみが面取りされ、次にガラス板３の下角部３ｅのみが面取りされてもよい。図１２は、ガラス板３の上角部３ｄのみを面取りする研削機構１２０ａを示す。図１３は、ガラス板３の下角部３ｅのみを面取りする研削機構１２０ｂを示す。図１２および図１３は、ｙ軸方向に沿って見た図である。研削機構１２０ａは、研削ホイール１２１ａおよびフロートパネル１２２ａを有し、研削機構１２０ｂは、研削ホイール１２１ｂおよびフロートパネル１２２ｂを有する。
【００５６】
図１２では、フロートパネル１２２ａの上方において、ガラス板３がフロートパネル１２２ａと接触せずに支持されている。ガラス板３の端面３ａは、フロートパネル１２２ａによって支持されているので、ガラス板３の端面３ａの鉛直方向の位置精度が高い。研削ホイール１２１ａは、ガラス板３の上方に設置され、ガラス板３の上角部３ｄのみを研削する。研削ホイール１２１ａは、上角部３ｄと接触する傾斜部１２３ａを有している。ガラス板３の厚さ方向の研削量は、ガラス板３の厚さの１０％〜２０％が好ましい。ガラス板３の端面３ａが、カッターホイールによるメカニカルスクライブにより切断された端面３ａを有する場合も、ガラス板３の厚さの１０％〜２０％を研削することで、スクライブ線のクラックを除去することができる。
【００５７】
図１３では、フロートパネル１２２ｂの上方において、ガラス板３がフロートパネル１２２ｂと接触せずに支持されている。ガラス板３の端面３ａは、フロートパネル１２２ｂによって支持されているので、ガラス板３の端面３ａの鉛直方向の位置精度が高い。研削ホイール１２１ｂは、ガラス板３の下方に設置され、ガラス板３の下角部３ｅのみを研削する。研削ホイール１２１ｂは、下角部３ｅと接触する傾斜部１２３ｂを有している。
【００５８】
（５−２）変形例Ｂ
実施形態に係るガラス板端面加工装置１では、フロートパネル２２の上方において、ガラス板３は、フロートパネル２２と接触することなく支持されている。しかし、フロートパネル２２の下方において、ガラス板３は、フロートパネル２２と接触することなく支持されてもよい。図１４は、本変形例の研削機構２２０を示す。図１４は、ｙ軸方向に沿って見た図である。図１４には、ガラス板３の下方に設置されているフロートパネル２２２が示されている。フロートパネル２２２の下面であるパネル表面２２２ａは、ガラス板３の端部３ｆの上面３ｂと対向している。
【００５９】
（５−３）変形例Ｃ
実施形態に係るガラス板端面加工装置１は、多孔質体から成形されるフロートパネル２２を有し、ガラス板３に上向きの力を作用させる流体噴出孔２２ｂは、多孔質体の細孔である。しかし、流体噴出孔２２ｂは、流体吸引孔２２ｃと同様に、ドリル等を用いてパネル表面２２ａに形成される孔であってもよい。
【００６０】
図１５は、本変形例のフロートパネル３２２を鉛直方向に沿って上方から下方に向かって見た図である。フロートパネル３２２のパネル表面３２２ａには、複数の流体噴出孔３２２ｂおよび複数の流体吸引孔３２２ｃが形成されている。図１５において、流体噴出孔３２２ｂは、黒丸で示され、流体吸引孔３２２ｃは、白丸で示されている。図１５では、流体噴出孔３２２ｂおよび流体吸引孔３２２ｃは、パネル表面３２２ａにおいて格子点位置に形成されている。流体噴出孔３２２ｂの径は、多孔質体の細孔の径より大きい。流体噴出孔３２２ｂは、幅方向および端面方向における複数の位置に形成されている。すなわち、流体噴出孔３２２ｂは、幅方向および端面方向の両方において広がりを持って配置されている。流体吸引孔３２２ｃは、実施形態の流体吸引孔２２ｃと同じである。流体噴出孔３２２ｂおよび流体吸引孔３２２ｃは、幅方向において交互に配置されている。
【００６１】
（５−４）変形例Ｄ
実施形態に係るガラス板端面加工装置１は、ガラス板３を金属定盤１０に固定した状態で、ガラス板３を端面方向に移動させて、ガラス板３の端面３ａを研削する。しかし、ガラス板３の端面３ａを研削する際に、ガラス板３は固定されていなくてもよい。例えば、金属定盤１０の代わりに、ガラス板３の下面３ｃに空気を吹き付けてガラス板３を浮上させる装置を用いて、ガラス板３全体が、ガラス板３のガイド部材以外、何物とも接触していない状態で、ガラス板３を端面方向に沿って搬送してもよい。
【００６２】
（５−５）変形例Ｅ
実施形態に係るガラス板端面加工装置１は、研削ホイール２１を有する研削機構２０が固定された状態で、ガラス板３が固定された金属定盤１０をガラスガイドによって端面方向に移動させて、ガラス板３の端面３ａを研削する。しかし、他の方法を用いることによって、研削ホイール２１と端面３ａとを端面方向に沿って相対的に移動させて、ガラス板３の端面３ａを研削してもよい。例えば、ガラス板３を固定している金属定盤１０を固定して、かつ、研削ホイール２１を有する研削機構２０の端面方向の位置を移動機構２４によって変化させてもよい。この場合においても、回転している研削ホイール２１は、ガラス板３の端面３ａに接触しながら、端面方向に沿って端面３ａに対して相対的に移動することができる。そのため、研削ホイール２１は、ガラス板３の端面３ａを研削することができる。なお、金属定盤１０および研削機構２０の両方を、端面方向に沿って互いに相対的に移動させて、ガラス板３の端面３ａを研削してもよい。
【００６３】
（５−６）変形例Ｆ
実施形態に係るガラス板端面加工装置１は、メタルボンド砥石で成形された研削ホイール２１を有している。しかし、研削ホイール２１は、弾性砥石で成形されてもよい。弾性砥石は、硬い粒である砥粒を、弾性を有する軟らかい結合材で結び付けて成形した砥石である。砥粒は、ダイヤモンド、酸化アルミニウムおよび炭化ケイ素等の微小な粒である。結合材は、ポリビニルアルコールおよびポリウレタン等の軟質樹脂である。弾性砥石は、結合材から構成されるスポンジ構造の内部に、無数の砥粒が保持されている構造を有している。
【００６４】
（５−７）変形例Ｇ
実施形態に係るガラス板端面加工装置１は、研削ホイール２１によって研削されたガラス板３の端面３ａを研磨する研磨機構をさらに備えてもよい。研磨機構は、弾性砥石で成形された研磨ホイールを用いて、端面３ａを研磨する。研磨ホイールの砥粒は炭化ケイ素が好ましく、炭化ケイ素砥粒の粒度は♯４００〜＃１２００であることが好ましい。研磨ホイールの砥粒を結び付ける結合剤は、柔軟性および弾性を有するポリウレタン系の樹脂結合剤であることが好ましい。研磨機構は、端面３ａを研磨する前に、研磨ホイールと端面３ａとの間の鉛直方向における位置関係を調節してもよい。
【００６５】
ガラス板端面加工装置１は、ガラス板３の端面３ａを研削ホイール２１で研削する前に、研削ホイール２１と端面３ａとの間の鉛直方向における位置関係を調節することで、ガラス板３の端面３ａを均一に研削することができる。これにより、研磨機構は、研削された端面３ａを均一に研磨することができる。その結果、ガラス板端面加工装置１によって加工されたガラス板３の端面３ａは、未研磨の部分をほとんど有さないので、加工されたガラス板３からは、ガラスの微小な粒子が生じにくい。従って、ガラス板端面加工装置１は、製品としてのガラス板３の品質を向上させることができる。
【００６６】
なお、ガラス板端面加工装置１によって研削および研磨されたガラス板３の端面３ａは、その全体において、０．１μｍ未満のＲａを有することが確認された。また、端面３ａを研磨する前に、研磨ホイールと端面３ａとの間の鉛直方向における位置関係を調節した場合、ガラス板端面加工装置１によって研削および研磨されたガラス板３の端面３ａは、その全体において、０．０８μｍ未満のＲａを有することが確認された。
【符号の説明】
【００６７】
３      ガラス板
３ａ    ガラス板の端面
３ｂ    ガラス板の上面（ガラス板の主表面）
３ｃ    ガラス板の下面（ガラス板の主表面）
３ｆ    ガラス板の端部
１０      金属定盤（固定部）
２０      研削機構（研削部）
２１      研削ホイール（研削手段）
２１ｄ    凹部（加工溝）
２２      フロートパネル
２２ａ    パネル表面
２２ｂ    流体噴出孔
２２ｃ    流体吸引孔
Ｆ１    第１流体（流体）
Ｆ２    第２流体（流体）
Ｗ１    第１研削幅
Ｗ２    第２研削幅
Ｄ      面幅差
【先行技術文献】
【特許文献】
【００６８】
【特許文献１】特開２００２−１６０１４７号公報
【図１】
0006457802.tif 000002
【図２】
0006457802.tif 000003
【図３】
0006457802.tif 000004
【図４】
0006457802.tif 000005
【図５】
0006457802.tif 000006
【図６】
0006457802.tif 000007
【図７】
0006457802.tif 000008
【図８】
0006457802.tif 000009
【図９】
0006457802.tif 000010
【図１０】
0006457802.tif 000011
【図１１】
0006457802.tif 000012
【図１２】
0006457802.tif 000013
【図１３】
0006457802.tif 000014
【図１４】
0006457802.tif 000015
【図１５】
0006457802.tif 000016