(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
線状の光源と、この光源の周囲を囲み、頂部にスリットを備えた樋状の主反射鏡とを筐体内に備えた光照射装置において、
前記主反射鏡は、頂部で分割されて一対の反射体を備え、前記一対の反射体は、前記光源に沿って延びる取付板に取り付けられた第１保持体と、前記筐体に取り付けられた第２保持体との間に架け渡されて固定され、
前記取付板は、前記取付板を照射方向に貫通する前記スリットを備え、
前記主反射鏡の両端部には、前記光源と前記主反射鏡との間に、前記主反射鏡と隙間を空けて補助反射鏡を備え、
前記補助反射鏡は、矩形の平板状に形成され、前記光源の幅方向において、前記補助反射鏡の幅が前記光源の幅方向および前記スリットの幅よりも大きく形成され、被照射面と平行となるように配置されて前記取付板に取り付けられていることを備えたことを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
前記主反射鏡の両端部に端面反射鏡を備えたことを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
【請求項３】
前記主反射鏡は端部側が反射方向を調整可能に構成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、線状の光源を備えた光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、樋状の主反射鏡内に線状の光源を収め、光源の直接光及び主反射鏡の反射光を光照射対象物に照射する光照射装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−７５２２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の構成では、光源の長手方向の照度は、光源の長手方向中央に対して光源の端部近傍で急激に下がり、照度むらの原因となる。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、光源の長手方向の照度均斉度を向上可能な光照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した目的を達成するために、本発明は、線状の光源と、この光源の周囲を囲み、頂部にスリットを備えた樋状の主反射鏡とを筐体内に備えた光照射装置において、前記主反射鏡は、頂部で分割されて一対の反射体を備え、前記一対の反射体は、前記光源に沿って延びる取付板に取り付けられた第１保持体と、前記筐体に取り付けられた第２保持体との間に架け渡されて固定され、前記取付板は、前記取付板を照射方向に貫通する前記スリットを備え、前記主反射鏡の両端部には、前記光源と前記主反射鏡との間に、前記主反射鏡と隙間を空けて補助反射鏡を備え、前記補助反射鏡は、矩形の平板状に形成され、前記光源の幅方向において、前記補助反射鏡の幅が前記光源の幅方向および前記スリットの幅よりも大きく形成され、被照射面と平行となるように配置されて前記取付板に取り付けられていることを備えたことを特徴とする。
【０００７】
上述の構成において、前記主反射鏡の両端部に端面反射鏡を備えてもよい。
【０００８】
上述の構成において、前記主反射鏡は端部側が反射方向を調整可能に構成してもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、光源と主反射鏡との間に補助反射鏡を備えたため、光源の長手方向の照度均斉度を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る光照射装置の構成を示す図である。
【図２】ランプユニットを示す図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は（Ａ）のＩＩ−ＩＩ側面図である。
【図３】ランプユニットの上面図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ断面図である。
【図５】光の経路を模式的に示す図である。
【図６】照度分布を示すグラフである。
【図７】第２の実施形態に係る位置可変反射鏡を示す図であり、（Ａ）は基準状態を、（Ｂ）は調整後を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
＜第１の実施形態＞
図１は、第１の実施形態に係る光照射装置１の構成を示す正面透視図である。
光照射装置１は、例えば、帯状の光照射対象物２（図２参照）に紫外線を照射する紫外線照射装置であり、例えばフィルムコーティング用に最適な装置である。光照射装置１は、設置面Ｆに載置されるケース１０内に、照射器設置架台１５に設置された照射器２０と、光照射対象物２が載置されるワークステージ５とを備えている。
【００１２】
照射器２０は、光源たる直管型ランプ７を備え、本実施形態においては、照射器２０の直下に配置されたワークステージ５に載置された光照射対象物２に光を下向きに照射する。なお、光照射装置１は、下向き照射の他に、横向き照射や、上向き照射等、照射方向を任意に選択できる構成であってもよい。なお、本実施形態において、上下とは、照射器２０の直下に配置されたワークステージ５に載置された光照射対象物２に光を下向きに照射する場合の構成に基づくものである。
直管型ランプ７は、放電ランプであり、少なくとも光照射対象物２の幅と同等以上に延びる長尺の直管型（棒状、線状）の紫外線ランプが用いられている。直管型ランプ７は、詳細については後述するが、直管型ランプ７の長手方向に沿って直管型ランプ７を囲繞するように設けられた反射鏡ユニット８０と一体にランプユニット３０に取り付けられ、ランプユニット３０は、照射器２０に着脱自在に収容されている。
【００１３】
照射器２０には、換気用の通気口２１が設けられている。通気口２１には、ケース１０の外部に連通する換気ダクト１１が接続されている。通気口２１の内側には、不図示の送風ファンが設けられる。この送風ファンにより、照射器２０内には冷却風が流れ、直管型ランプ７及びその周辺が直接空冷される。
【００１４】
図２はランプユニット３０を示す図であり、図２（Ａ）は側面図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＩＩ−ＩＩ側面図である。図３はランプユニット３０の上面図であり、図４は図２のＩＶ−ＩＶ断面図である。なお、図２〜図４では、反射鏡ユニット８０の一端側を示すが、他端側も一端側の構成と略同一のため、図示を省略する。
ランプユニット３０は、図２に示すように、下面が開口する箱形の筐体３１内に直管型ランプ７と反射鏡ユニット８０とを収め、照射器２０内に着脱自在に収容される。
筐体３１は、鉄、ステンレス等の剛性を有する金属製材料から構成される。筐体３１は、上面パネル３２、一対の側面パネル３３、及び、一対の端面パネル３４を備えて構成され、下方に開口する照射開口４５を備えている。
筐体３１の上面パネル３２には、図３に示すように、筐体３１内に直管型ランプ７及びその周辺を空冷するための空気が流通する通気孔３２ａが長手方向に沿って複数設けられている。
【００１５】
筐体３１の内部には、直管型ランプ７を支持する管端支持部３９と、直管型ランプ７に電気エネルギーを供給する電源供給機構（不図示）とが備えられる。直管型ランプ７は、管端支持部３９により両端部が支持されて筐体３１内に収容されると共に、電源供給機構から電気エネルギーが供給されて発光する。
直管型ランプ７は、例えば発光長が１８５０ｍｍ程の長尺の高出力直管型ランプである。直管型ランプ７は、石英ガラス等の高耐熱性と透光性を有する材料から構成される発光管の内部に、水銀やメタルハロゲン化物が封入された高圧放電ランプである。
【００１６】
反射鏡ユニット８０は、図４に示すように、主反射鏡８と、取付板３５と、取付板３５及び筐体３１の側面パネル３３の間で主反射鏡８を保持する第１保持体３６ａ，３６ｂ及び第２保持体３８ａ，３８ｂと、を備えて構成される。
主反射鏡８は、断面楕円形、かつ直管型ランプ７の長手方向に沿って延びるシリンドリカル凹面反射鏡であり、直管型ランプ７の光を集光して照射開口４５から光照射対象物２に照射する。本実施形態では、主反射鏡８は、コールドミラーとして構成されているが、主反射鏡８の構成はこれに限定されるものではない。
主反射鏡８は、図３、図４に示すように、頂部８ａで２つに分割されて一対の反射体９を備えており、反射体９は、弓状に湾曲した複数枚の板状の小片鏡（反射面）９ａ，９ｂを断面楕円形状に組み合わせて構成される。各鏡９ａ，９ｂは、ガラスの凹面側表面に反射性を有する被膜を付着形成して反射性を付与している。各鏡９ａ，９ｂは、直管型ランプ７の管軸真上に設けられた取付板３５に取り付けられた第１保持体３６ａ，３６ｂと、筐体３１の側面パネル３３に取り付けられた第２保持体３８ａ，３８ｂとの間に架け渡されて固定されている。
【００１７】
直管型ランプ７の一方の側面７ａからの光を反射する鏡９ａと、直管型ランプ７の他方の側面７ｂからの光を反射する鏡９ｂとは、それぞれ、図４に示すように、ランプユニット３０の長手方向に複数連結され、一対の反射体９の一方および他方を構成している。また、鏡９ａと、鏡９ｂとは、ランプユニット３０の長手方向に沿って、互いにずれた位置に配置されている。この構成によれば、鏡９ａ，９ｂをランプユニット３０の長手方向に複数の小片に分割して形成することで主反射鏡８を着脱等の作業上で取扱い易くすることができるとともに、製造コストを下げることができる。また、鏡９ａと、鏡９ｂとを、ランプユニット３０の長手方向に沿って、互いにずれた位置に配置したため、隣り合う鏡９ａ，９ａ及び鏡９ｂ，９ｂのつなぎ目に当たる反射光の光路への影響を低減することができる。
本実施形態では、発光長１８５０ｍｍの直管型ランプ７に対して、直管型ランプ７の長さ方向に８０ｍｍの長さを有する鏡９ａ，９ｂを設けている。なお、最外の鏡９ａ，９ｂは直管型ランプ７の全長に合わせて適宜長さが設定されている。
【００１８】
取付板３５は、図３、図４に示すように、主反射鏡８を筐体３１に取り付ける部材であり、直管型ランプ７の真上に設けられ、直管型ランプ７の管軸に沿って延びている。取付板３５は、図示は省略するが、筐体３１の端面パネル３４に両端が、例えばねじ等の締結具で固定されている。取付板３５は、断面四角形の管状に形成される取付板であり、上下に貫通する複数の通風孔（スリット）３５ａが互いに所定間隔でランプユニット３０の長手方向に沿って複数設けられている。各通風孔３５ａは、長穴形状に形成することができる。
第１保持体３６ａ，３６ｂは、取付板３５の両側面に各々固定されて、直管型ランプ７の管軸に沿って延びている。
【００１９】
第２保持体３８ａ，３８ｂは、筐体３１の側面パネル３３の照射開口４５近傍にランプユニット３０の長手方向に沿って取り付けられた固定具３７ａ，３７ｂに其々支持されている。第２保持体３８ａ，３８ｂは、互いに所定の間隔を開けて、隣り合う鏡９ａ，９ａ及び鏡９ｂ，９ｂのつなぎ目に対応する位置に取り付けられる。
【００２０】
光照射対象物２においては、直管型ランプ７の両端部側で、直管型ランプ７の長手方向中央に対して紫外線照度が弱くなる。特に直管型ランプ７は電極を有することから、電極付近で紫外線照度が弱くなる。
そこで、本実施形態では、反射鏡ユニット８０は、主反射鏡８の両端部８ｂ，８ｂに、端面反射鏡５０と、補助反射鏡６０とを備えている。
【００２１】
端面反射鏡５０は、樋状に形成された主反射鏡８の両端部８ｂ，８ｂの開口８ｃを塞ぐように設けられ、光照射対象物２の外に漏れる光を光照射対象物２に向けて反射することで、直管型ランプ７及び主反射鏡８の照射による照度分布を補う。
詳述すると、この光照射装置１では、直管型ランプ７及び主反射鏡８のみで照射した場合、図２に示すように、直管型ランプ７の両端部に対応する領域Ｄで照度が不足する。この光照射装置１では、この領域Ｄの照度不足を反射光によって補うように端面反射鏡５０が構成されている。
【００２２】
具体的には、端面反射鏡５０は、図２乃至図４に示すように、直管型ランプ７の両端部に、互いに対面する一対の端板５１を有し、その内壁面が反射面として構成されている。本実施形態では、端板５１は、鋼にアルミめっきを施した鋼板、或いは、アルミ材にアルマイト処理を施したアルミ板として構成されているが、端板５１の構成はこれに限定されるものではない。端板５１は、直管型ランプ７の発光端Ｐ近傍（本実施形態では、発光端Ｐの外側近傍）に位置している。また、端板５１は主反射鏡８の開口８ｃを覆う大きさに形成され、本実施形態では、端板５１は主反射鏡８の開口８ｃよりも上側に大きく形成されている。
端板５１の先端部５１ａには、直管型ランプ７を貫通させる切り欠き部５２が形成されている。切り欠き部５２は、光照射対象物２に向けて開口しており、この開口から直管型ランプ７が切り欠き部５２に挿入される。
【００２３】
係る構成の下、一対の端板５１は、上述の領域Ｄに向けて光を反射し、この反射光によって領域Ｄの照度が補われる。
また、端板５１は、領域Ｄの照度分布を制御できるよう、傾斜角度θを調整可能に構成されている。具体的には、端板５１は、ねじ等の締結具５３，５４で主反射鏡８に傾斜角度θを調整可能に固定されている。端板５１の傾斜角度θ（被照射面の鉛直方向Ｎに対する角度、本実施形態では、８°）は、照度を補うべき領域Ｄに反射光を照射するように調整され、これにより、均斉度が高められる。
なお、本実施形態では、各端板５１の上部に少なくとも１つ（本実施形態では、２つ）の固定用締結具５３（例えば、ねじ）が、下部に少なくとも１つ（本実施形態では、２つ）の調整用締結具５４（例えば、調整用ねじ）が設けられている。この調整用締結具５４により、端板５１の下部の主反射鏡８に対する位置が調整されることで、端板５１の傾斜角度θが調整できる。また、端板５１に固定用締結具５３を挿入するための２つの貫通孔５５が、直管型ランプ７の中心軸Ｃを挟んで配置されている。貫通孔５５は、長孔に形成されるとともに、中心軸Ｃを中心とした円に沿うように配置されている。
【００２４】
補助反射鏡６０は、直管型ランプ７の両端であって直管型ランプ７と主反射鏡８との間に、一対の上部反射板６１を有し、その内壁面が反射面として構成されている。本実施形態では、上部反射板６１は、アルミ材にアルマイト処理を施したアルミ板として構成されているが、上部反射板６１の構成はこれに限定されるものではない。
上部反射板６１の形状及び大きさは、必要な均斉度に合わせて適宜設定される。本実施形態では、上部反射板６１は、矩形の板状に形成され、その幅Ｗが直管型ランプ７の幅よりも大きく形成されるとともに、直管型ランプ７の長手方向の長さＬが５０ｍｍに形成されている。
上部反射板６１は、取付板３５にねじ等の締結具６２で固定されている。また、上部反射板６１は、光照射対象物２の被照射面と略平行となるように設けられている。
【００２５】
ここで、直管型ランプ７及びその周辺を空冷する空気の流れを説明すると、照射器２０の通気口２１の内側に設けられた不図示の送風ファンの駆動により、ランプユニット３０の内部には、図４に示すように、照射開口４５を介して冷却風が取り入れられる。図４中の矢印Ａは、ランプユニット３０の内部での冷却風の流れを示す。矢印Ａに示すように、照射開口４５から取り入れられた冷却風は、直管型ランプ７及びその周辺を冷却し、取付板３５の通風孔３５ａ、筐体３１の上面パネル３２に設けられた通気孔３２ａを通って、換気ダクト１１により光照射装置１のケース１０外部に排気される。
上部反射板６１は、通風孔３５ａを塞がないように、主反射鏡８と隙間δを空けて配置されている。これにより、照射開口４５から取り入れられた冷却風は、上部反射板６１と直管型ランプ７との間の空間を流れるとともに、上部反射板６１と主反射鏡８との間の隙間δを流れ、通風孔３５ａに流通する。したがって、補助反射鏡６０を設けても、通風孔３５ａに冷却風を流通させることができるので、冷却風の流れを疎外することを防止できる。
【００２６】
図５は、反射鏡ユニット８０による光の経路を模式的に示す図である。図５では、直管型ランプ７のサンプル箇所からの光の経路が示されている。
図５に示すように、端面反射鏡５０により、主反射鏡８の両端部８ｂ，８ｂの側方に向かう光を光照射対象物２に向けて反射できるので、光照射対象物２に反射できる光量を増加させることができる。また、この端面反射鏡５０の傾斜角度θを調整することで、端面反射鏡５０によって直管型ランプ７の両端部に対応する領域Ｄに光を集めることができるので、光照射対象物２の均斉度を高めることができる。
また、補助反射鏡６０により、主反射鏡８の通風孔３５ａに向かう光を、光照射対象物２に向けて反射できるので、光照射対象物２に反射できる光量を増加させることができる。また、補助反射鏡６０は直管型ランプ７の両端部に設けたため、補助反射鏡６０によって直管型ランプ７の両端部に対応する領域Ｄに光を集めることができるので、光照射対象物２の均斉度を高めることができる。
【００２７】
図６は、照度分布を示すグラフである。なお、図６では、縦軸に被照射面の中心の照度を１００％としたときの照度の相対値（％）を、横軸に被照射面の中心からの距離を示す。また、図６中、線Ｒ１は端面反射鏡５０及び補助反射鏡６０を設けない場合、線Ｒ２は鋼板の端面反射鏡５０のみを用いた場合、線Ｒ３はアルミ板の端面反射鏡５０のみを用いた場合、線Ｒ４は補助反射鏡６０のみを用いた場合、線Ｒ５はアルミ板の端面反射鏡５０と、補助反射鏡６０とを用いた場合の結果を示す。
線Ｒ１及び線Ｒ２に示すように、端面反射鏡５０を設けることで照度を向上させることができる。また、線Ｒ２及び線Ｒ３に示すように、鋼板よりもアルミ板の端面反射鏡５０の方が照度を向上させることができる。
【００２８】
線Ｒ１及び線Ｒ４に示すように、補助反射鏡６０を設けることで照度を向上させることができる。線Ｒ４及び線Ｒ５に示すように、端面反射鏡５０及び補助反射鏡６０の両方を設けることで、照度をより向上させることができる。
なお、本実施形態では、有効照射領域の長手方向の長さは片側８００ｍｍである。８００ｍｍの位置では、端面反射鏡５０及び補助反射鏡６０を設けない場合（線Ｒ１）、照度の相対値が約７５％であるのに対し、端面反射鏡５０及び補助反射鏡６０を設ける場合（線Ｒ５）、照度の相対値が約８３％になり、相対値を向上させることができる。
【００２９】
以上説明したように、本実施形態によれば、直管型ランプ７と、この直管型ランプ７の周囲を囲み、頂部８ａに通風孔３５ａを備えた樋状の主反射鏡８とを備えた光照射装置１において、主反射鏡８の両端部には、直管型ランプ７と主反射鏡８との間に、補助反射鏡６０を備える構成とした。この構成により、直管型ランプ７の両端部に対応する領域Ｄの照度不足を補助反射鏡６０の反射光によって補うことができるので、直管型ランプ７の長手方向の照度均斉度を向上できる。
【００３０】
また、本実施形態によれば、補助反射鏡６０は、通風孔３５ａを塞がないように、主反射鏡８と隙間δを空けて配置したため、補助反射鏡６０を配置しても、直管型ランプ７や主反射鏡８等の光学部材を冷却できる。
【００３１】
また、本実施形態によれば、主反射鏡８の両端部に端面反射鏡５０を備えたため、直管型ランプ７の両端部に対応する領域Ｄの照度不足を端面反射鏡５０の反射光によって補うことができるので、直管型ランプ７の長手方向の照度均斉度を向上できる。
【００３２】
＜第２の実施形態＞
次に、第２の実施形態について説明する。
第１の実施形態では、反射鏡ユニット８０が、主反射鏡８の両端部に、端面反射鏡５０と、補助反射鏡６０とを備えていたが、第２の実施形態では、主反射鏡８の端部側が反射方向を調整可能に構成されている。なお、第２の実施形態では、第１の実施形態と同一部分には同一の符号を付して説明を省略する。
【００３３】
図７は、第２の実施形態に係る位置可変反射鏡７０を示す図であり、図７（Ａ）は基準状態を、図７（Ｂ）は調整後を示す。
反射鏡ユニット１８０は、最外の鏡９ａ，９ｂを有する位置可変反射鏡７０，７０と、位置可変反射鏡７０，７０間に設けられ、最外の鏡９ａ，９ｂ以外の他の鏡９ａ，９ｂを有するユニット本体１８０ａとを備えている。
位置可変反射鏡７０は、主反射鏡８の両端部８ｂ，８ｂが直管型ランプ７の中心軸Ｃに対して角度を調整可能にされて構成されている。
詳述すると、各位置可変反射鏡７０は、主反射鏡８の最外の鏡９ａ，９ｂと、最外の鏡９ａ，９ｂに対応する取付板３５と、最外の鏡９ａ，９ｂに対応する第１保持体３６ａ，３６ｂと、最外の鏡９ａ，９ｂに対応する固定具３７ａ，３７ｂと、最外の鏡９ａ，９ｂに対応する第２保持体３８ａ，３８ｂと、端板５１と、上部反射板６１とを備えて構成されている。主反射鏡８の最外の鏡９ａ，９ｂは、他の鏡９ａ，９ｂと分離して設けられている。また、取付板３５、第１保持体３６ａ，３６ｂ、固定具３７ａ，３７ｂ及び第２保持体３８ａ，３８ｂも、最外の鏡９ａ，９ｂに対応する部分、換言すれば最外の鏡９ａ，９ｂの長さに相当する部分、が残りの部分と分離して設けられている。
【００３４】
ユニット本体１８０ａは、主反射鏡８の他の鏡９ａ，９ｂと、他の鏡９ａ，９ｂに対応する取付板３５と、他の鏡９ａ，９ｂに対応する第１保持体３６ａ，３６ｂと、他の鏡９ａ，９ｂに対応する固定具３７ａ，３７ｂと、他の鏡９ａ，９ｂに対応する第２保持体３８ａ，３８ｂとを備えて構成されている。
【００３５】
各位置可変反射鏡７０は、筐体３１に対して回動軸７１を介して回動自在に支持されている。
位置可変反射鏡７０は、筐体３１（本実施形態では、上面パネル３２）に設けた調整具７２（例えば、調整用ねじ）により、中心軸Ｃに対する取付角度φが調整され、最外の鏡９ａ，９ｂ、端板５１及び上部反射板６１の反射方向が調整される。
直管型ランプ７を支持する管端支持部３９は端板５１に支持されている。位置可変反射鏡７０の調整の際には、まず、管端支持部３９のホルダーを緩めて管端支持部３９と直管型ランプ７との固定を解除する。次に、調整具７２によって位置可変反射鏡７０を回動軸７１を中心に回動するとともに取付角度φを固定する。そして、管端支持部３９のホルダーを締めて直管型ランプ７を管端支持部３９に固定する。
【００３６】
位置可変反射鏡７０の位置（角度）を調整することで、光照射対象物２の外に漏れる光を光照射対象物２に向けて反射でき、光照射対象物２に反射できる光量を増加させることができる。また、位置可変反射鏡７０の位置（角度）を調整することで、直管型ランプ７の両端部に対応する領域Ｄに光を集めることができるので、光照射対象物２の均斉度を高めることができる。
なお、直管型ランプ７を貫通させる切り欠き部５２は、位置可変反射鏡７０の回動角度が調整されても、直管型ランプ７の端部が端板５１に接触しない程度の大きさに形成される。
【００３７】
このように、本実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏する。
また、本実施形態によれば、主反射鏡８は端部８ｂ，８ｂ側が反射方向を調整可能に構成されているため、主反射鏡８の端部８ｂ，８ｂの反射方向を調整することで、直管型ランプ７の長手方向の照度均斉度をより精密に向上できる。
【００３８】
なお、位置可変反射鏡７０は、回動軸７１を中心に回動可能に支持されることで位置を可変させていたが、位置を可変させる構造は、回動式に限らず、例えば、スライド式であてもよい。
また、位置可変反射鏡７０では、主反射鏡８の軸が直管型ランプ７の中心軸Ｃと平行となる基準状態において、上部反射板６１が被照射面と略平行となるように設けられているが、上部反射板６１は被照射面に対する角度が調整可能に構成されていてもよい。
【００３９】
但し、上述の実施形態は本発明の一態様であり、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能であるのは勿論である。
例えば、上述の実施形態では、冷却機構を空冷機構としたが、液体を用いた冷却機構であってもよい。この場合においても、主反射鏡８を、例えば一対の反射体９を備える分割式とすることで、主反射鏡８を容易に形成できる。
また、上述の実施形態では、主反射鏡８の頂部に複数の通風孔３５ａを形成していたが、１つの通気孔を形成してもよい。
また、上述の実施形態では、スリットを通風孔３５ａとして説明したが、主反射鏡８に通風しない場合には、通風機能のないスリットであってもよい。
【００４０】
また、上述の実施形態では、線状の光源を直管型ランプ７として説明したが、線状の光源はこれに限定されるものではなく、直管型ランプ７に代えて、例えば紫外線ＬＥＤ等の発光素子を直線状に配列した線状の光源を用いることもできる。線状の光源が照射する光は紫外線に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００４１】
１  光照射装置
７  直管型ランプ（光源）
８  主反射鏡
８ａ  頂部
８ｂ  端部
３５ａ  通風孔（スリット）
５０  端面反射鏡
６０  補助反射鏡
δ  隙間
【図１】
0006500392.tif 000002
【図２】
0006500392.tif 000003
【図３】
0006500392.tif 000004
【図４】
0006500392.tif 000005
【図５】
0006500392.tif 000006
【図６】
0006500392.tif 000007
【図７】
0006500392.tif 000008