(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明電極と、
前記透明電極に対向して備えられる金属電極と、
前記透明電極と前記金属電極との間に備えられた１層以上の有機物層と、
前記金属電極の前記透明電極を向く面に接して備えられた光反射低減層と
を含み、
前記光反射低減層は、アルミニウム酸窒化物を含むものである
有機発光素子であって、
前記光反射低減層の仕事関数は、３．５ｅＶ以上４．２ｅＶ以下である、
有機発光素子。
【請求項２】
透明電極と、
前記透明電極に対向して備えられる金属電極と、
前記透明電極と前記金属電極との間に備えられた１層以上の有機物層と、
前記金属電極の前記透明電極を向く面に接して備えられた光反射低減層と
を含み、
前記光反射低減層は、アルミニウム酸窒化物を含むものである
有機発光素子であって、
前記光反射低減層は、ＡｌｘＯｙＮｚで表されるアルミニウム酸窒化物を含み、
ｘは、アルミニウムのａｔ％であって５５〜６５の値を有し、
ｙは、酸素のａｔ％であって１〜１０の値を有し、
ｚは、窒素のａｔ％であって３０〜４０の値を有するものである、
有機発光素子。
【請求項３】
前記金属電極と前記光反射低減層との仕事関数差は、０ｅＶ以上１．４ｅＶ以下である、
請求項１または２に記載の有機発光素子。
【請求項４】
前記金属電極は、Ｃｕ、Ａｌ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ａｇ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ａｕ、Ｃｒ、およびＣｏからなる群より選択される１または２以上の金属を含むものである、
請求項１から３のいずれか１項に記載の有機発光素子。
【請求項５】
前記光反射低減層の厚さは、１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である、
請求項１から４のいずれか１項に記載の有機発光素子。
【請求項６】
前記光反射低減層の前記透明電極を向く面に接して備えられた１０ｎｍ未満の金属層をさらに含むものである、
請求項１から５のいずれか１項に記載の有機発光素子。
【請求項７】
前記金属層は、透明または半透明である、
請求項６に記載の有機発光素子。
【請求項８】
前記光反射低減層の消滅係数（ｋ）は、５５０ｎｍの波長の光において０．０４以上１．３以下である、
請求項１から７のいずれか１項に記載の有機発光素子。
【請求項９】
前記光反射低減層の屈折率（ｎ）は、５５０ｎｍの波長の光において２以上３以下である、
請求項１から８のいずれか１項に記載の有機発光素子。
【請求項１０】
前記透明電極の表面における光反射度は、５５０ｎｍの波長の光において２０％以下である、
請求項１から９のいずれか１項に記載の有機発光素子。
【請求項１１】
前記透明電極または前記金属電極は、基板上に備えられたものである、
請求項１から１０のいずれか１項に記載の有機発光素子。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか１項に記載の有機発光素子を含む
ディスプレイ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、２０１５年１０月２７日付で韓国特許庁に出願された韓国特許出願第１０−２０１５−０１４９５０３号の出願日の利益を主張し、その内容のすべては本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本明細書は、有機発光素子に関する。
【背景技術】
【０００３】
有機発光現象とは、有機物質を用いて電気エネルギーを光エネルギーに変換させる現象をいう。すなわち、アノードとカソードとの間に適切な有機物層を位置させた時、２つの電極の間に電圧をかけると、陽極からは正孔が、カソードからは電子が前記有機物層に注入される。この注入された正孔と電子が接した時、励起子（ｅｘｃｉｔｏｎ）が形成され、この励起子が再び基底状態に落ちる時に光を生成する。
【０００４】
有機発光素子に使用される高反射率の金属電極は、内部的に発生した光を光透過性基板の方向に反射進行させる表面を提供する点で輝度の改善を補助する。しかし、このような金属電極は、光透過性基板および光透過性電極を通して素子構造物に入射する周囲光を反射させて、観察者が視認する場合、肉眼で認知された発光のコントラスト（ｃｏｎｔｒａｓｔ）を低下させる。
【０００５】
このような金属電極の外部光の反射を相殺するために、光透過性基板に偏光板を追加的に導入する方法が使用できる。ただし、この場合、有機発光層から生成された光も遮断されることから、より高い効率を奏するために電力を上げて使用することとなり、有機発光素子の電力消耗量の増加と寿命短縮の原因となる。
【０００６】
そのため、有機発光素子の金属電極の光反射を低減して、前記のような問題を解決することが必要である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本明細書は、外部光の反射を低減できる有機発光素子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本明細書の一実施態様は、透明電極と、前記透明電極に対向して備えられる金属電極と、前記透明電極と前記金属電極との間に備えられた１層以上の有機物層と、前記金属電極の透明電極を向く面に接して備えられた光反射低減層とを含み、前記光反射低減層は、アルミニウム酸窒化物を含むものである有機発光素子を提供する。
【０００９】
本明細書の一実施態様は、前記有機発光素子を含むディスプレイ装置を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本明細書の一実施態様に係る有機発光素子は、外部光の反射を制御して、優れたコントラストを実現することができる。
【００１１】
本明細書の一実施態様に係る有機発光素子は、外部光の反射を遮断するための偏光板を備えなくてもよいので、低い電力で優れた輝度を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本明細書の一実施態様に係る有機発光素子の積層構造を例示するものである。
【図２】本明細書の一実施態様に係る有機発光素子の積層構造を例示するものである。
【図３】本明細書の一実施態様に係る有機発光素子の積層構造を例示するものである。
【図４】本明細書の一実施態様に係る有機発光素子の積層構造を例示するものである。
【図５】実施例１による各層間のエネルギーの関係を示すものである。
【図６】実施例２による各層間のエネルギーの関係を示すものである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本明細書において、ある部材が他の部材の「上に」位置しているとする時、これは、ある部材が他の部材に接している場合のみならず、部材の間にさらに他の部材が存在する場合も含む。
【００１４】
本明細書において、ある部分がある構成要素を「含む」とする時、これは、特に反対の記載がない限り、他の構成要素を除くのではなく、他の構成要素をさらに包含できることを意味する。
【００１５】
有機発光素子の場合、アノード、カソード、およびこれらの間に備えられる各層間の正孔および電子の移動が円滑に行われてこそ作動が可能である。もし、いずれか１つの層が隣接する層とエネルギーの関係が合わなくなる場合、有機発光素子は作動しないことがある。
【００１６】
本発明者らは、外部光による金属電極の反射を防止し、有機発光素子が作動可能な光反射低減層の材料および位置に対する研究を繰り返した結果、本発明を完成した。具体的には、本発明者らは、金属電極と接する位置にアルミニウム酸窒化物を含む光反射低減層を形成する場合、金属電極による外部光の反射を制御し、ひいては、有機発光素子の作動にも問題がないということを見出した。
【００１７】
以下、本明細書についてより詳細に説明する。
【００１８】
本明細書の一実施態様は、透明電極と、前記透明電極に対向して備えられる金属電極と、前記透明電極と前記金属電極との間に備えられた１層以上の有機物層と、前記金属電極の透明電極を向く面に接して備えられた光反射低減層とを含み、前記光反射低減層は、アルミニウム酸窒化物を含むものである有機発光素子を提供する。
【００１９】
図１は、本明細書の一実施態様に係る有機発光素子の積層構造を例示するものである。具体的には、図１は、透明電極１００、有機物層３００、光反射低減層４００、および金属電極２００が順次に備えられた有機発光素子を示すものである。ただし、本明細書の一実施態様に係る有機発光素子は、図１の構造に限定されず、追加の層がさらに備えられてもよい。
【００２０】
本明細書の一実施態様によれば、前記金属電極と前記光反射低減層との仕事関数差は、０ｅＶ以上１．４ｅＶ以下であってもよい。
【００２１】
金属電極と有機物層のうちの電子輸送層が当技術分野で知られた材料を含む場合、金属電極と電子輸送層のエネルギーバリアが約１．４ｅＶであるので、前記金属電極と前記光反射低減層との仕事関数差は、０ｅＶ以上１．４ｅＶ以下であることが好ましく、例えば、前記仕事関数差は、０ｅＶ以上０．５ｅＶ以下、または０ｅＶ以上０．２ｅＶ以下であることがさらに好ましい。
【００２２】
本明細書の一実施態様によれば、前記金属電極と前記光反射低減層との仕事関数差が前記範囲内の場合、有機発光素子が円滑に作動できる。有機発光素子は、各層間のエネルギーの関係が重要であるので、前記範囲を外れる場合、有機発光素子の効率が急激に低下したり、作動しない問題がある。
【００２３】
本明細書の一実施態様によれば、前記光反射低減層の仕事関数は、３．５ｅＶ以上４．２ｅＶ以下であってもよい。
【００２４】
本明細書の一実施態様によれば、前記光反射低減層は、ＡｌｘＯｙＮｚで表されるアルミニウム酸窒化物を含み、ｘは、アルミニウムのａｔ％であって５５〜６５の値を有し、ｙは、酸素のａｔ％であって１〜１０の値を有し、ｚは、窒素のａｔ％であって３０〜４０の値を有することができる。
【００２５】
本明細書の一実施態様によれば、前記金属電極は、Ｃｕ、Ａｌ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ａｇ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ａｕ、Ｃｒ、およびＣｏからなる群より選択される１または２以上の金属を含むことができる。具体的には、本明細書の一実施態様によれば、前記金属電極は、Ａｌを主材料として含む金属電極であってもよい。より具体的には、本明細書の一実施態様によれば、前記金属電極は、Ａｌからなるものであってもよい。
【００２６】
本明細書の一実施態様によれば、前記光反射低減層の厚さは、１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であってもよい。具体的には、本明細書の一実施態様によれば、前記光反射低減層の厚さは、２０ｎｍ以上６０ｎｍ以下であってもよい。
【００２７】
前記光反射低減層が前記範囲内の場合、金属電極の光反射度を十分に制御することができ、ひいては、有機発光素子の厚さ増加を最小化することができる。
【００２８】
本明細書の一実施態様によれば、前記光反射低減層は、単一層からなってもよく、２層以上の複数層からなってもよい。前記光反射低減層は、無彩色系の色を呈することが好ましいが、特にこれに限定されない。この時、無彩色系の色とは、物体の表面に入射する光が選択吸収されず、各成分の波長に対して均一に反射吸収される時に現れる色を意味する。
【００２９】
本明細書の一実施態様によれば、前記光反射低減層の透明電極を向く面に接して備えられた１０ｎｍ未満の金属層をさらに含んでもよい。具体的には、本明細書の一実施態様によれば、前記金属層の厚さは、５ｎｍ以下であってもよい。
【００３０】
図２は、本明細書の一実施態様に係る有機発光素子の積層構造を例示するものである。具体的には、図２は、透明電極１００、有機物層３００、金属層５００、光反射低減層４００、および金属電極２００が順次に備えられた有機発光素子を示すものである。ただし、本明細書の一実施態様に係る有機発光素子は、図２の構造に限定されず、追加の層がさらに備えられてもよい。
【００３１】
前記金属層は、光反射低減層と隣接する層との間に備えられ、電荷の移動をより円滑に助ける役割を果たすことができる。
【００３２】
本明細書の一実施態様によれば、前記金属層は、透明または半透明であってもよい。
【００３３】
また、前記金属層は、１０ｎｍ未満の薄膜からなって透明または不透明であり、前記金属層の追加によって前記透明電極の表面における光反射率が一部上昇できるが、前記有機発光素子の電気的特性を向上させることができる。
【００３４】
本明細書における透明は、可視光線領域における光反射度が５０％以上、７０％以上、または８０％以上であることを意味する。
【００３５】
また、本明細書における半透明は、可視光線領域における光反射度が２０％以上、または３０％以上、または４０％以上であることを意味する。
【００３６】
本明細書の一実施態様によれば、前記光反射低減層の消滅係数（ｋ）は、５５０ｎｍの波長の光において０．０４以上１．３以下であってもよい。
【００３７】
前記消滅係数が前記範囲内の場合、前記金属電極の光反射度を効果的に制御することができ、これによって前記有機発光素子の視認性がさらに改善できる。
【００３８】
前記消滅係数は、当業界で知られたＥｌｌｉｐｓｏｍｅｔｅｒ測定装備などを用いて測定することができる。
【００３９】
前記消滅係数ｋは、吸収係数（Ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ  Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ）ともいい、特定の波長で対象物質が光をどれだけ強く吸収するかを定義する尺度になり得る。これによって、入ってきた光が厚さｔの光反射低減層を経て、ｋの程度に応じて１次吸収が起こり、下部の金属電極によって反射した光が再び厚さｔの光反射低減層を経て２次吸収が起こった後、外部反射が起こる。したがって、光反射低減層の厚さおよび吸収係数の値は、全体反射率に影響を及ぼす重要な因子として作用する。
【００４０】
本明細書の一実施態様によれば、前記光反射低減層の屈折率（ｎ）は、５５０ｎｍの波長の光において２以上３以下であってもよい。
【００４１】
消滅係数（ｋ）と共に屈折率（ｎ）を有する光反射低減層の材料で１次反射が起こるが、この時、１次反射を決定する主要因子は、屈折率（ｎ）と吸収係数（ｋ）である。したがって、屈折率（ｎ）と吸収係数（ｋ）は、互いに密接な関連を有しており、前記範囲内でその効果が極大化できる。
【００４２】
本明細書の一実施態様によれば、前記透明電極の表面における光反射度は、５５０ｎｍの波長の光において２０％以下であってもよい。
【００４３】
本明細書の一実施態様によれば、前記金属電極上に備えられた前記光反射低減層の表面における光反射度は、５５０ｎｍの波長の光において２０％以下、１５％以下、または１０％以下であってもよい。
【００４４】
前記有機発光素子において、光の抽出される前記透明電極の表面における外部光の光反射率は、前記金属電極の表面における光反射度に大きく影響される。前記光反射低減層は、前記金属電極上に備えられ、外部光による金属電極表面の光反射度を大きく低下させて、有機発光素子がより鮮明な色を実現可能にする。
【００４５】
本明細書の一実施態様によれば、前記透明電極または前記金属電極は、基板上に備えられる。
【００４６】
図３は、本明細書の一実施態様に係る有機発光素子の積層構造を例示するものである。具体的には、図３は、基板６００、透明電極１００、有機物層３００、光反射低減層４００、および金属電極２００が順次に備えられた有機発光素子を示すものである。ただし、本明細書の一実施態様に係る有機発光素子は、図３の構造に限定されず、追加の層がさらに備えられてもよい。
【００４７】
また、図４は、本明細書の一実施態様に係る有機発光素子の積層構造を例示するものである。具体的には、図４は、基板６００、金属電極２００、光反射低減層４００、有機物層３００、および透明電極１００が順次に備えられた有機発光素子を示すものである。ただし、本明細書の一実施態様に係る有機発光素子は、図４の構造に限定されず、追加の層がさらに備えられてもよい。さらに、図４のような構造の場合、有機物層３００で生成される光は、基板６００でない透明電極２００を通して抽出され、光反射低減層４００は、透明電極１００から入射する外部光の反射を制御する。
【００４８】
前記基板は、透明性、表面平滑性、取り扱いの容易性および防水性に優れた基板を用いることができる。具体的には、ガラス基板、薄膜ガラス基板、または透明プラスチック基板を用いることができる。前記プラスチック基板は、ＰＥＴ（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）、ＰＥＮ（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｎａｐｈｔｈａｌａｔｅ）、ＰＥＥＫ（Ｐｏｌｙｅｔｈｅｒ  ｅｔｈｅｒ  ｋｅｔｏｎｅ）、およびＰＩ（Ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）などのフィルムが単層または複層の形態で含まれる。また、前記基板は、基板自体に光散乱機能が含まれているものであってもよい。ただし、前記基板はこれに限定されず、有機発光素子に通常使用される基板を用いることができる。
【００４９】
本明細書の一実施態様によれば、前記透明電極は、バナジウム、クロム、銅、亜鉛、金のような金属またはこれらの合金；亜鉛酸化物、インジウム酸化物、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）のような金属酸化物；ＺｎＯ：ＡｌまたはＳｎＯ２：Ｓｂのような金属と酸化物との組み合わせ；ポリ（３−メチルチオフェン）、ポリ［３，４−（エチレン−１，２−ジオキシ）チオフェン］（ＰＥＤＴ）、ポリピロールおよびポリアニリンのような導電性高分子などがあるが、これらにのみ限定されるものではない。
【００５０】
本明細書の一実施態様によれば、前記透明電極は、アノードであり、前記金属電極は、カソードであってもよい。また、前記透明電極は、カソードであり、前記金属電極は、アノードであってもよい。
【００５１】
本明細書の一実施態様によれば、前記有機物層は、少なくとも１層以上の発光層を含み、正孔注入層；正孔輸送層；正孔阻止層；電荷発生層；電子阻止層；電子輸送層；および電子注入層からなる群より選択される１種または２種以上をさらに含んでもよい。
【００５２】
前記電荷発生層（Ｃｈａｒｇｅ  Ｇｅｎｅｒａｔｉｎｇ  ｌａｙｅｒ）は、電圧をかけると正孔と電子が発生する層をいう。
【００５３】
本明細書に係る前記正孔輸送層物質としては、アノードや正孔注入層から正孔を受けて発光層に移し得る物質で、正孔に対する移動性の大きい物質が好適である。具体例としては、アリールアミン系の有機物、導電性高分子、および共役部分と非共役部分が共にあるブロック共重合体などがあるが、これらにのみ限定されるものではない。
【００５４】
本明細書に係る前記発光層物質としては、正孔輸送層と電子輸送層から正孔と電子をそれぞれ受けて結合させることにより、可視光線領域の光を発し得る物質であって、蛍光や燐光に対する量子効率の良い物質が好ましい。具体例としては、８−ヒドロキシ−キノリンアルミニウム錯体（Ａｌｑ３）；カルバゾール系化合物；二量体化スチリル（ｄｉｍｅｒｉｚｅｄ  ｓｔｙｒｙｌ）化合物；ＢＡｌｑ；１０−ヒドロキシベンゾキノリン−金属化合物；ベンゾキサゾール、ベンズチアゾール、およびベンズイミダゾール系の化合物；ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）（ＰＰＶ）系の高分子；スピロ（ｓｐｉｒｏ）化合物；ポリフルオレン；ルブレンなどがあるが、これらにのみ限定されるものではない。
【００５５】
本明細書に係る前記電子輸送層物質としては、カソードから電子がよく注入されて発光層に移し得る物質であって、電子に対する移動性の大きい物質が好適である。具体例としては、８−ヒドロキシキノリンのＡｌ錯体；Ａｌｑ３を含む錯体；有機ラジカル化合物；ヒドロキシフラボン−金属錯体などがあるが、これらにのみ限定されるものではない。
【００５６】
本明細書の一実施態様は、前記有機発光素子を含むディスプレイ装置を提供する。
【００５７】
前記有機発光素子は、ディスプレイ装置においてバックライトの役割を果たすことができる。また、前記有機発光素子は、ディスプレイ装置において画素部の発光層の役割を果たすことができる。その他、ディスプレイ装置に必要な構成は、当技術分野で知られているものが適用可能である。
【００５８】
以下、本明細書を具体的に説明するために実施例を挙げて詳細に説明する。しかし、本明細書に係る実施例は種々の異なる形態に変形可能であり、本明細書の範囲が以下に記述する実施例に限定されると解釈されない。本明細書の実施例は、当業界における平均的な知識を有する者に本明細書をより完全に説明するために提供されるものである。
【００５９】
本発明者らは、本明細書に係る有機発光素子が円滑に作動するか否かを確認するために、電子輸送層、光反射低減層、および金属電極が順次に積層された構造において電荷移動が可能であるか否かに対する検討を行った。
【実施例】
【００６０】
［実施例１］
本明細書に係る有機発光素子の電荷移動の有無を確認するために、電子輸送層としてＡｌｑ、光反射低減層としてＡｌ６０Ｎ３５Ｏ５、金属電極としてＡｌを使用した場合の有機発光素子をモデリングした。モデリングは、第１原理密度関数理論（ａｂ  ｉｎｉｔｉｏ  ｄｅｎｓｉｔｙ  ｆｕｎｃｔｉｏｎａｌ  ｔｈｅｏｒｙ）計算法により進行させた。
【００６１】
仕事関数（Ｗ）は、下記の定義のように定義される。
Ｗ＝−ｅφ−ＥＦ
前記仕事関数の定義において、−ｅは、電荷の電荷量であり、φは、物質表面近傍の真空（ｖａｃｕｕｍ）の静電位（ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  ｐｏｔｅｎｔｉａｌ）を意味する。すなわち、仕事関数は、物質から自由電子を切り離すのに必要な最小限のエネルギーである。
【００６２】
Ａｌ６０Ｎ３５Ｏ５のフェルミ準位（ＥＦ）は０．２０２５ｅＶであり、これを用いて前記仕事関数の定義により仕事関数を計算すると、Ａｌ６０Ｎ３５Ｏ５の仕事関数は３．８９７５ｅＶである。
【００６３】
図５は、実施例１による各層間のエネルギーの関係を示すものである。
【００６４】
互いに異なる物質は、フェルミ準位が異なり、仕事関数も異なる。２つの物質が離れていると、互いに固有の値を有するが、２つの物質が近づいて接合する場合、自由電子の動きによって異種の物質のフェルミ準位は整列されるようになる。これによって、金属と金属あるいは金属と半導体などの接合部（ｊｕｎｃｔｉｏｎ）ではフェルミ準位が等しくなる。この時、仕事関数の値は、物質固有の値であるので、フェルミ準位が整列されるにつれ、Ｖ＝φＡ−φＢだけの接触電位差（Ｃｏｎｔａｃｔ  ｐｏｔｅｎｔｉａｌ）、あるいはボルタポテンシャルが生じる。この原理によって図５のエネルギーダイアグラムが描かれ、Ａｌ金属とＡｌ６０Ｎ３５Ｏ５のポテンシャル差が小さくて２つの物質の間の電子の流れに困難がなくなる。
【００６５】
図５によれば、Ａｌの仕事関数は４．０８ｅＶと知られており、ＡｌとＡｌ６０Ｎ３５Ｏ５との仕事関数差は０．１８２５ｅＶであって、層間のエネルギー障壁が低くて電荷の移動に問題がない。さらに、Ａｌ６０Ｎ３５Ｏ５からＡｌｑのＬＵＭＯへの移動に問題がないことが分かる。
【００６６】
［実施例２］
本明細書に係る有機発光素子の電荷移動の有無を確認するために、電子輸送層としてＡｌｑ、光反射低減層としてＡｌ５８Ｎ３８Ｏ４、金属電極としてＡｌを使用した場合の有機発光素子をモデリングした。
【００６７】
Ａｌ６０Ｎ３５Ｏ５のフェルミ準位（ＥＦ）は−０．１４４４ｅＶであり、これを用いて前記仕事関数の定義により仕事関数を計算すると、Ａｌ５８Ｎ３８Ｏ４の仕事関数は４．０１４４ｅＶである。
【００６８】
図６は、実施例２による各層間のエネルギーの関係を示すものである。
【００６９】
図６によれば、Ａｌの仕事関数は４．０８ｅＶと知られており、ＡｌとＡｌ５８Ｎ３８Ｏ４との仕事関数差は０．０６５６ｅＶであって、層間のエネルギー障壁が低くて電荷の移動に問題がない。さらに、Ａｌ５８Ｎ３８Ｏ４からＡｌｑのＬＵＭＯへの移動に問題がないことが分かる。
【符号の説明】
【００７０】
１００：透明電極
２００：金属電極
３００：有機物層
４００：光反射低減層
５００：金属層
６００：基板
【図１】
0006541089.tif 000002
【図２】
0006541089.tif 000003
【図３】
0006541089.tif 000004
【図４】
0006541089.tif 000005
【図５】
0006541089.tif 000006
【図６】
0006541089.tif 000007