(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピクセル検出器で測定されたＸ線強度データを補正するデータ処理装置であって、
事前準備時の測定条件でなされた一様に拡散されたＸ線照射の結果得られた特定の検出器の各ピクセルの特性を記憶する特性記憶部と、
前記特定の検出器で測定された際の所望の測定条件として入力された測定条件および前記各ピクセルの特性を表す値を、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式に適用し、前記近似式の計算結果を用いて、前記入力された測定条件のもとでの前記特定の検出器に対する補正テーブルを生成する補正テーブル生成部と、
前記生成された補正テーブルを用いて、前記特定の検出器で測定されたＸ線強度データを補正する補正部と、を備えることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項２】
前記補正テーブル生成部は、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式として、本来のＸ線照射によるカウント分を表す数式とチャージシェアリングによるカウント分を表す数式とを足し合わせた数式を用いることを特徴とする請求項１記載のデータ処理装置。
【請求項３】
前記補正テーブル生成部は、前記本来のＸ線照射によるカウント分を表す近似式として、ノイズによるカウント分を表す数式とノイズ以外によるカウント分を表す数式とを足し合わせた数式を用いることを特徴とする請求項２記載のデータ処理装置。
【請求項４】
前記補正テーブル生成部は、各ピクセルに対して前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式の計算結果を用いて一様性補正または歪み補正のための補正係数を算出することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のデータ処理装置。
【請求項５】
前記補正テーブル生成部は、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式の計算結果およびカウント値の閾値を用いて不良ピクセルを特定し、前記不良ピクセルを補うための補正係数を算出することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のデータ処理装置。
【請求項６】
前記入力された測定時の測定条件には、測定装置周辺の温度が含まれることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のデータ処理装置。
【請求項７】
前記入力された測定時の測定条件には、測定に用いられるＸ線の線源の種類が含まれることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載のデータ処理装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれかに記載のデータ処理装置に記憶され前記各ピクセルの特性を求める方法であって、
特定の測定条件を変えてＸ線を前記特定の検出器に一様照射し、各ピクセルの検出値を記録するステップと、
前記記録された各ピクセルの検出値から、各ピクセルの特性を算出するステップと、を含むことを特徴とする方法。
【請求項９】
ピクセル検出器で測定されたＸ線強度データを補正するデータ処理の方法であって、
特定の検出器で測定された際の所望の測定条件として入力された測定条件、および事前準備時の測定条件でなされた一様に拡散されたＸ線照射の結果得られ予め記憶された特定の検出器の各ピクセルの特性を表す値を、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式に適用し、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式の計算結果を用いて、前記入力された測定条件のもとでの前記特定の検出器に対する補正テーブルを生成するステップと、
前記生成された補正テーブルを用いて、前記特定の検出器で測定されたＸ線強度データを補正するステップと、を含むことを特徴とする方法。
【請求項１０】
ピクセル検出器で測定されたＸ線強度データを補正するデータ処理のプログラムであって、
特定の検出器で測定された際の所望の測定条件として入力された測定条件、および事前準備時の測定条件でなされた一様に拡散されたＸ線照射の結果得られ予め記憶された特定の検出器の各ピクセルの特性を表す値を、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式に適用し、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式の計算結果を用いて、前記特定の検出器に対する補正テーブルを生成する処理と、
前記生成された補正テーブルを用いて、前記入力された測定条件のもとでの前記特定の検出器で測定されたＸ線強度データを補正する処理と、をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピクセル検出器で測定されたＸ線強度データを補正するデータ処理装置、各ピクセルの特性を求める方法ならびにデータ処理の方法およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、Ｘ線強度の測定に、フォトン・カウンティング型の半導体検出器が用いられている。このような検出器では、各ピクセル（ストリップを含む）はそれぞれ特性を有しており、Ｘ線を一様照射したとしてもピクセル毎に、ゲイン、挙動または感度に差が生じ、個々のバラツキが現れる（例えば、特許文献１参照）。【０００３】
そのため、装置メーカは、測定装置の出荷前に一定の強度の一様なＸ線を検出器に照射して、特定の測定条件に合わせて各ピクセルのゲインやカウント値の差を補正（一様性補正）する補正テーブル、不良なピクセルを排除する補正テーブルを作ったり、いくつかの測定条件で使える汎用的なテーブルを作ったりしている（例えば、特許文献２、３参照）。図１３、図１４は、それぞれ一様性補正、不良ピクセルを排除する補正をするための補正テーブルの例を模式的に示したものである。そして、従来、このような補正テーブルのセットを補正に用いている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００５／０２５９７９０号明細書
【特許文献２】米国特許第６７９２１５９号明細書
【特許文献３】米国特許第５２７２５３６号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような補正テーブルのセットは、調整時に想定している条件内でしか使えない。そして、一見、正常なピクセルでも、長時間露光するとノイズが発生したり、一様性補正時とは著しく異なるカウント値のＸ線を入射させると、補正値がずれたりすることがある。このように、当初の想定とは異なる条件で測定したいときには、装置メーカ側で装置を引き取って補正テーブルを作り直さなければならない。【０００６】
例えば、測定装置には使用温度が設定されており、使用温度の±１０℃を許容温度範囲としてこの範囲での使用であればデータが保証される。その保証範囲を１５℃以上外れた温度で使いたい場合には、測定装置を装置メーカに預け、補正テーブルを調整する。このような設置場所変更等による使用環境の温度だけでなく、Ｘ線の線源の種類、Ｘ線の管球のエネルギー（波長）、測定時のエネルギー閾値等が出荷時の想定外に変わると、新たなテーブルが必要になる。【０００７】
また、仕様の許容温度の範囲内であっても変動があるが、それを無視するかその範囲内全部で使えるように、多めに補完ピクセルを設定することがある。いずれかの条件で生じる不良ピクセルを、一貫した不良ピクセルと仮定したテーブルを用意しておけば、画像には問題がなくなるが、そのテーブルを用いたとき必要より多くピクセルのＸ線強度を用いないため非効率的である。このように、非効率的な最大公約数的なアプローチにより、条件の範囲の中で最大使えるテーブルを用意しておかねばならない。【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、補正テーブルを再設定する手間を省き、ユーザが即座に所望の条件でＸ線強度データを測定できるデータ処理装置、各ピクセルの特性を求める方法ならびにデータ処理の方法およびプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）上記の目的を達成するため、本発明のデータ処理装置は、ピクセル検出器で測定されたＸ線強度データを補正するデータ処理装置であって、特定の検出器の各ピクセルの特性を記憶する特性記憶部と、前記特定の検出器で測定された際のものとして入力された測定条件および前記各ピクセルの特性を表す値を、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式に適用し、前記近似式の計算結果を用いて、前記特定の検出器に対する補正テーブルを生成する補正テーブル生成部と、前記生成された補正テーブルを用いて、前記特定の検出器で測定されたＸ線強度データを補正する補正部と、を備えることを特徴としている。【００１０】
このように、本発明のデータ処理装置は、入力された測定条件に応じて補正テーブルを生成するため、装置メーカに測定装置を預けて補正テーブルを再設定しなくても測定条件を変更できる。その結果、ユーザは、即座に所望の条件でＸ線強度データを測定できる。【００１１】
（２）また、本発明のデータ処理装置は、前記補正テーブル生成部が、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式として、本来のＸ線照射によるカウント分を表す数式とチャージシェアリングによるカウント分を表す数式とを足し合わせた数式を用いることを特徴としている。これにより、チャージシェアリングの影響を参照して補正テーブルを生成できる。【００１２】
（３）また、本発明のデータ処理装置は、前記補正テーブル生成部が、前記本来のＸ線照射によるカウント分を表す近似式として、ノイズによるカウント分を表す数式とノイズ以外によるカウント分を表す数式とを足し合わせた数式を用いることを特徴としている。これにより、ノイズを避けてＸ線強度を測定できる。また、測定条件に応じたノイズの影響を参照して、効率的に補完ピクセルを設定できる。【００１３】
（４）また、本発明のデータ処理装置は、前記補正テーブル生成部が、各ピクセルに対して前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式の計算結果を用いて一様性補正または歪み補正のための補正係数を算出することを特徴としている。これにより、測定条件に応じて一様性補正または歪み補正ができる。【００１４】
（５）また、本発明のデータ処理装置は、前記補正テーブル生成部が、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式の計算結果およびカウント値の閾値を用いて不良ピクセルを特定し、前記不良ピクセルを補うための補正係数を算出することを特徴としている。これにより、測定条件に応じて効率的に補完ピクセルを設定できる。その結果、測定条件の変更の度に測定装置を預けて補完ピクセルを再設定する必要が無くなり、複数の条件に対して一様に補完ピクセルを設定する必要も無くなる。【００１５】
（６）また、本発明のデータ処理装置は、前記入力された測定時の測定条件には、測定装置周辺の温度が含まれることを特徴としている。これにより、測定時の温度に応じて生じるノイズのシフト等の温度の影響を参照した補正テーブルを用いてＸ線強度データを補正できる。【００１６】
（７）また、本発明のデータ処理装置は、前記入力された測定時の測定条件には、測定に用いられるＸ線の線源の種類が含まれることを特徴としている。これにより、Ｘ線源を変更する場合に、用いられるＸ線源に応じて即座に生成される補正テーブルを用いてＸ線強度データを補正できる。【００１７】
（８）また、本発明の方法は、上記（１）から（７）のいずれかに記載のデータ処理装置に記憶され前記各ピクセルの特性を求める方法であって、特定の測定条件を変えてＸ線を前記特定の検出器に一様照射し、各ピクセルの検出値を記録するステップと、前記記録された各ピクセルの検出値から、各ピクセルの特性を算出するステップと、を含むことを特徴としている。これにより、各ピクセルの特性をデータ処理装置に記憶させ、所望の測定条件に応じ、各ピクセルの特性から導かれた補正テーブルを用いてＸ線強度データを補正できる。
【００１８】
（９）また、本発明の方法は、ピクセル検出器で測定されたＸ線強度データを補正するデータ処理の方法であって、特定の検出器で測定された際のものとして入力された測定条件および予め記憶された特定の検出器の各ピクセルの特性を表す値を、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式に適用し、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式の計算結果を用いて、前記特定の検出器に対する補正テーブルを生成するステップと、前記生成された補正テーブルを用いて、前記特定の検出器で測定されたＸ線強度データを補正するステップと、を含むことを特徴としている。これにより、ユーザは、即座に所望の条件でＸ線強度データを測定できる。【００１９】
（１０）また、本発明のプログラムは、ピクセル検出器で測定されたＸ線強度データを補正するデータ処理のプログラムであって、特定の検出器で測定された際のものとして入力された測定条件および予め記憶された特定の検出器の各ピクセルの特性を表す値を、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式に適用し、前記各ピクセルでのカウント値を表す近似式の計算結果を用いて、前記特定の検出器に対する補正テーブルを生成する処理と、前記生成された補正テーブルを用いて、前記特定の検出器で測定されたＸ線強度データを補正する処理と、をコンピュータに実行させることを特徴としている。これにより、ユーザは、即座に所望の条件でＸ線強度データを測定できる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、補正テーブルを再設定する手間を省き、ユーザが即座に所望の条件でＸ線強度データを測定できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のデータ処理装置の構成を示すブロック図である。
【図２】事前に各ピクセルの特性を設定する方法を示すフローチャートである。
【図３】検出器への一様な照射の場面を示す斜視図である。
【図４】１ピクセルにおけるＸ線の積分プロファイルを示すグラフである。
【図５】複数ピクセルにおける補正後のＸ線の積分プロファイルを示すグラフである。
【図６】本発明のデータ処理装置の動作を示すフローチャートである。
【図７】本発明のデータ処理装置を用いた補正方法を示す概略図である。
【図８】得られた積分プロファイルを示すグラフである。
【図９】近似式の各項を示すグラフである。
【図１０】近似式を積分プロファイルにフィッティングした結果を示すグラフである。
【図１１】ノイズの積分プロファイルの例を示すグラフである。
【図１２】測定時間に対する不良ピクセル数を示すグラフである。
【図１３】一様性補正をするための補正テーブルの例を模式的に示す図である。
【図１４】不良ピクセルを排除する補正をするための補正テーブルの例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
次に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【００２３】
（データ処理装置の構成）
図１は、データ処理装置１００の構成を示すブロック図である。例えば、データ処理装置１００は、ＰＣで構成され測定装置に接続されている。図１に示すように、データ処理装置１００は、測定条件記憶部１１０、補正テーブル生成部１２０、特性記憶部１３０、近似式記憶部１４０、測定データ記憶部１５０、補正部１６０および出力部１７０を備えており、検出器で測定されたＸ線強度データを補正する。検出器は、ピクセル（ストリップを含む）の空間的最小単位を持つ１次元または２次元の検出器であって、電子回路ノイズを閾値で除去して光子をカウントするものである。
【００２４】
測定条件記憶部１１０は、入力された測定時の測定条件を記憶する。入力は、測定装置から自動で行われてもよいし、ユーザによる手入力であってもよい。例えば、入力された測定時の測定条件には、測定装置周辺の温度が含まれる。これにより、測定時の温度に応じて生じるノイズのシフト等の温度の影響を参照してＸ線強度データを補正できる。また、測定時の測定条件は、Ｘ線の線源の種類であってもよい。その結果、Ｘ線源を変更する場合でもＸ線源に応じて即座にＸ線強度データを補正できる。その他、測定時の測定条件に気圧や湿度を含めてもよい。
【００２５】
補正テーブル生成部１２０は、検出器で測定された際のものとして入力された測定条件および各ピクセルの特性を表す値を、各ピクセルでのカウント値を表す近似式に適用し、近似式の計算結果を用いて、検出器に対する補正テーブルを生成する。これにより、装置メーカに測定装置を預けて補正テーブルを再設定しなくても測定条件を変更できる。その結果、ユーザは、即座に所望の条件でＸ線強度データを測定できる。
【００２６】
なお、本実施形態では、Ｘ線強度を検出する検出器と、ピクセルの特性が補正テーブルの生成に用いられる検出器とが同一であり（特定の検出器）、その補正テーブルを用いて検出されたＸ線強度が補正される。
【００２７】
補正テーブル生成部１２０は、各ピクセルでのカウント値を表す近似式として、本来のＸ線照射によるカウント分を表す数式とチャージシェアリングによるカウント分を表す数式とを足し合わせた数式を用いている。さらに、本来のＸ線照射によるカウント分を表す近似式は、ノイズによるカウント分を表す数式とノイズ以外によるカウント分を表す数式とを足し合わせた数式となっている。これにより、ノイズによるカウント分を除去するとともに、チャージシェアリングの影響を反映したＸ線強度を測定できる。また、ノイズの影響を参照して、効率的に補完ピクセルを設定できる。
【００２８】
補正テーブル生成部１２０は、各ピクセルに対して近似式の計算結果を用いて一様性補正または歪み補正のための補正係数を算出する。これにより、測定条件に応じて一様性補正または歪み補正ができる。
【００２９】
補正テーブル生成部１２０は、近似式の計算結果およびカウント値の閾値を用いて補完ピクセルを特定し、補完ピクセルを補うための補正係数を算出する。これにより、測定条件に応じて効率的に補完ピクセルを設定できる。その結果、測定条件の変更の度に測定装置を預けて補完ピクセルを再設定する必要が無くなり、複数の条件に対して一様に補完ピクセルを設定する必要も無くなる。なお、補完ピクセルとは、不良ピクセルであることからそのピクセルが検出する値を利用せず、何らかの方法でそのピクセルの値を補完する対象のピクセルを指す。
【００３０】
特性記憶部１３０は、検出器の各ピクセルの特性を記憶する。各ピクセルの特性を求める方法については後述する。近似式記憶部１４０は、補正テーブル生成の際に利用する近似式を記憶する。近似式としては、例えば、ノイズによるカウント分をガウシアンで表し、本来のＸ線照射によるカウント分のうち、ノイズ以外によるカウント分をエラーファンクションで表し、チャージシェアリングによるカウント分を一次関数で表すことができる。詳細は後述する。
【００３１】
測定データ記憶部１５０は、測定されたデータを記憶する。測定データは、例えば、測定装置から送出されたデータをデータ処理装置１００が受信し、測定データ記憶部１５０に記憶される。
【００３２】
補正部１６０は、生成された補正テーブルを用いて、検出器で測定されたＸ線強度データを補正する。本実施形態では、補正テーブルは単一のテーブルに集約され、その補正テーブルのみを用いれば容易に補正できる。ただし、複数のテーブルを保持しておき、複合的に用いてもよい。出力部１７０は、補正後のＸ線強度データを出力する。
【００３３】
（事前準備の方法）
次に、予め検出器のピクセル毎に特性を準備する方法を説明する。図２は、事前に各ピクセルの特性を設定する方法を示すフローチャートである。まず、測定条件を変えてＸ線を検出器に一様照射し、各ピクセルの検出値を記録し、記録された検出値を用いて、ピクセル毎のベースラインを測定する（ステップＳ１）。ベースラインは、例えば、他のピクセルも含めて求められた平均値である。
【００３４】
次に、標準温度でのピクセル固有のベースラインをデータベースから読み込み（ステップＳ２）、ベースラインのシフトを算出する（ステップＳ３）。一方、データベースからピクセル固有の熱特性を読みこみ（ステップＳ４）、ベースラインのシフトを戻すパラメータ（特性）を算出する（ステップＳ５）。このようにして、記録された各ピクセルの検出値から、各ピクセルの特性を算出して用い、得られたパラメータを特性記憶部に記憶し、設定する（ステップＳ６）。これにより、データ処理装置に記憶させた各ピクセルの特性を用いて、所望の測定条件に応じたＸ線強度の補正が可能になる。
【００３５】
（一様照射）
上記の一様照射について説明する。図３は、検出器２２０への一様な照射の場面を示す斜視図である。Ｘ線の一様照射は、例えば、図３に示すような拡散板２１０で一様に拡散させたＸ線ビームＢ１を検出器２２０に向けて照射することで行うことができる。このようにして、ピクセル毎にＸ線の積分プロファイルを得ることができる。
【００３６】
図４は、１ピクセルにおけるＸ線の積分プロファイルを示すグラフである。図４のグラフでは、横軸にエネルギー、縦軸にカウント値をとったグラフであり、高エネルギー側から積算されたカウント値が表示されている。したがって、カウント値が急上昇する位置がＸ線のエネルギーのピーク位置を表し、閾値における曲線の高さが積算カウント値を表している。また、低エネルギー側には、飽和により上端の切れた左右対称の形状（Ｒｉｃｅ分布）でノイズが現れており、その中心位置がゼロ点となる。
【００３７】
図５は、複数ピクセルにおける補正後のＸ線の積分プロファイルを示すグラフである。補正は、複数のピクセルにおける感度差、ゲイン差、ゼロ点誤差等を小さくしている。図５に示す例では、補正の結果、閾値における各ピクセルの積算カウント値の強度差が小さくなっている。
【００３８】
（データ処理装置の動作）
上記のようにして得られたピクセル毎の特性を用いて、測定条件に応じた補正テーブルを準備することができる。図６は、データ処理装置１００の動作を示すフローチャートである。
【００３９】
図６に示すように、まず、データ処理装置１００に測定条件の入力がなされる（ステップＴ１）。そして、予めピクセル毎に準備された特性および測定条件の下で得られた近似式をＸ線強度データにフィッティングさせる（ステップＴ２）。これにより、各ピクセルの一様性補正の補正係数が得られる。
【００４０】
次に、各ピクセルについて補完ピクセルとして設定すべきか否かを判定する（ステップＴ３）。判定は、例えば、閾値以上のエネルギーの範囲にノイズの分布が重なるか否かで行う。その場合に、閾値にノイズがかかるようであれば、そのピクセルの情報を使えないため、補完ピクセルの設定をすべきと判定できる。
【００４１】
このようにして、補完ピクセルの設定をすべきと判定する場合には、そのピクセルについては、Ｘ線強度を取らずに周囲のピクセルで補うように補正テーブルを設定する（ステップＴ４）。補完ピクセルの設定をすべきでないと判定する場合には、ステップＴ５に進む。そして、得られた補正テーブルを用いてＸ線強度を補正する（ステップＴ５）。なお、上記のような動作は装置にプログラムを実行させることで可能となる。
【００４２】
（補正方法の概略）
図７は、データ処理装置を用いた補正方法を示す概略図である。図７に示すように、検出器の各ピクセルの特性および検出器で測定された際のゲイン、ＲＩＣＥ位置、温度、τ（数え落としの時定数）等の測定条件を用いて各ピクセルでのカウント値を表す近似式を算出する。そして、近似式をＸ線強度にフィッティングすることで、検出器に対する補正テーブルＣ１を生成する。そして、生成された補正テーブルＣ１を用いて、検出器で測定されたＸ線強度データＭ１を補正し、補正後データＭ２を得ることができる。
【００４３】
（フィッティング）
以下に近似式を用いて補正係数を算出する際のフィッティングについて説明する。図８は、得られた積分プロファイルを示すグラフである。図８に示すように、積分プロファイルは、温度、検出器の不感層厚のバラツキ、Ｘ線源の種類等により、シフトする。例えば、ゼロ点は温度によりシフトし、カウンティングレートは温度や不感層厚のバラツキにより変化し、ゲインは温度により変化する。また、積分プロファイルは、気圧、湿度等にも影響されうる。例えば、気圧が変わるとＸ線源から検出器までのＸ線の吸収率が変わるため、気圧が高い場合にはカウント強度が小さくなり、気圧が低い場合にはカウント強度が大きくなる。
【００４４】
このような積分プロファイルは、近似式で表すことができる。図９は、近似式の各項を示すグラフである。例えば、ノイズによるカウント分は、数式（１）に示すようなガウシアンで近似できる。また、本来のＸ線照射によるカウント分のうち、ノイズ以外によるカウント分は、数式（２）に示すようなエラーファンクション（相補誤差関数）で近似できる。また、チャージシェアリングによるカウント分は、数式（３）に示す一次関数で近似できる。なお、上記の数式は代表例であって、各カウント分を表す数式は必ずしもこれらに限定されるわけではない。
【００４５】
【数１】
0006524473.tif 000002
【数２】
0006524473.tif 000003
【数３】
0006524473.tif 000004
【００４６】
例えば、数式（２）、（３）を用いて、本来のＸ線照射によるカウント分を数式（４）のように表すことができる。この場合、チャージシェアリングにより生じた検出分を、高エネルギー側にあるピークのエネルギーと対象とするエネルギーとの差の一次関数として評価している。なお、対象とするエネルギーとは、チャージシェアリングが生じた検出分を算出しようとするエネルギーである。
【数４】
0006524473.tif 000005
【００４７】
Ｘ線検出器のピクセル毎に、高エネルギー側にある回折データのチャージシェアリングにより検出が想定される回折データを重ね合わせることでチャージシェアリングを評価し、本来のＸ線照射によるカウント分を、数式（５）のように表すこともできる。チャージシェアリングが生じた検出分をこのように算出することで、正確な評価だけでなく、ピクセル形状等によらずにチャージシェアによるＸ線プロファイル形状を再現できるという効果も得られる。
【数５】
0006524473.tif 000006
【００４８】
図１０は、近似式を積分プロファイルにフィッティングした結果を示すグラフである。図１０のように、ガウシアンＧ、エラーファンクションＥｒｆ、一次関数Ｌｆを足し合わせた近似式のプロファイルＣｏを実験結果のプロファイルＥｘにフィッティングすることができる。その際に得られる係数により、補正係数を求め、補正テーブルを生成できる。
【００４９】
（ノイズへの対応）
以下にノイズへの対応を説明する。図１１は、ノイズの積分プロファイルの例を示すグラフである。図１１に示すように、１０秒露光した場合のノイズの影響を受けない位置（裾野の端）に設けた閾値であっても、２０秒露光した場合のノイズについては、影響を受ける範囲に入ってしまう。このようにして、閾値の位置次第でピクセルが補完ピクセルの設定対象となる。
【００５０】
図１２は、測定時間に対する不良ピクセル数を示すグラフである。上記のように露光時間が増加すればするほど、同じ位置の閾値でもノイズのプロファイルに重なってしまう。図１２に示されているように、測定時間が増加するとともに不良ピクセルも増加し、それを補う補正テーブルを提供できる。
【符号の説明】
【００５１】
１００  データ処理装置
１１０  測定条件記憶部
１２０  補正テーブル生成部
１３０  特性記憶部
１４０  近似式記憶部
１５０  測定データ記憶部
１６０  補正部
１７０  出力部
２１０  拡散板
２２０  検出器
Ｂ１  Ｘ線ビーム
Ｃ１  補正テーブル
Ｃｏ  近似式のプロファイル
Ｅｒｆ  エラーファンクション
Ｅｘ  実験結果のプロファイル
Ｇ  ガウシアン
Ｌｆ  一次関数
Ｍ１  Ｘ線強度データ
Ｍ２  補正後データ
【図１】
0006524473.tif 000007
【図２】
0006524473.tif 000008
【図３】
0006524473.tif 000009
【図４】
0006524473.tif 000010
【図５】
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【図６】
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【図７】
0006524473.tif 000013
【図８】
0006524473.tif 000014
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0006524473.tif 000019
【図１４】
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