(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦姿勢の矩形平板状の板材を着脱可能に支持する板材支持体において、
前記板材の周縁を囲繞する矩形枠状の基体と、
前記板材の下側の周縁の方向に並置されて前記基体に夫々突設されており、前記板材が載置される複数個の載置部と
を備え、
前記複数個の載置部は、前記板材の周縁下部における前記周縁の方向の中央部に対応する第１載置部と、前記板材の周縁下部における前記周縁の方向の両端部側に少なくとも１個ずつ対応する第２載置部とを含み、
前記第１載置部は、前記基体からの突出長さが前記複数個の載置部の中で最短であり、
前記第２載置部は、前記基体からの突出長さが一定であることを特徴とする板材支持体。
【請求項２】
前記複数個の載置部は、前記第１載置部と前記第２載置部との間に配されている第３載置部を更に含み、
該第３載置部は、前記基体からの突出長さが増減可能であることを特徴とする請求項１に記載の板材支持体。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の板材支持体が支持する板材を搬送する搬送装置であって、
前記板材支持体を着脱可能に保持する保持体と、
該保持体を移動させる移動部と
を備えることを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板材を支持する板材支持体及び搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置が備える液晶パネルは、矩形状のガラス基板を用いてなる。ガラス基板の一面側には、透光性を有する金属膜が形成されている。
ガラス基板に対する金属膜の形成は、成膜装置によって行なわれる（特許文献１参照）。
特許文献１に記載の成膜装置は、ガラス基板を縦姿勢で保持する基板ホルダー部と、基板ホルダー部が搭載されるキャリアとを備える。成膜装置は、チャンバの内部にてキャリアを移動させることによってガラス基板を所定経路に沿って搬送しつつ、ガラス基板の一面側に金属膜を形成する。【０００３】
特許文献１に記載の基板ホルダー部は、ガラス基板の周縁部を囲繞する枠体と、ガラス基板の下辺部が載置される複数個の載置部（文中「基板受け部」）とを備える。複数個の載置部は、ガラス基板の下辺部に沿う方向に並置されて、夫々枠体に突設されている。【０００４】
縦姿勢のガラス基板は、自重に起因する応力又は成膜中の熱膨張等によって、下方向へ凸状に変形しようとすることがある。仮に、各載置部の枠体からの突出長さが一定である場合、下方向へ変形しようとするガラス基板と、ガラス基板が載置されている載置部との間に大きな圧力が生じる。この結果、ガラス基板が割れてしまう虞がある。【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の載置部は弾性を有する。このため、ガラス基板の下方向への変形に伴い、載置部が下方向に弾性変形する。故に、ガラス基板と載置部との間に大きな圧力が生じることが抑制される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２６２５３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、弾性を有する載置部（以下、弾性載置部という）は、枠体からの突出長さが可変であるため、ガラス基板を枠体に対して位置決めすることが困難である。しかも、弾性載置部は、枠体からの突出長さが一定の載置部（以下、一定載置部という）に比べて構成が複雑である。
とはいえ、一定載置部には、構成が簡易であり、また、ガラス基板を枠体に対して容易に位置決めすることができるという利点がある一方、前述したようにガラス基板の割れを引き起こす虞があるという欠点がある。【０００８】
ところで、自重に起因する応力又は成膜中の熱膨張等によるガラス基板が変形しようとする力は、ガラス基板の下辺中央部におけるものが最も大きい。従って、一定載置部を用いた場合、ガラス基板と載置部との間に生じる圧力が最も大きくなる箇所は、１箇所（具体的にはガラス基板の下辺中央部と載置部との間）に集中する。【０００９】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、構成が簡易であり、また、板材を容易に位置決めすることができ、しかも板材の破損を抑制することができる板材支持体及び搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る板材支持体は、縦姿勢の板材を着脱可能に支持する板材支持体において、前記板材の周縁方向に沿って配される基体と、前記周縁方向に並置されて前記基体に夫々突設されており、前記板材の周縁下部が載置される複数個の載置部とを備え、前記載置部の内、前記板材の周縁下部における前記周縁方向の中央部に対応する第１載置部は、前記基体からの突出長さが最短であり、前記板材の周縁下部における前記周縁方向の両端部側に少なくとも１個ずつ対応する第２載置部は、前記基体からの突出長さが一定であることを特徴とする。【００１１】
本発明に係る板材支持体は、前記載置部の内、前記第１載置部と第２載置部との間に配されている第３載置部は、前記基体からの突出長さが増減可能であることを特徴とする。【００１２】
本発明に係る搬送装置は、本発明に係る板材支持体が支持する板材を搬送する搬送装置であって、前記板材支持体を着脱可能に保持する保持体と、該保持体を移動させる移動部とを備えることを特徴とする。【００１３】
本発明にあっては、板材支持体において、縦姿勢の板材の周縁下部が、第１載置部及び第２載置部を含む複数個の載置部に載置される。
第１載置部は、板材の周縁下部における板材の周縁方向の中央部（以下、板材の周縁下部の中央部という）に対応する。第１載置部の基体からの突出長さは最短である。即ち、第２載置部の基体からの突出長さは第１載置部より長い。
第２載置部は、板材の周縁下部における板材の周縁方向の一端部側又は他端部側に対応する。第２載置部は一定載置部であり、基体に突設されている。故に、第２載置部に載置されることによって、板材は基体に対して容易に位置決めされる。【００１４】
第１載置部及び第２載置部は、板材の周縁方向の一端部側から他端部側へ向かう方向に沿って、第２載置部、第１載置部、及び第２載置部の順に並置されている。
このため、板材が下方向に凸状に変形しようとした場合であっても、板材の周縁下部の中央部と第１載置部との間に大きな圧力が生じ難い。何故ならば、板材の変形量が小さい場合には、板材は少なくとも２個の第２載置部に接触して第１載置部には接触しないからである。また、板材の変形量が大きい場合には、少なくとも２個の第２載置部に強く接触して第１載置部には軽くしか接触しないからである。【００１５】
板材の変形量の大小を問わず、板材と載置部との間に生じる圧力が最も大きくなる箇所は、１箇所（具体的には、板材の周縁下部の中央部と１個の第１載置部、又は隣り合う複数個の第１載置部との間）に集中せず、２箇所（具体的には、板材の周縁下部の中央部よりも板材の周縁方向の両側と、第１載置部を介在して離隔配置された少なくとも２個の第２載置部との間）に分散する。故に、板材と第２載置部夫々との間にも大きな圧力は生じ難い。
以上の結果、板材の破損が抑制される。【００１６】
このような板材支持体を保持し移動させることによって、搬送装置は、搬送装置自身の構成を従来のものから大幅に変更せずとも、板材を破損させることなく搬送することが可能である。【００１７】
本発明にあっては、第３載置部が、第１載置部と第２載置部との間に配されている。第２載置部は、板材の周縁方向の一端部側及び他端部側夫々に対応して少なくとも１個ずつ配されるため、第３載置部の個数は少なくとも２個である。つまり、第１載置部、第２載置部、及び第３載置部は、板材の周縁方向の一端部側から他端部側へ向かう方向に沿って、第２載置部、第３載置部、第１載置部、第３載置部、及び第２載置部の順に並置されている。また、第３載置部は、基体からの突出長さが増減可能である。【００１８】
第３載置部の基体からの突出長さは、板材の変形量に応じて、第１載置部の基体からの突出長さと第２載置部の基体からの突出長さとの中間に調節してあればよい。すると、板材が下方向に凸状に変形しようとした場合であっても、板材の周縁下部の中央部と第１載置部との間に大きな圧力が生じ難い。何故ならば、板材の変形量が小さい場合には、板材は第２載置部及び第３載置部に接触して第１載置部には接触しないからである。また、板材の変形量が大きい場合には、第２載置部及び第３載置部に強く接触して第１載置部には軽くしか接触しないからである。【００１９】
板材の変形量の大小を問わず、板材と載置部との間に生じる圧力が最も大きくなる箇所は、１箇所に集中せず、２箇所（具体的には、板材の周縁下部の中央部よりも板材の周縁方向の両側と、第１載置部を介在して離隔配置された少なくとも計４個の第２載置部及び第３載置部との間）に分散する。故に、板材と第２載置部夫々との間に生じる圧力を、第３載置部を備えていない場合よりも小さくすることができる。無論、板材と第３載置部夫々との間にも大きな圧力は生じ難い。
以上の結果、板材の破損が更に抑制される。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の板材支持体及び搬送装置による場合、基体からの突出長さが異なる２種類の載置部が適切に配されている。しかも、２種類の載置部の内、突出長さが長い方は一定載置部である。
以上の結果、板材支持体及び搬送装置は、全ての載置部が弾性載置部である場合に比べて、構成が簡易であり、しかも、板材を容易に位置決めすることができる。更に、板材の破損を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施の形態１に係る板材支持体及び搬送装置の構成を略示する縦断面図である。
【図２】板材支持体及び搬送装置の構成を略示する側面図である。
【図３】板材支持体が備える第１載置部の外観を示す斜視図である。
【図４】板材支持体が備える載置部に板材が載置されている状態を模式的に示す側面図である。
【図５】従来の板材支持体が備える載置部に板材が載置されている状態を模式的に示す側面図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係る板材支持体が備える載置部に板材が載置されている状態を模式的に示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明を、その実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。以下の説明では、図において矢符で示す上下、前後、及び左右を使用する。
【００２３】
実施の形態  １．
図１は、本発明の実施の形態１に係る板材支持体１及び搬送装置４の構成を略示する縦断面図であり、図２は側面図である。
まず、板材２について説明する。
板材２は矩形平板状になしてある。板材２は、例えばガラス基板のような脆い部材である。本実施の形態では、板材２の一面側に、後述する成膜装置によって金属膜が形成される。なお、板材２はガラスを用いてなるものに限定されない。図２中の板材２は正方形状であるが、長方形状でもよい。
【００２４】
板材２は、前後方向に沿う縦姿勢で板材支持体１に支持される。以下では、板材２の周縁４辺部を、上辺部２ａ、下辺部（周縁下部）２ｂ、前辺部２ｃ、及び後辺部２ｄという。
縦姿勢に配された板材２は、自重に起因する撓み、又は熱膨張等によって、特に前後方向中央部が下方向へ凸状に変形し得る。
【００２５】
次に、板材支持体１について説明する。
板材支持体１は、従来の載置部に替えて後述する載置部３，３，…を備えていることを除けば、従来の板材支持体と同様の構成であってもよい。
本実施の形態の板材支持体１は、前後方向に沿う縦姿勢の板材２を、着脱可能に支持する。このために、板材支持体１は、基体１１、複数個の支持部材１２，１２，…、及び複数個の載置部３，３，…を備えている。
【００２６】
基体１１は、板材２の周縁４辺部を囲繞する矩形枠状をなしている。基体１１は、板材２の上辺部２ａ、下辺部２ｂ、前辺部２ｃ、及び後辺部２ｄに沿うべき各Ｌ字棒状の上枠部１１１、下枠部１１２、前枠部１１３、及び後枠部１１４を一体的に有する。
上枠部１１１及び下枠部１１２夫々は横姿勢に配されている。上枠部１１１と下枠部１１２とは上下対称形状である。前枠部１１３及び後枠部１１４夫々は縦姿勢に配されている。前枠部１１３と後枠部１１４とは前後対称形状である。
【００２７】
下枠部１１２は、Ｌ字の一側に相当する左板部１１ａと、Ｌ字の他側に相当する下枠本体１１ｂとを一体に有している。左板部１１ａは縦姿勢の平板状になしてある。下枠本体１１ｂは、左板部１１ａの下端部から後ろ方向へ突出する。
同様に、上枠部１１１（前枠部１１３又は後枠部１１４）は、Ｌ字の一側に相当する左板部１１ａと、Ｌ字の他側に相当する上枠本体１１ｃ（前枠本体１１ｄ又は後枠本体１１ｅ）とを一体に有している。上枠本体１１ｃ（前枠本体１１ｄ又は後枠本体１１ｅ）は、左板部１１ａの上端部（前端部又は後端部）から後ろ方向へ突出する。
【００２８】
下枠部１１２の下枠本体１１ｂの上部は、複数個の載置部３，３，…が上向きに突設されている。載置部３，３，…は、前後方向（即ち、板材２の下辺部２ｂの周縁方向）に並置されている。
以下では、載置部３，３，…の内のＭ個を第１載置部３１，３１という。ただし、Ｍは所定の自然数である。図２ではＭ＝２の場合を例示している。
第１載置部３１，３１は、板材２の下辺部２ｂにおける前後方向中央部（即ち板材２の下辺部２ｂの中央部）に対応すべく、下枠部１１２の前後方向中央部に隣り合って配されている。
【００２９】
また、以下では、第１載置部３１，３１以外の載置部３，３，…を、第２載置部３２，３２，…という。第２載置部３２，３２，…は、板材２の下辺部２ｂにおける前後方向両端部側に少なくとも１個ずつ対応すべく、下枠部１１２の前端部側及び後端部側夫々にＮ個ずつ配される。ただし、ＮはＮ≧２の所定の自然数である。図２ではＮ＝３の場合を例示している。
つまり、Ｎ個の第２載置部３２，３２，…、２個の第１載置部３１，３１、及びＮ個の第２載置部３２，３２，…が、前側から後ろ側へこの順に並置されている。
【００３０】
図３は、第１載置部３１の外観を示す斜視図である。
ここで、図１〜図３を参照しつつ第１載置部３１について詳述する。
各第１載置部３１は、下枠部１１２の下枠本体１１ｂからの突出長さが所定の突出長さＡ１である。即ち、第１載置部３１は、基体１１からの突出長さが一定の一定載置部である。
第１載置部３１は、載置基部３１１及び接触板部３００を一体的に有する。
【００３１】
載置基部３１１は、長手方向が前後方向に沿う横姿勢の直方体状をなしている。接触板部３００は載置基部３１１の上面に突設されている。接触板部３００は矩形平板状であり、接触板部３００の左面と載置基部３１１の左面とが面一になるよう配されている。
【００３２】
第１載置部３１は、載置基部３１１の下面が下枠部１１２の下枠本体１１ｂに接触し、載置基部３１１の左面と接触板部３００の左面とが下枠部１１２の左板部１１ａに接触するようにして、下枠部１１２に取り付けられている。つまり、第１載置部３１は、下枠部１１２の左板部１１ａと下枠本体１１ｂとからなる角部の内側に配されている。
載置基部３１１の下面から接触板部３００の上端面までの縦長さ（上下方向の長さ）は、下枠部１１２における下枠本体１１ｂからの左板部１１ａの突出長さより短い。
本実施の形態では、載置基部３１１の下面から上面までの縦長さが突出長さＡ１である。
【００３３】
次に、図１及び図２を参照しつつ第２載置部３２について詳述する。
各第２載置部３２は、下枠部１１２の下枠本体１１ｂからの突出長さが所定の突出長さＡ２である。即ち、第２載置部３２は、基体１１からの突出長さが一定の一定載置部である。
第２載置部３２は、載置基部３２１及び接触板部３００を一体的に有する。
第２載置部３２の接触板部３００は、第１載置部３１の接触板部３００に対応する。
第２載置部３２の載置基部３２１は、第１載置部３１の載置基部３１１と略同様の形状である。ただし、載置基部３２１の下面から上面までの縦長さは突出長さＡ２である。そして、突出長さＡ２は、突出長さＡ１よりも長い。換言すれば、載置部３，３，…の内、第１載置部３１の基体１１からの突出長さＡ１は最短である。
【００３４】
次に、支持部材１２について詳述する。
本実施の形態における各支持部材１２の構成は、第２載置部３２の構成と同じである。つまり、支持部材１２は、第２載置部３２の載置基部３２１及び接触板部３００に相当する支持基部及び接触板部を一体的に有する。
ただし、支持部材１２，１２，…は、上枠部１１１、前枠部１１３、及び後枠部１１４夫々に突設されている。このとき、支持部材１２，１２，…は、上枠部１１１（前枠部１１３又は後枠部１１４）の左板部１１ａと上枠本体１１ｃ（前枠本体１１ｄ又は後枠本体１１ｅ）とからなる角部の内側に配されている。
【００３５】
上枠部１１１の上枠本体１１ｃには、複数個の支持部材１２，１２，…が下向きに突設されている。上枠部１１１における支持部材１２，１２，…は、前後方向に並置されている。
前枠部１１３の前枠本体１１ｄ（又は後枠部１１４の後枠本体１１ｅ）には、複数個の支持部材１２，１２，…が後ろ向きに（又は前向きに）に突設されている。前枠部１１３（又は後枠部１１４）における支持部材１２，１２，…は、上下方向に並置されている。
なお、支持部材１２の構成は、第１載置部３１の構成と同じでも良く、載置部３の構成とは異なっていてもよい。
【００３６】
次に、板材支持体１に対する板材２の取り付けについて説明する。
板材２は、上側の支持部材１２，１２，…、下側の載置部３，３，…、及び前後両側の支持部材１２，１２，…に囲繞された空間に、基体１１の右側から嵌め込まれる。
【００３７】
このとき、板材２の左面は、各支持部材１２の接触板部と、各載置部３の接触板部３００とに接触配置される。
また、板材２の上端面、前端面、及び左端面は、上側の支持部材１２，１２，…及び前後両側の支持部材１２，１２，…夫々の支持凸部に接触する。つまり、板材２の上辺部２ａ、前辺部２ｃ、及び後辺部２ｄは、上側の支持部材１２，１２，…及び前後両側の支持部材１２，１２，…によって支持される。
更に、板材２の下端面は、各第２載置部３２の載置基部３２１に接触する。つまり、板材２の下辺部２ｂは、載置部３，３，…（更に詳細には第２載置部３２，３２，…）に載置される。
【００３８】
以上の結果、板材２は、上側の支持部材１２，１２，…と載置部３，３，…との間で挟持され、基体１１に対して上下方向に位置決めされる。且つ、板材２は、前後両側の支持部材１２，１２，…間で挟持され、基体１１に対して前後方向に位置決めされる。
更に、板材２は、基体１１に着脱可能に取り付けられる図示しない板押さえによって、右側から左側に押し付けられる。この結果、板材は、支持部材１２，１２，…夫々の接触板部及び載置部３，３，…の接触板部３００，３００，…と板抑えとの間で挟持され、基体１１に対して左右方向に位置決めされる。
板押さえを外せば、支持部材１２，１２，…及び載置部３，３，…から（即ち板材支持体１から）板材２を取り外すことは容易である。
【００３９】
次に、板材支持体１の作用効果について説明する。
図４は、載置部３，３，…に板材２が載置されている状態を模式的に示す側面図である。図４では、各接触板部３００の図示を省略してある。
図５は、従来の板材支持体が備える載置部３００，３００，…に板材が載置されている状態を模式的に示す側面図である。
まず、板材支持体１と従来の板材支持体との差異について説明する。
従来の板材支持体の構成は、板材支持体１の構成と略同一である。ただし、従来の板材支持体が備える複数個の載置部３００，３００，…は、何れも、板材支持体１の第２載置部３２と同一の構成を有する一定載置部である。
【００４０】
板材支持体１に支持されている場合であっても、従来の板材支持体に支持されている場合であっても、板材２は、下方向へ凸状に変形しようとする。板材２が変形しようとする力は、板材２の下辺部２ｂの中央部におけるものが最も大きい。
ところで、板材２の自重に起因する撓み、又は熱膨張等による板材２の変形量は、板材２の縦長さ及び横長さ夫々に比べて微小である。また、板材２は、上側の支持部材１２，１２，…と下側の第２載置部３２，３２，…（又は載置部３００，３００，…）との間で挟持されるため、実際の板材２の下辺部２ｂは、第２載置部３２，３２，…（又は載置部３００，３００，…）から上方向に大きく離隔することはない。とはいえ、図４及び図５では、板材２の状態がわかりやすいように板材２の形状が大仰に表現されている。
【００４１】
図５に示すように、従来の板材支持体に支持されている板材２の場合、下方向へ変形しようとする板材２と、載置部３００，３００，…との間に圧力が生じる。このとき、板材２及び載置部３００，３００，…間の圧力が最も大きくなる箇所は、板材２の下辺部２ｂの中央部と、基体１１の前後方向中央部にて隣り合う２個の載置部３００，３００との間である。
即ち、従来の板材支持体においては、板材２及び載置部３００，３００，…間の圧力が最も大きくなる箇所が１箇所に集中する。この結果、板材２が破損する虞がある。
【００４２】
一方、図４に示すように、板材支持体１に支持されている板材２の場合であっても、下方向へ変形しようとする板材２と、載置部３，３，…との間に圧力が生じる。ただし、このとき、板材２の下辺部２ｂの中央部と、基体１１の前後方向中央部にて隣り合う２個の第１載置部３１，３１との間で大きな圧力が生じることは抑制される。
【００４３】
何故ならば、各第１載置部３１に係る突出長さＡ１は、各第２載置部３２に係る突出長さＡ２よりも短いからである。このため、板材２の変形量が比較的小さければ（図４参照）、板材２は第１載置部３１，３１に接触せず、第１載置部３１，３１の前後両側に各１個位置する第２載置部３２，３２に接触するからである。或いは、板材２の変形量が比較的大きければ（不図示）、板材２は第１載置部３１，３１に軽く接触し、第１載置部３１，３１の前後両側に各１個位置する第２載置部３２，３２に強く接触するからである。
即ち、板材支持体１においては、板材２及び載置部３，３，…間の圧力が最も大きくなる箇所が２箇所に分散する。この結果、板材２の破損が抑制される。
【００４４】
次に、図１及び図２を参照しつつ、搬送装置４について説明する。
搬送装置４は、従来の板材支持体に替えて板材支持体１が用いられることを除けば、従来の搬送装置と同様の構成であってもよい。
本実施の形態の搬送装置４は、板材支持体１によって支持されている板材２を、板材２の図示しない搬送路に沿って、前方向へ搬送する。このために、搬送装置４は、保持体４１及び移動部４２を備えている。
保持体４１は、１個の板材支持体１、又は前後方向に複数個並置された板材支持体１，１，…夫々を、着脱可能に保持する。板材支持体１は、保持体４１の上部に搭載される。
移動部４２は、直線歯車４１１、及び複数個の円形歯車４１２，４１２，…（図１及び図２夫々に１個図示）等を備えている。
【００４５】
直線歯車４１１は、保持体４１の下部にて前後方向に沿い、下向きに突設されている。直線歯車４１１は、複数個の円形歯車４１２，４１２，…の少なくとも１個に噛合する。
複数個の円形歯車４１２，４１２，…は、回転軸が左右方向に沿う縦姿勢で、前後方向に並置されている。各円形歯車４１２は、外歯の平歯車である。円形歯車４１２は、図示しないベルト又はチェーン等を介して、図示しないモータが出力する回転運動を伝達されることによって、一方向に回転（図２中、前転）する。
【００４６】
更に、移動部４２は、前後方向に沿う案内レール、及び、案内レールに案内されつつ走行するローラ等（各不図示）を備えている。案内レールは、板材２の搬送路に沿って敷設される。ローラは、保持体４１にて回転可能に支持される。
直線歯車４１１と円形歯車４１２との噛合によって、円形歯車４１２の回転は、直線歯車４１１の直進（前進）に変換される。直線歯車４１１が直進すると、保持体４１が前方向へ移動する。このとき、保持体４１は、ローラを介して案内レールに安定して支持されつつ移動する。この結果、板材支持体１によって支持されている板材２が前方向へ搬送される。
【００４７】
以上のような搬送装置４は、図示しない成膜装置に組み込まれている。成膜装置は、板材交換室、Ｌ（ロードロック）室、加熱室、及び成膜室を備える。成膜前の板材２は、板材交換室、Ｌ室、加熱室、及び成膜室の順に搬送され、成膜後の板材２は、成膜室、加熱室、Ｌ室、及び板材交換室の順に搬送される。
板材交換室では、成膜後の板材２が板材支持体１から取り外され、成膜前の板材２が板材支持体１に取り付けられる。
Ｌ室の内部は、板材２の加熱室への搬入に伴い、大気状態から真空状態へ移行し、板材２の板材交換室への搬出に伴い、真空状態から大気状態へ移行する。
加熱室を経て成膜室に至った板材２は、一面側に金属膜を形成される。
【００４８】
従来の板材支持体を用いた場合、特に板材２をＬ室から板材交換室へ搬送する過程で、板材２に破損が生じ易い。実際に、従来の板材支持体を用いて複数枚の板材２，２，…に対する成膜処理を行なった場合、成膜処理を行なった枚数に対する破損した枚数の割合（即ち破損率）は、0.036%であった。
しかしながら、板材支持体１を用いた場合には、板材２に破損が生じることが抑制される。実際に、板材支持体１を用いて複数枚の板材２，２，…に対する成膜処理を行なった場合、破損率は0.011%であった。
しかも、板材２は支持部材１２，１２，…及び載置部３，３，…によって位置決めされるため、成膜装置による成膜精度が向上する。
【００４９】
なお、本発明の実施の形態における第１載置部同士（又は第２載置部同士）は、本実施の形態の第１載置部３１，３１同士（又は第２載置部３２，３２，…同士）のように同寸法同形状である構成に限定されない。また、第２載置部の個数は、第１載置部の両側に同数の複数個ずつの構成に限定されず、１個ずつ、又は１個（少数個）と複数個（多数個）との組み合わせであってもよい。更に、載置部３，３，…の形状は、本実施の形態の形状に限定されるものではない。
【００５０】
実施の形態  ２．
図６は、本発明の実施の形態２に係る板材支持体１が備える載置部３，３，…に板材２が載置されている状態を模式的に示す側面図である。図６は、実施の形態１の図４に対応する。
本実施の形態の板材支持体１及び搬送装置４は、実施の形態１の板材支持体１及び搬送装置４と略同様の構成である。以下では、実施の形態１との差異について説明し、その他、実施の形態１に対応する部分には同一符号を付してそれらの説明を省略する。
【００５１】
実施の形態１，２は、互いに載置部３，３，…の構成が異なる。
実施の形態１の載置部３，３，…は、相隣る２個の第１載置部３１，３１と、第１載置部３１，３１の前後両側に３個ずつの第２載置部３２，３２，…とからなる。
一方、本実施の形態の載置部３，３，…は、実施の形態１の載置部３，３，…において、複数個の第２載置部３２，３２，…を同数個の第３載置部３３，３３，…に置き換えたものに相当する。以下は、２個の第２載置部３２，３２を２個の第３載置部３３，３３で置き換えた場合について説明する。
【００５２】
２個の第３載置部３３，３３の内、一方は前側の第１載置部３１と前側の第２載置部３２，３２，…との間に配されており、他方は後ろ側の第１載置部３１と後ろ側の第２載置部３２，３２，…との間に配されている。
つまり、２個の第２載置部３２，３２，…、１個の第３載置部３３、２個の第１載置部３１，３１、１個の第３載置部３３、及び２個の第２載置部３２，３２，…が、前側から後ろ側へこの順に並置されている。
【００５３】
各第３載置部３３は、第２載置部３２の載置基部３２１及び接触板部３００に相当する載置基部及び接触板部を一体的に有する。第３載置部３３は、第２載置部３２と同様にして、下枠部１１２に取り付けられている。つまり、第３載置部３３は、下枠部１１２の左板部１１ａと下枠本体１１ｂとからなる角部の内側に配されている。
ただし、第３載置部３３は、下枠部１１２の下枠本体１１ｂからの突出長さが所定の範囲で増減可能である。このために、第３載置部３３は、少なくとも載置基部が弾性を有する。第３載置部３３の載置基部は、載置基部の上面に下向きの外力が加えられた場合に、載置基部の上面が下面に接近する方向に弾性変形する。つまり、第３載置部３３は、下方向に弾性変形する弾性載置部である。
【００５４】
以下では、無負荷の場合の第３載置部３３の基体１１からの突出長さを突出長さＡ３という。本実施の形態では、突出長さＡ３は突出長さＡ２に等しい。一方、前述した外力が第３載置部３３に加えられている場合の第３載置部３３の基体１１からの最短の突出長さは、突出長さＡ２よりも短い。
なお、突出長さＡ３は、突出長さＡ２に等しい構成に限定されないが、少なくとも突出長さＡ１よりは長い。
【００５５】
板材支持体１に取り付けられた板材２の下端面は、各第２載置部３２の載置基部３２１に接触すると共に、各第３載置部３３の載置基部にも接触する。つまり、板材２の下辺部２ｂは、載置部３，３，…（更に詳細には第２載置部３２，３２，…及び第３載置部３３，３３）に載置される。
【００５６】
各第３載置部３３に係る突出長さは、板材２の載置（即ち外力の印加）によって、突出長さＡ４になる。ここで、突出長さＡ４は、突出長さＡ３（即ち突出長さＡ２）よりも短く、且つ、突出長さＡ１よりも長い。
このため、板材２の変形量が比較的小さければ、板材２は第１載置部３１，３１に接触せず、第１載置部３１，３１の前側にて相隣る各１個の第２載置部３２及び第３載置部３３と、第１載置部３１，３１の後ろ側にて相隣る各１個の第２載置部３２及び第３載置部３３とに接触する（図６参照）。或いは、板材２の変形量が比較的大きければ、板材２は第１載置部３１，３１に軽く接触し、第１載置部３１，３１の前後両側に位置する第２載置部３２，３２及び第３載置部３３，３３に強く接触する（不図示）。何れにせよ、各第３載置部３３に係る突出長さＡ４は、第１載置部３１に係る突出長さＡ１と第２載置部３２に係る突出長さＡ２との中間の長さになる。
【００５７】
従って、板材２の下辺部２ｂの中央部と、基体１１の前後方向中央部にて隣り合う２個の第１載置部３１，３１との間で大きな圧力が生じることは抑制される。つまり、板材支持体１においては、板材２及び載置部３，３，…間の圧力が最も大きくなる箇所が２箇所に分散する。しかも、実施の形態１では２個の第２載置部３２，３２に荷重が加わるが、本実施の形態では計４個の第２載置部３２，３２及び第３載置部３３，３３に荷重が加わる。以上の結果、板材２の破損が更に抑制される。
【００５８】
第３載置部３３，３３は弾性載置部である。このため、仮に、載置部３，３，…が全て第３載置部３３，３３，…である場合、板材２の上下方向の位置決めが困難になる。しかしながら、本実施の形態では、板材２の上下方向の位置決めは、上側の支持部材１２，１２，…と第２載置部３２，３２，…との間で行なわれれるため、特段の問題はない。
ただし、仮に、載置部３，３，…が全て第３載置部３３，３３，…である場合、第３載置部３３，３３，…に全体的に荷重が分散するため、実施の形態１，２よりも板材２の破損が更に抑制されると考えられる。とはいえ、実施の形態１であっても、破損率は0.011%であり、十分に実用的である。従って、載置部３，３，…が全て第３載置部３３，３３，…である必要はない。
【００５９】
本実施の形態の第３載置部３３は、第３載置部３３の弾性により、板材２の載置に伴って突出長さが最適なものに自然に調整される構成である。しかしながら、本発明の実施の形態における第３載置部は、このような構成に限定されるものではない。例えば、第３載置部は、中空の載置基部と、この載置基部に対して出没可能に突設されている載置凸部と、載置基部の内部に収容されており、載置凸部を突出方向に付勢する弾性部とを有する構成でもよい。また、例えば、第３載置部は、載置基部に対して出没可能に突設されている載置凸部と、載置凸部の載置基部からの突出量を作業者が手動で増減させるための操作部とを有する構成でもよい。
【００６０】
今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述した意味ではなく、請求の範囲と均等の意味及び請求の範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
また、本発明の効果がある限りにおいて、板材支持体１又は搬送装置４に、実施の形態１，２に開示されていない構成要素が含まれていてもよい。
各実施の形態に開示されている構成要件（技術的特徴）はお互いに組み合わせ可能であり、組み合わせによって新しい技術的特徴を形成することができる。
【符号の説明】
【００６１】
１      板材支持体
１１    基体
２      板材
２ｂ    下辺部（周縁下部）
３      載置部
３１    第１載置部
３２    第２載置部
３３    第３載置部
４      搬送装置
４１    保持体
４２    移動部
【図１】
0006541572.tif 000002
【図２】
0006541572.tif 000003
【図３】
0006541572.tif 000004
【図４】
0006541572.tif 000005
【図５】
0006541572.tif 000006
【図６】
0006541572.tif 000007