(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の流路側ポートを有する流体処理装置に装着される弁装置であって、
弁室を区画するとともに前記弁室と前記複数の流路側ポートとをそれぞれ個別に連通させるための複数の弁側ポートが形成された弁本体と、
前記複数の弁側ポートの少なくとも１つを開閉する弁体と、
前記弁本体と前記流体処理装置との間に装着されるガスケットとを含み、
前記弁本体は、前記流体処理装置への装着面を有し、前記装着面には、前記ガスケットを装着するための凹部が形成され、前記複数の弁側ポートはそれぞれ前記弁室から前記凹部を貫通して形成されており、
前記ガスケットは、弾性材料によって形成され、前記凹部の深さよりも大きな厚みを有しており、前記凹部への装着状態において、前記複数の流路側ポートと前記複数の弁側ポートとをそれぞれ個別に連通させるための空間を提供する複数の貫通孔を有し、
前記複数の貫通孔はそれぞれ、前記ガスケットの厚さ方向から視て、前記貫通孔に連通している前記弁側ポートの開口部を包摂するとともに、前記開口部の外側領域に拡張した孔輪郭を有することを特徴とする弁装置。
【請求項２】
各貫通孔の前記孔輪郭が、前記ガスケットの厚さ方向から視て、前記貫通孔に連通している前記弁側ポートの前記開口部の輪郭線から外方に離間している請求項１記載の弁装置。
【請求項３】
各貫通孔の前記孔輪郭は、楕円状又は長円状である請求項１又は２記載の弁装置。
【請求項４】
前記複数の弁側ポートの各ポート中心は、前記ガスケットの厚さ方向から視て、同一直線上に並んで配置され、各貫通孔の前記孔輪郭は、各ポート中心が並ぶ方向に沿って長い楕円状又は長円状である請求項３記載の弁装置。
【請求項５】
前記弁本体には３つの弁側ポートが形成され、前記弁体は、前記弁本体と共に前記弁室を区画するダイアフラムを含むとともに、支持軸を中心としてシーソー状に揺動して前記３つの弁側ポートのうちの２つの弁側ポートを開閉するように構成されている請求項１又は２記載の弁装置。
【請求項６】
前記２つの弁側ポートに連通する各貫通孔の前記孔輪郭は、前記支持軸に垂直な方向である前記弁本体の長手方向に沿って長い楕円状又は長円状である請求項５に記載の弁装置。
【請求項７】
前記３つの弁側ポートの各ポート中心は、前記ガスケットの厚さ方向から視て、同一直線上に並んで配置され、各貫通孔の前記孔輪郭は、前記支持軸に垂直な方向である前記弁本体の長手方向に沿って長い楕円状又は長円状である請求項６に記載の弁装置。
【請求項８】
前記３つの弁側ポートのうち、前記２つの弁側ポートとは異なる残余の弁側ポートに連通する前記貫通孔の前記孔輪郭は、前記支持軸に平行な方向である前記弁本体の短手方向に拡張されている請求項６に記載の弁装置。
【請求項９】
前記弁体を駆動する駆動手段をさらに具える請求項１乃至８のいずれかに記載の弁装置。
【請求項１０】
前記駆動手段は、電磁力を発生するコイルを含む請求項９記載の弁装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検体又は試薬等に流体を用いた各種の分析に使用される化学検査装置、環境分析装置又は生命工学研究機器などの流体処理装置に装着される弁装置及びそれに用いられるガスケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
上記各種の流体処理装置では、測定精度の向上、検査速度の向上、検体、試薬の極小化、装置の小型化などが重要課題とされており、測定に用いられる流体の流量制御には、高精度な弁装置が用いられている。流体処理装置と弁装置との間には、例えば、特許文献１に示されるような流体漏れを防止するためのガスケットが装着されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０７−３５８５７号公報
【０００４】
上記各種の流体処理装置には流路側ポートが設けられ、弁装置の弁本体には弁側ポートが設けれている。ガスケットには、流路側ポートと弁側ポートとを連通する貫通孔が形成されている。
【０００５】
各流体処理装置は、その構成等に応じて個別に流路側ポートが設計されているため、通常、流路側ポートの開口部の位置は、それぞれ相違している。従って、弁装置は、様々な種類の流体処理装置に互換適合するよう設計されていることが望ましい。しかしながら、このような弁装置には、各流体処理装置の流路側ポートの開口部の位置にそれぞれ対応する弁側ポートを備えた複数種類の弁本体が必要とされるため、弁装置のコストダウンを阻む一因となっている。また、弁側ポートの位置に応じて弁本体及び弁体等の構成の変更が必要となり、弁装置のコストアップの一因となっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、以上のような実状に鑑み案出されたもので、流路側ポートの開口部の位置が異なる各種の流体処理装置への弁本体の互換適合性が高められた弁装置を提供することを主たる目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、第１流路側ポートを有する流体処理装置に装着される弁装置であって、弁室を区画するとともに前記弁室と前記第１流路側ポートと連通させるための第１弁側ポートが形成された弁本体と、前記第１弁側ポートを開閉する弁体と、前記弁本体と前記流体処理装置との間に装着されるガスケットとを含み、前記ガスケットは、前記第１流路側ポートと前記第１弁側ポートとに間に、これらを互いに連通させるための空間を提供する第１貫通孔を有し、前記第１流路側ポートの開口部と、前記第１弁側ポートの開口部とは、前記ガスケットの厚さ方向から視て、互いに異なる位置に設けられており、前記第１貫通孔は、前記ガスケットの厚さ方向から視て、前記第１流路側ポートの開口部及び前記第１弁側ポートの開口部を包摂するとともに、前記第１流路側ポートの開口部及び前記第１弁側ポートの開口部の外側領域に拡張した孔輪郭を有することを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る前記弁装置において、前記第１流路ポートの開口部と、前記第１弁側ポートの開口部とは、前記ガスケットの厚さ方向から視て、重なることなく完全に離れていることが望ましい。
【０００９】
本発明に係る前記弁装置において、前記ガスケットの前記第１貫通孔の前記孔輪郭は、楕円状又は長円状であることが望ましい。
【００１０】
本発明に係る前記弁装置において、前記流体処理装置は、第２流路側ポートを有し、前記弁本体には、前記第２流路側ポートと連通させるための第２弁側ポートが形成されており、前記ガスケットは、前記第２流路側ポートと前記第２弁側ポートとに間に、これらを互いに連通させるための空間を提供する第２貫通孔を有し、前記第２流路側ポートの開口部と、前記第１弁側ポートの開口部とは、前記ガスケットの厚さ方向から視て、互いに異なる位置に設けられており、前記第２貫通孔は、前記ガスケットの厚さ方向から視て、前記第２流路側ポートの開口部及び前記第２弁側ポートの開口部を包摂するとともに、前記第２流路側ポートの開口部及び前記第２弁側ポートの開口部の外側領域に拡張した孔輪郭を有することが望ましい。
【００１１】
本発明に係る前記弁装置において、前記流体処理装置は、第３流路側ポートを有し、前記弁本体には、前記第３流路側ポートと連通させるための第３弁側ポートが形成されており、前記ガスケットは、前記第３流路側ポートと前記第３弁側ポートとに間に、これらを互いに連通させるための空間を提供する第３貫通孔を有し、前記第３貫通孔は、前記ガスケットの厚さ方向から視て、前記第３流路側ポートの開口部及び前記第３弁側ポートの開口部を包摂するとともに、前記第３流路側ポートの開口部及び前記第３弁側ポートの開口部の外側領域に拡張した孔輪郭を有することが望ましい。
【００１２】
本発明に係る前記弁装置において、前記第１弁側ポート、前記第２弁側ポート及び前記第３弁側ポートの各ポート中心は、前記ガスケットの厚さ方向から視て、同一直線上に並ぶことなく配されていることが望ましい。
【００１３】
本発明に係る前記弁装置において、前記弁体は、前記弁本体と共に前記弁室を区画するダイアフラムを含むことが望ましい。
【００１４】
本発明に係る前記弁装置において、前記弁体を駆動する駆動手段をさらに具えることが望ましい。
【００１５】
本発明に係る前記弁装置において、前記駆動手段は、電磁力を発生するコイルを含むことが望ましい。
【００１６】
本発明の第２発明は、流路側ポートを有する流体処理装置と、弁側ポートが形成された弁本体との間に装着されるガスケットであって、前記流路側ポートと前記弁側ポートとに間に、これらを互いに連通させるための空間を提供する貫通孔を有し、前記流路側ポートの開口部と、前記弁側ポートの開口部とは、前記ガスケットの厚さ方向から視て、互いに異なる位置に設けられており、前記貫通孔は、前記ガスケットの厚さ方向から視て、前記流路側ポートの開口部及び前記弁側ポートの開口部を包摂するとともに、前記流路側ポートの開口部及び前記弁側ポートの開口部の外側領域に拡張した孔輪郭を有する
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の弁装置は、弁本体と流体処理装置との間に装着されるガスケットとを含み、ガスケットは、第１流路側ポートと第１弁側ポートとに間に第１貫通孔を有する。これにより、第１流路側ポートと第１弁側ポートとを互いに連通させるための空間が提供される。
【００１８】
第１流路側ポートの開口部と、第１弁側ポートの開口部とは、ガスケットの厚さ方向から視て、互いに異なる位置に設けられている。第１貫通孔は、ガスケットの厚さ方向から視て、第１流路側ポートの開口部及び第１弁側ポートの開口部を包摂する孔輪郭を有する。さらに、孔輪郭は、第１流路側ポートの開口部及び第１弁側ポートの開口部の外側領域に拡張して形成されている。これにより、第１流路側ポート開口部の位置が異なる各種の流体処理装置に弁装置が装着される場合であっても、第１流路側ポートと第１弁側ポートとが、第１貫通孔によって互いに連通される。従って、第１流路側ポートの開口部の位置が異なる各種の流体処理装置への弁本体の互換適合性が高められ、弁装置のコストダウンを図ることが可能となる。
【００１９】
本発明のガスケットは、弁本体と流体処理装置との間に装着され、流路側ポートと弁側ポートとに間に貫通孔を有する。これにより、流路側ポートと弁側ポートとを互いに連通させるための空間が提供される。
【００２０】
流路側ポートの開口部と、弁側ポートの開口部とは、ガスケットの厚さ方向から視て、互いに異なる位置に設けられている。貫通孔は、ガスケットの厚さ方向から視て、流路側ポートの開口部及び弁側ポートの開口部を包摂する孔輪郭を有する。孔輪郭は、流路側ポートの開口部及び弁側ポートの開口部の外側領域に拡張して形成されている。これにより、流路側ポート開口の位置が異なる各種の流体処理装置に弁装置が装着される場合であっても、流路側ポートと弁側ポートとが、貫通孔によって互いに連通される。従って、流路側ポート開口の位置が異なる各種の流体処理装置への弁本体の互換適合性が高められ、弁装置のコストダウンを図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係る弁装置の第１状態を示す断面図である。
【図２】図１の弁本体、ガスケット及び流路ブロックを弁体の側から視た平面図である。
【図３】図２に対して第１流路側ポートの位置が異なる流体処理装置に弁装置が装着された場合の弁本体、ガスケット及び流路ブロックの平面図である。
【図４】図１の弁本体を弁体の側から視た斜視図である。
【図５】図４の弁本体を流体処理装置の側から視た斜視図である。
【図６】図１のガスケットの斜視図である。
【図７】図１の弁装置の第２状態を示す断面図である。
【図８】図２のガスケットの変形例を、弁本体及び流路ブロックとともに示す平面図である。
【図９】図２に示される弁本体の変形例を、ガスケット及び流路ブロックとともに示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の一形態が図面に基づき説明される。
図１は、本実施形態の弁装置１の断面図である。図１に示されるように、本実施形態の弁装置１は、流体処理装置１００に装着され、流体処理装置１００に定量の流体を供給する。
【００２３】
流体処理装置１００は、流路が形成された流路ブロック１１０を有している。流路ブロック１１０は、流体処理装置１００の本体に装着されている。流路ブロック１１０は、弁装置１から供給された流体が流れる第１流路側ポート１１１を具える。
【００２４】
弁装置１は、弁本体２と、弁体３と、ガスケット４とを含む。弁本体２は、弁室２０を区画する。弁本体２には、第１弁側ポート２１が形成されている。第１弁側ポート２１は、
弁室２０と第１流路側ポート１１１とを連通させる。
【００２５】
弁体３は、第１弁側ポート２１を開閉する。これにより、弁室２０から第１流路側ポート１１１に流体が供給される。なお、図１では、第１弁側ポート２１が開放された第１状態が示されている。
【００２６】
ガスケット４は、弁本体２と流体処理装置１００との間に装着される。ガスケット４によって、弁本体２と流体処理装置１００との間の流体漏れが防止される。ガスケット４は、第１流路側ポート１１１と第１弁側ポート２１との間に、第１貫通孔４１を有する。第１貫通孔４１は、第１流路側ポート１１１と第１弁側ポート２１とを互いに連通させるための空間を提供する。
【００２７】
図２は、ガスケット４の厚さ方向Ｚ（図１参照）から視た、ガスケット４の平面図である。同図では、実線で描かれたガスケット４に、弁本体２の第１弁側ポート２１等が一点鎖線で、流体処理装置１００の第１流路側ポート１１１等が破線で、それぞれが重ね合わせて記載されている（以下、図３、８及び９についても同様とする）。
【００２８】
第１流路側ポート１１１の開口部１１１ａと、第１弁側ポート２１の開口部２１ａとは、ガスケット４の厚さ方向Ｚ（すなわち、流体の流れる方向）から視て、互いに異なる位置に設けられている。すなわち、開口部１１１ａと、開口部２１ａとは、弁本体２の長手方向Ｘにずれて配置されている。本実施形態では、図２に示されるように、第１流路側ポート１１１の開口部１１１ａと、第１弁側ポート２１の開口部２１ａとは、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、部分的に重なっている。
【００２９】
第１貫通孔４１は、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、互いに異なる位置に設けられている上記開口部１１１ａ及び開口部２１ａを包摂する輪郭部４４を有する。孔輪郭４４は、開口部１１１ａ及び開口部２１ａの外側領域に拡張して形成されている。
【００３０】
図３は、図２に対して第１流路側ポート１１１の開口部１１１ａの位置が異なる流路ブロック１１０を有する流体処理装置１００に弁装置１が装着された場合のガスケット４を示している。
【００３１】
図３に示される流路ブロック１１０では、開口部１１１ａの位置が、弁本体２の長手方向Ｘにずれて配置されている。本発明では、第１貫通孔４１は、開口部１１１ａ及び開口部２１ａを包摂し、その外側領域に拡張された孔輪郭４４を有するので、図３に示される場合であっても、第１流路側ポート１１１と第１弁側ポート２１とが、第１貫通孔４１によって互いに連通される。従って、開口部１１１ａの位置が異なる各種の流体処理装置１００への弁本体２の互換適合性が高められ、弁装置１のコストダウンを図ることが可能となる。
【００３２】
流体処理装置１００の仕様によっては、第１流路側ポート１１１の配置が異なり、開口部１１１ａと開口部２１ａとは、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、部分的に重なることなく、完全に離れていてもよい。本発明では、このような開口部１１１ａ及び開口部２１ａであっても、孔輪郭４４を有するガスケット４によって、第１流路側ポート１１１と第１弁側ポート２１とが、互いに連通される。
【００３３】
ガスケット４の第１貫通孔４１の孔輪郭４４は、楕円状又は長円状が望ましい。このような孔輪郭４４は、第１流路側ポート１１１と第１弁側ポート２１との間で流体漏れを効果的に防止すると共に、孔輪郭４４の拡張領域を大きく確保することが可能となる。
【００３４】
図１及び２に示されるように、流体処理装置１００の流路ブロック１１０は、第２流路側ポート１１２を有している。
【００３５】
弁本体２には、第２弁側ポート２２が形成されている。第２弁側ポート２２は、弁室２０と第２流路側ポート１１２とを連通させる。本実施形態では、第２弁側ポート２２は、常時開放されている。これにより、第２流路側ポート１１２から弁室２０に流体が供給される。
【００３６】
ガスケット４は、第２流路側ポート１１２と第２弁側ポート２２との間に、第２貫通孔４２を有する。第１貫通孔４１と第２貫通孔４２とは、隔壁４７によって隔てられる。第２貫通孔４２は、第２流路側ポート１１２と第２弁側ポート２２とを互いに連通させるための空間を提供する。
【００３７】
図２に示されるように、第２流路側ポート１１２の開口部１１２ａと、第２弁側ポート２２の開口部２２ａとは、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、互いに異なる位置に設けられている。すなわち、開口部１１２ａと、開口部２２ａとは、弁本体２の長手方向Ｘにずれて配置されている。本実施形態では、図２に示されるように、第２流路側ポート１１２の開口部１１２ａと、第２弁側ポート２２の開口部２２ａとは、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、部分的に重なることなく、完全に離れている。
【００３８】
第２貫通孔４２は、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、互いに異なる位置に設けられている上記開口部１１２ａ及び開口部２２ａを包摂する輪郭部４５を有する。孔輪郭４５は、開口部１１２ａ及び開口部２２ａの外側領域に拡張して形成されている。
【００３９】
これにより、図３に示されるように、第２流路側ポート１１２の開口部１１２ａの位置が図２とは異なる各種の流体処理装置１００に、弁装置１が装着される場合であっても、第２流路側ポート１１２と第２弁側ポート２２とが、第２貫通孔４２によって互いに連通される。従って、開口部１１２ａの位置が異なる各種の流体処理装置１００への弁本体２の互換適合性が高められ、弁装置１のコストダウンを図ることが可能となる。
【００４０】
流体処理装置１００の仕様によっては、第２流路側ポート１１２の配置が異なり、開口部１１２ａと開口部２２ａとは、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、部分的に重なっていてもよい。本発明では、このような開口部１１２ａ及び開口部２２ａであっても、孔輪郭４５を有するガスケット４によって、第２流路側ポート１１２と第２弁側ポート２２とが、互いに連通される。
【００４１】
ガスケット４の第２貫通孔４２の孔輪郭４５は、楕円状又は長円状が望ましい。このような孔輪郭４５は、第２流路側ポート１１２と第２弁側ポート２２との間で流体漏れを効果的に防止すると共に、孔輪郭４５の拡張領域を大きく確保することが可能となる。
【００４２】
図１及び２に示されるように、流体処理装置１００の流路ブロック１１０は、第３流路側ポート１１３を有している。第１流路側ポート１１１、第２流路側ポート１１２及び第３流路側ポート１１３は、同一直線上に並んで配置されている。
【００４３】
弁本体２には、第３弁側ポート２３が形成されている。第３弁側ポート２３は、弁室２０と第３流路側ポート１１３とを連通させる。第１弁側ポート２１、第２弁側ポート２２及び第３弁側ポート２３は、同一直線上に並んで配置されている。
【００４４】
弁体３は、第３弁側ポート２３を開閉する。これにより、弁室２０から第３流路側ポート１１３に流体が供給される。これにより、弁室２０から第３流路側ポート１１３に流体が供給される。なお、図１に示される第１状態では、第３弁側ポート２３は閉鎖されている。
【００４５】
ガスケット４は、第３流路側ポート１１３と第３弁側ポート２３との間に、第３貫通孔４３を有する。第２貫通孔４２と第３貫通孔４３とは、隔壁４８によって隔てられる。第３貫通孔４３は、第３流路側ポート１１３と第３弁側ポート２３とを互いに連通させるための空間を提供する。
【００４６】
図２に示されるように、第３流路側ポート１１３の開口部１１３ａと、第３弁側ポート２３の開口部２３ａとは、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、互いに異なる位置に設けられている。すなわち、開口部１１３ａと、開口部２３ａとは、弁本体２の長手方向Ｘにずれて配置されている。本実施形態では、図２に示されるように、第３流路側ポート１１３の開口部１１３ａと、第３弁側ポート２３の開口部２３ａとは、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、部分的に重なることなく、完全に離れている。
【００４７】
第３貫通孔４３は、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、互いに異なる位置に設けられている上記開口部１１３ａ及び開口部２３ａを包摂する輪郭部４６を有する。孔輪郭４６は、開口部１１３ａ及び開口部２３ａの外側領域に拡張して形成されている。
【００４８】
これにより、図３に示されるように、第３流路側ポート１１３の開口部１１３ａの位置が図２とは異なる各種の流体処理装置１００に、弁装置１が装着される場合であっても、第３流路側ポート１１３と第３弁側ポート２３とが、第３貫通孔４３によって互いに連通される。従って、開口部１１３ａの位置が異なる各種の流体処理装置１００への弁本体２の互換適合性が高められ、弁装置１のコストダウンを図ることが可能となる。
【００４９】
流体処理装置１００の仕様によっては、第３流路側ポート１１３の配置が異なり、開口部１１３ａと開口部２３ａとは、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、部分的に重なっていてもよい。本発明では、このような開口部１１３ａ及び開口部２３ａであっても、孔輪郭４６を有するガスケット４によって、第３流路側ポート１１３と第３弁側ポート２３とが、互いに連通される。
【００５０】
ガスケット４の第３貫通孔４３の孔輪郭４６は、楕円状又は長円状が望ましい。このような孔輪郭４６は、第３流路側ポート１１３と第３弁側ポート２３との間で流体漏れを効果的に防止すると共に、孔輪郭４６の拡張領域を大きく確保することが可能となる。
【００５１】
図４及び図５は、弁本体２を示している。弁本体２は、例えば、樹脂材料によって形成されている。第１弁側ポート２１及び第３弁側ポート２３の弁室２０側の開口部の周りには弁座２１ｂ及び弁座２３ｂが設けられている。弁座２１ｂ及び弁座２３ｂは、弁体３の側（図１参照）に突出して形成されている。
【００５２】
弁本体２は、弁室２０とは反対側に、流体処理装置１００への装着面２４を有する。装着面２４には、ガスケット４を装着するための凹部２５が形成されている。第１弁側ポート２１、第２弁側ポート２２及び第３弁側ポート２３は、弁室２０から凹部２５を貫通して形成されている。
【００５３】
図６は、ガスケット４を示している。ガスケット４は、例えば、ゴムなどの弾性材料によって形成されている。ガスケット４の外縁の形状は、凹部２５と対応するように形成されている。ガスケット４の厚さは、凹部２５の深さよりも大きく設定されている。第１貫通孔４１、第２貫通孔４２及び第３貫通孔４３が並ぶ方向に垂直な方向に突出する突出部４９を有している。突出部４９によって凹部２５へのガスケット４の装着向きが限定される。
【００５４】
第１貫通孔４１の周辺部４０のガスケット４の厚さ方向Ｚに垂直な方向の肉厚は、例えば、１mm以上が望ましい。このような周辺部４０は、第１貫通孔４１内を流れる流体の圧力に耐え、ガスケット４と弁本体２及び流路ブロック１１０との間からの流体漏れを効果的に防止する。第２貫通孔４２及び第３貫通孔４３の周辺部のガスケット４の厚さ方向Ｚに垂直な方向の肉厚についても上記と同様である。また、隔壁４７及び４８のガスケット４の厚さ方向Ｚに垂直な方向の肉厚についても上記と同様である。
【００５５】
図１に示されるように、本実施形態では、弁本体２には、弁体３を支持するためのサブブロック７が装着されている。弁体３は、ダイアフラム３１を含む。ダイアフラム３１は、弁本体２と共に弁室２０を区画する。ダイアフラム３１は、例えば、ゴムなどの弾性材料によって形成されている。
【００５６】
ダイアフラム３１は、外側に延出された外周部３１ａを有する。外周部３１ａは、弁本体２とサブブロック７とによって挟み込まれて保持・拘束されることにより弁本体２に密着する。これにより、弁室２０が密閉され、流体のリークが防止される。
【００５７】
弁装置１は、弁体３を駆動する駆動手段５をさらに具える。弁体３は、駆動手段５に駆動されることにより、支持軸３２を中心としてシーソー状に揺動する。これに伴い、ダイアフラム３１が、弁座２１ｂ又は弁座２３ｂの一方と密着し、他方と離間する。これにより、第１弁側ポート２１又は第３弁側ポート２３が開閉される。
【００５８】
駆動手段５は、第１プランジャー（可動鉄心）５１と、第２プランジャー５２と、第１コイルばね５３と、第２コイルばね５４と、ソレノイドコイル５５と、固定鉄心５６とを有する。
【００５９】
第１プランジャー５１は、第３弁側ポート２３の上方に配設されている。第１プランジャー５１は、ソレノイドコイル５５が巻回されるコイルボビン５７の内部に挿入されている。固定鉄心５６には、第１コイルばね５３が装填される凹部が形成されている。第１コイルばね５３の一端は、固定鉄心５６と当接し、他端は、第１プランジャー５１と当接する。第１コイルばね５３は、第１プランジャー５１を弁体３の第１当接部３６の側に押し下げ、これに伴い、第１プランジャー５１の先端部が、弁体３の第１当接部３６を押圧する。第１コイルばね５３のばね荷重は、第２コイルばね５４のばね荷重よりも大きく設定されている。
【００６０】
第２プランジャー５２は、第１弁側ポート２１の上方に配設されている。第２コイルばね５４の一端は、第２プランジャー５２と当接し、他端は、サブブロック７と当接する。第２コイルばね５４は、第２プランジャー５２を弁体３の第２当接部３７の側に押し下げ、これに伴い、第２プランジャー５２の先端部が、弁体３の第２当接部３７を押圧する。
【００６１】
ソレノイドコイル５５は、筒状のコイルボビン５７の周囲に巻回される。ソレノイドコイル５５は、通電により電磁力を発生する。ソレノイドコイル５５には、第１コイルばね５３の荷重と第２コイルばね５４の荷重の差よりも大きな電磁力を発生するように、所定の電流が流される。第１プランジャー５１、第１コイルばね５３、ソレノイドコイル５５、固定鉄心５６及びコイルボビン５７は、フレーム８に収容されている。このうち、ソレノイドコイル５５、固定鉄心５６及びコイルボビン５７は、フレーム８に固定されている。一方、第２プランジャー５２及び第２コイルばね５４は、弁体３とともにサブブロック７の内部に収容されている。
【００６２】
以下、弁装置１の開閉動作が説明される。既に述べたように、第１コイルばね５３のばね荷重は、第２コイルばね５４のばね荷重よりも大きいので、第１コイルばね５３が発生する弾性力は、第２コイルばね５４が発生する弾性力よりも大きい。そのため、通常時においては、ダイアフラム３１の姿勢は、図１に示されるように、図中反時計回りに回動された姿勢で維持され、第３弁側ポート２３が閉鎖され、第１弁側ポート２１が開放される。これに伴い、矢印Ａにて示されるように、第２弁側ポート２２から弁室２０に流れ込んだ流体は、第１弁側ポート２１から流体処理装置１００の第１流路側ポート１１１に送り込まれる。
【００６３】
図７は、第３弁側ポート２３が開放された第２状態の弁装置１を示している。ソレノイドコイル５５に所定の電流が流れると、その電磁力によって第１プランジャー５１が第１コイルばね５３を圧縮する方向に移動する。このとき、第２プランジャー５２の先端部が弁体３の第２当接部３７を押圧しているので、ダイアフラム３１が時計回りに回動され、第１弁側ポート２１が閉鎖され、第３弁側ポート２３が開放される。これに伴い、矢印Ｂにて示されるように、第２弁側ポート２２から弁室２０に流れ込んだ流体は、第３弁側ポート２３から流体処理装置１００の第３流路側ポート１１３に送り込まれる。
【００６４】
図８は、図２に示されるガスケット４の変形例であるガスケット４Ａを示している。
【００６５】
ガスケット４Ａは、第２貫通孔４２Ａが弁本体２の短手方向Ｙに拡張された孔輪郭４５Ａを有している点で、ガスケット４とは異なる。本実施形態では、第２貫通孔４２Ａは、突出部４９の側に拡張されている。これにより、孔輪郭４５Ａは、ガスケット４の厚さ方向Ｚから視て、略Ｌ字状に形成されている。
【００６６】
上述したガスケット４Ａを用いることにより、第２流路側ポート１１２Ａの中心が第１流路側ポート１１１及び第３流路側ポート１１３の各中心に対して弁本体２の短手方向Ｙにずれて配置された流路ブロック１１０Ａにも、弁本体２が装着可能とされる。すなわち、ガスケット４Ａを用いることにより、第１流路側ポート１１１、第２流路側ポート１１２Ａ及び第３流路側ポート１１３の各ポート中心が厚さ方向Ｚから視て、同一直線上に並ぶことなく配されている流路ブロック１１０Ａにも、弁本体２が装着可能とされる。
【００６７】
ガスケット４Ａでは、上記第２貫通孔４２Ａと同様に、第１貫通孔４１の孔輪郭４４が、弁本体２の短手方向Ｙに拡張されていてもよい。さらには、第３貫通孔４３の孔輪郭４６が、弁本体２の短手方向Ｙに拡張されていてもよい。このようなガスケット４Ａを用いることにより、第１流路側ポート１１１、第２流路側ポート１１２又は第３流路側ポート１１３の各ポート中心が、厚さ方向Ｚから視て、同一直線上に並ぶことなく配されている流路ブロック１１０Ａにも、弁本体２が装着可能とされる。
【００６８】
図９は、図２に示される弁本体２の変形例である弁本体２Ｂの各ポート２１、２２Ｂ、２３を、ガスケット４Ｂ等とともに示している。
【００６９】
弁本体２Ｂは、第２弁側ポート２２Ｂの中心が、第１弁側ポート２１及び第３弁側ポート２３の各中心に対して、弁本体２Ｂの短手方向Ｙにずれて配置されている点で、図２に示される弁本体２とは異なる。上述したガスケット４Ａと同等の構成のガスケット４Ｂを用いることにより、上記弁本体２Ｂが各ポートの開口部の位置が異なる流路ブロック１１０に装着可能とされる。すなわち、ガスケット４Ｂを用いることにより、第２弁側ポート２２Ｂの中心が第１弁側ポート２１及び第３弁側ポート２３の各中心に対して弁本体２Ｂの短手方向Ｙにずれて配置されている弁本体２Ｂが流路ブロック１１０に装着可能とされる。
【００７０】
弁本体２Ｂでは、上記第２弁側ポート２２Ｂと同様に、第１弁側ポート２１の中心が、第２弁側ポート２２及び第３弁側ポート２３の各中心に対して、弁本体２Ｂの短手方向Ｙにずれて配置されていてもよい。この場合、第１貫通孔４１の孔輪郭４４が、弁本体２の短手方向Ｙに拡張されたガスケット４Ｂが用いられる。
【００７１】
また、第３弁側ポート２３の中心が、第１弁側ポート２１及び第２弁側ポート２２の各中心に対して、弁本体２Ｂの短手方向Ｙにずれて配置されていてもよい。この場合、第３貫通孔４３の孔輪郭４６が、弁本体２の短手方向Ｙに拡張されたガスケット４Ｂが用いられる。
【００７２】
以上、本発明の弁装置及びガスケットが詳細に説明されたが、本発明は上記の具体的な実施形態に限定されることなく種々の態様に変更して実施される。
【符号の説明】
【００７３】
１    弁装置
２    弁本体
３    弁体
４    ガスケット
５    駆動手段
２０    弁室
２１    第１弁側ポート
２１ａ  開口部
４１    第１貫通孔
４４    孔輪郭
１００    流体処理装置
１１１    第１流路側ポート
１１１ａ  開口部
【図１】
0006601013.tif 000002
【図２】
0006601013.tif 000003
【図３】
0006601013.tif 000004
【図４】
0006601013.tif 000005
【図５】
0006601013.tif 000006
【図６】
0006601013.tif 000007
【図７】
0006601013.tif 000008
【図８】
0006601013.tif 000009
【図９】
0006601013.tif 000010