(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント基板の搬送経路上に設置される基板支持装置において、
前記搬送経路に沿う方向をＸ軸方向とする直交座標系におけるＸＹ平面に沿って配置され、当該ＸＹ平面上にマトリックス状に設けられた複数のピン載置部を有するプッシュアッププレートと、
前記ピン載置部に選択的に載置される複数のプッシュアップピンと、
前記ピン載置部に対する前記プッシュアップピンの着脱動作を一本ずつ実行するピン搬送ユニットと、
前記プッシュアッププレートを昇降する昇降機構と、
移動対象となるプッシュアップピンの移動元のＸＹ座標から移動先のＸＹ座標までを前記ＸＹ平面上において直線で結ぶ直線経路に沿って当該移動対象となるプッシュアップピンを移動する場合に、当該直線経路上で移動対象となるプッシュアップピンが他のプッシュアップピンと干渉するか否かの有無を判定する干渉判定部と、
前記干渉判定部によって前記直線経路上で干渉が生じると判定された場合に、前記移動元の座標から前記移動先の座標までの迂回経路を探索するとともに、迂回経路があったときには、当該迂回経路を設定する迂回設定部と、
前記干渉判定部および前記迂回設定部の処理結果に基づいて前記プッシュアップピンの移動経路を設定するとともに、前記干渉判定部によって干渉が生じると判定された場合において、前記迂回設定部が前記迂回経路を設定しなかったときにのみ、前記プッシュアッププレートの昇降動作による干渉回避を実行するように当該プッシュアッププレートの昇降動作の要否を設定する駆動設定部と、
前記駆動設定部による設定に基づいて前記ピン搬送ユニットと前記プッシュアッププレートの駆動を制御する駆動制御部と、を備えている
ことを特徴とする基板支持装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板支持装置において、
前記迂回設定部は、前記移動対象となるプッシュアップピンが前記プッシュアッププレートに並置されたピンステーションから当該プッシュアッププレートに移動する場合には、移動元の座標を始点とし、かつ当該ピンステーションが前記プッシュアッププレートに対向する方向に沿う対向経路を含む迂回経路を探索するように構成されている
ことを特徴とする基板支持装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の基板支持装置において、
前記迂回設定部は、前記移動対象となるプッシュアップピンが当該プッシュアッププレートから前記プッシュアッププレートに並置されたピンステーションに移動する場合には、移動先の座標を終点とし、かつ当該ピンステーションが前記プッシュアッププレートに対向する方向に沿う対向経路を含む迂回経路を探索するように構成されている
ことを特徴とする基板支持装置。
【請求項４】
直交座標系に予め設定されたＸＹ平面に沿って配置されるプッシュアッププレート上にマトリックス状に設けられた複数のピン載置部に対するプッシュアップピンの着脱動作をピン搬送ユニットによって一本ずつ実行するプッシュアップピンの移載方法において、
移動対象となるプッシュアップピンの移動元のＸＹ座標から移動先のＸＹ座標までを前記ＸＹ平面上において直線で結ぶ直線経路に沿って当該移動対象となるプッシュアップピンを移動する場合に、当該直線経路上で移動対象となるプッシュアップピンが他のプッシュアップピンと干渉するか否かの有無を判定する干渉判定ステップと、
前記干渉判定ステップによって前記直線経路上で干渉が生じると判定された場合に、前記移動元の座標から前記移動先の座標までの迂回経路を探索するとともに、迂回経路があったときには、当該迂回経路を設定する迂回設定ステップと、
前記干渉判定ステップおよび前記迂回設定ステップの処理結果に基づいて前記プッシュアップピンの移動経路を設定するとともに、前記干渉判定ステップによって干渉が生じると判定された場合において、前記迂回設定ステップにおいて前記迂回経路が設定されなかったときにのみ、前記プッシュアッププレートの昇降動作による干渉回避を実行するように当該プッシュアッププレートの昇降動作の要否を設定する駆動設定ステップと、
前記駆動設定ステップによる設定に基づいて前記ピン搬送ユニットと前記プッシュアッププレートの駆動を制御する駆動制御ステップと、を備えている
ことを特徴とするプッシュアップピンの移載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板支持装置およびプッシュアップピン移載方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板を印刷位置や電子部品の実装位置において、プリント基板をリフトする基板支持装置は、プッシュアッププレートと、プッシュアッププレートに立設される複数のプッシュアップピンとを備えている。プッシュアッププレートには、マトリックス状に配列された多数の載置部が設けられており、これら載置部ごとにプリント基板を載置するプッシュアップピンが着脱可能に載置される構成になっている。また、予備のプッシュアップピンが載置されるピンステーションがプッシュアッププレート上又はプッシュアッププレートの近傍に併設されている場合もある。
【０００３】
基板支持装置においては、プリント基板の種類に応じて、プッシュアップピンの入替を行う必要がしばしば生じる。この入替作業の際には、交換対象となるプッシュアップピンを一旦、ピンクランプで把持してプッシュアッププレートの上方で移動するため、移動させているプッシュアップピンとプッシュアッププレートに取り付けられているプッシュアップピンとの干渉を回避する必要があった。かかる干渉回避をするために、プッシュアッププレートを昇降させる方法が従来は採られていたが、その場合には、プッシュアッププレートの昇降動作に時間がかかり、基板支持装置の稼働率を低減する原因となる。そのため、効率よくプッシュアップピン同士の干渉を回避するために、プッシュアップピンの移載方法が種々提案されている。
【０００４】
特許文献１に記載された移載方法では、ピンステーション（同公報では、ストッカ）からプッシュアッププレート上へピンを移載する際に、遠いところから移載する。ピンが無い領域に移載する場合には、干渉が無いものとして扱い、プレートを下げない。ピンがある領域への移載では、プレートを下げて干渉を回避する。
【０００５】
また、特許文献２に記載された移載方法では、プッシュアッププレート部において、プレートの隅に設定されたピンステーション（同公報では、仮置きエリア）からプッシュアッププレート上へピンを移載する際に、干渉し得るプッシュアップピンの周囲を、ピンステーション上にある全てのプッシュアップピンが回り込むように移載順番と移載する際のＸＹ動作を規定することにより、ピンの干渉を回避する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−９４７０号公報
【特許文献２】特許第０５７４７１６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１の方法では、ピンステーションからプッシュアッププレート上へピンを移載する場合に限って移載方法が設定されていたので、例えば、同一のプッシュアッププレート上のある載置部から別の載置部に移動する場合には、プッシュアッププレートの昇降動作を伴うこととなり、必ずしも効率を向上させることができなかった。
【０００８】
また、特許文献２の方法では、ピンステーション上にある全てのプッシュアップピンが回り込むように移載順番と移載する際のＸＹ動作を規定しているので、干渉は起こりにくいが、移動するプッシュアップピンの全てが回り込む動作を伴うため、プッシュアッププレートの昇降動作よりも時間がかかることがしばしばあった。
【０００９】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、プッシュアップピンの移載作業時に移載されるプッシュアップピンが他のプッシュアップピンと干渉することを回避するに当たり、広範な移動態様において、効率よく干渉を回避することのできる基板支持装置およびプッシュアップピン移載方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、プリント基板の搬送経路上に設置される基板支持装置において、前記搬送経路に沿う方向をＸ軸方向とする直交座標系におけるＸＹ平面に沿って配置され、当該ＸＹ平面上にマトリックス状に設けられた複数のピン載置部を有するプッシュアッププレートと、前記ピン載置部に選択的に載置される複数のプッシュアップピンと、前記ピン載置部に対する前記プッシュアップピンの着脱動作を一本ずつ実行するピン搬送ユニットと、前記プッシュアッププレートを昇降する昇降機構と、移動対象となるプッシュアップピンの移動元のＸＹ座標から移動先のＸＹ座標までを前記ＸＹ平面上において直線で結ぶ直線経路に沿って当該移動対象となるプッシュアップピンを移動する場合に、当該直線経路上で移動対象となるプッシュアップピンが他のプッシュアップピンと干渉するか否かの有無を判定する干渉判定部と、前記干渉判定部によって前記直線経路上で干渉が生じると判定された場合に、前記移動元の座標から前記移動先の座標までの迂回経路を探索するとともに、迂回経路があったときには、当該迂回経路を設定する迂回設定部と、前記干渉判定部および前記迂回設定部の処理結果に基づいて前記プッシュアップピンの移動経路を設定するとともに、前記干渉判定部によって干渉が生じると判定された場合において、前記迂回設定部が前記迂回経路を設定しなかったときにのみ、前記プッシュアッププレートの昇降動作による干渉回避を実行するように当該プッシュアッププレートの昇降動作の要否を設定する駆動設定部と、前記駆動設定部による設定に基づいて前記ピン搬送ユニットと前記プッシュアッププレートの駆動を制御する駆動制御部と、を備えていることを特徴とする基板支持装置である。
【００１１】
この態様では、プッシュアップピンを移動するに当たり、干渉回避のための干渉判定、および迂回経路を探索して探索された迂回経路を設定する迂回設定が多段階で実行される。そして、これら干渉判定および迂回設定を経ても、なお干渉回避が必要である場合にのみ、プッシュアッププレートの昇降動作を伴う移動動作が実行される。従って、プッシュアッププレートの昇降動作をプッシュアップピンごとに実行する必要がなくなり、処理工程の短縮化や短時間化を実現することができる。
【００１２】
好ましい態様の基板支持装置において、前記迂回設定部は、前記移動対象となるプッシュアップピンが前記プッシュアッププレートに並置されたピンステーションから当該プッシュアッププレートに移動する場合には、移動元の座標を始点とし、かつ当該ピンステーションが前記プッシュアッププレートに対向する方向に沿う対向経路を含む迂回経路を探索するように構成されている。
【００１３】
或いは、前記迂回設定部は、前記移動対象となるプッシュアップピンが当該プッシュアッププレートから前記プッシュアッププレートに並置されたピンステーションに移動する場合には、移動先の座標を終点とし、かつ当該ピンステーションが前記プッシュアッププレートに対向する方向に沿う対向経路を含む迂回経路を探索するように構成されている。
【００１４】
これらの態様のように、ピンステーションからプッシュアッププレートにプッシュアップピンを移動する場合や、プッシュアッププレートからピンステーションにプッシュアップピンを移動する場合には、ピンステーションとプッシュアッププレートとが対向する対向方向の経路を迂回経路として含めることにより、経路の短縮化を図ることができる。ここで、通常、ピンステーションとプッシュアッププレートとの間には、設置スペースが隔てられている関係上、上記対向方向の経路は、比較的短い範囲で迂回が可能なことが多い。そのため、移動経路として設定された迂回経路には、この短い経路が含まれるので、迂回経路の全長を可及的に短くすることができ、プッシュアップピンを移動するときの演算に要する負担を軽減することができる。よって、処理が容易かつ高速になり、信頼性も高くなる。
【００１５】
本発明の別の態様は、直交座標系に予め設定されたＸＹ平面に沿って配置されるプッシュアッププレート上にマトリックス状に設けられた複数のピン載置部に対するプッシュアップピンの着脱動作をピン搬送ユニットによって一本ずつ実行するプッシュアップピンの移載方法において、移動対象となるプッシュアップピンの移動元のＸＹ座標から移動先のＸＹ座標までを前記ＸＹ平面上において直線で結ぶ直線経路に沿って当該移動対象となるプッシュアップピンを移動する場合に、当該直線経路上で移動対象となるプッシュアップピンが他のプッシュアップピンと干渉するか否かの有無を判定する干渉判定ステップと、前記干渉判定ステップによって前記直線経路上で干渉が生じると判定された場合に、前記移動元の座標から前記移動先の座標までの迂回経路を探索するとともに、迂回経路があったときには、当該迂回経路を設定する迂回設定ステップと、前記干渉判定ステップおよび前記迂回設定ステップの処理結果に基づいて前記プッシュアップピンの移動経路を設定するとともに、前記干渉判定ステップによって干渉が生じると判定された場合において、前記迂回設定ステップにおいて前記迂回経路が設定されなかったときにのみ、前記プッシュアッププレートの昇降動作による干渉回避を実行するように当該プッシュアッププレートの昇降動作の要否を設定する駆動設定ステップと、前記駆動設定ステップによる設定に基づいて前記ピン搬送ユニットと前記プッシュアッププレートの駆動を制御する駆動制御ステップと、を備えていることを特徴とするプッシュアップピンの移載方法である。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、本発明によれば、干渉回避のための干渉判定、および迂回経路を探索して探索された迂回経路を設定する迂回設定が多段階で実行される。そして、これら干渉判定および迂回設定を経ても、なお干渉回避が必要である場合にのみ、プッシュアッププレートの昇降動作を伴う移動動作が実行される。従って、プッシュアッププレートの昇降動作をプッシュアップピンごとに実行する必要がなくなり、処理工程の短縮化や短時間化を実現することができるので、プッシュアップピンの移載作業時に移載されるプッシュアップピンが他のプッシュアップピンと干渉することを回避するに当たり、広範な移動態様において、効率よく干渉を回避することができるという顕著な効果を奏する。
【００１７】
本発明のさらなる特徴、目的、構成、並びに作用効果は、添付図面と併せて読むべき以下の詳細な説明から容易に理解できるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の一形態（第１実施形態）に係る装置の要部を示す斜視図である。
【図２】図１の装置の平面略図である。
【図３】図１の装置の側面略図である。
【図４】図１の装置の主要な動作を示す斜視図である。
【図５】図１の装置の主要部分を示すブロック図である。
【図６】移載処理の一例を示す説明図である。
【図７】移載処理の一例を示すフローチャートである。
【図８】図７の干渉判定処理サブルーチンを示すフローチャートである。
【図９】図７の迂回設定処理サブルーチンを示すフローチャートである。
【図１０】図７の駆動設定処理サブルーチンを示すフローチャートである。
【図１１】図７の移動動作サブルーチンを示すフローチャートである。
【図１２】移載処理の別の例を示す説明図である。
【図１３】移載処理のさらに別の例を示す説明図である。
【図１４】移載処理のさらに別の例を示す説明図である。
【図１５】本発明の別の実施の一形態（第２実施形態）に係る装置の平面略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００２０】
［第１実施形態］
まず、図１および図２を参照して、第１実施形態に係る基板支持装置１０は、生産設備に水平に設定された基板搬送経路ＰＨに沿ってプリント基板Ｗを搬送し、このプリント基板Ｗを流れ作業で加工する生産ライン上に設置される。以下の説明では、この基板搬送経路ＰＨを仮にＸ軸方向とし、Ｘ軸方向と直交する水平方向をＹ軸方向とし、垂直方向をＺ軸方向として説明する。また、基板搬送経路ＰＨの上流側から下流側をみたときに左側を仮に前方とする。
【００２１】
第１実施形態は、基板搬送経路ＰＨに沿って直列に二つの基板加工ステーションＳＴ１、ＳＴ２が設定されており、各基板加工ステーションＳＴ１、ＳＴ２には、上流装置１１、下流装置１２が直列に設置されている。上流装置１１および下流装置１２は、下流装置１２が上流装置１１よりも前方に突出するようにＹ軸方向にずれた位置に配置されている。
【００２２】
各装置１１、１２は、基台１４Ａ、１４Ｂを備えている。各基台１４Ａ、１４Ｂは、Ｙ軸方向の長さがＸ軸方向の長さよりも長くなる平面視長方形に形成されている。
【００２３】
各基台１４Ａ、１４Ｂには、前後２面に分割された作業エリアＡ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２が設定されている。各装置１１、１２には、作業エリアＡ１〜Ｂ２ごとにプリント基板Ｗを加工する加工装置３０（図３参照）を有している。
【００２４】
上流装置１１の基台１４Ａには、Ｘ軸方向において、基板搬送方向上流側の側部に搬入装置１５が設けられている。搬入装置１５は、Ｘ軸方向に沿って延び、前後に対向する一対のコンベアユニット１５ａ、１５ｂを有している。各コンベアユニット１５ａ、１５ｂは、プリント基板Ｗの幅方向両側を受けてベルトコンベアで搬送する機構を有している。前方のコンベアユニット１５ａは、基台１４ＡのＹ軸方向前端側に固定されているのに対し、後方のコンベアユニット１５ｂは、Ｙ軸方向に沿って基台１４Ａの後端側に移動可能に構成されている。さらに、基台１４Ａには、基板支持台１６Ａが設けられている。基板支持台１６Ａは、図略の搬送機構により、Ｙ軸方向に沿って作業エリアＡ１、Ａ２間を往復移動可能に構成されている。基板支持台１６Ａは、コンベア対１７を備えている。基板支持台１６Ａが前方の作業エリアＡ１にある場合、基板支持台１６Ａのコンベア対１７は、搬入装置１５からプリント基板Ｗを受取可能に芯合わせされ、インライン状に並ぶ。そして、プリント基板Ｗの加工態様に応じて、作業エリアＡ１、Ａ２のいずれかに選択的に停留し、プリント基板Ｗを加工装置３０に供する。
【００２５】
一方、下流装置１２の基台１４Ｂには、基板支持台１６Ｂが設けられている。基板支持台１６Ｂは、図略の搬送機構により、Ｙ軸方向に沿って作業エリアＢ１、Ｂ２間を往復移動可能に構成されている。基板支持台１６Ｂは、コンベア対１８を備えている。基板支持台１６Ｂが前方の作業エリアＢ１にある場合、基板支持台１６Ｂのコンベア対１８は、上流装置１１において、前方の作業エリアＡ１にある基板支持台１６Ａからプリント基板Ｗを受取可能に芯合わせされ、インライン状に並ぶ。そして、プリント基板Ｗの加工態様に応じて、作業エリアＢ１、Ｂ２のいずれかに選択的に停留し、プリント基板Ｗを加工装置３０に供する。さらに基台１４Ｂには、Ｘ軸方向において、基板搬送方向下流側の側部に搬出装置１９が設けられている。搬出装置１９は、Ｘ軸方向に沿って延び、前後に対向する一対のコンベアユニット１９ａ、１９ｂを有している。各コンベアユニット１９ａ、１９ｂは、プリント基板Ｗの幅方向両側を受けてベルトコンベアで搬送する機構を有している。前方のコンベアユニット１９ａは、基台１４ＢのＹ軸方向前端側に固定されているのに対し、他方のコンベアユニット１９ｂは、Ｙ軸方向に沿って基台１４Ｂの後端側に移動可能に構成されている。
【００２６】
第１実施形態における基板支持装置１０は、各基台１４Ａ、１４Ｂの各作業エリアＡ１〜Ｂ２に設置され、当該作業エリアＡ１〜Ｂ２に停止したプリント基板Ｗを対応する基板支持台１６Ａ又は支持台１６Ｂからリフトして加工装置３０に供するリフト位置と、加工後のプリント基板Ｗを降下させて、対応する基板支持台１６Ａ又は１６Ｂに受け渡す受け渡し位置との間でプリント基板Ｗを昇降する装置である。
【００２７】
図３を参照して、基板支持装置１０は、プッシュアッププレート２１と、プッシュアッププレート２１を昇降駆動する昇降装置２４と、プッシュアッププレート２１に載置される複数のプッシュアップピン４０とを備えている。
【００２８】
プッシュアッププレート２１は、例えばＳＫ４等の磁性体から形成されている平面視略正方形の板状部材である。プッシュアッププレート２１には、上下方向に貫通する孔で構成された複数のピン載置部２３がＸ−Ｙ方向に一定の間隔でマトリックス状に形成されており、これらのピン載置部２３に選択的にプッシュアップピン４０を装着することによってプッシュアッププレート２１上の任意の位置にプッシュアップピン４０を載置させ得るように構成されている。
【００２９】
このプッシュアッププレート２１は、昇降装置２４の固定台２５上に対して複数のボルトで固定されており、昇降装置２４の駆動により、この固定台２５と一体に昇降するように構成されている。
【００３０】
次に、プッシュアップピン４０は、プリント基板Ｗをその下側から支持する構造体である。プッシュアップピン４０は、二段の円柱状に形成された円筒体４１と、円筒体４１の上部に突出する支持軸４２と、円筒体４１の反対側に突出する装着軸４３とを同心且つ一体に備えている。装着軸４３をプッシュアッププレート２１のピン載置部２３に挿入することにより、円筒体４１がプッシュアッププレート２１に着座し、プッシュアップピン４０は、全体としてプッシュアッププレート２１に植立されるように載置される。そして、載置されたプッシュアップピン４０は、支持軸４２の先端でプリント基板Ｗを支持するように構成されている。なお、プッシュアップピン４０の具体的な構造は、例えば本件出願人が先に提案している特許第４１５６９３６号公報に詳細に記載されているので、その説明については省略する。
【００３１】
図１および図２に示すように、第１実施形態において、各前方の作業エリアＡ１、Ｂ１の前端側と、後方の作業エリアＡ２、Ｂ２の後端側には、それぞれピンステーション４５が配置されている。ピンステーション４５は、基板支持装置１０で使用される予備のプッシュアップピン４０を収納するための装置である。ピンステーション４５の上部には、複数の孔で構成されたピン載置部４６が形成されている（図１２参照）。ピン載置部４６は、基板支持装置１０のピン載置部２３と同様に、プッシュアップピン４０が挿抜可能な諸元に設定されている。
【００３２】
次に、上流装置１１および下流装置１２には、Ｘ軸方向に沿って延びるユニット支持部材５０が設けられる。ユニット支持部材５０は、Ｙ軸方向に延びる一対の図略の固定レールにより、基板支持装置１０の上方でＹ軸方向に移動可能に支持されている。また、ユニット支持部材５０は、図略のＹ軸サーボモータによりボールねじ機構を介してＹ軸方向に駆動される。ユニット支持部材５０の前面には、ガイドレール５４が上下に対をなして固定されている。このガイドレール５４を介して、ユニット支持部材５０は、加工装置３０をＸ軸方向に移動可能に担持している。さらに、ユニット支持部材５０は、図略のＸ軸サーボモータによって駆動されるボールねじ機構５６を備えている。これらの機構により、ユニット支持部材５０は、加工装置３０をＸ軸方向に駆動されるようになっている。ユニット支持部材５０の駆動系（Ｙ軸サーボモータ、Ｘ軸サーボモータ）は、後述する制御装置１００によって制御される。
【００３３】
加工装置３０は、例えば、スクリーン印刷を実行する印刷ユニットであってもよく、電子部品をプリント基板Ｗに実装する実装ユニットであってもよい。本実施形態において、加工装置３０には、ピン挿抜機構７０と、ピンセンサ８０（ピン検知手段）とが搭載されており、これらの機能部品が、加工装置３０とともに、ピン搬送ユニットを構成している。
【００３４】
図３および図４を参照して、ピン挿抜機構７０は、加工装置３０の一端部分に設けられており、プッシュアップピン４０を掴持するチャック７１を有している。チャック７１は、一対のアーム７２、７３と、これらアーム７２、７３を駆動するエアシリンダ７４とを備えている。チャック７１は、横断面がＶ字型に形成された爪７２ａ、７３ａを備えている。エアシリンダ７４の作動により、チャック７１は、両アーム７２、７３が接近したチャック状態と、アーム７２、７３が互いに離間した開放状態とに切り換えられるようになっている。そして、前記チャック状態において、両アーム７２、７３の前記爪７２ａ、７３ａによりプッシュアップピン４０をその径方向両側から掴持するように構成されている。
【００３５】
前記チャック７１は、一対のエアシリンダ７５、７６により加工装置３０に対して昇降可能に設けられている。すなわち、加工装置３０のフレーム３１には可動部材７７が昇降可能に装着されており、この可動部材７７が前記フレーム３１に固定された一方側のエアシリンダ７５により昇降駆動されるとともに、前記可動部材７７に他方側のエアシリンダ７６が固定され、このエアシリンダ７６のピストンロッドに載置台７８を介して前記チャック７１が固定されている。プッシュアップピン４０を引き込む駆動状態において、両エアシリンダ７５、７６は、チャック７１を上昇端Ｌａ（実線の位置）に駆動する。また、プッシュアップピン４０を引き込む駆動状態において、一方のエアシリンダ７５がロッドを突出し、かつ他方のエアシリンダ７６がチャック７１を上昇端Ｌａから下降端Ｌｂ（仮想線の位置）の間に設定される昇降ストロークＥＬの中間位置に降下させる。さらにプッシュアップピン４０を載置する動作において、両エアシリンダ７５、７６は、チャック７１を上記中間位置から下降端Ｌｂに駆動する。そして、前記プッシュアップピン４０が上記中間位置から下降端Ｌｂに移動すると、チャック７１によりプッシュアップピン４０を把持し得るように構成されている。なお、この構成では、二つのエアシリンダ７５、７６の作動により段階的にチャック７１を昇降させるように構成しているが、勿論、一つのエアシリンダでチャック７１を上昇端Ｌａと下降端Ｌｂとの間で移動させるように構成してもよい。
【００３６】
一方、ピンセンサ８０は、例えば光の照射部と受光部とを有した周知のビームセンサ等からなり、プッシュアッププレート２１上に載置されているプッシュアップピン４０をその上側から検知するように構成されている。
【００３７】
次に、図５を参照して、制御装置１００は、マイクロプロセッサ等で具体化される主制御部１０１を備えている。主制御部１０１のバス１０２には、モータ制御部１０３、空気圧制御部１０４、センサ制御部１０５、入出力制御部１０６、並びに記憶装置１１０が接続されている。
【００３８】
モータ制御部１０３は、各種モータのコントローラ、ドライバーで構成されている。モータ制御部１０３の制御対象としては、上述した搬入装置１５や搬出装置１９、基板支持装置１０、加工装置３０の各種モータが含まれている。
【００３９】
空気圧制御部１０４は、空気圧供給源からの空気圧を制御して空気圧により駆動される各種ディバイスを制御するコントローラ、ドライバーで構成されている。空気圧制御部１０４の制御対象としては、ピン挿抜機構７０のエアシリンダ７５、７６が含まれる。
【００４０】
センサ制御部１０５は、センサ等のコントローラ、ドライバーで構成されている。センサ制御部１０５には、センサ類９１、エンコーダ類９２が接続されている。センサ類９１には、上述したピンセンサ８０等が含まれている。また、エンコーダ類９２には、加工装置の各種モータに設けられたエンコーダが含まれている。
【００４１】
入出力制御部１０６は、入出力を司るコントローラ、ドライバーで構成されている。入出力制御部１０６には、各種情報をオペレータに表示する表示ユニット９３と、ポインティングディバイス等で具体化される入力ユニット９４が接続されている。
【００４２】
記憶装置１１０は、ＲＯＭ、ＲＡＭ、補助記憶装置等で具体化されるメモリアーキテクチャアの総称である。記憶装置１１０は、実装プログラム記憶部１１１、エリア変更プログラム記憶部１１２、並びにデータ記憶部１１３等を備えている。
【００４３】
記憶装置１１０に記憶されたプログラムやデータにより、制御装置１００の主制御部１０１は、干渉判定部１２０、迂回設定部１２１、駆動設定部１２２、駆動制御部１２３を機能的に備えている。
【００４４】
干渉判定部１２０は、プッシュアッププレート２１のＸＹ平面上において、移動対象となるプッシュアップピン４０の移動元のＸＹ座標から移動先のＸＹ座標までを直線で結ぶ直線経路Ｌに沿って当該移動対象となるプッシュアップピン４０を移動する場合に、当該直線経路Ｌ上で移動対象となるプッシュアップピン４０が他のプッシュアップピン４０と干渉するか否かの有無を判定する。
【００４５】
迂回設定部１２１は、干渉判定部１２０によって直線経路Ｌ上で干渉が生じると判定された場合に、移動元のＸＹ座標から移動先のＸＹ座標までの迂回経路ＲＬを探索するとともに、迂回経路ＲＬがあったときには、当該迂回経路ＲＬを設定する。
【００４６】
駆動設定部１２２は、干渉判定部１２０および迂回設定部１２１の処理結果に基づいて移動経路を設定するとともに、干渉判定部１２０によって干渉が生じると判定された場合において、迂回設定部１２１が迂回経路ＲＬを設定しなかったときにのみ、プッシュアッププレート２１の昇降動作による干渉回避を実行するように当該プッシュアッププレート２１の昇降動作の要否を設定する。
【００４７】
駆動制御部１２３は、駆動設定部１２２の設定に基づいてピン挿抜機構７０を含む加工装置３０とプッシュアッププレート２１を駆動する昇降装置２４の駆動を制御する。
【００４８】
図６〜図１４を参照して、具体的に説明する。なお、以下の説明では、各座標を「（ｘ，ｙ）」（ただし、ｘ、ｙは、それぞれＸ軸方向およびＹ軸方向の座標値を示す変数である。）で表わす。また、図６、図１３、図１４の各図には、これらの符号をピン載置部２３、プッシュアップピン４０、ピン載置部４６に付記している。
【００４９】
まず、図６を参照して、例えば、Ｘ軸方向の座標が０から１０、Ｙ軸方向の座標が０から６までのマトリックス配列において、現状のプッシュアップピン４０が図６（Ａ）に示すように、座標（０，１）（２，１）（４，１）（６，１）（８，１）（１，２）（３，２）（５，２）（７，２）（９，２）（０，３）（２，３）（４，３）（６，３）（８，３）（９，２）にそれぞれ配置されている状態から、図６（Ｂ）に示すように、座標（１，２）（３，２）（５，２）（７，２）（９，２）のプッシュアップピン４０を図６（Ｃ）に示すように、座標（０，５）（２，５）（４，５）（６，５）（８，５）に移動することを想定する。
【００５０】
図６（Ａ）の状態から図６（Ｃ）に示す状態にプッシュアップピンを並び替える場合、基板支持装置１０は、図７に示すフローチャートに基づいて、移載動作を実行する。
【００５１】
図７も参照して、まず、ステップＳ１において、干渉判定部１２０は、移動対象となるプッシュアップピン４０を特定する。具体的には、図６（Ａ）に示す座標（１，２）（３，２）（５，２）（７，２）（９，２）に配置されているプッシュアップピン４０の一つが選定される。
【００５２】
次に、ステップＳ２において、干渉判定部１２０は、移動対象となるプッシュアップピン４０の移動先を特定する。具体的には、主制御部１０１は、記憶装置１１０のデータ記憶部１１３から、登録されているデータを読み取り、移動先の座標（例えば、移動元の座標（１，２）の場合には、座標（０，５））を選定する。
【００５３】
次に、ステップＳ３において、主制御部１０１は、干渉判定処理サブルーチンを実行する。
【００５４】
図８を参照して、この干渉判定処理サブルーチンにおいて、干渉判定部１２０は、ステップＳ３０において、移動元の座標（１，２）から移動先の座標（０，５）までの直線経路Ｌを設定し、ステップＳ３１において、この直線経路Ｌ上に他のプッシュアップピン４０が存在するか否かを判定する。この処理は、例えば、加工装置３０を駆動して、直線経路Ｌ上をスキャンし、直線経路Ｌ上にプッシュアップピン４０が存在するか否かを判定する。スキャン動作は、予め判定前に全エリアにおいて実行しておき、プッシュアッププレート２１上にあるプッシュアップピン４０を事前に登録しておく方法を採用してもよい。
【００５５】
ステップＳ３２において、干渉判定部１２０は、仮に他のプッシュアップピン４０が存在する場合には、干渉判定部１２０は、干渉が生じる、と判定し、存在しない場合には、干渉が生じない、と判定する。
【００５６】
ステップＳ３２の判定結果は、種々の方法で保存することが可能である。本実施形態の例では、予め判定結果を示すＢｏｏｌｅａｎ型の干渉フラグＦ１を設定しておき、干渉が生じる場合には、ステップＳ３３において干渉フラグＦ１の値をＴＲＵＥに設定し、干渉が生じない場合には、ステップＳ３４において、干渉フラグＦ１の値をＦＡＬＳＥに設定することとしている。干渉フラグＦ１の値は、記憶装置１１０に記憶され、判定毎に更新される。
【００５７】
これらの処理を終了した後、制御は、図７のメインルーチンに復帰する。
【００５８】
再び図７を参照して、迂回設定部１２１は、ステップＳ４において、干渉判定処理の結果に基づき、干渉が生じるか否かを判定する。このステップＳ４では、主制御部１０１は、干渉フラグＦ１の値を読み取り、干渉フラグＦ１がＴＲＵＥの場合には、ステップＳ５の迂回設定処理サブルーチン（詳細は、後述する図９参照）、ステップＳ６の駆動設定サブルーチンを実行した後（詳細は、後述する図１０参照）、ステップＳ７の移載動作サブルーチン（詳細は、後述する図１１参照）を実行する。一方、干渉フラグＦ１がＦＡＬＳＥの場合には、ステップＳ５の迂回設定処理サブルーチンがバイパスされ、直ちにステップＳ７の駆動設定処理が実行される。このステップＳ７の駆動設定処理では、詳しくは後述するように、干渉が生じると判定された場合において、迂回経路ＲＬが設定されなかったときにのみ、プッシュアッププレート２１の昇降動作による干渉回避を実行するように当該プッシュアッププレート２１の昇降動作の要否を設定される。そのため、図６（Ｂ）の例のように、移動元の座標（１，２）（３，２）（５，２）（７，２）（９，２）に配置されたプッシュアップピン４０を、他のプッシュアップピン４０と干渉させることなく、移動させることが可能な場合には、プッシュアッププレート２１の昇降動作を全く伴わずに駆動制御が実行され、移載作業が格段に迅速化される。
【００５９】
ステップＳ７の駆動設定処理サブルーチンが実行された後、主制御部１０１は、ステップＳ８において、残余のプッシュアップピン４０の有無を確認する。プッシュアップピン４０が残っている場合には、主制御部１０１は、ステップＳ１以下の処理を当該プッシュアップピン４０ごとに繰り返し、全てのプッシュアップピン４０について、処理が終了した場合には、移載処理を終了する。
【００６０】
次に、図７の迂回設定処理を実行するに当たり、本実施形態で想定される種々の事例について、図６と同様のマトリックス配列を例に図１２〜図１４を参照しながら説明する。
【００６１】
まず、図１２を参照して、現状のプッシュアップピン４０が図１２（Ａ）に示すように、座標（２，１）（４，２）に配置されている場合において、座標（２，１）のプッシュアップピン４０を座標（７，４）に移動させる必要があるときを想定する。この事例では、直線経路Ｌが、他のプッシュアップピン４０の存在する座標（４，２）を通ることから、干渉判定部１２０は、図７の干渉判定処理サブルーチンを実行した際、図８のステップＳ３２において、干渉が生じると判定し、ステップＳ３３において、干渉フラグＦ１の値をＴＲＵＥに設定する。
【００６２】
この結果、主制御部１０１は、図７に示すメインルーチンにおいて、ステップＳ４の迂回処理サブルーチン（図９）を実行する。
【００６３】
図９を参照して、この迂回処理サブルーチンにおいて、迂回設定部１２１は、ステップＳ５０において、移動元から移動先までのＸＹ移動範囲Ａを設定する。図１２（Ｂ）に示すように、ＸＹ移動範囲Ａは、移動元の座標（２，１）と移動先の座標（７，４）とを結ぶ直線を対角線とするＸＹ平面上の仮想的なエリアである。
【００６４】
次に、ステップＳ５１において、迂回設定部１２１は、第１方向に単位シフト量を設定する。ここで、第１方向とは、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のうち、予め制御装置１００に設定されている方向である。第１方向をＸ軸方向とするか、Ｙ軸方向とするかは、基板支持装置１０の仕様や、ピンステーション４５のレイアウトによって適宜決定される。例えば、図示の例では、Ｘ軸方向を第１方向と設定しているが、別の例として、ピンステーション４５がプッシュアッププレートに対向する方向を第１方向に設定されていてもよい。また、単位シフト量は、ピン載置部２３のピッチやその他の要因に基づいて、適宜決定される。一例として、ＸＹ移動範囲において、第１方向に対応する辺の長さを所定の整数で分割したピッチとすることとしてもよい。或いは、予め設定された定数に基づく値であってもよい。
【００６５】
次に、ステップＳ５２において、迂回設定部１２１は、移動元がピンステーション４５上にあるか否かを判定する。図１２の事例では、移動元は、プッシュアッププレート２１上の座標（２，１）であるから、そのままステップＳ５４に移行する。このステップＳ５４において、迂回設定部１２１は、さらに移動先がピンステーション４５上のピン載置部４６であるか否かを判定する。図１２の事例では、移動先は、プッシュアッププレート２１上の座標（７，４）であるから、そのままステップＳ５６に移行する。
【００６６】
このステップＳ５６において、迂回設定部１２１は、第１方向に移動可能か否かを判定する。このステップＳ５６では、ＸＹ移動範囲一杯まで、シフト経路Ｓを設定した場合、又は、シフト経路Ｓ上に他のプッシュアップピン４０が存在する場合には、シフト不可と判定し、そうでない場合には、シフト可能と判定する。
【００６７】
仮にシフト可能である場合、ステップＳ５７において、迂回設定部１２１は、移動元の座標から単位シフト量だけ第１方向に移動したシフト経路Ｓを演算する。
【００６８】
ステップＳ５７において、シフト経路Ｓが演算された後、ステップＳ５８において、迂回設定部１２１は、シフト経路Ｓの終点から移動先の座標までの直線経路Ｌについて、干渉が回避されているか否かを判定する。図１２（Ｂ）には、移動元の座標（２，１）から単位シフト量だけＸ軸方向に移動した例を示している。しかしながら、図１２（Ｂ）に示すように、最初のシフト量だけでは、直線経路Ｌが依然座標（４、２）の近傍を通過するので、充分に迂回しているとはいえない。図１２（Ｂ）に示すように、干渉が回避されていなかった場合、迂回設定部１２１は、ステップＳ５６に移行し、シフト経路Ｓの終点から単位シフト量をさらに追加させるように上述した処理を実行する。
【００６９】
一方、ステップＳ５８において、仮に干渉が回避されている場合、ステップＳ５９において、迂回設定部１２１は、シフト経路Ｓと直線経路Ｌとを迂回経路ＲＬとして設定し、さらに、迂回経路Ｓが探索できたこと、すなわち、迂回が可能であることを示す処理結果を残す。迂回の可否に基づく処理結果は、種々の方法で保存することが可能である。本実施形態の例では、予めＢｏｏｌｅａｎ型の迂回フラグＦ２を設定しておき、迂回経路ＲＬを設定できた場合には、ステップＳ５０１において迂回フラグＦ２の値をＴＲＵＥに設定し、迂回経路ＲＬを設定できなかった場合には、ステップＳ５０４において、迂回フラグＦ２の値をＦＡＬＳＥに設定することとしている。迂回フラグＦ２の値は、記憶装置１１０に記憶され、プッシュアップピン４０毎に更新される。
【００７０】
次に、ステップＳ５６の判定において、シフト不可と判断された場合、ステップＳ５０２において、迂回設定部１２１は、第２方向が終了しているか否かを判定する。仮に、第２方向へのシフトが未だの場合、ステップＳ５０３において、迂回設定部１２１は、第２方向に単位シフト量を設定し、ステップＳ５６に移行して上述した処理を繰り返す。一方、ステップＳ５０２において、第２方向へのシフトが終了していた場合、ステップＳ５０４において、迂回設定部１２１は、迂回フラグＦ２をＦＡＬＳＥに設定し、迂回経路ＲＬを設定できなかったこと、すなわち、迂回が不可であることを示す情報を保存する。
【００７１】
図１２（Ｃ）は、Ｘ軸方向にシフト経路Ｓを二回設定した後、迂回経路ＲＬを設定できた場合を示している。
【００７２】
このように、迂回設定部１２１は、ステップＳ５０からステップＳ５０３の処理を経て、迂回経路ＲＬを探索する。この探索処理により、迂回経路ＲＬが設定できた場合には、迂回可能という判定を下し、迂回経路ＲＬを設定できない場合には、迂回不可という判定を下す。
【００７３】
これらの処理を終了した後、制御は、図７のメインルーチンに復帰する。
【００７４】
次に、図１３の事例について、説明する。この事例では、現状のプッシュアップピン４０が図１３（Ａ）に示すように、ピンステーション４５の全座標（０，０）〜（６，１）に配置されている場合において、ピンステーション４５の座標（０，１）のプッシュアップピン４０をプッシュアッププレート２１の座標（８，０）に移動させる必要があるときの事例である。この事例では、直線経路Ｌが、ピンステーション４５にある他のプッシュアップピン４０の存在する座標（１，１）を通ることから、干渉判定部１２０は、図７の干渉判定処理サブルーチンを実行した際、図８のステップＳ３２において、干渉が生じると判定し、ステップＳ３３において、干渉フラグＦ１の値をＴＲＵＥに設定する。
【００７５】
この結果、主制御部１０１は、図７に示すメインルーチンにおいて、ステップＳ４の迂回処理サブルーチン（図９）を実行する。
【００７６】
図９を参照して、図１３（Ａ）に示すように、ピンステーション４５上のある座標（０，１）からプッシュアッププレート２１上のある座標（８，０）にプッシュアップピン４０を移動する場合、ステップＳ５２の判定において、迂回設定部１２１は、ステップＳ５３を実行する。図１３の事例の場合には、図１３（Ｂ）に示すように、まず、ピンステーション４５がプッシュアッププレート２１に対向する方向（対向方向）にシフトさせる方が、より高い確率で短い迂回経路ＲＬを設定しやすいからである。この結果、第１方向は、移動元を始点として、対向方向であるＹ軸方向に単位シフト量が設定される。
【００７７】
その後は、図１２の事例と同様に、ステップＳ５６以下の処理を実行し、制御は、図７のメインルーチンに復帰する。図１３の事例では、図１３（Ｂ）（Ｃ）に示すように、最初のシフト経路Ｓの設定によって、迂回経路ＲＬを設定できた場合を示している。
【００７８】
次に、図１４の事例について、説明する。この事例では、現状のプッシュアップピン４０が図１４（Ａ）に示すように、プッシュアッププレート２１の座標（８，０）にあるプッシュアップピン４０をピンステーション４５の全座標（０，１）に移動させる必要があるときの事例である。この事例においても、直線経路Ｌが、ピンステーション４５にある他のプッシュアップピン４０の存在する座標（１，１）の近傍を通ることから、干渉判定部１２０は、図７の干渉判定処理サブルーチンを実行した際、図８のステップＳ３２において、干渉が生じると判定し、ステップＳ３３において、干渉フラグＦ１の値をＴＲＵＥに設定する。
【００７９】
この結果、主制御部１０１は、図７に示すメインルーチンにおいて、ステップＳ４の迂回処理サブルーチン（図９）を実行する。
【００８０】
図９を参照して、図１４（Ａ）に示すように、ピンステーション４５上のある座標（０，１）からプッシュアッププレート２１上のある座標（８，０）にプッシュアップピン４０を移動する場合、ステップＳ５４の判定において、迂回設定部１２１は、ステップＳ５５を実行する。図１４の事例の場合においても、図１４（Ｂ）に示すように、迂回経路ＲＬを設定するに当たり、ピンステーション４５がプッシュアッププレート２１に対向する方向（対向方向）にシフトさせる方が、より高い確率で短い迂回経路ＲＬを設定しやすいからである。この結果、第１方向は、移動先を終点として、対向方向であるＹ軸方向に単位シフト量が設定される。
【００８１】
その後は、図１２の事例と同様に、ステップＳ５６以下の処理を実行し、制御は、図７のメインルーチンに復帰する。図１４の事例では、図１４（Ｂ）（Ｃ）に示すように、最初のシフト経路Ｓの設定によって、迂回経路ＲＬを設定できた場合を示している。
【００８２】
次に、図７の駆動設定処理サブルーチン（ステップＳ６）について、図１０を参照しながら、説明する。
【００８３】
図１０の駆動設定処理サブルーチンでは、ステップＳ６０において、駆動設定部１２３が干渉フラグＦ１の値を判定する。干渉フラグＦ１の値がＦＡＬＳＥの場合、直線経路Ｌにおいて、干渉が生じないことを意味している（例えば、図６の事例）。従って、この場合には、昇降装置２４を停止したまま、移載作業を実行するための設定が実行される。この設定方法は、種々の方法が想定されるが、図１０の例では、Ｂｏｏｌｅａｎ型の昇降フラグＦ３を設定しておき、設定が不要な場合には、ステップＳ６２において昇降フラグＦ３の値をＦＡＬＳＥに設定することとしている。
【００８４】
一方、ステップＳ６０において、干渉フラグＦ１の値がＴＲＵＥの場合、ステップＳ６３において、迂回フラグＦ２の値が参照される。迂回フラグＦ２の値がＴＲＵＥの場合、迂回経路ＲＬが設定されていることを意味する（例えば、図１２〜図１４の事例）。この場合、ステップＳ６４において、駆動設定部１２３は、移動経路を迂回経路ＲＬに設定し、その後、ステップＳ６２に移行する。この結果、迂回経路ＲＬが設定できた場合にも、昇降装置２４を停止したまま、移載作業を実行するための設定が実行される。
【００８５】
他方、迂回フラグＦ２の値がＦＡＬＳＥの場合、迂回経路ＲＬが設定できなかったことを意味する。この場合、駆動設定部１２３は、移動経路を直線経路Ｌに設定し、ステップＳ６６において、昇降フラグをＴＲＵＥに設定する。この結果、干渉判定部１２０によって干渉が生じると判定された場合において、迂回設定部１２１が迂回経路ＲＬを設定しなかったときにのみ、昇降装置２４が駆動され、プッシュアッププレート２１の昇降動作による干渉回避動作が並行して実行される。
【００８６】
次に、図７の移載動作サブルーチン（ステップＳ７）について、図３および図１１を参照しながら説明する。
【００８７】
まず、ステップＳ７０において、駆動制御部１２３は、プッシュアップピンのグリップ動作を実行する。具体的には、移動元のプッシュアップピン４０の真上にピン挿抜機構７０のチャック７１が配置されるように、加工装置３０をＸＹ軸方向に駆動し、次いで、チャック７１を下降端Ｌｂまで降下させる。なお、ＸＹ軸方向の移動と、チャック７１の降下は、チャック７１が他のプッシュアップピン４０と干渉しない限りにおいて、並行的に実行してもよい。
【００８８】
次に、ステップＳ７１において、駆動制御部１２３は、プッシュアップピン４０を把持したチャック７１を一次高さまで上昇し、把持したプッシュアップピン４０をプッシュアッププレート２１から引き抜く。
【００８９】
この引き抜き動作が終了した後、ステップＳ７２において、駆動制御部１２３は、昇降フラグＦ３を参照し、昇降フラグＦ３の値がＴＲＵＥであるか否かを判定する。
【００９０】
仮に、昇降フラグＦ３の値がＴＲＵＥである場合、ステップＳ７３において、駆動制御部１２３は、昇降装置２４を稼動させ、プッシュアッププレート２１を降下させるように制御するとともに、ステップＳ７４において、チャック７１を上昇端Ｌａまで浮揚させる。なお、ステップＳ７３とステップＳ７４は、逆に実行してもよく、同時に実行してもよい。この昇降動作により、プッシュアッププレート２１上のプッシュアップピン４０は、チャック７１に把持されている移動対象となるプッシュアップピン４０との干渉を回避される。
【００９１】
一方、昇降フラグＦ３の値がＦＡＬＳＥの場合、ステップＳ７３およびステップＳ７４は、バイパスされる。
【００９２】
ステップＳ７３におけるプッシュアッププレート２１の降下動作は、約１秒要するので、可能であれば、実行しない方が好ましい。この点、本実施形態では、ステップＳ７２において、昇降フラグＦ３を参照し、昇降フラグＦ３の値がＴＲＵＥの場合にのみ、ステップＳ７３、ステップＳ７４を実行することとしているので、図６に示すように、直線経路に障害が全くない場合や、図１２〜図１４に示すように、迂回経路ＲＬが設定可能な場合には、これらの動作を省略し、移載作業の時間短縮を図ることが可能となる。
【００９３】
ステップＳ７３、ステップＳ７４を実行した場合、又は、ステップＳ７３、ステップＳ７４をバイパスした場合、ステップＳ７５において、駆動制御部１２３は、加工装置３０を駆動し、チャック７１をＸＹ平面上で移動先の座標の真上に移動する。
【００９４】
さらに、ステップＳ７６において、駆動制御部１２３は、昇降フラグＦ３を参照し、昇降フラグＦ３の値がＴＲＵＥであるか否かを判定する。
【００９５】
仮に、昇降フラグＦ３の値がＴＲＵＥである場合、ステップＳ７７において、駆動制御部１２３は、プッシュアッププレート２１を上昇させるように制御する。この上昇動作により、プッシュアッププレート２１は、移動対象となるプッシュアップピン４０を載置可能な高さに戻される。
【００９６】
一方、昇降フラグＦ３の値がＦＡＬＳＥの場合、ステップＳ７７は、バイパスされる。
【００９７】
ステップＳ７７におけるプッシュアッププレート２１の上昇動作は、約１秒要するので、可能であれば、実行しない方が好ましい。この点、本実施形態では、ステップＳ７６において、昇降フラグＦ３を参照し、昇降フラグＦ３の値がＴＲＵＥの場合にのみ、ステップＳ７７を実行することとしているので、図６に示すように、直線経路に障害が全くない場合や、図１２〜図１４に示すように、迂回経路ＲＬが設定可能な場合には、これらの動作を省略し、移載作業の時間短縮を図ることが可能となる。
【００９８】
ステップＳ７７を実行した場合、又は、ステップＳ７７をバイパスした場合、ステップＳ７８において、駆動制御部１２３は、チャック７１を降下させ、プッシュアップピン４０が載置されるように、ピン挿抜機構７０を制御する。
【００９９】
その後、ステップＳ７９において、駆動制御部１２３は、チャック７１によるプッシュアップピン４０のグリップを解除するように、ピン挿抜機構７０を制御する。
【０１００】
その後、ステップＳ７０１において、駆動制御部１２３は、加工装置３０がＸＹ座標上の所定の位置に戻るように、加工装置３０を制御し、メインルーチンに復帰する。
【０１０１】
［第２実施形態］
図１５に示すように、本発明に係る基板支持装置又はプッシュアップピンの移載方法は、二条の基板搬送経路ＰＨ１、ＰＨ２が並行に設定されているデュアルレーン方式の加工装置にも適用可能である。図１５の例では、各基板搬送経路ＰＨに、サイズの異なるプッシュアッププレート２１を有する基板支持装置１０が設けられている。また、ピンステーション４５は、基板搬送経路ＰＨ１、ＰＨ２のそれぞれ下流側から上流側にプッシュアッププレート２１に対向する位置に配置されている。このような形態の装置においても、第１実施形態と同様に、プッシュアップピンの移載作業を迅速に実行することができる。
【０１０２】
［各実施形態の効果］
以上説明したように、本実施形態によれば、駆動設定部１２２は、干渉が生じないと干渉判定部１２０が判定した場合には、直線経路Ｌを移動経路に設定するとともにプッシュアッププレート２１の昇降動作が不要であると設定し、干渉が生じると干渉判定部が判定した場合において迂回経路ＲＬがあると迂回駆動設定部が判定したときには、当該迂回経路ＲＬを移動経路に設定するとともにプッシュアッププレート２１の昇降動作が不要であると設定し、迂回経路ＲＬを設定できなかった場合には、直線経路Ｌを移動経路に設定するとともに、プッシュアッププレート２１の昇降動作が必要であると設定するように構成されている。
【０１０３】
このため、上述した各実施形態では、移動対象となるプッシュアップピン４０ごとに干渉回避のための干渉判定（図７のステップＳ４）、および迂回経路ＲＬを探索して探索された迂回経路ＲＬを設定する処理が多段階で実行される。そして、これらの処理を経ても、なお干渉回避が必要である場合にのみ、プッシュアッププレート２１の昇降動作を伴う移動動作が実行される。従って、プッシュアッププレート２１の昇降動作をプッシュアップピン４０ごとに実行する必要がなくなり、処理工程の短縮化や短時間化を実現することができる。
【０１０４】
また、迂回設定処理サブルーチン（ステップＳ５）は、図１３（Ａ）に例示したように、移動対象となるプッシュアップピン４０がプッシュアッププレート２１に並置されたピンステーション４５から当該プッシュアッププレート２１に移動する場合には、移動元の座標４０（０，１）を始点とし、かつ当該ピンステーション４５がプッシュアッププレートに対向するＹ軸方向に沿う対向経路（シフト経路Ｓ）を迂回経路ＲＬに含めて探索するように構成されている。
【０１０５】
同様に、迂回設定処理サブルーチン（ステップＳ５）は、図１４（Ａ）に例示したように、移動対象となるプッシュアップピン４０がプッシュアッププレート２１からピンステーション４５に移動する場合には、移動先の座標４０（０，１）を終点とし、かつ当該ピンステーション４５がプッシュアッププレートに対向するＹ軸方向に沿う対向経路（シフト経路Ｓ）を迂回経路ＲＬに含めて探索するように構成されている。
【０１０６】
このため、上述した各実施形態では、ピンステーション４５からプッシュアッププレート２１にプッシュアップピン４０を移動する場合や、プッシュアッププレート２１からピンステーション４５にプッシュアップピン４０を移動する場合において、ピンステーション４５とプッシュアッププレート２１とが対向する対向方向の経路Ｓを迂回経路ＲＬとして含めることができる。ここで、通常、ピンステーション４５とプッシュアッププレート２１との間には、設置スペースが隔てられている関係上、上記対向方向の経路は、比較的短い範囲で迂回が可能なことが多い。そのため、移動経路として設定された迂回経路ＲＬには、この短い経路が含まれるので、迂回経路ＲＬの全長を可及的に短くすることができ、プッシュアップピン４０を移動するときの演算に要する負担を軽減することができる。よって、処理が容易かつ高速になり、信頼性も高くなる。
【０１０７】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることはいうまでもない。
【０１０８】
例えば、ピンステーションは、プッシュアッププレートの一部のエリアに設定されているものであってもよい。また、ピンステーションは、通常、基板支持装置１０に付設されるものであるが、上流装置１１や下流装置１２等の加工装置に付設されたものを用いる場合でもよい。
【符号の説明】
【０１０９】
１０   基板支持装置
２１   プッシュアッププレート
２３   ピン載置部
２４   昇降装置
３０   加工装置
４０   プッシュアップピン
４５   ピンステーション
４６   ピン載置部
７０   ピン挿抜機構
７１   チャック
１００ 制御装置
１０１ 主制御部
１２０ 干渉判定部
１２１ 迂回設定部
１２２ 駆動設定部
１２３ 駆動制御部
Ａ     ＸＹ移動範囲
Ａ１-Ｂ２     作業エリア
Ｆ１   干渉フラグ
Ｆ２   迂回フラグ
Ｆ３   昇降フラグ
Ｌ     直線経路
ＲＬ   迂回経路
Ｓ     シフト経路
Ｗ     プリント基板
【図１】
0006542679.tif 000002
【図２】
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【図３】
0006542679.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0006542679.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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