(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子と可動子とを含むモータと、該モータにおける推力リップルを補償するための補償値を決定する処理部と、前記モータの駆動を制御する制御部と、を含む駆動システムであって、
前記可動子の移動可能区間は、第１速度以上の速度で前記可動子を駆動することができる第１区間と前記第１速度以上の速度で前記可動子を駆動することができない第２区間とを含み、
前記処理部は、前記第１区間において前記第１速度以上の速度で前記可動子が移動することによって前記固定子と前記可動子の相互作用により生じる誘起電圧の測定値と、前記可動子の速度とから得られた前記第１区間における補償値に基づいて、前記第２区間における補償値を決定し、
前記制御部は、前記第１区間における補償値と前記処理部により決定された前記第２区間における補償値とを用いて前記モータを駆動することを特徴とする駆動システム。
【請求項２】
前記第１区間における補償値は、前記第１速度以上の等速度で前記可動子を移動させて得られた補償値であることを特徴とする請求項１に記載の駆動システム。
【請求項３】
前記固定子は複数のコイルを含み、前記第１区間における補償値は、前記複数のコイルの配列周期に応じた周期を有することを特徴とする請求項１または２に記載の駆動システム。
【請求項４】
前記処理部は、前記第１区間における補償値をそのまま前記第２区間における補償値として決定することを特徴とする請求項３に記載の駆動システム。
【請求項５】
固定子と可動子とを含むモータと、該モータにおける推力リップルを補償するための補償値を決定する処理部と、前記モータの駆動を制御する制御部と、を含む駆動システムであって、
前記可動子の移動可能区間は、第１速度以上の速度で前記可動子を駆動することができる第１区間と前記第１速度以上の速度で前記可動子を駆動することができない第２区間とを含み、
前記処理部は、前記第１区間で前記第１速度以上の速度で前記可動子を移動させることにより得られた第１区間における補償値に基づいて、前記第２区間における補償値を決定するように構成され、
前記制御部は、前記第１区間における補償値と前記処理部により決定された前記第２区間における補償値とを用いて前記モータを駆動するように構成され、
前記固定子は複数のコイルを含み、前記第１区間における補償値は、前記複数のコイルの配列周期に応じた周期を有し、
前記処理部は、前記第１区間における補償値に一定の比率を乗じる重み付けをすることによって得られた補償値を前記第２区間における補償値として決定することを特徴とする駆動システム。
【請求項６】
固定子と可動子とを含むモータと、該モータにおける推力リップルを補償するための補償値を決定する処理部と、前記モータの駆動を制御する制御部と、を含む駆動システムであって、
前記可動子の移動可能区間は、第１速度以上の速度で前記可動子を駆動することができる第１区間と前記第１速度以上の速度で前記可動子を駆動することができない第２区間とを含み、
前記処理部は、前記第１区間で前記第１速度以上の速度で前記可動子を移動させることにより得られた第１区間における補償値に基づいて、前記第２区間における補償値を決定するように構成され、
前記制御部は、前記第１区間における補償値と前記処理部により決定された前記第２区間における補償値とを用いて前記モータを駆動するように構成され、
前記固定子は複数のコイルを含み、前記第１区間における補償値は、前記複数のコイルの配列周期に応じた周期を有し、
前記第１区間に複数の周期の補償値が含まれる場合に、前記処理部は、前記複数の周期の補償値を平均化し、該平均化された補償値に一定の比率を乗じる重み付けをすることによって得られた補償値を前記第２区間における補償値として決定することを特徴とする駆動システム。
【請求項７】
前記処理部は、更に、前記第２区間における補償値に前記第１区間における補償値に対する位相ずれを与えることを特徴とする請求項３、５または６に記載の駆動システム。
【請求項８】
前記可動子を移動した場合に前記可動子と前記固定子との間の相互作用により生成される誘起電圧のデータを取得する取得部と、
前記可動子の位置を計測する計測部と、をさらに備え、
前記処理部は、前記取得部により取得された前記第１区間における誘起電圧のデータと前記計測部により取得された前記第１区間における前記可動子の位置のデータとに基づいて、前記第１区間における補償値を取得することを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の駆動システム。
【請求項９】
前記モータはリニアモータであることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の駆動システム。
【請求項１０】
固定子と可動子とを含むモータの制御方法であって、
前記可動子の移動可能区間は、第１速度以上の速度で前記可動子を駆動可能な第１区間と前記第１速度以上の速度で前記可動子を駆動することができない第２区間とを含み、
前記制御方法は、
前記第１区間において前記第１速度以上の速度で前記可動子が移動することによって前記固定子と前記可動子の相互作用により生じる誘起電圧の測定値と、前記可動子の速度とに基づいて前記第１区間における前記モータの推力リップルを補償するための補償値を取得する取得工程と、
前記第２区間における前記モータの推力リップルを補償するための補償値を前記第１区間における補償値に基づいて決定する決定工程と、
前記第１区間における補償値と前記第２区間における補償値とを用いて前記モータを駆動する駆動工程と、
を含むことを特徴とする制御方法。
【請求項１１】
前記固定子は複数のコイルを含み、前記第１区間における補償値は、前記複数のコイルの配列周期に応じた周期を有することを特徴とする請求項１０に記載の制御方法。
【請求項１２】
前記決定工程で、前記第１区間における補償値をそのまま前記第２区間における補償値として決定することを特徴とする請求項１１に記載の制御方法。
【請求項１３】
固定子と可動子とを含むモータの制御方法であって、
前記可動子の移動可能区間は、第１速度以上の速度で前記可動子を駆動可能な第１区間と前記第１速度以上の速度で前記可動子を駆動することができない第２区間とを含み、
前記制御方法は、
前記第１区間で前記第１速度以上の速度で前記可動子を移動させることで得られた推力リップルの情報に基づいて前記第１区間における補償値を取得する取得工程と、
前記第２区間における補償値を前記第１区間における補償値に基づいて決定する決定工程と、
前記第１区間における補償値と前記第２区間における補償値とを用いて前記モータを駆動する駆動工程と、を含み、
前記固定子は複数のコイルを含み、前記第１区間における補償値は、前記複数のコイルの配列周期に応じた周期を有し、
前記決定工程で、前記第１区間における補償値に一定の比率を乗じる重み付けをすることによって得られた補償値を前記第２区間における補償値として決定することを特徴とする制御方法。
【請求項１４】
固定子と可動子とを含むモータの制御方法であって、
前記可動子の移動可能区間は、第１速度以上の速度で前記可動子を駆動可能な第１区間と前記第１速度以上の速度で前記可動子を駆動することができない第２区間とを含み、
前記制御方法は、
前記第１区間で前記第１速度以上の速度で前記可動子を移動させることで得られた推力リップルの情報に基づいて前記第１区間における補償値を取得する取得工程と、
前記第２区間における補償値を前記第１区間における補償値に基づいて決定する決定工程と、
前記第１区間における補償値と前記第２区間における補償値とを用いて前記モータを駆動する駆動工程と、を含み、
前記固定子は複数のコイルを含み、前記第１区間における補償値は、前記複数のコイルの配列周期に応じた周期を有し、
前記第１区間に複数の周期の補償値が含まれる場合に、前記決定工程で、前記複数の周期の補償値を平均化し、該平均化された補償値に一定の比率を乗じる重み付けをすることによって得られた補償値を前記第２区間における補償値として決定することを特徴とする制御方法。
【請求項１５】
前記決定工程で、更に、前記第２区間における補償値に前記第１区間における補償値に対する位相ずれを与えることを特徴とする請求項１１、１３または１４に記載の制御方法。
【請求項１６】
パターン形成を基板に行うリソグラフィ装置であって、
基板を保持するステージと、
前記ステージを駆動する請求項１ないし９のいずれか１項に記載の駆動システムと、
を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載のリソグラフィ装置を用いてパターン形成を基板に行う工程と、
前記工程で前記パターン形成を行われた基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動システム、モータの制御方法、リソグラフィ装置および物品製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１、２には、推力リップルを測定し、その測定結果を用いてリニアモータの制御量(電流指令値)の補正を行うリニアモータ制御系が開示されている。一対の可動子および固定子の組を２組有する前記リニアモータ制御系の制御ブロック線図を図８に示す。このリニアモータ制御系において、外乱の少ない推力リップルを測定するために、まず一方の可動子を駆動させる。同時に、他方の可動子と固定子との間に生じる誘起電圧と駆動速度から推力リップルを測定する。このようにして駆動位置毎に得られる推力リップルから、推力リップルを補償する補償値（補償係数）を算出し、駆動位置に対応した補償値を並べたテーブルを作成する。同様にして、他方の可動子の推力リップルの補償値のテーブルを作成する。そして、リニアモータを駆動する際に、駆動位置に応じた推力リップルの補償値をテーブルから取り出して、制御指令値を補正する。（特許文献１、２）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２１８４９７号公報
【特許文献２】特開２００６−２１１８７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１および２では、リニアモータが駆動可能な区間の推力リップルを測定するために、移動可能区間の全区間にわたって可動子を移動させる。ここで、移動可能区間の全区間とは、可動子が、加速又は減速しながら移動する区間（加減速区間という）、等速で移動する区間を含む。ただし、可動子の移動可能区間の両端において、可動子は停止しなければならない。そのため、加減速区間では、可動子の速度が小さくなり、誘起電圧のＳＮ比は小さくなる。そのため、両端部における推力リップルの補償値は雑音成分が大きく、精度が低い。この可動子の速度が小さい加減速区間の補償値を用いて電流ドライバの指令値を補正するとリニアモータの駆動位置は目標位置に対して大きくずれてしまうおそれがある。その結果、リニアモータの駆動偏差が大きくなり、位置決め精度が低下してしまうおそれがある。
【０００５】
本発明は、可動子の移動可能区間全体にわたって駆動精度が高い駆動システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一つの側面は、固定子と可動子とを含むモータと、該モータにおける推力リップルを補償するための補償値を決定する処理部と、前記モータの駆動を制御する制御部と、を含む駆動システムであって、前記可動子の移動可能区間は、第１速度以上の速度で前記可動子を駆動することができる第１区間と前記第１速度以上の速度で前記可動子を駆動することができない第２区間とを含み、前記処理部は、前記第１区間において前記第１速度以上の速度で前記可動子が移動することによって前記固定子と前記可動子の相互作用により生じる誘起電圧の測定値と、前記可動子の速度とから得られた前記第１区間における補償値に基づいて、前記第２区間における補償値を決定し、前記制御部は、前記第１区間における補償値と前記処理部により決定された前記第２区間における補償値とを用いて前記モータを駆動する、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、可動子の移動可能区間全体にわたって駆動精度が高い駆動システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】リニアモータを使用した位置決めステージの概略構成を示した図である。
【図２】可動子の駆動速度と従来技術によって得られた推力リップルの補償値を示した図である。
【図３】リニアモータの構成図である。
【図４】第２区間における推力リップルの補償値を算出する方法の概念図である。
【図５】本発明における駆動システムの制御ブロック線図である。
【図６】本発明の手法を用いて作成した推力リップルの補償値のテーブルである。
【図７】補償値のテーブルを取得する方法のフローチャートである。
【図８】従来技術におけるリニアモータ制御系の制御ブロック線図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本発明の好ましい駆動システムの実施形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。図１は、リニアモータを使用した位置決めステージの概略構成を示す上面図である。なお、本実施形態では、複数のコイルを有する固定子と可動子とを含むモータとして、リニアモータを使用するが、例えば、平面モータを使用することも可能である。図１において、ステージ１１には駆動方向（Ｙ軸方向）の左右両側に一対の可動子３１が設けられている。これらの一対の可動子３１は対応する一対の固定子３２と協働して左リニアモータ１３および右リニアモータ１４を構成している。リニアモータの構成に関しては後述する。
【００１０】
ステージ１１には反射鏡１２が設けられており、不図示のレーザ干渉計（計測部）からの計測光を反射することにより、ステージ１１のＹ軸方向への変位量または位置が計測される。後述の制御部４９はＰＩＤ制御系を用いた制御器４１を含み、レーザ干渉計により計測されたステージ１１の位置のデータに基づいてリニアモータ４４に推力を与える制御指令値値を生成する。リニアモータ４４は、電流ドライバ４２によりコイルに電流を流すことによりＹ軸方向に駆動力を発生し、ステージ１１を駆動して位置制御が達成される。本実施形態では、制御部４９は、制御器４１が行う、ＰＩＤ制御などの指令値を算出し、算出した指令値に対して、推力リップルの補償値テーブルの中から抽出した駆動位置に応じた推力リップルの補償値を乗算することを行う。本実施形態では、制御部４９は、補償値を元の制御指令値に加算や減算等、乗算以外の演算を行うことで推力リップルを補償してもよい。
【００１１】
図３は、リニアモータ４４の構成図である。可動子３１は、複数の永久磁石からなる磁石群として構成される磁石ユニット６２と、この磁石ユニット６２を保持しステージ面に取り付けるための可動子板６３を有する。磁石ユニット６２は磁極の向きがＺ方向である主極磁石６２ａと、Ｙ方向である補極磁石６２ｂからなる。主極磁石６２ａの磁極方向は１つおきに補極磁石６２ｂを介して反対向きになっており、Ｙ方向に等間隔で配置されている。補極磁石６２ｂは主極磁石６２ａのコイル６１に面した部位の極性が補極磁石６２ｂと反発する向きに設けられている。固定子３２は、強磁性体で作られたヨーク６５にＹ方向に等間隔にコイル６１が設けられ、上下から可動子３１を挟むように配置されている。
【００１２】
リニアモータ４４に対して電流を１［Ａ］流した時に発生する推力をＫ［Ｎ］としたとき、電流をＩ［Ａ］流した時のリニアモータ４４の推力Ｆ［Ｎ］は、次式１で表される。
Ｆ＝Ｋ×Ｉ・・・（１）
式１から、推力Ｆは可動子３１の位置によらずＩに比例することが分かる。ここで、式１の比例定数Ｋ［Ｎ／Ａ］を推力定数と呼ぶ。
【００１３】
しかし、実際のリニアモータ４４では磁石６２ａ，６２ｂやコイル６１の製造誤差や取り付け誤差などにより可動子３１の位置によって推力定数Ｋがばらつく。そのため、リニアモータ４４に一定の電流を流しても、リニアモータ４４に生じる推力は可動子３１の位置によってムラが生じる。この推力のムラを推力リップルと呼ぶ。この推力リップルを抑制するために、可動子３１の位置に応じた推力定数Ｋを予め求めて、その推力定数Ｋに基づいて算出した推力リップルの補償値（詳細は後述する）を可動子３１の位置に対応させたテーブルとして駆動システム内に保持する。そして、リニアモータ４４の駆動を制御する制御部４９は、可動子３１を駆動させる際に可動子３１の位置に応じた推力リップルの補償値を電流ドライバへの指令値に乗じて制御する。
【００１４】
推力リップルの補償値を得る方法について説明する。リニアモータ４４の可動子３１を速度ｖ［ｍ／ｓ］で動かしたときに磁石とコイルの相互作用により誘起電圧Ｖｅ［Ｖ］が生じる。推力定数Ｋは、この速度ｖと誘起電圧Ｖｅから次式２を用いて求めることができる。
Ｋ＝ｖ／Ｖｅ・・・（２）
図１に示すステージ１１のリニアモータ４４では、２つある可動子３１の内の片方の可動子のみに電流を流し駆動させる。そのとき他方の可動子（磁石）と固定子（コイル）の相互作用により生じる誘起電圧を測定する。このようにすることで、ステージ１１に加わる外乱力の一切を含まない純粋な推力定数Ｋを求めることができる。この推力定数ＫをＫの平均値Ｋｍで除した値の逆数を推力リップルの補償値と呼ぶことにする。
【００１５】
リニアモータ４４において、可動子３１の移動可能区間の推力リップルを測定するために、可動子３１の移動可能区間の全体にわたって（図２（ａ）の矢印の区間）駆動させる。ただし、図２（ｂ）に示すように、移動可能区間の両端において、可動子３１は停止しなければならないので、両端部では、第１速度以上の速度で可動子３１を駆動することができない第２区間（加減速区間）９２となる。第２区間は、例えば加減速区間の全部またはその一部で有り得る。第２区間９２では、誘起電圧のＳＮ比は小さくなる。その結果、図２（ｃ）に示すように、第２区間９２における推力リップルの補償値７１は、雑音成分が大きいため精度が低い。この第２区間９２における低精度の補償値の値を電流ドライバ４２の指令値にそのまま乗じてしまうと、リニアモータ４４の駆動位置は目標位置に対して大きくずれてしまう。
【００１６】
第１速度以上の速度で可動子３１を駆動可能な第１区間９１では、誘起電圧のＳＮ比が大きくなる駆動速度を維持できるので、推力リップルの正確な補償値を求めることができる。第１区間は、例えば等速度の区間である。さらに、図２（ｃ）に示すように、推力リップルの補償値は、コイルの配列周期に応じて位相および振幅の変化に有する周期信号である。つまり、第２区間の補償値は、第１区間の正確な補償値に基づいて近似することができる。
【００１７】
そこで、第２区間９２の補償値を第１区間９１の補償値に基づいて求める。図４に第２区間９２の補償値Ｋｒを第１区間９１の補償値Ｋｒ’に基づいて決定する方法として以下に挙げる３つの方法の概念図を示す。
【００１８】
［第１の方法］
第１の方法では、図４（ａ）に示すように、第１区間の補償値Ｋｒ’をそのまま第２区間の補償値Ｋｒとして決定する。すなわち、第１の方法では、次式３のように、第１区間および第２区間の２つの補償値のコイルの配列周期に対する位相および振幅の変化は同じである。
Ｋｒ＝Ｋｒ’・・・（３）
第２の方法では、図４（ｂ）に示すように、第１区間における補償値Ｋｒ’の位相をずらし、かつ振幅に一定の比率を乗じる重み付けすることによって得られた補償値を第２区間における補償値Ｋｒとして決定する。第１区間における補償値Ｋｒ’と第２区間における補償値Ｋｒとの関係は、次式４で表される。なお、α＞０、β：実数、Ｋｒ’（ｙ）は位置ｙにおける補償値である。
Ｋｒ（ｙ−β）＝αＫｒ’・・・（４）
ここでは、位相のずらしと振幅の重み付けの双方を行って第２区間における補償値Ｋｒを決定している。しかし、位相のずらしと振幅の重み付けの一方を行うことによって第２区間における補償値Ｋｒを決定してもよい。位相のずらしや振幅の重み付けは、第１区間の補償値をそのまま第２区間の補償値とする場合に２つの区間の繋ぎ目で段差が生じる場合に必要になる。したがって、位相のずらし量や振幅の重み付けの程度は、２つの区間の繋ぎ目において段差の量を許容範囲内に抑えるように設定される。第１区間で使用されるコイルと第２区間で使用されるコイルとでは製造誤差があるので、位相のずらしや振幅の重み付けは、この製造誤差によって生じる推力リップルの差を低減できる。
【００１９】
第３の方法では、図４（ｃ）に示すように、第１区間の複数の周期の補償値Ｋｒ’を平均化し、該平均化された補償値の振幅に一定の比率を乗じる重み付けすることによって第２区間における補償値Ｋｒを決定する。第１区間における補償値Ｋｒ’と第２区間における補償値Ｋｒとの関係は、次式４で表される。なお、Ｎは周期の数、ｉ＝１〜Ｎ、α＞０である。
Ｋｒ＝（α／Ｎ）ΣＫｒ’・・・（５）
図５に示した制御ブロック図を用いて、リニアモータの移動可能区間の全域にわたる補償値のテーブルの作成およびその適用方法について述べる。まず、制御ブロック図について説明する。電流ドライバ４２、切替えスイッチ４３、リニアモータ４４、誘起電圧取り込み口４８、第１区間の補償値算出器５１、第２区間の補償値算出器５２、全区間の補償値のテーブル５３は左右のリニアモータに個別に構成する。１区間の補償値算出器５１および第２区間の補償値算出器５２は、補償値を取得する処理部４６を構成する。鎖線枠で示した制御器４１、ステージ１１は、左右のリニアモータに共通する構成である。
【００２０】
次に、図７を用いて、リニアモータの移動可能区間の全域にわたる補償値のテーブルの作成について説明する。Ｓ１で、通常の初期化動作を行う。このとき、図５の切替えスイッチ４３は電流ドライバ４２側に接続されている。初期化動作によりレーザ干渉計の初期化、ステージ１１の原点出しが終了し、位置サーボ系が機能してステージ１１を任意の位置に駆動することが可能になる。Ｓ２で、右リニアモータ１４の推力リップルの測定動作に入る。このとき、図５の切替えスイッチ４３は、右リニアモータ１４が誘起電圧取り込み口（誘起電圧取得部）４８に接続され、左リニアモータ１３が電流ドライバ４２側に接続されている。
【００２１】
Ｓ３で、ステージ１１は左リニアモータ１３のみで駆動されることになるため、制御器４１は、θＺモーメントが発生しない程度の小さな加速度により駆動を行う。制御器４１は、ステージ１１をＹマイナス側のストローク限界まで移動させる。次に、Ｙプラス側のストローク限界まで等速で駆動すると共に、右リニアモータ１４のコイルで発生する誘起電圧、可動子の位置と駆動速度を測定する。そして、Ｓ３で得られた推力リップルのデータ（推力リップルの情報）に基づき、処理部４６は、第１区間の補償値算出器５１によって、第１区間の補償値の補正テーブルを作成する。さらに、処理部４６は、第２区間の補償値算出器５２によって、第１区間の補償値に基づいて第２区間の補償値を算出し、右リニアモータの全区間の補償値のテーブル４７を作成する。本手法で求めた補償値のテーブルの例を図６に示す。図６において、第２区間９２に対応する部分は、中央の４周期分の同形状の波形を除く部分である。第２区間の破線は本手法を適用しない場合の第２区間の補償値テーブルの波形、第２区間の実線は本手法を適用した場合の補償値テーブルの波形を示している。実線と破線を比較すると分かるように、本手法を適用した第２区間の補償値は第１区間の補償値を近似した形となる。
【００２２】
Ｓ４で、図５の右リニアモータ１４の切替えスイッチ４３を電流ドライバ４２側に、左リニアモータ１３の切替えスイッチ４３を誘起電圧取り込み口４８側に接続する。Ｓ５で、Ｓ３と同じ手順により左リニアモータ１３の移動可能区間の全域にわたる補償値のテーブル４７を作成する。
【００２３】
最後に、補償値のテーブル４７の適用方法について説明する。切替えスイッチ４３を左右のリニアモータとも電流ドライバ４２側に接続する。制御部４９はステージ１１の検出位置に応じた補償値を補償値のテーブル４７から抽出し、制御器４１から電流ドライバ４２への指令値に乗じる補正を行って、電流ドライバ４２へ送る。この補正により、従来手法では、ステージの位置偏差に異常が発生していたリニアモータの移動可能区間の両端部でも推力リップルを低減することができる。つまり、リニアモータの移動可能区間の全域でステージの位置偏差を改善することができる。
【００２４】
本発明に係る駆動システムは、例えば、パターン形成を基板に行うリソグラフィ装置の基板を保持するステージを駆動する駆動システムとして使用し得る。なお、本実施形態において、等速で移動するとは、等速で移動することを目標に制御されながら移動することをいうものとする。
【００２５】
本発明の一側面としての物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布されたレジストにリソグラフィ装置を用いてパターン（潜像パターン）を転写する工程と、かかる工程で潜像パターンが転写された基板を現像（処理）する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含みうる。
【符号の説明】
【００２６】
３１：可動子。３２：固定子。４９：制御部。４４：リニアモータ（モータ）。４６：処理部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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