(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度によって電気的特性が変化する感温部と該感温部から後端側に延びる一対の素子電極線とを有する感温素子と、
前記感温素子の後端側に配置され、前記素子電極線に接続されるシース芯線と該シース芯線を絶縁材の間に内包するシース外管とを有するシース部材と、
先端側が閉塞して軸線方向に延びる筒状をなし、自身の内部空間に、少なくとも前記感温素子、及び前記素子電極線と前記シース芯線との接合部を収納する金属部材と、
を備える温度センサにおいて、
前記金属部材は、前記軸線方向に平行で前記感温部を収容するストレート部と、該ストレート部よりも先端側に位置し前記軸線方向の断面が円弧形状の先端部と、該先端部から後端側に延びて前記ストレート部に接続する接続部と、を有し、
前記感温部の先端向き面は平面形状をなし、
前記軸線方向に沿う断面において、前記ストレート部の外径と同一直径の仮想円であって、該ストレート部の両外縁又はそれらの延長線に接すると共に、自身の中心が前記感温部の最先端と前記軸線方向の同じ位置にある仮想円を描いたとき、
前記先端部の曲率半径は前記仮想円の曲率半径よりも小さいと共に、前記先端部の外縁は前記仮想円のうち前記中心よりも先端側の第１半円の内側に配置されていることを特徴とする温度センサ。
【請求項２】
前記先端部の外縁は、前記中心から先端側へ向かって前記仮想円の半径の１／２の長さよりも先端側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の温度センサ。
【請求項３】
前記感温部の少なくとも一部は、前記仮想円のうち前記中心よりも後端側の第２半円の内側に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の温度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サーミスタ素子やＰｔ抵抗体素子等の感温素子を備えた温度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車等の排気ガス等の温度を検出する温度センサとして、サーミスタやＰｔ抵抗体等の抵抗の温度変化を利用したものが知られている。
図４に示すように、このような温度センサは、一般的にサーミスタ素子１００Ａとシース部材２００とを溶接して金属チューブ３００Ａの内部に収容し、さらに金属チューブ３００Ａ内の隙間にアルミナ等のセメント４００を充填して構成されている（特許文献１参照）。金属チューブ３００Ａは、軸線方向に平行な筒部本体３０１Ａの先端側に半球状（断面が円弧状）の先端部３０２Ａを一体に深絞り加工して形成されている。
又、図５に示すように、サーミスタ素子１００Ｂの先端側を平面状とし、この形状に合わせて金属チューブ３００Ｂの先端部３０２Ｂをほぼ平面形状とした温度センサも知られている（特許文献２参照）。さらに、図６に示すように、筒部本体３０１Ｃの先端側をテーパ状に尖らせ、テーパ部３０３Ｃの先端に小径の半球状（断面が円弧状）の先端部３０２Ｃを設けた金属チューブ３００Ｃを有する温度センサも知られている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２８６７８９号公報（図２）
【特許文献２】特開２００８−２５６４７１号公報（図２）
【特許文献３】特開２００６−３００３０号公報（図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、図４、図６に示すような特許文献１、３記載の温度センサの場合、サーミスタ素子１００Ａ、１００Ｃの先端側が丸い（断面が円弧状である）ため、各金属チューブの先端部３０２Ａ、３０２Ｃの内面形状に各サーミスタ素子１００Ａ、１００Ｃの先端形状が類似している。このため、各金属チューブの内面に各サーミスタ素子１００Ａ、１００Ｃを軸線方向に距離Ｇ１まで近付けて収納することができ、センサの応答性を良好にすることができる。
しかしながら、図４の破線に示すように、サーミスタ素子１００Ａに代えて、先端側が平面状のサーミスタ素子１００Ｂを用いた場合、金属チューブ３００Ａの先端部３０２Ａの内面形状とサーミスタ素子１００Ｂの先端形状とが大きく異なり、金属チューブ３００Ａの内面にサーミスタ素子１００Ｂを近付けると両者が干渉してしまう。そのため、金属チューブ３００Ａとサーミスタ素子１００Ｂとを離間させなければならず、両者の軸線方向の距離Ｇ２が距離Ｇ１よりも大きくなってセンサの応答性が低下するという問題がある。
【０００５】
一方、図５に示した特許文献２記載の温度センサの場合、金属チューブ３００Ｂの先端部３０２Ｂの内面形状とサーミスタ素子１００Ｂの先端形状とが類似するので、金属チューブ３００Ｂの内面にサーミスタ素子１００Ｂを近付けて収納することができる。ところが、金属チューブ３００Ｂの先端部３０２Ｂが平面状であると、半球状である場合に比べて強度が低くなるため、冷熱サイクルのような熱応力が加わったときに先端部３０２Ｂが変形して割れ易くなるという問題がある。
【０００６】
従って、本発明は、センサの応答性と、感温素子を収納する筒状の金属部材の強度とを共に向上させた温度センサの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明の温度センサは、温度によって電気的特性が変化する感温部と該感温部から後端側に延びる一対の素子電極線とを有する感温素子と、前記感温素子の後端側に配置され、前記素子電極線に接続されるシース芯線と該シース芯線を絶縁材の間に内包するシース外管とを有するシース部材と、先端側が閉塞して軸線方向に延びる筒状をなし、自身の内部空間に、少なくとも前記感温素子、及び前記素子電極線と前記シース芯線との接合部を収納する金属部材と、を備える温度センサにおいて、前記金属部材は、前記軸線方向に平行で前記感温部を収容するストレート部と、該ストレート部よりも先端側に位置し前記軸線方向の断面が円弧形状の先端部と、該先端部から後端側に延びて前記ストレート部に接続する接続部と、を有し、前記感温部の先端向き面は平面形状をなし、前記軸線方向に沿う断面において、前記ストレート部の外径と同一直径の仮想円であって、該ストレート部の両外縁又はそれらの延長線に接すると共に、自身の中心が前記感温部の最先端と前記軸線方向の同じ位置にある仮想円を描いたとき、前記先端部の曲率半径は前記仮想円の曲率半径よりも小さいと共に、前記先端部の外縁は前記仮想円のうち前記中心よりも先端側の第１半円の内側に配置されていることを特徴とする。
【０００８】
この温度センサによれば、金属部材の先端部を比較的小さい曲率半径の球状（軸線方向の断面が円弧形状）とすることができるので、先端部を平面状とした場合に比べて強度が高くなり、冷熱サイクルのような熱応力が加わったときに先端部が変形して割れることを抑制することができる。
さらに、先端部の外縁が第１半円の内側に配置されているので、先端向き面が平面状の感温部であっても、この感温部を金属部材の先端部の内面に軸線方向に近付けて収納することができ、センサの応答性を良好にすることができる。なお、「第１半円の内側に配置されている」とは、第１半円の周上も含む。
【０００９】
本発明の温度センサにおいて、前記先端部の外縁は、前記中心から先端側へ向かって前記仮想円の半径の１／２の長さよりも先端側に配置されていてもよい。
先端部の外縁が仮想円の半径の１／２の長さよりも後端側に配置されている場合、先端部とストレート部との間の接続部の軸線方向の長さが短くなる。このため、接続部が平面に近い形状になるので、接続部の強度が低下し、冷熱サイクルのような熱応力が加わったときに接続部から金属部材が変形して割れ易くなることがある。これに対し、この温度センサによれば、接続部の強度を向上させて金属部材が割れることをより一層抑制することができる。
【００１０】
本発明の温度センサにおいて、前記感温部の少なくとも一部は、前記仮想円のうち前記中心よりも後端側の第２半円の内側に配置されていてもよい。
感温部が第２半円の後端側における外側に配置されている場合、金属部材の先端部の内面と感温部との軸線方向の距離が大きくなり、センサの応答性が低下することがある。これに対し、この温度センサによれば、センサの応答性をより一層向上させると共に、感温部の破損を抑制できる。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、センサの応答性と、感温素子を収納する筒状の金属部材の強度とを共に向上させた温度センサが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る温度センサの一部を軸線方向に沿って破断した断面構造図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る温度センサの一部を軸線方向に沿って破断した断面構造図である。
【図４】従来の温度センサの断面の部分拡大図である。
【図５】従来の別の温度センサの断面の部分拡大図である。
【図６】従来のさらに別の温度センサの断面の部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る温度センサ１の一部を軸線Ｏ方向に沿って破断した断面構造を示す。なお、第１の実施形態に係る温度センサ１は、金属部材３０の後端側からシース部材２０が収納される態様である。
温度センサ１は、内燃機関の排気管の側壁の開口部（図示せず）に挿通して取付けられ、自動車の排気ガスの温度を検出する。そして、排気ガスの温度が０℃前後の低温域から１０００℃前後の高温域まで急激に変化するのに伴って、温度センサ１も上記温度範囲内で上昇−冷却する冷熱サイクルを受ける。
【００１４】
温度センサ１は、Ｐｔ抵抗体素子（感温素子）１０と、Ｐｔ抵抗体素子１０に接続されるシース部材２０と、Ｐｔ抵抗体素子１０及びシース部材２０を収容する有底筒状の金属部材（本実施形態では、ＳＵＳ３１０Ｓを使用）３０と、金属部材３０の外周に嵌合される取付け部５０と、取付け部５０の外周に遊嵌されるナット部６０と、取付け部５０の後端側に取付けられる筒状金属製の外筒７０と、外筒７０の後端に取付けられてリード線２４を外部に引き出す耐熱ゴム製の補助リング２６とを備えている。
なお、本発明の温度センサ１において、金属部材３０は軸線Ｏ方向に延びており、金属部材３０の底部側を「先端」とし、金属部材３０の開放端側を「後端」とする。
【００１５】
Ｐｔ抵抗体素子（感温素子）１０は、温度を測定するためのＰｔ抵抗体部（感温部）１１と、Ｐｔ抵抗体部１１の一端（後端側）から延びる一対の素子電極線１２とを有する。
Ｐｔ抵抗体部１１は、膜状の金属抵抗体をセラミック層で挟み込んだ構成をなし、全体として略板状であり、長手方向を温度センサ１（金属部材３０）の軸線Ｏ方向と平行にして金属部材３０内に配置される。金属抵抗体は、白金（Ｐｔ）を主体（５０質量％以上）とする組成からなり、一対の素子電極線１２が離間して接続されている。そして、金属抵抗体は温度変化に応じて電気抵抗値が変化するので、その変化を一対の素子電極線１２間の電圧変化として検知できる。セラミック層としては、アルミナ純度９９．９質量％以上の組成を用いることができる。又、感温部としては上記Ｐｔ等の抵抗体の他、サーミスタを用いることもできる。
シース部材２０は、Ｐｔ抵抗体素子１０の一対の素子電極線１２にそれぞれ接続されるシース芯線２１と、シース芯線２１を収容する金属製のシース外管２２とを有し、シース芯線２１とシース外管２２内面との間にＳｉＯ２からなる絶縁材が充填されている。
通常、素子電極線１２は高価なＰｔ−Ｒｈ線等であるため、ＳＵＳ等からなる安価なシース芯線２１と接続することでコストダウンが図られている。
【００１６】
取付け部５０は、金属部材３０を挿通するための中心孔が軸線Ｏ方向に開口する略円筒状をなし、温度センサ１の先端側から、大径の鍔部５１、鍔部５１よりも小径の筒状の鞘部５２、鞘部５２のうち先端側を構成する第１段部５４、及び鞘部５２のうち後端側を構成し第１段部５４より小径の第２段部５５がこの順に形成されている。鍔部５１の先端面はテーパ状の座面５３を有し、後述するナット部６０を排気管に螺合する際、座面５３が排気管の側壁の角部（図示せず）に押し付けられてシールを行うようになっている。
取付け部５０は、金属部材３０の後端部の外周に圧入され、第２段部５５と金属部材３０とを全周レーザ溶接して両者が固定されている。
又、第１段部５４の外周に外筒７０が圧入され、全周レーザ溶接によって両者が固定されている。外筒７０は、シース部材２０から引き出されたシース芯線２１とリード線２４との接続部分を収容して保持する。
【００１７】
ナット部６０は、外筒７０の外周よりやや大径の中心孔を軸線Ｏ方向に有し、先端側から、ネジ部６２、ネジ部６２より大径の六角ナット部６１が形成されている。そして、取付け部５０の鍔部５１の後面にネジ部６２の前面を当接させた状態で、ナット部６０が取付け部５０（外筒７０）の外周に遊嵌し、軸線Ｏ方向に回動自在になっている。
そして、ネジ部６２が排気管の所定のネジ穴と螺合することにより、温度センサ１が排気管の側壁に取付けられる。
【００１８】
シース部材２０のシース外管２２の後端からは２本のシース芯線２１が引き出され、各シース芯線２１の終端が加締め端子２３に接続され、加締め端子２３はリード線２４に接続されている。なお、各シース芯線２１及び加締め端子２３はそれぞれ絶縁チューブ２５で絶縁されている。
そして、各リード線２４は、外筒７０の後端内側に嵌合された補助リング２６のリード線挿通孔を通って外部に引き出され、図示しないコネクタを介して外部回路と接続されている。
又、金属部材３０の内面と、Ｐｔ抵抗体素子１０及びシース部材２０との隙間には、アルミナ等のセメント４０が充填されており、Ｐｔ抵抗体素子１０及びシース部材２０を保持してその振動を抑制している。セメント４０としては、熱伝導率が高く、高耐熱、高絶縁性の材料を用いてもよい。
【００１９】
次に、図１の部分拡大図である図２を参照し、本発明の特徴部分である金属部材３０の構成について説明する。
まず、上述のように、Ｐｔ抵抗体部１１は略板状をなし、長手方向を軸線Ｏ方向と平行にして金属部材３０内に配置される。このため、Ｐｔ抵抗体部１１の先端向き面（端面）１１ａは軸線Ｏ方向に垂直な平面形状をなしている。本発明は、このようにＰｔ抵抗体部１１の先端向き面１１ａが平面形状であるものを対象とし、先端向き面が平面形状でないもの（例えば、球状）は含まない。
【００２０】
一方、金属部材３０は、後端側から順に筒部本体３１、テーパ部３５、ストレート部３４、接続部３３、及び先端部３２を有しており、これらの各構成部分は金属板の深絞り加工により一体に形成されている。
筒部本体３１は軸線Ｏ方向に平行なストレート形状をなし、筒部本体３１の内径はシース部材２０の外径よりも大きく、シース部材２０を自身の内部に収納可能になっている。また、筒部本体３１の外径は第２段部５５の内面に嵌合するような寸法に設定されている。テーパ部３５は筒部本体３１から先端に向かってテーパ状に窄まり、金属部材３０の後端側からシース部材２０及びＰｔ抵抗体素子１０を挿入した際、テーパ部３５にシース部材２０の先端側が当接して挿入深さを位置決めするようになっている。又、これにより、シース部材２０の先端側が金属部材３０の開口部を閉塞し、金属部材３０の内部空間に、少なくともＰｔ抵抗体素子１０、及び素子電極線１２とシース芯線２１との接合部Ｊが収納される。又、この内部空間にセメント４０が充填されている。
ストレート部３４は、テーパ部３５から先端側に向かって軸線Ｏ方向に平行に延びている。ストレート部３４の内径はＰｔ抵抗体部１１の最大外径よりも大きく、Ｐｔ抵抗体部１１を自身の内部に収納可能になっている。
先端部３２は軸線Ｏ方向の断面が円弧形状をなし、接続部３３はストレート部３４から先端へ向かって縮径して先端部３２に接続している。
【００２１】
さらに、図２において、ストレート部３４の外径と同一直径の仮想円Ｃであって、ストレート部３４の両外縁３４ｅ、３４ｅ又はそれらの延長線に接すると共に、自身の中心ＣｅがＰｔ抵抗体部１１の最先端１１ｆと軸線Ｏ方向の同じ位置にある仮想円Ｃを描く。このとき、先端部３２の曲率半径は仮想円Ｃの曲率半径よりも小さいと共に、先端部３２の外縁は仮想円Ｃのうち中心Ｃｅよりも先端側の第１半円Ｃ１の内側に配置されている。
【００２２】
金属部材３０をこのように構成すると、先端部３２を比較的小さい曲率半径の球状（軸線Ｏ方向の断面が円弧形状）とすることができるので、先端部３２を平面状とした場合に比べて強度が高くなり、冷熱サイクルのような熱応力が加わったときに先端部３２が変形して割れることを抑制することができる。
さらに、先端部３２の外縁が第１半円Ｃ１の内側に配置されているので、先端向き面１１ａが平面形状のＰｔ抵抗体部１１であっても、このＰｔ抵抗体部１１を金属部材３０の先端部３２の内面に軸線Ｏ方向に近付けて収納することができ、センサの応答性を良好にすることができる。なお、「第１半円Ｃ１の内側に配置されている」とは、第１半円Ｃ１の周上も含む。
ここで、先端部３２の曲率半径は仮想円Ｃの曲率半径よりも小さいので、先端部３２をストレート部３４に直接接続することはできない。そこで、先端部３２とストレート部３４との間に両者を繋ぐ接続部３３を設けている。接続部３３の形状は特に限定されないが、ストレート部３４の先端から曲面状に縮径し、さらに先端側がテーパ状に窄まる形状が好ましい。
【００２３】
また、Ｐｔ抵抗体部１１の先端向き面１１ａが軸線Ｏ方向に垂直に配置されていることが好ましいが、製造時のブレ等により、図２に示すように、Ｐｔ抵抗体部１１の先端向き面１１ａが軸線Ｏ方向に垂直な方向に対して斜めになる場合もある。そこで、このような場合も考慮し、Ｐｔ抵抗体部１１の最先端１１ｆを基準とし、最先端１１ｆを通って軸線Ｏ方向に垂直な線分Ｌを引いたとき、線分Ｌ上の位置を仮想円Ｃの中心Ｃｅと規定する。なお、図２では、先端向き面１１ａの右端が最先端１１ｆとなっている。
また、後述するように、Ｐｔ抵抗体部１１の先端向き面１１ａをストレート部３４の先端よりも後端側に配置することが好ましいが、製造誤差等により、Ｐｔ抵抗体部１１の先端向き面１１ａがストレート部３４の先端よりも先端側に配置される場合もある。この場合には、中心Ｃｅから描いた仮想円Ｃがストレート部３４の両外縁３４ｅ、３４ｅに接しないので、両外縁３４ｅ、３４ｅの（軸線Ｏ方向の）延長線に仮想円Ｃが接すればよいものと規定した。
【００２４】
なお、図２に示すように、先端部３２の外縁は、第１半円Ｃ１の中心Ｃｅから先端側へ向かって仮想円Ｃの半径ｒの１／２の長さであるｒ／２の位置か、又はｒ／２よりも先端側に配置されていることが好ましい。先端部３２の外縁が長さｒ／２よりも後端側に配置されている場合、先端部３２とストレート部３４との間の接続部３３の軸線Ｏ方向の長さが短くなる。このため、接続部３３が平面に近い形状になり、上述の図５の場合と同様に、接続部３３の強度が低下し、冷熱サイクルのような熱応力が加わったときに接続部３３から金属部材３０が変形して割れ易くなることがある。
【００２５】
また、図２に示すように、Ｐｔ抵抗体部１１の少なくとも一部は、仮想円Ｃのうち中心Ｃｅよりも後端側の第２半円Ｃ２の内側に配置されていることが好ましい。Ｐｔ抵抗体部１１が第２半円Ｃ２の後端側における外側に配置されている場合、金属部材３０の先端部３２の内面とＰｔ抵抗体部１１との軸線Ｏ方向の距離が大きくなり、センサの応答性が低下することがある。
一方、Ｐｔ抵抗体部１１が第２半円Ｃ２の中心Ｃｅよりも先端側に配置されている場合、製造時のブレ等により、Ｐｔ抵抗体部１１が接続部３３や先端部３２の内面に当接して破損するおそれがある。
なお、「第２半円Ｃ２の内側に配置されている」とは、第２半円Ｃ２の周上も含む。
【００２６】
次に、図３を参照し、本発明の第２の実施形態に係る温度センサ１Ｂについて説明する。図３は、温度センサ１Ｂの一部を軸線Ｏ方向に沿って破断した断面構造を示す。なお、温度センサ１Ｂは、シース部材２０が金属部材３０Ｂの後端側に露出する態様であり、金属部材３０Ｂの構成が異なること以外は第１の実施形態に係る温度センサ１と同一であるので、温度センサ１と同一な部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００２７】
温度センサ１Ｂにおいては、金属部材３０Ｂはシース部材２０の先端部に被せられるが、シース部材２０の先端部より後端側は金属部材３０Ｂに被せられずに露出している。そして、取付け部５０は、金属部材３０Ｂの代わりにシース部材２０の後端部の外周にカシメ固定され、第２段部５５とシース部材２０とを全周レーザ溶接して両者が固定されている。
一方、金属部材３０Ｂは、後端側から順に筒部本体３１Ｂ、テーパ部３５、ストレート部３４、接続部３３、及び先端部３２を有しており、これらの各構成部分は金属板の深絞り加工により一体に形成されている。
筒部本体３１Ｂの内径はシース部材２０の外径よりもやや大きく、シース部材２０を自身の内部に挿入可能になっている。テーパ部３５は筒部本体３１Ｂから先端に向かってテーパ状に窄まり、温度センサ１と同様に、金属部材３０Ｂの後端側からシース部材２０及びＰｔ抵抗体素子１０を挿入した際、テーパ部３５にシース部材２０の先端側が当接して挿入深さを位置決めするようになっている。
【００２８】
そして、金属部材３０Ｂの後端側からシース部材２０及びＰｔ抵抗体素子１０を挿入すると、テーパ部３５にシース部材２０の先端側が当接して位置決めされる。又、これにより、シース部材２０の先端側が金属部材３０Ｂの開口部を閉塞し、金属部材３０Ｂの内部空間に、少なくともＰｔ抵抗体素子１０、及び素子電極線１２とシース芯線２１との接合部Ｊ（図２参照）が収納される。
さらに、金属部材３０Ｂの後端側を全周溶接して溶接部ｗを形成することで、金属部材３０がシース部材２０の先端側に接合される。
【００２９】
本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。例えば、感温部として、上述のＰｔ抵抗体部１１の代わりにサーミスタ焼結体を用いてもよい。サーミスタ焼結体としては、（Ｓｒ，Ｙ）（Ａｌ，Ｍｎ，Ｆｅ）Ｏ３をベース組成としたペロブスカイト型酸化物を用いることができるが、これに限定されない。
サーミスタ焼結体としては、例えば全体が六角柱状をなすものを用いることができる。この場合、六角柱の柱軸方向を軸線Ｏ方向と垂直にして金属部材３０内に配置し、六角形の外縁を形成する六つの面のうち、１つの面を先端向き面とすると、サーミスタ焼結体の先端向き面が軸線Ｏ方向に垂直な平面形状となる。
感温部は、その先端向き面が平面形状であれば、全体形状は特に限定されず、上述の板状、六角柱の他、例えば四角柱であってもよい。又、円筒状の感温部の平面を先端向き面としてもよい。
また、上記実施形態では、シース芯線２１とシース外管２２内面との間にＳｉＯ２からなる絶縁材が充填されていたが、これに限られず、ＭｇＯやＡｌ２Ｏ３からなる絶縁材が充填されていてもよい。
【符号の説明】
【００３０】
１、１Ｂ    温度センサ
１０    感温素子
１１    感温部
１１ａ    感温部の先端向き面
１１ｆ    感温部の最先端
１２    素子電極線
２０    シース部材
２１    シース芯線
２２    シース外管
３０、３０Ｂ    金属部材
３２    先端部
３３    接続部
３４    ストレート部
３４ｅ    ストレート部の両外縁
Ｊ    接合部
Ｏ    軸線
Ｃ    仮想円
Ｃｅ    仮想円の中心
Ｃ１    第１半円
Ｃ２    第２半円
【図１】
0006576766.tif 000002
【図２】
0006576766.tif 000003
【図３】
0006576766.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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