(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
前後方向に延長する光ファイバを外部に導出しつつ当該光ファイバに接続された光デバイスを密封した状態で収納するための筐体であって、
下方を底面として当該底面の周囲に上方に立設する側面を有するとともに、上方が開口して内方に前記光デバイスが収納される容器部と、
上方に天面を有して下方に開口する箱形の蓋部材と
前記容器部の内方に設置される舌片状のプレート部材と、
を備え、
前記容器部には、少なくとも前後いずれかの側面に下方から上方に向かって延長しつつ上端が開放する容器側スリットが形成され、
前記蓋部材には、少なくとも前後いずれかの側面に上方から下方に向かって延長しつつ下端が開放する蓋側スリットが形成され、
前記蓋部材は、前記容器部に装着されて、前記容器部の上方の開口と当該容器部の前記側面とを覆い、
前記容器側スリットと前記蓋側スリットとにより、前記筐体の内外を連絡する矩形の開口が形成され、
前記光デバイスを密封した状態では、前記容器部と前記蓋部材との継ぎ目、および前記筐体の内外を連絡する前記開口に封止剤が充填され、
前記プレート部材には、前記光ファイバの周囲に接する幅のプレート側スリットが形成され、
前記プレート部材は、前記容器側スリットの周囲において、前記容器部の前記側面の内面に当接し、
前記光ファイバは、前記容器部の内方から前記蓋部材の外方に向かって、前記プレート側スリット、前記容器側スリット、前記蓋側スリットを通って前記筐体の外方に導出される、
ことを特徴とする光デバイス用筐体。
【請求項２】
請求項１において、前記プレート側スリットは、左右方向または上下方向に延長していることを特徴とする光デバイス用筐体。
【請求項３】
請求項２において、前記プレート側スリットは、左右方向に延長して左右いずれかの一端にて解放していることを特徴とする光デバイス用筐体。
【請求項４】
請求項３において、一つの前記プレート部材に複数の前記プレート側スリットが上下方向に平行に並んで形成されていることを特徴とする光デバイス用筐体。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかにおいて、前後両面に前記開口が形成されて前記プレート部材が前方と後方にそれぞれ配置されているとともに、当該前方と後方のプレート部材は、前記容器部の底面に接する底板を介して一体的に連続するように一枚の金属板の一部が屈曲されてなることを特徴とする光デバイス用筐体。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかにおいて、前記容器側スリットの下端に、前記筐体の側面から突出する凸部が形成されていることを特徴とする光デバイス用筐体。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかにおいて、内外の空気を流通させるための孔が開口していることを特徴とする光デバイス用筐体。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の筐体内に光デバイスが収納されてなる光デバイスユニットであって、
前記プレート側スリットと前記開口を介して光ファイバが外部に導出され、
前記容器部と前記蓋部材との継ぎ目、および前記筐体の内外を連絡する部位が硬化した封止剤によって封止されている。
ことを特徴とする光デバイスユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバが接続された光学デバイスを密封した状態で収納するための筐体と、その筐体内に光デバイスが収納されてなる光デバイスユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、複数の光ファイバポート間に形成された光路の接続と遮断を行ったり、光路を切り替えたりする光スイッチなど、光路が形成される複数の光ファイバポート間に各種光学素子（プリズム、ミラー、ファラデー回転子、偏光子など）を配置してなる光デバイスは、光路上に異物が混入すると光学特性が大きく劣化する。金属部品を使っていれば大気中の水分によって錆が発生する可能性もある。そのため光デバイスは光ファイバを導出させつつ筐体内に密封されてなる光学装置（以下、光デバイスユニット）の形態で提供されることが多い。とくにコイルなどを用いたアクチュエータによってプリズムやミラーを光路上に挿抜自在に介在させることで光路の接続、遮断、切替などを行う機械式の光デバイスでは、異物が可動部分に混入すると動作不良を起こし、また金属からなる部材や部品を多く用いているため、筐体内に収納することが必須条件となる。
【０００３】
図１に光デバイス用筐体（以下、筐体１とも言う）の一例を示した。ここでは筐体１内部に光デバイスが収納されてなる光デバイスユニット１００を示し、図１（Ａ）と（Ｂ）は当該光デバイスユニット１００を異なる方向から見たときの斜視図である。筐体１は箱形の外形を有し、互いに対向する端面（２、３）に矩形の開口部４が形成されている。そして筐体１の内部に収納されている光デバイスに接続されている光ファイバ１１がこの開口部４を介して外部に導出されている。
【０００４】
ここで光ファイバ１１の導出方向を前後方向として図中に示したように前と後の各方向を規定することとする。また図１（Ａ）を前方上方から見たときの斜視図とし、図１（Ｂ）を後方下方から見たときの斜視図として上下方向を規定する。また筐体１の下面を底５とする。そして上下および前後方向に直交する方向を左右方向とし、左と右の各方向を前方から後方見たときの方向によって規定することとする。したがってここに示した筐体１では、前後両端面（２、３）の左側に上下方向を長辺とした矩形の開口部４が形成されている。
【０００５】
図２は筐体１の内部構造を示す分解斜視図である。筐体１はこの図２に示したように、天面２１を有して下方に開口する箱形の蓋部材２０と底面（３１ｉ、３１ｏ）を有して上方に開口する箱形の容器部３０とから構成されている。蓋部材２０の前後両面（２２、２３）には天面２１の近傍から下方に向けて延長しつつ下端で解放するスリット（以下、蓋側スリット２４とも言う）が形成されている。一方容器部３０の前後両面（３２、３３）には、内側底面（以下、内底面３１ｉとも言う）の近傍から上方に延長しつつ上端で解放するスリット（以下、容器側スリット３４とも言う）が形成されている。容器部３０内に収納される光デバイス１０は、前端および後端のそれぞれに前方および後方に延長する光ファイバ１１が接続部材１２を介して接続されている。そして光ファイバ１１が容器側スリット３４を介して外部に導出されるように光デバイス１０を容器部３０内に収納し、次いで蓋部材２０を容器部３０に被せて筐体１を組み立てると、筐体１の前後両端（２、３）に上述した矩形の開口部４が形成され、この開口部４を介して光ファイバ１１が導出される。
【０００６】
また筐体１内の光デバイス１０は異物や水分を嫌うことから、筐体１における開口部４や図１（Ｂ）に示した容器部３０の外側底面（以下、外底面３１ｏとも言う）の外周と蓋部材２０の下端内周との継ぎ目６に接着剤などの封止剤を充填し、これを硬化させて筐体１内部を密封する。なお以下の特許文献１や２などには機械式の光スイッチとそれを収納する筐体の構造などについて記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第３８７０７５４号公報
【特許文献２】特許第４６５５０４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
光デバイス用の筐体では、図１や図２にも示したように、内部に収納されている光デバイス１０に接続されている光ファイバ１１を外部に導出するための開口部４や容器部３０と蓋部材２０との継ぎ目６などに封止剤を充填して筐体１を確実に密封する必要がある。しかしながら封止剤を充填することによって顕在化する問題もある。例えば、開口部４は封止剤を充填すべき面積が大きく、その開口部４を封止剤で閉鎖して「埋める」ためには、封止剤の表面張力を利用し、開口部４の内周に封止剤を供給しながら光ファイバ１１の周囲まで封止剤を充填させたり、光ファイバ１１の周囲に封止剤を供給しながら開口部４の内周まで封止剤を充填させたりすることになる。いずれにしても多量の封止剤を要する。
【０００９】
また封止剤を開口部４の内周から供給する場合では、その内周における容器部３０と蓋部材２０との接触面に封止剤が毛細管現象により入り込むため、充分に開口部４が埋まらず異物や水分の進入経路になり得るピンホールが発生する可能性がある。一方光ファイバ１１の周囲に封止剤を供給する場合では封止剤が光ファイバ１１を伝って光デバイス１０における接続部位１２にまで付着する。そして封止剤が硬化するときに光ファイバ１１や接続部材１２にストレスを与える。光ファイバポート間に形成される光路は精密に光軸が調整されており、外部からの僅かなストレスによって容易にその光軸がずれてしまう。また接続部材１２と光ファイバ１１との隙間にもやはり毛細管現象で封止剤が侵入し、そこで封止剤が硬化すると光ファイバ１１に対して径方向に圧縮する応力が加わり、この応力によっても光軸がずれてしまう。光軸がずれれば一方の光ファイバポートから出射した光が他方の光ファイバポートに結合するときの損失が大きくなる。
【００１０】
そこで本発明は、少量の封止剤で光ファイバが導出される開口部を確実に封止でき、かつ光ファイバに不要なストレスを与えずに内部の光デバイスの光学特性の劣化を防止することができる光デバイス用筐体、およびその筐体内に光デバイスが収納されてなる光デバイスユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するための本発明は、前後方向に延長する光ファイバを外部に導出しつつ当該光ファイバに接続された光デバイスを密封した状態で収納するための筐体であって、
下方を底面として当該底面の周囲に上方に立設する側面を有するとともに、上方が開口して内方に前記光デバイスが収納される容器部と、
上方に天面を有して下方に開口する箱形の蓋部材と
前記容器部の内方に設置される舌片状のプレート部材と、
を備え、
前記容器部には、少なくとも前後いずれかの側面に下方から上方に向かって延長しつつ上端が開放する容器側スリットが形成され、
前記蓋部材には、少なくとも前後いずれかの側面に上方から下方に向かって延長しつつ下端が開放する蓋側スリットが形成され、
前記蓋部材は、前記容器部に装着されて、前記容器部の上方の開口と当該容器部の前記側面とを覆い、
前記容器側スリットと前記蓋側スリットとにより、前記筐体の内外を連絡する矩形の開口が形成され、
前記光デバイスを密封した状態では、前記容器部と前記蓋部材との継ぎ目、および前記筐体の内外を連絡する前記開口に封止剤が充填され、
前記プレート部材には、前記光ファイバの周囲に接する幅のプレート側スリットが形成され、
前記プレート部材は、前記容器側スリットの周囲において、前記容器部の前記側面の内面に当接し、
前記光ファイバは、前記容器部の内方から前記蓋部材の外方に向かって、前記プレート側スリット、前記容器側スリット、前記蓋側スリットを通って前記筐体の外方に導出される、
ことを特徴とする光デバイス用筐体としている。
【００１２】
前記プレート側スリットは、左右方向または上下方向に延長していてもよい。前記プレート側スリットが左右方向に延長して左右いずれかの一端にて解放している光デバイス用筐体とすればより好ましい。一つの前記プレート部材に複数の前記プレート側スリットが上下方向に平行に並んで形成されている光デバイス用筐体とすれば、複数本の光ファイバを同一方向に導出する際に有効である。
【００１３】
前後両面に前記開口が形成されて前記プレート部材が前方と後方にそれぞれ配置されているとともに、当該前方と後方のプレート部材は、前記容器部の底面に接する底板部を介して一体的に連続するように一枚の金属板の一部が屈曲されてなる光デバイス用筐体とすることもできる。
【００１４】
前記容器側スリットの下端に前記筐体の側面から突出する凸部が形成されている光デバイス用筐体としてもよい。内外の空気を流通させるための孔が開口している光デバイス用筐体とすることもできる。
【００１５】
本発明は、上記いずれかに記載の筐体内に光デバイスが収納されてなる光デバイスユニットにも及んでおり、当該光デバイスユニットは、前記プレート側スリットと前記開口を介して光ファイバが外部に導出され、前記容器部と前記蓋部材との継ぎ目、および前記筐体内外を連絡する部位が硬化した封止剤によって封止されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る光デバイス用筐体によれば、少量の封止剤で光ファイバが導出される開口部を確実に封止でき、かつ光ファイバに不要なストレスを与えずに内部の光デバイスの光学特性の劣化を防止することができる。またこの筐体内に光デバイスが収納されてなる光デバイスユニットでは異物や水分が内部に侵入せず、光学特性が劣化したり水分に起因する金属部材が腐食したりすることがない。なお、その他の効果については以下の記載で明らかにする。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】従来の光デバイス用筐体の外観図である。
【図２】従来の光デバイス用筐体の内部構造を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の実施例に係る光デバイス用筐体の外観図である。
【図４】上記実施例に係る光デバイス用筐体の内部構造を示す分解斜視図である。
【図５】上記実施例に係る光デバイス用筐体を構成する底板部材の当初の形状を示す図である。
【図６】上記実施例に係る光デバイス用筐体の組み立て方法を示す図である。
【図７】上記実施例に係る光デバイス用筐体の効果を説明するための図である。
【図８】本発明のその他の実施例に係る光デバイス用筐体を示す図である。
【図９】本発明のその他の実施例に係る光デバイス用筐体を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の実施例について、以下に添付図面を参照しつつ説明する。なお以下の説明に用いた図面において、同一または類似の部分に同一の符号を付して重複する説明を省略することがある。ある図面において符号を付した部分について、不要であれば他の図面ではその部分に符号を付さない場合もある。
【００１９】
＝＝＝実施例＝＝＝
図３と図４に本発明の実施例に係る光デバイス用筐体（以下、筐体１ａとも言う）内に光デバイスが収納された光デバイスユニット１００ａを示した。なおここでも上下前後左右の各方向を図１や図２に示した光デバイスユニット１００と同様に規定している。そして図３は光デバイスユニット１００ａの外観図であり、図４は当該光デバイスユニット１００ａの内部構造を示すための分解斜視図である。図３に示したように、筐体１ａは図１に示した従来の筐体１と同様の外観を有し、箱形で前面２と後面３に光ファイバ１１を導出するための開口部４が形成されている。しかし実施例に係る筐体１ａでは、図４に示したように容器部３０と蓋部材２０に加え、前後両端に舌片状に上方に立ち上がった部位（以下、舌片部４１とも言う）を備えた金属板（以下、底板部材４０とも言う）を備えている。例示した底板部材４０では、容器部３０の内底面３１ｉの平面形状に沿う形状の底部４３の前後両端左側に舌片部４１が連続的に形成されている。なお底板部材４０は、図５に示したように、当初は底部４３の前後両端に突起１４１が連続する一枚の金属板１４０であり、舌片部４１は突起１４１の延長途上（図中、点線１４２）から上方に立ち上げられることで形成されるようになっている。もちろん前後の舌片部４１を個別の二つの部材で構成してもよいが、実施例１ａのように前後の舌片部４１を一体的に形成すれば舌片部４１を容易に容器部３０内に設置することができ、部品点数も少なくなる。それによって製造コストの上昇を抑制することができる。
【００２０】
舌片部４１は左右の幅が容器側スリット３４より若干大きく、上端が容器部の上端に一致している。そして底板部材４０の底部４３を容器部３０の内底面３１ｉに載置すると、前方の舌片部４１の前面が前方の容器側スリット３４の周囲内面に当接し、後方の舌片部４１の後面が後方の容器側スリット３４の周囲内面に当接する。
【００２１】
舌片部４１には左右方向に延長するスリット（以下、舌片スリット４２とも言う）が形成されており、この舌片スリット４２は光ファイバ１１を導出するのに必要な最小限の上下幅を有している。筐体１ａを組み立てて光デバイス１０を内部に収納する際には、図６に示したように舌片スリット４２のそれぞれに光ファイバ１１を通し、その状態で底板部材４０と光デバイス１０を容器部３０内に収納する。そして容器部３０に蓋部材２０を被せた上で容器部３０の外底面３１ｏの周囲と蓋部材２０の下端との継ぎ目、および開口部４にエポキシ系接着剤などの封止剤を充填し、これを硬化させれば光デバイス１０が筐体１ａ内に密封され、光デバイスユニット１００ａが完成する。
【００２２】
ここで実施例に係る筐体１ａにおける封止剤の充填状態と内部空間の密封作用との関係について説明する。図７は当該密封作用を説明するための図であり、図７（Ａ）は実施例に係る筐体１ａにおける封止剤５０の充填経路１５０を示しており、図７（Ｂ）は図１に示したような底板部材４０が無い従来の光デバイス用筐体１における封止剤５０の充填経路１５０を示している。また図７（Ｃ）は実施例に係る筐体１ａにおける封止剤５０の硬化状態を示す図であり、図７（Ｄ）は従来の光デバイス用筐体１における封止剤５０の硬化状態を示す図である。
【００２３】
まず図７（Ａ）に示したように実施例に係る筐体１ａでは開口部４を封止剤で埋める際、その封止剤を舌片部４１の表面４４に塗布することができる。そのため封止剤は、図中太線矢印で示したように、開口部４の周囲における蓋部材２０と容器部３０との接触界面１１０ではなく、舌片部４１と容器部３０との接触界面１２０に毛細管現象によって浸透していく。そしてその浸透は舌片部４１の左右縁端４５で止まる。また光ファイバ１１の周囲が舌片部４１と接しているため、封止剤が光ファイバ１１に沿って筐体１ａ内に侵入する方向に流動しても舌片部４１に阻まれる。そのため供給した封止剤は効果的に開口部４を埋めていく。それによって図７（Ｃ）に示したように舌片部４１の表面４４に封止剤５０が盛られた状態で筐体１ａの開口部４を確実に塞ぐ。
【００２４】
一方図７（Ｂ）に示したように従来の筐体１では開口部４の周囲あるいは光ファイバ１１の周囲に封止剤を供給する。開口部４の周囲に封止剤を供給する場合は蓋部材２０と容器部３０との接触界面１１０に毛細管現象によって浸透していくため、実施例１ａよりもさらに多くの封止剤を供給する必要がある。また封止材の供給経路に依らず開口部４を封止すると封止材が必ず光ファイバ１１の周囲に付着することになり、舌片部４１がない比較例ではその封止材が光ファイバ１１に沿って筐体１内に侵入する。そして筐体１内に侵入した封止剤の一部は光デバイスにおける光ファイバ１１とその接続部材１２との接触部分１３にも入り込む可能性がある。そのため比較例では、図７（Ｄ）に示したように、毛細管現象による封止材の浸透を考慮しないと、開口部４が一旦塞がったとしても開口部４を埋めていた封止剤が浸透によって不足し、結果として開口部４にピンホール５１が発生する可能性がある。また光ファイバ１１を伝って筐体１内に侵入した封止剤５０が光デバイス１０における光ファイバ１１とその接続部材１２との接触部分１３に入り込んで硬化すれば、光ファイバ１１に不要なストレスが掛かり、光デバイス１０を組み立てる際に正しく調整しておいた光ファイバポート間の光軸がずれてしまう。
【００２５】
＜特性評価＞
図３、図４に示した上記実施例に係る筐体１ａについて、筐体１ａの底５における容器部３０と蓋部材２０との継ぎ目、および開口部４にエポキシ系接着剤からなる封止剤を充填し、これを硬化させて筐体１ａを密封した。このように密封した筐体１ａについて、まずＪＩＳ  Ｃ  ６００６８−２−１７に準拠した方法で防水試験を行った。そして筐体１ａを分解したところ、筐体１ａの内部に水分が侵入してないことを確認した。
【００２６】
つぎに同様にして密封した筐体１ａについて、封止剤の硬化に伴う光学特性の劣化の有無を確認した。ここでは図３および図４に示した実施例に係る筐体（以下、実施例１ａとも言う）と実施例１ａから底板部材４０を除いた筐体(以下、比較例とも言う）のそれぞれに光デバイス１０として２×２型の機械式光スイッチを収納した。そして実施例１ａと比較例のそれぞれの開口部４を封止剤で封止する前後で光デバイス１０の光学特性を測定した。具体的には、光デバイス１０を実施例１ａと比較例に収納し、まず封止剤で開口部４を封止する前に光デバイス１０を駆動し、前後方向で対面する所定の二つの光ファイバポート間に光路を形成させ、その状態で光ファイバポート間での光結合損失を測定した。次いで開口部４に封止剤を充填し、封止剤が硬化した後に再度光結合損失を測定した。なお比較例については防水試験に合格するのに必要な最小限の量の封止剤を用いて開口部４を封止した。
【００２７】
以下の表１に当該光結合損失の測定結果を示した。
【００２８】
【表１】
0006584081.tif 000002
表１に示したように、実施例１ａでは開口部４を封止する前後での光結合損失が０．４ｄＢで光結合損失が変化していなかった。すなわち実施例１ａでは光軸のずれが発生しない。すなわち光ファイバ１１や光デバイス１０おける光ファイバ１１の接続部材１２に封止剤が付着せず、光ファイバ１１に不要な応力が掛かっていないことが確認できた。一方比較例では封止前の光結合損失は実施例１ａと同じ０．４ｄＢであったが、封止後には光結合損失が１．０ｄＢまで増加し光軸のずれが発生した。
【００２９】
＝＝＝その他の実施例＝＝＝
本発明に係る光デバイス用筐体は上述した実施例１ａに限らず、種々の変形例や応用例がある。図８に本発明のその他の実施例に係る筐体１ｂを示した。図８（Ａ）は筐体１ｂを構成する容器部３０を示す斜視図である。図８（Ｂ）は筐体１ｂを左右方向から見たときの断面図であり、この筐体１ｂも容器側スリット３４の周囲内面に当接する舌片部４１を備えている。そしてこの実施例に係る筐体１ｂでは、図８（Ａ）に示したように容器側スリット３４の下端に蓋部材２０の前面２３や後面２４より突出する凸部３５が形成されている。それによって図８（Ｂ）に示したように、開口部４に充填された封止剤５０が蓋側スリット２４を伝って下方に流動しても凸部３５が堰となって封止剤５０が蓋側スリット２４の下端から流出するのを防止することができる。すなわち、より確実に開口部４が閉鎖され、かつ接着剤の使用量を低減させることができる。
【００３０】
光デバイス用筐体では内部を密封するため筐体内外の圧力差により蓋部材と容器部との継ぎ目や開口部などの筐体の内外を連絡する部位に充填された接着剤が内方あるいは外方に流動してしまう可能性がある。とくに封止剤として熱硬化型の接着剤を用いる場合に大きな問題となる。すなわち開口部４には多量の封止剤が充填されており、その多量の封止剤を熱硬化させる際に筐体自体の温度も上昇してしまう。そのため、閉鎖空間である筐体内部の圧力が増加し、継ぎ目や他方の開口部などにすでに充填されていた封止剤が外方に向かって噴出する可能性がある。そこで図９に示した筐体１ｃのように蓋部材２０の天面２１などに内外を連絡する小孔（以下、空気流通孔６０とも言う）を設け、筐体１ｃの内外に圧力差が生じないようにしてもよい。そして筐体１ｃを密封する際にはこの空気流通孔６０を最後に封止すればよい。なお空気流通孔６０は筐体１ｃの表面であればどこでも形成できるが、側面など蓋部材２０と容器部３０とが接触している部位では蓋部材２０と容器部３０の双方の同じ位置に空気流通孔６０を形成することになる。
【００３１】
上記実施例１ａでは舌片スリット４２が容器部３０や蓋部材２０のスリット（３４、２４）の延長方向と直交していたが平行であってもよい。なおこの場合は舌片部と筐体側のスリットが同方向に延長することになり、封止剤がその延長方向に沿って流動し易くなる。また封止材が硬化するまでは光ファイバを下支えすることができない。そのため封止剤の流動に伴って光ファイバ１１がスリットの延長方向に移動し易くなる。とくに実施例１ａのように片側から複数本の光ファイバ１１を導出する場合では、複数本の光ファイバの相互の間隔を一定に維持するために封止材がある程度硬化するまでは治具などを用いて光ファイバを支持しておく必要がある。
【００３２】
なお当然のことながら、筐体内に収納される光デバイスは２×２型の機械式光スイッチに限らず光ファイバが接続された状態の各種光デバイスであればいかなるものであってもよい。もちろん光ファイバは前後両面に限らず、前後いずれか一方の面から導出されていてもよい。
【符号の説明】
【００３３】
１、１ａ〜１ｃ  光デバイス用筐体、４  開口部、１０  光デバイス、
１１  光ファイバ、２０  蓋部材、２４  蓋側スリット、３０  容器部、
３４  容器側スリット、３５  凸部、４０  底板部材、４１  舌片部、
４２  舌片スリット、５０  封止剤、６０  空気流通孔
【図１】
0006584081.tif 000003
【図２】
0006584081.tif 000004
【図３】
0006584081.tif 000005
【図４】
0006584081.tif 000006
【図５】
0006584081.tif 000007
【図６】
0006584081.tif 000008
【図７】
0006584081.tif 000009
【図８】
0006584081.tif 000010
【図９】
0006584081.tif 000011