(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液を、走行する支持体上に流延して流延膜を形成する溶液製膜装置において、
前記流延膜の側縁に沿って設けられ、前記支持体の上方の空間を、前記流延膜の流延される内側領域と前記流延膜の外側の外側領域とに仕切る一対の遮風板と、
前記内側領域内に配置された吸気口から吸気を行い、前記流延膜から揮発した溶媒を含む溶媒ガスを吸引する溶媒ガス吸引機構と、
前記ポリマーを溶解させる溶媒を含む溶媒ガスを、前記支持体と前記遮風版との間の隙間に供給する溶媒ガス供給機構と、
を備えた溶液製膜装置。
【請求項２】
前記流延膜中の溶媒の質量をＭＳ、前記流延膜の質量をＭＦとしたときに、
｛ＭＳ／（ＭＦ−ＭＳ）｝×１００
で示される溶媒含有率が、２００％以上のエリアにおいて、前記溶媒ガス吸引機構による吸引と、前記溶媒ガス供給機構による供給とを行う請求項１記載の溶液製膜装置。
【請求項３】
一方の遮風版の上端部と、他方の遮風版の上端部とを接続する蓋部材を設け、
前記蓋部材により前記内側領域を上方から覆う請求項１または２記載の溶液製膜装置。
【請求項４】
前記内側領域には、前記流延膜に対して赤外線を照射して前記流延膜に含まれる溶媒の揮発を促す赤外線照射機が設けられている請求項１〜３いずれか１項に記載の溶液製膜装置。
【請求項５】
前記溶媒ガス供給機構は、前記遮風版の下端部の側方に設けられた供給口から、前記供給を行う請求項１〜４いずれか１項に記載の溶液製膜装置。
【請求項６】
前記溶媒ガス供給機構は、前記ポリマーを溶解させる溶媒を含む溶媒ガスを、前記供給口から下方の前記支持体ヘ向けて垂直に供給する請求項５記載の溶液製膜装置。
【請求項７】
前記溶媒ガス吸引機構が吸引する溶媒ガスである吸引ガスの濃度をＡ、
前記溶媒ガス供給機構が供給する溶媒ガスである供給ガスの濃度をＢ、としたときに、
Ａ／５≦Ｂ
を満たす請求項１〜６いずれか１項に記載の溶液製膜装置。
【請求項８】
前記溶媒ガス吸引機構が吸引する溶媒ガスである吸引ガスの濃度をＡ、
前記溶媒ガス供給機構が供給する溶媒ガスである供給ガスの濃度をＢ、としたときに、
Ｂ≦Ａ
を満たす請求項１〜７いずれか１項に記載の溶液製膜装置。
【請求項９】
前記溶媒ガス吸引機構が吸引した溶媒ガスの濃度を測定するセンサと、
前記センサの測定結果に基づいて、前記溶媒ガス供給機構から供給する溶媒ガスの濃度を制御する供給ガス濃度制御機構と、
を備えた請求項１〜８いずれか１項に記載の溶液製膜装置。
【請求項１０】
前記溶媒ガス吸引機構が吸引した溶媒ガスを含む溶媒ガスを、前記溶媒ガス供給機構から供給する請求項１〜９いずれか１項に記載の溶液製膜装置。
【請求項１１】
前記支持体から前記流延膜を剥ぎ取ることによって製造されるフイルムの厚さが４０μｍ以下である請求項１〜１０いずれか１項に記載の溶液製膜装置。
【請求項１２】
ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液を、走行する支持体上に流延して流延膜を形成する流延膜形成ステップと、前記流延膜を前記支持体から剥ぎ取る剥ぎ取り位置まで移送する移送ステップと、前記剥ぎ取り位置において前記流延膜を前記支持体から剥ぎ取る剥ぎ取りステップと、を備えたて溶液製膜方法であり、
前記移送ステップにおいて、
前記流延膜の側縁に沿って設けられた一対の遮風板により、前記支持体の上方の空間を、前記流延膜の流延される内側領域と前記流延膜の外側の外側領域とに仕切り、
前記内側領域内に配置された吸気口から吸気を行い、前記流延膜から揮発した溶媒を含む溶媒ガスを吸引し、
前記ポリマーを溶解させる溶媒を含む溶媒ガスを、前記支持体と前記遮風版との間の隙間から供給する溶液製膜方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶液製膜装置及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スマートフォンやタブレット端末などに搭載される中小型ディスプレイの市場においては、さらなる高精細化が求められている。そのため、それらディスプレイに用いられるフイルムに対しては、フイルム面における平滑度を従来よりもさらに高くすることが要請されている。また、それらディスプレイに用いるフイルムに対しては、厚みをより薄くすること、具体的には４０μｍ以下にすることも併せて求められている。
【０００３】
通常、フイルムは、長尺に製造され、目的とする大きさにカットされて使用に供される。長尺のフイルムの製造方法としては、大きく分類して、溶液製膜方法と溶融製膜方法とがある。このうち、溶液製膜方法は、フイルム面がより平滑なフイルムを製造することができる点で、溶融製膜方法より優位とされてきた。溶液製膜方法は、ポリマーが溶媒に溶解したドープを、流延ダイから走行する支持体上に流出して流延膜を形成し、この流延膜を流延支持体から剥がしてフイルムを製造する方法である。支持体上に流延された流延膜は、支持体から剥ぎ取られる剥ぎ取り位置へ向けて移送される間に乾燥風が送風されるなどにより溶媒が揮発され、剥ぎ取り後に搬送可能な程度まで乾燥される。
【０００４】
一方、流延膜、特に流延直後の流延膜は、表面が不安定なため、急激に溶媒を揮発させてしまうと、厚みむらが発生してしまうといった問題がある。このため、下記特許文献１では、流延膜に対して溶媒を含む溶媒ガスを吹き付けることにより厚みむらを防止している。また、下記特許文献２では、溶媒ガスの吸引と溶媒ガスの供給とを同時に行い、溶媒の急激な揮発を抑制することにより厚みむらを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１５６４８８号公報
【特許文献２】特開２００５−０９６１８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記特許文献１のように流延膜に溶媒ガスを吹き付けるだけでは、流延膜の乾燥が進まず、剥ぎ取りまでの時間が長くなってしまい、生産効率が悪いといった問題があった。これに対して、上記特許文献２では、所定のエリア内において溶媒ガスの供給だけでなく吸引も行うため、このエリア内の溶媒の濃度を流延膜の乾燥が適度に進む程度に制御することによって、生産効率の低下を抑えることも可能である。
【０００７】
しかしながら、上記特許文献２では、溶媒ガスの吸引位置と供給位置とについては配慮されていないため、エリア内の各位置における溶媒ガスの濃度が異なり、これに起因して流延膜の各位置における乾燥の度合いが異なってしまい、厚みむらが生じてしまうといった問題があった。
【０００８】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、生産効率の低下を抑えながら、厚みむらも防止できる溶液製膜装置及び方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の溶液製膜装置は、ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液を、走行する支持体上に流延して流延膜を形成する溶液製膜装置において、流延膜の側縁に沿って設けられ、支持体の上方の空間を、流延膜の流延される内側領域と流延膜の外側の外側領域とに仕切る一対の遮風板と、内側領域内に配置された吸気口から吸気を行い、流延膜から揮発した溶媒を含む溶媒ガスを吸引する溶媒ガス吸引機構と、ポリマーを溶解させる溶媒を含む溶媒ガスを、支持体と遮風版との間の隙間に供給する溶媒ガス供給機構と、を備えている。
【００１０】
流延膜中の溶媒の質量をＭＳ、流延膜の質量をＭＦとしたときに、｛ＭＳ／（ＭＦ−ＭＳ）｝×１００で示される溶媒含有率が、２００％以上のエリアにおいて、溶媒ガス吸引機構による吸引と、溶媒ガス供給機構による供給とを行うことが好ましい。
【００１１】
一方の遮風版の上端部と、他方の遮風版の上端部とを接続する蓋部材を設け、蓋部材により内側領域を上方から覆うことが好ましい。
【００１２】
内側領域には、流延膜に対して赤外線を照射して流延膜に含まれる溶媒の揮発を促す赤外線照射機が設けられていてもよい。
【００１３】
溶媒ガス供給機構は、遮風版の下端部の側方に設けられた供給口から、供給を行うものでもよい。
【００１４】
溶媒ガス供給機構は、ポリマーを溶解させる溶媒を含む溶媒ガスを、供給口から下方の支持体ヘ向けて垂直に供給するものでもよい。
【００１５】
溶媒ガス吸引機構が吸引する溶媒ガスである吸引ガスの濃度をＡ、溶媒ガス供給機構が供給する溶媒ガスである供給ガスの濃度をＢ、としたときに、Ａ／５≦Ｂを満たすことが好ましい。
【００１６】
溶媒ガス吸引機構が吸引する溶媒ガスである吸引ガスの濃度をＡ、溶媒ガス供給機構が供給する溶媒ガスである供給ガスの濃度をＢ、としたときに、Ｂ≦Ａを満たすことが好ましい。
【００１７】
溶媒ガス吸引機構が吸引した溶媒ガスの濃度を測定するセンサと、センサの測定結果に基づいて、溶媒ガス供給機構から供給する溶媒ガスの濃度を制御する供給ガス濃度制御機構と、を備えることが好ましい。
【００１８】
溶媒ガス吸引機構が吸引した溶媒ガスを含む溶媒ガスを、溶媒ガス供給機構から供給してもよい。
【００１９】
支持体から流延膜を剥ぎ取ることによって製造されるフイルムの厚さが４０μｍ以下であってもよい。
【００２０】
また、上記目的を達成するために本発明の溶液製膜方法は、ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液を、走行する支持体上に流延して流延膜を形成する流延膜形成ステップと、流延膜を支持体から剥ぎ取る剥ぎ取り位置まで移送する移送ステップと、剥ぎ取り位置において流延膜を支持体から剥ぎ取る剥ぎ取りステップと、を備えたて溶液製膜方法であり、移送ステップにおいて、流延膜の側縁に沿って設けられた一対の遮風板により、支持体の上方の空間を、流延膜の流延される内側領域と流延膜の外側の外側領域とに仕切り、内側領域内に配置された吸気口から吸気を行い、流延膜から揮発した溶媒を含む溶媒ガスを吸引し、ポリマーを溶解させる溶媒を含む溶媒ガスを、支持体と遮風版との間の隙間から供給する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、流延膜の上方の領域（内側領域）から溶媒ガスを吸引して流延膜の乾燥を進めることで生産効率の低下を抑えることができる。また、本発明によれば、溶媒ガスの吸引に伴って新たな空気が流入する部位、すなわち、遮風版と支持体との隙間から溶媒ガスを供給することで流延膜の表面近傍の各位置における溶媒濃度を均斉化でき（流延膜の側縁部近傍の溶媒濃度が流延膜の中央部近傍の溶媒濃度に対して低下してしまうことを防止でき）、厚みむらも防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】溶液製膜装置の概略図である。
【図２】溶媒ガス吸引機構の構成を示す説明図である。
【図３】溶媒ガス供給機構の構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
図１に示すように、本発明の溶液製膜装置１０は、ドープ１２を支持体上に流延して流延膜１４を形成し、流延膜１４を乾燥させた後に支持体から剥ぎ取ることによってフイルム１６を製造するためのものであり、上流側から順に、流延装置２０、テンタ２２、ローラ乾燥装置２４、スリッタ２６、巻取装置２８が設けられている。なお、本実施形態では、溶液製膜装置１０により、厚みが１０μｍ以上４０μｍ以下のフイルム１６を製造している。
【００２４】
ドープ１２は、ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液であり、本実施形態では、ポリマーとしてセルローストリアセテート（ＴＡＣ，triacetylcellulose）を用いている。ポリマー溶液には、フイルム１６になる固形分としてポリマー以外のものが含まれていてもよい。ポリマー以外の固形分としては、例えば、可塑剤、紫外線吸収剤、レタデーション制御剤、微粒子等があり、本実施形態では可塑剤を含ませている。微粒子は、フイルム１６に滑り性や耐傷性を付与したり、フイルム１６を重ねた際の貼り付きなどを抑制するなどの目的で使用されるいわゆるマット剤である。ドープ１２における固形分は、固形分の質量をＭＰとし、溶媒の質量をＭＳとするときに、ＭＰ／（ＭＰ＋ＭＳ）×１００で示される百分率で、１０％以上２３％以下の範囲内とされ、本実施形態では１９％としている。
【００２５】
溶媒としては、本実施形態においては、ジクロロメタンとメタノールとの混合物を用いている。溶液製膜において用いられる溶媒は、気体状態において気体より重いものが用いられるのが通常であり、本実施形態の溶媒も気体状態において気体より重い。溶媒は本実施形態の例に限られず、例えば、ブタノール、エタノール、プロパノール等が用いられ、これらは混合物として２種以上を併用してもよい。
【００２６】
なお、本明細書においては、フイルム１６（または流延膜１４）の溶媒含有率（単位；％）は乾量基準の値である。具体的には、任意のエリアＡにおけるフイルム１６（または流延膜１４）の溶媒含有率（単位；％）は、エリアＡにおける溶媒の質量をＭＳ、エリアＡにおけるフイルム１６（または流延膜１４）の質量をＭＦとするときに、｛ＭＳ／（ＭＦ−ＭＳ）｝×１００で示される百分率である。
【００２７】
流延装置２０は、環状に形成された無端の流延支持体であるベルト３０と、周方向に回転する第１ローラ３２及び第２ローラ３４とを備える。ベルト３０は、第１ローラ３２と第２ローラ３４との周面に巻き掛けられる。第１、第２ローラ３２、３４の少なくとも一方は、駆動手段から駆動力の供給を受けて回転する駆動ローラであり、本実施形態では、第１ローラ３２と第２ローラ３４との両方が駆動ローラとされている。この駆動ローラが周方向に回転することにより、周面に接するベルト３０が長手方向に走行して循環する。
【００２８】
ベルト３０の上方には、ドープ１２を流出する流延ダイ３６が設けられている。流延ダイ３６から走行しているベルト３０にドープ１２が連続的に流出されることにより、ドープ１２がベルト３０上で流延されて流延膜１４が形成される。なお、ドープ１２がベルト３０に接触を開始する位置を、以下、流延位置ＰＣと称する。
【００２９】
本実施形態においては、流延ダイ３６を第１ローラ３２上のベルト３０の上方に設けており、流延位置ＰＣは第１ローラ３２上となっている。しかし、流延ダイ３６の位置はこれに限定されない。例えば、第１ローラ３２と第２ローラ３４との間のベルト３０の上方に流延ダイ３６を設けてもよい。この場合には、第１ローラ３２と第２ローラ３４との間のベルト３０の下方に配置されたローラ３８により支持されているベルト３０の上方に流延ダイ３６を配することが好ましい。
【００３０】
第１ローラ３２と第２ローラ３４とは、それぞれ周面温度を制御する温度コントローラ（図示せず）を備える。例えば、第１ローラ３２は、温度コントローラにより周面温度が所定の範囲となるように冷却される。第１ローラ３２を冷却することにより、ベルト３０は１周する毎に冷却される。これにより、連続走行して後述の吸気乾燥ユニット４０と送風乾燥ユニット４２とにより加熱され続けても、ベルト３０、特に両側部の温度上昇が抑えられる。また、第２ローラ３４は、温度コントローラにより周面温度が所定の範囲となるように加熱される。第２ローラ３４を加熱することにより、流延膜１４はより効果的に乾燥する。
【００３１】
なお、第１ローラ３２の周面温度は、３℃以上３０℃以下の範囲にすることが好ましく、５℃以上２５℃以下の範囲にすることがより好ましく、８℃以上２０℃以下の範囲にすることがさらに好ましい。また、第２ローラ３４の周面温度は、２０℃以上５０℃以下の範囲にすることが好ましく、２５℃以上４５℃以下の範囲にすることがより好ましく、３０℃以上４０℃以下の範囲にすることがさらに好ましい。
【００３２】
流延ダイ３６からベルト３０に至るドープ１２、いわゆるビードに関して、ベルト３０の走行方向における上流側には、減圧チャンバが設けられている（図示せず）。減圧チャンバは、ビードの上流側エリア（図１においてビードの右側のエリア）の雰囲気を吸引してこのエリアを減圧する。これにより、ビードが上流側に牽引されて、流延膜１４が下流側に移動しても流延位置ＰＣが変化せずに一定となる（流延位置ＰＣが安定する）。
【００３３】
ベルト３０上の流延膜１４は、後述の吸気乾燥ユニット４０と送風乾燥ユニット４２とを経て、テンタ２２への搬送が可能な程度にまで固く（ゲル化）された後、溶媒を含む状態でベルト３０から剥ぎ取られてフイルム１６となる。剥ぎ取りは、溶媒含有率が７０％以下になってから行うことが好ましく、より好ましくは１０％以上７０％以下の範囲内、さらに好ましくは２０％以上５０％以下の範囲内で行うことがより好ましい。
【００３４】
剥ぎ取りの際には、剥取ローラ４４でフイルム１６を支持し、流延膜１４がベルト３０から剥がれる剥取位置ＰＰを一定に保持する。剥取ローラ４４は、駆動手段を備えて周方向に回転する駆動ローラであってもよい。なお、剥ぎ取りは、第１ローラ３２上のベルト３０で行っている。ベルト３０は循環して剥取位置ＰＰから流延位置ＰＣに戻ると流延位置ＰＣにおいて再び新たなドープ１２が流延される。
【００３５】
流延位置ＰＣと剥取位置ＰＰとの間には、吸気乾燥ユニット４０と送風乾燥ユニット４２とが設けられている。吸気乾燥ユニット４０は、流延位置ＰＣから第２ローラ３４ヘ向かうベルト３０の上方に配置され、流延膜１４から揮発した溶媒を含む溶媒ガスを吸引することによって流延膜１４の乾燥をすすめる。吸気乾燥ユニット４０は、流延膜１４の溶媒含有率が２００％以上となるエリアの上方に設けることが好ましく、本実施形態では、吸気乾燥ユニット４０により、溶媒含有率が３００％となるまで流延膜１４を乾燥させている。すなわち、本実施形態では、溶媒含有率が３００％以上となるエリアの上方に吸気乾燥ユニット４０を配置している。なお、吸気乾燥ユニット４０の詳細は、別の図面を用いて後述する。
【００３６】
送風乾燥ユニット４２は、吸気乾燥ユニット４０の下流側に設けられ、上流側から第１送風部４６、排気部４８、第２送風部５０の順に、ベルト３０の走行方向に沿って並べて配されている。第１送風部４６は、第１ローラ３２から第２ローラ３４へ向かうベルト３０の走行路近傍に配され、排気部４８と第２送風部５０とは、第２ローラ３４から第１ローラ３２へ向かうベルト３０の走行路近傍に配されている。
【００３７】
第１送風部４６と第２送風部５０とは乾燥した気体を流出し、排気部４８は気体を吸引して排気する。送風乾燥ユニット４２は、コントローラ５２を備え、コントローラ５２は、第１送風部４６と第２送風部５０とに乾燥した気体（以下、乾燥気体と称する）、例えば空気を送り、その気体の温度、湿度、第１送風部４６と第２送風部５０とからの流量、排気部４８での気体の吸引力を独立して調節する。本実施形態においては、第１送風部４６と第２送風部５０とからの乾燥気体は、コントローラ５２により概ね１００℃に加熱されている。このように加熱された気体を温風として流延膜１４上に流すことにより、流延膜１４を加熱し、乾燥をすすめる。乾燥気体の温度は、５０℃以上１４０℃以下の範囲内であることが好ましい。
【００３８】
第１送風部４６は、乾燥気体を流出する流出口４６ａがベルト３０の走行方向に向くように配されており、これにより、搬送されている流延膜１４に対し乾燥気体を追い風で供給する。この乾燥気体は流延膜１４の膜面に対して並行な流れとなる。第２送風部５０は、乾燥気体を流出する流出口５０ａがベルト３０の走行方向とは反対側に向くように配されており、これにより、搬送されている流延膜１４に対し乾燥気体を向かい風で供給する。この乾燥気体も流延膜１４の膜面に対して並行な流れとなる。排気部４８は、気体を吸引する吸気口４８ａが通過する流延膜１４に向くように配されており、第１送風部４６と第２送風部５０との間で気体を吸引する。流出口４６ａ、流出口５０ａ、吸気口４８ａは、ベルト３０の幅方向（図１の紙面奥行き方向）に延びたスリット状の開口である。
【００３９】
なお、本実施形態では、第１送風部４６と排気部４８と第２送風部５０とをコントローラ５２によりそれぞれ独立して制御しているが、この態様に限られない。例えば、第１送風部４６と排気部４８と第２送風部５０とにそれぞれコントローラ（図示無し）を設け、各コントローラにより第１送風部４６と排気部４８と第２送風部５０とを制御してもよい。
【００４０】
このように、吸気乾燥ユニット４０と送風乾燥ユニット４２とにより乾燥された流延膜１４は、剥取ローラ４４によりベルト３０から剥ぎ取られてフイルム１６となりテンタ２２に案内される。流延装置２０とテンタ２２との間の搬送路には、送風装置（図示無し）を配してもよい。この送風装置からの送風により、フイルム１６の乾燥がすすめられる。
【００４１】
テンタ２２は、フイルム１６を搬送しながら乾燥をすすめる第１のフイルム乾燥装置である。本実施形態のテンタ２２は、フイルム１６の各側部を保持部材としてのクリップ２２ａで保持して長手方向に搬送しながら、幅方向での張力を付与することで、フイルム１６を幅方向に延伸する延伸処理も行う。テンタ２２には、上流側から順に、予熱エリア、延伸エリア、及び緩和エリアが形成されている。なお、緩和エリアは無くてもよい。
【００４２】
テンタ２２は、１対のレール（図示無し）及びチェーン（図示無し）を備える。レールはフイルム１６の搬送路の両側に設置され１対のレールは所定の間隔で離間して配される。このレール間隔は、予熱エリアでは一定であり、延伸エリアでは下流に向かうに従って次第に広くなり、緩和エリアでは一定である。なお、緩和エリアのレール間隔は、下流に向かうに従って次第に狭くなるようにしてもよい。
【００４３】
チェーンは、原動スプロケット及び従動スプロケット（図示無し）に掛け渡され、レールに沿って移動自在に取り付けられている。複数のクリップ２２ａは、チェーンに所定の間隔で取り付けられている。原動スプロケットの回転により、クリップ２２ａはレールに沿って循環移動する。クリップ２２ａは、テンタ２２の入口近傍で、案内されてきたフイルム１６の保持を開始し、出口に向かって移動して、出口近傍で保持を解除する。保持を解除したクリップ２２ａは再び入口近傍に移動して、新たに案内されてきたフイルム１６を保持する。
【００４４】
また、テンタ２２は、送風機２２ｂを備える。送風機２２ｂはフイルム１６の搬送路の上方に設けられる。送風機２２ｂは、乾燥気体（例えば乾燥した空気）を送り出すスリットを有し、乾燥気体は送風機（図示無し）から供給される。送風機は、所定の温度や湿度に調整した乾燥風を送風機２２ｂに送る。スリットがフイルム１６の搬送路と対向するように送風機２２ｂは配される。各スリットはフイルム１６の幅方向に長く伸びた形状であり、搬送方向で互いに所定の間隔をもって形成されている。なお、同様の構造を有する送風機を、フイルム１６の搬送路の下方に設けてもよいし、フイルム１６の搬送路の上方と下方との両方に設けてもよい。
【００４５】
ローラ乾燥装置２４は、フイルム１６をさらに乾燥させるための第２の乾燥装置である。ローラ乾燥装置２４の内部の雰囲気は、温度や湿度などが空調機（図示無し）により調節されている。ローラ乾燥装置２４では、多数のローラ２４ａにフイルム１６が巻き掛けられて搬送される。
【００４６】
スリッタ２６は、フイルム１６の両側部を切除して目的とする幅にするためのものである。この切除では、クリップ２２ａよる保持跡を含むようにフイルム１６の両側部を切除する。巻取装置２８は、フイルム１６を巻き芯に巻いてロール状にする。
【００４７】
以下、吸気乾燥ユニット４０について、図２、図３を参照しながらより詳細に説明する。図２に示すように、吸気乾燥ユニット４０は、流延膜１４の長手方向（搬送方向）上流側と下流側とに配置された一対のラビリンスシール６０、６２と、ラビリンスシール６０、６２の間に挟まれるように配置され、流延膜１４を上方から覆う乾燥ケース６４とを備え、これらが流延位置ＰＣの下流側に配置されている。
【００４８】
ラビリンスシール６０、６２は、流延膜１４の幅方向に長く、ベルト３０に対して垂直な起立姿勢で配置される複数のシール板６６を備え、これら複数のシール板６６が、流延膜１４の長手方向（搬送方向）に沿って並べられたものである。このラビリンスシール６０、６２により、流延膜１４の長手方向（搬送方向）上流側及び下流側から乾燥ケース６４内に外気が流入することが防止される。
【００４９】
図３に示すように、乾燥ケース６４は、流延膜１４の幅方向で向かい合う一対の遮風板６８、７０と、遮風板６８、７０の上端部を接続するように設けられた天板（蓋部材）７２とから構成される。遮風板６８、７０は、流延膜１４の側縁に沿って流延膜１４の長手方向（搬送方向）に長く形成され、ベルト３０に対して垂直な起立姿勢で配置されている。この遮風板６８、７０により、ベルト３０の上方の空間が、流延膜１４の流延される内側領域７４と、流延膜１４の外側の外側領域７６（図３参照）とに仕切られる。また、天板７２によって、内側領域７４の上端部は閉端されている。このように、乾燥ケース６４によって、流延膜１４の上方の空間（内側領域７４）が覆われている。
【００５０】
また、吸気乾燥ユニット４０には、溶媒ガス吸引機構８０（図２参照）が設けられている。溶媒ガス吸引機構８０は、赤外線ヒータ（赤外線照射機）８２と、吸気ダクト８４と、吸気ファン８６と、吸気コントローラ８８と、コンデンサ９０とを備えている。赤外線ヒータ８２は、例えば、乾燥ケース６４の天板７２の内側部分にマトリクス状に配置され、流延膜１４ヘ向けて赤外線を照射して流延膜１４を加熱することにより、流延膜１４の乾燥をすすめる。
【００５１】
吸気ダクト８４は、天板７２を貫通するように形成され、一端部に設けられた吸気口８４ａが内側領域７４内に配置され、他端部がコンデンサ９０に接続されている。本実施形態では、吸気口８４ａを流延膜１４の幅方向に長いスリット状に形成し、乾燥ケース６４の天板７２のうち、流延膜１４の長手方向（搬送方向）中央部に配置している。なお、吸気口８４ａの配置位置や形状は自由に設定できるので、例えば、流延膜１４の搬送方向に長いスリット状の開口を、天板７２のうち、流延膜１４の幅方向中央部に設けてもよい。
【００５２】
吸気ファン８６は、吸気ダクト８４の内部に配置され、吸気コントローラ８８の制御の元で回転する。この回転により、内側領域７４の雰囲気（すなわち、流延膜１４から揮発した溶媒を含む溶媒ガス）が吸気口８４ａから吸引され、吸気ダクト８４を介してコンデンサ９０へと送られる。吸気コントローラ８８は、吸気ファン８６に供給する駆動力（電力など）を制御することにより、溶媒ガスの吸引力（単位時間あたりの吸引量）をコントロールする。コンデンサ９０は、例えば、溶媒ガスを冷却することにより、溶媒ガス中の溶媒を液化する。液化された溶媒は、回収されてドープ１２として再利用、または、後述する溶媒ガス生成装置１０２へ送られて溶媒ガスの生成に用いられる。
【００５３】
このように、内側領域７４から溶媒ガスを吸引することによって、流延膜１４の乾燥を効率よくすすめることができる。一方、溶媒ガスを吸引するだけでは吸引により減圧された内側領域７４に、内部領域７４よりも溶媒含有率が低い（例えば、溶媒含有率がほぼ０％）外気（新鮮風）が、外側領域７６から流れ込む。本実施形態の場合、溶媒ガスを吸引するだけでは、遮風板６８、７０とベルト３０との間の隙間、すなわち、流延膜１４の両側部から新鮮風が内側領域７４に流れ込む。
【００５４】
そして、このように内側領域７４に流れこんだ新鮮風の影響で、内側領域７４内の溶媒ガスの濃度にばらつきが生じ、流延膜１４の各位置における乾燥の進行度合いが異なってしまい、流延膜１４やフイルム１６に厚みむらが発生してしまうといった問題があった。本実施形態の場合、溶媒ガスを吸引するだけでは、新鮮風が流れ込む流延膜１４の両側部と、新鮮風の流れ込まない中央部とで溶媒ガスの濃度が異なることに起因して流延膜１４（フイルム１６）に厚みむらが生じてしまう。
【００５５】
このような新鮮風の影響による厚みむらを防止するために、吸気乾燥ユニット４０には、溶媒ガス供給機構１００が設けられている。溶媒ガス供給機構１００は、溶媒ガス生成装置１０２と、溶媒ガス供給ダクト１０４と、送気ファン１０６と、供給ガスコントローラ（供給ガス濃度制御機構）１０８とを備えている。
【００５６】
溶媒ガス生成装置１０２は、例えば、溶媒を噴霧したり加熱して揮発させるなどにより溶媒を含む溶媒ガスを生成する。なお、溶媒ガス生成装置１０２で用いる溶媒は、ドープ１２の溶媒と同一組成のものでもよいし、ドープ１２の溶媒とは組成が異なるものでもよい。また、前述したコンデンサ９０により回収された溶媒を溶媒ガス生成装置１０２で用いてもよい。
【００５７】
溶媒ガス供給ダクト１０４は、一端が溶媒ガス生成装置１０２に接続され、他端が一対の供給ボックス１１０、１１２に接続されている。供給ボックス１１０、１１２は、流延膜１４の長手方向（搬送方向）に長く形成され、遮風板６８、７０の外側に配置されている。供給ボックス１１０の下面の遮風板６８側には、流延膜１４の長手方向（搬送方向）に長いスリット状の供給口１１０ａが形成されている。同様に、供給ボックス１１２の下面の遮風板７０側には、流延膜１４の長手方向（搬送方向）に長いスリット状の供給口１１２ａが形成されている。溶媒ガス供給ダクト１０４の内部には、送気ファン１０６が設けられており、溶媒ガス生成装置１０２により生成された溶媒ガスは、送気ファン１０６により供給ボックス１１０、１１２に送られ、供給口１１０ａ、１１２ａから下方のベルト３０ヘ向けて垂直に供給される。
【００５８】
なお、供給口１１０ａ、１１２ａは、複数の微細な孔の集合からなる多孔質状の開口としてもよい。また、供給口１１０ａ、１１２ａから下方へ垂直に溶媒ガスを供給する例で説明をしたが、供給口１１０ａ、１１２ａから内側（内側領域７４）や外側（外側領域７６）へ向けて溶媒ガスを供給する構成としてもよい。
【００５９】
このように溶媒ガスを供給することで、供給された溶媒ガスが遮風板６８、７０とベルト３０との間の隙間を覆うエアカーテンとして機能し、新鮮風が内側領域７４へ流入することを防止できる。また、溶媒ガス吸引機構８０により内側領域７４の溶媒ガスが吸引されて内側領域７４が減圧されても、遮風板６８、７０とベルト３０との間の隙間から内側領域７４に流入するのが新鮮風ではなく供給口１１０ａ、１１２ａから供給された溶媒ガスとなる。これにより、前述した厚みむらを防止できる。
【００６０】
供給ガスコントローラ１０８は、供給口１１０ａ、１１２ａから供給する溶媒ガスの量と濃度をコントロールし、より確実に厚みむらを防止するために設けられている。供給ガスコントローラ１０８には、前述した送気ファン１０６が接続されており、供給ガスコントローラ１０８は、送気ファン１０６に供給する駆動力（電力など）を制御することにより、溶媒ガスの供給量（単位時間あたりの供給量）をコントロールする。なお、溶媒ガスの供給量は、溶媒ガス吸引機構８０が吸引する溶媒ガスの吸引量以上であることが好ましい。
【００６１】
また、供給ガスコントローラ１０８には、前述した溶媒ガス生成装置１０２に加え、センサ１１４が接続されている。センサ１１４は、内側領域７４内に配置され、内側領域７４内の溶媒濃度、すなわち、溶媒ガス吸引機構８０により吸引される溶媒ガスの濃度を検出する。本実施形態では、乾燥ケース６４の上流側端部かつ流延膜１４の幅方向中央部に、ベルト３０から約２ｃｍ離して（ベルト３０の約２ｃｍ上方に）センサ１１４を配置している。なお、センサ１１４の配置位置は、これに限定されず、内側領域７４内であれば自由に設定できるが、できるだけ上流側に配置することが好ましい。また、流延膜１４の幅方向中央部に配置することが好ましい。
【００６２】
供給ガスコントローラ１０８は、センサ１１４によって検出された溶媒ガス濃度、並びに、送気ファン１０６により供給される溶媒ガスの供給量に基づいて、溶媒ガス生成装置１０２を制御（溶媒の噴霧量や加熱温度（揮発量）などを制御）し、供給口１１０ａ、１１２ａから供給する溶媒ガスの濃度をコントロールする。
【００６３】
なお、供給口１１０ａ、１１２ａから供給する溶媒ガスの濃度が薄くなるほど、厚みムラを防止する効果が低下する。このため、溶媒ガス吸引機構８０が吸引する溶媒ガス（以下、吸引ガスと称する場合がある）の濃度を「Ａ」、供給口１１０ａ、１１２ａから供給する溶媒ガス（以下、供給ガスと称する場合がある）の濃度を「Ｂ」、としたときに、「Ａ／５≦Ｂ」を満たすこと、すなわち、供給ガスの濃度Ｂを、吸引ガスの濃度Ａの１／５以上とすることが好ましい。
【００６４】
また、供給口１１０ａ、１１２ａから供給する溶媒ガスの濃度が濃くなるほど、流延膜１４の乾燥がすすみ難くなる。このため、「Ｂ≦Ａ」を満たすこと、すなわち、供給ガスの濃度Ｂを、吸引ガスの濃度Ａ以下とすることが好ましい。
【００６５】
以上のように、溶液製膜装置１０では、流延ダイ３６からベルト３０上にドープ１２を流延して流延膜１４を形成するステップ（流延膜形成ステップ）、流延膜１４を、吸気乾燥ユニット４０、送風乾燥ユニット４２経由させて乾燥させながら剥ぎ取り位置ＰＰまで搬送（移送）するステップ（移送ステップ）、剥ぎ取り位置ＰＰにおいて流延膜１４をベルト３０から剥ぎ取るステップ（剥ぎ取りステップ）を経てフイルム１６が製造される。
【００６６】
そして、移送ステップでは、乾燥ケース６４によって覆われた内側領域７４から溶媒ガスを吸引して流延膜１４の乾燥をすすめながら、乾燥ケース６４（遮風板６８、７０）とベルト３０との隙間に溶媒ガスを供給することによって内側領域７４に新鮮風が流入することを阻止して厚みむらの発生が防止される。
【００６７】
なお、上記実施形態では、溶媒ガス吸引機構８０と溶媒ガス供給機構１００とを独立して設け、溶媒ガスの吸引と供給とを独立して行う構成を例に説明をしたが、溶媒ガス吸引機構８０と溶媒ガス供給機構１００との少なくとも一部を連結し、溶媒ガスの吸引と供給とを連動して行う構成としてもよい。
【００６８】
具体的には、吸気ダクト８４（図２参照）と溶媒ガス供給ダクト１０４（図３参照）とを接続、また、吸気ダクト８４を分岐させて分岐させたダクトの少なくとも１つを溶媒ガス供給ダクト１０４に接続し、吸気ダクト８４で吸引した溶媒ガスを溶媒ガス供給ダクト１０４から供給する構成としてもよい。この場合、吸気ダクト８４で吸引した溶媒ガスの濃度を調整する濃度調整手段を設けることが好ましい。濃度調整手段は、溶媒ガスの濃度を薄くする場合、例えば、溶媒ガスを冷却して溶媒の一部を液化、または、吸気ダクト８４で吸引した溶媒ガスよりも溶媒濃度が低い気体（例えば、新鮮風）を、吸気ダクト８４で吸引した溶媒ガスと合流させる。また、濃度調整手段は、溶媒ガスの濃度を濃くする場合、例えば、溶媒を噴霧または加熱することにより吸気ダクト８４で吸引した溶媒ガスよりも高濃度の溶媒ガスを生成し、吸気ダクト８４で吸引した溶媒ガスと合流させる。
【００６９】
このように、溶媒ガス吸引機構８０と溶媒ガス供給機構１００との少なくとも一部を連結することにより、例えば、吸気ファン８６（図２参照）や送気ファン１０６（図３参照）を一体化（一方を廃止）したり、コンデンサ９０や溶媒ガス生成装置１０２を前述した濃度調整手段として一体化したりできるので、溶液製膜装置の小型化やコストダウンが可能である。
【００７０】
また、上記実施形態では、ドープ１２のポリマーとして、セルローストリアセテート（ＴＡＣ）を用いたが、ＴＡＣに代えて他のセルロースアシレートを用いてもよい。セルロースアシレートのアシル基は１種類だけでも良いし、あるいは２種類以上のアシル基を有していても良い。アシル基が２種以上であるときは、その１つがアセチル基であることが好ましい。セルロースの水酸基をカルボン酸でエステル化している割合、すなわち、アシル基の置換度が下記式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）の全てを満足するものが好ましい。なお、以下の式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）において、Ａ及びＢは、アシル基の置換度を表わし、Ａはアセチル基の置換度、またＢは炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度である。
【００７１】
（Ｉ）      ２．０≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（ＩＩ）    １．０≦  Ａ  ≦３．０
（ＩＩＩ）  ０    ≦  Ｂ  ≦２．０
【００７２】
アシル基の全置換度Ａ＋Ｂは、２．２０以上２．９０以下であることがより好ましく、２．４０以上２．８８以下であることが特に好ましい。また、炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度Ｂは、０．３０以上であることがより好ましく、０．５以上であることが特に好ましい。
【００７３】
また、ドープ１２のポリマーはセルロースアシレートに限られない。例えば、アクリル樹脂、環状オレフィン樹脂（例えばＪＳＲ（株）製のアートン（登録商標））等でもよい。
【００７４】
以下、本発明の実施例、及び、実施例と比較するための比較例について説明を行う。
【００７５】
全ての実施例及び比較例では、フイルム１６になる固形分を、溶媒の第１成分としてのジクロロメタン９２質量部と溶媒の第２成分としてのメタノール８質量部との混合物に溶解して、固形分が１９．０質量％のドープ１２をつくった。固形分は、以下のＴＡＣと第１可塑剤と第２可塑剤である。第１可塑剤はトリフェニルフォスフェートであり、第２可塑剤はビフェニルジフェニルフォスフェートである。つくったドープ１２は、静置脱泡した後に、送液ポンプによってフィルタを通して異物を除去し、異物除去後のドープ１２を流延に供した。
ＴＡＣ            １００質量部
第１可塑剤            ７質量部
第２可塑剤            ５質量部
【００７６】
このドープ１２を用い、厚みが４０μｍのフイルム１６を製造した。フイルム１６の製造には、溶液製膜装置１０（図１参照）を用い、ベルト３０の走行速度は５０ｍ／分とした。
【００７７】
そして、実施例では、溶媒ガス供給機構１００（図３参照）を作動させてフイルム１６を製造した。すなわち、実施例では、溶媒ガス吸引機構８０（図２参照）による吸引で乾燥ケース６４内が減圧されても、遮風板６８、７０とベルト３０との隙間から乾燥ケース６４内に新鮮風が流入しない構成でフイルム１６を製造した。
【００７８】
他方、比較例では、溶媒ガス供給機構１００を停止させてフイルム１６を製造した。すなわち、比較例では、溶媒ガス吸引機構８０による吸引で乾燥ケース６４内が減圧された場合に、遮風板６８、７０とベルト３０との隙間から乾燥ケース６４内に新鮮風が流入する構成でフイルム１６を製造した。
【００７９】
各実施例及び各比較例は、吸引ガス濃度Ａ（吸引ガス中の溶媒濃度であり、センサ１１４で測定された濃度）、供給ガス濃度Ｂ（供給ガス中の溶媒濃度）、フイルム上風速（フイルム上の気体の風速であり、吸引ガスの吸引量に基づいて変化する）を変更しながらフイルム１６の製造を行ったものである。各実施例及び各比較例それぞれの吸引ガス濃度Ａ、供給ガス濃度Ｂ、ガス濃度比（Ａ／Ｂ）、フイルム上風速は、表１、表２に示す通りである。
【００８０】
【表１】
0006538600.tif 000002
【００８１】
【表２】
0006538600.tif 000003
【００８２】
表１、表２に示す各条件で製造された各実施例及び各比較例のフイルム１６の厚みむらを評価した。評価結果は、同じく表１、表２に示す。評価は「Ａ」、「Ｂ」、「Ｃ」の３段階とした。評価Ａは最も高い評価であり、評価Ｃは最も低い評価である。評価は、従来の構成、すなわち、溶媒ガス供給機構１００を停止させてフイルム１６を製造した比較例１−４を基準として評価Ｃとし、従来よりも厚みむら改善された場合は評価Ｂとし、より改善がすすみ、ほぼ厚みむらの無い平滑なフイルム１６が得られた場合は評価Ａとした。
【００８３】
具体的には、フイルムの背面側から光を照射して透過光の濃淡差を目視にて観察することにより評価した。なお、濃淡差は、微小なものとして確認（観察）されるものであり、前述のように、比較例１−４で認められた濃淡差を基準として評価Ｃとした。また、比較例１−４と比較して濃淡差が小さくなっている場合、評価Ｂとした。さらに、濃淡差が目視で認められなかった場合、厚みむらがないものとして評価Ａとした。
【００８４】
表１、表２に示すように、溶媒ガス供給機構１００を作動させた各実施例は、溶媒ガス供給機構１００を作動させない比較例と比較して、厚みむらを防止できることが確認できた。また、実施例１ａ〜１ｄ、２ａ〜２ｅ、３ａ〜３ｅ、４ａ、４ｂと、これら以外の実施例との比較から、「Ａ／５≦Ｂ」を満たすこと、すなわち、供給ガスの濃度Ｂを、吸引ガスの濃度Ａの１／５以上とすることで、より厚みムラを防止できることが確認できた。
【００８５】
なお、製造するフイルム１６の厚みを前述した４０μｍから２５μｍに変更し、同様の検証を行った。この場合も前述した４０μｍの場合と結果は同様であった（表１、表２参照）。これにより、フイルム１６の厚みが２５μｍの場合であっても本発明が有効であることが確認できた。
【符号の説明】
【００８６】
１０    溶液製膜装置
１２  ドープ
１４  流延膜
１６  フイルム
２０  流延装置
３０  ベルト（支持体）
３６  流延ダイ
４０  吸気乾燥ユニット
４２  送風乾燥ユニット
６０、６２  ラビリンスシール
６４  乾燥ケース
６６  シール板
６８、７０  遮風板
７２  天板（蓋部材）
７４  内側領域
７６  外側領域
８０  溶媒ガス吸引機構
８２  赤外線ヒータ（赤外線照射機）
８４  吸気ダクト
８４ａ  吸気口
８６  吸気ファン
８８  吸気コントローラ
９０  コンデンサ
１００  溶媒ガス供給機構
１０２  溶媒ガス生成装置
１０４  溶媒ガス供給ダクト
１０６  送気ファン
１０８  供給ガスコントローラ（供給ガス濃度制御機構）
１１０、１１２  供給ボックス
１１０ａ、１１２ａ供給口
１１４  センサ
【図１】
0006538600.tif 000004
【図２】
0006538600.tif 000005
【図３】
0006538600.tif 000006