(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れる測定チューブの振動を検出する第１及び第２のセンサの出力信号の位相差に基づいて前記流体の質量流量を測定するコリオリ質量流量計であって、
前記第１のセンサの出力信号の振幅である第１振幅と、前記第２のセンサの出力信号の振幅である第２振幅との少なくとも一方を算出する振幅算出部と、
前記第１振幅若しくは前記第２振幅、又は前記第１振幅及び前記第２振幅の少なくとも一方の平均を気体混入係数として用いて、前記流体の気液比率を算出する気液比率算出部と、
を備えたコリオリ質量流量計。
【請求項２】
前記気体混入係数と前記気液比率との対応関係を示す気液比率算出情報を記憶する気液比率算出情報記憶部をさらに備え、
前記気液比率算出部は、前記気体混入係数と、前記気液比率算出情報記憶部に記憶された前記気液比率算出情報とを用いて、前記流体の気液比率を算出する、
請求項１に記載のコリオリ質量流量計。
【請求項３】
前記第１振幅又は前記第２振幅に基づいて、前記測定された前記流体の質量流量を補正する補正部をさらに備えた、
請求項１又は２のいずれか１項に記載のコリオリ質量流量計。
【請求項４】
前記気液比率算出部で算出された前記流体の気液比率と所定の閾値とを比較した結果に応じたアラーム信号を出力する報知部をさらに備えた
請求項１から３のいずれか１項に記載のコリオリ質量流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の質量流量を測定するコリオリ質量流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
コリオリ質量流量計とは、流体が流れるチューブを振動させ、チューブの上下流における異なる２点の振動検出信号の位相差からチューブを流れる流体の質量流量を測定するものである。コリオリ質量流量計における位相差の検出方法として、デジタル検出方法を用いるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。デジタル検出方法は、上流側に設けられたセンサ（ピックアップコイル）及び下流側に設けられたセンサで得られる検出信号の各々を同一のタイミングでサンプリングしてデジタル信号に変換し、これらのデジタル信号に対して所定の信号処理を施すことにより、検出信号の位相差を検出する検出方法である。ここで、検出信号の位相差の検出のために施される信号処理としては、ＤＦＴ（Discrete Fourier Transform：離散フーリエ変換）処理とヒルベルト変換処理とが挙げられる。
【０００３】
コリオリ質量流量計を使用した測定時に、被測定流体の液体に気泡が混入すると、コリオリ質量流量計の測定結果に誤差が生じることが知られている。被測定流体の液体に気泡が混入していることを診断する診断技術が例えば特許文献２に開示されている。従来の診断技術では、上流側センサ又は下流側センサで得られる検出信号に基づく揺らぎを算出し、算出された揺らぎに基づいて被測定流体中の気泡の状態を表す状態値を算出し、算出された状態値に基づいて気泡の状態を判定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２０３９２１号公報
【特許文献２】特開２０１１−２２０２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した従来の診断技術では、被測定流体に混入した気体の量（気液比率の気体の率）が多くなると、診断精度が低下する。これは、被測定流体の気液比率の気体の率が多くなると、上流側センサ又は下流側センサで得られる検出信号に基づく揺らぎが小さくなるからである。また、測定誤差も気液比率の気体の率が多くなるほど大きくなる。このため、被測定流体の気液比率を推定できることが好ましい。
【０００６】
本発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、被測定流体の気液比率を推定することができるコリオリ質量流量計を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明の一態様は、流体が流れる測定チューブの振動を検出する第１及び第２のセンサの出力信号の位相差に基づいて前記流体の質量流量を測定するコリオリ質量流量計であって、前記第１又は第２のセンサの出力信号に基づいた振幅を算出する振幅算出部と、前記算出された振幅に基づいた気液の比率を算出する気液比率算出部と、を備えたコリオリ質量流量計である。
【０００８】
（２）本発明の一態様は、上記（１）のコリオリ質量流量計において、前記算出された振幅の平均である気体混入係数を算出する気体混入係数算出部をさらに備え、前記気液比率算出部は、前記算出された気体混入係数を、前記気液の比率の算出に使用する、コリオリ質量流量計である。
【０００９】
（３）本発明の一態様は、上記（１）又は（２）のいずれかのコリオリ質量流量計において、前記第１又は第２のセンサの出力信号の振幅に基づいて、前記測定された前記流体の質量流量を補正する補正部をさらに備えた、コリオリ質量流量計である。
【００１０】
（４）本発明の一態様は、上記（１）から（３）のいずれかのコリオリ質量流量計において、前記算出された気液の比率と所定の閾値とを比較した結果に応じたアラーム信号を出力する報知部をさらに備えたコリオリ質量流量計である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、被測定流体の気液比率を推定することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るコリオリ質量流量計１のブロック構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るコリオリ質量流量計１に関する補足説明図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るコリオリ質量流量計１に関する補足説明図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る推定部１００のブロック構成図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る気液比率算出情報の構成例を示すグラフ図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るコリオリ質量流量計２のブロック構成図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る補正部３００のブロック構成図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る容積流量比βと流量測定偏差率γｍｅａｓとの関係を説明するためのグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係るコリオリ質量流量計１のブロック構成図である。図１に示す通り、第１実施形態のコリオリ質量流量計１は、検出部１０と変換部２０と推定部１００とに大別される。検出部１０は、測定対象としての流体が流れる測定チューブＴ（図２参照）を振動させてその上下流における振動及び測定チューブＴの温度を検出する。変換部２０は、検出部１０で検出される検出信号ＳＡ，ＳＢの位相差を求めて測定チューブＴを流れる流体の質量流量を求める。推定部１００は、変換部２０で生成されるデジタル信号ＤＡ１，ＤＡ２を使用して被測定流体の気液比率を推定する。
【００１４】
図２は、検出部１０の構成を示す構成図である。図２に示す通り、検出部１０は、流体が流れる測定チューブＴの周囲に設けられている加振器１１、上流側センサ１２（第１のセンサ）、下流側センサ１３（第２のセンサ）、及び温度センサ１４を備える。尚、本実施形態では、説明を簡単にするために、測定チューブＴが支持部材ＳＰ１，ＳＰ２によって固定支持された直管型のものであるものとする。
【００１５】
加振器１１は、図１に示す変換部２０から出力される駆動信号ＤＲ１に応じて測定チューブＴを所定の振動モードで振動させる。図３は、測定チューブＴの振動モードの一例を示す図である。加振器１１は、例えば図３において符号Ｍ１，Ｍ２を付して示す１次モード（振動の節が支持部材ＳＰ１，ＳＰ２によって固定支持された部分にのみ現れる振動モード）で測定チューブＴを振動させる。かかる振動が与えられている状態で、測定チューブＴに流体が流れると、測定チューブＴは、例えば図３において符号Ｍ３，Ｍ４を付して示す２次モード（振動の節が支持部材ＳＰ１，ＳＰ２によって固定支持された部分とその中間の位置とに現れる振動モード）で振動する。尚、実際には、測定チューブＴは、この２種類の振動モードが重畳された振動モードで振動することになる。
【００１６】
上流側センサ１２は、支持部材ＳＰ１の近傍に固定されて測定チューブＴの上流側の振動を検出する。この上流側センサ１２の検出結果は検出信号ＳＡとして変換部２０に出力される。下流側センサ１３は、支持部材ＳＰ２の近傍に固定されて測定チューブＴの下流側の振動を検出する。この下流側センサ１３の検出結果は検出信号ＳＢとして変換部２０に出力される。
【００１７】
温度センサ１４は、支持部材ＳＰ２の近傍における測定チューブＴ上に固定されて測定チューブＴの表面温度を検出する。この温度センサ１４の検出結果は検出信号ＳＴ１として変換部２０に出力されて、温度変動による質量流量の測定誤差を防止するために用いられる。
【００１８】
一方、変換部２０において、クロック信号発振器２１は、測定チューブＴの振動とは無関係に、所定のサンプリング周期を持つタイミング信号Ｔｃを生成する。検出信号ＳＡは、例えばＡ・sin(ωｔ０)なる形でトラックアンドホールド（Ｔ＆Ｈ）回路２２に出力され、ここでサンプリングの時点を決めるタイミング信号Ｔｃにより検出信号ＳＡは各時点で順次サンプル／ホールドされる。ここで、Ａは振幅、ωは角周波数、ｔ０は任意の時点を示す。
【００１９】
Ｔ＆Ｈ回路２２によってホールドされた検出信号ＳＡはＡ／Ｄ変換器２３に出力され、ここで順次デジタル信号ＤＡに変換されて、デジタル形式で処理されるローパスフイルタ（ＬＰＦ）２４に出力される。ＬＰＦ２４は、測定チューブＴの振動周波数付近よりも高い周波数成分を除去し、デジタル信号ＤＡ１として微分フィルタ２５、位相演算部２６及び推定部１００に出力する。なお、このＬＰＦ２４は必ずしも設ける必要はなく、Ａ／Ｄ変換器２３の出力信号（デジタル信号ＤＡ）を直接、微分フィルタ２５、位相演算部２６及び推定部１００に出力するような構成としても良い。また、ＬＰＦ２４の代わりに振動周波数を通過させるバンドパスフィルタを設けても良い。
【００２０】
微分フィルタ２５は、入力信号（デジタル信号ＤＡ１）を微分することにより９０°異なる位相の出力信号に変換するデジタルフィルタであり、基本的にＡ・cos(ωｔ０)なる形のデジタル信号ＤＡ２を位相演算部２６及び推定部１００に出力する。
【００２１】
位相演算部２６は、デジタル信号ＤＡ１とデジタル信号ＤＡ２との比率［Ａ・sin(ωｔ０)／Ａ・cos(ωｔ０)＝tan(ωｔ０)］を演算し、そのtan-1を演算することにより、検出信号ＳＡの位相信号θＡ１（＝ωｔ０；第１の位相）を算定する。この算定に当たって、位相信号θＡ１の値が９０°近くになる比率（ＤＡ１／ＤＡ２）の場合には、精度良く演算できないので、このような比率の場合には、位相信号θＡ１の算定を省略する（tan-1を演算しない）ようにしても良い。
【００２２】
また、検出信号ＳＢは、例えばＢ・sin(ωｔ０＋ΔΦ)なる形でＴ＆Ｈ回路２７に出力され、ここでサンプリングの時点を決めるタイミング信号Ｔｃにより検出信号ＳＢは各時点で順次サンプル／ホールドされる。ここで、Ｂは振幅、ΔΦは時点ｔ０における検出信号ＳＡに対する位相差を示す。
【００２３】
Ｔ＆Ｈ回路２７によってホールドされた検出信号ＳＢはＡ／Ｄ変換器２８に出力され、ここで順次デジタル信号ＤＢに変換されて、デジタル形式で処理されるＬＰＦ２９に出力される。このＬＰＦ２９は、ＬＰＦ２４と同一の構成であり、ゲイン特性および群遅延特性なども共通に選定しておく。ＬＰＦ２９は、測定チューブＴの振動周波数付近よりも高い周波数成分を除去し、デジタル信号ＤＢ１として微分フィルタ３０及び位相演算部３１に出力する。なお、このＬＰＦ２９は必ずしも設ける必要はなく、Ａ／Ｄ変換器２８の出力信号（デジタル信号ＤＢ）を直接、微分フィルタ３０及び位相演算部３１に出力するような構成としても良い。また、ＬＰＦ２９の代わりに振動周波数を通過させるバンドパスフィルタを設けても良い。
【００２４】
微分フィルタ３０は、入力信号（デジタル信号ＤＢ１）を微分することにより９０°異なる位相の出力信号に変換するデジタルフィルタであり、基本的にＢ・cos(ωｔ０＋ΔΦ)なる形のデジタル信号ＤＢ２を位相演算部３１に出力する。位相演算部３１は、デジタル信号ＤＢ１とデジタル信号ＤＢ２との比率［Ｂ・sin(ωｔ０＋ΔΦ)／Ｂ・cos(ωｔ０＋ΔΦ)＝tan(ωｔ０＋ΔΦ)］を演算し、そのtan-1を演算することにより、検出信号ＳＢの位相信号θＢ１（＝ωｔ０＋ΔΦ；第２の位相）を算定する。
【００２５】
位相差演算部３２は、位相演算部２６から順次出力される位相信号θＡ１と、位相演算部３１から順次出力される位相信号θＢ１との差（＝位相差ΔΦ）を演算して位相差信号θ１として順次出力する。この位相差信号θ１は、被測定流体の質量流量に比例するものであり、質量流量演算部４１に出力される。
【００２６】
時間遅れ要素３３は位相演算部２６から出力される位相信号θＡ１（＝ωｔ０）を１サンプル周期Ｔｃだけ遅らせて出力する。従って、時刻ｔ０においては、１サンプル点手前の位相信号θＡ１´（＝ωｔ-1；ｔ-1は１つ前のサンプリング時点）が周波数演算部３４に出力される。周波数演算部３４は、これらの位相信号θＡ１とθＡ１´との差を２πＴｃで割算する演算［（ωｔ０−ωｔ-1）／２πＴｃ＝ｆＣ］を行い、時点ｔ０における加振周波数ｆＣ（上流側センサ１２の検出信号ＳＡの周波数）を求める。平均化回路３５は、多数のサンプリング点で求めた加振周波数ｆＣの平均の加振周波数ｆＣ´を求めて密度演算部４０及び質量流量演算部４１に出力する。
【００２７】
なお、上記の周波数演算部３４は、第１の位相である位相信号θＡ１の変位量［（ωｔ０−ωｔ-1）／２πＴｃ＝ｆＣ］を基に加振周波数ｆＣを算出したが、位相演算部３１から出力される第２の位相である位相信号θＢ１の変位量を基に加振周波数ｆＣ（この場合、下流側センサ１３の検出信号ＳＢの周波数）を算出するようにしても良い。
【００２８】
また、励振回路３６には検出信号ＳＡが入力され、この検出信号ＳＡに対応する加振電圧（駆動信号ＤＲ１）を加振器１１に出力し、加振器１１を例えば正弦波状に駆動する。一方、温度センサ１４からは、検出信号ＳＴ１がＴ＆Ｈ回路３７に出力され、サンプリングの時点を決めるタイミング信号Ｔｃによりホールドされた多数の検出信号ＳＴ１は、Ａ／Ｄ変換器３８でデジタル信号に変換されて平均化回路３９に出力され、ここで平均されて温度信号ＳＴ２として密度演算部４０及び質量流量演算部４１に出力される。
【００２９】
密度演算部４０は、加振周波数ｆＣ´と温度信号ＳＴ２とを基に、下記演算式（１）及び（２）から被測定流体の密度Ｄを演算して質量流量演算部４１に出力する。なお、下記演算式（１）及び（２）において、ｆｒは基準温度において被測定流体が測定チューブＴに充満している状態の共振周波数、ｆ０は測定チューブＴが空の状態の共振周波数、Ｋ１及びＫ２は定数である。
Ｄ  ＝  Ｋ２（ｆ０2−ｆｒ2）／ｆｒ2      ・・・・・（１）
なお、ｆｒ＝ｆＣ´／（１＋Ｋ１・ＳＴ２）      ・・・・・（２）
【００３０】
質量流量演算部４１は、密度Ｄ、加振周波数ｆＣ´、位相差信号θ１（＝ΔΦ）及び温度信号ＳＴ２を基に、下記演算式（３）から質量流量Ｑを演算する。なお、下記演算式（３）において、Ｋ３は定数、ｆ（ＳＴ２）は温度の補正項、ｆ（Ｄ）は密度の補正項である。
Ｑ  ＝Ｋ３・ｆ（ＳＴ２）・ｆ（Ｄ）・ｔａｎθ１／ｆＣ´    ・・・・・（３）
【００３１】
次に図４を参照して推定部１００を説明する。図４は、推定部１００のブロック構成図である。振幅算出部１１１には、変換部２０から、デジタル信号ＤＡ１，ＤＡ２が入力される。振幅算出部１１１は、下記演算式（４）に示す通り、デジタル信号ＤＡ１，ＤＡ２をそれぞれ二乗して加算し、この加算結果である和の平方根を算出して振幅ＡｍｐＳを求める。振幅算出部１１１は、振幅ＡｍｐＳを気体混入係数算出部１１２に出力する。
【００３２】
【数１】
0006504594.tif 000002
【００３３】
気体混入係数算出部１１２は、下記演算式（５）により、振幅ＡｍｐＳから気体混入係数ＡＦを算出する。気体混入係数算出部１１２は、気体混入係数ＡＦを気液比率算出部１１３に出力する。なお、下記演算式（５）において、ＡｍｐＳ（ｋ）は任意のサンプリング時刻を第１番目のサンプリング時刻（ｋ＝１）としたときの第ｋ番目のサンプリング時刻での振幅ＡｍｐＳ、ｋは１からＮまでの自然数である。下記演算式（５）によれば、気体混入係数ＡＦは、任意のサンプリング時刻（第１番目のサンプリング時刻）からＮ回分の振幅ＡｍｐＳの平均である。
【００３４】
【数２】
0006504594.tif 000003
【００３５】
気液比率算出部１１３は、気体混入係数ＡＦを基に気液の比率ＯｕｔＡを算出する。気液比率算出部１１３は、気液比率ＯｕｔＡの算出に、気液比率算出情報記憶部１１４に格納される気液比率算出情報を使用する。図５は、気液比率算出情報の構成例を示すグラフ図である。図５に示されるように、気液比率算出情報は、気体混入係数ＡＦと気液比率ＯｕｔＡとの一対一の対応関係を示す。例えば、ある一つの気体混入係数ＡＦＸに対して、ある一つの気液比率ＯｕｔＡＸが対応付けられる。気液比率算出情報は、事前に準備して気液比率算出情報記憶部１１４に格納しておく。気液比率算出情報は、例えば、気液比率算出情報を取得するための測定を実際に行い、この測定結果から取得することが挙げられる。気液比率算出部１１３は、気体混入係数算出部１１２から入力された気体混入係数ＡＦに対応付けられる気液比率ＯｕｔＡを、気液比率算出情報記憶部１１４から読み出す。気液比率算出部１１３は、気液比率算出情報記憶部１１４から読み出した気液比率ＯｕｔＡを出力する。
【００３６】
なお、気液比率算出部１１３は、気体混入係数ＡＦがある値だけ低下したときの気体混入率としてボイド率を算出してもよい。例えば、気体混入係数ＡＦが５０％だけ低下したときのボイド率が１０％であるのように、気体混入係数ＡＦとボイド率との一対一の対応関係を気液比率算出情報としてもよい。
【００３７】
報知部１３１には、気液比率算出部１１３から出力された気液比率ＯｕｔＡが入力される。閾値記憶部１３２は、閾値Ｔｈを格納する。報知部１３１は、閾値記憶部１３２から閾値Ｔｈを読み出し、気液比率ＯｕｔＡと閾値Ｔｈとを比較する。報知部１３１は、気液比率ＯｕｔＡと閾値Ｔｈとを比較した結果に応じたアラーム信号ＯｕｔＢを出力する。例えば、報知部１３１は、気液比率ＯｕｔＡが閾値Ｔｈを超えていると判断した場合に、アラーム信号ＯｕｔＢを出力する。アラーム信号ＯｕｔＢは、ユーザに分かる方法で出力する。アラーム信号ＯｕｔＢによって、例えば、警報音を発生させたり、又は、警報ランプを点灯させたりするようにしてもよい。
【００３８】
なお、閾値Ｔｈをボイド率の閾値とし、ボイド率である気液比率ＯｕｔＡがボイド率の閾値Ｔｈを超えている場合に、アラーム信号ＯｕｔＢを出力するようにしてもよい。例えば、ボイド率の閾値Ｔｈを１％とし、ボイド率である気液比率ＯｕｔＡが１％を超えている場合に、アラーム信号ＯｕｔＢを出力するようにしてもよい。これにより、ユーザに対し、被測定流体の気液比率として、ボイド率が閾値Ｔｈを超えていることを報知することができる。
【００３９】
以上のように、第１実施形態に係るコリオリ質量流量計１では、上流側センサ１２の検出信号ＳＡの振幅ＡｍｐＳに対応付けられる気液比率を算出するように構成したので、被測定流体の気液比率を推定することができる。
【００４０】
なお、上記の推定部１００は、デジタル信号ＤＡ１，ＤＡ２を使用して上流側センサ１２の検出信号ＳＡの振幅を算出したが、振幅ＡｍｐＳとして、デジタル信号ＤＢ１，ＤＢ２を使用して下流側センサ１３の検出信号ＳＢの振幅を算出するようにしてもよい。
【００４１】
また、推定部１００は、上記演算式（５）の代わりに下記演算式（６）により、気体混入係数ＡＦを算出するようにしてもよい。なお、下記演算式（６）において、ＡｍｐＳＡ（ｋ）はデジタル信号ＤＡ１，ＤＡ２を使用して上記演算式（４）により算出される振幅ＡｍｐＳ、ＡｍｐＳＢ（ｋ）はデジタル信号ＤＢ１，ＤＢ２を使用して上記演算式（４）の振幅ＡｍｐＳと同様にして算出される振幅である。
【００４２】
【数３】
0006504594.tif 000004
【００４３】
また、上記の推定部１００は、気体混入係数ＡＦとして複数回分の振幅ＡｍｐＳの平均を使用したが、振幅ＡｍｐＳを気体混入係数ＡＦとして使用するようにしてもよい。
【００４４】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係るコリオリ質量流量計２について説明する。図６は、第２実施形態に係るコリオリ質量流量計２のブロック構成図である。なお、図６において、図１と同様の構成要素には同一符号を付して説明を省略する。
【００４５】
図６に示すように、第２実施形態に係るコリオリ質量流量計２は、上記第１実施形態に係るコリオリ質量流量計１に対して、補正部３００を追加した構成となっている。補正部３００には、質量流量演算部４１から出力された質量流量Ｑと、変換部２０から出力されたデジタル信号ＤＡと、が入力される。補正部３００は、変換部２０から入力されたデジタル信号ＤＡの振幅を基に、質量流量演算部４１から入力された質量流量Ｑを補正する。デジタル信号ＤＡの振幅は、上流側センサ１２の検出信号ＳＡの振幅に対応する。以下に、質量流量Ｑの補正方法を説明する。
【００４６】
図７は、補正部３００のブロック構成図である。流量測定偏差率算出部３１１は、下記演算式（７）により、上流側センサ１２の検出信号ＳＡの電圧の実効値Ａｅｆｆを算出する。なお、下記演算式（７）において、Ａｉは上流側センサ１２の検出信号ＳＡの電圧である。流量測定偏差率算出部３１１は、検出信号ＳＡの電圧Ａｉの信号としてデジタル信号ＤＡを使用する。下記演算式（７）において、Ｎはデジタル信号ＤＡのデータの個数である。
【００４７】
【数４】
0006504594.tif 000005
【００４８】
流量測定偏差率算出部３１１は、下記演算式（８）により、容積流量比βを算出する。容積流量比βは、被測定流体の気液比率に対応する。なお、下記演算式（８）において、Ａｅｆｆは上記演算式（７）で算出される実効値、ａ及びｂは定数である。定数ａ及びｂは、例えば、ａ及びｂを取得するための測定を実際に行い、この測定結果から最小二乗法により算出することが挙げられる。
β＝（Ａｅｆｆ−ｂ）／ａ      ・・・・・（８）
【００４９】
容積流量比βとは、測定チューブＴの中を流れる流体の全容積流量に対する気相の容積流量の割合である。容積流量比βは、下記定義式（９）により定義される。なお、下記定義式（９）において、ＱＧは測定チューブＴの中を流れる気相の容積流量［ｍ３／ｓ］、ＱＬは測定チューブＴの中を流れる液相の容積流量［ｍ３／ｓ］である。
β＝ＱＧ／（ＱＧ＋ＱＬ）      ・・・・・（９）
【００５０】
流量測定偏差率算出部３１１は、下記演算式（１０）により、流量測定偏差率γｅｓｔを算出する。流量測定偏差率算出部３１１は、算出された流量測定偏差率γｅｓｔを補正演算部３１２に出力する。なお、下記演算式（１０）において、βは上記演算式（８）で算出される容積流量比、ｃ及びｄは定数である。定数ｃ及びｄは、例えば、ｃ及びｄを取得するための測定を実際に行い、この測定結果から最小二乗法により算出することが挙げられる。
γｅｓｔ＝ｃ・β＋ｄ      ・・・・・（１０）
【００５１】
補正演算部３１２は、流量測定偏差率算出部３１１から入力された流量測定偏差率γｅｓｔを使用して、質量流量演算部４１から入力された質量流量Ｑを補正する。補正演算部３１２は、下記演算式（１１）により、流量測定偏差率γｅｓｔを使用して質量流量Ｑを補正した値である補正質量流量Ｑｃｏｍを算出する。補正演算部３１２は、算出された補正質量流量Ｑｃｏｍを出力する。
Ｑｃｏｍ＝Ｑ／（１＋γｅｓｔ）      ・・・・・（１１）
【００５２】
以上のように、第２実施形態に係るコリオリ質量流量計２では、上流側センサ１２の検出信号ＳＡの振幅に対応するデジタル信号ＤＡの振幅を基に、質量流量演算部４１から入力された質量流量Ｑを補正するように構成したので、被測定流体に気泡が混入していても質量流量Ｑを精度良く求めることができる。
【００５３】
なお、上記の補正部３００の流量測定偏差率算出部３１１は、上流側センサ１２の検出信号ＳＡの振幅に対応するデジタル信号ＤＡの振幅を基に容積流量比βを算出したが、下流側センサ１３の検出信号ＳＢの振幅に対応するデジタル信号ＤＢの振幅を基に容積流量比βを算出してもよい。また、流量測定偏差率算出部３１１は、上記演算式（８）の演算を行って容積流量比βを算出していたが、第１実施形態で求められる気液比率算出情報（気体混入係数ＡＦとボイド率との一対一の対応関係）を容積流量比βとして用いても良い。
【００５４】
また、上記の補正部３００の流量測定偏差率算出部３１１は、上記演算式（８）の演算において、上流側センサ１２の検出信号ＳＡの電圧の実効値Ａｅｆｆを使用したが、実効値Ａｅｆｆの代わりに、推定部１００の振幅算出部１１１から出力される振幅ＡｍｐＳ、又は、気体混入係数算出部１１２から出力される気体混入係数ＡＦを使用してもよい。又は、上流側センサ１２の検出信号ＳＡの振幅と下流側センサ１３の検出信号ＳＢの振幅との両方を基にするように、例えば上記演算式（６）で算出された気体混入係数ＡＦを実効値Ａｅｆｆの代わりに使用してもよい。
【００５５】
図８は、容積流量比βと流量測定偏差率γｍｅａｓとの関係を説明するためのグラフ図である。図８において、横軸は容積流量比βの測定値、縦軸は流量測定偏差率γｍｅａｓの測定値である。図８に係る測定では、測定チューブＴへのライン圧力を、０．２，０．２５，０．３［ＭＰａ］とし、基準質量流量Ｑｓｔｄを、２．７，２．４，２．０，１．６，１．２［ｋｇ／ｓ］とした。また、空気混入量を、０〜１００［ＮＬ／ｍｉｎ］の任意の量を混入とした。また、信号及びプロセス値を１００［ｓ］間測定した。図８に示される通り、容積流量比βと流量測定偏差率γｍｅａｓとの間に、一定の範囲で関係があることが分かる。これは、容積流量比βと補正質量流量Ｑｃｏｍとの間に、同様に、一定の範囲で関係があることを示す。
【００５６】
以上、第１，第２実施形態に係るコリオリ質量流量計１，２について説明したが、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。
【符号の説明】
【００５７】
１，２…コリオリ質量流量計、Ｔ…測定チューブ、１０…検出部、１１…加振器、１２…上流側センサ（第１センサ）、１３…下流側センサ（第２センサ）、１４…温度センサ、２０…変換部、２１…クロック信号発振器、２２，２７，３７…トラックアンドホールド（Ｔ＆Ｈ）回路、２３，２８，３８…Ａ／Ｄ変換器、２４，２９…ＬＰＦ、２５，３０…微分フィルタ、２６，３１…位相演算部、３２…位相差演算部、３３…時間遅れ要素、３４…周波数演算部、３５，３９…平均化回路、３６…励振回路、４０…密度演算部、４１…質量流量演算部、１００…推定部、１１１…振幅算出部、１１２…気体混入係数算出部、１１３…気液比率算出部、１１４…気液比率算出情報記憶部、１３１…報知部、１３２…閾値記憶部、３００…補正部、３１１…流量測定偏差率算出部、３１２…補正演算部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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