(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記接着シートを保持する保持手段と、
前記保持手段で保持した前記接着シートに張力を付与して前記被着体から当該接着シートを剥離する張力付与手段と、
前記張力付与手段で剥離された接着シートの面内における所定の位置を屈曲部として当該接着シートを２つ折りに折り畳む折畳手段とを備え、
前記折畳手段は、前記屈曲部を圧着する屈曲部圧着手段と、折り畳まれた前記接着シートにおいて対向する外周部同士を圧着する外周部圧着手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記張力付与手段は、前記被着体から剥離した接着シートが２つ折りになるように当該接着シートを誘導する誘導手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
前記接着シートを保持する保持工程と、
前記保持工程で保持した前記接着シートに張力を付与して前記被着体から当該接着シートを剥離する張力付与工程と、
前記張力付与工程で剥離された接着シートの面内における所定の位置を屈曲部として当該接着シートを２つ折りに折り畳む折畳工程とを備え、
前記折畳工程は、前記屈曲部を圧着する屈曲部圧着工程と、折り畳まれた前記接着シートにおいて対向する外周部同士を圧着する外周部圧着工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離装置および剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着体に貼付された接着シートを剥離し、当該接着シートを折り畳んで回収するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−６４８５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート剥離装置では、折り畳まれた接着シートに対して全面的に順次圧着力を付与する構成であるため、単位時間当たりの処理能力が低下するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、単位時間当たりの処理能力が低下することを抑制することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート剥離装置は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記接着シートを保持する保持手段と、前記保持手段で保持した前記接着シートに張力を付与して前記被着体から当該接着シートを剥離する張力付与手段と、前記張力付与手段で剥離された接着シートの面内における所定の位置を屈曲部として当該接着シートを２つ折りに折り畳む折畳手段とを備え、前記折畳手段は、前記屈曲部を圧着する屈曲部圧着手段と、折り畳まれた前記接着シートにおいて対向する外周部同士を圧着する外周部圧着手段とを備えている、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明のシート剥離装置では、前記張力付与手段は、前記被着体から剥離した接着シートが２つ折りになるように当該接着シートを誘導する誘導手段を備えている、ことが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート剥離方法は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離方法であって、前記接着シートを保持する保持工程と、前記保持工程で保持した前記接着シートに張力を付与して前記被着体から当該接着シートを剥離する張力付与工程と、前記張力付与工程で剥離された接着シートの面内における所定の位置を屈曲部として当該接着シートを２つ折りに折り畳む折畳工程とを備え、前記折畳工程は、前記屈曲部を圧着する屈曲部圧着工程と、折り畳まれた前記接着シートにおいて対向する外周部同士を圧着する外周部圧着工程とを備えている、という工程を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、折畳手段が屈曲部圧着手段と外周部圧着手段とを備えているので、折り畳まれた接着シートに対して全面的に順次圧着力を付与せずとも、当該接着シートを折り畳むことができるため、単位時間当たりの処理能力が低下することを抑制することができる。
【００１０】
この際、張力付与手段が誘導手段を備えれば、接着シートを２つ折りになるように誘導しながら当該接着シートを被着体から剥離することができるため、単位時間当たりの処理能力が低下することを更に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の側面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）はシート剥離装置の動作説明図。
【図３】（Ａ）〜（Ｄ）はシート剥離装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート剥離装置１０は、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦに貼付された接着シートＡＳを剥離する装置であって、接着シートＡＳを保持する保持手段２０と、保持手段２０で保持した接着シートＡＳに張力を付与してウエハＷＦから当該接着シートＡＳを剥離する張力付与手段３０と、張力付与手段３０で剥離された接着シートＡＳの面内における所定の位置を屈曲部ＡＳ１（図３（Ａ）〜（Ｄ）参照）として当該接着シートを２つ折りに折り畳む折畳手段４０と、接着シートＡＳを回収する回収手段としての回収箱５０とを備えている。
【００１４】
保持手段２０は、巻回された剥離用テープＰＴを回転可能に支持するテープ支持手段２１と、テープ支持手段２１に支持された剥離用テープＰＴを当該テープ支持手段２１とで挟み込み、当該剥離用テープＰＴに繰出力または巻取力を付与する繰出手段２２と、剥離用テープＰＴのリード端部を保持するリード保持手段２３と、リード保持手段２３が剥離用テープＰＴを保持することを補助する保持補助手段２４と、リード保持手段２３に保持された剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに押圧して貼付する押圧手段２５と、剥離用テープＰＴを切断する切断手段２６とを備え、剥離用テープＰＴを介して接着シートＡＳを保持する構成となっている。
【００１５】
テープ支持手段２１は、回転軸２１Ａを中心に回動可能な回動アーム２１Ｂの自由端側に支持され、巻回された剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ２１Ｃと、回動アーム２１Ｂを繰出手段２２方向に付勢する付勢手段としてのばね２１Ｄとを備えている。
繰出手段２２は、駆動機器としての回動モータ２２Ａによって駆動する繰出ローラ２２Ｂを備えている。
リード保持手段２３は、駆動機器としての直動モータ２３Ａの出力軸２３Ｂに支持された収容手段２３Ｃ内に収容され、収容手段２３Ｃの底面である吸着面２３Ｄに形成された吸引孔２３Ｅを介して剥離用テープＰＴを吸着保持する減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段２３Ｆを備えている。
保持補助手段２４は、駆動機器としての直動モータ２４Ａの出力軸２４Ｂに支持され、剥離用テープＰＴを吸着面２３Ｄに当接させる補助ローラ２４Ｃを備えている。
押圧手段２５は、収容手段２３Ｃ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ２５Ａのスライダ２５Ｂに支持され、収容手段２３Ｃの底面から突没可能に設けられた押圧ヘッド２５Ｃと、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段２５Ｄとを備えている。
切断手段２６は、収容手段２３Ｃ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ２６Ａのスライダ２６Ｂに支持され、収容手段２３Ｃの底面から突没可能に設けられた切断刃２６Ｃを備えている。
【００１６】
張力付与手段３０は、剥離用テープＰＴとウエハＷＦを相対移動させる移動手段３１と、ウエハＷＦから剥離された接着シートＡＳが２つ折りになるように誘導する誘導手段３２と、ウエハＷＦから剥離された接着シートＡＳをウエハＷＦ方向に押え付け、ウエハＷＦが接着シートＡＳの剥離方向へ移動することを規制する押え付け手段３３と、押え付け手段３３とで剥離用テープＰＴや接着シートＡＳを挟み込む挟み込み手段３４とを備えている。
移動手段３１は、駆動機器としてのリニアモータ３１Ａのスライダ３１Ｂに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面３１Ｃを有するテーブル３１Ｄを備えている。
誘導手段３２は、駆動機器としてのリニアモータ３２Ａのスライダ３２Ｂに支持された誘導ローラ３２Ｃを備えている。
押え付け手段３３は、駆動機器としてのリニアモータ３３Ａのスライダ３３Ｂに支持された駆動機器としての回動モータ３３Ｃと、回動モータ３３Ｃの図示しない出力軸に支持された押え付けローラ３３Ｄとを備えている。
挟み込み手段３４は、駆動機器としての直動モータ３４Ａの出力軸３４Ｂに支持された支持部材３４Ｃと、支持部材３４Ｃに支持されたピンチローラ３４Ｄと、支持部材３４Ｃに支持され、その上面に切断刃２６Ｃの進入を受容する溝３４Ｆが形成されたシート支持部材３４Ｅとを備えている。
【００１７】
折畳手段４０は、屈曲部ＡＳ１を圧着する屈曲部圧着手段４１と、折り畳まれた接着シートＡＳにおいて対向する外周部としての屈曲部ＡＳ１の反対側に位置する反対端部ＡＳ２（図３（Ａ）〜（Ｄ）参照）同士を圧着する外周部圧着手段４２とを備えている。
屈曲部圧着手段４１は、駆動機器としてのリニアモータ４１Ａのスライダ４１Ｂに支持された支持フレーム４１Ｃと、支持フレーム４１Ｃに支持された駆動機器としての直動モータ４１Ｄの出力軸４１Ｅに支持された上チャック部材４１Ｆと、上チャック部材４１Ｆ上に支持された駆動機器としての直動モータ４１Ｇの出力軸４１Ｈに支持され、上チャック部材４１Ｆに形成された孔４１Ｊ内に配置された吸着パッド４１Ｋと、支持フレーム４１Ｃの下部に支持された下チャック部材４１Ｌと、下チャック部材４１Ｌの上面および左側面に設けられ、空気やガス等の気体を噴出して接着シートＡＳを払い落す払落手段４１Ｍとを備えている。なお、吸着パッド４１Ｋは、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能に設けられている。
外周部圧着手段４２は、保持手段２０の収容手段２３Ｃと、張力付与手段３０のシート支持部材３４Ｅとで構成される。
【００１８】
以上のシート剥離装置１０において、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを剥離する手順を説明する。
先ず、作業者が剥離用テープＰＴを図１中実線で示すようにセットした後、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート剥離装置１０に対し、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、保持手段２０が吸引手段２３Ｆを駆動し、吸着面２３Ｄで剥離用テープＰＴを吸着保持する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、接着シートＡＳが上方となる状態でウエハＷＦが支持面３１Ｃ上に載置されると、張力付与手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦの吸着保持を開始する。その後、張力付与手段３０がリニアモータ３１Ａを駆動し、テーブル３１Ｄを右方向に移動させ、図１中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの左端部を押圧ヘッド２５Ｃの直下に位置させる。
【００１９】
次いで、保持手段２０が直動モータ２４Ａを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、補助ローラ２４Ｃを収容手段２３Ｃの下方から退避させた後、回動モータ２２Ａおよび直動モータ２３Ａを駆動し、剥離用テープＰＴを繰り出しながら収容手段２３Ｃを接着シートＡＳの直上所定位置まで下降させる。その後、保持手段２０がリニアモータ２５Ａを駆動し、図２（Ａ）に示すように、押圧ヘッド２５Ｃを下降させ、剥離用テープＰＴを接着シートＡＳの左端部に押圧して貼付する。このとき、保持手段２０が加熱手段２５Ｄを駆動し、剥離用テープＰＴを加熱してもよい。接着シートＡＳへの剥離用テープＰＴの貼付が完了すると、保持手段２０が吸引手段２３Ｆの駆動を停止するとともに、リニアモータ２５Ａおよび直動モータ２３Ａを駆動し、押圧ヘッド２５Ｃおよび収容手段２３Ｃを初期位置に復帰させる。
【００２０】
その後、張力付与手段３０が直動モータ３４Ａを駆動し、ピンチローラ３４Ｄと押え付けローラ３３Ｄとで剥離用テープＰＴを所定の押圧力で挟み込んだ後、リニアモータ３１Ａを駆動し、接着シートＡＳの左端部を押え付けローラ３３Ｄの最下部の直下に位置させる。次に、保持手段２０が回動モータ２２Ａを駆動し、剥離用テープＰＴを所定長さ巻き取るとともに、張力付与手段３０がリニアモータ３３Ａを駆動し、図２（Ｂ）に示すように、押え付けローラ３３Ｄの最下部で剥離用テープＰＴの折曲部を押圧する。次いで、張力付与手段３０がリニアモータ３１Ａおよび回動モータ３３Ｃを駆動し、テーブル３１Ｄを左方向に移動させるとともに、押え付けローラ３３Ｄを反時計回転方向に回転させる。これにより、接着シートＡＳは、その折曲部が押え付けローラ３３Ｄの最下部で押え付けられながらウエハＷＦから剥離される。なお、接着シートＡＳの剥離中は、張力付与手段３０がリニアモータ３２Ａを駆動し、押え付けローラ３３Ｄおよびピンチローラ３４Ｄによって繰り出された剥離用テープＰＴや接着シートＡＳに誘導ローラ３２Ｃを当接させ、それらに所定の張力を付与して当該剥離用テープＰＴや接着シートＡＳが２つ折りになるように誘導する。
【００２１】
そして、ウエハＷＦから接着シートＡＳ全体が剥離されると、張力付与手段３０がリニアモータ３２Ａおよび回動モータ３３Ｃの駆動を停止し、図２（Ｃ）に示すように、押え付けローラ３３Ｄとピンチローラ３４Ｄとで接着シートＡＳの剥離後端部を挟み込んだ状態で、回動モータ３３Ｃの回転をロックさせる。次に、折畳手段４０がリニアモータ４１Ａを駆動し、スライダ４１Ｂを左方向に移動させた後、保持手段２０および張力付与手段３０が回動モータ２２Ａおよびリニアモータ３２Ａを駆動し、接着シートＡＳの剥離先端部付近の剥離用テープＰＴが切断刃２６Ｃの直下に位置するように、当該剥離用テープＰＴおよび接着シートＡＳを移動させる。次いで、保持手段２０が回動モータ２２Ａの回転をロックさせた状態で、張力付与手段３０が回動モータ３３Ｃを駆動し、押え付けローラ３３Ｄとピンチローラ３４Ｄとの間から接着シートＡＳの剥離後端部を脱出させるとともに、リニアモータ３２Ａを駆動し、図３（Ａ）に示すように、接着シートＡＳの反対端部ＡＳ２の位置合わせを行う。その後、折畳手段４０が図示しない減圧手段および直動モータ４１Ｇを駆動し、吸着パッド４１Ｋを昇降させて当該吸着パッド４１Ｋで接着シートＡＳの屈曲部ＡＳ１近傍を吸着保持した後、張力付与手段３０がリニアモータ３２Ａを駆動し、誘導ローラ３２Ｃを初期位置に復帰させる。そして、保持手段２０および折畳手段４０が直動モータ２３Ａ、４１Ｄを駆動し、図３（Ｃ）に示すように、収容手段２３Ｃとシート支持部材３４Ｅとで反対端部ＡＳ２を圧着するとともに、上チャック部材４１Ｆと下チャック部材４１Ｌとで屈曲部ＡＳ１を圧着する。次に、保持手段２０が吸引手段２３Ｆを駆動し、吸着面２３Ｄで剥離用テープＰＴを吸着保持した後、リニアモータ２６Ａを駆動し、溝３４Ｆを利用して切断刃２６Ｃを昇降させることで剥離用テープＰＴを切断する。その後、保持手段２０が直動モータ２３Ａを駆動し、収容手段２３Ｃを初期位置に復帰させた後、直動モータ２４Ａを駆動し、補助ローラ２４Ｃを初期位置に復帰させる。
【００２２】
次いで、折畳手段４０がリニアモータ４１Ａを駆動し、スライダ４１Ｂを初期位置に復帰させ、図示しない減圧手段の駆動を停止した後、直動モータ４１Ｄを駆動し、上チャック部材４１Ｆを初期位置に復帰させる。これにより、２つ折りにされた接着シートＡＳは、図３（Ｄ）に示すように、その自重によって回収箱５０内に落下する。なお、上チャック部材４１Ｆを初期位置に復帰させるときに、折畳手段４０が加圧ポンプやタービン等の図示しない加圧手段を駆動し、吸着パッド４１Ｋから空気やガス等の気体を噴出してもよい。また、折畳手段４０が払落手段４１Ｍを駆動し、接着シートＡＳに気体を吹き付けて当該接着シートＡＳの下チャック部材４１Ｌからの離脱を補助してもよい。
【００２３】
ウエハＷＦから接着シートＡＳ全体が剥離されると、人手または図示しない搬送手段がテーブル３１Ｄ上のウエハＷＦを次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を
駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降同様の動作が繰り返される。
【００２４】
以上のような実施形態によれば、折畳手段４０が屈曲部圧着手段４１と外周部圧着手段４２とを備えているので、折り畳まれた接着シートＡＳに対して全面的に順次圧着力を付与せずとも、当該接着シートＡＳを折り畳むことができるため、単位時間当たりの処理能力が低下することを抑制することができる。
【００２５】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２６】
例えば、保持手段２０は、枚葉の剥離用テープを接着シートＡＳに押圧して貼付する構成でもよい。
テープ支持手段２１は、繰出手段２２方向に付勢されることなく剥離用テープＰＴを支持してもよく、この場合、繰出手段２２は、繰出ローラ２２Ｂとで剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラ等を採用すればよい。
リード保持手段２３は、吸引手段２３Ｆに代えてまたは併用して、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で剥離用テープＰＴを保持する構成を採用することができる。
保持補助手段２４は、補助ローラ２４Ｃに代えてまたは併用して、棒状部材、板状部材、エアの吹き付けで剥離用テープＰＴを吸着面２３Ｄに当接させる構成を採用することができる。
保持補助手段２４は、接着シートＡＳ剥離後の剥離用テープＰＴをリード保持手段２３のみで保持可能であれば、なくてもよい。
押圧手段２５は、押圧ヘッド２５Ｃに代えてまたは併用して、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、エアの吹き付け等による押圧部材を採用することができ、剥離用テープＰＴが感圧接着性の接着シートの場合、加熱手段２５Ｄはあってもよいし、なくてもよい。
押圧手段２５および切断手段２６の少なくとも一方は、収容手段２３Ｃに収容されずに、リニアモータ２５Ａ、２６Ａが図示しないフレームで支持されていてもよい。
付勢手段は、ばね２１Ｄに代えてまたは併用して、ゴムや樹脂等を採用してもよい。
他の装置で剥離用テープＰＴが接着シートＡＳに貼付されている場合、保持手段２０は、テープ支持手段２１、繰出手段２２、リード保持手段２３、保持補助手段２４、押圧手段２５および切断手段２６はなくてもよく、それらの代わりに駆動機器や吸着保持等で接着シートＡＳに貼付されている剥離用テープＰＴを保持する構成を採用すればよい。
保持手段２０は、剥離用テープＰＴを介することなく、駆動機器や吸着保持等で直接接着シートＡＳを保持してもよい。
切断手段２６は、切断刃２６Ｃに代えてまたは併用して、レーザカッタ、熱カッタ、エアカッタ、圧縮水カッタ等の他の構成のものを採用してもよい。
他の装置で剥離用テープＰＴを切断する場合、本願発明において切断手段２６はなくてもよいし、剥離用テープＰＴを切断しなくてもよい。
【００２７】
張力付与手段３０は、繰出手段２２の駆動、回動モータ３３Ｃの駆動、リニアモータ３１Ａの駆動およびリニアモータ３２Ａの駆動のうち、少なくとも１つの駆動で接着シートＡＳを剥離してもよい。
張力付与手段３０は、テーブル３１Ｄを固定しておき、保持手段２０等を移動させてもよいし、それら各手段とテーブル３１Ｄとの両方を移動させてもよい。
移動手段３１は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等でウエハＷＦを支持する構成でもよい。
誘導手段３２は、ウエハＷＦに当接していた面の反対側の面同士が対向する２つ折りになるように接着シートＡＳを誘導してもよい。
誘導手段３２は、誘導ローラ３２Ｃに代えてまたは併用して、棒状部材や板状部材等を採用してもよいし、エアの吹き付け等で接着シートＡＳが２つ折りになるように誘導してもよい。
張力付与手段３０は、誘導ローラ３２Ｃに代えてウエハＷＦとテープ支持手段２１とを相対移動させて剥離用テープＰＴに張力を付与してもよい。
他の装置でウエハＷＦを移動させる場合、本願発明において移動手段３１はなくてもよい。
押え付け手段３３は、ウエハＷＦから剥離された接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付されている接着シートＡＳに接触するように押え付けてもよいし、接触しないように押え付けてもよい。
押え付け手段３３は、接着シートＡＳの左端部、中間部、右端部等、どの位置で当該接着シートＡＳを押え付けてもよい。
押え付け手段３３は、押え付けローラ３３Ｄの最下部以外の位置で接着シートＡＳの折曲部を押え付けてもよい。
押え付け手段３３は、押え付けローラ３３Ｄに代えてまたは併用して、板状部材やエアの吹き付け等で接着シートをウエハＷＦ方向に押え付けてもよいし、なくてもよい。
挟み込み手段３４は、ピンチローラ３４Ｄに代えてまたは併用して、板状部材やエアの吹き付け等で押え付けローラ３３Ｄとで剥離用テープＰＴ等を挟み込んでもよいし、なくてもよい。
シート支持部材３４Ｅは、直動モータ４１Ｄ以外の駆動機器で移動するようにしてもよい。
シート支持部材３４Ｅの溝３４Ｆは、なくてもよい。
【００２８】
屈曲部圧着手段４１は、上チャック部材４１Ｆに形成された孔４１Ｊと同等の孔を下チャック部材４１Ｌに設け、上チャック部材４１Ｆ上に設けられた直動モータ４１Ｇおよび、当該直動モータ４１Ｇの出力軸４１Ｈに支持された吸着パッド４１Ｋと同等のものを下チャック部材４１Ｌの下面に設けてもよい。この場合、上チャック部材４１Ｆ側の孔４１Ｊや直動モータ４１Ｇ等は、あってもよいし、なくてもよく、吸着パッド４１Ｋでの接着シートＡＳの吸着保持は、上側および下側の少なくとも一方側から行えばよい。
屈曲部圧着手段４１は、直動モータ４１Ｇおよび吸着パッド４１Ｋの少なくとも直動モータ４１Ｇを備えなくてもよいし、払落手段４１Ｍを備えなくてもよい。
屈曲部圧着手段４１は、上下チャック部材４１Ｆ、４１Ｌとして、板状部材の他にローラ部材等の他の部材を採用してもよい。
払落手段４１Ｍは、下チャック部材４１Ｌに設けられたものに代えてまたは併用して、支持フレーム４１Ｃおよび上チャック部材４１Ｆの少なくとも一方に設けられていてもよいし、シャフト部材やローラ部材あるいは板状部材等で下チャック部材４１Ｌの上面から接着シートＡＳを払い落す構成でもよい。
外周部圧着手段４２は、収容手段２３Ｃおよびシート支持部材３４Ｅ以外の部材、例えば、適宜な駆動機器やエアの吹き付け等で反対端部ＡＳ２を圧着する構成としてもよい。
外周部圧着手段４２は、保持手段２０で保持した端部とは別の端部と他の端部とを、折り畳まれた接着シートＡＳにおいて対向する外周部同士として圧着する構成としてもよい。
外周部圧着手段４２は、対向する外周部の全体を圧着してもよいし、一部を圧着してもよい。
折畳手段４０は、折り畳まれた接着シートＡＳを１枚ずつ保持して、回収箱５０内に重ねて収納する重ね収納手段を備えてもよい。このような重ね収納手段は、駆動機器等を適宜組み合せて構成することができる。
折畳手段４０は、前記実施形態では、接着シートＡＳを１回だけ折り畳んで２つ折りとしたが、２回以上折り畳んで３つ折り以上としてもよい。
折畳手段４０は、ウエハＷＦに当接していた面の反対側の面同士が対向する２つ折りになるように接着シートＡＳを折り畳んでもよい。
【００２９】
回収手段は、回収箱５０以外に、剥離した接着シートＡＳを搬送するベルトコンベアや多間接ロボット等でもよいし、なくてもよい。
前記実施形態では、接着シートＡＳの反対端部ＡＳ２の位置合わせを行ったが、当該反対端部ＡＳ２の位置合わせは行わなくてもよい。
【００３０】
また、本発明における接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳおよび剥離用テープＰＴは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着形態のものが採用された場合の貼付は、接着シートＡＳや剥離用テープＰＴを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着すればよい。また、このような接着シートＡＳおよび剥離用テープＰＴは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３１】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、接着シートを保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３２】
１０…シート剥離装置
２０…保持手段
３０…張力付与手段
３２…誘導手段
４０…折畳手段
４１…屈曲部圧着手段
４２…外周部圧着手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…屈曲部
ＡＳ２…反対端部（外周部）
ＰＴ…剥離用テープ
ＷＦ…ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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