(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一群の電極が形成された圧電素子と、
基材の上に複数の延在した配線層が備えられ、前記配線層の一部がカバーレイによって覆われ、前記カバーレイに覆われていない前記配線層の部分に第二群の電極が形成された、フレキシブルプリント基板と、を有する圧電体において、
前記第一群の電極の一部と前記第二群の電極の一部とが導通するように、且つ前記圧電素子と前記カバーレイの一部とが重畳するように、前記圧電素子と前記フレキシブルプリント基板とが接着され、
前記カバーレイの終端部は、前記配線層と交差する第一の輪郭部と第二の輪郭部とを有し、前記第一の輪郭部は、前記第二群の電極のうちの一つの電極と接し、前記第二の輪郭部は、前記第二群の電極のうちの他の電極と接し、
前記フレキシブルプリント基板と交差する前記圧電素子の外形線から前記第一の輪郭部までの長さは、前記外形線から前記第二の輪郭部までの長さより短く、前記第二の輪郭部は、前記外形線の方向に凹んだ輪郭部を有していて、
前記一つの電極は、前記他の電極よりも前記外形線からの位置が近いことを特徴とする、圧電体。
【請求項２】
前記第一群の電極のうち前記外形線に最も近い電極は、前記圧電素子の裏面に位置する電極に、前記圧電素子の壁面の電極を経由して導通していることを特徴とする、請求項１に記載の圧電体。
【請求項３】
前記圧電素子と前記カバーレイの一部とが重畳する部分の幅方向の寸法は、前記圧電素子と前記フレキシブルプリント基板が重畳していない部分の幅方向の寸法より大きいことを特徴とする、請求項１又は２に記載の圧電体。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電体と、弾性体とで構成していることを特徴とする、振動子。
【請求項５】
請求項４に記載の振動子を用いて構成したことを特徴とする、振動波モータ。
【請求項６】
請求項５に記載の振動波モータは、超音波振動することを特徴とする、超音波モータ。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の振動波モータを用いたことを特徴とする、レンズ駆動装置。
【請求項８】
請求項７に記載のレンズ駆動装置を有することを特徴とする、レンズ鏡筒。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子と給電用の基板とからなる圧電体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から小型軽量、高速駆動、かつ、静音駆動を特徴とする超音波モータは、撮像装置のレンズ鏡筒等に採用されている。この超音波モータは、振動源として圧電体を利用したものが一般的であり、その一例が特許文献１及び２に開示されている。なお、以下、圧電素子と給電手段であるフレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣと略す）を接着したものを圧電体、圧電体に弾性体を接着したものを振動子、振動子を駆動源としたモータを振動波モータとする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１６１０７号公報
【特許文献２】特開２０１５−６０４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電体、振動子、及び、振動波モータ（以下、「圧電体等」と略す）が利用された機器の信頼性を確保するために、圧電素子とＦＰＣとの接着部に機械的信頼性と電気的信頼性とを十分に確保する必要がある。ここで、機械的信頼性とは、破断及び剥離に対する強度並びに耐久性を意味し、電気的信頼性とは、導通の確実性及び電気抵抗の安定性を意味する。今後、圧電体等が利用された機器に対して、現状より劣悪な条件や過酷な環境での使用を図るためには、機械的信頼性と電気的信頼性とを両立させて向上させる必要がある。
【０００５】
そこで、本発明は、圧電体等が利用された機器の機械的信頼性と電気的信頼性とを両立させて向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の圧電体、振動子、及び振動波モータは、圧電素子とＦＰＣとが接着され、カバーレイの終端部は、配線層と交差する第一の輪郭部と第二の輪郭部とを有し、第一の輪郭部は、第二群の電極のうちの一つの電極と接し、第二の輪郭部は、第二群の電極のうちの他の電極と接し、フレキシブルプリント基板と交差する圧電素子の外形線から第一の輪郭部までの長さは、外形線から第二の輪郭部までの長さより短く、前記第二の輪郭部は、前記外形線の方向に凹んだ輪郭部を有していて、一つの電極は、他の電極よりも外形線からの位置が近いことを特徴としている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、圧電体等が利用された機器の機械的信頼性と電気的信頼性とを両立させて向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第一の実施形態の圧電素子１の構成を示す図である。
【図２】第一の実施形態のＦＰＣ２の構成を示す図である。
【図３】第一の実施形態の圧電体の構成を示す図である。
【図４】第一の実施形態の効果を説明するための比較例を示す図である。
【図５】第一の実施形態の圧電体を用いた振動子１０と振動波モータを示す斜視図である。
【図６】第二の実施形態の圧電体の構成を示す図である。
【図７】第三の実施形態の圧電体の構成を示す図である。
【図８】振動波モータ４００を用いたレンズ駆動装置３００の全体を示す図である。
【図９】振動波モータ４００を示す分解斜視図である。
【図１０】振動波モータ４００を用いたレンズ駆動装置３００を有するレンズ鏡筒を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（第一の実施形態）
まず、本発明の第一の実施形態の圧電素子１の構成について説明する。図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は正面図、図１（ｃ）は右側面図、図１（ｄ）は底面図である。圧電素子１には、一部に複数の電極Ｅ（電極Ｅ１〜５）が形成されている。本実施形態では、圧電素子１の表面Ｓ１に電極Ｅ１〜Ｅ３、圧電素子１の壁面Ｓ２の一部に電極Ｅ４、圧電素子１の裏面Ｓ３に電極Ｅ５が形成されているが、電極Ｅの数を変更した形態も選択可能である。圧電素子１は、電極Ｅ２、電極Ｅ３と電極Ｅ５の間に高電圧が印加されて分極処理されている。図１（ｃ）には、圧電素子１の厚さｔｓと電極Ｅの厚さｔｅが示されている。これら厚さｔｓ及び厚さｔｅは、誇張して示されており、実際には圧電素子１の厚さｔｓは数百μｍ、電極Ｅの厚さｔｅは数μｍである。
【００１０】
圧電素子１は、後述のＦＰＣ２と交差する圧電素子１の外形線Ｍを有する。そして、本実施形態の電極Ｅ１は、圧電素子１の外形線Ｍに最も近い位置にあり、該電極Ｅ１は、圧電素子１の裏面Ｓ３の電極Ｅ５に壁面Ｓ２の電極Ｅ４を経由して導通している。このように電極Ｅ１と電極Ｅ５とが導通しているので、電極Ｅ１と電極Ｅ２、電極Ｅ１と電極Ｅ３の間に交流電圧が印加されれば、特許文献１及び２に記載されたような圧電素子１の圧電効果による超音波振動を得ることができる。本実施形態は、上述のように電極Ｅ１が壁面Ｓ２の電極Ｅ４を経由して圧電素子１の裏面Ｓ３の電極Ｅ５に導通している形態であるが、他の形態としてスルーホールを経由する方法なども選択可能である。
【００１１】
次に、本発明の第一の実施形態のＦＰＣ２の構成について説明する。図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は断面線Ｂ−Ｂにおける断面図、図２（ｃ）は断面線Ｃ−Ｃにおける断面図、図２（ｄ）は底面図である。ＦＰＣ２には、基材２ａ上に延在している複数の配線層２ｂの一部を覆うカバーレイ２ｃが貼り付けられ、配線層２ｂのカバーレイ２ｃに覆われていない部分に複数の電極Ｆ（電極Ｆ１〜Ｆ６）が形成されている。図２（ｂ）及び図２（ｃ）において、基材２ａの厚さｔａ、配線層２ｂの厚さｔｂ、カバーレイ２ｃの厚さｔｃは、いずれも誇張して示されており、実際にはそれぞれ十数〜数十μｍである。
【００１２】
図２（ｄ）に示されるように、電極Ｆ１と電極Ｆ４、電極Ｆ２と電極Ｆ５、電極Ｆ３と電極Ｆ６がそれぞれの配線層２ｂを経由して導通されており、電極Ｆ４〜電極Ｆ６側を図示されていないコネクタに挿入して、電極Ｆ１〜Ｆ３へ電力が給電される。電極Ｆ１〜Ｆ３は、圧電素子１の複数の電極Ｅと導通される。そして、カバーレイ２ｃの長手方向の終端部Ｎには、配線層２ｂと交差する第一の輪郭部Ｎ１と第二の輪郭部Ｎ２とが形成されている。すなわち、本実施形態では、カバーレイ２ｃの終端部Ｎは、基材２ａの長手方向の終端部に対し平行な形状となっていない。そして、第一の輪郭部Ｎ１は、電極Ｆ１と接し、第二の輪郭部Ｎ２は、電極Ｆ２、電極Ｆ３と接している。なお、カバーレイ２ｃの長手方向の終端部Ｎは、基材２ａの長手方向の終端部の形状によっては基材２ａの長手方向の終端部に対し平行な形状となってもよい。
【００１３】
本実施形態では、ＦＰＣ２に電極Ｆ１〜Ｆ６の６つの電極Ｆが形成されているが、電極Ｆの数を変更した他の形態も選択可能である。又、一般的に配線層２ｂには、圧延銅箔が、基材２ａとカバーレイ２ｃには、ポリイミドが採用されるが、材料を変更した他の形態も選択可能である。
【００１４】
次に、圧電素子１とＦＰＣ２とを接着した圧電体の構成について説明する。図３（ａ）は圧電体の平面図、図３（ｂ）は断面線Ｂ−Ｂにおける断面図、図３（ｃ）は断面線Ｃ−Ｃにおける断面図、図３（ｄ）は図３（ａ）の圧電体の平面図において、理解しやすいようにＦＰＣ２の基材２ａを取り除いた状態の平面図である。圧電体は、圧電素子１の図１（ａ）に示される平面と、ＦＰＣ２の図２（ｄ）に示される底面とが互いに貼り合わされるので、図３（ａ）においては、圧電素子１は図１（ａ）に示す平面、ＦＰＣ２は図２（ａ）に示す平面が示されている。圧電素子１の厚さに対して、電極Ｅ１〜Ｅ５の厚さは非常に薄いので、図３（ｂ）及び図３（ｃ）において、電極Ｅ１〜Ｅ５の記載は省略されており、更に、圧電素子１とＦＰＣ２の厚さは、誇張して示されている。
【００１５】
図３（ｂ）には、圧電素子１の電極Ｅ１にＦＰＣ２の電極Ｆ１が接着される部分の長さＬ３が示されている。この長さＬ３を長くすることによって、電極Ｆ１が電極Ｅ１に接着される接着面積が大きくなるので、電極Ｆ１の接着部の電気的信頼性を向上させることができる。又、図３（ｃ）には、カバーレイ２ｃの延在する方向における、圧電素子１上にカバーレイ２ｃが接着される部分の最大の長さＬ２が示されている。この長さＬ２を長くすることによって、剛性の高いカバーレイ２ｃが接着される接着面積が大きくなるので、カバーレイ２ｃの接着部の機械的信頼性を向上させることができる。
【００１６】
図３（ｄ）には、カバーレイ２ｃが圧電素子１に重畳している領域Ａが斜線で示されている。複数の電極Ｆのうちの電極Ｆ１は、圧電素子１の外形線Ｍに最も近い位置に位置付けられており、電極Ｆのうちの他の電極Ｆ２、電極Ｆ３は、電極Ｆ１よりも圧電素子１の外形線Ｍから離間した位置に位置付けられている。そして、本実施形態の圧電体の特徴は、ＦＰＣ２と交差する圧電素子１の外形線Ｍから第一の輪郭部Ｎ１までの長さＬ１は、外形線Ｍとから第二の輪郭部Ｎ２までの長さＬ２（図示Ｘ方向）より短いことである。これは、カバーレイ２ｃの終端部Ｎが圧電素子１の外形線Ｍと平行となる形状でないことに起因する。
【００１７】
又、本実施形態の圧電体は、図３（ａ）に示す通り、ＦＰＣ２が延在する方向と直交する幅方向の寸法について、圧電素子１とＦＰＣ２が重畳している領域Ａの寸法Ｗ１は、圧電素子１とＦＰＣ２が重畳していない部分の寸法Ｗ２より大きくなっている。これは、寸法Ｗ１を大きくすることによって、圧電素子１とＦＰＣ２との接着部の機械的信頼性を向上させることができる一方、寸法Ｗ２を小さくすることによって、ＦＰＣ２を引き回す部分の小型化を図ることができる。
【００１８】
次に、本実施形態の効果を説明する。図４（ａ）、図４（ｂ）及び図４（ｃ）は、いずれもＦＰＣの底面図であり、圧電素子１の外形線Ｍの位置が一点鎖線によって示されている。カバーレイ２ｃが圧電素子１に重畳する領域Ａは、斜線で示されている。図４（ａ）は、本実施形態のＦＰＣ２であり、図４（ｂ）及び図４（ｃ）は、それぞれ比較例としてのＦＰＣ１０２及びＦＰＣ２０２である。ＦＰＣ１０２及びＦＰＣ２０２のカバーレイ１０２ｃ及び２０２ｃの終端部Ｎ４及び終端部Ｎ５は、いずれも圧電素子１の外形線Ｍと平行となっている。
【００１９】
図４（ｂ）のように、終端部Ｎ４が圧電素子１の外形線Ｍと平行な形状となっているカバーレイ１０２ｃの場合であって、終端部Ｎ４が圧電素子１の外形線Ｍから近い、すなわち領域Ａが狭い場合を考える。ＦＰＣ１０２の長手方向の領域Ａの長さＬ４が短いので、剛性の高いカバーレイ１０２ｃと圧電素子１との接着面積が小さくなり、接着部の機械的信頼性が低下する。又、図４（ｃ）のように、終端部Ｎ５が圧電素子１の外形線Ｍと平行な形状となっているカバーレイ２０２ｃの場合であって、終端部Ｎ５が圧電素子１の外形線Ｍから遠い、すなわち領域Ａが広い場合を考える。ＦＰＣ２０２の長手方向の領域Ａの長さは長くなるが、電極Ｆ１が露出する長さＬ５が短くなり、圧電素子１の電極Ｅ１とＦＰＣ２０２の電極Ｆ１との接着面積が小さくなるので、接着部の電気的信頼性が低下する。
【００２０】
これに対して、図４（ａ）のように、カバーレイ２ｃの終端部Ｎは、配線層２ｂと交差する第一の輪郭部Ｎ１と第二の輪郭部Ｎ２とを有し第一の輪郭部Ｎ１は、電極Ｆのうちの電極Ｆ１と接し、第二の輪郭部Ｎ２は、電極Ｆのうちの他の電極Ｆ２、Ｆ３と接する。そして、ＰＦＣ２と交差する圧電素子１の外形線Ｍから第一の輪郭部Ｎ１までの長さＬ１は、外形線Ｍから第二の輪郭部Ｎ２までの長さＬ２より短い。このため、本実施形態の圧電体では、圧電素子１の電極Ｅ１とＦＰＣ２の電極Ｆ１との接着面積を大きくすることができるので、電極Ｆ１の接着部の電気的信頼性を向上させる効果が得られる。又、剛性の高いカバーレイ２ｃと圧電素子１との接着面積を大きくすることができるので、カバーレイ２ｃの接着部の機械的信頼性を向上させる効果が得られる。
【００２１】
図５（ａ）は、本実施形態の圧電体に弾性体３を貼り付けて構成した振動子１０の斜視図であり、図５（ｂ）は、振動子１０に対向して摩擦材１１を配置して構成した振動波モータ（超音波モータ）の斜視図である。これらの振動子１０と振動波モータの動作については、特許文献１又は２に記載の通りである。以上、本実施形態の圧電体は前述の特徴を備え、圧電体等が利用された機器の機械的信頼性と電気的信頼性を両立させて向上させることができる。
【００２２】
（第二の実施形態）
次に、本発明の第二の実施形態である圧電素子１とＦＰＣ２２を接着した圧電体の構成について説明する。図６（ａ）〜（ｄ）に示される図の形態は、それぞれ図３（ａ）〜（ｄ）に示される図の形態と同様である。第二の実施形態と第一の実施形態とにおける異なる点は、図６（ｂ）の断面線Ｂ−Ｂに沿った断面において、カバーレイ２２ｃが圧電素子１と重畳してない点である。更に、カバーレイ２２ｃが圧電素子１に重畳する領域Ａが圧電素子１上に二つ存在している。
【００２３】
図６（ｄ）には、カバーレイ２２ｃが圧電素子１に重畳している領域Ａが二か所、斜線で示されている。複数の電極Ｆのうち電極Ｆ１は、圧電素子１の外形線Ｍに最も近い位置に位置付けられており、他の電極Ｆ２、電極Ｆ３は、電極Ｆ１よりも圧電素子１の外形線Ｍから離間した位置に位置付けられている。そして、第二の実施形態の圧電体の特徴は、ＦＰＣ２２と交差する圧電素子１の外形線Ｍから第一の輪郭部Ｎ１までの長さＬ１は、外形線Ｍとから第二の輪郭部Ｎ２までの長さＬ２（図示Ｘ方向）より短いことである。なお、この長さＬ１が０である場合も含む。
【００２４】
上述の本実施形態の特徴により、圧電素子１の電極Ｅ１とＦＰＣ２２の電極Ｆ１との接着面積を大きくすることができるので、電極Ｆ１の接着部の電気的信頼性を向上させる効果が得られる。又、剛性の高いカバーレイ２２ｃと圧電素子１との接着面積を大きくすることができるので、カバーレイ２２ｃの接着部の機械的信頼性を向上させる効果が得られる。更に、本実施形態の圧電体は、断面線Ｂ−Ｂに沿った断面において、カバーレイ２２ｃが圧電素子１と重畳していないので、カバーレイ２２ｃの接着による圧電素子１の振動の阻害が低減されるという効果が得られる。
【００２５】
以上、説明した通り本実施形態の圧電体は、前述の特徴を有し、該圧電体が利用された機器の機械的信頼性と電気的信頼性を両立させて向上させることができる。なお、第一の実施形態で述べたような、他の形態が選択可能であることや、ＦＰＣ２２を引き回す部分の小型化を図るための特徴や、振動子１０や振動波モータへの利用は、第一の実施形態と同様である。
【００２６】
（第三の実施形態）
次に、本発明の第三の実施形態である圧電素子１とＦＰＣ３２を接着した圧電体の構成について説明する。図７（ａ）〜（ｄ）に示される図の形態は、それぞれ図３（ａ）〜（ｄ）に示される図の形態と同様である。なお、図７（ｃ）は、図７（ａ）において、配線層２ｂと配線層２ｂの間の部分における断面線Ｃ−Ｃに沿った断面図である。第三の実施形態と第一の実施形態とにおける異なる点は、図７（ａ）及び（ｄ）に示される通り、カバーレイ３２ｃの終端部Ｎの第二の輪郭部Ｎ２が、外形線Ｍの方向に凹んだ輪郭の形状をしている点である。この凹んだ輪郭により、凸部Ｎｘと凹部Ｎｙとが形成されている。領域Ａにおいて、この凸部Ｎｘは配線層２ｂの無い部分であり、凹部Ｎｙは配線層２ｂの存在する部分となっている。
【００２７】
図７（ｄ）には、カバーレイ３２ｃが圧電素子１に重畳している領域Ａが斜線で示されている。複数の電極Ｆのうち電極Ｆ１は、圧電素子１の外形線Ｍに最も近い位置に配置されており、電極Ｆのうちの他の電極Ｆ２、電極Ｆ３は、電極Ｆ１よりも圧電素子１の外形線Ｍから離間した位置に配置されている。そして、本実施形態の圧電体の特徴は、ＦＰＣ３２と交差する圧電素子１の外形線Ｍから第一の輪郭部Ｎ１までの長さＬ１は、外形線Ｍとから第二の輪郭部Ｎ２までの長さＬ２（図示Ｘ方向）より短いことである。この特徴は第一の実施形態と同様である。更に、第二の輪郭部Ｎ２は、外形線Ｍの方向に凹んだ輪郭部を有している。
【００２８】
本実施形態の圧電体は、長さＬ１より長さＬ２の方が長いため、電極Ｆ１の接着部の機械的信頼性及び電気的信頼性を向上させることができる効果を有することは、第一の実施形態と同様である。更に、本実施形態の圧電体は、凹部Ｎｙを有することから、電極Ｆ２及び電極Ｆ３の接着面積を大きく確保することができ、第一の実施形態の効果に加えて、電気的信頼性を更に向上させることができるという効果を有する。
【００２９】
以上、説明した通り本実施形態の圧電体は、前述の特徴を有し、該圧電体が利用された機器の機械的信頼性と電気的信頼性を両立させて向上させることができる。なお、第一の実施形態で述べたような、他の形態が選択可能であることや、ＦＰＣ３２を引き回す部分の小型化を図るための特徴や、振動子１０や振動波モータへの利用は、第一の実施形態と同様である。
【００３０】
前述した各実施形態の圧電体は、該圧電体が利用された機器の機械的信頼性と電気的信頼性を両立させて向上させることができるものであって、撮像装置のレンズを駆動するレンズ駆動装置３００やレンズ鏡筒に適用することができる。図８は、各実施形態の圧電体を利用した振動波モータ４００を用いたレンズ駆動装置３００の全体を示す図である。図９は、振動波モータ４００の分解斜視図である。図１０は、振動波モータ４００を用いたレンズ駆動装置３００を有するレンズ鏡筒を示す図である。
【００３１】
図８（ａ）はレンズ駆動装置３００の斜視図、図８（ｂ）は図８（ａ）においてレンズ駆動装置３００を平面Ｂで切った断面図である。レンズ駆動装置３００は、レンズ３３１、レンズホルダ３３２、２つのガイドバー３３３、振動波モータ４００によって構成される。レンズ３３１は、例えばカメラ鏡筒に使用されるフォーカスレンズであり、レンズの光軸方向（図８（ａ）においてＯＬ方向）に進退することで光軸方向ＯＬから入射する光束の焦点距離を変化させることができる。レンズホルダ３３２は、レンズ３３１を保持し、ガイドバー３３３が貫通する穴部３３２ａと、振動波モータ４００に設けられた駆動力伝達部４４５ａに連結する溝部３３２ｂを有する。２つのガイドバー３３３はレンズ３３１の光軸方向ＯＬに延在し、レンズホルダ３３２の穴部３３２ａを貫通しているため、レンズホルダ３３２を光軸方向ＯＬにのみ移動可能に案内している。
【００３２】
振動波モータ４００は、前述した各実施形態で述べた圧電体を有する。更に、振動波モータ４００は、モータの駆動力を伝達する凸形状の駆動力伝達部４４５ａを有しており、駆動力伝達部４４５ａと溝部３３２ｂとが嵌合し、連結される。振動波モータ４００が駆動した際、駆動力伝達部４４５ａと溝部３３２ｂの連結により駆動力がレンズホルダ３３２に伝達され、レンズホルダ３３２とレンズ３３１を光軸方向ＯＬに移動させることができる。なお、振動波モータ４００の駆動力をレンズホルダ３３２に伝達させる機構及びレンズホルダ３３２とレンズ３３１を光軸方向ＯＬに移動させる機構については、図８に示す機構に限定されず、その他の機構であってもよい。
【００３３】
図９（ａ）及び図９（ｂ）は、振動波モータ４００の分解斜視図であり、振動波モータ４００の構成を説明する図である。図９（ａ）は、斜め上方から見た分解斜視図、図９（ｂ）は、斜め下方から見た分解斜視図である。振動波モータ４００は、振動子４４１、摩擦部材４４２、保持部材４４３、締結部材４４４、振動子保持部材４４５、振動子連結部材４４６、振動子連結部材４４６を固定する固定部材４４７、加圧部材４４８、加圧板４４９、転動ボール４５０で構成される。振動子４４１は前述した振動子１０と同様のものであって、図（９）ではＦＰＣ２の記載は省略している。
【００３４】
振動子保持部材４４５は、振動子４４１を保持し、振動子４４１と一体となり摩擦部材４４２を移動する。また、振動子４４１の駆動力を外部に伝達する駆動力伝達部４４５ａと、転動ボール４５０が配置される溝部４４５ｂを有する。振動子連結部材４４６は、例えば薄い板状の金属板から形成される。薄い板状の金属板であるため、振動子４１を摩擦部材４４２に加圧する方向（図９においてＤ３方向）には変形容易であり振動波モータ４の駆動方向（図９においてＤ１方向）には変形しにくい。振動子連結部材４４６は、振動子４４１と結合される結合部４４６ａを有する。結合部４４６ａは、例えば接着や溶接により振動子４４１に結合される。また、振動子連結部材４４６は、固定部材４４７であるビスによって振動子保持部材４４５に固定される。振動子連結部材４４６によって振動子４４１と振動子保持部材４４５は連結される。
【００３５】
ここで、振動子連結部材４４６は、振動子４４１を摩擦部材４４２に加圧する方向には変形容易であるため、振動子４４１を摩擦部材４４２に加圧する加圧力を阻害しない。さらに、振動波モータ４００の駆動方向にも変形しにくいため、振動子４４１と振動子保持部材４４５を振動波モータ４００の駆動方向にガタ無く連結することができる。
【００３６】
加圧部材４４８は例えば圧縮バネであり、弾性変形することにより振動子４４１を摩擦部材４４２に加圧する加圧力を生じる。加圧部材４４８と振動子４４１との間には、加圧板４４９が配置されている。加圧板４４９には緩衝部材４４９ａとしてフェルトが貼り付けられている。加圧板４４９は、緩衝部材４４９ａを介して振動子４４１に接触することで、振動子４４１の振動を阻害することなく加圧部材４４８が生じる加圧力を振動子４４１に伝達することができる。
【００３７】
転動ボール４５０は、保持部材４４３の溝部４４３ａと振動子保持部材４４５の溝部４４５ｂの間に配置される。この構造により摩擦部材４４２と保持部材４４３に対して、振動子４４１、振動子保持部材４４５、加圧部材４４８及び加圧板４４９は、振動波モータ４００の駆動方向Ｄ１にのみ移動可能に保持される。
【００３８】
上述の構成において振動子４４１を振動させると、振動子４４１と摩擦部材４４２との間に生じる摩擦力により、振動子４４１、振動子保持部材４４５、加圧部材４４８そして加圧板４４９が駆動方向Ｄ１に移動する。なお、振動子４４１の位置を固定し、振動子４４１と摩擦部材４４２との間に生じる摩擦力により摩擦部材４４２が駆動方向Ｄ１に移動する構成にし、摩擦部材４４２の移動に伴いレンズホルダ３３２とレンズ３３１を光軸方向ＯＬに移動させるようにしてもよい。
【００３９】
振動子保持部材４４５の駆動力伝達部４４５ａは、レンズ３３１を保持するレンズホルダ３３２の溝部３３２ｂに連結されているため、振動波モータ４００の駆動によりレンズ３３１およびレンズホルダ３３２を光軸方向ＯＬに進退させることが可能である。
【００４０】
図１０は、このようなレンズ駆動装置３００（振動波モータユニット１１００）を組み込んだレンズ鏡筒の断面図を示している。以下では、レンズ鏡筒を撮像装置であるカメラ本体１０００に対して交換可能な交換レンズ２０００として説明するが、カメラ本体１０００に一体的に設けられたレンズ鏡筒であってもよい。なお、レンズ鏡筒はほぼ回転対称形であるため、上側半分のみを表示している。
【００４１】
カメラ本体１０００には交換レンズ２０００が着脱自在に取り付けられ、カメラ本体１０００内には撮像素子１０００ａが設けられている。マウント１００１は、交換レンズ２０００をカメラ本体１０００に取り付けるためのバヨネット部を有している。固定筒１００２は、マウント１００１のフランジ部と当接し、不図示のビスによってマウント１００１を固定している。固定筒１００２には、１群レンズＧ１を保持する前鏡筒１００３と３群レンズＧ３を保持する後鏡筒１００４が固定される。フォーカスレンズ保持枠１００５は、フォーカスレンズ（２群レンズ）Ｇ２を保持し、前鏡筒１００３と後鏡筒１００４に保持されたガイドバー１００６によって直進移動可能に保持されている。振動波モータユニット１１００内の地板１１０１には、フランジ部が形成されており（不図示）、後鏡筒１００４にビスにて固定されている。
【００４２】
上記のような構成で、振動波モータユニット１１００が駆動すると、振動波モータユニット１１００の駆動力は、駆動力伝達部１１０３を介してフォーカスレンズ保持枠１００５に伝達される。フォーカスレンズ保持枠１００５はガイドバー１００６によって直線移動する。以上のように、前述した各実施形態の圧電体は、該圧電体が利用された機器の機械的信頼性と電気的信頼性を両立させて向上させることができるものであって、撮像装置のレンズを駆動するレンズ駆動装置３００やレンズ鏡筒に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明は、小型軽量かつ広い駆動速度レンジが要求される電子機器、特にレンズ駆動装置３００等に利用可能である。
【符号の説明】
【００４４】
１              圧電素子
Ｅ１〜Ｅ５      電極（第一群）
２、２２、３２  フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）
Ｆ１〜Ｆ６      電極（第二群）
２ａ            基材
２ｂ            配線層
２ｃ            カバーレイ
Ｎ              終端部
Ｎ１            第一の輪郭部
Ｎ２            第二の輪郭部
Ｍ              外形線
３００          レンズ駆動装置
４００          振動波モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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