(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンフィルタユニット本体と、前記ファンフィルタユニット本体を設置場所に設置するための設置部と、を備えるファンフィルタユニットであって、
前記ファンフィルタユニット本体は、筐体と、ファンと、フィルタと、空気を吸入する吸気部と、空気を排出する排気部と、を備え、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記吸気部および前記排気部の位置が変わる方向に回転可能に前記設置部と接続され、
前記ファンフィルタユニット本体は、電源を供給するためのコードを接続するための電源接続部を複数備え、
前記電源接続部のうち少なくとも一つが、他の前記電源接続部と前記ファンフィルタユニット本体の回転方向に離れて設けられていることを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項２】
ファンフィルタユニット本体と、前記ファンフィルタユニット本体を設置場所に設置するための設置部と、を備えるファンフィルタユニットであって、
前記ファンフィルタユニット本体は、筐体と、ファンと、フィルタと、空気を吸入する吸気部と、空気を排出する排気部と、を備え、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記吸気部および前記排気部の位置が変わる方向に回転可能に前記設置部と接続され、
前記筐体の対向する二つの面の一方に前記吸気部が設けられ、他方に前記排気部が設けられ、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記対向する二つの面の間を通る直線を軸とする回転が可能な状態で前記設置部と接続されており、
前記筐体の前記対向する二つの面を繋ぐ面のうち、回転軸方向に延びる面が、前記対向する二つの面の中間部において前記筐体の外側に向けて突出していることを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項３】
ファンフィルタユニット本体と、前記ファンフィルタユニット本体を設置場所に設置するための設置部と、を備えるファンフィルタユニットであって、
前記ファンフィルタユニット本体は、筐体と、ファンと、フィルタと、空気を吸入する吸気部と、空気を排出する排気部と、を備え、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記吸気部および前記排気部の位置が変わる方向に回転可能に前記設置部と接続され、
前記筐体の対向する二つの面の一方に前記吸気部が設けられ、他方に前記排気部が設けられ、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記対向する二つの面の間を通る直線を軸とする回転が可能な状態で前記設置部と接続されており、
前記筐体の前記対向する二つの面を繋ぐ面のうち、回転軸方向に延びる面が、前記対向する二つの面の一方から他方に向けて丸みを帯びた曲面となっており、
前記曲面は、前記対向する二つの面の中間部において前記筐体の外側に向けて突出していることを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項４】
前記ファンフィルタユニット本体は、電源を供給するためのコードを接続するための電源接続部を複数備え、
前記電源接続部のうち少なくとも一つが、他の前記電源接続部と前記ファンフィルタユニット本体の回転方向に離れて設けられていることを特徴とする請求項２または３に記載のファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファンフィルタユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
清浄環境を必要とする精密電子機器、食品・医療製品等の製造工程では、クリーンルームやクリーンブースが使用される。クリーンルームやクリーンブースにおいては、内部（室内）を清浄環境とするために、浄化した空気を室内に供給するファンフィルタユニット（給気型ファンフィルタユニット）が用いられる。
また、これとは逆に室内の塵埃や汚染ガスを除去し、空気を浄化して外に排出するファンフィルタユニット（排気型ファンフィルタユニット）も存在する。
ファンフィルタユニットは、例えばクリーンブースの天板に配設され空気の排出や供給を行う（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１５５２０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来のファンフィルタユニットは、室内を向く面と室外を向く面とが決まっているので、給気型または排気型ファンフィルタユニットは、それぞれ給気用または排気用としてしか使用することができなかった。
【０００５】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、給気型および排気型として使用できるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のファンフィルタユニットは、
ファンフィルタユニット本体と、前記ファンフィルタユニット本体を設置場所に設置するための設置部と、を備えるファンフィルタユニットであって、
前記ファンフィルタユニット本体は、筐体と、ファンと、フィルタと、空気を吸入する吸気部と、空気を排出する排気部と、を備え、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記吸気部および前記排気部の位置が変わる方向に回転可能に前記設置部と接続されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明においては、ファンフィルタユニット本体に設けられたファンによって吸引された空気が、吸気部から吸入され、この吸入された空気がフィルタによって清浄され排気部から排出される。ファンフィルタユニット本体は、吸気部および排気部の位置が変わる方向に回転可能に設置部と接続されている。このため、ファンフィルタユニットがクリーンブース等に設置されている場合に、ファンフィルタユニット本体を回転させることで、吸気部および排気部の位置を変えることができる。したがって、例えば、吸気部がクリーンブース等の室外側を向き、排気部が室内側を向いている状態から、ファンフィルタユニット本体を回転させることで、吸気部が室内側を向き、排気部が室外側を向く状態とすることができる。
【０００８】
吸気部が室外側を向き、排気部が室内側を向いている状態では、ファンフィルタユニットは、室外の空気を清浄化して室内に給気する給気型ファンフィルタユニットとして働く。また、吸入部が室内側を向き、排気部が室外側を向いている状態では、ファンフィルタユニットは、室内の空気を清浄化して室外に排気する、排気型ファンフィルタユニットとして働く。したがって、給気型ファンフィルタユニットおよび排気型ファンフィルタユニットとして使用することができる。
【０００９】
また、本発明の前記構成において、
前記筐体の対向する二つの面の一方に前記吸気部が設けられ、他方に前記排気部が設けられ、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記対向する二つの面の間を通る直線を軸とする回転が可能な状態で前記設置部と接続されており、
前記筐体の前記対向する二つの面を繋ぐ面のうち、回転軸方向に延びる面が、前記対向する二つの面の中間部において前記筐体の外側に向けて突出していてもよい。
【００１０】
このような構成によれば、ファンフィルタユニット本体の筐体の対向する二つの面の一方に給気部が設けられ、他方に排気部が設けられる。また、この対向する二つの面を繋ぐ面（側面）のうち、回転軸方向に延びる面が、対向する二つの面の中間部において、筐体の外側に向けて突出する。
ファンフィルタユニットは、例えばクリーンブース等の天板等に配設されるが、クリーンブースの内部環境は清浄に保つ（または内部の塵埃や汚染ガスが外に漏れないようにする）必要があるので、天板等の配設場所とファンフィルタユニットとの間はできる限り密閉する必要がある。すなわち、ファンフィルタユニット本体の側面と天板等とが当接または近接した状態となる。しかし、この当接または近接した状態からファンフィルタユニット本体を回転させようとした場合に、ファンフィルタユニット本体の筐体の側面が、筐体の、吸気部または排気部が設けられた対向する二つの面に対して垂直な平面等である場合には、側面が天板等に引っかかり回転できないおそれがある。
本発明においては、筐体の側面のうち、回転軸方向に延びる面を、突出した部分から吸気部または排気部が設けられた対向する二つの面それぞれに向けて、徐々に筐体の内側に向けて傾斜状態としたことで、ファンフィルタユニット本体を回転させる際に、側面が天板等に引っかかることなくスムーズに回転させることができる。
【００１１】
また、本発明の前記構成において、
前記筐体の対向する二つの面の一方に前記吸気部が設けられ、他方に前記排気部が設けられ、
前記ファンフィルタユニット本体は、前記対向する二つの面の間を通る直線を軸とする回転が可能な状態で前記設置部と接続されており、
前記筐体の前記対向する二つの面を繋ぐ面のうち、回転軸方向に延びる面が、前記対向する二つの面の一方から他方に向けて丸みを帯びた曲面となっており、
前記曲面は、前記対向する二つの面の中間部において前記筐体の外側に向けて突出していてもよい。
【００１２】
このような構成によれば、ファンフィルタユニット本体の筐体の対向する二つの面の一方に吸気部が設けられ、他方に排気部が設けられる。また、この二つの面を繋ぐ面（側面）のうち、回転軸方向に延びる面が丸みを帯びた曲面となる。また、この曲面は対向する二つの面の中間部において筐体の外側に向けて突出する。
ファンフィルタユニットが、クリーンブース等の天板等に配設されたときに、ファンフィルタユニット本体の筐体の側面は、筐体の外側に向けて突出した部分が天板等と当接した状態となる。側面を、丸みを帯びた曲面としたことで、ファンフィルタユニット本体を回転させる際に、側面が天板等に引っかかることなくスムーズに回転させることが可能となる。
【００１３】
また、本発明の前記構成において、
前記ファンフィルタユニット本体は、電源を供給するためのコードを接続するための電源接続部を複数備え、
前記電源接続部のうち少なくとも一つが、他の前記電源接続部と前記ファンフィルタユニット本体の回転方向に離れて設けられていてもよい。
【００１４】
このような構成によれば、電源を供給するためのコードを接続するための電源接続部は、ファンフィルタユニット本体の回転方向に離れて設けられる。このため、ファンフィルタユニットをクリーンブース等の天板等に配設する場合に、天板を挟んでクリーンブースの内側と外側との両方に電源接続部が存在するようにすることができる。また、給気型のファンフィルタユニットとしての使用状態と、排気型のファンフィルタユニットとしての使用状態との、いずれの状態においても、電源接続部がクリーンブースの内側と外側とに存在するようにすることができる。したがって、ファンフィルタユニットに電源を供給するための電源コードを接続する場合に、クリーンブースの内側または外側のどちらかにしかコンセント等の電源の供給源がない場合であっても、電源コードをクリーンブースを通すことなくファンフィルタユニットに接続することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ファンフィルタユニットを給気型および排気型として使用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るファンフィルタユニットの使用状態を示すもので、（ａ）は給気型としての使用状態を示す概略図、（ｂ）は排気型としての使用状態を示す概略図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るファンフィルタユニットを示すもので、（ａ）はファンフィルタユニットを前側から見た概略図、（ｂ）はファンフィルタユニットを左側から見た概略図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係るファンフィルタユニットを示すもので、（ａ）はファンフィルタユニットを前側から見た概略図、（ｂ）はファンフィルタユニットを左側から見た概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
まず、本発明の第１の実施の形態について説明する。
図１は、本実施の形態のファンフィルタユニット１の使用状態を概略図である。
なお、図１において、矢印は空気の流れを示している。
ファンフィルタユニット１は、クリーンブース２の天井部２ａに設置されている。なお、ファンフィルタユニット１は、天井部ではなく、クリーンブースの側面等に設置されていてもよい。また、ファンフィルタユニット１は、クリーンブースでの使用に限られず、クリーンルームやその他の場所において使用することもできる。
【００１８】
クリーンブース２は、平面視において四隅にそれぞれ配置された合計４本の柱２ｂと、これら柱２ｂの上端部に設置された天井部２ａと、隣り合う柱２ｂ，２ｂ間を覆うようにして設けられた図示しないビニールカーテンとによって、内部が中空の直方体状に構成されている。
なお、柱２ｂは４本に限ることはなく、例えば、６本、８本またはそれ以上の本数であってもよい。
柱２ｂは、例えばクリーンルームの底面３に設置固定されているが、これに限らず、柱２ｂの下端部にキャスタ等を取り付けて、クリーンブース２を移動可能に構成してもよい。
また、柱２ｂ，２ｂ間は、ビニールカーテンによって覆われるのではなく、板材等によって覆われていてもよい。すなわち、クリーンブース２の使用用途に応じて、塵埃、細菌、汚染物質、または汚染ガス等がクリーンブース２の内側と外側との間を自由に行き来できないよう制限されていればよい。
【００１９】
天井部２ａは、矩形板状に形成されている。また、天井部２ａの中央部には、ファンフィルタユニット１が設けられている。
ファンフィルタユニット１を前側から見た概略図を図２（ａ）に示す。また、ファンフィルタユニット１を左側から見た概略図を図２（ｂ）に示す。
ファンフィルタユニット１は、図２に示すように、ファンフィルタユニット本体２０と設置部１０とを備える。また、ファンフィルタユニット本体２０と設置部１０とは、回転軸１１を介して接続されている。
【００２０】
設置部１０は、設置部本体１０ａとフランジ部１０ｂと設置部側接続部１０ｃとを備える。設置部本体１０ａは、略方形の枠体である。フランジ部１０ｂは、設置部本体１０ａの上面から枠体の周方向外側に突出するようにして設けられている。
クリーンブース２の天井部２ａには、中央部に開口部が設けられており、この開口部に設置部本体１０ａが陥入されている。また、フランジ部１０ｂの下面が、天井部２ａの上面に当接するようにして、フランジ部１０ｂが天井部２ａに係止されている。また、フランジ部１０ｂには、孔が設けられており、この孔に挿通されたネジが、天井部２ａに設けられたネジ孔と螺合することによって、ファンフィルタユニット１が、天井部２ａに固定されている。
【００２１】
ファンフィルタユニット本体２０は、筐体２１と、ファン２２と、プレフィルタ２３と、フィルタ２４と、本体側接続部２５と、２つの電源接続部２６と、を備える。
筐体２１は、上板２１ａと、下板２１ｂと、側面板２１ｃ，２１ｄと、接続板２１ｅと、を備える。上板２１ａと下板２１ｂとは、共に略方形の板状部材であり、互いにほぼ等しい大きさとなっている。また、側面板２１ｃ，２１ｄは、台形の板状部材であり、それぞれ４つずつ備えられている。また、接続板２１ｅは、長方形の板状部材であり、４つ備えられている。
【００２２】
上板２１ａと下板２１ｂとは、側面板２１ｃ，２１ｄと接続板２１ｅとにより接続されている。側面板２１ｃ，２１ｄと接続板２１ｅとは、筐体２１の横方向外側に突出するようにして設けられている。
すなわち、上板２１ａの四辺それぞれから筐体２１の横方向外側に向かって傾斜するようにして４つの側面板２１ｃのそれぞれが設けられている。また、４つの側面板２１ｃそれぞれの上板２１ａと接続されている辺と逆側の辺が、４つの接続板２１ｅのそれぞれの一方の長辺と接続されている。また、４つの接続板２１ｅのそれぞれの他方の長辺は、４つの側面板２１ｄのそれぞれと接続されている。また、側面板２１ｄは、接続板２１ｅから筐体２１の横方向内側に向かって傾斜するようにして設けられている。また、４つの側面板２１ｄそれぞれの、接続板２１ｅと接続されている辺と逆側の辺が、下板２１ｂの四辺のそれぞれと接続されている。また、隣接する側面板２１ｃ，２１ｃ同士、側面板２１ｄ，２１ｄ同士および接続板２１ｅ，２１ｅ同士は、それぞれ互いに接続されている。
【００２３】
なお、それぞれの板の接続部分は丸みを帯びていてもよい。また、一部または全部の板が、個別の部材ではなく一体として形成されていてもよい。
なお、接続板２１ｅは、無くてもよく、側面板２１ｃと側面板２１ｄとが直接接続されていてもよい。
【００２４】
筐体２１の上板２１ａには、吸気口（吸気部）が設けられている。また、下板２１ｂには、排気口（排気部）が設けられている。
また、筐体２１内には、上板２１ａ側から下板２１ｂ側に向かって、プレフィルタ２３、ファン２２およびフィルタ２４が、この順に並べて設けられている。
フィルタ２４は、例えばＨＥＰＡフィルタ等であり、ファンフィルタユニット１のメインフィルタである。また、プレフィルタ２３は、粗塵を捕集し、フィルタ２４の寿命を延ばしたり、ファン２２を保護したりするためのものである。
ファン２２を回すことで、上板２１ａ側（吸気口）からプレフィルタ２３を通して筐体２１内に空気を吸い込み、フィルタ２４を通して下板２１ｂ側（排気口）から空気を吹き出すようになっている。
【００２５】
設置部１０とファンフィルタユニット本体２０とは、回転軸１１を介して接続されている。回転軸１１は、断面が略円形の棒状部材である。
設置部１０には、断面円形の穴である設置部側接続部１０ｃが設けられている。設置部側接続部１０ｃは、設置部本体１０ａ（枠体）の内側側面に、互いに対向するようにして２つ設けられおり、それぞれの設置部側接続部１０ｃは、各内側側面の中央部に設けられている。
また、ファンフィルタユニット本体２０には、断面円形の穴である本体側接続部２５が設けられている。本体側接続部２５は、筐体２１の接続板２１ｅのうち、対抗する２つの接続板２１ｅの中央部に設けられている。
【００２６】
回転軸１１は、一方の端部が、設置部側接続部１０ｃに挿入されており、他方の端部が本体側接続部２５に挿入されている。回転軸１１は、設置部側接続部１０ｃに挿入された側は、回転軸１１が回転しないように固定されている。また、回転軸１１は、本体側接続部２５側は、回転可能な状態で挿入されている。本体側接続部２５には、回転を制限するための図示しないストッパーが設けられており、上板２１ａが上側になった状態と下板２１ｂが上側になった状態との２つの状態でそれぞれ、ファンフィルタユニット本体２０が回転軸１１に対して回転せずに固定された状態にできるようになっている。これら２つの状態それぞれにおいて、クリーンブース２の天井部２ａと、上板２１ａと、下板２１ｂと、は略平行な状態となっている。回転させるときは、ストッパーを開放し、ファンフィルタユニット本体２０を回転軸１１に対して自由に回転させることができるようになっている。
なお、回転軸１１およびストッパーの、形状または設けられている場所等は、これに限定されず、ファンフィルタユニット本体２０を回転させることができ、上板２１ａが上側になった状態と下板２１ｂが上側になった状態との２つの状態でそれぞれ、ファンフィルタユニット本体２０の回転を止めることができるようになっていればよい。回転軸１１は、例えば、中空の棒状部材であってもよく、球状の部材等であってもよい。
【００２７】
設置部１０には、設置部１０とファンフィルタユニット本体２０との隙間を埋めるようにして、シール部材３０が設けられている。シール部材３０は、設置部１０の上面の開口部側に、開口部を囲むようにかつ開口部側に突出するようにして設けられている。シール部材３０の先端部（設置部１０の開口部側）は、ファンフィルタユニット本体２０に当接している。すなわち、シール部材３０によって、クリーンブース２内の気体や異物が、設置部１０とファンフィルタユニット本体２０との間からクリーンブース２外に漏れ出ることがなく、また、クリーンブース２外の気体や異物が、設置部１０とファンフィルタユニット本体２０との間からクリーンブース２内に入り込むことがないように、設置部１０とファンフィルタユニット本体２０との隙間が封止されている。
なお、シール部材３０は、設置部本体１０ａの内側側面に設けられていてもよく、ファンフィルタユニット本体２０の外周を囲むようにしてファンフィルタユニット本体２０に設けられていてもよい。
【００２８】
ファンフィルタユニット本体２０は、電源を供給するための図示しない電源コードを接続するための、２つの電源接続部２６を備える。２つの電源接続部２６は、回転軸１１に略平行な接続板２１ｅのうちの一方に隣接する側面板２１ｃと２１ｄとにそれぞれ１つずつ設けられている。また、電源接続部２６には、着脱可能な蓋２７が設けられている。蓋２７は、クリーンブースの内側に位置する電源接続部２６が、クリーンブース内の空気に触れないようにするためのものであり、電源接続部２６を覆うようにして設けられている。
なお、蓋２７は、ファンフィルタユニット本体２０から取り外し可能でも不可能でもよく、また、２つの電源接続部２６で１つの蓋を兼用するものであってもよい。
【００２９】
ファンフィルタユニット本体２０のファン２２は、電源接続部２６から供給される電源によって動かされる。電源供給のオンとオフとの切り替えは、リモコン操作によるものとしてもよいし、ファンフィルタユニット本体２０等に電源スイッチを設けてもよい。また、電源スイッチを設ける場合に、電源接続部２６と同じように、ファンフィルタユニット本体２０の側面板２１ｃと２１ｄとにそれぞれ１つずつ設ける等としてもよい。このようにすることで、クリーンブースの内側と外側どちらからでも電源供給のオンとオフとを切り替えることができる。
【００３０】
以上のように、本実施の形態によれば、上板２１ａが下板２１ｂよりも上側となった状態のときには、ファンフィルタユニット本体２０に備えられたファン２２を回すことで、図１（ａ）に示すように、クリーンブース２の外側の空気を、上板２１ａ側（吸気口）からプレフィルタ２３を通して、ファンフィルタユニット本体２０内に吸い込む。この吸い込まれた空気は、フィルタ２４を通して、下板２１ｂ側（排気口）から吹き出される。すなわち、このときファンフィルタユニット１は、室（クリーンブース２）内に清浄な空気を給気する給気型のファンフィルタユニットとして使用される。
【００３１】
また、下板２１ｂが上板２１ａよりも上側となった状態のときには、ファンフィルタユニット本体２０に備えられたファン２２を回すことで、図１（ｂ）に示すように、クリーンブース２の内側の空気を、上板２１ａ側（吸気口）からプレフィルタ２３を通して、ファンフィルタユニット本体２０内に吸い込む。この吸い込まれた空気は、フィルタ２４を通して、下板２１ｂ側（排気口）から吹き出される。すなわち、このときファンフィルタユニット１は、室（クリーンブース２）内の空気を清浄化して排出する排気型のファンフィルタユニットとして使用される。
【００３２】
ファンフィルタユニット１は、設置部１０が、天井部２ａに固定されることによって、クリーンブース２に設置されている。ファンフィルタユニット本体２０は、設置部１０に対して、回転軸１１を軸として回転可能となっている。よって、上板２１ａが下板２１ｂよりも上側になった状態から、回転軸１１を軸として回転させることで下板２１ｂが上板２１ａよりも上側になった状態にすることできる。したがって、給気型のファンフィルタユニットとしての使用から、排気型のファンフィルタユニットとしての使用に切り替えることができる。
【００３３】
ファンフィルタユニット本体２０は、側面部分が、側面板２１ｃ、側面板２１ｄおよび接続板２１ｅによって形成されている。側面板２１ｃと側面板２１ｄとは、接続板２１ｅから上板２１ａまたは下板２１ｂに向けて筐体２１の横方向内側に向かって傾斜している。したがって、ファンフィルタユニット本体２０を回転させる際に、ファンフィルタユニット本体２０の側面部分が、クリーンブース２の天井部２ａに引っかかることなく、スムーズに回転させることができる。
なお、回転軸１１に略垂直な面や回転軸１１と交わる面等は、本実施例のような形状ではなく、上板２１ａおよび下板２１ｂに垂直に交わる面等であってもよい。このような形状であっても、回転の妨げとはならないからである。
【００３４】
また、給気型のファンフィルタユニットとしての使用状態と、排気型のファンフィルタユニットとしての使用状態と、のそれぞれにおいて、ストッパーにより回転が制限された状態で固定されるので、ファンフィルタユニット本体２０が安定した状態で固定される。
また、設置部１０とファンフィルタユニット本体２０との間には、シール部材３０が設けられているので、この間から気体や塵埃等が自由に出入りできなくなっている。
【００３５】
電源接続部２６は、回転軸１１に略平行な接続板２１ｅのうちの一方に隣接する側面板２１ｃと２１ｄとにそれぞれ１つずつ設けられているので、給気型のファンフィルタユニットとしての使用状態と、排気型のファンフィルタユニットとしての使用状態との、いずれの状態においても、電源接続部２６が、クリーンブース２の内側と外側とに１つずつ存在することとなる。したがって、ファンフィルタユニット１に電源を供給するための電源コードを接続する場合に、クリーンブース２の内側または外側のどちらかにしかコンセント等の電源の供給源がない場合であっても、電源コードをクリーンブース２を通すことなくファンフィルタユニット１に接続することができる。
【００３６】
ファンフィルタユニット１を給気型から排気型としての使用に切り替える際には、例えば、一方の電源接続部２６に接続されている電源コードを一旦外し、ファンフィルタユニット１を回転させた後で、他方の電源接続部２６に電源コードを接続することで、ファンフィルタユニット１に電源を供給し使用することができる。したがって、ファンフィルタユニット１の給気型としての使用状態と排気型としての使用状態との切り替えを簡単に行うことができる。
【００３７】
なお、電源接続部２６は、ファンフィルタユニット１を給気型として使用する状態と、排気型として使用する状態と、の両方の状態において、クリーンブース２等の内側と外側との両側に少なくとも１つずつ存在するようになっていればよい。例えば、本実施の形態においては、電源接続部２６が、上板２１ａ部分や下板２１ｂ部分等に設けられていてもよい。
【００３８】
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。
第２の実施の形態のファンフィルタユニット１を、図３に示す。図３（ａ）は、ファンフィルタユニット１を前側から見た概略図である。また、図３（ｂ）は、ファンフィルタユニット１を左側から見た概略図である。
なお、第１の実施の形態と第２の実施の形態とでは、筐体の側面部の形状と、電源接続部２６の位置以外については、同様の構成であるため、異なる部分についてのみ説明する。
【００３９】
本実施の形態のファンフィルタユニット１の、ファンフィルタユニット本体２０は、図３に示すように、筐体４１を備える。筐体４１は、上板４１ａと、下板４１ｂと、４つの側面板４１ｃとを備える。なお、上板４１ａには、吸気口（吸気部）が設けられている。また、下板４１ｂには、排気口（排気部）が設けられている。
【００４０】
上板４１ａと下板４１ｂとは、共に略方形の板状部材であり、互いにほぼ等しい大きさとなっている。また、側面板４１ｃは、上下方向に湾曲した板状部材である。そして、上板４１ａの四辺のそれぞれと下板４１ｂの四辺のそれぞれとを、４つの側面板４１ｃのそれぞれが繋ぐようにして、筐体４１が形成されている。また、側面板４１ｃは、側面板４１ｃの上下方向中間部において、筐体４１の横方向外側に最も突出するようにして、湾曲している。
【００４１】
回転軸１１を挿入するための、本体側接続部２５は、筐体４１の側面板４１ｃのうち、対抗する２つの側面板４１ｃの中央部に設けられている。
２つの電源接続部２６は、回転軸１１に略平行な側面板４１ｃのうちの一方に、上下に離間して１つずつ設けられている。また、電源接続部２６には、着脱可能な蓋２７が設けられている。蓋２７は、クリーンブースの内側に位置する電源接続部２６が、クリーンブース内の空気に触れないようにするためのものであり、電源接続部２６を覆うようにして設けられている。
なお、蓋２７は、ファンフィルタユニット本体２０から取り外し可能でも不可能でもよく、また、２つの電源接続部２６で１つの蓋を兼用するものであってもよい。
【００４２】
本実施の形態によれば、第１の実施の形態同様、回転軸１１を軸として、ファンフィルタユニット本体２０を回転させることができ、給気型のファンフィルタユニットとしての使用から、排気型のファンフィルタユニットとしての使用に切り替えることができる。
【００４３】
筐体４１は、側面部に設けられた側面板４１ｃが、側面板４１ｃの上下方向中間部において、筐体４１の横方向外側に最も突出するようにして、湾曲している。このため、ファンフィルタユニット本体２０を回転させる場合に、ファンフィルタユニット本体２０の側面部分が、クリーンブースの天井部等ファンフィルタユニット１を設置している場所に引っかかることがなく、ファンフィルタユニット本体２０をスムーズに回転させることができる。
なお、回転軸１１に略垂直な側面板４１ｃは、湾曲していなくても回転の妨げとならないため、湾曲していなくてもよい。
【００４４】
また、電源接続部２６は、回転軸１１に略平行な側面板４１ｃのうちの一方に、上下に離間して１つずつ設けられているので、給気型のファンフィルタユニットとしての使用状態と、排気型のファンフィルタユニットとしての使用状態との、いずれの状態においても、電源接続部２６が、クリーンブース等の内側と外側とに１つずつ存在することとなる。したがって、ファンフィルタユニット１に電源を供給するための電源コードを接続する場合に、クリーンブース等の内側と外側のどちらかにしかコンセント等の電源の供給源がない場合であっても、電源コードをクリーンブース等を通すことなくファンフィルタユニット１に接続することができ、使用状態の切り替えを簡単に行うことができる。
【００４５】
なお、電源接続部２６は、ファンフィルタユニット１を給気型として使用する状態と、排気型として使用する状態と、の両方の状態において、クリーンブース等の内側と外側との両側に少なくとも１つずつ存在するようになっていればよい。例えば、本実施例においては、電源接続部２６が、上板４１ａ部分や下板４１ｂ部分等に設けられていてもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１    ファンフィルタユニット
１０    設置部
２０    ファンフィルタユニット本体
２１    筐体
２２    ファン
２４    フィルタ
２６    電源接続部
４１    筐体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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