(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流入口と第１弁座を有する第１ケース部材と、  排気口と吐出口を有する第２ケース部材と、  少なくとも一方が凹形状を有する、前記第１ケース部材と前記第２ケース部材とを、前記凹形状を内側にして第１接着部材で接着することによって形成されたバルブ室と、  前記バルブ室を、前記流入口と連接する下バルブ室と、前記吐出口と前記排気口とを連接する上バルブ室と、に分離するように形成されているダイヤフラムと、  を備え、  前記ダイヤフラムは、第１開口部を有し、前記第１開口部の周囲が前記第１弁座に接触するように、前記バルブ室内に配置されており、  前記第１ケース部材と、前記第２ケース部材と、から形成されるケースを厚み方向に視て、前記ダイヤフラムの平面面積は、前記ケースの平面面積よりも小さく、  前記ダイヤフラムの外周は、前記ケースの内部に位置するように、前記第１接着部材で前記第１ケース部材及び前記第２ケース部材の少なくとも一方に固定されている、  バルブ。
【請求項２】
前記第１ケース部材と、前記第２ケース部材との間に、補強板を備え、  前記第１接着部材は、前記補強板と前記第１ケース部材、前記補強板と前記第２ケース部材とをそれぞれ接着し、  前記第１ケース部材と前記第２ケース部材との接着強度よりも前記第１ケース部材または前記第２ケース部材と前記補強板との接着強度の方が高い、  請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
前記補強板が金属である、  請求項２に記載のバルブ。
【請求項４】
前記ダイヤフラムは、弾性膜と、支持板と、  前記弾性膜と前記支持板とを接着する第２接着部材とを備え、  前記支持板は、  前記ダイヤフラムの前記厚み方向に対する振動方向において、  前記弾性膜よりも曲げ剛性が高い、  請求項１または請求項２に記載のバルブ。
【請求項５】
前記支持板は、  前記厚み方向における、前記排気口に対向する位置に、第３開口部を備えた、  請求項４に記載のバルブ。
【請求項６】
前記支持板は、  第２開口部を有する第２接着部材を介して、前記弾性膜に当接するように形成されており、  前記第３開口部は、前記第２開口部に対向するように形成された、  請求項５に記載のバルブ。
【請求項７】
前記第２開口部の断面積は、  前記第３開口部の断面積よりも大きい、請求項６に記載のバルブ。
【請求項８】
前記支持板は、  前記排気口に対向する部分の厚さが薄い、薄厚部を備えた、  請求項４に記載のバルブ。
【請求項９】
前記支持板は、  第２開口部を有する第２接着部材を介して、前記弾性膜に当接するように形成されており、  前記薄厚部は、前記第２開口部に対向するように形成された、  請求項８に記載のバルブ。
【請求項１０】
前記弾性膜は、ゴム材である、請求項４乃至請求項９のいずれかに記載のバルブ。
【請求項１１】
前記支持板は、金属である、請求項４乃至請求項１０のいずれかに記載のバルブ。
【請求項１２】
前記流入口と、前記吐出口とは、  前記流入口からの流入状態において、前記ダイヤフラムで塞がれ、  前記吐出口からの流出状態において、連通している、  請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載のバルブ。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載のバルブと、  前記流入口に接続されているポンプと、  前記吐出口に接続されているカフと、  を備えた、アプリケーション機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、ポンプ等に用いられる、流体の流れを制御するバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、ポンプに、バルブを接続し、流体の流れを制御するための技術が各種実用化されている。【０００３】  特許文献１においては、バルブ内に配置されているダイヤフラムの外周端を両面テープでケースに固定し、該ダイヤフラムの変形を利用して、流体の流れを制御するバルブが用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１７−２６１５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  しかしながら、特許文献１のバルブでは、ダイヤフラムの外周端がケースの側面から外部に露出している。このため、バルブ室内にかかる圧力と外圧との差によって、外周端に大きな負荷がかかり、経年劣化等によってダイヤフラムの外周端がケースから剥離し、バルブ室内の流体が外部へ漏れることがある。これにより、バルブの信頼性が低下する虞がある。【０００６】  したがって、本発明の目的は、バルブの信頼性を向上させる構造を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】  この発明におけるバルブは、流入口と第１弁座を有する第１ケース部材と、排気口と吐出口を有する第２ケース部材と、少なくとも一方が凹形状を有する、第１ケース部材と第２ケース部材とを、凹形状を内側にして第１接着部材で接着することによって形成されたバルブ室と、バルブ室を流入口と連接する下バルブ室と、吐出口と排気口とを連接する上バルブ室と、に分離するように形成されているダイヤフラムと、を備える。【０００８】  ダイヤフラムは、第１開口部を有し、第１開口部の周囲が第１弁座に接触するように、バルブ室内に配置されており、第１ケース部材と、第２ケース部材とで形成されるケースを厚み方向に視て、ダイヤフラムの平面面積は、ケースの平面面積よりも小さい。また、ダイヤフラムの外周は、ケースの内部に位置するように、第１接着部材で第１ケース部材及び第２ケース部材の少なくとも一方に固定されている。【０００９】  この構成では、ダイヤフラムの外周端が第１接着部材で覆われることにより、ダイヤフラムが、バルブ（ケース）の外部に露出しない。このことから、ダイヤフラムの接着面は、外圧とポンプ室内の圧力との影響をうけず、接着面の破断（剥離）等による、バルブ室内の流体の外部への漏れを抑制できる。【００１０】  この発明におけるバルブは、第１ケース部材と第２ケース部材との間に、補強板を備えていることが好ましい。また、第１接着部材は、補強板と第１ケース部材、補強板と第２ケース部材と、をそれぞれ接着していることが好ましい。また、第１ケース部材と第２ケース部材との接着強度よりも第１ケース部材または第２ケース部材と補強板との接着強度の方が高いことが好ましい。【００１１】  この構成では、第１ケース部材と、第２ケース部材との引っ張り接着強度が向上する。【００１２】  この発明におけるバルブの補強板は金属であることが好ましい。【００１３】  この構成では、補強板と第１ケース部材、および、補強板と第２ケース部材の引っ張り接着強度が向上する。【００１４】  この発明におけるバルブが備えるダイヤフラムは、弾性膜と、支持板と、弾性膜と支持板とを接着する第２接着部材とを備えていることが好ましい。支持板は、ダイヤフラムの厚み方向に対する振動方向において、弾性膜よりも曲げ剛性が高いことが好ましい。【００１５】  この構成では、ダイヤフラムの変形量を調整できる。このことから、ダイヤフラムの破れを抑制できる。【００１６】  この発明におけるバルブが備える支持板は、厚み方向における、排気口に対向する位置に、第３開口部を備えていても良い。【００１７】  この構成では、ダイヤフラムの排気口に対向する部分を変形しやすくしながら、他の部分の変形を抑制できる。【００１８】  この発明におけるバルブが備える支持板は、第２開口部を有する第２接着部材を介して、弾性膜に当接するように形成されており、第３開口部は、第２開口部に対向するように形成されていることが好ましい。【００１９】  この構成では、第２接着部材を用いて、支持板と弾性膜とを確実に固定できる。また、弾性膜における薄厚部が対向する箇所において、第３開口部を備えていることによって、弾性膜の動きを抑制しない。【００２０】  この発明のバルブにおい��、支持板が備える第２開口部の断面積は、ダイヤフラムが備える第３開口部の断面積よりも大きいことが好ましい。【００２１】  この構成では、ダイヤフラムの排気口の部分の動きを抑制しにくい。【００２２】  この発明におけるバルブが備える支持板は、排気口に対向する部分の厚さが薄い、薄厚部を備えていることが好ましい。【００２３】  この構成では、ダイヤフラムの排気口に対向する部分の変位量が最も大きくなる。ダイヤフラムの他の部分における変位量を抑制できる。【００２４】  この発明におけるバルブが備える支持板は、第２開口部を有する第２接着部材を介して、弾性膜に当接するように形成されており、薄厚部は、第２開口部に対向するように形成されていることが好ましい。【００２５】  この構成では、第２接着部材を用いて、支持板と弾性膜とを確実に固定できる。また、弾性膜における薄厚部が対向する箇所において、薄厚部の厚みが薄いことによって、弾性膜の動きを抑制しない。【００２６】  この発明におけるバルブの弾性膜は、ゴム材であることが好ましい。【００２７】  この構成では、弾性膜の弾性力を高くすることができ、より精度の高いバルブを実現できる。また、ダイヤフラムの形成が容易である。【００２８】  この発明におけるバルブの支持板は、金属であることが好ましい。【００２９】  この構成では、第２接着部材が両面テープであった場合に、支持板と第２接着部材との接着力が向上する。【００３０】  この発明におけるバルブにおいて、流入口と吐出口とは、流入口からの流入状態において、ダイヤフラムで塞がれ、吐出口からの流出状態において、連通していることが好ましい。【００３１】  この構成では、吐出口から流入口への逆流を防止できる。【００３２】  また、この発明のバルブは、流入口に接続されているポンプと、吐出口に接続されているカフとを備え、アプリケーション機器に用いられる。【００３３】  この構成では、アプリケーション機器の性能が向上する。アプリケーション機器は、例えば、血圧計、マッサージ器、吸引器、および、陰圧閉鎖療法装置等である。
【発明の効果】
【００３４】  この発明によれば、バルブの信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】図１は本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０の側面断面図である。
【図２】図２は本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０に、ポンプ２０を接続した場合の概要斜視図である。
【図３】図３は本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０の側面断面図である。
【図４】図４は本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０の一部構成を示す図である。
【図５】図５は本発明の第２の実施形態に係るバルブ１０Ａの側面断面図である。
【図６】図６は本発明の第３の実施形態に係るバルブ１０Ｂの側面断面図である。
【図７】図７は本発明の第４の実施形態に係るバルブ１０Ｃの一部構成を示す図である。
【図８】図８は本発明の第５の実施形態に係るバルブ１０Ｄの一部構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】（第１の実施形態）  本発明の第１の実施形態に係るバルブについて、図を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０の側面断面図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０に、ポンプ２０を接続した場合の概要斜視図である。図３は、本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０の側面断面図である。図４は、本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０の一部構成を示す図である。なお、図を見やすくするため、一部の符号を省略し、一部の構造を誇張して記載している。
【００３７】  図１、図２に示すように、ポンプ２０と、バルブ１０とは、それぞれの厚み方向に沿って積層されている。すなわち、ポンプ２０、バルブ１０の順に積層される方向と厚み方向は同じである。バルブ１０は、第１ケース部材１０１、第２ケース部材１０５の順に厚み方向に対して、積層されている。
【００３８】  第１ケース部材１０１は、略平板状であり、厚み方向に平面視した略中央となる位置に、流入口Ｈ１を有する。ポンプ２０は、流入口Ｈ１に当接するように接続されている。また、第１ケース部材１０１は、第１弁座ＶＳを有する。第１弁座ＶＳは、ポンプ２０に当接する面と反対側の面から突出する形状である。
【００３９】  第２ケース部材１０５は、厚み方向に平面視した中央に凹みを有する。該凹みの底部には、外部に連通する排気口Ｈ２と、吐出口Ｈ３を有する。
【００４０】  第１ケース部材１０１は、第２ケース部材１０５の凹みの開口面を覆うように配置されている。この構造により、第１ケース部材１０１と第２ケース部材１０５とに囲まれるバルブ室が形成される。
【００４１】  なお、第２ケース部材１０５には、ボス１６０が形成されている。ボス１６０は、厚み方向に立設しており、ボス１６０の天面は、第１ケース部材１０１に当接している。このことにより、バルブ室内の高さを精度よく実現でき、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５とを確実に固定できる。
【００４２】  第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５とで形成されるケース内部には、ダイヤフラム１５０が配置されている。
【００４３】  ダイヤフラム１５０は、支持板１０２と、第２接着部材１０３と、弾性膜１０４とからなる。また、ダイヤフラム１５０は、第１ケース部材１０１側から、支持板１０２、第２接着部材１０３、弾性膜１０４の順に配置されている。支持板１０２は、第２接着部材１０３を介して、弾性膜１０４に当接するように形成されている。
【００４４】  より具体的にダイヤフラム１５０の固定構造を説明する。ダイヤフラム１５０は、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５との間に、第１接着部材３００で固定されている。この際、厚み方向に平面視した場合、ダイヤフラム１５０の外周端は、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５で形成された、ケースの内部に含まれる形状である。
【００４５】  すなわち、厚み方向に平面視した場合、ダイヤフラム１５０の平面面積は、ケースの平面面積よりも小さい形状である。
【００４６】  したがって、バルブ室は、第１接着部材３００で、固定されたダイヤフラム１５０によって、下バルブ室１０６と、上バルブ室１０７とに分離される。
【００４７】  また、第１接着部材３００は、例えば、シリコン接着剤である。第１接着部材３００が、シリコン接着剤であることにより、第１ケース部材１０１と、ダイヤフラム１５０と、第２ケース部材１０５とをより確実に固定できる。さらに、第１接着部材３００は、ダイヤフラム１５０の不要な振動を吸収し、より安定したバルブ１０を実現できる。
【００４８】  より詳細なダイヤフラム１５０の構成について説明する。弾性膜１０４は、第１開口部１１１を備える。第２接着部材１０３は、第２開口部１１２Ｒ、１１２Ｌを有する。支持板１０２は、第３開口部１１３Ｒ、１１３Ｌを有する。
【００４９】  弾性膜１０４は、例えばゴム材である。弾性膜１０４がゴム材であることにより、弾性力を高くすることができ、より動作効率の高いバルブ１０を実現できる。
【００５０】  また、支持板１０２は、弾性膜１０４に対して、厚み方向に弾性率が高い、すなわち、曲げ剛性が高い部材であることが好ましい。例えば、ＳＵＳ、アルミニウム、銅、樹脂をメッキ加工した部材である。なお、曲げ剛性が高いとは、ヤング率が大きいことを意味する。支持板１０２の曲げ剛性は、支持板１０２の断面２次モーメントＩと、支持板１０２を構成する材料のヤング率Ｅの積で表される。すなわち、曲げ剛性（Ｎ・ｍ２）＝断面２次モーメントＩ（ｍ４）×ヤング率Ｅ（Ｐａ）の式で表される。
【００５１】  支持板１０２、および、弾性膜１０４が、上述の部材を用いて構成されている場合、支持板１０２と弾性膜１０４とを固定する第２接着部材１０３は、両面テープであることが好ましい。このことによって、支持板１０２と弾性膜１０４とをより確実に固定できる。
【００５２】  弾性膜１０４の第１開口部１１１は、第２接着部材１０３の第２開口部１１２Ｒに重なる。第２接着部材１０３の第２開口部１１２Ｒは、支持板１０２の第３開口部１１３Ｒに重なる。すなわち、第１開口部１１１と、第２開口部１１２Ｒと、第３開口部１１３Ｒとは、重なる。第１開口部１１１と、第２開口部１１２Ｒと、第３開口部１１３Ｒとが、重なる空間に、第１弁座ＶＳが配置されている。第１弁座ＶＳは、流入口Ｈ１から流体が下バルブ室１０６に流入していない状態で、弾性膜１０４の第１開口部１１１に当接する。
【００５３】  なお、第１弁座ＶＳが形成されていることにより、バルブ１０の形成時の第１ケース部材１０１と、ダイヤフラム１５０と、第２ケース部材１０５の形成位置決めを正確に行うことができる。また、第１弁座ＶＳは、第１開口部１１１に当接する箇所でＲ面取りされていることが好ましい。このことによって、バルブ１０が稼働する際の弾性膜１０４の破れ等を抑制できる。
【００５４】  第２接着部材１０３の第２開口部１１２Ｌは、支持板１０２の第３開口部１１３Ｌに対向する。また、第２接着部材１０３の第２開口部１１２Ｌは、弾性膜１０４を挟んで、第２ケース部材１０５の排気口Ｈ２に対向する位置に形成されている。すなわち、第２開口部１１２Ｌと、第３開口部１１３Ｌと、排気口Ｈ２とは、平面視して重なっている。
【００５５】  図２に示すように、バルブ１０は、ポンプ２０に接続されて用いられる。バルブ１０は、ポンプ２０から流入した流体を、バルブ１０に接続した、図示しないカフ等に送り出す。
【００５６】  ポンプ２０を駆動させた時の動作について、具体的に説明する。流体は、ポンプ２０は、圧電体を駆動することによって、流体をバルブ１０の流入口Ｈ１に流入させる。流体が下バルブ室１０６に流入すると、下バルブ室１０６は、上バルブ室１０７よりも高圧になり、ダイヤフラム１５０が変形して、第１開口部１１１が第１弁座ＶＳから離間する。これにより、流体は、下バルブ室１０６から第３開口部１１３Ｒと第２開口部１１２Ｒを通り、第１開口部１１１に流入する。
【００５７】  流体は、第１開口部１１１を介して、上バルブ室１０７に流入し、吐出口Ｈ３から、図示しないカフ等に流出する。すなわち、ポンプ２０を駆動させた際、流入口Ｈ１と吐出口Ｈ３とは、連通している。
【００５８】  一方、吐出口Ｈ３と排気口Ｈ２とは、変形したダイヤフラム１５０が、排気口Ｈ２と吐出口Ｈ３との間の壁に当接し、吐出口Ｈ３と排気口Ｈ２との間を塞ぐ。
【００５９】  ポンプ２０を制動させた時の動作について、具体的に説明する。ポンプ２０が制動することにより、ポンプ２０内の圧力が大気開放され、上バルブ室１０７は、下バルブ室１０６よりも高圧になる。これによって、図示しないカフ等内の流体は、吐出口Ｈ３を介して、上バルブ室１０７に流入する。ダイヤフラム１５０は、下バルブ室１０６側に膨らむように変形し、第１開口部１１１は、第１弁座ＶＳに当接する。また、ダイヤフラム１５０は、吐出口Ｈ３と排気口Ｈ２の間の壁から離間し、吐出口Ｈ３と排気口Ｈ２とが連通する。すなわち、ポンプ２０を制動させた際の流入口Ｈ１と吐出口Ｈ３とは、塞がれる。一方、吐出口Ｈ３と排気口Ｈ２とは連通する。
【００６０】  ポンプ２０を制動させた時のバルブ１０の動作について、図３を用いて、より具体的に説明する。ポンプ２０を制動させた時、図示しないカフ等から流体ＦＬが吐出口Ｈ３に流入する。流体ＦＬは、排気口Ｈ２から流出する。
【００６１】  この際、上述のとおり、弾性膜１０４のポンプ２０側、すなわち厚み方向とは逆方向に圧力Ｐ２がかかる。
【００６２】  ダイヤフラム１５０は、弾性膜１０４の変位とともに変位する。この際、ダイヤフラム１５０の外周にかかる圧力Ｐ１は、吐出口Ｈ３と対向する位置にかかる圧力Ｐ２よりも大きい。このことから、従来の構成であれば、経年劣化等により、ダイヤフラム１５０は、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５から破断（剥離）しやすい。
【００６３】  しかしながら、本発明におけるダイヤフラム１５０は、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５との界面に露出していない。このため、外気圧とバルブ室の圧力との差圧による応力が生じず、第１ケース部材１０１、第２ケース部材１０５に対する剥離が起こりにくい。したがって、外気圧の影響を受けず、下バルブ室１０６と上バルブ室１０７の内部における流体が、バルブ１０の外部へ漏れることを抑制できる。
【００６４】  また、図４は、支持板１０２と、第２接着部材１０３とを厚み方向に平面視した図である。第２開口部１１２Ｒ、１１２Ｌを厚み方向に平面視した時の第２開口部１１２Ｌの開口面積を開口面積Ｓ１とする。同様に、第３開口部１１３Ｌを厚み方向に平面視した時の第３開口部１１３Ｌの開口面積を開口面積Ｓ２とする。
【００６５】  開口面積Ｓ１＞開口面積Ｓ２であることにより、第３開口部１１３Ｌが無い場合と比較して、排気口Ｈ２に重なる部分での変位量を大きくでき、弾性膜１０４の他の部分の変位量を調整することができる。
【００６６】  弾性膜１０４の排気口Ｈ２に重なる面積の部分の変位に必要な変位量確保しながら、弾性膜１０４が変形して、下バルブ室１０６への過剰な変形を抑制することができる。すなわち、弾性膜１０４の破れを抑制することができる。
【００６７】  この構成を用いることによって、信頼性が高い、バルブの構造を実現できる。
【００６８】  また、バルブ１０は、流入口Ｈ１に接続されるポンプ２０と、吐出口Ｈ３に接続されるカフ等を用いたアプリケーション機器として用いられる。なお、バルブ１０は、加圧する部分である。アプリケーション機器とは、例えば、血圧計、マッサージ器、吸引器、および、陰圧閉鎖療法装置等である。
【００６９】（第２の実施形態）  本発明の第２の実施形態に係るバルブについて、図を参照して説明する。図５は、本発明の第２の実施形態に係るバルブ１０Ａの側面断面図である。なお、図を見やすくするため、一部の符号を省略し、一部の構造を誇張して記載している。
【００７０】  図５に示すように、第２の実施形態に係るバルブ１０Ａは、第１の実施形態に係るバルブ１０に対して、補強板１２０を備えている点において異なる。バルブ１０Ａの他の構成は、バルブ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
【００７１】  補強板１２０は、厚み方向において、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５との間に形成されている。補強板１２０と第１ケース部材１０１とは両面テープや接着剤等で接着されており、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５とは、補強板１２０を介して、第１接着部材３００で接着される。
【００７２】  補強板１２０は、金属板である。
【００７３】  なお、第１接着部材３００を用いることによって、金属同士である補強板１２０と支持板１０２との接着力が高くなる。
【００７４】  したがって、この構成を用いることで、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５との接着強度を高めることができ、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５との剥離を抑制することができる。なお、接着強度とは、引っ張り接着強度である。
【００７５】  また、補強板１２０と、支持板１０２とが金属であり、第１接着部材３００で接着していることにより、第１ケース部材１０１、第２ケース部材１０５、補強板１２０の接着力は向上する。これにより、バルブ１０Ａの信頼性はさらに向上する。
【００７６】  また、第１の実施形態と同様に、支持板１０２によって、弾性膜１０４の破れは、抑制される。
【００７７】（第３の実施形態）  本発明の第３の実施形態に係るバルブについて、図を参照して説明する。図６は、本発明の第３の実施形態に係るバルブ１０Ｂの側面断面図である。なお、図を見やすくするため、一部の符号を省略し、一部の構造を誇張して記載している。
【００７８】  図６に示すように、第３の実施形態に係るバルブ１０Ｂは、第１の実施形態に係るバルブ１０に対して、支持板１０２Ｂが薄肉部１１３Ｔを備えている点において異なる。バルブ１０Ａの他の構成は、バルブ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
【００７９】  支持板１０２Ｂは、第３開口部１１３Ｒと、薄肉部１１３Ｔとを有する。
【００８０】  第２接着部材１０３の第２開口部１１２Ｌは、支持板１０２Ｂの薄肉部１１３Ｔと平面視で重なる。また、第２接着部材１０３の第２開口部１１２Ｌは、弾性膜１０４を挟んで、第２ケース部材１０５の排気口Ｈ２に対向する位置に形成されている。
【００８１】  厚み方向における、薄肉部１１３Ｔの厚みは、支持板１０２Ｂの薄肉部１１３Ｔ以外の厚みより薄い。すなわち、薄肉部１１３Ｔは、支持板１０２Ｂに形成された凹部によって実現される。
【００８２】  この構成でも、第１の実施形態と同様に、支持板１０２Ｂによって、弾性膜１０４の破れは、抑制される。
【００８３】（第４の実施形態）  本発明の第４の実施形態に係るバルブについて、図を参照して説明する。図７は、本発明の第４の実施形態に係るバルブ１０Ｃの第２接着部材１０３Ｃの構成を示す図である。
【００８４】  図７に示すように、第４の実施形態に係るバルブ１０Ｃは、第１の実施形態に係るバルブ１０に対して、第２接着部材１０３Ｃの第２開口部１１２Ｃの形状において異なる。バルブ１０Ｃの他の構成は、バルブ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
【００８５】  第２開口部１１２Ｃは、第３開口部１１３Ｌと対向しており、第２開口部１１２Ｃの開口面積は、第３開口部１１３Ｌの開口面積よりも大きい。また第２開口部１１２Ｃの形状は、円形と矩形を合成した形状である。
【００８６】  この構成であっても、上述の構成と同様に、弾性膜１０４の破れを抑制できるため、第１の実施形態と同様の作用効果が得られる。
【００８７】  さらに、第２開口部１１２Ｃと、第２開口部１１２Ｒの形状が異なるため、製造時の第２接着部材１０３Ｃの向きを誤った方向への取り付けを防止できる。
【００８８】（第５の実施形態）  本発明の第５の実施形態に係るバルブについて、図を参照して説明する。図８は、本発明の第５の実施形態に係るバルブ１０Ｄの第２接着部材１０３Ｄの構成を示す図である。
【００８９】  図８に示すように、第５の実施形態に係るバルブ１０Ｄは、第１の実施形態に係るバルブ１０に対して、第２接着部材１０３Ｄの第２開口部１１２Ｄの形状、第２開口部１１２Ｄと第２開口部１１２Ｒを接続する開口接続部１１６を備えている点において異なる。バルブ１０Ｄの他の構成は、バルブ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
【００９０】  第２開口部１１２Ｄは、第３開口部１１３Ｌと対向している。また、第２開口部１１２Ｄと、第２開口部１１２Ｒとは、開口接続部１１６で接続されている。
【００９１】  第２開口部１１２Ｄの開口面積は、第３開口部１１３Ｌの開口面積よりも大きい。また、第２開口部１１２Ｄと、開口接続部１１６と、第２開口部１１２Ｒとを合わせた形状は、略錨型である。
【００９２】  この構成であっても、上述の構成と同様に、弾性膜１０４の破れを抑制できるため、第１の実施形態と同様の作用効果が得られる。
【００９３】  さらに、第２開口部１１２Ｄと、第２開口部１１２Ｒの形状が異なるため、製造時の第２接着部材１０３Ｄの向きを誤った方向への取り付けを防止できる。
【００９４】  なお、上述の各実施形態の構成に限られるものではなく、これらの実施形態の組み合わせを変更したものであっても良い。
【符号の説明】
【００９５】ＦＬ…流体Ｈ１…流入口Ｈ２…排気口Ｈ３…吐出口Ｐ１、Ｐ２…圧力Ｓ１、Ｓ２…開口面積ＶＳ…第１弁座１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ…バルブ２０…ポンプ１０１…第１ケース部材１０２、１０２Ｂ…支持板１０３、１０３Ｃ、１０３Ｄ…第２接着部材１０４…弾性膜１０５…第２ケース部材１０６…下バルブ室１０７…上バルブ室１１１…第１開口部１１２Ｃ、１１２Ｄ、１１２Ｌ、１１２Ｒ…第２開口部１１３Ｌ、１１３Ｒ…第３開口部１１３Ｔ…薄肉部１１６…開口接続部１２０…補強板１５０…ダイヤフラム１６０…ボス３００…第１接着部材
【要約】  バルブ（１０）は、流入口（Ｈ１）と第１弁座（ＶＳ）を有する第１ケース部材（１０１）と、排気口（Ｈ２）と吐出口（Ｈ３）を有する第２ケース部材（１０５）と、第１ケース部材（１０１）と第２ケース部材（１０５）とを、第１接着部材（３００）で接着することによって形成されたバルブ室と、バルブ室を流入口（Ｈ１）と連接する下バルブ室（１０６）と、吐出口（Ｈ３）と排気口（Ｈ２）とを連接する上バルブ室（１０７）と、に分離するように形成されているダイヤフラム（１５０）と、を備える。ダイヤフラム（１５０）は、第１開口部（１１１）を有し、第１開口部（１１１）の周囲が第１弁座（ＶＳ）に接触するように、バルブ室内に配置されており、ダイヤフラム（１５０）の外周は、ケースの内部に位置するように、第１接着部材（３００）で第１ケース部材（１０１）及び第２ケース部材（１０５）の少なくとも一方に固定されている。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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