(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
強化された主面が矩形状のガラス板と、
前記ガラス板の一方の主面上に設けられ、前記ガラス板の２以上の端面には設けられていない積層膜とを備え、
前記積層膜は、
銀を主成分として含有する２層の金属層と、前記金属層をそれぞれ挟むように積層される３層の誘電体層を有し、
前記金属層と前記誘電体層は、前記ガラス板側から順に、第１の誘電体層、第１の金属層、第２の誘電体層、第２の金属層および第３の誘電体層からなり、
前記第１の誘電体層は、前記ガラス板側から積層された第１のアモルファス誘電体層と、第１の結晶性誘電体層とからなり、
前記第２の誘電体層は、前記ガラス板側から積層された第２の結晶性誘電体層と、第２のアモルファス誘電体層と、第３の結晶性誘電体層とからなり、
前記第３の誘電体層は、前記ガラス板側から積層された第４の結晶性誘電体層と、第３のアモルファス誘電体層とからなり、
前記第１の金属層は、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属を、銀と前記金属との合計量に対して６質量％以上の割合で含有する、ただし、前記割合が９質量％未満の場合は前記第２の誘電体層の厚さが１００ｎｍ以下である、
積層膜付きガラス板。
【請求項２】
強化された主面が矩形状のガラス板と、
前記ガラス板の一方の主面上に設けられ、前記ガラス板の２以上の端面には設けられていない積層膜とを備え、
前記積層膜は、
銀を主成分として含有する２層の金属層と、前記金属層をそれぞれ挟むように積層される３層の誘電体層を有し、
前記金属層と前記誘電体層は、前記ガラス板側から順に、第１の誘電体層、第１の金属層、第２の誘電体層、第２の金属層および第３の誘電体層からなり、
前記第１の誘電体層は、前記ガラス板側から積層された第１のアモルファス誘電体層と、第１の結晶性誘電体層とからなり、
前記第２の誘電体層は、前記ガラス板側から積層された第２の結晶性誘電体層と、第２のアモルファス誘電体層と、第３の結晶性誘電体層とからなり、
前記第３の誘電体層は、前記ガラス板側から積層された第４の結晶性誘電体層と、第３のアモルファス誘電体層とからなり、
前記第１の金属層および前記第２の金属層が、それぞれ独立に、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属を、銀と前記金属との合計量に対して１．５質量％以上の割合で含有し、前記第１の金属層における前記金属の含有量と前記第２の金属層における前記金属の含有量とを合計した値が４質量％以上であり、かつ前記第２の誘電体層の厚さが９５ｎｍ以下である
積層膜付きガラス板。
【請求項３】
前記積層膜は、前記第２の金属層と、前記ガラス板との間に窒化物層または酸窒化物層を有しない請求項１または２に記載の積層膜付きガラス板。
【請求項４】
前記積層膜は、前記ガラス板側から順に、前記第１の誘電体層、前記第１の金属層、第１のバリア層、前記第２の誘電体層、前記第２の金属層、第２のバリア層、前記第３の誘電体層および保護層を、有する請求項１〜３のいずれか１項に記載の積層膜付きガラス板。
【請求項５】
前記第１の誘電体層、前記第１のバリア層、前記第２の誘電体層、前記第２のバリア層および前記第３の誘電体層の全てが、酸化物層である請求項４に記載の積層膜付きガラス板。
【請求項６】
前記第１の金属層の厚さに対する、前記第２の金属層の厚さの比が、０．９〜１．４の範囲にある請求項１〜５のいずれか１項に記載の積層膜付きガラス板。
【請求項７】
前記第１の結晶性誘電体層、前記第２の結晶性誘電体層、前記第３の結晶性誘電体層、および前記第４の結晶性誘電体層は、アルミニウムを含有する亜鉛の酸化物で構成される請求項１〜６のいずれか１項に記載の積層膜付きガラス板。
【請求項８】
前記アルミニウムを含有する亜鉛の酸化物におけるアルミニウムの含有量は、亜鉛とアルミニウムとの合計量に対して１〜１０質量％である請求項７に記載の積層膜付きガラス板。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の積層膜付きガラス板と、
前記積層膜付きガラス板とスペーサを介して離間して配置された主面が矩形状の第２のガラス板と、
を備える複層ガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層膜付きガラス板および複層ガラスに関し、特に強化ガラスに適した積層膜付きガラス板および複層ガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
建築用窓ガラスの省エネルギー性能を考える場合、例えばＬｏｗ−Ｅガラスと呼ばれる低放射率積層膜付き板ガラスが、高遮熱性能を達成するために使用される。ここで、高い遮熱性は、ガラスの日射熱取得率を低減することで達成できるが、日射熱取得率を低減するには、可視光透過率を下げる必要がある。【０００３】
一般的に、Ｌｏｗ−Ｅガラスにおいて、日射熱取得率を低減するために可視光透過率を下げると、反射率が高くなりすぎる。一方、反射率をある程度まで下げようとすると、特に板ガラス側、すなわち建物の外側から見た場合の反射色調が赤味を帯びやすくなり、意匠性が損なわれる。また商業ビルにおいては、室内にブラインドが設置されることが多く、ガラスの透過色調が黄色味を帯びていると、やはり建物の外側から見た場合の意匠性が損なわれる。【０００４】
このような問題を解決する試みとして、例えば、特許文献１には、低放射率積層膜を構成する銀を主成分とする金属層および誘電体層の膜厚を調整する技術が記載されている。しかしながら、特許文献１に記載の技術では、高い遮熱性能と板ガラス側から見た場合の意匠性が十分に満足できるレベルとは言い難かった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−７６９１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、複層ガラスとした際に、高い遮熱性能と屋外からの良好な外観の両立が可能な積層膜付きガラス板およびその積層膜付きガラス板を用いた複層ガラスの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一形態に係る積層膜付きガラス板は、強化された主面が矩形状のガラス板と、前記ガラス板の一方の主面上に設けられ、前記ガラス板の２以上の端面には設けられていない積層膜とを有する積層膜付きガラス板であって、前記積層膜は、該積層膜を用いた下記複層ガラスにおいて下記特性を有する積層膜付きガラス板である。
板厚が５ｍｍの第１の透明ガラス板の一方の主面上に前記積層膜を形成して試験用積層膜付きガラス板とし、該試験用積層膜付きガラス板と、板厚が６ｍｍの第２の透明ガラス板とを、その周縁に配設したスペーサを介して前記試験用積層膜付きガラス板の積層膜面が前記第２の透明ガラス板の一方の主面に対向するように隔置し、前記試験用積層膜付きガラス板と前記第２の透明ガラス板の間に厚さ１２ｍｍの空気層を有するように作製した複層ガラスにおいて、
ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、前記試験用積層膜付きガラス板側からの日射に対する前記第２の透明ガラス板側での日射熱取得率（ｇ値）が０．２６５以下であり、
ＩＳＯ９０５０：２００３に規定される可視光を照射して得られる透過光について、ＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色度座標によるｂ＊が１以下であり、
ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、前記試験用積層膜付きガラス板側の可視光反射率が２０％以下である。【０００８】
また、本発明の別形態の積層膜付きガラス板は、強化された主面が矩形状のガラス板と、前記ガラス板の一方の主面上に設けられ、前記ガラス板の２以上の端面には設けられていない積層膜とを備え、前記積層膜は、銀を主成分として含有するｎ層（ｎは２以上の整数）の金属層と、前記金属層をそれぞれ挟むように積層されるｎ＋１層の誘電体層を有し、前記金属層のうち前記ガラス板に最も近い第１の金属層は、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属を、銀と前記金属との合計量に対して６質量％以上の割合で含有する、ただし、前記割合が９質量％未満の場合は前記第１の金属層と前記ガラス板に２番目に近い第２の金属層との間の前記誘電体層の厚さが１００ｎｍ以下である、もしくは、前記第１の金属層および前記第１の金属層以外の前記金属層の少なくとも１層が、それぞれ独立に、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属を、銀と前記金属との合計量に対して１．５質量％以上の割合で含有し、かつ前記金属を１．５質量％以上の割合で含有する金属層における前記金属の含有量の合計が４質量％以上であり、かつ前記第１の金属層と前記ガラス板に２番目に近い第２の金属層との間の前記誘電体層の厚さが９５ｎｍ以下である積層膜付きガラス板である。【０００９】
本発明の一形態に係る複層ガラスは、強化された主面が矩形状の第１のガラス板と、前記第１のガラス板の一方の主面上に設けられ、前記第１のガラス板の２以上の端面には設けられていない積層膜とを有する積層膜付きガラス板と、前記積層膜付きガラス板とスペーサを介して離間して配置された主面が矩形状の第２のガラス板と、を備える複層ガラスであり、下記特性を有する。
ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、前記積層膜付きガラス板側からの日射に対する前記第２のガラス板側での日射熱取得率（ｇ値）が０．２６５以下である。
ＩＳＯ９０５０：２００３に規定される可視光を照射して得られる透過光について、ＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色度座標によるｂ＊が１以下である。
ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、前記積層膜付きガラス板側の可視光反射率が２０％以下である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、複層ガラスとした際に、高い遮熱性能と屋外からの良好な外観の両立が可能な積層膜付きガラス板および複層ガラスを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１Ａ】積層膜付きガラス板を概略的に示す正面図である。
【図１Ｂ】図１Ａに示す積層膜付きガラス板のＸ−Ｘ線における断面図である。
【図２】複層ガラスの一例を示す断面図である。
【図３】積層膜付きガラス板の一実施形態の断面図である。
【図４】積層膜付きガラス板の一実施形態の変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は、下記説明に限定して解釈されるものではない。
【００１３】
［積層膜付きガラス板］
図１Ａ、図１Ｂは本発明の実施形態の積層膜付きガラス板を概略的に示す正面図およびそのＸ−Ｘ線における断面図である。図１Ａ、図１Ｂに示す本発明の実施形態の積層膜付きガラス板１０は、強化されたガラス板１と、ガラス板１の一方の主面１ｓ上に設けられた積層膜２とを有する。ガラス板１は主面１ｓが矩形状であり４つの端面１ｔを有する。積層膜２は、ガラス板１の端面１ｔには設けられていない。なお、本発明の実施形態の積層膜付きガラス板において、４つの端面のうち２つまでは積層膜を有してもよい。積層膜２は、これを用いて以下の特定の構成の複層ガラスを作製した場合に、該複層ガラスに下記（１−ａ）〜（３−ａ）の特性を付与することが可能な低放射率積層膜である。
【００１４】
上記積層膜を評価するための複層ガラスは、板厚が５ｍｍの第１の透明ガラス板の一方の主面上に前記積層膜を形成して試験用積層膜付きガラス板とし、該試験用積層膜付きガラス板と、板厚が６ｍｍの第２の透明ガラス板とを、その周縁に配設したスペーサを介して前記試験用積層膜付きガラス板の積層膜面が前記第２の透明ガラス板の一方の主面に対向するように隔置し、前記試験用積層膜付きガラス板と前記第２の透明ガラス板の間に厚さ１２ｍｍの空気層を有するようにして作製される。このように作製される複層ガラスは、下記（１−ａ）、（２−ａ）および（３−ａ）の特性を有する。
【００１５】
（１−ａ）ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、前記試験用積層膜付きガラス板側からの日射に対する前記第２の透明ガラス板側での日射熱取得率（ｇ値）が０．２６５以下である。
（２−ａ）ＩＳＯ９０５０：２００３に規定される可視光を照射して得られる透過光について、ＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色度座標によるｂ＊が１以下である。
（３−ａ）ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、前記試験用積層膜付きガラス板側の可視光反射率が２０％以下である。
【００１６】
以下、実施形態の積層膜付きガラス板１０が有するガラス板１および積層膜２について説明する。
【００１７】
（ガラス板）
ガラス板１は、強化された主面が矩形状の板状のガラスであれば特に限定されず、例えば、建築物用の窓ガラスや通常使用されるフロートガラス、またはロールアウト法によって製造されるソーダ石灰ガラス等の無機質の透明性を有するガラス板を使用できる。ガラス板の強化方法には、風冷強化、化学強化等があり、ガラス板１としては風冷強化されたガラス板が好ましい。ガラス板１の強化は、積層膜２を主面上に設ける前に行われてもよく、後述のように、製造時にガラス板の主面上に積層膜を形成した非熱処理品を熱処理することで風冷強化されたガラス板１としてもよい。本発明の実施形態においては後者が好ましい。
【００１８】
ガラス板１は、積層膜付きガラス板１０として求められる性能に応じて適宜選択される。積層膜付きガラス板１０を複層ガラスの一部として使用する際に、一定以上の可視光透過率が求められる場合には、ガラス板１は、透明ガラス、高透過ガラス等の無色ガラスが好ましい。また、高い演色性を得る観点からも無色ガラスが好ましい。
【００１９】
ガラス板１としては、また、ホウケイ酸塩ガラス、低膨張ガラス、ゼロ膨張ガラス、低膨張結晶化ガラス、ゼロ膨張結晶化ガラス等の各種ガラスを用いることができる。ガラス板１の厚さは、必ずしも限定されないが、ガラス板１の可視光透過率を一定以上に保ちつつ、十分な機械的強度を確保できる厚さが好ましく、例えば０．５〜２０ｍｍが好適である。
【００２０】
ガラス板１の形状は、板状であって矩形状の一対の主面を有する形状であれば特に限定されない。一対の主面が平坦な平面である平板状のものでも、一対の主面の全面または一部が曲率を有する曲板状のものでもよい。なお、主面が矩形状であるとは、主面が実質的に矩形の形状を呈していることをいい、例えば、周辺部の隅を切り落としたガラス板もその範疇に含まれる。
【００２１】
（積層膜）
積層膜付きガラス板１０において、積層膜２は、ガラス板１の主面１ｓ上の全面に亘って設けられている一方、ガラス板１の４つの端面１ｔには設けられていない。実施形態の積層膜付きガラス板においては、ガラス板の４つの端面のうち１または２に積層膜を有してもよいが、４つの端面のいずれにも積層膜が設けられていないことが好ましい。
【００２２】
本発明の実施形態の積層膜付きガラス板は、単独で、あるいは、他の部材とともに合わせガラスや複層ガラスとされて、通常、窓に嵌め込まれて用いられる。図２に積層膜付きガラス板１０を構成部材として用いた本発明の実施形態の複層ガラスの一例の断面図を示す。複層ガラス３は、第１の透明ガラス板１と積層膜２を有する積層膜付きガラス板１０と、第２の透明ガラス板３２とが、その周縁に配設したスペーサ３３を介して両者の間に中間層３４を有するように隔置された構成である。複層ガラス３においては、積層膜付きガラス板１０の積層膜２面が第２の透明ガラス板３２の一方の主面に対向するように隔置されている。
【００２３】
本発明の実施形態の積層膜付きガラス板やこれを用いた複層ガラスでは、ガラス板の２以上の端面、好ましくは全ての端面に積層膜が設けられていないため、建物等の窓に嵌め込む際、セッティングブロックやグレイジングチャンネルなど、可塑剤を含む資材が積層膜を劣化させることを抑制する効果や、網入りガラスの防錆材との接着力低下を抑制する効果があり好ましい。
【００２４】
積層膜付きガラス板１０において、積層膜２は、上記特定の構成の評価用の複層ガラスとして評価された場合に、上記（１−ａ）〜（３−ａ）を全て満足する低放射率積層膜である。
【００２５】
＜積層膜の特性＞
積層膜２は、例えば、図２に示すのと同様の構成の複層ガラスであって、中間層３４が空気層であり、第１の透明ガラス板１の板厚ｔ１、第２の透明ガラス板３２の板厚ｔ２、および中間層（空気層）３４の厚さｔ３が、それぞれ、５ｍｍ、６ｍｍ、１２ｍｍである複層ガラス（以下、「複層ガラス３０」という。）により評価できる。また、この場合、評価されるべき積層膜２が設けられた板厚５ｍｍの透明ガラス板１を「試験用積層膜付きガラス板１０ｘ」という。
【００２６】
ここで、本明細書において上記評価等に用いる透明ガラス板とは、厚さによらず、ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される可視光透過率が８０％以上であり、ＩＳＯ９０５０：２００３に規定される可視光を照射して得られる透過光のＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色度座標によるａ＊およびｂ＊の絶対値が共に５以下のガラスをいう。
【００２７】
本明細書において、必要に応じて、ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される可視光透過率を「Ｔｖ」、可視光反射率を「Ｒｖ」と示す。また、ＩＳＯ９０５０：２００３に規定される可視光を照射して得られる透過光を、単に「透過光」ともいい、同様にＩＳＯ９０５０：２００３に規定される可視光を照射して得られる反射光を、単に「反射光」ともいう。ＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色度座標によるｂ＊およびａ＊を、それぞれ単に「ｂ＊」、「ａ＊」ともいう。
【００２８】
以下、上記評価用の複層ガラス、例えば、複層ガラス３０を用いて評価される、実施形態の積層膜付きガラス板における積層膜の特性について説明する。なお、以下の説明は、複層ガラス３０の特性として記載するが、これらはすべて積層膜２の特性に起因するものである。また、実施形態の積層膜付きガラス板を用いる複層ガラスにおいては、通常、積層膜付きガラス板は積層膜を内側にして他のガラス板と隙間をおいて対向するように作製され、積層膜付きガラス板側が屋外に晒され、対向するガラス板側が室内に位置するようにして使用される。複層ガラス３０を用いた評価は、このような使用を想定した評価である。
【００２９】
積層膜２を用いた複層ガラス３０において、（１−ａ）ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側からの日射に対する第２の透明ガラス板３２側での日射熱取得率（ｇ値）は０．２６５以下である。日射熱取得率（ｇ値）は、０．２５７以下が好ましい。
【００３０】
ここで、日射熱取得率（ｇ値）は、試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側（屋外側）から入射した太陽エネルギーを１としたときの第２の透明ガラス板３２側（室内側）に流入する熱量の割合を示す値である。日射熱取得率（ｇ値）により、遮熱性、すなわち太陽光によって生じる熱（日射熱）をどの程度遮断するかを知ることができる。
【００３１】
日射熱取得率は、試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側（屋外側）から入射した太陽エネルギーに対する、直接透過する熱（以下「透過熱」ともいう。）と、吸収されてその後第２の透明ガラス板３２側（室内側）へ放出される熱（以下、「輻射熱」ともいう。）との合計の熱量の割合である。日射熱取得率は、０から１の間の数で表される。
【００３２】
なお、日射熱取得率は、具体的には複層ガラス３０における分光特性および放射率を測定し、所定の計算式に導入することで算出できる。日射熱取得率が小さいほど、複層ガラス３０において試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側から入射した日射熱量に対する、透過熱および輻射熱の合計の熱量の割合が少なくなる。
【００３３】
積層膜２を用いた複層ガラス３０において、（２−ａ）ＩＳＯ９０５０：２００３に規定される可視光を照射して得られる透過光について、ＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色度座標によるｂ＊が１以下である。
【００３４】
透過光は、複層ガラス３０の試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側（屋外側）から入射し第２の透明ガラス板３２側（室内側）に透過した透過光であっても、複層ガラス３０の第２の透明ガラス板３２側（室内側）から入射し試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側（屋外側）に透過した透過光であっても、同様であり、測定に際してどちらの透過光を用いてもよい。
【００３５】
複層ガラス３０の透過光のｂ＊は、ｂ＊≦０が好ましい。複層ガラス３０において透過光のｂ＊が上記範囲内であれば、試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側（屋外側）から入射した太陽光が室内側に設置されたブラインドに当たった際、黄色がかった色味とはならない。
【００３６】
積層膜２を用いた複層ガラス３０において、（３−ａ）ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側の可視光反射率は２０％以下である。以下、ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側の可視光反射率をＲｖｏｕｔともいう。Ｒｖｏｕｔは、１８％以下が好ましい。複層ガラス３０においてＲｖｏｕｔが上記範囲内であれば、屋外側からガラスを見た際に、反射が高過ぎず、意匠性に優れた外観となる。
【００３７】
積層膜２を用いた複層ガラス３０においては、上記（１−ａ）、（２−ａ）、および（３−ａ）の特性を有しながら、さらに、以下の（４−ａ）、（５−ａ）、（６−ａ）、（７−ａ）および（８−ａ）から選ばれる１つまたは２つ以上の特性を有することが好ましい。（４−ａ）〜（８−ａ）のすべての特性を有することがより好ましい。
【００３８】
（４−ａ）ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、前記第２の透明ガラス板側の可視光反射率が２０％以下である。
（５−ａ）ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される前記試験用積層膜付きガラス板側の可視光反射率と、前記第２の透明ガラス板側の可視光反射率の差が、１０％以下である。
（６−ａ）前記試験用積層膜付きガラス板側および前記第２の透明ガラス板側に、ＩＳＯ９０５０：２００３に規定される可視光を照射して得られる各反射光の、ＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色度座標によるａ＊およびｂ＊がいずれも２以下である。
（７−ａ）ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される可視光透過率が３０％以上である。
（８−ａ）ＪＩＳ  Ｚ８７２６（１９９０）に準拠してＤ６５光源を使用し平均演色性評価数（Ｒａ）により評価される透過光の演色性が８５％以上である。
【００３９】
上記Ｒｖｏｕｔと同様に、ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、前第２の透明ガラス板３２側の可視光反射率をＲｖｉｎともいう。Ｒｖｉｎは、上記（４−ａ）のとおり２０％以下が好ましく、１８％以下がより好ましく、１６％以下が特に好ましい。複層ガラス３０が上記（４−ａ）の特性を有することで、第２の透明ガラス板３２側（室内側）への反射光による室内の映り込みを抑制することが可能となる。
【００４０】
ＲｖｏｕｔとＲｖｉｎの差は上記（５−ａ）のとおり１０％以下であることが好ましく、９％以下がより好ましく、８％以下が特に好ましい。なお、ＲｖｏｕｔとＲｖｉｎの差とは、ＲｖｏｕｔとＲｖｉｎのうちで値が大きいものから値が小さいものを引いて得られる値をいう。複層ガラス３０が上記（５−ａ）の特性を有することで、室外側、室内側ともに意匠性に優れた色調に調整することが容易となる。
【００４１】
試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側の反射光および第２の透明ガラス板３２側の反射光におけるＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色度座標によるａ＊およびｂ＊は上記（６−ａ）のとおりいずれも２以下であることが好ましい。複層ガラス３０が上記（６−ａ）の特性を有することで、試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側（屋外側）、第２の透明ガラス板３２側（室内側）ともに反射光の赤味、および黄色味を抑制することが可能となる。
【００４２】
試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側（屋外側）の反射光のａ＊は−２０〜１がより好ましく、−１５〜０が特に好ましい。試験用積層膜付きガラス板１０ｘ側（屋外側）の反射光のｂ＊は−３０〜１がより好ましく、−２５〜０が特に好ましい。第２の透明ガラス板３２側（室内側）の反射光のａ＊は−２０〜１がより好ましく、−１５〜０が特に好ましい。第２の透明ガラス板３２側（室内側）の反射光のｂ＊は−３０〜１がより好ましく、−２５〜０が特に好ましい。
【００４３】
複層ガラス３０のＴｖは、上記（７−ａ）のとおり３０％以上が好ましい。複層ガラス３０が上記（７−ａ）の特性を有することで、建物内への採光を十分とすることができる。複層ガラス３０のＴｖは、防眩性の観点からは６０％以下が好ましい。複層ガラス３０のＴｖは、３５〜５５％が特に好ましい。
【００４４】
複層ガラス３０のＪＩＳ  Ｚ８７２６（１９９０）に準拠してＤ６５光源を使用し平均演色性評価数（Ｒａ）により評価される透過光の演色性は、上記（８−ａ）のとおり８５％以上である。（８−ａ）による演色性が８５％以上であることで、建物の外側から複層ガラス３０を見た際の外観が自然な中間色となる。演色性は８７％以上が好ましく、９０％以上がより好ましい。
【００４５】
以上、本発明の実施形態の積層膜付ガラス板の積層膜の特性を、上記試験用積層膜付ガラス板を用いた複層ガラスにより評価した場合について説明した。上記に用いた試験用積層膜付ガラス板および、これを用いた複層ガラスの構成はいずれも、実施形態の積層膜付ガラス板の積層膜を評価するための構成であり、本発明の積層膜付ガラス板の構成は上記試験用積層膜付ガラス板の構成に限定されない。また、本発明の積層膜付ガラス板の使用は、複層ガラスに限定されるものではなく、また、本発明の実施形態の複層ガラスの構成は、上記評価用の複層ガラスの構成に限定されるものではない。
【００４６】
本発明の実施形態の積層膜付ガラス板は、透明性を確保するためにヘイズ値が２％以下であることが好ましい。積層膜付ガラス板のヘイズ値は、１％以下がより好ましい。積層膜付ガラス板において、ガラス板のヘイズ値は通常、０．０〜０．１％程度であり、積層膜付ガラス板全体のヘイズ値は積層膜のヘイズ値によるところが大きい。すなわち、積層膜は上記評価において（１−ａ）、（２−ａ）および（３−ａ）を満足する特性を有することが必須であり、（４−ａ）〜（８−ａ）から選択される１以上の特性を有することが好ましく、さらに積層膜付ガラス板としたときのヘイズ値を２％以下とする積層膜が好ましい。 
【００４７】
実施形態の積層膜付ガラス板における積層膜の構成および製造方法は後述のとおりである。ガラス板が風冷強化ガラス板や曲板状ガラス板の場合、積層膜付ガラス板の前駆体を、例えば、６００℃以上に熱処理して、実施形態の積層膜付ガラス板を得ることがある。すなわち、ガラス板を、例えば、６００℃以上に熱処理することで、風冷強化ガラス板や曲板状ガラス板として、その一方の主面上に積層膜を形成して積層膜付ガラス板を得るのではなく、上記熱処理を施す前のガラス板に積層膜の前駆体を形成させ、これを熱処理してガラス板が風冷強化ガラス板や曲板状ガラス板である積層膜付ガラス板を得ることがある。曲板状ガラス板は熱処理により強化された曲板状のガラス板である。このような場合、熱処理された積層膜として、積層膜付ガラス板のヘイズ値が２％以下となるように、後述のようにして積層膜の構成材料を選択する。
【００４８】
実施形態の積層膜付ガラス板は、該積層膜付きガラス板を５０℃、９０％ＲＨの条件下に２週間保管する耐湿試験後に、前記積層膜表面の１００ｍｍ×１００ｍｍの範囲で観察される直径０．５ｍｍ以上の白点の個数が５個以内であることが好ましい。上記耐湿試験後の積層膜表面が上記条件を満たせば、例えば、実施形態の積層膜付ガラス板を用いて複層ガラスを製造する際に、積層膜付ガラス板を保管する場合に十分な耐湿性を有するといえる。
【００４９】
＜積層膜の構成＞
実施形態の積層膜付ガラス板における積層膜は、上記評価において（１−ａ）、（２−ａ）および（３−ａ）を満足する特性を有すれば、その構成は特に制限されない。上記評価において（１−ａ）、（２−ａ）および（３−ａ）の特性を満足できる積層膜としては、例えば、以下の構成の積層膜（Ｘ）または積層膜（Ｙ）が挙げられる。
【００５０】
積層膜（Ｘ）は、銀を主成分として含有する金属層のｎ層（ｎは２以上の整数）と、前記金属層を挟むように積層されるｎ＋１層の誘電体層を有し、前記金属層のうち前記ガラス板に最も近い第１の金属層は、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属を、銀と前記金属との合計量に対して６質量％以上の割合で含有する。ただし、銀と前記金属との合計量に対する前記金属の割合が６質量％以上９質量％未満の場合は前記第１の金属層と前記ガラス板に２番目に近い第２の金属層との間の前記誘電体層の厚さが１００ｎｍ以下である。銀と前記金属との合計量に対する前記金属の割合が９質量％以上の場合には、前記第１の金属層と前記ガラス板に２番目に近い第２の金属層との間の前記誘電体層の厚さは特に制限されない。なお、本明細書において、積層膜を構成する金属層、誘電体層およびその他の層の厚さは、幾何学的厚さを表す。
【００５１】
積層膜（Ｙ）は、銀を主成分として含有する金属層のｎ層（ｎは２以上の整数）と、前記金属層を挟むように積層されるｎ＋１層の誘電体層を有する。積層膜（Ｙ）において、前記金属層のうち前記ガラス板に最も近い第１の金属層は、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属を、銀と前記金属との合計量に対して１．５質量％以上の割合で含有し、かつ、前記金属層のうち前記第１の金属層以外の前記金属層の少なくとも１層は、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属を、銀と前記金属との合計量に対して１．５質量％以上の割合で含有する。さらに、積層膜（Ｙ）においては、前記金属を１．５質量％以上の割合で含有する金属層における前記金属の含有量の合計が４質量％以上である。積層膜（Ｙ）は、ｎ層の金属層の構成が上記の条件を満たすとともに、前記第１の金属層と前記ガラス板に２番目に近い第２の金属層との間の前記誘電体層の厚さが９５ｎｍ以下である。
【００５２】
積層膜（Ｘ）および積層膜（Ｙ）が有する、銀を主成分として含有する金属層のｎ層（ｎは２以上の整数）が、積層膜に低放射性を付与する役割を担う金属層である。なお、本明細書において、ある成分を主成分として含有するとは、全構成成分に対する主成分として含有する成分の割合が５０質量％を超えることをいう。積層膜（Ｘ）および積層膜（Ｙ）においては、ｎ層の銀を主成分として含有する金属層における特定の金属層が、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属を上記含有量となるように含有し、積層体（Ｘ）においては必要に応じて、積層体（Ｙ）においては必須の要件として、ガラス板に最も近い第１の金属層と２番目に近い第２の金属層との間の誘電体層の厚さを上記範囲とすることで、上記評価において（１−ａ）、（２−ａ）および（３−ａ）の特性の全てを達成可能としている。
【００５３】
積層膜（Ｘ）において、銀を主成分として含有する金属層の層数は２以上であればよく、２〜４が好ましく、２または３がより好ましく、２が特に好ましい。図３は、積層膜（Ｘ）として、上記銀を主成分として含有する金属層の層数が２である積層膜を有する積層膜付きガラス板１０Ａの一実施形態の断面図である。積層膜付きガラス板１０Ａは、ガラス板１の一方の主面１ｓ上に積層膜２Ａを有する。
【００５４】
積層膜２Ａは、ガラス板１側から順に、第１の誘電体層２１、第１の金属層２２、第２の誘電体層２３、第２の金属層２４、第３の誘電体層２５を有する。第１の金属層２２および第２の金属層２４は、いずれも、銀を主成分として含有する金属層である。また、第１の金属層２２は、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属を、銀と前記金属との合計量に対して６質量％以上の割合で含有する。なお、第１の金属層２２において、銀と前記金属との合計量に対する前記金属の割合が６質量％以上９質量％未満の場合は第１の金属層２２と第２の金属層２４との間の第２の誘電体層２３の厚さが１００ｎｍ以下である。第１の金属層２２において、銀と前記金属との合計量に対する前記金属の割合が９質量％以上の場合には、第２の誘電体層２３の厚さは特に制限されない。各層においてガラス板１に近い側を「ガラス板側」、その反対側を「表面側」という。
以下、積層膜２Ａを構成する各層について説明する。
【００５５】
第１の金属層２２は、銀を主成分として含有し、主成分としての銀以外に、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属を銀と前記金属との合計量に対して６質量％以上の割合で含有する。以下、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属を金属Ｍともいう。また、銀と金属Ｍとの合計量に対する金属Ｍの割合（質量％）を、金属Ｍの含有量という。第１の金属層２２における金属Ｍの含有量は、７．５質量％以上がより好ましく、９質量％以上が特に好ましい。第１の金属層２２における金属Ｍの含有量の上限は、効果と経済性のバランスから３０質量％程度が好ましい。
【００５６】
上記金属Ｍとしては、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。これらのうちでも金属Ｍとしては、パラジウム、金が好ましく、パラジウムが特に好ましい。なお、金属Ｍは、第１の金属層２２の主材料である銀と固溶体を形成しやすい金属である。金属Ｍを用いることで、たとえ、ガラス板の強化処理や曲げ処理において熱処理が施された場合であっても、熱処理して得られる積層膜２Ａのヘイズ値が大きく上昇することはない。
【００５７】
第１の金属層２２は、銀および金属Ｍ以外の添加元素を含有できる。添加元素としては、例えば、銅、チタン等の金属元素が挙げられる。添加元素を含有する場合、添加元素の合計した含有量は、第１の金属層２２を構成する全成分中、５質量％以下が好ましく、３質量％以下がより好ましく、１質量％以下がさらに好ましい。
【００５８】
第２の金属層２４は、銀を主成分として含有する金属層であれば、特に制限されない。第２の金属層２４は、必要に応じて第１の金属層２２と同様の金属Ｍを含有してもよい。好ましい金属Ｍの態様は、上記第１の金属層２２の場合と同様である。なお、第２の金属層２４が金属Ｍを含有する場合の金属Ｍの含有量については、積層膜に求められる性能による。
【００５９】
第１の金属層２２および第２の金属層２４の厚さについては、第１の金属層２２の厚さに対する、第２の金属層２４の厚さの比が、０．８〜１．６の範囲にあることが好ましい。この２つの金属層の比の値は、より好ましくは０．８５〜１．５であり、特に好ましくは０．９〜１．４である。第１の金属層２２の厚さは、具体的には、８〜２５ｎｍが好ましく、１０〜２０ｎｍがより好ましい。第２の金属層２４の厚さは、上記比の値を満足させた上で１０〜３０ｎｍが好ましく、１２〜２５ｎｍがより好ましい。
【００６０】
積層膜２Ａにおける第１の誘電体層２１、第２の誘電体層２３および第３の誘電体層２５としては、銀を主成分として含有する金属層を有する積層膜に、該金属層を挟む形で一般的に用いられる誘電体層が特に制限なく使用可能である。具体的には、ガラス板１上や第１の金属層２２上、第２の金属層２４上に成膜可能な金属や元素の酸化物、窒化物、酸窒化物等を含む誘電体層が挙げられる。上記金属や元素としては、亜鉛、スズ、チタン、ケイ素、アルミニウム、クロム、ニッケル、ニオブ、および、それらの合金等が挙げられる。また、誘電体層を構成する上記金属や元素の酸化物、窒化物、酸窒化物等には、例えば、上記金属や元素以外に、スズ、アルミニウム、クロム、チタン、ケイ素、ホウ素、マグネシウム、ガリウム等から選ばれる元素が酸化物、窒化物、酸窒化物の形でドープされていてもよい。
【００６１】
なお、窒化物層や酸窒化物層は熱処理による応力変化が大きく、熱処理によって膜内部に蓄積した応力が金属層の安定性を失わせるため、実施形態の積層膜付きガラス板における積層膜は、上記金属層のうちの最も積層膜表面に近い金属層とガラス板の間に窒化物層または酸窒化物層を有しない構成が好ましい。積層膜２Ａにおいては、少なくとも第１の誘電体層２１および第２の誘電体層２３は、成膜効率の観点から、窒化物層でもなく、酸窒化物層でもないことが好ましい。より好ましくは、第１の誘電体層２１、第２の誘電体層２３および第３の誘電体層２５の全てが酸化物層であることが好ましい。
【００６２】
酸化物層のなかでも、第１の誘電体層２１、第２の誘電体層２３および第３の誘電体層２５としては、銀を主成分として含有する第１の金属層２２、第２の金属層２４を挟むことから、これらの金属層２２、２４を均質および緻密にでき、および金属層２２、２４との密着性を向上させることが可能な誘電体層、例えば亜鉛の酸化物を含有する誘電体層が好ましい。
【００６３】
誘電体層２１、２３、２５が亜鉛の酸化物を含有する誘電体層である場合、亜鉛以外の酸化物構成元素を含有させることができる。亜鉛以外の酸化物構成元素としては、例えば、スズ、アルミニウム、クロム、チタン、ケイ素、ホウ素、マグネシウム、ガリウムが挙げられ、これらは１種または２種以上を含有させることができる。亜鉛以外の酸化物構成元素を含有させることで、この層に接する層との密着性を向上させるとともに、可視光透過率を向上させることができる。
【００６４】
亜鉛以外の酸化物構成元素であるスズ、アルミニウム、クロム、チタン、ケイ素、ホウ素、マグネシウム、ガリウムは、誘電体層２１、２３、２５中、例えば、酸化スズ（ＳｎＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化ホウ素（Ｂ２Ｏ３）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化ガリウム（Ｇａ２Ｏ３）として、またはこれらの複合酸化物として含有される。亜鉛以外の酸化物構成元素としては、アルミニウム、スズが安価であるため好ましい。アルミニウムは、安価な材料であるとともに、成膜速度を高くできるために好ましい。スズについても、比較的安価な材料であるために好ましい。
【００６５】
亜鉛の酸化物を含有する誘電体層に亜鉛以外の酸化物構成元素を含有させる場合、亜鉛と亜鉛以外の酸化物構成元素（酸素を除く）との合計量中（１００質量％中）、亜鉛以外の酸化物構成元素を１〜５０質量％とすることが好ましい。亜鉛以外の酸化物構成元素の割合を１質量％以上とすることで、可視光透過率を効果的に向上させることができる。また、亜鉛以外の酸化物構成元素の割合を５０質量％以下とすることで、誘電体層２１、２３、２５の間に形成される金属層２２、２４の安定性を確保できる。
【００６６】
積層膜２Ａにおいて、第１の金属層２２における金属Ｍの含有量が９質量％以上の場合には、第１〜第３の誘電体層２１、２３、２５の厚さは、必ずしも限定されるものではない。第１、第３の誘電体層２１、２５の厚さについては、それぞれ独立に１０〜５０ｎｍが好ましく、２０〜４５ｎｍがより好ましい。また、第１の金属層２２および第２の金属層２４で挟まれた第２の誘電体層２３の厚さについては、上記第１、第３の誘電体層２１、２５の厚さより厚く、６０〜１２０ｎｍが好ましく、７０〜１１０ｎｍがより好ましい。積層膜（Ｘ）においては、第１の金属層２２における金属Ｍの含有量を９質量％以上とし、誘電体層２１、２３、２５の厚さを上記範囲とすることで、可視光反射率をより低くすることができるとともに、良好な反射色調を実現することができる。
【００６７】
一方、積層膜２Ａにおいて、第１の金属層２２における金属Ｍの含有量が６質量％以上９質量％未満の場合には、第１の金属層２２および第２の金属層２４で挟まれた第２の誘電体層２３の厚さは１００ｎｍ以下である。第２の誘電体層２３の厚さについては、６０〜１００ｎｍが好ましく、７０〜１００ｎｍがより好ましい。第１の誘電体層２１および第３の誘電体層２５の厚さは、必ずしも限定されるものではないが、いずれも上記第２の誘電体層２３の厚さより薄いことが好ましい。第１の誘電体層２１および第３の誘電体層２５の厚さは、具体的には、上記第１の金属層２２における金属Ｍの含有量が９質量％以上の場合の第１の誘電体層２１および第３の誘電体層２５の厚さと同様にできる。積層膜（Ｘ）においては、第１の金属層２２における金属Ｍの含有量を６質量％以上９質量％未満とし、誘電体層２１、２３、２５の厚さを上記範囲とすることで、可視光反射率をより低くすることができるとともに、良好な反射色調を実現することができる。
【００６８】
上記積層膜（Ｘ）と同様、積層膜（Ｙ）についても、銀を主成分として含有する金属層の層数は２以上であればよく、２〜４が好ましく、２または３がより好ましく、２が特に好ましい。銀を主成分として含有する金属層の層数が２の場合、いずれの金属層においても金属Ｍの含有量は１．５質量％以上であり、かつ各層の金属Ｍの含有量の合計が４質量％以上である。銀を主成分として含有する金属層の層数が３以上の場合、ガラス板に最も近い金属層と、残りの金属層のうちの少なくとも１層が金属Ｍを１．５質量％以上の割合で含有し、かつ各層の金属Ｍの含有量の合計が４質量％以上である。金属Ｍの含有量は、各金属層で同一であっても異なってもよい。
【００６９】
各金属層における金属Ｍの含有量のより好ましい含有量は、ガラス板に最も近い金属層で４質量％以上であり、７質量％以上が特に好ましい。さらに、金属Ｍを１．５質量％以上含有するその他の金属層では、金属Ｍの含有量は２質量％以上がより好ましく、２．５質量％以上が特に好ましい。金属Ｍの含有量に規定のない金属層においては、金属Ｍを含有してもよく、含有しなくてもよい。金属Ｍを含有する場合は、含有量は１．５質量％以上が好ましい。各金属層における金属Ｍの含有量の上限は、２０質量％程度が好ましい。
【００７０】
積層膜（Ｙ）における積層構成としては、例えば、図３に示す積層膜付きガラス板１０Ａの積層膜２Ａと同様の積層構成、すなわち、ガラス板側から順に、第１の誘電体層、第１の金属層、第２の誘電体層、第２の金属層、第３の誘電体層を有する構成が挙げられる。積層膜（Ｙ）は、このような積層膜において、金属層については、第１の金属層および第２の金属層における金属Ｍの含有量が異なる以外は、積層膜（Ｘ）と全て同様の構成が好ましい。
【００７１】
また、このような積層膜２Ａと同様の積層構成を有する積層膜（Ｙ）としたときに、誘電体層については、第２の誘電体層の厚さが異なる以外は、積層膜（Ｘ）と全て同様の構成が好ましい。積層膜（Ｙ）においては、第１の金属層および第２の金属層で挟まれた第２の誘電体層の厚さは９５ｎｍ以下である。第２の誘電体層の厚さについては、６０〜９５ｎｍが好ましく、７０〜９５ｎｍがより好ましい。第１の誘電体層および第３の誘電体層の厚さは、必ずしも限定されるものではないが、いずれも上記第２の誘電体層の厚さより薄いことが好ましい。第１の誘電体層および第３の誘電体層の厚さは、具体的には、上記積層膜（Ｘ）における第１の誘電体層および第３の誘電体層の厚さと同様にできる。積層膜（Ｙ）においては、金属層を上記構成とし、誘電体層の厚さを上記範囲とすることで、可視光反射率をより低くすることができるとともに、良好な反射色調を実現することができる。
【００７２】
積層膜において、銀を主成分として含有する金属層の層数が２である場合、ガラス板に近い第１の金属層における金属Ｍの含有量が６質量％以上である上記積層膜（Ｘ）であっても、ガラス板に近い第１の金属層およびガラス板から遠い第２の金属層における金属Ｍの含有量がともに１．５質量％以上であり、かつ各層の金属Ｍの含有量の合計が４質量％以上である上記積層膜（Ｙ）であっても、積層膜は図４に断面を示す層構成であることが好ましい。
【００７３】
図４は、積層膜付きガラス板の一実施形態の変形例を示す断面図である。積層膜付きガラス板１０Ｂは、ガラス板１の一方の主面１ｓ上に積層膜２Ｂを有する。積層膜２Ｂは、ガラス板１側から順に、第１の誘電体層２１、第１の金属層２２、第１のバリア層２６、第２の誘電体層２３、第２の金属層２４、第２のバリア層２７、第３の誘電体層２５、および保護層２８を有する。
【００７４】
第１の金属層２２および第２の金属層２４は、いずれも、積層膜付きガラス板１０Ａにおける積層膜２Ａの第１の金属層２２および第２の金属層２４と同様とできる。
【００７５】
第１の誘電体層２１は、ガラス板側から第１のアモルファス誘電体層２１１、第１の結晶性誘電体層２１２からなる。第２の誘電体層２３は、ガラス板側から第２の結晶性誘電体層２３１、第２のアモルファス誘電体層２３２、第３の結晶性誘電体層２３３からなる。さらに、第３の誘電体層２５は、ガラス板側から第４の結晶性誘電体層２５１および第３のアモルファス誘電体層２５２からなる。
【００７６】
積層膜２Ｂにおいては、第１、第２、第３の誘電体層２１、２３、２５が、それぞれ上記結晶性誘電体層およびアモルファス誘電体層を有し、第１の金属層２２を挟むように第１の結晶性誘電体層２１２と第２の結晶性誘電体層２３１が、第２の金属層２４を挟むように第３の結晶性誘電体層２３３と第４の結晶性誘電体層２５１がそれぞれ配置され、さらにその両側に第１、第２、第３のアモルファス誘電体層２１１、２３２、２５２が配置された構成である。
【００７７】
積層膜２Ｂにおいて、積層膜（Ｘ）、積層膜（Ｙ）のいずれの場合についても、第１の誘電体層２１を構成する各層の合計の厚さ、すなわち第１の誘電体層２１の厚さは、積層膜２Ａにおける、積層膜（Ｘ）、積層膜（Ｙ）の場合の厚さと同様にできる。第２の誘電体層２３の厚さ、第３の誘電体層２５の厚さについても同様である。
【００７８】
また、積層膜２Ｂは、第１の金属層２２および第２の金属層２４のそれぞれ表面側に各金属層に接するように第１のバリア層２６および第２のバリア層２７を有し、最も表面側の第３の誘電体層２５の表面側に保護層２８を有する構成である。
【００７９】
上記のとおり、実施形態の積層膜付きガラス板における積層膜は、上記金属層のうちの最も積層膜表面に近い金属層とガラス板の間に窒化物層または酸窒化物層を有しない構成が好ましい。積層膜２Ｂにおいては、少なくとも第１の誘電体層２１、第１のバリア層２６および第２の誘電体層２３は、成膜効率の観点から、窒化物層でもなく、酸窒化物層でもないことが好ましい。より好ましくは、第１の誘電体層２１、第１のバリア層２６、第２の誘電体層２３、第２のバリア層２７および第３の誘電体層２５の全てが酸化物層であることが好ましい。
【００８０】
第１〜第４の結晶性誘電体層２１２、２３１、２３３、２５１は、上記のように第１、第２の金属層２２、２４を挟み込むように配置される、結晶性の高い誘電体層である。結晶性誘電体層は、その結晶化等により、その間に形成される第１の金属層２２、第２の金属層２４を均質にするとともに緻密なものとすることができる。
【００８１】
結晶性誘電体層２１２、２３１、２３３、２５１の構成材料としては、積層膜２Ａにおいて誘電体層２１、２３、２５等を構成する材料として上記した誘電体材料のうちから結晶性の高い誘電体材料を適宜選択して用いることができる。上に説明した誘電体材料のうちでも、結晶性の高い誘電体材料として、具体的には、亜鉛の酸化物、もしくはアルミニウム、チタン、スズ等の亜鉛以外の酸化物構成元素を含有する亜鉛の酸化物が好ましい。
【００８２】
これらのなかでも、アルミニウムを含有する亜鉛の酸化物が、結晶性、成膜速度、経済性の点で特に好ましい。亜鉛の酸化物にアルミニウムを含有させる場合、上記のとおり酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）または、亜鉛とアルミニウムの複合酸化物のかたちで含有される。アルミニウムを含有する亜鉛の酸化物におけるアルミニウムの含有量は、亜鉛とアルミニウムとの合計量中（１００質量％中）、アルミニウムを１〜１０質量％とすることが好ましく、１〜５質量％とすることがより好ましい。
【００８３】
第１〜第４の結晶性誘電体層２１２、２３１、２３３、２５１の厚さは、それぞれ独立に３〜１５ｎｍが好ましい。結晶性誘電体層２１２、２３１、２３３、２５１の厚さを３ｎｍ以上とすることで、結晶化を促進でき、その間に形成される第１、第２の金属層２２、２４を均質にするとともに緻密なものとすることができる。結晶性誘電体層２１２、２３１、２３３、２５１の厚さは１５ｎｍもあれば、結晶化の促進には十分であり、これ以下の厚さとすることで、結晶性誘電体層２１２、２３１、２３３、２５１の表面が粗くなることにより第１、第２の金属層２２、２４の特性が低下することを抑制できる。結晶性誘電体層２１２、２３１、２３３、２５１の厚さは、より第１、第２の金属層２２、２４を均質にするとともに緻密なものとし、特性に優れたものとする観点から、５〜１１ｎｍがより好ましい。
【００８４】
なお、第１、第２の金属層２２、２４の表面側には、各金属層に接するように、それぞれ第１のバリア層２６、第２のバリア層２７が配置されている。したがって、上記第１〜第４の結晶性誘電体層２１２、２３１、２３３、２５１のうち第１、第２の金属層２２、２４の表面側に配設される第２の結晶性誘電体層２３１および第４の結晶性誘電体層２５１は、第１のバリア層２６および第２のバリア層２７を介して第１、第２の金属層２２、２４の表面側に配置されている。しかしながら、上記第１、第２の金属層２２、２４を均質にするとともに緻密なものとする機能は、第１、第２の金属層２２、２４のガラス板側に配置される第１の結晶性誘電体層２１２および第３の結晶性誘電体層２３３とともに用いることで十分に果たすことが可能である。
【００８５】
第１、第２、第３のアモルファス誘電体層２１１、２３２、２５２は、第１、第２の金属層２２、２４を挟み込むように設けられた第１〜第４の結晶性誘電体層２１２、２３１、２３３、２５１の間、もしくは上下に配置される非結晶性の誘電体層である。アモルファス誘電体層は、結晶粒が成長しないことから、これを結晶性誘電体層の間、もしくは上下に設けることで、積層膜２Ｂ全体としての平坦性を確保することが可能となる。
【００８６】
アモルファス誘電体層２１１、２３２、２５２の構成材料としては、積層膜２Ａにおいて誘電体層２１、２３、２５等を構成する材料として上記した誘電体材料のうちから非結晶性の誘電体材料を適宜選択して用いることができる。上に説明した誘電体材料のうちでも、非結晶性の誘電体材料として、具体的には、スズ、アルミ、チタン等の亜鉛以外の酸化物構成元素を１０質量％以上含有する亜鉛の酸化物等が好ましい。
【００８７】
これらのなかでも、スズを含有する亜鉛の酸化物が、非結晶性、経済性の点で特に好ましい。亜鉛の酸化物にスズを含有させる場合、上記のとおり酸化スズ（ＳｎＯ２）または、亜鉛とスズの複合酸化物のかたちで含有される。スズを含有する亜鉛の酸化物におけるスズの含有量は、十分な非結晶性を得るために、亜鉛とスズとの合計量中（１００質量％中）、スズを２０〜８０質量％とすることが好ましく、３０〜７０質量％とすることがより好ましい。
【００８８】
第１、第２、第３のアモルファス誘電体層２１１、２３２、２５２の厚さは、第１、第３のアモルファス誘電体層２１１、２５２の厚さについては、それぞれ独立に５〜４５ｎｍが好ましく、１０〜３５ｎｍがより好ましい。また、第２の結晶性誘電体層２３１および第３の結晶性誘電体層２３３で挟まれた第２のアモルファス誘電体層２３２の厚さについては、積層膜２Ｂが、積層膜（Ｘ）、積層膜（Ｙ）のいずれかに属するかを勘案して、第２の誘電体層２３の厚さが、上記したそれぞれの場合の厚さの範囲内となるように設定される。
【００８９】
積層膜２Ｂが積層膜（Ｘ）であって、第１の金属層２２における金属Ｍの含有量が９質量％以上の場合には、第２のアモルファス誘電体層２３２の厚さは、３０〜１００ｎｍが好ましく、４０〜８０ｎｍがより好ましい。積層膜２Ｂが積層膜（Ｘ）であって、第１の金属層２２における金属Ｍの含有量が６質量％以上９質量％未満の場合には、第２のアモルファス誘電体層２３２の厚さは、５０〜９０ｎｍが好ましく、６０〜９０ｎｍがより好ましい。積層膜２Ｂが積層膜（Ｙ）の場合には、第２のアモルファス誘電体層２３２の厚さは、５０〜８５ｎｍが好ましく、６０〜８５ｎｍがより好ましい。
【００９０】
第１、第２、第３のアモルファス誘電体層２１１、２３２、２５２の厚さをそれぞれ上記範囲とすることで、積層膜２Ｂ全体としての平坦性を確保しつつ、可視光透過率を高くすることができるとともに、成膜時間を適度に短縮でき生産性を良好とすることができる。
【００９１】
第１のバリア層２６および第２のバリア層２７は、それぞれ、第２の結晶性誘電体層２３１および第４の結晶性誘電体層２５１の成膜時における第１の金属層２２および第２の金属層２４の酸化を抑制するために設けられる。
【００９２】
第１のバリア層２６および第２のバリア層２７の構成材料は、上記酸化を抑制できるものであれば特に制限されない。第１、第２のバリア層２６、２７の構成材料としては、例えば、チタン、亜鉛アルミニウム合金、ニッケルクロム合金、またはそれらの酸化物を含有するものであって、金属、または化学量論組成に対して酸素が欠乏した酸化物からなるものが挙げられる。金属、または化学量論組成に対して酸素が欠乏した酸化物からなる材料とすることで、第２の結晶性誘電体層２３１の成膜時における第１の金属層２２の酸化、および第４の結晶性誘電体層２５１の成膜時における第２の金属層２４の酸化をそれぞれ抑制できる。
【００９３】
第１、第２のバリア層２６、２７は、チタン、またはチタンの酸化物を主成分とするものが好ましい。チタンの酸化物を主成分とするものとは、チタンとチタン以外の酸化物構成元素（酸素を除く）との合計量（１００原子％）中、チタンを５０原子％以上含有するものである。
【００９４】
第１、第２のバリア層２６、２７には、チタン以外の構成元素を含有させることができる。チタン以外の構成元素としては、例えば、ニオブ、タンタル、ジルコニウム、ケイ素、タングステン、モリブデンが挙げられ、これらは１種または２種以上を含有させることができる。チタン、ニオブ、タンタル、タングステン、モリブデンは、酸化防止バリア層中、例えば、ＴｉＯｘ（ｘ＜２）、Ｎｂ２Ｏｘ（ｘ＜５）、Ｔａ２Ｏｘ（ｘ＜５）、ＺｒＯｘ（ｘ＜２）、ＳｉＯｘ（ｘ＜２）、ＷＯｘ（ｘ＜３）、ＭｏＯｘ（ｘ＜３）、またはこれらの複合物として含有される。
【００９５】
第１、第２のバリア層２６、２７にチタン以外の構成元素を含有させる場合、材料費を安価にする観点から、チタンとチタン以外の構成元素との合計量（１００原子％）中、チタン以外の構成元素を３０原子％以下とすることが好ましく、２０原子％以下とすることがより好ましく、１０原子％以下とすることがさらに好ましい。第１、第２のバリア層２６、２７は、チタン、またはチタンの酸化物のみからなるものとすることが好ましく、特に化学量論組成に対して酸素が欠乏した酸化物であるＴｉＯｘ（１＜ｘ＜２）のみからなるものとすることが好ましい。
【００９６】
なお、第１、第２のバリア層２６、２７は、それぞれ第２の結晶性誘電体層２３１および第４の結晶性誘電体層２５１の成膜時に一部または全部が酸化される。このため、第２の結晶性誘電体層２３１および第４の結晶性誘電体層２５１の成膜後は、必ずしも化学量論組成に対して酸素が欠乏した酸化物からなる必要はなく、例えば、酸化により形成された化学量論組成を有する酸化層と、酸化されずに残った未酸化層とからなるものとなっていてもよいし、酸化により形成された化学量論組成を有する酸化層のみからなるものとなっていてもよい。
【００９７】
第１、第２のバリア層２６、２７の厚さは、それぞれ独立に１ｎｍ以上が好ましい。第１、第２のバリア層２６、２７の厚さを１ｎｍ以上とすることで、第１の金属層２２および第２の金属層２４の酸化を効果的に抑制できる。第１、第２のバリア層２６、２７の厚さは、１ｎｍ以上であれば特に制限されるものではないが、第１の金属層２２および第２の金属層２４の酸化を抑制するためには１０ｎｍもあれば十分であり、これ以下とすることで可視光透過率を効果的に高くできる。
【００９８】
保護層２８は、積層膜２Ｂの耐久性、特に表面の耐擦傷性を向上させる機能と、水分や、熱処理中の酸素に対するバリアとしての機能を有する。保護層２８としては、上記機能を向上させるものであれば特に制限されない。例えば、チタン、ケイ素、アルミニウム等の酸窒化物を主成分とする保護層２８が好ましい。さらに、熱処理を行ったときに消失するが、成膜から熱処理までの耐擦傷性を向上できる炭素を主成分として含有する炭素層を保護層２８の最表層に設けてもよい。一方、熱処理前の非熱処理品においては、保護層２８は、予め酸化チタンを主成分とする層としておくことが好ましい。
【００９９】
保護層２８の厚さは、１ｎｍ以上が好ましい。保護層２８の厚さが１ｎｍ以上の場合、耐久性が効果的に向上する。保護層２８の厚さは、１５ｎｍもあれば耐久性の確保に十分であり、これ以下とすることで保護層２８の生産性が向上する。保護層２８の厚さは、１０ｎｍ以下がより好ましく、６ｎｍ以下がさらに好ましい。
【０１００】
（積層膜付きガラス板の製造）
実施形態の積層膜付きガラス板の製造は、製造しようとする積層膜付きガラス板より主面が大きなガラス板の一方の主面上に、常法によって、積層膜を構成する各層をその順に成膜する成膜工程、および、成膜工程後の積層膜付きガラス板を主面が矩形状の所望の大きさに切断する切断工程を有する。積層膜付きガラス板におけるガラス板の強化は、通常風冷強化により行われ、具体的には上記各層を積層後、熱処理すること（熱処理工程）で行われる。各工程の順番としては、成膜工程後に切断工程が行われることが必須である。熱処理工程の順番は問わないが、切断工程後に熱処理を行うことが好ましい。
【０１０１】
積層膜の成膜に際しては、ガラス板の積層膜が形成される主面は清浄化処理され、この主面上に積層膜の各層が順次成膜される。成膜方法は、特に限定されず、物理的蒸着法（真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法）、化学的蒸着法（熱ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法、光ＣＶＤ法）、イオンビームスパッタリング法等を適用できる。透明基板１１の面積が大きい場合、厚さの均一性が制御しやすく、生産性に優れることから、直流または交流デュアルスパッタリング法が好ましい。
【０１０２】
以下に、図３に示す積層膜付きガラス板１０Ａ、図４に示す積層膜付きガラス板１０Ｂを例にして各層の成膜方法について具体的に説明する。なお、図３、図４の積層膜付きガラス板１０Ａ、１０Ｂは既に切断された状態で示されるが、実際には、各層の成膜は製造しようとする積層膜付きガラス板より主面が大きなガラス板の一方の主面上に成膜されるものである。
【０１０３】
積層膜付きガラス板１０Ａの積層膜２Ａにおける、第１、第２、第３の誘電体層２１、２３、２５の成膜方法は、特に限定されるものではない。例えば、構成材料に応じたスパッタリングターゲットと雰囲気ガスを選択して常法によりスパッタリングを行うことで成膜できる。これらの誘電体層を、例えば、金属の酸化物層として設ける場合には、スパッタリングターゲットとして金属ターゲットを用い、酸化性ガス濃度を十分に高くしたスパッタガス中で反応性スパッタを行うことにより成膜することができる。金属ターゲットとしては、例えば、亜鉛を含有する金属ターゲットが好適に用いられる。
【０１０４】
亜鉛を含有する金属ターゲットには、亜鉛以外の酸化物構成元素を含有させることができる。亜鉛以外の酸化物構成元素としては、例えば、スズ、アルミニウム、クロム、チタン、シリコン、ホウ素、マグネシウム、ガリウムが挙げられ、これらは１種または２種以上を含有させることができる。亜鉛以外の酸化物構成元素を含有させる場合、亜鉛と亜鉛以外の酸化物構成元素との合計量（１００質量％）中、亜鉛以外の酸化物構成元素を１〜５０質量％とすることが好ましい。
【０１０５】
積層膜付きガラス板１０Ｂの積層膜２Ｂにおける、第１〜第４の結晶性誘電体層２１２、２３１、２３３、２５１を、例えば、アルミニウムを含有する亜鉛の酸化物層として成膜する場合には、上記において亜鉛とアルミニウムを所望の割合、例えば、亜鉛とアルミニウムとの合計量中（１００質量％中）、アルミニウムを１〜１０質量％で含有する金属ターゲットを用いて反応性スパッタを行うことで成膜できる。
【０１０６】
同様に、積層膜付きガラス板１０Ｂの積層膜２Ｂにおける、第１、第２、第３のアモルファス誘電体層２１１、２３２、２５２を、例えば、スズを含有する亜鉛の酸化物層として成膜する場合には、上記において亜鉛とスズを所望の割合、例えば、亜鉛とスズとの合計量中（１００質量％中）、スズを３０〜７０質量％で含有する金属ターゲットを用いて反応性スパッタを行うことで成膜できる。
【０１０７】
第１の金属層２２および第２の金属層２４の成膜方法も、特に限定されるものではない。第１の金属層２２および第２の金属層２４は、例えば、スパッタターゲットとして、銀を主成分として含有し、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属Ｍを、銀と金属Ｍとの合計量に対して所定の割合で含有するターゲットを使用して、アルゴン等の不活性ガスのみを含む雰囲気下でスパッタを行うことにより成膜することができる。
【０１０８】
具体的には、積層膜を積層膜（Ｘ）の構成とする場合には、第１の金属層２２の成膜に用いるスパッタターゲットとして、銀を主成分として含有し金属Ｍを、銀と金属Ｍとの合計量に対して６質量％以上の割合で含有するターゲットを使用し、第２の金属層２４はスパッタターゲットとして銀を主成分として含有するターゲットを使用する。積層膜（Ｙ）の構成とする場合には、第１の金属層２２の成膜に用いるスパッタターゲットおよび第２の金属層２４はスパッタターゲットとして、それぞれ独立に、銀を主成分として含有し金属Ｍを、銀と金属Ｍとの合計量に対して１．５質量％以上の割合で含有し、かつ、第１の金属層２２における銀と金属Ｍとの合計量に対する金属Ｍの含有量（質量％）と第２の金属層２４における銀と金属Ｍとの合計量に対する金属Ｍの含有量（質量％）の合計が４質量％以上となるターゲットを使用する。
【０１０９】
第１のバリア層２６および第２のバリア層２７は、チタン等の金属ターゲットまたは還元性酸化物ターゲットを用い、スパッタガスとして不活性ガスを用いて、スパッタすることにより成膜することが好ましい。
【０１１０】
積層膜付きガラス板１０Ｂの積層膜２Ｂが、保護層２８として、例えば、チタン酸窒化物層を有する場合には、該チタン酸窒化物層は、例えば、以下のように形成されるチタン窒化物層が後述のように熱処理されることで得られる。チタン窒化物層は、チタンターゲットを用いてアルゴンと窒素の混合ガスからなるスパッタガスの雰囲気下でスパッタを行うことにより成膜することができる。また、保護層２８として、例えば、炭素を主成分として含有する炭素層を有する場合には、該炭素層は、炭素ターゲットを使用して、アルゴン等の不活性ガスのみを含む雰囲気下でスパッタリングを行って成膜すればよい。
【０１１１】
積層膜を成膜後、積層膜付きガラス板を所望の製品形状となるように切断する。積層膜が形成されたガラス板を切断するため、本発明の実施形態の積層膜付きガラス板は、積層膜が２以上の端面には設けられていない。製品形状に切断してから成膜を行う方法では、積層膜がガラス板端面にも成膜されてしまう。
【０１１２】
以上のようにして積層膜付きガラス板の非熱処理品が得られる。このようにして得られる非熱処理品に熱処理を施して実施形態の積層膜付きガラス板を得る場合には、これらを前駆体として扱い、熱処理されて得られた積層膜付きガラス板を本発明の実施形態の積層膜付きガラス板とする。
【０１１３】
積層膜付きガラス板を熱処理品として得る場合には、上記で得られた積層膜付きガラス板の前駆体を加熱炉で目的に応じた、例えば、強化のための加熱温度や曲げ加工のために加熱温度で所定の時間、加熱する。例えば、ガラス板としてフロートガラス基板を用いた積層膜付きガラス板の前駆体について、該ガラス基板の風冷強化を行う場合には、加熱処理は、積層膜付きガラス板の前駆体の表面温度として５００〜７００℃で１〜３０分間が好ましい。
【０１１４】
また、上記第１の金属層２２および第２の金属層２４の成膜の方法として、例えば、以下の方法が知られている。
銀および金属Ｍを含有する金属ターゲットを、金属Ｍの含有量が異なるように２種類調製する。得られた２種類のターゲットを用いて、最終的に得られる金属層として膜厚と金属Ｍの含有量が所望の値となるように、金属Ｍの含有量が異なる金属膜を積層させた金属層の前駆体を得る。この前駆体を、焼成することで、所定量の金属Ｍを含有する銀を主成分とする金属層が、１層の均一な組成の層として得られる。
【０１１５】
実施形態の積層膜付きガラス板において、積層膜を構成する他の層については上記同様にして成膜し、金属層をこのような方法で成膜した場合、成膜後、所望の大きさの矩形状に切断して、少なくとも金属層が最終形態となっていない積層膜付きガラス板の前駆体が得られる。該積層膜付きガラス板の前駆体を、金属層が１層の均一な組成の層となるように焼成する条件としては、積層膜付きガラス板の前駆体の表面温度として５００〜７００℃での焼成条件が好ましい。
【０１１６】
本発明の実施形態の積層膜付きガラス板は、このように製造の過程で、例えば、６００℃以上の温度条件による熱処理が施された場合においてもヘイズ値が２％以下であることが好ましい。
【０１１７】
本発明の実施形態の積層膜付きガラス板の用途は限定されない。例えば、低放射性の合わせガラスや複層ガラスの構成部材として使用できる。複層ガラスの構成部材として使用することが好ましい。
【０１１８】
合わせガラスとしては、例えば、対向配置された２枚の透明基板が中間膜を挟持し該中間膜により接着された構成の合わせガラスが挙げられる。このような合わせガラスの透明基板の一方に実施形態の積層膜付きガラス板を用いることができる。その場合、積層膜は中間膜側に配置されて使用される。他方の透明基板は透明ガラス板が好ましい。このような合わせガラスを窓ガラスとして用いる場合には、積層膜付きガラス板側が屋外側となるようにして用いられる。なお、合わせガラスとしては３枚以上の透明基板を有するものであってもよい。
【０１１９】
複層ガラスとしては、例えば、対向配置した２枚の透明基板をその周縁部にスペーサを介して封止し対向する透明基板間に中間層を形成した構成の複層ガラスが挙げられる。このような複層ガラスの透明基板の一方に実施形態の積層膜付きガラス板を用いることができる。その場合、積層膜は中間層側に配置される。他方の透明基板は透明ガラス板が好ましい。また、中間層は空気層、アルゴン等の不活性ガスが好ましい。このような複層ガラスを窓ガラスとして用いる場合には、積層膜付きガラス板側が屋外側となるようにして用いられる。なお、複層ガラスとしては３枚以上の透明基板を有するものであってもよい。
【０１２０】
［複層ガラス］
本発明の実施形態の複層ガラスは、このような複層ガラスの透明基板の一方に実施形態の積層膜付きガラス板を用い、他方の透明基板として第２の透明ガラス板を用いて構成される。図２は本発明の実施形態の複層ガラスの一例の断面図を示す。複層ガラス３は、積層膜付きガラス板１０を構成部材として用いた例であり、積層膜付きガラス板１０の積層膜２面が第２の透明ガラス板３２の一方の主面に対向するように隔置されている。また、複層ガラス３は、積層膜付きガラス板１０と第２の透明ガラス板３２の周縁に配設したスペーサ３３により両者の間に中間層３４を有する。
【０１２１】
本発明の実施形態の複層ガラスは、以下の（１−ｂ）、（２−ｂ）および（３−ｂ）の特性を有する。
（１−ｂ）ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、前記積層膜付きガラス板側からの日射に対する前記第２のガラス板側での日射熱取得率（ｇ値）が０．２６５以下である。
（２−ｂ）ＩＳＯ９０５０：２００３に規定される可視光を照射して得られる透過光について、ＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色度座標によるｂ＊が１以下である。
（３−ｂ）ＩＳＯ９０５０：２００３に準拠して測定される、前記積層膜付きガラス板側の可視光反射率が２０％以下である。
【０１２２】
（１−ｂ）〜（３−ｂ）の特性は、それぞれ、本発明の実施形態の積層膜付ガラス板の評価における（１−ａ）〜（３−ａ）に相当する特性である。本発明の実施形態の複層ガラスにおける（１−ｂ）〜（３−ｂ）について、好ましい範囲は（１−ａ）〜（３−ａ）における好ましい範囲と同様である。さらに、本発明の実施形態の複層ガラスは、本発明の実施形態の積層膜付ガラス板の評価における（４−ａ）〜（８−ａ）に相当する特性を有することが好ましく、特にはこれらの特性における好ましい範囲であることがより好ましい。
【０１２３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、これらの実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定しない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。例えば、積層膜付き透明基板は、建築物用に好適であるが、必ずしも建築物用に限られず、適用可能な限度において自動車等の車両用に用いることもできる。
【実施例】
【０１２４】
以下、本発明の積層膜付きガラス板について実施例を参照して具体的に説明する。なお、本発明はこれらに限定されるものではない。例１、２、８が実施例であり、例３〜７が比較例である。【０１２５】
（例１〜８）
積層膜付きガラス板として、表１に示す構成の１〜８の積層膜付きガラス板を製造した。すなわち、ガラス板としてソーダライムガラス板（旭硝子株式会社製（ＦＬ５、ＦＬ６）、１００ｍｍ×１８０ｍｍ×５ｍｍｔ、１００ｍｍ×１８０ｍｍ×６ｍｍｔ）を用い、その一方の主面上に、以下の方法によりＤＣスパッタリング法により積層膜の前駆体を成膜した後、切断し、焼成することで、表１に示す膜構成および厚さとなるように各膜を成膜して、ガラス板の一方の主面上に積層膜を有し、４つの端面に積層膜を有しない積層膜付きガラス板を製造した。【０１２６】
表１において、ガラス板、積層膜の各膜は左から積層順に記載されている。各膜は構成材料と括弧内の数字で示す厚さ（単位は全て［ｎｍ］である）で表示した。また、表１に示す例１〜８にかかる構成材料の略号は以下の意味であり、厚さの表示のない層の厚さについても以下のとおりである。なお、１〜８の積層膜付きガラス板は、図４に断面を示す積層膜付きガラス板１０Ｂと同様の構成の積層膜付きガラス板である。【０１２７】
ＦＬ５；旭硝子株式会社製、ソーダライムガラス板、ＦＬ５（５ｍｍｔ）
ＦＬ６；旭硝子株式会社製、ソーダライムガラス板、ＦＬ６（６ｍｍｔ）
ＳＺＯ；亜鉛およびスズの酸化物層（ＳｎＺｎ酸化物層）
ＡＺＯ；亜鉛およびアルミニウムの酸化物層（ＡｌＺｎ酸化物層）、厚さの記載がない場合は１０ｎｍの層厚である。
ＡｇＰｄ；銀にパラジウムがドープされた層、表１においてＡｇＰｄの後の数字はパラジウムと銀の合計量に対するパラジウムの割合（質量％）を示す。
ＴｉＯｘ；化学量論的な組成比または非化学量論的な組成比のチタン酸化物からなる層、厚さの記載がない場合は４ｎｍの層厚である。
ＴｉＯｘＮｙ；化学量論的な組成比または非化学量論的な組成比のチタン酸窒化物からなる層、厚さの記載がない場合は３．５ｎｍの層厚である。【０１２８】
（１）積層膜前駆体の成膜
例１〜８において、以下の方法で、積層膜の前駆体を、上記ガラス板上に、第１の亜鉛およびスズの酸化物層（ＳｎＺｎ酸化物層）、第１の亜鉛およびアルミニウムの酸化物層（ＡｌＺｎ酸化物層）、第１の銀パラジウム１層（ＡｇＰｄ１層＝ＡｇとＰｄの合計量に対してＰｄを１質量％含有する層）または第１の銀パラジウム１層（ＡｇＰｄ１層）および銀パラジウム３０層（ＡｇＰｄ３０層＝ＡｇとＰｄの合計量に対してＰｄを３０質量％含有する層）、第１のチタン層（Ｔｉバリア層）、第２の亜鉛およびアルミニウムの酸化物層、第２の亜鉛およびスズの酸化物層、第３の亜鉛およびアルミニウムの酸化物層、第２の銀パラジウム１層（ＡｇＰｄ１層）または第２の銀パラジウム１層（ＡｇＰｄ１層）および銀パラジウム３０層（ＡｇＰｄ３０層）、第２のチタン層、第４の亜鉛およびアルミニウムの酸化物層、第３の亜鉛およびスズの酸化物層、チタン窒化物層（ＴｉＮｘ層）を順次形成することで、薄膜積層部として成膜した。【０１２９】
スパッタに使用するインライン型スパッタ装置には、成膜室内に、チタンターゲット（Ｔｉターゲット）、５０質量％のスズを含有する亜鉛合金からなるターゲット（ＳｎＺｎ合金ターゲット）、２質量％のアルミニウムを含有する亜鉛合金からなるターゲット（ＡｌＺｎ合金ターゲット）、１質量％のパラジウムを含有する銀ターゲット（ＡｇＰｄ１ターゲット）、３０質量％のパラジウムを含有する銀ターゲット（ＡｇＰｄ３０ターゲット）、をカソード上に設置した。そして、洗浄したガラス板をロードロック室に導入するとともに、真空槽内全体を２．０×１０−４Ｐａまで真空排気し、下記に示すように各層を形成した。【０１３０】
＜ＳｎＺｎ酸化物層＞
放電ガスとしてアルゴンと酸素を３０：７０ｓｃｃｍで真空槽内に導入し、上記したＳｎＺｎ合金ターゲットを用いて反応性ＤＣマグネトロンスパッタにより形成した。スパッタターゲットは７０×２００ｍｍ２であり、スパッタ電力として５００Ｗ印加した。このとき、真空槽内の圧力は０．４Ｐａであった。【０１３１】
＜ＡｌＺｎ酸化物層＞
放電ガスとして酸素を真空槽内に１００ｓｃｃｍ導入し、上記したＡｌＺｎ合金ターゲットを用いてＤＣマグネトロンスパッタにより形成した。スパッタターゲットは７０×２００ｍｍ２であり、スパッタ電力として５００Ｗ印加した。このとき、真空槽内の圧力は０．４Ｐａであった。ＡｌＺｎ酸化物層の厚さは全て１０．０ｎｍとした。【０１３２】
＜ＡｇＰｄ１層＞
放電ガスとしてアルゴンを真空槽内に５０ｓｃｃｍ導入し、上記したＡｇＰｄ１ターゲットを用いてＤＣマグネトロンスパッタにより形成した。スパッタターゲットは７０×２００ｍｍ２であり、スパッタ電力として１００Ｗ印加した。【０１３３】
＜ＡｇＰｄ層＞
放電ガスとしてアルゴンを真空槽内に５０ｓｃｃｍ導入し、上記したＡｇＰｄ１ターゲットとＡｇＰｄ３０ターゲットを順番に連続して用い、ＤＣマグネトロンスパッタにより形成した。いずれもスパッタターゲットは７０×２００ｍｍ２であり、スパッタ電力として１００Ｗ印加した。連続して形成されたＡｇＰｄ１層とＡｇＰｄ３０層は、ガラス板上への積層膜前駆体の作製後、以下の熱処理（焼成）によって１つのＡｇＰｄ層となり、それぞれの膜厚の合計を最終的なＡｇＰｄ層膜厚とした。【０１３４】
＜Ｔｉバリア層＞
放電ガスとしてアルゴンを真空槽内に１００ｓｃｃｍ導入し、上記したＴｉターゲットを用いてＤＣマグネトロンスパッタにより形成した。スパッタターゲットは７０×２００ｍｍ２であり、スパッタ電力として５０Ｗ印加した。このとき、真空槽内の圧力は０．４Ｐａであった。Ｔｉバリア層の厚さは全て４．０ｎｍとした。なお、Ｔｉバリア層は最終的に得られる積層膜付きガラス板の積層膜中においては、ＴｉＯｘ層として存在する層である。【０１３５】
＜Ｔｉ窒化物層＞
放電ガスとしてアルゴンと窒素を７０：３０ｓｃｃｍで真空槽内に導入し、上記したＴｉターゲットを用いてＤＣマグネトロンスパッタにより形成した。スパッタターゲットは７０×２００ｍｍ２であり、スパッタ電力として５００Ｗ印加した。このとき、真空槽内の圧力は０．４Ｐａであった。ＴｉＮｘ層の厚さは全て３．５ｎｍとした。なお、ＴｉＮｘ層は最終的に得られる積層膜付きガラス板の積層膜中においては、ＴｉＯｘＮｙ層として存在する層である。【０１３６】
（２）切断
上記で得られた積層膜の前駆体付きガラス板を、主面の大きさが７０ｍｍ×１００ｍｍの矩形状となるようにガラスカッターで切断して、ガラス板の一方の主面上に積層膜の前駆体を有し、ガラス板の４つの端面には積層膜の前駆体を有しない積層膜付きガラス板の前駆体例１〜８を得た。【０１３７】
（３）焼成（熱処理）
上記で作製した積層膜付きガラス板の前駆体例１〜７を、卓上型電気炉を用いて、設定温度７００℃にて５分間焼成して、また前駆体例８を、設定温度７５０℃にて４分間焼成して、表１に積層の構成を示す例１〜８の積層膜付きガラス板を得た。このときのガラス板表面の最高到達温度は６５０℃であった。焼成後のＡｇＰｄ層におけるＰｄ含有量（ＡｇとＰｄの合計量に対するＰｄの質量％）を、リガク社製蛍光Ｘ線「ＺＳＸ−１００ｅ」もしくは日立ハイテク社製ＩＣＰ−ＯＥＳ「ＳＰＳ３１００」を用いて測定した。【０１３８】
【表１】
0006601419.tif 000002
【０１３９】
（評価）
上記で得られた１〜８の積層膜付きガラス板を以下のとおり評価した。なお、以下に説明する評価用の複層ガラスにおいて、例１、２、８の積層膜付きガラス板を用いた複層ガラスは本発明の実施例の複層ガラスである。【０１４０】
１〜８の積層膜付きガラス板に関する分光光度計による分光測定結果、放射率測定結果を使用し、以下の構成の複層ガラス、すなわち図２に示すのと同様の構成の評価用の複層ガラス３０とした場合の性能を計算により求めた。【０１４１】
複層ガラスは、積層膜付きガラス板に対向する透明対向基板（複層ガラス３０における第２の透明ガラス板３２）として、厚さ６ｍｍの透明ガラス板を用い、積層膜付きガラス板と透明対向基板との間の中間層の厚さを１２ｍｍとし、中間層に空気を充填した場合とした。分光光度計測定はＨＩＴＡＣＨＩ社製「Ｕ４１００」を用いて行った。放射率は、予め求めた赤外分光機Ｐｅｒｋｉｎ  Ｅｌｍｅｒ社製ＦＴ／ＩＲ「Ｆｒｏｎｔｉｅｒ  Ｇｏｌｄ」での測定結果と表面抵抗値（Ｒｓ）との換算式を用いて行った。換算式にて垂直放射率が０．０３未満となる場合は、垂直放射率を０．０３として計算した。【０１４２】
なお、１〜８の積層膜付きガラス板の積層膜面の表面抵抗値（Ｒｓ）の測定は、ＮＡＧＹ社製の携帯式表面抵抗測定器「ＳＴＲＡＴＯＭＥＴＥＲ」を用いて行った。【０１４３】
＜複層ガラス；光学特性＞
１〜８の積層膜付きガラス板を用いた評価用の複層ガラスについて、積層膜付きガラス板側からの日射に対する透明対向基板側での日射熱取得率（ｇ値）、可視光透過率（Ｔｖ）、積層膜付きガラス板側の可視光反射率（Ｒｖｏｕｔ）、および透明対向基板側の可視光反射率（Ｒｖｉｎ）を求めた。日射熱取得率（ｇ）、可視光透過率（Ｔｖ）、可視光反射率（Ｒｖ）は、ＩＳＯ９０５０：２００３に基づいて求めた。【０１４４】
＜複層ガラス；光学特性（色調）＞
１〜８の積層膜付きガラス板を用いた評価用の複層ガラスについて、ＩＳＯ９０５０：２００３に規定される可視光を照射して得られる透過光、積層膜付きガラス板側の反射光、および透明対向基板側の反射光について、ＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色度座標によるａ＊およびｂ＊を求めた。【０１４５】
＜複層ガラス；演色性＞
１〜８の積層膜付きガラス板を用いた評価用の複層ガラスについて、ＪＩＳ  Ｚ８７２６（１９９０）に準拠してＤ６５光源を使用し平均演色性評価数（Ｒａ）により評価される透過光の演色性を求めた。【０１４６】
＜積層膜付きガラス板；ヘイズ値＞
１〜８の積層膜付きガラス板のヘイズ値（Ｈ（％））を測定した。ヘイズ測定は、スガ試験機社製ヘーズメーター「ＨＺ−２型」を用いて測定した。【０１４７】
＜積層膜付きガラス板；耐湿性＞
１〜８の積層膜付きガラス板を５０℃、９０％ＲＨの条件下に２週間保管する耐湿試験後に、積層膜表面の所定の範囲で観察される直径０．５ｍｍ以上の白点の個数を目視で観察した。１００ｍｍ×１００ｍｍあたりの該白点の個数が５個以内の場合を「○」とした。
上記で得られた評価の結果を表２に示す。【０１４８】
【表２】
0006601419.tif 000003
【符号の説明】
【０１４９】
１０…積層膜付きガラス板、１…ガラス板（第１の透明ガラス板）、２…積層膜、３…複層ガラス、１０…積層膜付きガラス板、３２…第２の透明ガラス板、３３…スペーサ、３４…中間層、１０Ａ，１０Ｂ…積層膜付きガラス板、２Ａ，２Ｂ……積層膜、２１…第１の誘電体層、２２…第１の金属層、２３…第２の誘電体層、２４…第２の金属層、２５…第３の誘電体層、２６…第１のバリア層、２７…第１のバリア層、２８…保護層。
【図１Ａ】
0006601419.tif 000004
【図１Ｂ】
0006601419.tif 000005
【図２】
0006601419.tif 000006
【図３】
0006601419.tif 000007
【図４】
0006601419.tif 000008