(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも基材層と、マスクパターンと、感光性樹脂層とを有する積層体がロール状に巻回されてなるロール体であって、
前記マスクパターンの表面及び前記マスクパターン間が前記感光性樹脂層で覆われ、且つ、
前記感光性樹脂のうち最も薄い厚みを最小厚みｔと定義したとき、前記最小厚みｔに対するロール端面の表面粗さＲの比（Ｒ／ｔ）が、５００よりも大きく、前記表面粗さＲが、７０ｍｍよりも小さいことを特徴とするロール体。
【請求項２】
前記比（Ｒ／ｔ）が、１０００以上１０００００００以下であることを特徴とする請求項１記載のロール体。
【請求項３】
前記表面粗さＲが、５０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のロール体。
【請求項４】
前記積層体に、さらに保護層が含まれており、前記基材層と前記保護層との間に前記マスクパターン及び前記感光性樹脂層が介在することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のロール体。
【請求項５】
前記積層体には、前記マスクパターンの間に位置する硬化樹脂層がさらに含まれることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のロール体。
【請求項６】
前記硬化樹脂層は、前記マスクパターンを収納可能な凹凸構造で形成されることを特徴とする請求項５記載のロール体。
【請求項７】
前記ロール体の幅ｗに対する前記ロール体の径ｄの比（ｄ／ｗ）が、１以上１０以下であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のロール体。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載のロール体の製造方法であり、基材層上に硬化樹脂層の原料である硬化樹脂を塗布する第一工程と、微細凹凸構造を有する金型を硬化樹脂に押し当てその状態で硬化させて硬化樹脂層とする第二工程と、金型を外してマスクパターンの原料を硬化樹脂層の凹凸内に充填し、マスクパターンの原料を硬化させてマスクパターンとする第三工程と、マスクパターン上に感光性樹脂層の原料である樹脂を塗布して乾燥させる第四工程と、保護層を感光性樹脂層上に貼合し、積層体を得る第五工程と、を含むことを特徴とするロール体の製造方法。
【請求項９】
前記基材層をコアに巻回し、以降の工程をロール・ツー・ロールで行うことを特徴とする請求項８記載のロール体の製造方法。
【請求項１０】
請求項１ないし７のいずれかに記載のロール体と、
少なくともロール表面を覆う被覆体と、
ロール端面の両側に配置されるホルダと、
前記ロール体と前記ホルダとの間に位置する緩衝材と、
を有して構成されることを特徴とする梱包体。
【請求項１１】
前記被覆体は前記ロール表面から前記ロール端面にかけて覆っており、前記ロール端面側から前記被覆体、前記緩衝材及び前記ホルダの順で配置されることを特徴とする請求項１０記載の梱包体。
【請求項１２】
前記被覆体には、遮光性の素材が含まれていることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の梱包体。
【請求項１３】
前記遮光性の素材が、少なくとも遮光率５０％以上であることを特徴とする請求項１０ないし１２のいずれかに記載の梱包体。
【請求項１４】
前記被覆体が、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過度が１０ｇ／ｍ２・２４ｈ以下の素材で構成されていることを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれかに記載の梱包体。
【請求項１５】
前記緩衝材がポリオレフィンであることを特徴とする請求項１０ないし１４のいずれかに記載の梱包体。
【請求項１６】
前記緩衝材の厚みが２ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１０ないし１５のいずれかに記載の梱包体。
【請求項１７】
前記緩衝材が前記ロール端面の面積の９０％以上と接することを特徴とする請求項１０ないし１６のいずれかに記載の梱包体。
【請求項１８】
請求項８または９に記載のロール体の製造方法に記載の各工程で製造されたロール中間体を輸送するための梱包体であり、前記ロール中間体と、前記被覆体と、前記ホルダと、前記緩衝材と、を有することを特徴とする請求項１０ないし１７のいずれかに記載の梱包体。
【請求項１９】
請求項１ないし７のいずれかに記載のロール体の少なくともロール表面を被覆体で覆う工程と、
ロール端面の両側に緩衝材を配置する工程と、
前記緩衝材の両側にホルダを配置して、前記ロール体及び前記緩衝材を固定する工程と、
を有することを特徴とする梱包体の製造方法。
【請求項２０】
請求項１８に記載のロール中間体を用いた梱包体の製造方法であり、
前記ロール中間体の少なくともロール表面を被覆体で覆う工程と、
ロール端面の両側に緩衝材を配置する工程と、
前記緩衝材の両側にホルダを配置して、前記ロール中間体及び前記緩衝材を固定する工程と、
を有することを特徴とする梱包体の製造方法。
【請求項２１】
請求項１０ないし１８のいずれかに記載の梱包体を、３０℃以下、６０％ＲＨ以下で輸送することを特徴とする梱包体の輸送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも基材層、マスクパターン、及び感光性樹脂層を有する積層体をロール状に巻回してなるロール体及びその製造方法、梱包体及びその製造方法、並びに、梱包体の輸送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、薄膜塗工技術の発達によりナノメートルサイズ〜数マイクロメートルサイズの厚みを有する感光性樹脂層を含んだ積層体の製造が可能となってきた。薄膜化することにより、小型化、軽量化、省資源化など種々の利点を得ることができる。本発明者らは、例えば特許文献１に記すような微細パターンマスクを内包した積層体を開発している。当該積層体にはナノメートルサイズの厚みを有する感光性樹脂層が存在し、この樹脂層を加工対象である被処理体（基板）に貼合させて加工を行う。しかし、感光性樹脂層の厚みが薄くなることにより、従来の数十マイクロメートルサイズの厚み以上の感光性樹脂層では発生しなかった問題が表面化した。
【０００３】
第一の問題は、微細パターンマスクが破壊されやすいということである。内包される微細パターンマスクは、積層体に圧力が掛かると破損するが、感光性樹脂層の厚みがナノメートルサイズ〜数マイクロメートルサイズの薄膜とされることで数十マイクロメートルサイズの厚みとしていた従来に比べて微細パターンマスクに対する圧力の影響が強まり微細パターンマスクが破壊されやすい。
【０００４】
第二の問題は、数十マイクロメートルサイズの厚みの感光性樹脂層では問題とならなかったレベルの不陸が、ナノメートルサイズ〜数マイクロメートルサイズの厚みの感光性樹脂層では品質不良を引き起こすというものである。例えば積層体の最表面に接着層として感光性樹脂層を配し、対応する基材に貼合して硬化させる場合、不陸が存在すると貼合不良が発生し、感光性樹脂層と基材が適切に密着していない箇所が生じる結果、基材のパターニングに局所的なムラが発生して品質不良につながる。このようにナノメートルサイズ〜数マイクロメートルサイズの厚みの感光性樹脂層を用いる場合、数十マイクロメートルサイズの厚みの感光性樹脂層に比べて微小な不陸でも大きな影響を受け、結果として品質不良につながりやすい。
【０００５】
不陸が発生する主たる要因は積層体をロール状に加工する際の巻き圧力にある。不陸発生を抑制するには積層体を枚葉にすることでも解決可能である。しかしながら、ロール・ツー・ロールの生産性は枚葉式の生産性に比して高く、枚葉式を採用するとこの利点が失われる。ロール状に巻きつつ不陸を発生させない方法として、巻き圧力を弱くしてロール体を作る方法がある。しかしながらこれを行うと不陸の発生が抑えられる代わりに巻ずれが起こりやすくなるという別の問題が発生する。
【０００６】
ロール体を使用する際は、ロール体からフィルムを巻き出して被処理体に貼合する。この工程は、生産性を考慮すると装置（以下、貼合装置）を用いて行うのが一般的である。この際、ロール体を保管している間や輸送する際の衝撃・振動で装置での使用に障害があるレベルの大きさの巻ずれが発生した場合、ロール体を使用する際に巻ずれ解消工程が必要となる。これにより、別途不陸の発生や表面への傷、異物の付着などのリスクが発生することになる。
【０００７】
特許文献２では、ロール形状のフィルムを輸送する時の振動や衝撃を吸収する梱包形態及び梱包方法を提案している。しかし、ナノメートルサイズ〜数マイクロメートルサイズの厚みの膜を含む積層体において、不陸を発生させずにロール形状にするためには、数十マイクロメートルサイズの厚みの膜を含む積層体に比べて弱い張力でロール形状に加工する必要がある。そのため巻ずれが発生しやすい。たとえば特許文献２のように発泡緩衝材を配置してもその固定が充分でない場合、積層体の端面への傷を防ぐことはできても巻ずれ防止効果は充分でない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】国際公開第２０１２／１７６７２８号パンフレット
【特許文献２】国際公開第２０１３／１０３０７４号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本願発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ナノメートルサイズ〜数マイクロメートルサイズの厚みの感光性樹脂層を含む積層体をロール状に巻回したロール体であっても、従来に比べて、微細パターンマスクの破壊を抑制でき、高品質を確保できるロール体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
さらに、ロール体の保管や輸送の際に、効果的に巻ずれの拡大を抑制し、品質の劣化を防ぐことが可能な梱包体及びその製造方法、並びに、梱包体の輸送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願発明者らは、鋭意検討し実験を重ねた結果、薄膜の感光性樹脂層を有する積層体を巻回してロール体を形成する際に、実用上問題にならない程度の微小な巻ずれを発生させておき、積層体表面に掛かる圧力を分散させるロール形状を見出した。さらに、ロール体の保管や輸送時に、巻ずれが拡大することを防ぐために、ロール体に対する梱包体の構造を改良した。即ち、本発明は以下の通りである。
【００１２】
本発明は、少なくとも基材層と、マスクパターンと、感光性樹脂層とを有する積層体がロール状に巻回されてなるロール体であって、前記マスクパターンの表面及び前記マスクパターン間が前記感光性樹脂層で覆われ、且つ、前記感光性樹脂のうち最も薄い厚みを最小厚みｔと定義したとき、前記最小厚みｔに対するロール端面の表面粗さＲの比（Ｒ／ｔ）が、５００よりも大きく、前記表面粗さＲが、７０ｍｍよりも小さいことを特徴とする。これにより、積層体表面に掛かる圧力の分散を促進でき、マスクパターンの破壊等を抑制でき、高品質を確保することができる。
【００１３】
本発明では、前記比（Ｒ／ｔ）が、１０００以上１０００００００以下であることが好ましい。これにより、より効果的に、積層体表面に掛かる圧力の分散を促進できる。また、前記表面粗さＲが、５０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１４】
また本発明では、前記積層体に、さらに保護層が含まれており、前記基材層と前記保護層との間に前記マスクパターン及び前記感光性樹脂層が介在することが好ましい。これにより、積層体の表層を適切に保護できる。
【００１５】
また本発明では、前記積層体には、前記マスクパターンの間に位置する硬化樹脂層がさらに含まれることが好ましい。前記硬化樹脂層は、前記マスクパターンを収納可能な凹凸構造で形成されることが好ましい。これにより、マスクパターンを適切に位置決めすることができる。
【００１６】
また本発明では、前記ロール体の幅ｗに対する前記ロール体の径ｄの比（ｄ／ｗ）が、１以上１０以下であることが好ましい。
【００１７】
また本発明は、上記のいずれかに記載のロール体の製造方法であり、基材層上に硬化樹脂層の原料である硬化樹脂を塗布する第一工程と、微細凹凸構造を有する金型を硬化樹脂に押し当てその状態で硬化させて硬化樹脂層とする第二工程と、金型を外してマスクパターンの原料を硬化樹脂層の凹凸内に充填し、マスクパターンの原料を硬化させてマスクパターンとする第三工程と、マスクパターン上に感光性樹脂層の原料である樹脂を塗布して乾燥させる第四工程と、保護層を感光性樹脂層上に貼合し、積層体を得る第五工程と、を含むことを特徴とする。
【００１８】
本発明では、前記基材層をコアに巻回し、以降の工程をロール・ツー・ロールで行うことも可能である。
【００１９】
また本発明における梱包体は、上記のいずれかに記載のロール体と、少なくともロール表面を覆う被覆体と、ロール端面の両側に配置されるホルダと、前記ロール体と前記ホルダとの間に位置する緩衝材と、を有して構成されることを特徴とする。これにより、ロール体の保管や輸送時に、巻ずれが拡大することを適切に防ぐことができる。
【００２０】
また本発明では、前記被覆体は前記ロール表面から前記ロール端面にかけて覆っており、前記ロール端面側から前記被覆体、前記緩衝材及び前記ホルダの順で配置されることが好ましい。
【００２１】
また本発明では、前記被覆体には、遮光性の素材が含まれていることが好ましい。これにより感光性樹脂層に対する遮光性を向上させることができる。
【００２２】
また本発明では、前記遮光性の素材が、少なくとも遮光率５０％以上であることが好ましい。
【００２３】
また本発明では、前記被覆体が、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過度が１０ｇ／ｍ２・２４ｈ以下の素材で構成されていることが好ましい。
【００２４】
また本発明では、前記緩衝材がポリオレフィンであることが好ましい。また、前記緩衝材の厚みが２ｍｍ以上であることが好ましい。
【００２５】
また本発明では、前記緩衝材が前記ロール端面の面積の９０％以上と接することが好ましい。これにより適切に巻ずれの拡大を防止することができる。
【００２６】
また本発明では、上記に記載のロール体の製造方法に記載の各工程で製造されたロール中間体を輸送するための梱包体であり、前記ロール中間体と、前記被覆体と、前記ホルダと、前記緩衝材と、を有することを特徴とする。これにより、ロール中間体の保管や輸送時に、巻ずれが拡大することを適切に防ぐことができる。
【００２７】
また本発明における梱包体の製造方法は、上記のいずれかに記載のロール体の少なくともロール表面を被覆体で覆う工程と、ロール端面の両側に緩衝材を配置する工程と、前記緩衝材の両側にホルダを配置して、前記ロール体及び前記緩衝材を固定する工程と、を有することを特徴とする。これにより、ロール体の保管や輸送時に、巻ずれが拡大することを適切に防ぐことができる梱包体を簡単且つ適切に製造することができる。
【００２８】
また本発明は、上記に記載のロール中間体を用いた梱包体の製造方法であり、前記ロール中間体の少なくともロール表面を被覆体で覆う工程と、ロール端面の両側に緩衝材を配置する工程と、前記緩衝材の両側にホルダを配置して、前記ロール中間体及び前記緩衝材を固定する工程と、を有することを特徴とする。これにより、ロール中間体の保管や輸送時に、巻ずれが拡大することを適切に防ぐことができる梱包体を簡単且つ適切に製造することができる。
【００２９】
また本発明における梱包体の輸送方法は、上記梱包体を、３０℃以下、６０％ＲＨ以下で輸送することを特徴とする。これにより、ロール体の品質が、温度あるいは湿度によって劣化することを効果的に防ぐことができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明のロール体によれば、積層体表面に掛かる圧力の分散を促進でき、感光性樹脂層が薄くてマスクパターンの破壊されやすいフィルムのロール体においてもマスクパターンの破壊等を抑制でき、高品質を確保することができる。
【００３１】
また本発明の梱包体によれば、ロール体の保管や輸送時に、巻ずれが拡大することを適切に防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施の形態における積層体の模式図である。
【図２】図１とは別の実施の形態における積層体の模式図である。
【図３】図３Ａは、本発明の実施の形態におけるロール体の斜視図であり、図３Ｂは、本発明の実施の形態におけるロール体のロール端面を示す断面模式図である。
【図４】本発明の実施の形態における梱包体の製造工程を示す斜視図である。
【図５】図４とは別の実施の形態における梱包体の製造工程を示す斜視図である。
【図６】図４にて形成された梱包体の断面模式図である。
【図７】図５にて形成された梱包体の断面模式図である。
【図８】図８Ａは、本発明の実施の形態におけるホルダの正面図であり、図８Ｂはホルダの側面図である。
【図９】本発明における梱包体をケースに収納する際の模式図である。
【図１０】図１に示す積層体を用いて、被処理体に微細パターンを形成するための方法を説明するための工程図である。
【図１１】図２に示す積層体を用いて、被処理体に微細パターンを形成するための方法を説明するための工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
図１は、本発明の実施の形態における積層体の模式図である。図１に示すように、積層体（多層積層体）１は、基材層４と、マスクパターン２と、感光性樹脂層３とを有して構成された可撓性のシートである。
【００３４】
図１に示すように、マスクパターン２は基材層４の表面に形成される。マスクパターン２は、基材層４の表面に直接形成されてもよいし、別の層を介して形成されてもよい。そして、マスクパターン２の表面及びマスクパターン２間が感光性樹脂層３で覆われている。図１に示すように感光性樹脂層３の表面は略平坦面であることが好ましい。
【００３５】
図１に示す可撓性の積層体１は、ロール状に巻回されて図３Ａに示すロール体７を構成する。ところで、微細なマスクパターン２は積層体１に圧力が加わったり不陸が発生したまま加工対象である被処理体に貼合されたりすると破壊されるといった問題がある。また、積層体１単独では貼合不良の発生しない程度の微細な不陸であっても、これが何十層と重なると、積層体１上に圧力が集中するスポットができ、その部分のパターンが局所的に破壊されることがある。このようなスポットの発生を防ぐには、積層体１に圧力が加わるのを防ぐのが有効である。
【００３６】
そこで本実施の形態では、図３Ａに示すように、積層体１をロール状に巻回してロール体７を形成する際、積層体１に掛かる圧力を分散させるため、ロール形状において支障のない範囲で巻ずれを発生させることとした。不陸の発生を防ぐためには積層体１を巻回する際の張力を小さくする必要があり、このように張力を小さくすることで、ロール体７の巻きが緩くなり、衝撃や振動により巻ずれを発生させやすい。しかしながらこのとき、巻ずれが支障のある範囲まで拡大すると、装置を用いて貼合を行う際に巻ずれ解消工程が必要となり、別途不陸の発生や表面への傷、異物の付着などのリスクが発生することになる。したがってロール形状において装置を用いた貼合に支障のない範囲で巻ずれを生じさせることが必要である。
【００３７】
すなわち本実施の形態では、（１）ロール体７に装置を用いた貼合に支障のない範囲で巻ずれを発生させ、（２）衝撃や振動でロール体７の巻ずれが拡大しない状態を維持できる梱包状態を実現できなければならない。（１）及び（２）について以下に、詳細に説明する。まず、（１）ロール体７に装置を用いた貼合に支障のない範囲で巻ずれを発生させる点について述べる。
【００３８】
本実施の形態におけるロール体７の巻ずれにおいて、感光性樹脂層３が薄ければ、微細なマスクパターン２がよりダメージに弱くなる。したがって巻き圧力を分散させる必要があるが、巻ずれを大きくしすぎると上述のように巻ずれ解消工程が必要となり、別の支障が出てしまう。そこで、本実施の形態では、巻ずれと感光性樹脂層３の厚みの関係を次のように定義する。巻ずれは図３Ｂに示すようにロール端面７ａの表面粗さＲとして定義される。図３Ｂは、ロール体７のロール端面７ａを示す断面模式図である。図３Ｂに示すように複数の積層体１が巻回されてロール体７が形成されるが、巻ずれによりロール端面７ａには段差が生じている。これを表面粗さＲとして示している。表面粗さＲは、算術平均粗さＲａで示すことができる。
【００３９】
また、感光性樹脂層３のうち最も薄い厚み、すなわち最も圧力の影響に敏感な感光性樹脂の厚みはｔと定義される。最小厚みｔを図１に示した。そして本実施の形態では、感光性樹脂層３の最小厚みｔに対するロール端面７ａの表面粗さＲの比（Ｒ／ｔ）を規定した。
【００４０】
例えば、１００ｎｍの最小厚みｔを有する感光性樹脂層３を有する積層体１を、ロール端面７ａの表面粗さＲが１ｍｍとなるように巻ずれを生じさせながらロール状に巻回した場合、比（Ｒ／ｔ）は１００００である。比（Ｒ／ｔ）が小さくなるということは、表面粗さＲが小さくなり、すなわち巻ずれによる圧力分散の効果が小さくなるか、又は感光性樹脂層３の最小厚みｔが厚くなって圧力分散を考慮する必要性が小さくなることを表す。一方、比（Ｒ／ｔ）が大きくなると、表面粗さＲが大きくなり、すなわち圧力分散が有効に働くが、巻ずれが実用上支障のある範囲に近づいていくことを表す。
【００４１】
以上の状況を勘案すると、比（Ｒ／ｔ）は、５００よりも大きいことが必要である。比（Ｒ／ｔ）＝５００は後述の実験結果に示す比較例１であり、微細なマスクパターンの破壊が見られた。本実施の形態では、比（Ｒ／ｔ）は、１０００以上１０００００００以下であることが好ましい。後述の実施例はいずれもこの範囲内に含まれ、パターン破壊を防止できることがわかっている。また、巻ずれの許容量を考慮すると１００００００以下がより好ましく、１０００００以下がさらに好ましい。また、圧力分散の有効性を考慮すると５０００以上がより好ましく、１００００以上がさらに好ましい。これらの上限値及び下限値は、重視する特徴に応じて任意に組み合わせることができる。
【００４２】
また上記の比（Ｒ／ｔ）に加えて、ロール端面７ａの表面粗さＲは、７０ｍｍよりも小さい値に設定される。すなわち上記の比（Ｒ／ｔ）を満たしても、表面粗さＲがあまり大きいと、巻ずれ解消工程が必要になり、別途不陸の発生や表面への傷、異物の付着などのリスクが高まる。なお表面粗さＲ＝７０ｍｍは後述の実験結果に示す比較例２であり、貼合装置を用いて加工対象への貼合を行う際、加工対象の位置のずれが激しくなり適切に貼合を実施することができないことがわかった。
【００４３】
比（Ｒ／ｔ）及び表面粗さＲは、ロール体７の製造段階のみならず、ロール体７を梱包して輸送等された後に梱包を外して使用されるまで、ロール体７の比（Ｒ／ｔ）及び表面粗さＲが上記の範囲内で維持され続けることが必要である。
【００４４】
感光性樹脂層３の最小厚みｔは、１ｎｍ〜５０００ｎｍ程度であることが好ましい。また、ロール端面７ａの表面粗さＲは、０．１ｍｍ〜７０ｍｍ程度であることが好ましい。また本発明における梱包形態は、幅寸法１ｎｍ〜１０００ｎｍ程度、高さ寸法１ｎｍ〜１０００ｎｍ程度、ピッチ１０ｎｍ〜１００００ｎｍ程度のマスクパターン２に特に好適に用いられる。
【００４５】
ロール体７の巻ずれを発生させる方法としては、積層体１を巻き取る際に微細な振動を加える、巻きだし器及び／あるいは巻き取り器を搖動させるなどの方法が考えられる。また意図せず上記数値範囲の巻ずれが発生しても本発明に含まれる。
【００４６】
図１に示すように、本実施の形態の積層体１は、少なくとも基材層４と、マスクパターン２と、感光性樹脂層３を含む。基材層４、マスクパターン２及び感光性樹脂層３はそれぞれが隣接していてもよいし、それ以外の機能を有する層を１層以上、間に介してもよい。また、マスクパターン２は感光性樹脂層３から完全に独立していてもよいし図１のように内包されていてもよい。
【００４７】
積層体１には、他の機能を有する層が１層以上含まれていてもよい。他の機能を有する層としては層形成の容易さや均質性などの観点から感光性樹脂が硬化した層であることが好ましい。前記の層を加えた模式図を図２に示す。図２は、図１とは別の実施の形態における積層体の模式図である。
【００４８】
図２に示す積層体１は、基材層４と、マスクパターン２と、マスクパターン２の間に位置する硬化樹脂層５と、硬化樹脂層５の表面に位置する感光性樹脂層３と、感光性樹脂層３の表面に位置する保護層６とを有して構成される。
【００４９】
硬化樹脂層５は、マスクパターン２の位置を決定する用途として、マスクパターン２を収納できる凹凸構造を有する構成であることが好ましい。硬化樹脂層５が複数層存在する場合、各層の組成は同じであっても異なっていてもかまわない。
【００５０】
また図２に示す保護層６は、積層体１が使用されるまでの間、表層を保護するために設けられた層である。
【００５１】
図２に示すように、基材層４と保護層６との間に、マスクパターン２、硬化樹脂層５及び感光性樹脂層３が介在している。このような積層構成とすることで、マスクパターンの位置を適切に決めることができる。
【００５２】
基材層４及び保護層６に用いられる素材は、ロール形状にするのに差支えがなく、自立性のある素材であれば特に制限はなく、自由に選択できる。一般的には、樹脂フィルムが好適に用いられ、より具体的にはＰＥＴフィルム、ＴＡＣフィルム、ＣＯＰフィルム、ＰＥフィルム、ＰＰフィルム等を挙げることができる。
【００５３】
また、用いる基材層４や保護層６に、必要に応じて何らかの処理を行ってもよい。特に保護層６に用いられる素材は使用時に剥がしやすいものであることが好ましいため、表面を離形処理したものが好適に用いられる。また、基材層４と保護層６の両方が伸縮性に極端に乏しい素材であった場合、ロール形状にした際に一方が剥がれる不具合が発生しやすくなる。このような観点から、基材層４及び保護層６の少なくとも一方は、もう一方に追従できる程度の伸縮性を有した素材であることが好ましい。
【００５４】
感光性樹脂層３としては例えばアクリル樹脂、メタクリル樹脂、エポキシ樹脂等を主成分とする、一般的な樹脂を用いることができるが、少なくともナノメートルサイズの厚みで形成できるものである必要がある。また、マスクパターン２を収納できる凹凸構造を有する硬化樹脂層５には、感光性樹脂層３と同様の樹脂を用いることができるが、微細な凹凸構造を保持するために、ナノインプリント等に用いられる構成成分のものを用いるのが好ましい。
【００５５】
マスクパターン２の素材としては所望の耐性を有する物を選択することができるが、例えばドライエッチングに対するマスクとして使用できるものとしては、以下のゾルゲル材料を含むものが好適に用いられる。ゾルゲル材料とは、熱や触媒の作用により、加水分解・重縮合が進行し、硬化する化合物群である、金属アルコキシド、金属アルコラート、金属キレート化合物、ハロゲン化シラン、液状ガラス、スピンオングラスや、これらの反応物を指す。
【００５６】
例えば積層体１は以下のように形成される。すなわち、第一工程として、基材層４上に硬化樹脂層５の原料である硬化樹脂を塗布する。第二工程では、微細凹凸構造を有する金型を硬化樹脂に押し当てその状態で硬化させて硬化樹脂層５とする。第三工程では、金型を外してマスクパターン２の原料を硬化樹脂層５の凹凸内に充填し、マスクパターン２の原料を硬化させてマスクパターン２とする。第四工程では、マスクパターン２上に感光性樹脂層３の原料である樹脂を塗布して乾燥させる。第五工程では、保護層６を感光性樹脂層３上に貼合し、積層体１を得る。
【００５７】
このようにして得られた積層体１を、続いて、コア８（図３Ａ参照）に巻き付け、ロール状にする。あるいは、基材層４をコア８に巻き付けた状態から、上記各工程をロール・ツー・ロールで行うと量産性を確保できて好ましい。
【００５８】
上記各工程をロール・ツー・ロールで実施する場合、各工程は同一の製造所で実施しても異なる製造所で実施してもよい。異なる製造所で実施する場合は、各工程で製造されたロール中間体を製造所間で移送する必要がある。ここでロール中間体とは、ロール体の製造開始状態からロール体が完成する一歩手前の工程までの状態を指す。
【００５９】
図３Ａに示すようにロール体７は、径をｄ、幅をｗとしたとき、比（ｄ／ｗ）が、０．１以上１０以下であることが好ましい。ロール体７の幅ｗがロール体７の径ｄに比して小さい場合、巻回の際に重ねられる積層体１間の摩擦力が小さくなるので巻ずれを起こしやすくなる。ただし比（ｄ／ｗ）が大きくなりすぎると、所定の表面粗さＲを確保しながら積層体１をロール状に巻回することが困難になる。そこで本実施の形態では、比（ｄ／ｗ）を０．１〜１０の範囲内が好ましいとした。
【００６０】
ここでロール体７とは、通常、断面が円形状に巻回された形態のものを指すが、どのような形態になるかは中心に位置するコア８の形状に左右される。断面が円形状以外に楕円形状であってもよい。
【００６１】
次に、（２）上述のロール体７を、衝撃や振動でロール体７の巻ずれが拡大しないよう梱包する形態について述べる。
【００６２】
図４は、本発明の実施の形態における梱包体の製造工程を示す斜視図である。また、図６は、図４にて形成された梱包体の断面模式図である。
【００６３】
図４、図６に示すように、梱包体１０は、ロール体７と、ロール体７を覆う被覆体１１と、ロール体７のロール端面７ａにあてがわれる緩衝材１２と、緩衝材１２の両側に配置されて、ロール体７及び緩衝材１２を固定するホルダ（コアホルダ）１３とを有して構成される。
【００６４】
被覆体１１は、少なくともロール体７のロール表面７ｂを被覆する形態で形成される。図４Ａに示すように被覆体１１は、チューブ形状であり、被覆体１１の中央に貫通する貫通孔１１ａが設けられている。
【００６５】
被覆体１１は、ポリオレフィン等一般的な樹脂製の物を用いることができる。被覆体１１の役割は主として防汚及び遮光に用いられる。このような観点から、被覆体１１は少なくともロール体７のロール表面７ｂの全域を覆うサイズであることが好ましく、それに加えてロール端面７ａの全域を覆うことが可能なように、被覆体１１をロール体７の幅よりも長いサイズであることがさらに好ましい。
【００６６】
図４Ａに示すように、被覆体１１の貫通孔１１ａにロール体７を挿入する。これにより、ロール体７の少なくともロール表面７ａを被覆体１１により適切に覆うことができる。また、被覆体１１の長さをロール体７より長くし、被覆体１１の略中央にロール体７を位置させた後に被覆体１１の両端部を折り曲げることでロール端面７ａを適切に覆うことができる。図６に示すように、被覆体１１の余った部分は、コア８の中空部に入れ込む方法、被覆体１１の開口部を熱圧着等で閉じる方法などが挙げられる。被覆体１１の開口部をコア８の中空部に入れ込む方法は簡便で、密閉されるわけではないので、保管及び輸送中の気圧の変化等の影響を受けないという利点がある。一方、被覆体１１の開口部を熱圧着等で閉じる方法はロール７を密閉でき、高い防塵性を発揮することができるという利点がある。以上のような利点を勘案して適宜選択することが好ましい。なお特に図示しないが、図４Ｂ〜図４Ｄ及び後述の図５において、ロール体７の表面は被覆体１１で覆われている。
【００６７】
また被覆体１１の、特にロール体７と接する側の内面の清浄度は高いことが望ましい。必要とされる清浄度は積層体１の用途によって適宜決定すればよいが、清浄度を向上させる方法としては例えば被覆体１１の除電、拭き上げ、粘着ロールによるごみの除去などが挙げられる。また、被覆体１１にごみが付着しにくくするために、被覆体１１の材質に導電性のものを用いることも好ましい。
【００６８】
また被覆体１１には、遮光のために遮光性の素材が含まれていることが好ましい。例えば、被覆体１１は、遮光のために着色されており、特に黒色又はそれに近い暗緑色、暗青色、暗赤色などの色に着色されているか、あるいは被覆体１１の表面にアルミ等の金属が蒸着されたものであることが好ましい。遮光性能としては、感光性樹脂層３が反応する波長を５０％以上遮光できることが好ましく、８０％以上遮光できることがさらに好ましく、９０％以上遮光できることが特に好ましい。さらに、低透湿性の材質の被覆体１１を用いることで、ロール体７に湿気が及ぶのを防ぐことができる。
【００６９】
被覆体１１は一層でもよいし多層であってもよい。複数枚の被覆体１１を重ねて用いると、遮光性及び、防汚性等が向上するので好ましい。この際、同じ特性を有する被覆体１１を重ねて用いてもよいし、あるいは、例えば、遮光用の被覆体１１と防汚用の被覆体１１とに役割を分けた各被覆体１１を重ねることもできる。
【００７０】
上記事情を勘案すると、被覆体１１の材質としては、アルミ蒸着したポリオレフィン、あるいはカーボンフィラーを導入して導電性を高めたポリオレフィンなどが特に好適に用いられる。
【００７１】
被覆体１１は少なくともロール体７のロール表面７ｂを被覆するものであり、被覆体１１は図４Ａに示すようなチューブ形状に限定されるものでない。例えばシート状の被覆体をロール体７のロール表面７ｂに巻いてロール表面７ｂを覆うこともできる。
【００７２】
次に図４Ｂ、図６に示す緩衝材１２は、ロール体７のロール端面７ａでの巻ずれの拡大を防止するために設けられたものである。緩衝材１２は軽量で発塵しにくく、ある程度の剛性と弾力を有するものが好ましい。このような観点から低密度の樹脂が好ましく、特に低密度ポリオレフィンが好適に用いられる。また、緩衝材１２の厚みは０．５ｍｍ以上であることが好ましく、１ｍｍ以上であることがさらに好ましく、２ｍｍ以上であることが特に好ましく、５ｍｍ以上であることが極めて好ましい。一方、梱包形態の軽量化や省資源化の観点からは、緩衝材１２の厚みは１００ｍｍ以下であることが好ましく、３０ｍｍ以下であることが好ましく、１５ｍｍ以下であることが特に好ましい。
【００７３】
緩衝材１２はロール体７のロール端面７ａの略全域を覆うことが好ましい。なお、図４Ｂに示すように、緩衝材１２の中央には、貫通孔１２ａが設けられている。この貫通孔１２ａは、ホルダ１３の中央筒１６を挿入するための穴である。緩衝材１２は、その径がロール体７のロール端面７ａの径より一回り大きいドーナツ型であることが好ましい。また、緩衝材１２の貫通孔１２ａは、発塵防止のため、図４Ｃに示すホルダ１３の中央筒１６を挿入する際に中央筒１６がスムーズに通り抜けられる程度に大きいことが好ましい。一方、緩衝材１２の径がホルダ１３の接地部１４の一辺の長さより大きくなると緩衝材１２が接地してしまうので、緩衝材１２の径はホルダ１３の接地部１４の一辺の長さより小さいことが好ましい。以上の観点から、緩衝材１２はロール体７のロール端面７ａの面積の５０％以上を覆っていることが好ましく、７０％以上を覆っていることがさらに好ましく、９０％以上を覆っていることが特に好ましい。
【００７４】
図４Ａ〜図４Ｃ及び図６に示すように、ロール体７の中心には中空の円筒形状のコア８が設けられており、コア８の長さはロール体７の長さより長くなっている。この場合、図４Ｃ及び図６に示すように、緩衝材１２をコア８の突出箇所に嵌め込むと安定するので好ましい。また、緩衝材１２の厚みがコア８の突出長さより大きいと、ホルダ１３で緩衝材１２をロール端面７ａに密着させることができるので（被覆体１１が緩衝材１２とロール体７との間に存在する場合には被覆体１１を介して）、より高い巻ずれ防止効果が期待でき、好ましい。
【００７５】
図４Ｃに示す工程では、ホルダ１３の中央筒１６をコア８の中空部内に挿入する。これにより図４Ｄ及び図６に示すように、ホルダ１３により、ロール体７及び緩衝材１２を固定することができる。
【００７６】
図５は、図４とは別の実施の形態における梱包体の製造工程を示す斜視図である。図７は、図５にて形成された梱包体の断面模式図である。
【００７７】
図５Ａ及び図７に示すように、この実施の形態では、コア８の長さはロール体７の長さと略一致している。図５Ａに示すように、緩衝材１２をホルダ１３の中央筒１６にはめこんで安定させるのが好ましい（図５Ｂ）。そして図５Ｃ、図７に示すように、緩衝材１２が付いたホルダ１３の中央筒１６をコア８の中空内部に挿入する。
【００７８】
図８Ａは、本発明の実施の形態におけるホルダの正面図であり、図８Ｂはホルダの側面図である。図８Ａに示すように、ホルダ１３は、板状の接地部１４と、接地部１４の略中央に設けられた中央筒１６とを有して構成される。
【００７９】
図４、図５、図６及び図７に示すように各梱包体１０では、ホルダ１３の接地部１４の上端部及び下端部が、最も上下に突出した状態にある。したがって梱包体１０を地面等に置いたときに、どの向きに置いても、被覆体１１で覆われたロール体７部分が地面等に接触することがない。
【００８０】
接地部１４の形状は限定されない。図８Ａに示す正方形以外に、矩形状であっても円形であってもよい。
【００８１】
ホルダ１３の材質としては軽量で衝撃を吸収できる素材で形成されることが好ましい。このような素材としては例えばポリプロピレン等が挙げられる。接地部１４と中央筒１６とを一体成形することができるが、別々に形成された接地部１４と中央筒１６とを接合することもできる。
【００８２】
図８Ａに示すように、ホルダ１３の強度を上げるために、接地部１４の表面に補強部１７を設けることが好ましい。補強部１７の形状は任意に設定することが可能であるが、特に衝撃が集中しやすい中央筒１６と接地部１４の境界を補強できるような構造、例えば中央筒１６から接地部１４の外周に延びるように補強部１７を付けるのが好ましい。図８Ａでは、補強部１７を、中央筒１６が設けられた側の接地部１４の表面に設けているが、その面とは反対側の面、すなわち梱包体１０の外側面となる面に配置してもよい。補強部１７として用いる材質には、一体成型可能という点から、ホルダ１３と同じものを用いることが好ましい。
【００８３】
また、ロール体７内部に異物が侵入するのを防ぐために、中央筒１６には穴が空いていないことが好ましい。
【００８４】
図９は、本発明における梱包体をケースに収納する際の模式図である。図９に示すように、本実施の形態の梱包体１０をケース２０に収納した状態で運搬することができる。梱包体１０をケースに収納した状態から梱包体１０を出しやすくするために、図８Ｂに示すように、ホルダ１３の外側面に指をひっかけることが可能な空隙２１を形成しておくことが好ましい。
【００８５】
本実施の形態によれば、ホルダ１３、緩衝材１２及び被覆体１１の位置関係は、緩衝材１２がホルダ１３よりロール体７側にあれば、他は任意に設定することができるが、ロール体７の防汚を考慮すると、図６に示すように、ロール体７に近い側から被覆体１１、緩衝材１２及びホルダ１３の順に配置されていることが好ましい。
【００８６】
本実施の形態の梱包体１０を収納するケース２０は、その安定性から直方体形状のものが好ましく、例えばダンボールを好適に用いることができる。１個のケース２０に入れるロール体７の個数は重量やケース２０の形状の安定性等より任意に設定することができる。
【００８７】
ケース２０の材質は任意に設定できるが、紙あるいはポリプロピレンのような樹脂を用いることが一般的である。ケース２０を紙製とした場合は、安価かつ軽量であり、衝撃が内容物に伝わりにくく、さらに海外へ納品する場合などケース２０の回収が困難な場合に使い捨てにできるので、このような観点から好適に用いることができる。一方、ケース２０を樹脂製とした場合は、丈夫かつ繰り返しの使用が可能であり発塵が少ないので、このような観点から好適に用いることができる。また、ケース２０は収納時の省スペース化の観点から、折り畳めるものであることが好ましい。
【００８８】
ケース２０内での内容物のガタツキを防ぐために、ケース２０内には梱包体１０を収納した状態で梱包体１０の周囲に空洞がないことが好ましい。特に、ロール体７の幅方向への振動は巻ずれを誘発しやすいので空洞を無くしてロール体７が振動しにくくすることが特に好ましい。ケース２０内の空洞を埋める際には市販の緩衝材などをスペーサーとして好適に用いることができる。
【００８９】
ケース２０には、上記した梱包体１０やスペーサー以外に梱包体１０を保護あるいは輸送状態をチェック可能な物品（装置等）を同梱してもよい。例えば、品質保持及び管理の観点から輸送中の温度変化、振動の状況、及び遮光の程度をトレースするために、種々の検出器を同梱することが好ましい。
【００９０】
積層体１が熱に弱い場合、特に夏場の輸送等で高温になると積層体１の性能に悪影響を及ぼす場合がある。このような影響を軽減するためには、保冷を行うことが好ましい。保冷に用いるものとしては、例えばドライアイス、水と高吸水性樹脂からなる保冷剤などが挙げられ、保冷温度、保冷時間、輸送方法による法規などを勘案して適宜選択することができる。また、ケース２０内の内容物が必要以上に低温になる、あるいは結露するという状況を防ぎたい場合は、ケース２０をさらに大きなケースに入れ、多重箱状態にしておいて、梱包体１０の入ったケース２０と、そのケース２０を入れたさらに大きなケースの間に保冷剤等を入れることが好ましい。保冷剤等を設置する場合は輸送時の振動等で保冷剤等が移動して梱包体１０を傷つけるのを避けるため、保冷剤等を固定するかケース２０内に設置スペースを設けて隔離することが好ましい。
【００９１】
積層体１が湿気を嫌う場合、乾燥剤を同梱する、若しくは、透湿度の低い被覆体１１を用いる、あるいはその両方を実施することが好ましい。乾燥剤としてはアルミナやシリカゲルなど一般的なものを用いることができるが、乾燥剤からの発塵を考慮すると被覆体１１の外側に配置することが好ましい。また、輸送時の振動等で乾燥剤が飛散するなどして積層体１に傷をつけることを避けるために、乾燥剤は粉末状の物なら通気性のある袋等に入れ、例えばケース２０の壁面等に固定することが好ましい。あるいは積層体を使用する前に、ドライルーム等低湿度環境下に一定時間静置してから使用することが好ましい。低湿度環境下は、相対湿度４０％ＲＨ以下が好ましく、３０％ＲＨ以下がさらに好ましく、２０％ＲＨ以下が特に好ましい。また低湿度環境下に静置する時間は４時間以上が好ましく、８時間以上がさらに好ましく、１６時間以上が特に好ましい。特に一度高湿化で保管、輸送された場合は低湿度で長時間静置することが好ましい。
【００９２】
透湿度の低い被覆体１１としては、前述のようにアルミ蒸着をしたポリオレフィンのような樹脂製袋を用いることが好ましい。透湿度の低い被覆体１１の素材としては、特に、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過度が１０ｇ／ｍ２・２４ｈ以下であることが好ましく、１ｇ／ｍ２・２４ｈ以下であることがさらに好ましく、０．１ｇ／ｍ２・２４ｈ以下であることが特に好ましい。透湿度の低い被覆体１１を用いる場合は、熱圧着等の方法で梱包体１０を密封することが好ましい。航空輸送等で密封した被覆体１１内の内圧の変化が予想される場合は、密封時に減圧状態にしておくことが好ましい。以下本実施の形態において、「ＲＨ」とは、相対湿度（Ｒｅｌａｔｉｖｅ  Ｈｕｍｉｄｉｔｙ）をいうものとする。
【００９３】
ケース２０を封止する場合、一般的な梱包用テープを用いることができる。この際、ケース２０の合わせ目をテープで塞ぐように貼り付けるとケース２０内部に進入する光を少なくできるので好ましい。また、梱包用の紐を用いることも有効である。紐の材質は紙あるいは樹脂であることが一般的である。テープ及び紐は単独で用いても併用してもよい。繰り返し使用することを想定しているプラスチックダンボールの場合、封止用の鍵状金具や面ファスナーを取り付けておくと、封止時に梱包材を必要とせず、開梱時に廃材も出ないので好ましい。
【００９４】
ケース２０を輸送する際に、ケース２０を持ちやすくするという観点と、ケース２０を輸送する者にケース２０の上下方向をわかりやすくするという観点から、ケース２０には持ち手が付けられていることが好ましい。持ち手の位置はケース２０側面が好ましく、持ち手の数は２か所以上で、ケース２０のサイズ、重量によって適宜決定するのがよい。
【００９５】
ロール中間体を製造所間で移送する場合にも、基本的には上記輸送形態を用いることが可能である。しかし、製造所間の移送に用いる場合、ケース２０を複数回利用することが環境保護の観点から好ましく、したがって丈夫な樹脂製ケース等を用いることが好ましい。
【００９６】
ここで本実施の形態でのロール中間体の具体例を示すと、基材層４上に硬化樹脂層５の原料である硬化樹脂を塗布した状態、微細凹凸構造を有する金型を硬化樹脂に押し当てその状態で硬化させて硬化樹脂層５とした状態、前記金型の付いた硬化樹脂層５より金型を外した状態、マスクパターン２の原料を硬化樹脂層５の凹凸内に充填し、マスクパターン２の原料を硬化させてマスクパターン２とした状態、及び、マスクパターン２上に感光性樹脂層３の原料である樹脂を塗布して乾燥させた状態が該当する。なお、保護層６を感光性樹脂層３上に貼合した状態では積層体１が完成した状態であり、それを巻回した状態はロール体を構成する。
【００９７】
本実施の形態では、ロール中間体を覆う被覆体１１と、ロール中間体のロール端面にあてがわれる緩衝材１２と、緩衝材１２の両側に配置されて、ロール中間体及び緩衝材１２を固定するホルダ（コアホルダ）１３とを有して各ロール中間体を用いた梱包体が構成され、また梱包体の製造が実施される。
【００９８】
図１０は、図１に示す積層体１を用いて、被処理体に微細パターンを形成するための方法を説明するための工程図である。
【００９９】
図１０Ａでは、積層体１の感光性樹脂層３の表面に被処理体３０を配置する。被処理体３０は、例えば、サファイア基板である。図１０Ａに示す多層積層体に対してエネルギー線を照射する。これにより感光性樹脂層３を硬化させて、感光性樹脂層３と被処理体３０との間を貼合する。
【０１００】
次に、図１０Ｂの工程では、基材層４を除去する。なお図１０Ｂは、図１０Ａを上下反転させた状態で基材層４を除去した図である。
【０１０１】
次に、マスクパターン２をマスクとして、感光性樹脂層３を、例えば酸素アッシングにより、図１０Ｃに示すようにパターニングする。これにより、感光性樹脂層３とマスクパターン２より構成されたパターン３１を得ることができる。さらに、パターニングされた感光性樹脂層３をマスクとして、被処理体３０に、例えば、反応性イオンエッチングを施して、図１０Ｄに示すように、被処理体３０の主面に微細パターン３２を形成することができる。そして、被処理体３０の主面に残った感光性樹脂層３を除去して、微細パターン３２を有する被処理体３０を得ることができる。
【０１０２】
図１１は、図２に示す積層体を用いて、被処理体に微細パターンを形成するための方法を説明するための工程図である。
【０１０３】
まず図２に示す保護層６を除去して、露出した感光性樹脂層３の表面に被処理体４０を配置し、感光性樹脂層３と被処理体４０とを図１０Ａに準じた方法で貼合する。続いて、基材層４及び硬化樹脂層５を除去する。その状態が図１１Ａに示されている。
【０１０４】
次に、マスクパターン２をマスクとして、感光性樹脂層３を、例えば酸素アッシングにより、図１１Ｂに示すようにパターニングする。これにより、感光性樹脂層３とマスクパターン２より構成されたパターン４１を得ることができる。パターン４１を高アスペクトで形成できる。さらに、パターニングされた感光性樹脂層３をマスクとして、被処理体４０に、例えば、反応性イオンエッチングを施して、図１１Ｃに示すように、被処理体４０の主面に微細パターン４２を形成することができる。そして、被処理体４０の主面に残った感光性樹脂層３を除去して、微細パターン４２を有する被処理体４０を得ることができる。
【０１０５】
本実施の形態によれば、積層体１をロール状に巻回したロール体７において、感光性樹脂層３の最小厚みｔに対するロール端面７ａの表面粗さＲの比（Ｒ／ｔ）を、５００よりも大きく、表面粗さＲを、７０ｍｍよりも小さい値に設定した。これにより積層体表面に掛かる圧力の分散を促進でき、マスクパターンの破壊等を抑制できる。この結果、ロール体７から積層体１を用いて被処理体に微細パターンを形成する際に、マスクパターン２に破壊等が生じておらず、また感光性樹脂層３の表面に不陸の発生を抑制でき、被処理体を適切に感光性樹脂層３に接合することができる。以上により、被処理体に対して高精度に微細パターンの形成を行うことが可能である。
【実施例】
【０１０６】
以下、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明するが、本発明はこの実施例により制限されるものではない。また、以下の実施例におけるロール体の製造、振動試験等は特に断らない限り、温度２０℃から３０℃、４０％ＲＨから６０％ＲＨの間で行われている。
【０１０７】
（実施例１）
幅２００ｍｍのＰＥＴフィルムＡ−４１００（基材層；東洋紡製）上に、アロニックス（登録商標、以下同じ）Ｍ３５０（アクリルモノマー；東亞合成製）とイルガキュア（登録商標、以下同じ）１８４（重合開始剤；ＢＡＳＦ製）の重量比１００：５の混合液を塗布した。
【０１０８】
続いて、微細凹凸形状を有するスタンパを押し当てて光を照射し、アロニックスＭ３５０を硬化させて微細凹凸部を有する硬化樹脂層を形成した。スタンパを除去した後に、チタンテトラブトキシド（金属アルコキシド；東京化成製）とイルガキュア１８４が重量比１００：５で混合された５０ｗｔ％プロピレングリコールモノメチルエーテル（Ｗａｋｏ製）溶液を微細凹凸部に充填して光を照射した。これにより硬化樹脂層中にマスクパターンを形成した。
【０１０９】
次に、ＳＲ８３３（アクリルモノマー；サートマー製）、イルガキュア１８４が重量比１００：２で混合された５０ｗｔ％メチルエチルケトン溶液（Ｗａｋｏ製）を塗布し、乾燥させて感光性樹脂層を形成した。さらに、その上にＰＥＴフィルムＡ−４１００を保護層として貼り付け、積層体を得た。積層体を一部取出して断面をＳＥＭ画像で確認したところ、感光性樹脂層の厚みは１００ｎｍであった。
【０１１０】
上記の積層体を、幅２００ｍｍ、径３インチのＡＢＳコアに巻き付け、φ（径）１５０ｍｍ及び幅２００ｍｍのロール体を得た。ロール端面の表面粗さＲは０．５ｍｍであった。以上により、比（Ｒ／ｔ）が５０００とされたロール体を以下の手順で梱包した。
【０１１１】
まず、黒色ポリエチレン製チューブ（被覆体；アイセロパック製）内にロール体を配置した。次に、白色ポリエチレン製チューブ（アイセロパック製）内に前記の黒色チューブとロール体を配置した。次に黒色チューブと白色チューブを併せて、ロール体のＡＢＳコア内に入れ込んだ。
【０１１２】
次に、チューブで覆ったロール体の両側に、低密度ポリエチレン（旭化成製）で作ったφ１８０ｍｍ、厚み５ｍｍのドーナツ型の緩衝材（巻ずれ防止材）をあてがった。さらにその外側からポリプロピレン製コアホルダ（三甲製）で固定し、梱包体を得た。
【０１１３】
ロール端面は、ＡＢＳコア近傍を除き、ドーナツ型の緩衝材（巻ずれ防止材）に覆われており、ロール端面の面積の９８％が緩衝材と接していた。
【０１１４】
最後に、紙ダンボールに梱包体を入れ、がたつき防止用としての緩衝材を梱包体の周りの空洞に入れて空洞を埋めた後、紙ダンボールの蓋を閉じ、紙ダンボールの各合わせ目を全てガムテープ（ニチバン製）で封止して梱包箱を得た。
【０１１５】
梱包箱に対して、ＪＩＳＺ０２３２：２００４の附属書Ａ表１に記載の条件に従って３０分間振動を加えたが、ロール体の巻ずれは増大しておらず、ロール端面の表面粗さＲは０．５ｍｍのままであった。また、ロール体を構成する積層体を貼合装置を用いて被処理体（加工対象）に貼合したが、不陸によるパターン破壊は発生せず、被処理体を所望の形状に問題なく加工できた。
【０１１６】
（実施例２）
幅５０ｍｍのＰＥＴフィルムを用いた以外は実施例１と同様の方法で作成した積層体を、幅５０ｍｍ、径３インチのＡＢＳコアに巻き付け、φ１５０ｍｍ、幅５０ｍｍのロール体を得た。ロール端面の表面粗さＲは０．３ｍｍであった。ロール端面は、ＡＢＳコア近傍を除き緩衝材に覆われており、ロール端面の面積の９８％が緩衝材と接していた。
【０１１７】
以上により比（Ｒ／ｔ）が３０００とされたロール体を実施例１と同じ手順で梱包した。そして梱包箱に対して、実施例１と同じ条件で振動を加えたが、ロール体の巻ずれは増大しておらず、ロール端面の表面粗さＲは０．３ｍｍのままであった。また、ロール体を構成する積層体を貼合装置を用いて被処理体（加工対象）に貼合したが、不陸によるパターン破壊は発生せず、被処理体を所望の形状に問題なく加工できた。
【０１１８】
（実施例３）
実施例１と同様の方法で作成した積層体を、幅２００ｍｍ、径３インチのＡＢＳコアに巻き付け、φ１５０ｍｍ、幅２００ｍｍのロール体を得た。ロール端面の表面粗さＲは０．６ｍｍであった。
【０１１９】
以上より比（Ｒ／ｔ）が６０００とされたロール体を、実施例１と同じ方法で梱包した。ただし、ドーナツ型の緩衝材の径をφ１２０ｍｍに変更した。またロール端面の面積の５２％が緩衝材と接していた。
【０１２０】
梱包箱に対して実施例１と同じ条件で振動を加えたところ、緩衝材の接していなかったロール体の外縁部に最大３０ｍｍ（最大高低差ＰＶ）の巻ずれが発生しており、ロール端面の表面粗さＲは８．０ｍｍまで増大した。このロール体を構成する積層体を貼合装置を用いて被処理体（加工対象）に貼合したが、不陸によるパターン破壊は発生せず、対象を所望の形状に加工できた。
【０１２１】
（実施例４）
感光性樹脂層の厚みを５０ｎｍとした以外は実施例１と同様の方法で作成した積層体を、幅２００ｍｍ、径３インチのＡＢＳコアに巻き付け、φ１５０ｍｍ、幅２００ｍｍのロール体を得た。積層体をコアに巻き付ける際にコアを搖動させることでロール端面の表面粗さＲを３０ｍｍにした。
【０１２２】
以上より比（Ｒ／ｔ）が６０００００とされたロール体を、実施例１と同じ方法で梱包した。その結果、ロール端面の面積の９８％が緩衝材と接していた。梱包箱に対して、実施例１と同じ条件で振動を加えたが、ロール体の巻ずれは増大しておらず、ロール端面の表面粗さＲは３０ｍｍのままであった。また、ロール体を構成する積層体を貼合装置を用いて被処理体（加工対象）に貼合したが、不陸によるパターン破壊は発生せず、被処理体を所望の形状に問題なく加工できた。
【０１２３】
（実施例５）
ロール体の径（φ）を３００ｍｍとした以外は実施例１と同様の方法で作成したロール体を得た。以上より比（Ｒ／ｔ）が５０００とされたロール体を、実施例１と同じ方法で梱包した。その結果、ロール端面の面積の９８％が緩衝材と接していた。梱包箱に対して、実施例１と同じ条件で振動を加えたが、ロール体の巻ずれは増大しておらず、ロール端面の表面粗さＲは０．５ｍｍのままであった。また、ロール体を構成する積層体を貼合装置を用いて被処理体（加工対象）に貼合したが、不陸によるパターン破壊は発生せず、被処理体を所望の形状に問題なく加工できた。
【０１２４】
（実施例６）
感光性樹脂層の厚みを１０００ｎｍとした以外は実施例１と同様の方法で作成した積層体を、幅２００ｍｍ、径３インチのＡＢＳコアに巻き付け、φ１５０ｍｍ、幅２００ｍｍのロール体を得た。積層体をコアに巻き付ける際にコアを搖動させることでロール端面の表面粗さＲを０．８ｍｍにした。
【０１２５】
以上より比（Ｒ／ｔ）が８００とされたロール体を、実施例１と同じ方法で梱包した。その結果、ロール端面の面積の９８％が緩衝材と接していた。梱包箱に対して、実施例１と同じ条件で振動を加えたが、ロール体の巻ずれは増大しておらず、ロール端面の表面粗さＲは０．８ｍｍのままであった。また、ロール体を構成する積層体を貼合装置を用いて被処理体（加工対象）に貼合したが、不陸によるパターン破壊は発生せず、被処理体を所望の形状に問題なく加工できた。
【０１２６】
（実施例７）
実施例１と同様の方法で作成したロール体を、以下の手順で梱包した。まず、アルミ蒸着したポリエチレン製袋（被覆体；アズワン製）内にロール体を配置した。次に、湿度４０％ＲＨの環境下で前記の被覆体の開口部を閉じ、熱圧着することで密閉した。
【０１２７】
次に、密閉したロール体の両側に、低密度ポリエチレン（旭化成製）で作ったφ１８０ｍｍ、厚み５ｍｍのドーナツ型の緩衝材（巻ずれ防止材）をあてがった。さらにその外側からポリプロピレン製コアホルダ（三甲製）で固定し、梱包体を得た。以上の方法で得た梱包体を保冷剤及びロギング可能な温湿度計とともにダンボールに封入した。
【０１２８】
次に、上記の梱包体入りダンボールを恒温恒湿槽に入れ、恒温恒湿槽を４０℃、９０％ＲＨに設定して７２時間放置した。放置後に温湿度計のログデータを確認したところ、ダンボール内の温度は概ね５℃から１５℃の間、湿度は４０％ＲＨに保たれていた。
【０１２９】
以上の処理を施したロール体を被覆体から取出し、ロール体を構成する積層体を貼合装置を用いて被処理体（加工対象）に貼合したが、不陸によるパターン破壊は発生せず、被処理体を所望の形状に問題なく加工できた。
【０１３０】
（比較例１）
実施例１と同様の方法で作成した積層体を、幅２００ｍｍ、径３インチのＡＢＳコアに巻き付け、φ１５０ｍｍ、幅２００ｍｍのロール体を得た。リワインダーの精度を上げることで、ロール端面の表面粗さＲは０．０５ｍｍ以下（計測不可）となった。
【０１３１】
以上により、比（Ｒ／ｔ）が５００とされたロール体を実施例１と同じ手順で梱包した。梱包箱に対して、実施例１と同じ条件で振動を加えたが、ロール体の巻ずれは増大しておらず、ロール端面の表面粗さＲは０．０５ｍｍ以下（計測不可）のままであった。また、ロール体を構成する積層体を貼合装置を用いて被処理体（加工対象）に貼合したが、不陸によるパターン破壊は発生しなかった。しかし、積層体の一部にパターン破壊が発生しており、その部分だけ加工の欠陥が発生した。
【０１３２】
（比較例２）
実施例１と同様の方法で作成した積層体を、幅２００ｍｍ、径３インチのＡＢＳコアに巻き付け、φ１５０ｍｍ、幅２００ｍｍのロール体を得た。ロール端面の表面粗さＲは０．５ｍｍであった。ロール端面は、面積の０％が緩衝材と接していた。
【０１３３】
以上により、比（Ｒ／ｔ）が５０００とされたロール体を、緩衝材（巻ずれ防止材）を用いずに、直接ロール体をコアホルダで固定した以外は実施例１と同じ手順で梱包した。梱包箱に対して、実施例１と同じ条件で振動を加えたところ、ロール体の巻ずれは増大して筍状となった。ロール端面の表面粗さＲが７０ｍｍとなっており、貼合装置の許容範囲を超えたため、被処理体（加工対象）への貼合を実施することができなかった。
【０１３４】
（比較例３）
実施例１と同様の方法で作成した積層体を、幅２００ｍｍ、径３インチのＡＢＳコアに巻き付け、φ１５０ｍｍ、幅２００ｍｍのロール体を得た。積層体をコアに巻き付ける際にコアを搖動させることでロール端面の表面粗さＲを１００ｍｍにした。
【０１３５】
以上により、比（Ｒ／ｔ）が１００００００とされたロール体を、実施例１と同じ手順で梱包した。梱包箱に対して、実施例１と同じ条件で振動を加えたところ、ロール体の巻ずれは増加も減少もしていなかったが、振動を加える前に既に、貼合装置の許容範囲を超えていたため、被処理体（加工対象）への貼合を実施することができなかった。
【０１３６】
以下、実施例１から実施例７、及び比較例１から比較例３の実験結果を表１に示す。
【０１３７】
【表１】
0006545540.tif 000002
【０１３８】
実施例においては、感光性樹脂層の最小厚みｔに対するロール端面の表面粗さＲの比（Ｒ／ｔ）が規定されることにより、振動によっても表面粗さＲが維持され、ロール体の巻ずれが抑制されていた。また、ロール体を被覆体で覆い、緩衝材及びコアホルダを用いて梱包することにより、高温、高湿度の環境下で長時間放置しても、ロール体を構成する積層体の貼合時に不陸によるパターン破壊は発生せず、ロール体の品質劣化が効果的に防止されていた。
【産業上の利用可能性】
【０１３９】
本発明によれば、パターン破壊が起きやすく、また巻ずれが発生しやすいナノメートルサイズの厚みを有する感光性樹脂層を含むマスクパターン付積層体の性能を損なうことなくロール状に形成でき、保管や輸送を行うことが可能となる。
【符号の説明】
【０１４０】
１  積層体
２  マスクパターン
３  感光性樹脂層
４  基材層
５  硬化樹脂層
６  保護層
７  ロール体
７ａ  ロール端面
７ｂ  ロール表面
８  コア
１０  梱包体
１１  被覆体
１２  緩衝材
１３  ホルダ
１４  接地部
１６  中央筒
１７  補強部
２０  ケース
３０、４０  被処理体
３１、４１  パターン
３２、４２  微細パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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