(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
並んで配置されて延在する一対の振動腕部と、
前記一対の振動腕部の基端同士を接続する基部と、
前記一対の振動腕部に形成され、前記振動腕部の厚み方向に凹むとともに、前記振動腕部の長手方向に沿って延在する溝部と、
前記溝部の底部に形成され、前記振動腕部の厚み方向に突出する複数の突起部と、
を備え、
前記突起部の周辺における前記溝部の底部は、隣り合う前記突起部同士の中間部における溝部の底部よりも浅く、
前記複数の突起部は、前記溝部の先端から基端に向かうにしたがい、隣り合う前記突起部同士の間隔が狭まるように配置されていることを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
並んで配置されて延在する一対の振動腕部と、
前記一対の振動腕部の基端同士を接続する基部と、
前記一対の振動腕部に形成され、前記振動腕部の厚み方向に凹むとともに、前記振動腕部の長手方向に沿って延在する溝部と、
前記溝部の底部に形成され、前記振動腕部の厚み方向に突出する複数の突起部と、を備え、
さらに、前記溝部は、前記振動腕部の幅方向両側に形成された一対の側壁面を備え、
前記一対の側壁面のうち、一方の前記側壁面は、他方の前記側壁面よりも、前記振動腕部の厚み方向に対して大きく傾斜し、
前記複数の突起部は、前記振動腕部の幅方向における前記溝部の中央部よりも前記他方の側壁面側に形成されている、
ことを特徴とする圧電振動片。
【請求項３】
並んで配置されて延在する一対の振動腕部と、
前記一対の振動腕部の基端同士を接続する基部と、
前記一対の振動腕部に形成され、前記振動腕部の厚み方向に凹むとともに、前記振動腕部の長手方向に沿って延在する溝部と、
前記溝部の底部に形成され、前記振動腕部の厚み方向に突出する複数の突起部と、を備え、
前記複数の突起部は、前記振動腕部の主面よりも低く形成されている、
ことを特徴とする圧電振動片。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の圧電振動片を備えることを特徴とする圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片および圧電振動片に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等に用いられるデバイスとして、水晶等を利用した圧電振動子が用いられる。この種の圧電振動子として、キャビティが形成されたパッケージ内に圧電振動片を気密封止したものが知られている。
【０００３】
圧電振動片としては、クリスタルインピーダンス（以下、「ＣＩ値」という。）を低減させるために、並んで配置された一対の振動腕部に、溝部が形成されたものが知られている。例えば、特許文献１に記載の圧電振動片は、基部と、基部から延びる少なくとも１本の腕部と腕部の先端に形成され腕部より幅が広い錘部とを有する振動腕（請求項における「振動腕部」に相当。）と、を備え、振動腕は、振動腕の延びる方向に沿って形成され、一対の振動腕の並ぶ方向に切断した振動腕の断面形状が、Ｈ字状となる溝部を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１８２０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の圧電振動片にあっては、溝部を設けることにより振動腕部の断面積が減少するため、振動腕部の強度が低下する。したがって、従来の圧電振動片にあっては、溝部を設けることでＣＩ値を低減させつつ、振動腕部の強度を向上させるという点で改善の余地がある。
【０００６】
そこで本発明は、ＣＩ値を低減させつつ、振動腕部の強度を向上することができる圧電振動片および圧電振動子を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の圧電振動片は、並んで配置されて延在する一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部の基端同士を接続する基部と、前記一対の振動腕部に形成され、前記振動腕部の厚み方向に凹むとともに、前記振動腕部の長手方向に沿って延在する溝部と、前記溝部の底部に形成され、前記振動腕部の厚み方向に突出する複数の突起部と、を備えることを特徴とする。
本発明によれば、溝部に突起部を設けることで、溝部形成時のエッチングマスクの開口面積が減少するため、溝部形成時において突起部周辺のエッチングレートが低下し、突起部周辺における溝部の深さを浅くすることができる。このため、突起部を形成した位置において振動腕部の断面積を増加させることができる。したがって、溝部を設けることでＣＩ値を低減させつつ、振動腕部の強度を向上させることができる。
【０００８】
上記の圧電振動片において、前記複数の突起部は、前記振動腕部の長手方向に沿って並んで配置されている、ことが望ましい。
本発明によれば、複数の突起部を振動腕部の長手方向に沿って並んで配置することで、複数の突起部の配置方向と溝部の長手方向とが一致するため、振動腕部のうち溝部が形成された部分の強度を一様に向上させることができる。
【０００９】
上記の圧電振動片において、前記複数の突起部は、前記溝部の先端から基端に向かうにしたがい、隣り合う前記突起部同士の間隔が狭まるように配置されている、ことが望ましい。
屈曲する振動腕部に作用する応力は、先端から基端に向かうにしたがい大きくなる。本発明によれば、複数の突起部が、溝部の先端から基端に向かうにしたがい密になるように配置されているため、振動腕部の強度を先端から基端に向かうにしたがい高めることができる。したがって、振動腕部の強度をより向上させることができる。
【００１０】
上記の圧電振動片において、前記溝部は、前記振動腕部の幅方向両側に形成された一対の側壁面を備え、前記一対の側壁面のうち、一方の前記側壁面は、他方の前記側壁面よりも、前記振動腕部の厚み方向に対して大きく傾斜し、前記複数の突起部は、前記振動腕部の幅方向における前記溝部の中央部よりも前記他方の側壁面側に形成されている、ことが望ましい。
一方の側壁面は、他方の側壁面よりも振動腕部の厚み方向に対する傾斜角が大きいため、振動腕部の幅方向の両側に位置する側壁の厚さは、一方の側壁面を有する側壁よりも、他方の側壁面を有する側壁のほうが薄くなる。このため、振動腕部の断面積は、幅方向中央部を挟んで両側で差異が生じ、振動腕部の強度も幅方向中央部を挟んで両側で差異が生じる。本発明によれば、突起部を溝部の中央部よりも他方の側壁面側に形成しているため、振動腕部の断面積を、幅方向中央部を挟んで両側で同等とすることができる。したがって、振動腕部の強度を、幅方向中央部を挟んで両側で同等とすることができ、振動腕部の強度をより向上させることができる。
【００１１】
上記の圧電振動片において、前記複数の突起部は、前記振動腕部の主面よりも低く形成されている、ことが望ましい。
本発明によれば、突起部が振動腕部の主面よりも低く形成されているため、溝部内での凹凸が小さくなる。これにより、振動腕部の表面に設けられる電極膜をパターニングする際に、フォトレジストが溝部の底部に入り込みやすくなる。したがって、圧電振動片の製造効率を向上させることができる。
【００１２】
本発明の圧電振動子は、上記の圧電振動片を備えることを特徴とする。
本発明によれば、上述の圧電振動片を備えているため、ＣＩ値を低減させつつ、振動腕部の強度を向上させた圧電振動子が得られる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、溝部に突起部を設けることで、溝部形成時のエッチングマスクの開口面積が減少するため、溝部形成時において突起部周辺のエッチングレートが低下し、突起部周辺における溝部の深さを浅くすることができる。このため、突起部を形成した位置において振動腕部の断面積を増加させることができる。したがって、溝部を設けることでＣＩ値を低減させつつ、振動腕部の強度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】圧電振動子の外観斜視図である。
【図２】圧電振動子の内部構成図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。
【図４】圧電振動子の分解斜視図である。
【図５】圧電振動片の平面図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線における断面図である。
【図７】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線における断面図である。
【図８】第１変形例の圧電振動片の説明図であり、図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線に相当する部分における断面図である。
【図９】第２変形例の圧電振動片の説明図であり、図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線に相当する部分における断面図である。
【図１０】第３変形例の圧電振動片の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
（圧電振動子）
図１は、圧電振動子の外観斜視図である。図２は、圧電振動子の内部構成図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。図４は、圧電振動子の分解斜視図である。
【００１６】
図１〜４に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、内部に気密封止されたキャビティＣを有するパッケージ２と、キャビティＣ内に収容された圧電振動片３と、を備えたセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子とされている。
なお、圧電振動子１は、概略直方体状に形成されており、本実施形態では平面視において圧電振動子１の長手方向を長手方向Ｌといい、短手方向を幅方向Ｗといい、これら長手方向Ｌおよび幅方向Ｗに対して直交する方向を厚み方向Ｔという。
【００１７】
パッケージ２は、パッケージ本体５と、パッケージ本体５に対して接合されるとともに、パッケージ本体５との間にキャビティＣを形成する封口板６と、を備えている。
パッケージ本体５は、互いに重ね合わされた状態で接合された第１ベース基板１０および第２ベース基板１１と、第２ベース基板１１上に接合されたシールリング１２と、を備えている。
【００１８】
第１ベース基板１０および第２ベース基板１１の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部１５が、両ベース基板１０，１１の厚み方向の全体に亘って形成されている。これら第１ベース基板１０および第２ベース基板１１は、例えばウエハ状のセラミック基板を２枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、切欠部１５となる。
【００１９】
なお、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１はセラミックス製としたが、その具体的なセラミックス材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミックス製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。
【００２０】
第１ベース基板１０の上面は、キャビティＣの底面に相当する。
第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０に重ねられており、第１ベース基板１０に対して焼結などにより結合されている。すなわち、第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０と一体化されている。
【００２１】
第２ベース基板１１には、貫通部１１ａが形成されている。貫通部１１ａは、四隅が丸みを帯びた平面視長方形状に形成されている。貫通部１１ａの内側面は、キャビティＣの側壁の一部を構成している。貫通部１１ａの幅方向Ｗ両側の内側面には、内方に突出する実装部１４Ａ，１４Ｂが設けられている。実装部１４Ａ，１４Ｂは、貫通部１１ａの長手方向Ｌの略中央に形成されている。
【００２２】
シールリング１２は、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材であり、第２ベース基板１１の上面に接合されている。具体的には、シールリング１２は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって第２ベース基板１１上に接合、あるいは、第２ベース基板１１上に形成（例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタリング等により）された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。
【００２３】
シールリング１２の材料としては、例えばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、４２−アロイ等から選択すれば良い。特に、シールリング１２の材料としては、セラミックス製とされている第１ベース基板１０および第２ベース基板１１に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。例えば、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１として、熱膨張係数６．８×１０-6／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング１２としては、熱膨張係数５．２×１０-6／℃のコバールや、熱膨張係数４．５〜６．５×１０-6／℃の４２−アロイを用いることが好ましい。
【００２４】
封口板６は、シールリング１２上に重ねられた導電性基板であり、シールリング１２に対する接合によってパッケージ本体５に対して気密に接合されている。封口板６、シールリング１２、第２ベース基板１１の貫通部１１ａ、および第１ベース基板１０の上面により画成された空間は、気密に封止されたキャビティＣとして機能する。
【００２５】
封口板６の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板６とシールリング１２との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板６の下面と、シールリング１２の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。
【００２６】
第２ベース基板１１の実装部１４Ａ，１４Ｂの上面には、圧電振動片３との接続電極である一対の電極パッド２０Ａ，２０Ｂが形成されている。また、第１ベース基板１０の下面には、一対の外部電極２１Ａ，２１Ｂが長手方向Ｌに間隔をあけて形成されている。電極パッド２０Ａ，２０Ｂおよび外部電極２１Ａ，２１Ｂは、例えば蒸着やスパッタリング等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜であり、不図示の配線を介して互いにそれぞれ導通している。
【００２７】
（圧電振動片）
図５は、圧電振動片の平面図である。
図５に示すように、圧電振動片３は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。なお、以下の説明では、圧電材料として水晶を例に挙げて説明する。また、圧電振動子１の長手方向Ｌ、幅方向Ｗおよび厚み方向Ｔは、圧電振動片３の長手方向、幅方向および厚み方向と一致している。したがって、以下の説明では、圧電振動片３の長手方向、幅方向および厚み方向の各方向について、圧電振動子１の長手方向Ｌ、幅方向Ｗおよび厚み方向Ｔの各方向と同一の符号を付して説明する。
【００２８】
圧電振動片３は、一対の振動腕部（第１振動腕部３１および第２振動腕部３２）と、基部３５と、一対の支持腕部（第１支持腕部３３および第２支持腕部３４）と、を備えている。
各振動腕部３１，３２は、長手方向Ｌに延在するとともに幅方向Ｗに並んで配置されている。各振動腕部３１，３２は、基端３１ｂ，３２ｂを固定端として、先端３１ａ，３２ａを自由端として振動する。各振動腕部３１，３２は、例えば、先端３１ａ，３２ａの幅寸法が基端３１ｂ，３２ｂに比べて拡大された、いわゆるハンマーヘッドタイプであって、各振動腕部３１，３２の先端３１ａ，３２ａの重量および振動時の慣性モーメントが増大させられている。これによって、各振動腕部３１，３２は振動し易くなり、各振動腕部３１，３２の長さを短くすることができ、小型化が図られている。なお、本実施形態ではハンマーヘッドタイプの各振動腕部３１，３２を例に説明するが、各振動腕部３１，３２は、ハンマーヘッドタイプに限定されるものではない。
【００２９】
図６は、図５のＶＩ−ＶＩ線における断面図である。
図６に示すように、各振動腕部３１，３２には、溝部３７が形成されている。溝部３７は、各振動腕部３１，３２の両主面３１ｃ，３２ｃ上において、厚み方向Ｔに凹むとともに、長手方向Ｌに沿って延在している（図５参照）。なお、各振動腕部３１，３２の両主面３１ｃ，３２ｃ上に形成された４個の溝部３７は、それぞれ同様に形成されているため、以下の説明では、第１振動腕部３１の一方主面３１ｃ上に形成された溝部３７について説明する。
【００３０】
溝部３７は、長手方向Ｌから見て、幅方向Ｗ両側に位置する一対の側壁面３８と、底部３９と、により規定されている。一対の側壁面３８は、幅方向Ｗの一方側に位置し、水晶結晶の結晶面により厚み方向Ｔに対して傾斜した第１側壁面３８ａと、幅方向Ｗの他方側に位置し、厚み方向Ｔに沿うように形成された第２側壁面３８ｂと、を有する。底部３９は、第１側壁面３８ａに接続する第１底面３９ａと、第２側壁面３８ｂに接続する第２底面３９ｂと、により長手方向Ｌから見てＶ字状とされている。第１底面３９ａおよび第２底面３９ｂは、それぞれ水晶結晶の結晶面となっている。
【００３１】
図５に示すように、溝部３７には、複数の突起部４０が形成されている。複数の突起部４０は、溝部３７の先端から基端に亘って配置されている。複数の突起部４０は、溝部３７の側壁面３８（図６参照）から離間した状態で、長手方向Ｌに沿って略等間隔に一列に並んで配置されている。突起部４０の頂部４１は、平面視円形状に形成され、溝部３７の幅方向Ｗ中央部に位置するように配置されている。なお、突起部４０の頂部４１の平面視形状は円形状に限定されず、例えば矩形状であってもよい。
【００３２】
図７は、図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線における断面図である。
図７に示すように、突起部４０は、溝部３７の底部３９に形成され、厚み方向Ｔに突出している。突起部４０の頂部４１は、第１振動腕部３１の一方主面３１ｃと同一平面上に位置している。長手方向Ｌから見て、突起部４０の幅方向Ｗにおける一方側の側面は、第１底面３９ａに接続する下半部が第２底面３９ｂと略平行に形成されるとともに、頂部４１に接続する上半部が第２側壁面３８ｂと略平行に形成されている。また、長手方向Ｌから見て、突起部４０の幅方向Ｗにおける他方側の側面は、第２底面３９ｂに接続する下半部が第１底面３９ａと略平行に形成されるとともに、頂部４１に接続する上半部が第１側壁面３８ａと略平行に形成されている。
【００３３】
図５に示すように、突起部４０の周辺では、他の領域と比較して、溝部３７の開口面積が減少する。このため、溝部３７を形成する際に、例えばウェットエッチングにより溝部３７を形成すると、突起部４０が形成される領域の周辺においてエッチングマスクの開口面積が局所的に狭くなり、エッチングレートが低下する傾向にある。これにより、図７に示す突起部４０周辺における溝部３７の底部３９は、図６に示す隣り合う突起部４０同士の中間部における溝部３７の底部３９よりも浅くなっている。
【００３４】
図６および図７に示すように、各振動腕部３１，３２の表面上には、各振動腕部３１，３２を幅方向Ｗに振動させる２系統の第１励振電極５１および第２励振電極５２が設けられている。具体的に、第１励振電極５１は、第１振動腕部３１の溝部３７上および突起部４０上と、第２振動腕部３２の両側面上と、に設けられている。第２励振電極５２は、第１振動腕部３１の両側面上と、第２振動腕部３２の溝部３７上および突起部４０上と、に設けられている。各励振電極５１，５２は、互いに電気的に絶縁された状態でパターニングされ、各振動腕部３１，３２を所定の周波数で振動させることができるように配設されている。
【００３５】
図５に示すように、基部３５は、各振動腕部３１，３２の基端３１ｂ，３２ｂ同士を一体に接続している。基部３５は、各振動腕部３１，３２よりも外側まで幅方向Ｗに延在している。
各支持腕部３３，３４は、基部３５の幅方向Ｗ両端部にそれぞれ一体に接続されている。各支持腕部３３，３４は、長手方向Ｌに沿って互いに平行に延在している。
【００３６】
各支持腕部３３，３４の表面には、圧電振動片３をパッケージ２に実装する際のマウント部として、不図示のマウント電極がそれぞれ設けられている。各マウント電極は、各支持腕部３３，３４の先端付近に配置されている。
２系統のマウント電極と、各励振電極５１，５２（図６参照）とは、不図示の引き回し電極によりそれぞれ導通されている。引き回し電極は、各支持腕部３３，３４のそれぞれから、基部３５を経由して各振動腕部３１，３２に至る経路に形成されている。
【００３７】
図２〜４に示すように、上記のように構成された圧電振動片３は、気密封止されたパッケージ２のキャビティＣ内に収容されている。圧電振動片３の各マウント電極（不図示）は、パッケージ２の実装部１４Ａ，１４Ｂに設けられた２つの電極パッド２０Ａ，２０Ｂに、それぞれ導電性接着剤を介して電気的および機械的に接合されている。これにより、圧電振動片３は、基部３５を介して、各振動腕部３１，３２の基端３１ｂ，３２ｂが片持ち支持される。
【００３８】
なお、各マウント電極を電極パッド２０Ａ，２０Ｂに接合する導電性接合材として、導電性接着剤の代わりに金属バンプを使用することも可能である。導電性接着剤と金属バンプの共通点は、接合初期の段階において流動性を持ち、接合後期の段階において固化して接合強度を発現する性質の導電性接合材であるということである。
【００３９】
外部電極２１Ａ，２１Ｂ（図３参照）に所定の電圧が印加されると、各励振電極５１，５２に電流が流れ、各励振電極５１，５２間に電界が発生する。各振動腕部３１，３２は、各励振電極５１，５２間に発生する電界による逆圧電効果によって例えば互いに接近、離間する方向（幅方向Ｗ）に所定の共振周波数で振動する。各振動腕部３１，３２の振動は、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源などとして用いられる。
【００４０】
このように、本実施形態の圧電振動片３は、各振動腕部３１，３２に形成され、厚み方向Ｔに凹むとともに、長手方向Ｌに沿って延在する溝部３７と、溝部３７の底部３９に形成され、厚み方向Ｔに突出する複数の突起部４０と、を備えている。
この構成によれば、溝部３７に突起部４０を設けることで、溝部３７を形成する際のエッチングマスクの開口面積が減少するため、溝部３７の形成時において突起部４０周辺のエッチングレートが低下し、突起部４０周辺における溝部３７の深さを浅くすることができる。このため、突起部４０を形成した位置において各振動腕部３１，３２の断面積を増加させることができる。したがって、溝部３７を設けることでＣＩ値を低減させつつ、各振動腕部３１，３２の強度を向上させることができる。
【００４１】
しかも、突起部４０を溝部３７の側壁面３８から離間した状態で配置しているため、振動腕部の強度を高めるために、溝部内を幅方向に横断するように突起部を形成する構成と比較して、側壁面３８の面積の減少を抑制できる。これにより、溝部３７の側壁面３８上における各励振電極５１，５２の面積を大きく確保でき、各振動腕部３１，３２の側面上に設けられた各励振電極５１，５２との間に生じる電界を大きくすることができるので、ＣＩ値が上昇することを抑制できる。
【００４２】
さらに、突起部４０が複数個に分かれて溝部３７に形成されているため、例えば突起部が溝部の長手方向に沿って延在する構成と比較して、溝部３７の開口面積が増加する。このため、各励振電極５１，５２をパターニングする際に塗布するフォトレジストが、溝部３７内に入り込みやすくなる。したがって、圧電振動片３の製造効率を向上させることができる。
【００４３】
また、複数の突起部４０は、長手方向Ｌに沿って並んで配置されている。これにより、複数の突起部４０の配置方向と、溝部３７の長手方向と、が一致するため、溝部３７が形成された部分の強度を一様に向上させることができる。
【００４４】
本実施形態の圧電振動子１は、圧電振動片３を備えているため、ＣＩ値を低減させつつ、各振動腕部３１，３２の強度を向上させることができる。
【００４５】
［第１変形例］
（圧電振動片）
次に、本実施形態の第１変形例について説明する。
図８は、第１変形例の圧電振動片の説明図であり、図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線に相当する部分における断面図である。
図７に示す実施形態では、突起部４０は、その頂部４１が溝部３７の幅方向Ｗ中央部に位置するように配置されていた。これに対して、図８に示す第１変形例では、突起部４０は、その頂部４１が溝部３７の幅方向Ｗ中央部よりも第２側壁面３８ｂ側に位置するように配置されている点で、図７に示す実施形態と異なっている。なお、図７に示す実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００４６】
図８に示すように、複数の突起部４０は、幅方向Ｗにおける溝部３７の中央部よりも第２側壁面３８ｂ側に形成されている。
ここで、第１側壁面３８ａは、第２側壁面３８ｂよりも厚み方向Ｔに対する傾斜角が大きいため、幅方向Ｗの両側に位置する側壁の厚さは、第１側壁面３８ａを有する側壁よりも、第２側壁面３８ｂを有する側壁のほうが薄くなる。このため、各振動腕部３１，３２の断面積は、幅方向Ｗの中央部を挟んで両側で差異が生じ、各振動腕部３１，３２の強度も幅方向Ｗの中央部を挟んで両側で差異が生じる。
上記構成によれば、突起部４０を溝部３７の中央部よりも第２側壁面３８ｂ側に形成しているため、各振動腕部３１，３２の断面積を幅方向Ｗの中央部を挟んで両側で同等とすることができる。したがって、各振動腕部３１，３２の強度を幅方向Ｗの中央部を挟んで両側で同等とすることができ、各振動腕部３１，３２の強度をより向上させることができる。
【００４７】
さらに、各振動腕部３１，３２の断面積が幅方向Ｗの中央部を挟んで両側で同等となることで、各振動腕部３１，３２は幅方向Ｗに対称に振動するようになる。これにより、各振動腕部３１，３２の振動のブレが抑制され、振動を安定させることができる。したがって、圧電振動片の振動特性を向上させることができる。
【００４８】
［第２変形例］
（圧電振動片）
次に、本実施形態の第２変形例について説明する。
図９は、第２変形例の圧電振動片の説明図であり、図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線に相当する部分における断面図である。
図７に示す実施形態では、突起部４０の頂部４１が、各振動腕部３１，３２の主面３１ｃ，３２ｃと同一平面上に位置していた。これに対して、図９に示す第２変形例では、突起部１４０の頂部１４１が、各振動腕部３１，３２の主面３１ｃ，３２ｃよりも低く形成されている点で、図７に示す実施形態と異なっている。なお、図７に示す実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００４９】
図９に示すように、溝部３７の底部３９には、突起部１４０が形成されている。突起部１４０の頂部１４１は、各振動腕部３１，３２の主面３１ｃ，３２ｃよりも底部３９側に位置している。
上記構成によれば、突起部１４０が各振動腕部３１，３２の主面３１ｃ，３２ｃよりも低く形成されているため、溝部３７内での凹凸が小さくなる。これにより、各励振電極５１，５２をパターニングする際に、フォトレジストが溝部３７の底部３９に入り込みやすくなる。したがって、圧電振動片の製造効率を向上させることができる。
【００５０】
［第３変形例］
（圧電振動片）
次に、本実施形態の第３変形例について説明する。
図１０は、第３変形例の圧電振動片の平面図である。
図５に示す実施形態では、複数の突起部４０は、溝部３７の先端から基端に亘って、長手方向Ｌに沿って略等間隔に配置されていた。これに対して、図１０に示す第３変形例では、複数の突起部４０は、溝部３７の先端から基端に向かうにしたがって、隣り合う突起部４０同士の間隔が狭まるように配置されている点で、図５に示す実施形態と異なっている。なお、図５に示す実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００５１】
図１０に示すように、圧電振動片１０３では、複数の突起部４０が、溝部３７の先端から基端に向かうにしたがい、隣り合う突起部４０同士の間隔が狭まるように配置されている。
ここで一般に、屈曲する振動腕部３１，３２に作用する応力は、先端３１ａ，３２ａから基端３１ｂ，３２ｂに向かうにしたがい大きくなる。上記構成によれば、複数の突起部４０が、溝部３７の先端から基端に向かうにしたがい密になるように配置されているため、各振動腕部３１，３２の強度を、先端３１ａ，３２ａから基端３１ｂ，３２ｂに向かうにしたがい高めることができる。したがって、各振動腕部３１，３２の強度をより向上させることができる。
【００５２】
なお、本発明は、図面を参照して説明した上述の実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
例えば、圧電振動片３の形状は上記形状に限定されるものではなく、各振動腕部３１，３２が長手方向Ｌに対して最大で５度程度傾斜して延びているような形状であってもよい。
【００５３】
また、上記実施形態において、圧電振動片３，１０３は、各支持腕部３３，３４が各振動腕部３１，３２の外側に配置された、いわゆるサイドアーム型の振動片であった。しかしながらこれに限定されず、圧電振動片は、例えば１つの支持腕部が一対の振動腕部の間に配置された、いわゆるセンターアーム型の振動片や、支持腕部を備えていない、いわゆる音叉型の振動片であってもよい。
【００５４】
また、上記実施形態においては、圧電振動片３を用いた圧電振動子１として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明したが、圧電振動片３を、ガラス材によって形成されるベース基板およびリッド基板が陽極接合によって接合されるガラスパッケージタイプの圧電振動子に適用することも可能である。
【００５５】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。
【符号の説明】
【００５６】
１…圧電振動子  ３，１０３…圧電振動片  ３１…第１振動腕部（振動腕部）  ３１ｂ，３２ｂ…振動腕部の基端  ３１ｃ，３２ｃ…振動腕部の主面  ３２…第２振動腕部（振動腕部）  ３５…基部  ３７…溝部  ３８…側壁面  ３８ａ…第１側壁面（一方の側壁面）  ３８ｂ…第２側壁面（他方の側壁面）  ３９…底部  ４０，１４０…突起部  Ｌ…長手方向  Ｔ…厚み方向  Ｗ…幅方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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