(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
通孔（５１０）、前記通孔の内側開口の周囲に設けられ金属からなる弁座側シール面（５１２）、及び、前記弁座側シール面の径外方向に設けられる弁座側衝突面（５２２、５４２）を有する弁ハウジング（１０）と、
前記弁ハウジング内に往復移動可能に設けられ、前記弁座側シール面に当接可能な金属からなるニードル側シール面（２１１、４１１）及び前記ニードル側シール面の径外方向に設けられ前記弁座側衝突面に当接可能なニードル側衝突面（２１２、４４１）を有し、前記ニードル側シール面が前記弁座側シール面に当接すると前記弁ハウジングの内部（１００）と外部との間の流体の流れを規制し、前記ニードル側シール面が前記弁座側シール面から離間すると前記弁ハウジングの内部と外部との間の流体の流れを許容するニードル（２０）と、
前記ニードルを往復移動可能な駆動部（２５、２６、２７、２８）と、
を備え、
前記ニードルは、前記通孔側に移動するとき前記ニードル側衝突面が前記弁座側衝突面に衝突したのち前記ニードル側シール面が前記弁座側シール面に当接し、
前記弁ハウジングは、複数の前記弁座側衝突面（５２２、５４２）を有し、
前記ニードルは、前記通孔側に移動するとき、前記ニードル側衝突面が複数の前記弁座側衝突面のうち最も前記通孔から離れている一の弁座側衝突面（５４２）に衝突したのち前記通孔から離れている順に他の弁座側衝突面（５２２）に衝突し、最後に前記ニードル側シール面が前記弁座側シール面に当接する弁装置。
【請求項２】
前記弁ハウジングは、前記弁座側シール面を有するシール用弁座（５１）、前記シール用弁座に比べ前記通孔から離れた位置に設けられ前記弁座側衝突面を有する衝突用弁座（５２、５４）、及び、前記シール用弁座と前記衝突用弁座との間に設けられ前記弁座側シール面と前記弁座側衝突面との相対位置を変更可能な弁座側中間部材（１７、５３、５５）を有する請求項１に記載の弁装置。
【請求項３】
前記弁座側中間部材は、弾性部材（５３、５５）またはばね（１７）である請求項２に記載の弁装置。
【請求項４】
前記弁座側シール面、前記弁座側衝突面、前記ニードル側シール面、及び、前記ニードル側衝突面の少なくとも一つは、耐摩耗性が高い硬質の面である請求項１〜３のいずれか一項に記載の弁装置。
【請求項５】
前記ニードル側シール面と前記弁座側シール面とが当接しているとき、前記ニードル側シール面と前記弁座側シール面との間のシール面圧は、前記ニードル側衝突面と前記弁座側衝突面との間の当接面圧に比べて大きい請求項１〜４のいずれか一項に記載の弁装置。
【請求項６】
前記シール面圧は、前記弁ハウジング内の流体の圧力に比べ大きい請求項５に記載の弁装置。
【請求項７】
内燃機関の燃焼室に気体燃料を直接噴射可能な請求項１〜６のいずれか一項に記載の弁装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弁装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体の流れを制御可能な弁装置は、往復移動可能な弁部材、弁部材を収容し流体が流通可能な通孔及び弁部材が当接可能な弁座面を有する弁ハウジング、弁部材を往復移動可能な駆動部などを備える。例えば、特許文献１には、弾性材料から形成される弁座面を有する弁装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２４０１４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の弁装置では、弁部材との衝突を繰り返していくと弁座面が摩耗するため、流体の流れを精度良く制御できなくなるおそれがある。また、弁座面が摩耗すると弁部材のリフト量が変化するため、通孔を流れる流体の流量が摩耗の度合いに合わせて変化し、流体の流量を所望の流量とすることが難しくなるおそれがある。
【０００５】
また、弁座面が弾性部材から形成されている場合、弁ハウジングの内部に導入される流体の圧力によって弁座面が変形する。弁座面が変形すると弁部材のリフト量も変化するため、流体の流量を所望の流量とすることが難しくなる。また、流体の圧力が大きくなると弁座面の変形量は大きくなるため、弾性材料からなる弁座面を有する弁装置を高圧から低圧まで流体の流れを制御するために用いる場合、流体の圧力とリフト量との関係から流体の流量が一義的に決めることができないため、高精度での流通制御が難しくなる。
【０００６】
本発明の目的は、高圧から低圧まで流体の流れを高精度に制御可能な弁装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の弁装置は、弁ハウジング、ニードル、及び、ニードルを往復移動可能な駆動部を備える。
弁ハウジングは、通孔、通孔の内側開口の周囲に設けられ金属からなる弁座側シール面、及び、弁座側シール面の径外方向に設けられる弁座側衝突面を有する。
ニードルは、弁ハウジング内に往復移動可能に設けられ、弁座側シール面に当接可能な金属からなるニードル側シール面、及び、ニードル側シール面の径外方向に設けられ弁座側衝突面に当接可能なニードル側衝突面を有する。ニードルは、ニードル側シール面が弁座側シール面に当接すると弁ハウジングの内部と外部との間の流体の流れを規制し、ニードル側シール面が弁座側シール面から離間すると弁ハウジングの内部と外部との間の流体の流れを許容する。
本発明の弁装置では、ニードルは、通孔側に移動するときニードル側衝突面が弁座側衝突面に衝突したのちニードル側シール面が弁座側シール面に当接する。
本発明では、弁ハウジングは、複数の弁座側衝突面を有する。ニードルは、通孔側に移動するとき、ニードル側衝突面が複数の弁座側衝突面のうち最も通孔から離れている一の弁座側衝突面に衝突したのち通孔から離れている順に他の弁座側衝突面に衝突し、最後にニードル側シール面が弁座側シール面に当接する。
【０００８】
本発明の弁装置では、弁ハウジングが有する弁座側シール面は金属から形成されており、弁座側シール面に当接するニードルのニードル側シール面も金属から形成されている。すなわち、本発明の弁装置では、金属同士のシールによって弁ハウジングの内部と外部との間の流体の流れを制御する。これにより、弁装置の開閉の回数が多くなってもニードル側シール面及び弁座側シール面は摩耗しにくいため、ニードルのリフト量は変化しにくくなる。また、弁ハウジングの内部の流体の圧力が比較的高くなる場合でも、本発明の弁装置では、弁座側シール面及び弁座側衝突面は変形しにくいため、高圧から低圧までの広い圧力範囲での流体の流れを制御するために用いてもニードルのリフト量は変化しにくくなる。これにより、流体の圧力とリフト量との関係から流体の流量を一義的に決めることができるため、流体の流量が不安定になることを防止できる。
【０００９】
一方、金属同士の当接によって弁ハウジングの内部と外部との間の流体の流れを制御する場合、シールを確実にするため、弁座側のシール面に当接するニードルの荷重を大きくし、弁座側のシール面とニードル側のシール面との間のシール面圧を比較的大きくする必要がある。シール面圧を大きくするためにはニードルを往復移動可能な駆動部が発生する駆動力を比較的大きくする必要があるが、閉弁するとき、通孔側に移動するニードルの移動速度も速くなる。このため、ニードルが弁ハウジングに衝突するときの衝撃が大きくなり、弁ハウジングが破損するおそれがある。
【００１０】
本発明の弁装置では、ニードルは、ニードルが通孔側に移動するとき、ニードル側衝突面と弁座側衝突面とが衝突したのちにニードル側シール面と弁座側シール面とが当接する。ニードル側衝突面と弁座側衝突面とが衝突すると、ニードルの通孔側への移動速度が低下する。これにより、その後、ニードル側シール面と弁座側シール面とが当接しても弁ハウジングの損傷を防止することができ、かつ、シール面圧を比較的大きくすることができるため、弁ハウジングの内部と外部との間の流体の流れを確実に規制することができる。したがって、弁ハウジングの損傷を防止しつつ金属同士のシールにおいても確実にシールすることができる。
【００１１】
このように、本発明の弁装置は、ニードル側シール面及び弁座側シール面を弁ハウジング内の圧力変化によっても比較的変形しにくくかつ摩耗しにくい金属から形成することによってニードルのリフト量の変化を防止する。また、閉弁時のニードルが弁ハウジングに及ぼす衝撃をニードル側衝突面と弁座側衝突面との衝突によって緩和した後、ニードル側シール面と弁座側シール面とを比較的高いシール面圧で当接させることができる。したがって、本発明の弁装置は、高圧から低圧まで流体の流れを高精度に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第一実施形態による弁装置の断面図である。
【図２】本発明の第一実施形態による弁装置の作用を説明する断面図であって、図１とは異なる断面図である。
【図３】本発明の第一実施形態による弁装置の作用を説明する断面図であって、図１、２とは異なる断面図である。
【図４】本発明の第二実施形態による弁装置の断面図である。
【図５】本発明の第三実施形態による弁装置の断面図である。
【図６】本発明の第三実施形態による弁装置の作用を説明する断面図であって、図５とは異なる断面図である。
【図７】本発明の第三実施形態による弁装置の作用を説明する断面図であって、図５、６とは異なる断面図である。
【図８】本発明の第四実施形態による弁装置の断面図である。
【図９】本発明の第四実施形態による弁装置の作用を説明する断面図であって、図８とは異なる断面図である。
【図１０】本発明の第四実施形態による弁装置の作用を説明する断面図であって、図８、９とは異なる断面図である。
【図１１】本発明の第五実施形態による弁装置の断面図である。
【図１２】本発明の第六実施形態による弁装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の複数の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
（第一実施形態）
本発明の第一実施形態による「弁装置」としての燃料噴射弁１を図１〜３に示す。燃料噴射弁１は、図示しない直噴用エンジンが有する燃焼室に気体燃料を直接供給可能な弁装置である。燃料噴射弁１は、直噴用エンジンの燃焼室近傍の部材、例えば、シリンダヘッドなどに設けられる。燃料噴射弁１は、弁ハウジング１０、ニードル２０、可動コア２５、固定コア２６、コイル２７、スプリング２８などを備える。可動コア２５、固定コア２６、コイル２７及びスプリング２８は、特許請求の範囲に記載の「駆動部」に相当する。なお、図１〜３には、ニードル２０が弁座部１３から離間する方向である開弁方向、及び、ニードル２０が弁座部１３に当接する方向である閉弁方向を図示する。
【００１５】
弁ハウジング１０は、筒部１１、蓋部１２、弁座部１３などを有する。
筒部１１は、略筒状に形成されている部材であって、内部にニードル２０、可動コア２５、固定コア２６、コイル２７及びスプリング２８を収容する。
【００１６】
蓋部１２は、筒部１１の一方の端部に筒部１１の一方の開口を塞ぐよう設けられている。蓋部１２は、筒部１１の内部と外部とを連通する連通孔１２１を有する。
【００１７】
弁座部１３は、筒部１１の他方の端部に筒部１１の他方の開口を塞ぐよう設けられている。弁座部１３は、シール用弁座１４、衝突用弁座１５、及び、「弁座側中間部材」としての弾性部材１６を有する。
【００１８】
シール用弁座１４は、金属から形成されている略環状の部材である。シール用弁座１４は、径方向外側が筒部１１の他方の端部の内壁１１１に固定されている。シール用弁座１４は、「通孔」としての噴孔１４０を有する。
シール用弁座１４は、噴孔１４０の内側の角部１４１に弁座側シール面１４２を有する。弁座側シール面１４２は、噴孔１４０の中心軸ＣＡ１に沿って噴孔１４０から離れるほど中心軸ＣＡ１から離れるよう傾斜している。弁座側シール面１４２は、軟窒化処理が施されている。これにより、弁座側シール面１４２は、耐摩耗性が高くなっている。シール用弁座１４は、ニードル２０と当接可能である。
【００１９】
衝突用弁座１５は、金属から形成されている略環状の部材である。衝突用弁座１５は、シール用弁座１４に比べ筒部１１の内側に設けられ、筒部１１の内壁１１１に対して摺動可能である。衝突用弁座１５は、噴孔１４０と連通する貫通孔１５０の内径が噴孔１４０の内径に比べ大きくなるよう形成されている。
衝突用弁座１５は、貫通孔１５０の内側の角部１５１に弁座側衝突面１５２を有する。弁座側衝突面１５２は、中心軸ＣＡ１に沿って噴孔１４０から離れるほど中心軸ＣＡ１から離れるよう傾斜している。弁座側衝突面１５２は、軟窒化処理が施されている。これにより、弁座側衝突面１５２は、耐摩耗性が高くなっている。衝突用弁座１５は、ニードル２０が当接可能である。
【００２０】
弾性部材１６は、弾性材料から形成されている略環状の部材である。弾性部材１６は、シール用弁座１４と衝突用弁座１５との間に設けられる。具体的には、弾性部材１６は、シール用弁座１４の衝突用弁座１５側の端面１４３及び衝突用弁座１５のシール用弁座１４側の端面１５３に当接可能に設けられている。弾性部材１６は、内径が噴孔１４０の内径に比べ大きくなるよう形成されている。弾性部材１６が変形すると、中心軸ＣＡ１方向におけるシール用弁座１４と衝突用弁座１５との相対位置が変化する。
【００２１】
ニードル２０は、金属から形成されている略棒状の部材である。ニードル２０は、弁ハウジング１０内に往復移動可能に設けられる。ニードル２０は、ニードル側シール部２１及び軸部２２を有する。ニードル側シール部２１と軸部２２とは一体に形成されている。
【００２２】
ニードル側シール部２１は、ニードル２０の噴孔１４０側に設けられている。ニードル側シール部２１は、噴孔１４０側から固定コア２６側に向かうにつれて外径が大きくなる略円錐状に形成されている。ニードル側シール部２１は、弁座側シール面１４２に当接可能なニードル側シール面２１１、及び、ニードル側シール面２１１の径外方向に形成され弁座側衝突面１５２に当接可能なニードル側衝突面２１２を有する。ニードル側シール面２１１及びニードル側衝突面２１２は、軟窒化処理が施されている。これにより、ニードル側シール面２１１及びニードル側衝突面２１２は、耐摩耗性が高くなっている。また、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接すると、可動コア２５と弁座部１３との間の「弁ハウジングの内部」としての内部空間１００と弁ハウジング１０の外部との間の流体の流れが規制される。ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが離間すると、内部空間１００と弁ハウジング１０の外部との間の流体の流れが許容される。
【００２３】
第一実施形態では、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接しているときのニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とのシール面積は、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接しているときのニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２との当接面積に比べ小さくなるよう形成されている。
【００２４】
軸部２２は、ニードル側シール部２１の固定コア２６側に設けられる。軸部２２は、中心軸ＣＡ１方向に延びるよう形成されている棒状の部位である。軸部２２の外径は、ニードル側シール部２１の固定コア２６側の外径と同じである。
【００２５】
可動コア２５は、ニードル２０の軸部２２の径方向外側に設けられている筒状の部材である。可動コア２５は、磁性材料から形成され、ニードル２０と一体に往復移動可能に設けられている。可動コア２５は、径方向外側の外壁２５１が筒部１１の内壁１１１に摺動可能に形成されている。可動コア２５は、可動コア２５の噴孔１４０側と噴孔１４０とは反対側とを連通する流通路２５０を複数有する。
【００２６】
固定コア２６は、可動コア２５の噴孔１４０とは反対側に筒部１１に対して固定されている筒状の部材である。固定コア２６は、磁性材料から形成されている。
【００２７】
コイル２７は、固定コア２６の径方向外側に設けられている筒状の部材である。コイル２７は、図示しないコネクタを介して図示しない外部の電源と電気的に接続している。コイル２７は、電源から供給される電力によって可動コア２５と固定コア２６とを通る磁気回路を形成する。
【００２８】
スプリング２８は、固定コア２６の内側に設けられている。スプリング２８は、一端がニードル２０の噴孔１４０とは反対側の端部が有する端面２１３に当接している。他端は、固定コア２６の内部に固定されているアジャスティングプレート２８１に当接している。スプリング２８は、ニードル２０を閉弁方向に付勢する。
燃料噴射弁１では、可動コア２５と固定コア２６とを通る磁気回路が形成されていないとき、図１に示すように、スプリング２８の付勢力によってニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接している。
【００２９】
燃料噴射弁１では、連通孔１２１から弁ハウジング１０内に流入する気体燃料は、固定コア２６の内側、アジャスティングプレート２８１が有する連通孔２８２、可動コア２５と固定コア２６との間、及び、流通路２５０を通って内部空間１００に導かれる。すなわち、固定コア２６の内側、アジャスティングプレート２８１が有する連通孔２８２、可動コア２５と固定コア２６との間、流通路２５０、及び、内部空間１００が燃料噴射弁１における燃料通路となる。
【００３０】
次に、燃料噴射弁１の作用について図１〜３を参照して説明する。
コイル２７に電力が供給されていないとき、ニードル２０は、スプリング２８の付勢力及び弁ハウジング１０内の気体燃料の圧力によって閉弁方向に付勢されているため、ニードル側衝突面２１２が弁座側衝突面１５２と当接する。このとき、弾性部材１６は、ニードル２０を介して衝突用弁座１５に作用するスプリング２８の付勢力及び弁ハウジング１０内の気体燃料の圧力によって中心軸ＣＡ１方向に圧縮される。弾性部材１６が圧縮されると、シール用弁座１４と衝突用弁座１５とが近づき、ニードル側シール面２１１が弁座側シール面１４２と当接することができる（図１参照）。これにより、内部空間１００と外部とは遮断される。
【００３１】
また、ニードル２０と弁座部１３とのシール面積及び当接面積の関係から、内部空間１００と外部とが遮断されているときのニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２との間のシール面圧は、ニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２との間の当接面圧に比べ大きくなっている。シール面圧は、内部空間１００に滞留する流体の圧力以上の圧力となっている。また、当接面圧は、内部空間１００に滞留する流体の圧力より小さい圧力となっている。すなわち、内部空間１００と外部との気密は、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２との当接によって維持されている。
【００３２】
コイル２７に電力が供給され可動コア２５と固定コア２６とを通る磁気回路が形成されると、可動コア２５と固定コア２６との間には磁気吸引力が作用する。この磁気吸引力の大きさが所定の大きさ以上になると、可動コア２５と一体に往復移動可能なニードル２０は開弁方向に移動する。ニードル２０が開弁方向に移動すると、図２に示すように、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが離間し、内部空間１００と外部とが連通する。これにより、内部空間１００の気体燃料が噴孔１４０から外部に噴射される。
【００３３】
噴孔１４０から気体燃料が噴射されている状態においてコイル２７への電力の供給が終了すると、可動コア２５と固定コア２６とを通る磁気回路が消失し、可動コア２５と固定コア２６との間の磁気吸引力がなくなる。これにより、ニードル２０は、スプリング２８の付勢力によって閉弁方向に移動する。
閉弁方向に移動するニードル２０は、ニードル側シール面２１１が弁座側シール面１４２に当接する前にニードル側衝突面２１２が弁座側衝突面１５２に衝突する（図３参照）。このとき、ニードル２０と衝突用弁座１５とに作用する衝撃の大きさは、ニードル２０の耐衝撃荷重及び衝突用弁座１５の耐衝撃荷重に比べ小さい。ここで、耐衝撃荷重とは、衝撃によって対象とする部材に作用する荷重であって衝撃を受ける当該部材の特性が変化しない程度の荷重を指す。
【００３４】
ニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２とが衝突した後、ニードル２０はさらに閉弁方向に移動するため、ニードル２０に当接している衝突用弁座１５は閉弁方向に移動し、弾性部材１６が圧縮される。これにより、シール用弁座１４と衝突用弁座１５との中心軸ＣＡ１方向の距離が短くなり、図１に示すように、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接する。ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接すると、内部空間１００と外部との気密が確保される。
【００３５】
燃料噴射弁１では、弁ハウジング１０が有する弁座側シール面１４２は金属から形成されている。また、弁座側シール面１４２に当接するニードル２０のニードル側シール面２１１も金属から形成されている。すなわち、燃料噴射弁１では、金属同士のシールによって弁ハウジング１０内の流体の流通を制御する。
弁座部が弾性材料から形成される場合、ニードルとの衝突による摩耗や弁ハウジング内の気体燃料の圧力の変化などによってシール面積が拡大するおそれがある。シール面積が拡大するとニードルのリフト量が変化するため、気体燃料の噴射量が安定しない。一方、燃料噴射弁１のように、弁座側シール面１４２及びニードル側シール面２１１を金属から形成すると、ニードル２０との衝突によっても摩耗しにくく、また、弁ハウジング１０内の流体の圧力が比較的高くなる場合でも弁座側シール面１４２及びニードル側シール面２１１は変形しにくい。これにより、高圧から低圧まで流体の流れを制御するために用いてもニードル２０のリフト量は変化しにくくなる。したがって、ニードル２０のリフト量の変化によって流体の流量が不安定になることを防止できる。
【００３６】
一方、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２との当接によって内部空間１００と外部との気密を確実にするため、スプリング２８の付勢力を比較的大きくしニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とのシール面圧を比較的大きくする必要がある。このため、閉弁時、ニードル２０の閉弁方向への移動速度が比較的速くなり、ニードル２０と弁ハウジング１０との衝突における衝撃が比較的大きくなる。
そこで、燃料噴射弁１では、ニードル２０が閉弁方向に移動するとき、ニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２とが衝突した後にニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接する。ニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２とが衝突すると、ニードル２０の閉弁方向への移動速度が低下する。その後、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接することによって内部空間１００と外部との間の流体の流れを確実に規制することができる。これにより、弁座部１３の損傷を防止しつつ金属同士のシールにおいても確実にシールすることができる。
【００３７】
このように、燃料噴射弁１では、ニードル側シール面２１１及び弁座側シール面１４２を弁ハウジング１０内の圧力変化によっても比較的変形しにくくかつ摩耗しにくい金属から形成することによってニードル２０のリフト量の変化を防止する。また、金属によるシールを確実にするため比較的速い移動速度となる閉弁時のニードル２０が弁ハウジング１０に及ぼす衝撃をニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２との衝突によって緩和した後、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とを比較的高いシール面圧で当接させる。これにより、弁ハウジング１０の損傷を防止しつつ金属同士のシールにおいても確実に気密を維持することができる。したがって、燃料噴射弁１は、高圧から低圧まで流体の流れを高精度に制御することができる。
【００３８】
燃料噴射弁１が噴射する気体燃料は、液体燃料に比べエネルギー密度が低い。このため、一度の開弁によって比較的多くの気体燃料を噴射する必要があり、開弁時のニードル２０のリフト量が液体燃料を噴射する場合に比べ大きくなる。ニードル２０のリフト量が比較的大きくなると、スプリング２８の付勢力を大きくし気体燃料の噴射の応答性を向上させることが考えられる。
また、液体燃料の場合、当接しているシール面の間には液体の薄膜が存在するため、弁ハウジング内と外部との液密は比較的維持されやすいが、気体燃料の場合、当接しているシール面の間には気体の薄膜は存在できない。このため、燃料噴射弁１では、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２との間で気密が確保できるようスプリング２８の付勢力を比較的大きくする必要がある。
さらに、液体燃料に比べエネルギー密度が低い気体燃料を噴射する場合、一度の開弁によって比較的多くの気体燃料を噴射するため、噴孔１４０の内径も大きくなる。このため、ニードル側シール面２１１及び弁座側シール面１４２の内径も大きくなる。ニードル側シール面２１１及び弁座側シール面１４２の内径が大きくなると、ニードル２０の外径も大きくなるため、閉弁時のニードル２０の運動エネルギーは比較的大きくなる。
【００３９】
燃料噴射弁１では、閉弁時、ニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２とが衝突した後にニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接するため、スプリング２８の付勢力が大きくなってもニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２との衝突における衝撃を緩和することができる。これにより、燃料噴射弁１は、高圧から低圧まで気体燃料の流れを高精度に制御することができる。
【００４０】
（第二実施形態）
次に、本発明の第二実施形態による弁装置を図４を参照して説明する。第二実施形態は、弁座部が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００４１】
第二実施形態による弁装置として燃料噴射弁２の断面図を図４に示す。燃料噴射弁２の弁座部１３は、シール用弁座１４、衝突用弁座１５、及び、「弁座側中間部材」としての皿ばね１７を有する。
【００４２】
皿ばね１７は、金属から形成され、シール用弁座１４と衝突用弁座１５との間に設けられる。皿ばね１７は、シール用弁座１４の衝突用弁座１５側の端面１４３及び衝突用弁座１５のシール用弁座１４側の端面１５３に当接可能である。皿ばね１７は、衝突用弁座１５を噴孔１４０の中心軸ＣＡ１方向の固定コア２６側に付勢可能である。
【００４３】
燃料噴射弁２では、ニードル２０が閉弁方向に移動するとき、ニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２とが衝突した後にニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接する。ニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２との衝突における衝撃によって皿ばね１７が中心軸ＣＡ１方向に圧縮変形するとシール用弁座１４と衝突用弁座１５との中心軸ＣＡ１方向の距離が短くなり、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接することができる。これにより、第二実施形態は、第一実施形態と同じ効果を奏する。
【００４４】
また、直噴用エンジンが有する燃焼室に気体燃料を直接噴射する燃料噴射弁の場合、弁座や「弁座側中間部材」を弾性材料から形成すると直噴用エンジンで発生する熱によって弾性材料が変性しシールが維持できなくなるおそれがある。
燃料噴射弁２では、皿ばね１７は金属から形成されているため、直噴用エンジンで発生する熱によって変性することはない。これにより、燃料噴射弁２は、気体燃料を燃焼室に直接供給することができる。
【００４５】
（第三実施形態）
次に、本発明の第三実施形態による弁装置を図５〜７を参照して説明する。第三実施形態は、弁座部が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００４６】
第三実施形態による弁装置として燃料噴射弁３の断面図を図５に示す。燃料噴射弁３の弁座部１３は、シール用弁座１４、衝突用弁座１５、及び、「弁座側中間部材」としてのスペーサ１８を有する。
【００４７】
スペーサ１８は、金属から形成され、シール用弁座１４と衝突用弁座１５との間であって弁座側シール面１４２及び弁座側衝突面１５２に比べ噴孔１４０の中心軸ＣＡ１から離れた位置に設けられる。スペーサ１８と衝突用弁座１５とは一体に形成され、スペーサ１８は、シール用弁座１４の衝突用弁座１５側の端面１４３に当接している。
【００４８】
次に、燃料噴射弁３の作用について図５〜７を参照して説明する。
コイル２７に電力が供給されていないとき、図５に示すように、衝突用弁座１５は、ニードル２０を介して作用するスプリング２８の付勢力及び弁ハウジング１０内の気体燃料の圧力によって角部１５１がシール用弁座１４側に押される。これにより、衝突用弁座１５の角部１５１がシール用弁座１４の近傍に位置するようスペーサ１８が変形し、衝突用弁座１５とシール用弁座１４とが非平行な状態となる。このとき、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とは当接し、かつ、ニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２とは当接している。
【００４９】
コイル２７に電力が供給され可動コア２５とともにニードル２０が開弁方向に移動すると、図６に示すように、ニードル２０は弁座側シール面１４２から離間する。これにより、内部空間１００と外部とが連通し、内部空間１００の気体燃料が噴孔１４０から外部に噴射される。このとき、ニードル２０を介して衝突用弁座１５に作用していた閉弁方向の力は０となるため、スペーサ１８の形状は元に戻り、衝突用弁座１５は、シール用弁座１４に略平行な状態となる。
【００５０】
噴孔１４０から気体燃料が噴射されている状態においてコイル２７への電力の供給が終了すると、ニードル２０は、スプリング２８の付勢力によって閉弁方向に移動する。閉弁方向に移動するニードル２０は、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接する前にニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２とが当接する（図７参照）。ニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２とが当接した後、ニードル２０はさらに閉弁方向に移動するため、ニードル２０に当接している衝突用弁座１５は閉弁方向に移動し、スペーサ１８が変形する。これにより、シール用弁座１４と衝突用弁座１５との中心軸ＣＡ１方向の距離が短くなり、図５に示すように、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接する。
【００５１】
燃料噴射弁３では、ニードル２０が閉弁方向に移動するとき、ニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２とが衝突した後にニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接する。ニードル側衝突面２１２と弁座側衝突面１５２との衝突における衝撃によってスペーサ１８が変形するとシール用弁座１４と衝突用弁座１５との中心軸ＣＡ１方向の距離が短くなり、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面１４２とが当接することができる。これにより、第三実施形態は、第一実施形態と同じ効果を奏する。
また、スペーサ１８は、金属から形成されているため、耐熱性が比較的高い。したがって、燃料噴射弁３は、気体燃料を燃焼室に直接供給することができる。
【００５２】
また、燃料噴射弁３では、スペーサ１８と衝突用弁座１５とは一体に形成されている。これにより、シール用弁座１４、衝突用弁座１５、及び、弾性部材１６が別々に設けられている第一実施形態に比べ、燃料噴射弁３を簡易に製造することができる。
【００５３】
（第四実施形態）
次に、本発明の第四実施形態による弁装置を図８、９、１０を参照して説明する。第四実施形態は、弁座部及びニードルが第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００５４】
第四実施形態による弁装置としての燃料噴射弁４を図８に示す。燃料噴射弁４は、弁ハウジング３０、ニードル４０、可動コア２５、固定コア２６、コイル２７、スプリング２８などを備える。
【００５５】
弁ハウジング３０は、筒部１１、蓋部１２、弁座部１９などを有する。
弁座部１９は、略円環状に形成されている金属部材である。弁座部１９は、筒部１１の他方の端部に筒部１１の他方の開口を塞ぐよう設けられている。弁座部１９は、「通孔」としての噴孔１９０を有する。弁座部１９は、噴孔１９０の内側の角部１９１に弁座側シール面１９２、及び、弁座側シール面１９２の径方向外側に形成される弁座側衝突面１９３を有する。弁座側シール面１９２及び弁座側衝突面１９３は、噴孔１９０の中心軸ＣＡ４に沿って噴孔１９０から離れるほど中心軸ＣＡ４から離れるよう傾斜している。弁座側シール面１９２及び弁座側衝突面１９３は、軟窒化処理が施されている。これにより、弁座側シール面１９２及び弁座側衝突面１９３は、耐摩耗性が高くなっている。弁座部１９は、ニードル４０と当接可能である。
【００５６】
ニードル４０は、ニードル側シール部４１、小径軸部４２、大径軸部４３、ニードル側衝突部４４、「位置変更部材」としてのスプリング４５などから形成されている。ニードル側シール部４１、小径軸部４２及び大径軸部４３は、一体に形成されている。
【００５７】
ニードル側シール部４１は、ニードル４０の噴孔１９０側に設けられている。ニードル側シール部４１は、略半球状に形成されている。ニードル側シール部４１の外壁は、弁座側シール面１９２に当接可能なニードル側シール面４１１を有する。ニードル側シール面４１１は、軟窒化処理が施されている。これにより、ニードル側シール面４１１は、耐摩耗性が高くなっている。ニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２とが当接すると、内部空間１００と弁ハウジング３０の外部との間の流体の流れが規制される。また、ニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２とが離間すると、内部空間１００と弁ハウジング３０の外部との間の流体の流れが許容される。
【００５８】
小径軸部４２は、ニードル側シール部４１の固定コア２６側に設けられる棒状の部位である。小径軸部４２は、ニードル側シール部４１の固定コア２６側の外径と同じ外径を有している。
【００５９】
大径軸部４３は、小径軸部４２の固定コア２６側に設けられる棒状の部位である。大径軸部４３の外径は、小径軸部４２の外径より大きい。これにより、小径軸部４２と大径軸部４３との間には段差面４３１が形成される。大径軸部４３の小径軸部４２とは反対側の端面４３２には、スプリング２８の他端が当接している。
【００６０】
ニードル側衝突部４４は、略筒状に形成され、小径軸部４２の径方向外側に設けられている。ニードル側衝突部４４は、小径軸部４２に対して往復移動可能に設けられている。ニードル側衝突部４４は、弁座部１９側に弁座側衝突面１９３に当接可能なニードル側衝突面４４１を有する。ニードル側衝突面４４１は、軟窒化処理が施されている。これにより、ニードル側衝突面４４１は、耐摩耗性が高くなっている。ニードル側衝突面４４１は、中心軸ＣＡ４に沿って噴孔１９０から離れるほど中心軸ＣＡ４から離れるよう傾斜している。
【００６１】
スプリング４５は、金属から形成され、ニードル側衝突部４４と大径軸部４３との間に設けられている。スプリング４５は、一端が段差面４３１に当接している。他端は、ニードル側衝突部４４のニードル側衝突面４４１が形成される側とは反対側の端面４４２に当接している。スプリング４５は、ニードル側衝突部４４が大径軸部４３から離間する方向にニードル側衝突部４４を付勢する。スプリング４５の付勢力は、スプリング２８の付勢力に比べ小さい。
【００６２】
次に、燃料噴射弁４の作用について図８〜１０を参照して説明する。
コイル２７に電力が供給されていないとき、ニードル４０は、スプリング２８の付勢力及び弁ハウジング３０内の気体燃料の圧力によって閉弁方向に付勢されているため、ニードル側衝突面４４１が弁座側衝突面１９３と当接する。スプリング４５の付勢力はスプリング２８の付勢力に比べ小さいため、スプリング４５は圧縮される。スプリング４５が圧縮されると、ニードル側シール部４１からニードル側衝突部４４が離れるため、ニードル側シール面４１１が弁座側シール面１９２と当接することができる（図８参照）。これにより、内部空間１００と外部との間の流体の流れを確実に規制することができる。
【００６３】
また、第四実施形態では、ニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２との当接面積は、ニードル側衝突面４４１と弁座側衝突面１９３との当接面積に比べ小さい。この関係から、ニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２とが当接しているときのニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２との間のシール面圧は、ニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２とが当接しているときのニードル側衝突面４４１と弁座側衝突面１９３との間の当接面圧に比べ大きくなっている。シール面圧は、内部空間１００に滞留する流体の圧力以上の圧力となっている。また、当接面圧は、内部空間１００に滞留する流体の圧力より小さい圧力となっている。すなわち、内部空間１００と外部との気密は、ニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２との当接によって維持されている。
【００６４】
コイル２７に電力が供給され可動コア２５と固定コア２６との間に作用する磁気吸引力の大きさが所定の大きさ以上になると、ニードル４０は、開弁方向に移動する。ニードル４０が開弁方向に移動すると、図９に示すように、ニードル側シール面４１１が弁座側シール面１９２から離間し、内部空間１００と外部とが連通する。これにより、内部空間１００の気体燃料は、噴孔１９０から外部に噴射される。噴孔１９０から気体燃料が外部に噴射されているとき、ニードル側衝突面４４１と弁座側衝突面１９３とは離間しているため、ニードル側衝突部４４には弁座部１９からの力は作用していない。これにより、スプリング４５の長さは自然長となり、ニードル側シール面４１１とニードル側衝突面４４１との間の距離は、ニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２とが当接しているときに比べ短くなっている。
【００６５】
噴孔１９０から気体燃料が噴射されている状態においてコイル２７への電力の供給が終了すると、ニードル４０は、スプリング２８の付勢力によって閉弁方向に移動する。閉弁方向に移動するニードル４０は、ニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２とが当接する前にニードル側衝突面４４１と弁座側衝突面１９３とが当接する（図１０参照）。このとき、ニードル側衝突部４４及び弁座部１９に作用する衝撃の大きさは、ニードル側衝突部４４及び弁座部１９の耐衝撃荷重に比べ小さい。
ニードル側衝突面４４１と弁座側衝突面１９３とが当接した後、ニードル４０はさらに閉弁方向に移動するため、スプリング４５が圧縮される。これにより、図８に示すように、ニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２とが当接する。ニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２とが当接すると、内部空間１００と外部との気密が確保される。
【００６６】
燃料噴射弁４では、ニードル４０が閉弁方向に移動するとき、ニードル側衝突面４４１と弁座側衝突面１９３とが衝突した後にニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２とが当接する。ニードル側衝突面４４１と弁座側衝突面１９３との衝突においてスプリング４５が圧縮されると、ニードル側シール面４１１とニードル側衝突面４４１との中心軸ＣＡ４方向の距離が長くなり、ニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２とが当接することができる。これにより、第四実施形態は、第一実施形態と同じ効果を奏する。
また、スプリング４５は、金属から形成されているため、耐熱性が比較的高い。したがって、燃料噴射弁４は、気体燃料を燃焼室に直接供給することができる。
【００６７】
（第五実施形態）
次に、本発明の第五実施形態による弁装置を図１１を参照して説明する。第五実施形態は、ニードルが第四実施形態と異なる。なお、第四実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００６８】
第五実施形態による弁装置として燃料噴射弁５の断面図を示す。燃料噴射弁５のニードル４０は、ニードル側シール部４１、小径軸部４２、大径軸部４３、ニードル側衝突部４４、「位置変更部材」としての弾性部材４６などから形成されている。
弾性部材４６は、ニードル側衝突部４４と大径軸部４３との間に設けられている。弾性部材４６は、一端が段差面４３１に当接している。他端は、ニードル側衝突部４４のニードル側衝突面４４１が形成される側とは反対側の端面４４２に当接している。弾性部材４６は、ニードル側シール部４１に対するニードル側衝突部４４の相対位置を変更可能なよう変形する。
【００６９】
燃料噴射弁５では、ニードル４０が閉弁方向に移動するとき、ニードル側衝突面４４１と弁座側衝突面１９３とが衝突した後にニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２とが当接する。ニードル側衝突面４４１と弁座側衝突面１９３との衝突において弾性部材４６が圧縮されると、ニードル側シール面４１１とニードル側衝突面４４１との中心軸ＣＡ４方向の距離が長くなり、ニードル側シール面４１１と弁座側シール面１９２とが当接することができる。これにより、第五実施形態は、第一実施形態と同じ効果を奏する。
【００７０】
（第六実施形態）
次に、本発明の第六実施形態による弁装置を図１２を参照して説明する。第六実施形態は、弁座部が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００７１】
第六実施形態による弁装置として燃料噴射弁６の断面図を示す。燃料噴射弁６の弁ハウジング３０は、筒部１１、蓋部１２、弁座部５０などを有する。
【００７２】
弁座部５０は、筒部１１の他方の端部に筒部１１の他方の開口を塞ぐよう設けられている。弁座部５０は、シール用弁座５１、衝突用第一弁座５２、「弁座側中間部材」としての弾性部材５３、衝突用第二弁座５４、及び、「弁座側中間部材」としての弾性部材５５を有する。
【００７３】
シール用弁座５１は、金属から形成されている略環状の部材である。シール用弁座５１は、径方向外側が筒部１１の他方の端部の内壁１１１に固定されている。シール用弁座５１は、「通孔」としての噴孔５１０を有する。
シール用弁座５１は、噴孔５１０の内側の角部５１１に弁座側シール面５１２を有する。弁座側シール面５１２は、噴孔５１０の中心軸ＣＡ６に沿って噴孔５１０から離れるほど中心軸ＣＡ６から離れるよう傾斜している。弁座側シール面５１２は、軟窒化処理が施されている。これにより、弁座側シール面５１２は、耐摩耗性が高くなっている。シール用弁座５１は、ニードル２０が当接可能である。
【００７４】
衝突用第一弁座５２は、金属から形成されている略環状の部材である。衝突用第一弁座５２は、シール用弁座５１に比べ筒部１１の内側に設けられ、筒部１１の内壁１１１に対して摺動可能である。衝突用第一弁座５２は、貫通孔５２０の内径が噴孔５１０の内径に比べ大きくなるよう形成されている。
衝突用第一弁座５２は、貫通孔５２０の内側の角部５２１に「他の弁座側衝突面」としての弁座側第一衝突面５２２を有する。弁座側第一衝突面５２２は、中心軸ＣＡ６に沿って噴孔５１０から離れるほど中心軸ＣＡ６から離れるよう傾斜している。弁座側第一衝突面５２２は、軟窒化処理が施されている。これにより、弁座側第一衝突面５２２は、耐摩耗性が高くなっている。衝突用第一弁座５２は、ニードル２０が当接可能である。
【００７５】
弾性部材５３は、弾性材料から形成されている略環状の部材である。弾性部材５３は、シール用弁座５１と衝突用第一弁座５２との間に設けられる。弾性部材５３は、シール用弁座５１の衝突用第一弁座５２側の端面５１３及び衝突用第一弁座５２のシール用弁座５１側の端面５２３に当接可能である。弾性部材５３は、内径が噴孔５１０の内径に比べ大きくなるよう形成されている。弾性部材５３は、衝突用第一弁座５２の中心軸ＣＡ６方向の移動に応じて中心軸ＣＡ６方向に変形可能である。
【００７６】
衝突用第二弁座５４は、金属から形成されている略環状の部材である。衝突用第二弁座５４は、衝突用第一弁座５２に比べ筒部１１の内側に設けられ、筒部１１の内壁１１１に対して摺動可能である。衝突用第二弁座５４は、貫通孔５４０の内径が噴孔５１０の内径及び貫通孔５２０の内径に比べ大きくなるよう形成されている。
衝突用第二弁座５４は、貫通孔５４０の内側の角部５４１に「一の弁座側衝突面」としての弁座側第二衝突面５４２を有する。弁座側第二衝突面５４２は、中心軸ＣＡ６に沿って噴孔５１０から離れるほど中心軸ＣＡ６から離れるよう傾斜している。弁座側第二衝突面５４２は、軟窒化処理が施されている。これにより、弁座側第二衝突面５４２は、耐摩耗性が高くなっている。衝突用第二弁座５４は、ニードル２０が当接可能である。
【００７７】
弾性部材５５は、弾性材料から形成されている略環状の部材である。弾性部材５５は、衝突用第一弁座５２と衝突用第二弁座５４との間に設けられる。弾性部材５５は、衝突用第一弁座５２の衝突用第二弁座５４側の端面５２４及び衝突用第二弁座５４の衝突用第一弁座５２側の端面５４３に当接可能である。弾性部材５５は、内径が噴孔５１０の内径及び貫通孔５２０の内径に比べ大きくなるよう形成されている。弾性部材５５は、衝突用第二弁座５４の中心軸ＣＡ６方向の移動に応じて中心軸ＣＡ６方向に変形可能である。
【００７８】
燃料噴射弁６では、ニードル２０が閉弁方向に移動するとき、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面５１２とが当接する前にニードル側衝突面２１２と弁座側第二衝突面５４２とが衝突する。ニードル側衝突面２１２と弁座側第二衝突面５４２との衝突において弾性部材５５が中心軸ＣＡ６方向に圧縮変形すると衝突用第二弁座５４と衝突用第一弁座５２との中心軸ＣＡ６方向の距離が短くなり、ニードル側衝突面２１２と弁座側第一衝突面５２２とが衝突する。さらに、ニードル側衝突面２１２と弁座側第一衝突面５２２との衝突において弾性部材５３が中心軸ＣＡ６方向に圧縮変形するとシール用弁座５１と衝突用第一弁座５２との中心軸ＣＡ６方向の距離が短くなり、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面５１２とが当接することができる。
このように、燃料噴射弁６では、ニードル２０と弁座部５０とが二回衝突した後にニードル側シール面２１１と弁座側シール面５１２とが当接するため、ニードル側シール面２１１と弁座側シール面５１２との衝突における衝撃を緩和することができる。これにより、第六実施形態は、第一実施形態と同じ効果を奏する。
【００７９】
（その他の実施形態）
上述の実施形態では、「弁装置」は、気体燃料を噴射する燃料噴射弁であるとした。しかしながら、液体燃料を噴射する燃料噴射弁であってもよいし、燃料とは異なる気体又は液体の流れを制御する弁装置であってもよい。
【００８０】
第一〜三、六実施形態では、弁座においてシール面と衝突面との相対位置が変化するとした。第四、五実施形態では、ニードルにおいてシール面と衝突面との相対位置が変化するとした。弁座においてシール面と衝突面との相対位置が変化し、かつ、ニードルにおいてシール面と衝突面との相対位置が変化してもよい。
【００８１】
第二実施形態では、中間部材として皿ばねをもちいた。皿ばねでなくてもよい。衝突用弁座を中心軸方向の固定コア側に付勢可能な付勢部材であればよい。
【００８２】
第三実施形態では、スペーサと衝突用弁座とは一体に形成されているとした。スペーサは、シール用弁座と一体に形成され、衝突用弁座と当接するよう設けられてもよい。また、シール用弁座、スペーサ、及び、衝突用弁座が一体に形成されてもよい。
【００８３】
上述の実施形態では、弁座側シール面、弁座側衝突面、ニードル側シール面、及び、ニードル側衝突面は、それぞれ軟窒化処理が施されているとした。軟窒化処理の代わりにＤＬＣを形成してもよいし、これらの硬化処理がなくてもよい。
【００８４】
上述の実施形態は、ニードル側衝突面及び弁座側衝突面は金属から形成されるとした。しかしながら、金属以外の材料から形成されてもよい。耐衝撃荷重の大きさがニードル側衝突面と弁座側衝突面とが衝突したときにニードルと衝突用弁座とに作用する衝撃の大きさに比べ大きければよい。
【００８５】
以上、本発明はこのような実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【００８６】
１、２、３、４、５、６・・・燃料噴射弁（弁装置）
１０、３０・・・弁ハウジング
１４０、１９０、５１０・・・噴孔（通孔）
１４２、１９２、５１２・・・弁座側シール面
１５２、１９３・・・弁座側衝突面
５２２・・・弁座側第一衝突面（弁座側衝突面）
５４２・・・弁座側第二衝突面（弁座側衝突面）
２０、４０・・・ニードル
２１１、４１１・・・ニードル側シール面
２１２、４４１・・・ニードル側衝突面
【図１】
0006589556.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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