(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１個の可動分離部材（５）を有する油圧アキュムレータ（３）に使用可能な超音波変位測定システムであって、前記可動分離部材（５）はハウジング（７）の内部で２個の媒体室（９、１１）を互いに分離しており、一方の媒体室（９）は圧縮可能な流体又は圧縮不能な流体を収容し、他方の媒体室（１１）は圧縮可能な流体を収容しており、ハウジング（７）の内部における可動分離部材（５）のその都度の位置が少なくとも１個の超音波センサ（１３）によって検出可能である、超音波変位測定システムにおいて、
それぞれの超音波センサ（１３）は、前記可動分離部材（５）の位置検出を圧縮可能な流体を入れた他方の媒体室（１１）の側で行い、
前記超音波センサ（１３）はセンサチャンバ（５７）内に収容されており、前記センサチャンバ（５７）の内部（５５）は媒体ガイド（５９）によって圧縮可能な流体を入れた他方の媒体室（１１）と媒体を通すように接続されていることを特徴とする超音波変位測定システム。
【請求項２】
センサチャンバ（５７）は周囲に向かってガラス部（７９）によって隔離されており、前記ガラス部（７９）に超音波センサ（１３）から制御装置（８５）へのケーブル接続（８３）が設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の超音波変位測定システム。
【請求項３】
超音波センサ（１３）はハウジング（７）の蓋部（１９）に、媒体ガイド（５９）を備えたセンサチャンバ（５７）の少なくとも一部は圧縮可能な流体を入れた他方の媒体室（１１）内に設定可能な張り出し（Ｕ）だけ突入し、さらに前記可動分離部材（５）のあらゆる移動位置で超音波センサ（１３）に対して所定の間隔（Ａ）に保持されるように定置されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の超音波変位測定システム。
【請求項４】
超音波センサ（１３）は、支持体（６１）上に配置されたピエゾセラミック（６６）を備えた超音波変換器（６５）を有していることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の超音波変位測定システム。
【請求項５】
センサチャンバ（５７）は支持体（６１）とガラス部（７９）との間に少なくとも１個の貫通部（５９）を有しており、前記貫通部（５９）の少なくとも一部が媒体ガイドを形成することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の超音波変位測定システム。
【請求項６】
圧縮可能な流体の内部に、２個の基準点（１３、７３）によって限定された基準測定区間が存在しており、前記２個の基準点（１３、７３）のうち一方の基準点は超音波センサ（１３）から形成され、他方の基準点はセンサ信号に対する、転向点（７３）から形成されていることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の超音波変位測定システム。
【請求項７】
前記可動分離部材（５）は剛性的な境界ピストンによって形成されて、ハウジング（７）の内部で長手軸線（ＬＡ）の方向に移動可能に配置されていること、及び超音波センサ（１３）は長手軸線（ＬＡ）と共軸に配置されていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の超音波変位測定システム。
【請求項８】
前記可動分離部材（５）は圧縮不能な流体のための集合器（４３）を有しており、前記圧縮不能な流体は超音波変位測定システム（１）の運転時に圧縮不能な流体を入れた媒体室（９）から境界ピストン（５）とハウジング（７）との間の隙間（８７）を通って圧縮可能な流体を入れた他方の媒体室（１１）に進入すること、及び前記集合器（４３）は、超音波センサ（１３）とその直接的な音波放射方向で隣接して反対側に配置されていることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の超音波変位測定システム。
【請求項９】
超音波センサ（１３）の作動周波数は、分散により発生する波長に依存した振幅変調がわずかである、可能な限り低い周波数と、距離測定においてより短い波長でより高い解像度が可能である、前記低い周波数より高い周波数との間で選択されていることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の超音波変位測定システム。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の超音波変位測定システムを用いて超音波変位測定を行うための方法において、
超音波センサ（１３）によって音波信号が送出され、前記可動分離部材（５）と、超音波センサ（１３）と反対側の基準点（７３）とにおける音波反射が検出されること、音波信号が超音波センサ（１３）から指定可能な基準点（７３）に到達して戻るまでの経過時間から圧縮可能な流体中の音波伝搬速度が求められること、及び前記音波伝搬速度と、音波信号が超音波センサ（１３）から前記可動分離部材（５）に到達して戻るまでの経過時間とから、前記可動分離部材（５）と定置された超音波センサ（１３）とのその都度の間隔（Ａ）が求められることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に少なくとも１個の可動分離部材を有する油圧アキュムレータに使用可能な超音波変位測定システムであって、前記分離部材はハウジングの内部で２個の媒体室を互いに、好ましくは媒体を通さないように分離しており、一方の媒体室は圧縮可能な流体又は圧縮不能な流体を収容し、他方の媒体室は圧縮可能な流体を特に作動ガスの形態で収容しており、ハウジングの内部における可動分離部材のその都度の位置が少なくとも１個の超音波センサによって検出可能であるものに関する。本発明はさらにそのような超音波変位測定システムを用いて超音波変位測定を行うための方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
油圧・空気圧蓄積器構成において、あるいはまたピストン・シリンダ構成、例えば空気圧式作動シリンダにおいても、装置を制御し得るためにはシリンダ内におけるピストンの正確な位置を知ることが多くの場合に望ましいか必要である。さらに油圧・空気圧蓄積器構成においては、蓄圧要素内の背圧を形成するのにどれだけの量の気体が利用できるか知ることが重要である。なぜなら気体は時間と共に油側に向って発散する傾向があるので、ときどき気体を補充しなければならないからであり、そのため定期的にメンテナンスを行うことが必要となる。
【０００３】
ピストンの位置を確認するために、過去に種々の解決策が提案された。例えば蓄圧器の油側に超音波変位測定システムを設置することが知られている。そのような超音波シングルチャネルシステムは、マルコ・システム・アナリューゼ・ウント・エントヴィックルンク社（ハンスベックラーシュトラーセ２、８５２２１ダッハウ、ドイツ）から「ｐｓ／ｕｌｍ／ｅｓｄ／ａ」の名称で販売されている。超音波変換器から音波信号が送出されて、ピストンから反射される。次に反射された音波は再び超音波変換器によって受容される。その際に音波信号は既知の伝搬速度で油内に拡散するので、信号経過時間からピストンと超音波変換器との距離を求めることができる。この場合の短所は、音の伝搬が油温と、油中のキャビテーションによって生成されて油内に望まれずに発生する気泡に実質的に依存する点である。この種の気泡は音波信号の伝搬に著しく影響して測定結果を誤らせる。
【０００４】
別の先行技術では油圧ピストン・シリンダ構成の外部に１台以上の超音波変換器を配置し、そのようにしてピストンが超音波変換器のすぐ近傍にあるか認識できるようにする。そのような装置はソノテック・ウルトラシャルセンゾリーク・ハレ社、ナウエンドルファーシュトラーセ２、０６１１２ハレ（ザール）、ドイツ）から「ソノコントロール１４」の名称で販売されている。この種の装置は特にリミットスイッチに適している。この場合、互いに間隔を置いて配置された複数のセンサを使用しても、ピストンの連続的な位置測定は可能ではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
（原文に記載なし）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、先行技術から出発して、変位測定を確実、正確及び廉価に行なうことができる超音波変位測定システム、及びそのようなシステムを用いて超音波変位測定を行うための方法を提示することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題の装置に関する部分の解決策は、請求項１の特徴を有する超音波変位測定システムである。この超音波変位測定システムの有利な実施形態は、従属請求項２〜１０から明らかである。上記課題の方法に関する部分は、請求項１１の方策を用いる方法によって解決される。
【０００８】
本発明により、超音波センサは分離部材の位置検出を圧縮可能な流体を入れた他方の媒体室の側で行うようにされている。
【０００９】
このようにすると分離部材の位置は非常に正確に検出できる。なぜなら超音波信号は窒素ガスなどの気相流体のみを通って伝搬すればよいからである。この圧縮可能な気体においては分離部材の動きや周囲条件に関わりなく相転移が行われないので、それに伴う測定誤差を考慮する必要がない。圧縮可能な流体は気体であるという事実に基づき、電気的に操作される超音波センサは原則として乾燥状態で保存されるため、センサの運転時に湿気による損傷は懸念されない。それゆえ超音波変位測定システムは寿命が長くメンテナンスが少なくて済む。そのうえ超音波センサに必要なコンポーネントは比較的廉価に入手できるので、総じて低コストの超音波変位測定システムが提示される。好ましくはピストン状に形成された分離部材の位置検出は、分離部材の静的な運動過程においても極めて動的な運動過程においても確実に行われる。
【００１０】
超音波センサはセンサチャンバ内に収容されており、その内部は圧縮可能な流体を入れた他方の媒体室と媒体ガイドによって媒体を通すように接続されていることが有利である。このようにして超音波センサは圧力が平衡した状態に保たれる。他方の媒体室の内圧に対してセンサを支持するために追加の方策を講じる必要はない。これによりセンサは容易に製作でき、自在に吊るすことができるので、音波の発生と伝搬は支障なく行うことができる。
【００１１】
好適な実施形態により超音波センサはハウジングの蓋部に、媒体ガイドを備えたセンサチャンバの少なくとも一部は圧縮可能な流体を入れた他方の媒体室内に設定可能な張り出しだけ突入し、さらに分離部材のあらゆる移動位置で超音波センサに対して所定の間隔に保持されるように定置されている。こうしてセンサチャンバの圧力平衡を非常に簡単に実現できる。このためにセンサチャンバは支持体と、センサエレメントに向けられた蓋部の下側との間に少なくとも１個の貫通部を有しており、少なくともその一部は媒体ガイドを形成している。隣接部材にそれ以外の流路は必要ない。そのうえこの構成において超音波壁センサの位置は音波伝搬に関して最適である。なぜなら特にセンサの特別近傍にある分離部材の場合には、他の部材での音波反射が測定結果を誤らせることがないからである。
【００１２】
センサチャンバは有利には周囲に向かって、好ましくはガラスダクトとして形成されたガラス部によって閉じられることができ、このガラスダクトを介して超音波センサから制御装置へのケーブル接続が作られる。そのようなガラス部は簡単に作ることができ、それぞれの媒体室に高い圧力がかかっても媒体室を周囲に対して確実に閉じることを保証する。したがってセンサ信号は最も短い経路で超音波センサから制御装置へのケーブル接続だけで搬送され得る。それゆえ信号損失はわずかである。
【００１３】
特に有利には、超音波センサは、支持体上に配置された、好ましくは円板形のピエゾセラミックを備えた超音波変換器を有しており、支持体は好ましくはセンサチャンバを圧縮可能な流体を入れた他方の媒体室に向かって閉じている。この場合、ピエゾセラミックは印加された電圧に応じて半径方向で膨張若しくは収縮するように配置できる。ピエゾセラミックを支持体に全面的に接着することにより、このとき支持体に曲げ応力が加えられて支持体は膨らむ。このようにしてピエゾセラミックを相応に励起することにより他方の媒体室の圧縮可能な流体中に超音波が形成され得る。この作用原理は相応に逆にすることができ、支持体を音波によって振動させると支持体が曲がる。次にこれらの振動は、圧電要素に膨張若しくは収縮の形で伝えられて電圧に変換され、この電圧が適当な制御電子装置によって評価され得る。
【００１４】
有利には、圧縮可能な流体の内部に、好ましくは互いに定置された２個の基準点によって限定された基準測定区間が存在しており、これらの基準点のうち一方の基準点は超音波センサから形成され、他方の基準点はセンサ信号に対する、好ましくは固定した転向点から形成されており、この転向点はセンサチャンバの境界壁の形を取ることが好都合である。基準区間に基づいて、音波信号が超音波センサか分離部材に到達して戻るまでの経過時間を測定すると同時に、同じ音波信号の基準区間上における経過時間を測定することが可能である。このようにして基準測定区間において他方の媒体室の流体中の音波伝搬速度を測定でき、次にそれを信号経過時間と実際の伝搬速度に基づき分離部材の位置を求めるために使用できる。この場合特に有利なのは、超音波センサと分離部材との間の測定区間が超音波センサに対して基準区間の反対側にあることである。そのため測定区間が互いに影響し合うことはない。また、干渉によって測定結果を誤らせる可能性のある基準対象物を、超音波センサと分離部材との間の音波経路中に配置する必要もない。さらに、部材要素が基準対象物に当り、それによって基準対象物を破損する危険もない。境界壁はセンサチャンバ内の段差の形を有することができる。その際に、音波伝搬速度を求めるのに一様ではない境界壁でも足りることが明らかとなった。
【００１５】
特に分離部材は剛性的な境界ピストンによって形成されて、ハウジングの内部で長手軸線の方向に移動可能に配置されており、超音波センサはこの長手軸線と共軸に配置されていることが有利である。したがって分離部材は所定の寸法だけ動くことができ、それにより超音波変位測定システムの構造は著しく単純化されてエラー源が排除される。さらにこうすることにより反射された音波信号の品質が改善される。
【００１６】
好ましくは境界ピストンとして形成された分離部材は圧縮不能な流体のための集合器を有しており、この圧縮不能な流体は超音波変位測定システムの運転時に圧縮不能な流体を入れた媒体室から境界ピストンとハウジングとの間の隙間を通って圧縮可能な流体を入れた他方の媒体室に進入すること、さらに好ましくは境界ピストン内の集合槽として形成された集合器は、超音波センサと直接の音放射方向で隣接して反対側に配置されていることが有利である。このようにして他方の媒体室に進入した圧縮不能な流体は集合器内に集まる。そこで圧縮不能な流体は、超音波センサと分離部材との間の測定区間を短縮する。なぜなら圧縮不能な流体は相変化により最初の反射面を形成するからである。しかしこの場合、超音波の一部は引き続き圧縮不能な流体中に進入して分離部材の底部で反射され続ける。このようにして時間が経過すると、どれだけの量の液体が集合槽に集まったかを確認できる。それにより超音波変位測定システム若しくは内部に超音波変位測定システムが配置されている蓄圧器のメンテナンスを行う必要があるか確実に認識できる。
【００１７】
超音波センサの作動周波数は、分散により発生する波長に依存した振幅変調がわずかである、可能な限り低い周波数、特に１００ｋＨｚと、距離測定においてより短い波長でより高い解像度が可能である、それより高い周波数、特に１５０ｋＨｚとの間で選択できる。これらの周波数で音波信号は波長約４０ｍｍを有するので、分離部材の位置は非常に正確に決定される。少なくとも測定精度は、公知の変位測定システムにおけるよりはるかに高い。
【００１８】
本発明による方法に従い、超音波センサによって音波信号が送出されて、分離部材と、超音波センサと反対側の基準点とにおける音波反射が検出される。音波信号が超音波センサから指定可能な基準点に到達して戻るまでの経過時間から圧縮可能な流体中の音波伝搬速度が求められる。この音波伝搬速度と、音波信号が超音波センサから分離部材に到達して戻るまでの経過時間とから、可動分離部材と定置された超音波センサとのその都度の間隔が求められる。
【００１９】
測定区間と基準測定区間における経過時間の測定は時間をずらして又は同時に行なうことができる。特に同時測定によって測定精度が改善される。なぜなら分離部材が行程において急速に動いた場合に、他方の媒体室において圧縮可能な流体の断熱的状態変化が発生し得るからである。例えば流体の温度が上昇し、それによって音波伝搬速度が変化して測定精度が損なわれる恐れがある。
【００２０】
以下に本発明を図示した実施例に基づいて詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明による超音波変位測定システムを有する蓄圧器の縦断面図である。
【図２】図１の超音波センサの拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図１に示す超音波変位測定システム１は、少なくとも１個の可動分離部材５を有する油圧（流体圧）アキュムレータ３で使用されており、分離部材５はハウジング７の内部で２個の媒体室９、１１を実質的に媒体を通さないように互いに分離している。一方の媒体室９は圧縮不能な流体を特に油圧油の形態で収容し、他方の媒体室１１は圧縮不能な流体を特に作動ガスの形態で、ここでは窒素（Ｎ2）を収容する。媒体室９内に別の圧縮可能な流体を、例えばメタン又は希ガスの形態で、しかしまた他の圧縮不能な流体、例えばアルコール、さらにはパスタ状の流体を注入することも可能であろう。超音波センサ１３によってハウジング７の内部における可動分離部材５のその都度の位置が検出可能である。
【００２３】
図１においてハウジング７は管状ハウジング部分１５を有しており、その両端には２個の蓋部１７、１９がねじ山部２１を介してねじ込まれている。蓋部１７、１９は周溝２３内に保持されたシールリング２５により管状ハウジング部分１５に対してシールされている。両蓋部１７、１９は共軸孔２７、２９を有しており、圧縮不能な流体を入れた媒体室９に通じている蓋部１７には、詳細に示されない油圧回路の流体導管のための接続部３１が設けられている。
【００２４】
蓋部１７と１９の間には分離部材５がある。分離部材５は剛性的な境界ピストンから形成されており、境界ピストンはハウジング７の内部で長手軸線ＬＡの方向に移動可能に配置されている。境界ピストン５は鍋形に形成されており、その底部３３は媒体室９に向いている。境界ピストン５には外周に２個の互いに離間した溝３５が設けられており、その中にガイドリング３７が配置されている。ガイドリング３７の間には別の周溝３９が設けられており、その中にシールエレメント４１が配置されている。分離部材５は、気相の、即ち圧縮可能な流体の蓄積量を増すために鍋又は槽のように形成されており、底部側に圧縮不能な流体のための集合器４３を有している。圧縮不能な流体は場合によりアキュムレータの油側からシールエレメント４１からなる密封装置を介して意図せず気体側に達する。集合器４３はその限りで長手軸線ＬＡに対して同様に共軸の集合槽の形態で境界ピストン５内に形成されている。したがってこの集合器４３は超音波センサ１３とその直接的な音波放射方向で隣接して反対側に配置されている。
【００２５】
他方の媒体室１１と境を接している蓋部１９にはスリーブ形のセンサ保持具４５が挿入され、特にねじ込まれている。センサ保持具４５は蓋部１９の外側４７に隣接してねじ山部４９と拡張された頭部５１を有している。頭部５１と蓋部１９との間には環状シールエレメント５３が設けられている。センサ保持具４５は内部５５が中空で、センサチャンバ５７を形成している。センサチャンバ５７の内部５５は媒体ガイド５９により圧縮可能な流体を作動ガスの形態で入れた他方の媒体室１１と媒体を通すように接続されている。センサチャンバ５７はこのために、超音波センサ１３の支持体６１と、蓋部１９の分離部材に向けられた下側６３に複数の貫通部５９を孔の形態で有する。
【００２６】
他方の媒体室１１と境を接している蓋部１９内では、超音波センサ１３がセンサ保持具４５に保持されている。超音波センサ１３は分離部材５の位置検出を圧縮可能な流体を入れた他方の媒体室１１の側で行う。超音波センサ１３はハウジング７の長手軸線ＬＡに対して共軸に配置されている。超音波センサ１３はセンサチャンバ５７の端面側に受容されている。超音波センサ１３は蓋部１９に、媒体ガイド５９を備えたセンサチャンバ５７の少なくとも一部は圧縮可能な流体を入れた他方の媒体室１１内に設定可能な張り出しＵだけ突入し、分離部材５のあらゆる移動位置で超音波センサ１３に対して所定の間隔に保持されるように定置されている。こうすることにより超音波センサ１３は他方の媒体室１１において圧力平衡状態に保たれている。特にセンサ１３はピストン状の分離部材５の最上部の死点位置でも衝突を懸念する必要なく、集合器４３を備えた分離部材５の鍋状凹部に受容されてセンサ測定を行うことができる。
【００２７】
図２に詳細に示す超音波センサ１３は、円板状のピエゾセラミック６６を備えた音波変換器６５を有している。ピエゾセラミック６６は同様に円板状の支持体６１上に全面的に接着されて配置されている。支持体６１はセンサチャンバ５７を圧縮可能な流体を入れた他方の媒体室１１に向かって閉じている。このために支持体６１は周溝６７を有して、Ｏリング６９によりセンサチャンバ５７の内側周溝７１に確実に保持されている。ピエゾセラミック６６は電気的に励起されると半径方向に膨張するか又は収縮して、その長さの変化を支持体に伝え、その結果として支持体６１は周期的に偏向し、特に膨らみ、そのようにして所望された音波を形成する。
【００２８】
他方の媒体室１１においてはセンサチャンバの内部に基準区間が存在している。基準区間は２個の互いに定置された基準点１３、７３によって限定される。一方の基準点は超音波センサ１３自体であり、他方の基準点はセンサ信号に対する転向点７３である。この転向点７３は境界壁、ここではセンサチャンバ５７の内壁の段差として形成されている。これにより転向点７３と分離部材５は超音波センサ１３の反対側に配置されていることが有利である。それゆえ測定区間と基準区間は互いに独立している。このために転向点７３は保護された位置に設けられていて、分離部材５によって影響を受けることはない。
【００２９】
センサチャンバ５７は周囲に向かって、好ましくはガラスダクトとして形成されたガラス部７によって覆われている。ガラス部７９上では超音波センサ１３が制御装置８５とケーブル接続８３によって接続されている。
【００３０】
超音波センサ１３は設定可能な作動周波数で駆動される。この周波数はより低い周波数とそれより高い周波数と間で選択できる。この場合により低い周波数は、分散により発生する波長に依存した振幅変調がわずかであるように、特に１００ｋＨｚとなるように選択される。より高い周波数では、距離測定においてより短い波長でより高い解像度が可能である。より高い周波数は１５０ｋＨｚであることが好ましい。
【００３１】
以下に本発明による超音波変位測定システム１の作動原理を説明する。超音波変位測定システム１は油圧・空気圧式蓄圧器３内に配置されている。第１の媒体室９に圧縮不能又は圧縮可能な媒体を蓄積することにより、蓄圧器３の内部で分離部材５が動いて、両媒体室９、１１における流体間の圧力平衡を生み出す。その過程で超音波変位測定システム１により分離部材５の位置を求めることができる。このために制御装置８５で制御されて、超音波センサ１３によって音波信号が送出され、分離部材５と、超音波センサ１３と反対側の基準点７３とにおける音波反射が検出され、反射された音波の経過時間を制御装置８５によって求めることができる。音波信号が超音波センサ１３から指定可能な基準点７３に到達して戻るまでの経過時間から、他方の媒体室１１の圧縮可能な流体中の音波伝搬速度が求められる。次にこの音波伝搬速度と、音波信号が超音波センサ１３から分離部材５に到達して戻るまでの経過時間とに基づいて、可動分離部材５と定置された超音波センサ１３とのその都度の間隔Ａを求めることができる。
【００３２】
圧縮不能な流体を入れた一方の媒体室９から分離部材５とハウジング７の間の隙間８７を通って液体が他方の媒体室１１に進入する場合、液体は集合器４３に流入するであろう。そこで液体は超音波センサ１３と分離部材５との間の測定区間を短縮する。しかしながら超音波の一部は引き続き分離部材の底部で反射されるので、本発明による超音波変位測定システム１により有利には、液体が他方の媒体室に進入したか、及びそれはどれだけの量であるかを確認できる。それにより分離ピストン５のシーリングシステムの密封性がもはや十分でなく、アキュムレータの定期的なメンテナンス、さらには接続されている油圧回路（図示せず）における交換を行うべきか示唆される。
【００３３】
本発明により特に有利な超音波変位測定システム１が提示される。気体側１１で測定することにより、分離部材５の位置を非常に正確に検出できる。なぜなら超音波信号は１種類の流体のみを通って伝搬すればよいからである。この圧縮可能な流体においては分離部材の動きや周囲条件に関わりなく相転移が行われないので、それに伴う測定誤差を考慮する必要がない。圧縮可能な流体は原則として気体であるという事実に基づき、電気的に操作される超音波センサは乾燥状態で保存されるため、運転時に超音波センサが湿気によって損傷する懸念はない。それゆえ超音波変位測定システムは寿命が長くメンテナンスも少なくて済む。そのうえ超音波センサに必要なコンポーネントは比較的廉価に入手できる。センサ１３に対する最小変位測定区間は、分離部材５が、下側蓋部１９の分離部材５に向けられた上側に当接したらピストン状分離部材５の下方死点位置によって形成される。
【００３４】
本発明による解決策は、基本的に両媒体室９、１１がピストン・ロッド・ユニットによって互いに分離されている空気圧式作動シリンダ（図示せず）にも使用できる。この場合、そのようなユニットのロッドは蓋側で第３部材との枢着部まで延ばされており、両媒体室９、１はピストン・ロッド・ユニットを往復運動させるために交互に空気圧供給源と接続できる。
【図１】
0006538654.tif 000002
【図２】
0006538654.tif 000003