(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１リードフレームからなる第１リードと、第２リードフレームからなる第２リードと、を接合してなるリードフレームであって
下面及び上面を備える樹脂部を有し、
前記第１リードは、前記樹脂部の下面に配置され、
前記第２リードは、前記樹脂部の上面に配置され、
前記第１リードと前記第２リードとは、前記樹脂部に埋設された埋設部と、前記樹脂部から突出する突出部と、を備え、
前記第１リードの埋設部と前記第２リードの埋設部とは、前記樹脂部内で接合されているリードフレーム。
【請求項２】
前記第１リードと前記第２リードの前記樹脂部の表裏面と接触する個所には、粗化処理又は酸化処理が施されている請求項１に記載のリードフレーム。
【請求項３】
前記第１リードと前記第２リードの一方は、前記埋設部の直上に配置された前記突出部に凹部が設けられている請求項１又は２に記載のリードフレーム。
【請求項４】
前記第１リードフレームと前記第２リードフレームの一方は、半導体チップを搭載するダイパッドを備えている請求項１乃至３の何れか一項に記載のリードフレーム。
【請求項５】
前記第１リードの埋設部の側面及び前記第２リードの埋設部の側面には括れが形成されている請求項１乃至４の何れか一項に記載のリードフレーム。
【請求項６】
前記第１リードと前記第２リードとの間に配置された第３リードを有し、
前記第３リードは、前記樹脂部に埋設され、
前記第１リードの埋設部と前記第２リードの埋設部とは、前記第３リードを介して前記樹脂部内で接合されている請求項１乃至５の何れか一項に記載のリードフレーム。
【請求項７】
前記第３リードは、第２リードよりもライン／スペースが狭い高密度リードである請求項６に記載のリードフレーム。
【請求項８】
前記樹脂部に電子部品が埋設され、前記電子部品は前記第１リードと前記第２リードの一方と電気的に接続されている請求項１乃至７の何れか一項に記載のリードフレーム。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れか一項に記載のリードフレームと、
と、
前記リードフレームに搭載された半導体チップと、
前記半導体チップを封止する封止樹脂と、を有する半導体装置。
【請求項１０】
第１金属板をエッチングして、前記第１金属板の一方の面に凹部が形成された第１フレームを作製する工程と、
第２金属板をエッチングして、前記第２金属板の一方の面に凹部が形成された第２フレームを作製する工程と、
前記凹部同士が対向して隙間を形成するように、前記第１フレームと前記第２フレームとを接合する工程と、
前記隙間に樹脂を充填し、硬化させて樹脂部を形成する工程と、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの所定部分をエッチングにより除去し、前記第１フレーム、前記第２フレームの一方に、前記樹脂部の表面に配置されたリードを形成するリードフレームの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレーム及びその製造方法、半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、リードフレームを使用した半導体装置として、例えば、ＱＦＮ（Quad Flat No Lead）等のリードレスの半導体装置が知られている。このような半導体装置において、近年、端子数の増加要求があり、これに対して、端子の多列化等による対応が検討されている。
【０００３】
ところで、端子を多列化するためには配線を狭ピッチ化する必要がある。リードフレームの配線は、金属板を上下面からエッチングして貫通させて形成する。エッチングは深さ方向のみならず幅方向にも進行するため、金属板が厚いと配線間隔が広くなり、配線を狭ピッチ化できない。そこで、従来は厚さ０．２ｍｍ程度の金属板が使用されていたが、配線を狭ピッチ化するために、より薄い金属板を使用する検討がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３０７０４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、薄い金属板をエッチングして配線を形成すると、配線が変形するおそれが高まるため、現実的には一定以上に薄い金属板を使用したリードフレームの実現は困難であった。
【０００６】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、薄型化しても変形し難いリードフレームを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本リードフレームは、第１リードフレームからなる第１リードと、第２リードフレームからなる第２リードと、を接合してなるリードフレームであって下面及び上面を備える樹脂部を有し、前記第１リードは、前記樹脂部の下面に配置され、前記第２リードは、前記樹脂部の上面に配置され、前記第１リードと前記第２リードとは、前記樹脂部に埋設された埋設部と、前記樹脂部から突出する突出部と、を備え、前記第１リードの埋設部と前記第２リードの埋設部とは、前記樹脂部内で接合されていることを要件とする。
【発明の効果】
【０００８】
開示の技術によれば、薄型化しても変形し難いリードフレームを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施の形態に係るリードフレームを例示する平面図である。
【図２】第１の実施の形態に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する図である。
【図３】第１の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その１）である。
【図４】第１の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その２）である。
【図５】第１の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その３）である。
【図６】第１の実施の形態に係るリードフレームを用いた半導体装置を例示する断面図である。
【図７】第１の実施の形態の変形例１に係るリードフレームを例示する断面図である。
【図８】第１の実施の形態の変形例１に係るリードフレームの製造工程を例示する図である。
【図９】第１の実施の形態の変形例２に係るリードフレームを例示する断面図である。
【図１０】第１の実施の形態の変形例２に係るリードフレームの製造工程を例示する図である。
【図１１】第１の実施の形態の変形例３に係るリードフレームを例示する断面図である。
【図１２】第１の実施の形態の変形例３に係るリードフレームの製造工程を例示する図である。
【図１３】第１の実施の形態の変形例４に係るリードフレームを例示する断面図である。
【図１４】第１の実施の形態の変形例４に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その１）である。
【図１５】第１の実施の形態の変形例４に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その２）である。
【図１６】第１の実施の形態の変形例５に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する断面図である。
【図１７】第１の実施の形態の変形例５に係るリードフレームを用いた半導体装置を例示する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１１】
〈第１の実施の形態〉
［リードフレームの構造］
図１は、第１の実施の形態に係るリードフレームを例示する平面図である。図１を参照するに、リードフレーム１は、平面視略矩形状の基板フレーム１０に、複数の単位リードフレーム群２０が離間して配列された構造を有している。
【００１２】
なお、図１の例では、３つの単位リードフレーム群２０を１列に配列しているが、配列する単位リードフレーム群２０の数は任意に決定することができる。又、単位リードフレーム群２０を複数列に配列しても構わない。又、図１の例では、隣接する単位リードフレーム群２０間にスリット１０ｘを設けているが、これは必須ではない。
【００１３】
リードフレーム１の材料としては、例えば銅（Ｃｕ）、Ｃｕをベースにした合金、鉄−ニッケル（Ｆｅ−Ｎｉ）、又はＦｅ−Ｎｉをベースにした合金等を用いることができる。リードフレーム１の厚さは、例えば、０．２ｍｍ程度とすることができる。
【００１４】
単位リードフレーム群２０には、複数の単位リードフレーム３０がマトリクス状に配列されている。単位リードフレーム３０は、最終的に半導体チップが搭載されて個々の半導体装置として切り出される半導体チップ搭載領域である。なお、図１の例では、単位リードフレーム群２０が６行６列に配列された単位リードフレーム３０から構成されているが、単位リードフレーム群２０を構成する単位リードフレーム３０の数は任意に決定することができる。
【００１５】
図２は、第１の実施の形態に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する図であり、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は底面図、図２（ｃ）は図２（ａ）及び図２（ｂ）のＡ−Ａ線に沿う断面図、図２（ｄ）は図２（ａ）及び図２（ｂ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
である。
【００１６】
図２を参照するに、単位リードフレーム３０は、フレーム３１と、フレーム３２と、樹脂部３９とを有する。本実施の形態において、フレーム３１は、本発明に係る第１リードフレームの代表的な一例である。又、フレーム３２は本発明に係る第２リードフレームの代表的な一例である。
【００１７】
なお、本実施の形態では、便宜上、単位リードフレーム３０のフレーム３２側を上側又は一方の側、フレーム３１側を下側又は他方の側とする。又、各部位のフレーム３２側の面を一方の面又は上面、フレーム３１側の面を他方の面又は下面とする。但し、単位リードフレーム３０は天地逆の状態で用いることができ、又は任意の角度で配置することができる。又、平面視とは対象物をフレーム３２の一方の面の法線方向から視ることを指し、平面形状とは対象物をフレーム３２の一方の面の法線方向から視た形状を指すものとする。
【００１８】
単位リードフレーム３０は、フレーム３１の上面にフレーム３２の下面を重ね合わせて溶接により接合した構造とされている。フレーム３１の上面とフレーム３２の下面との間に形成された隙間には樹脂部３９が充填されている。樹脂部３９は、フレーム３１の上面とフレーム３２の下面とで形成する隙間から、平面視でフレーム３１及びフレーム３２と重複しない領域に水平方向に延伸し、矩形状の外縁を形成している。単位リードフレーム３０の厚さ（最厚部の厚さ）は、例えば、０．２ｍｍ程度とすることができる。以下、単位リードフレーム３０の各構成要素について、より詳しく説明する。
【００１９】
フレーム３１は、チップ搭載部３１１（ダイパッド）と、複数のリード３１２とを備えている。フレーム３１の厚さ（最厚部の厚さ）は、例えば、０．１ｍｍ程度とすることができる。リード３１２は、本発明に係る第１リードの代表的な一例である。
【００２０】
チップ搭載部３１１は、半導体チップが搭載される部分である。チップ搭載部３１１は、例えば、フレーム３１の略中央部に配置することができる。チップ搭載部３１１は、樹脂部３９に埋設された埋設部と、樹脂部３９の下面３９ａから突出する突出部とを備えている。チップ搭載部３１１の厚さは、例えば、０．１ｍｍ程度とすることができる。チップ搭載部３１１は、夫々のリード３１２と互いに絶縁されている。
【００２１】
リード３１２は、例えば、チップ搭載部３１１を囲むように複数列に配置することができる。リード３１２は、樹脂部３９に埋設された埋設部と、樹脂部３９の下面３９ａから突出する突出部とを備えている。リード３１２の厚さは、例えば、０．１ｍｍ程度とすることができる。リード３１２の平面形状は、例えば、直径０．２ｍｍ程度の円形とすることができる。
【００２２】
フレーム３２は、複数のボンディングパッド３２１と、複数のリード３２２と、複数の配線３２３とを備えている。フレーム３２の略中央部には、フレーム３１のチップ搭載部３１１の上面を露出する開口部３２ｘが設けられている。フレーム３２の厚さ（最厚部の厚さ）は、例えば、０．１ｍｍ程度とすることができる。リード３２２は、本発明に係る第２リードの代表的な一例である。
【００２３】
ボンディングパッド３２１は、フレーム３１のチップ搭載部３１１に搭載される半導体チップの電極と金属線で接続される部分である。ボンディングパッド３２１は、例えば、開口部３２ｘ（フレーム３１のチップ搭載部３１１）を囲むように配置することができる。ボンディングパッド３２１を複数列に配置してもよい。ボンディングパッド３２１は、樹脂部３９の上面３９ｂに配置されており、樹脂部３９に埋設された部分を備えていない。ボンディングパッド３２１の厚さは、フレーム３２の厚さ（最厚部の厚さ）の半分程度であり、例えば、０．０５ｍｍ程度とすることができる。
【００２４】
リード３２２は、フレーム３１のリード３１２と平面視で重複する位置に配置されている。リード３２２は、樹脂部３９に埋設された埋設部と、樹脂部３９の上面３９ｂから突出する突出部とを備えている。リード３２２の埋設部とリード３２１の埋設部とは、樹脂部３９内で溶接により接合され、外部接続端子３１５を形成している。リード３２２の厚さは、例えば、０．１ｍｍ程度とすることができる。リード３２２の平面形状は、例えば、直径０．２ｍｍ程度の円形とすることができる。
【００２５】
リード３２２の上面には、凹部３２ｙが形成されている。より詳しくは、リード３２２の埋設部の直上に配置された突出部に凹部３２ｙが設けられている。凹部３２ｙは溶接を行う際の目印として設けており、又、凹部３２ｙを設けることで金属板の厚さを部分的に薄くし、溶接効率を向上させることができる。本実施の形態では、主にリード３１２とリード３２２とを溶接で接合しているので、リード３２２の上面に凹部３２ｙを設けている。但し、リード３１２とリード３２２以外の部分を溶接で接合してもよく、本実施の形態では、ボンディングパッド３２１の内周側の複数個所（図２の例では８個所）にも凹部３２ｙを設け、その部分でフレーム３１とフレーム３２とを溶接で接合している。但し、溶接は、必要な接合強度等を考慮し、ここで例示した以外の任意の個所で行って構わない。その場合には、その個所に凹部３２ｙを設けることができる。
【００２６】
フレーム３２の下面には、凹部３２ｚが形成されている。凹部３２ｚの深さはフレーム３２の厚さ（最厚部の厚さ）の半分程度であり、例えば、０．０５ｍｍ程度とすることができる。又、フレーム３１の上面には、凹部３１ｚが形成されている。凹部３１ｚの深さはフレーム３１の厚さ（最厚部の厚さ）の半分程度であり、例えば、０．０５ｍｍ程度とすることができる。フレーム３２の凹部３２ｚとフレーム３１の凹部３１ｚとで形成する隙間には、樹脂部３９が充填されており、隙間の外に延伸している。樹脂部３９の材料としては、例えば、熱硬化性のエポキシ系樹脂等を用いることができる。樹脂部３９の厚さは、例えば、０．１ｍｍ程度とすることができる。
【００２７】
リード３２２の埋設部の側面には凹部３２ｚによる括れが形成されており、リード３１２の埋設部の側面には凹部３１ｚによる括れが形成されている。リード３２２の埋設部の側面の括れとリード３１２の埋設部の側面の括れには樹脂部３９が入り込んでいる。これにより、外部接続端子３１５に対するアンカーが形成され、外部接続端子３１５が樹脂部３９から抜けることを防止できる。同様に、チップ搭載部３１１の側面にもアンカーが形成され、チップ搭載部３１１が樹脂部３９から抜けることを防止できる。
【００２８】
なお、リード３１２とリード３２２の樹脂部３９の表裏面と接触する個所に、粗化処理又は酸化処理が施されていると、リード３１２及び３２２と樹脂部３９との密着性が向上する点で好適である。
【００２９】
配線３２３は、樹脂部３９の上面３９ｂの、ボンディングパッド３２１及びリード３２２が配置されていない任意の領域に配置することができる。配線３２３は、樹脂部３９に埋設された部分を備えていない。配線３２３は、適宜、ボンディングパッド３２１及びリード３２２と電気的に接続することができる。配線３２３の厚さは、フレーム３２の厚さ（最厚部の厚さ）の半分程度であり、例えば、０．０５ｍｍ程度とすることができる。配線３２３のライン／スペースは、例えば、３０μｍ／６０μｍ程度とすることができる。
【００３０】
なお、ライン／スペースにおけるラインとは配線幅を表し、スペースとは隣り合う配線同士の間隔（配線間隔）を表す。例えば、ライン／スペースが３０μｍ／６０μｍと記載されていた場合、配線幅が３０μｍ、隣り合う配線同士の間隔が６０μｍであることを表す。
【００３１】
［リードフレームの製造方法］
次に、第１の実施の形態に係るリードフレームの製造方法について、単位リードフレーム３０を図示しながら説明する。図３〜図５は、第１の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図である。なお、図３及び図４において、（ａ）は平面図、（ｂ）は底面図、（ｃ）は（ａ）及び（ｂ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。又、図５は、図３及び図４の（ｃ）に対応する断面図である。
【００３２】
まず、図３に示す工程では、金属板３１０を準備する。そして、金属板３１０の上面３１０ａ側にハーフエッチングを施して凹部３１ｚを形成する。ハーフエッチングにより形成された凹部３１ｚの内側面と底面との間の角部は尖らず、丸みを帯びた断面視凹型Ｒ形状となる。なお、金属板３１０の下面３１０ｂは、エッチングを行わないため平坦面である。
【００３３】
凹部３１ｚが形成されていない領域の一部が、チップ搭載部３１１及び複数のリード３１２となる。但し、図３では、便宜上、チップ搭載部３１１及びリード３１２となる部分に符号を付しているが、この段階ではチップ搭載部３１１及びリード３１２となる部分は一体化しており、互いに分離されていない。
【００３４】
金属板３１０の材料としては、例えば、銅（Ｃｕ）、Ｃｕをベースにした合金、鉄−ニッケル（Ｆｅ−Ｎｉ）、又はＦｅ−Ｎｉをベースにした合金等を用いることができる。金属板３１０の厚さは、例えば、０．１ｍｍ程度とすることができる。凹部３１ｚの深さは、例えば、０．０５ｍｍ程度とすることができる。なお、図３（ａ）では、便宜上、凹部３１ｚを形成した領域（ハーフエッチングした領域）を梨地模様で示している。つまり、図３（ａ）の梨地模様が施されていない部分が、金属板３１０の上面３１０ａから突出している部分である。
【００３５】
次に、図４に示す工程では、金属板３２０を準備する。そして、金属板３２０の上面３２０ａ側にハーフエッチングを施して凹部３２ｙを形成する。又、金属板３２０の下面３２０ｂ側にハーフエッチングを施して凹部３２ｚを形成する。又、金属板３２０の上面３２０ａ側及び下面３２０ｂ側の平面視で重複する位置に夫々ハーフエッチングを施して、金属板３２０を貫通する開口部３２ｘを形成する。ハーフエッチングにより形成された凹部３２ｙ及び３２ｚの内側面と底面との間の角部は尖らず、丸みを帯びた断面視凹型Ｒ形状となる。
【００３６】
凹部３２ｙが形成されていない領域の一部が、ボンディングパッド３２１及び配線３２３となる。又、凹部３２ｙが形成されている領域の一部が、リード３２２となる。但し、図４では、便宜上、ボンディングパッド３２１、リード３２２、配線３２３となる部分に符号を付しているが、この段階ではボンディングパッド３２１、リード３２２、配線３２３となる部分は一体化しており、互いに分離されていない。
【００３７】
金属板３２０の材料としては、例えば、金属板３１０と同様とすることができる。金属板３２０の厚さは、例えば、０．１ｍｍ程度とすることができる。凹部３２ｙ及び３２ｚの深さは、例えば、０．０５ｍｍ程度とすることができる。なお、図４（ａ）及び図４（ｂ）では、便宜上、凹部３２ｙ及び３２ｚを形成した領域（ハーフエッチングした領域）を梨地模様で示している。つまり、図４（ａ）及び図４（ｂ）の梨地模様が施されていない部分が、金属板３２０の上面３２０ａ又は下面３２０ｂから突出している部分である。
【００３８】
次に、図５（ａ）に示す工程では、リード３１２となる部分とリード３２２となる部分とが平面視で重複するように（凹部３１ｚと凹部３２ｚが対向して隙間を形成するように）、金属板３１０上に金属板３２０を配置する。そして、目印となる凹部３２ｙが形成された部分に、矢印Ｂの方向からレーザ光を照射して、リード３１２となる部分及びリード３２２となる部分の金属材料を局部的に溶融させ、金属板３１０と金属板３２０とを接合する（レーザ溶接）。レーザ光としては、例えば、第２高調波（ＳＨＧ）を用いたグリーンレーザ等を用いることができる。この場合、レーザ光の波長は、例えば、５３２ｎｍ程度とすることができる。なお、図５（ａ）において、梨地模様で示したＣは、金属材料を局部的に溶融させた部分を模式的に示したものである（他の図では省略）。
【００３９】
次に、図５（ｂ）に示す工程では、図５（ａ）に示す構造体を、下金型５１０と上金型５２０とで挟持する。そして、図５（ｃ）に示す工程では、金属板３１０と金属板３２０とで形成する隙間部分に樹脂を充填し、硬化させて樹脂部３９を形成する。樹脂部３９は、例えば、トランスファーモールド法、コンプレッションモールド法、インジェクションモールド法等により形成することができる。樹脂部３９の材料としては、例えば、熱硬化性のエポキシ系樹脂等を用いることができる。
【００４０】
次に、図５（ｄ）に示す工程では、図５（ｃ）に示す構造体を下金型５１０及び上金型５２０から取り出した後、金属板３１０及び３２０の所定部分をエッチングにより除去する。これにより、金属板３１０において、チップ搭載部３１１及びリード３１２となる部分が互いに分離され、樹脂部３９の下面３９ａ側にフレーム３１が形成される。又、金属板３２０において、ボンディングパッド３２１、リード３２２、及び配線３２３となる部分が互いに分離され、樹脂部３９の上面３９ｂ側にフレーム３２が形成される。以上の工程により、単位リードフレーム３０を有するリードフレーム１（図１及び図２参照）が完成する。
【００４１】
なお、図５（ａ）に示す工程と図５（ｂ）に示す工程との間に、金属板３１０及び３２０の表面に粗化処理や黒化処理（酸化処理）を施すと、金属板３１０及び３２０と樹脂部３９との密着性が向上する点で好適である。ここで、粗化処理とは、金属板３１０及び３２０の表面に凹凸を付与させ、アンカー効果により、金属板３１０及び３２０と樹脂部３９との密着性を向上させる処理である。又、黒化処理（酸化処理）とは、金属板３１０及び３２０の表面に化学的な酸化膜を作製することにより、金属板３１０及び３２０と樹脂部３９との密着性低下の要因となる不安定な酸化膜が作製されることを抑制する処理である。
【００４２】
このように、第１の実施の形態に係るリードフレーム１では、金属板３１０と金属板３２０に１次エッチングにより凹部を形成し、凹部同士が隙間を形成するように金属板３１０と金属板３２０とを溶接により接合する。そして、金属板３１０と金属板３２０とで形成する隙間部分に樹脂部３９を形成してから、金属板３１０及び３２０の所定部分を２次エッチングにより除去してボンディングパッド３２１や配線３２３等を形成する。
【００４３】
金属板３１０及び３２０の所定部分を２次エッチングにより除去する際に、ボンディングパッド３２１や配線３２３を形成する部分は、金属板３２０の１次エッチング（ハーフエッチング）により板厚が半分程度になっている。そのため、２次エッチングにより、狭ピッチの（ライン／スペースの小さい）ボンディングパッド３２１及び配線３２３を形成することができる。その結果、ボンディングパッド３２１の端子数、及びそれに接続される外部接続端子３１５の端子数を増やすことができる。
【００４４】
なお、従来のリードフレームの配線では１００μｍ／１００μｍ程度のライン／スペースであったが、配線３２３では３０μｍ／６０μｍ程度のライン／スペースを実現できる。
【００４５】
又、ボンディングパッド３２１及び配線３２３は、樹脂部３９上に形成されるため、狭ピッチ化や多端子化に伴いボンディングパッド３２１及び配線３２３が変形するおそれを低減することができる。
【００４６】
［半導体装置の例］
図６は、第１の実施の形態に係るリードフレームを用いた半導体装置を例示する断面図である。
【００４７】
図６を参照するに、半導体装置５は、単位リードフレーム３０と、半導体チップ５１と、金属線５２と、封止樹脂５３とを有している。半導体装置５は、ＱＦＮタイプの半導体装置である。
【００４８】
半導体チップ５１は、単位リードフレーム３０のチップ搭載部３１１の上面に、ダイアタッチフィルム等の接着層等（図示せず）を介してフェイスアップ状態で搭載されている。半導体チップ５１の電極（図示せず）は、金線や銅線等である金属線５２（ボンディングワイヤ）を介して、単位リードフレーム３０のボンディングパッド３２１と電気的に接続されている。
【００４９】
単位リードフレーム３０の上面側、半導体チップ５１、及び金属線５２を覆うように封止樹脂５３が設けられている。封止樹脂５３の材料としては、例えば、剛性に優れたエポキシ系樹脂等を用いることができる。封止樹脂５３は、シリカ等のフィラーを含有しても構わない。
【００５０】
半導体装置５を製造するには、まず、図１に示すリードフレーム１の夫々の単位リードフレーム３０のチップ搭載部３１１の上面に、ダイアタッチフィルム等の接着層等（図示せず）を介して半導体チップ５１をフェイスアップ状態で搭載する。
【００５１】
次に、ワイヤボンディングにより、半導体チップ５１の上面側に形成された電極を、金属線５２を介して、単位リードフレーム３０のボンディングパッド３２１と電気的に接続する。
【００５２】
次に、単位リードフレーム３０の上面側、半導体チップ５１、及び金属線５２を覆うように封止樹脂５３を形成する。封止樹脂５３は、例えば、トランスファーモールド法、コンプレッションモールド法、インジェクションモールド法等により形成することができる。封止樹脂５３は、例えば、図１に示す単位リードフレーム群２０毎にまとめて形成することができる。
【００５３】
その後、封止樹脂５３等が形成された単位リードフレーム群２０を、ダイサー等により、単位リードフレーム３０毎に切断して個片化することにより、複数の半導体装置５（図６参照）が完成する。
【００５４】
このように、単位リードフレーム３０を備えたリードフレーム１を用いることにより、従来よりも外部接続端子３１５の端子数を増やした半導体装置５を実現できる。
【００５５】
又、外部接続端子３１５を構成するリード３１２の下端部が樹脂部３９の下面３９ａから突出しているため、半導体装置５を配線基板等に実装する際に、はんだがリード３１２の突出部の側面にも濡れ広がる。そのため、半導体装置５と配線基板等との接続信頼性を向上できる。
【００５６】
〈第１の実施の形態の変形例１〉
第１の実施の形態の変形例１では、第１の実施の形態とはリードの積層構造が異なるリードフレームの例を示す。なお、第１の実施の形態の変形例１において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００５７】
図７は、第１の実施の形態の変形例１に係るリードフレームを例示する断面図であり、単位リードフレームのリード近傍のみを拡大して示している。図７に示す単位リードフレーム３０Ａは、フレーム３１と、フレーム３２と、フレーム３３と、樹脂部３９とを有する。本実施の形態において、フレーム３１は、本発明に係る第１リードフレームの代表的な一例である。又、フレーム３３は本発明に係る第２リードフレームの代表的な一例である。
【００５８】
単位リードフレーム３０Ａは、フレーム３１の上面にフレーム３２の下面を重ね合わせて溶接し、更にフレーム３２の上面にフレーム３３の下面を重ね合わせて溶接した構造とされている。フレーム３１の上面とフレーム３２の下面とで形成する隙間、及びフレーム３２の上面とフレーム３３の下面とで形成する隙間には樹脂部３９が充填されている。樹脂部３９は、フレーム３１の上面とフレーム３２の下面とで形成する隙間、及びフレーム３２の上面とフレーム３３の下面とで形成する隙間から、平面視でフレーム３１、フレーム３２、及びフレーム３３と重複しない領域に延伸し、矩形状の外縁を形成している。
【００５９】
フレーム３１及びフレーム３２には、第１の実施の形態と同様に、リード３１２及びリード３２２が形成されており、両者は平面視で重複する位置に配置され、溶接により接合さている。フレーム３３には、リード３３２が形成されている。リード３３２は、リード３２２上の、平面視でリード３１２及び３２２とは中心がずれた位置に配置され、リード３２２と溶接により接合さている。目印となる凹部３３ｙが形成されている位置が、フレーム３２とフレーム３３とを溶接する位置である。
【００６０】
リード３１２は、本発明に係る第１リードの代表的な一例である。リード３３２は、本発明に係る第２リードの代表的な一例である。リード３２２は、本発明に係る第３リードの代表的な一例である。
【００６１】
なお、図示は省略されているが、単位リードフレーム３０Ａでは、ボンディングパッド３２１及び配線３２３は、フレーム３３に形成される。又、フレーム３２に配線３２３と同様の配線を形成してもよい。
【００６２】
このように、単位リードフレーム３０Ａでは、リード３１２、リード３２２、及びリード３３２が順次積層されて、外部接続端子３１５Ａを形成している。リード３１２、リード３２２、及びリード３３２が積層された外部接続端子３１５Ａは、上下に隣接するリードが平面視で異なる位置に配置されている所謂スタッガードビア構造である。
【００６３】
なお、フレーム３１とフレーム３３との間に配置されるフレーム（樹脂部３９に埋設されるフレーム）は、フレーム３２のみではなく、２つ以上のフレームとしてもよい。この場合、４つ以上のリードが積層された所謂スタッガードビア構造の外部接続端子３１５Ａを実現できる。
【００６４】
図８は、第１の実施の形態の変形例１に係るリードフレームの製造工程を例示する図であり、主にリードを作製する工程を説明するものであり、図７に対応する断面を示している。
【００６５】
まず、図３及び図４と同様の工程を実行後、図８（ａ）に示す工程では、図５（ａ）に示す工程と同様にして、リード３１２となる部分とリード３２２となる部分とが平面視で重複するように、金属板３１０上に金属板３２０を配置する。そして、目印となる凹部３２ｙが形成された部分に、矢印Ｂの方向からレーザ光を照射して、リード３１２となる部分及びリード３２２となる部分の金属材料を局部的に溶融させ、金属板３１０と金属板３２０とを接合する（レーザ溶接）。
【００６６】
次に、図８（ｂ）に示す工程では、図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示す工程と同様にして、金属板３１０と金属板３２０とで形成する隙間部分に樹脂を充填し、硬化させて樹脂部３９を形成する。その後、金属板３２０に、エッチングやレーザ加工等により、樹脂部３９の上面を選択的に露出する開口部３２ｔを形成する。
【００６７】
次に、図８（ｃ）に示す工程では、図４に示す工程と同様にして、リード３３２となる部分及び凹部３３ｙを備えた金属板３３０を形成する。そして、リード３３２となる部分が、リード３２２となる部分上の、平面視でリード３１２となる部分とは中心がずれた位置に配置されるように、金属板３３０を金属板３２０上に積層する。そして、目印となる凹部３３ｙが形成された部分に、矢印Ｂの方向からレーザ光を照射して、リード３２２となる部分及びリード３３２となる部分の金属材料を局部的に溶融させ、金属板３２０と金属板３３０とを接合する（レーザ溶接）。
【００６８】
次に、図８（ｄ）に示す工程では、図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示す工程と同様にして、金属板３２０と金属板３３０とで形成する隙間部分（開口部３２ｔ内も含む）に樹脂を充填し、硬化させる。これにより、金属板３１０と金属板３２０とで形成する隙間部分と、開口部３２ｔ内と、金属板３２０と金属板３３０とで形成する隙間部分とを連続的に充填する樹脂部３９が形成される。
【００６９】
その後、図５（ｄ）に示す工程と同様にして、図８（ｄ）に示す構造体において、金属板３１０及び３３０の所定部分をエッチングにより除去する。これにより、図７に示した、リード３１２、リード３２２、及びリード３３２が積層された所謂スタッガードビア構造の外部接続端子３１５Ａを有する単位リードフレーム３０Ａが形成される。金属板３１０及び３３０の所定部分をエッチングにより除去する際に、配線３２３等を形成することができる。
【００７０】
このように、３つ以上のフレームを積層することにより、３次元的な配列が可能となり、リードフレームの設計自由度を向上できる。
【００７１】
〈第１の実施の形態の変形例２〉
第１の実施の形態の変形例２では、第１の実施の形態とはリードの構造が異なるリードフレームの他の例を示す。なお、第１の実施の形態の変形例２において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００７２】
図９は、第１の実施の形態の変形例２に係るリードフレームを例示する断面図であり、単位リードフレームのリード近傍のみを拡大して示している。
【００７３】
図９に示す単位リードフレーム３０Ｂは、リード３１２、リード３２２、及びリード３３２が平面視で同一位置に積層されて所謂スタックビア構造の外部接続端子３１５Ｂを形成している点が単位リードフレーム３０Ａ（図７参照）と相違する。又、リード３２２の上面に凹部３２ｙが形成されず、リード３１２の下面に凹部３１ｙが形成された点が単位リードフレーム３０Ａ（図７参照）と相違する。
【００７４】
なお、図示は省略されているが、単位リードフレーム３０Ｂでは、ボンディングパッド３２１及び配線３２３は、フレーム３３に形成される。又、フレーム３２に配線３２３と同様の配線を形成してもよい。
【００７５】
又、フレーム３１とフレーム３３との間に配置されるフレーム（樹脂部３９に埋設されるフレーム）は、フレーム３２のみではなく、２つ以上のフレームとしてもよい。この場合、４つ以上のリードが積層された所謂スタックビア構造の外部接続端子３１５Ｂを実現できる。
【００７６】
図１０は、第１の実施の形態の変形例２に係るリードフレームの製造工程を例示する図であり、主にリードを作製する工程を説明するものであり、図９に対応する断面を示している。
【００７７】
まず、図３及び図４と同様の工程を実行する。但し、金属板３２０のリード３２２となる部分の上面には凹部３２ｙを形成せず、金属板３１０のリード３１２となる部分の下面に凹部３１ｙを形成する。その後、図１０（ａ）に示す工程では、図５（ａ）に示す工程と同様にして、リード３１２となる部分とリード３２２となる部分とが平面視で重複するように、金属板３１０上に金属板３２０を配置する。そして、目印となる凹部３１ｙが形成された部分に、矢印Ｂの方向からレーザ光を照射して、リード３１２となる部分及びリード３２２となる部分の金属材料を局部的に溶融させ、金属板３１０と金属板３２０とを接合する（レーザ溶接）。
【００７８】
次に、図１０（ｂ）に示す工程では、図８（ｂ）に示す工程と同様にして、金属板３１０と金属板３２０とで形成する隙間部分に樹脂を充填し、硬化させて樹脂部３９を形成する。その後、金属板３２０に、エッチングやレーザ加工等により、樹脂部３９の上面を選択的に露出する開口部３２ｔを形成する。
【００７９】
次に、図１０（ｃ）に示す工程では、図８（ｃ）に示す工程と同様にして、リード３３２となる部分及び凹部３３ｙを備えた金属板３３０を形成する。そして、リード３３２となる部分が、リード３２２となる部分上の、平面視でリード３１２となる部分とは中心が一致する位置に配置されるように、金属板３３０を金属板３２０上に積層する。そして、目印となる凹部３３ｙが形成された部分に、矢印Ｂの方向からレーザ光を照射して、リード３２２となる部分及びリード３３２となる部分の金属材料を局部的に溶融させ、金属板３２０と金属板３３０とを接合する（レーザ溶接）。
【００８０】
次に、図１０（ｄ）に示す工程では、図８（ｄ）に示す工程と同様にして、金属板３２０と金属板３３０とで形成する隙間部分（開口部３２ｔ内も含む）に樹脂を充填し、硬化させる。これにより、金属板３１０と金属板３２０とで形成する隙間部分と、開口部３２ｔ内と、金属板３２０と金属板３３０とで形成する隙間部分とを連続的に充填する樹脂部３９が形成される。
【００８１】
その後、図５（ｄ）に示す工程と同様にして、図１０（ｄ）に示す構造体において、金属板３１０及び３３０の所定部分をエッチングにより除去する。これにより、図９に示した、リード３１２、リード３２２、及びリード３３２が積層された所謂スタックビア構造の外部接続端子３１５Ｂを有する単位リードフレーム３０Ｂが形成される。金属板３１０及び３３０の所定部分をエッチングにより除去する際に、適宜、配線３２３を形成することができる。
【００８２】
このように、３つ以上のフレームを積層することにより、３次元的な配列が可能となり、リードフレームの設計自由度を向上できる。
【００８３】
〈第１の実施の形態の変形例３〉
第１の実施の形態の変形例３では、樹脂部内に電子部品を内蔵したリードフレームの例を示す。なお、第１の実施の形態の変形例３において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００８４】
図１１は、第１の実施の形態の変形例３に係るリードフレームを例示する断面図であり、単位リードフレームのリード近傍のみを拡大して示している。
【００８５】
図１１に示す単位リードフレーム３０Ｃは、フレーム３１とフレーム３２との間に形成された隙間に電子部品４０が搭載され、電子部品４０が樹脂部３９により封止されている点が単位リードフレーム３０（図２参照）と相違する。又、リード３１２の下面に凹部３１ｙが形成された点が単位リードフレーム３０（図２参照）と相違する。
【００８６】
電子部品４０は、例えば２端子の電子部品であり、一方の端子が接合部４５を介して一のリード３２２と接続され、他方の端子が接合部４５を介して他のリード３２２と接続されている。電子部品４０としては、例えば、積層セラミックコンデンサ等を用いることができる。接合部４５としては、例えば、はんだや導電性ペースト（銀ペースト等）を用いることができる。
【００８７】
図１２は、第１の実施の形態の変形例３に係るリードフレームの製造工程を例示する図であり、主に電子部品を搭載する工程を説明するものであり、図１１に対応する断面を示している。
【００８８】
まず、図４と同様の工程を実行後、図１２（ａ）に示す工程では、金属板３２０の凹部３２ｚ内に接合部４５を介して電子部品４０を実装する。
【００８９】
次に、図３と同様の工程を実行後、図１２（ｂ）に示す工程では、図５（ａ）に示す工程と同様にして、リード３１２となる部分とリード３２２となる部分とが平面視で重複するように、金属板３１０上に金属板３２０を図１２とは反転させて配置する。そして、目印となる凹部３２ｙが形成された部分に、矢印Ｂの方向からレーザ光を照射して、リード３１２となる部分及びリード３２２となる部分の金属材料を局部的に溶融させ、金属板３１０と金属板３２０とを接合する（レーザ溶接）。これにより、金属板３１０の凹部３１ｚと金属板３２０の凹部３２ｚとの間に電子部品４０が搭載される。
【００９０】
次に、図１２（ｃ）に示す工程では、図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示す工程と同様にして、金属板３１０と金属板３２０とで形成する隙間部分に樹脂を充填し、硬化させて樹脂部３９を形成する。これにより、電子部品４０は、樹脂部３９により周囲を封止される。
【００９１】
その後、図５（ｄ）に示す工程と同様にして、図１２（ｃ）に示す構造体において、金属板３１０及び３２０の所定部分をエッチングにより除去する。これにより、図１１に示した単位リードフレーム３０Ｃが形成される。
【００９２】
このように、上下に積層したフレーム間に電子部品を搭載した単位リードフレーム３０Ｃを用いることにより、従来は実現が困難であった電子部品搭載型のＱＦＮタイプの半導体装置を実現できる。又、電子部品が積層セラミックコンデンサである場合、半導体チップの電源に近接して配置することが可能となり、ノイズ除去効果を向上することができる。
【００９３】
〈第１の実施の形態の変形例４〉
第１の実施の形態の変形例４では、樹脂部内にも配線を形成する例を示す。なお、第１の実施の形態の変形例４において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００９４】
図１３は、第１の実施の形態の変形例４に係るリードフレームを例示する断面図であり、単位リードフレームのリード近傍のみを拡大して示している。
【００９５】
図１３に示す単位リードフレーム３０Ｄは、フレーム３１と、フレーム３２と、フレーム３４と、樹脂部３９とを有する。フレーム３４は、配線３４３と、パッド３４４とを有する。本実施の形態において、フレーム３１は、本発明に係る第１リードフレームの代表的な一例である。又、フレーム３２は、本発明に係る第２リードフレームの代表的な一例である。
【００９６】
単位リードフレーム３０Ｄは、フレーム３１のリード３１２の上面をフレーム３４のパッド３４４の下面に溶接し、フレーム３２のリード３２２の下面をフレーム３４のパッド３４４の上面に溶接した構造とされている。リード３１２とリード３２２とパッド３４４とは、例えば、平面視で重複する位置に配置することができる。
【００９７】
フレーム３１の上面とフレーム３２の下面とで形成する隙間には樹脂部３９が充填されており、フレーム３４を構成する配線３４３及びパッド３４４は樹脂部３９に埋設されている。配線３４３及びパッド３４４の厚さは、例えば、１５μｍ程度とすることができる。配線３４３は、配線３２３よりも高密度配線とすることができる。配線３４３のライン／スペースは、例えば、３０μｍ／３０μｍ程度とすることができる。パッド３４４の大きさは、リード３１２及び３２２との溶接に適するように適宜決定できる。配線３４３は、本発明に係る第３リードの代表的な一例である。このように、第３リードは、リードフレームからなるとは限らない。
【００９８】
なお、フレーム３１とフレーム３２との間に配置されるフレーム（樹脂部３９に埋設されるフレーム）は、フレーム３４のみではなく、２つ以上のフレームとしてもよい。この場合、樹脂部３９内に２層以上の配線を埋設することができる。
【００９９】
図１４及び図１５は、第１の実施の形態の変形例４に係るリードフレームの製造工程を例示する図であり、主にリードを作製する工程を説明するものであり、図１３に対応する断面を示している。
【０１００】
まず、図１４（ａ）に示す工程では、金属板３１０を準備し、図３に示す工程と同様にして、金属板３１０の上面側にハーフエッチングを施して凹部３１ｚを形成する。凹部３１ｚが形成されていない領域の一部が、チップ搭載部３１１（ここでは図示せず）及び複数のリード３１２となる。又、金属板３１０の下面側にハーフエッチングを施して凹部３１ｙを形成する。金属板３１０の厚さは、例えば、０．１ｍｍ程度とすることができる。
【０１０１】
次に、図１４（ｂ）に示す工程では、金属板３１０よりも薄い金属板３４０を準備し、一方の側をハーフエッチングしてスリット３４ｚを形成し、配線３４３となる部分及びパッド３４４となる部分を作製する。金属板３４０の厚さは、例えば、３０μｍ程度とすることができる。スリット３４ｚの幅は、例えば、３０μｍ程度とすることができる。スリット３４ｚの間隔は、例えば、３０μｍ程度とすることができる。スリット３４ｚの深さは、例えば、１５μｍ程度とすることができる。
【０１０２】
次に、図１４（ｃ）に示す工程では、リード３１２となる部分とパッド３４４となる部分とが平面視で重複するように、金属板３１０上に金属板３４０を配置する。そして、目印となる凹部３１ｙが形成された部分に、矢印Ｂの方向からレーザ光を照射して、リード３１２となる部分とパッド３４４となる部分の金属材料を局部的に溶融させ、金属板３１０と金属板３４０とを接合する（レーザ溶接）。
【０１０３】
次に、図１４（ｄ）に示す工程では、図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示す工程と同様にして、金属板３１０と金属板３４０とで形成する隙間部分に樹脂を充填し、硬化させて樹脂部３９を形成する。次に、図１５（ａ）に示す工程では、金属板３４０の上面側をハーフエッチングし、配線３４３となる部分及びパッド３４４となる部分を連結していた部分を除去し、配線３４３及びパッド３４４を独立させ、フレーム３４を完成させる。
【０１０４】
次に、図１５（ｂ）に示す工程では、図４に示す工程と同様にして、リード３２２となる部分及び凹部３２ｙを備えた金属板３２０を形成する。そして、リード３２２となる部分が、パッド３４４上に配置されるように、金属板３２０を配線３４３及びパッド３４４上に積層する。そして、図１５（ｃ）に示す工程では、目印となる凹部３２ｙが形成された部分に、矢印Ｂの方向からレーザ光を照射して、リード３２２となる部分及びパッド３４４の金属材料を局部的に溶融させ、金属板３２０とパッド３４４とを接合する（レーザ溶接）。
【０１０５】
その後、図５（ｄ）に示す工程と同様にして、図１５（ｃ）に示す構造体において、金属板３１０及び３２０の所定部分をエッチングにより除去する。これにより、図１３に示した単位リードフレーム３０Ｄが形成される。
【０１０６】
なお、図１５（ａ）に示す構造を完成状態としてもよい。つまり、フレーム３１と、フレーム３４と、樹脂部３９とで構成したリードフレームを実現することもできる。
【０１０７】
このように、樹脂部３９に高密度配線を埋設することにより、リードフレームの設計自由度を向上できる。
【０１０８】
〈第１の実施の形態の変形例５〉
第１の実施の形態の変形例５では、フリップチップ実装用のリードフレームの例を示す。なお、第１の実施の形態の変形例５において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【０１０９】
図１６は、第１の実施の形態の変形例５に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する断面図である。
【０１１０】
図１６を参照するに、単位リードフレーム３０Ｅは、フレーム３１にチップ搭載部３１１が設けられていなく、フレーム３２にボンディングパッド３２１が設けられていない点が単位リードフレーム３０（図２参照）と相違する。単位リードフレーム３０Ｅは、フリップチップ実装用のリードフレームである。なお、リード３２２の上面にはバンプが形成されるため、凹部３２ｙは形成されていなくフラットである。つまり、本実施の形態では、リード３２２の上面は溶接する個所ではなく、溶接する個所はリード３２２の近傍に設けられる。
【０１１１】
［半導体装置の例］
図１７は、第１の実施の形態の変形例５に係るリードフレームを用いた半導体装置を例示する断面図である。
【０１１２】
図１７を参照するに、半導体装置６は、単位リードフレーム３０Ｅと、半導体チップ６１と、バンプ６２と、封止樹脂６３とを有している。半導体装置６は、ＱＦＮタイプの半導体装置である。
【０１１３】
半導体チップ６１は、単位リードフレーム３０Ｅの上面側にフリップチップ実装されている。具体的には、半導体チップ６１の電極（図示せず）は、バンプ６２により、単位リードフレーム３０Ｅのリード３２２の上面と接続されている。バンプ６２としては、例えば、はんだバンプを用いることができる。この場合、はんだの材料としては、例えばＰｂを含む合金、ＳｎとＣｕの合金、ＳｎとＡｇの合金、ＳｎとＡｇとＣｕの合金等を用いることができる。
【０１１４】
単位リードフレーム３０Ｅの上面側、半導体チップ６１を覆うように封止樹脂６３が設けられている。封止樹脂６３の材料としては、例えば、剛性に優れたエポキシ系樹脂等を用いることができる。封止樹脂６３は、シリカ等のフィラーを含有しても構わない。なお、単位リードフレーム３０Ｅの上面側と半導体チップ６１との隙間を充填するようにアンダーフィル樹脂を充填し、その後、封止樹脂６３を設けてもよい。
【０１１５】
半導体装置６を製造するには、まず、図１に示すリードフレーム１と同様に配置された複数の単位リードフレーム３０Ｅに夫々半導体チップ６１をフェイスダウン状態でフリップチップ実装する。具体的には、夫々の単位リードフレーム３０Ｅのリード３２２の上面の所定領域にクリームはんだ等を塗布し、半導体チップ６１の電極がクリームはんだ等の上に位置するように、半導体チップ６１を単位リードフレーム３０Ｅ上に配置する。そして、リフロー等により、クリームはんだ等を溶融後凝固させ、バンプ６２を形成する。これにより、半導体チップ６１が夫々の単位リードフレーム３０Ｅ上にフリップチップ実装される。
【０１１６】
次に、必要に応じて単位リードフレーム３０Ｅの上面側と半導体チップ６１との隙間を充填するようにアンダーフィル樹脂を充填した後、単位リードフレーム３０Ｅの上面側及び半導体チップ６１を覆うように封止樹脂６３を形成する。封止樹脂６３は、例えば、トランスファーモールド法、コンプレッションモールド法、インジェクションモールド法等により形成することができる。封止樹脂６３は、例えば、図１に示す単位リードフレーム群２０毎にまとめて形成することができる。
【０１１７】
その後、封止樹脂６３等が形成された単位リードフレーム群２０を、ダイサー等により、単位リードフレーム３０Ｅ毎に切断して個片化することにより、複数の半導体装置６（図１６参照）が完成する。
【０１１８】
このように、単位リードフレーム３０Ｅを備えたリードフレーム１を用いることにより、従来よりも外部接続端子３１５の端子数を増やした半導体装置６を実現できる。
【０１１９】
又、外部接続端子３１５を構成するリード３１２の下端部が樹脂部３９の下面３９ａから突出しているため、半導体装置６を配線基板等に実装する際に、はんだがリード３１２の突出部の側面にも濡れ広がる。そのため、半導体装置６と配線基板等との接続信頼性を向上できる。
【０１２０】
以上、好ましい実施の形態及び変形例について詳説したが、上述した実施の形態及び変形例に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態及び変形例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【０１２１】
例えば、上記実施の形態や変形例では、フレーム同士を溶接により接合する例を示したが、溶接に代えて導電性接着剤による接合としてもよい。或いは、機械的な接合方法を選択してもよい。
【０１２２】
又、上記実施の形態や変形例は、適宜組み合わせることができる。
【符号の説明】
【０１２３】
１  リードフレーム
５、６  半導体装置
１０  基板フレーム
１０ｘ、３４ｚ  スリット
２０  単位リードフレーム群
３０、３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ、３０Ｅ  単位リードフレーム
３１、３２、３３、３４  フレーム
３１ｙ、３１ｚ、３２ｙ、３２ｚ、３３ｙ  凹部
３２ｔ、３２ｘ  開口部
３９  樹脂部
３９ａ  樹脂部の下面
３９ｂ  樹脂部の上面
４０  電子部品
４５  接合部
５１、６１  半導体チップ
５２  金属線
５３、６３  封止樹脂
６２  バンプ
３１０、３２０、３３０、３４０  金属板
３１０ａ、３２０ａ  金属板の上面
３１０ｂ、３２０ｂ  金属板の下面
３１１  チップ搭載部
３１２、３２２、３３２  リード
３１５、３１５Ａ、３１５Ｂ、３１５Ｄ  外部接続端子
３２１  ボンディングパッド
３２３、３４３  配線
３４４  パッド
【図１】
0006577373.tif 000002
【図２】
0006577373.tif 000003
【図３】
0006577373.tif 000004
【図４】
0006577373.tif 000005
【図５】
0006577373.tif 000006
【図６】
0006577373.tif 000007
【図７】
0006577373.tif 000008
【図８】
0006577373.tif 000009
【図９】
0006577373.tif 000010
【図１０】
0006577373.tif 000011
【図１１】
0006577373.tif 000012
【図１２】
0006577373.tif 000013
【図１３】
0006577373.tif 000014
【図１４】
0006577373.tif 000015
【図１５】
0006577373.tif 000016
【図１６】
0006577373.tif 000017
【図１７】
0006577373.tif 000018