(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム特性分析の際にフィルムを伸展させるためのフィルム伸展治具であって、
前記伸展治具が、内枠及び外枠を有し、
前記内枠及び前記外枠は、内部が空洞であり、それぞれの上面の中心を中心とする直径１５ｍｍ以上５０ｍｍ以下の円形の貫通孔を備える円錐台形の形状を有し、
前記外枠を前記内枠に被せたときに形成される隙間の間隔が、０．００１ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、
前記内枠の上にフィルムを置き、さらに前記外枠を上から被せることによりフィルムを伸展させることを特徴とする、フィルム伸展治具。
【請求項２】
前記内枠の上面の直径が、貫通孔の直径よりも１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下長いことを特徴とする、請求項１に記載のフィルム伸展治具。
【請求項３】
前記内枠の貫通孔の直径が、前記外枠の貫通孔の直径と等しいことを特徴とする、請求項１又は２に記載のフィルム伸展治具。
【請求項４】
前記内枠の側面の長さが、１５ｍｍ以上であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載のフィルム伸展治具。
【請求項５】
前記内枠の上面と側面の成す角度が１２０°以上１７５°以下であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のフィルム伸展治具。
【請求項６】
前記フィルムが、ポリエステルを主成分とするフィルムであることを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のフィルム伸展治具。
【請求項７】
前記フィルム特性分析が、分光エリプソメトリー、蛍光Ｘ線分析、Ｘ線光電子分光法、Ｘ線反射率法、ＩＣＰ発光分光分析、ラザフォード後方散乱法、オージェ電子分光法、及び反射型赤外吸収法のいずれかであることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載のフィルム伸展治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば分光エリプソメーターやＸ線分析装置などを用いてフィルムの特性を分析するためにフィルムを伸展させる場合において、フィルムの反り、うねり、及びシワ等の発生を最小限に抑えることができ、さらにフィルムの固定を簡便に行うことができるフィルム伸展治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
分光エリプソメーターやＸ線分析装置などでは、フィルム試料にビームを照射し、反射又は励起されたビームの強度スペクトルを検出器で測定することにより、フィルム試料が含有する元素、屈折率や密度などの物性、構造を特定することが可能である。これらの分析装置による測定においては、一般的に、ビームが照射される箇所が水平になるように、フィルム試料を載置することが重要である。
【０００３】
ビームが照射される箇所が水平になるようにフィルム試料を載置するための方法としては、例えば、フィルム試料を水平な試料台に載置する方法、フィルム試料背面に設けた粘着剤や粘着テープで試料台に固定する方法、及びフィルム試料に張力を掛けた状態で端部を固定する方法（特許文献１）、治具を用いてフィルム試料を丸めて固定した際に生じるフィルム試料の自己張力を利用して撓みを除去する方法（特許文献２）、及び四角形の窓枠を有する下側ホルダーと上側ホルダーでフィルム試料を保持する保持具を用いる方法（特許文献３）などが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１０７３１３号公報
【特許文献２】特開２０１４−１４５６５８号公報
【特許文献３】実開平１−１１８３４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、フィルムのように比較的柔らかい試料の分析に、特許文献１に記載の方法を用いる場合、フィルム試料の反りや、粘着剤や粘着テープの表面粗さなどの影響により、分析の繰り返し再現性が得られないという問題がある。
【０００６】
特許文献２に記載の方法においては、フィルム試料自体の張力が弱いために、フィルム試料のシワを完全に除去することができず、分析機器が発するビームがシワに当たって測定不良になることや、治具のフレームにより分析機器が発するビームの入射光路が妨害されるために、測定角度が制限されることが問題となる。また、フィルム試料の固定にも時間を要する。
【０００７】
特許文献３に記載の方法においては、下側ホルダーと上側ホルダーでフィルム試料を引っ張る際に全方向に均一な力がかからないため、フィルム試料の中央部が浮き上がり、測定誤差が大きくなることが問題となる。
【０００８】
本発明の課題は、かかる従来技術の欠点を改良し、フィルムの反り、うねり、及びシワ等の発生を最小限に抑えることができ、さらにフィルムの固定を簡便に行うことができるフィルム伸展治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、本発明のフィルム伸展治具は以下の構成からなる。
（１）  フィルム特性分析の際にフィルムを伸展させるためのフィルム伸展治具であって、前記伸展治具が、内枠及び外枠を有し、前記内枠及び前記外枠は、内部が空洞であり、それぞれの上面の中心を中心とする直径１５ｍｍ以上５０ｍｍ以下の円形の貫通孔を備える円錐台形の形状を有し、前記外枠を前記内枠に被せたときに形成される隙間の間隔が、０．００１ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、前記内枠の上にフィルムを置き、さらに前記外枠を上から被せることによりフィルムを伸展させることを特徴とする、フィルム伸展治具。
（２）  前記内枠の上面の直径が、貫通孔の直径よりも１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下長いことを特徴とする、（１）に記載のフィルム伸展治具。
（３）  前記内枠の貫通孔の直径が、前記外枠の貫通孔の直径と等しいことを特徴とする、（１）又は（２）に記載のフィルム伸展治具。
（４）  前記内枠の側面の長さが、１５ｍｍ以上であることを特徴とする、（１）〜（３）のいずれかに記載のフィルム伸展治具。
（５）  前記内枠の上面と側面の成す角θが１２０°以上１７５°以下であることを特徴とする、（１）〜（４）のいずれかに記載のフィルム伸展治具。
（６）  前記フィルムが、ポリエステルを主成分とするフィルムであることを特徴とする、（１）〜（５）のいずれかに記載のフィルム伸展治具。
（７）  前記フィルム特性分析が、分光エリプソメトリー、蛍光Ｘ線分析、Ｘ線光電子分光法、Ｘ線反射率法、ＩＣＰ（誘導結合プラズマ）発光分光分析、ラザフォード後方散乱法、オージェ電子分光法、及び反射型赤外吸収法のいずれかであることを特徴とする、（１）〜（６）のいずれかに記載のフィルム伸展治具。
【発明の効果】
【００１０】
本発明により、例えば分光エリプソメーターやＸ線分析装置などを用いてフィルムの特性を分析するためにフィルムを伸展させる場合において、フィルムの反り、うねり、及びシワ等の発生を最小限に抑えることができ、さらにフィルムの固定を簡便に行うことができるフィルム伸展治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施態様に係るフィルム伸展治具の外枠及び内枠の分解斜視図である。
【図２】図１のフィルム伸展治具の外枠及び内枠の上面図である。
【図３】図１のフィルム伸展治具でフィルムを伸展させた状態の一例を示す上面図である。
【図４】図３のＩ−Ｉ断面矢視図である。
【図５】比較例２におけるフィルム伸展治具の外枠及び内枠の上面図である。
【図６】図５のフィルム伸展治具でフィルムを伸展させた状態の上面図である。
【図７】図６のＩＩ−ＩＩ断面矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
本発明のフィルム伸展治具は、フィルム特性分析の際にフィルムを伸展させるためのフィルム伸展治具であって、前記伸展治具が、内枠及び外枠を有し、前記内枠及び前記外枠は、内部が空洞であり、それぞれの上面の中心を中心とする直径１５ｍｍ以上５０ｍｍ以下の円形の貫通孔を備える円錐台形の形状を有し、前記外枠を前記内枠に被せたときに形成される隙間の間隔が、０．００１ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、前記内枠の上にフィルムを置き、さらに前記外枠を上から被せることによりフィルムを伸展させることを特徴とする。
【００１３】
図１に本発明のフィルム伸展治具の一例（外枠及び内枠の斜視図）、図２に本発明のフィルム伸展治具の一例（外枠及び内枠の上面図）、図３に本発明のフィルム伸展治具でフィルムを伸展させた一例の上面図、及び図４に図３のＩ−Ｉ断面矢視図をそれぞれ示す。
【００１４】
図１〜図４に示すように、本発明の一実施態様に係るフィルム伸展治具１００は、内部が空洞で、上面３の中心を中心とする貫通孔４を備えた外枠１及び内枠２を有しており、外枠１及び内枠２はそれぞれ内部が空洞の円錐台形の形状を有している。図における５は、円錐台形の形状を有する外枠１及び内枠２の側面を示している。このフィルム伸展治具１００では、図３、図４に示すように、フィルム６を上に置いた内枠２に外枠１を被せて使用され、外枠１及び内枠２の貫通孔４内に位置するフィルム部分が、フィルムの測定部位６ａとされる。このフィルムの測定部位６ａに対して、図４に示すように入射ビーム７が照射され、反射ビーム８が検出、測定される。図４における９は内枠２の貫通孔４の直径を、９ａは外枠１の貫通孔４の直径を、１０は内枠２の上面３の半径と貫通孔４の半径の差を、１１は内枠２の側面５の長さを、１２は内枠２の上面３と側面５の成す角度を、それぞれ示している。
【００１５】
本発明のフィルム伸展治具は、フィルムの反り、うねり、及びシワ等の発生を最小限に抑え、かつフィルム特性分析の際にフィルムのみにビームを当てる観点から、内枠及び外枠を有し、前記内枠及び前記外枠は、内部が空洞であり、それぞれの上面の中心を中心とする直径１５ｍｍ以上５０ｍｍ以下の円形の貫通孔を備える円錐台形の形状を有することが重要である。ここで、上面の中心を中心とする円形の貫通孔を備えるとは、上面における孔の形状が上面の中心を中心とする円形であり、かつ貫通孔の側面（内側面）と平行に引いた直線と上面上に引いた直線のなす角度が略直角（８５°以上９５°以下）である貫通孔を備えることをいう。
【００１６】
内枠と外枠を、内部が空洞である円錐台形の形状とすることにより、内枠の上にフィルムを置き、さらに外枠を上から被せてフィルムを伸展させる際に、内枠の上面の上に位置するフィルムにかかる水平方向の力が、円錐台の中心線とフィルム面の交点を中心として全方向に均一となるため、内枠の上面の上に位置するフィルムの反り、うねり、及びシワ等の発生を抑制することができる。
【００１７】
本発明のフィルム伸展治具は、フィルムを上に置いた内枠に外枠を被せて使用するものであるため、外枠の底面に相当する部分は開放状態である。内枠も外枠と同様に、底面に相当する部分は開放状態であることが好ましいが、内枠については底面を設けてもよい。
【００１８】
内枠及び外枠が、それぞれの上面の中心を中心とする円形の貫通孔を備えることにより、フィルム面の上下が空間となり、フィルム特性分析の際にフィルムのみにビームを当てることができる（図４に例示）。
【００１９】
内枠及び外枠の貫通孔が、それぞれの上面の中心を中心とする直径１５ｍｍ以上５０ｍｍ以下の円形であることにより、フィルムを伸展させるのに十分な力をかけること、及び分析時に適切にビームを照射することが可能となる。
【００２０】
内枠及び／又は外枠の貫通孔の直径（図４の９、９ａ）が５０ｍｍを超えると、内枠の上にフィルムを置き、さらに前記外枠を上から被せた際に、フィルムを伸展する力が不十分となり、フィルムの反り、うねり、及びシワ等が発生しやすくなることがある。一方、内枠及び／又は外枠の貫通孔の直径が１５ｍｍ未満であると、水平面とビームの成す角を小さくした際に入射光路が妨げられることや、フィルムの測定部位の面積が小さくなることでビームが照射される位置とフィルム伸展治具の壁面が近くなることにより、正しい分析結果が得られないことがある。
【００２１】
なお、フィルムを伸展させるのに十分な力をかけることと、分析時に適切にビームを照射することを両立させるには、内枠及び外枠の貫通孔が、直径２０ｍｍ以上４０ｍｍ以下の円形であることが好ましい。
【００２２】
本発明のフィルム伸展治具は、フィルムの反り、うねり、及びシワ等の発生を最小限に抑える観点から、外枠を内枠に被せたときに形成される隙間の間隔が、０．００１ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが重要である。ここで、外枠を内枠に被せたときに形成される隙間の間隔が、０．００１ｍｍ以上１ｍｍ以下であるとは、中心線を揃えて内枠に外枠を被せた際に、全ての箇所で内枠と外枠の距離が０．００１ｍｍ以上１ｍｍ以下となることをいう。
【００２３】
外枠を内枠に被せたときに形成される隙間の間隔は、測定対象のフィルムの厚みに応じて適宜調整することができるが、フィルムに均等に力をかけることを考慮すると、フィルムの厚みの０．９５倍から１．０５倍とすることが好ましい。
【００２４】
本発明のフィルム伸展治具は、フィルムの反り、うねり、及びシワ等の発生を最小限に抑える観点から、内枠の上面の直径が、貫通孔の直径よりも１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下長いことが好ましく、１２ｍｍ以上１８ｍｍ以下長いことがより好ましい。言い換えると、内枠の上面の半径と貫通孔の半径の差（図４の１０）が５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましく、６ｍｍ以上９ｍｍ以下であることがより好ましい。内枠の直径が、貫通孔の直径よりも０ｍｍ以上１０ｍｍ未満長い場合は、フィルムを外枠と内枠で押さえる力が弱くなることがあり、また、貫通孔の直径よりも２０ｍｍを超えて長い場合は、内枠の側面と貫通孔の距離が大きくなる。そのため、フィルムの反り、うねり、及びシワ等が発生することがある。
【００２５】
本発明のフィルム伸展治具では、内枠の貫通孔の直径が、外枠の貫通孔の直径と等しいことが好ましい。内枠と外枠で貫通孔の直径が異なると、フィルムにかかる力が不均一となり、フィルムの反り、うねり、及びシワ等が発生しやすくなることがある。
【００２６】
本発明のフィルム伸展治具では、内枠の側面の長さが、１５ｍｍ以上であることが好ましく、２０ｍｍ以上であることがより好ましい。ここで、内枠の側面の長さとは、内枠の上面の直径を含み、かつ水平面と垂直な平面で内枠を切断して得られる断面における内枠外側の側面に由来する直線の長さをいう（図４の１１）。内枠の側面の長さが１５ｍｍ未満であると、フィルムを伸展する力が不十分となり、フィルムの反り、うねり、及びシワ等が発生することがある。内枠の側面の長さの上限値は、本発明の効果を損なわない限り特に制限されないが、フィルム伸展治具自体の大きさを考慮すると３０ｍｍあれば十分である。
【００２７】
本発明のフィルム伸展治具は、フィルムを伸展させるのに必要かつ十分な力をかける観点から、内枠の上面と側面の成す角度が１２０°以上１７５°以下であることが好ましい。ここで、内枠の上面と側面の成す角度とは、内枠の上面の直径を含み、かつ水平面と垂直な平面で切断したときに得られる、上面の直径と内枠外側の側面由来の辺が成す角度をいう（図４の１２）。
【００２８】
内枠の上面と側面の成す角度が１２０°未満であれば、内枠と外枠でフィルムを把持する際にフィルムの折れが生じ、反り、うねり、及びシワ等を発生させずにフィルムを伸展させることができないことがある。一方、内枠の上面と側面の成す角度が１７５°を超えると、フィルムを伸展させるために必要な張力が得られないことがある。
【００２９】
本発明のフィルム伸展治具は、本発明の効果を損なわない限り、対象となるフィルムを構成する樹脂の種類を問わず使用することができる。
【００３０】
本発明のフィルム伸展治具を用いることができるフィルムとしては、例えば、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、エチレン酢酸ビニル共重合体のケン化物、ポリアクリロニトリル、及びポリアセタール等の各種ポリマーを主成分とするフィルム等が挙げられる。中でも、一度フィルムがたわむと、その後の平面性確保が難しいことから、ポリエステルを主成分とするフィルムに好ましく用いられる。
【００３１】
また、本発明のフィルム伸展治具は、フィルムが単層構成であるか積層構成であるか、有機物や無機物あるいはこれらの混合物によるコーティング層があるか否か、主成分の樹脂がホモポリマーであるかコポリマーであるか、未延伸フィルムであるか一軸又は二軸延伸フィルムであるか等を問わず、使用することができる。
【００３２】
本発明のフィルム伸展治具は、本発明の効果を損なわない限り、フィルム面にビームを照射する工程を有するフィルム特性分析において使用することができる。具体的には、分光エリプソメトリー、蛍光Ｘ線分析、Ｘ線光電子分光法、Ｘ線反射率法、ＩＣＰ発光分光分析、ラザフォード後方散乱法、オージェ電子分光法、及び反射型赤外吸収法において好ましく用いることができる。
【実施例】
【００３３】
以下、本発明を実施例に基づき、具体的に説明する。ただし、本発明は下記実施例に限定されるものではない。
【００３４】
［測定及び評価方法］
厚み１８８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製“ルミラー”（登録商標）Ｕ３５）を使用したフィルムを内枠と外枠で挟んで治具に固定し、内枠及び外枠の貫通孔の中心にビームが照射されるように、分光エリプソメーター（Ｊ．Ａ．Ｗｏｏｌｌａｍ社製、Ｍ−２０００）のサンプル台の上に設置した。次いで、サンプル台平面と垂直な直線と入射光の成す角が７０°となるように入射光の角度を設定し、反射ビームがディテクターに入るよう、サンプル台の高さと角度を調整し、分光エリプソメーターによるフィルムの平面性評価を行った。
【００３５】
平面性の評価は、後述の測定強度、測定強度差、及び反射ビーム形状を基に行い、これら３項目が全て「○」となった場合をＡ、２項目が「○」となった場合をＢ、１項目が「○」となった場合はＣ、全項目が「×」となった場合をＤとした。平面性はＡが最も優れており、Ｂ以上であればフィルム伸展治具として実用的に使用できる。なお、平面性評価は一度の測定に基づき行い、実施例、比較例における結果を表１及び２に示す。
【００３６】
（１）測定強度
分光エリプソメーターにより反射ビーム強度Ｒを測定し、Ｒ≧０．２５の場合を○、そうでない場合を×とした。反射ビーム強度Ｒが０．２５未満であると、測定のために十分な光量を得られず、測定ばらつきの原因となる。なお、Ｒは実測値の小数点第三位を四捨五入して得られた値とした。
【００３７】
（２）測定強度差
（１）において反射ビーム強度Ｒを測定した箇所を位置Ｔとした時に、位置Ｔよりフィルム伸展治具をサンプル台と平行な任意の方向（方向Ａ）に５ｍｍ移動させた際の反射ビーム強度を測定し、これをＲＡとした。次いで、フィルム伸展治具を一旦位置Ｔに戻して、位置Ｔより、サンプル台と平行であり方向Ａより右に９０度回転した方向（方向Ｂ）に５ｍｍ移動させた際の反射ビーム強度を測定し、これをＲＢとした。ＲとＲＡが下記式（Ｉ）を満たし、かつＲとＲＢが下記式（ＩＩ）満たす場合を○、そうでない場合を×とした。ＲとＲＡが下記式（Ｉ）を満たさない、及び／又はＲとＲＢが下記式（ＩＩ）を満たさないことは、フィルム面が歪んでいることを意味する。
｜Ｒ−ＲＡ｜＜０．１０…（Ｉ）
｜Ｒ−ＲＢ｜＜０．１０…（ＩＩ）
なお、ＲＡ及びＲＢはそれぞれ実測値の小数点第三位を四捨五入して得られた値とした。
【００３８】
（３）反射ビーム形状
エリプソメーターのディテクターに反射ビームが入る際に、ディテクターカバーに投影される反射ビームの直径又は長軸を定規により測定し、その長さが５ｍｍ未満である場合を○、そうでない場合を×とした。ディテクターカバーに投影される反射ビームの直径又は長軸の長さが５ｍｍ以上である場合、フィルム面が歪んでいることを意味する。
【００３９】
（実施例１）
図４の９及び１０〜１２のパラメーターが表１の通りであるフィルム伸展治具を使用し、フィルム伸展治具によって発生する張力によってフィルム面が固定されるように、ポリエチレンテレフタレートフィルムをフィルム伸展治具に固定した。次いで、フィルム伸展治具の内枠及び外枠の貫通孔の中心部に位置するフィルム面にビームが当たるように、フィルム伸展治具をエリプソメーターのサンプル台上に設置し、フィルム伸展治具で固定されたポリエチレンテレフタレートフィルムの平面性を評価した。結果を表１に示す。
【００４０】
（実施例２〜８、比較例１）
表１に示す通り、図４のパラメーター９及び１０〜１２を変更した以外は実施例１と同様にして、フィルム伸展治具で固定されたポリエチレンテレフタレートフィルムの平面性を評価した。結果を表１に示す。
【００４１】
（比較例２）
図５〜７に示すように、内枠及び外枠の形状を、内部が空洞である正四角錐台形としたフィルム伸展治具２００を使用し、それぞれ上面の対角線の交点と上面から見た貫通孔の対角線の交点が同一となるように、上面上に正方形の貫通孔４を設けた。また、図５〜７のパラメーター１１〜１３、及び１５を表２の通りとした。図５、図７における１３は比較例２における内枠の貫通孔の辺の長さを、１３ａは比較例２における外枠の貫通孔の辺の長さを、１４は比較例２における内枠の上面の辺の長さを、１５は比較例２における「（内枠の上面の辺の長さ−貫通孔の辺の長さ）／２」を、それぞれ示している。前述の点以外は実施例１と同様にして、フィルム伸展治具で固定されたポリエチレンテレフタレートフィルムの平面性を評価した。結果を表２に示す。
【００４２】
なお、比較例２において、内枠の側面の長さとは、上面から見た貫通孔の対角線の交点を含み、上面の任意の辺と垂直であり、かつ水平面とも垂直な平面で内枠を切断して得られる断面における内枠外側の側面に由来する直線の長さをいい（図７の１１）、上面と側面の成す角度とは、このように内枠を切断したときの上面由来の辺と内枠外側の側面由来の辺が成す角度をいう（図７の１２）。
【００４３】
【表１】
0006518542.tif 000002
【００４４】
なお、表１において、全ての実施例及び比較例１において、内枠の貫通孔の直径と外枠の貫通孔の直径は長さが等しい。
【００４５】
【表２】
0006518542.tif 000003
【００４６】
なお、表２において、内枠の貫通孔と外枠の貫通孔は、共に上面から見たときの形状が正方形であり、その辺の長さも等しい。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明により、例えば分光エリプソメーターやＸ線分析装置などを用いてフィルムの特性を分析するためにフィルムを伸展させる場合において、フィルムの反り、うねり、及びシワ等の発生を最小限に抑えることができ、さらにフィルムの固定を簡便に行うことができるフィルム伸展治具を提供することができる。
【符号の説明】
【００４８】
１  外枠
２  内枠
３  上面
４  貫通孔
５  側面
６  フィルム
６ａ フィルムの測定部位
７  入射ビーム
８  反射ビーム
９  内枠の貫通孔の直径
９ａ  外枠の貫通孔の直径
１０  内枠の上面の半径と貫通孔の半径の差
１１  内枠の側面の長さ
１２  内枠の上面と側面の成す角度
１３  比較例２における内枠の貫通孔の辺の長さ
１３ａ  比較例２における外枠の貫通孔の辺の長さ
１４  比較例２における内枠の上面の辺の長さ
１５  比較例２における「（内枠の上面の辺の長さ−貫通孔の辺の長さ）／２」
１００、２００  フィルム伸展治具
【図１】
0006518542.tif 000004
【図２】
0006518542.tif 000005
【図３】
0006518542.tif 000006
【図４】
0006518542.tif 000007
【図５】
0006518542.tif 000008
【図６】
0006518542.tif 000009
【図７】
0006518542.tif 000010