(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
低ｋ誘電体膜をパターニングする方法であって、
基板の上方に配置された低ｋ誘電体層の上方にマスク層を形成してパターニングする工程と、
チャンバ内でプラズマプロセスによって低ｋ誘電体層の露出部分を改質する工程と、
同一チャンバ内で、リモートプラズマプロセスによって、低ｋ誘電体層の改質された部分を、マスク層及び低ｋ誘電体層の非改質部分に対して選択的に除去する工程と、
前記改質と前記除去を１回以上繰り返して、低ｋ誘電体層内に１以上のトレンチを形成する工程を含み、
プラズマプロセスによって低ｋ誘電体層の露出部分を改質する工程は、ＳｉＦ４／Ｎ２／Ａｒベースのプラズマを用いる工程を含む方法。
【請求項２】
Ａｒは、約５〜５０ミリトールの範囲内の圧力を有し、プラズマは、約１０〜１０００Ｗの範囲内の出力を有する請求項１記載の方法。
【請求項３】
リモートプラズマプロセスによって、低ｋ誘電体層の改質された部分を除去する工程は、ＮＦ３／Ｏ２／Ｎ２、ＣＦ４／Ｏ２／Ｎ２、及びＮＦ３／ＮＨ３プラズマのリモートプラズマからなる群から選択されるプラズマを使用する工程を含む請求項１記載の方法。
【請求項４】
低ｋ誘電体膜をパターニングする方法であって、
基板の上方に配置された低ｋ誘電体層の上方にマスク層を形成してパターニングする工程と、
チャンバ内でプラズマプロセスによって低ｋ誘電体層の露出部分を改質する工程と、
同一チャンバ内で、リモートプラズマプロセスによって、低ｋ誘電体層の改質された部分を、マスク層及び低ｋ誘電体層の非改質部分に対して選択的に除去する工程と、
前記改質と前記除去を１回以上繰り返して、低ｋ誘電体層内に１以上のトレンチを形成する工程を含み、
プラズマプロセスによって低ｋ誘電体層の露出部分を改質する工程は、プラズマプロセスによって、マスク層上に保護材料層を形成する工程を含む方法。
【請求項５】
マスク層を形成してパターニングする工程は、窒化チタン及び窒化タンタルからなる群から選択される材料を形成しパターニングする工程を含む請求項１記載の方法。
【請求項６】
マスク層を形成してパターニングする工程は、非酸化物誘電体材料を形成しパターニングする工程を含む請求項１記載の方法。
【請求項７】
マスク層を形成してパターニングする工程は、フォトレジスト層を形成しパターニングする工程を含む請求項１記載の方法。
【請求項８】
低ｋ誘電体層の上方にマスク層を形成してパターニングする工程は、フッ素ドープ二酸化ケイ素、炭素ドープ二酸化ケイ素、多孔質二酸化ケイ素、多孔質炭素ドープ二酸化ケイ素、多孔質ＳｉＬＫ、スピンオンシリコーンベースのポリマー誘電体、スピンオン有機ポリマー誘電体、及び２．７未満の誘電率を有する多孔質ＳｉＣＯＨ層からなる群から選択される低ｋ誘電体材料の上方にマスク層を形成してパターニングする工程を含む請求項１記載の方法。
【請求項９】
低ｋ誘電体膜をパターニングする方法であって、
基板の上方に配置された低ｋ誘電体層の上方にマスク層を形成してパターニングする工程と、
チャンバ内においてＳｉＦ４／Ｎ２／Ａｒベースのプラズマプロセスで低ｋ誘電体層の露出部分を改質する工程と、
同一チャンバ内で、ＮＦ３／Ｏ２／Ｎ２、ＣＦ４／Ｏ２／Ｎ２、及びＮＦ３／ＮＨ３プラズマのリモートプラズマからなる群から選択されるプラズマに基づくリモートプラズマプロセスによって、低ｋ誘電体層の改質された部分を、マスク層及び低ｋ誘電体層の非改質部分に対して選択的に除去する工程を含む方法。
【請求項１０】
ＳｉＦ４／Ｎ２／ＡｒベースのプラズマプロセスのＡｒは、約５〜５０ミリトールの範囲内の圧力を有し、プラズマは、約１０〜１０００Ｗの範囲内の出力を有する請求項９記載の方法。
【請求項１１】
プラズマプロセスで低ｋ誘電体層の露出部分を改質する工程は、プラズマプロセスによって、マスク層上に保護材料層を形成する工程を含む請求項９記載の方法。
【請求項１２】
マスク層を形成してパターニングする工程は、窒化チタン及び窒化タンタルからなる群から選択される材料を形成しパターニングする工程を含む請求項９記載の方法。
【請求項１３】
マスク層を形成してパターニングする工程は、非酸化物誘電体材料を形成しパターニングする工程を含む請求項９記載の方法。
【請求項１４】
マスク層を形成してパターニングする工程は、フォトレジスト層を形成しパターニングする工程を含む請求項９記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の相互参照】
【０００１】
本出願は、２０１２年７月１０日に出願された米国仮特許出願第６１／６６９，８２４号の利益を主張し、その全内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
【背景】
【０００２】
１）分野
本発明の実施形態は、半導体処理の分野に関し、特に、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法に関する。
【０００３】
２）関連技術の説明
半導体製造では、低ｋ誘電体は、二酸化ケイ素に対して小さい誘電率を有する材料である。低ｋ誘電体材料の実装は、マイクロ電子デバイスの継続的なスケーリングを可能にするために使用されるいくつかの戦略のうちの一つである。デジタル回路では、絶縁性誘電体は、導電性部品（例えば、ワイヤ相互接続及びトランジスタ）を互いに分離する。部品がスケーリングされ、トランジスタが共により接近するにつれて、絶縁性誘電体は、電荷の蓄積及びクロストークがデバイスの性能に悪影響を及ぼす点まで薄くなってきている。同じ厚さの低ｋ誘電体で二酸化ケイ素を置き換えることは、寄生容量を減少させ、より速いスイッチング速度とより低い熱放散を可能にする。
【０００４】
しかしながら、低ｋ誘電体処理技術の進化には、大幅な改善が必要とされている。
【概要】
【０００５】
本発明の１以上の実施形態は、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法に向けられる。
【０００６】
一実施形態では、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法は、低ｋ誘電体層の上方にマスク層を形成してパターニングする工程を含む。低ｋ誘電体層は、基板の上方に配置される。本方法はまた、プラズマプロセスで低ｋ誘電体層の露出部分を改質する工程を含む。本方法はまた、同一操作内で、リモートプラズマプロセスによって、低ｋ誘電体層の改質された部分を、マスク層及び低ｋ誘電体層の非改質部分に対して選択的に除去する工程を含む。
【０００７】
一実施形態では、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法は、低ｋ誘電体層の上方にマスク層を形成してパターニングする工程を含む。低ｋ誘電体層は、基板の上方に配置される。本方法はまた、チャンバ内においてＳｉＦ４／Ｎ２／Ａｒベースのプラズマプロセスで低ｋ誘電体層の露出部分を改質する工程を含む。本方法はまた、同一チャンバ内で、ＮＦ３／Ｏ２／Ｎ２、ＣＦ４／Ｏ２／Ｎ２、及びＮＦ３／ＮＨ３プラズマのリモートプラズマからなる群から選択されるプラズマに基づくリモートプラズマプロセスによって、低ｋ誘電体層の改質された部分を、マスク層及び低ｋ誘電体層の非改質部分に対して選択的に除去する工程を含む。
【０００８】
一実施形態では、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法は、低ｋ誘電体層の上方にマスク層を形成してパターニングする工程を含む。低ｋ誘電体層は、基板の上方に配置される。本方法はまた、チャンバ内でプラズマプロセスによって、低ｋ誘電体層の露出部分を改質し、マスク層上に保護材料層を形成する工程を含む。本方法はまた、同一操作内で、リモートプラズマプロセスによって、低ｋ誘電体層の改質された部分を、マスク層及び低ｋ誘電体層の非改質部分に対して選択的に除去する工程を含む。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】従来のフッ化炭素ベースのエッチングプロセス内で形成されたポリマーを除去するために使用される従来の酸化プラズマ条件の下で、低ｋ誘電体層が損傷又は影響を受ける可能性のあるメカニズムを示す。
【図２】本発明の一実施形態に係る、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法内の操作を示すフローチャートである。
【図３Ａ】〜
【図３Ｆ】本発明の一実施形態に係る、図２のフローチャートに対応する、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法内の様々な操作を表す断面図を示す。
【図４Ａ】〜
【図４Ｂ】本発明の一実施形態に係る、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法内の様々な操作、及び対応するチャンバ構成を示す断面図を表す断面図を示す。
【図５Ａ】本発明の一実施形態に係る、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法が実行されるシステムを示す。
【図５Ｂ】本発明の一実施形態に係る、図５Ａのチャンバ５０２の可能な構成の概略図を示す。
【図６】本発明の一実施形態に係る、典型的なコンピュータシステムのブロック図を示す。
【詳細な説明】
【００１０】
低ｋ誘電体膜をパターニングする方法が説明される。以下の説明において、本発明の実施形態の完全な理解を提供するために、多数の特定の詳細（例えば、低ｋ誘電体膜の一部を改質するための特定のプラズマ処理及び効果）が記載される。なお、本発明の実施形態は、これらの特定の詳細なしに実施できることが当業者には明らかであろう。他の例では、周知の態様（例えば、マスクを形成するためのフォトリソグラフィパターニング及び現像技術）は、本発明の実施形態を不必要に曖昧にしないために、詳細には説明されない。更に、図に示された様々な実施形態は例示であり、必ずしも縮尺通りに描かれていないことを理解すべきである。
【００１１】
多孔質低ｋ誘電体材料（例えば、多孔質ＳｉＣＯＨ）は、一般的にプラズマエッチングに対して敏感である。典型的には、エッチングプロセス中に超低ｋ（ＵＬＫ）膜内のＳｉ−ＣＨ３ネットワークに引き起こされる損傷を取り囲む問題が生じる。このような損傷は、ＵＬＫ膜の機械的完全性に影響を与える可能性がある。更に、フッ化炭素系（ＣｘＦｙ系）のエッチングプロセス中に形成されたポリマーから生じる「Ｆメモリ効果」があるかもしれない。感度もまた、エッチング化学薬品が低ｋ誘電体膜内に深く拡散することを可能にする高い空孔率から生じる可能性がある。
【００１２】
低ｋ誘電体膜をパターニングする際の重要な課題の一つは、エッチングプロセス中に生じる損傷のレベルの制御である。一般的に使用されるプラズマパラメータ及び化学薬品は、電気的挙動（ｋ値及び漏れ）の変化を引き起こす低ｋ膜の炭素含有量を変える。炭素への損傷の根本原因の一つは、エッチングプロセス中に低ｋ表面上に堆積するＣｘＦｙポリマーを取り除く間にあった。しかしながら、ＣｘＦｙ系の化学薬品は、プラズマエッチング中に側壁保護を提供し、異方性エッチング性能を向上させることができるので、典型的な誘電体エッチングプロセスは、ＣｘＦｙ系の化学薬品から恩恵を受けている。
【００１３】
本明細書に記載される１以上の実施形態によれば、エッチングの基本的な側面は、エッチング用の代替ガスを使用することによって対処される。例えば、一実施形態では、Ｓｉベースの前駆体（例えば、ＳｉＦ４、ＳｉＣｌ４、他のフルオロシラン、クロロシラン、ヨードシラン）、窒化ガス（例えば、Ｎ２、ＮＨ３など）、及び／又は不活性希釈ガス（例えば、Ａｒ、Ｈｅ、Ｘｅ、Ｎｅ）の組み合わせが使用される。異方性エッチングは、エッチングされるトレンチの側壁上にＳｉベースの（Ｎリッチの）堆積物の形成によって可能となる。この堆積物はまた、プラズマ攻撃から低ｋ膜を保護する。
【００１４】
他の実施形態では、酸素がＮ２と共に、又はＮ２の代わりに用いられ、これによって側壁上にＳｉ−Ｏベースの堆積物を形成する。エッチングシーケンス内の次の段階又は操作は、リモートプラズマ又は低エネルギープラズマの使用を含み、これによってそのような低ｋからの膜を選択的に除去することができる種を生成する。一例は、ケイ酸塩種を形成するように側壁堆積物と反応するＮＨ４Ｆを形成するためのＮＦ３／ＮＨ３ベースのリモートプラズマの使用である。ケイ酸種は、高温で昇華する。このような一実施形態では、低ｋ材料は、プロセス内でエッチングされない点で、上述のプロセスは、低ｋ材料に対して高度に選択的である。別の一実施形態では、Ｏ２／Ｎ２／ＮＦ３又はＮＯ／ＮＦ３ベースのリモートプラズマプロセスの使用が、Ｓｉ−Ｎ型の側壁堆積物をエッチング除去するために採用される。プロセスは、低ｋ膜に対して高度に選択的であるように調整される。エッチングプロセスのこれらの２つの態様は、プロファイル制御のために複数回繰り返してもよい。
【００１５】
本発明の１以上の実施形態は、ＵＬＫ膜などの低ｋ誘電体膜のフッ化炭素無しのエッチングをターゲットにしている。一実施形態では、本明細書内の１以上の方法は、例えば、エッチングパターニングプロセス内で、低ｋ誘電体膜に損傷又は有害な影響を削減するパターニングアプローチを提供するために使用される。このような一実施形態では、本明細書に記載されるアプローチは、Ｃドープ酸化膜に対して特に有用である可能性がある。従来のフッ化炭素化学薬品ベースのＵＬＫエッチングプロセスは、必然的にＵＬＫ表面上にＣＦポリマーを堆積する。ポリマーは、その後、酸化ポストエッチング処理（ＰＥＴ）プラズマによって除去される。しかしながら、ＰＥＴプラズマは、炭素含有ＵＬＫ誘電体を酸化する可能性がある。酸化された炭素含有ＵＬＫ誘電体は、望ましくない湿気の吸収の影響を受けやすい可能性があり、その結果、ＵＬＫ誘電体の誘電率（ｋ値）は、増加する。本発明の一実施形態によれば、超低ｋ誘電体のフッ化炭素無しのエッチングが以下に記載される。
【００１６】
図１は、従来のフッ化炭素ベースのエッチングプロセス内で形成されたポリマーを除去するために使用される従来の酸化プラズマ条件の下で、低ｋ誘電体層が損傷又は影響を受ける可能性のあるメカニズムを示す。図１のメカニズム（ａ）を参照すると、酸化アッシングを受ける場合、誘電率が約２．５のＳｉＣＯＨ低ｋ膜の約４０％を占めるＳｉＯ３メチルフラグメントは、望ましくないことに、そのメチル基を失い、水酸基となる可能性がある。図１のメカニズム（ｂ）を参照すると、酸化アッシングを受ける場合、誘電率が約２．５のＳｉＣＯＨ低ｋ膜の約１０％を占めるＳｉＯ２−（ＣＨ２）２メチルフラグメントは、望ましくないことに、ＳｉＯ２−（ＣＯＨ）２フラグメントに転換される可能性がある。図１のメカニズム（ｃ）を参照すると、還元アッシングを受ける場合、誘電率が約２．５のＳｉＣＯＨ低ｋ膜の約４０％を占めるＳｉＯ３メチルフラグメントは、望ましくないことに、そのメチル基を失い、ヒビリド配位子（Ｈ）となる可能性がある。
【００１７】
一実施形態では、フッ化炭素を含まないエッチングは、低ｋ誘電体膜をパターニングするために使用される。このように、ＣＦポリマーは生じず、これはさもなければ、アッシングプロセスによる除去を必要とする。一実施形態では、本明細書に記載されるエッチングプロセスは、同一操作内に実行される以下の２つの基本的な機能を含む。（１）第１プラズマエッチングによる処理を介して、低ｋ膜の露出部を改質し、これによって膜の一部を酸化ケイ素（又は低炭素含有酸化物）に転換する機能、及び（２）処理された層を、第２リモートプラズマエッチングによって除去する機能。したがって、一実施形態では、さもなければＳｉ−ＣＨ３ネットワークに損傷を与える可能性のあるハロゲンラジカル又はＯラジカルのいずれにもＵＬＫ膜は曝露されない。
【００１８】
本発明の一態様では、低ｋ誘電体膜は、低ｋ誘電体膜の一部を改質し、その後改質部分を膜の非改質部分に対して選択的に除去することによってパターニングされる。例えば、図２は、本発明の実施形態に係る、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法の操作を表すフローチャート２００である。図３Ａ〜図３Ｆは、本発明の実施形態に係る、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法内の操作を表す断面図を示す。
【００１９】
フローチャート２００の操作２０２及び対応する図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法は、基板３０２の上方に配置された低ｋ誘電体層３０４の上方にマスク層３０６を形成し（図３Ａ）パターニングする（図３Ｂ）工程を含む。一実施形態では、マスク層３０６は、低ｋ誘電体層３０４の上に直接形成されたフォトレジスト層である。別の一実施形態では、低ｋ誘電体層３０４の上方に配置されたハードマスク層（本実施形態では３０６）の上方に、フォトレジスト層が最初に形成される。
【００２０】
一実施形態（例えば、マスク層３０６がパターニングされたハードマスク層である場合）では、低ｋ誘電体層の上方にマスク層３０６を形成しパターニングする工程は、非酸化物マスク層を形成しパターニングする工程を含む。以下でより詳細に説明されるように、非酸化物マスク層は、酸化物のエッチングに対する選択性を提供することができる。特定のこのような一実施形態では、マスク層３０６は、窒化チタンの層又は窒化タンタルの層が挙げられるが、これらに限定されない金属含有層である。別の特定のこのような一実施形態では、マスク層３０６は、窒化ケイ素の層が挙げられるが、これに限定されない非酸化物誘電体材料の層である。
【００２１】
別の一実施形態（例えば、マスク層３０６がパターニングされたフォトレジスト層である場合）では、低ｋ誘電体層の上方にマスク層３０６を形成しパターニングする工程は、フォトレジスト層を形成しパターニングする工程を含む。フォトレジスト層は、リソグラフィプロセスで使用するのに適した材料で構成することができる。つまり、一実施形態では、フォトレジスト層は、光源に露光され、続いて現像される。一実施形態では、光源に露光されたフォトレジスト層の部分は、フォトレジスト層（例えば、フォトレジスト層がポジ型フォトレジスト材料から構成される）を現像する際に除去されるであろう。特定の一実施形態では、フォトレジスト層は、２４８ナノメートルノードレジスト、１９３ナノメートルノードレジスト、１５７ナノメートルノードレジスト、極紫外（ＥＵＶ）レジスト、又はジアゾナフトキノン増感剤を有するフェノール樹脂マトリックスが挙げられるが、これらに限定されないポジ型フォトレジスト材料で構成される。別の一実施形態では、光源に露光されるフォトレジスト層の部分は、フォトレジスト層（例えば、フォトレジスト層がネガ型フォトレジスト材料から構成される）を現像する際に保持されるであろう。特定の一実施形態では、フォトレジスト層は、ポリ−シス−イソプレン及びポリ−ビニル−シンナメートが挙げられるが、これらに限定されないネガ型フォトレジスト材料で構成される。
【００２２】
一実施形態では、低ｋ誘電体層３０４は、二酸化ケイ素の誘電率よりも小さい誘電率（例えば、約３．９未満）を有する。一実施形態では、低ｋ誘電体層３０４は、フッ素ドープ二酸化ケイ素、炭素ドープ二酸化ケイ素、多孔質二酸化ケイ素、多孔質炭素ドープ二酸化ケイ素、多孔質ＳｉＬＫ、スピンオンシリコーンベースのポリマー誘電体、又はスピンオン有機ポリマー誘電体が挙げられるが、これらに限定されない材料である。本発明の一実施形態によれば、低ｋ誘電体層３０４は、２．７未満の誘電率を有する多孔質ＳｉＣＯＨ誘電体層である。
【００２３】
基板３０２は、製造プロセスに耐えるのに適し、その上に半導体処理層を好適に存在可能な材料で構成することができる。本発明の一実施形態によれば、基板３０２は、結晶シリコン、ゲルマニウム、又はシリコン／ゲルマニウムが挙げられるが、これらに限定されないＩＶ族系材料で構成される。特定の一実施形態では、基板３０２を提供することは、単結晶シリコン基板を提供することを含む。特定の一実施形態では、単結晶シリコン基板は、不純物原子でドープされる。別の一実施形態では、基板３０２は、ＩＩＩ−Ｖ材料から構成される。一実施形態では、複数の半導体デバイスが、低ｋ誘電体層３０４の下方の基板３０２上に存在する。
【００２４】
フローチャート２００の操作２０４及び対応する図３Ｃを参照すると、低ｋ誘電体膜をパターニングする工程はまた、プラズマプロセス３０７で、低ｋ誘電体層３０４の露出部分を改質する工程も含む。低ｋ誘電体層３０４の露出部分は、パターニングされたマスク３０６によって露出された部分である。プラズマ３０７は、露出部分を改質するために使用され、これによって低ｋ誘電体層３０４の改質部分３０８と非改質部分３０４Ｂを提供する。図３Ｃに示されるように、低ｋ材料を改質するのに加えて、保護材料層３９９もまた、同一プロセスで堆積させることができる。このような保護材料層３９９は、図４Ａ及び図４Ｂに関連して以下でより詳細に説明する。このように、一実施形態では、保護層の堆積及び低ｋ膜の改質は、同一プロセスで、又は少なくとも本質的に同時に実行される。
【００２５】
一実施形態では、第１のプラズマプロセスは、ＳｉＦ４／Ｎ２／Ａｒベースのプラズマを伴う。このような一実施形態では、低ｋの側壁は、酸素を意図的に除去又は導入されたＳｉＯＮ又はＳｉＯＮＨ層によって保護される。特定の一実施形態では、プラズマからのＡｒは、トレンチの底部のみに衝撃を与えるために使用され、（図４Ａ及び図４Ｂにより明確に示されるように）低ｋ材料を選択的に異方的に改質する。一実施形態では、ＳｉＦ４の代わりに、又はＳｉＦ４に加えて、ＳｉＣｌ４、Ｓｉ（ＣＨ３）３Ｈ、ＳｉＨ４、Ｃｌ２ＳｉＨ２、Ｓｉ２Ｃｌ６が挙げられるが、これらに限定されない種（例えば、本質的にＳｉ−Ｃｌ結合又はＳｉ−Ｆ結合を含む種）を用いることができる。特定の一実施形態では、Ａｒは、約５〜５０ミリトールの範囲内の圧力を有する。一実施形態では、Ｎ２は、約１０〜１０００Ｗの範囲内の電力と共に使用される。一実施形態では、約２ＭＨｚ〜６０ＭＨｚの範囲内のバイアスＲＦ周波数が用いられる。一実施形態では、バイアス用に２以上の周波数の組み合わせ（例えば、２ＭＨｚ／６０ＭＨｚ、１３ＭＨｚ／６０ＭＨｚ、又は２７ＭＨｚ／６０ＭＨｚの組み合わせ）が使用される。一実施形態では、静電チャック（ＥＳＣ）の温度は、約１０℃である。一実施形態では、上記の条件は、すべて一緒に組み合わせて使用される。
【００２６】
再びフローチャート２００の操作２０４と、今度は図３Ｄを参照すると、低ｋ誘電体膜をパターニングする工程はまた、低ｋ誘電体層３０４Ｂの改質部分３０８を除去する工程を含む。一実施形態では、除去は、マスク層３０６に対して、及び低ｋ誘電体層３０４の非改質部分３０４Ｂに対して選択的である。炭素は、低ｋ誘電体層３０４の改質中に除去することができるので、改質部分３０８は、より酸化物のような性質になるかもしれない。したがって、一実施形態では、酸化物除去プロセスが、改質部分３０８を除去するために使用され、その例が以下に提供される。
【００２７】
一実施形態では、第２のリモートプラズマが、改質された低ｋ材料及び保護層３９９を除去することによって表面を本質的に洗浄するために使用される。そのような一実施形態では、ＮＦ３／Ｏ２／Ｎ２又はＣＦ４／Ｏ２／Ｎ２又はＮＦ３／ＮＨ３プラズマが第２のプラズマとしてリモートで使用される。このように、一実施形態では、第１のプラズマ（リモートでないプラズマ）が、保護層を形成すると同時に、低ｋ膜を改質するために使用される。その後、第２のプラズマ（リモートプラズマ）が、保護層及び改質された低ｋ材料層を除去するために使用される。このようなプロセスに適したチャンバの一例が、図５Ｂに関連して以下に説明される。
【００２８】
このように、本発明の一実施形態によれば、低ｋ誘電体膜のエッチングは、低ｋ誘電体層の部分的な膜転換によって達成される。一実施形態では、低ｋ誘電体膜の露出部のたった１つの層又は数層がプロセスサイクル毎に転換され、その後、除去されるので、エッチングは、原子層エッチング又は分子レベルエッチング（ＭＬＥ）と呼ぶことができる。上記に例示したように、一実施形態では、エッチングプロセスは、第１のプラズマによってまず水平ＵＬＫ表面の組成を選択的に改質し、その後、第２のリモートプラズマによって改質部を除去することを含む。一実施形態では、本明細書に記載されるアプローチは、低ｋ誘電体膜からのメチルノックオフによる真の膜転換を表す。
【００２９】
対照的に、従来の化学エッチングは、一般的に、酸化ＰＥＴ操作によって除去されるＵＬＫ表面上のポリマーの堆積を伴う。水性ベースの洗浄が、ラインの曲り及びＵＬＫ内への湿気の吸収をもたらす可能性のある損傷を受けたＵＬＫを除去するために使用される。その代わりに、本明細書内の一実施形態では、ＵＬＫ材料の本質的に損傷の無いエッチングが、ＣＦエッチング化学薬品を完全に避けることによって達成される。ＵＬＫ表面から炭素を除去するために、不活性プラズマが使用される。その後、ＵＬＫの改質された部分を除去するために下流プラズマが使用される。下流プラズマエッチングは、その純粋な化学エッチングの性質によりＵＬＫに対して非常に選択的であることができる。
【００３０】
フローチャート２００の操作２０４に関連して上述された方法は、低ｋ誘電体層３０４のパターニングの適切な度合いを達成するために必要に応じて繰り返すことができる。例えば、再び図３Ｄを参照すると、トレンチ３１０は、部分的にパターニングされ改質されない低ｋ誘電体層３０４Ｂを残して、低ｋ誘電体層３０４内に形成される。特に上述の改質・除去プロセスは、一度に１又は数分子層のみを除去することができるので、トレンチ３１０の深さは、低ｋ誘電体層３０４の適切なパターニングのために十分な深さではないかもしれない。
【００３１】
したがって、一実施形態では、低ｋ誘電体層３０４は、後続の処理要件に適したトレンチ３１０の深さが達成されるまで、その露出された部分の複数の改質及び除去プロセスが施される。このような一実施形態では、低ｋ誘電体層３０４内に部分的なトレンチが形成されるが、完全には貫通しないまで、改質及び除去は繰り返される。別のこのような一実施形態では、改質及び除去は、完全なトレンチが低ｋ誘電体層３０４を完全に貫通して形成されるまで繰り返される。
【００３２】
循環プロセスの一例として、図３Ｅ及び３Ｆは、図３Ａ〜３Ｄと共に、低ｋ誘電体層をパターニングするために２つのサイクルの全体が実行される一実施形態を図示している。２を超える多くの改質・除去サイクルが低ｋ誘電体膜を好適にパターニングするために実行される必要があり得ることを理解すべきである。
【００３３】
図３Ｅを参照すると、低ｋ誘電体層３０４Ｂの露出部（例えば、トレンチ３１０の露出面）は、同一操作内に第１及び第２のリモートプラズマプロセスを伴う第２の改質プラズマプロセスによって改質及びエッチングされる。低ｋ誘電体層３０４Ｂの露出部は、パターニングされたマスク３０６並びに低ｋ誘電体層３０４Ｂの露出した側壁によって露出した部分である。図３Ｅの改質・エッチングサイクルの第２の反復は、より深いトレンチ３１０’、それゆえパターニングされた低ｋ膜３０４Ｃを形成した。
【００３４】
図３Ｆを参照すると、上記の改質・除去プロセスの多数のサイクルを含む可能性のあるトレンチ３１０’用の所望の深さが達成されると、マスク３０６を除去することができる。しかしながら、一実施形態では、除去がパターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃに対して選択的であり、パターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃに（例えば、誘電率を上昇させることによって）ひどい悪影響を与えないように、マスク３０６の除去の際に注意しなければならない。
【００３５】
一実施形態では、マスク層３０６は、フォトレジスト材料で構成され、アッシングプロセスで除去される。しかしながら、一実施形態では、アッシングプラズマは、アッシングの損傷をパターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃに制限するような方法で印加される。特定のこのような実施形態では、フォトレジストベースのマスク層３０６とパターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃの組成には類似性があるかもしれないが、相違点は、マスク層３０６を選択的に除去するために利用される。例えば、有機マスクは、（元素Ｃ、Ｈ、Ｏを含む）炭化水素ポリマーを含むことができ、ここでそのエッチングは、イオンにではなく中性種により多く依存することができる。一方、パターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃは、Ｓｉ−ＣＨ３基を有するＯ−Ｓｉ−Ｏネットワークを含むことができ、ここでそのエッチングは、損傷を誘発させるために、いくつかのイオンエネルギー及び中性粒子を必要とするかもしれない。マスク層３０６を選択的に除去するためのアプローチは、一実施形態では、パターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃを垂直面上に保持しながら、水平面上の有機マスクを除去することができる高いイオン／中性粒子比によって、パターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃに対するアッシング選択性を増加させることを含むことができる。
【００３６】
本発明の別の一実施形態によれば、循環パッシベーション・アッシング法は、典型的には、露出した又は部分的に露出した低ｋ誘電体層からフォトレジスト層を除去することに関連するアッシングの損傷を低減するために使用される。このような一実施形態では、プロセススキームは、パッシベーション及びアッシングの交互の工程を含む。各パッシベーション操作の間、ケイ素含有パッシベーション剤が使用され、これによって選択的に超低ｋ（ＵＬＫ）材料と選択的に反応し、ＵＬＫ材料の露出部分上にケイ素含有膜の薄層を形成する。各アッシング操作の間、ケイ素含有膜の薄層は、例えば、フォトレジスト層をエッチングするために使用することができるアッシングプラズマから保護するように作用する。保護は、さもなければアッシングプラズマがＵＬＫ材料に引き起こす損傷を軽減する。膜は、アッシングプラズマへ曝露するとＳｉ−Ｏ結合を形成することができるという意味で、パッシベーション層の保護の性質は、インサイチューであると考えることができる。Ｓｉ−Ｏ結合は、アッシングプラズマに対する選択性を提供することができる。
【００３７】
パッシベーション層は、化学反応又は物理的スパッタリングによるアッシングの間に除去又は少なくともいくらか損なわれることができる。したがって、一実施形態では、循環パッシベーション／アッシング操作が使用される。このような循環パッシベーション／アッシング操作は、全ての有機マスク材料（例えば、上層のフォトレジスト層）が除去されるまで繰り返すことができる。パッシベーション層の残りの部分は、例えば、一実施形態では、希フッ酸（ＨＦ）洗浄によって、除去することができる。
【００３８】
特定の一実施形態では、マスク層３０６を除去する際にパターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃを保護するためのパッシベーション層を形成するために、シリコンソース層が、まずパターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃのトレンチ３１０’の表面上に形成される。一実施形態では、シリコンソース層は、パターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃの加水分解された部分と反応する分子種から形成される。一実施形態では、シリコンソース層は、シリコンソース層と、パターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃの露出部との間に、共有結合を形成する。一実施形態では、シリコンソース層は、四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ４）、ジメチルシラン（（ＣＨ３）２ＳｉＨ２）、トリメチルシラン（（ＣＨ３）３ＳｉＨ）、Ｎ−（トリメチルシリル）ジメチルアミン（（ＣＨ３）３ＳｉＮ（ＣＨ２）２）、又は１，１，１，３，３，３−ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）が挙げられるが、これらに限定されない種から形成される。一実施形態では、基板３０２は、シリコンソース層の形成中、ホットプレート上に置かれる。
【００３９】
次に、シリコンソース層が酸素源に曝露され、これによってパターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃのトレンチ３１０’の表面上にＳｉ−Ｏ含有層を形成し、フォトレジストベースのマスク層３０６の少なくとも一部を除去する。一実施形態では、Ｓｉ−Ｏ含有層は、マスク層３０６の一部又は全部を除去する際にパターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃを保護する。Ｓｉ−Ｏ含有層の非存在下では、パターニングされた低ｋ誘電体層３０４Ｃは、さもなければマスク層３０６の一部を除去するために使用されるプロセスによって損傷を受ける可能性があることを理解すべきである。一実施形態では、シリコンソース層を酸素源に曝露させる工程は、プラズマで処理する工程を含む。一実施形態では、プラズマは、酸素ラジカルソースに基づく。酸素ラジカルソースは、酸素ラジカルから構成される解離生成物を有する分子である。特定のこのような一実施形態では、酸素ラジカルソースは、酸素（Ｏ２）、オゾン（Ｏ３）、二酸化炭素（ＣＯ２）、又は水（Ｈ２Ｏ）が挙げられるが、これらに限定されない供給源（ソース）である。一実施形態では、マスク層３０６の除去の後、Ｓｉ−Ｏ含有層は除去される。このような一実施形態では、Ｓｉ−Ｏ含有層は、ドライエッチングプロセスによって除去される。別の一実施形態では、フッ化水素酸（ＨＦ）を含むウェットエッチング液が使用され、これによってＳｉ−Ｏ含有層を除去する。しかしながら、そのような追加の処理は必要とされない可能性があることを理解すべきである。例えば、一実施形態では、Ｓｉ−Ｏ含有層は、化学反応又は物理的スパッタリングによるアッシングの間に除去される。
【００４０】
上述したように、保護層は、低ｋ改質プロセスの間に形成することができる。一例として、図４Ａ及び図４Ｂは、本発明の一実施形態に係る、低ｋ誘電体膜のパターニング方法内の様々な操作及び対応するチャンバ構成を表す断面図を示す。
【００４１】
図４Ａを参照すると、材料スタック４０２Ａ（例えば、図３Ｃに示されるスタック）は、低ｋ誘電体層内に形成された（又は形成されている）トレンチを含む。保護層４９９は、第１のプラズマプロセス内で形成され、同時に同一のプラズマプロセス内で、低ｋ誘電体層の露出部分が改質される。一実施形態では、図５Ｂに関連してより詳細に説明されるように、スタック４０２Ａが、第１のプラズマステージ位置４０４Ａに配置されている間に、第１のプラズマプロセスが実行される。このように、一実施形態では、異方性膜改質による側壁保護の（及び損傷を防ぐために細孔を封止する）ためのプラズマ蒸着が、同一プロセス内で実行される。
【００４２】
図４Ｂを参照すると、材料スタック４０２Ｂ（例えば、図３Ｄに示されるスタック）は、低ｋ誘電体層内に洗浄されたトレンチを含む。保護層４９９及び図４Ａから改質された低ｋ材料は、第２のプラズマプロセスで除去される。一実施形態では、第２のプラズマプロセスは、リモートプラズマプロセスである。そのような一実施形態では、図５Ｂに関連してより詳細に説明されるように、スタック４０２Ｂが第２のプラズマステージ位置４０４Ｂに配置されている間に、第２のプラズマプロセスが実行される。特定の一実施形態では、Ｓｉｃｏｎｉプラズマプロセスが、堆積層及び改質層を除去するために用いられる。
【００４３】
概して、一実施形態では、ｋ値のシフト無しに低ｋ膜の一部を選択的に除去するために、非炭素ベースのアプローチが利用される。一実施形態では、第一に、Ｓｉベースの前駆体が、側壁を保護しながらエッチングするために用いられ、第二に、高度に選択的なラジカルベースの除去が用いられる順次的なプロセスが使用される。利点は、炭素を含まないプロセスの利用（アッシング又はポストエッチング処理は必ずしも必要とされない）、湿式洗浄が潜在的に必要とされない、最小の金属ハードマスク浸食につながる低イオンエネルギーの使用、及び良好な深さ及び均一性制御につながる自己制限処理及び除去操作を含むことができるが、これらに限定されない。
【００４４】
一実施形態では、上記プロセスのうちの１以上が、プラズマエッチングチャンバ内で実行される。例えば、一実施形態では、上記プロセスのうちの１以上は、米国カリフォルニア州サニーベールのアプライドマテリアルズ社（Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ）から入手できるＡｐｐｌｉｅｄ  Ｃｅｎｔｕｒａ（商標名）Ｅｎａｂｌｅｒ誘電体エッチングシステム内で実行される。別の一実施形態では、上記プロセスのうちの１以上は、これもまた米国カリフォルニア州サニーベールのアプライドマテリアルズ社から入手できるＡｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ（商標名）ＡｄｖａｎｔＥｄｇｅ  Ｇ３エッチャー内で実行される。
【００４５】
低ｋ誘電体層のパターニングは、エッチング用のサンプルの近くでエッチングプラズマを提供するのに適した処理装置内で実行することができる。例えば、図５Ａは、本発明の一実施形態に係る、低ｋ誘電体膜のパターニング法が内部で実行されるシステムを示す。
【００４６】
図５Ａを参照すると、プラズマエッチングプロセスを実行するためのシステム５００は、サンプルホルダー５０４を備えたチャンバ５０２を含む。排気装置５０６、ガス入口装置５０８、及びプラズマ点火装置５１０が、チャンバ５０２に結合される。コンピューティングデバイス５１２は、プラズマ点火装置５１０に結合される。システム５００は、サンプルホルダー５０４に結合された電圧源５１４と、チャンバ５０２に結合された検出器５１６を更に含むことができる。コンピューティングデバイス５１２は、図５Ａに示されるように、排気装置５０６、ガス入口装置５０８、電圧源５１４、及び検出器５１６にも結合することができる。
【００４７】
チャンバ５０２とサンプルホルダー５０４は、イオン化されたガス（すなわち、プラズマ）を含み、そこから排出されたイオン化ガス又は荷電種の近くにサンプルをもたらすのに適した反応チャンバ及びサンプル位置決め装置を含むことができる。排気装置５０６は、チャンバ５０２を排気し、減圧させるのに適した装置であることができる。ガス入口装置５０８は、チャンバ５０２内に反応ガスを注入するのに適した装置であることができる。プラズマ点火装置５１０は、ガス入口装置５０８によってチャンバ５０２内に注入された反応ガス由来のプラズマを点火するのに適した装置であることができる。検出装置５１６は、処理操作の終点を検出するのに適した装置であることができる。一実施形態では、システム５００は、Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｃｅｎｔｕｒａ（商標名）Ｅｎａｂｌｅｒ誘電体エッチングシステム又はＡｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ（商標名）ＡｄｖａｎｔＥｄｇｅ  ３Ｇシステム内に含まれるものと類似又は同じ、チャンバ５０２、サンプルホルダー５０４、排気装置５０６、ガス入口装置５０８、プラズマ点火装置５１０、及び検出器５１６を含む。
【００４８】
図５Ｂは、本発明の一実施形態に係る、図５Ａのチャンバ５０２の可能な構成の概略図を示す。図３Ｃ及び３Ｄの説明に関連して図５Ｂを参照すると、チャンバ５０２は、第１の非リモートのプラズマプロセスを実行するための第１ステージ（プラズマステージ１、これはバイアスを有するインサイチューソースを含むことができる）を有する。例えば、低ｋ膜の改質と共に保護層の形成を含むプラズマプロセスを、ステージ１で実行することができる。チャンバ５０２はまた、リモートプラズマプロセスを実行するための第２ステージ（プラズマステージ２）を有する。例えば、改質された低ｋ膜と共に堆積された保護層の洗浄を含むプラズマプロセスを、ステージ２で実行することができる。チャンバ５０２に対するこのような構成は、ラジカル／イオン比の微調整を可能にすることができる。このような調整可能なソースの利点は、エッチングに異方性のポリマーの無い処理の制御を含むことができる。改質層の深さによって画定される層ごとの除去を実行してもよい。更に、準安定種（例えば、ＮＨ、Ｆ、Ｏ、Ｈ、Ｃｌ等）の微調整に基づく調整可能な選択性を達成することができる。
【００４９】
本発明の実施形態は、本発明に係るプロセスを実行するように、コンピュータシステム（又は他の電子デバイス）をプログラミングするために使用することができる命令を内部に格納したマシン可読媒体を含むことができる、コンピュータプログラム製品、又はソフトウェアとして提供することができる。マシン可読媒体は、マシン（例えば、コンピュータ）によって読み取り可能な形式で情報を記憶又は伝送する任意の機構を含む。例えば、マシン可読（例えば、コンピュータ可読）媒体は、マシン（例えば、コンピュータ）で読み取り可能な記憶媒体（例えば、リードオンリーメモリ（「ＲＯＭ」）、ランダムアクセスメモリ（「ＲＡＭ」）、磁気ディスク記憶媒体、光記憶媒体、フラッシュメモリデバイス等）、マシン（例えば、コンピュータ）で読み取り可能な伝送媒体（電気的、光学的、音響的又はその他の形態の伝搬信号（例えば、赤外線信号、デジタル信号等））等を含む。
【００５０】
図６は、本明細書に記載される任意の１以上の方法をマシンに実行させるための命令セットを内部で実行することができるコンピュータシステム８００の例示的な形態におけるマシンの図表示を示す。代替の実施形態では、マシンは、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、イントラネット、エクストラネット、又はインターネット内で他のマシンに接続（例えば、ネットワーク接続）することができる。マシンは、クライアント−サーバネットワーク環境におけるサーバ又はクライアントマシンの機能で、又はピアツーピア（又は分散）ネットワーク環境におけるピアマシンとして動作することができる。マシンは、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、タブレットＰＣ、セットトップボックス（ＳＴＢ）、パーソナルデジタルアシスタント（ＰＤＡ）、携帯電話、ウェブアプライアンス、サーバ、ネットワークルータ、スイッチ又はブリッジ、又はそのマシンによって取られる動作を特定する命令のセット（シーケンシャル又はそれ以外）を実行することができる任意のマシンであることができる。更に、単一のマシンのみが示されているが、用語「マシン」はまた、本明細書内で議論された任意の１以上の方法を実行する命令のセット（又は複数のセット）を個々に又は共同で実行するマシン（例えば、コンピュータ）の任意の集合を含むと解釈すべきである。
【００５１】
例示的なコンピュータシステム６００は、プロセッサ６０２、メインメモリ６０４（例えば、リードオンリーメモリ（ＲＯＭ）、フラッシュメモリ、ダイナミックランダムアクセスメモリ（ＤＲＡＭ）（例えば、シンクロナスＤＲＡＭ（ＳＤＲＡＭ）又はラムバスＤＲＡＭ（ＲＤＲＡＭ）など）、スタティックメモリ６０６（例えば、フラッシュメモリ、スタティックランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）など）、及び二次メモリ６１８（例えば、データ記憶装置）を含み、これらはバス６３０を介して互いに通信する。
【００５２】
プロセッサ６０２は、１以上の汎用処理装置（例えば、マイクロプロセッサ、中央処理装置など）を表す。より具体的には、プロセッサ６０２は、複合命令セットコンピューティング（ＣＩＳＣ）マイクロプロセッサ、縮小命令セットコンピューティング（ＲＩＳＣ）マイクロプロセッサ、超長命令語（ＶＬＩＷ）マイクロプロセッサ、他の命令セットを実行するプロセッサ、又は命令セットの組み合わせを実行するプロセッサであることができる。プロセッサ６０２は、１以上の特殊目的処理装置（例えば、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）、ネットワークプロセッサなど）であることも可能である。プロセッサ６０２は、本明細書で議論された操作を実行するための処理ロジック６２６を実行するように構成される。
【００５３】
コンピュータシステム６００は更に、ネットワークインタフェースデバイス６０８を含むことができる。コンピュータシステム６００は、ビデオディスプレイユニット６１０  （例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、又は陰極線管（ＣＲＴ））、英数字入力装置６１２（例えば、キーボード）、カーソル制御装置６１４（例えば、マウス）、及び信号生成装置６１６（例えば、スピーカ）を含むこともできる。
【００５４】
二次メモリ６１８は、本明細書に記載の１以上の方法又は機能の何れかを具現化する１以上の命令セット（例えば、ソフトウェア６２２）を格納するマシンアクセス可能な記憶媒体（又は、より具体的には、コンピュータ可読記憶媒体）６３１を含むことができる。ソフトウェア６２２はまた、コンピュータシステム６００、メインメモリ６０４及びプロセッサ６０２（これらもまたマシン可読記憶媒体を構成している）によるその実行中に、メインメモリ６０４内及び／又はプロセッサ６０２内に、完全に又は少なくとも部分的に常駐することもできる。ソフトウェア６２２は更に、ネットワークインタフェースデバイス６０８を介してネットワーク６２０上で送信又は受信されることができる。
【００５５】
マシンアクセス可能な記憶媒体６３１は、例示的な一実施形態では単一の媒体であることが示されているが、用語「マシン可読記憶媒体」は、１以上の命令セットを格納する単一の媒体又は複数の媒体（例えば、集中型又は分散型データベース、及び／又は関連するキャッシュ及びサーバ）を含むように解釈されるべきである。用語「マシン可読記憶媒体」はまた、マシンによる実行用命令セットを格納又はエンコードすることができ、本発明の１以上の方法の何れかをマシンに実行させる任意の媒体を含むようにも解釈されるべきである。したがって、用語「マシン可読記憶媒体」は、固体メモリ、光・磁気メディアを含むが、これらに限定されないように解釈されるべきである。
【００５６】
本発明の一実施形態によると、機械アクセス可能な記憶媒体は、データ処理システムに低ｋ誘電体層をパターニングする方法を実行させる命令を内部に格納している。本方法は、基板の上方に配置された低ｋ誘電体層の上方にマスク層を形成してパターニングする工程を含む。低ｋ誘電体層の露出部分は、プラズマプロセスで改質される。同一操作内で、リモートプラズマプロセスによって、低ｋ誘電体層の改質された部分は、マスク層及び低ｋ誘電体層の非改質部分に対して選択的に除去される。
【００５７】
このように、低ｋ誘電体膜をパターニングする方法が開示された。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
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【図３Ｆ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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