(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気流入口および空気流出口が設けられ、被検査物を内部に収容でき、水平方向を回転軸とする回転動作により前記被検査物から粉塵を発塵させる中空円柱状の回転式ドラムと、
清浄空気を前記回転式ドラムの前記空気流入口に供給する清浄空気供給部と、
前記空気流出口よりも前記清浄空気の流路の下流に設置された、前記粉塵を測定する粉塵測定部と、を備える発塵測定装置であって、
前記回転式ドラムのいずれか一方の底面に前記空気流出口が設けられ、
前記回転式ドラムの円柱面の少なくとも一部に前記空気流入口が設けられ、かつ、前記空気流入口はメッシュ状であり、
前記回転式ドラムの前記いずれか一方の底面を共用する第１底面を有し、かつ、前記回転式ドラムの前記円柱面と、前記回転式ドラムの前記いずれか一方の底面と反対側の底面との間に間隙を有する中空円柱状の外部ドラムをさらに備え、
前記清浄空気供給部は、前記回転式ドラムの前記反対側の底面と対向し、
前記外部ドラムの第２底面に前記清浄空気の流入口が設けられることを特徴とする発塵測定装置。
【請求項２】
前記空気流入口は、前記回転式ドラムの羽根の、回転方向側に少なくとも設けられる、請求項１に記載の発塵測定装置。
【請求項３】
前記空気流入口は、前記回転式ドラムの円柱面の全面に設けられる、請求項１に記載の発塵測定装置。
【請求項４】
前記回転式ドラムの前記反対側の底面は閉塞面である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の発塵測定装置。
【請求項５】
前記清浄空気供給部と、前記空気流入口との間の前記清浄空気の流路に除電器をさらに備える、請求項１〜４のいずれか１項に記載の発塵測定装置。
【請求項６】
請求項１に記載の発塵測定装置を用いる被検査物の発塵測定方法であって、
前記回転式ドラムの内部に前記被検査物を収容する工程と、
前記回転式ドラムを回転させて、前記被検査物から粉塵を発塵させる工程と、
前記清浄空気供給部から前記清浄空気を供給し、前記円柱面の少なくとも一部に設けられた前記空気流入口に前記清浄空気を流入させ、前記空気流出口から前記粉塵を含む前記清浄空気を流出させる工程と、
前記空気流出口から流出した後の前記清浄空気に含まれる前記粉塵を前記粉塵測定部により測定する工程と、を含むことを特徴とする発塵測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は発塵測定装置およびそれを用いた発塵測定方法に関し、特に、被検査物が軽量な場合であっても、確実にタンブリング法を適用することのできる発塵測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器、精密機械、医薬品、半導体などの分野では、空気中の粉塵による汚染対策のため、クリーンルーム内で製造が行われる。クリーンルームへの粉塵の侵入を防止するため、クリーンルーム内で使用する布製の衣類およびワイパーや手袋などのクリーン用品には無塵衣または発塵性の少ないものが用いられている。
【０００３】
ここで、特に半導体製造においては、粉塵による微小パーティクルが付着すると半導体製品の品質に大きく影響するため、粉塵による影響を最小限に抑制することが求められる。そのため、半導体製品の品質を確保するためにも、クリーンルーム内で使用される衣類およびクリーン用品の汚染度合いの定量評価が行われている。
【０００４】
ここで、クリーンルーム内で使用するクリーンルーム用衣服の粉塵による汚染度合いを定量評価する方法として、日本工業規格JIS B 9923-1997により「クリーンルーム用衣服の汚染粒子測定方法」が規定されている。この汚染粒子測定方法では、測定方法として顕微鏡法と光散乱式自動粒子係数器法を規定しており、後者の光散乱式自動粒子係数器法では、清浄環境内にて被検査物を一定条件で運動させて、被検査物から粉塵を発塵させたときの供給空気および排出空気の清浄度をJIS B 9921-2010に規定する計数器により計数する。
【０００５】
ここで、上記のクリーンルーム用衣服の汚染粒子測定方法における、被検査物から粉塵を発塵させる方法の一つであるタンブリング法の概略を、図１（Ａ）〜（Ｃ）に示す発塵測定装置７００を用いて説明する。図１（Ａ）に模式的に示すように、発塵測定装置７００は、被検査物Ｓを内部に収容でき、水平方向を回転軸とする回転動作により被検査物Ｓから粉塵を発塵させる中空円柱状の回転式ドラム７３０と、清浄空気を回転式ドラム７３０に供給する清浄空気供給部７１０と、粉塵を測定する粉塵測定部７５０と、を備える。図１（Ｂ），（Ｃ）に回転式ドラム７３０のI-I断面図およびII-II断面図を示す。図１（Ａ）では簡略化のため図示しないが、回転式ドラム７３０には羽根７３１が設けられる。回転式ドラム７３０が回転すると、下方にある被検査物Ｓは羽根７３１により上方にまで押し上げられ、その後、重力により被検査物Ｓが落下し、回転および落下を繰り返して被検査物Ｓが撹拌される。このような被検査物Ｓの撹拌動作により、被検査物Ｓの表面および内部から、微粒子が剥離して粉塵が発生する。
【０００６】
そして、発塵測定装置７００において、図１（Ａ）における空気の流路Ａに示されるように、清浄空気が清浄空気供給部７１０から供給される。次いで、回転式ドラム７３０には、清浄空気供給部７１０側の底面７３０Ｂ１における空気流入口７３２（図１（Ｂ））から清浄空気が流入し、粉塵測定部７５０側の底面７３０Ｂ２における空気流出口（図示せず）から、被検査物Ｓによる粉塵と共に清浄空気が流出する。そして、この粉塵をJIS B 9923-1997に規定される光粒子散乱自動粒子計数機法により測定することで、被検査物Ｓの相対的清浄度を求めることができるのである。なお、図１（Ａ）において、清浄空気供給部７１０は、送風機７１１およびフィルタ７１３から構成されている。回転式ドラム７３０の回転は電動機７２０によるものである。
【０００７】
ところで、JIS B 9923-1997では、回転式ドラム７３０の回転数を３０〜５０回転／分と規定している。この条件下では、クリーンルーム用の手袋およびワイパーなどの、比較的軽量な試料を被検査物とすると、回転式ドラムの遠心力により、被検査物が落下することなく、回転式ドラムの内壁に張り付いてしまう場合がある。そのため、被検査物からの発塵が不十分となってしまい、検査の信頼性に乏しい場合があった。
【０００８】
そこで、特許文献１では、汚染粒子測定方法におけるタンブリング法において、ドラム回転用モータにインバータ回路を取り付け、ドラム回転数を可変にし、遠心力を調整して被検物を落下させることが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０００−１９０８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１により提案される方法のように、回転式ドラムの回転数を調整して遠心力を弱めるのであれば、回転式ドラムの回転数を低下させることになる。この場合、被検査物を十分に撹拌することができなくなって、発塵が不十分となる。そこで、被検査物が軽量な場合であっても、確実にタンブリング法を適用することのできる発塵測定装置の実現が求められる。
【００１１】
そこで本発明は、被検査物が軽量な場合であっても、確実にタンブリング法を適用することのできる発塵測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは、前記諸目的を達成すべく鋭意検討を行い、回転式ドラムの円柱面に空気流入口を設け、円柱面から清浄空気を吹き当てることで、被検査物の張り付きを防止して確実撹拌させることを着想し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明の要旨構成は以下のとおりである。
【００１３】
（１）空気流入口および空気流出口が設けられ、被検査物を内部に収容でき、水平方向を回転軸とする回転動作により前記被検査物から粉塵を発塵させる中空円柱状の回転式ドラムと、
清浄空気を前記回転式ドラムの前記空気流入口に供給する清浄空気供給部と、
前記空気流出口よりも前記清浄空気の流路の下流に設置された、前記粉塵を測定する粉塵測定部と、を備える発塵測定装置であって、
前記回転式ドラムのいずれか一方の底面に前記空気流出口が設けられ、
前記回転式ドラムの円柱面の少なくとも一部に前記空気流入口が設けられ、かつ、前記空気流入口はメッシュ状であることを特徴とする発塵測定装置。
【００１４】
（２）前記空気流入口は、前記回転式ドラムの羽根の、回転方向側に少なくとも設けられる、前記（１）に記載の発塵測定装置。
【００１５】
（３）前記空気流入口は、前記回転式ドラムの円柱面の全面に設けられる、前記（１）に記載の発塵測定装置。
【００１６】
（４）前記回転式ドラムの前記いずれか一方の底面を共用する第１底面を有し、かつ、前記回転式ドラムの前記円柱面と、前記回転式ドラムの前記いずれか一方の底面と反対側の底面との間に間隙を有する中空円柱状の外部ドラムをさらに備え、
前記清浄空気供給部は、前記回転式ドラムの前記反対側の底面と対向し、
前記外部ドラムの第２底面に前記清浄空気の流入口が設けられる、前記（１）〜（３）のいずれかに記載の発塵測定装置。
【００１７】
（５）前記回転式ドラムの前記反対側の底面は閉塞面である、前記（４）に記載の発塵測定装置。
【００１８】
（６）前記清浄空気供給部および前記回転式ドラムが同一筐体内に設置され、
前記清浄空気供給部が前記回転式ドラムの鉛直方向の上方に設けられ、
前記回転式ドラムの前記いずれか一方の底面と反対側の底面が閉塞面である、前記（１）〜（３）のいずれかに記載の発塵測定装置。
【００１９】
（７）前記清浄空気供給部と、前記空気流入口との間の前記清浄空気の流路に除電器をさらに備える、前記（１）〜（５）のいずれかに記載の発塵測定装置。
【００２０】
（８）前記（１）に記載の発塵測定装置を用いる被検査物の発塵測定方法であって、
前記回転式ドラムの内部に前記被検査物を収容する工程と、
前記回転式ドラムを回転させて、前記被検査物から粉塵を発塵させる工程と、
前記清浄空気供給部から前記清浄空気を供給し、前記円柱面の少なくとも一部に設けられた前記空気流入口に前記清浄空気を流入させ、前記空気流出口から前記粉塵を含む前記清浄空気を流出させる工程と、
前記空気流出口から流出した後の前記清浄空気に含まれる前記粉塵を前記粉塵測定部により測定する工程と、を含むことを特徴とする発塵測定方法。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、被検査物が軽量な場合であっても、確実にタンブリング法を適用することのできる発塵測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】従来技術に係る発塵測定装置の概略を示す模式図であり、（Ａ）は発塵測定装置の模式図であり、（Ｂ）は（Ａ）におけるI-I断面図で有り、（Ｃ）は（Ａ）におけるII-II断面図である。
【図２】（Ａ）は本発明の一実施形態に係る発塵測定装置の概略図であり、（Ｂ）は（Ａ）におけるIII-III断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る発塵測定装置の第１の態様を示す模式図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る発塵測定装置の第２の態様を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、図面の簡略化のため、構成の要部のみを模式的に示すこととする。例えば、発塵測定装置の筐体は台座上に設置されるのが一般的であるが、本実施形態の要部ではないため図示および説明を省略する。
【００２４】
（発塵測定装置１００）
図２（Ａ）は、本発明の一実施形態に従う発塵測定装置１００の概略を示す模式図である。図２（Ａ）に示すように、本発明の一実施形態に従う発塵測定装置１００は、空気流入口１３０ＡＩおよび空気流出口１３０ＡＯが設けられ、被検査物Ｓを内部に収容でき、水平方向を回転軸とする回転動作により被検査物Ｓから粉塵を発塵させる中空円柱状の回転式ドラム１３０と、清浄空気を回転式ドラムの空気流入口１３０ＡＩに供給する清浄空気供給部１１０と、空気流出口１３０ＡＯよりも清浄空気の流路の下流に設置された、前記粉塵を測定する粉塵測定部１５０と、を備える。そして、回転式ドラム１３０のいずれか一方の底面に空気流出口１３０ＡＯが設けられ、回転式ドラム１３０の円柱面の少なくとも一部に空気流入口１３０ＡＩが設けられ、かつ、空気流入口１３０ＡＩはメッシュ状である。以下、図２（Ａ）を参照して、下流側である上記「いずれか一方の底面」を開放底面１３０Ｂ２と称する。また、便宜のために、開放底面１３０Ｂ２と反対側の底面を閉塞底面１３０Ｂ１と称することとする。なお、中空円柱状には、円柱はもちろん、円柱が丸みを帯びた壺状の形状も含まれることとする。以下、各構成の詳細を説明する。
【００２５】
清浄空気供給部１１０は清浄空気を回転式ドラム１３０に供給する。すなわち、回転式ドラム１３０に対し、清浄空気供給部１１０は空気の流路Ａの上流に設置される。清浄空気供給部１１０は一般的な構成とすることができ、例えば送風機および高性能の塵埃フィルタなどから構成することができる。送風機をインバータ制御することも好ましい。なお、本実施形態における清浄空気は、図２（Ａ）に図示する空気の流路Ａに従うものの、これは一例に過ぎず、円柱面１３０Ｓに設けられる空気流入口１３０ＡＩに清浄空気が流入する限りは任意の流路を取ることができる。
【００２６】
さて、本実施形態における特徴的な構成である中空円柱状の回転式ドラム１３０について説明する。回転式ドラム１３０の内部には、被検査物Ｓを収容することができる中空空間が設けられる。例えば開放底面１３０Ｂ２から被検査物Ｓをこの中空空間に収容することができる。別途、開閉自在な被検査物Ｓの投入口が設けられてもよい。また、回転式ドラム１３０は水平方向を回転軸として回転するよう設置される。但し、ここで言う「水平」とは、厳密な意味での鉛直方向との直交面を指すのではなく、±５°程度の傾斜があってもよいものとする。
【００２７】
本実施形態において、空気流入口１３０ＡＩが円柱面１３０Ｓの少なくとも一部に設けられる。図２（Ａ）では、円柱面１３０Ｓの全面に、円形状の空気流入口１３０ＡＩが等間隔に多数設けられてメッシュ状の空気流入口１３０ＡＩを構成している。回転式ドラム１３０の開放底面１３０Ｂ２には、空気流出口１３０ＡＯが設けられる。なお、清浄空気供給部１１０と回転式ドラム１３０との位置関係にもよっては、整流板などを用いて、清浄空気の流れを円柱面１３０Ｓに方向変換させることが好ましい。
【００２８】
ここで、図２（Ｂ）のIII-III断面図に示すように、回転式ドラム１３０には羽根１３１が設けられることが一般的（JIS B 9923-1997では３つの羽根）である。ここに、羽根１３１の回転方向側を羽根部１３１Ａ、回転方向反対側を羽根部１３１Ｂと称することとする。被検査物Ｓが回転式ドラム１３０の内部に収容されているとき、回転式ドラム１３０が回転すると、下方にある被検査物Ｓは羽根部１３１Ａにより上方にまで押し上げられる。ここで、回転式ドラムの回転中、清浄空気は円柱面１３０Ｓの側から空気流入口１３０ＡＩを経て、回転式ドラム内部に流入する。
【００２９】
ここで、従来技術において被検査物Ｓが回転式ドラムの内壁へ張り付くのは、回転式ドラムの回転に伴う被検査物Ｓへの遠心力、被検査物Ｓと回転式ドラムの内壁との摩擦力、および、被検査物Ｓと回転式ドラムの内壁と摩擦に伴う静電気などが原因として挙げられる。このような張り付き現象は、クリーンルーム用の手袋およびワイパーなどのような、軽量な被検査物を用いる場合に特に顕著に発生する。しかしながら本実施形態の場合、被検査物Ｓが軽量であったとしても、清浄空気が回転式ドラム１３０の円柱面１３０Ｓの側から流入するため、被検査物Ｓは清浄空気に吹き当てられることとなる。そのため、本実施形態では、被検査物Ｓの回転式ドラム１３０の内壁への張り付きを防止することができるのである。このように、被検査物Ｓは回転式ドラム１３０内で確実に撹拌され、被検査物Ｓの表面および内部から、微粒子が剥離して粉塵が発生することとなる。そして、被検査物Ｓから発生した粉塵は、回転式ドラム１３０内に流入した清浄空気と共に、開放底面１３０Ｂ２に設けられた空気流出口１３０ＡＯから流出することとなる。
【００３０】
そして、発塵測定装置１００では、粉塵測定部１５０が、回転式ドラム１３０の開放底面１３０Ｂ２に設けられた空気流出口１３０ＡＯよりも清浄空気の流路の下流に設置される。この粉塵測定部１５０は、回転式ドラム１３０の回転動作により発塵させた粉塵を、流出する清浄空気と共に測定する。なお、粉塵測定部１５０はJIS B 9921-2010に従う一般的な光散乱式気中粒子計数器を用いることができる。
【００３１】
以上のとおり、本実施形態に従う発塵測定装置１００により、被検査物が軽量な場合であっても、確実にタンブリング法（JIS B 9923-1997）を適用することができる。もちろん、防塵服などの比較的重い被検査物の発塵測定にも、発塵測定装置１００を用いることは可能である。以下、本実施形態における好適態様および変形態様についてさらに説明する。
【００３２】
図２（Ａ），（Ｂ）では、円柱面１３０Ｓの全面に、円形状の空気流入口１３０ＡＩが等間隔に多数設けられてメッシュ状の空気流入口１３０ＡＩを構成している。空気流入口１３０ＡＩがメッシュ状に設けられる限りは、図示のパンチングメッシュ以外の形状で設けられてもよく、織網であってもよい。メッシュの開口部分の形状も、円形に限らず、正方形、長方形、菱形などの四角形やその他多角形であってもよい。スリットが複数設けられていれば、上記「メッシュ状」に含まれることとする。メッシュ状の開口部のそれぞれの目開き寸法も、清浄空気が流入でき、かつ、被検査物Ｓが回転式ドラム内から脱離しない程度であれば、何ら制限されない。ただし、清浄空気の流入効率や、回転式ドラム１３０の円柱面１３０Ｓの強度などを考慮し、円柱面１３０Ｓにおけるメッシュ状の部分による開口率は１０％以上９０％以下とすることが好ましい。なお、メッシュ状の空気流入口１３０ＡＩが円柱面の一部に設けられている場合、「開口率」とはは当該メッシュ状の部分における開口部と、線部分から算出され、メッシュ状を形成していない部分は開口率の算出にあたり除外される。なお、空気流出口１３０ＡＯの形状および大きさは、粉塵および清浄空気を流出可能であれば何ら限定されない。
【００３３】
また、図２（Ａ），（Ｂ）では円柱面１３０Ｓの全面に空気流入口１３０ＡＩが設けられているが、全面である必要はなく、円柱面１３０Ｓの少なくとも一部に空気流入口１３０ＡＩがメッシュ状に設けられていればよい。このような場合でも、回転式ドラム１３０内に円柱面１３０Ｓの側から清浄空気が流入するため、被検査物Ｓを撹拌することができる。また、羽根１３１の回転方向側の羽根部１３１Ａに空気流入口１３０ＡＩが設けられることがより好ましい。被検査物Ｓの回転式ドラム１３０の内壁への張り付きは、遠心力により羽根部１３１Ａの位置で生じやすいためである。被検査物Ｓを撹拌しやすくするため、図２（Ｂ）のように、回転式ドラム１３０の羽根１３１が複数ある場合、複数の羽根１３１の全ての羽根部１３１Ａに空気流入口１３０ＡＩを設けることが好ましいが、一部のみでも構わない。
【００３４】
なお、本実施形態において、羽根１３１を設ける例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、回転式ドラム１３０の内壁と被検査物Ｓとの摩擦力および、流入した清浄空気の被検査物Ｓへの吹き当て量を調整することにより、被検査物Ｓを回転式ドラム内で十分に撹拌することできる。また、円柱面１３０Ｓに多数設けられた空気流入口１３０ＡＩと被検査物Ｓとの衝突を増大させて撹拌を高める観点からは、回転式ドラム１３０の回転数を１５回転／分以上とすることが好ましい。
【００３５】
また、回転式ドラム１３０の、開放底面１３０Ｂ２と反対側の底面である閉塞底面１３０Ｂ１は閉塞面であることが好ましい。清浄空気の流出入を制御しやすくするためである。ただし、揚圧により開放底面１３０Ｂ２の側からのみ、清浄空気および粉塵の流出が起きるのであれば、閉塞底面１３０Ｂ１に部分的に開口部が設けられていても構わない。
【００３６】
（発塵測定装置２００）
次に、本実施形態に従う第１の態様に係る発塵測定装置２００を、図３を用いて説明する。なお、なお、既述の発塵測定装置１００，７００と同一の構成要素には原則として下二桁が同一の参照番号を付して、説明を省略する。後述の第２の態様に係る発塵測定装置３００の符号についても同様である。
【００３７】
図３に示すように、発塵測定装置２００は、共に中空円柱状の、回転式ドラム２３０および外部ドラム２４０からなる２重構造ドラムを有する。本態様では、この２重構造ドラムにより、円柱面２３０Ｓに清浄空気を送り込む。外部ドラム２４０の第１底面２４０Ｂ２は、回転式ドラム２３０の開放底面２３０Ｂ２を共用しており、回転式ドラム２３０の円柱面２３０Ｓと、回転式ドラム２３０の閉塞底面２３０Ｂ１との間に間隙を有する。そして、清浄空気供給部２１０は、回転式ドラム２３０の閉塞底面２３０Ｂ１と対向し、外部ドラム２４０の第２底面２４０Ｂ１に清浄空気の流入口が設けられている。図３の矢印により清浄空気の流路Ａを示す。
【００３８】
発塵測定装置２００では、外部ドラム２４０に流入した清浄空気は、閉塞底面２３０Ｂ１により方向変換され、回転式ドラム２３０の円柱面２３０Ｓに設けられた空気流入口２３０ＡＩに流れ込む。回転式ドラム２３０内に流入した清浄空気は、開放底面２３０Ｂ２に設けられた空気流出口２３０ＡＯから流出することとなる。
【００３９】
なお、発塵測定装置２００では、清浄空気および発塵した粉塵の流出入を制御するため、閉塞底面２３０Ｂ１は閉塞面であることが好ましい。ただし、円柱面２３０Ｓに清浄空気が十分に流れ込む限りは、揚圧により開放底面２３０Ｂ２の側からのみ清浄空気および粉塵が流出するので、閉塞底面２３０Ｂ１に開口部が部分的に設けられていても構わない。
【００４０】
（発塵測定装置３００）
本実施形態に従う第２の態様に係る発塵測定装置３００を、図４を用いて説明する。本態様では、円柱面３３０Ｓに清浄空気を直接送り込む。すなわち、発塵測定装置３００では、清浄空気供給部および前記回転式ドラムが同一筐体内に設置される。そして、清浄空気供給部３１０が回転式ドラム３３０の鉛直方向の上方に設けられ、回転式ドラム３３０の閉塞底面３３０Ｂ１が閉塞面である。このような構造とすることで、清浄空気の漏出が生じないよう、閉塞空間が適切に形成される。そして、円柱面３３０Ｓに設けられた空気流入口３３０ＡＩに清浄空気が流入し、被検査物Ｓから発塵した粉塵とともに、空気流出口３３０ＡＯから清浄空気が流出する。
【００４１】
なお、発塵測定装置１００〜３００において、清浄空気供給部と、空気流入口との間の清浄空気の流路に除電器をさらに備えることが好ましい。既述のとおり、回転式ドラムの内壁への被検査物Ｓの張り付きの一因に静電気が挙げられる。除電器により、静電気を除去することで、このような張り付きを防止できる。除電器には、市販のイオナイザなどを用いることができる。例えば、図３に示すように、フィルタ２１３の、清浄空気通過後の部分に除電器２６０を設置することができる。同様に、図４に示すように、フィルタ３１３の、清浄空気通過後の部分に除電器３６０を設置することができる。
【００４２】
（発塵測定方法）
これまで説明してきた発塵測定装置１００を用いた、被検査物Ｓの発塵測定方法は、回転式ドラム１３０の内部に前記被検査物を収容する工程と、回転式ドラム１３０を回転させて、被検査物Ｓから粉塵を発塵させる工程と、清浄空気供給部１１０から清浄空気を供給し、円柱面１３０Ｓの少なくとも一部に設けられた空気流入口１３０ＡＩに清浄空気を流入させ、空気流出口１３０ＡＯから粉塵を含む清浄空気を流出させる工程と、空気流出口１３０ＡＯから流出した後の清浄空気に含まれる粉塵を粉塵測定部１５０により測定する工程と、を含む。発塵測定装置２００，３００を用いても、同様にして発塵測定方法を行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明によれば、被検査物が軽量な場合であっても、確実にタンブリング法を適用することのできる発塵測定装置を提供することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１００      発塵測定装置
１１０      清浄空気供給部
１３０      回転式ドラム
１３０ＡＩ  空気流入口
１３０ＡＯ  空気流出口
１３０Ｂ１  閉塞底面
１３０Ｂ２  開放底面
１３０Ｓ    円柱面
１５０      粉塵測定部
Ａ        空気の流路
Ｓ        被検査物
【図１】
0006589745.tif 000002
【図２】
0006589745.tif 000003
【図３】
0006589745.tif 000004
【図４】
0006589745.tif 000005