(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の太陽電池セルと、前記太陽電池セル同士を電気的に接続する配線部材と、を備える太陽電池ユニットであって、
前記太陽電池セルが、受光面とは反対側の裏面に配置された裏面電極、導電層、及び、絶縁層を備え、
前記裏面電極及び前記導電層が、前記太陽電池セル同士の接続方向に直交する方向に互いに接しており、
前記太陽電池セルの前記裏面側において、前記配線部材の搭載領域が前記導電層及び前記絶縁層を有している、太陽電池ユニット。
【請求項２】
前記導電層がＡｌ、Ａｌ−Ｓｉ合金、Ｃｕ、Ｓｎ又はＡｇを含む、請求項１に記載の太陽電池ユニット。
【請求項３】
前記裏面電極が前記導電層と同一の材料で構成されている、請求項１又は２に記載の太陽電池ユニット。
【請求項４】
前記絶縁層が窒化シリコン、酸化シリコン又は酸化アルミニウムを含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の太陽電池ユニット。
【請求項５】
前記絶縁層が開口部を有しており、
前記開口部を介して前記裏面電極と前記太陽電池セルとが接している、請求項１〜４のいずれか一項に記載の太陽電池ユニット。
【請求項６】
前記裏面電極の少なくとも一部が前記配線部材の搭載領域にまたがって配置されている、請求項１〜５のいずれか一項に記載の太陽電池ユニット。
【請求項７】
前記導電層の少なくとも一部が前記裏面電極と重なって配置されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載の太陽電池ユニット。
【請求項８】
前記受光面にバスバー電極が配置されることなく表面電極が前記太陽電池セルと前記配線部材との間に配置されており、
前記配線部材の搭載領域における前記表面電極に相対する位置に前記導電層が配置されている、請求項１〜７のいずれか一項に記載の太陽電池ユニット。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の太陽電池ユニットの製造方法であって、
前記太陽電池セルの前記配線部材の搭載領域上に接着部材及び前記配線部材をこの順に配置する配置工程と、
前記配置工程の後、加圧して前記太陽電池セルと前記配線部材とを接続する接続工程と、を含む、太陽電池ユニットの製造方法。
【請求項１０】
前記配置工程において前記接着部材がフィルム状である、請求項９に記載の太陽電池ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池ユニット及び太陽電池ユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池ユニットは、一の太陽電池セルの表面電極（細線電極）等に電気的に接続されたバスバー電極及び配線部材（タブ線）が他の太陽電池セルの裏面のバスバー電極等に電気的に接続されることが順次繰り返されて、複数の太陽電池セルが直列及び／又は並列に接続された構造を有している。太陽電池は、屋外環境で使われるため、気温変化、湿潤、強風、積雪等に対する耐性を確保する必要があり、バスバー電極及び配線部材が接続された太陽電池セル群は封止部材によって封止されるのが一般的である。通常、強化ガラス、バックシート等で複数枚のエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）等の封止部材を挟み、更に封止部材間に、配線部材が接続された太陽電池セル群を積層するように挟んだ後、真空ラミネータによって封止が行われる。
【０００３】
太陽電池ユニットを作製する際、電極と配線部材との接合には、従来、はんだが用いられてきた（例えば、下記特許文献１及び２参照）。はんだは、導通性、固着強度等の接続信頼性に優れ、安価で汎用性があることから広く用いられている。しかしながら、はんだによる接合方法では、はんだの溶融温度が通常２３０〜２６０℃程度であることから、接合に伴う高温、はんだの体積収縮等が太陽電池セルの半導体構造に悪影響を及ぼし、太陽電池セルの特性劣化を引き起こす場合がある。
【０００４】
一方、はんだを使用しない、接着部材を用いた接合方法も知られている。例えば、下記特許文献３〜５には、導電性ペーストを用いた接合方法が開示されており、下記特許文献６〜８には、導電フィルムを用いた接合方法が開示されている。
【０００５】
また、太陽電池セルの受光面及び裏面におけるバスバー電極には主に高価なＡｇ系の部材が使われており、コストを圧迫する。そこで、下記特許文献９及び１０には、受光面においてバスバー電極を部分的に形成し低コスト化を図る方法が開示されている。
【０００６】
さらに、下記特許文献１１には、裏面において、バスバー電極を形成せずに、太陽電池セルの基板を構成するシリコン（Ｓｉ）部を露出させた部分を設けて、導電性接着剤層を用いて配線部材（タブ線）を接続する方法が開示されている。しかしながら、シリコン部が露出している部分ではキャリア再結合が顕著になり、セル特性が低下する場合がある。
【０００７】
裏面のキャリア再結合を抑制する方法として、下記非特許文献１には、セル裏面にシリコン酸化膜でパッシベーション層を設けるＰＥＲＣ（Passivated  Emitter  and  Rear  Cell）構造が開示されている。ＰＥＲＣ構造における裏面の配線部材の接合方法として、下記特許文献１２には、部分的な開口部を設けたパッシベーション層をセル裏面に形成し、開口部を埋めるようにＡｌ電極を形成し、それら全てのＡｌ電極と接触するように集電用のＡｇ電極を形成し、リードフレームをはんだ付けする領域にはＡｌ電極を形成しない方法が開示されている。しかしながら、全てのＡｌ電極と接触するためには従来よりも多くの集電用のＡｇ電極が必要となり、コストアップとなる。特に、はんだ付けをする場合、リードフレームを付ける領域にはＡｇ電極形成が必須となり、高価なＡｇの使用量をこれ以上低減することは困難である。また、前述のようにはんだによる接合方法はセルダメージが懸念される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−２０４２５６号公報
【特許文献２】特開２００５−０５０７８０号公報
【特許文献３】特開２０００−２８６４３６号公報
【特許文献４】特開２００１−３５７８９７号公報
【特許文献５】特許第３４４８９２４号公報
【特許文献６】特開２００５−１０１５１９号公報
【特許文献７】特開２００７−２１４５３３号公報
【特許文献８】特開２００８−３００４０３号公報
【特許文献９】特許第５２８９６２５号
【特許文献１０】特開２０１０−２７７７８号公報
【特許文献１１】国際公開第２０１２／００５３１８号
【特許文献１２】特許第５１７４９０３号
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】Appl.Phys.Lett.，vol.55（1989），P.1363-1365
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
近年、クリーンで枯渇しないエネルギーの供給手段として太陽電池が一層注目を浴びるようになり、低コスト化かつ太陽電池特性の更なる向上が期待されている。
【００１１】
本発明は、バスバー電極形成に用いる部材を低減しながら良好な太陽電池特性を得ることが可能な太陽電池ユニット及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る太陽電池ユニットは、複数の太陽電池セルと、前記太陽電池セル同士を電気的に接続する配線部材と、を備える太陽電池ユニットであって、受光面とは反対側の裏面に配置された裏面電極を有する前記太陽電池セルの前記裏面側において、前記配線部材の搭載領域が導電層及び絶縁層を有している。
【００１３】
本発明に係る太陽電池ユニットによれば、上記構成を有することにより、絶縁層が配線部材の搭載領域を占めることにより導電層の占有面積を低減しつつ、配線部材と導電層とが導通を得ると共に配線部材と絶縁層とを接着させることができる。これにより、従来と比較して、裏面バスバー領域の面積を低減することによりバスバー電極形成に用いる部材が低減されるため、低コスト化を図りながら良好に接続することができる。また、本発明に係る太陽電池ユニットによれば、配線部材の搭載領域が絶縁層（パッシベーション層）を有していることにより太陽電池セルが露出することを抑制し易いことから、従来の裏面バスバー領域やタブ線搭載領域で発生するキャリア再結合を抑制可能であることから良好な太陽電池特性を得ることができる。また、本発明に係る太陽電池ユニットによれば、はんだを用いることなく太陽電池セルと配線部材とを接続することができることから、はんだの使用に伴う特性劣化を抑制することもできる。本発明に係る太陽電池ユニットによれば、裏面にパッシベーション層が形成されたＰＥＲＣ構造等においてこれらの効果を好適に得ることができる。
【００１４】
前記導電層は、Ａｌ、Ａｌ−Ｓｉ合金、Ｃｕ、Ｓｎ又はＡｇを含むことが好ましい。これにより、十分な導電性が発現し、配線部材を接続した後に良好な太陽電池特性が得られやすい。
【００１５】
前記裏面電極は、前記導電層と同一の材料で構成されていてもよい。これにより、裏面電極と導電層とを一度に形成できるために、工程を簡略化することができる。
【００１６】
前記絶縁層は、窒化シリコン、酸化シリコン又は酸化アルミニウム（アルミナ）を含むことが好ましい。これにより、パッシベーション層としてキャリアの再結合を抑制しやすくなり、良好な太陽電池特性を得やすい。
【００１７】
本発明に係る太陽電池ユニットは、前記絶縁層が開口部を有しており、前記開口部を介して前記裏面電極と前記太陽電池セルとが接している態様であることが好ましい。これにより、裏面のパッシベーション面積を確保しながらも、裏面電極が太陽電池セル（例えば、基板のシリコン部）と合金層を形成してＢＳＦ層を形成することが可能であり、良好な太陽電池特性を得やすい。
【００１８】
前記裏面電極の少なくとも一部は、前記配線部材の搭載領域にまたがって配置されていてもよい。これにより、少ない面積で導電層を形成しても十分な集電効率を得ることができる。
【００１９】
前記導電層の少なくとも一部は、裏面電極と重なって配置されていてもよい。これにより、裏面電極、導電層及び配線部材の導電パスが得られやすく、十分な集電効率を得ることができる。
【００２０】
本発明に係る太陽電池ユニットは、前記受光面にバスバー電極が配置されることなく表面電極が太陽電池セルと配線部材との間に配置されており、前記配線部材の搭載領域における前記表面電極に相対する位置に前記導電層が配置されている態様であってもよい。これにより、バスバー電極形成に要するコストを抑制しながらも、配線部材を安定に歩留まりよく接続することができる。
【００２１】
本発明に係る太陽電池ユニットの製造方法は、上述した太陽電池ユニットの製造方法であって、前記太陽電池セルの前記配線部材の搭載領域上に接着部材及び前記配線部材をこの順に配置する配置工程と、前記配置工程の後、加圧して前記太陽電池セルと前記配線部材とを接続する接続工程と、を含む。
【００２２】
配置工程において前記接着部材は、フィルム状であることが好ましい。これにより、導電層及び絶縁層を有する配線部材の搭載領域において、安定で均一な接続状態を実現しやすい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、バスバー電極形成に用いる部材を低減しながら良好な太陽電池特性を得ることが可能な太陽電池ユニット及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係る太陽電池ユニットを模式図に示す斜視図である。
【図２】従来の太陽電池セルの受光面を模式的に示す平面図である。
【図３】従来の太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。
【図４】第１実施形態に係る太陽電池セルの受光面を模式的に示す図である。
【図５】第１実施形態に係る太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。
【図６】第１実施形態に係る太陽電池セルの裏面における絶縁層パターンを模式的に示す平面図である。
【図７】第１実施形態に係る太陽電池セルの裏面における導電層及び裏面電極を模式的に示す平面図である。
【図８】第１実施形態に係る太陽電池セルを備える太陽電池ユニットの模式断面図である。
【図９】第１実施形態に係る太陽電池ユニットの製造方法の一工程を説明するための斜視図である。
【図１０】第２実施形態に係る太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。
【図１１】第３実施形態に係る太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。
【図１２】第３実施形態に係る太陽電池セルの裏面における絶縁層パターンを模式的に示す平面図である。
【図１３】第３実施形態に係る太陽電池セルの裏面における導電層及び裏面電極を模式的に示す平面図である。
【図１４】第４実施形態に係る太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。
【図１５】第４実施形態に係る太陽電池セルの裏面における絶縁層パターンを模式的に示す平面図である。
【図１６】第４実施形態に係る太陽電池セルの裏面における裏面電極を模式的に示す平面図である。
【図１７】第４実施形態に係る太陽電池セルの裏面における導電層を模式的に示す平面図である。
【図１８】第５実施形態に係る太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。
【図１９】第６実施形態に係る太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。
【図２０】太陽電池セルの受光面の一例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一又は相当部分には同一符号を付し、場合により、重複する説明は省略する。
【００２６】
また、「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。「Ａ又はＢ」とは、ＡとＢのどちらか一方を含んでいればよく、両方とも含んでいてもよい。組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。
【００２７】
図１は、本実施形態に係る太陽電池ユニットを模式的に示す斜視図である。図１に示すように、太陽電池ユニット１００は、複数の太陽電池セル１１０と、太陽電池セル１１０同士を電気的に接続する配線部材（「配線ワイヤー」又は「タブ線」ともいう）１１１とを備えている。太陽電池セル１１０の一面側は、表面電極（「フィンガー電極」又は「細線電極」ともいう）１１２が配置された受光面（表面）１１０ａであり、太陽電池セル１１０の他面側は、裏面電極が配置された裏面（受光面とは反対側の面）１１０ｂである。表面電極１１２及び裏面電極は太陽電池セル１１０の基板１１３のシリコン部に電気的に接続されている。隣接する太陽電池セル１１０間では、一の太陽電池セル１１０の受光面１１０ａ側の表面電極１１２と、他の太陽電池セル１１０の裏面１１０ｂ側の裏面電極とが配線部材１１１によって接続されており、これにより、太陽電池セル１１０同士が直列に接続されたストリングスが形成されている。
【００２８】
図２は、従来の太陽電池セルの受光面を模式的に示す平面図であり、図３は、従来の太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。図２及び図３に示すように、従来の太陽電池ユニットに含まれる太陽電池セル１０は、基板１３の受光面側に配置された反射防止膜１４及び表面電極１２と、基板１３の裏面側に配置された裏面電極１５とを有している。
【００２９】
反射防止膜１４は、基板１３の受光面に配置されており、表面電極１２を配置するための開口部を有している。反射防止膜１４の開口部及び表面電極１２は、複数本の細長い直線状である。表面電極１２は、反射防止膜１４の開口部に配置されていると共に、基板１３に電気的に接続されている。裏面電極１５は、基板１３の裏面の全面を覆っている。
【００３０】
太陽電池セル１０の受光面側には、表面電極１２よりも本数が少なく且つ表面電極１２よりも幅の太いバスバー電極１６ａが表面電極１２に直交するように配置されている。また、太陽電池セル１０の裏面側には、受光面のバスバー電極１６ａに相対する位置にバスバー電極（裏面バスバー電極）１６ｂが配置されている。バスバー電極１６ａ，１６ｂのそれぞれの上に配線部材１１１（図１）が配置されて、複数の太陽電池セル１０が接続して連ねられる。
【００３１】
図４は、第１実施形態に係る太陽電池セルの受光面（表面）を模式的に示す図である。図５は、第１実施形態に係る太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。図６は、第１実施形態に係る太陽電池セルの裏面における絶縁層パターンを模式的に示す平面図である。図７は、第１実施形態に係る太陽電池セルの裏面における導電層及び裏面電極（裏面電極パターン）を模式的に示す平面図である。図８は、第１実施形態に係る太陽電池セルを備える太陽電池ユニットの模式断面図である。
【００３２】
第１実施形態に係る太陽電池セル１１０は、基板１１３と、受光面側に配置された反射防止膜１１４及び表面電極１１２と、裏面側に配置された絶縁層１１７、裏面電極１１５及び導電層（「裏面バスバー電極」ともいう）１１８とを有している。図４には、配線部材が搭載される配線部材搭載領域Ｒ１が図示されている。図５には、配線部材が搭載される配線部材搭載領域Ｒ２が図示されている。
【００３３】
基板１１３は、例えば、半導体基板である。基板１１３は、例えば、Ｓｉの単結晶、多結晶及び非結晶からなる群より選ばれる少なくとも一種によって略正方形状に形成されている。基板１１３の四隅は、それぞれ円弧状に面取りされている。
【００３４】
反射防止膜１１４は、基板１１３の受光面の略全面を覆うように基板１１３の受光面に配置されており、表面電極１１２が配置されている開口部を有している。当該開口部は、例えば、表面電極１１２を反射防止膜１１４上に配置した後の焼成工程においてファイヤースルーして反射防止膜１１４に形成される。当該ファイヤースルーにより、表面電極１１２が基板１１３と接することとなる。開口部は、複数本の細長い直線状である。反射防止膜１１４の材料としては、例えば窒化シリコンが挙げられる。
【００３５】
表面電極１１２は、複数本の細長い直線状の電極で構成されている。表面電極１１２は、反射防止膜１１４の開口部に配置されていると共に、基板１１３に電気的に接続されている。表面電極１１２は、基板１１３の受光面の略全面において、太陽電池ユニットのストリングスの延在方向（以下「ストリングス延在方向」という）と略直交する方向に沿って配置され、ストリングス延在方向に沿って所定の間隔をもって配列されている。表面電極１１２は、例えばＡｇを含み、Ａｇからなる態様であってもよい。
【００３６】
絶縁層１１７は、基板１１３の裏面の略全面を覆うように基板１１３の裏面に配置されている。絶縁層１１７には、複数の開口部１１７ａが形成されている。開口部１１７ａは、ストリングス延在方向と略直交する方向に沿って形成され、ストリングス延在方向に沿って所定の間隔をもって形成されている。
【００３７】
絶縁層１１７の材料としては、窒化シリコン、酸化シリコン、酸化アルミニウム（アルミナ）等が挙げられ、これらのいずれかの材料を主成分とする態様であってもよく、これらのいずれかの材料からなる態様であってもよい。これらの絶縁層１１７は、パッシベーション効果をもたらしやすいため、キャリアの表面再結合を防ぎセル特性を向上させやすくすることができる。絶縁層１１７は、ＣＶＤ法、ＡＬＤ法、スパッタ、蒸着等で形成できる。所望のパターンを有する絶縁層１１７は、樹脂マスク等でカバーして製膜し、ふっ酸、硝酸、それらの混合水溶液等でエッチングした後に樹脂マスクをアルカリ水溶液等で除去して形成してもよい。また、ＹＡＧレーザー、Ｙｂレーザー、ＹｂＹＡＧレーザー、ＹＶＯレーザー等の固体レーザー、半導体レーザー、Ａｒレーザー等の気体レーザーなどを用いたパターニングも好適である。また、絶縁層形成用ペーストをスクリーン印刷でパターニング形成した後に焼成して形成する方法も好適である。これらの方法でパターニングした後、基板のシリコン部のダメージ部を除去するために酸性水溶液やアルカリ水溶液で処理表面をエッチングして純水洗浄してもよい。また、絶縁層１１７は、インクジェット印刷によって絶縁層組成物を直接パターン印刷し、焼成等して形成してもよい。
【００３８】
絶縁層１１７は、図５及び図６に示すように、裏面電極１１５が部分的に基板１１３のシリコン部と接触する開口部１１７ａのパターンを設けて裏面電極１１５が部分的にコンタクトできるようにしつつ、裏面の略全面に形成されている。また、裏面電極１１５を焼成して形成する時に、絶縁層と反応してコンタクトをとる、いわゆるファイヤースルー機能のある裏面電極を用いると、絶縁層のパターニングは不要となるため、略全面に絶縁層を形成し、裏面電極ペーストをスクリーン印刷等でパターン形成した後に焼成することによってＢＳＦ層を形成できる。
【００３９】
絶縁層１１７は、パッシベーションの向上効果や安定性を得るために、２種類以上の層を重ねてもよい。例えば、アルミナ層の上に窒化シリコン層を形成してもよく、酸化シリコン層の上に窒化シリコン層を形成してもよい。また、それらが裏面と受光面の両面に形成されていてもよい。受光面にも絶縁層が形成される場合は、絶縁層上に反射防止膜が形成される。受光面及び裏面に同じ絶縁層を形成する場合、気相法によって受光面及び裏面の絶縁層を同時に形成してもよい。
【００４０】
裏面電極１１５は、基板１１３及び絶縁層１１７の略全面を覆うように絶縁層１１７上に配置されている。裏面電極１１５は、ストリングス延在方向に延びる４つの長尺部１１５ａを有しており、ストリングス延在方向と略直交する方向に延びる複数の導電層１１８が長尺部１１５ａ間に配置されることにより、隣接する長尺部１１５ａ同士が導電層１１８を介して接続されている。導電層１１８は、ストリングス延在方向に沿って所定の間隔をもって配置されている。
【００４１】
長尺部１１５ａは、絶縁層１１７の開口部１１７ａ内に至るまで延びることにより基板１１３のシリコン部に接している。すなわち、開口部１１７ａを介して裏面電極１１５と太陽電池セル１１０とが接している。長尺部１１５ａ間の領域は、配線部材搭載領域Ｒ２に相当する。配線部材搭載領域Ｒ２においては、導電層１１８が長尺部１１５ａ間から基板１１３のシリコン部まで延びることにより基板１１３のシリコン部に接している。裏面電極１１５及び導電層１１８は、一体に形成されていてもよく、別体として形成されていてもよい。導電層１１８は、配線部材搭載領域Ｒ２以外の領域に形成されていてもよい。
【００４２】
裏面電極１１５及び導電層１１８の材料としては、電気的導通が得られる導電材料が用いられ、Ａｌ、Ａｌ−Ｓｉ合金、Ｃｕ、Ｓｎ、Ａｇ等が挙げられ、これらのいずれかの材料を主成分とする態様であってもよく、これらのいずれかの材料からなる態様（例えばＡｌからなる態様）であってもよい。裏面電極１１５は、導電層１１８と同一の材料を含んでいてもよく、異なる材料を含んでいてもよい。裏面電極１１５は、導電層１１８と同一の材料で構成されていてもよい（すなわち、導電層１１８と同一素材の部材であってもよい）。
【００４３】
裏面電極１１５及び導電層１１８のそれぞれは、例えば、ガラス粉末を含むアルミニウム電極ペースト、及び、ガラス粒子を含む銀電極ペーストをスクリーン印刷等にて塗布することで形成することができる。Ａｌを含む裏面電極１１５又は導電層１１８を単にペーストの塗布・乾燥により基板（特にシリコン部）上に形成してもよいが、焼成等の工程を経ることによって、絶縁層１１７の開口部１１７ａ等において、基板（シリコン部）と合金層を形成してＢＳＦ層を形成し、Ｐ＋層及びＡｌ−Ｓｉ合金層を同時形成してもよい。また、ガラスペースト等を用いる場合、絶縁層１１７をファイヤースルーして部分的な裏面電極１１５又は導電層１１８を形成してもよく、この場合、絶縁層１１７のパターニングは不要となる。また、裏面電極１１５又は導電層１１８は、電解めっき又は無電解めっきで形成してもよい。裏面電極１１５の材料として導電層１１８と同じ材料を使えば形成工程が簡便となる。
【００４４】
裏面電極１１５及び導電層１１８のそれぞれの材料としては、１種類を単独で用いてもよく、２種類以上を用いてもよい。例えば、抵抗を抑えるために配線部材搭載領域をＣｕ、Ｓｎ、Ａｇ等とし、配線部材搭載領域以外をＡｌ、Ａｌ−Ｓｉ合金等としてもよい。Ｃｕを含む裏面電極１１５又は導電層１１８を形成する場合、めっきやぺ−ストを用いることができる。また、Ｃｕの他にリン、ニッケル及びガラスを含有したペーストを用いて裏面電極１１５又は導電層１１８を形成してもよい。これらを用いることにより太陽電池セルの基板（特にシリコン部）との密着性がよく、良好なオーミックコンタクトが得られる。
【００４５】
導電層１１８は、配線部材搭載領域Ｒ２において、主に、裏面電極１１５が形成される前に、開口部１１７ａを設けた絶縁層１１７の開口部１１７ａ内に形成されるが、絶縁層１１７及び裏面電極１１５を先に形成した後に、配線部材搭載領域Ｒ２において導電層１１８の少なくとも一部を形成してもよい。裏面電極１１５の少なくとも一部は配線部材搭載領域Ｒ２にまたがって配置されていてもよい。さらには、裏面電極の一部が導電層を兼ねていてもよい。また、導電層１１８の少なくとも一部が裏面電極１１５と重なって配置されていてもよい。これらの場合、導電層１１８に配線部材１１１が接続されたときに裏面電極１１５、導電層１１８及び配線部材１１１の導電パスが得られやすい。
【００４６】
太陽電池セル１１０の受光面では、バスバー電極を介さずに表面電極１１２のみで配線部材１１１を接続してもよい。この場合、図４に示すように、配線部材１１１が配置される配線部材搭載領域Ｒ１に表面電極１１２の少なくとも一部が配置されていればよい。なお、受光面にバスバー電極が配置されることなく表面電極１１２が太陽電池セル１１０と配線部材１１１との間（バスバー電極の搭載領域、配線部材搭載領域Ｒ１）に配置されている場合には、配線部材搭載領域Ｒ２における表面電極１１２に相対する位置に導電層１１８が配置されていることが好ましい。この場合、導電層１１８が配線部材搭載領域Ｒ２において凸部となっていることで、接続したときのセルゆがみ等を抑えてセルダメージを抑制することができる。
【００４７】
配線部材搭載領域Ｒ２は、接着部材を配置しない状態において裏面側の最表面として露出する絶縁層１１７及び導電層１１８を有しており、部分的な絶縁層（部分的に絶縁層が露出した部分）１１７と、部分的な導電層１１８とを有している。
【００４８】
太陽電池ユニット１００の受光面側においては、太陽電池セル１１０同士を直列及び／又は並列に接続するための配線部材１１１の一端が、一の太陽電池セル１１０の表面電極１１２に接着部材により接続されている。また、太陽電池ユニット１００の裏面側においては、図８に示すように、配線部材１１１の他端が、他の太陽電池セル１１０における絶縁層１１７及び導電層１１８を最表面に有する配線部材搭載領域Ｒ２に接着部材１１９によって接続されている。配線部材１１１は、図８（ａ）に示すように導電層１１８に直接接していてもよく、図８（ｂ）に示すように接着部材１１９中の金属粒子１１９ａを介して導電層１１８に接続されていてもよい。受光面側の接着部材としては、裏面側の接着部材１１９と同様の部材を用いることができる。
【００４９】
ここで、裏面の導電層１１８と配線部材１１１とを接続する方法として、導電層１１８と配線部材１１１とをはんだにより接合することが考えられる。しかしながら、導電層１１８のみにはんだ付けしてはんだにより接合した場合、部分的な導電層１１８上でのみ導電層１１８と配線部材１１１とが接合されるため、接合強度が十分でない場合がある。また、導電層１１８に対し電気的に安定的な接続状態を維持することが難しい。そこで、本実施形態では、太陽電池セル１１０の裏面の導電層１１８及び絶縁層１１７と、配線部材１１１とを接着部材１１９により接合することができる。接着部材１１９を用いることにより、配線部材１１１と導電層１１８との間、及び、配線部材１１１と絶縁層１１７との間に接着性を付与するので安定で均一な接続状態が得られる。
【００５０】
接着部材１１９の材料としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノキシ樹脂、メラミン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、フェノール樹脂、シリコン樹脂等が挙げられ、これらを単体で用いるか、もしくは、２種類以上を組み合わせた混合体、共重合体等として用いることができる。これらの中でも、優れた接続信頼性が得られやすい観点から、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエチレン樹脂及びアクリル樹脂のうちの少なくとも１つが接着部材に含有されることが好ましい。接着部材１１９の材料としては、はんだとは異なる材料が好ましい。
【００５１】
接着部材１１９には、接続性、導通性、弾性、耐熱性、耐水性、ガスバリア性、適度な屈折率等を付与するために金属粒子（金属酸化物粒子を包含する）が含まれていてもよい。例えば、太陽電池セル１１０上に、金属粒子（例えば図８（ｂ）の符号１１９ａ）を含む接着部材１１９、配線部材１１１等を配置し、それらを圧着して、金属粒子が表面電極、導電層、配線部材等に食い込むことによってアンカー効果により接続の導電性、接合の強度等を向上させてもよい。金属粒子としては、酸化金属粒子、金属膜で覆われた粒子、酸化金属膜で覆われた粒子等を用いることができる。それらの粒子の材料としては、金、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、鉛、スズ、ビスマス、はんだ、金／ニッケルめっきプラスチック、銅めっき、ニッケルめっき、はんだめっき、ＺｎＯ、ＩＴＯ、ＳｉＯ２、酸化チタン、酸化インジウム、酸化スズ、酸化タンタル、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化ジルコニウム等が挙げられる。また、これらの金属粒子としては、接合時の被着体表面に対する金属粒子の埋め込み性に優れる観点から、例えば、毬栗状、球状等の粒子形状を有するものが好ましい。すなわち、このような形状の金属粒子は、太陽電池セルの表面電極、配線部材等の外面の複雑な凹凸形状に対しても埋め込み性が高く、接合後の振動、膨張等の変動に対して追随性が高いため、接続信頼性を更に向上させることができる。金属粒子の粒径は、１μｍ〜５０μｍが好ましく、１μｍ〜３０μｍがより好ましい。
【００５２】
接着部材１１９は、例えば、上述した各種材料を溶剤に溶解又は分散させてなる塗布液をプラスチックフィルム（例えばポリエチレンテレフタレートフィルム）等の剥離フィルム上に塗布し、溶剤を除去することによってフィルム状として作製してもよい。このようにして得られるフィルム状の接着部材は、ペースト状の接着部材と比較して、膜厚寸法精度及び圧着時の圧力配分の点で優れている。また、フィルム状とすることで、バスバー電極を介することなく接続するときに均一で安定な接続が可能となり、歩留まり、信頼性等の向上に寄与する。
【００５３】
上記では、剥離フィルムとしてプラスチックフィルムの例を挙げたが、剥離フィルムとして金属フィルムを使用することで、配線部材と一体化させた接着フィルムとすることもできる。
【００５４】
フィルム状とする場合の接着部材１１９の厚みは、上記塗布液中の不揮発分の調整、及び、アプリケータ又はリップコータのギャップ調整によって制御することができる。フィルム状とした接着部材の厚みは、５μｍ〜５０μｍが好ましく、１０μｍ〜３５μｍがより好ましい。
【００５５】
接着部材１１９としては、熱硬化性樹脂組成物を用いることが可能であり、フィルム状の熱硬化性樹脂組成物を用いることもできる。これにより、熱硬化性樹脂組成物の硬化物により太陽電池セルと配線部材とを接続することができる。
【００５６】
配線部材１１１は、ワイヤー状の金属（金属酸化物を包含する）であることが好ましい。この金属としては、金、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、鉛、スズ、ビスマス、はんだ、ＺｎＯ、ＩＴＯ、ＳｉＯ２、Ａｌ、酸化チタン、酸化インジウム、酸化スズ、酸化タンタル、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化ジルコニウム等が挙げられる。配線部材１１１は、上記の金属をコア材と被覆材にそれぞれ用いて、２種類以上で構成してもよい。その中でも、入射光を反射させて、入射光を有効に発電に寄与させることができるため、最表面は、はんだ、Ａｌ、Ａｇ等であることが好ましい。
【００５７】
このように構成される太陽電池ユニット１００の製造方法は、例えば、配置工程及び接続工程をこの順に含んでおり、封止工程を更に含んでいてもよい。
【００５８】
配置工程では、太陽電池セル１１０の配線部材搭載領域Ｒ２上に接着部材１１９及び配線部材１１１をこの順に配置する。配置工程の後の接続工程では、加圧して太陽電池セル１１０の導電層１１８と配線部材１１１とを接続する。受光面側においても、同様に、表面電極１１２上に接着部材１１９及び配線部材１１１をこの順に配置して表面電極１１２と配線部材１１１とを接続する。
【００５９】
接続工程では、例えば、所望の圧力で太陽電池セル１１０及び配線部材１１１を挟み、太陽電池セル１１０の導電層１１８と配線部材１１１とを接続する。接続工程において、接着部材１１９は、加熱、紫外線、圧力等によって配線部材１１１と接合させることができる。接合しやすくし、確実に樹脂を硬化させ、また、配線部材１１１と表面電極１１２及び導電層１１８との接触を確実にするためには、加熱及び加圧して接合（加熱圧着）することが特に好ましい。太陽電池セル１１０へのダメージを防ぐために、加熱温度として、接続温度は、５０℃〜２００℃が好ましく、８０℃〜１８０℃がより好ましい。また、圧力は、０．０５ＭＰａ以上２．５ＭＰａ以下が好ましく、０．１ＭＰａ以上２．０ＭＰａ以下がより好ましい。
【００６０】
太陽電池セル１１０、接着部材１１９及び配線部材１１１から構成される太陽電池ユニット１００は、更にＥＶＡ等の封止部材、ガラス板等を積層した状態でラミネータ装置に設置され、封止工程を経て得ることもできる。図９は、太陽電池ユニットの製造方法の一工程を説明するための斜視図であり、封止工程を経て太陽電池ユニットが作製されるときのラミネータ装置に設置される積層体を模式的に示す斜視図である。この積層体では、受光面側からガラス板２００、封止部材２１０、配線部材１１１、接着部材（不図示）、太陽電池セル１１０、バスバー電極（不図示）、配線部材（不図示）、封止部材２１０及びバックシート２２０がこの順に配置されている。太陽電池セル１１０は、受光面側に表面電極が設けられると共に裏面側に裏面電極が設けられている。配線部材１１１は、太陽電池セル１１０の表面電極に直交する位置に配置されている。
【００６１】
ガラス板２００としては、太陽電池用ディンプル付き白板強化ガラス等が挙げられる。封止部材２１０としては、ＥＶＡからなるＥＶＡシート等が挙げられる。配線部材１１１としては、Ｃｕ線にはんだをディップ又はめっきしたタブ線等が挙げられる。バックシート２２０としては、ＰＥＴ系又はテドラ−ＰＥＴ積層材料、金属箔−ＰＥＴ積層材料等が挙げられる。
【００６２】
接続工程において封止工程を同時に行う観点から、表面電極１１２及び配線部材１１１と、導電層１１８及び配線部材１１１とは、ラミネートによる封止工程のみで封止部材２１０と一括で接合されてもよい。ラミネートによる封止工程の条件としては、通常、封止部材２１０として一般的に使用されるＥＶＡ等の架橋条件で決定されるが、一般的には１５０℃で１０分程度保持する等の条件が挙げられる。加熱圧着やラミネートによって、配線部材１１１の表面が導電層１１８や表面電極１１２の少なくとも一部に食い込んだ状態にすることで、接続状態をより確実にしてもよい。
【００６３】
太陽電池ユニットの構成は上記実施形態に限られるものではなく、例えば、太陽電池セルの裏面の構成は、配線部材搭載領域Ｒ２が導電層及び絶縁層を有する限り任意に調整し得る。
【００６４】
図１０は、第２実施形態に係る太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。第２実施形態に係る太陽電池セル１２０は、絶縁層、裏面電極及び導電層の配置が異なることを除き太陽電池セル１１０と同様の構成を有している。太陽電池セル１２０は、裏面側に配置された絶縁層１２７、裏面電極１２５及び導電層１２８を有している。
【００６５】
絶縁層１２７は、基板１１３の裏面の略全面を覆うように基板１１３の裏面に配置されている。絶縁層１２７には、開口部１２７ａが形成されている。開口部１２７ａは、ストリングス延在方向と略直交する方向に沿って形成され且つストリングス延在方向に沿って所定の間隔をもって形成された複数の第１の部分と、ストリングス延在方向に沿って形成され且つストリングス延在方向と略直交する方向に沿って所定の間隔をもって形成された複数の第２の部分と、を有している。絶縁層１２７の第１の部分及び第２の部分は、ストリングス延在方向と略直交する方向の略中央の領域において互いに略直交して格子状を呈している。
【００６６】
裏面電極１２５は、ストリングス延在方向に延びる２つの長尺部１２５ａを有している。長尺部１２５ａは、ストリングス延在方向と略直交する方向における絶縁層１２７の両端部のそれぞれの上において、絶縁層１２７の格子状の開口部１２７ａが形成された領域を挟むように配置されている。
【００６７】
ストリングス延在方向に延びる部分と、ストリングス延在方向と略直交する方向に延びる部分とを有する格子状の導電層１２８が長尺部１２５ａ間に配置されることにより、長尺部１２５ａ同士が導電層１２８を介して接続されている。長尺部１２５ａは、絶縁層１２７の開口部１２７ａ内に至るまで延びることにより基板１１３のシリコン部に接している。長尺部１２５ａ間の領域は、配線部材搭載領域Ｒ２に相当する。配線部材搭載領域Ｒ２においては、導電層１２８が長尺部１２５ａ間から基板１１３のシリコン部まで延びることにより基板１１３のシリコン部に接している。
【００６８】
図１１は、第３実施形態に係る太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。図１２は、第３実施形態に係る太陽電池セルの裏面における絶縁層パターンを模式的に示す平面図である。図１３は、第３実施形態に係る太陽電池セルの裏面における導電層及び裏面電極（裏面電極パターン）を模式的に示す平面図である。
【００６９】
第３実施形態に係る太陽電池セル１３０は、絶縁層、裏面電極及び導電層の配置が異なることを除き太陽電池セル１１０と同様の構成を有している。太陽電池セル１３０は、裏面側に配置された絶縁層１３７、裏面電極１３５及び導電層１３８を有している。
【００７０】
絶縁層１３７は、基板１１３の裏面の略全面を覆うように基板１１３の裏面に配置されている。絶縁層１３７は、複数のドット状の開口部１３７ａが形成された第１の部分と、複数のドット状の第２の部分１３７ｂとを有している。第２の部分１３７ｂは、ストリングス延在方向と略直交する方向における略中央の領域においてアレイ状に配置されており、第２の部分１３７ｂが配置された領域は、絶縁層１３７における２つの前記第１の部分に挟まれている。開口部１３７ａは、絶縁層１３７における前記第１の部分においてアレイ状に形成されている。
【００７１】
裏面電極１３５は、ストリングス延在方向に延びる２つの長尺部１３５ａを有している。長尺部１３５ａは、ストリングス延在方向と略直交する方向における絶縁層１３７の両端部のそれぞれの上において、絶縁層１３７の第２の部分１３７ｂが配置された領域を挟むように配置されている。
【００７２】
導電層１３８は、絶縁層１３７の第２の部分１３７ｂが配置された領域上において、裏面電極１３５の長尺部１３５ａの間に配置されている。導電層１３８には、絶縁層１３７の第２の部分１３７ｂが露出するための複数の開口部が形成されている。
【００７３】
長尺部１３５ａは、絶縁層１３７の開口部１３７ａ内に至るまで延びることにより基板１１３のシリコン部に接している。長尺部１３５ａ間の領域は、配線部材搭載領域Ｒ２に相当する。配線部材搭載領域Ｒ２においては、導電層１３８が長尺部１３５ａ間から基板１１３のシリコン部まで延びることにより基板１１３のシリコン部に接している。
【００７４】
図１４は、第４実施形態に係る太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。図１５は、第４実施形態に係る太陽電池セルの裏面における絶縁層パターンを模式的に示す平面図である。図１６は、第４実施形態に係る太陽電池セルの裏面における裏面電極（裏面電極パターン）を模式的に示す平面図である。図１７は、第４実施形態に係る太陽電池セルの裏面における導電層を模式的に示す平面図である。
【００７５】
第４実施形態に係る太陽電池セル１４０は、配線部材搭載領域Ｒ２の構成が異なることを除き太陽電池セル１３０と同様の構成を有している。太陽電池セル１４０は、裏面側に配置された絶縁層１４７、裏面電極１４５及び導電層１４８を有している。
【００７６】
絶縁層１４７は、基板１１３の裏面の略全面を覆うように基板１１３の裏面に配置されている。絶縁層１４７には、複数のドット状の開口部１４７ａ、及び、複数本の細長い直線状の開口部１４７ｂが形成されている。開口部１４７ｂは、ストリングス延在方向と略直交する方向における略中央の領域において、ストリングス延在方向と略直交する方向に沿って形成され、ストリングス延在方向に沿って所定の間隔をもって形成されている。開口部１４７ｂが形成された領域は、開口部１４７ａが形成された領域の間に位置している。開口部１４７ａは、アレイ状に形成されている。
【００７７】
裏面電極１４５は、ストリングス延在方向に延びる２つの長尺部１４５ａを有しており、太陽電池セル１３０の裏面電極１３５と同様の構成を有している。
【００７８】
導電層１４８は、複数本の細長い直線状であり、配線部材搭載領域Ｒ２において開口部１４７ｂの形成位置に対応して配置されている。導電層１４８は、長尺部１４５ａ間から基板１１３のシリコン部まで延びることにより基板１１３のシリコン部に接している。
【００７９】
ところで、直線状の導電層は、ストリングス延在方向と略直交する方向に延びる部分を有することなく、ストリングス延在方向に延びる部分のみを有していてもよい。図１８は、第５実施形態に係る太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。第５実施形態に係る太陽電池セル１５０は、配線部材搭載領域Ｒ２の構成が上記の各太陽電池セルと異なる。太陽電池セル１５０は、裏面側に配置された絶縁層１５７、裏面電極１５５及び導電層１５８を有している。太陽電池セル１５０では、裏面電極１５５の長尺部１５５ａ間の領域において、ストリングス延在方向に延びるように絶縁層１５７に複数の開口部が形成されており、配線部材搭載領域Ｒ２において、導電層１５８が絶縁層１５７の開口部の形成位置に対応して配置されている。
【００８０】
また、格子状の導電層の構成も任意に調整し得る。図１９は、第６実施形態に係る太陽電池セルの裏面を模式的に示す図である。第６実施形態に係る太陽電池セル１６０は、裏面側に配置された絶縁層１６７、裏面電極１６５及び導電層１６８を有している。太陽電池セル１６０では、ストリングス延在方向と略直交する方向に延びる複数の開口部と、裏面電極１６５の長尺部１６５ａ間の領域においてストリングス延在方向に延びる１本の開口部とが絶縁層１６７に形成されており、配線部材搭載領域Ｒ２において、導電層１６８が絶縁層１６７の開口部の形成位置に対応して配置されている。
【００８１】
さらに、太陽電池セルの受光面の構成も任意に調整し得る。例えば、太陽電池セル１１０の受光面の表面電極１１２は、ストリングス延在方向に延びる電極部１１２ａを配線部材搭載領域Ｒ１に有していてもよい（図２０）。この場合、バスバー電極を配置することなく電極部１１２ａ及び配線部材１１１を接続することができる。
【００８２】
配線部材搭載領域の数は上記実施形態に限られるものではなく、セル設計によって任意の本数を設けることができる。配線部材搭載領域の数は例えば２〜４本である。１枚のセルの表裏それぞれの面に配線部材搭載領域を設けることができる。
【００８３】
直線状の部材（例えば導電層１４８）や開口部（例えば開口部１４７ｂ）の幅は、２ｍｍ以下が好ましく、１ｍｍ以下がより好ましく、０．５ｍｍ以下が更に好ましい。ドット状の部材（例えば絶縁層１３７の第２の部分１３７ｂ）や開口部（例えば開口部１３７ａ，１４７ａ）のドット径は、２ｍｍ以下が好ましく、１ｍｍ以下がより好ましく、０．５ｍｍ以下が更に好ましい。
【００８４】
以上説明した太陽電池ユニットでは、太陽電池セルと配線部材とが接合される太陽電池として、従来のバスバー面積を低減しながらも、従来のバスバー領域で発生していたキャリア再結合を抑制し、良好な太陽電池特性を提供することができる。
【００８５】
太陽電池セルと配線部材とが適切に接合されていることを評価する方法として、例えば、ソーラーシミュレータによる電流−電圧（Ｉ−Ｖ）曲線測定が挙げられる。このとき得られる短絡電流（Ｉｓｃ）と開放電圧（Ｖｏｃ）との積を、最大電流値（Ｐｍａｘ）で除して得られる曲線因子（Ｆ．Ｆ．）の値で評価できる。
【実施例】
【００８６】
以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００８７】
＜太陽電池ユニットの作製＞
（実施例１）
まず、シリコン単結晶ｐ型半導体基板（１２５ｍｍ角、厚さ２００μｍ）を用意し、アルカリエッチングにより受光面及び裏面にテクスチャー構造を形成した。次いで、オキシ塩化リン（ＰＯＣｌ３）、窒素及び酸素の混合ガス雰囲気において、９００℃の温度で２０分間処理し、受光面、裏面及び側面にｎ＋型拡散層を形成した。その後、サイドエッチングを行うことにより側面のＰＳＧ層及びｎ＋型拡散層を除去し、そして、フッ酸を含むエッチング溶液を用いて受光面及び裏面のＰＳＧ層を除去した。さらに、裏面については、別途エッチング処理を行い裏面のｎ＋型拡散層を除去した。その後、窒化ケイ素からなる反射防止膜を受光面のｎ＋型拡散層上にＰＥＣＶＤにより約９０ｎｍの厚さで形成した。
【００８８】
次いで、絶縁層として、ＡＬＤ法（原子層堆積法）によって酸化アルミニウム膜を裏面に形成した後、Ｎｄ：ＹＡＧレーザーを用いて図６のパターンを形成した。なお、図６に示すように絶縁層はライン状の開口部を有しており、後の工程で形成される裏面電極がｐ型半導体基板に接触するように開口部を形成した。このライン状の開口部のパターンは、ライン幅（Ｌａ）を３００μｍとし、ライン間隔（ライン中心からラインの中心）を０．５ｍｍとした。
【００８９】
次いで、アルミニウム電極ペースト（ＰＶＧ−ＡＤ−０２、ＰＶＧ  Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ株式会社製）をスクリーン印刷法にて裏面に図７のパターンで印刷した。このようなアルミニウム電極ペーストにより導電層を裏面電極と同時に裏面に形成し、導電層と絶縁層とを有する配線部材搭載領域を備える図５の裏面パターンを得た。
【００９０】
一方、受光面には銀電極ペースト（ＰＶ−１６Ａ、ＤｕＰｏｎｔ社製）をスクリーン印刷法にて図４に示すパターンで印刷した。電極パターンが幅２００μｍ、ライン間隔２．０ｍｍである表面電極が形成され、熱処理（焼成）後の厚さが２０μｍとなるように印刷条件（スクリーン版のメッシュ、印刷速度及び印圧）を適宜調整した。また、表面電極は、裏面の導電層、及び、絶縁層の開口部に埋め込まれた裏面電極と半導体基板（シリコン）を介して相対する位置になるように形成した。これを１５０℃の温度で５分間加熱し、液状媒体を蒸散させることで乾燥処理を行った。
【００９１】
続いて、トンネル炉（１列搬送Ｗ／Ｂトンネル炉、株式会社ノリタケ製）を用いて大気中雰囲気下、最高温度８００℃、保持時間１０秒の条件で熱処理（焼成）を行って、所望の電極が形成された太陽電池素子を作製した。
【００９２】
上記で得られた太陽電池素子において、受光面出力取出し電極（表面電極）を有する配線部材搭載領域、及び、裏面出力取出し電極（導電層）を有する配線部材搭載領域の上に、導電フィルム（ＣＦ、日立化成株式会社製）を貼付け、その上に配線部材（太陽電池用はんだめっき平角線、製品名：ＳＳＡ−ＴＰＳ  ０．２×１．５（２０）、厚さ０．２ｍｍ×幅１．５ｍｍの銅線にＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ系鉛フリーはんだを片面あたり最大２０μｍの厚さでめっきした仕様、日立電線ファインテック株式会社製）を配置し、圧着装置（ＭＢ−２００ＷＨ、日立化成株式会社製）を用い、１８０℃、２ＭＰａ、１０秒で、上記配線部材と受光面出力取出し電極及び裏面出力取出し電極とを接続した。
【００９３】
その後、ガラス板（白板強化ガラス３ＫＷＥ３３、旭硝子株式会社製）、封止部材（エチレンビニルアセテート；ＥＶＡ）及びバックシートを用いて、図９に示すように、ガラス板／封止部材／配線材料を接続した太陽電池素子／封止部材／バックシートの順で積層し、この積層体を真空ラミネータ（ＬＭ−５０×５０、株式会社エヌ・ピー・シー製）を用いて、配線部材の一部が露出するように、１４０℃の温度で５分間真空ラミネートし、太陽電池ユニットを作製した。
【００９４】
（実施例２）
実施例１の構成に代えて、絶縁層において、後の工程で導電層及び裏面電極が形成される部分を開口部として形成し、当該開口部からｐ型半導体基板が露出したパターン（図１２に示すようなパターン）を形成した。図１１の配線部材搭載領域を挟む両側の領域には、ドット状の開口部を有する絶縁層を形成し、配線部材搭載領域には、ドット状の絶縁層を形成した。ドット状の開口部のパターンにおいて、ドット径は３００μｍ、ドット間隔（ドット中心からドット中心までの距離）は０．５ｍｍであった。配線部材搭載領域のドット径（Ｌａ）は２００μｍ、ドット間隔（Ｌｂ）は０．４ｍｍであった（導電層の開口部の形状に相当する）。受光面の表面電極と相対する位置にドットが配置されないようにして、図１１の裏面パターンを得た。その他は実施例１と同様にして、太陽電池ユニットを作製した。
【００９５】
（実施例３）
実施例１の絶縁層に代えて、スピンコート法を用いてガラスペーストを塗布することにより絶縁層として酸化ケイ素層を形成した後、１５０℃の温度で５分間乾燥し、７００℃の温度で１０分間熱処理（焼成）を行うことにより絶縁層を形成した他は実施例１と同様にして、太陽電池ユニットを作製した。
【００９６】
（実施例４）
実施例１の絶縁層に代えて、プラズマＣＶＤ装置を用いて絶縁層として窒化ケイ素層を形成した他は実施例１と同様にして、太陽電池ユニットを作製した。
【００９７】
（実施例５）
実施例１の絶縁層に代えて、絶縁層として酸化アルミニウム層を形成した後に実施例４の窒化シリコン層を形成した他は実施例１と同様にして、太陽電池ユニットを作製した。
【００９８】
（実施例６）
実施例１の絶縁層に代えて、絶縁層として実施例３の酸化ケイ素層を形成した後に実施例４の窒化シリコンを形成した他は実施例１と同様にして、太陽電池ユニットを作製した。
【００９９】
（実施例７）
実施例１の構成に代えて、図１５の絶縁層パターンを形成した後、ガラス粒子を含むＣｕペーストを用いて導電層スクリーン印刷して図１７のパターンを形成し、１５０℃に加熱したオーブンの中に１５分間入れ、溶剤を蒸散により取り除いた。その後、アルミニウム電極ペーストを用いて図１６のパターンの裏面電極を形成して、図１４の裏面パターンを得た他は実施例１と同様にして、太陽電池ユニットを作製した。
【０１００】
（実施例８）
実施例７のＣｕペーストに代えて、Ｓｎめっきで図１７のパターンを形成した。その後、アルミニウム電極ペーストを用いて図１６のパターンの裏面電極を形成して、図１４の裏面パターンを得た他は実施例１と同様にして、太陽電池ユニットを作製した。
【０１０１】
（実施例９）
実施例７の導電層を銀電極ペースト（ＰＶ−５０５、ＤｕＰｏｎｔ社製）に変更した他は実施例７と同様にして、太陽電池ユニットを作製した。
【０１０２】
（比較例１）
裏面において、絶縁層を形成せず、銀電極ペースト（ＰＶ−１６Ａ、ＤｕＰｏｎｔ社製）を用いて、配線部材搭載領域に沿った導電層と、裏面電極（導電層以外の部分）とを形成し（図３）、受光面において、銀電極ペースト（ＰＶ−１６Ａ、ＤｕＰｏｎｔ社製）を用いて電極パターンとして１２０μｍ幅の表面電極と１．５ｍｍ幅のバスバー電極とを形成した。いわゆる、一般的な太陽電池セルの裏面パターンとした。それ以外は実施例１と同様にして、太陽電池ユニットを作製した。
【０１０３】
（比較例２）
裏面において、絶縁層を形成せず、導電層としてＣｕペーストに代えて銀電極ペースト（ＰＶ−５０５、ＤｕＰｏｎｔ社製）をスクリーン印刷法にて印刷した他は実施例７と同様にして、太陽電池ユニットを作製した。
【０１０４】
＜評価＞
作製した太陽電池ユニットの発電性能の評価は、擬似太陽光（ＷＸＳ−１５５Ｓ−１０、株式会社ワコム電創製）と、電圧−電流（Ｉ−Ｖ）評価測定器（Ｉ−Ｖ  ＣＵＲＶＥ  ＴＲＡＣＥＲ  ＭＰ−１８０、英弘精機株式会社製）の測定装置とを組み合わせて行った。太陽電池としての発電性能を示す、Ｖｏｃ（開放電圧）、Ｆ．Ｆ．（形状因子）、η（変換効率）は、それぞれＪＩＳ−Ｃ−８９１３及びＪＩＳ−Ｃ−８９１４に準拠した測定により得た。得られた測定値（Ｖｏｃ、Ｆ．Ｆ．及びη）を比較例１で作製した太陽電池ユニットの測定値を１００．０とした相対値に換算した。各評価結果を表１に示す。
【０１０５】
【表１】
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【符号の説明】
【０１０６】
１０，１１０，１２０，１３０，１４０，１５０，１６０…太陽電池セル、１２，１１２…表面電極、１３，１１３…基板、１４，１１４…反射防止膜、１５，１１５，１２５，１３５，１４５，１５５，１６５…裏面電極、１６ａ，１６ｂ…バスバー電極、１００…太陽電池ユニット、１１０ａ…受光面、１１０ｂ…裏面、１１１…配線部材、１１２ａ…電極部、１１５ａ，１２５ａ，１３５ａ，１４５ａ，１５５ａ，１６５ａ…長尺部、１１７，１２７，１３７，１４７，１５７，１６７…絶縁層、１１７ａ，１２７ａ，１３７ａ，１４７ａ，１４７ｂ…開口部、１１８，１２８，１３８，１４８，１５８，１６８…導電層、１１９…接着部材、１１９ａ…金属粒子、１３７ｂ…絶縁層の一部分、２００…ガラス板、２１０…封止部材、２２０…バックシート、Ｒ１，Ｒ２…配線部材搭載領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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