(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象の電気部品を載置可能な溝部を有して当該溝部に載置された当該電気部品を保持する保持部と、一対のプローブ部の少なくとも一方を移動対象として前記溝部の長さ方向に当該移動対象のプローブを移動させて前記保持部によって保持されている前記電気部品における対向する一対の被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構とを備えた測定用治具であって、
前記電気部品の前記被接触部に前記各プローブ部がそれぞれ接触するときに前記溝部において当該電気部品が位置する測定位置を覆うカバー部を備え、
前記カバー部は、前記移動機構による前記移動対象のプローブの移動動作に連動して、前記測定位置を開放する第１状態と前記測定位置を覆う第２状態とを切り替え可能に構成されて、前記移動対象のプローブが初期位置に位置している状態において前記第１状態に維持され、前記電気部品の前記各被接触部に前記各プローブ部がそれぞれ接触するときに前記第２状態に切り替えられる測定用治具。
【請求項２】
前記カバー部は、支軸によって回動可能に軸支されて、前記移動動作に連動して回動することによって前記第１状態と前記第２状態とを切り替え可能に構成されている請求項１記載の測定用治具。
【請求項３】
前記保持部は、底面が平坦に形成されると共に当該底面が前記溝部の底部と同じ深さに規定されて、前記溝部における前記測定位置を除く部分に連続するように形成された凹部を備えている請求項１または２記載の測定用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象の電気部品を保持する保持部と、電気部品にプローブ部を接触させる移動機構とを備えた測定用治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の測定用治具として、下記特許文献１において出願人が開示した測定治具が知られている。この測定治具は、基台および電極スライド機構を備えて構成されている。電極スライド機構は、被測定物を保持する保持台部と、プローブ部として機能する電極板を支持すると共に基台に固定された固定電極支持体と、電極板を支持すると共に固定電極支持体に対して接離する方向に移動可能に基台に配設された可動電極支持体と、可動電極支持体を固定電極支持体に向けて付勢する付勢バネとを備えている。この測定治具を用いて被測定物の測定を行う際には、可動電極支持体に取り付けられている操作用ノブを把持し、次いで、付勢バネの付勢力に抗して、可動電極支持体を固定電極支持体から離間する向きにスライドさせる。この際に、固定電極支持体に支持されている電極板の先端部と可動電極支持体に支持されている電極板の先端部との間隔が広がる。続いて、各電極板の先端部の間に位置するように被測定物を保持台部の上にセットする。次いで、操作用ノブを把持した状態を維持しつつ、付勢バネの付勢力に抗する力を緩めて可動電極支持体を固定電極支持体に近接する向きにスライドさせる。この際に、付勢バネの付勢力によって各電極板の先端部が被測定物の電極に押し付けられて接触する。次いで、測定を開始する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−２０８１９号公報（第５−１１頁、第１−５図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、出願人が開示している上記の測定治具には、改善すべき以下の課題が存在する。すなわち、この測定治具では、付勢バネによって可動電極支持体が固定電極支持体に向けて付勢されているため、付勢力が被測定物に作用して、被測定物が保持台部から飛び出して測定が中断されたり、飛び出しによって被測定物を紛失したりするおそれがある。
【０００５】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、保持部からの電気部品の飛び出しを防止し得る測定用治具を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく、請求項１記載の測定用治具は、測定対象の電気部品を載置可能な溝部を有して当該溝部に載置された当該電気部品を保持する保持部と、一対のプローブ部の少なくとも一方を移動対象として前記溝部の長さ方向に当該移動対象のプローブを移動させて前記保持部によって保持されている前記電気部品における対向する一対の被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構とを備えた測定用治具であって、前記電気部品の前記被接触部に前記各プローブ部がそれぞれ接触するときに前記溝部において当該電気部品が位置する測定位置を覆うカバー部を備え、前記カバー部は、前記移動機構による前記移動対象のプローブの移動動作に連動して、前記測定位置を開放する第１状態と前記測定位置を覆う第２状態とを切り替え可能に構成されて、前記移動対象のプローブが初期位置に位置している状態において前記第１状態に維持され、前記電気部品の前記各被接触部に前記各プローブ部がそれぞれ接触するときに前記第２状態に切り替えられる。
【０００７】
また、請求項２記載の測定用治具は、請求項１記載の測定用治具において、前記カバー部は、支軸によって回動可能に軸支されて、前記移動動作に連動して回動することによって前記第１状態と前記第２状態とを切り替え可能に構成されている。
【０００８】
また、請求項３記載の測定用治具は、請求項１または２記載の測定用治具において、前記保持部は、底面が平坦に形成されると共に当該底面が前記溝部の底部と同じ深さに規定されて、前記溝部における前記測定位置を除く部分に連続するように形成された凹部を備えている。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の測定用治具によれば、移動機構による移動対象のプローブの移動動作に連動して、溝部の測定位置を開放する第１状態と測定位置を覆う第２状態とを切り替え可能に構成されて、移動対象のプローブが初期位置に位置している状態において第１状態に維持され、電気部品の各被接触部に各プローブ部がそれぞれ接触するときに第２状態に切り替えられるカバー部を備えたことにより、各プローブ部が電気部品の各被接触部に接触するときに、測定位置をカバー部によって覆うことができる。つまり、カバー部は、溝部の蓋として機能し、その蓋を移動対象のプローブ部の移動動作に連動して自動的に開閉させることができる。この場合、溝部の長さ方向での電気部品の移動が各プローブ部によって規制され、溝部の上方への電気部品の移動がカバー部によって規制される。このため、この測定用治具によれば、各プローブ部から各被接触部に力が加わったとしても、電気部品が溝部から飛び出す事態を確実に回避することができる。したがって、この測定用治具によれば、溝部からの電気部品の飛び出しによる測定の中断や電気部品の紛失を確実に防止することができる。
【００１０】
また、請求項２記載の測定用治具によれば、支軸によって回動可能に軸支されて、移動機構による移動対象のプローブ部の移動動作に連動して回動することによって第１状態と第２状態とを切り替え可能にカバー部を構成したことにより、溝部の長さ方向に平行な方向や溝部の長さ方向に直交する方向にカバー部を移動させて第１状態と第２状態とを切り替える構成と比較して、少ない移動量で第１状態と第２状態とを切り替えることができるため、カバー部を十分に小形化することができる。
【００１１】
また、請求項３記載の測定用治具によれば、底面が平坦に形成されると共に底面が溝部の底部と同じ深さに規定されて、溝部における測定位置を除く部分に連続するように形成された凹部を備えて保持部を構成したことにより、凹部の底面に電気部品を載置させた後に、凹部の底面から溝部の底部に電気部品を滑らせつつ移動させることができる。このため、この測定用治具によれば、電気部品が小形の場合であっても、電気部品を溝部に容易に載置することができる結果、測定効率を十分に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】測定用治具１を本体部２の正面パネル２ａ側から見た斜視図である。
【図２】測定用治具１を本体部２の背面パネル２ｂ側から見た斜視図である。
【図３】測定用治具１の内部の構成を示す斜視図である。
【図４】測定用治具１の内部の構成を示す平面図である。
【図５】移動機構４を分解した状態の斜視図である。
【図６】測定用治具１の動作を説明する第１の説明図である。
【図７】図６におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図８】測定用治具１の動作を説明する第２の説明図である。
【図９】測定用治具１の動作を説明する第３の説明図である。
【図１０】図９におけるＹ−Ｙ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、測定用治具の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
最初に、測定用治具の一例としての図１，２に示す測定用治具１の構成について、図面を参照して説明する。測定用治具１は、両図に示すように、本体部２、保持部３、移動機構４、カバー部５およびプローブ部５０ａ，５０ｂ（図３参照：以下、区別しないときには「プローブ部５０」ともいう）を備えて、例えば、図６に示す測定対象のチップ部品１００（電気部品の一例）を保持すると共に、保持した状態のチップ部品１００に対してプローブ部５０を接触可能に構成されている。なお、図３〜図１０では、本体部２における後述する各パネル２ｂ〜２ｆを取り外した状態で図示している。
【００１５】
本体部２は、図１，２に示すように、例えば、直方体の箱状に形成されて、保持部３および移動機構４を内部に収容可能に構成されている。また、本体部２の正面パネル２ａには、プローブ部５０と図外の測定装置との間で電気信号を入出力するための接続ケーブルのＢＮＣコネクタ（ＢＮＣプラグ）を接続させる複数（この例では、４つ）のＢＮＣコネクタ１０（ＢＮＣレセプタクル）が配設されている。
【００１６】
また、図１，２に示すように、本体部２には、背面パネル２ｂおよび天面パネル２ｃの一部を切り欠くことにより、保持部３にチップ部品１００を保持させる際に、チップ部品１００を出し入れするための開口部２ｇが形成されている。また、図１に示すように、本体部２の側面パネル２ｅには、移動機構４を構成する構成部品２１ｃ（図３参照）のレバー２２を本体部２の外側に突出させる切り欠き２ｈが形成されている。
【００１７】
保持部３は、図３，４に示すように、台座１１および保持部材１２を備えて構成されている。台座１１は、本体部２の底面パネル２ｄに取り付けられている。保持部材１２は、台座１１の上に固定されている。また、保持部材１２の上面には、図６に示すように、チップ部品１００を載置可能な溝部１３が形成されている。この場合、溝部１３は、図７に示すように、断面が矩形に形成されている。また、保持部材１２の上面には、図６に示すように、凹部１４が形成されている。この場合、凹部１４は、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにプローブ部５０ａ，５０ｂがそれぞれ接触するときに溝部１３においてチップ部品１００が位置する測定位置１３ｂ（図９参照）を除く溝部１３の一部（この例では、測定位置１３ｂよりも図６における左側の部分）に連続するようにして形成されている。また、凹部１４は、図７に示すように、底面１４ａが平坦に形成されると共に、底面１４ａまでの深さが溝部１３における底部１３ａまでの深さと同じになるように（つまり、底部１３ａと底面１４ａとが面一となるように）規定されている。
【００１８】
移動機構４は、保持部３における溝部１３の長さ方向（図３に示す矢印Ａの方向：以下「Ａ方向」ともいう）にプローブ部５０ｂを移動させて、保持部３によって保持（保持部３の溝部１３に載置）されているチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂ（対向する一対の被接触部：図９参照）にプローブ部５０ａ，５０ｂをそれぞれ接触可能に構成されている。具体的には、移動機構４は、図３〜図５に示すように、構成部品２１ａ〜２１ｈ、レバー２２、ベアリング２３およびスプリング２４を備えて構成されている。
【００１９】
構成部品２１ａは、レールで構成されて、図３〜図５に示すように、Ａ方向に直交する方向（各図に矢印Ｂで示す方向：以下「Ｂ方向」ともいう）に延在するようにして、本体部２の底面パネル２ｄに固定されている。構成部品２１ｂは、構成部品２１ａの上に配設されて構成部品２１ａ上をＢ方向にスライド可能に構成されている。構成部品２１ｃは、構成部品２１ｂの上に配設されて、ねじ６０（図５参照）で固定されている。また、構成部品２１ｃには、プローブ部５０ｂをＡ方向に移動させる移動操作の際に用いるレバー２２が取り付けられている。また、構成部品２１ｃには、図４に示すように、Ｂ方向に対して傾斜する（Ａ方向に対しても傾斜する）傾斜部３１が設けられている。
【００２０】
構成部品２１ｄは、レールで構成されて、図３〜図５に示すように、Ａ方向に延在するようにして、本体部２の底面パネル２ｄに固定されている。構成部品２１ｅは、構成部品２１ｄの上に配設されて構成部品２１ｄ上をＡ方向にスライド可能に構成されている。構成部品２１ｆは、構成部品２１ｅの上に配設されて、ねじ６０（図５参照）で固定されている。また、構成部品２１ｆの端部（図３〜図５における左側の端部）には、ベアリング２３が回転可能に取り付けられている。
【００２１】
構成部品２１ｇは、図３〜図５に示すように、構成部品２１ｅの上に配設されて、ねじ６０（図５参照）で固定されている。また、構成部品２１ｇは、プローブ部５０ｂを保持可能に構成されている。構成部品２１ｈは、構成部品２１ｆの端部（各図における右側の端部）に固定されている。また、構成部品２１ｈには、図４に示すように、Ｂ方向に対して傾斜する（Ａ方向に対しても傾斜する）傾斜部３２が設けられている。スプリング２４は、一例として、引っ張りコイルバネで構成されて、プローブ部５０ａ，５０ｂ同士が近接する向き（図４に示す矢印Ａ１の向き）に構成部品２１ｅ〜２１ｈを付勢する（引っ張る向きの付勢力を作用させる）。
【００２２】
この移動機構４では、図４に示すように、構成部品２１ｃが正面パネル２ａ側（同図における上部側）に位置しているとき（構成部品２１ｃのレバー２２が位置Ｐ１に位置しているとき）には、構成部品２１ｃの傾斜部３１よりも背面パネル２ｂ側のＢ方向に平行な部分（以下、「平行部３３」ともいう）が構成部品２１ｆに取り付けられているベアリング２３に当接している。この状態では、構成部品２１ｅ〜２１ｈが側面パネル２ｅ側（同図における左側）に位置して、プローブ部５０ａ，５０ｂの先端部同士が離間している。
【００２３】
また、この移動機構４では、図８に示すように、構成部品２１ｃが背面パネル２ｂ側（同図における下部側）に位置しているとき（構成部品２１ｃのレバー２２が位置Ｐ２に位置しているとき）には、構成部品２１ｃの傾斜部３１の先端部側がベアリング２３に当接している。この状態では、構成部品２１ｅ〜２１ｈが側面パネル２ｆ側（同図における右側）に位置して、プローブ部５０ａ，５０ｂの先端部同士が近接する。つまり、この移動機構４では、構成部品２１ｃとベアリング２３とによってカム機構が構成されている。
【００２４】
カバー部５は、図９に示すように、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂに各プローブ部５０ａ，５０ｂがそれぞれ接触するときにチップ部品１００が位置する溝部１３の測定位置１３ｂを覆う部材であって、保持部３における保持部材１２の上面に配設されている。この場合、カバー部５は、底面パネル２ｄに対して直交する方向に配置された支軸５ａ（図３参照）に軸支されることにより、底面パネル２ｄに平行な面に沿って回動可能に構成されている。また、カバー部５は、図外のバネ（例えば、支軸５ａに軸支されたねじりコイルバネ）によって平面視右回りに回動する向きに付勢されている。また、カバー部５は、移動機構４によるプローブ部５０ｂ（移動対象のプローブ部）の移動動作に連動して、測定位置１３ｂを開放する第１状態（図６に示す状態）と、測定位置１３ｂを覆う第２状態（図９に示す状態）とが切り替えられる。具体的には、プローブ部５０ｂが初期位置に位置している状態（図４，６に示す状態）において第１状態に維持され、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにプローブ部５０ａ，５０ｂがそれぞれ接触するとき（図９に示すとき）に第２状態に切り替えられる。
【００２５】
プローブ部５０ａ，５０ｂは、一例として、４端子法で被測定量を測定するためのプローブ部であって、筒状の第１プローブ（図示せず）と第１プローブ内に配設されて第１プローブに対して付勢部材を介して長さ方向に微小移動可能な棒状の第２プローブ（図示せず）とを備えてそれぞれ構成されている。また、この測定用治具１では、図３，４に示すように、プローブ部５０ａが固定台５１に固定され、プローブ部５０ｂ（移動対象のプローブ）が移動機構４の構成部品２１ｇによって保持されて、Ａ方向（溝部１３の長さ方向）に移動させられる。つまり、プローブ部５０ａ，５０ｂの一方だけがＡ方向に移動可能な構成となっている。
【００２６】
次に、測定用治具１を用いてチップ部品１００についての被測定量を測定する方法について図面を参照して説明する。
【００２７】
まず、測定用治具１における本体部２の正面パネル２ａに配設されているＢＮＣコネクタ１０に、図外の接続ケーブルのＢＮＣコネクタ（ＢＮＣプラグ）を接続して、図外の測定装置と測定用治具１とを接続する。次いで、図４に示すように、移動機構４における構成部品２１ｃのレバー２２を位置Ｐ１に位置させる。この場合、移動機構４における構成部品２１ｅ〜２１ｈがスプリング２４によって同図に示す矢印Ａ１の向き（側面パネル２ｆに向かう向き）に付勢されているため、構成部品２１ｆに取り付けられているベアリング２３が、構成部品２１ｃの平行部３３に当接している。
【００２８】
この状態では、構成部品２１ｅ〜２１ｈが側面パネル２ｅ側（図４における左側）に位置して、プローブ部５０ｂが初期位置に位置し、プローブ部５０ａ，５０ｂの先端部同士が離間している。また、この状態では、図４に示すように、カバー部５が保持部３の保持部材１２に形成されている溝部１３の測定位置１３ｂを開放する第１状態となっている。また、構成部品２１ｈの傾斜部３２がカバー部５の外周部に当接して、図外のバネの付勢力によるカバー部５の右回りの回動を規制している。このため、カバー部５が第１状態に維持されている。
【００２９】
続いて、チップ部品１００を保持部３の溝部１３にセットする。具体的には、まず、図６に示すように、保持部材１２に形成されている凹部１４の底面１４ａにチップ部品１００を載置する。次いで、棒等を用いてチップ部品１００を押すことにより、チップ部品１００を凹部１４から溝部１３に移動させる。この場合、凹部１４の底面１４ａと溝部１３の底部１３ａとが面一となっているため（図７参照）、底面１４ａから底部１３ａにチップ部品１００を滑らせつつ移動させることで、スムーズな移動を行うことが可能となっている。なお、凹部１４の底面１４ａに測定対象のチップ部品１００を複数載置し、測定する度に、チップ部品１００を溝部１３に１つずつ移動させることもできる。つまり、凹部１４を、溝部１３に移動させるチップ部品１００の待機場所として使用することができる。
【００３０】
続いて、図８に示すように、構成部品２１ｃのレバー２２を本体部２の背面パネル２ｂ側に移動させて、位置Ｐ２に位置させる。この際に、構成部品２１ｃの傾斜部３１が同図に示す矢印Ｂ１の向き（背面パネル２ｂに向かう向き）に移動し、これに伴い、ベアリング２３と構成部品２１ｃとの当接部位が平行部３３から傾斜部３１に移動し、次いで、傾斜部３１に沿って矢印Ａ１の向きに移動する。これにより、構成部品２１ｅ〜２１ｈが矢印Ａ１の向きに移動し、構成部品２１ｇに保持されているプローブ部５０ｂが矢印Ａ１の向き、つまりプローブ部５０ａに近接する向きに移動させられる。この結果、図９に示すように、プローブ部５０ａ，５０ｂがチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにそれぞれ接触する。
【００３１】
一方、図８に示すように、構成部品２１ｅ〜２１ｈの矢印Ａ１への移動に伴って構成部品２１ｈの傾斜部３２とカバー部５とが離間する（当接状態が解除される）。この際に、図外のバネの付勢力によってカバー部５が右回りに回動して、図９に示すように、保持部３における溝部１３の測定位置１３ｂを覆う第２状態に切り替えられる。この第２状態では、図１０に示すように、測定位置１３ｂの上方がカバー部５によって覆われているため、プローブ部５０ａ，５０ｂから電極１０１ａ，１０１ｂに力が加わったとしても、チップ部品１００が溝部１３（測定位置１３ｂ）から飛び出す事態を確実に防止することが可能となっている。
【００３２】
続いて、測定装置を操作して、チップ部品１００についての被測定量を測定する。この場合、溝部１３からのチップ部品１００の飛び出しが確実に防止されるため、チップ部品１００の被測定量を確実に測定することが可能となっている。
【００３３】
次いで、測定が終了したチップ部品１００を溝部１３から取り出す。このときには、図４に示すように、レバー２２を本体部２の正面パネル２ａ側に移動させて、位置Ｐ１に位置させる。この際に、同図に示すように、構成部品２１ｃの傾斜部３１が同図に示す矢印Ｂ２向き（正面パネル２ａに向かう向き）に移動し、これに伴い、ベアリング２３と構成部品２１ａとの当接部位が傾斜部３１に沿って矢印Ａ２の向きに移動し、続いて、傾斜部３１から平行部３３に移動する。
【００３４】
これにより、構成部品２１ｅ〜２１ｈが図４に示す矢印Ａ２の向きに移動し、構成部品２１ｇに保持されているプローブ部５０ｂが矢印Ａ２の向き、つまりプローブ部５０ａから離間する向きに移動させられて、図６に示すように、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂに対するプローブ部５０ａ，５０ｂの接触が解除される。また、構成部品２１ｈの移動により、図４に示すように、構成部品２１ｈの傾斜部３２がカバー部５の外周部に当接して、カバー部５が左回りに回動させられ、これによって、カバー部５が第２状態から第１状態に切り替えられる。次いで、開放された測定位置１３ｂからチップ部品１００を取り出す。以上により、チップ部品１００についての被測定量の測定が終了する。
【００３５】
このように、この測定用治具１によれば、移動機構４によるプローブ部５０ｂの移動動作に連動して、溝部１３の測定位置１３ｂを開放する第１状態と測定位置１３ｂを覆う第２状態とを切り替え可能に構成されて、プローブ部５０ｂが初期位置に位置している状態において第１状態に維持され、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにプローブ部５０ａ，５０ｂがそれぞれ接触するときに第２状態に切り替えられるカバー部５を備えたことにより、プローブ部５０ａ，５０ｂがチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂに接触するときに、測定位置１３ｂをカバー部５によって覆うことができる。つまり、カバー部５は、溝部１３の蓋として機能し、その蓋をプローブ部５０ｂの移動動作に連動して自動的に開閉させることができる。この場合、Ａ方向（溝部１３の長さ方向）でのチップ部品１００の移動がプローブ部５０ａ，５０ｂによって規制され、溝部１３の上方へのチップ部品１００の移動がカバー部５によって規制される。このため、この測定用治具１によれば、プローブ部５０ａ，５０ｂから電極１０１ａ，１０１ｂに力が加わったとしても、チップ部品１００が溝部１３から飛び出す事態を確実に回避することができる。したがって、この測定用治具１によれば、溝部１３からのチップ部品１００の飛び出しによる測定の中断やチップ部品１００の紛失を確実に防止することができる。
【００３６】
また、この測定用治具１によれば、支軸５ａによって回動可能に軸支されて、移動機構４によるプローブ部５０ｂの移動動作に連動して回動することによって第１状態と第２状態とを切り替え可能にカバー部５を構成したことにより、溝部１３の長さ方向（Ａ方向）に平行な方向や溝部１３の長さ方向に直交する方向にカバー部５を移動させて第１状態と第２状態とを切り替える構成と比較して、少ない移動量で第１状態と第２状態とを切り替えることができるため、カバー部５を十分に小形化することができる。
【００３７】
また、この測定用治具１によれば、底面１４ａが平坦に形成されると共に底面１４ａが溝部１３の底部１３ａと同じ深さに規定されて、溝部１３における測定位置１３ｂを除く部分に連続するように形成された凹部１４を備えて保持部３を構成したことにより、凹部１４の底面１４ａにチップ部品１００を載置させた後に、凹部１４の底面１４ａから溝部１３の底部１３ａにチップ部品１００を滑らせつつ移動させることができる。このため、この測定用治具１によれば、チップ部品１００が小形の場合であっても、チップ部品１００を溝部１３に容易に載置することができる結果、測定効率を十分に向上させることができる。
【００３８】
なお、測定用治具の構成は、上記の構成に限定されない。例えば、プローブ部５０ａを固定し、プローブ部５０ｂだけをＡ方向に移動させる構成例について上記したが、プローブ部５０ａ，５０ｂの双方をＡ方向に移動させる構成を採用することもできる。
【００３９】
また、底面パネル２ｄに平行な面に沿って回動可能にカバー部５を構成した例について上記したが、例えば、底面パネル２ｄに平行な支軸に軸支されて、その支軸を中心として、底面パネル２ｄに対する傾斜角度が増減するように回動可能なカバー部を用いて、カバー部の傾斜角度が９０°以上のときに測定位置１３ｂを開放する第１状態となり、カバー部の傾斜角度が０°のときに測定位置１３ｂを覆う第２状態となるような構成を採用することもできる。
【００４０】
また、移動機構４によるプローブ部５０ｂの移動動作に連動してカバー部５を回動させて、第１状態と第２状態とを切り替える構成例について上記したが、プローブ部５０ｂの移動動作に連動して、Ａ方向（溝部１３の長さ方向）に平行な方向、Ｂ方向（Ａ方向に直交する方向）、およびＡ方向やＢ方向に対して傾斜する方向等にカバー部５を移動させて、第１状態と第２状態とを切り替える構成を採用することもできる。
【００４１】
また、第１プローブおよび第２プローブを備えた４端子法用のプローブ部５０を用いる例について上記したが、単一のプローブで構成されたプローブ部（２端子法用のプローブ）を用いる構成を採用することもできる。
【００４２】
また、引っ張りコイルバネで構成されたスプリング２４の付勢力（引っ張る向きの付勢力）によってプローブ部５０ａ，５０ｂ同士が近接する向きにプローブ部５０ｂ（構成部品２１ｅ〜２１ｈ）を移動させるように移動機構４を構成した例について上記したが、圧縮コイルバネの付勢力（押圧する向きの付勢力）によってプローブ部５０ｂをこの向きに移動させるように移動機構４を構成することもできる。また、コイルバネ以外のバネ（例えば板バネ）の付勢力や、ゴム等の弾性材料の付勢力によってプローブ部５０ａ，５０ｂ同士が近接する向きにプローブ部５０ｂを移動させるように移動機構４を構成することもできる。
【符号の説明】
【００４３】
１  測定用治具
３  保持部
４  移動機構
５  カバー部
５ａ  支軸
５０ａ，５０ｂ  プローブ部
１２  保持部材
１３  溝部
１３ａ  底部
１３ｂ  測定位置
１４  凹部
１４ａ  底面
１００  チップ部品
１０１ａ，１０１ｂ電極
【図１】
0006462465.tif 000002
【図２】
0006462465.tif 000003
【図３】
0006462465.tif 000004
【図４】
0006462465.tif 000005
【図５】
0006462465.tif 000006
【図６】
0006462465.tif 000007
【図７】
0006462465.tif 000008
【図８】
0006462465.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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