(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気口と排気口とを有するハウジングと、一軸方向に平行な軸心をそれぞれ有し前記ハウジングの内部に回転可能に配置され前記吸気口から前記排気口へ気体を移送する一対のスクリューロータとを有するポンプ本体と、
前記ハウジングの外壁面に気密に接続される開口端部と、前記開口端部に対向する底壁部と、周壁部とを有し、前記ハウジングの外壁面と前記底壁部及び前記周壁部各々の内壁面とにより膨張室を区画する筐体と、前記筐体に設けられ前記排気口から排出された気体を前記膨張室へ導入する第１の通路部と、前記筐体に設けられ前記膨張室内の気体を前記筐体の外部へ排出する第２の通路部と、を有する消音器と
を具備し、
前記消音器は、前記排気口を開閉可能な弁部材と、前記排気口と前記膨張室との間に設けられ前記弁部材を収容する弁室とをさらに有し、
前記周壁部は、前記膨張室と前記弁室とを区画する第１の側壁部と、前記第１の側壁部と前記一軸方向に対向する第２の側壁部とを有し、
前記第１の通路部は、前記第１の側壁部を貫通し、前記第１の側壁部から前記膨張室の内部に向かって前記一軸方向に延びる第１のパイプ部材で構成され、
前記第２の通路部は、前記第２の側壁部を貫通し、前記第２の側壁部から前記膨張室の内部に向かって前記一軸方向に延びる第２のパイプ部材で構成される
真空ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプであって、
前記第１及び第２のパイプ部材は、各々の軸心が相互にオフセットした位置に配置され、前記一軸方向に直交する軸方向に相互に対向する領域を有する
真空ポンプ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の真空ポンプであって、
前記消音器は、前記ポンプ本体の底部に配置され、
前記筐体は、排水口を含む排水部をさらに有する
真空ポンプ。
【請求項４】
請求項３に記載の真空ポンプであって、
前記排水部は、前記底壁部に設けられ前記排水口に向かって傾斜するガイド通路をさらに有する
真空ポンプ。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の真空ポンプであって、
前記ポンプ本体の底部に設けられ、前記ポンプ本体を支持する複数の脚部をさらに具備し、
前記消音器は、前記複数の脚部の間に配置される
真空ポンプ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１つに記載の真空ポンプであって、
前記ハウジングの外壁面は、前記膨張室に対向する領域に設けられた複数のリブを有する
真空ポンプ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つに記載の真空ポンプであって、
前記ハウジングの外壁面は、前記膨張室に対向する領域に設けられ前記一対のスクリューロータの軸間に向かって傾斜する一対の傾斜面を含む凹部を有する
真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸音器を備えた容積移送型の真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
容積移送型のドライ真空ポンプとして、例えば、２軸型のスクリューポンプが知られている。この種のスクリューポンプは、吸入口と吐出口とを有するハウジングと、ハウジングに収容された一対のスクリューロータとを備え、これら一対のスクリューロータを回転させることで吸入口から吐出口へ気体を移送するように構成される。【０００３】
また、この種の真空ポンプにおいては、排出口に消音器（サイレンサ）を備えたものが知られている。例えば特許文献１には、第１〜第３のブースタポンプの各々の排気口に、共通マフラー室を有する排気マニホールドが接続された真空ポンプ装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１３８７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、消音器を備えた従来の真空ポンプの小型化が求められている。しかしながら、消音機能を得るには排気ガスが通過する空間部に所定以上の断面積を確保する必要があるため、消音器の単純な小型化では、所望とする消音効果が得られなくなる。【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、消音効果を確保しつつ、小型化を実現することができる真空ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る真空ポンプは、ポンプ本体と、消音器とを具備する。
上記ポンプ本体は、ハウジングと、ロータとを有する。上記ハウジングは、吸気口と、排気口とを有する。上記ロータは、上記ハウジングの内部に回転可能に配置され、上記吸気口から上記排気口へ気体を移送する。
上記消音器は、筐体と、第１の通路部と、第２の通路部とを有する。上記筐体は、上記ハウジングの外壁面に気密に接続される開口端部と、上記開口端部に対向する底壁部と、周壁部とを有し、上記ハウジングの外壁面と上記底壁部及び上記周壁部各々の内壁面とにより膨張室を区画する。上記第１の通路部は、上記筐体に設けられ、上記排気口から排出された気体を上記膨張室へ導入する。上記第２の通路部は、上記筐体に設けられ、上記膨張室内の気体を上記筐体の外部へ排出する。【０００８】
上記真空ポンプにおいて消音器は、排気口から排出されたガスを第１の通路部、膨張室及び第２の通路部を通過させて排出することで、ポンプ排気音を所定のレベル以下に低減させる。
上記消音器において、筐体は、開口端部を有し、その開口端部を介してポンプ本体の外壁面に接続されるため、膨張室の容積を確保しつつ、消音器をポンプ本体へコンパクトに装着することができる。これにより消音効果を確保しつつ真空ポンプの小型化を図ることができる。【０００９】
上記消音器は、上記排気口を開閉可能な弁部材と、上記排気口と上記膨張室との間に設けられ上記弁部材を収容する弁室とをさらに有してもよい。
これにより消音器側からポンプ本体内部へのガスの逆流を防止することができる。【００１０】
上記周壁部は、上記膨張室と上記弁室とを区画する第１の側壁部と、上記第１の側壁部と一軸方向に対向する第２の側壁部とを有してもよい。この場合、上記第１の通路部は、上記第１の側壁部を貫通し、上記第１の側壁部から上記膨張室の内部に向かって上記一軸方向に延びる第１のパイプ部材で構成され、上記第２の通路部は、上記第２の側壁部を貫通し、上記第２の側壁部から上記膨張室の内部に向かって上記一軸方向に延びる第２のパイプ部材で構成される。
これにより、膨張室の容積を確保しつつ、流路断面の急拡大部と急縮小部とを形成できるため、低周波領域の消音効果を高めることができる。【００１１】
この場合、上記第１及び第２のパイプ部材は、各々の軸心が相互にオフセットした位置に配置され、上記一軸方向に直交する軸方向に相互に対向する領域を有してもよい。
これにより消音効果の更なる向上を図ることができる。【００１２】
上記消音器は、上記ポンプ本体の底部に配置され、上記筐体は、排水口を含む排水部をさらに有してもよい。
これにより膨張室内の凝縮水や結露水等の液体の排出が容易となる。【００１３】
上記排水部は、上記底壁部に設けられ上記排水口に向かって傾斜する排水路をさらに有してもよい。【００１４】
上記真空ポンプは、複数の脚部をさらに具備してもよい。上記複数の脚部は、上記ポンプ本体の底部に設けられ、上記ポンプ本体を支持する。この場合、上記消音器は、上記複数の脚部の間に配置されてもよい。
これにより、真空ポンプのコンパクト化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１５】
以上述べたように、本発明によれば、消音効果を確保しつつ、真空ポンプの小型化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る真空ポンプの底面斜視図である。
【図２】上記真空ポンプの底面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ線方向断面図である。
【図４】図３におけるＢ−Ｂ線方向断面図である。
【図５】上記真空ポンプにおける消音器の斜視図である。
【図６】上記消音器の平面図である。
【図７】上記消音器の背面図である。
【図８】図７におけるＣ−Ｃ線方向断面図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る真空ポンプの要部断面図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態に係る真空ポンプの構成を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【００１８】
＜第１の実施形態＞
図１は本発明の一実施形態に係る真空ポンプの底面斜視図、図２はその底面図、図３は、図２におけるＡ−Ａ線方向断面図、図４は、図３におけるＢ−Ｂ線方向断面図である。
なお各図においてＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸は相互に直交する３軸方向を示しており、Ｚ軸は高さ方向に相当する。
【００１９】
本実施形態の真空ポンプ１００は、スクリューポンプで構成され、ポンプ本体１０と、消音器５０とを備える。
【００２０】
［ポンプ本体］
ポンプ本体１０は、第１のスクリューロータ１１と、第２のスクリューロータ１２と、ハウジング２０と、駆動部３０とを有する。
【００２１】
図３及び図４に示すように、第１及び第２のスクリューロータ１１，１２は、それぞれＹ軸方向に平行な軸心を有し、Ｘ軸方向に相互に隣接してハウジング２０内のロータ室２１に配置される。第１のスクリューロータ１１は、螺旋状の歯１１ｓを有し、第２のスクリューロータ１２は、歯１１ｓと噛み合う螺旋状の歯１２ｓを有する。第１及び第２のスクリューロータ１１，１２はいずれも、不等リード部及び等リード部の２つのリード部を有する一条のネジで構成される。
【００２２】
歯１１ｓ，１２ｓは、捩れ方向が互いに逆方向であるほかは、それぞれほぼ同一の形状を有する。歯１１ｓ，１２ｓは、一方の歯が他方の歯の間（溝）に位置するように僅かな隙間をあけて相互に噛み合っている。歯１１ｓの外周面は、ロータ室２１の内壁面及び第２のスクリューロータ１２の軸部の外周面（歯１２ｓ間の溝の底部）に僅かな隙間をあけて対向している。一方、歯１２ｓの外周面は、ロータ室２１の内壁面及び第１のスクリューロータ１１の軸部の外周面（歯１１ｓ間の溝の底部）に僅かな隙間をあけて対向している。
【００２３】
ハウジング２０は、金属材料で構成され、ロータ室２１及び吸気口２２を有する第１のハウジング部２０１と、排気口２３を有する第２のハウジング部２０２とを有する。第２のハウジング部２０２は、第１のハウジング部２０１と駆動部３０のモータケース３１との間にシールリングを介して結合される。
【００２４】
吸気口２２及び排気口２３は、ロータ室２１を介して相互に連通している。吸気口２２は、第１及び第２のスクリューロータ１１，１２の吸入端側に設けられ、排気口２３はそれらの排出端側に設けられる。吸気口２２には真空チャンバ（図示略）に連絡する吸気管４１が接続され、排気口２３には後述する消音器５０が接続される。第１及び第２のスクリューロータ１１，１２は、それらの吸入端側及び排出端に設置されたベアリング２４，２５を介してロータ室２１内に回転自在に配置されている。
【００２５】
吸気口２２及び排気口２３の位置は上述の例に限られず、適宜変更することが可能である。例えば、吸気口２２は、第２のハウジング部２０２に向けて形成されてもよいし、排気口２３は、第１のハウジング部２０１に設けられてもよい。ハウジング２０も第１及び第２のハウジング部２０１，２０２を組み合わせて構成される場合に限られず、単一のハウジング部品で構成されてもよいし、３つ以上のハウジング部品を組み合わせて構成されてもよい。
【００２６】
駆動部３０は、図３に示すように、第１及び第２のスクリューロータ１１，１２を回転させるモータＭを有する。モータＭは、第１のスクリューロータ１１の排出端側の軸部３２に取り付けられたモータロータ３３と、モータロータ３３の周囲に間隔をおいて対向するモータステータ３４とにより構成される。モータケース３１は、第２のハウジング部２０２に気密に接続され、モータステータ３４を内部に保持する。
【００２７】
軸部３２には、第２のスクリューロータ１２の排出端側軸部に取り付けられた同期ギヤ（図示略）と噛み合う同期ギヤ３５が取り付けられており、モータＭによる第１のスクリューロータ１１への回転駆動力が同期ギヤ３５を介して第２のスクリューロータ１２へ伝達される。モータＭは、吸気口２２から吸入した上記真空チャンバ内の気体を排気口２３へ向けて移送するように、第１及び第２のスクリューロータ１１，１２を回転させる。
【００２８】
［消音器］
消音器５０は、ポンプ本体１０の底部に配置される。消音器５０は、ポンプ本体１０により吸引され排気口２３から排出される気体の排気音を低減させるためのものである。以下、消音器５０の詳細について説明する。
【００２９】
図５は消音器５０の斜視図、図６はその平面図、図７はその背面図、図８は、図７におけるＣ−Ｃ線方向断面図である。
【００３０】
消音器５０は、筐体５１と、第１の通路部６１と、第２の通路部６２とを有する。
【００３１】
筐体５１は、Ｙ軸方向に長手方向を有する概略直方体形状の金属製の箱体で構成される。筐体５１は、開口端部５１１と、底壁部５１２と、周壁部５１３とを有する。
【００３２】
開口端部５１１は、筐体５１の上端部に形成されたＸＹ平面に平行なフランジ部で構成され、シールリングＳ１（図３参照）が装着される環状溝５１１ａと、複数のボルト挿通孔５１１ｈとを有する。環状溝５１１ａは開口端部５１１の上面に形成され、ボルト挿通孔５１１ｈは、開口端部５１１の四隅に設けられる。
【００３３】
底壁部５１２は、開口端部５１１とＺ軸方向に対向し、筐体５１の底部を構成する。周壁部５１３は、開口端部５１１と底壁部５１２との間に設けられ、底壁部５１２の周縁部から立ち上がり形成される。周壁部５１３は、Ｙ軸方向に相互に対向する第１及び第２の側壁部Ｗ１，Ｗ２を含む４つの側壁部で構成される。
【００３４】
筐体５１は、ポンプ本体１０の底部の外壁面２０ｗに気密に接続されることで、外壁面２０ｗと、底壁部５１２及び周壁部５１３各々の内壁面との間に、膨張室５２を区画する。筐体５１の開口端部５１１と接する外壁面２０ｗは平面で構成され（図３、図４参照）、シールリングＳ１及び複数のボルトＢ１（図２参照）を介して筐体５１と接続される。膨張室５２に臨む外壁面２０ｗには、複数のリブ２０ｗ１（図３参照）と、第１及び第２のスクリューロータ１１，１２の軸間に向かって傾斜する一対の傾斜面を含む凹部２０ｗ２がそれぞれ設けられている。
【００３５】
筐体５１は、弁室５３を区画する補助壁部５１０をさらに有する。補助壁部５１０は、上面が開放された有底の概略部分円筒形状を有し、第１の側壁部Ｗ１に連設される。補助壁部５１０の上面は、開口端部５１１の上面と同一平面に属する平坦面で構成され、排気口２３の周囲に弾接するシールリング（図示略）が装着される環状溝５１１ｂを有する。補助壁部５１０は、筐体部５１がポンプ本体１０の外壁面２０ｗに接続されることで、排気口２３の周囲に気密に接続される。
【００３６】
弁室５３は、第１の側壁部Ｗ１を挟んで膨張室５２と筐体５１の長手方向（Ｙ軸方向）に隣接する。弁室５３は、排気口２３と膨張室５２との間に設けられ、排気口２３を開閉する逆止弁として構成された弁部材５４を収容する。弁部材５４は、弁室５３の底部に一端が係止された弁バネ５５のバネ力によって排気口２３を閉塞する方向に付勢され、弁シール５４ａを介して排気口２３の周縁部に着座することで弁室５３から排気口２３への気体の逆流を防止する。弁バネ５５のバネ力は特に限定されず、典型的には、排気口２３の内圧が大気圧を超えたときに弁部材５４が開弁できる大きさに設定される。
【００３７】
弁室５３にはさらに、弁部材５４の上下方向（Ｚ軸方向）の移動をガイドするガイド機構を有する。本実施形態においてガイド機構は、図５及び図６に示すように、弁部材５４の周囲に摺動可能に配置された複数（本例では４つ）のガイド片５６で構成される。各ガイド片５６は、弁室５３の内壁面から弁部材５４の周面に向かって突出するように弁室５３に固定される。
【００３８】
第１の通路部６１は、第１の側壁部Ｗ１を貫通し、排気口２３から排出された気体を弁室５３から膨張室５２へ導入することが可能に構成される。本実施形態において、第１の通路部６１は、第１の側壁部Ｗ１から膨張室５２の内部に向かってＹ軸方向に延びるパイプ部材６１０（第１のパイプ部材）で構成される。パイプ部材６１０は、一端が第１の側壁部Ｗ１に固定され、他端が第２の側壁部Ｗ２に間隔をおいて対向するように筐体５１に設けられる。
【００３９】
一方、第２の通路部６２は、第２の側壁部Ｗ２を貫通し、膨張室５２内の気体を筐体５１の外部へ排出することが可能に構成される。本実施形態において、第２の通路部６２は、第２の側壁部Ｗ２から膨張室５２の内部に向かってＹ軸方向の延びるパイプ部材６２０（第２のパイプ部材）で構成される。パイプ部材６２０は、一端が第２の側壁部Ｗ２に固定され、他端が第１の側壁部Ｗ１に間隔をおいて対向するように筐体５１に設けられる。
【００４０】
パイプ部材６１０，６２０はそれぞれ、所定の長さ及び内径を有する金属製の円管で構成される。各パイプ部材６１０，６２０は、典型的には、膨張室５２よりも十分に小さい流路断面積を有する。これにより、消音器５０を通過する気体の通路に流路断面の急拡大部と急縮小部とが形成されるため、低周波領域の排気音の消音効果を高めることが可能となる。なお、各パイプ部材６１０，６２０の長さは、減衰させるべき周波数帯域に応じて適宜可能である。
【００４１】
パイプ部材６１０，６２０のレイアウトも特に限定されない。本実施形態では、２つのパイプ部材６１０，６２０は、各々の軸心が相互にオフセットした位置に配置され、Ｘ軸方向に相互に対向する領域を有する（図６参照）。これにより、膨張室５２内の容積が確保されるので気体の十分な膨張作用が得られるとともに、各通路部６１，６２の十分な長さが確保されるので消音効果の更なる向上を図ることができる。
【００４２】
第２の側壁部Ｗ２の外面には、パイプ部材６２０の内部（第２の通路部６２）と連通する排気管４２が取り付けられている。排気管４２には、消音器５０から排出される気体を無害化する処理ユニット（図示略）等が接続されてもよい。
【００４３】
筐体５１は、図８に示すように、排水部７０をさらに有する。排水部７０は、膨張室５２内において生成された液体（例えば、排気ガスの凝縮水あるいは結露水）を消音器５０の外部へ排出するためのもので、排水口７１と、ドレン蓋７２と、ガイド通路７３とを有する。
【００４４】
排水口７１は、膨張室５２と筐体５１の外部との間を連通させる貫通孔（ネジ孔）で構成され、本実施形態では側壁部Ｗ２の底部に設けられる。ドレン蓋７２は、側壁部Ｗ２の外側から排水口７１を閉塞可能に取り付けられ、典型的にはドレンボルトで構成される。ガイド通路７３は、底壁部５１２の内壁面に設けられ、ＸＹ平面に対して前記排水口に向かって傾斜する傾斜面で構成される（図８参照）。ガイド通路７３は、図６に示すように、第１の側壁部Ｗ１側から第２の側壁部Ｗ２側に向かって溝幅が漸次狭くなる凹溝で形成されており、これにより排水を効率よく排水口７１へ導くことができる。
【００４５】
筐体５１はさらに、ポンプ本体１０を支持する複数の脚部７５を有する。複数の脚部７５は、開口端部５１１を構成するフランジ部の下面から周壁部５１３に沿って底壁部５１２の四隅外面に向けてそれぞれ突出する、概略円筒形状の４つの柱状体で構成される。これら脚部７５の先端部は、同一平面上に位置し、典型的には、作業台や床面上に設置されることで、真空ポンプ１００を水平に支持する。
【００４６】
筐体５１は、アルミニウム合金等の金属材料の鋳物で構成される。第１及び第２の通路部６１，６２を構成する２本のパイプ部材６１０，６２０は、鋳ぐるみ法により筐体５１と一体的に鋳造される。底壁部５１２や周壁部５１３の厚みは特に限定されず、例えば５ｍｍ以上１０ｍｍ以下で形成される。弁部材５４及び弁バネ５５は、筐体５１の鋳造後、補助壁部５１０内の弁室５３に組み込まれる。
【００４７】
［真空ポンプの動作］
本実施形態の真空ポンプ１００において、消音器５０は、ポンプ本体１０の排気口２３からの排出ガスを第１の通路部６１、膨張室５２及び第２の通路部６２を介して消音器５０の外部へ排出する。この際、消音器５０内の排出ガスは、弁室５３から第１の通路部６１へ至る流路断面の急縮小部、第１の通路部６１から膨張室５２へ至る流路断面の急拡大部、そして、膨張室５２から第２の通路部６２へ至る流路断面の再度の急縮小部を通過する。これにより、排気音を所定レベル以下に低減することができる。
【００４８】
特に本実施形態において、消音器５０の筐体５１は、開口端部５１１を有し、その開口端部５１１を介してポンプ本体１０の底部の外壁面２０ｗに接続されるため、膨張室５２の容積を確保しつつ、消音器５０をポンプ本体１０へコンパクトに装着することができる。具体的には、消音器５０の上壁部をポンプ本体１０の外壁面２０ｗと共用できるため、消音器５０の高さを上記上壁部の厚み分だけ低減することができる。このように本実施形態によれば、消音効果を確保しつつ真空ポンプ１００の小型化を図ることができる。
【００４９】
また、消音器５０の筐体５１がポンプ本体１０の外壁面の一部を構成するため、第１のハウジング部２０１の強度を高めることができる。さらに、筐体５１の開口端部５１１とポンプ本体１０の外壁面２０ｗとがいずれも平面で構成されているため、気密性の確保が容易であるとともに、別途の部材を必要とすることなく複数のボルトＢ１のみで容易に組み立てることができる。
【００５０】
さらに、消音器５０は、ポンプ本体１０の底部に配置されているため、膨張室５２の容積を最大限に確保することができるとともに、膨張室５２内に生成した凝縮水等を容易に外部へ排出することができる。本実施形態では、弁部材５４が排気口２３を下方から閉塞するように構成されているため、ポンプ室２１において生成された排気ガスの凝縮水を排気口２３や弁室５３に滞留させることなく膨張室５２（排水部７０）へ導くことができる。
【００５１】
さらに、真空ポンプ１００を支持する脚部７５を筐体５１と一体的に設けることができるため、ポンプ本体１０の構成の簡素化を図ることができるとともに、ポンプ本体１０を支持する脚部を別途組み立てる必要がなくなるため組立工数の削減も図ることができる。
【００５２】
そして、消音器５０の第１及び第２の通路部６１，６２が、膨張室５２内に突出するパイプ部材６１０，６２０でそれぞれ構成されているため、膨張室５２において気体のエネルギを効率よく減衰させて、所望とする消音効果を得ることができる。また、このような消音器５０の複雑な内部構造を鋳ぐるみ法で容易に作製することができるため、設計自由度が高く、したがって仕様に応じた設計の最適化が容易となる。
【００５３】
＜第２の実施形態＞
図９は、本発明の第２の実施形態に係る真空ポンプ２００の構成を示す要部断面図である。以下、第１の実施形態と異なる構成について主に説明し、第１の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。
【００５４】
本実施形態の真空ポンプ２００は、ポンプ本体１０を支持する複数の脚部７６がポンプ本体１０の底部に設けられており、これら複数の脚部７６の間に消音器５０が設けられている点で、第１の実施形態と異なる。
【００５５】
複数の脚部７６は、ポンプ本体１０のハウジング２０の底部の四隅から鉛直下方へ突出する概略円柱形状の柱体で構成される。消音器５０は、第１の実施形態と同様に、膨張室５２を内部に有する筐体５１と、筐体５１に設けられた第１及び第２の通路部６１，６２とを有し、筐体５１の開口端部５１１を介してポンプ本体１０の底部の外壁面２０ｗに気密に接続される。
【００５６】
本実施形態の真空ポンプ２００においても第１の実施形態と同様な作用効果を得ることができる。本実施形態によれば、複数の脚部７６の間の領域を有効に利用することができるため、消音器５０の設置領域の省スペース化を実現でき、装置構成のコンパクト化を図りつつ、所望とする消音効果を有する真空ポンプ２００を提供することができる。
【００５７】
複数の脚部７６は、円柱形状の柱体で構成される例に限られず、ポンプ本体１０やポンプ本体を収容する保護ケース等に設けられたアングル材などで構成されてもよい。また、複数の脚部７６の少なくとも一部は移動用の車輪を含んでいてもよい。
【００５８】
＜第３の実施形態＞
図１０は、本発明の第３の実施形態に係る真空ポンプ３００の構成を示す概略断面図である。以下、第１の実施形態と異なる構成について主に説明し、第１の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。
【００５９】
本実施形態の真空ポンプ３００は、消音器３５０の構成が第１の実施形態と異なる。本実施形態において消音器３５０は、ポンプ本体１０の第２のハウジング部２０２に設けられた排気口２３を弁室５４へ連絡する連絡通路５７を有する。弁バネ５５は、連絡通路５７と弁室５３との間に形成された環状の弁座５８に向けて弁部材５４を付勢する。弁部材５４は、弁座５８に対して離着座することで、連絡通路５７に連絡する排気口２３を開閉するように構成される。
【００６０】
以上のように構成される本実施形態の真空ポンプ３００においても上述の第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。本実施形態によれば、弁部材５４が弁バネ５５により重力方向に付勢されるため、弁座５８に対して弁部材５４を安定に着座させることができ、弁部材５４のシール性や耐久性の向上が図れる。
【００６１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。
【００６２】
例えば以上の実施形態では、ポンプ本体１０がスクリューポンプで構成される場合を例に挙げて説明したが、これに限られず、ポンプ本体は、多段ルーツポンプやスクロールポンプ等の他のドライポンプで構成されてもよい。
【００６３】
また、筐体５０は鋳物で構成される場合を例に挙げて説明したが、これに限られず、板金等で構成されてもよい。さらに、消音器５０，３５０の膨張室５２には、スポンジやガラスウール等の吸音材が充填されていてもよく、これにより高周波帯域の排気音も効率よく低減することができる。
【００６４】
さらに以上の実施形態では、消音器５０，３５０がポンプ本体１０の底部に配置される場合を例に挙げて説明したが、これに限られず、消音器はポンプ本体の上面は側部に配置されてもよい。消音器の排水部の位置や数も上述の例に限られない。例えば、図１０に示した真空ポンプ３００において、排水部は、膨張室５７だけでなく連絡通路５７にも追加的に設けられてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
１０…ポンプ本体
１１…第１のスクリューロータ
１２…第２のスクリューロータ
２０…ハウジング
２０ｗ…外壁面
２１…ロータ室
２２…吸気口
２３…排気口
３０…駆動部
５０，３５０…消音器
５１…筐体
５２…膨張室
５３…弁室
５４…弁部材
６１…第１の通路部
６２…第２の通路部
７０…排水部
７５，７６…脚部
１００，２００，３００…真空ポンプ
５１１…開口端部
５１２…底壁部
５１３…周壁部
６１０，６２０…パイプ部材
Ｗ１…第１の側壁部
Ｗ２…第２の側壁部
【要約】
本発明の一形態に係る真空ポンプは、ポンプ本体と、消音器とを具備する。上記ポンプ本体は、吸気口と、排気口とを有するハウジングと、上記ハウジングの内部に回転可能に配置され、上記吸気口から上記排気口へ気体を移送するロータとを有する。上記消音器は、筐体と、第１の通路部と、第２の通路部とを有する。上記筐体は、上記ハウジングの外壁面に気密に接続される開口端部と、上記開口端部に対向する底壁部と、周壁部とを有し、上記ハウジングの外壁面と上記底壁部及び上記周壁部各々の内壁面とにより膨張室を区画する。上記第１の通路部は、上記筐体に設けられ、上記排気口から排出された気体を上記膨張室へ導入する。上記第２の通路部は、上記筐体に設けられ、上記膨張室内の気体を上記筐体の外部へ排出する。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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