(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドレッサーツールを使用して切削ブレードの先端を所望の形状に成形する切削ブレードの先端形状成形方法であって、
該ドレッサーツールには、該所望の形状の反転形状の溝が形成されており、
該ドレッサーツールをチャックテーブルで吸引保持する保持ステップと、
該切削ブレードを高速回転させながら該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールの溝に切り込ませ、該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールとを相対的に移動させることによって、該切削ブレードの先端に該溝の形状に対応する凸部を形成する成形ステップと、
を備えたことを特徴とする切削ブレードの先端形状成形方法。
【請求項２】
ドレッサーツールを使用して切削ブレードの先端を所望の形状に成形する切削ブレードの先端形状成形方法であって、
該ドレッサーツールには、該所望の形状の反転形状の溝が互いに平行に複数形成されており、
該ドレッサーツールをチャックテーブルで吸引保持する保持ステップと、
該切削ブレードを高速回転させながら該溝の深さより浅い切り込み深さで該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールの第１の溝に切り込ませ、該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールとを相対的に移動させることによって、該切削ブレードの先端形状を修正する修正ステップと、
該第１の溝と異なる第２の溝に該切削ブレードを該切り込み深さで切り込ませ、該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールとを相対的に移動させることによって、該切削ブレードの先端形状を再修正する再修正ステップと、を備え、
切り込ませる溝を変えて該再修正ステップを複数回繰り返すことにより、該切削ブレードの先端に該溝の形状に対応する凸部を形成することを特徴とする切削ブレードの先端形状成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードの先端形状を所望の形状に成形するドレッサーツール及び該ドレッサーツールを使用した切削ブレードの先端形状成形方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが格子状に形成された分割予定ラインによって区画されて表面に形成されたシリコンウェーハ（以下、単にウェーハと称することがある）は、裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割されたデバイスチップは携帯電話、パソコン等の各種電子機器に広く利用されている。
【０００３】
ウェーハを個々のデバイスチップに分割する際には、切削装置に装着された切削ブレードがウェーハを分割予定ラインに沿って切削することにより、ウェーハは個々のデバイスチップに分割される。
【０００４】
近年、電子部品のコストダウンが市場において要求されており、電子部品のコストダウンのための方策の一つとしてウェーハの分割予定ラインの幅を狭くして１枚のウェーハから生産できるデバイスチップの個数を増やす方法が挙げられる。
【０００５】
そのためには、ウェーハを切削する切削ブレードの厚さを薄くしなければならないが、薄くするとブレードの強度が低くなり、切削加工中にブレードの折れ曲がりが発生して切削ブレードが破損してしまうという問題がある。
【０００６】
この問題を解決する技術として、特開２００８−４９４１２号公報には、砥粒径が大きい砥粒を含有したメタルボンドのグリーンシートを中心層とし、砥粒径が小さい砥粒を含有したメタルボンドのグリーンシートを側面層として、中心層の両側に側面層を貼り合せて焼結し、多層構造の切削ブレードを作成し、この多層構造の切削ブレードをドレッサーツールに切り込ませることによって、側面層を機械的に除去して中心層を突出させ、切削ブレードの先端に凸部を形成した凸形状切削ブレードが記載されている。
【０００７】
このような構造を有する切削ブレードによって、実際に加工に寄与するブレード先端の凸部は、刃厚は薄いが、切削ブレード自体が十分な厚さを有しているので、ブレード強度が低下せず、切れ曲がり等を発生させることが防止される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−４９４１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、特許文献１に開示された多層構造の切削ブレードは、異なる特性を有するグリーンシート（砥石）を作成して、これらのグリーンシートを貼り合せて焼結して製造しなければならず、作業性が悪いと共にコストに課題を有している。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削ブレードの先端を容易に所望の形状に成形できるドレッサーツール及び該ドレッサーツールを使用した切削ブレードの先端形状成形方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１記載の発明によると、ドレッサーツールを使用して切削ブレードの先端を所望の形状に成形する切削ブレードの先端形状成形方法であって、該ドレッサーツールには、該所望の形状の反転形状の溝が形成されており、該ドレッサーツールをチャックテーブルで吸引保持する保持ステップと、該切削ブレードを高速回転させながら該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールの溝に切り込ませ、該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールとを相対的に移動させることによって、該切削ブレードの先端に該溝の形状に対応する凸部を形成する成形ステップとを備えた切削ブレードの先端形状成形方法が提供される。
【００１４】
請求項２記載の発明によると、ドレッサーツールを使用して切削ブレードの先端を所望の形状に成形する切削ブレードの先端形状成形方法であって、該ドレッサーツールには、該所望の形状の反転形状の溝が互いに平行に複数形成されており、該ドレッサーツールをチャックテーブルで吸引保持する保持ステップと、該切削ブレードを高速回転させながら該溝の深さより浅い切り込み深さで該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールの第１の溝に切り込ませ、該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールとを相対的に移動させることによって、該切削ブレードの先端形状を修正する修正ステップと、該第１の溝と異なる第２の溝に該切削ブレードを該切り込み深さで切り込ませ、該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールとを相対的に移動させることによって、該切削ブレードの先端形状を再修正する再修正ステップと、を備え、切り込ませる溝を変えて該再修正ステップを複数回繰り返すことにより、該切削ブレードの先端に該溝の形状に対応する凸部を形成することを特徴とする切削ブレードの先端形状成形方法が提供される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のドレッサーツールを使用して切削ブレードをドレッシングすることにより、多層構造の切削ブレードを製作する必要がなく、従来構造の切削ブレードの先端に所望の形状を成形することができ、作業性が向上すると共に切削ブレードの成形コストを低く抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】切削装置の斜視図である。
【図２】切削ブレードのスピンドルへの装着構造を示す分解斜視図である。
【図３】本発明実施形態に係るドレッサーツールの斜視図である。
【図４】ドレッサーツールを外周部が環状フレームに装着されたダイシングテープに貼着する様子を示す斜視図である。
【図５】修正ステップ及び再修正ステップを示す斜視図である。
【図６】修正ステップ及び再修正ステップを説明する側面図である。
【図７】図７（Ａ）は第１実施形態のドレッサーツールにより切削ブレードの先端形状を成形する様子を示す断面図、図７（Ｂ）は成形された切削ブレードの先端形状を示す断面図である。
【図８】図８（Ａ）〜図８（Ｃ）は第１実施形態のドレッサーツールで切削ブレードをドレッシングした後の溝の形状の変化を示す断面図、図８（Ａ１）〜図８（Ｃ１）は図８（Ａ）〜図８（Ｃ）に対応する切削ブレードの先端形状を示す断面図である。
【図９】図９（Ａ）は第２実施形態のドレッサーツールで切削ブレードの先端形状を成形する様子を示す断面図、図９（Ｂ）は成形後の切削ブレード先端の断面図である。
【図１０】図１０（Ａ）は第３実施形態のドレッサーツールで切削ブレードの先端を成形する様子を示す断面図、図１０（Ｂ）は成形後の切削ブレード先端の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、切削装置２の斜視図が示されている。切削装置２は、切削装置２の各構造部分を支持するベース４を示している。ベース４の上方には、ベースを覆う外装カバー６が設けられている。
【００１８】
外装カバー６の内側には空間が形成されており、この空間内に切削ブレード１０を有する切削ユニット８及びチャックテーブル１２等が配置されている。切削ユニット１０は、図示しない切削ユニット移動機構によってＹ軸方向（割り出し送り方向）に移動される。
【００１９】
切削ユニット８の下方には、ウェーハ等の被加工物を保持するチャックテーブル１２が配設されている。チャックテーブル１２は、図示しないチャックテーブル移動機構によってＸ軸方向（加工送り方向）に移動し、回転機構によって鉛直方向（Ｚ軸方向）に平行な回転軸の周りに回転する。
【００２０】
ベース４の前方の角部には、カセットエレベータ１６が配置されている。カセットエレベータ１６の上面には、ウェーハ等の複数の被加工物１１を収容可能なカセット１８が載置される。カセットエレベータ１６は、昇降可能に構成されており、被加工物１１を適切に搬出・搬入できるように、カセット１８の高さを調整する。
【００２１】
外装カバー６の前面６ａには、ユーザーインターフェースとなるタッチパネル式のモニタ１４が配設されている。このモニタ１４は、上述した切削ユニット８、切削ユニット移動機構、チャックテーブル１２、チャックテーブル移動機構、回転機構、カセットエレベータ１６等と共に、切削装置２の各部を制御するコントローラに接続されている。
【００２２】
図２を参照すると、切削ブレード１０をスピンドル２４の先端に固定されたブレードマウント２６に装着する様子を示す分解斜視図が示されている。切削ユニット８は、スピンドルハウジング２０中に回転自在に収容されたスピンドル２４を含んでおり、スピンドル２４の先端部にはブレードマウント２６が装着されてナット３４により固定されている。
【００２３】
ブレードマウント２６は、ボス部２８と、ボス部２８と一体的に形成された固定フランジ３０とから構成されており、ボス部２８の外周には雄ねじ３２が形成されている。固定フランジ３０の外周部には切削ブレード１０に当接して支持する環状の支持面３０ａが形成されている。
【００２４】
ブレードマウント２６のボス部２８に切削ブレード１０の装着穴１０ａを挿入し、更に着脱フランジ３６をボス部２８に挿入して、固定ナット３８をブレードマウント２６のボス部２８に形成された雄ねじ３２に螺合して締め付けることにより、切削ブレード１０は、固定フランジ３０の支持面３０ａと着脱フランジ３６の当接面とで両側から挟まれてスピンドル２４の先端部に装着される。
【００２５】
切削ブレード１０をスピンドル２４の先端部に装着した後、チャックテーブル１２に保持されたドレッサーツール（ドレッサーボード）を高速回転する切削ブレード１０で切削することにより、切削ブレード１０の外周を真円に整形するのが好ましい。
【００２６】
図３を参照すると、本発明実施形態に係るドレッサーツール（ドレッサーボード）４０の斜視図が示されている。このドレッサーツール４０は、切削ブレード１０の先端を所望の形状に成形するドレッサーツールであって、その表面４０ａに所望の形状の反転形状の溝４２が互いに平行に複数形成されていることを特徴とする。各溝４２の深さは同一であるのが好ましい。
【００２７】
ドレッサーツール４０は、ダイヤモンド、ＣＢＮ（Ｃｕｂｉｃ  Ｂｏｒｏｎ  Ｎｉｔｒｉｄｅ）等の超砥粒や、ＷＡ（Ｗｈｉｔｅ  Ａｌｕｎｄｕｍ）、ＧＣ（Ｇｒｅｅｎ  Ｃａｒｂｏｒｕｎｄｕｍ）等の一般砥粒をメタルボンド、ビトリファイドボンド、レジンボンド等でシート状に固めてグリーンシートを形成し、このグリーンシートを焼結した後、硬くて丈夫な切り刃を有する切削ブレードで表面４０ａを所定深さ切削することにより製造される。
【００２８】
このような切削ブレードの一例として、円盤状のＳＵＳプレート（ステンレス鋼板）の外周部先端にダイヤモンド等の超砥粒をニッケルメッキで電着したワッシャータイプのブレードが使用可能である。
【００２９】
代替実施形態として、ドレッサーツール４０に対して吸収性を有する波長（例えば３５５ｎｍ）の比較的パワーの強いレーザービームをドレッサーツール４０の表面４０ａに照射して、アブレーションにより溝４２を形成するようにしてもよい。本実施形態のドレッサーツール４０では、溝４２の断面形状は所定深さ及び所定幅を有する長方形である。尚、ドレッサーツールとしては、軟鋼、ＳＵＳ等を使用してもよい。
【００３０】
以下、ドレッサーツール４０を使用して切削ブレード１０の先端を所望の形状に成形する切削ブレードの成形方法について説明する。まず、図４に示すように、ドレッサーツール４０を外周部が環状フレームＦに装着されたダイシングテープＴに貼着してドレッサーツールユニットを形成する。
【００３１】
このドレッサーツールユニットを、図１に示すカセット１８中に挿入し、カセット１８中から搬出した後搬送ユニットでチャックテーブル１２まで搬送し、図５に示すように、チャックテーブル１２でダイシングテープＴを介してドレッサーツール４０を吸引保持する（保持ステップ）。
【００３２】
図５で、切削ブレード１０はホイールカバー４４で覆われており、ホイールカバー４４のパイプ４６は純水等の切削水を供給する切削水供給源に接続されている。パイプ４６は切削ブレード１０を挟むように設置された切削水ノズル４８に接続されている。しかし、ドレッサーツール４０による切削ブレード１０の先端形状成形時には切削水ノズル４８から切削水を供給せずに切削ブレードのドレッシングを実施する。尚、必要に応じて切削水を供給してもよい。
【００３３】
次いで、図５及び図６に示すように、切削ブレード１０を矢印Ｒ１方向に高速回転させながら溝４２の深さより浅い切り込み深さで、チャックテーブル１２に保持されたドレッサーツール４０の第１の溝４２に切り込み、ドレッサーツール４０を保持したチャックテーブル１２を図６で矢印Ｘ１方向に加工送りすることにより、切削ブレード１０でドレッサーツール４０を切削し、切削ブレード１０の先端形状を修正する（修正ステップ）。
【００３４】
この修正ステップを実施することにより、ドレッサーツール４０の第１の溝４２部分が切削されて溝４２の先端部分を除いて切削ブレード１０の幅と概略同様な幅を有する切削溝が形成される。切削ブレード１０の先端部両側面はドレッサーツール４０により多少削られる。
【００３５】
修正ステップを実施した後、第１の溝４２と異なる第２の溝４２に切削ブレード１０を修正ステップと同一の切り込み深さで切り込ませ、チャックテーブル１２を矢印Ｘ１方向に加工送りすることにより、切削ブレード１０の先端形状を再修正する再修正ステップを実施する。
【００３６】
この再修正ステップを複数回実施した後のドレッサーツール４０の溝４２の形状が図８（Ａ）に示されている。ドレッサーツール４０が溝４２の先端部分を除いて切削ブレード４０で切削されて、幅の広い溝４２ａが形成される。
【００３７】
この時の切削ブレード１０の先端形状は図８（Ａ１）に示されており、溝４２ａに対応して切削ブレード１０の先端部分の側面が削られており、先端に溝４２の形状に対応する凸部１０ｂが形成されている。
【００３８】
再修正ステップを更に複数回繰り返した後には、図８（Ｂ）に示すように、ドレッサーツール４０が切削ブレード１０で切削されることにより、ドレッサーツール４０の表面４０ａ近傍には溝４２の幅よりも幅の広い溝４２ｂが形成される。この再修正ステップ終了後の切削ブレード１０の形状は、図８（Ｂ１）に示すような形状になっており、先端に溝４２の形状に対応する凸部１０ｂが形成される。
【００３９】
再修正ステップを溝４２を変えて更に複数回繰り返した後には、図８（Ｃ）に示すように、ドレッサーツール４０は切削ブレード１０により切削されて、ドレッサーツール４０の表面４０ａ近傍に溝４２に接続する図８（Ｂ）に示した溝４２ｂよりも幅の狭い溝４２ｃが形成される。
【００４０】
この再修正ステップ終了後の切削ブレード１０の先端形状は、図８（Ｃ１）に示すように、切削ブレード１０の先端に溝４２の形状に対応する凸部１０ｂが形成されたものとなる。
【００４１】
再修正ステップを更に複数回繰り返すことにより、図７（Ａ）に示すように、ドレッサーツール４０の溝４２は切削ブレード１０によりほとんど切削されずに、元の溝４２の形状に概略対応した状態として残存する。これで再修正ステップは終了したこととなり、図７（Ｂ）に示すように、切削ブレード１０の先端を所定長さの凸部１０ｂを有する所望の形状に成形することができる。
【００４２】
以下、本発明実施例に係る切削ブレードの先端形状成形方法について説明する。
【００４３】
（実施例１）
切削ブレード                  ：♯８００のダイヤモンド砥粒のレジンブレード
厚さ                          ：０．３ｍｍ
ドレッサーツール              ：ＷＡ♯１０００（ビトリファイドボンド）
溝幅                          ：０．１ｍｍ
溝深さ                        ：０．７ｍｍ
【００４４】
（加工条件）
スピンドル回転数              ：２００００ｒｐｍ
加工送り速度                  ：０．５ｍｍ／ｓ
切り込み深さ                  ：０．５ｍｍ
溝のカット本数                ：５０本
【００４５】
上述した条件でドレッサーツール４０で切削ブレード１０の先端を成形したところ、図７（Ｂ）に示すような溝４２の幅に対応する０．１ｍｍの幅を有し突出長さ０．５ｍｍの凸部１０ｂを、切削ブレード１０の先端に成形することができた。
【００４６】
所望の形状は図７に示す長方形状に限定されるものではなく、例えば図９（Ａ）に示すような溝４２Ａの形状を有するドレッサーツール４０Ａで切削ブレード１０の先端を成形すると、図９（Ｂ）に示すように、切削ブレード１０Ａの先端を溝４２Ａの形状に対応する凸部１０ｃに成形することができる。
【００４７】
更に、他の実施形態として、図１０（Ａ）に示すような溝形状４２Ｂを有するドレッサーツール４０Ｂで切削ブレード１０の先端を成形することにより、切削ブレード１０Ｂの先端形状を図１０（Ｂ）に示すような凸部１０ｄに成形することができる。
【００４８】
尚、比較的長いドレッサーツールに所定形状の溝を形成し、切削ブレード１０を切削することで１回の切削で切削ブレード１０の先端を所望の形状にすることもできる。
【符号の説明】
【００４９】
２    切削装置
８    切削ユニット
１０    切削ブレード
１２    チャックテーブル
２４    スピンドル
２６    ブレードマウント
３０    固定フランジ
３６    着脱フランジ
４０    ドレッサーツール
４２    溝
【図１】
0006576135.tif 000002
【図２】
0006576135.tif 000003
【図３】
0006576135.tif 000004
【図４】
0006576135.tif 000005
【図５】
0006576135.tif 000006
【図６】
0006576135.tif 000007
【図７】
0006576135.tif 000008
【図８】
0006576135.tif 000009
【図９】
0006576135.tif 000010
【図１０】
0006576135.tif 000011