(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給シートにＸ−Ｙ方向に所定のピッチで方形状に配置された半導体素子をピックアップする方法であって、
上記方形状の隅部に隣接した検索開始位置ａ１に半導体素子を検出するための第１カメラを位置させるステップと、
上記第１カメラと供給シートとを上記Ｘ−Ｙ方向に相対的に移動させて該第１カメラにより上記検索開始位置ａ１の周囲を検索する周囲検索ステップと、
上記周囲検索ステップによって半導体素子が検出されたら、当該半導体素子を基準として上記隅部に向かうエリアを検索させる隅部検索ステップと、
上記隅部検索ステップによって新たな半導体素子が検出されたら、当該半導体素子を新たな基準として上記隅部検索ステップを繰り返し、該隅部検索ステップによって新たな半導体素子を検出することができなかったら、最後に検出した半導体素子１ｄの位置をピックアップ開始位置として設定するステップとを備え、上記ピックアップ開始位置から半導体素子を順次ピックアップさせることを特徴とする半導体素子のピックアップ方法。
【請求項２】
上記ピックアップ開始位置の半導体素子１ｄをピックアップしたら、該ピックアップ開始位置のＸ方向またはＹ方向に位置する半導体の有無を検出させ、新たな半導体素子を検出したら、該半導体素子を基準として上記隅部検索ステップを実行し、該隅部検索ステップで新たな半導体素子が検出されたら、当該半導体素子を新たな基準として上記隅部検索ステップを繰り返し、該隅部検索ステップによって新たな半導体素子を検出することができなかったら、最後に検出した半導体素子１ｊの位置を第２ピックアップ開始位置として設定し、上記第２ピックアップ開始位置から半導体素子１ｊを順次ピックアップさせることを特徴とする請求項１に記載の半導体素子のピックアップ方法。
【請求項３】
上記第１カメラが上記検索開始位置ａ１の行から隅部へ向かう方向とは反対の方向の行へと順次移動されて、上記検索開始位置ａ１の列に新たな半導体素子を検出したら、該半導体素子を基準として上記隅部検索ステップを実行し、該隅部検索ステップで新たな半導体素子が検出されたら、当該半導体素子を新たな基準として上記隅部検索ステップを繰り返し、該隅部検索ステップによって新たな半導体素子を検出することができなかったら、最後に検出した半導体素子１ｍの位置を第３ピックアップ開始位置として設定し、上記第３ピックアップ開始位置から半導体素子１ｍを順次ピックアップさせることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の半導体素子のピックアップ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体素子のピックアップ方法に関し、より詳しくは、供給シートにＸ−Ｙ方向に所定のピッチで方形状に配置された半導体素子をピックアップする半導体素子のピックアップ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体素子を基板に接合するボンディング装置において、供給シートにＸ−Ｙ方向に所定のピッチで方形状に配置された半導体素子を順次ピックアップしてこれを基板にボンディングするようにしたものが知られている（特許文献１）。
上記特許文献１においては、供給シートにＸ−Ｙ方向に所定のピッチで方形状に配置された半導体素子は、ボンディング装置に供給される以前にそれぞれの半導体素子について良否が判定され、不良品は供給シートから取り外されているので歯抜けが生じている。その他、歯抜けとなる原因としては、最初から歯抜けの状態で半導体素子が供給シートに供給されたり、または配置ミスによって生じることもある。
また上記供給シートについては、アライメントマーク等（位置情報のためのマーク）は設けられていないため、最初にピックアップすべき半導体素子の位置を検出することはできない。
このため上記特許文献１においては広視野と狭視野の２台のカメラを用意し、広視野のカメラによって供給シート全体を撮影することにより、供給シート上の各半導体素子の位置情報を取得するようにしている。そしてピックアップヘッドによって半導体素子をピックアップする際には、狭視野のカメラによってピックアップすべき半導体素子の高精度な位置情報を取得し、該位置情報に基づいて当該半導体素子をピックアップヘッドによってピックアップするようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭６３−８７８３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、２台のカメラを用いることは、当然ながらコストアップの要因となる。
他方、狭視野のカメラだけでは、最初にピックアップすべき半導体素子の位置を効果的に検出するのが困難で、誤った位置をピックアップ開始位置として設定した場合には供給シートからの半導体素子の取りこぼしが多くなる危険性があった。
本発明は、狭視野のカメラ１台であっても、可及的に半導体素子の取りこぼしを少なくしながら、最初にピックアップすべき半導体素子の位置をピックアップ開始位置として効果的に設定することができる半導体素子のピックアップ方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
すなわち請求項１の発明は、供給シートにＸ−Ｙ方向に所定のピッチで方形状に配置された半導体素子をピックアップする方法であって、
上記方形状の隅部に隣接した検索開始位置ａ１に半導体素子を検出するための第１カメラを位置させるステップと、
上記第１カメラと供給シートとを上記Ｘ−Ｙ方向に相対的に移動させて該第１カメラにより上記検索開始位置ａ１の周囲を検索する周囲検索ステップと、
上記周囲検索ステップによって半導体素子が検出されたら、当該半導体素子を基準として上記隅部に向かうエリアを検索させる隅部検索ステップと、
上記隅部検索ステップによって新たな半導体素子が検出されたら、当該半導体素子を新たな基準として上記隅部検索ステップを繰り返し、該隅部検索ステップによって新たな半導体素子を検出することができなかったら、最後に検出した半導体素子１ｄの位置をピックアップ開始位置として設定するステップとを備え、上記ピックアップ開始位置から半導体素子を順次ピックアップさせることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００６】
上記構成によれば、上記方形状の隅部に隣接した検索開始位置ａ１に半導体素子を検出するための第１カメラを位置させれば、それを基準として周囲検索ステップによりその周囲が検索されて半導体素子が検出されるようになり、その後の上記隅部検索ステップの繰り返しにより、隅部に最も近い位置の半導体素子１ｄの位置がピックアップ開始位置として設定されるようになる。
したがって、単に隅部に隣接した検索開始位置ａ１に第１カメラを位置させるだけで、半導体素子の取りこぼしの少ない位置に効果的にピックアップ開始位置を設定することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】ボンディング装置３の概略の構成を示す斜視図。
【図２】供給シート２に載置された半導体素子１の配列を示す平面図。
【図３】（ａ）は周囲検索ステップを説明するための説明図。（ｂ）は隅部検索ステップを説明するための説明図。
【図４】（ａ）〜（ｆ）はそれぞれピックアップのためのステップを説明するための説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下図示実施例について本発明を説明すると、図１において、半導体素子１は供給シート２の表面に多数配置されてボンディング装置３に供給されるようになっている。該ボンディング装置３の以下に述べる構成要素は、それぞれ図示しない制御装置によって制御されるようになっている。また上記供給シート２は可撓性を有しており、シートリング４にテンションを付与した状態で取り付けられている。
図２に示すように、上記半導体素子１は、図示しない上流側機器によって上記供給シート２上にＸ−Ｙ方向に所定のピッチｐ、ｑで整列されており、図示実施例では１３行×１８列の方形状に配置されている。但し、図示しない上流側の検査装置によって半導体素子１の良否が判定され、不良品は供給シート２から取り外されているため、歯抜けが多く発生している。また、図示実施例では行方向がＸ方向に、列方向がＹ方向となっているが、行方向をＹ方向に、列方向をＸ方向としてもよいことは勿論である。
上記シートリング４はボンディング装置３が備える図示しないＸ−Ｙテーブル上に載置され、該Ｘ−Ｙテーブルによって上述のＸ−Ｙ方向に移動されるようになっている。
【０００９】
図１に示すように、上記ボンディング装置３はシートリング４を載置したＸ−Ｙテーブルの上方に鉛直下方に向けた第１カメラ８を備えており、該第１カメラ８の直下位置が半導体素子１の取り出し位置Ａとなっている。上記第１カメラ８は高精細度を有しているが狭視野となっており、図２のａ１で示すように、１つの半導体素子１よりも僅かに大きな視野を有するにすぎない。
そして後に詳述するように、上記Ｘ−Ｙテーブルは１つの半導体素子１を第１カメラ８の鉛直下方である上記取り出し位置Ａに位置させるようになっており、取り出し位置Ａに位置された半導体素子１はピックアップヘッド９によって吸着保持されるようになっている。
上記ピックアップヘッド９は図示しない駆動手段によって昇降されるとともに、上記取り出し位置Ａと第１受け渡し位置Ｂとの間でＹ方向に往復移動され、さらに１８０度回転されて吸着保持した半導体素子１を反転させることができるようになっている。これにより、供給シート２上で上面を向いていた半導体素子１の電極面は下方を向くようになる。
【００１０】
上記ピックアップヘッド９によって第１受け渡し位置Ｂに移動され、かつピックアップヘッド９の反転によって上方に向けられた半導体素子１は、リレーヘッド１０によって吸着保持されてピックアップヘッド９からリレーヘッド１０に受け渡される。
このリレーヘッド１０は図示しない駆動手段によって昇降されるとともに、上記受け渡し位置Ｂとリレーステージ１１の上方位置Ｃとの間でＸ方向に往復移動され、吸着保持した半導体素子１をリレーステージ１１上に載置する。
上記リレーステージ１１の上方位置Ｃには鉛直下方に向けた第２カメラ１４が設けられており、該第２カメラ１４によってリレーステージ１１上に載置された半導体素子１を撮影することができるようになっている。第２カメラ１４による画像は図示しない制御装置に入力され、該制御装置によって半導体素子１の水平面内における向き（θ）が検出される。
【００１１】
上記リレーステージ１１は上記第２カメラ１４を設けた上方位置Ｃと第２受け渡し位置Ｄとの間でＹ方向に往復移動されるようになっており、第２カメラ１４によって半導体素子１が撮影されたら、該リレーステージ１１は上記第２受け渡し位置Ｄへ移動される。
この第２受け渡し位置Ｄの上方にはボンディングヘッド１５が待機しており、リレーステージ１１が第２受け渡し位置Ｄへ移動されて半導体素子１がボンディングヘッド１５の直下位置に位置されると、ボンディングヘッド１５が上記第２カメラ１４の撮像結果に基づき、半導体素子１の水平面内における向き（θ）に応じて回転される。
その後、ボンディングヘッド１５が下降されて上記半導体素子１を吸着保持する。
【００１２】
上記第２受け渡し位置Ｄに隣接した位置にボンディングステージ１６が設けられており、このボンディングステージ１６上に図示しない供給装置によって基板１７が供給されて載置されている。
上記ボンディングヘッド１５は上記第２受け渡し位置Ｄとボンディングステージ１６の上方位置Ｅとの間をＸ方向に往復移動されるようになっており、これにより第２受け渡し位置Ｄで吸着保持した半導体素子１をボンディングステージ１６の基板１７の直上位置Ｅに搬送することができるようになっている。
上記ボンディングヘッド１５はヘッドベース２１に設けられており、このヘッドベース２１がＸ方向に配置したＸビーム２２に沿って進退動されることにより、ボンディングヘッド１５が上記Ｘ方向に往復移動されるようになっている。
【００１３】
上記Ｘビーム２２には、上記ヘッドベース２１よりもボンディングステージ１６側にカメラベース２３が該Ｘビーム２２に沿って進退動自在に設けられており、このカメラベース２３に鉛直下方に向けた第３カメラ２４が設けられている。
上記ボンディングヘッド１５が第２受け渡し位置Ｄにおいてリレーステージ１１上の半導体素子１を吸着保持している間に、上記第３カメラ２４はボンディングステージ１６の上方位置Ｅに移動され、ボンディングステージ１６上の基板１７を撮影して、ボンディングのための位置決め情報（半導体素子１を搭載する位置）を取得する。
上記ボンディングヘッド１５がリレーステージ１１上の半導体素子１を吸着保持して第２受け渡し位置Ｄから上記ボンディングステージ１６の上方位置Ｅに移動される間に、その途中に設けられた鉛直上方に向けられた第４カメラ２５によって半導体素子１の下面（電極が形成されている面）が撮影され、これによってボンディングのための位置決め情報が取得される。
その後、ボンディングヘッド１５がボンディングステージ１６の上方位置Ｅに移動されたら、図示しない制御装置は、ボンディングすべき半導体素子１の位置決め情報と上記基板１７の位置決め情報とに基づきボンディングステージ１６をＸ−Ｙ方向に移動させて半導体素子１と基板１７との位置合わせを行い、この状態でボンディングヘッド１５を下降させてボンディングを実行する。
【００１４】
以上の構成と作動は従来公知のものであり、本発明は、上記供給シート２からどのようにして最初にピックアップすべき半導体素子１のピックアップ開始位置を設定するのかに関するものである。
図２に示す実施例では、前述したように半導体素子１は供給シート２上にＸ−Ｙ方向に所定のピッチｐ、ｑで１３行×１８列の方形状に整列されているが、不良品は供給シート２から取り外されているため、歯抜けが発生している。図２の実線は半導体素子１が存在していることを示し、点線は半導体素子１が取り外されて存在していないことを示している。
上記１３行×１８列の全てに半導体素子１が存在する場合には、第１行目となる図２の左上の隅部であるＣｆ’から半導体素子１のピックアップを開始し、Ｘ方向に１８個の半導体素子１を順次ピックアップしたら、次に第２行目の最も左側となる半導体素子１から再びＸ方向に１８個の半導体素子１を順次ピックアップし、これを第１３列目まで繰り返せば全ての半導体素子１を供給シート２上からピックアップすることができる。
しかしながら、上記Ｃｆ’に位置する半導体素子１の位置情報は与えられていないことが多く、この場合、第１カメラ８によって最初にピックアップすべき半導体素子１を検出して設定する必要がある。
【００１５】
本実施例では、歯抜けを考慮して、左上の隅部よりも内側の位置に第１カメラ８による検索開始位置ａ１が設定される。この設定は、上記Ｃｆ’の半導体素子１の位置情報が与えられていないことを考慮して、余裕をもって左上の隅部よりも内側の任意の位置にオペレータが目視により手動によって設定することができ、或いはそのような位置が予め設定してあってもよい。
なお、オペレータが最も左上の隅部に近いＣｆに位置する半導体素子１の位置を目視して、手動によってその位置を正確に最初にピックアップすべき半導体素子１の位置として設定することは、例えば半導体素子１が０．３ｍｍ角のように小さい場合を考慮すると、煩雑であって実用的ではない。
【００１６】
上記検索開始位置ａ１が設定されると、当該検索開始位置ａ１の周囲にある半導体素子１を検索する周囲検索ステップが実行される。
上記周囲検索ステップでは、図３（ａ）で示すように、検索開始位置ａ１を中心としてその周囲が検索される。図示実施例では、検索開始位置ａ１の隣接下方位置ａ２、該下方位置ａ２の隣接左位置ａ３、隣接上方位置ａ４、隣接上方位置ａ５、隣接右方位置ａ６、隣接右方位置ａ７、隣接下方位置ａ８および隣接下方位置ａ９の順に検索が行われる。この場合、実際には第１カメラ８が移動されるのではなく、Ｘ−Ｙテーブルによって供給シート２側が移動されるようになる。
【００１７】
図４は図２における左上部分の一点鎖線で示された領域を抽出して示したもので、図４（ａ）において、第１カメラ８は上述した周囲検索ステップに従って、検索開始位置ａ１から、隣接下方位置ａ２、隣接左位置ａ３および隣接上方位置ａ４の順に、順次検索を行っている。そして上記位置ａ４において、半導体素子１ａを検出することになる。
このようにして最初の半導体素子１ａを検出したら、図４（ｂ）に示すように、検出した半導体素子１ａを第１カメラ８の視野の中心に位置させる。この状態となったら、次に検出された半導体素子１ａを基準として、上記左上の隅部に向かうエリアを検索する隅部検索ステップが実行される。
なお、実際に第１カメラ８の視野の中心に半導体素子１ａが位置するように該第１カメラ８を移動させる必要はなく、第１カメラ８の視野の中心座標と半導体素子１ａの中心座標との誤差を記憶して、次の隅部検索ステップを実行する際の最初の第１カメラ８の移動の際に、その誤差がなくなるように第１カメラ８を移動させるようにしてもよい。
【００１８】
上記隅部検索ステップは、図２の左上の隅部に向かって新たな半導体素子を検索するもので、図３（ｂ）で示すように、検出された半導体素子１ａの位置を検索開始位置ｂ１として、隣接上方位置ｂ２、斜め下方位置ｂ３、隣接上方位置ｂ４、斜め上方位置ｂ５、上記上方位置ｂ４の斜め下方位置ｂ６、隣接上方位置ｂ７、斜め上方位置ｂ８および隣接左方位置ｂ９の順に、順次検索を行うことになる。
図示実施例では、図４（ｃ）で示すように、第１カメラ８は上記隅部検索ステップに従って、検索開始位置ｂ１から、隣接上方位置ｂ２、斜め下方位置ｂ３および隣接上方位置ｂ４と順次検出を行い、隣接上方位置ｂ４において、新たな半導体素子１ｂを検出している。
【００１９】
新たに半導体素子１ｂが検出された場合には、当該新たに検出された半導体素子１ｂを基準として、上記隅部検索ステップが繰り返される。
図４（ｄ）で示す例では、第１カメラ８は上記隅部検索ステップに従って、新たに設定された検索開始位置ｂ１から、隣接上方位置ｂ２、斜め下方位置ｂ３および隣接上方位置ｂ４と検出を行い、隣接上方位置ｂ４において、再び新たな半導体素子１ｃを検出している。
新たに半導体素子１ｃが検出された場合には、再び当該新たに検出された半導体素子１ｃを基準として、上記隅部検索ステップが繰り返される。
図４（ｅ）で示す例では、第１カメラ８は上記隅部検索ステップに従って、新たな検索開始位置ｂ１から、隣接上方位置ｂ２を検索し、該隣接上方位置ｂ２において新たな半導体素子１ｄを検出している。
【００２０】
新たに半導体素子１ｄが検出されたので、当該新たに検出された半導体素子１ｄを基準として、上記隅部検索ステップが繰り返される。
図４（ｆ）で示す例では、第１カメラ８は上記隅部検索ステップに従って、新たな検索開始位置ｂ１から全ての位置ｂ９までの検索を行っているが、今回は新たな半導体素子１を検出することはできない。
この場合には、図２に示すように、最後に検出された半導体素子１ｄの位置Ｃｆが最初にピックアップすべき半導体素子のピックアップ開始位置として設定される。
【００２１】
このようにして最初にピックアップすべき半導体素子１ｄの位置Ｃｆがピックアップ開始位置として設定されたら、前述したようにピックアップヘッド９によって半導体素子１ｄが吸着保持されて基板１７にボンディングされるようになる。
上記位置Ｃｆの半導体素子１ｄがピックアップされたら、第１カメラ８は右側に１ピッチｐだけ相対的に移動され、上記位置Ｃｆの右側に隣接する半導体素子１ｅを検索する。図２に示す例では上記位置Ｃｆの右側に隣接する位置に半導体素子１ｅが検出されるので、この場合、当該半導体素子１ｅを基準として上記隅部検索ステップが実行される。これは、上記位置Ｃｆの半導体素子１ｄの行が最上段の行であるか不明であり、当該行よりも上の行に存在するかもしれない半導体素子１の取り残しを防止するための作業である。
図２の例では、上記位置Ｃｆの半導体素子１ｄは既に取り出されているので、隅部検索ステップを実行しても新たな半導体素子１が検出されることはない。
この場合には、上記半導体素子１ｅが上記ピックアップヘッド９によって取出されるようになる。
【００２２】
上記半導体素子１ｅが取出されると、第１カメラ８はその位置から右側に１ピッチｐだけ相対的に移動され、半導体素子の検出が行われる。上記半導体素子１ｅの位置から３ピッチｐ分は半導体素子が存在しないブランクとなっているので、その間、上記隅部検索ステップが実行されることはなく、ピッチｐの順次の移動によって新たな半導体素子１ｆが検出される。
上記半導体素子１ｆが検出されると、上記隅部検索ステップが実行されるが、新たな半導体素子が検出されることはなく、当該半導体素子１ｆのピックアップが行われる。上記半導体素子１ｆの右側に隣接する半導体素子１ｇについても半導体素子１ｆと同等の処理が行われる。
【００２３】
次に、２つのブランクをあけて新たな半導体素子１ｈが検出されると、上記隅部検索ステップが実行されて新たな半導体素子１ｉが検出され、該半導体素子１ｉが検出されるとこれを基準として再び隅部検索ステップが実行されるので、さらに新たな半導体素子１ｊが検出される。当該半導体素子１ｊについても上記隅部検索ステップが実行されるが、当該隅部検索ステップでは新たな半導体素子が発見されることはないので、上記半導体素子１ｊが第２ピックアップ開始位置として設定される。
つまり当該半導体素子１ｊの位置は、最初に設定されたピックアップ開始位置よりも１行上の行となるので、この行について発見された上記半導体素子１ｊの位置が第２ピックアップ開始位置として設定される。そして該第２ピックアップ開始位置の半導体素子１ｊのピックアップが実行される。
上記第２ピックアップ開始位置における半導体素子１ｊのピックアップが行われると、これを基準として右側の検索が行われて、当然に上記半導体素子１ｉが検出される。そして該半導体素子１ｉが検出されるとこれを基準としてこれよりも上の行に存在するかもしれない半導体素子に対して再び隅部検索ステップが実行されるが、今回は新たな半導体素子が発見されることはないので、該半導体素子１ｉのピックアップが行われる。
【００２４】
このようにして上記半導体素子１ｊ、１ｉのピックアップが実行されると、第１カメラ８はさらに２ピッチｐ分だけ右側に移動され、それにより前述した半導体素子１ｈをピックアップすることなく、上記位置Ｃｆよりも１行上の行に位置する新たな半導体素子１ｋが検出される。
図２の例では上記半導体素子１ｋの行が最上段の行となっているので、最上段の行に位置する半導体素子１が発見されるたびに隅部検索ステップが実行されるが、新たな半導体素子１が検出されることはなく、したがって最上段に位置するそれ以降の半導体素子１はピックアップヘッド９によって全て取出されることになる。
【００２５】
１行に最大１８個の半導体素子１が整列されているので、制御装置は上記位置Ｃｆを基準としてピックアップヘッド９が１７ピッチ分だけ右側に移動されたら、第１カメラはピックアップされていない上記半導体素子１ｈの位置に戻され、その位置が確認されたら、当該半導体素子１ｈをピックアップする。このとき、第１カメラを最初の半導体素子１ｄの位置に戻して、そこから順次右側に１ピッチ分ずつ半導体素子を検出させながら、上記半導体素子１ｈを検出させるようにしてもよい。
上記半導体素子１ｈがピックアップされたら、その後、第１カメラ８による相対的な右方向の移動により当該第２行目の半導体素子１が順次検出されるようになるが、この行は上記半導体素子１ｉの検出によって最上段での行ではないことが確認されているので、隅部検索ステップの実行は省略される。そして第２行目において検出された半導体素子１は順次ピックアップヘッド９によって取り出される。
【００２６】
上記第２行目においても、上記位置Ｃｆを基準としてピックアップヘッド９が１７ピッチ分右に移動したら、制御装置は第１カメラ１４を第３行目における位置Ｃｆの下方位置に移動させ、その位置の半導体素子１ｃを検索させる。
この位置は各行の先頭となる位置なので、上記位置Ｃｆの半導体素子１よりも左の列に存在するかもしれない半導体素子１の取り残しを防止するために、上記隅部検索ステップが実行される。この隅部検索ステップは、上記半導体素子１ｃが検出されない場合であっても、実行してもよい。
図２の場合、上記半導体素子１ｃが検出されるので、該半導体素子１ｃの位置を基準として隅部検索ステップが実行され、それによって新たな半導体素子１ｍが検出されることになる。新たな半導体素子１ｍが検出されると再び隅部検索ステップが実行されるが、当該隅部検索ステップでは新たな半導体素子１が検出されることはないので、上記半導体素子１ｍの位置が第３ピックアップ開始位置として設定される。
つまり当該半導体素子１ｍの位置は、最初に設定されたピックアップ開始位置よりも１列左側の列となるので、この列について当該半導体素子１ｍの位置が第３ピックアップ開始位置として設定される。つまり第３ピックアップ開始位置は、最も左側の列を示す基準となる。そして該第３ピックアップ開始位置の半導体素子１ｍのピックアップが実行される。
そしてこれに引き続き、半導体素子１ｃがピックアップヘッド９によって取出されることになり、またこれに引き続き、それ以降の右側の半導体素子がピックアップヘッド９によって全て取出されることになる。
【００２７】
上記第３行目においては、最も左側に位置している半導体素子１ｍを基準としてピックアップヘッド９が１７ピッチ分右に移動したら、制御装置は第１カメラ１４を第４行目における半導体素子１ｍの下方位置に移動させ、その位置の半導体素子を検索させる。
図２の場合には半導体素子１ｎが検出されるので、該半導体素子１ｎの位置を基準として隅部検索ステップが実行される。しかしながら当該隅部検索ステップでは新たな半導体素子が検出されることはないので、上記半導体素子１ｎがピックアップヘッド９によって取出されることになる。そしてこれに引き続き、第４列目のそれ以降の半導体素子１ｂなどがピックアップヘッド９によって全て取出されることになる。
ピックアップヘッド９が第５列目の先頭に戻された際にも半導体素子１ｏが検出されるので、該半導体素子１ｏの位置を基準として隅部検索ステップが実行される。この場合にも当該隅部検索ステップでは新たな半導体素子が検出されることはないので、第４列目と同様に上記半導体素子１ｏがピックアップヘッド９によって取出されるとともに、これに引き続き、第５列目のそれ以降の半導体素子１ａなどがピックアップヘッド９によって全て取出されることになる。
【００２８】
ピックアップヘッド９が第６列目の先頭すなわち半導体素子１ｏの隣接下方位置に戻された際には新たな半導体素子が検出されないので、隅部検索ステップの実行は省略され、第６列目の右側の半導体素子がピックアップヘッド９によって全て取出されることになる。
この場合、以下の行を含めて、ピックアップヘッド９が各列の先頭に戻された際には、新たな半導体素子が検出されなくても、常に隅部検索ステップを実行するようにしてもよい。
そして以下同様にして、最上段の行（半導体素子１ｉ、１ｊが検出された行）から下に１３行分の検出が終了した時点で、半導体素子１の検出作業とピックアップ作業とが終了される。
【００２９】
なお、上記実施例では、上記第１カメラ８の視野は１つの半導体素子１よりも僅かに大きな視野を有するものであるとして説明しているが、これに限定されるのではなく、視野中に数個から数十個の半導体素子１が含まれるような視野を有するカメラを用いてもよい。
また、上記実施例では左上の隅部にできるだけ近い位置の半導体素子１ｄを検出してこれをピックアップ開始位置に設定するようにしているが、左上の隅部に限定されるものではなく、いずれかの隅部に近い位置にピックアップ開始位置に設定してもよいことは勿論である。また、上記実施例ではピックアップ開始位置からＸ方向に半導体素子１を順次検索するようにしているが、Ｙ方向に半導体素子１を順次検索するようにしてもよいことも勿論である。
また、上記周囲検索ステップや隅部検索ステップのパターンは図３（ａ）、（ｂ）に示したパターンに限定されるものではなく、種々のパターンを採用することができる。特に周囲検索ステップのパターンは隅部検索ステップのパターンと同一であってもよい。
さらに上記実施例では、第２ピックアップ開始位置と第３ピックアップ開始位置とを設定するようにして半導体素子の取りこぼしを可及的に少なくするようにしているが、必要に応じて、上記第２ピックアップ開始位置の設定と第３ピックアップ開始位置の設定とのいずれか一方又は双方の処理を省略してもよい。
【符号の説明】
【００３０】
１  半導体素子                    ２  供給シート
３  ボンディング装置              ８  第１カメラ
９  ピックアップヘッド            １６  ボンディングステージ
１７  基板                        ａ１  検索開始位置
１ｄ  最初のピックアップ開始位置の半導体素子
１ｊ  第２ピックアップ開始位置の半導体素子
１ｍ  第３ピックアップ開始位置の半導体素子
【図１】
0006455662.tif 000002
【図２】
0006455662.tif 000003
【図３】
0006455662.tif 000004
【図４】
0006455662.tif 000005