(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気式のリニア機械（１）であって、ハウジング固定された固定子（２）と、軸方向で移動可能な、永久磁石（６）を備えた可動子（３）とを有している形式のものにおいて、
前記固定子（２）が第１および第２の固定子ヨーク（９，１０）を有しており、これらの固定子ヨーク（９，１０）がそれぞれ１つの固定子極（１１〜１４）を形成しており、これらの固定子極（１１〜１４）が半径方向で前記可動子（３）を取り囲んで均一に分配配置されており、前記第１の固定子ヨーク（９）に、この第１の固定子ヨーク（９）および前記永久磁石（６）を通る第１の磁束を生ぜしめるための少なくとも１つの通電可能な第１のコイル（１７）が対応配設されており、前記第２の固定子ヨーク（１０）を通る第２の磁束を生ぜしめるために、前記永久磁石（６）の磁気的な北極（Ｎ）が前記第２の固定子ヨーク（１０）の１つの固定子極（１３）に対応配設されていて、前記永久磁石（６）の磁気的な南極（Ｓ）が前記第２の固定子ヨーク（１０）の他の固定子極（１４）に対応配設されており、
磁束を偏向させるために、前記永久磁石（６）に少なくとも１つの鋼薄板パケット（１９，２０）が対応配設されていることを特徴とする、
電気式のリニア機械（１）。
【請求項２】
前記可動子（３）に少なくとも１つのばね部材（８）が対応配設されており、該ばね部材（８）は、前記永久磁石（６）が磁気的に中立な非作動位置から外れて位置するように、前記可動子（３）を付勢することを特徴とする、請求項１に記載のリニア機械。
【請求項３】
前記永久磁石（６）が、この永久磁石（６）によって規定された第１の磁気的に中立な非作動位置と、通電された前記第１のコイル（１７）によって規定された第２の磁気的に中立な非作動位置とを有しており、前記第１および第２の磁気的な非作動位置が軸方向で互いに間隔を保っていることを特徴とする、請求項１または２に記載のリニア機械。
【請求項４】
前記永久磁石（６）の前記北極、および前記永久磁石（６）の前記南極（Ｓ）に、それぞれ１つの前記鋼薄板パケット（１９）が配置されており、前記鋼薄板パケットの鋼薄板が前記第２の磁束に対して直角に延在していることを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載のリニア機械。
【請求項５】
前記各固定子ヨーク（９，１０）がそれぞれ開放した固定子リングとして構成されていて、該固定子リングの開放端部が前記固定子極（１１〜１４）のそれぞれ１つを形成することを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載のリニア機械。
【請求項６】
前記第２の固定子ヨーク（１０）に、前記第２の磁束を検出するためのセンサコイル（１６）を備えたセンサ装置（１５）が対応配設されていることを特徴とする、請求項１から５のいずれか１項に記載のリニア機械。
【請求項７】
検出された前記第２の磁束に依存して前記第１のコイル（１７）を通電させるコントロールユニット（Ｓ）が設けられていることを特徴とする、請求項１から６のいずれか１項に記載のリニア機械。
【請求項８】
前記永久磁石（６）が、前記第１の固定子ヨーク（９）に関連して内方に面した端面に前記鋼薄板パケット（２０）を有しており、該鋼薄板パケット（２０）の鋼薄板が前記第２の磁束に対して直角に延在していることを特徴とする、請求項１から７のいずれか１項に記載のリニア機械。
【請求項９】
前記第１の固定子ヨーク（９）に通電可能な第２のコイル（２３）が対応配設されており、前記第１のコイル（１７）および前記第２のコイル（２３）が鋼薄板パケットリング（２４）によって互いに分離されており、前記可動子（３）の前記永久磁石が前記鋼薄板パケットリング（２４）の領域内で移動可能であることを特徴とする、請求項１から８のいずれか１項に記載のリニア機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気式のリニア機械であって、ハウジング固定された固定子と、軸方向で移動可能な、永久磁石を備えた可動子とを有している形式のものに関する。
【背景技術】
【０００２】
電気式のリニア機械は基本的に公知である。例えば特許文献１に電気式のリニア機械が開示されており、この電気式のリニア機械は、往復運動する可動子（発振器）の運動方向に対して直交する方向（横方向）に磁束が走る横方向磁束流原理に基づく電気式の磁気抵抗機械として作業する。このようなリニア機械を電気的に励磁することにより、永久磁石を設けることで磁束を発生させるという、リニア機械が有する欠点が克服されるべきである。これによって特に、永久磁石によって励磁されるリニア機械の効率が、高い運転温度において可逆的な消磁に基づいて迅速に低下するか、または不可逆的な消磁の場合には継続的に損傷を蒙る、という欠点が克服されるべきである。
【０００３】
また特許文献２によれば、複数の永久磁石並びに、機械を運転するための電気的に励磁可能な２つのコイルが設けられたリニア機械が公知である。この場合、永久磁石は、非磁性部材によって固定される必要があり、これは、特に高い運転温度が見込まれる場合、追加的な構造費用および材料コストを意味する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ドイツ連邦共和国特許第１００５５０７８号明細書
【特許文献２】特開２００８−２０６３５６号公報
【発明の概要】
【発明の効果】
【０００５】
本発明による電気式のリニア機械は、安価な費用（特に簡単な規格化された磁気回路の、電気工学用薄鋼板を用いた表面処理によって）で、特に可動子の往復運動運転を持続的に保証する簡単な構造が提供される、という利点を有している。特に、本発明による電気機械を運転するために、１つの通電可能なコイルを必要とするだけであるので、電気機械の構造並びに制御は、公知の電気機械と比較して簡単で非常に精確である。
【０００６】
本発明による電気機械は、固定子が第１および第２の固定子ヨークを有しており、これらの固定子ヨークがそれぞれ２つの固定子極を形成しており、これらの固定子極が半径方向で前記可動子を取り囲んで均一に分配配置されており、第１の固定子ヨークに、この第１の固定子ヨークおよび永久磁石を通る第１の磁束を生ぜしめるための少なくとも１つの通電可能なコイルが対応配設されており、第２の固定子ヨークを通る第２の磁束を生ぜしめるために、永久磁石の磁気的な北極が第２の固定子ヨークの１つの固定子極に対応配設されていて、永久磁石の磁気的な南極が第２の固定子ヨークの他の固定子極に対応配設されていることを特徴としている。つまり、固定子は２つの固定子ヨークを有しており、これらの固定子ヨークがそれぞれ２つの固定子極を形成している。固定子極は、可動子の周囲に規則的に分配された配置によって、互いに均一な間隔を保って配置されている。この場合、好適な形式で、固定子ヨークの固定子極は互いに向き合っている。固定子極間のエアギャップ内に、永久磁石を備えた可動子が位置している。この場合、一方の固定子ヨークの一つの固定子極に北極が対応配設され、他の固定子極に南極が対応配設されている。他方の固定子ヨークに、通電可能なコイルが対応配設されている。これによって、第１の磁束は、第１の固定子ヨークによって電気的に生ぜしめられ、第２の固定子ヨークによって磁気的に生ぜしめられる。このように構成された電気式のリニア機械は、可動子を移動、特に軸方向で往復運動させるために、磁気的な横方向磁束流成分も、また磁気的な縦方向成分も生ぜしめる。この場合、そのかぎりでは好適には少なくとも部分的に磁気抵抗リニア機械としても作業する電気式のリニア機械を運転するために、１つのコイルで十分である。特にリニア機械は、リニア磁気抵抗機械として、またはハイブリッド形リニア磁気抵抗機械として構成されている。
【０００７】
本発明の好適な実施態様によれば、可動子に少なくとも１つのばね部材が対応配設されており、このばね部材は、永久磁石が磁気的に中立な非作動位置から外れて位置するように、可動子を付勢する。中立な若しくは磁気的に中立な非作動位置とは、外部の影響が永久磁石に作用しないときに、永久磁石が固定子に関連して位置する永久磁石の位置のことである。コイルの通電なしに、およびばね部材なしに、永久磁石は、固定子極に関連した磁気的に中立な非作動位置に次第に落ち着く。ばね部材がその非作動位置から外れて位置するように、可動子を付勢するばね部材が設けられていることによって、可動子は通電されていない状態で磁気的にプリロードをかけられた位置に位置するので、所望の方向への作動が短時間で確実に得られる。
【０００８】
また好適には、永久磁石が、この永久磁石によって規定された第１の磁気的に中立な非作動位置と、通電されたコイルによって規定された第２の磁気的に中立な非作動位置とを有しており、第１および第２の磁気的に中立な非作動位置が軸方向で互いに間隔を保っている。そのかぎりでは、第１の中立な非作動位置とは、可動子若しくは永久磁石の前記非作動位置のことである。第２の中立な非作動位置は、コイルが通電され、それによって電気的に励磁された磁束が固定子内に生ぜしめられ、この磁束によって可動子が第２の位置に、つまり中立な通電された位置に押しやられるときに、得られる。特に、第２の中立な非作動位置とは、コイルが最大電流で通電される位置のことである。
【０００９】
さらに、好適には、磁束を偏向させるために、永久磁石に少なくとも１つの鋼薄板パケットが対応配設されている。鋼薄板パケット、特に鋼薄板の配向によって、永久磁石に関連して磁束を制御することができる。
【００１０】
特に、鋼薄板は、磁束を所定の方向で妨げるかまたは少なくとも減少させ、好適には他の方向で許容するように、永久磁石に配置され、かつ／または配向されている。特に、これによって、コイルによって励磁された第１の磁束が永久磁石に沿って伝導されるようになり、特にこの場合、第２の磁束に影響を及ぼすことはない。
【００１１】
本発明の好適な実施態様によれば、永久磁石の北極、および永久磁石の南極に、それぞれ１つの鋼薄板パケットが配置されており、この鋼薄板パケットの鋼薄板が第２の磁束に対して直角に延在している。従って、薄板は同時に第１の磁束に対して平行に延在している。これによって、通電されたコイルによって生ぜしめられた第１の磁束が、鋼薄板を通って永久磁石に沿って伝導され、これに対して、永久磁石によって生ぜしめられた第２の磁束は永久磁石の自然な磁界若しくは配向に従う。
【００１２】
また好適には、固定子極はそれぞれ１つの鋼薄板パケットを有しており、この鋼薄板パケットの鋼薄板が永久磁石におけるそれぞれの磁束の方向に延在している。固定子極に鋼薄板を設けることによって、それぞれの磁束は、固定子極間若しくは固定子極と永久磁石との間のエアギャップに関連して好適には偏向することができる。特に好適には、第１および／または第２の固定子ヨークは全体として鋼薄板パケットとして構成されている。
【００１３】
本発明の好適な実施態様によれば、各固定子ヨークはそれぞれ開放した固定子リングとして構成されており、この固定子リングの開放端部がそれぞれ１つの固定子極を形成する。開放した固定子リングとして構成することによって、各固定子ヨークは互いに向き合う２つの自由な端部を有しており、これらの端部は、ここでは固定子極を形成する。これによって、好適な形式で、磁束は永久磁石的に励磁され、また電気的にも励磁されることが保証される。この場合、それぞれの固定子リングは、円形、楕円形または長方形にも形成される。特に好適には、それぞれの固定子ヨークは、可動子の縦方向に作用する第１の磁束を最適化するために、スリット若しくはエアギャップに向き合う側に、半径方向で内方に突き出す（つまり固定子極若しくはエアギャプに向いた方向で）突起を有している。
【００１４】
さらに好適には、永久磁石が、第１の固定子ヨークに関連して内方に面した端面に鋼薄板パケットを有しており、この鋼薄板パケットの鋼薄板が第２の磁束に対して直角に延在している。これによって、第１の磁束は、特に対応する固定子ヨークの半径方向内方に突き出す突起の方向に偏向され、これによって磁気的な抵抗が低減され、磁束が高められる。
【００１５】
さらに、本発明の好適な実施例によれば、第２の固定子ヨークに、第２の磁束を検出するための、特にセンサコイルを備えたセンサ装置が対応配設されている。第１の固定子ヨークに通電可能なコイルが対応配設されているのに対して、第２の固定子ヨークにセンサ装置が対応配設されており、このセンサ装置は、第２の固定子ヨークによって生ぜしめられた磁束を検出する。第２の固定子ヨークの固定子極に関する永久磁石の位置に依存して、固定子ヨークを通る磁束は変化するので、検出された磁束に依存して、固定子に関する永久磁石およびひいては可動子の位置が、規定可能若しくは算出可能である。好適な形式で、センサ装置はセンサコイルを有しており、このセンサコイルは、特に第２の固定子ヨークの回りに巻き付けられている。このような形式の簡単な構造によって、第２の固定子ヨークを通って走る磁束は、容易にかつ確実に検出され得る。
【００１６】
さらに好適には、検出された第２の磁束に依存してコイルを通電させるコントロールユニットが設けられている。これによって、コントロールユニットは、例えば固定子に関する永久磁石および可動子の位置を決定するために、センサ装置によって検出された、磁束に関する測定データを評価する。検出された位置若しくは検出された測定データに依存して、コントロールユニットは、電気式のリニア機械を運転するために、第１の固定子ヨークのコイルを通電させる。固定子極に関する可動子および特に永久磁石の位置は、いまや既知であるので、電気機械の運転は、１つのコイルだけを通電させることによって、確実かつ効果的に具体化される。
【００１７】
好適な形式で、第１の固定子ヨークに第２のコイルが対応配設されており、この場合、第１の固定子ヨークの第１のコイルおよび第２のコイルが鋼薄板パケットリングによって互いに分離されており、可動子の永久磁石が鋼薄板パケットリングの領域内でその非作動位置に配置されている。第２の通電可能なコイルが設けられていることによって、例えばリニア機械によってもたらされた出力が高められ、場合によって往復運動する可動子の振動数が高められる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】電気式のリニア機械の第１実施例の概略図である。
【図２】リニア機械の平面図である。
【図３Ａ】リニア機械の断面図である。
【図３Ｂ】リニア機械の断面図である。
【図４Ａ】リニア機械の第１の磁束を示す図である。
【図４Ｂ】リニア機械の第２の磁束を示す図である。
【図５】電気式のリニア機械の第２実施例の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明を以下に図面を用いて詳しく説明する。
【００２０】
図１は、ハウジング固定された固定子２と線状に若しくは軸方向に移動可能な可動子３とを有する電気式のリニア機械１の概略図を示す。このために固定子２は、ここでは詳しく図示していないハウジングに堅固に配置されている。可動子３は可動子軸４を有しており、この可動子軸４は、２つのリニア軸受５（ここでは概略的に示されているだけである）によってリニア機械１のハウジング内で保持されている。
【００２１】
さらに可動子軸４には、永久磁石５が可動子軸４に堅固に結合されて配置されている。永久磁石は磁気的な北極Ｎと磁気的な南極Ｓとを有している。この場合、磁軸は、南極および北極を通って可動子３の移動軸線若しくは可動子軸線７に対して直角に配向されている。さらに、永久磁石６とリニア軸受５との間に、この実施例ではコイルばねの形のばね部材８が配置されており、このばね部材８は、特に以下に詳しく記載されている磁力に抗するばね付勢力で可動子３を付勢する。
【００２２】
図２は、リニア機械１の平面図を示す。固定子２は、第１の固定子ヨーク９と第２の固定子ヨーク１０とを有している。２つの固定子ヨーク９，１０は、開放した固定子リングとして概ね環状に構成されていて、スリット若しくはエアギャプを有しているので、互いに向き合う開放した２つの端部を有する開放したリングを形成する。この場合、各固定子ヨーク９，１０は、そのそれぞれの自由端部で固定子極１１，１２若しくは１３，１４を形成する。固定子極１１〜１４は、可動子３の周囲に均一に分配配置されているので、それぞれの固定子ヨーク９，１０のそれぞれ２つの固定子極１１，１２若しくは１３，１４が向き合っている。固定子極１１〜１４間のエアギャップ内に永久磁石６が配置されており、この場合、磁気的な南極Ｓが固定子極１４に対応配設され、北極Ｎが固定子極１３に対応配設されているので、永久磁石６の磁軸は、固定子ヨーク１０の固定子極１４から固定子極１３に通じている。従って、永久磁石６が図示の位置にあると、永久磁石６は第２の固定子ヨークを通る磁束を発生させる。
【００２３】
また、固定子ヨーク１０にセンサ装置１５が対応配設されており、このセンサ装置１５は、固定子ヨーク１０を通る磁束を検出するために、固定子ヨーク１０の周囲に巻き付けられたセンサコイル１６を有している。このセンサ装置１５によって、永久磁石６によって生ぜしめられた、固定子ヨーク１０を通る磁束が、センシングされるか若しくは検出され得る。
【００２４】
第１の固定子ヨーク９に、通電可能なコイル１７が対応配設されており、このコイル１７は固定子ヨーク９の周囲に巻き付けられている。コイル１７が通電されることによって、電流が矢印１８の方向で固定子ヨーク９の周囲に生ぜしめられ、この場合、固定子ヨーク９内に生ぜしめられた電流によって、矢印で示されているように、固定子極１１から固定子極１２に通じる磁束が生ぜしめられる。
【００２５】
この場合、永久磁石６の磁気的な北極Ｎおよび磁気的な南極Ｓの側方にそれぞれ１つの鋼薄板パケット１９が配置されている。各鋼薄板パケット１９の鋼薄板は、永久磁石６によって生ぜしめられた磁束に対して直角に延在しているので、通電可能なコイル１７によって生ぜしめられた固定子ヨーク９の磁束は、永久磁石６に沿って固定子極１１から固定極１２に伝導される。
【００２６】
図３Ａおよび図３Ｂは、特に、リニア機械１の簡略化された断面図を示し、この場合、図３Ａは固定子ヨーク９の平面の断面、図３Ｂは固定子ヨーク１０の平面の断面を示す。図３Ａおよび図３Ｂによれば、リニア機械１の固定子２は中央に間隔の縮小された区分を有している。この間隔は、一方では永久磁石６がその内側に薄板パケット２０を備え、固定子ヨーク９，１０が永久磁石６に向き合う側に内方に突き出す突起２１を備えていて、それによって、永久磁石６に対する環状の固定子ヨーク９，１０の間隔が減少することによって形成される。鋼薄板パケット２０は、その鋼薄板が永久磁石６の磁軸に対して直交して若しくは直角に延在し、それによって鋼薄板パケット１９の鋼薄板に対して平行に配向されるように、構成されている。
【００２７】
図４Ａおよび図４Ｂは、固定子ヨーク９，１０を通る（いわゆるｄ軸線およびｑ軸線を通る）シミュレートされた磁束を示す。図４Ｂに示した永久磁石６によって生ぜしめられた磁束は、磁気的な北極Ｎから、第１の鋼薄板パケット１９、エアギャップおよび固定子ヨーク１０を通り、ここから第２のエアギャップを通って第２の薄板パケット１９内に達して、磁気的な南極Ｓに戻り、それによって閉鎖された磁気回路が形成される。鋼薄板パケット２０は磁束の短絡を阻止する。磁気パーミアンスμＲは、特に鋼薄板の数および厚さに依存して得られる。この場合、磁力は、性質に基づいて、エアギャップ内に最小の磁気抵抗を得るために、永久磁石６で可動子軸線７の方向に生ぜしめられる。これによって、永久磁石６は可動子３と共に、軸方向で可動子軸線７に沿って、永久磁石６によって生ぜしめられた磁束に対して直角にずらされるか、若しくは磁束が最も小さい抵抗を有する非作動位置に押しやられる。固定子極１３，１４に対する永久磁石６の位置調整に基づいて、固定子ヨーク１０を通る磁束は変化する。これは、センサ装置１５によって検知される。変化する磁束に依存して、永久磁石６の位置変化およびひいては可動子３の位置変化を推測することができる。これによって、センサコイル１７を有するセンサ装置１５によって可動子３の正確な位置決定が行われる。このために、センサコイル１６は好適な形式で通電されない。これによって、可動子の位置決定若しくは状態決定が電力供給とは無関係に検出されるようになっている。
【００２８】
永久磁石６の磁軸は固定子ヨーク１０を通る磁束だけを生ぜしめるので、磁軸に対して直角な磁気パーミアンスμＲは概ね１．０５であり、これは概ね、空気の透磁率、導磁性（パーミアンス）に相当する。鋼薄板パケット１９は、選択された鋼の透磁率に相当する透磁率を有している。
【００２９】
通電可能なコイル１７は、このコイル１７によって生ぜしめられた磁束が、永久磁石６によって生ぜしめられた前記力に抗する力を、可動子軸線７の方向で生ぜしめるように構成されている。この場合、磁力は、図４Ａに示されているように縦方向に作用する力であって、一方、永久磁石６を通る磁力は、図４Ｂに示されているように横方向力である。
【００３０】
従って、リニア機械１の運転中に、センサ装置１５の測定値を評価し、かつコイル１７を相応に通電させるコントロールユニットＥによって、可動子６は永久磁石により第１の方向で固定子２から押し出され、またコイル１７が通電されることによって固定子内に押し込まれ、この場合、センサ装置１５によって、可動子３の実際の位置を簡単な形式で決定することができ、ひいてはリニア機械１の往復運動運転のためにコイル１７の正確な制御若しくは通電を制御することができる。この場合、リニア機械１は、永久磁石によって規定される永久磁石６の磁気的に中立な非作動位置が、コイル１７の通電によって得られる永久磁石６の磁気的に中立な非作動位置とは異なるように構成されている。コイル１７が通電されないと、永久磁石６は可動子３をその第１の中立な非作動位置に押しやる。コイル１７が通電されることによって、永久磁石６は通電されたコイル１７によって規定された非作動位置に向かう方向に移動せしめられる。これによって、可動子は、コイル１７が通電されると、常に正しい若しくは所望の方向に移動せしめられる。この場合、コイル１７は、例えば６つの巻条を有する例えば銅コイルとして構成されている。
【００３１】
可動子３が往復運動し始めると、往復運動は、固定子２の方向若しくは突起２１の方向で行われる。可動子３がその加速度に基づいて、通電可能なコイルによって規定された可動子３の中立な非作動位置を越えると、力関係は、可動子３が制動されて逆方向に加速されるように変化する。この場合、この効果は、可動子３が突起２１に達する前に、可動子３の制動を補助し、それによって、可動子と固定子２の機械的な固着または機械的な接触が阻止される。ばね部材９はこの往復運動を支援する。
【００３２】
図５は、リニア機械１の第２実施例を示し、この場合、前記図面により既に知られている構成要素には同じ符号が付けられており、そのかぎりでは、上記説明が参照される。以下では、基本的に、相違点についてだけ詳しく説明する。
【００３３】
図５のリニア機械１の実施例は、固定子２がコイル１７に追加して、第１の固定子ヨーク９に対応配設された第２のコイル２３を有していることによって、前記実施例とは異なっている。図５は、そのかぎりでは、図３Ａおよび図４Ａと同様に、固定子ヨーク９の平面を通るリニア機械１の縦断面を示す。２つのコイル１７，２３は、鋼薄板パケットリング２４によって可動子軸線７の方向で互いに分離されている。この場合、鋼薄板パケットリング２４は、永久磁石６に対応配設された、固定子ヨーク９の固定子極１１，１２を形成する。第２実施例によるリニア機械１の運転は、基本的に第１実施例に相当し、この場合、２つのコイル１７および２３は、可動子３の往復運動を制御するために、互いに独立して通電され得る。
【００３４】
基本的に、永久磁石６は、好適には希土類磁石、特にＮｄＦｅ３５である。第２実施例によれば、ばね部材８は省かれている。第１実施例においても、ばね部材８は省かれてよい。同様に第２実施例において、リニア機械１の往復運動がばね部材８を設けることによって支援されてよい。いずれの場合も、一方では電気的に励磁された磁束によって、および他方では永久磁石によって励磁された磁束によって運転される、ハイブリッド形リニアリラクタンスモータ若しくはハイブリッド形リニア磁気抵抗機械が形成される。
【符号の説明】
【００３５】
１  電気式のリニア機械
２  固定子
３  可動子
４  可動子軸
５  リニア軸受
６  永久磁石
７  可動子軸線
８  ばね部材
９  第１の固定子ヨーク
１０  第２の固定子ヨーク
１１，１２，１３，１４  固定子極
１５  センサ装置
１６  センサコイル
１７  コイル、センサコイル
１８  矢印
１９  鋼薄板パケット
２０  鋼薄板パケット、薄板パケット
２１  突起
２３  第２のコイル
２４  鋼薄板パケットリング
Ｓ  コントロールユニット
【図１】
0006454776.tif 000002
【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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