(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮気体供給源からの圧縮気体が流通する気体ヘッダ配管と、
内部に流通する加圧液体供給源からの加圧液体が終端側から始端側に流れるような構造を有する液体ヘッダ配管と、
前記液体ヘッダ配管の終端部に、鉛直方向であって開口部が上向きに位置すると共に、前記液体ヘッダ配管の終端部の高さより高い位置となるように接続された終端液体バッファ配管及び、前記液体ヘッダ配管の終端部以外の部位に、鉛直方向であって開口部が上向きに位置するように接続され前記終端液体バッファ配管の高さより高い位置まで延びた他の液体バッファ配管と、
前記気体ヘッダ配管にそれぞれ接続され、前記液体バッファ配管からの加圧液体と、前記気体ヘッダ配管からの前記圧縮気体を混合するものであって、この混合して得られる霧化流体を、霧化流体使用先に噴霧する少なくとも２個の二流体ノズルと、
前記各液体バッファ配管の開口部にそれぞれ接続された少なくとも２個の配管接続用継手と、
前記各配管接続用継手の上端部と前記二流体ノズルの液体供給部に両端がそれぞれ接続され、前記液体ヘッダ配管からの加圧液体を供給するための少なくとも２個の加圧液体供給配管と、
を具備し、
前記二流体ノズルが噴霧中に前記液体ヘッダ配管中に空気溜りが残らず、且つ前記二流体ノズルが噴霧を一時的に停止したときに、前記液体ヘッダ配管の局所に集中した空気溜りができず、次回の噴霧再開時に速やかに前記圧縮気体が前記二流体ノズルから吐出される様にしたことを特徴とする二流体噴霧装置。
【請求項２】
圧縮気体供給源からの圧縮気体が流通する気体ヘッダ配管と、
前記気体ヘッダ配管に鉛直方向であって開口部が上向きに位置するように接続された気体バッファ配管と、
内部に流通する加圧液体供給源からの加圧液体が終端側から始端側に流れるような構造を有する液体ヘッダ配管と、
前記液体ヘッダ配管の終端部に、鉛直方向であって開口部が上向きに位置すると共に、前記液体ヘッダ配管の終端部の高さより高い位置となるように接続された終端液体バッファ配管及び、前記液体ヘッダ配管の終端部以外の部位に、鉛直方向であって開口部が上向きに位置するように接続され前記終端液体バッファ配管の高さより高い位置まで延びた他の液体バッファ配管と、
前記各気体バッファ配管の開口部に接続され、前記気体バッファ配管からの前記圧縮気体と、前記液体バッファ配管からの加圧液体を混合するものであって、この混合して得られる霧化流体を、霧化流体使用先に噴霧する少なくとも２個の二流体ノズルと、
前記各液体バッファ配管の開口部にそれぞれ接続された少なくとも２個の配管接続用継手と、
前記各配管接続用継手の上端部と前記二流体ノズルの液体供給部に両端がそれぞれ接続され、前記液体ヘッダ配管からの加圧液体を供給するための少なくとも２個の加圧液体供給配管と、
を具備し、
前記二流体ノズルが噴霧中に前記液体ヘッダ配管中に空気溜りが残らず、且つ前記二流体ノズルが噴霧を一時的に停止したときに、前記液体ヘッダ配管の局所に集中した空気溜りができず、次回の噴霧再開時に速やかに前記圧縮気体が前記二流体ノズルから吐出される様にしたことを特徴とする二流体噴霧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本実施形態は、圧縮気体例えば圧縮空気と、液体例えば水を加圧した液体とを二流体ノズルに供給することで得られる噴霧流体を霧化流体使用先に噴霧する二流体噴霧装置、二流体噴霧装置の停止方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１の発明では、水を吸い上げるサイフォンの特性を持ったノズルと、ノズルが液体をくみ上げるための連続給水式タンクにより、二流体ノズルから液だれを防止しながら噴霧を行っていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１４４３９６号公報
【特許文献２】特開平８−２７８０４７号公報
【特許文献３】特開２０１０−６３９６０号公報
【特許文献４】特開２００７−１５４７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の発明では、配管に残った液体を、別の流路からエアを吹き込んで、噴ききることにより液だれを防止していたが、次のような問題点がある。
【０００５】
（１）噴ききる量を少なくした場合、配管の残圧により、停止した後に液体が噴出してきたり、配管中の液体が何かの拍子に垂れだす危険性がある。
【０００６】
（２）噴ききる量を多くした場合、吹ききるまでにかなりの時間を要すため、きめ細かく噴霧量を制御する必要がある制御装置には使用できない。
【０００７】
（３）大規模な噴霧システムで使用する場合（例えば２０ｍの長さに直線的に等間隔で２０個のノズルを配置した場合等）は、全てのノズルの液だれを効果的且つ低コストで液だれ防止することは困難であった。
【０００８】
また、特許文献２では、一つのユニットに取付けることのできるノズルは４個までである上に、集中的にしか配置できず、ユニットのコストや、設置性が困難な点等に問題があった。
【０００９】
さらに、特許文献３では液体配管に大量にエアが入るため、水系配管中の殆ど全ての水をバッファタンクに戻さなくては、ノズルへのエアの供給を停止した時に、水系配管内の圧縮空気が膨張することで、システム内の様々な場所で僅かに残った水が押出され、液だれが発生してしまうと言う問題があった。
【００１０】
本実施形態は、手軽に液だれ防止を実現できる二流体噴霧装置、二流体噴霧装置の停止方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
実施形態１は、所望の圧縮気体を供給する圧縮気体供給系と、所望の加圧液体を供給する加圧液体供給系と、前記圧縮気体と前記加圧液体を混合して得られる霧化流体を、霧化流体使用先に噴霧する複数の二流体ノズルと、前記二流体ノズルの噴霧動作を停止させる際に、前記二流体ノズルの液体流入側に有している液体流通路内の加圧液体の圧力を外部に開放すると共に、前記液体流通路内の液体を引き抜くことにより、前記二流体ノズルからの液だれを防止する手段と、を備えた二流体噴霧装置である。
【００１２】
実施形態２は、所望の圧縮気体を供給する圧縮気体供給系と、所望の加圧液体を供給する加圧液体供給系と、前記加圧液体供給系からの加圧液体を供給せずに、前記圧縮気体供給系からの圧縮気体だけを供給すると、前記加圧液体供給系の吐出側に有する液体流通路に前記圧縮気体供給系からの圧縮気体の圧力が影響して伝わると共に、前記圧縮気体が前記液体流通路に本来加圧液体が流れる方向とは逆方向に、流れ込む特性を持った二流体ノズルと、前記二流体ノズルの噴霧動作を停止させる際に、前記液体流通路の圧力を外部に開放すると共に、前記液体流通路内の液体を引き抜くことにより、前記二流体ノズルからの液だれを防止する手段と、を備えた二流体噴霧装置である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態の二流体噴霧装置が適用されるシステムの概略構成図。
【図２】実施形態１の圧縮気体加圧方式による二流体噴霧装置を説明するためのものであって、通常噴霧中の状態を示す概略構成図。
【図３】図２の二流体噴霧装置における液だれ防止停止制御開始する状態を示す概略構成図。
【図４】図２の二流体噴霧装置における圧縮気体の圧力低下中に排液弁を開放状態とした状態を示す概略構成図。
【図５】図２の二流体噴霧装置における液だれ防止停止制御完了状態を示す概略構成図。
【図６】図２の二流体噴霧装置における液だれ防止制御タイミングチャートを示す図。
【図７】図１における二流体ノズル９と、ノズル制御盤の圧縮気体配管及び加圧液体配管との接続構造を具体的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１５】
始めに、図１を参照して、以下に述べる本案の装置(図7の本体ユニット)１００である、二流体噴霧装置が適用されるシステムの概略について説明する。
【００１６】
例えば、クリーンルーム０１内には半導体製造装置０２が設置され、この内部の温度、湿度が所定値になるように、空調機０３との間で給気、還気が行われるようになったり、クリーンルーム０１内の温度と湿度を検出器で検出し、これを空調制御盤０９に取り込み
、これらと目標値との差に応じて、空調機０３内に有する冷却コイル０４に供給する冷水供給系の比例制御弁０１１の指令を変更したり、さらには空調機０３内に有する加熱コイル０５に供給する温水供給系の比例制御弁０１２の指令を変更したりするようになっている。
【００１７】
これ以外の構成として、空調機０３の内部には、複数の二流体ノズル９を備えた二流体噴霧ヘッダーユニット０６と、二流体噴霧ヘッダーユニット０６から噴霧される雰囲気を、クリーンルーム０１内に強制的に送るためのファン０７と、後述する蒸気加湿ユニット０８とを備えている。
【００１８】
蒸気加湿ユニット０８には、空調機０３の外部に設置された蒸気系に設けられた比例制御弁０１３の二次側の蒸気が供給され、比例制御弁０１３の指令は後述するノズル制御盤０１０から与えられるようになっている。
【００１９】
二流体噴霧制御盤０１０は、空調制御盤０９からの既設蒸気加湿指令が与えられ、これに基づいて比例制御弁０１３の指令が与えられ、二流体噴霧制御盤０１０には加圧液体供給系L例えば純水供給系及び圧空（圧縮空気）供給系が接続され、純水供給系からの純水及び圧空供給系からの圧空は、それぞれ二流体噴霧ヘッダーユニット０６の各ノズル９に供給されるように配管が設けられ、本実施形態の加圧液体供給装置例えば加圧ポンプまたは加圧液体供給装置例えば加圧ポンプを利用した二流体噴霧装置が設けられている。
【００２０】
ここで、使用する二流体ノズル９は、例えば特許文献４に示すように、圧縮気体供給系例えば空気供給系からの圧縮空気及び加圧液体供給系例えば純水供給系からの水を供給し、水を微粒子化すると共に、両者を混合して得られる霧化流体を所望の箇所にすることができる複数の二流体ノズルであって、各ノズルは圧縮空気の圧力が加圧水供給系に影響し、加圧水供給系の加圧水を加圧しないと、加圧水供給系に圧縮空気が逆流する特性を持った、いわゆる内部混合型のノズルである。
【００２１】
実施形態１は、図２〜図６に示すように、次に述べる加圧液体供給系Lと、圧縮気体供給系Gと、排液系Dを備えている。加圧液体供給系Lは、被加圧対象の液体例えば純水を供給する共通の加圧液体供給源１と、液体供給源１からの加圧液体を二流体ノズル９に供給する加圧液体供給配管３と、液体供給配管３の途中に設けられるものであって、液体供給停止手段を構成する液体供給源１の通路を開閉する弁（ＰＷ２Ｖ）１６例えば電磁弁とを備えている。
【００２２】
圧縮気体供給系Gまた、圧縮気体供給源６からの圧縮気体を二流体ノズル９に供給する圧縮気体配管２２と、圧縮気体配管２２の途中に設けられ圧縮気体供給源６からの圧縮気体の通路を開閉する弁（ＰＡ１Ｖ）２３例えば電磁弁と、圧縮気体供給配管２２における弁２３と二流体ノズル９との間に配設され二流体ノズル９に与える圧縮気体の圧力を設定可能な気体供給圧力制御器（ＡＥＰＲ）７例えば電空レギュレータとを備えている。
【００２３】
排液系Dは、加圧液体供給系Lの加圧液体供給配管３であって、弁１６と二流体ノズル９の間に分岐して設けられ、加圧液体供給配管３内の液体を排出可能な排液管１９と、排液管１９に設けられる加圧液体圧力開放手段を構成するものであって、加圧液体供給配管３内の液体を排出時に開放状態にすることで、加圧液体供給配管３内を大気圧にすることが可能で、かつ非排出時に閉止される弁である排液弁２０とを備えている。
【００２４】
さらに、以下に述べる制御手段２１を備えている。制御手段２１は、二流体ノズル９の噴霧を停止する時に、弁１６を閉止することで二流体ノズル９への加圧液体の供給を停止した状態で、二流体ノズル９へ印加している圧縮気体の圧力が下がる前に、液体圧力を二流体ノズル９より上流側で、且つ二流体ノズル９の噴射部より低い位置で排液弁２０により大気圧に開放することで、排液弁２０と二流体ノズル９の霧の噴射部との高低差によるサイフォン効果の力と、二流体ノズル９に印加されている圧縮気体が液体導入路に逆流する力の両方を使うことで、二流体ノズル９に有する液体導入路より上流側の液体を二流体ノズル９側から本来の流れの方向と逆方向に逆流させるようにすることにより、二流体ノズル９の先端から液体が垂れる液だれが発生しないように噴霧を停止するものである。
【００２５】
以下、このように構成された実施形態の動作について、図面を参照して説明する。図２は、二流体ノズル９が通常の噴霧中の状態を示すもので、圧縮気体供給系G の気体圧力制御器７の出力の圧力が、例えば３５０kpaに設定され、加圧液体供給系Lの加圧液体供給源１の液体の圧力は例えば３３０ kpaとなっており、弁２３、１６は開路状態でかつ弁２０は閉止状態となっている。
【００２６】
図３は、二流体ノズル９における噴霧動作を停止する状態であって、二流体ノズル９の液だれ防止制御開始状態を説明するための図であって、圧縮気体供給系G の気体圧力制御器７の出力の圧力が、例えば３５０kpaから０kpaに設定され、加圧液体供給系Lの加圧液体供給源１の液体の圧力は例えば３３０kpaとなっており、弁２３は開路状態でかつ弁１６、２０は共に閉止状態となっている。この場合は、液だれ防止制御開始指令により、弁１６が閉止され、ヘッダ液体配管への液体の供給が停止され、これと同時に気体圧力制御器７の出力の圧力が、例えば３５０kpaから０kpaに設定されているので、圧縮気体供給配管２２内の圧力が徐々に０kpaになっていく。
【００２７】
図４は、図３の状態つまり圧縮気体の圧力が低下中に、弁２０が開放される状態を説明するための図である。具体的には、気体圧力制御器７の出力の圧力計測値が例えば１５０  kpaになったときに、弁２０が開放されると、ノズルヘッダの液体が二流体ノズル９からの圧縮気体の逆圧と、弁２０が開放に発生するサイフォン効果により、ノズルヘッダ内の液体が外部に引き込まれる。
【００２８】
図５は、二流体ノズル９における噴霧動作を停止する状態であって、二流体ノズル９の液だれ防止制御停止状態を説明するための図であって、圧縮気体供給系G の気体圧力制御器７の出力の圧力が、例えば０kpaに設定され、加圧液体供給系Lの加圧液体供給源１の液体の圧力は例えば３３０kpaとなっており、弁２３は開路状態でかつ弁１６、２０は共に閉止状態となっている。図４において開放状態にある弁２０を、ノズルヘッダ内の液体が程よく排出されたところで、弁２０を閉止状態とすることで、二流体ノズル９で発生することがある液だれを発生させることなく、噴霧を停止させることができる。
【００２９】
図６は、前述した制御手段２１の動作を説明するためのタイムチャートであり、具体的には気体圧力制御器７と、弁１６、２０、２３の開閉タイミングを示す関係をタイムチャートである。図中、t1は噴霧指令が停止され、かつ弁１６が閉止したときであり、t2は噴霧指令が再度与えられたときであり、t3は弁１６が開放されたときである。  
図７は前述の二流体ノズル９に対して加圧液体供給系Lからの加圧液体を供給する液体ヘッダ配管９２と、二流体ノズル９に対して圧縮気体供給系Gからの圧縮気体を供給するための気体ヘッダ配管９１との接続構造を具体的に示す図である。
【００３０】
図7は以下のように構成されている。すなわち、圧縮気体と加圧液体を二流体ノズル9で混合して得られる霧化流体を、霧化流体使用先に噴霧する二流体噴霧装置において、圧縮気体供給源6からの圧縮気体が流通する気体ヘッダ配管９１と、気体ヘッダ配管９１に鉛直方向であって開口部が上向きに位置するように接続された気体バッファ配管９６と、
内部に流通する加圧液体供給源1からの加圧液体が終端側から始端側に流れるような構造例えば直線の配管が傾斜している構造を有する液体ヘッダ配管(液体ヘッダ配管主流通路)９２と、液体ヘッダ配管９２の終端部に、鉛直方向であって開口部が上向きに位置すると共に、液体ヘッダ配管９２の終端部の高さより高い位置となるように接続された液体バッファ配管９３e及び、液体ヘッダ配管９２の終端部以外の部位に鉛直方向であって開口部が上向きに位置するように接続された少なくとも１個の液体バッファ配管９３と、気体バッファ配管９６からの圧縮気体と、液体バッファ配管９２からの加圧液体を混合するものであって、この混合して得られる霧化流体を、霧化流体使用先に噴霧する少なくとも２個の二流体ノズル９と、各液体バッファ配管９３e、９３の開口部にそれぞれ接続された少なくとも２個の配管接続用継手(マニホールド)９４と、各配管接続用継手９４と二流体ノズル９の液体供給部に両端がそれぞれ接続され、液体ヘッダ配管９２からの加圧液体を供給するための少なくとも２個の加圧液体供給配管９５例えば可撓性のビニール管からなるものを具備したものである。
【００３１】
この結果、二流体ノズル9が噴霧中に液体ヘッダ配管９２の中に空気溜りが残らず、且つ二流体ノズル９が噴霧を一時的に停止したときに、液体ヘッダ配管９２の局所に集中した空気溜りができず、次回の噴霧再開時に速やかに圧縮気体が二流体ノズル９から吐出される様になる。
【００３２】
以上述べた実施形態１によれば、手軽に液だれ防止を実現できる二流体噴霧装置を提供できる。本実施形態１は、次の条件を満足している。
【００３３】
１）液体ヘッダ配管９２は、加圧液体が終端側から始端側に流れるような構造、すなわち上り勾配を維持している。
【００３４】
２）全ての液体バッファ配管９３、９３eは、液体ヘッダ配管９２より、鉛直上向きに少なくとも２個設けてある。
【００３５】
３）液体ヘッダ配管９２の最終端に必ずバッファ配管９３eを配置して、液体ヘッダ配管９２の中に空気溜りが残らない様になっている。
【００３６】
４）少なくとも２個のうち、終端のバッファ配管９３eを除き、他のバッファ配管９３の高さは、必ず終端のバッファ配管９３eの高さより高い位置まで延びている。
【００３７】
５）二流体ノズル９へ加圧液体を供給する加圧液体供給配管９５は配管接続用継手９４の上端部に接続している。
【００３８】
６）全てのバッファ配管に最低１つの二流体ノズル９が接続されている。
【００３９】
前述した実施形態は、以上の条件を満足しているので、液体ヘッダ配管９２内に気体溜りが局所に集まり、次回の噴霧開始時に、空気が抜けるのに時間がかかるのを防止でき、また気体溜りが液体の経路中に残り、噴霧停止時の液だれ防止制御の失敗に繋がるのを防止できる。
【００４０】
以上述べた実施形態は、以下のように変形してもよい。
【００４１】
(1)噴霧中に、圧縮気体供給系に気体の気泡が残らないようにする構成、具体的には複数のバッファ配管９５を全て鉛直上向きにし、凸型部分を作らないような構成とすることが望ましい。
【００４２】
(2)前述の実施形態では、二流体ノズル９として、逆圧方式のノズル(いわゆる内部混合型のノズル)を例にあげたが、逆圧方式でないノズル(いわゆる内部混合型でないノズル)、具体的には圧縮気体の圧力が加圧液体供給系に影響せず、加圧液体供給系の加圧液体を加圧しなくとも、加圧液体供給系に圧縮気体が逆流しない特性を有する二流体ノズルを使用してもよい。
【００４３】
(3)前述した実施形態の加圧液体供給源1は、本実施形態を構成するために専用の液体供給源を設けず、例えば工場内に配設されている別の目的の液体供給源を利用した場合について説明したが、これに限らず如何なる液体供給源でもよいことは言うまでもない。
【００４４】
(4)前述の実施形態では液だれ防止手段について、概略加圧液体供給系の配管内の加圧液体をサイフォンの原理で引き込むことにより、二流体ノズルからの液だれを防止するものを例に挙げて説明したが、これに限らず、二流体ノズルの噴霧動作を停止させる際に、二流体ノズルの液体流入側に有している液体流通路内の加圧液体の圧力を外部に開放すると共に、液体流通路内の液体を引き抜くことにより、二流体ノズルからの液だれを防止する手段であってもよい。
【００４５】
(5)さらに、液だれを防止する制御手段として、二流体ノズルの噴霧を停止する際に、第１及び第２の弁を閉止した状態で、加圧液体供給系からの加圧液体及び圧縮気体供給系からの圧縮気体の供給を停止すると共に、排液手段を開放し、加圧液体供給系の配管内の加圧液体をサイフォンの原理で引き込むことにより、二流体ノズルからの液だれを防止するものであってもよい。
【００４６】
(6)また、制御手段として、前述の実施形態のものに代えて、次のようにしてもよい。すなわち、二流体ノズルの噴霧を停止する時に、液体供給停止手段により二流体ノズルへの加圧液体の供給を停止した状態で、二流体ノズルへ印加している圧縮気体の圧力が下がる前に、液体圧力を前記二流体ノズルより上流側で、尚且つ二流体ノズルの噴射部より低い位置で加圧液体圧力開放手段により大気圧に開放することで、加圧液体圧力開放手段と二流体ノズルの霧の噴射部との高低差によるサイフォン効果の力と、二流体ノズルに印加されている圧縮気体が液体導入路に逆流する力の両方を使うことで、二流体ノズルに有する液体導入路より上流側の液体を二流体ノズル側から本来の流れの方向と逆方向に逆流させるようにすることにより、二流体ノズルの先端から液だれが発生しないように噴霧を停止するものである。
【００４７】
(7) 図７の変形例として、液体ヘッダ配管９２と液体バッファ配管 ９３、９３ eが無く、この代わりに液体流通路主部と液体流通路分岐部が一体の液体流通路を備えたものであってもよい。
【００４８】
(8) 図７の変形として、  気体バッファ配管９６が無く、気体ヘッダ配管９１に二流体ノズル9を直付けしたものでもよい。
【００４９】
(9)図７の変形例として、気体バッファ配管９６と配管接続用継手９４と加圧液体供給配管９５を省き、液体バッファ配管９３の開口部にノズル9を直付けしたものでもよい。
【００５０】
(10)図２から図５に記載の二流体噴霧装置である、圧縮気体を供給停止可能とする気体供給停止手段例えば電磁弁２３を有する圧縮気体供給系Gと、加圧液体を供給停止可能とする液体供給停止手段例えば電磁弁１６を有し、更に圧力を任意に大気圧に開放する加圧液体圧力開放手段例えば排液弁２０を有した加圧液体供給系Lと、加圧液体を導入する液体導入路例えば加圧液体配管３及び圧縮気体を導入する気体導入路例えば圧縮気体配管２２を有し、加圧液体及び圧縮気体を導入することで得られる霧化流体を霧化流体使用先に噴霧するものであって、加圧液体供給系Lからの加圧液体を、電磁弁１６の動作により供給せずに、電磁弁２３により圧縮気体供給系Gからの圧縮気体だけを供給すると、圧縮気体供給系Gからの圧縮気体の圧力が加圧液体供給系Lに影響して伝わると共に、加圧液体配管３に本来加圧液体が流れる方向とは逆方向に、圧縮気体供給系Gからの圧縮気体が流れ込む特性を持った二流体ノズル9とを備えた二流体噴霧装置において、次のようにしてもよい。すなわち、図６に示すように二流体ノズル９の噴霧を停止する時に、液電磁弁１６により二流体ノズル９への加圧液体の供給を停止した状態で、二流体ノズル９へ印加している圧縮気体の圧力が下がる前に、液体圧力を二流体ノズル９より上流側で、尚且つ二流体ノズル９の噴射部より低い位置で前記加圧液体圧力開放手段により大気圧に開放する第1のステップと、排液弁２０と二流体ノズル９の霧の噴射部との高低差によるサイフォン効果の力と、二流体ノズル９に印加されている圧縮気体が加圧液体配管３に逆流する力の両方を使うことで、二流体ノズル９に有する加圧液体配管３より上流側の液体を二流体ノズル９側から本来の流れの方向と逆方向に逆流させるようにする第２のステップとを実施する二流体噴霧装置の停止方法である。
【００５１】
この二流体噴霧装置の停止方法は実際には、マイクロプロセッサからなる制御手段２１で行う。この結果、二流体ノズル９の先端から液だれが発生しないように噴霧を停止することができる。
【００５２】
(11) 図２から図５、図７に記載の二流体噴霧装置である、圧縮気体を供給停止可能とする気体供給停止手段例えば電磁弁２３を有する圧縮気体供給系Gと、加圧液体を供給停止可能とする液体供給停止手段例えば電磁弁１６を有し、更に圧力を任意に大気圧に開放する加圧液体圧力開放手段例えば排液弁２０を有した加圧液体供給系Lと、加圧液体を導入する液体導入路例えば加圧液体配管３及び圧縮気体を導入する気体導入路例えば圧縮気体配管２２を有し、加圧液体及び圧縮気体を導入することで得られる霧化流体を霧化流体使用先に噴霧するものであって、加圧液体供給系Lからの加圧液体を、電磁弁１６の動作により供給せずに、電磁弁２３により圧縮気体供給系Gからの圧縮気体だけを供給すると、圧縮気体供給系Gからの圧縮気体の圧力が影響して伝わると共に、加圧液体配管３に本来加圧液体が流れる方向とは逆方向に、流れ込む特性を持った複数の二流体ノズル9と、加圧液体供給系Lの吐出側と各二流体ノズル9の液体導入側との間にそれぞれ配設され、加圧液体供給系Lからの加圧液体が各二流体ノズル9 に流通するように、その一端が加圧液体供給系の吐出側に連通された共通の液体ヘッダ配管９２ と、液体ヘッダ配管９２の他端にその一端が連通され、かつその他端が各二流体ノズル９の液体導入側に連通された複数の液体用枝配管(液体バッファ配管９３)と、圧縮気体供給系Gの吐出側と各二流体ノズル9 の気体導入側との間にそれぞれ配設され、圧縮気体供給系Gからの圧縮気体が各二流体ノズル9 に流通するように、その一端が圧縮気体供給系Gの吐出側に連通された共通の気体ヘッダ配管９１ と、気体ヘッダ配管９１の他端に一端が連通され、かつその他端が各二流体ノズル9 の気体導入側に連通された複数の気体用枝配管(気体バッファ)９６と、液体ヘッダ配管９２かそれよりも加圧液体供給系Lの上流側に加圧液体を大気圧に開放することができるように配設した液体供給系圧力開放弁例えば排液弁２０とを備えた二流体噴霧装置において、以下のように行う二流体噴霧装置の停止方法である。
【００５３】
このような構成の二流体噴霧装置において、図６に示すように二流体ノズル９の噴霧を停止する時に、液体ヘッダ配管９２への液体の供給を停止した状態で、気体ヘッダ配管９１の圧力が下がる前に、液体ヘッダ配管９２の圧力を排液弁２０により大気圧に開放する第1のステップと、この開放部と各二流体ノズル９の設置箇所の高低差によるサイフォン効果の力と、二流体ノズル９に印加されている気体が液体ヘッダ配管９２に逆流する力の両方を使うことで、二流体ノズル９の液体流通路より上流側の液体を二流体ノズル９側から液体ヘッダ配管９２側に逆流させるようにする第２のステップを実施する停止方法である。この二流体噴霧装置の停止方法は実際には、マイクロプロセッサからなる制御手段２１で行う。
【００５４】
この結果、二流体ノズル９の先端から液だれが発生しないように噴霧を停止することができる。
【符号の説明】
【００５５】
０１…クリーンルーム、０２…半導体製造装置、０３…空調機、０４…冷却コイル、０５…加熱コイル、０６…ノズルコイルユニット、０７…ファン、０８…蒸気加湿ユニット、０９…空調制御盤、０１０…ノズル制御盤、０１１…比例制御弁、０１２…比例制御弁、０１３…比例制御弁、１…加圧液体供給源、３…加圧液体配管、６…圧縮気体供給源、７…気体供給圧力制御器、９…二流体ノズル、１６、２３…弁、１９…排液管、２０…排液弁、２１…制御手段、２２…圧縮気体配管、９１…気体ヘッダ配管、９２…液体ヘッダ配管、９３…液体バッファ配管、９４…配管接続用継手、９５…加圧液体供給配管、９６…気体バッファ配管、１００…本案の装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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