(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着剤層を備える、粘着シートであって、
該粘着剤層が、アクリル系粘着剤と、所定温度で発泡可能な熱膨張性微小球とを含み、
該熱膨張性微小球の２５℃での平均粒子径が、１０μｍ以下であり、
該熱膨張性微小球の含有割合が、１５重量％以上であり、
該熱膨張性微小球の発泡温度よりも２０℃低い温度における、該粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率が、０．６ＭＰａ〜３０ＭＰａである、
粘着シート。
【請求項２】
前記熱膨張性微小球の発泡温度よりも５０℃低い温度における、前記粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率が、５ＭＰａ〜６００ＭＰａである、請求項１に記載の粘着シート。
【請求項３】
前記熱膨張性微小球の発泡温度よりも２０℃低い温度における、該粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率Ｅ２０に対する、該熱膨張性微小球の発泡温度よりも５０℃低い温度における、前記粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率Ｅ５０の比（Ｅ５０／Ｅ２０）が、１．１以上である、請求項１または２に記載の粘着シート。
【請求項４】
前記粘着剤層のゲル分率が、５０％以上である、請求項１から３のいずれかに記載の粘着シート。
【請求項５】
前記粘着剤層の厚さが、５μｍ〜３００μｍである、請求項１から４のいずれかに記載の粘着シート。
【請求項６】
基材層をさらに備え、
該基材層の片側または両側に、前記粘着剤層が配置される、
請求項１から５のいずれかに記載の粘着シート。
【請求項７】
前記アクリル系粘着剤が、（メタ）アクリル酸ブチルをベースポリマーとする粘着剤である、請求項１から６のいずれかに記載の粘着シート。
【請求項８】
前記ベースポリマーが、アクリル酸またはメタクリル酸由来の構成単位を含む、請求項７に記載の粘着シート。
【請求項９】
前記アクリル系粘着剤が、テルペンフェノール系粘着付与樹脂をさらに含む、請求項１から８のいずれかに記載の粘着シート。
【請求項１０】
前記粘着剤層の片側に配置される弾性層をさらに備える、請求項１から９のいずれかに記載の粘着シート。
【請求項１１】
前記粘着剤層と前記基材層との間に配置される弾性層をさらに備える、請求項６から９のいずれかに記載の粘着シート。
【請求項１２】
前記弾性層の厚さが、３μｍ〜２００μｍである、請求項１０または１１に記載の粘着シート。
【請求項１３】
電子部品材料を切断する際の仮固定シートとして用いられる、請求項１から１２のいずれかに記載の粘着シート。
【請求項１４】
セラミックコンデンサ材料を切断する際の仮固定シートとして用いられる、請求項１から１２のいずれかに記載の粘着シート。
【請求項１５】
請求項１から１２のいずれかに記載の粘着シートに、電子部品材料を貼着する工程と、
該電子部品材料を切断する工程とを含む、
電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品の小型化および精密化が求められており、セラミックコンデンサにおいても、いわゆる「０６０３サイズ」（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ）、「０４０２サイズ」（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ）の登場に代表されるように、小型化が進んでいる。また、セラミックコンデンサ等の部品においては、高容量化も求められており、そのため、数百層を大きく超える高積層セラミックコンデンサを精度よく製造することが求められている。
【０００３】
上記セラミックコンデンサの製造方法の一例としては、（１）セラミックの焼成前シート（以下、グリーンシートともいう）に電極を印刷する印刷工程、（２）電極が形成されたグリーンシートを所定層（例えば、１５０層）積層する積層工程、（３）（２）で得られた積層体を加圧プレスする加圧工程、（４）加圧された積層体を所定サイズ（例えば、０．４ｍｍ×０．２ｍｍ）に切断分離してチップを得る切断工程、および（５）得られたチップを焼成する焼成工程、を経る方法が挙げられる。なお、上記（２）においては、積層工程の途中で加圧処理が施される場合、すなわち、１層（あるいは数層）を積み重ねて形成された中間体に対して、積み重ねた都度加圧する場合もある。
【０００４】
上記製造方法中、印刷工程〜切断工程は、加工物を仮固定するべく粘着シート上で行われ得る。このようにして用いられる粘着テープは、印刷工程〜切断工程においては十分な固定性を発現する粘着力を有し、切断工程後あるいは焼成工程後には、チップから容易に剥離できるほどの低粘着力であることが好ましい。
【０００５】
上記のような粘着シートとして、低粘着性の粘着シート、加熱、紫外線の照射等により粘着力が低下し得る粘着シート等が用いられ得る。そのひとつとして、加熱による発泡が可能な熱膨張性微小球を含む粘着剤層を備える加熱剥離型粘着シートが知られている（例えば、特許文献１〜４）。この加熱剥離型粘着シートは、加熱により熱膨張性微小球が発泡して粘着剤層の表面に凹凸が生じ、その結果、粘着力が低下して優れた剥離性を発現する。
【０００６】
しかしながら、従来の上記加熱剥離型粘着シートを仮固定シートとして用いてセラミックコンデンサを加工した場合、加圧工程時にセラミックコンデンサの貼着面に凹凸が生じ、得られたチップにも該凹凸が残存する。表面に凹凸を有するチップは、傾いた状態で実装されやすく、接続不良を招くという問題がある。この問題は、チップの小型化および高容量化（高積層化）に伴って顕著となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開昭５６−６１４６８号公報
【特許文献２】特開昭５６−６１４６９号公報
【特許文献３】特開昭６０−２５２６８１号公報
【特許文献４】特開２００２−３６１６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、粘着性と剥離性とが両立され、被着体の位置ずれを防止し得、かつ、被着体の貼着面に生じる凹凸を低減し得る粘着シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の粘着シートは、粘着剤層を備える、粘着シートであって、該粘着剤層が、粘着剤と、所定温度で発泡可能な熱膨張性微小球とを含み、該熱膨張性微小球の２５℃での平均粒子径が、１０μｍ以下であり、該熱膨張性微小球の含有割合が、１５重量％以上であり、該熱膨張性微小球の発泡温度よりも２０℃低い温度における、該粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率が、０．６ＭＰａ〜３０ＭＰａである。
１つの実施形態においては、上記熱膨張性微小球の発泡温度よりも５０℃低い温度における、上記粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率が、５ＭＰａ〜６００ＭＰａである。
１つの実施形態においては、上記熱膨張性微小球の発泡温度よりも２０℃低い温度における、該粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率Ｅ２０に対する、該熱膨張性微小球の発泡温度よりも５０℃低い温度における、上記粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率Ｅ５０の比（Ｅ５０／Ｅ２０）が、１．１以上である。
１つの実施形態においては、上記粘着剤層のゲル分率が、５０％以上である。
１つの実施形態においては、上記粘着剤層の厚さが、５μｍ〜３００μｍである。
１つの実施形態においては、本発明の粘着シートは、基材層をさらに備え、該基材層の片側または両側に、上記粘着剤層が配置される。
１つの実施形態においては、上記粘着剤層が、ゴム系粘着剤を含み、該ゴム系粘着剤を構成するベースポリマーが、スチレン由来の構成単位を含む。
１つの実施形態においては、上記ゴム系粘着剤を構成するベースポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が、−８０℃〜−３０℃である。
１つの実施形態においては、本発明の粘着シートは、上記粘着剤層の片側に配置される弾性層をさらに備える。
１つの実施形態においては、本発明の粘着シートは、上記粘着剤層と上記基材層との間に配置される弾性層をさらに備える。
１つの実施形態においては、上記弾性層の厚さが、３μｍ〜２００μｍである。
１つの実施形態においては、上記粘着シートは、電子部品材料を切断する際の仮固定シートとして用いられる。
１つの実施形態においては、上記粘着シートは、セラミックコンデンサ材料用を切断する際の仮固定シートとして用いられる。
本発明の別の局面によれば、電子部品の製造方法が提供される。この電子部品の製造方法は、上記粘着シートに、電子部品材料を貼着する工程と、該電子部品材料を切断する工程とを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、特定サイズの熱膨張性微小球を特定量含み、かつ、該熱膨張性微小球が発泡する前の温度下での弾性率が特定範囲である粘着剤層を備えることにより、粘着性と剥離性とが両立され、かつ、被着体の貼着面に生じる凹凸を低減し得る粘着シートを提供することができる。さらに、本発明の粘着シートは、粘着剤層の上記弾性率が特定範囲であることにより、被着体を貼着し、その後、加圧した際に、粘着剤層のズレが抑制されて被着体の位置ずれを低減し得る。このような粘着シートは、例えば、セラミックコンデンサの加工における仮固定シートとして用いられ、セラミックコンデンサを切断分離する際の切断精度の向上に寄与し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）および（ｂ）は、本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は、本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
Ａ．粘着シートの概要
本発明の粘着シートは粘着剤層を備える。本発明の粘着シートは、該粘着剤層のみから構成されていてもよく、該粘着剤層の他に任意の適切な層をさらに備えていてもよい。粘着剤層以外の層としては、例えば、支持体として機能し得る基材層（後述Ｃ項）、上記粘着シートに弾性を付与しうる弾性層（後述Ｄ項）、粘着剤層上に剥離可能に配置されたセパレータ（後述Ｅ項）等が挙げられる。また、上記粘着剤層の他、別の粘着剤層をさらに備えていてもよい。別の粘着剤層は、公知の構成であってもよい。
【００１３】
本発明の粘着シートに備えられる粘着剤層は、熱膨張性微小球を含む。該熱膨張性微小球は所定温度で発泡し得る。このような熱膨張性微小球を含む粘着剤層は、加熱によって熱膨張性微小球が発泡することにより、粘着面（すなわち粘着剤層表面）に凹凸が生じて、粘着力が低下または消失する。本発明の粘着シートを、例えば、電子部品（例えば、セラミックコンデンサ）の加工時、加工物の仮固定用シートとして用いた場合、該加工物に所定の加工を施す際には仮固定に必要な粘着性が発現され、加工後に加工物から粘着シートを剥離する際には、加熱により粘着力が低下または消失して、良好な剥離性が発現される。
【００１４】
２５℃の環境温度下、熱膨張性微小球が発泡する前における、本発明の粘着シートの粘着面をポリエチレンテレフタレートフィルム（例えば、厚さ２５μｍ）に貼着した際の粘着力は、好ましくは０．２Ｎ／２０ｍｍ以上であり、より好ましくは０．２Ｎ／２０ｍｍ〜２０Ｎ／２０ｍｍであり、さらに好ましくは２Ｎ／２０ｍｍ〜１０Ｎ／２０ｍｍである。このような範囲であれば、例えば、電子部品の製造に用いられる仮固定用シートとして有用な粘着シートを得ることができる。本明細書において粘着力とは、ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７：２０００に準じた方法（貼り合わせ条件：２ｋｇローラー１往復、剥離速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０°）により測定した粘着力をいう。
【００１５】
本発明の粘着シートの厚さは、好ましくは３０μｍ〜５００μｍであり、より好ましくは４０μｍ〜３００μｍである。
【００１６】
Ｂ．粘着剤層
上記粘着剤層は、粘着性を付与するための粘着剤と、熱膨張性微小球とを含む。
【００１７】
上記熱膨張性微小球の発泡温度よりも２０℃低い温度における、上記粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率は、０．６ＭＰａ〜３０ＭＰａである。なお、ナノインデンテーション法による弾性率とは、圧子を試料（熱膨張性微小球が存在しない箇所）に押し込んだときの、圧子への負荷荷重と押し込み深さとを負荷時、除荷時にわたり連続的に測定し、得られた負荷荷重−押し込み深さ曲線から求められる。本明細書において、ナノインデンテーション法による弾性率とは、測定条件を荷重：１ｍＮ、負荷・除荷速度：０．１ｍＮ／ｓ、保持時間：１ｓとして上記のように測定した弾性率をいう。
【００１８】
本明細書において、「熱膨張性微小球の発泡温度」とは、１分間の加熱により熱膨張性微小球の膨張が最大となり得る加熱温度であり、言い換えれば、１分を超えて加熱した場合に熱膨張性微小球が破裂してしまう温度範囲の下限温度を意味する。「熱膨張性微小球の発泡温度」は、後述のように、例えば、７０℃〜２５０℃である。「１分間の加熱」は、例えば、熱膨張性微小球を直接、ホットプレート上に置いて行われ得る。なお、「熱膨張性微小球の発泡温度よりも２０℃低い温度」とは、例えば、セラミックコンデンサの加工時、電極が形成されたグリーンシートを積層し加圧プレスする際の温度に相当し得る。上記粘着剤層は、「熱膨張性微小球の発泡温度よりも２０℃低い温度」での弾性率が０．６ＭＰａ以上であることにより、当該温度付近の環境温度下で加圧された（例えば、０．３ＭＰａで加圧された）場合に、変形し難く、ズレが抑制される。このような粘着剤層を備える粘着シートを、例えば仮固定シートとしてセラミックコンデンサの加工に用いれば、積層・加圧時に被着体であるセラミックコンデンサの位置ずれを防止することができ、その結果、セラミックコンデンサを切断分離する際の切断精度が向上する。一方、上記弾性率が３０ＭＰａより大きい場合、十分な粘着力が得られないおそれがある。すなわち、本発明においては、上記弾性率を上記特定の範囲とすることにより、十分な粘着力を有しつつも、被着体の位置ずれを防止し得、セラミックコンデンサ等の電子部品の仮固定に好適な粘着シートを得ることができる。
【００１９】
また、上記弾性率が上記特定範囲であれば、熱膨張性微小球を含むことの効果を高めることができる。具体的には、上記弾性率が３０ＭＰａ以下である粘着剤層は、熱膨張性微小球の発泡を阻害し難く、加熱により容易に剥離性を発現し得る。また、上記弾性率が０．６ＭＰａ以上である粘着剤層は、発泡前（すなわち、粘着性を要する状況）において、熱膨張性微小球の影響が表面に生じ難く、被着体との密着性が高く優れた粘着性を発現し得、かつ、該被着体の貼着面に生じる凹凸（特に、加熱圧着時に生じる凹凸）を低減することができる。
【００２０】
熱膨張性微小球の発泡温度よりも２０℃低い温度における、上記粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率は、好ましくは０．６ＭＰａ〜２５ＭＰａであり、より好ましくは０．６ＭＰａ〜２０ＭＰａであり、さらに好ましくは２ＭＰａ〜１０ＭＰａであり、特に好ましくは２ＭＰａ〜５．５ＭＰａである。このような範囲であれば、上記効果が顕著となる。粘着剤層の上記弾性率は、例えば、粘着剤層のゲル分率、粘着剤層を構成する粘着剤の種類、粘着剤層に添加する添加剤（特に、架橋剤）等により制御することができる。
【００２１】
熱膨張性微小球の発泡温度よりも５０℃低い温度における、該粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率は、好ましくは５ＭＰａ〜６００ＭＰａであり、より好ましくは１０ＭＰａ〜６００ＭＰａであり、さらに好ましくは２０ＭＰａ〜６００ＭＰａであり、特に好ましくは２０ＭＰａ〜１００ＭＰａであり、最も好ましくは２０ＭＰａ〜５０ＭＰａである。このような範囲であれば、上記効果が顕著となる。
【００２２】
上記熱膨張性微小球の発泡温度よりも２０℃低い温度における、該粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率Ｅ２０に対する、熱膨張性微小球の発泡温度よりも５０℃低い温度における、前記粘着剤層のナノインデンテーション法による弾性率Ｅ５０の比（Ｅ５０／Ｅ２０）は、好ましくは１．１以上であり、より好ましくは５以上であり、さらに好ましくは７〜１５である。このような範囲であれば、上記効果が顕著となる。
【００２３】
２５℃の環境温度下、上記熱膨張性微小球を発泡させる前における、上記粘着剤層の表面粗さＲａは、好ましくは５００ｎｍ以下であり、より好ましくは４００ｎｍ以下であり、さらに好ましくは３００ｎｍ以下である。このような範囲であれば、被着体の貼着面に生じる凹凸を低減し得る粘着シートを得ることができる。表面粗さＲａは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１：１９９４に準じて測定することができる。
【００２４】
本発明の粘着シートを加熱して、熱膨張性微小球を発泡させた後における、上記粘着剤層の表面粗さＲａは、好ましくは３μｍ以上であり、より好ましくは５μｍ以上である。このような範囲であれば、加熱後に粘着力が低下または消失して、被着体を容易に剥離させ得る粘着シートを得ることができる。なお、ここで、粘着剤層の表面粗さＲａとは、被着体のない状態で加熱した後の粘着剤層の表面粗さＲａをいう。
【００２５】
上記粘着剤層のゲル分率は、好ましくは５０％以上であり、より好ましくは５５％以上であり、さらに好ましくは６０％以上であり、特に好ましくは６０％〜９５％である。このような範囲であれば、上記範囲の弾性率を有する粘着剤層を容易に得ることができる。また、ゲル分率が上記範囲であれば、粘着剤層は適度な流動性を有し、被着体の位置ずれを防止し得、かつ、剥離時の熱膨張性微小球の膨張に対して良好な追従性を示して優れた剥離性を発現し得る。なお、本明細書において、ゲル分率の測定方法は、後述する。
【００２６】
上記粘着剤層の厚さは、好ましくは５μｍ〜３００μｍであり、より好ましくは１５μｍ〜２５０μｍであり、さらに好ましくは３０μｍ〜１００μｍであり、特に好ましくは３０μｍ〜６０μｍである。
【００２７】
Ｂ−１．粘着剤
上記粘着剤層を構成する粘着剤としては、本発明の効果が得られる限りにおいて、任意の適切な粘着剤が用いられ得る。上記粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤、活性エネルギー線硬化型粘着剤等が挙げられる。中でも好ましくは、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤またはシリコーン系粘着剤であり、より好ましくはアクリル系粘着剤またはゴム系粘着剤である。
【００２８】
（アクリル系粘着剤）
上記アクリル系粘着剤としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの１種または２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマー（ホモポリマーまたはコポリマー）をベースポリマーとするアクリル系粘着剤等が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシル等の（メタ）アクリル酸Ｃ１−２０アルキルエステルが挙げられる。なかでも、炭素数が４〜１８の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく用いられ得る。
【００２９】
上記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性、架橋性等の改質を目的として、必要に応じて、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他の単量体成分に対応する単位を含んでいてもよい。このような単量体成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸等のカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イコタン酸等の酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチルメタクリレート等のヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等のスルホン酸基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン（メタ）アクリルアミド等の（Ｎ−置換）アミド系モノマー；（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチル等の（メタ）アクリル酸アミノアルキル系モノマー；（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル等の（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー；Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド等のマレイミド系モノマー；Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミド等のイタコンイミド系モノマー；Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクルロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミド等のスクシンイミド系モノマー；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、Ｎ−ビニルピロリドン、メチルビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルピペリドン、ビニルピリミジン、ビニルピペラジン、ビニルピラジン、ビニルピロール、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾール、ビニルモルホリン、Ｎ−ビニルカルボン酸アミド類、スチレン、α−メチルスチレン、Ｎ−ビニルカプロラクタム等のビニル系モノマー；アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のシアノアクリレートモノマー；（メタ）アクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有アクリル系モノマー；（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ���アクリル酸メトキシポリプロピレングリコール等のグリコール系アクリルエステルモノマー；（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素（メタ）アクリレート、シリコーン（メタ）アクリレート等の複素環、ハロゲン原子、ケイ素原子等を有するアクリル酸エステル系モノマー；ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート等の多官能モノマー；イソプレン、ブタジエン、イソブチレン等のオレフィン系モノマー；ビニルエーテル等のビニルエーテル系モノマー等が挙げられる。これらの単量体成分は、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。
【００３０】
上記アクリル系ポリマーは、単重合体とした場合に該単重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が−２０℃以上となるモノマーａを含んでいることが好ましい。上記アクリル系ポリマー中、該モノマーａ由来の構成単位の含有割合は、アクリル系ポリマー１００重量部に対して、好ましくは３０重量部以上であり、より好ましくは５０重量部以上であり、さらに好ましくは７０重量部以上であり、特に好ましくは７０重量部〜１００重量部である。ガラス転移温度が高いポリマーを形成し得るモノマーａを用いれば、高弾性な粘着剤層を形成することができる。このような粘着剤層を備える粘着シートは、被着体の位置ずれを防止し得る。該粘着シートを、例えば仮固定シートとしてセラミックコンデンサの製造に用いれば、積層・加圧時に被着体であるセラミックコンデンサの位置ずれを防止することができ、その結果、セラミックコンデンサの切断精度が向上する。
【００３１】
上記モノマーａの具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、メタ）アクリル酸ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシヘキシル、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクルロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、Ｎ−ビニルピロリドン、メチルビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルピペリドン、ビニルピリミジン、ビニルピペラジン、ビニルピラジン、ビニルピロール、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾール、ビニルモルホリン、Ｎ−ビニルカルボン酸アミド類、スチレン、α−メチルスチレン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、イソプレン、ブタジエン、イソブチレン等が挙げられる。
【００３２】
（ゴム系粘着剤）
上記ゴム系粘着剤としては、本発明の効果が得られる限り、任意の適切な粘着剤が用いられ得る。上記ゴム系粘着剤として、例えば、天然ゴム；ポリイソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン・ブタジエン（ＳＢ）ゴム、スチレン・イソプレン（ＳＩ）ゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）ゴム、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）ゴム、スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）ゴム、スチレン・エチレン・プロピレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＰＳ）ゴム、スチレン・エチレン・プロピレンブロック共重合体（ＳＥＰ）ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、またはこれらの変性体等の合成ゴム；等をベースポリマーとするゴム系粘着剤が好ましく用いられる。
【００３３】
上記ゴム系粘着剤を構成するベースポリマーは、スチレン由来の構成単位を含むことが好ましく、スチレン由来の構成単位を含むブロックコポリマーであることがより好ましい。このようなベースポリマーの具体例としては、例えば、スチレン・エチレン・プロピレンブロック共重合体（ＳＥＰ）ゴム、スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）ゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）ゴム、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）ゴム等が挙げられる。上記ゴム系粘着剤を構成するベースポリマー中、スチレン由来の構成単位の含有割合は、該ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは１０重量部〜６５重量部であり、より好ましくは１５重量部〜６０重量部である。このような範囲であれば、適度な弾性を有する粘着剤層を形成して被着体の位置ずれを防止し得、かつ、良好な剥離性を発現し得る。
【００３４】
上記ゴム系粘着剤を構成するベースポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）は、好ましくは−８０℃〜−３０℃であり、より好ましくは−７０℃〜−３０℃であり、さらに好ましくは−６０℃〜−３０℃である。このようなガラス転移温度を有するベースポリマーを用いれば、適度な弾性を有する粘着剤層を形成して被着体の位置ずれを防止し得る粘着シートを得ることができる。該粘着シートを、例えば仮固定シートとしてセラミックコンデンサの製造に用いれば、積層・加圧時に被着体であるセラミックコンデンサの位置ずれを防止することができ、その結果、セラミックコンデンサの切断精度が向上する。なお、ゴム系粘着剤を構成するベースポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）は、示差走査熱量測定（ＤＳＣ）により測定することができる。
【００３５】
１つの実施形態においては、上記ゴム系粘着剤を構成するベースポリマーは、酸変性されている。酸変性により官能基が導入され得る。任意の適切な架橋剤を用い、該官能基を架橋点として架橋することにより、上記ベースポリマーの流動性が下がる。流動性の低いベースポリマーを含む粘着剤層は、熱膨張性微小球の膨張の影響を吸収することなく、該膨張に追従することができる。その結果、加熱により膨張した熱膨張性微小球を起因とする凹凸が粘着層表面に現れやすくなり、好ましい剥離性を得ることができる。上記酸変性に用いる酸としては、例えば、マレイン酸、無水マレイン酸等が挙げられる。また、上記のようにして酸変性されたベースポリマーの酸価は、好ましくは５ｍｇ(ＣＨ3ＯＮａ)／ｇ以上であり、より好ましくは７ｍｇ(ＣＨ3ＯＮａ)／ｇ以上であり、さらに好ましくは７ｍｇ(ＣＨ3ＯＮａ)／ｇ〜２５(ＣＨ3ＯＮａ)／ｇである。なお、ここでの酸価は、ベースポリマー１ｇを中和するナトリウムメトキシド（ＣＨ３ＯＮａ）の重量（ｍｇ）を意味する。また、ベースポリマーの酸価は、ＪＩＳ  Ｋ００７０：１９９２に準じて測定することが出来る。
【００３６】
（シリコーン系粘着剤）
上記シリコーン系粘着剤としては、本発明の効果が得られる限り、任意の適切な粘着剤が用いられ得る。上記シリコーン系粘着剤として、例えば、オルガノポリシロキサンを含むシリコーンゴムまたはシリコーンレジン等をベースポリマーとするシリコーン系粘着剤が好ましく用いられる。シリコーン系粘着剤を構成するベースポリマーとして、上記シリコーンゴムまたはシリコーンレジンを、架橋して得られたベースポリマーを用いてもよい。なお、本明細書において、「シリコーンゴム」と「シリコーンレジン」との区別は、「技術情報協会  粘着剤（フィルム・テープ）の材料設計と機能性付与  第１版  ２００９年９月３０日  ２２２〜２２８ページ」による。すなわち、「シリコーンゴム」とは、ジオルガノシロキサン（Ｄ単位）から構成される直鎖構造のシリコーンを意味し、該シリコーンゴムは、例えば、１００００Ｐａ・ｓ程度の粘度を有する。「シリコーンレジン」とは、トリオルガノシルヘミオキサン（Ｍ単位）とシリケート（Ｑ単位）とを含み、分岐構造を有するシリコーンを意味する。
【００３７】
上記シリコーンゴムとしては、例えば、ジメチルシロキサンを構成単位として含むオルガノポリシロキサン等が挙げられる。オルガノポリシロキサンには、必要に応じて、官能基（例えば、ビニル基）が導入されていてもよい。オルガノポリシロキサンの重量平均分子量は、好ましくは１００，０００〜１０００，０００であり、より好ましくは１５０，０００〜５００，０００である。重量平均分子量は、ＧＰＣ（溶媒：ＴＨＦ）により測定することができる。
【００３８】
上記シリコーンレジンとしては、例えば、Ｒ３ＳｉＯ１／２構成単位、ＳｉＯ２構成単位、ＲＳｉＯ３／２構成単位およびＲ２ＳｉＯ構成単位から選ばれる少なくとも１種の構成単位を含むオルガノポリシロキサンが挙げられる（Ｒは、一価炭化水素基または水酸基である）。
【００３９】
上記シリコーンゴムとシリコーンレジンとは併用され得る。シリコーン粘着剤中のシリコーンゴムとシリコーンレジンの重量比（ゴム：レジン）は、好ましくは１００：０〜１００：２２０であり、より好ましくは１００：０〜１００：１８０であり、さらに好ましくは１００：１０〜１００：１００である。シリコーンレジンの含有量が多いほど、シリコーン系粘着剤のタック性および保持力が増加する。シリコーンゴムとシリコーンレジンとは、単なる混合物としてシリコーン系粘着剤中に含まれていてもよく、シリコーンゴムとシリコーンレジンとが部分縮合した形態でシリコーン系粘着剤中に含まれていてもよい。なお、シリコーン系粘着剤におけるシリコーンゴムとシリコーンレジンの重量比は、２９Ｓｉ−ＮＭＲ測定により、Ｑ単位とＤ単位とのピーク面積比（シリコーンゴム：シリコーンレジン＝Ｄ単位：Ｑ単位）により求めることができる。
【００４０】
好ましくは、上記シリコーン系粘着剤は架橋剤を含む。シリコーン系粘着剤に含まれる架橋剤としては、例えば、シロキサン系架橋剤、過酸化物系架橋剤等が挙げられる。過酸化物系架橋剤としては、任意の適切な架橋剤が用いられ得る。過酸化物系架橋剤としては、例えば、過酸化ベンゾイル、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ジクミルパーオキサイト等が挙げられる。シロキサン系架橋剤としては、例えば、ポリオルガノハイドロジェンシロキサン等が挙げられる。該ポリオルガノハイドロジェンシロキサンは、ケイ素原子に結合した水素原子を２個以上有することが好ましい。また、該ポリオルガノハイドロジェンシロキサンは、ケイ素原子に結合した官能基として、アルキル基、フェニル基、ハロゲン化アルキル基を有することが好ましく、合成および取り扱いの容易さからメチル基を有することがより好ましい。
【００４１】
（添加剤）
上記粘着剤は、必要に応じて、任意の適切な添加剤を含み得る。該添加剤としては、例えば、架橋剤、粘着付与剤、可塑剤、顔料、染料、充填剤、老化防止剤、導電材、帯電防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、剥離調整剤、軟化剤、界面活性剤、難燃剤、酸化防止剤等が挙げられる。
【００４２】
上記粘着付与剤としては、任意の適切な粘着付与剤が用いられる。粘着付与剤としては、例えば、粘着付与樹脂が用いられる。粘着付与樹脂の具体例としては、ロジン系粘着付与樹脂（例えば、未変性ロジン、変性ロジン、ロジンフェノール系樹脂、ロジンエステル系樹脂など）、テルペン系粘着付与樹脂（例えば、テルペン系樹脂、テルペンフェノール系樹脂、スチレン変性テルペン系樹脂、芳香族変性テルペン系樹脂、水素添加テルペン系樹脂）、炭化水素系粘着付与樹脂（例えば、脂肪族系炭化水素樹脂、脂肪族系環状炭化水素樹脂、芳香族系炭化水素樹脂（例えば、スチレン系樹脂、キシレン系樹脂など）、脂肪族・芳香族系石油樹脂、脂肪族・脂環族系石油樹脂、水素添加炭化水素樹脂、クマロン系樹脂、クマロンインデン系樹脂など）、フェノール系粘着付与樹脂（例えば、アルキルフェノール系樹脂、キシレンホルムアルデヒド系樹脂、レゾール、ノボラックなど）、ケトン系粘着付与樹脂、ポリアミド系粘着付与樹脂、エポキシ系粘着付与樹脂、エラストマー系粘着付与樹脂などが挙げられる。なかでも好ましくは、ロジン系粘着付与樹脂、テルペン系粘着付与樹脂または炭化水素系粘着付与樹脂（スチレン系樹脂など）である。粘着付与剤は、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。
【００４３】
上記粘着付与剤の添加量は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは５重量部〜１００重量部であり、より好ましくは１０重量部〜５０重量部である。
【００４４】
上記架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤の他、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、アミン系架橋剤などが挙げられる。なかでも好ましくは、イソシアネート系架橋剤またはエポキシ系架橋剤である。
【００４５】
上記イソシアネート系架橋剤の具体例としては、ブチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の低級脂肪族ポリイソシアネート類；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロン  ジイソシアネート等の脂環族イソシアネート類；２，４−トリレンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族イソシアネート類；トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＬ」）、トリメチロールプロパン／へキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＬ」）、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＸ」）等のイソシアネート付加物；等が挙げられる。イソシアネート系架橋剤の含有量は、所望とする粘着力、粘着剤層の弾性等に応じて、任意の適切な量に設定され得、ベースポリマー１００重量部に対して、代表的には０．１重量部〜２０重量部であり、より好ましくは０．５重量部〜１０重量部である。
【００４６】
前記エポキシ系架橋剤としては、例えば、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−ｍ−キシレンジアミン、ジグリシジルアニリン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−グリシジルアミノメチル）シクロヘキサン（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト１６００」）、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト１５００ＮＰ」）、エチレングリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト４０Ｅ」）、プロピレングリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト７０Ｐ」）、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル（日本油脂社製、商品名「エピオールＥ−４００」）、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル（日本油脂社製、商品名「エピオールＰ−２００」）、ソルビトールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール  ＥＸ−６１１」）、グリセロールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール  ＥＸ−３１４」）、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール  ＥＸ−５１２」）、ソルビタンポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、ｏ−フタル酸ジグリシジルエステル、トリグリシジル−トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、レゾルシンジグリシジルエーテル、ビスフェノール−Ｓ−ジグリシジルエーテル、分子内にエポキシ基を２つ以上有するエポキシ系樹脂等が挙げられる。エポキシ系架橋剤の含有量は、所望とする粘着力、粘着剤層の弾性等に応じて、任意の適切な量に設定され得、ベースポリマー１００重量部に対して、代表的には０．０１重量部〜１０重量部であり、より好ましくは０．０３重量部〜５重量部である。
【００４７】
上記可塑剤としては、任意の適切な可塑剤が用いられ得る。可塑剤の具体例としては、例えば、トリメット酸エステル系可塑剤、ピロメリット酸エステル系可塑剤、ポリエステル系可塑剤、アジピン酸系可塑剤等が挙げられる。なかでも好ましくは、トリメリット酸エステルエステル系可塑剤（例えば、トリメリット酸トリ（ｎ−オクチル）、トリメリット酸トリ（２−エチルヘキシル）等）またはピロメリット酸エステル系可塑剤（例えば、ピロメリット酸テトラ（ｎ−オクチル）、ピロメリット酸テトラ（２−エチルヘキシル）等）である。可塑剤は、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。可塑剤の含有量は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは１重量部〜２０重量部であり、より好ましくは１重量部〜５重量部である。
【００４８】
Ｂ−２．熱膨張性微小球
上記粘着剤層は、熱膨張性微小球をさらに含む。熱膨張性微小球を含む粘着剤層を備える粘着シートは、加熱されることにより、該熱膨張性微小球が膨張または発砲して粘着面に凹凸が生じ、その結果、粘着力が低下または消失する。このような粘着シートは、加熱することにより容易に剥離することができる。
【００４９】
上記熱膨張性微小球としては、加熱により膨張または発泡し得る微小球である限りにおいて、任意の適切な熱膨張性微小球を用いることができる。上記熱膨張性微小球としては、例えば、加熱により容易に膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球が用いられ得る。このような熱膨張性微小球は、任意の適切な方法、例えば、コアセルベーション法、界面重合法等により製造できる。
【００５０】
加熱により容易に膨張する物質としては、例えば、プロパン、プロピレン、ブテン、ノルマルブタン、イソブタン、イソペンタン、ネオペンタン、ノルマルペンタン、ノルマルヘキサン、イソヘキサン、ヘプタン、オクタン、石油エーテル、メタンのハロゲン化物、テトラアルキルシラン等の低沸点液体；熱分解によりガス化するアゾジカルボンアミド；等が挙げられる。
【００５１】
上記殻を構成する物質としては、例えば、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロルアクリロニトリル、α−エトキシアクリロニトリル、フマロニトリル等のニトリル単量体；アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸等のカルボン酸単量体；塩化ビニリデン；酢酸ビニル；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、β−カルボキシエチルアクリレート等の（メタ）アクリル酸エステル；スチレン、α−メチルスチレン、クロロスチレン等のスチレンモノマー；アクリルアミド、置換アクリルアミド、メタクリルアミド、置換メタクリルアミド等のアミド単量体；等から構成されるポリマーが挙げられる。これらの単量体から構成されるポリマーは、ホモポリマーであってもよく、コポリマーであってもよい。該コポリマーとしては、例えば、塩化ビニリデン‐メタクリル酸メチル−アクリロニトリル共重合体、メタクリル酸メチル−アクリロニトリル−メタクリロニトリル共重合体、メタクリル酸メチル−アクリロニトリル共重合体、アクリロニトリル−メタクリロニトリル−イタコン酸共重合体等が挙げられる。
【００５２】
上記熱膨張性微小球として、無機系発泡剤または有機系発泡剤を用いてもよい。無機系発泡剤としては、例えば、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、亜硝酸アンモニウム、水酸化ホウ素ナトリウム、各種アジド類等が挙げられる。また、有機系発泡剤としては、例えば、トリクロロモノフルオロメタン、ジクロロモノフルオロメタン等の塩フッ化アルカン系化合物；アゾビスイソブチロニトリル、アゾジカルボンアミド、バリウムアゾジカルボキシレート等のアゾ系化合物；パラトルエンスルホニルヒドラジド、ジフェニルスルホン−３，３´−ジスルホニルヒドラジド、４，４´−オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）、アリルビス（スルホニルヒドラジド）等のヒドラジン系化合物；ｐ−トルイレンスルホニルセミカルバジド、４，４´−オキシビス（ベンゼンスルホニルセミカルバジド）等のセミカルバジド系化合物；５−モルホリル−１，２，３，４−チアトリアゾール等のトリアゾール系化合物；Ｎ，Ｎ´−ジニトロソペンタメチレンテトラミン、Ｎ，Ｎ´−ジメチル−Ｎ，Ｎ´−ジニトロソテレフタルアミド；等のＮ−ニトロソ系化合物などが挙げられる。
【００５３】
上記熱膨張性微小球は市販品を用いてもよい。市販品の熱膨張性微小球の具体例としては、松本油脂製薬社製の商品名「マツモトマイクロスフェア」（グレード：Ｆ−３０、Ｆ−３０Ｄ、Ｆ−３６Ｄ、Ｆ−３６ＬＶ、Ｆ−５０、Ｆ−５０Ｄ、Ｆ−６５、Ｆ−６５Ｄ、ＦＮ−１００ＳＳ、ＦＮ−１００ＳＳＤ、ＦＮ−１８０ＳＳ、ＦＮ−１８０ＳＳＤ、Ｆ−１９０Ｄ、Ｆ−２６０Ｄ、Ｆ−２８００Ｄ）、日本フィライト社製の商品名「エクスパンセル」（グレード：０５３−４０、０３１−４０、９２０−４０、９０９−８０、９３０−１２０）、呉羽化学工業社製「ダイフォーム」（グレード：Ｈ７５０、Ｈ８５０、Ｈ１１００、Ｓ２３２０Ｄ、Ｓ２６４０Ｄ、Ｍ３３０、Ｍ４３０、Ｍ５２０）、積水化学工業社製「アドバンセル」（グレード：ＥＭＬ１０１、ＥＭＨ２０４、ＥＨＭ３０１、ＥＨＭ３０２、ＥＨＭ３０３、ＥＭ３０４、ＥＨＭ４０１、ＥＭ４０３、ＥＭ５０１）等が挙げられる。
【００５４】
２５℃の環境温度下、上記熱膨張性微小球を発泡させる前における、該熱膨張性微小球の平均粒子径は、１０μｍ以下であり、好ましくは１μｍ〜１０μｍであり、より好ましくは３μｍ〜１０μｍであり、さらに好ましくは５μｍ〜１０μｍである。平均粒子径が１０μｍ以下の熱膨張性微小球を用いることにより、該熱膨張性微小球の発泡前（すなわち、粘着剤層が粘着性を要する状況）において、該熱膨張性微小球の影響が粘着剤層表面に生じ難く、被着体への密着性が高く優れた粘着性を有し、かつ、該被着体の貼着面に生じる凹凸（特に、加熱圧着時に生じる凹凸）を低減し得る粘着シートを得ることができる。平均粒子径が１μｍ以上の熱膨張性微小球は、加熱することにより、剥離性の発現に十分な大きさにまで膨張し得る。上記熱膨張性微小球の平均粒子径は、例えば、該熱膨張性微小球を重合する際の条件（例えば、重合時の攪拌翼回転数、重合温度）により制御することができる。また、市販の熱膨張性微小球を用いる場合には、メッシュ処理、フィルター処理、遠心分離処理等の分級処理により、制御することができる。なお、本明細書において、平均粒子径は、用いる熱膨張性微小球、あるいは、加熱前の粘着剤層から取り出した熱膨張性微小球を、光学顕微鏡または電子顕微鏡を用いて、観察することにより測定することもできる。また、平均粒子径は、レーザー散乱法における粒度分布測定法により測定することができる。より具体的には、平均粒子径は、用いる熱膨張性微小球を所定の溶媒（例えば、水）に分散させた後、粒度分布測定装置（例えば、島津製作所製の商品名「ＳＡＬＤ−２０００Ｊ」）を用いて測定することができる。
【００５５】
上記熱膨張性微小球の発泡温度は、好ましくは７０℃〜２５０℃であり、より好ましくは９０℃〜２１０℃である。発泡温度がこのような範囲の熱膨張性微小球を用いれば、電子部品（例えば、セラミックコンデンサ）を加工する際の仮固定シートとして用いる際に、該電子部品の加工温度では発泡せず粘着性を維持し得る粘着剤層を形成することができる。
【００５６】
上記熱膨張性微小球は、体積膨張率が好ましくは５倍以上、より好ましくは７倍以上、さらに好ましくは１０倍以上となるまで破裂しない適度な強度を有することが好ましい。このような熱膨張性微小球を用いる場合、加熱処理により粘着力を効率よく低下させることができる。
【００５７】
上記粘着剤層における熱膨張性微小球の含有割合は、所望とする粘着力の低下性等に応じて適切に設定し得る。熱膨張性微小球の含有割合は、粘着剤層の重量に対して、１５重量％以上であり、好ましくは１６重量％以上である。熱膨張性微小球の含有割合の上限は、粘着剤層の重量に対して、好ましくは６０重量％以下であり、より好ましくは５５重量％以下であり、さらに好ましくは５０重量％以下である。上記のような範囲であれば、電子部品等を加工する際には良好な接着性を示し、かつ、加熱時には被着体を容易に剥離し得る粘着シートを得ることができる。熱膨張性微小球の含有割合は、下記式により求められる。熱膨張性微小球の重量は、粘着剤層から抜き取られた熱膨張性微小球の重量を測定して求められる。
熱膨張性微小球の含有割合（重量％）＝熱膨張性微小球の重量／粘着剤層の重量×１００
【００５８】
また、熱膨張性微小球の含有割合は、断面から測定される熱膨張性微小球の面積割合で表すこともできる。所定断面における粘着剤層の断面積をＡとし、該断面における熱膨張性微小球の断面積をＢとした場合、熱膨張性微小球の断面積Ｂの割合は、粘着剤層の断面積Ａに対して、好ましくは５％以上であり、より好ましくは７％以上であり、さらに好ましくは９％以上である。熱膨張性微小球の断面積Ｂの割合の上限は、粘着剤層の断面積Ａに対して、好ましくは５０％以下であり、より好ましくは４５％以下であり、さらに好ましくは４０％以下である。なお、熱膨張性微小球の断面積Ｂの割合は、例えば、粘着剤層の断面を電子顕微鏡（例えば、日立テクノロジーズ社製、商品名「Ｓ−３４００Ｎ低真空走査電子顕微鏡」）により観察して得られた画像を、適切に処理して求めることができる。例えば、該画像を紙出力して、粘着剤層部分（すなわち、熱膨張性微小球を含む粘着剤層全体）の紙重量ａと、熱膨張性微小球部分のみを切り出した紙の重量ｂとから、ｂ／ａ×１００の式により求めることができる。
【００５９】
Ｂ−３．その他の成分
上記粘着剤層は、本発明の効果が得られる限りにおいて、任意の適切なその他の成分をさらに含み得る。その他の成分としては、例えば、ビーズが挙げられる。該ビーズとしては、例えば、ガラスビーズ、樹脂ビーズ等が挙げられる。粘着剤層にこのようなビーズを添加すれば、粘着剤層の弾性率を向上させることができ、より精度良く被加工物を加工することができる粘着シートが得られ得る。ビーズの平均粒子径は、例えば０．０１μｍ〜５０μｍである。ビーズの添加量は、粘着剤層１００重量部に対して、例えば１０重量部〜２００重量部、好ましくは２０重量部〜１００重量部である。
【００６０】
Ｃ.基材層
１つの実施形態においては、本発明の粘着シートは、粘着剤層と基材層とを備える。図１（ａ）は、本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。この粘着シート１００は、粘着剤層１０と粘着剤層１０の片側に配置される基材層２０とを含む。図１（ｂ）は、本発明の別の実施形態による粘着シートの概略断面図である。この粘着シート１１０は、粘着剤層１０と基材層２０とを含み、基材層２０の両側に粘着剤層１０が配置される。２層ある粘着剤層は、それぞれ同じ構成の粘着剤層であってもよく、異なる構成の粘着剤層であってもよい。なお、基材層の片側に上記粘着剤層を備え、もう一方の面に別の粘着剤層（すなわち、上記Ｂ項で説明した粘着剤層とは別の粘着剤層）を備える構成であってもよい。
【００６１】
上記基材層としては、例えば、樹脂シート、不織布、紙、金属箔、織布、ゴムシート、発泡シート、これらの積層体（特に、樹脂シートを含む積層体）等が挙げられる。樹脂シートを構成する樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、ポリアミド（ナイロン）、全芳香族ポリアミド（アラミド）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、フッ素系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等が挙げられる。不織布としては、マニラ麻を含む不織布等の耐熱性を有する天然繊維による不織布；ポリプロピレン樹脂不織布、ポリエチレン樹脂不織布、エステル系樹脂不織布等の合成樹脂不織布等が挙げられる。金属箔としては、銅箔、ステンレス箔、アルミニウム箔等が挙げられる。紙としては、和紙、クラフト紙等が挙げられる。
【００６２】
上記基材層の厚さは、所望とする強度または柔軟性、ならびに使用目的等に応じて、任意の適切な厚さに設定され得る。基材層の厚さは、好ましくは１０００μｍ以下であり、より好ましくは１μｍ〜１０００μｍであり、さらに好ましくは１μｍ〜５００μｍであり、特に好ましくは３μｍ〜３００μｍであり、最も好ましくは５μｍ〜２５０μｍである。
【００６３】
上記基材層は、表面処理が施されていてもよい。表面処理としては、例えば、コロナ処理、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理、下塗り剤によるコーティング処理等が挙げられる。
【００６４】
上記有機コーティング材料としては、例えば、プラスチックハードコート材料ＩＩ（ＣＭＣ出版、（２００４））に記載される材料が挙げられる。好ましくはウレタン系ポリマー、より好ましくはポリアクリルウレタン、ポリエステルウレタンまたはこれらの前駆体が用いられる。基材への塗工・塗布が簡便であり、かつ、工業的に多種のものが選択でき安価に入手できるからである。該ウレタン系ポリマーは、例えば、イソシアナートモノマーとアルコール性水酸基含有モノマー（例えば、水酸基含有アクリル化合物又は水酸基含有エステル化合物）との反応混合物からなるポリマーである。有機コーティング材料は、任意の添加剤として、ポリアミンなどの鎖延長剤、老化防止剤、酸化安定剤等を含んでいてもよい。有機コーティング層の厚さは特に限定されないが、例えば、０．１μｍ〜１０μｍ程度が適しており、０．１μｍ〜５μｍ程度が好ましく、０．５μｍ〜５μｍ程度がより好ましい。
【００６５】
Ｄ.弾性層
本発明の粘着シートは、弾性層をさらに備え得る。図２（ａ）および図２（ｂ）は、本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。粘着シート２００、２１０は、弾性層３０をさらに備える。好ましくは、弾性層３０は、粘着剤層１０の片側に設けられ得る。図２（ｂ）に示すように、粘着シート２１０が基材層２０を備える場合、弾性層３０は、粘着剤層１０と基材層２０との間に配置され得る。弾性層３０を備えることにより、被着体に対する追従性が向上する。また、弾性層３０を備える粘着シートは、剥離時に加熱した際には、粘着剤層の面方向の変形（膨張）が拘束され、厚み方向の変形が優先される。その結果、剥離性が向上する。
【００６６】
上記弾性層はベースポリマーを含み、該ベースポリマーとしては、上記粘着剤層を構成するベースポリマーとして例示したポリマーが用いられ得る。また、上記弾性層は、天然ゴム、合成ゴム、合成樹脂等を含んでいてもよい。該合成ゴムおよび合成樹脂としては、ニトリル系、ジエン系、アクリル系の合成ゴム；ポリオレフィン系、ポリエステル系等の熱可塑性エラストマー；エチレン−酢酸ビニル共重合体；ポリウレタン；ポリブタジエン；軟質ポリ塩化ビニル等が挙げられる。上記弾性層を構成するベースポリマーは、上記粘着剤層を形成するベースポリマーと同じであってもよく、異なっていてもよい。上記弾性層は、上記ベースポリマーから形成される発泡フィルムであってもよい。該発泡フィルムは、任意の適切な方法により得ることができる。なお、弾性層と粘着剤層とは、ベースポリマーの相違および／または熱膨張性微小球の有無（弾性層は熱膨張性微小球を含まない）で区別することができる。より詳細には、弾性層と粘着剤層とが異なるベースポリマーから形成されている場合など、断面観察により弾性層と粘着剤層との界面が識別できる場合には、弾性層と粘着剤層との境界は該界面により規定される。また、断面観察により弾性層と粘着剤層との界面が識別できない場合には、断面観察により熱膨張性微小球が観察される領域が、粘着剤層である。
【００６７】
上記弾性層は、必要に応じて、任意の適切な添加剤を含み得る。該添加剤としては、例えば、架橋剤、加硫剤、粘着付与剤、可塑剤、柔軟剤、充填剤、老化防止剤等が挙げられる。ベースポリマーとして、ポリ塩化ビニル等の硬質樹脂を用いる場合、可塑剤および／また柔軟剤を併用して、所望の弾性を有する弾性層を形成することが好ましい。
【００６８】
上記弾性層の厚さは、好ましくは３μｍ〜２００μｍであり、より好ましくは５μｍ〜１００μｍである。このような範囲であれば、弾性層の上記機能を十分に発揮させることができる。
【００６９】
上記弾性層の２５℃における引っ張り弾性率は、好ましくは０．２ＭＰａ〜５００ＭＰａであり、より好ましくは０．３ＭＰａ〜５００ＭＰａであり、さらに好ましくは０．５ＭＰａ〜５００ＭＰａである。このような範囲であれば、弾性層の上記機能を十分に発揮させることができる。なお、引っ張り弾性率は、ＪＩＳ  Ｋ  ７１６１：２００８に準じて測定することができる。
【００７０】
Ｅ.セパレータ
本発明の粘着シートは、必要に応じて、セパレータをさらに備え得る。該セパレータは少なくとも一方の面が剥離面となっており、上記粘着剤層および／または弾性層を保護するために設けられ得る。セパレータは、任意の適切な材料から構成され得る。
【００７１】
Ｆ．粘着シートの製造方法
本発明の粘着シートは、任意の適切な方法により製造することができる。本発明の粘着シートは、例えば、基材層（基材層を含まない粘着シート得る場合には、任意の適切な基体）上に直接、粘着剤および熱膨張性微小球を含む組成物を塗工する方法、または任意の適切な基体上に粘着剤および熱膨張性微小球を含む組成物を塗工し形成された塗工層を基材層に転写する方法等が挙げられる。粘着剤および熱膨張性微小球を含む組成物は、任意の適切な溶媒を含み得る。また、粘着剤を含む組成物により粘着剤塗工層を形成した後、該粘着剤塗工層に熱膨張性微小球を振りかけた後、ラミネーター等を用いて、該熱膨張性微小球を該塗工層中に埋め込んで、熱膨張性微小球を含む粘着剤層を形成してもよい。
【００７２】
粘着剤層が上記弾性層を有する場合、弾性層は、例えば、基材層上または粘着剤層上に、弾性層を形成するための組成物を塗工して形成することができる。
【００７３】
上記各組成物の塗工方法としては、任意の適切な塗工方法が採用され得る。例えば、塗布した後に乾燥して各層を形成することができる。塗布方法としては、例えば、マルチコーター、ダイコーター、グラビアコーター、アプリケーター等を用いた塗布方法が挙げられる。乾燥方法としては、例えば、自然乾燥、加熱乾燥等が挙げられる。加熱乾燥する場合の加熱温度は、乾燥対象となる物質の特性に応じて、任意の適切な温度に設定され得る。
【００７４】
Ｇ．用途
本発明の粘着シートは、電子部品を製造する際に、電子部品材料を仮固定するためのシートとして、好適に用いられ得る。１つの実施形態においては、本発明の粘着シートは、電子部品材料を切断する際の仮固定シートとして用いられる。該電子部品材料としては、例えば、セラミックコンデンサ材料が挙げられる。本発明の粘着シート上で、セラミックコンデンサ材料等の電子部品材料を仮固定すれば、該材料の位置ずれを防止することができ、その結果、優れた精度で該材料を切断することができる。
【００７５】
Ｈ．電子部品の製造方法
本発明の別の局面によれば、電子部品の製造方法が提供される。本発明の電子部品の製造方法は、上記粘着シートに電子部品材料を貼着する工程（貼着工程）と、該電子部品材料を切断する工程（切断工程）とを含む。電子部品材料としては、例えば、セラミックコンデンサ材料が挙げられる。
【００７６】
上記貼着工程において、上記電子部品材料を圧着することが好ましい。圧着時の圧力は、好ましくは０．１ＭＰａ〜１０ＭＰａであり、より好ましくは０．３ＭＰａ〜５ＭＰａである。本発明の粘着シートを用いれば、圧着による被着体（電子部品材料）のズレが小さく、優れた切断性が実現される。上記圧着時に加熱することが好ましい。加熱温度は、例えば、５０℃〜１００℃である。
【００７７】
上記切断工程における切断方法としては、任意の適切な切断方法が採用され得る。
【実施例】
【００７８】
以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。実施例における評価方法は以下のとおりである。なお、下記評価においては、セパレータを剥離した粘着シートを用いた。また、実施例において、特に明記しない限り、「部」および「％」は重量基準である。
【００７９】
（１）弾性率
実施例ならびに比較例で得た粘着シートを、ミクロトームにて厚み方向に切断し、粘着剤層の切断面についてナノインデンターで弾性率を測定した。粘着剤層表面から３μｍ程度離れた切断面表面を測定対象とした。測定対象に探針（圧子）を押し当てることで得られる変位―荷重ヒステリシス曲線を、測定装置付帯のソフトウェア（ｔｒｉｂｏｓｃａｎ）で数値処理することで弾性率を得た（１０回測定の平均値）。
ナノインデンター装置ならびに測定条件は下記のとおりである。
装置および測定条件
・装置：ナノインデンター；Ｈｙｓｉｔｒｏｎ  Ｉｎｃ社製  Ｔｒｉｂｏｉｎｄｅｎｔｅｒ
・測定方法：単一押し込み法
・測定温度：１１０℃（熱膨張性微小球の発泡温度−２０℃）および８０℃（熱膨張性微小球の発泡温度−５０℃）
・押し込み速度：約１０００ｎｍ／ｓｅｃ
・押し込み深さ：約８００ｎｍ
・探針：ダイヤモンド製、Ｂｅｒｋｏｖｉｃｈ型（三角錐型）
（２）ゲル分率
樹脂層からサンプリングした試料０．１ｇを、メッシュ状シートで包み、トルエン５０ｍｌ中、室温下で１週間静置して、該サンプルにトルエンを浸漬させた。その後、トルエン不溶分を取り出し、７０℃で２時間かけて乾燥させた後、乾燥後のトルエン不溶分を秤量した。
トルエン浸漬前の試料重量とトルエン不溶分の重量とから、次式により樹脂層のゲル分率を算出した。
ゲル分率（％）＝［（トルエン不溶分の重量）／（トルエン浸漬前の試料重量）］×１００
（３）加熱剥離性
粘着シート（２０ｍｍ×２０ｍｍ）の粘着剤層上に、積層グリーンシートを貼り付けた。このようにして得られた積層グリーンシート付き粘着シートを、１３０℃で１分間加熱した。加熱後のグリーンシートの剥離状況を目視にて確認した。表１中、粘着剤層の粘着力が失われグリーンシートが剥離していた場合を○、粘着剤層が粘着力を有しグリーンシートが剥離していなかった場合を×とする。
なお、本評価および下記（５）の評価において、グリーンシートとして、以下のようにして得られた試料を用いた。
（グリーンシートの作製）
トルエン溶媒にチタン酸バリウム粉末１００重量部、ポリビニルブチラール樹脂３０重量部、フタル酸ビス（２−エチルヘキシル）３重量部を加えてボールミル分散機で混合及び分散することにより誘電体のトルエン溶液を得た。この溶液をＭＲＦ３８（三菱ポリエステルフィルム株式会社製、シリコン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（厚み３８μｍ）のシリコン離型剤処理面に溶剤揮発後の厚みが５０μｍになるようアプリケーターを用いて塗布し、溶剤が揮発するよう乾燥した。得られたシートを厚みが５００μｍになるように積層して、グリーンシートを得た。
（４）粘着剤層のズレ評価
粘着シート（表面積：２ｃｍ２）に対して、７０℃の環境温度下で、加圧動作（圧力：０．３ＭＰａ、時間：３秒間）を１００回繰り返し行った。その後、基材層を基準とした粘着剤層のはみ出し量（長さ）から、粘着剤層のズレを以下の基準により評価した。
○：はみ出し量が０．０５ｍｍ以下
×：はみ出し量が０．０５ｍｍを超える
（５）プレス後のグリーンシート表面に生じる凹凸
粘着シートの粘着剤層表面に、積層グリーンシートを貼着し、７０℃の環境温度下で加圧した（圧力：０．３ＭＰａ、時間：１０分間）。その後、積層グリーンシートを粘着シートから剥離し、グリーンシート表面（貼着面）の凹凸を測定した。
グリーンシートの凹凸は、ＪＩＳ  Ｂ０６０１に準拠して測定した。具体的には、光学式表面粗さ計（Ｖｅｅｃｏ  Ｍｅｔｒｏｇｙ  Ｇｒｏｕｐ社製、商品名「Ｗｙｋｏ  ＮＴ９１００」）を用いて、下記の条件により、グリーンシートの表面粗さ（Ｒｔ：粗さ曲線の最大断面高さ）を測定した（５点測定の平均値）。
・サンプル寸法：幅３０ｍｍ×長さ３０ｍｍ
・測定範囲：５．５３４ｍｍ×１．９０１ｍｍ
・測定モード：ＶＳＩ
・対物レンズ：５０倍
・接眼レンズ：１倍
【００８０】
［製造例１］熱膨張性微小球の準備
熱膨張性微小球（松本油脂製薬社製、商品名「マツモトマイクロスフェアＦ−５０Ｄ」、発泡温度：１３０℃、平均粒子径：１４μｍ）を遠心分級機により分級し、平均粒子径が９μｍの熱膨張性微小球Ａ、平均粒子径が３μｍの熱膨張性微小球Ｂ、および平均粒径が１１μｍの熱膨張性微小球Ｃを得た。なお、熱膨張性微小球の平均粒子径は、無作為に選んだ３０個を、電子顕微鏡（日立テクノロジーズ社製、商品名「Ｓ３４００Ｎ低真空走査電子顕微鏡」）により観察して測定した。
【００８１】
［実施例１］
アクリル系コポリマー（アクリル酸ブチルとアクリル酸とのコポリマー、アクリル酸ブチル構成単位：アクリル酸構成単位＝１００：３（重量比））１００重量部と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）０．３重量部と、トルエン２１０重量部とを混合し、弾性層形成用組成物を調製した。
ベースポリマーとしてのマレイン酸変性スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロックコポリマー（スチレン系構成単位：エチレン−ブチレン構成単位＝３０：７０（重量比）、酸価：１０ｍｇ(ＣＨ3ＯＮａ)／ｇ）１００重量部と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）３重量部と、製造例１で得られた熱膨張性微小球Ａを６０重量部と、トルエン３２０重量部とを混合し、粘着剤層形成用組成物を調製した。
基材層としてのポリエステルフィルム（厚さ：１００μｍ）上に、上記弾性層形成用組成物を塗布し、乾燥して、基材層と弾性層（厚さ：２０μｍ）との積層体（１ａ）を得た。
セパレータ上に、上記粘着剤層形成用組成物を塗布し、乾燥して、セパレータと粘着剤層（厚さ：５０μｍ）との積層体（１ｂ）を得た。
積層体（１ａ）の弾性層と、積層体（１ｂ）の粘着剤層とが接触するようにして、両積層体を貼り合わせて粘着シート（セパレータ／粘着剤層／弾性層／基材層）を得た。
【００８２】
［実施例２］
アクリル系コポリマー（アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸エチルおよびアクリル酸２−ヒドロキシエチルのコポリマー、アクリル酸２−エチルヘキシル構成単位：アクリル酸エチル構成単位：アクリル酸２−ヒドロキシエチル構成単位＝４０：６０：５（重量比））１００重量部と、イソシアネアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＬ」）３重量部と、トルエン２１０重量部とを混合し、弾性層形成用組成物を調製した。
ベースポリマーとしてのマレイン酸変性スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロックコポリマー（スチレン系構成単位：エチレン−ブチレン構成単位＝３０：７０（重量比）、酸価：１０ｍｇ(ＣＨ3ＯＮａ)／ｇ）１００重量部と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）２．５重量部と、製造例１で得られた熱膨張性微小球Ａを８０重量部と、粘着付与剤としてのアルキルフェノール系樹脂（荒川化学工業社製、商品名「タマノル２００Ｎ」）５０重量部と、トルエン３５０重量部とを混合し、粘着剤層形成用組成物を調製した。
基材層としてのポリエステルフィルム（厚さ：５０μｍ）上に、上記弾性層形成用組成物を塗布し、乾燥して、基材層と弾性層（厚さ：１５μｍ）との積層体（２ａ）を得た。
セパレータ上に、上記粘着剤層形成用組成物を塗布し、乾燥して、セパレータと粘着剤層（厚さ：３５μｍ）との積層体（２ｂ）を得た。
積層体（２ａ）の弾性層と、積層体（２ｂ）の粘着剤層とが接触するようにして、両積層体を貼り合わせて粘着シート（セパレータ／粘着剤層／弾性層／基材層）を得た。
【００８３】
［実施例３］
熱膨張性微小球Ａに代えて、製造例１で得られた熱膨張性微小球Ｂを用いた以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。
【００８４】
［実施例４］
アクリル系コポリマー（アクリル酸ブチル、アクリロニトリル、メタクリル酸メチル、およびアクリル酸のコポリマー、アクリアクリル酸ブチル構成単位：アクリルニトリル構成単位：メタクリル酸メチル：アクリル酸構成単位＝７５：２０：５（重量比））１００重量部と、粘着付与剤としてのテルペンフェノール系樹脂（ヤスハラケミカル社製、商品名「ＹＳポリスターＴ１３０」）３０重量部と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）１重量部と、熱膨張性微小球Ａを２５重量部と、トルエン２１０重量部とを混合し、粘着剤層形成用組成物を調製した。
基材層としてのポリエステルフィルム（厚さ：１００μｍ）上に、上記粘着剤層形成用組成物を塗布し、乾燥した。さらに、粘着剤層形成用組成物の塗工層上に透明のセパレータを貼り合わせ、粘着シート（セパレータ／粘着剤層（厚さ：５０μｍ）／基材層）を得た。
【００８５】
［実施例５］
アクリル系コポリマー（アクリル酸‐２-エチルヘキシル、酢酸ビニル、およびアクリル酸のコポリマー、アクリアクリル酸‐２-エチルヘキシル構成単位：酢酸ビニル構成単位：アクリル酸構成単位＝５０：５０：５（重量比））９０重量部と、粘着付与剤としてのテルペンフェノール系樹脂（ヤスハラケミカル社製、商品名「ＹＳポリスターＴ１１５」）２０重量部と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）１．５重量部と、熱膨張性微小球Ａを４０重量部と、トルエン２４０重量部とを混合し、粘着剤層形成用組成物を調製した。
基材層としてのポリエステルフィルム（厚さ：１００μｍ）上に、上記粘着剤層形成用組成物を塗布し、乾燥した。さらに、粘着剤層形成用組成物の塗工層上に透明のセパレータを貼り合わせ、粘着シート（セパレータ／粘着剤層（厚さ：５０μｍ）／基材層）を得た。
【００８６】
［比較例１］
熱膨張性微小球Ａに代えて、熱膨張性微小球（松本油脂製薬社製、商品名「マツモトマイクロスフェアＦ−５０Ｄ」、発泡温度：１３０℃、平均粒子径：１４μｍ）を用いた以外は、実施例１と同様にして、粘着シートを得た。
【００８７】
［比較例２］
熱膨張性微小球Ａに代えて、製造例１で得られた熱膨張性微小球Ｃを用いた以外は、実施例１と同様にして、粘着シートを得た。
【００８８】
［比較例３］
アクリル系コポリマー（アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸エチルおよびアクリル酸２−ヒドロキシエチルのコポリマー、アクリル酸２−エチルヘキシル構成単位：アクリル酸エチル構成単位：アクリル酸２−ヒドロキシエチル構成単位＝２０：８０：５（重量比））１００重量部と、イソシアネアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＬ」）３重量部と、トルエン２００重量部とを混合し、弾性層形成用組成物を調製した。
ベースポリマーとしてのアクリル系コポリマー（アクリル酸２エチルヘキシル、アクリル酸エチルおよびアクリル酸２−ヒドロキシエチルのコポリマー、アクリル酸２エチルヘキシル構成単位：アクリル酸エチル構成単位：アクリル酸２−ヒドロキシエチル＝２０：８０：５（重量比））１００重量部と、製造例１で得られた熱膨張性微小球Ｂを２０重量部と、イソシアネアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＬ」）２重量部と、アルキルフェノール系樹脂（荒川化学工業社製、商品名「タマノル２００Ｎ」）３０重量部と、トルエン３５０重量部とを混合し、粘着剤層形成用組成物を調製した。
基材層としてのポリエステルフィルム（厚さ：１００μｍ）上に、上記弾性層形成用組成物を塗布し、乾燥して、基材層と弾性層（厚さ：１０μｍ）との積層体（３ａ）を得た。
セパレータ上に、上記粘着剤層形成用組成物を塗布し、乾燥して、セパレータと粘着剤層（厚さ：３５μｍ）との積層体（３ｂ）を得た。
積層体（３ａ）の弾性層と、積層体（３ｂ）の粘着剤層とが接触するようにして、両積層体を貼り合わせて粘着シート（セパレータ／粘着剤層／弾性層／基材層）を得た。
【００８９】
［比較例４］
熱膨張性微小球Ｂの含有量を１５重量部とした以外は、実施例３と同様にして粘着シートを得た。
【００９０】
【表１】
0006448333.tif 000002
【００９１】
表１から明らかなように、本発明の粘着シートは、加熱により良好な剥離性を発現し得、加圧による粘着剤層のズレが抑制され、かつ、被着体であるグリーンシートに生じる凹凸を低減し得る。
【符号の説明】
【００９２】
１０              粘着剤層
２０              基材層
３０              弾性層
【図１】
0006448333.tif 000003
【図２】
0006448333.tif 000004