(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の端面および第２の端面を有する物体であって、該物体を通って前記第１の端面から前記第２の端面へと延びる複数のセルを含む物体を検査するためのシステムにおいて、
前記複数のセルの少なくとも１つの対応する群を通って出る光を投射するよう前記物体の第１の端面に対向して設けられた少なくとも１つの光源と、
前記物体を挟んで、前記第２の端面に対向して前記物体から離隔して配置されたターゲットであって、前記複数のセルの前記少なくとも１つを通って出て投射された前記光を表示するとともに投射された前記光と前記ターゲットの残りの部分とを区別するよう構成されたターゲットと、
前記ターゲット上に表示された前記光の少なくとも１つの位置を決定するよう構成された撮像システムと、
前記表示された光の前記決定された少なくとも１つの位置を、前記少なくとも１つの光源の位置と比較し、その比較から、前記複数のセルの前記少なくとも１つの対応する群についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出するよう構成されたシステムプロセッサと
を含むシステムであって、
前記少なくとも１つの光源が、前記複数のセルの複数の対応する群を通って出る光を投射するよう構成された複数の光源のうちの１つであり、前記複数のセルの前記少なくとも１つの対応する群が、前記複数のセルの前記複数の対応する群のうちの１つであり、
前記ターゲットが、前記複数のセルの前記複数の対応する群を通って出て投射された前記光を表示するよう更に構成され、
前記撮像システムが、前記ターゲット上に表示された前記光の複数の位置を決定するよう更に構成され、前記ターゲット上に表示された前記光の前記少なくとも１つの位置が、前記ターゲット上に表示された前記光の前記複数の位置のうちの１つであり、
前記システムプロセッサが、前記表示された光の前記決定された複数の位置を前記複数の光源のそれぞれの位置と比較して、その比較から、前記複数のセルの前記複数の対応する群についての前記進行方向角度および前記進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出するよう更に構成されたことを特徴とするシステム。
【請求項２】
第１の端面および第２の端面を有する物体であって、該物体を通って前記第１の端面から前記第２の端面へと延びる複数のセルを含む物体を検査するためのシステムにおいて、
前記複数のセルの複数の対応する群を通って出る光を同時に投射するよう前記物体の第１の端面に対向して設けられた複数の光源と、
前記物体を挟んで、前記第２の端面に対向して前記物体から離隔して配置されたターゲットであって、前記複数のセルの前記複数の対応する群を通って出て同時に投射された前記光を、前記複数のセルの前記複数の群にそれぞれ対応する複数の領域内に表示するとともに投射された前記光と前記ターゲットの残りの部分とを区別するよう構成されたターゲットと、
前記複数の領域のそれぞれの重心を決定するよう構成された撮像システムと、
前記複数の領域の前記それぞれの重心の位置を前記複数の光源のそれぞれの位置と比較し、その比較から、前記複数のセルの前記複数の対応する群についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出するよう構成されたシステムプロセッサと
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項３】
第１の端面および第２の端面を有する物体であって、該物体を通って前記第１の端面から前記第２の端面へと延びる複数のセルを含む物体を検査する方法において、
前記複数のセルの少なくとも１つの群を通って出る光を、前記物体の第１の端面に対向して設けられた少なくとも１つの対応する光源から投射する工程と、
前記物体を挟んで、前記第２の端面に対向して前記物体から離隔して配置されたターゲットに、前記複数のセルの前記少なくとも１つの群を通って出て投射された前記光を前記ターゲットの残りの部分とを区別するよう表示する工程と、
前記表示された光の少なくとも１つの位置を決定する工程と、
前記表示された光の前記決定された少なくとも１つの位置を、前記光を投射した前記少なくとも１つの対応する光源の位置と比較する工程と、
前記位置の前記比較から、前記複数のセルの前記少なくとも１つの群の各々についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出する工程と
を含む方法であって、
前記光を投射する前記工程が、前記複数のセルの複数の群を通って出る前記光を複数の対応する光源から投射することを含み、前記複数のセルの前記少なくとも１つの群が、前記複数のセルの前記複数の群のうちの１つであり、前記少なくとも１つの対応する光源が、前記複数の対応する光源のうちの１つであり、
前記光を表示する前記工程が、前記複数のセルの前記複数の群を通って出て投射された前記光を表示することを含み、
前記少なくとも１つの位置を決定する前記工程が、前記表示された光の複数の位置を決定することを含み、前記光の前記少なくとも１つの位置が、前記表示された光の前記複数の位置のうちの１つであり、
前記決定された少なくとも１つの位置を比較する前記工程が、前記表示された光の前記決定された複数の位置を前記複数の対応する光源の位置と比較することを含み、
算出する前記工程が、前記位置の前記比較から、前記複数のセルの前記複数の群についての前記進行方向角度および前記進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出することを含み、
前記光を投射する前記工程が、拡散光を投射することを含む方法。
【発明の詳細な説明】
【優先権の主張】
【０００１】
本願は、合衆国法典第３５巻第１２０条に基づき、２０１４年５月２８日に出願された米国特許出願第１４／２８８，７９０号による優先権を主張するものであり、その内容に依拠すると共に、その全体を参照して本明細書に組み込む。
【技術分野】
【０００２】
以下の記載は、一般的に、物体を検査するためのシステムおよび方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
物体を通って延びる複数のセルを有する物体の形態の物体が、車輌のエンジンの動作と関連づけられた望ましくない微粒子を集める際に、および／または他の環境的な用途で用いられ得る。この物体の形成は、物体の内部に、物体の一方の面から他方の面へと長手方向に複数のセルを形成することと、物体を焼成することとを含む。物体の焼成後、工業用途での使用に備えるために、物体に外皮が施され得る。
【発明の概要】
【０００４】
詳細な説明において記載される幾つかの例示的な態様の基本的な理解を提供するために、本開示の簡単な要約を以下に示す。
【０００５】
第１の態様において、物体を検査するためのシステムが提供される。この物体は、第１の端面および第２の端面と、物体を通って第１の端面から第２の端面へと延びる複数のセルとを含む。本システムは、複数のセルの少なくとも１つの対応する群を通って出る光を投射するよう構成された少なくとも１つの光源と、複数のセルの少なくとも１つの対応する群を通って出て投射された光を表示するよう構成されたターゲットと、ターゲット上に表示された光の少なくとも１つの位置を決定するよう構成された撮像システムと、表示された光の決定された少なくとも１つの位置を少なくとも１つの光源の位置と比較し、その比較から、複数のセルの少なくとも１つの対応する群についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出するよう構成されたシステムプロセッサとを含む。
【０００６】
第１の態様の一例において、少なくとも１つの光源は拡散光源である。
【０００７】
第１の態様の別の例において、ターゲットは半透明および不透明のうちの一方である。
【０００８】
第１の態様の更に別の例において、撮像システムは、ターゲットの表面に関連するデータを集め、集められたデータから、表示された光の重心の位置を決定するよう更に構成される。
【０００９】
第１の態様の更に別の例において、システムプロセッサは、重心の決定された位置を少なくとも１つの光源の位置と比較し、その比較から、複数のセルの少なくとも１つの対応する群についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出するよう更に構成される。
【００１０】
第１の態様の更に別の例において、撮像システムは、デジタル撮像センサを含む。
【００１１】
第１の態様の更なる例において、少なくとも１つの光源は、複数のセルの複数の対応する群を通って出る光を投射するよう構成された複数の光源のうちの１つである。複数のセルの少なくとも１つの対応する群は、複数のセルの複数の対応する群のうちの１つである。この例では、ターゲットは、複数のセルの複数の対応する群を通って出て投射された光を表示するよう更に構成される。この例では、撮像システムは、ターゲット上に表示された光の複数の位置を決定するよう更に構成される。ターゲット上に表示された光の少なくとも１つの位置は、ターゲット上に表示された光の複数の位置のうちの１つである。この例では、システムプロセッサは、表示された光の決定された複数の位置を、複数の光源のそれぞれの位置と比較し、その比較から、複数のセルの複数の対応する群についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出するよう更に構成される。
【００１２】
第１の態様の別の更なる例では、複数の光源は、光を同時に投射するよう更に構成される。
【００１３】
第１の態様の別の例において、システムプロセッサが複数のセルの少なくとも１つの対応する群についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出した後、少なくとも１つの光源は、複数のセルの別の対応する群を通って出る光を投射するよう移動される。
【００１４】
第１の態様は、単独で、または上述の第１の態様の複数の例のうちの１つもしくはそれらの任意の組合せと組み合わされて提供され得る。
【００１５】
第２の態様において、物体を検査する方法が提供される。この物体は、第１の端面および第２の端面と、物体を通って第１の端面から第２の端面へと延びる複数のセルとを含む。本方法は、複数のセルの少なくとも１つの群を通って出る光を少なくとも１つの対応する光源から投射する工程と、複数のセルの少なくとも１つの群を通って出て投射された光を表示する工程と、表示された光の少なくとも１つの位置を決定する工程と、表示された光の決定された少なくとも１つの位置を、光を投射した少なくとも１つの対応する光源の位置と比較し、この位置の比較から、複数のセルの少なくとも１つの群の各々についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出する工程とを含む。
【００１６】
第２の態様の一例において、光を投射する工程は、拡散光を投射することを含む。
【００１７】
第２の態様の別の例において、光を表示する工程は、半透明および不透明のうちの一方であるターゲット上に光を表示することを含む。
【００１８】
第２の態様の更に別の例において、光を表示する工程は、ターゲット上に光を表示することを含む。少なくとも１つの位置を決定する工程は、ターゲットの表面に関連するデータを集め、集められたデータから、表示された光の重心の位置を決定することを含む。
【００１９】
第２の態様の更に別の例において、位置を比較する工程は、重心の決定された位置を、少なくとも１つの対応する光源の位置と比較することを含む。進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出する工程は、重心の決定された位置と少なくとも１つの対応する光源の位置との比較から、複数のセルの少なくとも１つの群についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出することを含む。
【００２０】
第２の態様の更に別の例において、少なくとも１つの位置を決定する工程は、デジタル撮像センサによって行われる。
【００２１】
第２の態様の更なる例において、光を投射する工程は、複数のセルの複数の群を通って出る光を、複数の対応する光源から投射することを含む。複数のセルの少なくとも１つの群は、複数のセルの複数の群のうちの１つである。少なくとも１つの対応する光源は、複数の対応する光源のうちの１つである。光を表示する工程は、複数のセルの複数の群を通って出て投射された光を表示することを含む。少なくとも１つの位置を決定する工程は、表示された光の複数の位置を決定することを含む。光の少なくとも１つの位置は、表示された光の複数の位置のうちの１つである。決定された少なくとも１つの位置を比較する工程は、表示された光の決定された複数の位置を、複数の対応する光源の位置と比較することを含む。算出する工程は、位置の比較から、複数のセルの複数の群についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出する工程を含む。
【００２２】
第２の態様の別の例において、複数のセルの群のうちの２以上の群を通って出る光を投射する工程が同時に行われる。
【００２３】
第２の態様の更に別の例において、本方法は、進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出する工程の後に、少なくとも１つの対応する光源を移動させる工程と、複数のセルの別の群について、投射する工程、表示する工程、決定する工程、比較する工程、および算出する工程を繰り返す工程とを更に含む。
【００２４】
第２の態様は、単独で、または上述の第２の態様の複数の例のうちの１つもしくはそれらの任意の組合せと組み合わされて提供され得る。
【００２５】
第３の態様において、物体を検査するためのシステムが提供される。この物体は、第１の端面および第２の端面と、物体を通って第１の端面から第２の端面へと延びる複数のセルとを含む。本システムは、複数のセルの複数の対応する群を通って出る光を同時に投射するよう構成された複数の光源と、複数のセルの複数の対応する群を通って出て同時に投射された光を、複数のセルの複数の群にそれぞれ対応する複数の領域内に表示するよう構成されたターゲットと、複数の領域のそれぞれの重心を決定するよう構成された撮像システムと、複数の領域のそれぞれの重心の位置を複数の光源のそれぞれの位置と比較し、その比較から、複数のセルの複数の対応する群についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出するよう構成されたシステムプロセッサとを含む。
【００２６】
第３の態様の別の例において、撮像システムは、デジタル撮像センサを含む撮像装置を含む。撮像装置は、複数のセルの複数の対応する群に面したターゲットの表面からデータを集めるよう構成される。
【００２７】
第３の態様は、単独で、または上述の第３の態様の複数の例のうちの１つもしくはそれらの任意の組合せと組み合わされて提供され得る。
【００２８】
本開示の上記のおよび他の特徴、態様、および長所は、以下の詳細な説明を、添付の図面を参照して読めば、より良好に理解される。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】一実施形態による物体の一例を示す斜視図
【図２】一実施形態による図１の物体の一例を示す、線２−２に沿った模式的な断面図
【図３】一実施形態による、物体を通って出る光を投射する光源の一例を示す模式的な側面図
【図４】一実施形態による、物体の複数のセルの対応する群を通って出る光を投射する光源の一例を示す模式的な斜視図
【図５】一実施形態による、物体の複数のセルの複数の対応する群を通って出る光をターゲット上に投射する光源の一例を示す模式的な側面図
【図６】一実施形態による、複数の光源の配置の一例を示す模式的な図
【図７】一実施形態による、複数の光源の配置の別の例を示す模式的な図
【図８】一実施形態による、システムが物体の複数回の個別の検査を行うのを可能にする可動光源の一例を示す模式的な図
【図９】一実施形態による、光源の位置と、光源からの光が物体の複数のセルの対応する群を通って出てターゲット上に投射される位置との間の関係の一例を示す模式的な図
【図１０】一実施形態による、物体を検査するためのシステムの一例を示す模式的な図
【図１１】一実施形態による、物体を検査するためのシステムの別の例を示す模式的な図
【図１２】一実施形態による、複数の光源の位置と、複数の光源に対応するターゲット上に表示された光のそれぞれの位置とを示す模式的な図
【図１３】一実施形態による、物体を検査する方法の一例を示す模式的な図
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、例示的な実施形態が示されている添付の図面を参照し、複数の例をより完全に説明する。可能な場合には常に、複数の図面を通して、同じまたは類似の部分を指すために同じ参照番号が用いられる。しかし、複数の態様は、多くの異なる形態で実施され得るものであり、本明細書に記載される実施形態に限定されるものと解釈されるべきではない。
【００３１】
本明細書において用いられる用語は、特定の実施形態を説明するためのものであり、本開示を限定することは意図しない。本明細書で用いられる単数形の「a」、「an」、および「the」は、特に明記しない限り、複数形も包含することが意図される。更に、本明細書で用いられる「含む（comprisesおよび／またはcomprising」は、述べられた特徴、整数、工程、動作、要素、および／または成分の存在を特定するものであり、１以上の他の特徴、整数、工程、動作、要素、成分、および／またはそれらの群の存在または追加を除外するものではないと理解されたい。
【００３２】
図１〜図１１に示されている例において、物体１０２を検査するためのシステムについて説明する。物体１０２は、第１の端面１０４と、第２の端面１０６と、物体１０２を通って第１の端面１０４から第２の端面１０６まで延びる複数のセル１１０とを含み得る。本システムは、少なくとも１つの光源１２４、ターゲット１３６、撮像システム１６０、およびシステムプロセッサ１６６を含み得る。
【００３３】
物体１０２は、物体１０２を通って第１の端面１０４と第１の端面１０４の反対側に位置する第２の端面１０６との間に延びる複数のセル１１０の網を画成する複数の交差する壁１０８を含み得る。交差する壁１０８および複数のセル１１０は、物体１０２の第１の端面１０４と第２の端面１０６との間に長手方向に延び得る。物体１０２は、第１の端面１０４と第２の端面１０６との間に長手方向に延びる外面１１６を含み得る。
【００３４】
一例において、物体１０２は、コーディエライト、ムライト、アルミナ、炭化ケイ素、ジルコニア、コランダム、コランダム・ムライト、およびチタン酸アルミニウムのうちの少なくとも１つを含み得るが、それらに限定されない。
【００３５】
一例において、物体１０２は、車輌のエンジンの動作と共にまたは他の環境的な用途で微粒子フィルタとして用いられるハニカムセラミック体であり得る。また、複数のセル１１０の網はハニカム網であり得る。しかし、本明細書に記載される実施形態はそれらに限定されない。例えば、様々な例示的な実施形態に従って様々な幾何形状が組み込まれ得る。物体１０２は、長方形（例えば、正方形）の断面の外周または３つ以上の辺を有する他の多角形形状を含み得る。更に、物体１０２は、円形、楕円形、または別の湾曲した形状の断面の外周を含み得る。
【００３６】
一例において、外面１１６は、円形の断面形状を有する円筒形状を含み得る。しかし、本明細書において開示される実施形態はそれらに限定されない。例えば、物体１０２の外面１１６は、楕円形、多角形、または他の形状を有してもよい。更に、多角形形状は、三角形、長方形（例えば、正方形）、または他の多角形形状であり得る。
【００３７】
図示されるように、本システムの少なくとも１つの光源１２４は、セル１１０の少なくとも１つの対応する群１１８を通って出る光を投射し得る。図示されている例では、光源１２４は、拡散光を発する拡散光源であり得る。図３には１つのみの光源１２４が示されているが、本明細書における実施形態は、物体１０２検査するために用いられ得る複数の光源１２４が示されている図５〜図７、並びに図９〜図１２によって示されているように、それに限定されない。複数の光源１２４が、セル１１０の複数の対応する群１１８を通って出る光を投射する状況では、光源１２４は、セル１１０の複数の対応する群１１８を通る光を同時に投射するために同時に動作し得る。
【００３８】
拡散光源１２４からの光は、物体１０２のセル１１０の群１１８に、多くの非平行な角度で供給され得る。様々な異なるタイプの拡散光源としては、レーザ発生光源、白熱光源、または発光ダイオード（ＬＥＤ）光源を含むがそれらに限定されない光源が用いられ得る。
【００３９】
光源１２４は、セルの１１０の対応する群１１８のサイズおよび形状を定義し得る。セル１１０の群１１８の形状およびサイズは、光源１２４の形状およびサイズ、並びに、光源１２４が光を発する方法に対応し得る。更に、物体１０２を通って出て投射される光のビームの性質は、セル１１０の群１１８に投射される光のビームの性質とは異なり得る。例えば、光源１２４から拡散光として発せられた光は、物体１０２のセル１１０の群１１８を通って出た際には、僅かに発散または収束する光のビームを含む擬似平行光として投射され得る。例えば、擬似平行光は、約５度以下の角度範囲にわたって発散または収束するものであり得る。物体１０２のセル１１０は、光源１２４から発せられた光を、投射された光が通って出るセル１１０の群１１８に従ってコリメートする役割をし得る。
【００４０】
光源１２４は、物体１０２のセル１１０の群１１８を通って出る光を投射するために、物体１０２の第１の端面１０４から所定の距離だけ離間されて隣接して配置され得る。一例では、光源１２４は、物体１０２から約０．１ｃｍ〜約１０ｃｍの距離だけ離間され得る。
【００４１】
また、光源１２４は、光源１２４が物体１０２の縦軸１１４と位置合わせされるよう配置され得る。物体１０２の縦軸１１４の一例が、図５並びに図９〜図１１に示されている。一例では、物体１０２の縦軸１１４は、物体１０２の第１の端面１０４および物体の第２の端面１０６に対してノミナルで垂直な軸である。
【００４２】
光源１２４および物体１０２の両方は、物体１０２の検査中に互いに関して静止するよう構成され得る。或いは、図８に示されている一例において示されるように、光源１２４および物体１０２のうちの少なくとも一方は、互いに関して可動であるよう構成されてもよい。１つの限定しない例において、光源１２４は、物体１０２の複数のセル１１０の対応する群１１８に光を供給するために、ｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向のうちの少なくとも１つに所定の距離だけ移動するよう構成され得る。
【００４３】
本システムのターゲット１３６は、複数のセル１１０の対応する１または複数の群１１８を通って出て投射された光を表示し得る。ターゲット１３６は、システムが、ターゲット１３６上に表示された光１４０をターゲット１３６の残りの部分から区別するためにデータをどのように収集するよう構成されているかに応じて、半透明または不透明であり得る。
【００４４】
ターゲット１３６は、物体１０２に関して光源１２４とは反対側に配置され得る。ターゲット１３６は、物体１０２から所定の距離だけ離間され得る。例えば、ターゲット１３６は、物体１０２から約０．２５ｍ〜約５ｍの範囲内の距離だけ離間され得る。ターゲット１３６は平坦であり得る。
【００４５】
上述のように、光源から投射され、セル１１０の対応する群１１８を通って出た光１２４は、群１１８に属する複数のセル１１０の配向に対応する擬似平行光であり得る。従って、セル１１０の対応する群１１８から出るよう投射されたビームは、ターゲット１３６上に表示された光１４０とは異なるサイズを有し得る。ターゲット１３６上に表示される光１４０の形状は、光源１２４の形状に応じて異なり得る。例えば、円形の配向を有する光源１２４については、表示される光１４０の形状は円形の配向を有し得る。光源１２４の配向は円形に限定されず、システムに実装される光源のタイプおよび形状に応じて異なり得る。
【００４６】
図５並びに図９〜図１１に示されている例において、物体１０２は、物体１０２の縦軸１１４に関して非平行な関係にあり得るセル１１０の複数の群１４２、１４４、１４６を含む。図示されるように、物体１０２の下側の外周付近に位置するセル１１０の群１４４と比較して、物体１０２の上側の外周付近に位置するセル１１０の群１４２は、縦軸１１４に関して傾斜している。この例では、物体１０２の中心付近に位置するセル１１８の群１４６は、縦軸１１４に対して略平行である。
【００４７】
図５並びに図９〜図１１に示されているセル１１０の複数の群１４２、１４４、１４６は特定の配置で示されているが、本明細書において開示される実施形態は、限定することを意図したものではない。一例では、物体１０２の下側の外周付近に位置する複数のセル１４６は、物体１０２の上側の外周付近に位置する複数のセル１４２と比較して、より傾斜していてもよい。更に、本システムは、検査される各物体が、各物体に特有の結果を生じる独特のセルの関係を有し得るという見込みで動作し得る。
【００４８】
セル１１０の複数の群１４２、１４４、１４６を通って出る光を投射するための複数の光源１２４が、図５並びに図９〜図１１に示されており、セル１１０の複数の群１４２、１４４、１４６の各々は、物体１０２の複数の光源１２４と対応している。一例では、複数の光源１２４は、常に静止していて、複数のセル１１０を通って出て投射される光を同時に発してもよい。別の例では、複数の光源１２４は、複数のセル１１０の異なる群を通って出る光を投射するために、ｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向のうちの少なくとも１つに所定の距離だけ移動し得る。
【００４９】
各光源１２４は、他の光源１２４から発せられる光の色と同じまたは異なる特定の色を有する光を発するよう構成され得る。例えば、１つの光源１２４は黄色の光を投射し、別の光源１２４は同時に赤色の光を投射し、更に別の光源は更に異なる色を投射し得る。各ケースにおいて、光源１２４によって、複数のセル１１０の複数の対応する群１１８を通って出て投射された光の特定の色が、それに従って、ターゲット１３６上の光１４０に表示される。
【００５０】
図５並びに図９〜図１１に示されている例に従った動作においては、対応する複数の光源１２４からの光は、セル１１０の複数の群１４２、１４４、１４６を通って出て投射され、ターゲット１３６上に表示され得る。ターゲット１３６は、投射された光１４０の複数のビームをターゲット１３６上に同時に表示し得る。或いは、投射された光の複数のビームはそれぞれ、ターゲット１３６上に一度に１つずつ順次表示されるよう構成され得る。図示されるように、物体１０２の上側および／または下側の外周付近に位置するセル１１０の群１４２、１４４については、それらを通って出る投射された光のビームは、物体１０２の縦軸１１４に関して傾斜したものであり得る。従って、傾斜しているセル１１０の群１４２、１４４についてのターゲット１３６上に表示された光１４０の位置は、対応する光源１２４の位置からずれた位置であり得る。図５並びに図９〜図１１は、セル１１０の群１４２、１４４についての投射された光のビームのｚ方向のみの傾斜を示しているが、これに限定する意図はなく、図５並びに図９〜図１１におけるセル１１０の群１４２、１４４の傾斜は、例えば、ｘ方向およびｚ方向であり得る。
【００５１】
図６に示されている例では、複数の光源１２４は、セル１１０の対応する複数の群１１８を通って出る光を投射するために、物体１０２の第１の端面１０４の外側領域に対応するリング形状に配置され得る。従って、複数の光源１２４は、物体１０２の第１の端面１０４の外側領域に対応するリング形状を形成するよう離間され得る。また、物体１０２の第１の端面１０４の中心領域に対応する更なる光源１２４が、対応するセル１１０の群１１８を通って出る光を投射するよう配置され得る。
【００５２】
複数の光源１２４の位置は、図６に示されている例では、第１の端面１０４の中心領域に対応する光源１２４と第１の端面１０４の隣接する複数の外側領域に対応する複数の光源１２４との間の距離（ｒ）、および第１の端面１０４の隣接する複数の外側領域に対応する複数の光源１２４間の角度（θ）に基づく、極座標系によって示され得る。
【００５３】
或いは、図７に示されている例のように、複数の光源１２４の互いに関する位置は、デカルト座標系によって表すことができ、ここでは、他の隣接する光源１２４に従った１つの光源１２４の位置は、複数の光源１２４間のＸ方向および／またはｙ方向の距離によって表すことができる。図７に示されている例では、各光源１２４は、隣接する複数の光源１２４間のｘ方向およびｙ方向のそれぞれの間隙ＸおよびＹを有する格子パターンに配置されている。更に、図７に示されている例では、複数の光源１２４は、セル１１０の複数の対応する群１１８を通って出て投射された表示された光１４０がターゲット１３６上で互いに重ならないように配置され得る。図６および図７に示されている配置は限定する意図はなく、複数の光源１２４は、様々な異なる配置で配置され得る。
【００５４】
図８に示されている例では、１つのみの光源１２４が物体１０２のセル１１０の群１１８を通って出る光を投射するが、最初のセル１１０の群１１８に対応するターゲット１３６上に表示された光１４０の位置の決定後、別のセル１１０の群１１８を通って出る光を投射するために移動可能である。この可動光源１２４は、所定の経路に沿ってｘ方向および／またはｙ方向に第２の位置へと移動可能である。従って、複数の光源１２４が静止していてセル１１０の対応する群１１８のみを通って出る光のビームを投射する図６および図７とは異なり、光源１２４は、セル１１０の複数の群１１８を通って出る光のビームを順次投射できる。図８に示されているように、可動光源１２４は、ラスタスキャン経路を辿り得る。別の例では、可動光源１２４は、同心円または螺旋状の経路を辿り得る。光源１２４は、当業者に知られている光源１２４等の物を機械的に移動させるために用いられる二軸ステージシステムまたは他の任意のロボット式、空気圧式、油圧式、または電子式システムを用いて、機械的に移動され得る。
【００５５】
図９は、本検査システムを用いて決定され得る例示的な関係を示しており、ここでは、セル１１０の対応する群１４２についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出するために、光源１２４の位置とターゲット１３６上に表示された対応する光１４０の位置とが比較される。この例で示されている複数の光源１２４は、セル１１０の対応する群１４２、１４４、１４６を通って出て投射される拡散光を発する。セル１１０の対応する群１４２、１４４、１４６から出た擬似平行光が投射されて、ターゲット１３６上に表示されて、表示された光１４０を形成し得る。物体１０２の縦軸１１４と平行ではないセル１１０の群１４２については、ターゲット１３６上に表示された光１４０の位置は、対応する光源１２４の位置からずれた位置であり得る。
【００５６】
図９に示されている例では、表示された光１４０の決定された位置を、対応する光源１２４の位置と比較することにより、セル１１０の群１４２の傾斜を表すセル角度（β）が定義され得る。例えば、図９に示されているように、セル角度（β）は、セル１１０の群１４２および光源１２４の位置の進行方向ベクトルと、物体の第１の端面１０４とターゲット１３６との間の距離（Ｚ）を示すベクトルとの間の角度である。
【００５７】
距離（Ｚ）の決定は、ターゲット１３６上に表示された光１４０の位置と、表示された光１４０が供給された光源１２４の位置に対応するターゲット１３６上の位置との間の距離であり得るずれ（Ｙ）の算出を可能にする。更に、図１２に示されているように、ずれ（Ｙ）は、表示された光１４０が供給された光源１２４の位置に対応するターゲット１３６上の位置と、ターゲット１３６上に表示された光１４０の重心１７０との間の距離であり得る。この重心は、オブジェクトの幾何学的中心を定める点である。更に、図１２に示されているように、位置のずれ（Ｙ）は、表示された光１４０が供給された光源１２４の位置に対応するターゲット１３６上の位置の重心１７４と、ターゲット１３６上に表示された光１４０の重心１７０との間の距離であり得る。そして、セル１１０の群１４２についてのセル角度（β）は、以下の式で表すことができる。
【００５８】
β＝ａｒｃｔａｎ（Ｙ／Ｚ）  …（１）
一例では、Ｚが２ｍであり、Ｙが３．５ｍｍである場合には、セル角度（β）は約０．１度である。なお、式（１）は、セル１１０の群１４２を通って出て投射された光のｚ方向のみのずれ（Ｙ）を示すが、ターゲット１３６上に表示される光１４０のずれはこれに限定されず、ずれは、例えば、ｘ方向およびｚ方向の両方に生じ得ることを理解されたい。更に、表示された光１４０が供給された光源１２４の位置に対応するターゲット１３６上の位置の重心１７４の位置は、約０．５ｍｍ以下の範囲内で既知であり得る。
【００５９】
図１０に示されている例では、複数の光源１２４およびターゲット１３６に加えて、撮像システム１６０およびシステムプロセッサ１６６が示されている。撮像システム１６０は、ターゲット１３６上に表示された光１４０の少なくとも１つの位置を決定し得る。一例において、撮像システム１６０は、ターゲットの表面に関連する１３６データを集めて、ターゲット１３６の表示された光１４０の位置またはターゲット１３６の表示された光１４０の重心１７０の位置を決定し得る。一例では、デジタル撮像センサ１６２は、ターゲット１３６上に表示された光の形状、サイズ、色、または重心のうちの少なくとも１つを感知および／またはキャプチャし得る。撮像システム１６０は、例えば電荷結合素子（ＣＣＤ）画像センサまたは相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）画像センサ等であるがそれらに限定されないデジタル撮像センサ１６２を含み得る。デジタル撮像センサ１６２は、可視スペクトル範囲内で動作可能な画像キャプチャ装置を更に含み得る。
【００６０】
デジタル撮像センサ１６２は、ターゲット１３６のいずれかの側に配置され得る。例えば、デジタル撮像センサ１６２は、図１０に示されているように、ターゲット１３６の物体１０２が位置する側に配置され得る。この場合には、デジタル撮像センサ１６２は、物体１０２の上方または下方に配置され得る。図１０では、デジタル撮像センサ１６２は、物体１０２の上方に配置されて示されている。また、デジタル撮像センサ１６２は、図１１に示されているように、ターゲット１３６の物体１０２が位置する側とは反対側に配置されてもよい。この場合には、ターゲット１３６上に表示された光１４０の位置を撮像システム１６０によって決定できるように、ターゲット１３６は半透明材料を含み得る。或いは、デジタル撮像センサ１６２がターゲット１３６上に表示された光１４０を感知できる限り、デジタル撮像センサ１６２は物体１０２の左側または右側に配置されてもよい。
【００６１】
撮像プロセッサ１６４は、ターゲット１３６上に表示された画像１４０と関連づけられたデータを集めるために、デジタル撮像センサ１６２に動作的に結合され得る。撮像プロセッサ１６４は、ターゲット１３６上に表示された光１４０と関連づけられたデータを集めるための１以上のソフトウェアまたはプログラムが格納され得るメモリまたは他のストレージ装置を含み得る。一例では、ソフトウェアまたはプログラムは、１以上の座標系を含み得る。
【００６２】
デジタル撮像センサ１６２を用いて集められたデータに基づき、撮像プロセッサ１６４は、ターゲット１３６上に表示された光１４０の位置と、ターゲット１３６上に表示された光１４０の形状、サイズ、または色のうちの少なくとも１つとを決定し得る。一例において、撮像プロセッサ１６４は、撮像プロセッサ１６４に格納されている座標系または他のプログラムを用いることにより、図１２に示されているように、ターゲット１３６上に表示された光１４０の位置の重心１７０を決定し得る。
【００６３】
表示された光１４０が供給された光源１４０の位置に対応するターゲット１３６上の位置に関する、表示された光１４０の位置は、幾つかの座標系の１つを用いて決定され得る。座標系の限定しない例としては、デカルト座標系または極座標系が挙げられる。従って、座標系は、用いられる座標系の原点に関する、表示された光１４０の位置と、表示された光１４０が供給された光源１２４の位置に対応するターゲット１３６上の位置とを決定し得る。例えば、座標系は、表示された光１４０が供給された光源１２４の位置に対応するターゲット１３６上の位置の重心１７４の位置（光源１２４の重心の位置）と、ターゲット１３６上に表示された光１４０の重心１７０の位置とを決定するよう構成され得る。
【００６４】
図５並びに図９〜図１１に示されている例は、複数の光源１２４およびターゲットと相対的に位置合わせされた物体１０２を示しているが、最初に物体１０２と本システムの様々な構成要素との精密な角度的位置決めを行う必要はない。例えば、表示された光１４０が撮像システム１６０の視野内のターゲット１３６上に位置する限り、撮像システム１６０による測定を行うことができる。従って、撮像システム１６０によって行われる測定は、本システムの様々な構成要素に関する物体１０２の傾斜をなくすことによる本システムの様々な構成要素との物体１０２の位置決めを必要としなくてよい。物体１０２の傾斜の最初のばらつきは、＋／−１０度まで許容可能であり得る。
【００６５】
更に、図１０および図１１に示されている例においては、デジタル撮像センサ１６２と撮像プロセッサ１６４とは別個の構成要素として示されているが、デジタル撮像センサ１６２と撮像プロセッサ１６４とは互いに統合されてもよい。例えば、デジタル撮像センサ１６２は、撮像プロセッサ１６４を含むよう構成され得る。
【００６６】
システムプロセッサ１６６は、表示された光１４０の決定された位置を光源１２４の位置と比較し、その比較から、光源１２４に対応するセル１１０の群１４２についての進行方向角度またはベクトルを算出し得る。一例において、システムプロセッサ１６６は、表示された光１４０の重心１７０の決定された位置を光源１２４の位置と比較し、その比較から、光源１２４に対応するセル１１０の群１４２についての進行方向角度またはベクトルを算出し得る。
【００６７】
システムプロセッサ１６６は、ターゲット１３６上に表示された光１４０の位置を受け取るために、撮像システム１６０に動作的に結合され得る。システムプロセッサ１６６は、表示された光１４０の決定された位置を光源１２４の位置と比較するための、１以上の数値計算を実行するための１以上のソフトウェアまたはプログラムを格納し得る１以上のメモリまたは他のストレージ装置を含み得る。このために、システムプロセッサ１６６内の１以上のソフトウェアまたはプログラムは、撮像システム１６０によって決定された表示された光１４０の位置を、表示された光１４０に対応する光源１２４の位置と比較するために、上述の座標系を用いることを含み得る。システムプロセッサ１６６に格納されるソフトウェアまたはプログラムは、進行方向角度または進行方向ベクトルに関して、対応する光源１２４の位置に関する表示された光１４０の位置を更に算出し得る。
【００６８】
図１０および図１１には、システムプロセッサ１６６と撮像システム１６０とは別個のものとして示されているが、システムプロセッサ１６６と撮像システム１６０とは、互いに統合されてもよい。例えば、システムプロセッサ１６６は、撮像システム１６０を含むよう構成されてもよく、撮像システム１６０は、デジタル撮像センサ１６２および撮像プロセッサ１６４を含んでもよい。従って、デジタル撮像センサ１６２、撮像プロセッサ１６４、およびシステムプロセッサ１６６は、１つのシステムに統合されてもよい。
【００６９】
図１２は、物体１０２のセル１１０の複数の対応する群１１８についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出するための、複数の重心１７０にそれぞれ対応する複数の光源１２４の重心１７４の位置に関する表示された光１４０の重心１７０の位置の一例を示す。図１２に示されている例に示されるように、破線の円は複数の光源１２４の位置を表し、実線の円は、複数の光源１２４に対応する表示された光１４０の位置を表す。表示された光１４０の位置は、対応する複数の光源１２４の位置と必ずしも一致しない。更に、進行方向角度または進行方向ベクトルに関する、各表示された光１４０の位置の、対応する光源１２４の位置からのずれは、光源毎に様々であり得る。これは、図５並びに図９〜図１１に示されている物体１０２等の物体１０２の第１の端面１０４から第２の端面１０６へと延びる複数のセル１１０が、物体１０２の縦軸１１４に対して必ずしも平行ではないことを意味する。
【００７０】
複数の光源１２４は、物体１０２のセル１１０の複数の対応する群１１８を通って出る光を投射するために、同時に作動され得る。その結果、セル１１０の複数の群１１８を通って出て投射された光が、ターゲット１３６上に同時に表示され得る。従って、ターゲット１３６上に表示された光１４０の複数の位置が、撮像システム１６０によって同時に決定され得る。例えば、表示された光１４０の重心１７０の複数の位置が、撮像システム１６０によって同時に決定され得る。
【００７１】
或いは、撮像システム１６０は、表示された光１４０の複数の位置から、表示された光１４０の特定の複数の位置を識別し得る。一例では、表示された光１４０の１つのみの位置が、撮像システム１６０によって決定される。別の例では、表示された光１４０の全ての位置が識別される。表示された光１４０の位置の数が、撮像システム１６０によって決定されてもよい。或いは、表示された光１４０の位置の数が、システムプロセッサ１６６によって識別されてもよい。
【００７２】
表示された光１４０の複数の位置が識別される場合には、システムプロセッサ１６６を用いて、複数の位置の各々が、複数の対応する光源１２４の位置と比較され得る。表示された光１４０が、実際には、対応する複数の光源１２４から発せられた光がセル１１０の複数の対応する群１１８を通って出て投射された結果として表示されるという意味で、複数の光源１２４の位置は、表示された光１４０の複数の位置に対応する。
【００７３】
システムプロセッサ１６６は、セル１１０の複数の群１１８の各々についての進行方向角度または進行方向ベクトルを更に算出し得る。例えば、図１２に示されているように、対応する光源１２４に関する表示された光１４０の進行方向角度は、α１として表すことができ、表示された光１４０から、表示された光１４０が供給された対応する光源１２４までの距離は、Ｒ１として表すことができ、それらの両方が、システムプロセッサ１６６によって、表示された光１４０の位置と、表示された光１４０が供給された対応する光源１２４の位置とを比較することによって算出され得る。
【００７４】
一般的に、α１およびＲ１の数値は、物体１０２におけるセルの群についての傾斜の程度を表し得る。例えば、進行方向角度α１のばらつきは、セル１１０の群１１８のセル角度（β）のばらつきに対応し得る。別の例では、距離Ｒ１は、傾斜の程度に対応し得る。
【００７５】
対応する光源１２４に関する表示された光１４０の進行方向角度α１、およびセル１１０の群１４２の進行方向ベクトルは、物体１０２の複数の領域にわたるセルの複数の群についての進行方向角度および進行方向ベクトルを算出する際に用いられ得る。一例において、進行方向角度α１および進行方向ベクトルは、物体１０２にどのように外皮を施すべきかを示す際に用いられ得る。例えば、物体１０２の特定の外側の部分における、研削および外皮を施す手順によって塞がれ得るセル１１０を最小限にするために、セル１１０の特定の群１１８の進行方向角度α１および進行方向ベクトルに基づき、物体１０２の特定の外側の部分が、所定の方向に沿って所定の深さで研削され得る。
【００７６】
図８に示されている例に関しては、表示された光１４０の位置と、表示された光１４０が供給された対応する光源１２４の位置との比較から、表示された光１４０に対応する最初のセル１１０の群１１８についての進行方向角度α１または進行方向ベクトルが算出され得る。例えば、表示された光１４０の重心１７０の位置と、表示された光１４０が供給された対応する光源１２４の位置との比較から、表示された光１４０に対応する最初のセル１１０の群１１８についての進行方向角度α１または進行方向ベクトルが算出され得る。一例において、対応する光源１２４の位置は、対応する光源１２４の重心１７４によって定義され得る。
【００７７】
光源１２４を移動させて、セル１１０の群１１８を通って出る光を投射する工程、ターゲット１３６上に光１４０を表示する工程、表示された光１４０の位置を決定する工程、表示された光１４０の決定された位置と、対応する光源１２４の位置とを比較する工程、および、物体１０２のセル１１０の群１１８についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの一方を算出する工程を繰り返すことにより、図８に示されている１つの光源１２４を有する例で、セル１１０の複数の群１１８を通って出る光を同時に投射する複数の光源を含むシステムと同様に、セル１１０の複数の群１１８に対応する表示された光１４０の複数の事例を取得できる。
【００７８】
上述の図８に示されている例では、物体１０２を検査するために物体１０２を通って出る光を投射するために、１つのみの光源１２４が所定の経路に沿って移動することを想定しているが、物体１０２を検査するために、複数の光源１２４が所定の経路に沿って移動してもよいことが理解されよう。一例では、第１の光源１２４が物体１０２の上半分の部分におけるセル１１０の複数の群１１８を通って出る光を投射し、第２の光源１２４が物体１０２の下半分の部分におけるセル１１０の複数の群１１８を通って出る光を投射するよう、２つの光源１２４が所定の経路に沿って移動し得る。
【００７９】
なお、図１２に示されているような配置は、限定することは意図せず、本開示の態様に従った、複数の光源１２４の他の様々な配置が可能である。また、ユーザに、表示された光１４０が供給された対応する複数の光源１２４位置に関する、表示された光１４０の位置についての視覚的情報を提供するために、システムプロセッサ１６６によって、図１２に示されているような図が構築され得ることも理解されよう。或いは、ユーザには、セル１１０の１以上の群１１８の位置についての数値情報のみが提供されてもよい。
【００８０】
図１３は、物体１０２を検査する方法３００の一例を示す模式的な図である。なお、図１３に示されている一続きの工程は、単に説明を目的とするものであり、本方法を限定する意図はなく、これらの工程は、本開示から逸脱することなく、異なる論理的順序で進行してもよく、追加のまたは介在する工程が含まれてもよく、または、記載された工程が複数の工程に分割されてもよいことを理解されたい。図１３の方法３００は、物体１０２の製造のための動作のサイクルに（例えば、物体１０２の製造前、製造中、または製造後等に）組み込まれ得る。或いは、図１３の方法３００は、単独で行われる処理であってもよい。
【００８１】
方法３００は、セル１１０の少なくとも１つの群１１８を通って出る光を少なくとも１つの対応する光源１２４から投射する工程３０２を含む。対応する光源１２４から投射される光は、拡散光を含み得る。１以上の光源１２４は、物体１０２に関して静止していてもよい。或いは、１以上の光源１２４は、所定の経路に沿って、物体１０２に関してｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向のうちの少なくとも１つの方向に移動する（または、物体１０２が光源１２４に関してそのように移動する）よう構成されてもよい。
【００８２】
方法３００は、セル１１０の少なくとも１つの群１１８を通って出て投射された光をターゲット１３６上に表示する工程３０４も含む。ターゲット１３６は、半透明および不透明のうちの一方であり得る。対応する複数の光源１２４から投射され、セル１１０の複数の対応する群１１８を通って出た光の１以上のビームは、ターゲット１３６上に同時に表示され得る。或いは、対応する光源１２４から投射され、セル１１０の対応する群１１８を通って出た光の１以上のビームは、１以上の光源１２４が所定の経路に沿って移動された際に、ターゲット１３６上に一度に１つずつ順次表示されてもよい。
【００８３】
方法３００は、表示された光１４０の少なくとも１つの位置を決定する工程３０６を更に含み得る。表示された光１４０の少なくとも１つの位置は、撮像システム１６０によって決定され得る。撮像システム１６０は、表示された光１４０の位置を決定するためのソフトウェアまたはプログラムを含むメモリまたは他のストレージ装置を含み得る。一例では、ソフトウェアまたはプログラムは、ターゲット１３６上に表示された光１４０の位置を決定するための座標系を含み得る。
【００８４】
方法３００は、システムプロセッサ１６６によって、表示された光の決定された少なくとも１つの位置１４０を少なくとも１つの対応する光源１２４の位置と比較する工程３０８を更に含み得る。システムプロセッサ１６６は、ソフトウェアまたはプログラムを含み得るメモリまたはストレージ装置を含み得る。一例では、ターゲット１３６上に表示された光１４０の位置の重心１７０が、表示された光１４０が発せられた対応する光源１２４の重心１７４の位置と比較され得る。方法３００は、表示された光１４０の少なくとも１つの位置と少なくとも１つの対応する光源の位置１２４との位置比較から、セル１１０の各群１１８についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出する工程３１０を更に含み得る。工程３０８および３１０は別々の工程として説明したが、工程３０８および３１０は、システムプロセッサ１６６においてほぼ同時に行われ得ることが理解されよう。
【００８５】
特許請求される主題の趣旨および範囲から逸脱することなく、本明細書に記載された実施形態に対して様々な変形および変更が行われ得る。従って、本明細書は、添付の特許請求の範囲およびそれらの等価物の範囲内である限り、本明細書に記載された実施形態の変形および変更を網羅することが意図されると理解されたい。特許請求の範囲の趣旨および範囲から逸脱することなく、様々な変形および変更が行われ得ることが、当業者には自明である。
【００８６】
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
【００８７】
実施形態１
第１の端面および第２の端面を有する物体であって、該物体を通って前記第１の端面から前記第２の端面へと延びる複数のセルを含む物体を検査するためのシステムにおいて、
前記複数のセルの少なくとも１つの対応する群を通って出る光を投射するよう構成された少なくとも１つの光源と、
前記複数のセルの前記少なくとも１つの対応する群を通って出て投射された前記光を表示するよう構成されたターゲットと、
前記ターゲット上に表示された前記光の少なくとも１つの位置を決定するよう構成された撮像システムと、
前記表示された光の前記決定された少なくとも１つの位置を、前記少なくとも１つの光源の位置と比較し、その比較から、前記複数のセルの前記少なくとも１つの対応する群についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出するよう構成されたシステムプロセッサと
を含むことを特徴とするシステム。
【００８８】
実施形態２
前記少なくとも１つの光源が拡散光源である、実施形態１に記載のシステム。
【００８９】
実施形態３
前記ターゲットが半透明および不透明のうちの一方である、実施形態１〜２のいずれか１つに記載のシステム。
【００９０】
実施形態４
前記撮像システムが、前記ターゲットの表面に関連するデータを集め、該集められたデータから、前記表示された光の重心の位置を決定するよう更に構成された、実施形態１〜３のいずれか１つに記載のシステム。
【００９１】
実施形態５
前記システムプロセッサが、前記重心の前記決定された位置を前記少なくとも１つの光源の位置と比較し、その比較から、前記複数のセルの前記少なくとも１つの対応する群についての前記進行方向角度および前記進行方向ベクトルの前記少なくとも一方を算出するよう更に構成された、実施形態１〜４のいずれか１つに記載のシステム。
【００９２】
実施形態６
前記撮像システムがデジタル撮像センサを含む、実施形態１〜５のいずれか１つに記載のシステム。
【００９３】
実施形態７
前記少なくとも１つの光源が、前記複数のセルの複数の対応する群を通って出る光を投射するよう構成された複数の光源のうちの１つであり、前記複数のセルの前記少なくとも１つの対応する群が、前記複数のセルの前記複数の対応する群のうちの１つであり、
前記ターゲットが、前記複数のセルの前記複数の対応する群を通って出て投射された前記光を表示するよう更に構成され、
前記撮像システムが、前記ターゲット上に表示された前記光の複数の位置を決定するよう更に構成され、前記ターゲット上に表示された前記光の前記少なくとも１つの位置が、前記ターゲット上に表示された前記光の前記複数の位置のうちの１つであり、
前記システムプロセッサが、前記表示された光の前記決定された複数の位置を前記複数の光源のそれぞれの位置と比較して、その比較から、前記複数のセルの前記複数の対応する群についての前記進行方向角度および前記進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出するよう更に構成された
実施形態１〜６のいずれか１つに記載のシステム。
【００９４】
実施形態８
複数の前記光源が、前記光を同時に投射するよう更に構成された、実施形態１〜７のいずれか１つに記載のシステム。
【００９５】
実施形態９
前記システムプロセッサが、前記複数のセルの前記少なくとも１つの対応する群についての前記進行方向角度および前記進行方向ベクトルのうちの前記少なくとも一方を算出した後、前記少なくとも１つの光源が、前記複数のセルの別の対応する群を通って出る光を投射するよう移動される、実施形態１〜８のいずれか１つに記載のシステム。
【００９６】
実施形態１０
第１の端面および第２の端面を有する物体であって、該物体を通って前記第１の端面から前記第２の端面へと延びる複数のセルを含む物体を検査する方法において、
前記複数のセルの少なくとも１つの群を通って出る光を少なくとも１つの対応する光源から投射する工程と、
前記複数のセルの前記少なくとも１つの群を通って出て投射された前記光を表示する工程と、
前記表示された光の少なくとも１つの位置を決定する工程と、
前記表示された光の前記決定された少なくとも１つの位置を、前記光を投射した前記少なくとも１つの対応する光源の位置と比較する工程と、
前記位置の前記比較から、前記複数のセルの前記少なくとも１つの群の各々についての進行方向角度および進行方向ベクトル少なくとも一方を算出する工程と、
を含むことを特徴とする方法。
【００９７】
実施形態１１
前記光を投射する前記工程が、拡散光を投射することを含む、実施形態１０に記載の方法。
【００９８】
実施形態１２
前記光を表示する前記工程が、半透明および不透明のうちの一方であるターゲット上に前記光を表示することを含む、実施形態１０〜１１のいずれか１つに記載の方法。
【００９９】
実施形態１３
前記光を表示する前記工程が、ターゲット上に前記光を表示することを含み、
前記少なくとも１つの位置を決定する前記工程が、前記ターゲットの表面に関連するデータを集め、該集められたデータから、前記表示された光の重心の位置を決定することを含む、
実施形態１０〜１２のいずれか１つに記載の方法。
【０１００】
実施形態１４
前記位置を比較する前記工程が、前記重心の前記決定された位置を前記少なくとも１つの対応する光源の位置と比較することを含み、
前記進行方向角度および前記進行方向ベクトルのうちの前記少なくとも一方を算出する前記工程が、前記重心の前記決定された位置と前記少なくとも１つの対応する光源の位置との前記比較から、前記複数のセルの前記少なくとも１つの群についての前記進行方向角度および前記進行方向ベクトルのうちの前記少なくとも一方を算出することを含む、
実施形態１０〜１３のいずれか１つに記載の方法。
【０１０１】
実施形態１５
前記少なくとも１つの位置を決定する前記工程が、デジタル撮像センサによって行われる、実施形態１０〜１４のいずれか１つに記載の方法。
【０１０２】
実施形態１６
前記光を投射する前記工程が、前記複数のセルの複数の群を通って出る前記光を複数の対応する光源から投射することを含み、前記複数のセルの前記少なくとも１つの群が、前記複数のセルの前記複数の群のうちの１つであり、前記少なくとも１つの対応する光源が、前記複数の対応する光源のうちの１つであり、
前記光を表示する前記工程が、前記複数のセルの前記複数の群を通って出て投射された前記光を表示することを含み、
前記少なくとも１つの位置を決定する前記工程が、前記表示された光の複数の位置を決定することを含み、前記光の前記少なくとも１つの位置が、前記表示された光の前記複数の位置のうちの１つであり、
前記決定された少なくとも１つの位置を比較する前記工程が、前記表示された光の前記決定された複数の位置を前記複数の対応する光源の位置と比較することを含み、
算出する前記工程が、前記位置の前記比較から、前記複数のセルの前記複数の群についての前記進行方向角度および前記進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出することを含む、
実施形態１０〜１５のいずれか１つに記載の方法。
【０１０３】
実施形態１７
前記複数のセルの前記複数の群のうちの２以上を通って出る前記光を投射する前記工程が同時に行われる、実施形態１０〜１６のいずれか１つに記載の方法。
【０１０４】
実施形態１８
前記進行方向角度および前記進行方向ベクトルのうちの前記少なくとも一方を算出する前記工程の後に、
前記少なくとも１つの対応する光源を移動させる工程と、
前記複数のセルの別の群について、投射する前記工程、表示する前記工程、決定する前記工程、比較する前記工程、および算出する前記工程を繰り返す工程と
を更に含む、実施形態１０〜１７のいずれか１つに記載の方法。
【０１０５】
実施形態１９
第１の端面および第２の端面を有する物体であって、該物体を通って前記第１の端面から前記第２の端面へと延びる複数のセルを含む物体を検査するためのシステムにおいて、
前記複数のセルの複数の対応する群を通って出る光を同時に投射するよう構成された複数の光源と、
前記複数のセルの前記複数の対応する群を通って出て同時に投射された前記光を、前記複数のセルの前記複数の群にそれぞれ対応する複数の領域内に表示するよう構成されたターゲットと、
前記複数の領域のそれぞれの重心を決定するよう構成された撮像システムと、
前記複数の領域の前記それぞれの重心の位置を前記複数の光源のそれぞれの位置と比較し、その比較から、前記複数のセルの前記複数の対応する群についての進行方向角度および進行方向ベクトルのうちの少なくとも一方を算出するよう構成されたシステムプロセッサと
を含むことを特徴とするシステム。
【０１０６】
実施形態２０
前記撮像システムが、デジタル撮像センサを含む撮像装置を含み、該撮像装置が、前記複数のセルの前記複数の対応する群に面した前記ターゲットの表面からデータを集めるよう構成された、実施形態１９に記載のシステム。
【符号の説明】
【０１０７】
１０２  物体
１０４  第１の端面
１０６  第２の端面
１１０  セル
１１８  群
１２４  光源
１３６  ターゲット
１４０  表示された光
１４２、１４４、１４６  群
１６０  撮像システム
１６２  デジタル撮像センサ
１６４  撮像プロセッサ
１６６  システムプロセッサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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