(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面及び第２面を有する圧電フィルムと、
前記第１面に対向する複数の第１電極と、
前記第２面に対向する第２電極と、
前記複数の第１電極に接続する複数の第１配線と、
を備え、
前記複数の第１配線は、前記第１面を正面視したとき、前記圧電フィルム又は前記第２電極のいずれかと重なり、且つ前記圧電フィルム及び前記第２電極の両方と重ならない領域を有する、圧電センサ。
【請求項２】
前記第２電極の数は複数であり、
前記領域は、前記第１面を正面視したとき、各第２電極の間に設けられている、請求項１に記載の圧電センサ。
【請求項３】
前記第２電極は、前記第１面を正面視したとき、前記圧電フィルムより広く、
前記領域は、前記第１面を正面視したとき、前記圧電フィルムより外側に位置し、前記第２電極と重なる、請求項１又は請求項２に記載の圧電センサ。
【請求項４】
前記圧電フィルムには、孔部が形成されており、
前記領域は、前記第１面を正面視したとき、前記孔部から露出している、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電センサ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電センサを備える、タッチ式入力装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電フィルムを備える圧電センサ、及びこの圧電センサを備えるタッチ式入力装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、圧電フィルムを備える圧電センサが各種考案されている。例えば、特許文献１は、ポリ乳酸からなる圧電フィルムを備える圧電センサを開示している。圧電フィルムは、第１面及び第２面を有する。圧電センサはさらに、第１面に形成された４つの分割電極と、４つの分割電極に接続する４つの配線と、第２面に形成された平板電極とを備える。【０００３】
以上の構成において特許文献１の圧電センサは、押圧されたとき、それぞれの分割電極で発生する電圧をそれぞれの配線から検出する。そして、特許文献１の圧電センサは、検出された電圧に基づいて押圧情報を出力することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開２０１０／１４３５２８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の圧電センサにおいて４つの配線は、圧電フィルム及び平板電極の両方に重なっている。そのため、４つの配線における、圧電フィルム及び平板電極の両方と重なっている所定領域で、圧電フィルムからの電圧が発生する。すなわち、特許文献１の圧電センサは、４つの分割電極と４つの配線の所定領域とによって発生する電圧を検出する。【０００６】
したがって、従来の圧電センサ及び従来のタッチ式入力装置は、発生する電圧を複数の分割電極で正確に検出するという点において改善の余地がある。【０００７】
本発明の目的は、発生する電圧を複数の分割電極で正確に検出することができる圧電センサ及びタッチ式入力装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の圧電センサは、第１面及び第２面を有する圧電フィルムと、第１面に対向する複数の第１電極と、第２面に対向する第２電極と、複数の第１電極に接続する複数の第１配線と、を備える。そして、複数の第１配線は、第１面を正面視したとき、圧電フィルム又は第２電極のいずれかと重なり、且つ圧電フィルム及び第２電極の両方と重ならない領域を有する。すなわち、複数の第１配線は、第１面を正面視したとき、圧電フィルム又は第２電極のいずれかと重なったとしても、圧電フィルム及び第２電極の両方と重ならないよう配置されている。【０００９】
この構成における本発明の圧電センサでは、押圧されたとき、圧電フィルムに生じた電荷により第１電極（分割電極）に電荷が誘起され、第１電極２４に電圧が発生する。一方、上記領域には、圧電フィルムに生じた電荷による電荷の誘起は生じない。【００１０】
したがって、本発明の圧電センサは、複数の分割電極に発生する電圧を複数の第１配線から正確に検出することができる。【００１１】
本発明のタッチ式入力装置は、本発明の圧電センサを備える。【００１２】
したがって、本発明のタッチ式入力装置は、本発明の圧電センサと同様の効果を奏する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の圧電センサは、発生する電圧を複数の分割電極で正確に検出することができる。本発明のタッチ式入力装置は、発生する電圧を複数の分割電極で正確に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る表示装置１０の平面図である。
【図２】図１に示すＳ−Ｓ線における断面図である。
【図３】図１に示す圧電センサ１３の平面図である。
【図４】図３に示すＡ−Ａ線における断面図である。
【図５】図３に示すＣ−Ｃ線における断面図である。
【図６】図１に示す表示装置のブロック図である。
【図７】ユーザによって押圧されたタッチパネル１００の断面図である。
【図８】図１に示す圧電センサ１３の比較例に係る圧電センサ８１３の平面図である。
【図９】図８に示す圧電センサ８１３の中央が押圧されたときに各第１電極２４に発生する電圧値を示す図である。
【図１０】図３に示す圧電センサ１３の中央が押圧されたときに各第１電極２４に発生する電圧値を示す図である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係る表示装置に備えられる圧電センサ２１３の平面図である。
【図１２】図１１に示すＥ−Ｅ線における断面図である。
【図１３】本発明の第３実施形態に係る表示装置に備えられる圧電センサ３１３の平面図である。
【図１４】図１３に示すＧ−Ｇ線における断面図である。
【図１５】図１５は、本発明の第４の実施形態に係る表示装置に備えられる圧電センサ４１３の平面図である。
【図１６】図１６は、図１５に示すＨ−Ｈ線における断面図である。
【図１７】図１７は、圧電センサ４１３が備える第２電極４２５およびシールド電極部４３１，４３２，４３３の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
《第１の実施形態》
以下、本発明の第１実施形態に係る表示装置について図面を用いて説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る表示装置１０の平面図である。図２は、図１に示すＳ−Ｓ線における断面図である。図３は、図１に示す圧電センサ１３の平面図である。図４は、図３に示すＡ−Ａ線における断面図である。図５は、図３に示すＣ−Ｃ線における断面図である。図６は、図１に示す表示装置１０のブロック図である。
【００１６】
表示装置１０は、箱状の筐体１１、矩形状の操作板１２、圧電センサ１３、制御部２０および表示部３０を備える。表示装置１０は、例えばスマートホン、タブレット等である。操作板１２及び圧電センサ１３は、タッチパネル１００を構成する。
【００１７】
なお、表示装置１０は、タッチ式入力装置の一例に相当する。
【００１８】
筐体１１は、枠状の側面および矩形状の底面から構成され、矩形状の開口部を有する。筐体１１の開口部を塞ぐように操作板１２が筐体１１に当接する。操作板１２は、ユーザがタッチ操作を行う操作面１０１を有する。操作板１２の材料は例えばガラスである。
【００１９】
制御部２０は、筐体１１の内底面に配置され、圧電センサ１３に電気的に接続されている。表示部３０は、液晶パネル、偏光板、バックライトを備える。表示部３０は、制御部２０に電気的に接続されている。
【００２０】
なお、以下では、操作板１２の操作面１０１の長手方向をＸ方向と称し、操作板１２の操作面１０１の短手方向をＹ方向と称し、操作板１２の厚み方向をＺ方向と称することがある。
【００２１】
図３〜図６に示すように、圧電センサ１３は、圧電フィルム２１、ＯＣＡ（Ｏｐｔｉｃａｌｌｙ  Ｃｌｅａｒ  Ａｄｈｅｓｉｖｅ）２３、複数の第１電極２４，複数の第１配線１２４、複数の第２電極２５、第２配線１２５、基板２６，基板２７、及び受信回路１９を備える。ＯＣＡ２３は、透明な粘着剤である。圧電センサ１３は、操作板１２の操作面１０１とは逆側の面に貼付されている。
【００２２】
複数の第１電極２４及び複数の第１配線１２４は、圧電フィルム２１に対向する基板２６の面に形成されている。複数の第１電極２４は例えばＩＴＯを主成分とする導体膜からなる。基板２６の材料は、ＰＥＴ樹脂、ポリイミド樹脂等である。本実施形態において複数の第１電極２４の数は９つである。複数の第１電極２４は、例えば圧電フィルム２１に生じた電荷（電圧）を検出用するための電極である。
【００２３】
複数の第２電極２５及び第２配線１２５は、圧電フィルム２１に対向する基板２７の面に形成されている。複数の第２電極２５４は例えばＩＴＯを主成分とする導体膜からなる。基板２７の材料は、ＰＥＴ樹脂、ポリイミド樹脂等である。本実施形態において複数の第２電極２５の数は３つである。複数の第２電極２５は、例えばグランド導体、または圧電フィルム２１に生じた電荷（電圧）を検出するための電極である。
【００２４】
また、圧電フィルム２１は、第１面２１Ａおよび第２面２１Ｂを有する。複数の第１電極２４は、ＯＣＡ２３を介して圧電フィルム２１の第１面２１Ａと対向している。
【００２５】
一方、複数の第２電極２５は、ＯＣＡ２３を介して圧電フィルム２１の第２面２１Ｂと対向している。複数の第１配線１２４は、複数の第１電極２４に接続している。複数の第１電極２４は、複数の第１配線１２４を介して受信回路１９に電気的に接続されている。複数の第２配線１２５は、複数の第２電極２５に接続している。複数の第２電極２５は、第２配線１２５を介して受信回路１９に電気的に接続されている。
【００２６】
図３、図５に示すように、複数の第１配線１２４は、第１面２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム２１又は複数の第２電極２５のいずれかと重なり、且つ圧電フィルム２１及び複数の第２電極２５の両方と重ならない領域１２４Ａを有する。領域１２４Ａは、第１面２１Ａを正面視したとき、各第２電極２５の間に設けられている。すなわち、複数の第１配線１２４は、第１面２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム２１又は複数の第２電極２５のいずれかと重なったとしても、圧電フィルム２１及び複数の第２電極２５の両方と重ならないよう配置されている。
【００２７】
ここで、圧電フィルム２１の材料は、ＰＬＬＡ（Ｌ型ポリ乳酸）である。ＰＬＬＡは、キラル高分子であり、主鎖が螺旋構造を有する。ＰＬＬＡは、一軸延伸され、分子が配向すると、圧電性を有する。一軸延伸されたＰＬＬＡの圧電定数は、高分子中で非常に高い部類に属する。また、圧電フィルム２１の材料は、ポーリング処理を行ったＰＶＤＦ等の圧電フィルムであってもよい。
【００２８】
また、ＰＬＬＡは、延伸等による分子の配向処理で圧電性を生じ、ＰＶＤＦ等の他のポリマーや圧電セラミックスのように、ポーリング処理を行う必要がない。すなわち、強誘電体に属さないＰＬＬＡの圧電性は、ＰＶＤＦやＰＺＴ等の強誘電体のようにイオンの分極によって発現するものではなく、分子の特徴的な構造である螺旋構造に由来するものである。
【００２９】
このため、ＰＬＬＡには、他の強誘電性の圧電体で生じる焦電性が生じない。さらに、ＰＶＤＦ等は経時的に圧電定数の変動が見られ、場合によっては圧電定数が著しく低下する場合があるが、ＰＬＬＡの圧電定数は経時的に極めて安定している。
【００３０】
ＰＬＬＡの延伸方向１２１に３軸をとり、３軸方向に垂直な方向に１軸および２軸をとると、ＰＬＬＡにはｄ１４の圧電定数（ずりの圧電定数）が存在する。１軸方向が厚み方向となり、３軸方向（延伸方向１２１）に対して４５°の角度をなす方向が長手方向となるように、ストライプ状の圧電フィルム２１が切り出される。これにより、圧電フィルム２１が長手方向に伸縮すると、圧電フィルム２１は厚み方向に分極する。
【００３１】
次に、圧電センサ１３が押圧を検知する場面について説明する。
【００３２】
図７は、ユーザによって押圧されたタッチパネル１００の断面図である。
【００３３】
なお、図７では、操作板１２及び圧電センサ１３が撓む様子を説明するため、これらの撓みを強調して示している。図７中の白抜き矢印は、ユーザが押圧する方向を示している。
【００３４】
操作板１２の周縁は、筐体１１に固定されている。そのため、図７に示すように、操作板１２がユーザによって押圧されると、操作板１２は押圧された方向に凸となるように撓む。圧電センサ１３も、押圧された方向に凸となるように撓む。
【００３５】
そのため、圧電センサ１３は長手方向（Ｙ方向）に伸びる（歪む）。すなわち圧電センサ１３を構成する圧電フィルム２１が長手方向に伸びる。そのため、圧電効果により圧電フィルム２１は厚み方向に分極する。
【００３６】
圧電フィルム２１の両面に発生した電荷により、複数の第１電極２４及び複数の第２電極２５に電荷が誘起される。複数の第１電極２４及び複数の第２電極２５に発生する電荷は、複数の第１配線１２４及び第２配線１２５を介して受信回路１９へ出力される。
【００３７】
図６に戻り、受信回路１９は、複数の第１電極２４及び複数の第２電極２５からの出力に基づく信号を押圧検知信号として生成し、制御部２０へ出力する。具体的には受信回路１９は、複数の第１電極２４及び複数の第２電極２５からの出力の、インピーダンス及び振幅レベル等を制御部２０で扱いやすい条件に変換する。
【００３８】
制御部２０は、受信回路１９の出力に対して積分処理を行う。具体的には、制御部２０は、受信回路１９の出力電圧と基準電圧との差分が閾値を超えるか否かを判定する。差分が閾値を超えたとき、制御部２０は、ユーザによって操作が行われたと判定する。
【００３９】
そして、制御部２０は、差分が閾値を超えた区間について、受信回路１９の出力電圧と基準電圧との差分を積分する。これにより、制御部２０は、荷重に対応する積分値を求める。
【００４０】
制御部２０は、積分値に基づいて、操作入力内容を認識する。制御部２０は例えば、認識した操作入力内容に基づく画像データを生成し、表示部３０へ出力する。表示部３０は、画像データに基づいて画像を操作面１０１に表示する。
【００４１】
以上の構成において、図３、図５に示すように、複数の第１配線１２４は、第１面２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム２１又は複数の第２電極２５のいずれかと重なったとしても、圧電フィルム２１及び複数の第２電極２５の両方と重ならないよう配置されている。
【００４２】
そのため、圧電センサ１３では、押圧されたとき、圧電フィルム２１に生じた電荷により第１電極２４に電荷が誘起され、第１電極２４に電圧が発生する。一方、領域１２４Ａには、圧電フィルム２１に生じた電荷による電荷の誘起は生じない。
【００４３】
したがって、圧電センサ１３は、複数の第１電極２４に発生する電圧を、複数の第１配線１２４から正確に検出することができる。
【００４４】
次に、図１に示す圧電センサ１３と圧電センサ１３の比較例に係る圧電センサ８１３とを比較する。まず、圧電センサ８１３の構成について説明する。
【００４５】
図８は、図１に示す圧電センサ１３の比較例に係る圧電センサ８１３の平面図である。圧電センサ８１３は、複数の第１配線１２４が、第１面２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム２１及び複数の第２電極８２５の両方と重なる領域８２４Ａを有する点で第１実施形態の圧電センサ１３と相違する。すなわち、複数の第１配線１２４は、第１面２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム２１及び複数の第２電極２５の両方と重なるよう配置されている。その他の構成については同じであるため、説明を省略する。
【００４６】
次に、図１に示す圧電センサ１３の電圧値と図８に示す圧電センサ８１３の電圧値とを比較する。
【００４７】
図９は、図８に示す圧電センサ８１３の中央が所定の力で押圧されたときに９つの第１電極２４に発生する電圧値を示す図である。図１０は、図３に示す圧電センサ１３の中央が所定の力で押圧されたときに９つの第１電極２４に発生する電圧値を示す図である。
【００４８】
なお、図９に示す９つの電圧値は、図８に示す９つの第１電極２４に対応している。同様に、図１０に示す９つの電圧値は、図３に示す９つの第１電極２４に対応している。
【００４９】
圧電センサ８１３では、図９に示すように９つの電圧値が上下左右対称に分布していないことが明らかとなった。この理由は、圧電フィルム２１及び複数の第２電極２５の両方と重なっている領域８２４Ａで、圧電フィルム２１からの電圧が発生するためであると考えられる。そのため、圧電センサ８１３では、押圧された中央からずれた位置を押圧位置として検出してしまう可能性があり、精度を高めるためには電圧の補正が必要となる。また、配線電極の重なる面積が大きな上中央と上右部で大きな値が出ていることから、配線電極の影響が出ていることがわかる。
【００５０】
これに対して圧電センサ１３では、図１０に示すように９つの電圧値が上下左右対称に分布していることが明らかとなった。この理由は、複数の第１配線１２４が、圧電フィルム２１及び複数の第２電極２５の両方と重なっている領域８２４Ａを有しないためであると考えられる。そのため、圧電センサ１３は、押圧された中央を押圧位置として正確に検出することができる。
【００５１】
したがって、圧電センサ１３は、複数の第１電極２４に発生する電圧を複数の第１配線１２４から正確に検出することができる。
【００５２】
《第２の実施形態》
以下、本発明の第２実施形態に係る表示装置について説明する。
【００５３】
図１１は、本発明の第２実施形態に係る表示装置に備えられる圧電センサ２１３の平面図である。図１２は、図１１に示すＥ−Ｅ線における断面図である。
【００５４】
圧電センサ２１３は、複数の第１配線１２４が、第１面２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム２１又は第２電極２２５のいずれかと重なり、且つ圧電フィルム２１及び第２電極２２５の両方と重ならない領域２２４Ａを有する点で第１実施形態の圧電センサ１３と相違する。第２電極２２５は、第１面２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム２１より広い。領域２２４Ａは、第１面２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム２１より外側に位置し、第２電極２２５と重なる。その他の構成については同じであるため、説明を省略する。
【００５５】
以上の構成において、図１１、図１２に示すように、複数の第１配線１２４は、第１面２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム２１又は第２電極２２５のいずれかと重なったとしても、圧電フィルム２１及び第２電極２２５の両方と重ならないよう配置されている。
【００５６】
そのため、圧電センサ２１３では、押圧されたとき、圧電フィルム２１に生じた電荷により第１電極２４に電荷が誘起され、第１電極２４に電圧が発生する。一方、領域２２４Ａには、圧電フィルム２１に生じた電荷による電荷の誘起は生じない。
【００５７】
したがって、圧電センサ２１３は、複数の第１電極２４に発生する電圧を、複数の第１配線１２４から正確に検出することができる。
【００５８】
また、第２電極２２５は平板電極であるため、パターニングする必要がない。そのため、圧電センサ２１３の製造コストを低減できる。
【００５９】
なお、後述の図１３、図１４に示す圧電センサ３１３と同様に、圧電フィルム２２１は孔部２２２を有し、複数の第１配線１２４は、第１面２１Ａを正面視したとき、孔部２２２から露出する（孔部２２に重なる）領域２２４Ｂを有することが好ましい。この構成では、複数の第１配線１２４の全てが圧電フィルム２１及び第２電極２２５の両方と重ならない。そのため、この構成では圧電センサ２１３は、複数の第１電極２４に発生する電圧を複数の第１配線１２４からより正確に検出することができる。
【００６０】
《第３の実施形態》
以下、本発明の第３実施形態に係る表示装置について説明する。
【００６１】
図１３は、本発明の第３実施形態に係る表示装置に備えられる圧電センサ３１３の平面図である。図１４は、図１３に示すＧ−Ｇ線における断面図である。
【００６２】
圧電センサ３１３は、複数の第１配線１２４が、第１面３２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム３２１又は第２電極３２５のいずれかと重なり、且つ圧電フィルム３２１及び第２電極３２５の両方と重ならない領域３２４Ａ，３２４Ｂを有する点で第１実施形態の圧電センサ１３と相違する。第２電極３２５は、第１面３２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム３２１より広い。本実施形態において複数の第１電極２４の数は１２である。領域３２４Ａは、第１面３２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム３２１より外側に位置し、第２電極３２５と重なる。さらに、圧電フィルム３２１には孔部３２２が形成されており、領域３２４Ｂは、第１面３２１Ａを正面視したとき、孔部３２２から露出している（孔部３２２に重なっている）。その他の構成については同じであるため、説明を省略する。
【００６３】
以上の構成において、図１３、図１４に示すように、複数の第１配線１２４は、第１面３２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム３２１又は第２電極３２５のいずれかと重なったとしても、圧電フィルム３２１及び第２電極３２５の両方と重ならないよう配置されている。
【００６４】
そのため、圧電センサ３１３では、押圧されたとき、圧電フィルム３２１に生じた電荷により第１電極２４に電荷が誘起され、第１電極２４に電圧が発生する。一方、領域３２４Ａ，３２４Ｂには、圧電フィルム３２１に生じた電荷による電荷の誘起は生じない。
【００６５】
したがって、圧電センサ３１３は、複数の第１電極２４に発生する電圧を、複数の第１配線１２４から正確に検出することができる。
【００６６】
また、第２電極３２５は平板電極であるため、パターニングする必要がない。そのため、圧電センサ３１３の製造コストを低減できる。
【００６７】
《第４の実施形態》
以下、本発明の第４の実施形態に係る表示装置について説明する。
【００６８】
図１５は、本発明の第４の実施形態に係る表示装置に備えられる圧電センサ４１３の平面図である。図１６は、図１５に示すＨ−Ｈ線における断面図である。図１７は、圧電センサ４１３が備える第２電極４２５およびシールド電極部４３１，４３２，４３３の平面図である。図１７では、構造を分かりやすくするため、シールド電極部４３１，４３２，４３３をドットパターンで示している。
【００６９】
圧電センサ４１３は、第２電極４２５およびシールド電極部４３１，４３２，４３３を備える点で、第１の実施形態の圧電センサ１３と異なる。その他の構成については同じであるため、説明を省略する。
【００７０】
第２電極４２５は、矩形の平板電極である。第２電極４２５の形状は、第１の実施形態で説明した第２電極２５と略同じである。
【００７１】
シールド電極部４３１，４３２，４３３は、開口と導体部とを有する、第２電極４２５よりも導体密度が小さな部分である。具体的には、シールド電極部４３１は、複数の矩形状の開口４１１と導体部とを有する、メッシュ状である。シールド電極部４３２は、複数の矩形状の開口４１２と導体部とを有する、メッシュ状である。シールド電極部４３３は、複数の矩形状の開口４１３と導体部とを有する、メッシュ状である。
【００７２】
シールド電極部４３１，４３２，４３３の導体部は、第２電極４２５に接続されている。開口４１１，４１２，４１３は、それぞれ周囲を導体部で囲まれた貫通孔である。シールド電極部４３１，４３２，４３３の導体部は、例えばＩＴＯを主成分とする導体膜からなる。
【００７３】
図１５に示すように、複数の第１配線１２４は、第１面２１Ａを正面視したとき、シールド電極部４３１，４３２，４３３に重なるように配置されている。すなわち、複数の第１配線１２４は、シールド電極部４３１，４３２，４３３の導体部に重なる部分と、複数の開口４１１，４１２，４１３から露出する部分（複数の開口４１１，４１２，４１３に重なる部分）とを有する。
【００７４】
以上の構成により、第１配線１２４に対する外部からのノイズが、シールド電極部４３１，４３２，４３３で遮蔽されるため、圧電センサ４１３を外部ノイズの多い環境下に配置した場合でも、複数の第１配線１２４に対する外部ノイズの影響を抑制できる。したがって、この構成により、複数の第１電極２４からの出力に基づく信号のＳＮ比は向上する。
【００７５】
また、シールド電極部４３１，４３２，４３３はメッシュ状であり、第２電極４２５よりも導体密度が小さい。そのため、複数の第１配線１２４が、第１面２１Ａを正面視したとき、圧電フィルム２１及びシールド電極部の両方に重なっている場合でも、複数の第１配線１２４には、圧電フィルム２１に生じた電荷による電荷の誘起が生じ難い。すなわち、複数の第１配線１２４には、圧電フィルム２１に生じた電荷に起因する、電圧は生じ難い。
【００７６】
したがって、圧電センサ４１３は、複数の第１電極２４に発生する電圧を、複数の第１配線１２４から正確に検出することができる。
【００７７】
なお、第１面２１Ａを正面視したときの、複数の第１配線１２４とシールド電極部４３１，４３２，４３３の導体部とが重なる部分の面積は、より小さい方が好ましい。例えば、第１面２１Ａを正面視したときの、複数の第１配線１２４とシールド電極部４３１，４３２，４３３の導体部とが重なる部分の面積は、第１電極２４の面積の５％以下（より好ましくは、１％以下。）であることが好ましい。この構成によれば、複数の第１配線１２４が、第１面２１Ａを正面視したとき、シールド電極部の導体部および圧電フィルム２１の両方に重なっている場合でも、複数の第１電極２４に発生する電圧の、検出精度に対する影響は殆どない（検出精度に対する影響を極めて小さい）。
【００７８】
また、シールド電極部がメッシュ状である場合には、例えば、第１面２１Ａを正面視したときに、シールド電極部の導体部のうち少なくとも複数の第１配線１２４に重なる部分の線幅が、複数の第１配線１２４の線幅以下であることが好ましい。この構成によれば、複数の第１配線１２４が、第１面２１Ａを正面視したとき、シールド電極部の導体部および圧電フィルム２１の両方に重なっている場合でも、複数の第１電極２４に発生する電圧の、検出精度に対する影響は殆どない（検出精度に対する影響を極めて小さい）。
【００７９】
本実施形態では、複数の開口４１１の数が１１、複数の開口４１２の数が２２、複数の開口４１３の数が２２であるが、これに限るものではない。実施の際、複数の開口４１１，４１２，４１３の数はその他の数でもよい。また、複数の開口４１１，４１２，４１３の形状は矩形状に限るものではなく、その他の形状（例えば、円形、楕円形、Ｌ字等）でもよい。
【００８０】
また、本実施形態では、複数の開口４１１，４１２，４１３が、周囲を導体部で囲まれた貫通孔であるが、これに限るものではない。開口は、例えば導体部の周縁から内部に向かって延伸する切り欠き（スリット）であってもよい。
【００８１】
《その他の実施形態》
なお、前記各実施形態ではタッチ式入力装置として表示装置１０で説明したが、これに限るものではない。実施の際、表示部を備えないタッチ式入力装置（例えばタッチパッド）に本発明を適用してもよい。
【００８２】
また、前記各実施形態では圧電センサ１３，２１３，３１３，４１３の各層は、透明な粘着剤であるＯＣＡ２３で接合されているが、これに限るものではない。実施の際、圧電センサ１３の各層は、接着剤で接合されていてもよい。
【００８３】
また、前記各実施形態では複数の第１電極２４の数は９又は１２であるが、これに限るものではない。実施の際、複数の第１電極２４の数はその他の数でもよい。
【００８４】
最後に、前記実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲は、特許請求の範囲と均等の範囲とを含む。
【符号の説明】
【００８５】
１０…表示装置
１１…筐体
１２…操作板
１３、２１３、３１３、４１３…圧電センサ
１９…受信回路
２０…制御部
２１、２２１、３２１…圧電フィルム
２１Ａ、３２１Ａ…第１面
２１Ｂ…第２面
２３…ＯＣＡ
２４…第１電極
２５、２２５、３２５、４２５…第２電極
２６、２７…基板
３０…表示部
１００…タッチパネル
１０１…操作面
１２１…延伸方向
１２４…第１配線
１２４Ａ、２２４Ａ、２２４Ｂ、３２４Ａ，３２４Ｂ…領域
１２５…第２配線
２２２、３２２…圧電フィルムの孔部
４１１、４１２、４１３…開口
４３１、４３２、４３３…シールド電極部
８２４Ａ…領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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