(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
底面から上部へ向かって螺旋状に延びる搬送トラックが周壁に沿って形成されている部品収容容器と、可動ブロックにねじり振動を付与する加振装置とを備え、前記可動ブロックに装着された前記部品収容容器に前記加振装置によって捩じり振動を付与して、前記部品収容容器内の部品を前記搬送トラックに沿って搬送し、外部に供給する部品供給装置であって、
前記部品収容容器の下面及び前記可動ブロックの上面のうちの一方に、隆起して突出した支持部を設け、前記部品収容容器の前記可動ブロックへの装着時に、前記部品収容容器の下面及び前記可動ブロックの上面のうちの他方に形成された支持部当接面に前記支持部を当接させて前記支持部を介して前記可動ブロック上に前記部品収容容器が支持されるように構成し、
前記可動ブロックの上面に、前記支持部の内側に設けられ且つ環状の封止部材が取り付けられる環状の封止部材取付部と、前記封止部材取付部の内側に開口する吸引孔と、が形成され、前記封止部材取付部に取り付けられた前記封止部材が前記可動ブロックの上面から突出した高さより低くなるように前記支持部の高さが定められていると共に、前記部品収容容器の底部に環状の封止部材当接面が形成されており、前記封止部材を前記封止部材当接面に当接させた状態で前記吸引孔を通して吸引を行って前記部品収容容器の下面を真空吸着させることにより、前記部品収容容器を前記可動ブロックに装着することを特徴とする部品供給装置。
【請求項２】
前記搬送トラックが前記部品収容容器の上部において、部品を複数列に分岐させるための分岐トラックに接続されている、請求項１に記載の部品供給装置。
【請求項３】
前記支持部が少なくとも３か所に設けられている、請求項１又は請求項２に記載の部品供給装置。
【請求項４】
前記封止部材当接面は前記部品収容容器の下面から突出して環状に延びる隆起部の先端面によって形成されている、請求項１から請求項３の何れか一項に記載の部品供給装置。
【請求項５】
前記支持部当接面が前記部品収容容器の下面に形成されており、前記支持部当接面と前記封止部材当接面が同一の面によって形成されている、請求項１から請求項４の何れか一項に記載の部品供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加振装置によって部品収容容器に捩じり振動を与えて、部品収容容器内に収容される部品を搬送し、外部に供給する部品供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品を予め定められた姿勢で整列させて次工程に供給するために、部品供給装置が使用されてきた。このような部品供給装置としては、底面から上部へ向かって螺旋状に延びる搬送トラックが内部に形成された概略すり鉢形状又は扁平円筒形状の部品収容容器（ボウル）の底面の中心部を加振装置の可動ブロックにボルトによって固定した振動式部品供給装置が良く知られている（例えば特許文献１）。
【０００３】
振動式部品供給装置は、加振装置の可動ブロックを介して部品収容容器に捩じり振動を付与することにより、部品収容容器内に収容された部品を搬送トラックに沿って底面から上部へ向かって搬送し、アタッチメントなどを用いて部品を搬送しながら予め定められた姿勢に整えて、外部へ供給する。また、部品収容容器の下面は可動ブロックの上面と面で接触するようになっており、接触面及びボルトを通して可動ブロックの捩じり振動が部品収容容器に伝達されるようになっていることが一般的である。
【０００４】
加振装置によって付与される捩じり振動は、回転軸線周りの振動成分と回転軸線に沿った振動成分とを含んでおり、このような捩じり振動を可動ブロックに付与する方式としては、電磁石を用いた電磁式のほか、圧電素子を利用したピエゾ式などがある。また、搬送トラックは、概略ボウル形状の部品収容容器の周壁に螺旋状に延びる段差を形成することによって構成してもよく、ボルトなどの締結具や溶接などで内周壁に螺旋状に延びる搬送路形成部材を固定することによって構成してもよい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１６７４５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような部品供給装置は、医薬品や食料品などの分野でも使用されている。これらの分野での使用の際には、部品が接する部品収容容器の洗浄を容易にするなど衛生面への配慮が必要となる。例えば、部品収容容器など部品が接触する部位は、洗浄を容易とするために、加振装置からの取り外しを容易にすると共に、さびなどが生じにくいステンレスなどの材料によって形成されることが一般的である。また、部品収容容器に穴が設けられていると、洗浄の際に穴内に洗浄液等が入り込んで残留することがあるほか、乾燥までに時間がかかって雑菌の繁殖の原因となり得る。このため、医薬品や食料品分野で部品供給装置を使用する際には、搬送路形成部材と部品収容容器の内周壁との固定はピンホールが生じないように接合部の全面的な溶接によって行われることが一般的となっている。しかしながら、部品収容容器の可動ブロックへの装着は、依然として、ボルトなどの締結具を使用して行われており、締結具を挿通させるための穴に洗浄液などが残留し得るという問題がある。
【０００７】
よって、本発明の目的は、従来技術に存する課題を解決して、ボルトなどの締結具のための穴を設ける必要性を低減させることができる部品収容容器を備えた部品供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的に鑑み、本発明は、底面から上部へ向かって螺旋状に延びる搬送トラックが周壁に沿って形成されている部品収容容器と、可動ブロックにねじり振動を付与する加振装置とを備え、前記可動ブロックに装着された前記部品収容容器に前記加振装置によって捩じり振動を付与して、前記部品収容容器内の部品を前記搬送トラックに沿って搬送し、外部に供給する部品供給装置であって、前記部品収容容器の下面及び前記可動ブロックの上面のうちの一方に、隆起して突出した支持部を設け、前記部品収容容器の前記可動ブロックへの装着時に、前記部品収容容器の下面及び前記可動ブロックの上面のうちの他方に形成された支持部当接面に前記支持部を当接させて前記支持部を介して前記可動ブロック上に前記部品収容容器が支持されるように構成し、前記可動ブロックの上面に、前記支持部の内側に設けられ且つ環状の封止部材が取り付けられる環状の封止部材取付部と、前記封止部材取付部の内側に開口する吸引孔と、が形成され、前記封止部材取付部に取り付けられた前記封止部材が前記可動ブロックの上面から突出した高さより低くなるように前記支持部の高さが定められていると共に、前記部品収容容器の底部に環状の封止部材当接面が形成されており、前記封止部材を前記封止部材当接面に当接させた状態で前記吸引孔を通して吸引を行って前記部品収容容器の下面を真空吸着させることにより、前記部品収容容器を前記可動ブロックに装着するようにした部品供給装置を提供する。
【０００９】
上記部品供給装置では、加振装置の可動ブロックに部品収容容器を装着するときに、可動ブロックの上面に取り付けられた封止部材と部品収容容器の底部に形成された封止部材当接部とを当接させた状態で可動ブロックに形成された吸引孔を通して吸引を行うことによって、部品収容容器の下面と封止部材と可動ブロックの上面とによって囲まれた吸引空間を陰圧にすることができる。これにより、部品収容容器の下面を可動ブロックに真空吸着させ、ボルト等の締結具を用いることなく部品収容容器を可動ブロックにロックすることができる。また、吸引空間を形成するための封止部材は、加振装置の可動ブロック側に取り付けられているので、部品収容容器の洗浄が容易となる。また、部品収容容器の可動ブロックへの装着時に支持部当接面に支持部を当接させるように構成することにより、可動ブロックの捩じり振動が、封止部材及び封止部材当接面を通した伝達に加えて、支持部及び支持部当接面を通して部品収容容器に伝達されるようになる。
【００１０】
前記支持部が少なくとも３か所に設けられていることがさらに好ましい。
【００１１】
一つの実施形態として、前記搬送トラックが前記部品収容容器の上部において、部品を複数列に分岐させるための分岐トラックに接続されていてもよい。
【００１２】
また、前記封止部材当接面は前記部品収容容器の下面から突出して環状に延びる隆起部の先端面によって形成されていることが好ましい。
【００１３】
前記支持部当接面が前記収容容器の下面に形成されており、前記支持部当接面と前記封止部材当接面が同一の面によって形成されていてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、真空吸引を用いることにより、ボルト等の締結具を用いることなく部品収容容器を可動ブロックにロックすることができる。したがって、部品収容容器に可動ブロックへの装着のための締結具穴を設ける必要がなくなり、洗浄性や衛生性が向上される。また、吸引空間を形成するための封止部材が可動ブロック側に取り付けられているので、洗浄が容易となる。さらに、部品収容容器の下面及び可動ブロックの上面のうちの一方に設けられた隆起した支持部と他方に設けられた支持部当接面とが当接するようになっていれば、可動ブロックの捩じり振動が、封止部材及び封止部材当接面を通した伝達に加えて、支持部及び支持部当接面を通して部品収容容器に伝達され、部品収容容器に効率的に捩じり振動を伝達させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る部品供給装置を示す部分破断側面図である。
【図２】図１に示されている部品供給装置の部分断面図である。
【図３】図１に示されている部品供給装置の部品収容容器の平面図である。
【図４】図３に示されている部品収容容器の底面図である。
【図５】図１に示されている部品供給装置の加振装置の可動ブロックの平面図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係る部品供給装置の部分断面図である。
【図７】本発明の別の実施形態に係る部品供給装置の部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明による部品供給装置の実施の形態を説明する。
最初に、図１から図５を参照して、部品供給装置１１の全体構成を説明する。部品供給装置１１は、捩じり振動を付与する加振装置１３と、部品を収容する部品収容容器（ボウル）１５とを備え、加振装置１３によって部品収容容器１５に捩じり振動を付与して部品収容容器１５内の部品を搬送し、外部に供給する。本実施形態の部品供給装置１１は、衛生面への配慮が要求される医薬品や食料品の用途に好適に使用される。
【００１７】
加振装置１３は、部品収容容器１５に捩じり振動を付与することができれば、電磁石を用いた電磁式の機構や圧電素子を用いたピエゾ式の機構など任意の機構を採用することができる。本実施形態では、加振装置１３は、電磁式の機構を採用しており、図１に示されているように、ベースブロック１７と、可動ブロック１９と、複数の傾斜板バネ２１と、電磁石２３とを備える。ベースブロック１７及び可動ブロック１９は金属材料によって形成されている。
【００１８】
ベースブロック１７は、防振材２５を介して床面上に配置される。可動ブロック１９は、ベースブロック１７の同一の円上に接線方向側へ所定の角度だけ傾斜させて等角度間隔で配置された複数（本実施形態では、四つ）の傾斜板バネ２１によって支持されている。また、ベースブロック１７上には電磁石２３が設けられており、可動ブロック１９の下面と僅かに離間して対向して配置されている。なお、可動ブロック１９は、少なくとも電磁石２３と対向する部分において磁性材料から形成されており、電磁石２３によって吸引可能となっている。
【００１９】
このような配置の加振装置１３において、電磁石２３に交流を供給すると、電磁石２３に対する可動ブロック１９の吸引と傾斜板バネ２１による反発とを繰り返す。また、可動ブロック１９は、傾斜板バネ２１によって拘束されているため、電磁石２３による吸引と傾斜板バネ２１による反発とにより繰り返される可動ブロック１９の上下方向の往復動の際に、回転を伴う。この結果、可動ブロック１９は、回転方向成分と上下方向成分とを含む捩じり振動を行い、可動ブロック１９に装着された部品収容容器１５に捩じり振動を付与する。
【００２０】
可動ブロック１９の上面１９ａには、環状溝形状の封止部材取付部２７が形成されており、弾性材料によって形成されたＯリングなどの封止部材２９が封止部材取付部２７に取り付けられる。図示されている実施形態では、同心の二つの環状溝形状の封止部材取付部２７が形成されているが、一つ又は三つ以上の環状溝形状の封止部材取付部２７を設けるようにしてもよい。また、可動ブロック１９には、空気を吸引のための吸引孔１９ｂが形成されており、環状溝形状の封止部材取付部２７の内側に開口している。さらに、可動ブロック１９の上面１９ａには、隆起して突出した支持部３１が設けられている。支持部３１は、可動ブロック１９上に部品収容容器１５を装着したときに部品収容容器１５の下面１５ａに形成された後述の支持部当接面４３に当接し、支持部３１を介して可動ブロック１９上に部品収容容器１５が支持されるようになっている。支持部３１は、金属材料から形成されており、可動ブロック１９と一体的に形成されていてもよく、別体の金属製部材を可動ブロック１９に溶接等により接合して形成してもよい。図示されている実施形態では、可動ブロック１９の上面１９ａに三つの支持部３１が設けられている。実施形態に示されているように三つの支持部３１を支持部当接面４３に当接させる場合、全ての支持部３１が支持部当接面４３に同時に当接して、支持部３１と支持部当接面４３との間に隙間が生じないため、ガタツキが生じなくなる利点を有する。しかしながら、四つ以上の支持部３１が可動ブロック１９の上面１９ａに設けられていてもよい。また、支持部３１を設ける場所は特に限定されるものではないが、図示されている実施形態のように、環状溝形状の封止部材取付部２７の外側に設けることが好ましく、可動ブロック１９の外周部に設けられることがさらに好ましい。なお、支持部３１の高さは、封止部材２９の圧潰代を確保するために、封止部材２９の高さ（詳細には、封止部材取付部２７に取り付けられた封止部材２９が可動ブロック１９の上面１９ａから突出した高さ）よりも低くなるように形成されていることが好ましい。
【００２１】
部品収容容器１５は、ステンレスなどの傷がつきにくく且つ錆なども生じにくい材料によって形成されている。部品収容容器１５の形状としては、すり鉢状（ボウル形状）、有底円筒形状、円錐形状など様々な形状を採用することができる。本実施形態では、部品収容容器１５は、有底円筒形状を有しており、その内部の底面１５ａは中央部が外周部よりも高い概略円錐面状に形成されている。これにより、部品収容容器１５に収容されている部品が外周側に移動しやすくしている。
【００２２】
部品収容容器１５の内部には、部品収容容器１５の内周壁に沿って底面１５ａから上部へ向かって中心軸線周りに螺旋状に延びる搬送トラック３３が形成されており、搬送トラック３３の支持面３３ａ上を部品が移動できるようになっている。搬送トラック３３の支持面３３ａは、図２に示されているように、内周側が外周側よりも高くなるように形成されている。これにより、搬送トラック３３上を移動する部品が支持面３３ａから脱落しにくくしている。搬送トラック３３は、例えば、螺旋状に延びる帯状の搬送路形成部材の外周側縁部を部品収容容器１５の内周壁にピンホールなどが生じないように全面的に溶接することによって形成される。部品収容容器１５としてすり鉢形状のものが使用されている場合には、搬送トラック３３は、いわゆる段付きボウルのように、部品収容容器１５の周壁に、下部から上部へ向かうにつれて中心軸線からの距離が長くなるように螺旋状に延びる段差を形成することによって形成することも可能である。部品の脱落防止のために、搬送トラック３３の内周側縁部に概略垂直方向に立設された側壁を形成してもよい。搬送トラック３３も部品収容容器１５と同様に傷がつきにくく且つ錆なども生じにくステンレスなどの材料から形成されていることが好ましい。
【００２３】
搬送トラック３３は、図３に示されているように、上部終端部において、部品収容容器１５の外周壁に沿って設けられた搬出トラック３５に接続されており、搬出トラック３５を通じて部品収容容器１５から外部に部品を供給する。搬出トラック３５には、さらに、搬送される部品を複数列に分岐させるための分岐トラック３７を接続することも可能である。このような分岐トラック３７を設けることによって、複数の外部装置（図示せず）に同時に部品を供給することが可能となる。分岐トラック３７は、例えば、支持面３７ａ上に分離壁３９を立設することによって形成することができる。この場合、分離壁３９によって仕切られて形成された各レーンに、分岐トラックの入口における部品の幅方向の位置に応じて部品が分配される。
【００２４】
部品収容容器１５の下面１５ｂには、環状の封止部材当接面４１と、支持部当接面４３が形成されており、加振装置１３の可動ブロック１９上に部品収容容器１５を載置したときに、可動ブロック１９上に取り付けられた封止部材２９が封止部材当接面４１に当接すると共に可動ブロック１９上に設けられた支持部３１が支持部当接面４３に当接するようになっている。図示されている実施形態では、封止部材当接面４１は、部品収容容器１５の下面１５ｂから可動ブロック１９へ向かって下方に突出して環状に延びる隆起部４５の先端面によって形成されている。また、支持部当接面４３は、部品収容容器１５の下面１５ａの外周部から可動ブロック１９へ向かって下方に突出して環状に延びるスカート部４７の先端面によって形成されている。
【００２５】
このように環状の隆起部４５の先端面に封止部材当接面４１を設ければ、封止部材２９が封止部材当接面４１と当接して圧潰し、封止部材当接面４１と可動ブロック１９の上面１９ａとが接触する状態になってしまった場合でも、環状の隆起部４５によって取り囲まれる空間によって吸引孔１９ｂから空気を吸引される吸引空間を確保することができ、部品収容容器１５を確実に真空吸着することができる。また、環状のスカート部４７の先端面に支持部当接面４３を設ければ、部品収容容器１５の装着の際の向きが制限されなくなる。
【００２６】
次に、図１から図５に示されている実施形態の部品供給装置１１の動作を説明する。
まず、部品収容容器１５の環状の封止部材当接面４１が加振装置１３の可動ブロック１９の環状の封止部材２９に当接するように、可動ブロック１９上に部品収容容器１５を載置する。なお、可動ブロック１９の支持部３１の高さ及びスカート部４７の長さは、部品収容容器１５を可動ブロック１９上に載置したときに可動ブロック１９の支持部３１が部品収容容器１５の支持部当接面４３に当接しないように定められているものとする。次に、吸引孔１９ｂを通して吸引を行うと、可動ブロック１９の上面１９ａと封止部材２９と部品収容容器１５の隆起部４５及び下面１５ｂとによって取り囲まれた空間（以下、吸引空間と記載する。）から空気が吸引されて陰圧が生じる。この陰圧が部品収容容器１５の下面１５ｂに作用して、部品収容容器１５の下面１５ｂが可動ブロック１９に吸着され、可動ブロック１９の支持部が部品収容容器１５のスカート部４７の先端麺すなわち支持部当接面４３に当接するまで部品収容容器１５が可動ブロック１９に引き付けられてロックされる。このとき、封止部材２９が圧潰して部品収容容器１５の封止部材圧接面４１と可動ブロック１９の上面１９ａとの間をさらに確実に封止する。また、可動ブロック１９の支持部３１が部品収容容器１５のスカート部４７の先端面すなわち支持部当接面４３に当接することによって、封止部材２９の過度の圧潰が防止され、封止部材２９の寿命を長くする効果も奏する。
【００２７】
この状態で、加振装置１３を作動させ、電磁石２３に交流電流を供給すると、電磁石２３による可動ブロック１９の吸引と傾斜板バネ２１による反発とを繰り返して、可動ブロック１９が回転を伴いながら上下動する捩じり振動を生じる。このようにして生じた捩じり振動が、部品収容容器１５と可動ブロック１９との接触部を通じて可動ブロック１９に装着された部品収容容器１５に伝達される。これにより、部品収容容器１５内の部品が搬送トラック３３に沿って底部から上部へ向かって搬送され、さらに搬出トラック３５及び分岐トラック３７を経て複数列で外部に供給される。
【００２８】
このように、部品収容容器１５は、真空吸着により可動ブロック１９に装着されるので、可動ブロック１９への固定のためのボルトを通過させるボルト穴を部品収容容器１５に設ける必要がない。したがって、部品収容容器１５の洗浄の際に発生し得る洗浄液の残留の問題を解消することができる。また、封止部材２９が可動ブロック１９側に設けられており、封止部材２９の耐薬品性などを考慮する必要なく洗浄を行うことができるので、部品収容容器１５の洗浄が容易となる。よって、部品供給装置１１は、衛生面での考慮が求められる医薬品分野や食品分野に好適となる。
【００２９】
さらに、真空吸着により部品収容容器１５を可動ブロック１９にロックする場合、支持部３１及び支持部当接面４３が設けられていなければ、部品収容容器１５と可動ブロック１９とは、封止部材２９を介して接触することになる。しかしながら、封止部材２９は吸引空間を封止するためにゴム材料などの弾性材料によって形成されており、可動ブロック１９の捩じり振動が減衰されて部品収容容器１５に伝達され、十分な搬送力を得られなくなる可能性がある。また、十分な搬送力を得ようと加振装置１３の捩じり振動を強くすると、上下方向の振動成分が強くなって部品の飛び跳ねが生じ、部品の整列に影響を与える恐れがある。これに対して、部品供給装置１１では、支持部３１及び支持部当接面４３が設けられており、部品収容容器１５が真空吸引により可動ブロック１９に装着されると、可動ブロック１９の支持部３１が部品収容容器１５の支持部当接面４３に当接する。したがって、可動ブロック１９の捩じり振動は、封止部材２９を通してだけでなく、剛性が高く振動の減衰が生じにくい支持部３１と支持部当接面４３との接触部を通しても部品収容容器１５に伝達されるようになり、効率的な振動の伝達が可能となる。
【００３０】
特に、部品の飛び跳ねを抑制しつつ、強い搬送力を実現したい場合に、部品供給装置１１は好適である。例えば、部品供給装置１１から外部へ複数列で部品を供給することが所望される場合、搬送力を高めるために、より強い捩じり振動を可動ブロック１９から部品収容容器１５に伝達させる必要が生じる。したがって、このような場合に、部品の飛び跳ねを抑制しつつ強い搬送力を提供できる部品供給装置１１は有利となる。
【００３１】
次に、図６を参照して、本発明の他の実施形態の部品供給装置１１´について説明する。なお、図６では、図１から図５に示されている実施形態の部品供給装置１１と同じ機能を果たす構成要素には共通の参照符号を付している。
【００３２】
本実施形態の部品供給装置１１´は、図１から図５に示されている実施形態の部品供給装置１１では支持部３１が可動ブロック１９の上面１９ａに設けられ且つ支持部当接面４３が部品収容容器１５の下面１５ｂから延びるスカート部４７の先端部に形成されているのに対して、支持部３１が部品収容容器１５の下面１５ｂに形成される複数の隆起部によって形成され且つ支持部当接面４３が可動ブロック１９の上面１９ａの一部として形成されている点において異なっている。その他の構造については、本実施形態の部品供給装置１１´と図１から図５に示されている実施形態の部品供給装置１１は同様であるので、ここでは説明を省略する。本実施形態の部品供給装置１１´は、可動ブロック１９への部品収容容器１５の装着が真空吸着によってなされる点、封止部材２９が可動ブロック１９側に取り付けられる点、部品収容容器１５が可動ブロック１９上に装着されたときに支持部３１と支持部当接面４３とが当接する点において、部品供給装置１１と共通しており、部品供給装置１１の動作と同様の動作を行い、同様の効果が得られることは分かるであろう。したがって、部品供給装置１１´の動作及び効果の説明はここでは省略する。
【００３３】
以上、図示されている実施形態を参照して、本発明の部品供給装置１１、１１´を説明したが、本発明は図示されている実施形態に限定されるものではない。本発明の部品供給装置１１、１１´は、部品収容容器１５の下面１５ｂ及び可動ブロック１９の上面１９ａうちの一方にそこから突出する支持部３１が形成されており、部品収容容器１５を可動ブロック１９に装着したときに支持部３１が部品収容容器１５の下面１５ｂ及び可動ブロック１９の上面１９ａのうちの他方の一部に当接するようになっていればよい。例えば、可動ブロック１９の上面１９ａに突出する支持部３１を形成し、支持部当接面４３を部品収容容器１５の下面１５ｂの一部として形成してもよい。また、可動ブロック１９の上面１９ａに突出する支持部３１を形成し、図７に示されているように、部品収容容器１５の下面１５ｂに支持部当接面と４３封止部材当接面４１とを一体的に形成するようにしてもよい。また、図示されている実施形態では、分岐トラック３７が搬出トラック３５の下流側に接続されているが、搬出トラック３５の上流側や搬送トラック３３の途中に設けることも可能である。
【符号の説明】
【００３４】
１１、１１´    部品供給装置
１３    加振装置
１５    部品収容容器
１５ｂ    下面
１９    可動ブロック
１９ａ    上面
１９ｂ    吸引孔
２７    封止部材取付部
２９    封止部材
３１    支持部
３３    搬送トラック
３７    分岐トラック
４１    封止部材当接面
４３    支持部当接面
【図１】
0006529392.tif 000002
【図２】
0006529392.tif 000003
【図３】
0006529392.tif 000004
【図４】
0006529392.tif 000005
【図５】
0006529392.tif 000006
【図６】
0006529392.tif 000007
【図７】
0006529392.tif 000008