(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
オイルミストが浮遊している気体中に配置される透明な検出面を有する透明部材と、
前記検出面を前記透明部材の正面としたとき、前記透明部材の背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する光源部と、
前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記検出面で反射されている状態で、前記背面から出てきた光の中から、散乱光を検出する検出部と、
前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と前記検出面に付着しているオイルミストの量との関係を示す第１のデータ、及び、前記検出面に付着しているオイルミストの量の時間変化率と前記気体中に浮遊しているオイルミストの濃度との関係を示す第２のデータを予め記憶するデータ記憶部と、
第１のタイミングで、前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と、前記第１のタイミングから前記所定期間が経過した第２のタイミングで、前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と、前記第１のデータと、前記第２のデータとを基にして、前記所定期間中に前記気体中に浮遊するオイルミストの濃度を算出する第１の算出部と、を備えるオイルミスト検出装置。
【請求項２】
前記検出面を覆うことによって、前記検出面を前記気体から遮断する遮断部材と、
前記検出部によって前記散乱光を検出するとき、前記遮断部材が前記検出面を覆わない制御をし、前記検出部によって前記散乱光を検出しないとき、前記遮断部材が前記検出面を覆う制御をする遮断制御部と、をさらに備える請求項１に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項３】
前記気体中に浮遊するオイルミストの濃度を測定するセンサーと、
前記センサーを用いて測定された前記濃度が予め定められた第１の値より小さいとき、前記濃度を測定する手段を、前記センサーから前記検出部、前記データ記憶部及び前記第１の算出部の組み合わせに切り替え、前記組み合わせを用いて算出された前記濃度が前記第１の値以上の予め定められた第２の値より大きいとき、前記濃度を測定する手段を、前記組み合わせから前記センサーに切り替える切換制御部と、をさらに備える請求項２に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項４】
オイルミストが浮遊している気体中に配置される透明な検出面を有する透明部材と、
前記検出面を前記透明部材の正面としたとき、前記透明部材の背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する光源部と、
前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記検出面で反射されている状態で、前記背面から出てきた光の中から、散乱光を検出する検出部と、を備えるオイルミスト検出装置であって、
前記光源部から出射される光は、紫外線であり、
前記光源部から出射された光が前記検出面に付着しているオイルミストに照射されることにより、蛍光の前記散乱光が発生し、
前記検出部は、前記散乱光を通過させ、前記光源部から出射された光を遮断する波長選択特性を有するフィルタと、前記フィルタを通過した前記散乱光を受光する受光部と、を含むオイルミスト検出装置。
【請求項５】
前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面と平行に対向している対向面と、前記検出面で反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、
前記検出部は、前記対向面から出てきた前記散乱光を検出する請求項１〜４のいずれか一項に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項６】
前記第１の傾斜面から前記透明部材に入った光は、前記検出面と前記対向面とで複数回反射が繰り返されて、前記第２の傾斜面から前記透明部材の外に出る請求項５に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項７】
前記透明部材には、前記対向面が底となる凹部が前記背面に形成されている請求項６に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項８】
前記検出部は、前記対向面を介して、前記検出面及び前記散乱光を撮像する二次元イメージセンサーを含み、
前記オイルミスト検出装置は、さらに、
前記二次元イメージセンサーによって撮像された前記検出面及び前記散乱光の二次元画像を基にして、前記検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさを算出する第２の算出部を備える請求項５〜７のいずれか一項に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項９】
オイルミストが浮遊している気体中に配置される透明な検出面を有する透明部材と、
前記検出面を前記透明部材の正面としたとき、前記透明部材の背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する光源部と、
前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記検出面で反射されている状態で、前記背面から出てきた光の中から、散乱光を検出する検出部と、を備えるオイルミスト検出装置であって、
前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面と平行に対向している対向面と、前記検出面で反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、
前記検出部は、前記対向面から出てきた前記散乱光を検出し、
前記検出部は、前記対向面を介して、前記検出面及び前記散乱光を撮像する二次元イメージセンサーを含み、
前記オイルミスト検出装置は、さらに、
前記二次元イメージセンサーによって撮像された前記検出面及び前記散乱光の二次元画像を基にして、前記検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさを算出する第２の算出部を備えるオイルミスト検出装置。
【請求項１０】
前記第１の傾斜面から前記透明部材に入った光は、前記検出面と前記対向面とで複数回反射が繰り返されて、前記第２の傾斜面から前記透明部材の外に出る請求項９に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項１１】
前記透明部材には、前記対向面が底となる凹部が前記背面に形成されている請求項１０に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項１２】
オイルミストが浮遊している気体中に配置される透明な検出面を有する透明部材と、
前記検出面を前記透明部材の正面としたとき、前記透明部材の背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する光源部と、
前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記検出面で反射されている状態で、前記背面から出てきた光の中から、散乱光を検出する検出部と、を備えるオイルミスト検出装置であって、
前記光源部は、発光素子と、前記発光素子からの光が入射し、予め定められた方向の直線偏光を生成する第１の偏光部材と、を含み、前記第１の偏光部材で生成された前記直線偏光を、前記背面に向けた光として出射し、
前記検出部は、前記背面から出てきた光の中から、前記直線偏光を遮光する第２の偏光部材と、前記第２の偏光部材を透過した前記散乱光を受光する受光部と、を含むオイルミスト検出装置。
【請求項１３】
オイルミストが浮遊している気体中に配置される透明な検出面を有する透明部材と、
前記検出面を前記透明部材の正面としたとき、前記透明部材の背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する光源部と、
前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記検出面で反射されている状態で、前記背面から出てきた光の中から、散乱光を検出する検出部と、
前記光源部から前記背面に向けて出射され、前記検出面で反射された光を集光する光学系と、を備えるオイルミスト検出装置であって、
前記検出部は、前記光学系で集光された前記光を遮光する遮光面を有する遮光部材と、前記遮光面の面積より大きい面積の受光面を有し、前記光学系で集光された前記光の進行方向から見て、前記遮光面より後方に位置し、前記光学系を通過した前記散乱光を前記受光面で受光する受光部と、を含むオイルミスト検出装置。
【請求項１４】
前記光学系は、前記光源部の光源像を前記遮光面に結像させる請求項１３に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項１５】
前記光源部から出射される光は、紫外線であり、
前記光源部から出射された光が前記検出面に付着しているオイルミストに照射されることにより、蛍光の前記散乱光が発生する請求項１２〜１４のいずれか一項に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項１６】
前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面と平行に対向している対向面と、前記検出面で反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、
前記検出部は、前記第２の傾斜面から出てきた前記散乱光を検出する請求項１２〜１５のいずれか一項に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項１７】
前記第１の傾斜面から前記透明部材に入った光は、前記検出面と前記対向面とで複数回反射が繰り返されて、前記第２の傾斜面から前記透明部材の外に出る請求項１６に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項１８】
前記透明部材には、前記対向面が底となる凹部が前記背面に形成されている請求項１７に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項１９】
前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面で一回反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、
前記受光部は、前記第２の傾斜面を介して、前記検出面及び前記散乱光を撮像する二次元イメージセンサーを含み、
前記オイルミスト検出装置は、さらに、
前記二次元イメージセンサーによって撮像された前記検出面及び前記散乱光の二次元画像を基にして、前記検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさを算出する第２の算出部を備える請求項１２〜１５に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項２０】
前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と前記検出面に付着しているオイルミストの量との関係を示す第１のデータ、及び、前記検出面に付着しているオイルミストの量の時間変化率と前記気体中に浮遊しているオイルミストの濃度との関係を示す第２のデータを予め記憶するデータ記憶部と、
第１のタイミングで、前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と、前記第１のタイミングから前記所定期間が経過した第２のタイミングで、前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と、前記第１のデータと、前記第２のデータとを基にして、前記所定期間中に前記気体中に浮遊するオイルミストの濃度を算出する第１の算出部と、をさらに備える請求項４〜１９のいずれか一項に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項２１】
前記検出面を覆うことによって、前記検出面を前記気体から遮断する遮断部材と、
前記検出部によって前記散乱光を検出するとき、前記遮断部材が前記検出面を覆わない制御をし、前記検出部によって前記散乱光を検出しないとき、前記遮断部材が前記検出面を覆う制御をする遮断制御部と、をさらに備える請求項２０に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項２２】
前記気体中に浮遊するオイルミストの濃度を測定するセンサーと、
前記センサーを用いて測定された前記濃度が予め定められた第１の値より小さいとき、前記濃度を測定する手段を、前記センサーから前記検出部、前記データ記憶部及び前記第１の算出部の組み合わせに切り替え、前記組み合わせを用いて算出された前記濃度が前記第１の値以上の予め定められた第２の値より大きいとき、前記濃度を測定する手段を、前記組み合わせから前記センサーに切り替える切換制御部と、をさらに備える請求項２１に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項２３】
前記光源部は、前記背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で全反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する請求項１〜２２のいずれか一項に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項２４】
オイルミストが浮遊している気体中に配置される透明な検出面を有する透明部材と、
前記検出面を前記透明部材の正面としたとき、前記透明部材の背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する光源部と、
前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記検出面で反射されている状態で、前記背面から出てきた光の中から、散乱光を検出する検出部と、を備えるオイルミスト検出装置であって、
前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面と平行に対向している対向面と、前記検出面で反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、
前記検出部は、前記対向面から出てきた前記散乱光を検出するオイルミスト検出装置。
【請求項２５】
前記第１の傾斜面から前記透明部材に入った光は、前記検出面と前記対向面とで複数回反射が繰り返されて、前記第２の傾斜面から前記透明部材の外に出る請求項２４に記載のオイルミスト検出装置。
【請求項２６】
前記透明部材には、前記対向面が底となる凹部が前記背面に形成されている請求項２５に記載のオイルミスト検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、油冷式（給油式）の圧縮機に適用できるオイルミスト検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
油冷式（給油式）の圧縮機によって生成された圧縮気体には、オイルミストが不可避的に含まれる。オイルミストは、濾過フィルタによって圧縮気体から除去する処理がされる。しかし、圧縮気体からオイルミストを完全に除去することはできず、また、濾過フィルタが劣化すると圧縮気体から除去できるオイルミストの量が少なくなる。圧縮気体から見れば、オイルミストは不純物なので、圧縮気体に含まれるオイルミストの量を管理する必要がある。例えば、医療用の圧縮空気のように、オイルミストの量が厳しく管理されている場合がある。
【０００３】
オイルミスト量の測定は、ＪＩＳのＢ８３９２−２で規定されているろ紙を用いる方法が一般的である。この方法について簡単に説明する。所定の仕様のろ紙によって圧縮気体を濾過し、溶媒によってろ紙に捕集されたオイルミストを抽出し、分光分析によって溶媒中に含まれるオイルミストの濃度を測定し、測定された濃度をオイルミストの量に換算する。この方法によれば、オイルミストの量を正確に測定できるが、圧縮気体をサンプリングする工程等があり、測定に時間を要するので、オイルミスト量をリアルタイムに測定できない。
【０００４】
そこで、オイルミスト量をリアルタイムに測定できる装置が提案されている。この装置は、基本光を所定の検出領域に照射し、その検出領域に存在するオイルミストに基本光が当たって生じる反射／散乱光の強度を測定することにより、オイルミストの濃度を検出する（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３９５７６３９号公報（段落００１９）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
オイルミストを除去する濾過フィルタの性能が向上することにより、オイルミストを除去する処理がされた後の圧縮気体に含まれるオイルミストの量は極めて少なく、かつ、オイルミストの粒径は極めて小さい。このため、上記特許文献１に記載のオイルミスト検出装置のように、気体中に浮遊するオイルミストに光を照射して測定するタイプの場合、オイルミストを検出できないおそれがある。
【０００７】
本発明は、気体中に浮遊するオイルミストの量が極めて少なく、かつ、オイルミストの粒径が極めて小さくても、オイルミストを検出できるオイルミスト検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るオイルミスト検出装置は、オイルミストが浮遊している気体中に配置される透明な検出面を有する透明部材と、前記検出面を前記透明部材の正面としたとき、前記透明部材の背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する光源部と、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記検出面で反射されている状態で、前記背面から出てきた光の中から、散乱光を検出する検出部と、を備える。
【０００９】
検出面にオイルミストが付着している状態で、透明部材の背面から透明部材に光を入射させ、その光を検出面で反射させたとき、オイルミストによって散乱光が発生する。従って、光源部から透明部材の背面に向けて出射された光が、検出面で反射されている状態で、背面から出てきた光の中から散乱光が検出できれば、検出面にオイルミストが付着していることになる。紫外線をオイルミストに照射すると、オイルの種類によるが、蛍光を発する場合が多い。この場合、散乱光は蛍光となる。
【００１０】
本発明に係るオイルミスト検出装置は、気体中に浮遊するオイルミストを検出するのではなく、検出面に付着しているオイルミストを検出する。気体中にオイルミストが浮遊しているとき、検出面に付着しているオイルミストの量は、時間の経過に従って多くなる。このため、気体中に浮遊するオイルミストの量が極めて少なく、かつ、オイルミストの粒径が極めて小さくても、オイルミストを検出することができる。
【００１１】
上記構成において、前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と前記検出面に付着しているオイルミストの量との関係を示す第１のデータ、及び、前記検出面に付着しているオイルミストの量の時間変化率と前記気体中に浮遊しているオイルミストの濃度との関係を示す第２のデータを予め記憶するデータ記憶部と、第１のタイミングで、前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と、前記第１のタイミングから前記所定期間が経過した第２のタイミングで、前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と、前記第１のデータと、前記第２のデータとを基にして、前記所定期間中に前記気体中に浮遊するオイルミストの濃度を算出する第１の算出部と、をさらに備える。
【００１２】
この構成によれば、気体中に浮遊するオイルミストの濃度を算出することができる。
【００１３】
上記構成において、前記検出面を覆うことによって、前記検出面を前記気体から遮断する遮断部材と、前記検出部によって前記散乱光を検出するとき、前記遮断部材が前記検出面を覆わない制御をし、前記検出部によって前記散乱光を検出しないとき、前記遮断部材が前記検出面を覆う制御をする遮断制御部と、をさらに備える。
【００１４】
気体中にオイルミストが浮遊していれば、時間の経過に従って検出面に付着するオイルミストの量が多くなる。検出面に付着しているオイルミストの面積及び厚みが大きくなると、散乱光の強度が飽和するので、それ以上、オイルミストが検出面に付着しても、検出部によって検出される散乱光の強度が大きくならない。このため、第１のタイミングで検出部によって検出された散乱光の強度と、第２のタイミングで検出部によって検出された散乱光の強度との差が生じなくなるので、検出部、データ記憶部及び第１の算出部を用いたオイルミストの濃度の測定をすることができない。オイルミストの濃度を測定できるようにするためには、検出面に付着しているオイルミストを除去するメンテナンスが必要となる。
【００１５】
この構成では、検出部、データ記憶部及び第１の算出部を用いたオイルミストの濃度の測定をしないとき、遮断部材で検出面を覆うことができる。従って、この構成によれば、散乱光の強度が飽和した状態になることを遅らせることができるので、メンテナンスの回数を少なくすることができる。
【００１６】
上記構成において、前記気体中に浮遊するオイルミストの濃度を測定するセンサーと、前記センサーを用いて測定された前記濃度が予め定められた第１の値より小さいとき、前記濃度を測定する手段を、前記センサーから前記検出部、前記データ記憶部及び前記第１の算出部の組み合わせに切り替え、前記組み合わせを用いて算出された前記濃度が前記第１の値以上の予め定められた第２の値より大きいとき、前記濃度を測定する手段を、前記組み合わせから前記センサーに切り替える切換制御部と、をさらに備える。
【００１７】
この構成によれば、オイルミストの濃度が比較的高いとき（言い換えれば、オイルミスト濃度が上記第２の値より大きいとき）、センサーを用いてオイルミストの濃度を測定する。これに対して、オイルミストの濃度が比較的低く、センサーを用いて測定できないレベルの濃度のとき（言い換えれば、オイルミスト濃度が上記第１の値より小さいとき）、検出部、データ記憶部及び第１の算出部の組み合わせを用いてオイルミストの濃度を測定する。
【００１８】
上記構成において、前記光源部から出射される光は、紫外線であり、前記光源部から出射された光が前記検出面に付着しているオイルミストに照射されることにより、蛍光の前記散乱光が発生し、前記検出部は、前記散乱光を通過させ、前記光源部から出射された光を遮断する波長選択特性を有するフィルタと、前記フィルタを通過した前記散乱光を受光する受光部と、を含む。
【００１９】
この構成によれば、検出面で反射された、光源部からの光が受光される位置に受光部を配置しても、フィルタがあるので、散乱光のみを選択的に受光できる。従って、受光部が配置される場所の自由度を高めることができる。
【００２０】
上記構成において、前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面と平行に対向している対向面と、前記検出面で反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、前記検出部は、前記対向面から出てきた前記散乱光を検出する。
【００２１】
この構成によれば、検出面で反射された光は、第２の傾斜面から透明部材の外に出るので、検出部は、検出面で反射された光の影響を受けないで、散乱光を検出することができる。
【００２２】
上記構成において、前記第１の傾斜面から前記透明部材に入った光は、前記検出面と前記対向面とで複数回反射が繰り返されて、前記第２の傾斜面から前記透明部材の外に出る。
【００２３】
この構成によれば、透明部材に入った光は、検出面と対向面とで複数回反射が繰り返されるので、散乱光の発生量を多くすることができる。このため、検出面に付着しているオイルミストが微量な場合でもオイルミストを検出することができる。従って、この構成によれば、オイルミスト検出装置の感度を向上させることができる。
【００２４】
上記構成において、前記透明部材には、前記対向面が底となる凹部が前記背面に形成されている。
【００２５】
この構成によれば、検出面と対向面との距離を短くできるので、検出面と対向面との間で繰り返される反射の回数を多くでき、散乱光の発生量を多くすることができる。
【００２６】
上記構成において、前記検出部は、前記対向面を介して、前記検出面及び前記散乱光を撮像する二次元イメージセンサーを含み、前記オイルミスト検出装置は、さらに、前記二次元イメージセンサーによって撮像された前記検出面及び前記散乱光の二次元画像を基にして、前記検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさを算出する第２の算出部を備える。
【００２７】
散乱光の強度が同じでも  比較的小さい多数のオイルミストが検出面に付着している場合と、比較的大きい少数のオイルミストが検出面に付着している場合とがある。検出面に付着しているオイルミストが大きいとき、オイルミストを除去するためのフィルタに問題（劣化や故障）がある可能性がある。この構成によれば、検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさが分かるので、これを基にして、測定者は、オイルミストを除去するためのフィルタに問題が生じているか判断することができる。
【００２８】
上記構成において、前記光源部は、発光素子と、前記発光素子からの光が入射し、予め定められた方向の直線偏光を生成する第１の偏光部材と、を含み、前記第１の偏光部材で生成された前記直線偏光を、前記背面に向けた光として出射し、前記検出部は、前記背面から出てきた光の中から、前記直線偏光を遮光する第２の偏光部材と、前記第２の偏光部材を透過した前記散乱光を受光する受光部と、を含む。
【００２９】
予め定められた方向の直線偏光は、検出面のうち、オイルミストが付着していない箇所で反射されたとき、そのまま反射される（すなわち、予め定められた方向を維持した状態で反射される）。よって、この直線偏光は、第２の偏光部材を透過できない。
【００３０】
これに対して、予め定められた方向の直線偏光は、検出面のうち、オイルミストが付着している箇所で反射されたとき、直線偏光が維持されず、散乱光となる。散乱光には、振動方向が様々な方向の偏光が含まれるので、第２の偏光部材に入射した散乱光の一部は、第２の偏光部材を透過することができる。
【００３１】
従って、この構成によれば、受光部は、検出面で反射された直線偏光（予め定められた方向の直線偏光）を受光せずに、散乱光のみを選択的に受光できる。
【００３２】
上記構成において、前記光源部から前記背面に向けて出射され、前記検出面で反射された光を集光する光学系をさらに備え、前記検出部は、前記光学系で集光された前記光を遮光する遮光面を有する遮光部材と、前記遮光面の面積より大きい面積の受光面を有し、前記光学系で集光された前記光の進行方向から見て、前記遮光面より後方に位置し、前記光学系を通過した前記散乱光を前記受光面で受光する受光部と、を含む。
【００３３】
光源部から背面に向けて出射され、検出面で反射され、光学系で集光された光は、遮光面により遮光されるので、受光面で受光されない。受光面は遮光面より大きい面積を有し、かつ、散乱光は様々な方向に発生するので、散乱光の一部は光学系を通過し、受光面で受光することができる。従って、この構成によれば、受光部は、光源部から背面に向けて出射され、検出面で反射された光を受光せずに、散乱光のみを選択的に受光できる。
【００３４】
上記構成において、前記光学系は、前記光源部の光源像を前記遮光面に結像させる。
【００３５】
この構成は、光学系の焦点が遮光面に位置する場合である。この場合、遮光面上で光源像が結像されるので、遮光面上で光源像を結像させない場合と比べて、遮光面の面積を小さくできる。従って、この構成によれば、受光部で受光できる散乱光の光量を多くすることができる。
【００３６】
上記構成において、前記光源部から出射される光は、紫外線であり、前記光源部から出射された光が前記検出面に付着しているオイルミストに照射されることにより、蛍光の前記散乱光が発生する。
【００３７】
この構成は、散乱光が蛍光となる場合である。
【００３８】
上記構成において、前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面と平行に対向している対向面と、前記検出面で反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、前記検出部は、前記第２の傾斜面から出てきた前記散乱光を検出する。
【００３９】
第２の傾斜面からは、検出面で反射された光が出てくるが、受光部は、散乱光を選択的に受光できるので、検出面で反射された光の影響を受けることはない。
【００４０】
上記構成において、前記第１の傾斜面から前記透明部材に入った光は、前記検出面と前記対向面とで複数回反射が繰り返されて、前記第２の傾斜面から前記透明部材の外に出る。
【００４１】
この構成によれば、透明部材に入った光は、検出面と対向面とで複数回反射が繰り返されるので、散乱光の発生量を多くすることができる。このため、検出面に付着しているオイルミストが微量な場合でもオイルミストを検出することができる。従って、この構成によれば、オイルミスト検出装置の感度を向上させることができる。
【００４２】
上記構成において、前記透明部材には、前記対向面が底となる凹部が前記背面に形成されている。
【００４３】
この構成によれば、検出面と対向面との距離を短くできるので、検出面と対向面との間で繰り返される反射の回数を多くでき、散乱光の発生量を多くすることができる。
【００４４】
上記構成において、前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面で一回反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、前記受光部は、前記第２の傾斜面を介して、前記検出面及び前記散乱光を撮像する二次元イメージセンサーを含み、前記オイルミスト検出装置は、さらに、前記二次元イメージセンサーによって撮像された前記検出面及び前記散乱光の二次元画像を基にして、前記検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさを算出する第２の算出部を備える。
【００４５】
散乱光の強度が同じでも  比較的小さい多数のオイルミストが検出面に付着している場合と、比較的大きい少数のオイルミストが検出面に付着している場合とがある。検出面に付着しているオイルミストが大きいとき、オイルミストを除去するためのフィルタに問題（劣化や故障）がある可能性がある。この構成によれば、検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさが分かるので、これを基にして、測定者は、オイルミストを除去するためのフィルタに問題が生じているか判断することができる。
【００４６】
なお、検出面で一回反射された光が、第２の傾斜面から透明部材の外に出る構造にした理由は、発明を実施するための形態の欄で説明する。
【００４７】
上記構成において、前記光源部は、前記背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で全反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する。
【００４８】
光源部からの光は、検出面で全反射されなくても、反射されれば、散乱光を発生させることができる。しかしながら、光源部からの光が検出面で全反射されることが好ましい理由を説明する。
【００４９】
検出部は、光源部からの光が検出面に付着しているオイルミストに照射されることにより発生した散乱光を検出し、検出面に付着しているオイルミストを示す信号を生成する。
【００５０】
しかし、その光の一部が、透明部材を通過し、検出面を介して、気体中に浮遊するオイルミストに照射されると、それにより散乱光が生じる。この散乱光の一部が、透明部材を介して検出部で検出されると、上記信号に対してノイズとなる。光源部からの光が検出面で全反射されると、そのノイズの発生を防ぐことができる。
【発明の効果】
【００５１】
本発明によれば、気体中に浮遊するオイルミストの量が極めて少なく、かつ、オイルミストの粒径が極めて小さくても、オイルミストを検出できる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図２】図１に示すオイルミスト検出装置において、検出面にオイルミストが付着している状態を示す模式図である。
【図３】第１実施形態の第１変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図４】第１実施形態の第２変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図５】第１実施形態の第３変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図６】第１実施形態の第３変形例に係るオイルミスト検出装置が、配管に取り付けられた状態の第１例を示す模式図である。
【図７】同第２例を示す模式図である。
【図８】配管を流れる気体に検出面が接触することを開始してから経過した時間（経過時間）と、検出面に付着しているオイルミストの量（検出量）との関係の具体例を示すグラフである。
【図９】第１実施形態の第３変形例に係るオイルミスト検出装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】散乱光の強度と検出面に付着しているオイルミストの量との関係を示す第１のデータを説明する説明図である。
【図１１】時間変化率とオイルミストの濃度との関係を示す第２のデータを説明する説明図である。
【図１２】第２実施形態に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図１３】第２実施形態に係るオイルミスト検出装置の構成を示すブロック図である。
【図１４】第２実施形態に係るオイルミスト検出装置に備えられる第１の検出部によって撮像された検出面及び散乱光の画像を説明する説明図である。
【図１５】第３実施形態に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図１６】図１５に示す状態から、遮断部材がスライド移動され、検出面が露出している状態を示す模式図である。
【図１７】第３実施形態に係るオイルミスト検出装置の構成を示すブロック図である。
【図１８】第４実施形態に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図１９】第４実施形態に係るオイルミスト検出装置に備えられるセンサーの構成を示す模式図である。
【図２０】第４実施形態に係るオイルミスト検出装置の構成を示すブロック図である。
【図２１】第５実施形態に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図２２】図２１に示すオイルミスト検出装置において、検出面にオイルミストが付着している状態を示す模式図である。
【図２３】第５実施形態の第１変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図２４】第５実施形態の第２変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図２５】図２４に示すオイルミスト検出装置が、配管に取り付けられた状態の一例を示す模式図である。
【図２６】第６実施形態に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図２７】図２６に示すオイルミスト検出装置において、検出面にオイルミストが付着している状態を示す模式図である。
【図２８】第６実施形態の第１変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図２９】第６実施形態の第２変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。
【図３０】図２９に示すオイルミスト検出装置が、配管に取り付けられた状態の一例を示す模式図である。
【図３１】図２１に示すオイルミスト検出装置において、受光部の替わりに、二次元イメージセンサーを配置した状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００５３】
以下、図面に基づいて、本発明の第１〜第６実施形態を詳細に説明する。図１は、第１実施形態に係るオイルミスト検出装置１ａを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ａは、透明部材３、光源部５及び検出部７を備える。
【００５４】
透明部材３は、検出面３０、第１の傾斜面３１及び第２の傾斜面３２を有する直角プリズムである。透明部材３は、ガラス、プラスチック等の透明な物質により構成される。透明部材３の強度を高くする観点からは、光学ガラスが好ましい。透明部材３の強度及び耐熱性の観点からは、石英ガラスが好ましい。透明部材３の強度、耐熱性及び耐腐食性の観点からは、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）が好ましい。
【００５５】
検出面３０は、透明部材３の正面１１を構成する。検出面３０は、オイルミストが浮遊している気体中に配置される透明な面である。
【００５６】
第１の傾斜面３１は、透明部材３の背面１２を構成し、検出面３０に対して傾き（例えば４５度）を有する。第１の傾斜面３１は、光源部５から透明部材３の背面１２に向けて出射された光Ｌ１が、透明部材３に入る透明な面である。
【００５７】
第２の傾斜面３２は、透明部材３の背面１２を構成し、検出面３０に対して傾き（例えば４５度）を有する。第１の傾斜面３１と第２の傾斜面３２との角度は、９０度である。第２の傾斜面３２は、第１の傾斜面３１から透明部材３に入り、検出面３０で全反射された、光源部５からの光Ｌ１が透明部材３から外に出る透明な面である。
【００５８】
検出面３０、第１の傾斜面３１及び第２の傾斜面３２により規定される、透明部材３の側面は、直角二等辺三角形の形状を有する。
【００５９】
光源部５は、検出面３０を透明部材３の正面１１としたとき、透明部材３の背面１２から透明部材３に入射した光Ｌ１が、検出面３０で反射される角度で、背面１２に向けて光Ｌ１を出射する。透明部材３の背面１２から透明部材３に入射した光Ｌ１が、検出面３０で全反射される場合で説明するが、これに限定されず、検出面３０で反射されればよい。光源部５は、発光部として、例えば、紫外線を発光するＬＥＤを含む。なお、光源部５から一本の光Ｌ１が出射されている表現をしているが、実際は、光源部５から光束が出射される。
【００６０】
検出部７は、光源部５から透明部材３の背面１２に向けて出射された光Ｌ１が、検出面３０で全反射されている状態で、その背面１２（第２の傾斜面３２）から出てきた光の中から、散乱光Ｌ２（図２）を検出する。
【００６１】
一般に、光源部５からの光Ｌ１と散乱光Ｌ２とは、波長が同じである。光源部５からの光Ｌ１がオイルミストＭ（図２）に照射されることにより、蛍光の散乱光Ｌ２が発生する場合、光源部５からの光Ｌ１と散乱光Ｌ２とは、波長が異なる。紫外線をオイルミストＭに照射すると、オイルの種類によるが、蛍光を発する場合が多い。第１実施形態では、散乱光Ｌ２が蛍光であるとして説明する。
【００６２】
検出部７は、フィルタ７０と、フィルタ７０を通過した散乱光Ｌ２を受光する受光部７１と、を含む。オイルミスト検出装置１ａが設置されている箇所が暗所である場合、散乱光Ｌ２を通過させるが、検出面３０で全反射された、光源部５からの光Ｌ１を遮断する波長選択特性を有するフィルタ７０が用いられる。オイルミスト検出装置１ａが設置されている箇所が暗所でない場合、散乱光Ｌ２を通過させるが、検出面３０で全反射された、光源部５からの光Ｌ１を含む他の光を遮断する波長選択特性を有するフィルタ７０が用いられる。受光部７１は、例えば、フォトダイオードを含む。
【００６３】
図２は、図１に示すオイルミスト検出装置１ａにおいて、検出面３０にオイルミストＭが付着している状態を示す模式図である。
【００６４】
図１及び図２に示すように、光源部５から出射された光Ｌ１は、検出面３０で全反射されて、受光部７１に向かう。しかし、その光Ｌ１は、フィルタ７０により遮断されるので、受光部７１まで到達しない。図２に示すように、検出面３０にオイルミストＭが付着している場合、光源部５から出射された光Ｌ１（言い換えれば、光束の一部）は、オイルミストＭに照射される。この照射により散乱光Ｌ２が発生する。散乱光Ｌ２の一部は、フィルタ７０を通過して受光部７１により受光される。
【００６５】
検出面３０にオイルミストＭが付着している状態で、透明部材３の背面１２から透明部材３に光Ｌ１を入射させ、その光を検出面３０で反射させたとき、オイルミストＭによって散乱光Ｌ２が発生する。従って、光源部５から透明部材３の背面１２に向けて出射された光Ｌ１が、検出面３０で反射されている状態で、背面１２から出てきた光の中から散乱光Ｌ２が検出できれば、検出面３０にオイルミストＭが付着していることになる。
【００６６】
第１実施形態に係るオイルミスト検出装置１ａは、気体中に浮遊するオイルミストＭを検出するのではなく、検出面３０に付着しているオイルミストＭを検出する。気体中にオイルミストＭが浮遊しているとき、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量は、時間の経過に従って多くなる。このため、気体中に浮遊するオイルミストＭの量が極めて少なく、かつ、オイルミストＭの粒径が極めて小さくても、オイルミストＭを検出することができる。
【００６７】
また、第１実施形態に係るオイルミスト検出装置１ａによれば、検出面３０で反射された、光源部５からの光Ｌ１が受光される位置に受光部７１を配置しても、フィルタ７０があるので、散乱光Ｌ２のみを選択的に受光できる。従って、受光部７１が配置される場所の自由度を高めることができる。
【００６８】
第１実施形態には、第１〜第３変形例がある。図３は、第１実施形態の第１変形例に係るオイルミスト検出装置１ｂを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｂが、図１及び図２に示すオイルミスト検出装置１ａと異なる点は、以下の通りである。
【００６９】
透明部材３の背面１２は、第１の傾斜面３１と第２の傾斜面３２とをつなぎ、検出面３０と対向している対向面３３を有する。検出面３０、第１の傾斜面３１、対向面３３及び第２の傾斜面３２により規定される、透明部材３の側面は、台形形状を有する。
【００７０】
検出部７は、対向面３３と対向して配置されている。受光部７１は、対向面３３から透明部材３の外に出る光を受光する。この光は、検出面３０で全反射された光Ｌ１でなく、散乱光Ｌ２の一部である。
【００７１】
第１変形例は、オイルミスト検出装置１ｂが設置されている箇所が暗所でない場合を前提とする。フィルタ７０は、散乱光Ｌ２を通過させるが、散乱光Ｌ２以外の光を遮断する波長選択特性を有する。
【００７２】
第１変形例によれば、検出面３０で全反射された光は、第２の傾斜面３２から透明部材３の外に出るので、検出部７は、検出面３０で全反射された光Ｌ１の影響を受けないで、散乱光Ｌ２を検出することができる。
【００７３】
図４は、第１実施形態の第２変形例に係るオイルミスト検出装置１ｃを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｃが、図３に示すオイルミスト検出装置１ｂと異なる点は、検出部７がフィルタ７０を備えていないことである。オイルミスト検出装置１ｃが設置されている箇所が暗所である場合、フィルタ７０は不要である。
【００７４】
図５は、第１実施形態の第３変形例に係るオイルミスト検出装置１ｄを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｄが、図４に示すオイルミスト検出装置１ｃと異なる点は、以下の通りである。
【００７５】
第１の傾斜面３１から透明部材３に入った光Ｌ１は、検出面３０と対向面３３とで複数回反射が繰り返されて、第２の傾斜面３２から透明部材３の外に出る。これを実現するために、検出面３０の面積、対向面３３の面積、及び、検出面３０と対向面３３との距離等が定められている。
【００７６】
透明部材３には、対向面３３が底となる凹部が背面１２に形成されている。これにより、検出面３０と対向面３３との距離を短くできるので、検出面３０と対向面３３との間で繰り返される反射の回数を多くでき、散乱光Ｌ２の発生量を多くすることができる。
【００７７】
透明部材３は、検出面３０、第１の傾斜面３１、第２の傾斜面３２及び対向面３３に加えて、面３４〜面３９を有する。面３４は、検出面３０に対して９０度の傾きを有しており、検出面３０と第１の傾斜面３１とをつなぐ。面３５は、検出面３０と対向しており、第１の傾斜面３１とつながっている。面３６は、対向面３３に対して９０度の傾きを有しており、対向面３３と面３５とをつなぐ。
【００７８】
面３７は、検出面３０に対して９０度の傾きを有しており、検出面３０と第２の傾斜面３２とをつなぐ。面３８は、検出面３０と対向しており、第２の傾斜面３２とつながっている。面３９は、対向面３３に対して９０度の傾きを有しており、対向面３３と面３８とをつなぐ。
【００７９】
第３変形例に係るオイルミスト検出装置１ｄによれば、透明部材３に入った光Ｌ１は、検出面３０と対向面３３とで複数回反射が繰り返されるので、散乱光Ｌ２の発生量を多くすることができる。このため、検出面３０に付着しているオイルミストＭが微量な場合でもオイルミストＭを検出することができる。従って、第３変形例によれば、オイルミスト検出装置１ｄの感度を向上させることができる。
【００８０】
オイルミスト検出装置１ａ〜１ｄは、オイルミストＭが浮遊している気体の流路となる配管に配置される。これを、図５に示すオイルミスト検出装置１ｄを例にして説明する。図６は、オイルミスト検出装置１ｄが、配管１００に取り付けられた状態の第１例を示す模式図である。図７は、同第２例を示す模式図である。
【００８１】
オイルミスト検出装置１ｄは、検出面３０を外部に露出させた状態で、透明部材３、光源部５及び検出部７を収容するケーシング９を備える。配管１００の一部に配管１００を貫通する穴部１０１が形成されており、検出面３０が配管１００を通る気体Ｇと接触可能な状態で、オイルミスト検出装置１ｄが、穴部１０１に取り付けられている。図６では、気体Ｇが配管１００を流れる方向と平行に、検出面３０が配置されている。図７では、気体Ｇが配管１００を流れる方向に向いて検出面３０が配置されている。
【００８２】
光源部５からの光Ｌ１（図５）は、検出面３０で全反射されなくても、反射されれば、散乱光Ｌ２（図５）を発生させることができる。しかしながら、光源部５からの光Ｌ１が検出面３０で全反射されることが好ましい理由を説明する。
【００８３】
検出部７は、光源部５からの光Ｌ１が検出面３０に付着しているオイルミストＭに照射されることにより発生した散乱光Ｌ２を検出することにより、検出面３０に付着しているオイルミストＭを示す信号を生成する。
【００８４】
しかし、光Ｌ１の一部が、透明部材３を通過し、検出面３０を介して、配管１００を流れる気体Ｇ中に浮遊するオイルミストＭに照射されると、それにより散乱光が生じる。この散乱光の一部が、透明部材３を介して検出部７で検出されると、上記信号に対してノイズとなる。光源部５からの光Ｌ１が検出面３０で全反射されると、そのノイズの発生を防ぐことができる。
【００８５】
次に、オイルミストＭの濃度の測定について説明する。まず、本実施形態において、オイルミストＭの濃度が測定できる原理について説明する。本実施形態では、検出面３０に付着しているオイルミストＭを検出する。検出部７によって検出されるオイルミストＭの量は、オイルミストＭの濃度を測定する時点までに、検出面３０に付着したオイルミストＭの積算値となる。検出面３０に付着するオイルミストＭの単位時間あたりの増加量（検出面３０に付着しているオイルミストＭの量の時間変化率）は、単位時間において気体Ｇに含まれているオイルミストＭの粒子数に比例する。図８は、それらを基にして作成したグラフである。横軸は、配管１００を流れる気体Ｇに検出面３０が接触することを開始してから経過した時間（経過時間）を示す。縦軸は、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量（検出量）を示す。
【００８６】
（ａ）で示す第１例では、時間が経過しても、オイルミストＭの検出量は、０（ほぼ０）である。これは、経過時間の全期間において、気体ＧにオイルミストＭが含まれていないことを示している。
【００８７】
（ｂ）で示す第２例では、時間が経過するに従って、オイルミストＭの検出量が直線的に増加する。これは、経過時間の全期間において、気体Ｇに一定濃度のオイルミストＭが含まれていることを示している。
【００８８】
（ｃ）で示す第３例では、経過時間の全期間において、オイルミストＭの検出量が増加している。第３例のグラフは、三つの傾きを有する。経過時間の全期間のうち、初期の期間において、グラフの傾きは、第２例のグラフの傾きより大きい。これは、初期の期間でのオイルミストＭの濃度が、第２例でのオイルミストＭの濃度より高いことを示す。途中の期間において、グラフの傾きは、第２例のグラフの傾きより小さい。これは、途中の期間でのオイルミストＭの濃度が、第２例でのオイルミストＭの濃度より低いことを示す。最後の期間において、グラフの傾きは、初期の期間の傾きより大きい。これは、最後の期間でのオイルミストＭの濃度が、初期の期間でのオイルミストＭの濃度より高いことを示す。
【００８９】
検出面３０に付着しているオイルミストＭの量を、一定時間の間隔で測定する。今回の測定で検出されたオイルミストＭの量をＶ１、前回の測定で検出されたオイルミストＭの量をＶ２、一定時間をＴとする。（Ｖ１−Ｖ２）／Ｔで示す式で得られる値は、図８に示すグラフの傾き、すなわち、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量の時間変化率を表している。
【００９０】
図８のグラフの傾きが大きいと、オイルミストＭの検出量の増加量が多く、グラフの傾きが小さいと、オイルミストＭの検出量の増加量が少なくなる。オイルミストＭの濃度が高いと、オイルミストＭの検出量の増加量が多く、オイルミストＭの濃度が低いと、オイルミストＭの検出量の増加量が少ないので、グラフの傾き（検出面３０に付着しているオイルミストＭの量の時間変化率）は、オイルミストＭの濃度と比例する関係にある。
【００９１】
以上説明した原理を基にして、オイルミストＭの濃度を測定する構成について説明する。図９は、図５に示すオイルミスト検出装置１ｄの構成を示すブロック図である。なお、オイルミスト検出装置１ａ，１ｂ，１ｃの構成を示すブロック図は、図９と同じである。オイルミスト検出装置１ｄは、上述したように、透明部材３、光源部５及び検出部７を備え、さらに、制御部１３、入力部１４及び出力部１５を備える。
【００９２】
制御部１３は、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等により構成され、機能ブロックとして、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１を備える。
【００９３】
データ記憶部１３０は、第１のデータ及び第２のデータを予め記憶する。第１のデータ及び第２のデータについて説明する。
【００９４】
検出面３０に付着しているオイルミストＭの量が増えると、散乱光Ｌ２の発生量が増えるので、検出部７によって検出される散乱光Ｌ２の強度が大きくなる。散乱光Ｌ２の強度と、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量との関係を示す第１のデータが、実験により収集される。図１０は、第１のデータを説明する説明図である。散乱光Ｌ２の強度が大きくなると、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量が増えていることが示されている。図１０中の数字は、便宜上の値であり、実験により収集された値ではない。
【００９５】
上述したように、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量の時間変化率は、気体Ｇ中に浮遊しているオイルミストＭの濃度と比例する。時間変化率が大きいと、オイルミストＭの濃度が高くなる。時間変化率とオイルミストＭの濃度との関係を示す第２のデータが、実験により収集される。図１１は、第２のデータを説明する説明図である。時間変化率が大きくなると、オイルミストＭの濃度が高くなっていることが示されている。図１１中の数字は、便宜上の値であり、実験により収集された値ではない。
【００９６】
第１の算出部１３１は、第１のタイミングで、検出部７によって検出された散乱光Ｌ２の強度と、第１のタイミングから所定期間が経過した第２のタイミングで、検出部７によって検出された散乱光Ｌ２の強度と、第１のデータと、第２のデータとを基にして、所定期間中に気体Ｇ中に浮遊するオイルミストＭの濃度を算出する。
【００９７】
詳しく説明すると、第１のタイミングで検出部７によって検出された散乱光Ｌ２の強度と図１０に示す第１のデータとから、第１のタイミングの時点において、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量Ｖ２が分かる。同様に、第２のタイミングの時点において、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量Ｖ１が分かる。Ｔを上記所定期間とすると、（Ｖ１−Ｖ２）／Ｔで示す式から、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量の時間変化率が求まる。この時間変化率と図１１に示す第２のデータとから所定期間中に気体Ｇ中に浮遊するオイルミストＭの濃度が分かる。
【００９８】
入力部１４は、外部からコマンド（命令）やデータ等をオイルミスト検出装置１ｄに入力するための装置であり、例えば、タッチパネルやキーボード等である。
【００９９】
出力部１５は、入力部１４から入力されたコマンドやデータ及び制御部１３で演算されたオイルミストＭの濃度等を出力するための装置であり、例えば、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の表示装置や、例えば、プリンタ等の印刷装置である。
【０１００】
以上説明したように、第１実施形態によれば、気体Ｇ中に浮遊するオイルミストＭの検出に加えて、オイルミストＭの濃度を測定することができる。
【０１０１】
第２実施形態を説明する。図１２は、第２実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｅを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｅは、以下の点で、図５に示すオイルミスト検出装置１ｄと異なる。検出部７は、対向面３３を介して、検出面３０及び散乱光Ｌ２（図５）を撮像する二次元イメージセンサーを含む。
【０１０２】
図１３は、第２実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｅの構成を示すブロック図である。第２実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｅは、図９に示す構成を備え、さらに、第２の算出部１３２を備える。
【０１０３】
第２の算出部１３２は、制御部１３が有する機能ブロックの一つである。第２の算出部１３２は、二次元イメージセンサーを含む検出部７によって撮像された検出面３０及び散乱光Ｌ２の二次元画像を基にして、検出面３０に付着しているオイルミストＭの数及び各オイルミストＭの大きさを算出する。
【０１０４】
図１４は、検出部７によって撮像された検出面３０及び散乱光Ｌ２の画像を説明する説明図である。検出面３０の画像Ｉｍ中に含まれる白領域は、散乱光Ｌ２が発生した箇所、すなわち、オイルミストＭが付着している箇所を示している。検出面３０の画像Ｉｍにおいて、白領域以外は黒領域である。これは、オイルミスト検出装置１ｅが設置されている場所が暗所だからである。
【０１０５】
第２の算出部１３２は、画像Ｉｍ中の白領域を検出する処理をし、検出した数をカウントすることにより、検出面３０に付着しているオイルミストＭの数を算出する。また、第２の算出部１３２は、検出した白領域のそれぞれについて面積を計算する処理をすることにより、検出面３０に付着している各オイルミストＭの大きさを算出する。
【０１０６】
第１実施形態の受光部７１（図１〜図５）で検出される散乱光Ｌ２の強度が同じでも  比較的小さい多数のオイルミストＭが検出面３０に付着している場合と、比較的大きい少数のオイルミストＭが検出面３０に付着している場合とがある。検出面３０に付着しているオイルミストＭが大きいとき、オイルミストＭを除去するための濾過フィルタ（不図示）に問題（劣化や故障）がある可能性がある。第２実施形態によれば、検出面３０に付着しているオイルミストＭの数及び各オイルミストＭの大きさが分かるので、これを基にして、測定者は、オイルミストＭを除去するための濾過フィルタに問題が生じているか判断することができる。
【０１０７】
なお、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１を用いてオイルミストＭの濃度を測定する場合、検出部７に含まれる二次元イメージセンサーを用いて、散乱光Ｌ２の強度を測定する。
【０１０８】
第３実施形態を説明する。図１５は、第３実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｆを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｆは、図６に示すオイルミスト検出装置１ｄと異なる点を説明する。
【０１０９】
オイルミスト検出装置１ｆは、検出面３０を覆うことによって、検出面３０を気体Ｇから遮断する遮断部材１６（シャッタ）を備える。遮断部材１６は、金属板、ガラス板又はプラスチック板である。遮断部材１６は、検出面３０を露出させるために、配管１００の内壁に沿ってスライド可能に、配管１００内に取り付けられている。このスライドは、移動機構１９（図１７）によって実現される。図１６は、遮断部材１６がスライド移動され、検出面３０が露出している状態を示す模式図である。
【０１１０】
図１７は、第３実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｆの構成を示すブロック図である。第３実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｆは、図９に示す構成を備え、さらに、遮断部材１６、移動機構１９及び遮断制御部１３３を備える。
【０１１１】
移動機構１９は、遮断部材１６を配管１００（図１５、図１６）の内壁に沿って移動させる。これにより、検出面３０が遮断部材１６によって覆われて、検出面３０が配管１００を流れる気体Ｇから遮断された遮断状態と、検出面３０が遮断部材１６によって覆われないことにより、検出面３０が配管１００を流れる気体Ｇ中に露出している露出状態と、に切り換えることができる。
【０１１２】
移動機構１９は、レール及び遮断部材１６をレール上でスライドさせる直線運動機構を備える。移動機構１９は、上記構成に限定されない。例えば、軸と、軸に固定された遮断部材１６と、軸を回転させる回転機構と、を備える移動機構１９でもよい。この移動機構１９では、回転機構が軸を回転させて、遮断部材１６を配管１００の内壁の周方向に沿って移動させることにより、上記遮断状態と上記露出状態とを切り換る。また、例えば、遮断部材１６の端部に取り付けられた蝶番によって、遮断部材１６を回動可能にし、遮断部材１６を起立させた状態で上記露出状態にし、遮断部材１６を倒した状態で上記遮断状態にする。
【０１１３】
遮断制御部１３３は、制御部１３が有する機能ブロックの一つである。遮断制御部１３３は、移動機構１９を制御することにより、上記遮断状態と露出状態とに切り換える。すなわち、遮断制御部１３３は、オイルミストＭの濃度を測定するために、検出部７によって散乱光Ｌ２を検出するとき、遮断部材１６が検出面３０を覆わない制御をし、オイルミストＭの濃度を測定していので、検出部７によって散乱光Ｌ２を検出しないとき、遮断部材１６が検出面３０を覆う制御をする。
【０１１４】
第３実施形態の主な効果を説明する。気体Ｇ中にオイルミストＭが浮遊していれば、時間の経過に従って検出面３０に付着するオイルミストＭの量が多くなる。検出面３０に付着しているオイルミストＭの面積及び厚みが大きくなると、散乱光Ｌ２の強度が飽和するので、それ以上、オイルミストＭが検出面３０に付着しても、検出部７によって検出される散乱光Ｌ２の強度が大きくならない。このため、第１のタイミングで検出部７によって検出された散乱光Ｌ２の強度と、第２のタイミングで検出部７によって検出された散乱光Ｌ２の強度との差が生じなくなるので、検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１を用いたオイルミストＭの濃度の測定をすることができない。オイルミストＭの濃度を測定できるようにするためには、検出面３０に付着しているオイルミストＭを除去するメンテナンスが必要となる。
【０１１５】
第３実施形態では、オイルミストＭの濃度を測定しないとき、遮断部材１６で検出面３０を覆う。従って、第３実施形態によれば、散乱光Ｌ２の強度が飽和した状態になることを遅らせることができるので、メンテナンスの回数を少なくすることができる。
【０１１６】
一つのオイルミスト検出装置１ｆを配管１００に取り付けているが、複数のオイルミスト検出装置１ｆを配管１００に取り付けてもよい。これによれば、複数のオイルミスト検出装置１ｆのうち、まず、１番目のオイルミスト検出装置１ｆを使用してオイルミストＭの濃度を測定する。遮断制御部１３３は、複数のオイルミスト検出装置１ｆのそれぞれにおいて、検出面３０を遮断部材１６で覆う制御をし、１番目のオイルミスト検出装置１ｆを使用してオイルミストＭの濃度を検出するとき、１番目のオイルミスト検出装置１ｆの検出面３０が遮断部材１６で覆われない制御をする。遮断制御部１３３は、１番目のオイルミスト検出装置１ｆの検出面３０に付着しているオイルミストＭの面積及び厚みが大きくなることにより、散乱光Ｌ２の強度が飽和すると、次に、２番目のオイルミスト検出装置１ｆを用いてオイルミストＭの濃度を測定する。以降同様に、遮断制御部１３３は、ｎ番目のオイルミスト検出装置１ｆの検出面３０に付着しているオイルミストＭの面積及び厚みが大きくなることにより、散乱光Ｌ２の強度が飽和すると、次に、ｎ＋１番目のオイルミスト検出装置１ｆを用いてオイルミストＭの濃度を測定する。
【０１１７】
この変形例によれば、複数のオイルミスト検出装置１ｆを順番に使用することにより、複数のオイルミスト検出装置１ｆの全てが使用不能になるまで、検出面３０に付着したオイルミストＭを除去するメンテナンスが不要なので、メンテナンスの間隔を延ばすことができる。
【０１１８】
第４実施形態を説明する。図１８は、第４実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｇを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｇは、図１５に示すオイルミスト検出装置１ｆと異なる点を説明する。
【０１１９】
オイルミスト検出装置１ｇは、配管１００を流れる気体Ｇ中に浮遊するオイルミストＭの濃度を測定するセンサー１７を備える。センサー１７は、配管１００の内壁に取り付けられた保持部材１８によって、配管１００の縦断面の中央部で保持されている。
【０１２０】
センサー１７は、例えば、ＰＭ２．５クラスのホコリを測定できるホコリセンサーである。ホコリセンサーは、空気中のホコリ及び煙粒子（例えば、たばこの煙）の濃度を測定できるセンサーであり、ホコリセンサーによって、気体Ｇ中のオイルミストＭの濃度を測定する。
【０１２１】
図１９は、センサー１７の構成を示す模式図である。センサー１７は、光源部１７０及び受光部１７１を備える。
【０１２２】
光源部１７０は、例えば、赤外線を発光するダイオードを含む。受光部１７１は、例えば、フォトトランジスタである。受光部１７１は、光源部１７０が出射した赤外線を直接受光しない位置に配置され、光源部１７０が出射した赤外線によって反射された光を受光する。
【０１２３】
図２０は、第４実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｇの構成を示すブロック図である。第４実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｇは、図１７に示す構成を備え、さらに、センサー１７及び切換制御部１３４を備える。
【０１２４】
切換制御部１３４は、センサー１７を用いて測定されたオイルミストＭの濃度が予め定められた第１の値より小さいとき、オイルミストＭの濃度を測定する手段を、センサー１７から検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１の組み合わせに切り替え、検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１の組み合わせを用いて算出されたオイルミストＭの濃度が第１の値以上の予め定められた第２の値より大きいとき、オイルミストＭの濃度を測定する手段を、検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１の組み合わせからセンサー１７に切り替える。
【０１２５】
検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１の組み合わせを用いたオイルミストＭの濃度の測定は、検出面３０に付着したオイルミストＭを利用する。このため、第３実施形態で説明したように、検出面３０に付着しているオイルミストＭの面積及び厚みが大きくなると、オイルミストＭの濃度が測定できくなり、検出面３０に付着したオイルミストＭを除去するメンテナンスが必要となる。
【０１２６】
オイルミストＭの濃度が高いと、検出面３０に付着しているオイルミストＭの面積及び厚みが大きくなるまでに要する時間が短い。従って、オイルミストＭの濃度を測定しないときに、検出面３０を遮断部材１６で覆っても、オイルミストＭの濃度が高ければ、検出面３０に付着しているオイルミストＭの面積及び厚みが大きくなるまでに要する時間は短い。
【０１２７】
そこで、第４実施形態では、オイルミストＭの濃度が比較的高いとき（言い換えれば、オイルミストＭの濃度が上記第２の値より大きいとき）、センサー１７を用いてオイルミストＭの濃度を測定する。これに対して、オイルミストＭの濃度が比較的低く、センサー１７を用いて測定できないレベルの濃度のとき（言い換えれば、オイルミストＭの濃度が上記第１の値より小さいとき）、検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１の組み合わせを用いてオイルミストＭの濃度を測定する。
【０１２８】
第４実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｇの使用態様としてはいくつか考えられる。圧縮機の運転直後において、オイルミストＭの濃度が高いとき、オイルミスト検出装置１ｇは、センサー１７を用いてオイルミストＭの濃度を測定する。圧縮機の運転が安定し、オイルミストＭの濃度が低くなったとき、検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１を用いてオイルミストＭの濃度を測定する。また、圧縮機の運転中、検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１を用いて測定したオイルミストＭの濃度が高いとき、センサー１７を用いたオイルミストＭの濃度の測定に切り換える。
【０１２９】
第５実施形態を説明する。図２１は、第５実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｈを示す模式図である。図２２は、図２１に示すオイルミスト検出装置１ｈにおいて、検出面３０にオイルミストＭが付着している状態を示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｈは、以下の点で、図１に示すオイルミスト検出装置１ａと異なる。
【０１３０】
光源部５は、発光素子５０と、発光素子５０からの光が入射し、図２１及び図２２の紙面に対して、平行方向Ｄ１（予め定められた方向の一例）の直線偏光を生成する偏光板５１（第１の偏光部材の一例）と、を含む。光源部５は、偏光板５１で生成された直線偏光を、背面１２に向けた光Ｌ１として出射する。
【０１３１】
発光素子５０は、例えば、紫外線を発光するＬＥＤである。偏光板５１は、発光素子５０からの光のうち、図２１及び図２２の紙面に対して、平行方向Ｄ１の直線偏光を透過する透過型偏光板である。
【０１３２】
検出部７は、背面１２から出てきた光の中から、上記直線偏光を遮光する偏光板７２（第２の偏光部材の一例）と、偏光板７２を透過した散乱光Ｌ２を受光する受光部７１と、を含む。
【０１３３】
偏光板７２は、図２１及び図２２の紙面に対して、垂直方向Ｄ２の直線偏光を透過させる透過型偏光板である。よって、偏光板７２は、平行方向Ｄ１の直線偏光が透過することを阻止する。なお、偏光板５１が垂直方向Ｄ２の直線偏光を透過させる偏光板の場合、偏光板７２は、平行方向Ｄ１の直線偏光を透過させる偏光板となる。
【０１３４】
直線偏光が検出面３０で反射される際に、直交する２つの偏光成分の位相変化が異なれば、直線偏光から楕円偏光に変化する。楕円偏光は、偏光板７２を透過する。これを防止するには、例えば、偏光板５１がｐ偏光を透過させる偏光板のとき、偏光板７２はｓ偏光を透過させる偏光板であり、偏光板５１がｓ偏光を透過させる偏光板のとき、偏光板７２はｐ偏光を透過させる偏光板である。このような組み合わせにすれば、直線偏光が検出面３０で反射される際に、直線偏光から楕円偏光に変化することを防止できる。
【０１３５】
ｓ偏光及びｐ偏光について簡単に説明する。検出面３０を境界面とし、検出面３０の法線、及び、光源部５が出射した光Ｌ１（入射光）を含む平面を入射面（不図示）とする。ｐ偏光とは、入射面において入射面と平行に振動する直線偏光である。ｓ偏光とは、入射面と垂直な方向に振動する直線偏光である。
【０１３６】
予め定められた方向の直線偏光は、検出面３０のうち、オイルミストＭが付着していない箇所で反射されたとき、そのまま反射される（すなわち、予め定められた方向を維持した状態で反射される）。よって、この直線偏光は、偏光板７２を透過できない。
【０１３７】
これに対して、予め定められた方向の直線偏光は、検出面３０のうち、オイルミストＭが付着している箇所で反射されたとき、直線偏光が維持されず、散乱光Ｌ２となる。散乱光Ｌ２には、振動方向が様々な方向の偏光が含まれるので、偏光板７２に入射した散乱光Ｌ２の一部は、偏光板７２を透過することができる。
【０１３８】
従って、第５実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｈによれば、受光部７１は、検出面３０で反射された直線偏光（予め定められた方向の直線偏光）を受光せずに、散乱光Ｌ２のみを選択的に受光できる。
【０１３９】
第２の傾斜面３２からは、検出面３０で反射された直線偏光が出てくるが、受光部７１は、散乱光Ｌ２を選択的に受光できるので、検出面３０で反射された直線偏光の影響を受けることはない。
【０１４０】
第５実施形態には、第１変形例及び第２変形例がある。図２３は、第５実施形態の第１変形例に係るオイルミスト検出装置１ｉを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｉが、図２１及び図２２に示すオイルミスト検出装置１ｈと異なる点は、以下の通りである。
【０１４１】
透明部材３の背面１２は、第１の傾斜面３１と第２の傾斜面３２とをつなぎ、検出面３０と対向している対向面３３を有する。検出面３０、第１の傾斜面３１、対向面３３及び第２の傾斜面３２により規定される、透明部材３の側面は、台形形状を有する。
【０１４２】
対向面３３は、検出面３０と平行に透明部材３の背面１２の一部を切断することにより形成される。従って、オイルミスト検出装置１ｉによれば、透明部材３を小型化及び軽量化できる。
【０１４３】
図２４は、第５実施形態の第２変形例に係るオイルミスト検出装置１ｊを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｊは、透明部材３として、図５に示す透明部材３を用いる。このため、オイルミスト検出装置１ｊによれば、図５に示すオイルミスト検出装置１ｄと同様に、透明部材３に入った光Ｌ１が、検出面３０と対向面３３とで複数回反射が繰り返されるので、散乱光Ｌ２の発生量を多くすることができる。
【０１４４】
オイルミスト検出装置１ｈ〜１ｊ（図２１〜図２４）は、オイルミストＭが浮遊している気体の流路となる配管に配置される。これを、図２４に示すオイルミスト検出装置１ｊを例にして説明する。図２５は、オイルミスト検出装置１ｊが、配管１００に取り付けられた状態の一例を示す模式図である。図２５は、図６に示すオイルミスト検出装置１ｄをオイルミスト検出装置１ｊに換えた以外は、図６と同様なので、説明を省略する。
【０１４５】
第６実施形態を説明する。図２６は、第６実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｋを示す模式図である。図２７は、図２６に示すオイルミスト検出装置１ｋにおいて、検出面３０にオイルミストＭが付着している状態を示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｋは、以下の点で、図１に示すオイルミスト検出装置１ａと異なる。
【０１４６】
光源部５は、発光素子５０及び絞り部５２を含む。発光素子５０は、例えば、紫外線を発光するＬＥＤである。絞り部５２は、発光素子５０からの光を絞る機能を有する。
【０１４７】
オイルミスト検出装置１ｋは、レンズ８０及びレンズ８１を含む光学系８を備える。レンズ８０は、絞り部５２と第１の傾斜面３１との間に配置され、絞り部５２を通過した光Ｌ１を平行光にする。この平行光が検出面３０で反射される光となる。レンズ８１は、第２の傾斜面３２と検出部７との間に配置され、検出面３０で反射された平行光を集光する。このように光学系８は、光源部５から背面１２に向けて出射され、検出面３０で反射された光を集光する機能を有する。
【０１４８】
検出部７は、受光部７１及び遮光板７３を含む。遮光板７３（遮光部材の一例）は、レンズ８１の光軸上であって、レンズ８１と受光部７１との間に配置されている。遮光板７３の面のうち、レンズ８１側を向いている面が遮光面７３ａとなる。光学系８の焦点は、遮光面７３ａに位置する。よって、光学系８は、光源部５の光源像を遮光面７３ａに結像させる。
【０１４９】
受光部７１は、レンズ８１の光軸上に配置された受光面７１ａを含む。受光部７１は、光源部５から背面１２に向けて出射され、検出面３０で反射され、光学系８で集光された光の進行方向から見て、遮光面７３ａの後方に位置する。受光面７１ａの面積は、遮光面７３ａの面積より大きい。受光面７１ａは、レンズ８１を透過した光を受光できる面積を有する。従って、受光面７１ａは、レンズ８１を透過した散乱光Ｌ２のうち、遮光面７３ａで遮光されなかった散乱光Ｌ２を受光することができる。
【０１５０】
遮光面７３ａは、上記光源像が受光面７１ａに届かないようにする役割を有するので、遮光面７３ａの面積は、光源像の面積より大きい値となる。このように、遮光面７３ａは、光源部５から背面１２に向けて出射され、検出面３０で反射され、光学系８で集光された光を遮光する役割を有する。なお、光源像が遮光面７３ａの前方又は後方に形成される態様でもよい。遮光面７３ａは、検出面３０にオイルミストＭが付着していない状態において、検出面３０で反射された光Ｌ１を全て遮光する大きさを有する必要がある。
【０１５１】
以上説明したように、第６実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｋによれば、光源部５から背面１２に向けて出射され、検出面３０で反射され、光学系８で集光された光は、遮光面７３ａにより遮光され、受光面７１ａで受光されない。受光面７１ａは遮光面７３ａより大きい面積を有し、かつ、散乱光Ｌ２は様々な方向に発生するので、散乱光Ｌ２の一部は、光学系８を通過し、受光面７１ａで受光することができる。従って、受光面７１ａは、光源部５から背面１２に向けて出射され、検出面３０で反射され、光学系８で集光された光を受光せずに、散乱光Ｌ２のみを選択的に受光できる。
【０１５２】
第６実施形態には、第１変形例及び第２変形例がある。図２８は、第６実施形態の第１変形例に係るオイルミスト検出装置１ｍを示す模式図である。図２８は、図２７に示す透明部材３を、図２３に示す透明部材３に換えた以外は、図２７と同じである。図２３に示す透明部材３による効果は、図２３の説明で既に説明しているので省略する。
【０１５３】
図２９は、第６実施形態の第２変形例に係るオイルミスト検出装置１ｎを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｎは、透明部材３として、図５に示す透明部材３を用いる。このため、オイルミスト検出装置１ｎによれば、図５に示すオイルミスト検出装置１ｄと同様に、透明部材３に入った光Ｌ１は、検出面３０と対向面３３とで複数回反射が繰り返されるので、散乱光Ｌ２の発生量を多くすることができる。
【０１５４】
オイルミスト検出装置１ｋ，１ｍ，１ｎ（図２６〜図２９）は、オイルミストＭが浮遊している気体の流路となる配管に配置される。これを、図２９に示すオイルミスト検出装置１ｎを例にして説明する。図３０は、オイルミスト検出装置１ｎが、配管１００に取り付けられた状態の一例を示す模式図である。図３０は、図６に示すオイルミスト検出装置１ｄをオイルミスト検出装置１ｎに換えた以外は、図６と同様なので、説明を省略する。
【０１５５】
第５実施形態及び第６実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｈ，１ｉ，１ｊ，１ｋ，１ｍ，１ｎにも、第１実施形態で説明したオイルミスト濃度の測定（図８〜図１１）、第３実施形態で説明した遮断部材１６によって検出面３０を覆う制御及び覆わない制御（図１５〜図１７）、並びに、第４実施形態で説明した切り替え制御（図１８〜図２０）を適用できる。すなわち、図９、図１７及び図２０に示す透明部材３、光源部５及び検出部７を、オイルミスト検出装置１ｈ，１ｉ，１ｊ，１ｋ，１ｍ，１ｎの透明部材３、光源部５及び検出部７に置き換えることができる。
【０１５６】
第５実施形態及び第６実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｈ，１ｉ，１ｋ，１ｍにも、第２実施形態で説明した二次元イメージセンサーによる撮像（図１２〜図１４）を適用できる。すなわち、図１３に示す透明部材３、光源部５及び検出部７を、オイルミスト検出装置１ｈ，１ｉ，１ｋ，１ｍの透明部材３、光源部５及び検出部７に置き換えることができる。例えば、図２１に示すオイルミスト検出装置１ｈにおいて、受光部７１の替わりに、二次元イメージセンサー７４を配置した状態を示す模式図を、図３１に示す。
【０１５７】
第２の傾斜面３２は、検出面３０で一回反射された光Ｌ１が透明部材３から外に出る面となる。二次元イメージセンサー７４は、第２の傾斜面３２を介して、検出面３０及び散乱光Ｌ２を撮像する。
【０１５８】
オイルミスト検出装置１ｊ（図２４）及びオイルミスト検出装置１ｎ（図２９）に、第２実施形態で説明した二次元イメージセンサーによる撮像を適用できない理由を説明する。オイルミスト検出装置１ｊ，１ｎにおいて、第２の傾斜面３２は、検出面３０で複数回反射された光Ｌ１が透明部材３から外に出る面となる。図１２は、図２４及び図２９と同様に、光源部５から出射された光Ｌ１が検出面３０で複数回反射される場合を示している。図１２を参照して、光Ｌ１の光路に、２つのオイルミストＭが存在している。第２の傾斜面３２を介して、検出面３０を見た場合、これらのオイルミストＭの位置する方向が同じとなり、これらのオイルミストＭを区別できない。このため、オイルミスト検出装置１ｊ及びオイルミスト検出装置１ｎでは、第２実施形態で説明した二次元イメージセンサーによる撮像を適用できないのである。光源部５から出射された光Ｌ１が検出面３０で一回反射されて、透明部材３の外に出る構造の場合、このような問題が生じない。
【０１５９】
第１実施形態で説明したように、紫外線をオイルミストＭに照射すると、オイルの種類によるが、蛍光を発することが多い。第５及び第６実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｈ，１ｉ，１ｊ，１ｋ，１ｍ，１ｎにおいて、光源部５から出射される光Ｌ１が紫外線のとき、蛍光の散乱光Ｌ２が発生する可能性が高い。
【符号の説明】
【０１６０】
１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈ，１ｉ，１ｊ，１ｋ，１ｍ，１ｎ・・・オイルミスト検出装置
３・・・透明部材
５・・・光源部
７・・・検出部
８・・・光学系
９・・・ケーシング
１１・・・正面
１２・・・背面
１６・・・遮断部材
１７・・・センサー
３０・・・検出面
３１・・・第１の傾斜面
３２・・・第２の傾斜面
３３・・・対向面
５０・・・発光素子
５１・・・偏光板
５２・・・絞り部
７０・・・フィルタ
７１・・・受光部
７１ａ・・・受光面
７２・・・偏光板
７３・・・遮光板
７３ａ・・・遮光面
７４・・・二次元イメージセンサー
８０・・・レンズ
８１・・・レンズ
１００・・・配管
１３０・・・データ記憶部
１３１・・・第１の算出部
１３２・・・第２の算出部
１３３・・・遮断制御部
１３４・・・切換制御部
Ｌ１・・・光源部が出射した光
Ｌ２・・・散乱光
Ｍ・・・オイルミスト
Ｉｍ・・・検出面の画像
Ｇ・・・気体
【図１】
0006466795.tif 000002
【図２】
0006466795.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0006466795.tif 000008
【図８】
0006466795.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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