(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートに貼付された剥離用テープに張力を付与して当該接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、
前記剥離用テープを保持する保持手段と、
前記剥離用テープに張力を付与して前記被着体から前記接着シートを剥離する張力付与手段と、
前記被着体に貼付されている接着シートを、前記剥離用テープを介して当該被着体方向に押え付け、前記張力付与手段での前記接着シートの剥離によって前記被着体が前記接着シートの剥離方向へ移動することを規制する押圧部材を有する移動規制手段とを備え、
前記剥離用テープは、前記保持手段で保持される側の反対側の非保持端縁が前記被着体に貼付されている接着シート上に位置するように貼付され、
前記非保持端縁の位置を認識可能な認識手段を備え、
前記移動規制手段は、前記接着シートの剥離に伴って、前記押圧部材の押圧部を前記非保持端縁方向へ相対移動させることで前記被着体の移動を規制し、前記認識手段での認識に基づき、前記押圧部が前記非保持端縁に到達する前に、当該押圧部材での接着シートの押え付けを取り止めることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記張力付与手段は、前記被着体から剥離された接着シートを当該被着体方向に押え付け、当該被着体が前記接着シートの剥離方向へ移動することを規制する押え付け手段を備え、前記移動規制手段での接着シートの押え付けを取り止めた際、当該押え付け手段で前記接着シートの押え付けを行うことを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
接着シートに貼付された剥離用テープに張力を付与して当該接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法であって、
前記剥離用テープを保持手段で保持する保持工程と、
前記剥離用テープに張力を付与して前記被着体から前記接着シートを剥離する張力付与工程と、
押圧部材で前記被着体に貼付されている接着シートを、前記剥離用テープを介して当該被着体方向に押え付け、前記張力付与工程での前記接着シートの剥離によって前記被着体が前記接着シートの剥離方向へ移動することを規制する移動規制工程とを備え、
前記剥離用テープは、前記保持手段で保持される側の反対側の非保持端縁が前記被着体に貼付されている接着シート上に位置するように貼付され、
前記非保持端縁の位置を認識する認識工程を備え、
前記移動規制工程は、前記接着シートの剥離に伴って、前記押圧部材の押圧部を前記非保持端縁方向へ相対移動させることで前記被着体の移動を規制し、前記認識工程での認識に基づき、前記押圧部が前記非保持端縁に到達する前に、当該押圧部材での接着シートの押え付けを取り止めることを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離装置および剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、接着シートを押圧部材で被着体側に押え付けつつ、剥離用テープを引っ張って当該接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１５０２３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート剥離装置では、接着シートを剥離する際、第２押え部材（押圧部材）の先端部（押圧部）が接着シート上に位置する剥離用テープの端縁（非保持端縁）を通過すると、当該押圧部が非保持端縁によって形成された段差によって接着シート上に落下するため、被着体を損傷させるという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、剥離用テープによって段差が形成されていたとしても、被着体を損傷させることなく接着シートを剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート剥離装置は、接着シートに貼付された剥離用テープに張力を付与して当該接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、前記剥離用テープを保持する保持手段と、前記剥離用テープに張力を付与して前記被着体から前記接着シートを剥離する張力付与手段と、前記被着体に貼付されている接着シートを、前記剥離用テープを介して当該被着体方向に押え付け、前記張力付与手段での前記接着シートの剥離によって前記被着体が前記接着シートの剥離方向へ移動することを規制する押圧部材を有する移動規制手段とを備え、前記剥離用テープは、前記保持手段で保持される側の反対側の非保持端縁が前記被着体に貼付されている接着シート上に位置するように貼付され、前記非保持端縁の位置を認識可能な認識手段を備え、前記移動規制手段は、前記接着シートの剥離に伴って、前記押圧部材の押圧部を前記非保持端縁方向へ相対移動させることで前記被着体の移動を規制し、前記認識手段での認識に基づき、前記押圧部が前記非保持端縁に到達する前に、当該押圧部材での接着シートの押え付けを取り止める、という構成を採用している。
【０００７】
本発明のシート剥離装置では、前記張力付与手段は、前記被着体から剥離された接着シートを当該被着体方向に押え付け、当該被着体が前記接着シートの剥離方向へ移動することを規制する押え付け手段を備え、前記移動規制手段での接着シートの押え付けを取り止めた際、当該押え付け手段で前記接着シートの押え付けを行うことが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート剥離方法は、接着シートに貼付された剥離用テープに張力を付与して当該接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法であって、前記剥離用テープを保持手段で保持する保持工程と、前記剥離用テープに張力を付与して前記被着体から前記接着シートを剥離する張力付与工程と、押圧部材で前記被着体に貼付されている接着シートを、前記剥離用テープを介して当該被着体方向に押え付け、前記張力付与工程での前記接着シートの剥離によって前記被着体が前記接着シートの剥離方向へ移動することを規制する移動規制工程とを備え、前記剥離用テープは、前記保持手段で保持される側の反対側の非保持端縁が前記被着体に貼付されている接着シート上に位置するように貼付され、前記非保持端縁の位置を認識する認識工程を備え、前記移動規制工程は、前記接着シートの剥離に伴って、前記押圧部材の押圧部を前記非保持端縁方向へ相対移動させることで前記被着体の移動を規制し、前記認識工程での認識に基づき、前記押圧部が前記非保持端縁に到達する前に、当該押圧部材での接着シートの押え付けを取り止める、という工程を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、押圧部材の押圧部が非保持端縁に到達する前に、押圧部材での接着シートの押え付けを取り止めるため、剥離用テープによって段差が形成されていたとしても、被着体を損傷させることなく接着シートを剥離することができる。
【００１０】
この際、非保持端縁の位置を認識可能な認識手段を採用すれば、押圧部材の押圧部が非保持端縁に到達する前に、確実に押圧部材での接着シートの押え付けを取り止めることができる。
また、張力付与手段が押え付け手段を備えれば、移動規制手段での押え付けがなくなっても、被着体が接着シートの剥離方向へ移動することを規制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の側面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）はシート剥離装置の動作説明図。
【図３】（Ａ）〜（Ｃ）はシート剥離装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート剥離装置１０は、接着シートＡＳに貼付された剥離用テープＰＴに張力を付与して当該接着シートＡＳを被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦから剥離する装置であって、剥離用テープＰＴを保持する保持手段２０と、剥離用テープＰＴに張力を付与してウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する張力付与手段３０と、ウエハＷＦに貼付されている接着シートＡＳを、剥離用テープＰＴを介して当該ウエハＷＦ方向に押え付け、張力付与手段３０での接着シートＡＳの剥離によってウエハＷＦが接着シートＡＳの剥離方向へ移動することを規制する押圧部材としての移動規制プレート４３を有する移動規制手段４０と、剥離用テープＰＴにおける保持手段２０で保持される側の反対側の非保持端縁ＰＴ１の位置を認識可能な認識手段５０とを備えている。
【００１４】
保持手段２０は、巻回された剥離用テープＰＴを回転可能に支持するテープ支持手段２１と、テープ支持手段２１に支持された剥離用テープＰＴを当該テープ支持手段２１とで挟み込み、当該剥離用テープＰＴに繰出力または巻取力を付与する繰出手段２２と、剥離用テープＰＴのリード端部を保持するリード保持手段２３と、リード保持手段２３が剥離用テープＰＴを保持することを補助する保持補助手段２４と、リード保持手段２３に保持された剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに押圧して貼付する押圧手段２５と、剥離用テープＰＴを切断する切断手段２６とを備えている。
【００１５】
テープ支持手段２１は、回転軸２１Ａを中心に回動可能な回動アーム２１Ｂの自由端側に支持され、巻回された剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ２１Ｃと、回動アーム２１Ｂを繰出手段２２方向に付勢する付勢手段としてのばね２１Ｄとを備えている。
繰出手段２２は、駆動機器としての回動モータ２２Ａによって駆動する繰出ローラ２２Ｂを備えている。
リード保持手段２３は、駆動機器としての直動モータ２３Ａの出力軸２３Ｂに支持された収容手段２３Ｃ内に収容され、収容手段２３Ｃの底面である吸着面２３Ｄに形成された吸引孔２３Ｅを介して剥離用テープＰＴを吸着保持する減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段２３Ｆを備えている。
保持補助手段２４は、駆動機器としての直動モータ２４Ａの出力軸２４Ｂに支持され、剥離用テープＰＴを吸着面２３Ｄに当接させる補助ローラ２４Ｃを備えている。
押圧手段２５は、収容手段２３Ｃ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ２５Ａのスライダ２５Ｂに支持され、収容手段２３Ｃの底面から突没可能に設けられた押圧ヘッド２５Ｃと、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段２５Ｄとを備えている。
切断手段２６は、収容手段２３Ｃ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ２６Ａのスライダ２６Ｂに支持され、収容手段２３Ｃの底面から突没可能に設けられた切断刃２６Ｃを備えている。
【００１６】
張力付与手段３０は、剥離用テープＰＴとウエハＷＦを相対移動させる移動手段３１と、ウエハＷＦから剥離された接着シートＡＳを所定方向に誘導する誘導手段３２と、ウエハＷＦから剥離された接着シートＡＳを当該ウエハＷＦ方向に押え付け、当該ウエハＷＦが接着シートＡＳの剥離方向へ移動することを規制する押え付け手段３３と、押え付け手段３３とで剥離用テープＰＴや接着シートＡＳを挟み込む挟み込み手段３４とを備えている。
移動手段３１は、駆動機器としてのリニアモータ３１Ａのスライダ３１Ｂに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面３１Ｃを有するテーブル３１Ｄを備えている。
誘導手段３２は、駆動機器としてのリニアモータ３２Ａのスライダ３２Ｂに支持された誘導ローラ３２Ｃを備えている。
押え付け手段３３は、駆動機器としてのリニアモータ３３Ａのスライダ３３Ｂに支持された駆動機器としての回動モータ３３Ｃと、回動モータ３３Ｃの図示しない出力軸に支持された押え付けローラ３３Ｄとを備えている。
挟み込み手段３４は、駆動機器としての直動モータ３４Ａの出力軸３４Ｂに支持されたピンチローラ３４Ｃとを備えている。
【００１７】
移動規制手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ４２と、回動モータ４２の出力軸４２Ａに支持された移動規制プレート４３とを備え、接着シートＡＳの剥離に伴って、移動規制プレート４３の押圧部４３Ａを非保持端縁ＰＴ１方向へ相対移動させることでウエハＷＦの移動を規制するようになっている。
【００１８】
認識手段５０は、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段によって構成され、押圧ヘッド２５Ｃと切断刃２６Ｃとの距離を記憶することで、非保持端縁ＰＴ１の位置を認識するようになっている。なお、認識手段５０は、図示しない配線によって、シート剥離装置１０を構成する各部材に電気的に接続されている。
【００１９】
以上のシート剥離装置１０において、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを剥離する手順を説明する。
先ず、作業者が剥離用テープＰＴを図１中実線で示すようにセットした後、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート剥離装置１０に対し、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。このとき、作業者は、切断刃２６Ｃよりも右側に剥離用テープＰＴのリード端部を位置させておく。すると、保持手段２０が吸引手段２３Ｆを駆動し、吸着面２３Ｄで剥離用テープＰＴを吸着保持した後、リニアモータ２６Ａを駆動し、切断刃２６Ｃを昇降させて剥離用テープＰＴを切断する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、接着シートＡＳが上方となる状態でウエハＷＦが支持面３１Ｃ上に載置されると、張力付与手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦの吸着保持を開始する。その後、張力付与手段３０がリニアモータ３１Ａを駆動し、テーブル３１Ｄを左方向に移動させ、図１中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの左端部を押圧ヘッド２５Ｃの直下に位置させる。
【００２０】
次いで、保持手段２０が直動モータ２４Ａを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、補助ローラ２４Ｃを収容手段２３Ｃの下方から退避させた後、回動モータ２２Ａおよび直動モータ２３Ａを駆動し、剥離用テープＰＴを繰り出しながら収容手段２３Ｃを接着シートＡＳの直上所定位置まで下降させる。その後、保持手段２０がリニアモータ２５Ａを駆動し、図２（Ａ）に示すように、押圧ヘッド２５Ｃを下降させ、剥離用テープＰＴを接着シートＡＳの左端部に押圧して貼付する。このとき、保持手段２０が加熱手段２５Ｄを駆動し、剥離用テープＰＴを加熱してもよい。接着シートＡＳへの剥離用テープＰＴの貼付が完了すると、保持手段２０が吸引手段２３Ｆの駆動を停止するとともに、リニアモータ２５Ａおよび直動モータ２３Ａを駆動し、押圧ヘッド２５Ｃおよび収容手段２３Ｃを初期位置に復帰させる。これにより、剥離用テープＰＴは、非保持端縁ＰＴ１がウエハＷＦに貼付されている接着シートＡＳ上に位置するように貼付されることとなる。なお、認識手段５０が押圧ヘッド２５Ｃと切断刃２６Ｃとの距離を記憶しているため、接着シートＡＳの左端部から非保持端縁ＰＴ１までの距離は、当該認識手段５０が認識していることとなる。
【００２１】
その後、張力付与手段３０が直動モータ３４Ａを駆動し、ピンチローラ３４Ｃと押え付けローラ３３Ｄとで剥離用テープＰＴを所定の押圧力で挟み込んだ後、リニアモータ３１Ａを駆動し、テーブル３１Ｄを左方向に移動させ、接着シートＡＳの左端部を押え付けローラ３３Ｄの最下部の直下に位置させる。次に、移動規制手段４０がリニアモータ４１および回動モータ４２を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、剥離用テープＰＴを介して移動規制プレート４３の押圧部４３Ａで接着シートＡＳの左端部を押え付ける。次いで、張力付与手段３０がリニアモータ３１Ａおよび回動モータ３３Ｃを駆動し、テーブル３１Ｄを左方向に移動させるとともに、押え付けローラ３３Ｄを反時計回転方向に回転させる。これにより、接着シートＡＳは、図２（Ｂ）中二点鎖線で示すように、移動規制プレート４３の押圧部４３Ａで折り返される姿勢が維持されつつウエハＷＦから剥離される。なお、接着シートＡＳの剥離中は、張力付与手段３０がリニアモータ３２Ａを駆動し、押え付けローラ３３Ｄおよびピンチローラ３４Ｃによって繰り出された剥離用テープＰＴや接着シートＡＳに誘導ローラ３２Ｃを当接させ、それらに所定の張力を付与して当該剥離用テープＰＴや接着シートＡＳを所定方向に誘導する（以降も同じ）。
【００２２】
その後、移動規制手段４０は、認識手段５０での認識に基づき、押圧部４３Ａが非保持端縁ＰＴ１に到達する前に、移動規制プレート４３での接着シートＡＳの押え付けを取り止める動作を行う。すなわち、張力付与手段３０がリニアモータ３１Ａ、３２Ａおよび回動モータ３３Ｃの駆動を停止した後、移動規制手段４０がリニアモータ４１および回動モータ４２を駆動し、移動規制プレート４３を初期位置に復帰させる。次に、張力付与手段３０がリニアモータ３３Ａを駆動し、図２（Ｃ）に示すように、押え付けローラ３３Ｄの最下部で接着シートＡＳの折曲部を押圧する。なお、押え付けローラ３３Ｄの移動後も、ピンチローラ３４Ｃと押え付けローラ３３Ｄとによる剥離用テープＰＴや接着シートＡＳの所定の押圧力での挟み込みは継続される。
【００２３】
次いで、張力付与手段３０がリニアモータ３１Ａ、３２Ａおよび回動モータ３３Ｃを駆動し、テーブル３１Ｄを左方向に、誘導ローラ３２Ｃを右方向に移動させ、押え付けローラ３３Ｄを反時計回転方向に回転させる。すると、接着シートＡＳは、図３（Ａ）に示すように、押え付けローラ３３Ｄの最下部でその折曲部が押圧される姿勢が維持されつつウエハＷＦから剥離される。これにより、移動規制手段４０での接着シートＡＳの押え付けを取り止めた際、押え付け手段３３で接着シートＡＳの押え付けを行うこととなる。そして、図３（Ｂ）に示すように、接着シートＡＳの剥離が完了すると、張力付与手段３０がリニアモータ３１Ａ、３２Ａ、図示しない減圧手段および回動モータ３３Ｃの駆動を停止する。
【００２４】
次いで、保持手段２０が直動モータ２４Ａおよび吸引手段２３Ｆを駆動し、図３（Ｃ）に示すように、補助ローラ２４Ｃを初期位置に復帰させ、吸着面２３Ｄで剥離用テープＰＴを吸着保持する。その後、保持手段２０がリニアモータ２６Ａを駆動し、切断刃２６Ｃを昇降させて剥離用テープＰＴを切断し、人手または図示しない移送手段が接着シートＡＳを回収する。なお、ウエハＷＦから接着シートＡＳ全体が剥離されると、人手または図示しない搬送手段がテーブル３１Ｄ上のウエハＷＦを次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降同様の動作が繰り返される。
【００２５】
以上のような実施形態によれば、移動規制プレート４３の押圧部４３Ａが非保持端縁ＰＴ１に到達する前に、移動規制プレート４３での押え付けを取り止めるため、剥離用テープＰＴによって段差が形成されていたとしても、ウエハＷＦを損傷させることなく接着シートＡＳを剥離することができる。
【００２６】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２７】
例えば、保持手段２０は、枚葉の剥離用テープを接着シートＡＳに押圧して貼付する構成でもよい。
テープ支持手段２１は、繰出手段２２方向に付勢されることなく剥離用テープＰＴを支持してもよく、この場合、繰出手段２２は、繰出ローラ２２Ｂとで剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラ等を採用すればよい。
リード保持手段２３は、吸引手段２３Ｆに代えてまたは併用して、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で剥離用テープＰＴを保持する構成を採用することができる。
保持補助手段２４は、補助ローラ２４Ｃに代えてまたは併用して、棒状部材、板状部材、エアの吹き付けで剥離用テープＰＴを吸着面２３Ｄに当接させる構成を採用することができる。
保持補助手段２４は、接着シートＡＳ剥離後の剥離用テープＰＴをリード保持手段２３のみで保持可能であれば、なくてもよい。
押圧手段２５は、押圧ヘッド２５Ｃに代えてまたは併用して、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、エアの吹き付け等による押圧部材を採用することができ、剥離用テープＰＴが感圧接着性の接着シートの場合、加熱手段２５Ｄはあってもよいし、なくてもよい。
押圧手段２５および切断手段２６の少なくとも一方は、収容手段２３Ｃに収容されずに、リニアモータ２５Ａ、２６Ａが図示しないフレームで支持されていてもよい。
付勢手段は、ばね２１Ｄに代えてまたは併用して、ゴムや樹脂等を採用してもよい。
他の装置で剥離用テープＰＴが接着シートＡＳに貼付されている場合、保持手段２０は、テープ支持手段２１、繰出手段２２、リード保持手段２３、保持補助手段２４、押圧手段２５および切断手段２６はなくてもよく、それらの代わりに駆動機器や吸着保持等で接着シートＡＳに貼付されている剥離用テープＰＴを保持する構成を採用すればよい。
切断手段２６は、切断刃２６Ｃに代えてまたは併用して、レーザカッタ、熱カッタ、エアカッタ、圧縮水カッタ等の他の構成のものを採用してもよい。
他の装置で剥離用テープＰＴを切断する場合、本願発明において切断手段２６はなくてもよいし、剥離用テープＰＴを切断しなくてもよい。
【００２８】
張力付与手段３０は、繰出手段２２の駆動、回動モータ３３Ｃの駆動、リニアモータ３１Ａの駆動およびリニアモータ３２Ａの駆動のうち、少なくとも１つの駆動で接着シートＡＳを剥離してもよい。
張力付与手段３０は、テーブル３１Ｄを固定しておき、保持手段２０等を移動させてもよいし、それら各手段とテーブル３１Ｄとの両方を移動させてもよい。
移動手段３１は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等でウエハＷＦを支持する構成でもよい。
誘導手段３２は、ウエハＷＦに当接していた面の反対側の面同士が対向する２つ折りになるように接着シートＡＳを誘導してもよいし、接着シートＡＳが２つ折りにならないように当該接着シートＡＳを誘導してもよいし、なくてもよい。
誘導手段３２は、誘導ローラ３２Ｃに代えてまたは併用して、棒状部材や板状部材等を採用してもよいし、エアの吹き付け等で接着シートＡＳを誘導してもよい。
張力付与手段３０は、誘導ローラ３２Ｃに代えてウエハＷＦとテープ支持手段２１とを相対移動させて剥離用テープＰＴに張力を付与してもよい。
他の装置でウエハＷＦを移動させる場合、本願発明において移動手段３１はなくてもよい。
押え付け手段３３は、ウエハＷＦから剥離された接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付されている接着シートＡＳに接触するように押え付けてもよいし、接触しないように押え付けてもよい。
押え付け手段３３は、接着シートＡＳの左端部、中間部、右端部等、どの位置で当該接着シートＡＳを押え付けてもよい。
押え付け手段３３は、押え付けローラ３３Ｄの最下部以外の位置で接着シートＡＳの折曲部を押え付けてもよい。
押え付け手段３３は、押え付けローラ３３Ｄに代えてまたは併用して、板状部材やエアの吹き付け等で接着シートをウエハＷＦ方向に押え付けてもよいし、なくてもよい。
挟み込み手段３４は、ピンチローラ３４Ｃに代えてまたは併用して、板状部材やエアの吹き付け等で押え付けローラ３３Ｄとで剥離用テープＰＴ等を挟み込んでもよいし、なくてもよい。
押え付け手段３３が押え付けローラ３３Ｄで接着シートＡＳの左端部を剥離後、当該押え付けローラ３３Ｄを初期位置に復帰させるとともに、移動規制手段４０が移動規制プレート４３で接着シートＡＳを押え付け、接着シートＡＳの剥離を行ってもよく、この場合も移動規制手段４０が移動規制プレート４３の押圧部４３Ａが非保持端縁ＰＴ１に到達する前に、当該移動規制プレート４３での押え付けを取り止めればよい。
【００２９】
移動規制手段４０は、移動規制プレート４３に代えてローラ部材でウエハＷＦの移動を規制してもよく、この場合、ローラ部材における剥離用テープを押圧する部分が非保持端縁ＰＴ１に到達する前に、当該ローラ部材での接着シートＡＳの押え付けを取り止めればよい。
移動規制手段４０は、移動規制プレート４３の押圧部４３Ａが非保持端縁ＰＴ１によって形成された段差を通過しない位置にまで接着シートＡＳの剥離が完了すると、再び当該移動規制プレート４３でウエハＷＦに貼付されている接着シートＡＳを当該ウエハＷＦ方向に押え付けて剥離するようにしてもよい。
移動規制プレート４３での接着シートＡＳの押え付けと、押え付けローラ３３Ｄでの接着シートＡＳの押え付けとを同時に行って接着シートＡＳをウエハＷＦから剥離するようにしてもよい。
【００３０】
認識手段５０は、非保持端縁ＰＴ１の位置を検知するカメラ等の撮像手段や光学センサ等の検知手段を採用し、この検知結果を基に当該非保持端縁ＰＴ１の位置を記憶（認識）するようにしてもよい。
認識手段５０はなくてもよく、この場合、例えば、接着シートＡＳが所定長さ（接着シートＡＳの剥離開始部から非保持端縁ＰＴ１までの距離以下の長さ）剥離された時点や、接着シートＡＳに少しでも剥離のきっかけが形成された時点で、移動規制プレート４３を初期位置に復帰させればよい。
【００３１】
また、本発明における接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳおよび剥離用テープＰＴは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着形態のものが採用された場合の貼付は、接着シートＡＳや剥離用テープＰＴを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着すればよい。また、このような接着シートＡＳおよび剥離用テープＰＴは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３２】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、剥離用テープを保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３３】
１０…シート剥離装置
２０…保持手段
３０…張力付与手段
３３…押え付け手段
４０…移動規制手段
４３…移動規制プレート（押圧部材）
４３Ａ…押圧部
５０…認識手段
ＡＳ…接着シート
ＰＴ…剥離用テープ
ＰＴ１…非保持端縁
ＷＦ…ウエハ（被着体）
【図１】
0006577853.tif 000002
【図２】
0006577853.tif 000003
【図３】
0006577853.tif 000004