(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａと、イソインドリン顔料Ｂと、樹脂Ｃと、硬化性化合物Ｄを含有し、
前記樹脂Ｃは、１−オクタノール／水の分配係数Ｐの常用対数であるＬｏｇＰの計算値であるＣＬｏｇＰ値が３．０以上でかつ分子内に環状構造を有する重合性化合物Ｃｍに由来する繰り返し単位を有する樹脂Ｃ１を含み、
前記ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａの質量と前記イソインドリン顔料Ｂの質量との比が、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａの質量：イソインドリン顔料Ｂの質量＝５５：４５〜８５：１５である、着色組成物。
【請求項２】
前記樹脂Ｃの全質量中に、前記樹脂Ｃ１を５質量％以上含有する、請求項１に記載の着色組成物。
【請求項３】
前記樹脂Ｃ１の全繰り返し単位中に、前記重合性化合物Ｃｍに由来する繰り返し単位を５〜９５モル％含有する、請求項１または２に記載の着色組成物。
【請求項４】
前記樹脂Ｃ１は、更に酸基を有する繰り返し単位を有する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の着色組成物。
【請求項５】
前記重合性化合物Ｃｍは、脂肪族環および芳香族炭化水素環から選ばれる少なくとも１種を有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の着色組成物。
【請求項６】
前記樹脂Ｃ１の酸価が１０〜１６０ｍｇＫＯＨ／ｇである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の着色組成物。
【請求項７】
前記硬化性化合物Ｄは重合性化合物を含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載の着色組成物。
【請求項８】
更に、光重合開始剤を含む、請求項７に記載の着色組成物。
【請求項９】
前記硬化性化合物Ｄはエポキシ基を有する化合物を含む、請求項１〜８のいずれか１項に記載の着色組成物。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の着色組成物を用いたカラーフィルタ。
【請求項１１】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法またはドライエッチング法にて着色組成物層に対してパターンを形成する工程と、を有するパターン形成方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載のカラーフィルタを有する固体撮像素子。
【請求項１３】
請求項１０に記載のカラーフィルタを有する画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色組成物に関する。また、着色組成物を用いた、カラーフィルタ、パターン形成方法、固体撮像素子、および、画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。【０００３】
カラーフィルタ用の着色組成物においては、着色剤として顔料を用いることがある。また、緑色のカラーフィルタを製造するための着色組成物としては、緑色顔料と黄色顔料とを含む着色組成物などが知られている。【０００４】
例えば、特許文献１には、（Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤及び（Ｅ）溶媒を含み、
（Ａ）着色剤は、ピグメントグリーン７の緑色顔料を含み、
（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂は、エポキシ基を含む第１樹脂及びエポキシ基と反応することができる酸作用基を含有し、酸価が１７０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇである第２樹脂を含有する、着色組成物が記載されている。【０００５】
また、特許文献２には、（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料、（Ｂ）黄色顔料、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）バインダー樹脂、および（Ｅ）光重合開始剤を含み、（Ｃ）重合性化合物が、（Ｃ−１）１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と、（Ｃ−２）１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物とを含み、且つ（Ｃ−１）１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物の含有量が、（Ｃ−１）１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と（Ｃ−２）１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物との総量に対して、１５〜４０質量％である着色組成物が記載されている。【０００６】
また、特許文献３には、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）ピグメントグリーン５８と、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５などを含む着色組成物が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１５−１９７６７７号公報
【特許文献２】特開２０１０−０９７１７２号公報
【特許文献３】特開２０１３−０６４９９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一方、近年において、カラーフィルタは、耐光性のさらなる向上が求められている。【０００９】
よって、本発明の目的は、耐光性に優れた膜などを製造可能な着色組成物、着色組成物の製造方法、カラーフィルタ、パターン形成方法、固体撮像素子および画像表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者がハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料とイソインドリン顔料とを含む膜について検討したところ、この膜は耐光性が低下しやすいことが分かった。この理由は、膜中でハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料とイソインドリン顔料とが接触して、両者が相互作用を起こすためと推測される。
また、本発明者の検討によれば、この膜は、湿度の高い環境下において、耐光性が特に低下しやすいことが分かった。湿度の高い環境下では、膜中に水分が取り込まれやすくなり、膜中に存在する水分によって膜中成分が移動しやすくなり、その結果ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料とイソインドリン顔料とがより接触しやすくなり、耐光性が低下しやすくなると推測される。
そこで、本発明者は、膜中において、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料とイソインドリン顔料との接触を抑制できれば、両者の相互作用を抑制でき、耐光性を向上できると考えた。そして、鋭意検討した結果、後述する着色組成物を用いることで耐光性に優れた膜を製造できることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明は、以下を提供する。
＜１＞  ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａと、イソインドリン顔料Ｂと、樹脂Ｃと、硬化性化合物Ｄとを含有し、
樹脂Ｃは、１−オクタノール／水の分配係数Ｐの常用対数であるＬｏｇＰの計算値であるＣＬｏｇＰ値が３．０以上でかつ分子内に環状構造を有する重合性化合物Ｃｍに由来する繰り返し単位を有する樹脂Ｃ１を含み、
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａの質量とイソインドリン顔料Ｂの質量との比が、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａの質量：イソインドリン顔料Ｂの質量＝５５：４５〜８５：１５である、着色組成物。
＜２＞  樹脂Ｃの全質量中に、樹脂Ｃ１を５質量％以上含有する、＜１＞に記載の着色組成物。
＜３＞  樹脂Ｃ１の全繰り返し単位中に、重合性化合物Ｃｍに由来する繰り返し単位を５〜９５モル％含有する、＜１＞または＜２＞に記載の着色組成物。
＜４＞  樹脂Ｃ１は、更に酸基を有する繰り返し単位を有する、＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜５＞  重合性化合物Ｃｍは、脂肪族環および芳香族炭化水素環から選ばれる少なくとも１種を有する、＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜６＞  樹脂Ｃ１の酸価が１０〜１６０ｍｇＫＯＨ／ｇである、＜１＞〜＜５＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜７＞  硬化性化合物Ｄは重合性化合物を含む、＜１＞〜＜６＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜８＞  更に、光重合開始剤を含む、＜７＞に記載の着色組成物。
＜９＞  硬化性化合物Ｄはエポキシ基を有する化合物を含む、＜１＞〜＜８＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜１０＞  ＜１＞〜＜９＞のいずれか１つに記載の着色組成物を用いたカラーフィルタ。
＜１１＞  ＜１＞〜＜９＞のいずれか１つに記載の着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法またはドライエッチング法にて着色組成物層に対してパターンを形成する工程と、を有するパターン形成方法。
＜１２＞  ＜１０＞に記載のカラーフィルタを有する固体撮像素子。
＜１３＞  ＜１０＞に記載のカラーフィルタを有する画像表示装置。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、耐光性に優れた膜を製造可能な着色組成物、カラーフィルタ、パターン形成方法、固体撮像素子および画像表示装置を提供することが可能になった。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基と共に置換基を有する基を包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光を意味するのみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含まれる。また、露光に用いられる光としては、一般的に、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の合計量をいう。
本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アリル」は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程を意味するだけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により測定したポリスチレン換算値として定義される。
本発明において、顔料は、特定の溶剤に対し溶解しにくい不溶性の化合物を意味する。典型的には、組成物中に粒子として分散された状態で存在する化合物を意味する。ここで、溶剤とは、例えば後述する溶剤の欄で例示する溶剤が挙げられる。本発明に用いられる顔料は、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ−トに対し溶解しにくい不溶性の化合物であることが好ましい。
【００１３】
＜着色組成物＞
本発明の着色組成物は、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａと、イソインドリン顔料Ｂと、樹脂Ｃと、エチレン性不飽和基を有する硬化性化合物Ｄとを含有し、
樹脂Ｃは、ＣＬｏｇＰ値が３．０以上でかつ分子内に環状構造を有する重合性化合物Ｃｍに由来する繰り返し単位を有する樹脂Ｃ１を含み、
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａの質量とイソインドリン顔料Ｂの質量との比が、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａの質量：イソインドリン顔料Ｂの質量＝５５：４５〜８５：１５であることを特徴とする。
【００１４】
上記構成の着色組成物を用いることで、耐光性に優れた膜を製造できる。特に、湿度の高い環境下においても、優れた耐光性を有した膜を製造することができる。また、本発明の着色組成物により得られる膜は、光照射によるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料の退色を抑制して、緑色の分光の変動を抑制でき、緑色のカラーフィルタとして特に好ましい特性を有している。このような本発明の効果が得られるメカニズムは、以下によるものと推測する。
【００１５】
本発明の着色組成物では、ＣＬｏｇＰ値が３．０以上でかつ分子内に環状構造を有する重合性化合物Ｃｍに由来する繰り返し単位を有する樹脂Ｃ１を用いる。樹脂Ｃ１の共重合成分である重合性化合物Ｃｍは、ＣＬｏｇＰ値が３．０以上であり、疎水性の高い材料である。すなわち、樹脂Ｃ１は疎水性の高い構造を有する材料である。また、重合性化合物Ｃｍは、ＣＬｏｇＰ値が３．０以上であることに加えて、更に、環状構造を有するので、重合性化合物Ｃｍに由来する繰り返し単位を有する樹脂Ｃ１は、膜のガラス転移温度（Ｔｇ）を上げる効果を有している。このため、本発明の着色組成物は、樹脂Ｃ１を含むことにより、外部から膜中への水分の侵入を効果的に抑制でき、更には、膜中に水分が残留していても、水分による膜中成分の移動を効果的に抑制できたと推測する。このため、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａとイソインドリン顔料Ｂとの接触を効果的に抑制でき、その結果、優れた耐光性が得られたと推測する。
【００１６】
＜＜ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａ＞＞
本発明の着色組成物は、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａを含む。ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａは、中心金属の亜鉛が、イソインドール環の４個の窒素で囲まれた領域内に位置する化合物である。ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａは、式（Ａ１）で表される化合物が好ましい。
【００１７】
【化１】
0006617201.tif 000002
【００１８】
式（Ａ１）において、Ｘ１〜Ｘ１６のうちの任意の８〜１６か所はハロゲン原子を表し、残りは水素原子又は置換基を表すことが好ましい。
【００１９】
ハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子、フッ素原子、ヨウ素原子が挙げられ、特に、臭素原子、塩素原子が好ましい。置換基としては、特開２０１３−２０９６２３号公報の段落番号００２５〜００２７の記載を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００２０】
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａの具体例としては、例えば、以下の＜１＞、＜２＞に示す態様が好ましい一例として挙げられる。
＜１＞  フタロシアニン１分子中のハロゲン原子の平均個数が８〜１２個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料。この態様において、Ｘ１〜Ｘ１６は、塩素原子、臭素原子、水素原子を１個以上含むことが好ましい。また、Ｘ１〜Ｘ１６は、塩素原子が０〜４個、臭素原子が８〜１２個、水素原子が０〜４個であることが好ましい。具体例としては、特開２００７−２８４５９２号公報の段落番号００１３〜００３９、００８４〜００８５の記載を参酌することができ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
＜２＞  フタロシアニン１分子中のハロゲン原子の平均個数が１０〜１４個であり、臭素原子の平均個数が８〜１２個であり、塩素原子の平均個数が２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料。具体例としては、ＷＯ２０１５／１１８７２０公報に記載の化合物が挙げられる。
【００２１】
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａは、例えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ  発行）においてピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分類されている化合物として、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８，５９などを用いることもできる。
【００２２】
＜＜イソインドリン顔料Ｂ＞＞
本発明の着色組成物は、イソインドリン顔料Ｂを含む。イソインドリン顔料Ｂとしては、イソインドリン骨格を有する化合物が挙げられる。イソインドリン顔料Ｂは、黄色顔料であることが好ましい。イソインドリン顔料Ｂは、式（Ｂ１）で表される化合物が好ましい。
【化２】
0006617201.tif 000003
【００２３】
式（Ｂ１）において、Ｒｂ１およびＲｂ２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を表す。
Ｒｂ３およびＲｂ４は、それぞれ独立して、置換基を表し、Ｒｂ３とＲｂ４とは結合して環を形成していてもよい。Ｒｂ５は置換基を表し、ｎは０〜４の整数を表す。ｎが２以上の場合は、複数のＲｂ５は同一であってもよく、異なっていてもよい。
【００２４】
Ｒｂ１〜Ｒｂ５が表す置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アリール基、複素環基、アラルキル基、−ＯＲＺ１、−ＣＯＲＺ１、−ＣＯＯＲＺ１、−ＯＣＯＲＺ１、−ＮＲＺ１ＲＺ２、−ＮＨＣＯＲＺ１、−ＣＯＮＲＺ１ＲＺ２、−ＮＨＣＯＮＲＺ１ＲＺ２、−ＮＨＣＯＯＲＺ１、−ＳＲＺ１、−ＳＯ２ＲＺ１、−ＳＯ２ＯＲＺ１、−ＮＨＳＯ２ＲＺ１および−ＳＯ２ＮＲＺ１ＲＺ２が挙げられる。ＲＺ１およびＲＺ２は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、複素環基、またはアラルキル基を表し、ＲＺ１とＲＺ２は、互いに結合して環を形成してもよい。
【００２５】
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
アルキル基の炭素数は、１〜２０が好ましく、１〜１５がより好ましく、１〜８が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。
アリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１２がより好ましい。
アラルキル基のアルキル部分は、上記アルキル基と同様である。アラルキル基のアリール部分は、上記アリール基と同様である。アラルキル基の炭素数は、７〜２０が好ましく、７〜１５がより好ましい。
複素環基は、単環または縮合環が好ましく、単環または縮合数が２〜８の縮合環が好ましく、単環または縮合数が２〜４の縮合環がより好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子の数は１〜３が好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。複素環基は、５員環または６員環が好ましい。複素環基の環を構成する炭素原子の数は３〜２０が好ましく、３〜１８がより好ましく、３〜１２がより好ましい。
アルキル基、アラルキル基、アリール基および複素環基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述した置換基が挙げられる。例えば、アルキル基、アリール基、複素環基、ハロゲン原子などが挙げられる。
【００２６】
Ｒｂ３とＲｂ４とが結合して形成する環としては、脂肪族環、芳香族炭化水素環、複素環などが挙げられ、複素環が好ましい。複素環としては、イミド環が好ましく、バルビツール酸がより好ましい。
【００２７】
式（Ｂ１）において、Ｒｂ１およびＲｂ２は、それぞれ独立して、水素原子またはアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。
式（Ｂ１）において、ｎは、０または１が好ましく、０がより好ましい。
式（Ｂ１）において、Ｒｂ３およびＲｂ４の一方がシアノ基を表し、他方が−ＣＯＮＲＺ１ＲＺ２を表すか、あるいは、Ｒｂ３とＲｂ４とが結合して環を形成していることが好ましい。
【００２８】
イソインドリン顔料Ｂは、式（Ｂ１−１）または式（Ｂ１−２）で表される化合物が好ましく、式（Ｂ１−２）で表される化合物がより好ましい。
【化３】
0006617201.tif 000004
式（Ｂ１−１）において、Ｒｂ１１〜Ｒｂ１４は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を表す。Ｒｂ１５は置換基を表し、ｎは０〜４の整数を表す。ｎが２以上の場合は、複数のＲｂ１５は同一であってもよく、異なっていてもよい。
式（Ｂ１−２）において、Ｒｂ１１およびＲｂ１２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を表す。Ｒｂ１５およびＲｂ１６は置換基を表し、ｎは０〜４の整数を表す。ｎが２以上の場合は、複数のＲｂ１５は同一であってもよく、異なっていてもよい。
【００２９】
Ｒｂ１１〜Ｒｂ１６が表す置換基は、上述した式（Ｂ）で説明した置換基が挙げられる。Ｒｂ１１〜Ｒｂ１４は、それぞれ独立して水素原子またはアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。Ｒｂ１６は、アルキル基またはアリール基が好ましく、アルキル基がより好ましい。ｎは、０または１が好ましく、０がより好ましい。
【００３０】
イソインドリン顔料Ｂは、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９，１８５などを用いることもできる。なかでも、耐光性に優れた膜を製造しやすいという理由からＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５が好ましい。
【００３１】
本発明の着色組成物において、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａの質量とイソインドリン顔料Ｂの質量との比は、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａの質量：イソインドリン顔料Ｂの質量＝５５：４５〜８５：１５であり、６０：４０〜８５：１５が好ましく、６５：３５〜８５：１５がより好ましく、６６：３４〜８５：１５が更に好ましく、６６：３４〜８０：２０が特に好ましく、６６：３４〜７９：２１が最も好ましい。ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａの質量とイソインドリン顔料Ｂの質量との比が上記範囲であれば、後述する実施例に示すように、耐光性に優れた膜を製造することができる。
【００３２】
本発明の着色組成物において、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａの含有量は、着色組成物の全固形分に対し、１０〜８０質量％が好ましい。下限は、例えば、１５質量％以上がより好ましく、１８質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、７０質量％以下がより好ましく、６５質量％以下が更に好ましい。
本発明の着色組成物において、イソインドリン顔料Ｂの含有量は、着色組成物の全固形分に対し、３〜４１質量％が好ましい。下限は、例えば、４質量％以上がより好ましく、５質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、３６質量％以下がより好ましく、３２質量％以下が更に好ましい。
本発明の着色組成物において、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａとイソインドリン顔料Ｂとの合計含有量は、着色組成物の全固形分に対し、２０〜９０質量％が好ましい。下限は、例えば、３０質量％以上がより好ましく、３５質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、８０質量％以下がより好ましく、７５質量％以下が更に好ましい。ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａとイソインドリン顔料Ｂとの合計含有量が上記範囲であれば、本発明の効果が効果的に得られる。
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａおよびイソインドリン顔料Ｂは、それぞれ１種であってもよく、２種以上を併用することもできる。ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａおよび／またはイソインドリン顔料Ｂを２種以上含む場合は、これらの合計が上記範囲であることが好ましい。
【００３３】
＜＜他の着色剤＞＞
本発明の着色組成物は、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａおよびイソインドリン顔料Ｂ以外の着色剤（他の着色剤）をさらに用いることができる。他の着色剤は、染料および顔料のいずれでもよく、両者を併用してもよい。顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を挙げることができる。また、無機顔料であれ有機顔料であれ、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、平均粒子径がなるべく小さい顔料の使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、上記顔料の平均粒子径は、０．０１〜０．１μｍが好ましく、０．０１〜０．０５μｍがより好ましい。
【００３４】
無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等の金属化合物を挙げることができる。また、カーボンブラック、チタンブラック等の黒色顔料、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属の酸化物、および上記金属の複合酸化物を挙げることもできる。
【００３５】
有機顔料として、以下の有機顔料を挙げることができる。
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン  ７，１０，３６，３７
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ  ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド  １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット  １，１９，２３，２７，３２，３７，４２
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー  １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，６０，６４，６６，７９，８０
また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２−２４７５９１号公報の段落番号００２２〜００３０、特開２０１１−１５７４７８号公報の段落番号００４７に記載の化合物などが挙げられる。
【００３６】
染料としては、例えば特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特許第２５９２２０７号公報、米国特許４８０８５０１号明細書、米国特許５６６７９２０号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報等に開示されている色素を使用できる。化学構造として区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリアリールメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物等を使用できる。
【００３７】
また、他の着色剤として色素多量体を用いてもよい。色素多量体は、溶剤に溶解して用いられる染料であることが好ましいが、粒子を形成していてもよい。色素多量体が粒子である場合は、色素多量体を溶剤などに分散して用いられる。粒子状態の色素多量体は、例えば乳化重合によって得ることができる。粒子状態の色素多量体としては、例えば、特開２０１５−２１４６８２号公報に記載されている化合物が挙げられる。また、色素多量体として、特開２０１１−２１３９２５号公報、特開２０１３−０４１０９７号公報、特開２０１５−０２８１４４号公報、特開２０１５−０３０７４２号公報等に記載されている化合物を用いることもできる。
【００３８】
また、他の着色剤として、特開２０１３−５４３３９号公報の段落番号００１１〜００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４−２６２２８号公報の段落番号００１３〜００５８に記載のキノフタロン化合物などを用いることもできる。
【００３９】
本発明の着色組成物が、他の着色剤を含有する場合、他の着色剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、３〜５０質量％が好ましい。上限は、４５質量％以下が好ましく、４０質量％以下がより好ましい。下限は、５質量％以上が好ましく、１０質量％以上がより好ましい。他の着色剤は、１種であってもよく、２種以上であってもよい。２種以上含む場合は、合計が上記範囲となることが好ましい。
【００４０】
＜＜樹脂Ｃ＞＞
本発明の着色組成物は、樹脂Ｃを含む。樹脂Ｃは、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途、バインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で樹脂を使用することもできる。
【００４１】
＜＜＜樹脂Ｃ１＞＞＞
本発明の着色組成物は、樹脂Ｃとして、ＣＬｏｇＰ値が３．０以上でかつ分子内に環状構造を有する重合性化合物Ｃｍに由来する繰り返し単位を有する樹脂（以下、樹脂Ｃ１ともいう）を含む。
【００４２】
ここで、ＣＬｏｇＰ値とは、１−オクタノール／水の分配係数Ｐの常用対数であるＬｏｇＰの計算値である。材料のＣＬｏｇＰの値が大きいほど疎水的な材料であることを意味する。したがって、上述の重合性化合物Ｃｍは、疎水性の高い化合物であることを意味する。また、上述の重合性化合物Ｃｍに由来する繰り返し単位を含む樹脂Ｃ１とは、疎水性の高い繰り返し単位を有する樹脂であることを意味する。
【００４３】
なお、本明細書において、ＣＬｏｇＰ値は、Ｄａｙｌｉｇｈｔ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ，  Ｉｎｃ．から入手できるプログラム「ＣＬＯＧＰ」で計算された値である。このプログラムは、Ｈａｎｓｃｈ，  Ｌｅｏのフラグメントアプローチ（下記文献参照）により算出される「計算ＬｏｇＰ」の値を提供する。フラグメントアプローチは化合物の化学構造に基づいており、化学構造を部分構造（フラグメント）に分割し、そのフラグメントに対して割り当てられたＬｏｇＰ寄与分を合計することにより化合物のＬｏｇＰ値を推算している。本明細書において、フラグメント値として、Ｆｒａｇｍｅｎｔ  ｄａｔａｂａｓｅ  ｖｅｒ．  ２３  （Ｂｉｏｂｙｔｅ社）を使用した。計算ソフトとしてはＢｉｏ  Ｌｏｏｍ  ｖｅｒ  １．５などが挙げられる。
【００４４】
樹脂Ｃ１を構成する重合性化合物Ｃｍについて説明する。重合性化合物ＣｍのＣＬｏｇＰ値は、３．０以上であり、３．２以上が好ましく、３．５以上がより好ましく、３．８以上が更に好ましく、４．０以上が特に好ましい。上限は、１０．０以下が好ましく、７．０以下がより好ましく、５．０以下が更に好ましい。重合性化合物ＣｍのＣＬｏｇＰ値が３．０以上であれば、耐光性に優れた膜を形成することができる。また、重合性化合物ＣｍのＣＬｏｇＰ値が上記の上限値以下であれば、現像液の浸みこみが良好で、現像残渣が生じにくくでき、優れたリソグラフィ性が得られる。
重合性化合物Ｃｍが有する重合性基は、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられ、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基が好ましい。重合性化合物Ｃｍが有する重合性基の数は、１〜３個が好ましく、１または２個がより好ましく、１個が更に好ましい。
【００４５】
重合性化合物Ｃｍが有する環状構造は、脂肪族環、芳香族炭化水素環、複素環が挙げられる。耐光性に優れた膜を製造しやすいという理由から、脂肪族環および芳香族炭化水素環が好ましく、脂肪族環がより好ましい。
【００４６】
脂肪族環の環を構成する炭素原子数は、５〜３０が好ましく、５〜２０がより好ましく、５〜１５が更に好ましい。脂肪族環は、飽和脂肪族環が好ましい。脂肪族環は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。また、脂肪族環は、架橋構造を有していてもよい。なお、架橋構造を有さない縮合環の脂肪族環は、脂肪族縮合環ともいう。また、架橋構造を有する単環の脂肪族環は、脂肪族架橋環ともいう。また、架橋構造を有する縮合環の脂肪族環は、脂肪族架橋縮合環ともいう。本発明において、脂肪族環は、膜のＴｇが上がり、顔料の移動を抑制できるという理由から脂肪族架橋縮合環が好ましい。脂肪族環の具体例としては、シクロヘキサン、ピナン、ボルナン、ノルピナン、ノルボルナン、ビシクロオクタン（ビシクロ［２．２．２］オクタン、ビシクロ［３．２．１］オクタン等）、ホモブレダン、アダマンタン、トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカン、トリシクロ［４．３．１．１２，５］ウンデカン、テトラシクロ［４．４．０．１２，５．１７，１０］ドデカン、パーヒドロ−１，４−メタノ−５，８−メタノナフタレンなどが挙げられる。
【００４７】
芳香族炭化水素環は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環は縮合環が好ましい。縮合環の縮合数は、２〜８が好ましく、２〜４がより好ましい。芳香族炭化水素環の環を構成する炭素原子数は、６〜２０が好ましく、６〜１５がさらに好ましく、６〜１０が最も好ましい。芳香族炭化水素環は、ナフタレン環が好ましい。
【００４８】
複素環は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。複素環は縮合環が好ましい。縮合環の縮合数は、２〜８が好ましく、２〜４がより好ましい。複素環の環を構成するヘテロ原子の数は１〜３が好ましい。複素環の環を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。複素環は、５員環または６員環が好ましい。複素環の環を構成する炭素原子の数は３〜２０が好ましく、３〜１８がより好ましく、３〜１２がより好ましい。
【００４９】
重合性化合物Ｃｍは、式（Ｃｍ−１００）で表される化合物が好ましい。
（Ａ１００）ｎ−Ｌ１００−（Ｚ１００）ｍ      ・・・（Ｃｍ−１００）
式中Ｚ１００は重合性基を表し、Ｌ１００は単結合または（ｎ＋ｍ）価の連結基を表し、Ａ１００は、脂肪族環、芳香族炭化水素環または複素環を表し、ｎは１以上の整数を表し、ｍは１以上の整数を表し、Ｌ１００が単結合の場合ｎおよびｎは１である。
【００５０】
Ｚ１００が表す重合性基は、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられ、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基が好ましい。
Ａ１００が表す脂肪族環、芳香族炭化水素環および複素環の詳細は、上述した範囲と同様である。Ａ１００は脂肪族環が好ましく、飽和脂肪族環がより好ましい。また、Ａ１００は脂肪族架橋縮合環が特に好ましい。
Ｌ１００は単結合または（ｎ＋ｍ）価の連結基を表す。（ｎ＋ｍ）価の連結基としては、１〜１００個の炭素原子、０〜１０個の窒素原子、０〜５０個の酸素原子、１〜２００個の水素原子、および０〜２０個までの硫黄原子から成り立つ基が挙げられる。
ｎは１以上の整数を表し、ｍは１以上の整数を表す。ｎは１〜３が好ましく、１または２がより好ましく、１が更に好ましい。ｍは１〜３が好ましく、１または２がより好ましく、１が更に好ましい。
【００５１】
重合性化合物Ｃｍは、式（Ｃｍ１）〜式（Ｃｍ４）で表される化合物が好ましく、式（Ｃｍ１）、式（Ｃｍ３）または式（Ｃｍ４）で表される化合物がより好ましく、式（Ｃｍ１）または式（Ｃｍ４）で表される化合物が更に好ましく、式（Ｃｍ４）で表される化合物が特に好ましい。
【化４】
0006617201.tif 000005
【００５２】
上記式中、Ｌ１は、単結合または、２価の連結基を表し、Ｚ１は重合性基を表す。
Ｌ１が表す２価の連結基としては、アルキレン基（好ましくは炭素数１〜１０のアルキレン基）、−ＮＨ−、−ＳＯ−、−ＳＯ２−、−ＣＯ−、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、ＯＣＯ−、−Ｓ−およびこれらの２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。Ｌ１は、単結合または−Ｏ−が好ましい。
Ｚ１が表す重合性基は、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられ、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。
【００５３】
重合性化合物Ｃｍの具体例としては、下記化合物が挙げられる。なお、以下の構造式に付記したＣＬｏｇＰの数値は、同化合物のＣＬｏｇＰ値である。
【化５】
0006617201.tif 000006
【００５４】
本発明において、樹脂Ｃ１は、重合性化合物Ｃｍに由来する繰り返し単位（以下、繰り返し単位Ｃｍともいう）を、樹脂Ｃ１の全繰り返し単位中に５〜９５モル％含有することが好ましい。下限は、１５モル％以上が好ましく、２０モル％以上がより好ましく、２３モル％以上が更に好ましく、２５モル％以上が特に好ましい。上限は、９０モル％以下が好ましく、８５モル％以下がより好ましい。繰り返し単位Ｃｍの含有量が上記範囲であれば、耐光性に優れた膜を製造しやすい。
【００５５】
本発明において、樹脂Ｃ１は、更に酸基を有する繰り返し単位を有することも好ましい。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基などが挙げられ、カルボキシル基またはスルホ基が好ましく、カルボキシル基がより好ましい。樹脂Ｃ１が更に酸基を有する繰り返し単位を有する場合、アルカリ可溶性樹脂として好ましく用いることができる。また、樹脂Ｃ１は分散剤やバインダーとして用いることもできる。
【００５６】
樹脂Ｃ１が、酸基を有する繰り返し単位を有する場合、樹脂Ｃ１の全繰り返し単位中に、酸基を有する繰り返し単位を５〜６０モル％含有することが好ましい。下限は、１０モル％以上が好ましく、１５モル％以上がより好ましい。上限は、５５モル％以下が好ましく、５０モル％以下がより好ましく、４５モル％以下が更に好ましく、４０モル％以下が特に好ましい。酸基を有する繰り返し単位の含有量が上記範囲であれば、耐光性に優れた膜を製造しやすい。さらには着色組成物の現像性も優れる。
【００５７】
樹脂Ｃ１の酸価は、１０〜２２０ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、１０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、１０〜１８０ｍｇＫＯＨ／ｇが更に好ましく、１０〜１６０ｍｇＫＯＨ／ｇが特に好ましい。下限値は、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましく、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が特に好ましい。樹脂Ｃ１の酸価が上記範囲であれば、耐光性に優れた膜を製造しやすい。さらには着色組成物の現像性も優れる。特に樹脂Ｃ１をアルカリ可溶性樹脂として用いる場合、樹脂Ｃ１の酸価が５０〜１６０ｍｇＫＯＨ／ｇであれば、着色組成物の現像性をより向上できる。
【００５８】
本発明において、樹脂Ｃ１は、更に重合性基を有する繰り返し単位を有することも好ましい。ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられ、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基が好ましい。この態様によれば、耐光性などをさらに向上することができる。重合性基は、上述した酸基を有する繰り返し単位に含まれていてもよく、上述した酸基を有する繰り返し単位とは別の繰り返し単位に含まれていてもよい。また、重合性基は、一つの繰り返し単位に１個のみ有していてもよく、２個以上有していてもよい。
【００５９】
樹脂Ｃ１は、マレイミド化合物に由来する繰り返し単位を有していてもよい。マレイミド化合物としては、Ｎアルキルマレイミド、Ｎフェニルマレイミドなどが挙げられる。マレイミド化合物に由来する繰り返し単位としては、式（Ｃ−ｍｉ）で表される繰り返し単位が挙げられる。
【化６】
0006617201.tif 000007
【００６０】
式（Ｃ−ｍｉ）において、Ｒｍｉはアルキル基またはアリール基を表す。アルキル基の炭素数１〜２０が好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれもよい。アリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１５がより好ましく、６〜１０が更に好ましい。Ｒｍｉはアリール基であることが好ましい。式（Ｃ−ｍｉ）で表される繰り返し単位としては、以下に示す繰り返し単位が挙げられる。
【化７】
0006617201.tif 000008
【００６１】
樹脂Ｃ１は、後述するアルカリ可溶性樹脂の項で説明する式（ＥＤ１）で示される化合物に由来する繰り返し単位や、式（Ｘ）で示される化合物に由来する繰り返し単位を含んでいてもよい。
【００６２】
樹脂Ｃ１の重量平均分子量は、１０００〜５００００が好ましく、３０００〜３００００がより好ましく、３０００〜２５０００がさらに好ましい。樹脂Ｃ１の重量平均分子量が上記範囲であれば、耐光性に優れた膜を製造しやすい。
【００６３】
樹脂Ｃ１の具体例としては、例えば下記の樹脂が挙げられる。主鎖に付記した数値はモル比である。Ｃ−１２において、ｘは１０または４０であり、ｙは３０であり、ｚは３０または６０である。Ｃ−１３において、ｘは２０であり、ｙは３０であり、ｚは５０である。
【化８】
0006617201.tif 000009
【化９】
0006617201.tif 000010
【化１０】
0006617201.tif 000011
【００６４】
樹脂Ｃ１は、市販品を用いることもできる。例えば、ジシクロペンタニルアクリレート由来の繰り返し単位を含む樹脂である、ＳＰＣ−１１１０、ＳＰＣ−１２００、ＳＰＣ−１２１０、ＳＰＣ−１３１０、ＳＰＣ−３１００、ＳＰＣ−３４００、ＳＰＣ−３５００、ＳＰＣ−３６１０、ＳＰＣ−３７００（以上、昭和電工（株）製）などが挙げられる。ジシクロペンタニルアクリレートのＣＬｏｇＰ値は、４．３である。
【００６５】
本発明の着色組成物において、樹脂Ｃの含有量は、着色組成物の全固形分に対し、１〜８０質量％であることが好ましい。下限は、５質量％以上であることがより好ましく、１０質量％以上がさらに好ましい。上限は、７０質量％以下であることがより好ましく、６０質量％以下がさらに好ましい。
また、樹脂Ｃの全量中に、樹脂Ｃ１を５質量％以上含有することが好ましく、１０質量％以上含有することがより好ましく、２０質量％以上含有することが更に好ましく、４０質量％以上含有することがより一層に好ましく、５０質量％以上含有することが更に一層好ましく、８０質量％以上含有することが特に好ましい。上限は、１００質量％とすることができる。
【００６６】
＜＜＜分散剤＞＞＞
本発明の着色組成物は、樹脂Ｃとして分散剤を含有することができる。分散剤は、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。なお、分散剤として上述した樹脂Ｃ１を用いることもできる。
【００６７】
ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、１０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。
また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基が好ましい。
【００６８】
分散剤としては、例えば、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等が挙げられる。
【００６９】
高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。高分子分散剤は、顔料の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子を好ましい構造として挙げることができる。また、特開２０１１−０７０１５６号公報の段落番号００２８〜０１２４に記載の分散剤や特開２００７−２７７５１４号公報に記載の分散剤も好ましく用いられる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００７０】
樹脂（分散剤）は、グラフト共重合体を用いることもできる。グラフト共重合体の詳細は、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号００２５〜００９４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号００７２〜００９４に記載の樹脂が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、下記の樹脂を用いることもできる。
【化１１】
0006617201.tif 000012
【００７１】
また、樹脂（分散剤）として、主鎖および側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むオリゴイミン系分散剤を用いることもできる。オリゴイミン系分散剤としては、ｐＫａ１４以下の官能基を有する部分構造Ｘを有する繰り返し単位と、原子数４０〜１０，０００の側鎖Ｙを含む側鎖とを有し、かつ主鎖および側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子は、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。
【００７２】
オリゴイミン系分散剤については、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号０１０２〜０１７４の記載を参酌でき、本明細書には上記内容が組み込まれる。オリゴイミン系分散剤の具体例としては、例えば、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号０１６８〜０１７４に記載の樹脂を挙げることができる。
【００７３】
分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０１（ポリアミドアミンリン酸塩）、１０７（カルボン酸エステル）、１１０（酸基を含む共重合物）、１１１（リン酸系分散剤）、１３０（ポリアミド）、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１７０（高分子共重合物）」、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製「ＢＹＫ−Ｐ１０４、Ｐ１０５（高分子量不飽和ポリカルボン酸）」、ＥＦＫＡ社製「ＥＦＫＡ４０４７、４０５０〜４１６５（ポリウレタン系）、ＥＦＫＡ４３３０〜４３４０（ブロック共重合体）、４４００〜４４０２（変性ポリアクリレート）、５０１０（ポリエステルアミド）、５７６５（高分子量ポリカルボン酸塩）、６２２０（脂肪酸ポリエステル）、６７４５（フタロシアニン誘導体）、６７５０（アゾ顔料誘導体）」、味の素ファインテクノ社製「アジスパーＰＢ８２１、ＰＢ８２２、ＰＢ８８０、ＰＢ８８１」、共栄社化学社製「フローレンＴＧ−７１０（ウレタンオリゴマー）、ポリフローＮｏ．５０Ｅ、Ｎｏ．３００（アクリル系共重合体）」、楠本化成社製「ディスパロンＫＳ−８６０、８７３ＳＮ、８７４、＃２１５０（脂肪族多価カルボン酸）、＃７００４（ポリエーテルエステル）、ＤＡ−７０３−５０、ＤＡ−７０５、ＤＡ−７２５、ＤＡ−７３０１」、花王社製「デモールＲＮ、Ｎ（ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物）、ＭＳ、Ｃ、ＳＮ−Ｂ（芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物）」、花王社製「ホモゲノールＬ−１８（高分子ポリカルボン酸）」、花王社製「エマルゲン９２０、９３０、９３５、９８５（ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル）」、花王社製「アセタミン８６（ステアリルアミンアセテート）」、日本ルーブリゾール（株）製「ソルスパース５０００（フタロシアニン誘導体）、２２０００（アゾ顔料誘導体）、１３２４０（ポリエステルアミン）、３０００、１２０００、１７０００、２００００、２７０００（末端部に機能部を有する高分子）、２４０００、２８０００、３２０００、３８５００（グラフト型高分子）」、日光ケミカルズ社製「ニッコールＴ１０６（ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート）、ＭＹＳ−ＩＥＸ（ポリオキシエチレンモノステアレート）」、川研ファインケミカル（株）製「ヒノアクトＴ−８０００Ｅ」、信越化学工業（株）製「オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１」、森下産業（株）製「ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０」、サンノプコ（株）製「ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００」、（株）ＡＤＥＫＡ製「アデカプルロニックＬ３１、Ｆ３８、Ｌ４２、Ｌ４４、Ｌ６１、Ｌ６４、Ｆ６８、Ｌ７２、Ｐ９５、Ｆ７７、Ｐ８４、Ｆ８７、Ｐ９４、Ｌ１０１、Ｐ１０３、Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３」、および三洋化成（株）製「イオネットＳ−２０」等が挙げられる。
【００７４】
分散剤の含有量は、顔料１００質量部に対して、１〜２００質量部が好ましい。下限は、５質量部以上が好ましく、１０質量部以上がより好ましい。上限は、１５０質量部以下が好ましく、１００質量部以下がより好ましい。
【００７５】
＜＜＜アルカリ可溶性樹脂＞＞＞
本発明の着色組成物は、樹脂Ｃとしてアルカリ可溶性樹脂を含有することができる。アルカリ可溶性樹脂を含有することにより、現像性やパターン形成性が向上する。なお、アルカリ可溶性樹脂として上述した樹脂Ｃ１を用いることもできる。
【００７６】
アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ溶解を促進する基を有する樹脂の中から適宜選択することができる。アルカリ溶解を促進する基（以下、酸基ともいう）としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性水酸基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。アルカリ可溶性樹脂が有する酸基の種類は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【００７７】
アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５０００〜１００，０００が好ましい。また、アルカリ可溶性樹脂の数平均分子量（Ｍｎ）は、１０００〜２０，０００が好ましい。
【００７８】
アルカリ可溶性樹脂としては、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。また、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。
【００７９】
アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にカルボキシル基を有するポリマーが好ましい。例えば、メタクリル酸、アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、２−カルボキシエチル(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、部分エステル化マレイン酸等のモノマーに由来する繰り返し単位を有する共重合体、ノボラック型樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂、側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたポリマーが挙げられる。特に、（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他のモノマーとの共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のモノマーとしては、アルキル（メタ）アクリレート、アリール（メタ）アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。アルキル（メタ）アクリレートおよびアリール（メタ）アクリレートとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、トリル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、グリシジルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレートなどが挙げられる。ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が挙げられる。また、上記他のモノマーとして、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等の特開平１０−３００９２２号公報に記載のＮ位置換マレイミドモノマーが挙げられる。これらの（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のモノマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【００８０】
アルカリ可溶性樹脂としては、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート共重合体、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他のモノマーからなる多元共重合体を好ましく用いることができる。また、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートと他のモノマーとを共重合した共重合体、特開平７−１４０６５４号公報に記載の、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体なども好ましく用いることができる。また、市販品としては、例えばＦＦ−４２６（藤倉化成社製）などを用いることもできる。
【００８１】
アルカリ可溶性樹脂は、重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることもできる。重合性基としては、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基等が挙げられる。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂は、重合性基を側鎖に有するアルカリ可溶性樹脂等が有用である。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂の市販品としては、ダイヤナールＮＲシリーズ（三菱レイヨン（株）製）、Ｐｈｏｔｏｍｅｒ６１７３（カルボキシル基含有ポリウレタンアクリレートオリゴマー、Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｓｈａｍｒｏｃｋ  Ｃｏ．，Ｌｔｄ．製）、ビスコートＲ−２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰシリーズ（例えば、ＡＣＡ２３０ＡＡ）、プラクセル  ＣＦ２００シリーズ（いずれも（株）ダイセル製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー株式会社製）、アクリキュアＲＤ−Ｆ８(（株）日本触媒製)、ＤＰ−１３０５（富士ファインケミカルズ（株）製）などが挙げられる。
【００８２】
アルカリ可溶性樹脂は、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および特開２０１０−１６８５３９号公報の式（１）で表される化合物から選ばれる少なくとも１種の化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）を含むモノマー成分を重合してなるポリマーを含むことも好ましい。
【００８３】
【化１２】
0006617201.tif 000013
【００８４】
式（ＥＤ１）中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基を表す。
【００８５】
エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【００８６】
エーテルダイマーを含むモノマー成分を重合してなるポリマーとしては、例えば下記構造のポリマーが挙げられる。
【化１３】
0006617201.tif 000014
【００８７】
アルカリ可溶性樹脂は、下記式（Ｘ）で示される化合物に由来する繰り返し単位を含んでいてもよい。
【化１４】
0006617201.tif 000015
式（Ｘ）において、Ｒ１は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ２は炭素数２〜１０のアルキレン基を表し、Ｒ３は、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数１〜２０のアルキル基を表す。ｎは１〜１５の整数を表す。
【００８８】
上記式（Ｘ）において、Ｒ２のアルキレン基の炭素数は、２〜３が好ましい。また、Ｒ３のアルキル基の炭素数は１〜１０が好ましい。Ｒ３のアルキル基はベンゼン環を含んでもよい。Ｒ３で表されるベンゼン環を含むアルキル基としては、ベンジル基、２−フェニル（イソ）プロピル基等を挙げることができる。
【００８９】
アルカリ可溶性樹脂は、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落番号０５５８〜０５７１（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の段落番号０６８５〜０７００）の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、特開２０１２−３２７６７号公報の段落番号００２９〜００６３に記載の共重合体（Ｂ）および実施例で用いられているアルカリ可溶性樹脂、特開２０１２−２０８４７４号公報の段落番号００８８〜００９８に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１２−１３７５３１号公報の段落番号００２２〜００３２に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１３−０２４９３４号公報の段落番号０１３２〜０１４３に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１１−２４２７５２号公報の段落番号００９２〜００９８および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１２−０３２７７０号公報の段落番号００３０〜００７２に記載のバインダー樹脂を用いることもできる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００９０】
アルカリ可溶性樹脂の酸価は、３０〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましい。上限は、４００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が一層好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が特に好ましい。
【００９１】
アルカリ可溶性樹脂の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、１〜８０質量％が好ましい。下限は、２質量％以上がより好ましく、３質量％以上がさらに好ましい。上限は、７０質量％以下がより好ましく、６０質量％以下がさらに好ましい。本発明の着色組成物は、アルカリ可溶性樹脂を、１種のみ含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合は、その合計が上記範囲となることが好ましい。
【００９２】
＜＜硬化性化合物Ｄ＞＞
本発明の着色組成物は、硬化性化合物Ｄを含有する。硬化性化合物Ｄとしては、ラジカル、酸、熱により架橋可能な公知の化合物を用いることができる。
本発明において、硬化性化合物Ｄは、例えば、重合性化合物、エポキシ基を有する化合物などが挙げられる。重合性化合物としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などのエチレン性不飽和結合基を有する化合物が挙げられる。重合性化合物は、ラジカル重合性化合物であることがより好ましい。また、硬化性化合物Ｄはエポキシ基を有する化合物を含むことも好ましい。
【００９３】
本発明の着色組成物において、硬化性化合物Ｄの含有量は、着色組成物の全固形分に対し、０．１〜５０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、４５質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましい。硬化性化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【００９４】
（重合性化合物）
重合性化合物は、モノマー、プレポリマー、オリゴマーなどの化学的形態のいずれであってもよいが、モノマーが好ましい。重合性化合物の分子量は、１００〜３０００が好ましい。上限は、２０００以下がより好ましく、１５００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上がより好ましく、２５０以上が更に好ましい。
重合性化合物は、３〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３〜６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。これらの具体的な化合物としては、特開２００９−２８８７０５号公報の段落番号００９５〜０１０８、特開２０１３−２９７６０号公報の段落０２２７、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号０２５４〜０２５７に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００９５】
重合性化合物は、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３３０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３２０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３１０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製、Ａ−ＤＰＨ−１２Ｅ；新中村化学工業（株）製）、およびこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコールおよび／またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。
また、重合性化合物として、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどの３官能の（メタ）アクリレート化合物を用いることも好ましい。３官能の（メタ）アクリレート化合物の市販品としては、アロニックスＭ−３０９、Ｍ−３１０、Ｍ−３２１、Ｍ−３５０、Ｍ−３６０、Ｍ−３１３、Ｍ−３１５、Ｍ−３０６、Ｍ−３０５、Ｍ−３０３、Ｍ−４５２、Ｍ−４５０（東亞合成（株）製）、ＮＫエステル  Ａ９３００、Ａ−ＧＬＹ−９Ｅ、Ａ−ＧＬＹ−２０Ｅ、Ａ−ＴＭＭ−３、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ、Ａ−ＴＭＭ−３ＬＭ−Ｎ、Ａ−ＴＭＰＴ、ＴＭＰＴ、Ａ−ＴＭＭＴ（新中村化学工業（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＧＰＯ−３０３、ＴＭＰＴＡ、ＴＨＥ−３３０、ＴＰＡ−３３０、ＰＥＴ−３０（日本化薬（株）製）などが挙げられる。
【００９６】
重合性化合物として、酸基を有する重合性化合物を用いることもできる。酸基を有する重合性化合物を用いることで、現像時に未露光部の重合性化合物が除去されやすく、現像残渣の発生を抑制できる。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する重合性化合物の市販品としては、アロニックスＭ−５１０、Ｍ−５２０（東亞合成（株）製）等が挙げられる。
【００９７】
酸基を有する重合性化合物の好ましい酸価としては、０．１〜４０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５〜３０ｍｇＫＯＨ／ｇである。重合性化合物の酸価が０．１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、現像液に対する溶解性が良好であり、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、製造や取扱い上、有利である。さらには、硬化性に優れる。
【００９８】
重合性化合物として、カプロラクトン構造を有する重合性化合物を用いることもできる。また、重合性化合物として、アルキレンオキシ基を有する重合性化合物を用いることもできる。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物は、エチレンオキシ基および／またはプロピレンオキシ基を有する重合性化合物が好ましく、エチレンオキシ基を有する重合性化合物がより好ましく、エチレンオキシ基を４〜２０個有する３〜６官能（メタ）アクリレート化合物がさらに好ましい。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を４個有する４官能（メタ）アクリレートであるＳＲ−４９４、イソブチレンオキシ基を３個有する３官能（メタ）アクリレートであるＫＡＹＡＲＡＤ  ＴＰＡ−３３０などが挙げられる。
【００９９】
重合性化合物として、特公昭４８−４１７０８号公報、特開昭５１−３７１９３号公報、特公平２−３２２９３号公報、特公平２−１６７６５号公報に記載されているウレタンアクリレート類や、特公昭５８−４９８６０号公報、特公昭５６−１７６５４号公報、特公昭６２−３９４１７号公報、特公昭６２−３９４１８号公報に記載されているエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。また、特開昭６３−２７７６５３号公報、特開昭６３−２６０９０９号公報、特開平１−１０５２３８号公報に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることも好ましい。
市販品としては、ウレタンオリゴマーＵＡＳ−１０、ＵＡＢ−１４０（山陽国策パルプ社製）、ＵＡ−７２００（新中村化学工業（株）製）、ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬社製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社化学（株）製）などが挙げられる。
【０１００】
本発明において、重合性化合物として、ＣＬｏｇＰ値が４．０以上の重合性化合物（以下、重合性化合物Ｄ１ともいう）を用いることもできる。この態様によれば、より耐光性に優れた膜を製造しやすい。
【０１０１】
重合性化合物Ｄ１は、環状構造を有する化合物であることが好ましい。なかでも、得られる膜の耐光性をより向上できるという理由から、芳香族環を有する化合物であることがより好ましく、芳香族炭化水素環を有する化合物であることが更に好ましい。また、芳香族炭化水素環は、縮合環が好ましく、フルオレン環がより好ましい。重合性化合物Ｄ１は、フルオレン環を有する化合物であることが特に好ましい。
【０１０２】
重合性化合物Ｄ１のＣＬｏｇＰ値は、４．０〜１５．０が好ましい。下限値は４．５以上が好ましく、５．０以上がより好ましく、５．５以上が更に好ましく、６．０以上が特に好ましく、６．５以上が最も好ましい。上限値は、１３．０以下が好ましく、１２．０以下がより好ましい。重合性化合物Ｄ１のＣＬｏｇＰ値が上記範囲であれば、耐光性に優れた膜を製造しやすい。また、重合性化合物Ｄ１のＣＬｏｇＰ値が上述した上限値以下であれば、現像液の浸みこみが良好で、現像残渣が生じにくくでき、優れたリソグラフィ性が得られる。
【０１０３】
重合性化合物Ｄ１の水酸基価は、４００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、３００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることがより好ましく、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが更に好ましい。重合性化合物Ｄ１の水酸基価が上記範囲であれば、耐光性に優れた膜を製造しやすい。なお、水酸基価とは、試料１ｇをアセチル化させたとき、水酸基と結合した酢酸を中和するのに必要とする水酸化カリウムの質量（ｍｇ）を表す値である。
【０１０４】
重合性化合物Ｄ１は、アルキレンオキシ基を含む化合物であることが好ましく、アルキレンオキシ基を繰り返し単位として２以上含む基（以下、アルキレンオキシ鎖ともいう）を有する化合物であることがより好ましい。重合性化合物Ｄ１がアルキレンオキシ基（好ましくは、アルキレンオキシ鎖）を有することで、良好なリソグラフィ性が得られやすい。このような効果が得られる理由としては、アルキレンオキシ鎖と現像液が水素結合し、現像液の染み込みが良化するためと考えられる。アルキレンオキシ基の炭素数は、２以上が好ましく、２〜１０がより好ましく、２〜４が更に好ましく、２または３が特に好ましい。アルキレンオキシ基は、直鎖、分岐のいずれであってもよい。アルキレンオキシ鎖における、アルキレンオキシ基の繰り返し単位数は、２〜３０であることが好ましい。下限は、３以上が好ましく、５以上がより好ましい。上限は、２５以下が好ましく、２０以下が更に好ましい。
【０１０５】
重合性化合物の全質量中における重合性化合物Ｄ１の含有量は、１０質量％以上が好ましく、３０質量％以上がより好ましく、５０質量％以上が更に好ましく、７０質量％以上が特に好ましく、７５質量％以上が最も好ましい。上限は、例えば、１００質量％とすることができる。重合性化合物は、重合性化合物Ｄ１のみで構成されている態様であってもよい。
【０１０６】
重合性化合物Ｄ１の具体例としては、例えば下記の化合物が挙げられる。以下の構造式に付記したＣＬｏｇＰの数値は、同化合物のＣＬｏｇＰ値である。また、重合性化合物Ｄ１は、市販品を用いることもできる。市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＣＡ−２０（日本化薬（株）製、ＣＬｏｇＰ値＝５．４）、ＮＫオリゴＥＡ−１０２０（新中村化学工業（株）製、ＣＬｏｇＰ値＝４．２）、ＮＫエステルＡ−ＢＰＥＦ（新中村化学工業（株）製、フルオレン環を有する重合性化合物、ＣＬｏｇＰ値＝８．０）などが挙げられる。
【化１５】
0006617201.tif 000016
【０１０７】
重合性化合物の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、０．１〜５０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、４５質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましい。重合性化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１０８】
（エポキシ基を有する化合物）
本発明の着色組成物は、エポキシ基を有する化合物を含有していてもよい。本発明の着色組成物がエポキシ基を有する化合物する場合、膜の機械強度などを向上できる。エポキシ基を有する化合物としては、１分子内にエポキシ基を２つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ基は、１分子内に２〜１００個有することが好ましい。上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。
【０１０９】
本発明においてエポキシ基を有する化合物は、芳香族環および／または脂肪族環を有する構造が好ましく、脂肪族環を有する構造が更に好ましい。エポキシ基は、単結合または、連結基を介して、芳香族環および／または脂肪族環に結合していることが好ましい。連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、−ＮＲ’−（Ｒ’は、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基または置換基を有していてもよいアリール基を表し、水素原子が好ましい）、−ＳＯ２−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−Ｏ−、−Ｓ−およびこれらを組み合わせてなる基が挙げられる。
脂肪族環を有する化合物の場合、エポキシ基は、脂肪族環に直接結合（単結合）してなる化合物が好ましい。芳香族環を有する化合物の場合、エポキシ基は、芳香族環に、連結基を介して結合してなる化合物が好ましい。連結基は、アルキレン基、または、アルキレン基と−Ｏ−との組み合わせからなる基が好ましい。
また、エポキシ基を有する化合物は、２以上の芳香族環が炭化水素基で連結した構造を有する化合物を用いることもできる。炭化水素基は、炭素数１〜６のアルキレン基が好ましい。エポキシ基は、上記連結基を介して連結していることが好ましい。
【０１１０】
エポキシ基を有する化合物は、エポキシ当量（＝エポキシ基を有する化合物の分子量／エポキシ基の数）が５００ｇ／ｅｑ以下であることが好ましく、１００〜４００ｇ／ｅｑであることがより好ましく、１００〜３００ｇ／ｅｑであることがさらに好ましい。
【０１１１】
エポキシ基を有する化合物は、低分子化合物（例えば、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）のいずれでもよい。エポキシ基を有する化合物の分子量（ポリマーの場合は、重量平均分子量）は、２００〜１０００００が好ましく、５００〜５００００がより好ましい。分子量（ポリマーの場合は、重量平均分子量）の上限は、３０００以下が好ましく、２０００以下がより好ましく、１５００以下が更に好ましい。
【０１１２】
エポキシ基を有する化合物は、特開２０１３−０１１８６９号公報の段落番号００３４〜００３６、特開２０１４−０４３５５６号公報の段落番号０１４７〜０１５６、特開２０１４−０８９４０８号公報の段落番号００８５〜００９２に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。市販品としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂としては、ｊＥＲ８２５、ｊＥＲ８２７、ｊＥＲ８２８、ｊＥＲ８３４、ｊＥＲ１００１、ｊＥＲ１００２、ｊＥＲ１００３、ｊＥＲ１０５５、ｊＥＲ１００７、ｊＥＲ１００９、ｊＥＲ１０１０（以上、三菱化学（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ８６０、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５０、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５１、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５５（以上、ＤＩＣ（株）製）等であり、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂としては、ｊＥＲ８０６、ｊＥＲ８０７、ｊＥＲ４００４、ｊＥＲ４００５、ｊＥＲ４００７、ｊＥＲ４０１０（以上、三菱化学（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ８３０、ＥＰＩＣＬＯＮ８３５（以上、ＤＩＣ（株）製）、ＬＣＥ−２１、ＲＥ−６０２Ｓ（以上、日本化薬（株）製）等であり、フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、ｊＥＲ１５２、ｊＥＲ１５４、ｊＥＲ１５７Ｓ７０、ｊＥＲ１５７Ｓ６５（以上、三菱化学（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−７４０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−７７０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−７７５（以上、ＤＩＣ（株）製）等であり、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６６０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６６５、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６７０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６７３、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６８０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６９０、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６９５（以上、ＤＩＣ（株）製）、ＥＯＣＮ−１０２０（日本化薬（株）製）等であり、脂肪族エポキシ樹脂としては、ＡＤＥＫＡ  ＲＥＳＩＮ  ＥＰ−４０８０Ｓ、同ＥＰ−４０８５Ｓ、同ＥＰ−４０８８Ｓ（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、セロキサイド２０２１Ｐ、セロキサイド２０８１、セロキサイド２０８３、セロキサイド２０８５、ＥＨＰＥ３１５０、ＥＰＯＬＥＡＤ  ＰＢ  ３６００、同ＰＢ  ４７００（以上、（株）ダイセル製）、デナコール  ＥＸ−２１２Ｌ、ＥＸ−２１４Ｌ、ＥＸ−２１６Ｌ、ＥＸ−３２１Ｌ、ＥＸ−８５０Ｌ（以上、ナガセケムテックス（株）製）等である。その他にも、ＡＤＥＫＡ  ＲＥＳＩＮ  ＥＰ−４０００Ｓ、同ＥＰ−４００３Ｓ、同ＥＰ−４０１０Ｓ、同ＥＰ−４０１１Ｓ（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、ＮＣ−２０００、ＮＣ−３０００、ＮＣ−７３００、ＸＤ−１０００、ＥＰＰＮ−５０１、ＥＰＰＮ−５０２（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、ｊＥＲ１０３１Ｓ（三菱化学（株）製）等が挙げられる。
【０１１３】
本発明の着色組成物がエポキシ基を有する化合物を含有する場合、エポキシ基を有する化合物の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、０．１〜４０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、３０質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。エポキシ基を有する化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
また、重合性化合物と、エポキシ基を有する化合物との質量比は、重合性化合物Ｄの質量：エポキシ基を有する化合物の質量＝１００：１〜１００：４００が好ましく、１００：１〜１００：１００がより好ましく、１００：１〜１００：５０がさらに好ましい。
【０１１４】
＜＜フタルイミド化合物＞＞
本発明の着色組成物は、フタルイミド化合物を含んでいてもよい。フタルイミド化合物を含有することで、針状結晶の発生などを抑制することができる。
フタルイミド化合物は、下記一般式（ＰＩ）で表される化合物であることが好ましい。
【０１１５】
【化１６】
0006617201.tif 000017
式（ＰＩ）において、Ａ１〜Ａ４は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、または、アルキル基を表す。
ハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子、フッ素原子が挙げられ、塩素原子またはフッ素原子が好ましい。
アルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜５がより好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。
Ａ１〜Ａ４の少なくとも一つは、塩素原子、および、臭素原子から選ばれることが好ましく、臭素原子であることがより好ましい。また、Ａ１〜Ａ４の全てが、塩素原子、および、臭素原子から選ばれることがより好ましく、Ａ１〜Ａ４の全てが、臭素原子であることがより好ましい。
【０１１６】
本発明の着色組成物がフタルイミド化合物を含有する場合、フタルイミド化合物の含有量は、着色組成物中の全固形分に対して、０．０１〜５質量％が好ましく、０．１〜４質量％がより好ましく、０．５〜３．５質量％がさらに好ましい。
また、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ａの１００質量部に対し、フタルイミド化合物を０．１〜１０質量部含有することが好ましく、１〜５質量部含有することがより好ましい。
フタルイミド化合物は、１種であってもよく、２種以上であってもよい。２種以上含む場合は、合計が上記範囲となることが好ましい。
【０１１７】
＜＜溶剤＞＞
本発明の着色組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤は有機溶剤が好ましい。溶剤は、各成分の溶解性や着色組成物の塗布性を満足すれば特に制限はない。
【０１１８】
有機溶剤の例としては、例えば、以下の有機溶剤が挙げられる。エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸シクロヘキシル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、アルキルオキシ酢酸アルキル（例えば、アルキルオキシ酢酸メチル、アルキルオキシ酢酸エチル、アルキルオキシ酢酸ブチル（例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等））、３−アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、３−アルキルオキシプロピオン酸メチル、３−アルキルオキシプロピオン酸エチル等（例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル等））、２−アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、２−アルキルオキシプロピオン酸メチル、２−アルキルオキシプロピオン酸エチル、２−アルキルオキシプロピオン酸プロピル等（例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル））、２−アルキルオキシ−２−メチルプロピオン酸メチル及び２−アルキルオキシ−２−メチルプロピオン酸エチル（例えば、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル等）、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等が挙げられる。エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート（エチルカルビトールアセテート）、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ブチルカルビトールアセテート）、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等が挙げられる。ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等が挙げられる。芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｍｉｌｌｉｏｎ）以下、１０質量ｐｐｍ以下、あるいは１質量ｐｐｍ以下とすることができる）。
【０１１９】
有機溶剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。有機溶剤を２種以上組み合わせて用いる場合、特に好ましくは、上記の３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート（エチルカルビトールアセテート）、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ブチルカルビトールアセテート）、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される２種以上で構成される混合溶液である。
【０１２０】
本発明において、有機溶剤は、過酸化物の含有率が０．８ｍｍｏｌ／Ｌ以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。また、金属含有量の少ない有機溶剤を用いることが好ましく、例えば有機溶剤の金属含有量は、１０質量ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｂｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましい。必要に応じて有機溶剤の金属含有量が質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｔｒｉｌｌｉｏｎ）レベルのものを用いてもよく、そのような高純度溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。
【０１２１】
溶剤の含有量は、着色組成物の全固形分が５〜８０質量％となる量が好ましい。下限は、着色組成物の全固形分が１０質量％以上となる量が好ましい。上限は、着色組成物の全固形分が６０質量％以下となる量が好ましく、５０質量％以下がより好ましく、４０質量％以下がさらに好ましい。
【０１２２】
＜＜光重合開始剤＞＞
本発明の着色組成物は、光重合開始剤を含有することが好ましい。光重合開始剤としては、重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する化合物であってもよい。
【０１２３】
光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物などが挙げられる。また、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、３−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０２６５〜０２６８の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１２４】
光重合開始剤は、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、および、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。例えば、特開平１０−２９１９６９号公報に記載のアミノアセトフェノン化合物、特許第４２２５８９８号公報に記載のアシルホスフィン化合物も用いることができる。ヒドロキシアセトフェノン化合物としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ−１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１２７（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。アミノアセトフェノン化合物としては、市販品であるＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９、および、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。アミノアセトフェノン化合物として、３６５ｎｍまたは４０５ｎｍ等の光源に吸収波長がマッチングされた特開２００９−１９１１７９号公報に記載の化合物も用いることができる。また、アシルホスフィン化合物としては市販品であるＩＲＧＡＣＵＲＥ−８１９やＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。
【０１２５】
光重合開始剤として、より好ましくはオキシム化合物が挙げられる。本発明の着色組成物をカラーフィルタの作製に使用する場合には、微細なパターンをシャープな形状で形成する必要があるために、硬化性とともに未露光部に残渣がなく現像されることが重要である。このような観点からは、光重合開始剤としてはオキシム化合物を使用することが好ましい。
【０１２６】
オキシム化合物としては、例えば、特開２００１−２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６−３４２１６６号公報に記載の化合物を用いることができる。オキシム化合物の具体例としては、例えば、３−ベンゾイルオキシイミノブタン−２−オン、３−アセトキシイミノブタン−２−オン、３−プロピオニルオキシイミノブタン−２−オン、２−アセトキシイミノペンタン−３−オン、２−アセトキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、２−ベンゾイルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、３−（４−トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン−２−オン、および２−エトキシカルボニルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オンなどが挙げられる。
【０１２７】
オキシム化合物としては、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年）ｐｐ．１６５３−１６６０、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年）ｐｐ．１５６−１６２、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年、ｐｐ．２０２−２３２）、特開２０００−６６３８５号公報、特開２０００−８００６８号公報、特表２００４−５３４７９７号公報、特開２００６−３４２１６６号公報に記載された化合物等を用いることもできる。市販品ではＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）が好適に用いられる。また、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０４、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０９、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０５（常州強力電子新材料有限公司（ＣＨＡＮＧＺＨＯＵ  ＴＲＯＮＬＹ  ＮＥＷ  ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ  ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ  ＣＯ．，ＬＴＤ）製）、アデカアークルズＮＣＩ−９３０、アデカオプトマーＮ−１９１９（特開２０１２−１４０５２号公報の光重合開始剤２）（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）を用いることができる。
【０１２８】
また上記以外のオキシム化合物として、カルバゾール環のＮ位にオキシムが連結した特表２００９−５１９９０４号公報に記載の化合物、ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許第７６２６９５７号公報に記載の化合物、色素部位にニトロ基が導入された特開２０１０−１５０２５号公報および米国特許公開２００９−２９２０３９号に記載の化合物、国際公開ＷＯ２００９／１３１１８９号公報に記載のケトオキシム化合物、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許７５５６９１０号公報に記載の化合物、４０５ｎｍに吸収極大を有し、ｇ線光源に対して良好な感度を有する特開２００９−２２１１１４号公報に記載の化合物などを用いてもよい。好ましくは、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０２７４〜０３０６を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１２９】
オキシム化合物としては、下記式（ＯＸ−１）で表される化合物が好ましい。なお、式（ＯＸ−１）で表される化合物は、オキシムのＮ−Ｏ結合が（Ｅ）体のオキシム化合物であってもよく、（Ｚ）体のオキシム化合物であってもよく、（Ｅ）体と（Ｚ）体との混合物であってもよい。
【０１３０】
【化１７】
0006617201.tif 000018
【０１３１】
一般式（ＯＸ−１）中、ＲおよびＢは各々独立に一価の置換基を表し、Ａは二価の有機基を表し、Ａｒはアリール基を表す。
一般式（ＯＸ−１）中、Ｒで表される一価の置換基としては、一価の非金属原子団であることが好ましい。一価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、１以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基またはアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、アリール基等が挙げられる。
一般式（ＯＸ−１）中、Ｂで表される一価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は、複素環カルボニル基が好ましい。これらの基は１以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。
一般式（ＯＸ−１）中、Ａで表される二価の有機基としては、炭素数１〜１２のアルキレン基、アルキニレン基が好ましい。これらの基は１以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。
【０１３２】
本発明は、光重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４−１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明は、光重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／０３６９１０号公報に記載の化合物ＯＥ−０１〜ＯＥ−７５が挙げられる。
【０１３３】
本発明は、光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を含むオキシム化合物は、式（１）で表される化合物であることが好ましい。
【化１８】
0006617201.tif 000019
式（１）において、Ａｒ１およびＡｒ２は、それぞれ独立に、置換基を有してもよい芳香族炭化水素環を表し、Ｒ１〜Ｒ３は、それぞれ独立に、アルキル基またはアリール基を表す；ただし、Ｒ１〜Ｒ３、Ａｒ１およびＡｒ２の少なくとも一つが、フッ素原子またはフッ素原子を有する基を有する。
【０１３４】
Ａｒ１およびＡｒ２が表す芳香族炭化水素環は、単環でもよく、縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環の環を構成する炭素原子数は、６〜２０が好ましく、６〜１５がより好ましく、６〜１０が特に好ましい。芳香族炭化水素環は、ベンゼン環およびナフタレン環が好ましい。なかでも、Ａｒ１およびＡｒ２の少なくとも一方がベンゼン環で、他方がナフタレン環であることが好ましい。また、Ａｒ１はベンゼン環であることがより好ましい。Ａｒ２は、ベンゼン環またはナフタレン環が好ましく、ナフタレン環がより好ましい。
【０１３５】
Ａｒ１およびＡｒ２が表す芳香族炭化水素環が有してもよい置換基としては、アルキル基、アリール基、ヘテロ環基、ニトロ基、シアノ基、ハロゲン原子、−ＯＲＸ１、−ＳＲＸ１、−ＣＯＲＸ１、−ＣＯＯＲＸ１、−ＯＣＯＲＸ１、−ＮＲＸ１ＲＸ２、−ＮＨＣＯＲＸ１、−ＣＯＮＲＸ１ＲＸ２、−ＮＨＣＯＮＲＸ１ＲＸ２、−ＮＨＣＯＯＲＸ１、−ＳＯ２ＲＸ１、−ＳＯ２ＯＲＸ１、−ＮＨＳＯ２ＲＸ１などが挙げられる。ＲＸ１およびＲＸ２は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基またはヘテロ環基を表す。
ハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などが挙げられ、フッ素原子が好ましい。
置換基としてのアルキル基、ならびに、ＲＸ１およびＲＸ２が表すアルキル基の炭素数は、１〜３０が好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。アルキル基は、水素原子の一部または全部がハロゲン原子（好ましくは、フッ素原子）で置換されていてもよい。また、アルキル基は、水素原子の一部または全部が、上記置換基で置換されていてもよい。
置換基としてのアリール基、ならびに、ＲＸ１およびＲＸ２が表すアリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１５がより好ましく、６〜１０が更に好ましい。アリール基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。また、アリール基は、水素原子の一部または全部が、上記置換基で置換されていてもよい。
置換基としてのヘテロ環基、ならびに、ＲＸ１およびＲＸ２が表すヘテロ環基は、５員環または６員環が好ましい。ヘテロ環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。ヘテロ環基を構成する炭素原子の数は３〜３０が好ましく、３〜１８がより好ましく、３〜１２がより好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子の数は１〜３が好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。また、ヘテロ環基は、水素原子の一部または全部が、上記置換基で置換されていてもよい。
【０１３６】
式（１）において、Ａｒ２が表す芳香族炭化水素環は置換基を有していることが好ましい。置換基としては、−ＣＯＲＸ１が好ましい。ＲＸ１は、アルキル基、アリール基またはヘテロ環基が好ましく、アリール基がより好ましい。アリール基は置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、炭素数１〜１０のアルキル基などが挙げられる。
【０１３７】
式（１）において、Ｒ１〜Ｒ３は、それぞれ独立に、アルキル基またはアリール基を表す。Ｒ１は、アルキル基またはアリール基が好ましく、アリール基であることがより好ましい。Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、アルキル基が好ましい。
アルキル基の炭素数は、１〜３０が好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アルキル基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。
アリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１５がより好ましく、６〜１０が更に好ましい。アリール基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。また、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。
【０１３８】
式（１）において、Ｒ１〜Ｒ３、Ａｒ１およびＡｒ２の少なくとも一つが、フッ素原子またはフッ素原子を有する基を有する。
【０１３９】
フッ素原子を含む基は、フッ素原子を有するアルキル基（以下、含フッ素アルキル基ともいう）、および、フッ素原子を有するアルキル基を含む基（以下、含フッ素基ともいう）が好ましい。含フッ素基としては、−ＯＲＸ１１、−ＳＲＸ１１、−ＣＯＲＸ１１、−ＣＯＯＲＸ１１、−ＯＣＯＲＸ１１、−ＮＲＸ１１ＲＸ１２、−ＮＨＣＯＲＸ１１、−ＣＯＮＲＸ１１ＲＸ１２、−ＮＨＣＯＮＲＸ１１ＲＸ１２、−ＮＨＣＯＯＲＸ１１、−ＳＯ２ＲＸ１１、−ＳＯ２ＯＲＸ１１および−ＮＨＳＯ２ＲＸ１１から選ばれる少なくとも１種の基が好ましい。ＲＸ１１は、含フッ素アルキル基を表し、ＲＸ１２は、水素原子、アルキル基、含フッ素アルキル基、アリール基または複素環基を表す。含フッ素基は、−ＯＲＸ１１がより好ましい。
フッ素原子を含む基は、含フッ素アルキル基、および、−ＯＲＸ１１が好ましい。
フッ素原子を含む基は、下記式（Ｆ１）または式（Ｆ２）で表される末端構造を有することが好ましい。式中の＊は、連結手を表す。
＊−ＣＨＦ２      （Ｆ１）
＊−ＣＦ３      （Ｆ２）
【０１４０】
含フッ素アルキル基の炭素数は、１〜２０が好ましく、１〜１５がより好ましく、１〜１０が更に好ましく、１〜４が特に好ましい。含フッ素アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。
含フッ素アルキル基は、フッ素原子の置換率が、４０〜１００％であることが好ましく、５０〜１００％であることがより好ましく、６０〜１００％であることが更に好ましい。なお、含フッ素アルキル基におけるフッ素原子の置換率とは、アルキル基の水素原子が、フッ素原子に置換された割合を百分率で表した値である。
【０１４１】
式（１）において、Ｒ１は、フッ素原子を含む基を有するアリール基であることが好ましい。フッ素原子を含む基は、上述したフッ素原子を有するアルキル基（含フッ素アルキル基）、フッ素原子を有するアルキル基を含む基（含フッ素基）が挙げられる。好ましい範囲も同様である。
【０１４２】
光重合開始剤の全量中におけるフッ素原子を含むオキシム化合物（好ましくは、上記式（１）で表される化合物）の含有量は、２０〜７０質量％であることが好ましい。
【０１４３】
フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０−２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４−５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６〜４０、特開２０１３−１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ−３）などが挙げられる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０１４４】
本発明は、光重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３−１１４２４９号公報の段落番号００３１〜００４７、特開２０１４−１３７４６６号公報の段落番号０００８〜００１２、００７０〜００７９に記載の化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７〜００２５に記載の化合物、アデカアークルズＮＣＩ−８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。
【０１４５】
本発明において好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１４６】
【化１９】
0006617201.tif 000020
【化２０】
0006617201.tif 000021
【０１４７】
オキシム化合物は、３５０ｎｍ〜５００ｎｍの波長領域に極大吸収波長を有する化合物が好ましく、３６０ｎｍ〜４８０ｎｍの波長領域に吸収波長を有する化合物がより好ましい。また、オキシム化合物は、３６５ｎｍおよび４０５ｎｍの吸光度が高い化合物が好ましい。
【０１４８】
オキシム化合物の３６５ｎｍまたは４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、１，０００〜３００，０００であることが好ましく、２，０００〜３００，０００であることがより好ましく、５，０００〜２００，０００であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、紫外可視分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｙ−５  ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチル溶媒を用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。
光重合開始剤は、必要に応じて２種以上を組み合わせて使用しても良い。
【０１４９】
光重合開始剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対し０．１〜５０質量％が好ましく、０．５〜３０質量％がより好ましく、１〜２０質量％が更に好ましい。光重合開始剤の含有量が上記範囲であれば、良好な感度と良好なパターン形成性が得られる。本発明の着色組成物は、光重合開始剤を、１種のみ含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。光重合開始剤を２種以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１５０】
＜＜硬化促進剤＞＞
本発明の着色組成物は、重合性化合物の反応を促進させたり、硬化温度を下げる目的で、硬化促進剤を添加してもよい。硬化促進剤としては、分子内に２個以上のメルカプト基を有する多官能チオール化合物などが挙げられる。多官能チオール化合物は安定性、臭気、解像性、現像性、密着性等の改良を目的として添加してもよい。多官能チオール化合物は、２級のアルカンチオール類であることが好ましく、式（Ｔ１）で表される構造を有する化合物であることがより好ましい。
式（Ｔ１）
【化２１】
0006617201.tif 000022
（式（Ｔ１）中、ｎは２〜４の整数を表し、Ｌは２〜４価の連結基を表す。）
【０１５１】
式（Ｔ１）において、連結基Ｌは炭素数２〜１２の脂肪族基であることが好ましく、ｎが２であり、Ｌが炭素数２〜１２のアルキレン基であることが特に好ましい。多官能チオール化合物の具体例としては、下記の構造式（Ｔ２）〜（Ｔ４）で表される化合物が挙げられ、式（Ｔ２）で表される化合物が特に好ましい。これらの多官能チオール化合物は１種または複数組み合わせて使用することが可能である。
【０１５２】
【化２２】
0006617201.tif 000023
【０１５３】
また、硬化促進剤は、メチロール系化合物（例えば特開２０１５−３４９６３号公報の段落番号０２４６において、架橋剤として例示されている化合物）、アミン類、ホスホニウム塩、アミジン塩、アミド化合物（以上、例えば特開２０１３−４１１６５号公報の段落番号０１８６に記載の硬化剤）、塩基発生剤（例えば、特開２０１４−５５１１４号公報に記載のイオン性化合物）、シアネート化合物（例えば、特開２０１２−１５０１８０号公報の段落番号００７１に記載の化合物）、アルコキシシラン化合物（例えば、特開２０１１−２５３０５４号公報に記載のエポキシ基を有するアルコキシシラン化合物）、オニウム塩化合物（例えば、特開２０１５−３４９６３号公報の段落番号０２１６に酸発生剤として例示されている化合物、特開２００９−１８０９４９号公報に記載の化合物）などを用いることもできる。
【０１５４】
本発明の着色組成物が硬化促進剤を含有する場合、硬化促進剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して０．３〜８．９質量％が好ましく、０．８〜６．４質量％がより好ましい。
【０１５５】
＜＜顔料誘導体＞＞
本発明の着色組成物は、顔料誘導体を含有することが好ましい。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸性基、塩基性基またはフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。酸基としては、スルホ基、カルボキシル基及びその４級アンモニウム塩基などが挙げられる。塩基性基としては、アミノ基などが挙げられる。
【０１５６】
顔料誘導体は、本発明の効果が得られやすいという理由から、塩基性基を有する顔料誘導体が好ましく、アミノ基を有する顔料誘導体がより好ましく、三級アミノ基を有する顔料誘導体がさらに好ましい。
【０１５７】
顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン骨格、ベンゾイミダゾロン骨格、ジケトピロロピロール骨格、アゾ骨格、フタロシアニン骨格、アントラキノン骨格、キナクリドン骨格、ジオキサジン骨格、ペリノン骨格、ペリレン骨格、チオインジゴ骨格、イソインドリン骨格、イソインドリノン骨格、キノフタロン骨格、スレン骨格、金属錯体骨格等が挙げられ、キノリン骨格、ベンゾイミダゾロン骨格、ジケトピロロピロール骨格、アゾ骨格、キノフタロン骨格、イソインドリン骨格およびフタロシアニン骨格が好ましく、アゾ骨格およびベンゾイミダゾロン骨格がより好ましい。顔料誘導体は、例えば、下記化合物を用いることができる。顔料誘導体の詳細は、特開２０１１−２５２０６５号公報の段落番号０１６２〜０１８３の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【化２３】
0006617201.tif 000024
【０１５８】
本発明の着色組成物における顔料誘導体の含有量は、顔料の全質量に対し、１〜３０質量％が好ましく、３〜２０質量％がさらに好ましい。顔料誘導体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【０１５９】
＜＜界面活性剤＞＞
本発明の着色組成物は、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
【０１６０】
本発明の着色組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで、塗布液として調製したときの液特性（特に、流動性）が向上し、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する着色組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力が低下して、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行うことができる。
【０１６１】
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３〜４０質量％が好ましく、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率が上記範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、着色組成物中における溶解性も良好である。
【０１６２】
フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ−１０１、ＳＣ−１０３、ＳＣ−１０４、ＳＣ−１０５、ＳＣ−１０６８、ＳＣ−３８１、ＳＣ−３８３、Ｓ３９３、同ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）、ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開２０１５−１１７３２７号公報の段落番号００１５〜０１５８に記載の化合物、特開２０１１−１３２５０３号公報の段落番号０１１７〜０１３２に記載の化合物を用いることもできる。フッ素系界面活性剤としてブロックポリマーを用いることもでき、具体例としては、例えば特開２０１１−８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。
【０１６３】
フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造で、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファックＤＳシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月２２日）（日経産業新聞、２０１６年２月２３日）、例えばメガファックＤＳ−２１が挙げられる。
【０１６４】
フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位とを含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができ、下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。
【化２４】
0006617201.tif 000025
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜５０，０００であり、例えば、１４，０００である。
【０１６５】
フッ素系界面活性剤として、エチレン性不飽和結合基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０−１６４９６５号公報の段落番号００５０〜００９０および段落番号０２８９〜０２９５に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ−１０１、ＲＳ−１０２、ＲＳ−７１８−Ｋ、ＲＳ−７２−Ｋ等が挙げられる。
【０１６６】
ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレートおよびプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセリンエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニックＬ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（ＢＡＳＦ社製）、テトロニック３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース２００００（日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ−１０１、ＮＣＷ−１００１、ＮＣＷ−１００２（和光純薬工業（株）製）、パイオニンＤ−６１１２、Ｄ−６１１２−Ｗ、Ｄ−６３１５（竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（日信化学工業（株）製）などが挙げられる。
【０１６７】
カチオン系界面活性剤としては、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮｏ．７５、Ｎｏ．９０、Ｎｏ．９５（共栄社化学（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）製）等が挙げられる。
【０１６８】
アニオン系界面活性剤としては、Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）製）、サンデットＢＬ（三洋化成（株）製）等が挙げられる。
【０１６９】
シリコーン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）、ＴＳＦ−４４４０、ＴＳＦ−４３００、ＴＳＦ−４４４５、ＴＳＦ−４４６０、ＴＳＦ−４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＫＰ３４１、ＫＦ６００１、ＫＦ６００２（以上、信越シリコーン株式会社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。また、シリコーン系界面活性剤は、下記化合物を用いることができる。
【化２５】
0006617201.tif 000026
【０１７０】
＜＜シランカップリング剤＞＞
本発明の着色組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。シランカップリング剤としては、一分子中に少なくとも２種の反応性の異なる官能基を有するシラン化合物が好ましい、シランカップリング剤は、ビニル基、エポキシ基、スチリル基、メタクリル基、アミノ基、イソシアヌレート基、ウレイド基、メルカプト基、スルフィド基、および、イソシアネート基から選ばれる少なくとも１種の基と、アルコキシ基とを有するシラン化合物が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、例えば、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−６０２）、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−６０３）、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＥ−６０２）、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−９０３）、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＥ−９０３）、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−５０３）、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−４０３）等が挙げられる。シランカップリング剤の詳細については、特開２０１３−２５４０４７号公報の段落番号０１５５〜０１５８の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１７１】
本発明の着色組成物がシランカップリング剤を含有する場合、シランカップリング剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、０．００１〜２０質量％が好ましく、０．０１〜１０質量％がより好ましく、０．１質量％〜５質量％が特に好ましい。本発明の着色組成物は、シランカップリング剤を、１種類のみを含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１７２】
＜＜重合禁止剤＞＞
本発明の着色組成物は、重合禁止剤を含有することも好ましい。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）等が挙げられる。
本発明の着色組成物が重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、０．０１〜５質量％が好ましい。本発明の着色組成物は、重合禁止剤を、１種類のみを含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１７３】
＜＜紫外線吸収剤＞＞
本発明の着色組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤は、共役ジエン系化合物が好ましい。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、ＵＶ−５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。また、紫外線吸収剤として、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。具体例としては特開２０１３−６８８１４号公報に記載の化合物が挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）を用いてもよい。
【０１７４】
本発明の着色組成物が紫外線吸収剤を含有する場合、紫外線吸収剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、０．１〜１０質量％が好ましく、０．１〜５質量％がより好ましく、０．１〜３質量％が特に好ましい。また、紫外線吸収剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１７５】
＜＜その他添加剤＞＞
本発明の着色組成物には、必要に応じて、各種添加剤、例えば、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤等を配合することができる。これらの添加剤としては、特開２００４−２９５１１６号公報の段落番号０１５５〜０１５６に記載の添加剤を挙げることができ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、酸化防止剤としては、例えばフェノール化合物、リン系化合物（例えば特開２０１１−９０１４７号公報の段落番号００４２に記載の化合物）、チオエーテル化合物などを用いることができる。酸化防止剤の市販品としては、例えば（株）ＡＤＥＫＡ製のアデカスタブシリーズ（ＡＯ−２０、ＡＯ−３０、ＡＯ−４０、ＡＯ−５０、ＡＯ−５０Ｆ、ＡＯ−６０、ＡＯ−６０Ｇ、ＡＯ−８０、ＡＯ−３３０など）が挙げられる。酸化防止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。本発明の着色組成物は、特開２００４−２９５１１６号公報の段落番号００７８に記載の増感剤や光安定剤、同公報の段落番号００８１に記載の熱重合防止剤を含有することができる。
【０１７６】
用いる原料等により着色組成物中に金属元素が含まれることがあるが、欠陥発生抑制等の観点で、着色組成物中の第２族元素（カルシウム、マグネシウム等）の含有量は５０質量ｐｐｍ（ｐｅｒｔｓ  ｐｅｒ  ｍｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましく、０．０１〜１０質量ｐｐｍがより好ましい。また、着色組成物中の無機金属塩の総量は１００質量ｐｐｍ以下であることが好ましく、０．５〜５０質量ｐｐｍがより好ましい。
【０１７７】
＜着色組成物の調製方法＞
本発明の着色組成物は、前述の成分を混合して調製できる。着色組成物の調製に際しては、各成分を一括配合してもよいし、各成分を溶剤に、溶解および／または分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序や作業条件は特に制約を受けない。例えば、全成分を同時に溶剤に溶解および／または分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜２つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時（塗布時）にこれらを混合して調製してもよい。
【０１７８】
着色組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン−６、ナイロン−６，６）等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度および／または超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。
【０１７９】
フィルタの孔径は、０．０１〜７．０μｍ程度が適しており、好ましくは０．０１〜３．０μｍ程度、より好ましくは０．０５〜０．５μｍ程度である。
【０１８０】
また、フィルタとしては、ファイバ状のろ材を用いたフィルタを用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。ファイバ状のろ材を用いたフィルタとしては、ロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）のフィルタカートリッジが挙げられる。
【０１８１】
フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。
例えば、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＸＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）または株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみで行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。第２のフィルタとしては、第１のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。
【０１８２】
本発明の着色組成物は、膜面状（平坦性など）の調整、膜厚の調整などを目的として粘度を調整して用いることができる。粘度の値は必要に応じて適宜選択することができるが、例えば、２５℃において０．３ｍＰａ・ｓ〜５０ｍＰａ・ｓが好ましく、０．５ｍＰａ・ｓ〜２０ｍＰａ・ｓがより好ましい。粘度の測定方法としては、例えば、東機産業製  粘度計  ＲＥ８５Ｌ（ローター：１°３４’×Ｒ２４、測定範囲０．６〜１２００ｍＰａ・ｓ）を使用し、２５℃に温度調整を施した状態で測定することができる。
【０１８３】
本発明の着色組成物の含水率は、通常３質量％以下であり、０．０１〜１．５質量％が好ましく、０．１〜１．０質量％の範囲であることがより好ましい。耐光性に関しては着色組成物の含水率は、少ない方が好ましいが、着色組成物の液安定性、製造適正等の観点から、着色組成物は僅かに水を含有した方が良い場合がある。含水率は、カールフィッシャー法にて測定することができる。
【０１８４】
＜着色組成物の用途＞
本発明の着色組成物は、耐光性に優れた膜を形成することができるため、カラーフィルタの着色層を形成するために好適に用いられる。また、本発明の着色組成物は、電荷結合素子（ＣＣＤ）、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）などの固体撮像素子や、液晶表示装置などの画像表示装置に用いられるカラーフィルタなどの着色パターン形成用として好適に用いることができる。さらに、印刷インキ、インクジェットインキ及び塗料などの用途としても好適に用いることができる。なかでも、ＣＣＤ及びＣＭＯＳ等の固体撮像素子用のカラーフィルタの製造に好適に用いることができる。
【０１８５】
＜カラーフィルタ＞
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。
本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の着色組成物を用いてなるものである。本発明のカラーフィルタの膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上が更に好ましい。本発明のカラーフィルタは、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や、画像表示装置などに用いることができる。
【０１８６】
本発明の着色組成物を液晶表示装置用途のカラーフィルタとして用いる場合、カラーフィルタを備えた液晶表示素子の電圧保持率は、７０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。高い電圧保持率を得るための公知の手段を適宜組み込むことができ、典型的な手段としては純度の高い素材の使用（例えばイオン性不純物の低減）や、組成物中の酸性官能基量の制御が挙げられる。電圧保持率は、例えば特開２０１１−００８００４号公報の段落０２４３、特開２０１２−２２４８４７号公報の段落０１２３〜０１２９に記載の方法等で測定することができる。
【０１８７】
＜パターン形成方法＞
本発明のパターン形成方法は、本発明の着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法またはドライエッチング法により、着色組成物層に対してパターンを形成する工程と、を含む。
【０１８８】
フォトリソグラフィ法によるパターン形成は、着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、着色組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部を現像除去してパターンを形成する工程と、を含むことが好ましい。必要に応じて、着色組成物層をベークする工程（プリベーク工程）、および、現像されたパターンをベークする工程（ポストベーク工程）を設けてもよい。また、ドライエッチング法によるパターン形成は、着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成し、硬化して硬化物層を形成する工程と、硬化物層上にフォトレジスト層を形成する工程と、露光および現像することによりフォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程と、レジストパターンをエッチングマスクとして硬化物層をドライエッチングしてパターンを形成する工程とを含むことが好ましい。以下、各工程について説明する。
【０１８９】
＜＜着色組成物層を形成する工程＞＞
着色組成物層を形成する工程では、着色組成物を用いて、支持体上に着色組成物層を形成する。
【０１９０】
支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基材、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の固体撮像素子（受光素子）が設けられた固体撮像素子用基材、シリコン基材等が挙げられる。また、これらの基材上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
【０１９１】
支持体上への着色組成物の適用方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の方法を用いることができる。
【０１９２】
支持体上に形成した着色組成物層は、乾燥（プリベーク）してもよい。低温プロセスによりパターンを形成する場合は、プリベークを行わなくてもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク温度を１５０℃以下で行うことにより、例えば、イメージセンサの光電変換膜を有機素材で構成した場合において、これらの特性をより効果的に維持することができる。プリベーク時間は、１０秒〜３００秒が好ましく、４０〜２５０秒がより好ましく、８０〜２２０秒がさらに好ましい。乾燥は、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
【０１９３】
（フォトリソグラフィ法でパターン形成する場合）
＜＜露光工程＞＞
次に、着色組成物層をパターン状に露光する（露光工程）。例えば、着色組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。
露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等の紫外線が好ましく（特に好ましくはｉ線）用いられる。照射量（露光量）は、例えば、０．０３〜２．５Ｊ／ｃｍ２が好ましく、０．０５〜１．０Ｊ／ｃｍ２がより好ましい。
露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ２〜１０００００Ｗ／ｍ２（例えば、５０００Ｗ／ｍ２、１５０００Ｗ／ｍ２、３５０００Ｗ／ｍ２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ２などとすることができる。
【０１９４】
＜＜現像工程＞＞
次に、未露光部を現像除去してパターンを形成する。未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の着色組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。
現像液としては、下地の固体撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。
現像液の温度は、例えば、２０〜３０℃が好ましい。現像時間は、２０〜１８０秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を６０秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
【０１９５】
現像液としては、アルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２−ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜１質量％がより好ましい。また、現像液には、界面活性剤をさらに含んでいてもよい。界面活性剤の例としては、上述した着色組成物で説明した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、現像後、純水で洗浄（リンス）することが好ましい。
【０１９６】
現像後、乾燥を施した後に加熱処理（ポストベーク）を行うこともできる。ポストベークは、膜の硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理である。ポストベークを行う場合、ポストベーク温度は、例えば１００〜２４０℃が好ましい。膜硬化の観点から、２００〜２３０℃がより好ましい。ポストベーク後の膜のヤング率は０．５〜２０ＧＰａが好ましく、２．５〜１５ＧＰａがより好ましい。また、発光光源として有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子を用いた場合や、イメージセンサの光電変換膜を有機素材で構成した場合は、ポストベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１００℃以下が更に好ましく、９０℃以下が特に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができる。
ポストベークは、現像後の膜（硬化膜）を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。また、低温プロセスによりパターンを形成する場合は、ポストベークは行わなくてもよい。
【０１９７】
硬化膜は高い平坦性を有することが好ましい。具体的には、表面粗さＲａが１００ｎｍ以下であることが好ましく、４０ｎｍ以下であることがより好ましく、１５ｎｍ以下であることが更に好ましい。下限は規定されないが、例えば０．１ｎｍ以上であることが好ましい。表面粗さの測定は、例えばＶｅｅｃｏ社製のＡＦＭ（原子間力顕微鏡）  Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ３１００を用いて測定することができる。
また、硬化膜上の水の接触角は適宜好ましい値に設定することができるが、典型的には、５０〜１１０°の範囲である。接触角は、例えば接触角計ＣＶ−ＤＴ・Ａ型（協和界面科学（株）製）を用いて測定できる。
【０１９８】
各パターン（画素）の体積抵抗値は高いことが望まれる。具体的には、画素の体積抵抗値は１０９Ω・ｃｍ以上であることが好ましく、１０１１Ω・ｃｍ以上であることがより好ましい。上限は規定されないが、例えば１０１４Ω・ｃｍ以下であることが好ましい。画素の体積抵抗値は、例えば超高抵抗計５４１０（アドバンテスト社製）を用いて測定することができる。
【０１９９】
（ドライエッチング法でパターン形成する場合）
ドライエッチング法でのパターン形成は、支持体上に形成した着色剤組成物層を硬化して硬化物層とし、次いで、得られた硬化物層を、パターニングされたフォトレジスト層をマスクとしてエッチングガスを用いて行うことができる。
【０２００】
フォトレジスト層は、硬化物層上にポジ型またはネガ型の感放射線性組成物を塗布し、これを乾燥させることによりフォトレジスト層を形成することが好ましい。フォトレジスト層の形成に用いる感放射線性組成物としては、ポジ型の感放射線性組成物が好ましく用いられる。ポジ型の感放射線性組成物としては、紫外線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）、ＫｒＦ線、ＡｒＦ線等を含む遠紫外線、電子線、イオンビームおよびＸ線等の放射線に感応する感放射線性組成物が好ましい。上述のポジ型の感放射線性組成物は、ＫｒＦ線、ＡｒＦ線、ｉ線、Ｘ線）に感応する感放射線性組成物が好ましく、微細加工性の観点からＫｒＦ線に感応する感放射線性組成物がより好ましい。ポジ型の感光性樹脂組成物としては、特開２００９−２３７１７３号公報や特開２０１０−１３４２８３号公報に記載のポジ型レジスト組成物が好適に用いられる。
【０２０１】
フォトレジスト層の形成において、感放射線性組成物の露光工程は、ＫｒＦ線、ＡｒＦ線、ｉ線、Ｘ線などで行うことが好ましく、ＫｒＦ線、ＡｒＦ線、Ｘ線などで行うことがより好ましく、ＫｒＦ線で行うことが更に好ましい。
【０２０２】
＜固体撮像素子＞
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明のカラーフィルタを有する。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明のカラーフィルタを備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
【０２０３】
基材上に、固体撮像素子（ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、カラーフィルタを有する構成である。更に、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下（基材に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各着色画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する撮像装置の例としては、特開２０１２−２２７４７８号公報、特開２０１４−１７９５７７号公報に記載の装置が挙げられる。
本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器（携帯電話等）の他、車載カメラや監視カメラ用としても用いることができる。
【０２０４】
＜画像表示装置＞
本発明のカラーフィルタは、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの、画像表示装置に用いることができる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
【実施例】
【０２０５】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。
また、以下においてＰＧＭＥＡは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの略称である。【０２０６】
＜重量平均分子量の測定＞
重量平均分子量は、以下の方法で測定した。
カラムの種類：ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺＭ−Ｈと、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ４０００と、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ２０００とを連結したカラム展開溶媒：テトラヒドロフランカラム温度：４０℃流量（サンプル注入量）：１．０μL（サンプル濃度：０．１質量％）
装置名：東ソー製  ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ検出器：ＲＩ（屈折率）検出器検量線ベース樹脂：ポリスチレン【０２０７】
＜酸価の測定方法＞
測定サンプルをテトラヒドロフラン／水＝９／１（質量比）混合溶媒に溶解し、得られた溶液を２５℃において、電位差滴定装置（商品名：ＡＴ−５１０、京都電子工業製）を用いて、０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液で中和滴定した。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点として、次式により酸価を算出した。
Ａ＝５６．１１×Ｖｓ×０．１×ｆ／ｗ
Ａ：酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）
Ｖｓ：滴定に要した０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の使用量（ｍＬ）
ｆ：０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の力価
ｗ：測定サンプルの質量（ｇ）（固形分換算）【０２０８】
［試験例１］
＜顔料分散液の製造＞
下記の表に記載の原料を混合して混合液を得た。得られた混合液を、循環型分散装置（ビーズミル）として寿工業株式会社製のウルトラアペックスミル（商品名）を用いて分散処理を行い、分散液を得た。得られた分散液の固形分は２０．０５質量％であった。なお、樹脂１の欄に記載の数値は固形分の値である。【０２０９】
【表１】
0006617201.tif 000027
【表２】
0006617201.tif 000028
【表３】
0006617201.tif 000029
【０２１０】
上記表に記載の原料は以下のとおりである。
ＰＹ１８５：Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５（イソインドリン顔料）
ＰＹ１３９：Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９（イソインドリン顔料）
ＰＧ５８：Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８（ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料）
Ｇ２〜Ｇ７：後述する方法で合成したハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料
顔料誘導体Ｓ−１：下記構造の化合物
【化２６】
0006617201.tif 000030
樹脂１：下記構造の樹脂の３０質量％ＰＧＭＥＡ溶液（重量平均分子量＝２４０００、酸価＝５０ｍｇＫＯＨ／ｇ、主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の繰り返し数である）
【化２７】
0006617201.tif 000031
【０２１１】
＜ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ｇ２の合成＞
塩化スルフリル９１部、塩化アルミニウム１０９部、塩化ナトリウム１５部、亜鉛フタロシアニン３０部、臭素７４部を仕込んだ。１３０℃まで４０時間かけて昇温し、水に取り出した後、ろ過することにより緑色素顔料を得た。得られた緑色素顔料２０部、粉砕した塩化ナトリウム１４０部、ジエチレングリコール３２部、キシレン１．８部を双腕型ニーダーに仕込み、１００℃で６時間混練した。混練後、８０℃の水１８００部に取り出して、１時間攪拌後、ろ過、湯洗、乾燥、粉砕することにより、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ｇ２を得た。得られたハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ｇ２は、質量分析とフラスコ燃焼イオンクロマトグラフによるハロゲン含有量分析から、ハロゲンと水素の原子比は１４：２であった。【０２１２】
＜ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ｇ３〜Ｇ７の合成＞
添加する臭素の量を調整し、ハロゲンと水素の原子比を下記表のように変更した以外は、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料Ｇ２と同様の方法でハロゲン化フタロシアニン顔料Ｇ３〜Ｇ７を合成した。
【表４】
0006617201.tif 000032
【０２１３】
＜着色組成物の調製＞
下記の組成に記載の原料を混合して、着色組成物を調製した。
なお、実施例４５〜４７は、重合性化合物Ｄとして、Ｄ−１０とＤ−ＣとＤ−Ｄとを質量比で、Ｄ−１０／Ｄ−Ｃ／Ｄ−Ｄ＝１／０．７／０．３の割合で混合して使用し、光重合開始剤としてＯＸＥ０１とＩ−１とを質量比でＯＸＥ０１／Ｉ−１＝５／３．５の割合で混合して使用した。【０２１４】
（組成）実施例１〜４４
・ＰＧＭＥＡ：３５．４７質量部
・下記表に記載の樹脂Ｃ：１．６７質量部
・下記表に記載の重合性化合物：２．４２質量部
・界面活性剤Ｗ−１（シロキサン系）：０．０１質量部
・下記表に記載の光重合開始剤：０．９３質量部
・エポキシ基を有する化合物（（株）ダイセル製  商品名「ＥＨＰＥ３１５０」）：  ０．３４質量部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）：０．０１質量部
・下記表に記載の顔料分散液：５９．１５質量部（固形分換算で１１．８３質量部）【０２１５】
（組成）実施例４５〜４７
・ＰＧＭＥＡ：２５．３３質量部
・下記表に記載の樹脂Ｃ：１．４１質量部
・下記表に記載の重合性化合物：２．１０質量部
・界面活性剤Ｗ−１（シロキサン系）：０．００８質量部
・下記表に記載の光重合開始剤：０．８５質量部
・エポキシ基を有する化合物（（株）ダイセル製  商品名「ＥＨＰＥ３１５０」）：０．３８質量部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）：０．００１１質量部
・下記表に記載の顔料分散液：６９．７３質量部（固形分換算で１３．９８質量部）
・シランカップリング剤１：０．１９質量部【０２１６】
界面活性剤Ｗ−１：下記構造の化合物（重量平均分子量１４０００）
【化２８】
0006617201.tif 000033
シランカップリング剤１：下記構造の化合物（構造式中のＥｔはエチル基である）
【化２９】
0006617201.tif 000034
【０２１７】
【表５】
0006617201.tif 000035
【表６】
0006617201.tif 000036
【０２１８】
（光重合開始剤）
ＯＸＥ  ０１：ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ−０１（ＢＡＳＦ社製）
ＯＸＥ  ０２：ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ−０２（ＢＡＳＦ社製）
Ｉ−１〜Ｉ−３：下記構造の化合物
【化３０】
0006617201.tif 000037
（重合性化合物）
ＴＭＭＴ：新中村化学工業社製  商品名「ＮＫエステルＡ−ＴＭＭＴ」
Ｄ−３、Ｄ−１０：下記構造の化合物
【化３１】
0006617201.tif 000038
【化３２】
0006617201.tif 000039
（樹脂）
Ｃ−１〜Ｃ−１１、Ｃ−１２−１〜Ｃ−１２−６、Ｃ−１３−１〜Ｃ−１３−３、Ｃ−１４、Ｃ−１５、Ｃ−１８、Ｃ−１９、Ｃ−Ａ〜Ｃ−Ｅ：下記構造の樹脂。主鎖に付記した数値はモル比である。
【化３３】
0006617201.tif 000040
【化３４】
0006617201.tif 000041
【化３５】
0006617201.tif 000042
【化３６】
0006617201.tif 000043
【表７】
0006617201.tif 000044
【０２１９】
上記表に記載の共重合成分は以下に示す化合物である。なお、以下の構造式に付記したＣＬｏｇＰの数値は、同化合物のＣＬｏｇＰ値である。
【化３７】
0006617201.tif 000045
【化３８】
0006617201.tif 000046
【０２２０】
＜分光測定用基板の作製＞
ソーダガラス（７５ｍｍ×７５ｍｍ正方、厚さ１．１ｍｍ）上に、各着色組成物をスピンコーター（Ｈ−３６０Ｓ［商品名］、ミカサ（株）製）で塗布した。次いで、ホットプレ−トを用いて、１００℃で２分間プリベークして塗布膜を得た。
得られた塗布膜について、ウシオ電機（株）製の超高圧水銀ランプ（「ＵＳＨ−５００ＢＹ」（商品名））を用いて１０００ｍＪ／ｃｍ２で露光した。続いて、露光後の塗布膜を、空気雰囲気下のホットプレートを用いて、２００℃で５分加熱して、膜厚０．５μｍの硬化膜を得た。
得られた硬化膜について、大塚電子（株）製「ＭＣＰＤ−３０００」（商品名）を用い、４００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲の光透過率（透過率）を測定した。試験は各試料につき５回行い、最大値と最小値を除いた３回の結果の平均値を採用した。【０２２１】
＜耐光性の評価試験＞
（耐光性１）
上記で作製した硬化膜に紫外線カットフィルター（アズワン社製ＫＵ−１０００１００［商品名］）を装着し、耐光試験機（スガ試験機（株）製Ｘｅｎｏｎ  Ｗｅａｔｈｅｒ  Ｍｅｔｅｒ  ＳＸ７５［商品名］）を用いて１０万ｌｕｘの光を５０時間かけて照射（累計で５００万ｌｕｘｈ）して、耐光性試験を行った。硬化膜の温度（試験装置内温度）は６３℃に設定した。試験装置内の相対湿度は５０％とした。耐光性試験の後、硬化膜の透過率の変化量を測定し、以下の基準により耐光性の評価を行った。試験は、同様の条件で作製された硬化膜につき５回行い、最大値と最小値を除いた３回の結果の平均値を採用した。なお、透過率の変化量とは、波長が４００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲において、もっとも透過率変化量が大きい波長についての変化量（｜耐光性試験前の透過率（％）−耐光性試験後の透過率（％）｜）を指す。
５：透過率の変化量が３％以下。
４：透過率の変化量が３％を超えて、５％以下。
３：透過率の変化量が５％を超えて、７％以下。
２：透過率の変化量が７％を超えて、１０％以下。
１：透過率の変化量が１０％を超えている。【０２２２】
（耐光性２）
上記耐光性１の条件に対し、装置内相対湿度を５０％から９０％に変更した以外は、耐光性１と同様の試験方法にて耐光性の評価を行った。【０２２３】
（耐光性３）
上記で作製した硬化膜上に、化学蒸着（ＣＶＤ）法で１００ｎｍのＳｉＯ２膜を蒸着させた。得られた蒸着処理済みの硬化膜に、紫外線カットフィルター（アズワン社製ＫＵ−１０００１００［商品名］）を装着し、耐光試験機（スガ試験機（株）製Ｘｅｎｏｎ  Ｗｅａｔｈｅｒ  Ｍｅｔｅｒ  ＳＸ７５［商品名］）を用いて１０万ｌｕｘの光を５０時間かけて照射（累計で５００万ｌｕｘｈ）して、耐光性試験を行った。硬化膜の温度（試験装置内温度）は６３℃に設定した。試験装置内の相対湿度は５０％とした。耐光性試験の後、硬化膜の透過率の変化量により、以下の基準により耐光性の評価を行った。試験は、同様の条件で作製された硬化膜につき５回行い、最大値と最小値を除いた３回の結果の平均値を採用した。上記同様、透過率の変化量とは、波長が４００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲において、もっとも透過率変化量が大きい波長についての変化量を指す。
５：透過率の変化量が３％以下。
４：透過率の変化量が３％を超えて、５％以下。
３：透過率の変化量が５％を超えて、７％以下。
２：透過率の変化量が７％を超えて、１０％以下。
１：透過率の変化量が１０％を超えている。【０２２４】
（耐光性４）
上記で作製した硬化膜に紫外線カットフィルター（アズワン社製ＫＵ−１０００１００［商品名］）を装着し、耐光試験機（スガ試験機（株）製Ｘｅｎｏｎ  Ｗｅａｔｈｅｒ  Ｍｅｔｅｒ  ＳＸ７５［商品名］）を用いて１０万ｌｕｘの光を１００時間かけて照射（累計で１０００万ｌｕｘｈ）して、耐光性試験を行った。硬化膜の温度（試験装置内温度）は６３℃に設定した。試験装置内の相対湿度は５０％とした。耐光性の評価は耐光性１の評価基準に準ずる。なお、耐光性４の試験は、実施例４１〜４４の硬化膜についてのみ実施した。【０２２５】
＜リソグラフィ性（現像性）の評価試験＞
上記で得られた各着色組成物を、塗布後の膜厚が０．７μｍになるように８インチ（１インチ＝２．５４ｃｍ）のシリコンウェハ上に、東京エレクトロン製Ａｃｔ８［商品名］を用いてスピンコート法で塗布し、その後ホットプレートを用いて、１００℃で２分間加熱して硬化膜を得た。
次いで、得られた硬化膜に対し、ｉ線ステッパー露光装置「ＦＰＡ−３０００ｉ５＋」（商品名、Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、２．０μｍ四方のパターンを有するマスクを介して露光（露光量５０〜１７００ｍＪ／ｃｍ２）した。
次いで、露光後の硬化膜に対し、現像装置（東京エレクトロン製Ａｃｔ８［商品名］）を使用して現像を行った。現像液には水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間シャワー現像を行った。その後、純水を用いたスピンシャワーにてリンスを行い、パターンを得た。
得られたパターンを走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）（Ｓ−４８００Ｈ［商品名］、（株）日立ハイテクノロジーズ製）を用いて、倍率２００００倍で観察した。そして、観察された画像に基づき、以下の基準にしたがってリソグラフィ性能を評価した。リソグラフィ性能の評価試験は、各着色組成物につき３回ずつ行い、その結果を総合して判定した。
５：パターンがはっきりしており、残渣が無い。
４：パターンがはっきりしており、残渣が少ない。
３：パターンがややテーパー形状になっているが、残渣は少ない。
２：パターンがテーパー形状になっており、残渣が多い。
１：パターンが形成されていない。【０２２６】
【表８】
0006617201.tif 000047
【表９】
0006617201.tif 000048
【０２２７】
上記結果から明らかなように、実施例は、耐光性１〜３の全ての評価（実施例４１〜４４は耐光性１〜４の全ての評価）において「３」以上であり、耐光性が優れていた。これに対し、比較例は、耐光性１〜３の評価の少なくとも一つが「１」または「２」であり、耐光性が劣っていた。
［試験例２］【０２２８】
＜ドライエッチング用着色組成物の調製方法＞
（実施例１０１）
・ＰＧＭＥＡ：２２．８３質量部
・樹脂Ｃ−１２−４：１．４７質量部
・界面活性剤Ｗ−１（シロキサン系）：０．０１質量部
・エポキシ基を有する化合物（（株）ダイセル製  商品名「ＥＨＰＥ３１５０」）：  ０．６９質量部
・顔料分散液１：７５．００質量部（固形分換算で１５．００質量部）【０２２９】
（実施例１０２）
・ＰＧＭＥＡ：２２．８０質量部
・樹脂Ｃ−１２−４：１．４７質量部
・重合性化合物（新中村化学工業社製  商品名「ＮＫエステルＡ−ＴＭＭＴ」）：０．７１質量部
・界面活性剤Ｗ−１（シロキサン系）：０．０１質量部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）：０．０１質量部
・下記表に記載の顔料分散液：７５．００質量部（固形分換算で１５．００質量部）【０２３０】
（実施例１０３）
・ＰＧＭＥＡ：２４．５４質量部
・樹脂Ｃ−１２−４：１．５９質量部
・重合性化合物（新中村化学工業社製  商品名「ＮＫエステルＡ−ＴＭＭＴ」）：０．７２質量部
・界面活性剤Ｗ−１（シロキサン系）：０．０１質量部
・光重合開始剤（ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ−０２）：０．２８質量部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）：０．０１質量部
・顔料分散液１：７２．８５質量部（固形分換算で１４．５７質量部）【０２３１】
（実施例１０４）
実施例３１と同組成物。【０２３２】
＜ドライエッチによるパターニング方法＞
上記で得られた各着色組成物を、塗布後の膜厚が０．７μｍになるように８インチ（１インチ＝２．５４ｃｍ）のシリコンウェハ上に、東京エレクトロン製Ａｃｔ８［商品名］を用いてスピンコート法で塗布し、その後ホットプレートを用いて、１００℃で２分間加熱した。次いで、実施例１０３、１０４のみ、更に、ｉ線ステッパー露光装置「ＦＰＡ−３０００ｉ５＋」（商品名、Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、露光量１０００ｍＪ／ｃｍ２で全面露光した。
次いで（実施例１０１、１０２においては上記加熱後、実施例１０２、１０３においては露光後）、空気雰囲気下のホットプレートを用いて、２００℃で５分加熱して、硬化膜（緑色層）を得た。
次いで、硬化膜（緑色層）上に、特開２０１０−１３４２８３号公報の段落０３２８の実施例２に記載のフォトレジスト組成物を塗布し、１２０℃で６０秒間加熱して膜厚０．７μｍのフォトレジスト層を形成した。得られたフォトレジスト層に、ＫｒＦエキシマレーザースキャナー（ＡＳＭＬ製ＰＡＳ５５００/８５０Ｃ、波長２４８ｎｍ、ＮＡ＝０．７０、Ｓｉｇｍａ＝０．８０）を用いて、パターン露光した。照射後に１３０℃で６０秒間加熱し、２．３８質量％テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）水溶液を用いて６０秒間現像した。次いで、３０秒間水でリンスし、さらに１１０℃で１分間のポストベーク処理を実施して、膜厚が０．８μｍのレジストパターンを形成した。
次に、レジストパターンをエッチングマスクとして、上記硬化膜（緑色層）のドライエッチングを以下の手順で行った。
ドライエッチング装置（日立ハイテクノロジーズ社製、Ｕ−６２１）を用い、ＲＦ（高周波）パワー：８００Ｗ、アンテナバイアス：４００Ｗ、ウエハバイアス：２００Ｗ、チャンバーの内部圧力：４．０Ｐａ、基板温度：５０℃、混合ガスのガス種及び流量をＣＦ４：８０ｍＬ／ｍｉｎ、Ｏ２：４０ｍＬ／ｍｉｎ、Ａｒ：８００ｍＬ／ｍｉｎとして、８０秒の第１段階のエッチング処理を実施した。次いで、同一のエッチングチャンバーにて、ＲＦパワー：６００Ｗ、アンテナバイアス：１００Ｗ、ウエハバイアス：２５０Ｗ、チャンバーの内部圧力：２．０Ｐａ、基板温度：５０℃、混合ガスのガス種及び流量をＮ２：５００ｍＬ／ｍｉｎ、Ｏ２：５０ｍＬ／ｍｉｎ、Ａｒ：５００ｍＬ／ｍｉｎとし（Ｎ２／Ｏ２／Ａｒ＝１０／１／１０）、エッチングトータルでのオーバーエッチング率を２０％として、第２段階エッチング処理、オーバーエッチング処理を実施した。
上記条件でドライエッチングを行った後、フォトレジスト剥離液「ＭＳ２３０Ｃ」（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製）を使用して１２０秒間、剥離処理を実施してレジストパターンを除去し、更に純水による洗浄、スピン乾燥を実施した。その後、１００℃で２分間の脱水ベーク処理を行った。以上により、緑色パターンを得た。この緑色パターンのサイズは、０．８μｍであった。
いずれの着色組成物を用いた場合においても、固体撮像素子の作製に好適な、矩形な緑色パターンを形成した。【０２３３】
＜耐光性試験＞
実施例１０１〜１０４の着色組成物を用いたパターンについて、試験例１と同様の耐光性試験を実施したところ、実施例３１と同等の良好な結果が得られた。