(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤを延出するワイヤ供給リールと、該ワイヤ供給リールから延出した前記ワイヤが表面上を通過可能なロングローラーと、前記ワイヤが周囲に螺旋状に巻き付けられる複数のワイヤガイドと、前記ワイヤを巻き取るワイヤ巻き取りリールと、前記ワイヤ供給リールと前記ワイヤガイドの間に配置され、設定された制御角度±Ａ（°）内で動作するように制御され、前記ワイヤに張力を与えるテンションアームとを有し、前記ワイヤがロングローラー上を、該ロングローラーの軸方向に移動しながら通過可能であるワイヤソー装置の製造方法であって、
前記ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘを測定する工程と、
前記ワイヤ供給リールから前記ワイヤを延出しているときに、前記テンションアームの角度が、前記設定された制御角度の範囲外へ振れたときの、前記テンションアームの角度ａ（°）を測定する工程と、
前記測定した前記ロングローラーの表面粗度ＲｍａｘをＲ１（μｍ）としたときの、Ｒ１×２×Ａ÷（｜ａ｜＋Ａ）＝Ｒ２を算出する工程と、
前記ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘを、前記算出した数値Ｒ２以下にする工程とを有することを特徴とするワイヤソー装置の製造方法。
【請求項２】
前記ロングローラーとして、ショア硬度Ａ８０〜９６からなるウレタン製のものを使用することを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー装置の製造方法。
【請求項３】
前記ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘを、前記算出した数値Ｒ２以下にする工程において、
前記ロングローラーの表面を＃８００〜３０００の研磨フィルムで研磨することで、前記ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘを前記算出した数値Ｒ２以下にすることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のワイヤソー装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤソー切断技術に関し、ワーク、例えばシリコン半導体単結晶インゴットをウェーハ状にする（スライスする）ウェーハ切断工程等に適用可能なワイヤソー装置の製造方法及びワイヤソー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造分野においては、単結晶引上装置によって引き上げられたシリコン半導体単結晶インゴットを内周刃スライサーを用いて軸直角方向に薄く切断することによって複数のシリコン半導体ウェーハを得ている。
【０００３】
ところが、近年の半導体ウェーハの大直径化の傾向は、従来からの内周刃スライサーによるインゴットの切断を困難にしている。又、内周刃スライサーによる切断方法は、ウェーハを１枚ずつ切り出すために非効率で生産性が悪いという問題がある。
【０００４】
そこで、ワイヤソー（特に、マルチワイヤソー）による切断方法が近年注目されている。この切断方法は、複数本のワイヤガイド（メインローラ）間に螺旋状に巻回されたワイヤ列にワークを押圧し、該ワークとワイヤとの接触部にスラリーを供給しながらワイヤを移動させることによってワークをウェーハ状に切断する方法である（例えば、特許文献１）。このような切断方法によって、一度に多数枚（例えば数１００枚）のウェーハを切り出すことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１５６６９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のようなワイヤソーを用いた切断方法において使用されるワイヤソー装置では、ワイヤ供給リールとワイヤガイドの間にロングローラー、テンションアーム等が配置されており、ワイヤ供給リールから延出されたワイヤは、ロングローラー上を、ロングローラーの軸方向に動きながら通過する。このとき、ロングローラーの軸方向に滑らかに移動しなかったワイヤが、突発的に本来の位置（走行中のワイヤの長さが最短になる位置）に戻る場合がある。
【０００７】
このような場合、ワイヤ供給リール側のテンションアームが制御範囲外に大きく振れてしまい、ワイヤが断線するという問題がある。ワイヤの断線が発生すると切断加工中のワークの品質悪化につながる。
【０００８】
本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑みなされたもので、ワイヤ供給リールから延出されたワイヤが、ロングローラー上を軸方向に滑らかに移動するようにし、テンションアームが制御範囲外へ大きく振れることを防ぐことができるワイヤソー装置の製造方法及びワイヤソー装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明によれば、ワイヤを延出するワイヤ供給リールと、該ワイヤ供給リールから延出した前記ワイヤが表面上を通過可能なロングローラーと、前記ワイヤが周囲に螺旋状に巻き付けられる複数のワイヤガイドと、前記ワイヤを巻き取るワイヤ巻き取りリールと、前記ワイヤ供給リールと前記ワイヤガイドの間に配置され、設定された制御角度±Ａ（°）内で動作するように制御され、前記ワイヤに張力を与えるテンションアームとを有し、前記ワイヤがロングローラー上を、該ロングローラーの軸方向に移動しながら通過可能であるワイヤソー装置の製造方法であって、
前記ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘを測定する工程と、
前記ワイヤ供給リールから前記ワイヤを延出しているときに、前記テンションアームの角度が、前記設定された制御角度の範囲外へ振れたときの、前記テンションアームの角度ａ（°）を測定する工程と、
前記測定した前記ロングローラーの表面粗度ＲｍａｘをＲ１（μｍ）としたときの、Ｒ１×２×Ａ÷（｜ａ｜＋Ａ）＝Ｒ２を算出する工程と、
前記ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘを、前記算出した数値Ｒ２以下にする工程とを有することを特徴とするワイヤソー装置の製造方法を提供する。
【００１０】
このようにすれば、ワイヤ供給リールから延出されたワイヤが、ロングローラー上を滑らかに軸方向に移動し、テンションアームが制御範囲外へ大きく振れることを防ぎ、ワイヤの断線を防ぐことができるワイヤソー装置を製造することができる。
なお、ここでいう表面粗度Ｒｍａｘとは、ＪＩＳ  Ｂ０６０１に準じて測定される断面曲線の最大断面高さのことである。
【００１１】
このとき、前記ロングローラーとして、ショア硬度Ａ８０〜９６からなるウレタン製のものを使用することが好ましい。
【００１２】
このような硬度範囲のものを使用すれば、ワイヤが滑らかに移動しやすく、また、ロングローラーの形状変化・形状劣化が低減され、耐用回数を向上させることができる。ショア硬度Ａ８０以上とすることにより、ロングローラーの変形を防止し、使用回数を向上することができ、ショア硬度Ａ９６以下とすることにより、表面粗さを小さくする加工（研磨）を効率良く行うことができる。
【００１３】
またこのとき、前記ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘを、前記算出した数値Ｒ２以下にする工程において、
前記ロングローラーの表面を＃８００〜３０００の研磨フィルムで研磨することで、前記ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘを前記算出した数値Ｒ２以下にすることが好ましい。
【００１４】
このように、＃８００以上の番手とすることにより、ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘをより確実にＲ２以下とすることができる。また、＃３０００以下の番手とすることにより、研磨フィルムが目詰まりしてしまうことを防止し、効率的に研磨することができる。
【００１５】
また、本発明によれば、ワイヤを延出するワイヤ供給リールと、該ワイヤ供給リールから延出した前記ワイヤが表面上を通過可能なロングローラーと、前記ワイヤが周囲に螺旋状に巻き付けられる複数のワイヤガイドと、前記ワイヤを巻き取るワイヤ巻き取りリールと、前記ワイヤ供給リールと前記ワイヤガイドの間に配置され、設定された制御角度±Ａ（°）内で動作するように制御され、前記ワイヤに張力を与えるテンションアームとを有し、前記ワイヤがロングローラー上を、該ロングローラーの軸方向に移動しながら通過可能であるワイヤソー装置であって、
前記ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘが２１μｍ以下のものであることを特徴とするワイヤソー装置を提供する。
【００１６】
このようなものであれば、ワイヤ供給リールから延出されたワイヤが、ロングローラー上を滑らかに軸方向に移動し、テンションアームが制御範囲外へ大きく振れることを防ぎ、ワイヤの断線を防ぐことができるワイヤソー装置となる。
【００１７】
このとき、前記ロングローラーが、ショア硬度Ａ８０〜９６からなるウレタン製のものであることが好ましい。
【００１８】
このような硬度範囲のものであれば、ワイヤが滑らかに移動しやすく、また、ロングローラーの形状変化・形状劣化が低減され、耐用回数を向上させることができる。ショア硬度Ａ８０以上とすることにより、ロングローラーの変形を防止し、使用回数を向上することができ、ショア硬度Ａ９６以下とすることにより、表面粗さを小さくする加工（研磨）を効率良く行うことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のワイヤソー装置の製造方法及びワイヤソー装置であれば、ワイヤ供給リールから延出されたワイヤが、ロングローラー上を滑らかに軸方向に移動し、テンションアームが制御範囲外へ大きく振れることを防ぎ、ワイヤの断線を防ぐことができるワイヤソー装置となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１（ａ）】本発明のワイヤソー装置の一例を示した概略図である。
【図１（ｂ）】ワイヤ供給リールとロングローラーとプーリーを斜め上（図１（ａ）の矢印（ｂ´）方向）から見た、ワイヤソー装置の一部分を示した概略図である。
【図２】本発明のワイヤソー装置の製造方法の一例を示した工程図である。
【図３】ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘが３４μｍの場合のテンションアームの動きを示したグラフである。
【図４】ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘが２１μｍの場合のテンションアームの動きを示したグラフである。
【図５】表面粗度Ｒｍａｘが３４μｍのロングローラーを＃６００、８００、２０００、３０００、４０００の研磨フィルムでそれぞれ研磨した際のロングローラーの軸方向の表面粗度Ｒｍａｘを示したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
上述したように、ワイヤ供給リールから延出されたワイヤがロングローラー上を軸方向に動きながら通過するワイヤソーでは、ロングローラーの軸方向に滑らかに移動しなかったワイヤが、突発的に本来の位置に戻る場合があり、この時、ワイヤ供給リール側のテンションアームが制御範囲外に大きく振れてしまい、ワイヤが断線するという問題があった。
【００２２】
そこで、本発明者はこのような問題を解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘを規定することで、ワイヤ供給リールから延出されたワイヤがロングローラー上を滑らかに軸方向に移動し、テンションアームが制御範囲外へ大きく振れることを防止でき、この大きな振れによるワイヤの断線を防ぐことができることに想到した。そして、これらを実施するための最良の形態について精査し、本発明を完成させた。
【００２３】
まず、図１（ａ）、図１（ｂ）を参照しながら、本発明のワイヤソー装置２４について説明する。図１（ａ）に例示されるように、本発明のワイヤソー装置２４は、ワイヤ２５を延出するワイヤ供給リール１と、該ワイヤ供給リール１から延出したワイヤ２５が表面上を通過可能なロングローラー２と、ワイヤ２５が周囲に螺旋状に巻き付けられる複数のワイヤガイド２６と、ワイヤ２５を巻き取るワイヤ巻き取りリール１８と、ワイヤ供給リール１とワイヤガイド２６の間に配置され、設定された制御角度±Ａ（°）内で動作するように制御され、ワイヤ２５に張力を与えるテンションアーム１９とを有する。そして、図１（ｂ）に示すように、ワイヤ２５がロングローラー２上を、該ロングローラー２の軸方向に移動しながら通過可能なものである。
【００２４】
ワイヤガイド２６は、例えば、メインワイヤガイド１０とスレーブワイヤガイド１１の２つからなるものとすることができる。
【００２５】
ワイヤ供給リール１から延出したワイヤ２５は、ロングローラー２、トラバーサ３、プーリー４、テンションアームプーリー５、テンションセンサプーリー６、プーリー７、プーリー８、およびプーリー９を通ってメインワイヤガイド１０とスレーブワイヤガイド１１に所定のピッチで平行に巻付けられ、ワイヤ列２７を形成している。そして、ワイヤ列２７に、ワーク２３を下降させていくことでワーク２３を切断する構成となっている。
【００２６】
また、スレーブワイヤガイド１１を出たワイヤ２５は、プーリー１２、プーリー１３、テンションセンサプーリー１４、テンションアームプーリー１５、プーリー１６、トラバーサ１７を通ってワイヤ巻き取りリール１８に巻き取られる。
【００２７】
なお、本実施の形態のワイヤソー装置２４では、トラバーサ３はワイヤ２５の走行方向が逆になり、ワイヤ供給リール１でワイヤを巻き取るときにのみ使用されるものとすることができる。
【００２８】
本実施の形態のワイヤソー装置２４では、テンションセンサ２０で検出した張力に対し、テンションアーム１９を中心にテンションアームプーリー５の位置が、設定された任意の制御角度±Ａ（°）の範囲内で移動し（テンションアーム１９の振れ）、ワイヤ供給リール１からメインワイヤガイド１０までの張力を制御することができる。また、スレーブワイヤガイド１１からワイヤ巻き取りリール１８までの張力についても同様に、テンションセンサ２１で検出した張力に対し、テンションアーム２２を中心にテンションアームプーリー１５の位置が任意の制御範囲で移動し、制御することができる。
【００２９】
このとき、テンションアーム１９の制御角度±Ａ（°）として、例えば、±１．５°の範囲と設定することができる。
【００３０】
そして、図１（ｂ）に例示されるように、ワイヤ供給リール１からワイヤ２５が延出される場合、ワイヤ供給リール１から延出されるワイヤ２５は、ワイヤ供給リール１の軸方向に移動しながら延出する。そのため、ワイヤ２５がロングローラー２上を、ロングローラー２の軸方向に移動しながら通過し、プーリー４に向かっていく。
【００３１】
このとき、従来品では、ワイヤ２５がロングローラー２上を滑らかに移動せず、引っ掛かるような状態になった後、突発的に本来の位置（走行中のワイヤ２５の長さが最短になる位置）に戻る場合、テンションアーム１９が大きく振れてしまう。
【００３２】
本発明のワイヤソー装置２４は、ロングローラー２の表面粗度Ｒｍａｘが２１μｍ以下のものである。また、ロングローラー２の表面粗度Ｒｍａｘは、小さければ、小さいほど、ワイヤ２５がロングローラー２上を、ロングローラー２の軸方向に滑らかに移動しやすくなり、テンションアーム１９の振れも安定しやすくなるため良い。このようなものであれば、ロングローラー２の表面粗度Ｒｍａｘが十分に小さいものであるので、ワイヤ供給リール１から延出されたワイヤ２５がロングローラー２上を滑らかに軸方向に移動することができ、テンションアーム１９が制御範囲外へ大きく振れることを防ぐことができる。これにより、ワイヤ２５の断線を低減することができる。
【００３３】
このとき、ロングローラー２が、ショア硬度Ａ８０〜９６からなるウレタン製のものであることが好ましい。このような硬度範囲のものであれば、ワイヤ２５が滑らかに移動しやすく、また、ロングローラー２の形状変化・形状劣化が低減され、耐用回数を向上させることができる。具体的には、ショア硬度Ａ８０以上とすることにより、ロングローラー２の変形を防止し、使用回数を向上することができ、ショア硬度Ａ９６以下とすることにより、表面粗さを小さくする加工（研磨）を効率良く行うことができる。
【００３４】
次に、本発明のワイヤソー装置の製造方法について説明する。ここでは、上述したような、図１（ａ）に示した本発明のワイヤソー装置２４を製造する場合について、図２に示す工程図を用いて説明する。
【００３５】
まず、ロングローラー２の表面粗度Ｒｍａｘを測定する工程を行う（図２のＳＰ１）。
【００３６】
ロングローラー２としては、例えばショア硬度Ａ８０〜９６からなるウレタン製のものを使用することが好ましい。このような硬度範囲のものを使用すれば、ワイヤ２５が滑らかに移動しやすく、また、ロングローラー２の形状変化・形状劣化が低減され、耐用回数を向上させることができる。具体的には、ショア硬度Ａ８０以上とすることにより、ロングローラー２の変形を防止し、使用回数を向上することができ、ショア硬度Ａ９６以下とすることにより、表面粗さを小さくする加工（研磨）を効率良く行うことができる。
【００３７】
次に、ワイヤ供給リール１からワイヤ２５を延出し、ワイヤ巻取りリール１８での巻き取りを行い、そのときに、テンションアーム１９の角度が、設定された制御角度±Ａ（°）の範囲外へ振れたときの、テンションアーム１９の角度ａ（°）を測定する工程を行う（図２のＳＰ２）。
【００３８】
次に、測定したロングローラー２の表面粗度ＲｍａｘをＲ１（μｍ）としたときの、Ｒ１×２×Ａ÷（｜ａ｜＋Ａ）＝Ｒ２を算出する工程を行う（図２のＳＰ３）。
【００３９】
次に、ロングローラー２の表面粗度Ｒｍａｘを、算出した数値Ｒ２以下にする工程を行う（図２のＳＰ４）。例えばロングローラー２の表面を研磨することができる。
【００４０】
このとき、ロングローラーの表面を＃８００〜３０００の研磨フィルムで研磨することで、ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘを、算出した数値Ｒ２以下にすることが好ましい。
【００４１】
＃８００と＃３０００の平均粒子径は、それぞれ２０μｍと５μｍである。＃８００以上の番手とすることにより、ロングローラー２の表面粗度Ｒｍａｘをより確実にＲ２以下とすることができる。また、＃３０００以下の番手とすることにより、研磨フィルムが目詰まりしてしまうことを防止し、効率的に研磨することができる。なお、研磨フィルムに使用される研磨剤としては、炭化珪素（ＳｉＣ）、酸化アルミニウム、酸化セリウム（ＣｅＯ３）などが挙げられる。
【００４２】
上記のような研磨フィルムを用いて、例えば、回転するロングローラー２に研磨フィルムを押し当てることで研磨することができるが、研磨方法はこれに限定されるものではない。
【００４３】
また、この研磨は、同じロングローラーに対して複数回実施することが可能である。例えば、ワイヤソー装置２４を運転させるにしたがって、ロングローラー２の表面粗度Ｒｍａｘが悪化した場合に、ロングローラー２の表面の研磨を再び行い、表面粗度ＲｍａｘをＲ２以下とすることができる。
【００４４】
また、ロングローラー２の表面粗度Ｒｍａｘを、算出した数値Ｒ２以下にする方法としては、研磨によるものでなくてもよく、例えば、表面粗度ＲｍａｘがＲ２以下のロングローラーと交換することにより行ってもよい。
【００４５】
このようにして、表面粗度ＲｍａｘがＲ２以下のロングローラーを有するワイヤソー装置を製造する。このような本発明のワイヤソー装置の製造方法であれば、ワイヤ供給リールから延出されたワイヤが、ロングローラー上を滑らかに軸方向に移動し、テンションアームが制御範囲外へ大きく振れることを防ぐことができるワイヤソー装置を製造することができる。また、これにより、ワイヤの断線を低減することができる。
【実施例】
【００４６】
以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００４７】
（実施例１）
【００４８】
図２に示すような本発明のワイヤソー装置の製造方法に従って、図１（ａ）に示すようなワイヤソー装置の製造を行った。
【００４９】
まず、ショア硬度Ａ９１からなるウレタン製のロングローラー２を準備した。このロングローラー２の表面粗度Ｒｍａｘを測定したところ、Ｒ１（μｍ）＝３４μｍであった。また、テンションアーム１９の制御角度は、±Ａ（°）＝±１．５°と設定した。
【００５０】
次に、ワイヤ供給リール１からワイヤ２５を８００ｍ／ｍｉｎの速度で延出したときの、テンションアーム１９の動きを測定し、図３に示した。
【００５１】
その結果、図３に示すように、６３秒付近でテンションアーム１９の角度が突発的に１．５°付近から−３．２°付近まで振れた。
【００５２】
上記したように、テンションアーム１９の角度が突発的に制御範囲外へ振れたときの角度ａ（°）は−３．２°であり、ロングローラー２の表面粗度Ｒｍａｘ（Ｒ１）は３４μｍであった。
【００５３】
そこで、Ｒ１×２×Ａ÷（｜ａ｜＋Ａ）＝Ｒ２の関係式により、テンションアーム１９の制御範囲外への振れを抑制できるロングローラー２の表面粗度Ｒｍａｘ（Ｒ２）を算出したところ、３４×２×１．５÷（｜−３．２｜＋１．５）＝２２μｍとなった。
【００５４】
そこで、上記の表面粗度Ｒｍａｘ（Ｒ１）が３４μｍのロングローラー２を、表面粗度ＲｍａｘがＲ２（＝２２μｍ）以下となるように、＃２０００の研磨フィルムで研磨した。具体的には、回転するロングローラー２に研磨フィルムを押し当てることで研磨した。
【００５５】
研磨後のロングローラー２の表面粗度Ｒｍａｘを測定したところ、２１μｍであり、上記のＲ２の値よりも小さくすることができた。
【００５６】
この表面粗度Ｒｍａｘが２１μｍのロングローラー２を用いてワイヤソー装置２４を製造した。そして、線速８００ｍ／ｍｉｎでワイヤ２５を延出させた時のテンションアーム１９の動きを測定し、図４に示した。その結果、図４では、図３で見られたテンションアーム１９の突発的な制御範囲外への振れが見られなくなっている。
【００５７】
このように、実施例１では、設定された制御角度±Ａ（°）内で動作するように制御されているテンションアーム１９によって張力を与えられるワイヤソー装置２４において、ワイヤ供給リール１からワイヤ２５を延出しているときに、ワイヤ供給リール１側のテンションアーム１９の角度が、突発的に制御範囲外へ振れたときの角度をａ（°）、ロングローラー２の表面粗度ＲｍａｘをＲ１としたとき、Ｒ１×２×Ａ÷（｜ａ｜＋Ａ）で算出された数値Ｒ２以下の表面粗度Ｒｍａｘのロングローラー２を使用することで、テンションアーム１９が突発的に制御範囲外へ大きく振れることを防ぐことができる本発明のワイヤソー装置２４を製造することができた。
【００５８】
（比較例１）
実施例１とは異なり、ロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘについては特に考慮せずに、ロングローラー及び各部品を用意し、ワイヤソー装置を製造した。なお、参考に、このときのロングローラーの表面粗度Ｒｍａｘを測定したところ、３４μｍであった。すなわち、実施例１で最初に用意したワイヤソー装置と同様のものであった。
【００５９】
この従来のワイヤソー装置において、実施例１と同様にテンションアームの制御角度を、±Ａ（°）＝±１．５°と設定し、ワイヤを８００ｍ／ｍｉｎの速度で延出したときの、テンションアームの動きを測定したところ、図３と同様の結果が得られた。すなわち、比較例１で製造したワイヤソー装置では、テンションアームの角度が突発的に制御範囲外に大きく振れる現象が生じ、断線の兆候が見られる装置になってしまった。
【００６０】
（実施例２−４、比較例２、３）
実施例１で準備したロングローラーとは異なるが、表面粗度Ｒｍａｘが３４μｍのロングローラーを用意した。このロングローラーを、軸方向に５分割して（軸方向の幅を５つの領域に分けて）、各々、＃６００、８００、２０００、３０００、４０００の番手が異なる研磨フィルムでそれぞれ研磨した。＃６００、８００、２０００、３０００、４０００の研磨フィルムで使用されている平均砥粒径は、それぞれ２８、２０、８、５、３μｍである。なお、実施例１における結果を考慮すると、テンションアームの角度が突発的に制御範囲外に大きく振れる現象を防ぐには、研磨後の表面粗度Ｒｍａｘが２２μｍ以下（より好ましくは２１μｍ以下）が狙い目と考えられる。
【００６１】
研磨前と研磨後のロングローラーの軸方向の表面粗度Ｒｍａｘを測定した結果を図５に示した。その結果、図５に示すように、＃６００では、表面粗度Ｒｍａｘが３５μｍと悪化してしまった（比較例２）。＃４０００では、研磨フィルムが目詰まりして滑ってしまい、効果的に研磨できず、研磨を途中で切り上げたため、表面粗度Ｒｍａｘが２７μｍであった（比較例３）。一方、＃８００〜＃３０００では、表面粗度Ｒｍａｘが、各々、２２、１９、１７μｍであり、いずれも２２μｍ以下、さらに、＃２０００、＃３０００については、２１μｍ以下にすることができ、狙い通り研磨ができていた（実施例２−４）。
【００６２】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００６３】
１…ワイヤ供給リール、  ２…ロングローラー、  ３、１７…トラバーサ、
４、７、８、９、１２、１３、１６…プーリー、
５、１５…テンションアームプーリー、  ６、１４…テンションセンサプーリー、
１０…メインワイヤガイド、  １１…スレーブワイヤガイド、
１８…ワイヤ巻き取りリール、  １９、２２…テンションアーム、
２０、２１…テンションセンサ、  ２３…ワーク、  ２４…ワイヤソー装置、
２５…ワイヤ、  ２６…ワイヤガイド、  ２７…ワイヤ列。
【図１（ａ）】
0006589735.tif 000002
【図１（ｂ）】
0006589735.tif 000003
【図２】
0006589735.tif 000004
【図３】
0006589735.tif 000005
【図４】
0006589735.tif 000006
【図５】
0006589735.tif 000007