(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属原子、
一方の面側に開口している凹部を有する第１基板、
前記第１基板の前記一方の面側に接合されていて、前記金属原子が封入されている内部空間を前記第１基板の前記凹部とともに構成している第２基板、
一端が前記内部空間に連通している連通孔、および
前記連通孔の他端側において、前記連通孔を溶着により塞いでいる封止部、
を含む原子セルと、
前記金属原子を励起する励起光を出射する光出射部と、
前記原子セルを透過した前記励起光を検出する光検出部と、
を備え、
前記連通孔は、前記第１基板と前記第２基板とが重なる方向から見た平面視で、前記第２基板と交差するように前記内部空間へ入射される前記励起光と重ならない位置に配置され、
前記封止部は、前記平面視で、前記内部空間の周囲に位置する前記第１基板と重なる位置に配置されている
ことを特徴とする量子干渉装置。
【請求項２】
金属原子、
一方の面側に開口している凹部を有する第１基板、
前記第１基板の前記一方の面側に接合されていて、前記金属原子が封入されている内部空間を前記第１基板の前記凹部とともに構成している第２基板、
一端が前記内部空間に連通している連通孔、および
前記連通孔の他端側において、前記連通孔を溶着により塞いでいる封止部、
を含む原子セルと、
前記金属原子を励起する励起光を出射する光出射部と、
前記原子セルを透過した前記励起光を検出する光検出部と、
を備え、
前記連通孔および前記封止部は、前記第１基板と前記第２基板とが重なる方向から見た平面視で、前記内部空間の周囲に位置する前記第１基板と重なる位置に配置されている
ことを特徴とする量子干渉装置。
【請求項３】
前記封止部は、前記第２基板の前記第１基板とは反対側の面よりも前記第１基板側に位
置している請求項１または２に記載の量子干渉装置。
【請求項４】
前記第２基板には、前記封止部を囲むように環状の凹部が形成されている請求項１ないし３に記載の量子干渉装置。
【請求項５】
一方の面側に開口している凹部を有する第１基板と、前記第１基板の前記一方の面側に接合されていて、内部空間を前記第１基板とともに構成している第２基板と、前記第１基板と前記第２基板とが重なる方向から見た平面視で前記第１基板と前記第２基板との接合部に重なる位置に配置されていて外部に開放している開口部を有し、前記内部空間と外部空間とを連通している連通孔と、を備える積層構造体を準備する準備工程と、
前記内部空間に金属原子を導入した状態で、前記連通孔の前記開口部を溶着により塞ぐことにより前記内部空間を封止する封止工程と、
を含むことを特徴とする原子セルの製造方法。
【請求項６】
前記準備工程において、前記第１基板は、厚さ方向に貫通している貫通孔を有する第３基板と、前記第３基板の一方の面に接合されていて前記第３基板とともに前記凹部を構成している第４基板と、を有する請求項５に記載の原子セルの製造方法。
【請求項７】
前記準備工程において、前記連通孔の前記開口部は、前記第２基板に設けられている請求項５または６に記載の原子セルの製造方法。
【請求項８】
前記準備工程において、前記積層構造体は、突出していて前記連通孔の前記開口部を囲んでいる筒状部を有する請求項５ないし７のいずれか１項に記載の原子セルの製造方法。
【請求項９】
前記準備工程において、前記連通孔は、前記第１基板に設けられている第１孔と、前記第１孔に連通していて前記第２基板に設けられている第２孔と、を有する請求項５ないし８のいずれか１項に記載の原子セルの製造方法。
【請求項１０】
前記封止工程において、火炎を用いて前記溶着を行う請求項５ないし９のいずれか１項に記載の原子セルの製造方法。
【請求項１１】
前記封止工程において、レーザーを用いて前記溶着を行う請求項５ないし９のいずれか１項に記載の原子セルの製造方法。
【請求項１２】
前記準備工程において、前記積層構造体が、前記内部空間および前記連通孔を複数組有する請求項５ないし１１のいずれか１項に記載の原子セルの製造方法。
【請求項１３】
前記封止工程の後に、前記積層構造体を前記内部空間および前記連通孔の組ごとに個片化する個片化工程を有する請求項１２に記載の原子セルの製造方法。
【請求項１４】
請求項１ないし４に記載の量子干渉装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、原子セル、原子セルの製造方法、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
長期的に高精度な発振特性を有する発振器として、ルビジウム、セシウム等のアルカリ金属の原子のエネルギー遷移に基づいて発振する原子発振器が知られている。
【０００３】
一般に、原子発振器の動作原理は、光およびマイクロ波による二重共鳴現象を利用した方式と、波長の異なる２種類の光による量子干渉効果（ＣＰＴ：Coherent Population Trapping）を利用した方式とに大別される。いずれの原子発振器も、一般に、アルカリ金属を封入した原子セル（ガスセル）を備える（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このような原子セルとしては、近年の原子発振器の小型化の要請に伴って小型化を図るべく、特許文献１に開示されているように、複数の基板を積層した構造を有するものが知られている。特許文献１では、ガス導入部を備えた第１の透明基板と、貫通孔を備えた第２の透明基板と、第３の透明基板とをこの順で積層して接合することにより、第２の透明基板の貫通孔の両端開口を第１の透明基板および第３の透明基板により封鎖して空間を形成し、ガス導入部を通じて当該空間内にアルカリ金属蒸気を導入した後に、ガス導入部を溶着により塞いで当該空間を封止する。その後、第１〜３の透明基板からなる積層体をダイシングにより個片化して原子セルを得る。
【０００５】
特許文献１に係る原子セルでは、積層体の積層方向から見たときにガス導入部が原子セル内の光を照射すべき領域に重なっているため、積層体の積層方向から光を照射した場合、光の通過がガス導入部で妨げられてしまう。そこで、特許文献１に係る原子セルでは、基板の面に対して平行な方向に光を通過させることとしている。
【０００６】
しかし、特許文献１に係る原子セルでは、第２の透明基板のダイシングにより形成された微細な凹凸を有する切断面に光を通過させることとなるため、当該切断面で光が散乱してしまい、その結果、透過する光の強度が低下するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−２１２４１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、溶着により形成した封止部を有する原子セルにおいて透過光の強度を低下し難くすることができる原子セル、原子セルの製造方法、量子干渉装置および原子発振器を提供すること、また、かかる量子干渉装置を備える信頼性に優れた電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００１０】
［適用例１］
本発明の原子セルは、金属原子と、
一方の面側に開口している凹部を有する第１基板と、
前記第１基板の前記一方の面側に接合されていて、前記金属原子が封入されている内部空間を前記第１基板とともに構成している第２基板と、
前記内部空間と外部空間とを連通している連通孔と、
前記第１基板と前記第２基板とが重なる方向から見た平面視で前記第１基板と前記第２基板との接合部に重なる位置に配置されていて、前記連通孔を溶着により塞いでいる封止部と、
を備えることを特徴とする。
【００１１】
このような原子セルによれば、封止部が平面視で接合部と重なっているため、封止部が平面視で内部空間と重なることを防止または低減することができる。そのため、第１基板と第２基板とが重なる方向で光を照射したとき、封止部で光通過が妨げられることを防止または低減することができる。また、そのように光を照射した際、第１基板および第２基板の平滑な板面を光が透過することとなるため、光の散乱が少なく、透過光の強度を低下し難くすることができる。
【００１２】
［適用例２］
本発明の原子セルでは、前記封止部は、前記第２基板の前記第１基板とは反対側の面よりも前記第１基板側に位置していることが好ましい。
【００１３】
これにより、原子セルの小型化を図ったり、原子セルの設置の自由度を高めたりすることができる。
【００１４】
［適用例３］
本発明の原子セルの製造方法は、一方の面側に開口している凹部を有する第１基板と、前記第１基板の前記一方の面側に接合されていて、内部空間を前記第１基板とともに構成している第２基板と、前記第１基板と前記第２基板とが重なる方向から見た平面視で前記第１基板と前記第２基板との接合部に重なる位置に配置されていて外部に開放している開口部を有し、前記内部空間と外部空間とを連通している連通孔と、を備える積層構造体を準備する準備工程と、
前記内部空間に金属原子を導入した状態で、前記連通孔の前記開口部を溶着により塞ぐことにより前記内部空間を封止する封止工程と、
を含むことを特徴とする。
【００１５】
このような原子セルの製造方法によれば、得られる原子セルにおいて、封止部が平面視で接合部と重なっているため、封止部が平面視で内部空間と重なることを防止または低減することができる。そのため、得られる原子セルにおいて、第１基板と第２基板とが重なる方向で光を照射したとき、封止部で光通過が妨げられることを防止または低減することができる。また、そのように光を照射した際、第１基板および第２基板の平滑な板面を光が透過することとなるため、光の散乱が少なく、透過光の強度を低下し難くすることができる。
【００１６】
［適用例４］
本発明の原子セルの製造方法では、前記準備工程において、前記第１基板は、厚さ方向に貫通している貫通孔を有する第３基板と、前記第３基板の一方の面に接合されていて前記第３基板とともに前記凹部を構成している第４基板と、を有することが好ましい。
【００１７】
これにより、第２基板および第４基板の一方を光の入射側窓部、他方を出射側窓部として用いることにより、第２基板および第４基板の板面の平滑性を利用して、各窓部の光の散乱を効果的に低減することができる。
【００１８】
［適用例５］
本発明の原子セルの製造方法では、前記準備工程において、前記第２基板および前記第４基板は、それぞれ、ガラスを含み、
前記第３基板は、シリコンを含んでいることが好ましい。
【００１９】
これにより、第２基板および第４基板のそれぞれと第３基板とを陽極接合により簡単に気密接合することができる。
【００２０】
［適用例６］
本発明の原子セルの製造方法では、前記準備工程において、前記連通孔の前記開口部は、前記第２基板に設けられていることが好ましい。
【００２１】
これにより、エッチング等を用いた加工により、第２基板に連通孔の開口部を簡単かつ高精度に形成することができる。
【００２２】
［適用例７］
本発明の原子セルの製造方法では、前記準備工程において、前記積層構造体は、突出していて前記連通孔の前記開口部を囲んでいる筒状部を有することが好ましい。
これにより、連通孔の開口部を溶着により容易に塞ぐことができる。
【００２３】
［適用例８］
本発明の原子セルの製造方法では、前記準備工程において、前記連通孔は、前記第１基板に設けられている第１孔と、前記第１孔に連通していて前記第２基板に設けられている第２孔と、を有することが好ましい。
【００２４】
これにより、連通孔の内部空間側の端部が平面視で内部空間と重なることを防止または低減することができる。
【００２５】
［適用例９］
本発明の原子セルの製造方法では、前記封止工程において、火炎を用いて前記溶着を行うことが好ましい。
これにより、容易に封止工程を行うことができる。
【００２６】
［適用例１０］
本発明の原子セルの製造方法では、前記封止工程において、レーザーを用いて前記溶着を行うことが好ましい。
これにより、原子セルの小型化を図っても、容易に封止工程を行うことができる。
【００２７】
［適用例１１］
本発明の原子セルの製造方法では、前記準備工程において、前記積層構造体が、前記内部空間および前記連通孔を複数組有することが好ましい。
これにより、効率的に原子セルを製造することができる。
【００２８】
［適用例１２］
本発明の原子セルの製造方法では、前記封止工程の後に、前記積層構造体を前記内部空間および前記連通孔の組ごとに個片化する個片化工程を有することが好ましい。
これにより、効率的に原子セルを製造することができる。
【００２９】
［適用例１３］
本発明の量子干渉装置は、本発明の原子セルと、
前記金属原子を励起する励起光を出射する光出射部と、
前記原子セルを透過した前記励起光を検出する光検出部と、
を備えることを特徴とする。
【００３０】
これにより、溶着により形成した封止部を有する原子セルの透過光の強度を低下し難くすることができる。その結果、量子干渉装置の特性を向上させることができる。
【００３１】
［適用例１４］
本発明の原子発振器は、本発明の原子セルを備えることを特徴とする。
【００３２】
これにより、溶着により形成した封止部を有する原子セルの透過光の強度を低下し難くすることができる。その結果、原子発振器の特性を向上させることができる。
【００３３】
［適用例１５］
本発明の電子機器は、本発明の原子セルを備えることを特徴とする。
【００３４】
これにより、溶着により形成した封止部を有する原子セルの透過光の強度を低下し難くすることができる。その結果、電子機器の特性を向上させることができる。
【００３５】
［適用例１６］
本発明の移動体は、本発明の原子セルを備えることを特徴とする。
【００３６】
これにより、溶着により形成した封止部を有する原子セルの透過光の強度を低下し難くすることができる。その結果、移動体の特性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る原子発振器（量子干渉装置）を示す概略図である。
【図２】図１に示す原子発振器の原子セル内におけるアルカリ金属のエネルギー状態を説明するための図である。
【図３】図１に示す原子発振器の光出射部および光検出部について、光出射部からの２つの光の周波数差と、光検出部での検出強度との関係を示すグラフである。
【図４】図１に示す原子発振器が備える原子セルの平面図である。
【図５】図４に示す原子セルの断面図（図４中のＡ−Ａ線断面図）である。
【図６】図４に示す原子セルの製造方法を説明するための図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る原子セルを示す断面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る原子セルを示す断面図である。
【図９】ＧＰＳ衛星を利用した測位システムに本発明の原子発振器を用いた場合の概略構成を示す図である。
【図１０】本発明の移動体の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、本発明の原子セル、原子セルの製造方法、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３９】
１．量子干渉装置（原子発振器）
まず、本発明の量子干渉装置（本発明の原子セルを備える量子干渉装置）について説明する。なお、以下では、本発明の量子干渉装置を原子発振器に適用した例を説明するが、本発明の量子干渉装置は、これに限定されず、原子発振器の他、例えば、磁気センサー、量子メモリー等にも適用可能である。
【００４０】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る原子発振器（量子干渉装置）を示す概略図である。また、図２は、図１に示す原子発振器の原子セル内におけるアルカリ金属のエネルギー状態を説明するための図、図３は、図１に示す原子発振器の光出射部および光検出部について、光出射部からの２つの光の周波数差と、光検出部での検出強度との関係を示すグラフである。また、図４は、図１に示す原子発振器が備える原子セルの平面図、図５は、図４に示す原子セルの断面図（図４中のＡ−Ａ線断面図）である。
【００４１】
図１に示す原子発振器１は、量子干渉効果を利用した原子発振器である。量子干渉効果を利用した原子発振器１は、二重共鳴効果を利用した原子発振器に比し、小型化を図ることができる。
【００４２】
この原子発振器１は、図１に示すように、原子セル２（ガスセル）と、光出射部３と、光学部品４１、４２、４３、４４と、光検出部５と、ヒーター６と、温度センサー７と、磁場発生部８と、制御部１０とを備える。
【００４３】
まず、原子発振器１の原理を簡単に説明する。
原子発振器１では、原子セル２内に、ガス状のルビジウム、セシウム、ナトリウム等のアルカリ金属（金属原子）が封入されている。
【００４４】
アルカリ金属は、図２に示すように、３準位系のエネルギー準位を有しており、エネルギー準位の異なる２つの基底状態（基底状態１、２）と、励起状態との３つの状態をとり得る。ここで、基底状態１は、基底状態２よりも低いエネルギー状態である。
【００４５】
周波数の異なる２種の共鳴光１、２を前述したようなガス状のアルカリ金属に照射すると、共鳴光１の周波数ω１と共鳴光２の周波数ω２との差（ω１− ω２）に応じて、共鳴光１、２のアルカリ金属における光吸収率（光透過率）が変化する。
【００４６】
そして、共鳴光１の周波数ω１と共鳴光２の周波数ω２との差（ω１−ω２）が基底状態１と基底状態２とのエネルギー差に相当する周波数に一致したとき、基底状態１、２から励起状態への励起がそれぞれ停止する。このとき、共鳴光１、２は、いずれも、アルカリ金属に吸収されずに透過する。このような現象をＣＰＴ現象または電磁誘起透明化現象（ＥＩＴ：Electromagnetically Induced Transparency）と呼ぶ。
【００４７】
光出射部３は、原子セル２に向けて、前述したような周波数の異なる２種の光（共鳴光１および共鳴光２）を出射する。
【００４８】
ここで、例えば、共鳴光１の周波数ω１を固定し、共鳴光２の周波数ω２を変化させていくと、共鳴光１の周波数ω１と共鳴光２の周波数ω２との差（ω１−ω２）が基底状態１と基底状態２とのエネルギー差に相当する周波数ω０に一致したとき、光検出部５の検出強度は、図３に示すように、急峻に上昇する。このような急峻な信号をＥＩＴ信号と呼ぶ。このＥＩＴ信号は、アルカリ金属の種類によって決まった固有値をもっている。したがって、このようなＥＩＴ信号を基準として用いることにより、高精度な発振器を実現することができる。
【００４９】
以下、原子発振器１の各部を順次詳細に説明する。
［原子セル］
原子セル２内には、ガス状のルビジウム、セシウム、ナトリウム等のアルカリ金属（金属原子）が封入されている。また、原子セル２内には、必要に応じて、アルゴン、ネオン等の希ガス、窒素等の不活性ガスが緩衝ガスとしてアルカリ金属ガスとともに封入されていてもよい。
【００５０】
図４および図５に示すように、原子セル２は、胴体部２１と、胴体部２１を挟んで設けられた１対の窓部２２、２３とを有している。ここで、胴体部２１および窓部２２からなる構造体（接合体）は、一方の面側に開口している凹部を有する「第１基板」を構成し、また、窓部２３は、その第１基板の凹部側の面に接合されていて、アルカリ金属が封入されている内部空間Ｓを第１基板とともに形成（構成）している「第２基板」を構成していると言える。
【００５１】
胴体部２１には、胴体部２１を厚さ方向に貫通している貫通孔２１１と、胴体部２１の一方の面に開口しているとともに貫通孔２１１に連通している溝２１２と、が形成されている。ここで、胴体部２１は、厚さ方向に貫通している貫通孔２１１を有する「第３基板」を構成していると言える。
【００５２】
本実施形態では、貫通孔２１１の横断面は、正方形をなしている。なお、貫通孔２１１の横断面形状は、正方形に限定されず、例えば、正方形以外の四角形、五角形等の他の多角形、円形、楕円形等であってもよい。また、溝２１２は、図示しないが、例えば、Ｖ溝、Ｕ溝または矩形溝等である。そして、溝２１２は、長さ方向の一端が貫通孔２１１に開放している。
【００５３】
このような胴体部２１を構成する材料としては、特に限定されず、ガラス材料、水晶、金属材料、樹脂材料、シリコン材料等を用いることができるが、ガラス材料、水晶、シリコン材料のいずれかを用いることが好ましく、シリコン材料を用いることがより好ましい。これにより、幅や高さが１０ｍｍ以下となるような小さい原子セル２を形成する場合であっても、エッチング等の微細加工技術を用いて、高精度な胴体部２１を容易に形成することができる。また、シリコン材料で構成された胴体部２１は、窓部２２、２３をガラス材料で構成した場合、窓部２２、２３と陽極接合法により簡単に気密的に接合することができる。
【００５４】
このような胴体部２１の一方の端面には、窓部２２が接合され、一方、胴体部２１の他方の端面には、窓部２３が接合されている。ここで、窓部２２は、第３基板を構成している胴体部２１の一方の面に接合されていて、胴体部２１および窓部２２からなる構造体である第１基板が有する凹部を第３基板とともに形成している「第４基板」を構成していると言える。なお、第３基板を構成している胴体部２１と、第４基板を構成している窓部２２とが一体で形成されていてもよい。この場合、１つの基板の一方の面側にエッチング等により凹部を形成することにより、一方の面側に開口する凹部を有する第１基板を得ることができる。
【００５５】
胴体部２１と窓部２２、２３との接合方法としては、これらの構成材料に応じて決められるものであり、気密的に接合できるものであれば、特に限定されないが、例えば、接着剤による接合方法、直接接合法、陽極接合法等を用いることができる。
【００５６】
ここで、貫通孔２１１の一端開口および溝２１２の開口は、窓部２３により封鎖され、一方、貫通孔２１１の他端開口は、窓部２２により封鎖されている。これにより、アルカリ金属が封入される内部空間Ｓが形成されている。なお、図示しないが、内部空間Ｓ内に封入されているアルカリ金属は、一部が気体状で存在し、残部が余剰分として液体状または固体状で存在している。この内部空間Ｓ内に収納されている気体状のアルカリ金属は、励起光ＬＬによって励起される。また、余剰分の液体状または固体状のアルカリ金属は、内部空間Ｓ内に配置されていてもよいし、溝２１２内または後述する孔２３２内に配置されていてもよい。
【００５７】
窓部２２、２３は、それぞれ、板状をなしている。そして、各窓部２２、２３は、前述した光出射部３からの励起光に対する透過性を有している。ここで、一方の窓部２２は、原子セル２の内部空間Ｓ内へ励起光ＬＬが入射する入射側窓部であり、他方の窓部２３は、原子セル２の内部空間Ｓ内から励起光ＬＬが出射する出射側窓部である。
【００５８】
また、窓部２３には、窓部２３の厚さ方向に沿って延びている孔２３２が形成されている。この孔２３２の胴体部２１側の端部が開口していて前述した溝２１２に接続されている。これにより、孔２３２が、溝２１２を介して内部空間Ｓに連通している。一方、孔２３２の胴体部２１とは反対側の端部が融着により形成された封止部２３３により塞がれている。これにより、内部空間Ｓの気密性が確保されている。このような孔２３２は、封止部２３３を底部とし窓部２３の胴体部２１側の面に開口する有底筒状の凹部であるとも言える。
【００５９】
また、窓部２３の胴体部２１とは反対側の面には、胴体部２１および窓部２２、２３が重なる方向から見た平面視（以下、単に「平面視」という）で前述した孔２３２を囲むように環状の凹部２３１が形成されている。これにより、孔２３２を画成する壁部の厚さを薄くすることができる。言い換えると、凹部２３１を設けることによって、孔２３２を中空部とする筒状部を形成することができる。このような筒状部は薄肉であるため、溶着により封止部２３３を容易に形成することができる。
【００６０】
ここで、溝２１２および孔２３２で構成されている空間は、内部空間Ｓに連通している「連通孔」を構成している。この連通孔は、原子セル２の製造に際し、内部空間Ｓにアルカリ金属を導入するための導入孔として用いられ、その導入後に封止部２３３が溶着により形成される。また、この連通孔は、余剰の液体状または固体状のアルカリ金属が配置される「金属溜り部」として用いることもできる。なお、封止部２３３の形成については、後述する原子セル２の製造方法の説明とともに、後に詳述する。また、本明細書において、「溶着」とは、１つの部材の部分同士、または、２つの部材同士を溶融させて一体化または結合させることを言い、本実施形態では、封止部２３３は、後述するように、孔２３２を囲んでいる筒状部の一端開口部を溶融させて塞ぐことにより形成されたものである。
【００６１】
本実施形態では、孔２３２の横断面形状は、円形をなしている。また、凹部２３１の横断面形状は、孔２３２の横断面形状に応じた円環状をなしている。なお、孔２３２の横断面形状は、円形に限定されず、例えば、三角形、四角形、五角形等の多角形、楕円形等であってもよい。また、凹部２３１の横断面形状も、前述したものに限定されず、例えば、内周縁および外周縁の形状がそれぞれ三角形、四角形、五角形等の多角形、楕円形等であってもよく、また、内周縁の形状と外周縁の形状とが異なっていてもよい。また、凹部２３１は、平面視で孔２３２の全周にわたって囲まずに部分的に囲んでいてもよい。
【００６２】
また、孔２３２は、図示では幅が一定であるが、幅が異なる部分を有していてもよい。
また、封止部２３３は、窓部２３の胴体部２１とは反対側の面よりも胴体部２１側に位置している。すなわち、封止部２３３は、窓部２３の胴体部２１とは反対側の面から外側に突出しないように退避して設けられている。これにより、原子セル２の小型化を図ったり、原子セル２の設置の自由度を高めたりすることができる。
【００６３】
また、孔２３２の幅は、特に限定されないが、例えば、５０μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましく、７０μｍ以上５００μｍ以下であることがより好ましい。これにより、原子セル２の小型化を図りつつ、後述する製造工程において、アルカリ金属を孔２３２を通じて内部空間Ｓに比較的容易に導入することができる。
【００６４】
このような窓部２２、２３を構成する材料としては、前述したような励起光に対する透過性を有していれば、特に限定されないが、例えば、ガラス材料、水晶等が挙げられるが、ガラス材料を用いることが好ましい。これにより、胴体部２１をシリコン材料で構成した場合、胴体部２１と窓部２２、２３とを陽極接合により簡単に気密的に接合することができる。なお、窓部２２、２３の厚さや励起光の強度によっては、窓部２２、２３をシリコンで構成することもできる。この場合、胴体部２１をガラス材料で構成し、胴体部２１と窓部２２、２３とを陽極接合してもよいし、胴体部２１をシリコン材料で構成し、胴体部２１と窓部２２、２３とを直接接合してもよい。
【００６５】
以上説明したような原子セル２によれば、封止部２３３が、平面視で胴体部２１と窓部２２または窓部２３との接合部に重なる位置に配置されている。これにより、封止部２３３が平面視で内部空間Ｓと重なることを防止または低減することができる。そのため、胴体部２１と窓部２２、２３とが重なる方向で光を照射したとき、すなわち、窓部２２、２３を励起光の入射側、出射側窓部として用いたとき、封止部２３３で光通過が妨げられることを防止または低減することができる。また、そのように光を照射した際、窓部２２、２３の平滑な板面を光が透過することとなるため、光の散乱が少なく、よって、透過光の強度を低下し難くすることができる。
【００６６】
［光源］
光出射部３（光源）は、原子セル２中のアルカリ金属を励起する励起光ＬＬを出射する機能を有する。
【００６７】
より具体的には、光出射部３は、励起光ＬＬとして、前述したような周波数の異なる２種の光（共鳴光１および共鳴光２）を出射するものである。
【００６８】
共鳴光１は、原子セル２内のアルカリ金属を前述した基底状態１から励起状態へ励起し得るものである。一方、共鳴光２は、原子セル２内のアルカリ金属を前述した基底状態２から励起状態へ励起し得るものである。
【００６９】
この光出射部３としては、前述したような励起光を出射し得るものであれば、特に限定されないが、例えば、垂直共振器面発光レーザー（ＶＣＳＥＬ）等の半導体レーザー等を用いることができる。
【００７０】
なお、図示しないが、光出射部３は、温度調節素子（発熱抵抗体、ペルチェ素子等）により、所定温度に温度調節される。
【００７１】
［光学部品］
複数の光学部品４１、４２、４３、４４は、それぞれ、前述した光出射部３と原子セル２との間における励起光ＬＬの光路上に設けられている。
【００７２】
ここで、光出射部３側から原子セル２側へ、光学部品４１、光学部品４２、光学部品４３、光学部品４４の順に配置されている。
【００７３】
光学部品４１は、レンズである。これにより、励起光ＬＬを無駄なく原子セル２へ照射することができる。
【００７４】
また、光学部品４１は、励起光ＬＬを平行光とする機能を有する。これにより、励起光ＬＬが原子セル２の内壁で反射するのを簡単かつ確実に防止することができる。そのため、原子セル２内での励起光の共鳴を好適に生じさせ、その結果、原子発振器１の発振特性を高めることができる。
【００７５】
光学部品４２は、偏光板である。これにより、光出射部３からの励起光ＬＬの偏光を所定方向に調整することができる。
【００７６】
光学部品４３は、減光フィルター（ＮＤフィルター）である。これにより、原子セル２に入射する励起光ＬＬの強度を調整（減少）させることができる。そのため、光出射部３の出力が大きい場合でも、原子セル２に入射する励起光を所望の光量とすることができる。本実施形態では、前述した光学部品４２を通過した所定方向の偏光を有する励起光ＬＬの強度を光学部品４３により調整する。
【００７７】
光学部品４４は、λ／４波長板である。これにより、光出射部３からの励起光ＬＬを直線偏光から円偏光（右円偏光または左円偏光）に変換することができる。
【００７８】
後述するように磁場発生部８の磁場により原子セル２内のアルカリ金属原子がゼーマン分裂した状態において、仮に直線偏光の励起光をアルカリ金属原子に照射すると、励起光とアルカリ金属原子との相互作用により、アルカリ金属原子がゼーマン分裂した複数の準位に均等に分散して存在することとなる。その結果、所望のエネルギー準位のアルカリ金属原子の数が他のエネルギー準位のアルカリ金属原子の数に対して相対的に少なくなるため、所望のＥＩＴ現象を発現する原子数が減少し、所望のＥＩＴ信号の強度が小さくなり、その結果、原子発振器１の発振特性の低下をもたらす。
【００７９】
これに対し、後述するように磁場発生部８の磁場により原子セル２内のアルカリ金属原子がゼーマン分裂した状態において、円偏光の励起光をアルカリ金属原子に照射すると、励起光とアルカリ金属原子との相互作用により、アルカリ金属原子がゼーマン分裂した複数の準位のうち、所望のエネルギー準位のアルカリ金属原子の数を他のエネルギー準位のアルカリ金属原子の数に対して相対的に多くすることができる。そのため、所望のＥＩＴ現象を発現する原子数が増大し、所望のＥＩＴ信号の強度が大きくなり、その結果、原子発振器１の発振特性を向上させることができる。
【００８０】
［光検出部］
光検出部５は、原子セル２内を透過した励起光ＬＬ（共鳴光１、２）の強度を検出する機能を有する。
【００８１】
この光検出部５としては、上述したような励起光を検出し得るものであれば、特に限定されないが、例えば、太陽電池、フォトダイオード等の光検出器（受光素子）を用いることができる。
【００８２】
［ヒーター］
ヒーター６（加熱部）は、前述した原子セル２（より具体的には原子セル２中のアルカリ金属）を加熱する機能を有する。例えば、原子セル２は、ヒーター６により、７０℃程度に温度調節される。これにより、原子セル２中のアルカリ金属を適切な濃度のガス状に維持することができる。
【００８３】
このヒーター６は、通電（直流）により発熱するものであり、例えば、図示しないが、原子セル２の外表面上に設けられた２つの発熱抵抗体で構成されている。
【００８４】
ここで、一方の発熱抵抗体は、原子セル２の窓部２２（入射側窓部）に設けられ、他方の発熱抵抗体は、原子セル２の窓部２３（出射側窓部）上に設けられている。各窓部２２、２３のそれぞれに発熱抵抗体を配置することにより、原子セル２の窓部２２、２３にアルカリ金属原子が結露するのを防止することができる。その結果、原子発振器１の特性（発振特性）を長期にわたり優れたものとすることができる。
【００８５】
このような発熱抵抗体は、励起光に対する透過性を有する材料、具体的には、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、Ｉｎ３Ｏ３、ＳｎＯ２、Ｓｂ含有ＳｎＯ２、Ａｌ含有ＺｎＯ等の酸化物等の透明電極材料で構成される。
【００８６】
また、発熱抵抗体は、例えば、プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤのような化学蒸着法（ＣＶＤ）、真空蒸着等の乾式メッキ法、ゾル・ゲル法等を用いて形成することができる。
【００８７】
なお、ヒーター６は、原子セル２を加熱することができるものであれば、前述した形態に限定されず、各種ヒーターを用いることができる。また、ヒーター６は、原子セル２に対して非接触であってもよい。また、ヒーター６に代えて、または、ヒーター６と併用して、ペルチェ素子を用いて、原子セル２を加熱してもよい。
【００８８】
［温度センサー］
温度センサー７は、ヒーター６または原子セル２の温度を検出するものである。そして、この温度センサー７の検出結果に基づいて、前述したヒーター６の発熱量が制御される。これにより、原子セル２内のアルカリ金属原子を所望の温度に維持することができる。
【００８９】
なお、温度センサー７の設置位置は、特に限定されず、例えば、ヒーター６上であってもよいし、原子セル２の外表面上であってもよい。
【００９０】
温度センサー７としては、それぞれ、特に限定されず、サーミスタ、熱電対等の公知の各種温度センサーを用いることができる。
【００９１】
［磁場発生部］
磁場発生部８は、原子セル２内のアルカリ金属の縮退した複数のエネルギー準位をゼーマン分裂させる磁場を発生させる機能を有する。これにより、ゼーマン分裂により、アルカリ金属の縮退している異なるエネルギー準位間のギャップを拡げて、分解能を向上させることができる。その結果、原子発振器１の発振周波数の精度を高めることができる。
【００９２】
この磁場発生部８は、例えば、原子セル２を挟むように配置されたヘルムホルツコイル、または、原子セル２を覆うように配置されたソレノイドコイルで構成されている。これにより、原子セル２内に一方向の均一な磁場を生じさせることができる。
【００９３】
また、磁場発生部８が発生する磁場は、定磁場（直流磁場）であるが、交流磁場が重畳されていてもよい。
【００９４】
［制御部］
図１に示す制御部１０は、光出射部３、ヒーター６および磁場発生部８をそれぞれ制御する機能を有する。
【００９５】
この制御部１０は、光出射部３の共鳴光１、２の周波数を制御する励起光制御部１２と、原子セル２中のアルカリ金属の温度を制御する温度制御部１１と、磁場発生部８からの磁場を制御する磁場制御部１３とを有する。
【００９６】
励起光制御部１２は、前述した光検出部５の検出結果に基づいて、光出射部３から出射される共鳴光１、２の周波数を制御する。より具体的には、励起光制御部１２は、（ω１−ω２）が前述したアルカリ金属固有の周波数ω０となるように、光出射部３から出射される共鳴光１、２の周波数を制御する。また、励起光制御部１２は、光出射部３から出射される共鳴光１、２の中心周波数を制御する。
【００９７】
また、励起光制御部１２は、図示しないが、電圧制御型水晶発振器（発振回路）を備えており、その電圧制御型水晶発振器の発振周波数を光検出部５の検知結果に基づいて同期・調整しながら原子発振器１の出力信号として出力する。
【００９８】
また、温度制御部１１は、温度センサー７の検出結果に基づいて、ヒーター６への通電を制御する。これにより、原子セル２を所望の温度範囲内に維持することができる。
【００９９】
また、磁場制御部１３は、磁場発生部８が発生する磁場が一定となるように、磁場発生部８への通電を制御する。
このような制御部１０は、例えば、基板上に実装されたＩＣチップに設けられている。
【０１００】
以上説明したように構成された原子発振器１によれば、前述したように、溶着により形成した封止部２３３を有する原子セル２の透過光の強度を低下し難くすることができる。その結果、原子発振器１の特性を向上させることができる。
【０１０１】
以上説明したように構成された原子発振器１が備える原子セル２は、以下に説明するような製造方法により製造することができる。
【０１０２】
（原子セルの製造方法）
以下、本発明の原子セルの製造方法の一例として、原子セル２の製造方法を説明する。
図６は、図４に示す原子セルの製造方法を説明するための図である。
【０１０３】
原子セル２の製造方法は、［１］孔２３２を介して外部に連通した内部空間Ｓを有する積層構造体２０を準備する準備工程と、［２］孔２３２を通じて内部空間Ｓにアルカリ金属を送入（導入）する導入工程と、［３］孔２３２を溶着により封止する封止工程と、［４］積層構造体２０をダイシングにより個片化する個片化工程と、を有する。以下、各工程を順次説明する。
【０１０４】
［１］準備工程
まず、図６（ａ）に示すように、孔２３２を介して外部に連通した内部空間Ｓを有する積層構造体２０を準備する。
【０１０５】
この積層構造体２０は、窓部２２形成用の基板２０２と、胴体部２１形成用の基板２０１と、窓部２３形成用の基板２０３とがこの順で積層して構成されている。ここで、基板２０１には、複数組の貫通孔２１１および溝２１２が形成され、これに対応して、基板２０３には、複数組の凹部２３１および孔２３２が形成されている。
【０１０６】
ここで、基板２０１および基板２０２からなる構造体（接合体）は、一方の面側に開口している凹部を有する「第１基板」を構成し、また、基板２０３は、その第１基板の凹部側の面に接合されていて、内部空間Ｓを第１基板とともに形成（構成）している「第２基板」を構成していると言える。また、本工程において、孔２３２は、平面視で第１基板と第２基板との接合部に重なる位置に配置されていて外部に開放している開口部を有すると言える。また、基板２０１は、厚さ方向に貫通している貫通孔２１１を有する「第３基板」を構成し、基板２０２は、その第３基板の一方の面に接合されていて凹部を第３基板とともに形成している「第４基板」を構成していると言える。また、本工程において、溝２１２は、第１基板に設けられている「第１孔」を構成し、また、孔２３２は、その第１孔に連通していて第２基板に設けられている「第２孔」を構成しており、各組の溝２１２および孔２３２で構成されている空間は、対応する内部空間Ｓと外部空間とを連通している「連通孔」を構成している。
【０１０７】
また、基板２０１は、前述した胴体部２１と同じ構成材料で構成され、基板２０２、２０３は、前述した窓部２２、２３と同じ構成材料で構成されている。また、基板２０１と基板２０２、２０３とは、胴体部２１と窓部２２、２３との接合と同じ接合方法で接合されている。
【０１０８】
ここで、［１］準備工程において、基板２０２、２０３がそれぞれガラスを含み、基板２０１がシリコンを含んでいることにより、基板２０２、２０３のそれぞれと基板２０１とを陽極接合により簡単に気密接合することができる。
【０１０９】
また、基板２０１の貫通孔２１１および溝２１２の形成は、例えば、エッチング技術およびフォトリソグラフィ技術を用いて簡単かつ高精度に行うことができる。基板２０３の凹部２３１および孔２３２の形成も、例えば、エッチング技術およびフォトリソグラフィ技術を用いて簡単かつ高精度に行うことができる。
【０１１０】
［２］導入工程
次に、図６（ｂ）に示すように、孔２３２を通じて内部空間Ｓにアルカリ金属を導入する。
【０１１１】
具体的には、例えば、積層構造体２０を図示しないチャンバー内に載置し、そのチャンバー内を一旦減圧した後に気体状のアルカリ金属に置換することにより、孔２３２を通じて内部空間Ｓに気体状のアルカリ金属（アルカリ金属ガス）を送入する。
【０１１２】
また、必要に応じて、アルカリ金属ガスの送入と同時、または、アルカリ金属ガスの送入後に、孔２３２を通じて緩衝ガスを内部空間Ｓに送入する。また、アルカリ金属ガスの送入前に、コーティング剤（例えばパラフィン、ポリオルガノシロキサン等）の送入を行ってもよい。
【０１１３】
なお、孔２３２の大きさ等によっては、ニードル等を用いて、孔２３２を通じて内部空間Ｓ内に液体状のアルカリ金属を挿入してもよい。
【０１１４】
［３］封止工程
次に、内部空間Ｓ内にアルカリ金属ガスを導入した状態で、図６（ｃ）に示すように、孔２３２の開口端部を溶着により塞ぐことにより、封止部２３３を形成する。これにより、アルカリ金属ガスが封入された状態で内部空間Ｓが封止される。
【０１１５】
封止部２３３の形成は、例えば、レーザー、火炎（例えばガスバーナー）等を用いて、孔２３２を画成する壁部（筒状部）の開口端部を溶着（加熱溶融）させて塞ぐことにより行う。これにより、容易に封止工程を行うことができる。特に、かかる溶着をレーザーにより行うと、原子セル２の小型化を図っても、容易に封止工程を行うことができる。
【０１１６】
また、封止部２３３の形成後、必要に応じて、積層構造体２０の外表面の洗浄を行って、積層構造体２０の外表面に付着したアルカリ金属等の汚れを除去する。
【０１１７】
［４］個片化工程
次に、例えばダイシングにより、積層構造体２０を個片化する。これにより、図６（ｄ）に示すように、原子セル２が得られる。
【０１１８】
このように、［１］準備工程において、内部空間Ｓおよび連通孔（溝２１２および孔２３２）を複数組有する積層構造体２０を準備し、［３］封止工程の後の［４］個片化工程において、積層構造体２０を内部空間Ｓおよび連通孔の組ごとに個片化することにより、効率的に原子セル２を製造することができる。
【０１１９】
以上説明したような原子セル２の製造方法によれば、前述したような効果を有する原子セル２を得ることができる。
【０１２０】
ここで、基板２０２、２０３を窓部２２、２３として用いることにより、基板２０２、２０３の板面の平滑性を利用して、各窓部２２、２３の光の散乱を効果的に低減することができる。
【０１２１】
また、［１］準備工程において、積層構造体２０は、突出していて孔２３２の開口部を囲んでいる筒状部を有するため、［３］封止工程において、孔２３２の開口部を溶着により容易に塞ぐことができる。これに対し、例えば、凹部２３１を省略した場合、孔２３２の幅等によっては、孔２３２の開口部を溶着させる際の熱が広範囲に及んでしまい、窓部２２、２３の平坦性が損なわれるおそれがある。
【０１２２】
また、［１］準備工程において、基板２０１に設けられている溝２１２と、溝２１２に連通していて基板２０３に設けられている孔２３２とで構成された連通孔を介して、外部と内部空間Ｓとが連通している。これにより、その連通孔の内部空間Ｓ側の端部が平面視で内部空間Ｓと重なることを防止または低減することができる。
【０１２３】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図７は、本発明の第２実施形態に係る原子セルを示す断面図である。
本実施形態は、原子セルの構成が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。
【０１２４】
なお、以下の説明では、第２実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図７において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【０１２５】
本実施形態の原子セル２Ａは、孔２３２と内部空間Ｓとを連通させる孔の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態の原子セル２と同様である。
【０１２６】
原子セル２Ａは、第１実施形態の胴体部２１に代えて、胴体部２１Ａを備えている。この胴体部２１Ａは、内部空間Ｓと孔２３２とを連通させる孔２１２Ａを有する。この孔２１２Ａは、一端（内部空間Ｓ側の端）が貫通孔２１１の側面に開口し、他端（窓部２３側の端）が胴体部２１Ａの窓部２３側の面に開口している。特に、孔２１２Ａの内部空間Ｓ側の端が胴体部２１Ａの厚さ方向での途中に位置している。これにより、孔２１２Ａの開口と各窓部２２、２３との間の距離を大きくすることができる。そのため、孔２１２Ａ内や孔２３２内に液体状のアルカリ金属を配置した場合においても、各窓部２２、２３にアルカリ金属が凝結するのを低減することができる。
【０１２７】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
【０１２８】
図８は、本発明の第３実施形態に係る原子セルを示す断面図である。
本実施形態は、原子セルの構成が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。
【０１２９】
なお、以下の説明では、第３実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図８において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【０１３０】
本実施形態の原子セル２Ｂは、孔２３２と内部空間Ｓとを連通させる孔の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態の原子セル２と同様である。
【０１３１】
原子セル２Ｂは、第１実施形態の胴体部２１および窓部２３に代えて、胴体部２１Ｂおよび窓部２３Ｂを備えている。胴体部２１Ｂは、前述した第１実施形態の溝２１２を省略した以外は、第１実施形態の胴体部２１と同様である。窓部２３Ｂの胴体部２１Ｂ側の面には、孔２３２と内部空間Ｓとを連通させる溝２３４が設けられている。
【０１３２】
このような原子セル２Ｂによれば、胴体部２１Ｂの構成を簡単化することができる。また、溝２３４は、孔２３２と一括して形成することができるため、窓部２３Ｂの製造工程が複雑化することもほとんどない。
【０１３３】
２．電子機器
以上説明したような原子発振器は、各種電子機器に組み込むことができる。このような電子機器は、特性を向上させることができる。
【０１３４】
以下、本発明の電子機器について説明する。
図９は、ＧＰＳ衛星を利用した測位システムに本発明の原子発振器を用いた場合の概略構成を示す図である。
【０１３５】
図９に示す測位システム１００は、ＧＰＳ衛星２００と、基地局装置３００と、ＧＰＳ受信装置４００とで構成されている。
【０１３６】
ＧＰＳ衛星２００は、測位情報（ＧＰＳ信号）を送信する。
基地局装置３００は、例えば電子基準点（ＧＰＳ連続観測局）に設置されたアンテナ３０１を介してＧＰＳ衛星２００からの測位情報を高精度に受信する受信装置３０２と、この受信装置３０２で受信した測位情報をアンテナ３０３を介して送信する送信装置３０４とを備える。
【０１３７】
ここで、受信装置３０２は、その基準周波数発振源として前述した本発明の原子発振器１を備える電子機器である。このような受信装置３０２は、優れた信頼性を有する。また、受信装置３０２で受信された測位情報は、リアルタイムで送信装置３０４により送信される。
【０１３８】
ＧＰＳ受信装置４００は、ＧＰＳ衛星２００からの測位情報をアンテナ４０１を介して受信する衛星受信部４０２と、基地局装置３００からの測位情報をアンテナ４０３を介して受信する基地局受信部４０４とを備える。
【０１３９】
３．移動体
図１０は、本発明の移動体の一例を示す図である。
【０１４０】
この図において、移動体１５００は、車体１５０１と、４つの車輪１５０２とを有しており、車体１５０１に設けられた図示しない動力源（エンジン）によって車輪１５０２を回転させるように構成されている。このような移動体１５００には、原子発振器１が内蔵されている。
このような移動体によれば、特性を向上させることができる。
【０１４１】
なお、本発明の原子発振器を備える電子機器は、前述したものに限定されず、例えば、携帯電話機、ディジタルスチルカメラ、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、パーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター、ラップトップ型パーソナルコンピューター）、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、地上デジタル放送、携帯電話基地局等に適用することができる。
【０１４２】
以上、本発明の原子セル、原子セルの製造方法、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。
【０１４３】
また、本発明は、任意の目的の工程が１または２以上追加されてもよい。また、本発明は、前述した実施形態の同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
【０１４４】
また、本発明は、前述した各実施形態の任意の構成同士を組み合わせるようにしてもよい。
【０１４５】
また、前述した実施形態では、窓部（第２基板）を加工して連通孔の開口部および封止部を形成する場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、ガラス管を胴体部（第１基板）に接合することにより、連通孔の開口部およびその近傍部分を形成してもよい。
【符号の説明】
【０１４６】
１‥‥原子発振器
２‥‥原子セル
２Ａ‥‥原子セル
２Ｂ‥‥原子セル
３‥‥光出射部
５‥‥光検出部
６‥‥ヒーター
７‥‥温度センサー
８‥‥磁場発生部
１０‥‥制御部
１１‥‥温度制御部
１２‥‥励起光制御部
１３‥‥磁場制御部
２０‥‥積層構造体
２１‥‥胴体部
２１Ａ‥‥胴体部
２１Ｂ‥‥胴体部
２２‥‥窓部
２３‥‥窓部
２３Ｂ‥‥窓部
４１‥‥光学部品
４２‥‥光学部品
４３‥‥光学部品
４４‥‥光学部品
１００‥‥測位システム
２００‥‥ＧＰＳ衛星
２０１‥‥基板
２０２‥‥基板
２０３‥‥基板
２１１‥‥貫通孔
２１２‥‥溝
２１２Ａ‥‥孔
２３１‥‥凹部
２３２‥‥孔
２３３‥‥封止部
２３４‥‥溝
３００‥‥基地局装置
３０１‥‥アンテナ
３０２‥‥受信装置
３０３‥‥アンテナ
３０４‥‥送信装置
４００‥‥ＧＰＳ受信装置
４０１‥‥アンテナ
４０２‥‥衛星受信部
４０３‥‥アンテナ
４０４‥‥基地局受信部
１５００‥‥移動体
１５０１‥‥車体
１５０２‥‥車輪
ＬＬ‥‥励起光
Ｓ‥‥内部空間
【図１】
0006488599.tif 000002
【図２】
0006488599.tif 000003
【図３】
0006488599.tif 000004
【図４】
0006488599.tif 000005
【図５】
0006488599.tif 000006
【図６】
0006488599.tif 000007
【図７】
0006488599.tif 000008
【図８】
0006488599.tif 000009
【図９】
0006488599.tif 000010
【図１０】
0006488599.tif 000011