(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置から排出される高温の処理液を冷却水により冷却する冷却装置において、
前記高温の処理液を冷却水により冷却する複数の冷却部と、
前記複数の冷却部の各々において必要となる冷却能力に応じて、前記複数の冷却部で使用される冷却水の総量を略一定とした状態で、前記複数の冷却部の各々において使用される冷却水の比率を変更する流量制御部と、
を備えたことを特徴とする処理液冷却装置。
【請求項２】
請求項１に記載の処理液冷却装置において、
前記複数の冷却部で使用される冷却水の総量を測定する流量計を備え、
前記流量制御部は、前記流量計により測定される冷却水の流量を一定とした状態で、前記複数の冷却部の各々において使用される冷却水の比率を変更する処理液冷却装置。
【請求項３】
請求項１に記載の処理液冷却装置において、
前記複数の冷却部から排出される冷却水の圧力を測定する圧力計を備え、
前記流量制御部は、前記圧力計により測定される冷却水の圧力を一定とした状態で、前記複数の冷却部の各々において使用される冷却水の比率を変更する処理液冷却装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の処理液冷却装置において、
前記複数の冷却部は、各冷却部において使用される冷却水の量を調整する流量調整弁と各々接続され、
前記流量制御部は、前記各流量調整弁を制御することにより、前記複数の冷却部の各々において使用される冷却水の比率を変更する処理液冷却装置。
【請求項５】
基板処理装置から排出される高温の処理液を冷却水により冷却する冷却装置において、
前記高温の処理液を貯留可能であるとともに、この処理液を冷却するための冷却水流通路を備えた第１タンクおよび第２タンクと、
内部に冷却水を貯留するとともに、この冷却水内を通過する処理液流通路を備えた冷却器と、
前記第１タンクと、前記第２タンクと、前記冷却器における処理液流通路と、処理液の廃液部との間で処理液を送液するための処理液の送液管路と、
前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器の各々において必要となる冷却能力に応じて、前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器で使用される冷却水の総量を略一定とした状態で、前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器の各々において使用される冷却水の比率を変更する流量制御部と、
を備えたことを特徴とする処理液冷却装置。
【請求項６】
請求項５に記載の処理液冷却装置において、
前記第１タンクに貯留された処理液の温度を測定する温度センサと、前記第２タンクに貯留された処理液の温度を測定する温度センサとを備え、
前記流量制御部は、各温度センサにより測定した処理液の温度に基づいて、前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器の各々において使用される冷却水の比率を変更する処理液冷却装置。
【請求項７】
請求項５に記載の処理液冷却装置において、
前記第１タンクに貯留された処理液の液位を測定する液位センサと、前記第２タンクに貯留された処理液の液位を測定する液位センサとを備え、
前記流量制御部は、各液位センサにより測定した処理液の液位に基づいて、前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器の各々において使用される冷却水の比率を変更する処理液冷却装置。
【請求項８】
請求項５に記載の処理液冷却装置において、
前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器から排出される冷却水の温度を、各々、測定する温度センサを備え、
前記流量制御部は、各温度センサにより測定した冷却水の温度に基づいて、前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器の各々において使用される冷却水の比率を変更する処理液冷却装置。
【請求項９】
基板に処理液を供給して当該基板を処理する基板処理装置であって、
請求項１から請求項８のいずれかに記載の処理液冷却装置を備える基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板処理装置から排出される高温の処理液を冷却水により冷却する処理液冷却装置、および、この処理液冷却装置を備えた基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ表示装置用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、太陽電池用パネル基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、半導体ウエハ等の基板を処理する基板処理装置においては、基板の処理に使用された処理液が排出される。この処理液の温度は、例えば、摂氏１００度以上の高温となっていることから、これを廃液部に排出するときには、処理液冷却装置により予め処理液を冷却する必要がある。なお、このような処理液冷却装置は、基板処理装置の内部に配設されている場合もあるが、基板処理装置とは別の装置として設置される場合もある。
【０００３】
特許文献１には、処理槽から流下した処理液をバッファタンクに貯留し、このバッファタンクに貯留された処理液を、螺旋状管内を流れる冷却媒体により冷却する構成を有する基板処理装置が開示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、低温の流体中に形成された熱交換流路に高温の流体を通過させて熱交換を実行する蒸留釜が開示されている。
【０００５】
さらに、特許文献３には、単一の循環ラインを流れる冷却ガスにより一対の成膜処理部を冷却する基板処理装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３５１７１３５号公報
【特許文献２】特許第４２４９２０８号公報
【特許文献３】特開２０１４−２３６０６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような処理液冷却装置において、複数の冷却部により処理液を冷却する場合には、各冷却部における処理液の量や処理液の温度によっては、処理液を好適に冷却するために必要となる処理液の量は一定とはならない。しかしながら、従来の処理液冷却装置においては、通常、複数の冷却部に対して常に一定の冷却水を循環させる構成が採用されている。
【０００８】
このため、各冷却部における処理液の量や温度によっては、冷却水の量が不足したり、あるいは、処理液の冷却を実行しておらず冷却水を循環させる必要がない冷却部にも冷却水が循環したりしており、冷却水を効率的に使用することができていないという問題があった。
【０００９】
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、複数の冷却部に対して処理状況に応じて適切な量の冷却水を送液することにより、効率的に処理液の冷却を実行することが可能な処理液冷却装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、基板処理装置から排出される高温の処理液を冷却水により冷却する冷却装置において、前記高温の処理液を冷却水により冷却する複数の冷却部と、前記複数の冷却部の各々において必要となる冷却能力に応じて、前記複数の冷却部で使用される冷却水の総量を略一定とした状態で、前記複数の冷却部の各々において使用される冷却水の比率を変更する流量制御部と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記複数の冷却部で使用される冷却水の総量を測定する流量計を備え、前記流量制御部は、前記流量計により測定される冷却水の流量を一定とした状態で、前記複数の冷却部の各々において使用される冷却水の比率を変更する。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記複数の冷却部から排出される冷却水の圧力を測定する圧力計を備え、前記流量制御部は、前記圧力計により測定される冷却水の圧力を一定とした状態で、前記複数の冷却部の各々において使用される冷却水の比率を変更する。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の発明において、前記複数の冷却部は、各冷却部において使用される冷却水の量を調整する流量調整弁と各々接続され、前記流量制御部は、前記各流量調整弁を制御することにより、前記複数の冷却部の各々において使用される冷却水の比率を変更する。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、基板処理装置から排出される高温の処理液を冷却水により冷却する冷却装置において、前記高温の処理液を貯留可能であるとともに、この処理液を冷却するための冷却水流通路を備えた第１タンクおよび第２タンクと、内部に冷却水を貯留するとともに、この冷却水内を通過する処理液流通路を備えた冷却器と、前記第１タンクと、前記第２タンクと、前記冷却器における処理液流通路と、処理液の廃液部との間で処理液を送液するための処理液の送液管路と、前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器の各々において必要となる冷却能力に応じて、前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器で使用される冷却水の総量を略一定とした状態で、前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器の各々において使用される冷却水の比率を変更する流量制御部と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、前記第１タンクに貯留された処理液の温度を測定する温度センサと、前記第２タンクに貯留された処理液の温度を測定する温度センサとを備え、前記流量制御部は、各温度センサにより測定した処理液の温度に基づいて、前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器の各々において使用される冷却水の比率を変更する。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、前記第１タンクに貯留された処理液の液位を測定する液位センサと、前記第２タンクに貯留された処理液の液位を測定する液位センサとを備え、前記流量制御部は、各液位センサにより測定した処理液の液位に基づいて、前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器の各々において使用される冷却水の比率を変更する。
【００１７】
請求項８に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器から排出される冷却水の温度を、各々、測定する温度センサを備え、前記流量制御部は、各温度センサにより測定した冷却水の温度に基づいて、前記第１タンク、前記第２タンクおよび前記冷却器の各々において使用される冷却水の比率を変更する。
【００１８】
請求項９に記載の発明は、基板に処理液を供給して当該基板を処理する基板処理装置であって、請求項１から請求項８のいずれかに記載の処理液冷却装置を備える。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１および請求項９に記載の発明によれば、複数の冷却部で使用される冷却水の総量を略一定とした状態で複数の冷却部の各々において使用される冷却水の比率を変更することから、複数の冷却部に対して処理状況に応じて適切な量の冷却水を送液することにより、効率的に処理液の冷却を実行することが可能となる。このとき、複数の冷却部で使用される冷却水の総量が大きく変動しないことから、冷却水を使用する他の機器への影響をなくすことが可能となる。
【００２０】
請求項２に記載の発明によれば、流量計により測定される冷却水の流量を一定とした状態で複数の冷却部の各々において使用される冷却水の比率を変更することから、複数の冷却部で使用される冷却水の総量の変動を抑えることが可能となる。
【００２１】
請求項３に記載の発明によれば、圧力計により測定される冷却水の圧力を一定とした状態で複数の冷却部の各々において使用される冷却水の比率を変更することから、全体として冷却水の圧力損失を一定に維持した状態で、複数の冷却部で使用される冷却水の総量を略一定とすることが可能となる。
【００２２】
請求項４に記載の発明によれば、各冷却部に対応した流量調整弁により、各冷却部で必要とされる冷却水を正確に供給しながら、複数の冷却部で使用される冷却水の総量を略一定とすることが可能となる。
【００２３】
請求項５に記載の発明によれば、第１タンク、第２タンクおよび冷却器で使用される冷却水の総量を略一定とした状態で、第１タンク、第２タンクおよび冷却器の各々において使用される冷却水の比率を変更することから、第１タンク、第２タンクおよび冷却器に対して処理状況に応じて適切な量の冷却水を送液することにより、効率的に処理液の冷却を実行することが可能となる。このとき、第１タンク、第２タンクおよび冷却器で使用される冷却水の総量が大きく変動しないことから、冷却水を使用する他の機器への影響をなくすことが可能となる。
【００２４】
請求項６に記載の発明によれば、各温度センサにより測定した処理液の温度に基づいて、第１タンク、第２タンクおよび冷却器の各々において使用される冷却水の比率を変更することから、処理液の温度に応じて適切な量の冷却水を第１タンク、第２タンクおよび冷却器の各々に供給することが可能となる。
【００２５】
請求項７に記載の発明によれば、各液位センサにより測定した処理液の液位に基づいて、第１タンク、第２タンクおよび冷却器の各々において使用される冷却水の比率を変更することから、処理液の量に応じて適切な量の冷却水を第１タンク、第２タンクおよび冷却器の各々に供給することが可能となる。
【００２６】
請求項８に記載の発明によれば、各温度センサにより測定した冷却水の温度に基づいて、第１タンク、第２タンクおよび冷却器の各々において使用される冷却水の比率を変更することから、冷却のために必要とされる量に対応した適切な量の冷却水を第１タンク、第２タンクおよび冷却器の各々に供給することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】この発明に係る処理液冷却装置の概要図である。
【図２】第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３への冷却水の供給系を示す概要図である。
【図３】この発明の第１実施形態に係る処理液冷却装置の主要な制御系を示すブロック図である。
【図４】ワンパス方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図５】ワンパス方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図６】連続方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図７】連続方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図８】この発明の第２実施形態に係る処理液冷却装置の主要な制御系を示すブロック図である。
【図９】第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３への冷却水の供給系を示す概要図である。
【図１０】この発明の第３実施形態に係る処理液冷却装置の主要な制御系を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明に係る処理液冷却装置の概要図である。
【００２９】
この処理液冷却装置は、基板処理装置から排出管路５１、５４、５７を介して排出される高温の処理液を一時的に貯留するとともに冷却する第１タンク１１および第２タンク１２と、第１タンク１１または第２タンク１２から送液された処理液を高い熱交換効率で冷却する冷却器１３とを備える。なお、この処理液冷却装置は、基板処理装置の内部に配設されてもよく、また、基板処理装置とは別の装置として設置されてもよい。
【００３０】
排出管路５１は、例えば、基板処理装置における複数の処理部において基板に処理液を吐出する吐出ノズルの待機位置に配設された待機ポッドからのＳＰＭ（ｓｕｌｆｕｒｉｃ−ａｃｉｄ  ａｎｄ  ｈｙｄｒｏｇｅｎ−ｐｅｒｏｘｉｄｅ  ｍｉｘｔｕｒｅ）等の処理液を排出するためのものである。この排出管路５１には複数の待機ポッドからの処理液が流入し、この処理液は、開閉弁３６が開放され開閉弁３５が閉止されたときには、管路５２を介して第１タンク１１に流下し、開閉弁３６が閉止され開閉弁３５が開放されたときには、管路５３を介して第２タンク１２に流下する。
【００３１】
排出管路５４は、例えば、基板処理装置における複数の処理部において基板から飛散した処理液を捕獲するカップからのＳＰＭ等の処理液を排出するためのものである。この排出管路５４には複数のカップからの処理液が流入し、この処理液は、開閉弁３４が開放され開閉弁３３が閉止されたときには、管路５５を介して第１タンク１１に流下し、開閉弁３４が閉止され開閉弁３３が開放されたときには、管路５６を介して第２タンク１２に流下する。
【００３２】
排出管路５７は、例えば、基板処理装置における複数の処理部において各処理部を洗浄するために使用された硫酸等の処理液を排出するためのものである。この排出管路５７には複数の処理部からの処理液が流入し、この処理液は、開閉弁３２が開放され開閉弁３１が閉止されたときには、管路５８を介して第１タンク１１に流下し、開閉弁３２が閉止され開閉弁３１が開放されたときには、管路５９を介して第２タンク１２に流下する。
【００３３】
第１タンク１１内には、螺旋状の冷却水流通路１５が配設されている。冷却水流入管路２３から冷却水流通路１５に冷却水が供給され、第１タンク１１内の処理液の冷却に供された冷却水は、冷却水流通路１５から冷却水排出管路２４に排出される。また、第２タンク１２内には、螺旋状の冷却水流通路１６が配設されている。冷却水流入管路２５から冷却水流通路１６に冷却水が供給され、第２タンク１２内の処理液の冷却に供された冷却水は、冷却水流通路１６から冷却水排出管路２６に排出される。さらに、冷却器１３は冷却水を貯留可能となっており、冷却水流入管路２１から冷却器１３内に冷却水が供給され、螺旋状の処理液流通路１７を流通する処理液の冷却に供された冷却水は、冷却器１３内から冷却水排出管路２２に排出される。
【００３４】
なお、図示は省略しているが、第１タンク１１および第２タンク１２内には、処理液中に空気を噴出することにより、処理液を冷却するとともに拡散するバブリング機構が配設されている。このバブリング機構に加え、第１タンク１１および第２タンク１２内を減圧することにより処理液の冷却を促進する減圧機構を付設してもよい。
【００３５】
第１タンク１１および第２タンク１２においては、冷却水流通路１５、１６の作用により、貯留状態にある所定量の処理液を冷却することが可能となる。一方、冷却器１３においては、その内部に貯留された容量の大きな冷却水により、処理液流通路１７を通過する容量の小さな処理液を、迅速に冷却することが可能となる。
【００３６】
第１タンク１１の底部に接続された管路６１は、開閉弁４１、管路６３および送液ポンプ２７を介して冷却器１３における処理液流通路１７の下端部と接続されている。また、第２タンク１２の底部に接続された管路６２は、開閉弁４２、管路６３および送液ポンプ２７を介して冷却器１３における処理液流通路１７の下端部と接続されている。開閉弁４１と開閉弁４２とは、いずれか一方が開放されたときには他方が閉止される構成となっている。
【００３７】
第１タンク１１の底部に接続された管路６７は、開閉弁４３、廃液ポンプ２８、開閉弁４５および管路６９を介して、廃液部１４と接続されている。また、第２タンク１２の底部に接続された管路６８は、開閉弁４４、廃液ポンプ２８、開閉弁４５および管路６９を介して、廃液部１４と接続されている。なお、第１タンク１１および第２タンク１２から排出される処理液が自重により廃液部１４まで流下する場合においては、廃液ポンプ２８を省略してもよい。
【００３８】
なお、図１においては、管路６１と管路６７とは、第１タンク１１の底部に接続されている。しかしながら、管路６１と管路６７とが第１タンク１１の側面の下方に接続してもよく、また、管路６１と管路６７とが第１タンク１１の上方から第１タンク１１に進入してその先端が第１タンク１１の底面付近に配置される構成であってもよい。同様に、図１においては、管路６２と管路６８とは、第２タンク１２の底部に接続されている。しかしながら、管路６２と管路６８とが第２タンク１２の側面の下方に接続してもよく、また、管路６２と管路６８とが第２タンク１２の上方から第２タンク１２に進入してその先端が第２タンク１２の底面付近に配置される構成であってもよい。
【００３９】
冷却器１３における処理液流通路１７の上端部は、開閉弁３８および管路６４を介して第１タンク１１に至る経路と、開閉弁３９および管路６５を介して第２タンク１２に至る経路と、開閉弁３７および管路６６を介して開閉弁４５に至り、管路６９を介して廃液部１４に至る経路とに分岐している。開閉弁３７、開閉弁３８および開閉弁３９は、いずれか一つが選択的に開放され、他の二つが閉止される構成となっている。
【００４０】
なお、図１においては、冷却器１３を通過する処理液は、処理液流通路１７の下端部から上端部に向けて流通しているが、処理液流通路１７を上端部から下端部に向けて通過してもよい。また、処理液流通路１７は、図１に示す上下方向ではなく、左右方向を向けて形成されていてもよい。
【００４１】
第１タンク１１内の処理液は、開閉弁４１および開閉弁３７が開放された状態では、送液ポンプ２７の作用により、第１タンク１１から冷却器１３における処理液流通路１７を介して管路６６に送液され、開閉弁４５および管路６９を介して廃液部１４に排出される。また、第１タンク１１内の処理液は、開閉弁４１および開閉弁３９が開放された状態では、送液ポンプ２７の作用により、第１タンク１１から冷却器１３における処理液流通路１７を介して第２タンク１２に送液される。さらに、第１タンク１１内の処理液は、開閉弁４３が開放された場合には、廃液ポンプ２８の作用により、開閉弁４５および管路６９を介して廃液部１４に排出される。
【００４２】
第２タンク１２内の処理液は、開閉弁４２および開閉弁３７が開放された状態では、送液ポンプ２７の作用により、第２タンク１２から冷却器１３における処理液流通路１７を介して管路６６に送液され、開閉弁４５および管路６９を介して廃液部１４に排出される。また、第２タンク１２内の処理液は、開閉弁４２および開閉弁３８が開放された状態では、送液ポンプ２７の作用により、第２タンク１２から冷却器１３における処理液流通路１７を介して第１タンク１１に送液される。さらに、第２タンク１２内の処理液は、開閉弁４４が開放された場合には、廃液ポンプ２８の作用により、開閉弁４５および管路６９を介して廃液部１４に排出される。
【００４３】
図２は、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３への冷却水の供給系を示す概要図である。
【００４４】
冷却水の供給源７０からの冷却水は、管路８１を介してこの発明に係る処理液冷却装置に供給される。この冷却水は、上述した冷却器１３内に冷却水を供給するための冷却水流入管路２１と、第１タンク１１の冷却水流通路１５に冷却水を供給するための冷却水流入管路２３と、第２タンク１２の冷却水流通路１６に冷却水を供給するための冷却水流入管路２５とに別れ、冷却器１３、第１タンク１１および第２タンク１２に供給される。冷却器１３、第１タンク１１および第２タンク１２において処理液の冷却に供された冷却水は、冷却器１３内から冷却水を排出する冷却水排出管路２２と、第１タンク１１の冷却水流通路１５から冷却水を排出する冷却水排出管路２４と、第２タンク１２の冷却水流通路１６から冷却水を排出する冷却水排出管路２６を介して、共通の管路８２に送液され、冷却水の排出部７１に排出される。
【００４５】
冷却水流入管路２１には冷却器１３に供給される冷却水量を調整するための流量調整弁７３が配設されており、冷却水排出管路２２には冷却器１３に供給される冷却水量を測定するための流量計７６が配設されている。また、冷却水流入管路２３には第１タンク１１に供給される冷却水量を調整するための流量調整弁７２が配設されており、冷却水排出管路２４には第１タンク１１に供給される冷却水量を測定するための流量計７５が配設されている。さらに、冷却水流入管路２５には第２タンク１２に供給される冷却水量を調整するための流量調整弁７４が配設されており、冷却水排出管路２６には第２タンク１２に供給される冷却水量を測定するための流量計７７が配設されている。
【００４６】
なお、各流量調整弁７２、７３、７４と、冷却器１３、第１タンク１１および第２タンク１２と、各流量計７５、７６、７７とは、図２に示す配置関係である必要はない。各流量調整弁７２、７３、７４が冷却器１３、第１タンク１１および第２タンク１２の下流側に配設されていてもよく、また、各流量計７５、７６、７７が冷却器１３、第１タンク１１および第２タンク１２の上流側に配設されていてもよい。
【００４７】
図３は、この発明の第１実施形態に係る処理液冷却装置の主要な制御系を示すブロック図である。
【００４８】
この処理液冷却装置は、論理演算を実行するＣＰＵ、装置の制御に必要な動作プログラムが格納されたＲＯＭ、制御時にデータ等が一時的にストアされるＲＡＭを備え、装置全体を制御する制御部９０を備える。この制御部は、上述した開閉弁３１、３２、３３、３４、３５、３６、３７、３８、３９、４１、４２、４３、４４、４５を開閉駆動するための弁駆動部９１と接続されている。これらの開閉弁３１、３２、３３、３４、３５、３６、３７、３８、３９、４１、４２、４３、４４、４５は、弁駆動部９１を介して、制御部９０により開閉制御される。また、この制御部９０は、上述した送液ポンプ２７および廃液ポンプ２８と接続されている。さらに、この制御部９０は、上述した流量調整弁７２、７３、７４と、流量計７５、７６、７７とも接続されている。
【００４９】
図１においては図示を省略しているが、第１タンク１１には、当該第１タンク１１に貯留された処理液の温度を検出する温度センサ９２と、貯留された処理液の液位を検出するための液位センサ９４とが配設されている。第２タンク１２には、当該第２タンク１２に貯留された処理液の温度を検出する温度センサ９３と、貯留された処理液の液位を検出するための液位センサ９５とが配設されている。また、冷却器１３を通過して排出される処理液の温度を検出するための温度センサ９９が、処理液流通路１７の下流側に配設されている。制御部９０は、これらの温度センサ９２、９３、９９および液位センサ９４、９５とも接続されている。
【００５０】
なお、温度センサ９２、９３、９９としては、測温抵抗体や、熱電対や、処理液から放射される赤外線を検出することにより温度を測定するセンサなどを用いることができる。また、液位センサ９４、９５としては、静電容量を検出することにより液の高さを測定するセンサや、光学式のセンサなどを用いることができる。
【００５１】
次に、上述した処理液冷却装置における処理液の冷却動作について説明する。最初に、第１タンク１１と第２タンク１２とを選択的に使用するワンパス方式により処理液を冷却する動作について説明する。図４および図５は、ワンパス方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。なお、図４および図５にいては、処理液の送液経路のうち、処理液が流れている領域を太線で表現している。これは、以下の図面についても同様である。
【００５２】
基板処理装置からは、最初に、第１タンク１１に高温の処理液が排出される。この処理液の温度は、第１タンク１１に到達したときには、例えば、摂氏１００度程度となっている。この処理液は、第１タンク１１に貯留される。第１タンク１１に貯留された処理液は、第１タンク１１内に配設された螺旋状の冷却水流通路１５中を通過する冷却水により冷却される。冷却水流入管路２３から冷却水流通路１５に供給され、処理液の冷却に供された冷却水は、冷却水流通路１５から冷却水排出管路２４に排出される。このときの第１タンク１１内の処理液の温度は、図２に示す温度センサ９２により検出され、処理液の液位は、図２に示す液位センサ９４により検出される。
【００５３】
第１タンク１１内に貯留された処理液の温度が摂氏８０度程度となれば、図４に示すように、第１タンク１１内の処理液を、冷却器１３を介して、廃液部１４に排出する。このときの処理液の温度は、処理液を効率的に冷却する冷却器１３の作用により、摂氏３５度程度まで低下している。第１タンク１１内の処理液を排出するときには、基板処理装置から排出される高温の処理液は、第１タンク１１に排出される。これにより、高温の処理液が冷却器１３を優先的に通過するようにすることができる。図４は、このような状態を示している。
【００５４】
なお、基板処理装置から排出される高温の処理液を第１タンク１１に排出するかわりに、基板処理装置から排出される高温の処理液を第２タンク１２に排出してもよい。このような構成を採用して場合においては、冷却器１３を通過する処理液の総量を抑制している間に、第２タンク１２において処理液を徐々に冷却することができる。
【００５５】
また、第２タンク１２に貯留された処理液がある場合は、その温度が摂氏８０度程度となれば、図５に示すように、第２タンク１２内の処理液を、冷却器１３を介して、廃液部１４に排出する。このときの処理液の温度も、処理液を効率的に冷却する冷却器１３の作用により、摂氏５０度程度まで低下している。一方、第２タンク１２内の処理液を排出するときには、基板処理装置から排出される高温の処理液は、前述と同様に、第２タンク１２に排出される。
【００５６】
このように、第１タンク１１と第２タンク１２とを交互に使用するワンパス方式により処理液を冷却することにより、基板処理装置から排出される高温の処理液を優先的に冷却器１３に導入して、効率的に処理液を冷却することが可能となる。
【００５７】
次に、上述した処理液冷却装置における処理液の冷却動作の他の実施の態様について説明する。この実施の態様においては、第１タンク１１と第２タンク１２とを連続して使用する連続方式により処理液を冷却する動作について説明する。図６および図７は、連続方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【００５８】
基板処理装置からは、第１タンク１１に高温の処理液が排出される。この処理液の温度は、第１タンク１１に到達したときには、例えば、摂氏１５０度程度となっている。この処理液は、第１タンク１１に一時的に貯留される。第１タンク１１に貯留された処理液は、第１タンク１１内に配設された螺旋状の冷却水流通路１５中を通過する冷却水により徐々に冷却される。冷却水流入管路２３から冷却水流通路１５に供給され、処理液の冷却に供された冷却水は、冷却水流通路１５から冷却水排出管路２４に排出される。このときの第１タンク１１内の処理液の温度は、図２に示す温度センサ９２により検出され、処理液の液位は、図２に示す液位センサ９４により検出される。
【００５９】
第１タンク１１内に一時的に貯留された処理液は、図６に示すように、冷却器１３を介して、第２タンク１２に貯留される。このときには、処理液を高い効率で冷却する冷却器１３の作用により、処理液の温度は摂氏８０度程度まで降温される。そして、第２タンク１２に貯留された処理液の温度が摂氏６０度程度となれば、図７に示すように、第２タンク１２内の処理液を、冷却器１３を介して、廃液部１４に排出する。このときの処理液の温度も、処理液を効率的に冷却する冷却器１３の作用により、摂氏３５度程度まで低下している。また逆に、第２タンク１２に貯留された処理液の温度が摂氏６０度よりも高ければ、第２タンク１２に貯留された処理液を、冷却器１３を経由させて第１タンク１１に戻す。この動作を繰り返し行う事により、処理液の温度を低下させる。
【００６０】
以上のようなワンパス方式および連続方式による冷却動作を実行しているときには、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３に冷却水が供給され、処理液の冷却に供される。このとき、処理液冷却装置において使用される冷却水量は、基板処理装置が設置される場所により予め設定されている。一般的に、基板処理装置が複数設置される場合、冷却水は複数の各基板処理装置を直列に渡るように接続される。そのため、各基板処理装置にて使用される冷却水の量に変動があった場合には、冷却水の供給源７０や冷却水の排出部７１を流れる冷却水量に影響を与えることとなる。他の基板処理装置や、工場の冷却水供給源への影響を無くすため、基板処理装置で使用する冷却水の量を常に一定とする必要がある。このため、この発明に係る処理液冷却装置においては、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３で使用される冷却水の総量を一定とした状態で、装置内部である第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々において使用される冷却水の比率を変更する構成を採用している。
【００６１】
すなわち、この処理液冷却装置においては、温度センサ９２により測定した第１タンク１１内の処理液の温度と、液位センサ９４により測定した第１タンク１１内の処理液の液位と、温度センサ９３により測定した第２タンク１２内の処理液の温度と、液位センサ９５により測定した第２タンク１２内の処理液の液位とに基づいて、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々において使用される冷却水の比率を変更する構成を採用している。
【００６２】
このときの第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々において使用される冷却水の比率の変更は、制御部９０が流量調整弁７２、７３、７４の開度を変更することにより実行される。このときの第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々において使用される冷却水の比率は、第１タンク１１内の処理液の温度および液位と、第２タンク１２内の処理液の温度および液位との関係により、予め実験的に求められ、記憶されている。
【００６３】
すなわち、第１タンク１１および第２タンク１２に対して、そこに貯留された処理液の量が多く、また、処理液の温度が高いほど、多量の冷却水が使用される。また、冷却器１３においては、例えば、そこを処理液が通過しているときにはより多量の冷却水が優先して使用され、処理液が通過していないときには、ごく少量の冷却水しか使用されない。このような第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３へ送液される冷却水の比率についての規則は、予め、制御部９０に記憶されている。
【００６４】
また、このときの第１タンク１１、冷却器１３および第２タンク１２において使用される冷却水の流量は、流量計７５、７６、７７により測定され、流量計７５、７６、７７から制御部９０に送信される。制御部９０は、これらの流量計７５、７６、７７により測定された冷却水の流量の合計値、すなわち、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３で使用される冷却水の総量が一定となるように、流量調整弁７２、７３、７４の開度を変更する。
【００６５】
このような構成を採用することにより、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３に対して処理状況に応じて適切な量の冷却水を送液することにより、効率的に処理液の冷却を実行することが可能となる。このとき、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３で使用される冷却水の総量が一定であることから、冷却水を使用する他の機器への影響をなくすことが可能となる。
【００６６】
次に、この発明の他の実施形態について説明する。図８は、この発明の第２実施形態に係る処理液冷却装置の主要な制御系を示すブロック図である。なお、上述した第１実施形態と同様の部材については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００６７】
上述した第１実施形態に係る処理液冷却装置においては、温度センサ９２により測定した第１タンク１１内の処理液の温度と、液位センサ９４により測定した第１タンク１１内の処理液の液位と、温度センサ９３により測定した第２タンク１２内の処理液の温度と、液位センサ９５により測定した第２タンク１２内の処理液の液位とに基づいて、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々において使用される冷却水の比率を変更する構成を採用している。これに対して、この第２実施形態に係る処理液冷却装置においては、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３から排出される冷却水の温度に基づいて、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々において使用される冷却水の比率を変更する構成を採用している。
【００６８】
すなわち、この第２実施形態に係る処理液冷却装置は、図２に示す冷却器１３から冷却水を排出する冷却水排出管路２２中の冷却水の温度を測定する温度センサ９６と、第１タンク１１から冷却水を排出する冷却水排出管路２４中の冷却水の温度を測定する温度センサ９７と、第２タンク１２から冷却水を排出する冷却水排出管路２６中の冷却水の温度を測定する温度センサ９８と、を備える。
【００６９】
第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々を冷却する冷却水が不足したときには、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３から排出される冷却水の温度は高くなり、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々を冷却する冷却水が十分であるときには、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３から排出される冷却水の温度は低くなる。このため、この第２実施形態に係る処理液冷却装置においては、温度センサ９７により測定した第１タンク１１の処理液の冷却に供された冷却水の温度と、温度センサ９８により測定した第２タンク１２内の処理液の冷却に供された冷却水の温度と、温度センサ９６により測定した冷却器１３を通過する処理液の冷却に供された冷却水の温度とに基づいて、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々において使用される冷却水の比率を変更する構成を採用している。
【００７０】
なお、この第２実施形態においても、第１タンク１１、冷却器１３および第２タンク１２において使用される冷却水の流量は、流量計７５、７６、７７により測定され、流量計７５、７６、７７から制御部９０に送信される。制御部９０は、これらの流量計７５、７６、７７により測定された冷却水の流量の合計値、すなわち、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３で使用される冷却水の総量が一定となるように、流量調整弁７２、７３、７４の開度を変更する。
【００７１】
次に、この発明のさらに他の実施形態について説明する。図９は、この発明の第３実施形態に係る処理液冷却装置における第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３への冷却水の供給系を示す概要図である。また、図１０は、この発明の第３実施形態に係る処理液冷却装置の主要な制御系を示すブロック図である。なお、上述した第１、第２実施形態と同様の部材については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００７２】
上述した第１実施形態および第２実施形態に係る処理液冷却装置においては、第１タンク１１、冷却器１３および第２タンク１２において使用される冷却水の流量を流量計７５、７６、７７により測定し、これらの流量計７５、７６、７７により測定された冷却水の流量の合計値、すなわち、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３で使用される冷却水の総量が一定となるように、流量調整弁７２、７３、７４の開度を変更する構成を採用している。これに対して、この第３実施形態に係る処理液冷却装置においては、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３から排出される冷却水の圧力を測定する圧力計７９を備え、この圧力計７９により測定される冷却水の圧力を一定とした状態で、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々において使用される冷却水の比率を変更する構成を採用している。
【００７３】
すなわち、この第３実施形態に係る処理液冷却装置においては、冷却水の供給源７０から冷却水を送液する管路８１に圧力計７８が配設され、冷却水の排出部７１に冷却水を送液する管路８２に圧力計７９が配設されている。そして、制御部９０は、圧力計７９により測定される冷却水の圧力を一定とした状態で、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々において使用される冷却水の比率を変更する構成を採用している。このときには、圧力計７８により測定される冷却水の圧力も一定となる。
【００７４】
第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３における流路抵抗が同一であれば、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３で使用される冷却水の総量が一定であれば、圧力計７９により測定される冷却水の圧力も一定となる。このような場合には、圧力計７９により測定される冷却水の圧力を一定とすれば、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３で使用される冷却水の総量を一定とすることができる。しかしながら、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３における流路抵抗が互いに異なる場合には、圧力計７９により測定される冷却水の圧力を一定とした場合においても、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々において使用される冷却水の比率が変動した場合には、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３で使用される冷却水の総量はわずかに変化することになる。
【００７５】
しかしながら、圧力計７９により測定される冷却水の圧力を一定とした場合において、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々において使用される冷却水の比率が変動にともなう第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３で使用される冷却水の総量の変動はごくわずかであり、このような場合においても、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３で使用される冷却水の総量を略一定とすることができる。この発明における冷却水の総量が略一定とは、このように圧力を一定として冷却水の総量を略一定とする場合をも含む概念である。
【００７６】
この第３実施形態のように、圧力計７９により測定される冷却水の圧力を一定とした状態で、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３の各々において使用される冷却水の比率を変更する構成を採用した場合においても、第１、第２実施形態の場合と同様、効率的に処理液の冷却を実行することが可能となり、また、第１タンク１１、第２タンク１２および冷却器１３で使用される冷却水の総量が略一定であることから、冷却水を使用する他の機器への影響をなくすことが可能となる。
【００７７】
なお、上述した実施形態においては、第１タンク１１および第２タンク１２と冷却器とを利用して処理液を冷却しているが、単一のタンクと冷却器とを使用して、あるいは、３個以上のタンクと冷却器とを利用して処理液を冷却するようにしてもよい。また、２個以上のタンクのみを使用して処理液を冷却するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００７８】
１１      第１タンク
１２      第２タンク
１３      冷却器
１４      廃液部
１５      冷却水流通路
１６      冷却水流通路
１７      処理液流通路
２１      冷却水流入管路
２２      冷却水排出管路
２３      冷却水流入管路
２４      冷却水排出管路
２５      冷却水流入管路
２６      冷却水排出管路
２７      送液ポンプ
２８      廃液ポンプ
７０      冷却水の供給源
７１      冷却水の排出部
７２      流量調整弁
７３      流量調整弁
７４      流量調整弁
７５      流量計
７６      流量計
７７      流量計
７８      圧力計
７９      圧力計
９２      温度センサ
９３      温度センサ
９４      液位センサ
９５      液位センサ
９６      温度センサ
９７      温度センサ
９８      温度センサ
９９      温度センサ
【図１】
0006586038.tif 000002
【図２】
0006586038.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0006586038.tif 000007
【図７】
0006586038.tif 000008
【図８】
0006586038.tif 000009
【図９】
0006586038.tif 000010
【図１０】
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