(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被収容物を収容する収容容器の底面に設けられた開口と連通可能なガス流通路を有し、前記ガス流通路および前記開口を介して前記収容容器にガスを注入または排出するノズルの先端構造であって、
前記ノズルの上端部には、前記開口の周囲に設けられた被当接部に当接可能な当接部が、前記ガス流通路の周囲に設けられており、
前記当接部は、平坦部と、前記平坦部よりも上方に突出した突出部とを有し、前記平坦部は前記突出部よりも柔らかい材料で構成されていることを特徴とするノズルの先端構造。
【請求項２】
前記突出部が、前記ガス流通路と前記平坦部との間に設けられている請求項１に記載のノズルの先端構造。
【請求項３】
前記突出部が、前記平坦部よりも外側に設けられている請求項１または２に記載のノズルの先端構造。
【請求項４】
前記収容容器を載置するための載置台を有し、前記載置台に搭載されたノズルユニットにより前記収容容器に前記ガスを注入または排出するパージ装置であって、
前記ノズルユニットが、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のノズルの先端構造を有することを特徴とするパージ装置。
【請求項５】
半導体製造装置に隣接して設けられ、前記載置台に載置された前記収容容器の蓋を開閉するロードポートであって、
請求項４に記載のパージ装置が搭載されていることを特徴とするロードポート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被収容物が収容された収容容器にガスを注入または排出するノズルの先端構造、ならびに当該ノズルの先端構造を有するノズルユニットを備えたパージ装置およびロードポートに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子の材料となるウェハを収容するＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）等の収容容器においては、ウェハの汚染を防止するため、その内部空間が窒素等の不活性ガスによってパージされる。例えば特許文献１に記載の装置では、ガス流通路が形成されたノズルをＦＯＵＰの底面に当接させ、ガス流通路がＦＯＵＰの底面に形成された開口に連通した状態でパージが行われる。
【０００３】
パージの際に、ノズルとＦＯＵＰとの間に隙間が生じると、ガス漏れが生じてしまうため、ノズルとＦＯＵＰとを密接させる必要がある。そこで、特許文献１においては、ＦＯＵＰの開口にゴム製のグロメットが装着されるとともに、ノズルの上端部には、上方に突出するリップ状の突出部がガス流通路の周りに設けられている。そして、ノズルを上方に移動させることで、突出部がグロメットに当接するように構成されている。このとき、グロメットがゴム製で柔らかいため、突出部とグロメットとが良好に密接し、パージの際のガス漏れを防ぐことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１８７５３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ＦＯＵＰ等の収容容器には複数の種類が存在する。例えば、特許文献１に記載のＦＯＵＰは、開口の周りにゴム製のグロメットが設けられた、いわゆる「グロメットタイプ」のＦＯＵＰである。一方、開口の周りにリップ部が設けられた、いわゆる「リップタイプ」のＦＯＵＰも存在する。このリップ部は、ＦＯＵＰの開口を取り囲むようにリップ状に形成された突出部であり、一般的にプラスチック等からなるバルブと一体的に構成されている。
【０００６】
パージ時におけるガス漏れ防止のため、ＦＯＵＰがグロメットタイプの場合には、グロメットとの密接を良好にするため、特許文献１のように、ノズルの上端部にリップ状の突出部が設けられる。反対に、ＦＯＵＰがリップタイプの場合には、ＦＯＵＰのリップ部との密接を良好にするため、上端部に比較的柔らかい材料からなる部位を設けたノズルが使われる。
【０００７】
このように、ＦＯＵＰ等の収容容器にはグロメットタイプとリップタイプとが存在し、それぞれに対応してノズルも複数種類存在する。よって、使用する収容容器のタイプが変われば、それに伴ってノズルも変更しなければならないという煩わしさがあった。また、従来のノズルでは、グロメットタイプ対応のものとリップタイプ対応のものとで別々となっているため、グロメットタイプの収容容器とリップタイプの収容容器とが混在する状況に対応できないという問題もあった。
【０００８】
そこで、本発明では、グロメットタイプの収容容器とリップタイプの収容容器の両方に対応可能なノズルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明にかかるノズルの先端構造は、被収容物を収容する収容容器の底面に設けられた開口と連通可能なガス流通路を有し、前記ガス流通路および前記開口を介して前記収容容器にガスを注入または排出するノズルの先端構造であって、前記ノズルの上端部には、前記開口の周囲に設けられた被当接部に当接可能な当接部が、前記ガス流通路の周囲に設けられており、前記当接部は、平坦部と、前記平坦部よりも上方に突出した突出部とを有し、前記平坦部は前記突出部よりも柔らかい材料で構成されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明では、収容容器の被当接部と当接可能なノズルの当接部に、平坦部と、平坦部よりも上方に突出した突出部とを設け、さらに、平坦部を突出部よりも柔らかい材料で構成している。このため、収容容器がグロメットタイプの場合には、ノズルの突出部が収容容器のグロメット（被当接部）に当接することで、ノズルと収容容器とを良好に密接させることができる。一方、収容容器がリップタイプの場合には、突出部よりも柔らかい平坦部が収容容器のリップ部（被当接部）に当接することで、ノズルと収容容器とを良好に密接させることができる。したがって、本発明によれば、グロメットタイプの収容容器とリップタイプの収容容器の両方に対応可能なノズルを提供することが可能となる。
【００１１】
ここで、前記突出部が、前記ガス流通路と前記平坦部との間に設けられていると好適である。
【００１２】
突出部は、一般的に金属製のノズル本体と一体的に構成される。これに対し、平坦部は、ノズル本体よりも柔らかいゴム部材等を、ノズル本体の上面に載置することで構成される。このため、平坦部の下面とノズル本体の上面との間に隙間が生じる可能性があり、この隙間がガス漏れの経路となるおそれがある。そこで、上述のように、ガス流通路と平坦部との間に突出部を設けることで、ガスが上記隙間に至ることを突出部によって防止し、ガス漏れを確実に抑えることができる。
【００１３】
また、前記突出部が、前記平坦部よりも外側に設けられていると好適である。
【００１４】
上述のように、平坦部にはゴム等の比較的柔らかい材料が用いられるため、他の部材との接触等により損傷を受けやすい。そこで、平坦部よりも外側に突出部を設けることで、柔らかい平坦部を突出部で保護することができ、平坦部の損傷を防ぐことができる。
【００１５】
また、本発明にかかるパージ装置は、前記収容容器を載置するための載置台を有し、前記載置台に搭載されたノズルユニットにより前記収容容器に前記ガスを注入または排出するパージ装置であって、前記ノズルユニットが、上記のいずれかに記載のノズルの先端構造を有することを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明にかかるロードポートは、半導体製造装置に隣接して設けられ、前記載置台に載置された前記収容容器の蓋を開閉するロードポートであって、上記に記載のパージ装置が搭載されていることを特徴とするものである。
【００１７】
このようなパージ装置やロードポートによれば、ノズルを交換することなく、グロメットタイプの収容容器とリップタイプの収容容器の両方に対して、適切にパージを行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、収容容器の被当接部と当接可能なノズルの当接部に、平坦部と、平坦部よりも上方に突出した突出部とを設け、さらに、平坦部を突出部よりも柔らかい材料で構成することによって、グロメットタイプの収容容器とリップタイプの収容容器の両方に対応可能なノズルを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施形態にかかるロードポートの斜視図である。
【図２】ロードポートの載置台の上面図である。
【図３】ノズルユニットの縦断面図である。
【図４】ノズルユニットの縦断面図である。
【図５】ノズルの当接部を示す拡大断面図である。
【図６】ノズルとＦＯＵＰとの当接状態を示す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面に基づき、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態にかかるロードポートの斜視図であり、図２は、ロードポートの載置台の上面図である。以下では、各図面に示す方向を適宜参照しつつ説明を行う。
【００２１】
本実施形態のロードポート１は、被収容物としてのウェハ（不図示）を複数収容する、収容容器としてのＦＯＵＰ１００に対してパージを行うものである。ロードポート１は、半導体製造装置３００に隣接して設けられ、ＦＯＵＰ１００が載置される載置台２を有している。載置台２は、ベースハウジング３と、ベースハウジング３上に設けられたプレート状のキャリアベース４とを有しており、キャリアベース４にＦＯＵＰ１００が載置されるようになっている。
【００２２】
キャリアベース４に載置されたＦＯＵＰ１００の後方側には、ウェハが通過可能な通過口５が設けられている。通過口５を挟んでＦＯＵＰ１００の反対側には、ＦＯＵＰ１００の蓋１０１を開閉する不図示の開閉機構が設けられている。この開閉機構が、蓋１０１をＦＯＵＰ１００から取り外すことで、通過口５が開放され、通過口５を介して半導体製造装置３００にＦＯＵＰ１００内のウェハを受け渡すことが可能となる。なお、キャリアベース４は、不図示のスライダ機構により前後方向に移動可能とされている。
【００２３】
図１では図示を省略しているが、図２に示すように、キャリアベース４の周縁部には、４つのノズルユニット１０が配設されている。４つのノズルユニット１０のうち３つは、ＦＯＵＰ１００内に不活性ガスを注入するための注入ノズル１１Ａを備えており、残る１つは、ＦＯＵＰ１００内のエアを排出するための排出ノズル１１Ｂを備えている。このように、４つのノズルユニット１０は、ガスを注入するものか排出するものかという点で相違するが、基本構成は概ね同じである。なお、以降の説明において、注入ノズル１１Ａと排出ノズル１１Ｂとを特に区別しない場合には、単にノズル１１と表記する。
【００２４】
ノズル１１は、ベースハウジング３の上面に形成された開口３ａから上方に露出する形態で、ノズルホルダ１２により保持されている。ノズルホルダ１２にはブラケット７が連結されており、ノズルホルダ１２はブラケット７を介してキャリアベース４の周縁部の所定位置に取り付けられている。このため、ノズルユニット１０は、上述のスライダ機構により、キャリアベース４と一体的に前後方向に移動可能となっている。
【００２５】
キャリアベース４には、ＦＯＵＰ１００を位置決めするためのキネマティックピン８が、キャリアベース４から上方に突出するように複数設けられている。このキネマティックピン８が、ＦＯＵＰ１００の底面に複数形成された位置決め溝（不図示）に係合することで、ＦＯＵＰ１００がキャリアベース４上で位置決めされる。キャリアベース４の上面には、ＦＯＵＰ１００がキャリアベース４上で適切に位置決めされた状態で載置されているか否かを検出する着座センサ９が設置されている。
【００２６】
図３は、ノズルユニットの縦断面図である。上述のように、ノズルユニット１０は、ノズル１１がノズルホルダ１２に保持される構成となっている。ノズル１１には、その内部を上下方向に貫通するガス流通路１３が形成されている。ノズル１１が注入ノズル１１Ａの場合には、ガス流通路１３の下端部に、不活性ガスの供給源（不図示）からの配管が接続される。不活性ガスとしては、窒素、ヘリウム、アルゴン等が用いられる。ノズル１１が排出ノズル１１Ｂの場合には、ガス流通路１３の下端部に、ガスを吸引する真空ポンプ等の吸引機（不図示）からの配管が接続される。
【００２７】
ノズル１１は、昇降機構２１によって昇降自在に構成されている。昇降機構２１としては、例えば、特許文献１の図４に示すように、エアシリンダを用いた機構や、特許文献１の図７に示すように、２つの圧力室の圧力差を利用する機構を採用することができる。もちろん、これ以外の機構を採用することも可能である。昇降機構２１が作動すると、ノズル１１は、ノズルホルダ１２に対して上下方向に移動する。
【００２８】
ノズル１１は、ノズル下部体１４とノズル上部体１５とに分割されており、ノズル下部体１４とノズル上部体１５とが連結されることによってノズル１１が構成される。ノズル下部体１４は金属製であり、その中央部に上下方向に貫通する貫通孔１４ａが形成されるとともに、貫通孔１４ａの上端部に雌ネジ部１４ｂが形成されている。また、ノズル上部体１５は、金属製の本体１６にゴム部材１７が装着された構成となっており、本体１６の中央部に上下方向に貫通する貫通孔１６ａが形成されるとともに、本体１６の下端部に雄ネジ部１６ｂが形成されている。
【００２９】
ノズル上部体１５の雄ネジ部１６ｂを、ノズル下部体１４の雌ネジ部１４ｂに螺合させることによって、ノズル１１が組み立てられる。このとき、ノズル下部体１４の貫通孔１４ａとノズル上部体１５の貫通孔１６ａとがつながり、ガス流通路１３となる。ノズル下部体１４とノズル上部体１５との間からガスが漏れることを防止するため、Ｏリング１８がノズル下部体１４とノズル上部体１５との間に配設されている。
【００３０】
ここで、図３に示すＦＯＵＰ１００は、いわゆる「グロメットタイプ」であり、その底面に形成された取付孔１０２に、円環形状を有するゴム製のグロメット１０３が取り付けられている。そして、ノズル１１の上端部がグロメット１０３に当接することで、グロメット１０３の中央の開口１０４が、ノズル１１に形成されたガス流通路１３と連通し、ノズル１１からＦＯＵＰ１００にガスを注入または排出することが可能となっている。
【００３１】
図４は、図３と同じノズルユニットの縦断面図であるが、図４に示すＦＯＵＰ２００は、いわゆる「リップタイプ」であり、その底面に形成された取付孔２０２に、バルブ２０３が取り付けられている。バルブ２０３は、概ね円筒形状を有するプラスチック製であり、下方に突出するようにＲ加工された円環形状のリップ部２０３ａを有する。そして、ノズル１１の上端部がリップ部２０３ａに当接することで、バルブ２０３の中央の開口２０４が、ノズル１１に形成されたガス流通路１３と連通し、ノズル１１からＦＯＵＰ２００にガスを注入または排出することが可能となっている。
【００３２】
つまり、ＦＯＵＰ１００、２００において、グロメット１０３およびリップ部２０３ａが、開口１０４、２０４の周囲に設けられた「被当接部」として機能する。そして、ノズル１０（ノズル上部体１５）の上端部に、グロメット１０３やリップ部２０３ａに当接可能な当接部１９が設けられている。当接部１９の詳細については、後で説明する。
【００３３】
以上のように構成されたロードポート１においては、ＯＨＴ（OverHead Transportation）等の不図示の搬送機構によって搬送されたＦＯＵＰ１００（２００）が、載置台２のキャリアベース４上に載置される。着座センサ９により、ＦＯＵＰ１００（２００）が適切に位置決めされた状態で載置されたことが検出されると、昇降機構２１によりノズル１１が上方に移動させられる。その結果、ノズル１１の当接部１９が、ＦＯＵＰ１００のグロメット１０３やＦＯＵＰ２００のリップ部２０３ａに当接し、ガス流通路１３と開口１０４（２０４）とが気密状態で連通する。
【００３４】
この状態で、不活性ガスの供給源から注入ノズル１１Ａを介してＦＯＵＰ１００（２００）に不活性ガスが注入されるとともに、吸引機により排出ノズル１１Ｂを介してＦＯＵＰ１００（２００）内のエアが排出されることで、不活性ガスによるパージを行うことができる。なお、載置台２に載置されたＦＯＵＰ１００（２００）に対してパージを実行するパージ装置２０は、載置台２、載置台２に搭載されたノズルユニット１０や昇降機構２１、不活性ガスの供給源、吸引機等を備えて構成される。
【００３５】
図５は、ノズルの当接部を示す拡大断面図であり、図６は、ノズルとＦＯＵＰとの当接状態を示す拡大断面図である。ノズル１１の当接部１９は、図６のａ図に示すグロメットタイプのＦＯＵＰ１００Ａ、ｂ図に示すグロメットタイプのＦＯＵＰ１００Ｂ、およびｃ図に示すリップタイプのＦＯＵＰ２００にそれぞれ対応できるように、図５に示す形状および寸法を有している。
【００３６】
当接部１９は、ガス流通路１３側（内側）から外側に向かって順番に、内側突出部１９ａ、平坦部１９ｂ、外側突出部１９ｃを有して構成される。これら各部１９ａ、１９ｂ、１９ｃは、いずれも円環形状を有しており、互いに同心円状となるように配置されている。内側突出部１９ａおよび外側突出部１９ｃは、金属製の本体１６の一部が、平坦部１９ｂよりも上方に突出するように加工されて構成されている。内側突出部１９ａおよび外側突出部１９ｃの先端部は、いずれもＲ加工されており、これらの先端位置は同位置とされている。内側突出部１９ａと外側突出部１９ｃとの間の凹状空間には、平坦な円環形状を有するゴム部材１７が載置されており、このゴム部材１７が平坦部１９ｂとなっている。
【００３７】
図５に示すように、内側突出部１９ａおよび外側突出部１９ｃは、平坦部１９ｂの上面よりも０．５ｍｍだけ上方に突出している。また、内側突出部１９ａの断面幅は２ｍｍ、平坦部１９ｂの断面幅は１０ｍｍ、外側突出部１９ｃの断面幅は３ｍｍとなっている。すなわち、平坦部１９ｂの幅は、内側突出部１９ａおよび外側突出部１９ｃよりも広くなっている。また、外側突出部１９ｃの幅は、内側突出部１９ａよりも広くなっている。
【００３８】
図６のａ図に示すように、内径が６．３５ｍｍ、外径が２２．９ｍｍのグロメット１０３が装着されたＦＯＵＰ１００Ａを用いた場合には、ノズル１１の内側突出部１９ａおよび外側突出部１９ｃがそれぞれグロメット１０３の下面に当接する。また、図６のｂ図に示すように、内径が１４．５ｍｍ、外径が２３．５ｍｍのグロメット１０３が装着されたＦＯＵＰ１００Ｂを用いた場合には、ノズル１１の外側突出部１９ｃのみがグロメット１０３の下面に当接する。また、図６のｃ図に示すように、内径が１４．７ｍｍ、外径が１７．７ｍｍのリップ部２０３ａを有するＦＯＵＰ２００を用いた場合には、ノズル１１の平坦部１９ｂの上面がリップ部２０３ａに当接する。
【００３９】
（効果）
以上のように、本実施形態では、ノズル１１の当接部１９に、平坦部１９ｂと、平坦部１９ｂよりも上方に突出した突出部１９ａ、１９ｃとを設け、さらに、平坦部１９ｂを突出部１９ａ、１９ｃよりも柔らかい材料で構成している。このため、グロメットタイプのＦＯＵＰ１００を使用する場合には、ノズル１１の突出部１９ａ、１９ｃの少なくともいずれか一方がＦＯＵＰ１００のグロメット１０３に当接することで、ノズル１１とＦＯＵＰ１００とを良好に密接させることができる。一方、リップタイプのＦＯＵＰ２００を使用する場合には、突出部１９ａ、１９ｃよりも柔らかい平坦部１９ｂがＦＯＵＰ２００のリップ部２０３ａに当接することで、ノズル１１とＦＯＵＰ２００とを良好に密接させることができる。したがって、本実施形態のノズル１１によれば、グロメットタイプのＦＯＵＰ１００とリップタイプのＦＯＵＰ２００の両方に対応することができる。
【００４０】
特に本実施形態では、当接部１９に複数の突出部１９ａ、１９ｃを設けているので、より多くの種類のグロメットタイプのＦＯＵＰ１００に対応することができる。また、平坦部１９ｂを突出部１９ａ、１９ｃよりも幅広にしているため、より多くの種類のリップタイプのＦＯＵＰ２００に対応することができる。また、突出部１９ａ、１９ｃの先端部がＲ加工されているので、グロメット１０３に対する突出部１９ａ、１９ｃの接触形態が概ね線接触となり、面接触の場合と比較して、より良好に突出部１９ａ、１９ｃをグロメット１０３に密接させることができる。
【００４１】
また、ノズル１１では、ゴム部材１７からなる平坦部１９ｂの下面と、ゴム部材１７が載置される本体１６の上面との間に隙間が生じる可能性があり、この隙間がガス漏れの経路となるおそれがある。そこで、本実施形態のように、ガス流通路１３と平坦部１９ｂとの間に内側突出部１９ａを設けることで、ガスが上記隙間に至ることを防止し、ガス漏れを確実に抑えることができる。
【００４２】
また、平坦部１９ｂを構成するゴム部材１７は、他の部材との接触等により損傷を受けやすい。そこで、本実施形態のように、平坦部１９ｂよりも外側に外側突出部１９ｃを設けることで、柔らかい平坦部１９ｂを外側突出部１９ｃで保護することができ、平坦部１９ｂの損傷を防ぐことができる。特に、本実施形態では、外側突出部１９ｃが内側突出部１９ａよりも肉厚となっているため、外側突出部１９ｃの強度が高くなり、上述の効果を高めることができる。
【００４３】
また、本実施形態のノズルユニット１０を備えるロードポート１やパージ装置２０によれば、ノズル１１（あるいはノズル上部体１５）を交換することなく、グロメットタイプのＦＯＵＰ１００とリップタイプのＦＯＵＰ２００の両方に対して、適切にパージを行うことが可能となる。
【００４４】
（他の実施形態）
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上記実施形態の要素を適宜組み合わせまたは種々の変更を加えることが可能である。
【００４５】
例えば、上記実施形態では、パージ装置２０を備えたロードポート１について説明を行ったが、パージ装置２０の搭載先はロードポート１に限定されない。例えば、パージ装置２０を、ＯＨＴ等の搬送機構によって搬送されたＦＯＵＰ１００（２００）を仮置きするための仮置装置や、複数のＦＯＵＰ１００（２００）を格納しておくストッカー等に搭載することも可能である。
【００４６】
また、上記実施形態では、収容容器としてＦＯＵＰ１００（２００）を使用する場合について説明したが、その内部空間に対してパージが行われるものであれば、ＦＯＵＰ１００（２００）以外の収容容器を対象としてもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、突出部１９ａ、１９ｃを金属製、平坦部１９ｂをゴム製としたが、各部の材料はこれに限定されない。つまり、平坦部１９ｂが突出部１９ａ、１９ｃよりも柔らかいという関係が成立していれば、突出部１９ａ、１９ｃおよび平坦部１９ｂの材料は適宜変更が可能である。例えば、突出部１９ａ、１９ｃがプラスチック製であってもよい。柔らかさの指標となる物性値としては、例えば弾性係数（ヤング率）、ビッカース硬さ、デュロメーター硬さ等の中から適当なものを採用することができる。
【００４８】
また、上記実施形態では、ノズル１１が、ノズル下部体１４とノズル上部体１５とが連結されて構成されているものとした。しかしながら、ノズル１１がノズル下部体１４とノズル上部体１５とに分割されておらず、１つの部材として構成されていてもよい。
【００４９】
また、上記実施形態では、ノズル１１の当接部１９に、２つの突出部１９ａ、１９ｃを設けるものとしたが、突出部の数は１つでも３つ以上でもよい。また、平坦部１９ｂの数も１つに限らず、２つ以上設けてもよい。
【００５０】
また、上記実施形態では、平坦部１９ｂの内側に内側突出部１９ａが設けられ、平坦部１９ｂの外側に外側突出部１９ｃが設けられるものとした。しかしながら、内側突出部１９ａや外側突出部１９ｃを設けることは必須ではなく、本発明は、少なくとも１つの突出部と、少なくとも１つの平坦部があれば成立するものであり、突出部と平坦部の位置関係も対象とするＦＯＵＰ１００（２００）に応じて適宜変更が可能である。
【００５１】
また、上記実施形態では、ノズル１１が昇降機能２１によって昇降できるように構成した。しかしながら、昇降機構２１を設けることは必須ではなく、ノズル１１がノズルホルダ１２に対して上下方向に移動できないものであってもよい。
【００５２】
なお、ＦＯＵＰ１００（２００）の開口１０４（２０４）の周りに設けられる被当接部を、ノズル１１の当接部１９を上下反対にしたものとして構成することも可能である。すなわち、ＦＯＵＰ１００（２００）の被当接部に、平坦部と、平坦部よりも下方に突出した突出部とを設け、平坦部が突出部よりも柔らかい材料で構成されるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５３】
１：ロードポート
２：載置台
１０：ノズルユニット
１１：ノズル
１３：ガス流通路
１９：当接部
１９ａ、１９ｃ：突出部
１９ｂ：平坦部
２０：パージ装置
１００：グロメットタイプのＦＯＵＰ（収容容器）
１０３：グロメット（被当接部）
１０４：開口
２００：リップタイプのＦＯＵＰ（収容容器）
２０３ａ：リップ部（被当接部）
２０４：開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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