(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ねじ軸と、該ねじ軸に複数の転動体を介して螺合する複数のナットと、隣接するナット間に配置された予圧付与機構とを備え、
前記予圧付与機構は、前記隣接するナット間に介挿される初期予圧を与える間座と、前記隣接するナットの一方の端面に形成された収納部内に配置され、対向面に半径方向に行くに従い幅が変化する傾斜面を形成した軸方向に移動可能な一対の対向リングと、該一対の対向リングの傾斜面間に係合する断面台形状の複数の押圧駒と、該押圧駒を半径方向に移動させるねじ部とを備え、
前記隣接するナット間の予圧低下時に、前記ねじ部を操作することにより、押圧駒によって前記一対の対向リングを軸方向外側に移動させて当該隣接するナット間の予圧を回復させる
ことを特徴とするボールねじの予圧回復装置。
【請求項２】
前記一対の対向リングは、一方のナット側の端面の外周縁から前記隣接するナット間の中央に行くに従い幅広となる傾斜面を有し、前記押圧駒は、前記傾斜面に係合する傾斜面を有し、半径方向外方から内方に向かうに従い幅狭となる断面台形状に形成され、前記ねじ部は前記収納部の半径方向外側の外周壁に形成された雌ねじ部に螺合していることを特徴とする請求項１に記載のボールねじの予圧回復装置。
【請求項３】
前記一対の対向リングは、一方のナット側の端面の内周縁から前記隣接するナット間の中央に行くに従い幅広となる傾斜面を有し、前記押圧駒は、前記傾斜面に係合する傾斜面を有し、半径方向外方から内方に向かうに従い幅広となる断面台形状に形成され、前記ねじ部は前記収納部の半径方向外側の外周壁に形成されたスリット部に挿通され先端が前記押圧駒に形成された雌ねじ部に螺合されていることを特徴とする請求項１に記載のボールねじの予圧回復装置。
【請求項４】
前記一対の対向リング及び押圧駒は、前記一対の対向リングの熱膨張係数に比較して押圧駒の熱膨張係数が小さくなる異なる金属材料で形成されていることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載のボールねじの予圧回復装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ねじ軸に螺合される隣接するナット間に予圧付与機構を設けたボールねじの予圧回復装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のボールねじは、ねじ軸と、複数の転動体（例えば、ボール）を介してねじ軸に螺合する複数のナットとを備え、隣接するナット間に平板状の間座等で構成される予圧付与機構を介在させて、隣接するナット間に予圧を与えるようにしている。
この予圧付与機構としては、特許文献１に記載されているように、隣接するナット間に介挿する間座の両面に、互い違いに圧電シートを貼り付け、両ナットで強く挟持したとき間座に弾性変形を生じさせるとともに、圧電シートに供給する電圧を外部から調整することにより、予圧を外部から自在に調整することが提案されている。
【０００３】
また、他の予圧付与機構としては、特許文献２に記載されているように、隣接するナット間に、回り止め手段と、軸方向において互いに逆方向の力を与える付勢子とを配置し、付勢子に対して、圧力源、流体圧供給路、圧力室等を含む付勢手段で付勢力を与えることにより、定位置予圧と予圧可変式の定圧予圧とを外部から調整することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第２８７６６１４号公報
【特許文献２】特開平０６−２３５４４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１及び２に記載されたボールねじにあっては、外部から予圧を調整することが可能であり、常時予圧を一定に調整することができるが、予圧を調整するために、外部に検出装置及び直流電圧を供給する駆動装置を設けたり、流体圧源、流体圧供給路、圧力室等を含む付勢手段を設けたりする必要があり、ボールねじ単独で予圧調整を行うことができないという未解決の課題がある。
上記従来例のような外部の予圧調整機構を設けないボールねじでは、隣接するナット間に平板状の間座を組み付け、間座の厚みによって隣接するナット間に予圧を与えるのが一般的である。
【０００６】
この場合に、予圧付与機構を平板状の間座を設けるのみのシンプルな構成とすることができるが、ボールねじを工作機械等に組み込んで稼働させた場合には、ボールねじの転動溝に切り屑等の異物が付着すると、この異物によって転動体又は転動溝若しくは転動体及び転動溝の双方が摩耗して予圧が徐々に低下し、剛性不足によって目的とする加工精度等がでず、工作機械を停止せざるを得ない状態となり、新たなボールねじの手配をし、ボールねじの交換作業が必要となっている。
そこで、本発明は、上記特許文献１及び２に記載された従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、外部に駆動部を設けることなく、予圧低下時に予圧を回復することができるボールねじの予圧回復装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係るボールねじの予圧回復装置は、ねじ軸と、このねじ軸に複数の転動体を介して螺合する複数のナットと、隣接するナット間に配置された予圧付与機構とを備え、予圧付与機構は、隣接するナット間に介挿される初期予圧を与える間座と、隣接するナットの一方の端面に形成された収納部内に配置され、対向面に半径方向に行くに従い幅が変化する傾斜面を形成した軸方向に移動可能な一対の対向リングと、これら一対の対向リングの傾斜面間に係合する断面台形状の複数の押圧駒と、この押圧駒を半径方向に移動させるねじ部とを備え、隣接するナット間の予圧低下時に、ねじ部を操作することにより、押圧駒によって一対の対向リングを軸方向外側に移動させて隣接するナット間の予圧を回復させる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一態様によれば、予圧付与機構に予圧回復機能を持たせたので、ボールねじの転動溝に異物が侵入して転動体又は転動溝若しくは転動体及び転動溝の双方が摩耗して予圧が低下したときに、ねじ部により押圧駒を移動させて一対の対向リングを軸方向外方に移動させることにより、予圧を回復させることができ、ボールねじの初期性能を維持しながら長期間使用することが可能となる。このため、ボールねじの交換に要する準備期間を長くすることができ、交換するボールねじを調達できた時点でボールねじの交換作業を行うことで、ボールねじを組み込んだ機械の停止期間を短くすることができ、生産性の低下を抑制することができる。
また、ボールねじを組み込んだ機械の使用者側でボールねじの予備ストックを持つ必要がなくなり、在庫コストの削減に繋げることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一態様に係るボールねじの予圧回復装置の第１の実施形態を示す断面図である。
【図２】図１の予圧付与機構の拡大断面図である。
【図３】本発明の一態様に係るボールねじの予圧回復装置の第２の実施形態を示す断面図である。
【図４】図３の予圧付与機構の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、図面を参照して、本発明の一実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。
【００１１】
また、以下に示す実施の形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、本発明の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。本発明の技術的思想は、特許請求の範囲に記載された請求項が規定する技術的範囲内において、種々の変更を加えることができる。
まず、本発明の一の態様を表すボールねじの予圧回復装置の第１の実施形態について説明する。
【００１２】
ボールねじ１０は、図１に示すように、ねじ軸１１と、このねじ軸１１に転動体としてのボール１２を介して螺合された複数例えば２つのナット１３Ａ及び１３Ｂとを備えている。
ねじ軸１１は、外周面にボール１２が転動するねじ軸側螺旋溝１４が形成されている。
ナット１３Ａは、一端にフランジ部１５を形成した円筒体１６で構成され、この円筒体１６の内周面にねじ軸側螺旋溝１４に対向してボール１２が転動するナット側螺旋溝１７が形成されている。このナット１３Ａのナット１３Ｂと対向する端面に円環状凹部でなる収納部１８が形成されている。
【００１３】
ナット１３Ｂは、フランジ部１５が省略されていることを除いてはナット１３Ａと同様の構成を有し、円筒体１６の内周面にねじ軸側螺旋溝１４に対向してボール１２が転動するナット側螺旋溝１７が形成されている。
これらナット１３Ａ及び１３Ｂには、図示はしないがボール１２を軸方向の一端側から他端側に戻すような循環路が形成されており、この循環路を介してボール１２を循環させる。
【００１４】
ここで、ねじ軸側螺旋溝１４は、その螺旋溝に直角な断面形状が曲率中心の異なる２つの同一円弧を組み合わせた略Ｖ状であるゴシックアーク形状とされている。これに対して、ナット側螺旋溝１７は、その螺旋溝に直角な断面形状がボール１２の半径より大きい曲率半径を有するゴシックアーク形状とされている。
そして、ナット１３Ａのフランジ部１５とは反対側にナット１３Ｂが隣接して配置されている。
【００１５】
隣接するナット１３Ａ及び１３Ｂの対向端面間には、ボール１２に予圧を与える予圧付与機構２０が設けられている。この予圧付与機構２０は、ナット１３Ａ及び１３Ｂのボール１２に初期予圧を与える間座２１と、この間座２１の外周側に配置され、収納部１８内に収納された一対の対向リング２２Ａ及び２２Ｂと、これら一対の対向リング２２Ａ及び２２Ｂ間の円周方向の複数個所に配置された押圧駒２３と、この押圧駒２３を中心軸側に押圧するねじ部２４とを備えている。
【００１６】
間座２１は、ナット１３Ａ及び１３Ｂのナット側螺旋溝１７の底面間の内径以上の内径を有する貫通孔が形成された円筒状に形成され、その軸方向の厚みによってナット１３Ａ及び１３Ｂのボール１２に対して初期予圧を付与する。
対向リング２２Ａは、図２に示すように、収納部１８の底面１８ａに接触する垂直接触面２２ａと、垂直端面の外周縁から軸方向にナット１３Ｂ側に行くに従い幅広となる傾斜面２２ｂと、収納部１８の内周側円筒面１８ａに係合する円筒内面２２ｃとを有して断面直角三角形状に形成されている。
【００１７】
対向リング２２Ｂは、図２に示すように、ナット１３Ｂのナット１３Ａ側端面に接触する垂直接触面２２ｄと、垂直接触面２２ｄの外周縁から軸方向にナット１３Ａ側に行くに従い幅広となる傾斜面２２ｅと、収納部１８の内周側円筒面１８ａに係合する円筒内面２２ｆとを有して断面直角三角形状に形成されている。
そして、対向リング２２Ａ及び２２Ｂは、傾斜面２２ｂ及び２２ｅを互いに対向させて対向面となるように収納部１８の内面側円筒面１８ｂに軸方向に移動可能に収納されている。
【００１８】
押圧駒２３は、図２に示すように、対向リング２２Ａ及び２２Ｂの傾斜面２２ｂ及び２２ｅに係合する傾斜面２３ａ及び２３ｂと、傾斜面２３ａ及び２３ｂの内周側端縁を結ぶ内周側円筒面２３ｃと、傾斜面２３ａ及び２３ｂの外周側端縁を結ぶ外周面２３ｄとを有して断面台形状に形成されている。
ねじ部２４は、ナット１３Ａの収納部１８を形成する外筒部１８ｃの押圧駒２３の外周面２３ｄに対向する位置に半径方向に貫通形成された雌ねじ部１８ｄに螺合され、端面が押圧駒２３の外周面２３ｄに接触した状態で外周側から見て時計方向に回転させることにより、押圧駒２３を半径方向の中心軸側に押圧する。
【００１９】
また、ナット１３Ａ及び１３Ｂは比較的熱膨張係数が小さい金属材料であるクロムモリブデン鋼（熱膨張係数：１１．２×１０−６／Ｋ）で構成され、間座２１及び対向リング２２Ａ，２２Ｂは、ナット１３Ａ及び１３Ｂに対して熱膨張係数が大きい金属材料である黄銅（熱膨張係数：１９×１０−６／Ｋ）で構成され、押圧駒２３は対向リング２２Ａ，２２Ｂに対して熱膨張係数が小さい金属材料であるステンレス鋼ＳＵＳ３０４（熱膨張係数：１７．３×１０−６／Ｋ）で構成され、さらにねじ部２４は、押圧駒２３と同じステンレス鋼ＳＵＳ３０４で形成されている。
【００２０】
したがって、間座２１及び対向リング２２Ａ，２２Ｂ、押圧駒２３及びねじ部２４の順に熱膨張係数が小さくなるように設定されている。
次に、上記第１の実施形態の動作を説明する。
ねじ軸１１へナット１３Ａ及び１３Ｂを装着する際には、先ずナット１３Ａをねじ軸１１へボール１２を介して螺合させる。
【００２１】
次いで、ナット１３Ａの収納部１８内に対向リング２２Ａ、押圧駒２３及び対向リング２２Ｂの順で挿入するとともに、対向リング２２Ｂの軸方向外側の内周面に間座２１を挿入した状態で、間座２１内にねじ軸１１をナット１３Ａ側とは反対側の端部から挿入して、間座２１の端面をナット１３Ａのフランジ部１５とは反対側の端面に接触させる。
次いで、ナット１３Ｂをねじ軸１１のナット１３Ａのフランジ部１５とは反対側の端部からボール１２を介して螺合させ、そのナット１３Ａ側端面を間座２１に接触させて締め付ける。これにより、間座２１で、ナット１３Ａ及び１３Ｂとねじ軸１１との間のボール１２に２点接触状態となるように引張方向の所定の初期予圧を与える。
【００２２】
この初期状態では、ねじ部２４で押圧駒２３に対して押圧力を付与せず、押圧駒２３が半径方向の外周側の位置を取り、対向リング２２Ａの端面でナット１３Ａを押圧しないとともに、対向リング２２Ｂの端面でナット３Ｂを押圧しない状態に保持される。
このように、ねじ軸１１にナット１３Ａ及び１３Ｂを隣接させて装着するダブルナット構成とすることにより、シングルナットの場合よりも剛性を高めることができ、ボールねじ１０を使用した送り系の位置決め精度を向上させることができる。
【００２３】
ところで、上記構成を有するボールねじ１０は、位置決め精度を必要する工作機械、射出成形機、半導体製造装置などに組込んで使用されるが、ボールねじ１０には、駆動時にねじ軸１１のねじ軸側螺旋溝１４やナット１３Ａ及び１３Ｂのナット側螺旋溝１７に切り屑や摩耗粉等の異物が入り込み易い。
このように、ねじ軸側螺旋溝１４やナット側螺旋溝１７に異物が入り込むと、接触角によって、異物はねじ軸側螺旋溝１４やナット側螺旋溝１７とボール１２との間に噛み込まれ、ボール１２、ねじ軸側螺旋溝１４及びナット側螺旋溝１７の少なくとも１つ以上が摩耗して、予圧抜けが発生する。
【００２４】
また、ねじ軸１１を回転駆動して、ナット１３Ａ及び１３Ｂを走行させると、ナット側螺旋溝１７とボール１２との間の発熱量が他の部位の発熱量に比較して多くなる。
そして、接触角によって、切り屑や摩耗粉等の異物がナット側螺旋溝１７とボールとの間に入り込むと、摩擦抵抗が増加する分発熱量も増加するため、ナット１３Ａ及び１３Ｂ及び予圧付与機構２０の温度が上昇する。これによって、予圧付与機構２０の予圧が低下する状態が発生する。
【００２５】
このとき、予圧付与機構２０の間座２１及び一対の対向リング２２Ａ，２２Ｂに対して押圧駒２３の熱膨張係数が小さくなるように設定されており、言い換えると押圧駒２３に対して間座２１及び一対の対向リング２２Ａ，２２Ｂの膨張係数が大きくなる。このため、温度上昇により、間座２１が軸方向に膨張し、この間座２１の熱膨張係数がナット１３Ａ及び１３Ｂの熱膨張係数より大きいので、間座２１の伸び量によって予圧の低下が回復する。このとき、間座２１に伝達された熱が対向リング２２Ｂに伝達されるとともに、対向リング２２Ａにはナット１３Ａから直接伝達される。しかしながら、対向リング２２Ａ，２２Ｂに対して押圧駒２３及びねじ部２４の熱膨張係数が小さいので押圧駒２３及びねじ部２４の熱膨張による半径方向の伸び量を抑制することができ、ねじ部２４の熱膨張による負担を抑制することができる。
【００２６】
しかしながら、ボール１２、ねじ軸側螺旋溝１４及びナット側螺旋溝１７の少なくとも１つ以上の摩耗量が多くなると、間座２１や対向リング２２Ａ，２２Ｂの熱膨張係数差による予圧増加分では予圧が不足することになる。この場合には、ねじ部２４が右ねじであるものとすると、ねじ部２４を外側面側から見て時計方向に回転させることにより、ねじ部２４が半径方向中心軸側に移動する。このため、押圧駒２３がねじ部２４によって押圧されて半径方向中心軸側に移動する。これによって、対向リング２２Ａによってナット１３Ａがナット１３Ｂとは反対方向に押され、対向リング２２Ｂによってナット１３Ｂがナット１３Ａとは反対方向に押されることになり、ナット１３Ａ及び１３Ｂ間を広げてボール１２の予圧を確実に回復させることができる。このため、ボールねじ１０の予圧に比例する剛性を確保することができ、送り系の位置決め精度の低下を補償することができる。
【００２７】
したがって、ボール１２、ねじ軸側螺旋溝１４、ナット側螺旋溝１７の少なくとも１つ以上の摩耗による予圧低下が発生したボールねじ１０であっても、ねじ部２４を時計方向に回転させることにより、押圧駒２３を半径方向中心軸側に移動させて対向リング２２Ａ及び２２Ｂを軸方向で互いに反対方向の外側に移動させることにより予圧を回復させて継続使用が可能となる。
【００２８】
この予圧回復動作を行った場合には、新たなボールねじ１０を手配し、この新たなボールねじ１０が納入されるまでの間は対向リング２２Ａ，２２Ｂ及び押圧駒２３による予圧回復により剛性を確保して送り系の位置決め精度を維持したまま送り系の稼働が可能となる。
そして、新たなボールねじ１０が納入されたときに、送り系の駆動を停止して、劣化を生じたボールねじ１０を新たなボールねじ１０に交換する作業を行う。これによって、送り系の機構を更新することができ、送り系の停止時間を短くできるので、生産量のダウンを極力小さくすることができる。
【００２９】
さらに、ボールねじ１０の予備ストックを、ボールねじ１０を組み込んだ工作機械、射出成形機、半導体製造装置等を使用する製造メーカー側や生産現場で持つ必要がなくなり、在庫コストの削減に寄与することができる。
次に、本発明の第２の実施形態について図３及び図４を参照して説明する。
この第２の実施形態では、予圧低下時に、押圧駒２３を半径方向外方に移動させることにより、予圧を回復させるようにしたものである。
【００３０】
すなわち、第２の実施形態では、一対の対向リング２２Ａ，２２Ｂ及び押圧駒２３の形状が第１の実施形態とは変更されていることを除いては第１の実施形態と同様の構成を有し、第１の実施形態との対応部分については同一符号を付し、その詳細説明はこれを省略する。
第２の実施形態では、対向リング２２Ａは、図４に示すように、傾斜面２２ｂが収納部１８の底面１８ａに接触する垂直接触面２２ａの内周縁からナット１３Ｂ側に行くにしたがい幅広となるように、図３の上部側で見て右上がりの傾斜面とされている。同様に、対向リング２２Ｂは、図４に示すように、傾斜面２２ｅがナット１３Ｂの端面に接触する垂直接触面２２ｄの下端縁からナット１３Ａ側に行くにしたがい幅広となるように、図２の上部側で見て左上がりの傾斜面とされている。
【００３１】
また、押圧駒２３が、図２に示すように、対向リング２２Ａ及び２２Ｂの傾斜面２２ｂ及び２２ｅに係合する傾斜面２３ａ及び２３ｂが、図３の上部側で見て山形に形成されて、押圧駒２３が台形状に形成されている。
また、ナット１３Ａの収納部１８の外筒部１８ｃの押圧駒２３に対向する位置にナット１３Ｂ側の端面から形成されたスリット部１８ｅ内にねじ部２４が配置され、ねじ部２４の先端側が押圧駒２３に形成された雌ねじ部２３ｅに螺合されている。
【００３２】
この第２の実施形態によると、ナット１３Ａ及び１３Ｂのナット側螺旋溝１７の温度が上昇して、予圧が低下する場合には、ナット１３Ａの収納部１８内に配されているのでは、対向リング２２Ａ及び２２Ｂと押圧駒２３とでこれらの軸方向長さは前述した第１の実施形態と変わらないので、対向リング２２Ａ及び２２Ｂの熱膨張及び間座２１の熱膨張によって、予圧低下を補償することができる。
【００３３】
また、異物の侵入によるボール１２、ねじ軸側螺旋溝１４及びナット側螺旋溝１７の少なくとも１つ以上の摩耗量が多くなると、間座２１や対向リング２２Ａ，２２Ｂの熱膨張係数差による予圧増加分では予圧が不足することになる。この場合には、ねじ部２４が右ねじであるものとすると、ねじ部２４を外側面側から見て時計方向に回転させることにより、ねじ部２４は半径方向に移動しないが、押圧駒２３がねじ部２４によって半径方向外方に移動する。
【００３４】
これによって、対向リング２２Ａによってナット１３Ａがナット１３Ｂとは反対方向に押され、対向リング２２Ｂによってナット１３Ｂがナット１３Ａとは反対方向に押されることになり、ナット１３Ａ及び１３Ｂ間を広げてボール１２の予圧を確実に回復させることができる。このため、ボールねじ１０の予圧に比例する剛性を確保することができ、送り系の位置決め精度の低下を補償することができる。
【００３５】
したがって、ボール１２、ねじ軸側螺旋溝１４、ナット側螺旋溝１７の少なくとも１つ以上の摩耗による予圧低下が発生したボールねじ１０であっても、ねじ部２４を時計方向に回転させることにより、押圧駒２３を半径方向中心軸側に移動させて対向リング２２Ａ及び２２Ｂを軸方向で互いに反対方向の外側に移動させることにより予圧を回復させて継続使用が可能となる。
【００３６】
この予圧回復動作を行った場合には、新たなボールねじ１０を手配し、この新たなボールねじ１０が納入されるまでの間は対向リング２２Ａ，２２Ｂ及び押圧駒２３による予圧回復により剛性を確保して送り系の位置決め精度を維持したまま送り系の稼働が可能となる。
そして、新たなボールねじ１０が納入されたときに、送り系の駆動を停止して、劣化を生じたボールねじ１０を新たなボールねじ１０に交換する作業を行う。これによって、送り系の機構を更新することができ、送り系の停止時間を短くできるので、生産量のダウンを極力小さくすることができる。
【００３７】
さらに、ボールねじ１０の予備ストックを、ボールねじ１０を組み込んだ工作機械、射出成形機、半導体製造装置等を使用する製造メーカー側や生産現場で持つ必要がなくなり、在庫コストの削減に寄与することができる。
なお、上記第１及び第２の実施形態においては、ナット１３Ａ側に収納部１８を形成した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、ナット１３Ｂ側に収納部１８を形成し、この収納部１８内に一対の対向リング２２Ａ及び２２Ｂと押圧駒２３とを収納して、ねじ部２４によって押圧駒２３を半径方向に移動させるようにすればよい。
【００３８】
また、上記第１及び第２の実施形態においては、一対の対向リング２２Ａ，２２Ｂ及び押圧駒２３を収納部１８内に収納する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、間座２１の幅をねじ軸１１のねじ軸側螺旋溝１４のピッチの整数倍に相当する幅だけ広げ、この間座２１の外周側に外筒部を形成し、この外筒部と間座２１との間を収納部として一対の対向リング２２Ａ及び２２Ｂと押圧駒２３とを収納し、外筒部にねじ部２４を螺合させるか外筒部に形成したスリット部にねじ部２４を配置することもできる。
【符号の説明】
【００３９】
１０…ボールねじ、１１…ねじ軸、１２…ボール、１３Ａ，１３Ｂ…ナット、１４…ねじ軸側螺旋溝、１６…円筒体、１７…ナット側螺旋溝、１８…収納部、２０…予圧付与機構、２１…間座、２２Ａ，２２Ｂ…対向リング、２２ｂ，２２ｅ…傾斜面、２３…押圧駒、２４…ねじ部
【図１】
0006540266.tif 000002
【図２】
0006540266.tif 000003
【図３】
0006540266.tif 000004
【図４】
0006540266.tif 000005