(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、前記基台上に設けられて基板の下面を支持するバックアップステージと、前記バックアップステージの上方に配置された押圧ツールと、前記押圧ツールを下方に駆動し、前記バックアップステージに下面が支持された前記基板にＡＣＦを押圧して貼着する押圧ツール昇降手段とを備えたＡＣＦ貼着装置であって、
前記基台と前記バックアップステージとの間に介装された介装部材と、
前記押圧ツール昇降手段による前記押圧ツールの駆動方向とは異なる方向に延びた駆動軸を有し、前記駆動軸により前記介装部材を駆動して前記バックアップステージを前記基板の下面を支持する第１の位置と前記第１の位置よりも下方の位置である第２の位置との間で上下させる介装部材駆動アクチュエータとを備え、
前記介装部材はその上面に第１水平面と前記第１水平面よりも低い面とを有する直動カムで構成され、
前記バックアップステージはカムフォロアを備え、
前記介装部材駆動アクチュエータは、前記カムフォロアが前記上面と当接した状態で前記直動カムを水平方向に移動させることにより前記バックアップステージを上下させ、
前記介装部材駆動アクチュエータが前記バックアップステージを前記第１の位置に位置させたとき、前記バックアップステージは、前記カムフォロアを前記第１水平面に当接させることにより前記直動カムによって間接的に支持され、
前記介装部材駆動アクチュエータが前記バックアップステージを前記第２の位置に位置させたとき、前記バックアップステージは、前記カムフォロアを前記第１水平面よりも低い前記面に当接させることにより前記直動カムによって間接的に支持されることを特徴とするＡＣＦ貼着装置。
【請求項２】
前記介装部材駆動アクチュエータの前記駆動軸は前記押圧ツール昇降手段による前記押圧ツールの駆動方向と直交する方向に延びていることを特徴とする請求項１に記載のＡＣＦ貼着装置。
【請求項３】
前記バックアップステージを複数備え、前記介装部材駆動アクチュエータを一つ備え、前記一つの介装部材駆動アクチュエータは、前記介装部材を水平方向に移動させることにより前記複数のバックアップステージを同時に上下させることを特徴とする請求項１に記載のＡＣＦ貼着装置。
【請求項４】
基台と、前記基台上に設けられて基板の下面を支持するバックアップステージと、前記バックアップステージの上方に配置された押圧ツールと、前記押圧ツールを下方に駆動し、前記バックアップステージに下面が支持された前記基板にＡＣＦを押圧して貼着する押圧ツール昇降手段とを備えたＡＣＦ貼着装置であって、
前記基台と前記バックアップステージとの間に介装された介装部材と、
前記押圧ツール昇降手段による前記押圧ツールの駆動方向とは異なる方向に延びた駆動軸を有し、前記駆動軸により前記介装部材を駆動して前記バックアップステージを前記基板の下面を支持する第１の位置と前記第１の位置よりも下方の位置である第２の位置との間で上下させる介装部材駆動アクチュエータとを備え、
前記介装部材は上下方向に屈伸自在なリンク機構で構成され、前記介装部材駆動アクチュエータは前記介装部材を上下方向に屈伸させることにより前記バックアップステージを上下させることを特徴とするＡＣＦ貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板にＡＣＦを貼着するＡＣＦ貼着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの製造ラインでは、基板の縁部に設けられた電極に駆動回路等の部品を取り付ける部品装着作業の前段階の工程として、電極に接着剤としてのＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）を貼着するＡＣＦ貼着作業が実行される。このＡＣＦ貼着作業で用いられるＡＣＦ貼着装置は、基台上に基板の下面を支持するバックアップステージを備え、バックアップステージの上方に配置された押圧ツールを押圧ツール昇降手段によって下方に駆動し、ＡＣＦを基板に押圧して貼着する。
【０００３】
このようなＡＣＦ貼着装置では通常、基板側を下降させることによって基板をバックアップステージに支持させるが、バックアップステージの側を基板に対して上昇させるようにして、基板の上下方向の位置決めを安定して行うことができるようにしたものも知られている。このようなタイプのＡＣＦ貼着装置では、基台とバックアップステージとの間に駆動軸を上下方向に向けたシリンダが介装されており、そのシリンダでバックアップステージを上下させるようになっている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４４５３８４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、バックアップステージをシリンダによって上下させる構成では、押圧ツールがＡＣＦを基板に押圧する押圧力がバックアップステージを介してシリンダの駆動軸に直接伝達される。このためシリンダは押圧ツールの押圧力に耐え得る強度を有する必要があり、シリンダのサイズが大型化してＡＣＦ貼着装置の全体も大型化してしまうおそれがあるという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、バックアップステージを上下させる構成としつつ、全体を小型化させたＡＣＦ貼着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のＡＣＦ貼着装置は、基台と、前記基台上に設けられて基板の下面を支持するバックアップステージと、前記バックアップステージの上方に配置された押圧ツールと、前記押圧ツールを下方に駆動し、前記バックアップステージに下面が支持された前記基板にＡＣＦを押圧して貼着する押圧ツール昇降手段とを備えたＡＣＦ貼着装置であって、前記基台と前記バックアップステージとの間に介装された介装部材と、前記押圧ツール昇降手段による前記押圧ツールの駆動方向とは異なる方向に延びた駆動軸を有し、前記駆動軸により前記介装部材を駆動して前記バックアップステージを前記基板の下面を支持する第１の位置と前記第１の位置よりも下方の位置である第２の位置との間で上下させる介装部材駆動アクチュエータとを備え、前記介装部材はその上面に第１水平面と前記第１水平面よりも低い面とを有する直動カムで構成され、前記バックアップステージはカムフォロアを備え、前記介装部材駆動アクチュエータは、前記カムフォロアが前記上面と当接した状態で前記直動カムを水平方向に移動させることにより前記バックアップステージを上下させ、前記介装部材駆動アクチュエータが前記バックアップステージを前記第１の位置に位置させたとき、前記バックアップステージは、前記カムフォロアを前記第１水平面に当接させることにより前記直動カムによって間接的に支持され、前記介装部材駆動アクチュエータが前記バックアップステージを前記第２の位置に位置させたとき、前記バックアップステージは、前記カムフォロアを前記第１水平面よりも低い前記面に当接させることにより前記直動カムによって間接的に支持される。
また、もうひとつの本発明のＡＣＦ貼着装置は、基台と、前記基台上に設けられて基板の下面を支持するバックアップステージと、前記バックアップステージの上方に配置された押圧ツールと、前記押圧ツールを下方に駆動し、前記バックアップステージに下面が支持された前記基板にＡＣＦを押圧して貼着する押圧ツール昇降手段とを備えたＡＣＦ貼着装置であって、前記基台と前記バックアップステージとの間に介装された介装部材と、前記押圧ツール昇降手段による前記押圧ツールの駆動方向とは異なる方向に延びた駆動軸を有し、前記駆動軸により前記介装部材を駆動して前記バックアップステージを前記基板の下面を支持する第１の位置と前記第１の位置よりも下方の位置である第２の位置との間で上下させる介装部材駆動アクチュエータとを備え、前記介装部材は上下方向に屈伸自在なリンク機構で構成され、前記介装部材駆動アクチュエータは前記介装部材を上下方向に屈伸させることにより前記バックアップステージを上下させる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ＡＣＦ貼着装置において、バックアップステージを上下させる構成としつつ、装置全体の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の斜視図
【図２】本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の要部斜視図
【図３】本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の要部側面図
【図４】（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の要部の動作説明図
【図５】（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の要部の動作説明図
【図６】本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の斜視図
【図７】本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の制御系統を示すブロック図
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の動作説明図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の要部の動作説明図
【図１０】本発明の第２実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の斜視図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の第２実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の要部の動作説明図
【図１２】本発明の第３実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の斜視図
【図１３】（ａ）（ｂ）本発明の第３実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の要部の動作説明図
【図１４】（ａ）（ｂ）本発明の第３実施形態におけるＡＣＦ貼着装置の要部の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１を示している。このＡＣＦ貼着装置１は、液晶パネル製造ラインにおいて、基板２の縁部に設けられた電極２ｄに接着剤としてのＡＣＦ３を貼着するＡＣＦ貼着作業を実行する装置である。ここでは説明の便宜上、作業者ＯＰから見たＡＣＦ貼着装置１の前後方向をＸ軸方向とし、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とする。また、前後方向については、作業者ＯＰから見たＡＣＦ貼着装置１の手前側を前方とし、作業者ＯＰから見た奥側を後方とする。
【００１１】
図１において、ＡＣＦ貼着装置１は基板移動部１Ａと貼着機構部１Ｂを備えている。基板移動部１Ａは基板２を保持する基板保持部１１と基板保持部１１を移動させる基板保持部移動機構１２を備えている。貼着機構部１Ｂは基板移動部１Ａの後方に設けられた基台１３上にバックアップステージ１４とＡＣＦ貼着機構１５を備えた構成を有している（図２も参照）。
【００１２】
図１において、基板保持部移動機構１２は、Ｘ軸方向に延びて設置されたＸ軸テーブル１２ａと、Ｘ軸テーブル１２ａによってＸ軸方向に移動されるＹ軸テーブル１２ｂと、Ｙ軸テーブル１２ｂによってＹ軸方向に移動される昇降回転テーブル１２ｃを備えている。昇降回転テーブル１２ｃには基板保持部１１が取り付けられている。基板保持部１１は上面に基板吸着口１１Ｋを有しており、上流工程側の他の装置から移送された基板２の下面を基板吸着口１１Ｋにおいて吸着し、保持する。
【００１３】
図１において、基板保持部１１が基板２を保持した状態でＸ軸テーブル１２ａがＹ軸テーブル１２ｂをＸ軸方向に移動させると基板２がＸ軸方向に移動し、Ｙ軸テーブル１２ｂが昇降回転テーブル１２ｃをＹ軸方向に移動させると基板２がＹ軸方向に移動する。また、昇降回転テーブル１２ｃが基板保持部１１を昇降させると基板２が昇降し、昇降回転テーブル１２ｃが基板保持部１１をＺ軸回りに回転させると基板２が水平面内で回転する。このように基板保持部移動機構１２は、基板保持部１１が保持した基板２を任意の位置に移動させることができる。
【００１４】
図２、図３及び図４（ａ），（ｂ）において、バックアップステージ１４は上面１４Ｓが水平な平面に形成されたブロック状の部材で構成され、介装部材としての直動カム２１を介して基台１３の前部領域に設置されている。図２及び図３において、ＡＣＦ貼着機構１５は、基台１３上に左右一対のベース部３１を備えており、左右一対のベース部３１によってＸＺ平面内を延びたベースプレート３２を支持している。ベースプレート３２の前面には、テープ搬送部３３、押圧部３４及び剥離部３５が設けられている。
【００１５】
図２において、テープ搬送部３３はテープ供給リール３３ａ、複数のローラ部材３３ｂ、カッター部３３ｃ及び回収部３３ｄから構成される。テープ供給リール３３ａはテープ状のＡＣＦ３にセパレータＳＰを貼り合わせたテープ部材ＴＢ（図１）を繰り出して供給する。複数のローラ部材３３ｂはテープ供給リール３３ａが供給するテープ部材ＴＢを案内し、搬送する。カッター部３３ｃはセパレータＳＰ上でテープ状のＡＣＦ３に所定間隔で切り込みを入れて所定長さに切断する。回収部３３ｄはテープ部材ＴＢからＡＣＦ３が分離されたセパレータＳＰを吸引して回収する。
【００１６】
図２及び図３において、押圧部３４はベースプレート３２に取り付けられたツール昇降シリンダ３４ａと、ツール昇降シリンダ３４ａによって昇降される押圧ツール３４ｂを備える。押圧ツール３４ｂはＸ軸方向に延びており、下面が押圧面となっている。剥離部３５は、一対のピン部材を備えた剥離部材３５ａと、剥離部材３５ａをベースプレート３２の下部に設けられた移動溝３５Ｍに沿ってＸ軸方向に移動させる剥離シリンダ３５ｂを備える。剥離部材３５ａは、テープ搬送部３３によって搬送されるテープ部材ＴＢのうち、ＡＣＦ３が分離した後のセパレータＳＰを一対のピン部材の間に挟んでいる。
【００１７】
図４（ａ），（ｂ）において、直動カム２１は基台１３上をＸ軸方向に延びて設けられたガイド部材４１にガイドされてＸ軸方向（すなわち水平方向）に移動可能となっている。基台１３上の直動カム２１の右方領域にはシリンダ保持部４２が設けられており、シリンダ保持部４２には駆動シリンダ４３が保持されている。駆動シリンダ４３はシリンダ保持部４２によって水平姿勢に保持されており、駆動軸（ピストンロッド）４３ａの先端部を左方に向けている。駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａは先端部を直動カム２１に連結させており、駆動シリンダ４３がバックアップステージ１４の自重に抗して駆動軸４３ａを左右方向に作動させると、直動カム２１がガイド部材４１上でＸ軸方向（すなわち水平方向）に移動する。直動カム２１の上面は基台１３に対して所定の高さを有する第１水平面２１ａと、第１水平面２１ａよりも高さが低い第２水平面２１ｂを有している。第１水平面２１ａと第２水平面２１ｂとの間は斜面２１ｍになっている。
【００１８】
図３及び図４（ａ），（ｂ）において、左右一対のベース部３１の下方前部にはブロック状の昇降ベース４４が取り付けられている。昇降ベース４４の前面には上下方向に延びた左右一対の昇降ガイド４５が設けられており、これら左右一対の昇降ガイド４５には、バックアップステージ１４の背面に設けられた左右一対のスライダ１４Ｂが係合している。このためバックアップステージ１４は基台１３に対して上下方向にのみ移動可能である。
【００１９】
図２、図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ），（ｂ）において、バックアップステージ１４の下部１４Ｋの前面にはカムフォロアとしてのローラ１４Ｒが設けられている。ローラ１４Ｒはバックアップステージ１４の下部１４ＫからＹ軸方向の前方に突出して延びた回転軸１４Ｊに取り付けられており、直動カム２１の移動面（ＸＺ面）と平行な面内を回転自在である。
【００２０】
バックアップステージ１４はローラ１４Ｒを直動カム２１の上面の第１水平面２１ａ又は第２水平面２１ｂに当接させることにより、間接的に直動カム２１によって支持される。直動カム２１がＸ軸方向に移動するとローラ１４Ｒは直動カム２１の上面を転動し、下方に第１水平面２１ａが位置しているときには第１水平面２１ａに当接し（図４（ａ）及び図５（ａ））、下方に第２水平面２１ｂが位置しているときには第２水平面２１ｂに当接する（図４（ｂ）及び図５（ｂ））。ローラ１４Ｒはバックアップステージ１４の自重によって直動カム２１の上面に当接しているので、直動カム２１がＸ軸方向に移動して直動カム２１の上面との当接面が第１水平面２１ａと第２水平面２１ｂとの間で変化してもローラ１４Ｒが直動カム２１の上面から離間することはない。
【００２１】
ローラ１４Ｒが直動カム２１の第１水平面２１ａに当接しているときのバックアップステージ１４の上面１４Ｓの高さをＨ１とし（図５（ａ））、ローラ１４Ｒが直動カム２１の第２水平面２１ｂに当接しているときのバックアップステージ１４の上面１４Ｓの高さをＨ２とすると（図５（ｂ））、第２水平面２１ｂの高さは第１水平面２１ａの高さよりも低いことから、Ｈ１＞Ｈ２となる。以下、ローラ１４Ｒが直動カム２１の第１水平面２１ａに当接しているときのバックアップステージ１４の位置を「第１の位置」と称し、ローラ１４Ｒが直動カム２１の第２水平面２１ｂに当接しているときのバックアップステージ１４の位置を「第２の位置」と称する。
【００２２】
バックアップステージ１４が「第１の位置」に位置した状態から駆動シリンダ４３が作動して直動カム２１がＸ軸方向に移動し、ローラ１４Ｒが直動カム２１の第１水平面２１ａから斜面２１ｍを経て第２水平面２１ｂに移動すると（図５（ａ）→図５（ｂ））、バックアップステージ１４は下降して「第２の位置」に位置する。一方、バックアップステージ１４が「第２の位置」に位置した状態から駆動シリンダ４３が作動して直動カム２１がＸ軸方向に移動し、ローラ１４Ｒが直動カム２１の第２水平面２１ｂから斜面２１ｍを経て第１水平面２１ａに移動すると（図５（ｂ）→図５（ａ））、バックアップステージ１４は上昇して「第１の位置」に位置する。
【００２３】
このように介装部材駆動アクチュエータである駆動シリンダ４３は、介装部材である直動カム２１を水平方向に移動させることによりバックアップステージ１４を上下させる。そして、バックアップステージ１４をその上面１４Ｓの高さが高さＨ１となる「第１位置」（図５（ａ））又は上面１４Ｓの高さがＨ２（＜Ｈ１）となる「第２の位置」（図５（ｂ）に選択的に位置させる。バックアップステージ１４は「第１の位置」に位置した状態では基板２の下面を支持し、「第２の位置」に位置した状態では基板２の下面から下方に離間する。
【００２４】
基板保持部１１は基板保持部移動機構１２により、「基板移載位置」（図１に示す位置）と「作業位置」（図６に示す位置）との間で移動される。ここで基板移載位置とは、上流工程側及び下流工程側それぞれに配置された他の装置との間で基板２の移載を行う位置である。一方、作業位置とは、基板保持部１１が保持した基板２のうちＡＣＦ貼着対象の電極２ｄが設けられた縁部の領域（以下、「作業対象領域」と称する）を押圧ツール３４ｂの下方に位置させる位置である。基板保持部１１が作業位置に位置した状態でバックアップステージ１４が「第２の位置」から「第１の位置」に上昇すると、基板２の作業対象領域の下面がバックアップステージ１４の上面１４Ｓによって支持される。
【００２５】
このように第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１は、基台１３とバックアップステージ１４との間に介装された直動カム２１（介装部材）と、ツール昇降シリンダ３４ａ（押圧ツール昇降手段）による押圧ツール３４ｂの駆動方向（上下方向）とは異なる方向（水平方向）に延びた駆動軸４３ａを有し、駆動軸４３ａにより直動カム２１を駆動してバックアップステージ１４を基板２の下面を支持する「第１の位置」と「第１の位置」よりも下方の位置である「第２の位置」との間で上下させる駆動シリンダ４３（介装部材駆動アクチュエータ）を備えたものとなっている。
【００２６】
次に、ＡＣＦ貼着装置１によるＡＣＦ貼着作業の実行手順を説明する。図７に示すように、ＡＣＦ貼着装置１は、基板保持部１１、基板保持部移動機構１２、ＡＣＦ貼着機構１５、駆動シリンダ４３等の各部の動作制御を行う制御装置５０を備えており、制御装置５０が予め記憶したプログラムに従って上記各部の動作制御を行うことにより、ＡＣＦ貼着作業が以下のように進行する。
【００２７】
ＡＣＦ貼着作業は、図示しない基板搬入機構によって上流工程側の他の装置から移載（搬入）された基板２を基板移載位置に位置した基板保持部１１が保持することから始まる。このときバックアップステージ１４は「第２の位置」に位置しており、その上面１４Ｓの高さはＨ２となっている（図８（ａ））。
【００２８】
基板保持部１１が基板２を保持したら、基板保持部移動機構１２は基板２の高さ調整を行う。基板２の高さ調整では、基板保持部移動機構１２は、昇降回転テーブル１２ｃを作動させて基板保持部１１を上下方向に移動させ、基板保持部１１が保持した基板２の下面の高さが「第１の位置」に位置したバックアップステージ１４の上面１４Ｓの高さであるＨ１と同じ高さになるようにする（図８（ａ））。基板保持部移動機構１２は、基板２の下面の高さ調節を行ったら、基板保持部１１を作業位置に移動させる（図８（ｂ）。図中に示す矢印Ａ）。
【００２９】
基板保持部移動機構１２は、基板保持部１１を作業位置に位置させたら、基板保持部１１を左右方向に移動させることによって、基板２を押圧ツール３４ｂに対して位置決めする（基板位置決め工程）。この基板位置決め工程では、基板保持部移動機構１２は、これからＡＣＦ３を貼着しようとする電極２ｄ（以下、「ＡＣＦ貼着対象の電極２ｄ」と称する）の左端が押圧ツール３４ｂの左端の下方に位置するように基板保持部１１を移動させる。
【００３０】
基板保持部移動機構１２が基板２の位置決めを行ったら、駆動シリンダ４３が直動カム２１を移動させてバックアップステージ１４を「第２の位置」から「第１の位置」に上昇させる（図８（ｃ）中に示す矢印Ｂ）。これによりバックアップステージ１４の上面１４Ｓの高さがＨ１となり、バックアップステージ１４は基板２の作業対象領域を下方から支持する（図８（ｃ）。基板支持工程）。
【００３１】
バックアップステージ１４が基板２の作業対象領域を支持したら、ＡＣＦ貼着機構１５は、テープ搬送部３３によりテープ部材ＴＢを搬送しつつ、カッター部３３ｃによりＡＣＦ３に一定間隔で切り込みを入れて所定長さを有する短冊状のＡＣＦ３をセパレータＳＰ上に形成する。そして、そのセパレータＳＰ上に形成した短冊状のＡＣＦ３の進行方向の後端（左端）が電極２ｄの左端の上方に位置するようにテープ搬送部３３を作動させて、基板２に対して短冊状のＡＣＦ３を位置決めする（図９（ａ）。ＡＣＦ位置決め工程）。
【００３２】
ＡＣＦ貼着機構１５が基板２に対してＡＣＦ３を位置決めしたら、ツール昇降シリンダ３４ａは押圧ツール３４ｂを下降させて基板２に押し付け（図９（ｂ）中に示す矢印Ｃ１）、短冊状のＡＣＦ３をＡＣＦ貼着対象の電極２ｄに押圧する（図９（ｂ）。押圧工程）。これによりＡＣＦ３はセパレータＳＰごと基板２に押し付けられ、電極２ｄに貼着される。ツール昇降シリンダ３４ａは、押圧ツール３４ｂを基板２に押し付けたら押圧ツール３４ｂを上昇させる（図９（ｃ）中に示す矢印Ｃ２）。
【００３３】
押圧ツール３４ｂがＡＣＦ３を基板２（電極２ｄ）に押圧する押圧力は、バックアップステージ１４のローラ１４Ｒから直動カム２１を経て基台１３に伝達される。直動カム２１には駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａが連結されているが、駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａはツール昇降シリンダ３４ａによる押圧ツール３４ｂの駆動方向である上下方向とは異なる方向（ここでは水平方向であり、押圧ツール３４ｂの駆動方向と直交する方向）に延びている。このため押圧ツール３４ｂの押圧力の大部分はそのまま直動カム２１から基台１３に伝達され、押圧ツール３４ｂの押圧力は駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａにはほとんど伝達されない。
【００３４】
ツール昇降シリンダ３４ａが押圧ツール３４ｂを上昇させたら、剥離シリンダ３５ｂは剥離部材３５ａをＸ軸方向に移動させる（図９（ｄ）中に示す矢印Ｄ）。これにより基板２に貼着されたＡＣＦ３とセパレータＳＰとの間を剥離部材３５ａが水平方向に移動し、ＡＣＦ３からセパレータＳＰが剥離する（剥離工程）。ＡＣＦ３がセパレータＳＰから剥離したら、剥離シリンダ３５ｂは剥離部材３５ａを元の位置に復帰させる。
【００３５】
剥離部３５が元の位置に復帰したら、駆動シリンダ４３が直動カム２１を移動させて、バックアップステージ１４を「第１の位置」から「第２の位置」に下降させる。これによりバックアップステージ１４の上面１４Ｓの高さがＨ２となり、バックアップステージ１４は基板２の下面から下方に離間して基板２の支持を解除する（基板支持解除工程）。
【００３６】
上述の基板位置決め工程、基板支持工程、ＡＣＦ位置決め工程、押圧工程、剥離工程及び基板支持解除工程から構成される一連の動作は、基板２が備える１つのＡＣＦ貼着対象の電極２ｄに対するＡＣＦ貼着動作である。従って、基板２がＡＣＦ貼着対象の電極２ｄを複数備える場合には、上記ＡＣＦ貼着動作を繰り返し実行して、ＡＣＦ３を貼着すべき全ての電極２ｄにＡＣＦ３を貼着する。基板２が備える全てのＡＣＦ貼着対象の電極２ｄについてのＡＣＦ貼着動作が終了したら、基板保持部移動機構１２は、基板保持部１１を基板移載位置に復帰させる。そして、図示しない基板搬出機構が基板保持部１１上の基板２を下流工程側の他の装置に移載（搬出）したら、基板２の１枚当たりのＡＣＦ貼着作業が終了する。
【００３７】
これまで説明したように、第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１では、基台１３とバックアップステージ１４との間に介装された直動カム２１を駆動シリンダ４３によって移動させることでバックアップステージ１４を基板２の下面を支持する「第１の位置」と「第１の位置」よりも下方の位置である「第２の位置」との間で上下させるようになっている。ここで、直動カム２１を駆動する駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａは、ツール昇降シリンダ３４ａによる押圧ツール３４ｂの駆動方向である上下方向とは異なる方向（水平方向であり、押圧ツール３４ｂの駆動方向と直交する方向）に延びており、押圧ツール３４ｂからバックアップステージ１４に作用する押圧力の大部分は直動カム２１から基台１３に直接伝達されるので、駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａは押圧ツール３４ｂの押圧力の作用をほとんど受けない。従って駆動シリンダ４３はバックアップステージ１４の自重に抗して直動カム２１を水平方向に移動させるだけの出力を有していればよく、設計に際して駆動シリンダ４３について押圧ツール３４ｂの押圧力に抗する出力を考慮する必要はなく、駆動シリンダ４３のサイズを小型化することができる。また、ツール昇降シリンダ３４ａによる押圧ツール３４ｂの駆動方向である上下方向に駆動シリンダ４３を配置しないため、ＡＣＦ貼着装置１の上下方向の大きさに対して駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａのストロークを考慮しなくてよい。このためバックアップステージ１４を上下可能な構成としつつ、ＡＣＦ貼着装置１の全体の小型化を図ることができる。
【００３８】
（第２実施形態）
図１０は本発明の第２実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１０１を示している。第２実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１０１を構成する各部のうち、第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１と同じ機能を有する部分には同じ符号を付している。図１０に示すように、第２実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１０１では基板保持部１１が複数（ここでは２つ）の基板２を保持するとともに、複数（２つ）のＡＣＦ貼着機構１５がＸ軸方向に並設されており、これに伴ってバックアップステージ１４も複数（２つ）がＸ軸方向に並設されている。
【００３９】
また、第２実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１０１では、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１の直動カム２１をバックアップステージ１４の数（ここでは２つ）だけＸ軸方向に連結した形状の直動カム（符号を１２１とする）を備えている。第２実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１０１では、第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１と同様に、介装部材駆動アクチュエータである駆動シリンダ４３によって直動カム１２１をＸ軸方向に移動させる。第２実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１０１においても、駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａは、各ＡＣＦ貼着機構１５のツール昇降シリンダ３４ａによる押圧ツール３４ｂの駆動方向である上下方向とは異なる方向（水平方向であり、押圧ツール３４ｂの駆動方向と直交する方向）に延びており、直動カム１２１は駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａの端部に連結されている。
【００４０】
駆動シリンダ４３は、直動カム１２１を水平方向（左右方向）に移動させることにより２つのバックアップステージ１４を同時に上下させる。そして、２つのバックアップステージ１４をその上面１４Ｓの高さが高さＨ１となる「第１位置」（図１１（ａ））又は上面１４Ｓの高さがＨ２（＜Ｈ１）となる「第２の位置」（図１１（ｂ）に選択的に位置させる。２つのバックアップステージ１４は「第１の位置」に位置した状態ではそれぞれ基板２の下面を支持し、「第２の位置」に位置した状態ではそれぞれ基板２の下面から下方に離間する。
【００４１】
第２実施形態のＡＣＦ貼着装置１０１では、駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａは、ツール昇降シリンダ３４ａによる押圧ツール３４ｂの駆動方向である上下方向とは異なる方向に延びており、押圧ツール３４ｂからバックアップステージ１４に作用する押圧力の大部分は直動カム１２１から基台１３に直接伝達されるので、駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａは押圧ツール３４ｂの押圧力の作用をほとんど受けない。よって、第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１と同様の効果も得られる。また、１つの駆動シリンダ４３で複数のバックアップステージ１４を同時に上下させることができることから、複数のバックアップステージ１４をそれぞれ別個の駆動シリンダ４３で上下させる構成よりも全体構成を簡易なものとすることができる。
【００４２】
（第３実施形態）
図１２は本発明の第３実施形態におけるＡＣＦ貼着装置２０１を示している。第３実施形態におけるＡＣＦ貼着装置２０１を構成する各部のうち、第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１と同じ機能を有する部分には同じ符号を付している。図１２に示すように、第３実施形態におけるＡＣＦ貼着装置２０１では、第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１とは異なり、介装部材がリンク機構２２１から構成されている。
【００４３】
図１３（ａ），（ｂ）に示すように、リンク機構２２１は、下端が基台１３側の部材（基台側部材１３Ｇ）に枢支された下方部材Ｌ１と、上端がバックアップステージ１４側（バックアップステージ１４の下部１４Ｋ）に枢支された上方部材Ｌ２を備えており、下方部材Ｌ１の上端と上方部材Ｌ２の下端が枢支ピンＰによって枢支されている。第３実施形態におけるＡＣＦ貼着装置２０１では、第１実施形態におけるＡＣＦ貼着装置１と同様の駆動シリンダ４３を備えている。
【００４４】
駆動シリンダ４３はシリンダ保持部４２によってＸＺ面内で揺動自在に保持（枢支）されており、駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａは、ＡＣＦ貼着機構１５のツール昇降シリンダ３４ａによる押圧ツール３４ｂの駆動方向である上下方向とは異なる方向（ほぼ水平方向）に延びている。そして、駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａの端部にリンク機構２２１の枢支ピンＰを連結させている。このため駆動シリンダ４３が駆動軸４３ａによりリンク機構２２１の枢支ピンＰを水平方向に駆動すると、リンク機構２２１が上下方向に屈伸する。
【００４５】
駆動シリンダ４３により駆動されたリンク機構２２１が上下方向に一直線に伸長した状態では、バックアップステージ１４はリンク機構２２１によって支持されて「第１の位置」に位置し、バックアップステージ１４の上面１４Ｓの高さはＨ１となる（図１４（ａ））。一方、リンク機構２２１が屈曲した状態（上下方向に一直線に伸長した状態ではない状態）では、バックアップステージ１４は一対のストッパＳＴにより支持されて「第２の位置」に位置し、バックアップステージ１４の上面１４Ｓの高さはＨ２（＜Ｈ１）となる（図１４（ｂ））。
【００４６】
このように第３実施形態におけるＡＣＦ貼着装置２０１では、介装部材は上下方向に屈伸自在なリンク機構２２１から構成されており、介装部材駆動アクチュエータとしての駆動シリンダ４３はリンク機構２２１を駆動して上下方向に屈伸させることにより、バックアップステージ１４を基板２の下面を支持する「第１の位置」（図１３（ａ）及び図１４（ａ））と、「第１の位置」よりも下方の位置である「第２の位置」（図１３（ｂ）及び図１４（ｂ））との間で上下させる構成となっている。
【００４７】
第３実施形態のＡＣＦ貼着装置２０１においても、駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａは、ツール昇降シリンダ３４ａによる押圧ツール３４ｂの駆動方向（上下方向）とは異なる方向（ほぼ水平方向）に延びている。従って、押圧ツール３４ｂからバックアップステージ１４に作用する押圧力の大部分はリンク機構２２１から基台１３に直接伝達され、押圧ツール３４ｂの押圧力は駆動シリンダ４３の駆動軸４３ａにはほとんど作用しない。このため駆動シリンダ４３のサイズを小型化することができ、バックアップステージ１４を上下可能な構成としつつ、ＡＣＦ貼着装置２０１の全体を小型化することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
バックアップステージを上下させる構成としつつ、全体を小型化させたＡＣＦ貼着装置を提供する。
【符号の説明】
【００４９】
１，１０１，２０１  ＡＣＦ貼着装置
２  基板
３  ＡＣＦ
１３  基台
１４  バックアップステージ
２１  直動カム（介装部材）
３４ａ  ツール昇降シリンダ（押圧ツール昇降手段）
３４ｂ  押圧ツール
４３  駆動シリンダ（介装部材駆動アクチュエータ）
４３ａ  駆動軸
１２１  直動カム（介装部材）
２２１  リンク機構（介装部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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