(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の水晶ウエハを形成する水晶ウエハ形成工程と、
前記水晶ウエハの外縁部に、前記水晶ウエハの外縁に沿って、少なくとも二行以上または二列以上あって、千鳥配列となるように、複数の凹部を設け、緩和部を形成する緩和部形成工程と、
前記水晶ウエハの所定の位置に、略直方体形状に形成しつつ主面の所定の一辺側で固定している水晶片部を形成する水晶片部形成工程と、
励振電極部、引出部および配線部となる金属パターンを前記水晶片部の所定の位置に形成する金属パターン形成工程と、
前記水晶ウエハに形成されている前記水晶片部の所定の一辺側を折り取り、または、切断することで、水晶片を個片化する個片化工程と、を備え、
前記緩和部形成工程において、平面透視した際に、前記緩和部の上面に設けられた前記凹部の底面と前記緩和部の下面に設けられた前記凹部の底面とが重ならない位置になるように設けられ、
前記緩和部形成工程において、
前記水晶ウエハを平面視して、前記凹部の開口部が、略半円形状となっており、半円の直線部の中心が前記水晶ウエハの外縁側に位置している水晶素子の製造方法。
【請求項２】
互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の水晶ウエハを形成する水晶ウエハ形成工程と、
前記水晶ウエハの外縁部に、前記水晶ウエハの外縁に沿って、少なくとも二行以上または二列以上あって、千鳥配列となるように、複数の凹部を設け、緩和部を形成する緩和部形成工程と、
前記水晶ウエハの所定の位置に、略直方体形状に形成しつつ主面の所定の一辺側で固定している水晶片部を形成する水晶片部形成工程と、
励振電極部、引出部および配線部となる金属パターンを前記水晶片部の所定の位置に形成する金属パターン形成工程と、
前記水晶ウエハに形成されている前記水晶片部の所定の一辺側を折り取り、または、切断することで、水晶片を個片化する個片化工程と、を備え、
前記緩和部形成工程において、平面透視した際に、前記緩和部の上面に設けられた前記凹部の底面と前記緩和部の下面に設けられた前記凹部の底面とが重ならない位置になるように設けられ、
前記緩和部形成工程において、
前記水晶ウエハを平面視して、前記凹部の開口部が、円弧形状となっており、円弧の円の中心が前記水晶ウエハの外縁側に位置している水晶素子の製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の水晶素子の製造方法であって、
前記緩和部形成工程において、
前記水晶ウエハを平面視して、
前記緩和部が、前記凹部の開口部が前記水晶ウエハの外縁側に設けられた第一緩和部と、前記第一緩和部より内側に設けられた第二緩和部とで構成されており、
前記第一緩和部に設けられた前記凹部の開口部において、
隣接する開口部の端部間の距離が、前記第二緩和部に設けられた前記凹部の開口部の端部間の距離より、短くなっている水晶素子の製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３に記載の水晶素子の製造方法であって、
前記緩和部形成工程において、
前記凹部の開口部の端部が丸みを帯びている水晶素子の製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４に記載の水晶素子の製造方法であって、
前記緩和部形成工程において、
前記凹部が前記水晶ウエハの上面および前記水晶ウエハの下面に形成されている水晶素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動通信機器等の電子機器で用いられる水晶デバイスに実装されている水晶素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶デバイスは、例えば、基板と蓋体とが接合され、基板と蓋体とで形成されている空間内に、基板上面に実装されている水晶片が気密封止された構造となっている。水晶片は、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術により、互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している水晶ウエハを用いて、水晶ウエハの所定の位置に、主面の所定の一辺側で固定された状態の水晶片部を形成した後、この水晶片部に所定の金属パターンを形成し、水晶片部の所定の一辺側を折り取り、または、切断し、個片化して、水晶素子を形成している。
【０００３】
このような水晶素子は、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって、水晶ウエハの所定の位置に所定の部分が固定された状態で水晶片部が形成された後、再び、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって、水晶片部の所定の位置に所定の金属パターンが形成された後、水晶片部の一部が折り取り、または、切断されることで形成されている。従って、水晶素子の製造方法では、ほとんどの工程で、水晶ウエハの状態で作業が行われている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて水晶片部に所定の金属パターンを形成する場合には、まず、水晶片部が形成されている水晶ウエハの表面上に金属膜を被着させ、その後、この金属膜上に感光性レジストを塗布する。次に、感光性レジストに所定のパターンで紫外光を照射させ、感光性レジストを所定のパターンで変質させ、現像する。その後、感光性レジストが残っていない部分の金属膜を剥離液に浸漬させて剥離させ、所定の金属パターンを形成している（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１１６４７号公報
【特許文献２】特開２０１３−２４３４５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の水晶素子の製造方法では、ほとんどの工程において、水晶ウエハの状態で作業が行われており、各工程時に水晶ウエハの端部が装置や水晶ウエハを支持するための搬送治具等に接触してしまい、接触した部分、具体的には、水晶ウエハの端部からひび割れが生じ、その結果、水晶片部が形成される水晶ウエハの中心部付近にまで、ひび割れが到達し、水晶ウエハが変形してしまう虞がある。従って、従来の水晶素子の製造方法では、水晶ウエハの中心部まで、ひび割れが到達している場合には、水晶ウエハが変形し水晶ウエハの平面度が確保されないまま、水晶片部に所定の金属パターンを形成することとなる。このため、従来の水晶素子の製造方法において、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって所定の金属パターンを形成する場合には、所定のパターンと異なる箇所に紫外光が照射され、所定のパターンと異なる金属パターンが水晶片部に形成され、等価直列抵抗値が高くなり、生産性が低下する虞がある。
【０００７】
また、蒸着技術またはスパッタリング技術を用いて所定の金属パターンを形成する場合には、ひび割れにより水晶ウエハが変形し水晶ウエハの平面度が確保されないまま所定の金属パターンを形成しようとすると、所定のパターンに被着させるための治具に載置することが困難となる。このため、従来の水晶素子の製造方法において、水晶片部に所定の金属パターンを被着させることが困難となり、生産性が低下する虞がある。例えば、部分的に細く、所定の金属パターンと異なる金属パターンが形成されると、等価直列抵抗値が高くなり、生産性が低下してしまう。
【０００８】
本発明では、水晶ウエハの端部に応力が加わりひび割れが生じた場合、ひび割れが水晶片部の形成される水晶ウエハの中心部まで到達することを軽減させることで、所定の位置に所定の金属パターンを形成し、生産性を向上させた水晶素子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前述した課題を解決するために、本発明に係る水晶素子の製造方法は、互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の水晶ウエハを形成する水晶ウエハ形成工程と、晶ウエハの外縁部に、前記水晶ウエハの外縁に沿って、少なくとも二行以上または二列以上あって、千鳥配列となるように、複数の凹部を設け、緩和部を形成する緩和部形成工程と、水晶ウエハの所定の位置に、略直方体形状に形成しつつ主面の所定の一辺側で固定している水晶片部を形成する水晶片部形成工程と、励振電極部、引出部および配線部となる金属パターンを水晶片部の所定の位置に形成する金属パターン形成工程と、水晶ウエハに形成されている水晶片部の所定の一辺側を折り取り、または、切断することで、水晶片を個片化する個片化工程と、を備え、緩和部形成工程において、平面透視した際に、緩和部の上面に設けられた凹部の底面と緩和部の下面に設けられた凹部の底面とが重ならない位置になるように設けられ、緩和部形成工程において、水晶ウエハを平面視して、凹部の開口部が、略半円形状となっており、半円の直線部の中心が水晶ウエハの外縁側に位置している。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る水晶素子の製造方法では、緩和部形成工程において、水晶ウエハの外周縁に沿って、千鳥配列状に複数の凹部からなる緩和部を形成し、平面透視した際に、前記緩
和部の上面に設けられた凹部の底面と緩和部の下面に設けられた前記凹部の底面とが重ならない位置になるように設けられ、緩和部形成工程において、水晶ウエハを平面視して、凹部の開口部が、略半円形状となっており、半円の直線部の中心が水晶ウエハの外縁側に位置していることによって、水晶ウエハの端部に応力が加わり水晶ウエハにひび割れが生じた場合であっても、凹部の開口部において応力を分散することで応力を緩和することができ、水晶片部が形成される水晶ウエハの中心部付近までひび割れが到達することを低減させることが可能となる。従って、本発明に係る水晶素子の製造方法では、ひび割れが原因で生じる水晶ウエハの歪みを軽減することができる。このため、本発明に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハに形成される水晶片部の所定の位置に所定の金属パターンを形成することが可能となり、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）は、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法で製造された水晶素子の平面図であり、（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面における断面図である。
【図２】第一実施形態に係る水晶素子の製造方法を示したフローチャート図である。
【図３】第一実施形態に係る水晶素子の製造方法における緩和部形成工程後の水晶ウエハの状態を示す平面図である。
【図４】図３のＢ部の部分拡大図である。
【図５】第一実施形態の変形例１に係る水晶素子の製造方法における緩和部形成工程後の水晶ウエハの状態を示す平面図である。
【図６】図６のＣ部における部分拡大図である。
【図７】第一実施形態の変形例２に係る水晶素子の製造方法における緩和部形成工程後の水晶への状態を示す平面図である。
【図８】図７のＤ部における部分断面図である。
【図９】第二実施形態に係る水晶素子の製造方法で製造された水晶素子の斜視図である。
【図１０】図９のＥ部における部分拡大図である。
【図１１】図１０のＦ−Ｆ断面における断面図である。
【図１２】図１０のＧ−Ｇ断面における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第一実施形態）
第一実施形態に係る水晶素子の製造方法で製造される水晶素子１００は、安定した機械振動を得ることができ、電子機器等の基準信号を発信するために用いられる。このような水晶素子１００は、図１に示したように、水晶片１１０と、この水晶片１１０の所定の部分に形成されている金属パターン１２０と、から構成されている。
【００１３】
水晶片１１０には、安定した機械振動をする圧電材料が用いられ、例えば、水晶部材が用いられる。また、水晶片１１０は、互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有しており、例えば、略直方体形状となっている。水晶片１１０の主面は、Ｘ軸およびＺ軸に平行となっている面を、Ｘ軸を中心にＸ軸の負の方向を見て反時計回りに回転させた面と平行となっている。具体的には、水晶片１１０の主面は、Ｘ軸およびＺ軸に平行となっている面を、Ｘ軸を中心にＸ軸の負の方向を見て反時計回りに約３７°回転させた面と平行となっている。水晶片１１０の側面の一部には、Ｚ軸に平行なｍ面１１１が形成されている。このｍ面１１１と水晶片１１０の主面となす角度は、Ｘ軸およびＺ軸に平行となっている面を、Ｘ軸を中心に回転させたときの角度と、９０°と、を合わせた角度となっており、例えば、上述したように３７°回転させている場合には、約１２３°となる。このような水晶片１１０は、水晶ウエハの状態で、主面の一辺側で水晶ウエハの一部に固定するように、複数個同時に形成される。
【００１４】
金属パターン１２０は、水晶片１１０に電圧を印加するためのものであり、水晶片１１０の所定の部分に形成される。金属パターン１２０は、例えば、励振電極部１２１、引出部１２２、および、配線部１２３から構成されている。金属パターン１２０は、例えば、第一金属層および第二金属層から構成されている。第一金属層は、水晶片１１０上に直接設けられており、水晶片１１０との密着強度の高い金属材料が用いられる。例えば、第一金属層は、クロム、ニクロム、チタンまたはニッケルが用いられる。第二金属層は、金属材料の中で比較的、電気抵抗率が低い金属材料が用いられ、例えば、金、銀、アルミニウム、金を主とした合金、または、銀を主とした合金が用いられる。このような金属パターン１２０は、蒸着技術、スパッタリング技術、または、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって、水晶片１１０の所定の位置に設けられる。
【００１５】
励振電極部１２１は、電圧を印加することで水晶片１１０の一部を振動させるためのものである。励振電極部１２１は、水晶片１１０の主面に水晶片１１０の一部を挟むように、一対で設けられている。励振電極部１２１に電圧が印加されると、水晶片１１０の励振電極部１２１で挟まれている部分は、逆圧電効果および圧電効果によって所定の周波数で振動を開始する。
【００１６】
引出部１２２は、水晶素子１００の外部から電圧を印加するためのものである。水晶片１１０は、平面視して、水晶片１１０の所定の一辺に沿って二つ並んで設けられている。
【００１７】
配線部１２３は、励振電極部１２１と引出部１２２とを電気的に接続するためのものであり、水晶片１１０の表面に設けられている。従って、配線部１２３は、一端が励振電極部１２１に接続されており、他端が引出部１２２に接続されている。
【００１８】
従って、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法で製造される水晶素子１００は、引出部１２２から電圧が印加されると、配線部１２３を介して励振電極部１２１に電圧が印加され、励振電極部１２１に挟まれている水晶片１１０の一部が所定の周波数が振動する構成となっている。
【００１９】
次に、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法について説明する。第一実施形態に係る水晶素子の製造方法は、図２〜図４に示したように、水晶ウエハ形成工程、緩和部形成工程、水晶片部形成工程、金属パターン形成工程および個片化工程、から構成されている。
【００２０】
なお、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、緩和部形成工程および水晶片部形成工程をそれぞれ別々に行っている場合について説明しているが、緩和部形成工程および水晶片部形成工程を同時に行っても構わない。また、金属パターン形成工程において、励振電極部１２１、引出部１２２および配線部１２３を同時に形成している場合について説明しているが、それぞれ別々の方法で別々に形成しても構わない。
【００２１】
（水晶ウエハ形成工程）
水晶ウエハ形成工程は、互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の水晶ウエハ１３０（図３参照）を形成する工程である。水晶ウエハ形成工程では、互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した人工水晶体が用いられる。水晶ウエハ形成工程で形成される水晶ウエハ１３０の主面は、例えば、Ｘ軸およびＺ軸に平行となっている面を、Ｘ軸を中心に、Ｘ軸の負の方向を見て反時計回りに所定の角度、例えば、約３７°回転させた面と平行となっている。また、水晶ウエハ形成工程で形成される水晶ウエハ１３０は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断された後、上下方向の厚みが所定の厚みとなるまで両主面が研磨される。
【００２２】
ここで、水晶ウエハ１３０は、例えば、略矩形形状の平板状となっており、平面視したときの寸法が、所定の一辺の寸法が約１０ｍｍ〜約１０２ｍｍであり、所定の一辺に接続している所定の他の一辺の寸法が約１０ｍｍ〜約１０２ｍｍとなっている。このとき、水晶ウエハ１３０の上下方向の厚みは、約０．０２ｍｍ〜３．０ｍｍとなっている。なお、水晶ウエハ１３０が略矩形形状の平板状となっている場合について説明しているが、円型形状または楕円形状の平板状となっていてもよく、円型形状の場合の平面視したときの大きさは、直径が約１０ｍｍ〜約１０２ｍｍとなっている。
【００２３】
（緩和部形成工程）
緩和部形成工程は、図３および図４に示したように、水晶ウエハ１３０の外縁部に、水晶ウエハ１３０の外縁に沿って、少なくとも二行以上または二列以上あって、千鳥配列となるように、複数の貫通穴１４１（１４１ａ、１４１ｂ）を設け、緩和部１４０を形成する工程である。なお、ここで、貫通穴１４１を設け緩和部１４０を形成している場合について説明しているが、貫通穴１４１でなく凹部を設けてもよい。
【００２４】
緩和部１４０は、複数の貫通穴１４１が水晶ウエハ１３０の外縁に沿って環状に設けられることで、水晶ウエハ１３０の外縁部に形成される。緩和部１４０に設けられている貫通穴１４１は、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって設けられている。具体的には、まず、水晶ウエハ１３０の両主面上に、耐食金属膜を被着させ、この耐食金属膜上に感光性レジストを塗布し、所定のパターンで露光、現像する。その後、感光性レジストが除去されている部分の耐食金属膜を除去し、水晶ウエハ１３０の一部分を露出させ、所定のエッチング溶液に浸漬させ、水晶ウエハ１３０の露出している部分をエッチングする。最後に、水晶ウエハ１３０の両主面上に残留している耐食金属膜および感光性レジストを除去する。緩和部形成工程では、このようにして、複数の貫通穴１４１を設け、水晶ウエハ１３０に緩和部１４０を形成している。
【００２５】
緩和部１４０には、前述したように、水晶ウエハ１３０の外縁に沿って複数の貫通穴１４１が環状に設けられている。従って、水晶ウエハ１３０の外縁部で部分的に応力が加わり、応力集中によるひび割れが水晶ウエハ１３０の内側へ進行した場合であっても、貫通穴１４１にまでひび割れが到達したときに応力集中を緩和させることができる。この結果、緩和部１４０に設けられている貫通穴１４１により、応力集中によるひび割れの進行を阻止することが可能となる。
【００２６】
緩和部１４０に設けられている貫通穴１４１は、図３に示したように、水晶ウエハ１３０の外縁に沿って環状に設けられている。従って、応力集中によるひび割れが水晶ウエハ１３０の外縁のどの部分で生じた場合であっても、前述しように、応力集中によるひび割れの進行を貫通穴１４１により阻止することができるので、複数あるうちの貫通穴１４１のうちいずれかでひび割れの進行を阻止することが可能となる。この結果、応力集中によるひび割れの進行が、水晶ウエハ１３０の外縁から緩和部１４０を超えて緩和部１４０の内側へ達することを低減させることができる。
【００２７】
緩和部１４０に設けられている貫通穴１４１は、千鳥配列となるように設けられている。ここで、千鳥配列とは、二行または二列以上のものが互い違いに配置されている状態のことをいう。従って、緩和部１４０に設けられている貫通穴１４１は、少なくとも二行または二列以上となっており、貫通穴１４１は行または列ごとに互い違いとなるように配置されている。このような構成にすることで、応力集中によるひび割れの進行は一般的に直線状に進行するので、外縁側の貫通穴１４１が設けられていない部分をひび割れが進行しても、内縁側に設けられている貫通穴１４１にひび割れが到達させる可能性を高くすることができる。従って、水晶ウエハ１３０の外縁に部分的に応力が加わり、応力集中によるひび割れが生じた場合、複数あるうちの貫通穴１４１のいずれかでひび割れの進行を阻止する可能性が高くなり、水晶ウエハ１３０の外縁から緩和部１４０を超えて緩和部１４０の内側へ達することを低減させることができる。
【００２８】
ここで、貫通穴１４１は、例えば、水晶ウエハ１３０の外縁に沿って二行または二列に設けられている。このとき、貫通穴１４１は、水晶ウエハ１３０の外縁側と内縁側に、水晶ウエハ１３０の外縁に沿って環状に設けられていることとなる。ここで、この外縁側に設けられている貫通穴１４１を第一貫通穴１４１ａとし、この第一貫通穴１４１ａを含む緩和部１４０を第一緩和部１４０ａとし、第一貫通穴１４１ａより水晶ウエハ１３０の内側に位置している環状の貫通穴１４１を第二貫通穴１４１ｂとし、この第二貫通穴１４１ｂを含む緩和部１４０を第二緩和部１４０ｂとする。
【００２９】
つまり、緩和部１４０が第一緩和部１４０ａおよび第二緩和部１４０ｂからなる場合、水晶ウエハ１３０を平面視すると、緩和部１４０は、第一緩和部１４０ａが水晶ウエハ１３０の外縁に沿って外縁部に位置し、第二緩和部１４０ｂが第一緩和部１４０ａの内側に沿って位置するように、水晶ウエハ１３０の外縁部に形成されている。
【００３０】
ここで、隣接する第一貫通穴１４１ａの開口部の端部間の距離を、第一貫通穴間距離Ｓ１１とし、第二貫通穴１４１ｂの開口部の端部間の距離を、第二貫通穴口距離Ｈ１２とすると、第一貫通穴間距離Ｓ１１は、第二貫通穴口距離Ｈ１２より短くなっている。このような構成にすることで、水晶ウエハ１３０の外縁から内側に向かって仮想直線上には、第一貫通穴１４１ａまたは第二貫通穴１４１ｂを配置させることが可能となる。このような構成にすることで、応力集中によるひび割れの進行は一般的に直線状に進行するので、第一緩和部１４０ａの第一貫通穴１４１ａが設けられていない部分をひび割れが進行しても、ひび割れが第二緩和部１４０ｂの第二貫通穴１４１ｂに到達することとなる。従って、水晶ウエハ１３０の外縁に部分的に応力が加わり、応力集中によるひび割れが生じた場合、第一貫通穴１４１ａまたは第二貫通穴１４１ｂでひび割れの進行を阻止する可能性がより高くなり、水晶ウエハ１３０の外縁から緩和部１４０を超えて緩和部１４０の内側へ達することをより低減させることができる。
【００３１】
緩和部１４０に設けられている貫通穴１４１は、開口部が、略直方体形状となっており、その四隅が丸みを帯びた形状となっている。このように、丸みを帯びた四隅とすることで、開口部の端部に応力が集中することを低減させている。従って、このように貫通穴１４１の開口部の端部を、丸みを帯びた形状にすることで、開口部の端部に応力が集中し、開口部の端部からひび割れが生じることを低減させることができる。
【００３２】
（水晶片部形成工程）
水晶片部形成工程は、水晶ウエハ１３０の所定の位置に、略直方体形状に形成しつつ主面の所定の一辺側で固定している水晶片部を形成する工程である。ここで、水晶片部とは、水晶片１１０となる部分のことであり、以下の説明および図面では、水晶片部を水晶片と同じ符号を付して説明する。水晶片部１１０は、例えば、平面視して、略矩形形状となっており、所定の一辺の両端部において水晶ウエハ１３０と連結されている。
【００３３】
水晶片部形成工程では、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術により、水晶片形成用貫通穴（図示せず）が設けられ、水晶片部１１０の所定の一辺側で水晶ウエハ１３０に固定された状態となっている水晶片部１１０を形成している。水晶片部形成工程では、具体的には、まず、水晶ウエハ１３０の両主面上に、耐食金属膜を被着させ、この耐食金属膜上に感光性レジストを塗布し、所定のパターンで露光、現像する。その後、感光性レジストが除去されている部分の耐食金属膜を除去し、水晶ウエハ１３０の一部分、具体的には、水晶片部形成用貫通穴となる部分をエッチングする。最後に、水晶ウエハ１３０の両主面上に残留している耐食金属膜および感光性レジストを除去する。
【００３４】
（金属パターン形成工程）
金属パターン形成工程は、励振電極部１２１、引出部１２２および配線部１２３となる金属パターン１２０を水晶片部１１０の所定の位置に形成する工程である。金属パターン形成工程では、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、所定の金属パターン１２０が形成される。具体的には、水晶片部１１０が形成されている水晶ウエハ１３０の両主面にパターン用金属膜が被着され、このパターン用金属膜上に感光性レジストが塗付され、露光、現像される。その後、露出しているパターン用金属膜を除去し、水晶ウエハ１３０に残留している感光性レジストを除去する。
【００３５】
（個片化工程）
個片化工程は、水晶ウエハ１３０に形成されている水晶片部の所定の一辺側を折り取り、または、切断することで、水晶片１１０を個片化する工程である。個片化工程前の水晶ウエハ１３０は、励振電極部１２１、引出部１２２および配線部１２３からなる金属パターン１２０が形成されている水晶片部１１０が、水晶片部１１０の主面の所定の一辺側で固定されている。個片化工程では、水晶片部１１０ごとに個片化されて、水晶素子１００が形成される。
【００３６】
第一実施形態に係る水晶素子の製造方法は、互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の水晶ウエハ１３０を形成する水晶ウエハ形成工程と、水晶ウエハ１３０の外縁に沿って、少なくとも二行以上または二列以上あって、千鳥配列となるように、複数の貫通穴１４１を設け、緩和部１４０を形成する緩和部形成工程と、水晶ウエハ１３０の所定の位置に、略直方体形状に形成しつつ主面の所定の一辺側で固定している水晶片部１１０を形成する水晶片部形成工程と、励振電極部１２１、引出部１２２および配線部１２３となる金属パターン１２０を水晶片部１１０の所定の位置に形成する金属パターン形成工程と、水晶ウエハ１３０に形成されている水晶片部１１０の所定の一辺側を折り取り、または、切断することで、水晶片１１０を個片化する個片化工程と、を備えている。
【００３７】
つまり、上記の構成とすることで、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ１３０を形成後に緩和部形成工程において、水晶ウエハ１３０の外縁に沿って千鳥配列状の貫通穴１４１が設けられている緩和部１４０を形成している。従って、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ１３０の外縁に部分的に応力が加わり、応力集中によるひび割れが外縁から内側に向かって生じた場合、緩和部１４０に設けられている貫通穴１４１によって応力集中を緩和することができ、ひび割れの進行を阻止することが可能となる。このため、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、ひび割れが原因で生じる水晶ウエハ１３０の変形を軽減することができ、水晶ウエハ１３０に形成される水晶片部１１０の所定の位置に所定の金属パターン１２０を形成することが可能となり、生産性を向上させることができる。
【００３８】
また、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、緩和部形成工程において形成される緩和部１４０に設けられている貫通穴１４１が、千鳥配列となるように設けられている。従って、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、互い違いになるように配置されている貫通穴１４１を水晶ウエハ１３０の外縁に沿って水晶ウエハ１３０の外縁部に設けることで、水晶ウエハ１３０の外縁のどの場所からひび割れが生じた場合であっても、ひび割れを貫通穴１４１で止める可能性を高めることができ、水晶ウエハ１３０の内側へひび割れの進行が達することを低減させることが可能となる。この結果、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、ひび割れが原因で生じる水晶ウエハ１３０の変形を軽減することができ、水晶ウエハ１３０に形成される水晶片部１１０の所定の位置に所定の金属パターン１２０を形成することが可能となり、生産性を向上させることができる。
【００３９】
また、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法は、緩和部形成工程において、水晶ウエハ１３０を平面視して、緩和部１４０が、貫通穴１４１の開口部が水晶ウエハ１３０の外縁側に設けられた第一緩和部１４０ａと、第一緩和部１４０ａより内側に設けられた第二緩和部１４０ｂとで構成されており、第一緩和部１４０ａに設けられた貫通穴１４１（第一貫通穴１４１ａ）の開口部において、隣接する開口部の端部間の距離（第一貫通穴間距離Ｓ１１）が、第二緩和部１４０ｂに設けられた貫通穴１４１（第二貫通穴１４１ｂ）の開口部の端部間の距離（第二貫通穴口距離Ｈ１２）より、短くなっている。
【００４０】
従って、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、隣接する第一貫通穴１４１ａの開口部の端部間の距離（第一貫通穴間距離Ｓ１１）は、第二貫通穴１４１ｂの開口部の端部間の距離（第二貫通穴口距離Ｈ１２）より短くすることで、緩和部形成工程後の水晶ウエハ１３０を平面視したとき、水晶ウエハ１３０の外縁から内側に向かって仮想直線上には、第一貫通穴１４１ａまたは第二貫通穴１４１ｂを配置させることができる。このため、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ１３０の外縁に部分的に応力が加わり、応力集中によるひび割れが外縁から内側へ進行する場合、第一緩和部１４０ａの第一貫通穴１４１ａが設けられていない部分をひび割れが進行しても、ひび割れを第二緩和部１４０ｂの第二貫通穴１４１ｂに到達させる可能性を高くすることができる。従って、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、第一貫通穴１４１ａまたは第二貫通穴１４１ｂでひび割れの進行を阻止する可能性をより高くすることができ、この結果、水晶ウエハ１３０の外縁から緩和部１４０を超えて緩和部１４０の内側へ達することをより低減させることが可能となり、ひび割れが原因で生じる水晶ウエハ１３０の変形を軽減することができ、水晶ウエハ１３０に形成される水晶片部１１０の所定の位置に所定の金属パターン１２０を形成することが可能となり、生産性を向上させることが可能となる。
【００４１】
また、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法は、緩和部形成工程において、貫通穴１４１の開口部の端部が丸みを帯びている。このようにすることで、貫通穴１４１に加わる応力を分散させることできるので、貫通穴１４１を起点とした水晶ウエハ１３０のひび割れによる水晶ウエハ１３０の変形を低減させることができる。
【００４２】
従って、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法は、開口部の端部に応力が集中することを低減させている。このため、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、貫通穴１４１の開口部の端部を、丸みを帯びた形状にすることで、開口部の端部に応力集中を緩和し、開口部の端部からひび割れが生じることを低減させることができる。この結果、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法では、ひび割れが原因で生じる水晶ウエハ１３０の変形を軽減することができ、水晶ウエハ１３０に形成される水晶片部１１０の所定の位置に所定の金属パターン１２０を形成することが可能となり、生産性を向上させることができる。
【００４３】
なお、第一の実施形態では、緩和部１４０に貫通穴１４１が設けられている場合について説明しているが、例えば、凹部であってもよい。このように緩和部１４０に凹部を設けることで、緩和部１４０の変形をしやすくすることができ、緩和部１４０に貫通穴１４１を設けた場合と同様の効果を奏することができる。
【００４４】
（変形例１）
変形例１は、図５および図６に示すように緩和部２４０に設けられている貫通穴２４１の形状が、第一実施形態と異なる。変形例１では、第一実施形態と同様に、緩和部２４０は第一緩和部２４０ａおよび第二緩和部２４０ｂからなっており、第一緩和部２４０ａが水晶ウエハ２３０の外縁に沿って水晶ウエハ２３０の外縁部に配置されており、第二緩和部２４０ｂが第一緩和部２４０ａの内側に配置されている。また、緩和部２４０に設けられている貫通穴２４１は、第一緩和部２４０ａに設けられている貫通穴２４１（第一貫通穴２４１ａ）と第二緩和部２４０ｂに設けられている貫通穴２４１（第二貫通穴２４１ｂ）とで千鳥配列となるように配置されている。このとき、隣接する第一貫通穴２４１ａの端部間の距離（第一貫通穴間距離Ｓ２１）が、第二貫通穴２４１ｂの端部間の距離（第二貫通穴口距離Ｈ２２）より短くなっている。
【００４５】
変形例１の緩和部２４０に設けられている貫通穴２４１は、図５および図６に示したように、開口部が、略半円形状となっている。このとき、半円の中心は水晶ウエハ２３０の外縁側に位置している。よって、貫通穴２４１の開口部に着目すると、開口部の弧の部分が水晶ウエハ２３０の内側に位置していることとなる。このような構成にすることで、水晶ウエハ２３０の内側に部分的に応力が加わり、応力集中によるひび割れが進行している場合、開口部が直線となっている場合と比較して、応力集中をより緩和させることができ、貫通穴２４１によってひび割れの進行を阻止することが可能となる。
【００４６】
なお、ここで、貫通穴２４１の開口部が半円形状の場合について説明しているが、半楕円形状であってもよい。半楕円形状の場合も、開口部が直線の場合と比較して、貫通穴２４１での応力を分散させることができる。この結果、水晶ウエハ２３０の緩和部２４０より内側の部分から応力が加わった場合であっても、貫通穴２４１で応力を緩和することができ、水晶ウエハ２３０の強度を高めることができる。
【００４７】
第一実施形態に係る水晶素子の製造方法の変形例１では、貫通穴２４１を、中心が水晶ウエハ２３０の外縁側に位置するように、略半円形状（略半楕円形状）とすることで、応力集中によるひび割れが水晶ウエハ２３０の内側から外縁に向かって進行している場合であっても、貫通穴２４１により応力集中をより緩和させつつ、水晶ウエハ２３０の強度を高めることができる。従って、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法の変形例１では、各工程時に水晶ウエハ２３０がひび割れが原因による破損を低減させることができ、生産性を向上させることが可能となる。
【００４８】
（変形例２）
変形例２は、図７および図８に示すように、緩和部３４０に設けられている貫通穴３４１の形状が、第一実施形態と異なる。変形例２では、第一実施形態と同様に、緩和部３４０は、第一緩和部３４０ａおよび第二緩和ウ３４０ｂからなっており、第一緩和部３４０ａが水晶ウエハ３３０の外縁に沿って水晶ウエハ３３０の外縁部に配置されており、第二緩和部３４０ｂが第一緩和部３４０ａの内側に沿って配置されている。また、緩和部３４０に設けられている貫通穴３４１は、第一緩和部３４０ａに設けられている貫通穴３４１（第一貫通穴３４１ａ）と第二緩和部３４０ｂに設けられている貫通穴３４１（第二貫通穴３４１ｂ）とで、千鳥配列となるように配置されている。このとき、隣接する第一貫通穴３４１ａの端部間の距離（第一貫通穴距離Ｓ３１）が、第二貫通穴３４１ｂの端部間の距離（第二貫通穴口距離Ｈ３２）より短くなっている。
【００４９】
変形例２の緩和部３４０に設けられている貫通穴３４１は、図８および図９に示したように、開口部が円弧形状となっている。このとき、円弧形状の円の中心が水晶ウエハ４３０の外縁側に位置している。このような構成にすることで、応力集中によるひび割れが外縁から内側へ向かう向きに進行している場合であっても、応力集中によるひび割れが内側から外縁へ向かう向きに進行している場合であっても、緩和部３４０に設けられている貫通穴３４１により応力集中をより緩和することができる。また、貫通穴３４１の開口部を円弧形状にすることで、開口部を円形形状にした場合と比較して、緩和部３４０の距離、具体的には、水晶ウエハ３３０の外縁から緩和部３４０の内側の部分までの距離を短くすることができる。従って、緩和部３４０の効果を保ちつつ、水晶ウエハ３３０の緩和部３４０の部分を小さくすることが可能となり、緩和部３４０より内側の水晶ウエハ３３０の面積を大きくすることができる。この結果、緩和部３４０より内側の水晶ウエハ３３０の内側に水晶片部１１０をより多く設けることが可能となり、生産性を向上させることが可能となる。
【００５０】
第一実施形態に係る水晶素子の製造方法の変形例２では、貫通穴３４１を、中心が水晶ウエハ３３０の外縁側に位置している円の円弧形状とすることで、水晶ウエハ３３０の内側および外縁からの応力を、貫通穴３４１で緩和することができ、水晶ウエハ３３０の強度を高めることができる。従って、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法の変形例２では、水晶ウエハ３３０の強度を高めることができるので、各工程時に水晶ウエハ３３０が破損することを低減させることができ、生産性を向上させることができる。
【００５１】
また、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法の変形例２では、貫通穴３４２を、中心が水晶ウエハ３３０の外縁側に位置している円の円弧形状とすることで、貫通穴３４１が円形形状の場合と比較して、緩和部３４０の部分の面積を小さくすることが可能となる。従って、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法の変形例２では、水晶ウエハ３３０の緩和部３４０の部分を小さくすることが可能となり、緩和部３４０より内側の水晶ウエハ３３０の面積を大きくすることができる。この結果、第一実施形態に係る水晶素子の製造方法の変形例２では、緩和部３４０より内側の水晶ウエハ３３０の内側に水晶片部１１０をより多く設けることが可能となり、生産性を向上させることが可能となる。
【００５２】
（第二実施形態）
第二実施形態に係る水晶素子の製造方法は、図９〜図１２に示したように、緩和部形成工程で形成される緩和部４４０に凹部４４１が設けられており、緩和部４４０が第一緩和部４４０ａ、第二緩和部４４０ｂ、第三緩和部４４０ｃおよび第四緩和部４４０ｄから構成されている点で第一実施形態と異なる。
【００５３】
緩和部形成工程で形成される緩和部４４０は、第一緩和部４４０ａ、第二緩和部４４０ｂ、第三緩和部４４０ｃおよび第四緩和部４４０ｄからなっている。緩和部４４０は、水晶ウエハ４３０の外縁に沿って水晶ウエハ４３０の外縁部に第一緩和部４４０ａが配置されており、この第一緩和部４４０ａの内側に沿って第二緩和部４４０ｂが配置され、第二緩和部４４０ｂの内側に沿って第三緩和部４４０ｃが配置され、第三緩和部４４０ｃの内側に沿って第四緩和部４４０ｄが配置されている。
【００５４】
第一緩和部４４０ａは、水晶ウエハ４３０の外縁に沿って水晶ウエハ４３０の外縁部に配置されている。また、第一緩和部４４０ａには、複数の凹部４４１が設けられている。ここで、この第一緩和部４４０ａに設けられている凹部４４１を第一凹部４４１ａとする。第一凹部４４１ａは、水晶ウエハ４３０の外縁に沿って環状に配置されており、水晶ウエハ４３０の上面と水晶ウエハ４３０の下面とに交互となるように設けられている。つまり、第一凹部４４１ａは、隣接する第一凹部４４１ａが反対側を向く水晶ウエハ４３０の主面に設けられている。このとき、水晶ウエハ４３０を平面透視すると、隣接する第一凹部４４１ａは重なっていない。
【００５５】
第二緩和部４４０ｂは、第一緩和部４４０ａの内側に沿って環状に配置されている。第二緩和部４４０ｂには、複数の凹部４４１が設けられている。ここで、第二緩和部４４０ｂに設けられている凹部４４１を第二凹部４４１ｂとする。第二凹部４４１ｂは、第一凹部４４１ａと千鳥配列となるように、第一凹部４４１ａの内側に環状に配置されている。また、第二凹部４４１ｂは、水晶ウエハ４３０の上面と水晶ウエハ４３０の下面とに交互となるように設けられている。つまり、第二凹部４４１ｂは、隣接する第二凹部４４１ｂが反対側を向く水晶ウエハ４３０の主面に設けられている。このとき、水晶ウエハ４３０を平面視すると、隣接する第二凹部４４１ｂは重なっていない。また、第二凹部４４１ｂは、第一緩和部４４０ａに設けられている第一凹部４４１ａとも重なっていない。
【００５６】
第三緩和部４４０ｃは、第二緩和部４４０ｂの内側に沿って環状に配置されている。第三緩和部４４０ｃには、複数の凹部４４１が設けられている。ここで、第三緩和部４４０ｃに設けられている凹部４４１を第三凹部４４１ｃとする。第三凹部４４１ｃは、第二凹部４４１ｂと千鳥配列となるように、第二凹部４４１ｂの内側に環状に配置されている。また、第三凹部４４１ｃは、水晶ウエハ４３０の上面と水晶ウエハ４３０の下面とに交互となるように設けられている。つまり、第三凹部４４１ｃは、隣接する第三凹部４４１ｃが反対側を向く水晶ウエハ４３０の主面に設けられている。このとき、水晶ウエハ４３０を平面視すると、隣接する第三凹部４４１ｃは重なっていない。また、第三凹部４４１ｃは、第二緩和部４４０ｂに設けられている第二凹部４４１ｂとも重なっていない。
【００５７】
第四緩和部４４０ｄは、第三緩和部４４０ｃの内側に沿って環状に配置されている。また、第四緩和部４４０ｄには、複数の凹部４４１が設けられている。ここで、第四緩和部４４０ｄに設けられている凹部４４１を第四凹部４４１ｄとする。第四凹部４４１ｄは、第三凹部４４１ｃと千鳥配列となるように、第三凹部４４１ｃの内側に環状に配列されている。また、第四凹部４４１ｄは、水晶ウエハ４３０の上面と水晶ウエハ４３０の下面とに交互となるように設けられている。つまり、第四凹部４４１ｄは、隣接する第四凹部４４１ｄが反対側を向く水晶ウエハ４３０の主面に設けられている。このとき、水晶ウエハ４３０を平面視すると、隣接する第四凹部４４１ｄは重なっていない。また、第四凹部４４１ｄは、第三緩和部４４０ｃに設けられている第三凹部４４１ｃとも重なっていない。
【００５８】
それぞれの緩和部４４０において、隣接する貫通穴４４１の端部間の距離は全て同じとなっており、具体的には、隣接する第一凹部４４１ａの端部間の距離（第一凹部間距離Ｓ４１）、隣接する第三凹部４４１ｃの端部間の距離（第三凹部間距離Ｓ４３）、隣接する第二凹部４４１ｂの端間の距離（第二凹部間距離Ｓ４２）、および、隣接する第四凹部４４１ｄの端部間の距離（第四凹部間距離Ｓ４４）が同じとなっている。また、それぞれの緩和部４４０において、貫通穴４４１の開口部の形状は同じとなっている。従って、第一凹部４４１ａの開口部の端部間の距離（第一凹部口距離Ｈ４１）、第二凹部４４１ｂの開口部の端部間の距離（第二凹部口距離Ｈ４２）、第三凹部４４１ｃの開口部の端部間の距離（第三凹部口距離Ｈ４３）、および、第四凹部４４１ｄの開口部の端部間の距離（第四凹部口距離Ｈ４４）は、同じとなっている。このとき、隣接する凹部４４１の端部間の距離が、隣接する緩和部４４０ａの凹部４４１の開口部の端部間の距離より短くなっている。
【００５９】
従って、第二実施形態では、第一凹部間距離Ｓ４１は第二凹部口距離Ｈ４２より短くなっており、第二凹部間距離Ｓ４２は第三凹部口距離Ｈ４３より短くなっており、第三凹部間距離Ｓ４３は第四凹部口距離Ｈ４４より短くなっている。このような構成にすることで、水晶ウエハ４３０の外縁から内側に向かう仮想直線上には、第一凹部４４１ａ、第二凹部４４１ｂ、第三凹部４４１ｃおよび第四凹部４４１ｄのいずれかを配置させることが可能となる。応力集中によるひび割れは一般的に直線状に進行するので、水晶ウエハ４３０の外縁に部分的に応力が加わり、応力集中によるひび割れが外縁から内側に向かって進行する場合、第一凹部４４１ａ、第二凹部４４１ｂ、第三凹部４４１ｃおよび第四凹部４４１ｄのいずれかにひび割れを到達させることができ、応力集中を緩和させることが可能となる。よって、応力集中によるひび割れが外縁から内側に向かって進行している場合、緩和部４４０の凹部４４１のいずれかによって応力集中を緩和させることができ、ひび割れの進行が緩和部４４０より内側に達することを低減させることが可能となる。
【００６０】
第二実施形態に係る水晶素子の製造方法では、緩和部形成工程において、凹部４４１が水晶ウエハ４３０の上面および水晶ウエハ４３０の下面に形成されている。従って、第二実施形態に係る水晶素子の製造方法では、緩和部形成工程において貫通穴を設けて緩和部を形成する場合と比較して、水晶ウエハ４３０の強度を高めることができる。このため、第二実施形態に係る水晶素子の製造方法では、各工程時に水晶ウエハ３３０が破損することを低減させることができ、生産性を向上させることができる。
【００６１】
また、凹部４４１を水晶ウエハ４３０の上面および下面に設けることで、水晶ウエハ４３０の上面の端部から応力が加わった場合であっても、水晶ウエハ４３０の下面の端部から応力が加わった場合であっても、凹部４４１で応力を緩和することを可能としている。
【００６２】
また、第二実施形態に係る水晶素子の製造方法では、緩和部形成工程において、水晶ウエハ４３０を平面透視したとき、水晶ウエハ４３０の上面に設けられている凹部４４１が、水晶ウエハ４３０の下面に設けられている凹部４４１と重なっていない。従って、第二実施形態に係る水晶素子の製造方法では、緩和部形成工程において貫通穴を設けて緩和部を形成する場合と比較して、水晶ウエハ４３０の強度を高めることができる。このため、第二実施形態に係る水晶素子の製造方法では、各工程時に水晶ウエハ３３０が破損することを低減させることができ、生産性を向上させることができる。
【００６３】
また、第二実施形態に係る水晶素子の製造方法では、緩和部形成工程において、緩和部４４０が、第一緩和部４４０ａ、第二緩和部４４０ｂ、第三緩和部４４０ｃおよび第四緩和部４４０ｄからなり、第一緩和部４４０ａ、第二緩和部４４０ｂ、第三緩和部４４０ｃおよび第四緩和部４４０ｄが、水晶ウエハ４３０の外縁から水晶ウエハ４３０の内側に向かって順に配置されており、第一緩和部４４０ａ、第二緩和部４４０ｂ、第三緩和部４４０ｃおよび第四緩和部４４０ｄに設けられている凹部４４１が、水晶ウエハ４３０の上面と水晶ウエハ４３０の下面とに交互になるように設けられている。
【００６４】
従って、第二実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ４３０の外縁に部分的に応力が加わり、応力集中によるひび割れが外縁から内側に向かう向きに進行する場合、第一凹部４４１ａ、第二凹部４４１ｂ、第三凹部４４１ｃおよび第四凹部４４１ｄのいずれかの内壁面まで伝搬させることができ、応力を緩和させることができる。このため、第二実施形態に係る水晶素子の製造方法では、応力集中によるひび割れが水晶ウエハ４３０の外縁から緩和部４４０を超えて内側へ進行することを低減させることができる。この結果、第二実施形態に係る水晶素子の製造方法では、ひび割れが原因で生じる水晶ウエハ４３０の変形を軽減することができ、水晶ウエハ４３０に形成される水晶片部４１０の所定の位置に所定の金属パターン４２０を形成することが可能となり、生産性を向上させることができる。
【００６５】
また、第二実施形態では、水晶ウエハ４３０の上面と水晶ウエハ４３０の下面とに交互になるように凹部４４１を設けているので、水晶ウエハ４３０の強度を保ちつつ、水晶ウエハ４３０の上面側の端部からの応力であっても、水晶ウエハ４３０の下面側の端部からの応力であっても、緩和部４４０で応力を緩和することが可能となる。従って、第二実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ４３０の外縁から応力が加わった場合、ヒビ割れが進行することを低減させることが可能となり、生産性を向上させることができる。
【００６６】
なお、ここで、水晶素子の水晶片が略直方体形状の場合について説明しているが、水晶ウエハの状態で複数の水晶片となる部分を同時に形成する場合であれば、水晶片の形状は特に問わず、例えば、水晶片が音叉型であってもよい。
【００６７】
また、水晶ウエハ形成工程において、水晶ウエハの主面がＸ軸およびＺ軸に平行となっている面を、Ｘ軸を中心に、Ｘ軸の負の方向を見て反時計回りに所定の角度回転させた面と平行になっている場合について説明しているが、カットアングルは特に指定せず、例えば、Ｘ軸およびＹ軸に平行となっている面であってもよい。
【００６８】
緩和部形成工程において、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、凹部または貫通穴を設けている場合について説明しているが、所定の形状に形成することができれば、例えば、ドライエッチング技術を用いてもよいし、サンドブラスト等により研削を行ってもよい。
【００６９】
水晶片部形成工程において、フォトリソグラウフィー技術およびエッチング技術を用いて、水晶片部形成用貫通穴を形成している場合について説明しているが、所定の形状に形成することができれば、例えば、ドライエッチング技術を用いても良いし、サンドブラスト等により研削を行ってもよい。
【００７０】
緩和形成工程および水晶片部形成工程をそれぞれ独立に行った場合について説明しているが、例えば、緩和部形成工程および水晶片部形成工程を同時に行ってもよい。このようにすることで、生産時間の短縮を行うことができ、生産性を向上させることができる。
【００７１】
金属パターン形成工程において、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、所定の金属パターンを形成している場合について説明しているが、例えば、蒸着技術またはエッチング技術を用いて、所定のパターンの金属を被着させることで所定のパターンの金属パターンを形成してもよい。
【００７２】
金属パターン形成工程において、励振電極部、引出部および配線部となる金属パターンを同時に形成している場合について説明しているが、励振電極部、引出部、配線部、それぞれ独立に形成してもよいし、いずれか二つを選んで同時に形成しもよい。また、それぞれ、別々の方法で、形成してもよい。
【符号の説明】
【００７３】
１００・・・水晶素子
１１０・・・水晶片（水晶片部）
１２０・・・金属パターン
１２１・・・励振電極部
１２２・・・引出部
１２３・・・配線部
１３０、２３０、３３０、４３０・・・水晶ウエハ
１４０、２４０、３４０、４４０・・・緩和部
１４１、２４１、３４１・・・貫通穴
４４１・・・凹部
【図１】
0006545957.tif 000002
【図２】
0006545957.tif 000003
【図３】
0006545957.tif 000004
【図４】
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【図５】
0006545957.tif 000006
【図６】
0006545957.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0006545957.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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