(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体と被駆動体を備える振動型駆動装置であって、
前記振動体は、
主成分が電気的に絶縁性、誘電性または半導電性の材料からなる弾性体と、
前記弾性体と接合される電気−機械エネルギ変換素子と、を有し、
前記電気−機械エネルギ変換素子は、
圧電体と、
前記圧電体において前記弾性体と接合される面に設けられた第１の電極と、
前記圧電体を介して前記第１の電極と対向するように設けられた複数の第２の電極および複数の第３の電極と、
前記圧電体に設けられた貫通孔または前記圧電体の側面に設けられた溝部に配置された導電体を有する複数の第１の導通路と、を有し、
前記複数の第１の導通路によりそれぞれ個別に、前記第１の電極と前記複数の第３の電極のうちの一部とが電気的に接続されていることを特徴とする振動型駆動装置。
【請求項２】
前記第１の電極と電気的に接続された、前記複数の第３の電極のうちの一部が、ＧＮＤ電位に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置。
【請求項３】
前記第１の電極は、閉ループ構造を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型駆動装置。
【請求項４】
前記第１の電極は、開ループ構造を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型駆動装置。
【請求項５】
前記第１の電極は、開ループ構造を有し、
前記第１の電極の一端と別の一端との間の領域は、前記複数の第２の電極の間に設けられた隙間と少なくとも一部で重なるように対向する位置に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型駆動装置。
【請求項６】
前記第１の電極は、開ループ構造を有し、
前記第１の電極の一端と別の一端との間の領域は、前記第２の電極と対向する位置に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型駆動装置。
【請求項７】
前記圧電体において前記弾性体と接合される面に、前記第１の電極の一端と別の一端のそれぞれとの間に隙間を設けて形成された第４の電極を有することを特徴とする請求項５又は６に記載の振動型駆動装置。
【請求項８】
前記圧電体に設けられた貫通孔または前記圧電体の側面に設けられた溝部に配置された導電体を有する第２の導通路と、
前記第２の導通路により、前記第４の電極と電気的に接続された、前記複数の第３の電極のうちの他の一部と、を有することを特徴とする請求項７に記載の振動型駆動装置。
【請求項９】
前記第４の電極と電気的に接続された、前記複数の第３の電極のうちの他の一部が、ＧＮＤ電位に接続されていることを特徴とする請求項８に記載の振動型駆動装置。
【請求項１０】
前記第２の導通路が、前記圧電体に設けられた貫通孔に導電体が配置されることにより形成されていることを特徴とする請求項８又は９に記載の振動型駆動装置。
【請求項１１】
前記圧電体において前記第２の電極が設けられている面に、前記弾性体の歪みの大きさに応じた電位を示す振動検出用の電極が設けられていることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項１２】
前記圧電体に設けられた貫通孔または前記圧電体の側面に設けられた溝部に配置された導電体を有する第３の導通路と、
前記第２の電極を変更することにより設けられた、前記第３の導通路により、前記第４の電極と電気的に接続された第５の電極と、を有することを特徴とする請求項７に記載の振動型駆動装置。
【請求項１３】
前記圧電体において前記第２の電極が設けられている面は、電圧を印加するための配線を有するフレキシブル基板によって覆われていることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項１４】
前記圧電体は、円環状の形状を有し、
前記第１の導通路は、前記圧電体の内外径の中心円の内側に設けられた前記貫通孔の内部に前記導電体が配置されて形成されていることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動体と被駆動体とを加圧接触させて振動体に振動を励振させることによって振動体と被駆動体とを相対的に移動させる振動型駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子等に代表される電気−機械エネルギ変換素子を用いた振動型駆動装置は、弾性体に電気−機械エネルギ変換素子を接合してなる振動体と被駆動体との間に作用する摩擦力を利用して、振動体と被駆動体とを相対的に移動させる駆動を行う。そのため、低速域において高い推力又はトルクを発生することができ、応答性も高いことから、ギヤやベルト等の機械的伝達手段を用いることなく、精密機器の駆動源として用いることができる。また、振動型駆動装置は、電気−機械エネルギ変換素子への電源の非投入時には、振動体と被駆動体との間の摩擦による保持力又は保持トルクが発生するため、ブレ−キ等の制動手段を用いることなく、多くの民生機器や産業機器への適用が図られている。
【０００３】
振動型駆動装置として、金属等からなる弾性体に圧電素子を接合して振動体を形成し、振動体に特定の振動モードを励起するために、圧電素子へ交流電圧を印加するものがある。例えば、圧電素子に位相の異なる２つ以上の交流電圧を印加して、弾性体における被駆動体との加圧接触面に楕円運動を生じさせることにより、弾性体と被駆動体とを相対的に回転移動させ或いは直進移動させている。
【０００４】
一例として、特許文献１には、円環状の振動体を用いた振動型駆動装置が開示されており、共振先鋭度が大きな金属材料（例えば、ステンレス等の鉄鋼材）からなる弾性体を用いた円環状の振動体が開示されている。圧電素子に曲げ振動等の撓み振動を発生させるためには、圧電素子を構成する圧電体（圧電セラミックス）に電位差を生じさせる必要がある。そのため、特許文献１では、圧電素子のＧＮＤ部（グランド部（接地部））と弾性体とを、ハンダ等の導電性材料からなる導電接合部によって電気的に接続して弾性体を接地することで、弾性体の導電性を利用して圧電素子のＧＮＤ電位への接続を実現している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１５９２１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１に記載された振動体のように、弾性体に導電性材料が用いられている場合には、圧電素子の電極部と弾性体とを電気的に接続することができる。しかし、弾性体のコストを下げるために、大量生産が可能な射出成形技術を用いて弾性体を樹脂材料で形成する場合がある。また、耐摩耗性の向上を目的として、弾性体にエンジニアセラミックスを用いる場合がある。
【０００７】
弾性体が、絶縁性、誘電性又は半導電性の材料からなる場合には、弾性体を介してＧＮＤ電位へ接続することができない。そこで、例えば、圧電体にスルーホールを設け、圧電体における弾性体との接合面に形成される電極をスルーホールを介して反対側の面に引き出す方法が考えられる。しかしながら、従来のスルーホールを用いた構成では、圧電素子が弾性体と接合された後には、スルーホール内での導通が十分か否かを確認することができないという問題がある。
【０００８】
本発明は、電気−機械エネルギ変換素子の電極をＧＮＤ電位へ接続する導通路の導電性を容易に検査することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様は、振動体と被駆動体を備える振動型駆動装置であって、前記振動体は、主成分が電気的に絶縁性、誘電性または半導電性の材料からなる弾性体と、前記弾性体と接合される電気−機械エネルギ変換素子と、を有し、前記電気−機械エネルギ変換素子は、圧電体と、前記圧電体において前記弾性体と接合される面に設けられた第１の電極と、前記圧電体を介して前記第１の電極と対向するように設けられた複数の第２の電極および複数の第３の電極と、前記圧電体に設けられた貫通孔または前記圧電体の側面に設けられた溝部に配置された導電体を有する複数の第１の導通路と、を有し、前記複数の第１の導通路によりそれぞれ個別に、前記第１の電極と前記複数の第３の電極のうちの一部とが電気的に接続されていることを特徴とする振動型駆動装置である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、弾性体と電気−機械エネルギ変換素子とを接合させた後の貫通孔内の導通検査を直接的に、且つ、容易に行うことができる。その際に、貫通孔の面積を小さく取ることによって、電気−機械エネルギ変換素子の空間的な利用効率を高めて、小型化或いは高密度での実装が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係る振動型駆動装置の概略構成を示す断面図、部分拡大図、振動型駆動装置を構成する弾性体の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す振動型駆動装置が備える圧電素子の第１の構成例と第２の構成例を示す平面図である。
【図３】図１に示す振動型駆動装置が備える圧電素子の第３の構成例を示す平面図である。
【図４】図２及び図３に示す圧電素子に対して印加される交流電圧の一例と、電極間の電位差の一例を示す図である。
【図５】図１に示す振動型駆動装置が備える圧電素子の第１の電極構造を示す部分断面図である。
【図６】図１に示す振動型駆動装置が備える圧電素子の第２の電極構造を示す部分断面図である。
【図７】図１に示す振動型駆動装置が備える圧電素子の第３の電極構造及びその変形例に係る部分断面図である。
【図８】図１に示す振動型駆動装置が備える圧電素子の第４の電極構造及びその変形例に係る部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
図１（ａ）は、本発明の実施形態に係る振動型駆動装置１の概略構成を示す断面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）中に破線で示す領域Ｃの拡大断面図である。図１（ｃ）は、振動型駆動装置１を構成する弾性体２の概略構成を示す斜視図である。振動型駆動装置１の構成について、便宜上、互いに直交するｘ方向、ｙ方向及びｚ方向を図１（ａ）に示す通りに定める。
【００１４】
振動型駆動装置１は、弾性体２、被駆動体３、防振ゴム４、回り止め部材５、ハウジング６、支持部材７、フランジ８、出力軸９、予圧部材１０、押圧部材１１、コイルバネ１２、転がり軸受１３Ｍ，１３Ｎ、締結部材１４、不織布１６及び圧電素子３０を備える。
【００１５】
２つの転がり軸受１３Ｍ，１３Ｎはそれぞれ、内輪１３ａと、外輪１３ｂと、内輪１３ａと外輪１３ｂに圧接して挟持されるボール１３ｃとを有しており、外輪１３ｂは筒状のハウジング６の内周側に嵌合されており、内輪１３ａは出力軸９に嵌合されている。出力軸９の軸受１３Ｎ側の側面には雄ネジ部が設けられ、この雄ネジ部が環状の予圧部材１０の内孔に設けられた雌ネジ部と螺合することにより螺合部Ｓ２が形成されている。予圧部材１０は、転がり軸受１３Ｍ，１３Ｎの内輪１３ａを互いにｚ方向に引き寄せるように予圧を与えている。こうして、２つの転がり軸受１３Ｍ，１３Ｎのボール１３ｃの転がりによって、ハウジング６と出力軸９とは、一点鎖線で示す回転中心として、ガタなく滑らかに、相対的に移動させることができる。本実施形態では、支持部材７（又はハウジング６）は不図示の支持部材に固定され、出力軸９がハウジング６に対して回転移動するものとする。
【００１６】
出力軸９の一端には、ネジやボルト等の締結部材１４によってフランジ８が取り付けられている。フランジ８には環状の防振ゴム４が貼り付けられており、防振ゴム４は、出力軸９に嵌合された円板環状の被駆動体３と摩擦接触している。防振ゴム４の摩擦係数は大きいため、被駆動体３とフランジ８とは、防振ゴム４を介して滑ることなく一体的に回転することができ、一方で、防振ゴム４によって被駆動体３からフランジ８への不要な振動の伝達を抑制することができる。
【００１７】
ハウジング６を囲むように、環状の弾性体２と環状の圧電素子３０とからなる振動体が配置されている。ハウジング６の外周に回り止め部材５が固定されており、回り止め部材５の側面においてラジアル方向に突出した爪部５ａが弾性体２に設けられた溝２ａに挿入されることによって、弾性体２の周方向での回転が規制されている。
【００１８】
弾性体２の裏面２ｂには電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子３０が接着剤によって接合されており、弾性体２と圧電素子３０により振動体が形成されている。圧電素子３０には、圧電素子３０に電圧を供給する配線を有するフレキシブル基板１５が接着剤によって貼り付けられている。
【００１９】
振動体を被駆動体３に対してｚ方向に押圧し、弾性体２と被駆動体３とを加圧接触させるための環状の押圧部材１１は、ハウジング６の側面に配置された環状の支持部材７に支持されている。支持部材７の内周側面には雌ネジ部が設けられ、この雌ネジ部がハウジング６の外周側面に設けられた雄ネジ部と螺合して螺合部Ｓ１が形成されることにより、支持部材７はｚ方向で位置決めされ、ハウジング６に固定される。
【００２０】
押圧部材１１には、ｚ方向に延出する複数の棒状の突起部１１ｂが周方向に等間隔に設けられている。また、支持部材７には、突起部１１ｂが挿入される孔部７ｂが設けられている。突起部１１ｂと孔部７ｂは、押圧部材１１をｚ方向にガイドするガイドの役割を担う。複数の突起部１１ｂにはそれぞれコイルバネ１２が挿入されており、支持部材７のｚ方向位置を調節することによってコイルバネ１２の圧縮長を調整することができ、これにより被駆動体３に対する弾性体２の押圧力を調節することができる。押圧部材１１とフレキシブル基板１５との間には、緩衝材としての不織布１６が配置されている。
【００２１】
なお、被駆動体３に対して弾性体２を押し付ける手段として、ここではコイルバネ１２を用いているが、これに限定されず、バネ性を有する種々の部品、例えば、皿バネ、ウェーブワッシャ、バネ座金、板バネ等を用いることもできる。
【００２２】
次に、振動型駆動装置１の各構成部品に適用される材料について説明する。弾性体２の主成分となる材料としては、金属のような良導体ではなく、電気的に絶縁性、誘電性又は半導電性である材料、具体的には、高靭性セラミックス、エンジニアリングプラスチック、半導体等が挙げられる。本実施形態において、部材Ａの主成分とは、その部材Ａを構成している物質のうち、半分以上を占める材料を指し、単物質でなくてもよい。したがって、弾性体２の主成分が電気的に絶縁性、誘電性又は半導電性の材料である、とは、弾性体２を構成する材料のうち半分以上が、電気的に絶縁性、誘電性又は半導電性の材料のいずれか１つ又は複数であればよいことを意味する。また、電気的に絶縁性、誘電性又は半導電性の材料からなる、とは、不純物として他の物質を含有する場合を含む。
【００２３】
高靭性セラミックスの一例として、部分安定化ジルコニア（ＰＳＺ）がある。エンジニアリングプラスチックの一例として、３０重量％程度の炭素繊維を含有するポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ−ＣＦ３０）等の繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）がある。半導体の一例として、炭化ケイ素（ＳｉＣ）が挙げられる。
【００２４】
弾性体２が電気的に絶縁性、誘電性又は半導電性の材料からなる場合、弾性体２を用いた接地（フレキシブル基板１５の電極との導通）がより困難となるため、本発明の効果はより顕著となる。
【００２５】
被駆動体３は、弾性体２との摩擦摺動において安定した摺動特性と耐摩耗特性を有することが望ましく、例えば、マグネシウム系アルミ合金の表面をアルマイト処理したものや窒化処理によって硬質化したものを用いることができる。また、アルミナ（酸化アルミニウム）や窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）等のエンジニアリングセラミックス、上述したＰＥＥＫ−ＣＦ３０等のエンジニアリングプラスチックや部分安定化ジルコニア等を用いることもできる。なお、弾性体２と被駆動体３との間の摩擦状態を良好とするために、別途、不図示の摩擦部材を弾性体２と被駆動体３の少なくとも一方の摺動面上に設けてもよい。
【００２６】
防振ゴム４には、例えば、ブチルゴムが用いられる。不織布１６は、羊毛等のフェルトやグラスウール等からなるものを用いることができる。フレキシブル基板１５は、ポリイミド（ＰＩ）フィルムベースに、銅箔によって電気回路を形成したものであり、電気回路の露出部位は、酸化抑制のためにメッキ処理（例えば、金メッキ）されていることが望ましい。コイルバネ１２は、一般的なバネ鋼材からなるものを用いることができるが、部分安定化ジルコニアや窒化ケイ素等のエンジニアリングセラミックスからなるものを用いることもできる。なお、その他の構成要素には、金属や樹脂、セラミックス等から選択された材料が、適宜、用いられる。
【００２７】
次に、圧電素子３０の構成例について説明する。圧電素子３０は、圧電体の対向する一対の面（例えば、表裏面）に電極が形成された構造を有し、ここでは、圧電体は圧電セラミックスであるとして説明する。但し、圧電体は、圧電セラミックスに限定されるものではない。
【００２８】
図２（ａ），（ｂ）は、圧電素子３０の第１の構成例を示す平面図であり、図２（ｃ），（ｄ）は、圧電素子３０の第２の構成例を示す平面図である。図３（ａ），（ｂ）は、圧電素子３０の第３の構成例を示す平面図である。ここでは、圧電素子３０として、弾性体２の周方向に７波長（７λ）分の正弦波状の波を形成する面外変形モードの振動を励振させる構成を取り上げる。図４（ａ）〜（ｃ）は、図２及び図３に示す圧電素子に対して印加される交流電圧の例を示す図であり、図４（ｄ）は、圧電素子の電極間に生じる電位差の例を示す図である。
【００２９】
最初に、図２（ａ），（ｂ）に示す第１の構成例に係る圧電素子３０Ａの構成について説明する。圧電素子３０Ａは、平板環状の圧電セラミックスの表面と裏面のそれぞれに電極が形成された構造を有する。圧電セラミックスには、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等が用いられる。
【００３０】
圧電素子３０Ａにおいて、圧電セラミックスの裏面には、間隙部３９を挟んで電極３１（第１の電極），３１Ａ（第４の電極）が形成されている。また、圧電セラミックスの表面には、間隙部５５を挟んで電極３２，３３，３４，３５，３６，３７（第２の電極、第３の電極）が形成されている。これらの電極３１，３１Ａ，３２，３３，３４，３５，３６，３７は、金属薄膜であって、圧電セラミックスに、銀（Ａｇ）やニッケル（Ｎｉ）等の金属を蒸着や印刷する等の周知の技術を用いて形成することができる。
【００３１】
ここでは、電極３１として、間隙部３９（電極３１の一端と別の一端との間の隙間となる領域）により開ループ構造を有するものを示している。但し、これに限定されず、電極３１は、全周に亘って形成された閉ループ構造を有するもの（間隙部３９を設けずに電極３１Ａを電極３１と導通させたもの）であってもよい。また、１つの間隙部３９を設けることにより電極３１，３１Ａを導通させて、Ｃ型の開ループ構造が形成されるようにしてもよい。なお、本実施形態において、部材Ａが開ループ構造を有するとは、部材Ａが環構造を有さないことを意味する。また、この場合の環構造とは、円環状に限定されず、形状内で始点から一方向に移動した結果、再び始点を通過するような構造であれば、どのような形状でもあってもよい。
【００３２】
電極３２，３３，３４，３５，３６，３７は、隙間である間隙部５５を挟んで、独立して形成されている。電極３２，３３は、間隙部５５を含めて半波長（λ／２）に相当する弧長を有し、電極３４，３５，３６，３７は、間隙部５５を含めて４分の１波長（λ／４）に相当する弧長を有する。圧電素子３０Ａの圧電セラミックスにおいて電極３２，３４，３６に対応する領域は、ｚ方向の正方向（電極３２，３４，３６から電極３１へ向かう方向）に分極されている。また、圧電素子３０Ａの圧電セラミックスにおいて電極３３，３５，３７に対応する領域は、ｚ方向の負方向（電極３１から電極３３，３５，３７へ向かう方向）に分極されている。
【００３３】
図２（ａ），（ｂ）において、圧電素子３０Ａには、圧電セラミックスの表裏面に形成された電極を電気的に接続するために、圧電セラミックスを貫通するように３カ所に貫通孔３８が設けられている。貫通孔３８は、圧電素子３０Ａにおいて相対的に歪みが小さい内径側に設けることが好ましく、例えば、圧電素子３０Ａの内外径の中心円Ｄの内側に設けられる。但し、ピッチ円Ｄの外部に設けることも可能である。
【００３４】
貫通孔３８は、可能な限り小さく形成されることが好ましく、具体的には、機械加工によって貫通孔３８を設ける場合には、圧電セラミックスの厚さが０．５［ｍｍ］程度であれば、直径を１［ｍｍ］以下（例えば、直径が０．５［ｍｍ］）とすることが望ましい。
【００３５】
３つの貫通孔３８のうちの１つは、電極３７と電極３１Ａに対して設けられており、残りの２つはそれぞれ、電極３４，３６と電極３１に対して設けられている。電極３１と電極３４，３６とは、共通電極１０９及び非駆動電極１１０に置き換えて図５を参照して後述する通り、貫通孔３８に充填された導電体１１２を利用して電気的に接続される。同様に、電極３７と電極３１Ａもまた、貫通孔３８に充填された導電体１１２を利用して電気的に接続される。なお、貫通孔３８を、円筒状の穴として圧電セラミックスの外形に対して精度良く形成することにより、貫通孔３８を圧電セラミックスの表裏に設ける電極、間隙部５５及び間隙部３９の相対的な位置決め手段として用いることができる。
【００３６】
例えば、電極３１と接続された電極３４，３６のいずれか１つと、電極３１Ａと接続された電極３７をＤＣ基準電位又はＧＮＤ電位とする。そして、図４（ａ）に示すＡ相交流電圧１７を電極３２に印加し、Ａ相交流電圧１７に対して位相がπ／２［ｒａｄ］だけ遅れたＢ相交流電圧１８を電極３３に印加する。これにより、弾性体２に進行波が形成され、弾性体２の先端部（被駆動体３との接触面）に楕円運動が生じることにより、被駆動体３を摩擦駆動して回転させることができる。また、Ａ相交流電圧１７を電極３３に印加し、Ｂ相交流電圧１８を電極３２に印加することにより、被駆動体３の回転方向を反転させることができる。
【００３７】
電極３５は、振動検出用の電極として用いられる。振動体の歪みの大きさに比例して発生する電極３１と電極３５との電位差を、電極３１と接続された電極３４，３６のいずれかとの電位差として取得することにより、振動体の振動状態を検出することができる。
【００３８】
続いて、図２（ｃ），（ｄ）に示す第２の構成例に係る圧電素子３０Ｂの構成について説明する。第２の構成例に係る圧電素子３０Ｂは、上述した第１の構成例に係る圧電素子３０Ａとは、電極パターンのみが異なるため、この相違点についてのみ説明し、共通する説明を省略する。
【００３９】
圧電素子３０Ｂでは、圧電セラミックスの裏面全体に電極３１（第１の電極）が形成され、圧電セラミックスの表面には、間隙部５５を挟んで、電極４１，４２，４３，４４，４５，４６，４７，４８（第２の電極、第３の電極）が形成されている。電極４１〜４８は、間隙部５５を含めて、４分の１波長（λ／４）に相当する弧長を有する。圧電素子３０Ｂの圧電セラミックスにおいて電極４１〜４８に対応する領域は、ｚ方向の正方向に分極されているが、ｚ方向の負方向に分極されていてもよい。
【００４０】
圧電素子３０Ｂの内外径の中心円Ｄの内側において、電極４５，４８には貫通孔３８が設けられている。電極３１と電極４５，４８とは、共通電極１０９及び非駆動電極１１０に置き換えて後述する通り、貫通孔３８に充填された導電体１１２を利用して電気的に接続される。圧電素子３０Ｂでは、電極３１を共通電極とし、図４（ｂ）に示されるＡ（＋）相交流電圧１９を電極４１に印加し、Ａ（＋）相交流電圧１９に対して位相がπ／２［ｒａｄ］だけ遅れたＢ（＋）相交流電圧２０を電極４２に印加する。また、Ｂ（＋）相交流電圧２０に対して位相がπ／２［ｒａｄ］だけ遅れたＡ（−）相交流電圧２１を電極４３に、Ａ（−）相交流電圧２１に対して位相がπ／２［ｒａｄ］だけ遅れたＢ（−）相交流電圧２２を電極４４に印加する。これにより、弾性体２に進行波が形成され、弾性体２の先端部（被駆動体３との接触面）に楕円運動が生じることにより、被駆動体３を摩擦駆動して回転させることができる。なお、Ａ（＋）相交流電圧１９とＡ（−）相交流電圧２１とを印加する電極を入れ替えることにより、被駆動体３の回転方向を反転させることができる。
【００４１】
電極４６，４７は、振動検出用の電極として用いられる。振動体の歪みの大きさに比例して発生する電極３１と電極４６，４７との電位差を電極３１と接続された電極４５，４８のいずれかの電極との電位差として取得することにより、振動体の振動状態を検出することができる。電極４６，４７は、互いに空間的に４分の１波長（λ／４）分だけシフトしているため、電極３１をＤＣ基準電位又はＧＮＤ電位に接続することで２つの電極４６，４７間の電位を取得することができ、こうして、振動体のより詳細な振動情報を得ることができる。
【００４２】
なお、圧電素子３０Ｂでは、電極４１〜４８の全てについての領域で圧電セラミックスを同一方向に分極する構成について説明した。しかし、これに限られず、圧電セラミックスにおいて電極４１，４２，４５，４６に対応する領域と電極４３，４４，４７，４８に対応する領域とで、分極方向を逆にしてもよい。この場合、電極４１，４３には図４（ａ）に示すＡ相交流電圧１７を、電極４２，４４には図４（ａ）に示すＢ相交流電圧１８をそれぞれ印加することで、同様の進行波を形成することができる。また、圧電素子３０Ｂでは、共通電極である電極３１と接続された電極４５，４８のいずれかを不図示の電圧発生手段のＧＮＤ電位に接続することが好ましい。これにより、電極３１の電位を安定させ、振動検出用の電極４６，４７からの信号の精度を高めることができる。また、弾性体２が僅かに導電性を有する材料からなる場合でも、弾性体２とこれに接触する部位にＧＮＤ電位に対する電位差の発生を抑制することができる。
【００４３】
続いて、図３（ａ），（ｂ）に示す第３の構成例に係る圧電素子３０Ｃの構成について説明する。圧電素子３０Ｃは、扇形状の圧電セラミックスの裏面に共通電極としての電極３１（第１の電極）が形成され、圧電セラミックスの表面に間隙部５５を挟んで、電極４１，４２，４３，４４，４９，５０，５１（第２の電極、第３の電極）が形成された構造を有する。電極４１〜４４，５０は、間隙部５５を含めて、４分の１波長（λ／４）に相当する弧長を有する。電極４９，５１は、間隙部５５を含めて、８分の１波長（λ／８）に相当する弧長を有する。
【００４４】
圧電素子３０Ｃの圧電セラミックスにおいて電極４１〜４４，４９〜５１に対応する領域は、ｚ方向の正方向に分極されているが、ｚ方向の負方向に分極されていてもよい。圧電素子３０Ｃの内外径の中心円Ｄの内側において、電極４９，５１には貫通孔３８が設けられている。電極３１と電極４９，５１とは、共通電極１０９及び非駆動電極１１０に置き換えて後述する通り、貫通孔３８に充填された導電体１１２を利用して電気的に接続され、例えば、ＧＮＤ電位に接続される。圧電素子３０Ｃへの交流電圧の印加方法は、圧電素子３０Ｂの場合と同じであるので、ここでの説明を省略する。
【００４５】
電極５０は、振動検出用の電極である。振動体の歪みの大きさに比例する電位を取得することで、振動体の振動状態を検出することができる。圧電素子３０Ｃは、圧電素子３０Ｂと比較して、駆動に用いる電極４１〜４４の面積が６分の１となっている。そのため、Ａ（＋）相交流電圧１９、Ｂ（＋）相交流電圧２０、Ａ（−）相交流電圧２１及びＢ（−）相交流電圧２２の電位振幅を、適宜、大きく設定することが好ましい。また、複数の圧電素子３０Ｃを弾性体２に接着することによって振動体を構成してもよい。更に、圧電セラミックスにおいて電極４１，４２に対応する領域と電極４３，４４に対応する領域とで、分極方向を逆にしてもよい。その場合には、電極４１，４３にＡ相交流電圧１７を印加し、電極４２，４４にＢ相交流電圧１８を印加することにより、同様の進行波を形成することができる。
【００４６】
ところで、上記説明では、圧電素子３０Ａについて、図４（ａ）に示されるＡ相交流電圧１７を電極３２に、Ｂ相交流電圧１８を電極３３にそれぞれ印加し、電極３１，３１Ａ，３４，３６，３７をＧＮＤ電位（又は、ＤＣ基準電位）に接続するとした。しかし、これに限定されるものではなく、電極３１，３１Ａ，３４，３６，３７に駆動電圧として交番電圧を印加してもよい。
【００４７】
また、圧電素子３０Ａは、図４（ｃ）に示すＡ相交流電圧２３、Ａ相交流電圧に対し位相がπ［ｒａｄ］だけ遅れたＢ相交流電圧２４、Ａ相交流電圧に対し位相がπ／２［ｒａｄ］だけ進んだＣ相交流電圧２５によって駆動することもできる。この場合、電極３２にＡ相交流電圧２３を、電極３３にＢ相交流電圧２４を、電極３４，３６，３７にＣ相交流電圧２５をそれぞれ印加してもよい。この場合、電極３４，３６，３７と導通している電極３１，３１Ａは、電極３２，３３間の共通電極であると同時に、Ｃ相交流電圧２５を印加するための駆動電極となる。この方法では、電極３１，３２間の電位差は図４（ｄ）に示すＡ−Ｃ相交流電圧２６で示され、電極３１，３３間に与えられる電位差は、図４（ｄ）に示すＢ−Ｃ相交流電圧２７で示される。こうして、Ａ−Ｃ相交流電圧２６とＢ−Ｃ相交流電圧２７との位相差をπ／２［ｒａｄ］とすることで、弾性体に進行波を形成することができる。
【００４８】
Ａ相交流電圧２３，Ｂ相交流電圧２４，Ｃ相交流電圧２５の中心電位と振幅が等しいときには、図４（ｄ）に示すように、Ａ−Ｃ相交流電圧２６とＢ−Ｃ相交流電圧２７の振幅は、理論上、Ａ相交流電圧２３の振幅の２１／２倍となる。これにより、入力電圧に制限がある場合であっても、入力電圧を大きくすることなく、圧電素子３０Ａに生じる電位差を大きくして、振動振幅を大きくすることが可能となる。なお、Ａ−Ｃ相交流電圧２６とＢ−Ｃ相交流電圧２７の位相差が９０度となる正弦波の設定方法はこれに限定されず、Ａ相交流電圧２３、Ｂ相交流電圧２４及びＣ相交流電圧２５に複数の周波数成分を重畳させた任意波形を設定する方法を用いることもできる。
【００４９】
また、圧電素子３０Ｂ，３０Ｃにおいて、電極３１は電極４５，４８を介してＧＮＤ電位に接続されるとしたが、これに限定されず、電極３１は電極４５，４８を介して時間変動のないＤＣ基準電位に接続してもよい。更に、電極３１にその他の任意の波形形状を有する交流電位に接続することも可能であり、その際、電極３１は電極４１，４３間及び電極４２，４４間の共通電極として機能する。
【００５０】
貫通孔３８の形状は、開口面形状が円形である必要はなく、電極３１とそれに対向する電極に通じる導通路が形成されていればよい。例えば、導通路は、圧電セラミックスの側面（内周面や外周面）に、Ｕ字状、Ｖ字状或いは矩形状に切り欠いた溝部を設け、この溝に導電体を固着させることによって形成されていてもよい。
【００５１】
次に、圧電素子３０Ａ〜３０Ｃにおいて、貫通孔３８を用いて裏面側の電極３１（，３１Ａ）を表面側の電極と導通させる方法について、図５乃至図８を参照して説明する。なお、図５乃至図８の説明では、圧電素子３０Ａ〜３０Ｃを総称して、圧電素子３０として説明する。また、圧電素子３０Ａ〜３０Ｃにおいて、圧電セラミックスの裏面側に設けられた電極（図２（ａ），（ｃ）及び図３（ａ）に示す電極）については、以下に説明する通りに「共通電極」と言い換える。更に、圧電素子３０Ａ〜３０Ｃにおいて、圧電セラミックスの表面側に設けられた電極（図２（ｂ），（ｄ）及び図３（ｂ）に示す電極）については、以下に説明する通りに「非駆動電極」及び「駆動電極」と言い換えることとする。
【００５２】
図５（ａ）は、圧電素子３０の第１の電極構造を示す部分断面図である。圧電素子３０は、圧電セラミックス等の圧電体３０ｐの表裏面にそれぞれ電極が形成された構造を有する。圧電体３０ｐにおいて不図示の弾性体２と接合される面（裏面）には、共通電極１０９（第１の電極）が設けられている。また、圧電体３０ｐにおいて不図示のフレキシブル基板１５が接合される面（表面）には、非駆動電極１１０（第３の電極）及び駆動電極１１１（第２の電極）が設けられている。
【００５３】
共通電極１０９は、圧電素子３０Ａ〜３０Ｃが備える電極３１に相当する。非駆動電極１１０は、圧電素子３０Ａ〜３０Ｃが備える電極３４，３６，３７，４５，４８，４９，５１に相当し、ＧＮＤ電位への接続に用いられる。駆動電極１１１は、圧電素子３０Ａ〜３０Ｃが備える電極３２，３３，３５，４１，４２，４３，４４，４６，４７，５０に相当し、励振用又は振動検出用の電極として用いられる。共通電極１０９、非駆動電極１１０及び駆動電極１１１と圧電素子３０Ａ〜３０Ｃが備える各電極との間のこのような関係は、図６乃至図８を参照して説明する電極構造でも同様である。
【００５４】
共通電極１０９は、周方向において途切れることなく連続している。貫通孔３８は、共通電極１０９と非駆動電極１１０とを結ぶように２カ所に設けられており、非駆動電極１１０間に２つの駆動電極１１１が設けられている。２つの非駆動電極１１０の間に設けられる駆動電極１１１の数に制限はなく、３つ以上であってもよい。また、貫通孔３８を有する非駆動電極１１０が、間隙部５５を介して隣り合うように設けられていてもよい。
【００５５】
貫通孔３８の内部には、銀（Ａｇ）を含有するペースト材等の導電体１１２が充填されており、導電体１１２によって導通路（第１の導通路）が形成され、共通電極１０９と非駆動電極１１０とは電気的に接続されている。圧電素子３０を弾性体２に接合する際に圧電素子３０に亀裂等が生じないように、導電体１１２は、共通電極１０９よりもｚ方向の正方向（厚さ方向）に盛り上がっていないことが望ましい。
【００５６】
なお、貫通孔３８を用いた導通路、共通電極１０９、非駆動電極１１０及び駆動電極１１１を形成する方法は、特に限定されるものではない。例えば、圧電体３０ｐに貫通孔３８を形成した後に、貫通孔３８の内部への導電体１１２の充填と、共通電極１０９、非駆動電極１１０及び駆動電極１１１の形成とをペースト材を用いて同時に行うことができる。また、圧電体３０ｐに貫通孔３８を形成して貫通孔３８の内部へ導電体１１２を充填した後に、共通電極１０９、非駆動電極１１０及び駆動電極１１１を形成してもよい。或いは、共通電極１０９、非駆動電極１１０及び駆動電極１１１を形成した後に、貫通孔３８を形成して導電体１１２を充填してもよい。更に、これらの方法で貫通孔３８を用いた導通路と、これに導通する検査用電極を形成し、検査用電極を用いて導通路の導通検査を後述の通りに行った後に検査用電極を除去し、再度、必要な電極を形成してもよい。この場合、導通が確認された少なくとも１つの導通路に対して共通電極１０９と非駆動電極１１０とを設けた構成とすることもできる。
【００５７】
フレキシブル基板１５によって非駆動電極１１０をＧＮＤ電位に接続することにより、２カ所に設けられた貫通孔３８内の導電体１１２を介して共通電極１０９はＧＮＤ電位に接続される。したがって、弾性体２が、例えば、絶縁体や半導体、絶縁体又は半導体に導電性材料を含有させた複合材料のいずれかで形成されているために電気抵抗が大きく導電体として機能しない場合でも、圧電素子３０の共通電極１０９をＧＮＤ電位に容易に接続することができる。また、圧電素子３０を弾性体２へ接着剤等を用いて接合することにより共通電極１０９が被覆された後でも、２つの非駆動電極１１０（第３の電極）にテスタのプローブを直接当てることで、共通電極１０９と非駆動電極１１０との間の導通と電気抵抗を確認することができる。
【００５８】
更に、共通電極１０９と非駆動電極１１０との間の導通検査後に２つの導電体１１２の一方で導通不良が発生しても、他方の導電体１１２と非駆動電極１１０を介して共通電極１０９をＧＮＤ電位に接続することができる。これにより、圧電素子３０（振動体）の信頼性を向上させることができる。なお、導電体１１２が充填されて、共通電極１０９と非駆動電極１１０とを電気的に接続する貫通孔３８は、２カ所以上設けられていればよく、２カ所に限定されない。
【００５９】
共通電極１０９と非駆動電極１１０との間の導通検査後には、露出した導電体１１２の剥がれ落ち等を防止するために、共通電極１０９側は、速やかに弾性体２との接合を行うか又はポリイミドシート等によって被覆することが望ましい。また、非駆動電極１１０側には、速やかにフレキシブル基板１５を接合することが望ましい。このことは、図６乃至図８を参照して説明する電極構造でも同様である。
【００６０】
貫通孔３８を共通電極１０９と非駆動電極１１０とを電気的に接続する導通路として用いるための構成は、貫通孔３８の内部全体に導電体１１２が充填された構成に限定されない。図５（ｂ），（ｃ）は、図５（ａ）中の領域Ｆの拡大図に相当し、貫通孔３８を導通路として用いることができる別の構成を示している。
【００６１】
図５（ｂ）には、貫通孔３８の内壁にのみ導電体１１２を形成して、共通電極１０９と非駆動電極１１０とを電気的に接続する構成が示されている。このとき、管状の形状を有する導電体１１２の内部は、空洞であってもよいし、接着剤等の絶縁性樹脂が充填されていてもよい。
【００６２】
図５（ｃ）には、貫通孔３８の内部に棒材又は線材からなる固体導体１１４が挿入されており、固体導体１１４を用いて共通電極１０９と非駆動電極１１０とを電気的に接続する構成が示されている。この場合、固体導体１１４と貫通孔３８の内壁との間に接着剤等の樹脂又は銀ペースト等を、導電体であるか非導電体であるかを問わずに充填することによって、固体導体１１４を固定することが望ましい。例えば、圧電体３０ｐに貫通孔３８を形成した後に共通電極１０９を形成し、続いて、共通電極１０９が形成面の反対側の面から固体導体１１４を貫通孔３８に挿入して固定する。その後、非駆動電極１１０を形成することによって、図５（ｃ）の構造を実現することができる。
【００６３】
図６は、圧電素子３０の第２の電極構造を示す部分断面図である。図５の電極構造では共通電極１０９がループ状に形成されていることに対して、図６の電極構造は、共通電極１０９のループを切断する間隙部１４１を有する点で異なるが、その他の構成は同じである。よって、以下、この相違点についてのみ説明する。
【００６４】
間隙部１４１は、図２（ａ）に示す電極３１と電極３１Ａとの間に設けられた間隙部３９に相当する絶縁部である。間隙部１４１は、共通電極１０９を形成する際に予め所定の領域をマスクしておくことにより形成してもよいし、共通電極１０９をループ状に形成した後にその一部を研磨等の機械加工によって除去することによって形成してもよい。
【００６５】
間隙部１４１の一方の端Ｈは、ある駆動電極１１１の端Ｊよりもｘ方向の正方向に位置し、間隙部１４１の他方の端Ｉは、端Ｊとｘ方向で対向する駆動電極１１１の端Ｋよりもｘ方向の負方向に位置することが望ましい。つまり、間隙部１４１の幅寸法Ｗｃと間隙部５５の幅寸法Ｗｅとに“Ｗｃ≦Ｗｅ”の関係が成立し、且つ、ｚ方向で見たときに間隙部１４１全体が間隙部５５に収まっていることが望ましい。
【００６６】
間隙部１４１は、圧電素子３０において電界形成に寄与しない部位である。よって、間隙部１４１をｚ方向において間隙部５５と対向する位置に設けると共に、間隙部１４１の幅寸法Ｗｃを間隙部５５の幅寸法Ｗｅよりも狭くすることにより、間隙部１４１による電界分布の変化を低減し、励振性能の低下を最小限に抑えることができる。
【００６７】
間隙部１４１と貫通孔３８とを併用することにより、貫通孔３８を基準として間隙部１４１と間隙部５５との相対的な位置合わせを行うことができ、例えば、高精度の円形状の貫通孔３８を形成することにより、より精密な位置決めを行うことができる。即ち、図２（ａ）の構成のように、貫通孔３８を設けた後に、貫通孔３８を基準として共通電極１０９を形成し、これと同様に、貫通孔３８を基準として間隙部５５が配置されるように非駆動電極１１０と駆動電極１１１を形成する。
【００６８】
間隙部１４１の位置と幅は、図６に示した形態に限定されない。即ち、ｚ方向で見たときに間隙部１４１と間隙部５５とが一部で重なる形態又は全く重ならない形態や、間隙部１４１の幅寸法Ｗｃと間隙部５５の幅寸法Ｗｅとの関係が“Ｗｃ＞Ｗｅ”となっていても、貫通孔３８の機能には影響が及ばない。
【００６９】
図７（ａ）は、圧電素子３０の第３の電極構造を示す部分断面図である。図７（ａ）の電極構造は、図６の電極構造において共通電極１０９に対して設けられた間隙部１４１が、２つの間隙部１７２，１７３の間に電極１７１が設けられた構成に変更されている点で図６の電極構造と異なるが、その他の構成は同じである。よって、以下、この相違点についてのみ説明する。
【００７０】
共通電極１０９は、間隙部１７２，１７３及び電極１７１を除いて、円環状の圧電体３０ｐの全周に亘って形成されている。間隙部１７２，１７３は、上述した間隙部１４１と同様の方法で形成することができ、電極１７１は共通電極１０９と同時に形成することができる。電極１７１は、換言すれば、共通電極１０９を間隙部１７２，１７３により分断した後の電極の１つである。
【００７１】
間隙部１７２の共通電極１０９側の端Ｈは、ある駆動電極１１１の端Ｊよりもｘ方向の正方向に位置し、間隙部１７３の共通電極１０９側の端Ｉは、端Ｊと対向する駆動電極１１１の端Ｋよりもｘ方向の負方向に位置することが望ましい。つまり、間隙部１７２，１７３と電極１７１を含めた領域の幅寸法Ｗｃと間隙部５５の幅寸法Ｗｅとに“Ｗｃ≦Ｗｅ”の関係が成立し、且つ、ｚ方向で見たときに間隙部１７２，１７３と電極１７１を含めた領域が間隙部５５に収まっていることが望ましい。
【００７２】
２つの間隙部１７２，１７３を設けることにより、共通電極１０９が開ループを形成しているかを判別するための検査を容易に行うことができる。つまり、２つの間隙部１７２，１７３と電極１７１の領域の幅寸法Ｗｃは間隙部５５の幅寸法Ｗｅよりも短いことが望ましいため、幅寸法Ｗｅが短くなるにしたがって間隙部１７２，１７３の幅も狭くなる。このとき、２つの間隙部１７２，１７３を形成する際の形成精度によっては、共通電極１０９が電極１７１を介して接続することにより閉ループを形成してしまうおそれがある。これに対して、共通電極１０９と電極１７１にテスタのプローブを直接当てることで、共通電極１０９が開ループとなっているか否かを容易に検査することができる。
【００７３】
間隙部１７２，１７３間にある電極１７１の電位は不定となるため、突発的な放電を避ける等の安全面から、電極１７１の全面を弾性体２によって被覆するか、貫通孔３８を用いない方法でＧＮＤ電位に接続することが望ましい。電極１７１を貫通孔３８を用いずにＧＮＤ電位に接地する方法としては、例えば、電極１７１と弾性体２との間に薄膜状の金属を挟み、この薄膜状の金属をＧＮＤ電位に接続する方法がある。また、電極１７１と電気的に接続可能な導通路を弾性体２に局所的に設ける方法を用いることもできる。
【００７４】
共通電極１０９が開ループを形成していることが確認された後には、確実に共通電極１０９と電極１７１とを絶縁している間隙部１７２，１７３の一方を残して、他方にペースト状の導電材料等を塗布することにより、間隙部を１つだけとしてもよい。これによって、電極１７１が電位不定となる状況をなくすことができる。この方法は、後述する図８（ａ），（ｂ）に示す構成についても、同様に適用することができる。
【００７５】
図７（ａ）の電極構造は、図７（ｂ）に示す電極構造に変形することができる。即ち、間隙部１７２，１７３及び電極１７１の領域を非駆動電極１１０とｚ方向において対向する位置に設け、且つ、この非駆動電極１１０を貫通孔３８に充填された導電体１１２によって共通電極１０９と電気的に接続した構成としてもよい。
【００７６】
この場合、非駆動電極１１０の幅寸法Ｗｇと間隙部５５の幅寸法Ｗｅとの和（＝Ｗｅ＋Ｗｇ）で示される領域とｚ方向で対向する範囲内に間隙部１７２，１７３及び電極１７１を形成すればよい。即ち、間隙部１７２，１７３及び電極１７１を含む領域を、励振用又は振動検出用に用いる駆動電極１１１に対向する位置を避けるように配置する。これにより、間隙部１７２，１７３を形成する際の寸法精度における誤差許容値を拡大させることができ、また、間隙部１７２，１７３及び電極１７１を含む領域が駆動のための電界形成に寄与しないことによる励振性能の低下を最小限に抑えることができる。
【００７７】
図８（ａ）は、圧電素子３０の第４の電極構造を示す部分断面図である。図８（ａ）の電極構造と図６の電極構造との相違点の１つは、図６に示す共通電極１０９に対して設けられた間隙部１４１が、図８（ａ）では、絶縁部である２つの間隙部１８２，１８３の間に電極１８１（第４の電極）が設けられた構成に変更されている点である。また、図８（ａ）の電極構造と図６の電極構造との相違点の別の１つは、貫通孔３８に充填された導電体１１２によって導通路（第２の導通路）が形成され、電極１８１と非駆動電極１１０（第３の電極）とが電気的に接続されている点である。よって、以下、これらの相違点についてのみ説明する。なお、電極１８１は、例えば、図２（ａ）に示した圧電素子３０Ａの電極３１Ａに対応する。
【００７８】
共通電極１０９は、間隙部１８２，１８３及び電極１８１を除く、円環状の圧電体３０ｐの全周に亘って形成されている。間隙部１８２，１８３は、上述した間隙部１４１と同様の方法で形成することができ、電極１８１は共通電極１０９と同時に形成することができる。
【００７９】
間隙部１８２の共通電極１０９側の端Ｈは、ある駆動電極１１１の端Ｊよりもｘ方向の正方向にあることが望ましい。また、間隙部１８２，１８３及び電極１８１は、励振のための電界形成に寄与しない非駆動電極１１０及び間隙部５５が形成されている領域とｚ方向において対向する領域に設けられることが望ましい。
【００８０】
２つの間隙部１８２，１８３の間に電極１８１を設ける構成は、上述した２つの間隙部１７２，１７３の間に電極１７１を設ける構成と同様の機能を有している。よって、図８（ａ）に示す電極構造もまた、図７（ａ）に示す電極構造と同じ効果を奏する。また、電極１８１は非駆動電極１１０と電気的に接続されてＧＮＤ電位に維持されるため、電極１８１が不定電位となることはない。
【００８１】
ここで、電位不定電極では、圧電素子３０の内部応力の変化に伴って電位が変動することによる逆圧電効果によって、見掛け上の剛性が変化する。部分的な剛性の変化によって振動体に生じる進行波を形成する２つの振動モードの共振周波数が異なってくることにより、振動型駆動装置の性能低下が生じる。これに対して、電極１８１をＧＮＤ電位に維持することによって、この問題を回避することができる。
【００８２】
図８（ａ）の電極構造は、図８（ｂ）に示す電極構造に変形することができる。具体的には、１つの非駆動電極１１０を、電気的に独立した幅の狭い２つの非駆動電極１８０へ変更する。更に、２つの非駆動電極１８０のうち一方を貫通孔３８に充填された導電体１１２を介して共通電極１０９と電気的に接続すると共に、他方（第５の電極）を貫通孔３８に充填された導電体１１２によって形成された導通路（第３の導通路）を介して電極１８１（第４の電極）と電気的に接続する。その際、間隙部１８２の幅と間隙部１８３の幅とを変えて、図８（ｂ）では、間隙部１８２の端Ｈが駆動電極１１１の端Ｊよりもｘ方向の正方向に位置するようにしている。
【００８３】
図８（ｂ）の電極構造では、図８（ａ）の電極構造と同じ効果が得られるだけでなく、図８（ａ）の電極構造と比べて、電界形成に寄与しない領域を減らすことができる。したがって、励振用又は振動検出用の電極に割り当てる領域の面積を拡大させて、駆動性能や制御性能を高めることが可能になる。
【００８４】
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。さらに、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
【００８５】
例えば、上記実施形態では、貫通孔３８を用いて裏面側の共通電極１０９を表面側の非駆動電極１１０と導通させる場合に、共通電極１０９をＧＮＤ電位に接続する形態について説明した。しかし、これに限られず、共通電極１０９をＤＣ基準電位に接続してもよいし、図４（ｃ）に示したＣ相交流電圧２５やその他の任意の波形を有する駆動電圧に接続してもよい。
【００８６】
また、上記実施形態は、テスタのプローブを２つの非駆動電極１１０又は非駆動電極１１０と非駆動電極１８０に直接当てることで導通検査を行う例について示したが、導通検査方法はこれに限られない。例えば、非駆動電極１１０又は非駆動電極１８０をＧＮＤ電位に接続し、駆動電極１１１の容量やアドミタンスをインピーダンスアナライザ等により計測することにより、間接的に共通電極１０９と非駆動電極１１０との間の導通検査を実施することが可能である。
【符号の説明】
【００８７】
１    振動型駆動装置
２    弾性体
３    被駆動体
６    ハウジング
７    支持部材
９    出力軸
３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ    圧電素子
３０ｐ    圧電体
３９，５５，１４１，１７２，１７３，１８２，１８３    間隙部
１０９    共通電極
１１０，１８０    非駆動電極
１１１    駆動電極
１１２    導電体
１７１，１８１    電極
【図１】
0006541448.tif 000002
【図２】
0006541448.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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