(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面と、裏面と、を備え、前記表面から前記裏面に貫通した空洞が形成された中継アダプタと、
前記中継アダプタに取り付けられ、前記表面側に配置された回路接続部と前記空洞に設けられた接続部とを備えた中継端子と、
前記裏面側から挿抜が可能に設けられた接触子と、
を備え、
前記接続部と前記接触子の一方は弾性部を有し、
前記弾性部が、前記接続部と前記接触子の他方に弾性力を及ぼすことで前記接続部と前記接触子とが接続され、
前記接触子の厚み方向であり、前記表面と平行であり前記弾性部が弾性力を及ぼす方向と垂直な第１方向の前記接続部の長さは、前記第１方向における前記接触子の長さよりも大きいことを特徴とする検査用治具。
【請求項２】
前記弾性部は、前記接触子に設けられ、
前記接触子は、前記接続部を両側から挟み込むことを特徴とする請求項１に記載の検査用治具。
【請求項３】
前記弾性部は、前記接続部に設けられ、
前記接続部は、前記接触子を両側から挟み込む形状を備えることを特徴とする請求項１に記載の検査用治具。
【請求項４】
前記接続部は、前記空洞によって形成された前記中継アダプタの側壁に形成された金属層であり、
前記弾性部は、前記接触子に設けられることを特徴とする請求項１に記載の検査用治具。
【請求項５】
前記接触子を複数備え、
前記複数の接触子は、前記第１方向に重なっていることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の検査用治具。
【請求項６】
前記中継端子は、第１中継端子と、第２中継端子と、を備え、
前記接触子は、第１接触子と、第２接触子と、を備え、
前記第２中継端子は、前記弾性部が弾性力を及ぼす方向に前記第１中継端子とずれて配置され、
前記第１接触子は、前記第１中継端子と接続され、
前記第２接触子は、前記第２中継端子と接続され、
前記第１接触子と前記第２接触子は、検査対象との接触部分において前記第１方向に重なって配置されていることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の検査用治具。
【請求項７】
複数の前記中継端子を備え、
前記複数の中継端子の回路接続部は、平面視で千鳥配置となるように配置されることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の検査用治具。
【請求項８】
前記複数の中継端子は、前記表面において直線状に配置され、
前記複数の中継端子の回路接続部が屈曲すること千鳥配置が形成されることを特徴とする請求項７に記載の検査用治具。
【請求項９】
前記中継アダプタは、前記表面に回路基板を備えることを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載の検査用治具。
【請求項１０】
前記回路基板は、回路パターンを備えることを特徴とする請求項９に記載の検査用治具。
【請求項１１】
前記中継アダプタは、前記表面に受動部品を備えることを特徴とする請求項１〜１０の何れか１項に記載の検査用治具。
【請求項１２】
前記中継アダプタは、ポリアセタールを含むことを特徴とする請求項１〜１１の何れか１項に記載の検査用治具。
【請求項１３】
前記中継アダプタは、ベーク材を含むことを特徴とする請求項１〜１１の何れか１項に記載の検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は検査用治具に係り、パワー半導体への利用に好適な検査用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、検査治具が開示されている。検査治具は接触子を備える。接触子は、伸縮性を備え検査対象と接触するための接触部材と、接触部材の伸縮を案内する中継部材を備える。接触子は、接触子を保持する保持体に覆われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１６３７８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
検査治具では、接触部材を交換することが必要となる場合がある。特許文献１に示される検査用治具では、接触部材を取り外す際に、接触子を覆う保持体を取り外し、さらに中継部材から接触部材を取り外すことが必要となる。このため、接触部材の交換に手間がかかる。
【０００５】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、接触部材の交換が容易な検査用治具を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る検査用治具は、表面と、裏面と、を備え、前記表面から前記裏面に貫通した空洞が形成された中継アダプタと、前記中継アダプタに取り付けられ、前記表面側に配置された回路接続部と前記空洞に設けられた接続部とを備えた中継端子と、前記裏面側から挿抜が可能に設けられた接触子と、を備え、前記接続部と前記接触子の一方は弾性部を有し、前記弾性部が、前記接続部と前記接触子の他方に弾性力を及ぼすことで前記接続部と前記接触子とが接続され、前記接触子の厚み方向であり、前記表面と平行であり前記弾性部が弾性力を及ぼす方向と垂直な第１方向の前記接続部の長さは、前記第１方向における前記接触子の長さよりも大きい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る検査用治具では、中継端子と接触子は弾性力により接続されている。このため、中継端子と接触子の着脱が容易に可能になる。また、検査回路と接続するための配線は、中継端子が備える回路接続部に接続される。このため、接触子を交換する際に、配線を取り外す必要がない。さらに、中継アダプタの裏面側は、接触子の挿抜が可能なように設けられている。以上から、中継アダプタに中継端子を取り付けた状態で、裏面側から挿抜することにより接触子の交換が可能となる。従って、接触子の交換を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態１に係る検査用治具の斜視図である。
【図２】図２Ａは本発明の実施の形態１に係る検査用治具の斜視図である。図２Ｂは本発明の実施の形態１に係る検査用治具の拡大図である。
【図３】比較例に係る検査用治具の正面図である。
【図４】本発明の実施の形態１の変形例に係る検査用治具の拡大図である。
【図５】図５Ａは本発明の実施の形態２に係る検査用治具の断面図である。図５Ｂは本発明の実施の形態２の変形例に係る検査用治具の断面図である。
【図６】図６Ａは、本発明の実施の形態３に係る検査用治具のｘ−ｚ平面での断面図である。図６Ｂは、本発明の実施の形態３に係る検査用治具のｙ−ｚ平面での断面図である。
【図７】図７Ａは、本発明の実施の形態４に係る検査用治具の斜視図である。図７Ｂは、本発明の実施の形態４に係る検査用治具の構造を説明する図である。
【図８】本発明の実施の形態５に係る検査用治具の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の実施の形態に係る検査用治具について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
【００１０】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る検査用治具の斜視図である。検査用治具１００は、中継アダプタ１０を備える。中継アダプタ１０には、中継端子２０が取り付けられている。中継アダプタ１０は、表面１１に回路基板１２を備える。回路基板１２はネジにより中継アダプタ１０の表面１１側に取り付けられている。回路基板１２は、回路パターン１６を備える。また、回路基板１２は受動部品１８を備える。本実施の形態において、受動部品１８は２つの中継端子２０を接続するコンデンサである。
【００１１】
中継端子２０には、検査対象を検査するための図示しない検査回路が接続される。回路パターン１６は、検査内容に応じて変更される。また、受動部品１８は抵抗素子であっても良い。受動部品１８は検査内容に応じて種類、配置および数が変更される。本実施の形態では、回路基板１２を交換することで、容易に検査内容を変更することが出来る。中継アダプタ１０は、ポリアセタールを含む材質で形成される。ポリアセタールを使用することで、絶縁性を確保し、加工性を改善できる。また、中継アダプタ１０は、ベーク材を含む材質で形成されるものとしても良い。ベーク材を使用する場合も、絶縁性を確保し、加工性を改善することが出来る。
【００１２】
図２Ａは本発明の実施の形態１に係る検査用治具の斜視図である。図２Ａにおいて、便宜上、回路基板１２は省略されている。中継アダプタ１０には、空洞１５が形成されている。空洞１５は、中継アダプタ１０の表面１１から裏面１９に貫通する。
【００１３】
中継端子２０は、一端に回路接続部２１を備え、他端に接続部２２を備える。回路接続部２１は、表面１１から露出する。中継端子２０は中継アダプタ１０に取り付けられている。中継端子２０を中継アダプタ１０に取り付ける方法は限定されない。例えば、中継端子２０と中継アダプタ１０を接着剤で接合しても良い。また、表面１１の近傍で中継アダプタ１０が中継端子２０に接触し、中継端子２０が中継アダプタ１０に挟み込まれることで、中継端子２０が固定されても良い。回路接続部２１は、図示しない検査回路と配線４２によって接続される。回路接続部２１は、はんだにより配線４２と接続される。接続部２２は、空洞１５の内部に設けられる。接続部２２は棒状である。
【００１４】
中継端子２０には、接触子３０が接続される。接触子３０は、一端に弾性部３１を備える。弾性部３１と接続部２２が接触することで、中継端子２０と接触子３０が接続される。接触子３０の他端３２は、検査対象と接触する部分である。接触子３０は、弾性部３１と他端３２との間に湾曲部３４を備える。湾曲部３４によって、接触子３０は、弾性力を持って検査対象と接触することとなる。このため、検査対象と接触子３０の接触を安定させることが出来る。
【００１５】
図２Ｂは本発明の実施の形態１に係る検査用治具の拡大図である。図２Ｂは、図２Ａの破線部４０を拡大した断面図である。本実施の形態では、弾性部３１は、二股のフォーク形状である。二股のフォーク形状は、弾性力を有する２本の金属片で形成される。弾性部３１は、棒状の接続部２２を両側から挟みこむ。弾性部３１は、接続部２２に対して弾性力を及ぼす。弾性部３１と接続部２２が接続された状態では、弾性部３１が備える２本の金属片の間隔を接続部２２が押し広げている。このため、弾性力はフォーク形状を形成する２本の金属片が閉じる方向に働く。弾性力が働く方向は、図２Ｂに示すｘ軸方向である。本実施の形態では、弾性部３１が接続部２２に弾性力を及ぼすことで、接触子３０と接続部２２が接続される。
【００１６】
また、弾性部３１と接続部２２の接続部分は、空洞１５の内部に形成される。空洞１５は、弾性部３１と接続部２２が接続された状態において、中継アダプタ１０の側壁１３と弾性部３１が接触しないように設けられている。このため、裏面１９側から、接触子３０の挿抜をすることが可能となる。接触子３０を接続部２２に、裏面１９側からｚ軸方向に圧入することで、中継端子２０と接触子３０は接続される。また、接触子３０を裏面１９側からｚ軸の負方向に引き抜くことで、接触子３０を中継端子２０から取り外すことが出来る。
【００１７】
本実施の形態に係る検査用治具１００は、中継端子２０と検査回路が配線４２によって接続される。これに対し、中継端子を設けずに、接触子を直接、配線と接続する構造が考えられる。図３は、比較例に係る検査用治具の正面図である。比較例に係る検査用治具６００は、金属ピン６３０を備える。金属ピン６３０は絶縁性を備えた固定部６６０に固定される。製品６７０は検査対象である。金属ピン６３０は弾性力を持って製品６７０が備える製品端子６７２と接触する。
【００１８】
金属ピン６３０は配線６４２を介して、検査回路と接続される。配線６４２と金属ピンははんだで接続される。また、検査内容に応じて検査用治具６００には受動部品６１８が取り付けられる。受動部品６１８は、製品６７０との接触部分の近傍に取り付けられることが必要とされる場合がある。このとき、受動部品６１８をはんだによって金属ピン６３０に取り付けることが必要とされる場合がある。
【００１９】
検査用治具６００の金属ピン６３０を交換する場合、配線６４２および受動部品６１８を取り外す必要がある。配線６４２および受動部品６１８は、金属ピン６３０とはんだで接続されている。従って、配線６４２および受動部品６１８の取り外しに手間がかかる。また、新しい金属ピン６３０を取り付けた後に、再び配線６４２および受動部品６１８を取り付ける必要がある。従って、金属ピン６３０の交換に手間がかかる。
【００２０】
これに対し、本実施の形態に係る検査用治具１００では、配線４２および受動部品１８は、中継端子２０に接続される。従って、接触子３０を交換する際に、配線４２および受動部品１８を取り外す必要がない。また、接触子３０と中継端子２０は、圧入により接続される。従って、接触子３０を裏面１９側から挿抜することで、接触子３０の交換が可能になる。このため、接触子３０の交換が容易になる。
【００２１】
図４は、本発明の実施の形態１の変形例に係る検査用治具の拡大図である。本実施の形態の変形例に係る検査用治具８００では、中継端子８２０に弾性部が設けられる。中継端子８２０は一端に回路接続部８２１を備え、他端に接続部８２２を備える。接続部８２２には、二股のフォーク形状の弾性部が設けられる。接触子８３０は、接続部８２２と接続される一端に直線部８３１を備える。直線部８３１は棒状である。接触子８３０の形状は、直線部８３１以外は接触子３０と同様である。接続部８２２は、直線部８３１を両側から挟み込む。変形例に係る検査用治具８００では、接続部８２２が直線部８３１に弾性力を及ぼすことで、接触子８３０と接続部８２２が接続される。従って、変形例に係る検査用治具８００においても、接触子８３０を裏面１９側から挿抜することで、接触子８３０の交換が可能になる。
【００２２】
本実施の形態では、弾性部３１は二股のフォーク形状であり、接続部２２は棒状である。これに対し弾性部３１および接続部２２の形状は、圧入による接続が可能であれば別の形状でも良い。例えば、弾性部３１は、弾性力を有する３つ以上の金属片を備え、金属片が接続部２２を取り囲むように配置されても良い。
【００２３】
本実施の形態では、接触子３０と中継端子２０が接続された状態において、弾性部３１の一部が中継アダプタ１０に収まる。これに対し、接触子３０と中継端子２０が接続された状態において、弾性部３１が全て空洞１５に収まってもよい。また、接続部２２を裏面１９よりも下方に配置し、接触子３０と接続部２２が裏面１９よりも下方で接続されるものとしても良い。
【００２４】
また、本実施の形態では、１つの空洞１５に１つの中継端子２０が配置されている。この変形例として、空洞１５を図２のｙ軸方向に長細く設け、１つの空洞１５に複数の中継端子２０を配置しても良い。また、本実施の形態では、弾性部３１と接続部２２が接続された状態において、側壁１３と弾性部３１は接触しない。この変形例として、空洞１５に挿入された弾性部３１が、側壁１３によりｘ軸方向に両側から押圧されるように空洞１５の幅を設定しても良い。この構成では、弾性部３１が側壁１３により両側から押圧されることで、弾性部３１と接続部２２が接触する。
【００２５】
本実施の形態では、接触子３０は湾曲部３４を備える。これに対し、接触子３０は、一端に弾性部３１を備え、他端３２に検査対象と接触する部分を備えれば、別の形状でも良い。例えば、湾曲部３４を備えなくても良い。また、本実施の形態では中継アダプタ１０は回路基板１２を備えるが、回路基板１２は検査内容に応じて備えなくても良い。これらの変形は以下の実施の形態に係る検査用治具について適宜応用することができる。なお、以下の実施の形態に係る検査用治具については実施の形態１との共通点が多いので、実施の形態１との相違点を中心に説明する。
【００２６】
実施の形態２．
図５Ａは本発明の実施の形態２に係る検査用治具の断面図である。図５Ａは、本実施の形態に係る検査用治具２００のｙ−ｚ平面での断面図である。本実施の形態に係る検査用治具２００は、中継端子２２０および接触子２３０を備える。中継端子２２０および接触子２３０のｘ−ｚ平面視での形状は、実施の形態１の中継端子２０および接触子３０と同様である。また、図５Ａは、接触子２３０が中継端子２２０から取り外された状態を示す。
【００２７】
本実施の形態に係る検査用治具２００は、ｙ軸方向における接続部２２２の長さが、ｙ軸方向における接触子２３０の長さよりも大きい。ここで、ｙ軸方向は、中継アダプタ２１０の表面２１１と平行であり、弾性部２３１が弾性力を及ぼす方向と垂直な第１方向である。なお、弾性部２３１が弾性力を及ぼす方向は、実施の形態１と同様にｘ軸方向である。
【００２８】
本実施の形態においても、裏面２１９側から弾性部２３１を接続部２２２に圧入することで、接触子２３０と中継端子２２０が接続される。本実施の形態では、接続部２２２がｙ軸方向に幅が広く設けられている。従って、接触子２３０の接続の際に、接触子２３０と中継端子２２０の間にｙ軸方向の位置ズレが生じても、接続が可能となる。また、中継端子２２０と検査対象との間にｙ軸方向の位置ズレが生じた場合に、接触子２３０を取り付ける位置を調整することで位置ズレを補正することが可能になる。
【００２９】
図５Ｂは本発明の実施の形態２の変形例に係る検査用治具の断面図である。検査用治具２００では、ｙ軸方向における接続部２２２の長さは、ｙ軸方向における接触子２３０の長さよりも大きい。このため、図５Ｂに示すように、接触子２３０をｙ軸方向に複数重ねて設けることが出来る。接触子２３０を複数重ねることで、検査対象との接触面積が大きくなる。従って、中継端子２２０に１つの接触子２３０が接続される場合と比較して、接触子２３０と検査対象との間の接触抵抗を軽減することが可能になる。従って、通電能力を向上させることが可能になる。
【００３０】
本実施の形態では、実施の形態１と同様に、接触子２３０が弾性部２３１を備える。この変形例として、接続部２２２が弾性部を備えても良い。この場合、接続部２２２は、ｙ軸方向の長さが同方向における接触子２３０の長さよりも大きく弾性力を備えた２枚の金属片で形成される。２枚の金属片は、ｘ軸方向に重なって配置される。接続部２２２が備える金属片は、接触子２３０を両側から挟み込む。また、図５Ｂでは、接触子２３０を４枚重ねて設けているが、４枚でなくても良い。接触子２３０を重ねる枚数は、接触抵抗を考慮して変更する。
【００３１】
実施の形態３．
図６Ａは、本発明の実施の形態３に係る検査用治具のｘ−ｚ平面での断面図である。本実施の形態に係る検査用治具３００は、第１中継端子３２０と第２中継端子３２７を備える。第１中継端子３２０と第２中継端子３２７の構造は、実施の形態２の中継端子２２０と同様である。第２中継端子３２７は、ｘ軸方向に第１中継端子３２０とずれた位置に配置される。
【００３２】
また、検査用治具３００は、第１接触子３３０、第２接触子３３３および第３接触子３３６を備える。第１接触子３３０は、接触子２３０と比較して、弾性部３３１の位置がｘ軸方向にずれている。その他の構造は、接触子２３０と同様である。第２接触子３３３および第３接触子３３６の構造は、接触子２３０と同様である。
【００３３】
図６Ｂは、本発明の実施の形態３に係る検査用治具のｙ−ｚ平面での断面図である。第１中継端子３２０は第１接続部３２２を備える。第２中継端子３２７は第２接続部３２９を備える。第１接続部３２２と第２接続部３２９のｙ軸方向の長さは、第１接触子３３０、第２接触子３３３および第３接触子３３６のｙ軸方向の長さよりも大きい。第１接触子３３０は第１中継端子３２０と接続される。第２接触子３３３および第３接触子３３６はｙ軸方向に重なった状態で、第２中継端子３２７と接続される。弾性部３３１、３３４、３３７以外の部分において、第１接触子３３０、第２接触子３３３および第３接触子３３６はｙ軸方向に重なって配置される。
【００３４】
本実施の形態では、検査対象との接触部分である他端３３２、３３５、３３８において第１接触子３３０、第２接触子３３３および第３接触子３３６はｙ軸方向に重なって配置される。従って、第１接触子３３０、第２接触子３３３および第３接触子３３６は検査対象が備える同一の端子に接触する。一方で、第１接触子３３０の弾性部３３１は、第２接触子３３３および第３接触子３３６の弾性部３３４、３３７に対してｘ方向にずれて配置されている。従って、第１接触子３３０を、第２接触子３３３および第３接触子３３６が接続される第２中継端子３２７とは異なる第１中継端子３２０に接続することが可能になる。
【００３５】
第１中継端子３２０と第２中継端子３２７は、配線３４２および３４４を介し、別の検査回路と接続されることとなる。従って、検査用治具３００では、第１接触子３３０、第２接触子３３３および第３接触子３３６は同一の端子に接触する一方で、中継端子側は複数の経路に分かれる。このとき、複数の電流経路から検査対象の端子に電流を流すことが可能になる。従って、検査対象に対して大電流を流すことが可能になる。本実施の形態では、検査用治具３００が備える中継端子のｘ軸方向の位置が２箇所に分かれている。これに対し、中継端子の位置は３箇所以上に分かれても良い。
【００３６】
実施の形態４．
図７Ａは、本発明の実施の形態４に係る検査用治具の斜視図である。本実施の形態に係る検査用治具４００は、複数の中継端子４２０を備える。中継端子４２０は、中継アダプタ４１０に取り付けられている。中継アダプタ４１０の表面４１１において、複数の中継端子４２０はｙ軸に沿って直線状に設けられている。また、中継端子４２０の回路接続部４２１は、平面視で千鳥配置となるように配置されている。回路接続部４２１は配線４４２、４４４を介し、図示しない検査回路と接続される。
【００３７】
図７Ｂは、本発明の実施の形態４に係る検査用治具の構造を説明する図である。図７Ｂは、検査用治具４００が備える複数の中継端子４２０のうち、隣接する中継端子４２０を比較のために並べた図である。中継端子４２０の回路接続部４２１は、表面４１１から露出している。回路接続部４２１は、表面４１１付近で屈曲し、表面４１１から離れる方向に斜めに伸びる部分を備える。また、回路接続部４２１は、斜めに伸びる部分の上端に接続された垂直に伸びる部分を備える。この結果、回路接続部４２１の端部は、表面４１１における中継端子４２０の位置に対してｘ軸方向にずれることとなる。
【００３８】
図７Ｂに示すように、検査用治具４００が備える複数の中継端子４２０のうち、隣接する中継端子４２０の一方は、他方に対してｚ軸を中心に１８０度回転した状態で配置される。この結果、隣接する中継端子４２０の回路接続部４２１は、複数の中継端子４２０の配列方向に対して、反対側に屈曲する。従って、回路接続部４２１は、平面視で千鳥配置となる。
【００３９】
検査対象である製品が小型化されると、中継端子の間隔が狭まる。この場合、中継端子と配線の接続が困難となる場合がある。これに対し、本実施の形態では、配線が接続される回路接続部４２１は千鳥配置となっている。このため、回路接続部４２１の間隔を広く設けることが可能になる。従って、配線作業を容易にすることが可能になる。
【００４０】
本実施の形態では中継端子４２０は２つの屈曲部を備える。これに対し、隣接した中継端子４２０の回路接続部４２１が中継端子４２０の配列方向に対して反対側に屈曲していれば、回路接続部４２１は別の形状でも良い。例えば回路接続部４２１は屈曲部を１つ備えるものとしても良い。
【００４１】
実施の形態５．
図８は、本発明の実施の形態５に係る検査用治具の断面図である。本実施の形態に係る検査用治具５００は、中継アダプタ５１０を備える。中継アダプタ５１０には、表面５１１から裏面５１９に貫通した空洞５１５が形成される。本実施の形態に係る接続部５２２は、空洞５１５によって形成された中継アダプタ５１０の側壁５１３に形成された金属層５４６である。また、検査用治具５００は接触子３０を備える。
【００４２】
本実施の形態では、接続部５２２に弾性部３１が圧入されることで、接続部５２２と接触子３０が接続される。接続部５２２と接触子３０が接続された状態では、弾性部３１は、接続部５２２に対して弾性力を及ぼす。弾性部３１と接続部５２２が接続された状態では、弾性部３１が備える２本の金属片の間隔を接続部５２２が縮めている。このため、弾性力は、フォーク形状の弾性部３１が備える２本の金属片が開く方向に働く。接続部５２２のｘ軸方向の間隔は、弾性部３１が発生させる弾性力によって、接続部５２２と接触子３０の接続が可能となるように調整されている。
【００４３】
本実施の形態においても、接触子３０を裏面５１９側から挿抜することで、接触子３０の交換が可能になる。このため、接触子３０の交換が容易になる。また、本実施の形態では、弾性部３１が両側から接続部５２２によって挟み込まれる。このため、接続部５２２と接触子３０の接触面積を大きくすることが出来る。従って、接触抵抗を低減することが可能になる。
【００４４】
本実施の形態において、金属層５４６の表面５１１に露出した部分である露出部５２１は、回路接続部であっても良い。この場合、露出部５２１に配線を接続する。また、表面５１１側から接続部５２２に金属部材を取り付けることによって回路接続部を形成しても良い。
【符号の説明】
【００４５】
１００、２００、３００、４００、５００、８００  検査用治具、１１、２１１、４１１、５１１  表面、１９、２１９、５１９  裏面、１５、５１５  空洞、１０、２１０、４１０、５１０  中継アダプタ、２１、４２１、８２１  回路接続部、２２、２２２、５２２、８２２  接続部、２０、２２０、４２０、８２０  中継端子、３０、２３０、８３０  接触子、３１、２３１、３３１、３３４、３３７、８３１  弾性部、５４６  金属層、３２０  第１中継端子、３２７  第２中継端子、３３０  第１接触子、３３３  第２接触子、１２  回路基板、１６  回路パターン、１８  受動部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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