(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
オゾン液を貯液すると共に、当該オゾン液からオゾンガスの一部を分離する気液分離部と、
上記気液分離部から排出された上記オゾンガスを液体と混合することで生成したオゾン液を上記気液分離部へ流入させる循環経路と、
外気を上記循環経路へ送風するための送風部と、
上記気液分離部に貯液されているオゾン液の水位が上限を上回ったか否かを判定する上限水位判定部と、
上記上限水位判定部が上記オゾン液の水位が上限を上回ったと判定したとき、予め設定された所定時間のみ上記送風部を駆動させる送風制御部と、
上記上限水位判定部が上記オゾン液の水位が上限を上回ったと複数回判定したときに、当該判定した間隔が、予め設定した所定時間以内であれば、上記循環経路にガス漏れが発生していると判定するガス漏れ判定部とを備えていることを特徴とするオゾン液生成装置。
【請求項２】
オゾン液を貯液すると共に、当該オゾン液からオゾンガスの一部を分離する気液分離部と、
上記気液分離部から排出された上記オゾンガスを液体と混合することで生成したオゾン液を上記気液分離部へ流入させる循環経路と、
外気を上記循環経路へ送風するための送風部と、
上記気液分離部に貯液されているオゾン液の水位が上限を上回ったか否かを判定する上限水位判定部と、
上記気液分離部に貯液されているオゾン液の水位が下限を下回ったか否かを判定する下限水位判定部と、
上記上限水位判定部が上記オゾン液の水位が上限を上回ったと判定したとき、上記送風部を駆動させ、上記下限水位判定部が上記オゾン液の水位が下限を下回ったと判定したとき、上記送風部の駆動を停止させる送風制御部と、
上記上限水位判定部が上記オゾン液の水位が上限を上回ったと複数回判定したときに、当該判定した間隔が、予め設定した所定時間以内であれば、上記循環経路にガス漏れが発生していると判定するガス漏れ判定部とを備えていることを特徴とするオゾン液生成装置。
【請求項３】
オゾン液を貯液すると共に、当該オゾン液からオゾンガスの一部を分離する気液分離部と、
上記気液分離部から排出された上記オゾンガスを液体と混合することで生成したオゾン液を上記気液分離部へ流入させる循環経路と、
外気を上記循環経路へ送風するための送風部と、
上記気液分離部に貯液されているオゾン液の水位が上限を上回ったか否かを判定する上限水位判定部と、
上記気液分離部に貯液されているオゾン液の水位が下限を下回ったか否かを判定する下限水位判定部と、
上記上限水位判定部が上記オゾン液の水位が上限を上回ったと判定したとき、上記送風部を駆動させ、上記下限水位判定部が上記オゾン液の水位が下限を下回ったと判定したとき、上記送風部の駆動を停止させる送風制御部と、
上記上限水位判定部が上記オゾン液の水位が上限を上回ったと判定したときから、上記下限水位判定部が上記オゾン液の水位が下限を下回ったと判定したときまでの経過時間が、予め設定された所定時間を経過しているとき、上記循環経路にガス漏れが発生していると判定するガス漏れ判定部とを備えていることを特徴とするオゾン液生成装置。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載のオゾン液生成装置を備えていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
オゾン液を貯液すると共に、当該オゾン液からオゾンガスの一部を分離する気液分離部と、
上記気液分離部から排出された上記オゾンガスを液体と混合することで生成したオゾン液を上記気液分離部へ流入させる循環経路と、
外気を上記循環経路へ送風するための送風部とを備えたオゾン液生成装置の駆動方法であって、
上記気液分離部に貯液されているオゾン液の水位が上限を上回ったか否かを判定する上限水位判定ステップと、
上記上限水位判定ステップにおいて上記オゾン液の水位が上限を上回ったと判定されたとき、予め設定された所定時間のみ上記送風部を駆動させる送風制御ステップと、
上記上限水位判定ステップにおいて上記オゾン液の水位が上限を上回ったと複数回判定されたときに、当該判定した間隔が、予め設定した所定時間以内であれば、上記循環経路にガス漏れが発生していると判定するガス漏れ判定ステップとを含むことを特徴とするオゾン液生成装置の駆動方法。
【請求項６】
請求項１に記載のオゾン液生成装置としてコンピュータを機能させるためのオゾン液生成装置の駆動プログラムであって、上記上限水位判定部、上記送風制御部、及びガス漏れ判定部としてコンピュータを機能させるための駆動プログラム。
【請求項７】
請求項６に記載の駆動プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、オゾン液生成装置、洗浄装置、オゾン液生成装置の駆動方法、駆動プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、洗浄装置等に付設されるオゾン液生成装置は、オゾン発生器と気液混合手段とを備えており、オゾン発生器で発生させたオゾンガスを水などの液体と混合させることにより、オゾン液を生成するものである。オゾン液生成装置には、大きく分けて非循環型のものと循環型のものとがある。
【０００３】
非循環型のオゾン液生成装置は、オゾン発生器で発生させたオゾンガスを水などの液体と混合させることでオゾン液を生成するとともに、水などの液体に溶け込めずに残った排オゾンガスを、一旦、保存槽などの密閉容器の内部にストックし、これをガス分解してから外部に排出するか、あるいはこれを、オゾンフィルタなどを通じて人体に影響がない程度のオゾン濃度にまで低減してから外部に排出する方式のものである。
【０００４】
一方、循環型のオゾン液生成装置は、オゾン液を生成した際に、水などの液体に溶け込めずに残った排オゾンガスを回収して、再度、これをオゾン発生器に送り、この排オゾンガスを用いてさらに濃度の高いオゾンガスを生成する方式のものである。
【０００５】
オゾン発生器で発生させた大部分のオゾンガスは、水に対して溶解しきれないため、非循環型のオゾン液生成装置はオゾン液生成の効率が悪い。一方、循環型のオゾン液生成装置は生成したオゾンガスの利用効率を高めることが出来る。
【０００６】
特許文献１に、循環型のオゾン液生成装置が開示されている。図１０は、特許文献１に開示されたオゾン液生成装置１００の全体構成を示すブロック図である。
【０００７】
図１０に示すように、従来の循環型のオゾン液生成装置１００は、外気導入部１２１と、オゾン発生器１２５と、気液混合器１２７と、気体と液体とに気液分離する機能を有する密閉タンクである気液分離器１３０と、気体の逆流を防止する逆止弁１２８とを備えている。外気導入部１２１はエアポンプ１２２と逆止弁１２３とを備えている。
【０００８】
気液分離器１３０の気体導出口１３５ｃとオゾン発生器１２５の導入口１２５ａとは経路１１１にて接続され、オゾン発生器２５の導出口１２５ｂと気液混合器２７の気体導入口１２７ｃとは経路１１２にて接続され、気液混合器２７の導出口１２７ｂと気液分離器３０の導入口１３５ａとは経路１１３にて接続されている。外気導入部１２１の逆止弁１２３と経路１１１とは経路１１４にて接続されている。経路１１１と経路１１４との接続部はＴ字となっておりＴ字部１１４ａを構成している。経路１１１・１１２・１１３により循環経路Ｚが構成されている。
【０００９】
気液分離器１３０によって分離された排オゾンガスが、経路１１１に設けられた除湿器（不図示）を介してオゾン発生器１２５に供給される。このため、オゾン液生成装置１００にあっては、排ガスに含まれる未溶解のオゾンガスを再利用することが可能とされている。
【００１０】
特許文献２のオゾン液生成装置は、動作時の危険防止を目的として、貯液槽に供給されるオゾン液を生成するためのオゾンガス及び液体の供給を停止する制御を実施している。
【００１１】
特許文献２におけるオゾン液生成装置には、貯液槽内のオゾン液の水位を検知するための水位センサが貯液槽に配されている。そして、貯液槽内のオゾン液の水位が水位センサにより検知されると、オゾン発生器および液体導入手段の動作を停止する。これにより、装置外へのオゾンガスの漏出やオゾン液の水位上昇を停止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２０１３-１４６７２１号公報（２０１３年８月１日公開）
【特許文献２】特開２０１３-１２８８７６号公報（２０１３年７月４日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
図１０に示すオゾンガス循環型のオゾン液生成法においてオゾン液を生成する場合のフローについて説明する。
【００１４】
気液混合器１２７として、一般的なベンチュリ構造のものを利用しており、液体供給弁１２６を通った水は、液体導入口１２７ａから導出口１２７ｂに向かって流れる。また、エアポンプ１２２の動作により外部口１１５から経路１１４に流入した外気である空気は、オゾン発生器１２５にて生成されたオゾンガスと共に、気体導入口１２７ｃから気液混合器１２７内に流入し、気液混合器１２７にて生成された気体と液体の気液混合体であるオゾン液１１７が気液分離器１３０に流れ込む。
【００１５】
動作初期において、気液分離器１３０内の空気は有る程度、オゾン液１１７とともに吐出口１３５ｂから外部へ流れるが、導入口１３５ａから気液分離器１３０内に流入したオゾン液１１７は、まず、仕切り１３１によって仕切られた前室である第１室１３２に流入し、仕切り１３１を越えて次の部屋である第２室１３３に流入する。この仕切り１３１を越えるときオゾン液１１７から一部の気体が分離され、水位より上部の空間部１３４に放出された気体は気体導出口１３５ｃから経路１１１に流入する。
【００１６】
このように、オゾン液生成装置１００によると、気液分離器１３０内のオゾン液１１７が一定の水位まで上昇して水位が安定し、空間部１３４の気体が、気液分離器１３０から経路１１１→Ｔ字部１１４ａ→オゾン発生器１２５→気液混合器１２７→気液分離器１３０へと循環経路Ｚに沿って循環する。
【００１７】
気液分離器１３０内のオゾン液１１７の水位が上昇した場合、フロート弁１３７が気液分離器１３０の気体導出口１３５ｃを塞ぐが、気液混合器１２７には水が流れ続けるため、エジェクタによる吸引効果により経路１１１・１１２・１１３の空間がある一定の負圧値まで到達する。逆止弁１２３の開弁圧として、この一定の負圧値で開くように開弁圧を設定する。
【００１８】
しかし、通常のオゾン液生成時には経路１１１・１１２・１１３内の空間は高い濃度のオゾンガスが循環するため、逆止弁１２３から外側へのオゾンガスの漏洩がないよう、逆止弁１２３として極力開弁圧が高いものを使用するのが望ましい。
【００１９】
このように、逆止弁１２３として高い開弁圧のものを使用してオゾン液生成装置１００を構成した場合、オゾン液生成動作を停止した際に気液分離器１３０内に、オゾン液生成装置１００外から空気を取り込むことができないため気液分離器１３０内にオゾン液１１７が残る。
【００２０】
オゾン液生成の再開時には、気液分離器１３０内にオゾン液１１７が残った状態からオゾン液１１７の生成を行うため、オゾン液１１７の生成動作を繰り返すことで気液分離器１３０内の水位が上昇していき、フロート弁１３７が動作を開始する。
【００２１】
フロート弁１３７が気液分離器１３０と経路１１１に繋がる気体導出口１３５ｃを塞ぐことで気液混合器１２７の吸引圧が逆止弁１２３に作用し、逆止弁１２３が開く。逆止弁１２３が開くことで外気が外部口１１５から経路１１４へ流入し、流入した外気が気液混合器１２７を通過して気液分離器１３０内に浸入することで気液分離器１３０内のオゾン液１１７の水位が下がる。
【００２２】
フロート弁１３７が気体導出口１３５ｃを塞ぐことで気液分離器１３０内のオゾン液１１７の水位が一時的に低下するものの、外部口１１５から経路１１４を通じて気液分離器１３０に外気を流入させた事により、循環経路Ｚを循環するオゾンガスの濃度が低下し、結果として、気液分離器１３０の吐出口１３５ｂ外へ流出するオゾン液１１７の濃度が低下する。そして、オゾン液生成装置１００によるオゾン液生成を長時間行う場合、気液分離器１３０内のオゾン液１１７の水位上昇に伴うフロート弁１３７が気体導出口１３５ｃを塞ぐ動作が、短い時間間隔で頻繁に発生する。これにより、外部口１１５から、短い時間間隔で少量の外気が循環経路Ｚ内に流入することになる。
【００２３】
このように、水位を保つにあたり、ごく少量の外気を吸い込んで水位調整を行うと、外気導入と水位が上昇する速度とがつり合って定常状態となり、気液分離器１３０内にごく少量の外気が連続的に供給され、低濃度のオゾン液１１７を連続的に生成するモードとなってしまう。
【００２４】
したがって、オゾン液生成装置１００のように、気液分離器１３０内のオゾン液１１７の水位が上がった時にフロート弁１３７が気体導出口１３５ｃを塞ぐことで外気を気液分離器１３０内に流入させる構成では、長時間、安定して高濃度のオゾン液を生成することができない。
【００２５】
また、特許文献２に記載のオゾン液生成装置も、貯液槽に貯液されたオゾン液の水位上昇により、水位が水位検知センサに検知されるとオゾン発生器および液体導入手段の動作を停止してしまうため、長時間、安定して高濃度のオゾン液を生成することができない。
【００２６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、長時間、安定して高濃度のオゾン液を生成することである。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るオゾン液生成装置は、オゾン液を貯液すると共に、当該オゾン液からオゾンガスの一部を分離する気液分離部と、上記気液分離部から排出された上記オゾンガスを液体と混合することで生成したオゾン液を上記気液分離部へ流入させる循環経路と、外気を上記循環経路へ送風するための送風部と、上記気液分離部に貯液されているオゾン液の水位が上限を上回ったか否かを判定する上限水位判定部と、上記上限水位判定部が上記オゾン液の水位が上限を上回ったと判定したとき、上記送風部を駆動させる送風制御部とを備えている。
【００２８】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るオゾン液生成装置の駆動方法は、オゾン液を貯液すると共に、当該オゾン液からオゾンガスの一部を分離する気液分離部と、上記気液分離部から排出された上記オゾンガスを液体と混合することで生成したオゾン液を上記気液分離部へ流入させる循環経路と、外気を上記循環経路へ送風するための送風部とを備えたオゾン液生成装置の駆動方法であって、上記気液分離部に貯液されているオゾン液の水位が上限を上回ったか否かを判定する上限水位判定ステップと、上記上限水位判定ステップにおいて上記オゾン液の水位が上限を上回ったと判定されたとき、上記送風部を駆動させる送風制御ステップとを含む。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の一態様によれば、長時間、安定して高濃度のオゾン液を生成するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施形態１に係るオゾン液生成装置の構成を表すブロック図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るオゾン液生成装置の動作の流れを表す図である。
【図３】本発明の実施形態２に係るオゾン液生成装置の構成を表すブロック図である。
【図４】本発明の実施形態２に係るオゾン液生成装置の動作の流れを表す図である。
【図５】本発明の実施形態３に係るオゾン液生成装置の構成を表すブロック図である。
【図６】本発明の実施形態３に係るオゾン液生成装置のタイミングチャートを表す図である。
【図７】本発明の実施形態３に係るオゾン液生成装置の動作の流れを表す図である。
【図８】本発明の実施形態４に係るオゾン液生成装置の構成を表すブロック図である。
【図９】本発明の実施形態４に係るオゾン液生成装置の動作の流れを表す図である。
【図１０】従来のオゾン液生成装置の構成を表すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
〔実施形態１〕
以下、図１及び図２を用い、本発明の実施形態１について、詳細に説明する。
【００３２】
（オゾン液生成装置１０の構成）
図１は、本発明の実施形態１に係るオゾン液生成装置１０の構成を表すブロック図である。まず、図１を参照して、本実施形態に係るオゾン液生成装置１０の全体構成について説明する。
【００３３】
オゾン液生成装置１０は、外気を流路内に導入するための外気導入部２１と、オゾンガスを発生するためのオゾン発生器２５と、液体の供給を制御するための液体供給弁２６と、液体とオゾンガスとを混合することでオゾン液を生成するための気液混合器２７と、液体を貯液すると共に気体と液体とを分離する気液分離器（気液分離部）３０と、気液分離器３０から循環するオゾンガスの逆流を防止する第２の逆止弁２８と、外気導入部２１からの外気導入を制御するエアポンプ制御部４０とを備えている。外気導入部２１は外気を送風するエアポンプ（送風部）２２とエアポンプ２２からのエアの逆流を防止する第１の逆止弁２３とを備えている。
【００３４】
気液分離器３０とオゾン発生器２５とは経路１１にて接続され、オゾン発生器２５と気液混合器２７とは経路１２にて接続され、気液混合器２７と気液分離器３０とは経路１３にて接続されている。外気導入部２１の第１の逆止弁２３と経路１１とは経路１４にて接続されている。経路１１と経路１４との接続部はＴ字となっておりＴ字部１４ａを構成している。
【００３５】
経路１１〜１４はホース又は配管により構成されている。経路１１と、経路１２と、経路１３とは、オゾン発生器２５と、気液混合器２７と、気液分離器３０との間で気体を循環させる循環経路Ａを構成している。
【００３６】
外気導入部２１は、経路１４に設けられた、エアポンプ２２と第１の逆止弁２３とにより構成されている。外気導入部２１が設けられた経路１４の一端は、経路１１の途中の位置に設けられたＴ字部１４ａに連通するように接続されており、経路１４の他端（エアポンプ２２の大気側）は開放された外部口１５となっている。
【００３７】
第１の逆止弁２３が設けられた経路１４は、外部口１５から経路１２への一方向にのみ気体を流入させるため、循環経路Ａから外部へ気体が解放されることを防止する。
【００３８】
エアポンプ２２は、エアポンプ制御部４０からの指示により、外気であるエア（空気）を循環経路Ａへ供給する。エアポンプ２２により外部口１５から流入した外気は経路１４、オゾン発生器２５及び気液混合器２７を通じて気液分離器３０に流入する。エアポンプ２２はエアポンプ制御部４０から駆動指示信号を受信すると予め設定された一定時間駆動することで、空気をオゾン発生器２５へ供給し、当該一定時間が経過すると駆動を停止することでオゾン発生器２５への空気の供給も停止する。
【００３９】
第１の逆止弁２３は、エアポンプ２２から供給されるエアの逆流を防止する。ここで、逆止弁とは、気体又は液体等の流体が流動する配管等に取り付けられ、流体がある方向から逆方向への流れを止めるための制御弁である。
【００４０】
第１の逆止弁２３が設けられた経路１４は、流体を一方向にのみ流動させることが可能となる。このため、第１の逆止弁２３が設けられた経路１４は、第１の逆止弁２３からＴ字部１４ａへの一方向にのみ気体を流動させるため、経路１４を通じて外部口１５から外側へ気体が外部へ解放されることを防止する。
【００４１】
また、第１の逆止弁２３のエアポンプ２２側又はエアポンプ２２の大気側には、オゾンガスを還元する機能を有する図示しないオゾンフィルタを設けてもよい。オゾンフィルタは、フィルタを通るオゾンガスを分解することが可能であるため、万が一、第１の逆止弁２３の動作不良時にオゾン液生成装置１０の内部のオゾンガスが外部空間に漏れ出した場合にも、気体を安全に開放することができる。なお、オゾンフィルタは、オゾン分解触媒を格子状に構成した紙又はアルミニウムを付着させたもの等、一般的なオゾンフィルタを配置する。
【００４２】
オゾン発生器２５は、空気または酸素などの気体を導入する経路１１に接続された導入口２５ａと、金属などの電極（図示せず）により形成され、導入された空気や酸素を材料にオゾンガスを発生させるオゾン発生電極と、オゾンガスを導出する経路１２に接続された導出口２５ｂとを備えている。
【００４３】
オゾン発生器２５は、絶縁物を挟んだ電極間に交流電圧を印加して無声放電を発生させ、電極間に空気または酸素などの気体を通過させることによりオゾンガスを生成するオゾン発生手段としての役割を担う。
【００４４】
オゾン発生器２５においては、導入口２５ａより導入された酸素または空気に含まれる酸素の一部などからオゾンガスが生成され、これが導出口２５ｂから導出される。なお、オゾン発生器２５は、上記の構成のものに限られず、導入される空気や酸素などの気体からオゾンガスを生成できるものであれば、どのような構成のものでも利用できる。
【００４５】
気液混合器２７は、オゾン液生成装置１０の外部から水などの液体を導入する導入口２７ａと、経路１２に接続されオゾンガスや空気などの気体を導入する気体導入口２７ｃと、経路１３に接続され気体と液体とを混合した気液混合体を導出する導出口２７ｂとを備えている。導入口２７ａは液体供給弁２６が配された経路と接続されている。気液混合器２７はオゾン液を生成する役割を担う。気液混合器２７として、一般的なベンチュリ構造のものを利用することができる。
【００４６】
気液混合器２７は、導入口２７ａから導入された水などの液体と、気体導入口２７ｃから導入された空気又はオゾンガスなどの気体と混合することで生成した気液混合体であるオゾン液１７を導出口２７ｂから経路１３を通じて気液分離器３０へ導出する。なお、導入口２７ａの上流側に、任意に液体の導入を制御できる電磁弁などの液体供給弁２６を設けても良い。液体供給弁２６を設けることにより、これを用いて気液混合器２７への液体の導入を停止すればオゾン液の生成動作を停止させることができるため、気液分離器３０に貯液するオゾン液１７の量を調整することができる。
【００４７】
ここで、気液混合体とは、液体に気体が溶解した液体、または、液体に気体が気泡として含まれた液体を意味し、オゾン液１７には、液体にオゾンガスが溶け込んだオゾン溶液、または液体にオゾンガスが気泡として混合されるオゾンバブル液が含まれる。また、オゾンガスが混合される液体としては、水や農耕用の溶媒として利用される栽培養液や医療用の溶媒として利用される溶液などが利用できる。
【００４８】
気液分離器３０は、液体や気体が貯蔵できる密封可能な容器などからなる。気液分離器３０は、経路１３に接続されオゾン液１７を導入する導入口３５ａと、オゾン液生成装置１０の外部へオゾン液１７を排出する排水口３５ｂと、経路１１に接続され空気やオゾンガスなどの気体を導出する気体導出口３５ｃと、水位検知センサ３７とを備えている。
【００４９】
気液分離器３０においては、その下層において、流入された液体であるオゾン液１７が貯液され、上層において、空気やオゾンガスなどの気体が貯蔵される。気液分離器３０は、オゾン液１７からオゾンガスの一部を分離することが可能であり、気液分離手段としての役割を担う。
【００５０】
気液分離器３０内部は、仕切り３１を介して第１室３２と第２室３３とに分割されていると共に、第１室３２と第２室３３との上側は空間部３４となっている。この結果、気液分離器３０内では、導入口３５ａから流入されたオゾン液１７は、第１室３２に入り、上方側に流れ、仕切り３１を乗り越えて第２室３３に流れる。このとき、オゾン液１７は気体と液体とに分離される。
【００５１】
ここで、密封可能な容器には、物理的に密封された空間を有するもののみが含まれるのではなく、気体が液体により閉じ込められた空間を構成することが可能な容器も含まれる。すなわち、容器内に気体を封止することができれば、常時、排水口３５ｂから液体（オゾン液１７）が導出されていても密封状態に該当するものとする。
【００５２】
排水口３５ｂは、オゾンガスや空気などの気体が気泡として流出することを抑制したり、中の液抜きをしたりすることも考慮し、気液分離器３０の底面近傍に設けることが好ましい。気体導出口３５ｃは、気体を効率的に気液分離器３０外へ導出させるため、気液分離器３０の天面または天面近傍に設けられることが好ましい。
【００５３】
水位検知センサ３７は気液分離器３０内のオゾン液１７の上限となる水位を検知するセンサである。水位検知センサ３７は、例えば気液分離器３０の第２室の側面であって、所定の高さとなる位置に配されている。
【００５４】
気液分離器３０は、円筒状や多角柱状、多角錐状、円錐状などの一般的な形状となるように形成されていればよい。また、気液分離器３０の大きさは、仕様に応じて適宜調整することが可能である。さらには、気液分離器３０は、配管の一部を広げることで形成されていても構わない。
【００５５】
気液分離器３０においては、例えば、オゾン液１７が導入口３５ａから導入された場合に、オゾン液１７に気泡として含まれていたオゾンガスや空気などの気体が幾分か液体から分離され、分離された気体が気液分離器３０の上層において貯蔵され、残る液体がオゾンガスが溶解したオゾン液１７として下層において貯液される。
【００５６】
ここで、気体導出口３５ｃは、気液分離器３０に設けられた排水口３５ｂの位置よりも重力方向に対して高い位置に設けられており、これにより気液分離されたオゾンガスは、経路１１を通じて気液分離器３０の外部へと排出される。
【００５７】
循環経路Ａは、上述のように、ホースやパイプなどからなる配管系から形成されており、気液分離器３０の気体導出口３５ｃとオゾン発生器２５の導入口２５ａとの間を接続する経路１１と、オゾン発生器２５の導出口２５ｂと気液混合器２７の気体導入口２７ｃとの間を接続する経路１２と、気液混合器２７の導出口２７ｂと気液分離器３０の導入口３５ａとの間を接続する経路１３とから構成されている。循環経路Ａにより、気液分離器３０から排出されたオゾンガスは、気液混合器２７にてオゾン液１７と混合し、オゾン液１７が再び気液分離器３０へ流入する。このため、気液分離器３０から排出されたオゾンガスを循環させることができる。
【００５８】
循環経路Ａとして、気液分離器３０とＴ字部１４ａの途中に第２の逆止弁２８を設ける構造であってもよい。第２の逆止弁２８を設けることで、経路１１内において、Ｔ字部１４ａから気体導出口３５ｃへと気体が逆流することを防止することができる。
【００５９】
また、経路１４の外気側（Ｔ字部１４ａと第１の逆止弁２３との間）には、オゾンガスを還元する機能を有する図示しないオゾンフィルタが設けられていてもよい。オゾンフィルタは、フィルタを通るオゾンガスを分解することが可能なものであるため、万が一、第１の逆止弁２３がオゾンガスに腐食されて破損した場合にも、オゾン液生成装置１０の内部のオゾンガスが外部空間に漏れ出すことを防止することができ、外部口１５から気体を安全に解放することができる。なお、オゾンフィルタとしては、格子状に構成した紙やアルミニウムにオゾン分解触媒を付着させたものなど、一般的なものが利用できる。
【００６０】
エアポンプ制御部４０は、センサ情報取得部４１と、水位判定部（上限水位判定部）４２と、エアポンプ指示部（送風制御部）４３とを備えている。エアポンプ制御部４０は水位検知センサ３７からの出力に基づいてエアポンプ２２の駆動を制御する装置である。エアポンプ制御部４０は、例えば、一又は複数のコンピュータからなる。
【００６１】
エアポンプ制御部４０は、水位検知センサ３７から出力される情報に基づいて、一定時間エアポンプ２２を駆動させるための駆動指示信号をエアポンプ２２に出力する。
【００６２】
センサ情報取得部４１は、水位検知センサ３７から出力される情報を取得するものである。センサ情報取得部４１は、水位検知センサ３７がオゾン液１７の水位を検知したとき、水位検知センサ３７から、水位を検知した旨の情報を取得する。
【００６３】
水位判定部４２は、気液分離器３０に貯液されているオゾン液１７の水位が上限を上回ったか否かを判定するものである。水位判定部４２は、センサ情報取得部４１が、水位検知センサ３７から水位を検知した旨の情報を取得すると、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上限を上回ったと判定する。
【００６４】
エアポンプ指示部４３はエアポンプ２２の駆動を制御するものである。エアポンプ指示部４３は、水位判定部４２が、水位が上限を上回ったと判定すると、エアポンプ２２に、予め設定された一定時間駆動するように駆動指示信号を出力する。これによりエアポンプ２２が一定時間駆動する。
【００６５】
（オゾン液生成装置１０の動作説明）
次に、図１及び図２を用いてオゾン液生成装置１０の動作について説明する。図２はオゾン液生成装置１０の動作の流れを表す図である。
【００６６】
まず、液体供給弁２６を開く（ステップＳ１１）。これにより、水が液体供給弁２６を通り導入口２７ａから気液混合器２７へ供給される。
【００６７】
次に、オゾン発生器２５に電気を送る（ステップＳ１２）。これにより、オゾン発生器２５で空気をオゾン化し、当該オゾン化したガスが、導出口２５ｂ、経路１２及び気体導入口２７ｃを通じて気液混合器２７へ供給される。
【００６８】
気液混合器２７では、液体供給弁２６を通じて供給された水と、オゾン発生器２５から経路１２通じて供給されたオゾン化されたガスとを混合することでオゾン液１７を生成する。そして、気液混合器２７は、生成したオゾン液１７を、導出口２７ｂ及び経路１３を通じて、導入口３５ａから気液分離器３０内へ供給する。
【００６９】
気液分離器３０では、導入口３５ａから供給されたオゾン液１７は第１室３２から、仕切り３１を乗り越えて第２室３３に流れる。これにより、オゾン液１７の一部のオゾンガスが分離し、当該オゾンガスは気体導出口３５ｃから経路１１へ流入する。そして、経路１１へ流入したオゾンガスはＴ字部１４ａを通過しオゾン発生器２５へ供給される。オゾン発生器２５へは、気液分離器３０で分離されたオゾンガスや外部口１５から経路１４を通じて流入した空気を含む気体が流入する。こうすることで、気液分離器３０にて分離されたオゾンガスは、気液分離器３０、経路１１、オゾン発生器２５、経路１２、気液混合器２７、経路１３、及び気液分離器３０の順に、循環経路Ａを循環することになる。
【００７０】
これによると、オゾン発生器２５は、水に溶解しきれず気液分離されたオゾンガスを含む気体をもとに、より高濃度のオゾンガスを生成でき、気体を循環させずにオゾン液を生成させる構成に比べ、より高濃度のオゾン液を生成することが可能となる。
【００７１】
また、オゾン液生成モードを動作させている間に排水口３５ｂからオゾン液を排出すると、気液分離しきれない微細気泡や、溶解したオゾンガスにより気液分離器３０内の気体の量が減少するため、結果として気液分離器３０内の水位は上昇していく。
【００７２】
そして、水位判定部４２は、水位検知センサ３７から出力される情報に基づいて、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が予め設定した水位の上限を上回るか否かを監視する（ステップＳ１３）。
【００７３】
すなわち、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上がり、当該水位が、水位検知センサ３７が配されている位置である、水位の上限を上回ると、水位検知センサ３７が水位を検知し、当該水位を検知した旨の情報をセンサ情報取得部４１に出力する。センサ情報取得部４１が、当該水位を検知した旨の情報を取得すると、水位判定部４２は、水位が上限を上回ったと判定する（ステップＳ１３のＹＥＳ）。
【００７４】
そして、水位判定部４２が、水位が上限を上回ったと判定すると、エアポンプ指示部４３は、エアポンプ２２に駆動指示信号を出力する。これによりエアポンプ２２が駆動する（ステップＳ１４）。
【００７５】
このように、水位判定部４２がオゾン液１７の水位が上限を上回ったと判定したとき、エアポンプ指示部４３が、エアポンプ２２を駆動させる。これにより、循環経路Ａを通じて気液分離器３０に外気が流入する。エアポンプ指示部４３は任意の時間、エアポンプ２２を駆動させることができるため、ある程度まとまった量の外気を気液分離器３０に流入させることができる。これにより、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位を、所定の高さ以下とし、当該所定の高さとなるように管理することができる。このため、長時間、オゾン液１７を生成する場合も安定して、高濃度のオゾン液１７を生成し、当該オゾン液１７を排水口３５ｂ外へ供給することができる。
【００７６】
エアポンプ２２は、予め設定された一定時間のみ駆動するようエアポンプ指示部４３が制御する。エアポンプ２２が駆動すると、外部口１５から空気が、経路１４を通じてオゾン発生器２５へ供給し、当該オゾン発生器２５で発生させたオゾンガスと共に、経路１２、気液混合器２７、経路１３を通じて気液分離器３０へ供給される。これにより、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が下がる。
【００７７】
エアポンプ２２は一定時間経過後、駆動を停止する。そしてステップＳ１３へ戻る。
【００７８】
このように、エアポンプ２２の駆動については、一定時間のみ駆動させることで、水位を下げることが可能である。エアポンプ２２の駆動時間に関しては、設定時間の上限として導入したエアがユースポイント側に流れていかない時間を設定する必要があり、気液分離器３０の容積や、適用する水圧や水流量に応じて適宜設定すればよい。
【００７９】
一定時間、エアポンプ２２を駆動させることで外気が、外部口１５から経路１４へ流入する。当該経路１４へ流入した外気は、第２の逆止弁２８が配されている経路１１へは流入せず、Ｔ字部１４ａ、オゾン発生器２５、及び気液混合器２７を通り気液分離器３０内の空間部３４に流れ込むことで、気液分離器３０内の水位がある程度まとまって下がる。
【００８０】
よって、気液分離器３０内の水位上昇時には水位検知センサからの水位を検知した旨の情報をもとにエアポンプ２２を駆動させることで、気液分離器３０内の水位を所望の位置まで下げることができ、この動作（ステップＳ１３・Ｓ１４）を継続的に行うことで、長時間安定した濃度のオゾン液１７を排水口３５ｂから外部へ供給することが可能となる。
【００８１】
また、オゾン液生成装置１０では、水位検知センサ３７が検知した情報をトリガーとして、エアポンプ２２を、適した設定時間動作させるため、ある程度まとまった量の外気を気液分離器３０内に供給することができる。これにより、気液分離器３０内の水位を一定量（例えば１ｃｍ等）下げるよう水位管理をすることができ、循環経路Ａを循環しているオゾンガスの濃度低下が短時間で解消されることになり、結果として気液分離器３０の排水口３５ｂから外部へ供給されるオゾン液１７の濃度低下を防止することができる。
【００８２】
また、このようにエアポンプ指示部４３から任意の時間エアポンプ２２が駆動するよう制御することができるため、図１０に示したオゾン液生成装置１００のようにオゾン液１１７の水位が上昇したときフロート弁１３７で気体導出口１３５ｃを塞ぐことで外気を気液分離器１３０に流入させる場合と比べて、短時間で気液分離器３０内のオゾン液１７の水位を一定の高さ以下とすることができる。これによると、外気を気液分離器３０へ流入させる時間間隔が長く、循環経路Ａを循環するオゾンガス濃度低下を防止することができるため、安定して長時間、高濃度のオゾン液１７を生成し、外部へ供給することができる。
【００８３】
また、オゾン液生成装置１０によると、特許文献２のオゾン液生成装置とは異なり、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位を水位検知センサ３７が検知しても、オゾン発生器２５や気液混合器２７の動作を停止しないため、安定して長時間、高濃度のオゾン液１７を生成し、外部へ供給することができる。
【００８４】
また、オゾン液生成装置１０を組み込むことで洗浄装置を製造することもできる。当該洗浄装置としては、キッチン、浴室、トイレ、洗面所等に設けられる水回り設備や、住戸や工場等に付設される配管あるいは工場等に設置された機械設備の洗浄に使用される洗浄装置、工場等に設置された生産設備としての部品の洗浄装置、食料品を含む各種商品や製品の洗浄装置、医療施設等において使用される各種の洗浄装置、手洗い器や洗顔器をはじめとする各種美容健康器具に用いられる洗浄装置、建物の床面や壁面等を対称とする殺菌や消臭、漂白等を目的とした各種の清掃装置として用いられる洗浄装置などを挙げることができる。
【００８５】
オゾン液生成装置１０を備える洗浄装置によると、長時間動作させた際も安定した濃度のオゾン液１７を供給することが可能である。
【００８６】
〔実施形態２〕
本発明の実施形態２について、図３及び図４に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００８７】
図３は本発明の実施形態２に係るオゾン液生成装置１０Ａの構成を表すブロック図である。オゾン液生成装置１０Ａは、オゾン液生成装置１０が備えていたエアポンプ制御部４０及び水位検知センサ３７に換えて、エアポンプ制御部４０Ａ、水位検知センサ３７Ａ及び水位検知センサ３７Ｂを備えている点でオゾン液生成装置１０と相違する。オゾン液生成装置１０Ａの他の構成はオゾン液生成装置１０と同様である。
【００８８】
水位検知センサ３７Ａは、水位検知センサ３７同様、気液分離器３０内のオゾン液１７の上限となる水位を検知するセンサである。水位検知センサ３７Ｂは、気液分離器３０内のオゾン液１７の下限となる水位を検知するためのセンサである。
【００８９】
水位検知センサ３７Ａ・３７Ｂは、例えば気液分離器３０の第２室の側面であって、それぞれ所定の高さとなる位置に配されている。水位検知センサ３７Ａは水位検知センサ３７Ｂよりも高い位置に配されている。
【００９０】
エアポンプ制御部４０Ａは、センサ情報取得部４１Ａと、エアポンプ指示部（送風制御部）４３Ａと、上限水位判定部４４と、下限水位判定部４５とを備えている。
【００９１】
センサ情報取得部４１Ａは、水位検知センサ３７Ａ・３７Ｂそれぞれから出力される情報をそれぞれ取得するものである。センサ情報取得部４１Ａは、水位検知センサ３７Ａがオゾン液１７の水位を検知したとき、水位検知センサ３７Ａから、水位を検知した旨の情報を取得する。センサ情報取得部４１Ａは、水位検知センサ３７Ｂがオゾン液１７の水位を検知したとき、水位検知センサ３７Ｂから、水位を検知した旨の情報を取得する。
【００９２】
上限水位判定部４４は、気液分離器３０に貯液されているオゾン液１７の水位が上限を上回ったか否かを判定するものである。上限水位判定部４４は、センサ情報取得部４１Ａが、水位検知センサ３７Ａから水位を検知した旨の情報を取得すると、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上限を上回ったと判定する。
【００９３】
下限水位判定部４５は、気液分離器３０に貯液されているオゾン液１７の水位が下限を下回ったか否かを判定するものである。下限水位判定部４５は、センサ情報取得部４１Ａが、水位検知センサ３７Ｂから水位を検知した旨の情報を取得すると、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が下限を下回ったと判定する。
【００９４】
エアポンプ指示部４３Ａは、エアポンプ２２の駆動を制御するものである。エアポンプ指示部４３Ａは、上限水位判定部４４Ａが、水位が上限を上回ったと判定すると、エアポンプ２２に、駆動するように駆動指示信号を出力する。これによりエアポンプ２２が駆動する。エアポンプ指示部４３Ａは、下限水位判定部４５が、水位が下限を下回ったと判定すると、エアポンプ２２に、駆動を停止する駆動停止指示信号を出力する。これによりエアポンプ２２の駆動が停止する。
【００９５】
図４はオゾン液生成装置１０Ａの動作の流れを表す図である。ステップＳ１１、Ｓ１２を経て、ステップＳ１３にて、上限水位判定部４４は、水位検知センサ３７Ａから出力される情報に基づいて、気液分離器３０内のオゾン液の水位が予め設定した水位の上限を上回るか否かを監視する（ステップＳ１３）。
【００９６】
すなわち、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上がり、当該水位が、水位検知センサ３７Ａが配されている位置である水位の上限を上回ると、水位検知センサ３７Ａが水位を検知し、当該水位を検知した旨の情報をセンサ情報取得部４１Ａに出力する。センサ情報取得部４１Ａが、当該水位を検知した旨の情報を取得すると、上限水位判定部４４は、水位が上限を上回ったと判定する（ステップＳ１３のＹＥＳ）。
【００９７】
そして、上限水位判定部４４が、水位が上限を上回ったと判定すると、エアポンプ指示部４３は、エアポンプ２２に駆動指示信号を出力する。これにより、エアポンプ２２が駆動する（ステップＳ１５）。エアポンプ２２が駆動することで、外部口１５から外気が経路１４へ流入する。当該経路１４へ流入した外気は、第２の逆止弁２８が配されている経路１１へは流入せず、Ｔ字部１４ａ、オゾン発生器２５、及び気液混合器２７を通り気液分離器３０内の空間部３４に流れ込むことで、気液分離器３０内の水位が下がる。
【００９８】
なお、ステップＳ１５では、実施形態１にて説明したステップＳ１４とは異なり、エアポンプ指示部４３Ａは、エアポンプ２２を予め設定した一定時間だけ駆動するのではなく、次ステップにて説明するように、エアポンプ指示部４３Ａは、水位検知センサ３７Ｂが、水位が下限を下回ったことを検知するまでエアポンプ２２を駆動させ続ける。
【００９９】
そして、エアポンプ２２が駆動し続けることで、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が下がり続ける。
【０１００】
下限水位判定部４５は、水位検知センサ３７Ｂから出力される情報に基づいて、気液分離器３０内のオゾン液の水位が予め設定した水位の下限を下回るか否かを監視する（ステップＳ１６）。
【０１０１】
すなわち、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が下がり、当該水位が、水位検知センサ３７Ｂが配されている位置である水位の下限を下回ると、水位検知センサ３７Ｂは、水位が水位検知センサ３７Ｂの高さより低くなったことを検知し、当該水位が低くなった旨の情報をセンサ情報取得部４１Ａに出力する。センサ情報取得部４１Ａが、当該水位が低くなった旨の情報を取得すると、下限水位判定部４５は、水位が下限を下回ったと判定する（ステップＳ１６のＹＥＳ）。
【０１０２】
次に、エアポンプ指示部４３Ａはエアポンプ２２に駆動停止指示信号を出力する。これにより、エアポンプ２２は駆動を停止する（ステップＳ１７）。この結果、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位低下も停止する。そして、ステップＳ１３へ戻る。
【０１０３】
このように、オゾン液生成装置１０Ａによると、実施形態１で説明したオゾン液生成装置１０と同様にオゾン液１７を連続的に生成することで、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上がり、水位検知センサ３７Ａ及び上限水位判定部４４が水位の上限を検知した場合に、気液分離器３０の水位検知センサ３７Ｂ及び下限水位判定部４５が水位の下限を検知するまで、エアポンプ指示部４３Ａはエアポンプ２２を動作させ続ける。これにより気液分離器３０内のオゾン液１７の水位を確実に下げることが可能となる。
【０１０４】
また、実施形態１で説明したオゾン液生成装置１０の場合、エアポンプ指示部４３は、予め設定された一定時間のみエアポンプ２２を駆動させる。しかし、気液分離器３０の排水口３５ｂより下流側に接続される負荷によって、気液分離器３０内のオゾン液１７を、ある水位まで下げるために必要な時間は変化する。このため、気液分離器３０の排水口３５ｂより下流側に接続される負荷が変わると、一定時間駆動するエアポンプ２２によって、気液分離器３０内におけるオゾン液１７の水位が下がる量も異なり、この結果、気液分離器３０から供給されるオゾン液１７の濃度も変化する。
【０１０５】
一方、オゾン液生成装置１０Ａによると、水位検知センサ３７Ａ及び上限水位判定部４４が、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上限を上回ったことを検知すると、エアポンプ指示部４３Ａは、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が下限を下回るまで、エアポンプ２２を駆動させる。そして、水位検知センサ３７Ｂ及び下限水位判定部４５が、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が下限を下回ったと判定すると、エアポンプ指示部４３Ａは、エアポンプ２２の駆動を停止させる。これにより、気液分離器３０の排水口３５ｂの下流に接続される負荷に依存せず、安定した濃度のオゾン液１７を供給することができるため有用である。
【０１０６】
〔実施形態３〕
本発明の実施形態３について、図５〜図７に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態１、２にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【０１０７】
図５は本発明の実施形態３に係るオゾン液生成装置１０Ｂの構成を表すブロック図である。オゾン液生成装置１０Ｂは、オゾン液生成装置１０が備えていたエアポンプ制御部４０に換えて、エアポンプ制御部４０Ｂを備えている点でオゾン液生成装置１０と相違する。オゾン液生成装置１０Ａの他の構成はオゾン液生成装置１０と同様である。
【０１０８】
エアポンプ制御部４０Ｂは、エアポンプ制御部４０が有するセンサ情報取得部４１、水位判定部４２、及びエアポンプ指示部４３に加え、さらに、タイマカウンタ４６と、ガス漏れ判定部４７とを備える。
【０１０９】
タイマカウンタ４６は、予め、タイマカウンタ設定時間ｔ２が設定されている。タイマカウンタ設定時間ｔ２は、ガス漏れ判定部４７が、循環経路Ａにガス漏れ発生したと判定するため基準となる時間である。タイマカウンタ設定時間ｔ２は、例えば、１０秒程度が好ましい。タイマカウンタ４６は水位判定部４２が水位が上限を上回ったと判定した時間にカウントをスタートする。
【０１１０】
ガス漏れ判定部４７は、水位判定部４２が水位が上限を上回ったと判定した時間から、次に、水位判定部４２が水位が上限を上回ったと判定した時間までの経過時間が、タイマカウンタ設定時間ｔ２以内であると循環経路にガス漏れが発生していると判定する。
【０１１１】
経路１１〜１４等、オゾン液生成装置１０Ｂを構成する系である配管が破損すると、当該破損個所からオゾンガスが漏れる。図５では、一例として、領域Ｂに示すように、経路１１中に破損が生じている場合を表している。配管に破損が発生すると、矢印Ｃに示すように経路１１内を流れていたオゾンガスは、破損個所から外部へ流出する。つまりガス漏れを生じる。オゾンガスの循環経路においてガス漏れが生じると、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上昇する。
【０１１２】
オゾン液生成装置１０Ｂにおいては、水位検知センサ３７を用いて、このオゾンガス循環系のガス漏れを検知する。これについて図５及び図６を用いて説明する。図６はオゾン液生成装置１０Ｂのタイミングチャートを表す図である。
【０１１３】
オゾン液生成装置１０Ｂの循環系においてオゾンガスのガス漏れが発生すると、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上昇するため、水位検知センサ３７が水位を検知した旨の情報を出力する。エアポンプ制御部４０Ｂは、この水位検知センサ３７からの水位を検知した旨の情報をもとにエアポンプ２２を動作させて、外気を気液分離器３０に流入させたのち、一定時間以内に、再び、水位検知センサ３７から水位を検知した旨の情報を取得した場合に、ガス漏れが発生しているとみなす。
【０１１４】
具体的には、図６に示すように、オゾン液生成装置１０Ｂは、オゾン液生成動作開始後、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上昇することで、水位検知センサ３７がオゾン液１７の水位を検知する。この水位検知センサ３７が水位を検知した時間である水位検知時間ｔ０に、エアポンプ２２が動作を開始すると共に、タイマカウンタ４６も動作を開始する。
【０１１５】
エアポンプ２２が動作することで気液分離器３０内に外気が流入し、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が下がる。これにより、水位検知センサ３７は一旦非検知となる。そして、エアポンプ２２は、予め設定された一定時間であるエアポンプ動作設定時間ｔ１が経過すると動作を停止する。
【０１１６】
しかし、オゾン液生成装置１０Ｂにおけるオゾンガスの循環経路にガス漏れが発生していると、比較的早い時間内に、再び、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上昇する。そして、再び、水位検知センサ３７がオゾン液１７の水位を検知する。水位検知センサ３７が再びオゾン液１７の水位を検知した時間が、タイマカウンタ４６が動作を開始してから、予め設定した所定時間であるタイマカウンタ設定時間ｔ２以内であれば、ガス漏れ判定部４７は、ガス漏れが発生していると判定する。このようにしてオゾン液生成装置１０Ｂにおいては、オゾンガスの循環経路中におけるオゾンガスのガス漏れを検知することができる。
【０１１７】
ガス漏れ発生有無の基準となるタイマカウンタ設定時間ｔ２の設定時間としては、最大でも１０秒以内の時間が望ましい。これにより、例えばオゾンガス検知センサなどの外部センサを追加する必要がないため、装置の小型化を実現しつつ、配管からのガス漏れを疑似的に検知することが可能となる。このように、オゾン液生成装置１０Ｂによると、オゾンガスのガス漏れ検知を行うことができるため、簡単な構成で安全性も考慮したオゾン液生成装置を提供することができる。
【０１１８】
次に、オゾン液生成装置１０Ｂの動作の流れについて説明する。図７はオゾン液生成装置１０Ｂの動作の流れを表す図である。
【０１１９】
図７に示すように、ステップＳ１１、Ｓ１２を経て、ステップＳ１３にて、水位判定部４２は、水位検知センサ３７から出力される情報に基づいて、気液分離器３０内のオゾン液の水位が予め設定した水位の上限を上回るか否かを監視する（ステップＳ１３）。
【０１２０】
すなわち、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上がり、当該水位が、水位検知センサ３７が配されている位置である水位の上限を上回ると、水位検知センサ３７が水位を検知し、当該水位を検知した旨の情報をセンサ情報取得部４１に出力する。センサ情報取得部４１が、当該水位を検知した旨の情報を取得すると、水位判定部４２は、水位が上限を上回ったと判定する（ステップＳ１３のＹＥＳ）。
【０１２１】
そして、水位判定部４２が、水位が上限を上回ったと判定すると、エアポンプ指示部４３は、エアポンプ２２に駆動指示信号を出力する。これによりエアポンプ２２が駆動する（ステップＳ１４）。さらに、水位判定部４２が水位が上限を上回ったと判定すると、タイマカウンタ４６は、予め設定された所定時間のタイマカウント動作をスタートする（ステップＳ２１）。
【０１２２】
なお、ステップＳ１４にて動作を開始したエアポンプ２２は、予め設定された一定時間のみ動作する。この結果、外部口１５から空気が、経路１４を通じてオゾン発生器２５へ供給し、当該オゾン発生器２５で発生させたオゾンガスと共に、経路１２、気液混合器２７、経路１３を通じて気液分離器３０へ供給される。これにより、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が下がる。エアポンプ２２は一定時間経過後、動作を停止する。
【０１２３】
また、ステップＳ２１においてカウント動作をスタートしたタイマカウンタ４６も、予め設定された所定時間（タイマカウンタ設定時間ｔ２）経過するとカウント動作を停止する。
【０１２４】
そして、オゾンガスの循環経路におけるガス漏れが発生していると、比較的早い時間内に再び気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上がる。気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上がり、当該水位が、水位検知センサ３７が配されている位置である水位の上限を上回ると、水位検知センサ３７が水位を検知し、当該水位を検知した旨の情報をセンサ情報取得部４１に出力する。センサ情報取得部４１が、当該水位を検知した旨の情報を取得すると、水位判定部４２は、水位が上限を上回ったと判定する（ステップＳ２２のＹＥＳ）。
【０１２５】
そして、水位判定部４２が、水位が上限を上回ったと判定すると、エアポンプ指示部４３は、エアポンプ２２に駆動指示信号を出力する。これによりエアポンプ２２が再び一定時間駆動する（ステップＳ２３）。
【０１２６】
また、ガス漏れ判定部４７は、水位判定部４２が水位が上回ったと判定した時間が、タイマカウンタ４６が動作を開始してから予め設定された所定時間（タイマカウンタ設定時間ｔ２）以内であるか否かを判定する（ステップＳ２４）。水位判定部４２が水位が上回ったと判定した時間が、予め設定された所定時間以内であれば（ステップＳ２４のＹＥＳ）、ガス漏れ判定部４７はガス漏れが発生したと判定する（ステップＳ２５）。この後、例えば、エアポンプ制御部４０Ｂから指示信号を出力することで、別途設けられた報知機を鳴らしたり、さらに、別途設けられたモニターにガス漏れが発生した旨の情報を表示する等、ガス漏れが発生したことをユーザに通知するようにしてもよいし、さらに、オゾン液生成装置１０Ｂの動作を停止したり、ステップＳ２１に戻ってもよい。
【０１２７】
一方、ステップＳ２４にて、水位判定部４２が水位が上回ったと判定した時間が、予め設定された所定時間経過後であれば（ステップＳ２４のＮＯ）、すなわち、タイマカウンタ４６のタイマカウント動作が停止していれば、ガス漏れ判定部４７は、ガス漏れが発生したとは判定せず、ステップＳ２１へ戻り、タイマカウンタ４６は、予め設定された所定時間のタイマカウント動作をスタートする（ステップＳ２１）。そして、ステップＳ２２以降の処理を行う。
【０１２８】
このようにオゾン液生成装置１０Ｂは、ガス漏れ判定部４７が、上限水位判定部４４がオゾン液１７の水位が上限を上回ったと複数回判定したときに、当該判定した間隔が、予め設定したタイマカウンタ設定時間ｔ２以内であれば、経路１１・１２・１３にガス漏れが発生していると判定する。これにより、経路１１・１２・１３に発生するガス漏れを検出することができる。このように、簡易な構成で安全性も考慮したオゾン液生成装置１０Ｂを提供することができる。
【０１２９】
〔実施形態４〕
本発明の実施形態４について、図８、図９に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態１〜３にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【０１３０】
図８は本発明の実施形態４に係るオゾン液生成装置１０Ｃの構成を表すブロック図である。オゾン液生成装置１０Ｃは、オゾン液生成装置１０Ａ（図３参照）が備えていたエアポンプ制御部４０Ａに換えて、エアポンプ制御部４０Ｃを備えている点でオゾン液生成装置１０Ａと相違する。オゾン液生成装置１０Ｃの他の構成はオゾン液生成装置１０Ａと同様である。図８に示すように、経路１１に領域Ｄに示す破損が生じ、矢印Ｅに示すように、経路１１内を流れていたオゾンガスは、領域Ｄから外部へ流出する。
【０１３１】
エアポンプ制御部４０Ｃは、エアポンプ制御部４０Ａが有するセンサ情報取得部４１Ａ、エアポンプ指示部４３Ａ、上限水位判定部４４、及び下限水位判定部４５に加え、さらに、タイマカウンタ４６と、ガス漏れ判定部４７Ｃとを備える。
【０１３２】
ガス漏れ判定部４７Ｃは、上限水位判定部４４が水位が上限を上回ったと判定した時間から、次に、上限水位判定部４４が水位が上限を上回ったと判定した時間までの経過時間が、タイマカウンタ設定時間ｔ２以内であると循環経路にガス漏れが発生していると判定する。
【０１３３】
ガス漏れ判定部４７Ｃは、一回のエアポンプ２２の駆動時間が所定時間より長ければ、循環経路にガス漏れが発生していると判定する。すなわち、ガス漏れ判定部４７Ｃは、上限水位判定部４４が水位が上限を上回ったと判定し、エアポンプ制御部４０Ｃがエアポンプ２２を駆動した時間から、下限水位判定部４５が水位が下限を下回ったと判定した時間までが、タイマカウンタ設定時間ｔ２（又は他の予め設定した所定時間）経過後であれば循環経路にガス漏れが発生していると判定する。
【０１３４】
図９はオゾン液生成装置１０Ｃの動作の流れを表す図である。ステップＳ１１、Ｓ１２を経て、ステップＳ１３にて、上限水位判定部４４は、水位検知センサ３７Ａから出力される情報に基づいて、気液分離器３０内のオゾン液の水位が予め設定した水位の上限を上回るか否かを監視する（ステップＳ１３）。
【０１３５】
すなわち、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上がり、当該水位が、水位検知センサ３７Ａが配されている位置である水位の上限を上回ると、水位検知センサ３７Ａが水位を検知し、当該水位を検知した旨の情報をセンサ情報取得部４１Ａに出力する。センサ情報取得部４１Ａが、当該水位を検知した旨の情報を取得すると、上限水位判定部４４は、水位が上限を上回ったと判定する（ステップＳ１３のＹＥＳ）。
【０１３６】
そして、上限水位判定部４４が、水位が上限を上回ったと判定すると、エアポンプ指示部４３は、エアポンプ２２に駆動指示信号を出力する。これにより、エアポンプ２２が駆動する（ステップＳ１５）。さらに、上限水位判定部４４が水位が上限を上回ったと判定すると、タイマカウンタ４６は、予め設定された所定時間のタイマカウント動作をスタートする（ステップＳ３１）。
【０１３７】
ステップＳ１５においてエアポンプ２２が駆動することで、外部口１５から外気が経路１４へ流入する。当該経路１４へ流入した外気は、第２の逆止弁２８が配されている経路１１へは流入せず、Ｔ字部１４ａ、オゾン発生器２５、及び気液混合器２７を通り気液分離器３０内の空間部３４に流れ込むことで、気液分離器３０内の水位が下がる。
【０１３８】
なお、ステップＳ１５では、エアポンプ指示部４３Ａは、エアポンプ２２を予め設定した一定時間だけ駆動するのではなくエアポンプ２２を駆動させ続ける。また、ステップＳ３１においてカウント動作をスタートしたタイマカウンタ４６は、予め設定された所定時間（タイマカウンタ設定時間ｔ２）経過するとカウント動作を停止する。
【０１３９】
そして、エアポンプ２２が駆動し続けることで、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が下がり続ける。
【０１４０】
下限水位判定部４５は、水位検知センサ３７Ｂから出力される情報に基づいて、気液分離器３０内のオゾン液の水位が予め設定した水位の下限を下回るか否かを監視する（ステップＳ３２）。
【０１４１】
すなわち、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が下がり、当該水位が、水位検知センサ３７Ｂが配されている位置である水位の下限を下回ると、水位検知センサ３７Ｂは、水位を検知し、当該水位を検知した旨の情報をセンサ情報取得部４１Ａに出力する。センサ情報取得部４１Ａが、当該水位を検知した旨の情報を取得すると、下限水位判定部４５は、水位が下限を下回ったと判定する（ステップＳ３２のＹＥＳ）。
【０１４２】
次に、エアポンプ指示部４３Ａはエアポンプ２２に駆動停止信号を出力する。これにより、エアポンプ２２は駆動を停止する（ステップＳ３３）。この結果、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位低下も停止する。
【０１４３】
また、ステップＳ３２にて水位が下限を下回ったと下限水位判定部４５が判定したとき、ガス漏れ判定部４７Ｃは、下限水位判定部４５が水位が下回ったと判定した時間が、タイマカウンタ４６が動作を開始してから予め設定された所定時間を経過したか否かを判定する（ステップＳ３４）。
【０１４４】
下限水位判定部４５が水位が下回ったと判定した時間が、タイマカウンタ４６が動作を開始してから予め設定された所定時間を経過していれば（ステップＳ３４のＹＥＳ）、ガス漏れ判定部４７Ｃはガス漏れが発生したと判定する（ステップＳ３７）。
【０１４５】
この後、実施形態３で説明したように、例えば、エアポンプ制御部４０Ｂから指示信号を出力することで、別途設けられた報知機を鳴らしたり、さらに、別途設けられたモニターにガス漏れが発生した旨の情報を表示する等、ガス漏れが発生したことをユーザに通知するようにしてもよいし、さらに、オゾン液生成装置１０Ｃの動作を停止したり、ステップＳ１３に戻ってもよい。
【０１４６】
また、ステップＳ３４にて、下限水位判定部４５が水位が下回ったと判定した時間が、タイマカウンタ４６が動作を開始してから予め設定された所定時間以内であれば（ステップＳ３４のＮＯ）、ガス漏れ判定部４７Ｃはガス漏れが発生したと判定しない。
【０１４７】
そして、次に、気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が上がり、当該水位が、水位検知センサ３７Ａが配されている位置である水位の上限を上回ると、水位検知センサ３７Ａが水位を検知し、当該水位を検知した旨の情報をセンサ情報取得部４１Ａに出力する。センサ情報取得部４１Ａが、当該水位を検知した旨の情報を取得すると、上限水位判定部４４は、水位が上限を上回ったと判定する（ステップＳ３５のＹＥＳ）。
【０１４８】
そして、ガス漏れ判定部４７Ｃは、上限水位判定部４４が水位が上回ったと判定した時間が、タイマカウンタ４６が動作を開始してから予め設定された所定時間以内であるか否かを判定する（ステップＳ３６）。
【０１４９】
上限水位判定部４４が水位が上回ったと判定した時間が、予め設定された所定時間以内であれば（ステップＳ３６のＹＥＳ）、ガス漏れ判定部４７はガス漏れが発生したと判定する（ステップＳ３７）。そして、例えば、エアポンプ制御部４０Ｃから指示信号を出力することで、別途設けられた報知機を鳴らしたり、さらに、別途設けられたモニターにガス漏れが発生した旨の情報を表示する等、ガス漏れが発生したことをユーザに通知するようにしてもよいし、さらに、オゾン液生成装置１０Ｃの動作を停止したり、ステップＳ１５に戻りエアポンプ指示部４３Ａがエアポンプ２２を駆動させてもよい。
【０１５０】
一方、ステップＳ３６にて、上限水位判定部４４が水位が上回ったと判定した時間が、予め設定された所定時間以内でなければ（ステップＳ３６のＮＯ）、ガス漏れ判定部４７はガス漏れが発生したと判定せず、ステップＳ１５に戻りエアポンプ指示部４３Ａがエアポンプ２２を駆動させる。そして、ステップＳ３１以降の処理を行う。
【０１５１】
このように、オゾン液生成装置１０Ｃによると、水位検知センサ３７Ａによる水位の上限検知からタイマカウンタ４６のタイマカウント動作を開始し、一定時間以内に気液分離器３０内のオゾン液１７の水位が下限まで到達しない場合、又は、水位検知センサ３７Ｂが水位の下限を検知してから一定時間内に、再度、水位検知センサ３７Ａが水位の上限を検知した場合に、ガス漏れ判定部４７Ｃはガス漏れと判定する。この場合もタイマカウンタ４６において設定する所定時間としての設定値は、最大で１０秒以内の時間が望ましい。
【０１５２】
なお、ステップＳ３４における所定時間と、ステップＳ３６における所定時間とは異なる時間であってもよい。
【０１５３】
このように、オゾン液生成装置１０Ｃは、ガス漏れ判定部４７Ｃが、上限水位判定部４４がオゾン液１７の水位が上限を上回ったと判定したときから、下限水位判定部４５がオゾン液１７の水位が下限を下回ったと判定したときまでの経過時間が、予め設定された所定時間を経過しているとき、循環経路Ａ（経路１１・１２・１３）にガス漏れが発生していると判定する。これにより、より確実に、循環経路に発生するガス漏れを検出することができる。これにより、簡易な構成で安全性も考慮したオゾン液生成装置１０Ｃを提供することができる。
【０１５４】
〔実施形態５〕
オゾン液生成装置１０・１０Ａ〜１０Ｃのエアポンプ制御部４０・４０Ａ〜４０Ｃ（特に水位判定部４２、エアポンプ指示部４３・４３Ａ、上限水位判定部４４、下限水位判定部４５、タイマカウンタ４６、ガス漏れ判定部４７・４７Ｃ）は、集積回路（ＩＣチップ）等に形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてソフトウェアによって実現してもよい。
【０１５５】
後者の場合、オゾン液生成装置１０・１０Ａ〜１０Ｃは、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するＣＰＵ、上記プログラムおよび各種データがコンピュータ（またはＣＰＵ）で読み取り可能に記録されたＲＯＭ（Read Only Memory）または記憶装置（これらを「記録媒体」と称する）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などを備えている。そして、コンピュータ（またはＣＰＵ）が上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。
【０１５６】
〔まとめ〕
本発明の態様１に係るオゾン液生成装置１０・１０Ａ〜１０Ｃは、オゾン液１７を貯液すると共に、当該オゾン液１７からオゾンガスの一部を分離する気液分離部（気液分離器３０）と、上記気液分離部（気液分離器３０）から排出された上記オゾンガスを液体と混合することとで生成したオゾン液１７を上記気液分離部（気液分離器３０）へ流入させる循環経路Ａ（経路１１・１２・１３）と、外気を上記循環経路Ａ（経路１１・１２・１３）へ送風するための送風部（エアポンプ２２）と、上記気液分離部（気液分離器３０）に貯液されているオゾン液１７の水位が上限を上回ったか否かを判定する上限水位判定部４４（水位判定部４２）と、上記上限水位判定部４４（水位判定部４２）が上記オゾン液１７の水位が上限を上回ったと判定したとき、上記送風部（エアポンプ２２）を駆動させる送風制御部（エアポンプ指示部４３・４３Ａ）とを備えている。
【０１５７】
上記構成によると、上記上限水位判定部が上記オゾン液の水位が上限を上回ったと判定したとき、上記送風制御部が、上記送風部を駆動させる。これにより、上記循環経路を通じて上記気液分離部に外気が流入する。上記送風制御部は任意の時間、上記送風部を駆動させることができるため、ある程度まとまった量の外気を上記気液分離部に流入させることができる。これにより、上記気液分離部内の上記オゾン液の水位を、短時間で所定の高さ以下とすることができる。このため、長時間動作させた際も安定してオゾン液の濃度低下を防止することができる。
【０１５８】
本発明の態様２に係るオゾン液生成装置１０・１０Ｂは、上記態様１において、上記送風制御部（エアポンプ指示部４３・４３Ａ）は、上記上限水位判定部４４（水位判定部４２）が上記オゾン液１７の水位が上限を上回ったと判定したとき、予め設定された所定時間のみ上記送風部（エアポンプ２２）を駆動することが好ましい。
【０１５９】
上記構成により、ある程度のまとまった量の外気を上記送付部から、上記循環経路を通じて上記気液分離部に流入させることができるため、上記気液分離部内の上記オゾン液の水位を、所定の高さ以下とすることができる。このため、長時間動作させた際も安定してオゾン液の濃度低下を防止することができる。
【０１６０】
本発明の態様３に係るオゾン液生成装置１０Ａ・１０Ｃは、上記態様１において、上記気液分離部（気液分離器３０）に貯液されているオゾン液１７の水位が下限を下回ったか否かを判定する下限水位判定部４５を備え、上記送風制御部（エアポンプ指示部４３Ａ）は、上記下限水位判定部４５が上記オゾン液１７の水位が下限を下回ったと判定したとき、上記送風部（エアポンプ２２）の駆動を停止することが好ましい。上記構成によると、より確実に、上記気液分離部内のオゾン液の水位を所定の高さ以下とすることができる。
【０１６１】
本発明の態様４に係るオゾン液生成装置１０Ｂ・１０Ｃは、上記態様３において、上記上限水位判定部４４（水位判定部４２）が上記オゾン液１７の水位が上限を上回ったと複数回判定したときに、当該判定した間隔が、予め設定した所定時間以内であれば、上記循環経路Ａ（経路１１・１２・１３）にガス漏れが発生していると判定するガス漏れ判定部４７・４７Ｃを備えていていることが好ましい。上記構成により、循環経路に発生するガス漏れを検出することができる。これにより、簡易な構成で安全性も考慮したオゾン液生成装置を提供することができる。
【０１６２】
本発明の態様５に係るオゾン液生成装置１０Ｃは、上記態様３において、上記上限水位判定部４４が上記オゾン液１７の水位が上限を上回ったと判定したときから、上記下限水位判定部４５が上記オゾン液１７の水位が下限を下回ったと判定したときまでの経過時間が、予め設定された所定時間を経過しているとき、上記循環経路Ａ（経路１１・１２・１３）にガス漏れが発生していると判定するガス漏れ判定部４７Ｃを備えていることが好ましい。上記構成により、より確実に、循環経路に発生するガス漏れを検出することができる。これにより、簡易な構成で安全性も考慮したオゾン液生成装置を提供することができる。
【０１６３】
本発明の態様６に係る洗浄装置は、上記態様１〜５におけるオゾン液生成装置を備えていることが好ましい。これにより、長時間動作させた際も安定した濃度のオゾン液を供給することが可能な洗浄装置を提供することができる。
【０１６４】
本発明の態様７に係るオゾン液生成装置１０・１０Ａ〜１０Ｃの駆動方法は、オゾン液１７を貯液すると共に、当該オゾン液１７からオゾンガスの一部を分離する気液分離部（気液分離器３０）と、上記気液分離部（気液分離器３０）から排出された上記オゾンガスを液体と混合することで生成したオゾン液１７を上記気液分離部（気液分離器３０）へ流入させる循環経路Ａ（経路１１・１２・１３）と、外気を上記循環経路Ａ（経路１１・１２・１３）へ送風するための送風部（エアポンプ２２）とを備えたオゾン液生成装置１０・１０Ａ〜１０Ｃの駆動方法であって、上記気液分離部（気液分離器３０）に貯液されているオゾン液１７の水位が上限を上回ったか否かを判定する上限水位判定ステップ（ステップＳ１３）と、上記上限水位判定ステップ（ステップＳ１３）において上記オゾン液１７の水位が上限を上回ったと判定されたとき（ステップＳ１３のＹＥＳ）、上記送風部（エアポンプ２２）を駆動させる送風制御ステップ（ステップＳ１４・Ｓ１５）とを含む。これにより、長時間動作させた際も安定してオゾン液の濃度低下を防止することができる。
【０１６５】
本発明の各態様に係るオゾン液生成装置は、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、コンピュータを上記オゾン液生成装置が備える各部（ソフトウェア要素に限る）として動作させることにより上記オゾン液生成装置をコンピュータにて実現させるオゾン液生成装置の駆動プログラム、およびそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本発明の範疇に入る。
【０１６６】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１６７】
本発明は、オゾン液生成装置、洗浄装置、オゾン液生成装置の駆動方法、駆動プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体に広く適用することができる。
【符号の説明】
【０１６８】
１０・１０Ａ〜１０Ｃ  オゾン液生成装置
１１・１２・１３  経路
１４  経路
１４ａ  Ｔ字部
１５  外部口
１７  オゾン液
２１  外気導入部
２２  エアポンプ（送風部）
２３  第１の逆止弁
２５  オゾン発生器
２６  液体供給弁
２７  気液混合器
２８  第２の逆止弁
３０  気液分離器（気液分離部）
３４  空間部
３７・３７Ａ・３７Ｂ  水位検知センサ
４０・４０Ａ〜４０Ｃ  エアポンプ制御部（送風制御部）
４１・４１Ａ  センサ情報取得部
４２  水位判定部
４３・４３Ａ  エアポンプ指示部
４４  上限水位判定部
４５  下限水位判定部
４６  タイマカウンタ
４７・４７Ｃ  ガス漏れ判定部
ｔ０  水位検知時間
ｔ１  エアポンプ動作設定時間
ｔ２  タイマカウンタ設定時間
【図１】
0006496517.tif 000002
【図２】
0006496517.tif 000003
【図３】
0006496517.tif 000004
【図４】
0006496517.tif 000005
【図５】
0006496517.tif 000006
【図６】
0006496517.tif 000007
【図７】
0006496517.tif 000008
【図８】
0006496517.tif 000009
【図９】
0006496517.tif 000010
【図１０】
0006496517.tif 000011