(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、複数のラインが並列状に配置され、各ラインは、流体制御機器として、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する出口側開閉弁を備えているとともに、出口側開閉弁を支持する継手部材として、いずれも上面に開口する入口通路および出口通路を有し各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手と、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路および上面に開口する複数の分岐通路を有し複数のラインにわたって設けられたブロック状複列用継手とを備えている流体制御装置において使用され、
上面が出口側開閉弁の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがって配置されるブロック状継手であって、
一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口し、前記複数のラインのいずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続された際に当該いずれかのラインを流れてきた流体を受け入れて出口通路を介して複列用継手へと流す分岐通路と、当該いずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続するために分岐通路に設けられた接続部とを有していることを特徴とする流体制御装置用継手。
【請求項２】
分岐通路は、ライン方向と平行な方向にのびている請求項１の流体制御装置用継手。
【請求項３】
分岐通路は、ライン方向と直交する方向にのびている請求項１の流体制御装置用継手。
【請求項４】
分岐通路として、ライン方向と平行な方向にのびている第１通路と、ライン方向と直交する方向にのびている第２通路とが設けられており、第１通路および第２通路の開口部にはそれぞれ雌ねじが設けられて、いずれか一方の通路が雌ねじにねじ合わされる雄ねじを有する閉鎖部材によって閉鎖されている請求項１の流体制御装置用継手。
【請求項５】
分岐通路は、出口通路の中程から出口通路に直交してライン方向にのびるライン方向通路部と、ライン方向通路部の端からライン方向に直交する方向にのびるライン直交方向通路部とを有している請求項１の流体制御装置用継手。
【請求項６】
出口通路に対し、分岐通路が直交する方向から接続されるとともに、出口通路が、上面開口から下面開口に向かう直線状に形成されている請求項１から５までのいずれかに記載の流体制御装置用継手。
【請求項７】
１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、複数のラインが並列状に配置され、各ラインは、流体制御機器として、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する出口側開閉弁を備えているとともに、出口側開閉弁を支持する継手部材として、いずれも上面に開口する入口通路および出口通路を有し各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手と、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路および上面に開口する複数の分岐通路を有し複数のラインにわたって設けられたブロック状複列用継手とを備えている流体制御装置において、
複数の流体制御機器の１つとしての出口側開閉弁として使用される流体制御装置用開閉弁であって、
いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する本体と、
入口通路と出口通路との連通を遮断開放するアクチュエータと、
上面が本体の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがって配置される通路ブロックとを備え、
通路ブロックは、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口し、前記複数のラインのいずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続された際に当該いずれかのラインを流れてきた流体を受け入れて出口通路を介して複列用継手へと流す分岐通路と、当該いずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続するために分岐通路に設けられた接続部とを有していることを特徴とする流体制御装置用開閉弁。
【請求項８】
分岐通路は、ライン方向と平行な方向にのびている請求項７の流体制御装置用開閉弁。
【請求項９】
分岐通路は、ライン方向と直交する方向にのびている請求項７の流体制御装置用開閉弁。
【請求項１０】
分岐通路として、ライン方向と平行な方向にのびている第１通路と、ライン方向と直交する方向にのびている第２通路とが設けられており、第１通路および第２通路の開口部にはそれぞれ雌ねじが設けられて、いずれか一方の通路が雌ねじにねじ合わされる雄ねじを有する閉鎖部材によって閉鎖されている請求項７の流体制御装置用開閉弁。
【請求項１１】
分岐通路は、出口通路の中程から出口通路に直交してライン方向にのびるライン方向通路部と、ライン方向通路部の端からライン方向に直交する方向にのびるライン直交方向通路部とを有している請求項７の流体制御装置用開閉弁。
【請求項１２】
出口通路に対し、分岐通路が直交する方向から接続されるとともに、出口通路が、上面開口から下面開口に向かう直線状に形成されている請求項７から１１までのいずれかに記載の流体制御装置用開閉弁。
【請求項１３】
１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、複数のラインが並列状に配置され、各ラインは、流体制御機器として、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する出口側開閉弁を備えているとともに、出口側開閉弁を支持する継手部材として、いずれも上面に開口する入口通路および出口通路を有し各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手と、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路および上面に開口する複数の分岐通路を有し複数のラインにわたって設けられたブロック状複列用継手とを備えている流体制御装置において、
複列用継手は、全てのラインよりも所定の数だけ少ないラインの出口側開閉弁の出口通路と分岐通路を介して接続されており、  
所定の数のラインにおいて、上面が出口側開閉弁の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがってブロック状継手が配置されており、
ブロック状継手は、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口し、前記複数のラインのいずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続された際に当該いずれかのラインを流れてきた流体を受け入れて出口通路を介して複列用継手へと流す分岐通路と、当該いずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続するために分岐通路に設けられた接続部とを有していることを特徴とする流体制御装置。
【請求項１４】
分岐通路は、ライン方向と平行な方向にのびている請求項１３の流体制御装置。
【請求項１５】
分岐通路は、ライン方向と直交する方向にのびている請求項１３の流体制御装置。
【請求項１６】
分岐通路として、ライン方向と平行な方向にのびている第１通路と、ライン方向と直交する方向にのびている第２通路とが設けられており、第１通路および第２通路の開口部にはそれぞれ雌ねじが設けられて、いずれか一方の通路が雌ねじにねじ合わされる雄ねじを有する閉鎖部材によって閉鎖されている請求項１３の流体制御装置。
【請求項１７】
分岐通路は、出口通路の中程から出口通路に直交してライン方向にのびるライン方向通路部と、ライン方向通路部の端からライン方向に直交する方向にのびるライン直交方向通路部とを有している請求項１３の流体制御装置。
【請求項１８】
出口通路に対し、分岐通路が直交する方向から接続されるとともに、出口通路が、上面開口から下面開口に向かう直線状に形成されている請求項１３から１７までのいずれかに記載の流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置に関し、特に、「集積化流体制御装置」と称されている流体制御装置での使用に適した流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置などで使用される流体制御装置においては、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数のブロック状継手部材とによって形成されており、複数のラインが、その入口および出口を同じ方向に向けて並列状に配置されることにより、パイプや管継手を介さずに流体制御装置を構成する集積化が進んでいる（特許文献１、特許文献２など）。
【０００３】
このような流体制御装置における出口側開閉弁支持構造(51)を図７に示す。
【０００４】
出口側開閉弁支持構造(51)は、各出口側開閉弁(7)を支持する継手部材(11)(12)として、各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手(11)と、複数のライン全てにまたがって設けられたブロック状複列用継手(12)とを備えている。
【０００５】
出口側開閉弁(7)は、いずれも下面に開口する入口通路(7a)および出口通路(7b)を有している。
【０００６】
単列用継手(11)は、いずれも上面に開口する入口通路(11a)および出口通路(11b)からなるＶ字状の通路(11a)(11b)を有している。出口通路(11b)は、出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)に連通している。入口通路(11a)は、図示省略するが、マスフローコントローラの出口通路に連通している。
【０００７】
複列用継手(12)は、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路(12a)および上面に開口する複数の分岐通路(12b)を有している。分岐通路(12b)は、ラインの数と同じだけ設けられており、流体取出し通路(12a)から上方にのびて出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)に連通している。
【０００８】
単列用継手(11)の出口通路(11b)と出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)とは、シール部(13)を介して突き合わされており、出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)と複列用継手(12)の分岐通路(12b)とも、シール部(13)を介して突き合わされている。シール部(13)は、各突き合わせ面に設けられた凹所同士が突き合わされることによって形成された環状の凹所(14)に環状のシール部材(15)が配置されることで形成されている。
【０００９】
このような流体制御装置では、全てのラインのうちの１または複数のラインが選択され、そのラインの手動弁および入口側開閉弁が開とされて、所要の流体が供給される。図７に示す出口側開閉弁支持構造(51)においては、出口側開閉弁(7)が開とされ、選択されたラインを流れた流体は、それぞれのラインの出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)から複列用継手(12)内の分岐通路(12b)を経て流体取出し通路(12a)に流入し、複列用継手(12)の端部に設けられた流体取出し部から外部へと取り出される。
【００１０】
こうして、この流体制御装置(1)によると、全てのラインのうちのどれを選択するかとこれに流す流体を適宜変更することで、マスフローコントローラ(6)において流量を調整された種々の流体を複列用継手(12)の流体取出し通路(12a)を通じて流体取出し部から取り出すことができる。
【００１１】
なお、特許文献２には、出口側開閉弁支持構造(51)に流体制御装置用継手を追加することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００２−３４９７９７号公報
【特許文献２】特開２０１５−１０６２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上記特許文献１の流体制御装置において、ラインを増設する場合、複数のライン全てにまたがって設けられたブロック状複列用継手(12)を変更する（例えば３ライン用のものを４ライン用に変更する）ことが必要となり、そのためには、既設のラインを変更前のブロック状複列用継手(12)から取り外して、変更後のブロック状複列用継手(12)に既設ラインおよび増設ラインを取り付けることが必要となり、ライン増設の手間が大きいという問題があった。
【００１４】
上記特許文献２の流体制御装置においても、この問題は解消していない。
【００１５】
この発明の目的は、ライン増設時における手間を減少させることができる流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
この発明による流体制御装置用継手は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、複数のラインが並列状に配置され、各ラインは、流体制御機器として、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する出口側開閉弁を備えているとともに、出口側開閉弁を支持する継手部材として、いずれも上面に開口する入口通路および出口通路を有し各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手と、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路および上面に開口する複数の分岐通路を有し複数のラインにわたって設けられたブロック状複列用継手とを備えている流体制御装置において使用され、上面が出口側開閉弁の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがって配置されるブロック状継手であって、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口し、前記複数のラインのいずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続された際に当該いずれかのラインを流れてきた流体を受け入れて出口通路を介して複列用継手へと流す分岐通路と、当該いずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続するために分岐通路に設けられた接続部とを有していることを特徴とするものである。
【００１７】
複数のラインからなる既設の流体制御装置において、ラインを増設する場合、既設の流体制御装置における１つのラインにおける出口側開閉弁支持構造に、この発明の流体制御装置用継手が追加される。
【００１８】
この発明の流体制御装置用継手が追加されたラインでは、従来と同じ出口通路に加えて、分岐通路が設けられることになり、増設ラインを流れてきた流体をこの分岐通路が受け入れ、ブロック状複列用継手へと流すことができる。こうして、この発明の流体制御装置用継手が追加されることで、複列用継手をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインの増設をすることができる。
【００１９】
この発明による流体制御装置用開閉弁は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、複数のラインが並列状に配置され、各ラインは、流体制御機器として、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する出口側開閉弁を備えているとともに、出口側開閉弁を支持する継手部材として、いずれも上面に開口する入口通路および出口通路を有し各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手と、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路および上面に開口する複数の分岐通路を有し複数のラインにわたって設けられたブロック状複列用継手とを備えている流体制御装置において、複数の流体制御機器の１つとしての出口側開閉弁として使用される流体制御装置用開閉弁であって、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する本体と、入口通路と出口通路との連通を遮断開放するアクチュエータと、上面が本体の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがって配置される通路ブロックとを備え、通路ブロックは、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口し、前記複数のラインのいずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続された際に当該いずれかのラインを流れてきた流体を受け入れて出口通路を介して複列用継手へと流す分岐通路と、当該いずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続するために分岐通路に設けられた接続部とを有していることを特徴とするものである。
【００２０】
複数のラインからなる既設の流体制御装置において、ラインを増設する場合、既設の流体制御装置における１つのラインにおける出口側開閉弁がこの発明の流体制御装置用開閉弁とされる。
【００２１】
この発明の流体制御装置用開閉弁が使用されているラインでは、従来と同じ出口通路に加えて、分岐通路が設けられることになり、増設ラインを流れてきた流体をこの分岐通路が受け入れ、ブロック状複列用継手へと流すことができる。こうして、この発明の流体制御装置用開閉弁が使用されることで、複列用継手をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインを増設した流体制御装置を得ることができる。
【００２２】
この発明による流体制御装置は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、複数のラインが並列状に配置され、各ラインは、流体制御機器として、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する出口側開閉弁を備えているとともに、出口側開閉弁を支持する継手部材として、いずれも上面に開口する入口通路および出口通路を有し各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手と、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路および上面に開口する複数の分岐通路を有し複数のラインにわたって設けられたブロック状複列用継手とを備えている流体制御装置において、複列用継手は、全てのラインよりも所定の数だけ少ないラインの出口側開閉弁の出口通路と分岐通路を介して接続されており、 所定の数のラインにおいて、上面が出口側開閉弁の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがってブロック状継手が配置されており、ブロック状継手は、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口し、前記複数のラインのいずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続された際に当該いずれかのラインを流れてきた流体を受け入れて出口通路を介して複列用継手へと流す分岐通路と、当該いずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続するために分岐通路に設けられた接続部とを有していることを特徴とするものである。
【００２３】
この発明の流体制御装置は、複数のラインからなる既設の流体制御装置に増設ラインが例えば１つ追加されたものとされる。そして、既設の流体制御装置の１つのラインにブロック状継手が配置される。
【００２４】
ブロック状継手が配置されたラインでは、従来と同じ出口通路に加えて、分岐通路が設けられることになり、増設ラインを流れてきた流体をこの分岐通路が受け入れ、ブロック状複列用継手へと流すことができる。こうして、複列用継手をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインの増設をすることができる。
【００２５】
上記流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置において、分岐通路は、ライン方向と平行な方向にのびているようになされていてもよく、分岐通路は、ライン方向と直交する方向にのびているようになされてもよい。
【００２６】
また、上記流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置において、分岐通路として、ライン方向と平行な方向にのびている第１通路と、ライン方向と直交する方向にのびている第２通路とが設けられており、第１通路および第２通路の開口部にはそれぞれ雌ねじが設けられて、いずれか一方の通路が雌ねじにねじ合わされる雄ねじを有する閉鎖部材によって閉鎖されていることがある。
【００２７】
なお、この明細書において、上下は図１の上下をいうものとするが、この上下は便宜的なもので、この発明の流体制御装置は、水平および垂直のいずれでの使用も可能である。
【発明の効果】
【００２８】
この発明によると、上記のように、複列用継手をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインの増設をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、この発明による流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置の第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図２は、第１実施形態の一部を切り欠いた側面図である。
【図３】図３は、第１実施形態の流体制御装置用継手を示す一部を切り欠いた斜視図である。
【図４】図４は、第２実施形態の流体制御装置用継手を示す一部を切り欠いた斜視図である。
【図５】図５は、第３実施形態の流体制御装置用継手を示す一部を切り欠いた斜視図である。
【図６】図６は、この発明による流体制御装置を示す配管系統図である。
【図７】図７は、図２に対応する従来の流体制御装置を示す一部を切り欠いた側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００３１】
図６には、３つのライン(A)(B)(C)からなる増設前の流体制御装置(100)およびこれに１つのライン(D)が増設された増設後の流体制御装置(1)を示す。
【００３２】
増設前の流体制御装置(100)では、各ライン(A)(B)(C)が複列用継手(12)によって連通させられている。
【００３３】
増設後の流体制御装置(1)では、増設前の流体制御装置(100)の３つ目のライン(C)に、後述するこの発明のライン増設用継手（流体制御装置用継手）(21)(31)(41)が矢印で示す出口側開閉弁支持構造(10)部に追加されることで、３つ目のライン(C')が増設前とは異なる構成とされている。複列用継手(12)は、増設前の流体制御装置(100)で使用されているのと同じ複列用継手(12)が使用されている。
【００３４】
各ライン(A)(B)(C)(C')(D)は、それぞれ、流体制御機器として、入口側開閉弁(2)、プレッシャー・レギュレータ(3)、圧力表示器(4)、マスフローコントローラ用開閉弁(5)、マスフローコントローラ(6)および出口側開閉弁(7)を有している。
【００３５】
この流体制御装置(1)によると、全てのライン(A)(B)(C')(D)のうちのどれを選択するかとこれに流す流体を適宜変更することで、マスフローコントローラ(6)において流量を調整された種々の流体を複列用継手(12)の流体取出し通路(12a)を通して流体取出し部(9)から取り出すことができる。
【００３６】
増設後の流体制御装置(1)は、ライン増設用継手(21)(31)(41)を使用することで、増設前の流体制御装置(100)で使用されていた３つのライン(A)(B)(C)用の複列用継手(12)を流用した点に特徴がある。すなわち、従来であれば、ラインを増設して４つのラインとするには、複列用継手(12)を４つのラインに対応するものとして、既設の３つのライン(A)(B)(C)を一旦取り外した後、変更された複列用継手に接続していたのに対し、この発明による流体制御装置(1)は、既設の２つのライン(A)(B)および複列用継手(12)については、取り外すことなく、ラインの増設を可能としたものとなっている。
【００３７】
なお、図６では、簡素化のため、既設のライン(A)(B)(C)を３つとしているが、ラインの数がこれに限られないのはもちろんである。
【００３８】
図１および図２は、この発明の流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置の第１実施形態を示しており、図３は、これらのうちの流体制御装置用継手だけを示している。
【００３９】
この発明の流体制御装置は、図６に示した複数のライン(A)(B)(C')(D)を備えた増設後の流体制御装置(1)における出口側開閉弁支持構造の改良に係るもので、この発明の流体制御装置(1)における出口側開閉弁支持構造(10)は、各ラインごとに上段に配置されている流体制御機器の１つである出口側開閉弁(7)と、各ラインごとに下段に配置されている継手部材の１つである単列用継手(11)と、全てのラインにわたって配置されている継手部材である複列用継手(12)と、出口側開閉弁(7)と単列用継手(11)および複列用継手(12)との間に配置されたこの発明によるライン増設用（流体制御装置用）継手(21)とを備えている。
【００４０】
図１および図２に示す出口側開閉弁支持構造(10)は、既設ラインにおいて使用されていた図７に示す出口側開閉弁支持構造(51)に置き換えられるもので、例えば、図６に示した３つのライン(A)(B)(C)のうちの３つ目のライン(C)に適用される。他のライン(A)(B)では、図７に示す出口側開閉弁支持構造(51)が使用されている。出口側開閉弁(7)、単列用継手(11)および複列用継手(12)は、２つの出口側開閉弁支持構造(10)(51)で共通とされている。
【００４１】
出口側開閉弁(7)は、いずれも下面に開口する入口通路(7a)および出口通路(7b)が設けられた本体(7c)と、入口通路(7a)と出口通路(7b)との連通を遮断開放するアクチュエータ(7d)とを有している。単列用継手(11)は、いずれも上面に開口する入口通路(11a)および出口通路(11b)からなるＶ字状の通路(11a)(11b)を有している。単列用継手(11)の入口通路(11a)は、マスフローコントローラ(6)の出口通路に連通している。複列用継手(12)は、ライン(A)(B)(C')と直交する方向にのびる流体取出し通路(12a)および上面に開口する複数の分岐通路(12b)を有している。分岐通路(12b)は、既設ライン(A)(B)(C)の数と同じだけ設けられている。
【００４２】
ライン増設用継手(21)は、単列用継手(11)および複列用継手(12)と同様に、ブロック状のもので、ブロック状本体(22)と、本体(22)内に設けられた入口通路(23)、出口通路(24)および分岐通路(25)とを有している。
【００４３】
ブロック状本体(22)は、平面から見て、出口側開閉弁(7)の本体(7c)と同じ大きさであり、上面が出口側開閉弁(7)の下面に当接して、下面が単列用継手(11)と複列用継手(12)とにまたがって配置されている。
【００４４】
入口通路(23)は、上下方向にのびており、下端が本体(22)の下面に開口して単列用継手(11)の出口通路(11b)の上端に連通しており、上端が本体(22)の上面に開口して出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)の下端に連通している。
【００４５】
出口通路(24)は、上下方向にのびており、上端が上面に開口して出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)の下端に連通しており、下端が本体(22)の下面に開口して複列用継手(12)の分岐通路(12b)の上端に連通している。
【００４６】
分岐通路(25)は、出口通路(24)の上下の中程から出口通路(24)に直交する方向にのび、本体(22)のライン方向出口側の側面(22a)に開口している。分岐通路(25)の端面には、分岐通路(25)に連なってライン方向にのび外部との接続を可能とする円筒状接続部(26)が設けられている。
【００４７】
分岐通路(25)および接続部(26)が設けられていることにより、増設ラインを流れてきた流体を受け入れることができる。
【００４８】
単列用継手(11)の出口通路(11b)とライン増設用継手(21)の入口通路(23)との突き合わせ部およびライン増設用継手(21)の入口通路(23)と出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)との突き合わせ部には、シール部(13)が設けられている。出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)とライン増設用継手(21)の出口通路(24)との突き合わせ部およびライン増設用継手(21)の出口通路(24)と複列用継手(12)の分岐通路(12b)との突き合わせ部にも、シール部(13)が設けられている。シール部(13)は、各突き合わせ面に設けられた凹所同士が突き合わされることによって形成された環状の凹所(14)に環状のシール部材(15)が配置されることで形成されている。
【００４９】
図３に示すように、ライン増設用継手(21)の本体(22)には、出口側開閉弁(7)を単列用継手(11)および複列用継手(12)に取り付けるための雄ねじ部材(20)を挿通する貫通孔(27)が設けられており、ライン増設用継手(21)は、出口側開閉弁(7)を取り付けるための雄ねじ部材(20)によって対応する下段のブロック状継手部材である単列用継手(11)および複列用継手(12)に上方に取り出し可能に取り付けられる。
【００５０】
上記出口側開閉弁支持構造(10)によると、従来の出口側開閉弁支持構造(51)がこの出口側開閉弁支持構造(10)に置き換えられることで、図６において、ライン増設用継手(21)に設けられている分岐通路(25)および接続部(26)によって形成された増設ライン接続用流体取出し通路(10a)が既設の流体制御装置(100)に付加され、これと増設ライン(D)とを接続することができる。そして、増設されたライン(D)の出口側開閉弁(7)の出口通路がライン増設用継手(21)の分岐通路(25)に接続部(26)を介して接続された際には、増設されたライン(D)を流れてきた流体は、ライン増設用継手(21)の分岐通路(25)に流入して、ライン増設用継手(21)の出口通路(24)を経て複列用継手(12)の分岐通路(12b)へと流れていく。こうして、上記出口側開閉弁支持構造(10)によると、増設ライン(D)を流れてきた流体を受け入れることができ、これにより、ライン(D)の増設に際して、増設ライン接続用流体取出し通路が形成されている複列用継手、すなわち、４つのライン用の複列用継手を使用することなく、既設の複列用継手(12)を流用することができる。
【００５１】
図４は、この発明の流体制御装置用継手の第２実施形態を示している。同図に示すように、この実施形態のライン増設用（流体制御装置用）継手(31)は、単列用継手(11)および複列用継手(12)と同様に、ブロック状のもので、ブロック状本体(32)と、本体(32)内に設けられた入口通路(33)、出口通路(34)および分岐通路(35)とを有している。
【００５２】
ブロック状本体(32)は、上面が出口側開閉弁(7)の下面に当接して、下面が単列用継手(11)と複列用継手(12)とにまたがって配置される。
【００５３】
入口通路(33)は、上下方向にのびており、下端が本体(32)の下面に開口して単列用継手(11)の出口通路(11b)の上端に連通し、上端が本体(32)の上面に開口して出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)の下端に連通する。
【００５４】
出口通路(34)は、上下方向にのびており、上端が上面に開口して出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)の下端に連通し、下端が本体(32)の下面に開口して複列用継手(12)の分岐通路(12b)の上端に連通する。
【００５５】
分岐通路(35)は、出口通路(34)の上下の中程から出口通路(34)に直交してライン方向にのびるライン方向通路部(35a)と、ライン方向通路部(35a)の端からライン方向に直交する方向にのびて本体(32)のライン方向に平行な側面(32a)に開口しているライン直交方向通路部(35b)とを有している。分岐通路(35)のライン直交方向通路部(35b)の端面には、分岐通路(35)のライン直交方向通路部(35b)に連なってラインに直交する方向にのび外部との接続を可能とする円筒状接続部(36)が設けられている。
【００５６】
分岐通路(35)は、出口通路(34)の上下の中程から出口通路(34)に直交してライン方向通路部(35a)とはライン方向の逆方向にのびてライン方向に直交する側面(32b)に開口している補助通路(35c)をさらに有しており、補助通路(35c)の開口側は、他の部分よりも径が大きい大径部とされて、ここに、雌ねじ部(35d)が形成されている。雌ねじ部(35d)には、雄ねじ部が形成された閉鎖部材(37)がねじ込まれており、これにより、補助通路(35c)は閉鎖されている。
【００５７】
分岐通路(35)および接続部(36)が設けられていることにより、増設ライン(D)を流れてきた流体を受け入れることができる。
【００５８】
図５は、この発明の流体制御装置用継手の第３実施形態を示している。同図に示すように、この実施形態のライン増設用（流体制御装置用）継手(41)は、単列用継手(11)および複列用継手(12)と同様に、ブロック状のもので、ブロック状本体(42)と、本体(42)内に設けられた入口通路(43)、出口通路(44)および分岐通路(45)とを有している。
【００５９】
ブロック状本体(42)は、上面が出口側開閉弁(7)の下面に当接して、下面が単列用継手(11)と複列用継手(12)とにまたがって配置される。
【００６０】
入口通路(43)は、上下方向にのびており、下端が本体(42)の下面に開口して単列用継手(11)の出口通路(11b)の上端に連通し、上端が本体(42)の上面に開口して出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)の下端に連通する。
【００６１】
出口通路(44)は、上下方向にのびており、上端が上面に開口して出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)の下端に連通し、下端が本体(42)の下面に開口して複列用継手(12)の分岐通路(12b)の上端に連通する。
【００６２】
分岐通路(45)は、出口通路(44)の上下の中程から出口通路(44)に直交してライン方向にのびるライン方向通路部(45a)と、ライン方向通路部(45a)の端からライン方向に直交する方向にのびて本体(42)のライン方向に平行な側面(42a)に開口しているライン直交方向通路部(45b)とを有している。分岐通路(45)のライン直交方向通路部(45b)の開口側には、外部との接続を可能とする第１雌ねじ部(45c)が設けられている。
【００６３】
分岐通路(45)は、出口通路(44)の上下の中程から出口通路(44)に直交してライン方向通路部(45a)とはライン方向の逆方向にのびてライン方向に直交する側面(42b)に開口している補助通路(45d)をさらに有しており、補助通路(45d)の開口側は、他の部分よりも径が大きい大径部とされて、ここに、第２雌ねじ部(45e)が形成されている。第２雌ねじ部(45e)には、雄ねじ部が形成された閉鎖部材(46)がねじ込まれており、これにより、補助通路(45d)は閉鎖されている。
【００６４】
分岐通路(45)および第１雌ねじ部(45c)が設けられていることにより、増設ライン(D)を流れてきた流体を受け入れることができる。
【００６５】
閉鎖部材(46)は、これを第２雌ねじ部(45e)からねじ外して第１雌ねじ部(45c)にねじ込むことができる。これにより、補助通路(45d)の方を分岐通路として使用することができる。
【００６６】
すなわち、図５に示したライン増設用継手(41)は、分岐通路として、ライン方向と平行な方向にのびている補助通路＝第１通路(45d)と、ライン方向と直交する方向にのびているライン直交方向通路部＝第２通路(45b)とが設けられており、いずれか一方の通路が閉鎖部材(46)によって閉鎖されている継手となっている。
【００６７】
既存の流体制御装置(100)において、上記各実施形態のライン増設用継手(21)(31)(41)を使用してラインを増加する場合、既存の流体制御装置(100)から出口側開閉弁(7)を一旦上方に取り外し、既存の流体制御装置(100)で使用されている部品は全てそのまま使用して、このライン増設用継手(21)(31)(41)が追加され、このライン増設用継手(21)(31)(41)および一旦取り外された出口側開閉弁(7)が対応する単列用継手(11)および複列用継手(12)に雄ねじ部材によって取り付けられる。こうして、全てのラインにわたって配置されていることで、変更・交換に手間がかかる複列用継手(12)については、変更することなく、ラインを増設することができる。
【００６８】
なお、上記において、ライン増設用継手(21)(31)(41)が取り付けられた出口側開閉弁(7)をライン増設用通路ブロック(21)(31)(41)付きの出口側開閉弁(7)として扱うようにすることにより、出口側開閉弁をライン増設用通路ブロック(21)(31)(41)無しのものからライン増設用通路ブロック(21)(31)(41)付きのものに置き換えることによって、複列用継手(12)をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインの増設をすることができる。
【符号の説明】
【００６９】
(7)：出口側開閉弁（流体制御機器）
(7a)：入口通路
(7b)：出口通路
(7c)：本体
(7d)：アクチュエータ
(10)：出口側開閉弁支持構造（流体制御装置）
(11)：単列用継手（継手部材）
(11a)：入口通路
(11b)：出口通路
(12)：複列用継手（継手部材）
(12a)：流体取出し通路
(12b)：分岐通路
(21)(31)(41)：ライン増設用（流体制御装置用）継手
(23)(33)(43)：入口通路
(24)(34)(44)：出口通路
(25)(35)(45)：分岐通路
(45b)：ライン直交方向通路部（第２通路）
(45d)：補助通路（第１通路）
(45c)：第１雌ねじ部
(45e)：第２雌ねじ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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