(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状のウエブを搬送するための吸着搬送装置であって、
前記ウエブを搬送するための搬送部と、
前記ウエブを前記搬送部に吸着させるための吸着部と、
前記ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における中央位置から外側に前記吸着部による吸着領域が広がるよう当該吸着領域の範囲を規制する規制部と、
を備え、
前記ウエブと前記吸着部との間には多孔質板が設けられており、
前記規制部は前記多孔質板の表面または裏面に設けられている、吸着搬送装置。
【請求項２】
帯状のウエブを搬送するための吸着搬送装置であって、
前記ウエブを搬送するための搬送部と、
前記ウエブを前記搬送部に吸着させるための吸着部と、
前記ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における中央位置から外側に前記吸着部による吸着領域が広がるよう当該吸着領域の範囲を規制する規制部と、
を備え、
前記規制部はフィルムを含んでいる、吸着搬送装置。
【請求項３】
帯状のウエブを搬送するための吸着搬送装置であって、
前記ウエブを搬送するための搬送部と、
前記ウエブを前記搬送部に吸着させるための吸着部と、
前記ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における中央位置から外側に前記吸着部による吸着領域が広がるよう当該吸着領域の範囲を規制する規制部と、
を備え、
前記規制部は前記搬送部と前記ウエブとの間に設けられている、吸着搬送装置。
【請求項４】
前記規制部は、位置固定で設けられた板状のものからなる、請求項３記載の吸着搬送装置。
【請求項５】
前記規制部により規制された前記吸着部による吸着領域は、前記ウエブの搬送方向における上流側端部が尖っている、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の吸着搬送装置。
【請求項６】
前記搬送部はベルトを有しており、
前記吸着部は前記ウエブを前記ベルトに吸着させるようになっている、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の吸着搬送装置。
【請求項７】
前記ベルトには複数の貫通穴が形成されており、
前記吸着部は前記ベルトにおける前記ウエブ側とは反対側に設けられている、請求項６記載の吸着搬送装置。
【請求項８】
帯状のウエブを搬送するための吸着搬送方法であって、
前記ウエブを吸着部によって搬送部に吸着させる工程と、
前記搬送部に吸着された前記ウエブを当該搬送部により搬送する工程と、
を備え、
前記ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における中央位置から外側に前記吸着部による吸着領域が広がるよう、当該吸着領域の範囲が、前記ウエブと前記吸着部との間に設けられた多孔質板の表面または裏面に設けられている規制部により規制される、吸着搬送方法。
【請求項９】
帯状のウエブを搬送するための吸着搬送方法であって、
前記ウエブを吸着部によって搬送部に吸着させる工程と、
前記搬送部に吸着された前記ウエブを当該搬送部により搬送する工程と、
を備え、
前記ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における中央位置から外側に前記吸着部による吸着領域が広がるよう、当該吸着領域の範囲が、フィルムを含む規制部により規制される、吸着搬送方法。
【請求項１０】
帯状のウエブを搬送するための吸着搬送方法であって、
前記ウエブを吸着部によって搬送部に吸着させる工程と、
前記搬送部に吸着された前記ウエブを当該搬送部により搬送する工程と、
を備え、
前記ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における中央位置から外側に前記吸着部による吸着領域が広がるよう、当該吸着領域の範囲が、前記搬送部と前記ウエブとの間に設けられている規制部により規制される、吸着搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状のウエブを搬送するための吸着搬送装置およびこのような吸着搬送装置による吸着搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ロールｔｏロール方式の生産設備において、巻出ロールから巻き出された帯状のウエブを搬送するための搬送装置として、ウエブを吸着部により搬送ベルトに吸着させながら当該搬送ベルトによりウエブを搬送するものが従来から知られている。例えば、特許文献１には、被搬送体を搬送する複数の貫通孔が貫穿された有孔スチールベルトと、この有孔スチールベルトの裏側に配置され、被搬送体の搬送路に沿って延設して有孔スチールベルトを通して被搬送体を吸引する筐体状の吸引体と、被搬送体および吸引体の間に介挿される通気性を有するシート状の繊維性シートとを備えた搬送装置が開示されている。このような搬送装置では、吸引体の上面に有孔スチールベルトと所定の間隔を隔てて通気性を有する多孔質板が配置されるとともにその下部に空気室が形成され、吸引体の壁面および／または底面に貫設される吸引管を通して空気室内の空気が外部に強制排気されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５２８６４６１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されるような従来技術の搬送装置では、被搬送体として帯状のウエブが搬送されるときに、当該ウエブの幅方向における全域を吸着部によって一度に搬送ベルトに吸着させているため、ウエブを搬送ベルトに吸着させる際にこのウエブに印刷された絵柄パターン等に応じて当該ウエブにシワ等の異常が発生してしまうおそれがある。
【０００５】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、吸着部によってウエブを搬送部に吸着させる際に当該ウエブにシワ等の異常が発生することを抑制することができる吸着搬送装置および吸着搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の吸着搬送装置は、帯状のウエブを搬送するための吸着搬送装置であって、前記ウエブを搬送するための搬送部と、前記ウエブを前記搬送部に吸着させるための吸着部と、前記ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における中央位置から外側に前記吸着部による吸着領域が広がるよう当該吸着領域の範囲を規制する規制部と、を備え、前記ウエブと前記吸着部との間には多孔質板が設けられており、前記規制部は前記多孔質板の表面または裏面に設けられていることを特徴とする。
また、本発明の吸着搬送装置は、帯状のウエブを搬送するための吸着搬送装置であって、前記ウエブを搬送するための搬送部と、前記ウエブを前記搬送部に吸着させるための吸着部と、前記ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における中央位置から外側に前記吸着部による吸着領域が広がるよう当該吸着領域の範囲を規制する規制部と、を備え、前記規制部はフィルムを含んでいることを特徴とする。
また、本発明の吸着搬送装置は、帯状のウエブを搬送するための吸着搬送装置であって、前記ウエブを搬送するための搬送部と、前記ウエブを前記搬送部に吸着させるための吸着部と、前記ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における中央位置から外側に前記吸着部による吸着領域が広がるよう当該吸着領域の範囲を規制する規制部と、を備え、前記規制部は前記搬送部と前記ウエブとの間に設けられていることを特徴とする。
【０００７】
このような吸着搬送装置によれば、ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における吸着部による吸着領域が広がるため、ウエブの幅方向における全域を吸着部によって一度に搬送ベルトに吸着させる場合と比較して、吸着部によってウエブを搬送部に吸着させる際に当該ウエブにシワ等の異常が発生することを抑制することができる。
【００１０】
また、前記規制部により規制された前記吸着部による吸着領域は、前記ウエブの搬送方向における上流側端部が尖っていてもよい。
【００１４】
この場合、前記規制部は、位置固定で設けられた板状のものからなっていてもよい。
【００１７】
本発明の吸着搬送装置においては、前記搬送部はベルトを有しており、前記吸着部は前記ウエブを前記ベルトに吸着させるようになっていてもよい。
【００１８】
この場合、前記ベルトには複数の貫通穴が形成されており、前記吸着部は前記ベルトにおける前記ウエブ側とは反対側に設けられていてもよい。
【００１９】
本発明の吸着搬送方法は、帯状のウエブを搬送するための吸着搬送方法であって、前記ウエブを吸着部によって搬送部に吸着させる工程と、前記搬送部に吸着された前記ウエブを当該搬送部により搬送する工程と、を備え、前記ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における中央位置から外側に前記吸着部による吸着領域が広がるよう、当該吸着領域の範囲が、前記ウエブと前記吸着部との間に設けられた多孔質板の表面または裏面に設けられている規制部により規制されることを特徴とする。
また、本発明の吸着搬送方法は、帯状のウエブを搬送するための吸着搬送方法であって、前記ウエブを吸着部によって搬送部に吸着させる工程と、前記搬送部に吸着された前記ウエブを当該搬送部により搬送する工程と、を備え、前記ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における中央位置から外側に前記吸着部による吸着領域が広がるよう、当該吸着領域の範囲が、フィルムを含む規制部により規制されることを特徴とする。
また、本発明の吸着搬送方法は、帯状のウエブを搬送するための吸着搬送方法であって、前記ウエブを吸着部によって搬送部に吸着させる工程と、前記搬送部に吸着された前記ウエブを当該搬送部により搬送する工程と、を備え、前記ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における中央位置から外側に前記吸着部による吸着領域が広がるよう、当該吸着領域の範囲が、前記搬送部と前記ウエブとの間に設けられている規制部により規制されることを特徴とする。
【００２０】
このような吸着搬送方法によれば、ウエブの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブの幅方向における吸着部による吸着領域が広がるため、ウエブの幅方向における全域を吸着部によって一度に搬送ベルトに吸着させる場合と比較して、吸着部によってウエブを搬送部に吸着させる際に当該ウエブにシワ等の異常が発生することを抑制することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の吸着搬送装置および吸着搬送方法によれば、吸着部によってウエブを搬送部に吸着させる際に当該ウエブにシワ等の異常が発生することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態による吸着搬送装置を備えた処理システムの構成の概略を示す概略構成図である。
【図２】図１に示す処理システムにおける吸着搬送装置の構成の一例を示す構成図である。
【図３】図２に示す吸着搬送装置において多孔質板の裏面に貼られたフィルムの構成の一例を示す図である。
【図４】図２に示す吸着搬送装置において多孔質板の裏面に貼られたフィルムの構成の他の例を示す図である。
【図５】図２に示す吸着搬送装置において多孔質板の裏面に貼られたフィルムの構成の更に他の例を示す図である。
【図６】図２に示す吸着搬送装置において多孔質板の裏面に貼られたフィルムの構成の更に他の例を示す図である。
【図７】図１に示す処理システムにおける吸着搬送装置の構成の他の例を示す構成図である。
【図８】図７に示す吸着搬送装置においてウエブと搬送部のベルトとの間に設けられた金属板の構成を示す図である。
【図９】変形例に係る吸着搬送装置における吸着部の形状を示す図である。
【図１０】別の変形例に係る吸着搬送装置における吸着部の形状を示す図である。
【図１１】図２に示す吸着搬送装置に設けられた三方弁の構成を示す斜視図である。
【図１２】図１１に示す三方弁の内部構成を示す図である。
【図１３】図１に示す処理システムによるウエブの処理方法を示すフローチャートである。
【図１４】変形例に係る処理システムの構成の概略を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図１３は、本実施の形態に係る吸着搬送装置およびこのような吸着搬送装置を備えた処理システムを示す図である。このうち、図１は、本実施の形態による吸着搬送装置を備えた処理システムの構成の概略を示す概略構成図であり、図２は、図１に示す処理システムにおける吸着搬送装置の構成の一例を示す構成図である。また、図３乃至図６は、それぞれ、図２に示す吸着搬送装置において多孔質板の裏面に貼られたフィルムの構成の様々な例を示す図である。また、図７は、図１に示す処理システムにおける吸着搬送装置の構成の他の例を示す構成図であり、図８は、図７に示す吸着搬送装置においてウエブと搬送部のベルトとの間に設けられた金属板の構成を示す図である。また、図９および図１０は、それぞれ、変形例に係る吸着搬送装置における吸着部の様々な形状を示す図である。また、図１１は、図２に示す吸着搬送装置に設けられた三方弁の構成を示す斜視図であり、図１２は、図１１に示す三方弁の内部構成を示す図である。また、図１３は、図１に示す処理システムによるウエブの処理方法を示すフローチャートである。
【００２４】
本実施の形態による処理システム１０は、連続的に搬送される帯状のウエブＷに対して印刷、コーター処理、乾燥等の様々な加工処理を行うものである。図１に示すように、本実施の形態による処理システム１０は、帯状のウエブＷを巻き出す巻出ロール１２と、巻出ロール１２から巻き出されたウエブＷの張力を調整するためのニップロール１４と、巻出ロール１２から巻き出されたウエブＷを搬送するためのニップロール１６、１８と、巻出ロール１２から巻き出されたウエブＷに対して印刷等の加工処理を行う加工処理装置４０と、加工処理装置４０により加工処理が行われたウエブＷを搬送するための吸着搬送装置２０とを備えている。このような処理システム１０の各構成部材の詳細について以下に説明する。
【００２５】
図１に示すように、ウエブＷの搬送方向（図１において矢印で表示）における加工処理装置４０の上流側には一対のニップロール１４が互いに対向して接触するよう設けられている。ここで、各ニップロール１４の外周面は例えばゴム等の弾性部材から構成されており、一対のニップロール１４が互いに対向して接触しながら回転している状態でこれらのニップロール１４の間にウエブＷが送られることにより当該ウエブＷは一対のニップロール１４により搬送されるようになっている。また、ニップロール１４の回転速度を調整することにより、巻出ロール１２から巻き出されたウエブＷの張力が調整されるようになっている。
【００２６】
また、ウエブＷの搬送方向における加工処理装置４０の下流側であって吸着搬送装置２０の上流側には一対のニップロール１６が互いに対向して接触するよう設けられている。ここで、各ニップロール１６の外周面は例えばゴム等の弾性部材から構成されており、一対のニップロール１６が互いに対向して接触しながら回転している状態でこれらのニップロール１６の間にウエブＷが送られることにより当該ウエブＷは一対のニップロール１６によりそれぞれ搬送されるようになっている。また、一対のニップロール１６のうち一方のニップロール１６（具体的には、図１における上側のニップロール１６）は他方のニップロール１６（具体的には、図１における下側のニップロール１６）から離間するよう図１における上方に移動することができるようになっている。ここで、一方のニップロール１６が他方のニップロール１６から離間するよう移動すると、ウエブＷはこれらのニップロール１６により搬送されなくなる。本実施の形態による処理システム１０では、加工処理装置４０によりウエブＷに対して加工処理が行われる前に巻出ロール１２から巻き出されたウエブＷが一対のニップロール１６により搬送され、一方、加工処理装置４０によりウエブＷに対して加工処理が行われる最中は図１における上側のニップロール１６が下側のニップロール１６から離間するよう図１における上方に移動することによって一対のニップロール１６によりウエブＷの搬送は行われなくなる。
【００２７】
また、ウエブＷの搬送方向における吸着搬送装置２０の更に下流側には一対のニップロール１８が互いに対向して接触するよう設けられている。ここで、各ニップロール１８の外周面は例えばゴム等の弾性部材から構成されており、一対のニップロール１８が互いに対向して接触しながら回転している状態でこれらのニップロール１８の間にウエブＷが送られることにより当該ウエブＷは一対のニップロール１８によりそれぞれ搬送されるようになっている。また、一対のニップロール１８のうち一方のニップロール１８（具体的には、図１における上側のニップロール１８）は他方のニップロール１８（具体的には、図１における下側のニップロール１８）から離間するよう図１における上方に移動することができるようになっている。ここで、一方のニップロール１８が他方のニップロール１８から離間するよう移動すると、ウエブＷはこれらのニップロール１８により搬送されなくなる。本実施の形態による処理システム１０では、加工処理装置４０によりウエブＷに対して加工処理が行われる前に巻出ロール１２から巻き出されたウエブＷを搬送する際に一対のニップロール１８によりウエブＷの搬送が行われ、一方、加工処理装置４０によりウエブＷに対して加工処理が行われる最中は図１における上側のニップロール１８が下側のニップロール１８から離間するよう図１における上方に移動することによって一対のニップロール１８によりウエブＷの搬送は行われなくなる。
【００２８】
図２に示すように、吸着搬送装置２０は、帯状のウエブＷを搬送するためのコンベア等からなる搬送部２２と、搬送部２２により搬送されるウエブＷを吸着するための吸着部２４とを有している。ここで、搬送部２２は、複数（図２に示す例では２つ）のプーリ２２ａに掛け渡されたスチールベルト等の無端状の（すなわち、循環形状の）ベルト２２ｂを有しており、図示しない駆動モータによって複数のプーリ２２ａのうちある一つのプーリ２２ａが回転駆動されることにより、ベルト２２ｂが図２における反時計回りの方向に循環移動するようになっている。また、ベルト２２ｂには例えば直径が０．５ｍｍである貫通穴が均等に多数形成されている。また、吸着部２４は、ウエブＷに面するベルト２２ｂの裏側に設けられており、ベルト２２ｂに設けられた貫通穴を介してウエブＷをベルト２２ｂに吸着させるようになっている。より詳細には、吸着部２４は例えば内部に空気室が設けられた箱状のものからなり、当該吸着部２４の天井面（具体的には、搬送部２２のベルト２２ｂに対向する面）には例えば直径が数センチメートルである複数の貫通穴が均等に形成されている。また、吸着部２４の底面には吸引ホース等の吸引管３２の一端が接続されており、当該吸引管３２の他端には三方弁３４が接続されている。また、三方弁３４には吸引ホース等の吸引管３６の一端が接続されており、当該吸引管３６の他端にはブロワ等の吸引機構３８が接続されている。そして、吸引機構３８により吸着部２４から吸引管３２、三方弁３４および吸引管３６を介して空気の吸引が行われると、ウエブＷがベルト２２ｂに吸着されるようになり、このウエブＷはベルト２２ｂに吸着された状態で当該ベルト２２ｂにより図２における左方向に搬送されるようになる。また、三方弁３４には吸引管３３の一端も接続されており、当該吸引管３３の他端は大気開放されている。このような三方弁３４や各吸引管３２、３３、３６の構成の詳細について図１１および図１２を用いて説明する。
【００２９】
図１１に示すように、三方弁３４には３つの開口部３４ｃが設けられており、各開口部３４ｃに吸引管３２、３３、３６の端部がそれぞれ接続されている。また、三方弁３４には軸３４ｂを中心として回転可能な弁体３４ａが設けられており、弁体３４ａが図１２における実線位置にあるときには吸引管３２および吸引管３６が連通し、吸引機構３８により吸着部２４から吸引管３２、三方弁３４および吸引管３６を介して空気の吸引が行われるようになる。一方、弁体３４ａが軸３４ｂを中心として図１２における実線位置から回転して二点鎖線位置に移動すると、吸引管３２および吸引管３３が連通するようになる。ここで吸引管３３の他端が大気開放されていることにより、吸着部２４内の空気も大気開放され、よって吸着部２４によるウエブＷのベルト２２ｂへの吸着が停止するようになる。
【００３０】
また、本実施の形態では、図２に示すように、吸着部２４におけるウエブＷに面する側の表面には薄い金属板等からなる多孔質板２６が設けられるようになっている。図３乃至図６に示すように、多孔質板２６には直径が例えば１０μｍである複数の貫通穴２６ａが均等に形成されるようになっており、吸着部２４によりウエブＷの吸着が行われる際に、搬送部２２のベルト２２ｂにより搬送されるウエブＷの近傍の空気が多孔質板２６の各貫通穴２６ａを介して吸着部２４に吸引されることによってウエブＷがベルト２２ｂに吸着されるようになっている。
【００３１】
図２に示すように、搬送部２２は載置台２８に載せられるようになっている。また、載置台２８には、搬送部２２におけるベルト２２ｂの位置をウエブＷの幅方向（すなわち、図２において紙面に直交する方向）に沿ってシフトさせるためのシフト部３０が設けられている。このようなシフト部３０により、搬送部２２におけるベルト２２ｂは図２において紙面に直交する方向に沿って移動可能となっている。
【００３２】
また、吸着搬送装置２０において、ウエブＷの搬送方向における搬送部２２の下流側端部の近傍には、当該搬送部２２により搬送された後のウエブＷの異常を検知するためのウエブ検知部３９が設けられている。具体的には、ウエブ検知部３９は例えばレーザー変位計等から構成されており、搬送部２２により搬送された後のウエブＷにシワやたるみ、折れ等の異常が発生していた場合にはウエブ検知部３９によってこのようなウエブＷのシワやたるみ、折れ等が検知されるようになっている。
【００３３】
また、本実施の形態の処理システム１０には、当該処理システム１０の各構成部材の制御を行う制御部５０が設けられており、制御部５０により処理システム１０の各構成部材が制御されることによって当該処理システム１０においてウエブＷに対して処理が行われるようになっている。また、ウエブ検知部３９によるウエブＷの検知情報は制御部５０に送られるようになっている。
【００３４】
また、本実施の形態では、吸着搬送装置２０において、多孔質板２６の裏面にフィルムが貼られることにより（すなわち、多孔質板２６と吸着部２４との間にフィルムが設けられることにより）、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が広がるようになっている。具体的には、多孔質板２６において均等に設けられた各貫通穴２６ａがフィルムによって塞がれることにより、多孔質板２６におけるウエブＷの吸着領域の範囲が規制されるようになっている。このような多孔質板２６の裏面に貼られるフィルムの様々な例について図３乃至図６を用いて説明する。なお、図３乃至図６においてウエブＷの搬送方向を矢印で示している。また、図３乃至図６における上下方向がウエブＷの幅方向となる。
【００３５】
図３に示す例では、直角三角形の２枚のフィルム６０が、ウエブＷの搬送方向における多孔質板２６の裏面における上流側の縁部の近傍に貼られるようになっている。ここで、多孔質板２６における各フィルム６０が貼られた領域以外の領域（すなわち、貫通穴２６ａが各フィルム６０によって塞がれていない領域）がウエブＷの吸着領域となるが、図３に示すように、このようなウエブＷの吸着領域は、ウエブＷの搬送方向における上流側端部が尖っており、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が徐々に広がるようになる。このことにより、吸着搬送装置２０において搬送部２２により搬送されるウエブＷは、下流側（すなわち、図３における左側）に移動するにつれて吸着部２４により吸着される領域が幅方向中央位置から外側に向けて徐々に大きくなり、最終的にはウエブＷの幅方向全域が吸着部２４により吸着されるようになる。このように、搬送部２２により搬送されるウエブＷについて、当該ウエブＷが下流側に移動するにつれて吸着部２４により吸着される領域が中央位置から外側に向けて徐々に大きくなるため、このようなウエブＷにシワが発生することが抑制されるようになる。すなわち、もし仮にこのような各フィルム６０が設けられておらず、ウエブＷの幅方向全域を吸着部２４によって一度に吸着した場合には、当該ウエブＷの絵柄パターンに応じてこのウエブＷにシワが生じてしまうおそれがあるが、本実施の形態では、ウエブＷが吸着部２４によって吸着される領域を幅方向中央位置から徐々に外側に広げることにより、ウエブＷにシワが発生することが抑制されるようになる。
【００３６】
なお、ウエブＷにシワが発生することを抑制するために多孔質板２６の裏面に貼られるフィルムは図３に示すような形状のものに限定されることはない。ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が広がるようにすることができるものであれば、多孔質板２６に貼られるフィルムの形状を様々なものに変更することができる。
【００３７】
例えば、多孔質板２６の裏面に貼られるフィルムとして、図４に示すような一対のフィルム６２が用いられてもよい。図４に示すような各フィルム６２が多孔質板２６に貼られた場合には、当該多孔質板２６における各フィルム６２が貼られた領域以外の領域（すなわち、貫通穴２６ａが各フィルム６２によって塞がれていない領域）がウエブＷの吸着領域となるが、図４に示すように、このようなウエブＷの吸着領域は、ウエブＷの搬送方向における上流側端部が狭くなっており、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が徐々に広がるようになる。このことにより、吸着搬送装置２０において搬送部２２により搬送されるウエブＷは、下流側（すなわち、図４における左側）に移動するにつれて吸着部２４により吸着される領域が幅方向中央位置から外側に向けて徐々に大きくなり、最終的にはウエブＷの幅方向全域が吸着部２４により吸着されるようになる。このように、図４に示すような一対のフィルム６２が多孔質板２６の裏面に貼られた場合でも、搬送部２２により搬送されるウエブＷについて、当該ウエブＷが下流側に移動するにつれて吸着部２４により吸着される領域が中央位置から外側に向けて徐々に大きくなるため、このようなウエブＷにシワが発生することが抑制されるようになる。
【００３８】
また、多孔質板２６の裏面に貼られるフィルムとして、図５に示すような一対のフィルム６４が用いられてもよい。図５に示すような各フィルム６４が多孔質板２６に貼られた場合には、当該多孔質板２６における各フィルム６４が貼られた領域以外の領域（すなわち、貫通穴２６ａが各フィルム６４によって塞がれていない領域）がウエブＷの吸着領域となるが、図５に示すように、このようなウエブＷの吸着領域は、ウエブＷの搬送方向における上流側端部が尖っており、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が徐々に広がるようになる。このことにより、吸着搬送装置２０において搬送部２２により搬送されるウエブＷは、下流側（すなわち、図５における左側）に移動するにつれて吸着部２４により吸着される領域が幅方向中央位置から外側に向けて徐々に大きくなり、最終的にはウエブＷの幅方向全域が吸着部２４により吸着されるようになる。このように、図５に示すような一対のフィルム６４が多孔質板２６の裏面に貼られた場合でも、搬送部２２により搬送されるウエブＷについて、当該ウエブＷが下流側に移動するにつれて吸着部２４により吸着される領域が中央位置から外側に向けて徐々に大きくなるため、このようなウエブＷにシワが発生することが抑制されるようになる。
【００３９】
また、多孔質板２６の裏面に貼られるフィルムとして、図６に示すような一対の矩形のフィルム６６が用いられてもよい。図６に示すような各フィルム６６が多孔質板２６に貼られた場合には、当該多孔質板２６における各フィルム６６が貼られた領域以外の領域（すなわち、貫通穴２６ａが各フィルム６６によって塞がれていない領域）がウエブＷの吸着領域となるが、図６に示すように、このようなウエブＷの吸着領域は、ウエブＷの搬送方向における上流側端部が狭くなっており、ウエブＷの搬送方向における下流側ではウエブＷの幅方向における吸着領域が広がるようになる。このことにより、吸着搬送装置２０において搬送部２２により搬送されるウエブＷは、下流側（すなわち、図６における左側）に移動すると吸着部２４により吸着される領域が幅方向中央位置から外側に向けて大きくなり、最終的にはウエブＷの幅方向全域が吸着部２４により吸着されるようになる。このように、図６に示すような一対のフィルム６６が多孔質板２６の裏面に貼られた場合でも、搬送部２２により搬送されるウエブＷについて、当該ウエブＷが下流側に移動するにつれて吸着部２４により吸着される領域が中央位置から外側に向けて大きくなるため、このようなウエブＷにシワが発生することが抑制されるようになる。
【００４０】
また、本実施の形態では、図２に示すような構成の吸着搬送装置２０が用いられる代わりに、図７に示すような構成の吸着搬送装置２０ａが用いられるようになっていてもよい。図７に示す吸着搬送装置２０ａは、吸着部２４の表面に多孔質板２６が設けられる代わりに金属板２７がウエブＷと搬送部２２のベルト２２ｂとの間に設けられる点で図２に示す吸着搬送装置２０と異なっているが、他の構成については実質的に図２に示す吸着搬送装置２０と略同一となっている。図７に示す吸着搬送装置２０ａを説明するにあたり、図２に示す吸着搬送装置２０と同一の構成部材については同一の参照符号を付してその説明を省略する。
【００４１】
図７に示す吸着搬送装置２０ａでは、吸着部２４の表面に多孔質板２６が設けられる代わりに、搬送部２２のベルト２２ｂの表面に薄い金属板２７が位置固定で設けられるようになっており、この金属板２７はウエブＷとベルト２２ｂとの間に挟まれるようになる。ここで、多孔質板２６と異なり、金属板２７には貫通穴が設けられていない。このような吸着搬送装置２０ａでは、ウエブＷとベルト２２ｂとの間に金属板２７が設けられることにより、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が広がるようになっている。このような金属板２７の構成について図８を用いて説明する。なお、図８においてウエブＷの搬送方向を矢印で示している。また、図８における上下方向がウエブＷの幅方向となる。
【００４２】
図８に示す例では、直角三角形の２枚の金属板２７が、ウエブＷとベルト２２ｂとの間に位置固定で設けられるようになっている。ここで、吸着部２４における各金属板２７が設けられた領域以外の領域（すなわち、貫通穴２６ａが各金属板２７によって塞がれていない領域）がウエブＷの吸着領域となるが、図８に示すように、このようなウエブＷの吸着領域は、ウエブＷの搬送方向における上流側端部が尖っており、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が徐々に広がるようになる。このことにより、吸着搬送装置２０において搬送部２２により搬送されるウエブＷは、下流側（すなわち、図８における左側）に移動するにつれて吸着部２４により吸着される領域が幅方向中央位置から外側に向けて徐々に大きくなり、最終的にはウエブＷの幅方向全域が吸着部２４により吸着されるようになる。このように、搬送部２２により搬送されるウエブＷについて、当該ウエブＷが下流側に移動するにつれて吸着部２４により吸着される領域が中央位置から外側に向けて徐々に大きくなるため、このようなウエブＷにシワが発生することが抑制されるようになる。
【００４３】
なお、ウエブＷにシワが発生することを抑制するためにウエブＷとベルト２２ｂとの間に設けられる金属板２７は図８に示すような形状のものに限定されることはない。ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が広がるようにすることができるものであれば、ウエブＷとベルト２２ｂとの間に設けられる金属板２７の形状を様々なものに変更することができる。
【００４４】
また、本実施の形態では、吸着部２４に設けられた多孔質板２６に各フィルム６０、６２、６４、６６が貼られたりウエブＷと搬送部２２のベルト２２ｂとの間に金属板２７が設けられたりする代わりに、図９に示すような形状の吸着部２４ｍが用いられるようになっていてもよい。なお、図９においてウエブＷの搬送方向を矢印で示している。また、図９における上下方向がウエブＷの幅方向となる。図９に示すような形状の吸着部２４ｍが用いられる場合には、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が広がるようになる。具体的には、図９に示すような形状の吸着部２４ｍが用いられる場合には、ウエブＷの吸着領域は、ウエブＷの搬送方向における上流側端部が尖っており、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が徐々に広がるようになる。このことにより、吸着搬送装置２０において搬送部２２により搬送されるウエブＷは、下流側（すなわち、図９における左側）に移動するにつれて吸着部２４ｍにより吸着される領域が幅方向中央位置から外側に向けて徐々に大きくなり、最終的にはウエブＷの幅方向全域が吸着部２４ｍにより吸着されるようになる。このように、搬送部２２により搬送されるウエブＷについて、当該ウエブＷが下流側に移動するにつれて吸着部２４ｍにより吸着される領域が中央位置から外側に向けて徐々に大きくなるため、このようなウエブＷにシワが発生することが抑制されるようになる。
【００４５】
なお、ウエブＷにシワが発生することを抑制するような吸着部２４ｍは図９に示すような形状のものに限定されることはない。ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が広がるようにすることができるものであれば、吸着部２４ｍの形状を様々なものに変更することができる。
【００４６】
また、本実施の形態における更に別の吸着部の構成として、図１０に示すような複数の空気室２４ａに分割された吸着部２４ｎが用いられるようになっていてもよい。なお、図１０においてウエブＷの搬送方向を矢印で示している。また、図１０における上下方向がウエブＷの幅方向となる。このような吸着部２４ｎでは、各空気室２４ａについてウエブＷの吸着を行うか否かを空気室２４ａ毎に設定することができるようになっている。ここで、図１０に示すように、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が広がるよう、各空気室２４ａについてウエブＷの吸着を行うか否かを設定した場合には（具体的には、図１０において「○」印のついた空気室２４ａについてはウエブＷの吸着を行うようにし、「×」印のついた空気室２４ａについてはウエブＷの吸着を行わないようにした場合には）、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が広がるようになる。具体的には、図１０に示すように吸着部２４ｎの各空気室２４ａについてウエブＷの吸着を行うか否かを設定した場合には、ウエブＷの吸着領域は、ウエブＷの搬送方向における上流側端部が狭くなり、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従ってウエブＷの幅方向における吸着領域が徐々に広がるようになる。このことにより、吸着搬送装置２０において搬送部２２により搬送されるウエブＷは、下流側（すなわち、図１０における左側）に移動するにつれて吸着部２４ｎにより吸着される領域が幅方向中央位置から外側に向けて徐々に大きくなり、最終的にはウエブＷの幅方向全域が吸着部２４ｎにより吸着されるようになる。このように、搬送部２２により搬送されるウエブＷについて、当該ウエブＷが下流側に移動するにつれて吸着部２４ｎにより吸着される領域が中央位置から外側に向けて徐々に大きくなるため、このようなウエブＷにシワが発生することが抑制されるようになる。
【００４７】
次に、図１等に示すような構成からなる処理システム１０によるウエブＷの処理方法について図１３に示すフローチャートを用いて説明する。なお、以下に示すような処理システム１０によるウエブＷの処理方法は、制御部５０が当該処理システム１０の各構成部材を制御することによって行われるようになっている。
【００４８】
まず、巻出ロール１２が起動され、当該巻出ロール１２からウエブＷが巻き出されるようになる（ＳＴＥＰ１）。また、ニップロール搬送系の電源がオンとなり、各ニップロール１４、１６、１８が回転駆動されるようになる（ＳＴＥＰ２）。このことにより、巻出ロール１２から巻き出されたウエブＷの先端部分が各ニップロール１４、１６、１８により搬送されるようになる（すなわち、ウエブＷのいわゆるパス通しが行われる）。巻出ロール１２から巻き出されたウエブＷの先端部分が各ニップロール１４、１６、１８により搬送されると、ニップロール搬送系が一旦停止される（ＳＴＥＰ３）。その後、加工処理装置４０が起動されるとともにコンベア搬送系の電源がオンとなり、吸着搬送装置２０によってウエブＷの搬送が行われるようになる（ＳＴＥＰ４）。このことにより、ウエブＷに対して印刷等の加工処理を行うことができるようになる。なお、吸着搬送装置２０によってウエブＷの搬送が行われる最中は図１における上側のニップロール１６、１８がそれぞれ下側のニップロール１６、１８から離間するよう移動することにより各ニップロール１６、１８によりウエブＷの搬送は行われなくなる。ここで、上側のニップロール１６、１８がそれぞれ下側のニップロール１６、１８から離間するよう図１における上方に移動することにより、これらの上側のニップロール１６、１８がウエブＷから離間するようになり、加工処理装置４０によってウエブＷの表面に施された加工処理の内容がニップロール１６、１８によって汚損されてしまうことを防止することができるようになる。また、吸着搬送装置２０によってウエブＷの搬送が行われる最中に、一対のニップロール１４によって巻出ロール１２から巻き出されたウエブＷの張力が調整されるようになる。
【００４９】
吸着搬送装置２０によってウエブＷの搬送が行われるとともに加工処理装置４０によってウエブＷに対して加工処理が行われる際に、吸着搬送装置２０のウエブ検知部３９によってウエブＷに異常が発生しているか否かの検知が行われる（ＳＴＥＰ５）。ここで、搬送部２２により搬送された後のウエブＷにシワやたるみ、折れ等の異常が発生していた場合にウエブ検知部３９によってこのようなウエブＷのシワやたるみ、折れ等が検知されると（ＳＴＥＰ５の「ＹＥＳ」）、制御部５０において異常原因が判断され（ＳＴＥＰ６）、異常解消のための処理が行われる（ＳＴＥＰ７）。具体的には、吸着部２４によって搬送部２２のベルト２２ｂに吸着されながら当該ベルト２２ｂにより搬送された後のウエブＷにシワやたるみ、折れ等が発生していることがウエブ検知部３９により検知されると、三方弁３４において弁体３４ａが図１２における実線位置から二点鎖線位置に切り替えられることにより、吸引管３２および吸引管３３が連通するようになる。上述したように、吸引管３３の他端が大気開放されていることにより、吸着部２４内の空気も大気開放され、よって当該吸着部２４によるウエブＷのベルト２２ｂへの吸着が停止するようになる。このことにより、ウエブＷに生じていたシワやたるみ、折れ等の異常が解消される。その後、三方弁３４において弁体３４ａが図１２における二点鎖線位置から実線位置にすぐに切り替えられることにより、吸引管３２および吸引管３６が連通するようになり、吸引機構３８により吸着部２４から再び空気が吸引されるようになる。このことにより、吸着部２４によるウエブＷのベルト２２ｂへの吸着が再び行われるようになり、よって吸着搬送装置２０によるウエブＷの搬送が再開されるようになる。本実施の形態では、吸着部２４の空気が吸引管３３により大気開放されるよう三方弁３４において弁体３４ａが切り替えられる時間は予め設定された時間（例えば、０．１２秒以下の短い時間）となっている。すなわち、三方弁３４において弁体３４ａが図１２における実線位置から二点鎖線位置に切り替えられた後、予め設定された時間が経過するとすぐに当該弁体３４ａが図１２における二点鎖線位置から実線位置に切り替えられることにより、ウエブＷに発生したシワやたるみ、折れ等の異常を確実に解消しながら、吸着搬送装置２０によるウエブＷの搬送が中断する時間をできるだけ短くすることができるようになる。
【００５０】
また、本実施の形態による吸着搬送装置２０では、予め設定された所定の周期時間が経過する度に、吸着部２４によるウエブＷのベルト２２ｂへの吸着を停止させ、予め設定された時間（例えば、０．１２秒以下の短い時間）が経過した後に吸着部２４によるウエブＷのベルト２２ｂへの吸着を再開させるようになっていてもよい。このように、吸着部２４によるウエブＷのベルト２２ｂへの吸着を周期的に停止させ、吸着部２４内の空気を定期的に大気開放することにより、ウエブＷにシワやたるみ、折れ等の異常が発生した場合でもこのような異常を解消することができ、吸着搬送装置２０によってウエブＷを安定的に搬送することができるようになる。
【００５１】
また、本実施の形態による処理システム１０の吸着搬送装置２０では、ウエブＷの異常を検知するためのウエブ検知部として、搬送部２２により搬送されるウエブＷの蛇行を検知するための図示しないＥＰＣ変位計（蛇行検知部）が設けられている。そして、ＥＰＣ変位計によりウエブＷの蛇行が検知されたときに、ウエブＷを幅方向に移動させる余裕（いわゆるサイドレールマージン）がある場合には、シフト部３０によって搬送部２２におけるベルト２２ｂの位置をウエブＷの幅方向（すなわち、図２において紙面に直交する方向）に沿ってシフトさせ、このことによりウエブＷを所定の位置にシフトさせることにより当該ウエブＷの蛇行を解消する。ここで、シフト部３０によるベルト２２ｂのシフト動作は何回かに分けて小刻みに行われるようになっていてもよい。一方、ＥＰＣ変位計によりウエブＷの蛇行が検知されたときに、ウエブＷを幅方向に移動させる余裕（サイドレールマージン）がない場合には、まず、三方弁３４において弁体３４ａを図１２における実線位置から二点鎖線位置に切り替えることによって吸着部２４によるウエブＷのベルト２２ｂへの吸着を停止させ、次にシフト部３０によって搬送部２２におけるベルト２２ｂの位置を原点位置にシフトさせる。その後、三方弁３４において弁体３４ａを図１２における二点鎖線位置から実線位置に切り替えることによって吸着部２４によるウエブＷのベルト２２ｂへの吸着を再開させた後、ウエブＷが所定の位置に到達するようシフト部３０によって搬送部２２におけるベルト２２ｂの位置をウエブＷの幅方向に沿ってシフトさせる。このことにより当該ウエブＷの蛇行が解消される。
【００５２】
また、本実施の形態による処理システム１０の吸着搬送装置２０では、ウエブＷと搬送部２２のベルト２２ｂとの間に異物が噛み込んでいるか否かの外観検査が行われるようになっていてもよい。このような外観検査は作業者によって目視にて行われてもよく、あるいは搬送部２２のベルト２２ｂの側方に設けられたカメラ等により行われてもよい。吸着搬送装置２０においてウエブＷと搬送部２２のベルト２２ｂとの間に異物が噛み込んでいることが検知されると、まず、三方弁３４において弁体３４ａを図１２における実線位置から二点鎖線位置に切り替えることによって吸着部２４によるウエブＷのベルト２２ｂへの吸着を停止させ、次に搬送部２２のベルト２２ｂの駆動を停止させる。その後、搬送部２２のベルト２２ｂを掃除することによりウエブＷと搬送部２２のベルト２２ｂとの間にある異物を除去する。異物が除去されると、搬送部２２のベルト２２ｂの駆動が再開されるとともに吸着部２４によるウエブＷのベルト２２ｂへの吸着が再開される。
【００５３】
また、本実施の形態による処理システム１０の吸着搬送装置２０では、レーザー変位計等からなるウエブ検知部３９の数値に異常があるか否かの検査が行われるようになっていてもよい。このような検査は作業者によって目視にて行われてもよく、あるいはウエブ検知部３９の数値に異常がある場合に当該ウエブ検知部３９からアラームが発せられるようになっていてもよい。ウエブ検知部３９の数値に異常があることが検知されると、まず、三方弁３４において弁体３４ａを図１２における実線位置から二点鎖線位置に切り替えることによって吸着部２４によるウエブＷのベルト２２ｂへの吸着を停止させ、予め設定された時間（例えば、０．１２秒以下の短い時間）が経過した後に吸着部２４によるウエブＷのベルト２２ｂへの吸着を再開させる。その後、ウエブ検知部３９においてゼロ点リセットが行われる。このようにして、ウエブ検知部３９の数値に異常がある場合でも当該ウエブ検知部３９の異常を解消することができるようになる。
【００５４】
また、本実施の形態による処理システム１０では、ウエブＷの異常を検知するためのウエブ検知部として、ウエブＷの張力を検知するための張力計（図示せず）が設けられていてもよい。この場合には、張力計により検知されるウエブＷの張力に異常があるときに、操作者が処理システム１０の制御盤（図示せず）の数値を目視で確認したり、あるいは制御盤からアラームが発せられたりするようになる。そして、ウエブＷの張力に異常があることが検知されると、巻出ロール１２から巻き出されるウエブＷの速度に対する、吸着搬送装置２０において搬送部２２により搬送されるウエブＷの相対的な速度を調整することにより、ウエブＷの張力が適正な値に戻されるようになっている。このようにして、ウエブＷの張力に異常がある場合でも当該ウエブＷの張力の異常を解消することができるようになる。
【００５５】
次に、処理システム１０においてウエブＷへの処理を終了させるための動作について説明する。加工処理装置４０によるウエブＷへの処理を終了させる場合には（ＳＴＥＰ８の「ＹＥＳ」）、まず吸着搬送装置２０の検知システム（具体的には、例えばウエブ検知部３９）をオフとする（ＳＴＥＰ９）。次に、吸着搬送装置２０の搬送部２２によるウエブＷの搬送を終了する（ＳＴＥＰ１０）。また、吸着搬送装置２０においてコンベアでの吸着を停止させる（ＳＴＥＰ１１）。具体的には、ブロワ等の吸引機構３８を停止させることにより吸着部２４がウエブＷをベルト２２ｂに吸着させないようにする。その後、巻出ロール１２によるウエブＷの巻き出し動作を停止させる（ＳＴＥＰ１２）。また、加工処理装置４０を停止させる。最後に、処理システム１０の全体の電源をオフにする（ＳＴＥＰ１３）。このようにして、処理システム１０におけるウエブＷへの処理が完全に終了するようになる。
【００５６】
以上のような構成からなる本実施の形態の吸着搬送装置２０やこのような吸着搬送装置２０による吸着搬送方法によれば、ウエブＷを搬送するための搬送部２２、およびウエブＷを搬送部２２に吸着させるための吸着部２４がそれぞれ設けられており、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブＷの幅方向における吸着部２４による吸着領域が広がるようになっている。この場合には、吸着部２４によりウエブＷを搬送部２２（具体的には、ベルト２２ｂ）に吸着させる際に当該ウエブＷにシワ等の異常が発生することを抑制することができる。より詳細には、もし仮にウエブＷの幅方向全域を吸着部２４によって一度に搬送部２２に吸着させると当該ウエブＷの絵柄パターンに応じてこのウエブＷにシワが生じてしまうおそれがあるが、本実施の形態の吸着搬送装置２０や吸着搬送方法では、ウエブＷが吸着部２４によって吸着される領域を徐々に大きくすることにより、吸着部２４によりウエブＷを搬送部２２（具体的には、ベルト２２ｂ）に吸着させる際に当該ウエブＷにシワが発生することが抑制されるようになる。
【００５７】
また、本実施の形態の吸着搬送装置２０においては、上述したように、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブＷの幅方向における吸着部２４による吸着領域が広がるよう吸着部２４による吸着領域の範囲を規制する規制部（具体的には、フィルム６０、６２、６４、６６）が設けられている。なお、本実施の形態では、吸着部２４による吸着領域の範囲を規制する規制部は図３乃至図６に示すような各種のフィルム６０、６２、６４、６６に限定されることはない。また、本実施の形態では、規制部により規制された吸着部２４による吸着領域は、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブＷの幅方向における中央位置から外側に広がるようになっている。また、図３や図５に示すように、規制部により規制された吸着部２４による吸着領域は、ウエブＷの搬送方向における上流側端部が尖っていてもよい。
【００５８】
また、本実施の形態の吸着搬送装置２０においては、上述したように、ウエブＷと吸着部２４との間には多孔質板２６が設けられており、各フィルム６０、６２、６４、６６等からなる規制部は多孔質板２６の裏面（すなわち、吸着部２４と多孔質板２６との間）に設けられている。なお、本実施の形態では、各フィルム６０、６２、６４、６６等からなる規制部は多孔質板２６の裏面に設けられることに限定されることはなく、規制部が多孔質板２６の表面（すなわち、多孔質板２６における搬送部２２のベルト２２ｂ側の面）に設けられるようになっていてもよい。
【００５９】
また、図７や図８に示すような変形例に係る吸着搬送装置２０ａにおいては、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブＷの幅方向における吸着部２４による吸着領域が広がるよう吸着部２４による吸着領域の範囲を規制する金属板２７が規制部として搬送部２２（具体的には、ベルト２２ｂ）とウエブＷとの間に設けられている。この場合でも、吸着部２４によりウエブＷを搬送部２２（具体的には、ベルト２２ｂ）に吸着させる際に当該ウエブＷにシワが発生することを抑制することができる。ここで、搬送部２２（具体的には、ベルト２２ｂ）とウエブＷとの間に設けられる規制部として、例えば位置固定で設けられた板状のもの（具体的には、板状の金属板２７）が用いられるようになる。
【００６０】
また、本実施の形態では、図９に示すように、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブＷの幅方向における吸着領域が広がるような形状の吸着部２４ｍが用いられるようになっていてもよい。また、図１０に示すように、複数の空気室２４ａに分割された吸着部２４ｎが用いられ、ウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブＷの幅方向における吸着部２４ｎによる吸着領域が広がるよう、各空気室２４ａにおいて吸着を行うか否かの設定が空気室２４ａ毎に行われるようになっていてもよい。
【００６１】
なお、本実施の形態による処理システムおよびこのような処理システムによるウエブＷの処理方法は、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００６２】
例えば、本実施の形態による処理システムとして、図１４に示すようなロールｔｏロール方式の処理システム１０ａが用いられてもよい。このような処理システム１０ａでは、加工処理装置４０により印刷等の加工処理が行われた帯状のウエブＷは巻取ロール１３により巻き取られるようになる。このようなロールｔｏロール方式の処理システム１０ａでも、図１等に示すような処理システム１０と同様に、吸着搬送装置２０においてウエブＷの搬送方向における下流側に向かうに従って当該ウエブＷの幅方向における吸着部２４による吸着領域が広がるようになっている。このことにより、吸着部２４によりウエブＷを搬送部２２（具体的には、ベルト２２ｂ）に吸着させる際に当該ウエブＷにシワ等の異常が発生することを抑制することができる。
【符号の説明】
【００６３】
１０、１０ａ  処理システム
１２    巻出ロール
１３    巻取ロール
１４、１６、１８  ニップロール
２０、２０ａ  吸着搬送装置
２２    搬送部
２２ａ  プーリ
２２ｂ  ベルト
２４、２４ｍ、２４ｎ  吸着部
２４ａ  空気室
２６    多孔質板
２６ａ  貫通穴
２７    金属板
２８    載置台
３０    シフト部
３２、３３  吸引管
３４    三方弁
３４ａ  弁体
３４ｂ  軸
３４ｃ  開口部
３６    吸引管
３８    吸引機構
３９    ウエブ検知部
４０    加工処理装置
５０    制御部
６０、６２、６４、６６  フィルム
【図１】
0006468485.tif 000002
【図２】
0006468485.tif 000003
【図３】
0006468485.tif 000004
【図４】
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【図５】
0006468485.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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