(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が信号源の出力端と接続されており、前記信号源から出力された信号の周波数で４分の１波長の電気長を有する第１の伝送線路と、
一端が前記第１の伝送線路の他端と接続されている第１の可変リアクタンス素子と、
一端が前記第１の可変リアクタンス素子の他端と接続されており、前記信号の周波数で４分の１波長の電気長を有する第２の伝送線路と、
一端が前記第２の伝送線路の他端と接続されている第２の可変リアクタンス素子と、
一端が前記第２の可変リアクタンス素子の他端と接続されており、前記信号の位相を移相し、移相後の信号を負荷に出力する移相器と、
前記負荷のインピーダンスを検出し、前記インピーダンスに従って前記第１及び第２の可変リアクタンス素子のリアクタンス値及び前記移相器の移相量のそれぞれを制御する制御回路と
を備えたインピーダンスチューナ。
【請求項２】
前記制御回路は、前記負荷のインピーダンスと、前記第１及び第２の可変リアクタンス素子のリアクタンス値及び前記移相器の移相量との関係を示すテーブルを備えており、前記テーブルを参照して、前記負荷のインピーダンスに対応する前記第１及び第２の可変リアクタンス素子のリアクタンス値及び前記移相器の移相量のそれぞれを決定することを特徴とする請求項１記載のインピーダンスチューナ。
【請求項３】
前記制御回路は、前記信号源の出力端が５０Ωになるように、前記第１及び第２の可変リアクタンス素子のリアクタンス値及び前記移相器の移相量のそれぞれを制御することを特徴とする請求項１記載のインピーダンスチューナ。
【請求項４】
前記第１及び第２の可変リアクタンス素子として、バラクタダイオードを用いていることを特徴とする請求項１記載のインピーダンスチューナ。
【請求項５】
前記移相器は、
直列に接続が可能な複数の伝送線路と、
前記複数の伝送線路の中から、直列に接続する伝送線路を選択する複数のスイッチとを備えており、
前記制御回路は、前記複数のスイッチにおける伝送線路の選択を制御することで、前記移相器の移相量を制御することを特徴とする請求項１記載のインピーダンスチューナ。
【請求項６】
信号を増幅する増幅器と、
一端が増幅器の出力端と接続されており、前記増幅器から出力された信号の周波数で４分の１波長の電気長を有する第１の伝送線路と、
一端が前記第１の伝送線路の他端と接続されている第１の可変リアクタンス素子と、
一端が前記第１の可変リアクタンス素子の他端と接続されており、前記信号の周波数で４分の１波長の電気長を有する第２の伝送線路と、
一端が前記第２の伝送線路の他端と接続されている第２の可変リアクタンス素子と、
一端が前記第２の可変リアクタンス素子の他端と接続されており、前記信号の位相を移相し、移相後の信号を負荷に出力する移相器と、
前記負荷のインピーダンスを検出し、前記インピーダンスに従って前記第１及び第２の可変リアクタンス素子のリアクタンス値及び前記移相器の移相量のそれぞれを制御する制御回路と
を備えた信号増幅装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、可変リアクタンス素子及び移相器を備えているインピーダンスチューナ及び信号増幅装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
導波管内のスラグをモータで駆動することで、信号源のインピーダンスと負荷のインピーダンスとの間の整合をとることが可能な機械制御式のインピーダンスチューナがある。
機械制御式のインピーダンスチューナでは、スラグの駆動が完了するまでに多くの時間を要する。
以下の特許文献１には、機械制御式のインピーダンスチューナよりも動作速度が速く、かつ、小型なインピーダンスチューナとして、電子制御式のインピーダンスチューナが開示されている。
特許文献１に開示されているインピーダンスチューナは、可変リアクタンス素子及び移相器を備えている。【０００３】
インピーダンスチューナの移相器は、インピーダンスチューナと接続される負荷のインピーダンスが、スミスチャートの５０Ωの点を通る等コンダクタンス円上の点に移動するように、信号源から負荷に出力される信号の位相を制御する。
インピーダンスチューナの可変リアクタンス素子は、等コンダクタンス円上の点に存在するインピーダンスが５０Ωになるように変成することで、インピーダンス整合を実現する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３１８６８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のインピーダンスチューナは以上のように構成されているので、移相器が、負荷のインピーダンスを、スミスチャートの５０Ωの点を通る等コンダクタンス円上の点に高精度に移動させることができれば、信号源のインピーダンスと負荷のインピーダンスとの間の整合をとることができる。しかし、移相器の移相制御は、原理上、離散的な移相制御であるため、移相制御後のインピーダンスが、スミスチャートの５０Ωの点を通る等コンダクタンス円上の点とずれてしまう場合がある。このような場合、信号源のインピーダンスと負荷のインピーダンスとの間の整合精度が劣化してしまうという課題があった。【０００６】
ここで、図６は、信号源のインピーダンスと負荷のインピーダンスとの間の整合が十分にとれている状態を示す説明図である。
図６の例では、負荷のインピーダンスＰ１が等反射係数円Ｒ１上に存在している。
移相器は、信号源から負荷に出力される信号の位相を制御することで、負荷のインピーダンスＰ１を、スミスチャートの５０Ωの点Ｐ３を通る等コンダクタンス円Ｒ２上の点Ｐ２に移動させている。
可変リアクタンス素子は、等コンダクタンス円Ｒ２上の点Ｐ２を点Ｐ３にインピーダンス変成している。【０００７】
図７は、信号源のインピーダンスと負荷のインピーダンスとの間の整合精度が劣化する状況を示す説明図である。
移相器の移相制御は、原理上、離散的な移相制御であるため、移相器による移相制御後のインピーダンスの位相範囲がＰ４になり、移相制御後のインピーダンスが等コンダクタンス円Ｒ２上の点Ｐ２からずれることがある。
可変リアクタンス素子が、点Ｐ２からずれているインピーダンスをインピーダンス変成した場合、Ｒ３の範囲分だけ不整合が発生する。【０００８】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、移相器の移相制御が離散的な移相制御であっても、インピーダンス整合を実現することができるインピーダンスチューナ及び信号増幅装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係るインピーダンスチューナは、一端が信号源の出力端と接続されており、信号源から出力された信号の周波数で４分の１波長の電気長を有する第１の伝送線路と、一端が第１の伝送線路の他端と接続されている第１の可変リアクタンス素子と、一端が第１の可変リアクタンス素子の他端と接続されており、信号の周波数で４分の１波長の電気長を有する第２の伝送線路と、一端が第２の伝送線路の他端と接続されている第２の可変リアクタンス素子と、一端が第２の可変リアクタンス素子の他端と接続されており、信号の位相を移相し、移相後の信号を負荷に出力する移相器とを設け、制御回路が、負荷のインピーダンスを検出し、検出したインピーダンスに従って第１及び第２の可変リアクタンス素子のリアクタンス値及び移相器の移相量のそれぞれを制御するようにしたものである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、制御回路が、負荷のインピーダンスを検出し、検出したインピーダンスに従って第１及び第２の可変リアクタンス素子のリアクタンス値及び移相器の移相量のそれぞれを制御するように構成したので、移相器の移相制御が離散的な移相制御であっても、インピーダンス整合を実現することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明の実施の形態１によるインピーダンスチューナを含む信号増幅装置を示す構成図である。
【図２】図１のインピーダンスチューナ２の動作原理を示す説明図である。
【図３】テーブル１９ａの一例を説明図である。
【図４】この発明の実施の形態１による他のインピーダンスチューナを含む信号増幅装置を示す構成図である。
【図５】この発明の実施の形態２によるインピーダンスチューナの移相器３０を示す構成図である。
【図６】信号源のインピーダンスと負荷のインピーダンスとの間の整合が十分にとれている状態を示す説明図である。
【図７】信号源のインピーダンスと負荷のインピーダンスとの間の整合精度が劣化する状況を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明を実施するための形態について、添付の図面に従って説明する。
【００１３】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１によるインピーダンスチューナを含む信号増幅装置を示す構成図である。
図１において、信号源１は、例えば、ＴＷＴＡ（Ｔｒａｖｅｌｉｎｇ  Ｗａｖｅ  Ｔｕｂｅ Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ）又はＳＳＰＡ（Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｐｏｗｅｒ  Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ）などの増幅器であり、増幅した信号をインピーダンスチューナ２に出力する。
インピーダンスチューナ２は、信号源１のインピーダンスと負荷３のインピーダンスとの間の整合を図る装置である。
負荷３は、インピーダンスＰ１が未知の負荷である。
【００１４】
第１の伝送線路１１は、一端が信号源１の出力端と接続されており、信号源１から出力された信号の周波数で４分の１波長の電気長を有する伝送線路である。
第１の可変リアクタンス素子１２は、一端が第１の伝送線路１１の他端と接続されている可変リアクタンス素子である。
第２の伝送線路１３は、一端が第１の可変リアクタンス素子１２の他端と接続されており、信号源１から出力された信号の周波数で４分の１波長の電気長を有する伝送線路である。
第２の可変リアクタンス素子１４は、一端が第２の伝送線路１３の他端と接続されている可変リアクタンス素子である。
【００１５】
移相器１５は、一端が第２の可変リアクタンス素子１４の他端と接続されており、第２の可変リアクタンス素子１４を通過してきた信号の位相を移相し、移相後の信号を出力する。
制御回路１６は、ベクトル検波器１７、Ａ／Ｄコンバータ１８、演算処理部１９及びＤ／Ａコンバータ２０を備えている。
制御回路１６は、負荷３のインピーダンスＰ１を検出し、インピーダンスＰ１に従って第１の可変リアクタンス素子１２のリアクタンス値Ｌ１、第２の可変リアクタンス素子１４のリアクタンス値Ｌ２及び移相器１５の移相量φのそれぞれを制御する回路である。
【００１６】
ベクトル検波器１７は、負荷３のインピーダンスＰ１を検出し、検出したインピーダンスＰ１を示す検出信号をＡ／Ｄコンバータ１８に出力する。
Ａ／Ｄコンバータ１８は、アナログデジタル変換器であり、ベクトル検波器１７から出力された検出信号をアナログ信号からデジタル信号に変換し、デジタルの検出信号を演算処理部１９に出力する。
【００１７】
演算処理部１９は、負荷３のインピーダンスＰ１と、第１の可変リアクタンス素子１２のリアクタンス値Ｌ１、第２の可変リアクタンス素子１４のリアクタンス値Ｌ２及び移相器１５の移相量φとの関係を示すテーブル１９ａを備えている。
演算処理部１９は、テーブル１９ａを参照して、Ａ／Ｄコンバータ１８から出力されたデジタルの検出信号が示すインピーダンスＰ１に対応する第１の可変リアクタンス素子１２のリアクタンス値Ｌ１、第２の可変リアクタンス素子１４のリアクタンス値Ｌ２及び移相器１５の移相量φをそれぞれ決定する。
演算処理部１９は、決定したリアクタンス値Ｌ１を示す制御信号Ｃ１及びリアクタンス値Ｌ２を示す制御信号Ｃ２をＤ／Ａコンバータ２０に出力する。
また、演算処理部１９は、決定した移相量φを示す制御信号Ｃ３を移相器１５に出力する。
【００１８】
Ｄ／Ａコンバータ２０は、デジタルアナログ変換器であり、演算処理部１９から出力された制御信号Ｃ１及び制御信号Ｃ２をデジタル信号からアナログ信号にそれぞれ変換する。
Ｄ／Ａコンバータ２０は、アナログの制御信号Ｃ１を第１の可変リアクタンス素子１２に出力し、アナログの制御信号Ｃ２を第２の可変リアクタンス素子１４に出力する。
【００１９】
次に動作について説明する。
図２は、図１のインピーダンスチューナ２の動作原理を示す説明図である。
制御回路１６のベクトル検波器１７は、負荷３のインピーダンスＰ１を検出し、検出したインピーダンスＰ１を示す検出信号をＡ／Ｄコンバータ１８に出力する。
図２の例では、負荷のインピーダンスＰ１が等反射係数円Ｒ１上に存在している。等反射係数円Ｒ１の大きさは、ベクトル検波器１７により検出される負荷のインピーダンスＰ１によって変化する。
【００２０】
制御回路１６のＡ／Ｄコンバータ１８は、ベクトル検波器１７から出力された検出信号をアナログ信号からデジタル信号に変換し、デジタルの検出信号を演算処理部１９に出力する。
制御回路１６の演算処理部１９は、負荷３のインピーダンスＰ１と、第１の可変リアクタンス素子１２のリアクタンス値Ｌ１、第２の可変リアクタンス素子１４のリアクタンス値Ｌ２及び移相器１５の移相量φとの関係を示すテーブル１９ａを備えている。
図３は、テーブル１９ａの一例を説明図である。
【００２１】
演算処理部１９は、テーブル１９ａを参照して、Ａ／Ｄコンバータ１８から出力されたデジタルの検出信号が示すインピーダンスＰ１に対応する第１の可変リアクタンス素子１２のリアクタンス値Ｌ１、第２の可変リアクタンス素子１４のリアクタンス値Ｌ２及び移相器１５の移相量φをそれぞれ決定する。
図３の例では、負荷３のインピーダンスＰ１がＰ１ａであれば、第１の可変リアクタンス素子１２のリアクタンス値Ｌ１としてＬ１ａが決定され、第２の可変リアクタンス素子１４のリアクタンス値Ｌ２としてＬ２ａが決定され、移相器１５の移相量φとしてφａが決定される。
また、負荷３のインピーダンスＰ１がＰ１ｂであれば、第１の可変リアクタンス素子１２のリアクタンス値Ｌ１としてＬ１ｂが決定され、第２の可変リアクタンス素子１４のリアクタンス値Ｌ２としてＬ２ｂが決定され、移相器１５の移相量φとしてφｂが決定される。
【００２２】
演算処理部１９は、決定したリアクタンス値Ｌ１を示す制御信号Ｃ１及びリアクタンス値Ｌ２を示す制御信号Ｃ２をＤ／Ａコンバータ２０に出力する。
また、演算処理部１９は、決定した移相量φを示す制御信号Ｃ３を移相器１５に出力する。
【００２３】
制御回路１６のＤ／Ａコンバータ２０は、演算処理部１９から出力された制御信号Ｃ１及び制御信号Ｃ２をデジタル信号からアナログ信号にそれぞれ変換する。
Ｄ／Ａコンバータ２０は、アナログの制御信号Ｃ１を第１の可変リアクタンス素子１２に出力し、アナログの制御信号Ｃ２を第２の可変リアクタンス素子１４に出力する。
【００２４】
移相器１５は、演算処理部１９から出力された制御信号Ｃ３が示す移相量φだけ、第２の可変リアクタンス素子１４を通過してきた信号の位相を移相する。
移相器１５の移相制御は、離散的な移相制御であるため、移相器１５による移相制御後のインピーダンスの位相範囲が領域Ｐ５の範囲となる。
したがって、負荷３のインピーダンスＰ１は、図２に示すように、一定の位相範囲を有する領域Ｐ５の中に移動される。
なお、演算処理部１９のテーブル１９ａには、負荷３のインピーダンスＰ１毎に、移相器１５による移相制御後のインピーダンスが領域Ｐ５に入るような移相量φが格納されている。
図２の例では、移相量φが約１１０度であれば、移相器１５による移相制御後のインピーダンスの位相範囲が領域Ｐ５の範囲に入る。このため、例えば、負荷３のインピーダンスＰ１がＰ１ａであれば、インピーダンスＰ１ａに対応する移相量φａとして、約１１０度がテーブル１９ａに格納されている。
【００２５】
ここで、領域Ｐ５の範囲において、位相角が最も小さくなる端（図中、領域Ｐ５の上端）は、スミスチャート上で５０Ωの点Ｐ３を通過する等コンダクタンス円Ｒ２と等反射係数円Ｒ１との交点、あるいは、等コンダクタンス円Ｒ２と等反射係数円Ｒ１との交点よりも位相角が大きい点である。
また、領域Ｐ５の範囲において、位相角が最も大きくなる端（図中、領域Ｐ５の下端）は、等反射係数円Ｒ１とスミスチャートの実軸との交点よりも位相角が小さい点である。
したがって、領域Ｐ５の範囲において、領域Ｐ５の上端の位相角がθＰ５ｍｉｎ［°］であれば、領域Ｐ５の範囲は、θＰ５ｍｉｎ［°］〜１８０［°］の位相範囲である。
【００２６】
第２の可変リアクタンス素子１４のリアクタンス値Ｌ２は、制御回路１６のＤ／Ａコンバータ２０から出力された制御信号Ｃ２が示すリアクタンス値に設定される。
第２の可変リアクタンス素子１４は、制御回路１６により設定されたリアクタンス値Ｌ２によって、移相器１５による移相制御後のインピーダンスをインピーダンス変成する。
このリアクタンス値Ｌ２は、第２の可変リアクタンス素子１４によるインピーダンス変成後のインピーダンスが領域Ｐ６に入るようなリアクタンス値である。
したがって、演算処理部１９のテーブル１９ａには、負荷３のインピーダンスＰ１毎に、第２の可変リアクタンス素子１４によるインピーダンス変成後のインピーダンスが領域Ｐ６に入るようなリアクタンス値Ｌ２が格納されている。
図２に示すように、領域Ｐ５の下端のインピーダンスは、領域Ｐ６の上端のインピーダンスに変成され、領域Ｐ５の上端のインピーダンスは、領域Ｐ６の下端のインピーダンスに変成される。
したがって、領域Ｐ５の範囲に含まれている任意の点のインピーダンスは、領域Ｐ６の範囲内の任意の点のインピーダンスに変成される。
【００２７】
信号源１から出力された信号の周波数で４分の１波長の電気長を有する第２の伝送線路１３は、第２の可変リアクタンス素子１４によるインピーダンス変成後のインピーダンスをインピーダンス変成する。
これにより、領域Ｐ６に存在しているインピーダンスは、図２に示すように、領域Ｐ７に入るように変成される。
【００２８】
第１の可変リアクタンス素子１２のリアクタンス値Ｌ１は、制御回路１６のＤ／Ａコンバータ２０から出力された制御信号Ｃ１が示すリアクタンス値に設定される。
第１の可変リアクタンス素子１２は、制御回路１６により設定されたリアクタンス値Ｌ１によって、第２の伝送線路１３によるインピーダンス変成後のインピーダンスをインピーダンス変成する。
このリアクタンス値Ｌ１は、図２に示すように、第１の可変リアクタンス素子１２によるインピーダンス変成後のインピーダンスが、スミスチャートの実軸上の点Ｐ８に変成されるようなリアクタンス値である。
したがって、演算処理部１９のテーブル１９ａには、負荷３のインピーダンスＰ１毎に、第１の可変リアクタンス素子１２によるインピーダンス変成後のインピーダンスがスミスチャートの実軸上の点Ｐ８となるようなリアクタンス値Ｌ１が格納されている。
【００２９】
信号源１から出力された信号の周波数で４分の１波長の電気長を有する第１の伝送線路１１は、第１の可変リアクタンス素子１２によるインピーダンス変成後のインピーダンスをインピーダンス変成する。
これにより、点Ｐ８に存在しているインピーダンスは、図２に示すように、５０Ωの点Ｐ３に変成される。
【００３０】
第１の可変リアクタンス素子１２によるインピーダンス変成後のインピーダンスである点Ｐ８は、移相器１５による移相制御後のインピーダンスの位相範囲である領域Ｐ５の範囲によって一意に決定される。特に、点Ｐ８は、領域Ｐ５の下端の位相角によって一意に決定される。
このため、第２の伝送線路１３は、点Ｐ８のインピーダンスと同じ特性インピーダンスを有する伝送線路が用いられ、領域Ｐ５の範囲を事前に想定しておければ、第２の伝送線路１３の線路幅を一意に決定することが可能である。第２の伝送線路１３は、負荷３のインピーダンスＰ１に依らずに使用することができる。
【００３１】
第１の伝送線路１１は、点Ｐ８のインピーダンスを点Ｐ３のインピーダンスに変成する機能を有するため、第１の伝送線路１１の特性インピーダンスは、点Ｐ８のインピーダンスによって一意に決定される。
具体的には、第１の伝送線路１１の特性インピーダンスは、点Ｐ８のインピーダンスと、点Ｐ３のインピーダンスとの相乗平均値になる。
【００３２】
以上で明らかなように、この実施の形態１によれば、制御回路１６が、負荷３のインピーダンスＰ１を検出し、検出したインピーダンスＰ１に従って第１の可変リアクタンス素子１２のリアクタンス値Ｌ１、第２の可変リアクタンス素子１４のリアクタンス値Ｌ２及び移相器１５の移相量φのそれぞれを制御するように構成したので、移相器１５の移相制御が離散的な移相制御であっても、インピーダンス整合を実現することができる効果を奏する。
即ち、移相器１５は、負荷３のインピーダンスＰ１を特定の一点の位相に移相する必要はなく、一定の位相範囲を有する領域Ｐ５に入るように移相すればよいため、移相器１５の制御精度に起因するインピーダンスの不整合を解消することができる。
【００３３】
この実施の形態１では、第１の可変リアクタンス素子１２及び第２の可変リアクタンス素子１４を備えているインピーダンスチューナの例を示しているが、図４に示すように、第１の可変リアクタンス素子１２及び第２の可変リアクタンス素子１４のそれぞれが可変キャパシタであってもよい。
図４は、この発明の実施の形態１による他のインピーダンスチューナを含む信号増幅装置を示す構成図である。
【００３４】
図４では、第１の可変リアクタンス素子１２として可変キャパシタ２１が用いられ、第２の可変リアクタンス素子１４として可変キャパシタ２２が用いられている。
可変キャパシタ２１，２２としては、バラクタダイオードを用いることができる。
図４の例では、演算処理部１９のテーブル１９ａには、第１の可変リアクタンス素子１２のリアクタンス値Ｌ１として、可変キャパシタ２１の容量値が格納され、第２の可変リアクタンス素子１４のリアクタンス値Ｌ２として、可変キャパシタ２２の容量値が格納される。
【００３５】
実施の形態２．
この実施の形態２では、インピーダンスチューナが備えている移相器３０の具体的な構成例を説明する。
図５は、この発明の実施の形態２によるインピーダンスチューナの移相器３０を示す構成図である。図５において、図１及び図４と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。
移相器３０は、上記実施の形態１における移相器１５と同様に、第２の可変リアクタンス素子１４を通過してきた信号の位相を移相し、移相後の信号を出力する。
【００３６】
移相器３０は、直列に接続が可能な伝送線路３１〜４０と、伝送線路３１〜４０の中から、直列に接続する伝送線路を選択するスイッチ４１〜５０とを備えている。
制御回路１６は、スイッチ４１〜５０における伝送線路の選択を制御することで、移相器３０の移相量φを制御する。
【００３７】
伝送線路３１〜３５は、信号源１から出力された信号の周波数で２分の１波長の電気長を有する伝送線路である。
伝送線路３６は、信号源１から出力された信号の周波数で６４分の１波長の電気長を有する伝送線路である。
伝送線路３７は、信号源１から出力された信号の周波数で３２分の１波長の電気長を有する伝送線路である。
伝送線路３８は、信号源１から出力された信号の周波数で１６分の１波長の電気長を有する伝送線路である。
伝送線路３９は、信号源１から出力された信号の周波数で８分の１波長の電気長を有する伝送線路である。
伝送線路４０は、信号源１から出力された信号の周波数で４分の１波長の電気長を有する伝送線路である。
【００３８】
スイッチ４１，４２は、伝送線路３１又は伝送線路３６のいずれか一方を選択する切換スイッチである。
スイッチ４３，４４は、伝送線路３２又は伝送線路３７のいずれか一方を選択する切換スイッチである。
スイッチ４５，４６は、伝送線路３３又は伝送線路３８のいずれか一方を選択する切換スイッチである。
スイッチ４７，４８は、伝送線路３４又は伝送線路３９のいずれか一方を選択する切換スイッチである。
スイッチ４９，５０は、伝送線路３５又は伝送線路４０のいずれか一方を選択する切換スイッチである。
【００３９】
次に動作について説明する。
制御回路１６の演算処理部１９は、上記実施の形態１と同様に、移相器３０の移相量φを決定し、決定した移相量φを示す制御信号Ｃ３を移相器３０に出力する。
移相器３０のスイッチ４１〜５０は、演算処理部１９から出力された制御信号Ｃ３が示す移相量φに従って伝送線路を選択することで、移相器３０の移相量φを設定する。
図５では、移相量φが５ビットで表される移相器３０の例を示しているが、これは一例に過ぎず、移相器３０に含まれる伝送線路の数を変えれば、移相量φを表すビットの数を増減させることが可能である。
【００４０】
なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
この発明は、可変リアクタンス素子及び移相器を備えているインピーダンスチューナ及び信号増幅装置に適している。
【符号の説明】
【００４２】
１  信号源、２  インピーダンスチューナ、３  負荷、１１  第１の伝送線路、１２  第１の可変リアクタンス素子、１３  第２の伝送線路、１４  第２の可変リアクタンス素子、１５  移相器、１６  制御回路、１７  ベクトル検波器、１８  Ａ／Ｄコンバータ、１９  演算処理部、２０  Ｄ／Ａコンバータ、２１，２２  可変キャパシタ、３０  移相器、３１〜４０  伝送線路、４１〜５０  スイッチ。
【図１】
0006587780.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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