(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータの側面に開口し前記アクチュエータの軸線方向に沿って延びるセンサ取付溝に取り付けられる位置検出センサであって、
前記センサ取付溝は、溝底面側の幅広部と前記アクチュエータの側面側の幅狭部とを有し、
前記アクチュエータの変位体の位置を検出するセンサ本体を収容するハウジング部と、
前記ハウジング部に設けられ、前記センサ取付溝の前記幅狭部の溝幅よりも大きな幅寸法を有する取付部と、を備え、
前記取付部は、前記センサ取付溝の幅方向に互いに隙間を開けて対向するように配設された可撓性を有する第１係止部及び第２係止部を有し、
前記ハウジング部は、一方向に延在し、
前記取付部は、２つ設けられ、
各前記取付部は、前記ハウジング部の長手方向の両端部にそれぞれ設けられていることを特徴とする位置検出センサ。
【請求項２】
請求項１記載の位置検出センサにおいて、
前記隙間に配置されて前記第１係止部及び前記第２係止部を互いに離間する方向に押圧する固定具を備えていることを特徴とする位置検出センサ。
【請求項３】
請求項２記載の位置検出センサにおいて、
前記ハウジング部には、前記固定具を前記隙間に導くための貫通孔が形成されていることを特徴とする位置検出センサ。
【請求項４】
請求項３記載の位置検出センサにおいて、
前記第１係止部のうち前記第２係止部に対向する第１対向面と前記第２係止部のうち前記第１係止部に対向する第２対向面とのそれぞれには、前記固定具を保持する保持部が設けられていることを特徴とする位置検出センサ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の位置検出センサにおいて、
前記第１係止部は、
前記ハウジング部から直線状に延出した第１延出部と、
前記第１延出部の先端部に設けられて前記第２係止部とは反対側に膨出した第１膨出部と、を有し、
前記第２係止部は、
前記ハウジング部から直線状に延出した第２延出部と、
前記第２延出部の先端部から前記第１係止部とは反対側に膨出した第２膨出部と、を有していることを特徴とする位置検出センサ。
【請求項６】
請求項５記載の位置検出センサにおいて、
前記第１膨出部及び前記第２膨出部は、横断面が円弧状の湾曲面を有していることを特徴とする位置検出センサ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の位置検出センサにおいて、
前記ハウジング部は、
ハウジング本体と、
２つの前記取付部の間に位置するように前記ハウジング本体に設けられて前記センサ本体が配置されたセンサ配置部と、を有し、
前記センサ配置部は、前記センサ本体が前記センサ取付溝内に位置するように前記アクチュエータの側面側から前記センサ取付溝内に挿入可能に形成されていることを特徴とする位置検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータの側面に開口し前記アクチュエータの軸線方向に沿って延びるセンサ取付溝に取り付けられる位置検出センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば、アクチュエータを構成するシリンダ内のピストン位置を検出するため、ピストンにマグネットを装着し、当該マグネットの磁気を検出する磁気センサをアクチュエータの外側に配設し、圧力流体の供給作用下にピストンを往復動作させ、磁気センサが検出するマグネットの磁気によりピストン位置を確認している。
【０００３】
この場合、磁気センサを収容するホルダに円柱状の取付部材を連結して位置検出センサを構成し、当該位置検出センサをシリンダの側面に軸方向全長にわたって開口する断面円形状のセンサ溝に取り付ける（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
この位置検出センサの取り付けに際しては、まず、連結ボルトによってホルダと取付部材とを連結した状態で当該取付部材をシリンダの軸方向端面からセンサ溝に挿入し、センサ溝に沿って所定の位置まで移動させる。その後、連結ボルトの締め付け量を調整し、センサ溝の開口部に形成された膨出部をホルダと取付部材とで挟持することにより、位置検出センサの取り付けが完了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−５１８００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の位置検出センサでは、シリンダに対する位置検出センサの取り付けは、連結ボルトによってホルダと取付部材が連結された状態で当該取付部材をシリンダの軸方向端部から所望の位置まで手作業で挿入することによって行われる。そのため、作業効率を向上させることが容易ではなく、しかもシリンダの軸方向端部近傍に広い作業スペースを必要とする等の制約がある。
【０００７】
本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、アクチュエータの軸方向端部近傍に広い作業スペースを必要とすることなくアクチュエータに対して容易且つ効率的に取り付けを行うことができる位置検出センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係る位置検出センサは、アクチュエータの側面に開口し前記アクチュエータの軸線方向に沿って延びるセンサ取付溝に取り付けられる位置検出センサであって、前記センサ取付溝は、溝底面側の幅広部と前記アクチュエータの側面側の幅狭部とを有し、前記アクチュエータの変位体の位置を検出するセンサ本体を収容するハウジング部と、前記ハウジング部に設けられ、前記センサ取付溝の前記幅狭部の溝幅よりも大きな幅寸法を有する取付部と、を備え、前記取付部は、前記センサ取付溝の幅方向に互いに隙間を開けて対向するように配設された可撓性を有する第１係止部及び第２係止部を有し、前記ハウジング部は、一方向に延在し、前記取付部は、２つ設けられ、各前記取付部は、前記ハウジング部の長手方向の両端部にそれぞれ設けられていることを特徴とする。
【０００９】
このような構成によれば、第１係止部及び第２係止部が互いに近接するように第１係止部及び第２係止部を撓ませた状態でアクチュエータの側面側からセンサ取付溝内に挿入した後で原状復帰させることにより、位置検出センサをアクチュエータに対して取り付けることができる。これにより、アクチュエータの軸方向端部近傍に広い作業スペースを必要とすることなくアクチュエータに対して位置検出センサを容易且つ効率的に取り付けることができる。また、取付部がハウジングの長手方向の両端にそれぞれ設けられているため、位置検出センサをアクチュエータに対して一層確実且つ安定的に固定することができる。
【００１０】
上記の位置検出センサにおいて、前記隙間に配置されて前記第１係止部及び前記第２係止部を互いに離間する方向に押圧する固定具を備えていてもよい。
【００１１】
このような構成によれば、固定具により第１係止部及び第２係止部を互いに離間する方向に押圧することにより、位置検出センサをアクチュエータに対してより確実且つ安定的に固定することができる。また、第１係止部及び第２係止部が互いに近接する方向に撓むことを固定具により抑えることができる。
【００１２】
上記の位置検出センサにおいて、前記ハウジング部には、前記固定具を前記隙間に導くための貫通孔が形成されていてもよい。
【００１３】
このような構成によれば、貫通孔を介して第１係止部及び第２係止部の間の隙間に固定具を容易に配置させることができる。
【００１４】
上記の位置検出センサにおいて、前記第１係止部のうち前記第２係止部に対向する第１対向面と前記第２係止部のうち前記第１係止部に対向する第２対向面とのそれぞれには、前記固定具を保持する保持部が設けられていてもよい。
【００１５】
このような構成によれば、固定具を第１係止部及び第２係止部の間に確実に保持することができる。
【００１６】
上記の位置検出センサにおいて、前記第１係止部は、前記ハウジング部から直線状に延出した第１延出部と、前記第１延出部の先端部に設けられて前記第２係止部とは反対側に膨出した第１膨出部と、を有し、前記第２係止部は、前記ハウジング部から直線状に延出した第２延出部と、前記第２延出部の先端部から前記第１係止部とは反対側に膨出した第２膨出部と、を有していてもよい。
【００１７】
このような構成によれば、第１膨出部及び第２膨出部によって取付部がセンサ取付溝から抜け出ることを好適に抑えることができる。
【００１８】
上記の位置検出センサにおいて、前記第１膨出部及び前記第２膨出部は、横断面が円弧状の湾曲面を有していてもよい。
【００１９】
このような構成によれば、湾曲面をセンサ取付溝の開口縁部に接触させた状態で取付部をセンサ取付溝に向けて押圧することにより、取付部をセンサ取付溝内に容易に挿入することができる。また、センサ取付溝内に配置されている取付部を引き抜くことによりセンサ取付溝から取付部を容易に取り外すことができる。
【００２２】
上記の位置検出センサにおいて、前記ハウジング部は、ハウジング本体と、２つの前記取付部の間に位置するように前記ハウジング本体に設けられて前記センサ本体が配置されたセンサ配置部と、を有し、前記センサ配置部は、前記センサ本体が前記センサ取付溝内に位置するように前記アクチュエータの側面側から前記センサ取付溝内に挿入可能に形成されていてもよい。
【００２３】
このような構成によれば、センサ本体をセンサ取付溝内に位置させることができるので、センサ本体と変位体との距離を比較的近くすることができる。これにより、位置検出センサの検出精度を向上させることができる。また、２つの取付部の間にセンサ配置部が位置するため、センサ配置部（センサ本体）をアクチュエータに対してより確実且つ安定的に固定することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、第１係止部及び第２係止部が互いに近接するように第１係止部及び第２係止部を撓ませた状態でアクチュエータの側面側からセンサ取付溝内に挿入して原状復帰させることができるので、広い作業スペースを必要とすることなくアクチュエータに対して位置検出センサを容易且つ効率的に取り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態に係る位置検出センサをシリンダ装置に取り付けた状態を示す斜視図である。
【図２】図１の位置検出センサの斜視図である。
【図３】図３Ａは図２の位置検出センサの側面図であり、図３Ｂは図２の位置検出センサの背面図である。
【図４】シリンダ装置に対する位置検出センサの取付手順の第１説明図である。
【図５】図５Ａは前記取付手順の第２説明図であり、図５Ｂは前記取付手順の第３説明図である。
【図６】前記取付手順の第４説明図である。
【図７】変形例に係る取付部を備えた位置検出センサの一部省略横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明に係る位置検出センサについて位置検出センサが取り付けられるシリンダ装置との関係で好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。
【００２７】
まず、シリンダ装置（アクチュエータ）１２の基本的な構成について説明する。図１に示すように、シリンダ装置１２は、筒状に形成された金属製のシリンダチューブ１４と、シリンダチューブ１４の軸線方向の開口部を閉塞する一対のエンドプレート１６とを備えている。
【００２８】
シリンダチューブ１４の内孔には、圧力流体の供給作用下にシリンダチューブ１４の軸線方向に沿って変位する図示しないピストン（変位体）が配設され、前記ピストンには図示しないピストンロッドが連結されている。前記ピストンの外周面には、図示しない環状のマグネットが装着されている。
【００２９】
シリンダチューブ１４は、四角形状の外形を有しており、その側面には、圧力流体を供給・排出するための一対のポート２６、２８が形成されている。シリンダチューブ１４の各側面には、位置検出センサ１０が取り付けられるセンサ取付溝３０が２つずつ形成されている。
【００３０】
各センサ取付溝３０は、シリンダチューブ１４の側面に開口し、シリンダチューブ１４の軸線方向に沿って全長に亘って延在している。換言すれば、各センサ取付溝３０は、シリンダチューブ１４の両端面に開口している。
【００３１】
図４に示すように、各センサ取付溝３０は、溝底面側に位置する幅広部３２と、シリンダチューブ１４の側面側に位置する幅狭部３４とを有している。幅広部３２は、円弧状の湾曲面３６によって横断面が円形状に形成されている。幅狭部３４は、湾曲面３６に連なる対向する一対の平面３８、４０によって横断面が矩形状に形成されている。
【００３２】
次に、位置検出センサ１０の構成について説明する。図１に示すように、位置検出センサ１０は、シリンダ装置１２のセンサ取付溝３０に取り付けられて用いられる。図２〜図３Ｂに示すように、位置検出センサ１０は、長尺なハウジング部４２と、ハウジング部４２に収容されたセンサ本体４４と、ハウジング部４２に設けられてセンサ取付溝３０に挿入される２つの取付部４６、４８と、２つの固定ねじ（固定具）５０、５２とを備えている。
【００３３】
ハウジング部４２及び２つの取付部４６、４８は、樹脂材料によって一体的に成形されている。ハウジング部４２は、略直方体形状に形成されたハウジング本体５４と、ハウジング本体５４に設けられたセンサ配置部５６とを有している。ハウジング本体５４は、一方向に延在している。
【００３４】
位置検出センサ１０をセンサ取付溝３０に取り付けた際にシリンダチューブ１４とは反対側に指向するハウジング本体５４の外表面には、第１操作部５８、第１表示部６０、第２操作部６２、及び第２表示部６４が設けられている。第１操作部５８及び第１表示部６０は、ハウジング本体５４の一端側に位置し、第２操作部６２及び第２表示部６４は、ハウジング本体５４の他端側に位置している。
【００３５】
第１操作部５８及び第２操作部６２のそれぞれは、検出したいピストンの位置を設定するためのものであって、ユーザが押圧操作可能なボタン（スイッチ）として構成されている。第１表示部６０及び第２表示部６４のそれぞれは、例えば、ＬＥＤとして構成されている。
【００３６】
ハウジング本体５４の前記外表面には、長手方向に対向する２つの角部が切り欠かれることによって形成された２つの凹部６６、６８が形成されている。各凹部６６、６８の底面には、ハウジング本体５４の厚み方向に沿って延在した貫通孔７０、７２が形成されている。各貫通孔７０、７２の内面には、固定ねじ５０、５２が螺合する雌ねじが形成されている（図４参照）。ハウジング本体５４の片方の端面には、センサ本体４４に電気的に接続したリード線７６が設けられている。
【００３７】
ハウジング本体５４の底面のうち凹部６６の裏側には取付部４６が突出形成され、ハウジング本体５４の底面のうち凹部６８の裏側には取付部４８が突出形成されている。また、ハウジング本体５４の底面のうち取付部４６と取付部４８の間には、センサ配置部５６が突出形成されている。
【００３８】
センサ配置部５６は、ハウジング本体５４の一端部に位置する取付部４６の近傍からハウジング本体５４の他端部に位置する取付部４８の近傍まで連続して長手方向に沿って延在している。
【００３９】
センサ配置部５６の幅寸法Ｗ１は、センサ取付溝３０の幅狭部３４の溝幅Ｗ２よりも若干小さく設定され、センサ配置部５６の突出長Ｌ１は、センサ取付溝３０の溝深さＬ２と同じ又は当該溝深さＬ２よりも若干短く設定されている（図３Ｂ及び図４参照）。センサ配置部５６の側面とハウジング本体５４の側面とは面一になっている。
【００４０】
センサ本体４４は、ピストンに装着されたマグネットの磁気を検出する磁気検出部７８と、信号処理系の回路が組み込まれた制御部８０とを有している（図２〜図３Ｂ参照）。磁気検出部７８は、センサ配置部５６の先端側に収容されており、図示しない複数の磁気センサを有している。磁気検出部７８は、シリンダチューブ１４の内孔を往復動作するピストンの変位状態を一端から他端に亘ってリニアに検出するために、ピストンのストローク長よりも若干長く形成されている。
【００４１】
制御部８０は、第１操作部５８と第２操作部６２が操作された時の磁気検出部７８の出力信号を記憶する。制御部８０は、磁気検出部７８の出力信号に基づいて第１操作部５８の操作によって設定された第１設定位置（例えば、シリンダチューブ１４の一端側の停止位置）にピストンが位置したか否かを判定する。制御部８０は、第１設定位置にピストンが位置したと判定した場合に第１表示部６０を点灯させ、第１設定位置にピストンが位置していないと判定した場合に第１表示部６０を消灯させる。
【００４２】
制御部８０は、磁気検出部７８の出力信号に基づいて第２操作部６２の操作によって設定された第２設定位置（例えば、シリンダチューブ１４の他端側の停止位置）にピストンが位置したか否かを判定する。制御部８０は、第２設定位置にピストンが位置したと判定した場合に第２表示部６４を点灯させ、第２設定位置にピストンが位置していないと判定した場合に第２表示部６４を消灯させる。
【００４３】
図２〜図４に示すように、取付部４６は、ハウジング本体５４の幅方向（センサ取付溝３０の幅方向）に互いに隙間Ｓを開けて対向するようにハウジング本体５４に設けられた可撓性を有する第１係止部８４ａと第２係止部８４ｂとを有している。
【００４４】
第１係止部８４ａは、ハウジング本体５４の底面から直線状に延出した第１延出部８６ａと、第１延出部８６ａの先端部に設けられて第２係止部８４ｂとは反対側に膨出した第１膨出部８８ａとを備えている。
【００４５】
第１係止部８４ａは、ハウジング本体５４の底面から第１膨出部８８ａの先端まで延在して第２係止部８４ｂに対向する平坦な第１内面（第１対向面）９０ａ（図３Ｂ参照）と、第２係止部８４ｂとは反対側を指向する平坦な第１外面９２ａと、第１外面９２ａの先端から第２係止部８４ｂとは反対側に円弧状に延出して第１内面９０ａの先端に終端する第１湾曲面９４ａとを含む。第１湾曲面９４ａは、センサ取付溝３０の幅広部３２の湾曲面３６に対応した形状を有している。
【００４６】
第２係止部８４ｂは、ハウジング本体５４の底面から直線状に延出した第２延出部８６ｂと、第２延出部８６ｂの先端部に設けられて第１係止部８４ａとは反対側に膨出した第２膨出部８８ｂとを備えている。
【００４７】
第２係止部８４ｂは、ハウジング本体５４の底面から第２膨出部８８ｂの先端まで延在して第１係止部８４ａに対向する平坦な第２内面（第２対向面）９０ｂ（図３Ｂ参照）と、第１係止部８４ａとは反対側を指向する平坦な第２外面９２ｂと、第２外面９２ｂの先端から第１係止部８４ａとは反対側に円弧状に延出して第２内面９０ｂの先端に終端する第２湾曲面９４ｂとを含む。第２湾曲面９４ｂは、センサ取付溝３０の幅広部３２の湾曲面３６に対応した形状を有している。
【００４８】
第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂを撓ませていない状態（基準状態）において、第１内面９０ａと第２内面９０ｂとの距離（隙間Ｓの間隔）Ｄ１は、第１膨出部８８ａ及び第２膨出部８８ｂが互いに近接する方向に撓むことによって幅狭部３４を挿通することが可能な程度の大きさに設定されている。
【００４９】
基準状態において、第１外面９２ａと第２外面９２ｂとの距離Ｄ２は、幅狭部３４の溝幅Ｗ２と略同一に設定されている。基準状態において、第１湾曲面９４ａのうち最も膨出している部位と第２湾曲面９４ｂのうち最も膨出している部位との距離（最大距離）Ｄ３は、幅狭部３４の溝幅Ｗ２よりも大きく設定されている。つまり、取付部４６は、センサ取付溝３０の幅狭部３４の溝幅Ｗ２よりも大きな幅寸法を有している。
【００５０】
第１内面９０ａには、固定ねじ５０が螺合する雌ねじ部９６ａが第１内面９０ａの全長に亘って形成され、第２内面９０ｂには、固定ねじ５０が螺合する雌ねじ部９６ｂが第２内面９０ｂの全長に亘って形成されている。雌ねじ部（保持部）９６ａ、９６ｂは、貫通孔７０の雌ねじに連続している。取付部４８は、上述した取付部４６と同様の構成を有しているので、取付部４８の詳細な説明を省略する。
【００５１】
本実施形態に係る位置検出センサ１０は、基本的には以上のように構成されるものであって、次に、位置検出センサ１０の作用効果について説明する。なお、初期状態において、固定ねじ５０はハウジング本体５４の貫通孔７０に螺合し、固定ねじ５２はハウジング本体５４の貫通孔７２に螺合している。
【００５２】
まず、図４に示すように、任意の１つのセンサ取付溝３０におけるシリンダチューブ１４の側面の開口部に各取付部４６、４８が対向するように位置検出センサ１０を配置する。
【００５３】
続いて、各取付部４６、４８の第１湾曲面９４ａ及び第２湾曲面９４ｂをセンサ取付溝３０の開口縁部に接触させた状態で位置検出センサ１０をセンサ取付溝３０の幅広部３２側（溝底面側）に押圧する。そうすると、第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂは、センサ取付溝３０の開口縁部によって互いに近接する方向に押されて撓み、センサ取付溝３０の幅狭部３４内に挿入される（図５Ａ参照）。
【００５４】
このとき、第１湾曲面９４ａは幅狭部３４の平面３８に接触すると共に第２湾曲面９４ｂは幅狭部３４の平面４０に接触する。そして、各取付部４６、４８を幅広部３２側にさらに押圧すると、第１膨出部８８ａ及び第２膨出部８８ｂが幅狭部３４を通過する。そうすると、平面３８から第１係止部８４ａに作用していた力と平面４０から第２係止部８４ｂに作用していた力とが解放され、第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂが復元力（弾性力）によって互いに離間する方向に原状復帰する（図５Ｂ参照）。
【００５５】
すなわち、第１膨出部８８ａ及び第２膨出部８８ｂがセンサ取付溝３０の幅広部３２内に位置すると共に第１延出部８６ａ及び第２延出部８６ｂがセンサ取付溝３０の幅狭部３４内に位置することとなる。換言すれば、各取付部４６、４８のセンサ取付溝３０内への挿入が完了する。
【００５６】
このとき、第１湾曲面９４ａと第２湾曲面９４ｂとの最大距離Ｄ３は、幅狭部３４の溝幅Ｗ２よりも大きい。そのため、例えば、センサ取付溝３０の鉛直下方から位置検出センサ１０を取り付ける場合やユーザの手等が位置検出センサ１０に当たった場合等に、各取付部４６、４８がセンサ取付溝３０から抜け出ることを抑制することができる。
【００５７】
また、第１湾曲面９４ａ及び第２湾曲面９４ｂのそれぞれが湾曲面３６に接触し、第１外面９２ａが平面３８に接触し、第２外面９２ｂが平面４０に接触する。つまり、位置検出センサ１０は、シリンダチューブ１４に対して仮固定されている。そのため、位置検出センサ１０がシリンダチューブ１４に対して位置ずれすることを抑えることができる。
【００５８】
ただし、この状態で第１湾曲面９４ａ、第２湾曲面９４ｂ、第１外面９２ａ、及び第２外面９２ｂの少なくともいずれか１つは、センサ取付溝３０を構成する壁面（湾曲面３６及び各平面３８、４０）に対して接触していなくてもよい。
【００５９】
続いて、図示しない工具（ドライバー等）を用いて、固定ねじ５０を進行させて取付部４６の雌ねじ部９６ａ、９６ｂに螺合させ、固定ねじ５２を進行させて取付部４８の雌ねじ部９６ａ、９６ｂに螺合させる（図６参照）。そうすると、固定ねじ５０、５２によって第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂが互いに離間する方向に押圧される。
【００６０】
すなわち、第１湾曲面９４ａ及び第２湾曲面９４ｂが湾曲面３６に押し付けられ、第１外面９２ａが平面３８に押し付けられ、第２外面９２ｂが平面４０に押し付けられる。そのため、位置検出センサ１０がシリンダチューブ１４に対して強固に固定される。すなわち、位置検出センサ１０のシリンダ装置１２への取り付けが完了する。
【００６１】
位置検出センサ１０がシリンダ装置１２に取り付けられた状態で、センサ配置部５６の先端面は、センサ取付溝３０の湾曲面３６に接触している。具体的には、磁気検出部７８がセンサ取付溝３０内に位置している。これにより、磁気検出部７８とピストン（マグネット）との距離を比較的近くすることができるので、位置検出センサ１０の検出精度を向上させることができる。
【００６２】
位置検出センサ１０をセンサ取付溝３０から取り外すときは、位置検出センサ１０をセンサ取付溝３０に取り付けたときと逆の手順をとればよい。
【００６３】
すなわち、まず、前記工具を用いて、固定ねじ５０を後退させて貫通孔７０内に位置させ、固定ねじ５２を後退させて貫通孔７２内に位置させる。続いて、各取付部４６、４８がセンサ取付溝３０から抜け出るように位置検出センサ１０を引っ張る。そうすると、第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂが各平面３８、４０と湾曲面３６との境界部によって、互いに近接する方向に押されて撓み、第１膨出部８８ａ及び第２膨出部８８ｂが幅狭部３４内に挿入される。
【００６４】
その後、位置検出センサ１０をさらに引っ張ると、第１膨出部８８ａ及び第２膨出部８８ｂが幅狭部３４を通過する。そして、平面３８から第１係止部８４ａに作用していた力と平面４０から第２係止部８４ｂに作用していた力とが解放され、第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂが復元力によって互いに離間する方向に原状復帰する。これにより、位置検出センサ１０がセンサ取付溝３０から取り外される。
【００６５】
本実施形態によれば、第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂが互いに近接するように第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂを撓ませた状態でシリンダチューブ１４の側面側からセンサ取付溝３０内に挿入した後で原状復帰させることにより、位置検出センサ１０をシリンダ装置１２に対して取り付けることができる。これにより、シリンダチューブ１４の軸方向端部近傍に広い作業スペースを必要とすることなくシリンダ装置１２に対して位置検出センサ１０を容易且つ効率的に取り付けることができる。
【００６６】
また、第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂの間の隙間Ｓに固定ねじ５０、５２を配置させることにより第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂを互いに離間する方向に押圧している。そのため、位置検出センサ１０をシリンダ装置１２に対して確実且つ安定的に固定することができる。さらに、第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂが互いに近接する方向に撓むことを固定ねじ５０、５２により抑えることができる。
【００６７】
本実施形態によれば、固定ねじ５０、５２を第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂの隙間Ｓに導くための貫通孔７０、７２をハウジング部４２に形成しているので、当該隙間Ｓに固定ねじ５０、５２を容易に配置させることができる。
【００６８】
また、第１内面９０ａ及び第２内面９０ｂのそれぞれに固定ねじ５０、５２が螺合する雌ねじ部９６ａ、９６ｂを形成しているので、固定ねじ５０、５２を第１係止部８４ａ及び第２係止部８４ｂの間に確実に保持することができる。
【００６９】
さらに、第１延出部８６ａの先端部に設けられた第１膨出部８８ａが第２係止部８４ｂとは反対側に膨出すると共に第２延出部８６ｂの先端部に設けられた第２膨出部８８ｂが第１係止部８４ａとは反対側に膨出している。そのため、各取付部４６、４８がセンサ取付溝３０から抜け出ることを好適に抑えることができる。
【００７０】
本実施形態によれば、第１膨出部８８ａに第１湾曲面９４ａを形成すると共に第２膨出部８８ｂに第２湾曲面９４ｂを形成している。そのため、第１湾曲面９４ａ及び第２湾曲面９４ｂをセンサ取付溝３０の開口縁部に接触させた状態で取付部４６、４８をセンサ取付溝３０に向けて押圧することにより、取付部４６、４８をセンサ取付溝３０内に容易に挿入することができる。また、センサ取付溝３０内に配置されている取付部４６、４８を引き抜くことによりセンサ取付溝３０から取付部４６、４８を容易に取り外すことができる。
【００７１】
さらに、ハウジング本体５４の長手方向の両端部にそれぞれ取付部４６、４８を設けているので、位置検出センサ１０をシリンダ装置１２に対して一層確実且つ安定的に固定することができる。
【００７２】
本実施形態では、２つの取付部４６、４８の間にセンサ配置部５６が位置するため、センサ配置部５６（磁気検出部７８）のシリンダチューブ１４に対する位置ずれを好適に抑えることができる。
【００７３】
本実施形態に係る位置検出センサ１０は、取付部４６、４８に代えて図７に示す変形例に係る取付部１００、１０２を有していてもよい。取付部１００の第１係止部１０４ａを構成する第１膨出部１０６ａは、第１テーパ面１０８ａ、第１平面１１０ａ、及び第２テーパ面１１２ａを有している。
【００７４】
第１テーパ面１０８ａは、第１外面９２ａから先端側に向かって第２係止部１０４ｂとは反対側に傾斜している。第１平面１１０ａは、第１テーパ面１０８ａから貫通孔７０の延在方向に沿って先端側に延在している。第２テーパ面１１２ａは、第１平面１１０ａから先端側に向かって第２係止部１０４ｂ側に傾斜している。
【００７５】
取付部１００の第２膨出部１０６ｂは、第３テーパ面１０８ｂ、第２平面１１０ｂ、及び第４テーパ面１１２ｂを有している。第３テーパ面１０８ｂは、第２外面９２ｂから先端側に向かって第１係止部１０４ａとは反対側に傾斜している。第２平面１１０ｂは、第３テーパ面１０８ｂから貫通孔７０の延在方向に沿って先端側に延在している。第４テーパ面１１２ｂは、第２平面１１０ｂから先端側に向かって第１係止部１０４ａ側に傾斜している。
【００７６】
取付部１０２は、取付部１００と同様に構成されているため、取付部１０２の詳細な説明を省略する。なお、センサ取付溝１１４の幅広部１１６は、横断面が四角形状に形成されている。このような構成であっても上述した作用効果と同様の作用効果を奏する。
【００７７】
本発明に係る位置検出センサは、上述の実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。例えば、本実施形態ではアクチュエータとして圧力流体を用いるシリンダ装置を例示しているが、シリンダ装置に限らず、電動アクチュエータにも用いることができる。また、リニアガイドにも応用することも可能である。
【符号の説明】
【００７８】
１０…位置検出センサ                １２…シリンダ装置（アクチュエータ）
３０、１１４…センサ取付溝          ３２、１１６…幅広部
３４…幅狭部                        ４２…ハウジング部
４４…センサ本体                    ４６、４８、１００、１０２…取付部
５０、５２…固定ねじ（固定具）      ５４…ハウジング本体
５６…センサ配置部                  ７０、７２…貫通孔
８４ａ、１０４ａ…第１係止部        ８４ｂ、１０４ｂ…第２係止部
８６ａ…第１延出部                  ８６ｂ…第２延出部
８８ａ、１０６ａ…第１膨出部        ８８ｂ、１０６ｂ…第２膨出部
９０ａ…第１内面（第１対向面）      ９０ｂ…第２内面（第２対向面）
９２ａ…第１外面                    ９２ｂ…第２外面
９４ａ…第１湾曲面                  ９４ｂ…第２湾曲面
９６ａ、９６ｂ…雌ねじ部（保持部）  Ｓ…隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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