(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検出物に照射された光を検出する検出装置であって、
当該検出装置が、
前記被検出物に第１の方向から光を照射する第１の光源と、
前記被検出物に第２の方向から光を照射する第２の光源と、
前記第１の光源から照射された光と、前記第２の光源から照射された光とを検出するための検出部と、
前記第１の光源から照射された光を、第１の光路を経由して、前記検出部まで導く第１導光部材と、
前記第２の光源から照射された光を、第２の光路を経由して、前記検出部まで導く第２導光部材と、
前記第１の光源から照射された光が前記第２の光路に沿って前記検出部に到達しないように、前記第１の光源から照射された光を遮る遮光部材と
を備えることを特徴とする検出装置であって、
前記検出部により前記第１の光源から照射された光が検出される際に、前記被検出物は第１の位置に配置されており、
前記検出部により前記第２の光源から照射された光が検出される際に、前記被検出物は前記第１の位置と異なる第２の位置に配置されていることを特徴とする検出装置。
【請求項２】
前記検出装置は、
前記第１の光路上において、前記第１の位置から、前記検出部から離れる方向にある前記第２の位置へ移動させることを特徴とする請求項１に記載の検出装置。
【請求項３】
前記第１の位置における前記被検出物の位置は、前記第１の光路上において、前記第２の光路から外れる位置にあることを特徴とする請求項２に記載の検出装置。
【請求項４】
前記検出装置は、
さらに前記被検出物を把持する被検出物把持具を備え、前記被検出物把持具を前記第１の光路上で動かすことで、前記被検出物を前記第１の位置から前記第２の位置へ移動させることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検出物に照射された光を検出する検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被検出物に照射された光を検出する検出装置では、例えば、検出された光に基づいて被検出物が撮像され、撮像により形成された画像データを利用して、被検出物の検査が行われる。下記特許文献１には、２台の撮像装置により被検出物を２つの方向から撮像し、それら２つの方向からの撮像により形成された画像データに基づいて、被検出物の検査を行うための技術が記載されている。また、２台の撮像装置により被検出物を２つの方向から撮像していては、効率が悪いため、下記特許文献２には、１台の撮像装置により被検出物を２つの方向から撮像するための技術が記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−４１１５８号公報
【特許文献２】特開２０１２−４３０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献２に記載されているように、１台の撮像装置により被検出物を２つの方向から撮像することで、低コスト化を図ることが可能となる。ただし、１台の撮像装置により被検出物が２つの方向から撮像される際には、被検出物が第１の方向から撮像される場合の光の経路（以下、「第１の光路」と記載する場合がある）と、被検出物が第２の方向から撮像される場合の光の経路（以下、「第２の光路」と記載する場合がある）とは、通常、異なっており、各々の経路に沿った光により、第１の方向から撮像された被検出物の画像データと、第２の方向から撮像された被検出物の画像データとが形成される。しかしながら、被検出物が第１の方向から撮像される場合に照射される光が、第１の光路だけでなく、第２光路に入り込む場合がある。このような場合には、被検出物の第１の方向からの撮像時の画像に、第２の光路に入り込んだ光により、ゴースト画像が映り込む虞があり、被検出物の検査を適切に行うことができない虞がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、被検出物の第１の方向からの撮像時の画像へのゴースト画像の映り込みを防止することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本願に記載の検出装置は、被検出物に照射された光を検出する検出装置であって、前記被検出物に第１の方向から光を照射する第１の光源と、前記被検出物に第２の方向から光を照射する第２の光源と、前記第１の光源から照射された光と、前記第２の光源から照射された光とを検出するための検出部と、前記第１の光源から照射された光を、第１の光路を経由して、前記検出部まで導く第１導光部材と、前記第２の光源から照射された光を、第２の光路を経由して、前記検出部まで導く第２導光部材と、前記第１の光源から照射された光が前記第２の光路に沿って前記検出部に到達しないように、前記第１の光源から照射された光を遮る遮光部材とを備える検出装置であって、前記検出部により前記第１の光源から照射された光が検出される際に、前記被検出物は第１の位置に配置されており、前記検出部により前記第２の光源から照射された光が検出される際に、前記被検出物は前記第１の位置と異なる第２の位置に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本願に記載の検出装置では、第１の光源によって、被検出物に第１の方向から光が照射され、第２の光源によって、被検出物に第２の方向から光が照射される。そして、第１の光源から照射された光が、第１の光路を経由して、検出部に到達し、第２の光源から照射された光が、第２の光路を経由して、検出部に到達する。さらに、第１の光源から照射された光が、第２の光路に沿って検出部に到達しないように、遮光部材によって遮られる。また、第１の光源から照射された光が検出される際に、被検出物は第１の位置に配置され、第２の光源から照射された光が検出される際に、被検出物は第１の位置と異なる第２の位置に配置される。これにより、被検出物の第１の方向からの撮像時の画像へのゴースト画像の映り込みを防止することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】電子部品装着装置を示す斜視図である。
【図２】吸着ノズルを示す斜視図である。
【図３】ノズル管理装置を示す斜視図である。
【図４】本発明の撮像装置を示す概略図である。
【図５】本発明の撮像装置により撮像された吸着ノズルの下面の画像を示す図である。
【図６】本発明の撮像装置により撮像された吸着ノズルの側方の画像を示す図である。
【図７】比較例の撮像装置を示す概略図である。
【図８】本発明の撮像装置を示す概略図である。
【図９】比較例の撮像装置を示す概略図である。
【図１０】比較例の撮像装置により撮像された吸着ノズルの下面の画像を示す図である。
【図１１】本発明の撮像装置を示す概略図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。
【０００９】
＜電子部品装着装置の構成＞
図１に、電子部品装着装置（以下、「装着装置」と略す場合がある）１０を示す。装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。
【００１０】
各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。
【００１１】
搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって固定的に保持される。
【００１２】
移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータの作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。
【００１３】
装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６の下端面には、吸着ノズル６０が設けられている。吸着ノズル６０は、図２に示すように、胴体筒６４とフランジ部６６と吸着管６８と掛止ピン７０とによって構成されている。胴体筒６４は、円筒状をなし、フランジ部６６は、胴体筒６４の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管６８は、細いパイプ状をなし、胴体筒６４の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒６４に軸線方向に移動可能に保持されている。掛止ピン７０は、胴体筒６４の径方向に延びるように、胴体筒６４の上端部に設けられている。吸着ノズル６０は、掛止ピン７０を利用して、装着ヘッド２６にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。また、装着ヘッド２６には、バネ（図示省略）が内蔵されており、そのバネは、装着ヘッド２６に取り付けられる吸着ノズル６０の吸着管６８に、弾性力を付与する。これにより、その吸着管６８は、装着ヘッド２６に内蔵されたバネの弾性力によって、胴体筒６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。
【００１４】
また、吸着ノズル６０は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。各吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させるノズル昇降装置（図示省略）を有している。そのノズル昇降装置によって、装着ヘッド２６は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。
【００１５】
供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、フレーム部３２の前方側の端部に配設されている。供給装置２８は、テープフィーダ７２を有している。テープフィーダ７２は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７２は、送出装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。
【００１６】
ノズルステーション３０は、複数の吸着ノズル６０を収容するノズルトレイ７７を有している。このノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７７に収容されている吸着ノズル６０との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ７７は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルトレイ７７に収容された吸着ノズル６０の回収，ノズルトレイ７７への吸着ノズル６０の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。
【００１７】
＜装着機による装着作業＞
装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって固定的に保持される。また、テープフィーダ７２は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。
【００１８】
＜吸着ノズルの検査＞
装着機１４では、上述したように、テープフィーダ７２によって供給された電子部品が、吸着ノズル６０によって吸着保持され、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル６０に不具合が生じていると、適切な装着作業を実行することができない。このようなことを考慮して、装着機１４のノズルステーション３０からノズルトレイ７７が取り外され、ノズル管理装置において、ノズルトレイ７７に収容されている吸着ノズル６０の検査が行われる。
【００１９】
詳しくは、ノズル管理装置７８は、図３に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ７７をノズル管理装置７８内に収納、若しくは、ノズル管理装置７８からノズルトレイ７７を取り出すための引出７９が設けられている。そして、ノズル管理装置７８内に収納された吸着ノズル６０は、ノズル管理装置７８内において、管理及び検査が行われる。この吸着ノズル６０の検査の際に、吸着ノズル６０の撮像が行われ、撮像データに基づいて、吸着ノズル６０の吸着管６８の状態および、吸着管６８の胴体筒６４からの突出量の検査が行われる。吸着ノズル６０の撮像を行う撮像装置８０は、図４に示すように、３枚の反射鏡８２，８４，８６と、下方照明装置８８と、側方照明装置９０と、２個の遮光ブロック９２，９４と、カメラ９６とを備えている。
【００２０】
ノズル管理装置７８では、検査対象の吸着ノズル６０が、ノズル把持具１００により把持される。そして、ノズル把持具１００により把持された吸着ノズル６０が撮像装置８０によって撮像される。３枚の反射鏡８２，８４，８６のうちの第１の反射鏡８２は、ノズル把持具１００に把持された吸着ノズル６０の下方に、約４５度に傾斜した状態で配設されている。なお、第１の反射鏡８２の反射率は５０％であり、透過率は５０％である。
【００２１】
３枚の反射鏡８２，８４，８６のうちの第２の反射鏡８４は、第１の反射鏡８２の側方に、その第１の反射鏡８２と同じ方向に約４５度に傾斜した状態で配設されている。なお、第２の反射鏡８４の反射率は３０％であり、透過率は７０％である。また、３枚の反射鏡８２，８４，８６のうちの第３の反射鏡８６は、第２の反射鏡８４の上方に、その第２の反射鏡８４と同じ方向に約４５度に傾斜した状態で配設されている。なお、第３の反射鏡８６の反射率は１００％であり、透過率は０％である。
【００２２】
また、下方照明装置８８は、側射照明１０２と落射照明１０４とを備えている。側射照明１０２は、概して円環状をなし、上方を向いた状態で、第１の反射鏡８２とノズル把持具１００に把持された吸着ノズル６０との間に配設されている。なお、ノズル把持具１００に把持された吸着ノズル６０の軸線と、円環状の側射照明１０２の中心とは、上下方向において概ね一致している。また、落射照明１０４は、上を向いた状態で、第１の反射鏡８２の下方に配設されている。これにより、側射照明１０２は、ノズル把持具１００に把持された吸着ノズル６０に向かって下方から光を照射し、落射照明１０４は、第１の反射鏡８２及び、側射照明１０２の内径部を介して、ノズル把持具１００に把持された吸着ノズル６０に向かって下方から光を照射する。
【００２３】
側射照明１０２および落射照明１０４から照射された光、つまり、下方照明装置８８から照射された光は、ノズル把持具１００に把持された吸着ノズル６０若しくは、側射照明１０２の裏面により反射し、光路（２本の点線１０６の間の経路）に沿って、第１の反射鏡８２に入射する。そして、第１の反射鏡８２に入射した光のうちの５０％の光量の光が、第１の反射鏡８２により反射し、光路（２本の点線１０８の間の経路）に沿って、第２の反射鏡８４に入射する。これは、第１の反射鏡８２の反射率が５０％であるためである。また、第２の反射鏡８４に入射する光の延長線上に、カメラ９６が配設されている。このため、第２の反射鏡８４に入射する光のうちの７０％の光量の光が、第２の反射鏡８４を透過し、光路（２本の点線１１０の間の経路）に沿って、カメラ９６に入射する。なお、カメラ９６は、レンズ１１２と撮像素子１１４とを有しており、カメラ９６に入射した光が、レンズ１１２を介して、撮像素子１１４により検出される。これにより、図５に示すように、吸着ノズル６０の下面側の撮像データが得られる。なお、撮像素子１１４によって検出される光は、ノズル把持具１００に把持された吸着ノズル６０若しくは、側射照明１０２の裏面により反射した光の光量の３５％（０．５×０．７＝０．３５）に相当する光である。
【００２４】
また、撮像装置８０の側方照明装置９０は、バックライト方式の照明装置であり、図４に示すように、ノズル把持具１００に把持された吸着ノズル６０に光を照射するとともに、その照射した光が第３の反射鏡８６に入射するように配設されている。また、側方照明装置９０と、ノズル把持具１００に把持された吸着ノズル６０との間に、２個の遮光ブロック９２，９４のうちの第１の遮光ブロック９２が配設され、第３の反射鏡８６と、ノズル把持具１００に把持された吸着ノズル６０との間に、２個の遮光ブロック９２，９４のうちの第２の遮光ブロック９４が配設されている。そして、第１の遮光ブロック９２と第２の遮光ブロック９４との各々には、スリット１２０，１２２が形成されており、それら２つのスリット１２０，１２２は、側方照明装置９０からの光の照射方向において一致している。このため、側方照明装置９０は、第１の遮光ブロック９２のスリット１２０の間から、ノズル把持具１００に把持された吸着ノズル６０に光を照射し、その照射された光は、第２の遮光ブロック９４のスリット１２２の間から、第３の反射鏡８６に入射する。この際、側方照明装置９０から照射された光は、光路（２本の点線１２４の間の経路）に沿って、第３の反射鏡８６に入射する。
【００２５】
そして、第３の反射鏡８６に入射した光のうちの１００％の光量の光が、第３の反射鏡８６により反射し、光路（２本の点線１２６の間の経路）に沿って、第２の反射鏡８４に入射する。これは、第３の反射鏡８６の反射率が１００％であるためである。次に、第２の反射鏡８４に入射した光のうちの３０％の光量の光が、第２の反射鏡８４により反射し、光路（２本の点線１２８の間の経路）に沿って、カメラ９６に入射する。これにより、図６に示すように、吸着ノズル６０の側方からの撮像データが得られる。なお、カメラ９６に入射する光は、スリット１２２の間を通過した光であることから、図中の１点鎖線１３０により区画される形状は、スリット１２２に応じた形状となっている。また、撮像素子１１４によって検出される光は、側方照明装置９０から照射された光の光量の３０％（１．０×０．３＝０．３）に相当する光である。
【００２６】
上述したように、撮像装置８０では、第１の光路、具体的には、２本の点線１０６の間の経路と、２本の点線１０８の間の経路と、２本の点線１１０の間の経路を経由して、カメラ９６に入射した光により、吸着ノズル６０の下面側が撮像され、第２の光路、具体的には、２本の点線１２４の間の経路と、２本の点線１２６の間の経路と、２本の点線１２８の間の経路を経由して、カメラ９６に入射した光により、吸着ノズル６０の側方が撮像される。これにより、吸着ノズル６０の下面の撮像用のカメラと、側面の撮像用のカメラとの２台のカメラを用いる必要がなくなり、撮像装置の低コスト化を図ることが可能となる。ただし、第１の光路と第２の光路とを利用して、１台のカメラ９６で吸着ノズル６０を２方向から撮像することが可能であるのは、２個の遮光ブロック９２，９４の存在である。この遮光ブロック９２，９４が存在しなければ、吸着ノズル６０の下面側の画像に、吸着ノズル６０の側方の画像が、ゴースト像として映り込む虞がある。
【００２７】
具体的に、図７を用いて、遮光ブロック９２，９４の配設されていない撮像装置１４０を例にして説明する。なお、撮像装置１４０は、遮光ブロック９２，９４が配設されていないことを除いて、撮像装置８０と同じであるため、撮像装置１４０の説明において、撮像装置８０の構成要素と同じ符号を用いる。
【００２８】
撮像装置１４０において、吸着ノズル６０の下面の撮像を行うべく、下方照明装置８８により光が照射されると、その光が、撮像装置８０と同様に、第１の光路、つまり、２本の点線１０６の間の経路と、２本の点線１０８の間の経路と、２本の点線１１０の間の経路を経由して、カメラ９６に入射する。また、下方照明装置８８から照射された光、特に、側射照明１０２から照射された光が、直接、若しくは、側方照明装置９０の拡散板（図示省略）に反射して、第３の反射鏡８６に入射する場合がある。このような場合に、下方照明装置８８から照射された光が、光路（２本の点線１４６の間の経路）に沿って、第３の反射鏡８６に入射すると、第３の反射鏡８６により反射する。そして、第３の反射鏡８６により反射した光が、光路（２本の点線１４８の間の経路）に沿って、第２の反射鏡８４に入射する。この第２の反射鏡８４に入射した光が、第２の反射鏡８４により反射すると、その反射した光は、光路（２本の点線１１０の間の経路）に沿って、カメラ９６に入射する。この光路（２本の点線１１０の間の経路）は、第１の光路、つまり、吸着ノズル６０の下面側の画像を形成するための光の経路と同じとなっている。このため、撮像素子１１４では、吸着ノズル６０の下面側の画像を形成するための光と、吸着ノズル６０の側面の画像を形成するための光とが、重なった状態で検出される。これにより、吸着ノズル６０の下面側の画像に、吸着ノズル６０の側方の画像が、ゴースト像として映り込む。
【００２９】
一方、撮像装置８０では、遮光ブロック９２，９４が、下方照明装置８８により照射された光を遮ることで、ゴースト像の映り込みが防止されている。具体的には、図８に示すように、側射照明１０２が、点線１５０に沿った光路の光を照射した場合でも、その光は、第２の遮光ブロック９４のスリット１２２の内部に到達するが、第２の遮光ブロック９４の厚さにより、第３の反射鏡８６への光の入射が防止される。また、側射照明１０２が、点線１５２に沿った光路の光を照射した場合でも、その光は、第１の遮光ブロック９２のスリット１２０の内部に到達するが、第１の遮光ブロック９２の厚さにより、側方照明装置９０の拡散板への入射が防止される。つまり、側方照明装置９０の拡散板の反射による第３の反射鏡８６への光の入射が防止される。このように、撮像装置８０では、遮光ブロック９２，９４により、下方照明装置８８から照射された光が遮られることで、吸着ノズル６０の下面側の画像へのゴースト像の映り込みが防止される。
【００３０】
ただし、下方照明装置８８から照射された光が、吸着ノズル６０により反射し、その反射した光が、点線１５６に沿った光路を経由して、第３の反射鏡８６に入射する場合がある。このようなことを考慮して、撮像装置８０では、側方照明装置９０が、吸着ノズル６０の下面側を撮像する際の吸着ノズル６０の下端部、つまり、吸着管６８の先端部ではなく、吸着管６８の中央部周辺に、光を照射するように、遮光ブロック９２，９４にスリット１２０，１２２が形成されている。
【００３１】
具体的には、例えば、図９に示す撮像装置１７０では、側方照明装置９０が、吸着ノズル６０の吸着管６８の下端部に、光を照射するように、遮光ブロック１７２，１７４にスリット１７６，１７８が形成されている。なお、撮像装置１７０は、遮光ブロック１７２，１７４を除いて、撮像装置８０と同じであるため、撮像装置１７０の説明において、撮像装置８０の構成要素と同じ符号を用いる。
【００３２】
この撮像装置１７０では、下方照明装置８８から照射された光が、吸着ノズル６０により反射し、その反射した光が、遮光ブロック１７４のスリット１７８の間から第３の反射鏡８６に入射する場合がある。このような場合に、吸着ノズル６０により反射した光は、光路（２本の点線１８０の間の経路）に沿って、第３の反射鏡８６に入射する。そして、第３の反射鏡８６に入射した光が、第３の反射鏡８６により反射し、その反射した光が、光路（２本の点線１８２の間の経路）に沿って、第２の反射鏡８４に入射する。この第２の反射鏡８４に入射した光が、第２の反射鏡８４により反射すると、その反射した光は、光路（２本の点線１８４の間の経路）に沿って、カメラ９６に入射する。このカメラ９６に入射する光の経路は、２本の点線１８４の間の経路であり、吸着ノズル６０の下面側の画像を形成するための光の経路（２本の点線１１０の間の経路）の中央部に位置する。このため、図１０に示すように、吸着ノズル６０の下面側の画像の中央部に、２本の点線１８４の間の経路を経由してカメラ９６に入射した光によって、実線１６０で区画されるゴースト像が映り込む虞がある。このように、吸着ノズル６０の下面側の画像の中央部に、ゴースト像が映り込むと、ゴースト像が吸着ノズル６０の下面側の検査の妨げとなり、吸着ノズル６０の下面側、つまり、吸着ノズル６０の吸着管６８の状態を適切に検査することができない。
【００３３】
一方、撮像装置８０では、図８に示すように、側方照明装置９０が、吸着ノズル６０の下面側を撮像する際の吸着ノズル６０の吸着管６８の中央部周辺に、光を照射するように、遮光ブロック９２，９４にスリット１２０，１２２が形成されている。このため、吸着ノズル６０により反射した光が、第３の反射鏡８６に入射する場合には、その光は、上述したように、第２の光路、つまり、２本の点線１２４の間の経路と、２本の点線１２６の間の経路と、２本の点線１２８の間の経路を経由して、カメラ９６に入射する。このカメラ９６に入射する光の経路は、２本の点線１２８の間の経路であり、吸着ノズル６０の下面側の画像を形成するための光の経路（２本の点線１１０の間の経路）の端に位置する。このため、吸着ノズル６０の下面側の画像には、図５に示すように、２本の点線１２８の間の経路を経由してカメラ９６に入射した光によって、実線１６０で区画されるゴースト像が映り込むが、このゴースト像は、吸着ノズル６０の下面側の画像と異なる箇所に映り込んでおり、吸着ノズル６０の下面側の検査の妨げにはならない。これにより、吸着ノズル６０の吸着管６８の状態を適切に検査することが可能となる。
【００３４】
このように、撮像装置８０では、反射鏡８４，８６、遮光ブロック９２，９４を配設するとともに、その反射鏡８４，８６の配設位置の適切化、及び、その遮光ブロック９２，９４へのスリット１２０，１２２の形成位置を適切化することで、吸着ノズル６０の下面側を適切に撮像し、吸着ノズル６０の吸着管６８の状態を適切に検査することが可能となる。
【００３５】
また、吸着ノズル６０の側方の撮像の目的は、吸着管６８の胴体筒６４からの突出量の検査であり、吸着管６８の先端部を撮像する必要がある。つまり、吸着管６８の先端部の位置を、撮像データに基づいて検出し、その吸着管６８の先端部の位置に基づいて、吸着管６８の胴体筒６４からの突出量が演算される。しかしながら、撮像装置８０では、上述したように、側方照明装置９０が、吸着ノズル６０の下面側を撮像する際の吸着ノズル６０の吸着管６８の中央部周辺に、光を照射するように、遮光ブロック９２，９４にスリット１２０，１２２が形成されている。つまり、吸着ノズル６０の下面側を撮像する際の吸着ノズル６０の位置において、吸着ノズル６０の側方の撮像を行った場合には、吸着ノズル６０の吸着管６８の中央部周辺が撮像されるため、吸着管６８の胴体筒６４からの突出量を演算することができない。このため、吸着ノズル６０の側方が撮像される際には、吸着ノズル６０の吸着管６８の先端部に、側方照明装置９０により光が照射されるように、吸着ノズル６０を移動させる。
【００３６】
具体的には、吸着ノズル６０の側方の撮像時には、図１１に示すように、側方照明装置９０から照射された光の経路（２本の点線１２４の間の経路）に、吸着ノズル６０の吸着管６８の先端部が位置するように、ノズル把持具１００を上方に移動させる。これにより、側方照明装置９０から照射された光が、第２の光路、つまり、２本の点線１２４の間の経路と、２本の点線１２６の間の経路と、２本の点線１２８の間の経路を経由して、カメラ９６に入射され、図６に示すように、吸着ノズル６０の吸着管６８の先端部が撮像される。
【００３７】
このように、撮像装置８０では、遮光ブロック９２，９４の配設，スリット１２０，１２２の形成位置の適切化，吸着ノズル６０の撮像箇所に応じた撮像位置の変更等により、１台のカメラ９６によって、吸着ノズル６０の下面の撮像と側方の撮像を適切に行うことが可能となっている。
【００３８】
また、撮像装置８０では、吸着ノズル６０の下面の撮像が行われる際の吸着ノズル６０とカメラ９６との間の第１の光路を経由した距離と、吸着ノズル６０の側方の撮像が行われる際の吸着ノズル６０とカメラ９６との間の第２の光路を経由した距離とが同じである。つまり、図４での２本の点線１０６の間の経路と、２本の点線１０８の間の経路と、２本の点線１１０の間の経路とを経由した吸着ノズル６０とカメラ９６との間の距離と、図１１での２本の点線１２４の間の経路と、２本の点線１２６の間の経路と、２本の点線１２８の間の経路とを経由した吸着ノズル６０とカメラ９６との間の距離とが同じである。これにより、吸着ノズル６０の下面の撮像時と側方の撮像時において、ピント調整を行う必要が無く、作業性に優れた撮像装置が実現する。
【００３９】
ちなみに、上記実施例において、吸着ノズル６０は、吸着ノズルの一例である。撮像装置８０は、検出装置の一例である。下方照明装置８８は、第１の光源の一例である。側方照明装置９０は、第２の光源の一例である。第１の反射鏡８２と第２の反射鏡８４とは、第１導光部材の一例である。第２の反射鏡８４と第３の反射鏡８６とは、第２導光部材の一例である。遮光ブロック９２，９４は、遮光部材の一例である。
【００４０】
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、光を遮るための部材として、遮光ブロック９２，９４が採用されているが、光を遮ることが可能な形状であれば、種々の形状の遮光部材を採用することが可能である。また、遮光ブロック９２，９４には、スリット１２０，１２２が形成され、そのスリット１２０，１２２の間を光が通過するが、光が通過するように遮光部材を貫通していればよく、種々の形状の貫通部を採用することが可能である。具体的には、例えば、端面がＵ字型に凹んだ箇所を光が通過し、その凹んだ箇所以外の箇所において、光を遮る構造の遮光部材を採用することが可能である。
【００４１】
また、上記実施例では、本発明の検出装置が、吸着ノズル６０の撮像を行うための装置として採用されているが、吸着ノズル６０以外の種々の部材の撮像を行う装置として、本発明の検出装置を採用することが可能である。
【００４２】
また、上記実施例では、吸着ノズル６０の側方の撮像位置が、吸着ノズル６０の下面の撮像位置の上方に位置するように、スリット１２０，１２２が形成されているが、吸着ノズル６０の側方の撮像位置と、吸着ノズル６０の下面の撮像位置とが異なるように、スリット１２０，１２２の形成位置を設定することが可能である。つまり、吸着ノズル６０の側方の撮像位置が、吸着ノズル６０の下面の撮像位置の下方に位置するように、スリット１２０，１２２が形成されてもよい。
【００４３】
そして、吸着ノズル６０の側方の撮像の目的は、吸着ノズルの先端の汚れや、電子部品が付着しているか否かの検査とすることもできる。
【符号の説明】
【００４４】
６０：吸着ノズル    ８０：撮像装置（検出装置）    ８８：下方照明装置（第１の光源）    ９０：側方照明装置（第２の光源）    ８２：反射鏡（第１導光部材）    ８４：反射鏡（第１導光部材）（第２導光部材）    ８６：反射鏡（第２導光部材）    ９２：遮光ブロック（遮光部材）    ９４：遮光ブロック（遮光部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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