(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加熱物と対面された状態で、前記被加熱物及び本ヒータのうちの少なくとも一方を掃引することにより前記被加熱物を加熱するヒータであって、
長方形状の基体と、
前記基体上に長手方向に複数並べて配置されて、各別に給電を受ける発熱セル（Ｃ）と、を備え、
前記発熱セル（Ｃ）は、前記基体の長手方向に略平行な複数の横配線（Ｌ１）と、前記横配線（Ｌ１）に対して傾斜した複数の斜配線（Ｌ３）と、を有し、全体としてつづら折り形状をなすように前記横配線（Ｌ１）及び前記斜配線（Ｌ３）が連接されており、
更に、前記横配線（Ｌ１）と前記斜配線（Ｌ３）とが鈍角をなして折り返された第１折返部（Ｄ１）を有し、
前記第１折返部（Ｄ１）は、前記斜配線（Ｌ３）に対して鋭角又は直角をなした逆斜配線（Ｌ２）を介して、前記横配線（Ｌ１）と前記斜配線（Ｌ３）が連接されていることを特徴とするヒータ。
【請求項２】
前記発熱セル（Ｃ）は、前記第１折返部（Ｄ１）と隣り合って配置された折返部であって、前記横配線（Ｌ１）と前記斜配線（Ｌ３）とが鋭角をなして折り返された第２折返部（Ｄ２）を有し、
前記第２折返部（Ｄ２）は、前記逆斜配線（Ｌ２）に対応して面取りされている請求項１に記載のヒータ。
【請求項３】
前記発熱セル（Ｃ）は、前記第１折返部（Ｄ１）と隣り合って配置された折返部であって、前記横配線（Ｌ１）と前記斜配線（Ｌ３）とが鈍角をなして折り返された第３折返部（Ｄ３）を有し、
前記第３折返部（Ｄ３）を構成する前記斜配線（Ｌ３３）と、前記第１折返部（Ｄ１）を構成する前記逆斜配線（Ｌ２）と、が略平行にされている請求項１に記載のヒータ。
【請求項４】
前記発熱セル（Ｃ）は、前記長手方向に隣り合った、第１発熱セル（Ｃ１）と第２発熱セル（Ｃ２）とを有し、
前記第１発熱セル（Ｃ１）及び前記第２発熱セル（Ｃ２）は、共に、前記第１折返部（Ｄ１）及び前記第２折返部（Ｄ２）を有し、
前記第１発熱セル（Ｃ１）が有する前記第１折返部（Ｄ１１）及び前記第２折返部（Ｄ２１）と、前記第２発熱セル（Ｃ２）が有する前記第１折返部（Ｄ１２）及び前記第２折返部（Ｄ２２）と、を結んで形成される仮想四角形において、前記第１折返部（Ｄ１１）と前記第１折返部（Ｄ１２）とが対角をなし、前記第２折返部（Ｄ２１）と前記第２折返部（Ｄ２２）とが対角をなすように配置されている請求項２に記載のヒータ。
【請求項５】
前記発熱セル（Ｃ）は、前記長手方向に隣り合った、第１発熱セル（Ｃ１）と第２発熱セル（Ｃ２）とを有し、
前記第１発熱セル（Ｃ１）及び前記第２発熱セル（Ｃ２）は、共に、前記第１折返部（Ｄ１）及び前記第３折返部（Ｄ３）を有し、
前記第１発熱セル（Ｃ１）が有する前記第１折返部（Ｄ１１）及び前記第３折返部（Ｄ３１）と、前記第２発熱セル（Ｃ２）が有する前記第１折返部（Ｄ１２）及び前記第３折返部（Ｄ３２）と、を結んで形成される仮想四角形において、前記第１折返部（Ｄ１１）と前記第１折返部（Ｄ１２）とが対角をなし、前記第３折返部（Ｄ３１）と前記第３折返部（Ｄ３２）とが対角をなすように配置されている請求項３に記載のヒータ。
【請求項６】
被加熱物と対面された状態で、前記被加熱物及び本ヒータのうちの少なくとも一方を掃引することにより前記被加熱物を加熱するヒータであって、
長方形状の基体と、
前記基体上に長手方向に複数並べて配置されて、各別に給電を受ける発熱セル（Ｃ）と、を備え、
前記発熱セル（Ｃ）は、前記基体の長手方向に略平行な複数の横配線（Ｌ１）と、前記横配線（Ｌ１）に対して傾斜した複数の斜配線（Ｌ３）と、を有し、全体としてつづら折り形状をなすように前記横配線（Ｌ１）及び前記斜配線（Ｌ３）が連接されており、
更に、複数の前記発熱セル（Ｃ）のうち互いに隣り合った２つの発熱セル（Ｃ）の間には、前記２つの発熱セル（Ｃ）を蛇行するように分かつ絶縁間隙（Ｉ）を有し、
前記絶縁間隙（Ｉ）は、全体として前記長手方向の一方の側へ傾斜されていることを特徴とするヒータ。
【請求項７】
前記絶縁間隙（Ｉ）は、前記長手方向に隣り合った、第１発熱セル（Ｃ１）及び第２発熱セル（Ｃ２）の間に、経路長が異なる第１間隙と第２間隙とを交互に備え、
前記第１間隙は、前記第１発熱セル（Ｃ１）及び前記第２発熱セル（Ｃ２）が、各々有する前記斜配線（Ｌ３）間に位置されて、前記斜配線（Ｌ３）と同角度に傾斜された間隙であり、
前記第２間隙は、前記第１間隙に対して、逆方向へ傾斜されるとともに、前記第１間隙より経路長が短い間隙であり、
前記絶縁間隙（Ｉ）は、前記第１間隙、前記第２間隙、前記第１間隙の順に連続された連続部、又は、前記第２間隙、前記第１間隙、前記第２間隙の順に連続された連続部、のいずれかを有する請求項６に記載のヒータ。
【請求項８】
前記被加熱物及び本ヒータのうちの少なくとも一方を掃引する掃引方向に対して前記第１間隙がなす角度（θＺ１）と、掃引方向に対して前記第２間隙がなす角度（θＺ２）と、が異なる請求項７に記載のヒータ。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかに記載のヒータを備えることを特徴とする定着装置。
【請求項１０】
請求項１乃至８のいずれかに記載のヒータを備えることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１１】
請求項１乃至８のいずれかに記載のヒータを備えることを特徴とする加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヒータ、定着装置、画像形成装置及び加熱装置に関する。詳しくは、通電により発熱する複数の発熱セルを備えるヒータ、このようなヒータを備える定着装置、画像形成装置及び加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物の熱処理を行うための加熱手段として、通電発熱する発熱セルを基板上に設けたヒータが知られている。このようなヒータは、薄くコンパクトにできるため、例えば、複写機やプリンター等の定着用途に利用されたり、パネル等の被処理体を加熱乾燥させる乾燥機に組み込まれて利用されたりしている。これらの用途では、複数の発熱セルを電気的に並列に配置し、発熱面内における温度分布を均一化することができるヒータが下記特許文献１〜３に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１３／０７３２７６号パンフレット
【特許文献２】国際公開第２０１７／０９０６９２号パンフレット
【特許文献３】国際公開第２０１７／１３１０４１号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１には、正の抵抗温度係数を有した抵抗発熱材料を用いて、つづら折れ形状に形成された発熱セルを、電気的並列に接続したヒータが開示されている。このヒータによれば、各発熱セルは、互いに温度を自己的に均熱することができる。そのため、長手方向に均熱なヒータを得ることができる。更に、特許文献１のヒータは、発熱セル同士の間隙である配線の非形成部が、ヒータの長手方向に対して傾斜されており、非形成部による熱の落ち込みの影響が掃引方向に対して緩和できるヒータが開示されている。【０００５】
しかしながら、特許文献１のヒータによる均熱は、特定の発熱セルの過昇温を防止できるものである一方、昨今、隣接された発熱セル同士の均熱性は、各段に高いレベルで求められつつある。そのうえ、掃引方向に対して、極端に幅狭なヒータが要望されている。このため、特許文献１に開示されたヒータを、単純に、掃引方向により幅狭となるように切り詰めても、非形成部による熱の落ち込みの影響を掃引方向に対して緩和することが困難な状況を生じるおそれが高まっている。【０００６】
そこで、本願の発明者らは、上記特許文献２において、隣接した発熱セル同士のパターンを互いに入り組ませることで、発熱セル同士の間隙を分散させたヒータを提案した。また、上記特許文献３では、発熱セルによって生じた熱を、高熱伝導な均熱層を介して分散させることで、発熱セル同士の間隙による熱の落ち込みを緩和させたヒータを提案した。しかしながら、これらの構成を、採用し難いヒータも存在することがあり、より多様に組み合わせて利用できる様々な均熱化のための構成が必要となっている。【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、掃引方向に幅狭であっても均熱性に優れたヒータを提供することを目的とする。更に、このようなヒータを備える定着装置、画像形成装置及び加熱装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は以下のとおりである。
［１］請求項１に記載のヒータは、被加熱物と対面された状態で、前記被加熱物及び本ヒータのうちの少なくとも一方を掃引することにより前記被加熱物を加熱するヒータであって、
長方形状の基体と、
前記基体上に長手方向に複数並べて配置されて、各別に給電を受ける発熱セル（Ｃ）と、を備え、
前記発熱セル（Ｃ）は、前記基体の長手方向に略平行な複数の横配線（Ｌ１）と、前記横配線（Ｌ１）に対して傾斜した複数の斜配線（Ｌ３）と、を有し、全体としてつづら折り形状をなすように前記横配線（Ｌ１）及び前記斜配線（Ｌ３）が連接されており、
更に、前記横配線（Ｌ１）と前記斜配線（Ｌ３）とが鈍角をなして折り返された第１折返部（Ｄ１）を有し、
前記第１折返部（Ｄ１）は、前記斜配線（Ｌ３）に対して鋭角又は直角をなした逆斜配線（Ｌ２）を介して、前記横配線（Ｌ１）と前記斜配線（Ｌ３）が連接されていることを要旨とする。
［２］請求項２に記載のヒータは、請求項１に記載のヒータにおいて、前記発熱セル（Ｃ）は、前記第１折返部（Ｄ１）と隣り合って配置された折返部であって、前記横配線（Ｌ１）と前記斜配線（Ｌ３）とが鋭角をなして折り返された第２折返部（Ｄ２）を有し、
前記第２折返部（Ｄ２）は、前記逆斜配線（Ｌ２）に対応して面取りされていることを要旨とする。
［３］請求項３に記載のヒータは、請求項１に記載のヒータにおいて、前記発熱セル（Ｃ）は、前記第１折返部（Ｄ１）と隣り合って配置された折返部であって、前記横配線（Ｌ１）と前記斜配線（Ｌ３）とが鈍角をなして折り返された第３折返部（Ｄ３）を有し、
前記第３折返部（Ｄ３）を構成する前記斜配線（Ｌ３３）と、前記第１折返部（Ｄ１）を構成する前記逆斜配線（Ｌ２）と、が略平行にされていることを要旨とする。
［４］請求項４に記載のヒータは、請求項２に記載のヒータにおいて、前記発熱セル（Ｃ）は、前記長手方向に隣り合った、第１発熱セル（Ｃ１）と第２発熱セル（Ｃ２）とを有し、
前記第１発熱セル（Ｃ１）及び前記第２発熱セル（Ｃ２）は、共に、前記第１折返部（Ｄ１）及び前記第２折返部（Ｄ２）を有し、
前記第１発熱セル（Ｃ１）が有する前記第１折返部（Ｄ１１）及び前記第２折返部（Ｄ２１）と、前記第２発熱セル（Ｃ２）が有する前記第１折返部（Ｄ１２）及び前記第２折返部（Ｄ２２）と、を結んで形成される仮想四角形において、前記第１折返部（Ｄ１１）と前記第１折返部（Ｄ１２）とが対角をなし、前記第２折返部（Ｄ２１）と前記第２折返部（Ｄ２２）とが対角をなすように配置されていることを要旨とする。
［５］請求項５に記載のヒータは、請求項３に記載のヒータにおいて、前記発熱セル（Ｃ）は、前記長手方向に隣り合った、第１発熱セル（Ｃ１）と第２発熱セル（Ｃ２）とを有し、
前記第１発熱セル（Ｃ１）及び前記第２発熱セル（Ｃ２）は、共に、前記第１折返部（Ｄ１）及び前記第３折返部（Ｄ３）を有し、
前記第１発熱セル（Ｃ１）が有する前記第１折返部（Ｄ１１）及び前記第３折返部（Ｄ３１）と、前記第２発熱セル（Ｃ２）が有する前記第１折返部（Ｄ１２）及び前記第３折返部（Ｄ３２）と、を結んで形成される仮想四角形において、前記第１折返部（Ｄ１１）と前記第１折返部（Ｄ１２）とが対角をなし、前記第３折返部（Ｄ３１）と前記第３折返部（Ｄ３２）とが対角をなすように配置されていることを要旨とする。
［６］請求項６に記載のヒータは、被加熱物と対面された状態で、前記被加熱物及び本ヒータのうちの少なくとも一方を掃引することにより前記被加熱物を加熱するヒータであって、
長方形状の基体と、
前記基体上に長手方向に複数並べて配置されて、各別に給電を受ける発熱セル（Ｃ）と、を備え、
前記発熱セル（Ｃ）は、前記基体の長手方向に略平行な複数の横配線（Ｌ１）と、前記横配線（Ｌ１）に対して傾斜した複数の斜配線（Ｌ３）と、を有し、全体としてつづら折り形状をなすように前記横配線（Ｌ１）及び前記斜配線（Ｌ３）が連接されており、
更に、複数の前記発熱セル（Ｃ）のうち互いに隣り合った２つの発熱セル（Ｃ）の間には、前記２つの発熱セル（Ｃ）を蛇行するように分かつ絶縁間隙（Ｉ）を有し、
前記絶縁間隙（Ｉ）は、全体として前記長手方向の一方の側へ傾斜されていることを要旨とするヒータ。
［７］請求項７に記載のヒータは、請求項６に記載のヒータにおいて、前記絶縁間隙（Ｉ）は、前記長手方向に隣り合った、第１発熱セル（Ｃ１）及び第２発熱セル（Ｃ２）が、各々有する前記斜配線（Ｌ３）間に位置されて、前記斜配線（Ｌ３）と同角度に傾斜された第１間隙と、
前記第１間隙に対して、逆方向へ傾斜されるとともに、前記第１間隙より経路長が短い第２間隙と、を有しており、
前記絶縁間隙（Ｉ）は、前記第１間隙、前記第２間隙、前記第１間隙の順に連続された連続部、又は、前記第２間隙、前記第１間隙、前記第２間隙の順に連続された連続部、のいずれかを有することを要旨とする。
［８］請求項８に記載のヒータは、請求項６又は７に記載のヒータにおいて、掃引方向に対して前記第１間隙がなす角度（θＺ１）と、掃引方向に対して前記第２間隙がなす角度（θＺ２）と、が異なることを要旨とする。
［９］請求項９に記載の定着装置は、請求項１乃至８のいずれかに記載のヒータを備えることを要旨とする。
［１０］請求項１０に記載の画像形成装置は、請求項１乃至８のいずれかに記載のヒータを備えることを要旨とする。
［１１］請求項１１に記載の加熱装置は、請求項１乃至８のいずれかに記載のヒータを備えることを要旨とする。
【発明の効果】
【０００９】
本第１発明のヒータによれば、掃引方向に幅狭であっても均熱性に優れたヒータとすることができる。
即ち、逆斜配線（Ｌ２）を介して、横配線（Ｌ１）と斜配線（Ｌ３）が連接された第１折返部（Ｄ１）を有することで、隣接された別の横配線（Ｌ１）の側へ膨らんだ発熱パターンを形成できる。このため、斜配線（Ｌ３）を用いた折返部を有することによって生じる熱的な空白を埋めることができ、掃引方向に幅狭なヒータであっても優れた均熱性を実現できる。【００１０】
発熱セル（Ｃ）が、第１折返部（Ｄ１）と隣り合って配置された折返部であって、逆斜配線（Ｌ２）に対応して面取りされた第２折返部（Ｄ２）を有する場合は、隣接された第１折返部（Ｄ１）による熱的な補充が得られ、鋭角をなして横配線（Ｌ１）と斜配線（Ｌ３）とが折り返されることによって生じる熱的な空白を埋めることができる。従って、掃引方向に幅狭なヒータであっても優れた均熱性を実現できる。【００１１】
発熱セル（Ｃ）が、第１折返部（Ｄ１）と隣り合って配置された折返部であって、逆斜配線（Ｌ２）と略平行な斜配線（Ｌ３３）を有した第３折返部（Ｄ３）を有する場合は、隣接された第１折返部（Ｄ１）による熱的な補充が得られ、斜配線（Ｌ３３）を有することによって生じる熱的な空白を埋めることができる。従って、掃引方向に幅狭なヒータであっても優れた均熱性を実現できる。【００１２】
第１折返部（Ｄ１）同士が対角をなし、第２折返部（Ｄ２）同士が対角をなすように、第１発熱セル（Ｃ１）及び第２発熱セル（Ｃ２）が配置される場合は、対向された第２折返部（Ｄ２）による熱的な空白を、対向された第１折返部（Ｄ１）によって効果的に補充することができる。従って、掃引方向に幅狭なヒータであっても優れた均熱性を実現できる。【００１３】
第１折返部（Ｄ１）同士が対角をなし、第３折返部（Ｄ３）同士が対角をなすように、第１発熱セル（Ｃ１）及び第２発熱セル（Ｃ２）が配置される場合は、対向された第３折返部（Ｄ３）による熱的な空白を、対向された第１折返部（Ｄ１）によって効果的に補充することができる。従って、掃引方向に幅狭なヒータであっても優れた均熱性を実現できる。【００１４】
本第２発明のヒータによれば、掃引方向に幅狭であっても均熱性に優れたヒータとすることができる。
即ち、互いに隣り合った２つの発熱セル（Ｃ）の間に蛇行された絶縁間隙（Ｉ）を設け、この絶縁間隙（Ｉ）が全体として長手方向の一方の側へ傾斜するように配置することで、２つの発熱セル（Ｃ）が各々有する、横配線（Ｌ１）と斜配線（Ｌ３）とが鋭角をなして折り返される第２折返部（Ｄ２）同士を近接させることができる。このため、斜配線（Ｌ３）を用いた折返部を有することによって生じる熱的な空白を、第２折返部（Ｄ２）の近接によって埋めることができ、掃引方向に幅狭なヒータであっても優れた均熱性を実現できる。【００１５】
絶縁間隙（Ｉ）が、第１間隙と、第１間隙より経路長が短い第２間隙と、を有し、第１間隙、第２間隙、第１間隙の順に連続された連続部、又は、第２間隙、第１間隙、第２間隙の順に連続された連続部、のいずれかを有する場合には、第１間隙と第２間隙との経路長差によって絶縁間隙（Ｉ）全体を傾斜させることができる。【００１６】
掃引方向に対して第１間隙がなす角度（θＺ１）と、掃引方向に対して第２間隙がなす角度（θＺ２）と、が異なる場合には、角度（θＺ１）と角度（θＺ２）との角度差によって絶縁間隙（Ｉ）全体を傾斜させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】ヒータの一例を示す模式的な平面図である。
【図２】ヒータの他例を示す模式的な平面図である。
【図３】発熱セルの一例を示す模式的な平面図である。
【図４】発熱セルの他例を示す模式的な平面図である。
【図５】発熱セルの他例を示す模式的な平面図である。
【図６】発熱セルの他例を示す模式的な平面図である。
【図７】発熱セルの他例を示す模式的な平面図である。
【図８】発熱セルの斜配線について説明する説明図である。
【図９】２つの発熱セルの対向形態の一例を示す模式的な平面図である。
【図１０】２つの発熱セルの対向形態の他例を示す模式的な平面図である。
【図１１】２つの発熱セルの対向形態の他例を示す模式的な平面図である。
【図１２】実配線領域と実発熱領域とについて説明する説明図である。
【図１３】基体幅が絶縁間隙Ｉに対して及ぼす作用を説明する説明図である。
【図１４】斜配線の傾斜角度が絶縁間隙Ｉに対して及ぼす作用を説明する説明図である。
【図１５】斜配線の傾斜角度が実発熱領域に対して及ぼす作用を説明する説明図である。
【図１６】ヒータの更に他例を示す模式的な平面図である。
【図１７】ヒータの更に他例を示す模式的な平面図である。
【図１８】図１６及び図１７に示す形態のヒータの詳細を説明する説明図である。
【図１９】ヒータの更に他例を示す模式的な平面図である。
【図２０】ヒータを使用した定着装置の一例を表す概略斜視図である。
【図２１】ヒータを使用した定着装置の他例を表す概略斜視図である。
【図２２】ヒータを使用した画像形成装置の一例を表す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図を参照しながら、本発明を詳しく説明する。
尚、本明細書において、配線同士の角度は、各配線同士が交わる角度を意味しており、実際に、折返部の内側に鋭角や鈍角となった形状を有することや、折返部の外側に鋭角や鈍角となった形状を有することを特定するものではない。
［１］第１発明のヒータ
本ヒータ（１）は、被加熱物と対面された状態で、被加熱物及びヒータのうちの少なくとも一方を掃引することにより被加熱物を加熱するヒータである。
更に、本ヒータ（１）は、長方形状の基体（２）と、基体（２）上に長手方向（Ｔ２）に複数並べて配置されて、各別に給電を受ける発熱セル（Ｃ）と、を備えている。
そして、発熱セル（Ｃ）は、基体（２）の長手方向に略平行な複数の横配線（Ｌ１）と、その横配線（Ｌ１）に対して傾斜した複数の斜配線（Ｌ３）と、を有して、全体としてつづら折り形状をなすように横配線（Ｌ１）及び斜配線（Ｌ３）が連接されている。
更に、横配線（Ｌ１）と斜配線（Ｌ３）とが鈍角をなして折り返された第１折返部（Ｄ１）を有しており、この第１折返部（Ｄ１）は、斜配線（Ｌ３）に対して鋭角又は直角をなした逆斜配線（Ｌ２）を介して、横配線（Ｌ１）と斜配線（Ｌ３）が連接されていることを特徴とする（図１〜図１１参照）。
【００１９】
前述のように、発熱セルの配線材料として高ＴＣＲ材料（抵抗温度係数が高い材料）を選択すると、材料単独で得られる抵抗率が低くなるため、配線幅を細く且つ配線長を長くすることでヒータとして実用的な抵抗値を得ることになる。配線幅を細く配線長さを長くする形状には、様々あるが、そのうちの１つの形状として、つづら折れ形状を選択することができる。
そして、つづら折れ形状を選択して、電気的に並列な複数の発熱セル（即ち、各別に給電を受ける複数の発熱セル）を形成するには、発熱セル間に絶縁間隙Ｉを形成する必要がある（図１２〜図１４参照）。この絶縁間隙Ｉは、横配線Ｌ１同士を接続する接続配線の形状に影響を受ける。即ち、接続配線として、掃引方向に沿った縦配線を選択すると、絶縁間隙は、掃引方向に平行に形成されて、掃引して加熱を行った場合に、熱空白が形成されてしまう。
この点、接続配線を、横配線Ｌ１に対して傾斜させた斜配線Ｌ３を採用することで、掃引方向への均熱性を実現できる。即ち、絶縁間隙Ｉを、掃引方向に対して傾斜させることで、熱空白を分散させることができる。このような観点から、つづら折れ形状を採用しながらも、斜配線Ｌ３を用いることで、均熱性に優れた発熱パターン（即ち、発熱セル）を形成できる。
【００２０】
しかしながら、つづら折れ形状を採用しても、基体２の幅を狭くしていくと、次第に、十分な均熱性が得られ難くなることが分かって来た。即ち、単に発熱セルのパターンをつづら折れ形状にし、傾斜した絶縁間隙Ｉを設けただけでは、十分に精密な均熱性が得られ難くなるという課題を生じることが分かった。この課題について、検討を重ねた結果、つづら折れ形状を採用した場合に生じる折返部の数が少なくなると、折返部の形状による影響が大きくなること、そして、折返部の形状を変更することで、傾斜した絶縁間隙Ｉを維持しながら、より高い均熱性が得られることを知見し、本発明を完成させた。
【００２１】
具体的には、上述の絶縁間隙Ｉを傾斜させて熱空白を分散させる方法は、折り返し回数が多い場合には、機能され易い。しかしながら、基体２の幅Ｗが狭くなり（図１３におけるＷ１→Ｗ２）、折り返し回数が少なくなると、次第に、分散範囲ＩＷが狭くなり（図１３におけるＩＷ１→ＩＷ２）、絶縁間隙Ｉを分散させ難くなる。
更に、各発熱セルＣにおいて同程度の抵抗値を得るために、同程度の配線長を得ようとすると、各発熱セルの横配線を長手方向へ伸ばし、１つの発熱セルを長手方向に長い形状へ変更する必要がある。そうすると、基体幅Ｗ１の場合には、絶縁間隙Ｉの分散幅ＩＷ１に対し、発熱セル幅ＣＷ１を小さく抑えることができるが、基体幅Ｗ２となると、絶縁間隙Ｉの分散幅ＩＷ２に対し、発熱セル幅ＣＷ２を小さく抑えることが難しくなる。その結果、発熱セル幅ＣＷ２よりも分散幅ＩＷ２が小さくなり、絶縁間隙Ｉによる熱空白の分散を、発熱セルの両端部のみでしか行えないこととなり、絶縁間隙Ｉを十分に分散させ難くなる（図１３参照）。
【００２２】
一方で、斜配線Ｌ３の傾斜をより大きくする（即ち、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とで形成される角度θ１０を角度θ１１へと大きくする、図１４におけるθ１０→θ１１）ことで、絶縁間隙Ｉの分散範囲Ｉθを広くできるようになる（図１４におけるＩθ１０→Ｉθ１１）。
しかしながら、斜配線Ｌ３の傾斜を大きくする（図１５におけるθ２０→θ２１）と、それにつれて、折返部の熱空白Ｓが大きくなること（図１５におけるＩθ２０→Ｉθ２１）が分かってきた。即ち、つづら折れ形状の折返部では、想定以上に熱空白Ｓが大きくなり得ることが分かった。
この現象は、とりわけ、鋭角となる折返部において発生し易く、その原因は、折返部を流れる電流が、配線の内側（最短距離を流れる）を流れ易く、折返部の外周側における発熱が、折返部の内周側よりも小さくなることに起因するものと考えられた。このため、傾斜角度が大きくすると、絶縁間隙Ｉを分散させる観点では有利であるものの、折返部の外周側における発熱低下が大きくなり、結果的に、折返部の外周側における発熱低下の影響がまさることで、十分な均熱性が得られ難くなるものと考えられた。
【００２３】
即ち、図１５において、「Ｃ」（Ｃθ２０とＣθ２０’との統合部分、Ｃθ２１とＣθ２１’との統合部分）は、実際に配線材料によって形成された部分を表わしている。そして、「Ｃθ２０」及び「Ｃθ２１」は、通電による直接的な発熱が少ない部位を模式的に表わしている。更に、「Ｃθ２０’」及び「Ｃθ２１’」は、通電によって直接的に発熱している部位を模式的に表わしている。
図１５では、斜配線Ｌ３の傾斜がθ２０からθ２１へ大きくなると、直接的な発熱が少ない部位Ｃθ２０はＣθ２１へ拡大される。その結果、発熱セルの実面積に対して、通電によって直接的に発熱している部分の面積が、Ｃθ２０’からＣθ２１’と減少する。また、２つの発熱セルが、対向された箇所では、熱空白Ｓθ２０の大きさが、Ｓθ２１へと拡大されてしまう。
【００２４】
そこで、前述のように、第１折返部Ｄ１に、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とが、逆斜配線Ｌ２を介して折り返されるよう、逆斜配線Ｌ２を設けることで、隣接された別の横配線Ｌ１の側へ膨らんだ発熱パターン（膨出形状）を形成できる。このため、斜配線Ｌ３の傾斜角度の大小に関わらず、逆斜配線Ｌ２からの発熱によって、熱空白Ｓを小さく抑えることができるようになり、より優れた均熱性を発揮できるヒータとすることができる。
【００２５】
〔１〕横配線
横配線Ｌ１は、基体２の長手方向に略平行に配置された配線部分である。横配線Ｌ１は、互いに略平行に配置された３本以上を備えている。１つの発熱セルＣが有する横配線Ｌ１の数は限定されないが、通常、２０本以下である。また、本発明の構成は、互いに略平行に配置された横配線Ｌ１の本数が少ないヒータに対して効果的である。具体的には、１つの発熱セルＣが有する横配線Ｌ１の数が、３本以上１０本以下である形態が好ましく、３本以上７本以下である形態がより好ましい。
また、横配線Ｌ１は、逆斜配線Ｌ２及び斜配線Ｌ３よりも短くてもよいが、逆斜配線Ｌ２及び斜配線Ｌ３よりも長いことが好ましい。
【００２６】
更に、本ヒータ１は、複数の発熱セルＣ（例えば、発熱セルＣ１及びＣ２）を有するが、各発熱セルが有する各横配線Ｌ１同士は、互いに、横配線Ｌ１を長手方向に延長した場合、同じ延長範囲Ｑ１で重なることが好ましい（図８参照）。即ち、対応した横配線Ｌ１（各発熱セルを構成する同じ段の横配線Ｌ１）同士が、各々の長手方向の延長上に配置されていることで、本ヒータ１は、掃引方向の幅を抑えることができる。更に、隣接した発熱セル同士が有する横配線Ｌ１の段数は同じにすることができる（但し、全ての発熱セルの横配線Ｌ１の段数が同一である必要はない）。
【００２７】
〔２〕斜配線
斜配線Ｌ３は、横配線Ｌ１に対して傾斜した配線部分であり、横配線Ｌ１同士をつづら折れ形状となるように接続する部分である。１つの発熱セルＣが有する斜配線Ｌ３の数は限定されないが、通常、２本以上である。１つの発熱セルＣが有する横配線Ｌ１の数が２０本以下である場合、斜配線Ｌ３の数は、通常、２１本以下である。また、１つの発熱セルＣが有する横配線Ｌ１の数が３本以上１０本以下である場合、斜配線Ｌ３の数は２本以上１１本以下とすることができる。更に、１つの発熱セルＣが有する横配線Ｌ１の数が３本以上７本以下である場合、斜配線Ｌ３の数は２本以上８本以下とすることができる。
【００２８】
１つの発熱セルＣが有する複数の斜配線Ｌ３同士は、互いに、異なる傾斜角度（横配線Ｌ１に対する角度θ１又は角度θ２）を有してもよいが、１つの発熱セルＣが有する複数の斜配線Ｌ３同士は、互いに、実質的に同じ傾斜角度（横配線Ｌ１に対する角度θ１又は角度θ２）を有することが好ましい。更に、ヒータ１が有する複数の発熱セルＣが有する、複数の斜配線Ｌ３同士も、互いに、実質的に同じ傾斜角度（横配線Ｌ１に対する角度θ１又は角度θ２）を有することが好ましい。
更に、１つの発熱セルＣが有する一端側の斜配線Ｌ３（但し、折返部Ｄ３（θ３＝鈍角）を構成するＬ３を除く）は、互いに、各斜配線Ｌ３を、これらの斜配線Ｌ３がなす角度で延長した場合に、同じ延長範囲Ｑ２で重なる形態であることが好ましい（図８参照）。
【００２９】
斜配線Ｌ３の傾斜角度（即ち、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とがなす角度θ１（図３〜図７参照））は、限定されず、９１度以上１７９度以下とすることができるが、この傾斜角度は、１０５度以上１６０度以下とすることが好ましく、１１５度以上１５５度以下がより好ましく、１２０度以上１５０度以下が更に好ましく、１２５度以上１４５度以下が特に好ましい。これらの好ましい各範囲では、より好ましい範囲であるほど発熱ロスを小さく抑えることができる。
尚、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とがなす角度θ２（図３、図４及び図６参照）は、通常、θ２＝１８０−θ１を満たす。このため、角度θ１が大きくなると、角度θ２は、それに連れて小さくなる。
【００３０】
発熱ロスは、図１２（ａ）に示すように、長手方向において絶縁間隙Ｉに対応した範囲Ｘと、横配線Ｌ１のみで形成された範囲Ｙ（同じ長手方向の幅を有する）と、の比較により大小を知ることができる。範囲Ｘに含まれる実配線領域（斜線部）の合計面積をＸ１と、範囲Ｙに含まれる実配線領域（斜線部）の合計面積をＹ１とし、Ｘ１／Ｙ１の値が、大きい程、発熱ロスは小さいことが想定され得る。しかしながら、前述のように、実際には、折返部を流れる電流が、配線の内側（最短距離を流れる）を流れ易く、折返部の外周側における発熱が、折返部の内周側よりも小さくなると考えられる。従って、このことを考慮するには、図１２（ｂ）に示すように、発熱領域は、範囲Ｘ内のなかでも、図１２（ｂ）に示すように面取りされた領域（斜線部）が、実発熱領域であるとして比較することができる。即ち、図１２（ｂ）に示す範囲Ｘに含まれる実発熱領域（斜線部）の合計面積をＸ２とし、範囲Ｙに含まれる実発熱領域（斜線部）の合計面積をＹ２とし、Ｘ２／Ｙ２の値が、大きい程、発熱ロスは小さいことが想定される。
【００３１】
〔３〕逆斜配線
逆斜配線Ｌ２は、第１折返部Ｄ１が、有する配線部分であり、斜配線Ｌ３に対して鋭角又は直角をなした配線部分である。第１折返部Ｄ１内において、斜配線Ｌ３は、横配線Ｌ１に対して鈍角をなして連接されるが、通常、逆斜配線Ｌ２も、横配線Ｌ１に対して鈍角をなして連接される。また、逆斜配線Ｌ２は、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３との間に介在される配線部分である。従って、横配線Ｌ１と逆斜配線Ｌ２と斜配線Ｌ３とは、この順に連接されることとなる。また、通常、逆斜配線Ｌ２は、第１折返部Ｄ１内に１つのみを有する。
【００３２】
逆斜配線Ｌ２は、斜配線Ｌ３に対して鋭角又は直角をなすが、この角度は特に限定されず、例えば、２０度以上９０度以下とすることができる。そのうえで、斜配線Ｌ３と逆斜配線Ｌ２とがなす角度は、より９０度に近い角度であることが好ましい。従って、４５度以上９０度以下がより好ましく、６０度以上９０度以下が更に好ましく、８０度以上９０度以下が特に好ましい。通常、斜配線Ｌ３と逆斜配線Ｌ２とがなす角度は、９０度により近い程、熱空白を小さくすることができる。
また、斜配線Ｌ３及び逆斜配線Ｌ２の配線部分の長さの相関は限定されず、斜配線Ｌ３が逆斜配線Ｌ２よりも長くてもよいし、斜配線Ｌ３と逆斜配線Ｌ２とは同じ長さであってもよいし、斜配線Ｌ３が逆斜配線Ｌ２よりも短くてもよい。これらのなかでは、斜配線Ｌ３が逆斜配線Ｌ２よりも長いことが好ましい。
【００３３】
〔４〕つづら折れ形状
つづら折り形状とは、３本の横配線Ｌ１を、順に、Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３とした場合に、Ｌ１１とＬ１２とを各々の一端で接続し、Ｌ１２とＬ１３とを各々の他端で接続した形状をいう。従って、例えば、３本の横配線Ｌ１を、順に、Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３とした場合に、Ｌ１１とＬ１２とを各々の他端で接続し、Ｌ１２とＬ１３とを各々の一端で接続した形状も、当然ながら、つづら折れ形状である。更に、例えば、４本の横配線Ｌ１を、順に、Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４とした場合に、Ｌ１１とＬ１２とを各々の一端で接続し、Ｌ１２とＬ１３とを各々の他端で接続し、Ｌ１３とＬ１４とを各々の一端で接続した形状も、つづら折れ形状である。
【００３４】
本ヒータ１では、前述のように、発熱セルＣが、つづら折れ形状を有することにより、実効性のあるヒータとすることができている。つづら折れ形状を採用することで、長手方向に同じ長さの基体２上において、配線長さを、折り返し回数倍に長くすることができる。このため、抵抗発熱配線の抵抗値を大きくすることができ、それによって実用的なヒータに要求される発熱量を得ることができる。
一般に、ヒータの抵抗発熱配線に利用される金属材料をみると、例えば、銀（２０℃において、抵抗率ρ＝１．６２×１０−８Ωｍ、温度係数α＝４．１×１０−３／℃）を用いる場合、温度係数αは大きいものの、抵抗率ρが小さいため高抵抗値とすることが困難となる。そこで、銀よりも抵抗率ρが大きいパラジウム（ρ＝１０．８×１０−８Ωｍ、α＝３．７×１０−３／℃）を添加できるが、抵抗率ρは増加しても、温度係数αが低下してしまう。このように、高ＴＣＲ特性を有する材料を選択すると、抵抗率が低くなる傾向にある。このため、抵抗発熱配線を、高ＴＣＲ且つ実用的抵抗値にするには、配線長を長くする必要がある。この点、つづら折れ形状を採用することで、配線長を長くして高抵抗値化することができるという利点がある。
【００３５】
発熱セルＣがなす上述のつづら折れ形状の配線（抵抗発熱配線）において、配線の膜厚及び幅は、１つの発熱セル内で略同一にすることができる。更に、異なる発熱セル同士でも略同一にすることができる。また、当然ながら、各発熱セルでは、必要に応じ、適宜、温度勾配を設けたりする目的で、膜厚や配線幅を変化させることもできる。
更に、配線幅と配線間距離（絶縁距離）は、適宜のものとすることができる。即ち、配線幅は、発熱させることができればよく、配線間距離は、配線同士を絶縁できればよい。そのうえで、例えば、いずれも、０．３ｍｍ以上２．０ｍｍ以下とすることができ、更には、０．４ｍｍ以上１．２ｍｍ以下とすることができる。
【００３６】
〔５〕折返部
発熱セルＣは、第１折返部Ｄ１を少なくとも１つ有する。そのうえで、第２折返部Ｄ２及び第３折返部Ｄ３のうちの少なくとも一方を有する。従って、１つの発熱セルＣは、第１折返部Ｄ１及び第２折返部Ｄ２のみを有してもよいし、第１折返部Ｄ１及び第３折返部Ｄ３のみを有してもよいし、第１折返部Ｄ１、第２折返部Ｄ２及び第３折返部Ｄ３の全てを有してもよい。
【００３７】
第１折返部Ｄ１は、斜配線Ｌ３に対して鋭角又は直角をなした逆斜配線Ｌ２を介して、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３が連接された折返部である。更に、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とが鈍角をなす折返部である（図１〜図７参照）。
本ヒータ１は、つづら折れ形状を呈しながら、第１折返部Ｄ１を有した発熱セルＣを備えることにより、優れた均熱性を発揮できる。従って、つづら折れ形状を呈する発熱セルＣは、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とが鈍角をなす折返部（但し、第３折返部Ｄ３を含まない）において、より多くの折返部が、第１折返部Ｄ１であることが好ましく、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とが鈍角をなす折返部（但し、第３折返部Ｄ３を含まない）の全てが第１折返部Ｄ１であることが特に好ましい。
【００３８】
第１折返部Ｄ１を構成する横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とがなす鈍角θ１（図１〜図７参照）の大きさは限定されないが、前述の通り、１０５度以上１６０度以下が好ましく、１１５度以上１５５度以下がより好ましく、１２０度以上１５０度以下が更に好ましく、１２５度以上１４５度以下が特に好ましい。これらの好ましい範囲では、より好ましい範囲であるほど、発熱ロスを小さく抑えることができる。
更に、第１折返部Ｄ１を構成する斜配線Ｌ３と逆斜配線Ｌ２とがなす角度は、鋭角又は直角であればよく限定されないが、２０度以上９０度以下とすることができ、４５度以上９０度以下が好ましく、６０度以上９０度以下がより好ましく、８０度以上９０度以下が更に好ましい。この角度は、９０度により近い程、熱空白を小さく抑えることができる。
尚、図６及び図７に例示するように、第１折返部Ｄ１の外周は、面取りすることができる。また、同様に第１折返部Ｄ１の内周を面取りすることができる。面取り形態は限定されず、Ｒ形状の面取り（図６及び図７参照）や平坦形状の面取りとすることができる。
【００３９】
第２折返部Ｄ２は、第１折返部Ｄ１と隣り合って配置された折返部である。更に、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とが鋭角をなして折り返された折返部である。加えて、第１折返部Ｄ１を構成する逆斜配線Ｌ２に対応して面取りされた折返部（即ち、第２折返部Ｄ２の外周が面取りされた折返部）である。
第２折返部Ｄ２を構成する横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とがなす鋭角θ２（図３、図４及び図６参照）の大きさは限定されないが、１５度以上７０度以下が好ましく、２５度以上６５度以下がより好ましく、３０度以上６０度以下が更に好ましく、３５度以上５５度以下が特に好ましい。また、上述の範囲において、第２折返部Ｄ２を構成する斜配線Ｌ３は、その延長線上に、第１折返部Ｄ１を構成する斜配線Ｌ３が対応していることが好ましい。
【００４０】
第２折返部Ｄ２の面取り形態は限定されず、逆斜配線Ｌ２との絶縁を確保できるように面取りされていればよい。具体的には、Ｒ形状の面取り（図３及び図６参照）、平坦形状の面取り（図４参照）等を用いることができる。発熱セルＣを構成する配線幅が、実質的に均一である場合、Ｒ形状の面取りとしては、例えば、第２折返部Ｄ２の内頂点を中心とし、配線幅に相当する円形に面取りすることができる（図３及び図６参照）。また、発熱セルＣを構成する配線幅が、実質的に均一である場合、平坦形状の面取りとしては、例えば、第２折返部Ｄ２の外周を、第１折返部Ｄ１を構成する逆斜配線Ｌ２と平行になるように切り落とした形状にすることができる（図４参照）。
【００４１】
前述のように、鋭角となす第２折返部Ｄ２では、流れる電流が、抵抗発熱配線の内側（最短距離を流れる）を流れ易いため、第２折返部Ｄ２の内側の発熱が、外側よりも大きくなる。そして、抵抗発熱配線は、金属を含むため、絶縁ガラス等により構成された他層をなす材料に比べて高熱伝導である。従って、第２折返部Ｄ２の内側で発せられた熱を、熱伝導により外側へ伝達させるために存在させておくことができる。しかしながら、実際には、第２折返部Ｄ２の外側に抵抗発熱配線を存在させていても、内側から発生られた熱を外側へ熱伝導させて、熱空白を補う作用を得るには不十分であることが分かった。そこで、第２折返部Ｄ２の外側を面取りし、その面取りにより得られた空間を活用して、前述のように、第１折返部Ｄ１を構成する逆斜配線Ｌ２を形成し、第１折返部Ｄ１を第２折返部Ｄ２の側へ膨出させることで、効果的に、熱空白を抑えることができた。即ち、より優れた均熱性を得ることができる。また、同様に第２折返部Ｄ２の内周を面取りすることができる。
【００４２】
第３折返部Ｄ３は、第１折返部Ｄ１と隣り合って配置された折返部である。更に、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３３とが鈍角をなして折り返された折返部である。加えて、第３折返部Ｄ３を構成する斜配線Ｌ３３と、第１折返部Ｄ１を構成する逆斜配線Ｌ２と、が略平行にされた折返部である。この第３折返部Ｄ３を構成する斜配線Ｌ３３は、特に、各発熱セルＣへ給電を行う給電配線Ｆと、発熱セルＣとを接続するための給電接続配線として利用できる。
第３折返部Ｄ３を構成する横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３３とがなす鈍角θ３（図５及び図７参照）の大きさは限定されないが、１０５度以上１６０度以下が好ましく、１１５度以上１５５度以下がより好ましく、１２０度以上１５０度以下が更に好ましく、１２５度以上１４５度以下が特に好ましい。これらの好ましい範囲では、より好ましい範囲であるほど、発熱ロスを小さく抑えることができる。また、上述の範囲において、第１折返部Ｄ１を構成する鈍角θ１と同じ角度であることが好ましい。尚、第３折返部Ｄ３についても、その外周及び／又は内周を面取りすることができる。
【００４３】
〔６〕折返部の配置
本ヒータ１を構成する各発熱セルＣの折返部は、互いにどのように配置してもよいが、第１発熱セルＣ１及び第２発熱セルＣ２が、共に、第１折返部Ｄ１及び第２折返部Ｄ２を有する形態である場合、図９及び図１０に例示する所定の配置とすることで、熱空白をより小さく抑えることができる。
即ち、基体の長手方向に隣り合った、第１発熱セルＣ１と第２発熱セルＣ２とを有し、第１発熱セルＣ１及び第２発熱セルＣ２が、共に、第１折返部Ｄ１及び第２折返部Ｄ２を有する場合、第１発熱セルＣ１の第１折返部Ｄ１１及び第２折返部Ｄ２１と、第２発熱セルＣ２の第１折返部Ｄ１２及び第２折返部Ｄ２２と、を結んで形成される仮想四角形ＳＤにおいて、第１折返部Ｄ１１と第１折返部Ｄ１２とが対角をなし、第２折返部Ｄ２１と第２折返部Ｄ２２とが対角をなすように配置することが好ましい。この形態の採用により、第１折返部Ｄ１及び第２折返部Ｄ２を有した発熱セルＣを単独で利用する場合に比べて、より顕著に熱空白を小さくすることができる。即ち、とりわけ優れた均熱性を有するヒータを得ることができる。
【００４４】
一方、第１発熱セルＣ１及び第２発熱セルＣ２が、共に、第１折返部Ｄ１及び第３折返部Ｄ３を有する形態である場合、図１１に例示する所定の配置とすることで、熱空白をより小さく抑えることができる。
即ち、基体の長手方向に隣り合った、第１発熱セルＣ１と第２発熱セルＣ２とを有し、第１発熱セルＣ１及び第２発熱セルＣ２が、共に、第１折返部Ｄ１及び第３折返部Ｄ３を有する場合、第１発熱セルＣ１の第１折返部Ｄ１１及び第３折返部Ｄ３１と、第２発熱セルＣ２の第１折返部Ｄ１２及び第３折返部Ｄ３２と、を結んで形成される仮想四角形ＳＤにおいて、第１折返部Ｄ１１と第１折返部Ｄ１２とが対角をなし、第３折返部Ｄ３１と第３折返部Ｄ３２とが対角をなすように配置することが好ましい。この形態の採用により、第１折返部Ｄ１及び第３折返部Ｄ３を有した発熱セルＣを単独で利用する場合に比べて、より顕著に熱空白を小さくすることができる。即ち、とりわけ優れた均熱性を有するヒータを得ることができる。
【００４５】
〔７〕抵抗発熱配線
発熱セルＣを構成する配線材料は、抵抗発熱配線であり、導電材料である。即ち、通電により抵抗値に応じた発熱をすることができる導電材料である。この導電材料は限定されないが、例えば、銀、銅、金、白金、パラジウム、ロジウム、タングステン、モリブデン、レニウム（Ｒｅ）及びルテニウム（Ｒｕ）等を用いることができる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合においては合金とすることができる。より具体的には、銀−パラジウム合金、銀−白金合金、白金−ロジウム合金、銀−ルテニウム、銀、銅及び金等を利用できる。
【００４６】
各発熱セルは、どのような抵抗発熱特性を有してもよいが、各発熱セル間で、自己温度均衡作用（自己温度補完作用）を発揮できることが好ましい。その観点から、抵抗発熱配線を構成する導電材料は、正の抵抗温度係数を有することが好ましい。具体的には、−２００℃以上１０００℃以下の温度範囲における抵抗温度係数が１００ｐｐｍ／℃以上４４００ｐｐｍ／℃以下であることが好ましく、更には、３００ｐｐｍ／℃以上３７００ｐｐｍ／℃以下であることがより好ましく、５００ｐｐｍ／℃以上３０００ｐｐｍ／℃以下であることが特に好ましい。このような材料としては、銀−パラジウム合金等の銀系合金が挙げられる。
【００４７】
正の抵抗温度係数を有する導電材料を用いて形成された抵抗発熱配線（即ち、発熱セル）が、電気的に並列に接続されている場合、これらの複数の発熱セル同士は自己温度均衡の作用を奏する。即ち、例えば、第１発熱セル及び第３発熱セルに挟まれて、第２発熱セルがある場合、第２発熱セルの温度が低下すると、第１発熱セル及び第３発熱セルから熱が補われる。この熱の補充により結果的に、温度低下した第１発熱セル及び第３発熱セルへの電流が増加し、奪われた熱による温度低下を自律的に回復しようとする作用が働くこととなる。つまり、第２発熱セルの周囲の発熱セルが、第２発熱セルの温度低下を補完するように振る舞うこととなる。このように、本ヒータ１は、複数の発熱セルにわたって均一に発熱するように自律的に制御できる。
【００４８】
〔８〕基体
基体２は、発熱セルＣを支持する基板である。
基体２の寸法や形状は特に限定されないが、掃引方向Ｔ１の長さよりも、掃引方向に直交する方向（長手方向）Ｔ２の長さが、長い形状である場合に、特に本発明に構成による効果を得易い。具体的には、例えば、基体２の掃引方向の長さをＬＨ１とし、掃引方向に直交する方向の長さをＬＨ２とした場合に、長さの比（ＬＨ１／ＬＨ２）は、０．００１以上０．２５以下とすることができる。この比は、更に、０．００５以上０．２以下が好ましく、０．０１以上０．１５以下がより好ましい。また、その厚さは、例えば、基体の材質や寸法等に応じて０．１〜２０ｍｍとすることができる。より具体的には、ＬＨ１は、３ｍｍ以上２０ｍｍ以下とすることができ、更に、５ｍｍ以上１５ｍｍ以下とすることができる。
【００４９】
基体２を構成する材料は、発熱セルを発熱させられればよく限定されない。基体として、例えば、金属、セラミックス及びこれらの複合材料等を利用できる。金属等の導電材を用いる場合には、基体はその導電材上に絶縁層を設けて構成することができる。この場合、発熱セルは、絶縁層上に形成されることとなる。
基体２を構成する金属としては、スチール等を挙げることができ、なかでもステンレスを好適に用いることができる。ステンレスの種類は特に限定されず、フェライト系ステンレス及び／又はオーステナイト系ステンレスが好ましい。更にこれらのステンレスのなかでも、特に耐熱性及び／又は耐酸化性に優れた品種が好ましい。例えば、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ４３６、ＳＵＳ４４４、ＳＵＳ３１６Ｌ等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００５０】
更に、基体を構成する金属として、アルミニウム、マグネシウム、銅及びこれらの金属の合金を用いることができる。これらは１種のみで用いてもよく２種以上を併用してもよい。そのうち、アルミニウム、マグネシウム、及び、これらの合金（アルミニウム合金、マグネシウム合金、Ａｌ−Ｍｇ合金等）は比重が小さいため、これらを採用することによって本ヒータの軽量化を図ることができる。また、銅及びその合金は、熱伝導性に優れているため、これらを採用することによって本ヒータの均熱性の向上を図ることができる。具体的には、耐熱性及び耐酸化性に優れた金属を外層に利用し、内層として熱伝導性に優れた金属を採用した複層の基体を用いることができる。複層化された基体は２層のみからなってもよいし、３層又は３層以上の構成とすることができる。金属の複層化方法は限定されず、例えば、金属同士の圧着に実現できる。より具体的にはクラッド材を利用できる。その他、例えば、めっき法を用いて金属同士を複層化することができる。
【００５１】
前述のとおり、基体を構成する材料として導電材を用いる場合には、その導電材上に絶縁層を設けることが好ましい。絶縁層の材料は、基体を構成する導電材と抵抗発熱配線との間の電気的絶縁を達することができればよく、特に限定されないが、特にガラス、セラミックス、ガラス・セラミックス等が好ましい。これらのなかでも、基体を構成する材料として金属（ステンレス等）を用いる場合、絶縁層の材料は、その熱膨張バランスの観点から、ガラスが好ましく、結晶化ガラス及び半結晶化ガラスがより好ましい。具体的には、ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＭＯ系ガラスが好ましい。ここで、ＭＯは、アルカリ土類金属の酸化物（ＭｇＯ、ＣａＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ等）である。絶縁層の厚さは特に限定されないが、３０〜２００μｍであることが好ましい。
【００５２】
また、セラミックスを用いて基体を構成する場合には、高温において、基体上に設けられる発熱セルとの間の電気的絶縁を達することができるものであればよい。例えば、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリカ、ムライト、スピネル、コージェライト、窒化ケイ素等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。これらのうち、酸化アルミニウム及び窒化アルミニウムが好ましい。また、金属とセラミックスとの複合材料としては、ＳｉＣ／Ｃや、ＳｉＣ／Ａｌ等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００５３】
尚、前述のように、ヒータの発熱面と被加熱物とを対面された状態で、被加熱物とヒータとを相対的に掃引方向に掃引させて被加熱物を加熱する場合、基体の掃引方向の断面形状は、掃引方向と直交する軸を中心として被加熱物との対面側に凸状な円弧形状（即ち、円柱又は円筒を、中心軸に平行な平面で切り取った形状）とすることができる。そして、各抵抗発熱配線は、凸状の面上に配設することもできるし、反対側の面（凹状の面）上に配設することもできる。このような形状とすることにより、ヒータを円筒状のロールに取り付け、ロールを回転させることによって、ロール上を掃引される被加熱物を効率的に加熱することができる。
【００５４】
〔９〕その他の回路
本ヒータ１は、前述の発熱セル以外にも、他の回路を備えることができる。他の回路としては、発熱セルへ給電を行うための給電配線、本ヒータへ給電を行うための外部配線を接続するランド等が挙げられる。これらは１種のみを備えてもよく２種以上を備えてもよい。尚、当然ながら、発熱セルは、それ自体が、給電配線部を備えることもできる。
【００５５】
〔１０〕用途
本ヒータは、印刷機、複写機、ファクシミリ等の画像形成装置や定着装置等に組み込まれて、記録媒体にトナーやインク等を定着する定着用ヒータとして利用できる。また、加熱機に組み込まれて、パネル等の被処理体を均一に加熱（乾燥又は焼成など）する加熱装置として利用できる。その他、金属製品の熱処理、各種形状の基体に形成された塗膜、被膜の熱処理等を好適に行うことができる。具体的には、フラットパネルディスプレイ用の塗膜（フィルター構成材料）の熱処理、塗装された金属製品、自動車関連製品、木工製品等の塗装乾燥、静電植毛接着乾燥、プラスチック加工製品の熱処理、プリント基板のはんだリフロー、厚膜集積回路の印刷乾燥等に利用することができる。
【００５６】
［２］第２発明のヒータ
本ヒータ（１’）は、被加熱物と対面された状態で、被加熱物及びヒータのうちの少なくとも一方を掃引することにより被加熱物を加熱するヒータである。
更に、本ヒータ（１’）は、長方形状の基体（２）と、基体（２）上に長手方向（Ｔ２）に複数並べて配置されて、各別に給電を受ける発熱セル（Ｃ）と、を備えている。
そして、発熱セル（Ｃ）は、基体（２）の長手方向に略平行な複数の横配線（Ｌ１）と、その横配線（Ｌ１）に対して傾斜した複数の斜配線（Ｌ３）と、を有して、全体としてつづら折り形状をなすように横配線（Ｌ１）及び斜配線（Ｌ３）が連接されている。
更に、複数の発熱セル（Ｃ）のうち互いに隣り合った２つの発熱セル（Ｃ）の間には、２つの発熱セル（Ｃ）を蛇行するように分かつ絶縁間隙（Ｉ）を有しており、この絶縁間隙（Ｉ）は、全体として長手方向の一方の側へ傾斜されていることを特徴とする（図１６〜図１９参照）。
【００５７】
ここで、「絶縁間隙Ｉ」は、互いに隣り合った２つの発熱セルＣの間に配置されており、２つの発熱セルＣを蛇行するように離間させて、両者を絶縁させている間隙である。この絶縁間隙Ｉは、その両側縁が配線によって区画されている必要はなく、一方の側縁のみが配線によって区画されていればよい。通常、この間隙の幅は、斜配線Ｌ３同士に挟まれた間隙幅と同じ幅で規定される（図１８及び図１９参照）。
【００５８】
また、「絶縁間隙Ｉが、全体として長手方向の一方の側へ傾斜される」とは、絶縁間隙Ｉのうちの掃引方向Ｔ１における上端ＩＵと、絶縁間隙Ｉの掃引方向Ｔ１における下端ＩＢと、が掃引方向Ｔ１に一致しないことを意味する（図１８及び図１９参照）。このように上端ＩＵと下端ＩＢとが掃引方向Ｔ１で一致しないことにより、絶縁間隙Ｉによる熱的な空白を長手方向Ｔ２へ分散させることができる。とりわけ、掃引方向Ｔ１の幅が狭い基体２を利用する場合に効果的である。即ち、掃引方向Ｔ１の幅が狭い基体２（基体２の幅については第１発明のヒータ１において説明した通りである）では、絶縁間隙Ｉを蛇行させることなく、長手方向Ｔ２の一方のみへ傾斜させ続けることが困難となる場合がある。この場合には、蛇行させつつも、全体として一方向へ傾斜させることで上述の分散を実現できる。
【００５９】
また、このヒータ１’は、絶縁間隙Ｉは、長手方向に隣り合った、第１発熱セルＣ１及び第２発熱セルＣ２が、各々有する斜配線Ｌ３間に位置されて、斜配線Ｌ３と同角度に傾斜された第１間隙（例えば、図１８のＩ２及びＩ４）と、第１間隙に対して、逆方向へ傾斜されるとともに、第１間隙より経路長が短い第２間隙（例えば、図１８のＩ１及びＩ３）と、を有することができる。即ち、図１８ａ及び図１８ｂに示すように、第２間隙の経路長をＩＬ２、第１間隙の経路長をＩＬ１とした場合に「ＩＬ１＞ＩＬ２」とすることができる。この際、第１間隙（例えば、Ｉ２及びＩ４）の経路長ＩＬ１同士は、同じ長さであってもよいし、異なる長さであってもよい。同様に、第２間隙（例えば、Ｉ１及びＩ３）の経路長ＩＬ２同士は、同じ長さであってもよいし、異なる長さであってもよい。そして、絶縁間隙Ｉは、第１間隙、第２間隙、第１間隙の順に連続された連続部（例えば、Ｉ２、Ｉ３、Ｉ４の連続部）、又は、第２間隙、第１間隙、第２間隙の順に連続された連続部（例えば、Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３の連続部）、のいずれかを有することができる（図１８参照）。
【００６０】
更に、ヒータ１’は、掃引方向Ｔ１に対して第１間隙（例えば、図１８のＩ２及びＩ４）がなす角度（θＺ１）と、掃引方向に対して第２間隙（例えば、図１８のＩ１及びＩ３）がなす角度（θＺ２）と、は同じであってもよいが、異なる形態とすることができる（図１８参照）。即ち、図１８ａ及び図１８ｂに示すように、「θＺ１≠θＺ２」とすることができる。このように、経路長の長さが異なる２つの間隙を交互に備えることや、掃引方向Ｔ１に対する角度が異なる２種類以上の間隙を備えることによって、絶縁間隙Ｉを全体として長手方向Ｔ２の一方の側へ傾斜させることができる。
【００６１】
尚、第２発明のヒータ１’は、絶縁間隙Ｉを、横配線Ｌ１に対して平行な間隙を用いることなく形成できる（図１６〜図１９参照）。即ち、絶縁間隙Ｉを長手方向Ｔ２に平行な成分（間隙パート）を用いることなく形成できる。このことを更に換言すれば、長手方向Ｔ２に対して傾斜された間隙のみによって絶縁間隙Ｉを形成できるといえる。この構成により、長手方向Ｔ２へ短い距離で熱的な空白を分散させることができる。即ち、掃引方向Ｔ１へ幅狭なヒータにおいて特に好適である。特に絶縁間隙Ｉを構成する間隙は、掃引方向ＴＩに対して直交する間隙を有さないものであることが好ましい。
【００６２】
前述の通り、第１発明のヒータ１は、鋭角となった折返部を流れる電流が、配線の内側を流れ易いため、折返部の外周側における発熱が内周側よりも小さくなることに起因した課題を解決できる構成である。本第２発明のヒータ１’は、同様の課題を、鋭角となった折返部を面取りし、それにより形成された空間に、隣接した他の発熱セルの折返部を引き寄せた形態（ヒータ１’）として解決している（図１６及び図１７参照）。
【００６３】
即ち、ヒータ１’では、各発熱セルＣが、基体２の長手方向Ｔ２に略平行な複数の横配線Ｌ１と、横配線Ｌ１に対して傾斜した複数の斜配線Ｌ３と、を有し、全体としてつづら折り形状をなすように横配線Ｌ１及び斜配線Ｌ３が連接されている。
また、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とが鈍角をなして折り返された第４折返部Ｄ４と、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とが鋭角をなして折り返された第５折返部Ｄ５と、有している。更に、これらの第４折返部Ｄ４及び第５折返部Ｄ５は、各々、その外周が面取りされている。そのうえで、第１発熱セルＣ１が有する第４折返部Ｄ４及び第５折返部Ｄ５と、第２発熱セルＣ２が有する第４折返部Ｄ４及び第５折返部Ｄ５と、を結んで形成される仮想四角形において、第４折返部Ｄ４同士が対角をなし、第５折返部Ｄ５同士が対角をなすように配置されている。
【００６４】
このヒータ１’では、図１６内及び図１７内の各々部分拡大図（図１６ａ及び図１７ａ）に太点線で示しているように、絶縁間隙を、蛇行させながら、斜配線Ｌ３の方向へ沿って分散させることができる。即ち、斜配線Ｌ３同士に挟まれた絶縁間隙Ｉ２及びＩ４は、斜配線Ｌ３と同じ傾斜角度でありながら、斜配線Ｌ３同士に挟まれていない絶縁間隙Ｉ１及びＩ３は、斜配線Ｌ３は逆傾斜となるように配置している。また、絶縁間隙Ｉ２及びＩ４に対して、絶縁間隙Ｉ１及びＩ３をより短く形成することで、斜配線Ｌ３の方向へ沿って分散させながらも、蛇行させることができる。
従って、このヒータ１’では、他部よりも発熱し易い領域（即ち、折返部）を、２つの発熱セルの間に積極的に集中させることができる。
また、前述の第１発明のヒータ１では、斜配線Ｌ３の傾斜角度θ１が大きくなるに連れて、第１折返部Ｄ１の内側に形成される三角形状の空白（絶縁間隙）が大きくなるが、この第２発明のヒータ１’では、斜配線Ｌ３の傾斜角度θ１が大きくなっても、第４折返部Ｄ４及び第５折返部Ｄ５の内側の空白（絶縁間隙）が大きくならないという利点がある。
【００６５】
尚、第２発明のヒータ１’における横配線Ｌ１は、第１発明のヒータ１における横配線Ｌ１と同様である。各発熱セルＣを構成する横配線Ｌ１を長手方向に延長した場合、異なる発熱セルＣが有する横配線Ｌ１同士は、同じ延長範囲Ｑ１で重なる形態にすることができる（図１８ａ参照）。また、横配線Ｌ１同士は、同じ延長範囲で重ならない形態にすることもできる（図１８ｂ参照）。これらはいずれであってもよい。
【００６６】
また、第２発明のヒータ１’における斜配線Ｌ３は、第１発明のヒータ１における斜配線Ｌ３と同様である。斜配線Ｌ３の傾斜角度（即ち、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とがなす角度θ１（図１６ｂ及び図１７ｂ参照）は、限定されず、９１度以上１７９度以下とすることができるが、この傾斜角度は、１０５度以上１６０度以下とすることが好ましく、１１５度以上１５５度以下がより好ましく、１２０度以上１５０度以下が更に好ましく、１２５度以上１４５度以下が特に好ましい。これらの好ましい各範囲では、より好ましい範囲であるほど発熱ロスを小さく抑えることができる。また、横配線Ｌ１と斜配線Ｌ３とがなす角度θ２（図１６ｂ及び図１７ｂ参照）は、通常、θ２＝１８０−θ１を満たす。このため、角度θ１が大きくなると、角度θ２は、それに連れて小さくなる。尚、図１６ｂ及び図１７ｂにおける角度θ３（即ち、発熱セルＣを構成する配線が給電配線へ接続する角度）は、いずれも第２発明のヒータ１’の構成を満たす範囲で適宜の角度にすることができる。
【００６７】
更に、発熱セルＣに関しても、第１発明のヒータ１と同様である。即ち、各発熱セルＣは、つづら折り形状をなし、複数の発熱セルＣは、互いに電気的に並列に接続されている（即ち、複数の発熱セルは各別に給電を受けている）。例えば、図１８ａ及び図１８ｂに示すように、１つの発熱セルＣの概形を略平行四辺形にすることができる他、図１９に示すように、１つの発熱セルＣの概形を略台形にすることができる。そして、１つの発熱セルＣの概形を略台形にした場合には、図１９に示すように同じパターン形状の発熱セルの上下（掃引方向Ｔ１における一端側と他端側）を反転し、正状態の発熱セルと反転状態の発熱セルとを交互に配列することができる。
【００６８】
各部における面取り形態についても第１発明におけるヒータ１と同様である。その形態は限定されず、絶縁を確保できるように面取りされればよい。また、発熱セルＣを構成する配線の外周が面取りされてもよく、内周が面取りされてもよく、これらの両方であってもよい。その他、抵抗発熱配線、基体、その他の回路、用途等についても、第１発明のヒータ１と同様である。
また、発熱ロスの大小を範囲Ｘと範囲Ｙとの比較により知ることができることは第１発明のヒータ１の場合と同様であり、更に、面取りされた領域を実発熱領域とすることでより正確になることも第１発明のヒータ１の場合と同様である。
【００６９】
［３］定着装置
本ヒータ（第１発明のヒータ１及び第２発明のヒータ１’を含む）を備える定着装置は、加熱対象や定着手段等により、適宜選択された構成とすることができる。例えば、圧着を伴う定着手段を備えて、紙等の記録用媒体にトナー等を定着させる場合や、複数の部材を貼り合わせる場合には、ヒータを備える加熱部と、加圧部とを備える定着装置とすることができる。勿論、圧着を伴わない定着手段とすることもできる。本発明においては、紙、フィルム等の記録用媒体の表面に形成されたトナーを含む未定着画像を記録用媒体に定着させる定着装置５であることが好ましい。
図２０は、電子写真方式の画像形成装置に配設される定着装置５の要部を示している。定着装置５は、回転可能な定着用ロール５１と、回転可能な加圧用ロール５４とを備え、ヒータ１は定着用ロール５１の内部に配設されている。ヒータ１は、好ましくは、定着用ロール５１の内表面に近接するように配設される。
ヒータ１は、例えば、図２０に示される定着手段５のように、ヒータ１の発した熱を伝導可能な材料からなるヒータホルダ５３の内部に固定されて、ヒータ１の発熱を、定着用ロール５１の内側から外表面に伝える構造とすることもできる。
【００７０】
図２１もまた、電子写真方式の画像形成装置に配設される定着装置５の要部を示している。定着装置５は、回転可能な定着用ロール５１と、回転可能な加圧用ロール５４とを備え、定着用ロール５１に熱を伝えるヒータ１、及び、加圧用ロール５４と共に記録用媒体を圧接する固定パッド５２、が定着用ロール５１の内部に配設されている。ヒータ１は、定着用ロール５１の円筒面に沿うように配設されている。
【００７１】
図２０又は図２１に示された定着装置５において、図示していない電源装置から電圧を加えることによりヒータ１を発熱させ、その熱が定着用ロール５１に伝えられる。そして、表面に未定着のトナー画像を有する記録用媒体が、定着用ロール５１と加圧用ロール５４との間に供給されると、定着用ロール５１及び加圧用ロール５４の圧接部において、トナーが溶融して定着画像が形成される。定着用ロール５１及び加圧用ロール５４の圧接部を有するので、連れだって回転する。前記のように、ヒータ１は、小さい記録用媒体を用いた際に発生しやすい局所的な温度上昇が抑制されるので、定着用ロール５１における温度むらが発生しにくく、定着を均一に行うことができる。
【００７２】
本ヒータ１を備える定着装置の他の態様としては、上型及び下型を備える金型であって、上型及び下型の少なくとも一方の内部にヒータを配設した態様とすることができる。
本ヒータ１を備える定着装置は、電子写真方式の印刷機、複写機等の画像形成装置をはじめ、家庭用の電気製品、業務用、実験用の精密機器等に装着して、加熱、保温等の熱源として好適である。
【００７３】
［４］画像形成装置
本ヒータ（第１発明のヒータ１及び第２発明のヒータ１’を含む）を備える画像形成装置は、加熱対象や加熱目的等により、適宜選択された構成とすることができる。本発明においては、図２２に示されるように、紙、フィルム等の記録用媒体の表面に未定着画像を形成する作像手段と、未定着画像を記録用媒体に定着させる定着手段５とを備え、定着手段５が本ヒータ１を備える画像形成装置４であることが好ましい。画像形成装置４は、上記手段の他、記録用媒体搬送手段や、各手段を制御するための制御手段を備えて構成することができる。
【００７４】
図２２は、電子写真方式の画像形成装置４の要部を示す概略図である。作像手段としては、転写ドラムを備える方式及び転写ドラムを備えない方式のいずれでもよいが、図２２は、転写ドラムを備える態様である。
作像手段では、回転しながら、帯電装置４３により所定の電位に帯電処理された感光ドラム４４の帯電処理面に、レーザースキャナー４１から出力されるレーザーが照射され、現像器４５から供給されるトナーにより静電潜像が形成される。次いで、電位差を利用して、感光ドラム４４と連動する転写ドラム４６の表面に、トナー画像が転写される。その後、転写ドラム４６及び転写用ロール４７の間に供給される記録用媒体の表面に、トナー画像が転写され、未定着画像を有する記録用媒体が得られる。トナーは、結着樹脂と着色剤と添加剤とを含む粒子であり、結着樹脂の溶融温度は、通常、９０℃〜２５０℃である。尚、感光ドラム４４及び転写ドラム４６の表面には、不溶なトナー等を除去するための清掃装置を備えることができる。
【００７５】
定着手段５は、前記定着装置５と同様の構成とすることができ、加圧用ロール５４と、通紙方向通電型のヒータ１を保持したヒータホルダ５３を内部に備え、加圧用ロール５４と連動する定着用ロール５１と、を備える。作像手段からの未定着画像を有する記録用媒体は、定着用ロール５１及び加圧用ロール５４の間に供給される。定着用ロール５１の熱が、記録用媒体のトナー画像を溶融し、更に、溶融したトナーが、定着用ロール５１と加圧用ロール５４との圧接部で加圧されて、トナー画像が記録用媒体に定着される。図２２の定着手段５においては、定着用ロール５１に代えて、ヒータ１を近接配置した定着用ベルトを備える態様であってもよい。
【００７６】
一般に、定着用ロール５１の温度が不均一となって、トナーに与えられる熱量が小さすぎる場合にはトナーが記録用媒体から剥がれ、一方、熱量が大きすぎる場合にはトナーが定着用ロール５１に付着し、定着用ロール５１が一周して記録用媒体に再付着してしまうことがある。本発明のヒータを備える定着手段５によれば、所定の温度へ迅速に調整されるので、不具合を抑制することができる。
本発明の画像形成装置は、使用時に非通紙領域の過昇温が抑制され、電子写真方式の印刷機、複写機等として好適である。
【００７７】
［５］加熱装置
本ヒータ（第１発明のヒータ１及び第２発明のヒータ１’を含む）を備える加熱装置は、加熱対象の大きさや形状等により、適宜選択された構成とすることができる。本発明においては、例えば、筐体部と、被熱処理物の出し入れ等のために配された密閉可能な窓部と、筐体部の内部に配された移動可能なヒータ部と、を備えて構成することができる。必要に応じて、筐体部の内部に、被熱処理物を配置する被熱処理物設置部、被熱処理物の加熱により気体が排出された場合に、この気体を排出する排気部、筐体部の内部の圧力を調整する、真空ポンプ等の圧力調整部等を備えることができる。また、加熱は、被熱処理物及びヒータ部を固定した状態で行ってよいし、いずれか一方を移動させながら行ってもよい。
本加熱装置は、水、有機溶剤等を含む被熱処理物の乾燥を、所望の温度で行う装置として好適である。そして、真空乾燥機（減圧乾燥機）、加圧乾燥機、除湿乾燥機、熱風乾燥機、防爆型乾燥機等として用いることができる。また、ＬＣＤパネル、有機ＥＬパネル等の未焼成物の焼成を、所望の温度で行う装置として好適である。そして、減圧焼成機、加圧焼成機等として用いることができる。
【００７８】
尚、本発明においては、上記の具体的実施形態に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範囲内で種々変更した実施形態とすることができる。
【符号の説明】
【００７９】
１、１’；ヒータ、
２；基体、
４；画像形成装置、４１：レーザースキャナー、４２：ミラー、４３：帯電装置、４４：感光ドラム、４５：現像器、４６：転写ドラム、４７：転写用ロール、
５：定着装置（定着手段）、５１：定着用ロール、５２：固定パッド、５３：ヒータホルダ、５４：加圧用ロール、
Ｃ；発熱セル、
Ｄ１；第１折返部、
Ｄ２；第２折返部、
Ｄ３；第３折返部、
Ｆ；給電配線、
Ｉ；絶縁間隙、
Ｌ１；横配線、
Ｌ２；逆斜配線、
Ｌ３、Ｌ３３；斜配線、
Ｓ；熱空白、ＳＤ；仮想四角形、
Ｔ１；掃引方向、Ｔ２；掃引方向に直交する方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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