(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部からの圧力を受けて変形するダイアフラムと当該ダイアフラムを介して作用する圧力に応じた出力を発生する感圧素子とを有する機器の当該ダイアフラムに対し、当該ダイアフラムが融けない照射条件にてレーザ光を照射する照射工程と、
前記ダイアフラムにレーザ光が照射されたときに前記感圧素子から取得した出力を用いて、当該感圧素子に生じた圧力変化を算出する算出工程と
を含む熱歪測定方法。
【請求項２】
前記照射工程では、集光したレーザ光をレーザ光の焦点から外れた位置にて前記ダイアフラムに照射することを特徴とする請求項１記載の熱歪測定方法。
【請求項３】
前記照射工程では、パルス発振させたレーザ光を照射することを特徴とする請求項１または２記載の熱歪測定方法。
【請求項４】
前記照射工程では、レーザ光のパルス幅をｍｓｅｃオーダーとすることを特徴とする請求項３記載の熱歪測定方法。
【請求項５】
前記算出工程では、前記ダイアフラムに１パルス目のレーザ光が照射されたときに前記感圧素子から取得した出力を用いて、当該感圧素子に生じた圧力変化を算出することを特徴とする請求項３または４記載の熱歪測定方法。
【請求項６】
前記照射工程では、トップハットパターンを呈するレーザ光を前記ダイアフラムに照射することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の熱歪測定方法。
【請求項７】
外部からの圧力を受けて変形するダイアフラムと当該ダイアフラムを介して作用する圧力に応じた出力を発生する感圧素子とを有する機器が取り付けられる取付部と、
前記取付部に取り付けられた前記機器の前記ダイアフラムに対し、当該ダイアフラムが融けない照射条件にてレーザ光を照射する照射部と、
前記ダイアフラムにレーザ光が照射されたときに前記感圧素子から取得した出力を用いて、当該感圧素子に生じた圧力変化を算出する算出部と
を含む熱歪測定装置。
【請求項８】
前記照射部は、レーザを発振させる発振器と、当該発振器が発振したレーザ光を導く導光部と、当該導光部にて導かれたレーザ光を前記機器の前記ダイアフラムに射出する射出部とを含むことを特徴とする請求項７記載の熱歪測定装置。
【請求項９】
前記射出部は、レーザ光を集光するとともに、レーザ光の焦点から外れた位置にてレーザ光を前記ダイアフラムに照射することを特徴とする請求項８記載の熱歪測定装置。
【請求項１０】
前記照射部は、パルス発振させたレーザ光を照射することを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項記載の熱歪測定装置。
【請求項１１】
前記照射部は、照射するレーザ光のパルス幅をｍｓｅｃオーダーとすることを特徴とする請求項１０記載の熱歪測定装置。
【請求項１２】
前記算出部は、前記ダイアフラムに１パルス目のレーザ光が照射されたときに前記感圧素子から取得した出力を用いて、当該感圧素子に生じた圧力変化を算出することを特徴とする請求項１０または１１記載の熱歪測定装置。
【請求項１３】
前記導光部は、ガウシアンパターンを呈するレーザ光を、トップハットパターンを呈するレーザ光として出力する方形ファイバからなることを特徴とする請求項８記載の熱歪測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感圧素子を用いた機器の熱歪測定方法および熱歪測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、内燃機関に装着されて燃焼室内の圧力を検出するために、圧力を計測する感圧素子として圧電体を構成要素とする圧電素子を用いた圧電型圧力検出装置や、感圧素子としてひずみゲージを用いたピエゾ抵抗型圧力検出装置、感圧素子として離間した電極を用いた静電容量型圧力検出装置が知られている。
例えば特許文献１には、筒状のハウジングと、ハウジングの先端側に設けられるダイアフラムと、ハウジング内の軸方向であってダイアフラムの後端側に配置され、ダイアフラムを介して作用する圧力を検知する圧電素子と、ハウジング内の軸方向であってダイアフラムと圧電素子との間にて圧電素子に当接して設けられ、ダイアフラムを介して作用する圧力を圧電素子に伝達する圧力伝達部と、圧力伝達部をハウジングの軸方向に向けて加圧するようにハウジングに固定されることで圧電素子に荷重を作用させる加圧部材と、を備える圧力検出装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２０５３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、ダイアフラムが受けた圧力を感圧素子に伝達する構成を採用した場合、ダイアフラムに圧力とともに熱が加えられると、ダイアフラムが熱膨張によって変形し、ダイアフラムから感圧素子に伝達される圧力が、本来伝達されるべき大きさに比べて増加または減少するという事態が生じる。すると、感圧素子の変形量に応じて変化する出力が、本来出力されるべき大きさに比べて増加または減少することになってしまい、感圧素子の出力に基づいて求められる圧力に誤差が含まれることになってしまう。
【０００５】
このような現象は、それぞれの機器において生じるが、その圧力の変化の大きさは、部品の精度や部品の取り付け精度等により、機器毎に異なる。このため、機器毎に、ダイアフラムの熱膨張に起因して生じる圧力の変化に関する評価基準の設定が求められている。
【０００６】
本発明は、実際の圧力の測定対象に機器を装着しない状態で、ダイアフラムの熱膨張に起因して生じる圧力の変化を取得することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
かかる目的のもと、本発明の熱歪測定方法は、外部からの圧力を受けて変形するダイアフラムと当該ダイアフラムを介して作用する圧力に応じた出力を発生する感圧素子とを有する機器の当該ダイアフラムに対し、当該ダイアフラムが融けない照射条件にてレーザ光を照射する照射工程と、前記ダイアフラムにレーザ光が照射されたときに前記感圧素子から取得した出力を用いて、当該感圧素子に生じた圧力変化を算出する算出工程とを含む。
ここで、前記照射工程では、集光したレーザ光をレーザ光の焦点から外れた位置にて前記ダイアフラムに照射するとよい。
また、前記照射工程では、パルス発振させたレーザ光を照射するとよい。
さらに、前記照射工程では、レーザ光のパルス幅をｍｓｅｃオーダーとするとよい。
さらにまた、前記算出工程では、前記ダイアフラムに１パルス目のレーザ光が照射されたときに前記感圧素子から取得した出力を用いて、当該感圧素子に生じた圧力変化を算出するとよい。
そして、前記照射工程では、トップハットパターンを呈するレーザ光を前記ダイアフラムに照射するとよい。
また、他の観点から捉えると、本発明の熱歪測定装置は、外部からの圧力を受けて変形するダイアフラムと当該ダイアフラムを介して作用する圧力に応じた出力を発生する感圧素子とを有する機器が取り付けられる取付部と、前記取付部に取り付けられた前記機器の前記ダイアフラムに対し、当該ダイアフラムが融けない照射条件にてレーザ光を照射する照射部と、前記ダイアフラムにレーザ光が照射されたときに前記感圧素子から取得した出力を用いて、当該感圧素子に生じた圧力変化を算出する算出部とを含む。
ここで、前記照射部は、レーザを発振させる発振器と、当該発振器が発振したレーザ光を導く導光部と、当該導光部にて導かれたレーザ光を前記機器の前記ダイアフラムに射出する射出部とを含むとよい。
また、前記射出部は、レーザ光を集光するとともに、レーザ光の焦点から外れた位置にてレーザ光を前記ダイアフラムに照射するとよい。
さらに、前記照射部は、パルス発振させたレーザ光を照射するとよい。
さらにまた、前記照射部は、照射するレーザ光のパルス幅をｍｓｅｃオーダーとするとよい。
そして、前記算出部は、前記ダイアフラムに１パルス目のレーザ光が照射されたときに前記感圧素子から取得した出力を用いて、当該感圧素子に生じた圧力変化を算出するとよい。
さらにまた、前記導光部は、ガウシアンパターンを呈するレーザ光を、トップハットパターンを呈するレーザ光として出力する方形ファイバからなるとよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、実際の圧力の測定対象に機器を装着しない状態で、ダイアフラムの熱膨張に起因して生じる圧力の変化を取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】内燃機関の概略構成図である。
【図２】図１のＩＩ部の拡大図である。
【図３】圧力検出装置の概略構成図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ部の断面図である
【図５】図４のＶ部の拡大図である。
【図６】（ａ）は、内燃機関に装着された圧力検出装置による筒内圧力の測定結果の一例を示す図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す筒内圧力の測定結果から得た圧力誤差の算出結果の一例を示す図である。
【図７】本実施の形態の圧力検出装置における熱歪の発生メカニズムを説明するための図である。
【図８】本実施の形態の熱歪測定装置の全体構成を示す図である。
【図９】熱歪測定装置におけるレーザ射出部の構成を示す図である。
【図１０】（ａ）、（ｂ）は、熱歪測定装置におけるレーザビームと圧力検出装置のダイアフラムヘッドとの関係を説明するための図である。
【図１１】（ａ）〜（ｄ）は、４つの異なる圧力検出装置を、共通の内燃機関に装着して得られた実機圧力誤差の算出結果を示す図である。
【図１２】（ａ）〜（ｄ）は、４つの異なる圧力検出装置を、共通の熱歪測定装置に装着して得られた照射圧力変化量の測定結果を示す図である。
【図１３】レーザ出力を一定としたときの、実機圧力誤差測定結果と照射圧力変化量測定結果との相関を説明するための図である。
【図１４】レーザ出力を異ならせたときの、実機圧力誤差測定結果と照射圧力変化量測定結果との相関を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本実施の形態に係る内燃機関１の概略構成図である。
図２は、図１のＩＩ部の拡大図である。
内燃機関１は、シリンダ２ａを有するシリンダブロック２と、シリンダ２ａ内を往復動するピストン３と、シリンダブロック２に締結されてシリンダ２ａおよびピストン３などとともに燃焼室Ｃを形成するシリンダヘッド４と、を備えている。また、内燃機関１は、シリンダヘッド４に装着されて燃焼室Ｃ内の圧力を検出する圧力検出装置５と、圧力検出装置５が検出した圧力に基づいて内燃機関１の作動を制御する制御装置６と、圧力検出装置５とシリンダヘッド４との間に介在して燃焼室Ｃ内の気密性を保つためのシール部材７と、圧力検出装置５と制御装置６との間で電気信号を伝送する伝送ケーブル８と、を備えている。
【００１１】
シリンダヘッド４には、燃焼室Ｃと外部とを連通する連通孔４ａが形成されている。連通孔４ａは、燃焼室Ｃ側から、第１の孔部４ｂと、第１の孔部４ｂの孔径から徐々に径が拡大している傾斜部４ｃと、第１の孔部４ｂの孔径よりも孔径が大きい第２の孔部４ｄと、を有している。第２の孔部４ｄを形成する周囲の壁には、圧力検出装置５に形成された後述するハウジング３０の雄ねじ３３２ａがねじ込まれる雌ねじ４ｅが形成されている。
【００１２】
以下に、機器の一例としての圧力検出装置５について詳述する。
図３は、圧力検出装置５の概略構成図である。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ部の断面図である。図５は、図４のＶ部の拡大図である。
圧力検出装置５は、燃焼室Ｃ内の圧力を電気信号に変換する圧電素子１０を有するセンサ部１００と、センサ部１００からの電気信号を処理する信号処理部２００と、信号処理部２００を保持する保持部材３００と、を備えている。この圧力検出装置５をシリンダヘッド４に装着する際には、センサ部１００の後述するダイアフラムヘッド４０の方から先に、シリンダヘッド４に形成された連通孔４ａに挿入していく。以下の説明において、図４の左側を圧力検出装置５の先端側、右側を圧力検出装置５の後端側とする。
【００１３】
先ずは、センサ部１００について説明する。
センサ部１００は、受けた圧力を電気信号に変換する圧電素子１０と、筒状であってその内部に圧電素子１０などを収納する円柱状の孔が形成されたハウジング３０と、を備えている。以下では、ハウジング３０に形成された円柱状の孔の中心線方向を、単に中心線方向と称す。
また、センサ部１００は、ハウジング３０における先端側の開口部を塞ぐように設けられて、燃焼室Ｃ内の圧力が作用するダイアフラムヘッド４０と、ダイアフラムヘッド４０と圧電素子１０との間に設けられた第１の電極部５０と、圧電素子１０に対して第１の電極部５０とは反対側に配置された第２の電極部５５と、を備えている。
【００１４】
また、センサ部１００は、第２の電極部５５を電気的に絶縁するアルミナセラミック製の絶縁リング６０と、絶縁リング６０よりも後端側に設けられて、信号処理部２００の後述する覆い部材２３の端部を支持する支持部材６５と、第２の電極部５５と後述する伝導部材２２との間に介在するコイルスプリング７０と、を備えている。
また、センサ部１００は、第１の電極部５０、圧電素子１０、第２の電極部５５、絶縁リング６０および支持部材６５などの外周を覆うとともに、第１の電極部５０の先端側の面と接触して第１の電極部５０を加圧する加圧部材８０を備えている。
【００１５】
感圧素子の一例としての圧電素子１０は、圧電縦効果の圧電作用を示す圧電体を有している。圧電縦効果とは、圧電体の電荷発生軸と同一方向の応力印加軸に外力を作用させると、電荷発生軸方向の圧電体の表面に電荷が発生する作用をいう。本実施形態に係る圧電素子１０は、中心線方向が応力印加軸の方向となるようにハウジング３０内に収納されている。
【００１６】
次に、圧電素子１０に圧電横効果を利用した場合を例示する。圧電横効果とは、圧電体の電荷発生軸に対して直交する位置にある応力印加軸に外力を作用させると、電荷発生軸方向の圧電体の表面に電荷が発生する作用をいう。薄板状に薄く形成した圧電体を複数枚積層して構成しても良く、このように積層することで、圧電体に発生する電荷を効率的に集めてセンサの感度を上げることができる。圧電単結晶としては、圧電縦効果及び圧電横効果を有するランガサイト系結晶（ランガサイト、ランガテイト、ランガナイト、ＬＧＴＡ）や水晶、ガリウムリン酸塩などを使用することを例示することができる。なお、本実施形態の圧電素子１０には、圧電体としてランガサイト単結晶を用いている。
【００１７】
ハウジング３０は、先端側に設けられた第１のハウジング３１と、後端側に設けられた第２のハウジング３２と、を有する。
第１のハウジング３１は、基本的に円筒状の部材であり、外周面には、中心線方向の中央部に、外周面から突出する突出部３１５が周方向の全域に渡って設けられている。突出部３１５は、先端部に、先端側から後端側にかけて徐々に径が大きくなる傾斜面３１５ａを有し、後端部に、中心線方向に垂直な垂直面３１５ｂを有している。第１のハウジング３１の内周面は、加圧部材８０の外周面がしまりばめで嵌合（圧入）されるように、その内径が加圧部材８０の外周面の径以下となるように設定されている。
【００１８】
第２のハウジング３２は、内部に、先端側から後端側にかけて段階的に径が異なるように形成された円柱状の孔３２０が形成された筒状の部材であり、外部に、先端側から後端側にかけて段階的に径が異なるように形成された外周面３３０が設けられている。
孔３２０は、先端側から後端側にかけて順に形成された、第１の孔３２１と、第１の孔３２１の孔径よりも小さな孔径の第２の孔３２２と、第２の孔３２２の孔径よりも大きな孔径の第３の孔３２３と、第３の孔３２３の孔径よりも大きな孔径の第４の孔３２４と、第４の孔３２４の孔径よりも大きな孔径の第５の孔３２５と、から構成される。
第２のハウジング３２における先端部は、第１のハウジング３１における後端部にしまりばめで嵌合（圧入）されるように、第１の孔３２１の孔径は、第１のハウジング３１の外周面の径以下となるように設定されている。
【００１９】
外周面３３０は、先端側から後端側にかけて、第１の外周面３３１と、第１の外周面３３１の外径よりも大きな外径の第２の外周面３３２と、第２の外周面３３２の外径よりも大きな外径の第３の外周面３３３と、第３の外周面３３３の外径よりも大きな外径の第４の外周面３３４と、第４の外周面３３４の外径よりも小さな外径の第５の外周面３３５と、から構成される。第２の外周面３３２における先端部には、シリンダヘッド４の雌ねじ４ｅにねじ込まれる雄ねじ３３２ａが形成されている。第３の外周面３３３には、後述する第１のシール部材７１がすきまばめで嵌め込まれ、第３の外周面３３３の外径と第１のシール部材７１の内径との寸法公差は、例えば零から０．２ｍｍとなるように設定される。第４の外周面３３４における後端部は、周方向に等間隔に６つの面取りを有する正六角柱に形成されている。この正六角柱に形成された部位が、圧力検出装置５をシリンダヘッド４に締め付ける際に、締付用の工具が嵌め込まれ、工具に付与された回転力が伝達される部位となる。第５の外周面３３５における中心線方向の中央部には、外周面から凹んだ凹部３３５ａが全周に渡って形成されている。
【００２０】
また、第２のハウジング３２は、第４の孔３２４から第５の孔３２５への移行部分であり、第５の孔３２５における先端部には、信号処理部２００の後述する覆い部材２３の基板被覆部２３２における先端側の端面が突き当たる突当面３４０が設けられている。突当面３４０には、後述する信号処理部２００のプリント配線基板２１０の第２の接続ピン２１ｂが差し込まれるピン用凹部３４０ａが形成されている。
【００２１】
第１のハウジング３１および第２のハウジング３２は、燃焼室Ｃに近い位置に存在するため、少なくとも、−４０〜３５０〔℃〕の使用温度環境に耐える材料を用いて製作することが望ましい。具体的には、耐熱性の高いステンレス鋼材、例えば、ＪＩＳ規格のＳＵＳ６３０、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ４３０等を用いることが望ましい。
また、第１のハウジング３１と第２のハウジング３２とは、嵌合された後、さらに、溶接により強固に固定される。
【００２２】
ダイアフラムの一例としてのダイアフラムヘッド４０は、円筒状の円筒状部４１と、円筒状部４１の内側に形成された内側部４２と、を有している。
円筒状部４１における後端部は、ハウジング３０の第１のハウジング３１における先端部としまりばめで嵌合（圧入）されて、この先端部の内部に入り込む進入部４１ａと、この先端部における端面３１ａと同形状に形成され、嵌合された際にこの端面３１ａが突き当たる突当面４１ｂと、を有している。
内側部４２は、円筒状部４１における先端側の開口を塞ぐように設けられた円盤状の部材であり、後端側の面における中央部にはこの面から圧電素子１０側に突出する突出部４２ａが設けられている。また、内側部４２の、先端側の面における中央部にはこの面から圧電素子１０側に凹んだ凹部４２ｂが設けられている。
ダイアフラムヘッド４０の材料としては、高温でありかつ高圧となる燃焼室Ｃ内に存在するため、弾性が高く、かつ耐久性、耐熱性、耐触性等に優れた合金製であることが望ましく、例えばＳＵＨ６６０であることを例示することができる。
また、ダイアフラムヘッド４０と第１のハウジング３１とは、嵌合された後、さらに、溶接により強固に固定される。
【００２３】
第１の電極部５０は、基本的には円柱状の部材であり、先端側の外周には面取りが施されている。そして、先端側の端面がダイアフラムヘッド４０の内側部４２の突出部４２ａに設けられた端面４２ｃと、後端側の端面が圧電素子１０における先端側の面である第１電極部側端面１０ａとに接触するように配置される。外周面が加圧部材８０の内周面と接触すること、および／または先端側の端面がダイアフラムヘッド４０と接触することによって、圧電素子１０における先端部は、ハウジング３０と電気的に接続される。
第１の電極部５０は、燃焼室Ｃ内の圧力を圧電素子１０に作用させるものであり、圧電素子１０側の端面である後端側の端面が圧電素子１０の端面の全面を押すことが可能な大きさに形成される。また、第１の電極部５０は、ダイアフラムヘッド４０から受ける圧力を均等に圧電素子１０に作用させることができるように、中心線方向の両端面が平行（中心線方向に直交）かつ平滑面に形成されている。
第１の電極部５０の材質としては、ステンレスであることを例示することができる。
【００２４】
第２の電極部５５は、円柱状の部材であり、先端側の端面が圧電素子１０における後端側の端面に接触し、一方の端部側の端面が絶縁リング６０に接触するように配置される。第２の電極部５５における後端側の端面には、この端面から後端側に突出する円柱状の突出部５５ａが設けられている。突出部５５ａは、端面側の基端部と、この基端部の外径よりも小さな外径の先端部と、を有する。突出部５５ａの外径は絶縁リング６０の内径よりも小さく設定されるとともに、突出部５５ａの長さは絶縁リング６０の幅（中心線方向の長さ）よりも長く設定され、突出部５５ａの先端が絶縁リング６０から露出している。この第２の電極部５５は、第１の電極部５０との間で圧電素子１０に対して一定の荷重を加えるように作用する部材であり、圧電素子１０側の端面は、圧電素子１０の端面の全面を押すことが可能な大きさに形成されるとともに平行かつ平滑面に形成されている。第２の電極部５５の外径は加圧部材８０に設けられた孔の孔径よりも小さくなるように設定されており、第２の電極部５５の外周面と第１のハウジング３１の内周面との間には隙間がある。
第２の電極部５５の材質としては、ステンレスであることを例示することができる。
【００２５】
絶縁リング６０は、アルミナセラミックス等により形成された円筒状の部材であり、内径（中央部の孔径）は、第２の電極部５５の突出部５５ａの基端部の外径よりもやや大きく、外径は、加圧部材８０に設けられた孔の孔径と略同じに設定されている。第２の電極部５５は、突出部５５ａが絶縁リング６０の中央部の孔に挿入されて配置されることで、中心位置と加圧部材８０に設けられた孔の中心とが同じになるように配置される。
【００２６】
支持部材６５は、先端側から後端側にかけて、内部に、径が異なる複数の円柱状の孔６５０が形成され、外周面が同一の、筒状の部材である。
孔６５０は、先端側から後端側にかけて順に形成された、第１の孔６５１と、第１の孔６５１の孔径よりも大きな孔径の第２の孔６５２と、第２の孔６５２の孔径よりも大きな孔径の第３の孔６５３と、から構成される。第１の孔６５１の孔径は、第２の電極部５５の突出部５５ａの基端部の外径よりも大きく、この突出部５５ａが支持部材６５の内部まで露出する。第２の孔６５２の孔径は、後述する信号処理部２００の伝導部材２２における先端部の外径よりも大きい。第３の孔６５３の孔径は、後述する信号処理部２００の覆い部材２３の端部の外径よりも小さく、この覆い部材２３が第３の孔６５３を形成する周囲の壁にしまりばめで嵌合される。これにより、支持部材６５は、覆い部材２３の端部を支持する部材として機能する。
また、支持部材６５の外周面には、加圧部材８０に形成された後述する雌ねじ８１ａにねじ込まれる雄ねじ６５ａが形成されている。
【００２７】
コイルスプリング７０は、内径が、第２の電極部５５の突出部５５ａの先端部の外径以上で基端部の外径より小さく、外径が、後述する伝導部材２２の挿入孔２２ａの径よりも小さい。コイルスプリング７０の内側に第２の電極部５５の突出部５５ａの先端部が挿入されるとともに、コイルスプリング７０は、後述する伝導部材２２の挿入孔２２ａに挿入される。コイルスプリング７０の長さは、第２の電極部５５と伝導部材２２との間に圧縮した状態で介在することができる長さに設定されている。コイルスプリング７０の材質としては、弾性が高く、かつ耐久性、耐熱性、耐触性等に優れた合金を用いるとよい。また、コイルスプリング７０の表面に金メッキを施すことで、電気伝導を高めるとよい。
【００２８】
加圧部材８０は、第１の電極部５０、圧電素子１０、第２の電極部５５、絶縁リング６０および支持部材６５などの外周を覆う筒状の部位である筒状部８１と、この筒状部８１における先端部から内側へ延出する延出部８２とを有する。筒状部８１における後端側の内周面には、支持部材６５の外周面に形成された雄ねじ６５ａがねじ込まれる雌ねじ８１ａが形成されている。また、延出部８２には、ダイアフラムヘッド４０の内側部４２の突出部４２ａを通す貫通孔８２ａが形成されている。さらに、延出部８２の後端側には、端面８２ｂが形成されている。なお、筒状部８１は、円筒（丸筒）であっても角筒であってもよい。
なお、加圧部材８０の筒状部８１における後端部が円筒状である場合、その外周面が第１のハウジング３１の内周面に対してしまりばめで嵌合（圧入）されるように、その外径が第１のハウジング３１の内周面の径以上となるように設定されている。そして、加圧部材８０と第１のハウジング３１とは、嵌合された後、さらに、溶接により強固に固定される。
【００２９】
次に、信号処理部２００について説明する。
信号処理部２００は、センサ部１００の圧電素子１０から得られる微弱な電荷である電気信号を少なくとも増幅処理する回路基板部２１と、圧電素子１０に生じた電荷を回路基板部２１まで導く棒状の伝導部材２２と、これら回路基板部２１、伝導部材２２などを覆う覆い部材２３と、回路基板部２１などを密封するＯリング２４と、を備えている。
【００３０】
回路基板部２１は、センサ部１００の圧電素子１０から得られる微弱な電荷を増幅するための回路を構成する電子部品などが実装されたプリント配線基板２１０を有する。プリント配線基板２１０における先端部には、伝導部材２２における後端部を電気的に接続するための第１の接続ピン２１ａと、接地用および位置決め用の第２の接続ピン２１ｂとが半田付けなどにより接続されている。また、プリント配線基板２１０における後端部には、伝送ケーブル８の先端部のコネクタ８ａを介して制御装置６と電気的に接続する第３の接続ピン２１ｃが３つ、半田付けなどにより接続されている。３つの第３の接続ピン２１ｃは、それぞれ、制御装置６からプリント配線基板２１０への電源電圧およびＧＮＤ電圧の供給、プリント配線基板２１０から制御装置６への出力電圧の供給に用いられる。
【００３１】
伝導部材２２は、棒状（円柱状）の部材であり、先端部には、第２の電極部５５の突出部５５ａの先端部およびコイルスプリング７０が挿入される挿入孔２２ａが形成されている。伝導部材２２における後端部は、回路基板部２１のプリント配線基板２１０に、導線を介して電気的に接続される。伝導部材２２の材質としては、真鍮及びベリリウム銅等を例示することができる。この場合、加工性およびコストの観点からは、真鍮が望ましい。これに対して、電気伝導性、高温強度、信頼性の観点からは、ベリリウム銅が望ましい。
【００３２】
覆い部材２３は、伝導部材２２の外周を覆う伝導部材被覆部２３１と、回路基板部２１のプリント配線基板２１０の側面および下面を覆う基板被覆部２３２と、プリント配線基板２１０に接続された第３の接続ピン２１ｃの周囲を覆うとともに伝送ケーブル８の先端部のコネクタ８ａが嵌め込まれるコネクタ部２３３と、を有している。
【００３３】
伝導部材被覆部２３１は、中心線方向には、伝導部材２２における先端部を露出するように覆っており、先端側から後端側にかけて段階的に径が異なるように形成された外周面２４０が設けられている。外周面２４０は、先端側から後端側にかけて、第１の外周面２４１と、第１の外周面２４１の外径よりも大きな外径の第２の外周面２４２と、第２の外周面２４２の外径よりも大きな外径の第３の外周面２４３と、第３の外周面２４３の外径よりも大きな外径の第４の外周面２４４と、から構成される。第１の外周面２４１の径は、支持部材６５の第３の孔６５３の孔径よりも大きく、伝導部材被覆部２３１における先端部が、支持部材６５の第３の孔６５３を形成する周囲の壁にしまりばめで嵌合（圧入）される。第２の外周面２４２の径は、第２のハウジング３２の第２の孔３２２の孔径よりも小さく形成され、第３の外周面２４３の径は、第２のハウジング３２の第３の孔３２３の孔径よりも小さく形成されている。また、第４の外周面２４４の径は、第２のハウジング３２の第４の孔３２４の孔径よりも大きく、伝導部材被覆部２３１における後端部が、第２のハウジング３２の第４の孔３２４を形成する周囲の壁にしまりばめで嵌合（圧入）される。これらにより、伝導部材被覆部２３１は、少なくとも中心線方向の両端部が、それぞれ支持部材６５、第２のハウジング３２に接触することで支持されているので、劣悪な振動環境であっても、伝導部材２２に与える悪影響を抑制することができ、振動に起因して伝導部材２２の接続部の断線や接触不良等を回避することが可能になっている。
【００３４】
基板被覆部２３２は、基本的には円筒状の部位であり、その側面には、プリント配線基板２１０を内部に設置するための矩形の開口部２３２ａが設けられている。また、基板被覆部２３２における後端側には、ハウジング３０内およびプリント配線基板２１０設置部を密封するためのＯリング２４用のリング溝２３２ｂが形成されている。
【００３５】
コネクタ部２３３は、基板被覆部２３２における後端側の端面２３２ｃから突出し、プリント配線基板２１０に接続された３つの第３の接続ピン２１ｃの周囲を覆うように形成された薄肉の部位である。コネクタ部２３３における後端部は開口しており、内部に伝送ケーブル８の先端部に設けられたコネクタ８ａを受け入れることが可能になっている。また、コネクタ部２３３における後端側には、内部と外部とを連通する孔２３３ａが形成されており、伝送ケーブル８のコネクタ８ａに設けられたフックがこの孔２３３ａに引っ掛ることで、伝送ケーブル８のコネクタ８ａがコネクタ部２３３から脱落することが抑制される。
【００３６】
以上のように構成された覆い部材２３は、樹脂などの絶縁性を有する材料にて成形されている。また、覆い部材２３は、伝導部材２２、第１の接続ピン２１ａ、第２の接続ピン２１ｂおよび３つの第３の接続ピン２１ｃとともに一体成形されている。より具体的には、覆い部材２３は、これら伝導部材２２、第１の接続ピン２１ａ、第２の接続ピン２１ｂおよび３つの第３の接続ピン２１ｃをセットした金型に加熱した樹脂が押し込まれることで成形される。
【００３７】
信号処理部２００をユニット化するにあたっては、成形された覆い部材２３の開口部２３２ａから、回路基板部２１のプリント配線基板２１０を挿入し、基板被覆部２３２の中央部に設置する。プリント配線基板２１０を設置する際、板厚方向に貫通されたスルーホールに、第１の接続ピン２１ａ、第２の接続ピン２１ｂおよび３つの第３の接続ピン２１ｃの先端を通し、半田付けする。その後、第１の接続ピン２１ａと伝導部材２２とを導線を用いて接続する。また、覆い部材２３の基板被覆部２３２のリング溝２３２ｂにＯリング２４を装着する。Ｏリング２４は、フッ素系ゴムからなる周知のＯ状のリングである。
【００３８】
次に、保持部材３００について説明する。
保持部材３００は、薄肉円筒状の部材であり、後端部に内周面から内側に突出した突出部３００ａが設けられている。保持部材３００は、第２のハウジング３２に装着された後、外部から、第５の外周面３３５に設けられた凹部３３５ａに対応する部位が加圧されることでかしめられる。これにより、保持部材３００は、ハウジング３０に対して移動し難くなり、信号処理部２００がハウジング３０に対して移動することを抑制する。
【００３９】
以上のように構成された圧力検出装置５は、以下に示すように組み立てられる。
先ず、第１のハウジング３１の端面３１ａとダイアフラムヘッド４０の突当面４１ｂとが接触するまで、第１のハウジング３１とダイアフラムヘッド４０とを嵌合（圧入）する。その後、第１のハウジング３１の端面３１ａとダイアフラムヘッド４０の突当面４１ｂとが接触している部位に、中心線方向に交差する方向（例えば中心線方向に直交する方向）からレーザビームを照射して、第１のハウジング３１とダイアフラムヘッド４０とを溶接する。
【００４０】
その後、第１のハウジング３１における後端側の開口部から、加圧部材８０を、ダイアフラムヘッド４０の内側部４２の突出部４２ａにおける後端側の端面４２ｃと、加圧部材８０の延出部８２における後端側の端面８２ｂとが同一面上となるまで挿入する。その位置で、第１のハウジング３１と加圧部材８０とを固定する。固定方法としては、第１のハウジング３１の外部から、中心線方向に交差する方向（例えば中心線方向に直交する方向）から、レーザビームを照射することを例示することができる。レーザビームは、円周方向の全周に照射してもよいし、円周方向に等間隔に部分的に照射してもよい。
【００４１】
その後、加圧部材８０における後端側の開口部から、第１の電極部５０および圧電素子１０を挿入する。その後、第２の電極部５５の突出部５５ａの先端部にコイルスプリング７０を装着するとともに、第２の電極部５５の突出部５５ａに絶縁リング６０を挿入した状態の物を、第１のハウジング３１における後端側の開口部から挿入する。その後、支持部材６５を第１のハウジング３１における後端側の開口部から挿入する。
【００４２】
その後、圧電素子１０の感度および直線性を高めるべく、第１のハウジング３１内の圧電素子１０に、予め定められた荷重（予荷重）を作用させる。すなわち、支持部材６５の外周面に形成された雄ねじ６５ａを、加圧部材８０に形成された雌ねじ８１ａに対してねじ込んでいき、支持部材６５にて、絶縁リング６０、第２の電極部５５、圧電素子１０、第１の電極部５０を、後端側から先端側に向けて中心線方向に加圧する。そして、ダイアフラムヘッド４０の内側部４２における先端側の端面の中心線方向の変位量が、支持部材６５にて加圧する前から予め定められた長さとなるまで加圧する。そして、ダイアフラムヘッド４０の内側部４２の先端側の端面が予め定められた長さ変位したところで、支持部材６５と加圧部材８０とを固定する。固定方法としては、第１のハウジング３１の外部から、中心線方向に交差する方向（例えば中心線方向に直交する方向）に、レーザビームを照射することを例示することができる。レーザビームは、円周方向の全周に照射してもよいし、円周方向に等間隔にスポット的に照射してもよい。支持部材６５と加圧部材８０とを固定すると、第１のハウジング３１内の圧電素子１０に予荷重が作用した状態となる。
【００４３】
その後、第１のハウジング３１の突出部３１５の垂直面３１５ｂと第２のハウジング３２における先端側の端面とが接触するまで、第１のハウジング３１と第２のハウジング３２とを嵌合（圧入）する。その後、第１のハウジング３１の垂直面３１５ｂと第２のハウジング３２の端面とが接触している部位に、中心線方向に交差する方向（例えば中心線方向に直交する方向）からレーザビームを照射して、第１のハウジング３１と第２のハウジング３２とを溶接する。
【００４４】
その後、信号処理部２００の覆い部材２３の基板被覆部２３２における先端側の端面が第２のハウジング３２の突当面３４０に突き当たるまで、信号処理部２００を、第２のハウジング３２における後端側の開口部から挿入する。その際、信号処理部２００の伝導部材２２の挿入孔２２ａに、第２の電極部５５の突出部５５ａに装着されたコイルスプリング７０が入り込むとともに、第２のハウジング３２の突当面３４０に形成されたピン用凹部３４０ａに、プリント配線基板２１０に接続された第２の接続ピン２１ｂが入り込むように、信号処理部２００を挿入する。
【００４５】
その後、信号処理部２００の基板被覆部２３２の端面２３２ｃに保持部材３００の突出部３００ａが突き当たるまで、保持部材３００を、後端側から信号処理部２００に嵌め込んでいく。信号処理部２００の端面２３２ｃと保持部材３００の突出部３００ａとが接触した状態で、保持部材３００における、第２のハウジング３２の第５の外周面３３５の凹部３３５ａに対応する部位が加圧されることで、保持部材３００が第２のハウジング３２にかしめられる。これにより、保持部材３００がハウジング３０に対して移動し難くなり、信号処理部２００がハウジング３０に対して移動し難くなる。
このようにして圧力検出装置５は組み立てられる。
【００４６】
ここで、上述した圧力検出装置５における電気的な接続構造について説明する。
先ず、圧電素子１０における先端側の端面（第１電極部側端面１０ａ）は、金属製の第１の電極部５０、およびダイアフラムヘッド４０または加圧部材８０を介して、金属製のハウジング３０と電気的に接続される。
【００４７】
これに対し、圧電素子１０における後端側の端面は、金属製の第２の電極部５５と電気的に接続され、第２の電極部５５は、突出部５５ａを介して金属製のコイルスプリング７０と電気的に接続される。また、コイルスプリング７０は、金属製の伝導部材２２と電気的に接続され、伝導部材２２は、プリント配線基板２１０と電気的に接続される。他方、第２の電極部５５の突出部５５ａの外径は支持部材６５の第１の孔６５１の孔径よりも小さく、伝導部材２２における先端部の外径は支持部材６５の第２の孔６５２の孔径よりも小さい。つまり、第２の電極部５５、コイルスプリング７０および伝導部材２２は、支持部材６５と電気的に接続されていない。それゆえ、第２の電極部５５からコイルスプリング７０および伝導部材２２を介してプリント配線基板２１０へと至る電荷信号の伝送経路は、それぞれが絶縁体で構成された、絶縁リング６０および覆い部材２３によって、金属製のハウジング３０と電気的に絶縁される。
【００４８】
以上のように構成された圧力検出装置５をシリンダヘッド４に装着する際には、センサ部１００のダイアフラムヘッド４０の方から先にシリンダヘッド４に形成された連通孔４ａに挿入していき、ハウジング３０の第２のハウジング３２に形成された雄ねじ３３２ａをシリンダヘッド４の連通孔４ａに形成された雌ねじ４ｅにねじ込む。
圧力検出装置５をシリンダヘッド４に装着することにより、ハウジング３０は、金属製のシリンダヘッド４と電気的に接続される。このシリンダヘッド４は、電気的に接地された状態にあるため、圧力検出装置５では、ハウジング３０を介して、圧電素子１０における先端部が接地される。ここで、この例では、圧電素子１０の側面とハウジング３０の内壁面とが接触し得る構造になっているが、圧電素子１０が絶縁体で構成されていることにより抵抗値が極めて大きいことと、圧力変化に伴って発生する電荷が、圧電素子１０における中心線方向の両端部に発生することとにより、特に問題とはならない。
【００４９】
そして、内燃機関１の作動時には、センサ部１００のダイアフラムヘッド４０の内側部４２に、燃焼室Ｃ内で発生した燃焼圧が付与する。ダイアフラムヘッド４０に付与された燃焼圧が、第１の電極部５０と第２の電極部５５とによって挟まれた圧電素子１０に作用することにより、この圧電素子１０に燃焼圧に応じた電荷が生じる。そして、圧電素子１０に生じた電荷は、第２の電極部５５、コイルスプリング７０、伝導部材２２を介して回路基板部２１に付与される。回路基板部２１に付与された電荷は、回路基板部２１にて増幅処理がなされた後、その電荷に応じた電圧が、回路基板部２１に接続された第３の接続ピン２１ｃ、伝送ケーブル８を介して制御装置６に供給される。
【００５０】
次に、図１乃至図５を参照して、シール部材７について説明する。
シール部材７は、シリンダヘッド４における連通孔４ａを形成する周囲の壁のセンサ部１００締め付け方向の端面と、圧力検出装置５のハウジング３０の第３の外周面３３３と第４の外周面３３４とを接続する接続面との間に配置された第１のシール部材７１を有している。また、シール部材７は、シリンダヘッド４の連通孔４ａの傾斜部４ｃと、圧力検出装置５のハウジング３０の第１のハウジング３１の傾斜面３１５ａとの間に配置された第２のシール部材７２を有している。
【００５１】
第１のシール部材７１は、銅、ステンレス、アルミなどの金属板を打ち抜いて成形されたメタルガスケットであることを例示することができる。断面形状はＳ字状、または略矩形に形成されているとよい。第１のシール部材７１は、圧力検出装置５がシリンダヘッド４に締め付けられる際に、締め付け方向の力を受けて、締め付け方向の長さが短くなるように変形し、燃焼室Ｃ内の気密性を高める。すなわち、圧力検出装置５がシリンダヘッド４にねじ込まれることで、第１のシール部材７１とシリンダヘッド４との間に生じる接触圧力、および第１のシール部材７１と圧力検出装置５のハウジング３０との間に生じる接触圧力が高まる。これにより、第１のシール部材７１とシリンダヘッド４との間、および第１のシール部材７１と圧力検出装置５のハウジング３０との間から燃焼ガスが漏れることが抑制される。
【００５２】
第２のシール部材７２は、材質がフッ素ゴム（ＦＫＭ）の、断面が円形であるリング状のＯリングであることを例示することができる。第２のシール部材７２は、圧力検出装置５がシリンダヘッド４に締め付けられる際に、シリンダヘッド４の連通孔４ａの傾斜部４ｃと、ハウジング３０の第１のハウジング３１の傾斜面３１５ａとにより、締め付け方向とは交差する方向の力を受けて変形し、燃焼室Ｃ内の気密性を高める。すなわち、圧力検出装置５がシリンダヘッド４にねじ込まれることで、第２のシール部材７２とシリンダヘッド４の連通孔４ａの傾斜部４ｃとの間に生じる接触圧力、および第２のシール部材７２とハウジング３０の第１のハウジング３１の傾斜面３１５ａとの間に生じる接触圧力が高まる。これにより、第２のシール部材７２とシリンダヘッド４との間、および第２のシール部材７２と圧力検出装置５のハウジング３０との間から燃焼ガスが漏れることが抑制される。
【００５３】
図６（ａ）は、内燃機関１に装着された圧力検出装置５による筒内圧力の測定結果の一例を示す図である。また、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示す筒内圧力の測定結果から得た圧力誤差の算出結果の一例を示す図である。
【００５４】
まず、図６（ａ）は、内燃機関１のクランク角θと圧力検出装置５により測定される燃焼室Ｃ内の筒内圧力（実機筒内圧力Ｐｅと称する）との関係を示している。ここで、測定時の内燃機関１の回転数は３２００［ｒｐｍ］である。
【００５５】
例えば４サイクルの内燃機関１では、クランクが２回転（７２０°）する間に、吸気→圧縮→燃焼（膨張）→排気の４行程が行われる。そして、吸気行程では、実機筒内圧力Ｐｅがほぼ０［ＭＰａ］となる。また、吸気行程に続く圧縮行程では、実機筒内圧力Ｐｅが急激に（この例では、３．５［ＭＰａ］〜５．０［ＭＰａ］程度まで）増大する。さらに、吸気行程に続く着火後の燃焼（膨張）行程では、実機筒内圧力Ｐｅが急激に減少する。そして、燃焼（膨張）行程に続く最後の排気行程では、実機筒内圧力Ｐｅがほぼ０［ＭＰａ］に戻る。
【００５６】
ここで、図６（ａ）には、３つ（クランク６回転分）のパターン（実線、破線、一点鎖線）を例示している。そして、図６（ａ）より、燃焼（膨張）行程および排気行程では、吸気行程および圧縮行程に比べて、実機筒内圧力Ｐｅのばらつき（ずれ）が大きくなっていることがわかる。
【００５７】
また、図６（ｂ）は、内燃機関１のクランク角θと圧力誤差（実機圧力誤差ΔＰｅと称する）との関係を示している。
ここで、実機圧力誤差ΔＰｅは、圧力検出装置５により測定される燃焼室Ｃ内の筒内圧力（図６（ａ）に示す実機筒内圧力Ｐｅ）と、基準として用いられる基準センサ（図示せず）により測定される同じ燃焼室Ｃ内の筒内圧力（基準筒内圧力Ｐｓ）との差分（ΔＰｅ＝Ｐｅ−Ｐｓ）として表される。ここで、本実施の形態の圧力検出装置５は、冷却機構を備えていないが、図示しない基準センサは、水冷による冷却機構を備えている。そして、この例では、燃焼（膨張）行程における実機圧力誤差ΔＰｅのばらつきＲの最大値が、ほぼ０．６［ＭＰａ］となっている。
【００５８】
ここで、図６（ｂ）に示す、燃焼（膨張）行程における実機圧力誤差ΔＰｅには、内燃機関１の燃焼に伴う熱が圧力検出装置５に加えられることで、圧力検出装置５に生じた構造的な歪みに起因するものが含まれる。このように、燃焼による熱の影響によって、圧力検出装置５の出力が歪む現象を、「熱歪」と呼ぶ。ただし、この例では、内燃機関１を動作させながら圧力検出装置５で測定した実機筒内圧力Ｐｅ（および基準筒内圧力Ｐｓ）から実機圧力誤差ΔＰｅを得ているため、実機圧力誤差ΔＰｅには、上記熱歪に起因するものだけでなく、例えば内燃機関１の燃焼のばらつきに起因する誤差や、内燃機関１側に起因する他の誤差（各種センサを用いたフィードバック制御等に伴う状態変化に起因する誤差等）が含まれ得る。このように、燃焼（膨張）行程における実機圧力誤差ΔＰｅには、上述した複数の誤差要因が重畳された状態で含まれることから、そのばらつきＲが大きくなってしまうものと考えられる。
【００５９】
また、この例では、上述したように測定時の内燃機関１の回転数が３２００［ｒｐｍ］に設定されているが、燃焼（膨張）行程における実機圧力誤差ΔＰｅのばらつきＲの最大値の発生タイミングは、クランク角θが０°（燃焼開始）から２００°（燃焼終了）に至る時間（１０．４ｍｓｅｃ）よりも早く、しかも、クランク角θが０°（燃焼開始）から１００°に至る時間（５．２ｍｓｅｃ）よりも早い。すなわち、内燃機関１に装着された圧力検出装置５における熱歪は、発生から消滅に至る期間が、ｍｓｅｃオーダー（最大でも１０〜２０ｍｓｅｃ程度）であるものと推定される。
【００６０】
図７は、本実施の形態の圧力検出装置５における熱歪の発生メカニズムを説明するための図である。
ある程度冷えた状態のダイアフラムヘッド４０に対し、その表面すなわち凹部４２ｂの形成面（表面と呼ぶ）側から熱Ｈが加えられると、ダイアフラムヘッド４０の表面が、熱膨張によって図中に破線で示すように開く方向に変形する。これに伴ってダイアフラムヘッド４０の内側部４２の中央が表面側に引っ張られ、ダイアフラムヘッド４０の内側部４２の中央の裏面側に位置する突出部４２ａの端面４２ｃと圧電素子１０との間にかかる荷重（予荷重）が低下する。その結果、圧電素子１０からの出力は、予荷重が低下した分、本来出力すべき値よりも低下してしまうことになる。なお、反対に、ダイアフラムヘッド４０の表面に凸部が設けられている場合は、ダイアフラムヘッド４０の熱膨張に伴い、圧電素子１０からの出力が、本来出力すべき値よりも増加してしまうこともある。
【００６１】
本発明者は、圧力検出装置５で発生する熱歪を、内燃機関１に取り付けない状態で評価する手法について検討を行った。そして、本発明者は、圧力検出装置５のダイアフラムヘッド４０に対し、ｍｓｅｃオーダーで熱を供給することが可能な熱供給源としてレーザに着目し、以下に説明する熱歪測定装置を開発した。
【００６２】
図８は、本実施の形態の熱歪測定装置５００の全体構成を示す図である。
この熱歪測定装置５００は、圧力検出装置５を保持するＸＹＺステージ５１０と、ＸＹＺステージ５１０に保持された圧力検出装置５にレーザビームＢｍ（レーザ光の一例）を照射するレーザ照射部５２０と、ＸＹＺステージ５１０を覆うカバー５３０と、ＸＹＺステージ５１０に保持された圧力検出装置５から送られてくる出力信号（データ）を解析するデータ解析部５４０とを備えている。
【００６３】
まず、取付部の一例としてのＸＹＺステージ５１０は、設置対象（例えば実験台）等に積載される台座５１１と、台座５１１の上面に取り付けられ、台座５１１に対して水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動自在に設けられるＸＹステージ５１２と、台座５１１の上面に取り付けられ、台座５１１に対して垂直方向（Ｚ方向）に移動自在に設けられるＺステージ５１３とを有する。
【００６４】
また、照射部の一例としてのレーザ照射部５２０は、レーザ発振によりレーザビームＢｍを出力するレーザ発振器５２１と、レーザ発振器５２１に接続され、レーザ発振器５２１から出力されるレーザビームＢｍを導く光ファイバケーブル５２２と、光ファイバケーブル５２２に接続され、光ファイバケーブル５２２によって導かれたレーザビームＢｍを外部に射出するレーザ射出部５２３とを有する。
【００６５】
ここで、圧力検出装置５は、ＸＹＺステージ５１０におけるＸＹステージ５１２に取り付けられ、レーザ照射部５２０におけるレーザ射出部５２３は、ＸＹＺステージ５１０におけるＺステージ５１３に取り付けられる。このとき、圧力検出装置５は、ダイアフラムヘッド４０が鉛直上方を向くようにＸＹステージ５１２に取り付けられ、レーザ射出部５２３は、レーザビームＢｍの射出面が鉛直下方を向くようにＺステージ５１３に取り付けられる。
【００６６】
ここで、発振器の一例としてのレーザ発振器５２１は、照射対象となる圧力検出装置５のダイアフラムヘッド４０が吸収する波長のレーザビームＢｍを出力できるものであればよく、各種レーザ（固体レーザ、液体レーザ、気体レーザ、半導体レーザ）を使用できる。なお、この例では、レーザ発振器５２１として、半導体レーザを用いている。
【００６７】
また、導光部の一例としての光ファイバケーブル５２２としては、コアの形状が矩形を呈する方形ファイバが用いられている。本実施の形態において、レーザ発振器５２１から出力されたレーザビームＢｍのビームプロファイルはガウシアンパターンであるが、方形ファイバからなる光ファイバケーブル５２２を通過することにより、レーザビームＢｍの強度分布にムラが生じ難いトップハットパターン（矩形）を呈するものとなる。
【００６８】
なお、光ファイバケーブル５２２として、方形ファイバではなく、コアの形状が円形を呈する円形ファイバを用いてもよい。ただし、この場合には、円形ファイバからなる光ファイバケーブル５２２を通過したレーザビームＢｍのビームプロファイルはガウシアンパターン（円形）となり、光ファイバケーブル５２２として上記方形ファイバを用いた場合と比べて、レーザビームＢｍの強度分布にムラが生じやすくなる。
【００６９】
さらに、射出部の一例としてのレーザ射出部５２３は、レーザビームＢｍを、圧力検出装置５に対して適切な範囲にて照射するための光学系を内蔵している。なお、レーザ射出部５２３の詳細な構成については後述する。
【００７０】
カバー５３０は、圧力検出装置５およびレーザ射出部５２３を装着したＸＹＺステージ５１０全体を覆う。また、カバー５３０は、ＸＹＺステージ５１０に対する圧力検出装置５の取り付けおよび取り外し時に、ＸＹＺステージ５１０に対して着脱できるようになっている。そして、カバー５３０は、例えば透明なアクリル樹脂等で構成されており、ＸＹＺステージ５１０に対してカバー５３０を装着した状態で、カバー５３０の外部から内部に配置されたＸＹＺステージ５１０等の観察を可能としている。
【００７１】
算出部の一例としてのデータ解析部５４０は、圧力検出装置５から送られてくる出力信号（電圧値）を順次蓄積して保存するデータロガー５４１と、データロガー５４１から取得した出力信号（電圧値）を圧力に変換することで、レーザビームＢｍの照射に起因する圧力の変化量（以下では、照射圧力変化量ΔＰｉと称する）を算出するＰＣ（パーソナルコンピュータ）５４２とを備えている。
【００７２】
図９は、熱歪測定装置５００におけるレーザ射出部５２３の構成を示す図である。
本実施の形態のレーザ射出部５２３は、光ファイバケーブル５２２におけるレーザビームＢｍの射出面と対向して配置され、光ファイバケーブル５２２から射出されることに伴ってビーム径が拡大するレーザビームＢｍを平行光に変換するコリメータレンズ５２３ａと、コリメータレンズ５２３ａの下方でコリメータレンズ５２３ａと対向して配置され、コリメータレンズ５２３ａを通過したレーザビームＢｍ（平行光）を焦点距離ｆにて焦点Ｆに集光する集光レンズ（ここでは平凸レンズ）５２３ｂとを備えている。また、レーザ射出部５２３は、レーザビームＢｍの射出面側から下方を撮影するビデオカメラ（図示せず）を有している。
【００７３】
図１０（ａ）、（ｂ）は、熱歪測定装置５００におけるレーザビームＢｍと圧力検出装置５のダイアフラムヘッド４０との関係を説明するための図である。
【００７４】
図１０（ａ）は、ＸＹＺステージ５１０の側方（Ｙ方向上流側）からみた、レーザ射出部５２３の集光レンズ５２３ｂと、レーザビームＢｍと、圧力検出装置５のダイアフラムヘッド４０との関係を示している。
【００７５】
本実施の形態では、熱歪測定装置５００で圧力検出装置５の熱歪を測定する際に、レーザ射出部５２３の集光レンズ５２３ｂから圧力検出装置５のダイアフラムヘッド４０に至る照射距離Ｌを、集光レンズ５２３ｂの焦点距離ｆよりも大きく設定している（Ｌ＞ｆ）。ここで、本実施の形態における照射距離Ｌは、焦点距離ｆと焦点はずし距離ｆｄとの和で表される（Ｌ＝ｆ＋ｆｄ）。
【００７６】
また、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＸＢ−ＸＢ部の断面図であり、ＸＹＺステージ５１０の上方（Ｚ方向下流側）からみた、レーザビームＢｍと、圧力検出装置５のダイアフラムヘッド４０との関係を示している。
【００７７】
圧力検出装置５におけるダイアフラムヘッド４０の外径（直径）は、機種によってそれぞれ異なるが、通常は、例えば４ｍｍ〜１０ｍｍの範囲から選択される。ここで、本実施の形態では、ダイアフラムヘッド４０に照射されるレーザビームＢｍの照射領域Ｄの外径が、ダイアフラムヘッド４０の外径よりも大きくなるように、照射距離Ｌ（焦点はずし距離ｆｄ）が決定される。そして、決定された照射距離Ｌに基づき、圧力検出装置５に対するレーザ射出部５２３の、Ｚ方向の位置決めが行われる。
【００７８】
また、本実施の形態では、ダイアフラムヘッド４０の表面の全域がレーザビームＢｍの照射領域Ｄに含まれるように、レーザ射出部５２３に対する圧力検出装置５の、Ｘ方向およびＹ方向の位置決めが行われる。
【００７９】
次に、本実施の形態の熱歪測定装置５００を用いた、圧力検出装置５の熱歪測定の手順について説明を行う。なお、ここでは、初期状態において、ＸＹＺステージ５１０のＺステージ５１３に、レーザ照射部５２０のレーザ射出部５２３が取り付けられており、また、ＸＹＺステージ５１０がカバー５３０で覆われているものとする。
【００８０】
（１）熱歪測定装置５００に対する圧力検出装置５の取り付け
まず、熱歪測定装置５００においてＸＹＺステージ５１０を覆うカバー５３０が取り外される。続いて、ＸＹＺステージ５１０におけるＸＹステージ５１２に、測定対象となる圧力検出装置５が取り付けられる。このとき、圧力検出装置５におけるダイアフラムヘッド４０が上方を向くように、ＸＹステージ５１２に対して圧力検出装置５が装着される。また、圧力検出装置５に設けられた伝送ケーブル８の出力端が、データロガー５４１に接続される。
【００８１】
（２）レーザ射出部５２３に対する圧力検出装置５のＸＹ方向位置決め
次に、圧力検出装置５が取り付けられたＸＹステージ５１２を、台座５１１上において、Ｘ方向または−Ｘ方向、および、Ｙ方向または−Ｙ方向に移動させることで、レーザ射出部５２３の直下に圧力検出装置５のダイアフラムヘッド４０を位置させるＸＹ方向位置決めが行われる。このとき、レーザ射出部５２３に設けられたビデオカメラ（図示せず）による撮影画像を参照しつつ、ＸＹ方向の位置決めを行うとよい。そして、ＸＹ方向の位置決めが完了すると、圧力検出装置５は、ＸＹステージ５１２を介して台座５１１上に固定される。
【００８２】
（３）圧力検出装置５に対するレーザ射出部５２３のＺ方向位置決め
続いて、レーザ射出部５２３が取り付けられたＺステージ５１３を、台座５１１上において、Ｚ方向または−Ｚ方向に移動させることで、レーザ射出部５２３に設けられた集光レンズ５２３ｂから圧力検出装置５のダイアフラムヘッド４０に至る距離を、照射距離Ｌに設定するＺ方向位置決めが行われる。このとき、レーザ射出部５２３に設けられたビデオカメラ（図示せず）による撮影画像を参照しつつ、Ｚ方向の位置決めを行うとよい。ここで、照射距離Ｌは、図１０等を用いて説明したように、ダイアフラムヘッド４０に照射されるレーザビームＢｍの照射領域Ｄの外径が、ダイアフラムヘッド４０の外径よりも大きくなるように決められる。そして、Ｚ方向の位置決めが完了すると、レーザ射出部５２３は、Ｚステージ５１３を介して台座５１１上に固定される。
【００８３】
以上により、熱歪測定装置５００における、レーザ射出部５２３および圧力検出装置５の位置決めが完了する。そして、レーザ射出部５２３および圧力検出装置５の位置決めが完了した状態で、ＸＹＺステージ５１０が、カバー５３０にて覆われる。
【００８４】
（４）レーザビームＢｍの照射およびデータ収集（照射工程の一例）
それから、レーザ発振器５２１が操作され、レーザ発振器５２１からレーザビームＢｍが出力される。このレーザビームＢｍは、レーザ発振器５２１から光ファイバケーブル５２２を介してレーザ射出部５２３に出力され、レーザ射出部５２３から圧力検出装置５のダイアフラムヘッド４０に照射される。この間、レーザ発振器５２１から出力されたガウシアンパターンを呈するレーザビームＢｍは、方形ファイバからなる光ファイバケーブル５２２を通過することにより、その強度分布がトップハットパターンを呈するようになる。また、光ファイバケーブル５２２を通過することでトップハットパターンを呈するようになったレーザビームＢｍは、レーザ射出部５２３にて、コリメータレンズ５２３ａを通過することで平行光とされた後、集光レンズ５２３ｂを通過することで集光される。ただし、本実施の形態では、集光レンズ５２３ｂを通過したレーザビームＢｍが、焦点距離ｆよりも長い照射距離Ｌにて圧力検出装置５のダイアフラムヘッド４０に照射されることになる。その結果、ダイアフラムヘッド４０における表面の全域に、強度が均一な状態に近いレーザビームＢｍが照射される。そして、圧力検出装置５は、レーザビームＢｍの照射に伴って発生した出力信号（電圧値）を、伝送ケーブル８を介してデータロガー５４１に送信する。また、データロガー５４１は、圧力検出装置５から受け取った出力信号を順次蓄積して保存していく。
【００８５】
（５）データ解析（算出工程の一例）
ＰＣ５４２は、データロガー５４１から出力信号（電圧値）を取得する。また、ＰＣ５４２は、取得した出力信号を圧力に変換することで、照射圧力変化量ΔＰｉを算出する。
【００８６】
（６）熱歪測定装置５００からの圧力検出装置５の取り外し
上記（４）に示すレーザビームＢｍの照射およびデータ収集が終了した後（上記（５）に示すデータ解析が終了した後でもよい）、熱歪測定装置５００においてＸＹＺステージ５１０を覆うカバー５３０が取り外される。続いて、ＸＹＺステージ５１０におけるＸＹステージ５１２から、測定対象となっていた圧力検出装置５が取り外される。また、圧力検出装置５に設けられた伝送ケーブル８の出力端が、データロガー５４１から取り外される。
以上により、熱歪測定装置５００を用いた、圧力検出装置５の熱歪測定が完了する。
【００８７】
図１１は、４つの異なる圧力検出装置５を、共通の内燃機関１に装着して得られた実機圧力誤差ΔＰｅの算出結果を示す図である。ここで、図１１（ａ）は圧力検出装置５として第１サンプルＳ１を用いた場合を、図１１（ｂ）は圧力検出装置５として第２サンプルＳ２を用いた場合を、図１１（ｃ）は圧力検出装置５として第３サンプルＳ３を用いた場合を、図１１（ｄ）は圧力検出装置５として第４サンプルＳ４を用いた場合を、それぞれ示している。
【００８８】
そして、図１１（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、内燃機関１のクランク角θと圧力検出装置５における実機圧力誤差ΔＰｅとの関係を示している。ここで、図１１（ａ）〜（ｄ）には、それぞれ、３つ（クランク６回転分）のパターン（実線、破線、一点鎖線）を例示している。なお、測定時の内燃機関１の回転数は、図６に示す例と同じく３２００［ｒｐｍ］である。
【００８９】
まず、図１１（ａ）より、第１サンプルＳ１では、クランク角θが０°となった以降（燃焼（膨張）行程および排出行程）における実機圧力誤差ΔＰｅが小さいことがわかる。また、図１１（ｂ）より、第２サンプルＳ２では、燃焼（膨張）行程および排出行程における実機圧力誤差ΔＰｅがやや小さい（第１サンプルＳ１より大きい）ことがわかる。さらに、図１１（ｃ）より、第３サンプルＳ３では、燃焼（膨張）行程および排出行程における実機圧力誤差ΔＰｅがやや大きい（第２サンプルＳ２より大きい）ことがわかる。さらにまた、図１１（ｄ）より、第４サンプルＳ４では、燃焼（膨張）行程および排出行程における実機圧力誤差ΔＰｅが大きい（第３サンプルＳ３よりも大きい）ことがわかる。
【００９０】
このように、内燃機関１を用いて得られる圧力検出装置５の実機圧力誤差ΔＰｅは、第１サンプルＳ１、第２サンプルＳ２、第３サンプルＳ３、第４サンプルＳ４の順で大きくなっていることが理解される。すなわち、圧力検出装置５の耐久性と実機圧力誤差ΔＰｅとは、相反する関係にあり、耐久性を向上させようとすると実機圧力誤差ΔＰｅが増大することになり、実機圧力誤差ΔＰｅを減少させようとすると耐久性が低下することになる。
【００９１】
図１２は、４つの異なる圧力検出装置５を、共通の熱歪測定装置５００に装着して得られた照射圧力変化量ΔＰｉの測定結果を示す図である。ここで、図１２（ａ）は圧力検出装置５として第１サンプルＳ１を用いた場合を、図１２（ｂ）は圧力検出装置５として第２サンプルＳ２を用いた場合を、図１２（ｃ）は圧力検出装置５として第３サンプルＳ３を用いた場合を、図１２（ｄ）は圧力検出装置５として第４サンプルＳ４を用いた場合を、それぞれ示している。
【００９２】
そして、図１２（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、（経過）時間ｔと圧力検出装置５における照射圧力変化量ΔＰｉとの関係を示している。ここで、図１２（ａ）〜（ｄ）には、それぞれ、１つ（１回分）のパターン（実線）を例示している。なお、熱歪測定装置５００における測定条件は、以下の通りとした。
【００９３】
［測定条件］
・レーザビームＢｍの発振波長：９８０ｎｍ
・光ファイバケーブル５２２のコアのサイズ：０．６ｍｍ×０．６ｍｍ（正方形）
・集光レンズ５２３ｂの焦点距離ｆ：６０ｍｍ
・照射距離Ｌ：７５ｍｍ
・レーザビームＢｍの照射時間：１０ｍｓｅｃ（１回）
・レーザビームＢｍの出力（レーザ出力と称する）：１０Ｗ
【００９４】
まず、図１２（ａ）より、第１サンプルＳ１では、レーザビームＢｍの照射後における照射圧力変化量ΔＰｉが小さいことがわかる。また、図１２（ｂ）より、第２サンプルＳ２では、レーザビームＢｍの照射後における照射圧力変化量ΔＰｉがやや小さい（第１サンプルＳ１より大きい）ことがわかる。さらに、図１２（ｃ）より、第３サンプルＳ３では、レーザビームＢｍの照射後における照射圧力変化量ΔＰｉがやや大きい（第２サンプルＳ２より大きい）ことがわかる。さらにまた、図１２（ｄ）より、第４サンプルＳ４では、レーザビームＢｍの照射後における照射圧力変化量ΔＰｉが大きい（第３サンプルＳ３より大きい）ことがわかる。
【００９５】
このように、熱歪測定装置５００を用いて得られる圧力検出装置５の照射圧力変化量ΔＰｉは、第１サンプルＳ１、第２サンプルＳ２、第３サンプルＳ３、第４サンプルＳ４の順で大きくなっていることが理解される。
【００９６】
図１３は、レーザ出力を一定としたときの、実機圧力誤差ΔＰｅと照射圧力変化量ΔＰｉとの相関を説明するための図である。ここで、図１３は、図１１に示す実機圧力誤差ΔＰｅと、図１２に示す照射圧力変化量ΔＰｉとの関係を示している。したがって、図１３は、第１サンプルＳ１〜第４サンプルＳ４のそれぞれに対するレーザ出力を１０Ｗに設定した場合における、実機圧力誤差ΔＰｅと照射圧力変化量ΔＰｉとの相関を示すものとなっている。なお、ここでは、すべての測定条件を同じに設定した。
【００９７】
図１３より、レーザ出力を１０Ｗで一定とした場合、実機圧力誤差ΔＰｅと照射圧力変化量ΔＰｉとは、ほぼ正比例の関係にあることがわかる。ここで、図１３に示す結果から相関係数を求めたところ、相関係数の値は０．９９９となり、実機圧力誤差ΔＰｅと照射圧力変化量ΔＰｉとには、強い正の相関が存在することが判明した。
【００９８】
図１４は、レーザ出力を異ならせたときの、実機圧力誤差ΔＰｅと照射圧力変化量ΔＰｉとの相関を説明するための図である。より具体的に説明すると、図１４は、上記図１３とは異なり、第１サンプルＳ１〜第４サンプルＳ４のそれぞれに対するレーザ出力を、１０Ｗ、２５Ｗ、３０Ｗおよび４０Ｗに設定した場合における、実機圧力誤差ΔＰｅと照射圧力変化量ΔＰｉとの相関を示すものとなっている。なお、第４サンプルＳ４については、レーザ出力を３０Ｗに設定した場合および４０Ｗに設定した場合に、圧力検出装置５からの出力が許容範囲を超えてしまい、測定が行えなかった。
【００９９】
ここで、熱歪測定装置５００を用いた照射圧力変化量ΔＰｉの測定において、圧力検出装置５の出力は、レーザビームＢｍのレーザ出力と照射距離Ｌ（焦点Ｆからの距離である焦点はずし距離ｆｄ）とから求まる、ダイアフラムヘッド４０に照射されるレーザビームＢｍの強度（光エネルギーの密度）によって決まる。なお、本実施の形態では、レーザビームＢｍの照射に伴って、ダイアフラムヘッド４０が融けたり、ダイアフラムヘッド４０の表面にレーザ痕が形成されたりしないように、レーザビームＢｍの照射条件が決定されている。
【０１００】
図１４より、レーザ出力を１０Ｗ、２５Ｗ、３０Ｗ、４０Ｗのそれぞれで一定とした場合、実機圧力誤差ΔＰｅおよび照射圧力変化量ΔＰｉは、ほぼ正比例の関係にあることがわかる。ここで、図１４に示す結果から相関係数を求めたところ、最も相関が弱いレーザ出力４０Ｗの条件においても、相関係数の値は０．９を超えるものとなり、実機圧力誤差ΔＰｅと照射圧力変化量ΔＰｉとには、やはり強い正の相関が存在することが確認された。
【０１０１】
そして、図１３および図１４に示す結果から、図８に示す熱歪測定装置５００を用いて圧力検出装置５の照射圧力変化量ΔＰｉを測定することで、この圧力検出装置５を内燃機関１に装着した状態で得られる実機圧力誤差ΔＰｅを推定できることがわかる。ここで、照射圧力変化量ΔＰｉは、圧力検出装置５にレーザビームＢｍを照射することによって得られるものであることから、実機圧力誤差ΔＰｅとは異なり、内燃機関１の燃焼のばらつきや、その他内燃機関１側に起因する誤差要因を含まないものとなる。その結果、照射圧力変化量ΔＰｉを測定することで、圧力検出装置５の構成そのものに起因する熱歪の状態を評価することが可能になる。
【０１０２】
特に、本実施の形態では、圧力検出装置５に設けられたダイアフラムヘッド４０の表面側にレーザビームＢｍを照射する、という手法を採用することで、内燃機関１に取り付けられた圧力検出装置５において、燃焼室Ｃからダイアフラムヘッド４０の表面側に熱が加えられたときと同等の環境を作り出すことができた。それゆえ、本実施の形態の手法を用いることで、内燃機関１に取り付けられた状態と同等の環境下にて、圧力検出装置５の構成そのものに起因する熱歪の状態を評価することができるようになった。
【０１０３】
なお、本実施の形態では、レーザ発振器５２１がパルス発振でレーザビームＢｍを発生させることで、レーザビームＢｍの照射時間を１０ｍｓｅｃとしていたが、これに限られるものではなく、１０ｍｓｅｃよりも短くしてもよいし、長くしてもかまわない。また、本実施の形態では、レーザ発振器５２１がパルス発振でレーザビームＢｍを発生させていたが、これに限られるものではなく、連続発振でレーザビームＢｍを発生させるようにしてもかまわない。
【０１０４】
さらに、本実施の形態では、照射距離Ｌを焦点距離ｆと焦点はずし距離ｆｄとの和とする（Ｌ＝ｆ＋ｆｄ）ことで、照射距離Ｌを焦点距離ｆよりも長くしていた（Ｌ＞ｆ）が、これに限られない。例えば、照射距離Ｌを焦点距離ｆと焦点はずし距離ｆｄとの差とする（Ｌ＝ｆ−ｆｄ）ことで、照射距離Ｌを焦点距離ｆよりも短く（Ｌ＜ｆ）してもかまわない。
【０１０５】
さらにまた、本実施の形態では、照射距離Ｌを焦点距離ｆから外すようにしていたが、これに限られない。例えば、焦点距離ｆにおけるレーザビームＢｍの照射領域Ｄの直径がダイアフラムヘッド４０の外径（直径）よりも大きい場合には、照射距離Ｌを焦点距離ｆとしてもよい。
【０１０６】
そして、本実施の形態では、熱歪測定装置５００で熱歪に対応する照射圧力変化量ΔＰｉを測定する対象として、内燃機関１内の燃焼圧を測定する圧力検出装置５を例として説明を行ったが、測定の対象は、これに限られない。すなわち、外部から受ける力を、ダイアフラムを介して感圧素子に伝達する構成を有する機器であれば、熱歪測定装置５００による測定の対象となり得る。ここで、圧電体以外の感圧素子としては、例えばひずみゲージや離間した電極等が挙げられる。
【符号の説明】
【０１０７】
１…内燃機関、２…シリンダブロック、３…ピストン、４…シリンダヘッド、５…圧力検出装置、６…制御装置、７…シール部材、８…伝送ケーブル、１０…圧電素子、３０…ハウジング、４０…ダイアフラムヘッド、５０…第１の電極部、５５…第２の電極部、６０…絶縁リング、６５…支持部材、７０…コイルスプリング、８０…加圧部材、１００…センサ部、２００…信号処理部、３００…保持部材、５００…熱歪測定装置、５１０…ＸＹＺステージ、５１１…台座、５１２…ＸＹステージ、５１３…Ｚステージ、５２０…レーザ照射部、５２１…レーザ発振器、５２２…光ファイバケーブル、５２３…レーザ射出部、５２３ａ…コリメータレンズ、５２３ｂ…集光レンズ、５３０…カバー、５４０…データ解析部、５４１…データロガー、５４２…ＰＣ、Ｂｍ…レーザビーム、Ｃ…燃焼室、Ｄ…照射領域、Ｐｅ…実機筒内圧力、Ｐｓ…基準筒内圧力、ΔＰｅ…実機圧力誤差、ΔＰｉ…照射圧力変化量
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0006542118.tif 000014
【図１４】
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