(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出口を備える液体吐出ヘッドであって、
前記吐出口から吐出される液体を貯留する圧力室と、
前記圧力室に前記液体を供給するための供給流路と、
前記圧力室に供給された液体のうち前記吐出口から吐出されなかった液体を回収するための回収流路と、
前記吐出口近傍で前記回収流路に連通する第１の回収口と、
前記圧力室の端部で前記回収流路に連通する第２の回収口と、を有し、
前記圧力室の少なくとも一部が、前記吐出口の形成面に垂直な方向に関して前記供給流路および前記回収流路と重なり合っている、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記吐出口および前記第１の回収口が形成された吐出口形成層を有する、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
吐出口を備える液体吐出ヘッドであって、
前記吐出口から吐出される液体を貯留する圧力室と、
前記圧力室に前記液体を供給するための供給流路と、
前記圧力室に供給された液体のうち前記吐出口から吐出されなかった液体を回収するための回収流路と、
前記吐出口近傍で前記供給流路に連通する第１の供給口と、
前記圧力室の端部で前記供給流路に連通する第２の供給口と、を有し、
前記圧力室の少なくとも一部が、前記吐出口の形成面に垂直な方向に関して前記供給流路および前記回収流路と重なり合っている、液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記吐出口および前記第１の供給口が形成された吐出口形成層を有する、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
吐出口を備える液体吐出ヘッドであって、
前記吐出口から吐出される液体を貯留する圧力室と、
前記圧力室に前記液体を供給するための供給流路と、
前記圧力室に供給された液体のうち前記吐出口から吐出されなかった液体を回収するための回収流路と、
前記吐出口近傍で前記供給流路に連通する第１の供給口と、
前記吐出口および前記第１の供給口が形成された吐出口形成層と、を有し、
前記圧力室の少なくとも一部が、前記吐出口の形成面に垂直な方向に関して前記供給流路および前記回収流路と重なり合っている、液体吐出ヘッド。
【請求項６】
複数の前記圧力室が複数の圧力室列を形成し、互いに隣接する２つの圧力室列にそれぞれ属する複数の圧力室が前記供給流路または前記回収流路の一方に共通に連通している、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記２つの圧力室列の一方に属する圧力室と、他方の圧力室列に属する圧力室とが、前記圧力室の配列方向に互いにずらして配置されている、請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記圧力室に設けられ、該圧力室に貯留された液体を前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生させる圧電素子を有する、請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを複数備える液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出して記録媒体に画像を記録する液体吐出装置には、一般的に、液体を吐出する液体吐出ヘッドが搭載されている。液体吐出ヘッドの液体吐出機構として、圧電素子によって容積が収縮可能な圧力室を利用した機構が知られている。この機構では、電圧が印加された圧電素子の変形により圧力室が収縮することによって、圧力室内の液体が、圧力室に連通する吐出口から吐出される。このような機構を有する液体吐出ヘッドの一つとして、薄膜状に形成された圧電素子を用いた、いわゆる薄膜圧電素子型ヘッドが知られている。薄膜圧電素子は、剛性が低いために変位量が大きいという特徴がある。
【０００３】
圧力室を備える液体吐出ヘッドでは、気泡が液体とともに圧力室内に侵入したり、圧力室内で気泡が発生したりする場合がある。この場合、気泡がインクを吐出するための圧力を吸収してしまい所望の吐出量や吐出速度が得られない、さらには吐出不能になる問題が起こり得る。また、長期間液体を吐出していない吐出口近傍に付着したインクが増粘して吐出口が目詰まりすることによって、吐出性能の低下や吐出不良を引き起こす問題が起こり得る。そこで、これらの問題を解決するための技術が特許文献１に開示されている。
【０００４】
特許文献１には、吐出口に連通する回収流路によって記録中も供給流路から圧力室を介して回収流路へ至る循環流を発生させる技術、いわゆるスルーフローが開示されている。この技術によれば、圧力室内の気泡を循環流に乗せて除去することができる。さらに、循環流により吐出口近傍には常にフレッシュなインクが供給されるので、吐出口内の増粘したインクの含有物の拡散が促され、インクの増粘を抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表２０１１−５２０６６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、Ｐｒｉｎｔ  Ｏｎ  Ｄｅｍａｎｄなどの商業用途向けの記録装置を中心に、高画質化のために高解像度の画像を形成可能な液体吐出ヘッドの要求が高まっている。このような液体吐出ヘッドには、吐出口を高密度に配置するために圧力室の小型化が必要とされる。しかし、圧力室を単に小型化すると変形する壁面（振動板）の面積が小さくなるため、圧力室の変形量が小さくなり、吐出力が弱くなるという問題が懸念される。そのため、インクを吐出するのに十分な変形量を得られるサイズを確保した上で圧力室を小型化しなければならない。
【０００７】
特許文献１に開示された液体吐出ヘッドでは、供給流路と回収流路とが交互に並んで配置され、供給流路と回収流路との間には圧力室と吐出口とを連通させる吐出側流路が配置されている。供給流路は圧力室と重なり合うように形成されている。吐出側流路を挟んで供給流路と反対側の領域は、回収流路により占められている。すなわち、互いに隣接する２つの圧力室の間の領域が回収流路により占められている。上述したように、吐出口を高密度に配置するためにはインクを吐出するのに十分な変形量を得られる圧力室のサイズを確保する必要がある。しかし、特許文献１に開示された液体吐出ヘッドでは、圧力室間の領域が回収流路により占有されているので、この占有領域を除く領域で圧力室の形成スペースを確保しなければならない。その結果、圧力室の形成スペースが制限され、これにより吐出口の高密度化が妨げられる。
【０００８】
そこで本発明は、供給流路および回収流路を有する液体吐出ヘッドにおいて、吐出口を高密度に配置することが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した目的を達成するために本発明は、吐出口を備える液体吐出ヘッドであって、前記吐出口から吐出される液体を貯留する圧力室と、前記圧力室に前記液体を供給するための供給流路と、前記圧力室に供給された液体のうち前記吐出口から吐出されなかった液体を回収するための回収流路と、前記吐出口近傍で前記回収流路に連通する第１の回収口と、前記圧力室の端部で前記回収流路に連通する第２の回収口と、を有し、前記圧力室の少なくとも一部が、前記吐出口の形成面に垂直な方向に関して前記供給流路および前記回収流路と重なり合っている。
【００１０】
本発明では、圧力室が供給流路及び回収流路と重なり合うに形成されているので、供給流路によって圧力室の形成スペースが制限されない。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、供給流路によって圧力室の形成スペースが制限されないので、供給流路および回収流路を有する液体吐出ヘッドにおいて、吐出口を高密度に配置することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態における液体ヘッドを示す図である。
【図２】ヘッドチップを構成する各層を示した平面図である。
【図３】第１のフィルム層の拡大図である。
【図４】圧力室形成層の拡大図である。
【図５】第２のフィルム層の拡大図である。
【図６】流路形成層の拡大図である。
【図７】ヘッドチップ内の流路を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施形態におけるヘッドチップ内の流路を示す図である。
【図９】本発明の第３の実施形態におけるヘッドチップ内の流路を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（第１の実施形態）
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態を示す図である。図１（ａ）は、第１の実施形態の液体吐出ヘッドの全体構成を示す斜視図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す液体吐出ヘッドを液体の吐出口形成面側（−Ｚ方向）から見た平面図である。図１（ａ）、（ｂ）は、液体吐出ヘッドの構成をわかりやすくするため主要な流路を透視した状態を図示している。
本実施形態の液体吐出ヘッド１００は、マニホールド１０１と、チッププレート１０２と、ＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）１０３と、インレットジョイント１０４と、アウトレットジョイント１０６と、を有する。
【００１４】
マニホールド１０１は、主に樹脂部材で構成されている。図１（ｂ）に示すようにチッププレート１０２にはヘッドチップ１０８が固定され、このヘッドチップ１０８をマニホールド１０１と連通させる流路が形成されている。ＦＰＣ１０３には、液体吐出ヘッド１００が取り付けられた液体吐出装置の本体部（不図示）からの駆動信号をヘッドチップ１０８へ伝送する配線が形成されている。本実施形態ではヘッドチップ１０８が２セット搭載されている構成を示している。しかし、本発明の液体吐出ヘッドは、ヘッドチップ１０８を２セットだけでなく複数備えていてもよい。
インレットジョイント１０４は、マニホールド１０１及びチッププレート１０２のそれぞれに形成されたインレット流路１０５に連通し、液体吐出装置の本体部（不図示）から供給されたインクをヘッドチップ１０８へ導く。アウトレットジョイント１０６はチッププレート１０２及びマニホールド１０１にそれぞれ形成されたアウトレット流路１０７に連通し、アウトレット流路１０７から回収されたインクを液体吐出装置の本体部へ導く。
【００１５】
図２は、ヘッドチップ１０８を構成する各層の平面図である。ヘッドチップ１０８は、回路配線層２０１と、第１のフィルム層２０２と、圧力室形成層２０３と、第２のフィルム層２０４と、流路形成層２０５と、吐出口形成層２０６の６層で構成され、この順に積層されている。図２において黒く塗りつぶされた箇所は貫通穴であり、主にヘッドチップ１０８内の流路を示している。個々の層について役割と流路の説明をする。
回路配線層２０１はシリコン基板で構成されている。回路配線層２０１の裏面には駆動回路（不図示）と、配線３１７（図７（ｂ）参照）と、接続端子３０６（図７（ｂ）参照）と、ＦＰＣ接続端子（不図示）が形成されている。回路配線層２０１はＦＰＣ１０３と接続するＦＰＣ接続端子を有するので他の層よりもＹ方向（短手方向）の長さが長い。回路配線層２０１におけるＹ方向の一端には平行四辺形状の供給本流路３０１の開口部が形成され、他端には平行四辺形状の回収本流路３０３の開口部が形成されている。供給本流路３０１はインレット流路１０５に連通し、回収本流路３０３はアウトレット流路１０７に連通する。
【００１６】
図３は、図２に示す第１のフィルム層２０２の拡大図である。第１のフィルム層２０２は感光性フィルムで構成されている。図３に示すように、第１のフィルム層２０２におけるＹ方向の一端には供給本流路３０１の一部が形成され、他端には回収本流路３０３の一部が形成されている。供給本流路３０１と回収本流路３０３との間には貫通穴３２３が形成されている。貫通穴３２３は、接続端子３０６を介して個別電極４０１（図７（ｂ）参照）と配線３１７とを電気的に接続するために形成されている。
【００１７】
図４は、図２に示す圧力室形成層２０３の拡大図である。圧力室形成層２０３はシリコン基板で構成されている。この基板の片面に薄膜の振動板３０７（図７（ｂ）参照）が複数形成され、もう片方の面（裏面）にはドリルと異方性ウェットエッチングによりインクを貯留する圧力室３０８となる穴部が形成される。圧力室形成層２０３のＹ方向の一端には供給本流路３０１の一部が形成され、他端には回収本流路３０３の一部が形成されている。圧力室形成層２０３に形成されている回収本流路３０３の開口幅は、第１のフィルム層２０２に形成されている回収本流路３０３よりも広い。供給本流路３０１と回収本流路３０３との間で平行四辺形状の複数の圧力室３０８が複数の列を形成している。
【００１８】
図５は、第２のフィルム層２０４の拡大図である。第２のフィルム層２０４は感光性フィルムで構成されている。第２のフィルム層２０４におけるＹ方向の一端には供給本流路３０１内で異物を除去する正方形状のフィルタ部３２１が形成され、他端には回収本流路３０３の一部が形成されている。フィルタ部３２１と回収本流路３０３との間には、供給流路３０２（図６参照）と圧力室３０８とを連通させる供給口３１２と、圧力室３０８と吐出側流路３０９（図６参照）とを連通させる開口部とが形成されている。
【００１９】
図６は、流路形成層２０５の拡大図である。流路形成層２０５は、シリコン基板で構成されている。この基板には種々の貫通穴が形成されている。具体的には、供給流路３０２と回収流路３０４と吐出側流路３０９とが形成されている。供給流路３０２と回収流路３０４は、Ｘ方向（長手方向）に交互に配置されている。吐出側流路３０９は、位置供給流路３０２と回収流路３０４との間で圧力室３０８に対向する位置に形成されている。
吐出口形成層２０６は、複数枚の感光性フィルムで構成されている。吐出口形成層２０６には、吐出側流路３０９に対向する吐出口３１０と、第１の回収口３１３（図７（ｂ）参照）として機能する凹部とが形成されている。
【００２０】
本実施形態では、回路配線層２０１と圧力室形成層２０３と流路形成層２０５は、結晶格子面が（１１０）面方位のシリコン基板で構成されている。このシリコン基板は、レーザードリルと異方性ウェットエッチングで加工され、ＤＲＩＥ（深堀り反応性イオンエッチング）などのドライエッチングは使用せずに製造される。全ての加工穴は、ＸＹ面上で凸形状となるようにマスクが作られるため、形状目的でのエッチング時間の管理は不要であり、且つアルカリ性インクへの耐性も備えている。（１１０）面方位での回路生成は、（１００）面方位に比べてトランジスタの性能が劣る。しかし、回路配線層２０１は貫通穴（供給本流路３０１、回収本流路３０３）以外に全面使用できるので、性能保持のためトランジスタの面積が増大しても配線スペースを考慮し十分に回路スペースが確保可能である。異方性ウェットエッチングでは、マスク図面の形状幅とシリコン基板の厚さによるアスペクト比により（１１０）面方位に対し垂直な壁（Ｚ方向）以外の（１１１）面が現れるが、本発明の図面では省略している。
【００２１】
本実施形態では供給流路３０２と回収流路３０４はヘッドチップ１０８のＸ方向に対し７０．５３°の角度をおいて配置される。単結晶シリコンでは結晶方向によってエッチング速度が大きく異なるため、（１１０）面方位の異方性ウェットエッチングによって２つの（１１１）面の垂直な壁が現れる。この２つの（１１１）面が成長する方向はＸＹ平面で２つの＜１１２＞方向によって表わすことができる。
本実施形態では、回路配線層２０１の厚さは７２５μｍである。第１のフィルム層２０２の厚さは２５μｍである。圧力室形成層２０３の厚さは１００μｍである。第２のフィルム層２０４の厚さは１００μｍである。流路形成層２０５の厚さは７２５μｍである。吐出口形成層２０６の厚さは４０μｍである。
【００２２】
圧力室形成層２０３において、振動板３０７上にはエネルギー発生手段３１１（図７（ｂ）参照）が形成されている。エネルギー発生手段３１１には個別電極４０１および共通電極（不図示）が接続されている。各電極は保護層（不図示）に覆われている。個別電極４０１は接続端子３０６を介して配線３１７と電気的に接続される。本実施形態では、エネルギー発生手段３１１は薄膜圧電素子である。しかし、本発明においてエネルギー発生手段３１１は、バルクのＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を用いた圧電素子またはサーマル方式の液体吐出ヘッドに用いられる発熱素子等の素子であってもよい。
個別電極４０１に駆動電圧が印加されると圧電素子３１１が変形し、この変形が振動板３０７を介して圧力室３０８の体積の減少あるいは増加を引き起こす。本実施形態では、圧力室３０８を膨張させて吐出口３１０のメニスカスを圧力室３０８側へ引き込んでから、圧力室３０８内の圧力が上がるタイミングで圧力室３０８を収縮させることによりインクを吐出させる方式を採用している。
【００２３】
図７（ａ）は、ヘッドチップ１０８に形成される流路の透視図を示す。図７（ｂ）は図７（ａ）に示す切断線Ａ−Ａに沿った断面図である。以下、ヘッドチップ１０８内における流路について説明する。
図７（ａ）を参照してヘッドチップ１０８全体の流路構成を説明する。供給本流路３０１は、複数の圧力室列３０５が並べられた領域のＸ方向の全域に渡って開口し、回路配線層２０１から第２のフィルム層２０４まで貫通する貫通穴である。回収本流路３０３は、供給本流路３０１と反対側に配置され、第２のフィルム層２０４から回路配線層２０１まで貫通する貫通穴である。回収本流路３０３のうち、第２のフィルム層２０４から圧力室形成層２０３に至る部分は開口幅の長い貫通穴であり、第１のフィルム層２０２から回路配線層２０１に至る部分は開口幅の短い貫通穴である。流路形成層２０５において、供給本流路３０１は各供給流路３０２に連通し回収本流路３０３は回収流路３０４に連通する。
【００２４】
次に、図７（ｂ）を参照して吐出口近傍の流路構成および吐出口近傍でのインクの流れについて説明する。流路形成層２０５において、Ｘ方向に並んで配置された吐出側流路３０９の間には供給流路３０２あるいは回収流路３０４のいずれか一方のみが配置されている。すなわち、互いに隣接する圧力室列３０５にそれぞれ属する圧力室３０８は、供給流路３０２または回収流路３０４のいずれか一方に共通に連通している。
供給流路３０２を流れるインクは、供給口３１２を通過して圧力室３０８へ供給される。圧力室３０８へ供給されたインクのうち、吐出口３１０から吐出されなかったインクは、吐出側流路３０９から第１の回収口３１３を通過して回収流路３０４へ流れる。吐出側流路３０９を通過したフレッシュなインクが吐出口３１０の近傍を流れることにより、吐出口３１０に付着したインクの増粘を抑制することができる。
【００２５】
上述した本実施形態の液体吐出ヘッドによれば、圧力室３０８は圧力室形成層２０３に形成され、この圧力室３０８にインクを供給する供給流路３０２とこの圧力室３０８からインクを回収する回収流路３０４とは流路形成層２０５に形成されている。そして、この圧力室３０８の一部は、吐出口３１０の形成面に垂直な厚さ方向（Ｚ方向）に関して上記供給流路３０２および上記回収流路３０４のそれぞれと重なり合っている。このように供給流路３０２及び回収流路３０４の両方が圧力室列３０５と重なり合うように配置されることにより、圧力室形成層２０３の形成スペースが回収流路３０４によって制限されない。よって、液体吐出に十分な圧力室３０８のサイズを確保しつつ吐出口３１０を高密度に配置することができる。
【００２６】
また、本実施形態では、互いに隣接する２つの圧力室列３０５にそれぞれ属する圧力室３０８は供給流路３０２または回収流路３０４のいずれか一方を共有する。これにより、Ｘ方向で互いに隣接する２つの圧力室３０８にそれぞれ連通する吐出側流路３０９に挟まれる全領域を１つの供給流路３０２または回収流路３０４で占有することができる。流抵抗は流路断面積の２乗に反比例するので、供給流路３０２または回収流路３０４の流抵抗を大きく低減することができる。その結果、スルーフローを行う際にインクを流すために必要な圧力を小さくすることができる。
【００２７】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体吐出装置の他に、塗布装置あるいは造形装置にも適用可能である。
本発明において、供給流路３０２と回収流路３０４とが反対であったとしても構わない。その場合には、本実施形態の供給口３１２が回収口として機能し、本実施形態の回収口３１３が供給口として機能する。これにより、インクは回収口３１３から圧力室３０８に供給される。供給されたインクのうち、吐出口３１０から吐出されなかったインクは供給口３１２から回収される。
【００２８】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態について説明する。以下、第１の実施形態と異なる事項を中心に説明し、第１の実施形態と共通する事項は説明を省略する。本実施形態の液体吐出ヘッドは、ヘッドチップの構成が第１の実施形態の液体吐出ヘッドと異なる。
図８（ａ）は、本実施形態のヘッドチップ１０８ａに形成される流路の透視図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）に示す切断線Ａ−Ａに沿った断面図である。図８（ａ）、（ｂ）では、第１の実施形態と同様の構成要素には同じ符号を付している。
【００２９】
本実施形態のヘッドチップ１０８ａには、第１の実施形態で説明した第１の回収口３１３（図７（ｂ）参照）が形成されていない。その代わりに、図８（ｂ）に示すように、第２の回収口３１４が形成されている。第２の回収口３１４は、吐出側流路３０９を挟んで供給口３１２と反対側の圧力室３０８の端部に形成され、圧力室３０８と回収流路３０４とを連通させる。
【００３０】
本実施形態によれば、第１の実施形態と同様に供給流路３０２及び回収流路３０４の両方が圧力室列３０５と異なる層に重なるように配置されているので、吐出口３１０を高密度に配置することができる。
さらに、本実施形態では、圧力室３０８は吐出側流路３０９を挟んで供給口３１２と反対側の端部で回収流路３０４と連通しているので、当該端部に気泡が溜まらない。これにより、圧力室３０８内の気泡をより確実に除去することができる。
【００３１】
本発明において、供給流路３０２と回収流路３０４とが反対であったとしても構わない。その場合には、本実施形態の供給口３１２が回収口として機能し、本実施形態の第２の回収口３１４が供給口として機能する。これにより、インクは第２の回収口３１４から圧力室３０８に供給される。供給されたインクのうち、吐出口３１０から吐出されなかったインクは供給口３１２から回収される。
【００３２】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。以下の説明では、第１、２の実施形態と異なる事項を中心に説明し、これらの実施形態と共通する事項については説明を省略する。
図９（ａ）は、本実施形態のヘッドチップ１０８ｂに形成される流路の透視図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）に示す切断線Ａ−Ａに沿った断面図である。図９（ｃ）は、図９（ａ）に示す切断線Ｂ−Ｂに沿った断面図である。
【００３３】
本実施形態の液体吐出ヘッドは、第１の回収口３１５および第２の回収口３１６を有する。第１の回収口３１５は、吐出側流路３０９と回収流路３０４とを連通させる。第２の回収口３１６は、吐出側流路３０９を挟んで供給口３１２と反対側に形成され、圧力室３０８と回収流路３０４とを連通させる。第１の回収口３１５によれば、吐出口３１０近傍におけるインクの増粘を抑制することが可能となる。一方、第２の回収口３１６によれば、圧力室３０８における吐出側流路３０９を挟んで供給口３１２と反対側のスペースに留まる気泡を除去することが可能となる。
さらに、図９（ｂ）、（ｃ）に示すように、Ｘ方向に関して供給流路３０２の右側に位置する圧力室３０８と、この供給流路３０２の左側に位置する圧力室３０８とは、圧力室列３０５を構成する圧力室３０８の配列方向（Ｙ方向）に互いにずらして配置される。すなわち、供給流路３０２を挟んで互いに隣接する２つの圧力室列の一方に属する圧力室と他方の圧力室列に属する圧力室とは、圧力室の配列方向に互いにずらして配置される。回収流路３０４に関しても同様に、この回収流路３０４を挟んで左右に隣接する圧力室同士は、圧力室の配列方向に互いにずらして配置される。このように圧力室３０８を供給流路３０２および回収流路３０４に対して千鳥配置することにより、供給流路３０２を挟んで隣接する圧力室３０８に連通する供給口３１２がＸ方向に関して互いに向かい合わないようになっている。同様に、回収流路３０４を挟んで隣接する圧力室３０８に連通する第１の回収口３１５および第２の回収口３１６がＸ方向に関して互いに向かい合わないようになっている。このように互いに隣接する圧力室３０８に連通する供給口３１２と、第１の回収口３１５と、第２の回収口３１６とが互いに向かい合わないようにすることにより、隣接する圧力室３０８間での流体的クロストークを低減することができる。
【００３４】
本発明において、供給流路３０２と、回収流路３０４とが反対であったとしても構わない。その場合には、本実施形態の供給口３１２が回収口として機能し、本実施形態の第１の回収口３１５が第１の供給口として機能し、第２の回収口３１６が第２の供給口として機能する。これにより、インクは、第１の回収口３１５および第２の回収口３１６から圧力室２０８に供給される。供給されたインクのうち、吐出口３１０から吐出されなかったインクは供給口３１２から回収される。また上記各実施形態において、圧力室３０８の一部が、吐出口３１０の形成面に垂直な厚さ方向（Ｚ方向）に関して上記供給流路３０２および上記回収流路３０４のそれぞれと重なる構成について説明した。本発明はこれに限られず圧力室の全ての領域で、供給流路３０２および上記回収流路３０４のそれぞれと重なる構成であってもよい。
【符号の説明】
【００３５】
３０２  供給流路
３０４  回収流路
３０８  圧力室
３１０  吐出口
【図１】
0006460787.tif 000002
【図２】
0006460787.tif 000003
【図３】
0006460787.tif 000004
【図４】
0006460787.tif 000005
【図５】
0006460787.tif 000006
【図６】
0006460787.tif 000007
【図７】
0006460787.tif 000008
【図８】
0006460787.tif 000009
【図９】
0006460787.tif 000010