(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を収容する容器が搬出される搬出部を備えた第１装置と、前記容器が搬入される搬入部を備えた第２装置と、前記第１装置から前記第２装置まで搬送経路に沿って前記容器を搬送する搬送装置と、前記容器の内部に充填する充填用気体を前記容器の内部に供給する供給装置と、を備えた容器搬送設備であって、
前記容器は、当該容器の外部と内部との間で気体が通流可能な通流孔が形成された通流孔形成部を備え、
前記供給装置は、気体が通流自在な通流路を有した接続部と、前記充填用気体を前記通流路に通流させる充填用気体供給源と、を備え、
前記接続部が、前記搬送経路を移動する容器の移動領域の外部に退避する非接続状態と、前記移動領域の内部に侵入して前記容器の通流孔形成部に接続される接続状態とに切換
え自在に構成され、
前記搬送経路における、複数の経路が合流する合流部分に対して上流側に、前記接続部が配置されている容器搬送設備。
【請求項２】
物品を収容する容器が搬出される搬出部を備えた第１装置と、前記容器が搬入される搬入部を備えた第２装置と、前記第１装置から前記第２装置まで搬送経路に沿って前記容器を搬送する搬送装置と、前記容器の内部に充填する充填用気体を前記容器の内部に供給する供給装置と、を備えた容器搬送設備であって、
前記容器は、当該容器の外部と内部との間で気体が通流可能な通流孔が形成された通流孔形成部を備え、
前記供給装置は、気体が通流自在な通流路を有した接続部と、前記充填用気体を前記通流路に通流させる充填用気体供給源と、を備え、
前記接続部が、前記搬送経路を移動する容器の移動領域の外部に退避する非接続状態と、前記移動領域の内部に侵入して前記容器の通流孔形成部に接続される接続状態とに切換
え自在に構成され、
前記搬送装置によって搬送されている前記容器の前記搬送経路に沿う方向での移動に同期させて、前記搬送経路に沿って前記接続部を移動させる接続部移動機構を備えている容器搬送設備。
【請求項３】
前記充填用気体供給源が、前記充填用気体を前記通流路に通流させる供給状態と、前記充填用気体を前記通流路に通流させない供給停止状態と、に切換え自在に構成され、
前記接続部の前記接続状態と前記非接続状態との切換え、及び、前記充填用気体供給源の前記供給状態と前記供給停止状態との切換えを制御する供給制御部と、前記容器内の前記充填用気体の状態を検出する検出部と、が設けられ、
前記供給制御部は、前記検出部によって検出された前記容器内の前記充填用気体の状態が、前記容器への前記充填用気体の供給が必要な供給必要状態であるか、前記容器への前記充填用気体の供給が不要な供給不要状態であるかを判別し、かつ、前記供給必要状態であると判別した場合には、前記接続部を前記接続状態に切換え又は維持して、前記充填用気体供給源を前記供給状態に切換え又は維持し、前記供給不要状態であると判別した場合には、前記充填用気体供給源を前記供給停止状態に切換え又は維持するように構成されている請求項１又は２に記載の容器搬送設備。
【請求項４】
前記搬送装置は、前記搬送経路に沿う方向での位置が固定された基部と、前記基部に対する前記搬送経路に沿う方向の位置が固定された状態で前記基部に支持された駆動部と、前記容器に接触した状態で前記駆動部にて駆動されて前記容器に対して前記搬送経路に沿う方向の推進力を伝達する接触部と、前記駆動部を制御する搬送制御部とを備え、
前記接触部は、前記基部に回転自在に支持されて前記駆動部によって回転駆動される回転体、又は、前記搬送経路に沿って移動自在に前記基部に支持されて前記駆動部によって移動される支持体であり、
前記供給制御部は、前記搬送制御部により前記駆動部が駆動されている場合は、前記接続部を非接続状態として、前記充填用気体供給源を前記供給停止状態とする請求項３に記載の容器搬送設備。
【請求項５】
複数の前記接続部が前記搬送経路に沿って分散して設けられている請求項１から４の何れか１項に記載の容器搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品を収容する容器が搬出される搬出部を備えた第１装置と、前記容器が搬入される搬入部を備えた第２装置と、前記第１装置から前記第２装置まで搬送経路に沿って前記容器を搬送する搬送装置と、前記容器の内部の環境を調整する調整用気体を前記容器の内部に供給する供給装置と、を備えた容器搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記第１装置又は第２装置の例として、特開２０１５−０１２０４２号公報（特許文献１）には、半導体基板を収容する容器を保管する保管棚が記載されている。特許文献１の保管棚は、容器を収納する収納部を複数備えるとともに、保管している容器に対して、半導体基板の酸化や汚損を防止するための窒素ガスを充填用気体として供給する供給装置を備えている。
【０００３】
特許文献１のような保管棚は半導体製造設備に設置されている。ところで、半導体製造設備においては、第１装置と第２装置とが常に近接して設けられるとは限らず、離れた位置に設置された第１装置と第２装置との間で容器を搬送する必要が生じる場合がある。なお、第１装置と第２装置とが離れた位置に設置される場合として、例えば、特開２０１３−２４５０３２号公報（特許文献２）に示すように、半導体製造設備の作業ゾーンが複数存在し、第１装置が設置されている作業ゾーンと第２装置が設置されている作業ゾーンとが異なる作業ゾーンである場合が考えられる。特許文献２では、上記のように異なる作業ゾーンに亘って容器を搬送する搬送装置として、天井搬送車や、搬送対象物を被載置部に載置して当該被載置部を搬送経路に沿って移動させるコンベヤが用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−０１２０４２号公報
【特許文献２】特開２０１３−２４５０３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２に示すような搬送装置においては、複数の装置に亘って容器を搬送している間、容器に対して窒素ガスの充填が行えない。そのため、搬送装置での搬送に要する時間が長いと、容器内の不活性気体の濃度が低下する虞があり、容器の内部を半導体基板の品質維持に適した環境に維持し難いという問題があった。
【０００６】
そこで、第１装置と第２装置との間での搬送時間が長くても、容器の内部を収容する物品の品質維持に適した環境に維持し易い容器搬送設備が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る容器搬送設備は、物品を収容する容器が搬出される搬出部を備えた第１装置と、前記容器が搬入される搬入部を備えた第２装置と、前記第１装置から前記第２装置まで搬送経路に沿って前記容器を搬送する搬送装置と、前記容器の内部に充填する充填用気体を前記容器の内部に供給する供給装置と、を備えたものであって、
前記容器は、当該容器の外部と内部との間で気体が通流可能な通流孔が形成された通流孔形成部を備え、前記供給装置は、気体が通流自在な通流路を有した接続部と、前記充填用気体を前記通流路に通流させる充填用気体供給源と、を備え、前記接続部が、前記搬送経路を移動する容器の移動領域の外部に退避する非接続状態と、前記移動領域の内部に侵入して前記容器の通流孔形成部に接続される接続状態とに切換え自在に構成され、前記搬送経路における、複数の経路が合流する合流部分に対して上流側に、前記接続部が配置されている点を特徴とする。
【０００８】
すなわち、接続部を非接続状態から接続状態に切換えることで、搬送装置にて搬送される容器の移動領域の外部に退避している接続部を移動領域の内部に進入させて、接続部が容器の通流行形成部に接続された状態とすることができる。これにより、第１装置から第２装置に向けて容器を搬送する途中において充填用気体を容器の内部に供給することができる。
したがって、第１装置と第２装置との間での搬送時間が長くても、容器の内部を収容する物品の品質維持に適した環境に維持することができる。
【０００９】
本発明に係る容器搬送設備は、物品を収容する容器が搬出される搬出部を備えた第１装置と、前記容器が搬入される搬入部を備えた第２装置と、前記第１装置から前記第２装置まで搬送経路に沿って前記容器を搬送する搬送装置と、前記容器の内部に充填する充填用気体を前記容器の内部に供給する供給装置と、を備えたものであって、
前記容器は、当該容器の外部と内部との間で気体が通流可能な通流孔が形成された通流孔形成部を備え、前記供給装置は、気体が通流自在な通流路を有した接続部と、前記充填用気体を前記通流路に通流させる充填用気体供給源と、を備え、前記接続部が、前記搬送経路を移動する容器の移動領域の外部に退避する非接続状態と、前記移動領域の内部に侵入して前記容器の通流孔形成部に接続される接続状態とに切換え自在に構成され、前記搬送装置によって搬送されている前記容器の前記搬送経路に沿う方向での移動に同期させて、前記搬送経路に沿って前記接続部を移動させる接続部移動機構を備えている点を特徴とする。
【００１０】
すなわち、搬送装置によって搬送されている容器の搬送経路に沿う方向での移動に同期させて接続部が搬送経路に沿って移動するから、容器を移動させている間にも接続部を接続状態として充填用気体を容器に供給することができる。
したがって、第１装置から第２装置への搬送経路の途中において、容器に充填用気体を供給可能な期間をより多く確保することができ、容器の内部を収容する物品の品質維持に適した環境に維持し易い容器搬送設備が実現できる。
【００１１】
本発明に係る容器搬送設備においては、前記充填用気体供給源が、前記充填用気体を前記通流路に通流させる供給状態と、前記充填用気体を前記通流路に通流させない供給停止状態と、に切換え自在に構成され、前記接続部の前記接続状態と前記非接続状態との切換え、及び、前記充填用気体供給源の前記供給状態と前記供給停止状態との切換えを制御する供給制御部と、前記容器内の前記充填用気体の状態を検出する検出部と、が設けられ、前記供給制御部は、前記検出部によって検出された前記容器内の前記充填用気体の状態が、前記容器への前記充填用気体の供給が必要な供給必要状態であるか、前記容器への前記充填用気体の供給が不要な供給不要状態であるかを判別し、かつ、前記供給必要状態であると判別した場合には、前記接続部を前記接続状態に切換え又は維持して、前記充填用気体供給源を前記供給状態に切換え又は維持し、前記供給不要状態であると判別した場合には、前記充填用気体供給源を前記供給停止状態に切換え又は維持するように構成されていることが好ましい。
【００１２】
すなわち、検出部によって検出された充填用気体の状態が容器への充填用気体の供給が不要な供給不要状態であると判別された場合には、充填用気体供給源が供給停止状態に切換え又は維持される。したがって、容器内の充填用気体の状態が供給の不要な供給不要状態であるときには、充填用気体を容器に供給しないようにでき、充填用気体を節約することができる。
【００１３】
本発明に係る容器搬送設備においては、前記搬送装置は、前記搬送経路に沿う方向での位置が固定された基部と、前記基部に対する前記搬送経路に沿う方向の位置が固定された状態で前記基部に支持された駆動部と、前記容器に接触した状態で前記駆動部にて駆動されて前記容器に対して前記搬送経路に沿う方向の推進力を伝達する接触部と、前記駆動部を制御する搬送制御部とを備え、前記接触部は、前記基部に回転自在に支持されて前記駆動部によって回転駆動される回転体、又は、前記搬送経路に沿って移動自在に前記基部に支持されて前記駆動部によって移動される支持体であり、前記供給制御部は、前記搬送制御部により前記駆動部が駆動されている場合は、前記接続部を非接続状態として、前記充填用気体供給源を前記供給停止状態とすることが好ましい。
【００１４】
すなわち、接触部と接触する容器に当該接触部によって推進力を付与する形態で容器を搬送する搬送装置において、駆動部にて接触部を駆動させて容器を移動させている間は接続部を非接続状態として充填用気体供給源を供給停止状態とすることができる。
上記のような搬送装置として、具体的には、回転体として搬送ローラーや、ベルトやチェーン等の巻回体を備えたものや、支持体として、容器を載置支持した状態で搬送方向に移動する搬送台を備えたものが考えられる。
このような搬送装置において、容器が移動している状態では接続部を非接続状態とし、容器が停止している状態では接続部を接続状態とすることができるので、第１装置から第２装置への搬送経路の途中において充填用気体を供給することができながらも、搬送経路における容器の移動を阻害しないようにすることが可能な容器搬送設備が実現できる。
【００１５】
本発明に係る容器搬送設備においては、複数の前記接続部が前記搬送経路に沿って分散して設けられていることが好ましい。
【００１６】
すなわち、複数の接続部が搬送経路に沿って分散して設けられているので、搬送経路における複数の箇所で、容器に対して充填用気体を供給することができる。したがって、搬送経路に沿う方向での単一の箇所のみに接続部を設ける場合に比べて、搬送経路上に存在する複数の容器に対して適切に充填用気体を供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】容器搬送設備を備える半導体製造設備の概略平面図
【図２】容器搬送設備の構成を示す立面図
【図３】半導体搬送容器の一部破断正面図
【図４】第１実施形態のコンベヤユニットを示す正面図
【図５】棟間搬送コンベヤへの合流部分を示す平面図
【図６】棟間搬送コンベヤからの分岐部分を示す平面図
【図７】制御ブロック図
【図８】フローチャート
【図９】第２実施形態のコンベヤユニットを示す正面図
【図１０】第２実施形態のコンベヤユニットを備えた合流部分の平面図
【図１１】第３実施形態のコンベヤユニットを備えた合流部分の平面図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の容器搬送設備を半導体製造設備に適用した第１の実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１に示すように、本実施形態の半導体製造設備は、物品としての半導体基板Ｕを収容する容器Ｂ（図２、３を参照）の上端に設けられたフランジＢｆを把持して容器Ｂを搬送する天井搬送車Ｖが走行する走行レールＲと、上記天井搬送車Ｖとの間で容器Ｂを授受可能な搬出入ポートＥｐを備えた保管庫Ｓ１及び処理装置Ｐ１と、を備えている。これら走行レールＲや保管庫Ｓ１及び処理装置Ｐ１は、所定の空気清浄度が確保された空間を有する第１建屋Ｆ１の内部に設置されている。又、同様に、所定の空気清浄度が確保された空間を有する第２建屋Ｆ２の内部に、走行レールＲと保管庫Ｓ２及び処理装置Ｐ２とが設置されている。
【００１９】
保管庫Ｓ１は、容器Ｂを収納可能な収納部を複数備え、当該複数の収納部の少なくとも一部に、容器Ｂの内部に充填用気体としての窒素ガスを供給するパージ部（図示省略）が設けられている。また、複数の収納部の夫々と搬出入ポートＥｐ（保管庫搬出入ポートＳｐ）との間で容器Ｂを搬送するスタッカークレーンが、保管庫Ｓ１内部に設けられている。保管庫Ｓ２についても同様の構成である。
【００２０】
処理装置Ｐ１は、例えば半導体基板に対してフォトリソグラフィ処理や洗浄処理等を行う装置であり、例えば搬出入ポートＥｐ（ロードポートＰｐ）に位置する容器Ｂから半導体基板を取り出して処理を行うようになっている。なお、半導体基板を取り出す場合には、容器Ｂの前面に設けられた着脱自在な蓋部を取り外し、吸着式のロボットハンド等で容器Ｂ内部に収容されている半導体基板を取り出すことになるが、その方法や機構は周知の技術であるので説明は省略する。処理装置Ｐ２についても同様の構成である。
なお、本実施形態では、第１建屋Ｆ１に設けられる保管庫Ｓ１又は処理装置Ｐ１が第１装置Ｅ１に相当し、第２建屋Ｆ２に設けられる保管庫Ｓ２又は処理装置Ｐ２が第２装置Ｅ２に相当する。また、以降の説明において、第１装置Ｅ１及び第２装置Ｅ２をまとめて説明する場合には装置Ｅと称する。
【００２１】
第１建屋Ｆ１と第２建屋Ｆ２との間で容器Ｂを搬送するために、棟間コンベヤＣｗ（第１棟間コンベヤＣｗ１及び第２棟間コンベヤＣｗ２）が設けられている。棟間コンベヤＣｗは、第１建屋Ｆ１と第２建屋Ｆ２とを接続する棟間接続筒体Ｔの内部を通過して第１建屋Ｆ１の内部に搬送方向一端部が、第２建屋Ｆ２の内部に搬送方向他端部が位置するように設けられている。
【００２２】
図１及び図５に示すように、第１棟間コンベヤＣｗ１における第１建屋Ｆ１側の端部には合流コンベヤＣ１ｇが接続され、当該合流コンベヤＣ１ｇに３つのバッファコンベヤＣ１１が合流する状態で設けられている。また、図１及び図６に示すように、第１棟間コンベヤＣｗ１における第２建屋Ｆ２側の端部には分岐コンベヤＣ１ｂが接続され、当該分岐コンベヤＣ１ｂに３つのバッファコンベヤＣ１２が合流する状態で設けられている。
【００２３】
同様に、第２棟間コンベヤＣｗ２における第２建屋Ｆ２側の端部には合流コンベヤＣ２ｇが接続され、当該合流コンベヤＣ２ｇに３つのバッファコンベヤＣ２２が合流する状態で設けられている。また、第２棟間コンベヤＣｗ２における第１建屋Ｆ１側の端部には分岐コンベヤＣ２ｂが接続され、当該分岐コンベヤＣ２ｂから３つのバッファコンベヤＣ２１が分岐する状態で設けられている。
【００２４】
合流コンベヤＣ１ｇ、Ｃ２ｇ、及び、分岐コンベヤＣ１ｂ、Ｃ２ｂにおけるバッファコンベヤＣ１１、Ｃ１２、Ｃ２１、Ｃ２２の夫々との合流部分又は分岐部分には、搬送している容器Ｂの平面視での方向を転換するターンテーブルＣｔが設けられている。
【００２５】
天井搬送車Ｖとして、第１建屋Ｆ１の天井から吊り下げ状態で支持された環状の走行レールＲ（Ｒ１１、Ｒ１２）に沿って第１建屋Ｆ１内を走行するものと、第２建屋Ｆ２の天井から吊り下げ状態で支持された環状の走行レールＲ（Ｒ２１、Ｒ２２）に沿って第２建屋Ｆ２内を走行するものと、が設けられている。天井搬送車Ｖは、図２に示すように、走行レールＲ上を転動する走行車輪Ｖｗと、走行車輪Ｖｗを駆動させる走行駆動部（図示省略）と、を備えた走行部Ｖ１と、走行部Ｖ１の下方に当該走行部Ｖ１との上下方向の距離を固定する状態で支持され、走行部Ｖ１と一体に走行レールＲに沿って移動する本体部Ｖ２とを備えている。本体部Ｖ２には、装置Ｅにおける容器Ｂの搬出入ポートＥｐ等の授受箇所の存在高さと走行レールＲの長手方向視で本体部Ｖ２と重複する搬送用高さとの間で昇降可能な昇降体Ｖｓが支持されている。天井搬送車Ｖは、容器Ｂを搬送する場合には昇降体Ｖｓを搬送用高さに維持し、平面視で昇降体Ｖｓと授受箇所Ｙとが重複する位置にて昇降体Ｖｓを下降させて容器Ｂを授受箇所Ｙとの間で授受するようになっている。また、昇降体Ｖｓには、容器ＢのフランジＢｆを把持する把持部Ｖｈが装備されている。
【００２６】
３つのバッファコンベヤＣ１１のうちの２つ、及び、３つのバッファコンベヤＣ２１のうちの２つは、搬送端部が走行レールＲ１１走行する天井搬送車Ｖの授受箇所となっている。また、３つのバッファコンベヤＣ１１のうちの１つ、及び、３つのバッファコンベヤＣ２１のうちの１つは、搬送端部が走行レールＲ１２を走行する天井搬送車Ｖの授受箇所となっている。
同様に、３つのバッファコンベヤＣ１２のうちの２つ、及び、３つのバッファコンベヤＣ２２のうちの２つは、搬送端部が走行レールＲ２１を走行する天井搬送車Ｖの授受箇所となっている。また、３つのバッファコンベヤＣ１１のうちの１つ、及び、３つのバッファコンベヤＣ２１のうちの１つは、搬送端部が走行レールＲ２２を走行する天井搬送車Ｖの授受箇所となっている。
【００２７】
ここで、本実施形態における搬送対象物である容器Ｂについて図３に基づいて説明する。
容器Ｂは、例えばＦＯＵＰやＦＯＳＢと呼ばれる、高さ方向に離間した状態で半導体基板Ｕを複数収容可能な容器である。この容器Ｂは、前面に着脱自在な蓋を備えており、半導体基板Ｕの出し入れを行わない場合には当該蓋を装着するようになっている。蓋は気密性を確保可能に構成されている。また、容器Ｂの底部Ｂｂには、容器Ｂの外部と内部との間で気体が通流可能な通流孔Ｂｈが形成された通流孔形成部Ｂｇが２つ設けられている。通流孔形成部Ｂｇには、後述する不活性気体供給部のノズルＮ（図４参照）が接続可能に構成されている。すなわち、容器Ｂは、当該容器Ｂの外部と内部との間で気体が通流可能な通流孔Ｂｈが形成された通流孔形成部Ｂｇを備えている。
【００２８】
通流孔形成部Ｂｇには、ノズルＮが接続されたときに開状態となり、ノズルＮの接続が解除されたときに閉状態となる開閉弁機構が備えられている。そして、容器Ｂの通流孔形成部ＢｇにノズルＮを接続した状態で、ノズルＮから充填用気体としての不活性気体（例えば窒素ガス等）を注入することで、容器Ｂの内部に不活性気体が充填されるように構成されている。
【００２９】
本実施形態においては、バッファコンベヤＣ１１、Ｃ１２、Ｃ２１、Ｃ２２、分岐コンベヤＣ１ｂ、Ｃ２ｂ、及び、合流コンベヤＣ１ｇ、Ｃ２ｇは、図５及び図６に示すように、平面視で搬送方向において容器Ｂ二つ分未満の長さに形成されたコンベヤユニットＣｕを搬送方向に複数並べて構成されている。すなわち、本実施形態では、複数のノズルＮが、搬送経路に沿って分散して設けられている。
【００３０】
以下の説明において、上記バッファコンベヤＣ１１、Ｃ１２、Ｃ２１、Ｃ２２、分岐コンベヤＣ１ｂ、Ｃ２ｂ、及び、合流コンベヤＣ１ｇ、Ｃ２ｇと棟間コンベヤＣｗとをまとめて説明する場合には、コンベヤＣと称する場合がある。本実施形態では、コンベヤＣと上述の天井搬送車Ｖとによって搬送装置が構成されている。すなわち、半導体基板Ｕを収容する容器Ｂが搬出される搬出部Ｅｐ１を備えた第１装置Ｅ１と、容器Ｂが搬入される搬入部Ｅｐ２を備えた第２装置Ｅ２と、第１装置Ｅ１から第２装置Ｅ２まで搬送経路に沿って前記容器を搬送する搬送装置（コンベヤＣ及び天井搬送車Ｖ）とが設けられている。
【００３１】
なお、この実施形態では、第１装置Ｅ１に搬出部Ｅｐ１を備え、第２装置Ｅ２に搬入部Ｅｐ２を備えて、搬送装置によって第１装置Ｅ１から第２装置Ｅ２まで容器Ｂを搬送する構成を例示したが、第２装置Ｅ２に搬出部を備え、第１装置Ｅ１に搬入部を備えて、搬送装置によって第２装置Ｅ２から第１装置Ｅ１まで容器Ｂを搬送する構成としてもよい。
【００３２】
第１実施形態におけるコンベヤユニットＣｕ（以下、本実施形態のコンベヤユニットＣｕのみについて説明する場合はコンベヤユニットＣｕ１として説明する）は、図４に示すように、床部に取り付けられることで搬送経路に沿う方向での位置が固定された基部１１と、基部１１に回転自在に固定されるローラ１２と、基部１１に固定されるシリンダ支持部１３と、シリンダ支持部１３に固定されるシリンダＭと、不活性気体供給部のノズルＮを支持するノズル支持体１６と、を備えている。シリンダＭは、シリンダ支持部１３に取付けられるシリンダ本体１４と、上下方向に伸縮又は出退移動可能にシリンダ本体１４に支持されるシリンダロッド１５とから構成され、電磁気的又は気体圧力等の駆動力によりシリンダロッド１５が上下に移動操作される。また、ノズル支持体１６とはシリンダロッド１５の上端に取付けられており、シリンダロッド１５の移動操作に伴って上下に移動操作される。ノズルＮはノズル支持体１６に相対位置を固定した状態で支持されており、シリンダロッド１５の移動操作に伴ってノズルＮが上下方向に移動操作されることになる。
【００３３】
ノズルＮは、上記のようなシリンダＭにおけるシリンダロッド１５の伸縮作動によって、搬送経路を移動する容器Ｂの移動領域の外部に退避する非接続状態と、移動領域の内部に侵入して容器Ｂの通流孔形成部Ｂｇに接続される接続状態とに切換え自在に構成されている。
【００３４】
ローラ１２は、基部１１に固定されることで基部１１に対する搬送経路に沿う方向の位置が固定されたローラ駆動モータＬによって駆動されるようになっている。そして、ローラ１２が容器Ｂの底部Ｂｂに接触した状態でローラ駆動モータＬを駆動することによって、容器Ｂが搬送経路に沿う推進力を付与されるようになっている。ローラ２２は、当該コンベヤユニットＣｕの搬送方向の全長に亘って並べて設けられている。
【００３５】
本実施形態においては、搬送装置がコンベヤＣにおけるコンベヤユニットＣｕを備えて構成され、基部１１が基部に相当し、ローラ駆動モータＬが駆動部に相当し、接触部がローラ１２に相当する。すなわち、コンベヤユニットＣｕ１は、搬送経路に沿う方向での位置が固定された基部１１と、基部１１に対する搬送経路に沿う方向の位置が固定された状態で基部１１に支持されたローラ駆動モータＬと、容器Ｂに接触した状態でローラ駆動モータＬにて駆動されて容器Ｂに対して搬送経路に沿う方向の推進力を伝達するローラ１２と、を備え、ローラ１２は、基部１１に回転自在に支持されてローラ駆動モータＬによって回転駆動される回転体となっている。
【００３６】
図４に示すように、ノズルＮには、不活性気体供給部からの不活性気体を上記ノズルＮに供給する通流管Ｇｔが接続されている。通流管Ｇｔは可撓性を有する素材（ゴムやシリコーン樹脂等）で形成されている。なお、ノズルＮは１つのコンベヤユニットＣｕに２つ設けられ、一方に通流管Ｇｔとして第１通流管Ｇｔ１が接続され、他方に通流管Ｇｔとして第２通流管Ｇｔ２が接続されている。
【００３７】
第１通流管Ｇｔ１には気体供給源Ｇが接続されて、不活性気体がノズルＮに向けて送出される。一方、第２通流管Ｇｔ２におけるノズルＮと逆側の端部には排気ポンプが接続され、容器Ｂ内部の気体を吸引して排気する。これにより、容器Ｂの内部の気体を不活性気体に迅速に置換することができる。
【００３８】
また、第２通流管Ｇｔ２と排気ポンプとの間に、不活性気体の濃度を検出する検出センサＪ（図７参照）が設けられている。検出センサＪは、容器Ｂから第２通流管Ｇｔ２を通して流出した容器Ｂ内の気体における不活性気体の濃度を検出するようになっている。本実施形態において、検出センサＪが検出部に相当する。すなわち、容器Ｂ内の不活性気体の状態を検出する検出センサＪが設けられている。
【００３９】
さらに第１通流管Ｇｔ１と気体供給源Ｇとの間に、開閉操作可能な供給切換弁Ｋが設けられている。気体供給源Ｇは不活性気体を常に正圧に維持しており、供給切換弁Ｋを開状態とすることによって第１通流管Ｇｔ１に不活性気体が送出され、供給切換弁Ｋを閉状態とすることによって第１通流管Ｇｔ１への不活性気体の送出が停止される。
【００４０】
本実施形態においては、ノズルＮが接続部に相当し、気体供給源Ｇ及び供給切換弁Ｋが充填用気体供給源に相当する。また、通流路が主に第１通流管Ｇｔ１に形成されている。そして、供給装置が上記ノズルＮと気体供給源Ｇとを備えて構成されている。すなわち、供給装置は、気体が通流自在な通流路を有したノズルＮと、不活性気体を通流路に通流させる気体供給源Ｇと、を備え、充填用気体供給源が、不活性気体を第１通流管Ｇｔ１に通流させる供給状態と、不活性気体を第１通流管Ｇｔ１に通流させない供給停止状態と、に切換え自在に構成されている。
なお、本実施形態においては、１つのコンベヤユニットＣｕ１について、上記ノズル支持体１６に支持される一対のノズルＮの組（以下、単位供給部と称する）が１つのみ設けられている。
【００４１】
図７は、本実施形態の半導体製造設備における制御構成を説明するブロック図である。制御部Ｈは、例えば演算装置と記憶装置とを備えたクライアントコンピュータやサーバコンピュータ等の単一のコンピュータにて構成されている。
【００４２】
制御部Ｈは、コンベヤＣの作動を制御するコンベヤ制御部Ｈ１、不活性気体供給部の作動を制御する供給制御部Ｈ２、及び、天井搬送車Ｖの走行を制御する天井搬送車制御部Ｈ３をプログラム形式で備えている。なお、本実施形態では、制御部Ｈを単一のコンピュータで構成し、コンベヤ制御部Ｈ１、供給制御部Ｈ２、及び、天井搬送車制御部Ｈ３の夫々を構成するプログラムを単一のコンピュータで実行するようになっているが、コンベヤ制御部Ｈ１、供給制御部Ｈ２、及び、天井搬送車制御部Ｈ３の夫々を各別のコンピュータで実行するようにしてもよい。この場合、それらのコンピュータの夫々は、有線ＬＡＮや無線ＬＡＮ等で互いに通信可能に接続する。
【００４３】
コンベヤ制御部Ｈ１は、コンベヤユニットＣｕにおけるローラ駆動モータＬの作動を制御するように構成されている。コンベヤユニットＣｕの夫々には、容器Ｂの在荷を検出する在荷検出部（図示省略）が設けられており、各コンベヤユニットＣｕの在荷検出部の夫々は、コンベヤ制御部Ｈ１に当該コンベヤユニットＣｕにおける容器Ｂの在荷の有無を送信するようになっている。
【００４４】
本実施形態においては、コンベヤ制御部Ｈ１が搬送制御部に相当し、上記コンベヤユニットＣｕとコンベヤ制御部Ｈ１とを備えて搬送装置が構成される。すなわち、搬送装置は、ローラ駆動モータＬを制御するコンベヤ制御部Ｈ１を備えている。
また、供給制御部Ｈ２には、検出センサＪの検出結果が入力されるように構成されるとともに、シリンダＭにおけるシリンダロッド１５の伸縮作動、及び、供給切換弁Ｋの開閉を制御するようになっている。供給制御部Ｈ２は、ノズルＮの接続状態と非接続状態との切換え、及び、充填用気体供給源の供給状態と供給停止状態との切換えを制御するようになっている。
【００４５】
そして、供給制御部Ｈ２は、検出センサＪによって検出された容器Ｂ内の不活性気体の状態が、容器Ｂへの不活性気体の供給が必要な供給必要状態であるか、容器Ｂへの不活性気体の供給が不要な供給不要状態であるかを判別し、かつ、供給必要状態であると判別した場合には、ノズルＮを接続状態に切換え又は維持して、充填用気体供給源を供給状態に切換え又は維持し、供給不要状態であると判別した場合には、充填用気体供給源を供給停止状態に切換え又は維持するように構成されている。
【００４６】
天井搬送車制御部Ｈ３は、天井搬送車Ｖにおける走行部Ｖ１の走行、本体部Ｖ２における昇降体Ｖｓの昇降作動、及び、昇降体Ｖｓに装備される把持部Ｖｈの把持作動を制御するようになっている。
具体的には、天井搬送車制御部Ｈ３は、上位管理装置（図示省略）からの指令に基づいて、搬送元である第１装置Ｅ１の搬出部Ｅｐ１に対応する走行位置まで天井搬送車Ｖを走行させ、その位置で搬出入ポートＥｐに対応する高さまで昇降体Ｖｓを下降させて把持部Ｖｈに容器ＢのフランジＢｆを把持させる。その後、把持部Ｖｈが容器ＢのフランジＢｆを把持した状態で昇降体Ｖｓを搬送用高さに上昇させ、搬送先であるバッファコンベヤＣ１１に対応する位置まで天井搬送車Ｖを走行させる。そして、その位置で昇降体Ｖｓを下降させて容器ＢをバッファコンベヤＣ１１に載置する。
【００４７】
搬送先の装置Ｅが異なる建屋（上記の場合は第２建屋Ｆ２）に存在する場合には、容器Ｂは、バッファコンベヤＣ１１，合流コンベヤＣ１ｇ、第１棟間コンベヤＣｗ１、分岐コンベヤＣ１ｂ、及びバッファコンベヤＣ１２の順に搬送される。逆に、搬送元の装置Ｅが第２建屋Ｆ２に存在し、搬送先の装置Ｅが第１建屋Ｆ１に存在する場合には、容器Ｂは、バッファコンベヤＣ２２，合流コンベヤＣ２ｇ、第２棟間コンベヤＣｗ２、分岐コンベヤＣ２ｂ、及びバッファコンベヤＣ２１の順に搬送される。
なお、ここでは搬送元の装置Ｅと搬送先の装置Ｅとが異なる建屋に存在する場合を説明したが、搬送元の装置Ｅと搬送先の装置Ｅとが同じ建屋に存在していてもよい。
【００４８】
次に、図８のフローチャートに基づいて本実施形態の容器搬送設備の制御形態を説明する。コンベヤ制御部Ｈ１は、在荷検出部の検出情報に基づいて、コンベヤユニットＣｕにおいて容器Ｂが滞留しているか否かを判別する（＃１）。ここで、「容器Ｂが滞留する」とは、同一の容器Ｂが同一のコンベヤユニットＣｕに所定時間（例えば３０秒）以上支持されている状態をいう。
【００４９】
コンベヤ制御部Ｈ１は、容器Ｂの滞留が発生していると判別する（＃１：Ｙ）とその旨を供給制御部Ｈ２に通知する。供給制御部Ｈ２は、シリンダＭの作動によってノズルＮを上昇移動させてノズルＮを接続状態に切換える（＃２）とともに、容器Ｂから第２通流管Ｇｔ２を通して流出した容器Ｂ内の気体における不活性気体の濃度を検出センサＪにて検出し（＃３）、検出センサＪによって検出された容器内の不活性気体の状態が、容器Ｂへの不活性気体の供給が必要な供給必要状態であるか、容器Ｂへの不活性気体の供給が不要な供給不要状態であるかを判別する（＃４）。＃４で供給必要状態と判別すると、供給制御部Ｈ２は、供給切換弁Ｋを開状態とし（＃５）、第２通流管Ｇｔ２に接続された排気ポンプを作動させて不活性気体を容器Ｂに供給する。
【００５０】
なお、＃１にて容器Ｂが滞留していないと判別された場合、又は、＃４にて供給不要状態であると判別された場合は、当該フローに係る制御を終了する。制御部Ｈは、このような制御を各コンベヤユニットＣｕ毎に行うとともに、フローチャートに係る制御を終了した場合、所定の時間間隔（例えば１秒）で再実行する。
【００５１】
本実施形態では、上記のような構成と制御によって、コンベヤＣでの搬送経路の途中に滞留が発生し、第１装置Ｅ１から第２装置Ｅ２までの搬送に時間がかかった場合であっても、容器Ｂの内部の不活性気体の濃度が低下して容器Ｂに収容している半導体基板Ｕの汚損や劣化を抑制することができる。
【００５２】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の容器搬送設備を半導体製造設備に適用した第２実施形態を、図９及び図１０に基づいて説明するが、第２実施形態では、コンベヤユニットＣｕの形態が異なる点以外は第１実施形態と同じ構成であるので、以下、第１実施形態と構成の異なるコンベヤユニットＣｕのみを説明する。
【００５３】
第２実施形態におけるコンベヤユニットＣｕ（コンベヤユニットＣｕ２）は、図９に示すように、床部に取り付けられることで搬送経路に沿う方向での位置が固定された基部２１と、基部２１に回転自在に固定されるローラ２２と、基部２１に固定されるシリンダ支持部２３と、シリンダ支持部２３に固定されるシリンダＭと、不活性気体供給部のノズルＮを支持するノズル支持体２６と、を備えている。シリンダＭは、シリンダ支持部２３に取付けられるシリンダ本体２４と、上下方向に伸縮又は出退移動可能にシリンダ本体２４に支持されるシリンダロッド２５とから構成され、電磁気的又は気体圧力等の駆動力によりシリンダロッド２５が上下に移動操作される。また、ノズル支持体２６とはシリンダロッド２５の上端に取付けられており、シリンダロッド２５の移動操作に伴って上下に移動操作される。ノズルＮはノズル支持体２６に相対位置を固定した状態で支持されており、シリンダロッド２５の移動操作に伴ってノズルＮが上下方向に移動操作されることになる。
【００５４】
ノズルＮは、上記のようなシリンダＭにおけるシリンダロッド２５の伸縮作動によって、搬送経路を移動する容器Ｂの移動領域の外部に退避する非接続状態と、移動領域の内部に侵入して容器Ｂの通流孔形成部Ｂｇに接続される接続状態とに切換え自在に構成されている。
【００５５】
ローラ２２は、基部２１に固定されることで基部２１に対する搬送経路に沿う方向の位置が固定されたローラ駆動モータＬによって駆動されるようになっている。そして、ローラ２２が容器Ｂの底部Ｂｂに接触した状態でローラ駆動モータＬを駆動することによって、容器Ｂが搬送経路に沿う推進力を付与されるようになっている。
【００５６】
また、本実施形態のコンベヤユニットＣｕ２は、図１０に示すように、１つのユニットの搬送方向の長さが、容器Ｂの搬送方向における長さの２倍以上（例えば５倍程度）に設定されている。ローラ２２は、当該コンベヤユニットＣｕ２の搬送方向の全長に亘って並べて設けられている。
【００５７】
シリンダ支持部２３の下部には、走行車輪２８を回転駆動する車輪駆動モータ２９が設けられている。基部２１には、搬送経路に沿って、走行車輪２８を転動可能に支持する走行レール２７が取り付けられている。
車輪駆動モータ２９は、ローラ２２による容器Ｂの移動に同期させてシリンダ支持部２３を移動させるようにコンベヤ制御部Ｈ１によって制御される。したがって、図９に示すように、容器Ｂを移動させながら不活性気体を当該容器Ｂに供給可能となる。
【００５８】
本実施形態においては、走行車輪２８と車輪駆動モータ２９を備えて接続部移動機構Ｄが構成されている。すなわち、搬送装置によって搬送されている容器Ｂの搬送経路に沿う方向での移動に同期させて、搬送経路に沿ってノズルＮを移動させる接続部移動機構Ｄを備えている。
【００５９】
接続部移動機構Ｄは、コンベヤ制御部Ｈ１によって制御されているローラ駆動モータＬの回転量又はローラ２２の回転量に基づいて算出される容器Ｂの移動量に基づいて、同じ移動量だけ追従して移動するようにコンベヤ制御部Ｈ１に制御されるように構成されている。
このような構成により、容器Ｂを搬送経路に沿って移動させているときにおいても、不活性気体を容器Ｂの内部に供給することができる。
【００６０】
〔別実施形態〕
（１）上記第１及び第２実施形態では、第１装置及び第２装置として、保管庫Ｓ１、Ｓ２及び処理装置Ｐ１、Ｐ２を備える構成としたが、第１装置及び第２装置として、保管庫のみ、又は、処理装置のみを備える構成としてもよい。また、上記第１及び第２実施形態では、処理装置Ｐ１、Ｐ２として、フォトリソグラフィ処理や洗浄処理を行う装置を例示したが、これら以外の処理、例えば、現像処理やスパッタリング処理等各種処理を行う装置に適用してもよい。
【００６１】
（２）上記第１及び第２実施形態では、搬送装置として、基部に対する搬送経路に沿う方向の位置が固定された状態で基部に支持された駆動部を備えるコンベヤを例示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、基部として走行レールを備え、当該走行レールに沿って走行可能な天井搬送車を備え、接触部として、当該天井搬送車において容器を把持する把持部を備える構成としてもよい。
【００６２】
（３）収容する物品として半導体基板を、容器としてＦＯＵＰやＦＯＳＢを例示したが、収容する物品は半導体基板以外の物品（例えばレチクルやガラス基板等）としてもよい。又、収容する物品を食品や農産物等としてもよい。この場合においては、充填用気体として、容器内の食品や農産物の品質低下を抑制するための窒素、炭酸ガス、酸素、低温ガス等の食品用ガスを用いる。
【００６３】
（４）上記第１及び第２実施形態では、回転体を、基部１１に回転自在に支持されてローラ駆動モータＬによって回転駆動されるローラ１２とする構成を説明したが、このような構成に代えて、容器Ｂの底部Ｂｂをベルト又はチェーン等の巻回体を回転体として用いてもよい。この場合、駆動部は、巻回体において搬送経路に沿う部分を搬送経路に沿って移動させるモータ等とすることが考えられる。また、上記実施形態では、接触部を回転体とする構成を例示したが、例えば、搬送経路に沿って移動自在に基部１１に支持されて駆動部によって移動される支持体としてもよい。このような支持体の例として、例えば、基部１１に、搬送経路に沿って各別にＯＮ／ＯＦＦ可能な複数の電磁石を固定し、基部１１に対して搬送経路に沿う方向に移動可能な支持体（支持台車等）における上記電磁石の磁力の作用範囲に磁性体を取付け、搬送方向に向けて電磁石を順次ＯＮにすることで支持体に取り付けた磁性体に対し搬送方向に吸着作用箇所を移動させて推進力を伝達する構成とすることなどが考えられる。
【００６４】
（５）上記第１実施形態では、１つのコンベヤユニットＣｕについて、単位供給部が１つのみ設けられる構成を例示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、図１１に示すように、１つのコンベヤユニットＣｕ（コンベヤユニットＣｕ３）について単位供給部を２つ設ける構成としたり、あるいは３つ以上設ける構成としてもよい。
【００６５】
（６）上記第１及び第２実施形態では、検出部として、容器Ｂ内の気体における不活性気体の濃度を検出する検出センサＪを備える構成を例示したが、このような構成に限定されるものではない。例えば、不活性気体の濃度と不活性気体を供給してからの時間とに相関関係があることを前提として、前回容器Ｂ内に不活性気体を供給した時刻を備え、当該データベースに記録された時刻からの経過時間に基づいて容器Ｂ内の不活性気体の状態を推定する状態推定部を検出部として備える構成としてもよい。この場合、「検出」という語には、コンピュータ等での演算によって推定した不活性気体の状態を判別することを含む。この場合、供給制御部Ｈ２は、上記状態推定部によって推定した気体の状態に基づいて供給必要状態であると判別するまでの間、ノズルＮを非接続状態に維持しておくことができる。そして、供給制御部Ｈ２が供給必要状態と判別したときにノズルＮを接続状態に切り換える。
【００６６】
（７）上記第１及び第２実施形態では、複数のノズルＮが、搬送経路に沿って分散して設けられる構成を例示したが、搬送経路に沿って単一のノズルＮを設ける構成としてもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１１、２１          基部
１２、２２          回転体
Ｂ                  容器
Ｂｇ                通流孔形成部
Ｂｈ                通流孔
Ｃ                  コンベヤ（搬送装置）
Ｃｕ                コンベヤユニット（搬送装置）
Ｄ                  接続部移動機構
Ｅ１                第１装置
Ｅ２                第２装置
Ｅｐ１              搬出部
Ｅｐ２              搬入部
Ｇ                  気体供給源（充填用気体供給源）
Ｋ                  供給切換弁（充填用気体供給源）
Ｈ１                コンベヤ制御部（搬送制御部）
Ｈ２                供給制御部
Ｊ                  検出センサ（検出部）
Ｎ                  ノズル（接続部）
Ｕ                  半導体基板（物品）
【図１】
0006455404.tif 000002
【図２】
0006455404.tif 000003
【図３】
0006455404.tif 000004
【図４】
0006455404.tif 000005
【図５】
0006455404.tif 000006
【図６】
0006455404.tif 000007
【図７】
0006455404.tif 000008
【図８】
0006455404.tif 000009
【図９】
0006455404.tif 000010
【図１０】
0006455404.tif 000011
【図１１】
0006455404.tif 000012