(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１ホルダと、それら複数の第１ホルダに着脱可能に装着される複数の第１部品保持具とを有する第１作業ヘッドと、
複数の第２ホルダと、それら複数の第２ホルダに着脱可能に装着される複数の第２部品保持具とを有する第２作業ヘッドと、
制御装置と
を備え、
前記第１作業ヘッドと前記第２作業ヘッドとが、
前記複数の第１部品保持具と前記複数の第２部品保持具とを対向させた状態で配設され、
前記第１作業ヘッドの前記複数の第１部品保持具のうちの少なくとも２以上の第１部品保持具に保持された２以上の部品を、前記第２作業ヘッドの前記複数の第２部品保持具のうちの少なくとも２以上の第２部品保持具に同時に受け渡す対基板作業システムにおいて、
前記制御装置が、
前記第１作業ヘッドの前記複数の第１ホルダの各々に前記複数の第１部品保持具が順次装着された際の第１部品保持具による部品の保持位置と、前記第２作業ヘッドの前記複数の第２ホルダの各々に前記複数の第２部品保持具が順次装着された際の第２部品保持具による部品の保持位置とを取得する取得部と、
前記２以上の第１部品保持具と、それら２以上の第１部品保持具から部品を受け取る前記２以上の第２部品保持具とにおいて、前記第１部品保持具による部品の保持位置と、その第１部品保持具から部品を受け取る前記第２部品保持具による部品の保持位置との間の距離の差が少なくなるように、前記取得部により取得された保持位置に基づいて、前記第１ホルダと前記第１部品保持具との組合せ、及び、前記第２ホルダと前記第２部品保持具との組合せを決定する決定部と
を有することを特徴とする対基板作業システム。
【請求項２】
前記決定部が、
前記２以上の第１部品保持具から部品を受け取る前記２以上の第２部品保持具による部品の保持位置が、前記第２部品保持具の軸線の延びる方向において均一となるように、前記取得部により取得された保持位置に基づいて、前記第１ホルダと前記第１部品保持具との組合せを決定することを特徴とする請求項１に記載の対基板作業システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの作業ヘッドを有し、２つの作業ヘッドの一方から他方に部品の受け渡しを行うことが可能な対基板作業システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
対基板作業システムには、２つの作業ヘッドを有し、２つの作業ヘッドの一方から他方に部品の受け渡しを行うことが可能なシステムが存在する。このようなシステムにおいて、各作業ヘッドが複数の部品保持具を有している場合には、一方の作業ヘッドの複数の部品保持具のうちの少なくとも２以上の部品保持具に保持された２以上の部品が、他方の作業ヘッドの複数の部品保持具のうちの少なくとも２以上の部品保持具に同時に受け渡すことで、部品の受け渡し作業に要する時間を短縮することが可能となる。ただし、部品を渡す部品保持具と、部品を受け取る部品保持具との間の距離（以下、「保持具間距離」と記載する）が、複数の部品保持具毎に異なると、複数の部品の同時受け渡しを、適切に実行できない虞がある。このような場合には、下記特許文献に記載されているように、複数の部品保持具毎に、部品保持具による保持位置を調整することで、複数の部品保持具毎に、保持具間距離を均一にし、複数の部品の同時受け渡しを、適切に実行することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−０７７８９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献に記載の技術を採用し、複数の部品保持具毎に、保持具間距離を調整するためには、部品保持具毎に保持具間距離を調整するための機構が必要となり、機構の複雑化，作業ヘッドの大型化，コスト増などの種々の問題が存在する。このため、このような種々の問題を解決することで、対基板作業システムの実用性が向上すると考えられる。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、実用性の高い対基板作業システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本願に記載の対基板作業システムは、複数の第１ホルダと、それら複数の第１ホルダに着脱可能に装着される複数の第１部品保持具とを有する第１作業ヘッドと、複数の第２ホルダと、それら複数の第２ホルダに着脱可能に装着される複数の第２部品保持具とを有する第２作業ヘッドと、制御装置とを備え、前記第１作業ヘッドと前記第２作業ヘッドとが、前記複数の第１部品保持具と前記複数の第２部品保持具とを対向させた状態で配設され、前記第１作業ヘッドの前記複数の第１部品保持具のうちの少なくとも２以上の第１部品保持具に保持された２以上の部品を、前記第２作業ヘッドの前記複数の第２部品保持具のうちの少なくとも２以上の第２部品保持具に同時に受け渡す対基板作業システムにおいて、前記制御装置が、前記第１作業ヘッドの前記複数の第１ホルダの各々に前記複数の第１部品保持具が順次装着された際の第１部品保持具による部品の保持位置と、前記第２作業ヘッドの前記複数の第２ホルダの各々に前記複数の第２部品保持具が順次装着された際の第２部品保持具による部品の保持位置とを取得する取得部と、前記２以上の第１部品保持具と、それら２以上の第１部品保持具から部品を受け取る前記２以上の第２部品保持具とにおいて、前記第１部品保持具による部品の保持位置と、その第１部品保持具から部品を受け取る前記第２部品保持具による部品の保持位置との間の距離の差が少なくなるように、前記取得部により取得された保持位置に基づいて、前記第１ホルダと前記第１部品保持具との組合せ、及び、前記第２ホルダと前記第２部品保持具との組合せを決定する決定部とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本願に記載の対基板作業システムでは、第１作業ヘッドの複数の第１ホルダの各々に複数の第１部品保持具が順次装着された際の第１部品保持具による部品の保持位置と、第２作業ヘッドの複数の第２ホルダの各々に複数の第２部品保持具が順次装着された際の第２部品保持具による部品の保持位置とが取得される。そして、取得された第１部品保持具による部品の保持位置と、第２部品保持具による部品の保持位置とに基づいて、複数の部品保持具の保持具間距離の差が少なくなるように、第１ホルダと第１部品保持具との組合せ、及び、第２ホルダと第２部品保持具との組合せが決定される。これにより、保持具間距離を調整するための機構などを用いることなく、複数の部品保持具の保持具間距離の差を少なくし、複数の部品の同時受け渡しを、適切に実行することが可能となり、実用性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】電子部品装着機を示す斜視図である。
【図２】電子部品装着機を示す平面図である。
【図３】装着ヘッドの底面を示す図である。
【図４】ダイ供給装置を示す斜視図である。
【図５】ピックアップヘッドを示す斜視図である。
【図６】電子部品装着機を示すブロック図である。
【図７】装着ヘッドの吸着ノズルとピックアップヘッドの吸着ノズルとを示す概略図である。
【図８】装着ヘッドの吸着ノズルとピックアップヘッドの吸着ノズルとを示す概略図である。
【図９】装着ヘッドの吸着ノズルとピックアップヘッドの吸着ノズルとを示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。
【０００９】
＜電子部品装着機の構成＞
図１および図２に、本発明の実施例の電子部品装着機１０を示す。図１は、電子部品装着機１０の斜視図であり、図２は、カバー１２等を取り外した電子部品装着機１０を上方からの視点において示した図である。電子部品装着機１０は、回路基板に電子部品を装着するための作業機である。電子部品装着機１０は、搬送装置２０と、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２２と、装着ヘッド２４と、フラックス供給装置２６と、ノズルステーション２７と、パーツカメラ２８と、ダイ供給装置３０とを備えている。なお、以下の説明において、電子部品装着機１０の幅方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。
【００１０】
搬送装置２０は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにベース４６上に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図６参照）４７の駆動により回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図６参照）４８によって固定的に保持される。
【００１１】
移動装置２２は、Ｙ軸方向に延びる１対のＹ軸方向ガイドレール５０と、Ｘ軸方向に延びるＸ軸方向ガイドレール５２とを有している。そのＸ軸方向ガイドレール５２は、１対のＹ軸方向ガイドレール５０に上架されている。そして、Ｘ軸方向ガイドレール５２は、電磁モータ（図６参照）５３の駆動により、Ｙ軸方向の任意の位置に移動する。また、Ｘ軸方向ガイドレール５２は、自身の軸線に沿って移動可能にスライダ５４を保持している。このスライダ５４は、電磁モータ（図６参照）５５の駆動により、Ｘ軸方向の任意の位置に移動する。そのスライダ５４には、装着ヘッド２４が取り付けられている。このような構造により、装着ヘッド２４は、ベース４６上の任意の位置に移動する。
【００１２】
装着ヘッド２４は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２４は、図３に示すように、装着ユニット６０を４本有している。なお、図３は、装着ヘッド２４の下方からの視点において示す装着ヘッド２４の底面図である。装着ユニット６０は、棒状をなし、各装着ユニット６０の先端部には、吸着ノズル６２が装着されている。吸着ノズル６２は、装着ユニット６０に着脱可能とされている。
【００１３】
各吸着ノズル６２は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図６参照）６４に通じている。各吸着ノズル６２は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ユニット６０は、ユニット保持体６６によって、軸方向が垂直となる状態で、軸方向に移動可能に保持されており、装着ユニット６０の先端部に装着される吸着ノズル６２は、ユニット保持体６６の下面から下方に向かって延び出している。なお、４本の装着ユニット６０は、上下方向からの視点において４等配で１円周上に配設されている。
【００１４】
また、装着ヘッド２４は、ノズル昇降装置（図６参照）６８を有している。ノズル昇降装置６８は、ギア（図示省略）を介して、装着ユニット６０に連結されており、装着ユニット６０を上下方向に昇降させる。ギアは、４本の装着ユニット６０のうちの任意の１本の装着ユニット６０に個別に係合した状態と、４本の装着ユニット６０の全てに係合した状態とで切り替えられる。このため、ノズル昇降装置６８は、ギアの切替によって、４本の装着ユニット６０を個別に１本毎に昇降させることが可能であり、４本の装着ユニット６０の全てを同時に昇降させることも可能である。
【００１５】
フラックス供給装置２６は、図２に示すように、ベース４６上のＹ軸方向における一端部に設けられている。詳しくは、ベース４６の上面は、概して矩形とされており、ベース４６のＹ軸方向における前方側の縁部に、デバイスパレット７０が固定されている。そして、そのデバイスパレット７０にフラックス供給装置２６が装着されている。フラックス供給装置２６は、本体ベース７２とフラックストレイ７４とを有している。本体ベース７２は、矩形の概して板状をなし、本体ベース７２の裏面にスライド部（図示省略）が、長手方向に延びるようにして設けられている。一方、デバイスパレット７０の上面には、Ｙ軸方向に延びるようにして溝７５が複数形成されている。そして、本体ベース７２のスライド部が、溝７５に嵌合されることで、本体ベース７２がデバイスパレット７０に装着される。また、本体ベース７２の電子部品装着機１０の内部に近い側の端部の上面には、フラックストレイ７４が載置されている。そのフラックストレイ７４には、フラックスが貯留されている。
【００１６】
ノズルステーション２７は、デバイスパレット７０と搬送装置２０との間に配設されており、ノズルトレイ７６を有している。ノズルトレイ７６には、複数の吸着ノズル６２が収容されている。このノズルステーション２７では、装着ヘッド２４に取り付けられている吸着ノズル６２と、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６２との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ７６は、ノズルステーション２７に着脱可能であり、ノズルトレイ７６に収容された吸着ノズル６２の回収，ノズルトレイ７６への吸着ノズル６２の補給等を電子部品装着機１０の外部において行うことが可能である。
【００１７】
パーツカメラ２８は、ノズルステーション２７の隣に配設されている。パーツカメラ２８は、装着ヘッド２４に保持された電子部品に側方から光を照射し、その光を受光し、電子部品の撮像を行う。つまり、パーツカメラ２８は、装着ヘッド２４に保持された電子部品を側方からの視点において撮像する。
【００１８】
ダイ供給装置３０は、ベース４６のＹ軸方向における一端部に設けられている。詳しくは、デバイスパレット７０が固定されているベース４６の縁部には、凹んだ形状の収納部８６が形成されており、その収納部８６にダイ供給装置３０の一部が収納されている。ダイ供給装置３０は、図４に示すように、ダイ集合体９０からダイ９２を供給するものである。ダイ集合体９０は、ウェハにダイシングシートを貼着したものをダイシングすることで形成される。なお、ダイ集合体９０は、単に「ウェハ」と呼ばれることもあり、ダイ９２は、「チップ」と呼ばれることもある。
【００１９】
ダイ供給装置３０は、メインフレーム１００と、ダイ集合体収容装置１０２と、ダイ集合体保持装置１０４と、ピックアップヘッド１０５と、ピックアップヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）１０６と、ダイ突上装置（図６参照）１０７と、ノズルステーション１０８と、タッチセンサ１０９とを有している。
【００２０】
メインフレーム１００の上面に、ダイ集合体保持装置１０４とピックアップヘッド１０５と移動装置１０６とダイ突上装置１０７とノズルステーション１０８とタッチセンサ１０９とが配設されている。そして、メインフレーム１００が収納部８６に収納されることで、ダイ供給装置３０がメインフレーム１００に取り付けられる。
【００２１】
ダイ集合体収容装置１０２は、ラック１１０と昇降テーブル１１２とを有している。ラック１１０は、昇降テーブル１１２の上に配設されており、ラック１１０の内部には、複数のダイ集合体９０が積み重ねられた状態で収容されている。それら複数のダイ集合体９０は、昇降テーブル１１２がテーブル昇降機構（図６参照）１１５によって昇降されることで、上下方向に移動する。そして、所定の高さに位置するダイ集合体９０が、ダイ集合体保持装置１０４の上に引き出される。なお、ラック１１０の上部は、ラックカバー１１４によって覆われている。そのラックカバー１１４は、透過性を有する素材により成形されており、オペレータは、ラック１１０の内部を見ることができる。
【００２２】
ダイ集合体保持装置１０４は、保持フレーム１１８と固定機構（図６参照）１１９とを有している。保持フレーム１１８は、メインフレーム１００の上面の略中央に配設されており、ダイ集合体収容装置１０２から引き出されたダイ集合体９０が、保持フレーム１１８の上に載置される。そして、保持フレーム１１８の上に載置されたダイ集合体９０は、固定機構１１９によって固定される。
【００２３】
ピックアップヘッド１０５は、ダイ集合体９０からダイ９２をピックアップするものである。ピックアップヘッド１０５は、図５に示すように、ピックアップユニット１２０を４本有している。ピックアップユニット１２０は、棒状をなし、各ピックアップユニット１２０の先端部には、吸着ノズル１２２が装着されている。吸着ノズル１２２は、ピックアップユニット１２０に着脱可能とされている。
【００２４】
各吸着ノズル１２２は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図６参照）１２３に通じている。各吸着ノズル１２２は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、ピックアップユニット１２０は、ユニット保持体１２４によって、軸方向が垂直となる状態で、軸方向に移動可能に保持されており、ピックアップユニット１２０の先端部に装着される吸着ノズル１２２は、ピックアップヘッド１０５の下面から下方に向かって延び出している。なお、４本のピックアップユニット１２０は、上下方向からの視点において４等配で１円周上に配設されており、装着ヘッド２４の４本の装着ユニット６０と同じ配設ピッチとされている。
【００２５】
また、ピックアップヘッド１０５は、ノズル昇降装置１２５を有しておりノズル昇降装置１２５は、係合ブロック１２６の昇降により、各装着ユニット６０を個別に昇降させる。詳しくは、係合ブロック１２６は、電磁モータ（図６参照）１２７の作動により、制御可能に昇降および、回転する。また、係合ブロック１２６は、回転により４本の装着ユニット６０のうちの任意の１本の装着ユニット６０に個別に係合する。このため、係合ブロック１２６が、４本の装着ユニット６０のうちの任意の１本の装着ユニット６０に係合した状態で昇降することで、装着ユニット６０を個別に１本毎に昇降させる。
【００２６】
ピックアップヘッド１０５は、さらに、ユニット保持体１２４を上下方向に反転させる反転装置１２８も有しており、反転装置１２８の作動により、ユニット保持体１２４に保持されたピックアップユニット１２０の上下を逆さまにすることが可能とされている。詳しくは、ユニット保持体１２４は、概して水平方向に延びる支持軸１２９によって、ピックアップヘッド１０５の本体部１３０に回動可能に支持されている。反転装置１２８は、支持軸１２９と同軸的にユニット保持体１２４に固定されたピニオン１３１と、そのピニオン１３１に噛合するラック１３２とを有している。そして、ラック１３２が、電磁モータ（図６参照）１３３の作動により上下方向に移動することで、ピニオン１３１が回転し、ユニット保持体１２４が、図での矢印に示すように、支持軸１２９を中心に反転する。これにより、ユニット保持体１２４に保持されたピックアップユニット１２０が反転し、吸着ノズル１２２を先端部が上を向いた状態でピックアップユニット１２０の上端部に位置させることが可能となる。つまり、反転装置１２８の作動により、ピックアップユニット１２０に装着された吸着ノズル１２２は、下方を向いた状態と、上方を向いた状態とで切り替えられる。
【００２７】
移動装置１０６は、図４に示すように、Ｙ軸方向に延びる１対のＹ軸方向ガイドレール１３４と、Ｘ軸方向に延びるＸ軸方向ガイドレール１３５とを有している。そのＸ軸方向ガイドレール１３５は、１対のＹ軸方向ガイドレール１３４に上架されている。そして、Ｘ軸方向ガイドレール１３５は、電磁モータ（図６参照）１３６の駆動により、Ｙ軸方向の任意の位置に移動する。また、Ｘ軸方向ガイドレール１３５は、自身の軸線に沿って移動可能にスライダ１３８を保持している。このスライダ１３８は、電磁モータ（図６参照）１４０の駆動により、Ｘ軸方向の任意の位置に移動する。そのスライダ１３８には、ピックアップヘッド１０５が取り付けられている。このような構造により、ピックアップヘッド１０５は、メインフレーム１００上の任意の位置に移動する。
【００２８】
移動装置１０６のＸ軸方向ガイドレール１３５の背面には、クランプ１４６が取り付けられている。クランプ１４６は、ダイ集合体収容装置１０２のラック１１０に収容されたダイ集合体９０を把持するものである。つまり、Ｘ軸方向ガイドレール１３５をＹ軸方向に移動させることで、クランプ１４６によって把持されたダイ集合体９０は、Ｙ軸方向に移動する。これにより、ラック１１０に収容されたダイ集合体９０が、保持フレーム１１８の上に引き出される。
【００２９】
ダイ突上装置１０７は、ダイ集合体保持装置１０４の保持フレーム１１８の下方に配設されており、突上具（図示省略）と突上具昇降装置（図６参照）１５０と突上具移動装置（図６参照）１５２とを有している。突上具は、保持フレーム１１８に保持されたダイ集合体９０のダイ９２を裏面から突き上げる。突上具昇降装置１５０は、その突上具を上下方向に昇降させる。突上具移動装置１５２は、突上具をダイ集合体９０の下方の任意の位置に移動させる。これにより、ダイ突上装置１０７は、ピックアップヘッド１０５によるダイ９２のピックアップをサポートする。詳しくは、ピックアップヘッド１０５によってピックアップされるダイ９２の下方に突上具が移動させられ、その位置において、突上具が上昇される。これにより、ダイ９２が持ち上げられ、その持ち上げられたダイ９２が、ピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１２２によって吸着される。
【００３０】
ノズルステーション１０８は、ダイ集合体収容装置１０２とダイ集合体保持装置１０４との間に配設されており、ノズルトレイ１５６を有している。ノズルトレイ１５６には、複数の吸着ノズル１２２が収容されている。このノズルステーション１０８では、ピックアップヘッド１０５に取り付けられている吸着ノズル１２２と、ノズルトレイ１５６に収容されている吸着ノズル１２２との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ１５６は、ノズルステーション１０８に着脱可能であり、ノズルトレイ１５６に収容された吸着ノズル１２２の回収，ノズルトレイ１５６への吸着ノズル１２２の補給等を電子部品装着機１０の外部において行うことが可能である。
【００３１】
タッチセンサ１０９は、ピックアップヘッド１０５のピックアップユニット１２０に装着された吸着ノズル１２２の先端位置を検出するためのセンサであり、ノズルステーション１０８の隣に配設されている。詳しくは、検出対象の吸着ノズル１２２をタッチセンサ１０９の上方に移動させ、吸着ノズル１２２を、ノズル昇降装置１２５の作動により下降させる。この際、吸着ノズル１２２は、タッチセンサ１０９によって接触が検出されるまで下降され、吸着ノズル１２２の下降量が演算される。そして、その下降量に基づいて、吸着ノズル１２２の上下方向における先端位置、つまり、吸着ノズル１２２による部品の保持位置が演算される。なお、本明細書における上下方向とは、Ｘ軸方向とＹ軸方向と直行する方向，鉛直方向，高さ方向，基板保持装置４８に保持された回路基材に対する直角方向，装着ユニット６０に保持された吸着ノズル６２の軸方向，ピックアップユニット１２０に保持された吸着ノズル１２２の軸方向，ノズル昇降装置６８による吸着ノズル６２の昇降方向，ノズル昇降装置１２５による吸着ノズル１２２の昇降方向を意味する。
【００３２】
また、電子部品装着機１０は、図６に示すように、制御装置１６０を備えている。制御装置１６０は、コントローラ１６２と、複数の駆動回路１６４とを備えている。複数の駆動回路１６４は、上記電磁モータ４７，５３，５５，１２７，１３３，１３６，１４０、基板保持装置４８、正負圧供給装置６４，１２３、ノズル昇降装置６８、テーブル昇降機構１１５、固定機構１１９、突上具昇降装置１５０、突上具移動装置１５２に接続されている。コントローラ１６２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路１６４に接続されている。これにより、搬送装置２０、移動装置２２等の作動が、コントローラ１６２によって制御される。また、コントローラ１６２は、画像処理装置１６８にも接続されている。画像処理装置１６８は、パーツカメラ２８により撮像された撮像データを処理するための装置である。これにより、コントローラ１６２は、撮像データから各種情報を取得する。さらに、コントローラ１６２は、タッチセンサ１０９に接続されており、タッチセンサ１０９から吸着ノズル１２２の接触を検出する。
【００３３】
＜電子部品装着機による装着作業＞
上述した構成により、電子部品装着機１０では、回路基板にダイ９２を装着する装着作業が行われる。具体的には、制御装置１６０のコントローラ１６２の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において回路基板が固定的に保持される。また、ダイ供給装置３０は、ピックアップヘッド１０５を用いてダイ９２を供給する。
【００３４】
具体的には、コントローラ１６２の指令により、昇降テーブル１１２が昇降され、ラック１１０に収容されている複数のダイ集合体９０のうちの任意のダイ集合体９０が、クランプ１４６と対向する位置に移動される。そして、ダイ集合体９０がクランプ１４６により把持され、Ｘ軸方向ガイドレール１３５が、Ｘ軸方向に移動される。これにより、クランプ１４６によって把持されたダイ集合体９０が、保持フレーム１１８上に引き出される。そして、ラック１１０から引き出されたダイ集合体９０は、固定機構１１９により固定される。次に、ピックアップヘッド１０５が、ピックアップ対象のダイ９２の上方に移動し、吸着ノズル１２２によってダイ９２が吸着保持される。この際、ピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１２２によって吸着保持されるダイ９２の下方に突上具が移動させられ、その位置において、突上具が上昇される。これにより、ダイ９２が持ち上げられ、その持ち上げられたダイ９２が、ピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１２２によって吸着保持される。
【００３５】
続いて、ピックアップヘッド１０５が上下方向に反転される。これにより、吸着ノズル１２２によって吸着保持されたダイ９２が、ピックアップヘッド１０５の上部において供給される。ダイ９２がピックアップヘッド１０５の上部において供給されると、装着ヘッド２４が、ピックアップヘッド１０５の上方に移動し、吸着ノズル６２がダイ９２を吸着保持する。つまり、ピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１２２から、装着ヘッド２４の吸着ノズル６２にダイ９２が受け渡される。次に、装着ヘッド２４が、フラックス供給装置２６のフラックストレイ７４の上方に移動し、ダイ９２を保持する吸着ノズル６２が下降され、ダイ９２のバンプ（図示省略）にフラックスが塗布される。そして、装着ヘッド２４が、回路基板上に移動し、回路基板にダイ９２が装着される。
【００３６】
＜ピックアップヘッドから装着ヘッドへのダイの受け渡し＞
電子部品装着機１０では、上述したように、ピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１２２により保持されたダイ９２が、装着ヘッド２４の吸着ノズル６２に受け渡される。この際、ピックアップヘッド１０５から装着ヘッド２４へのダイ９２の受け渡し作業に要する時間を短縮するべく、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２に保持された４個のダイ９２が、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２に同時に受け渡される。詳しくは、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２が、個別に下降され、ダイ９２を吸着保持する。そして、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２によって４個のダイ９２が吸着保持されると、ピックアップヘッド１０５が上下方向に反転される。これにより、ピックアップヘッド１０５の上方において、４個のダイ９２が供給される。
【００３７】
一方、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２は、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２と同じ配設ピッチとされている。このため、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２と、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２とを上下方向において、一致させることが可能である。つまり、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２の各々のＸ座標及びＹ座標と、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２の各々のＸ座標及びＹ座標とを一致させることが可能である。また、装着ヘッド２４では、４つの吸着ノズル６２を同時に下降させることが可能である。このため、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２と、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２とを上下方向において、一致させるように、装着ヘッド２４を移動させた後に、４つの吸着ノズル６２を同時に下降させることで、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２が、４個のダイ９２を同時に吸着保持する。つまり、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２に保持された４個のダイ９２が、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２に同時に受け渡される。
【００３８】
ただし、同じ種類の吸着ノズル６２，１２２であっても、寸法にバラツキがある。また、吸着ノズル６２が装着される装着ユニット６０や、吸着ノズル１２２が装着されるピックアップユニット１２０にも、寸法にバラツキがある。このため、装着ヘッド２４の吸着ノズル６２と、ピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１２２との間の距離（以下、「ノズル間距離」と記載する場合がある）が、吸着ノズル６２，１２２毎に異なり、ダイ９２の受け渡し時に、ダイ９２が破損する虞がある。
【００３９】
具体的には、例えば、図７に示すように、装着ヘッド２４の装着ユニット６０ａに装着された吸着ノズル６２ａと、ピックアップヘッド１０５のピックアップユニット１２０ａに装着された吸着ノズル１２２ａとが対向し、装着ユニット６０ｂに装着された吸着ノズル６２ｂと、ピックアップユニット１２０ｂに装着された吸着ノズル１２２ｂとが対向し、装着ユニット６０ｃに装着された吸着ノズル６２ｃと、ピックアップユニット１２０ｃに装着された吸着ノズル１２２ｃとが対向し、装着ユニット６０ｄに装着された吸着ノズル６２ｄと、ピックアップユニット１２０ｄに装着された吸着ノズル１２２ｄとが対向している場合について説明する。なお、吸着ノズル６２，１２２、装着ユニット６０、ピックアップユニット１２０は、上述したように、１円周上に等ピッチで配設されているが、説明し易いように、図７以降の図面では、吸着ノズル６２，１２２等は、１直線上に等ピッチで配設されている。また、吸着ノズル６２，１２２等の寸法のバラツキは、極端に大きく示されている。
【００４０】
図から解るように、吸着ノズル６２，１２２毎に、ノズル間距離が異なる。この際、吸着ノズル６２ｄ，１２２ｄのノズル間距離が最も短く、吸着ノズル６２ｃ，１２２ｃのノズル間距離が最も長い。このため、ピックアップヘッド１０５から４個のダイ９２が装着ヘッド２４に同時に受け渡される場合には、吸着ノズル６２ｃ，１２２ｃのノズル間距離からダイ９２の厚さを減じた距離、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２が同時に下降される。これにより、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２が、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２から、４個のダイ９２を同時に吸着保持することが可能となる。ただし、吸着ノズル１２２ｃ以外の吸着ノズル１２２、特に、吸着ノズル１２２ｄから受け渡されるダイ９２は、吸着ノズル６２ｄによって押し潰され、過度な荷重を受けることで、破損する虞がある。
【００４１】
また、電子部品装着機１０では、上述したように、装着ヘッド２４の吸着ノズル６２により保持されたダイ９２が、フラックストレイ７４に貯留されたフラックスに浸漬され、ダイ９２のバンプにフラックスが塗布される。この際、フラックスの塗布時間を短縮するべく、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２が同時に下降され、４つの吸着ノズル６２に保持された４個のダイ９２のバンプに、同時にフラックスが塗布される。ただし、図から解るように、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２の先端位置、つまり、ダイ９２の保持位置が、上下方向において異なっている。このため、４つの吸着ノズル６２に保持された４個のダイ９２の上下方向の位置も異なり、４個のダイ９２がフラックスに同時に浸漬された際に、ダイ９２毎に、バンプへのフラックスの塗布量が異なる。このように、ダイ９２毎にバンプへのフラックスの塗布量が異なると、ダイ９２が適切に回路基板に固定されない虞がある。
【００４２】
このような場合に、４つの吸着ノズル６２，１２２の上下方向の位置を、個別に調整することができれば、ダイ９２に過度な荷重をかけることなく、４個のダイ９２を同時に装着ヘッド２４に受け渡すこと、および、ダイ９２毎のバンプへのフラックスの塗布量を均一にすることが可能となる。しかしながら、４つの吸着ノズル６２，１２２の上下方向の位置を個別に調整することは、機構の複雑化，ヘッドの大型化，コスト増などの問題により実現が困難である。このため、電子部品装着機１０では、現状の構成要素を利用して、ダイ９２に過度な荷重をかけることなく、４個のダイ９２の同時受け渡し、および、バンプへのフラックスの均一な塗布を実現している。
【００４３】
詳しくは、装着作業が実行される前に、各装着ユニット６０に、電子部品装着機１０で用いられる全ての吸着ノズル６２が順次、装着され、吸着ノズル６２が装着ユニット６０に装着される毎に、装着ユニット６０に装着された吸着ノズル６２の先端位置が演算される。具体的には、例えば、電子部品装着機１０において、４個の吸着ノズル６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄが用いられている場合には、装着ユニット６０ａに吸着ノズル６２ａが装着され、他の吸着ノズル６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは、ノズルステーション２７のノズルトレイ７６に収容される。そして、装着ユニット６０ａに装着された吸着ノズル６２ａが、パーツカメラ２８により撮像される。パーツカメラ２８は、上述したように、側射光により撮像する装置であり、パーツカメラ２８による撮像データに基づいて、装着ユニット６０ａに装着された吸着ノズル６２ａの上下方向における先端位置が、コントローラ１６２により演算される。
【００４４】
次に、吸着ノズル６２ａの先端位置が演算されると、装着ヘッド２４がノズルトレイ７６の上方に移動され、装着ユニット６０ａに装着された吸着ノズル６２ａと、ノズルトレイ７６に収容された吸着ノズル６２ｂとが交換される。つまり、装着ユニット６０ａに吸着ノズル６２ｂが装着される。そして、装着ユニット６０ａに装着された吸着ノズル６２ｂが、パーツカメラ２８により撮像され、吸着ノズル６２ｂの先端位置が、コントローラ１６２により演算される。このように、装着ユニット６０ａに吸着ノズル６２が順次、装着され、吸着ノズル６２が装着される毎に、その装着された吸着ノズル６２の先端位置が演算される。これにより、装着ユニット６０ａに装着される４つの吸着ノズル６２毎の先端位置が取得される。
【００４５】
次に、装着ユニット６０ｂに吸着ノズル６２ａが装着され、その吸着ノズル６２ａの先端位置も、上述したように、コントローラ１６２により演算される。そして、装着ユニット６０ｂに吸着ノズル６２ｂ，６２ｃ，６２ｄが順次、装着され、吸着ノズル６２が装着される毎に、その装着された吸着ノズル６２の先端位置が演算される。これにより、装着ユニット６０ｂに装着される４つの吸着ノズル６２毎の先端位置が取得される。さらに、装着ユニット６０ｃ、及び、装着ユニット６０ｄにおいても、同様の手法により、装着ユニット６０ｃ及び、装着ユニット６０ｄに装着される４つの吸着ノズル６２毎の先端位置が取得される。
【００４６】
また、電子部品装着機１０において、４個の吸着ノズル１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃ，１２２ｄが用いられている場合には、ピックアップユニット１２０ａに吸着ノズル１２２ａが装着され、他の吸着ノズル１２２ｂ，１２２ｃ，１２２ｄは、ノズルステーション１０８のノズルトレイ１５６に収容される。そして、ピックアップユニット１２０ａに装着された吸着ノズル１２２ａが、タッチセンサ１０９に向かって下降され、上述した手法により、吸着ノズル１２２ａの先端位置が、コントローラ１６２により演算される。そして、ピックアップユニット１２０ａにおいても、装着ヘッド２４の装着ユニット６０と同様に、ピックアップユニット１２０ａに吸着ノズル１２２ｂ，１２２ｃ，１２２ｄが順次、装着され、吸着ノズル１２２が装着される毎に、その装着された吸着ノズル１２２の先端位置が演算される。これにより、ピックアップユニット１２０ａに装着される４つの吸着ノズル１２２毎の先端位置が取得される。また、ピックアップユニット１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄにおいても、同様の手法により、ピックアップユニット１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄに装着される４つの吸着ノズル１２２毎の先端位置が取得される。
【００４７】
このように、各装着ユニット６０に装着された吸着ノズル６２毎の先端位置、および、各ピックアップユニット１２０に装着された吸着ノズル１２２毎の先端位置が演算されると、４つの装着ユニット６０に装着された４つの吸着ノズル６２の先端位置が、上下方向において均一となるように、装着ユニット６０と吸着ノズル６２との組合せが特定される。詳しくは、例えば、４つの装着ユニット６０毎に、吸着ノズル６２の先端位置の差が予め設定された閾値Ｘ以内のものが抽出され、４つの装着ユニット６０毎に抽出された吸着ノズル６２が、重複していないか判断される。そして、４つの装着ユニット６０毎に抽出された吸着ノズル６２が、重複していない場合に、４つの装着ユニット６０毎に抽出された吸着ノズル６２が、装着ユニット６０と吸着ノズル６２との組合せとして特定される。そして、特定された組合せに従って、装着ユニット６０に吸着ノズル６２が装着される。なお、装着ユニット６０への吸着ノズル６２の装着は、ノズルステーション２７において自動で行われる。
【００４８】
この際、例えば、装着ユニット６０ａに対して、吸着ノズル６２ｂが特定され、装着ユニット６０ｂに対して、吸着ノズル６２ａが特定され、装着ユニット６０ｃに対して、吸着ノズル６２ｄが特定され、装着ユニット６０ｄに対して、吸着ノズル６２ｃが特定された場合に、その特定された組合せに従って、装着ユニット６０に吸着ノズル６２が装着されると、図８に示すように、４つの装着ユニット６０に装着された４つの吸着ノズル６２の先端位置が、上下方向において均一となる。なお、４つの吸着ノズル６２の先端位置は、図８において、均一となっているが、上記手法で装着ユニット６０と吸着ノズル６２との組合せが特定された場合に、４つの吸着ノズル６２の先端位置の上下方向における差は、閾値Ｘ以内となる。
【００４９】
また、４つのピックアップユニット１２０に装着された４つの吸着ノズル１２２の先端位置が、上下方向において均一となるように、ピックアップユニット１２０と吸着ノズル１２２との組合せが特定される。詳しくは、例えば、４つのピックアップユニット１２０毎に、吸着ノズル１２２の先端位置の差が予め設定された閾値Ｙ（Ｘと同じであっても、異なっていてもよい）以内のものが抽出され、４つのピックアップユニット１２０毎に抽出された吸着ノズル１２２が、重複していないか判断される。そして、４つのピックアップユニット１２０毎に抽出された吸着ノズル１２２が、重複していない場合に、４つのピックアップユニット１２０毎に抽出された吸着ノズル１２２が、ピックアップユニット１２０と吸着ノズル１２２との組合せとして特定される。そして、特定された組合せに従って、ピックアップユニット１２０に吸着ノズル１２２が装着される。なお、ピックアップユニット１２０への吸着ノズル１２２の装着は、ノズルステーション１０８において自動で行われる。
【００５０】
この際、例えば、ピックアップユニット１２０ａに対して、吸着ノズル１２２ｄが特定され、ピックアップユニット１２０ｂに対して、吸着ノズル１２２ａが特定され、ピックアップユニット１２０ｃに対して、吸着ノズル１２２ｃが特定され、ピックアップユニット１２０ｄに対して、吸着ノズル１２２ｂが特定された場合に、その特定された組合せに従って、ピックアップユニット１２０に吸着ノズル１２２が装着されると、図８に示すように、４つのピックアップユニット１２０に装着された４つの吸着ノズル１２２の先端位置が、上下方向において均一となる。なお、４つの吸着ノズル１２２の先端位置は、図８において、均一となっているが、上記手法でピックアップユニット１２０と吸着ノズル１２２との組合せが特定された場合に、４つの吸着ノズル１２２の先端位置の上下方向における差は、閾値Ｙ以内となる。
【００５１】
このように、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２の先端位置の上下方向における差を、閾値Ｘ以内とし、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２の先端位置の上下方向における差を、閾値Ｙ以内とすることで、４つの吸着ノズル１２２から４個のダイ９２を受け取る４つの吸着ノズル６２において、ノズル間距離の差を少なくすることが可能となる。なお、４つの吸着ノズル６２におけるノズル間距離の差の最大値は、Ｘ＋Ｙとなる。このため、この最大値（Ｘ＋Ｙ）がダイ９２の負荷にならないように、閾値Ｘ及び、閾値Ｙが設定される。
【００５２】
このように、装着ユニット６０と吸着ノズル６２との組合せ、および、ピックアップユニット１２０と吸着ノズル１２２との組合せを特定し、特定された組合せに従って、装着ユニット６０に吸着ノズル６２が装着され、ピックアップユニット１２０に吸着ノズル１２２が装着されることで、ダイ９２に過度な荷重をかけることなく、４個のダイ９２の同時受け渡し、および、バンプへのフラックスの均一な塗布が実現される。また、上記手法が採用される場合に必要な構成要素は、パーツカメラ２８，タッチセンサ１０９，コントローラ１６２であり、パーツカメラ２８および、コントローラ１６２は、一般的な電子部品装着機であれば、通常、配設されている。このため、タッチセンサ１０９を配設することで、複数のダイ９２の同時受け渡し、および、バンプへのフラックスの塗布量の均一化を、低コストで図ることが可能となる。
【００５３】
なお、制御装置１６０のコントローラ１６２は、図６に示すように、取得部１７０と決定部１７２とを有している。取得部１７０は、各装着ユニット６０に装着された複数の吸着ノズル６２の先端位置、および、ピックアップユニット１２０に装着された複数の吸着ノズル１２２の先端位置を取得するための機能部である。決定部１７２は、装着ユニット６０と吸着ノズル６２との組合せ、および、ピックアップユニット１２０と吸着ノズル１２２との組合せを決定するための機能部である。
【００５４】
また、電子部品装着機１０で用いられている吸着ノズル６２，１２２では、４つの吸着ノズル６２におけるノズル間距離の差が、（Ｘ＋Ｙ）を超える場合がある。具体的には、４つの装着ユニット６０毎に、吸着ノズル６２の先端位置の差が閾値Ｘ以内のものが抽出されない場合、４つの装着ユニット６０毎に吸着ノズル６２の先端位置の差が閾値Ｘ以内のものが抽出されても、その抽出された吸着ノズル６２が重複している場合、４つのピックアップユニット１２０毎に、吸着ノズル１２２の先端位置の差が閾値Ｙ以内のものが抽出されない場合、４つのピックアップユニット１２０毎に吸着ノズル１２２の先端位置の差が閾値Ｙ以内のものが抽出されても、その抽出された吸着ノズル１２２が重複している場合には、４つの吸着ノズル６２におけるノズル間距離の差が、（Ｘ＋Ｙ）を超える。つまり、４つの吸着ノズル６２におけるノズル間距離の差が大きくなり、ダイ９２が破損する虞がある。
【００５５】
このため、このような場合には、装着ユニット６０と吸着ノズル６２との組合せ、および、ピックアップユニット１２０と吸着ノズル１２２との組合せを特定することができないことを示す画面が、電子部品装着機１０の表示パネル（図１参照）１８０に表示される。また、その画面には、ダイ９２の同時受け渡しでなく、ダイ９２の個別受け渡しを選択するための操作ボタンが表示される。そして、作業者が、その操作ボタンを操作することで、電子部品装着機１０では、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２が、個別に、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２からダイ９２を吸着保持する。つまり、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２のうちの任意の１つの吸着ノズル６２が、その吸着ノズル６２のノズル間距離に応じて、下降され、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２のうちの１つの吸着ノズル１２２からダイ９２を受け取る。そして、その任意の１つの吸着ノズル６２と異なる１つの吸着ノズルが、順次、個別に下降されることで、４つの吸着ノズル６２によって、４個のダイ９２が保持される。
【００５６】
また、作業者が、表示パネル１８０に表示された操作ボタンを操作しない場合は、作業者は、ノズルトレイ７６とノズルトレイ１５６との少なくとも一方を、電子部品装着機１０から取り出し、そのノズルトレイ７６，１５６に、吸着ノズル６２，１２２を補充、若しくは、交換する。そして、作業者が、ノズルトレイ７６，１５６を電子部品装着機１０に戻すことで、再度、ノズルトレイ７６，１５６に収容された吸着ノズル６２，１２２に対して、装着ユニット６０と吸着ノズル６２との組合せ、および、ピックアップユニット１２０と吸着ノズル１２２との組合せの特定が実行される。
【００５７】
ちなみに、上記実施例において、電子部品装着機１０は、対基板作業システムの一例である。装着ヘッド２４は、第２作業ヘッドの一例である。装着ユニット６０は、第２ホルダの一例である。吸着ノズル６２は、第２部品保持具の一例である。ピックアップヘッド１０５は、第１作業ヘッドの一例である。ピックアップユニット１２０は、第１ホルダの一例である。吸着ノズル１２２は、第１部品保持具の一例である。制御装置１６０は、制御装置の一例である。取得部１７０は、取得部の一例である。決定部１７２は、決定部の一例である。
【００５８】
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２の先端位置が、上下方向において均一になるとともに、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２の先端位置が、上下方向において均一になるように、装着ユニット６０と吸着ノズル６２との組合せ、および、ピックアップユニット１２０と吸着ノズル１２２との組合せが特定されているが、吸着ノズル６２，１２２の先端位置を上下方向において均一にすることなく、４つの吸着ノズル６２，１２２のノズル間距離の差が少なくなるように、装着ユニット６０と吸着ノズル６２との組合せ、および、ピックアップユニット１２０と吸着ノズル１２２との組合せを特定してもよい。
【００５９】
詳しくは、各装着ユニット６０に装着された複数の吸着ノズル６２の先端位置、および、ピックアップユニット１２０に装着された複数の吸着ノズル１２２の先端位置が、コントローラ１６２により演算されると、吸着ノズル６２，１２２の先端位置に基づいて、装着ユニット６０及び、その装着ユニット６０に対応するピックアップユニット１２０毎に、複数の吸着ノズル６２の各々と複数の吸着ノズル１２２の各々との間の距離が演算される。つまり、例えば、装着ユニット６０ａに装着された複数の吸着ノズル６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄの先端位置および、ピックアップユニット１２０ａに装着された複数の吸着ノズル１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃ，１２２ｄの先端位置に基づいて、装着ユニット６０ａ及び、ピックアップユニット１２０ａにおいて、吸着ノズル６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄの各々と、吸着ノズル１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃ，１２２ｄの各々とのノズル間距離が演算される。また、装着ユニット６０ｂ及びピックアップユニット１２０ｂ、装着ユニット６０ｃ及びピックアップユニット１２０ｃ、装着ユニット６０ｄ及びピックアップユニット１２０ｄにおいても、吸着ノズル６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄの各々と、吸着ノズル１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃ，１２２ｄの各々とのノズル間距離が演算される。そして、装着ユニット６０及びピックアップユニット１２０毎に、ノズル間距離の差が予め設定された閾値Ｚ以内のものが抽出され、その抽出されたノズル間距離の演算に用いられた装着ユニット６０と吸着ノズル６２との組合せ、および、ピックアップユニット１２０と吸着ノズル１２２との組合せが特定される。この特定された組合せに、吸着ノズル６２，１２２の重複が無い場合に、その特定された組合せに従って、装着ユニット６０に吸着ノズル６２が装着され、ピックアップユニット１２０に吸着ノズル１２２が装着される。これにより、図９に示すように、吸着ノズル６２，１２２の先端位置は、上下方向において均一とならないが、４つの吸着ノズル６２，１２２のノズル間距離の差は、閾値Ｚ以内となり、複数のダイ９２の同時受け渡しを担保することが可能となる。
【００６０】
また、上記実施例では、装着ユニット６０及びピックアップユニット１２０に装着された吸着ノズル６２，１２２の先端位置が、直接的に取得されているが、装着ユニット６０及びピックアップユニット１２０の先端位置を取得し、その先端位置に吸着ノズル６２，１２２の軸方向の長さ寸法を加算することで、装着ユニット６０及びピックアップユニット１２０に装着された吸着ノズル６２，１２２の先端位置を取得してもよい。具体的には、例えば、上記手法と同様に、装着ユニット６０ａに、４つの吸着ノズル６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄを順次、装着し、吸着ノズル６２が装着される毎に、吸着ノズル６２の先端位置が演算される。また、吸着ノズル６２が装着されていない状態の装着ユニット６０が撮像され、装着ユニット６０の先端位置も演算される。これにより、装着ユニット６０に装着された吸着ノズル６２の先端位置から、装着ユニット６０の先端位置を減じることで、吸着ノズル６２の軸方向の長さ寸法が演算される。次に、吸着ノズル６２が装着されていない状態の装着ユニット６０ｂ，６０ｃ，６０ｄが撮像され、装着ユニット６０の先端位置も演算される。そして、各装着ユニット６０ｂ，６０ｃ，６０ｄの先端位置に、演算された吸着ノズル６２の軸方向の長さ寸法を加算することで、各装着ユニット６０ｂ，６０ｃ，６０ｄに装着された吸着ノズル６２の先端位置が取得される。このように、装着ユニット６０若しくは、ピックアップユニット１２０に装着された吸着ノズル６２，１２２の先端位置を取得することで、パーツカメラ２８による撮像回数，タッチセンサ１０９による吸着ノズル１２２の検出回数を少なくすることが可能となる。
【００６１】
また、本発明を利用して、各装着ユニット６０および各ピックアップユニット１２０に既に装着されている吸着ノズル６２，１２２によって、複数のダイ９２の同時受け渡しを実行することができるか否かを判断してもよい。具体的には、例えば、各装着ユニット６０および各ピックアップユニット１２０に既に装着されている吸着ノズル６２，１２２の先端位置が、パーツカメラ２８若しくは、タッチセンサ１０９を利用して、取得される。そして、各吸着ノズル６２，１２２の先端位置に基づいて、４つの吸着ノズル６２，１２２のノズル間距離が演算され、それら４つの吸着ノズル６２，１２２のノズル間距離の差が、閾値Ｚ以内であるか否かが判断される。
【００６２】
この際、例えば、図８に示すように、各装着ユニット６０および各ピックアップユニット１２０に吸着ノズル６２，１２２が装着されている場合は、４つの吸着ノズル６２，１２２のノズル間距離の差は、閾値Ｚ以内と判断され、複数のダイ９２の同時受け渡しを実行することができると判断される。このため、このような場合は、４つの吸着ノズル６２が、同時に下降されることで、４つの吸着ノズル６２によって、４個のダイ９２が保持される。
【００６３】
一方、図７に示すように、各装着ユニット６０および各ピックアップユニット１２０に吸着ノズル６２，１２２が装着されている場合は、４つの吸着ノズル６２，１２２のノズル間距離の差は、閾値Ｚを超えていると判断され、複数のダイ９２の同時受け渡しを実行することができないと判断される。このため、このような場合は、複数のダイ９２の同時受け渡しを実行できないことを示す画面が、表示パネル１８０に表示される。また、その画面には、ダイ９２の同時受け渡しでなく、ダイ９２の個別受け渡しを選択するための操作ボタンが表示される。そして、作業者が、その操作ボタンを操作することで、４つの吸着ノズル６２が、個別に、順次、下降されることで、４つの吸着ノズル６２によって、４個のダイ９２が保持される。なお、表示パネル１８０に画面等が表示されることなく、４つの吸着ノズル６２が、個別に、ダイ９２を保持してもよい。
【００６４】
また、上記実施例では、装着ヘッド２４の全ての吸着ノズル６２が、ピックアップヘッド１０５の全ての吸着ノズル１２２から、複数のダイ９２を同時に受け取っているが、装着ヘッド２４の全ての吸着ノズル６２のうちの２以上の吸着ノズル６２が、ピックアップヘッド１０５の全ての吸着ノズル１２２のうちの２以上の吸着ノズル１２２から、複数のダイ９２を同時に受け取ってもよい。具体的には、例えば、装着ヘッド２４の２つの吸着ノズル６２が、ピックアップヘッド１０５の２つの吸着ノズル１２２から、２個のダイ９２を同時に受け取ってもよい。また、例えば、装着ヘッド２４が２つの吸着ノズル６２を有し、ピックアップヘッド１０５が４つの吸着ノズル１２２を有している場合は、装着ヘッド２４の２つの吸着ノズル６２が、ピックアップヘッド１０５の４つの吸着ノズル１２２のうちの２つの吸着ノズル１２２から、２個のダイ９２を同時に受け取ってもよい。また、例えば、装着ヘッド２４が４つの吸着ノズル６２を有し、ピックアップヘッド１０５が２つの吸着ノズル１２２を有している場合は、装着ヘッド２４の４つの吸着ノズル６２のうちの２つの吸着ノズル６２が、ピックアップヘッド１０５の２つの吸着ノズル１２２から、２個のダイ９２を同時に受け取ってもよい。
【００６５】
また、上記実施例では、吸着ノズル６２，１２２の先端位置の演算，装着ユニット６０と吸着ノズル６２との組合せ等が、電子部品装着機１０の備える制御装置１６０により実行されているが、電子部品装着機１０の外部に設けられた情報処理装置等により、各種演算を行うことが可能である。
【００６６】
また、上記実施例では、吸着ノズル６２，１２２が本発明に適用されているが、チャック等の複数の爪により部品を把持する部品把持具に、本発明を適用することが可能である。なお、部品把持具が適用される場合には、部品把持具により部品が把持される部分が、コントローラ１６２等により演算される。
【符号の説明】
【００６７】
１０：電子部品装着機（対基板作業システム）    ２４：装着ヘッド（第２作業ヘッド）    ６０：装着ユニット（第２ホルダ）    ６２：吸着ノズル（第２部品保持具）    １０５：ピックアップヘッド（第１作業ヘッド）    １２０：ピックアップユニット（第１ホルダ）    １２２：吸着ノズル（第１部品保持具）    １６０：制御装置    １７０：取得部    １７２：決定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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