(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ナノ結晶酸化物またはアモルファス酸化物で構成される酸化物半導体膜であって、
インジウム、タングステンおよび亜鉛を含有し、
前記酸化物半導体膜中のインジウム、タングステンおよび亜鉛の合計に対するタングステンの含有率が０．５原子％より大きく、３原子％以下であり、
前記酸化物半導体膜中のタングステンに対する亜鉛の原子比（Ｚｎ／Ｗ比）が３以上２０以下であり、
電気抵抗率が１０-1Ωｃｍ以上である、酸化物半導体膜。
【請求項２】
膜厚が２ｎｍ以上２５ｎｍ以下である、請求項１に記載の酸化物半導体膜。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の酸化物半導体膜を製造する方法であって、
スパッタリング法により成膜する工程を含む、酸化物半導体膜の製造方法。
【請求項４】
スパッタリング法による成膜後に加熱処理するか、またはスパッタリング法により成膜を行いながら加熱処理する工程を含む、請求項３に記載の酸化物半導体膜の製造方法。
【請求項５】
請求項１または請求項２に記載の酸化物半導体膜を含む、半導体デバイス。
【請求項６】
前記酸化物半導体膜の少なくとも一部と接して配置される層をさらに含み、
前記層は、ナノ結晶層およびアモルファス層の少なくともいずれか１つである、請求項５に記載の半導体デバイス。
【請求項７】
前記層は、シリコンおよびアルミニウムの少なくともいずれか１つを含む酸化物層である、請求項６に記載の半導体デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸化物半導体膜、およびこれを含む半導体デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示装置、薄膜ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示装置、有機ＥＬ表示装置等において、半導体デバイスであるＴＦＴ（薄膜トランジスタ）のチャネル層として機能する半導体膜として、アモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）膜が主に使用されてきた。【０００３】
近年では、ａ−Ｓｉに代わる材料として、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）および亜鉛（Ｚｎ）を含有する複合酸化物、すなわちＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系複合酸化物（「ＩＧＺＯ」とも呼ばれる。）が注目されている。ＩＧＺＯ系酸化物半導体はａ−Ｓｉと比較して、より高いキャリア移動度が期待できる。【０００４】
国際公開第２００５／０８８７２６号（特許文献１）は、電子キャリア濃度が１０18／ｃｍ3未満であるアモルファス酸化物によれば、これをＴＦＴのチャネル層に用いた場合、０．５〜１０ｃｍ2／Ｖｓ程度の電界効果移動度が得られることを開示する。【０００５】
特開２００８−１９２７２１号公報（特許文献２）は、酸化物半導体膜をスパッタ法等により形成する際に好適に用いられる材料として、主としてインジウムからなりタングステンを含む酸化物焼結体を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２００５／０８８７２６号
【特許文献２】特開２００８−１９２７２１号公報
【特許文献３】特許第５１７２９１８号
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】カラー液晶ディスプレイ（堀  浩雄，鈴木  幸治，共立出版株式会社，発行年月：２００１年６月）
【非特許文献２】Tetsufumi  Kawamura他，“Low-Voltage  Operating  Amorphous  Oxide  TFTs”，IDW2009  AMD8-1，P1689-1692
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載のアモルファス酸化物は、電界効果移動度が高くても１０ｃｍ2／Ｖｓ程度である点において課題を有する。【０００９】
また、特許文献２に記載の酸化物焼結体を用いて作製した酸化物半導体膜をチャネル層として含むＴＦＴは、閾値電圧Ｖthが４Ｖよりも大きいという問題がある。上記の非特許文献１によれば、これまでディスプレイ用途に用いられてきたＴＦＴの半導体材料であるａ−Ｓｉにおいては、Ｖthは２〜４Ｖが一般的である。半導体材料を酸化物半導体へ代替させた場合もこれと同じ範囲のＶthにて動作可能であることが、デバイス設計の簡便性から望ましい。【００１０】
本発明は、良好な閾値電圧および電界効果移動度を示す半導体デバイスを与えることができる酸化物半導体膜、ならびにこれを含む半導体デバイスの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様に係る酸化物半導体膜は、ナノ結晶酸化物またはアモルファス酸化物で構成される酸化物半導体膜であって、インジウム、タングステンおよび亜鉛を含有し、酸化物半導体膜中のインジウム、タングステンおよび亜鉛の合計に対するタングステンの含有率が０．５原子％より大きく、５原子％以下であり、電気抵抗率が１０-1Ωｃｍ以上である。【００１２】
本発明の別の態様に係る半導体デバイスは、上記態様の酸化物半導体膜を含む。
【発明の効果】
【００１３】
上記によれば、良好な閾値電圧および電界効果移動度を示す半導体デバイスを与えることができる酸化物半導体膜、ならびにこれを含む半導体デバイスを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一態様に係る半導体デバイスの一例を示す概略図であり、（Ａ）は概略平面図を示し、（Ｂ）は（Ａ）に示されるＩＢ−ＩＢ線における概略断面図を示す。
【図２】本発明の一態様に係る半導体デバイスの他の一例を示す概略断面図である。
【図３】本発明の一態様に係る半導体デバイスのさらに他の一例を示す概略断面図である。
【図４】図１に示される半導体デバイスの製造方法の一例を示す概略断面図である。
【図５】図２に示される半導体デバイスの製造方法の一例を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
＜本発明の実施形態の説明＞
まず、本発明の実施態様を列記して説明する。
【００１６】
［１］本発明の一実施形態に係る酸化物半導体膜は、ナノ結晶酸化物またはアモルファス酸化物で構成される酸化物半導体膜であり、インジウム、タングステンおよび亜鉛を含有し、酸化物半導体膜中のインジウム、タングステンおよび亜鉛の合計に対するタングステンの含有率が０．５原子％より大きく、５原子％以下であり、電気抵抗率が１０-1Ωｃｍ以上である。本実施形態に係る酸化物半導体膜によれば、これをチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、閾値電圧Ｖthを０〜４Ｖ（さらには２〜４Ｖ）にすることができるとともに、高い電界効果移動度を実現することができる。また、本実施形態に係る酸化物半導体膜によれば、これをチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、そのＯＦＦ電流を小さくしながら、上記の良好な閾値電圧Ｖthおよび電界効果移動度を実現することも可能になる。ＯＦＦ電流が小さくなることにより、低い駆動電圧でＯＦＦ電流に対するＯＮ電流の比を高くすることができる。
【００１７】
［２］本実施形態に係る酸化物半導体膜は、膜厚が２ｎｍ以上２５ｎｍ以下であることができる。膜厚をこの範囲内とすることは、電界効果移動度の向上、閾値電圧Ｖthの低減、および／またはＯＦＦ電流の低減に有利である。
【００１８】
［３］本実施形態に係る酸化物半導体膜において、該酸化物半導体膜中のタングステンに対する亜鉛の原子比（Ｚｎ／Ｗ比）は、０．５以上３０以下であることができる。Ｚｎ／Ｗ比をこの範囲内とすることは、電界効果移動度の向上、閾値電圧Ｖthの低減、および／またはＯＦＦ電流の低減に有利である。
【００１９】
［４］本実施形態に係る酸化物半導体膜は、スパッタリング法により成膜する工程を含む製造方法によって得ることができる。このことは、酸化物半導体膜をチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、閾値電圧Ｖthを０〜４Ｖ（さらには２〜４Ｖ）にするとともに、高い電界効果移動度を実現するうえで有利である。また、酸化物半導体膜をチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、そのＯＦＦ電流を小さくしながら、上記の良好な閾値電圧Ｖthおよび電界効果移動度を実現するうえで有利である。
【００２０】
［５］本実施形態に係る酸化物半導体膜は、スパッタリング法による成膜後に加熱処理するか、またはスパッタリング法により成膜を行いながら加熱処理することによって得ることができる。このことは、酸化物半導体膜をチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、閾値電圧Ｖthを０〜４Ｖ（さらには２〜４Ｖ）にするとともに、高い電界効果移動度を実現するうえで有利である。また、酸化物半導体膜をチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、そのＯＦＦ電流を小さくしながら、上記の良好な閾値電圧Ｖthおよび電界効果移動度を実現するうえで有利である。
【００２１】
［６］本発明の別の実施形態に係る半導体デバイスは、上記実施形態に係る酸化物半導体膜を含む。本実施形態の半導体デバイスは、上記実施形態に係る酸化物半導体膜を含むため、閾値電圧Ｖthを０〜４Ｖ（さらには２〜４Ｖ）にすることができるとともに、高い電界効果移動度を実現することができる。また、本実施形態の半導体デバイスにおいて、そのＯＦＦ電流を小さくしながら、上記の良好な閾値電圧Ｖthおよび電界効果移動度を実現することも可能になる。半導体デバイスとは、特に制限はないが、上記実施形態に係る酸化物半導体膜をチャネル層として含むＴＦＴ（薄膜トランジスタ）が好適な例である。
【００２２】
［７］本実施形態に係る半導体デバイスは、酸化物半導体膜の少なくとも一部と接して配置される層をさらに含むことができる。この場合において当該層は、ナノ結晶層およびアモルファス層の少なくともいずれか１つであることができる。当該層をさらに含むことは、半導体デバイスにおいて、閾値電圧Ｖthを０〜４Ｖ（さらには２〜４Ｖ）にするとともに、高い電界効果移動度を実現するうえで有利である。また、半導体デバイスにおいて、そのＯＦＦ電流を小さくしながら、上記の良好な閾値電圧Ｖthおよび電界効果移動度を実現するうえで有利である。
【００２３】
［８］本実施形態に係る半導体デバイスにおいて、酸化物半導体膜の少なくとも一部と接して配置される上記層は、シリコンおよびアルミニウムの少なくともいずれか１つを含む酸化物層であることができる。当該層がシリコンおよびアルミニウムの少なくともいずれか１つを含む酸化物層であることは、半導体デバイスにおいて、閾値電圧Ｖthを０〜４Ｖ（さらには２〜４Ｖ）にするとともに、高い電界効果移動度を実現するうえで有利である。また、半導体デバイスにおいて、そのＯＦＦ電流を小さくしながら、上記の良好な閾値電圧Ｖthおよび電界効果移動度を実現するうえで有利である。
【００２４】
＜本発明の実施形態の詳細＞
［実施形態１：酸化物半導体膜］
本実施形態に係る酸化物半導体膜は、ナノ結晶酸化物またはアモルファス酸化物で構成される酸化物半導体膜であり、インジウム、タングステンおよび亜鉛を含有し、酸化物半導体膜中のインジウム、タングステンおよび亜鉛の合計に対するタングステンの含有率が０．５原子％より大きく、５原子％以下であり、電気抵抗率が１０-1Ωｃｍ以上である。本実施形態に係る酸化物半導体膜によれば、これをチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、閾値電圧Ｖthを０〜４Ｖ（さらには２〜４Ｖ）にすることができるとともに、高い電界効果移動度を実現することができる。また、本実施形態に係る酸化物半導体膜によれば、これをチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、そのＯＦＦ電流を小さくしながら、上記の良好な閾値電圧Ｖthおよび電界効果移動度を実現することも可能になる。ＯＦＦ電流が小さくなることにより、低い駆動電圧でＯＦＦ電流に対するＯＮ電流の比を高くすることができる。
【００２５】
本明細書において「ナノ結晶酸化物」とは、以下の条件に従うＸ線回折測定によっても、結晶に起因するピークが観測されずにハローと呼ばれる低角度側に現れるブロードなピークのみが観測され、かつ、透過電子顕微鏡を用い、以下の条件に従って微細領域の透過電子線回折測定を実施した場合、リング状のパターンが観察される酸化物をいう。リング状のパターンとは、スポットが集合してリング状のパターンを形成している場合を含む。
【００２６】
また、本明細書において「アモルファス酸化物」とは、以下の条件に従うＸ線回折測定によっても、結晶に起因するピークが観測されずにハローと呼ばれる低角度側に現れるブロードなピークのみが観測され、かつ、透過電子顕微鏡を用い、以下の条件に従って微細領域の透過電子線回折測定を実施しても、やはりハローと呼ばれる不明瞭なパターンが観察される酸化物をいう。
【００２７】
（Ｘ線回折測定条件）
測定方法：Ｉｎ−ｐｌａｎｅ法（スリットコリメーション法）、
Ｘ線発生部：対陰極Ｃｕ、出力５０ｋＶ  ３００ｍＡ、
検出部：シンチレーションカウンタ、
入射部：スリットコリメーション、
ソーラースリット：入射側  縦発散角０．４８°
受光側  縦発散角０．４１°、
スリット：入射側  Ｓ１＝１ｍｍ＊１０ｍｍ
受光側  Ｓ２＝０．２ｍｍ＊１０ｍｍ、
走査条件：走査軸  ２θχ／φ、
走査モード：ステップ測定、走査範囲  １０〜８０°、ステップ幅０．１°、
ステップ時間  ８ｓｅｃ．。
【００２８】
（透過電子線回折測定条件）
測定方法：極微電子線回折法、
加速電圧：２００ｋＶ、
ビーム径：測定対象である酸化物半導体膜の膜厚と同じか、または同等。
【００２９】
本実施形態に係る酸化物半導体膜がナノ結晶酸化物で構成される場合、上記の条件に従って微細領域の透過電子線回折測定を行うと、上述のようにリング状のパターンが観察され、スポット状のパターンは観察されない。これに対して、たとえば上記特許文献３に開示されるような酸化物半導体膜は、当該膜の表面に対して垂直な方向に沿うようにｃ軸配向した結晶を含んでおり、このように微細領域中のナノ結晶がある方向に配向している場合には、スポット状のパターンが観察される。本実施形態に係る酸化物半導体膜がナノ結晶酸化物で構成される場合、当該ナノ結晶は、少なくとも膜面内に垂直な面（膜断面）の観察を行った際に、当該膜の表面に対して結晶が配向していない無配向であってランダムな配向性を有している。つまり、膜厚方向に対して結晶軸が配向していない。
【００３０】
本実施形態に係る酸化物半導体膜は、ナノ結晶酸化物またはアモルファス酸化物で構成されるため、これをチャネル層として含む半導体デバイスにおいて、例えば３０ｃｍ2／Ｖｓ以上の高い電界効果移動度を達成することが可能である。移動度を高める上で、本実施形態に係る酸化物半導体膜は、より望ましくはアモルファス酸化物で構成される。
【００３１】
本実施形態に係る酸化物半導体膜は、インジウム（Ｉｎ）、タングステン（Ｗ）および亜鉛（Ｚｎ）を含有し、酸化物半導体膜に含まれるＩｎ、ＷおよびＺｎの合計に対するＷの含有率（以下、「Ｗ含有率」ともいう。）が０．５原子％より大きく、５原子％以下である。Ｗ含有率が０．５原子％よりも大きいことにより、酸化物半導体膜をチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、閾値電圧Ｖthを０〜４Ｖ（さらには２〜４Ｖ）にすることができる。Ｗ含有率が０．５原子％以下の場合には、キャリア濃度が高くなりすぎて、閾値電圧Ｖthが負側に大きくなってしまう。また、かかる酸化物半導体膜をチャネル層として含む半導体デバイスにおいて、加熱処理時に電界効果移動度が低くなってしまう。閾値電圧Ｖth、加熱時の電界効果移動度の低下抑制の観点から、Ｗ含有率は、好ましくは０．５５原子％以上であり、より好ましくは０．６原子％以上であり、さらに好ましくは０．７原子％以上である。Ｗ含有率を高める方が、アモルファス酸化物を実現する点で望ましい。
【００３２】
一方、Ｗ含有率が５原子％以下であることにより、酸化物半導体膜をチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、高い電界効果移動度を実現することができる。Ｗ含有率が５原子％を超える場合には、十分に高い電界効果移動度が得られない。電界効果移動度の観点から、Ｗ含有率は、好ましくは４原子％以下であり、より好ましくは３原子％以下であり、さらに好ましくは２原子％以下であり、特に好ましくは１．５原子％以下である。
【００３３】
本実施形態に係る酸化物半導体膜は、電気抵抗率が１０-1Ωｃｍ以上である。インジウムを含む酸化物は、透明導電膜として知られているが、特開２００２−２５６４２４号公報に記載されるように、透明導電膜に使用される膜としては電気抵抗率が１０-1Ωｃｍより低いことが一般的である。一方、本発明のように半導体デバイスのチャネル層として用いる場合、酸化物半導体膜は、電気抵抗率が１０-1Ωｃｍ以上であることが必要である。当該電気抵抗率を実現するために、酸化物半導体膜の膜厚、Ｗ含有率、Ｚｎ含有率、Ｚｎ／Ｗ比を総合的に検討することが好ましい。また、当該電気抵抗率を実現するために、スパッタリング法により酸化物半導体膜を形成した後の加熱処理を酸素を含む雰囲気にて実施するか、および／または、酸化物半導体膜の少なくとも一部と接する層（エッチストッパ層、ゲート絶縁膜、パシベーション膜）に酸化物を用いて、加熱処理を行うことが望ましい。
【００３４】
本実施形態に係る酸化物半導体膜は、膜厚が２ｎｍ以上２５ｎｍ以下であることが好ましい。膜厚が２ｎｍ以上２５ｎｍ以下であると、これをチャネル層として含む半導体デバイスにおいて、高い電界効果移動度を実現しやすくすることができる。膜厚が２５ｎｍを超えると、ナノ結晶酸化物またはアモルファス酸化物である酸化物半導体膜を実現できないことがあり、この場合、電界効果移動度が低下してしまう。
【００３５】
膜厚が２ｎｍ以上２５ｎｍ以下であると、ナノ結晶酸化物またはアモルファス酸化物である酸化物半導体膜を実現しやすく、これをチャネル層として含む半導体デバイスにおいて、高い電界効果移動度を達成できる点で有利である。膜厚が２ｎｍ以上２５ｎｍ以下であり、かつナノ結晶酸化物またはアモルファス酸化物で構成される酸化物半導体膜によれば、これをチャネル層として含む半導体デバイスにおいて、例えば３０ｃｍ2／Ｖｓ以上の高い電界効果移動度を達成することが可能である。より高い電界効果移動度を実現する観点から、酸化物半導体膜の膜厚は、好ましくは５ｎｍ以上であり、また好ましくは１８ｎｍ以下である。
【００３６】
酸化物半導体膜の膜厚は、膜断面を透過電子顕微鏡により観察し、膜の最下面から最上面までの距離を測定し、観察倍率にて割ることで算出される。距離の測定は５点にて実施し、その平均値から膜厚を算出する。
【００３７】
本実施形態に係る酸化物半導体膜において、該酸化物半導体膜中のＷに対するＺｎの原子比（Ｚｎ／Ｗ比）は、０．５以上３０以下であることが好ましい。後述するように、本実施形態に係る酸化物半導体膜は、たとえば、スパッタリング法による成膜後に加熱処理するか、またはスパッタリング法により成膜を行いながら加熱処理することによって得ることができるが、この加熱処理の温度が高くなるに従って電界効果移動度が低くなる傾向にある。Ｚｎ／Ｗ比が０．５以上であることにより、加熱処理の温度が高くなっても電界効果移動度を高く維持することができる。すなわち、Ｚｎ／Ｗ比が０．５以上であることにより、加熱処理の温度上昇に伴う電界効果移動度の低下を好適に抑制することができる。Ｚｎ／Ｗ比が０．５未満である場合には、加熱処理の温度上昇に伴う電界効果移動度の低下の抑制が十分でない傾向にあり、その低下度は、たとえばＺｎの含有量がゼロであるときと同等となり得る。電界効果移動度の観点から、Ｚｎ／Ｗ比は、より好ましくは０．６以上であり、さらに好ましくは１以上であり、特に好ましくは３以上であり、最も好ましくは５以上である。
【００３８】
一方、Ｚｎ／Ｗ比が３０以下であることにより、酸化物半導体膜をチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、そのＯＦＦ電流を小さくすることができる。ＯＦＦ電流を小さくする観点から、Ｚｎ／Ｗ比は、より好ましくは２０以下である。また、Ｗ含有率の増加、Ｚｎ／Ｗ比の増加により、より大きい膜厚までナノ結晶酸化物またはアモルファス酸化物を維持することが可能となる。しかし、Ｚｎ／（Ｉｎ＋Ｚｎ）原子比の場合において、０．２より小さいことが電界効果移動度を高くする観点から望ましい。
【００３９】
酸化物半導体膜におけるＩｎ、ＷおよびＺｎの含有量は、ＲＢＳ（ラザフォード後方散乱分析）により測定される。この測定結果に基づいて、Ｗ含有率およびＺｎ／Ｗ比が算出される。ＲＢＳでの分析を実施できない場合は、ＴＥＭ−ＥＤＸ（エネルギー分散型ケイ光Ｘ線分析計を付帯する透過型電子顕微鏡）により測定される。化学組成測定の正確性から、ＲＢＳでの測定が望ましい。ＴＥＭ−ＥＤＸを用いる場合はまず、検量線作成用の試料として、Ｉｎ、Ｗ、ＺｎおよびＯからなり、測定対象の酸化物半導体膜に近い組成を有し、かつ、ＲＢＳでの分析を実施可能な酸化物半導体膜を少なくとも３個以上用意する。次いで、これらの試料について、ＲＢＳによってＩｎ、ＷおよびＺｎの含有量を測定するとともに、ＴＥＭ−ＥＤＸによってＩｎ、ＷおよびＺｎの含有量を測定する。これらの測定値から、ＴＥＭ−ＥＤＸによるＩｎ、ＷおよびＺｎの含有量の測定値と、ＲＢＳによるＩｎ、ＷおよびＺｎの含有量の測定値との関係を示す検量線を作成する。そして、測定対象の酸化物半導体膜について、ＴＥＭ−ＥＤＸによってＩｎ、ＷおよびＺｎの含有量を測定した後、この測定値を、上記検量線に基づきＲＢＳによるＩｎ、ＷおよびＺｎの含有量の測定値に変換する。この変換された値が、測定対象の酸化物半導体膜についてのＩｎ、ＷおよびＺｎの含有量である。
【００４０】
本実施形態に係る酸化物半導体膜は、スパッタリング法により成膜する工程を含む製造方法によって得ることができる。このことは、酸化物半導体膜をチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、閾値電圧Ｖthを０〜４Ｖ（さらには２〜４Ｖ）にするとともに、高い電界効果移動度を実現するうえで有利である。また、酸化物半導体膜をチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、そのＯＦＦ電流を小さくしながら、上記の良好な閾値電圧Ｖthおよび電界効果移動度を実現するうえで有利である。スパッタリング法による成膜は、中でも、電界効果移動度を高めるうえで有効である。
【００４１】
スパッタリング法とは、成膜室内に、ターゲットと基板とを対向させて配置し、ターゲットに電圧を印加して、希ガスイオンでターゲットの表面をスパッタリングすることにより、ターゲットからターゲットを構成する原子を放出させて基板上に堆積させることによりターゲットを構成する原子で構成される膜を形成する方法をいう。
【００４２】
酸化物半導体膜を形成する方法としては、スパッタリング法のほか、パルスレーザー蒸着（ＰＬＤ）法、加熱蒸着法などが提案されているが、スパッタリング法を用いることが上記の理由から好ましい。
【００４３】
スパッタリング法としては、マグネトロンスパッタリング法、対向ターゲット型マグネトロンスパッタリング法などを用いることができる。スパッタリング時の雰囲気ガスとして、Ａｒガス、Ｋｒガス、Ｘｅガスを用いることができ、これらのガスとともに酸素ガスを混合して用いることもできる。
【００４４】
また、本実施形態に係る酸化物半導体膜は、スパッタリング法による成膜後に加熱処理するか、またはスパッタリング法により成膜を行いながら加熱処理することによって得ることもできる。これにより、ナノ結晶酸化物またはアモルファス酸化物で構成される酸化物半導体膜が得られやすくなる。また、この方法により得られる酸化物半導体膜は、これをチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、閾値電圧Ｖthを０〜４Ｖ（さらには２〜４Ｖ）にするとともに、高い電界効果移動度を実現するうえで有利である。また、酸化物半導体膜をチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、そのＯＦＦ電流を小さくしながら、上記の良好な閾値電圧Ｖthおよび電界効果移動度を実現するうえで有利である。上記方法による酸化物半導体膜の形成は、中でも、電界効果移動度を高めるうえで有効である。
【００４５】
スパッタリング法による成膜を行いながら実施する加熱処理は、当該成膜中に基板を加熱することによって実施できる。基板温度は、好ましくは１００℃以上２５０℃以下である。加熱処理の時間は成膜時間に相当し、成膜時間は形成する酸化物半導体膜の膜厚に依存するが、たとえば１０秒〜１０分程度であることができる。
【００４６】
スパッタリング法による成膜後に実施する加熱処理も同様に、基板を加熱することによって実施できる。基板温度は、好ましくは１００℃以上２５０℃以下である。加熱処理の雰囲気は、大気中、窒素ガス中、窒素ガス−酸素ガス中、Ａｒガス中、Ａｒ−酸素ガス中、水蒸気含有大気中、水蒸気含有窒素中など、各種雰囲気であってよい。雰囲気圧力は、大気圧のほか、減圧条件下（たとえば０．１Ｐａ未満）、加圧条件下（たとえば０．１Ｐａ〜９ＭＰａ）であることができるが、好ましくは大気圧である。加熱処理の時間は、たとえば３分〜２時間程度であることができ、好ましくは１０分〜９０分程度である。本実施形態に係る半導体デバイスにおいて、酸化物半導体膜の少なくとも一部に酸化物層（エッチストッパ層、ゲート絶縁膜、パシベーション膜）が接しない場合、酸素を含む雰囲気で加熱処理することが望ましい。この酸素を含む雰囲気で加熱することにより得られる酸化物半導体膜は、１０-1Ωｃｍ以上の電気抵抗率を得るうえで有利である。また、これをチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、閾値電圧Ｖthを０〜４Ｖ（さらには２〜４Ｖ）にするとともに、高い電界効果移動度を実現するうえでも有利である。また、酸化物半導体膜をチャネル層として含む半導体デバイス（たとえばＴＦＴ）において、そのＯＦＦ電流を小さくしながら、上記の良好な閾値電圧Ｖthおよび電界効果移動度を実現するうえでも有利である。
【００４７】
［実施形態２：半導体デバイス］
本実施形態に係る半導体デバイスは、実施形態１の酸化物半導体膜を含む。本実施形態の半導体デバイスは、実施形態１の酸化物半導体膜を含むため、閾値電圧Ｖthを０〜４Ｖ（さらには２〜４Ｖ）にすることができるとともに、高い電界効果移動度を実現することができる。また、本実施形態の半導体デバイスにおいて、そのＯＦＦ電流を小さくしながら、上記の良好な閾値電圧Ｖthおよび電界効果移動度を実現することも可能になる。半導体デバイスとは、特に制限はないが、実施形態１の酸化物半導体膜をチャネル層として含むＴＦＴが好適な例である。
【００４８】
図１〜図３は、本実施形態に係る半導体デバイス（ＴＦＴ）のいくつかの例を示す概略図である。図１に示される半導体デバイス１０は、基板１１と、基板１１上に配置されたゲート電極１２と、ゲート電極１２上に絶縁層として配置されたゲート絶縁膜１３と、ゲート絶縁膜１３上にチャネル層として配置された酸化物半導体膜１４と、酸化物半導体膜１４上に互いに接触しないように配置されたソース電極１５およびドレイン電極１６と、を含む。
【００４９】
図２に示される半導体デバイス２０は、酸化物半導体膜１４上に配置され、コンタクトホールを有するエッチストッパ層１７と、エッチストッパ層１７、ソース電極１５およびドレイン電極１６上に配置されるパシベーション膜１８とをさらに含むこと以外は、図１に示される半導体デバイス１０と同様の構成を有する。図２に示される半導体デバイス２０において、図１に示される半導体デバイス１０のように、パシベーション膜１８を省略することもできる。図３に示される半導体デバイス３０は、酸化物半導体膜１４、ソース電極１５およびドレイン電極１６上に配置されるパシベーション膜１８をさらに含むこと以外は、図１に示される半導体デバイス１０と同様の構成を有する。
【００５０】
本実施形態に係る半導体デバイスは、実施形態１の酸化物半導体膜を含み、かつ、この酸化物半導体膜の少なくとも一部と接して配置される層であって、ナノ結晶層およびアモルファス層の少なくともいずれか１つである層（以下、この層を「隣接層」ともいう。）をさらに含むことが好ましい。当該隣接層を設けることにより、それと接して形成される酸化物半導体膜１４が、隣接層の結晶性の影響を受けて、ナノ結晶酸化物またはアモルファス酸化物で構成される膜となりやすくなり、またこれに伴って半導体デバイスに良好な電界効果移動度を付与することができる。当該隣接層を含む半導体デバイスによれば、上述の加熱処理の温度が高い場合であっても、高い電界効果移動度を維持することができる。加熱処理の温度がより高い場合であってもアモルファス酸化物で構成される膜を維持できる場合、高い電界効果移動度を保持できる。
【００５１】
上記隣接層は、その全体がナノ結晶およびアモルファスの少なくともいずれか１つであってもよいし、酸化物半導体膜と接する部分がナノ結晶およびアモルファスの少なくともいずれか１つであってもよい。後者の場合において、ナノ結晶およびアモルファスの少なくともいずれか１つである部分は、隣接層における膜面方向にわたって全体であってもよいし、酸化物半導体膜と接する表面の一部でもよい。
【００５２】
ナノ結晶層およびアモルファス層の少なくともいずれか１つである隣接層は、酸化物半導体膜１４の下地（下層）として酸化物半導体膜１４に接して形成される層であってもよいし、酸化物半導体膜１４の上に接して形成される上層であってもよい。また、本実施形態に係る半導体デバイスは、隣接層を２層以上含むことができ、この場合、これらの隣接層は、酸化物半導体膜１４の下層と上層とであることができる。
【００５３】
たとえば図１に示される半導体デバイス１０においては、ゲート絶縁膜１３が上記隣接層であってよい。図２に示される半導体デバイス２０においては、ゲート絶縁膜１３および／またはエッチストッパ層１７が上記隣接層であってよい。図３に示される半導体デバイス３０においては、ゲート絶縁膜１３および／またはパシベーション膜１８が上記隣接層であってよい。
【００５４】
上記隣接層は、シリコンおよびアルミニウムの少なくともいずれか１つを含む酸化物層であることが好ましい。隣接層がシリコンおよびアルミニウムの少なくともいずれか１つを含む酸化物層であることは、電気抵抗率を１０-１Ωｃｍ以上にするために有利である。また、半導体デバイスに良好な電界効果移動度を付与するうえでも有利であり、とりわけ、上述の加熱処理の温度が高い場合であっても、高い電界効果移動度を維持できる半導体デバイスを提供するうえで有利である。また、隣接層がシリコンおよびアルミニウムの少なくともいずれか１つを含む酸化物層であることは、ＯＦＦ電流の低減にも有利となり得る。シリコンおよびアルミニウムの少なくともいずれか１つを含む酸化物としては、特に制限されないが、酸化シリコン（ＳｉＯx）、酸化アルミニウム（ＡｌmＯn）等を挙げることができる。
【００５５】
次に、本実施形態に係る半導体デバイスの製造方法について説明する。まず、図１に示される半導体デバイス１０の製造方法について説明すると、この製造方法は、特に制限されないが、効率よく高特性の半導体デバイス１０を製造する観点から、図４を参照して、基板１１上にゲート電極１２を形成する工程（図４（Ａ））と、ゲート電極１２上に絶縁層としてゲート絶縁膜１３を形成する工程（図４（Ｂ））と、ゲート絶縁膜１３上にチャネル層として酸化物半導体膜１４を形成する工程（図４（Ｃ））と、酸化物半導体膜１４上にソース電極１５およびドレイン電極１６を互いに接触しないように形成する工程（図４（Ｄ））と、を含むことが好ましい。
【００５６】
（１）ゲート電極を形成する工程
図４（Ａ）を参照して、基板１１上にゲート電極１２を形成する。基板１１は、特に制限されないが、透明性、価格安定性、および表面平滑性を高くする観点から、石英ガラス基板、無アルカリガラス基板、アルカリガラス基板等であることが好ましい。ゲート電極１２は、特に制限されないが、耐酸化性が高くかつ電気抵抗が低い点から、Ｍｏ電極、Ｔｉ電極、Ｗ電極、Ａｌ電極、Ｃｕ電極等であることが好ましい。ゲート電極１２の形成方法は、特に制限されないが、基板１１の主面上に大面積で均一に形成できる点から、真空蒸着法、スパッタリング法等であることが好ましい。
【００５７】
（２）ゲート絶縁膜を形成する工程
図４（Ｂ）を参照して、ゲート電極１２上に絶縁層としてゲート絶縁膜１３を形成する。ゲート絶縁膜１３の形成方法は、特に制限はないが、大面積で均一に形成できる点および絶縁性を確保する点から、プラズマＣＶＤ（化学気相堆積）法等であることが好ましい。
【００５８】
ゲート絶縁膜１３の材質は、特に制限されないが、絶縁性の観点からは、酸化シリコン（ＳｉＯx）、窒化シリコン（ＳｉＮy）等であることが好ましい。また、ゲート絶縁膜１３を上述の隣接層とする場合、酸化シリコン（ＳｉＯx）、酸化アルミニウム（ＡｌmＯn）等のシリコンおよびアルミニウムの少なくともいずれか１つを含む酸化物であることが好ましい。
【００５９】
（３）酸化物半導体膜を形成する工程
図４（Ｃ）を参照して、ゲート絶縁膜１３上にチャネル層として酸化物半導体膜１４を形成する。上述のように、酸化物半導体膜１４は、スパッタリング法により成膜する工程を含んで形成されることが好ましく、たとえばスパッタリング法による成膜後に加熱処理するか、またはスパッタリング法により成膜を行いながら加熱処理することによって形成されることが好ましい。スパッタリング法の原料ターゲットとしては、Ｉｎ−Ｗ−Ｚｎ−Ｏ焼結体を用いる。焼結体ターゲットとしては、たとえば特願２０１４−１６４１４２号、特願２０１４−０６１４９３号に記載のものを用いることができる。
【００６０】
（４）ソース電極およびドレイン電極を形成する工程
図４（Ｄ）を参照して、酸化物半導体膜１４上にソース電極１５およびドレイン電極１６を互いに接触しないように形成する。ソース電極１５およびドレイン電極１６は、特に制限はないが、耐酸化性が高く、電気抵抗が低く、かつ酸化物半導体膜１４との接触電気抵抗が低いことから、Ｍｏ電極、Ｔｉ電極、Ｗ電極、Ａｌ電極、Ｃｕ電極等であることが好ましい。ソース電極１５およびドレイン電極１６を形成する方法は、特に制限はないが、酸化物半導体膜１４が形成された基板１１の主面上に大面積で均一に形成できる点から、真空蒸着法、スパッタリング法等であることが好ましい。ソース電極１５およびドレイン電極１６を互いに接触しないように形成する方法は、特に制限はないが、大面積で均一なソース電極１５とドレイン電極１６のパターンを形成できる点から、フォトレジストを使ったエッチング法による形成であることが好ましい。
【００６１】
次に、図２に示される半導体デバイス２０の製造方法について説明すると、この製造方法は、コンタクトホール１７ａを有するエッチストッパ層１７を形成する工程およびパシベーション膜１８を形成する工程をさらに含むこと以外は図１に示される半導体デバイス１０の製造方法と同様であることができ、具体的には、図４および図５を参照して、基板１１上にゲート電極１２を形成する工程（図４（Ａ））と、ゲート電極１２上に絶縁層としてゲート絶縁膜１３を形成する工程（図４（Ｂ））と、ゲート絶縁膜１３上にチャネル層として酸化物半導体膜１４を形成する工程（図４（Ｃ））と、酸化物半導体膜１４上にエッチストッパ層１７を形成する工程（図５（Ａ））と、エッチストッパ層１７にコンタクトホール１７ａを形成する工程（図５（Ｂ））と、酸化物半導体膜１４およびエッチストッパ層１７上にソース電極１５およびドレイン電極１６を互いに接触しないように形成する工程（図５（Ｃ））と、エッチストッパ層１７、ソース電極１５およびドレイン電極１６上にパシベーション膜１８を形成する工程（図５（Ｄ））を含むことが好ましい。
【００６２】
エッチストッパ層１７の材質は、特に制限されないが、絶縁性の観点からは、酸化シリコン（ＳｉＯx）、窒化シリコン（ＳｉＮy）、酸化アルミニウム（ＡｌmＯn）等であることが好ましい。また、エッチストッパ層１７を上述の隣接層とする場合、酸化シリコン（ＳｉＯx）、酸化アルミニウム（ＡｌmＯn）等のシリコンおよびアルミニウムの少なくともいずれか１つを含む酸化物であることが好ましい。エッチストッパ層１７は、異なる材質からなる膜の組み合わせであってもよい。エッチストッパ層１７の形成方法は、特に制限はないが、大面積で均一に形成できる点および絶縁性を確保する点から、プラズマＣＶＤ（化学気相堆積）法、スパッタリング法、真空蒸着法等であることが好ましい。
【００６３】
ソース電極１５、ドレイン電極１６は、酸化物半導体膜１４に接触させる必要があることから、エッチストッパ層１７を酸化物半導体膜１４上に形成した後、エッチストッパ層１７にコンタクトホール１７ａを形成する（図５（Ｂ））。コンタクトホール１７ａの形成方法としては、ドライエッチングまたはウェットエッチングを挙げることができる。当該方法によりエッチストッパ層１７をエッチングしてコンタクトホール１７ａを形成することで、エッチング部において酸化物半導体膜１４の表面を露出させる。
【００６４】
図２に示される半導体デバイス２０の製造方法においては、図１に示される半導体デバイス１０の製造方法と同様にして、酸化物半導体膜１４およびエッチストッパ層１７上にソース電極１５およびドレイン電極１６を互いに接触しないように形成した後（図５（Ｃ））、エッチストッパ層１７、ソース電極１５およびドレイン電極１６上にパシベーション膜１８を形成する（図５（Ｄ））。
【００６５】
パシベーション膜１８の材質は、特に制限されないが、絶縁性の観点からは、酸化シリコン（ＳｉＯx）、窒化シリコン（ＳｉＮy）、酸化アルミニウム（ＡｌmＯn）等であることが好ましい。また、パシベーション膜１８を上述の隣接層とする場合、酸化シリコン（ＳｉＯx）、酸化アルミニウム（ＡｌmＯn）等のシリコンおよびアルミニウムの少なくともいずれか１つを含む酸化物であることが好ましい。パシベーション膜１８は、異なる材質からなる膜の組み合わせであってもよい。パシベーション膜１８の形成方法は、特に制限はないが、大面積で均一に形成できる点および絶縁性を確保する点から、プラズマＣＶＤ（化学気相堆積）法、スパッタリング法、真空蒸着法等であることが好ましい。
【００６６】
また、図３に示される半導体デバイス３０のように、エッチストッパ層１７を形成することなくバックチャネルエッチ（ＢＣＥ）構造を採用し、酸化物半導体膜１４、ソース電極１５およびドレイン電極１６の上に、パシベーション膜１８を直接形成してもよい。この場合におけるパシベーション膜１８については、図２に示される半導体デバイス２０が有するパシベーション膜１８についての上の記述が引用される。
【実施例】
【００６７】
＜実施例１〜実施例１６、比較例１〜比較例２＞
（１）酸化物半導体膜を備える半導体デバイス（ＴＦＴ）の作製
次の手順で図３に示される半導体デバイス３０と類似の構成を有するＴＦＴを作製した。図４（Ａ）を参照して、まず、基板１１として５０ｍｍ×５０ｍｍ×厚み０．６ｍｍの合成石英ガラス基板を準備し、その基板１１上にスパッタリング法によりゲート電極１２として厚み１００ｎｍのＭｏ電極を形成した。【００６８】
図４（Ｂ）を参照して、次に、ゲート電極１２上にプラズマＣＶＤ法によりゲート絶縁膜１３として、アモルファス酸化物層である厚み２００ｎｍのＳｉＯx膜またはＳｉＮy膜を形成した。下記の表１における「ＧＩ層」の欄には、各実施例および比較例で用いたゲート絶縁膜１３の材質を記載している。【００６９】
図４（Ｃ）を参照して、次に、ゲート絶縁膜１３上に、ＤＣ（直流）マグネトロンスパッタリング法により、厚み１０ｎｍの酸化物半導体膜１４を形成した。ターゲットの直径３インチ（７６．２ｍｍ）の平面がスパッタ面であった。用いたターゲットは、Ｉｎ−Ｗ−Ｚｎ−Ｏの焼結体であり、酸化物半導体膜１４中のＷ含有率およびＺｎ／Ｗ比が表１に示されるとおりとなるように焼結体中のＷ含有量およびＺｎ含有量を調整しておいた。【００７０】
酸化物半導体膜１４の形成についてより具体的に説明すると、スパッタリング装置（図示せず）の成膜室内の水冷されている基板ホルダ上に、上記ゲート電極１２およびゲート絶縁膜１３が形成された基板１１をゲート絶縁膜１３が露出されるように配置した。上記ターゲットをゲート絶縁膜１３に対向するように９０ｍｍの距離で配置した。成膜室内を６×１０-5Ｐａ程度の真空度として、ターゲットを次のようにしてスパッタリングした。【００７１】
まず、ゲート絶縁膜１３とターゲットとの間にシャッターを入れた状態で、成膜室内へＡｒ（アルゴン）ガスとＯ2（酸素）ガスとの混合ガスを０．５Ｐａの圧力まで導入した。混合ガス中のＯ2ガス含有率は２０体積％であった。ターゲットに１１０ＷのＤＣ電力を印加してスパッタリング放電を起こし、これによってターゲット表面のクリーニング（プレスパッタ）を５分間行った。【００７２】
次いで、同じターゲットに１１０ＷのＤＣ電力を印加して、成膜室内の雰囲気をそのまま維持した状態で、上記シャッターを外すことにより、ゲート絶縁膜１３上に酸化物半導体膜１４を成膜した。なお、基板ホルダに対しては、特にバイアス電圧は印加しなかった。また、基板ホルダを水冷または加熱し、成膜時および成膜後の基板１１の温度を調整した。実施例および比較例のうち、下記の表１における「加熱処理」の欄に「成膜時」と記載されている例では、成膜時において基板ホルダを加熱して基板温度を表１における「処理温度」の欄に記載されている温度に調整することにより成膜と同時に加熱処理を実施した。この場合において加熱処理の時間は、成膜時間に相当する。一方、実施例および比較例のうち、下記の表１における「加熱処理」の欄に「成膜後」と記載されている場合は、成膜時においては基板ホルダを水冷して基板温度を２０℃程度とし、成膜後（後述するように、具体的にはソース電極１５およびドレイン電極１６形成後）に基板ホルダを加熱して基板温度を表１における「処理温度」の欄に記載されている温度に調整することにより加熱処理を実施した。この場合において成膜時間は、たとえば酸化物半導体膜１４の膜厚が５ｎｍの場合（実施例１６）で約１４秒であり、酸化物半導体膜１４の膜厚が２５ｎｍの場合（実施例１）で約７０秒であった。いずれの実施例および比較例においても、酸化物半導体膜１４の厚みが表１に示されるとおりとなるように成膜時間を調整した。【００７３】
以上のようにして、酸化物焼結体から加工されたターゲットを用いたＤＣ（直流）マグネトロンスパッタリング法により酸化物半導体膜１４を形成した。酸化物半導体膜１４は、ＴＦＴにおいてチャネル層として機能する。各実施例および比較例で形成した酸化物半導体膜１４の膜厚を表１に示す。酸化物半導体膜の膜厚は、膜断面を透過電子顕微鏡により観察し、膜の最下面から最上面までの距離を測定し、観察倍率にて割ることで算出した。距離の測定は５点にて実施し、その平均値から膜厚を算出した。【００７４】
次に、形成された酸化物半導体膜１４の一部をエッチングすることにより、ソース電極形成用部１４ｓ、ドレイン電極形成用部１４ｄ、およびチャネル部１４ｃを形成した。ソース電極形成用部１４ｓおよびドレイン電極形成用部１４ｄの主面の大きさは５０μｍ×５０μｍ、チャネル長さＣL（図１（Ａ）および（Ｂ）を参照して、チャネル長さＣLとは、ソース電極１５とドレイン電極１６との間のチャネル部１４ｃの距離をいう。）は３０μｍ、チャネル幅ＣW（図１（Ａ）および（Ｂ）を参照して、チャネル幅ＣWとは、チャネル部１４ｃの幅をいう。）は４０μｍとした。チャネル部１４ｃは、ＴＦＴが７５ｍｍ×７５ｍｍの基板主面内に３ｍｍ間隔で縦２５個×横２５個配置されるように、７５ｍｍ×７５ｍｍの基板主面内に３ｍｍ間隔で縦２５個×横２５個配置した。【００７５】
酸化物半導体膜１４の一部のエッチングは、体積比でシュウ酸：水＝５：９５であるエッチング水溶液を調製し、ゲート電極１２、ゲート絶縁膜１３および酸化物半導体膜１４がこの順に形成された基板１１を、そのエッチング水溶液に４０℃で浸漬することにより行った。【００７６】
図４（Ｄ）を参照して、次に、酸化物半導体膜１４上にソース電極１５およびドレイン電極１６を互いに分離して形成した。【００７７】
具体的にはまず、酸化物半導体膜１４のソース電極形成用部１４ｓおよびドレイン電極形成用部１４ｄの主面のみが露出するように、酸化物半導体膜１４上にレジスト（図示せず）を塗布、露光および現像した。次いでスパッタリング法により、酸化物半導体膜１４のソース電極形成用部１４ｓおよびドレイン電極形成用部１４ｄの主面上に、それぞれソース電極１５、ドレイン電極１６である厚み１００ｎｍのＭｏ電極を形成した。その後、酸化物半導体膜１４上のレジストを剥離した。ソース電極１５としてのＭｏ電極およびドレイン電極１６としてのＭｏ電極はそれぞれ、ＴＦＴが７５ｍｍ×７５ｍｍの基板主面内に３ｍｍ間隔で縦２５個×横２５個配置されるように、一つのチャネル部１４ｃに対して１つずつ配置した。【００７８】
実施例および比較例のうち、下記の表１における「加熱処理」の欄に「成膜後」と記載されている場合は、ソース電極１５およびドレイン電極１６形成後に基板ホルダを加熱して基板温度を表１における「処理温度」の欄に記載されている温度に調整することにより大気雰囲気中で加熱処理を実施した。加熱処理の時間は、約１４分とした。【００７９】
図３を参照して、次に、酸化物半導体膜１４、ソース電極１５およびドレイン電極１６の上にパシベーション膜１８を形成した。パシベーション膜１８は、アモルファス酸化物層である厚み１００ｎｍのＳｉＯx膜をプラズマＣＶＤ法により形成した後、その上に厚み２００ｎｍのＳｉＮy膜をプラズマＣＶＤ法により形成した構成、またはアモルファス酸化物層である厚み１００ｎｍのＡｌmＯn膜をスパッタリング法により形成した後、その上に厚み２００ｎｍのＳｉＮy膜をプラズマＣＶＤ法により形成した構成とした。アモルファス酸化物層がＳｉＯx膜である場合、下記の表１における「ＰＶ層」の欄には「ＳｉＯx」と記載し、アモルファス酸化物層がＡｌmＯn膜である場合、「ＰＶ層」の欄には「ＡｌmＯn」と記載している。【００８０】
次に、ソース電極１５、ドレイン電極１６上のパシベーション膜１８を反応性イオンエッチングによりエッチングしてコンタクトホールを形成することによってソース電極１５、ドレイン電極１６の表面の一部を露出させた。【００８１】
最後に、窒素雰囲気中２５０℃３０分間のアニール処理（熱処理）を実施した。このアニール処理は、すべての実施例および比較例について行ったが、実施例においては、窒素雰囲気中２５０℃３０分間のアニール処理に引き続いて、窒素雰囲気中３００℃３０分間のアニール処理も実施した。以上により、酸化物半導体膜１４をチャネル層として備えるＴＦＴを得た。【００８２】
（２）酸化物半導体膜の結晶性、Ｗ含有率およびＺｎ／Ｗ比
作製したＴＦＴが備える酸化物半導体膜１４の結晶性を上述の測定方法および定義に従って評価した。表１における「結晶性」の欄には、ナノ結晶である場合には「ナノ結晶」と、アモルファスである場合には、「アモルファス」と記載している。また、酸化物半導体膜１４中のＩｎ、ＷおよびＺｎの含有量を、ＲＢＳ（ラザフォード後方散乱分析）により測定した。これらの含有量に基づいて酸化物半導体膜１４のＷ含有率（原子％）およびＺｎ／Ｗ比（原子数比）をそれぞれ算出した。結果を表１に示す。【００８３】
（３）酸化物半導体膜の電気抵抗率の測定
ソース電極１５とドレイン電極１６に測定針を接触させた。次に、ソース−ドレイン電極間に電圧を１Ｖから２０Ｖに変化させて印加しながら、ソース−ドレイン間電流Ｉdsを測定した。Ｉds−Ｖgsのグラフを描いたときの傾きが抵抗Ｒである。この抵抗Ｒと、チャネル長さＣL（３０μｍ）、チャネル幅ＣW（４０μｍ）、膜厚ｔから、電気抵抗率は、Ｒ×ＣW×ｔ／ＣLとして求めることができる。実施例の酸化物半導体膜は全て１０-１Ωｃｍ以上であることを確認した。一方、比較例の酸化物半導体膜は全て１０-１Ωｃｍ未満であることを確認した。【００８４】
（４）半導体デバイスの特性評価
半導体デバイス１０であるＴＦＴの特性を次のようにして評価した。まず、ゲート電極１２、ソース電極１５およびドレイン電極１６に測定針を接触させた。ソース電極１５とドレイン電極１６との間に０．３Ｖのソース−ドレイン間電圧Ｖdsを印加し、ソース電極１５とゲート電極１２との間に印加するソース−ゲート間電圧Ｖgsを−１０Ｖから１５Ｖに変化させて、そのときのソース−ドレイン間電流Ｉdsを測定した。そして、ソース−ゲート間電圧Ｖgsとソース−ドレイン間電流Ｉdsの平方根〔（Ｉds）1/2〕との関係をグラフ化した（以下、このグラフを「Ｖgs−（Ｉds）1/2曲線」ともいう。）。Ｖgs−（Ｉds）1/2曲線に接線を引き、その接線の傾きが最大となる点を接点とする接線がｘ軸（Ｖgs）と交わる点（ｘ切片）を閾値電圧Ｖthとした。また、ソース−ゲート間電圧Ｖgsが−５Ｖのときのソース−ドレイン間電流ＩdsをＯＦＦ電流とした。閾値電圧ＶthおよびＯＦＦ電流は、窒素雰囲気中２５０℃３０分間のアニール処理を実施した後（窒素雰囲気中３００℃３０分間のアニール処理前）のＴＦＴについて測定した。【００８５】
また下記式〔ａ〕：
ｇm＝ｄＩds／ｄＶgs                  〔ａ〕
に従って、ソース−ドレイン間電流Ｉdsをソース−ゲート間電圧Ｖgsについて微分することによりｇmを導出した。そしてＶgs＝８．０Ｖにおけるｇmの値を用いて、下記式〔ｂ〕：
μfe＝ｇm・ＣL／（ＣW・Ｃi・Ｖds）      〔ｂ〕
に基づいて、電界効果移動度μfeを算出した。上記式〔ｂ〕におけるチャネル長さＣLは３０μｍであり、チャネル幅ＣWは４０μｍである。また、ゲート絶縁膜１３のキャパシタンスＣiは３．４×１０-8Ｆ／ｃｍ2とし、ソース−ドレイン間電圧Ｖdsは０．３Ｖとした。【００８６】
窒素雰囲気中２５０℃３０分間のアニール処理を実施した後の電界効果移動度μfeを、表１の「移動度（２５０℃）」の欄に示している。また、実施例について測定した窒素雰囲気中３００℃３０分間のアニール処理を実施した後の電界効果移動度μfeを、表１の「移動度（３００℃）」の欄に示している。表１に示されるように、Ｚｎ／Ｗ比が大きい方が、移動度（２５０℃）と移動度（３００℃）との差が小さいことがわかる。【００８７】
【表１】
0006551414.tif 000002
【００８８】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態ではなく請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００８９】
１０，２０，３０  半導体デバイス（ＴＦＴ）、１１  基板、１２  ゲート電極、１３  ゲート絶縁膜、１４  酸化物半導体膜、１４ｃ  チャネル部、１４ｄ  ドレイン電極形成用部、１４ｓ  ソース電極形成用部、１５  ソース電極、１６  ドレイン電極、１７  エッチストッパ層、１７ａ  コンタクトホール、１８  パシベーション膜。
【図１】
0006551414.tif 000003
【図２】
0006551414.tif 000004
【図３】
0006551414.tif 000005
【図４】
0006551414.tif 000006
【図５】
0006551414.tif 000007