(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属部品の表面にレーザ光を照射して、
前記金属部品の表面から、油分を除去する金属部品のレーザ洗浄装置であって、
前記金属部品を保持する作業ステージと、
前記金属部品の表面に加熱された気体を送風して前記金属部品を加熱するとともに、前記油分を飛散させる送風機構と、
前記金属部品の表面に、前記レーザ光を照射するレーザ光照射部と、
前記金属部品の表面に照射された前記レーザ光のスポットを、前記金属部品に対して相対移動させる移動機構とを有し、
前記送風機構は、前記金属部品の表面における、前記スポットの進行方向の前方に、前記気体を送風する、
金属部品のレーザ洗浄装置。
【請求項２】
前記移動機構は、
前記レーザ光照射部を、互いに直交する３軸方向のうち、いずれかの１軸もしくは２軸もしくは３軸の方向に移動する機構を有する、
請求項１に記載の金属部品のレーザ洗浄装置。
【請求項３】
前記移動機構は、
前記レーザ光と直交する軸を中心として、前記レーザ光照射部を回転させる機構を有する、
請求項１に記載の金属部品のレーザ洗浄装置。
【請求項４】
前記金属部品に送風される前記気体は、
前記金属部品に照射される前記レーザ光の光路を横切る、
請求項１から３のいずれか一項に記載の金属部品のレーザ洗浄装置。
【請求項５】
前記送風機構の、前記金属部品の表面に沿う方向の送風範囲は、
前記レーザ光の、前記金属部品の表面に沿う方向の照射範囲よりも広い、
請求項１から４のいずれか一項に記載の金属部品のレーザ洗浄装置。
【請求項６】
前記送風機構の、前記金属部品の表面に対して垂直な方向の送風範囲は、
前記金属部品の表面から、前記油分の表面までよりも広い、
請求項１から５のいずれか一項に記載の金属部品のレーザ洗浄装置。
【請求項７】
前記送風機構の、前記金属部品の表面に対する前記気体の送風角度は、
０°から７０°の範囲である、
請求項１から６のいずれか一項に記載の金属部品のレーザ洗浄装置。
【請求項８】
前記レーザ光照射部は、
前記送風機構により前記気体が送風された後の前記金属部品の表面に、前記レーザ光を照射する、
請求項１から７のいずれか一項に記載の金属部品のレーザ洗浄装置。
【請求項９】
前記送風による飛散物及び前記レーザ光の照射による飛散物を吸引する、
吸引機構を有する、
請求項１から８のいずれか一項に記載の金属部品のレーザ洗浄装置。
【請求項１０】
前記金属部品を搬送する搬送機構を有する、
請求項１から９のいずれか一項に記載の金属部品のレーザ洗浄装置。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか一項に記載の金属部品のレーザ洗浄装置を用いた金属部品のレーザ洗浄方法であって、
前記金属部品を前記金属部品のレーザ洗浄装置まで搬送し、保持する工程と、
前記金属部品に、前記送風機構により加熱された気体を送風して、前記金属部品に付着した油分を加熱する工程と、
流動開始温度以上の温度まで加熱された前記油分を、前記送風機構の送風により吹き飛ばす工程と、
前記送風により吹き飛ばされた前記油分を、吸引ユニットにより吸引する工程と、
前記送風により前記油分が削減されたエリアに、前記レーザ光を照射する工程と、
前記レーザ光の照射により発生した飛散物を、前記吸引ユニットにより吸引する工程と、
洗浄済みの前記金属部品を次工程に搬送する工程とを有する、
金属部品のレーザ洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光を照射することにより、金属部品を脱脂するレーザ洗浄装置、及びこのレーザ洗浄装置を用いたレーザ洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
鋼材のように、それ自体が防錆機能を持たない金属部品は錆が発生しやすいため、メーカーから出荷される際に、表面に防錆油が塗布されている。また、金属部品を加工する際には、切削油やプレス油が使用されるため、金属部品の表面に油分が付着する。油分が付着した金属部品の表面は、接着剤が剥がれやすくなる。したがって、油分が付着した金属部品に対して接着を行う場合には、金属部品の表面に付着した油分を除去する、脱脂洗浄プロセスを経る必要がある。【０００３】
従来、脱脂洗浄技術として、洗浄液を使用するウェット洗浄が広く用いられているが、洗浄液を使用する方法は、製造コストの上昇、製造工数の増加、環境対策といった負荷が大きい。そこで、洗浄液を用いないドライ洗浄技術として、レーザ洗浄が用いられている。【０００４】
レーザ洗浄は、高いエネルギー密度のレーザ光を物質に照射したとき、構成物質が爆発的に放出される、レーザアブレーションと呼ばれる現象を利用した洗浄方法である。しかし、レーザ洗浄には、飛散した油分の再付着という課題がある。そこで、吸引手段と送風手段とをレーザ光の走査部位に追従させることにより、レーザ光の照射に伴って飛散した油分の再付着を抑制するものが開示されている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５３０２７２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載されたレーザ洗浄装置では、被洗浄部品である金属部品から除去した油分の一部が、金属部品における、洗浄済みの部分に再付着することがある。また、レーザ光の照射のみでは、油分が除去しきれずに、洗浄ムラが発生することがある。また、被洗浄部品である金属部品における、レーザ光が照射された部位と、周囲の部位との温度差により、金属部品に歪が発生するおそれがあった。【０００７】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、除去した油分の再付着、及び油分の洗浄ムラを抑制するとともに、被洗浄部品である金属部品の歪の発生を抑制することのできる、レーザ洗浄装置を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るレーザ洗浄装置は、被洗浄部品を保持する作業ステージと、被洗浄部品を加熱する加熱装置と、被洗浄部品の表面に、気体を送風する送風機構と、被洗浄部品の表面に、レーザ光を照射するレーザ光照射部と、被洗浄部品の表面に照射されたレーザ光のスポットを、被洗浄部品に対して相対移動させる移動機構とを有する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、被洗浄部品に付着している油分の温度を上昇させて、流動性を良くすることにより、被洗浄部品の洗浄ムラを防止することのできる、レーザ洗浄装置を得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態１によるレーザ洗浄装置の概略を示す図である。
【図２】実施の形態１によるレーザ洗浄装置の作用を、正面方向からみて説明する模式図である。
【図３】実施の形態１によるレーザ洗浄装置の作用を、側面方向からみて説明する模式図である。
【図４】実施の形態１のレーザ洗浄装置を用いた洗浄工程を説明する図である。
【図５】実施の形態１のレーザ洗浄装置の第１変形例を示す図である。
【図６】実施の形態１のレーザ洗浄装置の第２変形例を示す図である。
【図７】実施の形態１のレーザ洗浄装置の第３変形例を示す図である。
【図８】実施の形態１のレーザ洗浄装置の第４変形例を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態２によるレーザ洗浄装置の概略を示す図である。
【図１０】実施の形態２によるレーザ洗浄装置の作用を、正面方向からみて説明する模式図である。
【図１１】実施の形態２によるレーザ洗浄装置の作用を、側面方向からみて説明する模式図である。
【図１２】実施の形態２のレーザ洗浄装置の第１変形例を示す図である。
【図１３】実施の形態２のレーザ洗浄装置の第２変形例を示す図である。
【図１４】本発明の実施の形態３によるレーザ洗浄装置の概略を示す図である。
【図１５】本発明の実施の形態４によるレーザ洗浄装置の概略を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明のレーザ洗浄装置の好適な実施の形態につき、図面を用いて説明する
【００１２】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１によるレーザ洗浄装置１００の概略を示す図である。また、図２は、レーザ洗浄装置１００の作用を正面から見た模式図であり、図３は、レーザ洗浄装置１００の作用を側面から見た模式図である。図１に示すように、レーザ洗浄装置１００は、ベース１１と、レーザユニット１と、コラム１３と、作業ステージ１２と、ＸＹステージ１５とを有している。
【００１３】
ベース１１には、コラム１３と、ＸＹステージ１５が取り付けられている。レーザユニット１は、コラム１３に支持されている。また、作業ステージ１２は、ＸＹステージ１５の上に固定されている。
【００１４】
図２及び図３に示すように、レーザユニット１は、作業ステージ１２に保持された被洗浄部品である金属部品２３Ａに、レーザ光２１を照射する。なお、レーザユニット１のレーザ光源及びレーザ駆動装置は、レーザ洗浄装置１００の外部に配置されている。レーザ光源には、ＹＡＧレーザ（波長１０６４ｎｍ）を用いる。なお、レーザ光源は、炭酸ガスレーザ（波長１０．６μｍ）であってもよい。
【００１５】
図３に示すように、レーザユニット１は、レーザ光２１のスポットＳを一定の角度で往復走査させる、ガルバノミラーを用いた偏向機構を有している。レーザ光２１のスポットＳの径は、レーザ光学系に使用されるレンズを交換することによって変更することが可能である。なお、レーザ光２１の偏向機構は、走査方式に限らず、拡散方式であってもよい。
【００１６】
作業ステージ１２は、金属部品２３Ａを保持する、図示しない保持機構を有している。また、ＸＹステージ１５は、図示しない駆動装置により、図１に矢印で示すＸ方向及びＹ方向に移動可能である。作業ステージ１２は、ＸＹステージ１５の移動に伴って移動することにより、金属部品２３ＡをＸＹ方向に移動させることが可能である。なお、ＸＹステージ１５の移動速度は、洗浄ムラが発生しない速度にしている。
【００１７】
以上の構成により、例えば、レーザ光２１をＹ方向に走査し、作業ステージ１２をＸ方向に移動させることで、作業ステージ１２上に保持された金属部品２３Ａの矩形の範囲に、レーザ光２１の照射を行うことが可能となる。
【００１８】
また、コラム１３は、レーザユニット１を上下させる昇降機構を有している。レーザユニット１は、コラム１３の昇降機構により、作業ステージ１２上の被洗浄部品に対し、上下方向に移動可能となっている。これにより、金属部品２３Ａが凹凸のある形状であっても、金属部品２３Ａの表面に、レーザ光２１の焦点を合わせることができる。
【００１９】
また、レーザ洗浄装置１００は、送風機構３と吸引機構５とを有している。送風ユニット３は、送風ユニット保持機構４により、ベース１１に支持されている。一方、吸引ユニット５は、吸引ユニット保持機構６により、ベース１１に支持されている。送風ユニット保持機構４は、送風ユニット３の位置及び送風角度が調整可能である。一方、吸引ユニット保持機構６は、吸引ユニット５の位置及び送風角度が調整可能である。
【００２０】
図２及び図３は、作業ステージ１２上に保持された金属部品２３Ａの表面に付着した油分２４に対し、送風ユニット３から気体２２を送風するとともに、レーザ光２１を照射している状態を示す模式図である。図２はレーザ光の進行方向に対して側面側から見た様子を示しており、図３はレーザ光の進行方向に対して正面側から見た様子を示している。
【００２１】
図２及び図３に示すように、送風ユニット３は、作業ステージ１２上に保持された金属部品２３Ａの表面に気体２２を送風する。送風ユニット３は、図示しない熱源を有しており、気体２２は、送風ユニット３内で加熱されてから送風される。気体２２を加熱する温度は、金属部品２３Ａに付着している油分２４が、気体２２を送風されることで流動を開始する４０℃付近から、金属部品２３Ａに付着している油分２４の引火点（約２００℃）未満の範囲とする。以下、油分２４が流動を開始する温度を、流動開始温度とよぶ。流動開始温度は、ＪＩＳ  ２２４６に記載のさび止め油の流下点試験方法に記載された手法を活用して得た温度である。
【００２２】
レーザ洗浄装置１００を用いた金属部品２３Ａの洗浄工程は、まず、送風ユニット３から送出される加熱された気体２２によって流動性が高くなった油分２４を飛散させる。そして次に、金属部品２３Ａの表面に残った油分２４に対して、レーザ光２１を照射するという順序で、油分２４の除去を行う。これにより、金属部品２３Ａの表面から、効率的に、ムラなく油分２４を除去することが可能となる。この順序が逆になると、油分２４の除去にムラが生じてしまうため、送風ユニット３の位置及び送風方向の調整が重要となる。
【００２３】
図２において、金属部品２３Ａを洗浄する際には、ＸＹステージ１５を、矢印Ｄの方向に移動させながら行う。すると、レーザ光２１のスポットＳは、作業ステージ１２上で、相対的に、矢印Ｄと逆の方向に移動する。この場合、気体２２を金属部品２３Ａに送風する位置は、図２に示すように、金属部品２３Ａの表面上で、レーザ光２１のスポットＳが進行する方向の前方となるように、送風ユニット保持機構４を調整する。
【００２４】
なお、気体２２を金属部品２３Ａに送風する位置を、レーザ光２１のスポットＳから大きく離間させてしまうと、金属部品２３Ａの形状によっては洗浄効率が悪くなる。そこで、実施の形態１のレーザ洗浄装置１００では、図２に示すように、送風ユニット３から送出される気体２２が、レーザ光２１の光路を横切って、金属部品２３Ａに付着した油分２４に照射されるように、送風ユニット保持機構４を調整している。ここで、レーザ光２１の光路を気体２２が横切ることによる、レーザ光２１のパワー及びスポットＳの形状への影響は、無視できるほど小さい。
【００２５】
また、水平面内において、送風ユニット３から送風される気体２２が当たる範囲は、レーザ光２１のスポットＳが走査する範囲より広くなるように設定する。そして、金属部品２３Ａの表面に垂直な方向における、気体２２が送風される範囲は、金属部品２３Ａの表面から、金属部品２３Ａに付着した油分２４の厚みまでの高さよりも高くなるように設定する。さらに、送風ユニット３から送風される気体２２の方向と、金属部品２３Ａの表面とがなす角度は、７０°以下に設定する。これは、レーザ光２１のスポットＳの進行方向の後方に、油分２４が飛散して、油分２４が再付着することを抑制するためである。
【００２６】
一方、吸引ユニット５は、金属部品２３Ａの表面から飛散した油分２４などの飛散物２５を吸引する。吸引ユニット５は、図１に示すように、作業ステージ１２の上方に配置される。吸引ユニット５は、吸引ユニット保持機構６により、飛散物２５を吸引可能な位置及び姿勢に調整される。また、吸引ユニット保持機構６は、吸引した飛散物２５を回収する配管を有している。
【００２７】
このように構成された実施の形態１のレーザ洗浄装置１００によれば、ベース１１に固定されたコラム１３と、コラム１３に支持されたレーザユニット１と、ＸＹステージ１５と、ＸＹステージ１５に固定された作業ステージ１２と、気体２２を加熱して送風する送風ユニット３と、吸引ユニット５とを有している。これにより、実施の形態１のレーザ洗浄装置１００は、金属部品２３Ａの表面に付着した油分２４に、送風ユニット３から加熱された気体２２を送風して、油分２４を加熱するとともに飛散させている。そして、ＸＹステージ１５により金属部品２３Ａを移動させるとともに、レーザユニット１により金属部品２３Ａの表面に残る油分２４に対してレーザ光２１を照射して、金属部品２３Ａの表面から油分２４を飛散させている。さらに、金属部品２３Ａの表面から飛散した油分２４などの飛散物２５を、吸引ユニット５で吸引して回収している。よって、飛散した油分２４を、金属部品２３Ａの表面に再付着させることなく、また、油分２４をムラなく除去することができる。さらに、レーザ光２１が照射される部分と他の部分との温度差による金属部品２３Ａの歪の発生を抑制することができる。
【００２８】
次に、図４を用いて、実施の形態１によるレーザ洗浄装置１００を用いて、被洗浄部品の洗浄を実施する工程（Ｓ１〜Ｓ７）を説明する。
【００２９】
まず、被洗浄部品としての金属部品２３Ａの表面形状に基づいて、レーザユニット１の焦点、送風ユニット３及び吸引ユニット５の位置及び角度を調整する。次に、金属部品２３Ａを図示しない保持具により作業ステージ１２に保持する（Ｓ１）。
【００３０】
次に、金属部品２３Ａに、送風ユニット３から加熱された気体２２を送風して、金属部品２３Ａ及び油分２４の温度を上昇させる（Ｓ２）。このときの温度は、金属部品２３Ａに付着する油分２４の種類に基づいて設定する。金属部品２３Ａに付着している油分２４が、常温で流動性の高い油分２４である場合には、温度を低く設定し、常温では流動性が低い油分２４の場合には、温度を高く設定する。ただし、油分２４の引火点未満に留める。
【００３１】
金属部品２３Ａ及び油分２４の温度が上昇することで、送風ユニット３から送風する気体２２が、金属部品２３Ａに付着している油分２４を飛散させる（Ｓ３）。これと同時に、吸引ユニット５による飛散物２５の吸引を開始する（Ｓ４）。
【００３２】
次に、ＸＹステージ１５の移動を開始するとともに、レーザユニット１からのレーザ光２１の照射を開始する（Ｓ５）。レーザ光２１のスポットＳが、金属部品２３Ａの表面を走査し終えるまで、送風ユニット３による気体２２の送風と、吸引ユニット５による飛散物２５の吸引を継続する（Ｓ６）。そして、洗浄された金属部品２３Ａを、次工程に搬送する（Ｓ７）。以上により、金属部品２３Ａの表面に付着した油分２４の洗浄が終了する。
【００３３】
なお、実施の形態１のレーザ洗浄装置１００では、図２及び図３に示すように、レーザ光２１を偏向させていないときの、レーザ光２１の作業ステージ１２に対する照射角度は垂直であるが、これに限るものではない。例えば、レーザ光２１を偏光させていないときの、レーザ光２１の作業ステージ１２に対する照射角度は、レーザアブレーションの効果を得られる範囲で角度を付けても良い。
【００３４】
また、実施の形態１のレーザ洗浄装置１００では、送風ユニット３及び吸引ユニット５は、１つずつ配置したが、これに限るものではない。例えば、送風ユニット３と吸引ユニット５は、レーザユニット１の配置に応じて、それぞれ２つ以上配置してもよいし、送風ユニット３と吸引ユニット５の一方のみを２つ以上配置してもよい。
【００３５】
また、実施の形態１によるレーザ洗浄装置１００では、送風ユニット３から送風する、加熱された気体２２によって、金属部品２３Ａ及び油分２４を加熱していたが、加熱する方法は、これに限るものではない。例えば、図５に示す第１変形例のレーザ洗浄装置１１０のように、作業ステージ１２の上方に、ヒータユニット１６を配置して、金属部品２３Ａ及び油分２４を加熱してもよい。
【００３６】
ヒータユニット１６は、遠赤外線の放射熱により、金属部品２３Ａ及び油分２４を加熱する。ヒータユニット１６は、直方体の形状をしており、図５に示すように、金属部品２３Ａの洗浄時にＸＹステージ１５を移動させるＸ方向に沿って、長手方向を配置する。また、ヒータユニット１６は、図５に示すように、長手方向が平行になるように、２つ配置してもよい。ヒータユニット１６の数は２つに限るものではなく、形状も直方体に限るものではない。例えば、ヒータユニット１６の数は３つ以上であってもよく、形状は、金属部品２３Ａの表面を効率的に加熱することができる形状であれば、どのような形状であってもよい。さらに、送風ユニット３により、加熱された気体２２を送風することに加えて、ヒータユニット１６を配置してもよい。これにより、油分２４の種類によって、加熱した気体２２では、油分２４の温度上昇に時間を要する場合であっても、ヒータユニット１６により、油分２４の温度上昇を早めることができ、洗浄工程にかかる時間を短縮することができる。
【００３７】
さらに、図６に示す第２変形例のレーザ洗浄装置１２０のように、作業ステージ１２自体に、ヒータユニット１７を配置してもよい。ヒータユニット１７は、作業ステージ１２における、金属部品２３Ａを保持する範囲の全体を、同時に加熱することができるヒータを有している。これにより、金属部品２３Ａ及び油分２４の全体をムラなく加熱することができ、さらに、油分２４への加熱を維持した状態で、レーザ光２１を照射することができる。よって、金属部品２３Ａの表面から、ムラなく油分２４を除去することができる。
【００３８】
また、図７に示す第３変形例のレーザ洗浄装置１３０のように、金属部品２３Ａの搬送機構として、ロボットアーム１８を配置してもよい。ロボットアーム１８は、複数の軸と関節を有しており、先端部は三次元方向に移動可能である。ロボットアームの先端部は、用途に応じたアタッチメントを取り付けることにより、人間の腕および手の動作と同様に、つかむ・放す・運ぶなどの作業をすることができる。ロボットアーム１８を用いることにより、金属部品２３Ａを自動かつ連続的に処理することができる。ロボットアーム１８は、図示しない保持機構によって、金属部品２３Ａを保持し、作業ステージ１２上の任意の位置に金属部品２３Ａを搬送する。
【００３９】
また、図８に示す第４変形例のレーザ洗浄装置１４０のように、ヘラ、刷毛または布などにより構成される異物除去機構７を配置してもよい。これにより、金属部品２３Ａの表面に付着する、油分以外の送風及びレーザ照射により除去が困難な異物２６を、異物除去機構７によって除去することができる。
【００４０】
実施の形態２．
図９は、実施の形態２によるレーザ洗浄装置２００の概略図である。実施の形態２によるレーザ洗浄装置２００は、レーザ光２１を走査せず、被洗浄対象である円筒状の金属部品２３Ｂを保持して回転させる回転装置１４を有している点が、実施の形態１のレーザ洗浄装置１００とは異なる。他の構成は実施の形態１と同様である。また、図１０は、レーザ洗浄装置２００の作用を正面から見た模式図であり、図１１は、レーザ洗浄装置２００の作用を側面から見た模式図である。
【００４１】
実施の形態２によるレーザ洗浄装置２００は、作業ステージ１２の上に着脱可能に固定された、回転装置１４を有している。回転装置１４は、図示しない保持機構によって、円筒状の金属部品２３Ｂを保持し、金属部品２３Ｂの回転軸を中心に回転させる機能を有する。回転装置１４の保持機構は、旋盤のチャックと同様の機構を有する。
【００４２】
図１０及び図１１に示すように、レーザ洗浄装置２００は、回転装置１４により、金属部品２３Ｂを矢印Ｒの方向に回転させる。そして、送風ユニット３により、円筒状の金属部品２３Ｂの表面に付着した油分２４に加熱された気体２２を送風し、金属部品２３Ｂ及び油分２４を加熱する。そして、金属部品２３Ｂ及び油分２４の温度が上昇することで、送風ユニット３から送風する気体２２が、金属部品２３Ｂの表面から、油分２４を飛散させる。これと同時に、吸引ユニット５により、飛散物２５の吸引を開始する。次に、ＸＹステージ１５を矢印Ｄの方向に移動させるとともに、レーザユニット１により、金属部品２３Ｂの油分２４に、レーザ光２１を照射する。なお、回転装置１４により、金属部品２３Ｂを回転させる方向は、矢印Ｒと逆の方向であってもよい。
【００４３】
これにより、実施の形態２のレーザ洗浄装置２００によれば、円筒状の金属部品２３Ｂの表面の油分２４に、ムラなく気体２２を送風するとともに、油分２４を飛散及び吸引することができる。また、金属部品２３Ｂの油分２４に、ムラなくレーザ光２１を照射することができる。よって、金属部品２３Ｂから油分２４をムラなく除去することができるとともに、金属部品２３Ｂから飛散した油分２４が、金属部品２３Ｂに再付着することを抑制できる。さらに、金属部品２３Ｂにおける、レーザ光２１が照射される部分と、他の部分との温度差による、金属部品２３Ｂの歪の発生を抑制することができる。
【００４４】
また、実施の形態２では、送風ユニット３から加熱した気体２２を送風して、金属部品２３Ｂと油分２４を加熱していたが、これに限るものではない。例えば、図１２に示す第１変形例のレーザ洗浄装置２１０のように、作業ステージ１２の上方に、ヒータユニット１６を配置して、金属部品２３Ｂと油分２４を加熱してもよい。さらに、加熱した気体２２の送風と、ヒータユニット１６の両方を用いて加熱してもよい。
【００４５】
また、実施の形態２による金属部品２３Ｂの搬送機構として、図１３に示す第２変形例のレーザ洗浄装置２２０のように、ロボットアーム１８を配置してもよい。
【００４６】
実施の形態３．
図１４は、実施の形態３によるレーザ洗浄装置３００を示す概略図である。実施の形態３によるレーザ洗浄装置３００は、レーザユニット１をロボットアーム１９によって支持している点が、実施の形態１とは異なる。ロボットアーム１９の構成は、実施の形態２の第２変形例で示したロボットアーム１８と同様である。他の構成は実施の形態１と同様である。
【００４７】
ロボットアーム１９は、図示しない保持機構によってレーザユニット１を保持する。そして、レーザ光と直交する軸を中心として、レーザユニット１を回転させることができる。よって、実施の形態３によるレーザ洗浄装置３００では、レーザユニット１のレーザ光の照射位置及びレーザ光の照射角度を、ロボットアーム１９によって制御することができる。これにより、実施の形態３によるレーザ洗浄装置３００によれば、実施の形態１ではレーザ光を照射することができなかった、段差等の形状を有する金属部品２３Ａに対しても、レーザ光を照射することができる。
【００４８】
なお、実施の形態３では、ロボットアーム１９によって、レーザユニット１をＸＹＺ方向に移動させることが可能である。従って、コラム１３及びＸＹステージ１５に替えて、ロボットアーム１９を移動機構として用いてもよい。
【００４９】
実施の形態４．
図１５は、実施の形態４によるレーザ洗浄装置４００の概略図である。
実施の形態４によるレーザ洗浄装置４００は、被洗浄対象である円筒状の金属部品２３Ｂを保持して回転させる回転装置１４を有している点が、実施の形態３のレーザ洗浄装置３００とは異なる。他の構成は、実施の形態３と同様である。
【００５０】
これにより、実施の形態４によるレーザ洗浄装置４００によれば、実施の形態２ではレーザ光を照射することができなかった、段差等の形状を有する金属部品２３Ａに対しても、レーザ光を照射することができる。
【００５１】
また、実施の形態４によるレーザ洗浄装置４００によれば、実施の形態２のレーザ洗浄装置２００と同様に、円筒状の金属部品２３Ｂの表面の油分２４に、ムラなく気体２２を送風するとともに、油分２４を飛散及び吸引することができる。また、金属部品２３Ｂの油分２４に、ムラなくレーザ光２１を照射することができる。よって、金属部品２３Ｂから油分２４をムラなく除去することができるとともに、金属部品２３Ｂから飛散した油分２４が、金属部品２３Ｂに再付着することを抑制できる。さらに、金属部品２３Ｂにおける、レーザ光２１が照射される部分と、他の部分との温度差による、金属部品２３Ｂの歪の発生を抑制することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１  レーザユニット（レーザ光照射部）、３  送風ユニット（送風機構、加熱装置）、４  送風ユニット保持機構、５  吸引ユニット（吸引機構）、６  吸引ユニット保持機構、７  異物除去機構、１１  ベース、１２  作業ステージ、１３  コラム（移動機構）、１４  回転装置（移動機構）、１５  ＸＹステージ（移動機構）、１６，１７  ヒータユニット（加熱装置）、１８，１９  ロボットアーム（搬送機構）、２１  レーザ光、２２  気体、２３Ａ，２３Ｂ  金属部品（被洗浄部品）、２４  油分（付着物）、２５  飛散物、１００，１１０，１２０，１３０，１４０，２００，２１０，２２０，３００，４００  レーザ洗浄装置、Ｓ  スポット。
【要約】
レーザ洗浄装置１００において、被洗浄部品２３Ａを保持する作業ステージ１２と、被洗浄部品２３Ａを加熱する加熱装置と、被洗浄部品２３Ａの表面に気体２２を送風する送風機構３と、被洗浄部品２３Ａの表面に、レーザ光２１を照射するレーザ光照射部１と、被洗浄部品２３Ａの表面に照射されたレーザ光２１のスポットＳを、被洗浄部品２３Ａに対して相対移動させる移動機構１５とを有する。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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