(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
収容部屋内に配置されて、被熱処理物の熱処理を行うためのクリーン排気システムであって、
基部と、
前記基部とは区画して設けられて、被熱処理物を収容する処理室を有する収容部と、
前記基部内に配置されるモータと、
前記処理室内に配置されて、前記モータにより回転される送風ファンと、
前記基部内において前記モータから発生する熱と発生物質を含む空気を、前記収容部屋内に漏れないように前記基部内から前記処理室内に送る空気移送部と、
を備え、
前記モータから発生する熱と発生物質を含む前記空気を、前記基部内から前記処理室内に送る際に、前記モータから発生する熱と発生物質を含む前記空気から前記発生物質を除去するための発生物質除去フィルタが配置されていることを特徴とするクリーン排気システム。
【請求項２】
前記空気移送部は、前記収容部と前記基部の外側に位置され、前記空気移送部は、前記基部に設けられた排気口と、前記収容部に設けられた吸気口との間に接続するチューブであることを特徴とする請求項１に記載のクリーン排気システム。
【請求項３】
前記空気移送部は、前記収容部の前記処理室と前記基部を区画している壁部に貫通して設けられている貫通孔であり、前記空気移送部により、前記処理室と前記基部が接続されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーン排気システム。
【請求項４】
前記処理室内には、前記送風ファンにより前記処理室内で循環される雰囲気ガスを通す主フィルタが配置されており、前記主フィルタは、前記発生物質除去フィルタよりも目が細かいことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のクリーン排気システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム等で被熱処理物の熱処理を行うためのクリーンオーブン等に適用できるクリーン排気システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
特定の雰囲気ガス中で被熱処理物の熱処理を行うためのクリーンオーブンが、特許文献１に開示されている。
【０００３】
特許文献１のクリーンオーブンは、半導体デバイスや液晶ディスプレイデバイス等を熱処理する装置であり、断熱材により囲まれた炉内に被熱処理物を収容して加熱する。このクリーンオーブンは、炉外にはオーブン用ファン駆動モータを備えており、オーブン用ファン駆動モータは、クリーンオーブンの側壁において突き出るようにして設けられている。
【０００４】
オーブン用ファン駆動モータは、炉内に配置されているオーブン用ファンを回転する。被熱処理物の熱処理を行う時には、炉内のヒータにより熱せられた雰囲気ガスが、オーブン用ファンの回転によって、フィルタを通過して被熱処理物に吹き付けられる。そして、雰囲気ガスは、被熱処理物を通過後に、ヒータで再び加熱されて炉内を循環される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２７１１２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１に開示されているクリーンオーブンを、空気清浄度が確保された収容部屋として例えばクリーンルーム内で使用する際には、クリーンオーブンの外側に設けられているオーブン用ファン駆動モータからは、クリーンルーム内に排熱と発塵を生じる。
【０００７】
このため、オーブン用ファン駆動モータからの排熱とオーブン用ファン駆動モータからの塵を含む空気を、クリーンルーム内から排出するためには、熱をクリーンルームの外に排出するための排気ダクトと、塵をクリーンルームの外に排出するための排気ダクトを含む大掛かりな排気設備を追加する必要がある。従って、従来のクリーンオーブンは、このような大掛かりな排気設備の追加に伴う費用が発生する。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、モータから発生する熱と塵を含む空気による収容部屋内の汚染を防止でき、大掛かりな排気設備が不要となり、大掛かりな排気設備の追加に伴う費用が発生するのを防ぐことができるクリーンオーブン等に適用できるクリーン排気システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を達成するため、請求項１に記載のクリーン排気システムは、収容部屋内に配置されて、被熱処理物の熱処理を行うためのクリーン排気システムであって、基部と、前記基部とは区画して設けられて、被熱処理物を収容する処理室を有する収容部と、前記基部内に配置されるモータと、前記処理室内に配置されて、前記モータにより回転される送風ファンと、前記基部内において前記モータから発生する熱と発生物質を含む空気を、前記収容部屋内に漏れないように前記基部内から前記処理室内に送る空気移送部と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
請求項１に記載のクリーン排気システムでは、空気移送部は、基部内においてモータから発生する熱と発生物質を含む空気を、収容部屋内に漏れないように基部内から処理室内に送ることができる。従って、モータから発生する熱と発生物質を含む空気による収容部屋内の汚染を防止でき、大掛かりな排気設備が不要となり、大掛かりな排気設備の追加に伴う費用が発生するのを防ぐことができる。
【００１１】
請求項２に記載のクリーン排気システムでは、前記空気移送部は、前記収容部と前記基部の外側に位置され、前記空気移送部は、前記基部に設けられた排気口と、前記収容部に設けられた吸気口との間に接続するチューブであることを特徴とする。
【００１２】
請求項２に記載のクリーン排気システムでは、空気移送部は、排気口と吸気口に接続するだけで、既存のクリーン排気システムの収容部と基部の外側に、後付けで容易に取り付けることができる。
【００１３】
請求項３に記載のクリーン排気システムでは、前記空気移送部は、前記収容部の前記処理室と前記基部を区画している壁部に貫通して設けられている貫通孔であり、前記空気移送部により、前記処理室と前記基部が接続されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項３に記載のクリーン排気システムでは、空気移送部は、収容部の処理室と基部を区画している壁部に貫通して設けられている貫通孔であるので、既存のクリーン排気システムの収容部と基部の内側に、後付けで容易に設けることができる。
【００１５】
請求項４に記載のクリーン排気システムでは、前記モータから発生する熱と発生物質を含む前記空気を、前記基部内から前記処理室内に送る際に、前記モータから発生する熱と発生物質を含む前記空気から前記発生物質を除去するための発生物質除去フィルタが配置されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載のクリーン排気システムでは、発生物質除去フィルタは、モータから発生する熱と発生物質を含む空気から発生物質を除去することができるので、発生物質が基部内から処理室内に送り込まれるのを防ぐことができる。
【００１７】
請求項５に記載のクリーン排気システムでは、前記処理室内には、前記送風ファンにより前記処理室内で循環される雰囲気ガスを通す主フィルタが配置されており、前記主フィルタは、前記発生物質除去フィルタよりも目が細かいことを特徴とする。
【００１８】
請求項５に記載のクリーン排気システムでは、発生物質除去フィルタは、モータから発生する熱と発生物質を含む空気から発生物質を除去して、発生物質が基部内から処理室内に送り込まれるのを防ぐが、仮により細かい発生物質が発生物質除去フィルタを通過してしまったとしても、そのより細かい発生物質は、主フィルタにより捕獲することができるので、処理室内の汚染を防げる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、モータから発生する熱と塵を含む空気による収容部屋内の汚染を防止でき、大掛かりな排気設備が不要となり、大掛かりな排気設備の追加に伴う費用が発生するのを防ぐことができるクリーンオーブン等に適用できるクリーン排気システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態のクリーン排気システムが適用されるクリーンオーブンを斜め前側から示す斜視図である。
【図２】図１に示すクリーン排気システムを斜め後側から示す斜視図である。
【図３】図１に示す本体部の縦方向に沿った断面図である。
【図４】図３に示す本体部の構造例を見易くするために単純化して示す図である。
【図５】図４に示す本体部のＤ−Ｄ線における断面図である。
【図６】第１実施形態のクリーン排気システムの動作例を模式的に示す斜視図である。
【図７】本発明のクリーン排気システムの第２実施形態を示し、本体部の構造例を見易くするために単純化して示す図である。
【図８】図７に示す本体部のＥ−Ｅ線における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を用いて、本発明を実施するための形態(以下、実施形態と称する)を説明する。
【００２２】
（第１実施形態）
＜クリーン排気システム１の全体構成＞
図１は、本発明の第１実施形態のクリーン排気システムが適用されるクリーンオーブンを斜め前側から示す斜視図である。図２は、図１に示すクリーン排気システム１を斜め後側から示す斜視図である。
【００２３】
図１と図２に示すクリーン排気システム１は、例えば半導体デバイスや液晶ディスプレイデバイス等の被熱処理物の熱処理をするためのクリーンオーブンに適用されている。クリーン排気システム１は、空気清浄度が確保された収容部屋、例えばクリーンルーム２００内に配置されている。クリーン排気システム１は、炉内において強制送風循環方式により、特定の雰囲気ガス中で被熱処理物の熱処理を行う。このクリーン排気システム１は、無塵熱処理器ともいう。雰囲気ガスとしては、好ましくは窒素やアルゴン等の不活性ガスを採用できるが、特に限定されない。
【００２４】
クリーンルーム２００内の清浄度としては、米国連邦規格（ｆｅｄ．Ｓｔｄ．２０９Ｅ）では、クラス１０からクラス１００００あたりまでである。米国連邦規格では、０．５μｍ粒子の１立方フィート（ｆｔ３）中の粒子数を規定しており、例えばクラス１００とは、１ｆｔ３中に０．５μｍの粒子が１００個以内であることを意味する。ＩＳＯクリーンルーム規格（規格番号  ＩＳＯ−１４６４４，Ｐａｒｔ１、名称：空気清浄度のクラス分類）では、クラス１０は、ＩＳＯクラス４に相当し、クラス１００は、ＩＳＯクラス５に相当し、クラス１０００は、ＩＳＯクラス６に相当し、クラス１００００は、ＩＳＯクラス７に相当する。
【００２５】
図1と図２に示すように、クリーン排気システム１の本体部１Ａは、金属製の直方体形状の箱体であり、本体部１Ａは、前面部２と、背面部３と、左側面部４と、右側面部５と、上面部６と、下面部７を有する。
【００２６】
図１に示すように、前面部２には、正面扉８と、操作パネル９が配置されている。正面扉８は、図２に示すヒンジ部８Ａ，８Ａにより保持されている。正面扉８は、図１において破線で示す前面部２の前面開口部８Ｂを、片開き式で開閉可能である。正面扉８は把手８Ｃを有する。
【００２７】
図２に示すように、背面部３には、後で説明するＨＥＰＡフィルタのような主フィルタＦの交換をするための交換用の背面扉１０が、開閉可能に配置されている。背面部３の下部には、放熱孔１１が設けられている。この放熱孔１１は、塞ぎ板１２と複数のネジ１２Ａを用いて塞ぐことができる。背面部３の上部には、放熱孔１３が設けられている。
【００２８】
図２に示すように、左側面部４には、下部に放熱孔１４が設けられている。左側面部４の上部には、放熱孔１６が設けられている。
【００２９】
図１に示すように、右側面部５には、ケーブル孔１７と、吸気口１８を有する。ケーブル孔１７と吸気口１８は、本体部１Ａの内部に通じている。ケーブル孔１７は、電気ケーブル等のケーブル類を本体部１Ａの内部と外部の間で通すのに用いられる。
【００３０】
吸気口１８には、図１に示す空気移送部２０の一端部２１が着脱可能に接続できるようになっている。右側面部５の下部には、放熱孔２３が設けられている。この放熱孔２３は、塞ぎ板２４と複数のネジ２４Ａを用いて塞ぐことができる。右側面部５の上部には、放熱孔２５が設けられている。
【００３１】
塞ぎ板２４には、排気口２６が設けられている。この排気口２６には、図１に示す空気移送部２０の他端部２２が着脱可能に接続できるようになっている。空気移送部２０は、例えば屈曲自在で伸長が可能なフレキシブルチューブを用いることができる。
【００３２】
図１に示すように、上面部６は、放熱孔２７と、排気口２８を有している。排気口２８には、槽内排気管２９が着脱可能に取り付けられている。この槽内排気管２９には、処理室４２内の排気量を調整するための排気量調整バルブ３０が設けられている。
【００３３】
図３は、図１に示す本体部１Ａの縦方向に沿った断面図である。図４は、図３に示す本体部１Ａの構造例を見易くするために単純化して示す図である。図５は、図４に示す本体部１ＡのＤ−Ｄ線における断面図である。
【００３４】
図３に示すように、本体部１Ａの下面部７には、四隅位置に本体部１Ａを移動させるためのキャスタ３１が設けられている。また、下面部７には、本体部１Ａの位置の移動を止めるためのストッパ３２が設けられている。
【００３５】
図３に示すように、正面扉８は、矩形状の前面開口部８Ｂに対して扉パッキン３３を介して密閉状態で閉じるようになっている。作業者が、正面扉８を開けることにより、本体部１Ａ内に収容されている被熱処理物の出し入れを行うことができる。
【００３６】
背面扉１０は、矩形状の背面開口部１０Ｂに対して扉パッキン３４を介して密閉状態で閉じるようになっている。作業者は、背面扉１０を開けることにより、本体部１Ａ内に収容されている主フィルタＦを取り出して、新たな主フィルタＦに交換することができる。この主フィルタＦは、例えばＨＥＰＡフィルタを用いることができる。ＨＥＰＡフィルタは、正方形または長方形状の無菌用高性能フィルタである。
【００３７】
＜本体部１Ａの収容部４０＞
図３に示すように、本体部１Ａは、収容部４０と、基部４１を有する。収容部４０は、基部４１の上に配置されており、収容部４０の処理室４２の内部は、炉内のヒータ６５により熱せられた雰囲気ガスで満たされている。収容部４０の処理室４２内での使用温度範囲としては、例えば室温+３０〜３００℃の高温環境下であるが、特に限定されない。
【００３８】
図３と図４に示すように、収容部４０の処理室４２は、上壁部５０と下壁部５１と、図１に示す左側面部４と右側面部５と、図３に示す正面扉８と背面扉１０により、囲まれることで形成されている。上壁部５０と下壁部５１と左側面部４と右側面部５と正面扉８と背面扉１０は、金属板材に断熱構造体を配置した構造になっており、断熱構造体としては、例えばセラミックファイバとグラスウールにより作られている。
【００３９】
図３と図４に示すように、この収容部４０の前側には、前面開口部８Ｂが設けられ、収容部４０の後側には、背面開口部１０Ｂが設けられている。図３に示すように、収容部４０の内部には、棚板５５を保持する棚受柱５６，５７が設けられている。棚受柱５６，５７は、左側面部４の内面と右側面部５の内面にそれぞれ固定されている。
【００４０】
左右の棚受柱５６，５７は、１つまたは複数の棚板５５を保持する。左右の棚受柱５６，５７は、Ｚ方向（上下方向）に沿って１つまたは複数の棚板５５の位置を変えて保持することができる。各棚板５５は、被熱処理物を載せることができる。棚板５５は、棚受け５５Ａを有する。
【００４１】
図３に示すように、気体の吸入口部５８が、収容部４０の前側の棚受柱５６の前部において、Ｚ方向に沿って設けられている。この気体の吸入口部５８は、前面開口部８Ｂに沿って、正面扉８と前側の棚受柱５６との間に配置されている。
【００４２】
主フィルタＦは、収容部４０において、後側の棚受柱５７と背面扉１０との間に、例えばボルトナットを用いて交換できるように着脱可能に設けられている。しかも、背面扉１０と主フィルタＦとの間には、気体を流すための空間ＳＰが設けられている。
【００４３】
図３に示すように、収容部４０の処理室４２内において、温度制御センサ５９が、上壁部５０に取り付けられている。温度制御センサ５９は、後側の棚受柱５７と主フィルタＦとの間に設けられている。この温度制御センサ５９は、収容部４０の処理室４２内の温度を制御するために、処理室４２内の温度情報信号ＳＳを制御部１００に送るようになっている。
【００４４】
＜本体部１Ａの収容部４０＞
次に、本体部１Ａの基部４１について説明する。
【００４５】
図３から図５に示すように、本体部１Ａの基部４１は、収容部４０の下部に設けられている。図３に示すように、基部４１の下面部７には、すでに説明したように、キャスタ３１等が取り付けられている。
【００４６】
図３から図５に示すように、本体部１Ａの基部４１は、直方体状の収容空間部６０を有しており、収容空間部６０と収容部４０の処理室４２は、下壁部５１による区画して分離されている。収容空間部６０内には、取付け部６１と、ファンモータ６２が設けられている。このファンモータ６２は、取付け部６１に固定され、ファンモータ６２の出力軸６３は、Ｚ方向に沿って上向きになっている。ファンモータ６２は、制御部１００の指令により回転制御が行われる。
【００４７】
図３と図４に示すように、下壁部５１は、厚肉部分５１Ａと薄肉部分５１Ｂを有している。厚肉部分５１Ａは、正面扉８側に形成されており、薄肉部分５１Ｂは、厚肉部分５１Ａの後側であって、厚肉部分５１Ａから背面扉１０にかけて形成されている。厚肉部分５１Ａは、前面開口部８Ｂの一部分を形成しており、薄肉部分５１Ｂは、背面開口部１０Ｂの一部分を形成している。
【００４８】
図３と図４に示すように、薄肉部分５１Ｂは貫通孔５１Ｃを有している。この貫通孔５１Ｃは、Ｚ方向に沿って形成されており、ファンモータ６２の出力軸６３が、この貫通孔５１Ｃを通っている。図３に例示するように、ファンモータ６２の出力軸６３は、上下の位置に円盤６３Ａ，６３Ｂを固定している。
【００４９】
これらの円盤６３Ａ，６３Ｂは、貫通孔５１Ｃの上端部と下端部に位置されており、出力軸６３は貫通孔５１Ｃ内において円盤６３Ａ，６３Ｂにより薄肉部分５１Ｂに対して支持されるようにして回転できるようになっている。このような円盤６３Ａ，６３Ｂを設けることで、収容空間部６０内に発生するファンモータ６２の熱や塵が、貫通孔５１Ｃを通じて収容部４０の処理室４２に漏れるのを、できる限り防ぐことができる。
【００５０】
ファンモータ６２の出力軸６３の先端部には、送風ファン６４が取り付けられている。ファンモータ６２と送風ファン６４は、収容部４０の処理室４２内に所定の雰囲気ガスを送風するための送風機を構成している。この送風ファン６４は、処理室４２内において、下壁部５１における厚肉部分５１Ａと薄肉部分５１Ｂの厚みの差により生じる空間ＳＱに配置されている。
【００５１】
＜ヒータ６５＞
次に、図３から図５を参照して、ヒータ６５を説明する。
【００５２】
図３から図５に示すヒータ６５は、制御部１００からの通電により、上述した収容部４０の処理室４２内を、所定の加熱温度で加熱する。ヒータ６５の材質としては、例えばステンレスパイプヒータであるが、特に材質は限定されない。
【００５３】
図３から図５に示すヒータ６５は、左右の第１部分６５Ａ，６５Ａと、左右の第２部分６５Ｂ，６５Ｂと、第３部分６５Ｃを有する。図３から図５に示すヒータ６５の左右の第１部分６５Ａ，６５Ａは、Ｚ方向に沿って形成されている。図３と図４に示すヒータ６５の左右の第２部分６５Ｂ，６５Ｂは、Ｘ方向に沿って形成されている。図４と図５に示す第３部分６５Ｃは、Ｙ方向に沿って形成されている。
【００５４】
ここで、Ｚ方向は、本体部１Ａの上下方向であり、Ｘ方向は、本体部１Ａの奥行方向であり、Ｙ方向は、本体部１Ａの幅方向である。
【００５５】
図３に示すように、下壁部５１の厚肉部分５１Ａは、Ｚ方向沿って貫通孔５１Ｄを有する。左右の第１部分６５Ａ，６５Ａは、厚肉部分５１Ａの貫通孔５１Ｄを通っている。左右の第１部分６５Ａ，６５Ａの下端部のターミナル６５Ｄは、収容空間部６０内に達しており、制御部１００に電気的に接続されている。左右の第１部分６５Ａ，６５Ａの上端部は、収容部４０の処理室４２内に達している。ヒータ６５の左右の第２部分６５Ｂ，６５Ｂと第３部分６５Ｃは、収容部４０の処理室４２内において、最も下段の棚板５５の下部の空間ＳＰ１に配置されている。
【００５６】
＜空気移送部２０＞
次に、図１と図３から図５を参照して、空気移送部２０について説明する。
【００５７】
図１に示す空気移送部２０は、図３では破線で示し、図４と図５では実線で示している。
【００５８】
図１に示すように、空気移送部２０の一端部２１が、右側面部５の吸気口１８に、着脱可能に接続されているとともに、図１に示す空気移送部２０の他端部２２が、塞ぎ板２４の排気口２６に着脱可能に接続されている。このような空気移送部２０の取付け構造を採用することで、塞ぎ板２４を右側面部５の下部の放熱孔２３に対して取り付けるだけで、空気移送部２０は、既存のクリーン排気システム１に対して、簡単に後付け作業で、取り付けることができる。
【００５９】
右側面部５の吸気口１８には、塵除去フィルタ７０が着脱可能に取り付けられている。この塵除去フィルタ７０は、プレフィルタと呼ぶこともでき、主フィルタＦに比べると、目の粗いフィルタである。言い換えれば、主フィルタＦの目は、塵除去フィルタ７０の目よりも細かい。
【００６０】
主フィルタＦは、用途によって、例えば耐熱ＨＥＰＡフィルタや高性能耐熱ＨＥＰＡフィルタを用いることができる。耐熱ＨＥＰＡフィルタや高性能耐熱ＨＥＰＡフィルタの連続最高使用温度は例えば３５０℃であり、耐熱ＨＥＰＡフィルタや高性能耐熱ＨＥＰＡフィルタの集塵効率は、０．３μｍにて９９．９７％以上である。
【００６１】
また、塵除去フィルタ７０としては、主フィルタＦよりも目の粗いフィルタを用いることができる。
【００６２】
空気移送部２０は、基部４１内の収容空間部６０内と、収容部４０の処理室４２内を、塵除去フィルタ７０を介して接続している。
【００６３】
ファンモータ６２が回転駆動する際には、ファンモータ６２は、熱や粉塵等の発生物質を発生する。発生物質としては、金属粉等の粉塵や油分を含む。
【００６４】
ファンモータ６２から発生する粉塵等の発生物質が、収容空間部６０内に発生するが、この収容空間部６０内の熱や粉塵等の発生物質を含む空気は、収容空間部６０から空気移送部２０を通じて塵除去フィルタ７０に送られることで、粉塵等の発生物質を塵除去フィルタ７０により捕集される。そして、粉塵等の発生物質が除去された空気は、右側面部５の吸気口１８を通じて収容部４０の処理室４２内に送られるようになっている。
【００６５】
このように、空気移送部２０は、収容空間部６０内の熱や粉塵等の発生物質を含む空気を、収容部４０の処理室４２内に送り込むようにして、本体部１Ａの外側、すなわちクリーンルーム２００内には、全く入り込まないようにすることができる。空気移送部２０は、本体部１Ａの外側において、後付け作業で取り付けることができるようにした外部接続タイプの部材である。
【００６６】
＜クリーン排気システム１の動作例＞
次に、上述したクリーン排気システム１の動作例を説明する。
【００６７】
図６は、図１から図５に示す第１実施形態のクリーン排気システム１の動作例を模式的に示す斜視図である。
【００６８】
図３に示すように、収容部４０の処理室４２内の後部には、主フィルタＦが取り付けられ、背面扉１０が扉パッキン３４を介して処理室４２の背面開口部１０Ｂを密閉している。まず、図１に示す正面扉８を開けて、図３に示す収容部４０の処理室４２内の棚板５５の上には被熱処理物を配置する。正面扉８を閉じることで、正面扉８は、扉パッキン３３を介して処理室４２の前面開口部８Ｂを密閉する。
【００６９】
図３に示す制御部１００は、ヒータ６５に通電することで、ヒータ６５が発生する熱により、予め定めた温度により被熱処理物を加熱するとともに、ファンモータ６２は、制御部１００の指令により駆動して、出力軸６３とともに送風ファン６４が回転する。温度制御センサ５９は、収容部４０の処理室４２内の温度を制御するために、処理室４２内の温度情報信号ＳＳを制御部１００に送る。これにより、制御部１００は、ヒータ６５への通電制御をすることで、処理室４２内を、所定の温度に維持する。
【００７０】
送風ファン６４が回転することで、図３における矢印Ｒ１から矢印Ｒ５で示すように収容部４０の処理室４２内の雰囲気ガスを含む空気を循環することができる。すなわち、雰囲気ガスを含む空気は、送風ファン６４から矢印Ｒ１、Ｒ２により空間ＳＰを通過して、主フィルタＦに入る。主フィルタＦは、雰囲気ガスを含む空気から塵等を除去した後、塵等が除去された雰囲気ガスを含む空気は、矢印Ｒ３で示すように棚板５５上の被熱処理物を通過する。そして、被熱処理物を通過することで塵等を含んだ雰囲気ガスを含む空気は、矢印Ｒ４に進み気体の吸入口部５８を通じて、矢印Ｒ５で示すように送風ファン６４に戻る。
【００７１】
被熱処理物を熱処理中、図６に示すように、制御部１００は、槽内排気管２９の排気量調整バルブ３０の開度の調整により行う。排気量調整バルブ３０の開度は、制御部１００の指令により行うことで、収容部４０の処理室４２内の雰囲気ガスをクリーンルーム２００の外部に排出する排気量を調整している。これにより、クリーン排気システム１の運転が開始されて、ファンモータ６２が動作を開始すると同時に、処理室４２内の雰囲気ガスの一部を、収容部４０の処理室４２内から図６の矢印Ｒ６で示すように、槽内排気管２９と排気量調整バルブ３０を通じて、図１に示すクリーンルーム２００の外部に排出する。
【００７２】
槽内排気管２９は、クリーンルーム２００の外側に達しているので、塵等を含んだ雰囲気ガスを含む空気の一部が、クリーンルーム２００内には漏れることは全くなく、クリーンルーム２００内を汚染することは無い。
【００７３】
一方、上述したようにファンモータ６２が送風ファン６４を回転することで、収容部４０の処理室４２内の雰囲気ガスを含む空気を循環して被熱処理物の加熱処理を行う際には、図５と図６に示すように、空気移送部２０は、収容空間部６０内でファンモータ６２が駆動することで生じる熱や粉塵等の発生物質を含む空気を、図５と図６に示す矢印Ｔで示すように、収容部４０の処理室４２内に塵除去フィルタ７０を介して、送り込むようにしている。
【００７４】
ファンモータ６２が駆動することで生じる粉塵としては、例えばモータ軸の摩擦粉よりも、モータのコイルをコーティングしているワニスや、ベアリングのグリスからの発塵が主である。
【００７５】
ファンモータ６２からの発塵を確認したところ、０．５μｍ粒子の１立方フィート（ｆｔ３）中の粒子数を測定すると、ファンモータ６２のオフ時とオン時では、発塵量が５倍ないし６倍（０．５μｍ粒子にて７８個が３９８個／ｆｔ３）（ｆｔ３＝０．０２８３２ｍ３）に増えていることが分かっている。
【００７６】
空気移送部２０は、収容空間部６０内の熱や粉塵等の発生物質を含む空気を、本体部１Ａの外部で通す外部接続構造であるので、収容空間部６０内の熱や粉塵等の発生物質を含む空気がクリーンルーム２００内には入り込まないようにすることができる。特に、クリーンルーム２００内の空気清浄度がクラス１００あたりまでが、特にファンモータ６２からの発塵の影響を受けやすいのであるが、ファンモータ６２からの発生物質がクリーンルーム内には飛散しない。
【００７７】
槽内排気管２９の排気量調整バルブ３０の開度を調整することで、この処理室４２内の雰囲気ガスを含む空気の排気量の調整を行うことにより、収容空間部６０内の熱や粉塵等の発生物質を含む空気が、空気移送部２０を通じて、処理室４２内の雰囲気ガスを含む空気へ吸気される量が決まる。
【００７８】
図６に示すように、熱や粉塵等の発生物質を含む空気が、塵除去フィルタ７０を通して、処理室４２内に送り込まれると、送風ファン６４の回転により、矢印Ｒ１と矢印Ｒ２で示すように収容部４０の処理室４２内の雰囲気ガスを含む空気とともに、主フィルタＦを通過する。
【００７９】
これにより、仮に、熱や粉塵等の発生物質を含む空気が塵除去フィルタ７０を通っても、除去できなかった細かい粉塵等の発生物質は、塵除去フィルタ７０よりもさらに細かい主フィルタＦにより捕集して除去することができる。
【００８０】
ところで、図３に示す主フィルタＦは、所定の経過時間が経過した場合や、任意のタイミングで、交換することができる。主フィルタＦを交換する場合には、主フィルタＦの交換をするための交換用の背面扉１０を開けて、主フィルタＦを取り外して、新たな主フィルタＦを取り付けて、再び背面扉１０を閉じる。
【００８１】
また、図１に示す塵除去フィルタ７０は、所定の経過時間が経過した場合や、任意のタイミングで、交換することができる。塵除去フィルタ７０は、図１に示す空気移送部２０の一端部２１を吸気口１８から取り外すことで、新たな塵除去フィルタ７０を取り付けることができる。
【００８２】
上述した本発明の第１実施形態のクリーン排気システム１では、ファンモータ６２が回転することで収容空間部６０内に発生する熱や粉塵等の発生物質を含む空気は、本体部１Ａの外部に設けられた空気移送部２０を通すので、クリーンルーム２００内が熱と粉塵等の発生物質により汚染されることが無い。
【００８３】
しかも、収容空間部６０内に発生する熱や粉塵等の発生物質を含む空気は、本体部１Ａの外部に設けられた空気移送部２０を通して処理室４２内に送り込まれても、塵除去フィルタ７０よりも細かい粉塵等の発生物質等を除去できる処理率４２内の主フィルタＦが、熱や粉塵等の発生物質を含む空気から粉塵等の発生物質を除去することができるので、処理室４２内が粉塵等の発生物質により汚染されることは無い。すなわち、ファンモータ６２から発生した塵埃が、清浄度の調整されたクリーンルーム２００内に飛散するのを防ぐことができる。
【００８４】
空気移送部２０は、実際に設置されているクリーン排気システム１の本体部１Ａの外部に対して、後付けするだけで、容易に設けることできる。このため、実際に設置されているクリーン排気システムに対して大掛かりな排気設備が不要となり、大掛かりな排気設備の追加に伴う費用が発生するのを防ぐことができ、費用の軽減が図れる。
【００８５】
（第２実施形態）
次に、図７と図８を参照して、本発明のクリーン排気システムの第２実施形態を説明する。
【００８６】
図７は、本発明のクリーン排気システムの第２実施形態を示し、本体部１Ｂの構造例を見易くするために単純化して示す図である。図８は、図７に示す本体部のＥ−Ｅ線における断面図である。
【００８７】
図７と図８に示す第２実施形態のクリーン排気システム１の本体部１Ｂは、図１から図７に示す第１実施形態のクリーン排気システム１の本体部１Ａと比較すると、次に説明する要素が異なるが、その他の要素については実質的に同じであるので、同様の箇所には同じ符号を記して、その説明を援用する。
【００８８】
第１実施形態のクリーン排気システム１の本体部１Ａでは、図１に示すように、空気移送部２０は、本体部１Ａの外側において、吸気口１８と排気口２６を外部接続している。
【００８９】
これに対して、図７と図８に示す第２実施形態のクリーン排気システム１の本体部１Ｂでは、空気移送部２０Ｒは、本体部１Ｂの内部に設けられている。この空気移送部２０Ｒは、下壁部５１の薄肉部分５１Ｂに設けられている貫通孔である。空気移送部２０Ｒは、Ｚ方向に形成されており、収容空間部６０と収容部４０の処理室４２を接続している。
【００９０】
空気移送部２０Ｒの収容空間部６０側には、塵除去フィルタ７０Ｒが着脱可能に取り付けられている。
【００９１】
これにより、図７と図８に示す送風ファン６４を回転することで、収容部４０の処理室４２内の雰囲気ガスを含む空気を循環して被熱処理物の熱処理を行う際には、空気移送部２０Ｒは、収容空間部６０内の熱や粉塵等の発生物質を含む空気を矢印Ｔで示すように、収容部４０の処理室４２内に塵除去フィルタ７０Ｒを介して、直接送り込むことができる。
【００９２】
この空気移送部２０は、収容空間部６０内の熱や粉塵等の発生物質を含む空気を、本体部１Ｂの内部で通す内部接続構造であるので、収容空間部６０内の熱や粉塵等の発生物質を含む空気がクリーンルーム２００内には入り込まないようにすることができる。
【００９３】
このように、図６に示すように、熱や粉塵等の発生物質を含む空気が、塵除去フィルタ７０Ｒと空気移送部２０Ｒを通して、処理室４２内に送り込まれると、送風ファン６４の回転により、矢印Ｒ１と矢印Ｒ２で示すように収容部４０の処理室４２内の雰囲気ガスを含む空気とともに、主フィルタＦを通過する。これにより、仮に熱や粉塵等の発生物質を含む空気が塵除去フィルタ７０Ｒを通っても、除去できなかった細かい粉塵等の発生物質は、塵除去フィルタ７０Ｒよりもさらに細かい主フィルタＦにより、除去することができる。
【００９４】
従って、ファンモータ６２が回転することで収容空間部６０内に発生する熱や粉塵等の発生物質を含む空気は、本体部１Ｂの内部に設けられた空気移送部２０Ｒを通すので、クリーンルーム内が熱と粉塵等の発生物質により汚染されることが無い。ファンモータ６２から発生した塵埃が、清浄度の調整されたクリーンルーム内に飛散するのを防ぐことができる。
【００９５】
しかも、収容空間部６０内に発生する熱や粉塵等の発生物質を含む空気は、本体部１Ｂの内部に設けられた空気移送部２０Ｒを通して処理室４２内に送り込まれても、塵除去フィルタ７０Ｒよりも細かい粉塵等の発生物質等を除去できる処理率４２内の主フィルタＦが、熱や粉塵等の発生物質を含む空気から粉塵等の発生物質を除去することができるので、処理室４２内が粉塵等の発生物質により汚染されることは無い。
【００９６】
空気移送部２０Ｒは、実際に設置されているクリーン排気システム１の本体部１Ｂの隔壁である下壁部５１に対して、後付け作業で貫通孔を設けるだけで、容易に得られる。このため、実際に設置されているクリーン排気システムに対して大掛かりな排気設備が不要となり、大掛かりな排気設備の追加に伴う費用が発生するのを防ぐことができ、費用の軽減が図れる。
【００９７】
なお、上述した本発明の第１実施形態と第２実施形態では、収容空間部６０内に発生する熱や粉塵等の発生物質を含む空気が、薄肉部分５１Ｂの貫通孔５１Ｃを通じて処理室４２内に、わずかな量だけ入り込む場合であっても、粉塵や油分等の発生物質は、主フィルタＦにより除去することができる。
【００９８】
本発明の実施形態のクリーン排気システム１は、収容部屋の一例であるクリーンルーム２００内に配置されて、被熱処理物の熱処理を行うためのクリーンオーブン等に適用できるクリーン排気システムである。このクリーン排気システム１は、基部４１と、基部４１とは区画して設けられて、被熱処理物を収容する処理室４２を有する収容部４０と、基部４１内に配置されるモータ６２と、処理室４２内に配置されて、モータ６２により回転される送風ファン６４と、基部４１内においてモータ６２から発生する熱と発生物質を含む空気を、収容部屋２００内に漏れないように基部４１内から処理室４２内に送る空気移送部２０を備える。
【００９９】
これにより、空気移送部は、基部内においてモータから発生する熱と発生物質を含む空気を、収容部屋内に漏れないように基部内から処理室内に送ることができる。従って、モータから発生する熱と発生物質を含む空気による収容部屋内の汚染を防止でき、大掛かりな排気設備が不要となり、大掛かりな排気設備の追加に伴う費用が発生するのを防ぐことができる。
【０１００】
クリーン排気システム１では、空気移送部２０は、収容部４０と基部４１の外側に位置され、空気移送部２０は、基部４１に設けられた排気口２６と、収容部４０に設けられた吸気口１８との間に接続するチューブである。これにより、空気移送部は、排気口と吸気口に接続するだけで、既存のクリーン排気システムの収容部と基部の外側に、後付けで容易に取り付けることができる。
【０１０１】
クリーン排気システム１では、空気移送部２０は、収容部４０の処理室４２と基部４１を区画している壁部（例えば下壁部５１）に貫通して設けられている貫通孔であり、空気移送部２０により、処理室４０と基部４２が接続されている。これにより、空気移送部は、収容部の処理室と基部を区画している壁部に貫通して設けられている貫通孔２０Ｒであるので、既存のクリーン排気システムの収容部４０と基部４１の内側に、後付けで容易に設けることができる。
【０１０２】
クリーン排気システム１では、モータ６２から発生する熱と発生物質を含む空気を、基部４１内から処理室４２内に送る際に、モータ６２から発生する熱と発生物質を含む空気から発生物質を除去するための発生物質除去フィルタ７０（７０Ｒ）が配置されている。これにより、発生物質除去フィルタ７０（７０Ｒ）は、モータから発生する熱と発生物質を含む空気から発生物質を除去することができるので、発生物質が基部４１内から処理室４２内に送り込まれるのを防ぐことができる。
【０１０３】
クリーン排気システム１では、処理室４２内には、送風ファン６４により処理室４２内で循環される雰囲気ガスを通す主フィルタＦが配置されており、主フィルタＦは、発生物質除去フィルタ７０（７０Ｒ）よりも目が細かい。これにより、発生物質除去フィルタは、モータから発生する熱と発生物質を含む空気から発生物質を除去して、発生物質が基部内から処理室内に送り込まれるのを防ぐが、仮により細かい発生物質が発生物質除去フィルタを通過してしまったとしても、そのより細かい発生物質は、主フィルタにより捕獲することができるので、処理室内の汚染を防げる。
【０１０４】
以上、実施形態を挙げて本発明を説明したが、各実施形態は一例であり、特許請求の範囲に記載される発明の範囲は、発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更できるものである。
【０１０５】
例えば、図示例では、処理室４２内の排気量を調整するための排気量調整バルブ３０の開度は、制御部１００の指令により調整可能になっているが、これに限らず、排気量調整バルブ３０の開度は、作業者が手動により調整できるようにしても良い。
【０１０６】
空気清浄度が確保された収容部屋としては、クリーンルームに限らず、他の種類の室であっても良い。
【０１０７】
外付けの空気移送部２０としては、例えば屈曲自在で伸長が可能なフレキシブルチューブを用いているが、通常の金属製の伸縮しないチューブであっても良い。
【０１０８】
本発明の実施形態のクリーン排気システムは、クリーンオーブンに適用されている。しかし、これに限らず、本発明のクリーン排気システムは、クリーンオーブン以外の装置に適用することができる。
【符号の説明】
【０１０９】
１      クリーン排気システム
１Ａ    本体部
１８    吸気口
２０（２０Ｒ）  空気移送部
２６    排気口
４０    収容部
４１    基部
４２    処理室
５１    下壁部（壁部の例）
６０    収容空間部
６２    ファンモータ（モータ）
６４    送風ファン
７０（７０Ｒ）  塵除去フィルタ
２００  クリーンルーム（収容部屋の例）
Ｆ      主フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0006474286.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
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