(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
オーバーフローダウンドロー法により熔融ガラスからガラスリボンを成形してガラス基板を製造する方法であって、
前記ガラスリボンの温度が徐冷点から低下する徐冷空間で行われる工程であって、前記徐冷空間において鉛直方向に沿って配置されている複数のロール対で前記ガラスリボンを挟みながら、前記ロール対のロールを回転させて、前記ガラスリボンを下方に搬送する搬送工程と、
前記ガラスリボンが下方に搬送されている間において、回転している前記ロールのトルクを測定する測定工程と、
測定された前記トルクに基づいて、下方に搬送されている前記ガラスリボンからそれぞれの前記ロールが受ける荷重が均一になるように、前記ロールの状態を調整する調整工程と、
を備える、
ガラス基板の製造方法。
【請求項２】
前記調整工程は、前記ガラスリボンの搬送方向に沿って隣り合う２つの前記ロールの前記トルクの差が所定の値以上である場合に、前記２つのロールの角速度の差が小さくなるように前記ロールの状態を調整する、
請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記調整工程は、前記ロールを回転させるためのモータの回転数を制御して、前記ロールの状態を調整する、
請求項２に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記調整工程は、前記ロールが一回転する間における前記トルクの最大値と最小値との差であるトルク変動量が所定の値以上である場合に、前記トルク変動量が小さくなるように前記ロールの状態を調整する、
請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項５】
前記調整工程は、前記ロールと前記ガラスリボンとの間の接触荷重を制御して、前記ロールの状態を調整する、
請求項４に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項６】
前記調整工程は、前記搬送工程で使用されている前記ロールを予備ロールと交換することで、前記ロールの状態を調整する、
請求項１から５のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項７】
オーバーフローダウンドロー法により熔融ガラスからガラスリボンを成形してガラス基板を製造する装置であって、
前記ガラスリボンの温度が徐冷点から低下する徐冷空間において鉛直方向に沿って配置されている複数のロール対を有し、前記ロール対で前記ガラスリボンを挟みながら、前記ロール対のロールを回転させて、前記ガラスリボンを下方に搬送する搬送部と、
前記ガラスリボンが下方に搬送されている間において、回転している前記ロールのトルクを測定する測定部と、
測定された前記トルクに基づいて、下方に搬送されている前記ガラスリボンからそれぞれの前記ロールが受ける荷重が均一になるように、前記ロールの状態を調整する調整部と、
を備える、
ガラス基板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の製造方法、および、ガラス基板の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイおよびプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板は、小さい歪み、小さい反り、および、高い平坦度が求められる。このようなガラス基板は、特許文献１（特開２００９−１９６８７９号公報）に開示されるように、オーバーフローダウンドロー法によって製造される。オーバーフローダウンドロー法では、成形体の上面の溝に流し込まれて溝から溢れ出した熔融ガラスが、成形体の両側面を伝って流下し、成形体の下端で合流して、ガラスリボンが成形される。ガラスリボンは、下方に搬送されながら徐冷され、所定の寸法のガラス基板に切断される。ガラス基板は、端面加工工程、表面洗浄工程および検査工程等を経て、梱包されて出荷される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
オーバーフローダウンドロー法のガラスリボンの徐冷工程では、ガラスリボンを下方に搬送するための複数のロールが用いられる。ロールは、ガラスリボンの幅方向両端部と接触しながら回転することで、ガラスリボンを下方に引っ張る。各ロールとガラスリボンとの間には接触荷重が作用している。
【０００４】
また、高精細ディスプレイ用のガラス基板の製造には、熱収縮率および歪みが小さいガラス基板が求められる。そのような性質を有するガラス基板の製造工程では、徐冷工程で下方に搬送されるガラスリボンの温度が高い傾向がある。そのため、高温のガラスリボンと接触するロールが劣化しやすい問題が発生する。また、高品質のガラス基板を製造するためには、徐冷工程において、ガラスリボンの幅方向における所定の温度プロファイルを高い精度で実現する必要がある。特に、高精細ディスプレイ用のガラス基板には、低熱収縮率が求められるため、例えば、歪点の高いガラス組成が適用される。また、高精細ディスプレイ用ガラス基板の製造には、熱収縮率の安定が求められる。そのため、徐冷工程においてガラス基板の温度を高く維持する必要があり、徐冷工程が行われる空間は、ロールが劣化しやすい環境となる。ロールが劣化すると、各ロールとガラスリボンとの間の接触荷重が不均一になり、ガラスリボンの内部歪み、振動および変形の原因となるおそれがある。
【０００５】
本発明の目的は、オーバーフローダウンドロー法によって製造されるガラス基板の品質を向上させることができるガラス基板の製造方法、および、ガラス基板の製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るガラス基板の製造方法は、オーバーフローダウンドロー法により熔融ガラスからガラスリボンを成形してガラス基板を製造する方法である。このガラス基板の製造方法は、搬送工程と、測定工程と、調整工程とを備える。搬送工程は、鉛直方向に沿って配置されている複数のロール対でガラスリボンを挟みながら、ロール対のロールを回転させて、ガラスリボンを下方に搬送する。測定工程は、ガラスリボンが下方に搬送されている間において、回転しているロールのトルクを測定する。調整工程は、測定されたトルクに基づいて、下方に搬送されているガラスリボンからそれぞれのロールが受ける荷重が均一になるように、ロールの状態を調整する。
【０００７】
このガラス基板の製造方法では、ガラスリボンを下方に搬送するために回転しているロールのトルクが測定される。そして、各ロールのトルクの測定データに基づいて、各ロールとガラスリボンとの間の接触荷重が均一であるか否かが判定される。そして、接触荷重が均一になるように、ロールの状態が調整される。これにより、ガラスリボンの内部歪み、振動および変形が抑制される。従って、このガラス基板の製造方法は、オーバーフローダウンドロー法によって製造されるガラス基板の品質を向上させることができる。
【０００８】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、調整工程は、ガラスリボンの搬送方向に沿って隣り合う２つのロールのトルクの差が所定の値以上である場合に、２つのロールの角速度の差が小さくなるようにロールの状態を調整することが好ましい。
【０００９】
このガラス基板の製造方法では、ガラスリボンの搬送方向に沿って隣り合う２つのロールのトルクの差が所定の基準値以上である場合に、各ロールとガラスリボンとの間の接触荷重が均一でないと判定される。この場合、隣り合う２つのロールの角速度の差が小さくなるように、ロールが制御される。
【００１０】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、調整工程は、ロールを回転させるためのモータの回転数を制御して、ロールの状態を調整することが好ましい。
【００１１】
このガラス基板の製造方法では、ガラスリボンの搬送方向に沿って隣り合う２つのロールのトルクの差が所定の基準値以上である場合に、各ロールとガラスリボンとの間の接触荷重が均一でないと判定される。この場合、隣り合う２つのロールの角速度の差が小さくなるように、ロールを駆動するモータの回転数が制御される。
【００１２】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、調整工程は、ロールが一回転する間におけるトルクの最大値と最小値との差であるトルク変動量が所定の値以上である場合に、トルク変動量が小さくなるようにロールの状態を調整することが好ましい。
【００１３】
このガラス基板の製造方法では、ロールが一回転する間におけるトルクの変化に基づいて、ロールとガラスリボンとの間の接触荷重の変動が測定される。過剰な接触荷重は、ガラスリボンの割れや歪みの原因となり、また、ガラスリボンの搬送方向に沿って隣り合うロールとガラスリボンとの間の接触荷重の変動の原因となる。そのため、トルク変動量が小さくなるようにロールの状態を調整することで、ロールとガラスリボンとの間に過剰な接触荷重が作用することが抑制される。これにより、ガラスリボンの内部歪み、振動および変形が抑制される。
【００１４】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、調整工程は、ロールとガラスリボンとの間の接触荷重を制御して、ロールの状態を調整することが好ましい。
【００１５】
このガラス基板の製造方法では、ロールとガラスリボンとの間の接触荷重が過剰である場合に、例えば、ロールの位置調整に用いられるエアシリンダの圧力を調整することで、ロールとガラスリボンとの間に過剰な接触荷重が作用することが抑制される。
【００１６】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、調整工程は、搬送工程で使用されているロールを予備ロールと交換することで、ロールの状態を調整することが好ましい。
【００１７】
このガラス基板の製造方法では、長期間の使用によりロールが劣化した場合に、劣化したロールを新しい予備ロールに取り替えることで、各ロールとガラスリボンとの間の接触荷重が均一になり、かつ、ロールとガラスリボンとの間に過剰な接触荷重が作用することが抑制される。
【００１８】
本発明に係るガラス基板の製造装置は、オーバーフローダウンドロー法により熔融ガラスからガラスリボンを成形してガラス基板を製造する装置である。このガラス基板の製造装置は、搬送部と、測定部と、調整部とを備える。搬送部は、鉛直方向に沿って配置されている複数のロール対を有し、ロール対でガラスリボンを挟みながら、ロール対のロールを回転させて、ガラスリボンを下方に搬送する。測定部は、ガラスリボンが下方に搬送されている間において、回転しているロールのトルクを測定する。調整部は、測定されたトルクに基づいて、下方に搬送されているガラスリボンからそれぞれのロールが受ける荷重が均一になるように、ロールの状態を調整する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るガラス基板の製造方法、および、ガラス基板の製造装置は、オーバーフローダウンドロー法によって製造されるガラス基板の品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態に係るガラス基板の製造方法のフローチャートである。
【図２】第１実施形態に係るガラス基板の製造装置の模式図である。
【図３】第１実施形態に係る成形装置の正面図である。
【図４】第１実施形態に係る成形装置の側面図である。
【図５】第１実施形態に係る制御装置のブロック図である。
【図６】第１実施形態に係る、長期間の使用による引下げロールのトルクの変化を表すグラフである。
【図７】第１実施形態に係る、長期間の使用による引下げロールのトルクの変化を表すグラフである。
【図８】第２実施形態に係る、引下げロールが一回転する間におけるトルクの変化の一例を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
―第１実施形態―
（１）ガラス基板の製造装置の構成
本発明に係るガラス基板の製造方法、および、ガラス基板の製造装置の第１実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係るガラス基板の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【００２２】
図１に示されるように、本実施形態に係るガラス基板の製造方法は、主として、熔解工程Ｓ１と、清澄工程Ｓ２と、攪拌工程Ｓ３と、成形工程Ｓ４と、冷却工程Ｓ５と、切断工程Ｓ６とを含む。
【００２３】
熔解工程Ｓ１では、ガラス原料が加熱されて熔融ガラスが得られる。熔融ガラスは、熔解槽に貯留され、所望の温度を有するように通電加熱される。ガラス原料には、清澄剤が添加される。環境負荷低減の観点から、清澄剤として、ＳｎＯ２が用いられる。
【００２４】
清澄工程Ｓ２では、熔解工程Ｓ１で得られた熔融ガラスが清澄管の内部を流れて熔融ガラスに含まれているガスが除去されることで、熔融ガラスが清澄される。最初に、清澄工程Ｓ２では、熔融ガラスの温度を上昇させる。熔融ガラスに添加されている清澄剤は、昇温により還元反応を起こして酸素を放出する。熔融ガラスに含まれるＣＯ２、Ｎ２、ＳＯ２等のガス成分を含む泡は、清澄剤の還元反応によって生じた酸素を吸収する。酸素を吸収して成長した泡は、熔融ガラスの液面に浮上し、破泡して消滅する。消滅した泡に含まれていたガスは、清澄管の内部の気相空間に放出されて、外気に排出される。次に、清澄工程Ｓ２では、熔融ガラスの温度を低下させる。これにより、還元された清澄剤は、酸化反応を起こして、熔融ガラスに残存している酸素等のガス成分を吸収する。
【００２５】
攪拌工程Ｓ３では、清澄工程Ｓ２でガスが除去された熔融ガラスが攪拌されて、熔融ガラスの成分が均質化される。これにより、ガラス基板の脈理等の原因である熔融ガラスの組成のムラが低減される。
【００２６】
成形工程Ｓ４では、オーバーフローダウンドロー法を用いて、攪拌工程Ｓ３で均質化された熔融ガラスからガラスリボンが連続的に成形される。
【００２７】
冷却工程Ｓ５では、成形工程Ｓ４で成形されたガラスリボンが冷却される。冷却工程Ｓ５では、ガラスリボンに歪みおよび反りが生じないように、ガラスリボンの温度を調節しながらガラスリボンが徐々に冷却される。
【００２８】
切断工程Ｓ６では、冷却工程Ｓ５で冷却されたガラスリボンが所定の寸法に切断されてガラス基板が得られる。その後、ガラス基板の端面の研削および研磨、並びに、ガラス基板の洗浄が行われる。その後、ガラス基板のキズ等の欠陥の有無が検査され、検査に合格したガラス基板が梱包されて製品として出荷される。
【００２９】
図２は、本実施形態に係るガラス基板製造装置１の一例を示す模式図である。ガラス基板製造装置１は、熔解槽１０と、清澄管２０と、攪拌装置３０と、成形装置４０と、移送管５０ａ，５０ｂ，５０ｃとを備える。移送管５０ａは、熔解槽１０と清澄管２０とを接続する。移送管５０ｂは、清澄管２０と攪拌装置３０とを接続する。移送管５０ｃは、攪拌装置３０と成形装置４０とを接続する。
【００３０】
熔解工程Ｓ１において熔解槽１０で得られた熔融ガラス２は、移送管５０ａを通過して清澄管２０に流入する。清澄工程Ｓ２において清澄管２０で清澄された熔融ガラス２は、移送管５０ｂを通過して攪拌装置３０に流入する。攪拌工程Ｓ３において攪拌装置３０で攪拌された熔融ガラス２は、移送管５０ｃを通過して成形装置４０に流入する。成形工程Ｓ４では、成形装置４０によって熔融ガラス２からガラスリボン３が連続的に成形される。冷却工程Ｓ５では、ガラスリボン３が下方に搬送されながら冷却される。切断工程Ｓ６では、冷却されたガラスリボン３が所定の大きさに切断されてガラス基板が得られる。ガラス基板の幅は、例えば、５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、長さは、例えば、５００ｍｍ〜３５００ｍｍである。ガラス基板の厚みは、例えば、０.２ｍｍ〜０.８ｍｍである。
【００３１】
ガラス基板製造装置１によって製造されるガラス基板は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス基板として特に適している。ＦＰＤ用のガラス基板としては、無アルカリガラス、アルカリ微量含有ガラス、低温ポリシリコン（ＬＴＰＳ）用のガラス、または、酸化物半導体用のガラスが用いられる。高精細ディスプレイ用のガラス基板としては、高温時に高い粘性および高い歪点を有するガラスが用いられる。例えば、高精細ディスプレイ用のガラス基板の原料となるガラスは、１５００℃において、１０２．５ｐｏｉｓｅの粘性を有する。
【００３２】
熔解槽１０では、ガラス原料が熔解されて、熔融ガラス２が得られる。ガラス原料は、所望の組成を有するガラス基板を得ることができるように調製されている。ガラス基板の組成の一例として、ＦＰＤ用のガラス基板として好適な無アルカリガラスは、ＳｉＯ2：５０質量％〜７０質量％、Ａｌ2Ｏ3：１０質量％〜２５質量％、Ｂ2Ｏ3：１質量％〜１８質量％、ＭｇＯ：０質量％〜１０質量％、ＣａＯ：０質量％〜２０質量％、ＳｒＯ：０質量％〜２０質量％、ＢａＯ：０質量％〜１０質量％を含有する。ここで、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯの含有量の合計は、５質量％〜３０質量％である。
【００３３】
また、ＦＰＤ用のガラス基板として、アルカリ金属を微量含むアルカリ微量含有ガラスが用いられてもよい。アルカリ微量含有ガラスは、０．１質量％〜０．５質量％のＲ’２Ｏを含み、好ましくは、０．２質量％〜０．５質量％のＲ’２Ｏを含む。ここで、Ｒ’は、Ｌｉ、ＮａおよびＫから選択される少なくとも１種である。Ｒ’２Ｏの含有量の合計は、０．１質量％未満であってもよい。
【００３４】
また、ガラス基板製造装置１によって製造されるガラス基板は、ＳｎＯ２：０．０１質量％〜１質量％（好ましくは、０．０１質量％〜０．５質量％）、Ｆｅ２Ｏ３：０質量％〜０．２質量％（好ましくは、０．０１質量％〜０．０８質量％）をさらに含有してもよい。なお、ガラス基板製造装置１によって製造されるガラス基板は、環境負荷低減の観点から、Ａｓ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３およびＰｂＯを実質的に含有しない。
【００３５】
上記の組成を有するように調製されたガラス原料は、原料投入機（図示せず）を用いて熔解槽１０に投入される。原料投入機は、スクリューフィーダを用いてガラス原料の投入を行ってもよく、バケットを用いてガラス原料の投入を行ってもよい。熔解槽１０では、ガラス原料は、その組成等に応じた温度に加熱されて熔解される。熔解槽１０では、例えば、１５００℃〜１６００℃の高温の熔融ガラス２が得られる。熔解槽１０では、モリブデン、白金または酸化錫等で成形された少なくとも１対の電極間に電流を流すことで、電極間の熔融ガラス２が通電加熱されてもよく、また、通電加熱に加えてバーナーの火焔によってガラス原料が補助的に加熱されてもよい。
【００３６】
熔解槽１０で得られた熔融ガラス２は、熔解槽１０から移送管５０ａを通過して清澄管２０に流入する。清澄管２０および移送管５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、白金製あるいは白金合金製の管である。清澄管２０には、熔解槽１０と同様に加熱手段が設けられている。清澄管２０では、熔融ガラス２がさらに昇温させられて清澄される。例えば、清澄管２０において、熔融ガラス２の温度は、１５００℃〜１７００℃に上昇させられる。
【００３７】
清澄管２０において清澄された熔融ガラス２は、清澄管２０から移送管５０ｂを通過して攪拌装置３０に流入する。熔融ガラス２は、移送管５０ｂを通過する際に冷却される。攪拌装置３０では、清澄管２０を通過する熔融ガラス２の温度よりも低い温度で、熔融ガラス２が攪拌される。例えば、攪拌装置３０において、熔融ガラス２の温度は、１２５０℃〜１４５０℃であり、熔融ガラス２の粘度は、５００ｐｏｉｓｅ〜１３００ｐｏｉｓｅである。熔融ガラス２は、攪拌装置３０において攪拌されて均質化される。
【００３８】
攪拌装置３０で均質化された熔融ガラス２は、攪拌装置３０から移送管５０ｃを通過して成形装置４０に流入する。熔融ガラス２は、移送管５０ｃを通過する際に、熔融ガラス２の成形に適した粘度を有するように冷却される。例えば、熔融ガラス２は、１２００℃付近まで冷却される。
【００３９】
成形装置４０では、オーバーフローダウンドロー法によって熔融ガラス２からガラスリボン３が成形される。次に、成形装置４０の詳細な構成および動作について説明する。
【００４０】
（２）成形装置の構成
図３は、成形装置４０の正面図である。図３は、成形装置４０で成形されるガラスリボン３の表面に垂直な方向に沿って見た成形装置４０を示す。図４は、成形装置４０の側面図である。図４は、成形装置４０で成形されるガラスリボン３の表面に平行な方向に沿って見た成形装置４０を示す。
【００４１】
成形装置４０は、耐火レンガ等の耐火物からなる炉壁（図示せず）に囲まれた空間を有する。この空間は、熔融ガラス２からガラスリボン３が成形され、ガラスリボン３が冷却される空間である。この空間は、上部成形空間６０、下部成形空間７０および徐冷空間８０の３つの空間から構成される。
【００４２】
成形工程Ｓ４は、上部成形空間６０で行われる。冷却工程Ｓ５は、下部成形空間７０および徐冷空間８０で行われる。上部成形空間６０は、攪拌装置３０から移送管５０ｃを介して成形装置４０に供給された熔融ガラス２が、ガラスリボン３に成形される空間である。下部成形空間７０は、上部成形空間６０の下方の空間であり、ガラスリボン３が、ガラスの徐冷点の近傍まで急冷される空間である。徐冷空間８０は、下部成形空間７０の下方の空間であり、ガラスリボン３が徐々に冷却される空間である。
【００４３】
成形装置４０は、主として、成形体６２と、上部仕切り部材６４と、冷却ロール７２と、温度調節ユニット７４と、下部仕切り部材７６と、引下げロール８２ａ〜８２ｇと、ヒータ８４ａ〜８４ｇと、断熱部材８６と、切断装置９８と、制御装置９１とから構成される。次に、成形装置４０の各構成要素について説明する。
【００４４】
（２−１）成形体
成形体６２は、上部成形空間６０に設置される。成形体６２は、熔融ガラス２をオーバーフローさせてガラスリボン３を成形するために用いられる。図４に示されるように、成形体６２は、楔形に類似した五角形の断面形状を有する。成形体６２の断面形状の尖端は、成形体６２の下端６２ａに相当する。成形体６２は、耐火レンガ製である。
【００４５】
成形体６２の上端面には、成形体６２の長手方向に沿って、溝６２ｂが形成されている。成形体６２の長手方向の端部には、溝６２ｂと連通している移送管５０ｃが取り付けられている。溝６２ｂは、移送管５０ｃと連通している一方の端部から他方の端部に向かうに従って、徐々に浅くなるように形成されている。
【００４６】
攪拌装置３０から成形装置４０に送られてきた熔融ガラス２は、移送管５０ｃを介して、成形体６２の溝６２ｂに流し込まれる。成形体６２の溝６２ｂからオーバーフローした熔融ガラス２は、成形体６２の両側面を伝いながら流下し、成形体６２の下端６２ａの近傍において合流する。合流した熔融ガラス２は、重力により鉛直方向に落下して板状に成形される。これにより、成形体６２の下端６２ａの近傍において、ガラスリボン３が連続的に成形される。成形されたガラスリボン３は、上部成形空間６０を流下した後、下部成形空間７０および徐冷空間８０において冷却されながら下方に搬送される。上部成形空間６０で成形された直後のガラスリボン３の温度は１１００℃以上であり、粘度は２５０００ｐｏｉｓｅ〜３５００００ｐｏｉｓｅである。例えば、高精細ディスプレイ用のガラス基板を製造する場合、成形体６２によって成形されるガラスリボン３の歪点は、６５５℃〜７５０℃であり、好ましくは６８０℃〜７３０℃であり、成形体６２の下端６２ａの近傍で融合する熔融ガラス２の粘度は、２５０００ｐｏｉｓｅ〜１０００００ｐｏｉｓｅであり、好ましくは３２０００ｐｏｉｓｅ〜８００００ｐｏｉｓｅである。
【００４７】
（２−２）上部仕切り部材
上部仕切り部材６４は、成形体６２の下端６２ａの近傍に設置される一対の板状の断熱部材である。図４に示されるように、上部仕切り部材６４は、ガラスリボン３の厚み方向の両側に配置される。上部仕切り部材６４は、上部成形空間６０と下部成形空間７０とを仕切り、上部成形空間６０から下部成形空間７０への熱の移動を抑制する。
【００４８】
（２−３）冷却ロール
冷却ロール７２は、下部成形空間７０に設置される片持ちのロールである。冷却ロール７２は、上部仕切り部材６４の直下に設置される。図３に示されるように、冷却ロール７２は、ガラスリボン３の幅方向の両側部に配置される。図４に示されるように、冷却ロール７２は、ガラスリボン３の厚み方向の両側に配置される。ガラスリボン３は、その幅方向の両側部において、冷却ロール７２によって挟持されている。冷却ロール７２は、上部成形空間６０から送られてきたガラスリボン３を冷却する。
【００４９】
下部成形空間７０において、ガラスリボン３の幅方向の両側部は、それぞれ、２対の冷却ロール７２によって挟まれている。ガラスリボン３の両側部の表面に向かって冷却ロール７２が押し付けられることで、冷却ロール７２とガラスリボン３との接触面積が大きくなり、冷却ロール７２によるガラスリボン３の冷却が効率的に行われる。冷却ロール７２は、後述する引下げロール８２ａ〜８２ｇがガラスリボン３を下方に引っ張る力に対抗する力を、ガラスリボン３に与える。なお、冷却ロール７２の回転速度と、最も上方に配置される引下げロール８２ａの回転速度との差によって、ガラスリボン３の厚みが決定される。
【００５０】
冷却ロール７２は、内部に空冷管を有している。冷却ロール７２は、空冷管によって常に冷却されている。冷却ロール７２は、ガラスリボン３の幅方向の両側部を挟むことでガラスリボン３と接触する。これにより、ガラスリボン３から冷却ロール７２に熱が伝わるので、ガラスリボン３の幅方向の両側部が冷却される。冷却ロール７２と接触して冷却されたガラスリボン３の幅方向の両側部の粘度は、例えば、１０９．０ｐｏｉｓｅ以上である。
【００５１】
冷却ロール７２とガラスリボン３との間の接触荷重は、制御装置９１によって制御可能である。接触荷重は、例えば、バネを用いて冷却ロール７２の位置を調整することで制御される。接触荷重が大きいほど、冷却ロール７２がガラスリボン３を押し付ける力が強くなる。
【００５２】
（２−４）温度調節ユニット
温度調節ユニット７４は、下部成形空間７０に設置される。温度調節ユニット７４は、上部仕切り部材６４の下方であって、下部仕切り部材７６の上方に設置される。
【００５３】
下部成形空間７０では、ガラスリボン３の幅方向の中心部の温度が徐冷点近傍に低下するまでガラスリボン３が冷却される。温度調節ユニット７４は、下部成形空間７０で冷却されるガラスリボン３の温度を調節する。温度調節ユニット７４は、ガラスリボン３を加熱または冷却するユニットである。図３に示されるように、温度調節ユニット７４は、中心部冷却ユニット７４ａおよび側部冷却ユニット７４ｂから構成される。中心部冷却ユニット７４ａは、ガラスリボン３の幅方向の中心部の温度を調節する。側部冷却ユニット７４ｂは、ガラスリボン３の幅方向の両側部の温度を調節する。ここで、ガラスリボン３の幅方向の中心部は、ガラスリボン３の幅方向の両側部に挟まれた領域を意味する。
【００５４】
下部成形空間７０では、図３に示されるように、複数の中心部冷却ユニット７４ａおよび複数の側部冷却ユニット７４ｂが、それぞれ、ガラスリボン３が流下する方向である鉛直方向に沿って配置されている。中心部冷却ユニット７４ａは、ガラスリボン３の幅方向の中心部の表面に対向するように配置されている。側部冷却ユニット７４ｂは、ガラスリボン３の幅方向の両側部の表面に対向するように配置されている。
【００５５】
温度調節ユニット７４は、制御装置９１によって制御される。各中心部冷却ユニット７４ａおよび各側部冷却ユニット７４ｂは、制御装置９１によって独立して制御可能である。
【００５６】
（２−５）下部仕切り部材
下部仕切り部材７６は、温度調節ユニット７４の下方に設置される一対の板状の断熱部材である。図４に示されるように、下部仕切り部材７６は、ガラスリボン３の厚み方向の両側に設置される。下部仕切り部材７６は、下部成形空間７０と徐冷空間８０とを鉛直方向に仕切り、下部成形空間７０から徐冷空間８０への熱の移動を抑制する。
【００５７】
（２−６）引下げロール
引下げロール８２ａ〜８２ｇは、徐冷空間８０に設置される片持ちのロールである。徐冷空間８０では、引下げロール８２ａ、引下げロール８２ｂ、・・・、引下げロール８２ｆおよび引下げロール８２ｇが、上方から下方に向かって間隔を空けて配置されている。引下げロール８２ａは、最も上方に配置され、引下げロール８２ｇは、最も下方に配置される。
【００５８】
図３に示されるように、引下げロール８２ａ〜８２ｇは、それぞれ、ガラスリボン３の幅方向の両側部に配置される。図４に示されるように、引下げロール８２ａ〜８２ｇは、それぞれ、ガラスリボン３の厚み方向の両側に配置される。すなわち、ガラスリボン３の幅方向の両側部は、上方から下方に向かって、２対の引下げロール８２ａ、２対の引下げロール８２ｂ、・・・、２対の引下げロール８２ｆおよび２対の引下げロール８２ｇによって挟まれている。
【００５９】
引下げロール８２ａ〜８２ｇは、下部成形空間７０を通過したガラスリボン３の幅方向の両端部を挟みつつ回転することにより、ガラスリボン３を鉛直方向下方に引き下げる。すなわち、引下げロール８２ａ〜８２ｇは、ガラスリボン３を下方に搬送するためのロールである。
【００６０】
各引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度は、制御装置９１によって独立して制御可能である。引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度が大きいほど、ガラスリボン３が下方に搬送される速度が大きくなる。
【００６１】
（２−７）ヒータ
ヒータ８４ａ〜８４ｇは、徐冷空間８０に設置される。図４に示されるように、徐冷空間８０では、ヒータ８４ａ、ヒータ８４ｂ、・・・、ヒータ８４ｆおよびヒータ８４ｇが、上方から下方に向かって間隔を空けて配置されている。ヒータ８４ａ〜８４ｇは、それぞれ、ガラスリボン３の厚み方向の両側に配置されている。引下げロール８２ａ〜８２ｇは、それぞれ、ヒータ８４ａ〜８４ｇとガラスリボン３との間に配置されている。
【００６２】
ヒータ８４ａ〜８４ｇは、ガラスリボン３の表面に向かって熱を輻射してガラスリボン３を加熱する。ヒータ８４ａ〜８４ｇを用いることで、徐冷空間８０において下方に搬送されるガラスリボン３の温度を調節することができる。これにより、ヒータ８４ａ〜８４ｇは、ガラスリボン３の搬送方向において、所定の温度分布をガラスリボン３に形成することができる。
【００６３】
各ヒータ８４ａ〜８４ｇの出力は、制御装置９１によって独立して制御可能である。また、ヒータ８４ａ〜８４ｇは、ガラスリボン３の幅方向に沿って複数のヒータサブユニット（図示せず）に分割され、各ヒータサブユニットの出力が制御装置９１によって独立して制御可能であってもよい。この場合、各ヒータ８４ａ〜８４ｇは、ガラスリボン３の幅方向の位置に応じて発熱量を変化させることで、ガラスリボン３の幅方向に所定の温度分布を形成することができる。
【００６４】
なお、各ヒータ８４ａ〜８４ｇの近傍には、徐冷空間８０の雰囲気の温度を測定する熱電対（図示せず）が設置されている。熱電対は、例えば、ガラスリボン３の幅方向の中心部近傍の雰囲気温度と、両側部近傍の雰囲気温度とを測定する。ヒータ８４ａ〜８４ｇは、熱電対によって測定される徐冷空間８０の雰囲気の温度に基づいて制御されてもよい。
【００６５】
（２−８）断熱部材
断熱部材８６は、徐冷空間８０に設置される。断熱部材８６は、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇの間の高さ位置に設置される。図４に示されるように、断熱部材８６は、ガラスリボン３の厚み方向の両側において、水平に配置される一対の断熱板である。断熱部材８６は、徐冷空間８０を鉛直方向に仕切り、徐冷空間８０における鉛直方向の熱の移動を抑制する。
【００６６】
断熱部材８６は、下方に搬送されるガラスリボン３と接触しないように設置されている。また、断熱部材８６は、ガラスリボン３の表面までの距離が調整可能であるように設置されている。これにより、断熱部材８６は、断熱部材８６の上方の空間と断熱部材８６の下方の空間との間の熱の移動を抑制する。
【００６７】
（２−９）切断装置
切断装置９８は、徐冷空間８０の下方の空間に設置されている。切断装置９８は、徐冷空間８０を通過したガラスリボン３を、所定の寸法ごとに、ガラスリボン３の幅方向に沿って切断する。徐冷空間８０を通過したガラスリボン３は、室温近傍まで冷却されている平坦なガラスリボン３である。
【００６８】
切断装置９８は、所定の時間間隔でガラスリボン３を切断する。これにより、ガラスリボン３の搬送速度が一定である場合、最終製品に近い寸法を有するガラス基板が量産される。
【００６９】
（２−１０）制御装置
制御装置９１は、主として、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭおよびハードディスク等から構成されるコンピュータである。図５は、制御装置９１のブロック図である。図５に示されるように、制御装置９１は、冷却ロール駆動モータ１７２、温度調節ユニット７４、引下げロール駆動モータ１８２、ヒータ８４ａ〜８４ｇおよび切断装置駆動モータ１９８と接続されている。冷却ロール駆動モータ１７２は、冷却ロール７２の位置および回転速度等を制御するためのモータである。引下げロール駆動モータ１８２は、各引下げロール８２ａ〜８２ｇの位置および回転速度等を独立して制御するためのモータである。切断装置駆動モータ１９８は、切断装置９８がガラスリボン３を切断する時間間隔等を制御するためのモータである。制御装置９１は、各構成要素の状態を取得し、かつ、各構成要素を制御するためのプログラムを記憶している。
【００７０】
制御装置９１は、冷却ロール駆動モータ１７２を制御して、ガラスリボン３の幅方向の側部を挟む一対の冷却ロール７２とガラスリボン３との間の接触荷重を取得および調節することができる。制御装置９１は、引下げロール駆動モータ１８２を制御して、回転している各引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクを取得し、各引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度を調節することができる。制御装置９１は、温度調節ユニット７４の出力、および、各ヒータ８４ａ〜８４ｇの出力を取得および調節することができる。制御装置９１は、切断装置駆動モータ１９８を制御して、切断装置９８がガラスリボン３を切断する時間間隔等を取得および調節することができる。
【００７１】
（３）成形装置の動作
上部成形空間６０において、攪拌装置３０から移送管５０ｃを介して成形装置４０に送られてきた熔融ガラス２は、成形体６２の上面に形成される溝６２ｂに供給される。成形体６２の溝６２ｂからオーバーフローした熔融ガラス２は、成形体６２の両側面を伝って流下して、成形体６２の下端６２ａの近傍で合流する。成形体６２の下端６２ａの近傍において、合流した熔融ガラス２からガラスリボン３が連続的に成形される。成形されたガラスリボン３は、下部成形空間７０に送られる。
【００７２】
下部成形空間７０において、ガラスリボン３の幅方向の両側部は、冷却ロール７２と接触して急冷される。また、温度調節ユニット７４によって、ガラスリボン３の幅方向の中心部の温度が徐冷点に低下するまで、ガラスリボン３の温度が調節される。冷却ロール７２によって下方に搬送されながら冷却されたガラスリボン３は、徐冷空間８０に送られる。
【００７３】
徐冷空間８０において、ガラスリボン３は、引下げロール８２ａ〜８２ｇによって引き下げられながら徐々に冷却される。ガラスリボン３の温度は、ガラスリボン３の幅方向に沿って所定の温度分布が形成されるように、ヒータ８４ａ〜８４ｇによって制御される。徐冷空間８０において、ガラスリボン３の温度は、徐冷点近傍から、歪点より２００℃低い温度よりも低い温度まで徐々に低下する。
【００７４】
徐冷空間８０を通過したガラスリボン３は、さらに室温近傍まで冷却され、切断装置９８によって所定の寸法に切断されてガラス基板が得られる。その後、ガラス基板の端面の研磨および洗浄等が行われる。その後、所定の検査に合格したガラス基板が梱包されて製品として出荷される。
【００７５】
（４）制御装置の動作
ガラス基板製造装置１の制御装置９１は、搬送部、測定部および調整部からなる３つのプログラムを少なくとも記憶し、実行する。搬送部は、引下げロール８２ａ〜８２ｇでガラスリボン３を挟みながら引下げロール８２ａ〜８２ｇを回転させて、徐冷空間８０においてガラスリボン３を下方に搬送する。測定部は、徐冷空間８０においてガラスリボン３が下方に搬送されている間において、ガラスリボン３と接触しながら回転している引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクを測定する。調整部は、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの差が所定の値以上であるか否かを判定する。例えば、調整部は、引下げロール８２ａのトルクと、引下げロール８２ｂのトルクとを比較して、２つのトルクの差が所定の値以上であるか否かを判定する。具体的には、４つの引下げロール８２ａの内の１つのトルクと、４つの引下げロール８２ｂの内の１つのトルクとが比較される。トルクの比較対象となる引下げロール８２ａおよび引下げロール８２ｂは、水平面内における位置は同じであり、高さ位置のみが異なっている。
【００７６】
調整部は、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの差が所定の値以上である場合に、当該２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度の差が小さくなるように引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態を調整する。具体的には、調整部は、引下げロール８２ａ〜８２ｇに接続される駆動モータの回転数を制御して、引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度を調整する。各引下げロール８２ａ〜８２ｇは、異なる駆動モータに接続されているので、各引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度は、独立して制御可能である。調整部は、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度の差が小さくなるように、引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度を調整する。これにより、調整部は、引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの測定データに基づいて、下方に搬送されているガラスリボン３と各引下げロール８２ａ〜８２ｇとの間の接触荷重を均一にすることができる。
【００７７】
（５）特徴
オーバーフローダウンドロー法によるガラス基板の製造工程では、熔融ガラスから成形されたガラスリボンは、引下げロールによって下方に搬送されながら徐冷される。高温のガラスリボンと接触している引下げロールは、長期間の使用により劣化する。特に、熱収縮率および歪みが小さいガラス基板が求められる、高精細ディスプレイ用のガラス基板の製造工程では、通常のガラス基板の製造工程と比較して、徐冷されながら下方に搬送されるガラスリボンの温度が高く、引下げロールが劣化しやすい。また、高品質のガラス基板を製造するためには、ガラスリボンの徐冷工程において、ガラスリボンの幅方向の温度プロファイルを高い精度で制御する必要がある。引下げロールが劣化すると、各引下げロールとガラスリボンとの間の接触荷重が不均一になり、ガラスリボンの内部歪み、振動および変形の原因となり、ガラス基板の品質の低下につながる。
【００７８】
本実施形態のガラス基板製造装置１は、オーバーフローダウンドロー法により熔融ガラス２から成形されたガラスリボン３を冷却しながら下方に搬送するための引下げロール８２ａ〜８２ｇを備える。引下げロール８２ａ〜８２ｇは、ガラスリボン３の幅方向の両端部を挟みながら回転することで、ガラスリボン３を下方に引っ張る。このとき、各引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間には、接触荷重が作用している。
【００７９】
ガラス基板製造装置１の制御装置９１は、各引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクを測定して調整することで、各引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間の接触荷重を均一にする。具体的には、制御装置９１は、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの差が所定の値以上である場合に、当該２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度を調整してトルクの差を低減する。制御装置９１は、各引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度を調整して、各引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクを均一にすることで、各引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間の接触荷重を均一にする。これにより、ガラスリボン３の内部歪み、振動および変形が抑制され、ガラス基板の品質が向上する。
【００８０】
次に、ガラス基板製造装置１によってガラス基板の品質が向上する根拠を示すために、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ，８２ｂのトルクの差が所定の値以上である場合において、引下げロール８２ａ，８２ｂの角速度を調整しないことにより発生する問題点について説明する。
【００８１】
図６は、長期間の使用による引下げロール８２ａ，８２ｂのトルクの変化を表すグラフである。図６において、横軸は、時間を表し、縦軸は、トルクの大きさを表す。図６において、実線は、引下げロール８２ａのトルクの時間変化を表し、点線は、引下げロール８２ａの下方に位置する引下げロール８２ｂのトルクの時間変化を表す。図６は、引下げロール８２ａの磨耗の速度が、引下げロール８２ｂの磨耗の速度より大きいパターンを示す。この場合、引下げロール８２ａの外径は、引下げロール８２ｂの外径と比べて、磨耗によってより短時間で小さくなる。そのため、長期間の使用により、引下げロール８２ａとガラスリボン３との間の接触過重は、引下げロール８２ｂとガラスリボン３との間の接触過重よりも小さくなり、その結果、引下げロール８２ａ，８２ｂの使用開始時からの時間の経過により、引下げロール８２ａのトルクは、引下げロール８２ｂのトルクよりも小さくなる。これにより、引下げロール８２ａがガラスリボン３を下方に搬送する速度が、引下げロール８２ｂがガラスリボン３を下方に搬送する速度よりも小さくなるので、引下げロール８２ａと引下げロール８２ｂとの間において、ガラスリボン３を搬送方向に沿って伸ばすような力が、ガラスリボン３に作用する。この力が過剰に作用すると、ガラスリボン３の割れや歪みの原因となる。
【００８２】
図７は、図６と同様のグラフであり、引下げロール８２ｂの磨耗の速度が、引下げロール８２ａの磨耗の速度より大きいパターンを示す。この場合、長期間の使用により、引下げロール８２ｂのトルクは、引下げロール８２ａのトルクよりも小さくなる。これにより、引下げロール８２ａがガラスリボン３を下方に搬送する速度が、引下げロール８２ｂがガラスリボン３を下方に搬送する速度よりも大きくなるので、引下げロール８２ａと引下げロール８２ｂとの間において、ガラスリボン３を搬送方向に沿って圧縮するような力が、ガラスリボン３に作用する。この力が過剰に作用すると、ガラスリボン３の表面が湾曲して、搬送されるガラスリボン３の振動の原因となる。ガラスリボン３の振動は、ガラスリボン３の割れや歪みの原因となる。
【００８３】
このように、図６および図７のいずれのパターンにおいても、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ，８２ｂのトルクの差は、ガラス基板の品質の低下につながるおそれがある。従って、ガラス基板製造装置１は、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの差を小さくして、各引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間の接触荷重を均一にすることで、オーバーフローダウンドロー法によって製造されるガラス基板の品質を向上させることができる。
【００８４】
―第２実施形態―
本発明に係るガラス基板の製造方法、および、ガラス基板の製造装置の第２実施形態について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係るガラス基板製造装置は、制御装置９１の調整部の動作を除いて、第１実施形態に係るガラス基板製造装置１と同じである。そのため、ガラス基板製造装置の構成に関する説明を省略して、制御装置９１の調整部の動作を中心に説明する。
【００８５】
本実施形態では、制御装置９１の調整部は、引下げロール８２ａ〜８２ｇが一回転する間におけるトルクの最大値と最小値との差であるトルク変動量が所定の値以上である場合に、トルク変動量が小さくなるように引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態を調整する。
【００８６】
トルクの変動は、主として、引下げロール８２ａ〜８２ｇの回転軸の偏心に起因する。引下げロール８２ａ〜８２ｇの回転軸が偏心していると、引下げロール８２ａ〜８２ｇが回転時に振動する。これにより、引下げロール８２ａ〜８２ｇが一回転する間にトルクが変化し、トルクが最大となる時に過剰な接触荷重が引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間に作用するおそれがある。過剰な接触荷重は、ガラスリボン３の割れや歪みの原因となる。また、過剰な接触荷重によって引下げロール８２ａ〜８２ｇがガラスリボン３を下方に搬送する力が増加すると、上方の引下げロール８２ａ〜８２ｇの負担が増加する。反対に、過少な接触荷重によって引下げロール８２ａ〜８２ｇがガラスリボン３を下方に搬送する力が減少すると、下方の引下げロール８２ａ〜８２ｇの負担が増加する。このように、引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの周期的な変動は、接触荷重の周期的な変動となり、ガラスリボン３の搬送方向において隣り合う引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間の接触荷重の変動を生じさせ、ガラス基板の品質の低下につながる。
【００８７】
本実施形態では、引下げロール８２ａ〜８２ｇが一回転する間におけるトルクの変化が測定される。そして、引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルク変動量が小さくなるように引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態を調整することで、引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間の接触荷重の変動が抑制され、ガラスリボン３に過剰な接触荷重が作用することが防止される。具体的には、ガラスリボン３の幅方向の端部を挟む一対の引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間の接触荷重を小さくすることで、接触荷重の変動が抑制され、ガラスリボン３に過剰な接触荷重が作用することが防止される。本実施形態では、制御装置９１は、引下げロール駆動モータ１８２を制御して、ガラスリボン３の幅方向の端部を挟む一対の引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間の接触荷重を調整することができる。接触荷重は、例えば、引下げロール８２ａ〜８２ｇの位置調整に用いられるエアシリンダの圧力を変更することで調整される。なお、接触荷重は、エアシリンダ以外のアクチュエータを用いて調整されてもよい。
【００８８】
図８は、引下げロール８２ａが一回転する間におけるトルクの変化の一例を示すグラフである。図８において、時刻ｔ１から時刻ｔ２までの期間が、引下げロール８２ａが一回転するために要する時間である。実線は、引下げロール８２ａが一回転する間におけるトルク変動量が所定の値以上である場合のグラフである。点線は、実線の状態から、ガラスリボン３の幅方向の端部を挟む一対の引下げロール８２ａとガラスリボン３との間の接触荷重を小さくした場合のグラフである。鎖線は、トルク変動量がゼロである理想的な状態を表すグラフである。図８において、実線のグラフでは、トルクが最大となる時刻ｔ３の近傍において、過剰な接触荷重が引下げロール８２ａとガラスリボン３との間で作用している。一方、点線のグラフでは、実線のグラフと比較して、時刻ｔ３におけるトルクの最大値が小さくなっているので、接触荷重も小さくなっており、ガラスリボン３に過剰な接触荷重が作用することが防止される。
【００８９】
従って、本実施形態のガラス基板製造装置は、引下げロール８２ａ〜８２ｇが一回転する間におけるトルクの最大値と最小値との差であるトルク変動量を小さくして、ガラスリボン３に過剰な接触荷重が作用すること防止して、ガラス基板の品質を向上させることができる。
【００９０】
―変形例―
（１）変形例Ａ
第１実施形態では、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの差を小さくし、第２実施形態では、引下げロール８２ａ〜８２ｇが一回転する間におけるトルクの最大値と最小値との差であるトルク変動量を小さくすることで、引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態が調整される。しかし、第１実施形態および第２実施形態において、他の方法により、引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態が調整されてもよい。
【００９１】
例えば、調整部が、引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態を調整する必要があると判定した場合に、現在使用されている引下げロール８２ａ〜８２ｇを、予備の新しい引下げロール８２ａ〜８２ｇと交換することで、引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態を調整してもよい。これにより、長期間の使用により引下げロール８２ａ〜８２ｇが劣化した場合において、劣化した引下げロール８２ａ〜８２ｇを新しい引下げロール８２ａ〜８２ｇに取り替えることで、ガラス基板の品質を向上させることができる。
【００９２】
（２）変形例Ｂ
第１実施形態では、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの差を小さくすることで、引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態が調整され、ガラス基板の品質が向上する。しかし、ガラスリボン３の幅方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの差を小さくすることで、引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態が調整されてもよい。例えば、ガラスリボン３の幅方向の両端部の一方の端部と接触する引下げロール８２ａのトルクと、他方の端部と接触する引下げロール８２ａのトルクとの差が所定の値以上である場合に、トルクの差が低減するように、引下げロール８２ａの状態が調整されてもよい。
【００９３】
この場合、同じ高さ位置にある一対の引下げロール８２ａのトルクの差は、下方に搬送されるガラスリボン３の幅方向の両端部の間の速度差を生じさせるので、ガラスリボン３が捻られてガラスリボン３の割れや歪みの原因となるおそれがある。そのため、同じ高さ位置にある引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの差を低減することで、ガラス基板の品質を向上させることができる。
【００９４】
（３）変形例Ｃ
第１実施形態では、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの差を小さくし、第２実施形態では、引下げロール８２ａ〜８２ｇが一回転する間におけるトルクの最大値と最小値との差であるトルク変動量を小さくすることで、引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態が調整される。しかし、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの差を小さくし、かつ、引下げロール８２ａ〜８２ｇが一回転する間におけるトルクの最大値と最小値との差であるトルク変動量を小さくすることで、引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態が調整されてもよい。
【００９５】
（４）変形例Ｄ
第１実施形態では、制御装置９１は、ガラスリボン３の搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの差が所定の値以上である場合に、当該２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度を調整してトルクの差を低減する。これにより、制御装置９１は、各引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクを均一にして、各引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間の接触荷重を均一にする。
【００９６】
しかし、制御装置９１は、他の条件に基づいて引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度を調整して、各引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間の接触荷重を均一にしてもよい。
【００９７】
一例として、制御装置９１は、搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクの差が所定の基準値以上である場合に、当該２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度を調整してトルクの差を低減し、かつ、より上方に配置される２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇに対して、より小さい基準値を用いてもよい。徐冷空間８０において、より上方に配置される引下げロール８２ａ〜８２ｇは、高温により劣化しやすい。そのため、より上方に配置される引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度をより頻繁に調整することで、各引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルクを効率的に均一にすることができる。
【００９８】
他の例として、制御装置９１は、搬送方向に沿って隣り合う２つの引下げロール８２ａ〜８２ｇの全てのトルク差を算出して、全てのトルク差の分散または標準偏差が所定の値を超えた場合に、当該引下げロール８２ａ〜８２ｇの角速度を調整してもよい。
【００９９】
（５）変形例Ｅ
第２実施形態では、制御装置９１は、引下げロール８２ａ〜８２ｇが一回転する間におけるトルク変動量が小さくなるように引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態を調整することで、引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間の接触荷重の変動を抑制する。
【０１００】
しかし、制御装置９１は、他の条件に基づいて引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態を調整して、各引下げロール８２ａ〜８２ｇとガラスリボン３との間の接触荷重の変動を抑制してもよい。
【０１０１】
一例として、制御装置９１は、引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルク変動量が所定の基準値以上である場合に、当該引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態を調整し、かつ、より上方に配置される引下げロール８２ａ〜８２ｇに対して、より小さい基準値を用いてもよい。徐冷空間８０において、より上方に配置される引下げロール８２ａ〜８２ｇは、高温により劣化しやすい。そのため、より上方に配置される引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態をより頻繁に調整することで、引下げロール８２ａ〜８２ｇのトルク変動量を効率的に小さくすることができる。
【０１０２】
他の例として、制御装置９１は、トルク変動量の代わりに、引下げロール８２ａ〜８２ｇが一回転する間におけるトルクの時間当たり変化量の最大値が基準値を超えた場合に、当該引下げロール８２ａ〜８２ｇの状態を調整してもよい。
【０１０３】
（６）変形例Ｆ
第１実施形態および第２実施形態では、オーバーフローダウンドロー法によって熔融ガラス２からガラスリボン３が成形されるが、他のダウンドロー法によって熔融ガラス２からガラスリボン３が成形されてもよい。例えば、リドロー法およびスリットダウンドロー法等によって熔融ガラス２からガラスリボン３が成形されてもよい。
【符号の説明】
【０１０４】
２        熔融ガラス
３        ガラスリボン
８２ａ〜８２ｇ  冷却ロール（ロール）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１０５】
【特許文献１】特開２００９−１９６８７９号公報
【図１】
0006454141.tif 000002
【図２】
0006454141.tif 000003
【図３】
0006454141.tif 000004
【図４】
0006454141.tif 000005
【図５】
0006454141.tif 000006
【図６】
0006454141.tif 000007
【図７】
0006454141.tif 000008
【図８】
0006454141.tif 000009