(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路に沿って移動する第１ローダ及び第２ローダを用いて、原版のパターンを基板に転写する露光装置における当該原版を搬送する搬送システムであって、
前記第１ローダは、前記原版の受け渡しを行う第１基準位置に関する第１情報を取得する第１検出手段と、前記第１情報を前記第２ローダに送信可能な第１通信手段と、を有し、
前記第２ローダは、前記原版の受け渡しを行う第２基準位置に関する第２情報を取得する第２検出手段と、前記第２情報を前記第１ローダに送信可能な第２通信手段と、を有し、
前記第２ローダは、前記第１ローダから送信された前記第１情報に基づいて前記原版の受け渡しを行い、
前記第１ローダは、前記第１基準位置を複数の受け渡し位置から選定し、
前記複数の受け渡し位置は、前記原版を保持する位置を含む、
ことを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記第１ローダは、前記第２ローダから送信された前記第２情報に基づいて前記原版の受け渡しを行う、
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記第１基準位置と前記第２基準位置とは、互いに異なる、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記第１及び第２通信手段は、前記第１及び第２情報に関して直接的に通信を行う、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記第１及び第２通信手段は、前記第１及び第２情報に関して中継手段を介して通信を行う、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記第２ローダは、前記第１基準位置と前記第２基準位置の差分であるオフセット量を算出し、前記オフセット量に基づいて前記第２基準位置を前記第１基準位置に補正することで、前記第１基準位置において前記原版の受け渡しを行う、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記搬送路は、第１処理を行う第１装置及び第２処理を行う第２装置に連設され、
前記第１基準位置は、前記第１装置内の位置、又は前記第１及び第２装置間の位置であり、
前記第２基準位置は、前記第２装置内の位置、又は前記第１及び第２装置間の位置である、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項８】
前記複数の受け渡し位置は、前記原版に一時的に付加される補正部材を保管し、取り付け、又は取り外す位置を含む、
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項９】
前記複数の受け渡し位置は、前記露光装置に隣設し、前記原版を保管する位置を含む、
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の搬送システムを含む露光システムであって、
原版のパターンを基板に転写する露光装置を複数含む、
ことを特徴とする露光システム。
【請求項１１】
原版のパターンを基板に転写する露光装置に用いられ、搬送路に沿って移動する第１ローダ及び第２ローダを備え、前記第１ローダ及び前記第２ローダを用いて前記原版を搬送する搬送システムであって、
前記第１ローダは、前記原版の受け渡しを行う基準位置に関する情報を取得する検出手段と、前記情報を前記第２ローダに送信可能な通信手段と、を有し、
前記第２ローダは、前記検出手段により取得され前記通信手段により送信された前記情報に基づいて前記原版の受け渡しを行い、
前記第１ローダは、前記基準位置を複数の受け渡し位置から選定し、
前記複数の受け渡し位置は、前記原版を保持する位置を含む、
ことを特徴とする搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システム及び露光システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示デバイスなどを製造する工程に含まれるリソグラフィ工程では、原版（マスク等）のパターンを、投影光学系を介して感光性の基板（表面にレジスト層が形成されたガラスプレート等）に転写する露光装置が用いられている。このような露光装置では、当該装置内部の原版ステージと当該装置外部との間で原版を搬送する搬送システムが採用されている。特許文献１は、搬送路を共通とする複数のマスクローダと、原版を一時保管する保管室とを有し、露光装置全体の省スペース化を図りつつ搬送効率を向上させる露光装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−４７９７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般的な搬送システムは、被搬送物（例えば原版）を搬送するマスクローダを、予め被搬送物の受け渡し位置であるすべてのステーションやステージに対してティーチングしてティーチングデータを取得することにより、その後の搬送が可能となる。したがって、特許文献１に開示されているように複数のマスクローダを有する搬送システムでは、それぞれのマスクローダについて個別にティーチングデータを取得することになるので、データの取得時間がより長くなる。
【０００５】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、例えば、複数のマスクローダを有する場合の総ティーチング時間の短縮に有利な搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の搬送システムは、搬送路に沿って移動する第１ローダ及び第２ローダを用いて、原版のパターンを基板に転写する露光装置における当該原版を搬送する搬送システムであって、前記第１ローダは、前記原版の受け渡しを行う第１基準位置に関する第１情報を取得する第１検出手段と、前記第１情報を前記第２ローダに送信可能な第１通信手段と、を有し、前記第２ローダは、前記原版の受け渡しを行う第２基準位置に関する第２情報を取得する第２検出手段と、前記第２情報を前記第１ローダに送信可能な第２通信手段と、を有し、前記第２ローダは、前記第１ローダから送信された前記第１情報に基づいて前記原版の受け渡しを行い、前記第１ローダは、前記第１基準位置を複数の受け渡し位置から選定し、前記複数の受け渡し位置は、前記原版を保持する位置を含む。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、例えば、複数のマスクローダを有する場合の総ティーチング時間の短縮に有利な搬送システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る搬送システムの要部構成を示す図である。
【図３】第１実施形態におけるローダ制御部の構成を示すブロック図である。
【図４】第１実施形態における教示手段の外観を示す図である。
【図５】第１実施形態におけるデータ取得工程の流れを示すフローチャートである。
【図６】第１実施形態におけるデータ共有工程の流れを示すフローチャートである。
【図７】本発明の他の実施形態に係る搬送システムの要部構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。
【００１０】
まず、本発明の一実施形態に係る搬送システムの構成について説明する。本実施形態に係る搬送システムは、リソグラフィ装置としての露光装置の内外間で原版を搬送するものであり、以下の説明では、一例として、原版が液晶表示デバイス製造用のマスクである場合を想定する。なお、以下の各図では、鉛直方向にＺ軸を取り、該Ｚ軸に垂直な平面内の一方向にＸ軸を取り、該Ｘ軸に直交する方向にＹ軸を取っている。
【００１１】
図１は、本実施形態に係る搬送システム１００の全体構成を示す概略図である。このうち、図１（ａ）は、Ｚ軸方向プラス側（鉛直方向上方）から見た平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に対する側面図である。搬送システム１００は、まず、複数の露光装置ＥＸに対して連設された１つの搬送路Ｒと、搬送路Ｒに沿って走行可能に設置された複数のマスクローダＭＬとを有する。以下、本実施形態では、露光装置ＥＸが２つ（第１露光装置ＥＸ１および第２露光装置ＥＸ２）あり、マスクローダＭＬが２つ（第１ローダＭＬ１および第２ローダＭＬ２）ある場合を例示する。なお、本発明は、これらに限らず、マスクローダＭＬが１つの搬送路Ｒに対して３つ以上設置されるものとしてもよいし、露光装置ＥＸについては、複数に限らず１つでもよい。
【００１２】
露光装置ＥＸは、マスクＭに形成されているパターンを、被処理基板であるガラスプレートＰ上（基板上）に投影露光する。露光装置ＥＸは、不図示であるが光源を含む照明光学系と、マスクステージＭＳと、投影光学系ＰＯと、プレートステージＰＳとを備える。光源は、露光光となる光線を射出するものであり、超高圧水銀ランプ等で構成される。照明光学系は、光源から入射された光線をマスクＭ上に集光する。マスクステージ（保持部）ＭＳは、マスクＭを吸着保持するための吸着部を有し、マスクＭを保持し移動可能である。投影光学系ＰＯは、マスクＭを透過して入射した露光光を、内部に設置された反射鏡で偏光特性を変化させつつ、マスクＭのパターンの像をプレートＰ上に結像させる。ここで、投影光学系ＰＯは、例えば、台形ミラー、凸面鏡および凹面鏡等を介してマスクＭのパターンの像をプレートＰ上に形成し、基板Ｐ上での投影領域は、所定形状（例えば円弧形状）に設定される。プレートステージＰＳは、プレートＰを保持し移動可能である。プレートステージＰＳに保持されているプレートＰと、マスクステージＭＳに保持されているマスクＭとは、投影光学系ＰＯを介して共役な位置関係に配置されている。
【００１３】
また、搬送システム１００は、２つのマスクローダＭＬを、マスクＭを受け渡すべき複数の目標位置（以下、「受け渡し位置」という。）に対して走行可能とする。まず、搬送システム１００は、１つの露光装置ＥＸにつき、１つのマスクステージＭＳと、４つのステーションＳＴとを受け渡し位置とする。例えば、第１露光装置ＥＸ１には、第１ステーションＳＴ１１から第４ステーションＳＴ１４までの４つのステーションが存在する。ここで、マスクＭは、プレートＰの大きさに合わせた大型の平板であるので、そのままでは自重の影響により撓みが生じる可能性がある。そこで、このような撓みを抑止するために、一般にマスクＭは、その表面に対向して透過性のマスクベント（補正部材）を取り付け、不図示の真空排気手段によりマスクベントとマスクＭとの間を真空排気することで、マスク形状を補正する。このようなことから、例えば、第１ステーションＳＴ１１および第４ステーションＳＴ１４を、マスクベントを一旦保持（保管）するマスクベント保持部とし得る。また、第２ステーションＳＴ１２を、マスクＭにマスクベントを取り付けるマスクベント取り付け部とし得る。そして、第３ステーションＳＴ１３を、マスクＭからマスクベントを取り外すマスクベント取り外し部とし得る。なお、第２露光装置ＥＸ２においても同様の搬送位置が存在するものとする。また、これらのステーションＳＴ構成は、一例であり、用途に応じて適宜変更可能である。
【００１４】
また、搬送システム１００は、さらに第１露光装置ＥＸ１と第２露光装置ＥＸ２との間に設置されているマスクステーションＳＴ０を受け渡し位置とする。マスクステーションＳＴ０の下部には、一度に複数のマスクＭを保持（保管）することができるマスクストッカ（保管部）ＳＫが設置されている。そして、マスクステーションＳＴ０において、不図示の搬送ロボットがマスクストッカＳＫとマスクローダＭＬとの間で適宜マスクＭの受け渡しを行い得る。特に、マスクステーションＳＴ０は、本実施形態のように第１露光装置ＥＸ１と第２露光装置ＥＸ２とのそれぞれに隣設する形で設置されることで、各露光装置ＥＸで共通化される。したがって、１つの露光装置に対して１つのマスクストッカを設置していた従来に比べて、露光装置が特に複数台存在する場合には、省スペース化が実現されるという利点がある。
【００１５】
図２は、搬送システム１００とマスクローダＭＬとの要部構成を示す概略図である。このうち、図２（ａ）は、搬送方向（Ｘ軸方向）に沿った側面図であり、図２（ｂ）は、搬送方向側から見た断面図である。マスクローダＭＬは、駆動部（駆動手段）８と、マスクＭを把持するマスクハンドＭＨと、位置センサ（検出手段）６と、通信部３と、ローダ制御部１とを有する。駆動部８は、マスクローダＭＬをＸ、Ｙ、Ｚ、θの各軸方向に移動可能である。マスクハンドＭＨは、開閉動作により、各受け渡し位置でのマスクＭの受け渡しが可能である。位置センサ６は、各受け渡し位置にそれぞれ設置されているターゲット７の位置を検出対象とし、マスクローダＭＬと各搬送位置との間のＸ、Ｙ、Ｚの各軸方向の距離を計測可能である。例えば、位置センサ６は、Ｘ軸用センサ６Ｘと、２つのＹ軸用センサ６Ｙ１、６Ｙ２と、Ｚ軸用のセンサ６Ｚとを含み、個々にＸ軸用ターゲット７Ｘと、２つのＹ軸用ターゲット７Ｙ１、７Ｙ２と、Ｚ軸用のターゲット７Ｚとに対応する。通信部３（通信手段）は、図２（ａ）に示すように、各マスクローダＭＬ間で、後述するティーチングデータの送受信が可能である。
【００１６】
図３は、ローダ制御部１の概略構成を示すブロック図である。ローダ制御部１は、データ取得部（取得手段）２と、記憶部４と、データ生成部５と、駆動制御部９とを含む。データ取得部２は、当該マスクローダＭＬとは異なる特定のマスクローダＭＬからティーチングデータを取得するかを判断し、取得する場合には、通信部３に他の特定のマスクローダＭＬの通信部３からティーチングデータを取得させる。ここで、ティーチングとは、マスクローダＭＬと各受け渡し位置との間で精度良くマスクＭの受け渡しを可能とするために、理想的なマスクＭの受け渡し位置を座標として記憶する作業をいう。また、この理想的な受け渡し位置となるマスクローダＭＬの座標に関するデータをティーチングデータという。記憶部４は、各位置センサ６から出力された計測値と、ティーチングデータおよびオフセット量とを保存（記憶）する。なお、記憶部４に保存されるティーチングデータには、位置センサ６の検出により取得されたデータと、データ取得部２が通信部３を介して他のマスクローダＭＬから取得したデータとの双方を含む。データ生成部（補正手段）５は、記憶部４に保存されている各位置センサ６の計測値をティーチングデータに変換したり、オフセット量を算出したり、このオフセット量に基づいてティーチングデータを補正したりする。なお、θ軸についてのティーチングデータは、Ｙ軸用センサ６Ｙ１、６Ｙ２の計測値とＹ軸用センサ間の距離Ｙの値とを用いて演算することで得られる。駆動制御部９は、データ生成部５で最終的に決定されたティーチングデータに従って、駆動部８の動作を制御する。また、リモコン受信部１１は、後述する教示手段１０からの指示信号を受信し、ローダ制御部１に入力する。
【００１７】
図４は、ユーザがマスクローダＭＬに対してティーチング動作を指示可能とする教示手段１０の外観を示す概略図である。教示手段１０は、いわゆるリモコンであり、例えば、ユーザがそれぞれ操作可能とする、マニュアル操作ボタン１０Ｍ、「ＴＥＡＣＨ」ボタン１０Ｔおよび「ＳＥＮＤ」ボタン１０Ｓを有する。マニュアル操作ボタン１０Ｍは、マスクローダＭＬの各軸の位置をマニュアル操作で調整するためのボタンである。「ＴＥＡＣＨ」ボタン１０Ｔは、理想の受け渡し位置でのティーチングデータを登録するためのボタンである。「ＳＥＮＤ」ボタン１０Ｓは、１つのマスクローダＭＬ（例えば第１ローダＭＬ１）のティーチングデータを、他のマスクローダＭＬ（例えば第２ローダＭＬ２）に送信するためのボタンである。なお、教示手段１０は、１つのマスクローダＭＬに対して１つずつ存在する。
【００１８】
次に、本実施形態におけるマスクローダＭＬのティーチング方法について説明する。図５は、本実施形態におけるティーチングデータ取得工程の流れを示すフローチャートである。以下、一例として、第１ローダＭＬ１に第１ステーションＳ１１の位置をティーチングする（ティーチングデータを取得する）方法について説明する。まず、ユーザは、第１ローダＭＬ１用の教示手段１０のマニュアル操作ボタン１０Ｍを操作し、第１ローダＭＬ１を第１ステーションＳＴ１１上に移動させる（ステップＳ１０１）。次に、ユーザは、さらに教示手段１０を操作し、第１ローダＭＬ１を第１ステーションＳＴ１１での理想の受け渡し位置まで移動させる（ステップＳ１０２）。次に、ユーザは、教示手段１０の「ＴＥＡＣＨ」ボタン１０Ｔを押下することで、第１ローダＭＬ１のデータ取得部２は、この受け渡し位置を各位置センサ６に検出させ、得られたＸ、Ｙ、Ｚの各軸方向の計測値を記憶部４に保存する（ステップＳ１０３）。次に、データ生成部５は、各位置センサ６で得られた計測値をそれぞれティーチングデータＭＬ１（ＸＳ１１、ＹＳ１１、θＳ１１、ＺＳ１１）に変換し（ステップＳ１０４）、得られたティーチングデータを記憶部４に保存する。これにより、第１ローダＭＬ１と第１ステーションＳＴ１１との間でのマスクＭの受け渡し準備が完了し、駆動制御部９は、得られたティーチングデータに基づいて、以後受け渡し動作が可能となる。
【００１９】
さらに、ユーザは、第１ローダＭＬ１のローダ制御部１にティーチング処理を実行させる作業を、マスクステーションＳＴ０、第２ステーションＳＴ１２〜第４ステーションＳＴ１４、マスクステージＭＳ１の他の受け渡し位置についても実施する。これにより、第１ローダＭＬ１とこれらの受け渡し位置との間のマスクＭの受け渡しが可能となる。また、上記の第１ローダＭＬ１に対するティーチングと同様に、ユーザは、第２ローダＭＬ２に対するティーチングを実施する。これにより、第２ローダＭＬ２と、マスクステーションＳＴ０、第１ステーションＳＴ２１〜第４ステーションＳＴ２４、マスクステージＭＳ２の各受け渡し位置との間のマスクＭの受け渡しが可能となる。
【００２０】
ここで、この時点では、第１ローダＭＬ１から、第２露光装置ＥＸ２内の第１ステーションＳＴ２１〜第４ステーションＳＴ２４およびマスクステージＭＳ２の各受け渡し位置へマスクＭを受け渡すためのティーチングデータが存在しない。同様に、第２ローダＭＬ２から、第１露光装置ＥＸ１内の第１ステーションＳＴ１１〜第４ステーションＳＴ１４およびマスクステージＭＳ１の各受け渡し位置へマスクＭを受け渡すためのティーチングデータも存在しない。そのため、第１ローダＭＬ１と第２露光装置ＥＸ２内の各受け渡し位置との間、および、第２ローダＭＬ２と第１露光装置ＥＸ１内の各受け渡し位置との間では、マスクＭの受け渡しはできない。そこで、本実施形態では、これらの間でもマスクＭの受け渡しを可能とするための処理として、第１ローダＭＬ１と第２ローダＭＬ２との間で、それぞれが有するティーチングデータを送受信し合うことで、ティーチングデータを共有させる。
【００２１】
図６は、本実施形態におけるティーチングデータ共有工程の流れを示すフローチャートである。以下、一例として、第１ローダＭＬ１の記憶部４に保存されているティーチングデータを第２ローダＭＬ２の記憶部４へ送信する（ティーチングデータを共有させる）方法について説明する。まず、ユーザは、第１ローダＭＬ１用の教示手段１０の「ＳＥＮＤ」ボタン１０Ｓを押下する。これを受けて、第１ローダＭＬ１のデータ取得部２は、記憶部４に保持しているティーチングデータを、第１ローダＭＬ１の通信部３から直接的に第２ローダＭＬ２の通信部３に送信する（ステップＳ２０１）。
【００２２】
次に、第２ローダＭＬ２のデータ取得部２は、第１ローダＭＬ１のティーチングデータが適切に受信され、第２ローダＭＬ２の記憶部４に保存されたかどうかを判断する（ステップＳ２０２）。ここで、データ取得部２は、ティーチングデータが適切に保存されていないと判断した場合（Ｎｏ）、ステップＳ２０２を繰り返す。
【００２３】
一方、データ取得部２は、ステップＳ２０２にて適切に保存されたと判断した場合（Ｙｅｓ）、次に、データ生成部５は、第２ローダＭＬ２が採用するに適したティーチングデータに補正するためのオフセット量を算出する（ステップＳ２０３）。ここで、第２ローダＭＬ２の記憶部４には、同一の受け渡し位置であるマスクステーションＳＴ０に関する、第１ローダＭＬ１で取得されたティーチングデータと、第２ローダＭＬ２で取得されたティーチングデータとが保存されている。そこで、第２ローダＭＬ２のデータ生成部５は、マスクステーションＳＴ０を基準としての受け渡し位置に選定し、この同一の受け渡し位置についてのこれらのティーチングデータの差分を取ることで、所望のオフセット量とすることができる。具体的には、データ生成部５は、第２ローダＭＬ２で取得されたティーチングデータＭＬ２（ＸＳ０、ＹＳ０、θＳ０、ＺＳ０）と、第１ローダＭＬ１で取得されたティーチングデータＭＬ１（ＸＳ０、ＹＳ０、θＳ０、ＺＳ０）との差分を算出する。そして、データ生成部５は、その算出結果をオフセット量とし、記憶部４に保存する。
【００２４】
そして、第２ローダＭＬ２のデータ生成部５は、ステップＳ２０３にて算出されたオフセット量に基づいて、第１ローダＭＬ１から取得したティーチングデータを、第２ローダＭＬ２が採用するに適したティーチングデータに補正する（ステップＳ２０４）。具体的には、データ生成部５は、ステップＳ２０３にて算出されたオフセット量を、記憶部４に保存されている各受け渡し位置についての各ティーチングデータに加算させることで、当該補正されたティーチングデータを求め、記憶部４に保存する。これにより、第２ローダＭＬ２は、これらのティーチングデータを用いることで、第１ステーションＳＴ１１〜第４ステーションＳＴ１４およびマスクステージＭＳ１とのそれぞれの間でマスクＭの受け渡しを行うことが可能となる。
【００２５】
また、上記の第２ローダＭＬ２における、第１ローダＭＬ１から取得したティーチングデータの共有工程と同様に、ユーザは、第１ローダＭＬ１に対しても、第２ローダＭＬ２から取得したティーチングデータの共有工程を実行させる。これにより、第１ローダＭＬ１は、これらのティーチングデータを用いることにより、第１ステーションＳＴ２１〜第４ステーションＳＴ２４およびマスクステージＭＳ２とのそれぞれの間でマスクＭの受け渡しを行うことが可能となる。
【００２６】
このように、搬送システム１００では、例えば、第１ローダＭＬ１が位置検出によりティーチングデータを取得した各受け渡し位置のうちの一部の受け渡し位置では、第２ローダＭＬ２は、ティーチングデータを取得するための位置検出を行わない。そして、第２ローダＭＬ２が位置検出を行わなかった受け渡し位置についてのティーチングデータは、その受け渡し位置で位置検出によりティーチングデータを取得した第１ローダＭＬ１から通信部３を介して取得する。これは、その他のマスクローダＭＬについても同様である。すなわち、各マスクローダＭＬは、それぞれのすべての受け渡し位置についてのティーチングデータを取得するための位置検出を行う必要がない。したがって、搬送システム１００は、各マスクローダＭＬ間でティーチングデータの送受信を行わない（送受信を行う通信部を有さない）従来の搬送システムに比べて、総ティーチング時間を短縮させることができる。
【００２７】
以上のように、本実施形態によれば、複数のマスクローダを有する場合の総ティーチング時間の短縮に有利な搬送システムを提供することができる。
【００２８】
なお、上記説明では、各マスクローダＭＬに備えられているそれぞれの通信部３が直接的にティーチングデータを送受信するものとしている。ただし、本発明は、このような構成に限定されるものではない。例えば、搬送システム１００の動作を統括的に制御する統括制御部などが存在する場合には、統括制御部も通信部を有するものとした上で、中継手段としての統括制御部を介して間接的に各マスクローダＭＬ間のティーチングデータの送受信を行うものとしてもよい。図７は、この場合の実施形態に係る搬送システム１００の要部構成を示す概略図である。例えば、第１ローダＭＬ１が第２ローダＭＬ２へティーチングデータを送信する場合には、第１ローダＭＬ１の通信部３は、一旦、統括制御部１０１の通信部１０２にティーチングデータを送信する。その後、統括制御部１０１の通信部１０２は、第２ローダＭＬ２の通信部３に向けてそのティーチングデータを送信する。ここで、各マスクローダＭＬ間のティーチングデータの送受信の中継をする中継手段は、単に通信の中継のみ行うものでもよいし、特に統括制御部である場合などには、ティーチングデータを一旦保持し、そのデータを処理する工程を含むものであってもよい。
【００２９】
また、上記説明では、露光装置ＥＸが２つあり、マスクローダＭＬも２つあることを想定したが、本発明は、これらに限らない。例えば、マスクローダＭＬが１つの搬送路Ｒに対して３つ以上設けられるものとしてもよい。この場合にも、３つ以上の複数のマスクローダＭＬで互いにティーチングデータの送受信が行われることになる。また、露光装置ＥＸについては、複数に限らず１つでもよい。露光装置ＥＸが１つの場合でも、特にオフセット量を算出するための基準となる受け渡し位置を少なくとも１つ選定して通信部３により取得したティーチングデータを補正する点は上記と同様である。そして、そのときの基準となる受け渡し位置は、露光装置ＥＸに隣設するマスクステーションＳＴ０でも、露光装置ＥＸ内部の他のステーションＳＴでも構わない。
【００３０】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【符号の説明】
【００３１】
１    ローダ制御部
３    通信部
６    位置センサ
８    駆動部
ＥＸ  露光装置
ＭＬ  マスクローダ
Ｒ    搬送路
【図１】
0006587423.tif 000002
【図２】
0006587423.tif 000003
【図３】
0006587423.tif 000004
【図４】
0006587423.tif 000005
【図５】
0006587423.tif 000006
【図６】
0006587423.tif 000007
【図７】
0006587423.tif 000008