(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
変色材を有するインジケータ本体と、前記インジケータ本体の一方の面に配置される第１シートと、前記インジケータ本体の他方の面に配置される第２シートとを含み、
前記インジケータ本体は、基材と、前記基材の第１面に配置される前記変色材と、前記基材の第２面の少なくとも一部に設けられる本体側粘着層とを備え、
前記第１シートは、シール材と、前記シール材のうちの内面に設けられるシール側粘着層と、第１突出部とを有し、前記シール材が前記シール側粘着層を介して前記インジケータ本体の基材に剥離可能に設けられ、かつ、前記変色材の全体を覆いかつ前記第１突出部が前記基材の端縁から突出するように前記インジケータ本体の前記変色材側に配置され、
前記第２シートは、第２突出部を有し、前記第２突出部が前記第１突出部の端縁から突出するように前記インジケータ本体の前記本体側粘着層側に配置される
インジケータ。
【請求項２】
前記第１シート及び前記第２シートのいずれか一方が他方よりも曲げ弾性率が小さい、
請求項１に記載のインジケータ。
【請求項３】
前記第１シートの前記シール側粘着層は、前記インジケータ本体の前記本体側粘着層よりも粘着力が弱い
請求項１または請求項２に記載のインジケータ。
【請求項４】
前記インジケータ本体及び前記第１シートにより構成されるインジケータ半体の周縁部の少なくとも一部分には、前記第２シートが剥離する剥離部が設けられている
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のインジケータ。
【請求項５】
前記第１シートの前記シール側粘着層には、前記変色材に対応して開口部が設けられている
請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のインジケータ。
【請求項６】
前記第１シートは、前記インジケータ本体の全体を覆いかつ前記インジケータ本体の端縁の少なくとも一箇所から食み出る
請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載のインジケータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出結果を色変化で表示するインジケータに関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマ、所定のガス、紫外線、電子線等の有無または濃度等を検出してこの検出を色の変化として表示するインジケータが知られている。例えば、ガスを検出するインジケータとして、特許文献１に記載の技術が知られている。
【０００３】
特許文献１の図２に記載のインジケータは、インジケータ本体と、インジケータ本体を包装する２枚のシートとを備える。インジケータ本体は２枚のシートにより封止される。２枚のシートはインジケータ本体を挟みかつインジケータ本体に密着する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３０９１９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、このように、２枚のシートがインジケータ本体に密着してインジケータ本体を挟む場合、２枚のシートからインジケータ本体を取り出すのが難しい。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、インジケータ本体を取り出し易いインジケータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）上記課題を解決するインジケータは、変色材を有するインジケータ本体と、前記インジケータ本体の一方の面に配置される第１シートと、前記インジケータ本体の他方の面に配置される第２シートとを備え、前記第１シート及び前記第２シートのいずれか一方が他方よりも曲げ弾性率が小さい。
【０００７】
この構成によれば、第１シート及び第２シートの一方が他方よりも曲げ易くなっているため、第１シートと第２シートとを互いに引き離すときに、一方を他方よりも大きい曲率で曲げることができる。このため、第１シート及び第２シートの他方から一方（曲げ易いシート）を引き剥がし易くなり、２枚のシートからインジケータ本体を取り出し易くなる。
【０００８】
（２）上記インジケータにおいて、前記第１シートの少なくとも一部分が前記第２シートから食み出る、または前記第２シートの少なくとも一部分が前記第１シートから食み出る。
【０００９】
この構成によれば、第１シート及び第２シートのいずれか一方が他方から食み出ているため、食み出ている部分を押さえることまたは把持することが可能であり、第１シート及び第２シートの一方だけに力を加えて湾曲させることができる。これにより、一方のシートから他方のシート及びインジケータ本体を容易に引き剥がすことができるようになる。
【００１０】
（３）上記課題を解決するインジケータは、変色材を有するインジケータ本体と、前記インジケータ本体の一方の面に配置される第１シートと、前記インジケータ本体の他方の面に配置される第２シートとを備え、前記第１シートの少なくとも一部分が前記第２シートから食み出る、または前記第２シートの少なくとも一部分が前記第１シートから食み出る。
【００１１】
この構成によれば、第１シート及び第２シートのいずれか一方が他方から食み出ているため、食み出ている部分を押さえることまたは把持することが可能であり、第１シート及び第２シートの一方だけに力を加えて湾曲させることができる。これにより、一方のシートから他方のシート及びインジケータ本体を容易に引き剥がすことができるようになる。
【００１２】
（４）上記インジケータにおいて、前記インジケータ本体は、基材と、前記基材の第１面に配置される前記変色材と、前記基材の第２面の少なくとも一部に設けられる本体側粘着層とを備え、前記第１シートは、シール材と、前記シール材のうちの内面に設けられるシール側粘着層とを有し、前記第１シートは、前記インジケータ本体の前記変色材側に配置され、前記第２シートは前記インジケータ本体の前記本体側粘着層側に配置される。
【００１３】
この構成によれば、インジケータから第２シートを剥がすと、インジケータ本体が第１シートに支持されるようになる。この状態のとき、変色材は第１シートにより封止されている。このため、インジケータ本体を貼付対象物に貼り付けるまで、インジケータ本体の変色材が道具や衣服等であって不純物付着の要因となり得る汚染物に接触することがない。これにより、貼付対象物へのインジケータ本体の貼り付け作業の困難性が軽減される。
【００１４】
（５）上記インジケータにおいて、前記第１シートの前記シール側粘着層は、前記インジケータ本体の前記本体側粘着層よりも粘着力が弱い。
この構成によれば、貼付対象物に対してインジケータ本体よりも第１シートが剥がれ易くなる。このため、貼付対象物にインジケータ本体を残して第１シートだけを引き剥がすときに、インジケータ本体が第１シートに貼り付いて第１シートとともにインジケータ本体が貼付対象物から剥がれるといった事態の発生を抑制することができる。また、上記構成によれば、第１シートのシール側粘着層の粘着力が弱くなることから、インジケータ本体の使用の際に第１シートをインジケータ本体から引き剥がすときに変色材の一部またはその表面部分を剥離させるような事態の発生または変色材の表面にシール側粘着層の残渣を残すような事態の発生を抑制することができる。
【００１５】
（６）上記インジケータにおいて、前記インジケータ本体及び前記第１シートにより構成されるインジケータ半体の周縁部の少なくとも一部分には、前記第２シートが剥離する剥離部が設けられている。
【００１６】
この構成によれば、剥離部においてインジケータ半体から第２シートが剥離するため、剥離部から第２シートを容易に引き剥がすことができる。また、インジケータ本体を使用した後、貼付対象物から引き剥がすときに、剥離部からインジケータ本体を容易に引き剥がすことができる。
【００１７】
（７）上記インジケータにおいて、前記第１シートの一端縁と前記第２シートの一端縁と前記インジケータ本体の一端縁とが一致し、前記剥離部は、前記本体側粘着層において前記インジケータ本体の前記一端縁に対応する部分であってかつ剥離材が設けられた部分として、構成されている。この構成によれば、本体側粘着層において剥離材が設けられた部分は第２シートに接着しない。このため、この部分から第２シートを容易に引き剥がすことができる。
【００１８】
（８）上記インジケータにおいて、前記第１シートの一端縁と前記第２シートの一端縁と前記インジケータ本体の一端縁とが一致し、前記剥離部は、前記インジケータ本体の前記一端縁において前記基材が前記本体側粘着層から露出する部分として、構成される。この構成によれば、基材が本体側粘着層から露出する部分が第２シートに接着しない。このため、この部分から第２シートを容易に引き剥がすことができる。
【００１９】
（９）上記インジケータにおいて、前記第１シートの一端縁と前記第２シートの一端縁とが一致し、かつ前記インジケータ本体の一端縁が前記第１シートの一端縁よりも内側に位置し、前記剥離部は、前記第１シートの前記一端縁において前記第１シートの前記シール材が前記シール側粘着層から露出する部分として、構成される。この構成によれば、第１シートのシール材がシール側粘着層から露出する部分が第２シートに接着しない。このため、この部分から第２シートを容易に引き剥がすことができる。
【００２０】
（１０）上記インジケータにおいて、前記第１シートの前記シール側粘着層には、前記変色材に対応して開口部が設けられている。
この構成によれば、第１シートのシール側粘着層の成分が変色材に付着することを抑制することができる。
【００２１】
（１１）上記インジケータにおいて、前記第１シートは、前記インジケータ本体の全体を覆いかつ前記インジケータ本体の端縁の少なくとも一箇所から食み出る。
この構成によれば、第１シートのうちでインジケータ本体の端縁の少なくとも一箇所から食み出ている部分を把持することができる。このため、インジケータ本体の貼り付け作業において、インジケータ本体のうちで変色材の配置側を道具や衣服等であって不純物付着の要因となり得る汚染物に接触させることなくインジケータ本体を貼付対象物に貼り付けることができる。
【００２２】
（１２）上記インジケータにおいて、前記第２シートは、少なくとも２個のシート片に分割されている。
この構成によれば、インジケータを第２シートの分割部で曲げることにより、シート片の分割側の端縁をインジケータ本体から離れ易くすることができる。これにより、第２シートの引き剥がしが容易になる。
【００２３】
（１３）上記インジケータにおいて、前記第２シートの曲げ弾性率は、前記第１シートの曲げ弾性率よりも小さい。この構成によれば、第２シートが第１シートよりも曲げ易くなっているため、第１シートと第２シートとを互いに引き離すときに、第２シートを第１シートよりも大きい曲率で曲げることができる。このため、第１シート及びインジケータ本体から第２シートを剥がし易くなり、２枚のシートからインジケータ本体を取り出し易くなる。
【００２４】
（１４）上記インジケータにおいて、前記第１シートと前記第２シートとは同じ材料で形成されており、前記第２シートは、前記第１シートよりも薄い。
この構成によれば、第２シートが第１シートよりも曲げ易くなる。これにより、上述と同様の理由により、インジケータ本体が第１及び第２シートから取り出し易くなる。
【００２５】
（１５）上記インジケータにおいて、前記第２シートは前記第１シートよりも低弾性率材料により形成されている。
この構成によれば、第２シートが第１シートよりも曲げ易くなる。これにより、上述と同様の理由により、インジケータ本体が第１及び第２シートから取り出し易くなる。
【００２６】
（１６）上記インジケータにおいて、前記第１シートは補強材を含む。
この構成によれば、第２シートが第１シートよりも曲げ易くなる。これにより、上述と同様の理由により、インジケータ本体が第１及び第２シートから取り出し易くなる。
【００２７】
（１７）上記インジケータにおいて、前記第１シート及び前記第２シートはともに補強材を含み、前記第１シートの補強材及び前記第２シートの補強材は同じ材料であり、前記第２シートにおける補強材の含有量が前記第１シートにおける補強材の含有量よりも小さい。この構成によれば、第２シートが第１シートよりも曲げ易くなる。これにより、上述と同様の理由により、インジケータ本体が第１及び第２シートから取り出し易くなる。
【００２８】
（１８）上記インジケータにおいて、前記第１シート及び前記第２シートはともに補強材を含み、前記第２シートの補強材が前記第１シートの補強材よりも低弾性である。この構成によれば、第２シートが第１シートよりも曲げ易くなる。これにより、上述と同様の理由により、インジケータ本体が第１及び第２シートから取り出し易くなる。
【発明の効果】
【００２９】
上記インジケータによれば、インジケータ本体を取り出し易い。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】第１実施形態に係るインジケータの平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿うインジケータの断面図。
【図３】第１実施形態に係るインジケータの底面図。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、第１実施形態に係るインジケータの貼り付け作業工程を示す工程図。
【図５】第２実施形態に係るインジケータの平面図。
【図６】図５のＢ−Ｂ線に沿うインジケータの断面図。
【図７】第２実施形態に係るインジケータの剥離部の変形例を示す断面図。
【図８】第２実施形態に係るインジケータの剥離部の変形例を示す断面図。
【図９】第３実施形態に係るインジケータの平面図。
【図１０】図９のＣ−Ｃ線に沿うインジケータの断面図。
【図１１】第３実施形態に係るインジケータについて、第２シートを湾曲させたときのインジケータを示す図。
【図１２】他の実施形態に係るインジケータの平面図。
【図１３】他の実施形態に係るインジケータの平面図。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
［第１実施形態］
図１〜図４を参照して、第１実施形態に係るインジケータについて説明する。本実施形態では、プラズマを検出するインジケータ１を例に挙げる。
【００３２】
図１及び図２に示されるように、インジケータ１は、インジケータ本体３と、第１シート１０と、第２シート２０とを備える。
インジケータ本体３は、第１シート１０と第２シート２０とに挟まれることにより封止される。すなわち、インジケータ１は、手でインジケータ本体３を触れることができないようにする封止構造を有する。
【００３３】
インジケータ本体３は、プラズマ発生装置のチャンバー内に配置される。インジケータ本体３が貼り付けられる物（以下、「貼付対象物１００」という。）としては、例えば、ガス管、プラズマ処理の対象となるプラズマ対象物（例えば、シリコンウェハー、プリント基板、樹脂シート等。）、プラズマ対象物を載せる載置台、プラズマを発生させる電極、チャンバー壁等が挙げられる。
【００３４】
インジケータ本体３は、基材４と、プラズマにより変色する変色材５と、本体側粘着層６とを備える。
基材４は、可撓性を有する。基材４は、例えば、ＰＥ（ポリエチレン）樹脂、ＰＰ（ポリプロピレン）樹脂、ＰＳ（ポリスチレン）樹脂、ＡＳ（アクリロニトリルスチレン）樹脂、ＡＢＳ（アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体）樹脂、ポリ塩化ビニル等のビニル樹脂、ＰＭＭＡ（アクリル−メタクリル）樹脂、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂、ＰＡ（ナイロン）樹脂、ＰＯＭ（ポリアセタール）樹脂、ＰＣ（ポリカーボネート）樹脂、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）樹脂、ＰＰＳ（ポリフェニレンスルファイド）樹脂、ＰＩ（ポリイミド）樹脂、ＰＥＩ（ポリエーテルイミド）樹脂、ＰＳＦ（ポリスルフォン）樹脂、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）樹脂、ＰＣＴＦＥ（フッ素）樹脂、ＰＡＩ（ポリアミドイミド）樹脂、ＰＦ（フェノール）樹脂、ＵＦ（ユリア）樹脂、ＭＦ（メラミン）樹脂、ＵＰ（不飽和ポリエステル）樹脂、ＰＵ（ポリウレタン）樹脂、ＰＤＡＰ（アリル）樹脂、ＥＰ（エポキシ）樹脂、ＳＩ（シリコーン）樹脂、ＦＦ（フラン）樹脂、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ビニロン樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、等により形成される。これらの樹脂のうち特に、ＰＩ（ポリイミド）樹脂、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂が好適に用いられ得る。また、基材４は、これらを要素とする群から選択される少なくとも１つにより形成される。また、基材４は、この群から選択される所定の材料にフィラーまたはファイバーを含ませた樹脂により形成され得る。更に、基材４は、これら樹脂により形成されたシートの積層体として構成され得る。基材４の厚さ（寸法値）は、５μｍ以上１０００μｍ以下の所定値に規定される。
【００３５】
変色材５は、基材４の第１面４ａに形成される。変色材５の形状は限定されない。例えば、変色材５は、円形、楕円形、矩形、長円、平行四辺形、多角形等に形成される。
変色材５の厚さは限定されない。例えば、変色材５の厚さは、５００ｎｍ以上２ｍｍ以下の厚さに規定され得る。一例として、変色材５の厚さは、１０μｍ以上２０μｍ以下の所定値に規定される。
【００３６】
変色材５は、変色層だけで構成される場合と、変色層と非変色層とにより構成される場合がある。変色層とは、プラズマにより変色する層であり、非変色層とは、プラズマにより変色しない層を示す。変色層と非変色層とは互いに隣り合うように配置されたり、両者が積層されるようにして配置されたりする。変色層の変色前の色（色相、彩度、明度。以下同じ。）、及び非変色層の色は、変色層の変色後においてその変色が視認することが可能なように設定される。
【００３７】
変色層の材料は、プラズマの種類に応じて選択される。
変色層は、少なくとも、プラズマにより変色する変色剤と、バインダー樹脂とを含む。変色材５には、変色促進剤として、ノニオン系界面活性剤及びカチオン系界面活性剤の一方がまたはこの両方が含まれ得る。このほか、変色材５には、消泡剤、増量剤、レベリング剤等が含まれ得る。
【００３８】
変色剤としては、有機系の変色剤及び無機系の変色剤のいずれも用いられ得る。
有機系の変色剤としては、例えば、アントラキノン系色素、アゾ系色素、フタロシアニン系色素、メチン系色素等が挙げられる。これらの色素は、併用可能である。
【００３９】
無機系の変色剤としては、プラズマにより価数が変化する金属が用いられる。このような金属として、Ｍｏ、Ｗ、Ｓｎ、Ｖ、Ｃｅ、Ｔｅ、Ｂｉ等が挙げられる。例えば、変色剤として、酸化モリブデン（ＩＶ）、酸化モリブデン（ＶＩ）、酸化タングステン（ＶＩ）、酸化スズ（ＩＶ）、酸化バナジウム（II）、酸化バナジウム（ＩＩＩ）、酸化バナジウム（ＩＶ）、酸化バナジウム（Ｖ）、酸化セリウム（ＩＶ）、酸化テルル（ＩＶ）、酸化ビスマス（ＩＩＩ）、水酸化セリウム（ＩＶ）、水酸化ビスマス（ＩＩＩ）、水酸化バナジウム（ＩＩＩ）、水酸化モリブデン（Ｖ）、炭酸酸化ビスマス（ＩＩＩ）、酸化硫酸バナジウム（ＩＶ）、モリブデン酸アンモニウム、モリブデン酸ナトリウム、モリブデン酸カリウム、タングステン酸ナトリウム、タングステン酸アンモニウム、オルトバナジン酸ナトリウム、メタバナジン酸アンモニウム、メタバナジン酸ナトリウムが挙げられる。これらは、併用可能である。すなわち、変色層は、これらの無機化合物を要素とする群から選択される少なくとも１つが含まれるように構成される。
【００４０】
バインダー樹脂としては、例えば、マレイン酸樹脂、ケトン樹脂、アルキルフェノール樹脂、ロジン変性樹脂、ブチラール樹脂、セルロース系樹脂、ポリエステル系樹脂、スチレンマレイン酸樹脂、スチレンアクリル酸樹脂、アクリル系樹脂等が用いられ、バインダー樹脂は、これらの樹脂群から選択される少なくとも１種により構成される。
【００４１】
本体側粘着層６は、基材４の第２面４ｂに形成される。
本体側粘着層６は、基材４の第２面４ｂの一部分だけを覆うように、また第２面４ｂの全体を覆うように形成され得る。本体側粘着層６の厚さは、例えば、０．１μｍ以上１００μｍ以下の所定値に規定される。
【００４２】
本体側粘着層６としては、アクリル樹脂系接着剤、アクリル樹脂エマルジョン接着剤、アクリル樹脂系粘着テープ、α−オレフィン系接着剤、ウレタン樹脂系接着剤、ウレタン樹脂溶剤系接着剤、ウレタン樹脂エマルジョン接着剤、エーテル系セルロース、エチレン−酢酸ビニル樹脂エマルジョン接着剤、エポキシ樹脂系接着剤、エポキシ樹脂エマルジョン接着剤、塩化ビニル樹脂溶剤系接着剤、クロロプレンゴム系接着剤、酢酸ビニル樹脂エマルジョン接着剤、シアノアクリレート系接着剤、シリコーン系接着剤、水性高分子−イソシアネート系接着剤、スチレン−ブタジエンゴム系ラテックス接着剤、スチレン−ブタジエンゴム系ラテックス接着剤、ニトリルゴム系接着剤、ニトロセルロース接着剤、フェノール樹脂系接着剤、変成シリコーン系接着剤、ポリイミド系接着剤、ポリ酢酸ビニル樹脂溶液系接着剤、ポリスチレン樹脂溶剤系接着剤、ポリビニルアルコール系接着剤、ポリビニルピロリドン樹脂系接着剤、ポリビニルブチラール樹脂系接着剤、ポリベンズイミダソール接着剤、ポリメタクリレート樹脂溶液系接着剤、メラミン樹脂系接着剤、ユリア樹脂系接着剤、レゾルシノール系接着剤、天然ゴム系接着剤、天然ゴムラテックス接着剤、デンプン系接着剤、カゼイン接着剤等が挙げられる。このうち、アクリル樹脂系接着剤、アクリル樹脂エマルジョン接着剤、アクリル樹脂系粘着テープ、シリコーン系接着剤が好適に用いられ得る。また、特に、シリコーン系粘着剤は、耐熱性に優れていること、残渣を発生させ難いことから、高温処理が行われる装置内または高い清浄度が必要とされる装置内で用いられるインジケータ１に対して好適に用いられ得る。残渣とは、インジケータ１を使用した後にインジケータ本体３を貼付対象物１００から引き剥がすときまたはインジケータ本体３の貼り直しのために貼付対象物１００から引き剥がすとき、シール側粘着層１２の一部が貼付対象物１００に残るものを指す。
【００４３】
第１シート１０は次のように構成される。
第１シート１０は、インジケータ本体３の変色材５側に配置される。第１シート１０は、基材４の第１面４ａ（変色材５が設けられている部分を含む）の全部を覆い、かつ基材４の端縁から食み出る部分（以下、「突出部１３」）を有する。具体的には、突出部１３は、基材４を囲むように設けられている。
【００４４】
第１シート１０は、シール材１１と、シール材１１の内面（インジケータ本体３に向く面）に設けられるシール側粘着層１２とを有する。
シール材１１は、可撓性を有する。シール材１１は、ＰＥ（ポリエチレン）樹脂、ＰＰ（ポリプロピレン）樹脂、ＰＳ（ポリスチレン）樹脂、ＡＳ（アクリロニトリルスチレン）樹脂、ＡＢＳ（アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体）樹脂、ポリ塩化ビニル等のビニル樹脂、ＰＭＭＡ（アクリル−メタクリル）樹脂、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂、ＰＡ（ナイロン）樹脂、ＰＯＭ（ポリアセタール）樹脂、ＰＣ（ポリカーボネート）樹脂、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）樹脂、ＰＰＳ（ポリフェニレンスルファイド）樹脂、ＰＩ（ポリイミド）樹脂、ＰＥＩ（ポリエーテルイミド）樹脂、ＰＳＦ（ポリスルフォン）樹脂、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）樹脂、ＰＣＴＦＥ（フッ素）樹脂、ＰＡＩ（ポリアミドイミド）樹脂、ＰＦ（フェノール）樹脂、ＵＦ（ユリア）樹脂、ＭＦ（メラミン）樹脂、ＵＰ（不飽和ポリエステル）樹脂、ＰＵ（ポリウレタン）樹脂、ＰＤＡＰ（アリル）樹脂、ＥＰ（エポキシ）樹脂、ＳＩ（シリコーン）樹脂、ＦＦ（フラン）樹脂、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ビニロン樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、等により形成される。これらの樹脂のうち特に、ＰＩ（ポリイミド）樹脂、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂が好適に用いられ得る。また、シール材１１は、これらを要素とする群から選択される少なくとも１つにより形成される。または、シール材１１は、この群から選択される所定の材料にフィラーまたはファイバーを含ませた樹脂により形成され得る。または、シール材１１は、これらを要素とする群から選択される少なくとも１つにより形成される。また、シール材１１は、この群から選択される所定の材料にフィラーまたはファイバーを含ませた樹脂により形成され得る。更に、シール材１１は、これら樹脂により形成されたシートの積層体として構成され得る。
【００４５】
シール材１１は、透明であっても不透明であってもよいが、透明または半透明であることがより好ましい。インジケータ本体３が視認されるようにするためである。シール材１１の厚さは、０．１μｍ以上１０００μｍ以下の所定値に規定される。
【００４６】
シール側粘着層１２は、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤により形成される。シール側粘着層１２には、変色材５に対応するところに開口部１４が設けられている。変色材５に、シール側粘着層１２の成分が付着することを抑制するためである。開口部１４の形状は、変色材５を外形線の内側に配置し得る形状であれば、特に限定されない。例えば、開口部１４の形状は、円形、楕円形、矩形、長円、平行四辺形、多角形に構成される。
【００４７】
シール側粘着層１２は、本体側粘着層６よりも粘着力が弱くなるように構成される。粘着力とは、貼付対象物１００に対する接着力（剥離強度）を示す。更に、シール側粘着層１２は、第２シート２０に対しては接着するように、構成される。
【００４８】
シール側粘着層１２の厚さは、０．１μｍ以上１００μｍ以下の所定値に規定される。
シール側粘着層１２は、透明であっても不透明であってもよいが、透明または半透明であることがより好ましい。この理由は、シール材１１が透明または半透明であることが好ましいのと同様の理由である。
【００４９】
第２シート２０は次のように構成される。
第２シート２０は、インジケータ本体３の本体側粘着層６側に配置される。第２シート２０は可撓性を有する。第２シート２０は、第１シート１０のシール材１１と同様の材料により形成される。また、第２シート２０は、シール材１１と同様に透明であっても不透明であってよい。また、第１シート１０及び第２シート２０のうちの一方だけを透明または半透明にする、または、両者を共に透明または半透明にすることもできる。透明にするか、半透明にするか、不透明にするかは、インジケータ本体３の取り出し易さだけでなく、変色材５の耐光性をも考慮され得る。なお、第１シート１０と第２シート２０とは同じ材料で形成されてもよく、また異なる材料により形成されてもよい。
【００５０】
第２シート２０の厚さは、０．１μｍ以上１０００μｍ以下の所定値に規定される。
第２シート２０の外形は、第１シート１０の外形と等しい。そして、第２シート２０の周縁と第１シート１０の周縁とが一致するように、第２シート２０は、第１シート１０とインジケータ本体３との積層体（以下、「インジケータ半体２」という。）に重ねられる。第２シート２０の中央部は、インジケータ本体３の本体側粘着層６に接触し、第２シート２０の周縁部は、第１シート１０のシール側粘着層１２に接触する。
【００５１】
第２シート２０は、２個のシート片２１に分割されている。第２シート２０の分割部２２は、変色材５から外れたところに形成されている。後述するように、第２シート２０を引き剥がすときにインジケータ１は第２シート２０の分割部２２で曲げられるため、このときに、変色材５に応力が加わり難くするためである。
【００５２】
第２シート２０は、第１シート１０よりも曲げ弾性率が小さい。すなわち、第２シート２０は、第１シート１０よりも曲げ易い。
以下に、第２シート２０の構成例を挙げる。第２シート２０が第１シート１０と同材料により形成される場合には、第２シート２０の厚さが、第１シート１０の厚さよりも小さい寸法に規定される。あるいは、第２シート２０の厚さと第１シート１０との厚さが等しい場合は、第２シート２０は、第１シート１０の形成材料よりも低弾性率材料により形成される。
【００５３】
あるいは、第１シート１０及び第２シート２０のうちで第１シート１０だけが補強材により補強される。補強材としては、例えば、フィラー、またはファイバー、またはシール材１１よりも弾性率が高い樹脂シート、またはファイバーシート等が挙げられる。
【００５４】
あるいは、第１シート１０と第２シート２０との両シートが同種の補強材により補強される場合は、第２シート２０における補強材の含有量が、第１シート１０における補強材の含有量よりも小さくなるように構成される。
【００５５】
あるいは、第１シート１０と第２シート２０との両シートが補強材により補強されて、第２シート２０に第１シート１０の補強材よりも低弾性率の補強材が配合されるか、または第２シート２０に第１シート１０の補強材よりも低弾性率のシート状補強材が配置される。
【００５６】
図４を参照して、インジケータ１の貼り付け方を説明する。
図４（ａ）に示されるように、第２シート２０の分割部２２のあたりでインジケータ１を曲げる。そうすると、シート片２１の分割部２２側の端縁がインジケータ本体３から離れる。作業者は、シート片２１のうちで剥離した部分を外側に向けて曲げて引っ張る。第２シート２０は、第１シート１０よりも曲げ弾性率が小さいため、第１シート１０を大きく曲げずに（曲率を大きくせずに）、第２シート２０を大きく曲げることが可能である。これにより、第１シート１０とインジケータ本体３とのインジケータ半体２から第２シート２０を容易に引き剥がすことができる。また、第１シート１０が大きく曲げずとも第２シート２０を引き剥すことが可能であることから、第１シート１０からインジケータ本体３が剥がれることが抑制される。
【００５７】
次に、図４（ｂ）に示されるように、インジケータ１から第２シート２０が剥がされたもの（すなわち、インジケータ半体２）を貼付対象物１００に貼り付ける。インジケータ半体２は、ピンセット等の道具で挟まれて運ばれるが、変色材５は第１シート１０に覆われているため、貼り付け作業において変色材５に不純物が付くことはない。
【００５８】
次に、図４（ｃ）に示されるように、インジケータ半体２から第１シート１０を剥がす。具体的には、第１シート１０の突出部１３（インジケータ本体３から食み出ている部分）をピンセットで挟んで、第１シート１０を引き剥がす。第１シート１０のシール側粘着層１２は、インジケータ本体３の本体側粘着層６よりも粘着力が弱いため、インジケータ本体３を貼付対象物１００に貼り付けた状態で残して、インジケータ半体２から第１シート１０を容易に剥がすことができる。
【００５９】
また、図４（ａ）〜図４（ｃ）に示されたように、インジケータ本体３の変色材５及び基材４の第１面４ａには一切触れずに、インジケータ本体３を貼付対象物１００に貼り付けることが可能である。これは、インジケータ本体３が第１及び第２シート１０，２０により挟まれていること、及び第１シート１０に突出部１３が設けられていることにより実現されている。
【００６０】
次に、本実施形態に係るインジケータ１の効果を説明する。
（１）本実施形態では、第１シート１０及び第２シート２０のいずれか一方が他方よりも曲げ弾性率が小さい。
【００６１】
この構成によれば、第１シート１０及び第２シート２０の一方が他方よりも曲げ易くなっているため、第１シート１０と第２シート２０とを互いに引き離すときに、一方を他方よりも大きい曲率で曲げることができる。このため、第１シート１０及び第２シート２０の他方から一方（曲げ易いシート）を引き剥がし易くなり、２枚のシートからインジケータ本体３を取り出し易くなる。
【００６２】
（２）本実施形態では、第１シート１０は、シール材１１と、シール材１１のうちの内面に設けられるシール側粘着層１２とを有する。そして、第１シート１０は、インジケータ本体３の変色材５側に配置され、第２シート２０はインジケータ本体３の本体側粘着層６側に配置される。
【００６３】
この構成によれば、インジケータ１から第２シート２０を剥がすと、インジケータ本体３が第１シート１０に支持されるようになる。この状態のとき、変色材５は第１シート１０により封止されている。このため、インジケータ本体３を貼付対象物１００に貼り付けるまで、インジケータ本体３の変色材５が道具や衣服等であって不純物付着の要因となり得る汚染物に接触することがない。これにより、貼付対象物１００へのインジケータ本体３の貼り付け作業の困難性（例えば、変色材５が汚染物に触れないように注意しながらチャンバー内に貼り付ける作業の困難性）が軽減される。
【００６４】
（３）本実施形態では、シール側粘着層１２は本体側粘着層６よりも粘着力が弱い。
この構成によれば、貼付対象物１００に対してインジケータ本体３よりも第１シート１０が剥がれ易くなる。このため、貼付対象物１００にインジケータ本体３を残して第１シート１０だけを引き剥がすときに、インジケータ本体３が第１シート１０に貼り付いて第１シート１０とともにインジケータ本体３が貼付対象物１００から剥がれるといった事態の発生を抑制することができる。
【００６５】
また、上記構成によれば、次の効果がある。インジケータ本体３の本体側粘着層６の粘着力は、インジケータ本体３を貼付対象物１００から剥がれ落ちることがない程度の強さに設定される。このため、第１シート１０のシール側粘着層１２の粘着力とインジケータ本体３の本体側粘着層６の粘着力とが同程度に設定されると、インジケータ本体３から第１シート１０が剥がれ難くなる程度に第１シート１０のシール側粘着層１２とインジケータ本体３の変色材５とが互いに接着するおそれがある。そうすると、インジケータ本体３の使用の際において第１シート１０をインジケータ本体３から引き剥がすとき、変色材５の一部またはその表面部分が剥離したり、または変色材５の表面にシール側粘着層１２の残渣が残ったりするおそれがある。この点、上記構成によれば、シール側粘着層１２の粘着力が本体側粘着層６の粘着力よりも弱いため、このような事態（変色材５の剥離及び変色材５へのシール側粘着層１２の残渣の付着）の発生が抑制されるようになる。これにより、変色材５の剥離または変色材５へのシール側粘着層１２の残渣の付着に起因してプラズマについて精確な検出ができなくなるといった事態の発生が抑制されるようになる。
【００６６】
（４）本実施形態では、第１シート１０のシール側粘着層１２には、変色材５に対応して開口部１４が設けられている。
この構成によれば、第１シート１０のシール側粘着層１２の成分が変色材５に付着することを抑制することができる。
【００６７】
（５）本実施形態では、第１シート１０は、インジケータ本体３の全体を覆いかつインジケータ本体３の端縁の少なくとも一箇所から食み出る。
この構成によれば、第１シート１０のうちでインジケータ本体３の端縁の少なくとも一箇所から食み出ている部分（すなわち突出部１３）を把持することができる。このため、インジケータ本体３の貼り付け作業において、インジケータ本体３のうちで変色材５の配置側を汚染物（道具や衣服等であって不純物付着の要因となり得る物）に接触させることなくインジケータ本体３を貼付対象物１００に貼り付けることができる。
【００６８】
（６）本実施形態では、第２シート２０は、少なくとも２個のシート片２１に分割されている。
この構成によれば、インジケータ１を第２シート２０の分割部２２で曲げることにより、シート片２１の分割側の端縁をインジケータ本体３から離れ易くすることができる。これにより、第２シート２０の引き剥がしが容易になる。
【００６９】
（７）本実施形態では、第２シート２０の曲げ弾性率は、第１シート１０の曲げ弾性率よりも小さい。
このため、第２シート２０が第１シート１０よりも曲がり易くなっているため、第１シート１０と第２シート２０とを互いに引き離すときに、第２シート２０を第１シート１０よりも大きい曲率で曲げることができる。このため、第１シート１０及びインジケータ本体３から第２シート２０を剥がし易くなり、第１及び第２シート１０，２０からインジケータ本体３を取り出し易くなる。
【００７０】
（８）本実施形態では、第１シート１０と第２シート２０とは同じ材料で形成され、かつ第２シート２０が第１シート１０よりも薄くなるように構成され得る。
または、第１シート１０と第２シート２０とは同じ厚さとされ、かつ第２シート２０は第１シート１０よりも低弾性率材料により形成され得る。
【００７１】
または、第１シート１０だけが補強材を含むように構成され得る。
または、第１シート１０と第２シート２０とがともに同種の補強材を含むように構成され、第２シート２０における補強材の含有量が第１シート１０における補強材の含有量よりも小さくなるように規定される。
【００７２】
または、第１シート１０及び第２シート２０がともに補強材を含むように構成され、かつ第２シート２０の補強材として第１シート１０の補強材よりも低弾性の材料が用いられる。
【００７３】
これらの構成によれば、第２シート２０が第１シート１０よりも曲がり易くなる。
これにより、インジケータ本体３が第１及び第２シート１０，２０から取り出し易くなる。
【００７４】
［第２実施形態］
図５〜図７を参照して、第２実施形態に係るインジケータ１ｘについて説明する。なお、第１実施形態と同じ構成に同一符号を付す。
【００７５】
第２実施形態に係るインジケータ１ｘは、インジケータ本体３の一端縁３ａにおいて、第１シート１０の一端縁１０ａと第２シート２０の一端縁２０ａとインジケータ本体３の一端縁３ａとが一致する点で、第１実施形態と異なる。
【００７６】
更に、第２実施形態に係るインジケータ１ｘは、第２シート２０をインジケータ半体２から引き剥がすための構造が異なる。第１実施形態では、第２シート２０を引き剥がし易くするために第２シート２０が分割されている。これに対して、第２実施形態では、第２シート２０を引き剥がし易くするために、第２シート２０が接着しない剥離部３０が設けられている。
【００７７】
図５及び図６に示されるように剥離部３０は、インジケータ本体３の一端縁３ａの本体側粘着層６において剥離材３１が貼り付けられた部分として構成される。剥離材３１は、本体側粘着層６よりも粘着力が弱い材料、または第２シート２０と接着しない材料により形成される。このため、この剥離部３０から第２シート２０が剥がれる。
【００７８】
次に、本実施形態に係るインジケータ１ｘの効果を説明する。
（１）本実施形態は、第１実施形態と同様、第２シート２０が第１シート１０よりも曲げ弾性率が小さい。すなわち、第２シート２０が第１シート１０よりも曲がり易くなっている。このため、第１シート１０から第２シート２０を剥がし易く、第１及び第２シート１０，２０からインジケータ本体３を取り出し易くなる。
【００７９】
（２）本実施形態では、インジケータ本体３及び第１シート１０により構成されるインジケータ半体２の周縁部の少なくとも一部分には、第２シート２０が剥離する剥離部３０が設けられている。
【００８０】
この構成によれば、剥離部３０においてインジケータ半体２から第２シート２０が剥離するため、剥離部３０から第２シート２０を容易に引き剥がすことができる。また、インジケータ本体３の使用後、貼付対象物１００から引き剥がすときに、剥離部３０からインジケータ本体３を容易に引き剥がすことができる。
【００８１】
（３）具体的には、図６に示されるように、第１シート１０の一端縁１０ａと第２シート２０の一端縁２０ａとインジケータ本体３の一端縁３ａとが一致し、剥離部３０は、本体側粘着層６においてインジケータ本体３の一端縁３ａに対応する部分であってかつ剥離材３１が設けられた部分として、構成されている。この構成によれば、本体側粘着層６において剥離材３１が設けられた部分は第２シート２０に接着しない。このため、この部分から第２シート２０を容易に引き剥がすことができる。
【００８２】
図７を参照して、剥離部３０の変形例を説明する。
図７に示されるように、第１シート１０の一端縁１０ａと第２シート２０の一端縁２０ａとインジケータ本体３の一端縁３ａとが一致する。
【００８３】
剥離部３０は、インジケータ本体３の一端縁３ａにおいて基材４が本体側粘着層６から露出する部分４ｃとして構成される。露出する部分４ｃは第２シート２０と重なる。なお、図７では、基材４と第２シート２０との間には隙間があるが、実際には、基材４と第２シート２０とは互いに接触する。
【００８４】
この構成によれば、基材４が本体側粘着層６から露出する部分４ｃが第２シート２０に接着しない。このため、この部分４ｃから第２シート２０を容易に引き剥がすことができる。
【００８５】
図８を参照して、剥離部３０について別の変形例を説明する。
この変形例では、第１シート１０の突出部１３が基材４を囲むように形成される。そして、第１シート１０の一端縁１０ａと第２シート２０の一端縁２０ａとが一致する。一方、インジケータ本体３の一端縁３ａが第１シート１０の一端縁１０ａよりも内側に位置する。
【００８６】
図８に示されるように、剥離部３０は、第１シート１０の一端縁１０ａにおいてシール材１１がシール側粘着層１２から露出する部分１１ａとして構成される。なお、図８では、シール材１１と第２シート２０との間には隙間があるが、実際には、シール材１１と第２シート２０とは互いに接触する。
【００８７】
この構成によれば、第１シート１０がシール側粘着層１２から露出する部分１１ａが第２シート２０に接着しない。このため、この部分１１ａから第２シート２０を容易に引き剥がすことができる。
【００８８】
なお、本実施形態では、第１シート１０のシール側粘着層１２に開口部１４が設けられず、変色材５と第１シート１０のシール材１１との間にもシール側粘着層１２の層が存在する（図６では、この層は省略されている。）。
【００８９】
［第３実施形態］
図９〜図１１を参照して、第３実施形態に係るインジケータ１ｖについて説明する。なお、第３実施形態に係るインジケータ１ｖの構成のうち第１実施形態と同じ構成には、同一符号を付す。
【００９０】
第３実施形態に係るインジケータ１ｖは、第２シート２０の引き剥し構造に関して、第１実施形態と異なる。第１実施形態では、第２シート２０を引き剥がし易くするために第２シート２０が分割されている。これに対して、本実施形態では、第２シート２０を引き剥がし易くするために、第２シート２０には、第１シート１０から食み出る部分が設けられている。
【００９１】
具体的には、第１実施形態に係るインジケータ１では、図１に示されるように、第１シート１０の周縁と第２シート２０の周縁とが平面視で一致しているが、第３実施形態に係るインジケータ１ｖでは、第２シート２０の周縁の少なくとも一部分が第１シート１０の周縁よりも外側に配置される。すなわち、第３実施形態に係るインジケータ１ｖでは、第２シート２０の少なくとも一部分が第１シート１０から食み出ている。以下、第２シート２０において、第１シート１０から食み出ている部分を突出部２３という。
【００９２】
例えば、図９に示されるように、第２シート２０の周縁が第１シート１０の周縁よりも外側に配置される。第２シート２０において第１シート１０から食み出ている部分（突出部２３）の面積は、少なくとも、ピンセットの先端部が当接し得る程度の大きさであり、好ましくは、指先で挟むことができる程度の大きさに設定される。
【００９３】
第２シート２０の突出部２３は、第１シート１０の突出部１３の端縁から突出するように設けられることが好ましい。すなわち、第１シート１０の突出部１３の端縁よりも外側に、第２シート２０の突出部２３の端縁が配置されていることが好ましい。
【００９４】
第１シート１０の突出部１３は、上述したように第１シート１０の引き剥がしのときに把持される。すなわち、第１シート１０の突出部１３は、第２シート２０からインジケータ半体２（第１シート１０及びインジケータ本体３）を剥がすときに、ピンセット等の道具で挟まれる部分になる。このため、第１シート１０の突出部１３は、挟まれ易い構造になっていることが好ましい。第１シート１０の突出部１３の端縁が第２シート２０の端縁と一致していると、第１シート１０と第２シート２０との間にピンセット等の道具の先端を差し入れ難い。このため、作業者は、第１シート１０の突出部１３を容易に挟むことができない。この点、上記構成の場合、第２シート２０の突出部２３の表面（第１シート１０側の表面）に沿ってピンセット等の道具の先端を滑らせて、第１シート１０の突出部１３の端縁に当接させて、ピンセット等の道具の先端を第１シート１０と第２シート２０との間に差し入れることができる。このため、突出部１３をピンセット等の道具で容易に挟むことができる。
【００９５】
また、次の点で、第１実施形態に係るインジケータ１と異なる。
第１実施形態に係るインジケータ１では、第２シート２０が、第１シート１０よりも曲げ弾性率が小さい。これに対して、本実施形態では、第１シート１０の弾性率と第２シート２０の弾性率との関係では規定されない。一方、湾曲した貼付対象物１００への貼り付け易さの観点から、第１シート１０として可撓性が高いものが好適に用いられる。これは、湾曲した貼付対象物１００にインジケータ半体２（インジケータ本体３と第１シート１０との積層体）を貼り付けるときインジケータ半体２を貼付対象物１００に沿うように曲げられるからである。
【００９６】
第１シート１０のシール側粘着層１２について説明する。
インジケータ本体３に対する第１シート１０のシール側粘着層１２の粘着力は、貼付対象物１００に対するインジケータ本体３の本体側粘着層６の粘着力よりも弱いことが好ましい。これは、インジケータ半体２を貼付対象物１００に貼り付けた後、インジケータ本体３を貼付対象物１００に貼り付けた状態で残して、インジケータ半体２から第１シート１０が引き剥がすことができるようにするためである。
【００９７】
第１シート１０の突出部１３の面積が大きい場合、例えば、突出部１３がインジケータ本体３を囲むように設けられている場合は、第１実施形態と同様に、第１シート１０のシール側粘着層１２は、本体側粘着層６よりも粘着力が弱くなるように構成される。ここでの粘着力とは、貼付対象物１００に対する接着力（剥離強度）を示す。
【００９８】
図１１を参照して、インジケータ１ｖの貼り付け方を説明する。
まず、インジケータ１ｖの第２シート２０を台等に固定または指で把持する。次に、第２シート２０だけに力を加えて第２シート２０を湾曲させる。特に、第２シート２０において、インジケータ本体３の端縁付近及び第１シート１０の突出部１３付近で曲げることが好ましい。具体的には、第２シート２０の突出部２３を曲げる。
【００９９】
第２シート２０の突出部２３が曲げられることにより、次の作用によってインジケータ本体３及び第１シート１０が第２シート２０から剥離する。すなわち、第２シート２０が曲がると、第２シート２０の湾曲とともにインジケータ本体３及び第１シート１０が湾曲する。第２シート２０の曲率が大きくなると、インジケータ本体３の基材４の湾曲に起因して復元力（応力）が大きくなる。この復元力が基材４と第２シート２０との間の密着力よりも大きくなると、基材４の端縁及び第１シート１０の突出部１３が第２シート２０から剥離する（図１１参照）。
【０１００】
次に、第２シート２０から離れた第１シート１０の突出部１３を、ピンセット等の道具で把持し、第１シート１０を第２シート２０から引き剥がす。そうすると、インジケータ本体３が第１シート１０に密着した状態で、第２シート２０が剥がれる。次に、インジケータ半体２を貼付対象物１００に貼り付けて、インジケータ半体２から第１シート１０を引き剥がす。
【０１０１】
次に、本実施形態に係るインジケータ１ｖの効果を説明する。
（１）本実施形態では、第２シート２０の少なくとも一部分が第１シート１０から食み出る。
【０１０２】
この構成によれば、第２シート２０が第１シート１０から食み出ているため、食み出ている部分を押さえることまたは把持することが可能であり、第２シート２０だけに力を加えて第２シート２０を湾曲させることができる。これにより、第２シート２０から第１シート１０及びインジケータ本体３を容易に引き剥がすことができるようになる。
【０１０３】
（２）本実施形態では、第１シート１０は、インジケータ本体３の全体を覆いかつインジケータ本体３の端縁の少なくとも一箇所から食み出る。
この構成によれば、第１シート１０のうちでインジケータ本体３の端縁の少なくとも一箇所から食み出ている部分（すなわち突出部１３）を把持することができる。このため、インジケータ本体３の貼り付け作業において、インジケータ本体３のうちで変色材５の配置側を汚染物（道具や衣服等であって不純物付着の要因となり得る物）に接触させることなくインジケータ本体３を貼付対象物１００に貼り付けることができる。
【０１０４】
［その他の実施形態］
図１２及び図１３を参照して、他の実施形態に係るインジケータ１ｙ，１ｚについて説明する。
【０１０５】
・上記第１、第２及び第３実施形態では、変色材５は基材４の一箇所にだけ設けられているが、変色材５は、基材４の複数箇所に設けられ得る。
例えば、図１２に示されるように、インジケータ１ｙはテープ状に形成される。インジケータ本体３は、第１シート１０と第２シート２０により挟まれる。基材４は矩形に形成される。変色材５は、基材４の長手方向に等間隔で配置される。第１シート１０のシール側粘着層１２には変色材５のそれぞれに対応して開口部１４が設けられる。変色材５を切断する断面構造は、第１実施形態に係るインジケータ１と同様である。このようなインジケータ１ｙをプラズマ装置に配置することにより、インジケータ１ｙの長手方向に沿うプラズマ密度変化を検出することが可能である。
【０１０６】
また、図１３に示されるように、インジケータ１ｚはテープ状に形成される。インジケータ本体３は、第１シート１０と第２シート２０により挟まれる。基材４は矩形に形成される。変色材５は、基材４の長手方向に沿うように延長される。第１シート１０のシール側粘着層１２には変色材５のそれぞれに対応して開口部１４が設けられる。変色材５を切断する断面構造は、第１実施形態に係るインジケータ１と同様である。このような構成によって、図１２に示されたインジケータ１ｙと同様の効果が得られる。
【０１０７】
・上記第１実施形態では、シール側粘着層１２と変色材５とが接触しないように、第１シート１０のシール側粘着層１２に開口部１４が設けられているが、シール側粘着層１２と変色材５との接触を抑制する構造としてはこれに限定されない。例えば、変色材５の周囲に変色材５よりも厚いスペーサ層が設けられ得る。この場合、第１シート１０は、スペーサ層を介してインジケータ本体３に積層される。
【０１０８】
・上記第３実施形態では、第２シート２０の少なくとも一部分が第１シート１０から食み出るように構成されているが、この構成とは反対に、インジケータ１ｖは、第１シート１０の少なくとも一部分が第２シート２０から食み出るように構成され得る。この構成の場合、第１シート１０だけに力を加えて第１シート１０を湾曲させることができる。これにより、第１シート１０及びインジケータ本体３から第２シート２０を容易に引き剥がすことができるようになる。なお、この構成の場合、第１シート１０を湾曲させると、インジケータ本体３の復元力により、第１シート１０からインジケータ本体３が剥がれるおそれがある。従って、この構成は、インジケータ本体３の基材４の曲げ弾性率が小さく、復元力が小さいものに対して適用される。
【０１０９】
・上記第３実施形態では、第２シート２０の弾性率は規定されていないが、例えば、第２シート２０の曲げ弾性率は第１シート１０よりも曲げ弾性率よりも大きくし得る。また、これとは逆に、第１実施形態と同様に、第２シート２０の曲げ弾性率は第１シート１０よりも曲げ弾性率よりも小さくし得る。この場合、第１実施形態の上記（７）に準じた効果が得られる。
【０１１０】
・上記第３実施形態に係るインジケータ１ｖでは、第２シート２０は分割されていないが、第１実施形態と同様に、第２シート２０を少なくとも２個のシート片２１に分割され得る。
【０１１１】
・上記第３実施形態に係るインジケータ１ｖには、第２実施形態に示されるような剥離部３０が設けられていないが、剥離部３０が設けられ得る。例えば、第１シート１０の突出部１３に対応して剥離部３０が設けられ得る。
【０１１２】
・上記第１実施形態、第２実施形態、第３実施形態、及びその他の実施形態では、プラズマを検出するためのインジケータについて本技術を適用したが、本技術は、他のインジケータにも適用可能である。すなわち、インジケータ本体の変色材はプラズマを検出するものに限定されない。例えば、変色材の例として、プラズマを含むガスを検出するもの、Ｘ線を検出するもの、電子線を検出するもの、紫外線を検出するもの、特定のガス（例えば、毒性を有するガス、またはオゾン等の活性ガスを検出するもの）、ラジカルを検出するもの等が挙げられる。
【符号の説明】
【０１１３】
１，１ｘ，１ｙ，１ｚ，１ｖ…インジケータ、２…インジケータ半体、３…インジケータ本体、３ａ…一端縁、４…基材、４ａ…第１面、４ｃ…部分、４ｂ…第２面、５…変色材、６…本体側粘着層、１０…第１シート、１０ａ…一端縁、１１…シール材、１１ａ…部分、１２…シール側粘着層、１３…突出部、１４…開口部、２０…第２シート、２０ａ…一端縁、２１…シート片、２２…分割部、２３…突出部、３０…剥離部、３１…剥離材、１００…貼付対象物。
【図１】
0006587913.tif 000002
【図２】
0006587913.tif 000003
【図３】
0006587913.tif 000004
【図４】
0006587913.tif 000005
【図５】
0006587913.tif 000006
【図６】
0006587913.tif 000007
【図７】
0006587913.tif 000008
【図８】
0006587913.tif 000009
【図９】
0006587913.tif 000010
【図１０】
0006587913.tif 000011
【図１１】
0006587913.tif 000012
【図１２】
0006587913.tif 000013
【図１３】
0006587913.tif 000014