(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体中の粒子の数濃度を測定する濃度測定部と、
前記粒子が曝される雰囲気の湿度に対する前記粒子の質量の相関を示す情報と、前記濃度測定部が測定した前記数濃度と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度と、に基づき、前記気体中の粒子の質量濃度を算出するために、前記濃度測定部が数濃度を測定するときの、前記粒子が曝される雰囲気の湿度を測定する湿度測定部と、
前記濃度測定部および前記湿度測定部を収納し、第１吸気口および第１排気口を有する第１筐体と、
前記第１排気口から前記第１筐体内の前記気体を排出する第１排気部と、
を具備し、
前記湿度測定部は前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路において前記濃度測定部より上流に設けられ、
前記濃度測定部は、前記第１筐体内に収納され第２吸気口および第２排気口を有する第２筐体と、前記第２排気口から前記第２筐体内の前記気体を排出する第２排気部と、を備え、
前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路は、前記第２筐体内を通る流路と、前記第２筐体内を通らず前記第１筐体と前記第２筐体との間を通る経路とを有し、
前記第１排気部の流量は前記第２排気部の流量より大きいことを特徴とする測定装置。
【請求項２】
前記濃度測定部の測定間隔をｎ、前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の経路において、前記第２吸気口より前記第１吸気口側の前記第１筐体と前記第２筐体との間の空間の体積をＶとしたとき、
前記第１排気部の流量はＶ／ｎ以上であることを特徴とする請求項１記載の測定装置。
【請求項３】
気体中の粒子の数濃度を測定する濃度測定部と、
前記粒子が曝される雰囲気の湿度に対する前記粒子の質量の相関を示す情報と、前記濃度測定部が測定した前記数濃度と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度と、に基づき、前記気体中の粒子の質量濃度を算出するために、前記濃度測定部が数濃度を測定するときの、前記粒子が曝される雰囲気の湿度を測定する湿度測定部と、
前記濃度測定部および前記湿度測定部を収納し、第１吸気口および第１排気口を有する第１筐体と、
前記第１排気口から前記第１筐体内の前記気体を排出する第１排気部と、
を具備し、
前記湿度測定部は前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路において前記濃度測定部より上流に設けられ、
前記濃度測定部は、前記第１筐体内に収納され第２吸気口および第２排気口を有する第２筐体を備え、
前記第２排気口から前記第２筐体内の前記気体を排出する第２排気部を備えず、
前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路は、前記第２筐体内を通らず前記第１筐体と前記第２筐体との間を通る経路を有さず、
前記湿度測定部は前記第２吸気口より前記第１吸気口側の前記第１筐体と前記第２筐体との間の空間に設けられていることを特徴とする測定装置。
【請求項４】
気体中の粒子の数濃度を測定する濃度測定部と、
前記粒子が曝される雰囲気の湿度に対する前記粒子の質量の相関を示す情報と、前記濃度測定部が測定した前記数濃度と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度と、に基づき、前記気体中の粒子の質量濃度を算出するために、前記濃度測定部が数濃度を測定するときの、前記粒子が曝される雰囲気の湿度を測定する湿度測定部と、
前記濃度測定部および前記湿度測定部を収納し、第１吸気口および第１排気口を有する第１筐体と、
前記第１排気口から前記第１筐体内の前記気体を排出する第１排気部と、
前記濃度測定部に電源を供給する電源部と、
を具備し、
前記湿度測定部は前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路において前記濃度測定部より上流に設けられ、
前記濃度測定部は、前記第１筐体内に収納され第２吸気口および第２排気口を有する第２筐体を備え、
前記電源部は前記第２排気口より前記第１排気口側の前記第１筐体と前記第２筐体との間の空間に設けられていることを特徴とする測定装置。
【請求項５】
前記濃度測定部は、光散乱検出法を用い前記数濃度を測定することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載の測定装置。
【請求項６】
前記粒子が曝される雰囲気の湿度に対する前記粒子の質量の相関を示す情報と、前記濃度測定部が測定した前記数濃度と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度と、に基づき、前記気体中の粒子の質量濃度を算出する算出部を具備することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項記載の測定装置。
【請求項７】
請求項１から５のいずれか一項記載の測定装置と、
前記粒子が曝される雰囲気の湿度に対する前記粒子の質量の相関を示す情報と、前記濃度測定部が測定した前記数濃度と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度と、に基づき、前記気体中の粒子の質量濃度を算出する算出部と、
を具備することを特徴とする測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置および測定システムに関し、例えば粒子の濃度を測定する測定装置および測定システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＰＭ２．５等の空気中の粒子状物質の濃度測定が盛んに行なわれている。気体中の粒子の濃度の単位には、単位体積あたりの気体に含まれる粒子の質量が用いられる。この粒子濃度を質量濃度という。例えばＰＭ２．５の質量濃度の標準的な測定方法としては、フィルタに気体中の粒子を捕集し、質量を測定する方法がある（例えば特許文献１）。また、自動測定が可能な質量濃度の測定方法としてベータ線吸収法がある。フィルタ法やベータ線吸収法によって得られる濃度は質量濃度であり、現在ＰＭ２．５濃度は質量濃度で表示することが一般的である。さらに、簡便な方法として気体中の粒子に光を照射して得られる散乱光により、気体中の粒子数を測定する光散乱検出法がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表平１１−５０２３０３号公報
【特許文献２】特開平８−１５１２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
フィルタを用い粒子を捕集する方法は、一回の測定時間が例えば２４時間以上である。また、自動測定が難しい。ベータ線吸収法は、自動測定が可能である。しかしながら、測定時間は十分短いとはいえない。また、測定装置が大型であり、価格も高い。光散乱検出法は、測定自動化が可能で、測定時間が短い。また、測定装置の小型化が可能であり、低価格である。しかしながら、光散乱検出法で測定できる濃度は、質量濃度ではなく、単位体積あたりの粒子の個数に相当する数濃度である。このため、数濃度から質量濃度への変換のときに精度が低下する。
【０００５】
本測定装置および測定システムは、粒子の濃度を精度よく測定することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
気体中の粒子の数濃度を測定する濃度測定部と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度に対する前記粒子の質量の相関を示す情報と、前記濃度測定部が測定した前記数濃度と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度と、に基づき、前記気体中の粒子の質量濃度を算出するために、前記濃度測定部が数濃度を測定するときの、前記粒子が曝される雰囲気の湿度を測定する湿度測定部と、前記濃度測定部および前記湿度測定部を収納し、第１吸気口および第１排気口を有する第１筐体と、前記第１排気口から前記第１筐体内の前記気体を排出する第１排気部と、を具備し、前記湿度測定部は前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路において前記濃度測定部より上流に設けられ、前記濃度測定部は、前記第１筐体内に収納され第２吸気口および第２排気口を有する第２筐体と、前記第２排気口から前記第２筐体内の前記気体を排出する第２排気部と、を備え、前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路は、前記第２筐体内を通る流路と、前記第２筐体内を通らず前記第１筐体と前記第２筐体との間を通る経路とを有し、前記第１排気部の流量は前記第２排気部の流量より大きいことを特徴とする測定装置を用いる。
気体中の粒子の数濃度を測定する濃度測定部と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度に対する前記粒子の質量の相関を示す情報と、前記濃度測定部が測定した前記数濃度と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度と、に基づき、前記気体中の粒子の質量濃度を算出するために、前記濃度測定部が数濃度を測定するときの、前記粒子が曝される雰囲気の湿度を測定する湿度測定部と、前記濃度測定部および前記湿度測定部を収納し、第１吸気口および第１排気口を有する第１筐体と、前記第１排気口から前記第１筐体内の前記気体を排出する第１排気部と、を具備し、前記湿度測定部は前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路において前記濃度測定部より上流に設けられ、前記濃度測定部は、前記第１筐体内に収納され第２吸気口および第２排気口を有する第２筐体を備え、前記第２排気口から前記第２筐体内の前記気体を排出する第２排気部を備えず、前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路は、前記第２筐体内を通らず前記第１筐体と前記第２筐体との間を通る経路を有さず、前記湿度測定部は前記第２吸気口より前記第１吸気口側の前記第１筐体と前記第２筐体との間の空間に設けられていることを特徴とする測定装置を用いる。
気体中の粒子の数濃度を測定する濃度測定部と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度に対する前記粒子の質量の相関を示す情報と、前記濃度測定部が測定した前記数濃度と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度と、に基づき、前記気体中の粒子の質量濃度を算出するために、前記濃度測定部が数濃度を測定するときの、前記粒子が曝される雰囲気の湿度を測定する湿度測定部と、前記濃度測定部および前記湿度測定部を収納し、第１吸気口および第１排気口を有する第１筐体と、前記第１排気口から前記第１筐体内の前記気体を排出する第１排気部と、前記濃度測定部に電源を供給する電源部と、を具備し、前記湿度測定部は前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路において前記濃度測定部より上流に設けられ、前記濃度測定部は、前記第１筐体内に収納され第２吸気口および第２排気口を有する第２筐体を備え、前記電源部は前記第２排気口より前記第１排気口側の前記第１筐体と前記第２筐体との間の空間に設けられていることを特徴とする測定装置を用いる。
【０００７】
本発明は、上記測定装置と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度に対する前記粒子の質量の相関を示す情報と、前記濃度測定部が測定した前記数濃度と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度と、に基づき、前記気体中の粒子の質量濃度を算出する算出部と、を具備することを特徴とする測定システムを用いる。
【発明の効果】
【０００８】
本測定装置および測定システムによれば、粒子の濃度を精度よく測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、実施例に係る測定装置が用いられる測定システムのブロック図である。
【図２】図２は、実施例に係る測定装置が用いられる測定システムの測定方法を示すフローチャートである。
【図３】図３（ａ）および図３（ｂ）は、経過時間に対する測定槽内の相対湿度および質量測定部が測定した質量を示す図である。
【図４】図４（ａ）から図４（ｃ）は、相対湿度に対する質量を示す図である。
【図５】図５は、実施例１に係る測定装置の模式図である。
【図６】図６は、実施例２に係る測定装置の模式図である。
【図７】図７は、実施例２に用いられる濃度測定部の模式図である。
【図８】図８（ａ）および図８（ｂ）は、それぞれ実施例２の変形例１および変形例２に係る測定装置の模式図である。
【図９】図９（ａ）および図９（ｂ）は、それぞれ実施例２および実施例２の変形例３に係る測定装置の模式図である。
【図１０】図１０（ａ）および図１０（ｂ）は、それぞれ実施例２の変形例４および変形例５に係る測定装置の模式図である。
【図１１】図１１（ａ）および図１１（ｂ）は、それぞれ実施例２の変形例４および変形例５に係る測定装置の模式図である。
【図１２】図１２（ａ）は、実施例２の変形例６に係る測定装置の模式図、図１２（ｂ）は濃度測定部の筐体の模式図である。
【図１３】図１３は、実施例２の変形例７に係る測定装置の模式図である。
【図１４】図１４は、実施例３に係る測定システムのブロック図である。
【図１５】図１５は、コンピュータの画面の例を示す図（その１）である。
【図１６】図１６は、コンピュータの画面の例を示す図（その２）である。
【図１７】図１７は、コンピュータの画面の例を示す図（その３）である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
光散乱検出法で測定できる濃度は、質量濃度ではなく、単位体積あたりの粒子の個数に相当する数濃度である。気体中の粒子の数濃度から質量濃度への変換には、気体の湿度が影響を及ぼす。例えば、気体の湿度が変わると、粒子の吸湿量が変わるために、粒子径の分布や粒子の物理化学的性質が変化する。粒子はさまざまな成分の混合物である。粒子の吸湿性は、粒子の成分によって異なる。例えば、粒子が硫酸アンモニウムである場合、湿度が９０％において、光散乱断面積が乾燥状態の５倍となる。粒子が有機物の場合、光散乱断面積は湿度に余り影響されない。このように、粒子の成分が変化すると、粒子の吸湿性が変化する。粒子の成分は、場所および時期によって変化する。このため、数濃度から質量濃度への変換の精度が低くなる。以下の測定システムでは、粒子の吸湿性を測定することで、粒子の数濃度から質量濃度への変換の精度を高め、粒子の濃度を精度よく測定することができる。
【００１１】
図１は、実施例に係る測定装置が用いられる測定システムのブロック図である。図２は、実施例に係る測定装置が用いられる測定システムの測定方法を示すフローチャートである。
【００１２】
図１に示すように、測定システム１２０は、主に湿度変化部１２、質量測定部１４、算出部１６、測定槽２０および測定装置２５を備えている。測定装置２５は、濃度測定部１８および吸気口２２を供えている。
【００１３】
図１および図２に示すように、吸気口２１は、大気等の気体８０ａを測定槽２０内に導入する。気体８０ａ中の粒子１０が台１５に付着する。湿度変化部１２は、測定槽２０内の粒子１０が曝露される雰囲気の湿度を変化させる（ステップＳ１０）。質量測定部１４は、台１５に付着した気体８０ａ中の粒子１０ａの質量を測定する（ステップＳ１２）。質量測定部１４および台１５は、例えば粒子１０ａを表面に吸着させる水晶振動子である。算出部１６は、粒子１０ａの周りの雰囲気の相対湿度および粒子１０ａの質量から吸湿性パラメータを算出する（ステップＳ１４）。算出部１６は、例えばコンピュータまたはプロセッサである。吸湿性パラメータは、湿度に対する質量の相関を示す情報である。
【００１４】
その後、濃度測定部１８には、吸気口２２により気体８０ｂが導入される。ここで、気体８０ｂ内の粒子１０ｂの成分は、気体８０ａ内の粒子１０ａの成分とほぼ同じである。例えば、気体８０ａと気体８０ｂの収集の場所および／または時期はほぼ同じである。濃度測定部１８は、気体８０ｂ内の粒子１０ｂの数濃度を測定する（ステップＳ１６）。濃度測定部１８は例えば光散乱検出法を用いた数濃度測定器である。このとき、数濃度の測定と同時に気体８０ｂの湿度を測定する。算出部１６は、濃度測定部１８が測定した数濃度と吸湿性パラメータと気体８０ｂの湿度とから気体８０ｂ中の粒子１０ｂの質量濃度を算出する（ステップＳ１８）。
【００１５】
ステップＳ１０からＳ１４における算出部１６の吸湿性パラメータの算出方法について説明する。図３（ａ）および図３（ｂ）は、経過時間に対する測定槽内の相対湿度および質量測定部が測定した質量を示す図である。時間ｔ２までは台１５に粒子１０ａを捕集していない状態である。時間ｔ３以降は台１５に粒子１０ａを捕集させた状態である。時間ｔ１までは、湿度変化部１２は測定槽２０内の湿度を調整しておらず、測定槽２０内の湿度は不定である。質量測定部１４が測定した質量はある値である。時間ｔ１において、湿度変化部１２は、測定槽２０内の湿度を変化し始める。時間ｔ１における測定槽２０内の湿度はｈ１である。湿度は、時間ｔ１からｔ２まで漸次変化する。時間ｔ２における湿度はｈ２である。湿度の変化にともない、台１５の質量が変化する。これは、台１５の表面および／または表面に吸着する粉塵等が吸湿するためである。
【００１６】
時間ｔ２からｔ３において、台１５上に粒子１０ａを捕集する。時間ｔ３の直前において、湿度は不定である。台１５の質量は粒子１０ａが吸着した分重くなる。時間ｔ３からｔ４にかけて測定槽２０内の相対湿度がｈ１からｈ２まで連続的に変化する。湿度の変化にともない、台１５の質量が変化する。
【００１７】
湿度ｈ１およびｈ２は、それぞれ例えば０％および１００％である。相対湿度ｈ１は、水の吸着が無視できる程度の湿度（例えば１０％）でもよい。相対湿度ｈ２は、粒子の濃度を測定する環境において発生しうる最高の湿度でもよい。このように、相対湿度ｈ１およびｈ２は任意に設定できる。
【００１８】
図４（ａ）から図４（ｃ）は、相対湿度に対する質量を示す図である。図４（ａ）に示すように、算出部１６は、図３（ａ）と図３（ｂ）とから、時間ｔ１からｔ２との期間について相対湿度に対する質量の相関曲線９０を算出する。算出部１６は、時間ｔ３からｔ４の期間について相対湿度に対する質量の相関曲線９２を算出する。図４（ｂ）に示すように、算出部１６は、曲線９２から９０を差し引き曲線９４とする。曲線９４は、台１５に粒子１０ａが付着することにより、重くなった質量を示す。粒子１０ａへの水分の吸着がほとんどない湿度ｈ１における質量ｐは、水分を吸着していない粒子１０ａの質量に相当する。図４（ｃ）に示すように、算出部１６は、曲線９４から質量ｐを差し引いた曲線９６を算出する。曲線９６は、粒子１０ａが吸湿することによる質量の増加に相当する。曲線９６を質量ｐで除したものが、単位質量あたりの吸湿性パラメータａ（ｈ）である。吸湿性パラメータａ（ｈ）は、単位質量あたりの乾燥粒子が、相対湿度ｈにおいて吸収する水の質量である。
【００１９】
次に、ステップＳ１８における算出部１６の質量濃度を算出する方法を説明する。濃度測定部１８が測定した数濃度をＣｎ、算出する質量濃度をＣｍとすると、質量濃度Ｃｍは、数濃度Ｃｎと湿度ｈと吸湿性パラメータａ（ｈ）を用い次式となる。
Ｃｍ＝ｋ・Ｃｎ・ａ（ｈ）
ｋは補正係数であり、フィルタを用い粒子を捕集する方法またはベータ線吸収法により求めたＣｍと光散乱検出法を用い求めたＣｎと、湿度の相関を調べることにより求める。ｋが求まれば、Ｃｎとａ（ｈ）からＣｍが算出できる。
【００２０】
測定システム１２０によれば、ステップＳ１４のように、算出部１６は、数濃度を測定する気体８０ｂ内の粒子１０ｂと成分の類似した粒子１０ａの吸湿性パラメータを算出しておく。ステップＳ１８のように、粒子１０ａの吸湿性パラメータと気体８０ｂ中の粒子１０ｂの数濃度と気体８０ｂの湿度とから、気体８０ｂ中の粒子１０ｂの質量濃度を算出する。このように、測定システム１２０は、粒子１０ｂの吸湿性を考慮して粒子１０ｂの質量濃度を算出する。このように、濃度測定部１８が粒子１０の数濃度を測定する。これにより、測定時間を短くできる。算出部１６が数濃度と湿度とから粒子１０の質量濃度を算出する。これにより、質量濃度を精度よく算出することができる。
【００２１】
時間的に粒子１０の成分が変わらない場合、吸湿性パラメータの測定の間隔は数濃度の測定の間隔より長くてもよい。測定した耐湿性パラメータは記憶部に記憶しておき、算出部１６は、質量濃度を算出するときに記憶部から耐湿性パラメータを取得してもよい。
【００２２】
空間的に粒子１０の成分が変わらない場合、吸湿性パラメータを測定する１つの場所に対し、濃度測定部１８を異なる複数の場所に設けてもよい。算出部１６は、質量濃度の算出を行なう算出部を濃度測定部１８ごとに設けてもよい。質量濃度の算出を行なう算出部を複数の濃度測定部１８に対し１つ設けてもよい。
【実施例１】
【００２３】
実施例１は、例えば図１の測定システム１２０に用いられる測定装置２５の例である。図５は、実施例１に係る測定装置の模式図である。図５に示すように、測定装置１００は、筐体３０、濃度測定部１８、排気ファン３６（第１排気部）、湿度センサ３８（湿度測定部）および電源部３９を備えている。濃度測定部１８は、気体中の粒子１０の数濃度を測定する。湿度センサ３８は粒子１０が曝される雰囲気の湿度を測定する。筐体３０は、濃度測定部１８、湿度センサ３８および電源部３９を収納する。筐体３０は、筐体３０（第１筐体）内に気体を吸入するための吸気口３２（第１吸気口）および筐体３０内の気体を排出するための排気口３４（第１排気口）を有する。排気ファン３６は排気口３４から筐体３０内の気体を排出する。電源部３９は濃度測定部１８、湿度センサ３８および排気ファン３６に電源を供給する。矢印８０は、気体の気流を示している。吸気口３２から排気口３４への気体の流路は矢印８０に沿っている。
【００２４】
実施例１によれば、筐体３０が濃度測定部１８および湿度センサ３８を収納する。これにより、濃度測定部１８および湿度センサ３８を適切に保護できる。また、湿度センサ３８は吸気口３２から排気口３４への気体の流路において濃度測定部１８より上流に設けられている。これにより、濃度測定部１８において粒子１０の数濃度を測定するときの粒子１０の周りの湿度を湿度センサ３８でより正確に測定できる。例えば、湿度センサ３８が濃度測定部１８の下流に位置していると、濃度測定部１８により発生した熱により気体の温度が上がり湿度センサ３８の測定した湿度が不正確になることもありうる。
【実施例２】
【００２５】
実施例２は、筐体を有する濃度測定部１８が筐体３０内に収納された例である。図６は、実施例２に係る測定装置の模式図である。図６に示すように、濃度測定部１８は筐体４０（第２筐体）を有している。筐体４０は、気体を筐体４０内に吸入するための吸気口４２（第２吸気口）および筐体４０内の気体を筐体３０内に排出するための排気口４４（第２排気口）を備えている。濃度測定部１８は筐体４０内の気体を筐体３０内に排出する排気ファン（第２排気部）３４を備えている。排気ファン３６は、筐体３０内の気体を矢印８２ａのように流量Ｑ１で排出する。これにより、吸気口３２から筐体３０に気体が矢印８２ｂのように流量Ｑ１で吸入される。排気ファン４６は、筐体４０内の気体を矢印８４ａのように流量Ｑ２で排出する。これにより、吸気口４２から筐体４０に気体が矢印８４ｂのように流量Ｑ２で吸入される。
【００２６】
筐体３０には、湿度センサ３８、気圧センサ３７（気圧測定部）、電源部３９および処理部３５が収納されている。気圧センサ３７は、粒子１０の周りの雰囲気の気圧を測定する。測定された気圧は濃度測定部１８が測定した数濃度を補正するために用いる。数濃度は基準気圧（例えば１気圧）における単位体積内の粒子１０の個数である。このため、粒子１０周りの気圧が基準気圧と異なる場合、補正を行なうことが好ましい。気圧センサ３７は設けられていなくてもよい。処理部３５は、例えばプロセッサである。処理部３５は、湿度センサ３８が測定した湿度に関する情報、気圧センサ３７が測定した気圧に関する情報および濃度測定部１８が測定した数濃度に関する情報を外部機器に送信する。または、湿度に関する情報、気圧に関する情報および数濃度に関する情報から質量濃度を算出し、質量濃度に関する情報を外部機器に送信してもよい。その他の構成は実施例１と同じであり説明を省略する。
【００２７】
図７は、実施例２に用いられる濃度測定部の模式図である。濃度測定部１８は、筐体４０内に光源５０（例えばレーザ）、散乱光検出器５２（例えばフォトダイオード）および回路部５６を備えている。筐体４０内の気体の流路は矢印８４である。光源５０は、吸気口４２から吸入した気体に光５４（例えばレーザ光）を照射する。例えば、光５４の方向と気体の流路と散乱光検出器５２の検出方向は互いに直交している。光５４の方向をＸ方向、気体の流路方向をＹ方向とする。散乱光検出器５２は光５４の−Ｚ方向に設けられており、散乱光検出器５２の検出する視野（検出方向）は＋Ｚ方向である。気体の流れに乗って粒子１０が散乱光検出器５２の視野を通過すると、パルス状の散乱光が発生する。散乱光検出器５２はパルス状の散乱光を検出しパルス信号を出力する。パルス信号の数が粒子１０の数となる。粒子１０の濃度は単位体積の気体に含まれる粒子１０の数である。流量が一定と仮定すると一定の体積は一定時間に対応する。そこで、一定時間における粒子１０の数（パルス信号の数）を計測する。これにより、粒子１０の数濃度が測定できる。なお、前述のように、気圧センサ３７の測定した気圧を用い数濃度を補正してもよい。回路部５６は、パルス信号の数を計測する処理回路および光源５０および散乱光検出器５２に電力を供給する電源回路である。
【００２８】
実施例２のように、濃度測定部１８が筐体４０と、排気口４４から筐体４０内の気体を排出する排気ファン４６を備えている。このような場合においても、湿度センサ３８は吸気口３２から排気口３４への気体の流路において濃度測定部１８より上流に設けられている。これにより、濃度測定部１８において粒子１０の数濃度を測定するときの粒子１０の周りの湿度を湿度センサ３８でより正確に測定できる。
【００２９】
図８（ａ）および図８（ｂ）は、それぞれ実施例２の変形例１および変形例２に係る測定装置の模式図である。図８（ａ）に示すように、実施例１の変形例１の測定装置１０２には、排気ファン３６が設けられていない。その他の構成は、実施例２と同じであり、説明を省略する。
【００３０】
実施例２の変形例１では、筐体３０への気体の吸入および排出が自然拡散により行なわれる。このため、筐体３０外と筐体３０内が同一の環境（例えば粒子１０の濃度、湿度、および温度等）とならない。このため、濃度測定の精度およびレスポンスが低下する。また、濃度測定部１８、電源部２９および処理部３５等から発生した熱が排出され難く、筐体３０内の環境（例えば湿度および温度）が外部の環境と異なってしまう。また、筐体４０内の流路に位置する筐体４０の内面等に粒子１０が吸着する。吸着した粒子１０が筐体４０から放出される。このため、筐体４０からの排気の粒子１０の濃度は筐体４０に吸入される粒子１０の濃度と異なる。濃度測定部１８が排出した気体が矢印８６のように、筐体４０の吸気口４２に回りこむと、数濃度の測定値が不正確になる可能性がある。
【００３１】
上記実施例２の変形例１の問題を解決するため実施例２の変形例２が考えられる。図８（ｂ）に示すように、実施例２の変形例２の測定装置１０３においては、隔壁４８により、筐体４０の吸気口４２と排気口４４とが隔離されている。その他の構成は比較例１と同じであり説明を省略する。
【００３２】
実施例２の変形例２に係る測定装置１０３では、排気ファン４６の気流により、筐体３０内に気体が流入する。また、濃度測定部１８、電源部２９および処理部３５等から発生した熱が排出されやすい。これにより、筐体３０内の環境を筐体３０外部の環境に近づけることができる。さらに、筐体４０の排気が吸気口４２に回りこむことを抑制できる。
【００３３】
濃度測定部１８に電源を供給する電源部３９を吸気口３２から排気口３４への気体の流路において濃度測定部１８より下流に設けることが好ましい。これにより、電源部３９で発生した熱が湿度センサ３８や濃度測定部１８に影響することを抑制できる。処理部３５を濃度測定部１８より下流に設けることが好ましい。これにより、処理部３５で発生した熱が湿度センサ３８や濃度測定部１８に影響することを抑制できる。
【００３４】
しかしながら、排気ファン４６から見た場合の測定装置１０３の総流体抵抗が濃度測定部１８単体の場合に比べ大きくなる。このため、濃度測定部１８内を通過する気体の流量が、濃度測定部１８を単体で用いる場合に比べ小さくなる。体積を時間で見積もる場合、流量が異なると数濃度は不正確となる可能性がある。
【００３５】
図６のように、実施例２では、吸気口３２から排気口３４への気体の流路として、筐体４０内を通る流路８７と、筐体４０内を通らず筐体３０と筐体４０との間を通る経路８８とを有する。これにより、濃度測定部１８内を通過する気体の流量が、濃度測定部１８を単体で用いる場合に比べ異なることを抑制できる。排気ファン３６の流量Ｑ１は排気ファン４６の流量Ｑ２より大きい。これにより、図８（ａ）のように、排気ファン４６の排気が吸気口４２に回りこむことを抑制できる。よって、筐体３０の外部と湿度、温度および／または粒子１０の濃度が異なる気体が吸気口４２に回りこむことが抑制でき、数濃度の測定値の精度を高めることができる。
【００３６】
濃度測定部１８が吸入する気体が筐体３０の外部の気体の変化（例えば湿度および／または粒子１０の濃度の変化）にすばやく追随することが好ましい。そこで、濃度測定部１８の測定間隔をｎ、気体の経路において、吸気口４２より吸気口３２側の筐体３０と筐体４０との間の空間の体積をＶとしたとき、排気ファン４６の流量Ｑ１をＶ／ｎ以上とする。これにより、濃度測定部１８の測定間隔内に体積Ｖ内の気体を外部の気体１回以上置換することができる。
【００３７】
以下、体積Ｖの求め方を説明する。図９（ａ）から図１０（ｂ）は、それぞれ実施例２および実施例２の変形例３から５に係る測定装置の模式図である。湿度センサ３８、気圧センサ３７、電源部３９および処理部３５の図示は省略している。
【００３８】
図９（ａ）に示すように、実施例２の測定装置１０１では、吸気口４２付近の気流の方向（矢印８４ｂ）は筐体３０内の気流の方向（矢印８２）とほぼ平行であり、排気口４４付近の気流の方向（矢印８４ａ）と同じ方向である。このとき、体積Ｖは、吸気口４２を含む平面６２と吸気口３２を含む筐体３０の内面６４で囲まれる空間６０の体積とする。
【００３９】
図９（ｂ）に示すように、実施例２の変形例３の測定装置１０４では、吸気口４２付近の気流の方向（矢印８４ｂ）は筐体３０内の気流の方向（矢印８２）と直交する。吸気口４２付近の気流の方向（矢印８４ｂ）は排気口４４付近の気流の方向（矢印８４ａ）と逆方向である。吸気口４２は排気口４４より吸気口３２側に位置する。このとき、体積Ｖは、吸気口４２のうち筐体３０内の気流の最も下流側の端を含み筐体３０内の気流の方向（矢印８２）と直交する平面６２と吸気口３２を含む内面６４と筐体４０とで囲まれる空間６０の体積とする。
【００４０】
図１０（ａ）に示すように、実施例２の変形例４の測定装置１０５では、吸気口４２付近の気流の方向（矢印８４ｂ）は筐体３０内の気流の方向（矢印８２）と直交する。吸気口４２付近の気流の方向（矢印８４ｂ）は排気口４４付近の気流の方向（矢印８４ａ）と逆方向である。吸気口４２および排気口４４は吸気口３２から同じ距離に位置する。このとき、体積Ｖは、吸気口４２のうち筐体３０内の気流の最も下流側の端を含み筐体３０内の気流の方向（矢印８２）と直交する平面６２と吸気口３２を含む内面６４と筐体４０とで囲まれる空間６０の体積とする。
【００４１】
図１０（ｂ）に示すように、実施例２の変形例５の測定装置１０６では、吸気口４２付近の気流の方向（矢印８４ｂ）は筐体３０内の気流の方向（矢印８２）と直交する。吸気口４２付近の気流の方向（矢印８４ｂ）は排気口４４付近の気流の方向（矢印８４ａ）と同じ方向である。このとき、体積Ｖは、吸気口４２のうち筐体３０内の気流の最も下流側の端を含み筐体３０内の気流の方向（矢印８２）と直交する平面６２と吸気口３２を含む内面６４と筐体４０とで囲まれる空間６０の体積とする。
【００４２】
図９（ａ）から図１０（ｂ）のように、実施例２およびその変形例３から５においては、体積Ｖは、平面６２と吸気口３２を含む内面６４と筐体４０とで囲まれる空間６０の体積である。ここで、平面６２は、吸気口４２のうち筐体３０内の気流の最も下流側の端を含み筐体３０内の気流の方向（矢印８２）と直交する平面である。
【００４３】
次に、湿度センサ３８を設ける好ましい空間について説明する。図１１（ａ）および図１１（ｂ）は、それぞれ実施例２の変形例４および５に係る測定装置の模式図である。湿度センサ、電源部、処理部の図示は省略している。
【００４４】
図９（ａ）に示すように、実施例２の測定装置１０１では、湿度センサ３８を吸気口４２を含む平面６２と吸気口３２を含む筐体３０の内面６４で囲まれる空間６０に設ける。図９（ｂ）に示すように、実施例２の変形例３の測定装置１０４では、湿度センサ３８を平面６２と吸気口３２を含む内面６４と筐体４０とで囲まれる空間６０に設ける。これにより、湿度センサ３８を、熱源である濃度測定部１８より上流側に設けることができる。
【００４５】
図９（ａ）および図９（ｂ）のように、実施例２およびその変形例３においては、吸気口４２と排気口４４の配置方向が、筐体３０内の気流の方向８２と同じである。このとき、湿度センサ３８を平面６２と吸気口３２を含む内面６４と筐体４０とで囲まれる空間６０に設ける。これにより、湿度センサ３８を吸気口４２の上流に設けることができる。また、気圧センサ３７を空間６０に設けることが好ましい。なお、吸気口４２と排気口４４の配置方向は、吸気口４２の中心から排気口４４の中心へ向かう方向である。
【００４６】
図１１（ａ）および図１１（ｂ）に示すように、実施例２の変形例４および５の測定装置１０５および１０６では、吸気口４２および排気口４４は吸気口３２から同じ距離に位置する。この場合、排気口４４の排気が湿度センサ３８に影響しないことが好ましい。吸気口４２の中心６１ｂと排気口４４の中心６１ａとを結ぶ直線を直線６３とし、中心６１ａおよび６１ｂの中点を中点６５とする。湿度センサ３８を、中点６５を通り直線６３と直交する平面６６、平面６２および内面６４と筐体４０とで囲まれる空間６０に設ける。これにより、湿度センサ３８を、熱源である濃度測定部１８より上流側に設けることができる。
【００４７】
図１１（ａ）および図１１（ｂ）のように、実施例２の変形例４および５においては、吸気口４２と排気口４４の配置方向が、筐体３０内の気流の方向８２と異なる。このとき、湿度センサ３８を平面６２と内面６４と平面６６と筐体４０とで囲まれる空間６０に設ける。これにより、湿度センサ３８を吸気口４２の上流に設けることができる。また、気圧センサ３７を空間６０に設けることが好ましい。
【００４８】
図１２（ａ）は、実施例２の変形例６に係る測定装置の模式図、図１２（ｂ）は濃度測定部の筐体の模式図である。図１２（ａ）に示すように、測定装置１０７において、筐体４０の外には湿度センサ３８は設けられていない。図１２（ｂ）に示すように、筐体４０内において光源５０および散乱光検出器５２の上流に湿度センサ３８が設けられている。その他の構成は実施例２と同じである。
【００４９】
実施例２の変形例６のように、湿度センサ３８は筐体４０内に設けられていてもよい。この場合、光源５０および散乱光検出器５２を濃度測定部とすれば、湿度センサ３８は濃度測定器の上流に設けられている。なお、光源５０は散乱光検出器５２より発生する熱が大きい。よって、湿度センサ３８は少なくとも光源５０より上流に設けることが好ましい。さらに、散乱光検出器５２を光源５０より上流に設けることが好ましい。
【００５０】
図１３は、実施例２の変形例７に係る測定装置の模式図である。図１３に示すように、測定装置１０８において、濃度測定部１８は排気ファン４６を有していない。または、排気ファン４６が作動していない。隔壁４８により、筐体４０の吸気口４２と排気口４４とが隔離されている。湿度センサ３８および気圧センサ３７は隔壁４８の吸気口３２側に設けられている。電源部３９および処理部３５は、隔壁４８の排気口３４側に設けられている。その他の構成は実施例２と同じであり説明を省略する。
【００５１】
実施例２の変形例７では、排気ファンを二重に設けないため、消費電力を抑制できる。隔壁４８により、吸気口４２から吸入した気体は全て筐体４０内を通過し、排気口４４から排出される。そこで、排気ファン３６の流量Ｑ１を、実施例２において濃度測定部１８単体のとき（筐体３０に収納していないとき）の排気ファン４６の流量Ｑ２と同じとする。これにより、粒子１０の濃度測定のための体積を濃度測定部１８単体のとき同じとできる。また、流量Ｑ１とＱ２とが異なる場合、測定された数濃度にＱ１／Ｑ２を乗ずることで数濃度を補正することもできる。さらに、濃度測定部１８を筐体３０に収納した状態で、数濃度の再校正を行なってもよい。
【実施例３】
【００５２】
実施例３は、実施例１、実施例２およびその変形例に係る測定装置を用いたＰＭ２．５の測定システムの例である。図１４は、実施例３に係る測定システムのブロック図である。測定システム１０９は、測定装置７０ａから７０ｄ，ＩＳＰ（Internet Service Provider）装置７１、中継装置７２、商用電源７３ａ、太陽電池７３ｂ、サーバ７４ａから７４ｃ、コンピュータ７４ｄを備えている。測定装置７０ａ、ＩＳＰ装置７１、中継装置７２、サーバ７４ａから７４ｃおよびコンピュータ７４ｄはインターネット網７５により接続されている。測定装置７０ａから７０ｄは実施例１、実施例２およびその変形例に係る測定装置であり、大きさ（粒子が球状の場合直径）が概ね２．５μｍ以下の粒子の数濃度を測定する。各測定装置７０ａから７０ｄはそれぞれ設置場所１１０ａから１１０ｄに設置されている。データ収集用サーバ７４ａは各設置場所１１０ａから１１０ｄにおける測定装置７０ａから７０ｄの粒子１０の濃度情報をリアルタイムに収集する。データ保存用サーバ７４ｂは収集された濃度情報を保存する。データ配信用サーバ７４ｃは保存された濃度情報をコンピュータ７４ｄに配信する。
【００５３】
設置場所１１０ａは、例えば事業所などの屋外である。測定装置７０ａを設置する場所では商用電源７３ａを使用できるが有線ＬＡＮ（Local Area Network）７１ａを使用できない。そこで、測定装置７０ａの電源として商用電源７３ａを用いる。測定装置７０ａとデータ収集用サーバ７４ａとのデータの送受信は、移動体通信網等の無線網を用いＩＳＰ装置７１を介して行なう。
【００５４】
設置場所１１０ｂは、例えば個人宅などの室内である。測定装置７０ｂを設置する場所では商用電源７３ａおよび有線ＬＡＮ７１ａを使用できる。そこで、測定装置７０ｂの電源として商用電源７３ａを用いる。測定装置７０ｂとデータ収集用サーバ７４ａとのデータの送受信は、有線ＬＡＮ（Local Area Network）を介して行なう。
【００５５】
設置場所１１０ｃは、学校などの屋外である。測定装置７０ｃを設置する場所では商用電源７３ａおよび有線ＬＡＮ７１ａを使用できない。設置場所１１０ｃの敷地内には、商用電源７３ａおよび有線ＬＡＮ７１ａを使用できる場所がある。そこで、測定装置７０ｃの電源として太陽電池７３ｂを用いる。設置場所１１０ｃ内に中継装置７２を設置する。中継装置７２の電源として商用電源７３ａを用いる。測定装置７０ｃと中継装置７２との間のデータの送受信は特定省電力無線などの無線を用いる。中継装置７２とデータ収集用サーバ７４ａとのデータの送受信は有線ＬＡＮ７１ａを用いる。このように、測定装置７０ｃとデータ収集用サーバ７４ａとのデータの送受信は中継装置７２および有線ＬＡＮ７１ａを介して行なう。
【００５６】
設置場所１１０ｄは、山の中である。測定装置７０ｄを設置する場所では商用電源７３ａおよび有線ＬＡＮ７１ａを使用できない。設置場所１１０ｄの敷地内には、商用電源７３ａおよび有線ＬＡＮ７１ａを使用できる場所もない。そこで、測定装置７０ｄの電源として太陽電池７３ｂを用いる。測定装置７０ｄとデータ収集用サーバ７４ａとのデータの送受信は、移動体通信網等の無線網を用いＩＳＰ装置７１を介して行なう。
【００５７】
以上のように、測定装置７０ａから７０ｄの電源として商用電源７３ａおよび太陽電池７３ｂ等の各種電源を適宜使用できる。測定装置７０ａから７０ｄとデータ収集用サーバ７４ａとのデータの送受信には、有線ＬＡＮ、移動体通信網および特定省電力無線等の各種通信方式を適宜使用できる。
【００５８】
測定装置７０ａから７０ｄにおいて、粒子１０の数濃度から質量濃度を算出してもよい。測定装置７０ａから７０ｄは、粒子１０の数濃度に関するデータおよび湿度に関するデータをデータ収集用サーバ７４ａに送信し、データ収集用サーバ７４ａにおいて、質量濃度を算出してもよい。データ収集用サーバ７４ａとは別に質量濃度を算出するコンピュータが設けられていてもよい。
【００５９】
測定装置７０ａから７０ｄがデータ収集用サーバ７４ａにＰＭ２．５の濃度を送信する間隔は任意に設定できる。測定装置７０ａから７０ｄに光散乱方式を用いれば、例えば１秒間隔でＰＭ２．５の濃度を送信することもできる。このように、ＰＭ２．５濃度をリアルタイムに収集できる。
【００６０】
ユーザは、コンピュータ７４ｄのｗｅｂプラウザを使用してデータ配信用サーバ７４ｃにアクセスする。データ配信用サーバ７４ｃは、データ保存用サーバ７４ｂに保存されたＰＭ２．５濃度のデータからコンピュータ７４ｄの要求に応じて、ＰＭ２．５濃度の測定値を提供できる。ＰＭ２．５濃度としては、リアルタイムの測定値または過去のＰＭ２．５濃度の測定値を提供できる。
【００６１】
図１５から図１７は、コンピュータの画面の例を示す図である。図１５に示すように、データ配信用サーバ７４ｃにアクセスすると、コンピュータ６４ｄの画面７８にはＰＭ２．５濃度情報提供ページとして日本地図７６ａが表示される。画面７８には「都道府県をクリックで選択してください」と記載されている。日本地図７６ａ内の都道府県をクリックする。例えば東京都７６ｂをクリックする。
【００６２】
図１６に示すように、コンピュータ７４ｄの画面７８には東京都の測定局として、東京都の地図７６ｃと測定局の所在地が表示される。測定局の所在地は測定装置７０ａから７０ｄが設置されている場所である。地図７６ｃ上には測定局の所在地を中心とした円が図示される。円７６ｄの大きさはＰＭ２．５濃度に比例する。円７６ｄの近くの数字はＰＭ２．５濃度μｇ／ｍ３である。円７６ｄの大きさでＰＭ２．５濃度を図示しているためユーザは視覚的にＰＭ２．５濃度および分布を認識できる。地図７６ｄの下にさらに詳細な地図の階層を設けてもよい。画面内に「数値を見る」と表示されたバーナ７６ｅと「過去のデータのダウンロード」とのバーナ７６ｆが表示されている。バーナ７６ｅをクリックすると、地図７６ｃ上に「測定局を選択してください」と表示される。数値を見る測定局をクリックする。
【００６３】
図１７に示すように、ＡＡＡＡＡ市ＢＢＢＢＢ町の大気環境データが表示される。データは例えば最近２０分のものである。測定局の時刻、温度、湿度、気圧およびＰＭ２．５濃度が時系列に表示される。図１６において、バーナ７６ｆをクリックし、測定局をクリックすると、過去の時系列データを例えばｃｓｖ形式でダウンロードできる。
【００６４】
実施例３によれば、小型で安価な測定装置７０ａから７０ｄにより粒子の質量濃度を得ることができる。これにより、測定装置７０ａから７０ｄを多数設置することが容易となる。測定装置７０ａから７０ｄをサーバ７４ａから７４ｄにインターネット網７５を用い接続する。これにより、ユーザはコンピュータ７４ｄを用い、所望の地域のＰＭ２．５濃度をリアルタイムに知ることができる。測定装置７０ａから７０ｄの測定間隔を例えば１秒とできるため、大気中のＰＭ２．５の動向をきめ細やかにとらえることができる。
【００６５】
なお、実施例３では、ＰＭ２．５濃度を例に説明したが、ＰＭ２．５濃度以外の大気中の粒子の質量濃度を測定することもできる。
【００６６】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００６７】
なお、以上の説明に関して更に以下の付記を開示する。
（付記１）気体中の粒子の数濃度を測定する濃度測定部と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度に対する前記粒子の質量の相関を示す情報と、前記濃度測定部が測定した前記数濃度と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度と、に基づき、前記気体中の粒子の質量濃度を算出するために、前記濃度測定部が数濃度を測定するときの、前記粒子が曝される雰囲気の湿度を測定する湿度測定部と、前記濃度測定部および前記湿度測定部を収納し、第１吸気口および第１排気口を有する第１筐体と、前記第１排気口から前記第１筐体内の前記気体を排出する第１排気部と、を具備し、前記湿度測定部は前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路において前記濃度測定部より上流に設けられていることを特徴とする測定装置。
（付記２）前記濃度測定部は、第２吸気口および第２排気口を有する第２筐体と、前記第２排気口から前記第２筐体内の前記気体を排出する第２排気部と、を備え、前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路は、前記第２筐体内を通る流路と、前記第２筐体内を通らず前記第１筐体と前記第２筐体との間を通る経路とを有し、前記第１排気部の流量は前記第２排気部の流量より大きいことを特徴とする付記１記載の測定装置。
（付記３）前記濃度測定部の測定間隔をｎ、前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の経路において、前記第２吸気口より前記第１吸気口側の前記第１筐体と前記第２筐体との間の空間の体積をＶとしたとき、前記第１排気部の流量はＶ／ｎ以上であることを特徴とする付記２記載の測定装置。
（付記４）前記濃度測定部は、第２吸気口および第２排気口を有する第２筐体を備え、前記第２排気口から前記第２筐体内の前記気体を排出する第２排気部を備えず、前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路は、前記第２筐体内を通らず前記第１筐体と前記第２筐体との間を通る経路を有さず、前記湿度測定部は前記第２吸気口より前記第１吸気口側の前記第１筐体と前記第２筐体との間の空間に設けられていることを特徴とする付記１記載の測定装置。
（付記５）前記濃度測定部に電源を供給する電源部を具備し、前記電源部は前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路において前記濃度測定部より下流に設けられていることを特徴とする付記１から４のいずれか一項記載の測定装置。
（付記６）前記濃度測定部は、光散乱検出法を用い前記数濃度を測定することを特徴とする付記１から５のいずれか一項記載の測定装置。
（付記７）前記粒子が曝される雰囲気の湿度に対する前記粒子の質量の相関を示す情報と、前記濃度測定部が測定した前記数濃度と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度と、に基づき、前記気体中の粒子の質量濃度を算出する算出部を具備することを特徴とする付記１から６のいずれか一項記載の測定装置。
（付記８）前記空間は、前記第２吸気口のうち前記第２筐体内の気流の最も下流側の端を含み前記第２筐体内の気流の方向と直交する平面と、前記第１吸気口を含む前記第１筐体の内面と、第２筐体と、で囲まれる空間であることを特徴とする付記３記載の測定装置。
（付記９）前記第２吸気口と前記第２排気口の配列方向が前記第１筐体内の気流の流れと平行なとき、前記湿度測定部は、前記第２吸気口のうち前記第２筐体内の気流の最も下流側の端を含み前記第２筐体内の気流の方向と直交する平面と、前記第１吸気口を含む前記第１筐体の内面と、第２筐体と、で囲まれる空間に設けられていることを特徴とする付記２記載の測定装置。
（付記１０）前記第２吸気口と前記第２排気口の配列方向が前記第１筐体内の気流の流れと異なるとき、前記湿度測定部は、前記第２吸気口のうち前記第２筐体内の気流の最も下流側の端を含み前記第２筐体内の気流の方向と直交する平面と、前記第２吸気口の中心と前記第２排気口の中心との中点を通り、前記第２吸気口の中心と前記第２排気口の中心とを結ぶ直線に直交する平面と、前記第１吸気口を含む前記第１筐体の内面と、第２筐体と、で囲まれる空間に設けられていることを特徴とする付記２記載の測定装置。
（付記１１）前記濃度測定部が測定した数濃度を補正するための気圧を測定する気圧測定部を具備し、前記気圧測定部は前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路において前記濃度測定部より上流に設けられていることを特徴とする付記１から１０のいずれか一項記載の測定装置。
（付記１２）気体中の粒子の数濃度を測定する濃度測定部と、前記濃度測定部が数濃度を測定するときの、前記粒子が曝される雰囲気の湿度を測定する湿度測定部と、前記濃度測定部および前記湿度測定部を収納し、第１吸気口および第１排気口を有する第１筐体と、前記第１排気口から前記第１筐体内の前記気体を排出する第１排気部と、を具備し、前記湿度測定部は前記第１吸気口から前記第１排気口への前記気体の流路において前記濃度測定部より上流に設けられている測定装置と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度に対する前記粒子の質量の相関を示す情報と、前記濃度測定部が測定した前記数濃度と、前記粒子が曝される雰囲気の湿度と、に基づき、前記気体中の粒子の質量濃度を算出する算出部と、を具備することを特徴とする測定システム。
【符号の説明】
【００６８】
１０            粒子
１６            算出部
１８            濃度測定部
２５、７０ａ−７０ｄ測定装置
３０、４０            筐体
３２、４２      吸気口
３４、４４      排気口
３６、４６      排気ファン
３７            気圧センサ
３８            湿度センサ
３９            電源部
【図１】
0006515683.tif 000002
【図２】
0006515683.tif 000003
【図３】
0006515683.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0006515683.tif 000007
【図７】
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【図８】
0006515683.tif 000009
【図９】
0006515683.tif 000010
【図１０】
0006515683.tif 000011
【図１１】
0006515683.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
0006515683.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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