(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象の物品を収容して該物品を所定の処理に適した環境内に保持する複数のチャンバと、
前記複数のチャンバのそれぞれを、前記物品の搬入位置と搬出位置とを含む所定の経路に沿って並んだ状態で循環するように移動させるチャンバ搬送手段と、
前記複数のチャンバのそれぞれの内部を前記処理に適した環境に調整する手段としての複数のポンプと、を具備し、
前記複数のチャンバのそれぞれは、複数の物品を前記チャンバの移動方向に位置を揃えて並べた少なくとも一列の物品群を収容できるように設けられ、
前記経路が所定の軸線の回りに円を描くように前記チャンバ搬送手段が設けられ、
前記チャンバ搬送手段は、支持体と、前記支持体により前記軸線の回りに回転自在に支持された回転体と、前記回転体を前記軸線の回りに駆動する駆動手段とを有し、前記複数のチャンバのそれぞれは、前記軸線の回りに並べられた状態で前記回転体に取り付けられ、
前記軸線の回りに相対回転可能に組み合わされた固定部品と回転部品とを含み、該固定部品と回転部品との間に複数系統の流路が設けられた回転継手部が前記支持体と前記回転体との間に設けられ、
前記回転継手部の前記固定部品が前記支持体側に、前記回転部品が前記回転体側にそれぞれ取り付けられ、
前記固定部品と前記回転部品との間には、前記軸線と同軸でかつ前記軸線の周りを一周する複数の環状溝とそれらの環状溝の内部を外部からシールするシール部材とが設けられ、
前記固定部品及び前記回転部品のそれぞれには、前記複数の環状溝のそれぞれに対して択一的に通じる複数のポートが設けられ、それにより、同一の環状溝に通じる固定部品側のポートと回転部品側のポートとの間に一系統の流路が形成され、
前記一系統の流路における前記回転部品側のポートが少なくとも二つのチャンバと接続されるようにして、前記複数の系統の流路のそれぞれにおける前記回転部品側のポートと前記複数のチャンバとが接続され、
前記一系統の流路が同一のポンプと接続され、かつ複数の系統の流路間では接続されるポンプが互いに異なるようにして、前記複数の系統の流路のそれぞれにおける前記固定部品側のポートと前記複数のポンプとが接続され、
前記複数の系統の流路のそれぞれにおける前記回転部品側のポートと前記複数のチャンバとの間には、各ポンプの動作を作用させるべきチャンバを選択的に切り替える弁手段が設けられている、物品の処理装置。
【請求項２】
前記複数のチャンバのそれぞれにおける前記物品群の列方向が前記軸線の方向に設定されている請求項１に記載の物品の処理装置。
【請求項３】
前記複数のチャンバのそれぞれにおける前記物品群の列方向が前記経路の半径方向に設定されている請求項１に記載の物品の処理装置。
【請求項４】
前記経路の前記搬入位置から前記搬出位置に至る間の一部の区間で各チャンバに前記ポンプの動作が作用するように前記弁手段を切り替え制御する弁制御手段をさらに備え、
前記一部の区間を通過する時期が重複しないチャンバ同士が同一系統の流路を介して前記同一のポンプに接続されている請求項１〜３のいずれか一項に記載の物品の処理装置。
【請求項５】
前記チャンバ内の物品に対し、前記所定の処理として化学気相成長法を用いて成膜する成膜装置として構成された請求項１〜４のいずれか一項に記載の物品の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャンバの内部を外部とは異なる環境に設定してチャンバ内の物品に所定の処理を施す物品の処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラスチック容器や半導体基板等の物品に所定の環境下で成膜、殺菌等の処理を施す装置として、複数の物品をチャンバ内に収容し、そのチャンバ内部を処理に適した環境に調整して一括処理を行う、いわゆるバッチ式の処置装置が知られている（例えば特許文献１参照）。複数のチャンバを環状の経路に沿って循環させつつその経路上の搬入位置で各チャンバに物品を順次取り込み、各チャンバが経路上の搬出位置に向けて移動する間に各チャンバ内で処理を順次進める、いわゆる連続式（あるいはロータリ式）の処理装置も知られている（例えば特許文献２及び３参照）。バッチ式の変形として、複数のチャンバを選択的に利用することにより、複数の物品に対するバッチ処理を単一のチャンバを用いる例よりも短い周期で繰り返すようにしたいわゆる連続バッチ式の処理装置も提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１３／０９９９６０号
【特許文献２】特開２００４−００２９０５号公報
【特許文献３】特開２００７−１１３０４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
バッチ式処理装置は、チャンバに収容すべき一定数の物品を蓄えてから処理を開始する必要がある。そのため、多数の物品が連続して送られる製造ライン等に処理装置を組み込んでインライン式のシステムを構築する場合には複数チャンバを循環させる連続式の処理装置が好んで採用される。しかしながら、従来の連続式の処理装置は、各チャンバに単一の物品を収容するように構成されている。したがって、サイクルタイムを短縮するためには、より多くのチャンバを移動方向に並べる必要があり、それに伴ってチャンバの移動の経路が大きくなり、装置の大型化が避けられないといった不都合が生じる。
【０００５】
そこで、本発明は、多数の物品を効率よく処理することができ、かつ小型化にも有利な物品の処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る物品の処理装置（１Ａ；１Ｂ）は、処理対象の物品（２）を収容して該物品を所定の処理に適した環境内に保持する複数のチャンバ（２１）と、前記複数のチャンバのそれぞれを、前記物品の搬入位置（Ｐｉｎ）と搬出位置（Ｐｏｕｔ）とを含む所定の経路（ＣＰ）に沿って並んだ状態で循環するように移動させるチャンバ搬送手段（３）と、を具備し、前記複数のチャンバのそれぞれは、複数の物品を前記チャンバの移動方向に位置を揃えて並べた少なくとも一列の物品群を収容できるように設けられたものである。
【０００７】
本発明の処理装置によれば、複数のチャンバを搬入位置に次々と繰り出して各チャンバに複数の物品を収容し、それらの物品を各チャンバにて順次処理することができる。したがって、単一のチャンバを用いる単純なバッチ式処理装置、あるいは、各チャンバに単一の物品を収容する連続式処理装置と比較して、多数の物品を効率よく処理することができる。また、各チャンバにて、複数の物品を移動方向に位置を揃えて並べて収容することにより、一つ一つの物品に対応するチャンバを経路に沿って並べる場合と比較してチャンバの移動経路の拡大を抑え、装置の小型化を図ることができる。
【０００８】
本発明の処理装置（１Ａ）においては、前記経路が所定の軸線（ＡＸ）の回りに円を描くように前記チャンバ搬送手段が設けられ、前記複数のチャンバのそれぞれにおける前記物品群の列方向が前記軸線の方向に設定されてもよい。これによれば、物品群が軸線方向に列をなすように収容されるので、同数の物品を経路の周方向に並べる場合と比較して経路の半径方向への拡大を抑えることができる。
【０００９】
また、本発明の処理装置（１Ｂ）においては、前記経路が所定の軸線（ＡＸ）の回りに円を描くように前記チャンバ搬送手段が設けられ、前記複数のチャンバのそれぞれにおける前記物品群の列方向が前記経路の半径方向に設定されてもよい。これによれば、物品群が経路の半径方向に列をなすように収容されるので、同数の物品を経路の軸線方向に並べる場合と比較して、チャンバの軸線方向への拡大を抑えることができる。
【００１０】
本発明の処理装置（１Ａ；１Ｂ）において、前記チャンバ搬送手段は、支持体（１０）と、前記支持体により前記軸線の回りに回転自在に支持された回転体（１４；９０）と、前記回転体を前記軸線の回りに駆動する駆動手段（１８）とを有し、前記複数のチャンバのそれぞれは、前記軸線の回りに並べられた状態で前記回転体に取り付けられてもよい。これによれば、複数のチャンバを経路に沿って並べられた状態で支持しつつ回転体と一体的に回転するように移動させることができる。
【００１１】
上記の形態において、処理装置は、前記軸線の回りに相対回転可能に組み合わされた固定部品（３５；１０２）と回転部品（３６；１０１）とを含み、該固定部品と回転部品との間に複数系統の流路が設けられた回転継手部（１６；１００）をさらに備え、前記回転継手部の前記固定部品が前記支持体側に、前記回転部品が前記回転体側にそれぞれ取り付けられてもよい。これによれば、各チャンバの内部を処理に適した環境に調整するために必要とされる流体の流路を、回転継手部の複数系統の流路を介して支持体側と回転体側との間に設けることができる。各チャンバに複数の物品を収容する場合にはチャンバの容量が大きくなるため、チャンバ内の環境を調整するためのポンプ等の機器をチャンバ側に設けると、チャンバを移動させる駆動手段の負荷が大きくなる。これに対して、支持体側に機器を設置し、回転継手部の流路を介してチャンバと接続する構成とすれば、チャンバを移動させる駆動手段の負荷が軽減され、装置の小型化に有利である。
【００１２】
また、処理装置は、前記複数のチャンバのそれぞれの内部を前記処理に適した環境に調整する手段として複数のポンプ（８１Ａ、８１Ｂ、８１Ｃ、８１Ｄ）をさらに備え、前記複数系統の流路のそれぞれを介して各ポンプと少なくとも二つのチャンバとが接続され、各系統の流路に接続されたチャンバは互いに異なるポンプと接続され、前記回転継手部と前記複数のチャンバとの間には、各ポンプの動作を作用させるべきチャンバを選択的に切り替える弁手段（８３）が設けられてもよい。これによれば、各ポンプの動作を弁手段により選択的に切り替えてチャンバに作用させることにより、チャンバ数よりも少ない数のポンプで複数のチャンバのそれぞれの内部環境を調整することができる。
【００１３】
さらに、処理装置は、前記経路の前記搬入位置から前記搬出位置に至る間の一部の区間（Ｐ１〜Ｐ２）で各チャンバに前記ポンプの動作が作用するように前記弁手段を切り替え制御する弁制御手段（８４）を備え、前記一部の区間を通過する時期が重複しないチャンバ同士が同一系統の流路を介して同一のポンプに接続されてもよい。これによれば、各ポンプを単一のチャンバと選択的に接続してそのポンプの動作をチャンバに作用させることができる。各ポンプの動作を複数のチャンバに同時並行的に作用させる必要がないので、ポンプの容量を単一のチャンバに合わせて設定することができる。
【００１４】
上記の形態において、回転継手部の前記固定部品と前記回転部品との間には、前記軸線と同軸の複数の環状溝（４２、４３、４４；１０３、１０４、１０５）とそれらの環状溝の内部を外部からシールするシール部材（５６；１１５）とが設けられ、前記固定部品及び前記回転部品のそれぞれには、前記複数の環状溝のそれぞれに対して択一的に通じる複数のポート（４８、４９、５０、４５、４６、４７；１０６、１０７、１０８、１１１、１１２、１１３）が設けられ、それにより、同一の環状溝に通じる固定部品側のポートと回転部品側のポートとの間に一系統の流路が形成されてもよい。これによれば、同一の環状溝に通じる固定部品側のポートと回転部品側のポートとが、回転部品の回転に関わりなくその環状溝を介して互いに接続される。しかも、環状溝の内部はシール部材により環状溝の外部に対してシールされている。したがって、環状溝の個数に応じた系統数の流路を回転継手部に設けることができる。
【００１５】
さらに、本発明の処理装置は、前記チャンバ内の物品に対し、前記所定の処理として化学気相成長法を用いて成膜する成膜装置として構成されてもよい。これによれば、多数の物品に対する成膜を効率よく行うことができる。
【００１６】
なお、以上の説明では本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
【発明の効果】
【００１７】
以上に説明したように、本発明の処理装置によれば、複数のチャンバを所定の経路に沿って循環させつつ、各チャンバには移動方向に位置が揃えられた少なくとも一列の物品群を収容するものとしたため、多数の物品を効率よく処理することができ、かつチャンバの移動経路の拡大を抑え、装置の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の形態に係る処理装置としての成膜装置を一部断面視して示す正面図。
【図２】第１の形態に係る成膜装置を一部断面視して示す右側面図。
【図３】第１の形態に係る成膜装置の真空チャンバを拡大して示す断面図。
【図４】回転継手部の軸方向断面図。
【図５】回転継手部に設けられた回転プレートを固定プレートに対する組み合わせ面側からみた状態を示す図。
【図６】真空ポンプと真空チャンバとの接続形態を示す図。
【図７】各真空チャンバにおける処理の順序を所定の基準時からのチャンバの回転角度と対応付けて示した図。
【図８】本発明の第２の形態に係る処理装置としての成膜装置を一部断面視して示す正面図。
【図９】第２の形態に係る成膜装置を一部断面視して示す右側面図。
【図１０】第２の形態に係る成膜装置の真空チャンバとそれに対する搬入ユニットとを拡大して示す図。
【図１１】回転継手部の変形例における軸方向半断面図。
【図１２】図１１の回転継手部を同図の矢印XII方向からみた状態を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（第１の形態）
図１及び図２は、本発明の第１の形態に係る物品の処理装置を示している。これらの図に示す装置１Ａは、処理対象の物品の一例としてのボトル２の内面に、触媒化学気相成長法（いわゆるＣａｔ−ＣＶＤ法）によってバリア膜を成膜する成膜装置として構成されている。成膜装置１Ａは、チャンバ搬送手段としてのチャンバ搬送ユニット３と、ボトル２の搬入手段としての搬入ユニット４と、ボトル２の搬出手段としての搬出ユニット５とを備えている。ボトル２は一例としてＰＥＴボトルであるが、他の材質からなるプラスチック容器でもよい。
【００２０】
図１及び図２に示すように、搬送ユニット３は、工場の床面等に据え置かれるフレーム構造の支持体としてのベース１０と、回転体としてのロータ１４とを備えている。ロータ１４は円筒状であり、その中心線上には回転軸１５がロータ１４と一体に回転できるようにして取り付けられている。回転軸１５はロータ１４から軸線方向両側に突出する。回転軸１５の両端部は、回転継手部１６により、水平方向の軸線ＡＸを中心として回転自在かつ軸線方向には移動不能に支持されている。回転継手部１６は、回転軸１５をベース１０上にて回転自在に支持する軸受としての機能と、チャンバ搬送ユニット３の固定部分と回転部分（ロータ１４側）との間に複数系統の流路を確保する機能とを提供するが、その詳細は後述する。さらに、搬送ユニット３には、ロータ１４の駆動手段としての電動モータ１８が設けられている。電動モータ１８はベース１０に据え付けられている。電動モータ１８の出力軸１８ａ及び回転軸１５の端部にはプーリ１９Ａ、１９Ｂが固定され、プーリ１９Ａ、１９Ｂの間にはベルト２０が巻き掛けられている。したがって、電動モータ１８によりロータ１４を軸線ＡＸの回りに回転駆動することができる。
【００２１】
ロータ１４の外周には、複数（図示例では１２個）の真空チャンバ２１が設けられている。各真空チャンバ２１はボトル２を収容し、かつボトル２を成膜処理に適した環境内に保持する。真空チャンバ２１は、チャンバ搬送ユニット３のロータ１４の回りに一定の角度間隔（図示例では３０°間隔）で並べられた状態でロータ１４に取り付けられている。それにより、ロータ１４の回転に伴って各真空チャンバ２１は回転軸１５の軸線ＡＸの回りを循環するように移動する。つまり、真空チャンバ２１は、回転軸１５の軸線ＡＸを中心として、ロータ１４の外周側に設定された環状の経路ＣＰ（図１に想像線Ｌで示した円弧とロータ１４の外周との間の環状の領域）に沿って移動する。ロータ１４は図１において時計回り（矢印ＣＷの方向）に回転駆動され、その方向が真空チャンバ２１の移動方向に相当する。経路ＣＰにはボトル２の搬入位置Ｐｉｎが設けられ、その搬入位置Ｐｉｎに合わせて搬入ユニット４が設けられている。搬入位置Ｐｉｎに対して、ロータ１４の回転方向と反対側に真空チャンバ２１の角度間隔に相当するだけ離れた位置にボトル２の搬出位置Ｐｏｕｔが設けられ、その搬出位置Ｐｏｕｔに搬出ユニット５が設けられている。真空チャンバ２１が搬入位置Ｐｉｎから搬出位置Ｐｏｕｔに移動する間に成膜に関連した各種の処理がなされるが、具体的な処理の内容は後述する。
【００２２】
図２によく示されているように、各真空チャンバ２１は、複数本（図示例では１５本）のボトル２を一列に並べた状態で収容してそれらのボトル２に一括して成膜できるように、その大きさ及び形状が定められている。各真空チャンバ２１内にてボトル２が列をなす方向は、回転軸１５の軸線ＡＸの方向と一致する。つまり、各真空チャンバ２１は、１５本のボトル２を回転軸１５の軸線ＡＸの方向に一列に並べたボトル群を収容するように設けられている。ボトル群の列方向が軸線ＡＸの方向に一致するため、真空チャンバ２１の移動方向に関しては、ボトル群を構成する１５本のボトル２の位置が互いに揃っている。各真空チャンバ２１には、ボトル２と同数の発熱体２４がボトル２と同一の並び方で設けられている。発熱体２４は、通電加熱により発熱し、真空チャンバ２１内に導入される成膜用の原料ガスを分解する触媒体として機能する。
【００２３】
図３に詳しく示したように、各真空チャンバ２１は、ボトルチャンバ部２２と、発熱体チャンバ部２３とを有している。なお、図３は一つの真空チャンバ２１をボトル２の列方向からみた状態を示している。ボトルチャンバ部２２はボトル２を収容して成膜するためのチャンバである。発熱体チャンバ部２３は、発熱体２４を所定の真空環境下で待機させるためのチャンバである。ボトルチャンバ部２２と発熱体チャンバ部２３とは、ロータ１４の半径方向に一直線に連なるように配置される。ボトルチャンバ部２２は発熱体チャンバ部２３よりもロータ１４の半径方向外側に位置している。ボトル２はその口元の開口部を発熱体チャンバ部２３に向けるようにしてボトルチャンバ部２２に収容される。つまり、ボトル２はその口元の開口部がロータ１４の半径方向中心側を向くようにしてボトルチャンバ部２２に収容される。ボトルチャンバ部２２に対してボトル２を搬入し又は搬出するため、ボトルチャンバ部２２の外周側の端部（発熱体チャンバ部２３とは反対側の端部）には、ボトルチャンバ部２２を開閉可能なシャッタ部２５が設けられている。真空チャンバ２１が搬送される経路ＣＰの外周側にてシャッタ部２５を開閉することにより、列状に並んだボトル２の群を一括して真空チャンバ２１に出し入れすることができる。
【００２４】
発熱体２４は、ボトル２の内部に対して抜き差しが可能な棒状部品として形成され、通電により成膜に必要な高温に発熱する。発熱体２４の材質には、タングステン等の高融点金属材料（融点が成膜時の発熱温度よりも十分に高い材料）が適宜に用いられてよい。発熱体チャンバ部２３の内部には発熱体２４を軸線方向に移動させるための移動機構２６が設けられている。その移動機構２６により発熱体２４はボトルチャンバ部２２に収容されたボトル２と同軸上に保持される。したがって、発熱体２４の軸線方向はロータ１４の半径方向と一致する。移動機構２６は、一例として、発熱体２４と平行に配置された案内ロッド２６ａと、その案内ロッド２６ａに沿って移動自在に設けられ、かつ発熱体２４と連結されたスライダ２６ｂと、発熱体チャンバ部２３の内周側に配置されて発熱体２４を案内ロッド２６ａの軸線方向に駆動するエアシリンダ等の直動型のアクチュエータ２６ｃとを有している。アクチュエータ２６ｃにて発熱体２４を移動させることにより、発熱体２４をボトルチャンバ部２２に移動させてボトル２の内部に挿入し、あるいはボトル２の内部から発熱体２４を抜き出して発熱体チャンバ部２３に格納することができる。両チャンバ部２２、２３の間には開閉可能なゲートバルブ２８が設けられている。ゲートバルブ２８を閉じた場合、両チャンバ部２２、２３の間は気密に仕切られる。なお、移動機構２６は、直動型のアクチュエータを用いる例に限らない。送りねじ機構等が移動機構２６として用いられてもよい。図２から明らかなように、移動機構２６のアクチュエータ２６ｃは、一つの真空チャンバ２１に配置される全ての発熱体２４を一括して移動させるように設けられている。ただし、各発熱体２４を個別に移動させるように発熱体２４と１対１に対応付けて移動機構２６が設けられてもよい。
【００２５】
真空チャンバ２１の内部の環境を成膜に適した真空圧に減圧するため、真空チャンバ２１のボトルチャンバ部２２及び発熱体チャンバ部２３にはポート３１、３２が設けられている。ポート３１、３２は互いに異なる真空ポンプに接続される。すなわち、ボトルチャンバ部２２は、シャッタ部２５を開いてボトル２を出し入れする際には大気圧に開放され、その一方、成膜時には所定の真空圧まで減圧される。これに対して、発熱体チャンバ部２３は、ゲートバルブ２８を閉じることによりボトルチャンバ部２２とは気密に仕切ることができるので、ボトルチャンバ部２２が大気圧に開放されていても真空状態に保持することが可能である。そこで、ボトルチャンバ部２２と、発熱体チャンバ部２３とを別々の真空ポンプに接続し、各チャンバ部２２、２３に応じた真空引き操作を行えるようにしている。ボトルチャンバ部２２及び発熱体チャンバ部２３のそれぞれと真空ポンプとの接続形態については後述する。
【００２６】
図４及び図５は、回転継手部１６の詳細を示している。回転継手部１６は回転軸１５の両側に設けられているが、図４及び図５では、図２の左側の回転継手部１６を示している。反対側の回転継手部１６も特に断りのない限り同一の構成である。回転継手部１６は、固定部品としての固定プレート３５と、回転部品としての回転プレート３６とを備えている。両プレート３５、３６はいずれも概略円盤状に形成されている。固定プレート３５の中心部には嵌合軸部３７が形成され、その外周には一対のボールベアリング３８が嵌め合わされている。一方、回転プレート３６の中心部には嵌合孔部３９が形成されている。その嵌合孔部３９にボールベアリング３８が嵌め合わされることにより、固定プレート３５と回転プレート３６とは相対回転可能な状態で同軸的に組み合わされている。さらに、固定プレート３５はベース１０に固定され（図２参照）、回転プレート３６は回転軸１５のフランジ部１５ａと同軸的に連結される。それにより、回転軸１５と回転プレート３６とは、固定プレート３５に支持されつつ軸線ＡＸの回りに一体に回転する。これにより、回転継手部１６は回転軸１５に対する軸受として機能する。
【００２７】
嵌合軸部３７の中心には貫通孔４０が形成され、その貫通孔４０には回転軸１５の軸端部１５ｂが回転自在な状態で通されている。回転軸１５の軸端部１５ｂは固定プレート３６の外側に突出し、その突出部分にはスイベル継手４１が取り付けられている。スイベル継手４１は、回転軸１５の軸線ＡＸ上に設けられた不図示の内部流路と接続される。これにより、スイベル継手４１を介してロータ１４側の回転部への流体の通路を確保することができる。その流体の通路は、例えば直動型アクチュエータ２６ｃを駆動する圧縮空気の流路として利用することができる。なお、図示を省略したが、回転軸１５の反対側の軸端部には、スリップリング等の回転コネクタを利用した電気配線用の接続部品を設けることができる。
【００２８】
次に、チャンバ搬送ユニット３における固定部分と回転部分との間に複数系統の流路を確保する機能を実現するための構成を説明する。回転プレート３６には、３本の環状溝４２、４３、４４が形成されている。図５から明らかなように、環状溝４２、４３、４４は回転プレート３６の中心（すなわち回転軸１５の軸線ＡＸ）の回りに同軸的な円を描くように設けられている。さらに、回転プレート３６には、内周の環状溝４２に開口する３個のポート４５と、中間の環状溝４３に開口する３個のポート４６と、外周の環状溝４４に開口する１個のポート４７とが回転プレート３６を軸線方向に貫くようにして設けられている。一方、固定プレート３５には、３本の環状溝４２、４３、４４のそれぞれと半径方向の位置を合せるようにして１個ずつ合計３個のポート４８、４９、５０が固定プレート３５を軸線方向に貫くようにして設けられている。
【００２９】
固定プレート３５には、環状溝４２、４３、４４の内周にそれぞれ嵌め合わされる３個のリング状の突起部５２、５３、５４と、回転プレート３６の外周に嵌め合わされるリング状のリム部５５とが設けられている。突起部５２、５３、５４と環状溝４２、４３、４４の内周面との間、及びリム部５５と回転プレート３６の外周との間には、それぞれシール部材としてのシールリング５６が装着されている。これらのシールリング５６により、環状溝４２、４３、４４の内部は、それらの外部に対してシールされる。したがって、回転プレート３６のポート４５から内周の環状溝４２を介して固定プレート３５のポート４８に通じる流路と、回転プレート３６のポート４６から中間の環状溝４３を介して固定プレート３５のポート４９に通じる流路と、回転プレート３６のポート４７から外周の環状溝４４を介して固定プレート３５のポート５０に通じる流路の３系統の流路が回転継手部１６に設けられる。片側の回転継手部１６に３系統の流路が設けられるため、両側の回転継手部１６により、合計６系統の流路が確保される。
【００３０】
各回転継手部１６の回転プレート３６における内周の環状溝４２及び中間の環状溝４３に開口するポート４５、４６はボトルチャンバ部２２とダクト６０を介して１対１に接続される。反対側の回転継手部１６においても同様にポート４５、４６がボトルチャンバ部２２と１対１に接続される。一方、各回転継手部１６の固定プレート３５における内周のポート４８及び中間のポート４９はダクト６１を介して互いに異なる真空ポンプと接続される。反対側の回転継手部１６においても同様にポート４８、４９が互いに異なる真空ポンプと接続される。これにより、上述した６系統の流路のうち、４系統の流路はボトルチャンバ部２２の真空引きに利用される。また、片側の回転継手部１６における外周の環状溝４４に開口するポート４７は１２個の発熱体チャンバ部２３の全てとダクト６２を介して接続され、同一の回転継手部１６の固定プレート３５における外周のポート５０はダクト６３を介してさらに別の真空ポンプに接続される。これにより、上述した６系統の流路のうち、１系統の流路は発熱体チャンバ部２３の真空引きに利用される。なお、反対側の回転継手部１６のポート４７、５０を経由する流路は特に使用されないが、真空引き以外の他の用途に利用されてもよい。例えば、成膜用の原料ガスをボトルチャンバ部２２に導入するための流路として、残り１系統の流路が利用されてもよい。なお、チャンバ部２２、２３と真空ポンプとの接続形態のさらなる詳細は後述する。
【００３１】
図１に戻って搬入ユニット４及び搬出ユニット５について説明する。成膜装置１Ａの搬出位置Ｐｉｎ及び搬出位置Ｐｏｕｔの近傍には、ボトルコンベア７１、７２が設けられている。ボトルコンベア７１は成膜の前工程から成膜装置１Ａに向けてボトル２を鉛直方向に立てられた状態で一列に搬送し、ボトルコンベア７２は成膜装置１Ａから後工程へボトル２を鉛直方向に立てられた状態で一列に搬送する。ボトルコンベア７１、７２の搬送方向は、ボトルチャンバ部２２におけるボトル２の並び方向（図１の紙面と直交する方向）と一致する。
【００３２】
搬入ユニット４は、水平移送部７３と旋回移送部７４とを備えている。水平移送部７３は、一つのボトルチャンバ部２２に収容されるボトル２の本数と同数のボトル２をボトルコンベア７１から取り込み、それらのボトル２を搬入位置Ｐｉｎのボトルチャンバ部２２に向けて水平に移送する。旋回移送部７４は、水平移送部７３からボトル２の列を受け取り、ボトル２が搬入位置Ｐｉｎのボトルチャンバ部２２の向きに一致するまでボトル２の列を旋回軸７４ａの回りに旋回させる。図３に示したように、ボトルチャンバ部２２には、ボトル２の口元部を保持するホルダ２２ａと、そのホルダ２２ａをロータ１４の半径方向に沿ってボトルチャンバ部２２の外周側の端部と内周側の端部との間で移動させる移動機構２９とが設けられている。搬入ユニット４の旋回移送部７４によってボトルチャンバ部２２に向けられたボトル２は、ボトルチャンバ部２２の外周側に繰り出されたホルダ２２ａに保持され、移動機構２９によりボトルチャンバ部２２の内部に取り込まれる。
【００３３】
図１に戻って、搬出ユニット５も搬入ユニット４と概略同様の構成である。搬出ユニット５は、移動機構２９によりボトルチャンバ部２２の外周側に送り出されたボトル２の列を受け取って、それらのボトル２を鉛直方向に向けられた状態まで旋回軸７５ａの回りに旋回させる旋回移送部７５と、その旋回移送部７５からボトル２の列を受け取ってボトルコンベア７２までボトル２の列を移送する水平移送部７６とを備えている。なお、上記の説明から明らかなように、ホルダ２２ａ及び移動機構２９はボトルチャンバ部２２にてボトル２を一定姿勢に保持する手段として機能するのみならず、実質的に搬入ユニット４及び搬出ユニット５の一部としても機能する。ただし、搬入ユニット４及び搬出ユニット５は上記の構成に限定されず、搬入位置Ｐｉｎにて一列のボトル２を一括してボトルチャンバ部２２に搬入し、搬出位置Ｐｏｕｔにて一列のボトル２を一括してボトルチャンバ部２２から搬出することができれば、適宜に構成されてよい。
【００３４】
次に、図６を参照して、回転継手部１６を介した真空チャンバ２１と真空ポンプとの接続形態を説明する。なお、以下では、図１において搬入位置Ｐｉｎにある真空チャンバ２１のチャンバ番号を＃１とし、その真空チャンバ２１からロータ１４の回転方向（つまり時計回りの方向）と反対方向に真空チャンバ２１のチャンバ番号を＃２、＃３…と順に番号付けし、搬入位置Ｐｉｎに対して移動方向に隣接する真空チャンバ２１の番号を＃１２とする。
【００３５】
図６に示したように、成膜装置１Ａには、ボトルチャンバ部２２の真空引きに利用されるべき４台の真空ポンプ８１Ａ、８１Ｂ、８１Ｃ、８１Ｄ（以下、これらを参照符号８１で代表することがある。）と、発熱体チャンバ部２３の真空引きに利用されるべき１台の真空ポンプ８２とが設けられている。ボトルチャンバ部２２は、チャンバ番号を４で除したときの余りが等しいもの同士が共通の真空ポンプ８１に接続されるようにして、４台の真空ポンプ８１Ａ〜８１Ｄに振り分けて接続される。すなわち、チャンバ番号＃１、＃５及び＃９のボトルチャンバ部２２は真空ポンプ８１Ａに、チャンバ番号＃２、＃６及び＃１０のボトルチャンバ部２２は真空ポンプ８１Ｂに、チャンバ番号＃３、＃７及び＃１１のボトルチャンバ部２２は真空ポンプ８１Ｃに、チャンバ番号＃４、＃８及び＃１２のボトルチャンバ部２２は真空ポンプ８１Ｄにそれぞれ接続される。また、回転継手部１６と各ボトルチャンバ部２２との間には、真空ポンプ８１を作用させるボトルチャンバ部２２を択一的に切り替えるための弁手段としての開閉弁８３が設けられる。それらの開閉弁８３は弁制御手段としての制御ユニット８４により切り替え制御される。一方、全ての真空チャンバ２１の発熱体チャンバ部２３は回転継手部１６を介して真空ポンプ８２と接続される。成膜装置１Ａの動作中、真空ポンプ８２は真空引き動作を継続し、それにより全ての発熱体チャンバ部２３は常時真空状態に保持される。
【００３６】
次に、成膜装置１Ａにおける成膜処理時の動作を説明する。なお、以下では、図１〜図５を適宜に参照するとともに、図７も併せて参照する。図７では、チャンバ番号＃１の真空チャンバ２１が搬入位置Ｐｉｎにある状態を基準状態（＝０°）に設定し、その基準状態からのロータ１４の回転角度と対応付けて各真空チャンバ２１にて行われる処理を示している。また、図１では、各真空チャンバ２１における処理の区切りとなる位置を経路ＣＰの外周上に位置Ｐ１〜Ｐ４で示している。
【００３７】
まず、＃１の真空チャンバ２１に関する動作を説明する。以下にはおいては特に断らない限り、真空チャンバ２１はチャンバ番号＃１のものを意味する。まず、回転角度が０°、つまり真空チャンバ２１が搬入位置Ｐｉｎにあるときにシャッタ部２５は開いており、その位置Ｐｉｎで搬入ユニット４を用いてボトルチャンバ部２２にボトル２が搬入される。このとき、発熱体２４は発熱体チャンバ部２３に格納され、かつゲートバルブ２８は閉じている。真空ポンプ８２は継続して動作しているので、発熱体チャンバ部２３は真空状態に保持される。ボトル２の搬入後、ロータ１４の回転に伴って真空チャンバ２１が３０°回転して図１の位置Ｐ１に達するまでの間に真空チャンバ２１のシャッタ部２５が閉じられてボトルチャンバ部２２が真空チャンバ２１の外部から気密に仕切られる。真空チャンバ２１が位置Ｐ１を超えると真空ポンプ８１Ａによる真空引きが開始される。この際、真空ポンプ８１Ａと接続された流路上の開閉弁８３のうち、＃１の真空チャンバ２１に対する流路上の開閉弁８３は開かれ、＃５及び＃９の真空チャンバ２１に対する流路上の開閉弁８３は閉じられる。それにより、真空ポンプ８１Ａによる真空引き動作は、＃１の真空チャンバ２１にのみ作用する。
【００３８】
真空引き動作は、真空チャンバ２１が基準状態から１２０°回転して図１の位置Ｐ２に達するまで継続される。この間に、ボトルチャンバ部２２は発熱体チャンバ部２３とほぼ同程度まで減圧され、それに伴ってゲートバルブ２８が開かれてチャンバ部２２、２３の全体が成膜に適した真空圧に調整される。また、ゲートバルブ２８の開放に連動して、発熱体２４は移動機構２６によりボトルチャンバ部２２に送り込まれてボトル２の内部に挿入される。真空チャンバ２１が位置Ｐ２に達すると、＃１の真空チャンバ２１に対応する開閉弁８３が閉じて真空ポンプ８１Ａによる真空引きが終了する。真空引き動作が終了すると、真空チャンバ２１内に成膜用の原料ガスが導入され、かつ発熱体２４に電流が流されて発熱体２４が発熱し、それによりボトル２の内部に対する成膜が開始される。成膜は真空チャンバ２１が基準状態から２４０°回転して図１の位置Ｐ３に達するまで継続される。成膜が終わると原料ガスの供給及び発熱体２４への通電が停止され、発熱体２４が発熱体チャンバ部２３へと格納される。真空チャンバ２１が位置Ｐ３に達するまでに発熱体２４の格納が終了し、かつゲートバルブ２８が閉じられる。これにより、ボトルチャンバ部２２と発熱体チャンバ部２３との間が気密に仕切られる。真空チャンバ２１が基準状態から３００°回転して図１の位置Ｐ４に達すると、シャッタ部２５が開かれてボトルチャンバ部２２が大気圧に開放される。その後、真空チャンバ２１が基準状態から３３０°回転すると真空チャンバ２１は搬出位置Ｐｏｕｔに至る。その位置Ｐｏｕｔで搬出ユニット５を用いてボトルチャンバ部２２からボトル２が搬出される。ボトル２の搬出後、真空チャンバ２１は搬出位置Ｐｏｕｔから搬入位置Ｐｉｎに空状態で移動する。これにより＃１の真空チャンバ２１における一サイクルの処理が完了し、搬入位置Ｐｉｎにて次のサイクルの処理が開始される。
【００３９】
＃２〜＃１２の真空チャンバ２１に関しても、上記と同様の順序で成膜に関連した各種の処理が実施される。ただし、１２個の真空チャンバ２１は３０°ずつ移動方向に間隔を空けて配置されているので、図１の基準状態、つまり＃１の真空チャンバ２１が搬入位置Ｐｉｎにある状態からの真空チャンバ２１の並び順に従って各真空チャンバ２１における処理のタイミングは３０°ずつずれる。すなわち、図７に示すように、チャンバ番号が１増えるごとに処理のタイミングが回転角度３０°に相当する時間ずつ遅れることになる。図７から明らかなように、同一の真空ポンプ８１に接続される３個の真空チャンバ２１間では、真空ポンプ８１による真空引き動作を作用させるべき時期が重複しない。したがって、１２個のボトルチャンバ部２２に対して、各ボトルチャンバ部２２に対応する開閉弁８３を適宜に切り替えれば、４台の真空ポンプ８１のそれぞれを、位置Ｐ１〜Ｐ２の間にある単一のボトルチャンバ部２２と選択的に接続して真空引きすることができる。１台の真空ポンプ８１により複数のボトルチャンバ部２２を同時に真空引きする必要がないので、真空ポンプ８１の容量は単一のボトルチャンバ部２２の容積に見合ったもので足りる。
【００４０】
なお、真空ポンプ８１は、真空引きの対象となるボトルチャンバ部２２に真空引き動作をさせるべき間のみ動作させ、その余の時間帯は停止させてもよいし、真空チャンバ２１が回転している間は真空ポンプ８１を連続して動作させ、開閉弁８３の切り替え制御により、真空引きが必要なボトルチャンバ部２２のみにその真空ポンプ８１の真空引き動作を作用させてもよい。真空チャンバ２１は成膜装置１Ａの動作中において一定速度で連続的に回転させてもよいし、真空チャンバ２１の角度間隔（３０°）、又はそれよりも小さい単位角度ずつ回転と停止とを繰り返すように間欠的に回転させてもよい。搬入ユニット４及び搬出ユニット５が真空チャンバ２１の停止を必要とするタイプの場合には、真空チャンバ２１を間欠的に回転させればよいし、搬入ユニット４及び搬出ユニット５が、真空チャンバ２１が回転している状態でもボトル２の受け渡しが可能なタイプであれば、真空チャンバ２１を連続的に回転させればよい。
【００４１】
以上に説明したように、本形態の成膜装置１Ａによれば、複数の真空チャンバ２１のそれぞれを次々と搬入位置に移動させて各真空チャンバ２１に複数本のボトル２を収容し、各真空チャンバ２１のボトル２を順次成膜処理し、成膜が完了したボトル２を次々と搬出位置Ｐｏｕｔから取り出すことができる。したがって、単一の真空チャンバに複数本のボトルを収容して成膜処理を行う単純なバッチ式の成膜装置、あるいは各真空チャンバに１本ずつボトルを収容して成膜を行う単純な連続式の成膜装置と比較して、多数本のボトル２の成膜処理を効率よく実施することができる。一つの真空チャンバ２１に複数本のボトル２を収容するため、複数の真空チャンバ２１のそれぞれに１本ずつボトル２を収容する場合と比較して真空チャンバ２１の個数を削減することができる。ボトルチャンバ部２２におけるボトル２の列方向を回転軸ＡＸの方向と一致させているので、各真空チャンバ２１で処理するボトル２の本数を増加させても真空チャンバ２１の経路ＣＰの旋回半径が拡大しない。そのため、ロータ１４の外径や経路ＣＰの外径を小型化でき、設置スペースの削減が可能である。
【００４２】
（第２の形態）
次に、図８〜図１０を参照して、本発明の第２の形態に係る物品の処理装置を説明する。図８〜図１０の処理装置１Ｂは、上述した第１の形態の成膜装置１Ａと同様に処理対象の物品の一例としてのボトル２の内面に、触媒化学気相成長法（いわゆるＣａｔ−ＣＶＤ法）によってバリア膜を成膜する成膜装置として構成されている。図８〜図１０において、第１の形態の成膜装置１Ａと共通する部分には同一の参照符号を付し、以下では相違点を中心に説明する。
【００４３】
成膜装置１Ｂは、第１の形態の成膜装置１Ａと同様に、複数の真空チャンバ２１を回転軸１５の軸線ＡＸの回りに回転させて各真空チャンバ２１で複数本のボトル２を成膜するものであるが、まず回転軸１５はその軸線ＡＸが鉛直方向を向くようにしてベース１０に取り付けられている。また、回転軸１５には、図１の円筒状のロータ１４に代えて、回転体としての円盤状のロータ９０が一体回転可能に取り付けられている。１２個の真空チャンバ２１は、ロータ９０の周方向に沿って一定の角度間隔で並べられてロータ９０に取り付けられている。真空チャンバ２１が移動する経路が軸線ＡＸの回りに円を描く点は第１の形態と同じである。各真空チャンバ２１にボトルチャンバ部２２及び発熱体チャンバ部２３が設けられ、ボトルチャンバ部２２に複数本のボトル２を一列に並べたボトル群が収容される点は図１の成膜装置１Ａと共通するが、ボトルチャンバ部２２内におけるボトル群の列方向は真空チャンバ２１の経路ＣＰの半径方向と一致するように設定されている。この場合でも、真空チャンバ２１の移動方向に関しては、複数本のボトル２が互いに位置を揃えて並べられる。ボトルチャンバ部２２及び発熱体チャンバ部２３の構成は第１の形態と同じである（図１０参照）。ボトル２の搬入及び搬出のために真空チャンバ２１を開閉するシャッタ部２５は、各真空チャンバ２１の軸線ＡＸの方向における一端側（ボトルチャンバ部２２の側の端部）に設けられている。これにより、軸線ＡＸの方向の一端側にてシャッタ部２５を開閉することにより、列状に並んだボトル２の群を一括して真空チャンバ２１に出し入れすることができる。
【００４４】
成膜装置１Ｂにおいても、回転軸１５上に一対の回転継手部１６が設けられ、それらの回転継手部１６を介してボトルチャンバ部２２及び発熱体チャンバ部２３と真空ポンプ８１、８２とが接続される。チャンバ部２２、２３と真空ポンプ８１、８２との接続形態は図６と同じでよい。また、経路ＣＰにおける搬入位置Ｐｉｎ及び搬出位置Ｐｏｕｔは３０°の角度を隔てて隣接し、処理の区切りとなるべき位置Ｐ１〜Ｐ４の設定も図１と同様である。したがって、各真空チャンバ２１における処理は図７と同じである。また、図８及び図９から明らかなように、ボトル２の前工程からの搬入、及び後工程への搬出を行うためのボトルコンベア７１、７２は、真空チャンバ２１の上方にて、搬入位置Ｐｉｎ及び搬出位置Ｐｏｕｔにおけるボトル２の列方向と平行に配置されている。図８及び図９では搬入ユニット及び搬出ユニットの図示を省略したが、それらの構成は第１の形態と同様でよい。例えば、図１０に示したように、搬入ユニット４には、ボトルコンベア７１からボトル２の列を取り、それらのボトル２の列を旋回軸７４ａの回りに旋回させてボトルチャンバ部２２のシャッタ部２５と対向させる旋回移送部７４を設けることができる。
【００４５】
本形態の成膜装置１Ｂにおいても、複数の真空チャンバ２１のそれぞれを次々と搬入位置に移動させて各真空チャンバ２１に複数本のボトル２を収容し、各真空チャンバ２１のボトル２を順次成膜処理し、成膜が完了したボトル２を次々と搬出位置Ｐｏｕｔから取り出すことができる。したがって、第１の形態の成膜装置１Ａと同様に、単純なバッチ式の成膜装置、あるいは各真空チャンバに１本ずつボトルを収容して成膜を行う単純な連続式の成膜装置と比較して、多数本のボトル２の成膜処理を効率よく実施することができる。一つの真空チャンバ２１に複数本のボトル２を収容するため、真空チャンバ２１に１本ずつボトル２を収容する場合と比較して真空チャンバ２１の個数を削減することができる。
【００４６】
また、本形態の成膜装置１Ｂでは、ボトル２の列方向が経路ＣＰの半径方向に設定されている。そのため、回転軸１５の軸線ＡＸの方向（高さ方向）に関しては、単一の真空チャンバ２１を設ける場合と同等のスペースを確保すれば足りる。したがって、高さ方向のスペースが制限される場合でも成膜装置１Ｂを比較的無理なく設置できる利点がある。
【００４７】
本発明は上述した形態に限定されず、種々の変形が可能である。例えば、第１の形態の成膜装置１Ａにおいて回転軸１５をその軸線ＡＸが鉛直方向を向くように設置してもよく、一方、第２の形態の成膜装置１Ｂにおいて、回転軸１５をその軸線ＡＸが水平方向を向くように設置してもよい。一台の成膜装置に設けられるべき真空チャンバ２１の個数は適宜に変更されてよく、一つの真空チャンバ２１に収容されるボトル２の本数も適宜に変更可能である。真空チャンバ２１の内部がボトルチャンバ部２２と発熱体チャンバ部２３とに区分されている例に限らず、単一の処理室を有するようにチャンバが構成されてもよい。上記の形態では、各真空チャンバ２１に収容されるボトル群の列数を一列に設定したため、ボトル２を一列に並べて搬送する搬送ラインとしてのボトルコンベア７１、７２と各真空チャンバ２１との間のボトル２の搬入や搬出を、一列のボトル２の群をまとめて保持して移送する搬入ユニット４や搬出ユニット５の設置により容易かつ効率よく行うことができる。ただし、本発明では、各チャンバ内に、チャンバ移動方向に位置を揃えて並べられた物品群が少なくとも一列収容できればよく、二列又以上のボトル群が同一の真空チャンバ２１内に収容されてもよい。
【００４８】
上記の形態では、回転継手部１６が回転軸１５に対する軸受機能を果すものとしたが、回転軸の軸受部を別に設けることにより、回転継手部を、固定部と回転部との間の流路の確保のみを目的として設けるようにしてもよい。回転継手部１６の環状溝４２、４３、４４は回転プレート３６に代えて、又は加えて固定プレート３５に設けられてもよい。３本の環状溝４２、４３、４４を設ける例に限らず、環状溝の本数は、確保されるべき流路の系統数に応じて適宜に変更されてよい。
【００４９】
上記の形態では、複数の環状溝を半径方向に同心円状に設けるものとしたが、複数の環状溝を回転軸の軸線方向に沿って配置することも可能である。その一例を図１１及び図１２に示す。これらの図に示す回転継手部１００においては、回転軸１５に一体回転可能に取り付けられる回転部品としての回転筒１０１と、回転筒１０１の外周に相対回転可能に嵌め合わされる固定部品としてのハウジング１０２とが設けられている。ハウジング１０２は図１又は図８のベース１０のような固定部分に固定される。ハウジング１０２の内周には３本の環状溝１０３、１０４、１０５が形成され、かつハウジング１０２を半径方向に貫いて各環状溝１０３、１０４、１０５に開口するポート１０６、１０７、１０８が形成される。一方、回転筒１０１には、３種類のポート１１１、１１２及び１１３が周方向に適宜に間隔を空けて形成される。ポート１１１、１１２、１１３のそれぞれの一端部は回転筒１０１の軸端部に開口し、他端部は環状溝１０３、１０４、１０５にそれぞれ臨む位置にて回転筒１０１の外周に開口する。ポート１１１、１１２、１１３の本数は適宜でよいが、図４及び図５の回転継手部１６に合わせれば、ポート１１１、１１２が３本、ポート１１３が１本でよい。さらに、ハウジング１０２の内周の環状溝１０３、１０４、１０５の間、及びハウジング１０２の両端部には、ハウジング１０２と回転筒１０１との間をシールするシール部材としてのシールリング１１５が設けられる。これらのシールリング１１５により、環状溝１０３、１０４、１０５の内部は外部から気密にシールされる。
【００５０】
以上の回転継手部１００においても、回転筒１０１のポート１１１からハウジング１０２の環状溝１０３を介してポート１０６に通じる流路と、回転筒１０１のポート１１２からハウジング１０２の環状溝１０４を介してポート１０７に通じる流路と、回転筒１０１のポート１１３からハウジング１０２の環状溝１０５を介してポート１０８に通じる流路の合計３系統の流路が設けられる。したがって、一対の回転継手部１００を回転軸１５上に配置すれば、図４及び図５の回転継手部１６と同様に、ボトルチャンバ部２２及び発熱体チャンバ部２３を真空ポンプ８１、８２と接続することができる。
【００５１】
上記の形態では、チャンバが循環する経路をいずれも円形に設定したが、チャンバの移動経路は円形に限らず、楕円形、長円形等の円形以外の形状に設定することもできる。例えば、楕円形あるいは長円型の経路に沿って移動する複数のキャリアを設け、それらのキャリアにチャンバを取り付け、各チャンバには、移動方向に位置を揃えて並べられた少なくとも一列の物品群を収容すればよい。
【００５２】
上記の形態では物品としてのＰＥＴボトル２の内面にＣａｔ−ＣＶＤ法を用いてバリア膜を成膜する装置を例として説明したが、本発明に係る処理装置は、Ｃａｔ−ＣＶＤ法以外の方法を用いて成膜する装置であってもよい。処理内容も成膜に限定されず、例えば容器の殺菌を目的としてプラズマ処理を施す装置に本発明が適用されてもよい。チャンバ内部を真空状態に調整する例に限らず、処理に適した温度環境、ガス雰囲気等に調整する場合にも本発明の処理装置は適用可能である。例えば、上記の形態では、チャンバの内部を処理に適した環境に調整する手段として真空ポンプ８１、８２を設け、それらによりチャンバ内部を成膜処理に適した圧力域に減圧するものとしたが、圧縮空気を送るポンプ（コンプレッサ）をチャンバと接続し、チャンバ内部を処理に適した圧力域に加圧することもできる。その他、チャンバ内に物品を収容し、そのチャンバ内部を外部と異なる環境に設定して物品に所定の処理を施す各種の装置に本発明は適用可能である。処理対象の物品もＰＥＴボトルに限らず、各種の容器はもちろんのこと、チャンバに収容されて処理されるべき各種の物品が本発明の処理装置における処理対象に設定されてよい。
【００５３】
なお、回転継手部を介したポンプとチャンバとの接続形態に関しては、処理対象の複数の物品をチャンバの移動方向に位置を揃えて少なくとも一列並べて収容する処理装置に限らず、複数のチャンバを所定の軸線回りに循環するよう移動させ、かつ各チャンバに少なくとも一つの処理対象の物品を収容する形態であれば適用可能である。すなわち、回転継手部を介した接続形態に着目すれば、以下の態様の発明を導き出すことができる。
【００５４】
［１］  処理対象の物品（２）を収容して該物品を所定の処理に適した環境内に保持する複数のチャンバ（２１）と、前記複数のチャンバのそれぞれが周方向に並べて取り付けられた回転体（１４）、該回転体を軸線（ＡＸ）の回りに回転自在に支持する支持体（１０）、及び前記回転体を前記軸線の回りに駆動する駆動手段（１８）を有し、前記回転体を前記軸線の回りに回転させることにより各チャンバを前記軸線の回りの円形の経路（ＣＰ）に沿って循環するように移動させるチャンバ搬送手段（３）と、を備えた物品の処理装置（１Ａ；１Ｂ）であって、前記支持体側に取り付けられる固定部品（３５；１０２）と、前記回転体側に取り付けられかつ前記固定部品に対して前記軸線の回りに回転可能に組み合わされた回転部品（３６；１０１）とを含み、該固定部品と回転部品との間に複数系統の流路が設けられた回転継手部（１６；１００）と、前記複数のチャンバのそれぞれの内部を前記処理に適した環境に調整する手段として複数の機器（８１Ａ、８１Ｂ、８１Ｃ、８１Ｄ）と、をさらに備え、前記複数系統の流路のそれぞれを介して各機器と少なくとも二つのチャンバとが接続され、各系統の流路に接続されたチャンバは互いに異なる機器と接続され、前記回転継手部と前記複数のチャンバとの間には、各機器の動作を作用させるべきチャンバを選択的に切り替える弁手段（８３）が設けられた物品の処理装置。
［２］  前記経路上には前記物品の搬入位置（Ｐｉｎ）と搬出位置（Ｐｏｕｔ）とが設定され、前記経路の前記搬入位置から前記搬出位置に至る間の一部の区間（Ｐ１〜Ｐ２）で各チャンバに前記機器の動作が作用するように前記弁手段を切り替え制御する弁制御手段（８４）をさらに備え、前記一部の区間を通過する時期が重複しないチャンバ同士が同一系統の流路を介して同一の機器に接続されている前記１に記載の物品の処理装置。
［３］  前記機器としてポンプが設けられている前記１又は２に記載の物品の処理装置。
［４］  前記固定部品と前記回転部品との間には、前記軸線と同軸の複数の環状溝（４２、４３、４４；１０３、１０４、１０５）とそれらの環状溝の内部を外部からシールするシール部材（５６；１１５）とが設けられ、前記固定部品及び前記回転部品のそれぞれには、前記複数の環状溝のそれぞれに対して択一的に通じる複数のポート（４８、４９、５０、４５、４６、４７；１０６、１０７、１０８、１１１、１１２、１１３）が設けられ、それにより、同一の環状溝に通じる固定部品側のポートと回転部品側のポートとの間に一系統の流路が形成された前記１〜３のいずれか一に記載の物品の処理装置。
［５］  前記複数の環状溝が前記回転体の半径方向又は前記軸線の方向に並ぶように設けられている前記４に記載の物品の処理装置。
【００５５】
上記の各態様においては、各チャンバの内部を処理に適した環境に調整する手段としての機器（一例としてポンプ）と、各チャンバとを接続するための流体の流路を、回転継手部の複数系統の流路を介して支持体側と回転体側との間に設けることができる。しかも、各機器の動作を弁手段により選択的に切り替えてチャンバに作用させることにより、チャンバ数よりも少ない数の機器で複数のチャンバのそれぞれの内部環境を調整することができる。それにより、チャンバ内部の環境を調整するための手段としての各種の機器を回転体に対する支持体側、つまり処理装置の固定部分に配置し、該手段と各チャンバとを複数系統の流路を介して接続することができる。そのような回転継手部を設けない場合には、回転体側に機器を配置してチャンバと一体に回転する構成を採用せざるを得ないが、そのような構成を採用した場合には処理装置の回転体側の構成が複雑化し、回転体側の重量が増加して駆動手段の負担が増すといった不都合が生じる。これに対して、上記の態様の回転継手部を設けることにより、そうした不都合を解決して処理装置の小型化を図ることができる。
【００５６】
また、前記２の態様によれば、各機器を単一のチャンバと選択的に接続してその機器の動作をチャンバに作用させることができる。各機器の動作を複数のチャンバに同時並行的に作用させる必要がないので、機器の容量といった仕様を単一のチャンバに合わせて設定することができる。前記３の態様によれば、各チャンバの内部を処理に適した圧力域に調整することができる。ただし、前記１及び２の態様において、機器はポンプに限定されず、ポンプ以外の流体機器（例えばガス供給源）といった機器が適宜に採用されてもよい。また、前記４の態様によれば、同一の環状溝に通じる固定部品側のポートと回転部品側のポートとが、回転部品の回転に関わりなくその環状溝を介して互いに接続される。しかも、環状溝の内部はシール部材により環状溝の外部に対してシールされている。したがって、環状溝の個数に応じた系統数の流路を回転継手部に設けることができる。さらに、前記５の態様によれば、半径方向又は軸線方向に環状溝を並べ、各環状溝の両側にシール部材を配置することにより複数系統の流路を確保することができる。
【符号の説明】
【００５７】
１Ａ、１Ｂ  成膜装置（処理装置）
２  ボトル（処理対象の物品）
３  チャンバ搬送ユニット（チャンバ搬送手段）
４  搬入ユニット
５  搬出ユニット
１０  ベース（支持体）
１４  ロータ（回転体）
１６  回転継手部
１８  電動モータ（駆動手段）
２１  真空チャンバ
２２  ボトルチャンバ部
２３  発熱体チャンバ部
２４  発熱体
２５  シャッタ部
２６  移動機構
３５  固定プレート（固定部品）
３６  回転プレート（回転部品）
４２、４４、４４  環状溝
４５、４６、４７  回転プレートのポート
４８、４９、５０  固定プレートのポート
５６  シールリング（シール部材）
９０  ロータ（回転体）
１００  回転継手部
１０１  回転筒（回転部品）
１０２  ハウジング（固定部品）
１０３、１０４、１０５  環状溝
１０６、１０７、１０８  ハウジングのポート
１１１、１１２、１１３  回転筒のポート
１１５  シールリング（シール部材）
８１Ａ、８１Ｂ、８１Ｃ、８１Ｄ  真空ポンプ
８２  真空ポンプ
８３  開閉弁（弁手段）
８４  制御ユニット（弁制御手段）
ＡＸ  真空チャンバの回転に関する軸線
ＣＰ  真空チャンバが循環する経路
Ｐｉｎ  搬入位置
Ｐｏｕｔ  搬出位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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