(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転自在なネジ軸と、
ネジ軸に螺合され、スライド操作されて検査対象上を第１方向に直進するスライダと、
前記スライダを回転不能に前記第１方向に案内する直進ガイドと、
前記スライダに取り付けられ、前記検査対象の一部分を検査したスキャン信号を出力する探触子と、
前記スライダのスライド操作に伴って回転される前記ネジ軸の回転角を検出し、該回転角から前記スライダないし前記探触子の前記第１方向における移動量を示す信号を出力するロータリエンコーダと、
を有する、検査装置であって、
該検査装置は、更に、少なくとも前記ネジ軸、前記スライダおよび前記探触子を含む検査ユニットを搭載する走行ユニットを有し、
前記走行ユニットは、
前記検査対象上を前記第１方向と交差する第２方向に走行する車輪と、
前記車輪の前記第２方向における走行量を制限し、該走行量を示す信号を出力するリミットスイッチと、
を有する、ことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記車輪は、磁力によって前記検査対象上に吸着可能であり、車輪径が互いに異なる前後輪を備え、
前記探触子は、ジンバル機構を介して、前記スライダに前記第１ないし第２方向に傾動ないし揺動自在に支持される、
ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記探触子は超音波探触子である、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
ネジ軸に螺合されスライド操作されて検査対象上を第１方向に直進するスライダと、前記スライダを回転不能に前記第１方向に案内する直進ガイドと、前記スライダに取り付けられて前記検査対象の一部分を検査したスキャン信号を出力する探触子と、前記スライダのスライド操作に伴って回転される前記ネジ軸の回転角を検出して該回転角から前記スライダの前記第１方向における移動量を示す信号を出力するロータリエンコーダと、を有する検査装置を準備し、
（Ａ）前記検査対象上で前記スライダを操作して、前記探触子を前記第１方向に所定ピッチずつ間欠的に移動させ、
（Ｂ）前記ロータリエンコーダの出力する信号から、前記探触子が前記所定ピッチ移動して一時停止する毎に前記探触子の前記第１方向における現在位置を検出し、
（Ｃ）前記所定ピッチ離間した各位置で前記探触子によるスキャンを行う、
検査方法であって、
前記検査装置は、少なくとも前記ネジ軸、前記スライダおよび前記探触子を含む検査ユニットを搭載する走行ユニットを有し、前記走行ユニットは、前記検査対象上を第２方向に走行する車輪と、前記車輪の前記第２方向における走行量を制限して該走行量を示す信号を出力するリミットスイッチと、を有し、
前記検査対象上で前記車輪を前記リミットスイッチによって制限された走行量分、前記第２方向に走行させ、
前記第２方向に移動した位置で、前記（Ａ）〜（Ｃ）の工程を繰り返す、
ことを特徴とする検査方法。
【請求項５】
前記探触子は超音波反射法によるスキャンを行う、ことを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
発電所、工場又は一般建築物において、配管等の設備保全の観点から、より多くの箇所で、配管の肉厚分布を測定したいという要求が高まっている。
【０００３】
特許文献１に開示された超音波検査方式によれば、まず、検査対象である配管に多数のサポートフレームを取り付ける。次に、超音波プローブ移動装置をサポートフレームに移動可能に取り付ける。そして、モータを駆動源として用いて、超音波プローブ移動装置をサポートフレーム上で配管の周方向に移動させ、逐次、フェィズドアレイ法により超音波探傷を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３３７１５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
以下の分析は本発明によるものである。
特許文献１の超音波検査方式によれば、多数のサポートフレームを配管周囲に架設する必要があるため、検査前の準備に手間がかかる。また、狭隘箇所では、サポートフレームを十分に配置することができないおそれがある。さらに、駆動源としてモータを用いているため、過酷な環境では、装置に対する信頼性に支障が生じるおそれがある。
【０００６】
かくして、簡素な構造を有し、検査準備に要する手間を削減できる検査方法および検査装置が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の視点において、検査装置は下記の要素を備えている：
回転自在なネジ軸；
ネジ軸に螺合され、スライド操作されて検査対象上を第１方向に直進するスライダ；
前記スライダを回転不能に前記第１方向に案内する直進ガイド；
前記スライダに取り付けられ、前記検査対象の一部分を検査したスキャン信号を出力する探触子；
前記スライダのスライド操作に伴って回転される前記ネジ軸の回転角を検出し、該回転角から前記スライダないし前記探触子の前記第１方向における移動量を示す信号を出力するロータリエンコーダ。
【０００８】
第２の視点において、第１の視点の検査装置を用いる検査方法は下記の工程を備えている：
（Ａ）前記検査対象上で前記スライダを操作して、前記探触子を前記第１方向に所定ピッチずつ間欠的に移動させる工程；
（Ｂ）前記ロータリエンコーダの出力する信号から、前記探触子が前記所定ピッチ移動して一時停止する毎に前記探触子の前記第１方向における現在位置を検出する工程；
（Ｃ）前記所定ピッチ離間した各位置で前記探触子によるスキャンを行う工程。
【発明の効果】
【０００９】
第１ないし第２の視点によれば、人手による操作が可能で、検査準備に要する手間を大幅に削減できる、検査装置ないし検査方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】（Ａ）は一実施例に係る検査装置の外観を例示する斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）の側面図である。
【図２】（Ａ）は図１（Ａ）に示した検査ユニットを例示する部品図であり、（Ｂ）は検査ユニット内のネジ構造を例示する部分図であり、（Ｃ）は（Ａ）の側面図であって検査ユニットにおける直進ガイド構造を示す。
【図３】図１（Ａ）に示した検査ユニットに適用可能なロータリエンコーダの原理を説明する模式図である。
【図４】図１（Ａ）に示した検査装置が、検査対象である配管の外周面を走行している様子を模式的に示す動作図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｃ）は、図１に示した磁輪に適用可能なリミットスイッチの原理を説明する模式図であり、（Ｄ）は検査装置における信号処理構成の一例を説明するブロック図である。
【図６】（Ａ）および（Ｂ）は、図２（Ａ）に示した検査ユニットの変形例を例示する斜視図である。
【図７】（Ａ）は図１（Ａ）に示した検査装置に適用される探触子ホルダの一例を示す動作図であり、（Ｂ）は探触子ホルダの正面図、（Ｃ）は同側面図、（Ｄ）は同背面図、（Ｅ）は探触子ホルダおよび探触子の分解組立図である。
【図８】図１（Ａ）に示した検査装置を用いた超音波探傷方法の一例を説明する模式図である。
【図９】図８に示した超音波探傷方法を説明するフローチャートである。
【図１０】実験結果の説明図であって、（Ａ）は検査対象、（Ｂ）は得られたＢスコープ画像、（Ｃ）は得られたＣスコープ画像をそれぞれ示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
上記各視点において、以下の好ましい形態が可能である。
（形態１）形態１は、第１の視点のとおりである。検査者は、スライダを第１方向に移動操作、好ましくは手動操作して、探触子を第１方向上の任意位置に置き、そこでスキャン操作を実行することができる。探触子の第１方向上の位置は、ネジ軸の回転を介してロータリエンコーダが検出する。スライダの移動操作およびスキャンを所定回数繰り返すことで、第１方向のスキャンが完了する。スライダの移動ピッチは任意に設定できるため、概略スキャンも詳細スキャンも可能である。また、スキャン位置周辺の狭隘度又は要求されるスキャン範囲に応じて、ネジ軸の長さを変更することによって、第１方向のスキャン範囲を任意に変更できる。
【００１２】
（形態２）前記検査装置は、少なくとも前記ネジ軸、前記スライダおよび前記探触子を含む検査ユニットを搭載する走行ユニットを有する。前記走行ユニットは、前記検査対象上を前記第１方向と交差する第２方向に走行する車輪と、前記車輪の前記第２方向における走行量を制限し、該走行量を示す信号を出力するリミットスイッチと、を有する。検査者は、検査装置（全体）を第２方向に移動操作、好ましくは手動操作して、検査装置を第２方向上の任意位置に置き、そこで上述した第１方向のスキャン操作を実行することができる。探触子の第２方向上の位置は、車輪を介してリミットスイッチが検出する。スライダの第１方向の移動操作およびスキャンと、検査装置全体の第２方向の移動操作を所定回数繰り返すことで、検査対象全面上での検査が完了する。このようにして、探触子は所定の二次元位置でスキャンを行うことができる。例えば、探触子として超音波探触子を用い、反射法によって超音波探傷を行う場合、スキャンしたい部分の直上又は該部分に近接してスキャンを行い、正確なＣスコープ画像（三次元的画像、深さ毎の断面画像が厚み方向に積層された画像）を得ることができる。Ｃスコープ画像によれば、一回の検査で得られる情報量、例えば配管の肉厚分布に関する情報量が、Ｂスコープ画像（二次元的画像、深さ方向に沿った断面画像）に比べて格段に多くなる。勿論、Ｂスコープ画像も得ることができる。
【００１３】
（形態３）前記車輪は、磁力によって前記検査対象上に吸着可能であり、車輪径が互いに異なる前後輪を備える。前記探触子は、ジンバル機構を介して、前記スライダに前記第１ないし第２方向に傾動ないし揺動自在に支持される。前後車輪径を変えることによって、様々な径の配管上を走行容易となる。前後車輪径の相違によって検査装置が傾いた場合であっても、探触子はジンバル機構を介して支持されているため、探触子の検査面に対する平行度は維持される。検査対象の周面上をスキャンする場合、検査装置が脱落又は第１方向におけるスキャン中に位置ずれしないよう、車輪は磁力、あるいは、液圧又は機械的結合によって検査対象に吸着することが好ましい。検査対象の配管として、外径がＡ１００に規定されるもの以上のものが好ましいが、車輪径の変更によってそれ以下のものに対応できる。勿論、平板を検査対象としてもよい。
【００１４】
（形態４）前記探触子は超音波探触子である。その他の探触子として、渦流探傷用、磁粉探傷用、音響探傷用又はエリアセンサ等の探触子を適宜用いることができる。
【００１５】
（形態５）形態５は、第２の視点のとおりである。
（形態６）形態６では、形態２のような検査装置を用いて、下記の工程を行う。前記検査対象上で前記車輪を前記リミットスイッチによって制限された走行量分、前記第２方向に走行させる。前記第２方向に移動した位置で、第２の視点にかかる前記（Ａ）〜（Ｃ）の工程を繰り返す。
（形態７）形態７では、超音波反射法によるスキャンを行う。
【００１６】
以下、一実施例をさらに説明する。しかし、本発明は、以上の実施形態および以下の実施例に限定されるものではなく、他の形態でも実施可能であり、又、様々な実施形態を組み合わせて実施することもできる。
【実施例】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
【００１８】
［検査装置１の全体構造］
図１（Ａ）および（Ｂ）を参照すると、検査装置１は、検査ユニット２、走行ユニット３、およびケーブルユニット４を有する。検査ユニット２は、探触子２８を保持するホルダユニット２７を搭載する。走行ユニット３は、検査ユニット２を脱着ないし交換可能に搭載する。ケーブルユニット４には、探触子２８、ロータリエンコーダ２５およびリミットスイッチ３３への給電と、各種制御又は検出信号の入出力を行う複数のケーブルが接続される。
【００１９】
［検査ユニット２］
図２（Ａ）を参照すると、検査ユニット２は、ケーシング２１と、ケーシング２１内に回転自在に支持されるネジ軸２２と、ネジ軸２２に螺合するスライダ２３と、スライダ２３を回転不能に第１方向（以下「スキャン方向」という）に案内する直進ガイド２４と、を有する。検査装置１では、通常とは反対に、スライダ２３を操作（駆動）して、ネジ軸２２を回転（被動）させる。
【００２０】
検査ユニット２は、さらに、スライダ２３に取り付けられ、検査対象の一部分を検査したスキャン信号を出力する探触子（以下「超音波探触子」という）２８と、スライダ２３のスライド操作に伴って回転されるネジ軸２２の回転角を検出し、この回転角からスライダ２３ないし超音波探触子２８のスキャン方向における移動量を示す信号を出力するロータリエンコーダ２５（図１（Ａ）参照）と、を備える。
【００２１】
図２（Ｂ）を参照して、ネジ軸２２の外周面には外ネジ２２ａが形成され、スライダ２３の内周面には外ネジ２２ａに螺合する内ネジ２３ａが形成されている。図２（Ｃ）を参照すると、ケーシング２１は、ネジ軸２２の軸方向と平行に延在する直進ガイド２４を備える。スライダ２３は、スライダ２３と一体に設けられた被ガイド部２３ｂを有する。被ガイド部２３ｂが直進ガイド２４と嵌合することによって、スライダ２３の回転が制止され、スライダ２３はネジ軸２２の軸方向、すなわちスキャン方向にのみ運動できる。
【００２２】
［スライダ２３のスキャン方向（ネジ軸方向）の位置特定］
図１（Ａ）および図３を参照しながら、スライダ２３のスキャン方向の位置特定について説明する。図１（Ａ）を参照して、ロータリエンコーダ２５は、ネジ軸２２の回転角からスライダ２３ないし超音波探触子２８のスキャン方向における移動量を示す信号を出力する。ネジ軸２２の回転角は、スライダ２３のストローク量に比例する。よって、ロータリエンコーダ２５を用いて、スライダ２３ないし超音波探触子２８のネジ軸２２軸方向（図４に示すスキャン方向Ｘ）位置を特定することができる。
【００２３】
図３を参照して、ロータリエンコーダ２５の測定原理を、光学式の場合を例にとって説明する。ネジ軸２２には、複数のスリット２５ｂが等間隔で形成された円盤２５ａが接続される。円盤２５ａには、ギア機構を介して、ネジ軸２２の回転を伝達してもよい。円盤２５ａを挟んで一側に発光部２５ｃ、他側に受光部２５ｄが配置される。発光部２５ｃからは、常時、光が出力されている。受光部２５ｄは、スリット２５ｂを通過した光を検出する。演算部４１は、受光部２５ｄの検出信号が示すネジ軸２２の回転角、およびネジ軸２２のネジピッチより、スライダ２３のストローク量を算出する。よって、スライダ２３がネジ軸の一端にあるときの座標をスキャン方向Ｘの原点とすれば、スライダ２３のスキャン方向位置を特定することができる。なお、ロータリエンコーダ２５としては、光学式、磁気式、又は磁気光学式のものを適宜用いることができる。
【００２４】
［走行ユニット３］
図４は、検査装置１を検査対象の一つである配管Ｐの外周面上にセットした例を示している。図１（Ｂ）および図４を参照すると、走行ユニット３は、検査ユニット２を搭載する車台３１と、径が異なる前後輪すなわち大径磁輪３２ａおよび小径磁輪３２ｂと、を有する。大径磁輪３２ａおよび小径磁輪３２ｂは、スキャン方向（配管Ｐの軸方向）Ｘと交差ないし直交するインデックス方向（配管Ｐの周方向）Ｙに走行できる。大径磁輪３２ａおよび小径磁輪３２ｂは、配管Ｐから脱落せず、且つ配管Ｐ上を走行可能な強さの磁力を有している。大径磁輪３２ａおよび小径磁輪３２ｂの少なくとも一方には、走行ユニット３ないし検査装置１の配管Ｐ上における一回の走行距離を制限し、該走行量を示す信号を出力するリミットスイッチ３３が付設されている。
【００２５】
［検査装置１（スライダ２３、超音波探触子２８）のインデックス方向の位置特定］
図５（Ａ）〜（Ｃ）を参照して、走行ユニット３に適用可能なリミットスイッチ３３の原理を説明する。例えば一回の走行リミット距離を１５ｍｍとする場合、ストッパ３３ａを回して“１５”の位置を矢印“↓”にあわせる。走行ユニット３を１５ｍｍ分走行させると、大径磁輪３２ａ又は小径磁輪３２ｂに連動して回転するカム３３ｂはストッパ３３ａに当接して、これによって大径磁輪３２ａおよび小径磁輪３２ｂのそれ以上の回転が制止される。したがって、リミットスイッチ３３の作動より、検査装置１（スライダ２３、超音波探触子２８）のインデックス方向Ｙ（図４参照）の走行距離がわかる。よって、検査装置１の最初のセット地点をインデックス方向Ｙの原点とすれば、検査装置１（スライダ２３ないし超音波探触子２８）のインデックス方向位置を特定することができる。リミットスイッチ３３は、大径磁輪３２ａに隣接して設けられそれを制止可能なブレーキ機構と、走行ユニット３の本体側に配置された設定スイッチと、を有してもよい。
【００２６】
［検査ユニット２の変形例］
走行ユニット３には、検査対象のスキャン方向長さに応じて、様々な長さのネジ軸２２を有する検査ユニット２を搭載することができる。図１（Ａ）に示したケーシング２１ａは、比較的短いネジ軸２２を内蔵し、図６（Ａ）に示すケーシング２１ｂは、中間の長さのネジ軸２２（不図示）を内蔵し、図６（Ｂ）に示すケーシング２１ｃは、比較的長いネジ軸２２（不図示）を内蔵する。例えば、検査対象のスキャン方向長さが長い場合には、図６（Ｂ）に示したケーシング２１ｃを採用することよって、スライダ２２（超音波探触子２８）のスキャン方向Ｘの移動可能距離が長くなり、走行ユニット３をスキャン方向Ｘには移動させる必要がなくなる。この結果、スキャン方向Ｘの位置特定精度が向上し、又検査が省力化される。
【００２７】
［探触子ホルダおよびジンバル機構］
図７（Ａ）および図７（Ｃ）を参照すると、スライダ２３には、上下方向に傾動可能にホルダユニット２７が接続される。ホルダユニット２７は、傾動軸２７ｂを介して、ケーシング２１に揺動自在に接続されるブラケット２７ａを有する。図７（Ｅ）を参照すると、ブラケット２７ａは、超音波探触子２８を交換可能に保持する。図７（Ｂ）を参照すると、超音波探触子２８は、揺動軸２９を軸として、左右方向に揺動可能に支持される。結局、超音波探触子２８は、このようなジンバル機構を介して、スライダ２８にスキャン方向ないしインデックス方向に傾動ないし揺動自在に支持されている。さらに、図７（Ａ）および図７（Ｄ）を参照すると、検査者がスライダ２３をつかむ部分には、滑り止めのためにローレット加工されたツマミ２３ｃが設けられている。また、スライダ２３の背面であってケーシング２１と摺動する部分には、低摩擦部材２３ｄが取り付けられ、必要な操作力を軽減している。
【００２８】
図８および図９を参照しながら、図１（Ａ）に示した検査装置１を用いた超音波探傷の一例を説明する。
【００２９】
（測定条件の一例）
・測定方法：反射法
・磁輪走行回数（検査装置１全体をインデックス方向Ｙに動かす回数）  １０回
・一回の磁輪走行距離（リミットスイッチ３３の設定値）  １ｃｍ
・スライド回数（スライダ２３をスキャン方向Ｘに動かす回数）  各１０回／インデックス位置
・スライダ２３の１回の操作距離（１ピッチ）  １ｃｍ
・検査対象のサイズ
スキャン方向の幅：１０ｃｍ
インデックス方向の長さ：１０ｃｍ
厚さ：反射法により測定可能な厚さ
・欠陥の位置：中心が座標（Ｘ，Ｙ）＝（５，５）、深さが板厚の半分である孔（検査対象の裏面が開口面）
【００３０】
Ｓ１０１において、検査者は、検査対象の幅／スライド回数よりスライダ操作の１ピッチを１ｃｍとする。検査者は、検査対象の長さ／磁輪走行回数より一回の磁輪走行距離を１ｃｍとする。検査者は、要求精度に応じて、同じインデックス位置でスキャンを実行する回数、すなわちスライダ２３を動かす回数を１０回と定める。
【００３１】
Ｓ１０２を参照して、検査者は、検査装置１を検査対象上に置く。磁輪３２ａ，３２ｂの磁力によって、検査装置１は、検査対象に吸着する。このときのスライダ２３のインデックス方向Ｙの座標（Ｙ座標）が、原点“０”である。
【００３２】
Ｓ１０３を参照して、検査者は、スライダ２３をネジ軸２２の一端に寄せる。このときのスライダ２３（超音波探触子２８）のスキャン方向Ｘの座標（Ｘ座標）が、原点“０”である。
【００３３】
Ｓ１０４を参照して、検査者は、スキャン（超音波探傷）を行う。これによって、Ｘ，Ｙ座標（０，０）におけるスキャンデータが得られる。
【００３４】
Ｓ１０５およびＳ１０６を参照して、スライダ２３がネジ軸２２の他端に到達していなければ、検査者は、スライダ２３を他端側へ１ピッチ分スライドさせる。これによって、ネジ軸２２が回転する。ロータリエンコーダ２５はネジ軸２２の回転角を検出する。演算部４１（図３参照）は、ネジ軸２２の回転角より、スライダ２３の移動距離、結局スライダ２３が移動したスキャン方向のＸ座標を算出する。
【００３５】
なお、ロータリエンコーダ２５によって、スライダ２３の現在位置は正確に計測されるため、検査者によるスライド操作のバラツキに起因するスライダ２３の位置ずれは許容される。
【００３６】
Ｓ１０５〜Ｓ１０７を参照して、以上のスキャン操作を繰り返し、スライダ２３がネジ軸２２の他端に到達すると（ｍ＝１０）、Ｙ座標“０”線上のスキャンが終了する。
【００３７】
Ｓ１０８〜Ｓ１０９を参照して、検査者は、リミットスイッチ３３を“１ｃｍ”にセットし、走行車両１を、それが検査対象上に吸着した状態で、インデックス方向Ｙに走行させる。Ｓ１１０を参照して、走行車両１が設定された走行距離分走行すると、リミットスイッチ３３が作動して、走行車両１は強制的に停止させられる。
【００３８】
Ｓ１０３に戻って、検査者は、上述したように、スライダ２３をネジ軸２２の一端に寄せ、スライダ２３（探触子）の位置をスキャン方向Ｘの原点に戻す。検査者は、スライダ２３の移動操作およびスキャン操作を所定回数繰り返し（Ｓ１０４〜Ｓ１０６）、それらが終了すると（Ｓ１０７）、リミットスイッチ３３をセットし、走行車両１をインデックス方向Ｙに走行させる（Ｓ１０８〜Ｓ１０９）。
【００３９】
以上のスキャン走査およびインデックス走行が所定回数完了すると（ｍ＝１０かつｎ＝１０）、検査対象上で要求された範囲のスキャンが終了し、Ｃスコープ画像を得ることができる。すなわち、図５（Ｄ）を参照して、ロータリエンコーダ２５から超音波探傷のスキャン方向位置がわかり、リミットスイッチ３３から超音波探傷のインデックス方向位置がわかり、これらを演算部４１は、超音波探触子２８からのスキャンデータと組み合わせて、Ｃスコープ画像等の探傷画像を得ることができる。
【００４０】
ここで、欠陥の検出について説明する。検査者が、上述のフローにおいて、インデックス方向Ｙの座標“４”の線上で、スキャン操作を行うと、図８に示すように、検査対象には座標（５，５）を中心とする孔（図８参照）があるので、孔の一部を示すスキャン信号が得られる。次のインデックス方向Ｙの座標“５”の線上でも同様である。このようなスキャン信号を合成することにより、図８中下部に例示するようなＣスコープ画像が得られ、孔の検査対象上の位置および深さを特定し、又検査対象の肉厚分布を得ることができる。
【００４１】
以上説明した超音波探傷法にしたがって、図１０（Ａ）に示す試験体を超音波探傷した。なお、ドリル穴は試験体の裏面側から形成した。このドリル穴上を含む線上でのスキャン走査によって、図１０（Ｂ）に示すＢスコープ画像が得られた。このＢスコープ画像からは、走査した断面（試験体の厚み方向に沿った断面）における肉厚分布がわかる。さらに、試験体全面上でのスキャン走査およびインデックス走行によって、図１０（Ｃ）に示すＣスコープ画像が得られた。このＣスコープ画像からは、試験体全体の三次元的な肉厚分布がわかる。
【００４２】
以上、本発明の実施形態および実施例を説明したが、本発明は、上記した実施形態等に限定されるものではなく、本発明の基本的な技術的思想を逸脱しない範囲で、更なる変形、置換又は調整を加えることができる。
【００４３】
なお、上記の特許文献の各開示を、本書に引用をもって繰り込むものとする。本発明の全開示（請求の範囲を含む）の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の全開示の枠内において種々の開示要素（各請求項の各要素、各実施形態ないし実施例の各要素、各図面の各要素等を含む）の多様な組み合わせ、ないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。さらに、本願に記載の数値範囲及び上限ないし下限数値は、特に明示のない場合も、記載された数値ないし数値範囲に限定されず、任意の小範囲ないし任意の中間値が記載されているものとみなされるものとする。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明による検査装置および検査方法は、超音波探傷等の各種探傷法に適用され、防塵、防滴、防湿又は防爆を要し、短時間での検査が求められる過酷な環境下で、配管の減肉および腐食といった状態を検出するために、好適に使用される。
【符号の説明】
【００４５】
１  検査装置
２  検査ユニット
３  走行ユニット
４  ケーブルユニット
２１  ケーシング
２１ａ  短いケーシング
２１ｂ  中間長さのケーシング
２１ｃ  長いケーシング
２２  ネジ軸
２２ａ  外ネジ、多条ネジ
２３  スライダ
２３ａ  内ネジ
２３ｂ  被ガイド部
２３ｃ  ツマミ
２３ｄ  低摩擦部材
２４  直進ガイド
２５  ロータリエンコーダ
２５ａ  円盤
２５ｂ  スリット
２５ｃ  発光部
２５ｄ  受光部
２７  ホルダユニット
２７ａ  ブラケット
２７ｂ  傾動軸（上下方向）
２８  探触子、超音波探触子
２９  揺動軸（左右方向）
３１  車台
３２ａ  大径磁輪
３２ｂ  小径磁輪
３３  リミットスイッチ
３３ａ  ストッパ
３３ｂ  カム
４１  演算部
ｍ  スライダの操作回数
ｎ  磁輪の走行回数
Ｘ  スキャン方向、第１方向
Ｙ  インデックス方向、第２方向
α  左右の首振り角
β  上下の傾動角
【図１】
0006596227.tif 000002
【図２】
0006596227.tif 000003
【図３】
0006596227.tif 000004
【図４】
0006596227.tif 000005
【図５】
0006596227.tif 000006
【図６】
0006596227.tif 000007
【図７】
0006596227.tif 000008
【図８】
0006596227.tif 000009
【図９】
0006596227.tif 000010
【図１０】
0006596227.tif 000011