(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力された画像データの各画素を複数の光ビームで露光対象物に主走査方向と副走査方向に沿って照射して書き込む露光装置であって、
前記画像データの各画素の輝度値を所定の設定に基づいて補正する画像処理回路と、
前記画像処理回路から送られた補正後の画像データに基づいて、前記露光対象物上において前記副走査方向に沿って互いに隣接した異なる露光位置をそれぞれ照射する複数の光ビームを発生し、前記複数の光ビームを前記主走査方向に走査する発光装置とを備え、
前記画像処理回路は、
前記複数の光ビームの各露光位置が、前記副走査方向に沿って延在する露光領域のエッジに含まれるとき、前記各露光位置間の距離に応じて、前記各露光位置に対応する各画素の輝度値を補正し、
前記複数の光ビームのうちの１つの光ビームの露光位置が、前記主走査方向に沿って延在する露光領域のエッジに含まれるとき、前記各露光位置の等間隔の基準位置からの当該露光位置のずれに応じて、当該露光位置に対応する画素の輝度値を補正する、
露光装置。
【請求項２】
請求項１に記載の露光装置であって、
前記画像処理回路は、補正対象の画素に対応する露光位置が、前記副走査方向に沿って延在する露光領域のエッジに含まれる場合に、前記補正対象の画素の輝度値を補正すると予め決められた最大輝度値を超えるとき、かつ、前記補正対象の画素の隣接画素が予め決められた最小輝度値を有するとき、前記補正対象の画素の輝度値を前記最大輝度値に設定し、前記隣接画素の輝度値を増加することを特徴とする露光装置。
【請求項３】
請求項１に記載の露光装置であって、
前記画像処理回路は、補正対象の画素に対応する露光位置が、前記主走査方向に沿って延在する露光領域のエッジに含まれる場合に、前記補正対象の画素の輝度値を補正すると予め決められた最大輝度値を超えるとき、かつ、前記補正対象の画素の隣接画素が予め決められた最小輝度値を有するとき、前記補正対象の画素の輝度値を前記最大輝度値に設定し、前記隣接画素の輝度値を増加することを特徴とする露光装置。
【請求項４】
請求項１〜３のうちの１つに記載の露光装置であって、前記露光対象物が、少なくとも２つの露光領域及び少なくとも１つの非露光領域を有するプリント配線基板である場合に、
前記画像処理回路は、補正対象の画素の輝度値が補正により予め決められた最大輝度値を超えるとき、かつ、前記補正対象の画素の隣接画素が予め決められた最小輝度値を有するとき、かつ、前記隣接画素の輝度値を増加させても、前記各露光領域間の距離が前記プリント配線基板の配線間の距離の予め決められたしきい値を超えるとき、前記隣接画素の輝度値を増加させることを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ビーム露光装置、光ビーム露光装置を備えた電子機器、及び光ビーム露光装置の動作方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばプリント基板などの対象物を光ビームで露光する基板直描露光装置などの光ビーム露光装置が知られている。一般に、光ビーム露光装置は、画像データに基づいて変調された光ビームを発生する光源と、発生された光ビームを偏向する光学系とを備え、光ビームにより対象物を走査して画像データの像を対象物に書き込む。近年では、光源として複数のレーザ光源又はＬＥＤ光源などのアレイを備えた光ビーム露光装置がある。
【０００３】
副走査方向に並んだ複数の光源からの光ビームによって主走査方向の複数の走査線（ライン）をそれぞれ露光する場合、光学系の誤差及び製造上の限界などにより、これらの光ビームによって露光される露光位置の精度にばらつきが生じることがある。隣接した光ビームが互いに近づくと、これらの光ビームの露光位置間の領域がより大きく露光され、互いに遠ざかると、より小さく露光される。従って、対象物に書き込まれた像において、副走査方向の線（縦線）にがたつきが出たり、主走査方向の線（横線）の幅が不均一になったりすることがある。言い換えると、対象物上の基準位置（例えば、対象物上の副走査方向に沿った等間隔の位置）からの各露光位置のずれに起因して、対象物上の露光領域（画像データの非ゼロの輝度値を有する画素の領域に対応する部分）の輪郭形状が変化する。
【０００４】
各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制するために、露光位置間の距離と、副走査方向に延在する露光領域に対応する画素値の連続性とに応じて、各光ビームの露光エネルギーを変化させて濃度のむらを補正することが既に知られている。
【０００５】
特許文献１は、主走査方向の複数のラインの位置変動（すなわち、ライン間距離の変動）に起因して発生する光量むらを減少させる目的で、大幅なコストアップをもたらすことなく、ハードウェア技術で光量を補正することを開示している。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の発明では、副走査方向に連続した複数の画素の光量むらを減少させるように各画素の光量を補正するが、主走査方向に連続した複数の画素の光量は補正対象ではなく、主走査方向では、補正対象の画素の隣接画素の有無のみが考慮される。また、特許文献１の発明では、斜め方向（主走査方向及び副走査方向の間の方向）に連続する複数の画素の光量も補正対象ではない。また、特許文献１の発明では、各画素が３値以上の階調の画素値（輝度値）を有する場合が考慮されていない。従って、特許文献１の発明により画像データの各画素の画素値を補正しても、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を十分に抑制することができない。
【０００７】
本発明の目的は、複数の光ビームにより複数の露光位置を照射する場合、かつ、画像データの各画素が３値以上の階調の輝度値を有する場合に、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制することができる光ビーム露光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の態様に係る露光装置は、
入力された画像データの各画素を複数の光ビームで露光対象物に主走査方向と副走査方向に沿って照射して書き込む露光装置であって、
前記画像データの各画素の輝度値を所定の設定に基づいて補正する画像処理回路と、
前記画像処理回路から送られた補正後の画像データに基づいて、前記露光対象物上において前記副走査方向に沿って互いに隣接した異なる露光位置をそれぞれ照射する複数の光ビームを発生し、前記複数の光ビームを前記主走査方向に走査する発光装置とを備え、
前記画像処理回路は、
前記複数の光ビームの各露光位置が、前記副走査方向に沿って延在する露光領域のエッジに含まれるとき、前記各露光位置間の距離に応じて、前記各露光位置に対応する各画素の輝度値を補正し、
前記複数の光ビームのうちの１つの光ビームの露光位置が、前記主走査方向に沿って延在する露光領域のエッジに含まれるとき、前記各露光位置の等間隔の基準位置からの当該露光位置のずれに応じて、当該露光位置に対応する画素の輝度値を補正することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の光ビーム露光装置によれば、複数の光ビームにより複数の露光位置を照射する場合、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係る光ビーム露光装置２０の構成を示す斜視図である。
【図２】図１の光ビーム露光装置２０の構成を示すブロック図である。
【図３】図２の発光装置２３−１からプリント配線基板３０に照射される第１の例示的な光ビームＡ〜Ｄの基準位置を示す上面図である。
【図４】図３の光ビームＡ〜Ｄの実際の露光位置を示す上面図である。
【図５】互いに隣接する光ビームの露光領域間の重複に起因する露光領域の輪郭の変形を考慮しない場合、図３の光ビームＡ〜Ｄを主走査方向に走査したときのプリント配線基板３０の露光領域を示す上面図である。
【図６】互いに隣接する光ビームの露光領域間の重複に起因する露光領域の輪郭の変形を考慮した場合、図３の光ビームＡ〜Ｄを主走査方向に走査したときのプリント配線基板３０の露光領域を示す上面図である。
【図７】互いに隣接する光ビームの露光領域間の重複に起因する露光領域の輪郭の変形を考慮しない場合、図４の光ビームＡ〜Ｄを主走査方向に走査したときのプリント配線基板３０の露光領域を示す上面図である。
【図８】互いに隣接する光ビームの露光領域間の重複に起因する露光領域の輪郭の変形を考慮した場合、図４の光ビームＡ〜Ｄを主走査方向に走査したときのプリント配線基板３０の露光領域を示す上面図である。
【図９】プリント配線基板３０上で副走査方向に延在する露光領域に対応する画像データの各画素の輝度値の例を示す図である。
【図１０】図９の輝度値の第１の補正例を示す図である。
【図１１】図２の画像処理回路２１によって画像データの各画素の輝度値を補正するための第１の判断基準を示す表である。
【図１２】図９の輝度値の第２の補正例を示す図である。
【図１３】図２の発光装置２３−１からプリント配線基板３０に照射される第２の例示的な光ビームＡ，Ｂ，Ｃを主走査方向に走査したときのプリント配線基板３０の露光領域を示す上面図である。
【図１４】図２の発光装置２３−１からプリント配線基板３０に照射される第３の例示的な光ビームＣ，Ｄ，Ａを主走査方向に走査したときのプリント配線基板３０の露光領域を示す上面図である。
【図１５】プリント配線基板３０上で主走査方向に延在する露光領域に対応する画像データの各画素の輝度値の例を示す図である。
【図１６】図１５の輝度値の第１の補正例を示す図である。
【図１７】図２の画像処理回路２１によって画像データの各画素の輝度値を補正するための第２の判断基準を示す表である。
【図１８】図１５の輝度値の第２の補正例を示す図である。
【図１９】プリント配線基板３０上で副走査方向に延在して非露光領域を介して対向する一対の露光領域の部分に対応する画像データの各画素の輝度値の第１の補正例を示す図である。
【図２０】プリント配線基板３０上で副走査方向に延在して非露光領域を介して対向する一対の露光領域の部分に対応する画像データの各画素の輝度値の第２の補正例を示す図である。
【図２１】プリント配線基板３０上で斜め方向に延在して非露光領域を介して対向する一対の露光領域の部分に対応する画像データの各画素の輝度値の例を示す図である。
【図２２】図２１の輝度値の第１の補正例を示す図である。
【図２３】図２１の輝度値の第２の補正例を示す図である。
【図２４】図２の画像処理回路２１によって実行される輝度値補正処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る光ビーム露光装置について詳細に説明する。
【００１２】
図１は、本発明の実施形態に係る光ビーム露光装置２０の構成を示す斜視図である。図１は、本発明の実施例として基板直描露光装置の概観を示す。図２は、図１の光ビーム露光装置２０の構成を示すブロック図である。図２は、光ビーム露光装置２０におけるデータの流れも示す。
【００１３】
光ビーム露光装置２０は、ホストコンピュータ１０の制御下で動作し、ホストコンピュータ１０は、画像データ及び制御データなどを光ビーム露光装置２０に送る。光ビーム露光装置２０は、露光対象物であるプリント配線基板３０を配置するための台を備える。光ビーム露光装置２０は、プリント配線基板３０上において主走査方向（図１の＋Ｘ方向）及び副走査方向（図１の＋Ｙ方向）を有する。
【００１４】
プリント配線基板３０上には、例えばレジスト等の感光体が形成される。
【００１５】
光ビーム露光装置２０は、最大輝度値及び最小輝度値を含む３値以上の階調の輝度値をそれぞれ有する複数の画素を含む画像データに基づいて複数の光ビームを発生し、複数の光ビームにより対象物を走査して画像データの像を対象物に書き込む。対象物に書き込まれた像は、最小輝度値とは異なる輝度値を有する画素の領域に対応する少なくとも１つの露光領域と、最小輝度値を有する画素の領域に対応する少なくとも１つの非露光領域とを含む。
【００１６】
以下では、露光対象物がプリント配線基板３０であり、露光領域が配線（導体領域）となり、非露光領域が導体を除去した領域となる場合について説明するが、逆であってもよい。
【００１７】
光ビーム露光装置２０は、画像処理回路２１、制御回路２２、少なくとも１つの発光装置２３−１〜２３−６、及び駆動装置２６を備える。
【００１８】
画像処理回路２１は、ホストコンピュータ１０から送られた制御データに従って、ホストコンピュータ１０から送られた画像データに対して画像処理を実行し、処理後の画像データを発光装置２３−１〜２３−６に送る。ここで、画像処理は、例えば回転処理及び変倍処理など、プリント配線基板３０の位置のずれ及び歪みなどを補正するために、入力された画像データを補正することを含む。制御データはこの画像処理を行うための情報を含む。特に、画像処理回路２１は、図２４の輝度値補正処理を実行することにより、ホストコンピュータ１０から送られた画像データの各画素の輝度値を補正して、補正後の画像データの各画素の輝度値を発光装置２３−１〜２３−６に送る。画像処理回路２１は、例えば、マイクロプロセッサ又はＦＰＧＡと、その上で実行される画像処理のためのプログラムとを含む。画像処理回路２１によって補正された画像データは、発光装置２３−１〜２３−６に送られて光ビームに変換され、プリント配線基板３０上に照射される。
【００１９】
発光装置２３−１は、発光素子２４Ａ〜２４Ｄ及び偏向装置２５を備える。発光装置２３−１は、プリント配線基板３０上において副走査方向に沿って互いに隣接した異なる露光位置をそれぞれ照射する複数の光ビームＡ〜Ｄを発生し、複数の光ビームＡ〜Ｄを主走査方向に走査する。各発光素子２４Ａ〜２４Ｄは、例えばレーザ光源又はＬＥＤ光源などであり、光ビームＡ〜Ｄをそれぞれ発生する。偏向装置２５は、例えばレンズ及びポリゴンミラーなどを含み、回転するポリゴンミラーの反射によって光ビームＡ〜Ｄを主走査方向に走査する。他の発光装置２３−２〜２３−６もまた、発光装置２３−１と同様に構成される。
【００２０】
制御回路２２は、ホストコンピュータ１０から送られた制御データに従って、駆動装置２６を用いてプリント配線基板３０を−Ｙ方向（副走査方向の逆方向）に移動させる。
【００２１】
発光装置２３−１〜２３−６は、光ビーム露光装置２０の台の上方に設けられ、この台上に配置されたプリント配線基板３０に光ビームＡ〜Ｄを照射する。１つの発光装置が照射する範囲には限界があるので、プリント配線基板３０の主走査方向の長さを分割し、分割された各領域を別個の発光装置でそれぞれ照射する。図１の例では、光ビーム露光装置２０は６個の発光装置２３−１〜２３−６を備える。副走査方向の所定範囲（光ビームＡ〜Ｄに対応する範囲）においてプリント配線基板３０の主走査方向の長さ全体が走査されたとき、副走査方向の別の範囲を走査するために、制御回路２２は駆動装置２６を用いてプリント配線基板３０を−Ｙ方向に移動させる。主走査方向の走査と副走査方向の移動とを交互に繰り返すことで、光ビームはプリント配線基板３０全体を走査する。
【００２２】
図３は、図２の発光装置２３−１からプリント配線基板３０に照射される第１の例示的な光ビームＡ〜Ｄの基準位置を示す上面図である。光ビーム露光装置２０は主走査方向の走査と副走査方向の移動とを交互に繰り返すので、光ビームＤの露光位置の＋Ｙ側に光ビームＡの露光位置があり、以後同様に、光ビームＡ〜Ｄの露光位置が副走査方向に沿って繰り返される。プリント配線基板３０上における光ビームＡ〜Ｄの露光位置は、理想的には、プリント配線基板３０上の副走査方向に沿った等間隔の位置（基準位置）にあるとよい。図３の例では、光ビームＡ〜Ｄの露光位置は、それぞれ、円形状の露光領域を有する。本明細書では、円形状の露光領域の中心を、各光ビームの露光位置とする。光ビームＡ〜Ｄの露光領域に隙間を生じさせないために、図３のように、光ビームＡ〜Ｄの露光位置は、互いに隣接する光ビームの露光領域が重複するように決定される。
【００２３】
図４は、図３の光ビームＡ〜Ｄの実際の露光位置を示す上面図である。光ビームＡ〜Ｄの露光位置は、実際には等間隔ではなく、図３の基準位置からずれることがある。ここでは、光ビームＢ及びＣが−Ｙ側にずれ、光ビームＡ及びＢの露光位置間の距離と、光ビームＢ及びＣの露光位置間の距離とが小さくなり、光ビームＣ及びＤの露光位置間の距離が大きくなっている。これにより、プリント配線基板３０上の基準位置からの各露光位置のずれに起因して、プリント配線基板３０上の露光領域の輪郭形状が変化する。図２の画像処理回路２１は、図２４の輝度値補正処理を実行することにより、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制するように、各露光位置に対応する各画素の輝度値を補正する。
【００２４】
図５は、互いに隣接する光ビームの露光領域間の重複に起因する露光領域の輪郭の変形を考慮しない場合、図３の光ビームＡ〜Ｄを主走査方向に走査したときのプリント配線基板３０の露光領域を示す上面図である。図６は、互いに隣接する光ビームの露光領域間の重複に起因する露光領域の輪郭の変形を考慮した場合、図３の光ビームＡ〜Ｄを主走査方向に走査したときのプリント配線基板３０の露光領域を示す上面図である。図５及び図６は、副走査方向に沿って延在する露光領域の部分（縦線）であって、９本の走査線（光ビームＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ａの走査線）を含む部分を示す。各光ビームの露光領域が円形状であるので、図５のように、露光領域の＋Ｘ側エッジ及び−Ｘ側エッジでは小さながたつきが生じる。ただし、各光ビームの露光位置は副走査方向に沿って等間隔にあるので、露光領域のエッジのがたつきは一定の周期を有する。また、互いに隣接する光ビームの露光領域間の重複する部分では露光量がより大きくなり、当該部分の＋Ｘ側エッジ及び−Ｘ側エッジが非露光領域に向かって膨張するので、図５のがたつき部分は、実際には、図６のようになめらかになる。
【００２５】
図７は、互いに隣接する光ビームの露光領域間の重複に起因する露光領域の輪郭の変形を考慮しない場合、図４の光ビームＡ〜Ｄを主走査方向に走査したときのプリント配線基板３０の露光領域を示す上面図である。図８は、互いに隣接する光ビームの露光領域間の重複に起因する露光領域の輪郭の変形を考慮した場合、図４の光ビームＡ〜Ｄを主走査方向に走査したときのプリント配線基板３０の露光領域を示す上面図である。図７及び図８もまた、副走査方向に沿って延在する露光領域の部分（縦線）であって、９本の走査線（光ビームＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ａの走査線）を含む部分を示す。図７の露光領域では、図４を参照して説明したように、光ビームＡ及びＢの露光位置間の距離と、光ビームＢ及びＣの露光位置間の距離とが小さいので、これらの光ビームの露光領域の＋Ｘ側エッジ及び−Ｘ側エッジではがたつきが小さくなる。一方、図７の露光領域では、図４を参照して説明したように、光ビームＣ及びＤの露光位置間の距離が大きいので、これらの光ビームの露光領域の＋Ｘ側エッジ及び−Ｘ側エッジではがたつきが大きくなる。全体的に、図７の露光領域では、図５の露光領域よりも＋Ｘ側エッジ及び−Ｘ側エッジのがたつきが大きくなる。さらに、露光位置間の距離が小さい部分（光ビームＡ及びＢの露光位置間の部分、光ビームＢ及びＣの露光位置間の部分）では、露光領域が重複する範囲が大きくなるので、当該部分における露光量が大きくなる。その結果、当該部分の＋Ｘ側エッジ及び−Ｘ側エッジが非露光領域に向かってより大きく膨張し、従って、図８で示すように、露光位置間の距離が大きい部分（光ビームＣ及びＤの露光位置間の部分）との露光量の差がさらに増大し、がたつきがより顕著になる。
【００２６】
以下、画像データの各画素が３値以上の階調の輝度値を有する場合に、画像処理回路２１が、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制するように、各露光位置に対応する各画素の輝度値を補正する方法について説明する。
【００２７】
画像データの各画素が３値以上の階調の輝度値を有する場合、例えば画像のエッジ、特に斜めエッジにおける画素は、しばしば、最大輝度値及び最小輝度値の間の輝度値に設定される。ここで、最大輝度値が「４」であり、最小輝度値が「０」である（すなわち露光しない）場合、斜めエッジの画素の輝度値は「１」、「２」、「３」、又は「４」に設定される。これは、エッジをがたつきが少なくなめらかに描画するために一般的に用いられる方法である。
【００２８】
画像データの各画素が３値以上の階調の輝度値を有する場合、露光領域のエッジをなめらかにするためには、元の輝度値に応じて変更後の輝度値を決定する必要がある。光ビーム露光装置２０は、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制するように各露光位置に対応する各画素の輝度値を補正するとき、元の輝度値に応じて変更後の輝度値を決定するので、露光領域のエッジをなめらかにすることができる。
【００２９】
また、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるとき、最大輝度値を超える輝度値を設定することはできないので、当該画素の変更後の輝度値は、露光領域のエッジをなめらかにするために必要であると考えられる輝度値に満たない。ここで、補正対象の画素に対応する露光位置が露光領域のエッジにある場合、補正対象の画素の隣接画素に対応する露光位置が非露光領域にあり、従って、この隣接画素は最小輝度値を有する。従って、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるとき、かつ、補正対象の画素の隣接画素が最小輝度値を有するとき、補正対象の画素の輝度値に代えて、又は補正対象の画素の輝度値に加えて、補正対象の画素の隣接画素の輝度値を増加させる。これにより、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるときであっても、露光領域のエッジをなめらかにすることができる。
【００３０】
なお、プリント配線基板３０を露光する場合、プリント配線基板３０上の配線（導体領域）間の距離の最小値（しきい値）が予め決められている。ここで、補正対象の画素に対応する露光位置が露光領域（例えば配線）のエッジにある場合、補正対象の画素の隣接画素に対応する露光位置が非露光領域（例えば配線間の領域）にあり、従って、この隣接画素は最小輝度値を有する。前述のように、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるとき、かつ、補正対象の画素の隣接画素が最小輝度値を有するとき、補正対象の画素の隣接画素の輝度値を増加させた場合、露光領域が広がり、非露光領域が狭くなる。従って、補正対象の画素の隣接画素の輝度値を増加させることにより、配線間の距離が予め決められた最小値未満になることがある。このため、最小輝度値を有する画素の輝度値を増加させる前に、当該画素の輝度値を増加させても配線間の距離が予め決められた最小値以上になるか否かを判断する。
【００３１】
まず、図９〜図１２を参照して、プリント配線基板３０上で副走査方向に延在する露光領域の輪郭形状の変化を抑制する場合について説明する。
【００３２】
図９は、プリント配線基板３０上で副走査方向に延在する露光領域に対応する画像データの各画素の輝度値の例を示す図である。図９他は、画像データの各画素とプリント配線基板３０上の対応する位置との関係を表すために、プリント配線基板３０上の主走査方向（図１の＋Ｘ方向）及び副走査方向（図１の＋Ｙ方向）に対応するＸＹ座標を示す。本実施形態において、画像データの各画素は、５値の階調の輝度値「０」〜「４」を有する。通常は輝度値「０」〜「３」を使用し、露光量をさらに上げる場合には輝度値「４」を使用する。プリント配線基板３０上において、輝度値「０」とは異なる輝度値を有する画素の領域に対応する部分が露光領域であり、輝度値「０」を有する画素の領域に対応する部分が非露光領域である。
【００３３】
図１０は、図９の輝度値の第１の補正例を示す図である。画像処理回路２１は、対象物上の副走査方向に沿った等間隔の基準位置からの各露光位置のずれを示す露光位置情報に基づいて、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制するように、各露光位置に対応する各画素の輝度値を補正する。図９の画像データにおいて、図３のように光ビームＡ〜Ｄの露光位置が等間隔である場合には、画像処理回路２１は、各画素の輝度値を変更せずにそのまま維持する。しかし、図４のように光ビームＡ〜Ｄの露光位置が等間隔ではない場合には、画像処理回路２１は、例えば図１０のように、露光領域のエッジに対応する画素の輝度値を変更する。図１０他において、実線で囲んだ数字が輝度値を変更した部分を示す。輝度値の変更は、露光領域のエッジに対応する画素で行う必要がある。補正対象の画素が最小輝度値「０」とは異なる輝度値を有し、当該画素の＋Ｘ側又は−Ｘ側の隣接画素が最小輝度値「０」を有するとき、画像処理回路２１は、補正対象の画素が露光領域のエッジに対応すると判断する。次いで、画像処理回路２１は、補正対象の画素の現在の輝度値と、露光位置情報とに基づいて、補正対象の画素の新たな輝度値を決定する。露光位置情報は、例えば露光位置間の距離の比、すなわち、補正対象の画素に対応する露光位置から、その＋Ｙ側又は−Ｙ側の露光位置までの距離の比である。補正対象の画素の新たな輝度値は、例えば、露光位置間の距離の比と輝度値の増減量とを関連付けたテーブル（図１１）を参照することによって決定される。
【００３４】
ここで、露光位置間の距離の比は、例えば、以下のように得られる。発光装置２３−１〜２３−６を光ビーム露光装置２０に取り付けたとき、較正用のガラス面等に光ビームを照射し、当該光ビームの露光位置及び露光領域の形状を較正用のカメラで撮影し、撮影された画像に基づいて露光位置間の距離を求める。露光位置間の距離の比は、複数の露光位置が等距離となる理想的な場合を「１」として計算される。露光位置間の距離の比は、制御データの一部として画像処理回路２１に入力される。
【００３５】
図１１は、図２の画像処理回路２１によって画像データの各画素の輝度値を補正するための第１の判断基準を示す表である。画像処理回路２１は、互いに隣接した２つの露光位置の間隔が互いに隣接した２つの基準位置の間隔よりも短いとき、当該２つの露光位置の少なくとも一方に対応する画素の輝度値を減少させることにより、各画素の輝度値を補正する。画像処理回路２１は、互いに隣接した２つの露光位置の間隔が互いに隣接した２つの基準位置の間隔よりも長いとき、当該２つの露光位置の少なくとも一方に対応する画素の輝度値を増加させることにより、各画素の輝度値を補正する。
【００３６】
図１２は、図９の輝度値の第２の補正例を示す図である。画像処理回路２１は、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるとき、最大輝度値を変更後の輝度値としてもよい。また、画像処理回路２１は、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるとき、かつ、補正対象の画素の隣接画素が最小輝度値を有するとき、隣接画素の輝度値を増加させてもよい。図１２は、光ビームＣ及びＤの露光位置間の距離が図１０の場合よりも大きく、図１１のテーブルに従って、補正対象の画素の輝度値に「２」を加算しようとする場合を示す。補正対象の画素の元の輝度値が「３」であれば、「２」を加算して「５」になり、最大輝度値「４」を越えてしまう。この場合、補正対象の画素の輝度値を「４」に丸めて、残る増加分「１」を、輝度値「０」を有する隣接画素の画素に加算する。
【００３７】
このように、露光領域が副走査方向に沿って延在する部分を含む場合、画像処理回路２１は、各露光位置のずれに起因する露光領域の副走査方向に沿って延在する部分の幅の変化を抑制するように、各露光位置に対応する各画素の輝度値を補正することができる。露光位置間の距離に応じて各画素の輝度値を変化させ、プリント配線基板３０上に縦線を描画したときのがたつきを抑制することができる。
【００３８】
次に、図１３〜図１８を参照して、プリント配線基板３０上で主走査方向に延在する露光領域の輪郭形状の変化を抑制する場合について説明する。
【００３９】
図１３は、図２の発光装置２３−１からプリント配線基板３０に照射される第２の例示的な光ビームＡ，Ｂ，Ｃを主走査方向に走査したときのプリント配線基板３０の露光領域を示す上面図である。図１４は、図２の発光装置２３−１からプリント配線基板３０に照射される第３の例示的な光ビームＣ，Ｄ，Ａを主走査方向に走査したときのプリント配線基板３０の露光領域を示す上面図である。図１３は、主走査方向に沿って延在する露光領域の部分（横線）であって、３本の走査線（光ビームＡ，Ｂ，Ｃの走査線）を含む部分を示す。図１４は、主走査方向に沿って延在する露光領域の部分（横線）であって、３本の走査線（光ビームＣ，Ｄ，Ａの走査線）を含む部分を示す。図４のように露光位置間の距離にばらつきがあると、例えば３画素分の幅を有する横線を描画する場合、光ビームＡ，Ｂ，Ｃで描画した場合と、光ビームＣ，Ｄ，Ａで描画した場合では、横線の幅が異なることになる。言い換えると、副走査方向の位置に応じて、横線の幅が異なってしまう。図１３及び図１４からわかるように、明らかに幅（Ｙ方向の長さ）が異なっている。
【００４０】
図１５は、プリント配線基板３０上で主走査方向に延在する露光領域に対応する画像データの各画素の輝度値の例を示す図である。図１５は、図１３のように光ビームＣの露光領域が横線の＋Ｙ側エッジになる場合を示す。
【００４１】
図１６は、図１５の輝度値の第１の補正例を示す図である。画像処理回路２１は、対象物上の副走査方向に沿った等間隔の基準位置からの各露光位置のずれを示す露光位置情報に基づいて、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制するように、各露光位置に対応する各画素の輝度値を補正する。補正対象の画素が最小輝度値「０」とは異なる輝度値を有し、当該画素の＋Ｙ側又は−Ｙ側の隣接画素が最小輝度値「０」を有するとき、画像処理回路２１は、補正対象の画素がエッジであると判断する。図１３のように光ビームＣの露光領域が横線の＋Ｙ側エッジになる場合、光ビームＣの露光位置が−Ｙ側にずれているので横線の幅が小さくなる。従って、光ビームＣに対応する画素の輝度値を変更する必要がある。次いで、画像処理回路２１は、補正対象の画素の現在の輝度値と、露光位置情報とに基づいて、補正対象の画素の新たな輝度値を決定する。露光位置情報は、例えば基準位置からの露光位置の距離である。画像処理回路２１は、例えば図１６のように輝度値を増加させる。図１６の例では、光ビームＣに対応する画素の輝度値に「１」を加算している。この輝度値の変更は、例えば光ビーム位置の理想的な位置からの距離から、その輝度値の増減値をテーブル変換で求める方法がある。補正対象の画素の新たな輝度値は、例えば、基準位置からの露光位置の距離と、＋Ｙ側及び−Ｙ側エッジにおける輝度値の増減量ととを関連付けたテーブル（図１７）を参照することによって決定される。
【００４２】
ここで、基準位置からの露光位置の距離は、例えば、以下のように得られる。発光装置２３−１〜２３−６を光ビーム露光装置２０に取り付けたとき、較正用のガラス面等に光ビームを照射し、当該光ビームの露光位置及び露光領域の形状を較正用のカメラで撮影し、撮影された画像に基づいて、基準位置からの露光位置の距離を求める。基準位置からの露光位置の距離は、理想的な露光位置間の距離を「１」として計算される。基準位置からの露光位置の距離は、制御データの一部として画像処理回路２１に入力される。
【００４３】
図１７は、図２の画像処理回路２１によって画像データの各画素の輝度値を補正するための第２の判断基準を示す表である。基準位置からの露光位置の距離は、＋Ｙ側のへずれを正とし、−Ｙ側へのずれを負とする。副走査方向に沿って互いに隣接した複数の露光位置は、互いに隣接した第１及び第２の露光位置であって、最小輝度値とは異なる輝度値を有する画素に対応する第１の露光位置と、最小輝度値を有する画素に対応する第２の露光位置とを含む。画像処理回路２１は、第１の露光位置が、第１の露光位置の基準位置から第２の露光位置に向かってずれているとき、第１の露光位置に対応する画素の輝度値を減少させる。言い換えると、画像処理回路２１は、露光領域が非露光領域に向かって広がっているとき、露光領域のエッジに対応する画素の輝度値を減少させる。第１の露光位置が、第１の露光位置の基準位置から第２の露光位置に向かってずれているとき、第１の露光位置に対応する画素の輝度値を減少させる。画像処理回路２１は、第１の露光位置が、第１の露光位置の基準位置から第２の露光位置の逆方向に向かってずれているとき、第１の露光位置に対応する画素の輝度値を増加させる。言い換えると、画像処理回路２１は、露光領域が縮小しているとき（非露光領域が露光領域に向かって広がっているとき）、露光領域のエッジに対応する画素の輝度値を増加させる。画像処理回路２１は、以上のように各画素の輝度値を補正する。
【００４４】
図１８は、図１５の輝度値の第２の補正例を示す図である。前述のように、画像処理回路２１は、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるとき、最大輝度値を変更後の輝度値としてもよい。また、画像処理回路２１は、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるとき、かつ、補正対象の画素の隣接画素が最小輝度値を有するとき、隣接画素の輝度値を増加させてもよい。図１８は、光ビームＣの露光位置が図１６の場合よりも−Ｙ側にずれて、光ビームＣの基準位置からの露光位置の距離がさらに大きくなり、図１７のテーブルに従って、補正対象の画素の輝度値に「２」を加算しようとする場合を示す。補正対象の画素の元の輝度値が「３」であれば、「２」を加算して「５」になり、最大輝度値「４」を越えてしまう。この場合、補正対象の画素の輝度値を「４」に丸めて、残る増加分「１」を、輝度値「０」を有する隣接画素の画素に加算する。
【００４５】
図１６及び図１８の例は、主走査方向に延在する露光領域の＋Ｙ側エッジに相当する光ビームの露光位置が基準位置から−Ｙ側にずれている場合を示すが、＋Ｙ側にずれている場合は、補正対象の画素の輝度値を減らせばよい。
【００４６】
また、主走査方向に延在する露光領域の−Ｙ側エッジについも同様である。光ビームの露光位置のずれに応じて、補正対象の画素の輝度値を増減させる。
【００４７】
このように、露光領域が主走査方向に沿って延在する部分を含む場合、画像処理回路２１は、各露光位置のずれに起因する露光領域の主走査方向に沿って延在する部分の幅の変化を抑制するように、各露光位置に対応する各画素の輝度値を補正することができる。基準位置からの露光位置の距離に応じて各画素の輝度値を変化させ、プリント配線基板３０上に横線を描画したときの幅の変動を抑制することができる。
【００４８】
以上では、プリント配線基板３０上で主走査方向又は副走査方向に延在する露光領域の輪郭形状の変化を抑制する場合について説明したが、以下では、プリント配線基板３０上の配線間の距離の予め決められた最小値を考慮する場合について説明する。
【００４９】
光ビーム露光装置２０では、プリント配線基板３０上の配線間の距離の最小値が規定される。例えば、配線間の距離の最小値が２５μｍであり、光ビームの露光位置間の距離が５μｍである場合は、配線間に最小で５画素分の距離が必要になる。実際には、１つの光ビームの露光領域の直径が５μｍ以上になることがあり、従って、配線間に６画素分又は７画素分の距離が必要になることもある。
【００５０】
ここで、例えば図１２のように、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるとき、かつ、補正対象の画素の隣接画素が最小輝度値を有するとき、補正対象の画素の隣接画素の輝度値を増加させた場合、露光領域が広がり、非露光領域が狭くなる。従って、補正対象の画素の隣接画素の輝度値を増加させることにより、配線間の距離が予め決められた最小値未満になることがある。以下では、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制することよりも、配線間の距離の規定を優先する場合について説明する。
【００５１】
図１９は、プリント配線基板３０上で副走査方向に延在して非露光領域を介して対向する一対の露光領域の部分に対応する画像データの各画素の輝度値の第１の補正例を示す図である。図２０は、プリント配線基板３０上で副走査方向に延在して非露光領域を介して対向する一対の露光領域の部分に対応する画像データの各画素の輝度値の第２の補正例を示す図である。プリント配線基板３０に書き込まれた像は、非露光領域を介して対向する一対の露光領域の部分をそれぞれ含む、少なくとも一対の対向部分を含む。図１９は、図１２の露光領域の−Ｘ側に、６画素分の非露光領域を介して、他の露光領域が存在する場合の例を示す。図１９によれば、画像処理回路２１は、副走査方向に延在する露光領域のエッジに対応する画素の輝度値を「３」から「２」又は「４」に変更し、さらに、輝度値「４」に変更した画素の隣接画素の輝度値を「０」から「１」に変更している。しかし、補正対象の画素の隣接画素の輝度値を「０」から「１」に変更したことにより、露光領域が広がり、非露光領域が狭くなり、従って、配線間の距離が２５μｍ未満になる可能性がある。この場合、配線間の距離を予め決められた最小値以上にするために、非露光領域の−Ｘ側又は＋Ｘ側の端部の露光位置に対応する画素の輝度値を最小輝度値から変更しないようにする。図２０は、その例であり、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるとき、かつ、補正対象の画素の隣接画素が最小輝度値を有するとき、非露光領域の−Ｘ側の隣接画素の輝度値を最小輝度値「０」から変更せずに維持する。
【００５２】
発光装置２３−１〜２３−６の設計によっては、光ビームを主走査方向に走査する向きが異なる（＋Ｘ方向又は−Ｘ方向）。光ビームの立ち上がり露光特性及び立ち下がり露光特性の差などに応じて、非露光領域の＋Ｘ側の隣接画素の輝度値を最小輝度値「０」のまま維持してもよく、非露光領域の両側の隣接画素の輝度値を最小輝度値「０」のまま維持してもよい。
【００５３】
同様に、プリント配線基板３０上で主走査方向に延在して非露光領域を介して対向する一対の露光領域の部分についても、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制することよりも、配線間の距離の規定を優先することができる。このため、非露光領域の−Ｙ側及び＋Ｙ側の少なくとも一方の端部の露光位置に対応する画素の輝度値を最小輝度値から変更しないようにする。
【００５４】
さらに、主走査方向及び副走査方向だけでなく、他の方向に延在して非露光領域を介して対向する一対の露光領域の部分についても、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制することよりも、配線間の距離の規定を優先することができる。
【００５５】
図２１は、プリント配線基板３０上で斜め方向に延在して非露光領域を介して対向する一対の露光領域の部分に対応する画像データの各画素の輝度値の例を示す図である。斜め方向に延在する露光領域間には、主走査方向に８画素分の距離があり、副走査方向にも８画素分の距離がある。この場合、主走査方向及び副走査方向の両方とも、露光領域間には８画素分の距離があり、配線間の距離の予め決められた最小値（５画素）を超えている。ここで、斜め方向の露光領域間の距離Ｌは、ピタゴラスの定理（Ｌ×Ｌ＋Ｌ×Ｌ＝８×８）から、Ｌ≒５．６６になる。従って、斜め方向でも、露光領域間の距離は、配線間の距離の予め決められた最小値（５画素）を超えている。
【００５６】
図２２は、図２１の輝度値の第１の補正例を示す図である。図２２は、図４のように光ビームの露光位置が等間隔ではない場合の補正例である。図２２の例は、副走査方向の補正（図９〜図１２）及び主走査方向の補正（図１５〜図１８）の両方が行われているので、実線で囲んだ画素ａ１及びａ２が重複して補正され、その輝度値は「０」から「２」に変更されている。この場合、主走査方向及び副走査方向では、露光領域間には６画素分の距離があり、配線間の距離の予め決められた最小値（５画素）を超えている。しかし、斜め方向では、画素ａ１及びａ２から＋Ｘ方向に４画素かつ＋Ｙ方向に４画素の位置に、輝度値「４」の画素ａ３及びａ４が存在している。これらの画素間の距離Ｌ’は、ピタゴラスの定理（Ｌ’×Ｌ’＋Ｌ’×Ｌ’＝７×７）から、Ｌ’≒４．９５になる。従って、斜め方向では、露光領域間の距離は、配線間の距離の予め決められた最小値（５画素）未満になり、わずかに規定を満足できなくなる。
【００５７】
図２３は、図２１の輝度値の第２の補正例を示す図である。画素ａ１及びａ２の輝度値「２」を、元の輝度値「０」から変更せずに維持するか、又は輝度値「１」に変更する。輝度値「０」から変更せずに維持する場合は、輝度値を変更する場合よりも濃度のむらの改善が小さくなるが、配線間の間隔を予め決められた最小値以上にすることができる。一方、輝度値「１」に変更しても、前述の距離Ｌ’＝４．９５は輝度値が大きい場合の計算結果であり、輝度値「１」では露光量が少ないので、実質的にはＬ’＝５以上となると考えられ、実質的に配線間の間隔を予め決められた最小値以上にすることができる。
【００５８】
図２１〜図２３によれば、画像処理回路２１は、以下のように、配線間の距離を予め決められた最小値以上にすることができる。対象物に書き込まれた像は、非露光領域を介して対向する一対の露光領域の部分をそれぞれ含む、少なくとも一対の対向部分を含む。各一対の対向部分は、当該一対の対向部分間において、主走査方向における第１の距離と、副走査方向における第２の距離と、主走査方向及び副走査方向の間の方向における第３の距離とを有する。画像処理回路２１は、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるとき、かつ、補正対象の画素の隣接画素が最小輝度値を有するとき、かつ、隣接画素の輝度値を増加させても、第１、第２、及び第３の距離のすべてが予め決められたしきい値を超えるとき、隣接画素の輝度値を増加させる。
【００５９】
図２４は、図２の画像処理回路２１によって実行される輝度値補正処理を示すフローチャートである。図２４は、これまでに説明した一連の処理の概略の一例を示す。ステップＳ１において、画像処理回路２１は、補正対象の画素を読み込む。ステップＳ２において、画像処理回路２１は、画素が＋Ｘ側又は−Ｘ側エッジであるか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ３に進み、ＮＯのときはステップＳ８に進む。ステップＳ３において、画像処理回路２１は、露光位置間の距離に応じて画素の輝度値を変更する。ステップＳ４において、画像処理回路２１は、変更後の輝度値が、露光領域の輪郭形状の変化を抑制するために必要であると考えられる輝度値に達したか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ８に進み、ＮＯのときはステップＳ５に進む。ステップＳ５において、画像処理回路２１は、＋Ｘ側又は−Ｘ側の他の露光領域までの距離が予め決められた最小値（しきい値）以上であるか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ６に進み、ＮＯのときはステップＳ８に進む。ステップＳ６において、画像処理回路２１は、斜め方向の他の露光領域までの距離が予め決められた最小値以上であるか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ７に進み、ＮＯのときはステップＳ８に進む。ステップＳ７において、画像処理回路２１は、＋Ｘ側又は−Ｘ側の隣接画素の輝度値を変更する。
【００６０】
ステップＳ８において、画像処理回路２１は、画素が＋Ｙ側又は−Ｙ側エッジであるか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ９に進み、ＮＯのときはステップＳ１４に進む。ステップＳ９において、画像処理回路２１は、基準位置からの露光位置のずれに応じて画素の輝度値を変更する。ステップＳ１０において、画像処理回路２１は、変更後の輝度値が、露光領域の輪郭形状の変化を抑制するために必要であると考えられる輝度値に達したか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ１４に進み、ＮＯのときはステップＳ１１に進む。ステップＳ１１において、画像処理回路２１は、＋Ｙ側又は−Ｙ側の他の露光領域までの距離が予め決められた最小値以上であるか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ１２に進み、ＮＯのときはステップＳ１４に進む。ステップＳ１２において、画像処理回路２１は、斜め方向の他の露光領域までの距離が予め決められた最小値以上であるか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ１３に進み、ＮＯのときはステップＳ１４に進む。ステップＳ１３において、画像処理回路２１は、＋Ｙ側又は−Ｙ側の隣接画素の輝度値を変更する。ステップＳ１４において、画像処理回路２１は、次の補正対象の画素を読み込む。
【００６１】
画像処理回路２１は、副走査方向の複数の露光位置が等間隔ではない場合、主走査方向、副走査方向、又は斜め方向に延在する露光領域に対応する互いに隣接する複数の画素の輝度値を参照し、露光領域のエッジ及びその近傍に対応する画素の輝度値を変更する。これにより、配線間の距離を予め決められた最小値以上にしながら、縦線のがたつき及び横線幅の不均一性を改善することができる。
【００６２】
本実施形態の光ビーム露光装置２０によれば、複数の光ビームにより複数の露光位置を照射する場合、かつ、画像データの各画素が３値以上の階調の輝度値を有する場合に、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制することができる。特に、光ビーム露光装置２０は、各画素の輝度値を補正し、濃度むらを減少させ、縦線のがたつき及び横線幅の不均一性を抑制することができる。また、光ビーム露光装置２０は、主走査方向、副走査方向、及び斜め方向の任意の方向に連続する複数の画素の輝度値を補正することができる。また、光ビーム露光装置２０は、主走査方向、副走査方向、及び斜め方向の任意の方向において、配線間の距離を予め決められた最小値以上にすることができる。
【００６３】
また、光ビーム露光装置２０は、各露光位置のずれと、補正対象の画素の輝度値と、その主走査方向又は副走査方向の隣接画素の輝度値とに応じて、補正対象の画素の輝度値を補正する。これにより、露光領域のエッジのなめらかさを損なうことなく、かつ、配線間の距離を予め決められた最小値以上に維持しながら、縦線のがたつき及び横線幅の不均一性を抑制することができる。
【００６４】
また、図２４のフローチャートの動作を、コンピュータ上で実行されるコンピュータプログラムとして構成してもよい。これにより、ＣＰＵ及びメモリ等を有するコンピュータで機能を実現できるので、機能の移植及び拡張が容易となる。また、このコンピュータプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に格納することで、当該プログラムを機器に組み込む以外に単体でも流通させることができ、バージョンアップ等も容易に行える。
【００６５】
また、上述した実施形態では、プリント配線基板３０のための光ビーム露光装置２０として説明したが、それに限らず、プリンタ、コピー機、複合機、及び他の任意の画像形成装置などの電子機器であってもよい。電子機器は、光ビーム露光装置２０と、画像データを取得する入力装置と、対象物を移動させる駆動装置とを備える。この場合、光ビームの走査によって露光される（書き込まれる）対象物は、光ビーム露光装置２０に対して相対的に位置が移動する、例えば感光体ドラムなどが相当する。
【００６６】
図１では、駆動装置２６をローラーとして示したが、駆動装置２６は、ローラーに限らず、任意の方法でプリント配線基板３０を移動させてもよい。
【００６７】
また、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、当業者は、従来公知の知見に従い、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。かかる変形によってもなお本発明の光ビーム露光装置や画像形成装置の構成を具備する限り、勿論、本発明の範疇に含まれるものである。
【００６８】
本発明の態様に係る光ビーム露光装置、光ビーム露光装置を備えた電子機器、及び光ビーム露光装置の動作方法は、以下の構成を備えたことを特徴とする。
【００６９】
本発明の第１の態様に係る光ビーム露光装置は、
最大輝度値及び最小輝度値を含む３値以上の階調の輝度値をそれぞれ有する複数の画素を含む画像データに基づいて複数の光ビームを発生し、上記複数の光ビームにより対象物を走査して上記画像データの像を上記対象物に書き込む光ビーム露光装置において、
上記対象物に書き込まれた像は、上記最小輝度値とは異なる輝度値を有する画素の領域に対応する少なくとも１つの露光領域と、上記最小輝度値を有する画素の領域に対応する少なくとも１つの非露光領域とを含み、
上記光ビーム露光装置は、上記対象物上において主走査方向及び副走査方向を有し、
上記光ビーム露光装置は、
上記対象物上において上記副走査方向に沿って互いに隣接した異なる露光位置をそれぞれ照射する複数の光ビームを発生し、上記複数の光ビームを上記主走査方向に走査する発光装置と、
上記画像データの各画素の輝度値を補正して上記発光装置に送る画像処理回路とを備え、
上記画像処理回路は、
上記対象物上の上記副走査方向に沿った等間隔の基準位置からの上記各露光位置のずれを示す露光位置情報に基づいて、上記各露光位置のずれに起因する上記露光領域の輪郭形状の変化を抑制するように、上記各露光位置に対応する上記各画素の輝度値を補正し、
補正対象の画素の輝度値が補正により上記最大輝度値を超えるとき、かつ、上記補正対象の画素の隣接画素が上記最小輝度値を有するとき、上記隣接画素の輝度値を増加させることを特徴とする。
【００７０】
本発明の第２の態様に係る光ビーム露光装置によれば、第１の態様に係る光ビーム露光装置において、
上記露光領域は、上記副走査方向に沿って延在する部分を含み、
上記画像処理回路は、
互いに隣接した２つの露光位置の間隔が互いに隣接した２つの基準位置の間隔よりも短いとき、当該２つの露光位置の少なくとも一方に対応する画素の輝度値を減少させ、
互いに隣接した２つの露光位置の間隔が互いに隣接した２つの基準位置の間隔よりも長いとき、当該２つの露光位置の少なくとも一方に対応する画素の輝度値を増加させることにより、上記各画素の輝度値を補正することを特徴とする。
【００７１】
本発明の第３の態様に係る光ビーム露光装置によれば、第１の態様に係る光ビーム露光装置において、
上記露光領域は、上記主走査方向に沿って延在する部分を含み、
上記副走査方向に沿って互いに隣接した複数の露光位置は、互いに隣接した第１及び第２の露光位置であって、上記最小輝度値とは異なる輝度値を有する画素に対応する第１の露光位置と、上記最小輝度値を有する画素に対応する第２の露光位置とを含み、
上記画像処理回路は、
上記第１の露光位置が、上記第１の露光位置の基準位置から上記第２の露光位置に向かってずれているとき、上記第１の露光位置に対応する画素の輝度値を減少させ、
上記第１の露光位置が、上記第１の露光位置の基準位置から上記第２の露光位置の逆方向に向かってずれているとき、上記第１の露光位置に対応する画素の輝度値を増加させることにより、上記各画素の輝度値を補正することを特徴とする。
【００７２】
本発明の第４の態様に係る光ビーム露光装置によれば、第１〜第３のうちの１つの態様に係る光ビーム露光装置において、
上記対象物に書き込まれた像は、非露光領域を介して対向する一対の露光領域の部分をそれぞれ含む、少なくとも一対の対向部分を含み、
上記各一対の対向部分は、当該一対の対向部分間において、上記主走査方向における第１の距離と、上記副走査方向における第２の距離と、上記主走査方向及び上記副走査方向の間の方向における第３の距離とを有し、
上記画像処理回路は、補正対象の画素の輝度値が補正により上記最大輝度値を超えるとき、かつ、上記補正対象の画素の隣接画素が上記最小輝度値を有するとき、かつ、上記隣接画素の輝度値を増加させても、上記第１、第２、及び第３の距離のすべてが予め決められたしきい値を超えるとき、上記隣接画素の輝度値を増加させることを特徴とする。
【００７３】
本発明の第５の態様に係る電子機器は、
第１〜第４のうちの１つの態様に係る光ビーム露光装置と、
上記画像データを取得する入力装置と、
上記対象物を移動させる駆動装置とを備えたことを特徴とする。
【００７４】
本発明の第６の態様に係る光ビーム露光装置の動作方法は、
最大輝度値及び最小輝度値を含む３値以上の階調の輝度値をそれぞれ有する複数の画素を含む画像データに基づいて複数の光ビームを発生し、上記複数の光ビームにより対象物を走査して上記画像データの像を上記対象物に書き込む光ビーム露光装置の動作方法において、
上記対象物に書き込まれた像は、上記最小輝度値とは異なる輝度値を有する画素の領域に対応する少なくとも１つの露光領域と、上記最小輝度値を有する画素の領域に対応する少なくとも１つの非露光領域とを含み、
上記光ビーム露光装置は、上記対象物上において主走査方向及び副走査方向を有し、
上記動作方法は、
上記画像データの各画素の輝度値を補正するステップと、
上記補正された画像データの各画素の輝度値を上記発光装置に送るステップと、
上記対象物上において上記副走査方向に沿って互いに隣接した異なる露光位置をそれぞれ照射する複数の光ビームを発生し、上記複数の光ビームを上記主走査方向に走査するステップとを含み、
上記画像データの各画素の輝度値を補正するステップは、
上記対象物上の上記副走査方向に沿った等間隔の基準位置からの上記各露光位置のずれを示す露光位置情報に基づいて、上記各露光位置のずれに起因する上記露光領域の輪郭形状の変化を抑制するように、上記各露光位置に対応する上記各画素の輝度値を補正するステップと、
補正対象の画素の輝度値が補正により上記最大輝度値を超えるとき、かつ、上記補正対象の画素の隣接画素が上記最小輝度値を有するとき、上記隣接画素の輝度値を増加させるステップとを含むことを特徴とする。
【符号の説明】
【００７５】
１０…ホストコンピュータ、
２０…光ビーム露光装置、
２１…画像処理回路、
２２…制御回路、
２３−１〜２３−６…発光装置、
２４Ａ〜２４Ｄ…発光素子、
２５…偏向装置、
２６…駆動装置、
３０…プリント配線基板。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００７６】
【特許文献１】特許第４９４２１７６号公報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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