(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
遮断弁の閉鎖部材を保護するために使用される取外し可能な遮蔽挿入物アセンブリであって、
開孔を有する第１の遮蔽支持体と、
第１の遮蔽挿入物と
を含み、
前記第１の遮蔽支持体は、前記第１の遮蔽挿入物の相補的噛み合わせ機構に係合する噛み合わせ機構を含み、
前記第１の遮蔽挿入物は、平坦リング状の円形の外径を有し、グラファイトから形成され、
前記第１の遮蔽挿入物は、
細長い長方形状の開孔と、
前記第１の遮蔽挿入物を前記第１の遮蔽支持体に結合させるように構成された少なくとも２つの締め具孔と
を含み、前記第１の遮蔽支持体の前記開孔は、前記第１の遮蔽支持体の前記噛み合わせ機構と、前記第１の遮蔽挿入物の前記相補的噛み合わせ機構とを係合することによって、前記第１の遮蔽挿入物の前記円形の外径を受け取りかつそれと噛み合うように構成された、遮蔽挿入物アセンブリ。
【請求項２】
前記第１の遮蔽挿入物の前記円形の外径と噛み合うように構成されたノッチを有する第１の遮蔽支持体を含む、請求項１に記載の遮蔽挿入物アセンブリ。
【請求項３】
前記第１の遮蔽支持体が、グラファイトまたはアルミニウムから製造される、請求項１に記載の遮蔽挿入物アセンブリ。
【請求項４】
細長い長方形状の開孔を有する第２の遮蔽挿入物と、
前記第２の遮蔽挿入物と噛み合うように構成された、開孔を有する第２の遮蔽支持体であり、前記第２の遮蔽挿入物は前記第１の遮蔽支持体の前記開孔を通り抜けるように大きさを合わされた、第２の遮蔽支持体と
をさらに含む、請求項１に記載の遮蔽挿入物アセンブリ。
【請求項５】
前記第２の遮蔽挿入物がグラファイトから製造される、請求項４に記載の遮蔽挿入物アセンブリ。
【請求項６】
前記第２の遮蔽挿入物が、
前記第２の遮蔽挿入物の前記細長い長方形状の開孔の方に向かって薄くなる厚さ
をさらに含む、請求項４に記載の遮蔽挿入物アセンブリ。
【請求項７】
前記第２の遮蔽挿入物が、
前記第２の遮蔽支持体の前記開孔よりも大きい外壁
をさらに含む、請求項４に記載の遮蔽挿入物アセンブリ。
【請求項８】
開孔と、その中に移動可能に配設された閉鎖部材とを有する弁ハウジングと、
前記ハウジングの第１の側に結合された第１の遮蔽挿入物アセンブリであり、前記第１の遮蔽挿入物アセンブリが、前記ハウジングに結合された第１の遮蔽支持体と、前記第１の遮蔽支持体の開孔に取外し可能に結合された第１の遮蔽挿入物とを有し、前記第１の遮蔽挿入物が細長い長方形状の開孔を有する、第１の遮蔽挿入物アセンブリと、
前記ハウジングの前記第１の側とは反対側の第２の側に結合された第２の遮蔽挿入物アセンブリであり、前記第２の側は前記第１の側とは反対であり、前記第２の遮蔽挿入物アセンブリが、前記ハウジングに結合された第２の遮蔽支持体と、前記第２の遮蔽支持体の開孔に取外し可能に結合された第２の遮蔽挿入物とを有し、前記第２の遮蔽挿入物が、前記第１の遮蔽挿入物の前記細長い長方形状の開孔と一直線に並ぶ細長い長方形状の開孔を有し、前記第２の遮蔽挿入物が、前記第１の遮蔽支持体の前記開孔を通り抜けるように大きさを合わされる、第２の遮蔽挿入物アセンブリと、
前記ハウジングに配設され、前記細長い長方形状の開孔の閉じる位置と空く位置との間で移動することができる閉鎖部材と
を含む遮断弁。
【請求項９】
前記第１の遮蔽挿入物および前記第２の遮蔽挿入物がグラファイトから製造される、請求項８に記載の遮断弁。
【請求項１０】
前記第１の遮蔽支持体および前記第２の遮蔽支持体がグラファイトまたはアルミニウムから製造される、請求項８に記載の遮断弁。
【請求項１１】
前記第２の遮蔽支持体を前記第２の遮蔽挿入物に結合する締め具が、前記ハウジングの前記第１の側からアクセス可能である、請求項８に記載の遮断弁。
【請求項１２】
前記第１の遮蔽支持体を前記第１の遮蔽挿入物に結合する締め具が、前記ハウジングの前記第１の側からアクセス可能である、請求項１１に記載の遮断弁。
【請求項１３】
前記第１の遮蔽支持体が、前記第１の遮蔽挿入物とともに重ね継手を形成する、請求項８に記載の遮断弁。
【請求項１４】
前記第２の遮蔽挿入物が、
前記第２の遮蔽挿入物の前記細長い長方形状の開孔の方に向かって薄くなる厚さ
をさらに含む、請求項８に記載の遮断弁。
【請求項１５】
前記第２の遮蔽支持体が、前記ハウジングの前記第２の側から前記ハウジングに結合される、請求項８に記載の遮断弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書で説明する実施形態は、半導体生産装置および方法に関する。詳細には、本明細書で説明する実施形態は、処理チャンバのための遮断弁に関し、より詳細には、遮断弁のための取外し可能な遮蔽挿入物に関する。
【背景技術】
【０００２】
多くの従来の処理チャンバでは、遮断弁の裏側とソースチャンバ出口との間の区域は、弁を取り外さなければアクセス可能でない。基板の処理により、この区域が被覆され、それは、汚染および装置故障をもたらすことがある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、この区域の洗浄および整備は、アクセスが不十分であるために非常に困難である。したがって、弁構成要素を整備および清掃するために、弁を分解するかなりの保守時間が必要とされる。
【０００４】
それゆえに、遮断弁の改善への必要性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
改善された遮断弁が、遮断弁のための取外し可能な遮蔽挿入物アセンブリとともに提供される。１つの実施形態では、遮断弁のための遮蔽挿入物アセンブリが提供される。改善された遮断弁が、遮断弁のための取外し可能な遮蔽挿入物アセンブリとともに提供される。１つの実施形態では、平坦リング形状を有するグラファイトの第１の遮蔽挿入物を含む、遮断弁のための遮蔽挿入物アセンブリが提供される。第１の遮蔽挿入物は、円形の外径を有する。細長い開孔が、第１の遮蔽挿入物を通して形成される。少なくとも２つの締め具孔が、第１の遮蔽挿入物を通して形成され、第１の遮蔽挿入物を第１の遮蔽支持体に結合させるように構成される。
【０００６】
別の実施形態では、遮断弁が提供される。遮断弁は、弁ハウジングと、ハウジングの第１の側に結合された第１の遮蔽挿入物アセンブリと、ハウジングの第２の側に結合された第２の遮蔽挿入物アセンブリと、ハウジングに配設された閉鎖部材とを含む。弁ハウジングは開孔を有する。第１の遮蔽挿入物アセンブリは、ハウジングに結合された第１の遮蔽支持体と、第１の遮蔽支持体の開孔に取外し可能に結合された第１の遮蔽挿入物とを有する。第１の遮蔽挿入物は細長い開孔を有する。第２の遮蔽挿入物アセンブリはハウジングの第２の側に結合される。第２の遮蔽挿入物アセンブリは、ハウジングに結合された第２の遮蔽支持体と、第２の遮蔽支持体の開孔に取外し可能に結合された第２の遮蔽挿入物とを有する。第２の遮蔽挿入物は、第１の遮蔽挿入物の細長い開孔と一線に並ぶ細長い開孔を有する。閉鎖部材は、細長い開孔の閉じる位置と空く位置との間で移動することができる。第２の遮蔽挿入物は、第１の遮蔽支持体の開孔を通り抜けるように大きさを合わされる。
【０００７】
上述で列挙した本開示の特徴が詳細に理解され得るように、上述で簡潔に要約された本開示についてのより詳しい説明が、実施形態を参照して行われ、そのうちのいくつかが添付図面に示される。しかしながら、添付図面は本開示の典型的な実施形態しか示しておらず、それゆえに、本発明は他の等しく効果的な実施形態を認めることができるので、添付図面は本発明の範囲を限定すると見なされるべきでないことに留意されたい。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】弁遮蔽部を保護するために使用される取外し可能な挿入物を有する遮断弁の分解直交図である。
【図２Ａ】２つのチャンバ間に位置づけられる遮断弁の断面図および拡大断面図である。
【図２Ｂ】２つのチャンバ間に位置づけられる遮断弁の断面図および拡大断面図である。
【図２Ｃ】２つのチャンバ間に位置づけられる遮断弁の断面図および拡大断面図である。
【図３】遮断弁に固定された取外し可能な挿入物をもつ遮断弁の前面直交図である。
【図４】遮断弁に固定された取外し可能な挿入物をもつ遮断弁の裏面直交図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
理解を容易にするために、可能であれば、同様の参照番号が、図に共通する同一の要素を指定するために使用されている。ある実施形態で開示された要素は、明確に詳述されることなしに他の実施形態で有益に利用され得ることが意図されている。
【００１０】
半導体生産コストを低減し、器具性能を改善するための連続的な探究において、製造設備管理者は、生産器具消耗品および構成要素のコストを削減する方法をしばしば求めている。しかし、落とし穴がある。
【００１１】
コストにのみ焦点を当てた方策は、多くの内部設計および生産利害関係者の異なる優先順位を考慮していないことがあり、設計チームは、欠陥を低減するために可能な限り高い器具性能を望み、一方、生産グループの緊急課題は、信頼性の高い大量生産において可能な限り低いコストで器具を動作させることであり、購買チームは、できる限り低い値段を望む。
【００１２】
ある場合には、器具相手先商標製造会社（ＯＥＭ）は、費用効率が高く、かつ性能を改善するのに役立つ洗浄または修理の解決策を含む代替案を提示することがある。それ以外のときには、最も良い行動計画は、特定の用途における器具の生産性および性能を改善するために消耗品または構成要素を再設計し、それによって、器具の全所有コストを減少させながら歩留を向上させることである。しかし、そのような努力が成功するのは、その部分を再設計する会社の装置知識の深さに依存している。
【００１３】
製造業者の特定の要求をより効果的に満たすことによって全体的器具運用コストを低減できる特定用途向け消耗品および構成要素が、本明細書で提供される。より詳細には、既存の遮断弁、例えば、Ｖａｒｉａｎ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔなどによって生産されたイオン注入装置で使用されるもので使用するのに好適な挿入遮蔽部が、本明細書で説明される。挿入遮蔽アセンブリは、さらに、製造業者によって供給される遮断弁で使用するように構成することができる。挿入遮蔽アセンブリは、他のタイプの遮断弁にも適している。弁遮蔽部に蓄積し、プロセス問題を引き起こすことがあるフレークは洗浄されない。既存の従来の遮蔽部の洗浄は、遮断弁の取外しと、長い予防保全（ＰＭ）ルーチンとを必要とした。本開示の遮断弁挿入遮蔽アセンブリは、遮断弁を取り外すことなしに取り外すことができる。これにより、ＰＭ時間の劇的な減少によるより良好なプロセス性能がもたらされている。
【００１４】
図１および２は、取外し可能な遮蔽挿入物アセンブリ１３０、１３２を有する遮断弁１００の分解直交図および断面図を示す。取外し可能な遮蔽挿入物アセンブリ１３０、１３２は、遮断弁１００の閉鎖部材１２４を保護し、遮断弁１００の高価で時間を消費する取外しおよび洗浄の必要性を除去するために使用される。
【００１５】
遮断弁１００は、第１のチャンバ１０２と第２のチャンバ１０４との間に装着される本体アセンブリ１２０を含む。遮断弁１００をイオン注入システムで利用することができる実施形態では、第１のチャンバ１０２はビーム発生器とすることができ、第２のチャンバ１０４は分解チャンバとすることができる。他の用途では、遮断弁１００は、他のタイプの半導体処理のために構成されたチャンバ１０２とチャンバ１０４との間で利用されるように構成することができる。
【００１６】
本体アセンブリ１２０は、チャンバ１０２とチャンバ１０４との間の接続を行う開孔１１４を有するハウジング１２２を含む。閉鎖部材１２４は、ハウジング１２２に配設され、アクチュエータ１２６に結合される。アクチュエータ１２６を利用して、閉鎖部材１２４を移動させ、その結果、遮断弁１００を通るチャンバ１０２とチャンバ１０４との間のトンネル１３８を開閉する。アクチュエータ１２６はコントローラ１２８に結合されて、アクチュエータ１２６の動作、したがって、ハウジング１２２内の閉鎖部材１２４の位置を制御する。
【００１７】
取外し可能な遮蔽挿入物アセンブリ１３０、１３２は、開孔１１４を横切ってハウジング１２２の反対側に結合される。第１の遮蔽挿入物アセンブリ１３０は、第１の遮蔽支持体１６０と、第１の遮蔽挿入物１６２とを含む。１つの例では、第１の遮蔽支持体１６０の厚さは、第１の遮蔽挿入物１６２の厚さにほぼ等しく、その結果、第１の遮蔽支持体１６０および第１の遮蔽挿入物１６２の両側は、組み立てられたとき一直線に並ぶ。
【００１８】
第１の遮蔽支持体１６０は、ハウジング１２２の第１の側１１６に、例えば、締め具（図示せず）を利用して結合される。第１の遮蔽支持体１６０は、全体的に平坦なリング形状を有する。第１の遮蔽支持体１６０は、第１の遮蔽支持体１６０を通して形成された開孔１９０を画定する内壁１６６を有する。第１の遮蔽挿入物１６２は、第１の遮蔽支持体１６０の開孔１９０を覆って結合される。第１の遮蔽挿入物１６２は、それを通して形成された開孔１３４を含み、開孔１３４は、第１の遮蔽支持体１６０の開孔１９０内にあり、第１の遮蔽挿入物アセンブリ１３０を通る通路を用意する。
【００１９】
第１の遮蔽支持体１６０は、第１の遮蔽支持体１６０をハウジング１２２から取り外すことなしに第１の遮蔽挿入物１６２を第１の遮蔽支持体１６０から取り外すことができるような方法で第１の遮蔽挿入物１６２を係合する。１つの例では、第１の遮蔽支持体１６０は、第１の遮蔽挿入物１６２の相補的噛み合わせ機構１８２に係合する噛み合わせ機構１８０を含むことができる。第１の遮蔽支持体１６０の噛み合わせ機構１８０は、第２の遮蔽挿入物アセンブリ１３２から離れて面する第１の遮蔽支持体１６０の側に（すなわち、第１のチャンバ１０２の方に）に形成されたノッチ１８４とすることができる。噛み合わせ機構１８０および相補的噛み合わせ機構１８２は、第１の遮蔽支持体１６０および第１の遮蔽挿入物１６２を予め定められた方位に向けるように構成することができる。代替として、位置決めピンを利用して、第１の遮蔽支持体１６０および第１の遮蔽挿入物１６２を予め定められた方位に固定することができる。第１の遮蔽挿入物１６２の相補的噛み合わせ機構１８２は、第１の遮蔽挿入物１６２の外側区域を画定するリップ１８６とすることができる。リップ１８６は、円形の外径１１３を有することができる。リップ１８６は、第１の遮蔽挿入物１６２に対して第１の遮蔽支持体１６０を位置づけるためにノッチ１８４に係合することができ、１つの例では、第１の遮蔽支持体１６０と第１の遮蔽挿入物１６２との間の重ね継ぎを形成する。
【００２０】
締め具１６４を利用して、第１の遮蔽支持体１６０に第１の遮蔽挿入物１６２を固定することができる。締め具１６４は、ハウジング１２２の第１の側１１６からアクセス可能であり、その結果、第１の遮蔽挿入物１６２は、例えば第１のチャンバ１０２のリッド１０６を通して第１のチャンバ１０２の内部から第１の遮蔽挿入物アセンブリ１３０にアクセスすることによって、第１の遮蔽支持体１６０から取り外すことができる。例えば、締め具１６４は、第１の遮蔽挿入物１６２に形成された貫通締め具孔を通って延び、第１の遮蔽支持体１６０に形成されたねじ型締め具孔に係合することができ、その結果、締め具１６４は、ハウジング１２２の第１の側１１６から取り外すことができる。
【００２１】
シールリング１５０を利用して、ハウジング１２２と第１の遮蔽支持体１６０との間のインタフェースを覆うことができる。シールリング１５０は、アルミニウムまたは他の好適な材料から製作することができる。シール１５４が、シールリング１５０とハウジング１２２との間に配設されて、それらの間の漏洩を防止する。シールリングカバー１５２をシールリング１５０の上に配設して、シールリング１５０を、潜在的な損傷から、例えば、第１のチャンバ１０２内で遮断弁１００の方に移動するイオンから保護することができる。シールリングカバー１５２は、グラファイトまたは他の好適な材料から製作することができる。
【００２２】
第２の遮蔽挿入物アセンブリ１３２は、第２の遮蔽支持体１７０と、第２の遮蔽挿入物１７２とを含む。１つの例では、第２の遮蔽支持体１７０の厚さは、第２の遮蔽挿入物１７２の厚さよりも少ない。
【００２３】
第２の遮蔽支持体１７０は、全体的に、平坦なリング形状を有する。第２の遮蔽支持体１７０は、第２の遮蔽支持体１７０をハウジング１２２から取り外すことなしに、第２の遮蔽挿入物１７２を第２の遮蔽支持体１７０から取り外すことができるような方法で第２の遮蔽挿入物１７２に係合する。第２の遮蔽支持体１７０と第２の遮蔽挿入物１７２との間のインタフェースは、やはり、第１の遮蔽挿入物１６２が取り外された後に、第１の遮蔽支持体１６０を取り外すことなしに、第２の遮蔽挿入物１７２を、ハウジング１２２の第１の側１１６から、第２の遮蔽支持体１７０から取り外すことができるように構成される。１つの例では、第２の遮蔽支持体１７０は、第２の遮蔽挿入物１７２の相補的噛み合わせ機構１７４に係合する噛み合わせ機構１７３を含むことができる。第２の遮蔽支持体１７０の噛み合わせ機構１７３は、第２の遮蔽支持体１７０の開孔１３６によって画定されたリップ１７５とすることができる。噛み合わせ機構１７３および相補的噛み合わせ機構１７４は、第２の遮蔽支持体１７０および第２の遮蔽挿入物１７２を予め定められた方位に向けるように構成することができる。代替として、位置決めピンを利用して、第２の遮蔽支持体１７０および第２の遮蔽挿入物１７２を予め定められた方位に固定することができる。第２の遮蔽挿入物１７２の相補的噛み合わせ機構１７４は、第２の遮蔽挿入物１７２の外側エッジ１７９から延びるリップ１７５とすることができる。リップ１７５の外側エッジは、第２の遮蔽挿入物１７２の外壁１７７を画定する。第２の遮蔽挿入物１７２のリップ１７５および外側エッジ１７９は、リップ１７６を受け取るノッチ１８１を形成する。外壁１７７は、実質的に楕円形の外側区域を有することができる。外壁１７７は、第２の遮蔽挿入物１７２の反対側に平坦部１０３を含むことができる。リップ１７５は、第２の遮蔽挿入物１７２に対して第２の遮蔽支持体１７０を位置づけるためにノッチ１８１に係合することができる。１つの例では、第２の遮蔽挿入物１７２のリップ１７５は、第２の遮蔽支持体１７０に重なることができる。
【００２４】
第２の遮蔽支持体１７０の開孔１２１は内壁１０７によって画定される。内壁１０７は、１つまたは複数の平坦部１０３、１０５を含むことができる。図１および２の実施形態において、平坦部１０３、１０５は、開孔１２１の反対側に平行に配設される。平坦部１０３、１０５は、外側エッジ１７９に形成された対応する平行な平坦部１１１に係合するように構成され、それにより、第２の遮蔽支持体１７０および第２の遮蔽挿入物１７２は予め定められた方位に保持される。
【００２５】
締め具１７８を利用して、第２の遮蔽支持体１７０を第２の遮蔽挿入物１７２に固定することができる。締め具１７８は、例えば、第１の遮蔽挿入物アセンブリ１３０の第１の遮蔽挿入物１６２がハウジング１２２から取り外された後、ハウジング１２２の第１の側１１６からアクセス可能であり、その結果、第２の遮蔽挿入物１７２は、例えば第１のチャンバ１０２のリッド１０６を通して第１のチャンバ１０２の内部から第２の遮蔽挿入物１７２にアクセスすることによって、第２の遮蔽支持体１７０から取り外すことができる。例えば、締め具１７８は、第２の遮蔽挿入物１７２に形成された貫通締め具孔を通って延び、第２の遮蔽支持体１７０に形成されたねじ型締め具孔に係合することができ、その結果、締め具１７８は、第１の遮蔽支持体１６０に形成された開孔１９０を通してアクセスされ、ハウジング１２２の第１の側１１６から取り外され得る。
【００２６】
第２の遮蔽挿入物１７２は、第１の遮蔽支持体１６０の内壁１６６によって画定された開孔１９０を通して第２の遮蔽挿入物１７２を取り外すことができるように大きさを合わされる。１つの例では、第２の遮蔽挿入物１７２の外壁１７７によって画定される高さ１９２は、開孔１９０の高さよりも小さい。
【００２７】
第２の遮蔽挿入物１７２は、第１の遮蔽挿入物１６２に形成された開孔１３４と一直線に並ぶ開孔１３６をさらに含む。開孔１３４、１３６は、遮断弁１００を通るトンネル１３８を形成するように一直線に並ぶ。閉鎖部材１２４が開孔１３４、１３６の空く位置までアクチュエータ１２６で変位されると、トンネル１３８が開けられて、弁アセンブリ１００を通るチャンバ１０２とチャンバ１０４との間の通路が可能になる。逆に、閉鎖部材１２４は、トンネル１３８を閉じる位置までアクチュエータ１２６で変位させることができる。
【００２８】
１つの例では、閉鎖部材１２４は、遮断弁１００を通るイオンビームの見通し線通過を防止するために単に利用され、したがって、真空封止は必要とされない。そのような実施形態では、開孔１３４の開いている区域は、開孔１３６の開いている区域よりも小さく、それによって、第１の遮蔽挿入物アセンブリ１３０および第１のチャンバ１０２に面する第２の遮蔽挿入物１７２の側にイオンがぶつかる確率を減らすことができる。
【００２９】
別の例では、閉鎖部材１２４は、真空封止を行うために遮蔽挿入物１６２、１７２に接触して配置することができる１つまたは複数のシール面１４４、１４６を含むことができる。例えば、閉鎖部材１２４は、閉鎖部材１２４がトンネル１３８と一直線に並べられた状態で膨らみ、それにより、閉鎖部材１２４のシール面１４４、１４６を遮蔽挿入物１６２、１７２の内面１４０、１４２に対して推し進めるように構成することができる。
【００３０】
遮蔽挿入物１６２、１７２は、グラファイトなどのカーボン系材料または他の好適な材料から形成することができる。同様に、遮蔽支持体１６０、１７０は、グラファイトなどのカーボン系材料、または他の好適な材料、例えばアルミニウムから形成することができる。
【００３１】
図３および４は、ハウジング１２２に結合された取外し可能な遮蔽挿入物１６２、１７２の外面３４０、３４２を示す遮断弁１００の前面直交図および裏面直交図である。外面３４０、３４２は、それぞれ、遮蔽挿入物１６２、１７２の内面１４０、１４２（図２Ａ〜２Ｃに示された）の反対側に配設され、それにより、チャンバ１０２、１０４の方に面する。上述で論じたように、遮蔽挿入物アセンブリ１３０の第１の遮蔽挿入物１６２は、それを通して形成された開孔１３４を有する。開孔１３４は、全体的に細長い長方形を有する。例えば、開孔１３４は、実質的に、高さ３０４よりも例えば少なくとも４倍大きい幅３０２を有することができる。別の例では、幅３０２は、第２のチャンバ１０４に配設される基板と同様の大きさに合わせることができる。例えば、幅３０２は、少なくとも２００ｍｍ、少なくとも３００ｍｍ、少なくとも４５０ｍｍとすることができ、または別の幅を有することができる。
【００３２】
図３に示すように、第１の遮蔽挿入物１６２の厚さは、第１の遮蔽挿入物１６２の外面側３４０でテーパ化される。例えば、テーパ３０６は、開孔１３４を完全に取り囲むことができ、その結果、第１の遮蔽挿入物１６２の厚さは、開孔１３４の近くでより薄くなる。
【００３３】
同様に、第２の遮蔽挿入物アセンブリ１３２の第２の遮蔽挿入物１７２は、それを通して形成された開孔１３６を有する。開孔１３６は、やはり、全体的に細長い長方形を有する。例えば、開孔１３６は、実質的に、高さ４０４よりも例えば少なくとも４倍大きい幅４０２を有することができる。別の例では、幅４０２は、第２のチャンバ１０４に配設される基板と同様の大きさに合わせることができる。例えば、幅４０２は、少なくとも２００ｍｍ、少なくとも３００ｍｍ、少なくとも４５０ｍｍとすることができ、または別の幅を有することができる。１つの例では、幅４０２は、第１の遮蔽挿入物１６２の幅３０２と実質的に同じである（すなわち、等しい）。
【００３４】
開孔１３６の高さ４０４は、開孔１３４の高さ３０４と同じであってもよく、または開孔１３４の高さ３０４よりも大きくてもよい。高さ３０４が小さいほど、第２の遮蔽挿入物１７２の内面１４２にぶつかるビームの量を減らすことが支援され、それは、第２の遮蔽挿入物１７２の稼働間隔を延ばすのを支援する。
【００３５】
図４に示すように、第２の遮蔽挿入物１７２の厚さは、第２の遮蔽挿入物１７２の外面側３４２でテーパ化される。例えば、テーパ４０６は、開孔１３６を完全に取り囲むことができる。
【００３６】
遮蔽挿入物１６２、１７２は、遮蔽支持体１６０、１７０に締結されたとき、幅３０２、４０２が同じ方向で一直線に並べられるように向きを定めることができる。１つの例では、幅３０２は、幅４０２よりもわずかに小さくすることができる。幅３０２が小さいほど、第２の遮蔽挿入物１７２の内面１４２にぶつかるビームの量を減らすことが支援される。
【００３７】
同様に、遮蔽挿入物１６２、１７２の高さ３０４、４０４も同じ方向に一直線に並ばせることができる。いくつかの実施形態では、第１の遮蔽挿入物１６２の高さ３０４は、遮蔽挿入物１７２の高さ４０４よりも小さくすることができる。この構成は、遮蔽挿入物１７２にビームがぶつからないようにするのを支援し、それは、遮蔽挿入物アセンブリ１３０、１３２の稼働間隔を増加させる。
【００３８】
本発明が、特定の実施形態を参照しながら上述されており、数多くの特定の詳細が、本発明のより完全な理解を提供するために説明されている。しかしながら、当業者は、本発明のより広い趣旨および範囲から逸脱することなく本発明への様々な変形および変更を行うことができることを理解するであろう。それに応じて、前の説明および図面は、限定的な意味ではなく例示的意味のものと見なされるべきである。
【図１】
0006599339.tif 000002
【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３】
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【図４】
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