(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン形成された印刷版における前記印刷版のパターン形成領域に、処理液を処理液設定パターンで付与する処理液付与工程と、
前記処理液が付与された前記印刷版の前記パターン形成領域にインクをインク設定パターンで付与するインク付与工程と、
前記印刷版の前記パターン形成領域に付与された前記インクを基板に転写する転写工程とを有し、
前記処理液は、前記処理液を付与せずに前記パターン形成領域に着滴した前記インクの第１の径に比して、前記処理液を付与した後の前記インクの第２の径を大きくするものであることを特徴とする印刷方法。
【請求項２】
前記処理液付与工程を複数回繰り返した後に、前記インク付与工程を複数回繰り返し、次に前記転写工程を行う請求項１に記載の印刷方法。
【請求項３】
前記処理液付与工程と、前記インク付与工程とを複数回繰り返した後に、前記転写工程を行う請求項１に記載の印刷方法。
【請求項４】
パターン形成された印刷版における前記印刷版のパターン形成領域に、インクをインク設定パターンで付与するインク付与工程と、
前記インクが付与された前記印刷版の前記パターン形成領域に処理液を処理液設定パターンで付与する処理液付与工程と、
前記印刷版の前記パターン形成領域に付与された前記インクを基板に転写する転写工程とを有し、
前記処理液は、前記処理液を付与せずに前記パターン形成領域に着滴した前記インクの第１の径に比して、前記処理液を付与した後の前記インクの第２の径を大きくするものであることを特徴とする印刷方法。
【請求項５】
前記インク付与工程を複数回繰り返した後に、前記処理液付与工程を複数回繰り返し、次に前記転写工程を行う請求項４に記載の印刷方法。
【請求項６】
前記インク付与工程と、前記処理液付与工程とを複数回繰り返した後に、前記転写工程を行う請求項４に記載の印刷方法。
【請求項７】
前記処理液の付与は、インクジェット方式でなされる請求項１〜６のいずれか１項に記載の印刷方法。
【請求項８】
前記インクの付与は、インクジェット方式でなされる請求項１〜７のいずれか１項に記載の印刷方法。
【請求項９】
前記処理液設定パターンと、前記インク設定パターンとの少なくとも一部が重なる請求項１〜８のいずれか１項に記載の印刷方法。
【請求項１０】
電子デバイスの製造に用いられる請求項１〜９のいずれか１項に記載の印刷方法。
【請求項１１】
配線パターンまたは電極の形成に用いられる請求項１０に記載の印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷版のパターン形成領域に、処理液設定パターン状に処理液を付与する印刷方法に関し、特に、高い生産性で高精細な印刷パターンを形成する印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、印刷は、文字および写真のみならず、パターン状の配線および配線基板等の形成にも利用されている。
特許文献１には、全面が親水性のプレートへインクジェットでゲート剤をパターンニングしたのち、プレートにインクを塗布して、ブランケットに転写し、その後、基板に転写してパターンを形成する印刷方法が記載されている。また、特許文献１には、固定パターンを有するプレートに、パターンを可変したい部分に対してインクジェットでゲート剤をパターンニングした後、中間転写体にインクを塗布して、ブランケットに転写し、その後、基板に転写してパターンを形成する印刷方法も記載されている。【０００３】
特許文献２には、撥液性の対象物の表面に界面活性剤を含む液体を付与して液滴状に付着させる工程と、付与の後にプラズマ処理を行うことで、付着した液滴の外側の表面を親液化する工程と、親液化の後に撥液性の表面の上にある液体を除去する工程によって得られた基材を用いる中間転写体を用いた記録物の製造方法が記載されている。中間転写体に親液部と撥液部とからなるパターンが形成される。
特許文献２では、中間転写体上に、インクと反応する反応液を付与し、反応液は親液部に保持される。この状態で、中間転写体に対してインクジェットヘッドからインクを吐出して中間転写体にインク画像を形成する。このとき、インクは反応液との接触により瞬時に凝集反応が起こり、インク画像は乱れることがない。その後、中間転写体上に形成されたインク画像を記録媒体に転写する。【０００４】
特許文献３には、孔版印刷部で孔版を用いてプレコートを行い、インクジェット印刷部でインキングすることにより、インクの滲みを防止するハイブリッド孔版印刷装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−２４１０１３号公報
【特許文献２】特開２０１０−２４１０３９号公報
【特許文献３】特開２００２−１３７５２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の特許文献１では、インクが塗布されないところを、インクジェットを用いてゲート剤で覆うため、高精度のパターニングができず、高精細なパターンが得られない。
特許文献２は、中間転写体に、界面活性剤を含む液体を付与し、プラズマ処理を行うことで親液部と撥液部とからなるパターンを形成するものであり、高精細なパターンが得られず、高精細なインク画像を得ることができない。
特許文献３では、パターンに応じて孔版を作成する必要があり、高い生産性を実現することが困難である。また、特許文献３は、プレコートを行うことでインクの滲みを防止しており、インクを滲ませてパターンを形成するものではない。【０００７】
本発明の目的は、前述の従来技術に基づく問題点を解消し、高い生産性で高精細な印刷パターンを形成することができる印刷方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の目的を達成するために、本発明の第１の態様は、パターン形成された印刷版における印刷版のパターン形成領域に、処理液を処理液設定パターンで付与する処理液付与工程と、処理液が付与された印刷版のパターン形成領域にインクをインク設定パターンで付与するインク付与工程と、印刷版のパターン形成領域に付与されたインクを基板に転写する転写工程とを有し、処理液は、処理液を付与せずにパターン形成領域に着滴したインクの第１の径に比して、処理液を付与した後のインクの第２の径を大きくするものであることを特徴とする印刷方法を提供するものである。
処理液付与工程を複数回繰り返した後に、インク付与工程を複数回繰り返し、次に転写工程を行うことが好ましい。
処理液付与工程と、インク付与工程とを複数回繰り返した後に、転写工程を行うことが好ましい。【０００９】
本発明の第２の態様は、パターン形成された印刷版における印刷版のパターン形成領域に、インクをインク設定パターンで付与するインク付与工程と、インクが付与された印刷版のパターン形成領域に処理液を処理液設定パターンで付与する処理液付与工程と、印刷版のパターン形成領域に付与されたインクを基板に転写する転写工程とを有し、処理液は、処理液を付与せずにパターン形成領域に着滴したインクの第１の径に比して、処理液を付与した後のインクの第２の径を大きくするものであることを特徴とする印刷方法を提供するものである。
インク付与工程を複数回繰り返した後に、処理液付与工程を複数回繰り返し、次に転写工程を行うことが好ましい。
インク付与工程と、処理液付与工程とを複数回繰り返した後に、転写工程を行うことが好ましい。【００１０】
処理液の付与は、インクジェット方式でなされることが好ましい。インクの付与は、インクジェット方式でなされることが好ましい。処理液設定パターンと、インク設定パターンとの少なくとも一部が重なることが好ましい。
電子デバイスの製造に用いられることが好ましく、配線パターンの形成または電極の形成に用いられることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、高い生産性で高精細な印刷パターンを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態の印刷装置を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態の印刷装置の画像記録部を示す模式図である。
【図３】印刷版の一例を示す模式面である。
【図４】インクジェットヘッドのノズルの配置を示す平面図である。
【図５】インクジェットヘッドのノズルの配置の他の例を示す平面図である。
【図６】本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式図である。
【図７】本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式的断面図である。
【図８】本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版である平版を示す模式的断面図である。
【図９】本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版である凸版を示す模式的断面図である。
【図１０】本発明の実施形態の印刷装置で形成される薄膜トランジスタの一例を示す模式図である。
【図１１】インク径比と処理液打滴からインク打滴までの時間の関係を示すグラフである。
【図１２】インクと処理液の相互作用を説明する模式図である。
【図１３】インクと処理液の相互作用を説明する模式図である。
【図１４】処理液設定パターンを示す模式図である。
【図１５】インクのインク設定パターンを示す模式図である。
【図１６】処理液設定パターンとインクのインク設定パターンを示す模式図である。
【図１７】インクの他のインク設定パターンを示す模式図である。
【図１８】処理液設定パターンとインクの他のインク設定パターンを示す模式図である。
【図１９】本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式図である。
【図２０】本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式図である。
【図２１】本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式図である。
【図２２】本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式図である。
【図２３】本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式図である。
【図２４】本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式的断面図である。
【図２５】本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式的断面図である。
【図２６】本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式的断面図である。
【図２７】本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式的断面図である。
【図２８】本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式的断面図である。
【図２９】本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式的断面図である。
【図３０】本発明の実施形態の第２の印刷方法を工程順に示す模式図である。
【図３１】本発明の実施形態の第２の印刷方法を工程順に示す模式図である。
【図３２】本発明の実施形態の第２の印刷方法を工程順に示す模式図である。
【図３３】本発明の実施形態の第３の印刷方法を工程順に示す模式図である。
【図３４】本発明の実施形態の第３の印刷方法を工程順に示す模式図である。
【図３５】本発明の実施形態の印刷方法の処理液の付与およびインクのタイミングチャートである。
【図３６】本発明の実施形態の印刷方法を示すフローチャートである。
【図３７】本発明の実施形態の他の印刷方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の印刷方法を詳細に説明する。本発明は、以下に説明する印刷装置および印刷方法の実施形態に限定されるものではない。
なお、以下において数値範囲を示す「〜」とは両側に記載された数値を含む。例えば、εが数値β１〜数値β２とは、εの範囲は数値β１と数値β２を含む範囲であり、数学記号で示せばβ１≦ε≦β２である。
「平行」、「垂直」および「直交」等の角度は、特に記載がなければ、厳密な角度との差異が５°未満の範囲内であることを意味する。厳密な角度との差異は、４°未満であることが好ましく、３°未満であることがより好ましい。また、「同一」とは、技術分野で一般的に許容される誤差範囲を含むものとする。
【００１４】
図１は、本発明の実施形態の印刷装置を示す模式図である。
図１に示すように印刷装置１０は、印刷装置本体１２と、記憶部１４と、判定処理部１６と、制御部１８とを有する。
印刷装置本体１２は、印刷法により、基板３１に予め定められたパターンを形成するものである。印刷装置本体１２については後に詳細に説明する。
【００１５】
記憶部１４は、印刷装置１０で利用される各種の情報が記憶されるものである。記憶部１４には、特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの基準となる基準形状の情報が記憶される。
基準形状の情報とは、例えば、印刷版２５のパターン形成領域に対して、インクを付与した際の理想的な状態を示す画像データである。また、印刷版２５のパターン形成領域に対して、複数回にわたり、インクを付与する場合には、各回毎の理想的な状態を示す画像データである。例えば、パターン形成領域に対してインクジェット方式でインクを吐出し、ドットを形成してパターン形成領域にインクを付与した場合には、各回毎のインクの吐出により形成されるドットの理想的な配置を示す画像データを上述の基準形状の情報という。
また、転写後の印刷版２５の版面２５ａの理想的な状態を示す画像データも基準形状の情報に含まれる。
【００１６】
また、記憶部１４には、印刷しようとするパターンのインク設定パターンデータ、処理液の処理液設定パターンデータが記憶される。インク設定パターンデータ、および処理液設定パターンデータは外部から適宜入力されて記憶部１４に記憶される。記憶部１４への基準形状の情報ならびにインク設定パターンデータおよび処理液設定パターンデータの入力方法は、特に限定されるものではなく、各種のインターフェースを記憶部１４に設け、記憶媒体、ならびに有線および無線を問わないネットワークを介して入力することができる。
また、記憶部１４には、後に詳細に説明するが、インクジェットヘッド４０から吐出するインクのインク設定パターンデータおよびインク吐出タイミングデータ、ならびにインクのインク設定パターンデータを印刷版２５の取り付け状態に応じて補正した補正インク設定パターンデータも記憶される。
【００１７】
インクのインク設定パターンデータとは、インクジェットヘッド４０を用いてインクを印刷版２５のパターン形成領域２７ａ（図３参照）に付与する際のインクのインク設定パターン、この場合、インクの吐出パターンを示すデータのことである。インク設定パターンについては後に説明する。
インク吐出タイミングデータとは、インクジェットヘッド４０を用いて上述のインク設定パターンデータで印刷版２５のパターン形成領域にインクを付与する際に、印刷版２５のパターン形成領域に、どのタイミングでインクを吐出するのかを示すデータのことである。
【００１８】
記憶部１４には、処理部２３から後に詳細に説明するが、処理液を付与するために予め設定された処理液の設定パターンの処理液設定パターンデータおよび処理液吐出タイミングデータ、ならびに処理液設定パターンデータを印刷版２５の取り付け状態に応じて補正した補正処理液設定パターンデータも記憶される。
【００１９】
処理液設定パターンデータとは、処理液を印刷版２５のパターン形成領域に付与する際の処理液の設定パターンを示すデータのことである。処理液設定パターンについては後に説明する。
処理液吐出タイミングデータとは、上述の処理液設定パターンデータで印刷版２５のパターン形成領域に処理液を付与する際に、印刷版２５のパターン形成領域に、どのタイミングで処理液を吐出するのかを示すデータのことである。
【００２０】
判定処理部１６は、処理液設定パターンデータについてもインク設定パターンデータと同様に、印刷版２５の角度αに応じて、補正処理液設定パターンデータを作成する。補正処理液設定パターンデータは記憶部１４に記憶される。
【００２１】
制御部１８は、印刷装置本体１２、記憶部１４および判定処理部１６に接続されており、印刷装置本体１２、記憶部１４および判定処理部１６の各要素を制御するものである。さらに、制御部１８は、判定処理部１６での判定結果に応じて各部を制御する。
また、制御部１８は、例えば、判定処理部１６でインク設定パターンデータの補正インク設定パターンデータが作成された場合、その補正インク設定パターンデータに基づいてインクをインクジェットヘッド４０から吐出させる。
【００２２】
次に、印刷装置本体１２について説明する。
印刷装置本体１２は、印刷を清浄な雰囲気でするためにケーシング２０の内部２０ａに各部が設けられている。ケーシング２０の内部２０ａを予め定められた清浄度となるように、フィルタ（図示せず）および空調設備（図示せず）が設けられている。
印刷装置本体１２は、画像記録部２２と、処理部２３と、版胴２４と、ステージ３０と、乾燥部３２と、イオナイザー３３と、クリーニング部３４と、除去部３５と、メンテナンス部３６とを有する。
版胴２４の表面２４ａの周囲を囲むようにして、画像記録部２２、乾燥部３２、イオナイザー３３、クリーニング部３４および処理部２３が設けられている。クリーニング部３４は版胴２４の表面２４ａに接して設けられており、クリーニング部３４はイオナイザー３３の版胴２４が回転するＹ方向の上流側に設けられている。また、処理部２３は、イオナイザー３３のＹ方向の下流側、かつ画像記録部２２のＹ方向の上流側に設けられており、処理部２３は、画像記録部２２と別体である。
【００２３】
ステージ３０上に基板３１が配置されており、ステージ３０が版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに配置された状態で版胴２４が回転すると印刷版２５と、基板３１の表面３１ａとが接するように配置されている。これにより、基板３１の表面３１ａに印刷版２５の版面２５ａに予め定められたパターン形成領域２７ａに付与されたインクが転写される。版胴２４とステージ３０で転写部３９が構成される。
なお、印刷された基板３１では、インクの特性に応じて、例えば、熱、光等によりインクが焼成される。熱、光を用いたインクの焼成で利用される公知のものが適宜利用可能である。基板３１に対するインクの焼成は、ケーシング２０の内部２０ａでなされても、外部でなされてもよい。
【００２４】
印刷装置１０では、版胴２４に設けた印刷版２５のパターン形成領域にインクを付与するが、このインクの付与は１回で完了させてもよく、また複数回にわたってインクを付与してもよい。複数回にわたってインクを付与する場合、インクを付与する回数分、版胴２４を回転させる。例えば、４回に分けてインクを付与する場合、版胴２４を４回回転させる。インクを付与することをインキングという。また、複数回のうち、インクを１回行うことを走査するともいう。
【００２５】
以下、印刷装置本体１２の各部について説明する。
画像記録部２２は、印刷版２５の版面２５ａの予め定められたパターン形成領域に処理液およびインクを付与するものであり、画像記録部２２により、版面２５ａに予め定められたパターンで処理液およびインクが付与される。なお、画像記録部２２の画像記録方式は特に限定されるものではなく、例えば、インクジェット方式が用いられる。
【００２６】
版胴２４は、回転軸２４ｂを中心にして、一方向、例えば、Ｙ方向に回転可能なものである。Ｙ方向が回転方向である。Ｙ方向のことを送り方向ともいう。また、版胴２４は、印刷版２５を保持した状態で回転させて、予め定められたパターン形成領域２７ａに付与された印刷版２５の版面２５ａのインクを基板３１の表面３１ａに転写するためのものである。
回転軸２４ｂには、例えば、版胴２４を回転させるためのモータ（図示せず）がギア（図示せず）等を介して設けられている。また、ギアを介さないダイレクトドライブモータを設けることもできる。モータは制御部１８にて制御される。また、回転軸２４ｂには回転と回転量を検出するローターリーエンコーダ（図示せず）が設けられている。ローターリーエンコーダは制御部１８に接続されており、制御部１８で版胴２４の回転量が検出される。
【００２７】
転写される基板３１は、特に限定されるものではないが、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）およびＰＣ（ポリカーボネート）等のフィルム基板、ガラスエポキシ基板、セラミック基板、ならびにガラス基板を用いることができる。転写方法としては、ガラス基板等のリジッド基板では、上述のようにステージ３０上に基板３１を固定して版胴２４に密着させることで転写できる。
なお、印刷版２５にフィルムを使った場合には圧胴を用いて、フィルムを圧胴に固定して版胴２４に密着させて転写する構成としてもよい。
【００２８】
ステージ３０は、基板３１を載置し、搬送方向Ｖに移動して、基板３１を予め定められた位置に搬送するものである。ステージ３０には搬送機構（図示せず）が設けられている。この搬送機構は、制御部１８に接続されており、制御部１８にて搬送機構が制御されてステージ３０が搬送方向Ｖに移動されて、ステージ３０の位置が変えられる。
ステージ３０は、まず、ケーシング２０の外部から搬送された基板３１が載置される開始位置Ｐｓに待機する。次に、ステージ３０は、版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに移動される。次に、印刷後、ステージ３０は印刷済みの基板３１を載せた状態で終了位置Ｐｅに移動され、その後、基板３１はケーシング２０の外部に取り出される。ステージ３０は、終了位置Ｐｅから開始位置Ｐｓに移動されて、基板３１が搬入されるまでの間、待機する。
【００２９】
乾燥部３２は、印刷版２５の版面２５ａのインクを乾燥させるものであり、また、印刷版２５の版面２５ａの処理液を乾燥させるものでもある。乾燥部３２は、印刷版２５の版面ａのインクおよび処理液を乾燥させるものであるので、インクを基板３１に転写するまでに行う必要がある。このため、乾燥部３２は、画像記録部２２と転写部３９との間に設けられている。
乾燥部３２ではインクおよび処理液を乾燥させることができれば、乾燥方法は、特に限定されるものではなく、例えば、ファンによる温風、冷風の吹き付け、赤外線ヒーターによる加熱、高周波の照射、およびマイクロ波照射等が挙げられる。
なお、自然乾燥にて印刷版２５の版面２５ａのインクを乾燥できる場合、乾燥部３２を必ずしも設ける必要がない。
乾燥部３２は、印刷工程によっては、印刷版２５のインクが付与されず後述の処理液だけが付与された印刷版２５を乾燥することもある。
【００３０】
イオナイザー３３は、印刷版２５の版面２５ａの静電気を除電するものである。イオナイザー３３により、印刷版２５の版面２５ａの静電気が除去され、印刷版２５の版面２５ａにゴミおよび埃等の異物の付着が抑制される。また、印刷版２５の版面２５ａが帯電している場合、吐出されたインクが曲がることがあるが、この吐出されたインクの曲がりを防止することができ、インクジェット吐出精度が向上する。
なお、イオナイザー３３には、静電気除電器を用いることができ、例えば、コロナ放電方式、およびイオン生成方式のものを用いることができる。また、イオナイザー３３は、上述のようにクリーニング部３４のＹ方向における下流側に設けており、クリーニング部３４にて、印刷版２５の版面２５ａに静電気が帯電しても静電気を除電することができる。
【００３１】
クリーニング部３４は、版胴２４および印刷版２５に付着したインクを除去するものである。クリーニング部３４は、版胴２４および印刷版２５に付着したインクを除去することができれば、その構成は、特に限定されるものではない。例えば、ローラを版胴２４に押し付け、ローラにインクを転写させて、転写されたインクを拭き取る構成である。
【００３２】
除去部３５は、印刷版２５に付与した、後述の処理液およびインクの溶媒を除去するものである。処理液およびインクの溶媒を除去することで、インクの乾燥しやすさが向上する。
除去部３５は、例えば、印刷版２５に対して、回転軸を中心に回転する回転ローラ（図示せず）が配置されている。回転ローラの周面に、印刷版２５の処理液およびインクの溶媒の除去のためのウェブ（図示せず）が巻きかけられている。ウェブは、印刷版２５の処理液およびインクの溶媒を取り除くことができれば、特に限定されるものではない。
インクが除去された印刷版２５に対して、例えば、除去液を印刷版２５に直接、塗布または噴射して、回転ローラを回転させてウェブを印刷版２５に接触させて処理液および残存していれば、インクの溶媒を取り除く。また、ウェブに除去液を噴射して、回転ローラを回転させてウェブを印刷版２５に接触させて処理液および残存していれば、インクの溶媒を取り除くようにしてもよい。
除去液には、例えば、アセトン等の揮発性溶媒が用いられる。
なお、乾燥部３２と除去部３５は、少なくとも一方を設ける構成であってもよい。
【００３３】
メンテナンス部３６は、画像記録部２２の吐出特性等が予め定められた性能を発揮するかを調べる。また、処理部２３の吐出特性等が予め定められた性能を発揮するかを調べるものである。
メンテナンス部３６は、予め定められた性能を発揮するようノズルのワイプ等をするところである。メンテナンス部３６は、版胴２４から離れた位置に設けられている。画像記録部２２は、例えば、ガイドレール（図示せず）を介してメンテナンス部３６に移送される。また、処理部２３は、例えば、ガイドレール（図示せず）を介してメンテナンス部３６に移送される。
【００３４】
以下、画像記録部２２について詳細に説明する。
図２は、本発明の実施形態の印刷装置の画像記録部を示す模式図である。
画像記録部２２に、インクジェット方式を用いたものを例にして説明する。
図２に示すように、画像記録部２２は、インクジェットヘッド４０と、アライメントカメラ４２と、回動部４９とを有し、これらはキャリッジ４６に設けられている。このキャリッジ４６はリニアモータ４８により、版胴２４の回転軸２４ｂと平行な方向、すなわち、Ｘ方向に移動可能であり、インクジェットヘッド４０はキャリッジ４６によりＸ方向へ移動可能である。キャリッジ４６の位置はリニアモータ４８に設けられたリニアスケール（図示せず）の読み取り値から算出することができる。
【００３５】
インクジェットヘッド４０はインク付与部であり、インクジェットヘッド４０にはインクの吐出を制御するための吐出制御部４３が設けられている。吐出制御部４３でインクの吐出波形が調整される。吐出制御部４３は制御部１８に接続されている。吐出制御部４３では、例えば、ユーザーインターフェースを通して、ユーザーが吐出電圧または吐出波形を調整することが可能である。なお、後述するようにインクの温度が調整された状態で吐出される。
【００３６】
アライメントカメラ４２は、インクの吐出位置、インクの吐出タイミング、およびインクのインク設定パターンデータを補正するためのアライメントマークの位置情報を得るためのものである。
アライメントカメラ４２は、アライメントマークＡ〜アライメントマークＤを検出することができれば、その構成は特に限定されるものではない。
【００３７】
アライメントカメラ４２により、アライメントマークＡ〜アライメントマークＤが撮像されて、その撮像データが記憶部１４に記憶され、判定処理部１６でアライメントマークＡ〜アライメントマークＤの位置が特定される。アライメントカメラ４２と判定処理部１６は、版胴２４に設けられた印刷版２５の取り付け情報を取得する取付位置情報取得部として機能する。
アライメントマークＡおよびアライメントマークＢの位置情報により、Ｙ方向におけるインクの吐出開始位置、Ｘ方向の印刷版の拡縮および印刷版の傾き角度θの情報を得ることができる。アライメントマークＡおよびアライメントマークＣの位置情報により、Ｘ方向におけるインクの吐出開始位置およびＹ方向の印刷版の拡縮の情報を得ることができる。アライメントマークＡ〜アライメントマークＤの位置情報により、例えば、印刷版の台形歪みの情報、すなわち、台形変形の情報を得ることができる。インクの吐出開始位置のことをインキング開始位置という。
印刷版２５は、アライメントマークＡとアライメントマークＣを通る線Ｌａ（図６参照）が上述のＹ方向に平行であることが理想的である。しかし、印刷版２５を版胴２４に取り付ける際に、印刷版２５が版胴２４に対して、わずかであるが傾いてしまう。アライメントマークＡ〜アライメントマークＤの位置情報により、版胴２４上での印刷版２５の取り付け情報、例えば、版胴２４のＹ方向に対する印刷版２５の傾き等の情報を得ることができる。
【００３８】
上述の得られた各種の情報により、インクの吐出開始位置、インクジェットヘッド４０の位置およびインクの吐出タイミングを補正する。なお、これらの補正には、いずれもインクジェットによるインクの打滴の公知の補正方法を用いることができる。
また、インク設定パターンについてのＸ方向の拡大縮小、Ｙ方向の拡大縮小、傾き、および台形補正は、公知の補正方法を用いることができる。
なお、アライメントマークは、少なくとも３つあればよく、Ｘ方向の印刷版の拡縮、印刷版の傾き角度θおよびＹ方向の印刷版の拡縮の情報を得ることができる。アライメントマークが４つあれば、印刷版２５の台形歪みの情報も得ることができるため、４つあることが好ましい。さらには、アライメントマークＡ〜アライメントマークＤの内側にも複数のアライメントマークを設けることにより、非線形の補正を行うことができる。この場合、アライメントマークを用いた補正も公知の補正方法を用いることができる。
【００３９】
画像記録部２２においては、インクの付与はインクジェットヘッド４０に限定されるものではなく、ダイコートを用いた方法およびキャピラリーコートを用いた方法でもよい。
【００４０】
図３は印刷版の一例を示す模式面である。
図３に示すように、印刷版２５は、版面２５ａが予め定められたパターン形成領域２７ａと、パターン形成領域２７ａ以外の非パターン形成領域２７ｂとに区画されている。パターン形成領域２７ａにインクが付与されて印刷パターンが形成される。
インクジェットヘッド４０は、インクを吐出してパターン形成領域２７ａに付与するものである。
インクジェットヘッド４０のインクを吐出させる方式は、特に限定されるものではなく、圧電素子のたわみ変形、ずり変形および縦振動等を利用して液体を吐出させる圧電方式、ヒーターによって液室内の液体を加熱して、膜沸騰現象を利用して液体を吐出させるサーマル方式、ならびに静電気力を利用する静電方式等、各種方式を用いることができる。
【００４１】
インクジェットヘッド４０の具体的な構成としては、図４に示すように、印刷版２５の全幅に対応する長さにわたって、複数のノズル４１が千鳥配置されている。
千鳥配置を適用することで、ノズル４１を高密度に配置させることができる。なお、ノズル４１を配置する列数は、特に限定されるものではなく、一列でも二列でも、それ以上でもよい。また、ノズル４１は、マトリクス状に配置してもよい。
インクジェットヘッド４０の構成は、特に限定されるものではなく、例えば、図５に示す構成でもよい。図５に示すインクジェットヘッド４０は、Ｘ方向に、複数のヘッドモジュール４０ａが接続されている。この場合、複数のヘッドモジュール４０ａ一列につなぎ合わせた構成に限定されるものではなく、複数のヘッドモジュール４０ａを千鳥状につなぎ合わせた構成でもよい。
図５に示すインクジェットヘッド４０では、吐出制御部４３によりヘッドモジュール４０ａ毎に吐出波形を調整することが可能である。また、ヘッドモジュール４０ａ毎に吐出制御部４３を設ければ、吐出制御部４３毎に吐出波形を調整することが可能である。
【００４２】
処理部２３は、パターン形成領域２７ａ（図３参照）に、予め設定された処理液設定パターンで、処理液を付与するものである。処理部２３は、インクジェットヘッド４０によるインクの付与前、またはインクの付与後に、処理液をパターン形成領域２７ａ（図３参照）に処理液設定パターンで付与するものである。このため、処理部２３は、インクジェットヘッド４０に対してＹ方向の反対方向側に設けてもよく、インクジェットヘッド４０のＹ方向側に設けてもよい。このため、処理部２３は、１つに限定されるものではなく、２つ設けてもよい。また、インクと処理液の付与のタイミングは同時でもよい。
【００４３】
処理部２３は、上述のように画像記録部２２と別体であるが、処理液を吐出する以外は基本的な構成は画像記録部２２と同じである。このため、詳細には説明しないが、処理部２３は、処理液を吐出する吐出ヘッド９０と、アライメントカメラ４２と、回動部４９とを有し、これらはキャリッジ（図示せず）に設けられている。
吐出ヘッド９０は、例えば、インクジェット方式で処理液を付与する。吐出ヘッド９０は、上述のインクジェットヘッド４０と同じ構成とすることができる。また、キャリッジは、画像記録部２２のキャリッジ４６（図２参照）と同じ構成であり、図示しないリニアモータ（図２参照）により、版胴２４の回転軸２４ｂと平行な方向、すなわち、Ｘ方向に移動可能であり、吐出ヘッド９０はキャリッジによりＸ方向へ移動可能である。キャリッジの位置はリニアモータ（図示せず）に設けられたリニアスケール（図示せず）の読み取り値から算出することができる。
【００４４】
処理部２３のアライメントカメラ４２は、画像記録部２２のアライメントカメラ４２と同じ構成である。アライメントカメラ４２は、上述のように処理液の吐出位置、処理液の吐出タイミング、および処理液設定パターンデータを補正するためのアライメントマークの位置情報を得るためのものである。
上述の得られた各種の情報により、処理液の吐出開始位置、吐出ヘッド９０の位置および処理液の吐出タイミングを補正する。なお、これらの補正には、いずれもインクジェットによるインクの打滴の公知の補正方法を用いることができる。
また、処理液設定パターンデータについてのＸ方向の拡大縮小、Ｙ方向の拡大縮小、傾き、および台形補正は、公知の補正方法を用いることができる。
【００４５】
処理液は、処理液を付与せずにパターン形成領域２７ａ（図３参照）に着滴したインクの第１の径に比して、処理液を付与した後のインクの第２の径を大きくするものである。ここで、インクの第２の径とは、処理液付与から５秒後のインク径のことである。第２の径とは、インク径の長軸の長さのことである。
処理液は、インクの濡れ広がりをさせるもので、インクとは異なるものであり、無色透明であることが好ましい。ここでいう無色とは、インクほどではないがわずかに着色しているものを含み、完全に無色であることが好ましい。
【００４６】
また、処理液は、基板に転写しないもしくは配線形成後に基板からなくなり配線の機能に影響しないことが望ましい。そのために、印刷版に吸収され基板に転写しないこと、１８０℃以下、望ましくは１２０℃以下の環境下１時間で蒸発または昇華することが望ましい。
処理液は、インクまたはインクの溶媒と少なくとも表面エネルギーが同じであることが好ましい。処理液がインクまたはインクの溶媒と表面エネルギーが同じとは、表面エネルギーの値が同じ値に対して±１０％の範囲までを同じとする。なお、表面エネルギーは、表面張力計を用いて測定した値である。
処理液は、例えば、インクが溶媒を含有するものであれば、処理液はインクの溶媒である。この場合、処理液はインクの溶媒であるため、表面エネルギーは同じである。
【００４７】
処理部２３は、パターン形成領域２７ａに処理液を予め設定された処理液設定パターンで付与することができれば、特に限定されるものではなく、例えば、インクと同様に、インクジェット方式を利用することができる。処理部２３には、インクジェットヘッド４０と同じ構造のもの、すなわち、図４および図５に示す構成のインクジェットヘッド４０を用いることができる。
【００４８】
処理部２３をインクジェットヘッド方式とすることで、処理液設定パターンの通りに処理液を容易に付与することができる。また、処理液の使用量を印刷パターンに応じて、容易に変更することができる。また、インクを付与した後でも、処理液を付与することができる。さらには、処理液設定パターンで処理液を吐出することで、パターン形成領域２７ａ全面に処理液を付与する場合、すなわち、いわゆるベタに処理液を付与する場合に比して処理液の使用量を減らすことができる。しかも、処理液の使用量が少ないため短時間で処理液を付与することができ、乾燥に要する時間も短くなり、生産性を高くすることができる。
処理部２３は、インクジェット方式以外に、例えば、グラビア印刷およびオフセット印刷等の印刷方法のもの、ならびにディスペンサ等を用いることができ、さらには、ダイコートを用いた方法およびキャピラリーコートを用いた方法を用いることができる。
【００４９】
次に、印刷版２５について説明する。
図６は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式図であり、図７は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式的断面図であり、図８は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版である平版を示す模式的断面図であり、図９は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版である凸版を示す模式的断面図である。
図６に示すように、例えば、印刷版２５は、アライメントマークＡ〜アライメントマークＤが、それぞれ四隅に設けられており、吐出確認エリアＴ、印刷エリアＧ１１、Ｇ１２、スピットエリアＧ、印刷エリアＧ２１、Ｇ２２、スピットエリアＧ、および印刷エリアＧ３１、Ｇ３２が形成されている。
【００５０】
なお、インクに対して撥液性、インクに対して親液性とは、以下に示すようにして評価することができる。
撥液性が予想される領域と親液性が予想される領域とに液滴を着滴させて、その液滴の挙動で評価を行う。着滴時の液滴量に対して液滴量が減少した領域が撥液性を有する撥インク部、液滴量が増加した領域が親液性を有する親インク部である。
なお、版作成の工程で撥液性と親液性が付与される。この場合、撥液性と親液性の評価は、撥液性の撥インク部、親液性の親インク部の境界に液滴を着滴させて、その液滴の挙動で評価を行う。着滴時の液滴量に対して液滴量が減少した領域が撥液性であり、液滴量が増加した領域が親液性である。
印刷版の凹凸の境界と撥液性の撥インク部と親液性の親インク部の境界が一致している場合には、その凹凸から境界を見分けることができる。印刷版の凹凸が小さく境界を見分けることが困難な場合には、境界付近に液滴を複数着滴させることで境界での液滴量の変化を評価することができる。また、印刷版の凹凸の境界を示すアライメントマークを予め設けることで境界を知ることもできる。
【００５１】
印刷版２５としては、樹脂、金属、およびガラス等、材料は限定されないが、樹脂版を用いると弾性があり、また印圧を下げることができるのでガラス等の脆性材料に印刷することが容易になる。印刷版２５としては、フロロシリコーンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、ニトリルゴム、ネオプレンゴム、ハイバロンゴム、およびウレタンゴム等の種種のエラストマが使用できるが、離型性のよいＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）等のシリコーンゴム、およびフッ素ゴム等が望ましい。ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）等を用いることで転写性が向上して、転写後、印刷版２５にインクが残ることが抑制されて、印刷版２５の洗浄なしでも連続印刷が可能となる。これにより、印刷効率を向上させることができる。
なお、印刷版２５には、例えば、図７に示す凹部２５ｂが形成された凹版を用いるが、凹部２５ｂは、公知の方法で、予め定められたパターン形成領域２７ａ（図３参照）状に形成される。
【００５２】
印刷版２５は、パターン形成領域２７ａと非パターン形成領域２７ｂに区画されていれば、凹版に限定されるものではなく、図８に示す平版２９でもよい。平版２９は、表面２９ａが平らであり、パターン形成領域２７ａと非パターン形成領域２７ｂとがインクに対する親液性と撥液性とで区画される。パターン形成領域２７ａがインクに対して親液性の親液部であり、非パターン形成領域２７ｂがインクに対して撥液性の撥液部である。
印刷版２５は、図９に示す凸版２９ｂでもよい。この場合、凸部がパターン形成領域２７ａであり、インクに対して親液性の親液部である。凸部以外が非パターン形成領域２７ｂであり、インクに対して撥液性であり、撥液部である。
【００５３】
次に、メンテナンス部３６について詳細に説明する。
メンテナンス部３６は、インクジェットヘッド４０に付着したインクおよびゴミ等をウェブ（図示せず）またはゴムブレード（図示せず）を用いて除去するワイプ部を有する。
ウェブは、例えば、回転ローラの周面に巻きかけられて、回転ローラを回転させてウェブをインクジェットヘッド４０に接触させて、インクおよびゴミ等拭き取る。ウェブは、インクジェットヘッド４０のインクおよびゴミ等を除去することができれば、回転ローラの周面に巻きかけられることに特に限定されるものではない。ウェブには、一般的にワイピングクロスと呼ばれるものを適宜用いることができる。
例えば、洗浄液をインクジェットヘッド４０に直接付与して、または、洗浄液を付けたウェブを用いて、インクジェットヘッド４０のインクおよびゴミ等を取り除いてもよい。
【００５４】
洗浄液には、例えば、インク溶解性のある溶剤またはインク成分のうち固形分が含まれない溶液が用いられ、炭化水素系の溶剤を利用することができる。炭化水素系の溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン、ヘキサン、テトラデカン、またはシクロドデセンを用いることができる。
【００５５】
ゴムブレードを用いたワイプ部では、インクジェットヘッド４０はキャリッジ４６によりＸ方向に移動可能であることを利用し、ゴムブレードを固定してインクジェットヘッド４０をＸ方向に移動させて、長手方向にインクを拭取る。インクジェットヘッド４０を固定して、ゴムブレードをＸ方向に移動させて、拭取ってもよい。ゴムブレードを用いる場合も、上述の洗浄液を用いることができる。なお、メンテナンス部３６では、ノズル４１の乾燥防止のため、キャップ（図示せず）を有してもよい。
【００５６】
メンテナンス部３６では、インクジェットヘッド４０について、パージ、スピットおよびドリップ等の動作を行わせることもできる。
パージとは、インクジェットヘッド４０をインク受け（図示せず）上に配置し、ノズル４１からインクを押し出すことである。
スピットとは、吐出動作のことである。これにより、ノズル詰まり、吐出曲がりを改善することができる。なお、スピットはパージと同様の場所で実施するが、スピット用のステーションを設けてもよい。
ドリップとは、上述のパージ程、インクを強く押し出す回復動作ではなく、ゆっくりとインクが垂れることで回復させる動作である。これにより、ノズルの詰まり、インクの吐出曲がりを改善することができる。
【００５７】
また、メンテナンス部３６は、インクジェットヘッド４０から吐出されたインク液滴４５を観察する吐出観察部（図示せず）と、インクジェットヘッド４０のノズル４１（図４参照）を、ノズル４１が形成された面側から観察するノズル観察部（図示せず）とを有する構成でもよい。
吐出観察部およびノズル観察部は、いずれも制御部１８に接続されており、これらの動作は制御部１８で制御され、得られた撮像データは制御部１８により、記憶部１４に記憶される。制御部１８でインクジェットヘッド４０でのインクの吐出状態が、例えば、インクジェットヘッド４０の吐出特性の設計値と比較されて、その比較結果が、記憶部１４に記憶される。
なお、メンテナンス部３６は、吐出ヘッド９０を有する処理部２３に対して、上述のインクジェットヘッド４０と同様のことをするものである。
【００５８】
本発明の印刷装置１０では、例えば、電子ペーパー等に用いられる薄膜トランジスタのゲート電極、ソース電極、およびドレイン電極を作製することができる。
図１０は、本発明の実施形態の印刷装置で形成される薄膜トランジスタの一例を示す模式図である。
図１０に示す薄膜トランジスタ８０（以下、ＴＦＴ８０という）は、ゲート電極８２と、ゲート絶縁層（図示せず）と、ソース電極８６ａと、ドレイン電極８６ｂと、半導体層（図示せず）と、保護層（図示せず）とを有する。
ＴＦＴ８０においては、ゲート電極８２を覆うように、ゲート絶縁層（図示せず）が形成されている。このゲート絶縁層上にチャネル領域８４として予め設定された隙間をあけて、ソース電極８６ａとドレイン電極８６ｂとが形成されている。チャネル領域８４上に活性層として機能する半導体層（図示せず）が形成されている。半導体層、ソース電極８６ａおよびドレイン電極８６ｂを覆う保護層（図示せず）が形成されている。なお、チャネル領域８４のチャネル長は数μｍ〜数十μｍオーダである。薄膜トランジスタのドレイン電流は、チャネル長の影響を受け、チャネル長のばらつきは、薄膜トンランジスタの特性のばらつきに結びつく。
なお、印刷装置１０を用いた印刷方法は、上述の図１０に示すＴＦＴ８０以外に、電界発光トランジスタ、有機エレクトロルミネッセンス素子、太陽電池等の電子デバイスの製造、および上述の電子デバイス等の電極の形成に適用することができる。
【００５９】
以下、処理液を用いた処理について説明する。
図１１は、インク径比と処理液打滴からインク打滴までの時間の関係を示すグラフである。図１２および図１３は、インクと処理液の相互作用を説明する模式図である。
図１１において、縦軸のインク径比は、処理液を付与しない状態でのインク径で規格化した比率を示す。横軸において、マイナスはインクが処理液よりも先に着滴したことを表し、プラスはインクが処理液よりも後に着滴したことを表す。
図１１に示すように、処理液が先でも、処理液が後でもインク液滴は、処理液を付与しない場合に比して大きくなる。処理液によってインク液滴のインク径を拡げることができ、インク液滴の濡れ性を増大できることを確認している。また、処理液を付与した後、３００秒経過した後でもインク液滴のインク径が大きくなることを確認している。時間Δｔ秒とともに濡れ性拡大の効果が小さくなるが、これは処理液が印刷版を構成するＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）へ吸収されることと、処理液が蒸発して、印刷版面の処理液が少なくなるからと考えられる。
【００６０】
なお、図１１に示す結果は、インクにＵＬＶＡＣ製Ａｇナノメタルインク（Ｌ−Ａｇ１ｔｅＨ（型番、銀含有量３５質量％）を用いた。処理液にテトラデカンを用いた。印刷版は、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）  信越シリコーン社製  Ｘ−３２−３２７９（試作品番号）、およびＸ−３２−３０９４−２（試作品番号）の２液型を混合脱泡塗布した後、常温で２４時間硬化させた後、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）に浸漬して、非重合成分を溶出させた後、乾燥する工程を経て作製したものである。なお、実際の印刷では、印刷を重ねることで、印刷版にインク中の溶媒が浸透するため、予め処理液に印刷版を浸漬させた後、インク液滴４５を印刷版に着滴させた。
【００６１】
図１２に示すように、インク液滴４５に着滴位置がずれて処理液滴９２が付与された場合、図１３に示すようにインク液滴４５が処理液滴９２に移動し、インク液滴４５の径が大きくなる。インク液滴４５と処理液滴９２の着滴位置がずれるとインク液滴４５が後から着滴した、処理液滴９２に引き寄せられる。このように、インク液滴４５の径の大きさは、インク液滴４５と処理液滴９２の位置に依存することがわかる。インク液滴４５と処理液滴９２の着滴位置を高い精度で制御することができれば、大きくインク液滴４５を濡れ拡がらせることが可能であることを示している。処理液を付与することでインク液滴４５の濡れ性が改善される。
【００６２】
図１４は処理液設定パターンを示す模式図であり、図１５はインクのインク設定パターンを示す模式図であり、図１６は処理液設定パターンとインクのインク設定パターンを示す模式図である。
処理部２３では、例えば、図１４に示す処理液設定パターン９４で、処理液をパターン形成領域２７ａ（図３参照）に付与する。処理液設定パターン９４は、第１の方向Ｈ１と、第１の方向Ｈ１と直交する第２の方向Ｈ２に配置された複数の格子９５内に、第１の方向Ｈ１に連続して、第２の方向Ｈ２では格子９５を１つあけて処理液滴９２が着滴されるパターンである。
インクのインク設定パターン９６は、処理液設定パターン９４と同じパターンである。このため、インク設定パターン９６の詳細な説明は省略する。
【００６３】
処理液設定パターン９４とインク設定パターン９６は同じパターンであるため、図１６に示すように、処理液滴９２とインク液滴４５は同じ位置に着滴される。この場合、処理液滴９２とインク液滴４５は同じ格子９５に着滴される。
インク液滴４５は処理液滴９２により濡れ広がる。なお、処理液滴９２の第２の方向Ｈ２の間隔、すなわち、格子９５の第２の方向Ｈ２の長さは、インク液滴４５の濡れ広がりの程度に応じて適宜決定されるものであり、例えば、インク液滴４５が濡れ広がり、第２の方向Ｈ２で合一する長さに設定される。
同じパターンとは、処理液とインク液滴の着滴位置が同じであることをいい、図１６に示すように同じ格子９５に着滴されることをいう。
【００６４】
図１５に示すインク設定パターン９６に限定されるものではなく、図１７に示すインク設定パターン９６ａでもよい。インク設定パターン９６ａは図１５に示すインク設定パターン９６と異なるパターンであり、処理液設定パターン９４と異なるパターンである。
異なるパターンとは、処理液滴９２とインク液滴４５の着滴位置が異なる組合せがあることをいう。この場合、図１８に示すように処理液滴９２とインク液滴４５は異なる格子９５に着滴され、同じ格子９５に着滴されない。
【００６５】
インク設定パターン９６ａは、図１４に示す処理液設定パターン９４において処理液滴９２が着滴されない格子９５に、インク液滴４５が着滴するパターンである。インク設定パターン９６ａは、第２の方向Ｈ２にインク液滴４５位置が１つの格子９５ずれたパターンであり、第２の方向Ｈ２におけるインク液滴４５の間隔は、処理液設定パターン９４の処理液滴９２の間隔と同じである。
処理液設定パターン９４に対して、インク設定パターン９６ａでインク液滴４５を付与した場合、図１８に示すように、処理液滴９２とインク液滴４５は着滴位置が異なり、処理液滴９２とインク液滴４５とは重ならず、第２の方向Ｈ２においてインク液滴４５は処理液滴９２に挟まれた状態になる。この場合も、インク液滴４５が図１３に示すように処理液滴９２に引き寄せられ、周囲の処理液滴９２によりインク液滴４５の濡れ性が改善される。
なお、インク設定パターンと処理液設定パターンとは、少なくとも一部が重なってもよい。この場合でも、周囲の処理液滴９２によりインク液滴４５の濡れ性が改善される。
【００６６】
処理液設定パターン９４の第２の方向Ｈ２の間隔は、インク液滴４５の濡れ広がりの程度に応じて適宜決定されるものであり、例えば、インク液滴４５が濡れ広がり、第２の方向Ｈ２で合一する長さに設定される。
例えば、図１１に示すΔｔが１７秒の条件で、処理液がある条件と、処理液がない条件にて、処理液とインクの距離を変えて印刷版上に着滴させた場合、処理液があっても、処理液がなくても合一する距離と、処理液があっても、処理液がなくても合一しない距離と、処理液があると合一し、処理液がないと合一しない距離の、３種の距離が存在することを確認している。
なお、印刷版、処理液およびインクはいずれも上述の図１１の条件と同じである。
【００６７】
処理液滴９２とインク液滴４５を同じ位置に着滴させても、処理液滴９２とインク液滴４５を異なる位置に着滴させても、処理液の使用量がパターン形成領域２７ａ全面に付与する場合に比して、処理液の使用量が少ないため、処理液の乾燥時間が短くなり生産性が向上する。また、処理液の使用量が全面に付与する場合に比して、処理液の使用量を減らすこともできる。
処理液の使用量は、インクジェットヘッドの吐出制御、およびインクジェットヘッドのノズル径を調整することにより変えることができる。処理液の使用量を多くすれば濡れ広がりの効果を高くできるが上述の乾燥の問題が生じる。このため、処理液の使用量は、濡れ広がりの効果が得られる下限の量であることが好ましく、要求される印刷の精度等に応じて適宜決定される。
【００６８】
次に、印刷方法について説明する。
図１９〜図２３は本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式図であり、図２４〜図２９は本発明の実施形態の第１の印刷方法を工程順に示す模式的断面図である。図１９〜図２３と図２５〜図２９は対応しており、印刷方法の一連の工程を示している。
第１の印刷方法では、図１９に示すように、印刷版２５にはインクに対して親液性のパターン形成領域２７ａと、インクに対して撥液性の非パターン形成領域２７ｂが形成されており、パターン形成領域２７ａが、非パターン形成領域２７ｂに挟まれた直線状のパターンを例にして説明する。
【００６９】
設定パターンにて、パターン形成領域２７ａに間隔をあけて処理液を打滴し、図１９、２６に示すように処理液滴９２を着滴させる。着滴後、図２０、２７に示すように処理液滴９２はパターン形成領域２７ａに濡れ広がる。
次に、インク設定パターンにて、図２１、図２７に示すように、パターン形成領域２７ａ、かつ処理液滴９２の間にインクを打滴し、インク液滴４５を処理液滴９２間に着滴させる。このとき、印刷版２５にＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）を用いた場合、濡れ広がった処理液滴９２は印刷版２５に吸収され、かつ蒸発する。
【００７０】
打滴後、処理液滴９２により、図２２、図２８に示すようにインク液滴４５が濡れ広がる。そして、図２３、図２９に示すように、インク液滴４５が合一し、パターン形成領域２７ａに基づく、直線状のパターンのインク４７になる。配線パターン状のインク４７を乾燥させて、印刷版２５のインク４７を基板３１（図１参照）に転写させる。これにより、図２４に示すように基板３１上に配線パターン１００が形成される。
印刷装置１０および印刷方法では、直線状のパターンのパターン形成領域２７ａに基づく配線パターン１００が得られる。このため、印刷装置１０および印刷方法では、印刷版２５のパターン形成領域２７ａに高精細なパターンを形成することにより、高精細な印刷パターンを得ることができ、印刷精度を向上させることができる。
【００７１】
また、上述のように処理液設定パターン９４（図１４参照）で処理液を付与するため、パターン形成領域２７ａ全面に処理液を付与する場合に比して、処理液の使用量を減らすことができる。しかも、処理液の使用量が少ないため短時間で処理液を付与することができ、乾燥に要する時間も短くなり、印刷に要する時間を短縮でき生産性が高い。さらには、上述のように処理液の使用量を少なくできることから、処理液の使用量が同じであれば、パターン形成領域２７ａ全面に付与する場合に比して、多く印刷することができ、この点からも生産性が高い。
【００７２】
上述の図１９〜図２９に示す第１の印刷方法は、上述の処理液設定パターン９４とインク設定パターン９６ａが異なるパターンに該当する。しかしながら、上述のように、処理液設定パターン９４とインク設定パターン９６は同じパターンでもよい。この場合、図３０に示す第２の印刷方法のように処理液滴９２が濡れ広がった状態で、処理液滴９２に向けてインク液を打滴し、図３１に示すように濡れ広がった処理液滴９２上にインク液滴４５を着滴させる。そして、処理液滴９２により、図３２に示すように、インク液滴４５が濡れ広がる。その後、上述の図２３に示すように、インク液滴４５が合一し、直線状のパターンのインク４７となる。そして、上述のように配線パターン状のインク４７を乾燥させて、印刷版２５の基板３１にインク４７を転写させる。これにより、上述の図２４に示すように基板３１上に配線パターン１００が形成される。
【００７３】
また、第１の印刷方法では、処理液滴９２をインク液滴４５よりも先に付与したが、これに限定されるものではなく、処理液滴９２はインク液滴４５の後に付与してもよい。この場合、図３３に示す第３の印刷方法のように、インク設定パターンにて、印刷版２５のパターン形成領域２７ａに間隔をあけてインクを打滴し、インク液滴４５を着滴させる。次に、設定パターンにて、図３４に示すように、インク液滴４５を挟むようにして、パターン形成領域２７ａに処理液滴９２を着滴させる。その後、処理液滴９２により、インク液滴４５が濡れ広がって合一し、上述の図２３に示すように、パターン形成領域２７ａに基づく、直線状のパターンのインク４７になる。配線パターン状のインク４７を乾燥させて、印刷版２５の基板３１にインク４７を転写する。これにより、上述の図２４に示すように基板３１上に配線パターン１００が形成される。
なお、上述の図３０〜図３４において、図１９〜図２３に示す第１の印刷方法を説明する模式図と同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略している。
【００７４】
上述のように形成された配線パターン１００は、印刷版２５上での転写前のインク形状がそのまま基板３１の表面３１ａに転写されることがわかった。例えば、インク形状が、印刷版２５で、中央に凹部がある場合、いわゆるコーヒーステイン形状をしていた場合、基板３１上でも中央に凹部がある形状、いわゆるコーヒーステイン形状の配線パターンとなる。
版胴２４から基板３１に転写されて配線パターン１００が形成されるため、配線パターン１００は、印刷版２５での形状を反転した形状になるとも考えられるが実際はそのようにはならなかった。基板３１への転写のメカニズムは明確にはなっていないが、印刷版２５にＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）を用いた場合、転写時の印圧によってＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）が変形して、基板とインクと印刷版が密着しているためと考えられる。このことは、転写前の印刷版上のインク形状をコントロールすることで配線パターンの断面形状を自由にコントロールすることができることを示唆している。
インクの揮発状態を変えることでコーヒーステインをコントロールすることが知られており、配線パターンの仕様に応じた形状をインク設計で可能なことを示している。また、ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）は溶剤を吸収することが知られており、この吸収量を制御することでも同様の効果を得ることができる。なお、インクの揮発状態は、印刷版上の処理液でも変えることができるため、処理液の制御でインク形状を制御することも可能である。
【００７５】
次に、本実施形態の印刷方法について印刷装置１０を用いてより具体的に説明する。
図３５は、本発明の実施形態の印刷方法の処理液の付与およびインクのタイミングチャートである。版胴２４を、例えば、４回回転させ、１回転毎に処理液を先にパターン形成領域２７ａ（図３参照）に処理液設定パターン９４（図１４参照）で付与した後、インクをパターン形成領域２７ａ（図３参照）にインク設定パターン９６（図１５参照）で付与することを例にして説明する。図３５において、版位置は、版胴２４と処理部２３の相対的な位置、版胴２４と画像記録部２２の相対的な位置を示したものであり、版位置が０は、印刷版２５の初期位置を示す。
【００７６】
図３５において、符号１１０は版胴２４と処理部２３の相対的な位置の時間変化を示し、符号１１２は版胴２４と画像記録部２２の相対的な位置の時間変化を示す。符号１１１は、処理液を付与する期間を示し、符号１１１ａが開始位置で符号１１１ｂが終了位置である。処理液を付与する期間１１１は、版位置で示せば開始位置Ｐｃ１〜終了位置Ｐｃ２である。
符号１１３はインクを付与する期間を示し、符号１１３ａが開始位置で符号１１３ｂが終了位置である。インクを付与する期間１１３は版位置で示せば開始位置Ｐｉ１〜終了位置Ｐｉ２である。なお、上述の開始位置Ｐｃ１、終了位置Ｐｃ２、開始位置Ｐｉ１および終了位置Ｐｉ２については、版胴２４に設けられたローターリーエンコーダ（図示せず）から出力される版胴２４の回転位置情報から算出することができる。
【００７７】
処理部２３では、版が処理液の開始位置Ｐｃ１に到達すると、処理液設定パターンに基づき処理液の付与を開始し、版が終了位置Ｐｉ２に到達した際に処理液の吐出を終了させる。処理液の付与に平行して、版がインクの開始位置Ｐｉ１に到達すると、インク設定パターンに基づきインクの吐出を開始し、版が終了位置Ｐｉ２に到達した際にインクの吐出を終了させる。なお、処理液とインクの順序変えて、インクを先に付与し、その後、処理液を付与してもよい。
【００７８】
例えば、インク設定パターンデータが２４００ｄｐｉ（dot per inch）の場合、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉのパターンの４回走査、Ｘ方向６００ｄｐｉ、Ｙ方向２４００ｄｐｉのパターンの４回走査で、パターン形成領域へのインクの付与、すなわち、インキングを完了することができる。
また、例えば、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉの場合、１ノズルの隣接画素間距離（最小値）も２１．２μｍで吐出周波数の要求は低いものの、ノズル数がＸ方向で６００ｄｐｉと比べて２倍必要となる。Ｘ方向の隣接画素間距離、すなわち、最小値は２１．２μｍとなりＸ方向着弾干渉の影響が懸念される。
一方、Ｘ方向６００ｄｐｉ、Ｙ方向２４００ｄｐｉの場合、ノズル数は上述のＸ方向１２００ｄｐｉと比較して１／２となり、Ｘ方向の隣接画素間距離は４２．３μｍとなりＸ方向着弾干渉の影響は減るものの、Ｙ方向の隣接画素間距離、すなわち、最小値が１０．６μｍとなり、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉの場合と比較して２倍の高周波吐出が必要となる。
【００７９】
次に、本実施形態の印刷装置１０の印刷方法についてより具体的に説明する。
図３６は、本発明の実施形態の印刷方法を示すフローチャートである。
最初に、インクをインクタンクに供給する（ステップＳ１０）。ステップＳ１０では、まず、インクタンク（図示せず）からサブタンクへインク（図示せず）を送液する。そして、サブタンクからインクジェットヘッド４０にインクを供給する。
なお、インクの供給に際しては、洗浄液からインクに置換する。洗浄液を窒素ガスでインクジェットヘッド４０から出した後、インクを供給することも可能であるが、窒素ガスを巻き込みやすい。このため、インクの供給は洗浄液から置換することが好ましい。
【００８０】
洗浄液をインクジェットヘッド４０に供給した状態で、吐出確認を行う。吐出確認の際、結果がよくない場合、メンテナンス部３６を用いて吐出回復を行う。回復できない場合は、必要に応じてインクジェットヘッド４０の交換を行う。
洗浄液からインクに置換に際しては、例えば、サブタンクの洗浄液を下限まで減らす。次に、サブタンクにインクを入れ、インクジェットヘッド４０内の洗浄液をインクで押し流す。次に、サブタンクのインクを下限まで減らす。インクジェットヘッド４０内の洗浄液をインクで押し流し、サブタンクのインクを下限まで減らすことを繰り返し行い、洗浄液をインクに置換する。
【００８１】
次に、アライメントを実施する（ステップＳ１２）。
この場合、インクジェットヘッド４０の位置と版位置とのアライメントを行う。まず、アライメントマークＡ〜アライメントマークＣをアライメントカメラ４２で読み取り、その位置を検出する。
次に、Ｘ方向の絶対距離を求める。この場合、例えば、アライメントマークＡおよびアライメントマークＢがアライメントカメラ４２の視野のＸ方向で同じ位置になったときのキャリッジ４６位置、例えば、リニアスケール読み取り値から算出する。
次に、Ｙ方向の絶対距離を求める。この場合、アライメントマークＡおよびアライメントマークＣのアライメントマークがアライメントカメラ４２の視野のＹ方向で同じ位置になったときのローターリーエンコーダから出力される版胴２４の回転位置情報から算出する。なお、Ｙ方向は距離ではなく角度でのアライメント調整になる。
【００８２】
上述のように得られたＸ方向の距離、Ｙ方向の角度、傾き角度θは記憶部１４に記憶される。制御部１８では、Ｘ方向の距離、Ｙ方向の角度、傾き角度θと、記憶部１４に記憶された印刷するインク設定パターンデータに対してＸ方向およびＹ方向の拡大縮小処理、傾き角度θに基づくインク設定パターンデータの回転処理を行い、インク設定パターンデータ補正する。補正されたインク設定パターンデータに必要に応じて印刷版２５の傾き補正を行う。これにより、補正インク設定パターンデータを得る。さらには、インクジェットヘッド４０からのインクの吐出のタイミングの調整も制御部１８にて行う。
【００８３】
次に、インクジェットヘッド４０の吐出確認を行う（ステップＳ１４）。
この場合、テストパターンの印刷物の評価、または吐出観察にて行う。
テストパターンの印刷の印刷物の評価は、印刷した基板の目視またはスキャナでの評価で行う。また、印刷版２５に吐出のみを行い、転写を行わず、印刷版２５上のインクをアライメントカメラ４２で観察することで実施することもできる。
印刷版２５には上述のように吐出確認エリアＴを設けており、そこにインクを打滴する。版胴２４に吐出確認エリアＴを設けて、そこにインクを打滴してもよい。
吐出確認エリアＴのインクは、評価後、クリーニング部３４で取り除くか、または基板３１に転写して取り除く。
【００８４】
なお、吐出確認の結果が予め定められた範囲から外れていた場合、メンテナンス部３６にて回復動作を行うか、または、吐出制御部４３での吐出波形の最適化を行う。
吐出確認と合わせて、印刷版２５へ打滴したインクの着弾位置の情報を、アライメントカメラ４２を用いて取得する。判定処理部１６において、着弾位置のずれを判定し、着弾位置がＸ方向、Ｙ方向、傾き角度θについて予め定められた範囲から外れている場合には、インク設定パターンデータの拡大縮小または回転等を再度調整する。
【００８５】
ステップＳ１４では、処理部２３の処理液の吐出確認もする。処理液の吐出確認はインクと同様にすることができ、例えば、吐出確認エリアＴに処理液を打滴する。吐出確認エリアＴの処理液は、評価後、クリーニング部３４で取り除くか、または基板３１に転写して取り除く。
【００８６】
上述のインクの供給（ステップＳ１０）、インクのアライメントの実施（ステップＳ１２）、およびインクの吐出確認（ステップＳ１４）と平行して、処理液についても、処理液の供給（ステップＳ３０）、処理液のアライメントの実施（ステップＳ３２）および処理液の吐出確認（ステップＳ３４）を行う。
ステップＳ３０の処理液の供給は、処理液タンク（図示せず）からサブタンクへ処理液（図示せず）を送液する。そして、サブタンクから吐出ヘッド９０に処理液を供給する。
なお、処理液の供給に際しては、洗浄液から処理液に置換する。洗浄液を窒素ガスで吐出ヘッド９０から出した後、処理液を供給することも可能であるが、窒素ガスを巻き込みやすい。このため、処理液の供給は洗浄液から置換することが好ましい。
【００８７】
洗浄液を吐出ヘッド９０に供給した状態で、吐出確認を行う。吐出確認の際、結果がよくない場合、メンテナンス部３６を用いて吐出回復を行う。回復できない場合は、必要に応じて吐出ヘッド９０の交換を行う。
洗浄液から処理液に置換に際しては、例えば、サブタンクの洗浄液を下限まで減らす。次に、サブタンクに処理液を入れ、吐出ヘッド９０内の洗浄液を処理液で押し流す。次に、サブタンクの処理液を下限まで減らす。吐出ヘッド９０内の洗浄液を処理液で押し流し、サブタンクの処理液を下限まで減らすことを繰り返し行い、洗浄液を処理液に置換する。
【００８８】
ステップＳ３２の処理液のアライメントは、吐出ヘッド９０の位置と版位置とのアライメントを行う。まず、アライメントマークＡ〜アライメントマークＣをアライメントカメラ４２で読み取り、その位置を検出する。これ以降は、ステップＳ１２インクのアライメントの実施と同じであるため、その詳細な説明は省略する。
ステップＳ３２の処理液のアライメントでは、上述のように得られたＸ方向の距離、Ｙ方向の角度、および傾き角度θは記憶部１４に記憶される。制御部１８では、Ｘ方向の距離、Ｙ方向の角度、および傾き角度θを用いて、記憶部１４に記憶された処理液設定パターンデータに対してＸ方向およびＹ方向の拡大縮小処理、および傾き角度θに基づく処理液設定パターンデータの回転処理を行い、処理液設定パターンデータを補正し、補正処理液設定パターンデータを得る。補正処理液設定パターンデータに必要に応じて印刷版２５の傾き補正を行う。さらには、吐出ヘッド９０からの処理液の吐出のタイミングの調整も制御部１８にて行う。
【００８９】
ステップＳ３４の処理液の吐出確認は、ステップＳ１４のインクの吐出確認と同じく、処理液テストパターンの印刷物の評価、または吐出観察にて行う。
テストパターンの印刷の印刷物の評価は、印刷した基板の目視またはスキャナでの評価で行う。また、印刷版２５に吐出のみを行い、転写を行わず、印刷版２５上の処理液をアライメントカメラ４２で観察することで実施することもできる。
印刷版２５には上述のように吐出確認エリアＴを設けており、そこに処理液を打滴する。版胴２４に吐出確認エリアＴを設けて、そこに処理液を打滴してもよい。吐出確認エリアＴの処理液は、評価後、クリーニング部３４で取り除くか、または基板３１に転写して取り除く。
【００９０】
上述のステップＳ１０〜Ｓ１４およびステップＳ３０〜Ｓ３４の後、印刷版２５への処理液を付与する（ステップＳ１６）。
ステップＳ１６では、処理液設定パターンデータまたは補正処理液設定パターンデータを吐出制御部４３に送り、版胴２４を回転させて、その時にローターリーエンコーダから出力される版胴２４の回転位置情報に基づき、タイミングに合わせて、予め定められた吐出波形で、処理部２３から処理液を処理液設定パターン９４（図１４参照）で印刷版２５に吐出して、処理液を印刷版２５に付与する。印刷版２５へ処理液を付与するステップＳ１６が処理液付与工程に相当する。
【００９１】
図３５に示すように、処理液付与工程と、印刷版へのインキング（ステップＳ１８）は、版胴２４の同じ回転中で、平行して実行される。
ステップＳ１８では、インク設定パターンデータまたは補正インク設定パターンデータを吐出制御部４３に送り、版胴２４を回転させて、その時にローターリーエンコーダから出力される版胴２４の回転位置情報に基づき、タイミングに合わせて、予め定められた吐出波形で、インクジェットヘッド４０からインクを印刷版２５に吐出し、インキングを行う。印刷版へのインキングを行うステップＳ１８がインク付与工程に相当する。
処理液の付与（ステップＳ１６）およびインキング（ステップＳ１８）の回数を予め設定しておき、処理液の付与（ステップＳ１６）およびインキング（ステップＳ１８）の回数をカウントして、設定回数に達したか否かが判定される（ステップＳ２０）。なお、設定回数は、特に限定されるものではなく、１回でもよい。１回の場合には、例えば、版胴２４を１回回転させる間に処理液の付与（ステップＳ１６）とインキング（ステップＳ１８）を行い、パターン形成領域に処理液とインクを付与する。そして、次の乾燥工程（ステップＳ２２）に進む。
【００９２】
設定回数が２以上の場合、設定回数に達するまで、処理液の付与（ステップＳ１６）とインキング（ステップＳ１８）を繰り返し行い、設定回数に達した後（ステップＳ２０）、次の乾燥工程（ステップＳ２２）に進む。この場合、版胴２４を１回回転させる間に処理液の付与（ステップＳ１６）とインキング（ステップＳ１８）を行ってもよい。また、版胴２４を１回回転させる間に処理液の付与（ステップＳ１６）を行い、次に１回回転させる間にインキング（ステップＳ１８）を行ってもよい。
設定回数を変えることで、形成するパターンの厚みを変えることができる。設定回数は、例えば、形成する配線パターンの厚みに応じて適宜設定される。
【００９３】
インキング（ステップＳ１８）において、パターン形成領域にインクを付与するが、この場合、例えば、版胴２４を１回回転させる毎にスピットを行う。スピットは、印刷版２５のスピットエリアＧまたは版胴２４上に設けたスピットのためのスピットエリア（図示せず）で行う。
スピットのタイミングは、印刷エリアにパターン形成した後であっても、印刷版１枚毎あってもよい。また、印刷版１００枚毎のようにある印刷枚数毎に、パージ、ワイプおよびスピットをメンテナンス部３６で実施し、さらに吐出確認を行うようにしてもよい。
【００９４】
また、処理液の付与（ステップＳ１６）において、パターン形成領域に処理液を付与するが、上述のインクと同じく、例えば、版胴２４を１回回転させる毎にスピットを行う。スピットは、印刷版２５のスピットエリアＧまたは版胴２４上に設けたスピットのためのスピットエリア（図示せず）で行う。
処理液のスピットのタイミングは、上述のインクのスピットのタイミングと同じであるため、その詳細な説明は省略する。
【００９５】
次に、インキングされた印刷版２５を乾燥部３２で乾燥させ（ステップＳ２２）、インク５２ｂ（図７参照）を乾燥させる。ステップＳ２２が乾燥工程に相当する。
次に、インキングされた印刷版２５のインク５２ｂ（図７参照）を基板３１に転写する（ステップＳ２４）。
まず、ステップＳ２４の転写工程では、ステージ３０上に基板３１を載置しておき、開始位置Ｐｓにて待機する。そして、印刷版２５のパターンの位置合わせのために基板３１のアライメントを行う。
次に、ステージ３０を搬送方向Ｖに移動させて基板３１を版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに配置する。そして、版胴２４を回転させ、印刷版２５と基板３１の表面３１ａとを接触させて、印刷版２５のインクを基板３１に転写する。そして、転写後、ステージ３０を搬送方向Ｖに移動させて、版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐから基板３１を終了位置Ｐｅに移動させる。その後、パターンが形成された基板３１をステージ３０から移動させ、ケーシング２０の外部に取り出す。
【００９６】
処理液の付与（ステップＳ１６）とインキング（ステップＳ１８）の順としたが、これに限定されるものではなく、インキング（ステップＳ１８）を先に行い、処理液の付与（ステップＳ１６）を行うようにしてもよい。いずれの場合も、パターン形成領域２７ａに基づくパターンが得られ、高精細の印刷パターンを得ることができ、印刷精度を向上させることができる。
【００９７】
また、処理液の付与（ステップＳ１６）の設定回数と、インキング（ステップＳ１８）の設定回数を別々に設定してもよい。処理液の付与（ステップＳ１６）の設定回数と、インキング（ステップＳ１８）の設定回数は同じでも、違ってもよい。
この場合、図３７に示すように、処理液の付与（ステップＳ１６）の実行回数をカウントし（ステップＳ４０）、設定回数に達するまで、処理液の付与（ステップＳ１６）を繰り返し行う。設定回数に達した後、インキング（ステップＳ１８）に進む。
インキング（ステップＳ１８）においても、設定回数を設定しておき、インキング（ステップＳ１８）の実行回数をカウントし（ステップＳ４２）、設定回数に達するまで、インキング（ステップＳ１８）を繰り返し行う。設定回数に達した後、次の乾燥工程（ステップＳ２２）に進む。
この場合でも、処理液の付与（ステップＳ１６）とインキング（ステップＳ１８）の順としたが、これに限定されるものではなく、インキング（ステップＳ１８）を先に行い、処理液の付与（ステップＳ１６）を行うようにしてもよい。いずれの場合も、パターン形成領域２７ａに基づくパターンが得られ、高精細の印刷パターンを得ることができ、印刷精度を向上させることができる。
【００９８】
以下、電子回路の配線、薄膜トランジスタ等の電子素子の構成部、または電子回路の配線、薄膜トランジスタ等の電子素子の構成部のプレカーサの形成に用いられるインクの材料について具体的に説明する。
【００９９】
導電性材料としては、導電性微粒子を含み、この導電性微粒子の粒径が１ｎｍ以上、１００ｎｍ以下であることが好ましい。導電性微粒子の粒径が１００ｎｍより大きいと、ノズルの目詰まりが起こりやすく、インクジェット法による吐出が困難になることによる。また、導電性微粒子の粒径が１ｎｍ未満であると、導電性微粒子に対するコーティング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多になることによる。
分散質濃度は、分散質濃度の凝集性の観点から、１質量％以上、８０質量％以下であることが好ましい。
【０１００】
導電性微粒子の分散液の表面張力は、２０ｍＮ／ｍ以上、７０ｍＮ／ｍ以下の範囲に入ることが好ましい。インクジェット法にて液体を吐出する際、表面張力が２０ｍＮ／ｍ未満であると、インク組成物のノズル面に対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じ易くなり、７０ｍＮ／ｍを超えるとノズル先端でのメニスカスの形状が安定しないため吐出量、吐出タイミングの制御が困難になるためである。
【０１０１】
導電性材料としては、例えば、銀の微粒子が含まれるものである。銀以外の他の金属微粒子としては、例えば、金、白金、銅、パラジウム、ロジウム、オスミウム、ルテニウム、イリジウム、鉄、錫、亜鉛、コバルト、ニッケル、クロム、チタン、タンタル、タングステン、およびインジウムのうち、いずれか１つが利用されてもよいし、または、いずれか２つ以上が組合せられた合金が利用されてもよい。さらには、ハロゲン化銀を用いてもよい。ただし、銀ナノ粒子が好ましい。金属微粒子の他、導電性ポリマーおよび超電導体の微粒子等を用いてもよい。
導電性微粒子の表面にコーティングするコーティング材としては、例えば、キシレン、トルエン等の有機溶剤およびクエン酸等が挙げられる。
【０１０２】
使用する分散媒としては、上述の導電性微粒子を分散できるもので、凝集を起こさないものであれば特に限定されないが、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、およびシクロヘキシルベンゼン等の炭化水素系化合物、またはエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、およびｐ−ジオキサン等のエーテル系化合物、さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、およびシクロヘキサノン等の極性化合物を挙げることができる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また、インクジェット法への適用のし易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、およびエーテル系化合物が好ましく、さらに好ましい分散媒としては水、および炭化水素系化合物を挙げることができる。これらの分散媒は、単独でも、２種以上の混合物としても使用できる。
【０１０３】
また、バインダー（添加剤）としては、アルキッド樹脂、変性アルキッド樹脂、変性エポキシ樹脂、ウレタン化油、ウレタン樹脂、ロジン樹脂、ロジン化油、マレイン酸樹脂、無水マレイン酸樹脂、ポリブテン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエステルオリゴマー、鉱物油、植物油、ウレタンオリゴマー、または（メタ）アリルエーテルと無水マレイン酸との共重合体等を１種、あるいは、２種以上の組み合わせで使用することができる。この共重合体は他のモノマー、例えば、スチレン等を共重合成分として加えてもよい。また、本発明の金属ペーストには、添加剤として、分散剤、湿潤剤、増粘剤、レベリング剤、地汚れ防止剤、ゲル化剤、シリコンオイル、シリコーン樹脂、消泡剤および可塑剤等を適宜選択して添加してもよい。
また、溶媒としては、ノルマルパラフィン、イソパラフィン、ナフテン、およびアルキルベンゼン類を用いることもできる。
【０１０４】
また、導電性材料としては、導電性有機材料を用いることもでき、例えば、ポリアニリン、ポリチオフェン、またはポリフェニレンビニレン等の高分子系の可溶性材料を含んでいてもよい。
金属の微粒子に代えて、有機金属化合物を含んでいてもよい。ここでいう有機金属化合物は、加熱による分解によって金属が析出するような化合物である。このような有機金属化合物には、クロロトリエチルホスフィン金、クロロトリメチルホスフィン金、クロロトリフェニルフォスフィン金、銀２，４−ペンタンヂオナト錯体、トリメチルホスフィン（ヘキサフルオロアセチルアセトナート）銀錯体、および銅ヘキサフルオロペンタンジオナトシクロオクタジエン錯体、等がある。
導電性微粒子の他の例としては、レジスト、線状絶縁材料としてのアクリル樹脂、および加熱してシリコンになるシラン化合物、例えば、トリシラン、ペンタシラン、シクロトリシランおよび１，１’−ビスシクロブタシラン等、金属錯体等が挙げられる。これらは液体中に微粒子として分散されていても良く、溶解されて存在してもよい。
【０１０５】
さらには、導電性有機材料を含有する液体として、導電性高分子であるＰＥＤＯＴ（ポリエチレンジオキシチオフェン）とＰＰＳ（ポリスチレンスルホン酸）との水溶液、ドープドＰＡＮＩ（ポリアニリン）、およびＰＥＤＯＴ（ポリエチレンジオキシチオフェン）にＰＳＳ（ポリスチレンスルホン酸）をドープした導電性高分子の水溶液等を用いることができる。
【０１０６】
半導体層を構成するための材料として、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ、ＧａＡｓ、ＩｎＰ、Ｓｉ、Ｇｅ、カーボンナノチューブ、シリコン、およびＺｎＯ等の無機半導体、ペンタセン、アントラセン、テトラセン、およびフタロシアニン等の有機低分子、ポリアセチレン系導電性高分子、ポリパラフェニレンおよびその誘導体、ポリフェニレンビニレンおよびその誘導体等のポリフェニレン系導電性高分子、ポリピロールおよびその誘導体、ポリチオフェンおよびその誘導体、ポリフランおよびその誘導体等の複素環系導電性高分子、ならびにポリアニリンおよびその誘導体等のイオン性導電性高分子等の有機半導体を用いることができる。
【０１０７】
なお、層間絶縁膜を構成する電気絶縁性の大きな材料、すなわち、絶縁性材料としては、以下のもの用いることができる。具体的には、有機材料としては、ポリイミド、ポリアミドイミド、エポキシ樹脂、シルセスキオキサン、ポリビニルフェノール、ポリカーボネート、フッ素系樹脂、ポリパラキシリレン、およびポリビニルブチラール等が挙げられる。ポリビニルフェノールおよびポリビニルアルコールは適当な架橋剤によって、架橋して用いてもよい。ポリフッ化キシレン、フッ素化ポリイミド、フッ素化ポリアリルエーテル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリ（α、α、α’、α’―テトラフルオロ―パラキシレン）、ポリ（エチレン／テトラフルオロエチレン）、ポリ（エチレン／クロロトリフルオロエチレン）、フッ素化エチレン／プロピレン共重合体の様なフッ素化高分子、およびポリオレフィン系高分子、ならびにその他、ポリスチレン、ポリ（α−メチルスチレン）、ポリ（α―ビニルナフタレン）、ポリビニルトルエン、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリ（４―メチル―１―ペンテン）、ポリ（２―メチル―１、３―ブタジエン）、ポリパラキシレン、ポリ［１、１―（２―メチルプロパン）ビス（４―フェニル）カルボネート］、ポリシクロヘキシルメタクリレート、ポリクロロスチレン、ポリ（２、６―ジメチル―１、４―フェニレンエーテル）、ポリビニルシクロヘキサン、ポリアリレンエーテル、ポリフェニレン、ポリスチレン―コ―α―メチルスチレン、エチレン／アクリル酸エチル共重合体、ポリ（スチレン／ブタジエン）、およびポリ（スチレン／２、４―ジメチルスチレン）等が有機材料として挙げられる。
多孔質の絶縁膜としては、二酸化珪素にリンを添加したリンシリケートガラス、二酸化珪素にリンおよびボロンを添加したホウ素リンリシケートガラス、ポリイミド、ならびにポリアクリル等の多孔質の絶縁膜が挙げられる。また、多孔質メチルシルセスキオキサン、多孔質ハイドロシルセスキオキサン、および多孔質メチルハイドロシルセスキオキサン等のシロキサン結合を有する多孔質の絶縁膜を形成することができる。
上述の材料を用いた場合には、溶媒または分散媒を処理液として利用することができる。
【０１０８】
なお、インクに含まれる材料としては上述のものに限定されず、用途に応じて、最適な材料が選択される。例えば、カラーフィルタを製造するために使用される着色剤を含むインク等も適用できる。着色剤としては、公知の染料および顔料が挙げられる。また、このようなインクには、上述した分散媒およびバインダーが含まれていてもよい。
この場合でも、インクに含まれる分散媒を処理液として利用することができる。
【０１０９】
本発明は、基本的に以上のように構成されるものである。以上、本発明の印刷方法について詳細に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良または変更をしてもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【０１１０】
１０  印刷装置
１２  印刷装置本体
１４  記憶部
１６  判定処理部
１８  制御部
２０  ケーシング
２０ａ  内部
２２  画像記録部
２３  処理部
２４  版胴
２４ａ  表面
２４ｂ  回転軸
２５  印刷版
２５ａ  版面
２５ｂ  凹部
２７ａ  パターン形成領域
２７ｂ  非パターン形成領域
２９  平版
２９ａ  表面
２９ｂ  凸版
３０  ステージ
３１  基板
３１ａ  表面
３２  乾燥部
３３  イオナイザー
３４  クリーニング部
３５  除去部
３６  メンテナンス部
３９  転写部
４０  インクジェットヘッド
４０ａ  ヘッドモジュール
４１  ノズル
４２  アライメントカメラ
４３  吐出制御部
４５  インク液滴
４６  キャリッジ
４７  インク
４８  リニアモータ
４９  回動部
５２ｂ  インク
８０  薄膜トランジスタ、ＴＦＴ
８２  ゲート電極
８４  チャネル領域
８６ａ  ソース電極
８６ｂ  ドレイン電極
９０  吐出ヘッド
９２  処理液滴
９４  設定パターン
９６、９６ａ  インク設定パターン
１００  配線パターン
１１０  版胴と処理部の相対的な位置の時間変化
１１１  処理液を付与する期間
１１１ａ、１１３ａ  開始位置
１１１ｂ、  １１３ｂ  終了位置
１１２  版胴と画像記録部の相対的な位置の時間変化
１１３  インクを付与する期間
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ  アライメントマーク
Ｇ  スピットエリア
Ｇ１１、Ｇ１２、Ｇ２１、Ｇ２２、Ｇ３１、Ｇ３２  印刷エリア
Ｈ１  第１の方向
Ｈ２  第２の方向
Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３  位置合せエリア
Ｐｃ１、Ｐｉ１  開始位置
Ｐｃ２、Ｐｉ２  終了位置
Ｐｅ  終了位置
Ｐｐ  印刷位置
Ｐｓ  開始位置
Ｓ１０、Ｓ１２、Ｓ１４、Ｓ１６、Ｓ１８、Ｓ２０、Ｓ２２、Ｓ２４、Ｓ２６、Ｓ２８、Ｓ３０、Ｓ３２、Ｓ３４、Ｓ４０、Ｓ４２  ステップ
Ｔ  吐出確認エリア
Ｖ  搬送方向
α  角度
θ  傾き角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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