(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空弁用の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）であって、前記真空弁の、プロセス容積のために設けられた真空弁開口（２）との共働によって、前記プロセス容積を気密に閉鎖するように構成されており、
形状及び寸法に関して前記真空弁開口（２）の第２のシール面に対応する第１のシール面（２２）を備え、前記第２のシール面は前記真空弁開口（２）を取り囲んでおり、
前記第１のシール面（２２）にかつ該第１のシール面（２２）の形状に相応して加硫固定された、前記第１のシール面（２２）の面垂線の方向において確定された高さを有するシール材料（２５，２５′，３７）を備え、該シール材料（２５，２５′，３７）は、シール材料横断面に関して確定された形状を有しており、
前記シール材料（２５，２５′，３７）は、
プロセス容積側に設けられた第１のシール部分（２６）と、
プロセス容積とは反対側に設けられた第２のシール部分と、を備えている
真空弁用の閉鎖エレメントにおいて、
当該閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）は、前記第１のシール部分（２６）に隣接していてプレス縁（２８，２８′）を備えたプレス部（２４，２４′，２４′′）を有しており、
前記第１のシール部分（２６）の形状によって与えられていて前記プレス縁（２８，２８′）へと延びて終端する、前記シール材料（２５，２５′，３７）の表面形状が、ほぼ一様に推移するように、前記プレス縁（２８，２８′）は、成形されかつ前記第１のシール部分（２６）に関して形成されている
ことを特徴とする、真空弁用の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）。
【請求項２】
前記第１のシール部分（２６）は、前記プレス部（２４，２４′，２４′′）に隣接した領域（２７）において、前記シール材料（２５，２５′，３７）の表面形状が、一様であり、かつ該表面形状の角部のない方向変化を、７５°〜１０５°の間で生ぜしめる一様な湾曲を有するように、成形されている、請求項１記載の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）。
【請求項３】
前記湾曲は、変曲点を有しておらず、一定の湾曲方向を有しており、かつ／又は
前記プレス部に隣接した領域（２７）における前記表面形状の前記方向変化は、ほぼ９０°である、請求項２記載の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）。
【請求項４】
前記プレス部（２４，２４′，２４′′）は、前記第１のシール面（２２）の前記面垂線の方向で、かつ前記第１のシール面（２２）の表面に対して０.１５ｍｍ〜０.２５ｍｍの範囲における深さ（ｔ）を有している、請求項１から３までのいずれか１項記載の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）。
【請求項５】
前記プレス縁（２８，２８′）は、０.１５ｍｍ〜０.２５ｍｍの長さを有している、請求項１から４までのいずれか１項記載の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）。
【請求項６】
前記プレス縁（２８，２８′）は、前記第１のシール面（２２）の前記面垂線に対してほぼ平行に延びている、請求項１から５までのいずれか１項記載の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）。
【請求項７】
前記第１のシール部分（２６）は、少なくとも、前記プレス部に隣接した領域（２７）において、０.０２μｍ〜０.１５μｍの平均的な表面粗さＲａを有している、請求項１から６までのいずれか１項記載の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）。
【請求項８】
前記第１のシール部分（２６）は、少なくとも、前記プレス部に隣接した領域（２７）において、０.２μｍ〜１.５μｍの平均的な表面最大高さＲｚを有している、請求項１から７までのいずれか１項記載の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）。
【請求項９】
前記シール材料（２５，２５′，３７）は、エラストマを有している、請求項１から８までのいずれか１項記載の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）。
【請求項１０】
当該閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）は、
前記真空弁における当該閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）の制御された移動を提供するために、前記真空弁の駆動ユニット（７）に結合される連結部、すなわち前記駆動ユニット（７）の押し棒（６）のための受容部を有しており、
前記受容部は、当該閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）の側部に成形されていて、該受容部への前記押し棒の結合部分の係合によって前記押し棒に当該閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）が取外し可能に取り付けられるように、成形されており、
ほぼ押し棒軸線（８）に沿った前記真空弁開口（２）上への当該閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）の移動と、前記真空弁開口（２）を取り囲む弁座（３）への当該閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）の前記シール材料（２５，２５′，３７）の圧着とによって、前記真空弁開口（２）が閉鎖可能であるように、前記押し棒（６）は、前記駆動ユニット（７）を用いて支持されかつ移動可能であり、
かつ／又は
当該閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）は、
ほぼ押し棒軸線（８）に沿って当該閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）に手動で力を加えるために、前記押し棒（６）に対する当該閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）の取付け・取外しのために、当該閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）の、加硫固定された前記シール材料（２５，２５′，３７）を備えた閉鎖側（２１）とは反対の側に成形された、少なくとも１つのグリップ凹部を有している、
請求項１から９までのいずれか１項記載の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）。
【請求項１１】
プロセス容積を気密に閉鎖する真空弁であって、
真空弁開口（２）と、該真空弁開口（２）を取り囲みかつ第２のシール面を有する弁座（３）とを有する弁ハウジングと、
前記第２のシール面に対応する第１のシール面（２２）を備えた、前記真空弁開口（２）をほぼ気密に閉鎖する閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）と、を備え、前記第１のシール面（２２）は、加硫固定された、前記第１のシール面（２２）の面垂線の方向において確定された高さを有するシール材料（２５，２５′，３７）を有していて、該シール材料（２５，２５′，３７）は、シール材料横断面に関して確定された形状を有しており、
前記シール材料（２５，２５′，３７）は、
プロセス容積側に設けられた第１のシール部分（２６）と、
プロセス容積とは反対側に設けられた第２のシール部分と、を備えており、
当該真空弁は、前記閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）に連結された駆動ユニット（７）を備え、該駆動ユニット（７）は、前記閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）が少なくともほぼ幾何学的な長手方向軸線（８）に沿って長手閉鎖方向において、
前記閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）が前記真空弁開口（２）を開放する開放ポジションと、
前記閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）の前記第１のシール面（２２）が前記第２のシール面に押圧されて、前記真空弁開口（２）をほぼ気密に閉鎖する閉鎖ポジションとの間で、
移動可能であるように形成されている、真空弁において、
前記閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）は、前記第１のシール部分（２６）に隣接していてプレス縁（２８，２８′）を備えたプレス部（２４，２４′，２４′′）を有しており、
前記第１のシール部分（２６）の形状によって与えられていて前記プレス縁（２８，２８′）へと延びて終端する、前記第１のシール部分（２６）の表面形状が、ほぼ一様に推移するように、前記プレス縁（２８，２８′）は、成形されかつ前記第１のシール部分（２６）に関して形成されており、
前記閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）は、請求項１から１０までのいずれか１項記載のように形成されている
ことを特徴とする、真空弁。
【請求項１２】
材料ブランク（４０）にシール材料（２５，２５′，３７）を被着及び成形するための多機能工具（３０）であって、
形成されて加硫されるシール材料（２５，２５′，３７）の形状を確定する凹部（３４）と、
該凹部（３４）の第１の端部を工具横断面に関して形成するプレスオフ縁（３３）と、
前記凹部（３４）に該凹部の第２の端部において接続するスロット（３５）と、
前記シール材料（２５，２５′，３７）用の収容部（３６）と、を有しており、
このとき、
前記凹部（３４）は、前記プレスオフ縁（３３）に隣接する領域において、前記プレスオフ縁（３３）の形状が工具横断面に関して、この領域において、適合された工具表面形状によって、ほぼ一様に延びるように、成形されており、
当該多機能工具（３０）は工具の閉鎖時に、装入された前記材料ブランク（４０）と共働して、
前記プレスオフ縁（３３）が前記材料ブランク（４０）内に押し込まれ、前記凹部（３４）をその第１の端部において前記材料ブランク（４０）によって閉鎖し、
前記スロット（３５）が第２の端部においてオーバフロー通路（３８）を形成し、
前記収容部（３６）に存在する前記シール材料（２５，２５′，３７）が、前記オーバフロー通路（３８）を通って前記凹部（３４）内に押し込まれ、かつ／又は流入するようになっており、
前記前記シール材料（２５，２５′，３７）は、閉鎖された工具状態において加硫可能であり、
前記材料ブランクは、請求項１から１０までのいずれか１項記載の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）又は該閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）の一部である
ことを特徴とする多機能工具（３０）。
【請求項１３】
前記凹部（３４）は、前記プレスオフ縁（３３）に隣接する領域に、工具表面形状の角部のない、７５°〜１０５°の間の方向変化を生ぜしめる一様な湾曲部を有しており、かつ／又は
前記プレスオフ縁（３３）から前記凹部（３４）への工具横断面に沿った表面ラインの一様な移行部を有している、請求項１２記載の多機能工具（３０）。
【請求項１４】
真空弁用のシール部材（２５，２５′，３７）を備えた閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）を製造する方法であって、
請求項１２又は１３記載の多機能工具（３０）と、
前記閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）又は前記閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）の一部を形成する材料ブランク（４０）と、を用いる方法において、
このとき、
前記材料ブランク（４０）及びシール材料（２５，２５′，３７）を、工具開放状態において、前記多機能工具（３０）内に装入し、
前記多機能工具（３０）の閉鎖によるプレスステップにおいて、
前記プレスオフ縁（３３）を前記材料ブランク（４０）内に押し込み、これによって、
前記プレスオフ縁（３３）に対応する、プレス縁（２８，２８′）を備えたプレス部（２４，２４′，２４′′）を、材料ブランク（４０）において生ぜしめ、
前記凹部（３４）をその第１の端部において閉鎖し、
前記シール材料（２５，２５′，３７）を変形させ、かつ／又は流動化させ、前記シール材料（２５，２５′，３７）の少なくとも一部が、前記プレスステップ時に前記スロット（３５）によって生じる前記オーバフロー通路（３８）を通って前記凹部（３４）に達しかつ該凹部（３４）を満たすようにし、
加硫ステップにおいて、前記シール材料（２５，２５′，３７）の加硫を、ほぼ前記凹部（３４）の形状に相応して行って、
前記プレス縁（２８，２８′）によって生ぜしめられた、前記材料ブランク（４０）における表面形状が、ほぼ一様に延びるように、前記シール材料（２５，２５′，３７）を成形し、かつ前記プレス縁（２８）に関して形成し、
前記シール材料（２５，２５′，３７）を前記材料ブランク（４０）に固着的に結合し、
前記シール材料（２５，２５′，３７）を、前記プレス縁（２８，２８′）に隣接する領域（２７）において、前記シール材料（２５，２５′，３７）の表面形状が一様であるように成形し、かつ／又は
前記多機能工具（３０）を、前記加硫ステップ中に、予め設定された架橋過程に応じて温度調整する
ことを特徴とする、閉鎖エレメントを製造する方法。
【請求項１５】
請求項１４記載の方法を実施することによって得られる閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）であって、請求項１から１０までのいずれか１項記載の閉鎖エレメント（２０，２０′，２０′′）が形成されていることを特徴とする閉鎖エレメント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の前段部に記載の、流路を気密に閉鎖する、真空弁用の閉鎖エレメント、請求項１１の前段部に記載の相応の真空弁、並びに請求項１２もしくは請求項１４記載の、このような閉鎖エレメントを製造する工具及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、弁ハウジングに形成された開口を貫いて延びる流路を、実質的に気密に閉鎖する真空弁は、種々様々な態様において、従来技術に基づいて公知である。真空スライド弁は、特に、保護された雰囲気内において可能な限り汚染粒子の存在なしに行われねばならないＩＣ製造や半導体製造の分野において使用される。例えば半導体ウエハ又は液晶基板のための製造装置では、極めて敏感な半導体素子又は液晶素子が、順番に複数のプロセス室を通過し、これらのプロセス室において、プロセス室の内部に位置する半導体素子が各１つの加工装置を用いて加工される。プロセス室内部における加工プロセス中、及びプロセス室からプロセス室への搬送中に、極めて敏感な半導体素子は、常に保護された雰囲気内に、特に真空内に位置しなくてはならない。プロセス室は、例えば接続路を介して互いに接続されており、このときプロセス室は、真空スライド弁を用いて、１つのプロセス室から次のプロセス室に部材を搬送するために開放すること、及び続けて、各製造ステップを実施するために気密に閉鎖することができる。このような弁は、上記使用分野に基づいて、真空トランスファバルブとも、その方形の開口横断面に基づいて方形ゲートバルブとも呼ばれる。
【０００３】
トランスファバルブは、特に極めて敏感な半導体素子の製造時に使用されるので、特に弁の操作に起因する粒子発生、及び弁室内における自由な粒子の数を可能な限り僅かに保つ必要がある。粒子発生は、第１に、例えば金属・金属接触及びこすれによる摩擦の結果である。
【０００４】
シールは例えば、開口を取り囲む弁座に押し付けられる、弁頭の閉鎖側に配置されたシール部材を介して行うこと、又は、弁頭の閉鎖側が押し付けられる、弁座におけるシールリングを介して行うことができる。種々様々なシール装置が、従来技術に基づいて、例えば特許文献１（Duelli）に基づいて公知である。シールリング用の適宜な材料は、例えばＶｉｔｏｎ（商標）という商品名で公知の弾性的なシール材料である。
【０００５】
真空弁において使用されるシール部材に対する要求は、極めて高い。一方では、弁の閉鎖状態において弁のシール性が保証されていなくてはならない。これは特に、真空領域における高い差圧、及びこれによって生じる、弁閉鎖部に作用する大きな力に基づいて、大きな試練である。使用されるシール部材は、過度に高い圧縮（Verpressung）時に、平均以上の高い摩耗にさらされる、又は破壊されるので、弁の構造は、差圧力が全く又は制限されてしかシール部材に作用し得ないようになっていなくてはならない。シール部材の圧縮は、その形状に沿って可能な限り一様に行われることが望ましく、このことは、全接触領域における弁座への弁頭の一様の圧着力を必要とする。特に、シール部材に対する横方向負荷及び長手方向負荷は、可能な限り小さく保たれねばならない。シール部材の長手方向に対して横方向の横方向負荷の作用時に、Ｏリングパッキンであるシール部材では、シール部材が固定されている保持部、特に溝から引き出されてしまうおそれがある。加硫固定（aufvulkanisieren）されたシール部材でも、極めて制限された横力にしかさらされることが許されない。弁の開放状態においても及び閉鎖状態においても、シール部材は部分的に攻撃的な媒体にさらされていて、ゆえにシール部材はこのような影響に耐えることができるように、かつ／又は媒体の流路から、摩耗を回避するためにも、離反移動されるように構成されていなくてはならない。シール部材の過度に高い損耗は、プロセス確実性に対する不確実要素であり、シール部材の定期的な交換を必要とし、これは、またしてもプロセスにおける停止時間を長くすることになる。
【０００６】
真空弁の、特に真空弁のシール技術及び駆動技術の種々様々な構成が、従来技術に基づいて公知であり、これら公知の構成は、特に、使用されるシール部材の耐用寿命を延ばすこと及びプロセス確実性を改善することを、目的としている。
【０００７】
それぞれの駆動技術に関連して、特に、弁スプール又は方形ゲートバルブとも呼ばれるスライド弁（Schieberventil）と、シャトル弁（Pendelventil）とが区別される。このとき従来技術における開閉は、多くの場合２つのステップにおいて行われる。第１のステップにおいて、特に閉鎖プレート又は閉鎖エレメントである弁閉鎖部材は、スライド弁の場合、例えば特許文献２（Geiser）又は特許文献３（Blecha）に基づいて公知のように、特にＬ字形型式の場合、直線的に開口の上を、弁座に対してほぼ平行に移動させられるか、又は、例えば特許文献４（Olmsted）に基づいて公知のように、シャトル弁の場合では、旋回軸を中心にして開口の上に旋回させられ、このとき閉鎖プレートと弁ハウジングの弁座との間においては接触が生じない。第２のステップにおいて、閉鎖プレートはその閉鎖側で、弁ハウジングの弁座に押し付けられ、これにより開口は気密に閉鎖される。シールは例えば、開口を取り囲む弁座に押し付けられる、閉鎖プレートの閉鎖側に配置されたシール部材を介して、行うことができるか、又は、閉鎖プレートの閉鎖側に押圧される、弁座におけるシールリングを介して、行うことができる。特にシールリングであるシール部材は、溝内に保持され、かつ／又は加硫固定されていてよい。
【０００８】
閉鎖部材がまず、シール部材と弁座との接触なしに、横方向で開口の上に移動させられ、次いでほぼ垂直に弁座に押し付けられる、上に述べた２段階の運動は、貫流を正確に制御できるという利点のみならず、シール部材の横方向負荷又は長手方向負荷を生ぜしめることなしに、特に、シール部材がほぼもっぱら垂直に圧縮されるという利点を有している。駆動装置は、比較的複雑な構造を有しており、この構造は、特に、閉鎖部材のＬ字形の運動を可能にするただ１つの駆動装置によって形成されるか、又は複数の駆動装置、例えば２つのリニア駆動装置又は１つのリニア駆動装置及び１つの拡開駆動装置（Spreizantrieb）によって形成される。多くの場合閉鎖プレートの直ぐ後ろに配置されていて、この閉鎖プレートを、該閉鎖プレートが位置しているシャフトに対して垂直方向で弁座へと移動させる拡開駆動装置は、互いに相対運動を実施する多数の機械的な部分を、弁内部に有している。
【０００９】
単に直線的に移動させられるくさび弁（Keilventil）は、明らかに高い移動速度を可能にするが、シール部材の横方向負荷に基づいて、真空領域のためにはほとんど適しておらず、かつ僅かな移動サイクルにも適していない。
【００１０】
このような問題を解決するスライド弁では、閉鎖兼シール過程は、確かに、ただ１つの直線運動によって行われるが、シールジオメトリは、シール部材の横方向負荷が完全に回避されるようになっている。このような弁は例えば、スイス国のＨａａｇにあるＶＡＴ Ｖａｋｕｕｍｖｅｎｔｉｌ ＡＧ という会社の「MONOVAT Reihe 02, 03」という製品名で知られている、方形インサート弁として形成されたトランスファ弁である。このような弁の構造及び機能は、例えば特許文献５（Geiser）及び特許文献６（Geiser）に記載されている。
【００１１】
これらの特許文献に記載された弁は、そのハウジング内にシール面を有していて、このシール面は、弁貫通開口の軸線方向で見て、相前後して位置している複数の部分を有しており、これらの部分は、連続的に延びる湾曲部を介して、側部外方に向かって延びる平らなシール面部分に移行しており、このとき、一体ではあるが複数の部分を有するこのシール面の仮想の母線は、弁貫通開口の軸線に対して平行に位置している。シール面は加工されている。閉鎖部材は、シール面に対応する支持面を、環状に閉じられたシール部材のために有している。より詳しく述べると、いわゆる弁スライダは、スライダハウジングとスライダ貫通開口とを有していて、このスライダ貫通開口は、その平面において移動可能な閉鎖部材によって閉鎖可能である。スライダ貫通開口の領域には、シール面が設けられており、このシール面には閉鎖部材の閉鎖位置において、閉鎖部材に配置された環状に閉じられたシール部材が接触し、このとき、シール面の仮想の真っ直ぐな母線は、スライダ貫通開口の軸線に対して平行に位置している。環状に閉じられた一体のシール部材は、種々異なった長さ及び／又は形状の部分を有しており、これらの部分は異なった平面に位置しており、このとき環状に閉じられたシール部材の２つの主部分は、スライダ貫通開口の軸線に対して直角に位置しかつ互いに間隔をおいて位置する平面に位置している。シール部材の両主部分は、側部分によって結合されている。閉鎖部材は、ハウジングのシール面の形状に対して、対応するように延在しかつ環状に閉じられたシール部材を支持する面を有している。環状に閉じられたシール部材の側部分は、Ｕ字形に延びている。このＵ字形に延びる側部分の脚はそれぞれ、１つの平面に位置している。スライダ貫通開口の軸線方向で見て相前後して位置している、シール面の部分は、共通の真っ直ぐな軸平行の母線を有する領域において、シール部材の主部分の接触のために、側部外方に向かって延びる平らなシール面部分に移行している。これらの平らなシール面部分は、互いにかつスライダ貫通開口の軸線に対して平行に位置する平面に位置している。
【００１２】
直線運動によって閉鎖可能なこのようなトランスファ弁のための適宜な駆動装置が、特許文献７（Buriida Fuuberuto）に記載されている。この特許文献７に記載された駆動装置は、閉鎖部材が取り付けられている押し棒を直線移動させるために、偏心的に支持されたレバーを有している。
【００１３】
閉鎖エレメントに設けられた又は取り付けられたシール部材のための構成は、弁閉鎖装置のための上に述べた駆動技術とはほぼ無関係である。上に述べたように、このようなシール部材は、典型的には溝内におけるＯリングとして実現されているか、又は、改善された耐久性のために、特殊な工具を用いて閉鎖エレメントに加硫固定されている。
【００１４】
シールを加硫するために、オーバフロー間隙が設けられており、これによって、例えばエラストマであるシール材料の余剰分を排出することができ、シール部材１００を、工具によって設定された形状に相応して生ぜしめることができる（図１ａ参照）。しかしながらオーバフロー間隙を通って流出した材料１０１，１０１′は、例えばアルミニウム又は特殊鋼から製造されたプレートブランク１１０に留まり、加硫の後で機械的に除去しなくてはならない。この除去作業は、今日多くの場合、金属／シール材料の移行ゾーンの領域におけるトリミングによって行われ、図１ｂの領域１０１，１０１′に示されているように、シール材料及び金属は切除される。
【００１５】
しかしながらこのプロセスにおける大きな欠点としては、トリミングによる材料切除時における粒子の発生とばりの形成がある。まさにこのような粒子形成及び弁閉鎖エレメントにこのような粒子が残ることは、真空領域において実施される加工プロセスにとって極めて危険であるので、このような粒子を減じること又は最も好ましくは完全に回避することが望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】米国特許第６６２９６８２号明細書
【特許文献２】米国特許第６４１６０３７号明細書
【特許文献３】米国特許第６０５６２６６号明細書
【特許文献４】米国特許第６０８９５３７号明細書
【特許文献５】米国特許第４８０９９５０号明細書
【特許文献６】米国特許第４８８１７１７号明細書
【特許文献７】特開平６−２４１３４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
ゆえに本発明の課題は、加硫固定されたシール部材を備えた、真空弁、特に真空トランスファ弁のための閉鎖プレートもしくは閉鎖エレメントを提供することであり、このときプロセス確実性を改善することである。
【００１８】
特に、本発明の課題は、製造に基づくばり形成又は残留粒子の発生を、少なくとも、閉鎖されるプロセス容積に向いた部分において最小にする、又は完全に回避することができる、相応の閉鎖エレメントを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
これらの課題は、独立請求項の特徴部に記載の構成によって解決される。本発明の択一的な又は好適なさらなる態様は、従属請求項に記載されている。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は、真空弁用の閉鎖エレメントに関しており、本発明に係る閉鎖エレメントでは、シール部材は、閉鎖エレメントの後続の切除加工を、少なくとも、使用時に閉鎖すべきプロセス容積に向けられる領域において、特にこのプロセス容積と直に接触する領域において、省くことができるように、閉鎖エレメントに被着されている。これによって当該領域における閉鎖エレメントの、例えばトリミングのような切削による後加工は、もはや不要であり、これによって（極めて小さい）粒子又はばりの発生が大幅に回避される。
【００２１】
閉鎖エレメントは一般的に、真空弁の開口を気密に閉鎖することができる閉鎖体（弁頭、閉鎖プレート又は閉鎖部材とも呼ばれる）である。このような真空弁の配置形態において、例えば弁頭として形成されていてよい閉鎖エレメントは、典型的には、少なくとも直線的に、開口軸線に対して直角に延びる幾何学的な移動軸線に沿って、開放ポジションと閉鎖ポジションとの間における閉鎖エレメント平面において移動可能である。好ましくは、移動軸線は、開口軸線に対して垂直に延びていて、開口軸線によって垂直に貫通される平面に位置している。択一的に、移動軸線は、開口軸線に対して平行ではなく、斜めに延びており、このとき交差角は、特に９０°〜４５°である。
【００２２】
特に、閉鎖エレメントはさらに、開口軸線の方向に可動であるので、弁開口の閉鎖は、運動経過の第２の段階において、弁座への閉鎖エレメントのほぼ垂直な押し付けによって行うことができる（Ｌ字形型式）。これによって、加硫固定されたシール部材の横方向負荷を、可能な限り小さく保つことができるので、摩耗粒子の発生も相応に減じられる。
【００２３】
具体的には、本発明は、真空弁用の閉鎖エレメント、特に弁頭であって、真空弁の、プロセス容積のために設けられた真空弁開口との共働によって、プロセス容積を気密に閉鎖するように構成されている。
【００２４】
これによって閉鎖エレメントは、真空条件下において流路のための弁開口を気密に閉鎖するように形成されている。流路というのは、一般に、２つの領域の間、特に、例えばソーラ又はその他の使用例のためのそれぞれの形式の２つの積層装置の間、又は半導体製造のためのプロセス室と、別のプロセス室又は外界との間の、閉鎖すべき開放路のことを意味している。流路は例えば、互いに接続された２つのプロセス室の間の接続路であり、このとき両方のプロセス室は、真空弁を用いて、１つのプロセス室から次のプロセス室に半導体部品を搬送するために開放され、次いで、各製造ステップを実施するために気密に閉鎖することができる。このような弁は、上記の使用分野に基づいて、真空トランスファ弁とも、しばしばその方形の開口横断面に基づいて、方形ゲート弁とも呼ばれる。しかしながらまた、もちろん、本発明に係る真空弁は、任意の流路をほぼ気密に閉鎖するために使用する他の使用例も可能である。
【００２５】
閉鎖エレメントは、真空弁開口の第２のシール面に、特に形状及び寸法に関して、対応する第１のシール面を有しており、このとき第２のシール面は真空弁開口を取り囲んでいる。つまり閉鎖エレメントの第１のシール面は、特に形状及び寸法に関して、弁開口を取り囲むシール面に（特に弁座の形状に）相当している。
【００２６】
さらに、閉鎖エレメントは、第１のシール面にかつその形状に相応して加硫固定された、第１のシール面の面垂線の方向で確定された高さを有するシール材料を、有している。このときシール材料は、シール材料横断面（シール材料の延在方向に対して垂直にシール材料を通る横断面）に関して確定された形状を有していて、特にプロセス容積側に設けられた第１のシール部分（つまり真空弁における配置形態においてかつ閉鎖状態において、閉鎖されるプロセス容積に向けられた、もしくはプロセス容積に接触している部分）と、特にプロセス容積とは反対側に設けられた第２のシール部分とを備えている。典型的には、このような閉鎖エレメントは、本発明に係る閉鎖エレメントがそうであるように、既に閉鎖エレメントの構成に基づいて、閉鎖エレメント及びまたシール材料のどちらの部分が使用時に、閉鎖されるプロセス容積（真空領域）と接触する又は接触していて、どちらの第２の部分が、当該容積の外側に残る、つまり閉鎖状態において（直接的に）このプロセス容積にさらされないかが、決定されているように構成されている。
【００２７】
製造品質に関して、特に清浄さに関して、つまり場合によって生じ得る粒子又はばりの存在に関して、第１のシール部分（つまり、弁の閉鎖状態においてプロセス容積に向けられているシール部分）が、プロセスに関して臨界的な部分である。特にこの部分は、可能な限り汚染又は材料残留物を有しないことが望まれている。
【００２８】
従って閉鎖エレメントは、第１のシール部分に隣接する、プレス縁を備えたプレス部を有している。さらにプレス縁は、第１のシール部分の形状によって与えられかつプレス縁に向かって終端する、シール材料の横断面形状が（シール材料の横断面に関して）ほぼ一様な、特に直線的に、プレス縁によって（つまり終端するシール材料に対するプレス縁のポジション及び方向によって）さらに続けられるように、成形されかつ第１のシール部分に関して形成されている。これは、プレス縁を用いて表面形状が幾分角度を成してさらに延在する構成をも含む。
【００２９】
閉鎖エレメントにおけるプレス部は、シール材料の被着及び焼結時に生ぜしめられる。これによって少なくとも、後の（つまり真空弁における閉鎖エレメントの使用時における）プロセス側に相当する方向への、材料のオーバフローが阻止され、かつ同時にシール材料は、一様な材料移行部が生ぜしめられるように一体に成形される。この移行領域（シール材／金属）の後加工は、これによってもはや不要であり、ひいてはばり形成及びこれに基づく粒子発生を十分に回避することができる。
【００３０】
本発明の特別な態様によれば、閉鎖エレメントは、第２のシール部分に隣接する別のプレス縁を有する別のプレス部を有している。この第２のプレス部もしくはプレス縁及び第２のシール部分は、表面ラインが第１のシール部分の側の原理に基づいて、この側においても連続的にほぼ一様に導かれているように、互いに位置決めされ、かつそれぞれ形成されている。
【００３１】
第１のシール部分はその構成に関して、本発明の１つの態様によれば、プレス部に隣接した領域において、シール材料の（横断面方向における）表面形状が、一様であり、かつ該表面形状の角部のない方向変化を、特に７５°〜１０５°の間で生ぜしめる一様な湾曲を有するように、成形されている。これによって、閉鎖エレメントの支持材料へのシール材料の表面ラインの連続的な移行が可能になり、その結果、面一に成形された綺麗なシール部材を生ぜしめることができる。
【００３２】
本発明の特定の態様によれば、（プレス部に隣接した領域における）前記湾曲部は、変曲点を有していない。特にこの湾曲は、一定の湾曲方向を有している。第１のシール部分のこのような構成によって、シール表面の（シール横断面に相応した）一様な形状と、支持材料への相応の移行部が与えられている。
【００３３】
さらに、本発明の特殊な態様によれば、プレス部に隣接した領域における表面形状の方向変化は、ほぼ９０°である。
【００３４】
閉鎖エレメントにおけるプレス部の形成によって、シール材料の加硫作業の最中において、加硫室の相応の遮断部を得ることができる。この遮断部が閉鎖エレメントの表面と面一にかつ密に生ぜしめるためには、特に確定された深さをもった、支持材料（＝閉鎖エレメントの材料）内への押込みが必要である。同時に、さらに閉鎖エレメントの構造及び安定性はそのまま維持されることが望ましい。従来技術による余剰のシール材料の切除時に、閉鎖エレメントの支持材料（金属又は合金）の（例えばトリミングによる）材料切除は、０.２ｍｍの範囲において生ぜしめられる。
【００３５】
つまり本発明の別の構成は、閉鎖エレメントのプレス部に関し、このプレス部は、第１のシール面の面垂線の方向で、かつ第１のシール面の表面に対して０.１５ｍｍ〜０.２５ｍｍの範囲における深さを有している。
【００３６】
特に、プレス部によって生ぜしめられるプレス縁は、０.１５〜０.２５ｍｍの長さを有している。
【００３７】
プレス部の形状に関して、本発明の１つの態様は、特に、（横断面で見て）第１のシール面の面垂線に対してほぼ平行に延びるプレス縁を有している。
【００３８】
焼結プロセスによって生ぜしめられる表面特性に関して、好ましい態様では、表面は、材料の必要な後加工なしに、シール材料を焼結しかつ部分的に切除する場合に比べて、大幅に小さな表面粗さしか有しておらず、このとき加工後において、Ｒａ＝０.８μｍもしくはＲｚ＝７.０μｍの範囲における表面粗さが得られる。小さな表面粗さは、同時に、例えば生じ得る粒子剥離に関して発生面積の縮小を意味する。
【００３９】
本発明によれば、第１のシール部分は、特に少なくとも、プレス部に隣接した領域において、０.０２μｍ〜０.１５μｍ、特に０.０５μｍ〜０.１μｍの平均的な表面粗さ（Oberflaechenrauheit）Ｒａを有している。
【００４０】
択一的に又は補足的に、第１のシール部分は、特に少なくとも、プレス部に隣接した領域において、０.２μｍ〜１.５μｍ、特に０.５μｍ〜１μｍの平均的な表面最大高さ（Oberflaechenrautiefe）Ｒｚを有している。
【００４１】
このような表面状態は、ここでは、特に加硫のために設けられた、工具における切欠きの、相応に滑らかな工具表面によって得られる。
【００４２】
閉鎖エレメントの特殊な態様によれば、シール材料は、少なくとも部分的に、しかしながら好ましくは主に、エラストマから成っている。例えばシール材料は、フルオロエラストマを有しており、このフルオロエラストマは、例えばＶｉｔｏｎ（商標）Ａ又はＶｉｔｏｎ（商標）ＢのようなＶｉｔｏｎ（商標）フルオロエラストマという名称で、又は、Ｄａｉ−ｅｌ（商標）Ｇ９０２等のＤａｉ−ｅｌ（商標）フルオロエラストマとして、ＴｅｃｎｏｆｌｏｎTM 又はＴｅｃｎｏｆｌｏｎTM−フルオロエラストマとして市販されている。シール材料は、例えば本出願人の独国特許出願公開第１０２００７０４８２５２号明細書に記載されているように、過酸化物硬化可能なフルオロラバー・コンパウンドをベースに構成することも可能である。このような材料は、特に、例えばプロセス容器内に存在するプロセスガスのような、攻撃的な化学的な媒体に対しても高い耐性を提供する。
【００４３】
別の本発明による態様によれば、真空弁における閉鎖エレメントの制御された移動を提供するために、真空弁の駆動ユニットに結合される連結部、特に駆動ユニットの押し棒のための受容部を有している。この受容部は、（閉鎖エレメントの閉鎖側に関して）特に閉鎖エレメントの側部に成形されていて、該受容部への押し棒の結合部分の係合によって押し棒に閉鎖エレメントが取外し可能に取り付けられるように、成形されている。さらに、ほぼ押し棒軸線に沿った真空弁開口上への当該閉鎖エレメントの移動と、真空弁開口を取り囲む弁座への当該閉鎖エレメントのシール材料の圧着とによって、真空弁開口が閉鎖可能であるように、押し棒は、駆動ユニットを用いて支持されかつ移動可能である。
【００４４】
つまり閉鎖エレメントは、この連結部によって、特にＬ字形型式の真空弁における使用のために、特殊に形成されており、これによって駆動ユニットに結合されていてよく、予め設定されたパターンによって弁内において移動することができる。
【００４５】
本発明の別の態様によれば、閉鎖エレメントは、少なくとも１つのグリップ凹部を有しており、このグリップ凹部は、ほぼ押し棒軸線に沿って閉鎖プレートに手動で力を加えるために、特に押し棒に対する閉鎖プレートの取付け・取外しのために、（閉鎖エレメントの）加硫固定されたシール材料を備えた閉鎖側とは反対の側に成形されている。
【００４６】
例えば取外し時における閉鎖エレメントの改善された取扱いのために、例えば２つのグリップ凹部が、閉鎖側とは反対の側に成形されており、これによって、押し棒から閉鎖プレートを取り外すために、かつ／又は取外し後における閉鎖プレートのより良好な取扱いのために、ほぼ上方に向かって閉鎖エレメントに対して手動で力を加えることができる。グリップ凹部は、グリップ性能を高めるために、内部にスリップ防止のコーティングが施されていてよい。
【００４７】
本発明はさらに、プロセス容積を気密に閉鎖する真空弁に関しており、この真空弁は、真空弁開口と、該真空弁開口を取り囲みかつ第２のシール面を有する弁座とを有する弁ハウジングを有している。真空弁はさらに、第２のシール面に対応する第１のシール面を備えた、真空弁開口をほぼ気密に閉鎖する閉鎖エレメントを有しており、第１のシール面は、加硫固定された、第１のシール面の面垂線の方向において確定された高さを有するシール材料を有していて、該シール材料は、シール材料横断面に関して確定された形状を有しており、このシール材料は、特にプロセス容積側に設けられた第１のシール部分と、特にプロセス容積とは反対側に設けられた第２のシール部分とを備えている。
【００４８】
真空弁はさらに、閉鎖エレメントに連結された駆動ユニットを備え、該駆動ユニットは、閉鎖エレメントが少なくともほぼ幾何学的な長手方向軸線に沿って長手閉鎖方向において、閉鎖エレメントが真空弁開口を開放する開放ポジションと、閉鎖エレメントの第１のシール面が第２のシール面に押圧されて、真空弁開口をほぼ気密に閉鎖する閉鎖ポジションとの間で、移動可能であるように形成されている。
【００４９】
本発明によれば、閉鎖エレメントは、第１のシール部分に隣接していてプレス縁を備えたプレス部を有している。さらに、第１のシール部分の形状によって与えられていてプレス縁へと延びる、第１のシール部分の表面形状が、（シール材料による横断面に関して）一様に、特に直線的に推移するように、プレス縁は、成形されかつ第１のシール部分に関して形成されている。
【００５０】
特に、第１のシール部分はプレス部に隣接する領域において、シール材料の表面形状が横断面方向において一様であり、かつ表面形状の角部のない、特に７５°〜１０５°の間の方向変化を生ぜしめる一様な湾曲部を有するように、成形されている。
【００５１】
特に、閉鎖エレメントは、ほぼ長手方向軸線に対して直角に延びる幾何学的な横方向軸線に沿って、横閉鎖方向への閉鎖エレメントの可動性によって、閉鎖エレメントが開口を覆っていてかつ閉鎖エレメントの閉鎖側が弁座に対して間隔をおいて位置する対向位置をとる中間ポジション（Ｌ字形型式の弁閉鎖体、つまりＬ字形の運動実行）に、及び該中間ポジションから移動可能であってよい。
【００５２】
さらに、真空弁の閉鎖エレメントは、本発明の相応の特殊な実施の形態によれば、特に、上に記載した変化態様のうちの１つのように形成されている。
【００５３】
本発明はさらに、特に上に述べた閉鎖エレメントを形成するために、材料ブランクにシール材料を被着及び成形するための多機能工具であって、形成されて加硫されるシール材料の形状を確定する凹部と、該凹部の第１の端部を工具横断面に関して形成するプレスオフ縁と、凹部に該凹部の第２の端部において接続するスロットと、シール材料用の収容部と、を有している多機能工具に関する。
【００５４】
凹部は、プレスオフ縁に隣接する領域において、プレスオフ縁の形状が工具横断面に関して、この領域において、適合された工具表面形状によって、ほぼ一様に、特に直線的に延びるように（つまりプレスオフ縁と別の工具表面との間における軽い角度ずれをも含む）、成形されている。多機能工具はさらに工具の閉鎖時に、装入された材料ブランクと共働して、プレスオフ縁が材料ブランク内に押し込まれ、凹部をその第１の端部において材料ブランクによって閉鎖し、スロットがオーバフロー通路を形成し、収容部に存在するシール材料が、オーバフロー通路を通って凹部内に押し込まれ、かつ／又は流入するようになっている。さらに工具は、シール材料は、閉鎖された工具状態において完全に加硫可能であるように形成されている。
【００５５】
特に、多機能工具、材料ブランク及び／又はシール材料用の受容部は、予め設定された架橋過程に応じて温度調整可能である。材料ブランクは、特に閉鎖エレメント又は閉鎖エレメントの一部を形成する。
【００５６】
多機能工具の別の態様によれば、凹部は、プレスオフ縁に隣接する領域において、工具表面形状が工具横断面に沿って一様であり、かつ工具表面形状の角部のない、特に７５°〜１０５°の間の方向変化を生ぜしめる一様な湾曲部を有するように、形成されている。択一的に又は追加的に、多機能工具は、プレスオフ縁から凹部への工具横断面に沿った表面ラインの一様な移行部を有していてよい。
【００５７】
本発明はさらに、真空弁用のシール部材を備えた閉鎖エレメントを製造する方法であって、上に述べた多機能工具と、閉鎖エレメント又は閉鎖エレメントの少なくとも一部を形成する材料ブランクと、を用いる方法に関する。
【００５８】
材料ブランク及びシール材料は、工具開放状態において、多機能工具内に、特にシール材料用の収容部に装入される。多機能工具の閉鎖によるプレスステップにおいて、プレスオフ縁は材料ブランク内に押し込まれる。これによって、プレスオフ縁に対応する、プレス縁を備えたプレス部が、材料ブランクにおいて生ぜしめられ、凹部がその第１の端部において閉鎖される。さらにシール材料は変形させられ、かつ／又は流動化させられ、シール材料の少なくとも一部が、プレスステップ時に多機能工具のスロットによって生じる前記オーバフロー通路を通って凹部に達しかつ該凹部を満たす。
【００５９】
次いで加硫ステップにおいて、シール材料の完全な加硫が、ほぼ凹部の形状に相応して行われ、プレス縁によって生ぜしめられた、材料ブランクにおける表面形状が、ほぼ一様に（場合によっては生じる軽い角度ずれを含む）、特に直線的に、シール材料の表面形状を通して延びるように、シール材料は成形され、かつプレス縁に関して形成され、かつシール材料は材料ブランクに固着的に結合される（加硫固定される）。
【００６０】
特に、シール材料は、プレス縁に隣接する領域において、シール材料の表面形状が横断面方向で一様であり、かつ表面形状の角部のない、特に７５°〜１０５°の間の方向変化を生ぜしめる一様な湾曲部を有するように成形される。
【００６１】
特に多機能工具は、加硫ステップ中に、予め設定された架橋過程に応じて温度調整される。
【００６２】
材料ブランクの支持材料におけるシール材料の必要な固着品質のために、好ましくは、接着促進剤が材料ブランクに設けられる。
【００６３】
上に記載の方法の実施によって得られる閉鎖エレメント、特にこのとき既に述べた態様に従って形成された閉鎖エレメントは、同様に本発明の対象である。
【００６４】
次に、具体的な実施の形態を概略的に示す図面を参照しながら、本発明に係る方法及び本発明に係る装置について詳しく述べる。このとき、本発明の別の利点についても触れる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】図１ａ及び図１ｂは、従来技術による閉鎖エレメントを示す横断面図である。
【図２】Ｌ字形型式の本発明に係る真空スライド弁の第１の実施の形態を、閉鎖エレメントが中間位置にある状態で概略的に示す横断面図である。
【図３】図３ａ及び図３ｂは、本発明に係る真空弁のためのほぼ方形の閉鎖エレメントの１つの実施の形態を示す平面図である。
【図４】図４ａ及び図４ｂは、弁頭（閉鎖エレメント）に加硫固定されたシール部材と、シール部材に隣接した本発明に係るプレス部の２つの実施の形態を示す横断面図である。
【図５】図５ａ及び図５ｂは、本発明に係る閉鎖エレメントを製造する本発明に係る工具を、工具開放状態と工具閉鎖状態とで示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００６６】
次に図面を参照しながら本発明の実施の形態を詳説する。
【００６７】
図２には、本発明に係る真空スライド弁の第１の実施の形態が示されている。この真空スライド弁は、弁壁１を備えた弁ハウジング１０を有しており、弁壁１は、開口軸線１３を備えた開口２と、この開口２を取り囲むほぼ方形で細長い弁座３とを有している。開口２よりも幾分大きな横断面を有する、特にプロセス側に設けられた閉鎖側２１を備えた閉鎖エレメント２０は、閉鎖側２１が弁座３に押し付けられることによって、開口２をほぼ気密に閉鎖するために用いられる。閉鎖エレメント２０は、互いに平行に配置された２つの弁棒６によって保持される。弁棒６は図２において側面図で示されているので、図２では単に１つの弁棒６しか認識できない。択一的な本発明に係る実施の形態によれば、ただ１つの弁棒６だけが設けられていて、この弁棒６によって閉鎖エレメント２０が保持されていてもよい。
【００６８】
弁ハウジング１０は、開口２、弁座３及び閉鎖プレート２０が配置されている真空領域１１と、この真空領域１１の外側に位置する駆動領域１２とに分割されている。両方の弁棒６は、気密の２つの貫通部を通って、弁ハウジング１０において真空領域１１から駆動領域１２内へと貫通しており、両貫通部は、ダイヤフラムパッキン又は端部にパッキン（例えばＯリング）を備えたダイヤフラムベローズとして形成されている。ダイヤフラムパッキン又はダイヤフラムベローズは、弁棒６が気密なシール状態を維持しながら、一定の運動範囲において長手方向軸線８及び横方向軸線９に沿って可動であるように、構成されている。駆動領域１２は真空領域１１から気密に分離されているので、駆動領域１２内においては大気圧が存在していてよい。駆動領域１２内における摩擦粒子が、繊細な真空領域１１内に達することは不可能である。駆動領域１２には駆動ユニット７が配置されている。
【００６９】
駆動ユニット７は、閉鎖プレート２０が幾何学的な長手方向軸線８に沿った両弁棒６の移動によって、長手閉鎖方向ｚにおいて、開放ポジションから図示の中間ポジションに、かつ長手方向軸線８に対して直角に延びる幾何学的な横方向軸線９に沿った、両方の弁棒６の移動によって、横閉鎖方向ｙにおいて、中間ポジションから閉鎖ポジションに、かつそれとは逆に移動可能である（閉鎖プレート２０の移動はＬ字形であり、つまり名称はＬ字形型式）。
【００７０】
閉鎖エレメント２０は、加硫固定（aufvulkanisieren）された環状のシール部材２２を有しており、このシール部材２２はプレス部によって、閉鎖側２１の内側に位置する領域に対して、つまり閉鎖側２１における、シール部材によって密閉された面に対して、画定されている。
【００７１】
シール領域及び、シール部材と金属との間の移行領域の、本発明に係る構成については、以下において（図４ａ及び図４ｂ）、詳細に図示及び説明する。
【００７２】
本発明の別の実施の形態は、真空スライド弁であって、例えば「ＭＯＮＯＶＡＴ シリーズ ０２及び０３」という商品名で知られており、スイス国のＨａａｇにあるＶＡＴ Ｖａｋｕｕｍｖｅｎｔｉｌｅ ＡＧの、長方形インサート弁として構成されたトランスファ弁（Transferventil）は、方形の開口横断面を有していて、この開口横断面の幅は、その高さよりも大幅に大きい。また、複雑なシール構造を備えたこのような弁型式は、例えば、本出願人の欧州特許出願公開第２４２０７０９号明細書に基づいて公知である。
【００７３】
しかしながらこのような弁は、閉鎖エレメントの直線移動だけによって、流路を気密に閉鎖するように構成されている。閉鎖部材は、開口軸線に対して直角に延びる幾何学的な移動軸線に沿って直線的に、閉鎖部材平面において、開口を開放する開放ポジションから、開口の上に直線的に移動させられた閉鎖ポジションに、閉鎖方向に移動可能であり、かつ逆に再び開放方向に移動可能である。閉鎖ポジションにおいて、閉鎖エレメントのシール面に設けられたシール材料は、開口を取り囲むシール面に押し付けられる。
【００７４】
従来技術に基づいて公知の、ただ直線的な移動によって閉鎖可能なこのような真空弁は、比較的複雑に構成された駆動装置を必要とする、２つの移動によって閉鎖可能なトランスファ弁（図２）に対して、及びシール部材が横方向に押圧されるくさび弁に対して、利点を有している。上に記載の真空弁の閉鎖部材は一体であるので、この閉鎖部材は、高い加速力にさらされてよいので、このような弁は、迅速閉鎖及び緊急閉鎖のためにも使用することができる。閉鎖及びシールは、ただ１つの直線運動によって行うことができるので、弁の極めて迅速な閉鎖及び開放が可能である。環状のシール部材は、そのすべての部分において明確に再現可能な状況を、様々な閉鎖過程において見出す。シール部材は、閉鎖時及び閉鎖圧の発生時に、ほぼ、直線的な閉鎖運動の方向においてしか、シール部材に対する垂直な方向において、もしくは部分的に長手方向において押圧されるだけで、その長手方向に対して横方向には押圧されず、シール部材に対する横方向力は回避されるので、このような真空弁は、真空領域及び高真空領域における高いレベルのシール課題のために適している。
【００７５】
本発明によればシール材料は、閉鎖エレメント（閉鎖部材）の側においてプレス及び加硫固定によって形成されているので、シール材料及びプレス部の形状は、金属とシール材料との間における一様な移行部を提供することができ、かつ加硫後における後加工を省くことができる。
【００７６】
図３ａには、本発明に係る真空弁のため、特にＬ字形型式の真空弁のためのほぼ長方形の閉鎖エレメント２０′が、平面図で示されている。この閉鎖エレメント２０′は、金属もしくは合金、例えばアルミニウム又は特殊鋼から構成されており、このときシール部材をその上に設けられたシール面２２は、閉鎖エレメント２０′の縁部に環状に設けられている。
【００７７】
シール部材は、架橋可能なシール材料の加硫によって、シール面２２上に生ぜしめられている。シール面２２にはそのために特に、加硫プロセス及びシール材料の被着前に、閉鎖エレメント２０′の支持材料（Traegermaterial）におけるシール部材の相応に良好な固着を準備するために、固着層が、例えば接着促進剤又はプライマが設けられている。択一的に又は追加的に、要求された固着特性を準備するために、シール面２２自体を前処理することも可能である。このような前処理は、例えば機械的な粗面化によって、表面のエッチングによって、又は、プラズマによる表面の照射、コロナ処理又はＵＶ照射によって、実施することができる。包括的に言えば、シール面２２においては、シール材料の被着前に、表面処理によってか又は追加的な固着層の形成によって、必要な固着性を準備する表面状態が生ぜしめられる。
【００７８】
シール面２２もしくは加硫固定されたシール部材によって取り囲まれた面２３は、真空弁における閉鎖エレメント２０′の所定の使用において、閉鎖エレメント２０′の、閉鎖されるプロセス容積に向けられた領域であり、このとき弁の閉鎖ポジションにおいて、さらにシール部材の一部が同様にプロセス容積に向けられている。
【００７９】
シール部材の寸法設定及び形状は、取り囲まれた面２３に向かって、プレス時に閉鎖エレメント２０′におけるプレス部へと延びて終端している。この移行部（矢印で示した領域参照）は、同様に図３ｂにおける平面図にも略示されている。
【００８０】
図３ｂから分かるように、被着されたシール２５はプレス部２４に材料が隣接している。プレス部２４は、さらなる経過において、シール２５の形成時において加工されない被覆されていない露出した閉鎖エレメント面２３に移行している。
【００８１】
図４ａには、本発明に係る、弁頭２０′′（閉鎖エレメント）に加硫固定されたシール部材２５′及びこのシール部材に隣接するプレス部２４′が、横断面図で示されている。シール材料２５′は第１のシール部分２６を有しており、このシール部分２６は、図示の実施の形態では、該シール部分２６が相応の真空弁との使用において、閉鎖されるプロセス容積の側に位置しているので、粒子残留物及び汚染に関して敏感なシール部分である。シール部材は、シール材料２５′の加硫固定後における後加工が少なくともこのシール部分２６のためには不要であり、これにより例えば材料除去による粒子又はばりが生じないように製造されている。
【００８２】
第１のシール部分２６はさらに領域２７を有しており、この領域２７は、弁頭２０′′におけるプレス部２４′に隣接していて、場合によっては必要な後加工に関して、臨界的な領域であると見なすことができる。
【００８３】
少なくともこの領域２７において、シール材料２５′の表面は、角部を形成することなしに一様に滑らかに延びている。このとき表面形状は、（特に変曲点のない）一様な湾曲部を有しており、これによって当該領域では、表面形状の延在方向が約９０°連続的に変化している。
【００８４】
さらにプレス部２４′はプレス縁２８を有しており、このプレス縁２８は、シール材料に対するその方向及び位置に関して、シール材料２５′の一様な表面形状がプレス縁２８によって同様に一様にかつ直線的に延在するように形成されている。シール材料２５′から閉鎖エレメント２０′′の支持材料への移行部は、ほぼ、共通の表面線の中断部又は不連続部なしに形成されている。
【００８５】
領域２７における表面形状がこのように一様に滑らかであり、かつこの表面形状がプレス縁２８の特殊な形成によってさらに続いている、このような移行部は、本発明によれば特殊な工具（後で記載する）を用いて既にシール材料の被着及び加硫の工程時に生ぜしめられ、余剰のシール材料を除去するための後加工を、少なくともこの領域に対しては不要にする。
【００８６】
シール材料及び支持材料の後加工が、従来技術に相応して必要であるような場合には、このような一様な形状は、その際に生じる切削加工部及びばり形成に基づいて得ることができない。
【００８７】
さらにシール材料２５′が有する表面粗さは、ほぼ工具表面の表面粗さに相当し、従って従来技術の構成におけるよりも著しく小さい（例えばＲａ＝０.０５又は０.１μｍ）。これによって本発明によれば、改善された材料品質と清浄性を有する、真空弁用の閉鎖エレメントが得られる。
【００８８】
さらにプレス部２４′は、閉鎖エレメント２０′′の表面に対して確定された深さｔを有している。この深さｔは、プレス部を形成する工具構造によって確定され、例えばｔ＝０.２ｍｍの範囲にある。プレス縁２８は、好ましくはシール面２２の面垂線の方向（面垂線に対して平行な方向）に相応の長さを有している。
【００８９】
図４ｂには、本発明に係る閉鎖エレメント２０′′の別の実施の形態が示されている。図４ａに示した実施の形態とは異なり、プレス部２４′′のプレス縁２８′は、シール面２２の面垂線に対して平行に延びているのではなく、該面垂線に対して角度を成して形成されている。しかしながら、シール表面形状の一様な移行は、プレス縁２８′の形状によって提供されている。
【００９０】
また本発明に含まれる可能な択一的な別の実施の形態（図示せず）では、プレス縁の延在方向は、シール材料の延在する表面ラインに対して若干の角度ずれを有している。このような実施の形態は、本発明の枠内において、表面形状のほぼ一様に滑らかな延在と理解することができる。
【００９１】
図５ａ及び図５ｂには、本発明に係る工具３０が、工具開放状態（図５ａ）及び工具閉鎖状態（図５ｂ）で示されている。
【００９２】
工具は、型部分３１と下側部分３２とを有している。型部分３１は凹部３４を有していて、この凹部３４は、第１の端部で、型部分３１のプレスオフ縁（Abpresskante）３３によって画定され、かつ第２の端部で、設けられたスロット３５によって開放状態に保たれている。さらにシール原料３７、例えばシール材料から製造されたコードのための収容部３６が設けられており、この収容部３６は、下側部分３２に、もしくは下側部分３２と型部分３１との間における中間室に対応配置されている。
【００９３】
さらに材料ブランク４０が示されており、この材料ブランク４０は、工具３０と共働して、一方ではプレスオフ縁３３を用いてプレスされ、さらにシール材料を設けることができる。ブランク４０は、例えば少なくとも部分的にアルミニウム、アルミニウム合金、鋼、特殊鋼又は択一的な適宜な合金から成っている。ブランク４０は、特に、真空弁のための閉鎖エレメントの少なくとも一部を形成し、このとき、閉鎖側、つまり閉鎖されるプロセス容積に向いた側の、シール材料を備える側は、型部分３１と共働する。
【００９４】
工具３０の閉鎖時に、材料ブランク４０は、ｚ方向で型部分３１に向かって接近移動させられ、プレスオフ縁３３は、材料ブランク４０内に押し込まれる。プレス圧及び最大プレス行程は、圧力調整のためのエレメント、例えば皿ばねと、相応のストッパとによって調節可能である。さらに工具３０の下側部分３２が、逆方向に移動させられ、これによって収容部３６の容積が減じられ、シール原料３７は、工具３０の閉鎖持にスロット３５によって残されるオーバフロー部３８を介して、凹部３４内に達する。
【００９５】
閉鎖された工具状態（図５ｂ）において、型部分３１のプレスオフ縁３３は、ブランク４０内に係合しており（押し込まれており）、このプレスオフ縁３３は、このプレス工程によって、シール原料３７のために凹部３４の密な閉鎖部を形成する。凹部３４の空間は、シール原料３７によって完全に満たされている。
【００９６】
工具３０の特殊な構成によって、型部分３１と下側部分３２との間、及び下側部分３２と材料ブランク４０との間においては、それぞれ間隙３９′，３９′′が開放されたままなので、これらの間隙３９′，３９′′を通って、余剰のシール材料は排出可能である。
【００９７】
このような余剰材料は、加硫プロセスの後で除去されねばならない。この除去作業は、相応の箇所のトリミングによって行われ、これによってこれらの箇所に、不純物及びばりは留められる。従来技術によれば、同様のトリミング作業が、シール部材の反対側に対しても必要である。それというのは、従来技術でも、余剰のシール材料を排出するための間隙が設けられていて、このような材料残留物が発生するからである。本発明のように、凹部３４の第１の端部におけるシール形状のプレスオフ（Abpressen）によって初めて、そしてこれによってそこで材料のオーバフローが阻止されていることによって、このような後加工を少なくとも当該箇所において排除することができる。
【００９８】
この閉鎖された工具状態において、工具３０の閉鎖後に、シール原料３７の完全な加硫が行われる。これによってシール原料３７は、架橋され、材料ブランク４０に固着した安定したシール部材が生ぜしめられる。
【００９９】
もちろん、示された図面は、単に可能な実施の形態を略示しているに過ぎない。本発明によれば種々様々な構成を、同様に互いに組み合わせること、並びに、従来技術の、真空条件下でプロセス容積を閉鎖する方法及び装置と組み合わせることが可能である。
【符号の説明】
【０１００】
１  弁壁、  ２  開口、  ３  弁座、  ６  弁棒、  ７  駆動ユニット、  ８  長手方向軸線、  ９  横方向軸線、  １０  弁ハウジング、  １１  真空領域、  １２  駆動領域、  １３  開口軸線、  ２０，２０′，２０′′  閉鎖エレメント、  ２１  閉鎖側、  ２２  第１のシール面、シール部材、  ２３  面、  ２４，２４′，２４′′  プレス部、  ２５，２５′  シール材料、  ２６  第１のシール部分、  ２７  領域、  ２８，２８′  プレス縁、  ３０  工具、  ３１  型部分、  ３２  下側部分、  ３３  プレスオフ縁、  ３４  凹部、  ３５  スロット、  ３６  収容部、  ３７  シール原料、  ３８  オーバフロー部、  ４０  ブランク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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