(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準面に直交する第１軸に沿った第１方向に振動する駆動部と、
前記駆動部に作用する慣性力により、前記基準面内の第２軸に沿った第２方向に振動する検出部と、
前記駆動部と前記検出部とを接続している第１梁部と、
固定部と、
前記検出部と前記固定部とを接続している第２梁部と、
前記第１方向から見た平面視で、前記駆動部の外周に沿って、前記駆動部に重なる位置に設けられている駆動用固定電極部と、
前記第１方向から見た平面視で前記駆動用固定電極部の内側に設けられている駆動モニター用電極と、
を備え、
前記第１梁部の前記第１方向でのバネ定数が、前記第２梁部の前記第１方向でのバネ定数よりも小さく、
前記第２梁部の前記第１方向でのバネ定数が、前記第２梁部の前記第２方向でのバネ定数よりも大きいことを特徴とする物理量センサー素子。
【請求項２】
前記第１梁部の前記第１方向でのバネ定数をｋ１ｚとし、前記第２梁部の前記第１方向でのバネ定数をｋ２ｚとしたとき、
ｋ１ｚ／ｋ２ｚ≦１／１０の関係を満たす請求項１に記載の物理量センサー素子。
【請求項３】
前記第１梁部の長さが前記第２梁部の長さよりも長い請求項１または２に記載の物理量センサー素子。
【請求項４】
前記第１梁部は、前記第１方向から見た平面視で蛇行している部分を有する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の物理量センサー素子。
【請求項５】
前記第１梁部は、前記第２軸に沿って延在している第１部分と、前記基準面内で前記第２軸に直交する第３軸に沿って延在している第２部分と、を含んでおり、
前記第１部分の長さが前記第２部分の長さよりも長い請求項４に記載の物理量センサー素子。
【請求項６】
前記第１梁部の厚さが前記第２梁部の厚さよりも薄い請求項１ないし５のいずれか１項に記載の物理量センサー素子。
【請求項７】
前記第２梁部の幅が厚さよりも小さい請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量センサー素子。
【請求項８】
前記第１梁部の長さをＬ１とし、前記第２梁部の長さをＬ２としたとき、Ｌ１／Ｌ２は、２以上２０倍以下であり、
前記第１梁部の厚さをｔ２とし、前記第２梁部の厚さをｔ１としたとき、ｔ２／ｔ１は、０．２以上０．８以下であり、
前記第２梁部の幅をＷとしたとき、ｔ１／Ｗは、２以上２０以下である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の物理量センサー素子。
【請求項９】
前記第１梁部の前記第１方向でのバネ定数をｋ１ｚとし、前記第２梁部の前記第１方向でのバネ定数をｋ２ｚとしたとき、
１／１００００≦ｋ１ｚ／ｋ２ｚ≦１／１００の関係を満たす請求項８に記載の物理量センサー素子。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量センサー素子と、
前記物理量センサー素子を収納しているパッケージと、を備えていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量センサー素子を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量センサー素子を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、シリコンＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術を用いた物理量センサー素子として、例えば、角速度を検出する静電容量型のジャイロセンサー素子（角速度センサー）が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
例えば、特許文献１に係る角速度センサーは、支持固定部と、支持固定部に対して第１支持梁を介して支持されている第１振動体（駆動部）と、第１振動体に対して第２支持梁を介して支持されている第２振動体（検出部）と、を有する。この角速度センサーでは、第１振動体および第２振動体を含む負荷振動体をＸ軸方向に振動（駆動振動）させる。その駆動振動時に、負荷振動体の中心を通るＺ軸回りの角速度が作用すると、負荷振動体が回転し、コリオリ力によりＹ軸方向にも振動（検出振動）する。その検出振動に伴って、第２振動体に設けられた櫛歯電極と、固定配置された櫛歯電極との間の静電容量が変化し、その静電容量に基づき、回転角速度を求める。
【０００４】
しかし、特許文献１に係る角速度センサーでは、検出振動する第２振動体が、駆動振動する第１振動体に第２支持梁を介して支持されているため、所望の駆動振動と異なる方向の不要振動が生じた場合に、第１振動体から第２支持梁を介して第２振動体に、不要振動も伝わってしまい、その結果、検出精度の低下を招くという問題があった。例えば、第１支持梁の断面形状は、例えば本来理想的には矩形となるべきところ、加工誤差により理想の形状とならずに平行四辺形、台形になってしまう場合がある。かかる場合、第１振動体をＸ軸方向に駆動振動させようとしても、第１振動体の振動は、第１支持梁の断面形状の影響により、所望の駆動振動の方向であるＸ軸方向の振動成分だけでなく、不要振動となるＺ軸方向の振動成分も含むこととなってしまう。この不要振動が第２振動体にも伝わることにより、振動漏れを生じ、その結果、検出精度の低下を招いてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−３３７８８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、優れた検出精度を有する物理量センサー素子を提供すること、また、かかる物理量センサー素子を備える物理量センサー、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］
本発明の物理量センサー素子は、基準面に直交する第１軸に沿った第１方向に振動する駆動部と、
前記駆動部に作用する慣性力により、前記基準面内の第２軸に沿った第２方向に振動する検出部と、
前記駆動部と前記検出部とを接続している第１梁部と、
固定部と、
前記検出部と前記固定部とを接続している第２梁部と、
を備え、
前記第１梁部の前記第１方向でのバネ定数が、前記第２梁部の前記第１方向でのバネ定数よりも小さく、
前記第２梁部の前記第１方向でのバネ定数が、前記第２梁部の前記第２方向でのバネ定数よりも大きいことを特徴とする。
【０００９】
このような物理量センサー素子によれば、駆動部の駆動振動の方向である第１方向において第１梁部が第２梁部よりも曲げ変形しやすいため、駆動部の駆動振動が検出部に伝わるのを低減するとともに、駆動部を効率的に駆動振動させることができる。また、第１梁部の横断面形状が例えば矩形以外の形状として平行四辺形や台形となった場合でも、駆動部に生じる不要振動の方向が基準面内で第２軸に直交する第３軸に沿った方向となるため、不要振動が駆動部から検出部に伝わったとしても、検出部の検出振動に与える影響が少なく、検出誤差を生じるのを低減することができる。さらに、検出部の検出振動の方向である第２方向において第２梁部が曲げ変形しやすいため、検出部を効率的に検出振動させることができる。以上のようなことから、本発明の物理量センサー素子は、優れた検出精度を有する。
【００１０】
［適用例２］
本発明の物理量センサー素子では、前記第１梁部の前記第１方向でのバネ定数をｋ１ｚとし、前記第２梁部の前記第１方向でのバネ定数をｋ２ｚとしたとき、
ｋ１ｚ／ｋ２ｚ≦１／１０の関係を満たすことが好ましい。
【００１１】
これにより、駆動部を効率的に駆動振動させることができる。また、駆動部の駆動振動が検出部に伝わるのを効果的に低減することができる。
【００１２】
［適用例３］
本発明の物理量センサー素子では、前記第１梁部の長さが前記第２梁部の長さよりも長いことが好ましい。
【００１３】
これにより、比較的簡単な構成で、第１梁部の第１方向でのバネ定数を第２梁部の第１方向でのバネ定数よりも小さくすることができる。
【００１４】
［適用例４］
本発明の物理量センサー素子では、前記第１梁部は、前記第１方向から見た平面視で蛇行している部分を有することが好ましい。
【００１５】
これにより、第１梁部の第１方向でのバネ定数を効果的に小さくすることができる。また、第１梁部を効率的に配置することができ、その結果、物理量センサー素子の小型化を図ることもできる。
【００１６】
［適用例５］
本発明の物理量センサー素子では、前記第１梁部は、前記第２軸に沿って延在している第１部分と、前記基準面内で前記第２軸に直交する第３軸に沿って延在している第２部分と、を含んでおり、
前記第１部分の長さが前記第２部分の長さよりも長いことが好ましい。
【００１７】
これにより、第１梁部をより効率的に配置することができる。また、第１部分の曲げ変形および捩れ変形を伴って第２部分が傾斜することにより、駆動部の駆動振動の振幅（第１方向での変位）を拡大することができる。
【００１８】
［適用例６］
本発明の物理量センサー素子では、前記第１梁部の厚さが前記第２梁部の厚さよりも薄いことが好ましい。
【００１９】
これにより、比較的簡単な構成で、第１梁部の第１方向でのバネ定数を第２梁部の第１方向でのバネ定数よりも小さくすることができる。
【００２０】
［適用例７］
本発明の物理量センサー素子では、前記第２梁部の幅が厚さよりも小さいことが好ましい。
【００２１】
これにより、比較的簡単な構成で、第２梁部の第２方向でのバネ定数を第２梁部の第１方向でのバネ定数よりも小さくすることができる。
【００２２】
［適用例８］
本発明の物理量センサーは、本発明の物理量センサー素子と、
前記物理量センサー素子を収納しているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた検出精度を有する物理量センサーを提供することができる。
【００２３】
［適用例９］
本発明の電子機器は、本発明の物理量センサー素子を備えていることを特徴とする。
【００２４】
これにより、優れた検出精度を有する物理量センサー素子を備える電子機器を提供することができる。
【００２５】
［適用例１０］
本発明の移動体は、本発明の物理量センサー素子を備えていることを特徴とする。
【００２６】
これにより、優れた検出精度を有する物理量センサー素子を備える移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】図１に示す物理量センサーの動作（角速度が加わっていない状態）を説明するための模式的な図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図５】図１に示す物理量センサーの動作（角速度が加わった状態）を説明するための模式的な図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
【図７】図６に示す物理量センサーの動作（角速度が加わっていない状態）を説明するための模式的な図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図８】本発明の電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図である。
【図９】本発明の電子機器の一例である携帯電話機の構成を模式的に示す斜視図である。
【図１０】本発明の電子機器の一例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図１１】本発明の移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の物理量センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体を添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２９】
１．物理量センサー
まず、本発明の物理量センサー（本発明の物理量センサー素子を備える物理量センサー）の実施形態について説明する。
【００３０】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１中のＢ−Ｂ線断面図である。また、図４は、図１に示す物理量センサーの動作（角速度が加わっていない状態）を説明するための模式的な図であって、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は断面図である。また、図５は、図１に示す物理量センサーの動作（角速度が加わった状態）を説明するための模式的な図であって、図５（ａ）は平面図、図５（ｂ）は断面図である。
【００３１】
なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸であるＸ軸（第３軸）、Ｙ軸（第２軸）およびＺ軸（第１軸）を矢印で図示しており、その矢印の先端側を「＋（プラス）」、基端側を「−（マイナス）」としている。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、以下では、説明の便宜上、図２および図３中の上側（＋Ｚ軸方向側）を「上」、下側（−Ｚ軸方向側）を「下」という。
【００３２】
図１に示す物理量センサー１０は、Ｙ軸まわりの角速度を検出するジャイロセンサーである。この物理量センサー１０は、図２および図３に示すようにジャイロ素子である物理量センサー素子１と、物理量センサー素子１を収納しているパッケージ１１と、を有している。
【００３３】
（パッケージ）
パッケージ１１は、物理量センサー素子１を支持しているベース基板１２と、ベース基板１２に接合されている蓋部材１３と、を有し、ベース基板１２と蓋部材１３との間に、物理量センサー素子１を収納している空間が形成されている。なお、ベース基板１２は、物理量センサー素子１の一部を構成しているともいえる。
【００３４】
ベース基板１２および蓋部材１３は、それぞれ、板状をなし、Ｘ軸およびＹ軸を含む平面であるＸＹ平面（基準面）に沿って配置されている。また、ベース基板１２の上面（すなわち、物理量センサー素子１が設けられている側の面）には、物理量センサー素子１の振動部分（後述する振動構造体２の固定部２２を除く部分）がベース基板１２に接触するのを防止する機能を有する凹部１２１が設けられている。これにより、物理量センサー素子１の駆動を許容しつつ、ベース基板１２が物理量センサー素子１を支持することができる。また、蓋部材１３の下面（すなわち、ベース基板１２に接合される側の面）には、物理量センサー素子１を非接触で覆うように形成されている凹部１３１が設けられている。これにより、物理量センサー素子１の駆動を許容しつつ、ベース基板１２と蓋部材１３の間に、物理量センサー素子１を収納する空間を形成することができる。
【００３５】
なお、図示では、ベース基板１２および蓋部材１３は、それぞれ、１部材で構成されているが、２以上の部材を接合して構成されていてもよい。例えば、枠状の部材と板状の部材とを貼り合わせることにより、ベース基板１２または蓋部材１３が構成されていてもよい。
【００３６】
このようなベース基板１２と蓋部材１３との接合方法としては、ベース基板１２および蓋部材１３の構成材料によっても異なり、特に限定されず、例えば、接着剤、ロウ材等の接合材を用いた接合法、直接接合、陽極接合等の固体接合法等を用いることができる。
【００３７】
また、ベース基板１２の構成材料としては、特に限定されないが、絶縁性を有する材料を用いることが好ましく、具体的には、高抵抗なシリコン材料、ガラス材料を用いるのが好ましく、特に、アルカリ金属イオン（可動イオン）を含むガラス材料（例えば、パイレックスガラス（登録商標）のような硼珪酸ガラス）を用いるのが好ましい。これにより、振動構造体２がシリコンを主材料として構成されている場合、ベース基板１２と振動構造体２とを陽極接合することができる。
【００３８】
また、蓋部材１３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、前述したベース基板１２と同様の材料を用いることができる。
【００３９】
このようなベース基板１２および蓋部材１３は、それぞれ、例えば、フォトリソグラフィー法およびエッチング法等を用いて形成することができる。
【００４０】
（物理量センサー素子）
物理量センサー素子１は、２つの物理量センサー素子１ａ、１ｂで構成されている。この２つの物理量センサー素子１ａ、１ｂは、図２において、左右対称に構成されており、互いに同様の構成を有する。
【００４１】
具体的には、物理量センサー素子１ａ、１ｂは、それぞれ、振動構造体２と、振動構造体２を駆動振動させる駆動用固定電極部３と、振動構造体２の検出振動を検出する２つの検出用固定電極部４と、振動構造体２の駆動状態を検出する駆動モニター用電極５と、を有している。すなわち、物理量センサー素子１は、２つの振動構造体２と、２つの振動構造体２を駆動振動させる２つの駆動用固定電極部３と、２つの振動構造体２の検出振動を検出する４つの検出用固定電極部４と、２つの振動構造体２の駆動状態を検出する２つの駆動モニター用電極５と、を有している。以下、物理量センサー素子１の各部について順次説明する。
【００４２】
−振動構造体−
振動構造体２は、検出部２１と、パッケージ１１に固定された４つの固定部２２と、検出部２１と４つの固定部２２とを接続している４つの梁部２３（第２梁部）と、駆動部２４と、検出部２１と駆動部２４とを接続している４つの梁部２５（第１梁部）と、を有している。
【００４３】
この振動構造体２の検出部２１、４つの固定部２２、４つの梁部２３、駆動部２４および４つの梁部２５は、一体で形成されている。また、各振動構造体２の構成材料としては、例えば、リン、ボロン等の不純物をドープされることにより導電性が付与されたシリコンを用いることができる。また、２つの振動構造体２は、１つの基板（例えばシリコン基板）を加工（例えばエッチング加工）することにより、一括して形成される。
【００４４】
［検出部］
各振動構造体２の検出部２１は、フレーム部２１１と、フレーム部２１１に設けられている検出用可動電極部２１２と、を有している。
【００４５】
フレーム部２１１は、Ｚ軸方向から見た平面視（以下、単に「平面視」という）において、枠状をなしている。具体的には、フレーム部２１１は、互いに平行となるようにＸ軸方向に沿って延びている１対の第１部分と、この１対の第１部分の端部同士を接続していて互いに平行となるようにＹ軸方向に沿って延びている１対の第２部分と、で構成されている。
【００４６】
検出用可動電極部２１２は、前述したフレーム部２１１の各第１部分からＹ軸方向に沿って延出している複数の電極指で構成されている。なお、この電極指の数は、図示のものに限定されず、任意である。
【００４７】
［固定部］
各振動構造体２の４つの固定部２２は、前述したパッケージ１１のベース基板１２の凹部１２１の外側にてベース基板１２の上面に接合・固定されている。かかる接合方法としては、ベース基板１２および固定部２２の構成材料によっても異なり、特に限定されないが、例えば、直接接合、陽極接合等の固体接合法等を用いることができる。
【００４８】
４つの固定部２２は、平面視において、それぞれ、検出部２１の外側で互いに離間して配置されている。本実施形態では、４つの固定部２２は、平面視において、検出部２１のフレーム部２１１の各角部（第１部分と第２部分との各接続部）に対応した位置に配置されている。
【００４９】
［第２梁部］
各振動構造体２の４つの梁部２３は、平面視において、検出部２１のフレーム部２１１の各角部に対応しており、それぞれ、対応する検出部２１と固定部２２とを連結している。
【００５０】
各梁部２３は、平面視において、Ｙ軸方向に往復しながらＸ軸方向に沿って延びている蛇行形状をなしている。これにより、小型化を図りつつ、各梁部２３の長さを長くすることができる。また、各梁部２３の長さを長くすることにより、各梁部２３の曲げ変形を伴う検出部２１のＸ軸方向の変位を容易なものとすることができる。
【００５１】
ここで、各梁部２３は、Ｙ軸方向に沿って延びる部分と、Ｘ軸方向に沿って延びる部分と、を有しているが、Ｙ軸方向に沿って延びる部分の長さがＸ軸方向に沿って延びる部分の長さよりも長い。これにより、各梁部２３のＹ軸方向の曲げ変形を低減し、その結果、各梁部２３の曲げ変形を伴う検出部２１のＹ軸方向の変位を低減することができる。
【００５２】
なお、各梁部２３は、前述したように蛇行形状をなしていなくてもよく、例えば、平面視においてＹ軸方向に沿って延びている形状であってもよい。
【００５３】
また、各梁部２３の幅（Ｘ軸方向に沿った長さ）は、各梁部２３の厚さ（Ｚ軸方向に沿った長さ）よりも小さい。言い換えると、各梁部２３の厚さは、各梁部２３の幅よりも大きい。これにより、各梁部２３は、Ｘ軸方向に曲げ変形しやすく、かつ、Ｚ軸方向に曲げ変形し難いものとなる。すなわち、各梁部２３のＺ軸方向でのバネ定数が、各梁部２３のＸ軸方向でのバネ定数よりも大きい。そのため、各梁部２３の曲げ変形を伴う検出部２１のＸ軸方向の変位を容易としつつ、検出部２１のＺ軸方向の変位を低減することができる。なお、梁部２３全体のＺ軸方向でのバネ定数は、梁部２３全体のＸ軸方向でのバネ定数よりも大きい。
【００５４】
［駆動部］
各振動構造体２の駆動部２４は、前述した検出部２１のフレーム部２１１の内側に配置されている。駆動部２４は、前述したパッケージ１１のベース基板１２の上面を基準面として、当該基準面に沿った板状をなしている。本実施形態では、駆動部２４は、平面視において、例えばフレーム部２１１の形状に沿った四角形をなしている。また、駆動部２４の厚さは、梁部２５の厚さと等しくなっていて、検出部２１および梁部２３の厚さよりも薄くなっている。これにより、駆動部２４の質量のバラツキや梁部２５の弾性のバラツキを容易に低減することができる。なお、駆動部２４の厚さは、検出部や梁部２３の厚さと等しくてもよい。
【００５５】
［第１梁部］
各振動構造体２の４つの梁部２５は、フレーム部２１１の各角部および駆動部２４の各角部に対応しており、それぞれ、対応する検出部２１と駆動部２４とを連結している。
【００５６】
各梁部２５は、Ｘ軸方向に往復しながらＹ軸方向に延びている蛇行形状をなしている。これにより、小型化を図りつつ、各梁部２５の長さを長くすることができる。また、各梁部２５の長さを長くすることにより、各梁部２５の曲げ変形を伴う駆動部２４のＺ軸方向の変位を容易なものとすることができる。
【００５７】
ここで、各梁部２５は、Ｘ軸方向に沿って延びる部分（第１部分）と、Ｙ軸方向に沿って延びる部分（第２部分）と、を有しているが、Ｘ軸方向に沿って延びる部分の長さがＹ軸方向に沿って延びる部分の長さよりも長い。これにより、各梁部２５のＸ軸方向の曲げ変形を低減し、その結果、各梁部２５の曲げ変形を伴う駆動部２４のＸ軸方向の変位を低減することができる。そのため、駆動部２４に生じるＸ軸方向のコリオリ力（慣性力）を検出部２１に梁部２５を介して効率的に伝達することができる。また、このような各梁部２５では、駆動部２４がＺ軸方向の変位する際、各梁部２５のＸ軸方向に沿って延びている部分が捩れ変形および曲げ変形しつつ、各梁部２５のＹ軸方向に沿って延びている部分がＺ軸方向に傾斜する。このとき、各梁部２５のＹ軸方向に延びている部分は、ほとんど変形しないが、前述したように傾斜することにより、かかる部分に長さに応じて駆動部２４のＺ軸方向の変位を拡大する変位拡大機構として機能する。
【００５８】
また、各梁部２５のＹ軸方向に沿って延びている部分の長さを短くすることにより、各梁部２５のＸ軸方向に沿って延びている部分同士の間の隙間、各梁部２５のＸ軸方向に沿って延びている部分と検出部２１との間の隙間、および、各梁部２５のＸ軸方向に沿って延びている部分と駆動部２４との間の隙間をそれぞれ小さくすることができる。これにより、各梁部２５のＹ軸方向での曲げ変形を規制または制限し、その結果、駆動部２４のＹ軸方向の変位を低減することができる。
【００５９】
また、各梁部２５の長さは、前述した各梁部２３の長さよりも長い。これにより、各梁部２５は、各梁部２３に比べて、Ｚ軸方向に曲げ変形しやすくなっている。すなわち、各梁部２５のＺ軸方向でのバネ定数が、各梁部２３のＺ軸方向でのバネ定数よりも小さい。また、同様の目的から、各梁部２５の厚さは、各梁部２３の厚さよりも薄くなっている。なお、梁部２５の数と梁部２３の数が等しいことから、梁部２５全体のＺ軸方向でのバネ定数は、梁部２３全体のＺ軸方向でのバネ定数よりも小さい。
【００６０】
−駆動用固定電極−
２つの駆動用固定電極部３は、それぞれ、前述したパッケージ１１のベース基板１２に形成された凹部１２１の底面に固定されている。この各駆動用固定電極部３は、対応する振動構造体２の駆動部２４に対して間隔を隔てて対向して配置されている。ここで、各駆動用固定電極部３は、平面視において、対応する駆動部２４に重なる位置に配置されている。本実施形態では、各駆動用固定電極部３は、平面視において、対応する駆動部２４の外周に沿った略環状をなしている。
【００６１】
このような駆動用固定電極部３は、配線３１を介して、ベース基板１２の上面の凹部１２１の外側に設けられた端子３２に電気的に接続されている。
【００６２】
駆動用固定電極部３、配線３１および端子３２の構成材料としては、それぞれ、例えば、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）等の透明電極材料、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料を用いることができる。
【００６３】
また、駆動用固定電極部３、配線３１および端子３２は、前述したような材料をスパッタリング法、蒸着法等の気相成膜法を用いて成膜した膜を、フォトリソグラフィー法およびエッチング法等を用いてパターニングすることによって一括して形成される。なお、ベース基板１２がシリコンのような半導体材料で構成されている場合には、駆動用固定電極部３、配線３１および端子３２とベース基板１２との間に、絶縁層を設けることが好ましい。かかる絶縁層の構成材料としては、例えば、ＳｉＯ２（酸化ケイ素）、ＡｌＮ（窒化アルミ）、ＳｉＮ（窒化ケイ素）等を用いることができる。
【００６４】
−検出用固定電極−
４つの検出用固定電極部４は、それぞれ、前述したパッケージ１１のベース基板１２の凹部１２１の外側にてベース基板１２の上面に接合・固定されている。この４つの検出用固定電極部４は、一方の振動構造体２の検出振動を検出する２つの検出用固定電極部４と、他方の振動構造体２の検出振動を検出する２つの検出用固定電極部４と、で構成されている。一方の振動構造体２の検出振動を検出する２つの検出用固定電極部４は、当該一方の振動構造体２を挟むようにして、Ｙ軸方向に並んで配置されている。同様に、他方の振動構造体２の検出振動を検出する２つの検出用固定電極部４は、当該他方の振動構造体２を挟むようにして、Ｙ軸方向に並んで配置されている。
【００６５】
このような４つの検出用固定電極部４は、１つの基板（例えばシリコン基板）を加工（例えばエッチング加工）することにより、２つの振動構造体２とともに、一括して形成される。
【００６６】
各検出用固定電極部４は、Ｘ軸方向に沿って交互に並んで配置されている複数の電極指４１および複数の電極指４２と、複数の電極指４２の振動構造体２とは反対側の端部同士を接続している接続部４３と、で構成されている。
【００６７】
各電極指４１、４２は、Ｙ軸方向に沿って延びている。そして、各電極指４１は、前述した検出用可動電極部２１２の電極指の一方の側面に対向しており、一方、各電極指４２は、検出用可動電極部２１２の電極指の他方の側面に対向している。このように各電極指４１、４２が配置されていることにより、検出部２１がＸ軸方向に変位したとき、電極指４１と検出用可動電極部２１２の電極指との間の静電容量、および、電極指４２と検出用可動電極部２１２の電極指との間の静電容量は、一方の静電容量が増加し、他方の静電容量が減少する。
【００６８】
接続部４３は、複数の電極指４２間の導通を確保する機能を有する。これにより、各電極指４２と後述する配線４４との電気的接続の信頼性を高めることができる。
【００６９】
このような検出用固定電極部４は、配線４４を介して、ベース基板１２の上面の凹部１２１の外側に設けられた端子４５に電気的に接続されている。配線４４および端子４５の構成材料および形成方法としては、前述した駆動用固定電極部３、配線３１および端子３２と同様のものを用いることができる。
【００７０】
−駆動モニター用電極−
２つの駆動モニター用電極５は、それぞれ、前述したパッケージ１１のベース基板１２に形成された凹部１２１の底面に接合・固定されている。この各駆動モニター用電極５は、対応する振動構造体２の駆動部２４に対して間隔を隔てて対向して配置されている。ここで、各駆動モニター用電極５は、平面視において、対応する駆動部２４に重なる位置に配置されている。本実施形態では、各駆動モニター用電極５は、平面視において、前述した環状をなす駆動用固定電極部３の内側に配置されていて、対応する駆動部２４の中央部に重なっている。
【００７１】
このような駆動モニター用電極５は、配線５１を介して、ベース基板１２の上面の凹部１２１の外側に設けられた端子５２に電気的に接続されている。
【００７２】
駆動モニター用電極５、配線５１および端子５２の構成材料および形成方法としては、前述した駆動用固定電極部３、配線３１および端子３２と同様のものを用いることができる。
以上のようにして構成された物理量センサー１０は、以下のようにして動作する。
【００７３】
互いに対向している駆動用固定電極部３と駆動部２４との間に周期的に変化する電圧（例えば交番電圧）を駆動電圧として印加する。すると、駆動用固定電極部３と駆動部２４との間に周期的に強度が変化する静電引力が生じ、これにより、梁部２５の弾性変形を伴って、駆動部２４がＺ軸方向に振動する。
【００７４】
このとき、一方の振動構造体２の駆動用固定電極部３と駆動部２４との間に印加する電圧と、他方の振動構造体２の駆動用固定電極部３と駆動部２４との間に印加する電圧との位相を互いに１８０°ずらす。これにより、当該一方の振動構造体２の駆動部２４と当該他方の振動構造体２の駆動部２４とが逆相で振動する。すなわち、図４（ｂ）に示すように、一方の駆動部２４が＋Ｚ軸方向となる方向α１に変位するとともに、他方の駆動部２４が−Ｚ軸方向となる方向α２に変位する状態と、当該一方の駆動部２４が方向α２に変位するとともに、当該他方の駆動部２４が方向α１に変位する状態と、を交互に繰り返す。これにより、振動漏れを低減することができる。なお、図４（ｂ）では、図中左側の駆動部２４が方向α１に変位し、右側の駆動部２４が方向α２に変位している場合を図示している。
【００７５】
また、このとき、駆動モニター用電極５と駆動部２４との間の静電容量を検出し、その検出結果に基づき、必要に応じて、駆動電圧を制御する。これにより、駆動部２４の振動が所望の振動となるように制御することができる。
【００７６】
このように駆動部２４を振動させた状態で、Ｙ軸まわりの角速度が物理量センサー１０に加わると、駆動部２４にＸ軸方向のコリオリ力が生じ、そのコリオリ力の作用により、検出部２１がＸ軸方向に振動する。すなわち、図５（ａ）に示すように、一方の検出部２１が＋Ｘ軸方向となる方向β１に変位するとともに、他方の検出部２１が−Ｘ軸方向となる方向β２に変位する状態と、当該一方の検出部２１が方向β２に変位するとともに、当該他方の検出部２１が方向β１に変位する状態と、を交互に繰り返す。これにより、検出用固定電極部４の電極指４１、４２と検出用可動電極部２１２の電極指との間の静電容量が変化する。したがって、かかる静電容量に基づいて、物理量センサー１０に加わった角速度を検出することができる。
【００７７】
このとき、電極指４１と検出用可動電極部２１２の電極指との間の隙間ｇ１、および、電極指４２と検出用可動電極部２１２の電極指との間の隙間ｇ２のうちの一方の隙間が大きくなり、他方の隙間が小さくなる。したがって、電極指４１と検出用可動電極部２１２の電極指との間の静電容量、および、電極指４２と検出用可動電極部２１２の電極指との間の静電容量は、一方の静電容量が増加するとき、他方の静電容量が減少する。したがって、これらの静電容量を差動増幅することにより、高出力な検出信号を得ることができる。その結果、高精度に角速度を検出することができる。
【００７８】
以上説明したような物理量センサー１０によれば、駆動部２４の駆動振動の方向であるＺ軸方向において梁部２５全体が梁部２３全体よりも曲げ変形しやすいため、駆動部２４の駆動振動が検出部２１に伝わるのを低減するとともに、駆動部２４を効率的に駆動振動させることができる。また、梁部２５の横断面形状が矩形以外の形状として例えば平行四辺形や台形となっても、駆動部２４に生じる不要振動の方向がＹ軸方向となるため、不要振動が駆動部２４から検出部２１に伝わったとしても、検出部２１の検出振動に与える影響が少なく、検出誤差を生じるのを低減することができる。さらに、検出部２１の検出振動の方向であるＸ軸方向において各梁部２３が曲げ変形しやすいため、検出部２１を効率的に検出振動させることができる。以上のようなことから、本発明の物理量センサー素子１および物理量センサー１０は、優れた検出精度を有する。
【００７９】
また、各梁部２５の長さが各梁部２３の長さよりも長いため、比較的簡単な構成で、梁部２５のＺ軸方向でのバネ定数を梁部２３のＺ軸方向でのバネ定数よりも小さくすることができる。
【００８０】
ここで、各梁部２５の長さをＬ１とし、各梁部２３の長さをＬ２としたとき、Ｌ１／Ｌ２は、２以上２０倍以下であることが好ましく、３倍以上１０倍以下であることがより好ましい。これにより、小型化を図りつつ、比較的簡単な構成で、梁部２５のＺ軸方向でのバネ定数を梁部２３のＺ軸方向でのバネ定数よりも小さくすることができる。なお、長さＬ１は、梁部２５のＸ軸方向に沿って延びる部分の同方向での長さとＹ軸方向に沿って延びる部分の同方向での長さとの合計である。また、長さＬ２は、梁部２３のＹ軸方向に沿って延びる部分の同方向での長さとＸ軸方向に沿って延びる部分の同方向での長さとの合計である。
【００８１】
さらに、各梁部２５が平面視で蛇行している部分を有するため、各梁部２５のＺ軸方向でのバネ定数を効果的に小さくすることができる。また、各梁部２５を効率的に配置することができ、その結果、物理量センサー素子１の小型化を図ることもできる。
【００８２】
特に、各梁部２５は、前述したように、Ｘ軸に沿って延在している第１部分と、Ｙ軸に沿って延在している第２部分と、を含んでおり、当該第１部分の長さが当該第２部分の長さよりも長い。そのため、各梁部２５をより効率的に配置することができる。また、第１部分の曲げ変形および捩れ変形を伴って第２部分が傾斜することにより、駆動部２４の駆動振動の振幅（Ｚ軸方向での変位）を拡大することができる。
【００８３】
また、各梁部２５の第１部分の数は、図２では４つであるが、これに限定されず、２つ、３つまたは５つ以上であってもよく、好ましくは２つ以上４つ以下である。
【００８４】
また、各梁部２５の厚さが各梁部２３の厚さよりも薄いため、比較的簡単な構成で、梁部２５全体のＺ軸方向でのバネ定数を梁部２３全体のＺ軸方向でのバネ定数よりも小さくすることができる。ここで、各梁部２３の厚さをｔ１とし、各梁部２５の厚さをｔ２としたとき、ｔ２／ｔ１は、０．２以上０．８以下であることが好ましく、０．４以上０．７以下であることがより好ましい。
【００８５】
また、前述したように、梁部２５全体のＺ軸方向でのバネ定数が梁部２３全体のＺ軸方向でのバネ定数よりも小さければよいが、梁部２５全体のＺ軸方向でのバネ定数をｋ１ｚとし、梁部２３全体のＺ軸方向でのバネ定数をｋ２ｚとしたとき、ｋ１ｚ／ｋ２ｚ≦１／１０の関係を満たすことが好ましく、ｋ１ｚ／ｋ２ｚ≦１／１００の関係を満たすことより好ましい。これにより、駆動部２４を効率的に駆動振動させることができる。また、駆動部２４の駆動振動が検出部２１に伝わるのを効果的に低減することができる。なお、小型化および製造の容易性の観点から、ｋ１ｚ／ｋ２ｚは、１／１００００以上であることが好ましい。
【００８６】
また、各梁部２３の幅が各梁部２３の厚さよりも小さいため、比較的簡単な構成で、梁部２３全体のＸ軸方向でのバネ定数を梁部２３全体のＺ軸方向でのバネ定数よりも小さくすることができる。ここで、各梁部２３の幅をＷとし、各梁部２３の厚さをｔ１としたとき、ｔ１／Ｗは、２以上２０以下であることが好ましく、５以上１０以下であることがより好ましい。
【００８７】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
【００８８】
図６は、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。また、図７は、図６に示す物理量センサーの動作（角速度が加わっていない状態）を説明するための模式的な図であって、図７（ａ）は平面図、図７（ｂ）は断面図である。
【００８９】
本実施形態は、物理量センサー素子が２つの振動構造体を連結する連結構造体を備える以外は、前述した第１実施形態と同様である。
【００９０】
なお、以下の説明では、第２実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。
【００９１】
図６に示す物理量センサー素子１Ａは、２つの振動構造体２ａ、２ｂと、これら２つの振動構造体２ａ、２ｂ間を連結する連結構造体２ｃと、振動構造体２ａ、２ｂを駆動振動させる２つの駆動用固定電極部３と、振動構造体２ａ、２ｂの検出振動を検出する４つの検出用固定電極部４と、振動構造体２ａ、２ｂの駆動状態を検出する２つの駆動モニター用電極５と、を有している。
【００９２】
振動構造体２ａ、２ｂは、Ｘ軸方向に並んで配置されている。振動構造体２ａ、２ｂは、図６にて左右対称に配置されている以外は、互いに同様に構成されており、それぞれ、検出部２１Ａと、パッケージ１１のベース基板１２に固定された４つの固定部２２と、検出部２１Ａと４つの固定部２２とを接続している４つの梁部２３（第２梁部）と、駆動部２４Ａと、検出部２１Ａと駆動部２４Ａとを接続している４つの梁部２５（第１梁部）と、を有している。
【００９３】
検出部２１Ａは、フレーム部２１１Ａと、フレーム部２１１Ａに設けられている検出用可動電極部２１２と、を有している。
【００９４】
フレーム部２１１Ａは、平面視において、周方向での一部が欠損した枠状をなしている。具体的には、フレーム部２１１は、互いに平行となるようにＸ軸方向に沿って延びている１対の第１部分と、Ｙ軸方向に延びていて１対の第１部分の一端部同士を接続している第２部分と、１対の第１部分の他端部のそれぞれから互いに突き合うようにＹ軸方向に延びていている１対の第３部分と、で構成されている。
【００９５】
駆動部２４Ａは、前述した検出部２１Ａのフレーム部２１１Ａの内側に配置されている。この駆動部２４Ａには、Ｙ軸方向に沿って延びている梁部２９が設けられている。各梁部２９の両端は、対応する駆動部２４Ａに固定されている。
【００９６】
連結構造体２ｃは、２つの振動構造体２ａ、２ｂ間に配置されている。この連結構造体２ｃは、２つの固定部２６と、２つの固定部２６間を接続している支持梁部２７と、駆動部２４Ａに設けられている梁部２９と、支持梁部２７に支持されているとともに振動構造体２ａ、２ｂの梁部２９同士を連結している連結部２８と、を有している。
【００９７】
２つの固定部２６は、Ｙ軸方向に並んで配置されている。そして、この２つの固定部２６間を接続している支持梁部２７は、Ｙ軸方向に沿って延在している。また、連結部２８は、Ｘ軸方向に沿って延在しており、一端部が一方の梁部２９の途中に接続され、他端部が他方の梁部２９の途中に接続されている。また、平面視で、連結部２８と支持梁部２７とが交差しており、連結部２８の途中部分が支持梁部２７の途中部分に接続している。
【００９８】
以上のような物理量センサー１０Ａでは、連結部２８が一方の駆動部２４Ａ（第１質量部）と他方の駆動部２４Ａ（第２質量部）とを接続しているため、これら２つの駆動部２４ＡをＺ軸方向に逆相で振動させたとき、２つの駆動部２４Ａを安定的に振動させることができる。
【００９９】
特に、連結部２８の一端部が一方の駆動部２４Ａ（第１質量部）の内側の部分に接続され、連結部２８の他端部が他方の駆動部２４Ａ（第２質量部）の内側の部分に接続されている。そして、一方の駆動部２４Ａの梁部２９は、基準面となるＸＹ平面に対する当該一方の駆動部２４Ａの姿勢の変化を低減するように変形可能な「第１変形容易部」として機能する。同様に、他方の駆動部２４Ａの梁部２９は、基準面となるＸＹ平面に対する当該他方の駆動部２４Ａの姿勢の変化を低減するように変形可能な「第２変形容易部」として機能する。
【０１００】
したがって、２つの駆動部２４ＡをＺ軸方向に逆相で振動させたとき、各梁部２９が２つの駆動部２４ＡのＸＹ平面に対する姿勢の変化を低減するように変形するため、振動漏れを低減することができる。以上のようなことから、物理量センサー素子１Ａおよび物理量センサー１０Ａは、優れた検出精度を有する。
【０１０１】
ここで、各梁部２９は、平面視で、２つの駆動部２４Ａが並ぶ方向（Ｘ軸方向）に対して交差する方向（Ｙ軸方向）に沿って延びている。これにより、各梁部２９を捩れ変形させることで、２つの駆動部２４ＡのＸＹ平面に対する姿勢の変化を低減することができる。このように、比較的簡単な構成で、ＸＹ平面に対する２つの駆動部２４Ａの姿勢の変化を低減することができる。
【０１０２】
また、各梁部２９は、平面視で、対応する駆動部２４Ａの重心を含む位置に配置されている。これにより、ＸＹ平面に対する２つの駆動部２４Ａの姿勢の変化を効果的に低減することができる。
【０１０３】
また、平面視で、各梁部２９の幅が連結部２８の幅よりも狭い。これにより、第１変形容易部および第２変形容易部をそれぞれ捩れ変形させやすくし、第１質量部および第２質量部の基準面に対する姿勢の変化を効率的に低減することができる。また、連結部の不本意な変形を低減し、第１質量部および第２質量部の振動の安定化を図ることができる。
【０１０４】
また、各駆動部２４Ａは、梁部２９が配置されている隙間部２４１を有している。これにより、１つの基板を加工することにより、２つの梁部２９を２つの駆動部２４Ａとともに一括して形成することができる。各隙間部２４１は、梁部２９の捩れ変形を許容するとともに、連結部２８が駆動部２４Ａに接触するのを防止するように形成されている。なお、一方の駆動部２４Ａの隙間部２４１が「第１隙間部」を構成し、他方の駆動部２４Ａの隙間部２４１が「第２隙間部」を構成している。
【０１０５】
また、平面視で、連結部２８の途中が支持梁部２７に支持されているため、支持梁部２７の捩れ変形を伴って、支持梁部２７を中心として、連結部２８を安定的に回動させることができる。その結果、２つの駆動部２４の振動の安定化を図ることができる。
【０１０６】
２．電子機器
次いで、物理量センサー素子１を用いた電子機器について、図８〜図１０に基づき、詳細に説明する。
【０１０７】
図８は、本発明の電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図である。
【０１０８】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサーとして機能する物理量センサー素子１が内蔵されている。
【０１０９】
図９は、本発明の電子機器の一例である携帯電話機の構成を模式的に示す斜視図である。
【０１１０】
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサーとして機能する物理量センサー素子１が内蔵されている。
【０１１１】
図１０は、本発明の電子機器の一例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１１２】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
【０１１３】
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１１４】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
【０１１５】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
【０１１６】
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、ジャイロセンサーとして機能する物理量センサー素子１が内蔵されている。
【０１１７】
なお、本発明の物理量センサー素子を備える電子機器は、図８のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図９の携帯電話機、図１０のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等に適用することができる。
【０１１８】
３．移動体
次いで、物理量センサー素子１を用いた移動体について、図１１に基づき、詳細に説明する。
図１１は、本発明の移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。
【０１１９】
自動車１５００には、ジャイロセンサーとして機能する物理量センサー素子１が内蔵されており、物理量センサー素子１によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。物理量センサー素子１の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。その他、このような姿勢制御は、二足歩行ロボットやラジコンヘリコプターで利用することができる。以上のように、各種移動体の姿勢制御の実現にあたって、物理量センサー素子１が組み込まれる。
【０１２０】
以上、本発明の物理量センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【符号の説明】
【０１２１】
１‥‥物理量センサー素子
１Ａ‥‥物理量センサー素子
１ａ‥‥物理量センサー素子
１ｂ‥‥物理量センサー素子
２‥‥振動構造体
２ａ‥‥振動構造体
２ｂ‥‥振動構造体
２ｃ‥‥連結構造体
３‥‥駆動用固定電極部
４‥‥検出用固定電極部
５‥‥駆動モニター用電極
１０‥‥物理量センサー
１０Ａ‥‥物理量センサー
１１‥‥パッケージ
１２‥‥ベース基板
１３‥‥蓋部材
２１‥‥検出部
２１Ａ‥‥検出部
２２‥‥固定部
２３‥‥梁部（第２梁部）
２４‥‥駆動部（第１質量部、第２質量部）
２４Ａ‥‥駆動部
２５‥‥梁部（第１梁部）
２６‥‥固定部
２７‥‥支持梁部
２８‥‥連結部
２９‥‥梁部（第１変形容易部、第２変形容易部）
３１‥‥配線
３２‥‥端子
４１‥‥電極指
４２‥‥電極指
４３‥‥接続部
４４‥‥配線
４５‥‥端子
５１‥‥配線
５２‥‥端子
１２１‥‥凹部
１３１‥‥凹部
２１１‥‥フレーム部
２１１Ａ‥‥フレーム部
２１２‥‥検出用可動電極部
２４１‥‥隙間部
１１００‥‥パーソナルコンピューター
１１０２‥‥キーボード
１１０４‥‥本体部
１１０６‥‥表示ユニット
１１０８‥‥表示部
１２００‥‥携帯電話機
１２０２‥‥操作ボタン
１２０４‥‥受話口
１２０６‥‥送話口
１２０８‥‥表示部
１３００‥‥ディジタルスチルカメラ
１３０２‥‥ケース
１３０４‥‥受光ユニット
１３０６‥‥シャッターボタン
１３０８‥‥メモリー
１３１０‥‥表示部
１３１２‥‥ビデオ信号出力端子
１３１４‥‥入出力端子
１４３０‥‥テレビモニター
１４４０‥‥パーソナルコンピューター
１５００‥‥自動車
１５０１‥‥車体
１５０２‥‥車体姿勢制御装置
１５０３‥‥車輪
ｇ１‥‥隙間
ｇ２‥‥隙間
α１‥‥方向
α２‥‥方向
β１‥‥方向
β２‥‥方向
【図１】
0006481294.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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