(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理ガスを燃焼または熱分解により無害化する除害装置であって、
前記被処理ガスが導入される燃焼室を備えた除害装置本体と、
前記燃焼または熱分解に必要な火炎を前記燃焼室内に形成するバーナーと、
前記バーナーの点火に必要な種火を形成するパイロットバーナーと、
前記火炎の形成に必要な可燃性燃料を第１支燃性ガスとして前記バーナーに供給する手段、および、前記火炎の形成に必要な空気または酸素を第２支燃性ガスとして前記バーナーに供給する手段として機能する支燃性ガス供給手段と、
前記第１支燃性ガスと前記第２支燃性ガスが混合され、前記燃焼室の外側を覆うバーナーガス室と、
前記火炎による前記被処理ガスの前記燃焼または前記熱分解を停止した時に、前記燃焼室内に存在する物質が、前記バーナーガス室及び前記支燃性ガス供給手段側へ逆流する現象を阻止する逆流阻止手段と、を備えたこと
を特徴とする除害装置。
【請求項２】
前記被処理ガスの前記燃焼または前記熱分解の停止後も、前記パイロットバーナーの燃焼のみを維持し続けること
を特徴とする請求項１に記載の除害装置。
【請求項３】
前記逆流阻止手段は、前記被処理ガスの前記燃焼または前記熱分解の停止後も、前記支燃性ガス供給手段から前記バーナーに対して前記第２支燃性ガスを供給し続けること
を特徴とする請求項１または２に記載の除害装置。
【請求項４】
前記逆流阻止手段として、前記支燃性ガス供給手段から前記バーナーに対して前記第１支燃性ガスまたは前記第２支燃性ガスを供給するための配管の途中にバルブを設けたこと
を特徴とする請求項１または２に記載の除害装置。
【請求項５】
前記バルブを前記除害装置本体の近傍に設置したこと
を特徴とする請求項４に記載の除害装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理ガス中の有害成分を燃焼または熱分解により無害化する除害装置に関し、特に、種火だけ維持し安全に燃焼室内のバーナーの火炎を停止すること、および、燃焼再開時から遅延なく迅速に完全燃焼による被処理ガスの無害化を可能としたものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、半導体製造工場では、周知の半導体製造装置のプロセスチャンバから排気される有害成分含有の排気ガスを無害化する手段として、燃焼式の除害装置を使用している（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
図３は、従来の除害装置の模式図である。この図３の除害装置Ｍは、有害成分含有の排気ガスを被処理ガスとして燃焼または熱分解により無害化する装置（燃焼式）であり、その装置構成として、被処理ガスが導入される燃焼室１を備えた除害装置本体２と、無害化に必要な火炎を燃焼室１内に形成するバーナー３と、バーナー３の点火に必要な種火を形成するパイロットバーナー４と、前記火炎の形成に必要な可燃性燃料を第１支燃性ガスとしてバーナー３に供給する手段、および、前記火炎の形成に必要な空気または酸素を第２支燃性ガスとしてバーナー３に供給する手段として機能する支燃性ガス供給手段５と、を有している。
【０００４】
以上のような構成からなる図３の従来の除害装置Ｍでは、これを起動すると、最初にパイロットバーナー４で燃焼室１内に種火が形成される。この種火は常にその点火の状態が維持されるように設定してある。
【０００５】
そして、例えば、図示しない装置コントローラから図３の除害装置Ｍに対して燃焼開始の指示信号が与えられると、支燃性ガス供給手段５からバーナー３に対して第１支燃性ガスと第２支燃性ガスの供給が開始される。
【０００６】
前記のようにバーナー３に対して供給された第１支燃性ガスと第２支燃性ガスは、混合気となって、バーナー３から燃焼室１に向けて噴出し、噴出した混合気に対してパイロットバーナー４での種火による引火作用が加わることで、燃焼室１内には被処理ガスの無害化に必要な火炎が形成される。
【０００７】
しかしながら、図３の従来の除害装置Ｍでは、火炎による被処理ガスの燃焼または熱分解を停止するために、支燃性ガス供給手段５からバーナー３への第１支燃性ガスと第２支燃性ガスの供給を停止した時にも、種火をそのまま維持する方式を採っている。しかし、この場合、燃焼室に物質（種火において燃え残りの未燃焼ガス燃料等）が存在し、残存物が発生してしまう場合がある。
【０００８】
その場合、図３の従来の除害装置Ｍでは、燃焼または熱分解を停止した時に、種火を維持し続けることによって、同図矢印Ｒで示したように、種火での燃え残りの未燃焼ガス燃料等がバーナー３を通じて支燃性ガス供給手段５側に逆流するという現象が発生する。
【０００９】
前記のような逆流現象による第１の問題点として、図３の従来の除害装置Ｍでは、燃焼または熱分解の停止後に、支燃性ガス供給手段５側において、逆流した未燃焼ガス燃料等が発火するおそれがあり、種火だけ維持し安全に燃焼室内の火炎を停止することができないという問題点がある。
【００１０】
また、前記のような逆流現象による第２の問題点として、図３の従来の除害装置Ｍにあっては、逆流した未燃焼ガス燃料等が支燃性ガス供給手段５からバーナー３への第２支燃性ガス（空気または酸素）の供給配管経路（具体的には、配管ＰＡ１）内に残留することから、燃焼の再開時に、そのように残留する未燃焼ガス燃料等が第２支燃性ガス（空気または酸素）によりバーナー３を通じて燃焼室１に押し出されるまでの間、支燃性ガス供給手段５からバーナー３への第２支燃性ガス（空気または酸素）の供給が滞るので、燃焼室１内での完全燃焼に遅延が生じ、燃焼再開時から遅延なく迅速に完全燃焼による被処理ガスの無害化を行なうことができないという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００１−３４９５２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は前記問題点を解決するためになされたもので、その目的は、種火だけ維持し安全に燃焼室内のバーナーの火炎を停止すること、および、燃焼再開時から遅延なく迅速に完全燃焼による被処理ガスの無害化が可能な除害装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を達成するために、本発明は、被処理ガスを燃焼または熱分解により無害化する除害装置であって、前記被処理ガスが導入される燃焼室を備えた除害装置本体と、前記燃焼または熱分解に必要な火炎を前記燃焼室内に形成するバーナーと、前記バーナーの点火に必要な種火を形成するパイロットバーナーと、前記火炎の形成に必要な可燃性燃料を第１支燃性ガスとして前記バーナーに供給する手段、および、前記火炎の形成に必要な空気または酸素を第２支燃性ガスとして前記バーナーに供給する手段として機能する支燃性ガス供給手段と、前記第１支燃性ガスと前記第２支燃性ガスが混合され、前記燃焼室の外側を覆うバーナーガス室と、前記火炎による前記被処理ガスの前記燃焼または前記熱分解を停止した時に、前記燃焼室内に存在する物質が、前記バーナーガス室及び前記支燃性ガス供給手段側へ逆流する現象を阻止する逆流阻止手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
前記本発明において、前記被処理ガスの前記燃焼または前記熱分解の停止後も、前記パイロットバーナーの燃焼のみを維持し続けることを特徴としてもよい。
【００１５】
前記本発明において、前記逆流阻止手段は、前記被処理ガスの前記燃焼または前記熱分解の停止後も、前記支燃性ガス供給手段から前記バーナーに対して前記第２支燃性ガスを供給し続けることを特徴としてもよい。
【００１６】
前記本発明において、前記逆流阻止手段として、前記支燃性ガス供給手段から前記バーナーに対して前記第１支燃性ガスまたは前記第２支燃性ガスを供給するための配管の途中にバルブを設けたことを特徴としてもよい。
【００１７】
前記バルブを設けた本発明では、更に、前記バルブを前記除害装置本体の近傍に設置したことを特徴としてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明では、除害装置の具体的な構成として、前記の通り、火炎による被処理ガスの燃焼または熱分解を停止した時に、燃焼室内に存在する物質として例えば種火での燃え残りの未燃焼ガス燃料等が支燃性ガス供給手段側へ逆流する現象を阻止する逆流阻止手段を備えた。このため、そのような未燃焼ガス燃料等の逆流による従来の不具合を解消することができる。具体的には、燃焼または熱分解の停止後に、支燃性ガス供給手段側で未燃焼ガス燃料等が発火するおそれが無くなる点で、種火だけ維持し安全に燃焼室内のバーナーの火炎を停止することができ、また、燃焼の再開時に、支燃性ガス供給手段からバーナーへの第２支燃性ガスの供給がスムーズになる点で、燃焼再開時から遅延なく迅速に完全燃焼による被処理ガスの無害化が可能となる。
【００１９】
特に、前記逆流阻止手段の具体的な構成として、燃焼または熱分解の停止後も、支燃性ガス供給手段からバーナーに対して第２支燃性ガスを供給し続ける構成（以下「燃焼停止後の第２支燃性ガス連続供給方式」という）を採用したものでは、支燃性ガス供給手段からの第２支燃性ガスの供給を強制的に停止する等の制御系を別途追加する必要がない点で、装置全体の制御系の簡素化とコスト低減を図ることもできる。
【００２０】
また、前記のような燃焼停止後の第２支燃性ガス連続供給方式によると、燃焼または熱分解の停止後も、第２支燃性ガスがバーナーを通じて燃焼室に供給され続けるから、燃焼室の圧力を高く維持することが可能となる。このため、例えば、この種の除害装置を使用する工場設備の一つとして当該除害装置の下流に公知のセントラルスクラバが設けられている場合には、セントラルスクラバと除害装置の燃焼室との間に圧力差が生じることで、除害装置の燃焼室からセントラルスクラバ側への処理ガス（除害装置で無害化された被処理ガス）の流れが出来、この流れに乗って種火での燃え残りの未燃焼ガス燃料等が除害装置の燃焼室からセントラルスクラバ側へ排出されるから、そのような燃え残りの未燃焼ガス燃料等が燃焼室から支燃性ガス供給手段側へ逆流する現象をより一層効果的に阻止し得る。
【００２１】
一方、前記逆流阻止手段の具体的な構成として、支燃性ガス供給手段からバーナーに対して第２支燃性ガスを供給するための配管の途中に、バルブを設けた構成を採用したものでは、支燃性ガス供給手段からバーナーへの第２支燃性ガスの供給を停止しても、バルブを閉じることで、前述の逆流現象は阻止されるから、燃焼または熱分解を停止する際に、第１支燃性ガスのみならず、第２支燃性ガスの供給を停止することが可能となり、これらのガスの供給停止によるランニングコストの低減を図れる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１実施形態である除害装置の模式図。
【図２】本発明の第２実施形態である除害装置の模式図。
【図３】従来の除害装置の模式図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２４】
図１は、本発明の第１実施形態である除害装置の模式図である。この図１の除害装置Ｍは、例えば、周知の半導体製造装置のプロセスチャンバから排気される有害成分含有の排気ガスを被処理ガスとし、その被処理ガスを燃焼または熱分解により無害化したり、半導体製造装置以外の装置から排気される有害成分含有の排気ガスを被処理ガスとして同様に無害化したりする手段として使用される。
【００２５】
《図１の除害装置Ｍの概要》
図１の除害装置Ｍは、被処理ガスが導入される燃焼室１を備えた除害装置本体２と、燃焼または熱分解に必要な火炎を燃焼室１内に形成するバーナー３と、バーナー３の点火に必要な種火を形成するパイロットバーナー４と、前記火炎の形成に必要な可燃性燃料を第１支燃性ガスとしてバーナー３に供給する手段、および、前記火炎の形成に必要な空気または酸素を第２支燃性ガスとしてバーナー３に供給する手段として機能する支燃性ガス供給手段５と、前記火炎による被処理ガスの燃焼または熱分解を停止した時に、燃焼室内に存在する物質として例えば種火での燃え残りの未燃焼ガス燃料等が支燃性ガス供給手段５側へ逆流する現象を阻止する逆流阻止手段６と、を備えている。
【００２６】
《除害装置本体１とその燃焼室１の詳細》
図１の除害装置Ｍにおける除害装置本体２は、第１筒壁７の外側に第２筒壁８を設置した構造になっていて、その第１筒体７の内側空間部を燃焼室１として構成してある。第１筒壁７と第２筒壁８との間の空間部は、可燃性燃料と空気が導入されるバーナーガス室９として構成してある。
【００２７】
図１の除害装置Ｍは、被処理ガス（排気ガス）を燃焼室１に導入する手段として、ノズルＮ１を有している。このノズルＮ１の出口は、前記燃焼室１の天井（具体的には第１筒壁７の上部開口端を塞いでいる天板１Ａ）に開口している。また、同ノズルＮ１の入口側は、先に説明した排気ガス（被処理ガス）の排気系（図示省略）の出口側に接続してある。このことから、図１の除害装置Ｍでは、ノズルＮ１から燃焼室１に排気ガス（被処理ガス）が導入される。なお、ノズルＮ１の本数は、特に限定されず、１本でも２本以上でもよい。
【００２８】
《バーナー３とパイロットバーナー４の詳細》
図１の除害装置Ｍは、バーナー３として、第１バーナー３Ａと第２バーナー３Ｂを有している。第１バーナー３Ａは、前記バーナーガス室９を構成する第１筒壁７に噴出孔Ｈを複数開設し、その噴出孔Ｈから燃焼室１に向けて可燃性燃料と空気の混合気を噴出し、燃焼可能とする構造になっている。一方、第２バーナー３Ｂは、先に説明したノズルＮ１の途中に別のノズルＮ２を接続し、接続したノズルＮ２からノズルＮ１に対して可燃性燃料と酸素（または空気）を供給することにより、ノズルＮ１の出口から燃焼室１に向けて可燃性燃料と酸素（または空気）の混合気を噴出し、燃焼可能とする構造になっている。なお、図示は省略するが、各ノズルＮ１にはそれぞれノズルＮ２が接続されている場合もある。
【００２９】
図１の除害装置Ｍにおけるパイロットバーナー４は、先に説明したノズルＮ１の近傍に別のノズルＮ３を併設し、併設したノズルＮ３の出口を燃焼室１の天井（具体的には前述の天板１Ａ）に開口することで、そのノズルＮ３の出口から燃焼室１に向けて可燃性燃料と空気（酸素でもよい）の混合気を噴出し、燃焼可能とする構造になっている。
【００３０】
《支燃性ガス供給手段５の詳細》
図１の除害装置Ｍは、支燃性ガス供給手段５の具体的な構成として、第１バーナー３Ａに対応して設けた第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａと、第２バーナー３Ｂに対応して設けた第２バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ｂと、を有している。
【００３１】
第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａは、第１バーナー３Ａによる火炎の形成に必要な可燃性燃料を第１支燃性ガスとして第１バーナー３Ａに供給する手段、および、第１バーナー３Ａによる火炎の形成に必要な空気（酸素でもよい）を第２支燃性ガスとして第１バーナー３Ａに供給する手段として機能する。
【００３２】
前記第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａの具体的な構成として、図１の除害装置Ｍでは、除害装置本体２外部の図示しない燃料タンクから除害装置本体２のバーナーガス室９に対し、配管ＰＡ２を通じて可燃性燃料（第１支燃性ガス）を圧送する構成、除害装置本体２外部の送風機１１（ブロアー）から同バーナーガス室９に対し、配管ＰＡ１を通じて空気（第２支燃性ガス）を圧送する構成を採用している。なお、前記のようにバーナーガス室９に圧送された可燃性燃料と空気は、バーナーガス室９で合流混合し、混合気となって、第１バーナー３Ａの噴出孔Ｈから燃焼室１に向けて噴出する。
【００３３】
第２バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ｂは、第２バーナー３Ｂによる火炎の形成に必要な可燃性燃料を第１支燃性ガスとして第２バーナー３Ｂに供給する手段、および、第２バーナー３Ｂによる火炎の形成に必要な酸素（空気でもよい）を第２支燃性ガスとして第２バーナー３Ｂに供給する手段として機能する。
【００３４】
前記第２バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ｂの具体的な構成として、図１の除害装置Ｍでは、除害装置本体２外部の図示しない燃料タンクと酸素タンクからノズルＮ２に対して可燃性燃料と酸素を圧送する構成を採用している。なお、前記のようにノズルＮ２に圧送された可燃性燃料と空気は、混合気となって、ノズルＮ３の出口から燃焼室１に向けて噴出する。
【００３５】
《逆流阻止手段６の詳細》
図１の除害装置Ｍにおいては、逆流阻止手段６の具体的な構成の一例として、火炎による被処理ガスの燃焼または熱分解を停止した後（燃焼または熱分解の停止後）も、支燃性ガス供給手段５（具体的には、第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａ）からバーナー３（具体的には、第１バーナー３Ａ）に対して第２支燃性ガス（具体的には、空気）を供給し続ける構成を採用している。
【００３６】
すなわち、この図１の除害装置Ｍ１における第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａは、火炎による被処理ガスの燃焼時には、送風機１１（ブロアー）を使って、空気（第２支燃性ガス）を第１バーナー３Ａに供給しているが、このような送風機１１による空気の供給は、前記のような被処理ガスの燃焼時または熱分解時だけでなく、その燃焼または熱分解の停止後も連続的に継続して行われる構成（送風機１１の連続運転）になっている。
【００３７】
以上のような送風機１１の連続運転は、例えば、燃焼を開始したり停止したりする除害装置Ｍの燃焼制御系と、送風機１１を起動したり停止したりする送風機１１のスイッチ系とを、完全に独立した系統として構成することにより実現することが可能である。
【００３８】
《図１の除害装置Ｍにおける起動と燃焼開始動作の説明》
図示しない装置コントローラから図１の除害装置Ｍに対して装置起動信号が与えられると、パイロットバーナー４による種火が燃焼室１内に形成される。この種火は常にその点火の状態が維持されるように設定してある。
【００３９】
そして、図示しない装置コントローラから図１の除害装置Ｍに対して燃焼開始の指示信号が与えられると、支燃性ガス供給手段５からバーナー３に対して第１支燃性ガスと第２支燃性ガスの供給が開始される。この供給は、具体的には、第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａから第１バーナー３Ａに対する第１支燃性ガス（可燃性燃料）と第２支燃性ガス（空気）の供給、および、第２バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ｂから第２バーナー３Ｂに対する第１支燃性ガス（可燃性燃料）と第２支燃性ガス（空気または酸素）の供給である。
【００４０】
前記のようにバーナー３（３Ａ、３Ｂ）に対して供給された第１支燃性ガスと第２支燃性ガスは、混合気となって、バーナー３（３Ａ、３Ｂ）から燃焼室１に向けて噴出し、噴出した混合気に対してパイロットバーナー４での種火による引火作用が加わることで、燃焼室１内には被処理ガスの無害化に必要な火炎が形成される。
【００４１】
なお、燃焼室１への被処理ガスの供給は、前記火炎の形成後に、ノズルＮ１を介して行われる。また、前記火炎による燃焼または熱分解により無害化した被処理ガスは、処理ガスとして、燃焼室１に連通する図示しない出口ポートから除害装置本体１外に排出される。
【００４２】
《図１の除害装置Ｍの燃焼（熱分解）停止動作の説明》
図示しない装置コントローラから図１の除害装置Ｍに対して燃焼（熱分解）停止の指示信号が与えられると、支燃性ガス供給手段５からバーナー３（３Ａ、３Ｂ）に対する第１支燃性ガス（可燃性燃料）の供給が停止することで、燃焼室１内の火炎は自然鎮火する。
【００４３】
前記火炎の自然鎮火によって、燃焼室１内での火炎による被処理ガスの燃焼または熱分解も停止するが、このとき、支燃性ガス供給手段５からバーナー３に対する第２支燃性ガスの供給、具体的には、第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａから第１バーナー３Ａに対する第２支燃性ガス（空気）の供給は、停止せず、継続する。
【００４４】
つまり、送風機１１による第１バーナー３Ａへの空気の供給は、火炎による被処理ガスの燃焼時だけでなく、その燃焼または熱分解の停止後も連続的に継続して行われるから、燃焼または熱分解の停止後に、種火が点火の状態を維持しても、種火での燃え残りの未燃焼ガス燃料等が第１バーナー３Ａを通じて第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａ側へ逆流することはない。
【００４５】
《図１の除害装置Ｍの燃焼再開動作の説明》
図示しない装置コントローラから図１の除害装置Ｍに対して燃焼再開の指示信号が与えられると、支燃性ガス供給手段５からバーナー３に対する第１支燃性ガスと第２支燃性ガスの供給を再開する。
【００４６】
つまり、第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａから第１バーナー３Ａに対する第２支燃性ガス（空気）の供給に加えて、燃焼再開の指示信号が与えられる直前まで停止していた第２支燃性ガス（可燃性燃料）の供給を再開すること、および、第２バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ｂから第２バーナー３Ｂに対する第１支燃性ガス（可燃性燃料）と第２支燃性ガス（酸素）の供給を再開することにより、燃焼室１内では、被処理ガスの無害化に必要な火炎が再形成され、火炎による被処理ガスの燃焼が再開される。
【００４７】
ところで、図１の除害装置では、前述の通り、燃焼または熱分解の停止後に、種火での燃え残りの未燃焼ガス燃料等が第１バーナー３Ａを通じて第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａ側へ逆流する現象は、阻止されている。このため、燃焼の再開時に、第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａから第１バーナー３Ａへの第２支燃性ガス（空気）の供給配管経路、具体的には、配管ＰＡ１内に種火での燃え残りの未燃焼ガス燃料等が残留することもない。従って、燃焼の再開時には、第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａから第１バーナー３Ａに対して配管ＰＡ１を通じてスムーズに第２支燃性ガス（空気）を供給することが可能である。
【００４８】
《図１の除害装置Ｍにおける作用効果》
以上説明した図１の除害装置Ｍによると、その具体的な構成として、前記の通り、火炎による被処理ガスの燃焼または熱分解を停止した時に、種火での燃え残りの未燃焼ガス燃料等が支燃性ガス供給手段５側へ逆流する現象を阻止する逆流阻止手段６を備えた。このため、そのような未燃焼ガス燃料等の逆流による従来の不具合を解消することができる。具体的には、燃焼または熱分解の停止後に、支燃性ガス供給手段５側で未燃焼ガス燃料等が発火するおそれが無く、種火だけ維持し安全に燃焼室内の第１バーナー３Ａまたは第２バーナー３Ｂの火炎を停止することができる。また、燃焼の再開時に、支燃性ガス供給手段５から燃焼室１への第２支燃性ガスの供給がスムーズになり、燃焼再開時から遅延なく迅速に完全燃焼による被処理ガスの無害化が可能である。
【００４９】
特に、この図１の除害装置Ｍにおいては、逆流阻止手段６の具体的な構成として、燃焼または熱分解の停止後も、支燃性ガス供給手段５からバーナー３に対して第２支燃性ガスを供給し続ける構成、すなわち、燃焼停止後の第２支燃性ガス連続供給方式を採用したため、支燃性ガス供給手段５からの第２支燃性ガスの供給を強制的に停止するバルブ等の制御系を別途追加する必要がない点で、装置全体の制御系の簡素化とコスト低減を図ることもできる。
【００５０】
また、前記のような燃焼（熱分解）停止後の第２支燃性ガス連続供給方式によると、燃焼または熱分解の停止後も、その停止前と同様に、第２支燃性ガスが燃焼室１に供給され続けるから、燃焼室１の圧力を高く維持することが可能となる。このため、例えば、この種の除害装置Ｍを使用する工場設備の一つとして当該除害装置Ｍの下流に公知のセントラルスクラバが設けられている場合には、セントラルスクラバと除害装置Ｍの燃焼室１との間に圧力差が生じることで、除害装置Ｍの燃焼室１からセントラルスクラバ側への処理ガス（除害装置Ｍで無害化された被処理ガス）の流れが出来、この流れに乗って種火での燃え残りの未燃焼ガス燃料等が除害装置Ｍの燃焼室１からセントラルスクラバ側へ排出されるから、そのような燃え残りの未燃焼ガス燃料等が燃焼室１から支燃性ガス供給手段５側へ逆流する現象をより一層効果的に阻止し得る。
【００５１】
《図２の除害装置Ｍの特徴》
図２は、本発明の第２実施形態である除害装置の模式図である。なお、図２の除害装置Ｍが図１の除害装置Ｍと異なる点は、逆流阻止手段６の具体的な構成であり、それ以外の構成は図１の除害装置Ｍと同一であるため、図２の除害装置Ｍにおいて図１の除害装置Ｍと同一の部材には同一の符号を付し、その詳細説明は省略する。以下の説明では、図２の除害装置Ｍにおいて図１の除害装置Ｍと異なる逆流阻止手段６の具体的な構成のみを説明する。
【００５２】
図２の除害装置Ｍでは、逆流阻止手段６の具体的な構成の一例として、支燃性ガス供給手段５（具体的には、第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａ）からバーナー３（具体的には、第１バーナー３Ａ）に対して第２支燃性ガス（具体的には、空気）を供給するための配管ＰＡ１の途中に、バルブＶを設けている。なお、図示は省略するが、第１支燃性ガス（可燃性燃料）を供給するための配管ＰＡ２にバルブＶを設けても良い。
【００５３】
また、この図２の除害装置Ｍでは、前記バルブＶを除害装置本体２の近傍に設置し、バルブＶより下流の配管ＰＡ１（２）の長さを可能な限り短く設定することで、配管ＰＡ１（２）全体としてその内部に溜まる未燃焼ガス燃料等の量を低減している。
【００５４】
《図２の除害装置Ｍの作用効果》
以上説明した図２の除害装置Ｍもまた、その具体的な構成として、図１の除外装置Ｍと同じく、火炎による被処理ガスの燃焼または熱分解を停止した時に、種火での燃え残りの未燃焼ガス燃料等が支燃性ガス供給手段５側へ逆流する現象を阻止する逆流阻止手段６を備えるから、図１の除外装置Ｍと同様に、種火だけ維持し、安全に燃焼室内の第１バーナー３Ａまたは第２バーナー３Ｂの火炎を停止すること、および、燃焼再開時から遅延なく迅速に完全燃焼による被処理ガスの無害化が可能である。
【００５５】
特に、この図２の除害装置Ｍでは、前記逆流阻止手段６の具体的な構成として、前述の通り、支燃性ガス供給手段５からバーナー３に対して第２支燃性ガス（空気）を供給するための配管ＰＡ１の途中に、バルブＶを設けた構成を採用した。このため、支燃性ガス供給手段５から燃焼室１への第２支燃性ガス（空気）の供給を停止しても、バルブＶを閉じることで、前述の逆流現象は阻止されるから、燃焼または熱分解を停止する際に、第１支燃性ガス（可燃性燃料）の供給停止に加えて更に、第２支燃性ガス（空気）の供給を停止することも可能となり、これらのガスの停止によるランニングコストの低減を図れる。
【００５６】
《他の実施形態》
本発明は、以上説明した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により多くの変形が可能である。例えば、他の実施形態として、図１または図２の除害装置Ｍにおいて、第２バーナー３Ｂとこれに対応する第２バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ｂを省略した形式の実施形態を採用することもできる。また、第１バーナー３Ａとこれに対応する第１バーナー対応支燃性ガス供給手段５Ａを省略した形式の実施形態を採用することもできる。
【符号の説明】
【００５７】
１  燃焼室
１Ａ  天板
２  除害装置本体
３  バーナー
３Ａ  第１バーナー
３Ｂ  第２バーナー
４  パイロットバーナー
５  支燃性ガス供給手段
５Ａ  第１バーナー対応支燃性ガス供給手段
５Ｂ  第２バーナー対応支燃性ガス供給手段
６  逆流阻止手段
７  第１筒壁
８  第２筒壁
９  バーナーガス室
１１  送風機
Ｈ  噴出孔
Ｍ  除害装置
Ｎ１、Ｎ２  ノズル
ＰＡ１、ＰＡ２  配管
Ｖ  バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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