(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部、この基部から同じ方向に延設された二本の振動腕部、及び、これらの振動腕部に形成された励振電極を有する複数の水晶振動素子と、
前記複数の水晶振動素子を接続部を介して連結するフレームと、
このフレームから突設され前記基部の前記振動腕部の無い側にスリットを介して対向するフレーム突起部と、を備え、
前記接続部は、前記フレームから前記基部まで前記二本の振動腕部の間に設けられ、
前記スリットは、前記フレーム突起部の厚み方向に全体が貫通しており、電極膜形成時の電極材料が入り込まない寸法に設計されている、
水晶振動素子の中間生成品を製造する方法であって、
水晶基板上に耐食膜を成膜しパターン化する第一工程と、
前記耐食膜上にレジストパターンを形成する第二工程と、
前記耐食膜で覆われていない前記水晶基板の露出部分をウェットエッチングで除去することにより、前記基部及び前記振動腕部からなる水晶振動片、前記フレーム、前記接続部、前記フレーム突起部並びに前記スリットを形成する第三工程と、
前記レジストパターンで覆われていない前記耐食膜を除去する第四工程と、
前記レジストパターンで覆われていない前記水晶振動片の露出部分上及び前記レジストパターン上に前記電極膜を形成する第五工程と、
前記レジストパターン上に形成された前記電極膜を前記レジストパターンとともに除去する第六工程と、
前記レジストパターンが除去されたことにより露出した前記耐食膜を除去する第七工程と、
を含むことを特徴とする水晶振動素子の中間生成品の製造方法。
【請求項２】
基部、この基部から同じ方向に延設された二本の振動腕部、及び、これらの振動腕部に形成された励振電極を有する複数の水晶振動素子と、
前記複数の水晶振動素子を接続部を介して連結するフレームと、
このフレームから前記二本の振動腕部の間に延設され前記基部とスリットを介して対向するフレーム延長部と、を備え、
前記接続部は、前記フレームから前記基部の前記振動腕部の無い側までに設けられ、
前記スリットは、前記フレーム延長部の厚み方向に全体が貫通しており、電極膜形成時の電極材料が入り込まない寸法に設計されている、
水晶振動素子の中間生成品を製造する方法であって、
水晶基板上に耐食膜を成膜しパターン化する第一工程と、
前記耐食膜上にレジストパターンを形成する第二工程と、
前記耐食膜で覆われていない前記水晶基板の露出部分をウェットエッチングで除去することにより、前記基部及び前記振動腕部からなる水晶振動片、前記フレーム、前記接続部、前記フレーム延長部並びに前記スリットを形成する第三工程と、
前記レジストパターンで覆われていない前記耐食膜を除去する第四工程と、
前記レジストパターンで覆われていない前記水晶振動片の露出部分上及び前記レジストパターン上に前記電極膜を形成する第五工程と、
前記レジストパターン上に形成された前記電極膜を前記レジストパターンとともに除去する第六工程と、
前記レジストパターンが除去されたことにより露出した前記耐食膜を除去する第七工程と、
を含むことを特徴とする水晶振動素子の中間生成品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器などに用いられる水晶振動素子等に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータ、携帯電話又は小型情報機器等の電子機器には、電子部品の一つとして水晶振動子又は水晶発振器が搭載されている。この水晶振動子又は水晶発振器は、基準信号源やクロック信号源として用いられる。そして、水晶振動子や水晶発振器の内部には、水晶振動素子が含まれている。その水晶振動素子の一例として、音叉型屈曲水晶振動素子（以下「振動素子」と略称する。）を採り上げる。
【０００３】
特許文献１、２に、二本の振動腕部の股にスリット入りの突起部を設けた振動素子が開示されている。このスリットは、振動腕部にリフトオフ法で電極膜を形成する際に、電極膜の短絡を防ぐ役割を果たす。この振動素子を、関連技術１の振動素子とする。図８は、関連技術１の振動素子を示す平面図である。以下、この図面に基づき説明する。
【０００４】
本関連技術１の振動素子８０は、基部８１と、基部８１から同じ方向に延設された二本の振動腕部８２ａ，８２ｂと、振動腕部８２ａ，８２ｂの間の基部８１から突設された突起部８３と、振動腕部８２ａ，８２ｂの延設方向８０１と同じ方向に突起部８３の内側から外縁まで穿設されたスリット８４と、を備えている。振動腕部８２ａ，８２ｂには、それぞれ溝部８５ａ，８５ｂが穿設されている。基部８１、振動腕部８２ａ，８２ｂ及び突起部８３は、水晶振動片８６を構成する。振動素子８０は、水晶振動片８６の他に、パッド電極９１ａ，９１ｂ、励振電極９２ａ，９２ｂ、周波数調整用金属膜９３ａ，９３ｂ、配線パターン９４ａ，９４ｂなども備えている。
【０００５】
突起部８３の先端側には、延設方向８０１に沿ってスリット８４が設けられている。スリット８４は、突起部８３の厚み方向に貫通しており、幅Ｗ及び長さＬの大きさを有する。このスリット８４は、振動腕部８２ａ，８２ｂに励振電極９２ａ，９２ｂをリフトオフ法にて形成する際に、振動腕部８２ａの内側面の励振電極９２ａと振動腕部８２ｂの内側面の励振電極９２ｂとを切り離す作用をする。ここでいう「内側面」とは向い合う二つの側面を指す。
【０００６】
次に、このスリットの８４の作用を説明するために、振動素子８０の製造方法を簡単に説明する。
【０００７】
まず、水晶ウェハ（図示せず）の表裏に、耐食膜（図示せず）をスパッタリングにて成膜する。続いて、水晶ウェハ表裏の耐食膜上に感光性レジスト（ポジ型）を形成し、表裏の両面に音叉形状の耐食膜が残るようにその感光性レジストをパターン化（露光、現像、乾燥）し、音叉形状以外の耐食膜をエッチングで除去する。
【０００８】
続いて、表裏の耐食膜上に、電極の形状を決定するために再び感光性レジスト（ポジ型）をパターン化する。スリット８４となる水晶部分は、耐食膜を介することなく、感光性レジストで直接覆われる。
【０００９】
続いて、露出している水晶部分をウェットエッチングで除去する。このとき、スリット８４の形状と水晶振動片８６の外形とが、同時に形成される。つまり、この感光性レジストを残した状態で、基部８１と振動腕部８２ａ，８２ｂと突起部８３とが形成される。なお、突起部８３を覆う感光性レジストはスリット８４を跨いだ状態で残されており、スリット８４は感光性レジストの下からアンダーエッチングによって形成される。
【００１０】
続いて、水晶振動片８６の表裏面に露出した耐食膜を、エッチングで除去する。これにより、水晶表面を得る。
【００１１】
続いて、感光性レジストを残した状態の水晶振動片８６の全面に、電極膜（図示せず）をスパッタリングにより形成する。このとき、突起部８３では、スリット８４を跨いで表裏面を覆う感光性レジストによって、その感光性レジストの上と突起部８３の外側面にのみ電極膜が形成され、スリット８４内には電極膜が形成されない。なぜなら、スリット８４は、電極材料が入り込まないように、幅Ｗ及び長さＬが設計されているからである。
【００１２】
続いて、水晶振動片８６の表裏に形成した感光性レジストと、その上に形成された電極膜と、を剥離する。これは、感光性レジストを溶解する液に、これらを浸すことにより実現される。このとき、スリット８４を跨いでいた感光性レジストも除去されるため、感光性レジスト上の電極膜を介して接続されていた振動腕部８２ａの内側面の励振電極９２ａと振動腕部８２ｂの内側面の励振電極９２ｂとが、切断された状態となる。この電極形成方法がリフトオフ法である。
【００１３】
最後に、感光性レジストの下で残っていた耐食膜を、エッチングにより除去する。
【００１４】
このようにして水晶振動片８６に電極が形成されるので、リフトオフ法を用いても、振動腕部８２ａの内側面の励振電極９２ａと振動腕部８２ｂの内側面の励振電極９２ｂとをスリット８４で切断した状態にすることができる。
【００１５】
以上をまとめると、次のようになる。リフトオフにポジ型レジストを用いたとき、二本の振動腕部８２ａ，８２ｂの内側面には励振電極９２ａ，９２ｂを形成するために光を当ててレジスト膜を除去する。このとき、二本の振動腕部８２ａ，８２ｂの内側面の付根である股部には、レジスト膜を残したい。なぜなら、股部に電極膜が形成されると、二本の振動腕部８２ａ，８２ｂの内側面の励振電極９２ａ，９２ｂ同士が股部で短絡してしまうからである。しかし、水晶振動片８６の表裏面とは異なり水晶振動片８６の側面にはフォトマスクの遮光部が接しないため、水晶振動片８６の側面からなる股部に光を当てないようにすることは難しい。つまり、励振電極９２ａ，９２ｂ形成用の光が股部にも当たってしまう。そこで、電極材料が入り込まない大きさのスリット８４を股部に設けることにより、股部で励振電極９２ａ，９２ｂ同士が短絡しないようにするため、アンダーエッチングによってスリット８４を形成するなどフォトリソ製造工程にて特別な工夫が必要であった。
【００１６】
また、振動素子８１の中間生成品は、例えば一枚の水晶ウェハからウェットエッチングによって加工された複数の振動素子８１及びフレームからなり、この状態で独立して商取引の対象となる（例えば特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開２０１１−１５１５６７号公報
【特許文献２】特開２０１４−０２３１３４号公報
【特許文献３】特開２０１４−０１１５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかしながら、関連技術１の振動素子８０には次のような問題があった。
【００１９】
基部８１に存在するスリット８４に応力が集中しやすいため、振動素子８０の強度が低下して破損しやすくなっていた。また、振動素子８０の基部８１を真空ピンセットで吸着する際に、エアーがスリット８４から漏れることにより吸着力が低下していた。
【００２０】
関連技術１では、これらの問題に対処するため、基部８１の一部を延設方向８０１へ突設して三角形状の突起部８４とし、ここにスリット８４を形成している。つまり、基部８１のできるだけ外側へスリット８４を移動しようとする工夫である。
【００２１】
ところが、このような工夫も、振動素子８０の小型化の進展には追いつけず、もはや限界に来ている。なぜなら、振動素子８０を小さくしてもスリット８４の幅Ｗ及び長さＬは一定以上必要となるため、相対的にスリット８４の専有面積の割合が大きくなってしまうからである。
【００２２】
そこで、本発明の目的は、リフトオフ法によって電極を形成する場合でもスリットに起因する諸問題を解決し得る振動素子等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明に係る振動素子は、
基部と、
この基部から同じ方向に延設された二本の振動腕部と、
これらの振動腕部に形成された励振電極と、
前記二本の振動腕部の間の前記基部に形成された水晶の折り取り面又はエッチング面からなり、前記励振電極を電気的に分離する電極分離面と、
を備えたものである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、二本の振動腕部の間の基部に、励振電極を電気的に分離する電極分離面を備えたことにより、スリットを不要にできるので、リフトオフ法によって電極を形成する場合でもスリットに起因する諸問題を解決できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施形態１の振動素子を示す平面図である。
【図２】図１におけるII−II線断面図である。
【図３】図１におけるII−II線断面及びIII−III線断面について、各製造工程を示した断面図であり、図３［１］、図３［２］、図３［３］、図３［４］の順に工程が進行する。
【図４】図１におけるII−II線断面及びIII−III線断面について、各製造工程を示した断面図であり、図４［５］、図４［６］、図４［７］、図４［８］の順に工程が進行する。
【図５】図１における一部について各製造工程を示した平面図であり、図５［Ａ］、図５［Ｂ］、図５［Ｃ］の順に工程が進行する。
【図６】実施形態２の中間生成品を示す平面図である。
【図７】実施形態２の中間生成品の変形例を示す平面図であり、図７［Ａ］が変形例１、図７［Ｂ］が変形例２である。
【図８】関連技術１の振動素子を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、添付図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（以下「実施形態」という。）について説明する。なお、図面に描かれた形状は、当業者が理解しやすいように描かれているため、実際の寸法及び比率とは必ずしも一致していない。
【００２７】
本発明に係る振動素子及びその製造方法の実施形態を、実施形態１として説明する。図１は、実施形態１の振動素子を示す平面図である。図２は、図１におけるII−II線断面図である。以下、これらの図面に基づき説明する。
【００２８】
本実施形態１の振動素子１０は、基部１１と、基部１１から同じ方向に延設された二本の振動腕部１２ａ，１２ｂと、振動腕部１２ａ，１２ｂに形成された励振電極２２ａ，２２ｂと、振動腕部１２ａ，１２ｂの間の基部１１に形成された水晶の折り取り面又はエッチング面からなり、励振電極２２ａ，２２ｂを電気的に分離する電極分離面１４と、を備えている。本実施形態１では、基部１１の一部が振動腕部１２ａ，１２ｂの間から三角形状に突設されて突起部１３となっており、突起部１３の先端に電極分離面１４が形成されている。
【００２９】
振動腕部１２ａ，１２ｂには、それぞれ溝部１５ａ，１５ｂが穿設されている。基部１１（突起部１３を含む。以下同じ。）及び振動腕部１２ａ，１２ｂは、水晶振動片１６を構成する。振動素子１０は、水晶振動片１６及び励振電極２２ａ，２２ｂの他に、パッド電極２１ａ，２１ｂ、周波数調整用金属膜２３ａ，２３ｂ、配線パターン２４ａ，２４ｂなども備えている。
【００３０】
励振電極２２ａ，２２ｂは、互いに異極となる。電極分離面１４は、二本の振動腕部１２ａ，１２ｂの対向する二面の一方に形成された励振電極２２ａと他方に形成された励振電極２２ｂとを電気的に分離する。パッド電極２１ａは励振電極２２ａに電気的に接続され、パッド電極２１ｂは励振電極２２ｂに電気的に接続されている。
【００３１】
次に、振動素子１０の構成について更に詳しく説明する。
【００３２】
基部１１は、平面視略四角形の平板となっている。水晶振動片１６は、基部１１と振動腕部１２ａ，１２ｂとが一体となって音叉形状をなしており、成膜技術、フォトリソグラフィ技術、化学エッチング技術により製造される。
【００３３】
振動腕部１２ａ，１２ｂはともに延設方向１０１に伸びている。振動腕部１２ａ，１２ｂの長さ方向には、それぞれ溝部１５ａ，１５ｂを設けてもよい。それらの溝部１５ａ，１５ｂは、例えば振動腕部１２ａの表裏面に二本ずつ及び振動腕部１２ｂの表裏面に二本ずつ、基部１１との境界部分から振動腕部１２ａ，１２ｂの先端に向って、振動腕部１２ａ，１２ｂの長さ方向と平行に所定の長さで設けられる。なお、溝部１５ａ，１５ｂは、本実施形態１では振動腕部１２ａの表裏面に二本ずつ及び振動腕部１２ｂの表裏面に二本ずつ設けられているが、それらの本数に制限はなく、例えば振動腕部１２ａの表裏面に一本ずつ及び振動腕部１２ｂの表裏面に一本ずつ設けてもよく、また、表裏のどちらか片面にのみ設けてもよい。
【００３４】
振動腕部１２ａには、水晶を挟んで対向する平面同士が同極となるように、両側面に励振電極２２ａが設けられ、表裏面の溝部１５ａの内側及び当該二つの溝部１５ａの間に励振電極２２ｂが設けられる。同様に、振動腕部１２ｂには、水晶を挟んで対向する平面同士が同極となるように、両側面に励振電極２２ｂが設けられ、表裏面の溝部１５ｂの内側及び当該二つの溝部１５ｂの間に励振電極２２ａが設けられる。したがって、振動腕部１２ａにおいては両側面に設けられた励振電極２２ａと溝部１５ａ内に設けられた励振電極２２ｂとが異極同士となり、振動腕部１２ｂにおいては両側面に設けられた励振電極２２ｂと溝部１５ｂ内に設けられた励振電極２２ａとが異極同士となる。
【００３５】
基部１１には、パッド電極２１ａ，２１ｂと、パッド電極２１ａ，２１ｂと励振電極２２ａ，２２ｂとを電気的に接続する配線パターン２４ａ，２４ｂとが設けられる。パッド電極２１ａ、励振電極２２ａ、周波数調整用金属膜２３ａ及び配線パターン２４ａは、互いに電気的に導通している。パッド電極２１ｂ、励振電極２２ｂ、周波数調整用金属膜２３ｂ及び配線パターン２４ｂも、互いに電気的に導通している。
【００３６】
これらパッド電極２１ａ，２１ｂ、励振電極２２ａ，２２ｂ、周波数調整用金属膜２３ａ，２３ｂ及び配線パターン２４ａ，２４ｂは、同じ金属膜からリフトオフ法によって形成され、例えばＴｉ層の上にＰｄ又はＡｕ層が設けられた積層構造となっている。
【００３７】
電極分離面１４は、突起部１３の厚み方向に表面から裏面まで露出した水晶面であり、具体的には水晶の折り取り面又はエッチング面からなる。そして、電極分離面１４は、振動腕部１２ａ，１２ｂに励振電極２２ａ，２２ｂをリフトオフ法にて形成する際に、振動腕部１２ａの内側面の励振電極２２ａと振動腕部１２ｂの内側面の励振電極２２ｂとを切り離す役割を果たす。なお、ここでいう「折り取り面」には、折り取り面に研磨等の加工を施した面も含まれる。
【００３８】
次に、振動素子１０の動作について説明する。音叉型の振動素子１０を振動させる場合、パッド電極２１ａ，２１ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的に捉えると、振動腕部１２ａの表裏の溝部１５ａに設けられた励振電極２２ｂはプラス電位となり、振動腕部１２ａの両側面に設けられた励振電極２２ａはマイナス電位となり、プラスからマイナスに電界が生じる。このとき、振動腕部１２ｂの表裏の溝部１５ｂに設けられた励振電極２２ａはマイナス電位となり、振動腕部１２ｂの両側面に設けられた励振電極２２ｂはプラス電位となり、振動腕部１２ａに生じた極性とは反対の極性となり、プラスからマイナスに電界が生じる。この交番電圧で生じた電界によって、振動腕部１２ａ，１２ｂに伸縮現象が生じ、所定の共振周波数の屈曲振動モードが得られる。
【００３９】
次に、振動素子１０の製造方法について説明する。図３及び図４は図１におけるII−II線断面及びIII−III線断面について、各製造工程を示した断面図であり、図５は図１における一部について各製造工程を示した平面図である。以下、図１乃至図５に基づき説明する。
【００４０】
図３及び図４のそれぞれの左半分には図１におけるII−II線断面のうち振動腕部１２ａ側を示し、それぞれの右半分には図１におけるIII−III線断面を示す。図５には、図１における突起部１３及び延長部１７を示す。本実施形態１の製造方法は、次の第一乃至第八工程を含む。
【００４１】
図３［１］に示す第一工程では、水晶基板３１上に、耐食膜３２を成膜しパターン化する。例えば、水晶基板３１の表裏に、Ｃｒ又はＣｒ＋Ａｕなどの耐食膜３２をスパッタリングにて成膜する。そして、耐食膜３２上に感光性レジスト（ポジ型）を形成し、水晶基板３１の表裏に音叉形状の耐食膜３２が残るようにその感光性レジストをパターン化（露光、現像、乾燥）し、音叉形状以外の耐食膜３２をエッチングで除去し、残った感光性レジストを除去する。
【００４２】
図３［２］に示す第二工程では、耐食膜３２上にレジストパターン３３を形成する。例えば、水晶基板３１の表裏の耐食膜３２上に電極の形状を決定するために、感光性レジスト（ポジ型）をパターン化する。
【００４３】
図３［３］及び図５［Ａ］に示す第三工程では、耐食膜３２で覆われていない水晶基板３１の露出部分をウェットエッチングで除去することにより、水晶振動片１６及び延長部１７を形成する。延長部１７は、図１に仮想線で示すように、二本の振動腕部１２ａ，１２ｂの間の基部１１（突起部１３）から二本の振動腕部１２ａ，１２ｂの間に延設されたものである。すなわち、第三工程では、レジストパターン３３を残した状態で、基部１１、振動腕部１２ａ，１２ｂ及び延長部１７が形成される。ここで用いる水晶のエッチング液は、フッ酸を主成分とする溶液である。
【００４４】
なお、振動腕部１２ａ，１２ｂに溝部１５ａ，１５ｂを設ける場合は、この第三工程で水晶振動片１６の形状と同時に溝部１５ａ，１５ｂを形成してもよい。ただし、振動腕部１２ａ，１２ｂの表裏面に溝部１５ａ，１５ｂを設ける場合は、溝部１５ａ，１５ｂの貫通を避けるために、溝部１５ａ，１５ｂ内にエッチング抑制パターンを形成することが望ましい。
【００４５】
図３［４］に示す第四工程では、レジストパターン３３で覆われていない耐食膜３２を、除去する。つまり、水晶振動片１６の表裏面に露出した耐食膜３２をエッチングで除去することにより、水晶表面を得る。
【００４６】
図４［５］に示す第五工程では、レジストパターン３３で覆われていない水晶振動片１６の露出部分上及びレジストパターン３３上に、電極膜３４を形成する。例えば、水晶振動片１６の全面に電極膜３４をスパッタリングにより形成する。なお、スパッタリングの代わりに、蒸着などの成膜方法を用いてもよい。
【００４７】
図４［６］及び図５［Ｂ］に示す第六工程では、レジストパターン３３上に形成された電極膜３４を、レジストパターン３３とともに除去する。つまり、水晶振動片１６の表裏に形成されたレジストパターン３３と、その上に形成された電極膜３４と、を剥離する。これは、感光性レジストを溶解する液（例えばアセトン）に、これらを浸すことにより容易に除去できる。ただし、レジストパターン３３の下にある耐食膜３２は残る。この第六工程の電極膜形成方法は、リフトオフ法と呼ばれる。
【００４８】
図４［７］に示す第七工程では、レジストパターン３３が除去されたことにより露出した耐食膜３２を、除去する。つまり、最後まで残った耐食膜３２をエッチングで除去する。
【００４９】
図４［８］及び図５［Ｃ］に示す第八工程では、水晶振動片１６から延長部１７を折り取ることにより、電極分離面１４を形成する。電極分離面１４は、振動腕部１２ａ，１２ｂの内側で対向する励振電極２２ａ，２２ｂ、すなわち振動腕部１２ａの内側面の励振電極２２ａと振動腕部１２ｂの内側面の励振電極２２ｂとを、電気的に分離する。なお、第三工程において、所望の電極分離面１４になるように、延長部１７と突起部１３との境界に、割れやすくするための切り込みを入れてもよい。
【００５０】
また、第八工程において、水晶振動片１６から延長部１７を折り取ることに代えて、水晶振動片１６から延長部１７をエッチングによって除去することにより、電極分離面１４を形成するようにしてもよい。例えば、延長部１７以外の全てをレジスト膜で覆い、レジスト膜で覆われていない延長部１７を水晶のウェットエッチングで除去する。このとき、延長部１７の全体を露出させる（レジスト膜で覆わない）のではなく、少なくとも電極分離面１４となる部分を露出させればよい。
【００５１】
なお、振動素子１０はフレーム１８に接続部１９を介して連結されており、接続部１９から振動素子１０が折り取られることによって、パッド電極２１ａ，２１ｂ同士が電気的に分離される。また、振動素子１０は、接続部１９でフレーム１８から切り離され、パッケージに実装される。
【００５２】
次に、本実施形態１の振動素子１０の作用及び効果を説明する。振動素子１０によれば、二本の振動腕部１２ａ，１２ｂの間の基部１１に、励振電極２２ａ，２２ｂを電気的に分離する電極分離面１４を備えたことにより、スリットを不要にできるので、リフトオフ法によって電極を形成する場合でもスリットに起因する諸問題を解決できる。例えば、基部１１にスリットが無いので、スリットに応力が集中することによる振動素子１０の破損を防止できる。また、基部８１を真空ピンセットで吸着する際に、スリットからエアーが漏れることによる吸着力の低下を防止できる。
【００５３】
次に、本発明に係る振動素子の中間生成品の実施形態を、実施形態２として説明する。図６は、実施形態２の中間生成品を示す平面図である。以下、図６に基づき説明する。
【００５４】
本実施形態２の中間生成品４０は、複数の振動素子１０と、フレーム４１と、複数の振動素子１０をフレーム４１に連結する複数の接続部４２と、を備えている。接続部４２は、二本の振動腕部１２ａ，１２ｂの間の基部１１からフレーム４１まで、二本の振動腕部１２ａ，１２ｂの間に延設されている。電極分離面１４は、接続部４２から振動素子１０が折り取られることによって形成される。
【００５５】
本実施形態２では、実施形態１における延長部がフレーム４１まで伸びてフレーム４１と一体化され接続部４２となっている。また、中間生成品４０は、フレーム突起部４３及びスリット４４を更に備えている。フレーム突起部４３は、基部１１の振動腕部１２ａ，１２ｂの無い側に対向するように、フレーム４１から突設されている。そして、基部１１とフレーム突起部４３とが対向することにより、それらの間にスリット４４が形成されている。スリット４４は、関連技術１におけるスリットと同様に、電極を電気的に分離する働きをする。ただし、スリット４４は最終的に基部１１には残らないので、スリット４４に起因する前述の諸問題は発生しない。なお、所望の電極分離面１４になるように、接続部４２と基部１１との境界に、割れやすくするための切り込みを入れてもよい。
【００５６】
中間生成品４０は、この状態で独立して商取引の対象となる。各振動素子１０は、一つずつ接続部４２でフレーム４１から切り離され、パッケージに実装される。
【００５７】
本実施形態２の中間生成品４０によれば、接続部４２から振動素子１０を折り取ることにより電極分離面１４を形成する工程が、関連技術１における接続部から振動素子を折り取る工程に相当する。そのため、本実施形態２の工程数は、関連技術１の工程数と同じである。したがって、本実施形態２によれば、工程数を増やすことなく、スリットに起因する前述の諸問題を解決できる。本実施形態２のその他の構成、作用及び効果は、実施形態１、２のそれらと同様である。
【００５８】
次に、実施形態２の変形例１について説明する。図７［Ａ］は、実施形態２の中間生成品の変形例１を示す平面図である。以下、図７［Ａ］に基づき説明する。
【００５９】
本変形例１の中間生成品５０は、実施形態２におけるフレーム突起部及びスリットがもう一つの接続部５１に置き換わっている。接続部５１は、基部１１の振動腕部１２ａ，１２ｂの無い側において、電極を電気的に分離する働きをする。
【００６０】
本変形例１の中間生成品５０によれば、接続部５１から振動素子１０を折り取る工程及び接続部４２から振動素子１０を折り取ることにより電極分離面１４を形成する工程が、関連技術１における接続部から振動素子を折り取る工程に相当する。そのため、本変形例２の工程数は関連技術１の工程数と同じである。したがって、本変形例１によれば、実施形態２と同様に、工程数を増やすことなく、スリットに起因する前述の諸問題を解決できる。本変形例１のその他の構成、作用及び効果は、実施形態１、２のそれらと同様である。
【００６１】
次に、実施形態２の変形例２について説明する。図７［Ｂ］は、実施形態２の中間生成品の変形例２を示す平面図である。以下、図７［Ｂ］に基づき説明する。
【００６２】
本変形例２の中間生成品６０は、複数の振動素子１０’と、フレーム４１と、複数の振動素子１０’をフレーム４１に連結する複数の接続部５１と、を備えている。そして、中間生成品６０は、フレーム４１から二本の振動腕部１２ａ，１２ｂの間に延設され基部１１に対向するフレーム延長部６１と、基部１１とフレーム延長部６１との間に形成されたスリット６２とを更に備えている。電極分離面１４は、スリット６２の基部１１側のエッチング面からなる。
【００６３】
振動素子１０’は、実施形態１の振動素子における突起部がスリット６２に置き換わっている。ただし、スリット６２は最終的に基部１１には残らないので、スリット６２に起因する前述の諸問題は発生しない。
【００６４】
本変形例２の中間生成品６０によれば、スリット６２が水晶振動片を形成する水晶のエッチング工程で同時に形成される。そのため、本変形例２の工程数は関連技術１の工程数と同じである。したがって、本変形例２によれば、実施形態２と同様に、工程数を増やすことなく、スリットに起因する前述の諸問題を解決できる。本変形例２のその他の構成、作用及び効果は、実施形態１、２及び変形例１のそれらと同様である。
【００６５】
以上、上記各実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細については、当業者が理解し得るさまざまな変更を加えることができる。また、本発明には、上記各実施形態の構成の一部又は全部を相互に適宜組み合わせたものも含まれる。
【符号の説明】
【００６６】
＜実施形態１＞
１０  振動素子
１０１  延設方向
１１  基部
１２ａ，１２ｂ  振動腕部
１３  突起部
１４  電極分離面
１５ａ，１５ｂ  溝部
１６  水晶振動片
１７  延長部
１８  フレーム
１９  接続部
２１ａ，２１ｂ  パッド電極
２２ａ，２２ｂ  励振電極
２２ｃ  金属膜
２３ａ，２３ｂ  周波数調整用金属膜
２４ａ，２４ｂ  配線パターン
３１  水晶基板
３２  耐食膜
３３  レジストパターン
３４  電極膜
＜実施形態２＞
４０  中間生成品
４１  フレーム
４２  接続部
４３  フレーム突起部
４４  スリット
＜変形例１＞
５０  中間生成品
５１  接続部
＜変形例２＞
１０’  振動素子
６０  中間生成品
６１  フレーム延長部
６２  スリット
＜関連技術１＞
８０  振動素子
８０１  延設方向
８１  基部
８２ａ，８２ｂ  振動腕部
８３  突起部
８４  スリット
８５ａ，８５ｂ  溝部
８６  水晶振動片
９１ａ，９１ｂ  パッド電極
９２ａ，９２ｂ  励振電極
９３ａ，９３ｂ  周波数調整用金属膜
９４ａ，９４ｂ  配線パターン
Ｌ  スリットの長さ
Ｗ  スリットの幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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