(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のつかみ具により両端を把持された試験片を収容する高温炉を備え、前記試験片に対し、高温雰囲気下で試験力を付与する高温試験装置において、
前記高温炉内には複数の領域のそれぞれに対応して複数のヒーターが設けられ、
前記高温炉内における前記複数のヒーターの各々の近傍に配置されることによりヒーター付近温度を検出する複数のヒーター用温度センサと、
前記複数のヒーターの温度を設定値に保つために前記複数のヒーターの各々を個別に調整する複数の温度調節器と、
前記試験片と接触することにより前記試験片の温度を検出する複数の試験片用温度センサと、
前記複数の試験片用温度センサの検出値と、前記複数のヒーター用温度センサの検出値とに基づいて、前記複数の温度調節器の温度設定値を設定する制御装置と、
を備えたことを特徴とする高温試験装置。
【請求項２】
請求項１に記載の高温試験装置において、
前記制御装置は、前記複数のヒーター用温度センサの検出値が所定の温度となるよう前記温度設定値を前記複数の温度調節器に設定した後に、前記複数の試験片用温度センサのうちの一つの検出値と前記ヒーター用温度センサのうちの一つの検出値との差分を計算したうえで、当該ヒーター用温度センサの近傍のヒーターの温度を調整する温度調節器における前記温度設定値を、先に設定された温度設定値に前記差分を加えた値となるよう設定することを特徴とする高温試験装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の高温試験装置において、
前記高温炉は、管状高温炉であり、
前記複数の領域は、前記管状高温炉の長手方向において区切られた３つの領域である高温試験装置。
【請求項４】
請求項３に記載の高温試験装置において、
前記３つの領域のそれぞれに対応する前記複数のヒーターの各々は、それぞれ容量が異なる高温試験装置。
【請求項５】
一対のつかみ具により両端を把持された試験片を高温炉に収容して、前記試験片に対し、高温雰囲気下で試験力を付与する高温試験方法において、
前記高温炉内の複数の領域のそれぞれに対応して設けられた複数のヒーターの近傍に配置された複数のヒーター用温度センサにより各ヒーター付近温度を検出する工程と、
前記試験片に接触させた複数の試験片用温度センサにより前記試験片の温度を検出する工程と、
前記複数の試験片用温度センサの検出値と、前記複数のヒーター用温度センサの検出値とに基づいて、前記複数のヒーターの温度を設定値に保つために前記複数のヒーターの各々を個別に調整する複数の温度調節器の温度設定値を設定する制御工程とを含み、
前記制御工程は、
前記複数の温度調節器に、前記温度設定値を設定した後に、前記複数の試験片用温度センサのうちの一つの検出値と前記ヒーター用温度センサのうちの一つの検出値との差分を計算する第１工程と、
前記第１工程で計算対象となる温度を検出した当該ヒーター用温度センサの近傍のヒーターの温度を調整する温度調節器における前記温度設定値を、先に設定された温度設定値に前記差分を加えた値となるように設定する第２工程と、
を含むことを特徴とする高温試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、高温炉内に配置した試験片に対し、試験力を負荷する高温試験装置および高温試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
高温下で試験片に試験荷重を加える試験装置として、テーブルと、テーブル上に立設された一対のねじ棹に両端を螺合させ、一対のねじ棹を同期して動作させることにより昇降するクロスヘッドとを備え、テーブルとクロスヘッドとの間の試験位置に配置した試験片を囲む管状の高温炉を配設した高温試験装置が知られている（特許文献１参照）。この種の高温試験装置では、テーブルとクロスヘッドとに取り付けた治具につかみ具を高温炉に挿通するように連結し、つかみ具に把持させた試験片を高温炉内で加熱しながら試験荷重を付与する。
【０００３】
鋼鉄材料、耐熱材料などの高温条件下における引張試験に関し、ＪＩＳ（日本工業規格）Ｇ０５６７（対応国際規格：ＩＳＯ６８９２−２）においては「鉄鋼材料および耐熱合金の高温引張試験方法」が規定されている。高温下での引張試験では、試験片を加熱する際の温度精度・温度分布が、この規格条件を満足している必要がある。このような試験のための高温試験装置に配設されている管状の高温炉は、抵抗加熱方式の発熱体（ヒーター）を備えた非密閉型の電気炉であり、炉外から流入する空気による炉内温度の変動が、試験片に貼設するなどして試験片の温度を直接測定する温度センサの読みに与える影響を最小限のものとなるように設計されている。
【０００４】
図３は、従来の高温炉１４０の温度制御を説明する概要図である。
【０００５】
試験片ＴＰは、接続ロッド２５ａを介して上治具２１に連結された上つかみ具２６と、接続ロッド２５ｂを介して下治具２２に連結された下つかみ具２７とに両端を把持され、高温炉１４０内に配置される。高温炉１４０は、上つかみ具２６と、試験片ＴＰと、下つかみ具２７とを覆う長さを有する管状高温炉であり、高温炉４０の内壁の、高温炉４０の長手方向における上段、中段、下段の３つの領域には、上つかみ具２６、試験片ＴＰ、下つかみ具２７をそれぞれ囲むように、ヒーター４１ａ、ヒーター４１ｂおよびヒーター４１ｃが配設されている。また、試験片ＴＰには、試験片ＴＰの温度を検出し測定するための３個の温度センサ１４３ａ、１４３ｂ、１４３ｃが試験片ＴＰの上段、中段、下段の位置にそれぞれ貼設されている。
【０００６】
３個の温度センサ１４３ａ、１４３ｂ、１４３ｃのうち、上段と下段の温度センサ１４３ａ、１４３ｃは、それぞれの検出値を表示する温度モニタ１５５ａ、１５５ｃに接続され、中段の温度センサ１４３ｂは、温度モニタ付の温度調節器１５６に接続されている。また、高温炉１４０の上段、中段、下段の各領域に配設されたヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃは、それぞれ電力調整器１５１ａ、１５１ｂ、１５１ｃに接続され、さらに、電力調整器１５１ａ、１５１ｂ、１５１ｃは、可変抵抗器１５４ａ、１５４ｂ、１５４ｃを介して、中段の温度センサ１４３ｂの検出値が入力される温度モニタ付の温度調整器１５６に接続される。
【０００７】
この温度調整器１５６は、中段の温度センサ１４３ｂの検出値を表示するとともに、中段の温度センサ１４３ｂの検出値に応じて、ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃの設定温度を一括して調整している。温度調整器１５６からの出力に対して、ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃの個々の容量の違いや炉外からの空気流入の影響等に対応したヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃへの入力の調整は、可変抵抗器１５４ａ、１５４ｂ、１５４ｃのそれぞれの抵抗値を変更することにより行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−３８７７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来の高温炉１４０の温度調整は、試験片ＴＰの中央を測定点として制御を行う温度調整器１５６からの１つの出力に対して、ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃがほぼ同じ挙動を示す。すなわち、温度調節器１５６の設定温度が上がれば、ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃのすべての加熱温度が上がることになる。これは、試験片ＴＰの上下の測定点の入力に応じたヒーター４１ａおよびヒーター４１ｃの温度調整を個別に異なるタイミングで行うと、高温炉１４０内では、各ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃはそれぞれの加熱の影響を受け合うため、個別調整では試験片ＴＰの温度を目標温度に収束させることが難しくなり、かえって温度制御が不安定化するためである。したがって、従来は試験片ＴＰを加熱するときの温度の上げ下げを、３つのヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃで同時に行えるように１つの温度調節器１５６で設定温度の調整を行っていた。そして、ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃの炉内での配置や容量等の違いに応じた調整を、可変抵抗器１５４ａ、１５４ｂ、１５４ｃを用いて行っていた。
【００１０】
一方で、可変抵抗器１５４ａ、１５４ｂ、１５４ｃの抵抗値の調整は、オペレータにとって難しい作業であり、最適な抵抗値の設定までに時間がかかるという問題があった。また、試験片ＴＰに温度センサ１４３ａを接触させて測定した温度に基づいてヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃの加熱制御を行うため、ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃから試験片ＴＰへの温度の伝わり方の遅さが制御遅れとなり、温度調節器１５６におけるＰＩＤ制御のオートチューニングが機能しないという問題が生じていた。さらに、制御遅れにより試験片ＴＰの温度が目標温度を超えてしまうと、ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃの加熱温度を下げても、試験片ＴＰが目標温度に下がるまでに時間がかり、試験規格に規定された温度条件を満たす高温試験を行うのが困難となる場合もある。
【００１１】
この発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、高温炉内の試験片を短時間で目標温度に到達させることができるとともに、安定した温度制御を行うことが可能な高温試験装置および高温試験方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の発明は、一対のつかみ具により両端を把持された試験片を収容する高温炉を備え、前記試験片に対し、高温雰囲気下で試験力を付与する高温試験装置において、前記高温炉内には複数の領域のそれぞれに対応して複数のヒーターが設けられ、前記高温炉内における前記複数のヒーターの各々の近傍に配置されることによりヒーター付近温度を検出する複数のヒーター用温度センサと、前記複数のヒーターの温度を設定値に保つために前記複数のヒーターの各々を個別に調整する複数の温度調節器と、前記試験片と接触することにより前記試験片の温度を検出する複数の試験片用温度センサと、前記複数の試験片用温度センサの検出値と、前記複数のヒーター用温度センサの検出値とに基づいて、前記複数の温度調節器の温度設定値を設定する制御装置と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、前記制御装置は、前記複数のヒーター用温度センサの検出値が所定の温度となるよう前記温度設定値を前記複数の温度調節器に設定した後に、前記複数の試験片用温度センサのうちの一つの検出値と前記ヒーター用温度センサのうちの一つの検出値との差分を計算したうえで、当該ヒーター用温度センサの近傍のヒーターの温度を調整する温度調節器における前記温度設定値を、先に設定された温度設定値に前記差分を加えた値となるよう設定することを特徴とする。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の高温試験装置において、前記高温炉は、管状高温炉であり、前記複数の領域は、前記管状高温炉の長手方向において区切られた３つの領域である。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の高温試験装置において、前記３つの領域のそれぞれに対応する前記複数のヒーターの各々は、それぞれ容量が異なる。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、一対のつかみ具により両端を把持された試験片を高温炉に収容して、前記試験片に対し、高温雰囲気下で試験力を付与する高温試験方法において、前記高温炉内の複数の領域のそれぞれに対応して設けられた複数のヒーターの近傍に配置された複数のヒーター用温度センサにより各ヒーター付近温度を検出する工程と、前記試験片に接触させた複数の試験片用温度センサにより前記試験片の温度を検出する工程と、前記複数の試験片用温度センサの検出値と、前記複数のヒーター用温度センサの検出値とに基づいて、前記複数のヒーターの温度を設定値に保つために前記複数のヒーターの各々を個別に調整する複数の温度調節器の温度設定値を設定する制御工程とを含み、前記制御工程は、前記複数の温度調節器に、前記温度設定値を設定した後に、前記複数の試験片用温度センサのうちの一つの検出値と前記ヒーター用温度センサのうちの一つの検出値との差分を計算する第１工程と、前記第１工程で計算対象となる温度を検出した当該ヒーター用温度センサの近傍のヒーターの温度を調整する温度調節器における前記温度設定値を、先に設定された温度設定値に前記差分を加えた値となるように設定する第２工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１から請求項５に記載の発明によれば、各ヒーター付近を温度測定点として、対応する温度調節器により個別に各ヒーターの加熱温度を制御することから、制御遅れをなくし、ＰＩＤ制御のオートチューニングを行うことが可能となる。また、各ヒーターに対応する温度調節器により個別に各ヒーターの加熱温度を制御することで、試験規格で定められた試験片の温度分布や温度精度の条件を満足しやすくなり、高精度な高温試験の実行が可能となる。そして、試験片用温度センサの検出値と、複数のヒーター用温度センサの検出値とに基づいて、複数の温度調節器の温度設定値を設定するから、試験片の温度を正確に目標の温度とすることができる。さらに、従来のように、可変抵抗器による加熱調整を行わないため、可変抵抗器の調整にかける時間がなくなり、試験準備時間を短縮することが可能となる。
【００１８】
請求項２および請求項５に記載の発明によれば、複数のヒーターのうち、主に試験片を加熱するヒーターなどの、試験片の温度変化への影響が大きな一つのヒーターを制御することができることから、より安定した温度制御を行うことが可能となる。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、管状高温炉の長手方向において区切られた３つの領域において、ヒーター付近の温度を測定して、主に試験片を加熱するヒーターの加熱温度と、炉外からの空気の流入の影響を受けやすいヒーターの加熱温度とを個別の温度調節器で調節することから、ヒーターの配置と試験片との位置関係に応じた、より高精度な温度調節が可能となる。
【００２０】
請求項４に記載の発明によれば、管状高温炉の長手方向において区切られた３つの領域に、炉内への空気の流入等を考慮して異なる容量のヒーターを配置することで、より精度の高い温度調節が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】この発明に係る高温試験装置の概要図である。
【図２】高温炉の温度制御を説明する概要図である。
【図３】従来の高温炉の温度制御を説明する概要図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明に係る高温試験装置の概要図である。図２は、高温炉４０の温度制御を説明する概要図である。なお、図２においては、高温炉４０の内部における試験片ＴＰ等の配置を示すとともに、温度制御装置５０内の制御回路を模式的に示す。
【００２３】
この高温試験装置は、テーブル１８と、床面に立設された一対の支柱１９内に配設された一対のねじ棹に両端を螺合するクロスヘッド２３と、ねじ棹の下端に接続され一対のねじ棹を同期して回転させる駆動機構３０と、駆動機構３０の動作を制御する制御部３１と、試験片ＴＰを内部に配置する高温炉４０と、高温炉４０の温度を調節する温度制御装置５０とを備える。
【００２４】
クロスヘッド２３は、一対のねじ棹の回転に応じて、支柱１９に沿って昇降し、クロスヘッド２３には、ロードセル２４、上治具２１、接続ロッド２５ａを介して上つかみ具２６が連結される。テーブル１８には、下治具２２、接続ロッド２５ｂを介して下つかみ具２７が連結される。ロードセル２４が検出した試験力は、制御部３１に入力される。
【００２５】
試験片ＴＰは、両端に雄ねじ付きのつかみ部を持った丸棒状試験片であり、この実施形態の上つかみ具２６および下つかみ具２７には、試験片ＴＰの両端を螺着させる雌ねじ部が設けられている。上つかみ具２６と下つかみ具２７は、耐熱性材料から構成され、高温炉４０の炉内に挿通される。
【００２６】
高温炉４０は、テーブル１８に立設された支柱（図示せず）に支持された管状高温炉であり、半割れ式に開閉可能となっている。高温炉４０を開くことにより、試験片ＴＰの出し入れが可能である。また、この高温炉４０は、抵抗加熱方式の発熱体（ヒーター）を備えた電気炉であり、高温炉４０の内壁の、高温炉４０の長手方向における上段、中段、下段の３つの領域には、上つかみ具２６、試験片ＴＰ、下つかみ具２７をそれぞれ囲むように、ヒーター４１ａ、ヒーター４１ｂおよびヒーター４１ｃが配設されている。なお、これらのヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃは、炉外からの空気の流入や炉内での空気の流れによる加熱ロスを考慮して、異なる容量のものを使用している。すなわち、高温炉４０の下段のヒーター４１ｃ、上段のヒーター４１ａ、中段のヒーター４１ｂの順に容量が大きく、目標温度への到達時間が速いものを使用している。この実施形態では、炉内への空気の流入等を考慮して異なる容量のヒーターを配置することで、より精度の高い温度調節が可能としている。
【００２７】
ヒーター４１ａの近傍には、ヒーター４１ａ付近の温度を検出して測定するヒーター用温度センサ４７ａが配設され、ヒーター４１ｂの近傍には、ヒーター４１ｂ付近の温度を測定するヒーター用温度センサ４７ｂが配設され、ヒーター４１ｃの近傍には、ヒーター４１ｃ付近の温度を測定するヒーター用温度センサ４７ｃが配置される。また、試験片ＴＰには、試験片ＴＰの温度を検出し測定するための３個の温度センサ４３ａ、４３ｂ、４３ｃが試験片ＴＰの上段、中段、下段の位置にそれぞれ貼設されている。
【００２８】
温度制御装置５０には、各ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃに通電する電流を調整する電力調整器５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃの加熱温度をそのときの温度設定値に保つため温度調節器５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、および、シーケンサー５３が配置される。
【００２９】
ヒーター４１ａは、電力調整器５１ａを介して温度調節器５２ａに接続され、ヒーター４１ｂは、電力調整器５１ｂを介して温度調節器５２ｂに接続され、ヒーター４１ｃは、電力調整器５１ｃを介して温度調節器５２ｃに接続される。温度調節器５２ａはヒーター用温度センサ４７ａに、温度調節器５２ｃはヒーター用温度センサ４７ｂに、温度調節器５２ｃはヒーター用温度センサ４７ｃに、それぞれ接続される。各温度調節器５２ａ、５２ｂ、５２ｃは、１つのシーケンサー５３に接続される。なお、各温度調節器５２ａ、５２ｂ、５２ｃは、温度モニタ付きの温度調節器であり、各ヒーター用温度センサ４７ａ、４７ｂ、４７ｃの温度検出値を表示する。
【００３０】
シーケンサー５３は、この発明における温度調節器５２ａ、５２ｂ、５２ｃの温度設定値を設定し制御する制御装置であり、このシーケンサー５３には、試験片ＴＰの上段、中段、下段の位置にそれぞれ貼設されている試験片用温度センサ４３ａ、４３ｂ、４３ｃの温度検出値が入力される。また、シーケンサー５３には、各温度調節器５２ａ、５２ｂ、５２ｃを介して、各ヒーター用温度センサ４７ａ、４７ｂ、４７ｃの温度検出値も入力される。
【００３１】
シーケンサー５３では、各ヒーター用温度センサ４７ａ、４７ｂ、４７ｃの検出値と試験片用温度センサ４３ａ、４３ｂ、４３ｃの検出値との差分が算出され、その差分に基づき、温度調節器５２ａ、５２ｂ、５２ｃの温度設定値が設定される。
【００３２】
上述した構成を有する高温試験装置で、高温試験を実行するときには、まず、半割れ式に開閉する高温炉４０を開いて、試験片ＴＰを上つかみ具２６および下つかみ具２７に把持させる。そして、高温炉４０を閉め、各ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃによる加熱を開始する。このとき、温度調節器５２ａ、５２ｂ、５２ｃの温度設定値は、試験の目的に応じた、目標温度（所定の温度）に設定される。各ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃの加熱温度が目標温度に到達したか否かは、各温度調節器５２ａ、５２ｂ、５２ｃに表示される各ヒーター用温度センサ４７ａ、４７ｂ、４７ｃの検出値をオペレータが目視で確認するとともに、シーケンサー５３への検出値の入力により確認される。
【００３３】
一方で、各ヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃと試験片ＴＰとの間には距離があり、高温炉４０の上下の、上つかみ具２６および下つかみ具２７の挿入口からは外気が流入する。そして、試験片用温度センサ４３ａ、４３ｂ、４３ｃで検出される試験片ＴＰの温度は、目標温度よりも低い温度となる。このため、シーケンサー５３で、各ヒーター用温度センサ４７ａ、４７ｂ、４７ｃの検出値と試験片用温度センサ４３ａ、４３ｂ、４３ｃの検出値との差分を算出し、それらの差分のうち、試験片ＴＰを主に加熱しているヒーター４１ｂの温度調節器５２ｂの温度設定値に試験片用温度センサ４３ｂの検出値とヒーター用温度センサ４７ｂの検出値との差分を加算した値を、新たな温度設定値として温度調節器５２ｂに再設定し、再加熱する。このような温度制御が、試験片用温度センサ４３ａ、４３ｂ、４３ｃの検出値が、試験規格を満足する温度分布となるように、繰り返し実行される。
【００３４】
このような高温炉４０の温度制御では、試験片ＴＰの温度が目標温度を超えることがないため、従来のように、試験片ＴＰの温度が目標温度を超えた後に、試験片ＴＰの温度が目標温度まで下がるのを待つ時間が発生しない。したがって、試験片ＴＰを早く目標温度に到達させることができ、安定した温度制御を行うことが可能となる。
【００３５】
上述した例では、温度調節器５２ａ、５２ｂ、５２ｃの温度設定値を、試験の目的に応じた所定の温度に設定した後に、ヒーター用温度センサ４７ａ、４７ｂ、４７ｃのうちのヒーター用温度センサ４７ｂの検出値と試験片用温度センサ４３ａ、４３ｂ、４３ｃのうち試験片用温度センサ４３ｂの検出値との差分を算出し（第１工程）、試験片用温度センサ４３ｂの検出値とヒーター用温度センサ４７ｂの検出値との差分を加えた値を、新たな温度設定値として温度調節器５２ｂに再設定（第２工程）する制御をシーケンサー５３に実行させている。すなわち、主に試験片ＴＰを加熱するヒーター４１ｂの温度調節を行う温度調節器５２ｂのみの温度設定値を変更している。一方で、試験片用温度センサ４３ａ、４３ｃの検出値と目標温度の差が所定の範囲外である場合には、試験片用温度センサ４３ａの検出値とヒーター用温度センサ４７ａの検出値との差分を温度調節器５２ａの設定値に加算、および／または、試験片用温度センサ４３ｃの検出値とヒーター用温度センサ４７ｃの検出値との差分を温度調節器５２ｃの設定値に加算する、温度設定値の再設定をシーケンサー５３に実行させてもよい。
【００３６】
この発明の高温試験装置では、高温炉４０の温度制御において、高温炉４０の長手方向である上・中・下段の３つの領域に配置されたヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃの動作を対応する温度調節器５２ａ、５２ｂ、５２ｃで個別に調節していることから、試験片ＴＰの温度分布、温度精度を、試験規格で規定されている条件を満足しやすくすることができる。また、よりヒーター４１ａ、４１ｂ、４１ｃの実際の温度に近い温度であるヒーター用温度センサ４７ａ、４７ｂ、４７ｃの検出値を制御量に加えて温度制御をおこなっていることから、高精度な高温試験を実現することが可能となる。
【符号の説明】
【００３７】
１８    テーブル
１９    支柱
２１    上治具
２２    下治具
２３    クロスヘッド
２４    ロードセル
２５    接続ロッド
２６    上つかみ具
２７    下つかみ具
３０    駆動機構
３１    制御部
４０    高温炉
４１ａ、４１ｂ、４１ｃ    ヒーター
４３ａ、４３ｂ、４３ｃ    試験片用温度センサ
４７ａ、４７ｂ、４７ｃ    ヒーター用温度センサ
５０    温度制御装置
５１ａ、５１ｂ、５１ｃ    電力調整器
５２ａ、５２ｂ、５２ｃ    温度調節器
５３    シーケンサー
１４０    高温炉
１４３ａ、１４３ｂ、１４３ｃ    温度センサ
１５１ａ、１５１ｂ、１５１ｃ    電力調整器
１５５ａ、１５５ｃ    温度モニタ
１５６    温度調節器
ＴＰ    試験片
【図１】
0006455390.tif 000002
【図２】
0006455390.tif 000003
【図３】
0006455390.tif 000004