(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さ方向において互いに反対側を向く第１主面および第２主面を有する半導体素子と、
上記半導体素子の上記第１主面側にボンディングされたワイヤと、を備え、
上記半導体素子は、上記第１主面に形成された金属下地層と、上記金属下地層上に設けられ、上記ワイヤがボンディングされたボンディングパッドと、上記半導体素子の厚さ方向視において上記ボンディングパッドを囲んでおり、上記第１主面に形成された絶縁性の保護層と、を含み、
上記ボンディングパッドは、上記金属下地層を覆い、上記金属下地層よりもイオン化傾向が小さい金属からなる第１導電層と、当該第１導電層を覆い、上記第１導電層よりもイオン化傾向が小さい金属からなる第２導電層と、を有し、
上記第１導電層および上記第２導電層それぞれの周縁部は、上記保護層の表面に密着して当該保護層の一部を覆っており、
上記保護層は、第１保護膜と、上記第１保護膜上に積層された第２保護膜と、を有し、
上記第１保護膜および上記第２保護膜は、上記半導体素子の厚さ方向に対して直角である方向において上記ボンディングパッドに向いた第１側面および第２側面を有し、
上記第２保護膜の上記第２側面は、上記第１保護膜の上記第１側面に比べて上記ボンディングパッドとは反対側に後退した位置にあり、
上記第１導電層の厚さは、上記第１保護膜の厚さよりも大きくされており、
上記第１導電層は、上記第１保護膜の上記第１側面の全部、上記第１保護膜の上面の一部および上記第２保護膜の上記第２側面の一部を覆っており、
上記第２導電層は、上記第２保護膜の上記第２側面の一部を覆うとともに、上記第２保護膜の上面を露出させており、
上記第１導電層および上記第２導電層は、それぞれフラットな層からなり、
上記ボンディングパッドの最も上位にある層の上面全体は、上記保護層に覆われておらず、
上記ワイヤは、上記ボンディングパッドの最も上位にある層にボンディングされている、半導体装置。
【請求項２】
厚さ方向において互いに反対側を向く第１主面および第２主面を有する半導体素子と、
上記半導体素子の上記第１主面側にボンディングされたワイヤと、を備え、
上記半導体素子は、上記第１主面に形成された金属下地層と、上記金属下地層上に設けられ、上記ワイヤがボンディングされたボンディングパッドと、上記半導体素子の厚さ方向視において上記ボンディングパッドを囲んでおり、上記第１主面に形成された絶縁性の保護層と、を含み、
上記ボンディングパッドは、上記金属下地層を覆い、上記金属下地層よりもイオン化傾向が小さい金属からなる第１導電層と、当該第１導電層を覆い、上記第１導電層よりもイオン化傾向が小さい金属からなる第２導電層と、を有し、
上記第１導電層および上記第２導電層それぞれの周縁部は、上記保護層の表面に密着して当該保護層の一部を覆っており、
上記保護層は、第１保護膜と、上記第１保護膜上に積層された第２保護膜と、を有し、
上記第１保護膜および上記第２保護膜は、上記半導体素子の厚さ方向に対して直角である方向において上記ボンディングパッドに向いた第１側面および第２側面を有し、
上記第２保護膜の上記第２側面は、上記第１保護膜の上記第１側面に比べて上記ボンディングパッドとは反対側に後退した位置にあり、
上記第１導電層の厚さは、上記第１保護膜の厚さよりも小さくされており、
上記第１導電層および上記第２導電層は、上記第１保護膜の上記第１側面の一部を覆うとともに、上記第２保護膜を露出させており、
上記第１導電層および上記第２導電層は、それぞれフラットな層からなり、
上記ボンディングパッドの最も上位にある層の上面全体は、上記保護層に覆われておらず、
上記ワイヤは、上記ボンディングパッドの最も上位にある層にボンディングされている、半導体装置。
【請求項３】
上記保護層と上記金属下地層との間に介在する絶縁膜を備える、請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項４】
上記第１保護膜の上記第１側面および上記第２保護膜の上記第２側面は、それぞれ、上記半導体素子の厚さ方向において上記半導体素子から離れるにつれて上記ボンディングパッドから遠ざかるように傾斜している、請求項１ないし３のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項５】
上記第１保護膜は、ＳｉＮからなる、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項６】
上記第１導電層は、Ｎｉを含む、請求項１ないし５のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項７】
上記第２導電層は、Ｐｄを含む、請求項１ないし６のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項８】
上記第１導電層および上記第２導電層は、上記金属下地層よりも硬度が高い、請求項１ないし７のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項９】
上記第１導電層の厚さは、上記第２導電層の厚さよりも大きい、請求項１ないし８のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項１０】
上記第１導電層および上記第２導電層は、金属メッキよりなる、請求項１ないし９のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項１１】
上記ボンディングパッドは、上記第２導電層を覆っており、上記第２導電層よりも厚さが小さい第３導電層を有し、
上記第３導電層は、上記第２導電層よりもイオン化傾向が小さい金属からなる、請求項１ないし１０のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項１２】
上記ワイヤは、Ｃｕを主成分とする金属からなる、請求項１ないし１１のいずれかに記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
外部からの電流の入出力に対して特定の機能を果たす半導体装置は、様々な形態のものが提案されている（たとえば特許文献１を参照）。特許文献１に開示された半導体装置は、半導体素子と、ボンディングパッドと、保護膜と、ワイヤと、リードフレームと、を備えている。ボンディングパッドは、半導体素子に形成されている。保護層は、半導体素子に形成されている。保護膜はボンディングパッドに隣接しており、当該ボンディングパッドの周縁を覆っている。ワイヤは、ボンディングパッドおよびリードフレームにボンディングされている。
【０００３】
ボンディングパッドは、たとえばＡｌ（アルミニウム）などの金属を積層して形成される。このボンディングパッドにワイヤをボンディングする際、たとえばキャピラリ等のボンディングツールの先端からＣｕ（銅）などからなるワイヤを溶解させつつボンディングパッドに押圧し、超音波による振動を加える。ここで、Ａｌは比較的に軟質であるので、ワイヤボンディング時の押圧振動によって飛散やクラック等の不具合が生じる場合がある。
【０００４】
これに対し、ボンディングパッドをＡｌよりも硬質な金属膜で構成すると、クラック等の不具合の発生は抑制することができる。その一方、特許文献１に開示された半導体装置においては、同文献の図２、図３等に示されるように、金属膜を複数積層した金属層の周縁が保護膜で覆われており、金属層の上面のうち保護膜が形成されていない露出部分がボンディングパッドとして機能する。しかしながら、このような構成では、半導体素子の厚さ方向視において、ボンディングパッドとなる金属露出部分よりも金属層の形成領域が大きくなるので、たとえば半導体装置の小型化を図るうえでは阻害要因となってしまう。また、ボンディングパッド（金属膜）の周縁を覆っている保護膜はその端部から剥離するおそれがある。保護膜の剥離等によって下層側の金属膜が露出する状態になると、当該金属膜の露出表面での腐食等の不具合が生じ、その結果、耐久性の低下を招くこととなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−７６０５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、耐久性を高めつつ小型化を図るのに適した半導体装置を提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によって提供される半導体装置は、厚さ方向において互いに反対側を向く第１主面および第２主面を有する半導体素子と、上記半導体素子の上記第１主面側にボンディングされたワイヤと、を備え、上記半導体素子は、上記第１主面に形成された金属下地層と、上記金属下地層上に設けられ、上記ワイヤがボンディングされたボンディングパッドと、上記半導体素子の厚さ方向視において上記ボンディングパッドを囲んでおり、上記第１主面に形成された絶縁性の保護層と、を含み、上記ボンディングパッドは、上記金属下地層を覆い、上記金属下地層よりもイオン化傾向が小さい金属からなる第１導電層と、当該第１導電層を覆い、上記第１導電層よりもイオン化傾向が小さい金属からなる第２導電層と、を有し、上記第１導電層および上記第２導電層それぞれの周縁部は、上記保護層の表面に密着して当該保護層の一部を覆う。
【０００８】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記保護層と上記金属下地層との間に介在する絶縁膜を備える。
【０００９】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記保護層は、第１保護膜と、上記第１保護膜上に積層された第２保護膜と、を有する。
【００１０】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１保護膜および上記第２保護膜は、上記半導体素子の厚さ方向に対して直角である方向において上記ボンディングパッドに向いた第１側面および第２側面を有し、上記第２保護膜の上記第２側面は、上記第１保護膜の上記第１側面に比べて上記ボンディングパッドとは反対側に後退した位置にある。
【００１１】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１導電層は、上記第１保護膜の上記第１側面の全部、上記第１保護膜の上面の一部および上記第２保護膜の上記第２側面の一部を覆っており、上記第２導電層は、上記第２保護膜の上記第２側面の一部を覆うとともに、上記第２保護膜の上面を露出させている。
【００１２】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１導電層および上記第２導電層は、上記第１保護膜の上記第１側面の一部を覆うとともに、上記第２保護膜を露出させている。
【００１３】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１保護膜の上記第１側面および上記第２保護膜の上記第２側面は、それぞれ、上記半導体素子の厚さ方向において上記半導体素子から離れるにつれて上記ボンディングパッドから遠ざかるように傾斜している。
【００１４】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第２保護膜は、積層部およびひさし部を含み、上記積層部は、上記第１保護膜上に重なる部分であり、上記ひさし部は、上記半導体素子の厚さ方向に対して直角である方向に、上記積層部から上記ボンディングパッド側に向けて突出している。
【００１５】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１保護膜は、上記半導体素子の厚さ方向に対して直角である方向において上記ボンディングパッドに向いた第１側面を有し、上記ひさし部は、上記半導体素子の厚さ方向に対して直角である方向において上記ボンディングパッドに向いたひさし部側面と、上記半導体素子の厚さ方向において上記半導体素子に向いたひさし部下面と、を有し、上記第１側面は、上記半導体素子の上記厚さ方向において上記半導体素子から離れるにつれて上記ボンディングパッドから遠ざかるように傾斜している。
【００１６】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１導電層および上記第２導電層は、上記第１保護膜の上記第１側面の一部を覆うとともに、上記第２保護膜を露出させている。
【００１７】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記ひさし部下面は、上記半導体素子の厚さ方向において上記ボンディングパッドの上面よりも上記半導体素子から離れた位置にある。
【００１８】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１導電層は、上記第１保護膜の上記第１側面の一部および上記ひさし部側面の全部を覆っており、上記第２導電層は、上記ひさし部側面につながる上記第２保護膜の上面の一部を覆う。
【００１９】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１導電層は、上記第２保護膜の上記上面の一部を覆う。
【００２０】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１導電層は、上記第１保護膜の上記第１側面の一部および上記ひさし部側面の一部を覆い、上記第２導電層は、上記ひさし部側面の一部を覆うとともに、上記第２保護膜の上面を露出させている。
【００２１】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記ひさし部下面が露出しており、上記ひさし部下面と、上記第１保護膜の上記第１側面と、上記第１導電層とによって囲まれた空隙部が形成される。
【００２２】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記ひさし部側面は、上記半導体素子の上記厚さ方向において上記半導体素子から離れるにつれて上記ボンディングパッドから遠ざかるように傾斜している。
【００２３】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１保護膜は、ＳｉＮからなる。
【００２４】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１導電層は、Ｎｉを含む。
【００２５】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第２導電層は、Ｐｄを含む。
【００２６】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１導電層および上記第２導電層は、上記金属下地層よりも硬度が高い。
【００２７】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１導電層の厚さは、上記第２導電層の厚さよりも大きい。
【００２８】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記第１導電層および上記第２導電層は、金属メッキよりなる。
【００２９】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記ボンディングパッドは、上記第２導電層を覆っており、上記第２導電層よりも厚さが小さい第３導電層を有し、上記第３導電層は、上記第２導電層よりもイオン化傾向が小さい金属からなる。
【００３０】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記ワイヤは、Ｃｕを主成分とする金属からなる。
【００３１】
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。
【図２】図１に示した半導体装置の平面図（封止樹脂を仮想線で示す）である。
【図３】図１の一部を拡大して示す部分拡大図である。
【図４】図３の一部を拡大して示す部分拡大図である。
【図５】図１に示した半導体装置の製造方法の一工程を示す部分断面図である。
【図６】図５に続く一工程を示す図である。
【図７】図６に続く一工程を示す図である。
【図８】図７に続く一工程を示す図である。
【図９】図８に続く一工程を示す図である。
【図１０】図９に続く一工程を示す図である。
【図１１】図１０に続く一工程を示す図である。
【図１２】図１１に続く一工程を示す図である。
【図１３】図１２に続く一工程を示す図である。
【図１４】本発明の第１実施形態の変形例に係る半導体装置の部分拡大断面図である。
【図１５】図１４の一部を拡大して示す部分拡大図である。
【図１６】本発明の第１実施形態の他の変形例に係る半導体装置の部分拡大断面図である。
【図１７】図１６の一部を拡大して示す部分拡大図である。
【図１８】本発明の第２実施形態に係る半導体装置を示す部分拡大断面図である。
【図１９】図１８の一部を拡大して示す部分拡大図である。
【図２０】図１８に示した半導体装置の製造方法の一工程を示す部分断面図である。
【図２１】図２０に続く一工程を示す図である。
【図２２】図２１に続く一工程を示す図である。
【図２３】図２２に続く一工程を示す図である。
【図２４】本発明の第３実施形態に係る半導体装置を示す部分拡大断面図である。
【図２５】図２４の一部を拡大して示す部分拡大図である。
【図２６】図２４に示した半導体装置の製造方法の一工程を示す部分断面図である。
【図２７】図２６に続く一工程を示す図である。
【図２８】図２７に続く一工程を示す図である。
【図２９】図２８に続く一工程を示す図である。
【図３０】本発明の第３実施形態の変形例に係る半導体装置の部分拡大断面図である。
【図３１】図３０の一部を拡大して示す部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明の好ましい実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。
【００３４】
図１〜図４は、本発明の第１実施形態に係る半導体装置を示している。本実施形態の半導体装置Ａ１は、半導体素子１、ワイヤ２、主電極３１、副電極３２および封止樹脂５を備えている。図２は、図１に示した半導体装置の平面図（封止樹脂を仮想線で示す）である。図３は、図１の一部を拡大して示す部分拡大図である。図４は、図３の一部を拡大して示す部分拡大図である。なお、図４においては、ワイヤ２および封止樹脂５を省略している。
【００３５】
半導体素子１は、所望の機能を果たす素子であり、その種類は特に限定されないが、トランジスタ、ダイオード、キャパシタなど種々の素子を選択できる。図１に示すように、半導体素子１は、第１主面１０ａおよび第２主面１０ｂを有している。第１主面１０ａおよび第２主面１０ｂは、半導体素子１の厚さ方向（図１に示されたＺ−Ｚ方向）において互いに反対側を向く。第１主面１０ａは、半導体素子の機能を実現する機能回路（図示略）が形成された面である。第２主面１０ｂは、主電極３１に搭載される面である。半導体素子１は、たとえばＳｉなどからなるウエハから製造される。
【００３６】
図２、図３に示すように、半導体素子１は、金属下地層１１、絶縁膜１２、ボンディングパッド１３、および保護層１４を含む。金属下地層１１は、第１主面１０ａに形成されており、たとえばＡｌなどの金属からなる。金属下地層１１の厚さは、たとえば０．５μｍ〜５μｍである。
【００３７】
絶縁膜１２は、金属下地層１１上に形成されており、たとえばＳｉＯ2などの絶縁材料からなる。絶縁膜１２は、たとえば矩形状の一定領域を囲むように形成されている。絶縁膜１２の厚さは、たとえば０．１μｍ〜０．５μｍである。
【００３８】
図２に示すように、保護層１４は、半導体素子１の厚さ方向視においてボンディングパッド１３を囲んでいる。図３に示すように、保護層１４は、第１主面１０ａに形成されている。保護層１４は、絶縁膜１２を介して金属下地層１１上に設けられている。即ち、上記した絶縁膜１２は、金属下地層１１と保護層１４との間に介在する。
【００３９】
保護層１４は、第１保護膜１４１および第２保護膜１４２を有する。第１保護膜１４１は、絶縁膜１２上に形成されており、たとえばＳｉＮなどの絶縁材料からなる。第１保護膜１４１は、半導体素子１の主体であるＳｉに過度な力が負荷されることを防止するためのものであり、いわゆるパッシベーション膜である。第１保護膜１４１の厚さは、たとえば１μｍ〜４μｍである。第２保護膜１４２は、第１保護膜１４１上に積層されており、たとえばポリイミドなどの絶縁材料からなる。第２保護膜１４２の厚さは、たとえば３μｍ〜６μｍである。
【００４０】
図４に示すように、第１保護膜１４１は、上面１４１ａおよび第１側面１４１ｂを有する。上面１４１ａは、半導体素子１の第１主面１０ａと同じ方向に向く。第１側面１４１ｂは、半導体素子１の厚さ方向（図４において図中上下方向）に対して直角である方向においてボンディングパッド１３に向く。
【００４１】
第２保護膜１４２は、上面１４２ａおよび第２側面１４２ｂを有する。上面１４２ａは、半導体素子１の第１主面１０ａと同じ方向に向く。第２側面１４２ｂは、半導体素子１の厚さ方向に対して直角である方向においてボンディングパッド１３に向く。図４に示すように、本実施形態においては、第２保護膜１４２の第２側面１４２ｂは、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂに比べて、ボンディングパッド１３とは反対側に後退した位置にある。
【００４２】
ボンディングパッド１３は、第１主面１０ａに形成されている。ボンディングパッド１３は、第１導電層１３１、第２導電層１３２および第３導電層１３３を有する。これら第１ないし第３導電層１３１〜１３３は、金属メッキよりなる。
【００４３】
第１導電層１３１は、金属下地層１１を覆っている。第１導電層１３１は、金属下地層１１よりもイオン化傾向が小さい金属からなる。第１導電層１３１は、金属下地層１１よりも硬度が高い。このような第１導電層１３１は、たとえばＮｉよりなる。第１導電層１３１の厚さは、たとえば２μｍ〜９μｍである。第１導電層１３１の周縁部は、保護層１４の表面に密着している。第１導電層１３１の厚さは、第１保護膜１４１の厚さよりも大きい。一方、第１導電層１３１の厚さは、保護層１４全体の厚さ（第１保護膜１４１の厚さおよび第２保護膜１４２の厚さの合計）よりも小さい。これにより、本実施形態においては、第１導電層１３１は、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂの全部および第２保護膜１４２の第２側面１４２ｂの一部を覆っている。
【００４４】
第２導電層１３２は、第１導電層１３１を覆っている。第２導電層１３２は、第１導電層１３１よりもイオン化傾向が小さい金属からなる。第２導電層１３２は、金属下地層１１よりも硬度が高い。このような第２導電層１３２は、たとえばＰｄよりなる。第２導電層１３２の厚さは、たとえば０．１μｍ〜０．５μｍである。第２導電層１３２の周縁部は、保護層１４の表面に密着している。第２導電層１３２の厚さは、第２保護膜１４２の厚さよりも小さい。本実施形態においては、第２導電層１３２は、第２保護膜１４２の第２側面１４２ｂの一部を覆っている。
【００４５】
第３導電層１３３は、第２導電層１３２を覆っている。第３導電層１３３は、第２導電層１３２よりもイオン化傾向が小さい金属からなる。このような第３導電層１３３は、たとえばＡｕからなる。第３導電層１３３の厚さは、たとえば１０ｎｍ〜０．１μｍである。第３導電層１３３の周縁部は、保護層１４の表面に密着している。第３導電層１３３の厚さは、第２保護膜１４２の厚さよりも小さい。本実施形態においては、第３導電層１３３は、第２保護膜１４２の第２側面１４２ｂの一部を覆っている。なお、本実施形態においては、ボンディングパッド１３全体の厚さは、保護層１４全体の厚さよりも小さい。これにより、ボンディングパッド１３は、第２保護膜１４２の上面１４２ａを露出させている。
【００４６】
図１に示すように、ワイヤ２は、半導体素子１の第１主面１０ａ側にボンディングされている。また、ワイヤ２は、副電極３２にボンディングされている。ワイヤ２は、たとえば、Ｃｕ、Ａｕ、あるいは、Ａｇよりなる。本実施形態では、ワイヤ２はＣｕよりなる。
【００４７】
ワイヤ２は、ボンディング部２１，２２と、橋絡部２３と、を含む。
【００４８】
ボンディング部２１は、半導体素子１にボンディングされた部分である。具体的には、図３に示すように、ボンディング部２１は、半導体素子１における第３導電層１３３（ボンディングパッド１３）にボンディングされている。半導体装置Ａ１の製造の際、ボンディング部２１は、ボンディング部２２よりも先にボンディングされる。すなわちボンディング部２１は、ファーストボンディング部である。
【００４９】
ボンディング部２２は、副電極３２にボンディングされた部分である。半導体装置Ａ１の製造の際、ボンディング部２２は、ボンディング部２１よりも後にボンディングされる。すなわちボンディング部２２は、セカンドボンディング部である。ボンディング部２２は、一方向に沿う副電極３２との接合領域を有している。
【００５０】
橋絡部２３は、ボンディング部２１およびボンディング部２２につながる。橋絡部２３は、線状に延び、かつ断面が円形状である。
【００５１】
副電極３２は、導電性材料よりなる。副電極３２はリードフレームに由来する。詳細な図示説明は省略するが、副電極３２は、ＣｕよりなるＣｕ部と、ＡｇよりなるＡｇ層とを有する。上記Ｃｕ部には、上記Ａｇ層が形成されている。Ｃｕ部の厚さは、Ａｇ層の厚さよりも大きい。Ａｇ層には、ワイヤ２がボンディングされている。
【００５２】
主電極３１は、導電性材料よりなる。主電極３１はリードフレームに由来する。主電極３１は、副電極３２と同様に、Ｃｕ部およびＡｇ層を有しているが、副電極３２と同様であるので、説明を省略する。主電極３１には、接着層を介して半導体素子１が配置されている。
【００５３】
封止樹脂５は、半導体素子１と、ワイヤ２と、を封止している。具体的には封止樹脂５は、半導体素子１と、ワイヤ２と、主電極３１と、副電極３２と、を覆っている。封止樹脂５は、たとえばエポキシ樹脂よりなる。封止樹脂５からは、副電極３２の端面が露出している。当該端面は、リードフレームを切断する際の切断面である。
【００５４】
次に、半導体装置Ａ１の製造方法について、図５〜図１３を参照して説明する。
【００５５】
まず、図５に示すように、半導体素子１に金属下地層１１を形成する。金属下地層１１は、半導体素子１の第１主面１０ａに形成された機能回路（図示略）の適所に導通する。金属下地層１１は、たとえばＡｌを用いためっきによってパターン形成する。金属下地層１１の厚さは、たとえば０．５μｍ〜５μｍである。
【００５６】
次いで、図６に示すように、絶縁膜１２を形成する。絶縁膜１２の形成手法は特に限定されないが、たとえば、ＣＶＤ（化学気相成長法）などの製膜方法によってＳｉＯ2の薄膜を金属下地層１１上の所定箇所に形成する。
【００５７】
次いで、図７に示すように、第１保護膜１４１および第２保護膜１４２を形成する。第１保護膜１４１および第２保護膜１４２の形成は、まず、たとえばＳｉＮ膜およびポリイミド膜を全面に形成する。上記ＳｉＮ膜の厚さは、たとえば１μｍ〜４μｍである。また、上記ポリイミド膜の厚さは、たとえば３μｍ〜６μｍである。次に、エッチングなどのパターニングにより、上記ポリイミド膜および上記ＳｉＮ膜の一部を除去し、金属下地層１１を露出させて第２側面１４２ｂおよび第１側面１４１ｂが形成される。上記ポリイミド膜および上記ＳｉＮ膜の一部除去は、たとえばマスクを利用した異方性ドライエッチングにより行う。上記ポリイミド膜の一部除去および上記ＳｉＮ膜の一部除去は、互いに異なった開口パターンを有するマスクを用いて行う。上記ポリイミド膜（第２保護膜１４２）のマスクの開口は上記ＳｉＮ膜（第１保護膜１４１）のマスクの開口よりも大きい。これにより、第２側面１４２ｂが第１側面１４１ｂよりも後退した第１保護膜１４１および第２保護膜１４２が形成される。
【００５８】
次いで、図８に示すように、ボンディングパッド１３を形成する。ボンディングパッド１３の形成は、金属下地層１１の露出部分に第１導電層１３１、第２導電層１３２および第３導電層１３３を積層形成することにより行う。第１導電層１３１の厚さは、たとえば２μｍ〜９μｍである。また、第２導電層１３２の厚さは、たとえば０．１μｍ〜０．５μｍであり、第３導電層１３３の厚さは、たとえば１０ｎｍ〜０．１μｍである。第１ないし第３導電層１３１〜１３３は、金属メッキからなり、たとえば無電解Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕメッキ処理により形成される。これにより、ボンディングパッド１３（第１導電層１３１、第２導電層１３２および第３導電層１３３）の周縁部は、保護層１４（第１保護膜１４１および第２保護膜１４２）の表面に密着して保護層１４の一部を覆う。
【００５９】
次いで、図９に示すように、リードフレーム３を用意する。リードフレーム３は、上述の主電極３１と副電極３２とになるべき部位を有している。また、リードフレーム３は、上述のＣｕ部およびＡｇ層を有している。Ｃｕ部およびＡｇ層はそれぞれ、主電極３１および副電極３２に関して述べたのと同様であるから、ここでは説明を省略する。
【００６０】
次いで、図１０に示すように、半導体素子１をリードフレーム３（主電極３１）上に搭載する。半導体素子１を主電極３１上に搭載するには、たとえば銀ペーストやハンダ等の接合材を用いる。
【００６１】
次に、図１１に示すように、ワイヤ２を半導体素子１および副電極３２にボンディングする。ワイヤ２のボンディングは、たとえばキャピラリ（図示略）を用いて行う。具体的には、まず、ワイヤ２を半導体素子１にボンディングする（ファーストボンディング）。ここで、上記キャピラリにワイヤ２を挿通させ、ワイヤ２をキャピラリ先端から送り出すととともに、ワイヤ２の先端を溶解させる。次いで、上記キャピラリによってワイヤ２先端を半導体素子１のボンディングパッド１３に押さえ付けつつ、ワイヤ２先端に超音波による振動を加える。これにより、ワイヤ２先端は半導体素子１（ボンディングパッド１３）に接合される。そして、上記キャピラリを半導体素子１から離間させる。ここで、図３に示したようなボンディング部２１が形成される。
【００６２】
次に、ワイヤ２を繰り出しながら上記キャピラリを移動させてワイヤループを形成し、ワイヤ２を副電極３２にボンディングする（セカンドボンディング）。ここで、ワイヤ２を副電極３２に押圧させつつ超音波振動を印加して、ワイヤ２を副電極３２（本実施形態では上記Ａｇ層）に固着させる。そして、ワイヤ２が副電極３２に固着されると、上記キャピラリに挿通されたワイヤ２をクランプした状態で上記キャピラリを上昇させて、ワイヤ２を切断する（図示略）。これにより、半導体素子１と副電極３２とは、ワイヤ２により形成されるワイヤループにより電気的に連結される（図１１参照）。このようにして、複数のワイヤ２をボンディングする。
【００６３】
次に、所望の金型を用いて、図１２に示すように、ワイヤ２およびリードフレーム３を覆う封止樹脂５を形成する。
【００６４】
次に、図１３に示すように、封止樹脂５を形成した後、封止樹脂５およびリードフレーム３を切断することにより、固片化する。これにより、複数の半導体装置Ａ１が製造される。
【００６５】
次に、半導体装置Ａ１の作用について説明する。
【００６６】
本実施形態によれば、ボンディングパッド１３は、金属下地層１１よりもイオン化傾向が小さい金属からなり、金属下地層１１上に積層される順（第１導電層１３１、第２導電層１３２、第３導電層１３３の順）にイオン化傾向が小さくなっている。このような構成によれば、下層側にある金属下地層１１や第１導電層１３１の腐食を適切に保護することができる。
【００６７】
ボンディングパッド１３（第１導電層１３１、第２導電層１３２および第３導電層１３３）の周縁部は、保護層１４（第１保護膜１４１および第２保護膜１４２）の表面に密着して当該保護層１４の一部を覆っている。このような構成によれば、たとえば本実施形態と異なり保護層によってボンディングパッドの周縁部が覆われる場合と比べて、ボンディングパッド１３の保護層１４への密着によって保護層１４の剥離を抑制することができる。これにより、半導体装置Ａ１の耐久性を高めることができる。
【００６８】
また、ボンディングパッド１３の周縁部が保護層１４の表面の一部を覆う構成によれば、半導体素子１の厚さ方向視において、ボンディングパッド１３を構成する第１ないし第３導電層１３１〜１３３の形成領域がボンディングパッド１３の金属露出部分となる。このような構成によれば、たとえば本実施形態と異なり保護層によってボンディングパッドの周縁部が覆われる場合と比べて、ボンディングパッド１３を構成する第１ないし第３導電層１３１〜１３３の形成領域を小さくすることができる。このことは、半導体装置Ａ１の小型化を図るのに適する。
【００６９】
本実施形態においては、第２保護膜１４２の第２側面１４２ｂは、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂに比べてボンディングパッド１３とは反対側に後退した位置にある。また、第１導電層１３１の厚さは、第１保護膜１４１の厚さよりも大きく、第１導電層１３１は、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂの全部、上面１４１ａの一部、および第２保護膜１４２の第２側面１４２ｂの一部に跨って密着しており、これらを一連に覆っている。このような構成によれば、第１導電層１３１（ボンディングパッド１３）によって第１保護膜１４１の剥離が効果的に抑制される。また、第１導電層１３１（ボンディングパッド１３）と保護層１４との境界部から水分等が金属下地層１１にまで進入するのを適切に防止することができる。
【００７０】
第１導電層１３１および第２導電層１３２は、金属下地層１１よりも硬度が高い。このような構成によればこれにより、ワイヤ２をボンディングパッド１３にボンディングする際にキャピラリによる押圧力がボンディングパッド１３に作用しても、ボンディングパッド１３および金属下地層１１にクラック等が生じるといった不具合は防止される。
【００７１】
図１４〜図１７は、上述の半導体装置Ａ１の変形例を示している。
【００７２】
図１４、図１５に示した半導体装置Ａ１’は、上述の半導体装置Ａ１と比べて、ボンディングパッド１３の厚さが異なっている。
【００７３】
具体的には、本変形例の半導体装置Ａ１'において、第１導電層１３１の厚さが、上記半導体装置Ａ１における第１導電層１３１の厚さよりも小さくされている。第１導電層１３１の厚さは、第１保護膜１４１の厚さよりも小さい。また、ボンディングパッド１３全体の厚さ（第１導電層１３１の厚さ、第２導電層１３２の厚さおよび第３導電層１３３の厚さの合計）は、第１保護膜１４１の厚さよりも小さい。これにより、ボンディングパッド１３は、第１保護膜１４１における第１側面１４１ｂの一部を覆うとともに、第２保護膜１４２を露出させている。このような構成の半導体装置Ａ１'によっても、上記した半導体装置Ａ１と同様の作用を奏することができる。
【００７４】
図１６、図１７に示した半導体装置Ａ１”は、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂの形状および第２保護膜１４２の第２側面１４２ｂの形状が、上述の半導体装置Ａ１と異なっている。
【００７５】
具体的には、本変形例の半導体装置Ａ１"において、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂおよび第２保護膜１４２の第２側面１４２ｂは、それぞれ、半導体素子１の厚さ方向において半導体素子１から離れるにつれてボンディングパッド１３から遠ざかるように傾斜している。このように傾斜する第１側面１４１ｂおよび第２側面１４２ｂは、たとえば等方性ウェットエッチングの手法によって、第２保護膜１４２および第１保護膜１４１を構成する上記ポリイミド膜および上記ＳｉＮ膜の一部を除去することにより、形成される。
【００７６】
第１導電層１３１の厚さは、第１保護膜１４１の厚さよりも大きい。一方、第１導電層１３１の厚さは、保護層１４全体の厚さ（第１保護膜１４１の厚さおよび第２保護膜１４２の厚さの合計）よりも小さい。一方、第１導電層１３１の厚さは、保護層１４全体の厚さ（第１保護膜１４１の厚さおよび第２保護膜１４２の厚さの合計）よりも小さい。これにより、第１導電層１３１は、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂの全部および第２保護膜１４２の第２側面１４２ｂの一部を覆っている。第２導電層１３２の厚さは、第２保護膜１４２の厚さよりも小さい。第２導電層１３２は、第２保護膜１４２の第２側面１４２ｂの一部を覆っている。第３導電層１３３の厚さは、第２保護膜１４２の厚さよりも小さい。第３導電層１３３は、第２保護膜１４２の第２側面１４２ｂの一部を覆っている。そして、ボンディングパッド１３全体の厚さは、保護層１４全体の厚さよりも小さい。これにより、ボンディングパッド１３は、第２保護膜１４２の上面１４２ａを露出させている。
【００７７】
このような構成の半導体装置Ａ１”によっても、上記した半導体装置Ａ１と同様の作用を奏することができる。また、第１側面１４１ｂおよび第２側面１４２ｂが上記のように傾斜する構成によれば、これらを覆うボンディングパッド１３（第１ないし第３導電層１３１，１３２，１３３）によって第１保護膜１４１および第２保護膜１４２がその端部（第１側面１４１ｂおよび第２側面１４２ｂの近傍）からめくれ上がることが的確に防止され、保護層１４の剥離を防止する効果がより高められる。
【００７８】
図１８、図１９は、本発明の第２実施形態に係る半導体装置を示している。図１８以降の図においては、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実施形態と同一の符号を付しており、適宜説明を省略する。なお、図１９においてワイヤ２および封止樹脂５を省略している。
【００７９】
本実施形態の半導体装置Ａ２は、ボンディングパッド１３および保護層１４の構成が、上述した実施形態と異なっている。
【００８０】
保護層１４は、第１保護膜１４１および第２保護膜１４２を有する。第１保護膜１４１は、たとえばＳｉＮなどの絶縁材料からなる。第１保護膜１４１の厚さは、たとえば２μｍ〜４μｍである。第２保護膜１４２は、第１保護膜１４１上に積層されており、たとえばポリイミドなどの絶縁材料からなる。第２保護膜１４２の厚さは、たとえば３μｍ〜６μｍである。
【００８１】
図１９に示すように、第１保護膜１４１は、上面１４１ａおよび第１側面１４１ｂを有する。本実施形態では、第１側面１４１ｂは、半導体素子１の厚さ方向において半導体素子１から離れるにつれてボンディングパッド１３から遠ざかるように傾斜している。
【００８２】
第２保護膜１４２は、積層部１４３およびひさし部１４４を有する。積層部１４３は、第１保護膜１４１上に重なる部分である。ひさし部１４４は、半導体素子１の厚さ方向に対して直角である方向に、積層部１４３からボンディングパッド１３側に向けて突出している。なお、図１９では、理解の便宜上、積層部１４３とひさし部１４４の境界線を破線で表している。ひさし部１４４は、ひさし部側面１４４ｂおよびひさし部下面１４４ｃを有する。ひさし部側面１４４ｂは、半導体素子１の厚さ方向に対して直角である方向においてボンディングパッド１３に向く。ひさし部下面１４４ｃは、半導体素子１の厚さ方向において半導体素子１に向く。本実施形態では、ひさし部側面１４４ｂは、半導体素子１の厚さ方向において半導体素子１から離れるにつれてボンディングパッド１３から遠ざかるように傾斜している。
【００８３】
ボンディングパッド１３は、第１導電層１３１、第２導電層１３２および第３導電層１３３を有する。これら第１ないし第３導電層１３１〜１３３は、金属メッキよりなる。
【００８４】
第１導電層１３１は、金属下地層１１を覆っている。第１導電層１３１は、金属下地層１１よりもイオン化傾向が小さい金属からなる。第１導電層１３１は、金属下地層１１よりも硬度が高い。このような第１導電層１３１は、たとえばＮｉよりなる。第１導電層１３１の厚さは、たとえば１μｍ〜３μｍである。第１導電層１３１の周縁部は、保護層１４の表面に密着している。第１導電層１３１の厚さは、第１保護膜１４１の厚さよりも小さい。本実施形態においては、第１導電層１３１は、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂの一部を覆っている。
【００８５】
第２導電層１３２は、第１導電層１３１を覆っている。第２導電層１３２は、第１導電層１３１よりもイオン化傾向が小さい金属からなる。第２導電層１３２は、金属下地層１１よりも硬度が高い。このような第２導電層１３２は、たとえばＰｄよりなる。第２導電層１３２の厚さは、たとえば０．１μｍ〜０．５μｍである。第２導電層１３２の周縁部は、保護層１４の表面に密着している。第２導電層１３２の厚さは、第１保護膜１４１の厚さよりも小さい。本実施形態においては、第２導電層１３２は、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂの一部を覆っている。
【００８６】
第３導電層１３３は、第２導電層１３２を覆っている。第３導電層１３３は、第２導電層１３２よりもイオン化傾向が小さい金属からなる。このような第３導電層１３３は、たとえばＡｕからなる。第３導電層１３３の厚さは、たとえば１０ｎｍ〜０．１μｍである。第３導電層１３３の周縁部は、保護層１４の表面に密着している。第３導電層１３３の厚さは、第１保護膜１４１の厚さよりも小さい。本実施形態においては、第３導電層１３３は、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂの一部を覆っている。なお、本実施形態においては、ボンディングパッド１３全体の厚さは、第１保護膜１４１の厚さよりも小さい。これにより、ひさし部下面１４４ｃは、ボンディングパッド１３の上面（第３導電層１３３の上面）よりも半導体素子１から離れた位置にある。したがって、ボンディングパッド１３は、ひさし部１４４（第２保護膜１４２）を露出させている。
【００８７】
次に、半導体装置Ａ２の製造方法について、図２０〜図２３を参照して説明する。なお、図２０〜図２３は、保護層１４およびボンディングパッド１３を形成する工程（上記した半導体装置Ａ１の製造方法における図７、図８に示した工程に対応する工程）を示しており、半導体装置Ａ２の製造における他の工程については上記半導体装置Ａ１の場合と同様であるので、その説明を省略する。
【００８８】
図２０に示すように、第１保護膜１４１および第２保護膜１４２を形成する。第１保護膜１４１および第２保護膜１４２の形成は、まず、たとえばＳｉＮ膜およびポリイミド膜を全面に形成する。上記ＳｉＮ膜の厚さは、たとえば２μｍ〜４μｍである。また、上記ポリイミド膜の厚さは、たとえば３μｍ〜６μｍである。
【００８９】
次に、図２１に示すように、エッチングなどのパターニングにより、上記ポリイミド膜の一部を除去し、上記ＳｉＮ膜の上面の一部を露出させてひさし部側面１４４ｂが形成される。上記ポリイミド膜の一部除去は、たとえばマスクを利用した等方性ウェットエッチングにより行う。これにより、傾斜したひさし部側面１４４ｂを有する第２保護膜１４２が形成される。なお、この時点では、第２保護膜１４２の全体が上記ＳｉＮ膜上に重なっており、上記した積層部１４３とひさし部１４４の区別はできない。
【００９０】
次に、図２２に示すように、エッチングなどのパターニングにより、上記ＳｉＮ膜の一部を除去し、金属下地層１１を露出させる。上記ＳｉＮ膜の一部除去は、たとえばマスクを利用した等方性ウェットエッチングにより行う。ここで、上記ポリイミド膜の一部除去および上記ＳｉＮ膜の一部除去は、上記ポリイミド膜の一部除去の場合と同一の開口パターンを有するマスクを用いて行う。これにより、傾斜した第１側面１４１ｂを有する第１保護膜１４１が形成される。また、上記ＳｉＮ膜の一部除去にともない、第２保護膜１４２については、積層部１４３とひさし部１４４とに区別可能な状態となる。
【００９１】
次に、図２３に示すように、ボンディングパッド１３を形成する。ボンディングパッド１３の形成は、金属下地層１１の露出部分に第１導電層１３１、第２導電層１３２および第３導電層１３３を積層形成することにより行う。第１導電層１３１の厚さは、たとえば１μｍ〜３μｍである。また、第２導電層１３２の厚さは、たとえば０．１μｍ〜０．５μｍであり、第３導電層１３３の厚さは、たとえば１０ｎｍ〜０．１μｍである。第１ないし第３導電層１３１〜１３３は、金属メッキからなり、たとえば無電解Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕメッキ処理により形成される。これにより、ボンディングパッド１３（第１導電層１３１、第２導電層１３２および第３導電層１３３）の周縁部は、保護層１４（第１保護膜１４１）の表面に密着して保護層１４の一部を覆う。
【００９２】
次に、半導体装置Ａ２の作用について説明する。
【００９３】
本実施形態によれば、ボンディングパッド１３は、金属下地層１１よりもイオン化傾向が小さい金属からなり、金属下地層１１上に積層される順（第１導電層１３１、第２導電層１３２、第３導電層１３３の順）にイオン化傾向が小さくなっている。このような構成によれば、下層側にある金属下地層１１や第１導電層１３１の腐食を適切に保護することができる。
【００９４】
ボンディングパッド１３（第１導電層１３１、第２導電層１３２および第３導電層１３３）の周縁部は、保護層１４（第１保護膜１４１）の表面に密着して当該保護層１４の一部を覆っている。このような構成によれば、たとえば本実施形態と異なり保護層によってボンディングパッドの周縁部が覆われる場合と比べて、ボンディングパッド１３の保護層１４への密着によって保護層１４の剥離を抑制することができる。これにより、半導体装置Ａ２の耐久性を高めることができる。
【００９５】
また、ボンディングパッド１３の周縁部が保護層１４の表面の一部を覆う構成によれば、半導体素子１の厚さ方向視において、ボンディングパッド１３を構成する第ないし第３導電層１３１〜１３３の形成領域が概ねボンディングパッド１３の金属露出部分となる。このような構成によれば、たとえば本実施形態と異なり保護層によってボンディングパッドの周縁部が覆われる場合と比べて、ボンディングパッド１３を構成する第１ないし第３導電層１３１〜１３３の形成領域を小さくすることができる。このことは、半導体装置Ａ２の小型化を図るのに適する。
【００９６】
本実施形態においては、第１導電層１３１は、絶縁膜１２および第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂの一部に跨って密着しており、これらを一連に覆っている。第１側面１４１ｂは上記のように傾斜している。このような構成によれば、第１導電層１３１（ボンディングパッド１３）によって第１保護膜１４１の剥離が効果的に抑制される。また、第１導電層１３１（ボンディングパッド１３）と保護層１４（第１保護膜１４１）との境界部から水分等が金属下地層１１にまで進入するのを適切に防止することができる。
【００９７】
第１導電層１３１および第２導電層１３２は、金属下地層１１よりも硬度が高い。このような構成によればこれにより、ワイヤ２をボンディングパッド１３にボンディングする際にキャピラリによる押圧力がボンディングパッド１３に作用しても、ボンディングパッド１３および金属下地層１１にクラック等が生じるといった不具合は防止される。
【００９８】
図２４、図２５は、本発明の第３実施形態に係る半導体装置を示している。なお、図２５においてワイヤ２および封止樹脂５を省略している。
【００９９】
本実施形態の半導体装置Ａ３は、ボンディングパッド１３および保護層１４の構成が、上述した第１実施形態と異なっている。また、保護層１４の構成は上述の第２実施形態と同様である。以下、主にボンディングパッド１３について説明し、保護層１４については適宜説明を省略する。
【０１００】
保護層１４は、第１保護膜１４１および第２保護膜１４２を有する。第１保護膜１４１は、たとえばＳｉＮなどの絶縁材料からなる。第１保護膜１４１の厚さは、たとえば２μｍ〜４μｍである。第２保護膜１４２は、第１保護膜１４１上に積層されており、たとえばポリイミドなどの絶縁材料からなる。第２保護膜１４２の厚さは、たとえば３μｍ〜６μｍである。
【０１０１】
ボンディングパッド１３は、第１導電層１３１、第２導電層１３２および第３導電層１３３を有する。これら第１ないし第３導電層１３１〜１３３は、金属メッキよりなる。
【０１０２】
第１導電層１３１は、金属下地層１１を覆っている。第１導電層１３１は、金属下地層１１よりもイオン化傾向が小さい金属からなる。第１導電層１３１は、金属下地層１１よりも硬度が高い。このような第１導電層１３１は、たとえばＮｉよりなる。第１導電層１３１の厚さは、たとえば６μｍ〜１２μｍである。第１導電層１３１の周縁部は、保護層１４の表面に密着している。第１導電層１３１の厚さは、保護層１４全体の厚さ（第１保護膜１４１の厚さおよび第２保護膜１４２の厚さの合計）よりも大きい。本実施形態においては、第１導電層１３１は、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂの一部およびひさし部側面１４４ｂの全部を覆っている。一方、第１導電層１３１は、ひさし部下面１４４ｃを露出させている。そして、ひさし部下面１４４ｃと、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂと、第１導電層１３１とによって囲まれた空隙部１５が形成されている。
【０１０３】
第２導電層１３２は、第１導電層１３１を覆っている。第２導電層１３２は、第１導電層１３１よりもイオン化傾向が小さい金属からなる。第２導電層１３２は、金属下地層１１よりも硬度が高い。このような第２導電層１３２は、たとえばＰｄよりなる。第２導電層１３２の厚さは、たとえば０．１μｍ〜０．５μｍである。第２導電層１３２の周縁部は、保護層１４の表面に密着している。本実施形態においては、第２導電層１３２は、ひさし部側面１４４ｂにつながる、第２保護膜１４２の上面１４２ａの一部を覆っている。
【０１０４】
第３導電層１３３は、第２導電層１３２を覆っている。第３導電層１３３は、第２導電層１３２よりもイオン化傾向が小さい金属からなる。このような第３導電層１３３は、たとえばＡｕからなる。第３導電層１３３の厚さは、たとえば１０ｎｍ〜０．１μｍである。第３導電層１３３の周縁部は、保護層１４の表面に密着している。本実施形態においては、第３導電層１３３は、第２保護膜１４２の上面１４２ａの一部を覆っている。
【０１０５】
次に、半導体装置Ａ３の製造方法について、図２６〜図２９を参照して説明する。なお、図２６〜図２９は、ボンディングパッド１３を形成する工程（上記した半導体装置Ａ２の製造方法における図２３に示した工程に対応する工程）を示しており、半導体装置Ａ３の製造における他の工程については上記半導体装置Ａ２の場合と同様であるので、その説明を省略する。
【０１０６】
ボンディングパッド１３の形成は、金属下地層１１の露出部分に第１導電層１３１、第２導電層１３２および第３導電層１３３を積層形成することにより行う。第１導電層１３１の厚さは、たとえば６μｍ〜１２μｍである。また、第２導電層１３２の厚さは、たとえば０．１μｍ〜０．５μｍであり、第３導電層１３３の厚さは、たとえば１０ｎｍ〜０．１μｍである。第１ないし第３導電層１３１〜１３３は、金属メッキからなり、たとえば無電解Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕメッキ処理により形成される。
【０１０７】
図２６〜図２８は、第１導電層１３１の形成過程を示している。第１導電層１３１は、メッキ処理により成長してその厚さが大きくなっていく。図２６は、第１導電層１３１の厚さが比較的小さい時点を示しており、第１導電層１３１の上面（半導体素子１の第１主面１０ａと同じ方向に向く面）は、半導体素子１の厚さ方向において第１保護膜１４１の上面１４１ａよりも半導体素子１に近い位置にある。ここで、第１導電層１３１の周縁部は、半導体素子１の厚さ方向に対して直角である方向において第１保護膜１４１側にも進入し、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂの一部を覆う。図２７は、図２６の次の段階で図２６よりも第１導電層１３１が少し成長した時点を示している。このとき、第１導電層１３１の上面は、半導体素子１の厚さ方向において、第１保護膜１４１の上面１４１ａよりも半導体素子１から離れ、かつ第２保護膜１４２の上面１４２ａよりも半導体素子１に近い位置にある。ここで、第１導電層１３１は、ひさし部側面１４４ｂとひさし部下面１４４ｃとが交差する先端縁１４４ｄに接触することで第１保護膜１４１側への進入が停止している。そして、ひさし部下面１４４ｃと、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂと、第１導電層１３１とによって囲まれた空隙部１５が形成される。
【０１０８】
図２８は、第１導電層１３１の形成が終了した時点を示している。このとき、第１導電層１３１の上面は、半導体素子１の厚さ方向において、第２保護膜１４２の上面１４２ａよりも半導体素子１から離れた位置にあり、第１導電層１３１は第２保護膜１４２の上面１４２ａの一部を覆っている。
【０１０９】
次いで、図２９に示すように、第１導電層１３１上に第２導電層１３２および第３導電層１３３を順次積層する。このようにして、ボンディングパッド１３が形成される。
【０１１０】
次に、半導体装置Ａ３の作用について説明する。
【０１１１】
本実施形態によれば、ボンディングパッド１３は、金属下地層１１よりもイオン化傾向が小さい金属からなり、金属下地層１１上に積層される順（第１導電層１３１、第２導電層１３２、第３導電層１３３の順）にイオン化傾向が小さくなっている。このような構成によれば、下層側にある金属下地層１１や第１導電層１３１の腐食を適切に保護することができる。
【０１１２】
ボンディングパッド１３（第１導電層１３１、第２導電層１３２および第３導電層１３３）の周縁部は、保護層１４（第１保護膜１４１および第２保護膜１４２）の表面に密着して当該保護層１４の一部を覆っている。このような構成によれば、たとえば本実施形態と異なり保護層によってボンディングパッドの周縁部が覆われる場合と比べて、ボンディングパッド１３の保護層１４への密着によって保護層１４の剥離を抑制することができる。これにより、半導体装置Ａ３の耐久性を高めることができる。
【０１１３】
また、ボンディングパッド１３の周縁部が保護層１４の表面の一部を覆う構成によれば、半導体素子１の厚さ方向視において、ボンディングパッド１３を構成する第１ないし第３導電層１３１〜１３３の形成領域がボンディングパッド１３の金属露出部分となる。このような構成によれば、たとえば本実施形態と異なり保護層によってボンディングパッドの周縁部が覆われる場合と比べて、ボンディングパッド１３を構成する第ないし第３導電層１３１〜１３３の形成領域を小さくすることができる。このことは、半導体装置Ａ３の小型化を図るのに適する。
【０１１４】
本実施形態においては、第１導電層１３１は、絶縁膜１２、第１保護膜１４１の第１側面１４１ｂの一部、第２保護膜１４２におけるひさし部側面１４４ｂの全部、および第２保護膜１４２の上面１４２ａの一部に跨って密着しており、これらを覆っている。このような構成によれば、第１導電層１３１（ボンディングパッド１３）によって保護層１４（第１保護膜１４１および第２保護膜１４２）の剥離が効果的に抑制される。また、第１導電層１３１（ボンディングパッド１３）と保護層１４との境界部から水分等が金属下地層１１にまで進入するのを適切に防止することができる。
【０１１５】
さらに、第１側面１４１ｂおよびひさし部側面１４４ｂが上記のように傾斜する構成によれば、これらを覆うボンディングパッド１３（第１導電層１３１）によって第１保護膜１４１および第２保護膜１４２がその端部（第１側面１４１ｂおよびひさし部側面１４４ｂの近傍）からめくれ上がることが的確に防止され、保護層１４の剥離を防止する効果がより高められる。
【０１１６】
第１導電層１３１および第２導電層１３２は、金属下地層１１よりも硬度が高い。このような構成によればこれにより、ワイヤ２をボンディングパッド１３にボンディングする際にキャピラリによる押圧力がボンディングパッド１３に作用しても、ボンディングパッド１３および金属下地層１１にクラック等が生じるといった不具合は防止される。
【０１１７】
図３０、図３１は、上述の半導体装置Ａ３の変形例を示している。図３０、図３１に示した半導体装置Ａ３’は、上述の半導体装置Ａ３と比べて、ボンディングパッド１３の厚さが異なっている。
【０１１８】
具体的には、本変形例の半導体装置Ａ３'において、第１導電層１３１の厚さが、上記半導体装置Ａ３における第１導電層１３１の厚さよりも小さくされている。第１導電層１３１の厚さは、第１保護膜１４１の厚さよりも大きく、保護層１４全体の厚さ（第１保護膜１４１の厚さおよび第２保護膜１４２の厚さの合計）よりも小さい。また、ボンディングパッド１３全体の厚さ（第１導電層１３１の厚さ、第２導電層１３２の厚さおよび第３導電層１３３の厚さの合計）についても、保護層１４全体の厚さよりも小さい。これにより、ボンディングパッド１３（第１ないし第３導電層１３１〜１３３）は、ひさし部側面１４４ｂの一部を覆うとともに、第２保護膜１４２の上面１４２ａを露出させている。このような構成の半導体装置Ａ３'によっても、上記した半導体装置Ａ３と同様の作用を奏することができる。
【０１１９】
本発明に係る半導体装置は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明に係る半導体装置の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。
【符号の説明】
【０１２０】
Ａ１，Ａ１’，Ａ１”，Ａ２，Ａ３，Ａ３’    半導体装置
１          半導体素子
１０ａ      第１主面
１０ｂ      第２主面
１１        金属下地層
１２        絶縁膜
１３        ボンディングパッド
１３１      第１導電層
１３２      第２導電層
１３３      第３導電層
１４        保護層
１４１      第１保護膜
１４１ａ    上面
１４１ｂ    第１側面
１４２      第２保護膜
１４２ａ    上面
１４２ｂ    第２側面
１４３      積層部
１４４      ひさし部
１４４ｂ    ひさし部側面
１４４ｃ    ひさし部下面
１４４ｄ    先端縁
１５        空隙部
２          ワイヤ
２１，２２    ボンディング部
２３        橋絡部
３          リードフレーム
３１        主電極
３２        副電極
５          封止樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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