(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を所定の位置に供給する供給装置であって、
前記被搬送物を収容可能な第１収容手段および第２収容手段と、
前記第１収容手段または前記第２収容手段に収容された被搬送物を保持して所定の取出方向に移動させて取り出すことで、当該被搬送物を所定の受渡位置に配置させる取出手段とを備え、
前記取出手段で前記第１収容手段から前記被搬送物を取り出す動作が行われている最中に第１信号が入力されると、前記第２収容手段が前記第１収容手段と前記受渡位置との間に位置し、前記取出手段が当該第２収容手段から前記被搬送物を取り出す動作を開始し、
前記取出手段で前記第２収容手段から前記被搬送物を取り出す動作が行われている最中に第２信号が入力されると、前記第２収容手段が前記第１収容手段と前記受渡位置との間から退避し、前記取出手段が当該第１収容手段から前記被搬送物を取り出す動作を開始することを特徴とする供給装置。
【請求項２】
被搬送物を所定の位置に供給する供給装置であって、
前記被搬送物を収容可能な第１収容手段および第２収容手段と、
前記第１収容手段または前記第２収容手段に収容された被搬送物を保持して所定の取出方向に移動させて取り出すことで、当該被搬送物を所定の受渡位置に配置させる取出手段と、
前記第１収容手段と前記受渡位置との間に前記第２収容手段を位置させた状態で、前記第１収容手段を前記取出手段から仕切る仕切手段とを備え、
前記取出手段で前記第１収容手段から前記被搬送物を取り出す動作が行われている最中に第１信号が入力されると、前記第２収容手段が前記第１収容手段と前記受渡位置との間に位置し、前記取出手段が当該第２収容手段から前記被搬送物を取り出す動作を開始することを特徴とする供給装置。
【請求項３】
被搬送物を所定の位置に供給する供給方法であって、
第１収容手段および第２収容手段に前記被搬送物を収容する工程と、
前記第１収容手段または前記第２収容手段に収容された被搬送物を取出手段で保持して所定の取出方向に移動させて取り出すことで、当該被搬送物を所定の受渡位置に配置させる工程と、
前記取出手段で前記第１収容手段から前記被搬送物を取り出す動作が行われている最中に第１信号が入力されると、前記第２収容手段が前記第１収容手段と前記受渡位置との間に位置し、前記取出手段が当該第２収容手段から前記被搬送物を取り出す動作を開始する工程と、
前記取出手段で前記第２収容手段から前記被搬送物を取り出す動作が行われている最中に第２信号が入力されると、前記第２収容手段が前記第１収容手段と前記受渡位置との間から退避し、前記取出手段が当該第１収容手段から前記被搬送物を取り出す動作を開始する工程とを備えていることを特徴とする供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、供給装置および供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、第１収容手段および第２収容手段に収容された被搬送物を取り出して、当該被搬送物に対して処理を行う装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−３１９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の装置では、フレーム部材（被搬送物）を所定の目的位置に搬送する搬送手段が、第２フレーム収容手段（第２収容手段）から第１フレーム収容手段（第１収容手段）にフレーム部材を移載する移載動作をも行う構成となっているため、当該搬送手段の制御が複雑になるという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、被搬送物を所定の目的位置に搬送する搬送手段の制御が複雑になることを防止することができる供給装置および供給方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の供給装置は、被搬送物を所定の位置に供給する供給装置であって、前記被搬送物を収容可能な第１収容手段および第２収容手段と、前記第１収容手段または前記第２収容手段に収容された被搬送物を保持して所定の取出方向に移動させて取り出すことで、当該被搬送物を所定の受渡位置に配置させる取出手段とを備え、前記取出手段で前記第１収容手段から前記被搬送物を取り出す動作が行われている最中に第１信号が入力されると、前記第２収容手段が前記第１収容手段と前記受渡位置との間に位置し、前記取出手段が当該第２収容手段から前記被搬送物を取り出す動作を開始し、前記取出手段で前記第２収容手段から前記被搬送物を取り出す動作が行われている最中に第２信号が入力されると、前記第２収容手段が前記第１収容手段と前記受渡位置との間から退避し、前記取出手段が当該第１収容手段から前記被搬送物を取り出す動作を開始する、という構成を採用している。
【０００７】
また、本発明の供給装置は、被搬送物を所定の位置に供給する供給装置であって、前記被搬送物を収容可能な第１収容手段および第２収容手段と、前記第１収容手段または前記第２収容手段に収容された被搬送物を保持して所定の取出方向に移動させて取り出すことで、当該被搬送物を所定の受渡位置に配置させる取出手段と、前記第１収容手段と前記受渡位置との間に前記第２収容手段を位置させた状態で、前記第１収容手段を前記取出手段から仕切る仕切手段とを備え、前記取出手段で前記第１収容手段から前記被搬送物を取り出す動作が行われている最中に第１信号が入力されると、前記第２収容手段が前記第１収容手段と前記受渡位置との間に位置し、前記取出手段が当該第２収容手段から前記被搬送物を取り出す動作を開始することを特徴とする。
【０００８】
一方、本発明の供給方法は、被搬送物を所定の位置に供給する供給方法であって、第１収容手段および第２収容手段に前記被搬送物を収容する工程と、前記第１収容手段または前記第２収容手段に収容された被搬送物を取出手段で保持して所定の取出方向に移動させて取り出すことで、当該被搬送物を所定の受渡位置に配置させる工程と、前記取出手段で前記第１収容手段から前記被搬送物を取り出す動作が行われている最中に第１信号が入力されると、前記第２収容手段が前記第１収容手段と前記受渡位置との間に位置し、前記取出手段が当該第２収容手段から前記被搬送物を取り出す動作を開始する工程と、前記取出手段で前記第２収容手段から前記被搬送物を取り出す動作が行われている最中に第２信号が入力されると、前記第２収容手段が前記第１収容手段と前記受渡位置との間から退避し、前記取出手段が当該第１収容手段から前記被搬送物を取り出す動作を開始する工程とを備えている、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、第２収容手段を第１収容手段と受渡位置との間に位置させ、取出手段が当該第２収容手段から被搬送物を取り出す動作を開始するので、被搬送物を所定の目的位置に搬送する搬送手段は、受渡位置と所定の目的位置との間の往復動作だけで済むようになり、その制御が複雑になることを防止することができる。
【００１０】
この際、仕切手段を備えていれば、取出手段が被搬送物を取り出す位置に対し、第１収容手段を離間接近させるときに、作業者が取出手段に接触することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る処理装置の平面図。
【図２】処理装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中下側から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸と平行な図１中手前方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１、２において、処理装置１０は、被搬送物としてのリングフレームＲＦを収容可能な第１収容手段２０および第２収容手段３０と、第１収容手段２０または第２収容手段３０に収容されたリングフレームＲＦを保持して所定の取出方向ＤＡに移動させて取り出すことで、当該リングフレームＲＦを所定の受渡位置ＰＡに配置させる取出手段４０と、第１収容手段２０と受渡位置ＰＡとの間に第２収容手段３０を位置させた状態で、第１収容手段２０を取出手段４０から仕切る仕切手段５０とを備え、その全体がベース手段６０に支持され、受渡位置ＰＡに配置されたリングフレームＲＦを保持アーム７１で受け取り、当該リングフレームＲＦを所定の目的位置としての作業台７２上に搬送する搬送手段であって駆動機器としての多関節ロボット７３の近傍に配置されている。なお、第１、第２収容手段２０、３０と取出手段４０と仕切手段５０とで本発明の供給装置が構成されている。
【００１４】
第１収容手段２０は、リングフレームＲＦを上下方向に収容可能な第１カセット２１と、第１カセット２１の底面に設けられた車輪２２とを備えている。第１カセット２１は、その下部に形成され、収容したリングフレームＲＦの残量が少なくなったこと、または、無くなったことを確認できる窓２１Ａと、第１カセット２１を固定する固定穴２１Ｂが形成され、当該第１カセット２１の位置決めが可能な位置決めピン２１Ｃとを備えている。
【００１５】
第２収容手段３０は、ベース手段６０の上面に支持された駆動機器としてのリニアモータ３１と、リニアモータ３１のスライダ３１Ａに支持されたアーム３２に支持され、リングフレームＲＦを上下方向に収容可能な第２カセット３３とを備え、当該第２カセット３３内に収容したリングフレームＲＦを取出方向ＤＡに対して直交する左右方向に移動可能に構成されている。
【００１６】
取出手段４０は、ベース手段６０の上面に支持された駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａから前方に延出する第１アーム４２と、第１アーム４２の下面前端部から下方に延出する第２アーム４３と、第２アーム４３の下端に支持された上面視Ｈ字状の第３アーム４４と、第３アーム４４に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な複数の吸着パッド４５とを備えている。
【００１７】
仕切手段５０は、ベース手段６０内部に支持された駆動機器としてのリニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持された上面視コ字状の側壁５２を備えている。
【００１８】
ベース手段６０は、第１カセット２１が入り込むポート６１と、ポート６１に入り込んだ第１カセット２１の位置決めピン２１Ｃが挿入される位置決め穴６２と、第１カセット２１がポート６１に入り込んだことを検知し、第２信号を出力可能な光学センサや撮像手段等の第１カセット検知手段６３と、ベース手段６０に対して第１カセット２１を固定する出力軸６４Ａを有する駆動機器としてのエアシリンダ６４と、窓２１Ａを介して、第１カセット２１で収容したリングフレームＲＦの残量が少なくなったこと、または、無くなったことを検知し、第１信号を出力可能な光学センサや撮像手段等の残量検知手段６５とを備えている。
【００１９】
以上の処理装置１０において、リングフレームＲＦを所定の位置に供給して処理する手順を説明する。
先ず、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号が入力された状態で、各部材が初期位置で待機する図１、２中実線で示す処理装置１０に対し、作業者が所定枚数のリングフレームＲＦが収容された第１カセット２１をポート６１内に入り込ませる。すると、位置決めピン２１Ｃが位置決め穴６２挿入され、当該位置決めピン２１Ｃを第１カセット検知手段６３が検知して第２信号を出力し、当該第２信号が処理装置１０を構成する各部材に入力される。第２信号が入力されると、ベース手段６０がエアシリンダ６４を駆動し、出力軸６４Ａを固定穴２１Ｂに挿入して第１カセット２１の位置決め固定を行う。このとき第２カセット３３内には、リングフレームＲＦは収容されていない。また、第２信号が入力されると、取出手段４０がリニアモータ４１および図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド４５を昇降させて第１カセット２１内のリングフレームＲＦを吸着保持し、図２中二点鎖線で示すように、当該リングフレームＲＦを受渡位置ＰＡに配置させる。その後、搬送手段が多関節ロボット７３を駆動し、保持アーム７１をリングフレームＲＦの下面に接触させ、取出手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止すると、リングフレームＲＦが保持アーム７１に受け渡される。次いで、搬送手段が多関節ロボット７３を駆動し、当該リングフレームＲＦを作業台７２上に配置する。作業台７２上では、図示しない処理手段がリングフレームＲＦに所定の処理を施し、当該所定の処理が施されたリングフレームＲＦは、図示しない搬送手段によって別の工程に搬送される。
【００２０】
なお、取出手段４０が１つ目のリングフレームＲＦを搬送手段に受け渡した後から、次に搬送手段がリングフレームＲＦを受け取りに来るまでの空いた時間を利用して、第２収容手段３０および取出手段４０が第１収容手段２０から第２収容手段３０にリングフレームＲＦを移載する移載動作を行う。すなわち、上述の動作と同様にして、取出手段４０がリニアモータ４１を駆動し、リングフレームＲＦを第１カセット２１の外部に取り出した後、第２収容手段３０がリニアモータ３１を駆動し、図２中二点鎖線で示すように、第２カセット３３を第１カセット２１と受渡位置ＰＡとの間に位置させる。次いで、取出手段４０がリニアモータ４１を駆動し、リングフレームＲＦを第２カセット３３の内部に搬送した後、図示しない減圧手段の駆動を停止して第３アーム４４を初期位置に復帰させ、第２収容手段３０がリニアモータ３１を駆動し、第２カセット３３を初期位置に復帰させる。この移載動作は、第２カセット３３内に所定枚数のリングフレームＲＦが収容されるまで繰り返される。なお、第２カセット３３内に所定枚数のリングフレームＲＦが収容されるまでの間に、搬送手段がリングフレームＲＦを受け取りに来た場合、取出手段４０は、第１カセット２１から取り出したリングフレームＲＦを搬送手段に受け渡すようになっている。
【００２１】
第２カセット３３内に所定枚数のリングフレームＲＦが収容された後、取出手段４０で第１収容手段２０からリングフレームＲＦを取り出す動作が行われている最中に、第１カセット２１内のリングフレームＲＦの残量が少なくなったこと、または、無くなったことを残量検知手段６５が検知すると、当該残量検知手段６５が第１信号を出力し、当該第１信号が処理装置１０を構成する各部材に入力される。第１信号が入力されると、第２収容手段３０が第１収容手段２０と受渡位置ＰＡとの間に位置し、取出手段４０が当該第２収容手段３０からリングフレームＲＦを取り出す動作を開始するとともに、図示しない警告手段がブザーや回転灯等の警告機器を駆動させ、リングフレームＲＦの減少が作業者に知らされる。すなわち、第１信号が入力されると、第３アーム４４が初期位置に位置している状態で、第２収容手段３０がリニアモータ３１を駆動し、図２中二点鎖線で示すように、第２カセット３３を第１カセット２１と受渡位置ＰＡとの間に位置させ、取出手段４０が上記と同様にして、第２カセット３３内のリングフレームＲＦを受渡位置ＰＡに位置させ、当該リングフレームＲＦを搬送手段に受け渡す。
【００２２】
第２カセット３３が第１カセット２１と受渡位置ＰＡとの間に位置すると、仕切手段５０がリニアモータ５１を駆動し、図２中二点鎖線で示すように、側壁５２を上昇させて当該側壁５２の上端をアーム３２の下面に当接させ、取出手段４０と第１収容手段２０とを仕切る。また、ベース手段６０がエアシリンダ６４を駆動し、出力軸６４Ａを固定穴２１Ｂから抜き出して第１カセット２１の位置決め固定を解除する。その後、作業者が第１カセット２１をポート６１から抜き出し、新しいリングフレームＲＦを当該第１カセット２１に補充し、再度ポート６１に入り込ませると、上述と同様にして、第２信号が処理装置１０を構成する各部材に入力され、第１カセット２１の位置決め固定が行われる。また、取出手段４０で第２収容手段３０からリングフレームＲＦを取り出す動作が行われている最中に、第２信号が入力されると、第２収容手段３０が第１収容手段２０と受渡位置ＰＡとの間から退避し、取出手段４０が当該第１収容手段２０からリングフレームＲＦを取り出す動作を開始するとともに、図示しない警告手段が警告機器の駆動を停止する。すなわち、第２信号が入力されると、第３アーム４４が初期位置に位置している状態で、仕切手段５０がリニアモータ５１を駆動し、側壁５２を初期位置に復帰させる。その後、第２収容手段３０がリニアモータ３１を駆動し、第２カセット３３を初期位置に復帰させ、取出手段４０が上記と同様にして、第１カセット２１内のリングフレームＲＦを受渡位置ＰＡに位置させ、当該リングフレームＲＦを搬送手段に受け渡し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２３】
以上のような実施形態によれば、第２カセット３３を第１カセット２１と受渡位置ＰＡとの間に位置させ、取出手段４０が当該第２カセット３３からリングフレームＲＦを取り出す動作を開始するので、リングフレームＲＦを作業台７２上に搬送する搬送手段は、受渡位置ＰＡと作業台７２上との間の往復動作だけで済むようになり、その制御が複雑になることを防止することができる。
【００２４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２５】
例えば、第１収容手段２０は、２体以上設けられていてもよいし、ベース手段６０から離間不能に配置されていてもよく、この場合、ベース手段６０に固定されている第１収容手段２０に新しいリングフレームＲＦを補充すればよい。
第１収容手段２０は、ポート６１から新しいリングフレームＲＦを補充する補充位置まで自走する構成でもよい。
【００２６】
第２収容手段３０は、２体以上設けられていてもよい。
第２収容手段３０は、前後左右上下方向や、それらの成分を含む方向等である取出方向ＤＡに対して交差する方向に、リングフレームＲＦが収容された第２カセット３３を移動させて、第１収容手段２０と受渡位置ＰＡとの間に位置させてもよい。
第２収容手段３０内に収容するリングフレームＲＦの枚数は、取出手段４０が第２収容手段３０からリングフレームＲＦを取り出す動作を開始してから、作業者が新しいリングフレームＲＦを収容した第１カセット２１を再度ポート６１に入り込ませるまでに要する時間を見こして適宜決定すればよく、１枚でもよいし２枚以上でもよい。
【００２７】
取出手段４０の吸着パッド４５は、３個以下であってもよいし５個以上であってもよい。
取出手段４０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等でリングフレームＲＦを保持する構成でもよい。
取出手段４０は、移載動作を行う際やリングフレームＲＦを受渡位置ＰＡに配置させる際、当該リングフレームＲＦを１枚ずつまたは複数枚ずつ保持してもよい。
【００２８】
仕切手段５０の側壁５２は、ベース手段６０に固定されていてもよく、この場合、リニアモータ５１は不要になる。
コ字状の側壁５２の代わりに、平板状の側壁を３個設けてもよく、この場合、３体の側壁を１体の駆動機器で移動させてもよいし、２体以上の駆動機器で移動させてもよい。
側壁５２は、第１収容手段２０の右面、左面、後面の３つの面に対向するように設けられていたが、当該３つの面のうち２つの面または１つの面のみに対向するように設けてもよいし、上面視Ｕ字状、Ｖ字状のものでもよい。
仕切手段５０が第１収容手段２０を取出手段４０から仕切るとは、仕切られた部材間に作業者（人）の指が入らない程度でよく、側壁５２の上端をアーム３２の下面に当接させなくてもよい。
側壁５２は、板状部材でもよいし、網状部材でもよいし、複数または単数のスリットや孔が複数形成された板状部材でもよく、何ら限定されるものではない。
仕切手段５０は、第２収容手段３０無しに、単独で第１収容手段２０を取出手段４０から仕切ってもよいし、なくてもよい。
【００２９】
ベース手段６０は、第１カセット検知手段６３や残量検知手段６５に代えてまたは併用し、図１、２中二点鎖線で示すように、第１信号を出力可能な第１ボタン６６と、第２信号を出力可能な第２ボタン６７とを備えてもよい。このように第１ボタン６６や第２ボタン６７を設けることで、第１カセット２１内のリングフレームＲＦの残量が少なくなったこと、または、無くなったことを作業者が目視で確認したときに、第１ボタン６６を介して第１信号を出力したり、新しいリングフレームＲＦを補充した第１カセット２１をポート６１に入り込ませた後、第２ボタン６７を介して第２信号を出力したりすることができる。なお、第１ボタン６６および第２ボタン６７の少なくとも一方はあってもよいし、なくてもよい。
残量検知手段６５に代えてまたは併用し、第１カセット２１の底面やポート６１の底面に光学センサやウエイトセンサ、圧力センサ、リミットスイッチ等で構成された残量検知手段６８を設けてもよい。
【００３０】
処理手段は、リングフレームＲＦに接着シートを貼付する装置や、接着シートを介してリングフレームＲＦと半導体ウエハとを一体化する装置や、被搬送物に表面処理、塗装、印字等を行う装置や、被搬送物を切断したり研削したり研磨したりする装置や、リングフレームＲＦを別の場所に移動させるベルトコンベアや駆動機器等の搬送機器や、リングフレームＲＦを収納する収納手段等でもよく、何ら限定されることはなく、搬送手段がリングフレームＲＦを搬送する所定の目的位置としては、それら処理装置に対応した位置等どんな位置でもよい。
保持アーム７１は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等でリングフレームＲＦを保持する構成でもよい。
【００３１】
また、本発明における被搬送物の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、被搬送物としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００３２】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１収容手段は、被搬送物を収容可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３３】
２０…第１収容手段
３０…第２収容手段
４０…取出手段
５０…仕切手段
ＲＦ…リングフレーム（被搬送物）
【図１】
0006607744.tif 000002
【図２】
0006607744.tif 000003