(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素を含有するガスが流入する流入口（２１０）と、
該流入口から流入した上記ガスが流出する流出口（２２０）と、
上記流入口と上記流出口との間の内部空間（５）において、互いに対向するよう配された、対をなす電極導体（３）と、
該対をなす電極導体のそれぞれに密着するよう配された、対をなす誘電体（４）と、を有し、
該対をなす誘電体は、互いの間に放電空間（６）を設けた状態で対向配置されており、
上記電極導体は、上記誘電体から上記内部空間に露出した露出面（７）を有し、
上記電極導体は、上記誘電体における上記放電空間と反対側の面に配されており、
上記露出面は、上記放電空間を流れる上記ガスの流通方向を向いており、
上記誘電体は、上記電極導体における上記露出面よりも、上記放電空間を流れる上記ガスの流通方向に突出した突出部（４１）を有する、オゾン発生装置（１）。
【請求項２】
上記電極導体は、上記放電空間を流れる上記ガスの流通方向の上流側を向いた上記露出面である上流側露出面（７１）を有し、上記誘電体は、上記上流側露出面よりも上記流通方向の上流側へ突出した上記突出部である上流側突出部（４１１）を有する、請求項１に記載のオゾン発生装置。
【請求項３】
酸素を含有するガスが流入する流入口（２１０）と、
該流入口から流入した上記ガスが流出する流出口（２２０）と、
上記流入口と上記流出口との間の内部空間（５）において、互いに対向するよう配された、対をなす電極導体（３）と、
該対をなす電極導体のそれぞれに密着するよう配された、対をなす誘電体（４）と、を有し、
該対をなす誘電体は、互いの間に放電空間（６）を設けた状態で対向配置されており、
上記電極導体は、上記誘電体から上記内部空間に露出した露出面（７）を有し、
上記放電空間は、複数、互いに並列配置されており、
高電圧が印加される上記電極導体である高圧電極導体（３１）と、接地された上記電極導体である接地電極導体（３２）とが対をなしており、
複数の上記電極導体は、複数の上記放電空間の並び方向に並んで配されており、
複数の上記電極導体のうち、その並び方向における両端に配置された上記電極導体は、上記接地電極導体である、オゾン発生装置（１）。
【請求項４】
上記電極導体は、上記誘電体における上記放電空間と反対側の面に配されている、請求項３に記載のオゾン発生装置。
【請求項５】
上記露出面は、上記放電空間を流れる上記ガスの流通方向を向いており、上記誘電体は、上記電極導体における上記露出面よりも、上記放電空間を流れる上記ガスの流通方向に突出した突出部（４１）を有する、請求項４に記載のオゾン発生装置。
【請求項６】
偶数の上記放電空間が、並列配置されている、請求項３〜５のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。
【請求項７】
上記電極導体は、上記放電空間を流れる上記ガスの流通方向（Ｘ）の上流側を向いた上記露出面である上流側露出面（７１）を有する、請求項１、３〜６のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。
【請求項８】
上記放電空間の厚さをｔ、上記放電空間の幅をｗとしたとき、ｔに対するｗの比であるα＝ｗ／ｔは、１００以上である、請求項１〜７のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。
【請求項９】
上記電極導体及び上記誘電体は、耐オゾン性を有する材料からなる、請求項１〜８のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体バリア放電によってオゾンを発生させるオゾン発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、一方向に配列された複数の誘電体と、各誘電体の内部に埋設された導電体とを有するプラズマ発生装置が記載されている。該プラズマ発生装置は、隣り合う導電体の間に電圧を印加することで、誘電体間に形成された放電空間に誘電体バリア放電を生じさせる。そして、特許文献１において、上記プラズマ発生装置は、排ガス中のＮＯｘ等の有害物質を浄化するための反応装置として用いることができる旨記載されている。該反応装置は、誘電体バリア放電が生じている上記放電空間に、内燃機関の排気ガスを導入することにより、排ガス中のＮＯｘ等の有害物質を化学変化させて浄化している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２３８４８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、オゾンを発生させるために上記反応装置を用いたときに、以下の課題が生じる。
上記反応装置は、導電体を誘電体内に埋設している。そのため、電極の熱が誘電体内にこもりやすく放熱されにくい。これに伴い、誘電体の熱は、導電体側へは放熱されにくい。そのため、誘電体の放熱効率が悪く、誘電体が高温化しやすくなるおそれがある。そして、誘電体は放電空間に曝されているため、誘電体が高温化すると放電空間における誘電体付近も高温化する。それゆえ、上記反応装置を、オゾンの生成に用いたとき、上記放電空間における誘電体付近に生じたオゾンの熱分解が促進されやすくなることが考えられる。その結果、オゾンの生成効率が低下するおそれがある。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、誘電体の放熱性を向上させることで、オゾンの生成効率を向上することができるオゾン発生装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、酸素を含有するガスが流入する流入口（２１０）と、
該流入口から流入した上記ガスが流出する流出口（２２０）と、
上記流入口と上記流出口との間の内部空間（５）において、互いに対向するよう配された、対をなす電極導体（３）と、
該対をなす電極導体のそれぞれに密着するよう配された、対をなす誘電体（４）と、を有し、
該対をなす誘電体は、互いの間に放電空間（６）を設けた状態で対向配置されており、
上記電極導体は、上記誘電体から上記内部空間に露出した露出面（７）を有し、
上記電極導体は、上記誘電体における上記放電空間と反対側の面に配されており、
上記露出面は、上記放電空間を流れる上記ガスの流通方向を向いており、
上記誘電体は、上記電極導体における上記露出面よりも、上記放電空間を流れる上記ガスの流通方向に突出した突出部（４１）を有する、オゾン発生装置（１）にある。
また、本発明の他の態様は、酸素を含有するガスが流入する流入口（２１０）と、
該流入口から流入した上記ガスが流出する流出口（２２０）と、
上記流入口と上記流出口との間の内部空間（５）において、互いに対向するよう配された、対をなす電極導体（３）と、
該対をなす電極導体のそれぞれに密着するよう配された、対をなす誘電体（４）と、を有し、
該対をなす誘電体は、互いの間に放電空間（６）を設けた状態で対向配置されており、
上記電極導体は、上記誘電体から上記内部空間に露出した露出面（７）を有し、
上記放電空間は、複数、互いに並列配置されており、
高電圧が印加される上記電極導体である高圧電極導体（３１）と、接地された上記電極導体である接地電極導体（３２）とが対をなしており、
複数の上記電極導体は、複数の上記放電空間の並び方向に並んで配されており、
複数の上記電極導体のうち、その並び方向における両端に配置された上記電極導体は、上記接地電極導体である、オゾン発生装置（１）にある。
【発明の効果】
【０００７】
上記オゾン発生装置においては、対をなす誘電体が、対をなす電極導体のそれぞれに密着するよう配されている。それゆえ、誘電体の熱を電極導体へ伝達させやすい。そして、電極導体は、上記露出面を有する。これにより、誘電体から電極導体へ伝達された熱を、ガスへ放熱しやすくすることができる。すなわち、上記オゾン発生装置においては、誘電体の熱を、電極導体を介してガスへ放熱しやすくすることができる。それゆえ、上記オゾン発生装置においては、誘電体の熱を、放電空間側から放熱しやすいことはもとより、電極導体側からも放熱しやすい。これにより、誘電体の放熱性の向上を図ることができる。これに伴い、放電空間における誘電体付近が高温化することを抑制することができ、オゾンの生成効率を向上させることができる。
【０００８】
以上のごとく、上記態様によれば、誘電体の放熱性を向上させることで、オゾンの生成効率を向上することができるオゾン発生装置を提供することができる。
なお、特許請求の範囲及び課題を解決する手段に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであり、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態１における、オゾン発生装置の上面図。
【図２】図１の、II−II線矢視断面図。
【図３】図２の、露出面付近の拡大図。
【図４】図１の、IV−IV線矢視断面図。
【図５】実施形態１における、オゾン発生装置の一部断面斜視図。
【図６】実験例における、比αと変動係数Ｃｖとの関係を示した線図。
【図７】実験例における、比αとオゾン生成効率との関係を示した線図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（実施形態１）
オゾン発生装置の実施形態に係る実施形態について、図１〜図５を参照して説明する。
本実施形態のオゾン発生装置１は、図２、図５に示すごとく、酸素を含有するガスが流入する流入口２１０と、流入口２１０から流入したガスが流出する流出口２２０と、対をなす電極導体３と、対をなす誘電体４とを有する。対をなす電極導体３は、流入口２１０と流出口２２０との間の内部空間５において、互いに対向するよう配されている。対をなす誘電体４は、対をなす電極導体３のそれぞれに密着するよう配されている。対をなす誘電体４は、互いの間に放電空間６を設けた状態で対向配置されている。図２、図３、図５に示すごとく、電極導体３は、誘電体４から内部空間５に露出した露出面７を有する。
【００１１】
オゾン発生装置１は、内燃機関の排気を浄化するために用いるものとすることができる。オゾン発生装置１は、放電空間６に、酸素を含有する大気等のガスを流通させながら、対をなす電極導体３の間に高周波の交流電圧を印加して放電空間６に誘電体バリア放電を発生させる。これにより、オゾン発生装置１は、放電空間６を流れるガスからオゾンを生成する。そして、発生したオゾンによって、排ガス中のＮＯｘ等の有害物質を化学変化させて、排ガスを浄化する。
【００１２】
なお、以下において、放電空間６を流れるガスの流通方向を、単に流通方向Ｘという。また、対をなす誘電体４の対向方向を、単に対向方向Ｚという。また、流通方向Ｘと対向方向Ｚとの双方に直交する方向を横方向Ｙという。また、単に上流側、下流側といったときは、放電空間６を流れるガスの上流側、下流側を意味しているものとする。特に本実施形態においては、流入口２１０と流出口２２０とを結ぶ直線に平行な方向が、流通方向Ｘとなる。そして、流通方向Ｘにおいて、流入口２１０側が上流側、流出口２２０側が下流側となる。
【００１３】
図１、図２、図５に示すごとく、オゾン発生装置１は、本体部２とガス導入部２１とガス導出部２２とを備える。本体部２は、電極導体３、誘電体４、及びこれらを保持する後述する樹脂部２０を備えている。また、本体部２内に、放電空間６が形成されている。本体部２の上流側にガス導入部２１が接続されている。ガス導入部２１は、流入口２１０を備える。本体部２の下流側にガス導出部２２が接続されている。ガス導出部２２は、流出口２２０を備える。
【００１４】
図２、図４に示すごとく、本体部２は、互いに並列配置された複数の放電空間６を有する。本実施形態においては、偶数の放電空間６が、並列配置されている。図４に示すごとく、高電圧が印加される電極導体３である高圧電極導体３１と、接地された電極導体３である接地電極導体３２とが対をなしている。複数の電極導体３は、複数の放電空間６の並び方向に並んで配されている。複数の電極導体３のうち、その並び方向における両端に配置された電極導体３は、接地電極導体３２である。
【００１５】
図２、図４に示すごとく、本実施形態において、本体部２は、対向方向Ｚに並列配置された２つの放電空間６を有する。そして、各放電空間６における対向方向Ｚの両側に、対をなす誘電体４及び対をなす電極導体３が配されている。すなわち、本実施形態において、本体部２は、２対の電極導体３及び２対の誘電体４を有する。
【００１６】
また、本実施形態において、本体部２は、対向方向Ｚに並列配置された３つの電極導体３を有する。図１〜図５に示すごとく、各電極導体３は、対向方向Ｚに厚みを有する矩形板状を呈している。図２〜図４に示すごとく、対をなす電極導体３は、それぞれ、互いに対向方向Ｚに対向した対向面３０を有する。
【００１７】
図４に示すごとく、３つの電極導体３のうち、対向方向Ｚの中央に配された電極導体３が高圧電極導体３１であり、対向方向Ｚの両端に配された電極導体３が接地電極導体３２である。高圧電極導体３１は、一方の接地電極導体３２と対をなすと共に、他方の接地電極導体３２とも対をなしている。高圧電極導体３１には、交流電源１０が電気的に接続されている。高圧電極導体３１は、横方向Ｙに引き出された引出部１２を有し、この引出部１２を介して交流電源１０に電気的に接続されている。また、接地電極導体３２は、接地されている。
【００１８】
各電極導体３の対向面３０に、誘電体４が配されている。つまり、電極導体３は、誘電体４における放電空間６と反対側の面に配されている。誘電体４は、矩形シート状を呈している。そして、誘電体４は、電極導体３の対向面３０の全面に面接触している。誘電体４は、例えば、熱伝導性を有する接着材によって、電極導体３の対向面３０に密着している。これにより、誘電体４と電極導体３とは、熱的に接触している。
【００１９】
誘電体４は、３つの電極導体３の対向面３０のそれぞれに配されている。すなわち、誘電体４は、２つの接地電極導体３２の各対向面３０と、高圧電極導体３１における対向方向Ｚの両側の対向面３０とに配されている。
【００２０】
図２〜図４に示すごとく、対をなす誘電体４の間における、横方向Ｙの両端部には、スペーサ１１が配されている。これにより、対をなす誘電体４間の間隔が確保されている。図２に示すごとく、スペーサ１１は、流通方向Ｘにおいて、電極導体３の対向面３０の一端から他端までの領域にわたって配されている。そして、対をなす誘電体４とスペーサ１１との間に放電空間６が形成されている。本実施形態において、放電空間６は、対向方向Ｚに薄い直方体形状を有する。２つの放電空間６は、互いに同じ外形を呈している。
【００２１】
図２、図４、図５に示すごとく、本体部２の樹脂部２０は、互いに対向方向Ｚに対向する一対の底壁部２０１と、底壁部２０１における横方向Ｙの端部同士を連結するとともに、互いに横方向Ｙに対向する一対の側壁部２０２とを有する。樹脂部２０は、流通方向Ｘから見たときの形状が、横方向Ｙに長尺の矩形環状である。なお、樹脂部２０は、例えば、対向方向Ｚに２分割された部品を、互いの間をシールしつつ組み付けることにより構成することもできる。
【００２２】
樹脂部２０は、各底壁部２０１の中央部に、対向方向Ｚに貫通した貫通孔２００を有する。そして、各貫通孔２００に、接地電極導体３２が嵌合されている。２つの接地電極導体３２における、放電空間６と反対側の面は、樹脂部２０から外側に向って露出している。また、図示は省略したが、２つの接地電極導体３２と樹脂部２０との間は、シールされている。
【００２３】
図１、図２、図５に示すごとく、ガス導入部２１の流入口２１０は、流通方向Ｘの上流側に向って開口している。また、ガス導入部２１は、流入口２１０から下流側に向かうにつれて流路が拡大する拡大流路部２１１を有する。本実施形態において、ガス導入部２１の拡大流路部２１１は、下流側に向かうにつれて、特に横方向Ｙに流路が拡大するよう形成されている。そして、ガス導入部２１と本体部２とは、ガス導入部２１における下流側の端縁と、樹脂部２０における上流側の端縁とにおいて、互いに接合されている。ガス導入部２１と樹脂部２０とは、互いの間をシールしつつ接合されている。
【００２４】
ガス導入部２１の流入口２１０には、図示しないエアポンプが接続される。また、エアポンプは、図示しない制御部により制御される。制御部は、オゾン発生装置１の内部空間５に流入させるガスの流量を調整できるようエアポンプを制御する。制御部によるエアポンプの制御により、内部空間５のガスの水分残留を抑制しやすくすることができる。
【００２５】
また、ガス導出部２２の流出口２２０は、流通方向Ｘの下流側に向って開口している。また、ガス導出部２２は、下流側に向かうにつれて流路が縮小する縮小流路部２２１を有する。本実施形態において、縮小流路部２２１は、下流側に向かうにつれて、特に横方向Ｙに流路が拡大するよう形成されている。そして、ガス導出部２２と本体部２とは、ガス導出部２２における上流側の端縁と、樹脂部２０における下流側の端縁とにおいて、互いに接合されている。ガス導出部２２と樹脂部２０とは、互いの間をシールしつつ接合されている。
【００２６】
図２に示すごとく、ガス導入部２１、本体部２、及びガス導出部２２の内側の空間が、内部空間５である。内部空間５は、流入口２１０から流出口２２０まで流通方向Ｘに連通している。流入口２１０から内部空間５に導入されたガスは、横方向Ｙに広がりながら内部空間５の全体に分散されて流され、流出口２２０から排出される。流入口２１０から内部空間５に導入されたガスは、露出面７に当たることによって電極導体３を介した誘電体４の放熱に用いられるとともに、放電空間６に流入されてオゾン生成のために用いられる。
【００２７】
図２、図３、図５に示すごとく、電極導体３の露出面７は、内部空間５に直接曝されている。換言すると、露出面７には、誘電体４が配されていない。露出面７は、３つの電極導体３のそれぞれに形成されている。本実施形態において、露出面７は、流通方向Ｘを向いている。図３に示すごとく、電極導体３は、流通方向Ｘの上流側を向いた露出面７である上流側露出面７１を有する。上流側露出面７１は、電極導体３における上流側の端面に形成されている。また、図２に示すごとく、電極導体３は、流通方向Ｘの下流側を向いた露出面７である下流側露出面７２を、さらに有する。下流側露出面７２は、電極導体３における流通方向Ｘの下流側の端面に形成されている。
【００２８】
図２、図３、図５に示すごとく、誘電体４は、電極導体３における露出面７よりも流通方向Ｘに突出した突出部４１を有する。本実施形態においては、対向方向Ｚにおける接地電極導体３２の両面に配された２つの誘電体４が、突出部４１を有する。突出部４１は、露出面７よりも、流通方向Ｘにおける電極導体３の外側にはみ出している。図３に示すごとく、誘電体４は、上流側露出面７１よりも流通方向Ｘの上流側へ突出した突出部４１である上流側突出部４１１を有する。すなわち、上流側突出部４１１は、上流側露出面７１よりも上流側にはみ出している。また、図２に示すごとく、誘電体４は、下流側露出面７２よりも下流側へ突出した突出部４１である下流側突出部４１２をさらに有する。接地電極導体３２の両面に配された２つの誘電体４は、互いに上流側突出部４１１の突出量が同じとなっているとともに、互いに下流側突出部４１２の突出量が同じとなっている。
【００２９】
電極導体３及び誘電体４は、耐オゾン性を有する材料からなる。例えば、電極導体３は、耐オゾン性を有する材料であるアルミニウム、銅等からなる。また、誘電体４は、耐オゾン性を有する材料であるアルミナ、ジルコニア、チタニア等からなる。
【００３０】
次に、本実施形態の作用効果につき説明する。
オゾン発生装置１においては、対をなす誘電体４が、対をなす電極導体３のそれぞれに密着するよう配されている。それゆえ、誘電体４の熱を電極導体３へ伝達させやすい。そして、電極導体３は、露出面７を有する。これにより、誘電体４から電極導体３へ伝達された熱を、流入口２１０から内部空間５に流入されたガスへ放熱しやすくすることができる。すなわち、オゾン発生装置１においては、誘電体４の熱を、電極導体３を介してガスへ放熱しやすくすることができる。それゆえ、オゾン発生装置１においては、誘電体４の熱を、放電空間６側から放熱しやすいことはもとより、電極導体３側からも放熱しやすい。これにより、誘電体４の放熱性の向上を図ることができる。これに伴い、放電空間６における誘電体４付近が高温化することを抑制することができ、オゾンの生成効率を向上させることができる。
【００３１】
また、電極導体３は、上流側露出面７１を有する。そのため、流入口２１０から流入されたガスは、直接電極導体３に当たることとなる。それゆえ、電極導体３からガスへの放熱性を一層向上させることができる。これに伴い、誘電体４の熱を、電極導体３側から一層放熱しやすくすることができる。その結果、誘電体４の放熱性を一層向上させることができる。
【００３２】
また、電極導体３は、誘電体４における放電空間６と反対側の面に配されている。それゆえ、電極導体３が、放電空間６に発生したオゾンに直接接触することを抑制しやすい。
【００３３】
また、誘電体４は、電極導体３における露出面７よりも、流通方向Ｘに突出した突出部４１を有する。それゆえ、放電空間６と露出面７との絶縁距離を稼ぐことができる。そのため、放電空間６に発生した放電が、露出面７に達することを防ぐことができる。それゆえ、電気的信頼性の高いオゾン発生装置１を得ることができる。
【００３４】
また、誘電体４は、上流側突出部４１１を有する。それゆえ、内部空間５における、露出面７付近に流入されたガスの流れを、上流側突出部４１１によって乱すことができる。これにより、露出面７付近にガスが滞留し、露出面７付近の温度が上昇してしまうことを防止することができる。その結果、電極導体３からガスへの放熱性を一層向上させることができる。
【００３５】
また、複数の電極導体３のうち、その並び方向における両端に配置された電極導体３は、接地電極導体３２である。つまり、複数の電極導体３は、その並び方向の両端に、高圧電極導体３１が配されていない。そのため、オゾン発生装置１と、その外部との間の電気的絶縁性を確保しやすく、電気的信頼性の高いオゾン発生装置１を得ることができる。
【００３６】
また、電極導体３及び誘電体４は、耐オゾン性を有する材料からなる。それゆえ、電極導体３及び誘電体４のオゾンによる腐食を抑制することができる。
【００３７】
以上のごとく、本実施形態によれば、誘電体の放熱性を向上させることで、オゾンの生成効率を向上することができるオゾン発生装置を提供することができる。
【００３８】
（実験例）
本例は、実施形態１のオゾン発生装置１において、放電空間６の厚さ及び幅を種々変更したときの、放電空間６を流れるガスの流速分布及びオゾン生成効率への影響を、評価した例である。流速分布はシミュレーションによって導出し、オゾン生成効率は実機試験によって導出した。
【００３９】
評価の対象とするオゾン発生装置は、基本構造を実施形態１のオゾン発生装置１と同様としつつ、放電空間６の厚さｔ及び幅ｗを種々変更した１０個の試料１〜試料１０とした。試料１〜試料１０は、互いに、厚さｔと幅ｗとの積である流路断面積を同じくしつつ、厚さｔ及び幅ｗを種々変更している。すなわち、各試料における放電空間６の流路断面積は、１５０ｍｍ2である。ここで、図４に示すごとく、放電空間６の厚さｔは、１つの放電空間６における対向方向Ｚの寸法である。放電空間６の幅ｗは、１つの放電空間６における横方向Ｙの寸法である。
【００４０】
なお、各試料は、いずれも、流通方向Ｘにおける放電空間６の寸法Ｌを、１００ｍｍとした。各試料における、放電空間６の厚さｔ（ｍｍ）、幅ｗ（ｍｍ）、及び、厚さｔに対する幅ｗの比であるα＝ｗ／ｔの値を、以下の表１に示している。
【００４１】
また、流速分布の評価は、次のようにして行う。各試料において、各放電空間６に、流速１５ｍ／ｓの大気を流した場合を想定した。そして、各放電空間６における９９箇所の測定点において流速を求めた。そして、９９箇所の測定点は、各放電空間６において、対向方向Ｚの中央位置に、流通方向Ｘに等間隔に１１行、横方向Ｙに等間隔に９列の格子の格子点の位置となるよう設定した。そして、各測定点で測定した流速の値から、これらの平均値μ及び標準偏差σを算出し、変動係数Ｃｖ＝σ／μを求めた。変動係数Ｃｖは、放電空間６における各測定点の流速のばらつきを評価する指標である。変動係数Ｃｖの値が小さいほど、放電空間６を流れるガスの流速分布が均一であるといえる。
【００４２】
また、オゾン生成効率の実機試験においては、最大電圧２０ｋＶの交流電圧を、最大周波数２３ｋＨｚで印加した。そして、各試料の流出口２２０において、オゾンの濃度（ｇ／Ｎｍ3）を計測し、オゾン生成効率（ｇ／ｋＷｈ）を算出した。表１、図６、図７に、結果を示す。
【００４３】
【表１】
0006589666.tif 000002
【００４４】
表１、及び、図６から、比α＝ｗ／ｔを、１００以上とすると、変動係数Ｃｖが大幅に小さくなることが分かる。すなわち、比αを１００以上とすることにより、放電空間６を流れるガスの流速分布を均一化することができる。それゆえ、比αを１００以上とすると、放電空間６内におけるガスの流れにムラが生じることを抑制できる。その結果、比αを１００以上とすることにより、放電空間６の高温化を一層抑制することができる。また、比αを１００以上とすることにより、変動係数Ｃｖを０．２以下とすることができることが分かる。そして、表１、及び、図７から、比αを１００以上として変動係数Ｃｖを０．２以下とすることにより、オゾン生成効率を大幅に増加させることができることが分かる。また、比αの上限は、オゾン発生装置１の大型化及び流通抵抗の抑制の観点から、例えば２００とすることが好ましい。
【００４５】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の実施形態に適用することが可能である。例えば、上記実施形態において、電極導体、誘電体は、それぞれ２対ずつ有するオゾン発生装置の例を示したが、例えば、電極導体、誘電体を、それぞれ１対ずつ有するものであっても良いし、３対以上ずつ有するものであっても良い。
【符号の説明】
【００４６】
１  オゾン発生装置
２１０  流入口
２２０  流出口
３  電極導体
４  誘電体
５  内部空間
６  放電空間
７  露出面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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