(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部環境に位置する作業者が無菌環境を維持した作業室の内部で作業するために、当該作業室の壁面に開口した作業用開口部に設けられた接続ポートから当該作業室の内部に向けて気密性を保持して取り付けられた作業用部材の前記外部環境側に接する面（内面）を除染するための装置であって、
前記接続ポートを前記外部環境側から封鎖して、当該接続ポートと前記作業用部材の内面とで囲まれた閉鎖空間を形成する接続ポート閉鎖部材と、
前記接続ポート閉鎖部材を介して、前記閉鎖空間の内部に除染液を供給する除染液供給手段と、
前記閉鎖空間の内部に供給される除染液を当該閉鎖空間の内部で霧化して前記作業用部材の内面に噴霧する除染液噴霧手段とを有することを特徴とする内面除染装置。
【請求項２】
前記除染液噴霧手段は、圧縮空気を発生する圧縮空気発生装置と、当該圧縮空気発生装置と前記閉鎖空間の内部とを前記接続ポート閉鎖部材を介して連通する圧縮空気供給配管とを具備すると共に、前記閉鎖空間の内部において当該圧縮空気供給配管の延端部が前記作業用部材の内面に向けて開口する空気吐出口を形成し、
前記除染液供給手段は、前記除染液を収容する除染液槽と、当該除染液槽と前記閉鎖空間の内部とを前記接続ポート閉鎖部材を介して連通する除染液供給配管とを具備すると共に、前記閉鎖空間の内部において当該除染液供給配管の延端部が前記空気吐出口の吐出方向と交差する方向に開口する除染液供給口を形成し、
前記空気吐出口からの空気が、前記除染液供給口の上部に吐出されることにより、当該除染液供給口から供給される除染液が、前記空気吐出口から吐出される空気により吸い上げられ、前記作業用部材の内面に向けて霧状に噴射されることを特徴とする請求項１に記載の内面除染装置。
【請求項３】
前記除染液供給手段は、前記除染液を収容する除染液槽と、当該除染液槽と前記閉鎖空間の内部とを前記接続ポート閉鎖部材を介して連通する除染液供給配管とを具備すると共に、前記閉鎖空間の内部において当該除染液供給配管の延端部が前記作業用部材の内面に向けて開口する除染液供給口を形成し、
前記除染液噴霧手段は、前記除染液供給口に配設された噴射ノズルと、圧縮空気を発生する圧縮空気発生装置と、当該圧縮空気発生装置と前記除染液槽の内部とを連通する圧縮空気供給配管とを具備し、
前記圧縮空気発生装置から前記圧縮空気供給配管を介して供給される圧縮空気が、前記除染液槽の内部を加圧することにより、当該除染液槽の内部の除染液が、前記除染液供給配管を介して前記噴射ノズルに供給され、当該噴射ノズルから前記作業用部材の内面に向けて霧状に噴射されることを特徴とする請求項１に記載の内面除染装置。
【請求項４】
作業用部材内加圧設定手段、作業用部材内圧力検知手段、及び、制御手段を有して、
前記接続ポート閉鎖部材を介して前記閉鎖空間の内部に圧縮空気を供給し、前記作業用部材内加圧設定手段により当該閉鎖空間の内部の圧力を一定に維持し、前記作業用部材内圧力検知手段により継時的な圧力変化を検知することにより、
作業用部材のピンホールなどの不備を検査するための作業用部材用リーク検査装置の機能を併せ持つことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の内面除染装置。
【請求項５】
前記作業用部材は、作業用グローブ又はハーフスーツであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の内面除染装置。
【請求項６】
前記除染液は、エタノール又は２−プロパノールなどの消毒用アルコールであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の内面除染装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つに記載の内面除染装置を用いて、前記作業用部材の内面に対して前記除染液の噴霧量を１μＬ／ｃｍ２〜５μＬ／ｃｍ２の範囲内とすることを特徴とする内面除染方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アイソレーター装置やグローブボックスなどの壁面から内部に向けて設置された作業用グローブ又はハーフスーツの内面、すなわち外部環境側に接する面を除染するための内面除染装置に関するものである。また、本発明は、グローブ又はハーフスーツ用のリーク検査装置と組み合わせてなる内面除染装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
清浄な雰囲気で行われる作業、例えば、医薬品の製造段階の作業、或いは、半導体や電子部品の製造段階の作業においては、外部環境から汚染物質が入り込まないように内部を無菌・無塵状態に保った清浄な作業環境で作業が行われる。このような作業環境としては、一般にはクリーンルームが使用される。このクリーンルーム内では、無塵衣を身に付けた作業者が作業を行う。しかし、無菌性保証水準、無塵性保証水準を高めるためには、クリーンルーム内に更に高度なクリーン領域を構成して作業が行われる。
【０００３】
高度なクリーン領域を構成する１つの方法として、アイソレーター装置又はグローブボックス（以下、統一して「アイソレーター装置」という。）が利用される。このアイソレーター装置は、外部環境から密閉されたチャンバーを使用し、作業者がこのチャンバーの外部から作業用グローブやハーフスーツを介して作業を行う。また、高度なクリーン領域を構成する他の方法として、ＲＡＢＳ（アクセス制限バリアシステム）が利用される。このＲＡＢＳは、クリーンルーム内の一部に下方部が解放された壁面で囲まれた領域を設け、その内部に上方から下方に流れる一方向流の清浄空気の層流（ラミナーフロー）を流すと共に、作業者の厳格なアクセス制限を行うようにしたものである。このＲＡＢＳにおいては、作業者は壁面に設けられた作業用グローブやハーフスーツを介して作業を行う。
【０００４】
一般に医薬品などを製造するアイソレーター装置やＲＡＢＳの内部は、ＧＭＰ（Ｇｏｏｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｐｒａｃｔｉｃｅ）に即した高度な除染バリデーションを完了し、グレードＡ（厚生労働省・無菌医薬品製造指針）を保証している。この場合、アイソレーター装置やＲＡＢＳの外部は、グレードＢ或いはグレードＣ、Ｄなどの状態に維持されている。このように、高度な無菌性保証水準を要求されるアイソレーター装置やＲＡＢＳの内部だけでなく、その外部環境の無菌環境を維持することも重要である。
【０００５】
ここで、アイソレーター装置やＲＡＢＳの内部と外部との境界において、内部の高度な無菌環境を維持するために、特に重要と考えられるのが作業用グローブやハーフスーツ自体或いはその装着部分の気密性である。作業者が頻繁に使用する作業用グローブやハーフスーツにおいて、その本体に穴（ピンホール）や裂け目が発生し、或いは、これらの装着部分の気密性が破綻することにより、内部の高度な無菌環境を維持できなくなる。
【０００６】
一方、作業用グローブやハーフスーツの内面、すなわち外部環境側（グレードＢ、Ｃ、Ｄ）に接する面は、外部環境側において最も無菌環境を維持し辛い部分である。すなわち、これらの内面は、作業者が頻繁に手や半身を出し入れする部分であり、袋状の内部にあり除染の効果が維持し辛いことによる。従って、作業用グローブやハーフスーツの内面は、外部環境を定期的に除染する際に特に念入りに除染される。更に、外部環境の定期的な除染よりも頻繁に除染されるべきである。仮に、この部分の無菌環境がアイソレーター装置やＲＡＢＳの外部の無菌環境（グレードＢ、Ｃ、Ｄ）よりも低下していた場合には、作業用グローブやハーフスーツに穴（ピンホール）や裂け目が発生した場合、内部環境（グレードＡ）の汚染度が大きくなる。
【０００７】
そこで、作業用グローブやハーフスーツ自体或いはその装着部分の気密性を管理するために、各種の気密性検査（以下「リーク検査」という）用の装置が提案され実際に使用されている。例えば、下記特許文献１においては、アイソレーター装置に作業用グローブを装着した状態で作業用グローブとその装着部分の気密性を検査する陰圧式グローブ気密性検査装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−２８０２７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上記特許文献１に提案されている陰圧式グローブ気密性検査装置などのリーク検査装置は、あくまでも作業用グローブとその装着部分の気密性を定期的に検査するものであって、気密性の異常を早期発見することを目的とする。従って、気密性の異常が発見された場合に、作業用グローブやハーフスーツの内面が汚染されていた場合には、アイソレーター装置やＲＡＢＳの内部環境（グレードＡ）の汚染度が大きくなることを防止するものではない。
【００１０】
そこで、本発明は、上記の諸問題に対処して、アイソレーター装置などの外部環境側において最も無菌環境を維持し辛い作業用グローブなどの内面をアイソレーター装置などに装着した状態で容易に除染することができる内面除染装置及びこれを用いた内面除染方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題の解決にあたり、本発明者らは、鋭意研究の結果、アイソレーター装置などに装着した作業用グローブなどの内部に圧縮空気などを注入し、作業用グローブを膨張させると同時に作業用グローブなどの内面に除染液を噴霧することにより、本発明の目的を達成できることを見出して本発明の完成に至った。
【００１２】
即ち、本発明に係る内面除染装置は、請求項１の記載によれば、
外部環境に位置する作業者が無菌環境を維持した作業室（１）の内部で作業するために、当該作業室の壁面（２）に開口した作業用開口部（３）に設けられた接続ポート（１０）から当該作業室の内部に向けて気密性を保持して取り付けられた作業用部材（１１）の前記外部環境側に接する面（内面）（１１ｂ）を除染するための装置（２０、３０、４０、５０）であって、
前記接続ポートを前記外部環境側から封鎖して、当該接続ポートと前記作業用部材の内面とで囲まれた閉鎖空間（１４）を形成する接続ポート閉鎖部材（２１、３１、４１、５１）と、
前記接続ポート閉鎖部材を介して、前記閉鎖空間の内部に除染液を供給する除染液供給手段（２２、３２、４２、５２）と、
前記閉鎖空間の内部に供給される除染液を当該閉鎖空間の内部で霧化して前記作業用部材の内面に噴霧する除染液噴霧手段（２３、３３、４３、５３）とを有することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、請求項２の記載によれば、請求項１に記載の内面除染装置（２０、４０）であって、
前記除染液噴霧手段（２３、４３）は、圧縮空気を発生する圧縮空気発生装置（２３ａ、４３ａ）と、当該圧縮空気発生装置と前記閉鎖空間の内部とを前記接続ポート閉鎖部材（２１、４１）を介して連通する圧縮空気供給配管（２３ｂ、４３ｂ）とを具備すると共に、前記閉鎖空間の内部において当該圧縮空気供給配管の延端部が前記作業用部材の内面に向けて開口する空気吐出口（２３ｃ、４３ｃ）を形成し、
前記除染液供給手段（２２、４２）は、前記除染液を収容する除染液槽（２２ａ、４２ａ）と、当該除染液槽と前記閉鎖空間の内部とを前記接続ポート閉鎖部材を介して連通する除染液供給配管（２２ｂ、４２ｂ）とを具備すると共に、前記閉鎖空間の内部において当該除染液供給配管の延端部が前記空気吐出口の吐出方向と交差する方向に開口する除染液供給口（２２ｃ、４２ｃ）を形成し、
前記空気吐出口からの空気が、前記除染液供給口の上部に吐出されることにより、当該除染液供給口から供給される除染液が、前記空気吐出口から吐出される空気により吸い上げられ、前記作業用部材の内面に向けて霧状に噴射されることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、請求項３の記載によれば、請求項１に記載の内面除染装置（３０）であって、
前記除染液供給手段（３２）は、前記除染液を収容する除染液槽（３２ａ）と、当該除染液槽と前記閉鎖空間の内部とを前記接続ポート閉鎖部材（３１）を介して連通する除染液供給配管（３２ｂ）とを具備すると共に、前記閉鎖空間の内部において当該除染液供給配管の延端部が前記作業用部材の内面に向けて開口する除染液供給口（３２ｃ）を形成し、
前記除染液噴霧手段（３３）は、前記除染液供給口に配設された噴射ノズル（３３ｃ）と、圧縮空気を発生する圧縮空気発生装置（３３ａ）と、当該圧縮空気発生装置と前記除染液槽の内部とを連通する圧縮空気供給配管（３３ｂ）とを具備し、
前記圧縮空気発生装置から前記圧縮空気供給配管を介して供給される圧縮空気が、前記除染液槽の内部を加圧することにより、当該除染液槽の内部の除染液が、前記除染液供給配管を介して前記噴射ノズルに供給され、当該噴射ノズルから前記作業用部材の内面に向けて霧状に噴射されることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、請求項４の記載によれば、請求項１〜３のいずれか１つに記載の内面除染装置であって、
作業用部材内加圧設定手段（５３ａ、５３ｂ）、作業用部材内圧力検知手段（５４）、及び、制御手段を有して、
前記接続ポート閉鎖部材を介して前記閉鎖空間の内部に圧縮空気を供給し、前記作業用部材内加圧設定手段により当該閉鎖空間の内部の圧力を一定に維持し、前記作業用部材内圧力検知手段により継時的な圧力変化を検知することにより、
作業用部材のピンホールなどの不備を検査するための作業用部材用リーク検査装置の機能を併せ持つことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、請求項５の記載によれば、請求項１〜４のいずれか１つに記載の内面除染装置であって、
前記作業用部材は、作業用グローブ又はハーフスーツであることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、請求項６の記載によれば、請求項１〜５のいずれか１つに記載の内面除染装置であって、
前記除染液は、エタノール又は２−プロパノールなどの消毒用アルコールであることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明に係る内面除染方法は、請求項７の記載によれば、
請求項１〜６のいずれか１つに記載の内面除染装置を用いて、前記作業用部材の内面に対して前記除染液の噴霧量を１μＬ／ｃｍ２〜５μＬ／ｃｍ２の範囲内とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
上記構成によれば、本発明に係る内面除染装置は、接続ポート閉鎖部材と除染液供給手段と除染液噴霧手段とを有している。接続ポート閉鎖部材は、無菌環境を維持した作業室の壁面に設けられた接続ポートを外部環境側から封鎖する。この接続ポートには、作業用部材が作業室の内部に向けて気密性を保持して取り付けられている。よって、接続ポートと作業用部材の内面とで囲まれた部分は、気密的に閉鎖された空間を形成する。この閉鎖空間における作業用部材の内面は、作業室の外部環境側において最も無菌環境を維持し辛い部分である。
【００２０】
一方、除染液供給手段は、接続ポートと作業用部材の内面とで囲まれた閉鎖空間の内部に除染液を供給する。閉鎖空間の内部に供給された除染液は、除染液噴霧手段によって霧化され、作業用部材の内面に噴霧される。この霧化した除染液は、作業用部材の内面（作業室の外部環境側に接する面）を被覆して除染する。このことにより、最も無菌環境を維持し辛い作業用部材の内面が、接続ポートに装着した状態で容易に除染される。
【００２１】
また、上記構成によれば、除染液噴霧手段は、圧縮空気発生装置と圧縮空気供給配管とを具備している。圧縮空気発生装置で発生した圧縮空気は、圧縮空気供給配管を介して閉鎖空間の内部に供給され、圧縮空気供給配管の延端部に開口する空気吐出口から作業用部材の内面に向けて吐出される。一方、除染液供給手段は、除染液槽と除染液供給配管とを具備している。除染液槽に収容されている除染液は、除染液供給配管を介して閉鎖空間の内部に供給され、除染液供給配管の延端部に開口する除染液供給口が空気吐出口に向けて開口している。
【００２２】
この構成によれば、空気吐出口と除染液供給口とは互いに交差する方向に開口し、空気吐出口から吐出される高速の圧縮空気が除染液供給口の上部に吹き付けられる。その結果、ベンチュリ効果による負圧が発生して、除染液供給口から除染液が吸い上げられる。除染液供給口から吸い上げられた除染液は、高速で吐出される圧縮空気に乗って作業用部材の内面に向けて霧状に噴射される。このことにより、最も無菌環境を維持し辛い作業用部材の内面の各部位に除染液が噴霧され、接続ポートに装着した状態の作業用部材の内面が容易に除染される。
【００２３】
また、上記構成によれば、除染液供給手段は、除染液槽と除染液供給配管とを具備している。除染液槽に収容されている除染液は、除染液供給配管を介して閉鎖空間の内部に供給され、除染液供給配管の延端部に開口する除染液供給口に供給される。一方、除染液噴霧手段は、除染液供給口に配設された噴射ノズルと圧縮空気発生装置と圧縮空気供給配管とを具備している。圧縮空気発生装置で発生した圧縮空気は、圧縮空気供給配管を介して除染液槽に供給され、除染液槽の内部を加圧する。
【００２４】
この構成によれば、圧縮空気で加圧された除染液槽内の除染液が除染液供給配管を介して噴射ノズルに供給され、噴射ノズルから作業用部材の内面に向けて霧状に噴射される。このことにより、最も無菌環境を維持し辛い作業用部材の内面の各部位に除染液が噴霧され、接続ポートに装着した状態の作業用部材の内面が容易に除染される。
【００２５】
また、上記構成によれば、本発明に係る内面除染装置は、上記各構成に加え、作業用部材内加圧設定手段、作業用部材内圧力検知手段、及び、制御手段を有して、作業用部材用リーク検査装置の機能を併せ持つようにしてもよい。このことにより、接続ポートに装着した状態の作業用部材のピンホールなどの不備を検査すると共に、作業用部材の内面が容易に除染される。
【００２６】
また、上記構成によれば、本発明に係る内面除染方法は、上記構成の各内面除染装置を用いて、作業用部材の内面に対して除染液の噴霧量を１μＬ／ｃｍ２〜５μＬ／ｃｍ２の範囲内で噴霧するようにする。このことにより、最も無菌環境を維持し辛い作業用部材の内面の各部位に除染液が噴霧され、接続ポートに装着した状態の作業用部材の内面が容易に除染される。
【００２７】
よって、上記各構成によれば、アイソレーター装置などの外部環境側において最も無菌環境を維持し辛い作業用グローブなどの内面をアイソレーター装置などに装着した状態で容易に除染することができる内面除染装置及びこれを用いた内面除染方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】アイソレーター装置に作業用グローブを取り付けた状態を側面から見た断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る内面除染装置をアイソレーター装置の作業用グローブに取り付けた状態を側面から見た断面図である。
【図３】図２の内面除染装置の操作を説明する工程図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る内面除染装置をアイソレーター装置の作業用グローブに取り付けた状態を側面から見た断面図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る内面除染装置をアイソレーター装置の作業用グローブに取り付けた状態を側面から見た断面図である。
【図６】本発明の第４実施形態に係る内面除染装置をアイソレーター装置の作業用グローブに取り付けた状態を側面から見た断面図である。
【図７】図６の内面除染装置の操作を説明する工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明を詳細に説明する。ここで、図１は、アイソレーター装置に作業用グローブを取り付けた状態を側面から見た断面図である。図１においては、本発明に係る内面除染装置は、取り付けられていない。
【００３０】
図１において、無菌環境（グレードＢ）を維持したクリーンルーム（図示しない）の内部に設置されたアイソレーター装置（図示しない）のチャンバー１の内部は、高度の無菌環境（グレードＡ）を維持している。このチャンバー１の正面の壁部（図１は側面図）には、内部を視認できる透明なガラス窓２が設けられている。このガラス窓２は、外部環境（クリーンルーム内：グレードＢ）とチャンバー１の内部（グレードＡ）とを連通させる２つの円形の作業用開口部３を有する（図１は側面図であり１つのみ示す）。
【００３１】
これらの作業用開口部３には、それぞれ作業用グローブを気密的に装着するための接続ポート１０と、この接続ポート１０に装着された合成樹脂製の作業用グローブ１１が取り付けられている。接続ポート１０は、作業用開口部３に挿入してガラス窓２に固定された筒体からなり、接続ポート１０の内周側部は、クリーンルーム内に位置する作業者が腕を挿入する挿入部を形成する。一方、接続ポート１０のチャンバー１の内部側（図示左側）の外周側部には、筒体に装着する作業用グローブ１１の基端部（上腕部）１２が２本のオーリング１３で気密的に固定されている。図１においては、便宜的に作業用グローブ１１を水平且つ拡張した状態で示している。
【００３２】
接続ポート１０に固定された作業用グローブ１１の外表面１１ａ（チャンバー１の内部側）は、アイソレーター装置のチャンバー１の内部を高度に除染する際に同時に除染され、グレードＡに維持されている。一方、作業用グローブ１１の内面１１ｂ（外部環境側）は、クリーンルームの内部を除染する際に同時に除染され、グレードＢに維持されている。
【００３３】
しかし、作業用グローブ１１の内面１１ｂは、作業者が頻繁に手を出し入れする部分であり、袋状に形成されていることから除染の効果が維持し辛い部分である。また、この部分は、作業者が頻繁に手を出し入れするために穴（ピンホール）や裂け目が発生し易い部分でもある。従って、この部分に穴（ピンホール）や裂け目が発生した場合には、アイソレーター装置のチャンバー１の高度な無菌環境（グレードＡ）が即座に汚染され、また、その汚染度が大きくなる。
【００３４】
以下、本発明に係る内面除染装置を各実施形態により説明する。なお、本発明は、下記の各実施形態にのみ限定されるものではない。
【００３５】
《第１実施形態》
図２は、本第１実施形態に係る内面除染装置をクリーンルームに配設されたアイソレーター装置の作業用グローブに取り付けた状態を側面から見た断面図である。なお、図２においては、無菌環境（グレードＢ）を維持したクリーンルーム（図示しない）、高度の無菌環境（グレードＡ）を維持したアイソレーター装置（図示しない）のチャンバー１、チャンバー１のガラス窓２に開口した円形の作業用開口部３、作業用開口部３に取り付けられた接続ポート１０、及び、接続ポート１０に装着された合成樹脂製の作業用グローブ１１については、上記図１と同様である。
【００３６】
図２において、本第１実施形態に係る内面除染装置２０は、接続ポート閉鎖部材２１と除染液供給手段２２と除染液噴霧手段２３とを有している。接続ポート閉鎖部材２１は、作業用開口部３に取り付けられた接続ポート１０の内周開口部を気密的に封鎖する蓋体であって、当該内周開口部を外部環境側から封鎖する蓋部２１ａ、接続ポート１０の内周側部に挿入される筒部２１ｂ、及び、接続ポート１０の内周側部と筒部２１ｂの外周側部とを気密的に密閉するパッキン２１ｃとを具備している。この接続ポート閉鎖部材２１が接続ポート１０の内周開口部を気密的に封鎖することにより、作業用グローブ１１の内面１１ｂと接続ポート閉鎖部材２１の筒部２１ｂとで囲まれた部分が外部環境から気密的に閉鎖された閉鎖空間１４を構成する。
【００３７】
除染液供給手段２２は、除染液槽２２ａと除染液供給配管２２ｂとを具備している。除染液槽２２ａは、作業用グローブ１１の内面１１ｂを除染するための除染液を貯留している。なお、除染液は特に限定するものではないが、人体に影響が少なく作業用グローブ１１の内面１１ｂを損傷することがないものを採用することが好ましい。本第１実施形態においては、除染液としてエタノール又は２−プロパノールなどの消毒用アルコールを使用することが好ましい。また、除染液供給配管２２ｂは、接続ポート１０の蓋部２１ａ及び筒部２１ｂを貫通して、除染液槽２２ａと閉鎖空間１４とを連通している。また、この除染液供給配管２２ｂの閉鎖空間１４側の延端部は、閉鎖空間１４内に除染液供給口２２ｃを開口する。除染液供給口２２ｃの位置については後述する。
【００３８】
除染液噴霧手段２３は、圧縮空気発生装置２３ａと圧縮空気供給配管２３ｂとを具備している。圧縮空気発生装置２３ａは、本第１実施形態が必要とする圧縮空気を供給できるものであれば特に限定するものではなく、例えば、コンプレッサーや送風ファン或いは圧縮空気ボンベ等であってもよい。本第１実施形態においては、圧縮空気発生装置２３ａとしてコンプレッサーを使用する。また、圧縮空気供給配管２３ｂは、接続ポート１０の蓋部２１ａ及び筒部２１ｂを貫通して、圧縮空気発生装置２３ａと閉鎖空間１４とを連通している。また、この圧縮空気供給配管２３ｂの閉鎖空間１４側の延端部は、閉鎖空間１４内に空気吐出口２３ｃを開口する。この空気吐出口２３ｃは、接続ポート１０の筒部２１ｂから延出する圧縮空気供給配管２３ｂの先端部であって、筒部２１ｂ側から作業用グローブ１１の先端の指部１１ｃの内面１１ｂに向かって開口している。
【００３９】
一方、除染液供給配管２２ｂの除染液供給口２２ｃは、圧縮空気供給配管２３ｂの空気吐出口２３ｃと互いに交差する方向に開口している。図２においては、空気吐出口２３ｃが作業用グローブ１１の先端に向かって水平方向左向きに開口している。一方、図２においては、除染液供給口２２ｃが空気吐出口２３ｃに向かって垂直方向上向きに開口している。このような空気吐出口２３ｃと除染液供給口２２ｃとの位置関係は、ベンチュリ効果を構成する。
【００４０】
具体的には、空気吐出口２３ｃから吐出される高速の圧縮空気が除染液供給口２２ｃの上部に吹き付けられる。その結果、この部分にベンチュリ効果による負圧が発生して、除染液供給口２２ｃから除染液が吸い上げられる。この除染液供給口２２ｃから吸い上げられた除染液は、高速で吐出される圧縮空気に乗って作業用グローブ１１の内面１１ｂを基端部（上腕部）１２から先端の指部１１ｃまでの全面に向けて霧状に噴射される（図２の１５）。このことにより、最も無菌環境を維持し辛い作業用グローブ１１の内面１１ｂの各部位に除染液が噴霧され、接続ポート１０に装着した状態の作業用グローブ１１の内面１１ｂが容易に除染される。
【００４１】
ここで、閉鎖空間１４に噴射される除染液の量は、除染される作業用グローブ１１の容量と内面１１ｂの面積などにより異なる。また、空気吐出口２３ｃから吐出される圧縮空気の吐出圧及び空気流量は、作業用グローブ１１の容量と長さなどにより異なる。本第１実施形態においては、除染液としてエタノールを使用し、上腕部の内径２１０ｍｍ、腕の長さ８００ｍｍの作業用グローブ１１の場合、吐出圧２００〜４００ｋＰａ、空気流量１８〜３８Ｌ／ｍｉｎの範囲内で、除染液の噴霧量を０．２０〜０．９５μＬ／ｃｍ２の範囲内とすることにより、作業用グローブ１１の基端部（上腕部）１２から先端の指部１１ｃまで良好な除染効果を確認した。
【００４２】
ここで、本第１実施形態に係る内面除染装置２０による除染操作について説明する。図３は、本第１実施形態に係る内面除染装置２０の操作を説明する工程図である（各部位の記号は図２参照）。図３（１）は、作業用グローブ１１が装着された接続ポート１０に内面除染装置２０を取り付け、閉鎖空間１４が構成された状態を示している。この状態において、閉鎖空間１４の内圧は外部環境と同じであり、作業用グローブ１１は垂れ下がった状態にある。この状態においては、作業用グローブ１１の先端の指部１１ｃの内面１１ｂには部分的に接触する部分が生じることもある。この状態から除染液を噴霧するようにしてもよいが、本第１実施形態においては、作業用グローブ１１をある程度膨張させた状態にしてから除染液を噴霧する。
【００４３】
そこで、この図３（１）の状態において、圧縮空気発生装置２３ａから圧縮空気供給配管２３ｂを介して、閉鎖空間１４の内部に圧縮空気を供給する。このとき、除染液供給配管２２ｂの供給弁（図示せず）は閉鎖されており、閉鎖空間１４の内部に除染液は供給されない。このことにより、閉鎖空間１４の内圧が上昇し、図３（２）に示すように作業用グローブ１１が膨張する。この状態においては、作業用グローブ１１は、図示左方向に立ち上がり先端の指部１１ｃの内面１１ｂには接触する部分がなくなっている。
【００４４】
次に、この図３（３）の状態において、閉鎖空間１４の内部に圧縮空気発生装置２３ａから圧縮空気を供給した状態で、除染液供給配管２２ｂの供給栓（図示せず）を開放する。このことにより、除染液槽２２ａから除染液供給配管２２ｂを介して閉鎖空間１４の内部に除染液が供給される。除染液の供給は、上述のベンチュリ効果によるものであって、供給された除染液は霧状となって作業用グローブ１１の内面１１ｂに噴霧される。
【００４５】
閉鎖空間１４の内部に圧縮空気と共に除染液が供給され、霧状となって噴霧されることにより、図３（４）に示すように作業用グローブ１１が更に膨張する。この状態においては、作業用グローブ１１は、大きく膨張し図示左方向に水平に維持され作業用グローブ１１の基端部（上腕部）１２から先端の指部１１ｃの内面１１ｂまでの全面に亘り霧状の除染液が噴射される。この状態を所定時間継続することにより、作業用グローブ１１の内面１１ｂの除染に必要な除染液が均一に供給される。
【００４６】
次に、除染液供給配管２２ｂの供給栓（図示せず）を閉鎖し、圧縮空気発生装置２３ａからの圧縮空気の供給を停止する。その後、内面除染装置２０を接続ポート１０から取り外し、作業用グローブ１１の内面１１ｂの除染が完了する。
【００４７】
以上のことから、本第１実施形態に係る内面除染装置２０においては、アイソレーター装置などの外部環境側において最も無菌環境を維持し辛い作業用グローブなどの内面をアイソレーター装置などに装着した状態で容易に除染することができる。
【００４８】
《第２実施形態》
本第２実施形態に係る内面除染装置は、上記第１実施形態と同様にクリーンルームに配設されたアイソレーター装置の作業用グローブに取り付けられている。図４は、本第２実施形態に係る内面除染装置を作業用グローブに取り付けた状態を側面から見た断面図である。なお、図４においては、無菌環境（グレードＢ）を維持したクリーンルーム（図示しない）、高度の無菌環境（グレードＡ）を維持したアイソレーター装置（図示しない）のチャンバー１、チャンバー１のガラス窓２に開口した円形の作業用開口部３、作業用開口部３に取り付けられた接続ポート１０、及び、接続ポート１０に装着された合成樹脂製の作業用グローブ１１については、上記図１と同様である。
【００４９】
図４において、本第２実施形態に係る内面除染装置３０は、接続ポート閉鎖部材３１と除染液供給手段３２と除染液噴霧手段３３とを有している。接続ポート閉鎖部材３１は、作業用開口部３に取り付けられた接続ポート１０の内周開口部を気密的に封鎖する蓋体であって、当該内周開口部を外部環境側から封鎖する蓋部３１ａ、接続ポート１０の内周側部に挿入される筒部３１ｂ、及び、接続ポート１０の内周側部と筒部３１ｂの外周側部とを気密的に密閉するパッキン３１ｃとを具備している。この接続ポート閉鎖部材３１が接続ポート１０の内周開口部を気密的に封鎖することにより、作業用グローブ１１の内面１１ｂと接続ポート閉鎖部材３１の筒部３１ｂとで囲まれた部分が外部環境から気密的に閉鎖された閉鎖空間１４を構成する。
【００５０】
除染液供給手段３２は、除染液槽３２ａと除染液供給配管３２ｂとを具備している。除染液槽３２ａは、作業用グローブ１１の内面１１ｂを除染するための除染液を貯留している。なお、本第２実施形態においては、上記第１実施形態と同様に除染液としてエタノール又は２−プロパノールなどの消毒用アルコールを使用することが好ましい。また、除染液供給配管３２ｂは、接続ポート１０の蓋部３１ａ及び筒部３１ｂを貫通して、除染液槽３２ａと閉鎖空間１４とを連通している。また、この除染液供給配管３２ｂの閉鎖空間１４側の延端部は、閉鎖空間１４内に除染液供給口３２ｃを開口する。この除染液供給口３２ｃについては後述する。
【００５１】
除染液噴霧手段３３は、圧縮空気発生装置３３ａと圧縮空気供給配管３３ｂと噴射ノズル３３ｃとを具備している。圧縮空気発生装置３３ａは、本第２実施形態が必要とする圧縮空気を供給できるものであれば特に限定するものではなく、本第２実施形態においては上記第１実施形態と同様にコンプレッサーを使用する。また、圧縮空気供給配管３３ｂは、圧縮空気発生装置３３ａと除染液槽３２ａの内部の空気層とを連通している。また、噴射ノズル３３ｃは、ごく小さな開口部を持つノズルであって、所定の流量及び圧力で供給された除染液を霧状に噴霧する。この噴射ノズル３３ｃは、上述の除染液供給配管３２ｂの除染液供給口３２ｃに取り付けられて、筒部３１ｂ側から作業用グローブ１１の先端の指部１１ｃの内面１１ｂに向かって配置されている。
【００５２】
このような構成において、圧縮空気発生装置３３ａから圧縮空気供給配管３３ｂを介して除染液槽３２ａに供給された圧縮空気は、除染液槽３２ａ内を加圧する。その結果、除染液槽３２ａ内の除染液が加圧された状態で、除染液供給配管３２ｂを介して閉鎖空間１４内の除染液供給口３２ｃに供給される。この除染液供給口３２ｃには、上述の噴射ノズル３３ｃが取り付けられており、除染液が噴射ノズルから作業用グローブ１１の内面１１ｂを基端部（上腕部）１２から先端の指部１１ｃまでの全面に向けて霧状に噴射される（図４の１５）。このことにより、最も無菌環境を維持し辛い作業用グローブ１１の内面１１ｂの各部位に除染液が噴霧され、接続ポート１０に装着した状態の作業用グローブ１１の内面１１ｂが容易に除染される。
【００５３】
ここで、閉鎖空間１４に噴射される除染液の量は、除染される作業用グローブ１１の容量と内面１１ｂの面積などにより異なる。また、噴射ノズル３３ｃに供給される除染液の流量及び圧力は、特に限定するものではないが、上記第１実施形態と同様に除染液をエタノールとした場合には、除染液の噴霧量を０．２０〜０．９５μＬ／ｃｍ２の範囲内とすることが好ましい。なお、本第１実施形態に係る内面除染装置３０による除染操作については、基本的に上記第１実施形態と同様であり、ここでは説明を省略する。但し、本第２実施形態においては、作業用グローブ１１が垂れ下がった状態（図３（１）に対応する状態）にあるときから除染液を噴霧する。
【００５４】
以上のことから、本第２実施形態に係る内面除染装置３０においても、アイソレーター装置などの外部環境側において最も無菌環境を維持し辛い作業用グローブなどの内面をアイソレーター装置などに装着した状態で容易に除染することができる。
【００５５】
《第３実施形態》
本第３実施形態に係る内面除染装置は、上記第１実施形態と同様にクリーンルームに配設されたアイソレーター装置の作業用グローブに取り付けられている。図５は、本第３実施形態に係る内面除染装置を作業用グローブに取り付けた状態を側面から見た断面図である。なお、図５においては、無菌環境（グレードＢ）を維持したクリーンルーム（図示しない）、高度の無菌環境（グレードＡ）を維持したアイソレーター装置（図示しない）のチャンバー１、チャンバー１のガラス窓２に開口した円形の作業用開口部３、作業用開口部３に取り付けられた接続ポート１０、及び、接続ポート１０に装着された合成樹脂製の作業用グローブ１１については、上記図１と同様である。
【００５６】
図５において、本第３実施形態に係る内面除染装置４０は、接続ポート閉鎖部材４１と除染液供給手段４２と除染液噴霧手段４３とを有しているが、除染液供給手段４２と除染液噴霧手段４３とが接続ポート閉鎖部材４１に組み込まれた一体型の装置である。接続ポート閉鎖部材４１は、作業用開口部３に取り付けられた接続ポート１０の内周開口部を気密的に封鎖する蓋体であって、当該内周開口部を外部環境側から封鎖する蓋部４１ａ、接続ポート１０の内周側部に挿入される筒部４１ｂ、及び、接続ポート１０の内周側部と筒部４１ｂの外周側部とを気密的に密閉するパッキン４１ｃとを具備している。この接続ポート閉鎖部材４１が接続ポート１０の内周開口部を気密的に封鎖することにより、作業用グローブ１１の内面１１ｂと接続ポート閉鎖部材４１の筒部４１ｂとで囲まれた部分が外部環境から気密的に閉鎖された閉鎖空間１４を構成する。
【００５７】
除染液供給手段４２は、除染液槽４２ａと除染液供給配管４２ｂとを具備して、これらが接続ポート閉鎖部材４１の蓋部４１ａの内部に収納されている。除染液槽４２ａは、作業用グローブ１１の内面１１ｂを除染するための除染液を貯留している。なお、本第３実施形態においては、上記第１実施形態と同様に除染液としてエタノール又は２−プロパノールなどの消毒用アルコールを使用することが好ましい。また、除染液供給配管４２ｂは、接続ポート１０の蓋部４１ａの内部から筒部４１ｂを貫通して、除染液槽４２ａと閉鎖空間１４とを連通している。また、この除染液供給配管４２ｂの閉鎖空間１４側の延端部は、閉鎖空間１４内に除染液供給口４２ｃを開口する。この除染液供給口４２ｃの位置と構造は、上記第１実施形態と同様である。
【００５８】
除染液噴霧手段４３は、圧縮空気発生装置４３ａと圧縮空気供給配管４３ｂとを具備して、これらが接続ポート閉鎖部材４１の蓋部４１ａの内部に収納されている。圧縮空気発生装置４３ａは、本第３実施形態が必要とする圧縮空気を供給できるものであれば特に限定するものではないが、内面除染装置４０が一体型の装置であることから、本第３実施形態においては小型の送風ファンを使用する。また、圧縮空気供給配管４３ｂは、接続ポート１０の蓋部４１ａの内部から筒部４１ｂを貫通して、圧縮空気発生装置４３ａと閉鎖空間１４とを連通している。また、この圧縮空気供給配管４３ｂの閉鎖空間１４側の延端部は、閉鎖空間１４内に空気吐出口４３ｃを開口する。この空気吐出口４３ｃの位置と構造は、上記第１実施形態と同様であり、上記除染液供給口４２ｃとの組み合わせによりベンチュリ効果を構成する。
【００５９】
具体的には、空気吐出口４３ｃから吐出される高速の圧縮空気が除染液供給口４２ｃの上部に吹き付けられる。その結果、この部分にベンチュリ効果による負圧が発生して、除染液供給口４２ｃから除染液が吸い上げられる。この除染液供給口４２ｃから吸い上げられた除染液は、高速で吐出される圧縮空気に乗って作業用グローブ１１の内面１１ｂを基端部（上腕部）１２から先端の指部１１ｃまでの全面に向けて霧状に噴射される（図５の１５）。このことにより、最も無菌環境を維持し辛い作業用グローブ１１の内面１１ｂの各部位に除染液が噴霧され、接続ポート１０に装着した状態の作業用グローブ１１の内面１１ｂが容易に除染される。
【００６０】
ここで、閉鎖空間１４に噴射される除染液の量は、除染される作業用グローブ１１の容量と内面１１ｂの面積などにより異なる。また、空気吐出口２３ｃから吐出される圧縮空気の吐出圧及び空気流量は、作業用グローブ１１の容量と長さなどにより異なる。本第３実施形態においても、上記第１実施形態と同様に除染液をエタノールとした場合には、除染液の噴霧量を０．２０〜０．９５μＬ／ｃｍ２の範囲内とすることが好ましい。なお、本第３実施形態に係る内面除染装置３０による除染操作については、基本的に上記第１実施形態と同様であり、ここでは説明を省略する。
【００６１】
以上のことから、本第３実施形態に係る内面除染装置４０においても、アイソレーター装置などの外部環境側において最も無菌環境を維持し辛い作業用グローブなどの内面をアイソレーター装置などに装着した状態で容易に除染することができる。
【００６２】
《第４実施形態》
本第４実施形態に係る内面除染装置は、上記第１実施形態と同様にクリーンルームに配設されたアイソレーター装置の作業用グローブに取り付けられている。図６は、本第４実施形態に係る内面除染装置を作業用グローブに取り付けた状態を側面から見た断面図である。なお、図６においては、無菌環境（グレードＢ）を維持したクリーンルーム（図示しない）、高度の無菌環境（グレードＡ）を維持したアイソレーター装置（図示しない）のチャンバー１、チャンバー１のガラス窓２に開口した円形の作業用開口部３、作業用開口部３に取り付けられた接続ポート１０、及び、接続ポート１０に装着された合成樹脂製の作業用グローブ１１については、上記図１と同様である。
【００６３】
図６において、本第４実施形態に係る内面除染装置５０は、上記第１実施形態と同様の接続ポート閉鎖部材５１と除染液供給手段５２と除染液噴霧手段５３とを有すると共に、データ発信機能付き内部圧力センサー５４（以下「圧力センサー５４」という）と制御装置（図示しない）とを有して作業用グローブのリーク検査の機能をも併せ持つ。
【００６４】
接続ポート閉鎖部材５１は、作業用開口部３に取り付けられた接続ポート１０の内周開口部を気密的に封鎖する蓋体であって、当該内周開口部を外部環境側から封鎖する蓋部５１ａ、接続ポート１０の内周側部に挿入される筒部５１ｂ、及び、接続ポート１０の内周側部と筒部５１ｂの外周側部とを気密的に密閉するパッキン５１ｃとを具備している。この接続ポート閉鎖部材５１が接続ポート１０の内周開口部を気密的に封鎖することにより、作業用グローブ１１の内面１１ｂと接続ポート閉鎖部材５１の筒部５１ｂとで囲まれた部分が外部環境から気密的に閉鎖された閉鎖空間１４を構成する。
【００６５】
除染液供給手段５２は、除染液槽５２ａと除染液供給配管５２ｂとを具備している。除染液槽５２ａは、作業用グローブ１１の内面１１ｂを除染するための除染液を貯留している。なお、本第４実施形態においては、上記第１実施形態と同様に除染液としてエタノール又は２−プロパノールなどの消毒用アルコールを使用することが好ましい。また、除染液供給配管５２ｂは、接続ポート１０の蓋部５１ａ及び筒部５１ｂを貫通して、除染液槽５２ａと閉鎖空間１４とを連通している。また、この除染液供給配管５２ｂの閉鎖空間１４側の延端部は、閉鎖空間１４内に除染液供給口５２ｃを開口する。この除染液供給口５２ｃの位置と構造は、上記第１実施形態と同様である。
【００６６】
除染液噴霧手段５３は、圧縮空気発生装置５３ａと圧縮空気供給配管５３ｂとを具備している。圧縮空気発生装置５３ａは、本第４実施形態が必要とする圧縮空気を供給できるものであれば特に限定するものではなく、本第４実施形態においては上記第１実施形態と同様にコンプレッサーを使用する。また、圧縮空気供給配管５３ｂは、接続ポート１０の蓋部４１ａ及び筒部４１ｂを貫通して、圧縮空気発生装置５３ａと閉鎖空間１４とを連通している。また、この圧縮空気供給配管５３ｂの閉鎖空間１４側の延端部は、閉鎖空間１４内に空気吐出口５３ｃを開口する。この空気吐出口５３ｃの位置と構造は、上記第１実施形態と同様であり、上記除染液供給口５２ｃとの組み合わせによりベンチュリ効果を構成する。
【００６７】
具体的には、空気吐出口５３ｃから吐出される高速の圧縮空気が除染液供給口５２ｃの上部に吹き付けられる。その結果、この部分にベンチュリ効果による負圧が発生して、除染液供給口５２ｃから除染液が吸い上げられる。この除染液供給口５２ｃから吸い上げられた除染液は、高速で吐出される圧縮空気に乗って作業用グローブ１１の内面１１ｂを基端部（上腕部）１２から先端の指部１１ｃまでの全面に向けて霧状に噴射される（図６の１５）。このことにより、最も無菌環境を維持し辛い作業用グローブ１１の内面１１ｂの各部位に除染液が噴霧され、接続ポート１０に装着した状態の作業用グローブ１１の内面１１ｂが容易に除染される。
【００６８】
ここで、閉鎖空間１４に噴射される除染液の量は、除染される作業用グローブ１１の容量と内面１１ｂの面積などにより異なる。また、空気吐出口２３ｃから吐出される圧縮空気の吐出圧及び空気流量は、作業用グローブ１１の容量と長さなどにより異なる。本第４実施形態においても、上記第１実施形態と同様に除染液をエタノールとした場合には、除染液の噴霧量を０．２０〜０．９５μＬ／ｃｍ２の範囲内とすることが好ましい。
【００６９】
ここで、本第４実施形態に係る内面除染装置５０の特徴である作業用グローブのリーク検査の機能について説明する。作業用グローブやハーフスーツ自体或いはその装着部分の気密性を管理するためのリーク検査は、上記特許文献１において説明したように一般的に行われている。本第４実施形態の内面除染装置５０においては、リーク検査の機能を接続ポート閉鎖部材５１、圧力センサー５４、制御装置（図示しない）、及び、除染液噴霧手段５３が有する圧縮空気発生装置５３ａと圧縮空気供給配管５３ｂにより操作することができる。
【００７０】
図６において、圧力センサー５４は、接続ポート閉鎖部材５１の蓋部５１ａ及び筒部５１ｂの内部に収納されている。閉鎖空間１４の内部側には、その圧力変化を測定する圧力センサー部５４ａを有し、外部環境側には、測定した圧力変化を制御装置に発信するアンテナ部５４ｂを有している。
【００７１】
このような構成において、接続ポート閉鎖部材５１で密閉された閉鎖空間１４の内部に圧縮空気発生装置５３ａから圧縮空気供給配管５３ｂを介して圧縮空気を供給する。このとき、除染液の供給は停止している。閉鎖空間１４の内部が所定の圧力（例えば、３ｋＰａ）になった時点で、圧縮空気の供給を停止する。その後、所定の時間、閉鎖空間１４の内部の圧力の変化を圧力センサー部５４ａで検知し、そのデータをアンテナ部５４ｂから制御装置（図示しない）に送信する。このとき、所定時間内の圧力低下が設定値よりも大きい場合には、作業用グローブ自体或いはその装着部分の気密性が破綻していることが分かる。なお、本第４実施形態に係る内面除染装置５０においては、リーク検査と除染操作は別操作として行うことが好ましい。
【００７２】
ここで、本第４実施形態に係る内面除染装置５０による除染操作について説明する。図７は、本第４実施形態に係る内面除染装置５０の操作を説明する工程図である（各部位の記号は図６参照）。図７（１）は、作業用グローブ１１が装着された接続ポート１０に内面除染装置５０を取り付け、閉鎖空間１４のリーク検査（上述の操作）が終了した状態を示している。リーク検査においてリークが発見されなかった場合には、閉鎖空間１４の内圧はリーク検査の圧力或いは若干の低下に留まっており、作業用グローブ１１は大きく膨張した状態にある。
【００７３】
次に、この図７（１）の状態において、閉鎖空間１４の内部の空気を一部抜いて内圧を低下させる。これは、続く除染液の噴霧がスムーズに行われるための操作であるが、圧縮空気の吐出圧が大きい場合には必要とされない。閉鎖空間１４の内部の空気を一部抜いた場合には、閉鎖空間１４の内圧が低下して、図７（２）に示すように作業用グローブ１１が若干萎む。しかし、この状態においても、作業用グローブ１１は、図示左方向に立ち上がり先端の指部１１ｃの内面１１ｂには接触する部分は生じていない。
【００７４】
次に、この図７（３）の状態において、閉鎖空間１４の内部に圧縮空気発生装置５３ａから圧縮空気を供給しながら、除染液供給配管５２ｂの供給栓（図示せず）を開放する。このことにより、除染液槽５２ａから除染液供給配管５２ｂを介して閉鎖空間１４の内部に除染液が供給される。除染液の供給は、上述のベンチュリ効果によるものであって、供給された除染液は霧状となって作業用グローブ１１の内面１１ｂに噴霧される。
【００７５】
閉鎖空間１４の内部に圧縮空気と共に除染液が供給され、霧状となって噴霧されることにより、図７（４）に示すように作業用グローブ１１が再度膨張する。この状態においては、作業用グローブ１１は、大きく膨張し図示左方向に水平に維持され作業用グローブ１１の基端部（上腕部）１２から先端の指部１１ｃの内面１１ｂまでの全面に亘り霧状の除染液が噴射される。この状態を所定時間継続することにより、作業用グローブ１１の内面１１ｂの除染に必要な除染液が均一に供給される。
【００７６】
次に、除染液供給配管５２ｂの供給栓（図示せず）を閉鎖し、圧縮空気発生装置５３ａからの圧縮空気の供給を停止する。その後、内面除染装置５０を接続ポート１０から取り外し、作業用グローブ１１の内面１１ｂの除染が完了する。
【００７７】
以上のことから、本第４実施形態に係る内面除染装置５０においては、アイソレーター装置などの外部環境側において最も無菌環境を維持し辛い作業用グローブなどの内面をアイソレーター装置などに装着した状態で容易に除染することができる。
【００７８】
なお、本発明の実施にあたり、上記各実施形態に限らず、次のような種々の変形例が挙げられる。
（１）上記各実施形態においては、接続ポートに装着した作業用グローブの内面を装着した状態で除染するものであるが、これに限定するものではなく、接続ポートに装着したハーフスーツの内面を装着した状態で除染するようにしてもよい。
（２）上記各実施形態においては、アイソレーター装置の接続ポートに装着した作業用グローブの内面を装着した状態で除染するものであるが、これに限定するものではなく、ＲＡＢＳ（アクセス制限バリアシステム）の壁面の接続ポートに装着した作業用グローブやハーフスーツの内面を装着した状態で除染するようにしてもよい。
（３）上記各実施形態においては、除染液としてエタノールを使用し、その適正噴霧量についても説明したが、これに限定するものではなく、２−プロパノールその他の除染液を使用し、当該除染液に適する量を噴霧するようにしてもよい。
（４）上記第３実施形態に係る一体型の内面除染装置は、噴霧機構として第１実施形態と同じベンチュリ効果を採用するものであるが、これに限定するものではなく、第２実施形態と同じ噴射ノズルを採用するようにしてもよい。
（５）上記第４実施形態に係るリーク検査機能を有する内面除染装置は、噴霧機構として第１実施形態と同じベンチュリ効果を採用するものであるが、これに限定するものではなく、第２実施形態と同じ噴射ノズルを採用するようにしてもよい。
（６）上記第４実施形態に係るリーク検査機能を有する内面除染装置は、第１実施形態と同じく除染液供給手段と除染液噴射手段を接続ポート閉鎖部材の外部に有するものであるが、これに限定するものではなく、第３実施形態と同じ一体型としたリーク検査機能を有する内面除染装置としてもよい。
【符号の説明】
【００７９】
１…チャンバー、２…ガラス窓、３…作業用開口部、１０…接続ポート、
１１…作業用グローブ、１１ａ…外表面、１１ｂ…内面、１１ｃ…指部、
１２…基端部（上腕部）、１３…オーリング、１４…閉鎖空間、１５…霧状の噴射、
２０、３０、４０、５０…内面除染装置、
２１、３１、４１、５１…接続ポート閉鎖部材、
２１ａ、３１ａ、４１ａ、５１ａ…蓋部、
２１ｂ、３１ｂ、４１ｂ、５１ｂ…筒部、
２１ｃ、３１ｃ、４１ｃ、５１ｃ…パッキン、
２２、３２、４２、５２…除染液供給手段、
２２ａ、３２ａ、４２ａ、５２ａ…除染液槽、
２２ｂ、３２ｂ、４２ｂ、５２ｂ…除染液供給配管、
２２ｃ、３２ｃ、４２ｃ、５２ｃ…除染液供給口、
２３、３３、４３、５３…除染液噴霧手段、
２３ａ、３３ａ、４３ａ、５３ａ…圧縮空気発生装置、
２３ｂ、３３ｂ、４３ｂ、５３ｂ…圧縮空気供給配管、
２３ｃ、４３ｃ、５３ｃ…空気吐出口、３３ｃ…噴射ノズル、
５４…圧力センサー、５４ａ…センサー部、５４ｂ…アンテナ部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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