(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルフレームを収納したペリクルフレーム収納容器の梱包体であって、
下トレイと、上トレイと、を有し、
前記下トレイ及び前記上トレイは、開口と、底板又は天板と、側壁の内面とでそれぞれ収容部を形成し、
前記下トレイ及び前記上トレイのそれぞれの前記側壁には、開口側の端部から水平方向外側に張り出すフランジ部が備えられ、
前記下トレイ及び前記上トレイのそれぞれの前記フランジ部には、互いに係合する第１の係合部又は第２の係合部がそれぞれの開口側の面に形成され、
前記下トレイ及び前記上トレイのそれぞれの前記収容部は、前記ペリクルフレーム収納容器の動きを規制する幅狭部分と、前記ペリクルフレーム収納容器を出し入れするための幅広部分と、がそれぞれの前記側壁で形成され、
前記下トレイの前記底板には、第１の位置規制部が外面から突出して形成され、
前記上トレイの前記天板には、前記下トレイの前記第１の位置規制部と互いに係合可能な第２の位置規制部が外面から突出して形成され、
前記第１の位置規制部又は前記第２の位置規制部は、十字形状又はＬ字形状に形成されている
ことを特徴とするペリクルフレーム収納容器の梱包体。
【請求項２】
前記第１の位置規制部と前記第２の位置規制部との係合は、Ｘ−Ｙの２方向の位置を規制するものである
ことを特徴とする請求項１に記載のペリクルフレーム収納容器の梱包体。
【請求項３】
前記梱包体は、一の梱包体の前記上トレイの前記第２の位置規制部と、他の梱包体の前記下トレイの前記第１の位置規制部とを係合させて積み重ねられている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のペリクルフレーム収納容器の梱包体。
【請求項４】
前記ペリクルフレーム収納容器は、容器本体と、蓋体とを備えており、
ペリクルフレーム収納容器には、蓋体を容器本体に係止するクリップが取り付けられており、
前記下トレイ及び前記上トレイのそれぞれの前記収容部は、クリップ用の逃がし部が形成されている
ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載のペリクルフレーム収納容器の梱包体。
【請求項５】
前記ペリクルフレーム収納容器は、複数段に積層されている
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載のペリクルフレーム収納容器の梱包体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペリクルフレーム収納容器の梱包体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ペリクルフレーム収納容器を工場間で輸送することが行われていた。ペリクルフレーム収納容器は、フレームに貼られたペリクル膜を収納するもので、半導体回路パターンの製造工程のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクの防塵のために用いられるものである。
【０００３】
工場間で輸送する場合、ペリクル収納容器は、一個ごとに緩衝材に保護された状態で梱包されて輸送が行われていた。例えば、専用の梱包袋にペリクルフレーム収納容器を個別に梱包したり、上下一対の専用の緩衝体を用いて梱包箱を形成したりしていた。
【０００４】
特許文献１には、ペリクルフレーム収納容器を、凹凸を備えた緩衝体で覆い、梱包箱に収納したものが記載されている。特許文献２には、ペリクルフレームを収納する容器本体と、蓋体とを備えるペリクルフレーム収納容器であって、容器本体と蓋体とを係止するクリップをコーナー部に取り付けたものが記載されている。特許文献３には、半導体結晶を収納する収納容器であって、上部容器と下部容器とを有し、上部容器及び下部容器は、中央部を半円凹状に開口した凹部の周囲を囲繞するフランジ部と、フランジ部に設けられた係合部とが形成されており、上部容器と下部容器とで形成される収納空間に、半導体結晶を収納する際、上部容器及び下部容器の各フランジ部の係合部同士を係合することにより封止するものが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４８０７７８９号公報
【特許文献２】特開２０１２−４６２３９号公報
【特許文献３】特許第３２６９６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の梱包構造では、梱包体が嵩張ることとなり、梱包作業や開梱作業も煩雑なものになっていた。また、緩衝体を積み重ねても、位置が規制されていないため、積層された緩衝体が不安定であり、崩れることもあり、作業性が悪かった。逆に、緩衝体を積み重ねず平面的に載置すると、広いスペースが必要となり、作業効率が悪かった。
【０００７】
他方、特許文献３に記載された発明は、半導体結晶を収納するための容器に関するものであるため、半導体結晶を横方向に並列して梱包することを想定しており、ペリクルフレーム収納容器のように上下方向に積層し、前後左右に規制した状態で梱包することを想定しておらず、特許文献３に記載された技術思想をそのまま利用しても、ペリクルフレーム収納容器を効率よく梱包することはできない。
【０００８】
そこで、本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであり、ペリクルフレーム収納容器の出し入れが容易であり、ペリクルフレーム収納容器をがたつくことなく収容できる、梱包体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本発明に係る一つの態様は、下トレイと、上トレイと、を有し、下トレイ及び上トレイは、開口と、底板又は天板と、側壁の内面とでそれぞれ収容部を形成し、下トレイ及び上トレイのそれぞれの側壁には、開口側の端部から水平方向外側に張り出すフランジ部が備えられ、下トレイ及び上トレイのそれぞれのフランジ部には、互いに係合する第１の係合部又は第２の係合部がそれぞれの開口側の面に形成され、下トレイ及び上トレイのそれぞれの収容部は、ペリクルフレーム収納容器の動きを規制する幅狭部分と、ペリクルフレーム収納容器を出し入れするための幅広部分と、がそれぞれの側壁で形成され、下トレイの底板には、第１の位置規制部が外面に形成され、上トレイの天板には、下トレイの第１の位置規制部と互いに係合可能な第２の位置規制部が外面に形成されているペリクルフレーム収納容器の梱包体である。
【００１０】
（２）上記の（１）の態様において、第１の位置規制部と第２の位置規制部との係合が、Ｘ−Ｙの２方向の位置を規制するように形成されてもよい。
【００１１】
（３）上記の（１）又は（２）の態様において、梱包体は、複数の梱包体の第１の位置規制部と第２の位置規制部とを係合させて、複数段に積み重ねた状態としてもよい。
【００１２】
（４）上記の（１）から（３）までのいずれか一つの態様において、下トレイ及び上トレイの側壁に、クリップ用の逃がし部が形成されてもよい。
【００１３】
（５）上記の（１）から（４）までのいずれか一つの態様において、梱包されるペリクルフレーム収納容器は、複数段に積層されたものであってもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ペリクルフレーム収納容器の出し入れが容易であり、ペリクルフレーム収納容器をがたつくことなく収容できる、梱包体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る梱包体を示す展開図である。
【図２】ペリクルフレーム収納容器の平面図である。
【図３】梱包体の下トレイの平面図である。
【図４】梱包体の下トレイの正面図である。
【図５】梱包体の下トレイの側面図である。
【図６】梱包体の下トレイを図３中のＡ−Ａ線で切断した断面図である。
【図７】梱包体の下トレイを図３中のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。
【図８】梱包体の上トレイの平面図である。
【図９】梱包体の上トレイの正面図である。
【図１０】梱包体の上トレイの側面図である。
【図１１】梱包体の上トレイを図８中のＣ−Ｃ線で切断した断面図である。
【図１２】梱包体の上トレイを図８中のＤ−Ｄ線で切断した断面図である。
【図１３】本発明の実施形態に係る梱包体の使用状態を示す側面図である。
【図１４】梱包体の下トレイにペリクルフレーム収納容器を収容した状態を示す平面図である。
【図１５】本発明の実施形態に係る梱包体を複数段に積み重ねた状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１は、本発明の実施形態に係る梱包体を示す展開図であり、図２は、ペリクルフレーム収納容器の平面図である。図１に示される梱包体１は、下トレイ２と、上トレイ３とを含み、下トレイ２と上トレイ３との間に形成される収容空間に、複数段に積層されたペリクルフレーム収納容器１０を収容して梱包する。図２に示されるペリクルフレーム収納容器１０は、上記特許文献２（特開２０１２−４６２３９号公報）に記載されているものと同等のもので、ペリクルフレームを収納する容器本体１０ａと、容器本体１０ａと係合する蓋体１０ｂとを有している。ペリクルフレーム収納容器１０の各コーナー部には、容器本体１０ａと蓋体１０ｂとを係止させるクリップ１１が取り付けられている。
【００１７】
クリップ１１は、中空部を有する台形状の枠体として形成されていて、中空部がペリクルフレーム収納容器１０のコーナー部に係合する。クリップ１１は、摺動性の良いポリエチレン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタールなどの樹脂から形成される。
【００１８】
クリップ１１の上面及び下面のそれぞれには、突起がハの字状で、略直角となるように形成されている。上面の突起は、下面の突起よりも間隔が広く形成されていて、２つのペリクルフレーム収納容器１０を積み重ねたときに、下側のペリクルフレーム収納容器１０に取り付けられたクリップ１１の上面側の突起の内側に、上側に位置するペリクルフレーム収納容器１０に取り付けられたクリップ１１の下側突起が位置することになる。
【００１９】
クリップ１１は、ペリクルフレーム収納容器１０を積層したときに、ペリクルフレーム収納容器１０の容器本体１０ａと、他のペリクルフレーム収納容器１０の蓋体１０ｂとが接触しないように、クリップ１１同士が接触する。
【００２０】
図３は、梱包体の下トレイの平面図で、図４は、梱包体の下トレイの正面図で、図５は、梱包体の下トレイの側面図で、図６は、梱包体の下トレイを図３中のＡ−Ａ線で切断した断面図で、図７は、梱包体の下トレイを図３中のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。
図３−７に示される下トレイ２は、底板２ａを備えた平面視四角形をした形状である。底板２ａは、ペリクルフレーム収納容器１０を収容可能な大きさに形成されている。底板２ａには、底板２ａの外面から外方に突出する規制突部（第１の位置規制部）２ｂが４か所等間隔に形成されている。
【００２１】
底板２ａを囲繞する４つの側壁２ｃは、底板２ａから僅かに傾斜して開口側（図６及び７の上方）に拡開するように形成されて、上端部の内側が開口となり、この開口側の端部から水平方向外側に張り出した水平フランジ部２ｇに連結されている。水平フランジ部２ｇの開口側の上面には、係合突起（第１の係合部）２ｈが４か所のコーナー部付近に配設されている。水平フランジ部２ｇの外周端には、下方向に折れ曲がる折返しフランジ２ｉが連結されている。
【００２２】
下トレイ２は、開口と、底板２ａ及び側壁２ｃの内面とにより略直方体の下収容部を形成する。下収容部には、ペリクルフレーム収納容器１０の外形寸法と等しいか、これよりも僅かに大きい寸法で幅狭部分２ｄが形成されている。この幅狭部分２ｄは、ペリクルフレーム収納容器１０のＸ−Ｙの２方向の移動を実質的に規制している。
【００２３】
下収容部には、ペリクルフレーム収納容器１０を出し入れするときに、ペリクルフレーム収納容器１０と側壁２ｃとの間に手又は冶具を差し込む把持空間を形成するように、幅広部分２ｆが左右の２辺の中央付近に形成されている。さらに、ペリクルフレーム収納容器１０のコーナー部が相対する、下収容部のコーナー部には、ペリクルフレーム収納容器１０に取り付けられたクリップ１１が接触しないように逃がし部２ｅが形成されている。
【００２４】
すなわち、幅狭部分２ｄを形成する側壁２ｃは、幅広部分２ｆや逃がし部２ｅを形成する側壁２ｃに比べて、中心側に向かって突出しているため、対向する側壁２ｃ同士の間隔が狭くなっており、逆に、幅広部分２ｆや逃がし部２ｅを形成する側壁２ｃは、幅狭部分２ｄを形成する側壁２ｃから外側に広がっているため、対向する側壁２ｃ同士の間隔が広くなっているのである。幅狭部分２ｄは、幅広部分２ｆや逃がし部２ｅを除いた残余の側壁２ｃであり、略四角形のペリクルフレーム収納容器１０の移動を規制している。実施形態では、図３に示されるように、クリップ用の逃がし部２ｅは、上下の２辺に形成されており、幅狭部分２ｄの左右の２辺の間隔は、幅狭部分２ｄの上下の２辺の間隔より僅かに広くなっている。
【００２５】
図８は、梱包体の上トレイの平面図で、図９は、梱包体の上トレイの正面図で、図１０は、梱包体の上トレイの側面図で、図１１は、梱包体の上トレイを図８中のＣ−Ｃ線で切断した断面図で、図１２は、梱包体の上トレイを図８中のＤ−Ｄ線で切断した断面図である。
図８−１２に示される上トレイ３は、天板３ａを備えた平面視四角形をした形状である。なお、ここで上トレイ３は、開口を上向きにした状態で図示されているが、使用時には開口が下向きとなり下トレイ２の開口と相対向するようにして嵌合される。天板３ａは、ペリクルフレーム収納容器１０を収容可能な大きさに形成されている。
【００２６】
天板３ａには、天板３ａの外面から外方に突出する規制突部（第２の位置規制部）３ｂが十字形状に形成されている。この十字形状の規制突部３ｂは、底板２ａに規制突部２ｂが形成された下トレイ２を、上トレイ３の天板３ａの上方に積み重ねた際に、下トレイ２の各規制突部２ｂと干渉しない位置に形成されている。
【００２７】
天板３ａを囲繞する４つの側壁３ｃは、天板３ａから僅かに傾斜して開口側（図１１及び１２の上方）に拡開するように形成されて、上端部の内側が開口となり、この開口側の端部から水平方向外側に張り出した水平フランジ部３ｇに連結されている。水平フランジ部３ｇの開口側の下面には、係合溝（第２の係合部）３ｈが４か所のコーナー部付近に配設されている。係合溝３ｈは、上トレイ３の開口側と下トレイ２の開口側とを組み合わせた際に、下トレイ２の係合突起２ｈと係合するように形成されている。なお、係合溝３ｈは、係合突起２ｈと同数設けられればよい。
【００２８】
水平フランジ部３ｇの外周端には、上方向に折れ曲がる折返しフランジ３ｉが連結されている。
【００２９】
上トレイ３は、開口と、天板３ａ及び側壁３ｃの内面とにより略直方体の上収容部を形成する。上収容部には、ペリクルフレーム収納容器１０の外形寸法と等しいか、これよりも僅かに大きい寸法で幅狭部分３ｄが形成されている。この幅狭部分３ｄは、ペリクルフレーム収納容器１０のＸ−Ｙの２方向の移動を実質的に規制している。
【００３０】
上収容部には、ペリクルフレーム収納容器１０を出し入れするときに、ペリクルフレーム収納容器１０と側壁３ｃとの間に手又は冶具を差し込む把持空間を形成するように、幅広部分３ｆが左右の２辺の中央付近に形成されている。さらに、ペリクルフレーム収納容器１０のコーナー部が相対する、上収容部のコーナー部には、ペリクルフレーム収納容器１０に取り付けられたクリップ１１が接触しないように逃がし部３ｅがコーナー部に形成されている。
【００３１】
すなわち、幅狭部分３ｄを形成する側壁３ｃは、幅広部分３ｆや逃がし部３ｅを形成する側壁３ｃに比べて、中心側に向かって突出しているため、対向する側壁３ｃ同士の間隔が狭くなっており、逆に、幅広部分３ｆや逃がし部３ｅを形成する側壁３ｃは、幅狭部分３ｄを形成する側壁３ｃから外側に広がっているため、対向する側壁３ｃ同士の間隔が広くなっているのである。幅狭部分３ｄは、幅広部分３ｆや逃がし部３ｅを除いた残余の側壁３ｃであり、略四角形のペリクルフレーム収納容器１０の移動を規制している。実施形態では、図８に示されるように、クリップ用の逃がし部３ｅは、上下の２辺に形成されており、幅狭部分３ｄの左右の２辺の間隔は、幅狭部分３ｄの上下の２辺の間隔より僅かに広くなっている。
【００３２】
梱包体１の下トレイ２及び上トレイ３は、厚さ０．５ｍｍ〜１．５ｍｍのシート材料を用いて、真空や圧空成型等で成型することができる。下トレイ２及び上トレイ３は、梱包体１の内部が視認できるように、シート材料に透明なものを用いて成型されてもよい。また、下トレイ２及び上トレイ３は、帯電防止処理が施されていてもよい。
【００３３】
図１３は、本発明の実施形態に係る梱包体の使用状態を示す側面図であり、図１４は、梱包体の下トレイにペリクルフレーム収納容器を収容した状態を示す平面図であり、図１５は、本発明の実施形態に係る梱包体を複数段に積み重ねた状態を示す断面図である。
ペリクルフレーム収納容器１０を下トレイ２及び上トレイ３に収容し、梱包体１とする手順について説明する。
【００３４】
まず、複数個のペリクルフレーム収納容器１０を準備し、下トレイ２の下収容部に順次収容する。ペリクルフレーム収納容器１０を下トレイ２に入れる際、下トレイ２には、ペリクルフレーム収納容器１０と側壁２ｃとの間に把持空間を確保する幅広部分２ｆが形成されているため、容易に収容することができる。また、コーナー部に逃がし部２ｅが形成されているため、クリップ１１が側壁２ｃに衝突して外れることがない。
【００３５】
各ペリクルフレーム収納容器１０が下トレイ２の下収容部に収容されると、図１４に示されるように、下トレイ２の幅狭部分２ｄによって位置が規制される。これにより、ペリクルフレーム収納容器１０は、下トレイ２内でＸ−Ｙの２方向への移動が規制される。また、幅狭部分２ｄとペリクルフレーム収納容器１０との接触により、Ｚ方向への移動に抵抗する摩擦力も作用する。
【００３６】
次に、下トレイ２に所定数のペリクルフレーム収納容器１０を複数段に収容した後に、上トレイ３を、下トレイ２の上方から取り付ける。下トレイ２の係合突起２ｈと上トレイ３の係合溝３ｈとを係合させることで、図１３に示されるように、梱包体１となる。係合突起２ｈ及び係合溝３ｈは、４か所のコーナー部付近に設けられているため、下トレイ２及び上トレイ３は確実に保持され一体化されるし、また、下トレイ２及び上トレイ３の係合は一時的なものであるため、開梱の際に、係合は容易に解除される。
【００３７】
ペリクルフレーム収納容器１０が梱包体１内に収容されると、ペリクルフレーム収納容器１０の上下方向は、図１５に示されるように、下トレイ２の底板２ａと上トレイ３の天板３ａとで挟持されることになる。これにより、ペリクルフレーム収納容器１０は、梱包体１内でＺ方向への移動が確実に規制される。さらに、上方に位置するペリクルフレーム収納容器１０は、上トレイ３の幅狭部分３ｄによって位置が規制される。よって、ペリクルフレーム収納容器１０は、梱包体１内でＸ−Ｙ−Ｚの３方向への移動が規制され、がたつくことなく収容される。
【００３８】
この後、梱包体１は、折返しフランジ２ｉから折返しフランジ３ｉにわたるようにテーピング材が巻きつけられて密封されてもよい。
【００３９】
次に、梱包体１の上トレイ３の規制突部３ｂと、他の梱包体１の下トレイ２の規制突部２ｂとを係合させることで、梱包体１の上に、他の梱包体１を順に複数段に積み重ねることができる。実施形態のような、４か所の矩形型の規制突部２ｂと、十字型の規制突部３ｂとが係合されると、梱包体１同士は、互いにＸ−Ｙの２方向への移動が確実に規制される。また、梱包体１同士の係合は一時的なものであるため、荷降ろしの際に、係合は容易に解除される。
【００４０】
その後、梱包体１は、プラスチックダンボール箱などに入れられて輸送される。輸送中の振動や衝撃は、下トレイ２の突出した規制突部２ｂや折返しフランジ２ｉ、上トレイ３の突出した規制突部３ｂや折返しフランジ３ｉなどにより、吸収することができる。
【００４１】
以上、本発明の実施形態によれば、ペリクルフレーム収納容器の出し入れが容易であり、ペリクルフレーム収納容器をがたつくことなく収容できる、梱包体を提供することができる。
【００４２】
梱包体を複数段に積み重ねても、荷崩れを防止することができる。それゆえ、広いスペースが不要で、狭いスペースであっても、安全に、効率良く作業を行うことができる。また、複数のペリクルフレーム収納容器を複数段に積み重ねて、梱包体に収容しても、複数のペリクルフレーム収納容器が、梱包体内でがたつくことなく収容できる。それゆえ、ペリクルフレーム収納容器やクリップの破損や摩耗を防止できるし、安全に輸送することができる。
【００４３】
（変形例）
フランジ部の係合部は、上記実施形態の形状に限らず、互いに係合できるような形状であれば、どのような形状でもよい。また、フランジ部の係合部の配置も、上記実施形態の配置に限らず、互いに係合できるように配置されればよい。例えば、係合突起を上トレイに、係合溝を下トレイにそれぞれに配置してもよいし、あるいは、係合突起及び係合溝を、一方のトレイに係合突起と係合溝とを交互に配置して、他方のトレイに係合溝と係合突起とを交互に配置して、これらを係合させてもよい。係合突起及び係合溝の個数は、２つ以上設けられればよい。係合突起及び係合溝の位置は、コーナー部付近以外に設けてもよい。
【００４４】
底板及び天板の位置規制部の係合は、上記実施形態の形状に限らず、Ｘ−Ｙの２方向の位置規制ができればよく、例えば、丸形や多角形をした枠状の突起と、この内側に嵌まり込む丸形や多角形の突起であってもよく、さらに、これらの突起を一個又は複数個形成して係合させてもよい。あるいは、Ｌ字形リブと、Ｌ字形リブの内側又は外側に係合可能なＬ字形リブ又は矩形リブとであってもよい。あるいは、水平フランジ部の係合部のような突起と溝とであってもよい。なお、積み重ねた梱包体を、梱包体と同幅の箱に順次入れる場合などは、位置規制部の係合は、Ｘ−Ｙのいずれか１方向のみでもよい。また、底板及び天板の位置規制部の配置は、フランジ部の係合部と同様に、下トレイ又は上トレイに互いに係合できるように配置されればよい。
【００４５】
下トレイ及び上トレイのクリップ用の逃がし部は、上記実施形態の形状に限らず、クリップがいずれの側壁とも接触しないように、ペリクルフレーム収納容器のコーナー部に相対する４か所のコーナー部を形成するすべての辺に設けられてもよい。
【００４６】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１    梱包体  
２    下トレイ
2a  底板、2b  規制突部（第１の位置規制部）、2c  側壁、2d  幅狭部分、
2e  逃がし部、2f  幅広部分、2g  水平フランジ部、
2h  係合突起（第１の係合部）、2i  折返しフランジ
３    上トレイ
3a  天板、3b  規制突部（第２の位置規制部）、3c  側壁、3d  幅狭部分、
3e  逃がし部、3f  幅広部分、3g  水平フランジ部、
3h  係合溝（第２の係合部）、3i  折返しフランジ
１０  ペリクルフレーム収納容器
10a  容器本体、10b  蓋体
１１  クリップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0006508653.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
0006508653.tif 000016