(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被着体におけるそれぞれの一方の面に１枚の第１接着シートが貼付された一体物に対し、前記複数の被着体におけるそれぞれの他方の面に１枚の第２接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記第２接着シートを供給する供給手段と、
前記複数の被着体に前記第２接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、
前記押圧手段と一体物とを相対移動させる移動手段を備え、
前記被着体は、第１方向に沿って形成された第１溝と、当該第１溝に交差する第２方向に沿って形成された第２溝とが基材の一方の面に形成されるとともに、前記第１方向に沿って前記第１接着シートが貼付された状態で、当該基材の他方の面側から前記第１溝および第２溝に達するまで研削されることで形成され、
前記移動手段は、前記第２方向に沿って前記第２接着シートを前記被着体に貼付するように、前記押圧手段に対する前記一体物の相対移動方向を変更可能な貼付方向変更手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
複数の被着体におけるそれぞれの一方の面に１枚の第１接着シートが貼付された一体物に対し、前記複数の被着体におけるそれぞれの他方の面に１枚の第２接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記第２接着シートを供給する工程と、
前記複数の被着体に前記第２接着シートを押圧して貼付する工程と、
前記被着体に前記第２接着シートを押圧する押圧手段と一体物とを相対移動させる工程を備え、
前記被着体は、第１方向に沿って形成された第１溝と、当該第１溝に交差する第２方向に沿って形成された第２溝とが基材の一方の面に形成されるとともに、前記第１方向に沿って前記第１接着シートが貼付された状態で、当該基材の他方の面側から前記第１溝および第２溝に達するまで研削されることで形成され、
前記押圧手段と一体物とを相対移動させる工程において、前記第２方向に沿って前記第２接着シートを前記被着体に貼付するように、前記押圧手段に対する前記一体物の相対移動方向を変更する工程を備えていることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、溝が形成された一方の面に保護テープ（第１接着シート）が貼付された半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）（基材）の他方の面を研削することで、当該基材をチップ（被着体）に個片化した後、当該他方の面にダイシングテープ（第２接着シート）を貼付する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、このような貼り付けにおいて、皺や弛みなく貼付するために接着シートに張力を付与して被着体に貼付することが一般的に行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１０８２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、張力が付与された状態で被着体に貼付された接着シートには、この張力の反対方向に収縮しようとする力、いわゆる復元力が生じるため、当該復元力により溝の間隔が狭くなる。特に、特許文献１に記載されたような従来の方法のように第２接着シートに付与する張力の方向を第１接着シートの張力方向と同じにすると、第２接着シートが第１接着シートの収縮方向と同じ方向に収縮するので溝の間隔がさらに狭くなる。そのため、被着体をピックアップする際に被着体同士が接触してしまい、被着体が破損することや、検査する際に被着体が認識できない等、後の工程において支障を来すという不都合を生じる。
【０００５】
本発明の目的は、溝の間隔が一定方向にのみ狭くなることを防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、複数の被着体におけるそれぞれの一方の面に１枚の第１接着シートが貼付された一体物に対し、前記複数の被着体におけるそれぞれの他方の面に１枚の第２接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記第２接着シートを供給する供給手段と、前記複数の被着体に前記第２接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、前記押圧手段と一体物とを相対移動させる移動手段を備え、前記被着体は、第１方向に沿って形成された第１溝と、当該第１溝に交差する第２方向に沿って形成された第２溝とが基材の一方の面に形成されるとともに、前記第１方向に沿って前記第１接着シートが貼付された状態で、当該基材の他方の面側から前記第１溝および第２溝に達するまで研削されることで形成され、前記移動手段は、前記第２方向に沿って前記第２接着シートを前記被着体に貼付するように、前記押圧手段に対する前記一体物の相対移動方向を変更可能な貼付方向変更手段を備えている、という構成を採用している。
【０００７】
一方、本発明のシート貼付方法は、複数の被着体におけるそれぞれの一方の面に１枚の第１接着シートが貼付された一体物に対し、前記複数の被着体におけるそれぞれの他方の面に１枚の第２接着シートを貼付するシート貼付方法であって、前記第２接着シートを供給する工程と、前記複数の被着体に前記第２接着シートを押圧して貼付する工程と、前記被着体に前記第２接着シートを押圧する押圧手段と一体物とを相対移動させる工程を備え、前記被着体は、第１方向に沿って形成された第１溝と、当該第１溝に交差する第２方向に沿って形成された第２溝とが基材の一方の面に形成されるとともに、前記第１方向に沿って前記第１接着シートが貼付された状態で、当該基材の他方の面側から前記第１溝および第２溝に達するまで研削されることで形成され、前記押圧手段と一体物とを相対移動させる工程において、前記第２方向に沿って前記第２接着シートを前記被着体に貼付するように、前記押圧手段に対する前記一体物の相対移動方向を変更する工程を備えている、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００８】
以上のような本発明によれば、被着体の他方の面に、第１方向に交差する第２方向に沿って第２接着シートを貼付するため、第１方向に第２接着シートの復元力が付与されることを防止でき、溝の間隔が一定方向にのみ狭くなることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前側から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が図１中手前方向であるＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１１】
図１において、シート貼付装置１０は、複数の被着体としてのチップＣＰにおけるそれぞれの一方の面ＣＰ１に１枚の第１接着シートが貼付された一体物としての第１一体物ＷＫ１に対し、複数のチップＣＰにおけるそれぞれの他方の面ＣＰ２に１枚の第２接着シートＡＳ２を貼付するシート貼付装置であって、第２接着シートＡＳ２を供給する供給手段２０と、複数のチップＣＰに第２接着シートＡＳ２を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３０と、第１一体物ＷＫ１およびリングフレームＲＦを支持する支持手段４０と、第１方向を検知する光学センサやカメラ等の検知手段５０と、押圧ローラ３０と第１一体物ＷＫ１とを相対移動させる移動手段６０とを備えている。なお、チップＣＰは、第１方向に沿って形成された第１溝ＳＰ１と、当該第１溝ＳＰ１に直交する第２方向に沿って形成された第２溝ＳＰ２とが基材としてのウエハの一方の面に形成されるとともに、第１方向に沿って第１接着シートＡＳ１が貼付された状態で、ウエハの他方の面側から第１溝ＳＰ１および第２溝ＳＰ２に達するまで研削されることで形成される。また、第１一体物ＷＫ１の外形は、第１接着シートＡＳ１の復元力によって第１方向に収縮しており、第１一体物ＷＫ１の第１接着シートＡＳ１貼付前の外形（以下、単に「シート貼付前形状」という場合がある）に対する第１接着シートＡＳ１貼付後の外形（以下、単に「シート貼付後形状」という場合がある）の収縮量は、第１方向が最も大きくなる。このため、例えば、第１一体物ＷＫ１のシート貼付前形状が円形の場合、シート貼付後形状は、図１の符号ＡＡの図に示すように、短軸ＡＸ１が第１方向と平行、長軸ＡＸ２が第２方向と平行な楕円形になる。
【００１２】
供給手段２０は、第２接着シートＡＳ２に帯状の剥離シートＲＬが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ２２と、剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから第２接着シートＡＳ２を剥離する剥離手段としての剥離板２３と、駆動機器としての回動モータ２４Ａによって駆動する駆動ローラ２４との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２５と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備えている。
【００１３】
支持手段４０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってリングフレームＲＦを吸着保持可能な外側支持面４１Ａおよび当該外側支持面４１Ａから凹んだ凹部４１Ｂを有する外側テーブル４１と、凹部４１Ｂ内に設けられた移動手段６０を構成する駆動機器としての回動モータ６２の出力軸６２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって第１一体物ＷＫ１を吸着保持可能な内側支持面４２Ａを有する内側テーブル４２とを備えている。
【００１４】
移動手段６０は、支持手段４０をスライダ６１Ａで支持する駆動機器としてのリニアモータ６１と、第２方向に沿って第２接着シートＡＳ２をチップＣＰに貼付するように押圧ローラ３０に対する第１一体物ＷＫ１の相対移動方向を変更可能な貼付方向変更手段であり駆動機器としての回動モータ６２とを備えている。
【００１５】
以上のシート貼付装置１０の動作を説明する。
先ず、作業者が原反ＲＳを図１に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、供給手段２０が回動モータ２４Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、原反ＲＳを所定量繰り出して停止する。次に、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、リングフレームＲＦおよび第１一体物ＷＫ１がそれぞれ外側テーブル４１上および内側テーブル４２上の所定の位置に搬送される。（本実施形態では、図１の符号ＡＡの図に示すように、第２溝ＳＰ２が前後方向に延びるような状態とする。）すると、支持手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、外側支持面４１Ａおよび内側支持面４２Ａでの吸着保持を開始する。
【００１６】
その後、検知手段５０が内側テーブル４２で保持された第１一体物ＷＫ１の外形を基に、第１方向が左右方向であることを検知し、検知した第１方向に直交する方向（前後方向）を第２方向として算出する。次いで、移動手段６０が回動モータ６２を駆動し、第２方向に沿って第２接着シートＡＳ２をチップＣＰに貼付可能となるように第１一体物ＷＫ１を９０度回転させる。
【００１７】
その後、移動手段６０がリニアモータ６１を駆動し、スライダ６１Ａを左方向に移動させ、リングフレームＲＦが所定位置に到達したことを図示しない検知手段が検知すると、供給手段２０が回動モータ２４Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、スライダ６１Ａの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、剥離板２３で剥離された第２接着シートＡＳ２が押圧ローラ３０でリングフレームＲＦおよび第１一体物ＷＫ１の他方の面ＣＰ２に貼付され、第２一体物ＷＫ２が形成される。
【００１８】
第２一体物ＷＫ２が形成され、スライダ６１Ａが図１中二点鎖線で示す位置に達すると、供給手段２０および移動手段６０が回動モータ２４Ａ、図示しない駆動機器およびリニアモータ６１の駆動を停止し、支持手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止する。その後、人手または図示しない搬送手段が第２一体物ＷＫ２を次工程に搬送した後、移動手段６０がリニアモータ６１を駆動し、スライダ６１Ａを図１中実線で示す位置に移動させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００１９】
以上のような実施形態によれば、第１一体物ＷＫ１の他方の面ＣＰ２に、第１方向に直交する第２方向に沿って第２接着シートＡＳ２を貼付するため、第１方向に第２接着シートＡＳ２の復元力が付与されることを防止でき、溝の間隔が一定方向のみに狭くなることを防止することができる。
【００２０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２１】
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、エアの吹き付け等による押圧部材を採用することができる。
供給手段２０および押圧手段は、剥離シートＲＬに仮着されていない第２接着シートＡＳ２を供給して、リングフレームＲＦと第１一体物ＷＫ１とに貼付する構成でもよい。
第２接着シートＡＳ２は、帯状のものであってもよく、シート貼付装置１０は、当該帯状の第２接着シートＡＳ２を第１一体物ＷＫ１に貼付した後に所望形状に切断する切断手段を備えていてもよい。
第２溝ＳＰ２は、第１溝ＳＰ１に直交する方向に沿って設けられたものに限らず、形成されるチップＣＰの形状が平行四辺形となるように、第１溝ＳＰ１に対して３０°や４５°傾斜する方向に沿って設けられたものであってもよく、その角度は限定されない。貼付方向変更手段は、その角度に合わせて押圧手段に対する第１一体物ＷＫの相対移動方向を変更してもよい。
【００２２】
外側テーブル４１および内側テーブル４２の少なくとも一方は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、接着剤、磁力等でリングフレームＲＦや第１一体物ＷＫ１を保持する構成でもよい。
外側テーブル４１および内側テーブル４２の少なくとも一方は、リングフレームＲＦの上面と第１一体物ＷＫ１の他方の面ＣＰ２とが同一面上に位置するように、高さ調整手段によってリングフレームＲＦや第１一体物ＷＫ１の高さを調整可能に構成されてもよい。
外側テーブル４１は、なくてもよく、この場合、第１一体物ＷＫ１のみに第２接着シートＡＳ２が貼付される。
【００２３】
検知手段５０は、チップＣＰの間隔を検知して第１方向を検知してもよい。
検知手段５０は、ウエハのノッチやオリエンテーションフラット（以下「オリフラ」という）を基準とした第１接着シートＡＳ１の貼付方向情報を取得し、当該情報とノッチやオリフラの検知結果とを基に、第１方向を検知してもよい。
検知手段５０は、第１一体物ＷＫ１に付されたＩＤやバーコードに記憶された情報を読み取り、この読み取り結果を基に、第１方向を検知してもよい。
検知手段５０および回動モータ６２は、なくてもよく、この場合、第１一体物ＷＫ１の外形やノッチやオリフラの位置から第１方向を認識した作業者が第２接着シートの供給方向と第２方向とが平行になるよう第１一体物ＷＫ１を回転させてもよい。
【００２４】
貼付方向変更手段は、供給手段２０や押圧ローラ３０側に設けてもよく、内側テーブル４２を停止させておき、供給手段２０や押圧ローラ３０を回転させてもよいし、供給手段２０、押圧ローラ３０および内側テーブル４２の全てを回転させてもよく、これらの場合、外側テーブル４１は、ともに回転してもよいし、回転しなくてもよい。
リングフレームＲＦおよび第１一体物ＷＫ１に第２接着シートＡＳ２を貼付する際、支持手段４０を停止させておき、供給手段２０および押圧ローラ３０を移動させてもよいし、供給手段２０、押圧ローラ３０および支持手段４０の全てを移動させてもよい。
【００２５】
また、本発明における第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および基材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用された場合は、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、基材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の基材に貼付することができる。
【００２６】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、第２接着シートを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２７】
１０…シート貼付装置
２０…供給手段
３０…押圧ローラ（押圧手段）
５０…検知手段
６０…移動手段
６２…回動モータ（貼付方向変更手段）
ＡＳ１、ＡＳ２…第１、第２接着シート
ＣＰ…チップ（被着体）
ＣＰ１…一方の面
ＣＰ２…他方の面
ＳＰ１…第１溝
ＳＰ２…第２溝
【図１】
0006473356.tif 000002