(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置に備えるタッチパネル装置であって、
入力項目と対応して表示される複数の入力欄を表示する表示手段と、
該複数の入力欄のうちオペレータがデータの入力を所望し触れた入力欄を含む隣接した複数の入力欄の画像を取得して拡大画像を形成し、該拡大画像を表示する拡大表示手段と、
拡大表示された入力欄から加工条件データを入力する入力手段と、
を備え、
該拡大表示手段は、該拡大画像を画面から消すことなく、該オペレータが該拡大画像内でタッチした位置の方向に該拡大画像を移動させ、該所望し触れた入力欄よりも該タッチした位置の方向側に位置する入力欄へのデータ入力を可能とすることを特徴とする
タッチパネル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に搭載されるタッチパネル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、データを入力するための入力装置として、タッチ操作パネルが主流になってきている。しかし、タッチ操作パネルは、データ入力画面上に、入力手段であるキーボードも表示するため、入力欄の表示が小さくなる。したがって、所望の入力欄とは異なる入力欄に入力してしまうなどの操作性の問題があり、また、入力欄が複数あると、入力中に入力欄を見失うという問題がある。このような問題を解決するために、例えば、選択された入力欄を拡大表示したり、所定の位置にポップアップとして表示したりする工夫がなされている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１８７５４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ある入力欄を拡大表示すると、それに隣接する入力欄が隠れてしまい、隠れてしまったその入力欄にデータを入力したい場合は、拡大画面をいったん閉じてから、隠れていた入力欄を選択しなおす必要があり、手間がかかるという問題がある。
【０００５】
また、オペレータは、入力欄の位置と入力項目とを結び付けて感覚的に記憶している場合が多い。そのため、ポップアップが一定の場所に表示されると、入力欄の位置から感覚的に入力項目を認識することができないため、オペレータが入力項目を確認する手間が生じ、作業効率が低下するという問題もある。
【０００６】
さらに、入力中に入力欄を見失うことを防止するために、入力中の入力欄を色付けしたり色枠で囲んだりする工夫もなされているが、データの入力は、様々な環境の下で行われるものであり、ある電灯の下では色をはっきりと認識できない場合がある。
【０００７】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、加工装置のタッチパネル装置において、手間をかけずに、作業効率も低下させず、所望の入力欄にデータを入力できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、加工装置に備えるタッチパネル装置であって、入力項目と対応して表示される複数の入力欄を表示する表示手段と、該複数の入力欄のうちオペレータがデータの入力を所望し触れた入力欄を含む隣接した複数の入力欄の画像を取得して拡大画像を形成し、該拡大画像を表示する拡大表示手段と、拡大表示された入力欄から加工条件データを入力する入力手段と、を備え、該拡大表示手段は、該拡大画像を画面から消すことなく、該オペレータが該拡大画像内でタッチした位置の方向に該拡大画像を移動させ、該所望し触れた入力欄よりも該タッチした位置の方向側に位置する入力欄へのデータ入力を可能とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るタッチパネル装置では、データの入力を所望する入力欄をオペレータがタッチすると、拡大表示手段が、入力欄を含む所定の領域を拡大表示するため、誤った入力欄へのデータ入力を防止するとともに、入力中にデータ入力欄を見失うのを防止することができる。また、オペレータが入力欄の位置と入力項目とを結びつけて記憶していたとしても、拡大表示された入力欄自体の位置が動くわけではないため、元来の位置で入力することができ、感覚的に入力項目を認識することができ、作業効率が低下しない。さらに、入力欄を拡大して表示することにより、色つきの電灯等の下でも一目で入力欄を認識することができ、入力欄を見失うことがない。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】タッチパネル装置のハードウェア構成例を示すブロック図である。
【図２】タッチパネル装置が搭載される切削装置を示す斜視図である。
【図３】タッチパネル装置の機能ブロック図である。
【図４】タッチパネル装置に表示される表示画面の例を示す説明図である。
【図５】拡大鏡の表示処理を示すフローチャートである。
【図６】（ａ）は拡大鏡が移動する前の表示画面を示す説明図である。（ｂ）は拡大鏡が移動した後の表示画面を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１は、タッチパネル装置１００のハードウェア構成を示しており、ＣＰＵ１０１と、ＲＯＭ１０２と、ＲＡＭ１０３と、タッチパネル１０４と、ＨＤＤ１０５と、Ｉ／Ｏ１０６とがバス１０７よって接続されて構成されている。ＣＰＵ１０１は、ＲＯＭ１０２やＲＡＭ１０３に記憶されているプログラムを読み出して実行し、必要に応じてＲＡＭ１０３に記憶されているデータを読み出したりＲＡＭ１０３にデータを記憶させたりする。ＨＤＤ１０５は、ハードディスクドライブであり、ＨＤＤ１０５には、タッチパネル１０４への表示処理を行うプログラム、タッチパネル１０４に表示させるデータ等が記録されている。Ｉ／Ｏ１０６は、入出力機器とのインターフェースとなるもので、種々の入出力機器との間でデータの入出力を行う。
【００１２】
このタッチパネル装置１００は、例えば図２に示す切削装置１に搭載される。この切削装置１は、チャックテーブル７に保持されたウェーハＷを切削手段３ａ，３ｂによって切削加工する装置である。切削加工の条件は、タッチパネル装置１００のタッチパネル１０４において入力することができる。
【００１３】
この切削装置１において切削されるウェーハＷは、ダイシングテープＴを介してリング状のフレームＦに支持される。チャックテーブル７は、ダイシングテープＴを介してウェーハＷを吸引保持する。また、チャックテーブル７の周囲にはフレームＦを固定するクランプ部６が配設されており、フレームＦは、クランプ部６によって固定される。
【００１４】
チャックテーブル７及びクランプ部６は、切削送り手段２によってＸ軸方向に送られる。切削送り手段２は、Ｘ軸方向に延在するボールネジ２０と、ボールネジ２０と平行に配設された一対のガイドレール２１と、ボールネジ２０の一端に連結されたモータ２２と、ボールネジ２０に螺合するナットを内部に有するとともに底部がガイドレール２１に摺接する移動基台２４とから構成され、モータ２２がボールネジ２０を回動させることにより、移動基台２４がガイドレール２１にガイドされてＸ軸方向に移動する。移動基台２４の上方にはチャックテーブル７及びクランプ部６を回転させる回転手段２３を備え、移動基台２４のＸ軸方向の移動にともないチャックテーブル７及び移動基台２４もＸ軸方向に移動する。
【００１５】
切削手段３ａ，３ｂは、回転可能な切削ブレード３０と、被加工物を撮像して切削すべき位置を検出する撮像手段３１と、切削ブレード３０に切削水を供給する切削水ノズル３２とを備えている。切削手段３ａを構成する切削ブレード３０と切削手段３ｂを構成する切削ブレード（不図示）とはＹ軸方向に対面している。
【００１６】
切削手段３ａ，３ｂは、それぞれが切込み送り手段５によって駆動されてＺ軸方向に移動可能となっている。切込み送り手段５は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ５０と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０の一端に連結されたモータ５２と、ボールネジ５０に螺合するナットを内部に有するとともに側部がガイドレール５１に摺接する昇降基台５３とから構成され、モータ５２がボールネジ５０を回動させることにより、昇降基台５３がガイドレール５１にガイドされてＺ軸方向に移動する。昇降基台５３の下部には切削手段３ａ，３ｂが固定され、昇降基台５３のＺ軸方向の移動にともない切削手段３ａ，３ｂもＺ軸方向に移動する。
【００１７】
切削手段３ａ及び切削手段３ａをＺ軸方向に移動させる切込み送り手段５と、切削手段３ｂ及び切削手段３ｂをＺ軸方向に移動させる切込み送り手段５とは、それぞれがインデックス送り手段４によって駆動されてＹ軸方向に移動する。インデックス送り手段４は、Ｙ軸方向に延在するボールネジ４０と、ボールネジ４０と平行に配設された一対のガイドレール４１と、ボールネジ４０の一端に連結されたモータ４２と、ボールネジ４０に螺合するナットを内部に有するとともに側部がガイドレール４１に摺接する移動基台４３とから構成され、モータ４２がボールネジ４０を回動させることにより、移動基台４３がガイドレール４１にガイドされてＹ軸方向に移動する。移動基台４３の側部には切込み送り手段５を備え、移動基台４３のＹ軸方向の移動にともない切込み送り手段５及び切削手段３ａ，３ｂもＹ軸方向に移動する。
【００１８】
チャックテーブル７に保持されたウェーハＷの切削時は、まず、撮像手段３１によってその表面が撮像されて切削すべき位置が検出される。そして、検出された切削すべきストリートと切削ブレード３０とのＹ軸方向の位置合わせが割り出し送り手段４によってなされた後、チャックテーブル７がＸ軸方向に移動するとともに、切込み送り手段５が切削手段３ａ，３ｂを降下させ、回転する切削ブレード３０を検出されたストリートに切込ませる。１本のストリートを切削した後は、インデックス送り手段４が切削手段３ａ、３ｂをそれぞれストリート間隔ずつＹ軸方向にインデックス送りし、同様の切削を行う。また、一方向のストリートがすべて切削された後、チャックテーブル７を９０度回転させ、同様の切削を行うと、ストリートが縦横に切削されて個々のチップに分割される。
【００１９】
図３は、図１に示したタッチパネル装置１００の機能を示したもので、タッチパネル１０４に複数の入力欄を表示する表示手段１１１と、オペレータがデータの入力を所望し触れた入力欄を拡大表示する拡大表示手段１１２と、拡大表示された入力欄からの入力に使用するソフトウェアキーボードを表示するとともに拡大表示された入力欄から入力された加工条件データを取り込む入力手段１１３とを少なくとも備えている。これらの各手段は、図１に示したＨＤＤ１０５に記録されたプログラムをＣＰＵ１０１が実行することによって実現される。
【００２０】
切削装置１を起動すると、表示手段１１１が、タッチパネル１０４に、加工条件の入力を促す画像、例えば図４に示す入力画面１２０を表示する。この入力画面１２０は、「Device」エリア１２１と、「Cut setting」エリア１２２と、「Auto Setup」エリア１２３と、「Auto down」エリア１２４と、ソフトウェアキーボードエリア１２５とで構成されている。表示画面１２０においては、左側の列に項目名１２６が表示され、項目名１２６の右側には、各項目名に対応する数値を入力するための入力欄１２７が表示されている。図４の例における各入力欄１２７は、矩形状に表示されているが、各入力欄１２７の形状は、この例には限られない。なお、入力欄がタッチされていない状態では、ソフトウェアキーボードエリア１２５は表示されない。
【００２１】
「Device」エリア１２１は、図２に示した切削装置１における切削対象の被加工物の仕様を入力するためのエリアである。例えば、項目名「No.」に対応する入力欄には、切削するデバイスの番号が入力される。また、項目名「Work size（Round）」に対応する入力欄には、図１に示したウェーハＷの外周の長さが入力され、項目名「Work size（Ch1）」に対応する入力欄には、図１に示したウェーハＷのCh1方向のサイズが入力され、項目名「Work size（Ch2）」に対応する入力欄には、図１に示したウェーハＷのCh2方向のサイズが入力され、項目名「Work thickness」に対応する入力欄には、ウェーハＷの厚さの値が入力される。
【００２２】
「Cut setting」エリア１２２は、切削加工時の切削装置１の動作条件を入力するためのエリアであり、例えば、項目名「Z1 Blade height」に対応する入力欄には、図２に示した第一の切削手段３ａを構成する切削ブレード３０のＺ軸上の高さ位置の値が入力され、項目名「Z2 Blade height」に対応する入力欄には、図２に示した第一の切削手段３ｂを構成する切削ブレード３０のＺ軸上の高さ位置の値が入力され、項目名「Feed Speed」に対応する入力欄には、図２に示した切削送り手段２によるチャックテーブル７のＸ軸方向の送り速度の値が入力される。
【００２３】
「Auto Setup」エリア１２３は、各切削手段３ａ，３ｂのＺ軸方向の基準位置の自動設定（以下、「セットアップ」と称する。）の条件を入力するためのエリアであり、例えば、項目名「Interval(dis)Z1」に対応する入力欄には、切削手段３ａのセットアップを行うインターバルとして切削した距離の値が入力され、項目名「Interval(line)Z1」に対応する入力欄には、切削手段３ａのセットアップを行うインターバルとして切削したストリート数の値が入力される。
【００２４】
「Auto down」エリア１２４は、切削加工時の各切削手段３ａ，３ｂの下降距離を入力するためのエリアであり、例えば項目名「Z1 Down length」に対応する入力欄には、切削手段３ａの下降時の下降距離が入力され、項目名「Z2 Down length」に対応する入力欄には、切削手段３ｂの下降時の下降距離が入力される。
【００２５】
オペレータが特定の入力欄を触れると、ソフトウェアキーボードエリア１２５には、各入力欄にデータを入力するためのソフトウェアキーボードが入力手段１１３によって表示される。例えば、数値の入力を要求する入力欄がオペレータによって選択された場合は、テンキーが表示され、アルファベットの入力を要求する入力欄がオペレータによって選択された場合は、図４に示したアルファベットキーが表示される。テンキーとアルファベットキーの双方を表示させてもよい。なお、入力手段１１３は、オペレータによって入力欄が選択されていないときはソフトウェアキーボードを表示させず、入力欄が選択された場合にのみソフトウェアキーボードを表示させる。
【００２６】
オペレータが、ある入力欄１２７をタッチすると、図３に示した拡大表示手段１１２が、図４に示すように、タッチされた入力欄１２７を拡大表示する処理を実行する。この拡大表示の処理は、図４に示した表示画面１２０における拡大鏡１２９を表示するための処理であり、図５に示す拡大鏡表示ルーチンのフローチャートに沿って行われる。以下では、図５のフローチャートに沿って拡大表示処理を説明する。
【００２７】
図３に示した拡大表示手段１１２は、いずれかの入力欄がタッチされたかどうかを常に監視している（ステップＳ１）。そして、オペレータによっていずれかの入力欄がタッチされると、拡大表示手段１１２は、まず、タッチされた入力欄の座標情報とサイズ情報とを取得する（ステップＳ２）。この座標情報及びサイズ情報は、図１に示したＲＡＭ１０３にあらかじめ記憶されており、拡大表示手段１１２は、ＲＡＭ１０３からその情報を読み出して認識する。座標情報は、例えば、図４の入力画面１２０上の横方向をＸ軸、縦方向をＹ軸とするＸ−Ｙ座標系のＸ座標及びＹ座標の数値として記憶されている。また、サイズ情報は、入力欄が矩形である場合は、横方向及び縦方向の長さとして記憶されている。
【００２８】
次に、拡大表示手段１１２は、タッチされた入力欄を拡大表示した場合にその拡大表示された入力欄が拡大鏡１２９からはみ出るか否かを判断する（ステップＳ３）。この判断においては、例えば、拡大鏡１２９の直径と、拡大表示後の入力欄のサイズとを比較する。拡大鏡１２９の直径は、ＲＡＭ１０３にあらかじめ記憶されている。一方、入力欄が拡大表示された場合のサイズは、拡大表示手段１１２が、拡大前の入力欄の長辺の長さ（図４の例では横方向の長さ）に所定の倍率（例えば１．８倍）を乗じることによって求められる。なお、拡大鏡１２９の直径及び入力欄の倍率の値は、オペレータがタッチパネル１０４から入力して設定することもできる。また、図４の例では、拡大鏡１２９を円形としているが、拡大鏡１２９の形状は、ソフトウェアキーボード１２５を表示するためのスペースさえ確保されていれば、四角形などの他の形状であってもよく、また、大きさも限定されない。したがって、例えば拡大鏡が矩形である場合は、入力欄が拡大表示された後の長辺の長さと、その長辺と同一方向の拡大鏡の辺の長さとを比較し、入力欄が矩形の拡大鏡からはみ出るか否かを判断する。
【００２９】
拡大された入力欄の長辺よりも拡大鏡１２９の直径の方が大きく、入力欄が拡大鏡１２９からはみ出るおそれがないと拡大表示手段１１２が判断した場合は、入力欄の中心を拡大鏡表示の中心とする（ステップＳ４）。なお、入力欄の中心の座標は、例えばＲＡＭ１０３にあらかじめ記憶された入力欄の四隅の各点の座標に基づいて求められる。
【００３０】
一方、拡大された入力欄の長辺よりも拡大鏡１２９の直径の方が小さく、入力欄が拡大鏡１２９からはみ出るおそれがあると拡大表示手段１１２が判断した場合は、入力欄のカーソル位置を拡大鏡１２９の中心に設定する（ステップＳ５）。なお、入力欄のカーソル位置は、入力手段１１３によって認識されている。
【００３１】
ステップＳ４又はステップＳ５の後、拡大表示手段１１２は、ステップＳ４又はステップＳ５において設定された位置を中心とし、その周辺の画像も含めた拡大鏡の画像を取得する。この画像には、カーソルが表示される（ステップＳ６）。
【００３２】
そして、拡大表示手段１１２は、ステップＳ６で取得した画像を所定の倍率で拡大処理した拡大画像を形成し、その画像情報を、図４に示した拡大鏡１２９としてタッチパネル１０４に表示する（ステップＳ７）。このとき、拡大表示手段１１２は、タッチされた入力欄にカーソル１２８を表示する。なお、ステップＳ６において画像を取得する際には、拡大鏡の大きさや形状に応じて、入力欄のみの画像、入力欄及びそれに対応する入力項目の画像、複数の入力欄を含む画像、複数の入力欄と複数の入力項目とを含む画像など、様々な画像を適宜選択可能である。かかるバリエーションの中からどの画像を選択するかについての情報は、あらかじめＲＡＭ１０３等に記憶させておいてもよいし、オペレータがタッチパネル１０４から入力して設定できるようにしてもよい。ステップＳ７では、ステップＳ６で取得した画像、すなわち、入力欄のみを拡大した画像、入力欄及びそれに対応する入力項目を拡大した画像、複数の入力欄を拡大した画像、複数の入力欄と複数の入力項目とを拡大した画像の中から選択された画像が、拡大されて表示される。
【００３３】
拡大表示手段１１２は、図４の拡大鏡１２９のように、拡大鏡１２９の中に複数の入力欄が表示されるように拡大領域を設定する。このように設定することにより、拡大表示によって隣接する入力欄が隠れてしまうのを防止することができる。
【００３４】
なお、すでに拡大鏡１２９が表示されている状態で入力欄１２７以外がタッチされた場合は、拡大鏡１２９を画面上から消す処理を行う。（ステップＳ２）。一方、入力欄１２７以外がタッチされるまでは、拡大鏡１２９が表示された状態が維持される。
【００３５】
拡大鏡１２９を動かす必要が生じた場合は、拡大表示手段１１２は、オペレータの操作に応じ、拡大鏡を、いったん消すことなく、所望の方向に動かすことができる。
【００３６】
例えば、図６（ａ）に示す表示画面１３０では、「Work size(ch1)」に対応する入力欄１３１へのデータの入力は終了しており、「Work size(ch2)」に対応する入力欄１３２に対するデータの入力も終了しカーソル１３６が入力欄１３２の最後に表示されている。この状態から、次に「Work thickness」に対応する入力欄１３３に値を入力する際には、拡大鏡１３５を下方にずらしてから、データを入力する。
【００３７】
また、「Work thickness」の下方の「Tape thickness」に対応する入力欄にデータを入力しようとする場合も、その入力欄が表示されておらず、図６（ａ）の拡大鏡１３５ではデータを入力することができないため、拡大鏡を下方に移動させる。入力欄の番号及び位置は、ＲＡＭ１０３等にあらかじめ記憶されており、拡大鏡１２９の下部がタッチされると、拡大表示手段１１２は、次の番号の入力欄を中心とする拡大鏡を表示させることができる。かかる表示処理は、図５のフローチャートのステップＳ３〜Ｓ７と同様に行われる。具体的には、オペレータが拡大鏡１２９の下部、例えば図６（ａ）の拡大鏡１３５における入力欄１３２の下方の任意の位置をタッチすると、拡大鏡の中心が入力欄１つ分だけ移動し、図６（ｂ）の表示画面１４０に示すように、「Work thickness」に対応する入力欄１３３を中心として拡大鏡１４５が表示される。カーソル１４４も、入力欄１３３に移動する。また、拡大鏡が移動すると、入力欄１３４も拡大鏡１４５に表示され、入力欄１３４も見ることができる状態となる。
【００３８】
一方、図示していないが、オペレータが拡大鏡１２９の上部をタッチすると、拡大表示手段１１２は、拡大鏡１２９を上方に移動させる。この場合、拡大表示手段１１２は、１つ上の位置の入力欄を中心とする拡大鏡を表示させる。
【００３９】
このように、拡大表示手段１１２は、拡大鏡を画面から消すことなく移動させることができるため、操作性が高く、入力すべき欄を見失うこともない。
【００４０】
なお、上記実施形態ではタッチパネル装置を切削装置に搭載した場合を説明したが、他の加工装置に搭載することもできる。その場合は、画面表示の入力項目が変更される。
【符号の説明】
【００４１】
１００：タッチパネル装置
１０１：ＣＰＵ  １０２：ＲＯＭ  １０３：ＲＡＭ  １０４：タッチパネル
１０５：ＨＤＤ  １０６：Ｉ／Ｏ  １０７：バス
１１１：表示手段  １１２：拡大表示手段  １１３：入力手段
１：切削装置
２：切削送り手段
２０：ボールネジ  ２１：ガイドレール  ２２：モータ  ２３：回転手段  
２４：移動基台
３ａ，３ｂ：切削手段
３０：切削ブレード  ３１：撮像手段  ３２：切削水ノズル
４：インデックス送り手段
４０：ボールネジ  ４１：ガイドレール  ４２：モータ  ４３：移動基台
５：切込み送り手段
５０：ボールネジ  ５１：ガイドレール  ５２：モータ  ５３：昇降基台
６：クランプ部
７：チャックテーブル
Ｗ：ウェーハ  Ｔ：ダイシングテープ  Ｆ：フレーム
１２０：入力画面
１２１：「Device」エリア  １２２：「Cut setting」  １２３：「Auto Setup」エリア
１２４：「Auto down」エリア  １２５：ソフトウェアキーボードエリア
１２６：項目名  １２７：入力欄  １２８：カーソル  １２９：拡大鏡
１３０：表示画面  １３１〜１３４：入力欄  １３５：拡大鏡  １３６：カーソル
１４０：表示画面  １４４：カーソル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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