(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面状の１対の主面において、Ｘ軸方向が長手方向となっているとともに当該長手方向の長さが１ｍｍ未満のＡＴカット水晶素板であって、
前記１対の主面それぞれの外縁は、
Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている１対の主面短辺と、
Ｚ′軸方向において互いに対向しており、前記１対の主面短辺間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である１対の主面長辺と、を有しており、
前記１対の主面短辺の長さが互いに異なっている
水晶素板。
【請求項２】
水晶素板と、
前記水晶素板の両主面に位置している１対の励振電極と、
を有しており、
前記水晶素板は、平面状の１対の主面において、Ｘ軸方向が長手方向となっているとともに当該長手方向の長さが１ｍｍ未満のＡＴカット水晶素板であり、
前記１対の主面それぞれの外縁は、
Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている１対の主面短辺と、
Ｚ′軸方向において互いに対向しており、前記１対の主面短辺間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である１対の主面長辺と、を有しており、
前記１対の励振電極それぞれは、
Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている１対の電極短辺と、
Ｚ′軸方向において互いに対向しており、前記１対の電極短辺間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である１対の電極長辺と、を有しており、
前記１対の励振電極の中心は、前記１対の主面長辺の曲率中心に対して、Ｘ軸方向においてずれている
水晶振動素子。
【請求項３】
Ｚ′軸方向の同一側に位置する主面長辺と電極長辺とは、曲率中心の位置がＸ軸方向において互いに異なっている
請求項２に記載の水晶振動素子。
【請求項４】
水晶素板と、
前記水晶素板の両主面に位置している１対の励振電極と、
を有しており、
前記水晶素板は、平面状の１対の主面において、Ｘ軸方向が長手方向となっているとともに当該長手方向の長さが１ｍｍ未満のＡＴカット水晶素板であり、
前記１対の主面それぞれの外縁は、
Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている１対の主面短辺と、
Ｚ′軸方向において互いに対向しており、前記１対の主面短辺間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である１対の主面長辺と、を有しており、
前記１対の励振電極それぞれは、
Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている１対の電極短辺と、
Ｚ′軸方向において互いに対向しており、前記１対の電極短辺間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である１対の電極長辺と、を有しており、
Ｚ′軸方向の同一側に位置する主面長辺と電極長辺において、前記電極長辺の曲率中心が前記主面長辺の曲率中心よりもＺ′軸方向に関してこれら長辺側に位置している
水晶振動素子。
【請求項５】
水晶素板と、
前記水晶素板の両主面に位置している１対の励振電極と、
を有しており、
前記水晶素板は、平面状の１対の主面において、Ｘ軸方向が長手方向となっているとともに当該長手方向の長さが１ｍｍ未満のＡＴカット水晶素板であり、
前記１対の主面それぞれの外縁は、
Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている１対の主面短辺と、
Ｚ′軸方向において互いに対向しており、前記１対の主面短辺間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である１対の主面長辺と、を有しており、
前記１対の励振電極から前記１対の主面の外縁へ延び出ている１対の引出電極を有しており、
前記１対の主面短辺のうち一方は他方よりも長く、
前記１対の励振電極の中心は、前記１対の主面短辺間の中央位置よりも前記１対の主面短辺のうち長い主面短辺側に位置しており、
前記１対の引出電極は、前記１対の主面短辺のうち短い主面短辺側に向かって延び出ている
水晶振動素子。
【請求項６】
請求項２〜５のいずれか１項に記載の水晶振動素子と、
前記水晶振動素子が実装されている実装基体と、
を有している水晶デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動子又は水晶発振器等の水晶デバイス、当該水晶デバイスに用いられる水晶振動素子、及び当該水晶振動素子に用いられる水晶素板に関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶素板として、いわゆるＡＴカット板が知られている。ＡＴカット水晶素板は、その両主面に設けられた１対の励振電極によって電圧が印加されることによって、いわゆる厚みすべり振動を生じ、この振動が発振に利用される。厚みすべり振動は、水晶素板の厚さによって周波数が規定される。
【０００３】
特許文献１では、厚みすべり振動のうちオーバートーン振動を利用する概略矩形状のＡＴカット水晶素板において、１対の長辺を折れ線状乃至は円弧状にすることを提案している。特許文献１では、長辺を円弧状にすることによって、長辺側の側面（ＸＹ′面）における高次輪郭振動が抑制され、ひいては、その高次輪郭振動が厚みすべりオーバートーン振動と結合することによる特性低下が抑制されるとしている。なお、特許文献１では、水晶素板の大きさとして、厚さ０．１００ｍｍ、長さ６ｍｍ、最大幅２ｍｍ及び最小幅１ｍｍを例示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１９５６４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
水晶の振動モードとして屈曲振動が知られている。ＡＴカット水晶素板においては、屈曲振動は、その周波数が厚みすべり振動の周波数よりも十分に低く、厚みすべり振動と結合しにくい。しかし、水晶素板が小型化されると、屈曲振動の周波数が高くなり、屈曲振動が厚みすべり振動に結合しやすくなる。特に、厚みすべり振動のうち基本波振動を用いる場合においては、基本波振動の周波数はオーバートーン振動の周波数よりも低いことから、屈曲振動が厚みすべり振動に結合することによる特性の低下が生じやすい。
【０００６】
従って、屈曲振動の厚みすべり振動に対する結合を低減可能なＡＴカット水晶素板、水晶振動素子及び水晶デバイスが提供されることが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る水晶素板は、平面状の１対の主面において、Ｘ軸方向が長手方向となっているとともに当該長手方向の長さが１ｍｍ未満のＡＴカット水晶素板であって、前記１対の主面それぞれの外縁は、Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている１対の主面短辺と、Ｚ′軸方向において互いに対向しており、前記１対の主面短辺間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である１対の主面長辺と、を有している。
【０００８】
好適には、前記水晶素板は、前記１対の主面の外周を囲むメサ部を有しており、平面視における前記メサ部の外縁は、Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている１対のメサ短辺と、Ｚ′軸方向において互いに対向しており、前記１対のメサ短辺間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である１対のメサ長辺と、を有している。
【０００９】
好適には、前記１対の主面短辺の長さが互いに異なっている。
【００１０】
本発明の一態様に係る水晶振動素子は、上記の水晶素板と、前記水晶素板の両主面に位置している１対の励振電極と、を有している。
【００１１】
好適には、前記１対の励振電極の中心は、前記１対の主面長辺の曲率中心に対して、Ｘ軸方向においてずれている。
【００１２】
好適には、前記１対の励振電極それぞれは、Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている１対の電極短辺と、Ｚ′軸方向において互いに対向しており、前記１対の電極短辺間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である１対の電極長辺と、を有している。
【００１３】
好適には、Ｚ′軸方向の同一側に位置する主面長辺と電極長辺とは、曲率中心の位置がＸ軸方向において互いに異なっている。
【００１４】
好適には、Ｚ′軸方向の同一側に位置する主面長辺と電極長辺において、前記電極長辺の曲率中心が前記主面長辺の曲率中心よりもＺ′軸方向に関してこれら長辺側に位置している。
【００１５】
好適には、前記水晶振動素子は、前記１対の励振電極から前記１対の主面の外縁へ延び出ている１対の引出電極を有しており、前記１対の主面短辺のうち一方は他方よりも長く、前記１対の励振電極の中心は、前記１対の主面短辺間の中央位置よりも前記１対の主面短辺のうち長い主面短辺側に位置しており、前記１対の引出電極は、前記１対の主面短辺のうち短い主面短辺側に向かって延び出ている。
【００１６】
本発明の一態様に係る水晶振動子は、上記の水晶振動素子と、前記水晶振動素子が実装されている実装基体と、を有している。
【発明の効果】
【００１７】
上記の構成によれば、屈曲振動の厚みすべり振動に対する結合を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る水晶振動子の概略構成を示す分解斜視図。
【図２】図２は図１の水晶振動子のII−II線における断面図。
【図３】図３（ａ）は図１の水晶振動子の水晶振動素子を示す平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）の水晶振動素子の作用効果を説明するための平面図。
【図４】図４（ａ）は第２実施形態に係る水晶振動素子を示す平面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のIVｂ−IVｂ線における断面図。
【図５】図５（ａ）は第３実施形態に係る水晶振動素子を示す平面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）の水晶振動素子の作用効果を説明するための平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。
【００２０】
第２の実施形態に以降において、既に説明した構成と同一又は類似する構成については、既に説明した構成と同一の符号を付すことがあり、また、説明を省略することがある。
【００２１】
＜第１実施形態＞
（水晶振動子の概略構成）
図１は、本発明の第１実施形態に係る水晶振動子１（以下、「水晶」は省略することがある。）の概略構成を示す分解斜視図である。また、図２は、図１のII−II線における断面図である。
【００２２】
振動子１は、例えば、全体として、概略、薄型の直方体状とされる電子部品であり、その寸法は適宜に設定されてよい。例えば、比較的小さいものでは、長辺又は短辺の長さが１〜２ｍｍであり、厚さが０．２〜０．４ｍｍである。
【００２３】
振動子１は、例えば、凹部３ａが形成された素子搭載部材３と、凹部３ａに収容された水晶振動素子５（以下、「水晶」は省略することがある。）と、凹部３ａを塞ぐ蓋部材７とを有している。凹部３ａは蓋部材７により封止され、その内部は、例えば、真空とされ、又は、適宜なガス（例えば窒素）が封入されている。
【００２４】
素子搭載部材３は、例えば、素子搭載部材３の主体となる基体９と、振動素子５を実装するための素子搭載パッド１１と、振動子１を不図示の回路基板等に実装するための外部端子１３とを有している。基体９は、セラミック等の絶縁材料からなり、上記の凹部３ａを構成している。素子搭載パッド１１及び外部端子１３は、例えば、金属等からなる導電層により構成されており、基体９内に配置された導体（図２。符号省略）によって互いに接続されている。蓋部材７は、例えば、金属から構成され、素子搭載部材３の上面にシーム溶接等により接合されている。
【００２５】
振動素子５は、例えば、水晶素板１５と、水晶素板１５に電圧を印加するための１対の励振電極１７と、振動素子５を素子搭載パッド１１に実装するための１対の引出電極１９とを有している。
【００２６】
水晶素板１５は、いわゆるＡＴカット水晶素板である。すなわち、図１に示すように、水晶において、Ｘ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）及びＺ軸（光軸）からなる直交座標系ＸＹＺを、Ｘ軸回りに３５°１５′回転させて直交座標系ＸＹ′Ｚ′を定義したときに、ＸＺ′平面に平行に切り出された板状である。従って、水晶素板１５は、ＸＺ′平面に平行な１対の主面１５ｙを有している。本実施形態の水晶素板１５は、いわゆるメサ型のものではなく、外周面はＹ′軸に平行である。ただし、外周面は、水晶のエッチングに対する異方性等に起因して、若干の傾斜や凸部を有していてもよい。
【００２７】
１対の励振電極１７及び１対の引出電極１９は、例えば、振動素子５の両主面のいずれを凹部３ａの底面側としてもよいように、水晶素板１５の中心を通り、Ｘ軸方向に平行に延びる中心線Ｋｘ（図３（ａ）参照）に関して１８０°回転対称の形状に形成されている。
【００２８】
１対の励振電極１７は、例えば、水晶素板１５の両主面１５ｙの中央側に（すなわち両主面１５ｙの外縁から離れて）層状に設けられている。１対の引出電極１９は、例えば、１対の励振電極１７からＸ軸方向（正負のいずれでもよい。）に延び出ており、１対の主面１５ｙのＸ軸方向外周側にパッド（拡幅した部分。符号省略）を有している。引出電極１９のパッドは、例えば、主面１５ｙのＺ′軸方向の縁部（長辺１５ｚ）に到達するまで拡幅している。
【００２９】
振動素子５は、主面１５ｙを凹部３ａの底面に対向させて凹部３ａに収容される。引出電極１９のパッドは、バンプ２１（図２）により素子搭載パッド１１に接合される。これにより、振動素子５は、素子搭載部材３に片持ち梁のように支持される。また、１対の励振電極１７は、１対の素子搭載パッド１１と電気的に接続され、ひいては、複数の外部端子１３のいずれか２つと電気的に接続される。バンプは、例えば、導電性接着剤からなる。
【００３０】
このようにして構成された振動子１は、例えば、不図示の回路基板の実装面に素子搭載部材３の下面を対向させて配置され、外部端子１３が半田などにより回路基板のパッドに接合されることによって回路基板に実装される。回路基板には、例えば、発振回路２３（図２）が構成されている。発振回路２３は、外部端子１３及び素子搭載パッド１１を介して１対の励振電極１７に交流電圧を印加して発振信号を生成する。この際、発振回路２３は、例えば、水晶素板１５の厚みすべり振動のうち基本波振動を利用する。
【００３１】
（水晶振動素子の平面形状の詳細）
図３（ａ）は、振動素子５を示す平面図である。
【００３２】
なお、中心Ｃ０は、水晶素板１５の中心（図形重心）である。中心Ｃ１は、励振電極１７の中心（図形重心）である。中心線Ｋｘは、中心Ｃ０（又はＣ１）を通り、Ｘ軸に平行な直線である。中心線Ｋｚ０は、後述する１対の短辺１５ｘの中間位置（１対の短辺１５ｘに対する距離が等しい位置）にあるＺ′軸に平行な直線であり、本実施形態では中心Ｃ０を通る。中心線Ｋｚ１は、後述する１対の短辺１７ｘの中間位置（１対の短辺１７ｘに対する距離が等しい位置）にあるＺ′軸に平行な直線であり、本実施形態では中心Ｃ１を通る。
【００３３】
（水晶素板の平面形状）
水晶素板１５（主面１５ｙ）は、概略、長手方向をＸ軸方向とする長方形に形成されている。すなわち、主面１５ｙは、Ｘ軸方向において互いに対向する１対の短辺１５ｘと、Ｚ′軸方向において互いに対向し、１対の短辺１５ｘの両端同士をつなぐ（１対の短辺１５ｘ間に亘って延びる）１対の長辺１５ｚとを有している。なお、用語「辺」は、厳密には直線であるが、本実施形態では便宜上、直線以外であってもよいものとする。
【００３４】
主面１５ｙの平面形状は、例えば、Ｘ軸に平行な中心線Ｋｘに関して線対称の形状とされているとともに、Ｚ′軸に平行な中心線Ｋｚ０に関して線対称の形状とされている。別の観点では、１対の短辺１５ｘは、中心線Ｋｚ０に関して互いに線対称であり（位置、長さ及び形状が等しい）、１対の長辺１５ｚは、中心線Ｋｘに対して互いに線対称である（位置、長さ及び形状が等しい）。
【００３５】
短辺１５ｘは、Ｚ′軸に平行な直線状である。一方、長辺１５ｚは、その全体が外側に膨らむ曲線状となっている。曲線は、円弧、正弦波の一部、２次曲線又は３次曲線など、適宜な曲線とされてよい。また、曲線の曲率は一定であってもよいし、変化してもよい。以下では、主として、円弧の場合を例にとって説明するものとする。
【００３６】
上述のように、１対の長辺１５ｚは、中心線Ｋｘに関して互いに線対称である。別の観点では、長辺１５ｚが円弧の場合、１対の長辺１５ｚは、その半径（別の観点では曲率）が互いに等しく、また、その円の中心の、１対の短辺１５ｘに対するＸ軸方向の位置は互いに等しい。また、上述のように、水晶素板１５の平面形状は、中心線Ｋｚ０に関して線対称の形状であり、ひいては、各長辺１５ｚは、中心線Ｋｚ０に対して線対称の形状である。別の観点では、長辺１５ｚが円弧の場合、その円の中心は、中心線Ｋｚ０上に位置している。
【００３７】
なお、長辺１５ｚと短辺１５ｘとが交差する角部は、直線又は曲線によって面取り（例えば長辺１５ｚの１／１０以下の長さでの面取り）がなされていてもよい。また、水晶のエッチングに対する異方性に起因するエッチングの誤差などの製造誤差によって、長辺１５ｚに若干の直線部分が生じたり、主面１５ｙが非対称の形状になったりしてもよい。本実施形態においては、このような面取りや製造誤差は、長辺１５ｚが１対の短辺１５ｘ間に亘って延びること、その延びる全体が外側に膨らむ曲線状であること、又は、主面１５ｙの形状が線対称であること等の要件を否定する事由とはならないものとする。他の部材又は部位の位置関係及び形状についても同様に、製造誤差等は無視されてよい。
【００３８】
水晶素板１５の各種寸法は適宜に設定されてよい。例えば、長さＬ（Ｘ軸方向）は０．６ｍｍ以上０．９ｍｍ未満である。また、例えば、最大幅Ｗmax（Ｚ′軸方向）は０．４ｍｍ以上０．６ｍｍ未満である。また、例えば、最大幅Ｗmaxと最小幅（符号省略）との差の１／２（ｄＷ）は、２０μｍ以上４０μｍ以下である。別の観点では、例えば、幅の差ｄＷは、最大幅Ｗmaxの１／３０以上１／１０以下、又は、１／２０以上１／１３以下である。
【００３９】
なお、厚みすべり振動と結合しやすい屈曲振動は、ＸＹ′平面を見たときの屈曲振動（厚み屈曲振動）である。厚さが比較的小さいＡＴカット水晶素板においては、厚み屈曲振動の周波数は、Ｘ軸方向の長さの２乗に略反比例する。そして、Ｘ軸方向の長さが１ｍｍ未満であると、屈曲振動の周波数は、比較的高くなり、厚みすべり振動のうちの基本波振動の周波数に近づく。ひいては、屈曲振動が厚みすべり振動に結合しやすくなる。
【００４０】
（励振電極の形状）
励振電極１７の平面形状は、例えば、水晶素板１５の平面形状に類似した形状とされている。具体的には、例えば、以下のとおりである。
【００４１】
励振電極１７は、概略、長手方向をＸ軸方向とする長方形に形成されている。すなわち、励振電極１７は、Ｘ軸方向において互いに対向する１対の短辺１７ｘと、Ｚ′軸方向において互いに対向し、１対の短辺１７ｘの両端同士をつなぐ（１対の短辺１７ｘ間に亘って延びる）１対の長辺１７ｚとを有している。
【００４２】
励振電極１７の平面形状は、例えば、Ｘ軸に平行な中心線Ｋｘに関して線対称の形状とされているとともに、Ｚ′軸に平行な中心線Ｋｚ１に関して線対称の形状とされている。別の観点では、１対の短辺１７ｘは、中心線Ｋｚ１に関して互いに線対称であり（位置、長さ及び形状が等しい）、１対の長辺１７ｚは、中心線Ｋｘに対して互いに線対称である（位置、長さ及び形状が等しい）。
【００４３】
短辺１７ｘは、Ｚ′軸に平行な直線状である。一方、長辺１７ｚは、その全体が外側に膨らむ曲線状となっている。長辺１７ｚにおいて曲線の種類（円弧、正弦波の一部、２次曲線又は３次曲線など）及び曲率（一定か否か）が適宜に設定されてよいことは、水晶素板１５の長辺１５ｚと同様である。また、長辺１７ｚの曲線の種類及び／又は曲率は長辺１５ｚと同一であってもよいし、異なっていてもよい。以下では、長辺１５ｚと同様に、主として、長辺１７ｚが円弧の場合を例にとって説明するものとする。
【００４４】
上述のように、１対の長辺１７ｚは、中心線Ｋｘに関して互いに線対称である。別の観点では、例えば、長辺１７ｚが円弧の場合、１対の長辺１７ｚは、その半径（別の観点では曲率）が互いに等しく、また、その円の中心の、１対の短辺１７ｘに対するＸ軸方向の位置は互いに等しい。また、上述のように、励振電極１７の平面形状は、中心線Ｋｚ１に関して線対称の形状であり、ひいては、各長辺１７ｚは、中心線Ｋｚ１に対して線対称の形状である。別の観点では、例えば、長辺１７ｚが円弧の場合、その円の中心は、中心線Ｋｚ１上に位置している。
【００４５】
なお、励振電極１７の角部が面取りされてもよいこと等は、主面１５ｙと同様である。
【００４６】
Ｚ′軸方向において、励振電極１７は、例えば、主面１５ｙの中央に位置している。すなわち、励振電極１７の中心Ｃ０は、主面１５ｙの中心Ｃ０を通り、Ｘ軸に平行な中心線Ｋｘ上に位置している。一方、Ｘ軸方向において、励振電極１７は、例えば、主面１５ｙに対して自由端（引出電極１９とは反対側の端部）寄りに位置している。すなわち、励振電極１７の中心Ｃ１（中心線Ｋｚ１）は、主面１５ｙの中心Ｃ０（中心線Ｋｚ０）よりも自由端側へずれている。
【００４７】
また、別の観点では、長辺１７ｚの曲率中心（本実施形態では中心線Ｋｚ１上に位置する）は、Ｚ′軸方向の同一側に位置する長辺１５ｚの曲率中心（本実施形態では中心線Ｋｚ０上に位置する）からＸ軸方向において自由端側へずれている。なお、本実施形態では、長辺１７ｚ及び長辺１５ｚは円弧であるので、曲率中心は円弧の中心である。長辺が円弧でない場合においては、例えば、長辺上において適宜に設定した比較的多数のサンプリング位置について最小２乗法によって円弧の近似曲線を求め、その近似した円弧の中心を曲率中心とすればよい。
【００４８】
また、Ｚ′軸方向の同一側に位置する長辺１７ｚ及び長辺１５ｚにおいて、長辺１７ｚの曲率中心は、長辺１５ｚの曲率中心に対してＺ′軸方向のこれら長辺側へずれている。従って、長辺１７ｚの曲率は、長辺１７ｚが長辺１５ｚと同心円状の場合に比較して、曲率が大きく（曲率半径が小さく）なっている。
【００４９】
長辺１７ｚの曲率中心がＺ′軸方向の同一側に位置する長辺１５ｚの曲率中心に対して、Ｘ軸方向及び／又はＺ′軸方向においてずれていることから、長辺１７ｚと長辺１５ｚとは同心円状でない。別の観点では、長辺１７ｚ上の複数位置の、長辺１５ｚに対する距離（最短距離）は、一定ではなくなっている。
【００５０】
図３（ｂ）は、長辺１５ｚが外側へ膨らむ曲線状であることによる作用を説明するための、長辺１５ｚ付近の模式図な平面図である。
【００５１】
既述のように、ＡＴカット水晶素板において、屈曲振動の周波数は水晶素板１５のＸ軸方向の長さの２乗に略反比例することから、Ｘ軸方向の長さを短くしていくと、屈曲振動の周波数が厚みすべり振動の基本波振動の周波数に近づき、ひいては、屈曲振動が厚みすべり振動に結合しやすくなる。
【００５２】
しかし、長辺１５ｚが外側に膨らむ曲線状であると、長さＬ０〜Ｌ２の寸法線で示すように、水晶素板１５のＸ軸方向の長さは、Ｚ′軸方向の位置に応じて変化する。ひいては、屈曲振動の周波数が長辺１５ｚの周辺で分散する。その結果、屈曲振動が一定の周波数で大きくなって厚みすべり振動に強く結合するおそれが低減される。ひいては、ＣＩ（クリスタルインピーダンス）値の増加等の特性低下のおそれが低減される。
【００５３】
また、ＡＴカット水晶素板においては、主面１５ｙの平面視における輪郭振動も生じ得る。この輪郭振動も、その周波数が厚みすべり振動の周波数に近づくと、厚みすべり振動に結合しやすくなる。この輪郭振動の周波数は、平面視における主面１５ｙの寸法によって規定されており、Ｚ′軸方向の寸法は、輪郭振動が厚みすべり振動に結合しないように設定されている。ただし、製造時の誤差によって、輪郭振動の周波数が意図した周波数からはずれ、厚みすべり振動に結合するおそれがある。
【００５４】
しかし、長辺１５ｚが外側に膨らむ曲線状であると、Ｘ軸方向の位置によってＺ′軸方向の寸法が変化し、又は、Ｚ′軸方向の位置によってＸ軸方向の寸法（Ｌ０〜Ｌ２参照）が変化することになる。ひいては、輪郭振動の周波数が分散する。その結果、輪郭振動が一定の周波数で大きくなって厚みすべり振動に強く結合するおそれが低減される。ひいては、ＣＩ値の増加等の特性低下のおそれが低減される。別の観点では、Ｚ′軸方向の寸法ばらつきが水晶素板１５の特性に及ぼす影響が低減される。
【００５５】
以上のとおり、本実施形態に係る水晶素板１５では、平面状の１対の主面１５ｙは、Ｘ軸方向が長手方向となっているとともに当該長手方向の長さが１ｍｍ未満のＡＴカット水晶素板である。１対の主面１５ｙそれぞれの外縁は、１対の短辺１５ｘ及び１対の長辺１５ｚを有している。１対の短辺１５ｘは、Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている。１対の長辺１５ｚは、Ｚ′軸方向において互いに対向しており、１対の短辺１５ｘ間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である。
【００５６】
別の観点では、本実施形態に係る振動素子５は、上記のような本実施形態に係る水晶素板１５と、当該水晶素板１５の両主面１５ｙに位置している１対の励振電極１７とを有している。
【００５７】
さらに別の観点では、本実施形態に係る振動子１は、上記のような本実施形態に係る振動素子５と、当該振動素子５が実装された素子搭載部材３とを有している。
【００５８】
従って、本実施形態に係る水晶素板１５、振動素子５及び振動子１においては、例えば、図３（ｂ）を参照して説明したように、長辺１５ｚが外側に膨らむ曲線状であることによって、厚み屈曲振動及びＸＺ′平面を見たときの輪郭振動が厚みすべり振動に結合するおそれが低減される。その結果、例えば、ＣＩ値が大きくなったり、周波数温度特性が変化したりするおそれが低減される。また、例えば、Ｚ′軸方向の寸法のばらつきが特性に及ぼす影響が低減される。その一方で、短辺１５ｘは直線状であることから、例えば、短辺１５ｘも曲線状にした場合に比較して、引出電極１９の配置領域の確保を容易にしたり、短辺１５ｘを位置合わせに用いたりすることができる。
【００５９】
また、本実施形態に係る振動素子５及び振動子１では、１対の励振電極１７の中心Ｃ１は、１対の長辺１５ｚの曲率中心（中心線Ｋｚ０参照）に対して、Ｘ軸方向においてずれている。
【００６０】
この態様では、長辺１５ｚの複数位置（例えば寸法線Ｌ０〜Ｌ２の両端の位置）における励振電極１７に対する距離や向きが中心線Ｋｚ１に関して非対称になる。その結果、長辺１５ｚを境界条件とする輪郭振動又は屈曲振動が、厚みすべり振動を生じている励振電極１７直下の領域に及ぼす影響が分散される。ひいては、不要な振動が厚みすべり振動に強く結合するおそれが低減される。
【００６１】
また、本実施形態に係る振動素子５及び振動子１では、１対の励振電極１７それぞれは、１対の短辺１７ｘ及び１対の長辺１７ｚを有している。１対の短辺１７ｘは、Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている。１対の長辺１７ｚは、Ｚ′軸方向において互いに対向しており、１対の短辺１７ｘ間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である。
【００６２】
すなわち、励振電極１７は、主面１５ｙに類似した形状である。従って、例えば、１対の励振電極１７が矩形である態様（当該態様も本願発明に含まれる）に比較して、長辺１７ｚが外側に膨らんでいる分だけ、励振電極１７を広くすることができる。その一方で、励振電極１７の外縁と主面１５ｙの外縁とが局所的に近づくことが抑制される。その結果、水晶素板１５の広い範囲で励振を行いつつ、エネルギー閉じ込め効果を得ることができる。すなわち、小型の振動素子５において効率的に振動を生じさせることができる。
【００６３】
また、本実施形態に係る振動素子５及び振動子１では、Ｚ′軸方向の同一側に位置する長辺１５ｚの曲率中心（中心線Ｋｚ０上に位置する）と長辺１７ｚの曲率中心（中心線Ｋｚ１上に位置する）とはＸ軸方向における位置が互いに異なっている。
【００６４】
従って、例えば、長辺１５ｚの複数位置（例えば寸法線Ｌ０〜Ｌ２の両端の位置）における長辺１７ｚに対する距離や向きが中心線Ｋｚ１に関して非対称になる。その結果、励振電極１７の中心Ｃ１を中心線Ｋｚ０に対してずらしたことと同様に、長辺１５ｚを境界条件とする輪郭振動又は屈曲振動が、厚みすべり振動を生じている励振電極１７直下の領域に及ぼす影響が分散される。また、例えば、中心線Ｋｚ１が中心線Ｋｚ０に対してずれた側とは反対側においては、短辺１５ｘと短辺１７ｘとの距離が大きくなるから、引出電極１９のパッドを設ける面積を確保したり、固定端が厚みすべり振動に及ぼす影響を低減したりすることが容易化される。
【００６５】
また、本実施形態に係る振動素子５及び振動子１では、Ｚ′軸方向の同一側に位置する長辺１５ｚと長辺１７ｚにおいて、長辺１７ｚの曲率中心が長辺１５ｚの曲率中心よりもＺ′軸方向に関してこれら長辺側に位置している。
【００６６】
従って、例えば、励振電極１７は、長辺１７ｚが長辺１５ｚの同心円状である態様（当該態様も本願発明に含まれる）に比較して、長辺１５ｚ側へ突出しているかのような形状になる。その結果、例えば、厚みすべり振動が生じる領域を広げることができる。その一方で、励振電極１７が突出する領域は、輪郭振動や屈曲振動の周波数が分散されやすい領域であることから、輪郭振動や屈曲振動が厚みすべり振動に及ぼす影響は抑制される。すなわち、小型の振動素子５において効率的に厚みすべり振動を生じさせることができる。また、例えば、長辺１５ｚの端部側において長辺１７ｚと長辺１５ｚとの距離が大きくなることから、引出電極１９のパッドを設ける面積を確保したり、固定端が厚みすべり振動に及ぼす影響を低減したりすることが容易化される。
【００６７】
＜第２実施形態＞
図４（ａ）は、第２実施形態に係る水晶振動素子２０５を示す平面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）のIVｂ−IVｂ線における断面図である。
【００６８】
振動素子２０５は、例えば、第１実施形態の振動素子５と同様に、素子搭載部材３に実装された水晶振動子を構成するものである。また、振動素子２０５は、第１実施形態の振動素子５と同様に、水晶素板２１５、１対の励振電極２１７及び１対の引出電極２１９を有している。ただし、振動素子２０５は、第１実施形態の振動素子５と異なり、外周面が外側に凸状となる、いわゆるメサ型の振動素子として構成されている。具体的には、以下のとおりである。
【００６９】
水晶素板２１５は、平面状の１対の主面２１５ｙを構成する本体部（符号省略）と、当該１対の主面２１５ｙの外縁同士をつなぐ外周面（符号省略）を構成するメサ部２２５とを有している。
【００７０】
主面２１５ｙは、第１実施形態の主面１５ｙと同様に、概略矩形状であり、直線状に延びる１対の短辺２１５ｘと、当該１対の短辺２１５ｘ間に亘って延びる全体が外側に膨らむ曲線状である１対の長辺２１５ｚとを有している。その詳細も概ね主面１５ｙと同様であり、説明は省略する。
【００７１】
メサ部２２５は、例えば、１対の主面２１５ｙを構成する本体部の外周面から突出するフランジによって構成されている。メサ部２２５の厚さは、１対の主面２１５ｙを構成する本体部の厚さよりも小さく、かつ一定である。当該厚さの具体的な大きさ（寸法）は適宜に設定されてよい。メサ部２２５の位置は、例えば、１対の主面２１５ｙ間の中央位置である。メサ部２２５の広さは適宜に設定されてよい。メサ部２２５の突出方向頂面（Ｙ′軸方向に沿う面）は、平面状であってもよいし、曲面状であってもよいし、結晶面からなる１又は２以上の傾斜面によって構成されていてもよい。
【００７２】
メサ部２２５の外形の平面形状は、例えば、水晶素板２１５の平面形状と同様に、直線状の短辺２２５ｘと、曲線状の長辺２２５ｚとを有する形状とされている。なお、ここでいう平面形状は、平面視した（Ｙ′軸方向に見た）ときの形状であり、メサ部２２５の突出方向頂面がＹ′軸に平行な平面でない態様では、例えば、メサ部２２５の最も外側に位置する部分によって規定される。ただし、製造誤差は除外してよい。メサ部２２５の平面形状は、具体的には、例えば、以下のとおりである。
【００７３】
メサ部２２５は、概略、長手方向をＸ軸方向とする長方形に形成されている。すなわち、メサ部２２５は、Ｘ軸方向において互いに対向する１対の短辺２２５ｘと、Ｚ′軸方向において互いに対向し、１対の短辺２２５ｘの両端同士をつなぐ（１対の短辺２２５ｘ間に亘って延びる）１対の長辺２２５ｚとを有している。
【００７４】
メサ部２２５の平面形状は、例えば、Ｘ軸に平行な中心線Ｋｘに関して線対称の形状とされているとともに、Ｚ′軸に平行な中心線Ｋｚ０に関して線対称の形状とされている。別の観点では、１対の短辺２２５ｘは、中心線Ｋｚ０に関して互いに線対称であり（位置、長さ及び形状が等しい）、１対の長辺２２５ｚは、中心線Ｋｘに対して互いに線対称である（位置、長さ及び形状が等しい）。
【００７５】
短辺２２５ｘは、Ｚ′軸に平行な直線状である。一方、長辺２２５ｚは、その全体が外側に膨らむ曲線状となっている。長辺２２５ｚにおいて曲線の種類（円弧、正弦波の一部、２次曲線又は３次曲線など）及び曲率（一定か否か）が適宜に設定されてよいことは、主面２１５ｙの長辺２１５ｚと同様である。また、長辺２２５ｚの曲線の種類及び／又は曲率は長辺２１５ｚと同一であってもよいし、異なっていてもよい。以下では、長辺２１５ｚと同様に、主として、長辺２２５ｚが円弧の場合を例にとって説明するものとする。
【００７６】
上述のように、１対の長辺２２５ｚは、中心線Ｋｘに関して互いに線対称である。別の観点では、例えば、長辺２２５ｚが円弧の場合、１対の長辺２２５ｚは、その半径（別の観点では曲率）が互いに等しく、また、その円の中心の、１対の短辺２２５ｘに対するＸ軸方向の位置は互いに等しい。また、上述のように、メサ部２２５の外形の平面形状は、中心線Ｋｚ０に関して線対称の形状であり、ひいては、各長辺２２５ｚは、１対の短辺２２５ｘの中間に位置し、Ｚ軸に平行な中心線（本実施形態では主面２１５ｙの中心線Ｋｚ０と同一。以下、Ｋｚ０の符号を参照する。）に対して線対称の形状である。別の観点では、例えば、長辺２２５ｚが円弧の場合、その円の中心は、中心線Ｋｚ０上に位置している。
【００７７】
なお、メサ部２２５の角部が面取りされてもよいこと等は、主面２１５ｙと同様である。
【００７８】
Ｚ′軸方向において、主面２１５ｙは、例えば、メサ部２２５の外形の平面形状の中央に位置している。換言すれば、主面２１５ｙのＸ軸に平行な中心線Ｋｘと、メサ部２２５のＸ軸に平行な中心線とは同一であり、また、主面１５ｙのＺ′軸に平行な中心線Ｋｚ０と、メサ部２２５のＺ′軸に平行な中心線とは同一である。
【００７９】
励振電極２１７の平面形状は、例えば、第１実施形態の励振電極１７と同様に、直線状の短辺２１７ｘ及び曲線状の長辺２１７ｚを有する形状とされている。長辺２１７ｚにおける曲線の種類及び曲率が適宜に設定されてよいこと、長辺２１７ｚにおける曲線の種類及び曲率と主面２１５ｙの長辺２１５ｚの曲線の種類及び曲率との関係が適宜に設定されてよいこと、励振電極２１７の平面形状が中心線Ｋｘ及び／又はＫｚ０に対して線対称の形状とされてよいこと等は、第１実施形態の励振電極１７と同様である。
【００８０】
励振電極２１７は、例えば、第１実施形態の励振電極１７とは異なり、Ｚ′軸方向だけでなく、Ｘ軸方向においても主面２１５ｙの中央に位置している。例えば、励振電極２１７の中心は、主面２１５ｙの中心（中心線Ｋｘと中心線Ｋｚ０との交点）に位置している。また、長辺２１７ｚの曲率中心と長辺２１５ｚの曲率中心とは、例えば、互いに同一の位置にあり、長辺２１７ｚと長辺２１５ｚとは同心円状となっている。
【００８１】
１対の引出電極２１９は、例えば、第１実施形態の１対の引出電極１９と同様に、１対の励振電極２１７からＸ軸方向に延び出ており、また、Ｚ′軸方向に拡幅して形成されたパッド（符号省略）を有している。ただし、引出電極２１９は、例えば、第１実施形態とは異なり、主面２１５ｙではなく、メサ部２２５の主面にパッドを有している。引出電極２１９のパッドは、例えば、メサ部２２５の長辺２２５ｚに到達するまで拡幅している。
【００８２】
以上のとおり、本実施形態においても、第１実施形態と同様に、１対の主面２１５ｙそれぞれの外縁は、１対の短辺２１５ｘ及び１対の長辺２１５ｚを有している。１対の短辺２１５ｘは、Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている。１対の長辺２１５ｚは、Ｚ′軸方向において互いに対向しており、１対の短辺２１５ｘ間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である。従って、第１実施形態と同様の効果が奏される。すなわち、屈曲振動及び／又は輪郭振動の厚みすべり振動に対する結合が低減される。
【００８３】
また、本実施形態に係る水晶素板２１５、振動素子２０５及び当該振動素子２０５を備える振動子（図１参照）は、１対の主面２１５ｙの外周を囲むメサ部２２５を有している。平面視におけるメサ部２２５の外縁は、１対の短辺２２５ｘ及び１対の長辺２２５ｚを有している。１対の短辺２２５ｘは、Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている。１対の長辺２２５ｚは、Ｚ′軸方向において互いに対向しており、１対の短辺２２５ｘ間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である。
【００８４】
従って、例えば、メサ部２２５においても、主面２２５ｙ（本体部）と同様に、屈曲振動及び／又は輪郭振動が分散される。また、例えば、主面２２５ｙとメサ部２２５との境界においては、Ｘ軸方向の長さが不連続に大きく変化するから、屈曲振動及び／又は輪郭振動の周波数がより分散される。その結果、不要な振動が厚みすべり振動に強く結合するおそれが低減される。
【００８５】
＜第３実施形態＞
図５（ａ）は、第３実施形態に係る水晶振動素子３０５を示す平面図である。
【００８６】
振動素子３０５は、例えば、第１実施形態の振動素子５と同様に、メサ部を有さない振動素子として構成されている。また、水晶素板３１５の主面３１５ｙは、第１実施形態の主面１５ｙと同様に、直線状の１対の短辺３１５ｘ及び曲線状の１対の長辺３１５ｚを有している。さらに、励振電極３１７は、第１実施形態の励振電極１７と同様に、直線状の１対の短辺３１７ｘ及び曲線状の１対の長辺３１７ｚを有している。
【００８７】
ただし、本実施形態では、主として、長辺３１５ｚの曲率中心の位置が第１実施形態と相違する。具体的には、例えば、以下のとおりである。
【００８８】
中心線Ｋｚ０は、第１実施形態と同様に、１対の短辺３１５ｘの中間に位置し、Ｚ′軸に平行な線である。第１実施形態では、長辺１５ｚの曲率中心がこの中心線Ｋｚ０上に位置したのに対して、本実施形態の長辺３１５ｚの曲率中心は、中心線Ｋｚ０から自由端側（１対の引出電極３１９とは反対側）へずれている。
【００８９】
従って、主面３１５ｙは、中心線Ｋｚ０に対して非対称の形状となっている。すなわち、各長辺３１５ｚは、中心線Ｋｚ０に対して非対称の形状となっており、また、自由端側の短辺３１５ｘは、固定端側の短辺３１５ｘよりも長くなっている（幅Ｗｆ＞幅Ｗｍ）。
【００９０】
より具体的には、例えば、長辺３１５ｚの曲率中心は、中心線Ｋｚ１上に位置している。中心線Ｋｚ１は、第１実施形態と同様に、励振電極３１７の１対の短辺３１７ｘの中間に位置し、Ｚ′軸に平行な線である。
【００９１】
なお、励振電極３１７の長辺３１７ｚの曲率中心は、例えば、第１実施形態と同様に、中心線Ｋｚ１上に位置している。別の観点では、長辺３１７ｚの曲率中心は、長辺３１５ｚの曲率中心とＸ軸方向における位置が同一である。長辺３１７ｚの曲率中心と長辺３１５ｚの曲率中心とのＺ軸方向における位置は、例えば、同一である。
【００９２】
図５（ｂ）は、本実施形態の作用を説明するための図３（ｂ）と同様の模式図であり、長辺３１５ｚ付近の平面図である。
【００９３】
長辺３１５ｚが外側に膨らむ曲線状であることから、第１実施形態と同様に、長さＬ３０〜Ｌ３３の寸法線で示すように、水晶素板３１５のＸ軸方向の長さは、Ｚ′軸方向の位置に応じて変化する。これにより、第１実施形態と同様の作用が得られる。すなわち、厚み屈曲振動及び／又は主面３１５ｙの平面視における輪郭振動の周波数が長辺３１５ｚの周辺で分散し、これら不要な振動が厚みすべり振動に強く結合するおそれが低減される。
【００９４】
また、１対の短辺３１５ｘの長さが互いに異なっていることから、長い方の短辺３１５ｘが短い方の短辺３１５ｘからＺ′軸方向にはみ出した部分において、寸法線Ｌ３０〜Ｌ３２の中間位置が互いにずれている。例えば、寸法線Ｌ３０の中間位置と寸法線Ｌ３１の中間位置とはＸ軸方向において互いにずれている。従って、例えば、複数の寸法線Ｌ３０〜Ｌ３２の位置における厚み屈曲振動の基本波の節が互いに一致することが抑制されるなど、複数位置の異なる周波数の厚み屈曲振動が部分的に結合するおそれが低減される。ひいては、厚み屈曲振動がより分散され、厚みすべり運動に強く結合するおそれが低減される。
【００９５】
以上のとおり、本実施形態においても、第１実施形態と同様に、１対の主面３１５ｙそれぞれの外縁は、１対の短辺３１５ｘ及び１対の長辺３１５ｚを有している。１対の短辺３１５ｘは、Ｘ軸方向において互いに対向しており、Ｚ′軸方向へ直線状に延びている。１対の長辺３１５ｚは、Ｚ′軸方向において互いに対向しており、１対の短辺３１５ｘ間に亘って延びている全体が外側に膨らんでいる曲線状である。従って、第１実施形態と同様の効果が奏される。すなわち、屈曲振動及び／又輪郭振動の厚みすべり振動に対する結合が低減される。
【００９６】
また、本実施形態では、１対の短辺３１５ｘの長さが互いに異なっている。
【００９７】
従って、例えば、図５（ｂ）を参照して説明したように、屈曲振動の両端の境界条件の中間位置（寸法線Ｌ３０〜Ｌ３２の中間位置）がＸ軸方向にずれる。その結果、屈曲振動がより分散され、屈曲振動が厚みすべり振動に強く結合するおそれが低減される。
【００９８】
また、本実施形態に係る振動素子３０５及び当該振動素子を備える振動子（図１参照）は、１対の励振電極３１７から主面３１５ｙの外縁に向かって延び出ている１対の引出電極３１９を有している。１対の短辺３１５ｘのうち一方は他方よりも長い。１対の励振電極３１７の中心（中心線Ｋｘと中心線Ｋｚ１との交点）は、１対の短辺３１５ｘ間の中央位置（中心線Ｋｚ０参照）よりも１対の短辺３１５ｘのうち長い短辺３１５ｘ側に位置している。１対の引出電極３１９は、１対の短辺３１５ｘのうち短い短辺３１５ｘに向かって延び出ている。
【００９９】
従って、図５（ｂ）を参照して説明した屈曲振動の分散の効果を得ることに加え、主面３１５ｙの面積を相対的に広く確保できる幅Ｗｆ側に励振電極３１７を配置して、厚みすべり振動が生じる領域を広く確保することができる。すなわち、小型な水晶素板３１５において効率的に厚みすべり振動を生じさせることができる。また、水晶素板３１５は、固定端側が細くなることになるから、固定端が厚みすべり振動に及ぼす影響を低減できる。
【０１００】
なお、以上の実施形態において、水晶振動子１は水晶デバイスの一例であり、素子搭載部材３は実装基体の一例である。
【０１０１】
本発明は、上述した実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【０１０２】
上述した実施形態は、適宜に組み合わされてよい。例えば、第２実施形態のようにメサ型の水晶振動素子において、第３実施形態のように、主面の１対の短辺の長さが互いに異なっていてもよい。
【０１０３】
水晶デバイスは、水晶振動子に限定されない。例えば、水晶デバイスは、水晶振動子となる部分と、発振回路とを備えた発振器であってもよい。また、水晶振動子は、水晶振動素子の他に、サーミスタなどの他の電子部品を備えていてもよい。
【０１０４】
メサ型の水晶振動素子において、メサ部の形状は、フランジ状のものに限定されない。例えば、メサ部は、側面視において外側に膨らむ曲面状のもの（ＸＺ′平面に平行な面を有さないもの）であってもよい。また、フランジ状のメサ部は、２段階以上薄くなりつつ外側へ広がるものであってもよい。
【０１０５】
また、メサ型の水晶振動素子において、平面視におけるメサ部の外縁は、直線状の１対の短辺及び曲線状の１対の長辺を有するものに限定されない。例えば、メサ部の外縁は、矩形であってもよい。
【０１０６】
また、メサ部が曲線状の長辺を有する場合において、その曲率中心は、第３実施形態の主面のように、Ｘ軸方向においてメサ部の１対の短辺間の中央位置に対してずれていてもよい。例えば、メサ部の曲率中心は、メサ部の１対の短辺間の中央位置よりも自由端側に位置していてもよい。この場合、主面及び励振電極の中心（図形重心）をメサ部の１対の短辺間の中央位置よりも自由端側にずらす（例えばメサ部の曲率中心に一致させる）ことによって、第３実施形態と同様に、厚みすべり振動のための広い面積を確保することができる。
【０１０７】
また、メサ部の曲率中心（Ｘ軸方向においてメサ部の１対の短辺間の中央位置にあるもの又はずれているもの）は、Ｘ軸方向において、主面の中心、励振電極の中心、主面の曲率中心及び／又は励振電極の曲率中心に一致していてもよいし、一致していなくてもよい。
【０１０８】
励振電極は、直線状の１対の短辺及び曲線状の１対の長辺を有するものに限定されない。例えば、既に言及したように、励振電極は矩形であってもよい。なお、矩形の励振電極においても、実施形態と同様に、その中心（図形重心）は、水晶素板の主面の長辺の曲率中心（中心線Ｋｚ０）に対して、Ｘ軸方向においてずれていてもよいし、ずれていなくてもよい。
【０１０９】
また、励振電極の長辺が曲線である場合に、その曲率中心は、同一側にある水晶素板の主面の長辺の曲率中心よりも、Ｚ′軸方向のこれら長辺側とは反対側にあってもよい。別の観点では、例えば、長辺が円弧の場合、励振電極の長辺の曲率は当該長辺が水晶素板の長辺の同心円状である場合の曲率よりも小さくてもよい。また、第１実施形態のように中心線Ｋｚ０に対して線対称な水晶素板を有するとともに水晶素板の主面に励振電極が設けられる態様において、第２及び第３実施形態のように水晶素板の主面の長辺と励振電極の長辺との距離が一定（例えば長辺が同心円状）とされてもよい。逆に、第２実施形態のようにメサ部に引出電極が設けられる態様や第３実施形態のように水晶素板の１対の短辺の長さが互いに異なる態様において、第１実施形態のように水晶素板の主面の長辺と励振電極の長辺とで曲率中心のＸ軸方向及び／又はＺ′軸方向の位置が異なっていてもよい。
【０１１０】
１対の引出電極は、水晶素板に対して同一の短辺側に位置していなくてもよく、例えば、互いに異なる短辺側に位置していてもよい。また、メサ型の水晶振動素子において、上述のメサ部の形状の説明からも理解されるように、引出電極は、メサ部ではなく、主面に形成されてもよい。
【符号の説明】
【０１１１】
１…水晶振動子（圧電デバイス）、５…水晶振動素子（圧電振動素子）、１５…水晶素板（圧電片）、１７…励振電極、２１…凹部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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