(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）水に溶解するホモポリマーを形成可能な（メタ）アクリルアミド化合物と、
（Ｂ）水に溶解しないホモポリマーを形成可能な（メタ）アクリルアミド化合物と、
（Ｃ）光重合開始剤と、
（Ｄ）１分子中に１個のエチレン性不飽和基と少なくとも１個のカルボキシル基とを有するカルボキシル基含有化合物と、
を含有し、
前記（Ａ）の（メタ）アクリルアミド化合物は、（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミドから選ばれる少なくとも１つを含み、
前記（Ｂ）の（メタ）アクリルアミド化合物は、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、４−（メタ）アクリロイルモルホリンから選ばれる少なくとも１つを含む、
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。
【請求項２】
（Ｅ）１分子中に１個のエチレン性不飽和基を有する疎水性の（メタ）アクリル酸エステルをさらに含有する、請求項１に記載のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。
【請求項３】
前記（Ｄ）のカルボキシル基含有化合物は、２−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−アクリロイロキシエチルコハク酸、から選ばれる少なくとも１つを含む、請求項１又は２に記載のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。
【請求項４】
前記（Ｃ）の光重合開始剤は、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤を含む、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。
【請求項５】
前記（Ａ）の（メタ）アクリルアミド化合物は、下記式（１）で表される化合物を含む、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。
【化１】
0006524579.tif 000012
式（１）において、Ｒ１は水素原子又はメチル基を表し、
Ｒ２は水素原子又はアルキル基を表し、Ｒ３は水素原子、アルキル基又はアルコキシアルキル基を表し、Ｒ２及びＲ３の炭素数の合計は０〜２である。
【請求項６】
前記（Ｂ）の（メタ）アクリルアミド化合物は、下記式（２）で表される化合物を含む、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。
【化２】
0006524579.tif 000013
式（２）において、Ｒ４は水素原子又はメチル基を表し、
Ｒ５は水素原子又はアルキル基を表し、Ｒ６は水素原子、アルキル基又はアルコキシアルキル基を表し、又は
Ｒ５及びＲ６は、酸素原子を介して２つのアルキレン基が繋がった環状エーテル構造を形成し、
Ｒ５及びＲ６の炭素数の合計は３以上である。
【請求項７】
前記（Ａ）の（メタ）アクリルアミド化合物と前記（Ｂ）の（メタ）アクリルアミド化合物との含有比率は、質量比で、１：１〜１：１０である、請求項１乃至６のいずれか１項に記載のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。
【請求項８】
（Ｆ）染料をさらに含有する、請求項１乃至７のいずれか１項に記載のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。
【請求項９】
前記（Ｆ）染料は、アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料、から選ばれる少なくとも１つの染料を含む、請求項８に記載のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットによって形成するエッチングレジスト用の紫外線硬化性組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレジストインクは、特にプリント配線板製造用インク、フレキシブルプリント配線板製造用インク等の分野において、盛んに利用されている。希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレジストインクとしては、例えば、感光性硬化性組成物を用いることができる。ただし、このようなフォトレジストインクを用いてプリント配線板等を製造する場合、露光の際に所望のパターンを描いたマスクフィルムを準備する必要があり、また、露光した後、現像工程も必要であることから、工程が複雑であると共に操作も煩雑となることがある。そのため、より簡便にプリント配線板等を製造することを目的として、インクジェット方式を用いてレジスト用硬化性組成物を基板上に直接塗布し、レジストパターンを形成する方法も開発されている。このようなインクジェットエッチングレジスト用の組成物も種々提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３９９７７５３号公報
【特許文献２】特開２０１２−２４５７５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
インクジェットエッチングレジスト用の組成物で形成された塗膜の剥離は、膨潤剥離型、膨潤溶解型、溶解剥離型に分けられる。このうち、溶解剥離型のレジストは、塗膜を剥離液に溶解しながら剥離するため、他の方法に比べて残渣が残りにくいという特徴がある。例えば、特許文献１及び２は、溶解によって剥離を行うタイプのレジスト用組成物を開示している。しかしながら、溶解剥離型のレジストは、剥離液への溶解性が高くなると塗膜の親水性が高くなり、エッチング液への耐性が低くなる傾向にある。そこで、エッチング液への耐性を高くしようとすると、塗膜の疎水性が高くなり、今度は、剥離液への溶解性が低くなる傾向にある。このように、剥離液への溶解性とエッチング液への耐性とはトレードオフの関係にあり、両者を同時に高めることは難しい。この点に関しては、特許文献１及び２に開示された組成物でも十分とは言えない。
【０００５】
本開示の目的は、剥離液への溶解性とエッチング液への耐性との両方に優れるインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、（Ａ）水に溶解するホモポリマーを形成可能な（メタ）アクリルアミド化合物と、（Ｂ）水に溶解しないホモポリマーを形成可能な（メタ）アクリルアミド化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）１分子中に１個のエチレン性不飽和基と少なくとも１個のカルボキシル基とを有するカルボキシル基含有化合物と、を含有する。
【０００７】
上記のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、（Ｅ）１分子中に１個のエチレン性不飽和基を有する疎水性の（メタ）アクリル酸エステルをさらに含有することが好ましい。
【０００８】
前記（Ｄ）のカルボキシル基含有化合物は、２−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−アクリロイロキシエチルコハク酸、から選ばれる少なくとも１つを含むことが好ましい。
【０００９】
前記（Ｃ）の光重合開始剤は、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤を含むことが好ましい。
【００１０】
前記（Ａ）の（メタ）アクリルアミド化合物は、下記式（１）で表される化合物を含むことが好ましい。ただし、式（１）において、Ｒ１は水素原子又はメチル基を表す。また、式（１）において、Ｒ２は水素原子又はアルキル基を表し、Ｒ３は水素原子、アルキル基又はアルコキシアルキル基を表し、Ｒ２及びＲ３の炭素数の合計は０〜２である。
【００１１】
【化１】
0006524579.tif 000002
【００１２】
前記（Ｂ）の（メタ）アクリルアミド化合物は、下記式（２）で表される化合物を含むことが好ましい。ただし、式（２）において、Ｒ４は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ５は水素原子又はアルキル基を表し、Ｒ６は水素原子、アルキル基又はアルコキシアルキル基を表す。又は、Ｒ５及びＲ６は、酸素原子を介して２つのアルキレン基が繋がった環状エーテル構造を形成する。Ｒ５及びＲ６の炭素数の合計は３以上である。
【００１３】
【化２】
0006524579.tif 000003
【００１４】
前記（Ａ）の（メタ）アクリルアミド化合物は、（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミドから選ばれる少なくとも１つを含むことが好ましい。
【００１５】
前記（Ｂ）の（メタ）アクリルアミド化合物は、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、４−（メタ）アクリロイルモルホリンから選ばれる少なくとも１つを含むことが好ましい。
【００１６】
前記（Ａ）の（メタ）アクリルアミド化合物と前記（Ｂ）の（メタ）アクリルアミド化合物との含有比率は、質量比で、１：１〜１：１０であることが好ましい。
【００１７】
上記のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、（Ｆ）染料をさらに含有することが好ましい。
【００１８】
前記（Ｆ）染料は、アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料、から選ばれる少なくとも１つの染料を含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本開示のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、エッチング液に対する耐性に優れ、剥離液への溶解性がよい。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本開示のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物（以下「紫外線硬化性組成物」ともいう）は、（Ａ）水に溶解するホモポリマーを形成可能な（メタ）アクリルアミド化合物と、（Ｂ）水に溶解しないホモポリマーを形成可能な（メタ）アクリルアミド化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）１分子中に１個のエチレン性不飽和基と少なくとも１個のカルボキシル基とを有するカルボキシル基含有化合物と、を含有する。
【００２１】
（Ａ）成分と（Ｂ）成分とは、ともに（メタ）アクリルアミド化合物である。しかしながら、それらは、ホモポリマーの水溶解性が異なる。ホモポリマーの水溶解性は、重合物水溶性と定義される。
【００２２】
ここで、本明細書において、（メタ）アクリルとは、アクリルとメタクリルを総称している。例えば、（メタ）アクリルアミドは、アクリルアミドとメタクリルアミドとを総称している。すなわち、（メタ）アクリルアミドは、アクリルアミドとメタクリルアミドとの少なくとも一方を含むことを意味する。
【００２３】
（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物は、水に溶解するホモポリマーを形成することができる。すなわち、もし、（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物のみが重合したときには、その重合物は水に溶解する。（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物は、いわば、重合物水溶性の高い（メタ）アクリルアミド化合物である。ただし、紫外線硬化性組成物では、（Ａ）成分は、単体では重合せず、他の成分と一緒に重合する。
【００２４】
一方、（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物は、水に溶解しないホモポリマーを形成することができる。すなわち、もし、（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物のみが重合したときには、水に溶解しない重合物を合成できる。（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物は、いわば、重合物水溶性の低い（メタ）アクリルアミド化合物である。ただし、紫外線硬化性組成物では、（Ｂ）成分は、単体では重合せず、他の成分と一緒に重合する。（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物自体は、水に溶解してもよい。
【００２５】
ここで、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の重合物水溶性は、技術常識に基づいて判断される。特に、触媒下、８０℃の水中で１時間熱重合したホモポリマーの２０％水溶液が、温度２０℃で均一な外観を維持するか否かで決められる。均一な外観とは沈殿を生じないことであり、白濁していても良い。または、該モノマーを光重合開始剤と混合し、膜厚約２０μｍになるように塗膜を形成後、積算光量４００ｍＪ／ｃｍ２で紫外線硬化したホモポリマー塗膜が２０℃の水に全て溶解するか否かで決められる。
【００２６】
（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物と（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物とを併用することで、紫外線硬化性組成物から形成されるレジストは、エッチング液耐性と溶解剥離性とに優れる。従来、溶解剥離型のレジストでは、剥離液への溶解性とエッチング液への耐性とはトレードオフの関係にあり、両者を同時に高めることは難しかったが、本開示の紫外線硬化性組成物では、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との併用で、両者を同時に高めることができる。エッチング液は、一般的に、酸性であり、本開示の紫外線硬化性組成物のレジストは耐酸性に優れる。剥離液はアルカリ液が好ましく、本開示の紫外線硬化性組成物のレジストはアルカリ液への溶解性に優れる。
【００２７】
（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物は、下記式（１）で表される化合物を含むことが好ましい。
【００２８】
【化３】
0006524579.tif 000004
【００２９】
ここで、式（１）において、Ｒ１は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ２は水素原子又はアルキル基を表し、Ｒ３は水素原子、アルキル基又はアルコキシアルキル基を表し、Ｒ２及びＲ３の炭素数の合計は０〜２である。
【００３０】
式（１）の化合物で表される（メタ）アクリルアミド化合物において、Ｒ２及びＲ３の炭素数の合計が０〜２であると、そのホモポリマーの水溶性が高くなる。
【００３１】
（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物としては、例えば、（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（メトキシメチル）（メタ）アクリルアミドが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。
【００３２】
（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物は（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミドから選ばれる少なくとも１つを含むことが好ましい。これらの成分を使用した場合、溶解剥離性の高いレジストが得られやすくなる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。
【００３３】
（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物は、下記式（２）で表される化合物を含むことが好ましい。
【００３４】
【化４】
0006524579.tif 000005
【００３５】
ここで、式（２）において、Ｒ４は水素原子又はメチル基を表す。一の態様では、Ｒ５は水素原子又はアルキル基を表し、Ｒ６は水素原子、アルキル基又はアルコキシアルキル基を表す。他の態様では、Ｒ５及びＲ６は、酸素原子を介して２つのアルキレン基が繋がった環状エーテル構造を形成する。これらいずれの態様においても、Ｒ５及びＲ６の炭素数の合計は３以上である。
【００３６】
（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｎ−プロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−シクロプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、４−（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ−ターシャリーブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ターシャリーオクチル（メタ）アクリルアミドが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。
【００３７】
（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物は、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、４−（メタ）アクリロイルモルホリンから選ばれる少なくとも１つを含むことが好ましい。これらの成分を使用した場合、耐酸性の高いレジストが得られやすくなる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。なお、４−（メタ）アクリロイルモルホリンは、式（２）のＲ５及びＲ６が環状エーテル構造を形成する化合物に該当する。
【００３８】
なお、紫外線硬化性組成物は、式（１）以外の（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物や、式（２）以外の（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物を含んでもよい。式（１）にも式（２）にも属さない（メタ）アクリルアミド化合物としては、たとえば、Ｎ−ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、ジアセトン（メタ）アクリルアミド、Ｎ、Ｎ’−メチレンビスアクリルアミドが挙げられる。これらのうち、水に溶解するホモポリマーを形成可能な（メタ）アクリルアミド化合物は、（Ａ）成分に属し、水に溶解しないホモポリマーを形成可能な（メタ）アクリルアミド化合物は、（Ｂ）成分に属する。
【００３９】
（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物は、（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物よりも多いことが好ましい。それにより、良好な塗膜物性を保ったまま、溶解剥離性の高いレジストが得られやすくなる。
【００４０】
（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物と（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物との含有比率は、質量比で、１：１〜１：１０であることが好ましい。この範囲の含有比率となることで、溶解剥離性と耐酸性とがバランスよく高まる。（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物と（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物との含有比率は、質量比で、１：２〜１：９であることがさらに好ましい。（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物の量は、（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物の量の３倍以上であってもよい。（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物の量は、（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物の量の８倍以下であってもよく、６倍以下であってもよい。
【００４１】
（Ａ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物は、紫外線硬化性組成物全量に対して、１〜２０質量％であることが好ましい。（Ａ）成分の含有量がこの範囲になることで、溶解剥離性の優れたレジストを得ることができる。（Ａ）成分の重合性モノマーの含有量が少なくなりすぎると、溶解剥離性が十分でなくなる可能性がある。（Ａ）成分の含有量が多くなりすぎると耐酸性が十分でなくなる可能性がある。（Ａ）成分の含有量は、３〜１５質量％であることがより好ましく、４〜１０質量％であることがさらに好ましい。
【００４２】
（Ｂ）成分の（メタ）アクリルアミド化合物は、紫外線硬化性組成物全量に対して、１０〜７０質量％であることが好ましい。（Ｂ）成分の含有量がこの範囲になることで、耐酸性の優れたレジストを得ることができ、特にサテライトの発生を抑制するため、シャープなラインを形成できる。サテライトとはいわゆる塗料の飛び散りである。
（Ｂ）成分の重合性モノマーの含有量が少なくなりすぎると、耐酸性が十分でなくなる可能性がある。（Ｂ）成分の含有量が多くなりすぎると溶解剥離性が十分でなくなる可能性がある。（Ｂ）成分の含有量は、１５〜６０質量％であることがより好ましく、２０〜５５質量％であることがさらに好ましい。
【００４３】
なお、（Ａ）成分と（Ｂ）成分とをあわせた（メタ）アクリルアミド化合物合計量は、紫外線硬化性組成物全量に対して、２０〜８０質量％であることが好ましい。それにより、良好な硬化性が得られる。（Ａ）成分と（Ｂ）成分とをあわせた（メタ）アクリルアミド化合物合計量は、紫外線硬化性組成物全量に対して、３０〜７０質量％であることがさらに好ましい。
【００４４】
（Ｃ）成分は光重合開始剤である。光重合開始剤として、たとえば、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、アルキルフェノン系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤、オキシムエステル系光重合開始剤、カチオン系光重合開始剤が挙げられる。このうち、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤が好ましい。光重合開始剤として、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤を使用することにより、紫外線硬化性組成物における硬化性が特に向上し、塗膜物性が向上する。また、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤は、紫外線硬化性組成物が染料を含む場合にも好ましい。その場合に色抜けが効果的に抑制される。その理由は、着色した塗膜の硬化が良好に進行するため、光酸化による色抜けの原因物質であるオゾンへの耐性が向上し、耐侯性も向上するからと推測される。
【００４５】
紫外線硬化性組成物は、光重合開始剤として、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤のみを含んでいてもよい。紫外線硬化性組成物は、光重合開始剤として、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤と、他の光重合開始剤とを含んでいてもよい。ただし、光重合開始剤が複数種を含む場合、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤の方が、それ以外の光重合開始剤よりも含有量が多いことが好ましい。
【００４６】
アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、２，６−ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、２，６−ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、２−メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル等のモノアシルフォスフィンオキサイド系や、ビス−（２，６−ジクロロベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジクロロベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジクロロベンゾイル）−４−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジクロロベンゾイル）−１−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジメトキシベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−ジフェニルフォスフィンオキサイド、（２，５，６−トリメチルベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド等のビスアシルフォスフィンオキサイド系が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。
【００４７】
光重合開始剤の含有量は、紫外線硬化性組成物全量に対して、１〜４０質量％であることが好ましい。光重合開始剤の含有量がこの範囲になることで、良好な硬化塗膜を得ることができる。光重合開始剤の含有量が少なくなりすぎると、硬化性が十分でなくなる可能性がある。光重合開始剤の含有量が多くなりすぎるとインクジェット塗布が容易でなくなる可能性がある。光重合開始剤の含有量は、３〜３０質量％であることがより好ましく、１０〜２５質量％であることがさらに好ましい。光重合開始剤の含有量は、さらに１５質量％以上であってもよい。光重合開始剤の含有量は、さらに２０質量％以下であってもよい。
【００４８】
（Ｄ）成分のカルボキシル基含有化合物は、１分子中に１個のエチレン性不飽和基を有する。エチレン性不飽和基により、（Ｄ）成分は光重合が可能である。また、（Ｄ）成分のカルボキシル基含有化合物は、１分子中に少なくとも１個のカルボキシル基を有する。カルボキシル基により、（Ｄ）成分は、アルカリに溶解し得る。（Ｄ）成分のカルボキシル基含有化合物は、１分子中にエチレン性不飽和基を１個のみ有することが好ましい。それにより、良好な溶解性が得られる。（Ｄ）成分のカルボキシル基含有化合物は、カルボキシル基を、１分子中に１個以上有しており、たとえば、１個のみ有してもよいし、２個有してもよいし、３個有してもよいし、それ以上有していてもよい。
【００４９】
（Ｄ）成分は、重合性モノマー（単量体）であり、重合に寄与する。本明細書において重合性モノマーとは、光重合するモノマーを意味する。不飽和炭素炭素結合は光重合性を発揮し得る。（Ｄ）成分のカルボキシル基含有化合物を使用することにより、アルカリへの溶解性が向上する。また、（Ｄ）成分は、染料の色抜けを効果的に抑制することができる。その理由は、染料の塩基性置換基と（Ｄ）成分のカルボキシル基が相互作用を有するからと推測される。カルボキシル基の存在が色抜けの抑制、耐酸性の向上に寄与していると考えられる。（Ｄ）成分の使用により、良好な塗膜が得られる。
【００５０】
（Ｄ）成分としては、フタル酸系の（メタ）アクリル酸エステル、コハク酸系の（メタ）アクリル酸エステルが例示される。このような（メタ）アクリル酸エステルとして、例えば、２−（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルコハク酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチル−フタル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルテトラヒドロフタル酸が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。特に、これらのうちの２種以上を併用することにより、良好な紫外線硬化性組成物が得られる。フタル酸系の（メタ）アクリル酸エステルと、コハク酸系の（メタ）アクリル酸エステルとの併用は、良好な塗膜を形成するために特に好ましい。これ以外のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物としては、（メタ）アクリル酸、マレイン酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン（ｎ≒２）モノアクリレート、クロトン酸、桂皮酸、β−カルボキシエチルアクリレート、マレイン酸モノ［２−（メタ）アクリロイロキシエチル］を挙げることができる。このように、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、カルボキシル基を有する（メタ）アクリル酸エステルであってもよいし、置換基の導入された（メタ）アクリル酸であってもよいし、その他の構造を有する化合物であってもよい。
【００５１】
（Ｄ）成分のカルボキシル基含有化合物は、２−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−アクリロイロキシエチルコハク酸、から選ばれる少なくとも１つを含むことが好ましい。この場合、耐酸性と溶解剥離性の良好な塗膜が容易に得られる。
【００５２】
（Ｄ）成分のカルボキシル基含有化合物の含有量は、紫外線硬化性組成物全量に対して、１〜５０質量％であることが好ましい。（Ｄ）成分の含有量がこの範囲になることで、良好な硬化塗膜を得ることができる。（Ｄ）成分の含有量が少なくなりすぎると、エッチングレジストとして溶解剥離性を維持できなくなるおそれがある。（Ｄ）成分の含有量が多くなりすぎるとインクジェット塗布が容易でなくなる可能性がある。（Ｄ）成分の含有量は、５〜４０質量％であることがより好ましく、８〜３５質量％であることがさらに好ましい。インクジェット塗布を容易にするためには、（Ｄ）成分の含有量は、３０質量％以下であることがさらに好ましく、２５質量％以下であることがよりさらに好ましい。溶解剥離性を高めるためには、（Ｄ）成分の含有量は、１０質量％以上であることがさらに好ましく、１４質量％以上であることがよりさらに好ましい。
【００５３】
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、（Ｅ）１分子中に１個のエチレン性不飽和基を有する疎水性のアクリル酸エステルをさらに含有することが好ましい。それにより、レジストの溶解剥離性を維持しつつ、レジストの耐酸性をさらに向上させることができる。
【００５４】
（Ｅ）成分の（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ターシャリーブチル（メタ）アクリート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、ｎ−デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ミリスチル（メタ）アクリレート、セチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、イソボニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート等の直鎖、分岐或は脂環式アルキル系（メタ）アクリレート類；メトキシエチル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、べンジル（メタ）アクリレート等の芳香族系の（メタ）アクリレート類、ジエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等のエチレングリーコール系の（メタ）アクリレート類；グリセロールモノ（メタ）アクリレート等のグリセロール系の（メタ）アクリレート類が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。
【００５５】
（Ｅ）成分の（メタ）アクリル酸エステルとしては、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、イソボニル（メタ）アクリレートから選ばれる１つ以上が特に好ましい。これらのアクリル酸エステルにより、塗膜硬度が良好な硬化塗膜がより形成されやすくなる。
【００５６】
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、（Ｆ）染料を含有することが好ましい。それにより、レジストに着色が付与されるため、レジストの視認性が高まる。染料により着色したインクが硬化して塗膜を形成し、レジストパターンが明瞭になる。染料は、着色剤として機能する。
【００５７】
（Ｆ）成分の染料は、アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料、から選ばれる少なくとも１つの染料を含むことが好ましい。アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料の使用により、色抜けが抑制される。これらの染料は骨格が比較的剛直である。そのため、色抜けの抑制効果が高いものと推測される。
【００５８】
アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料としては、例えば、ソルベントレッド１２２、ソルベントブルー３５が挙げられる。
【００５９】
ソルベントレッド１２２の構造式を下記に示す。
【００６０】
【化５】
0006524579.tif 000006
【００６１】
ソルベントブルー３５の構造式を下記に示す。
【００６２】
【化６】
0006524579.tif 000007
【００６３】
ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料としては、例えば、ソルベントブルー５、ベーシックブルー７が挙げられる。
【００６４】
ソルベントブルー５の構造式を下記に示す。
【００６５】
【化７】
0006524579.tif 000008
【００６６】
ベーシックブルー７の構造式を下記に示す。
【００６７】
【化８】
0006524579.tif 000009
【００６８】
フタロシアニン骨格を有する染料としては、例えば、ダイレクトブルー８７が挙げられる。
【００６９】
ダイレクトブルー８７の構造式を下記に示す。
【００７０】
【化９】
0006524579.tif 000010
【００７１】
上記の染料の含有量は、紫外線硬化性組成物全量に対して、０．０１〜３質量％であることが好ましい。染料の含有量がこの範囲になることで、着色された良好な硬化塗膜を得ることができ、耐酸性が向上する。染料の含有量が少なくなると、着色性が十分でなくなる可能性がある。染料の含有量が多くなると硬化性が十分でなくなる可能性がある。染料の含有量は、０．０３〜２質量％であることがより好ましく、０．０５〜１質量％であることがさらに好ましい。染料の含有量は、さらに０．１質量％以上となってもよい。染料の含有量は、さらに０．５質量％以下となってもよい。
【００７２】
アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料のいずれにも該当しない染料としては、例えば、アシッドブルー９が挙げられる。アシッドブルー９のみを使用した塗膜では、色抜けが起こりやすいことが確認されている。
【００７３】
なお、紫外線硬化性組成物は、染料として、アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料以外の染料を含んでいてもよい。ただし、アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料の方が、それ以外の染料よりも、含有量が多いことが好ましい。染料は一種類を単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。
【００７４】
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、上記（Ａ）〜（Ｆ）成分以外に、適宜の成分を含んでいてもよい。例えば、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、上記以外の重合性モノマー、添加剤、有機溶剤を含み得る。
【００７５】
重合性モノマーとしては、分子内に炭素炭素二重結合を有する化合物が用いられ得る。重合性モノマーとして、例えば、スチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、α−メチルスチレン、ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレン、ｏ−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、ｍ−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、ｐ−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、ｐ−ビニルベンジルアルコール等のビニル芳香族化合物類；マレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等のマレイミド類；酢酸ビニル、ビニルエーテル類、（メタ）アリルアルコール、シアン化ビニリデン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、ビニルピロリドン、（メタ）アクリロニトリルが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。
【００７６】
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、１分子中にエチレン性不飽和基を２個以上有する化合物を含有しないことが好ましい。それにより、レジストの溶解剥離性が高まる。この場合、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、単官能のモノマーのみを含み、多官能のモノマーを含まないことになり得る。単官能とは、エチレン性不飽和基が分子中に１個あることを意味し、多官能とは、エチレン性不飽和基が分子中に２個以上あることを意味する。従来、単官能のモノマーのみから形成された塗膜は、硬化性が悪く、耐水性、耐酸性も悪くなる問題があったが、本開示のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物では、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との併用により、これらの問題が改善される。
【００７７】
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、溶剤を含まないことが好ましい。それにより、揮発成分が存在しない。これによりＶＯＣフリー（揮発性有機化合物なし）という特性を与え得る。上記の成分のいずれか１つ以上が液体であると、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、無溶剤でも液状になり得る。
【００７８】
なお、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、上記（Ａ）〜（Ｆ）成分のみで構成されてもよいし、上記（Ａ）〜（Ｅ）成分のみで構成されてもよいし、上記（Ａ）〜（Ｄ）成分のみで構成されてもよい。
【００７９】
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、液状であることが好ましい。それにより、インクジェット塗布機により容易に塗布を行うことができる。インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、液体成分内に固体成分が溶解又は分散している状態であり得る。
【００８０】
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、２５℃での粘度が４０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。それにより、インクジェット塗布機で良好に塗布を行うことができる。インクジェット塗布では、通常、加温されてインクが吐出される。このとき、インクは粘度が１０ｍＰａ・ｓ程度になるような温度に加温される。２５℃での粘度が４０ｍＰａ・ｓを超えると、塗布時のインクの温度を高くすることが求められ、効率が低下するおそれがある。また、２５℃での粘度が４０ｍＰａ・ｓを超えると、インクジェット塗布によって形成された塗膜のパターンが不明瞭になりやすくなる。そのため、２５℃での粘度が４０ｍＰａ・ｓ以下となるのが好適である。インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、２５℃での粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下であることがより好ましく、２５ｍＰａ・ｓ以下であることがさらに好ましく、２０ｍＰａ・ｓ以下であることがよりさらに好ましい。
【００８１】
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、２５℃での粘度が５ｍＰａ・ｓ以上であることが好ましい。それより、インクジェット塗布の際に、吐出ノズルからインクがこぼれ落ちることが抑制される。インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、２５℃での粘度が８ｍＰａ・ｓ以上であることがより好ましい。インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物の粘度は、Ｂ型粘度計などで測定することができる。
【００８２】
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、非水系であることが好ましい。非水系とは、水を含有しないことを意味する。水は硬化性を阻害するため、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物が水を含有しないことで、硬化性の良好な塗膜を得ることができる。なお、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物が非水系であるとは、積極的に水が配合されていないことを意味しており、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、吸湿性を有する材料を原因として少量の水を含んでいる場合も、非水系となる。ただし、非水系の場合、紫外線硬化性組成物中に検出される水の含有量は、１質量％以下が好ましい。
【００８３】
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、上記（Ａ）〜（Ｆ）の成分、及び、その他必要に応じて添加される添加成分を、所定量配合させることで調製することができる。この配合時には必要に応じて、アルコール類、ケトン類等の希釈溶剤を添加してもよいし、添加しなくてもよい。液状の原料は、溶剤としての機能を兼ね備えることができる。無溶剤の場合、揮発成分が存在しない。これによりＶＯＣフリー（揮発性有機化合物なし）という特性を与え得る。
【００８４】
上記のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物を用いれば、例えば、導体パターンを形成することができる。導体パターンの形成により、プリント配線板を製造することができる。インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、直描方式にて基板上に塗布され得る。直描方式による塗布とは、ノズルからインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物（以下「レジストインク」ともいう）を吐出させて基板上にレジストインクを塗布することで、レジストインク層を所望の形状にあわせて形成させることをいう。所望の形状が配線形状であれば、パターン状の配線の形成が可能になる。
【００８５】
上記直描方式では、例えば、一般的に市販されているインクジェット塗布装置を用いることができる。具体的には、エッチングレジストインクとして調製された上記レジストインクを、ピエゾ型のインクジェットヘッドを用いて基板に向けて吐出し、基板上にレジストインク層を形成するようにすればよい。この場合、レジストインクを粘度が１０ｍＰａ・ｓ程度になるような温度に加温すれば、解像性がより向上するという点で好ましい。加温の温度は、例えば、２５〜６０℃の範囲内であってよい。
【００８６】
上記基板としては、適宜の基板を使用することができる。基板として、例えば、樹脂基板、セラミック基板、金属基板などが挙げられる。基板として、絶縁基板を用いてもよい。また、導電体を有する積層板を基板として用いてもよい。積層板として銅張り積層板が例示される。
【００８７】
レジストインクのインクジェット塗布を行ってパターン状のレジストインク層を形成した後、硬化処理を行う。例えば、レジストインク層に直接または間接的に紫外線を照射し、硬化塗膜を形成させるようにすればよい。紫外線の照射は、例えば、ケミカルランプ、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ又はメタルハライドランプ、ＬＥＤ−ＵＶランプ等を用いればよい。また、硬化工程においては紫外線の他、電子線なども採用することもでき、モノマー等の分子を重合又は架橋させ得る程度のエネルギー量子を有する活性エネルギー線であれば特に制限はない。紫外線照射量は特に限定されるものではないが、例えば、１００〜１０００ｍＪ／ｃｍ２の範囲内であってよい。
【００８８】
なお、上記のように硬化塗膜を形成した後、さらに追加で紫外線を照射することが好ましく、この場合、より確実にレジストインクを硬化させることができ、未反応物も残りにくくすることができる。追加で紫外線を照射する場合、紫外線照射量の合計（元の照射量と追加の照射量を合わせた量）は、例えば、１０００〜３０００ｍＪ／ｃｍ２の範囲内であってよい。
【００８９】
金属などの導電層を有する基板を用いた場合、上記硬化処理を行った後、エッチング処理工程を経ることによって、基板上にパターン状の導電体を容易に形成することができる。エッチング工程では、例えば、エッチング液を用いて、導電層を部分的に除去する。それにより、レジストパターンと同様のパターンの導電層が形成される。
【００９０】
本開示のレジストインク（インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物）は、溶解剥離型である。溶解剥離型では、レジストインク層が溶解しながら剥離する。溶解剥離型のレジストインクは、膨潤剥離型で生じ得る剥離片の再付着の問題がほとんどなくなる。また、溶解剥離型のレジストインクは、膨潤剥離型や膨潤溶解型で生じ得る、下地となる基材の凹凸部分で残渣が発生する問題が生じにくい。そのため、溶解剥離型のレジストインクは、剥離性の良好なレジストインク層を形成することができる。
【００９１】
レジストインク層は、レジスト溶解剥離液を用いて溶解剥離させることができる。溶解剥離工程では、レジストインク層、すなわち、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物が硬化されて形成された硬化塗膜が、レジスト溶解剥離液で溶解し、接着面から剥離し得る。
【００９２】
レジスト溶解剥離液としては、アルカリ溶液であることが好ましい。アルカリ溶液は、アルカリ性の水溶液であることが好ましい。それにより、容易に溶解剥離を行うことができる。例えば、レジスト溶解剥離液として、水酸化ナトリウム水溶液を使用することができる。水酸化ナトリウムの濃度は０．０１〜５％であることが好ましい。水酸化ナトリウムの濃度は特に０．５〜３％であることが好ましい。その場合、溶解剥離が良好になる。なお、アルカリ溶液として、アルカリ性の成分を含む有機溶剤を使用してもよいし、有機溶剤を含んだアルカリ性の水溶液を使用してもよい。
【００９３】
硬化塗膜の溶解剥離の方法としては、浸漬させる方法、スプレー塗布により溶解剥離させる方法、浸漬後に超音波等を照射させる方法等を用いることができる。浸漬させる方法により溶解剥離を行う場合、例えば、２０〜６０℃のレジスト溶解剥離液に３０秒〜１０分間浸漬させるようにすればよい。このような操作は１回行うのみでもよいし、同じ操作を複数回実施してもよい。
【００９４】
以上のように、レジストインク層が溶解剥離されることで、所望のパターンの導電層が得られる。このような工程を経て形成されるパターン状の導電層は、配線回路導体として使用され得る。
【００９５】
レジストインク層は、優れた耐酸性を発揮し得る。例えば、レジストインク層は、金属エッチング液中で剥離が生じにくくなる。エッチング液は、一般的に、酸性である。レジストインク層は良好な硬度を有し得る。例えば、レジストインク層は、鉛筆硬度が高くなり得る。
【００９６】
上記のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、インクジェット塗布に適したものであるため、インクジェット塗布機による塗布で、良好なレジストパターンが形成され得る。そのため、微細な導体パターンを良好に形成することができる。上記のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物を硬化させて形成した塗膜は、アルカリ水溶液によって、容易に溶解剥離され得る。そのため、有用なレジストが提供される。
【００９７】
このように、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、プリント配線板の製造に有用である。また、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、ガラスパターンの形成用として、あるいはセラミックパターンの形成用として、使用することも可能である。さらに、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、配線保護材としての使用が可能である。また、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、銘板の製造に有用である。この場合、加飾用途として、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物が使用される。これらの製造では、例えば、金属層を有する基材の金属層の上にレジストインク層をパターン状に形成し、金属層をエッチングすることで、パターン状になった金属を形成することができる。上述のように、パターン状の金属の形成後、レジストインク層は溶解剥離される。
【実施例】
【００９８】
以下、実施例を説明する。本開示のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、これらの実施例に限定されるものではない。
【００９９】
（実施例１〜１８、比較例１〜３）
表１に示す配合組成に従い、実施例及び比較例のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物（レジストインク）を調製した。原料の詳細を以下に示す。
【０１００】
［（Ａ）成分：（メタ）アクリルアミド、ただしホモポリマーが水に溶解する］
・メタクリルアミド（三井化学製「メタクリルアミド」）
・Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド（ＫＪケミカル製「ＤＭＡＡ」）
［（Ｂ）成分：（メタ）アクリルアミド、ただしホモポリマーが水に溶解しない］
・Ｎ，Ｎ−ジエチルアクリルアミド（ＫＪケミカル製「ＤＥＡＡ」）
・Ｎ−イソプロピルアクリルアミド（ＫＪケミカル製「ＮＩＰＡＭ」）
・４−アクリロイルモルホリン（ＫＪケミカル製「ＡＣＭＯ」）
・Ｎ−ｎ−ブトキシメチルアクリルアミド（ＭＲＣユニテック製「ＮＢＭＡ」）
［（Ｃ）成分：光重合開始剤］
・トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（ＢＡＳＦ製「イルガキュアＴＰＯ」、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤）
・ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド（ＢＡＳＦ製「イルガキュア８１９」、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤）
［（Ｄ）成分：カルボキシル基含有化合物］
・２−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸（共栄社製「ライトアクリレートＨＯＡ−ＨＨ）
・２−アクリロイロキシエチルコハク酸（共栄社製「ライトアクリレートＨＯＡ−ＭＳ）
［（Ｅ）成分：疎水性アクリル酸エステル］
・フェノキシエチルアクリレート（大阪有機化学製「ビスコート１９２」）
・イソボニルアクリレート（共栄社製「ライトアクリレート  ＩＢ−ＸＡ」）
［（Ｆ）成分：染料］
・ソルベントブルー５（オリエント化学製「オイルブルー６１３」）
・ベーシックブルー７（保土谷化学製「ビクトリアピュアブルーＢＯＨ」）
・ソルベントブルー３５（オリエント化学製「オイルブルー２Ｎ」）
・ダイレクトブルー８７（オリエント化学製「バリファストブルー１６２１」）
・ソルベントレッド１２２（ＢＡＳＦ製「オラゾールレッド３９５」）
尚、表１の配合組成の数値は質量部を示している。
【０１０１】
［調製］
上記原料を表１の配合割合で配合し、６０℃まで加温し６０分攪拌することでレジストインクを得た。
【０１０２】
［粘度］
Ｂ型粘度計（東京計器製ＢＬ型、Ｎｏ．１ローター、６０ｒｐｍ）にて、２５℃でのレジストインクの粘度を測定した。また、レジストインクを加温し、粘度が１０ｍＰａ・ｓになる温度を測定した。
【０１０３】
［試験品の作製］
以下の方法により、試験基板を作製した。レジストインクの塗布には、インクジェット塗布装置（マイクロクラフト社製ＭＪＰ２０１３ＫＩ−ＤＵ）を用いた。インクジェットタンクにレジストインクを投入した。次に、レジストインクの粘度が１０ｍＰａ・ｓになるように温度を設定し、ステンレス板（ＳＵＳ３０４）の上に、膜厚約２０μｍになるようにレジストインクを塗布した。塗布後、アイグラフィックス社製メタルハライドランプで、塗膜の紫外線硬化（積算光量４００ｍＪ／ｃｍ２（オーク製作所製ＵＶ−３５０測定））を行った。塗布パターンとしては、次の２つのパターンで行った。
・塗布パターン１：範囲２０ｍｍ×７０ｍｍのベタ塗り。
・塗布パターン２：櫛形状（ライン幅１２０μｍ、スペース幅１２０μｍ）。
【０１０４】
［色抜け］
塗布パターン１の試験基板について、塗膜色調を目視確認して、紫外線照射前の塗膜と比べて色が薄くなっているかどうかを確認した（４００ｍＪ／ｃｍ２での色抜け）。また、色調の確認後、追加で紫外線を１６００ｍＪ／ｃｍ２で照射（合計２０００ｍＪ／ｃｍ２）して、塗膜色調を確認した（２０００ｍＪ／ｃｍ２での色抜け）。次の基準により、色抜けを判定した。
○：色調変化なし。
△：やや薄くなる（色が抜ける）。
×：完全に色が抜けて無色になる。
【０１０５】
［硬度］
塗布パターン１の試験基板について、塗膜硬度に関するＪＩＳ  Ｋ５６００−５−４の試験法に準じ、三菱ユニの鉛筆（三菱鉛筆社製）で傷がつかない最も高い硬度を塗膜硬度（鉛筆硬度）とした。
【０１０６】
［耐酸性（エッチング液耐性）］
塗布パターン１の試験基板について、塩化第二鉄水溶液中に４０℃で６０分間浸漬させた後、水洗し、乾燥後、テープ密着性試験を行った。テープ密着性試験では、セロハン粘着テープによるピーリング試験後の塗膜の剥離の状態を目視により、次の基準に従い判定した。
◎：剥離を生じなかった。
○：剥離を生じなかったが、やや変色があった。
△：一部剥離を生じた。
×：全面に剥離を生じた。
【０１０７】
［アルカリ溶解剥離性］
塗布パターン１の試験基板について、３０℃の１％水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬し、塗膜の溶解剥離を目視により確認し、次の基準に従い判定した。
○：６０秒未満で溶解剥離した。
△：６０秒以上で溶解剥離した。
×：溶解剥離せずに、膨潤剥離した。
××：剥離しなかった。
【０１０８】
［インクジェット塗布性（ライン明瞭性）］
塗布パターン２の試験基板について、塗膜のライン形状をマイクロスコープで観察し、次の基準に従い判定した。
○：シャープなラインを形成し、サテライト等の飛び散りが発生していない。
△：ラインを形成した。ただし、ラインに僅かな太り細りや、僅かなサテライト等の飛び散りが見られる（パターン形成には影響しない程度）。
×：吐出はするものの、ニジミが大きくラインがつぶれている。
【０１０９】
［結果］
表１に示すように、実施例のレジストインクから得られた塗膜は、比較例のレジストインクから得られた塗膜よりも、溶解剥離性に優れ、インクジェットエッチングレジストとしての物性が良好な結果が得られている。
【０１１０】
【表１】
0006524579.tif 000011