(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブピンをそれぞれ有する一対のプローブ部を基板の表面に平行な平面に沿って各移動開始点から移動させて当該基板の各被接触点に当該各プローブピンの各先端部をそれぞれ接触させるときの移動時における当該各プローブ部同士の干渉の有無を判定する判定処理を実行する処理部を備え、
前記処理部は、前記判定処理において、前記各被接触点に前記各プローブピンの前記各先端部をそれぞれ接触させた状態で前記表面に垂直な向きから見た前記各プローブ部の各々の輪郭および各々の当該先端部の位置に相当する各基準点を示す２つの図形を特定し、前記各プローブ部のうちのいずれか一方の前記図形としての第１図形の前記基準点を通りかつ当該各図形の前記各基準点を結ぶ直線に垂直な直線を対称軸として当該第１図形を反転した第２図形を想定し、当該第２図形の前記基準点を前記各プローブ部のうちの他方の前記図形の前記輪郭に沿って移動させたときに当該第２図形の輪郭によって描かれる第３図形を想定し、当該第３図形の外周に沿って予め決められた幅だけ当該第３図形を拡大させた第４図形を想定し、前記各プローブ部が前記各移動開始点を同時に出発して前記各被接触点に同時に到着するように当該各プローブ部をそれぞれ個別の一定速度で直線的に移動させる第１移動制御を実行する際の前記他方のプローブ部に対する前記一方のプローブ部の相対的な移動軌跡を想定し、前記第４図形の基準点が前記移動開始点に位置しているときの当該第４図形と前記移動軌跡との位置関係に基づいて前記第１移動制御の実行時における前記各プローブ部同士の干渉の有無を判定する判定装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記判定処理において、前記第４図形が存在する平面を分割した複数の分割領域のいずれに前記移動軌跡が属しているかに基づいて前記各プローブ部同士の干渉の有無を判定する請求項１記載の判定装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記判定処理において、前記第４図形の輪郭を構成する線と前記移動軌跡とが交差するか否かに基づいて前記各プローブ部同士の干渉の有無を判定する請求項１記載の判定装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記判定処理において前記第１移動制御の実行時に前記各プローブ部同士が干渉すると判定したときに、前記一方のプローブ部を前記移動開始点から前記被接触点まで一定速度で直線的に移動させると共に当該移動開始点と当該被接触点とを結ぶ線分上の中間点まで当該一方のプローブ部が移動した時点で前記他方のプローブ部を前記移動開始点から前記被接触点まで一定速度で直線的に移動させて当該各プローブ部を前記各被接触点に同時に到着させる第２移動制御を実行することによって前記各プローブ部同士が干渉しないとの条件を満たす当該中間点を特定する中間点特定処理を実行する請求項１から３のいずれかに記載の判定装置。
【請求項５】
前記処理部は、前記中間点特定処理において、前記移動軌跡の終点を通って前記第４図形の外周に接する直線と前記一方のプローブ部における前記移動開始点および前記被接触点を結ぶ線分との交点を前記中間点として特定する請求項４記載の判定装置。
【請求項６】
前記処理部は、前記中間点特定処理において中間点が存在しないと判別したときに、前記各プローブ部の少なくとも一方を前記移動開始点と前記被接触点とを結ぶ線分上以外の位置に設定した中継点を経由して移動させる第３移動制御を実行することによって前記各プローブ部同士が干渉しないとの条件を満たす当該中継点を特定する中継点特定処理を実行する請求項４または５記載の判定装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の判定装置と、前記一対のプローブ部を移動させる移動機構と、当該移動機構を制御する制御部と、前記プローブ部を介して入出力する電気信号に基づいて検査対象の前記基板を検査する検査部とを備え、
前記制御部は、前記移動機構を制御して前記各プローブ部を移動させ、前記判定装置によって前記各プローブ部同士が干渉しないと判定された前記被接触点にのみ前記先端部を接触させる基板検査装置。
【請求項８】
プローブピンをそれぞれ有する一対のプローブ部を基板の表面に平行な平面に沿って各移動開始点から移動させて当該基板の各被接触点に当該各プローブピンの各先端部をそれぞれ接触させるときの移動時における当該各プローブ部同士の干渉の有無を判定する判定処理を実行する判定方法であって、
前記判定処理において、前記各被接触点に前記各プローブピンの前記各先端部をそれぞれ接触させた状態で前記表面に垂直な向きから見た前記各プローブ部の各々の輪郭および各々の当該先端部の位置に相当する各基準点を示す２つの図形を特定し、前記各プローブ部のうちのいずれか一方の前記図形としての第１図形の前記基準点を通りかつ当該各図形の前記各基準点を結ぶ直線に垂直な直線を対称軸として当該第１図形を反転した第２図形を想定し、当該第２図形の前記基準点を前記各プローブ部のうちの他方の前記図形の前記輪郭に沿って移動させたときに当該第２図形の輪郭によって描かれる第３図形を想定し、当該第３図形の外周に沿って予め決められた幅だけ当該第３図形を拡大させた第４図形を想定し、前記各プローブ部が前記各移動開始点を同時に出発して前記各被接触点に同時に到着するように当該各プローブ部をそれぞれ個別の一定速度で直線的に移動させる第１移動制御を実行する際の前記他方のプローブ部に対する前記一方のプローブ部の相対的な移動軌跡を想定し、前記第４図形の基準点が前記移動開始点に位置しているときの当該第４図形と前記移動軌跡との位置関係に基づいて前記第１移動制御の実行時における前記各プローブ部同士の干渉の有無を判定する判定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対のプローブ部を移動させて基板の各被接触点に各プローブピンの各先端部を接触させるときの各プローブ部同士の干渉の有無を判定する判定装置、その判定装置を備えた基板検査装置、および一対のプローブ部を移動させて基板の各被接触点に各プローブピンの各先端部を接触させるときの各プローブ部同士の干渉の有無を判定する判定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査装置として、下記特許文献１において出願人が開示した基板検査装置が知られている。この基板検査装置は、一対の保持部によってそれぞれ保持されたプローブピンを回路基板の表面に沿った方向、および回路基板に接離する方向に移動させて、回路基板の導体パターンにプローブピンをプロービングさせるプロービング機構を備えて、回路基板の良否を検査可能に構成されている。また、この種の基板検査装置では、プロービングの際の各プローブピン同士の干渉（接触）を防止するため、一方のプローブピンのプロービング位置の周囲に進入禁止エリアを設けて、他方のプローブピンにおける移動開始位置とプロービング位置とを結ぶ移動経路がこの進入禁止エリア上に位置するときには、進入禁止エリアの外部に設けた中継点を経由するように移動経路を変更した迂回経路で他方のプローブピンを移動させる。この場合、出願人が開発しているこの種の基板検査装置では、上記した進入禁止エリアとして、プローブピンの先端部を中心として、各プローブピン同士の干渉を確実に防止可能な大きさの長方形のエリアを採用している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１５４７４号公報（第６−７頁、第１−２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の基板検査装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この基板検査装置では、プロービングの際の各プローブピン同士の干渉を防止するための進入禁止エリアとして、長方形のエリアを採用している。このため、例えば、長方形の進入禁止エリアの角部をかすめるように他方のプローブピンの移動経路が位置しているときには、実際には、一方のプローブピンと他方のプローブピンとが十分に離れて干渉しない場合であっても、迂回経路で他方のプローブピンを移動させている。このため、この基板検査装置には、必要以上に迂回経路が多くなることによってプローブピンの移動に要する時間が長くなることがあり、この点の改善が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、プローブ部を移動させる際の各プローブ部同士の干渉の有無を的確に判定し得る判定装置、基板検査装置および判定方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の判定装置は、プローブピンをそれぞれ有する一対のプローブ部を基板の表面に平行な平面に沿って各移動開始点から移動させて当該基板の各被接触点に当該各プローブピンの各先端部をそれぞれ接触させるときの移動時における当該各プローブ部同士の干渉の有無を判定する判定処理を実行する処理部を備え、前記処理部は、前記判定処理において、前記各被接触点に前記各プローブピンの前記各先端部をそれぞれ接触させた状態で前記表面に垂直な向きから見た前記各プローブ部の各々の輪郭および各々の当該先端部の位置に相当する各基準点を示す２つの図形を特定し、前記各プローブ部のうちのいずれか一方の前記図形としての第１図形の前記基準点を通りかつ当該各図形の前記各基準点を結ぶ直線に垂直な直線を対称軸として当該第１図形を反転した第２図形を想定し、当該第２図形の前記基準点を前記各プローブ部のうちの他方の前記図形の前記輪郭に沿って移動させたときに当該第２図形の輪郭によって描かれる第３図形を想定し、当該第３図形の外周に沿って予め決められた幅だけ当該第３図形を拡大させた第４図形を想定し、前記各プローブ部が前記各移動開始点を同時に出発して前記各被接触点に同時に到着するように当該各プローブ部をそれぞれ個別の一定速度で直線的に移動させる第１移動制御を実行する際の前記他方のプローブ部に対する前記一方のプローブ部の相対的な移動軌跡を想定し、前記第４図形の基準点が前記移動開始点に位置しているときの当該第４図形と前記移動軌跡との位置関係に基づいて前記第１移動制御の実行時における前記各プローブ部同士の干渉の有無を判定する。
【０００７】
また、請求項２記載の判定装置は、請求項１記載の判定装置において、前記処理部は、前記判定処理において、前記第４図形が存在する平面を分割した複数の分割領域のいずれに前記移動軌跡が属しているかに基づいて前記各プローブ部同士の干渉の有無を判定する。
【０００８】
また、請求項３記載の判定装置は、請求項１記載の判定装置において、前記処理部は、前記判定処理において、前記第４図形の輪郭を構成する線と前記移動軌跡とが交差するか否かに基づいて前記各プローブ部同士の干渉の有無を判定する。
【０００９】
また、請求項４記載の判定装置は、請求項１から３のいずれかに記載の判定装置において、前記処理部は、前記判定処理において前記第１移動制御の実行時に前記各プローブ部同士が干渉すると判定したときに、前記一方のプローブ部を前記移動開始点から前記被接触点まで一定速度で直線的に移動させると共に当該移動開始点と当該被接触点とを結ぶ線分上の中間点まで当該一方のプローブ部が移動した時点で前記他方のプローブ部を前記移動開始点から前記被接触点まで一定速度で直線的に移動させて当該各プローブ部を前記各被接触点に同時に到着させる第２移動制御を実行することによって前記各プローブ部同士が干渉しないとの条件を満たす当該中間点を特定する中間点特定処理を実行する。
【００１０】
また、請求項５記載の判定装置は、請求項４記載の判定装置において、前記処理部は、前記中間点特定処理において、前記移動軌跡の終点を通って前記第４図形の外周に接する直線と前記一方のプローブ部における前記移動開始点および前記被接触点を結ぶ線分との交点を前記中間点として特定する。
【００１１】
また、請求項６記載の判定装置は、請求項４または５記載の判定装置において、前記処理部は、前記中間点特定処理において中間点が存在しないと判別したときに、前記各プローブ部の少なくとも一方を前記移動開始点と前記被接触点とを結ぶ線分上以外の位置に設定した中継点を経由して移動させる第３移動制御を実行することによって前記各プローブ部同士が干渉しないとの条件を満たす当該中継点を特定する中継点特定処理を実行する。
【００１２】
また、請求項７記載の基板検査装置は、請求項１から６のいずれかに記載の判定装置と、前記一対のプローブ部を移動させる移動機構と、当該移動機構を制御する制御部と、前記プローブ部を介して入出力する電気信号に基づいて検査対象の前記基板を検査する検査部とを備え、前記制御部は、前記移動機構を制御して前記各プローブ部を移動させ、前記判定装置によって前記各プローブ部同士が干渉しないと判定された前記被接触点にのみ前記先端部を接触させる。
【００１３】
また、請求項８記載の判定方法は、プローブピンをそれぞれ有する一対のプローブ部を基板の表面に平行な平面に沿って各移動開始点から移動させて当該基板の各被接触点に当該各プローブピンの各先端部をそれぞれ接触させるときの移動時における当該各プローブ部同士の干渉の有無を判定する判定処理を実行する判定方法であって、前記判定処理において、前記各被接触点に前記各プローブピンの前記各先端部をそれぞれ接触させた状態で前記表面に垂直な向きから見た前記各プローブ部の各々の輪郭および各々の当該先端部の位置に相当する各基準点を示す２つの図形を特定し、前記各プローブ部のうちのいずれか一方の前記図形としての第１図形の前記基準点を通りかつ当該各図形の前記各基準点を結ぶ直線に垂直な直線を対称軸として当該第１図形を反転した第２図形を想定し、当該第２図形の前記基準点を前記各プローブ部のうちの他方の前記図形の前記輪郭に沿って移動させたときに当該第２図形の輪郭によって描かれる第３図形を想定し、当該第３図形の外周に沿って予め決められた幅だけ当該第３図形を拡大させた第４図形を想定し、前記各プローブ部が前記各移動開始点を同時に出発して前記各被接触点に同時に到着するように当該各プローブ部をそれぞれ個別の一定速度で直線的に移動させる第１移動制御を実行する際の前記他方のプローブ部に対する前記一方のプローブ部の相対的な移動軌跡を想定し、前記第４図形の基準点が前記移動開始点に位置しているときの当該第４図形と前記移動軌跡との位置関係に基づいて前記第１移動制御の実行時における前記各プローブ部同士の干渉の有無を判定する。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の判定装置、請求項７記載の基板検査装置、および請求項８記載の検査方法では、一方のプローブ部の第１図形を反転した第２図形の基準点を他方のプローブ部の図形の輪郭に沿って移動させたときに第２図形の輪郭によって描かれる第３図形を予め決められた幅だけ拡大させた第４図形を想定し、第１移動制御を実行する際の他方のプローブ部に対する一方のプローブ部の相対的な移動軌跡を想定し、第４図形の基準点が移動開始点に位置しているときの第４図形と移動軌跡との位置関係に基づいて第１移動制御の実行時における各プローブ部同士の干渉の有無を判定する。このため、この判定装置、基板検査装置および判定方法では、第１移動制御の実行時における各プローブ部同士の干渉の有無を的確に判定することができ、各プローブ部同士が干渉しないと判定されたときには、移動開始点と被接触点とを直線的に移動させる第１移動制御を実行させることができる。したがって、この判定装置、基板検査装置および判定方法によれば、第１移動制御の実行時にプローブ部同士が干渉するか否かに拘わらず迂回経路でプローブ部を移動させる構成および方法と比較して、プローブ部の移動に要する時間を短縮することができる結果、検査効率を十分に向上させることができる。
【００１５】
また、請求項２記載の判定装置、および請求項７記載の基板検査装置によれば、第４図形が存在する平面を分割した複数の分割領域のいずれに移動軌跡が属しているかに基づいて各プローブ部同士の干渉の有無を処理部が判定することにより、第４図形を構成する線と移動軌跡とが交差するか否かに基づいて各プローブ部同士の干渉の有無を判定する構成と比較して、短時間で判定を行うことができるため、判定処理の効率を十分に向上させることができる。
【００１６】
また、請求項３記載の判定装置、および請求項７記載の基板検査装置では、第４図形の輪郭を構成する線と移動軌跡とが交差するか否かに基づいて各プローブ部同士の干渉の有無を処理部が判定する。この場合、第４図形の輪郭を構成する線と移動軌跡とが交差したときには、第４図形に移動軌跡の少なくとも一部が属していることとなり、このときには、各プローブ部同士が干渉することとなる。したがって、この判定装置および基板検査装置によれば、第４図形が存在する平面を分割した複数の分割領域のいずれに移動軌跡が属しているかに基づいて各プローブ部同士の干渉の有無を判定する方法では判定が困難な場合であっても、干渉の有無を確実に判定することができる。また、この判定装置および基板検査装置によれば、分割領域のいずれに移動軌跡が属しているかに基づいて各プローブ部同士の干渉の有無を判定する方法と組み合わせることで、判定処理の効率を十分に向上させつつ判定精度を十分に向上させることができる。
【００１７】
また、請求項４記載の判定装置、および請求項７記載の基板検査装置によれば、第１移動制御の実行時に各プローブ部同士が干渉すると判定したときに、第２移動制御を実行することによって各プローブ部同士が干渉しないとの条件を満たす中間点を特定する中間点特定処理を処理部が実行することにより、第１移動制御ではプローブ部のプローブピンを接触させることが困難な被接触点にプローブピンを確実に接触させることができる。
【００１８】
また、請求項５記載の判定装置、および請求項７記載の基板検査装置によれば、中間点特定処理において、移動軌跡の終点を通って第４図形の外周に接する直線と一方のプローブ部の移動開始点および被接触点を結ぶ線分との交点を中間点として特定することにより、第２移動制御において各プローブ部同士が干渉しないとの条件を確実に満たす中間点を確実かつ容易に特定することができる。
【００１９】
また、請求項６記載の判定装置、および請求項７記載の基板検査装置によれば、中間点特定処理において中間点が存在しないと判別したときに、第３移動制御を実行することによって各プローブ部同士が干渉しないとの条件を満たす中継点を特定する中継点特定処理を処理部が実行することにより、第１移動制御および第２移動制御ではプローブ部のプローブピンを接触させることが困難な被接触点にプローブピンを確実に接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】特定処理７０のフローチャートである。
【図３】第１判定処理８０のフローチャートである。
【図４】第２判定処理１００のフローチャートである。
【図５】中間点特定処理１２０のフローチャートである。
【図６】中継点特定処理１４０のフローチャートである。
【図７】第１判定処理８０を説明する第１の説明図である。
【図８】第１判定処理８０を説明する第２の説明図である。
【図９】第１判定処理８０を説明する第３の説明図である。
【図１０】第１判定処理８０を説明する第４の説明図である。
【図１１】第２判定処理１００を説明する第１の説明図である。
【図１２】第２判定処理１００を説明する第２の説明図である。
【図１３】第２判定処理１００を説明する第３の説明図である。
【図１４】中間点特定処理１２０を説明する説明図である。
【図１５】中継点特定処理１４０を説明する説明図である。
【図１６】第２判定処理１００の他の例を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明に係る判定装置、基板検査装置および判定方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２２】
最初に、基板検査装置の一例としての図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。基板検査装置１は、同図に示すように、基板保持部２、移動機構３、カメラ４、一対のプローブ部５ａ，５ｂ（以下、区別しないときには「プローブ部５」ともいう）、記憶部６および処理部７を備えて、基板５０を検査可能に構成されている。なお、記憶部６および処理部７によって判定装置が構成される。
【００２３】
この場合、基板５０には、複数の導体部（配線パターン、ビアおよびスルーホール等）が形成されている。また、各導体部には、基板５０を検査する際にプローブ部５ａ，５ｂを接触させる複数の被接触点Ｐｃ（図７参照）が規定されている。また、基板５０には、基板５０の位置や形状を特定する際に用いる複数のマークＭ（同図参照）が設けられている。
【００２４】
基板保持部２は、基板５０が配置される保持台と、保持台に配置された基板５０を固定する固定部（いずれも図示を省略する）とを備えて、基板５０を保持可能に構成されている。移動機構３は、ガイドレール、スライダおよび上下動機構（いずれも図示を省略する）を備えて構成され、処理部７の制御に従い、カメラ４およびプローブ部５を移動させる。
【００２５】
カメラ４は、処理部７の制御に従って基板５０のマークＭを撮像する。プローブ部５ａ，５ｂは、図１に示すように、２本のプローブピン５１と、各プローブピン５１を支持する支持部５２とをそれぞれ備えて構成されている。また、プローブ部５ａ，５ｂは、移動機構３によって基板５０の表面に平行な平面に沿った方向（ＸＹ方向）、および平面に垂直な方向（Ｚ方向）に沿って移動させられて、基板５０の被接触点Ｐｃに各プローブピン５１の先端部が接触させられる。
【００２６】
記憶部６は、各種のデータを記憶する。具体的には、記憶部６には、処理部７によって実行される特定処理７０（図２参照）において用いられる第２位置データＤ２および第３位置データＤ３、並びに処理部７によって実行される第２判定処理１００（判定処理に相当する：図４参照）、中間点特定処理１２０（図５参照）および中継点特定処理１４０（図６参照）において用いられる第６位置データＤ６が予め記憶されている。この場合、第２位置データＤ２は、設計どおりに形成された（変形のない）基板５０（基準基板に相当し、以下、「基準の基板５０」ともいう）におけるマークＭの位置（設計上の位置）を示すデータであり、第３位置データＤ３は、基準の基板５０における被接触点Ｐｃの位置（設計上の位置）を示すデータである。また、第６位置データＤ６は、移動開始前に各プローブ部５が待機している待機状態において各プローブ部５の各プローブピン５１の先端部が位置する移動開始点Ｐｉの位置を示すデータである。
【００２７】
また、記憶部６は、特定処理７０を実行する過程で処理部７によって生成される第１位置データＤ１および第４位置データＤ４を記憶する。この場合、第１位置データＤ１は、検査対象の基板５０におけるマークＭの位置（処理部７によって測定される位置）を示すデータであり、第４位置データＤ４は、検査対象の基板５０における被接触点Ｐｃの位置を示すデータである。さらに、記憶部６には、第１判定処理８０（図３参照）において用いられる第５位置データＤ５が予め記憶されている。この場合、第５位置データＤ５は、基板５０の表面に垂直な向き（Ｚ方向）から見た各プローブ部５ａ，５ｂにおけるプローブピン５１および支持部５２の輪郭Ｃａ，Ｃｂ（以下、区別しないときには「輪郭Ｃ」ともいう）、並びに各プローブピン５１における各々の先端部の位置に相当する基準点Ｐｓａ，Ｐｓｂ（以下、区別しないときには「基準点Ｐｓ」ともいう）を示す図形Ｆａ，Ｆｂ（図７参照）を示すデータである。また、記憶部６は、第１判定処理８０および第２判定処理１００の実行によって処理部７によって判定されたそれぞれの判定結果を示す判定結果データＤ７，Ｄ８を記憶する。また、記憶部６は、中間点特定処理１２０の実行によって処理部７によって特定される中間点Ｐｍの位置を示す中間点データＤ９、および中継点特定処理１４０の実行によって処理部７によって特定される中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂ（以下、区別しないときには「中継点Ｐｒ」ともいう）の位置を示す中継点データＤ１０を記憶する。
【００２８】
処理部７は、制御部として機能し、移動機構３によるカメラ４および各プローブ部５の移動を制御する（後述する第１移動制御、第２移動制御および第３移動制御を実行する）。また、処理部７は、検査部として機能し、各プローブ部５の各プローブピン５１を介して入出力する電気信号に基づいて基板５０を検査する。また、処理部７は、検査対象の基板５０に形成されているマークＭの位置を測定する。また、処理部７は、図２に示す特定処理７０を実行して、検査対象の基板５０における被接触点Ｐｃの位置を特定する。さらに、処理部７は、図３に示す第１判定処理８０を実行して、各プローブ部５の各プローブピン５１の先端部を被接触点Ｐｃにそれぞれ接触させた接触状態における各プローブ部５同士（各プローブ部５の各プローブピン５１同士）の干渉の有無を判定する。
【００２９】
また、処理部７は、図４に示す第２判定処理１００を実行して、後述する第１移動制御を実行する際に、移動時における各プローブ部５同士（各プローブ部５の各プローブピン５１同士）の干渉の有無を判定する。また、処理部７は、図５に示す中間点特定処理１２０を実行して、後述する第２移動制御を実行する際に用いる中間点Ｐｍを特定する。また、処理部７は、図６に示す中継点特定処理１４０を実行して、後述する第３移動制御を実行する際に用いる中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂを特定する。
【００３０】
次に、基板検査装置１を用いて基板５０を検査する方法、およびその際の基板検査装置１を構成する各構成要素の動作について、図面を参照して説明する。
【００３１】
最初に、基板保持部２における図外の保持台に検査対象の基板５０を配置し、次いで、図外の固定部で基板５０を固定する。これにより、基板５０が基板保持部２に保持される。
【００３２】
続いて、図外の操作部を操作して、検査の開始を指示する。これに応じて、処理部７は、検査対象の基板５０における被接触点Ｐｃの位置を特定する特定処理７０（図２参照）を実行する。この特定処理７０では、処理部７は、マークＭの位置を測定する測定処理を実行する（ステップ７１）。この測定処理では、処理部７は、カメラ４を制御して撮像を開始させると共に、移動機構３を制御して、カメラ４の中心（撮像画像の中心）が基板５０におけるマークＭの中心と一致するようにマークＭの上方にカメラ４を移動させる。また、処理部７は、移動機構３によるカメラ４の移動距離に基づいてマークＭの位置を測定する。以下、同様にして、処理部７は、各マークＭの位置を測定し、その位置を示す第１位置データＤ１を生成して記憶部６に記憶させる。
【００３３】
次いで、処理部７は、第２位置データＤ２および第３位置データＤ３を記憶部６から読み出す（ステップ７２）。続いて、処理部７は、第２位置データＤ２に示される基準の基板５０におけるマークＭの位置と、第１位置データＤ１に示される検査対象の基板５０におけるマークＭの位置との位置ずれ量を求める（ステップ７３）。次いで、処理部７は、第３位置データＤ３に示される基準の基板５０における被接触点Ｐｃの位置を、求めた位置ずれ量で補正して、検査対象の基板５０における被接触点Ｐｃの位置を特定する（ステップ７４）。続いて、処理部７は、特定した被接触点Ｐｃの位置を示す第４位置データＤ４を生成して（ステップ７５）、記憶部６に記憶させ、特定処理７０を終了する。
【００３４】
次いで、処理部７は、各プローブ部５の各プローブピン５１の先端部を一対の被接触点Ｐｃにそれぞれ接触させた接触状態における各プローブ部５同士（各プローブ部５における各プローブピン５１同士）の干渉の有無を判定する第１判定処理８０（図３参照）を実行する。この第１判定処理８０では、処理部７は、第４位置データＤ４および第５位置データＤ５を記憶部６から読み出す（ステップ８１）。続いて、処理部７は、第５位置データＤ５に基づき、プローブ部５ａ，５ｂの輪郭Ｃａ，Ｃｂおよび基準点Ｐｓａ，Ｐｓｂ（各プローブピン５１の先端部の位置）を示す図形Ｆａ，Ｆｂ（図７参照）を特定する（ステップ８２）。
【００３５】
次いで、処理部７は、図７に示すように、図形Ｆａ，Ｆｂの基準点Ｐｓａ，Ｐｓｂが第４位置データＤ４に示される基板５０の一対の被接触点Ｐｃにそれぞれ位置した状態（プロービングさせた状態）の画像（以下、この画像を「プロービング画像Ｇ１」ともいう）を想定する（ステップ８３）。続いて、処理部７は、プローブ部５ａ，５ｂのうちのいずれか一方としてのプローブ部５ｂの図形Ｆｂ（第１図形に相当する）を選択する（ステップ８４）。次いで、処理部７は、図８に示すように、プロービング画像Ｇ１内において、図形Ｆｂの基準点Ｐｓｂを通り、かつ図形Ｆａ，Ｆｂの基準点Ｐｓａ，Ｐｓｂを結ぶ直線Ｌ１に垂直な直線Ｌ２を対称軸として、図形Ｆｂを反転した図形Ｆｃ（第２図形に相当する）を想定する（ステップ８５）。この場合、図形Ｆｃの基準点Ｐｓｃは、図形Ｆｂの基準点Ｐｓｂと同じ位置となる。
【００３６】
続いて、処理部７は、図９に示すように、プロービング画像Ｇ１内において、図形Ｆｃの基準点Ｐｓｃを図形Ｆａ（プローブ部５ａ，５ｂのうちの他方の図形）の輪郭Ｃａに沿って移動させ、そのときに図形Ｆｃの輪郭Ｃｃによって描かれる図形Ｆｄ（第３図形に相当する）を想定する（ステップ８６）。次いで、処理部７は、図１０に示すように、図形Ｆｄの外周（輪郭Ｃｄ）に沿って予め決められた幅Ｗ（一例として、図形Ｆａの基準点Ｐｓａから輪郭Ｃａまでの最短距離に相当する幅）だけ図形Ｆｄ（輪郭Ｃｄ）を拡大させた輪郭Ｃｅを有する図形Ｆｅ（第４図形に相当する）を想定する（ステップ８７）。
【００３７】
続いて、処理部７は、図形Ｆｂの基準点Ｐｓｂと図形Ｆｅとの位置関係に基づき、各プローブ部５同士（各プローブ部５の各プローブピン５１同士）の干渉の有無を判定する。具体的には、処理部７は、図形Ｆｅ内に図形Ｆｂの基準点Ｐｓｂが含まれているか否かを判別する（ステップ８８）。この際に、処理部７は、同図に示すように、図形Ｆｅ（同図に実線で示す図形Ｆｅ）内に基準点Ｐｓｂが含まれていないと判別したときには、各プローブ部５同士が干渉しないと判定する（ステップ８９）。一方、図形Ｆｅ（同図に一点鎖線で示す図形Ｆｅ）内に基準点Ｐｓｂが含まれていると判別したときには、処理部７は、各プローブ部５同士が干渉すると判定する（ステップ９０）。
【００３８】
ここで、上記した図形Ｆｅは、ミンコフスキー差（Minkowski difference）の手法に基づいている。また、ミンコフスキー差には、「重なっている２つの図形のミンコフスキー差は、一方の図形を反転する際の原点を含む」という性質、言い換えると「ミンコフスキー差に、一方の図形を反転する際の原点が含まれている元の２つの図形は重なっている」という性質がある。したがって、ミンコフスキー差に相当する図形Ｆｅ内に、「原点」に相当する基準点Ｐｓｂが含まれているか否かを判別することにより、図形Ｆａ，Ｆｂが重なるか否か、つまり各プローブ部５同士が干渉するか否かを判定することができる。
【００３９】
以上により、最初の一対の被接触点Ｐｃに各プローブピン５１の先端部をそれぞれ接触させた接触状態における各プローブ部５同士の干渉の有無の判定が終了する。また、処理部７は、各プローブ部５同士の干渉の有無の判定結果を示す判定結果データＤ７を生成して（ステップ９１）、記憶部６に記憶させる。次いで、処理部７は、上記したステップ８３〜８９を実行して、他の一対の被接触点Ｐｃに対する接触状態における各プローブ部５同士の干渉の有無の判定を行い、全ての被接触点Ｐｃについて各プローブ部５同士の干渉の有無の判定が終了したときには、第１判定処理８０を終了する。
【００４０】
次いで、処理部７は、基板の表面に平行な平面に沿って各プローブ部５を各移動開始点Ｐｉから移動させて、各プローブ部５の各プローブピン５１の先端部を一対の被接触点Ｐｃにそれぞれ接触させるときの移動時における各プローブ部５同士（各プローブ部５における各プローブピン５１同士）の干渉の有無を判定する第２判定処理１００（図４参照）を実行する。この第２判定処理１００では、処理部７は、最初に接触させるべき一対の被接触点Ｐｃの第４位置データＤ４を記憶部６から読み出すと共に、その被接触点Ｐｃについての判定結果データＤ７を記憶部６から読み出す（ステップ１０１）。
【００４１】
続いて、処理部７は、判定結果データＤ７に示される判定結果が、各プローブ部５同士が干渉することを示す判定結果であるか否かを判別する（ステップ１０２）。この際に、処理部７は、各プローブ部５同士が干渉することを示す判定結果であると判別したときには、ステップ１０１を実行して、次の一対の被接触点Ｐｃの第４位置データＤ４および判定結果データＤ７を記憶部６から読み出す。
【００４２】
一方、ステップ１０２において、各プローブ部５同士が干渉することを示す判定結果ではないと判別したときには、処理部７は、第６位置データＤ６を記憶部６から読み出す（ステップ１０３）。次いで、処理部７は、第６位置データＤ６に基づいて各プローブ部５の移動開始点Ｐｉの位置を特定すると共に、第４位置データＤ４に基づいて各被接触点Ｐｃの位置を特定する。
【００４３】
続いて、処理部７は、各プローブ部５（プローブピン５１の先端部）が各移動開始点Ｐｉを同時に出発して各被接触点Ｐｃに同時に到着するように各プローブ部５をそれぞれ個別の一定速度で直線的に移動させる第１移動制御を実行する際の、他方のプローブ部５ａに対する一方のプローブ部５ｂ（プローブピン５１の先端部）の相対的な移動軌跡Ｌｍを想定する（ステップ１０４）。
【００４４】
この場合、移動軌跡Ｌｍは、図１１に示すように、プローブ部５ａの移動開始点Ｐｉ（以下、「移動開始点Ｐｉａ」ともいう）と被接触点Ｐｃ（以下、「被接触点Ｐｃａ」ともいう）とを結ぶ線分Ｐｉａ−Ｐｃａ（同図に実線で示す）の「Ｐｃａ」側の端部が、プローブ部５ｂの被接触点Ｐｃ（以下、「被接触点Ｐｃｂ」ともいう）に位置するように線分Ｐｉａ−Ｐｃａを平行移動させ、平行移動後の線分Ｐｉａ−Ｐｃａ（同図に破線で示す）の「Ｐｉａ」側の端部を終点（以下、「終点Ｐｍｅ」ともいう）とし、プローブ部５ｂの移動開始点Ｐｉ（以下、「移動開始点Ｐｉｂ」ともいう）を始点（以下、「始点Ｐｍｓ」ともいう）とするベクトル（同図に一点鎖線で示す）で表される。
【００４５】
次いで、処理部７は、図１１に示すように、上記した第１判定処理８０と同様に図形Ｆｅを想定する（ステップ１０５）。続いて、処理部７は、同図に示すように、図形Ｆｅの基準点Ｐｓｅ（図形Ｆｅを想定する際に用いる図形Ｆａの基準点Ｐｓａと同じ点）がプローブ部５ａの移動開始点Ｐｉａに位置しているときの図形Ｆｅと移動軌跡Ｌｍとの位置関係に基づいて第１移動制御の実行時における各プローブ部５同士の干渉の有無を判定する。
【００４６】
具体的には、処理部７は、図形Ｆｅと移動軌跡Ｌｍとの位置関係が第１条件に該当するか否かを判別する（ステップ１０６）。この場合、処理部７は、次の条件を第１条件とする。まず、図１１に示すように、図形Ｆｅにおける被接触点Ｐｃｂ（プローブ部５ｂについての被接触点Ｐｃ）に最も近い端部（同図における最も右側の端部）に接するＹ方向（同図における上下方向）の直線Ｌ３で、図形Ｆｅが存在する平面を分割した２つの分割領域Ａ１，Ａ２（以下、区別しないときには「分割領域Ａ」ともいう）を想定する。そして、２つの分割領域Ａ１，Ａ２のうちの図形Ｆｅが属していない分割領域Ａ２に移動軌跡Ｌｍの全部が属しているとの条件を第１条件とする。
【００４７】
この場合、図１１に示すように、移動軌跡Ｌｍの全部が分割領域Ａ２に属しているときには、処理部７は、ステップ１０６において第１条件に該当すると判別し、第１移動制御の実行時に各プローブ部５同士が干渉しないと判定し（ステップ１０９）、次いで、判定結果を示す判定結果データＤ８を生成して（ステップ１１１）、記憶部６に記憶させる。
【００４８】
一方、図１２に示すように、移動軌跡Ｌｍの一部が分割領域Ａ１に属しているため、第１条件に該当しない場合であっても、各プローブ部５同士が干渉しない可能性がある（同時に、干渉する可能性もある）。このため、処理部７は、ステップ１０６において第１条件に該当しないと判別したときには、干渉の有無の判定精度を高めるため、図形Ｆｅと移動軌跡Ｌｍとの位置関係が第１条件とは異なる第２条件に該当するか否かを判別する（ステップ１０７）。
【００４９】
この場合、処理部７は、次の条件を第２条件とする。まず、図１３に示すように、図形Ｆｅにおける被接触点Ｐｃｂ側の端部（同図における右側の端部）の輪郭Ｃｅを構成する線分のうちの、同図における左右方向（Ｘ方向）に対して傾斜する２つの線分を延長した直線Ｌ４，Ｌ５と輪郭Ｃｅとで、図形Ｆｅが存在する平面を分割した４つの分割領域Ａ３〜Ａ６（以下、区別しないときには「分割領域Ａ」ともいう）を想定する。そして、移動軌跡Ｌｍの始点Ｐｍｓおよび終点Ｐｍｅのいずれか一方が分割領域Ａ３に属しているか、または始点Ｐｍｓおよび終点Ｐｍｅの双方が分割領域Ａ３〜Ａ５のいずれかに属しているとの条件を第２条件とする。
【００５０】
ここで、この第２条件に該当するか否かの判別では、第１判定処理８０において各プローブ部５同士が干渉しないと判定された被接触点Ｐｃを判定対象としているため、この被接触点Ｐｃについての移動軌跡Ｌｍの終点Ｐｍｅは、図形Ｆｅに属していないこととなる。また、移動軌跡Ｌｍの始点Ｐｍｓは、待機状態においてプローブ部５のプローブピン５１の先端部が位置する移動開始点Ｐｉに相当するため、始点Ｐｍｓも図形Ｆｅに属していないこととなる。つまり、移動軌跡Ｌｍの始点Ｐｍｓおよび終点Ｐｍｅの双方が、分割領域Ａ３〜Ａ６のいずれかに属していることとなる。このため、移動軌跡Ｌｍの始点Ｐｍｓおよび終点Ｐｍｅのいずれか一方が分割領域Ａ３に属しているか、または始点Ｐｍｓおよび終点Ｐｍｅの双方が分割領域Ａ３〜Ａ５のいずれかに属している（第２条件に該当する）ときには、移動軌跡Ｌｍの全体が、図形Ｆｅに属していない（移動軌跡Ｌｍの全体が図形Ｆｅに交差も接触もしない）こととなり、このときには、各プローブ部５同士が干渉しないこととなる。したがって、第２条件に該当するか否かを判別することで、各プローブ部５同士の干渉の有無を判定することができる。
【００５１】
この場合、図１３に示すように、始点Ｐｍｓが分割領域Ａ４に属し、終点Ｐｍｅが分割領域Ａ５に属しているときには、処理部７は、ステップ１０７において第２条件に該当すると判別し、第１移動制御の実行時に各プローブ部５同士が干渉しないと判定し（ステップ１０９）、続いて上記したステップ１１１を実行する。
【００５２】
一方、第１条件および第２条件のいずれにも該当しないとしても、各プローブ部５同士が干渉する可能性、および干渉しない可能性の双方の可能性がある。このため、処理部７は、干渉の有無の判定精度をさらに高めるため、ステップ１０７において第２条件に該当しないと判別したときには、図形Ｆｅと移動軌跡Ｌｍとの位置関係が第１条件および第２条件とは異なる第３条件に該当するか否かを判別する（ステップ１０８）。
【００５３】
この場合、処理部７は、移動軌跡Ｌｍが、図形Ｆｅの輪郭Ｃｅを構成する線分のいずれとも交差も接触もしないとの条件を第３条件とする。この際に、図１４に示すように、移動軌跡Ｌｍが図形Ｆｅの輪郭Ｃｅを構成する線分と交差するときには、処理部７は、ステップ１０８において第３条件に該当しないと判別し、第１移動制御の実行時に各プローブ部５同士が干渉すると判定し（ステップ１１０）、次いで上記したステップ１１１を実行する。続いて、処理部７は、上記したステップ１０１〜１１１を実行して、各プローブピン５１の先端部を他の一対の被接触点Ｐｃにそれぞれ接触させるときの移動時における各プローブ部５同士の干渉の有無を判定し、全ての被接触点Ｐｃについて各プローブ部５同士の干渉の有無の判定が終了したときには、第２判定処理１００を終了する。
【００５４】
この場合、上記した第１条件での干渉の判定、第２条件での干渉の判定、および第３条件での干渉の判定は、この順番で処理効率が高く、この順番の逆順で判定精度が高い。したがって、この第２判定処理１００では、第１条件での干渉の判定、第２条件での干渉の判定、および第３条件での干渉の判定をこの順番で行うことで、全体としての処理効率を高めつつ、高い判定精度を維持することが可能となっている。
【００５５】
次いで、処理部７は、第２判定処理１００において第１移動制御の実行時に各プローブ部５同士が干渉すると判定した被接触点Ｐｃについて、次に説明する第２移動制御を実行することによって各プローブ部５同士が干渉しないとの条件を満たす中間点Ｐｍ（図１４参照）を特定する中間点特定処理１２０（図５参照）を実行する。この場合、処理部７は、プローブ部５ｂ（プローブ部５ａ，５ｂのうちのいずれか一方）を、図１４に示すように、移動開始点Ｐｉｂから被接触点Ｐｃｂまで一定速度で直線的に移動させると共に移動開始点Ｐｉｂと被接触点Ｐｃｂとを結ぶ線分Ｐｉｂ−Ｐｃｂ上の中間点Ｐｍまでプローブ部５ｂが移動した時点でプローブ部５ａ（プローブ部５ａ，５ｂのうちの他方）を移動開始点Ｐｉａから被接触点Ｐｃａまで一定速度で直線的に移動させてプローブ部５ａ，５ｂを被接触点Ｐｃａ，Ｐｃｂに同時に到着させる制御を第２移動制御として実行する。
【００５６】
この中間点特定処理１２０では、処理部７は、第２判定処理１００において第１移動制御の実行時に各プローブ部５同士が干渉すると判定した一対の被接触点Ｐｃの第４位置データＤ４および第６位置データＤ６を記憶部６から読み出す（ステップ１２１）。続いて、処理部７は、第４位置データＤ４に基づいてプローブ部５ａの被接触点Ｐｃａおよびプローブ部５ｂの被接触点Ｐｃｂを特定する。また、処理部７は、第６位置データＤ６に基づいてプローブ部５ａの移動開始点Ｐｉａおよびプローブ部５ｂの移動開始点Ｐｉｂを特定する（ステップ１２２）。
【００５７】
次いで、処理部７は、図１４に示すように、移動軌跡Ｌｍの終点Ｐｍｅを通って図形Ｆｅの外周に接する直線Ｌ６とプローブ部５ｂの移動開始点Ｐｉｂおよび被接触点Ｐｃを結ぶ線分Ｐｉｂ−Ｐｃｂとの交点が存在するか否かを判別する（ステップ１２３）。この際に、処理部７は、同図に示すように、交点が存在すると判別したときには、その交点を中間点Ｐｍとして、その中間点Ｐｍの位置を特定する（ステップ１２４）。続いて、処理部７は、中間点Ｐｍの位置を示す中間点データＤ９を生成して（ステップ１２５）、記憶部６に記憶させる。
【００５８】
一方、上記したステップ１２３において交点が存在しないと判別したときには、処理部７は、中間点Ｐｍが存在しないことを示す中間点データＤ９を生成して（ステップ１２５）、記憶部６に記憶させる。次いで、処理部７は、上記したステップ１２１〜１２５を実行して、第２判定処理１００において第１移動制御の実行時に各プローブ部５同士が干渉すると判定した全ての被接触点Ｐｃについて、中間点Ｐｍの特定または中間点Ｐｍが存在しないことの判別が終了したときには、中間点特定処理１２０を終了する。
【００５９】
続いて、処理部７は、中間点特定処理１２０において中間点Ｐｍが存在しないと判別した被接触点Ｐｃについて、次に説明する第３移動制御を実行することによって各プローブ部５同士が干渉しないとの条件を満たす中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂ（図１５参照）を特定する中継点特定処理１４０（図６参照）を実行する。この場合、処理部７は、各プローブ部５が各移動開始点Ｐｉを同時に出発して各プローブ部５の少なくとも一方（図１５の例では、各プローブ部５の双方）が移動開始点Ｐｉ点と被接触点Ｐｃとを結ぶ線分上以外の位置に設定した中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂを経由して各被接触点Ｐｃに同時に到着するように各プローブ部５をそれぞれ一定速度で移動させる制御を第３移動制御として実行する。
【００６０】
この中継点特定処理１４０では、処理部７は、中間点特定処理１２０において中間点Ｐｍが存在しないと判別した一対の被接触点Ｐｃの第４位置データＤ４および第６位置データＤ６を記憶部６から読み出す（ステップ１４１）。次いで、処理部７は、第４位置データＤ４に基づいてプローブ部５ａの被接触点Ｐｃａおよびプローブ部５ｂの被接触点Ｐｃｂを特定する。また、処理部７は、第６位置データＤ６に基づいてプローブ部５ａの移動開始点Ｐｉａおよびプローブ部５ｂの移動開始点Ｐｉｂを特定する（ステップ１４２）。
【００６１】
続いて、処理部７は、図１５に示すように、移動軌跡Ｌｍの始点Ｐｍｓを通って図形Ｆｅの外周に接する直線Ｌ７と、移動軌跡Ｌｍの終点Ｐｍｅを通って図形Ｆｅの外周に接する直線Ｌ８との交点Ｐｎの位置を特定する（ステップ１４３）。次いで、処理部７は、始点Ｐｍｓと交点Ｐｎとを結ぶ線分上の中点をプローブ部５ｂの中継点Ｐｒｂとして、その中継点Ｐｒｂの位置を特定する（ステップ１４４）。この場合、始点Ｐｍｓと交点Ｐｎとを結ぶ線分は、図形Ｆｅの輪郭Ｃｅとは交差していない。このため、中継点Ｐｒｂがこの線分上に位置している限り、始点Ｐｍｓから中継点Ｐｒｂにプローブ部５ｂを移動させる際にプローブ部５ｂがプローブ部５ａに接触することはない。
【００６２】
続いて、処理部７は、交点Ｐｎから中継点Ｐｒｂまでの距離Ｓを特定し、交点Ｐｎから中継点Ｐｒｂに向かう向きと平行な向きに移動開始点Ｐｉａから距離Ｓだけ離間した点を、プローブ部５ａの中継点Ｐｒａとして、その中継点Ｐｒａの位置を特定する（ステップ１４５）。
【００６３】
次いで、処理部７は、特定した中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂの各位置が、移動機構３によってプローブ部５ａ，５ｂを移動させることが可能な範囲内（検査エリア：以下、「プローブ部５ａ，５ｂの移動可能範囲」ともいう）内であるか否かを判別する（ステップ１４６）。この際に、処理部７は、中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂの各位置がプローブ部５ａ，５ｂの移動可能範囲内であると判別したときには、中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂの位置を示す中継点データＤ１０を生成して（ステップ１４８）、記憶部６に記憶させる。
【００６４】
一方、上記したステップ１４６において中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂの各位置がプローブ部５ａ，５ｂの移動可能範囲外であると判別したときには、処理部７は、始点Ｐｍｓと交点Ｐｎとを結ぶ線分上における上記した中点とは異なる位置に中継点Ｐｒｂを変更すると共に、中継点Ｐｒｂの変更に伴う上記した距離Ｓの変更に応じて中継点Ｐｒａを変更し（ステップ１４７）、続いて、ステップ１４６を再度実行する。この場合、変更後の中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂの位置がプローブ部５ａ，５ｂの移動可能範囲内であると判別したときには、上記したステップ１４８を実行する。一方、ステップ１４７を繰り返して実行しても中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂの各位置がプローブ部５ａ，５ｂの移動可能範囲内とならないとき、つまり、プローブ部５ａ，５ｂの移動可能範囲内となる中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂが存在しないときには、中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂが存在しないことを示す中継点データＤ１０を生成して（ステップ１４８）、記憶部６に記憶させる。
【００６５】
続いて、処理部７は、上記したステップ１４１〜１４８を実行して、中間点特定処理１２０において中間点Ｐｍが存在しないと判別した他の被接触点Ｐｃについて、中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂの特定または中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂが存在しないことの特定を行い、全ての被接触点Ｐｃについての特定が終了したときには、中継点特定処理１４０を終了する。
【００６６】
なお、上記したステップ１４７を繰り返して実行してもプローブ部５ａ，５ｂの移動可能範囲内となる中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂが始点Ｐｍｓと交点Ｐｎとを結ぶ線分上に存在しないときには、始点Ｐｍｓと交点Ｐｎとを結ぶ線分上以外でかつ図形Ｆｅを除く領域において、第３移動制御を実行することによって各プローブ部５同士が干渉しないとの条件を満たし、かつプローブ部５ａ，５ｂの移動可能範囲内となる中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂが存在するか否かを判別し、該当する中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂが存在するときには、その中継点Ｐｒａ，Ｐｒｂの位置を示す中継点データＤ１０を生成する構成および方法を採用することもできる。
【００６７】
次いで、処理部７は、最初に接触させるべき一対の被接触点Ｐｃの第４位置データＤ４を記憶部６から読み出すと共に、その被接触点Ｐｃについての判定結果データＤ７を記憶部６から読み出す。この場合、判定結果データＤ７に示される判定結果が、各プローブ部５同士が干渉しないことを示す判定結果であるときには、処理部７は、その被接触点Ｐｃについての判定結果データＤ８を記憶部６から読み出す。この場合、判定結果データＤ８に示される判定結果が、第１移動制御の実行時に各プローブ部５同士が干渉しないことを示す判定結果であるときには、処理部７は、移動機構３に対する第１移動制御を実行して、各被接触点Ｐｃに各プローブ部５の各プローブピン５１をそれぞれ接触させる。
【００６８】
この場合、この基板検査装置１では、上記した特定処理７０によって各被接触点Ｐｃの位置を特定しているため、基板５０の変形等によって各被接触点Ｐｃの位置が変化している場合においても、各被接触点Ｐｃに各プローブ部５の各プローブピン５１を確実に接触させることが可能となっている。また、この基板検査装置１では、上記したように、第２判定処理１００を実行することで、各プローブ部５を移動させる際の各プローブ部５同士の干渉の有無を的確に判定することができ、各プローブ部５同士が干渉しないと判定されたときには、移動開始点Ｐｉと被接触点Ｐｃとを直線的に移動させる第１移動制御を実行する。このため、この基板検査装置１では、第１移動制御の実行時にプローブ部５同士が干渉するか否かに拘わらず迂回経路でプローブ部５を移動させる構成および方法と比較して、プローブピンの移動に要する時間を短縮することができるため検査効率を向上させることが可能となっている。
【００６９】
続いて、処理部７は、測定処理を実行する。この測定処理では、処理部７は、各プローブ部５を介して測定用の電気信号（例えば、電流）を各被接触点Ｐｃに供給すると共に、測定用の電気信号の供給に伴って各プローブ部５を介して入力した電気信号（例えば、電圧）に基づいて物理量（例えば、抵抗）を測定する。次いで、処理部７は、測定した物理量に基づいて基板５０を検査する。この場合、この基板検査装置１では、上記したように各被接触点Ｐｃに各プローブ部５を確実に接触させることが可能となっているため、物理量の測定、およびその物理量に基づく基板５０の検査を正確に行うことが可能となっている。
【００７０】
一方、判定結果データＤ７に示される判定結果が、各プローブ部５同士が干渉することを示す判定結果であるときには、処理部７は、それらの被接触点Ｐｃに対して各プローブピン５１を接触させる処理を中止して、次の一対の被接触点Ｐｃに対する接触を行わせ、測定処理および基板５０の検査を行う。このような処理を行うことにより、この基板検査装置１では、各プローブ部５同士の干渉によってプローブ部５が破損する事態を確実に防止することが可能となっている。
【００７１】
また、判定結果データＤ８に示される判定結果が、第１移動制御の実行時に各プローブ部５同士が干渉することを示す判定結果であるときには、処理部７は、その被接触点Ｐｃについての中間点データＤ９を記憶部６から読み出す。続いて、中間点データＤ９に示される中間点Ｐｍを用いて移動機構３に対する上記した第２移動制御を実行して各被接触点Ｐｃに各プローブ部５の各プローブピン５１をそれぞれ接触させ、測定処理および基板５０の検査を行う。このような処理を行うことにより、第１移動制御の実行時には各プローブ部５同士が干渉する被接触点Ｐｃであっても、第２移動制御を実行することで、各プローブ部５同士を干渉させることなく、各被接触点Ｐｃに各プローブ部５の各プローブピン５１をそれぞれ接触させることができる。
【００７２】
一方、被接触点Ｐｃについての中間点データＤ９に示される情報が、中間点Ｐｍが存在しないことを示すものであるときには、処理部７は、その被接触点Ｐｃについての中継点データＤ１０を記憶部６から読み出す。次いで、中継点データＤ１０に示される中継点Ｐｒを用いて移動機構３に対する上記した第３移動制御を実行して各被接触点Ｐｃに各プローブ部５の各プローブピン５１をそれぞれ接触させ、測定処理および基板５０の検査を行う。このような処理を行うことにより、第１移動制御の実行時には各プローブ部５同士が干渉し、かつ第２移動制御の実行が可能な中間点Ｐｍが存在しない被接触点Ｐｃであっても、第３移動制御を実行することで、各プローブ部５同士を干渉させることなく、各被接触点Ｐｃに各プローブ部５の各プローブピン５１をそれぞれ接触させることができる。一方、被接触点Ｐｃについての中継点データＤ１０に示される情報が、中継点Ｐｒが存在しないことを示すものであるときには、処理部７は、その被接触点Ｐｃに対して各プローブピン５１を接触させる処理を中止して、次の一対の被接触点Ｐｃに対する接触を行わせ、測定処理および基板５０の検査を行う。
【００７３】
以下、同様にして、処理部７は、他の被接触点Ｐｃに対して各プローブ部５の各プローブピン５１を接触させる処理および測定処理を実行して基板５０を検査する。
【００７４】
このように、この判定装置、基板検査装置１および判定方法では、プローブ部５ｂの図形Ｆｂを反転した図形Ｆｃの基準点Ｐｓｃをプローブ部５ａの図形Ｆａの輪郭Ｃａに沿って移動させたときに図形Ｆｃの輪郭Ｃｃによって描かれる図形Ｆｄを幅Ｗだけを拡大させた図形Ｆｅを想定し、第１移動制御を実行する際の他方のプローブ部５に対する一方のプローブ部５の相対的な移動軌跡Ｌｍを想定し、図形Ｆｅの基準点Ｐｓｅが移動開始点Ｐｉａに位置しているときの図形Ｆｅと移動軌跡Ｌｍとの位置関係に基づいて第１移動制御の実行時における各プローブ部５同士の干渉の有無を判定する。このため、この判定装置、基板検査装置１および判定方法では、第１移動制御の実行時における各プローブ部５同士の干渉の有無を的確に判定することができ、各プローブ部５同士が干渉しないと判定されたときには、移動開始点Ｐｉと被接触点Ｐｃとを直線的に移動させる第１移動制御を実行させることができる。したがって、この判定装置、基板検査装置１および判定方法によれば、第１移動制御の実行時にプローブ部５同士が干渉するか否かに拘わらず迂回経路でプローブ部５を移動させる構成および方法と比較して、各プローブ部５の移動に要する時間を短縮することができる結果、検査効率を十分に向上させることができる。
【００７５】
また、この判定装置、基板検査装置１および判定方法によれば、図形Ｆｅが存在する平面を分割した複数の分割領域Ａのいずれに移動軌跡Ｌｍが属しているかに基づいて各プローブ部５同士の干渉の有無を処理部７が判定することにより、図形Ｆｅを構成する線と移動軌跡Ｌｍとが交差するか否かに基づいて各プローブ部５同士の干渉の有無を判定する構成および方法と比較して、短時間で判定を行うことができるため、第２判定処理１００の効率を十分に向上させることができる。
【００７６】
また、この判定装置、基板検査装置１および判定方法では、図形Ｆｅの輪郭Ｃｅを構成する線と移動軌跡Ｌｍとが交差するか否かに基づいて各プローブ部５同士の干渉の有無を処理部７が判定する。この場合、図形Ｆｅの輪郭Ｃｅを構成する線と移動軌跡Ｌｍとが交差したときには、図形Ｆｅに移動軌跡Ｌｍの少なくとも一部が属していることとなり、このときには、各プローブ部５同士が干渉することとなる。したがって、この判定装置、基板検査装置１および判定方法によれば、図形Ｆｅが存在する平面を分割した複数の分割領域Ａのいずれに移動軌跡Ｌｍが属しているかに基づいて各プローブ部５同士の干渉の有無を判定する方法では判定が困難な場合であっても、干渉の有無を確実に判定することができる。また、この判定装置、基板検査装置１および判定方法によれば、分割領域Ａのいずれに移動軌跡Ｌｍが属しているかに基づいて各プローブ部５同士の干渉の有無を判定する方法と組み合わせることで、第２判定処理１００の効率を十分に向上させつつ判定精度を十分に向上させることができる。
【００７７】
また、この判定装置、基板検査装置１および判定方法によれば、第１移動制御の実行時に各プローブ部５同士が干渉すると判定したときに、第２移動制御を実行することによって各プローブ部５同士が干渉しないとの条件を満たす中間点Ｐｍを特定する中間点特定処理１２０を処理部７が実行することにより、第１移動制御ではプローブ部５のプローブピン５１を接触させることが困難な被接触点Ｐｃにプローブピン５１を確実に接触させることができる。
【００７８】
また、この判定装置、基板検査装置１および判定方法によれば、中間点特定処理１２０において、移動軌跡Ｌｍの終点Ｐｍｅを通って図形Ｆｅの外周に接する直線Ｌ６とプローブ部５ｂの移動開始点Ｐｉｂおよび被接触点Ｐｃｂを結ぶ線分Ｐｉｂ−Ｐｃｂとの交点を中間点Ｐｍとして特定することにより、第２移動制御において各プローブ部５同士が干渉しないとの条件を確実に満たす中間点Ｐｍを確実かつ容易に特定することができる。
【００７９】
また、この判定装置、基板検査装置１および判定方法によれば、中間点特定処理１２０において中間点Ｐｍが存在しないと判別したときに、第３移動制御を実行することによって各プローブ部５同士が干渉しないとの条件を満たす中継点Ｐｒを特定する中継点特定処理１４０を処理部７が実行することにより、第１移動制御および第２移動制御ではプローブ部５のプローブピン５１を接触させることが困難な被接触点Ｐｃにプローブピン５１を確実に接触させることができる。
【００８０】
なお、判定装置、基板検査装置および判定方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、判定装置を基板検査装置１に組み込んだ（基板検査装置１の記憶部６および処理部７が判定装置として機能する）構成例について上記したが、基板検査装置１から独立した判定装置を構成することもできる。この場合、このような独立した判定装置を用いることで、基板５０の設計段階で各被接触点Ｐｃの位置を決定する際に、各被接触点Ｐｃにおける各プローブ部５同士の干渉の有無の判定を行い、各被接触点Ｐｃの位置の妥当性を検討することができる。また、独立した判定装置を用いて、基板５０の設計段階で、第１移動制御の実行時における各プローブ部５同士の干渉の有無を判定し、第１移動制御ではプローブ部５同士の干渉する被接触点Ｐｃについては、第２移動制御を行う際の中間点Ｐｍや、第３移動制御を行う際の中継点Ｐｒを特定して中間点データＤ９や中継点データＤ１０を予め作成することもできる。
【００８１】
また、上記例では、図形Ｆｄを拡大させる際の幅Ｗを、図形Ｆａの基準点Ｐｓａから輪郭Ｃａまでの最短距離に相当する幅としたが、幅Ｗは、これに限定されない。この場合、幅Ｗは、各図形Ｆａ〜Ｆｅの形状や各基準点Ｐｓの位置の誤差を吸収するために設けるものであり、幅Ｗを設けることで、このような誤差があったとしても、各プローブ部５同士が確実に干渉しないときにのみ、干渉しない旨を判定することができる。このため、各図形Ｆａ〜Ｆｅの形状や各基準点Ｐｓの位置を特定する際の精度に応じて、最適の幅Ｗを採用することができる。
【００８２】
また、例えば、プローブピン５１を１本だけ備えたプローブ部についての図形Ｆｅが、図１６に示すように先端部が円弧状をなす形状である場合には、第２判定処理１００において、第１移動制御の実行時におけるプローブ部５同士の干渉の有無を次のようにして判定することができる。まず、同図に示すように、第２判定処理１００における上記したステップ１０１〜１０４を実行して移動軌跡Ｌｍを想定し、続いて、上記したステップ１０５を実行して図形Ｆｅを想定する。次いで、上記したステップ１０６〜１０８に替えて、図形Ｆｅと移動軌跡Ｌｍとの位置関係が第４条件に該当するか否かを判別する。この場合、同図に示すように、図形Ｆｅの基準点Ｐｓｅ（プローブピン５１の先端）から移動軌跡Ｌｍまでの最短距離が図形Ｆｅにおける円弧部分の半径よりも短く、かつ移動軌跡Ｌｍの始点Ｐｍｓおよび終点Ｐｍｅをそれぞれ通って移動軌跡Ｌｍに対して垂直な２本の直線Ｌ９，Ｌ１０で区画された帯状の領域Ａ７内に基準点Ｐｓｅが属しているとの条件を第４条件とする。同図に示す例では、図形Ｆｅと移動軌跡Ｌｍとの位置関係が第４条件に該当している。このため、この例では、処理部７は、第１移動制御の実行時に各プローブ部５同士が干渉すると判定する。
【００８３】
また、上記の例では、図７に示すように、プローブピン５１の先端部の位置に相当する基準点Ｐｓが輪郭Ｃ（支持部５２の輪郭）の内側に位置するプローブ部５を用いている基板検査装置１に適用しているが、基準点Ｐｓ（プローブピン５１の先端部）が支持部５２の輪郭の外側に位置するプローブ部５を用いる構成に適用することもできる。
【符号の説明】
【００８４】
１  基板検査装置
３  移動機構
５ａ，５ｂ  プローブ部
７  処理部
５０  基板
５１  プローブピン
１００  第２判定処理
１２０  中間点特定処理
１４０  中継点特定処理
Ａ１〜Ａ７  分割領域
Ｃａ〜Ｃｃ  輪郭
Ｆａ〜Ｆｅ  図形
Ｌ１〜Ｌ１０  直線
Ｌｍ  移動軌跡
Ｐｃａ，Ｐｃｂ  被接触点
Ｐｉａ，Ｐｉｂ  移動開始点
Ｐｍ  中間点
Ｐｒａ，Ｐｒｂ  中継点
Ｐｓａ〜Ｐｓｃ，Ｐｓｅ  基準点
Ｗ  幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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