(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に開口部を有し基板収納容器を収容する箱本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体とを有し、
前記蓋体は前記開口部を覆う板状部と、前記板状部の端部に設けられ前記箱本体と固定される側壁部とを有し、
前記板状部に前記蓋体と前記箱本体との位置を規制する位置規制部を備え、
前記位置規制部は、前記板状部に点在するように設けられているとともに、側面が前記基板収納容器を保持する緩衝部材に設けた凹部の側面と当接し、前記蓋体と前記箱本体との位置を規制することを特徴とする基板収納容器の梱包体。
【請求項２】
前記位置規制部は、前記板状部の少なくとも１つの角部に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項３】
前記位置規制部は、前記板状部の対角線上の角部に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項４】
上面に開口部を有する箱本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体とを有する梱包体であって、
前記箱本体は、４つの側壁を有し、前記４つの側壁で基板収納容器を収容する１つの空間を形成し、
前記蓋体は前記開口部を覆う板状部と、前記板状部の端部に設けられ前記箱本体と固定される側壁部とを有し、
前記板状部に前記蓋体と前記箱本体との位置を規制する位置規制部を備え、
前記位置規制部は、前記板状部に点在するように、前記板状部の対角線上の角部に設けられているとともに、前記箱本体の角部を形成する２つの前記側壁にそれぞれ当接する２つの側面を有することを特徴とする基板収納容器の梱包体。
【請求項５】
前記開口部の１辺と前記板状部の１辺が接合され、前記蓋体は前記接合された辺を回転軸として回転し前記開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項６】
前記蓋体と前記箱本体とは分離可能であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項７】
前記蓋体は、前記開口部の１辺と前記板状部の１辺が接合され、前記接合された辺を回転軸として回転し前記開口部を閉鎖するものであり、
前記位置規制部は、前記接合された辺に対向する辺の両角部に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項８】
上面に開口部を有する箱本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体とを有する梱包体であって、
前記箱本体は、４つの側壁を有し、前記４つの側壁で基板収納容器を収容する１つの空間を形成し、
前記蓋体は前記開口部を覆う板状部と、前記板状部の端部に設けられ前記箱本体と固定される側壁部とを有し、
前記板状部に前記蓋体と前記箱本体との位置を規制する位置規制部を備え、
前記蓋体は、前記開口部の１辺と前記板状部の１辺が接合され、前記接合された辺を回転軸として回転し前記開口部を閉鎖するものであり、
前記位置規制部は、前記板状部に点在するように、前記接合された辺に対向する辺の両角部に設けられているとともに、前記箱本体の角部を形成する２つの前記側壁にそれぞれ当接する２つの側面を有することを特徴とする基板収納容器の梱包体。
【請求項９】
前記箱本体と前記側壁部は、面ファスナーにより固定されることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の基板収納容器の梱包体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハやマスクガラスなどの基板収納容器の梱包体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハを収納した基板収納容器は、特許文献１、２に記載されるように梱包体で梱包された状態で輸送される。近年、半導体ウェーハの大口径化が進み、口径３００ｍｍの半導体ウェーハが主流になるとともに、口径４５０ｍｍの半導体ウェーハの適用も検討されている。半導体ウェーハの大口径化に伴い、梱包される基板収納容器の重量も増加し、例えば口径４５０ｍｍの半導体ウェーハを収納した基板収納容器の重量は約２５ｋｇにもなる。
【０００３】
大型化し重量が増加した基板収納容器の梱包体には、上面に開口部を有し基板収納容器を収容する箱本体と、箱本体の開口部を閉鎖する蓋体とを備えた梱包箱が用いられる。このような梱包箱では、梱包や開梱の作業効率を上げるため、粘着テープに替えて面ファスナーで蓋体を箱本体に固定する方法が採用されている。しかし、梱包箱の大型化に伴い、梱包時に蓋体の位置決めにズレが生じて作業の効率が低下する、また輸送中の振動により蓋体に回転方向の力が繰り返し加わり、蓋体を固定する面ファスナーが外れるなどの問題が生じている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１３７４５４号公報
【特許文献２】特開２０１４−５０７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、基板収納容器を収容する箱本体に蓋体を高い位置精度で取付けることができ、蓋体の回転方向のがたつきを抑制できる、基板収納容器の梱包体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために本発明の基板収納容器の梱包体は、上面に開口部を有し基板収納容器を収容する箱本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体とを有し、前記蓋体は前記開口部を覆う板状部と、前記板状部の端部に設けられ前記箱本体と固定される側壁部とを有し、前記板状部に前記蓋体と前記箱本体との位置を規制する位置規制部を備えることを特徴とする。
【０００７】
前記位置規制部は、前記箱本体の内壁面と当接し、前記蓋体と前記箱本体との位置を規制することを特徴とする、
【０００８】
前記位置規制部は、前記基板収納容器を保持する緩衝部材と当接し、前記蓋体と前記箱本体との位置を規制することを特徴とする。
【０００９】
前記位置規制部は、前記板状部の少なくとも１つの角部に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
前記箱本体と前記側壁部は、面ファスナーにより固定されることを特徴とする。
【００１１】
前記開口部の１辺と前記板状部の１辺が接合され、前記蓋体は前記接合された辺を回転軸として回転し前記開口部を閉鎖することを特徴とする。
【００１２】
前記蓋体と前記箱本体とは分離可能であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、基板収納容器を収容する箱本体に蓋体を高い位置精度で取付けることができ、蓋体の回転方向のがたつきを抑制できる基板収納容器の梱包体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１において位置規制部が蓋体と箱本体の位置を規制する状態を示す断面図である。
【図３】蓋体が箱本体の開口部を閉鎖した状態を示す斜視図である。
【図４】本発明の第２実施形態を示す斜視図である。
【図５】第２実施形態の蓋体を示す図である。
【図６】第２実施形態の位置規制部が箱本体に載置された状態を示す図である。
【図７】本発明の第３実施形態を示す斜視図である。
【図８】第３実施形態の蓋体を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。図１〜図３は本発明の第１実施形態を示す図である。図１は基板収納容器１３が収容される前の梱包体１であり、図３は基板収納容器１３が収容され、蓋体２が箱本体３の開口部９を閉鎖した状態の梱包体１を示す。なお、図では表示を省略しているが、基板収納容器１３は、吸湿を防止するためにアルミラミネート袋などの梱包袋に入れられ、袋の開口を密封した状態で梱包される。
【００１６】
基板収納容器が収容される箱本体３は、上下面に開口部を有する筒状であり、下面の開口部は底蓋体１２によって閉鎖される。基板収納容器１３は衝撃を緩和する緩衝部材４、５に保持され、開口部９から箱本体３に収容される。緩衝部材４、５は箱本体３の内壁面にその一部が当接することにより、梱包体１内で基板収納容器１３が動くことを防ぐ。箱本体３、蓋体２、底蓋体１２、および緩衝部材４、５は、それぞれ段ボールまたは樹脂などで形成することができる。
【００１７】
図１に示すように、蓋体２は開口部９を覆う板状部２１と板状部２１の端部に設けられた側壁部２２とを有する。蓋体２は板状部２１が箱本体の開口部９に載置された後、側壁部２２が箱本体３の側壁３１と重なる。そして、側壁部２２に設けられた固定部１０と箱本体３の側壁３１に設けられた固定部１１が重なり係合して、蓋体２は箱本体３に固定される。固定部１０、１１に面ファスナーを用いることにより、蓋体２の取り付け、取り外しが容易になる。さらに、固定バンド７、８を締めて蓋体の固定を補強し、図３のように梱包が完了する。
【００１８】
第１実施形態では、板状部２１の１辺が開口部９の１辺と接合されて連続している。このため、蓋体２は接合された辺を回転軸として回転し、箱本体３の開口部９を閉鎖する。また、第１実施形態では、図１に示すように略Ｌ字状の凸部である位置規制部６が板状部２１の内面側の２か所の角部に設けられている。
【００１９】
位置規制部６は板状部２１の端部から間隙Ｓ離れて配置されており、図２（ａ）に示すように、側壁部２２と位置規制部６との間には間隙Ｓが形成される。略Ｌ字状の位置規制部６は、２つの直線状の側面６１、６２がそれぞれ異なる側壁部２２と対向するように配置されている。蓋体２が開口部９を閉鎖すると、図２（ｂ）のように板状部２１と接合されて連続していない箱本体３の３つの側壁３１は、それぞれ位置規制部６と側壁部２２との間隙Ｓに嵌合する。蓋体２が開口部９の上で移動しようとすると、位置規制部６の側面６１、６２が箱本体３の側壁３１の内壁面と当接し、蓋体２の移動が制限されるため、蓋体２と箱本体３の位置が規制される。
【００２０】
位置規制部６は、板状部２１が開口部９に載置された状態で、蓋体２と箱本体３の位置を規制するので、固定部１０、１１によって蓋体２と箱本体３が固定されていなくても、蓋体２の位置ズレを防止することができる。また、板状部２１を開口部９に載置する際、位置規制部６は側面６１、６２が箱本体３の開口部９内に収まるように板状部２１を案内するので、蓋体２や箱本体３の開口部９に歪みが生じることがあっても、蓋体２と箱本体３の位置合わせを正確に行うことができる。特に、位置規制部６を、箱本体３の開口部９の変形の生じ難い角部に対向するように配置することで、蓋体２と箱本体３との位置あわせが容易となる。このため、梱包体１が大きくなっても、箱本体３の開口部９に蓋体２を位置ズレなく置くことが容易であり梱包作業を効率化できる。
【００２１】
また、基板収納容器１３を梱包体１で運搬中、振動により蓋体２に移動しようとする力が繰り返し働いても、位置規制部６は箱本体３の内壁面に当接し蓋体２の移動を制限するため、側壁部２２に大きな力が加わり固定部１０と固定部１１とが外れて外気や汚染物が入り込み、梱包体１の内部および基板収納容器１３の梱包袋などが汚染されることを防げる。さらに、位置規制部６により動きが規制された蓋体２を固定部１０と固定部１１で固定するので、蓋体２と箱本体３の損傷を防止でき、梱包体１を繰り返し長期間使用することが可能となる。
【００２２】
図４〜図６は本発明の第２実施形態を示す図である。第２実施形態では、開口部９を閉鎖する蓋体２と箱本体３とが分離可能となっている。図４に基板収納容器１３が収容される前の梱包体１を示す。箱本体３は上下面に開口部を有する筒状であり、下面の開口部は底蓋体１２によって閉鎖される。緩衝部材４、５に保持された基板収納容器１３は、上面の開口部９から箱本体３に収容され、梱包体１内で固定される。
【００２３】
蓋体２は板状部２１と板状部２１の端部に設けられた側壁部２２を有し、板状部２１が開口部９に載置された後、側壁部２２が箱本体３の側壁３１と重なる。そして、側壁部２２に設けられた固定部１０と箱本体３の側壁３１に設けられた固定部１１が重なり係合して、蓋体２は箱本体３に固定される。固定部１０、１１には面ファスナーを用い、さらに必要に応じて固定バンド７、８を締めて蓋体２の固定を補強する。
【００２４】
位置規制部６は、図５に示すように板状部２１の対角線上の角部に設けられている。位置規制部６は三角形の凸部であり、凸部の側面６１、６２と板状部２１の端部との間には間隙Ｓが設けられている。蓋体２は箱本体３の側壁３１を間隙Ｓに嵌合して開口部９を閉鎖する。図６は板状部２１が箱本体３に搭載された状態を示す図である（側壁部２２は図示せず。）。蓋体２が移動しようとしても、板状部２１に設けられた位置規制部６の側面６１、６２が、箱本体３の側壁３１の内壁面と当接するため、蓋体２と箱本体３の位置が規制される。
【００２５】
第２実施形態においても、板状部２１を開口部９に載置すると、蓋体２と箱本体３の位置は位置規制部６によって規制されるので、固定部１０、１１によって蓋体２と箱本体３が固定されていなくても蓋体２の位置ズレを防止できる。また、蓋体２や開口部９に歪みが生じていても、板状部２１を開口部９に載置する際、位置規制部６の側面６１、６２が、箱本体３の開口部９内に収まるように板状部２１が案内されるので、蓋体２と箱本体３の位置合わせを正確に行える。このため、梱包箱が大きくなっても箱本体３の開口部９に蓋体２を位置ズレなく置くことが容易になり、梱包作業を効率化ができる。
【００２６】
また、基板収納容器１３を梱包体１で運搬中、振動により蓋体２に移動しようとする力が繰り返し働いても、位置規制部６が蓋体２の移動を制限するため、側壁部２２に大きな力が加わらない。このため、運搬中に固定部１０と固定部１１とが外れることはない。
【００２７】
図７、図８は本発明の第３実施形態を示す図である。第３実施形態は第２実施形態と同じく、蓋体２と箱本体３とが分離可能な形態である。図７に基板収納容器１３が収容される前の梱包体１を示す。箱本体３は上下面に開口部を有する筒状であり、下面の開口部は底蓋体１２によって閉鎖される。緩衝部材４、５に保持された基板収納容器１３は、上面の開口部９から箱本体３に収容され、梱包体１内で固定される。
【００２８】
蓋体２は板状部２１と板状部２１の端部に設けられた側壁部２２を有し、板状部２１が開口部９に載置された後、側壁部２２が箱本体３の側壁３１と重なる。そして、側壁部２２に設けられた固定部１０と箱本体３の側壁３１に設けられた固定部１１が重なり係合して、蓋体２は箱本体３に固定される。固定部１０、１１には面ファスナーを用い、さらに必要に応じて、固定バンド７、８を締めて蓋体２の固定を補強する。
【００２９】
第３実施形態では、板状部２１に設けた位置規制部６の側面６３が、基板収納容器１３の上面に配置される緩衝部材５に設けた凹部５１の側面と当接して蓋体２の位置規制を行う。緩衝部材４、５は箱本体３の内壁面にその一部が当接することにより、箱本体３の内部で位置が固定されているため、蓋体２の位置を緩衝部材５の凹部５１で規制することにより、蓋体２と箱本体３の位置が規制される。
【００３０】
蓋体２が開口部９上で移動しようとしても、位置規制部６の側面６３が緩衝部材５に設けた凹部５１の側面に当接して蓋体２の移動を規制する。このとき位置規制部６が箱本体３の内壁面に当接して箱本体３に力を加えることはないので、箱本体３の強度を自由に設定することができる。
【００３１】
本発明の第１〜第３実施形態では、箱本体３を上下面に開口部を有する筒状とし、下面の開口部を底蓋体１２によって閉鎖する構造としたが、これは一例であり本発明において箱本体３は上面に開口部９が設けられているものであれば、下面の構造は何ら限定されるものではない。また、位置規制部６は１箇所以上あれば良く、その形状もＬ字型や三角形に限られるものではない。例えば、板状部２１の一辺の中央部に矩形の位置規制部６を設けることもでき、複数の円形をした位置規制部６を、間隔を開けて設けることもできる。さらには、板状部２１の全周に沿った枠状の位置規制部６とすることもできる。
【００３２】
以上、本発明を実施の形態に基づき説明したが、本発明は実施の形態例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能である。
【符号の説明】
【００３３】
１          梱包体
２          蓋体
２１        板状部
２２        側壁部
３          箱本体
３１        側壁
４、５      緩衝部材
６          位置規制部
９          開口部
１０、１１  固定部
１２        底蓋体
１３        基板収納容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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