(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
監視対象装置の設置面からの浮上の有無を検出することにより、前記監視対象装置の移設を検知する移設検知装置において、
前記監視対象装置の下端部の前記設置面と接触する位置に設けられるとともに、前記設置面に垂直な方向に移動可能な可動板と、
前記設置面に垂直な面に沿って環状に湾曲させたファイバであって、前記可動板と前記監視対象装置の下端部との間に挟圧されるとともに、前記可動板の移動に伴って前記ファイバの湾曲する曲率が変化するファイバとを有し、
前記ファイバに透過した光の光量を検出して、前記監視対象装置の移設を検知する移設検知装置。
【請求項２】
前記可動板を前記設置面に当接させる方向に付勢する付勢手段を備えた請求項１に記載の移設検知装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は移設検知装置に係り、特に高精度な三次元測定機等の移設を監視する監視対象装置の移設を検知する移設検知装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば高精度な三次元測定機のように、高精度な装置（以下、監視対象装置という）は、不正輸出の管理が厳しく求められており、第三者等により許可無く輸出されてしまうことを防止する必要がある。
【０００３】
そこで、従来では、監視対象装置を設置場所の床に直接固定することなどにより、監視対象装置を物理的にロックして移設を防止している。
【０００４】
また、監視対象装置の移設を検知し、許可無く移設が行われた場合には、監視対象装置の動作を制限するシステムも提案されている（特許文献１、２等）。
【０００５】
監視対象装置の移設を検知する移設検知装置として、例えば、特許文献１には、ジャイロセンサにより監視対象装置の移設に伴う回転を検出することが開示されている。
【０００６】
また、特許文献２には、監視対象装置との床との間に重力により移動する移動体を設置し、監視対象装置の移設に伴う移動体の状態変化をセンサで検出することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第４１７３５１３号公報
【特許文献２】特開２００８−１３４１７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来のように監視対象装置を物理的にロックして移設を防止する方法では、監視対象装置の設置作業に手間を要すると共にロックを破壊すれば移設が可能になってしまうという欠点があった。また、不正に移設が行われた場合に、ソフト的にロックすること、即ち、監視対象装置の動作を制限して実質的に監視対象装置を動作不能にすることができないという問題もあった。
【０００９】
一方、特許文献１や特許文献２に記載のように移設検知装置により監視対象装置の不正な移設を検知した場合に監視対象装置を動作不能にする方法においては、移設検知装置による移設の検知の信頼性が十分ではないという問題がある。
【００１０】
即ち、移設検知装置の検出信号は判断処理部に伝送され、検出信号に基づいて移設が行われたと判断したときに判断処理部は監視対象装置を動作不能とする。その検出信号の伝送は電気信号により行われているため、外部からの電磁波等の影響を受けやすく誤検出を招くおそれがある。
【００１１】
また、移設が検知されてない正常時の検出信号を偽造し、移設検出装置からの検出信号に変えて偽造した検出信号を判断処理部に与えて移設検知装置を無効化してしまうことも全く不可能なことでない。
【００１２】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、信頼性が高く、かつ、簡易な構成の移設検知装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明の一の態様に係る移設検知装置は、監視対象装置の設置面からの浮上の有無を検出することにより、監視対象装置の移設の有無を検知する移設検知装置であって、監視対象装置の下端部の設置面と接触する位置に設けられると共に、設置面に垂直な方向に移動可能に設けられる可動板であって、監視対象装置の設置面からの浮上の有無に応じて監視対象装置の下端部に対して異なる位置に移動する可動板と、設置面に垂直な面に沿って光ファイバが環状に湾曲したファイバ湾曲部であって、可動板と監視対象装置の下端部との間に挟圧されると共に、可動板の移動に伴って光ファイバの湾曲形状の曲率半径が変化するファイバ湾曲部と、ファイバ湾曲部の光ファイバに光を供給する光源と、光源から供給されてファイバ湾曲部の光ファイバを透過した光の光量を検出する光量検出手段と、光量検出手段により検出された光量に基づいて監視対象装置の設置面からの浮上の有無を判断する判断手段と、を備える。
【００１４】
本態様によれば、監視対象装置を所定の場所に設置する際に移設防止のために監視対象装置を物理的にロックする必要がなく、設置作業の手間と時間を軽減することができる。
【００１５】
また、監視対象装置の浮上の有無を光によって検出するため、電磁波などの影響を受け難く、また、光を偽造することが困難であることから、信頼性の高い移設検知が可能となる。
【００１６】
また、監視対象装置の浮上と共に移動する可動板により環状に湾曲した光ファイバを変形させる簡易な構成、及び、その光ファイバに光を供給して光量を検出する簡易な構成によるものであるため、簡易かつ安価な構成とすることができる。
【００１７】
更に、監視対象装置の上下方向の移動のみを検出するものであるため、監視対象装置の横方向の移動の影響を受けない。通常、上下方向の移動は移設を行うとき以外には生じ難く、かつ、地震や衝撃により生じ得る横方向の移動の影響を受けないため、信頼性の高い移設の検知を行うことができる。
【００１８】
本発明の他の態様に係る移設検知装置において、可動板を設置面に当接させる方向に付勢する付勢手段を備えた態様とすることができる。
【００１９】
本発明の更に他の態様に係る移設検知装置において、監視対象装置の下端部に、記設置面に垂直な面に沿って形成された溝であって、ファイバ湾曲部の環状に湾曲した光ファイバを設置面に垂直な面に沿った向きに支持する溝を有する態様とすることができる。
【００２０】
本発明の更に他の態様に係る移設検知装置において、設置面に垂直な保持面に沿って配置され、ファイバ湾曲部の上部側で光ファイバを保持面に沿った方向に保持する上側保持部と、保持面に沿って配置され、ファイバ湾曲部の下部側で光ファイバを保持面に沿った方向に保持する下側保持部と、上側保持部と下側保持部とを連結する連結部であって、弾性変形可能な連結部と、からなるファイバ保持部材を備えた態様とすることができる。
【００２１】
本発明の更に他の態様に係る移設検知装置において、判断手段は、光量検出手段により検出された光量が、監視対象装置が設置面に載置されているときの光量に対して予め決められた閾値以上変化した場合に監視対象装置が設置面から浮上したと判断する態様とすることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、信頼性が高く、かつ、簡易な構成の移設検知装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】移設を監視する監視対象装置である三次元測定機を含む測定システムの全体構成を示した外観図
【図２】移設検知装置の構成を示した構成図であり、三次元測定機が床面に載置されているときの状態を示した図
【図３】移設検知装置の台座センサを下面側から示した底面図
【図４】移設検知装置の構成を示した構成図であり、三次元測定機が床面から浮上しているときの状態を示した図
【図５】浮上の有無を判断する判断処理部での処理の説明に用いた図
【図６】浮上の有無を判断する判断処理部での処理の説明に用いた図
【図７】浮上の有無を判断する判断処理部での処理の説明に用いた図
【図８】ファイバ保持部材の構成を示した正面図
【図９】図８の９−９矢視断面図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２５】
図１は、移設を監視する監視対象装置である三次元測定機を含む測定システムの全体構成を示した外観図である。
【００２６】
同図の測定システム１、三次元測定機２と、コントローラ３と、パーソナルコンピュータ４とを備える。
【００２７】
三次元測定機２は、設置面（床面２００）に設置される架台１０の上側に測定対象物を載置する定盤１２が支持される。
【００２８】
定盤１２の上面側には、上下方向（Ｚ軸方向）に延在する柱状のＺキャリッジ１４が配置され、Ｚキャリッジ１４の下端部に、座標を測定するために測定対象物に接触させる測定子（スタイラス）を有する不図示の測定プローブが取り付けられる。
【００２９】
Ｚキャリッジ１４は、上下方向に移動可能にＸキャリッジ１６に支持されており、Ｘキャリッジ１６は、門型に構成されたＹキャリッジ１８の左右方向（Ｘ軸方向）に架け渡された部分に左右方向に移動可能に支持される。
【００３０】
Ｙキャリッジ１８は、定盤１２の左右両側部に沿って前後方向（Ｙ軸方向）に移動可能に支持される。
【００３１】
これにより、Ｚキャリッジ１４の下端に取り付けられる測定プローブは、Ｘキャリッジ１６、Ｙキャリッジ１８、及びＺキャリッジ１４の各々の移動によりＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動可能に支持される。
【００３２】
パーソナルコンピュータ４は、キーボード等の入力手段からのユーザの入力等にしたがって、測定対象物の三次元形状を測定するための動作プログラムであって、三次元測定機２の各部の動作を決める動作プログラムを設定し、コントローラ３に与える。
【００３３】
コントローラ３は、その動作プログラムに基づいて三次元測定機２に内蔵されるモータ等を制御し、Ｘキャリッジ１６、Ｙキャリッジ１８、及びＺキャリッジ１４の各々を移動させる。また、測定プローブからの検出信号、Ｘキャリッジ１６のＸ軸方向の位置情報、Ｙキャリッジ１８のＹ軸方向の位置情報、及び、Ｚキャリッジ１４のＺ軸方向の位置情報等を取得し、それらの情報をパーソナルコンピュータ４に与える。
【００３４】
パーソナルコンピュータ４は、コントローラ３から取得した情報に基づいて測定対象物の三次元形状を示す情報を生成し、その情報のモニタの出力手段等への出力を行う。
【００３５】
このような測定システム１において、床面２００と、三次元測定機２の下端部との間に移設を検知する移設検知装置が設置される。例えば、三次元測定機２の架台１０は複数本の脚部１０Ａを有しており、それらの脚部１０Ａの下端部には床面２００に当接する台座１０Ｂが取り付けられる。それらの台座１０Ｂのうちのいずれか１つ又は複数の台座１０Ｂが移設検知装置を構成する台座センサ３２に置き換えられる。
【００３６】
移設検知装置についての詳細は後述するが、この移設検知装置により移設が検知されると、コントローラ３は、三次元測定機２の動作を制限し、また、パーソナルコンピュータ４における三次元測定機２に関するプログラムの動作を制限する。これによって、実質的に、測定システム１（三次元測定機２）の動作が不能となる。
【００３７】
なお、測定システム１の動作を不能するための手段はどのようなものであってもよい。
【００３８】
また、動作不能になった測定システム１は、不正な移設でなければ、所定のパスワードの入力などによりメーカ等が動作可能にすることができる。
【００３９】
次に、移設検知装置について説明する。
【００４０】
図２は、移設検知装置の構成を示した構成図である。
【００４１】
同図に示す移設検知装置３０は、架台１０の脚部１０Ａの下端部に図１に示した台座１０Ｂとして設置される矩形状の台座センサ３２と、図１に示したコントローラ３の内部の移設センサ用基板３４に実装された判断処理部３６、ＬＥＤ光源３８、及び光量センサ４０と、台座センサ３２とコントローラ３とを接続するケーブル４２とから構成される。
【００４２】
図２の台座センサ３２の正面図に対して、図３には台座センサ３２の下面側から示した底面図が示されており、これらの図２及び図３に示すように、台座センサ３２は、架台１０の脚部１０Ａの下端部に固定される支持体５０であって、略正方形の上面５０Ｕ及び下面５０Ｂと、それらの上面５０Ｕと下面５０Ｂの一辺の長さよりも高さが短い矩形状の支持体５０を有する。
【００４３】
支持体５０の上面５０Ｕ側には、上下方向に対して直交する断面が略正方形の凹部５２が形成され、その凹部５２に架台１０の脚部１０Ａの下端部が嵌合されて接着又はネジ止め等により脚部１０Ａの下端部に支持体５０が固定される。
【００４４】
支持体５０の下面５０Ｂ側には、上下方向に対して直交する断面が略正方形の凹部５４が形成され、その凹部５４により、支持体５０の下面５０Ｂに略正方形の開口５４Ａが形成されると共に、支持体５０の内部に略正方形の内部上面５４Ｕが形成される。
【００４５】
内部上面５４Ｕの四隅には、付勢手段の一形態であるバネ７０が嵌入されてバネ７０の上端が固着されるバネ設置穴５６が形成される。これらのバネ設置穴５６に固着される各バネ７０は、力が加えられない状態では下端が凹部５４の開口５４Ａよりも下側に突出する長さを有する。
【００４６】
各バネ７０の先端には、可動板６０が固着される。可動板６０は、凹部５４の開口５４Ａと略同一の大きさで略正方形の板面形状を有しており、凹部５４に挿入可能に配置される。
【００４７】
また、支持体５０の内部には、コントローラ３から繋がるケーブル４２の端部及びケーブル４２の端部に連設されるファイバ湾曲部８０が収容される。
【００４８】
これらのケーブル４２の端部及びファイバ湾曲部８０は、支持体５０の内部上面５４Ｕに形成されたファイバ収容部５８に挿入配置される。ファイバ収容部５８は、支持体５０の下面５０Ｂ（床面２００）及び内部上面５４Ｕに対して垂直な面に沿って細幅で形成された溝であり、また、ケーブル４２の端部が挿入される部分よりもファイバ湾曲部８０が収容される支持体５０の中央部分において上下方向に深い溝となっている。
【００４９】
ファイバ湾曲部８０は、一本からなる光ファイバ８２（又は複数本を束ねてなる一群の光ファイバ）をファイバ湾曲部８０において折り返すことにより構成され、ケーブル４２の被覆部材に覆われた光ファイバ８２の往路部８４と復路部８６の各々の端部の間を繋ぐ環状に湾曲した部分であって，ケーブル４２の被覆部材から露出した部分に相当する。
【００５０】
ファイバ湾曲部８０において光ファイバ８２は、一つの平面（接触平面）に沿って湾曲しており、ファイバ湾曲部８０の上部がファイバ収容部５８の内部に挿入配置され、ファイバ湾曲部８０の下部の光ファイバ８２は可動板６０に当接する。これによって、ファイバ湾曲部８０における光ファイバ８２は、支持体５０と可動板６０とに挟圧される。
【００５１】
また、ファイバ湾曲部８０の上部がファイバ収容部５８の内部に挿入配置されることで、ファイバ湾曲部８０は、接触平面に垂直な方向への動きや接触平面に含まれる任意方向の軸周りの回転が規制され、支持体５０の下面５０Ｂ（床面２００）に垂直な平面（前後方向に垂直な平面）に沿った状態に配置される。
【００５２】
以上のごとく構成された台座センサ３２によれば、三次元測定機２が床面２００に載置されているとき、即ち、台座センサ３２に架台１０の脚部１０Ａから三次元測定機２の重量による大きな力が加えられているときには、図２のように可動板６０の下面６０Ｂが床面２００に当接して可動板６０がバネ７０の付勢力に抗して支持体５０の凹部５４の内部に進入する。そして、可動板６０の下面６０Ｂと、支持体５０の凹部５４の周囲の下面５０Ｂとが床面２００に当接して面一の状態に設定される。
【００５３】
このとき、ファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２は、可動板６０により上側に押圧されて上下方向に押し潰され、ファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２の中央部分の曲率半径、即ち、ファイバ湾曲部８０の先端部分の曲率半径が最小となる。そのファイバ湾曲部８０の先端部分の曲率半径は、可動板６０に押圧されていないときのファイバ湾曲部８０の任意の位置での曲率半径と比べて小さくなる。
【００５４】
一方、三次元測定機２が床面２００から浮上したとき、即ち、架台１０の脚部１０Ａが上側に動かされたときには、図４に示すように支持体５０の下面５０Ｂが床面２００から浮上する。そして、可動板６０がバネ７０の付勢力により凹部５４から押し出されて開口５４Ａよりも下側に突出した位置、即ち、可動板６０の下面６０Ｂが支持体５０の下面５０Ｂよりも下側に突出した位置に移動する。
【００５５】
なお、三次元測定機２の浮上量、即ち、支持体５０の下面５０Ｂと床面２００との距離が所定の閾値以下の間は、可動板６０の下面６０Ｂが床面２００に当接した状態となり、浮上量がその閾値を超えると可動板６０も床面２００から離間し、台座センサ３２が設置された位置に関しては三次元測定機２が完全に浮上した状態となる。
【００５６】
このとき、可動板６０により上下方向に押し潰されていたファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２は、可動板６０の下側への移動と共に上下方向に拡がる。そして、ファイバ湾曲部８０の先端部分の曲率半径が、浮上量の増加と共に大きくなり、少なくとも、三次元測定機２が床面２００に載置されているときと比べて大きくなる。なお、可動板６０の下面６０Ｂが床面２００に接触した状態にある間は、浮上量の増加と共にファイバ湾曲部８０の先端部分の曲率半径が大きくなる。一方、可動板６０が床面２００から離間した後は、浮上量が増加してもファイバ湾曲部８０の先端部分の曲率半径に変化が生じなくなる。
【００５７】
以上のことから、後述のように光ファイバ８２の往路部８４からファイバ湾曲部８０に供給される光がファイバ湾曲部８０を透過（通過）して光ファイバ８２の復路部８６に帰還する光の光量は、ファイバ湾曲部８０の先端部分の曲率半径が大きくなることに起因して、三次元測定機２が床面２００に載置されたときよりも三次元測定機２が床面２００から浮上したときの方が大きくなる。そして、後述のように復路部８６から帰還した光の光量を検出し、その変化を検出することで、三次元測定機２が浮上したか否か（浮上の有無）を検出することができ、三次元測定機２の移設を検知することができる。
【００５８】
なお、以下において、ファイバ湾曲部８０における光ファイバ８２の最小の曲率半径を、単にファイバ湾曲部８０（ファイバ湾曲部８０における光ファイバ８２）の曲率半径という。
【００５９】
また、可動板６０は、三次元測定機２の床面２００からの浮上の際に、バネ７０の付勢力により下側に移動するのではなく、自重のみにより移動するものとしてもよい。
【００６０】
続いて、図１のコントローラ３の移設センサ用基板３４に実装された判断処理部３６、ＬＥＤ光源３８、及び光量センサ４０について説明すると、図２〜図４のように、ファイバ湾曲部８０に連設されるケーブル４２、即ち、ファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２の両端から延設され、被覆部材で覆われた光ファイバ８２の往路部８４と復路部８６は、支持体５０のファイバ収容部５８から支持体５０の側面開口５８Ａを介して支持体５０の外部に延出され、コントローラ３の移設センサ用基板３４へと導かれる（図１参照）。
【００６１】
そして、移設センサ用基板３４において、往路部８４の光ファイバ８２の端部はＬＥＤ光源３８に接続され、復路部８６の光ファイバ８２の端部は光量検出手段である光量センサ４０に接続される（図２参照）。なお、ＬＥＤ光源３８は、例えば電池からの電力により発光する。また、ＬＥＤ光源３８はＬＥＤ以外の種類の光源としてもよい。
【００６２】
これによれば、ＬＥＤ光源３８から出射された光は、光ファイバ８２に入射し、光ファイバ８２の往路部８４、ファイバ湾曲部８０、及び復路部８６を順に伝搬して光量センサ４０に受光される。光量センサ４０は、受光した光の光量を検出し、その検出光量に応じた値の電気信号を検出信号として判断手段である判断処理部３６に出力する。
【００６３】
判断処理部３６は、光量センサ４０により検出された検出光量を光量センサ４０からの検出信号により取得し、取得した検出光量に基づいて、三次元測定機２が浮上したか否かを判断する。そして、三次元測定機２が浮上したと判断した場合に、三次元測定機２の移設が検知されたとして、上述のように測定システム１（三次元測定機２）の動作を不能にする処理を実施するコントローラ３の不図示の制御部に通知する。
【００６４】
三次元測定機２の浮上の有無を判断する判断処理部３６の処理について説明する。図５は、浮上の有無の検出を開始してからの経過時間ｔに対する光量センサ４０の検出光量ｙの変化の様子を示し、経過時間ｔａまでは三次元測定機２が床面２００に載置され、時間ｔａから三次元測定機２が浮上し始めたときの様子を示す。
【００６５】
三次元測定機２が床面２００に載置されているときには、上述のように台座センサ３２におけるファイバ湾曲部８０の曲率半径が小さいため、ファイバ湾曲部８０を透過する光の光量が少なく、図５のように検出開始時である経過時間０から経過時間ｔａまでの検出光量ｙは小さい値ｙａとなる。
【００６６】
一方、三次元測定機２が床面２００から浮上したときには、上述のように台座センサ３２におけるファイバ湾曲部８０の曲率半径が浮上量の増加に伴い徐々に大きくなるため、図５のように検出光量ｙが経過時間ｔａから徐々に増加する。そして、三次元測定機２が床面２００から完全に浮上した経過時間ｔｂ以後、即ち、台座センサ３２の可動板６０が床面２００から離間した経過時間ｔｂ以後において、検出光量ｙは略一定値ｙｂとなる。
【００６７】
このような三次元測定機２の浮上量に対する検出光量ｙの変化に基づき、判断処理部３６は、光量センサ４０から得られた検出光量ｙが、三次元測定機２が床面２００に載置されているときの光量ｙａに対して、所定の閾値ｙｃ以上変化したか否かによって、三次元測定機２が床面２００から浮上したか否かを判断する。
【００６８】
即ち、光量ｙａに対する検出光量ｙの変化量ｄｙが事前に決められた閾値ｙｃ以上の場合に、三次元測定機２が床面２００から浮上したと判断し、光量ｙａに対する検出光量ｙの変化量ｄｙが閾値ｙｃ未満の場合に、三次元測定機２が床面２００から浮上していない（三次元測定機２が床面２００に載置されている）と判断する。
【００６９】
ここで、閾値ｙｃは、三次元測定機２が床面２００に載置されているときの光量ｙａと、三次元測定機２が床面２００から完全に浮上したときの光量ｙｂとの差ｙｄ（＝ｙｂ−ｙａ）よりも少なくとも小さい値に設定される。閾値ｙｃが小さいほど、三次元測定機２の浮上に対する検出感度を高くすることができる。
【００７０】
また、三次元測定機２が床面２００に載置されているときの検出光量である光量ｙａは、例えば検出開始時（経過時間０）の検出光量ｙ、所定の経過時間での検出光量ｙ、又は、予め決められた値とすることができる。
【００７１】
一方、ファイバ湾曲部８０の曲率半径の経時的変化やＬＥＤ光源３８の出射光量の経時的変化などにより変動する場合があり、例えば図６の曲線ａ、ｂのように時間の経過と共に増加する場合や減少する場合がある。
【００７２】
そのため、光量ｙａに対する検出光量ｙの変化量ｄｙを求めるために三次元測定機２が床面２００に載置されているときの光量ｙａとして特定の経過時間での検出光量や、予め決められた値のような一定値を用いると、次のような誤判断を招く可能性がある。なお、光量ｙａを経過時間０での検出光量ｙａ０とした場合で説明する。
【００７３】
曲線ａのように経時的変化により光量ｙａが増加した場合、光量ｙａ０に対する検出光量ｙの変化量ｄｙが、その経時的変化によって閾値ｙｃを超えてしまう可能性がある。このとき、三次元測定機２が床面２００に載置されているにもかかわらず、三次元測定機２が床面２００から浮上したと判断されるため、誤判断となる。
【００７４】
また、曲線ｂのように経時的変化により光量ｙａが減少した場合において、例えば、経過時間ｔａにおいて三次元測定機２が床面２００から浮上し始めて経過時間ｔｂにおいて完全に浮上したとする。このとき、経過時間０での検出光量ｙａ０を光量ｙａとして変化量ｄｙを求めると、光量ｙａが経時的変化により減少しているために変化量ｄｙが閾値ｙｃを超えない可能性がある。このとき、三次元測定機２が浮上しているにもかかわらず、三次元測定機２が床面２００から浮上していないと判断されるため、誤判断となる。
【００７５】
そこで、これらの誤判断を防止するための判断処理部３６の判断処理として、光量ｙａに対する検出光量ｙの変化量ｄｙは、その検出光量ｙを検出した時点から所定時間ｔｃ前の時点までの間に検出された検出光量のうちの最小の検出光量を光量ｙａとして算出するようにしてもよい。
【００７６】
または、光量ｙａに対する検出光量ｙの変化量ｄｙとして、その検出光量ｙを検出した時点から所定時間ｔｃ前の時点までの間に検出された検出光量のうちの最小の検出光量と最大の検出光量との差を変化量ｄｙとしてもよい。これによって上述のような誤判断を防止することができる。
【００７７】
ただし、時間ｔｃが長すぎると、その時間内に生じる光量ｙａの経時的変化によって上述の誤判断が生じる可能性があり、時間ｔｃが短すぎると、三次元測定機２が床面２００から浮上したことによる検出光量の変化が変化量ｄｙに適切に反映されず、三次元測定機２が床面２００から浮上しているにもかかわらず、三次元測定機２が床面２００から浮上していないと判断してしまう可能性がある。したがって、時間ｔｃはこのようなことを考慮して設定することが望ましい。
【００７８】
また、三次元測定機２が床面２００に載置されているときの検出光量ｙは、地震や衝撃（物の衝突等）などによって図７の曲線ａのように短時間で増減するパルス状の変動が１又は複数回断続的に発生する場合がある。
【００７９】
このとき、光量ｙａに対する検出光量ｙの変化量ｄｙが瞬時的に閾値ｙｃを超える可能性があり、この場合に三次元測定機２が床面２００から浮上していると判断することは、移設を検知する目的において誤判断となる。
【００８０】
そこで、このような誤判断を防止するための判断処理部３６の判断処理として、上述のような判断処理により三次元測定機２が床面２００から浮上しているという判断結果が所定の閾値ｔｄ以上の時間において継続した場合に、三次元測定機２が床面２００から浮上しているという最終判断を行うようにしてもよい。即ち、光量ｙａに対する検出光量ｙの変化量ｄｙが、閾値ｔｄ以上の時間において継続して閾値ｙｃ以上となった場合に三次元測定機２が床面２００から浮上していると判断するようにしてもよい。
【００８１】
ただし、本実施の形態の移設検知装置３０は、地震や衝撃による影響がほとんど生じない三次元測定機２の上下方向の動きを台座センサ３２を用いて検出して移設を検知するものであり、かつ、地震や衝撃によって三次元測定機２の前後左右方向への動きが生じた場合であっても、その影響を受けない構成となっているため、三次元測定機２の浮上の有無の判断にこのような条件を付加することは必ずしも要しない。
【００８２】
以上、上記実施の形態の移設検知装置３０によれば、三次元測定機２を所定の場所に設置する際に移設防止のために三次元測定機２を物理的にロックする必要がなく、設置作業の手間と時間を軽減することができる。
【００８３】
また、三次元測定機２の浮上の有無の検出のために台座センサ３２の内部及びケーブル４２（伝送路）において電気信号を使用せずに光を使用しているため、外部からの電磁波等の影響がなく、また、正常時の検出信号を偽造して移設検知装置の移設の検知を無効化するということも困難であるため、信頼性の高い移設検知が可能となる。
【００８４】
また、台座センサ３２には電気回路が含まれず、簡易な機械的な機構と光ファイバとによって構成されるため、移設検知装置３０を簡易且つ安価な構成とすることができる。
【００８５】
以上、上記実施の形態では、台座センサ３２において、ファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２を支持体５０に形成された溝（ファイバ収容部５８）に直接的に挿入配置することにより、ファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２を支持体５０の下面５０Ｂ（床面２００）に垂直な面に沿って配置するものとしたが、これに限らない。例えば、図８及び図９に示すファイバ保持部材１００でファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２を保持して支持体５０の内部に配置することで、ファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２を支持体５０の下面５０Ｂ（床面２００）に垂直な面に沿って配置するようにしてもよい。
【００８６】
ファイバ保持部材１００について説明すると、図８に示すようにファイバ保持部材１００は、略平行に延在する上側保持部１０２及び下側保持部１０４と、上側保持部１０２と下側保持部１０４とを連結する連結部１０６であって、弾性変形可能な弾性体により形成された連結部１０６とから構成される。なお、上側保持部１０２、下側保持部１０４、及び連結部１０６は一体形成されたものであってもよいし、別体のものであってもよい。
【００８７】
上側保持部１０２と下側保持部１０４とは、支持体５０の下面５０Ｂ（床面２００）に垂直な面（保持面）に沿って支持体５０の内部に配置される。たとえば、上記実施の形態において支持体５０に形成されたファイバ収容部５８と同様の溝に上側保持部１０２と連結部１０６の一部が挿入配置して固定される。ただし、支持体５０に形成された空洞部の壁面に上側保持部１０２等の支持体５０の一部を固定するだけでもよい。
【００８８】
また、上側保持部１０２と下側保持部１０４とには、図８における９−９矢視断面図である図９に示すように、光ファイバ８２を収容保持するガイド溝１０２Ａ、１０４Ａが形成される。これによって、上側保持部１０２は、ファイバ湾曲部８０の上部側で光ファイバ８２を保持面に沿った方向に保持し、下側保持部１０４は、ファイバ湾曲部８０の上部側で光ファイバ８２を保持面に沿った方向に保持する。
【００８９】
なお、上側保持部１０２及び下側保持部１０４の各々のガイド溝１０２Ａ、１０４Ａ内において光ファイバ８２を固着してもよいし、光ファイバ８２をガイド溝内に挿入させただけでもよい。
【００９０】
これによれば、下側保持部１０４は、図２に示した可動板６０に当接し、三次元測定機２が床面２００に載置されているときには、下側保持部１０４が可動板６０により上方に押圧されると共に連結部１０６が弾性変形して下側保持部１０４が上側に移動する。これによって、ファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２が上下方向に押し潰される。このとき、ファイバ湾曲部８０の上部側と下部側の光ファイバ８２が上側保持部１０２と下側保持部１０４によってガイド溝１０２Ａ、１０４Ａの内部に保持されているため、ファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２は保持面に沿った湾曲形状を保持しながら変形する。
【００９１】
また、三次元測定機２が床面２００から浮上したときには、連結部１０６の復元力により下側保持部１０４が可動板６０と共に下側に移動する。これによって、下側保持部１０４により上下方向に押し潰されていたファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２は、下側保持部１０４の下側への移動と共に上下方向に拡がる。このときにおいても、ファイバ湾曲部８０の上部側と下部側の光ファイバ８２が上側保持部１０２と下側保持部１０４によってガイド溝１０２Ａ、１０４Ａの内部に保持されているため、ファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２は保持面に沿った湾曲形状を保持しながら変形する。
【００９２】
このように、ファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２をファイバ保持部材１００により保持することで、ファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２の変形を支持体５０の下面５０Ｂ（床面２００）に直交する面内での変形に規制することができる。したがって、三次元測定機２の浮上に起因する可動板６０の上下方向の移動を適切に検出することができる。また、地震等によって三次元測定機２に横揺れが生じたときであっても、それによってファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２が変形することがなく、三次元測定機２の浮上以外によって移設と判断される誤検知が確実に防止される。
【００９３】
以上、上記実施の形態において、台座センサ３２の支持体５０は、架台１０の脚部１０Ａの下端部に一体形成されたものとすること、即ち、脚部１０Ａの下端部に上記実施の形態の支持体５０の構成を設けてもよい。
【００９４】
また、上記実施の形態において、台座センサ３２においてファイバ湾曲部８０の光ファイバ８２は、支持体５０の下面５０Ｂ（床面２００）に垂直な面に沿って配置されるが、環状に湾曲した光ファイバ８２の全体に接触する接触平面が支持体５０の下面５０Ｂ（床面２００）に垂直である場合のみを示すものではない。接触平面の向きが支持体５０の下面５０Ｂ（床面２００）に対して垂直でなくても、支持体５０の下面５０Ｂに対して垂直となる成分を有するような配置であればよい。ただし、接触平面が支持体５０の下面５０Ｂ（床面２００）に垂直であることが最も望ましい。
【００９５】
また、上記実施の形態では、移設検知装置３０により移設を監視する監視対象装置として三次元測定機２を例示したが、移設検知装置３０は、任意の種類の監視対象装置の移設の監視に用いることができる。
【符号の説明】
【００９６】
１…測定システム、２…三次元測定機、３…コントローラ、４…パーソナルコンピュータ、１０…架台、１０Ａ…脚部、１０Ｂ…台座、１２…定盤、１４…Ｚキャリッジ、１６…Ｘキャリッジ、１８…Ｙキャリッジ、３０…移設検知装置、３２…台座センサ、３４…移設センサ用基板、３６…判断処理部、３８…ＬＥＤ光源、４０…光量センサ、４２…ケーブル、５０…支持体、５６…バネ設置穴、５８…ファイバ収容部、６０…可動板、７０…バネ、８０…ファイバ湾曲部、８２…光ファイバ、８４…往路部、８６…復路部、１００…ファイバ保持部材、１０２…上側保持部、１０２Ａ，１０４Ａ…ガイド溝、１０４…下側保持部、１０６…連結部、２００…床面
【図１】
0006446764.tif 000002
【図２】
0006446764.tif 000003
【図３】
0006446764.tif 000004
【図４】
0006446764.tif 000005
【図５】
0006446764.tif 000006
【図６】
0006446764.tif 000007
【図７】
0006446764.tif 000008
【図８】
0006446764.tif 000009
【図９】
0006446764.tif 000010