(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下左右方向に動作する駆動機構の動作領域をカバーする筒状蛇腹カバーであって、
円リング状の上リングと、長円リング状の下リングと、上下に配置される該上リングと該下リングとを連結しかつ上下に段階的に該上リングの円形部分から該下リングの長円形部分に至る複数の山部を有する山谷形状で形成された筒状の蛇腹布と、該上リングと該下リングと平行で該蛇腹布の該複数の山部の内部に配設される該蛇腹布を補強する補強リングと、を備え、
該蛇腹布の複数の該山部には、各山部の外側に突出し孔を有する突出部と、複数の該突出部の該孔が摺動可能に複数の該孔内に挿入され複数の該山部の該補強リングの上下順序を維持するワイヤー部材と、を備えた補強リング上下順序維持部を備え、
各複数の山部の該補強リングの上下順序を維持しつつ上下左右方向に動作する該駆動機構の動作領域をカバーする筒状蛇腹カバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工領域をカバーすると共に研磨パッドの移動に追従して変形する筒状蛇腹カバーに関する。
【背景技術】
【０００２】
研磨装置は、チャックテーブルにウエーハを保持して、研磨パッドをウエーハに押し付けて研磨加工を実施している。研磨加工では、水平回転した研磨パッドがウエーハに押し付けられた状態で、研磨パッドがウエーハの表面に対して平行に水平移動（左右方向に移動）される。研磨終了後には研磨パッドがウエーハから離間されて原点位置まで移動する。つまり、研磨加工時には研磨パッドがウエーハに上方から押し当てられて水平移動しながら研磨され、研磨終了時には研磨パッドが上昇された後に水平移動によって原点位置に戻される。
【０００３】
また、研磨装置では、研磨加工が所定回数繰り返されたときには研磨パッドの研磨面を整形するためにドレッシングが実施される。このため、チャックテーブルの近くには、研磨パッドの研磨面を整形するドレッシングユニットが設けられている。ドレッシング時にはドレッシングユニットの上方まで研磨パッドが水平移動され、水平回転した研磨パッドが下降されてドレッシングユニットに接触した状態で、研磨パッドがドレッシングユニットに対して水平移動される。このように、研磨パッドは昇降方向及び水平方向に移動されている。
【０００４】
この種の研磨装置には、研磨パッドの昇降移動及び水平移動に追従して変形する筒状蛇腹カバーが設けられている（例えば、特許文献１参照）。筒状蛇腹カバーは、複数のリングを筒状の蛇腹布によって平行に連結し、駆動機構によって研磨パッドが動作する動作領域をカバーしている。筒状蛇腹カバーは、複数のリングが接近して蛇腹布が畳まれることで研磨パッドの下降移動に追従し、複数のリングが離間して蛇腹布が広げられることで研磨パッドの上昇移動に追従する。また、複数のリングが横移動して蛇腹布が斜めになることで、研磨パッドの水平移動に追従する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４４６４１１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１に記載の筒状蛇腹カバーでは、研磨パッドの下降移動時に上下方向に並んだ複数のリングが入れ子状態になる場合がある。すなわち、複数のリングは上から下に向かってリング径が大きくなるように形成されており、研磨パッドの下降移動時に上側のリングが下側のリングの内側に入り込むことがある。この入れ子状態のままで、研磨パッドの上昇移動や水平移動に筒状蛇腹カバーが追従されると、複数のリングが擦れあったり、引っ掛ったりして筒状蛇腹カバーが破損し易くなるという問題があった。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、リングの入れ子状態に起因した破損を防止することができる筒状蛇腹カバーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の筒状蛇腹カバーは、上下左右方向に動作する駆動機構の動作領域をカバーする筒状蛇腹カバーであって、円リング状の上リングと、長円リング状の下リングと、上下に配置される該上リングと該下リングとを連結しかつ上下に段階的に該上リングの円形部分から該下リングの長円形部分に至る複数の山部を有する山谷形状で形成された筒状の蛇腹布と、該上リングと該下リングと平行で該蛇腹布の該複数の山部の内部に配設される該蛇腹布を補強する補強リングと、を備え、該蛇腹布の複数の該山部には、各山部の外側に突出し孔を有する突出部と、複数の該突出部の該孔が摺動可能に複数の該孔内に挿入され複数の該山部の該補強リングの上下順序を維持するワイヤー部材と、を備えた補強リング上下順序維持部を備え、各複数の山部の該補強リングの上下順序を維持しつつ上下左右方向に動作する該駆動機構の動作領域をカバーする。
【０００９】
この構成によれば、複数の補強リングが配設された蛇腹布の各山部に突出部が設けられており、各突出部の孔にワイヤー部材が通されている。駆動機構の下方向の動作時には、ワイヤー部材によって各突出部を介して複数の補強リングの移動がガイドされる。また、各突出部にワイヤー部材が通されているため、複数の補強リングが上下順序を維持した状態でワイヤー部材に沿って移動される。よって、複数の補強リングが入れ子状態になることがなく、複数の補強リングが離間された状態で駆動機構が動作するため、筒状蛇腹カバーの破損を防止することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、複数の補強リングの上下順序が維持された状態で、複数の補強リングがワイヤー部材に沿って移動するため、複数の補強リングが入れ子状態になることがなく、筒状蛇腹カバーの破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施の形態の研削研磨装置の斜視図である。
【図２】一般的な筒状蛇腹カバーの変形状態を示す図である。
【図３】本実施の形態の筒状蛇腹カバーの模式図である。
【図４】本実施の形態の筒状蛇腹カバーの変形動作の説明図である。
【図５】本実施の形態の研磨手段による研磨動作の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の筒状蛇腹カバーを備えた研削研磨装置について説明する。図１は、本実施の形態の研削研磨装置の斜視図である。なお、筒状蛇腹カバーは、上下左右に動かされる加工手段を備えた加工装置に適用可能であり、図１に示す研削研磨装置に限定されない。なお、図１においては、説明の便宜上、筒状蛇腹カバーのワイヤー部材等については記載を省略している。
【００１３】
図１に示すように、研削研磨装置１は、フルオートタイプの加工装置であり、ウエーハＷに対して搬入処理、粗研削加工、仕上げ研削加工、研磨加工、洗浄処理、搬出処理からなる一連の作業を全自動で実施するように構成されている。ウエーハＷは、略円板状に形成されており、カセットＣに収容された状態で研削研磨装置１に搬入される。なお、ウエーハＷは、研削対象及び研磨対象になる板状のワークであればよく、シリコン、ガリウムヒ素等の半導体基板でもよいし、セラミック、ガラス、サファイア等の無機材料基板でもよいし、さらに半導体製品のパッケージ基板等でもよい。
【００１４】
研削研磨装置１の基台１１の前側には、複数のウエーハＷが収容された一対のカセットＣが載置されている。一対のカセットＣの後方には、カセットＣに対してウエーハＷを出し入れするカセットロボット１６が設けられている。カセットロボット１６の両斜め後方には、加工前のウエーハＷを位置決めする位置決め機構２１と、加工済みのウエーハＷを洗浄する洗浄機構２６とが設けられている。位置決め機構２１と洗浄機構２６の間には、加工前のウエーハＷをチャックテーブル４２に搬入する搬入手段３１と、チャックテーブル４２から加工済みのウエーハＷを搬出する搬出手段３６とが設けられている。
【００１５】
カセットロボット１６は、多節リンクからなるロボットアーム１７の先端にハンド部１８を設けて構成されている。カセットロボット１６では、カセットＣから位置決め機構２１に加工前のウエーハＷが搬送される他、洗浄機構２６からカセットＣに加工済みのウエーハＷが搬送される。位置決め機構２１は、仮置きテーブル２２の周囲に、仮置きテーブル２２の中心に対して進退可能な複数の位置決めピン２３を配置して構成される。位置決め機構２１では、仮置きテーブル２２上に載置されたウエーハＷの外周縁に複数の位置決めピン２３が突き当てられることで、ウエーハＷの中心が仮置きテーブル２２の中心に位置決めされる。
【００１６】
搬入手段３１は、基台１１上で旋回可能な搬入アーム３２の先端に搬入パッド３３を設けて構成される。搬入手段３１では、搬入パッド３３によって仮置きテーブル２２からウエーハＷが持ち上げられ、搬入アーム３２によって搬入パッド３３が旋回されることでチャックテーブル４２にウエーハＷが搬入される。搬出手段３６は、基台１１上で旋回可能な搬出アーム３７の先端に搬出パッド３８を設けて構成される。搬出手段３６では、搬出パッド３８によってチャックテーブル４２からウエーハＷが持ち上げられ、搬出アーム３７によって搬出パッド３８が旋回されることでチャックテーブル４２からウエーハＷが搬出される。
【００１７】
洗浄機構２６は、スピンナーテーブル２７に向けて洗浄水及び乾燥エアーを噴射する各種ノズル（不図示）を設けて構成される。洗浄機構２６では、ウエーハＷを保持したスピンナーテーブル２７が基台１１内に降下され、基台１１内で洗浄水が噴射されてウエーハＷがスピンナー洗浄された後、乾燥エアーが吹き付けられてウエーハＷが乾燥される。搬入手段３１及び搬出手段３６の後方には、４つのチャックテーブル４２が周方向に均等間隔で、回転可能に配置されたターンテーブル４１が設けられている。各チャックテーブル４２の上面には、ウエーハＷを保持する保持面４３が形成されている。
【００１８】
ターンテーブル４１が９０度間隔で間欠回転することで、ウエーハＷが搬入及び搬出される搬入出位置、粗研削手段４６に対峙する粗研削位置、仕上げ研削手段５１に対峙する仕上げ研削位置、研磨手段５６に対峙する研磨位置に順に位置付けられる。粗研削位置では、粗研削手段４６によってウエーハＷが所定の厚みまで粗研削される。仕上げ研削位置では、仕上げ研削手段５１によってウエーハＷが仕上げ厚みまで仕上げ研削される。研磨位置では、研磨手段５６によってウエーハＷが研磨される。ターンテーブル４１の周囲には、コラム１２、１３、１４が立設されている。
【００１９】
コラム１２には、粗研削手段４６を上下動させる駆動機構６１が設けられている。駆動機構６１は、コラム１２の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６２と、一対のガイドレール６２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸スライダ６３とを有している。Ｚ軸スライダ６３の前面には、ハウジング６４を介して粗研削手段４６が支持されている。Ｚ軸スライダ６３の背面側にはボールネジ６５が螺合されており、ボールネジ６５の一端には駆動モータ６６が連結されている。駆動モータ６６によってボールネジ６５が回転駆動され、粗研削手段４６がガイドレール６２に沿ってＺ軸方向に移動される。
【００２０】
同様に、コラム１３には、仕上げ研削手段５１を上下動させる駆動機構７１が設けられている。駆動機構７１は、コラム１３の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール７２と、一対のガイドレール７２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸スライダ７３とを有している。Ｚ軸スライダ７３の前面には、ハウジング７４を介して仕上げ研削手段５１が支持されている。Ｚ軸スライダ７３の背面側にはボールネジ７５が螺合されており、ボールネジ７５の一端には駆動モータ７６が連結されている。駆動モータ７６によってボールネジ７５が回転駆動され、仕上げ研削手段５１がガイドレール７２に沿ってＺ軸方向に移動される。
【００２１】
粗研削手段４６のスピンドル４７の下端にはマウント４８が設けられ、マウント４８の下面に複数の粗研削砥石５０が環状に配設された粗研削用の研削ホイール４９が装着される。粗研削砥石５０は、例えば、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドやレジンボンド等の結合剤で固めたダイヤモンド砥石で構成される。また、仕上げ研削手段５１のスピンドル５２の下端にはマウント５３が設けられ、マウント５３の下面に複数の仕上げ研削砥石５５が環状に配設された仕上げ研削用の研削ホイール５４が装着される。仕上げ研削砥石５５は、粗研削砥石５０よりも粒径が細かい砥粒で構成される。
【００２２】
コラム１４には、研磨手段５６をウエーハＷに対して所定の研磨位置に位置付ける駆動機構８１が設けられている。駆動機構８１は、コラム１４の前面に配置されたＹ軸方向に平行な一対のガイドレール８２と、一対のガイドレール８２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＹ軸スライダ８３とを有している。また、駆動機構８１は、Ｙ軸スライダ８３の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール８４と、一対のガイドレール８４にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸スライダ８５とを有している。Ｚ軸スライダ８５の前面には、ハウジング８６を介して研磨手段５６が支持されている。
【００２３】
Ｙ軸スライダ８３、Ｚ軸スライダ８５の背面側にはボールネジ（不図示）が螺合されており、ボールネジの一端には駆動モータ８７、８８が連結されている。駆動モータ８７、８８によってボールネジが回転駆動され、研磨手段５６がガイドレール８２、８４に沿ってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動される。スピンドルハウジングには、スピンドル９３の上下左右方向の動作に追従する筒状蛇腹カバー９１が設けられている。筒状蛇腹カバー９１の下端は、研磨位置のチャックテーブル４２を覆うケース９２に接続されている。筒状蛇腹カバー９１及びケース９２によって研磨加工の加工領域がカバーされている。
【００２４】
ケース９２は、直方体の箱状に形成されており、ケース９２の側面はターンテーブル４１の回転時にチャックテーブル４２が干渉しないように部分的に切り欠かれている。ケース９２の天面は、Ｙ軸方向を長軸とした長穴状に開口されている。ケース９２の長穴状の開口によって研磨手段５６のＹ軸方向の動作が許容される。筒状蛇腹カバー９１及びケース９２の内側では、スピンドル９３の下端にマウント９４（図５参照）が設けられ、マウント９４の下面に発泡材や繊維質等で形成された研磨パッド９５（図５参照）が装着されている。研磨パッド９５によるウエーハＷの研磨により、ウエーハＷに残された研削ダメージが除去される。
【００２５】
このような研削研磨装置１では、カセットＣ内からウエーハＷが位置決め機構２１に搬送されて、位置決め機構２１でウエーハＷがセンタリングされる。次に、チャックテーブル４２上にウエーハＷが搬入され、ターンテーブル４１の回転によってウエーハＷが粗研削位置、仕上げ研削位置、研磨位置の順に位置付けられる。粗研削位置ではウエーハＷが粗研削加工され、仕上げ研削位置ではウエーハＷが仕上げ研削加工され、研磨位置ではウエーハＷが研磨加工される。そして、洗浄機構２６でウエーハＷが洗浄され、洗浄機構２６からカセットＣへウエーハＷが搬出される。
【００２６】
ところで、筒状蛇腹カバー９１は、加工手段としての研磨手段５６の上下左右方向（Ｚ軸方向及びＹ軸方向）の動作に追従して変形可能に形成されている。研磨手段５６の下方向の移動時には、筒状蛇腹カバー９１が蛇腹を畳むように変形し、研磨手段５６の上方向の移動時には筒状蛇腹カバー９１が蛇腹を伸ばすように変形する。また、研磨手段５６の左右方向の移動時には筒状蛇腹カバー９１が蛇腹を横にずらすように変形する。研磨手段５６が下方向に移動して蛇腹が畳まれた状態で、研磨手段５６が左右方向に動かされたときには筒状蛇腹カバー９１が破損する場合がある。
【００２７】
例えば、図２Ａに示すように、一般的な筒状蛇腹カバー１１０は、複数のリング１１１が筒状の蛇腹布１１２で平行に連結されている。上下方向に並んだ複数のリング１１１は、上側から下側に向かってリング径が大きくなるように形成されている。このため、図２Ｂに示すように、研磨手段５６（図１参照）の下方向の動作時に一部（上から２段目）のリング１１１が大きく下方に移動して下側（上から３段目）のリング１１１の内側に入り込んで、入れ子状態になる場合がある。リング１１１が入れ子状態になったまま、研磨手段５６が上方向や左右方向に動かされると、リング１１１同士が引っ掛ったり、擦れ合ったりして筒状蛇腹カバー１１０が破損し易くなる。
【００２８】
そこで、本実施の形態では、リングが入れ子状態のままで筒状蛇腹カバー９１が研磨手段５６に追従したときに、筒状蛇腹カバー９１が破損する点に着目して、上下に並んだ複数のリングの上下順序（上下間隔）を維持するようにしている。これにより、筒状蛇腹カバー９１が収縮しても、上下のリングが入れ子状態になることがないため、リング同士が引っ掛ったり、擦れ合ったりすることがなく筒状蛇腹カバー９１が破損することがない。
【００２９】
以下、図３を参照して、本実施の形態の筒状蛇腹カバーについて詳細に説明する。図３は、本実施の形態の筒状蛇腹カバーの模式図である。なお、図３Ａは筒状蛇腹カバーの上面模式図であり、図３Ｂは筒状蛇腹カバーの側面模式図である。
【００３０】
図３Ａ及び図３Ｂに示すように、筒状蛇腹カバー９１は、上下左右方向に動作する駆動機構８１（図１参照）の動作領域をカバーし、研磨手段５６（図１参照）の動作に追従して変形するように構成されている。なお、駆動機構８１の動作領域とは、研磨手段５６を上下左右に動作する領域である。筒状蛇腹カバー９１は、円リング状の上リング９６ａと長円リング状の下リング９６ｂとを筒状の蛇腹布９７で連結している。蛇腹布９７は、上リング９６ａの円形部分から下リング９６ｂの長円形部分に至る範囲で、上下に段階的な複数の山部９７ａを有する山谷形状で形成されている。
【００３１】
蛇腹布９７の複数の山部９７ａの内部には、上リング９６ａと下リング９６ｂに平行な複数の補強リング９６ｃが配設されている。蛇腹布９７は各山部９７ａに補強リング９６ｃが配設されることで補強されると共に、補強リング９６ｃによって上リング９６ａと下リング９６ｂの間に蛇腹形状（山谷形状）が作られている。このように蛇腹布９７には、複数のリング９６によって山部９７ａが作られ、上下に隣り合うリング９６間の弛みによって谷部９７ｂが作られている。これら複数のリング９６は、上側から下側に向かってリング径が大きくなるように並んでおり、互いに平行になるように蛇腹布９７に配設されている。
【００３２】
上リング９６ａは、円形リング状の金属板であり、スピンドル９３（図１参照）のハウジングに固定されている。下リング９６ｂは、長円リング状の金属板であり、長軸を左右方向（Ｙ軸方向）に向けた状態で、長穴を有するケース９２（図１参照）の天面に固定されている。複数の補強リング９６ｃは、長円リング状の金属ワイヤーであり、長軸を左右方向に向けた状態で蛇腹布９７に配設されている。なお、複数のリング９６は、金属以外の材質で形成されてもよく、例えば、可撓性樹脂等で形成されてもよい。また、各リング９６は、板状に形成されてもよいし、ワイヤー状に形成されてもよい。
【００３３】
蛇腹布９７は、樹脂系シートで略円錐台筒状に形成されており、小径の上端に上リング９６ａが固定され、大径の下端に下リング９６ｂが固定されている。蛇腹布９７の上端と下端の間には複数の補強リング９６ｃが等間隔に配設されており、補強リング９６ｃ及び上リング９６ａで形成された各山部９７ａには山部９７ａから外側に突出したシート状の突出部９８が設けられている。各突出部９８には孔９９が形成されており、各突出部９８の各孔９９内にはワイヤー部材１０１が挿入されている。各孔９９の周りはグロメット等の金具で補強された金属縁となっており、ワイヤー部材１０１に対して孔９９が摺動可能になっている。
【００３４】
ワイヤー部材１０１は、可撓性樹脂で形成され、摺動可能な表面を有する線状部材であり、例えばスリップチューブで構成されている。ワイヤー部材１０１は突出部９８を介して補強リング９６ｃに連結されているが、補強リング９６ｃの移動によって部分的に変形しない程度の剛性を有している。よって、ワイヤー部材１０１は複数の補強リング９６ｃのガイドとして機能し、補強リング９６ｃの移動方向や移動量を規制している。なお、ワイヤー部材１０１は、複数の補強リング９６ｃをガイド可能であれば、樹脂以外の材質で形成されてもよい。
【００３５】
各突出部９８は、各山部９７ａに対して筒状蛇腹カバー９１の左右方向に延びる中心線Ｃを挟んで対称となる２箇所に設けられている。ワイヤー部材１０１は、各山部９７ａの中心線Ｃを境にした一方側の各突出部９８の孔９９に上側から通されると共に、他方側の各突出部９８の孔９９に上側から通された環状に形成されている。ワイヤー部材１０１が各突出部９８に通されることで、筒状蛇腹カバー９１が駆動機構８１によって上下左右方向（Ｚ軸方向及びＹ軸方向）に動作されても、上面視においては複数の補強リング９６ｃの中心が中心線Ｃ上に位置付けられる。
【００３６】
また、ワイヤー部材１０１は、筒状蛇腹カバー９１を側方から見たときに斜め方向に延在している。ワイヤー部材１０１が部分的に変形することがないため、複数の補強リング９６ｃが突出部９８を介してワイヤー部材１０１に沿って一様にガイドされる。一部の補強リング９６ｃだけが真下に大きく移動することがないため、複数の補強リング９６ｃが入れ子状態になることがなく、複数の補強リング９６ｃの上下順序が維持される。このように、複数の突出部９８とワイヤー部材１０１とによって補強リング９６ｃの上下順序を維持する補強リング上下順序維持部が構成されている。
【００３７】
図４を参照して、筒状蛇腹カバーの変形動作について説明する。図４は、本実施の形態の筒状蛇腹カバーの変形動作の説明図である。
【００３８】
図４Ａに示すように、筒状蛇腹カバー９１が駆動機構８１（図１参照）によって持ち上げられた状態で、下リング９６ｂの真上に上リング９６ａが位置付けられている。この状態では、複数のリング９６の中心が上下方向の中心線上に位置しており、上下方向に隣り合うリング９６が離間して蛇腹布９７が広げられている。ワイヤー部材１０１が複数の突出部９８の孔９９（図３参照）に摺動可能に差し込まれており、筒状蛇腹カバー９１の外面に沿って斜めに延在している。このとき、ワイヤー部材１０１が各リング９６の移動のガイドとして機能しており、複数のリング９６がワイヤー部材１０１に沿って順番に並んでいる。
【００３９】
図４Ｂに示すように、この状態から上リング９６ａが真下に降ろされると、上下方向で隣り合うリング９６同士が接近して蛇腹布９７が畳まれる。また、筒状蛇腹カバー９１の収縮に伴ってワイヤー部材１０１が倒れると共に、ワイヤー部材１０１に沿って複数の突出部９８が斜め下方に摺動する。このとき、ワイヤー部材１０１が部分的に変形することがないため、一部の補強リング９６ｃだけが大きく真下に移動することがない。すなわち、ワイヤー部材１０１の傾きに応じて複数の突出部９８が一様に斜め下方に移動するため、複数の補強リング９６ｃが入れ子状態になることがない。
【００４０】
このように、複数の突出部９８とワイヤー部材１０１とによって複数の補強リング９６ｃの上下順序が維持され、上下に対向した上側の補強リング９６ｃが下側の補強リング９６ｃの内側に入り込んで入れ子状態になることがない。なお、一部の補強リング９６ｃが下方に移動する際には、突出部９８が、その突出部９８の下側に位置する補強リング９６ｃに当たることでも、補強リング９６ｃの入れ子状態が防止される。そして、図４Ｃに示すように、蛇腹布９７が畳まれた状態で左右に移動されても、複数のリング９６の上下順序が維持されているため、筒状蛇腹カバー９１が破損することがない。
【００４１】
ここで、図５を参照して、研磨手段による研磨動作について簡単に説明する。図５は、本実施の形態の研磨手段による研磨動作の説明図である。
【００４２】
図５Ａに示すように、チャックテーブル４２上のウエーハＷがターンテーブル４１（図１参照）の間欠回転によって、ケース９２内の研磨位置に位置付けられている。研磨位置では、研磨手段５６がチャックテーブル４２の上方に位置付けられ、ウエーハＷから研磨パッド９５が離間されている。また、研磨手段５６によって筒状蛇腹カバー９１が上方に引き上げられており、複数のリング９６が離間して蛇腹布９７が上下方向で広げられている。また、複数の突出部９８の孔９９（図３参照）にワイヤー部材１０１が通されており、ワイヤー部材１０１の延在方向に複数の突出部９８が略等間隔で並んでいる。
【００４３】
図５Ｂに示すように、研磨パッド９５が回転された状態で、研磨手段５６が下方向に移動されると、研磨パッド９５の研磨面がウエーハＷの被研磨面に接触される。また、研磨手段５６の下方向の移動に追従して筒状蛇腹カバー９１が縮められ、複数のリング９６が接近して蛇腹布９７が上下方向で畳まれる。このとき、複数の突出部９８がワイヤー部材１０１にガイドされながら斜め下方に摺動するため、補強リング９６ｃが入れ子状態になることがない。この研磨パッド９５とウエーハＷが回転接触している状態で、研磨手段５６が右方向に移動され始める。
【００４４】
図５Ｃに示すように、研磨手段５６の右方向の移動時には、複数の突出部９８がワイヤー部材１０１にガイドされながら斜めに摺動して、筒状蛇腹カバー９１が研磨手段５６の移動に追従する。複数の補強リング９６ｃが入れ子状態になっていないため、補強リング９６ｃ同士が上下に間隔を空けた状態で移動されている。このため、補強リング９６ｃ同士が擦れ合ったり、引っ掛ったりすることがなく、筒状蛇腹カバー９１が破損することがない。また、ウエーハＷに対する研磨終了後は、研磨手段５６が上方向に移動された後、左右方向に移動されて初期状態に戻される。
【００４５】
以上のように、本実施の形態の筒状蛇腹カバー９１によれば、複数の補強リング９６ｃが配設された蛇腹布９７に突出部９８が設けられており、各突出部９８の孔９９にワイヤー部材１０１が通されている。駆動機構８１の下方向の動作時には、ワイヤー部材１０１によって各突出部９８を介して複数の補強リング９６ｃの移動がガイドされる。また、各突出部９８にワイヤー部材１０１が通されているため、複数の補強リング９６ｃが上下順序を維持した状態でワイヤー部材１０１に沿って移動される。よって、複数の補強リング９６ｃが入れ子状態になることがなく、複数の補強リング９６ｃが離間された状態で駆動機構８１が動作するため、筒状蛇腹カバー９１の破損を防止することができる。
【００４６】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００４７】
例えば、上記した実施の形態においては、研削研磨装置１に筒状蛇腹カバー９１を設ける構成にしたが、研磨専用の研磨装置に筒状蛇腹カバー９１が設けられてもよい。また、筒状蛇腹カバー９１は、加工手段の動作領域のカバーが必要な加工装置に設けられてもよい。
【００４８】
また、上記した実施の形態においては、補強リング９６ｃが長円リング状に形成される構成にしたが、補強リング９６ｃが円形リング状に形成されていてもよい。
【００４９】
また、上記した実施の形態においては、突出部９８が蛇腹布９７の各山部９７ａからシート状に突出する構成にしたが、突出部９８にワイヤー部材１０１が通る孔９９が形成されていれば、突出部９８の形状は特に限定されない。
【００５０】
また、上記した実施の形態においては、各突出部９８が各山部９７ａに対して２箇所ずつ設けられる構成にしたが、突出部９８は各山部９７ａに対して１箇所ずつ設けられてもよいし、３箇所以上設けられてもよい。なお、各山部９７ａに対して各突出部９８が１箇所ずつ設けられる場合には、筒状蛇腹カバー９１の左右方向に延びる中心線Ｃ上に設けられることが好ましい。
【００５１】
また、上記した実施の形態においては、ワイヤー部材１０１は、スリップチューブ等の中空の線状部材で形成される構成にしたが、中実の線状部材で形成されてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
以上説明したように、本発明は、リングの入れ子状態に起因した筒状蛇腹カバーの破損を防止することができるという効果を有し、特に、研磨パッドの移動に追従して変形する筒状蛇腹カバーに有用である。
【符号の説明】
【００５３】
８１  駆動機構
９１  筒状蛇腹カバー
９６ａ  上リング
９６ｂ  下リング
９６ｃ  補強リング
９７  蛇腹布
９７ａ  山部
９８  突出部
９９  孔
１０１  ワイヤー部材
【図１】
0006570964.tif 000002
【図２】
0006570964.tif 000003
【図３】
0006570964.tif 000004
【図４】
0006570964.tif 000005
【図５】
0006570964.tif 000006