(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ガラスパネルと、
前記第１ガラスパネルと対向するように配置された第２ガラスパネルと、
前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとの間に配置され、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとを枠状に気密に接合するシールと、
前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルと前記シールとで囲まれた真空空間と、
前記真空空間内に配置され、ゲッタを有するガス吸着体と、を備え、
前記ガス吸着体は、前記第１ガラスパネル及び前記第２ガラスパネルのうちの少なくとも一方を通して視認可能であり、ガスを吸着することにより色が変化し、色の変化により真空空間の真空度を判断できるガラスパネルユニット。
【請求項２】
前記ゲッタは、銅イオン交換したゼオライトを含む、
請求項１に記載のガラスパネルユニット。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のガラスパネルユニットの検査方法であって、
前記ガス吸着体の色の変化に基づき、前記真空空間の真空度を判断する、
ガラスパネルユニットの検査方法。                                                         
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
ガラスパネルユニット及びその検査方法が開示される。より詳しくは、一対のガラスパネルの間に真空空間を備えたガラスパネルユニットが開示される。
【背景技術】
【０００２】
２枚以上のガラスパネルを間をあけて重ねて密閉した空間を形成し、その空間を真空にしたガラスパネルユニットが知られている。このようなガラスパネルユニットは、複層ガラスとも呼ばれている。ガラスパネルユニットは断熱性が高い。ガラスパネルユニットでは、真空が維持されることが重要である。【０００３】
ガラスパネルユニットの真空を保つためにゲッタを使用することが提案されている。ゲッタは、ガスを吸着する材料である。たとえば、日本国特許公表２０１３−５１４２４５号（国際公開ＷＯ２０１１／０７２６４６号）には、重ねるガラス板の大きさを変え、ガラス板のはみ出した縁部にゲッタを設ける技術が開示されている。しかしながら、当該文献の技術では、ゲッタが側方に飛び出すため、外観や取り扱い性が低下するおそれがある。
【発明の概要】
【０００４】
本開示の目的は、真空を維持するガラスパネルユニット及びその検査方法を提供することである。
【０００５】
ガラスパネルユニットが開示される。ガラスパネルユニットは、第１ガラスパネルと、第２ガラスパネルと、シールと、真空空間と、ガス吸着体と、を備える。前記第２ガラスパネルは、前記第１ガラスパネルと対向するように配置される。前記シールは、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとの間に配置され、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとを枠状に気密に接合する。前記真空空間は、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルと前記シールとで囲まれている。前記ガス吸着体は、前記真空空間内に配置され、ゲッタを有する。前記ガス吸着体は、前記第１ガラスパネル及び前記第２ガラスパネルのうちの少なくとも一方を通して視認可能である。前記ガス吸着体は、ガスを吸着することにより色が変化する。
【０００６】
ガラスパネルユニットの検査方法が開示される。ガラスパネルユニットの検査方法は、前記ガス吸着体の色の変化に基づき、前記真空空間の真空度を判断する。
【０００７】
本開示のガラスパネルユニットは、色の変化により真空空間の真空度を容易に判断できる。そのため、真空を維持しているか否かを確認でき、真空を維持するガラスパネルユニットを提供することができる。
【０００８】
本開示のガラスパネルユニットの検査方法は、色の変化により真空空間の真空度を容易に判断できるため、真空を維持しているか否かを確認でき、真空を維持するガラスパネルユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】ガラスパネルユニットの一例を示す概略断面図である。
【図２】ガラスパネルユニットの一例を示す概略平面図である。
【図３】ガラスパネルユニットの製造例を示す斜視図である。
【図４】ガラスパネルユニットの製造例を示す斜視図である。
【図５】ガラスパネルユニットの製造例を示す斜視図である。
【図６】ガラスパネルユニットの製造例を示す斜視図である。
【図７】ガラスパネルユニット用の組立て品の概略平面図である。
【図８】ガラスパネルユニット用の組立て品の概略断面図である。
【図９】ガラスパネルユニットの製造例を示す斜視図である。
【図１０】ガス吸着体の色変化の一例を示す写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１及び図２は、ガラスパネルユニット１０の一実施形態を示す。本実施形態のガラスパネルユニット１０は、真空断熱ガラスユニットである。真空断熱ガラスユニットは、少なくとも一対のガラスパネルを備える複層ガラスパネルの一種であって、一対のガラスパネル間に真空空間５０を有している。なお、図２では、内部構造が理解しやすいよう、第１ガラスパネル２０の一部（左下）を破断して、描画している。なお、図の向き（上下左右）は、図中の符号の数字の向き（読むことができる向き）を基準とする（以下同様）。
【００１１】
ガラスパネルユニット１０は、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、シール４０と、真空空間５０と、ガス吸着体６０と、を備える。第２ガラスパネル３０は、第１ガラスパネル２０と対向するように配置される。シール４０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間に配置される。シール４０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを枠状に気密に接合する。真空空間５０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とシール４０とで囲まれている。ガス吸着体６０は、真空空間５０内に配置される。ガス吸着体６０は、ゲッタを有する。ガス吸着体６０は、第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０のうちの少なくとも一方を通して視認可能である。ガス吸着体６０は、ガスを吸着することにより色が変化する。
【００１２】
ガラスパネルユニット１０は、色の変化により真空空間５０の真空度を容易に判断できる。そのため、真空を維持しているか否かを確認でき、真空を維持するガラスパネルユニット１０を提供することができる。
【００１３】
第１ガラスパネル２０は、第１ガラスパネル２０の平面形状を定める本体２１と、コーティング２２と、を備える。本体２１は、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面２１ａ（外面；図１における上面）及び第２面２１ｂ（内面；図１における下面）を有する。本体２１の第１面２１ａ及び第２面２１ｂはいずれも平面である。第１ガラスパネル２０の本体２１の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。なお、第１ガラスパネル２０は、コーティング２２を有さなくてもよい。第１ガラスパネル２０は、本体２１のみから構成されてもよい。
【００１４】
コーティング２２は、本体２１の第２面２１ｂに形成される。コーティング２２は、好ましくは、赤外線反射膜である。なお、コーティング２２は、赤外線反射膜に限定されず、所望の物理特性を有する膜であってもよい。
【００１５】
第２ガラスパネル３０は、第２ガラスパネル３０の平面形状を定める本体３１を備える。本体３１は、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面３１ａ（内面；図１における上面）及び第２面３１ｂ（外面；図１における下面）を有する。本体３１の第１面３１ａ及び第２面３１ｂはいずれも平面である。第２ガラスパネル３０の本体３１の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。本体３１の材料は、本体２１の材料と同じであってよい。本体３１の平面形状は、本体２１と同じである。つまり、第２ガラスパネル３０の平面形状は、第１ガラスパネル２０と同じである。
【００１６】
第２ガラスパネル３０は、本体３１のみで構成されている。つまり、本体３１そのものが第２ガラスパネル３０である。第２ガラスパネル３０は、コーティングを有していてもよい。コーティングは、本体３１の第１面に形成され得る。このコーティングは、第１ガラスパネル２０のコーティング２２と同じであってよい。
【００１７】
第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とは、本体２１の第２面２１ｂと本体３１の第１面３１ａとが互いに平行かつ対向するように配置されている。つまり、本体２１の第１面２１ａはガラスパネルユニット１０の外側に向けられ、本体２１の第２面２１ｂはガラスパネルユニット１０の内側に向けられる。また、本体３１の第１面３１ａはガラスパネルユニット１０の内側に向けられ、本体３１の第２面３１ｂはガラスパネルユニット１０の外側に向けられる。
【００１８】
シール４０は、真空空間５０を完全に囲むとともに、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを気密に接合する。シール４０は、矩形の枠状である。真空空間５０は、真空度が所定値以下である。所定値は、たとえば、０．１Ｐａである。真空空間５０は、排気により形成され得る。排気は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とシール４０のうちの少なくとも一つに排気するための孔を形成して、内部の気体を吸引することで行われ得る。ただし、後述する排気が行われて、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との両方に、排気口が存在していないことが好ましい。それにより、外観のよいガラスパネルユニット１０を得ることができる。
【００１９】
シール４０は、熱接着剤で形成される。熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。シール４０は、後述のように、複数の熱接着剤で形成されてもよい。
【００２０】
図１及び図２では、ガラスパネルユニット１０は、さらに複数のスペーサ７０を備える。複数のスペーサ７０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間隔を所定間隔に維持するために用いられる。スペーサ７０により、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とのスペースがより確実に確保される。
【００２１】
複数のスペーサ７０は、真空空間５０内に配置されている。具体的には、複数のスペーサ７０は、仮想的な矩形状の格子の交差点に配置されている。たとえば、複数のスペーサ７０の間隔は、１〜１０ｃｍの範囲内であり、具体的には２ｃｍであり得る。ただし、スペーサ７０の大きさ、スペーサ７０の数、スペーサ７０の間隔、スペーサ７０の配置パターンは、適宜選択することができる。
【００２２】
スペーサ７０は、上記所定間隔（第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間隔）とほぼ等しい高さを有する円柱状である。たとえば、スペーサ７０は、直径が０．１〜１０ｍｍの範囲内であり、高さが１０〜１０００μｍの範囲内であり、具体的には、直径が１ｍｍで高さが１００μｍであり得る。なお、各スペーサ７０は、角柱状や球状などの所望の形状であってもよい。スペーサ７０の高さは、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間の距離、すなわち、真空空間５０の厚みを規定する。真空空間５０の厚みは、たとえば、１０〜１０００μｍの範囲内であり、具体的には、１００μｍであり得る。
【００２３】
スペーサ７０は、透明な材料を用いて形成される。それにより、スペーサ７０が目立たなくなる。ただし、各スペーサ７０は、十分に小さければ、不透明な材料を用いて形成されていてもよい。スペーサ７０の材料は、後述する第１溶融工程、排気工程、第２溶融工程において、スペーサ７０が変形しないように選択される。たとえば、スペーサ７０の材料は、第１熱接着剤の第１軟化点及び第２熱接着剤の第２軟化点よりも高い軟化点（軟化温度）を有するように選択される。
【００２４】
ガス吸着体６０は、真空空間５０内に配置される。本実施形態は、ガス吸着体６０は、長尺状である。ガス吸着体６０は、第２ガラスパネル３０の長さ方向の第２端側（図２における左端側）に、第２ガラスパネル３０の幅方向に沿って形成されている。つまり、ガス吸着体６０は、真空空間５０の端に配置される。このようにすれば、ガス吸着体６０を目立たなくすることができる。また、ガラスパネルにガス吸着体６０を直接配置するようにすると、ガス吸着体６０の配置が容易になる。なお、ガス吸着体６０は、真空空間５０の任意の場所に設けられ得る。ガス吸着体６０は、本例のように第２ガラスパネル３０に設けられてもよいし、あるいは、第１ガラスパネル２０に設けられてもよい。また、ガス吸着体６０は、シール４０に接していてもよい。ガス吸着体６０は、外部から視認可能に配置されていればよい。
【００２５】
ガス吸着体６０は、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、たとえば、シール４０が形成される際に放出されるガスである。あるいは、不要なガスは、シール４０の隙間から内部に侵入するガスである。ガスが増加すると、真空度が低下し、断熱性が低下し得る。
【００２６】
ガス吸着体６０は、ゲッタを有する。ゲッタは、所定の大きさより小さい分子を吸着する性質を有する材料である。ゲッタは、たとえば、蒸発型ゲッタである。蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子を放出する性質を有している。そのため、蒸発型ゲッタの吸着能力が低下しても、蒸発型ゲッタを活性化温度以上に加熱することで、蒸発型ゲッタの吸着能力を回復させることができる。蒸発型ゲッタは、たとえば、ゼオライトまたはイオン交換されたゼオライトである。
【００２７】
ガス吸着体６０は、このゲッタの粉体を備えている。具体的には、ガス吸着体６０は、ゲッタの粉体を含む液体を塗布して固形化することにより形成される。ゲッタの粉体を含む液体は、たとえばゲッタの粉体を液体に分散して得られた分散液や、ゲッタの粉体を液体に溶解させて得られた溶液である。この場合、ガス吸着体６０を小さくできる。したがって、真空空間５０が狭くてもガス吸着体６０を配置できる。
【００２８】
ガス吸着体６０は、第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０のうちの少なくとも一方を通して視認可能である。図１及び図２では、第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０の両方を通して、ガス吸着体６０の視認が可能となっている。このように、ガス吸着体６０の視認が可能となると、色変化を判定することが容易になる。色変化は、第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０の少なくとも一方を通して確認可能である。
【００２９】
ガス吸着体６０は、ガスを吸着することにより色が変化する。ゲッタの色が変化することで、ガス吸着体６０の色が変化し得る。ガス吸着体６０は、吸着したガス量に応じて徐々に色が変化してもよいし、ガスの吸着が所定量に達することによって色が急激に変化してもよい。色の変化は、光学的な測定により観測することができる。たとえば、色差、色度などを指標とすることができる。色の変化は肉眼で観測されることが好ましい。それにより、容易にガスの吸着を確認することができる。
【００３０】
ゲッタとしてゼオライトが特に好ましい。ゼオライトはガス吸着性に優れる。また、ゼオライトは複数の細孔を有し得る。複数の細孔により表面積が大きくなる。複数の細孔はガスを取り込むことができる。複数の細孔を有するゼオライトは、ガス吸着性が高い。
【００３１】
ゼオライトは、ケイ素（Ｓｉ）とアルミニウム（Ａｌ）とが、酸素（Ｏ）を介して結合した３次元構造をしており、電気的に中性になるために、骨格中に陽イオンを保持し得る。ゼオライトの陽イオンとしては、たとえば、ナトリウムイオン（Ｎａ＋）が例示される。ここで、陽イオンが交換されると、色の変化が大きくなり得る。そのため、ゼオライトは、金属イオンが交換されたゼオライトが好ましい。金属イオンの交換により、色の変化が大きくなり得る。金属イオンは色変化を大きくさせるものが好ましい。ゲッタは、銅イオン交換したゼオライトを含むことが特に好ましい。ゼオライトが銅イオン交換されると、色が好適に変化する。銅イオン交換されたゼオライトは、銅イオンを含むゼオライトである。銅イオンは、陽イオンの交換によりゼオライトに導入され得る。
【００３２】
ガラスパネルユニット１０の製造方法について、説明する。図３〜図９は、ガラスパネルユニット１０の製造例である。図３〜図９に示す方法により、図１及び図２のガラスパネルユニット１０が製造され得る。
【００３３】
ガラスパネルユニット１０は、まず、図３〜５に示されるように仮組立て品１００を得た後、所定の処理によって、図６〜図８に示す組立て品１１０を得るようにする。その後、図９に示すように、組立て品１１０から一部を切り出してガラスパネルユニット１０を得ることができる。
【００３４】
ガラスパネルユニット１０の製造方法は、準備工程と、組立工程と、密閉工程と、除去工程と、を有する。なお、準備工程は、省略してもよい。
【００３５】
準備工程は、第１ガラス基板２００、第２ガラス基板３００、枠体４１０、仕切り４２０、ガス吸着体６０、及び複数のスペーサ７０を準備する工程である。準備工程により、内部空間５００、通気路６００、排気口７００が形成され得る。
【００３６】
第１ガラス基板２００は、第１ガラスパネル２０に利用される基板である。図８に示すように、第１ガラス基板２００は、第１ガラス基板２００の平面形状を定めるガラス板２１０と、コーティング２２０と、を備える。ガラス板２１０は、矩形状の平板であり、互いに平行な厚み方向の第１面及び第２面を有する。コーティング２２０は、ガラス板２１０の第２面に形成される。ガラス板２１０は、第１ガラスパネル２０の本体２１を構成する。ガラス板２１０の第１面は本体２１の第１面２１ａに対応し、ガラス板２１０の第２面は本体２１の第２面２１ｂに対応する。コーティング２２０は、第１ガラスパネル２０のコーティング２２を構成する。なお、コーティング２２０は存在しなくてもよい。
【００３７】
第２ガラス基板３００は、第２ガラスパネル３０に利用される基板である。図８に示すように、第２ガラス基板３００は、第２ガラス基板３００の平面形状を定めるガラス板３１０を備える。ガラス板３１０は、矩形状の平板であり、互いに平行な厚み方向の第１面及び第２面を有する。第２ガラス基板３００は、第２ガラスパネル３０の本体３１を構成する。ガラス板３１０の第１面は本体３１の第１面３１ａに対応し、ガラス板３１０の第２面は本体３１の第２面３１ｂに対応する。ガラス板３１０の平面形状及び平面サイズは、ガラス板２１０と同じである。つまり、第２ガラス基板３００の平面形状は、第１ガラス基板２００と同じである。また、ガラス板３１０の厚みは、ガラス板２１０と同じである。第２ガラス基板３００は、ガラス板３１０のみで構成されている。つまり、ガラス板３１０が第２ガラス基板３００そのものである。
【００３８】
第２ガラス基板３００は、第１ガラス基板２００に対向するように配置される。具体的には、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、ガラス板２１０の第２面とガラス板３１０の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置される。
【００３９】
枠体４１０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置され、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。これによって、図５に示すように、枠体４１０と第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とで囲まれた内部空間５００が形成される。
【００４０】
枠体４１０は、熱接着剤（第１軟化点を有する第１熱接着剤）で形成される。第１熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。
【００４１】
枠体４１０は、矩形の枠状である。枠体４１０の平面形状は、ガラス板２１０，３１０と同じであるが、枠体４１０の平面サイズはガラス板２１０，３１０より小さい。図３に示すように、枠体４１０は、第２ガラス基板３００の外周に沿って形成されている。つまり、枠体４１０は、第２ガラス基板３００上のほぼすべての領域を囲うように形成されている。
【００４２】
仕切り４２０は、内部空間５００内に配置される。図５に示すように、仕切り４２０は、内部空間５００を、排気空間５１０と通気空間５２０とに仕切る。排気空間５１０は後に排気される空間であり、通気空間５２０は排気空間５１０の排気に使用される空間である。仕切り４２０は、排気空間５１０が通気空間５２０よりも大きくなるように、第２ガラス基板３００の中央よりも第２ガラス基板３００の長さ方向（図３における左右方向）の第１端側（図３における右端側）に形成される。
【００４３】
仕切り４２０は、壁部４２１と、一対の遮断部４２２（第１遮断部４２２１及び第２遮断部４２２２）と、を備える。壁部４２１は、第２ガラス基板３００の幅方向に沿って形成されている。幅方向とは、図５においては、矩形状の仮組立て品１００の短辺に沿った方向を意味する。ただし、壁部４２１の長さ方向の両端は、枠体４１０とは接触していない。一対の遮断部４２２は、壁部４２１の長さ方向の両端から、第２ガラス基板３００の長さ方向の第１端側に延びている。
【００４４】
仕切り４２０は、熱接着剤（第２軟化点を有する第２熱接着剤）で形成されている。第２熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。第２熱接着剤は、第１熱接着剤と同じであり、第２軟化点と第１軟化点は等しい。
【００４５】
ガス吸着体６０は、排気空間５１０内に配置される。具体的には、ガス吸着体６０は、排気空間５１０の端に配置される。また、ガス吸着体６０は、仕切り４２０及び通気路６００から離れた位置にある。そのため、排気空間５１０の排気時に、ガス吸着体６０が排気を妨げる可能性を低くできる。
【００４６】
複数のスペーサ７０は、図１及び図２を用いて説明したのと同様である。図３に示すように、複数のスペーサ７０は、縦横に所定の間隔で配置され得る。
【００４７】
通気路６００は、内部空間５００内で排気空間５１０と通気空間５２０とをつなぐ。通気路６００は、第１通気路６１０と、第２通気路６２０と、を備える。第１通気路６１０は、第１遮断部４２２１と第１遮断部４２２１に対向する枠体４１０の部分との間に形成された空間である。第２通気路６２０は、第２遮断部４２２２と第２遮断部４２２２に対向する枠体４１０の部分との間に形成された空間である。上記のように仕切り４２０を配置することで、通気路６００が形成される。
【００４８】
排気口７００は、通気空間５２０と外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、通気空間５２０及び通気路６００を介して排気空間５１０を排気するために用いられる。したがって、通気路６００と通気空間５２０と排気口７００とは、排気空間５１０を排気するための排気路を構成する。排気口７００は、通気空間５２０と外部空間とをつなぐように第２ガラス基板３００に形成されている。具体的には、排気口７００は、第２ガラス基板３００の角部分に位置している。
【００４９】
以上のような部材により、準備工程が行われる。準備工程は、第１〜第６工程を有する。なお、第２〜第６工程の順番は、適宜変更してもよい。
【００５０】
第１工程は、第１ガラス基板２００及び第２ガラス基板３００を形成する工程（基板形成工程）である。たとえば、第１工程では、第１ガラス基板２００及び第２ガラス基板３００を作製する。また、第１工程では、必要に応じて、第１ガラス基板２００及び第２ガラス基板３００を洗浄する。
【００５１】
第２工程は、排気口７００を形成する工程である。第２工程では、第２ガラス基板３００に、排気口７００を形成する。また、第２工程では、必要に応じて、第２ガラス基板３００を洗浄する。なお、排気口７００は、第１ガラス基板２００に設けられてもよい。
【００５２】
第３工程は、枠体４１０及び仕切り４２０を形成する工程（シール材形成工程）である。第３工程では、ディスペンサなどを利用して、枠体４１０の材料（第１熱接着剤）及び仕切り４２０の材料（第２熱接着剤）を第２ガラス基板３００（ガラス板３１０の第１面）上に塗布する。そして、枠体４１０の材料及び仕切り４２０の材料を乾燥させるとともに、仮焼成する。たとえば、枠体４１０の材料及び仕切り４２０の材料が塗布された第２ガラス基板３００を４８０℃で２０分間加熱する。なお、第１ガラス基板２００を第２ガラス基板３００と一緒に加熱してもよい。つまり、第１ガラス基板２００を第２ガラス基板３００と同じ条件（４８０℃で２０分間）で加熱してもよい。これにより、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との反りの差を低減できる。
【００５３】
第４工程は、スペーサ７０を形成する工程（スペーサ形成工程）である。第４工程では、複数のスペーサ７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のスペーサ７０を、第２ガラス基板３００の所定位置に配置する。なお、複数のスペーサ７０は、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を利用して形成されていてもよい。この場合、複数のスペーサ７０は、光硬化性材料などを用いて形成される。あるいは、複数のスペーサ７０は、周知の薄膜形成技術を利用して形成されていてもよい。
【００５４】
第５工程は、ガス吸着体６０を形成する工程（ガス吸着体形成工程）である。第５工程では、ゲッタの粉体が分散された溶液を第２ガラス基板３００の所定位置に塗布し、乾燥させることで、ガス吸着体６０を形成する。
【００５５】
第１工程から第５工程が終了することで、図３に示されるような、枠体４１０、仕切り４２０、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０、複数のスペーサ７０が形成された第２ガラス基板３００が得られる。
【００５６】
第６工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを配置する工程（配置工程）である。第６工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、ガラス板２１０の第２面とガラス板３１０の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置される。図４は、第１ガラス基板２００を第２ガラス基板３００に重ねている様子を示している。なお、本例では、第２ガラス基板３００に各部材（枠体４１０、仕切り４２０など）を配置しているが、第１ガラス基板２００に各部材を配置してもよい。
【００５７】
組立工程は、仮組立て品１００を用意する工程である。具体的には、組立工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを接合することで、仮組立て品１００を用意する。つまり、組立工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを枠体４１０により気密に接合する工程（第１溶融工程）である。
【００５８】
第１溶融工程では、第１軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）で第１熱接着剤を一旦溶融させることで、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、枠体４１０によって気密に接合される。具体的には、第１ガラス基板２００及び第２ガラス基板３００は、溶融炉内に配置され、第１溶融温度で所定時間（第１溶融時間）だけ加熱される。
【００５９】
第１溶融温度及び第１溶融時間は、枠体４１０の熱接着剤によって第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とが気密に接合されるが、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように、設定される。つまり、第１溶融温度の下限は、第１軟化点であるが、第１溶融温度の上限は、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように設定される。たとえば、第１軟化点及び第２軟化点が４３４℃である場合、第１溶融温度は、４４０℃に設定される。また、第１溶融時間は、たとえば、１０分である。なお、第１溶融工程では、枠体４１０からガスが放出されるが、このガスはガス吸着体６０によって吸着されてもよい。
【００６０】
上述した組立工程（第１溶融工程）によって、図５に示される仮組立て品１００が得られる。仮組立て品１００は、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、仕切り４２０と、通気路６００と、排気口７００と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。
【００６１】
密閉工程は、仮組立て品１００に上記所定の処理を行って組立て品１１０を得る工程である。密閉工程は、排気工程と、溶融工程（第２溶融工程）と、を有する。つまり、排気工程及び第２溶融工程が上記所定の処理に相当する。
【００６２】
排気工程は、所定温度（排気温度）で、排気空間５１０を、通気路６００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気して真空空間５０とする工程である。
【００６３】
排気は、たとえば、真空ポンプを用いて行われる。真空ポンプは、図５に示されるように、排気管８１０と、シールヘッド８２０と、により仮組立て品１００に接続される。排気管８１０は、たとえば、排気管８１０の内部と排気口７００とが連通するように第２ガラス基板３００に接合される。そして、排気管８１０にシールヘッド８２０が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。
【００６４】
第１溶融工程と排気工程と第２溶融工程とは、第１ガラス基板２００及び第２ガラス基板３００を溶融炉内に配置したまま行われる。このとき、第２ガラス基板３００は、枠体４１０、仕切り４２０、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０、複数のスペーサ７０が設けられている。排気管８１０は、少なくとも第１溶融工程の前に、第２ガラス基板３００に接合される。
【００６５】
排気工程では、所定の排気温度で所定時間（排気時間）だけ、通気路６００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気空間５１０を排気する。排気温度は、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度（たとえば、３５０℃）より高く、かつ、第１軟化点及び第２軟化点（たとえば、４３４℃）より低く設定される。たとえば、排気温度は、３９０℃である。このようにすれば、枠体４１０及び仕切り４２０は変形しない。また、ガス吸着体６０のゲッタが活性化し、ゲッタが吸着していた分子（ガス）がゲッタから放出される。そして、ゲッタから放出された分子（つまりガス）は、排気空間５１０、通気路６００、通気空間５２０、及び、排気口７００を通じて排出される。したがって、排気工程では、ガス吸着体６０の吸着能力が回復する。排気時間は、所望の真空度（たとえば、０．１Ｐａ以下の真空度）の真空空間５０が得られるように設定される。たとえば、排気時間は、１２０分に設定される。
【００６６】
第２溶融工程は、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成することで、真空空間５０を囲むシール４０を形成する工程である。第２溶融工程では、第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成する。具体的には、第１ガラス基板２００及び第２ガラス基板３００は、溶融炉内で、第２溶融温度で所定時間（第２溶融時間）だけ加熱される。
【００６７】
第２溶融温度及び第２溶融時間は、第２熱接着剤が軟化し、通気路６００を塞ぐ隔壁４２が形成されるように設定される。第２溶融温度の下限は、第２軟化点（４３４℃）である。ただし、第２溶融工程では、第１溶融工程とは異なり、仕切り４２０を変形させることを目的としているから、第２溶融温度は、第１溶融温度（４４０℃）より高くしている。たとえば、第２溶融温度は、４６０℃に設定される。また、第２溶融時間は、たとえば、３０分である。
【００６８】
隔壁４２が形成されると、真空空間５０が通気空間５２０から分離される。そのため、真空ポンプで真空空間５０を排気することはできなくなる。第２溶融工程が終了するまでは、枠体４１０及び隔壁４２が加熱されているから、枠体４１０及び隔壁４２からガスが放出されることがある。しかしながら、枠体４１０及び隔壁４２から放出されたガスは、真空空間５０内のガス吸着体６０に吸着される。そのため、真空空間５０の真空度が悪化することが防止される。つまり、ガラスパネルユニット１０の断熱性が悪くなることが防止される。
【００６９】
第１溶融工程でも、枠体４１０及び隔壁４２が加熱されているから、枠体４１０及び隔壁４２からガスが放出されることがある。枠体４１０及び隔壁４２から放出されたガスはガス吸着体６０に吸着されるから、第１溶融工程によってガス吸着体６０の吸着能力が低下している場合がある。しかしながら、排気工程では、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度以上の排気温度で排気空間５１０の排気を行い、これによって、ガス吸着体６０の吸着能力を回復させている。したがって、ガス吸着体６０は、第２溶融工程において、枠体４１０及び隔壁４２から放出されたガスを十分に吸着できる。つまり、ガス吸着体６０が枠体４１０及び隔壁４２から放出されたガスを十分に吸着できずに真空空間５０の真空度が悪化することを防止できる。
【００７０】
また、第２溶融工程では、排気工程から継続して、通気路６００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気空間５１０を排気する。つまり、第２溶融工程では、第２溶融温度で、通気路６００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気空間５１０を排気しながら、仕切り４２０を変形させて通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成する。これによって、第２溶融工程中に、真空空間５０の真空度が悪化することがさらに防止される。ただし、第２溶融工程では、必ずしも、通気路６００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気空間５１０を排気する必要はない。
【００７１】
上記所定の処理では、所定温度（排気温度）で、通気路６００、通気空間５２０、及び排気口７００を介して排気空間５１０を排気して排気空間５１０を真空空間５０とする。排気温度は、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度より高くしている。これによって、排気空間５１０の排気とゲッタの吸着能力の回復とが同時に行える。
【００７２】
また、上記所定の処理では、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成することで、真空空間５０を囲むシール４０を形成する（図７参照）。仕切り４２０は、第２熱接着剤を含んでいるから、第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成することができる。なお、第１溶融温度は、第２溶融温度より低くしている。これによって、枠体４１０で第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを接合する際に、仕切り４２０が変形して通気路６００が塞がれることを防止できる。なお、仕切り４２０は、枠体４１０よりも溶融時の変形性が大きい材料で形成されてもよい。
【００７３】
仕切り４２０は、第１遮断部４２２１が第１通気路６１０を塞ぎ、第２遮断部４２２２が第２通気路６２０を塞ぐように、変形される。このようにして仕切り４２０を変形することで得られた隔壁４２は、真空空間５０を通気空間５２０から（空間的に）分離する。隔壁（第２部分）４２と枠体４１０において真空空間５０に対応する部分（第１部分）４１とが、真空空間５０を囲むシール４０を構成する。
【００７４】
このように、真空空間５０は、通気空間５２０、及び排気口７００を介して排気空間５１０を排気することで形成される。真空空間５０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とシール４０とで完全に密閉されているから、通気空間５２０及び排気口７００から分離されている。
【００７５】
また、矩形の枠状のシール４０が形成される。シール４０は、第１部分４１と、第２部分４２と、を有する。第１部分４１は、枠体４１０において真空空間５０に対応する部分である。つまり、第１部分４１は、枠体４１０において真空空間５０に面している部分である。第１部分４１は、略Ｕ字状であり、シール４０の四辺のうちの三辺を構成する。第２部分４２は、仕切り４２０を変形することで得られる隔壁である。第２部分４２は、Ｉ字状であり、シール４０の四辺のうちの残りの一辺を構成する。
【００７６】
上述した密閉工程によって、図６〜図８に示される組立て品１１０が得られる。組立て品１１０は、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、シール４０と、真空空間５０と、通気空間５２０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。図７では、内部構造が理解しやすいよう、第１ガラス基板２００の一部（右下）を破断して、描画している。
【００７７】
除去工程は、組立て品１１０から通気空間５２０を有する部分１１を除去することで、真空空間５０を有する部分であるガラスパネルユニット１０を得る工程である。図７に示されるように、具体的には、溶融炉から取り出された組立て品１１０は、切断線９００に沿って切断され、真空空間５０を有する所定部分（ガラスパネルユニット）１０と、通気空間５２０を有する部分（不要な部分）１１と、に分割される。不要な部分１１は、主に、第１ガラス基板２００のうち通気空間５２０に対応する部分２３０と、第２ガラス基板３００のうち通気空間５２０に対応する部分３２０と、枠体４１０のうち通気空間５２０に対応する部分４１１と、を含んでいる。ガラスパネルユニット１０の製造コストを考慮すれば、不要な部分１１は小さいほうが好ましい。図９では、組立て品１１０から不要な部分１１を除去する様子を示している。
【００７８】
切断は、適宜の切断装置によって行われる。切断装置としては、スクライバ、レーザが例示される。第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを同時に切断すると、ガラスパネルユニット１０を効率よく切り出すことができる。なお、切断線９００の形状は、ガラスパネルユニット１０の形状によって定まる。ガラスパネルユニット１０は矩形状であるから、切断線９００は、壁４２の長さ方向に沿った直線となっている。
【００７９】
上述した、準備工程、組立工程、密閉工程、及び除去工程を経て、図１及び図２に示すようなガラスパネルユニット１０が得られる。第１ガラスパネル２０は、第１ガラス基板２００のうち真空空間５０に対応する部分である。第２ガラスパネル３０は、第２ガラス基板３００のうち真空空間５０に対応する部分である。真空空間５０を形成するための排気口７００は、第２ガラス基板３００において通気空間５２０に対応する部分３２０に存在し、排気管８１０は部分３２０に接続されている。そのため、第２ガラスパネル３０には、排気口７００が存在していない。
【００８０】
ガラスパネルユニットの検査方法について、上述したガラスパネルユニット１０及びその製造方法を例に説明する。
【００８１】
ガラスパネルユニット１０の検査方法では、ガス吸着体６０の色の変化に基づき、真空空間５０の真空度を判断する。上述のように、ガス吸着体６０はガスの吸着により色が変化する。そのため、ガス吸着体６０の活性状態が、色により確認可能である。ガス吸着体６０の活性が低下していると、真空度は低いと判断できる。ガス吸着体の活性が維持されていると、真空度は高いと判断できる。
【００８２】
ガラスパネルユニットの検査方法では、製造後にガラスパネルユニット１０の真空空間５０の真空度を判断することが可能である。製造過程において、真空が良好に形成されているか否かの検査を行うことができる。たとえば、ガラスパネルユニット１０を製造した後、ガス吸着体６０の色を確認する。ガス吸着体６０の色が、初期の状態から変化しているときは、真空空間５０内のガスが吸着されており、真空空間５０にはガスが存在すると推測される。その場合、真空空間５０の真空度が低くなっており、真空空間５０の真空が維持できていないと判断され得る。そして、ガラスパネルユニット１０は、真空による断熱性が付与されないため、不良品と判断される。一方、ガス吸着体６０の色が初期の状態を維持しているときは、真空空間５０内にガスは存在していないか、ほとんど存在していないと推測される。その場合、真空空間５０の真空度が高く維持されており、真空空間５０は真空であると判断され得る。そして、ガラスパネルユニット１０は、真空による断熱性が付与されるため、良品と判断される。ガラスパネルユニット１０の検査方法は、ガラスパネルユニット１０の製造方法の一部として組み込まれ得る。
【００８３】
ここで、ガラスパネルユニット１０の製造後においては、シール４０が安定していなくてガスが放出される場合があり得る。また、シール４０における気密性が十分でない場合に、シール４０とガラスパネルとの隙間から真空空間５０内に外部の空気が侵入するおそれがあり得る。また、シール４０が製造後に収縮して、隙間が形成されるおそれがあり得る。そのような場合に、上記の検査方法では、真空度を容易に確認することが可能である。ガス吸着体の色変化により、リークを確認できる。
【００８４】
ガス吸着体６０の色の変化は、肉眼で確認してもよいし、色差測定や色度測定などの光学的手法で確認してもよい。肉眼で確認可能であると、検査が容易になる。光学的測定装置で色の変化を確認する場合、精度よく判断することができる。たとえば、ガス吸着体６０の色差が比較的大きく変化すると、色の変化の確認が容易になる。ガス吸着体６０の色の変化により、ガス吸着体６０の不活性化が確認される。
【００８５】
ガス吸着体６０の色変化の実例を示す。図１０は、ガス吸着体６０の色変化の一例を示す写真である。ゲッタは銅イオン交換されたゼオライトを使用している。ガス吸着体６０をガラスパネルの表面に設けて色の変化を見ている。右側に示されるガス吸着体６０Ｒは、色が変化していない（実際、ガス吸着体６０Ｒの色は青っぽい）。そのため、ガス吸着体６０Ｒは活性が維持されている。一方、左側に示されるガス吸着体６０Ｌは、色が変化している（実際、ガス吸着体６０Ｌの色は赤っぽい）。このガス吸着体６０Ｌは、当初は右側のガス吸着体６０Ｒと同じ色であったが、ガスを飽和量まで吸着して活性が失われ、色が変化している。白黒写真では、濃淡の変化しか認識できないが、実際には色味も変化している。色の変化は差が大きい方が好ましい。この実例では、色の変化の前後において、ガス吸着体６０Ｌの色度は変化している。
【００８６】
ガラスパネルユニット１０の検査方法では、所定期間経過後のガラスパネルユニット１０の真空空間５０の真空度を判断することも可能である。たとえば、所定期間の間、保管されたガラスパネルユニット１０の真空が維持されているか否かを判断できる。この検査方法は、在庫保管の際に利用できる。また、たとえば、ガラスパネルユニット１０が製品として使用された後、真空が維持されているか否かを確認することができる。具体的には、窓に使用されているガラスパネルユニット１０の真空度を確認できる。
【００８７】
ガラスパネルユニット１０では、真空度を色の変化で容易に確認可能である。従来、気密されているガラスパネルユニット１０は、内部の真空度を確認することは難しい。たとえば、ガラスパネルユニットの断熱性を検査することで、真空度が維持されているか否かを確認するという手法が取られ得る。あるいは、シール４０の隙間からの侵入（いわゆるリーク）に対しては、有色ガスの侵入の有無により確認できるかもしれない。これらの検査方法は、煩雑であり、容易ではない。一方、上記のガラスパネルユニット１０の検査方法では、色変化に基づいて容易に精度よく、真空度を確認することができる。このように、ガラスパネルユニット１０の検査方法は、色の変化により真空空間５０の真空度を容易に判断できるため、真空を維持しているか否かを確認でき、真空を維持するガラスパネルユニット１０を提供することができる。
【００８８】
ところで、上記実施形態では、ガス吸着体６０は、線状になっているが、ガス吸着体６０は適宜の形状であってよい。たとえば、ガス吸着体６０は、文字や記号を構成するように形成されてもよい。具体的には、ガス吸着体６０はロゴになっていてもよい。たとえば、色の変化により「ＮＧ」などの文字や「×」などの記号が浮かび上がると、不良であることを容易に理解することができ、確認が容易になる。特に色変化で浮かび上がる意味が容易に理解できると、顧客や利用者において判断が可能になる。
【００８９】
以下、ガラスパネルユニットの更なる変形例を説明する。変形例の説明にあたっては、同様の構成の番号について括弧を付す。
【００９０】
上記実施形態では、ガラスパネルユニット（１０）は矩形状であるが、ガラスパネルユニット（１０）は、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。つまり、第１ガラスパネル（２０）、第２ガラスパネル（３０）、及びシール（４０）は、矩形状ではなく、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。なお、第１ガラス基板（２００）、第２ガラス基板（３００）、枠体（４１０）、及び、隔壁（４２）のそれぞれの形状は、上記実施形態の形状に限定されず、所望の形状のガラスパネルユニット（１０）が得られるような形状であればよい。なお、ガラスパネルユニット（１０）の形状や大きさは、ガラスパネルユニット（１０）の用途に応じて決定される。
【００９１】
また、第１ガラスパネル（２０）の本体（２１）の第１面及び第２面はいずれも平面に限定されない。同様に、第２ガラスパネル（３０）の本体（３１）の第１面及び第２面はいずれも平面に限定されない。
【００９２】
また、第１ガラスパネル（２０）の本体（２１）と第２ガラスパネル（３０）の本体（３１）とは同じ平面形状及び平面サイズを有していなくてもよい。また、本体（２１）と本体（３１）とは同じ厚みを有していなくてもよい。また、本体（２１）と本体（３１）とは同じ材料で形成されていなくてもよい。同様に、第１ガラス基板（２００）のガラス板（２１０）と第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）とは同じ平面形状及び平面サイズを有していなくてもよい。また、ガラス板（２１０）とガラス板（３１０）とは同じ厚みを有していなくてもよい。ガラス板（２１０）とガラス板（３１０）とは同じ材料で形成されていなくてもよい。
【００９３】
また、シール（４０）は、第１ガラスパネル（２０）及び第２ガラスパネル（３０）と同じ平面形状を有していなくてもよい。同様に、枠体（４１０）は、第１ガラス基板（２００）及び第２ガラス基板（３００）と同じ平面形状を有していなくてもよい。
【００９４】
また、第１ガラスパネル（２０）は、さらに、所望の物理特性を有して本体（２１）の第２平面に形成されるコーティングを備えていてもよい。あるいは、第１ガラスパネル（２０）は、コーティング（２２）を備えていなくてもよい。つまり、第１ガラスパネル（２０）は、本体（２１）のみで構成されていてもよい。
【００９５】
また、第２ガラスパネル（３０）は、さらに、所望の物理特性を有するコーティングを備えていてもよい。コーティングは、たとえば、本体（３１）の第１平面及び第２平面にそれぞれ形成される薄膜の少なくとも一方を備えていればよい。コーティングは、たとえば、特定波長の光を反射する膜（赤外線反射膜、紫外線反射膜）などである。
【００９６】
上記実施形態では、枠体（４１０）は、第１熱接着剤で形成されている。ただし、枠体（４１０）は、第１熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、枠体（４１０）は、第１熱接着剤を含んでいればよい。また、上記実施形態では、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）のほぼすべての領域を囲うように形成されている。しかしながら、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）上の所定の領域を囲うように形成されていればよい。つまり、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）のほぼすべての領域を囲うように形成されている必要はない。また、組立て品（１１０）は、２以上の枠体（４１０）を有していてもよい。つまり、組立て品（１１０）は、２以上の内部空間（５００）を有していてもよい。この場合、１つの組立て品（１１０）から２以上のガラスパネルユニット（１０）を得ることができる。
【００９７】
上記実施形態では、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤で形成されている。ただし、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤を含んでいればよい。また、上記実施形態では、仕切り（４２０）はその両端が枠体（４１０）とは連結されていない。そして、仕切り（４２０）の両端と枠体（４１０）との隙間が、通気路（６１０，６２０）である。ただし、仕切り（４２０）は、その両端の一方のみが枠体（４１０）に連結されていなくてもよく、この場合、仕切り（４２０）と枠体（４１０）との間に一つの通気路（６００）が形成される。あるいは、仕切り（４２０）は、その両端が枠体（４１０）に連結されていてもよい。この場合、通気路（６００）は、仕切り（４２０）に形成された貫通孔であってもよい。あるいは、通気路（６００）は、仕切り（４２０）と第１ガラス基板（２００）との隙間であってもよい。あるいは、仕切り（４２０）は、間隔をあけて配置された２以上の仕切りで形成されていてもよい。この場合、通気路（６００）は、２以上の仕切りの隙間であってもよい。
【００９８】
上記実施形態では、内部空間（５００）は、一つの排気空間（５１０）と一つの通気空間（５２０）とに仕切られている。ただし、内部空間（５００）は、１以上の排気空間（５１０）と１以上の通気空間（５２０）とに仕切られていてもよい。内部空間（５００）が２以上の排気空間（５１０）を有する場合、１つの組立て品（１１０）から２以上のガラスパネルユニット（１０）を得ることができる。
【００９９】
上記実施形態では、第２熱接着剤は、第１熱接着剤と同じであり、第２軟化点と第１軟化点は等しい。ただし、第２熱接着剤は、第１熱接着剤と異なる材料であってもよい。たとえば、第２熱接着剤は、第１熱接着剤の第１軟化点と異なる第２軟化点を有していてもよい。ここで、第２軟化点は、第１軟化点より高いことが好ましい。この場合、第１溶融温度を、第１軟化点以上第２軟化点未満とすることができる。このようにすれば、第１溶融工程において、仕切り４２０が変形してしまうことを防止できる。
【０１００】
また、第１接着剤及び第２熱接着剤は、ガラスフリットに限定されず、たとえば、低融点金属や、ホットメルト接着材などであってもよい。
【０１０１】
上記実施形態では、枠体（４１０）、ガス吸着体（６０）、及び仕切り（４２０）の加熱に溶融炉を利用している。しかしながら、加熱は、適宜の加熱手段で行うことができる。加熱手段は、たとえば、レーザや、熱源に接続された伝熱板などである。
【０１０２】
上記実施形態では、通気路（６００）は２つの通気路（６１０，６２０）を備えているが、通気路（６００）は、一つの通気路だけで構成されていてもよいし、３以上の通気路で構成されていてもよい。また、通気路（６００）の形状は、特に限定されない。
【０１０３】
上記実施形態では、排気口（７００）は、第２ガラス基板（３００）に形成されている。しかし、排気口（７００）は、第１ガラス基板（２００）のガラス板（２１０）に形成されていてもよいし、枠体（４１０）に形成されていてもよい。要するに、排気口（７００）は、不要な部分（１１）に形成されていればよい。
【０１０４】
上記実施形態では、ガス吸着体（６０）のゲッタは蒸発型ゲッタであるが、ゲッタは非蒸発型ゲッタであってもよい。非蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子が内部に入り込むことで、吸着能力が回復する。ただし、蒸発型ゲッタとは異なり、吸着された分子を放出するわけではないので、非蒸発型ゲッタは、ある程度以上の分子を吸着すると、たとえ活性化温度以上に加熱されても、吸着能力が回復しなくなる。
【０１０５】
上記実施形態では、ガス吸着体（６０）は、長尺状であるが、他の形状であってもよい。また、ガス吸着体（６０）は、必ずしも真空空間（５０）の端にある必要はない。また、上記実施形態では、ガス吸着体（６０）は、ゲッタの粉体を含む液体（たとえばゲッタの粉体を液体に分散して得られた分散液や、ゲッタの粉体を液体に溶解させて得られた溶液）を塗布することにより形成される。しかしながら、ガス吸着体（６０）は、基板と、基板に固着されたゲッタと、を備えていてもよい。このようなガス吸着体（６０）は、ゲッタの粉末を含む液体に基板を浸漬し、乾燥することで得ることができる。なお、基板は、所望の形状であってよく、たとえば、長尺の矩形状である。
【０１０６】
あるいは、ガス吸着体（６０）は、第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）の表面（第１面）に全体的あるいは部分的に形成された膜であってもよい。このようなガス吸着体（６０）は、第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）の表面（第１面）をゲッタの粉末を含む液体でコーティングすることで得ることができる。
【０１０７】
あるいは、ガス吸着体（６０）は、スペーサ（７０）に含まれていてもよい。たとえば、スペーサ（７０）を、ゲッタを含む材料で形成すれば、ガス吸着体（６０）を含むスペーサ（７０）を得ることができる。
【０１０８】
あるいは、ガス吸着体（６０）は、ゲッタで形成された固形物であってもよい。このようなガス吸着体（６０）は、比較的大きく、第１ガラス基板（２００）と第２ガラス基板（３００）との間に配置できないことがある。この場合には、第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）に凹所を形成して、この凹所にガス吸着体（６０）を配置すればよい。
【０１０９】
あるいは、ガス吸着体（６０）は、ゲッタが分子を吸着しないように、予めパッケージ内に配置しておいてもよい。この場合、第２溶融工程の後に、パッケージを破壊して、ガス吸着体（６０）を真空空間（５０）に曝せばよい。
【０１１０】
上記実施形態では、ガラスパネルユニット（１０）は複数のスペーサ（７０）を備えているが、ガラスパネルユニット（１０）は、一つのスペーサ（７０）を備えていてもよい。あるいは、ガラスパネルユニット（１０）は、スペーサ（７０）を備えていなくてもよい。
【０１１１】
上記実施形態では、不要な部分（１１）を除去することで、排気口を有さないガラスパネルユニット（１０）を形成することを説明したが、ガラスパネルユニット（１０）は、排気口を有していてもよい。その場合、排気口は、第１ガラスパネル（２０）と、第２ガラスパネル（３０）とのうちの少なくともいずれか一方に設けられ得る。真空空間（５０）の真空を維持するため、排気口は閉じられる。第１ガラスパネル（２０）及び第２ガラスパネル（３０）の少なくともいずれか一方に排気口が設けられた場合、キャップ材により排気口が閉じられ得る。ただし、外観をよくするためには、ガラスパネルユニット（１０）は排気口を有していないことが好ましい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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