(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の一方面および他方面の互いに対応する位置に前記基板を分割するための第１分割溝および第２分割溝を同時に形成するための分割溝形成装置であって、
前記基板を切削することにより最深部が尖ったＶ字状の前記第１分割溝を形成するための複数の第１回転刃を有する第１カッターと、
前記基板を切削することにより最深部が尖ったＶ字状の前記第２分割溝を形成するための複数の第２回転刃を有する第２カッターと、
前記第１カッターを回転駆動するための第１回転駆動手段と、
前記第２カッターを回転駆動するための第２回転駆動手段と、
前記第１カッターおよび前記第２カッターを回転軸どうしが平行になるようにして径方向で対向するように支持するためのカッター支持手段と、
前記第１カッターと前記第２カッターとが対向する対向領域において前記第１回転刃と前記第２回転刃とが対向するように前記第１カッターおよび前記第２カッターの少なくとも一方の位相を調整するための位相調整手段とを備える、分割溝形成装置。
【請求項２】
前記第１カッターおよび前記第２カッターを互いに接近させまたは引き離すＺ方向に移動させるＺ方向駆動手段と、
前記Ｚ方向駆動手段の作動を制御する制御部とを備える、請求項１に記載の分割溝形成装置。
【請求項３】
前記第１回転駆動手段は第１モーターを有しており、
前記第２回転駆動手段は第２モーターを有しており、
前記位相調整手段は、前記第１モーターおよび前記第２モーターの少なくとも一方を制御するための制御部を有しており、
前記制御部は、前記対向領域において前記第１回転刃と前記第２回転刃とが対向するように前記第１モーターおよび前記第２モーターの少なくとも一方を制御する、請求項１または２に記載の分割溝形成装置。
【請求項４】
前記複数の第１回転刃と前記複数の第２回転刃とは、同数かつ同ピッチ角で設けられており、
前記位相調整手段は、前記第１カッターおよび前記第２カッターの各位相を検出するための位相検出部を有しており、
前記制御部は、前記第１カッターおよび前記第２カッターの各位相の差が前記ピッチ角の整数倍となるように前記第１モーターおよび前記第２モーターの少なくとも一方を制御する、請求項３に記載の分割溝形成装置。
【請求項５】
基板の一方面および他方面の互いに対応する位置に前記基板を分割するための第１分割溝および第２分割溝を同時に形成するための分割溝形成方法であって、
（ａ）前記第１分割溝を形成するための複数の第１回転刃を有する第１カッターと、前記第２分割溝を形成するための複数の第２回転刃を有する第２カッターとを、回転軸どうしが平行になるようにして径方向で対向するように配置し、
（ｂ）前記第１カッターと前記第２カッターとが対向する対向領域において前記第１回転刃と前記第２回転刃とが対向するように前記第１カッターおよび前記第２カッターを回転させ、
（ｃ）前記第１分割溝および前記第２分割溝が延びる方向において前記第１カッターおよび前記第２カッターを前記基板に対して相対的に移動させながら前記第１カッターおよび前記第２カッターがそれぞれ前記基板を切削することにより最深部が尖ったＶ字状の前記第１分割溝および前記第２分割溝を形成する、分割溝形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の一方面および他方面の互いに対応する位置に基板を分割するための分割溝を形成するための分割溝形成装置および分割溝形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電気機器等の基板の製造方法として、１枚の基板に複数の単位基板をまとめて作り込み、当該基板における各単位基板の間に表裏両面から分割溝を形成し、当該基板を分割溝で複数の単位基板に分割するようにしたものがある。特許文献１には、このような基板の製造方法で用いられる分割溝形成装置の一例が記載されている。この分割溝形成装置は、複数の回転刃を有する２つのカッターを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−８６３５３号公報
【０００４】
特許文献１に記載された先行技術では、２つのカッターの回転刃どうしの位置関係については全く考慮されていなかった。そのため、２つのカッターが互いに対向する対向領域では、回転駆動時間の大部分において、各回転刃の位置が互いに対向する位置からずれるおそれがあり、基板に波打ち現象が発生するおそれがあった。
【０００５】
波打ち現象について詳細に説明する。図６は、上記先行技術と同種の従来の分割溝形成装置１における第１回転刃２ａと第２回転刃３ａとの位置関係を示す正面図である。図６において、第１カッター２の第１回転刃２ａと第２カッター３の第２回転刃３ａは、互いに対向する位置からずれて配置されている。したがって、基板４における第１回転刃２ａが当たる第１部分４ａは下方に押されて変形され、基板４における第２回転刃３ａが当たる第２部分４ｂは上方に押されて変形される。その結果、基板４に波打ち現象が発生し、第１回転刃２ａおよび第２回転刃３ａのそれぞれで形成される分割溝の深さが不均一になる。そして、波打ち幅が大きくなると、分割溝自体が形成されなかったり、分割溝が基板４を貫通したりすることがある。分割溝が基板４を貫通したときには、基板４の強度が著しく低下して後加工に不具合が生じるだけでなく、最悪の場合には、分割溝形成時に基板が割れるおそれがある。
【発明の概要】
【０００６】
本発明は、上記問題に対処するためになされたものであり、分割溝を一定の深さで高精度に形成できる、分割溝形成装置および分割溝形成方法を提供することを目的とする。
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に係る分割溝形成装置の特徴は、基板の一方面および他方面の互いに対応する位置に前記基板を分割するための第１分割溝および第２分割溝を同時に形成するための分割溝形成装置であって、前記基板を切削することにより最深部が尖ったＶ字状の前記第１分割溝を形成するための複数の第１回転刃を有する第１カッターと、前記基板を切削することにより最深部が尖ったＶ字状の前記第２分割溝を形成するための複数の第２回転刃を有する第２カッターと、前記第１カッターを回転駆動するための第１回転駆動手段と、前記第２カッターを回転駆動するための第２回転駆動手段と、前記第１カッターおよび前記第２カッターを回転軸どうしが平行になるようにして径方向で対向するように支持するためのカッター支持手段と、前記第１カッターと前記第２カッターとが対向する対向領域において前記第１回転刃と前記第２回転刃とが対向するように前記第１カッターおよび前記第２カッターの少なくとも一方の位相を調整するための位相調整手段とを備えることにある。
【０００８】
この構成では、第１カッターと第２カッターとが対向する対向領域において第１回転刃と第２回転刃とが対向するので、第１分割溝および第２分割溝を形成する際の基板の波打ち現象を防止でき、第１分割溝および第２分割溝を一定の深さで高精度に形成できる。
【０００９】
本発明の他の特徴は、前記第１カッターおよび前記第２カッターを互いに接近させまたは引き離すＺ方向に移動させるＺ方向駆動手段と、前記Ｚ方向駆動手段の作動を制御する制御部とを備えることにある。
【００１０】
また、本発明は、前記第１分割溝および前記第２分割溝が延びる方向において前記第１カッターおよび前記第２カッターを前記基板に対して相対的に移動させるためのＸ方向駆動手段を備えることもできる。この構成では、Ｘ方向駆動手段によって第１カッターおよび第２カッターを基板に対して相対的に移動させることができるので、第１分割溝および第２分割溝を円滑に形成できる。
【００１１】
本発明の他の特徴は、前記第１回転駆動手段は第１モーターを有しており、前記第２回転駆動手段は第２モーターを有しており、前記位相調整手段は、前記第１モーターおよび前記第２モーターの少なくとも一方を制御するための制御部を有しており、前記制御部は、前記対向領域において前記第１回転刃と前記第２回転刃とが対向するように前記第１モーターおよび前記第２モーターの少なくとも一方を制御することにある。
【００１２】
この構成では、第１モーターおよび第２モーターの少なくとも一方を制御部で制御するようにしているので、第１カッターおよび第２カッターの少なくとも一方の位相を迅速かつ正確に調整できる。
【００１３】
本発明の他の特徴は、前記複数の第１回転刃と前記複数の第２回転刃とは、同数かつ同ピッチ角で設けられており、前記位相調整手段は、前記第１カッターおよび前記第２カッターの各位相を検出するための位相検出部を有しており、前記制御部は、前記第１カッターおよび前記第２カッターの各位相の差が前記ピッチ角の整数倍となるように前記第１モーターおよび前記第２モーターの少なくとも一方を制御することにある。
【００１４】
この構成において、複数の第１回転刃と複数の第２回転刃とは、同数かつ同ピッチ角で設けられているため、第１カッターと第２カッターの位相差がピッチ角の整数倍である限り、第１回転刃と第２回転刃とを対向領域で対向させることができる。したがって、位相差がピッチ角の整数倍となるように第１モーターおよび第２モーターの少なくとも一方を制御するだけで、第１回転刃と第２回転刃とを対向領域で簡単に対向させることができる。
【００１５】
上記目的を達成するため、本発明に係る分割溝形成方法の特徴は、基板の一方面および他方面の互いに対応する位置に前記基板を分割するための第１分割溝および第２分割溝を同時に形成するための分割溝形成方法であって、（ａ）前記第１分割溝を形成するための複数の第１回転刃を有する第１カッターと、前記第２分割溝を形成するための複数の第２回転刃を有する第２カッターとを、回転軸どうしが平行になるようにして径方向で対向するように配置し、（ｂ）前記第１カッターと前記第２カッターとが対向する対向領域において前記第１回転刃と前記第２回転刃とが対向するように前記第１カッターおよび前記第２カッターを回転させ、（ｃ）前記第１分割溝および前記第２分割溝が延びるＸ方向において前記第１カッターおよび前記第２カッターを前記基板に対して相対的に移動させながら前記第１カッターおよび前記第２カッターがそれぞれ前記基板を切削することにより最深部が尖ったＶ字状の前記第１分割溝および前記第２分割溝を形成することにある。
【００１６】
この構成では、第１カッターと第２カッターとが対向する対向領域において第１回転刃と第２回転刃とが対向するので、第１分割溝および第２分割溝を形成する際の基板の波打ち現象を防止でき、第１分割溝および第２分割溝を一定の深さで高精度に形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係る分割溝形成装置の構成を示す正面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る分割溝形成装置の構成を示すブロック図である。
【図３】基板に分割溝を形成するための工程を示す斜視図である。
【図４】第１回転刃と第２回転刃とが対向した状態を示す拡大正面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る分割溝形成方法の各工程を示すフロー図である。
【図６】従来の分割溝形成装置における第１回転刃と第２回転刃との位置関係を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明に係る分割溝形成装置および分割溝形成方法の各実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００１９】
［分割溝形成装置］
図１は、本発明の一実施形態に係る分割溝形成装置１０の構成を示す正面図である。図２は、分割溝形成装置１０の構成を示すブロック図である。図３は、基板１２に分割溝１４，１６を形成するための工程を示す斜視図である。図３に示すように、以下の説明では、水平面内において分割溝１４，１６が延びる方向をＸ方向とし、鉛直方向をＺ方向とし、Ｘ方向およびＺ方向に対して直交する方向をＹ方向とする。
【００２０】
図２に示すように、分割溝形成装置１０は、基板１２の一方面１２ａおよび他方面１２ｂの互いに対応する位置に基板１２を分割するための第１分割溝１４および第２分割溝１６を同時に形成するためのものである。図３に示すように、本実施形態で用いられる基板１２は、電気機器（例えば携帯電話）等に用いられる複数（本実施形態では９個）の単位基板１８が作り込まれた薄肉（厚さ０．３〜０．４ｍｍ程度）の集合基板である。第１分割溝１４および第２分割溝１６は、０．１ｍｍ程度の深さでＶ字状に形成される。なお、基板１２の厚さや、第１分割溝１４および第２分割溝１６の深さは、本実施形態に限定されるものではない。
【００２１】
図１に示すように、分割溝形成装置１０は、円板状の第１カッター２０と、円板状の第２カッター２２と、回転テーブル２４と、ワークチャック２６とを備えている。
【００２２】
図１に示すように、第１カッター２０は、円板状の台金３０と、台金３０の外周部に設けられた複数（本実施形態では２０個）の第１回転刃３２とを有している。図２に示すように、台金３０の中心部には、後述する第１モーター３４の回転軸３４ａが挿通される貫通孔３６が形成されている。台金３０における貫通孔３６の近傍部分には、ボルト３８が挿通される複数（本実施形態では４個）の貫通孔４０が形成されている。台金３０における貫通孔４０の近傍部分には、位置決めピン４２が挿通される少なくとも１個（本実施形態では１個）の貫通孔４４が形成されている。
【００２３】
図１に示す各第１回転刃３２は、基板１２を切削することによって第１分割溝１４（図２）を形成するための切削刃であり、複数の第１回転刃３２が台金３０の外周部に等間隔（本実施形態では、１８度の角度間隔）で設けられている。本実施形態では、第１カッター２０が正面視で時計回りに回転されるように構成されており、各第１回転刃３２は、時計回りの先方を向くように設けられている。
【００２４】
図１に示すように、第２カッター２２は、円板状の台金５０と、台金５０の外周部に設けられた複数（本実施形態では２０個）の第２回転刃５２とを有している。図２に示すように、台金５０の中心部には、後述する第２モーター５４の回転軸５４ａが挿通される貫通孔５６が形成されている。台金５０における貫通孔５６の近傍部分には、ボルト５８が挿通される複数（本実施形態では４個）の貫通孔６０が形成されている。台金５０における貫通孔６０の近傍部分には、位置決めピン６２が挿通される少なくとも１個（本実施形態では１個）の貫通孔６４が形成されている。
【００２５】
図１に示す各第２回転刃５２は、基板１２を切削することによって第２分割溝１６（図２）を形成するための切削刃であり、複数の第２回転刃５２が台金５０の外周部に等間隔（本実施形態では、１８度の角度間隔）で設けられている。本実施形態では、第２カッター２２が正面視で反時計回りに回転されるように構成されており、各第２回転刃５２は、反時計回りの先方を向くように設けられている。
【００２６】
図１に示すように、回転テーブル２４は、第１分割溝１４および第２分割溝１６（図２）を形成する工程において基板１２を支持するものである。回転テーブル２４には、その向きをＸ方向とＹ方向との間で転換するためのテーブル回転駆動手段６８（図２）が設けられている。したがって、回転テーブル２４で支持された基板１２を互いに直交する分割線Ｌ１および分割線Ｌ２で切断する場合でも、第１カッター２０および第２カッター２２を移動させる方向は、Ｘ方向およびＹ方向のいずれか一方（本実施形態ではＸ方向）だけでよい。テーブル回転駆動手段６８は、サーボモーター（図示省略）を有している。図２に示すように、テーブル回転駆動手段６８は、制御部７０に対して電気的に接続されており、制御部７０から与えられる制御信号に基づいてテーブル回転駆動手段６８のサーボモーター（図示省略）等が制御される。
【００２７】
図１に示すように、ワークチャック２６は、回転テーブル２４において基板１２を固定するものである。本実施形態のワークチャック２６は、基板１２を負圧で吸着できるように構成された真空チャックである。ワークチャック２６は、吸着状態と吸着解除状態とを切り換えるための電磁弁（図示省略）を有している。図２に示すように、ワークチャック２６は、制御部７０に対して電気的に接続されており、制御部７０から与えられる制御信号に基づいてワークチャック２６の電磁弁（図示省略）等が制御される。
【００２８】
また、図２に示すように、分割溝形成装置１０は、第１回転駆動手段７２と、第２回転駆動手段７４と、カッター支持手段７６と、Ｘ方向駆動手段８０と、Ｙ方向駆動手段８２と、位相調整手段１０４とを備えている。
【００２９】
図２に示すように、第１回転駆動手段７２は、第１カッター２０を回転駆動するための手段であり、第１モーター３４と、第１モータードライバ８４とを有している。本実施形態の第１モーター３４はサーボモーターであり、８０００〜１００００回転／分の回転数で回転駆動されるように構成されている。第１モーター３４の回転軸３４ａには、第１カッター２０が固定されるフランジ８６が設けられている。フランジ８６には、第１カッター２０の貫通孔４０に挿通されたボルト３８が螺合されるねじ孔８８と、第１カッター２０の貫通孔４４に挿通される位置決めピン４２とが設けられている。第１カッター２０をフランジ８６に固定した状態において、第１モーター３４の回転軸３４ａが第１カッター２０の回転軸となる。
【００３０】
図２に示すように、第１モーター３４には、回転軸３４ａの位相（すなわち第１カッター２０の位相）を検出するための第１位相検出部９０が設けられている。本実施形態の第１位相検出部９０は、ロータリーエンコーダーを有しており、第１位相検出部９０と制御部７０とが電気的に接続されている。
【００３１】
図２に示す第１モータードライバ８４は、第１モーター３４に駆動電流を供給するものであり、制御部７０に対して電気的に接続されている。制御部７０から第１モータードライバ８４に制御信号が与えられると、第１モータードライバ８４は、その制御信号に応じた駆動電流を第１モーター３４に供給する。
【００３２】
図２に示すように、第２回転駆動手段７４は、第２カッター２２を回転駆動するための手段であり、第２モーター５４と、第２モータードライバ９２とを有している。本実施形態の第２モーター５４はサーボモーターであり、８０００〜１００００回転／分の回転数で回転駆動されるように構成されている。第２モーター５４の回転軸５４ａには、第２カッター２２が固定されるフランジ９４が設けられている。フランジ９４には、第２カッター２２の貫通孔６０に挿通されたボルト５８が螺合されるねじ孔９６と、第２カッター２２の貫通孔６４に挿通される位置決めピン６２とが設けられている。第２カッター２２をフランジ９４に固定した状態において、第２モーター５４の回転軸５４ａが第２カッター２２の回転軸となる。
【００３３】
図２に示すように、第２モーター５４には、回転軸５４ａの位相（すなわち第２カッター２２の位相）を検出するための第２位相検出部９８が設けられている。本実施形態の第２位相検出部９８は、ロータリーエンコーダーを有しており、第２位相検出部９８と制御部７０とが電気的に接続されている。
【００３４】
図２に示す第２モータードライバ９２は、第２モーター５４に駆動電流を供給するものであり、制御部７０に対して電気的に接続されている。制御部７０から第２モータードライバ９２に制御信号が与えられると、第２モータードライバ９２は、その制御信号に応じた駆動電流を第２モーター５４に供給する。
【００３５】
図２に示すように、カッター支持手段７６は、第１カッター２０および第２カッター２２を、それらの回転軸どうしが平行になるようにして径方向で対向するように支持するための手段である。本実施形態のカッター支持手段７６は、第１カッター２０が取り付けられた第１モーター３４と、第２カッター２２が取り付けられた第２モーター５４と、第１モーター３４および第２モーター５４を支持するＺ方向駆動手段７８と、Ｚ方向駆動手段７８を支持する支持台１０２とを有している。Ｚ方向駆動手段７８は、第１モーター３４および第２モーター５４をＺ方向に移動させるための手段であり、リニアガイドおよびサーボモーター（図示省略）を有している。Ｚ方向駆動手段７８は、制御部７０に対して電気的に接続されており、制御部７０から与えられる制御信号に基づいてＺ方向駆動手段７８のサーボモーター（図示省略）等が制御される。
【００３６】
図２に示すＸ方向駆動手段８０は、第１カッター２０および第２カッター２２をカッター支持手段７６と共にＸ方向に移動させるための手段である。図２に示すＹ方向駆動手段８２は、第１カッター２０および第２カッター２２をカッター支持手段７６と共にＹ方向に移動させるための手段である。Ｘ方向駆動手段８０およびＹ方向駆動手段８２は、リニアガイドおよびサーボモーター（図示省略）を有している。Ｘ方向駆動手段８０およびＹ方向駆動手段８２は、制御部７０に対して電気的に接続されており、制御部７０から与えられる制御信号に基づいてＸ方向駆動手段８０およびＹ方向駆動手段８２の各サーボモーター（図示省略）等が制御される。
【００３７】
図４は、第１回転刃３２と第２回転刃５２とが対向した状態を示す拡大正面図である。図２に示す位相調整手段１０４は、第１カッター２０と第２カッター２２とが対向する対向領域Ｑ（図４）において、第１回転刃３２と第２回転刃５２とが対向するように第１カッター２０および第２カッター２２の少なくとも一方の位相を調整するための手段である。
【００３８】
図２に示すように、本実施形態の位相調整手段１０４は、第１モーター３４と、第１位相検出部９０と、第１モータードライバ８４と、第２モーター５４と、第２位相検出部９８と、第２モータードライバ９２と、制御部７０とを有している。制御部７０は、各種の演算処理を実行する中央演算処理装置（ＣＰＵ）と、プログラムおよびデータを記憶する記憶装置（ＲＯＭ，ＲＡＭ）とを有している。位相調整手段１０４における制御部７０は、第１モーター３４および第２モーター５４の少なくとも一方を位相調整のために制御する。
【００３９】
図４中の基準線Ｍは、基板１２に対して直交し、かつ、第１カッター２０の回転中心および第２カッター２２の回転中心を通る仮想直線である。第１位相検出部９０および第２位相検出部９８が原点位置を示す信号を出力するとき、対向領域Ｑでは、第１回転刃３２および第２回転刃５２の各先端が基準線Ｍ上に配置される。
【００４０】
本実施形態では、複数の第１回転刃３２と複数の第２回転刃５２とが、同数かつ同ピッチ角で設けられているので、第１カッター２０と第２カッター２２の位相差がピッチ角（本実施形態では１８度）の整数倍である限り、第１回転刃３２と第２回転刃５２とを対向領域ＱにおいてＺ方向で対向させることができる。そこで、図２に示す制御部７０は、上記位相差がピッチ角（本実施形態では１８度）の整数倍となるように、第１モーター３４および第２モーター５４の少なくとも一方を制御する。
【００４１】
［分割溝形成方法］
図３に示す分割線Ｌ１，Ｌ２に沿って、基板１２に第１分割溝１４および第２分割溝１６を形成する際には、まず、図１に示す回転テーブル２４上に基板１２を載置し、この基板１２をワークチャック２６で固定する。続いて、第１カッター２０および第２カッター２２を回転駆動し、これらをＸ方向およびＹ方向に移動させながら、各分割線Ｌ１（図３）に沿って第１分割溝１４および第２分割溝１６を形成する。
【００４２】
図３に示す複数の分割線Ｌ１に対する第１分割溝１４および第２分割溝１６の形成作業が完了すると、図１に示す回転テーブル２４を回転させて、基板１２の各分割線Ｌ２（図３）が延びる方向をＹ方向からＸ方向に転換する。その後、第１カッター２０および第２カッター２２をＸ方向およびＹ方向に移動させながら、各分割線Ｌ２（図３）に沿って第１分割溝１４および第２分割溝１６を形成する。なお、図３中の二点鎖線は、方向転換後の基板１２の状態を示している。
【００４３】
以下には、分割線Ｌ１，Ｌ２のそれぞれにおける第１分割溝１４および第２分割溝１６の形成方法（分割溝形成方法）について、図５のフロー図に従って詳細に説明する。
【００４４】
図２に示す制御部７０が分割溝形成プログラムを開始すると、制御部７０は、図５に示す各ステップＳ１〜Ｓ７をこの順に実行する。まず、ステップＳ１において、制御部７０は、第１モーター３４および第２モーター５４を制御して、第１カッター２０および第２カッター２２を回転駆動する。このとき、第１カッター２０および第２カッター２２は、Ｚ方向駆動手段７８によりＺ方向において互いに引き離された状態にある。
【００４５】
第１分割溝１４および第２分割溝１６を形成する際に、図４に示す対向領域Ｑにおいて、第１回転刃３２および第２回転刃５２の各位置がＸ方向にずれると、基板１２に波打ち現象が発生して第１分割溝１４および第２分割溝１６の深さが不均一になる。そこで、図２に示す位相調整手段１０４の制御部７０は、ステップＳ２およびＳ３において、第１回転刃３２と第２回転刃５２とが対向するように第２カッター２２の位相を調整する。
【００４６】
すなわち、ステップＳ２において、制御部７０は、第１位相検出部９０および第２位相検出部９８（図２）が検出した第１カッター２０および第２カッター２２の各位相を取得する。ステップＳ３において、制御部７０は、対向領域Ｑ（図４）において第１回転刃３２と第２回転刃５２とが対向するように、第２モーター５４（図２）を制御して第２カッター２２の位相を調整する。制御部７０は、ステップＳ２およびＳ３の各工程を分割溝形成プログラムが終了するまで継続する。なお、ステップＳ３では、第１モーター３４（図２）を制御して、第１カッター２０の位相を調整してもよい。また、第１モーター３４および第２モーター５４（図２）の両方を制御して、第１カッター２０および第２カッター２２の両方の位相を調整してもよい。
【００４７】
ステップＳ４において、制御部７０は、Ｘ方向駆動手段８０、Ｙ方向駆動手段８２およびＺ方向駆動手段７８を制御して、第１カッター２０および第２カッター２２を図３に示す始点Ｐ１に位置決めする。このとき、Ｚ方向駆動手段７８は、第１カッター２０および第２カッター２２を互いに近接する方向に移動させる。ステップＳ５において、制御部７０は、Ｘ方向駆動手段８０を制御して、第１カッター２０および第２カッター２２をＸ方向へ移動させることにより、基板１２に第１分割溝１４および第２分割溝１６を形成する。
【００４８】
ステップＳ６において、制御部７０は、第１カッター２０および第２カッター２２がＸ方向における終点Ｐ２（図３）に到達したか否かを判断し、「到達していない」と判断するとステップＳ５の動作（Ｘ方向への移動）を続行し、「到達した」と判断するとステップＳ７に進む。なお、第１カッター２０および第２カッター２２が終点Ｐ２に到達したか否かは、例えば、カッター支持手段７６（図２）で押されるリミットスイッチ（図示省略）の出力に基づいて判断することができる。
【００４９】
ステップＳ７において、制御部７０は、Ｘ方向駆動手段８０、Ｙ方向駆動手段８２およびＺ方向駆動手段７８（図２）を制御して、第１カッター２０および第２カッター２２を次の始点へ移動させる。これにより、複数の分割線Ｌ１および複数の分割線Ｌ２のうちの１つに対する第１分割溝１４および第２分割溝１６の形成工程が終了する。
【００５０】
［本実施形態の効果］
本実施形態によれば、上記構成により以下の各効果を奏することができる。すなわち、図４に示すように、第１カッター２０と第２カッター２２とが対向する対向領域Ｑにおいて第１回転刃３２と第２回転刃５２とが対向するので、基板１２の波打ち現象を防止できる。これにより、第１分割溝１４および第２分割溝１６（図２）を一定の深さで高精度に形成できる。
【００５１】
図２に示すＸ方向駆動手段８０によって、第１カッター２０および第２カッター２２を基板１２に対して相対的に移動させることができるので、第１分割溝１４および第２分割溝１６を円滑に形成できる。また、第１モーター３４および第２モーター５４を制御部７０で制御するようにしているので、第１カッター２０および第２カッター２２の少なくとも一方の位相を迅速かつ正確に調整できる。
【００５２】
図１に示すように、複数の第１回転刃３２と複数の第２回転刃５２とは、同数かつ同ピッチ角で設けられているため、位相差がピッチ角の整数倍になるように第１モーター３４および第２モーター５４の少なくとも一方を制御するだけで、第１回転刃３２と第２回転刃５２とを簡単に対向させることができる。
【００５３】
［変形例］
なお、本発明の実施にあたっては、上記実施形態に限定されず、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、図３に示すように、上記実施形態では、第１カッター２０および第２カッター２２を基板１２に対してＸ方向に移動させるようにしているが、これとは逆に、基板１２を第１カッター２０および第２カッター２２に対してＸ方向に移動（図示省略）させるようにしてもよい。
【００５４】
また、図２に示すように、上記実施形態では、第１カッター２０および第２カッター２２の少なくとも一方の位相を調整するための位相調整手段として、制御部７０を有する位相調整手段１０４を用いているが、これに代えて、ギアやタイミングベルトなどで構成された機械的な位相調整手段（図示省略）を用いるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１０…分割溝形成装置、２０…第１カッター、２２…第２カッター、３２…第１回転刃、５２…第２回転刃、７２…第１回転駆動手段、７４…第２回転駆動手段、７６…カッター支持手段、１０４…位相調整手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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