(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
底板と側板とによって構成された筐体と、
前記筐体に収容され、有効領域を含む表面が透明部材で覆われた反射型の光学素子と、を備え、
前記光学素子と前記筐体との隙間には、封止用樹脂が充填されており、前記光学素子の側面及び裏面は、当該封止用樹脂によって覆われており、
前記光学素子は、
前記透明部材と、
前記透明部材に対向する基板と、
前記透明部材と前記基板とに挟持されている液晶層と、
前記透明部材と前記基板とに挟持され、前記液晶層を四方から取り囲む樹脂製の封止部材と、を備えているＬＣＯＳ素子であり、
前記封止用樹脂は、当該光学素子の前記封止部材を四方から取り囲み、
前記光学素子の表面は、前記有効領域と、前記有効領域の外側を取り囲む非有効領域とによって構成されており、
前記封止用樹脂は、前記非有効領域の外周に沿った領域を更に覆っている、
ことを特徴とする光学素子パッケージ。
【請求項２】
前記光学素子と前記筐体との隙間に充填された樹脂は、前記側板の上端より高い位置であって、且つ、前記光学素子の表面より高い位置まで盛り上がって充填されており、
前記有効領域の外縁から、当該有効領域の外側に向かって前記封止用樹脂を見た場合に得られる仰角の最大値は、１０°未満である、
ことを特徴とする請求項１に記載の光学素子パッケージ。
【請求項３】
前記光学素子の表面は、前記側板の上端より低い位置に配置されており、
前記光学素子と前記筐体との隙間に充填された樹脂は、前記有効領域の外縁と前記側板の上端とを結ぶ直線より下側の領域に充填されており、
前記有効領域の外縁から、前記有効領域の外側に向かって前記側板を見た場合に得られる仰角の最大値は、１０°未満である、
ことを特徴とする請求項１に記載の光学素子パッケージ。
【請求項４】
前記光学素子の表面は、前記側板の上端と等しい、又は、前記側板の上端より高い位置に配置されており、
前記封止用樹脂は、前記光学素子の上端と等しい、又は、前記光学素子の上端より低い位置に形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の光学素子パッケージ。
【請求項５】
前記筐体の一部に前記光学素子を固定する固定部材を更に備え、
前記封止用樹脂は、ゲル状の樹脂からなる、
ことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の光学素子パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射型の光学素子を収容している光学素子パッケージに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学素子パッケージでは、筐体のリッドに開口部が形成され、筐体の内部に配置された光学素子に対して、この開口部を介して、外部から光（光信号）を入射させるようになっている。そして、光学素子を気密封止めするために、この開口部は、光を透過するガラス部材にて塞がれている。
【０００３】
特許文献１に記載の光スイッチモジュール（光学素子パッケージ）は、筐体の内部に、光学素子としてＭＥＭＳ（Micro Electro Mechnical System）ミラーアレイチップを備えている。この光学素子パッケージは、筐体の上部にリッドフレームを備え、リッドフレームの上にガラス部材（板状のサファイア）が固定部材により接合されている。リッドフレームには、中央部に長方形の開口部が形成され、ガラス部材は、この開口部を塞ぐように設けられている。
【０００４】
また、特許文献２に記載の光学素子パッケージ（光学素子収納用パッケージ）は、筐体の内部に、光学素子として波長可変干渉フィルターを備えている。この光学素子パッケージは、筐体の上部にリッドを備え、リッドの外側に第１窓部材が接合されており、リッドの内側に第２窓部材が接合されている。リッドには、中央部に円形の開口部が形成され、第１窓部材及び第２窓部材は、リッドの開口部を塞ぐように設けられている。
【０００５】
また、特許文献３に記載の光学素子パッケージは、筐体の内部に、光学素子として波長可変干渉フィルターを備えている。この光学素子パッケージは、筐体の上部にリッドを備え、リッドの上にガラス部材が固定部材により接合されている。リッドには、中央部に円形の開口部が形成され、ガラス部材はこの開口部を塞ぐように設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−８１０５号公報（平成２３年１月１３日公開）
【特許文献２】特開２０１４−８２３４８号公報（平成２６年５月８日公開）
【特許文献３】特開２０１５−３１９０３号公報（平成２７年２月１６日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述のような従来の光学素子パッケージにおいては、光学素子の表面に対する法線方向から、光学素子に入射する入射光の入射角、及び、光学素子から出射する出射光（例えば、反射光）の出射角を大きくしていった場合、入射光及び出射光がリッドによって遮られてしまう。言い換えれば、入射角及び出射角には、最大値（以下、「最大入射角」及び「最大出射角」と記載）が存在する。
【０００８】
最大入射角は、開口部の大きさと、光学素子の表面から開口部の上端までの高さとによって定められる。最大入射角を大きくするためには、開口部が光学素子の有効領域の大きさに対して十分に大きいことが好ましく、光学素子の表面から開口部の上端までの高さができる限り低いことが好ましい。最大出射角についても同様である。
【０００９】
しかしながら、従来の光学素子パッケージにおいて、開口部を大きくすることは、光学素子パッケージの大型化を直接的に招来する。そのため、開口部の大きさを光学素子の有効領域の大きさよりも無用に大きくすることは現実的ではない。
【００１０】
また、光学素子の表面からリッドに形成された開口部の上端までの高さは、少なくともリッドの厚みよりも低くすることができず、筐体としての強度を担保するためにリッドの厚みには下限値がある。そのため、この高さを極端に低くすることは現実的ではない。なお、特許文献１の図３に図示されるように、光学素子とリッドとの間に窓部材が配置され、光学素子と窓部材とが離間して配置されているため、上記高さは、リッドの厚みより大幅に高くなる。
【００１１】
以上のように、開口部の大きさを光学素子の有効領域の大きさよりも大きくすること、及び、光学素子の表面から開口部の上端までの高さを低くすることの何れもが困難であるため、従来の光学素子パッケージにいて、最大入射角及び最大出射角を大きくすることは難しい。
【００１２】
本発明は、前記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、反射型の光学素子を収容している光学素子パッケージにおいて、光学素子に対する最大入射角および最大出射角を広角化することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するために、本発明の光学素子パッケージは、底板と側板とによって構成された筐体と、前記筐体に収容され、有効領域を含む表面が透明部材で覆われた反射型の光学素子と、を備え、前記光学素子と前記筐体との隙間には、封止用樹脂が充填されており、前記光学素子の側面及び裏面は、当該封止用樹脂に覆われている、ことを特徴としている。
【００１４】
上記の構成によれば、光学素子の表面は、透明部材により覆われ、光学素子の裏面及び側面は、封止用樹脂に覆われる。したがって、上記の構成によれば、光学素子への入射光及び光学素子からの反射光を遮る可能性のあるリッドを設けることなく、光学素子を気密封止することができる。したがって、特許文献１〜３に記載の光学素子パッケージと比較して、最大入射角および最大出射角を広角化することができる。
【００１５】
また、本発明の一態様に係る光学素子パッケージにおいて、前記光学素子は、前記透明部材と、前記透明部材に対向する基板と、前記透明部材と前記基板とに挟持されている液晶層と、前記透明部材と前記基板とに挟持され、前記液晶層を四方から取り囲む樹脂製の封止部材と、を備えているＬＣＯＳ素子であり、前記封止用樹脂は、当該光学素子の前記封止部材を四方から取り囲む、ことが好ましい。
【００１６】
上記の構成によれば、ＬＣＯＳ素子の封止部材が暴露されることを防止することができるため、ＬＣＯＳ素子の耐湿性及び防水性を高めることができる。
【００１７】
また、本発明の一態様に係る光学素子パッケージにおいて、前記光学素子の表面は、前記有効領域と、前記有効領域の外側を取り囲む非有効領域とによって構成されており、前記封止用樹脂は、前記非有効領域の外周に沿った領域を更に覆っている、ことが好ましい。
【００１８】
上記の構成によれば、封止用樹脂がＬＣＯＳの表面を全く覆っていない場合と比較して、ＬＣＯＳ素子の封止部材が暴露されることをより確実に防止することができる。したがって、ＬＣＯＳ素子の耐湿性及び防水性を更に高めることができる。
【００１９】
また、本発明の一態様に係る光学素子パッケージにおいて、前記光学素子と前記筐体との隙間に充填された樹脂は、前記側板の上端より高い位置であって、且つ、前記光学素子の表面より高い位置まで盛り上がって充填されており、前記有効領域の外縁から、当該有効領域の外側に向かって前記封止用樹脂を見た場合に得られる仰角の最大値は、１０°未満である、ことが好ましい。
【００２０】
有効領域の外縁における最大入射角及び最大出射角は、９０°から上記仰角の最大値を引くことによって与えられる。上記の構成によれば、有効領域の外縁における最大入射角及び最大出射角を８０°以上に設定することができる。すなわち、光学素子パッケージの最大入射角及び最大出射角を８０°以上に設定することができる。
【００２１】
また、本発明の一態様に係る光学素子パッケージにおいて、前記光学素子の表面は、前記側板の上端より低い位置に配置されており、前記光学素子と前記筐体との隙間に充填された樹脂は、前記有効領域の外縁と前記側板の上端とを結ぶ直線より下側の領域に充填されており、前記有効領域の外縁から、前記有効領域の外側に向かって前記側板を見た場合に得られる仰角の最大値は、１０°未満である、ことが好ましい。
【００２２】
前記有効領域の外縁における最大入射角及び最大出射角は、９０°から仰角の最大値を引くことによって与えられる。上記の構成によれば、有効領域の外縁における最大入射角及び最大出射角を８０°以上に設定することができる。すなわち、光学素子パッケージの最大入射角及び最大出射角を８０°以上に設定することができる。
【００２３】
また、本発明の一態様に係る光学素子パッケージにおいて、前記光学素子の表面は、前記側板の上端と等しい、又は、前記側板の上端より高い位置に配置されており、前記封止用樹脂は、前記光学素子の上端と等しい、又は、前記光学素子の上端より低い位置に形成されている、ことが好ましい。
【００２４】
上記の構成によれば、有効領域の上方及び側方に入射光又は出射光を遮る部材が存在しないため、光学素子パッケージの最大入射角及び最大出射角を最大化することができる。
【００２５】
また、本発明の一態様に係る光学素子パッケージは、  前記筐体の一部に前記光学素子を固定する固定部材を更に備え、前記封止用樹脂は、ゲル状の樹脂からなる、ことが好ましい。
【００２６】
上記の構成によれば、固定部材が光学素子を筐体に対して固定しているため、封止用樹脂は、硬化した状態で光学素子を筐体に対して固定できるほどの硬度を持たなくてもよい。ゲル状の樹脂は、硬化後に光学素子を筐体に対して固定できるほどの硬度を持たない代わりに、硬化時に光学素子を歪ませるほどの応力も生じさせない。したがって、光学素子の歪みを抑制した状態で光学素子を収容することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明は、筐体の内部に反射型の光学素子を備えている光学素子パッケージにおいて、入射角及び出射角を大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態１に係る光学素子パッケージの断面図である。
【図２】本発明の実施形態２に係る光学素子パッケージの断面図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の実施形態３に係る光学素子パッケージの断面図である。
【図４】本発明の実施形態４に係る光学素子パッケージの断面図である。
【図５】本発明の実施形態５に係る光学素子パッケージの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明を実施するための形態について、図１〜図５を参照して説明する。なお、以下、説明の便宜上、先の実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００３０】
〔実施形態１〕
図１は、本発明の第１の実施形態に係る光学素子パッケージ１００の断面図である。光学素子パッケージ１００は、パッケージ筐体（筐体）１、ＬＣＯＳ素子（光学素子）２、固定用樹脂（固定部材）３、ボンディングワイヤ４、及び封止用樹脂５を備えている。
【００３１】
パッケージ筐体１は、底板１１と側板１２とによって構成された、枡型の筐体である。パッケージ筐体１には、ＬＣＯＳ素子２、固定用樹脂３、ボンディングワイヤ４、及び封止用樹脂５が収容されている。また、底板１１には、突出部（固定部材）１１ｐが形成されている。突出部１１ｐは、フレーム状、又は、少なくとも３つの柱状に（但し、全ての柱が一直線に並ばないように）形成されている。
【００３２】
ＬＣＯＳ素子２は、パッケージ筐体１に収容されており、有効領域を含む表面２ｆがカバーガラス（透明部材）２１で覆われた反射型の光学素子である。ＬＣＯＳ素子２は、カバーガラス２１、制御回路（図示しない）が形成されたシリコン基板である基板２２、液晶層２３、封止部材２４、ヒーター２５、及び接着樹脂２６を備えている。光学素子パッケージ１００において、ＬＣＯＳ素子２の上端２ｔは、側板１２の上端１２ｔより低い位置に配置されている。
【００３３】
基板２２は、カバーガラス２１に対向する。液晶層２３は、カバーガラス２１と基板２２とに挟持されている。なお、液晶層２３の上面が、ＬＣＯＳ素子２の有効領域に相当する。封止部材２４は、カバーガラス２１と基板２２とに挟持され、液晶層２３を四方から取り囲む樹脂製の部材である。封止部材２４は、カバーガラス２１及び基板２２とともに液晶層２３を収容するためのチャンバーを構成する。封止部材２４の一例として、感光性のエポキシ樹脂、アクリレート化合物を含有する樹脂が挙げられる。なお、カバーガラス２１は、その内側に透明導電膜等が、その外側にＡＲコート（反射防止コーティング）等が、それぞれ形成されていてもよい。
【００３４】
ヒーター２５は、ＬＣＯＳ素子２の温度を制御するものである。ＬＣＯＳ素子２は、その温度が精緻に管理される必要があり、この温度の制御をヒーター２５が担っている。ヒーター２５は、突出部１１ｐに搭載されている。接着樹脂２６は、基板２２と、ヒーター２５とを接着するものである。具体的に、接着樹脂２６は、基板２２における液晶層２３と反対側の面と、ヒーター２５における突出部１１ｐと反対側の面とを接着している。
【００３５】
固定用樹脂３は、ヒーター２５を突出部１１ｐに固定するための樹脂である。突出部１１ｐが３つ以上の柱状部材によって構成されている場合、固定用樹脂３を突出部１１ｐの各々に塗布すればよい。また、フレーム状の突出部１１ｐである場合には、固定用樹脂３をフレーム状の突出部１１ｐの上端面に塗布すればよい。ボンディングワイヤ４は、パッケージ筐体１と、ＬＣＯＳ素子２の基板２２とを電気的に接続するためのものである。
【００３６】
封止用樹脂５は、ＬＣＯＳ素子２とパッケージ筐体１との隙間に充填されている。ＬＣＯＳ素子２の側面２ｓ及び裏面２ｂは、封止用樹脂５に覆われている。これにより、ＬＣＯＳ素子２の表面２ｆは、カバーガラス２１により覆われ、ＬＣＯＳ素子２の裏面２ｂ及び側面２ｓは、封止用樹脂５に覆われる。したがって、ＬＣＯＳ素子２への入射光及びＬＣＯＳ素子２からの反射光を遮る可能性のあるリッドを設けることなく、ＬＣＯＳ素子２を気密封止することができる。したがって、光学素子パッケージ１００においては、最大入射角及び最大出射角の広角化を図ることができる。また、光学素子パッケージ１００においては、リッドが不要であるため、部品数を削減することができ、ＬＣＯＳ素子２の周りに確保すべき空間を小さくすることができるため、小型化が可能である。
【００３７】
光学素子パッケージ１００においては、カバーガラス２１が大気中に露出している。これにより、カバーガラス２１上から異物を取り除くことが容易である。
【００３８】
また、封止用樹脂５は、ＬＣＯＳ素子２の封止部材２４を四方から取り囲んでいる。これにより、ＬＣＯＳ素子２の封止部材２４が暴露されることを防止することができるため、ＬＣＯＳ素子２の耐湿性及び防水性を高めることができる。
【００３９】
封止用樹脂５によってＬＣＯＳ素子２の側面２ｓを覆う（より好ましくは、封止部材２４を四方から取り囲む）ことによるメリットについて、より詳しく説明する。封止部材２４が、上述したとおり、感光性のエポキシ樹脂、アクリレート化合物を含有する樹脂等である場合、水分が封止部材２４を透過してしまう虞がある。この透過を抑制することができるため、封止用樹脂５によって側面２ｓを覆う（より好ましくは、封止部材２４を四方から取り囲む）ことが好ましい。
【００４０】
封止用樹脂５は、遮光性の（例えば、黒色の）樹脂であってもよいし、透光性の樹脂であってもよい。封止用樹脂５が遮光性の樹脂であれば、迷光を抑制することができる。封止用樹脂５が透光性の樹脂であれば、検査者がパッケージ筐体１の内部を目視で検査することができる。
【００４１】
封止用樹脂５は、防湿性、防水性、及び耐薬品性のうち少なくとも１つに優れた樹脂であることが好ましい。耐薬品性に優れているということは、腐食性ガスに対する耐性が十分に確保されているということであるとも言える。このような樹脂の一例として、フルオロシリコーンゲル、フッ素ゲル、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂が挙げられる。
【００４２】
また、封止用樹脂５は、ゲル状の樹脂からなることが好ましい。突出部１１ｐ及び固定用樹脂３がＬＣＯＳ素子２をパッケージ筐体１に対して固定しているため、封止用樹脂５は、硬化した状態でＬＣＯＳ素子２をパッケージ筐体１に対して固定できるほどの硬度を持たなくてもよい。ゲル状の樹脂は、硬化後にＬＣＯＳ素子２をパッケージ筐体１に対して固定できるほどの硬度を持たない代わりに、硬化時にＬＣＯＳ素子２を歪ませるほどの応力も生じさせない。したがって、ＬＣＯＳ素子２の歪みを抑制した状態でＬＣＯＳ素子２を収容することができる。このようなゲル状の樹脂の一例として、シリコーンゲル、フルオロシリコーンゲル等の軟質なゲル状コーティング樹脂が挙げられる。
【００４３】
なお、本実施形態において、突出部１１ｐにヒーター２５の底面を固定する構成を採用しているが、例えば、ヒーター２５以外の部材を突出部１１ｐに固定する構成を採用してもよい。たとえば、封止部材２４より大きいサイズのカバーガラス２１を採用し、カバーガラス２１の余白を突出部１１ｐに固定する構成であってもよい。この場合、突出部１１ｐの高さをより高く設定すればよい。
【００４４】
〔実施形態２〕
図２は、本発明の第２の実施形態に係る光学素子パッケージ２００の断面図である。光学素子パッケージ２００の構成は、以下に説明する点で、光学素子パッケージ１００の構成と異なっている。
【００４５】
ＬＣＯＳ素子２の表面２ｆは、有効領域（液晶層２３の上面に相当）と、この有効領域の外側を取り囲む非有効領域とによって構成されている。なお、封止部材２４の上面が、非有効領域に相当する。そして、封止用樹脂５は、この非有効領域の外周に沿った領域を更に覆っている。
【００４６】
これにより、封止用樹脂５がＬＣＯＳ素子２の表面２ｆを全く覆っていない場合と比較して、ＬＣＯＳ素子２の封止部材２４が暴露されることをより確実に防止することができる。したがって、ＬＣＯＳ素子２の耐湿性及び防水性を更に高めることができる。
【００４７】
ここで、光学素子パッケージ２００の高さ方向に対する、ＬＣＯＳ素子２上の封止用樹脂５の内壁の傾斜角度θｔａ及びθｔｂは、それぞれ、１０°を超えることが好ましい。なぜなら、光学素子パッケージ２００において、ＬＣＯＳ素子２への入射光及び／又はＬＣＯＳ素子２からの反射光は、光学素子パッケージ２００の高さ方向に対して１０°以上傾くことが一般的であるためである。
【００４８】
〔実施形態３〕
図３の（ａ）は、本発明の第３の実施形態に係る光学素子パッケージ３００の断面図である。光学素子パッケージ３００の構成は、以下に説明する点で、光学素子パッケージ１００の構成と異なっている。
【００４９】
ＬＣＯＳ素子２とパッケージ筐体１との隙間に充填された封止用樹脂５は、側板１２の上端１２ｔより高い位置であって、且つ、ＬＣＯＳ素子２の上端２ｔより高い位置まで盛り上がって充填されている。また、有効領域の外縁から、この有効領域の外側に向かって封止用樹脂５を見た場合に得られる仰角θｇａ及びθｇｂは、それぞれ、その最大値が１０°未満である。なおここで、有効領域の外縁とは、液晶層２３の輪郭上に位置する任意の点をカバーガラス２１の表面に投影した場合に得られる点の位置を意味する。
【００５０】
図３の（ｂ）は、本発明の第３の実施形態に係る光学素子パッケージ３０１の断面図である。光学素子パッケージ３０１の構成は、以下に説明する点で、光学素子パッケージ１００の構成と異なっている。
【００５１】
光学素子パッケージ３０１は、ＬＣＯＳ素子２の上端２ｔが、側板１２の上端１２ｔより低い位置に配置されており、この点は光学素子パッケージ１００と同じである。但し、ＬＣＯＳ素子２とパッケージ筐体１との隙間に充填された封止用樹脂５は、有効領域の外縁と側板１２の上端１２ｔとを最短距離で結ぶ直線ｓｃ及びｓｄより下側の領域にまでしか充填されていない。そして、有効領域の外縁から、有効領域の外側に向かって側板１２を見た場合に得られる仰角θｇｃ及びθｇｄは、それぞれ、その最大値が１０°未満である。
【００５２】
有効領域の外縁における最大入射角及び最大出射角は、９０°から仰角の最大値を引くことによって与えられる。光学素子パッケージ３００及び３０１によれば、有効領域の外縁における最大入射角及び最大出射角を８０°以上に設定することができる。すなわち、光学素子パッケージ３００及び３０１は、その最大入射角及び最大出射角を８０°以上に設定することができる。
【００５３】
また、これにより、ＬＣＯＳ素子２への入射光及びＬＣＯＳ素子２からの反射光に対する、ＬＣＯＳ素子２外の光学部品での反射による影響を抑制することができる。このため、ポート間の信号強度のアイソレーションを大きくとることができ、クロストークを抑制することができる。
【００５４】
〔実施形態４〕
図４は、本発明の第４の実施形態に係る光学素子パッケージ４００の断面図である。光学素子パッケージ４００の構成は、以下に説明する点で、光学素子パッケージ１００の構成と異なっている。
【００５５】
光学素子パッケージ４００において、ＬＣＯＳ素子２の上端２ｔは、側板１２の上端１２ｔと等しい高さに配置されている。また、封止用樹脂５は、ＬＣＯＳ素子２の上端２ｔと同じ高さにまでしか形成されていない。これにより、有効領域の上方及び側方に入射光又は出射光を遮る部材が存在しないため、光学素子パッケージ４００においては、その最大入射角及び最大出射角の最大化を図ることができる。
【００５６】
〔実施形態５〕
図５は、本発明の第５の実施形態に係る光学素子パッケージ５００の断面図である。光学素子パッケージ５００の構成は、以下に説明する点で、光学素子パッケージ１００の構成と異なっている。
【００５７】
光学素子パッケージ５００において、ＬＣＯＳ素子２の上端２ｔは、側板１２の上端１２ｔより高い位置に配置されている。また、封止用樹脂５は、ＬＣＯＳ素子２の上端２ｔと同じ高さにまでしか形成されていない。これにより、有効領域の上方及び側方に入射光又は出射光を遮る部材が存在しないため、光学素子パッケージ５００においては、その最大入射角及び最大出射角の最大化を図ることができる。
【００５８】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５９】
１  パッケージ筐体（筐体）
２  ＬＣＯＳ素子（光学素子）
２ｂ  ＬＣＯＳ素子の裏面
２ｆ  ＬＣＯＳ素子の表面
２ｓ  ＬＣＯＳ素子の側面
２ｔ  ＬＣＯＳ素子の上端
３  固定用樹脂（固定部材）
４  ボンディングワイヤ
５  封止用樹脂
１１  底板
１１ｐ  突出部（固定部材）
１２  側板
１２ｔ  側板の上端
２１  カバーガラス（透明部材）
２２  基板
２３  液晶層
２４  封止部材
２５  ヒーター
２６  接着樹脂
１００、２００、３００、３０１、４００、及び５００  光学素子パッケージ
θｇａ、θｇｂ、θｇｃ、及びθｇｄ  仰角
【図１】
0006529431.tif 000002
【図２】
0006529431.tif 000003
【図３】
0006529431.tif 000004
【図４】
0006529431.tif 000005
【図５】
0006529431.tif 000006