(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから噴霧された溶液材料を、基板に薄膜として堆積させるエレクトロスプレー装置であって、
溶液材料に電圧を印加した状態で噴霧する前記ノズルを備え、
前記ノズルは、前記ノズルが延びる方向に沿って内径が略一定である円筒形状を有し電圧が印加される第１部分と、前記第１部分の内側に配置されるとともに電圧が印加される第２部分とを含み、
前記第２部分は、前記第１部分の先端から突出しているとともに、前記第２部分の先端部は、先端に向かって先細りの円錐形状に形成されており、
前記円錐形状の先端部の、円錐の頂点と底面の円周とを結ぶ母線の延長線上に、前記第１部分の先端が配置されるように構成されている、エレクトロスプレー装置。
【請求項２】
前記第１部分と前記第２部分とは、前記第１部分の内側面と前記第２部分の外側面との間の間隔が、前記ノズルが延びる方向に沿って略一定になるように、互いに平行に配置されている、請求項１に記載のエレクトロスプレー装置。
【請求項３】
ノズルから噴霧された溶液材料を、基板に薄膜として堆積させるエレクトロスプレー装置であって、
溶液材料に電圧を印加した状態で噴霧する前記ノズルを備え、
前記ノズルは、前記ノズルが延びる方向に沿って内径が略一定である円筒形状を有し電圧が印加される第１部分と、前記第１部分の内側に配置されるとともに電圧が印加される第２部分とを含み、
前記第２部分は、円筒形状を有し、
前記ノズルは、前記第１部分の内側面と前記円筒形状を有する第２部分の外側面との間に形成される前記溶液材料が流れる第１流路と、前記円筒形状を有する第２部分の内側に形成される前記溶液材料が流れる第２流路とを含み、
前記第２部分は、前記第１部分の先端から突出しており、
前記第１部分の先端と前記第２部分の先端とは、前記第１部分および前記第２部分の中心を通る前記第１部分および前記第２部分が延びる方向に沿った中心軸線上に頂点が位置する正三角形の、前記頂点から延びる２つの辺の延長線上に配置されている、エレクトロスプレー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、エレクトロスプレー装置に関し、特に、ノズルから噴霧された溶液材料を、基板に薄膜として堆積させるエレクトロスプレー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ノズルから噴霧された溶液材料を基板に薄膜として堆積させるエレクトロスプレー装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、基板が載置されるプレートと、電圧が印加された状態の溶液材料を基板に噴霧するノズルとを備えるエレクトロスプレー装置が開示されている。このエレクトロスプレー装置では、ノズルは、先端が平坦な円筒形状を有する。そして、基板とノズルとの間に生じた電界により、ノズルの先端から基板に霧状（スプレー状）の溶液材料が飛行することによって、基板に溶液材料が薄膜として堆積（塗布）される。
【０００４】
また、溶液材料の塗布速度の向上のために、溶液材料の流量を多くするように、ノズルの直径を大きくすることが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１４７８９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載のような従来のエレクトロスプレー装置において、溶液材料の塗布速度の向上のためにノズルの直径を大きくした場合には、円筒形状のノズルの中心部近傍の電圧（電界）が外周部の電圧に比べて小さくなるため、溶液材料が霧状（スプレー状）にならない場合がある。また、ノズルの中心部近傍の電圧が外周部の電圧に比べて小さくなる（不均一になる）ため、テーラーコーン（ノズルの先端に形成される、溶液材料の表面に荷電を持つイオンが集まったコーン）が不安定になる場合がある。これらの結果、塗布された薄膜の膜厚にばらつき（ムラ）が生じるという問題点がある。
【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、ノズルの直径を比較的大きくした場合にも、塗布された薄膜の膜厚にばらつき（ムラ）が生じることを抑制することが可能なエレクトロスプレー装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、この発明の第１の局面によるエレクトロスプレー装置は、ノズルから噴霧された溶液材料を、基板に薄膜として堆積させるエレクトロスプレー装置であって、溶液材料に電圧を印加した状態で噴霧するノズルを備え、ノズルは、ノズルが延びる方向に沿って内径が略一定である円筒形状を有し電圧が印加される第１部分と、第１部分の内側に配置されるとともに電圧が印加される第２部分とを含み、第２部分は、第１部分の先端から突出しているとともに、第２部分の先端部は、先端に向かって先細りの円錐形状に形成されており、円錐形状の先端部の、円錐の頂点と底面の円周とを結ぶ母線の延長線上に、第１部分の先端が配置されるように構成されている。
【０００９】
この第１の局面によるエレクトロスプレー装置では、上記のように、ノズルが、第１部分の内側に配置されるとともに電圧が印加される第２部分を含むことによって、ノズルの直径を比較的大きくした場合にも、第１部分の内側に配置され電圧が印加される第２部分により、円筒形状のノズルの中心部側の電圧が外周部側の電圧に比べて小さくなることを抑制することができるので、ノズルの中心部近傍の溶液材料を霧状（スプレー状）にすることができるとともに、ノズルの中心部側から外周部側に渡って電圧（電界）を略均一にすることができるので、テーラーコーンが不安定になることを抑制することができる。また、第１部分が、ノズルが延びる方向に沿って内径が略一定である円筒形状を有するように構成することによって、第１部分の内径が変化する場合と異なり、形成されるテーラーコーンが不安定になることが抑制される。これらの結果、ノズルの直径を比較的大きくした場合にも、塗布された薄膜の膜厚にばらつき（ムラ）が生じることを抑制することができる。
また、第２部分は、第１部分の先端から突出しているとともに、第２部分の先端部は、先端に向かって先細りの円錐形状に形成されており、円錐形状の先端部の、円錐の頂点と底面の円周とを結ぶ母線の延長線上に、第１部分の先端が配置されるように構成されている。これにより、第１部分の先端と第２部分の先端とに連続するようにテーラーコーンを形成することができるとともに、第２部分の先端部の形状（円錐形状）に沿うようにテーラーコーンを形成することができる。その結果、テーラーコーンの形状の安定化を図ることができるので、塗布された薄膜の膜厚にばらつき（ムラ）が生じることをより抑制することができる。
【００１０】
上記一の局面によるエレクトロスプレー装置において、好ましくは、第１部分と第２部分とは、第１部分の内側面と第２部分の外側面との間の間隔が、ノズルが延びる方向に沿って略一定になるように、互いに平行に配置されている。このように構成すれば、第１部分と第２部分との間を流れる溶液材料の流速が略一定になるとともに、第１部分と第２部分との間の電界がノズルが延びる方向に沿って略一定になるので、形成されるテーラーコーンが不安定になることを、より抑制することができる。
【００１３】
この発明の第２の局面によるエレクトロスプレー装置は、ノズルから噴霧された溶液材料を、基板に薄膜として堆積させるエレクトロスプレー装置であって、溶液材料に電圧を印加した状態で噴霧するノズルを備え、ノズルは、ノズルが延びる方向に沿って内径が略一定である円筒形状を有し電圧が印加される第１部分と、第１部分の内側に配置されるとともに電圧が印加される第２部分とを含み、第２部分は、円筒形状を有し、ノズルは、第１部分の内側面と円筒形状を有する第２部分の外側面との間に形成される溶液材料が流れる第１流路と、円筒形状を有する第２部分の内側に形成される溶液材料が流れる第２流路とを含み、第２部分は、第１部分の先端から突出しており、第１部分の先端と第２部分の先端とは、第１部分および第２部分の中心を通る第１部分および第２部分が延びる方向に沿った中心軸線上に頂点が位置する正三角形の、頂点から延びる２つの辺の延長線上に配置されている。これにより、第１流路に加えて、第２流路からも溶液材料を流すことができるので、溶液材料の塗布量を大きくすることができる。また、テーラーコーンの先端の角度は略６０度になることが多い。そこで、頂角が６０度である正三角形の頂点から延びる２つの辺の延長線上に第１部分の先端と第２部分の先端とを配置することにより、第１部分の先端と第２部分の先端とに連続するように安定した状態でテーラーコーンを形成することができるので、塗布された薄膜の膜厚にばらつき（ムラ）が生じることをより抑制することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、上記のように、ノズルの直径を比較的大きくした場合にも、塗布された薄膜の膜厚にばらつき（ムラ）が生じることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態によるエレクトロスプレー装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるエレクトロスプレー装置のノズルの断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態によるエレクトロスプレー装置のノズルをＺ１方向から見た図である。
【図４】図２の部分拡大図である。
【図５】本発明の第１実施形態によるエレクトロスプレー装置のノズルに形成されたテーラーコーンを示す図である。
【図６】本発明の第２実施形態によるエレクトロスプレー装置のノズルの断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態によるエレクトロスプレー装置のノズルをＺ１方向から見た図である。
【図８】図６の部分拡大図である。
【図９】本発明の第２実施形態によるエレクトロスプレー装置のノズルに形成されたテーラーコーンを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１７】
［第１実施形態］
（エレクトロスプレー装置の構成）
図１〜図５を参照して、第１実施形態によるエレクトロスプレー装置１００の構成について説明する。
【００１８】
図１に示すように、エレクトロスプレー装置１００は、ノズル１０と、アースプレート２０とを備えている。また、ノズル１０とアースプレート２０との間には、図示しないマスクが設けられている。また、アースプレート２０の表面上（Ｚ２方向側の表面上）には、基板２００が配置されている。
【００１９】
ノズル１０は、金属製である。そして、金属製のノズル１０に電圧を印加することにより、溶液材料に電圧が印加されて、溶液材料が下方（Ｚ２方向）から上方（Ｚ１方向）に向かって噴霧される。これにより、ノズル１０から噴霧された溶液材料が、基板２００に薄膜（図示せず）として堆積される。
【００２０】
ここで、第１実施形態では、図２に示すように、ノズル１０は、ノズル１０が延びる方向（Ｚ方向）に沿って内径ｒ１が略一定である円筒形状を有し電圧が印加される第１部分１１と、第１部分１１の内側に配置されるとともに電圧が印加される第２部分１２とを含む。また、第２部分１２は、ノズル１０が延びる方向（Ｚ方向）に沿って外径ｒ２が略一定である棒形状（中が空洞でない棒形状）を有する。また、第１部分１１と第２部分１２とは、共に、金属製からなる。また、第１部分１１と第２部分１２とには、略同一の電圧が印加されている。そして、第１部分１１と第２部分１２との間に、溶液材料が流れる流路１３が形成されている。
【００２１】
また、第１実施形態では、第１部分１１と第２部分１２とは、第１部分１１の内側面１１ａと第２部分１２の外側面１２ａとの間の間隔ｄ１が、ノズル１０が延びる方向（Ｚ方向）に沿って略一定になるように、互いに平行に配置されている。また、第１部分１１の一方の端部１１ｂは、開口しているとともに、他方の端部１１ｃは、封止されている。そして、棒形状の第２部分１２は、封止された第１部分１１の他方の端部１１ｃを貫通するように、第１部分１１に取り付けられている。また、図３に示すように、ノズル１０が延びる方向（Ｚ１方向）から見て、第１部分１１の中心Ｃ１と第２部分１２の中心Ｃ２とが略一致するように、第２部分１２が第１部分１１に取り付けられている。
【００２２】
また、第１実施形態では、図４に示すように、第２部分１２は、第１部分１１の先端１１ｄから突出しているとともに、第２部分１２の先端部１２ｂは、先端１２ｃに向かって先細りの円錐形状に形成されている。そして、円錐形状の先端部１２ｂの、円錐の頂点（先端１２ｃ）と底面の円周とを結ぶ母線１２ｄの延長線Ａ１上に、第１部分１１の先端１１ｄが配置されるように構成されている。具体的には、円錐形状の先端部１２ｂの角度θ１は、略６０度である。なお、第１部分１１の先端１１ｄとは、第１部分１１のＺ１方向側の平坦な部分（図３のハッチングで示された領域）近傍を意味する。
【００２３】
また、図５に示すように、ノズル１０に形成されるテーラーコーン３００は、円錐形状を有する。そして、テーラーコーン３００は、第１部分１１の先端１１ｄから、第２部分１２の先端部１２ｂの先端１２ｃに渡って形成され、テーラーコーン３００の先端部３０１の角度θ２も、略６０度である。すなわち、第２部分１２の先端部１２ｂの角度θ１は、テーラーコーン３００の先端部３０１の角度θ２と略同じになるように形成されている。これにより、テーラーコーン３００は、第２部分１２の円錐形状の先端部１２ｂの外表面に沿うように形成される。つまり、第２部分１２は、ノズル１０が延びる方向に沿った方向のテーラーコーン３００の長さＬ１と略等しい長さＬ２分、第１部分１１の先端１１ｄから突出している。また、第１部分１１の先端１１ｄは、円錐形状のテーラーコーン３００の母線３０２上近傍に配置されている。
【００２４】
また、図１に示すように、エレクトロスプレー装置１００には、ポンプ部３０が設けられている。ポンプ部３０は、ノズル１０に溶液材料を送液するように構成されている。また、ポンプ部３０とノズル１０とは、送液管３１によって接続されている。そして、図２に示すように、送液管３１によって送液された溶液材料は、第１部分１１の内側面１１ａと、第２部分１２の外側面１２ａとの間の流路１３を流れるとともに、第１部分１１の先端１１ｄから噴霧される。
【００２５】
アースプレート２０は、たとえば金属板から構成されており、平板形状を有する。アースプレート２０は、薄膜の形成時に、基板２００に接触して基板２００を支持するとともに、基板２００を接地するように構成されている。
【００２６】
（第１実施形態の効果）
次に、第１実施形態の効果について説明する。
【００２７】
第１実施形態では、上記のように、ノズル１０が、第１部分１１の内側に配置されるとともに電圧が印加される第２部分１２を含むことによって、ノズル１０の直径を比較的大きくした場合にも、第１部分１１の内側に配置され電圧が印加される第２部分１２により、円筒形状のノズル１０の中心部側の電圧が外周部側の電圧に比べて小さくなることを抑制することができるとともに、ノズル１０の中心部側から外周部側に渡って電圧（電界）を略均一にすることができるので、テーラーコーン３００が不安定になることを抑制することができる。また、第１部分１１が、ノズル１０が延びる方向に沿って内径ｒ１が略一定である円筒形状を有するように構成することによって、第１部分１１の内径ｒ１が変化する場合と異なり、形成されるテーラーコーン３００が不安定になることが抑制される。これらの結果、ノズル１０の直径を比較的大きくした場合にも、塗布された薄膜の膜厚にばらつき（ムラ）が生じることを抑制することができる。
【００２８】
また、第１実施形態では、上記のように、第１部分１１と第２部分１２とを、第１部分１１の内側面１１ａと第２部分１２の外側面１２ａとの間の間隔ｄ１が、ノズル１０が延びる方向に沿って略一定になるように、互いに平行に配置する。これにより、第１部分１１と第２部分１２との間を流れる溶液材料の流速が略一定になるとともに、第１部分１１と第２部分１２との間の電界がノズル１０が延びる方向に沿って略一定になるので、形成されるテーラーコーン３００が不安定になることを、より抑制することができる。
【００２９】
また、第１実施形態では、上記のように、第２部分１２は、第１部分１１の先端１１ｄから突出しているとともに、第２部分１２の先端部１２ｂは、先端１２ｃに向かって先細りの円錐形状に形成されており、円錐形状の先端部１２ｂの、円錐の頂点（先端１２ｃ）と底面の円周とを結ぶ母線１２ｄの延長線Ａ１上に、第１部分１１の先端１１ｄを配置する。これにより、第１部分１１の先端１１ｄと第２部分１２の先端部１２ｂ（先端１２ｃ）とに連続するようにテーラーコーン３００を形成することができるとともに、第２部分１２の先端部１２ｂの形状（円錐形状）に沿うようにテーラーコーン３００を形成することができる。その結果、テーラーコーン３００の形状の安定化を図ることができるので、塗布された薄膜の膜厚にばらつき（ムラ）が生じることをより抑制することができる。
【００３０】
［第２実施形態］
（エレクトロスプレー装置の構成）
次に、図６〜図９を参照して、第２実施形態によるエレクトロスプレー装置１１０の構成について説明する。第２実施形態では、ノズル１０に、中が空洞でない第２部分１２が設けられていた上記第１実施形態と異なり、第２部分４２は、中が空洞の円筒形状を有している。
【００３１】
図６に示すように、ノズル４０は、ノズル４０が延びる方向（Ｚ方向）に沿って内径ｒ３が略一定である円筒形状を有し電圧が印加される第１部分４１と、第１部分４１の内側に配置されるとともに電圧が印加される第２部分４２とを含む。また、第１部分４１と第２部分４２とは、共に、金属製からなる。また、第１部分４１と第２部分４２とには、略同一の電圧が印加されている。
【００３２】
また、第１部分４１の一方の端部４１ｂは、開口しているとともに、他方の端部４１ｃは、封止されている。そして、第２部分４２は、封止された第１部分４１の他方の端部４１ｃを貫通するように、第１部分４１に取り付けられている。また、第２部分４２の外径ｒ４は、ノズル４０が延びる方向（Ｚ方向）に沿って略一定である。
【００３３】
ここで、第２実施形態では、エレクトロスプレー装置１１０のノズル４０の第２部分４２は、円筒形状を有している。そして、ノズル４０は、第１部分４１の内側面４１ａと円筒形状を有する第２部分４２の外側面４２ａとの間に形成される溶液材料が流れる第１流路４３と、円筒形状を有する第２部分４２の内側に形成される溶液材料が流れる第２流路４４とを含む。また、第１部分４１と第２部分４２とは、第１部分４１の内側面４１ａと第２部分４２の外側面４２ａとの間の間隔ｄ２が、ノズル４０が延びる方向に沿って略一定になるように、互いに平行に配置されている。つまり、第１流路４３の間隔ｄ２は、ノズル４０が延びる方向に沿って略一定になる。
【００３４】
また、図７に示すように、ノズル４０が延びる方向（Ｚ１方向）から見て、第１部分４１の中心Ｃ３と第２部分４２の中心Ｃ４とが略一致するように、第２部分４２が第１部分４１に取り付けられている
【００３５】
また、第２実施形態では、図８に示すように、第２部分４２は、第１部分４１の先端４１ｄから距離Ｌ３分突出している。そして、第１部分４１の先端４１ｄと第２部分４２の先端４２ｃとは、第１部分４１および第２部分４２の中心を通る第１部分４１および第２部分４２が延びる方向に沿った中心軸線Ａ２上に頂点Ｃ５が位置する正三角形（図８の一点鎖線で示された正三角形参照）の、頂点Ｃ５から延びる２つの辺Ｂ１およびＢ２の延長線Ｂ１１およびＢ１２（図８の破線参照）の上に配置されている。すなわち、辺Ｂ１およびＢ２が交差する角度θ３は、略６０度である。なお、第１部分４１の先端４１ｄとは、第１部分４１のＺ１方向側の平坦な部分（図７のハッチングで示された領域）近傍を意味する。また、第２部分４２の先端４２ｃとは、第２部分４２のＺ１方向側の平坦な部分（図７のハッチングで示された領域）近傍を意味する。
【００３６】
また、図９に示すように、第１部分４１の先端４１ｄと第２部分４２の先端４２ｃとは、第１部分４１の先端４１ｄと第２部分４２の先端４２ｃとに渡って形成される円錐形状のテーラーコーン３１０の母線３１２上近傍に配置されている。また、正三角形の頂点Ｃ５（図８参照）は、テーラーコーン３１０の頂点３１１近傍に配置される。すなわち、正三角形の頂点Ｃ５の第１部分４１の先端４１ｄからの距離Ｌ４（ノズル４０が延びる方向に沿った距離）は、テーラーコーン３１０のノズル４０が延びる方向に沿った長さＬ５と略等しい。
【００３７】
また、図６に示すように、エレクトロスプレー装置１１０には、ポンプ部５０ａおよび５０ｂが設けられている。ポンプ部５０ａは、第１部分４１に接続されており、第１部分４１に溶液材料を送液するように構成されている。また、ポンプ部５０ｂは、第２部分４２に接続されており、第２部分４２に溶液材料を送液するように構成されている。
【００３８】
なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００３９】
（第２実施形態の効果）
次に、第２実施形態の効果について説明する。
【００４０】
第２実施形態では、上記のように、第２部分４２は、円筒形状を有し、ノズル４０は、第１部分４１の内側面４１ａと円筒形状を有する第２部分４２の外側面４２ａとの間に形成される溶液材料が流れる第１流路４３と、円筒形状を有する第２部分４２の内側に形成される溶液材料が流れる第２流路４４とを含む。これにより、第１流路４３に加えて、第２流路４４からも溶液材料を流すことができるので、溶液材料の塗布量を大きくすることができる。
【００４１】
また、第２実施形態では、上記のように、第２部分４２は、第１部分４１の先端４１ｄから突出しており、第１部分４１の先端４１ｄと第２部分４２の先端４２ｃとを、第１部分４１および第２部分４２の中心Ｃ３およびＣ４を通る第１部分４１および第２部分４２が延びる方向に沿った中心軸線Ａ２上に頂点Ｃ５が位置する正三角形の、頂点Ｃ５から延びる２つの辺Ｂ１およびＢ２の延長線Ｂ１１およびＢ１２上に配置する。ここで、テーラーコーン３１０の先端の角度θ４（図９参照）は略６０度になることが多い。そこで、頂角が６０度である正三角形の頂点Ｃ５から延びる２つの辺Ｂ１およびＢ２の延長線Ｂ１１およびＢ１２上に第１部分４１の先端４１ｄと第２部分４２の先端４２ｃとを配置することにより、第１部分４１の先端４１ｄと第２部分４２の先端４２ｃとに連続するように安定した状態でテーラーコーン３１０を形成することができるので、塗布された薄膜の膜厚にばらつき（ムラ）が生じることをより抑制することができる。
【００４２】
なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００４３】
［変形例］
なお、今回開示された実施形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【００４４】
たとえば、上記第１および第２実施形態では、第２部分が第１部分の先端から突出するように設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、第２部分の先端と第１部分の先端とが略面一であってもよいし、第２部分の先端が第１部分の先端から引っ込んだ位置（第１部分の内部）に配置されていてもよい。
【００４５】
また、上記第１実施形態では、第２部分の先端部が円錐形状を有する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、第２部分の先端部が円錐形状以外の形状（たとえば、三角錐形状など）を有していてもよい。
【００４６】
また、上記第１実施形態では、第２部分の先端部の角度が略６０度である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第２部分の先端部の角度が、テーラーコーンの先端の角度と略等しくなるように構成されていれば、第２部分の先端部の角度が略６０度以外の角度でもよい。
【００４７】
また、上記第２実施形態では、第２部分が円筒形状（外径が略一定の円筒形状）を有する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、第２部分が、外径が先端に向けって徐々に小さくなるテーパ形状を有していてもよい。
【００４８】
また、上記第２実施形態では、第１部分の先端と第２部分の先端とが正三角形の辺上に配置される（略６０度の角度で交差する２辺上に配置される）例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１部分の先端と第２部分の先端とが、テーラーコーンの先端の角度と略等しくなる角度で交差する２辺上に配置されていれば、略６０度の角度以外の角度で交差する２辺上に配置されていてもよい。
【００４９】
また、上記第１および第２実施形態では、溶液材料が下方から上方に向かって噴霧される例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、溶液材料を上方から下方に向かって噴霧してもよいし、側方に向かって噴霧するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１０、４０  ノズル
１１、４１  第１部分
１１ａ、４１ａ  （第１部分の）内側面
１１ｄ  （第１部分の）先端
１２、４２  第２部分
１２ａ、４２ａ  （第２部分の）外側面
１２ｂ  第２部分の先端部
１２ｄ  母線
４１ｄ  （第１部分の）先端
４２ｃ  （第２部分の）先端
４３  第１流路
４４  第２流路
１００、１１０  エレクトロスプレー装置
２００  基板
Ａ１  （母線の）延長線
Ａ２  中心軸線
Ｂ１、Ｂ２  （正三角形の）辺
Ｂ１１、Ｂ１２  （辺の）延長線
ｄ１、ｄ２  （第１部分の内側面と第２部分の外側面との間の）間隔
ｒ１、ｒ３  （第１部分の）内径
【図１】
0006507028.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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