(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付手段と、
前記被着体に貼付された接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査手段とを備え、
前記検査手段の検査結果を基にして、前記貼付手段で前記被着体に貼付中の接着シートの供給を前記供給手段が取り止めるとともに、前記接着シートの供給が取り止められた被着体を前記シート貼付方向の逆方向へ相対移動させることで、前記被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記被着体から剥離する接着シートを把持する把持手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記被着体から剥離する接着シートを前記供給手段の繰出方向の逆方向へ送る逆送手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記被着体から剥離する接着シートの剥離角度を調整する剥離角度調整手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
前記被着体から前記接着シートを剥離する前段で、当該被着体に貼付された接着シートの接着力を低下させる接着力低下手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のシート貼付装置。
【請求項６】
接着シートを供給手段で供給する供給工程と、
前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付工程と、
前記被着体に貼付された接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査工程とを含み、
前記検査工程の検査結果を基にして、前記被着体に貼付中の接着シートの供給を取り止めるとともに、前記接着シートの供給が取り止められた被着体を前記シート貼付方向の逆方向へ相対移動させることで、前記被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離する剥離工程を有することを特徴とするシート貼付方法。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着体に貼付した接着シートの貼付不良を検出すると、当該貼付不良と判断された接着シートを被着体から剥離する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−８１６５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の装置では、基板（被着体）に両面粘着テープ（接着シート）を貼付するものと、当該被着体から接着シートを剥離するものとが別体で構成されているため、装置が大型化するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、装置の大型化を防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、接着シートを供給する供給手段と、前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付手段と、前記被着体に貼付された接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査手段とを備え、前記検査手段の検査結果を基にして、前記貼付手段で前記被着体に貼付中の接着シートの供給を前記供給手段が取り止めるとともに、前記接着シートの供給が取り止められた被着体を、前記シート貼付方向の逆方向へ相対移動させることで、前記被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離することを特徴とする。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記被着体から剥離する接着シートを把持する把持手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記被着体から剥離する接着シートを前記供給手段の繰出方向の逆方向へ送る逆送手段を備えていることが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記被着体から剥離する接着シートの剥離角度を調整する剥離角度調整手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記被着体から前記接着シートを剥離する前段で、当該被着体に貼付された接着シートの接着力を低下させる接着力低下手段を備えていることが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、接着シートを供給手段で供給する供給工程と、前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付工程と、前記被着体に貼付された接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査工程とを含み、前記検査工程の検査結果を基にして、前記被着体に貼付中の接着シートの供給を取り止めるとともに、前記接着シートの供給が取り止められた被着体を前記シート貼付方向の逆方向へ相対移動させることで、前記被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離する剥離工程を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、被着体に接着シートを貼付するものを被着体から接着シートを剥離するものとしても機能させることができるので、装置の大型化を防止することができる。
【００１０】
この際、把持手段を備えれば、接着シートを確実に被着体から剥離することができる。
また、逆送手段を備えれば、接着シートを剥離するために被着体をシート貼付方向の逆方向へ相対移動させる距離と、当該接着シートを剥離する時間とを短縮することができる。
さらに、剥離角度調整手段を備えれば、接着シートの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じた好適な剥離角度での剥離が行える。なお、供給手段の一部が剥離角度調整手段としても機能する構成とすれば、１つの部材で２つの機能を発揮させることができ、装置の大型化をさらに防止することができる。
また、接着力低下手段を備えれば、接着シートを被着体から簡単に剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は、シート貼付装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート貼付装置１０は、接着シートＡＳを供給する供給手段２０と、供給手段２０と被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦとを相対移動可能な搬送手段３０と、供給手段２０との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動されるウエハＷＦに、当該供給手段２０で供給される接着シートＡＳを貼付する貼付手段としての押圧ローラ４０と、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳおよび当該ウエハＷＦの少なくとも一方の状態を検査する検査手段であって撮像手段としてのカメラ５０と、ウエハＷＦから剥離する接着シートＡＳを把持する把持手段６０と、ウエハＷＦから剥離する接着シートＡＳを供給手段２０の繰出方向ＦＤの逆方向である反繰出方向ＷＤへ送る逆送手段７０と、ウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する前段で、当該ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳの接着力を低下させる接着力低下手段８０とを備えている。なお、本実施形態の場合、接着シートＡＳは、紫外線によってその接着力が低下するものが採用されている。
【００１４】
供給手段２０は、駆動機器としての回動モータ２１Ａによって駆動され、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、ブラケット２３Ａに回転自在に支持され、剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離ローラ２３と、駆動機器としての回動モータ２４Ａによって駆動され、ピンチローラ２５とで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２４と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備えている。
【００１５】
搬送手段３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１のスライダ３１Ａに支持されたベーステーブル３２と、ベーステーブル３２に支持された駆動機器としての直動モータ３３と、直動モータ３３の出力軸３３Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面３４Ａを有する支持テーブル３４とを備えている。
【００１６】
把持手段６０は、その出力軸６１Ａでブラケット２３Ａの右端側を支持する駆動機器としての回動モータ６１を備えている。
【００１７】
逆送手段７０は、その出力軸７１Ａで押圧ローラ４０を支持する駆動機器としての回動モータ７１を備えている。
【００１８】
接着力低下手段８０は、図示しない駆動機器によって押圧ローラ４０の下方に回り込み可能に設けられた紫外線照射装置８１を備えている。紫外線照射装置８１の前後方向の長さは、ウエハＷＦまたは接着シートＡＳの前後方向の最大長さよりも長く設定されている。
【００１９】
以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示す状態のシート貼付装置１０に対し、作業者が原反ＲＳを同図のようにセットし、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、供給手段２０が回動モータ２１Ａ、２４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、図１中実線で示すように、先頭の接着シートＡＳの先端が剥離ローラ２３で剥離シートＲＬから所定長さ剥離されたことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、供給手段２０が回動モータ２１Ａ、２４Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。次に、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段によって、ウエハＷＦが支持面３４Ａ上に載置されると、搬送手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面３４ＡでウエハＷＦの吸着保持を開始する。その後、搬送手段３０がリニアモータ３１を駆動し、支持テーブル３４を左方へ移動させることで、供給手段２０とウエハＷＦとをシート貼付方向へ相対移動させる。次いで、ウエハＷＦが所定の位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、供給手段２０が回動モータ２１Ａ、２４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰出方向ＦＤへ繰り出してウエハＷＦの移動速度に合わせて接着シートＡＳを供給する。これにより、剥離ローラ２３で剥離シートＲＬから接着シートＡＳが剥離され、図１中二点鎖線で示すように、当該接着シートＡＳが押圧ローラ４０によってウエハＷＦの上面に押圧されて貼付される。このとき、押圧ローラ４０は、回動モータ７１によって駆動され、移動するウエハＷＦに合わせて回転駆動するようにしてもよいし、回動モータ７１によって駆動されることなく、移動するウエハＷＦに合わせて従動回転するようにしてもよい。
【００２０】
押圧ローラ４０によってウエハＷＦの上面に接着シートＡＳが貼付されると、当該押圧ローラ４０の左方でカメラ５０による検査が行われる。カメラ５０は、例えば、ウエハＷＦと接着シートＡＳとの間に気泡や異物が混入している場合や、接着シートＡＳに皺や折れ曲がりが形成されてウエハＷＦに貼付されている場合や、ウエハＷＦと接着シートＡＳとがずれて貼付されている場合や、接着シートＡＳに破れや損傷等がある場合や、ウエハＷＦに割れや損傷等がある場合等を貼付不良とし、当該貼付不良が検出された場合、電気や電波等の所定の信号を出力する。そして、カメラ５０が貼付不良を検出して所定の信号を出力すると、当該カメラ５０の検査結果を基にして、押圧ローラ４０でウエハＷＦに貼付中の接着シートＡＳの供給を供給手段２０が取り止めるとともに、接着シートＡＳの供給が取り止められたウエハＷＦをシート貼付方向の逆方向へ相対移動させることで、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを当該ウエハＷＦから剥離する動作を開始する。すなわち、カメラ５０が所定の信号を出力すると、供給手段２０および搬送手段３０が回動モータ２１Ａ、２４Ａおよびリニアモータ３１の駆動を停止し、接着シートＡＳの供給および支持テーブル３４の左方への移動を停止させる。その後、搬送手段３０および把持手段６０が直動モータ３３および回動モータ６１を駆動し、図２（Ａ）に示すように、支持テーブル３４を下降させるとともに、ブラケット２３Ａを時計回転方向に移動させ、接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬを剥離ローラ２３と押圧ローラ４０とで把持する。次いで、接着力低下手段８０が図示しない駆動機器を駆動し、紫外線照射装置８１を押圧ローラ４０の下方に回り込ませた後、当該紫外線照射装置８１を駆動し、紫外線を発光させる。そして、搬送手段３０がリニアモータ３１を駆動し、支持テーブル３４を右方へ移動させることで、供給手段２０とウエハＷＦとをシート貼付方向の逆方向へ相対移動させるとともに、供給手段２０および逆送手段７０が回動モータ２１Ａ、２４Ａおよび７１を駆動し、ウエハＷＦから剥離する接着シートＡＳを反繰出方向ＷＤへ送る。これにより、図２（Ｂ）に示すように、ウエハＷＦの上面に貼付されていた接着シートＡＳは、その接着力が低下されつつ、ウエハＷＦから順次剥離され、剥離された接着シートＡＳは、図２（Ｃ）に示すように、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない除去手段によって、剥離シートＲＬ上から除去される。その後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させた後、上記と同様にして、除去された接着シートＡＳの繰出方向ＦＤ上流側に位置する次の接着シートＡＳの先端が図１中実線で示すように、剥離ローラ２３で剥離シートＲＬから所定長さ剥離されてスタンバイ状態となる。次いで、上記と同様にして、次の接着シートＡＳがウエハＷＦに貼付され、最終的に、カメラ５０が貼付不良を検出しなくなるまで上記と同様の動作が繰り返される。そして、カメラ５０が貼付不良を検出しなければ、ウエハＷＦの上面に接着シートＡＳ全体が貼付されて一体物が形成され、当該一体物が押圧ローラ４０の左方の所定位置に到達したことが図示しないカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、搬送手段３０がリニアモータ３１および図示しない減圧手段の駆動を停止する。その後、人手または図示しない移送手段が支持面３４Ａ上の一体物を保持して次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付するものをウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離するものとしても機能させることができるので、装置の大型化を防止することができる。
【００２２】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、接着シートを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程も同様でありその説明は省略する）。
【００２３】
供給手段２０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に複数の閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートＡＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、カッター刃、カッターローラ、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材により、接着シート基材を所定形状に切断してその内側を接着シートＡＳとしてもよいし、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしてもよいし、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように各回動モータ２１Ａ、２４Ａのトルク制御を行ってもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを供給してもよいし、ウエハＷＦから剥離する接着シートＡＳを逆送手段７０が反繰出方向ＷＤへ送る際、回動モータ２１Ａを駆動させなくてもよく、この場合、回動モータ２１Ａはなくてもよい。
剥離手段は、剥離ローラ２３に代えてまたは併用して、板状部材やシャフト部材等を採用してもよい。
【００２４】
搬送手段３０は、支持テーブル３４を移動させることなく、供給手段２０を右方へ移動させたり、支持テーブル３４を左方へ移動させつつ、供給手段２０を右方へ移動させたりして供給手段２０とウエハＷＦとをシート貼付方向へ相対移動させてもよいし、支持テーブル３４を移動させることなく、供給手段２０を左方へ移動させたり、支持テーブル３４を右方へ移動させつつ、供給手段２０を左方へ移動させたりして供給手段２０とウエハＷＦとをシート貼付方向の逆方向へ相対移動させてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等でウエハＷＦを支持する構成でもよいし、ウエハＷＦへの接着シートＡＳの貼付やウエハＷＦからの接着シートＡＳの剥離が行えれば、それらのような強制的にウエハＷＦを支持するものを設けなくてもよいし、支持テーブル３４を昇降させる直動モータ３３を設けなくてもよいし、他の装置で供給手段２０とウエハＷＦとを相対移動可能であれば、当該搬送手段３０はなくてもよい。
【００２５】
貼付手段は、押圧ローラ４０に代えてまたは併用して、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、大気やガス等のエアの吹き付け等を採用して接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付する構成でもよいし、押圧ローラ４０の表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、接着シートＡＳを保持して押圧する構成でもよい。
【００２６】
検査手段は、カメラ５０に代えてまたは併用して、光学センサ、超音波センサ、エコーセンサ、レーザセンサ、圧力センサ、磁石等の金属検知手段等の非接触型のセンサを採用してもよいし、ローラやシャフト等の接触部材を接触させて貼付状態を検査するリミットスイッチ等の接触型のセンサを採用してもよいし、作業者による目視でもよい。検査手段が作業者の目視の場合、作業者が貼付不良を検出すると、当該作業者がスイッチや押し釦等の信号出力手段を介して所定の信号を出力するようにすればよい。なお、検査手段は、貼付状態を検査しやすくするための検査補助手段を備えていてもよく、このような検査補助手段は、気泡を大きくするための気圧調整手段やコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、撮像条件を向上させる照明手段等を採用してもよい。
【００２７】
把持手段６０は、接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬを剥離ローラ２３と押圧ローラ４０とで把持した後、逆送手段７０が回動モータ７１の駆動をロックした状態としておき、搬送手段３０がリニアモータ３１を駆動し、支持テーブル３４を右方へ移動させることで、供給手段２０とウエハＷＦとをシート貼付方向の逆方向へ相対移動させてウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離してもよい。なお、把持手段６０は、ウエハＷＦから剥離する接着シートＡＳがウエハＷＦと同じ方向に移動して剥離ができなくなることを防止できればどのような構成でもよく、例えば、剥離ローラ２３を移動させずに押圧ローラ４０を移動させたり、剥離ローラ２３と押圧ローラ４０との両方を移動させたりしてウエハＷＦから剥離する接着シートＡＳを把持する構成としてもよいし、押圧ローラ４０以外の貼付手段や接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧することのない他の部材と、剥離ローラ２３以外の剥離手段や接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離することのない他の部材とで接着シートＡＳを把持してもよいし、剥離ローラ２３を直線的に移動させて押圧ローラ４０とでウエハＷＦから剥離する接着シートＡＳを挟み込む構成としてもよいし、ウエハＷＦから剥離する接着シートＡＳが把持されなくても、当該接着シートＡＳがシート貼付方向の逆方向へ相対移動されるウエハＷＦと共に移動しなければなくてもよい。
【００２８】
逆送手段７０は、ウエハＷＦから剥離する接着シートＡＳを反繰出方向ＷＤへ送ることができればどのような構成でもよく、例えば、押圧ローラ４０および剥離ローラ２３の少なくとも一方を駆動機器で駆動するようにしてもよいし、駆動機器で駆動される駆動ローラ（押圧ローラ４０でもよい）と回転自在な従動ローラと駆動ローラおよび従動ローラに掛け回された平ベルトや丸ベルト等のベルト部材とで構成してもよいし、押圧ローラ４０を駆動させる構成でなくてもよいし、なくてもよい。
【００２９】
接着力低下手段８０は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、紫外線、赤外線、Ｘ線、マイクロ波等の電磁波照射手段、超音波振動装置、偏芯モータ、バイブレータ等の振動手段、レーザ照射手段、乾燥機、送風機、プラズマ照射機等、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じて当該接着シートＡＳの接着力を低下できるものであれば何でもよいし、押圧ローラ４０の下方に回り込むことのない構成としてもよいし、接着シートＡＳの接着力を一括で低下するように構成してもよいし、前後方向の長さがウエハＷＦまたは接着シートＡＳの前後方向の最大長さよりも短く設定され、接着シートＡＳの接着力を部分的に低下するように構成し、ウエハＷＦとの相対移動で当該接着シートＡＳ全体の接着力が低下するように構成してもよいし、なくてもよい。
【００３０】
シート貼付装置１０は、回動モータ６１、ブラケット２３Ａおよび剥離ローラ２３を、ウエハＷＦから剥離する接着シートＡＳの剥離角度θ（図２（Ｂ）参照）を調整する剥離角度調整手段９０として機能させてもよい。この場合、ウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離するときに、当該剥離角度調整手段９０が回動モータ６１を駆動し、ブラケット２３Ａを介して剥離ローラ２３を昇降させて剥離角度θを調整すればよい。なお、剥離ローラ２３をウエハＷＦから遠ざけると剥離角度θが小さくなり、剥離ローラ２３をウエハＷＦに近付けると剥離角度θが大きくなる。また、剥離ローラ２３をウエハＷＦから遠ざけたり近付けたりする際、押圧ローラ４０と強く干渉したり、押圧ローラ４０との把持力が低下する場合、剥離ローラ２３との把持力を維持させたまま当該押圧ローラ４０をウエハＷＦから遠ざけたり近付けたりする適宜な駆動機器を採用すればよい。このような剥離角度調整手段９０は、回動モータ６１、ブラケット２３Ａおよび剥離ローラ２３以外の駆動機器やローラ、板等で構成してもよく、例えば、直動モータ３３を剥離角度調整手段９０とし、当該剥離角度調整手段９０が直動モータ３３を駆動し、支持テーブル３４を昇降させて剥離角度θを調整してもよい。
シート貼付装置１０は、ウエハＷＦから剥離した接着シートＡＳを剥離シートＲＬ上から除去することなく再使用してもよく、このような場合、１枚の接着シートＡＳを所定回数（例えば、２回、３回、それ以上）ウエハＷＦに貼付してもカメラ５０が貼付不良を検出する場合、剥離シートＲＬ上から除去するようにしてもよいし、１つのウエハＷＦに対して所定回数（例えば、２回、３回、それ以上）接着シートＡＳ（再使用の接着シートＡＳでもよいし、再使用でない接着シートＡＳでもよい）の貼付し直しを行ってもカメラ５０が貼付不良を検出する場合は、音を出力するスピーカやブザー等の音発生手段や光を点灯する電灯等の光発生手段等の警告手段で作業者に知らせるようにしてもよいし、検査手段がウエハＷＦの割れや損傷等を検出した場合、接着シートＡＳを剥離した後、当該ウエハＷＦの割れた部分や損傷部分等を取り除いてから再度そのウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付したり、割れや損傷等が検出されたウエハＷＦを支持面３４Ａ上から取り除き、別のウエハＷＦを支持面３４Ａ上に載置し、当該別のウエハＷＦに再度接着シートＡＳを貼付したりしてもよい。
シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、ウエハＷＦの下面や側面に接着シートＡＳを貼付するように構成してもよい。
【００３１】
本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、１層または２層以上のものであってよい。また、被着体としては、上記のもの以外に例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３２】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３３】
１０…シート貼付装置
２０…供給手段
４０…押圧ローラ（貼付手段）
５０…カメラ（検査手段）
６０…把持手段
７０…逆送手段
８０…接着力低下手段
９０…剥離角度調整手段
ＡＳ…接着シート
ＷＦ…ウエハ（被着体） 
【図１】
0006584983.tif 000002
【図２】
0006584983.tif 000003