(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料をセットする試料セット部と、
この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段と、
前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段と、
前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体と、
前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスを、排気案内するための第１次排気部と、
前記第１次排気ガスに混合する外気である混合用外気を導入するための外気導入部と、
前記混合用外気と前記第１次排気ガスとの混合ガスである第２次混合排気ガスを排気案内するための前記第１次排気部と連絡される第２次排気部と、を備えてなるとともに、
前記第１次排気ガスの排出量を上回る吸引量の前記第２次混合排気ガスの排気系側からの強い吸引によって、前記混合用外気の前記外気導入部への吸引導入と前記第２次混合排気ガスの形成が行われ、
前記第１次排気ガスが前記低温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの温度が該第２次混合排気ガスの前記排気系側に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気の導入量によって温度上昇させ、
前記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下させることを特徴とする環境観察装置。
【請求項２】
試料をセットする試料セット部と、
この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段と、
前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段と、
前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体と、
前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスを、排気案内するための第１次排気部と、
前記第１次排気ガスに混合する外気である混合用外気を導入するための外気導入部と、
前記混合用外気と前記第１次排気ガスとの混合ガスである第２次混合排気ガスを排気案内するための前記第１次排気部と連絡される第２次排気部と、を備えてなるとともに、
前記外気導入部からの前記混合用外気が、該外気導入部の噴射ノズルから噴射されて、その噴射量と噴射速度によって前記第１次排気部側を負圧にして前記第１次排気ガスを前記第２次排気部に吸引導入する噴射混合用外気であり、
前記第２次排気部に前記吸引導入された前記第１次排気ガスと、前記噴射ノズルから前記噴射された前記噴射混合用外気が混合して前記第２次混合排気ガスの形成が行われ、
前記第１次排気ガスが前記低温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの温度が該第２次混合排気ガスの前記排気系側に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気の導入量によって温度上昇させ、
前記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下させることを特徴とする環境観察装置。
【請求項３】
試料をセットする試料セット部、この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段、前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段、前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体、前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスを、排気案内するための第１次排気部とを有する環境観察装置、この環境観察装置の排気装置であって、
前記第１次排気ガスに混合する外気である混合用外気を導入するための外気導入部と、
前記混合用外気と前記第１次排気ガスとの混合ガスである第２次混合排気ガスを排気案内するための前記第１次排気部と連絡される第２次排気部と、を備えるとともに、
前記第１次排気ガスの排出量を上回る吸引量の前記第２次混合排気ガスの排気系側からの強い吸引によって、前記混合用外気の前記外気導入部への吸引導入と前記第２次混合排気ガスの形成が行われ、
前記第１次排気ガスが前記低温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの温度が該第２次混合排気ガスの前記排気系側に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気の導入量によって温度上昇させることを可能とし、又は前記非結露温度にし、
前記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下可能とし、又は前記非加熱低温度にしてなることを特徴とする環境観察装置の排気装置。
【請求項４】
試料をセットする試料セット部、この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段、前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段、前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体、前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスを、排気案内するための第１次排気部とを有する環境観察装置、この環境観察装置の排気装置であって、
前記第１次排気ガスに混合する外気である混合用外気を導入するための外気導入部と、
前記混合用外気と前記第１次排気ガスとの混合ガスである第２次混合排気ガスを排気案内するための前記第１次排気部と連絡される第２次排気部と、を備えてなるとともに、
前記外気導入部からの前記混合用外気が、該外気導入部の噴射ノズルから噴射されて、その噴射量と噴射速度によって前記第１次排気部側を負圧にして前記第１次排気ガスを前記第２次排気部に吸引導入する噴射混合用外気であり、
前記第２次排気部に前記吸引導入された前記第１次排気ガスと、前記噴射ノズルから前記噴射された前記噴射混合用外気が混合して前記第２次混合排気ガスの形成が行われ、
前記第１次排気ガスが前記低温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの温度が該第２次混合排気ガスの前記排気系側に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気の導入量によって温度上昇させ、
前記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下させることを特徴とする環境観察装置の排気装置。
【請求項５】
試料をセットする試料セット部と、この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段と、前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段と、前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体と、を備えてなる環境観察装置の、前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排
気ガスである第１次排気ガスの排気方法であって、
前記第１次排気ガスの排出量を上回る吸引量の強い吸引によって、外気である混合用外気の導入と、該混合用外気と前記第１次排気ガスとを混合させて第２次混合排気ガスを形成し、
前記強い吸引を前記第２次混合排気ガスの排気系側から行わせ、
前記第１次排気ガスが前記低温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの温度が該第２次混合排気ガスの排気系に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気の導入量によって温度上昇させ、
前記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下させることを特徴とする環境観察装置の排気方法。
【請求項６】
試料をセットする試料セット部と、この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段と、前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段と、前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体と、を備えてなる環境観察装置の、前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスの排気方法であって、
混合用外気の噴射によるその噴射量と噴射速度によって、前記第１次排気ガス側を負圧にして該第１次排気ガスを吸引導入して該第１次排気ガスと前記混合用外気とを混合させて第２次混合排気ガスを形成し、
前記第１次排気ガスが前記低温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの温度が該第２次混合排気ガスの前記排気系側に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気の導入量によって温度上昇させ、
前記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下させることを特徴とする環境観察装置の排気方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば−５０℃〜＋２２０℃というような低温〜高温の低温ガスおよび高温ガスによる雰囲気条件下での観察対象物である試料の状態を観察（肉眼での観察、写真撮影や動画撮影、計測、測定等を含む）する環境観察装置、環境観察装置の排気装置並びに環境観察装置の排気方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術として、非特許文献１の超高速温度環境試験機（以下「非特許文献１の装置」ともいう。）が知られている。
この非特許文献１の装置は、半導体／電子デバイス、ＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）の温度環境を、最大２０ＳＣＦＭの低温ガスおよび高温ガスを与えることにより急激に変化させるなどの温度環境を精密制御するものである。
その性能は、−８０℃〜＋２２５℃の低・高温ガスの温度範囲をコントロール、流量は最大２０ＳＣＦＭ（５６６？／ｍｉｎｉｔｕｅ）、＋１２５℃ => −５５℃ 温度変化 １０秒以下、−５５℃ => ＋１２５℃  温度変化  １０秒以下、±０．５℃の温度安定性、というものである。
【０００３】
図８は非特許文献１の装置の外観図である。
非特許文献１の装置は、低温ガス供給部と高温ガス供給部を内設している装置本体１００と、前記低温ガスおよび前記高温ガスをガス供給管１０１と、このガス供給管１０１の先端に設けられた、下部が解放形態で側壁が透明であるカバー１０２と、前記装置本体１００の上部に設けた試料台１０３とからなっている。
試料台に試料１０４を載せた状態でセットし、カバー１０２を試料台１０３に非接触で被せて観察室を形成し、試料１０４に低温ガスおよび高温ガスを真上から吹き付けて環境試験（主にＩＣチップなどの電子デバイスの通電試験）を行うものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】http://www.hugle.co.jp/products/new-item/cat244/post-12.html、超高速温度環境試験機（サーモジェット）、ヒューグルエレクトロニクス株式会社。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した非特許文献１の装置は、観察室外に排出される低温ガスおよび高温ガスからなる排気ガスを、カバーと試料台との間に形成された隙間から屋内に放出されるものであった。
【０００６】
また、試料台が透明でないため下方から試料の変形の挙動を観察できないものであった。
【０００７】
また、観察内の低温ガスおよび高温ガスの１００％を、非特許文献１の装置（例えば、排気量０．４ｍ３／ｍｉｎ）の低温ガスおよび高温ガスの排気量よりも大きな吸引量の事業所等の既設の排気系（例えば、排気量３２．５ｍ／ｍｉｎの換気設備）によって屋外に排出する場合、次のような問題があるものである。
（１）排気ガスが−８０℃では、屋内温度を下げてしまうという問題を生じるものであった。
排気ガスが＋２２５℃では、屋内温度を上昇させてしまうという問題が生じるものであった。
（２）排気ガスを事業所などの既設排気系に観察装置からの排気管を繋いで排気する場合では、次のような問題を生じるものであった。
ア）排気ガスが−８０℃では、排気管と既設排気系が冷却され続けて、その外面に大量の結露が生じるものであった。また、屋内温度を下げてしまうという問題を生じるものであった。
イ）排気ガスが＋２２５℃では、排気管と既設排気系が加熱され続けて、既設排気系が合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材が加熱劣化するので、既設排気系の全てを耐熱性のものにする必要が生じ、また、排気管と既設排気系に人が触れると火傷をする危険があるものであった。また、屋内温度を上昇させてしまうという問題が生じるものであった。
ウ）前記ア）、イ）の問題を解決するために、排気管と既設排気系を耐熱性のものとし、かつ、結露と放熱の両方を防止するため断熱材で覆う構造としなければならないものであった。
（３）また、非特許文献１の装置の低・高温ガスの排気量よりも、著しく大きな吸引量の事業所等の既設の換気設備に繋いだ場合、試料室内および低・高温ガス供給部が著しく負圧となり、外気が装置本体に侵入して試料室内に入り、０℃以下の低ガスである場合は、試料室の内壁面に外気の水分が結露してしまい、透明壁が結露で曇り試料室内部が外から観察できないという問題を生じるものであった。
【０００８】
本発明は、以上のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであって、指定排気系に繋いでの低・高温の排気ガスを排気するとしても、既設排気系の温度が結露が生じない温度とでき、且つ、該既設排気系の合成樹脂部に加熱変形など加熱ダメージを与えない温度とできる環境観察装置、環境観察装置の排気装置並びに環境観察装置の排気方法を提供することを第１の目的としている。
また、前記第１の目的に加えて、観察室内に外気が入り込んで観察室内の内壁に結露が生じることのない環境観察装置、環境観察装置の排気装置並びに環境観察装置の排気方法を提供することを発明の第２の目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は次のような構成としている。
＜請求項１記載の発明＞
試料をセットする試料セット部と、
この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段と、
前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段と、
前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体と、
前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスを、排気案内するための第１次排気部と、
前記第１次排気ガスに混合する外気である混合用外気を導入するための外気導入部と、
前記混合用外気と前記第１次排気ガスとの混合ガスである第２次混合排気ガスを排気案内するための前記第１次排気部と連絡される第２次排気部と、を備えてなるとともに、
前記第１次排気ガスの排出量を上回る吸引量の前記第２次混合排気ガスの排気系側からの強い吸引によって、前記混合用外気の前記外気導入部への吸引導入と前記第２次混合排気ガスの形成が行われ、
前記第１次排気ガスが前記低温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの温度が該第２次混合排気ガスの前記排気系側に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気の導入量によって温度上昇させ、
前記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下させることを特徴とする環境観察装置である。
【００１０】
「ガス」は、空気、空気以外のガス（混合ガスを含む）である。
「第１次排気部」、「外気導入部」には、排気管系のもの、排気口系のもの、排気開口系のものなどの形態がある。
「混合用外気」には、装置の外の空気、所定の温度に調整された空気、外気に該外気以外のガスを混合させたがものなどを含む。
これらにことは、本請求項以降の請求項でも同様である。
【００１１】
＜請求項２記載の発明＞
試料をセットする試料セット部と、
この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段と、
前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段と、
前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体と、
前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスを、排気案内するための第１次排気部と、
前記第１次排気ガスに混合する外気である混合用外気を導入するための外気導入部と、
前記混合用外気と前記第１次排気ガスとの混合ガスである第２次混合排気ガスを排気案内するための前記第１次排気部と連絡される第２次排気部と、を備えてなるとともに、
前記外気導入部からの前記混合用外気が、該外気導入部の噴射ノズルから噴射されて、その噴射量と噴射速度によって前記第１次排気部側を負圧にして前記第１次排気ガスを前記第２次排気部に吸引導入する噴射混合用外気であり、
前記第２次排気部に前記吸引導入された前記第１次排気ガスと、前記噴射ノズルから前記噴射された前記噴射混合用外気が混合して前記第２次混合排気ガスの形成が行われ、
前記第１次排気ガスが前記低温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの温度が該第２次混合排気ガスの前記排気系側に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気の導入量によって温度上昇させ、
前記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下させることを特徴とする環境観察装置である。
【００１３】
＜請求項３記載の発明＞
試料をセットする試料セット部、この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段、前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段、前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体、前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスを、排気案内するための第１次排気部とを有する環境観察装置、この環境観察装置の排気装置であって、
前記第１次排気ガスに混合する外気である混合用外気を導入するための外気導入部と、
前記混合用外気と前記第１次排気ガスとの混合ガスである第２次混合排気ガスを排気案内するための前記第１次排気部と連絡される第２次排気部と、を備えるとともに、
前記第１次排気ガスの排出量を上回る吸引量の前記第２次混合排気ガスの排気系側からの強い吸引によって、前記混合用外気の前記外気導入部への吸引導入と前記第２次混合排気ガスの形成が行われ、
前記第１次排気ガスが前記低温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの温度が該第２次混合排気ガスの前記排気系側に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気の導入量によって温度上昇させることを可能とし、又は前記非結露温度にし、
前記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下可能とし、又は前記非加熱低温度にしてなることを特徴とする環境観察装置の排気装置である。
【００１４】
＜請求項４記載の発明＞
試料をセットする試料セット部、この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段、前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段、前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体、前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスを、排気案内するための第１次排気部とを有する環境観察装置、この環境観察装置の排気装置であって、
前記第１次排気ガスに混合する外気である混合用外気を導入するための外気導入部と、
前記混合用外気と前記第１次排気ガスとの混合ガスである第２次混合排気ガスを排気案
内するための前記第１次排気部と連絡される第２次排気部と、を備えてなるとともに、
前記外気導入部からの前記混合用外気が、該外気導入部の噴射ノズルから噴射されて、その噴射量と噴射速度によって前記第１次排気部側を負圧にして前記第１次排気ガスを前記第２次排気部に吸引導入する噴射混合用外気であり、
前記第２次排気部に前記吸引導入された前記第１次排気ガスと、前記噴射ノズルから前記噴射された前記噴射混合用外気が混合して前記第２次混合排気ガスの形成が行われ、
前記第１次排気ガスが前記低温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの温度が該第２次混合排気ガスの前記排気系側に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気の導入量によって温度上昇させ、
前記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下させることを特徴とする環境観察装置の排気装置である。
【００１６】
＜請求項５記載の発明＞
試料をセットする試料セット部と、この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段と、前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段と、前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体と、を備えてなる環境観察装置の、前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスの排気方法であって、
前記第１次排気ガスの排出量を上回る吸引量の強い吸引によって、外気である混合用外気の導入と、該混合用外気と前記第１次排気ガスとを混合させて第２次混合排気ガスを形成し、
前記強い吸引を前記第２次混合排気ガスの排気系側から行わせ、
前記第１次排気ガスが前記低温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの温度が該第２次混合排気ガスの排気系に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気の導入量によって温度上昇させ、
前記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下させることを特徴とする環境観察装置の排気方法である。
【００１７】
＜請求項６記載の発明＞
試料をセットする試料セット部と、この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段と、前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段と、前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体と、を備えてなる環境観察装置の、前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスの排気方法であって、
混合用外気の噴射によるその噴射量と噴射速度によって、前記第１次排気ガス側を負圧にして該第１次排気ガスを吸引導入して該第１次排気ガスと前記混合用外気とを混合させて第２次混合排気ガスを形成し、
前記第１次排気ガスが前記低温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの温度が該第２次混合排気ガスの前記排気系側に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気の導入量によって温度上昇させ、
前記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下させることを特徴とする環境観察装置の排気方法である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明にあっては以下に述べる効果を奏する。
＜請求項１記載の発明の効果＞
（１）第１次排気ガスの温度は、混合用外気と該第１次排気ガスの混合によって形成された第２次混合排気ガスとされ、その温度を「記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下可能とし、または前記非加熱低温度とされ」る、というものであるので、第２次混合排気ガスの排気系を放熱対策も結露対策も行わなくてもよいものにできる。よって、第２次混合排気ガスの排気系側を断熱材等で覆わなくてもよいものとできる。
特に、第２次混合排気ガスの排気系側は事業所等での既設の排気設備（換気設備）を使用しなければならないことが少なくなく、又既設の排気設備を使用することが最も合理的で経済的である。
よって、第２次混合排気ガスの排気系側である既設の排気設備のダクト等をその素材に関係なく、何ら放熱対策も結露対策も行うことなくそのまま使用することを可能とするものである。
【００２０】
（２）第１次排気ガスの排出量を上回る第２次混合排気ガスの排気系側からの吸引量（強い吸引による）によって、混合用外気の外気導入部への吸引導入と第２次混合排気ガスの形成、およびその排気が行われるものであるので、混合用外気を導入するための吸引駆動手段を外気導入部側に設ける必要がないものである。
これによって、低コスト化、軽量化、小型化、省エネ化を実現する。
特に、第１次排気ガスの排出量を上回る吸引量の強い吸引を有する既設の排気系では、混合用外気および第２次混合排気ガスを強制吸引ないし強制送りするための駆動排気手段を新たに設ける必要がないものとできる。
【００２１】
（３）混合用外気の導入量によって、低温ガス供給手段側が外気圧よりも負圧となることを生じないものとできる。よって、湿気のある外気が装置本体側から侵入し観察室に入るということが生じない。すなわち、低温ガス供給手段からの低温ガスの供給量を超える既設の排気系を繋いでも、湿気のある外気を観察室に入れることのない、よって外気侵入による観察室の内壁面に結露を生じないものを実現する。
【００２２】
＜請求項２記載の発明の効果＞
（１）第１次排気ガスの温度は、混合用外気と該第１次排気ガスの混合によって形成された第２次混合排気ガスとされ、その温度を「記第１次排気ガスが前記高温ガスである場合は、前記第２次混合排気ガスの前記排気系側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気の導入量によって温度降下可能とし、または前記非加熱低温度とされ」る、というものであるので、第２次混合排気ガスの排気系を放熱対策も結露対策も行わなくてもよいものにできる。よって、第２次混合排気ガスの排気系側を断熱材等で覆わなくてもよいものとできる。
特に、第２次混合排気ガスの排気系側は事業所等での既設の排気設備（換気設備）を使用しなければならないことが少なくなく、又既設の排気設備を使用することが最も合理的で経済的である。
よって、第２次混合排気ガスの排気系側である既設排気系のダクト等をその素材の耐熱性に関係なく、何ら放熱対策も結露対策も行うことなくそのまま使用することを可能とするものである。
【００２３】
（２）噴射混合用外気の噴射量および噴射速度によって第１次排気ガスを吸引し、該第１次排気ガスと該噴射混合用外気を混合して第２位排気ガスを形成して、噴射混合用外気の噴射圧力によって排気するものであるので、既設排気系の吸引力（排気量）が小さい場合に有効である。
また、近接する壁に排気用開口を形成する、窓に排気用開口を設け、そこから排気することを可能とする。
【００２５】
＜請求項３記載の発明の効果＞
試料をセットする試料セット部、この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段、前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段、前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体、前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスを、排気案内するための第１次排気部と、を有する環境観察装置に、取付けることによって、環境観察装置を請求項１記載の発明と同様な効果を奏する環境観察装置にすることができる。
例えば、既に事業者内等に設置されていて、排気が課題となっている環境観察装置に後付することで、請求項１記載の発明と同様な効果を奏する環境観察装置にすることができる。
＜請求項４記載の発明効果＞
試料をセットする試料セット部、この試料セット部に低温ガスを供給する低温ガス供給手段、前記試料セット部に高温ガスを供給する高温ガス供給手段、前記試料セット部、前記低温ガス供給手段、前記高温ガス供給手段とを有する装置本体、前記試料セット部外に排出される前記低温ガスおよび前記高温ガスの排気ガスである第１次排気ガスを、排気案内するための第１次排気部と、を有する環境観察装置に、取付けることによって、環境観察装置を請求項２記載の発明と同様な効果を奏する環境観察装置にすることができる。
【００２７】
＜請求項５記載の発明の効果＞
請求項１記載の発明と同様な効果を奏する。
【００２８】
＜請求項６記載の発明の効果＞
請求項２記載の発明と同様な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施例１の全体構成図。
【図２】本発明の実施例１の装置の構成図。
【図３】本発明の実施例２の構成図。
【図４】本発明の実施例３の構成図。
【図５】本発明の実施例４の構成図。
【図６】本発明の実施例５の構成図。
【図７】本発明の実施例６の構成図。
【図８】非特許文献１の装置の外観図。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明を実施するための最良の形態である実施例について説明する。但し、本発明をこれら実施例のみに限定する趣旨のものではない。また、後述する実施例の説明に当って、前述した実施例の同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【実施例１】
【００３２】
図１、図２に示す本発明の実施例1において、環境観察装置１は装置本体４０と、排気装置４１とからなっている。
装置本体１は次のような構成となっている。
石英ガラスなどの光透過性プレート２からなる上面を試料セット面としている試料セット部３を下部に有する、観察対象物である試料Ｗを観察する観察室４（チャンバー）と、
観察室４に供給する低温ガスＡＧを発生して、試料セット部３にセットした試料Ｗ（ここでは、プリント基板やＩＣチップなどの電子部品）を低温雰囲気環境状態に置くための低温ガス供給手段５と、
観察室４に供給する高温ガスＢＧを発生して、試料セット部３にセットした試料Ｗを高温環境状態に置くための高温ガス供給手段６と
低温ガスＡＧと高温ガスＢＧを観察室４に案内する案内管７と、
観察室４内の低温ガスＡＧおよび高温ガスＢＧからなる第１次排気ガスＣＧを排気案内するための、観察室４の排気口である第１次排気部２６ａに取付けられた第１次排気部２６ｂと、
低温ガス供給手段５への高温ガスＢＧの流入を阻止するための電磁式、電動式、エア式などの自動バルブ８と、
高温ガス供給手段６への低温ガスＡＧの流入を阻止するための電磁式、電動式、エア式などの自動バルブ９と、
案内管７の中途に設けられた、高温ガスあるいは低温ガスを送り出すための送風器１０と、
観察室４の下部に設けられた筐体１１と、
この筐体１１内に設けられた、ステッピングモータなどの駆動手段によりＸ−Ｙ方向に自在に制御移動可能とされた移動手段１２（例えば、高精密Ｘ−Ｙステージ）と、
この移動手段１２に設けられた、試料セット部３とは非接触形態で位置されたオートフォーカスセンサー（本実施例１では、試料Ｗの挙動変位を計測）、カメラなどの撮影手段、レーザ変位計等からなる光学的観察手段１３と、
移動手段１２に一体移動動作するように設けられた、光透過性プレート２の下方に該光透過性プレート２に非接触形態で位置して、光透過性プレート２の外側面に温風ないし乾燥空気からなる結露防止手段を吹き付けて、光透過性プレート２の外側面に結露が生じないようにするための部位である温風放出部位１４と、
この温風放出部位１４に連絡されたフレキシブル管１５と、
このフレキシブル管１５が連絡され、温風放出部位１４から放出される温風（結露防止手段）を発生する結露防止手段発生部１６と、
光学的観察手段１３と温風放出部位１４の間で該光学的観察手段１３の近くに設けられた、結露防止手段発生部１６からの温風（結露防止手段）が光学的観察手段１３に直接的に当たるのを遮蔽し、該遮蔽によって光学的観察手段１３の観察性能（ここでは、変位の計測ないし測定）が温風によって支障が生じないようにしている、光透過性プレート２とは非接触形態で設けられ遮蔽部１７と、
筐体１１内の露点温度を検出（測定・計測を含む）する露点温度検出部１８（露点温度測定器を含む）と、
光透過性プレート２の外側面温度を検出するプレート外側面温度検出手段１９と、
光透過性プレート２の上方に該光透過性プレート２に非接触形態で位置して、光透過性プレート２の外側面に温風（熱風を含む）からなる結露防止手段を吹き付けて、該光透過性プレート２の外側面に結露が生じないようにするための温風ないし乾燥空気からなる結露防止手段を発生する結露防止手段発生部２２と、
ディスプレイ２３と、
観察室４内の温度挙動状態を表示する温度挙動表示部２４と、
各部位を制御する制御部２５とからなっている。
【００３３】
結露防止手段発生部１６、フレキシブル管１５、温風放出部位１４、移動手段１２、光学的観察手段１３および遮蔽部１７とで下部側観察部４２を形成している。
観察室４の内部には、試料Ｗや光透過性プレートなどの好みの箇所にセットできる複数の温度センサ２８ａ〜２８ｆが設けられ、観察室４内の複数個所の温度を検出できるようになっている。
温度センサ２８ａ〜２８ｆの温度状況は温度挙動表示部２４にリアルタイムで表示されるようになっている。
観察室４内の温度が設定範囲から外れた場合には警報を発するようになっている。
【００３４】
環境観察装置１は低温ガス供給手段５と高温ガス供給手段６とを備えていることによって、観察室４内を低温環境とすることも、高温環境とすることも行え、かつ、低温環境→高温環境へ移行することも、高温環境→低温環境へ移行することも可能である。
設定部３０において、温度変化範囲（所定の温度を維持し続けるを含む）を設定（指示）し、開始→終了時間を設定（指示）し、光学的観察手段１３の観察時間（常時観察を含む）を設定（指示）し、所定の温度上昇変化ないし温度下降変化を設定（指示）することが可能である。
環境観察装置１は、４００℃〜−８０℃の温度範囲をカバーできるようになっていて、冷却速度、加熱速度を自由に制御できるようになっている。
【００３５】
これによって、例えば、温度変化範囲：常温（例えば２５℃）→−５０℃→＋８０℃→常温というような観察が可能である。
また、例えば、−５０℃→常温という温度変化を、数十秒で行う熱衝撃観察なども可能としている。
【００３６】
図２では、観察室４内への低温ガスＡＧおよび高温ガスＢＧの供給は側部から行っているが、上部や下部から行う形態もある。
また、低温ガスＡＧおよび高温ガスＢＧを供給する低温高温ガス供給装置として、非特許文献１の低温高温ガス供給装置を用いるのがよい。実際の環境観察装置においては非特許文献１の低温高温ガス供給装置を用いる予定である。
【００３７】
排気装置４１は、第１次排気部２６ａからの第１次排気ガスＣＧと混合用外気ＥＧを混合して第２次混合排気ガスＦＧにして、事業所等の既設排気系である排気系４４側に第２次混合排気ガスの排気させるようにするものである。
【００３８】
排気装置４１は、次のような構成となっている。
第１次排気ガスＣＧに混合する外気である混合用外気ＥＧを導入するための外気導入部４２と、
第１次排気部２６ｂに連結された第１次排気部２６ｃと
外気導入部４２と第１次排気部２６ｃが合流し混合して第２次混合排気ガスＦＧが形成される、排気系４４に連結される第２次排気部４３と、を備えるとともに、
第１次排気ガスＣＧの排出量を上回る吸引量の排気系４４側からの強い吸引によって、混合用外気ＥＧの外気導入部４２への吸引導入と、該混合用外気ＥＧと第１次排気ガスＣＧの合流位置から下流の部位である混合部２９で第２次混合排気ガスＦＧの形成が行われ、
第１次排気ガスＣＧが低温ガスＡＧである場合は、第２次混合排気ガスＦＧの温度が該第２次混合排気ガスＦＧの排気系４４側に結露を生じさせない非結露温度に、混合用外気ＥＧの導入量によって温度上昇させることが可能とされ、
第１次排気ガスＣＧが高温ガスＢＧである場合は、第２次混合排気ガスＦＧの排気系４４側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、混合用外気ＥＧの導入量によって温度降下可能とされてなる排気装置である。
排気系４４は事業所等の既設の排気システムである既設排気系４５に接続されている。
【００３９】
外気導入部４２にはバルブ４６が設けられ、混合用外気ＥＧの導入量を制御できるようになっている。
第１次排気部２６ｃにはバルブ４７が設けられ、第１次排気ガスＣＧの排気量を制御できるようになっている。
第２次排気部４３内には温度検知センサ４９が設けられ、観察室４内には温度検知センサ５０が設けられている。
【００４０】
第１次排気部２６ｂ、第１次排気部２６ｃ、外気導入部４２および第２次排気部４３は、断熱材４８によって覆われて、外への強い放熱および結露が生じないようにされている。
ここでは、排気系４４および既設排気系４５には断熱材を施す必要なない。また、排気系４４には非耐熱性の合成樹脂製部材を有しているが、排気系４４を流れる第２次混合排気ガスＦＧの温度は、該合成樹脂製部材を加熱変形させてり加熱劣化させることがない非加熱低温度にされている。
また、排気系４４での結露防止のために該排気系４４の上流側ないしその一部に断熱材を施す必要も生じる可能性もある。
また、第２次排気部４３が長く、結露が生じない部分がある場合には、第２次排気部４３ないしその一部には断熱材は結露が生じる箇所に施せばよい。
【００４１】
本実施例では、−５０℃〜＋２１０℃の間で温度変化する設定とした第１次排気ガスＣＧに室温の混合用外気ＥＧをその10倍以上混ぜることにより、排気系４４のルート上の部分に耐熱・断熱処置を必要としないものである。
第１次排気ガスＣＧの温度は、例えば、−５０℃のみでの観察である場合もあるし、＋２１０℃のみでの観察である場合もあるし、それ以外の温度の観察である場合もあるし、温度が変化してく観察である場合もある。常温（例えば２５℃）→−５０℃→＋８０℃→常温というような観察である場合もあるし、−５０℃→常温という温度変化を、数十秒で行う熱衝撃観察などの場合もあるなど多様な温度環境条件が行える。
また、２４時間連続運転と観察、４８時間連続運転と観察、数日の連続運転と観察、数十日の連続運転と観察ないしそれ以上の連続運転と観察も可能としている。
常温以上の高温は高温ガス供給手段６によって供給され、常温以下の低温は低温ガス供給手段５によって供給される。
【００４２】
具体例で説明する。
外気温（屋内温度ないし常温）は＋２５℃である。
排気系４４の吸引量（排気量）は≒３２．５ｍ3/ｍｉｎである。
バルブ４７を≒１０％開き状態として、第１次排気ガスＣＧの排気量を≒４ｍ3/ｍｉｎにしている。
バルブ４６を≒９０％開き状態として、混合用外気ＥＧの導入量を≒０．４ｍ3/ｍｉｎとしている。
温度による空気の膨張率は無視した計算では次のようになる。
最低温度は−５０℃、最高温度は＋２１０℃である。
＋２１０℃の場合の、第２次混合排気ガスＦＧの温度は、（２１０−２５）×４００／４４００＋２５≒４２℃となる。
−５０℃の場合の、−５０℃の場合の、第２次混合排気ガスＦＧの温度は、（−５０−２５）×４００／４４００＋２５≒１８℃となる。
よって、上記バルブ開閉条件のもとで、第２次混合排気ガスＦＧの温度は＋１８℃〜＋４２℃の間となる。すなわち、第２次混合排気ガスＦＧの温度を、結露が生じない、排気系４４側に非耐熱性の合成樹脂部材があっても加熱変形・劣化をさせることがなく、人が火傷をするなどの心配のない温度のものとできる。
また、排気系４４の吸引量（排気量）は≒３２．５ｍ3/ｍｉｎと、その吸込みパワーが大変強いことによって実現されているものであり、この日排気系４４側からの吸込みパワーがあるので第１次排気ガスＣＧが観察室３側に逆流することはない。
【００４３】
温度検知センサ４９によって第２次混合排気ガスＦＧの温度が常時検出・監視されている。例えば、第２次混合排気ガスＦＧの温度許容範囲を１４℃〜６０℃に設定している場合、第２次混合排気ガスＦＧの温度がこの温度許容範囲から外れた検出温度となった場合、警報音や警報灯などによって警報が報知される。
【００４４】
バルブ４６、バルブ４７を自動制御バルブにして、第２次混合排気ガスＦＧの温度を設定した温度許容範囲内とするように、自動制御バルブによる第１次排気ガスＣＧと混合用外気ＥＧの排気比率を自動制御する排気装置とするのもよい。
【００４５】
バルブ４６、バルブ４７を設けず、外気導入部４２と、第１次排気部２６ｂおよび第１次排気部２６ｃ又はいずれかを、例えば、第２次混合排気ガスＦＧの温度が１８℃〜＋４２℃の範囲内で推移するように、その内径や絞り口を設定した形態もよい。
【００４６】
排気装置４１のみを独立した装置として提供することもできる。
例えば、既に設置されている既設の環境観察装置に、あるいは新たに設置される環境観察装置等に後付で取付ける排気装置である。または排気装置のみを単体で提供できるものである。
【００４７】
実施例１は以下に述べる環境観察装置の排気方法を実現している。
試料Ｗをセットする試料セット部３と、この試料セット部３に低温ガスＡＧを供給する低温ガス供給手段５と、前記試料セット部３に高温ガスＢＧを供給する高温ガス供給手段６と、前記試料セット部３、前記低温ガス供給手段５、前記高温ガス供給手段６とを有する装置本体４０と、を備えてなる環境観察装置１の、前記試料セット部３外に排出される前記低温ガスＡＧおよび前記高温ガスＢＧの排気ガスである第１次排気ガスＣＧの排気方法であって、
前記第１次排気ガスＣＧの排出量を上回る吸引量の強い吸引によって、外気である混合用外気ＥＧの導入と、該混合用外気ＥＧと前記第１次排気ガスＣＧとを混合させて第２次混合排気ガスＦＧを形成し、
前記強い吸引を前記第２次混合排気ガスＦＧの排気系４４側から行わせ、
前記第１次排気ガスＣＧが前記低温ガスＡＧである場合は、前記第２次混合排気ガスＦＧの温度が該第２次混合排気ガスＦＧの排気系４４に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気ＥＧの導入量によって温度上昇させ、
前記第１次排気ガスＣＧが前記高温ガスＢＧである場合は、前記第２次混合排気ガスＦＧの前記排気系４４側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気ＥＧの導入量によって温度降下させることを特徴とする環境観察装置の排気方法である。
【実施例２】
【００４８】
図３に示す本発明の実施例２において、前記実施例１と主に異なる点は、建物の外壁５５側に単独の強い吸引量（排気量）の排気ファン５３を有する既設排気系５４を設け、この既設排気系５４に排気系４４を接続してなる点である。
【実施例３】
【００４９】
図４に示す本発明の実施例３において、前記実施例１と主に異なる点は、第１次排気部２６ａに第１次排気部２６ｃを接続し、一本の管の上流側を第１次排気部２６ｃとし、下流側を第２次排気部４３とし、外気導入部を短筒ないし単なる開口口形態の外気導入部５７とし、バルブ４６、４７を設けない形態とした環境観察装置５８を形成した点にある。
第１次排気部２６ｃと、第２次排気部４３と、外気導入部５７とで排気装置５９を形成している。
第１次排気部２６ｃからの第１次排気ガスと外気導入部５７からの混合用外気ＥＧの比率は、１０：９０となるように、それぞれの開口ないし管内径を設定している。
【実施例４】
【００５０】
図５に示す本発明の実施例４において、前記実施例１と主に異なる点は、排気装置を排気装置６２とした点にある。
排気装置６２は、第１次排気部２６ｂの下流側を入れる形態で連結された、該第１次排気部２６ｂの外径よりも内径が大径である第２次排気部６３と、第１次排気部２６ｂと第２次排気部６３との間に形成された隙間通路６５（開口を含む）を有する外気導入部６４とからなっている。
外気導入部６４には隙間通路６５の開口面積を変えることによって混合用外気ＥＧの導入量を調整するバルブ６６が設けられている。
バルブ６６は、混合用外気ＥＧを通す固定側開口孔を有する固定された固定プレートと、この固定プレートと略当接された可動側開口孔を有する回動可能とされた可動プレートとからなり、可動プレートを回動させて、固定側開口孔と可動側開口孔の重なりによって形成される通し開口孔の面積を変えることで、混合用外気ＥＧの導入量を調整する。
第２次排気部６３を断熱材で覆うことをしなくてもよいが、第１次排気部２６ｂは第２次排気部６３内に位置する部分も含めて断熱材で覆うのがよい。
また、
【実施例５】
【００５１】
図６に示す本発明の実施例５において、前記実施例１と主に異なる点は、排気装置を排気装置７０とした点にある。
排気装置７０は、第１次排気部２６ｂの上流側一部を残し略全部を入れる形態で連結された、該第１次排気部２６ｂの外径よりも内径が大径である第２次排気部６３と、第１次排気部２６ｂと第２次排気部６３と観察室４の外壁面との間に形成された外気導入口７１と、第１次排気部２６ｂと第２次排気部６３の間に形成された隙間通路６５とを有する外気導入部７２とからなっている。
外気導入部７２には隙間通路６５の開口面積を変えることによって混合用外気ＥＧの導入量を調整するバルブ６６（前記実施例５を参照）が設けられている。
バルブ４７のハンドルは外気導入部７２の外に位置されている。
第２次排気部６３を断熱材で覆うことをしなくてもよいが、第１次排気部２６ｂは第２次排気部６３内に位置する部分も含めて断熱材で覆うのがよい。
【実施例６】
【００５２】
図７に示す本発明の実施例６において、前記実施例１と主に異なる点は、排気装置を、外気導入部を外気導入部８０とした排気装置８１とし、該排気装置８１を有する環境観察装置７９を形成した点にある。
外気導入部８０は、コンプレッサー、ブロワなどの噴射外気形成手段８２により高速ないし高圧とされた外気である混合用外気ＥＧが、第２次排気部４３に向けて噴射ノズル８３から噴射されるものである。噴射ノズル８３および該噴射ノズル８３の上流側外気導入部８０の一部は第２次排気部４３と連絡する上流側が密封されたないし開口が設けられた外筒部８４内に位置し、外筒部８４には第１次排気部２６ｃが連絡されている。外気導入部８０には、該外気導入部８０（金属製部分ないし全体が金属）を加熱して内部を流れる混合用外気ＥＧを加熱するための、電熱ヒータ、高周波加熱コイル、熱風ヒータなどの加熱手段８５が設けられている。
【００５３】
外気導入部８０からの混合用外気ＥＧが、該外気導入部８０の噴射ノズル８３から噴射されて、その噴射量と噴射速度によって第１次排気部２６ｃ側を負圧にして第１次排気ガスＣＧを第２次排気部４３に吸引導入する噴射混合用外気であり、
第２次排気部４３に吸引導入された第１次排気ガスＣＧと、噴射ノズル８３から噴射された混合用外気ＥＧが混合して第２次混合排気ガスＦＧの形成が行われ、
第１次排気ガスＣＧが低温ガスＡＧである場合は、第２次混合排気ガスＦＧの温度が該第２次混合排気ガスＦＧの排気系４４側に結露を生じさせない非結露温度となるように、混合用外気ＥＧの導入量によって温度上昇される。
また、第１次排気ガスＣＧが高温ガスＢＧである場合は、第２次混合排気ガスＦＧの排気系４４側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度となるように、混合用外気ＥＧの導入量によって温度降下される。
【００５４】
第１次排気ガスＣＧが低温ガスＡＧである場合は、混合用外気ＥＧの噴射時の吸熱作用による温度低下が生じないように、加熱手段８５によって混合用外気ＥＧが加熱され、該加熱され温度上昇した混合用外気ＥＧが噴射ノズル８３から噴射される。
第１次排気部２６ｃには自動制御のバルブ４６を設け、外気導入部８０には自動制御のバルブ４７を設け、温度検知センサ４９の検知温度が所定の範囲温度になるように自動制御するようにするのがよい。
【００５５】
実施例６は以下に述べる環境観察装置の排気方法を実現している。
試料Ｗをセットする試料セット部３と、この試料セット部３に低温ガスＡＧを供給する低温ガス供給手段５と、前記試料セット部３に高温ガスＢＧを供給する高温ガス供給手段６と、前記試料セット部３、前記低温ガス供給手段５、前記高温ガス供給手段５とを有する装置本体４０と、を備えてなる環境観察装置の、前記試料セット部３外に排出される前記低温ガスＡＧおよび前記高温ガスＢＧの排気ガスである第１次排気ガスＣＧの排気方法であって、
混合用外気ＥＧの噴射によるその噴射量と噴射速度によって、前記第１次排気ガスＣＧ側を負圧にして該第１次排気ガスＣＧを吸引導入して該第１次排気ガスＣＧと前記混合用外気ＥＧとを混合させて第２次混合排気ガスＦＧを形成し、
前記第１次排気ガスＣＧが前記低温ガスＡＧである場合は、前記第２次混合排気ガスＦＧの温度が該第２次混合排気ガスＦＧの前記排気系４４側に結露を生じさせない非結露温度に、前記混合用外気ＥＧの導入量によって温度上昇させ、
前記第１次排気ガスＣＧが前記高温ガスＢＧである場合は、前記第２次混合排気ガスＣＧの前記排気系４４側に合成樹脂製部材を有するものでは、該合成樹脂製部材を加熱変形させたり加熱劣化させたりしない非加熱低温度に、前記混合用外気ＥＧの導入量によって温度降下させる環境観察装置の排気方法である。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明は、主に低温ガスと高温ガスを排気する環境観察装置を使用する産業で利用される。
【符号の説明】
【００５７】
Ｗ：試料、
ＡＧ：低温ガス、
ＢＧ：高温ガス、
ＣＧ：第１次排気ガス、
ＥＧ：混合用外気、
ＦＧ：第２次混合排気ガス、
１：環境観察装置、
２：光透過性プレート、
３：光透過性プレート、
４：観察室、
５：低温ガス供給手段、
６：高温ガス供給手段、
７：案内管、
８：自動バルブ、
９：自動バルブ、
１０：送風器、
１１：筐体、
１２：移動手段、
１３：光学的観察手段、
１４：温風放出部位、
１５：フレキシブル管、
１６：結露防止手段発生部、
１７：遮蔽部、
１８：露点温度検出部、
１９：プレート外側面温度検出手段、
２２：結露防止手段発生部、
２３：ディスプレイ、
２４：温度挙動表示部、
２５：制御部、
２６ａ：第１次排気部、
２６ｂ：第１次排気部、
２６ｃ：第１次排気部、
２８ａ〜２８ｆ：温度センサ、
２９：混合部、
４０：装置本体、
４１：排気装置、
４２：外気導入部、
４３：第２次排気部、
４４：排気系、
４５：既設排気系、
４６：バルブ、
４７：バルブ、
４８：断熱材、
４９：温度検知センサ、
５０：温度検知センサ、
５４：既設排気系、
５５：建物の外壁、
５７：外気導入部、
５８：環境観察装置、
５９：排気装置、
６２：排気装置、
６３：第２次排気部、
６４：隙間通路、
６５：外気導入部、
６６：バルブ、
７０：排気装置、
７１：外気導入口、
７２：外気導入部、
７９：環境観察装置、
８０：外気導入部、
８１：排気装置、
８２：噴射外気形成手段、
８３：噴射ノズル、
８４：外筒部、
８５：加熱手段、
１００：装置本体、
１０１：ガス供給管、
１０２：カバー、
１０３：試料台、
１０４：試料。
【図１】
0006587137.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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