(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
合成樹脂シートからなる母材と、折り目が形成されたシート状の成形型とを重ね合わせ、積層シート体を形成する準備ステップと、
該積層シート体の該母材と該成形型とを互いに仮止めして固定する仮止めステップと、
該仮止めステップを実施した後、該積層シート体を該折り目に沿って折り曲げ、山部と谷部とを有する蛇腹状に折曲する折曲ステップと、
該山部と該谷部とが互いに密接するまで圧縮した状態で該積層シート体を加熱する加熱ステップと、
該加熱ステップを実施した後、該積層シート体から該成形型を除去する成形型除去ステップと、を備え、
該母材単体で該蛇腹状の形状が維持される蛇腹の製造方法であって、
該成形型の該折り目は、直線状の穴又は線状の凹部に形成され、
該準備ステップでは、該母材に該成形型を１枚重ねることを特徴とする蛇腹の製造方法。
【請求項２】
該母材は、単層の該合成樹脂シートで構成されていることを特徴とする請求項１記載の蛇腹の製造方法。
【請求項３】
該成形型除去ステップ後、該母材は、アクリル樹脂系の接着剤を表面に塗布され、該表面に樹脂系の緩衝布が貼り合わせて積層されることを特徴とする請求項１記載の蛇腹の製造方法。
【請求項４】
該母材は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリウレタン（ＰＵ）のいずれかであることを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の蛇腹の製造方法。
【請求項５】
該折曲ステップでは、水平シート部と該水平シート部の両端から略垂直な下方に折曲されてなる一対の垂直部とからなるコの字状蛇腹に折曲されることを特徴とする請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載の蛇腹の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛇腹の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
機械等の伸縮変位部分又は屈曲変位部分を液体や塵、光線、湿気等の外乱因子から守るために、それらを遮蔽する伸縮自在式のカバーとして蛇腹状のカバーが多く用いられている。例えば、切削装置のように液体を用いる加工装置において、蛇腹状のカバーは、各軸部を液体の飛散から保護している（特許文献１参照）。
【０００３】
液漏れを防ぎ、耐久性が求められる蛇腹状のカバーでは、ゴム系（クロロスルホン化ポリエチレン、クロロプレンゴム、ニトリルブタジェンゴム、ウレタンゴム等）の材料が用いられている。例えば、ナイロン製の芯地の両面にゴムがコーティングされたシートに、折り目（ミシン目）や切り込み穴が形成されたフィルムシートを、気泡を挟まないようにゴム系（クロロプレンゴム、ニトリルブタジェンゴム、ウレタンゴム等）の接着剤で全面接着し、蛇腹となる積層体を形成する（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１３５５９３号公報
【特許文献２】特公平４−５５８５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、加工装置で用いられる薬剤、例えばオキシランは、ゴム系（クロロスルホルン化ポリエチレンゴム、クロロプレンゴム、ニトリルブタジェンゴム等）の材料を変質させる。オキシランを含んだ液体が長期間にわたりゴム系の材料から形成された蛇腹状のカバーに付着すると、ゴムが変質して液体を吸水し、蛇腹が伸縮する際に吸水した液体が絞り出され、ひいては蛇腹に水漏れを発生させてしまうという課題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、薬剤に対する耐性が強い蛇腹状のカバーを製造することができる蛇腹の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る蛇腹の製造方法は、合成樹脂シートからなる母材と、折り目が形成されたシート状の成形型とを重ね合わせ、積層シート体を形成する準備ステップと、該積層シート体の該母材と該成形型とを互いに仮止めして固定する仮止めステップと、該仮止めステップを実施した後、該積層シート体を該折り目に沿って折り曲げ、山部と谷部とを有する蛇腹状に折曲する折曲ステップと、該山部と該谷部とが互いに密接するまで圧縮した状態で該積層シート体を加熱する加熱ステップと、該加熱ステップを実施した後、該積層シート体から該成形型を除去する成形型除去ステップと、を備え、該母材単体で該蛇腹状の形状が維持される蛇腹の製造方法であって、該成形型の該折り目は、直線状の穴又は線状の凹部に形成され、該準備ステップでは、該母材に該成形型を１枚重ねることを特徴とする。
また、上記蛇腹の製造方法において、該母材は、単層の該合成樹脂シートで構成されていることが好ましい。
また、上記蛇腹の製造方法において、該成形型除去ステップ後、該母材は、アクリル樹脂系の接着剤を表面に塗布され、該表面に樹脂系の緩衝布が貼り合わせて積層されることが好ましい。
【０００８】
また、上記蛇腹の製造方法において、該母材は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリウレタン（ＰＵ）のいずれかであることが好ましい。
【０００９】
また、上記蛇腹の製造方法において、該折曲ステップでは、水平シート部と該水平シート部の両端から略垂直な下方に折曲されてなる一対の垂直部とからなるコの字状蛇腹に折曲されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の蛇腹の製造方法では、折り目が形成されたシート状の成形型を用いて、合成樹脂シートからなる母材に蛇腹状を形成し、母材単体で蛇腹状を維持するものである。これにより、ゴム系の材料を用いずに蛇腹状を形成することができるので、薬剤に対する耐性が強い蛇腹状のカバーを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、加工装置の構成例を示す分解斜視図である。
【図２】図２は、蛇腹の製造方法を示すフローチャートである。
【図３】図３は、母材の構成例を示す上面図である。
【図４】図４は、シート状の成形型の構成例を示す上面図である。
【図５】図５は、シート状の成形型及び母材の仮止め例（その１）を示す上面図である。
【図６】図６は、シート状の成形型及び母材の仮止め例（その２）を示す上面図である。
【図７】図７は、シート状の成形型及び母材の第１折曲例を示す斜視図である。
【図８】図８は、シート状の成形型及び母材の第２折曲例を示す斜視図である。
【図９】図９は、シート状の成形型及び母材の加熱例を示す斜視図である。
【図１０】図１０は、加熱後のシート状の成形型及び母材の構成例を示す斜視図である。
【図１１】図１１は、分離後の母材を示す斜視図である。
【図１２】図１２は、分離後のシート状の成形型を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１３】
〔実施形態〕
実施形態に係る加工装置について説明する。図１は、加工装置の構成例を示す分解斜視図である。加工装置１は、図示しないウェーハを切削するものである。加工装置１は、チャックテーブル１０と、加工手段２０と、割り出し送り手段３０と、切り込み送り手段４０と、加工送り手段５０と、図示しない制御手段とを備えている。
【００１４】
ウェーハは、シリコンやガリウムヒ素等の基板に半導体デバイスが形成されたり、サファイアやＳｉＣ等の基板に光デバイスが形成された半導体ウェーハや光デバイスウェーハ、無機材料基板、延性樹脂材料基板、セラミック基板やガラス板等、各種加工材料である。
【００１５】
ここで、Ｘ軸方向は、チャックテーブル１０に保持されたウェーハを加工送りする方向である。Ｙ軸方向は、Ｘ軸方向に同一水平面上で直交し、チャックテーブル１０に保持されたウェーハに対して、加工手段２０を割り出し送りする方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向、本実施形態では鉛直方向である。
【００１６】
チャックテーブル１０は、Ｘ軸方向に移動可能に装置本体２の上面に配設されている。チャックテーブル１０は、円板状に形成され、保持面１１を備えている。チャックテーブル１０は、図示しない回転手段により保持面１１の中心に直交する回転軸で回転される。保持面１１は、チャックテーブル１０の鉛直方向の上端面であり、水平面に対して平坦に形成されている。保持面１１は、例えばポーラスセラミック等で構成されており、図示しない真空吸引源の負圧により、ウェーハを吸引保持する。
【００１７】
加工手段２０は、チャックテーブル１０に保持されたウェーハを加工するものである。加工手段２０は、割り出し送り手段３０及び切り込み送り手段４０を介して装置本体２に配設されている。加工手段２０は、切削ブレード２１と、スピンドル２２と、ハウジング２３と、一対の加工水供給ノズル２４とを備えている。切削ブレード２１は、極薄の円板状かつ環状に形成された切削砥石である。スピンドル２２は、その先端に切削ブレード２１を着脱可能に装着する。ハウジング２３は、図示しないモータ等の駆動源を有しており、Ｙ軸方向の回転軸周りに回転自在にスピンドル２２を支持する。加工水供給ノズル２４は、切削ブレード２１を挟むように配設され、切削ブレード２１に対して加工水を供給する。加工手段２０は、スピンドル２２を高速回転させて切削ブレード２１によりウェーハを切削すると共に、加工水供給ノズル２４により切削ブレード２１に対して加工水を供給する。
【００１８】
割り出し送り手段３０は、チャックテーブル１０と加工手段２０とをＹ軸方向に相対移動させるものである。例えば、割り出し送り手段３０は、Ｙ軸方向に延在されるボールネジ３１やパルスモータ３２等の駆動源を有しており、切り込み送り手段４０を支持するＹ軸移動基台３３をＹ軸方向に移動させる。
【００１９】
切り込み送り手段４０は、チャックテーブル１０の保持面１１と直交するＺ軸方向に加工手段２０を移動させるものである。例えば、切り込み送り手段４０は、Ｚ軸方向に延在される図示しないボールネジやパルスモータ４１等の駆動源を有しており、加工手段２０を支持するＺ軸移動部材４２をＺ軸方向に移動させる。
【００２０】
加工送り手段５０は、チャックテーブル１０と加工手段２０とをＸ軸方向に相対移動させるものである。例えば、加工送り手段５０は、Ｘ軸方向に延在された一対のガイドレール５１と、ガイドレール５１と平行に配設されたボールネジ５２と、ボールネジ５２に螺合された図示しないナットに固定され、ガイドレール５１にスライド自在に配設されたＸ軸移動基台５３と、ボールネジ５２を回転させるパルスモータ５４とを備えている。加工送り手段５０は、パルスモータ５４によりボールネジ５２を回転させることにより、チャックテーブル１０を支持するＸ軸移動基台５３をＸ軸方向に移動させる。
【００２１】
ここで、切削ブレード２１によりウェーハを加工する際に供給される加工水が、加工送り手段５０のボールネジ５２などに付着することを防ぐために、加工送り手段５０には、カバー部材６０と、蛇腹機構７０とが配設されている。
【００２２】
カバー部材６０は、板状の部材であり、Ｚ軸方向から見た場合に略正方形に形成されている。カバー部材６０は、Ｘ軸方向から見た場合にコの字状に形成されており、上面部６１と、Ｙ軸方向における両端部がＺ軸方向に下向きに折り曲げられて形成された折曲部６２とを備えている。カバー部材６０は、チャックテーブル１０を支持するＸ軸移動基台５３とチャックテーブル１０との間に配設されている。カバー部材６０は、幅方向（Ｙ軸方向）の長さが加工送り手段５０の幅方向（Ｙ軸方向）の長さより若干長く形成されている。
【００２３】
蛇腹機構７０は、カバー部材６０を介在してＸ軸方向に延在するように配設されている。蛇腹機構７０は、第１蛇腹部７１Ａと第２蛇腹部７１Ｂとから構成され、カバー部材６０の一方側に第１蛇腹部７１Ａが配設され、カバー部材６０の他方側に第２蛇腹部７１Ｂが配設されている。
【００２４】
第１蛇腹部７１Ａは、２つの蛇腹部材７１０Ａ，７１０Ｂから構成されている。蛇腹部材７１０Ａ，７１０Ｂは、合成樹脂、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリウレタン（ＰＵ）等から形成されている。蛇腹部材７１０Ａ，７１０Ｂは、Ｘ軸方向から見た場合にコの字状に形成されており、水平シート部７１０ａと、一対の垂直部７１０ｂとを備えている。水平シート部７１０ａは、水平面に沿って山部７１０ｃと谷部７１０ｄとが伸縮方向（Ｘ軸方向）に交互に形成されている。水平シート部７１０ａの幅方向（Ｙ軸方向）の長さは、カバー部材６０の幅方向（Ｙ軸方向）の長さと略同じ長さである。すなわち、水平シート部７１０ａの幅方向（Ｙ軸方向）の長さは、加工送り手段５０の幅方向（Ｙ軸方向）の長さより若干長く形成されている。蛇腹部材７１０Ａ，７１０Ｂの垂直部７１０ｂは、水平シート部７１０ａの幅方向（Ｙ軸方向）における両端から略垂直に下方に折曲されて形成されている。一対の垂直部７１０ｂは、蛇腹状に形成されており、山部７１０ｅと谷部７１０ｆとが伸縮方向に交互に形成されている。蛇腹部材７１０Ａと蛇腹部材７１０Ｂとは、ガイドフレーム７１１を介して連結されている。ガイドフレーム７１１は、Ｘ軸方向から見た場合に、蛇腹部材７１０Ａ，７１０Ｂと同じコの字状に形成されており、ガイドフレーム７１１の下端の各々には、滑りを良くするためのローラー７１１ａが取り付けられている。カバー部材６０と連結される蛇腹部材７１０ＢのＸ軸方向における端面には、図示しないフレームが取り付けられており、フレームとカバー部材６０の端面とが図示しないネジにより固定される。
【００２５】
第２蛇腹部７１Ｂは、第１蛇腹部７１Ａと同様に構成されている。すなわち、第２蛇腹部７１Ｂは、２つの蛇腹部材７１０Ｃ，７１０Ｄから構成されている。蛇腹部材７１０Ｃ，７１０Ｄは、水平シート部７１０ａと、一対の垂直部７１０ｂとを備えている。水平シート部７１０ａは、水平面に沿って山部７１０ｃと谷部７１０ｄとが伸縮方向（Ｘ軸方向）に交互に形成されている。水平シート部７１０ａの幅方向（Ｙ軸方向）の長さは、カバー部材６０の幅方向（Ｙ軸方向）の長さと略同じ長さである。蛇腹部材７１０Ｃ，７１０Ｄの垂直部７１０ｂは、水平シート部７１０ａの幅方向（Ｙ軸方向）における両端から略垂直に下方に折曲されて形成されている。一対の垂直部７１０ｂは、蛇腹状に形成されており、山部７１０ｅと谷部７１０ｆとが伸縮方向に交互に形成されている。蛇腹部材７１０Ｃと蛇腹部材７１０Ｄとは、ガイドフレーム７１１を介して連結されている。ガイドフレーム７１１の下端の各々には、滑りを良くするためのローラー７１１ａが取り付けられている。カバー部材６０と連結される蛇腹部材７１０ＣのＸ軸方向における端面には、フレーム７１３が取り付けられており、フレーム７１３とカバー部材６０の端面とが図示しないネジにより固定される。
【００２６】
このように、カバー部材６０に連結された第１蛇腹部７１Ａ及び第２蛇腹部７１Ｂは、Ｘ軸方向において加工送り手段３０の上方を覆っている。チャックテーブル１０の移動に伴ってカバー部材６０がＸ軸方向に移動した場合に、第１蛇腹部７１Ａが伸長して第２蛇腹部７１Ｂが収縮するか、又は、第１蛇腹部７１Ａが収縮して第２蛇腹部７１Ｂが伸長する。なお、カバー部材６０の移動範囲において、第１蛇腹部７１Ａ又は第２蛇腹部７１Ｂが完全に伸びきることはなく、また、第１蛇腹部７１Ａ又は第２蛇腹部７１Ｂが完全に縮んでカバー部材６０の移動が妨げられることもない。
【００２７】
蛇腹機構７０の下方側には、蛇腹機構７０から加工屑と共に流れ落ちる加工水を受け止めて排出する排水手段８０が配設されている。排水手段８０は、排水路８１と、ドレン管８２とを備えている。排水路８１は、カバー部材６０に連結された第１蛇腹部７１Ａ及び第２蛇腹部７１Ｂを囲繞するように略長方形の枠形状に形成され、加工水が流れる部分が溝形状に形成されている。
【００２８】
排水路８１は、蛇腹機構７０の蛇腹部材７１０（７１０Ａ〜７１０Ｄ）の垂直部７１０ｂが位置付けられる底面板８１０と、底面板８１０の内周側に立設された内周壁８１１と、底面部８１０の外周側に立設された外周壁８１２とを備えている。内周壁８１１は、蛇腹部材７１０の垂直部７１０ｂの内側に位置し、外周壁８１２は、蛇腹部材７１０の垂直部７１０ｂの外側に位置している。これにより、蛇腹部材７１０の垂直部７１０ｂから流れ落ちる加工水を底面板８１０で受け止めて、底面板８１０で受け止めた加工水をドレン管８２へ向けて流すことができる。
【００２９】
排水路８１の内周壁８１１のＸ軸方向における両端部には、固定用金具８１３が取り付けられている。一方の固定用金具８１３には、第１蛇腹部７１Ａの蛇腹部材７１０Ａの端面に取り付けられたフレーム７１２が固定され、他方の固定用金具８１３には、第２蛇腹部７１Ｂの蛇腹部材７１０Ｄの端面に取り付けられたフレーム７１４が固定される。これにより、蛇腹機構７０のＸ軸方向における両端部が固定される。
【００３０】
ドレン管８２は、排水路８１の底面板８１０が一部開口された図示しない開口部に結合され、排水路８１に溜まった加工水を外部へ排出する。例えば、排水路８１は、若干傾斜して配設され、最も低い位置にドレン管８２が配設されている。これにより、排水路８１の加工水は、最も低い位置のドレン管８２に向けて流れ出し、ドレン管８２から外部に排出される。
【００３１】
制御手段８０は、加工装置１の各構成要素を制御するものである。例えば、制御手段８０は、割り出し送り手段３０、切り込み送り手段４０及び加工送り手段５０のパルスモータを駆動する図示しない駆動回路に接続され、駆動回路を制御してチャックテーブル１０のＸ軸方向の位置や、加工手段２０のＹ軸方向及びＺ軸方向の位置を決定する。
【００３２】
次に、実施形態に係る蛇腹の製造方法について説明する。図２は、蛇腹の製造方法を示すフローチャートである。図３は、母材の構成例を示す上面図である。図４は、シート状の成形型の構成例を示す上面図である。図５は、シート状の成形型及び母材の仮止め例（その１）を示す上面図であり、成形型が上面側に配置されている。図６は、シート状の成形型及び母材の仮止め例（その２）を示す上面図であり、母材が上面側に配置されている。図７は、シート状の成形型及び母材の第１折曲例を示す斜視図である。図８は、シート状の成形型及び母材の第２折曲例を示す斜視図である。図９は、シート状の成形型及び母材の加熱例を示す斜視図である。図１０は、加熱後のシート状の成形型及び母材の構成例を示す斜視図である。図１１は、分離後の母材を示す斜視図である。図１２は、分離後のシート状の成形型を示す斜視図である。
【００３３】
先ず、作業者は、母材９０と、折り目が形成されたシート状の成形型１００とを重ね合わせ、積層シート体１１０を形成する（図２に示すステップＳ１；準備ステップ）。ここで、母材９０及び成形型１００は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリウレタン（ＰＵ）等から形成された合成樹脂シートである。母材９０の厚さは、２０μｍ〜３００μｍ程度で、母材９０の硬度（ロックウェル）は、Ｒ６０〜１２０程度である。
【００３４】
母材９０及び成形型１００は、図３及び図４に示すように、略同じ大きさであり、矩形状に形成されている。成形型１００には、幅方向に延在する略直線状の複数の折り目１０１と、三角穴１０２とが形成されている。折り目１０１は、蛇腹部材７１０Ａの山部７１０ｃ及び谷部７１０ｄを形成するためのものである。例えば、折り目１０１は、山部用の折り目１０１ａと谷部用の折り目１０１ｂとが成形型１００の伸縮方向に一定の間隔で交互に形成されている。山部用の折り目１０１ａ及び谷部用の折り目１０１ｂは、ミシン目のような穴が略直線状に形成されることにより、折り曲げ可能に形成されている。なお、ミシン目に限らず、成形型１００の表面又は裏面に線状の凹部を形成することにより、折り曲げ可能に形成してもよい。
【００３５】
三角穴１０２は、垂直部７１０ｂを形成するためのものであり、成形型１００が開口されて設けられている。三角穴１０２は、二等辺三角形に形成され、底辺１０２ａは、母材９０の幅方向における両端部を略垂直に折り曲げる線上に形成され、伸縮方向において隣接する山部用の折り目１０１ａの間隔と同じ長さに形成されている。また、三角穴１０２の頂点１０２ｂは、垂直部７１０ｂ側における谷部用の折り目１０１ｂ上に形成されている。
【００３６】
このように構成された成形型１００を母材９０に重ね合わせて積層シート体１１０を形成する。このとき、母材９０が成形型１００からはみ出さないように、成形型１００と母材９０とを重ね合わせる。次に、作業者は、積層シート体１１０の母材９０と成形型１００とを互いに仮止めして固定する（ステップＳ２；仮止めステップ）。例えば、図５に示すように、先ず、成形型１００が上面側になるように積層シート体１１０を載置した状態で、三角穴１０２の配列方向に沿って、三角穴１０２を覆うように耐熱テープ１１１を貼る。これにより、三角穴１０２から露出した母材９０と成形型１００とを耐熱テープ１１１により部分的に貼り合わせることができる。次に、図６に示すように、積層シート体１１０の外周部１１２の４辺に耐熱テープ１１１を貼り、母材９０の外周部と成形型１００の外周部とを貼り合わせる。なお、図６は、母材９０が上面側に配置された積層シート体１１０を図示している。
【００３７】
次に、作業者は、積層シート体１１０を蛇腹状に折り曲げる（ステップＳ３；折曲ステップ）。例えば、作業者は、図７に示すように、成形型１００の山部用の折り目１０１ａに沿って積層シート体１１０を山折りにし、谷部用の折り目１０１ｂに沿って積層シート体１１０を谷折りにして、山部９１と谷部９２とを有する蛇腹状に積層シート体１１０を折り曲げる。
【００３８】
さらに、作業者は、図８に示すように、三角穴１０２の垂直二等分線１０２ｄに沿って三角穴１０２を谷折りにすると共に、２本の等辺１０２ｃを山折りにする。これにより、積層シート体１１０の端部１１３が略垂直に蛇腹状に折れ曲がり、水平シート部７１０ａの両端に一対の垂直部７１０ｂが形成される。
【００３９】
次に、作業者は、一対の垂直部７１０ｂ及び水平シート部７１０ａが形成された積層シート体１１０を図示しない加熱装置により加熱する（ステップＳ４；加熱ステップ）。例えば、作業者は、図９に示すように、積層シート体１１０を伸縮方向に折り畳んで収縮させ、積層シート体１１０の山部９１と谷部９２とが互いに密接するまで圧縮して留め具１１４により垂直部７１０ｂの各々と水平シート部７１０ａを固定する。そして、作業者は、積層シート体１１０が圧縮された状態で、積層シート体１１０を加熱装置により加熱する。加熱装置は、例えば、熱湯や熱気、蒸気等により積層シート体１１０を加熱する。積層シート体１１０を加熱する温度は、５０°〜３００°程度であり、加熱する時間は、１分〜１０分程度である。好ましくは、加熱温度は、８０°〜２００°程度であり、加熱時間は、２分〜５分程度である。例えば、加熱温度を１３０°程度に設定し、加熱時間を３分程度に設定する。
【００４０】
次に、作業者は、積層シート体１１０から成形型１００を除去する（ステップＳ５；成形型除去ステップ）。例えば、作業者は、自然冷却などにより積層シート体１１０の熱を放散させる。そして、作業者は、冷却された積層シート体１１０から留め具１１４を取り外し、図１０に示すように、圧縮された積層シート体１１０を伸長する。作業者は、積層シート体１１０から耐熱テープ１１１を剥がし、図１１及び図１２に示すように、母材９０から成形型１００を取り外す。成形型１００が取り外された母材９０は、圧縮状態で加熱処理されているので、母材９０単体で蛇腹状の形状が維持され、蛇腹部材７１０が形成される。
【００４１】
使用後の成形型１００は、平面形状に戻して再利用してもよい。例えば、図示しない平面板により使用後の成形型１００を両側から押圧すると共に加熱処理して平面形状に戻す。また、蛇腹状に形成された成形型１００を反対方向に折り曲げて平面形状に戻してもよい。
【００４２】
以上のように、実施形態に係る蛇腹の製造方法によれば、折り目１０１及び三角穴１０２が形成された成形型１００を用いて、母材９０を蛇腹状に形成し、母材９０単体で蛇腹状を維持するものである。母材９０は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリウレタン（ＰＵ）等から形成されており、ゴム系の材料を用いずに蛇腹状を容易に形成することができる。これにより、加工装置１で用いられる薬剤、例えばオキシランにより変質されず、薬剤に対する耐性が強い蛇腹部材７１０を製造することができる。また、ゴム系の材料を用いていないので軽量化を実現でき、蛇腹部材７１０の折り曲げ部位への負担を軽減することができる。また、従来のように、接着工程でシートの全面に接着剤を塗布したり、接着貼り合わせ時に気泡の混入を防いだりという高度な技能を必要とせず、作業時間がかかる工程を削減したことで、工程が簡易化され作業能率を向上させることができる。
【００４３】
また、母材９０から形成された蛇腹部材７１０は、水平シート部７１０ａと、水平シート部７１０ａの両端から略垂直な下方に折曲されてなる一対の垂直部７１０ｂとからなるコの字状蛇腹に折り曲げられている。このような複雑な蛇腹状であっても、成形型１００を用いて容易に形成することができる。
【００４４】
〔変形例〕
次に、実施形態の変形例について説明する。蛇腹部材７１０は、樹脂系の緩衝布で表面を被覆してもよい。例えば、作業者は、母材９０から成形型１００を取り外した後（ステップＳ５の後）に、アクリル樹脂系の接着剤を蛇腹状の母材９０の表面に塗布し、蛇腹状の母材９０の表面に樹脂系の緩衝布を貼り合わせて積層する。これにより、加工手段２０で加工した際に飛散する端材により、蛇腹部材７１０が受ける損傷を軽減することができる。
【００４５】
また、排水路８１から加工水の飛沫が上方へ飛散しないようにする蛇腹状の水返し膜（図示せず）を蛇腹部材７１０の垂直部７１０ｂに設けてもよい。例えば、作業者は、母材９０から成形型１００を取り外した後（ステップＳ５の後）に、蛇腹部材７１０の伸縮方向における一端側から他端側まで、排水路８１の上方を覆うように垂直部７１０ｂの内側から突出させた蛇腹状の水返し膜を接着して固定する。
【００４６】
また、圧縮された積層シート体１１０を留め具１１４により固定したが、これに限定されない。例えば、圧縮された積層シート体１１０を１対の板状部材により挟み込んで固定して加熱してもよい。
【００４７】
また、冷却後に積層シート体１１０から留め具１１４を取り外す例を説明したが、母材９０に蛇腹形状を癖付けすることができれば、留め具１１４を取り外すタイミングは、冷却後に限定されない。
【００４８】
また、作業者が成形型１００を使用して母材９０から蛇腹部材７１０を製造したが、図示しない蛇腹製造装置を用いて自動的に製造してもよい。例えば、蛇腹製造装置は、母材９０と成形型１００とを重ね合わせて積層シート体１１０を形成する重ね合わせ手段と、積層シート体１１０の母材９０と成形型１００とを耐熱テープ１１１により互いに仮止めして固定する仮止め手段と、積層シート体１１０を蛇腹状に折り曲げる折り曲げ手段と、熱湯や熱気、蒸気等により積層シート体１１０を加熱する加熱手段と、積層シート体１１０から成形型１００を除去する除去手段とを備える。
【００４９】
また、上述した蛇腹の製造方法により製造される蛇腹部材７１０は、ウェーハを切削する際に生じる加工水や加工屑から加工送り手段５０を保護する例について説明したが、これに限定されない。例えば、蛇腹部材７１０は、旋盤やフライス盤等の加工装置の可動部や軸部を、油を含む切削液や切削屑から保護するものとして使用してもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１  加工装置
５０  加工送り手段
６０  カバー部材
７０  蛇腹機構
７１Ａ  第１蛇腹部
７１Ｂ  第２蛇腹部
７１０（７１０Ａ〜７１０Ｄ）  蛇腹部材
７１０ａ  水平シート部
７１０ｂ  垂直部
８０  排水手段
８１  排水路
９０  母材
１００  成形型
１０１  折り目
１０１ａ  山部用の折り目
１０１ｂ  谷部用の折り目
１０２  三角穴
１１０  積層シート体
１１１  耐熱テープ
１１４  留め具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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