(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集装置のコンピュータを、
設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データを作成する基準近似データ作成手段と、
基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する複製近似データ作成手段と、
して機能させ、
前記基準近似データ作成手段を、
前記基準近似データとして、基準扇形の円周を、第１半径に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続することにより近似した近似線を作成するように機能させ、
前記近似線は、
平行線の数が、直交線の数よりも１つ少なく、
全ての平行線の長さが等しく、
平行線の中点が円周上に位置し、
第１半径の円周上の第１点と、第２半径の延長線上であって円周から平行線に沿った方向に平行線の長さの半分だけ外側の第２点とを結び、
第１点が直交線の端点であり、
第２点が直交線の端点であること、
を特徴とするパターン編集プログラム。
【請求項２】
中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集装置のコンピュータを、
設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データを作成する基準近似データ作成手段と、
基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する複製近似データ作成手段と、
して機能させ、
前記基準近似データ作成手段を、
前記基準近似データとして、基準扇形の円周上の点を、基準扇形の円周よりも外側の位置に近似した基準近似点を作成し、前記基準近似点として、第１半径に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続する近似線の頂点を作成するように機能させ、
前記近似線は、
平行線の数が、直交線の数よりも１つ少なく、
全ての平行線の長さが等しく、
平行線の中点が円周上に位置し、
第１半径の円周上の第１点と、第２半径の延長線上であって円周から平行線に沿った方向に平行線の長さの半分だけ外側の第２点とを結び、
第１点が直交線の端点であり、
第２点が直交線の端点であること、
を特徴とするパターン編集プログラム。
【請求項３】
中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集装置のコンピュータを、
平行線の数に関する入力操作を受け付ける平行線数入力手段と、
設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データを作成する基準近似データ作成手段と、
基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する複製近似データ作成手段と、
して機能させ、
前記基準近似データ作成手段を、
前記基準近似データとして、受け付けた平行線の数に基づいて、平行線の長さを算出し、基準扇形の円周を、第１半径に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続することにより近似した近似線を作成するように機能させること、
を特徴とするパターン編集プログラム。
【請求項４】
中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集装置のコンピュータを、
平行線の数に関する入力操作を受け付ける平行線数入力手段と、
設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データを作成する基準近似データ作成手段と、
基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する複製近似データ作成手段と、
して機能させ、
前記基準近似データ作成手段を、
前記基準近似データとして、受け付けた平行線の数に基づいて、平行線の長さを算出し、基準扇形の円周上の点を、基準扇形の円周よりも外側の位置に近似した基準近似点を作成し、前記基準近似点として、第１半径に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続する近似線の頂点を作成するように機能させること、
を特徴とするパターン編集プログラム。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれかに記載のパターン編集プログラムにおいて、
前記複製近似データ作成手段を、
前記９０°近似データをさらに複製することにより、設計パターンの全円周の近似データである全円周近似データを作成するように機能させること、
を特徴とするパターン編集プログラム。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載のパターン編集プログラムにおいて、
パターン編集装置のコンピュータを、
近似データのパターン内側の領域を、設計パターンの近似パターンとした近似パターン作成手段として機能させること、
を特徴とするパターン編集プログラム。
【請求項７】
中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集装置であって、
設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データとして、基準扇形の円周を、第１半径に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続することにより近似した近似線を作成し、
基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する、
近似データ作成部を備え、
前記近似線は、
平行線の数が、直交線の数よりも１つ少なく、
全ての平行線の長さが等しく、
平行線の中点が円周上に位置し、
第１半径の円周上の第１点と、第２半径の延長線上であって円周から平行線に沿った方向に平行線の長さの半分だけ外側の第２点とを結び、
第１点が直交線の端点であり、
第２点が直交線の端点であること、
を特徴とするパターン編集装置。
【請求項８】
中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集装置であって、
設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データとして、基準扇形の円周上の点を、基準扇形の円周よりも外側の位置に近似した基準近似点を作成し、前記基準近似点として、第１半径に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続する近似線の頂点を作成し、
基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する、
近似データ作成部を備え、
前記近似線は、
平行線の数が、直交線の数よりも１つ少なく、
全ての平行線の長さが等しく、
平行線の中点が円周上に位置し、
第１半径の円周上の第１点と、第２半径の延長線上であって円周から平行線に沿った方向に平行線の長さの半分だけ外側の第２点とを結び、
第１点が直交線の端点であり、
第２点が直交線の端点であること、
を特徴とするパターン編集装置。
【請求項９】
中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集装置であって、
平行線の数に関する入力操作を受け付け、
設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データとして、受け付けた平行線の数に基づいて、平行線の長さを算出し、基準扇形の円周を、第１半径に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続することにより近似した近似線を作成し、
基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する、
近似データ作成部を備えること、
を特徴とするパターン編集装置。
【請求項１０】
中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集装置であって、
平行線の数に関する入力操作を受け付け、
設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データとして、受け付けた平行線の数に基づいて、平行線の長さを算出し、基準扇形の円周上の点を、基準扇形の円周よりも外側の位置に近似した基準近似点を作成し、前記基準近似点として、第１半径に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続する近似線の頂点を作成し、
基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する、
近似データ作成部を備えること、
を特徴とするパターン編集装置。
【請求項１１】
中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集方法であって、
設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データを作成する基準近似データ作成工程と、
基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する複製近似データ作成工程と、
を備え、
前記基準近似データ作成工程は、
前記基準近似データとして、基準扇形の円周を、第１半径に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続することにより近似した近似線を作成し、
前記近似線は、
平行線の数が、直交線の数よりも１つ少なく、
全ての平行線の長さが等しく、
平行線の中点が円周上に位置し、
第１半径の円周上の第１点と、第２半径の延長線上であって円周から平行線に沿った方向に平行線の長さの半分だけ外側の第２点とを結び、
第１点が直交線の端点であり、
第２点が直交線の端点であること、
を特徴とするパターン編集方法。
【請求項１２】
中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集方法であって、
設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データを作成する基準近似データ作成工程と、
基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する複製近似データ作成工程と、
を備え、
前記基準近似データ作成工程は、
前記基準近似データとして、基準扇形の円周上の点を、基準扇形の円周よりも外側の位置に近似した基準近似点を作成し、前記基準近似点として、第１半径に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続する近似線の頂点を作成し、
前記近似線は、
平行線の数が、直交線の数よりも１つ少なく、
全ての平行線の長さが等しく、
平行線の中点が円周上に位置し、
第１半径の円周上の第１点と、第２半径の延長線上であって円周から平行線に沿った方向に平行線の長さの半分だけ外側の第２点とを結び、
第１点が直交線の端点であり、
第２点が直交線の端点であること、
を特徴とするパターン編集方法。
【請求項１３】
中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集方法であって、
平行線の数に関する入力操作を受け付ける平行線数入力工程と、
設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データを作成する基準近似データ作成工程と、
基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する複製近似データ作成工程と、
を備え、
前記基準近似データ作成工程は、
前記基準近似データとして、受け付けた平行線の数に基づいて、平行線の長さを算出し、基準扇形の円周を、第１半径に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続することにより近似した近似線を作成すること、
を特徴とするパターン編集方法。
【請求項１４】
中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集方法であって、
平行線の数に関する入力操作を受け付ける平行線数入力工程と、
設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データを作成する基準近似データ作成工程と、
基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する複製近似データ作成工程と、
を備え、
前記基準近似データ作成工程は、
前記基準近似データとして、受け付けた平行線の数に基づいて、平行線の長さを算出し、基準扇形の円周上の点を、基準扇形の円周よりも外側の位置に近似した基準近似点を作成し、前記基準近似点として、第１半径に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続する近似線の頂点を作成すること、
を特徴とするパターン編集方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子線で描画するパターンのパターン編集プログラム、パターン編集装置、パターン編集方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、円形、楕円等の湾曲したパターン形状を電子線によって描画する場合、パターン形状を複数の矩形のショット形状に分割して行っていた（例えば特許文献１）。
しかし、従来の方法では、パターン形状を複数の矩形に分割する処理が膨大であり、多大な時間がかかっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−９６６０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、描画データを容易、短時間で作成できるパターン編集プログラム、ショットデータ作成プログラム、パターン編集装置、ショットデータ作成装置、パターン編集方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、以下のような解決手段により、課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
【０００６】
・第１の発明は、中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集装置のコンピュータ（１０）を、設計パターン（５０）の半径である第１半径（Ｒ１）及び第２半径（Ｒ２）に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データを作成する基準近似データ作成手段（１６ｂ）と、基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する複製近似データ作成手段（１６ｂ）と、して機能させるパターン編集プログラムである。
・第２の発明は、第１の発明のパターン編集プログラムにおいて、前記複製近似データ作成手段（１６ｂ）を、前記９０°近似データをさらに複製することにより、設計パターン（５０）の全円周の近似データである全円周近似データを作成するように機能させること、を特徴とするパターン編集プログラムである。
・第３の発明は、第１又は第２の発明のパターン編集プログラムにおいて、前記基準近似データ作成手段（１６ｂ）を、前記基準近似データとして、基準扇形の円周を、第１半径（Ｒ１）に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続することにより近似した近似線を作成するように機能させること、を特徴とするパターン編集プログラムである。
・第４の発明は、第１又は第２の発明のパターン編集プログラムにおいて、前記基準近似データ作成手段（１６ｂ）を、前記基準近似データとして、基準扇形の円周上の点を、基準扇形の円周よりも外側の位置に近似した基準近似点を作成するように機能させること、を特徴とするパターン編集プログラムである。
・第５の発明は、第４の発明のパターン編集プログラムにおいて、前記基準近似データ作成手段（１６ｂ）を、前記基準近似点として、第１半径（Ｒ１）に平行な平行線及び第１半径に直交する直交線を交互に接続する近似線の頂点を作成するように機能させること、を特徴とするパターン編集プログラムである。
・第６の発明は、第３から第５のいずれかの発明のパターン編集プログラムにおいて、前記近似線は、平行線の数が、直交線の数よりも１つ少なく、全ての平行線の長さが等しく、平行線の中点が円周上に位置し、第１半径（Ｒ１）の円周上の第１点と、第２半径（Ｒ２）の延長線上であって円周から平行線に沿った方向に平行線の長さの半分だけ外側の第２点とを結び、第１点が直交線の端点であり、第２点が直交線の端点であること、を特徴とするパターン編集プログラムである。
・第７の発明は、第３から第５のいずれかの発明のパターン編集プログラムにおいて、前記近似線は、平行線の数と、直交線の数とが等しく、全ての平行線の長さが等しく、第１半径の円周上の第１点と、第２半径（Ｒ１）の線上の第２点とを結び、第１点が直交線の端点であり、第２点が平行線の端点であること、を特徴とするパターン編集プログラムである。
・第８の発明は、第３から第７のいずれかの発明のパターン編集プログラムにおいて、パターン編集装置（１０）のコンピュータを、平行線の数に関する入力操作を受け付ける平行線数入力手段（１６ｂ）として機能させ、前記基準近似データ作成手段（１６ｂ）を、受け付けた平行線の数に基づいて、平行線（Ｄ）の長さを算出し、前記近似線を作成するように機能させること、を特徴とするパターン編集プログラムである。
・第９の発明は、第１から第８のいずれかの発明のパターン編集プログラムにおいて、パターン編集装置（１０）のコンピュータを、近似データのパターン内側の領域を、設計パターンの近似パターンとした近似パターン作成手段として機能させること、を特徴とするパターン編集プログラムである。
・第１０の発明は、第９の発明のパターン編集プログラムで作成された近似パターンに基づいて、ショットデータを作成するショットデータ作成装置（２０）のコンピュータを、近似パターンを、ショット形状に対応した矩形に分割するショットデータ作成部（２６ａ）として機能させること、を特徴とするショットデータ作成プログラムである。
・第１１の発明は、第４から第８のいずれかの発明のパターン編集プログラムで作成された近似データに基づいてショットデータを作成するショットデータ作成装置（２０）のコンピュータを、前記９０°近似データの各近似点と、前記全円周近似データのうち前記９０°近似データの各近似点に対応した近似点とを接続することにより、矩形のショット形状を有するショットデータを作成するショットデータ作成手段（２６ａ）として機能させること、を特徴とするショットデータ作成プログラムである。
・第１２の発明は、第１から第９のいずれかの発明のパターン編集プログラムを記憶する記憶部（１５）と、前記記憶部のパターン編集プログラムを実行する制御部（１６）と、を備えるパターン編集装置である。
・第１３の発明は、第１０又は第１１の発明のショットデータ作成プログラムを記憶する記憶部（２５）と、前記記憶部のショットデータ作成プログラムを実行する制御部（２６）と、を備えるショットデータ作成装置である。
・第１４の発明は、中心角が９０°の整数倍の扇形の設計パターン、又は円の設計パターンを編集するパターン編集方法であって、設計パターンの半径である第１半径及び第２半径に挟まれ中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データを作成する基準近似データ作成工程と、基準扇形を第２半径を対称軸として線対称に複製することにより、中心角が９０°の扇形の円周に関する近似データである９０°近似データを作成する複製近似データ作成工程と、を備えるパターン編集方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、描画データを容易、短時間で作成できるパターン編集プログラム、ショットデータ作成プログラム、パターン編集装置、ショットデータ作成装置、パターン編集方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施形態の描画システム１の構成を示す図である。
【図２】第１実施形態の設計パターン５０、近似データのパターンを示す図である。
【図３】第１実施形態の近似データ作成処理、段差長さＤの算出処理のフローチャートである。
【図４】第１実施形態の点Ｐ（ｉ）の座標算出処理のフローチャートである。
【図５】第１実施形態の段差数Ｎが奇数の場合の段差長さＤの算出処理、点Ｐ（ｉ）の算出処理を説明する図である。
【図６】第１実施形態の段差数Ｎが偶数の場合の段差長さＤの算出処理、点Ｐ（ｉ）の算出処理を説明する図である。
【図７】第１実施形態のショットデータ作成処理のフローチャートである。
【図８】第１実施形態のショットデータを説明する図である。
【図９】第２実施形態の段差長さＤの算出処理、点Ｐ（ｉ）の算出処理を説明する図である。
【図１０】第２実施形態のショットデータを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態の描画システム１の構成を示す図である。
図２は、第１実施形態の設計パターン５０、近似データのパターンを示す図である。
描画システム１は、基板２上のレジスト膜に電子線を照射することにより、所望のパターン形状のパターン描画するものである。この基板２は、例えば、フォトマスク基板、シリコン基板、バイオチップ用の基板等である。
【００１０】
［システムの構成］
描画システム１は、パターン編集装置１０、ショットデータ作成装置２０、描画装置３０を備える。
パターン編集装置１０、ショットデータ作成装置２０、描画装置３０の間は、ＬＡＮ等の通信網を介して接続され、必要に応じて、互いに情報を送受信できる。
作業者は、各装置に記憶したデータを、他の装置に複製又は移動できる。この複製又は移動は、例えば、通信網、ＣＤ−ＲＯＭ等の記憶媒体等を利用できる。
【００１１】
図２に示すように、パターン編集装置１０は、設計者が設計パターン５０を作成し、その後に、設計パターン５０を編集することにより設計パターン５０（図２（Ａ）参照）を近似した近似パターン（図２（Ｂ）参照）を作成する装置である。つまり、パターン編集装置１０は、設計パターン５０を設計する設計装置と、設計パターン５０を編集する編集装置とを兼用する。
設計パターン５０は、実際に基板２上に形成したい所望のパターン形状のデータである。本実施形態では、設計パターン５０は、円形（つまり、中心角が３６０°の扇形）である。
近似パターンは、設計パターン５０の外形を、複数の直線で近似したパターン形状のデータである。
【００１２】
ショットデータ作成装置２０は、パターン編集装置１０が作成した近似データに基づいて、複数のショット形状を有するショットデータ（図８参照）を作成する装置である。ショットデータは、実際に描画装置３０で実際にパターンを描画する際に用いられる描画データである。
描画装置３０は、基板２上にパターンを描画する電子線描画装置である。
【００１３】
各装置１０，２０，３０は、操作部１１，２１，３１、表示部１２，２２，３２、記憶部１５，２５，３５、制御部１６，２６，３６を備える。
各操作部１１，２１，３１は、作業者（設計者等）が各装置１０，２０，３０を操作するためのマウス、キーボード、ボタン等の操作装置、入力装置である。
各表示部１２，２２，３２は、パターンの形状等を表示するモニタである。
各記憶部１５，２５，３５は、１０，２０，３０の動作に必要なプログラム、情報等を記憶するためのハードディスク、半導体メモリ素子等の記憶装置である。
各制御部１６，２６，３６は、例えば、ＣＰＵ等から構成される。各制御部１６，２６，３６は、それぞれ、各記憶部１５，２５，３５に記憶された各種プログラムを適宜読み出して実行することにより、各ハードウェアと協働し、実施形態に係る各種機能を実現している。
なお、実施形態でいうコンピュータとは、記憶装置、制御装置等を備えた情報処理装置をいう。各装置１０，２０，３０は、コンピュータの構成（記憶部１５，２５，３５、制御部１６，２６，３６等）を備える。
【００１４】
パターン編集装置１０は、記憶部１５、制御部１６を備える。
記憶部１５は、設計パターン作成プログラム１５ａ、近似データ作成プログラム１５ｂ（パターン編集プログラム）、設計パターン記憶部１５ｃ、近似データ記憶部１５ｄを備える。
設計パターン作成プログラム１５ａは、設計パターン５０を作成するプログラムである。
近似データ作成プログラム１５ｂは、設計パターン５０から近似データへ変換するプログラムである。
近似データ記憶部１５ｄは、近似データを記憶する。
【００１５】
制御部１６は、設計パターン作成部１６ａ、近似データ作成部１６ｂ（基準近似データ作成手段、複製近似データ作成手段、平行線数入力手段、近似パターン作成手段）を備える。
設計パターン作成部１６ａは、設計パターン５０の作成処理を行う。
近似データ作成部１６ｂは、設計パターン５０から近似データを作成する処理を行う。
制御部１６の処理の詳細は、後述する。
【００１６】
ショットデータ作成装置２０は、記憶部２５、制御部２６を備える。
記憶部３５は、ショットデータ作成プログラム２５ａ、近似データ記憶部２５ｄ、ショットデータ記憶部２５ｅを備える。
ショットデータ作成プログラム２５ａは、近似データからショットデータへ変換するプログラムである。ショットデータは、複数のショット図形を含むデータである。
近似データ記憶部２５ｄは、パターン編集装置１０が作成した近似データを記憶する。
ショットデータ記憶部２５ｅは、ショットデータを記憶する。
【００１７】
制御部２６は、ショットデータ作成部２６ａ（ショットデータ作成手段）を備える。
ショットデータ作成部２６ａは、近似データに基づいて、ショットデータを作成する処理を行う。
制御部２６の処理の詳細は、後述する。
【００１８】
描画装置３０は、描画部３３、記憶部３５、制御部３６を備える。
描画部３３は、実際に、基板２上に電子線を照射することにより、パターンを描画する部分である。描画部３３は、ショットデータのショット図形に対応したアパーチャを用いて、パターンを描画する。
記憶部３５は、ショットデータ記憶部３５ｅを備える。
ショットデータ記憶部３５ｅは、ショットデータ作成装置２０が作成したショットデータを記憶する。
制御部３６は、ショットデータ記憶部３５ｅのショットデータに基づいて、描画部３３を制御することにより、パターンを描画する。
【００１９】
［描画システム１の処理］
描画システム１の使用方法について説明しながら、システムの処理について説明する。
バイオチップ用の基板２に円形のパターンを描画する例を説明する。
図３は、第１実施形態の近似データ作成処理、段差長さＤの算出処理のフローチャートである。
図４は、第１実施形態の点Ｐ（ｉ）の座標算出処理のフローチャートである。
図５は、第１実施形態の段差数Ｎが奇数の場合の段差長さＤの算出処理、点Ｐ（ｉ）の算出処理を説明する図である。
図６は、第１実施形態の段差数Ｎが偶数の場合の段差長さＤの算出処理、点Ｐ（ｉ）の算出処理を説明する図である。
図７は、第１実施形態のショットデータ作成処理のフローチャートである。
図８は、第１実施形態のショットデータを説明する図である。
【００２０】
［近似データの作成処理］
図３（Ａ）に示すように、ステップＳ（以下、「Ｓ」という）１において、パターン編集装置１０の設計パターン作成部１６ａは、作業者から、設計パターン５０の半径の長さｒ、基板２上の位置等の入力操作を受け付ける。パターン編集装置１０の設計パターン作成部１６ａは、半径の長さｒの設計パターン５０を作成後、これを設計パターン記憶部１５ｃに記憶する。
なお、設計パターン５０は、予め作成されたものを用いてもよい。この場合には、設計パターン作成部１６ａは、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ等に記憶した設計パターン５０のデータを、読み取り装置（図示せず）で読み取って設計パターン記憶部１５ｃに記憶したり、通信網を介して設計パターン５０を取得して設計パターン記憶部１５ｃに記憶したりすればよい。
【００２１】
以降の説明において、適宜、ＸＹ直交座標系を用いて説明する。この座標系の中心は、円（つまり設計パターン５０）の中心である。また、ＸＹ座標軸よって分割される右上の領域（Ｘ座標、Ｙ座標が正の値をとる点からなる領域）が第一象限であり、これらから左回りの各領域が第２から第４象限である。
【００２２】
以降の処理（Ｓ２〜Ｓ３０）において、パターン編集装置１０の近似データ作成部１６ｂは、設計パターン記憶部１５ｃの設計パターン５０に基づいて、基準扇形を作成する。
基準扇形について説明する。
図５、図６に示すように、基準扇形は、第１半径Ｒ１及び第２半径Ｒ２に挟まれた中心角４５°の扇形である。第１半径Ｒ１及び第２半径Ｒ２の長さは、パターン形状の半径と同じ長さｒである。
第１半径Ｒ１は、正のＸ軸上の半径である。第２半径Ｒ２は、第１半径Ｒ１から左回りに中心角分である４５°回転した半径である。
【００２３】
Ｓ２において、パターン編集装置１０の近似データ作成部１６ｂは、作業者から、中心角が９０°の扇形の段差数Ｎの入力を受け付ける。
段差数Ｎは、第１象限のパターン円周を、近似線で近似した場合の段差数である。すなわち、段差数Ｎは、設計パターン５０のうち中心角が９０°の扇形の円周（円弧）を、近似線で近似した場合の段差数である。
後述するように、基準扇形の段差数ｎ（平行線の数）は、この扇形の段差数Ｎに基づいて算出される。つまり、Ｓ２は、基準扇形の段差数ｎに関する入力操作を受け付ける処理でもある。
【００２４】
近似線は、基準扇形の円周に沿うような線である。近似線は、平行線及び直交線が交互に接続されている。平行線は、第１半径Ｒ１に平行な線であり、つまり、Ｘ軸に平行な線である。直交線は、第１半径Ｒ１に直交する線であり、つまり、Ｙ軸に平行な線である。
Ｓ１０において、近似データ作成部１６ｂは、段差長さＤの算出処理を行う。この処理は、段差長さＤ（近似線の平行線の長さ）を求める処理である。
【００２５】
（段差長さＤの算出処理）
段差長さ算出処理について詳細に説明する。
図３（Ｂ）に示すように、Ｓ１１において、近似データ作成部１６ｂは、段差数Ｎが奇数か否かを判定する。なお、実施形態では、Ｎが奇数の場合と、偶数の場合とでは、近似線の作成方法が異なる。
近似データ作成部１６ｂは、Ｎが奇数であると判定した場合には（Ｓ１１：ＹＥＳ）、Ｓ１２ａに進み、一方、Ｎが奇数ではないと判定した場合、つまり、偶数であると判定した場合には（Ｓ１１：ＮＯ）、Ｓ１２ｂに進む。
【００２６】
＜Ｎが奇数の場合の段差長さＤの算出処理（Ｓ１２ａ，Ｓ１３ａ）＞
図５（Ａ）に示すように、実施形態では、中心角が９０°の扇形の段差数Ｎが奇数の場合、基準扇形の円周での近似線を、以下の条件を満たすように求める。
（ａ）第１半径Ｒ１の円周上の始点Ｃ（第１点）と、第２半径Ｒ２の線上の終点Ｂ’（第２点）との間を、平行線、直交線で接続する。
（ｂ）全ての平行線は、長さが等しい。
（ｃ）平行線の中点は、基準扇形の円周上に位置する。
（ｄ）始点Ｃは、第１半径Ｒ１の円周上の点である。
（ｅ）終点Ｂ’は、第２半径Ｒ２の延長線上であって円周から平行線に沿った方向に平行線の長さの半分だけ外側の点である。
（ｆ）始点Ｃでは直交線の端点で始まる。
（ｇ）終点Ｂ’では直交線の端点で始まる（終わる）。
【００２７】
Ｓ１２ａにおいて、近似データ作成部１６ｂは、基準扇形の円周の段差数ｎを算出する。段差数Ｎは、中心角が９０°の扇形の段差数である。このため、中心角４５°の基準扇形の円周の段差数ｎは、以下の通りである。
段差数ｎ：Ｎ／２の整数部
なお、段差数ｎは、基準扇形の円周の近似パターンの平行線の数である。
図５（Ａ）の例では、段差数Ｎ＝５であるので、段差数ｎ＝２である。
【００２８】
Ｓ１３ａにおいて、近似データ作成部１６ｂは、段差長さＤを算出する。
段差長さＤの算出方法は、複数ある。一例を説明する。
図５（Ａ）において、各点は、以下の通りである。
Ｂ：終点Ｂ’を通りＸ軸に平行な線と、設計パターン５０の円周との交点。
Ａ’：終点Ｂ’からＸ軸に引いた垂線の足（つまり、垂線、Ｘ軸との交点）。
Ａ：ＢからＸ軸に引いた垂線の足。
【００２９】
段差の総長さは、ｎＤである。よって、以下が成り立つ。
線分ＯＡ＝ｒ−ｎＤ−Ｄ／２
三角形ＯＡ’Ｂ’は、二等辺三角形である。よって、以下が成り立つ。
線分ＡＢ＝線分Ａ’Ｂ’＝線分ＯＡ’＝ｒ−ｎＤ
三角形ＯＡＢは、直角三角形である。よって、以下が成り立つ。
線分ＯＢ２＝線分ＯＡ２＋線分ＡＢ２
これらの式から以下を求めることができる。
ｒ２＝（ｒ−ｎＤ−Ｄ／２）２＋（ｒ−ｎＤ）２
これを、Ｄで整理することにより、以下の二次方程式を求める。
（（ｎ＋１／２）２＋ｎ２）Ｄ２−（４ｎ＋１）ｒＤ＋ｒ２＝０
Ｓ１３ａにおいて、近似データ作成部１６ｂは、この二次方程式を解いて段差長さＤを求める
その後、近似データ作成部１６ｂは、本処理（Ｓ２０）に戻る。
【００３０】
＜Ｎが偶数の場合の段差長さＤの算出処理（Ｓ１２ｂ，Ｓ１３ｂ）＞
図６（Ａ）に示すように、実施形態では、中心角が９０°の扇形の段差数Ｎが偶数の場合、基準扇形の円周での近似線を、以下の条件を満たすように求める。
（ａ）第１半径Ｒ１の円周上の始点Ｃ（第１点）と、第２半径Ｒ２の線上の終点Ｂ’（第２点）との間を、平行線、直交線で接続する。
（ｂ）全ての平行線は、長さが等しい
（ｃ）平行線の中点は、基準扇形の円周上に位置する。
（ｄ）始点Ｃは、第１半径Ｒ１の円周上の点である。
（ｅ）終点Ｂ’は、第２半径Ｒ２上であって円周から平行線に沿った方向に平行線の長さの半分だけ内側の点である。
（ｆ）始点Ｃでは直交線の端点で始まる。
（ｇ）終点Ｂ’では平行線の端点で始まる（終わる）。
なお、前述したＮが奇数の場合と、偶数の場合の場合とでは、条件（ｅ）、（ｇ）のみが異なる。
【００３１】
Ｓ１２ｂにおいて、近似データ作成部１６ｂは、基準扇形の円周の段差数Ｎを算出する。Ｎが偶数であるので、基準扇形の円周の段差数ｎは、以下の通りである。
段差数ｎ：Ｎ／２
なお、段差数ｎは、基準扇形の円周の近似パターンの平行線の数である。
図６（Ａ）の例では、段差数Ｎ＝４であるので、段差数ｎ＝２である。
【００３２】
Ｓ１３ｂにおいて、近似データ作成部１６ｂは、段差長さＤを算出する。
段差長さＤの算出方法は、複数ある。一例を説明する。
図６（Ａ）において、各点は、以下の通りである。
Ｂ：終点Ｂ’を通りＸ軸に平行な線と、設計パターン５０の円周との交点。
Ａ’：終点Ｂ’からＸ軸に引いた垂線の足（つまり、垂線、Ｘ軸との交点）。
Ａ：点ＢからＸ軸に引いた垂線の足。
【００３３】
段差の総長さｎＤである。よって、以下が成り立つ。
線分ＯＡ＝ｒ−ｎＤ＋Ｄ／２
三角形ＯＡ’Ｂ’は、二等辺三角形である。よって、以下が成り立つ。
線分ＡＢ＝線分Ａ’Ｂ’＝線分ＯＡ’＝ｒ−ｎＤ
三角形ＯＡＢは、二等辺三角形である。よって、以下が成り立つ。
線分ＯＢ２＝線分ＯＡ２＋線分ＡＢ２
これらの式から以下が求めることができる。
ｒ２＝（ｒ−ｎＤ＋Ｄ／２）２＋（ｒ−ｎＤ）２
これを、Ｄで整理すると、以下が成り立つ。
（（ｎ−１／２）２＋ｎ２）Ｄ２−（４ｎ−１）ｒＤ＋ｒ２＝０
近似データ作成部１６ｂは、この二次方程式を解いて段差長さＤを求める。
その後、近似データ作成部１６ｂは、本処理（Ｓ２０）に戻る。
【００３４】
（Ｐ（ｉ）の座標算出処理）
Ｓ２０において、近似データ作成部１６ｂは、Ｐ（ｉ）の座標算出処理を行う。
この処理は、各線分の端部、つまり、基準扇形の円周の近似線の始点Ｐ（０）、各頂点Ｐ（ｉ：１〜Ｎ−１）、終点Ｐ（Ｎ）の座標を算出する処理である。
なお、図５（Ｂ）、図６（Ｂ）から明らかなように、「ｉ：０〜Ｎ」である。
座標設定処理は、段差数Ｎが奇数の場合（Ｓ１１：ＹＥＳ）、偶数の場合（Ｓ１１：ＮＯ）とでは、処理内容が異なる。
最初に、図５（Ｂ）を参照しながら、段差数Ｎが奇数の場合（Ｓ１１：ＹＥＳ）の例を説明する。
【００３５】
＜段差数Ｎが奇数の場合のＰ（ｉ）の算出処理＞
図４に示すように、Ｓ２１において、近似データ作成部１６ｂは、始点Ｐ（０）を求める。
図５（Ｂ）に示すように、始点Ｐ（０）の座標は、以下の通りである。
始点Ｐ（０）：（Ｘ（０），Ｙ（０））＝（ｒ，０）
【００３６】
Ｓ２２において、近似データ作成部１６ｂは、ｉ＝１に設定する。
Ｓ２３において、近似データ作成部１６ｂは、ｉが奇数か否かを判定する。近似データ作成部１６ｂは、ｉが奇数である場合には（Ｓ２３：ＹＥＳ）、Ｓ２４ａに進み、一方、ｉが奇数ではない場合には（Ｓ２３：ＮＯ）、つまり、ｉが偶数の場合には、Ｓ２４ｂに進む。
Ｓ２３ａにおいて、図５（Ｂ）から明らかなように、近似データ作成部１６ｂは、「ｉ：奇数」の場合のＰ（ｉ）＝（Ｘ（ｉ），Ｙ（ｉ））の座標を、以下のように求める。
・Ｘ（ｉ）について
Ｘ（ｉ）＝Ｘ（ｉ−１）
・Ｙ（ｉ）について
（ｒ−ｉ×Ｄ／２）２＋Ｙ（ｉ）２＝ｒ２
この式を、Ｙ（ｉ）について解くことにより、Ｙ（ｉ）を求める。
【００３７】
Ｓ２４ｂにおいて、近似データ作成部１６ｂは、「ｉ：偶数」の場合のＰ（ｉ）＝（Ｘ（ｉ），Ｙ（ｉ））の座標を、以下のように求める。
・Ｘ（ｉ）について
図５（Ｂ）から明らかなように、以下の式が成り立つ。
Ｘ（ｉ）＝Ｘ（ｉ−１）−Ｄ
・Ｙ（ｉ）について
同様に、以下の式が成り立つ。
Ｙ（ｉ）＝Ｙ（ｉ−１）
【００３８】
Ｓ２５において、近似データ作成部１６ｂは、「ｉ←ｉ＋１」とすることにより、ｉを１だけ加算する。
Ｓ２６において、近似データ作成部１６ｂは、「ｉ＝Ｎ」であるか否かを判定する。
近似データ作成部１６ｂは、「ｉ＝Ｎ」であると判定した場合には（Ｓ２６：ＹＥＳ）、Ｓ２７に進み、一方、「ｉ＝Ｎ」ではないと判定した場合には（Ｓ２６：ＮＯ）、Ｓ２３からの処理を繰り返す。
このように、近似データ作成部１６ｂは、繰り返すＳ２３からの処理により、Ｐ（１）〜Ｐ（Ｎ−１）の座標を求めることができ、そして、「ｉ＝Ｎ」の場合に、Ｓ２７に進むことによりＰ（Ｎ）を求める。
【００３９】
Ｓ２７において、近似データ作成部１６ｂは、Ｎが奇数であるか否かを判定する。図５（Ｂ）の例は、近似データ作成部１６ｂは、Ｎが奇数のであるので（Ｓ２７：ＹＥＳ）、近似データ作成部１６ｂは、Ｓ２８ａに進む。
Ｓ２８ａにおいて、近似データ作成部１６ｂは、Ｐ（Ｎ）：（Ｘ（Ｎ），Ｙ（Ｎ））を以下によって求める。
Ｐ（Ｎ）は、第２半径Ｒ２の延長線上の点である。第２半径Ｒ２及びＸ軸のなす角は、４５°であるので、Ｘ（Ｎ）＝Ｙ（Ｎ）である。
Ｘ（Ｎ）：Ｘ（Ｎ−１）
Ｙ（Ｎ）：Ｘ（Ｎ−１）
以上により、近似データ作成部１６ｂは、Ｎが奇数の場合のＰ（０）〜Ｐ（Ｎ）を求めることができる。
【００４０】
＜段差数Ｎが偶数の場合のＰ（ｉ）の算出処理＞
次に、段差数Ｎが偶数の場合（Ｓ１１：ＮＯ）の例を説明する。
図５（Ｂ）、図６（Ｂ）から明らかなように、段差数Ｎが奇数の場合と、偶数の場合とにおける形状の差は、終点Ｐ（Ｎ）の位置である。このため、Ｎが偶数の場合にも、Ｐ（０）からＰ（Ｎ−１）までの座標は、段差数Ｎが奇数の場合と同様に、Ｓ２３〜Ｓ２６を繰り返す処理によって求めることができる。
すなわち、近似データ作成部１６ｂは、ｉが奇数である場合には（Ｓ２３：ＹＥＳ）、Ｓ２４ａに進むことにより、Ｐ（ｉ）＝（Ｘ（ｉ），Ｙ（ｉ））の座標を、以下のように求めることができる。
・Ｘ（ｉ）について
Ｘ（ｉ）＝Ｘ（ｉ−１）
・Ｙ（ｉ）について
（ｒ−ｉ×Ｄ／２）２＋Ｙ（ｉ）２＝ｒ２
この式を、Ｙ（ｉ）について解くことにより、Ｙ（ｉ）を求める。
【００４１】
一方、近似データ作成部１６ｂは、ｉが偶数である場合には（Ｓ２３：ＮＯ）、Ｓ２４ｂに進むことにより、Ｐ（ｉ）＝（Ｘ（ｉ），Ｙ（ｉ））の座標を、以下のように求めることができる。
・Ｘ（ｉ）について
Ｘ（ｉ）＝Ｘ（ｉ−１）−Ｄ
・Ｙ（ｉ）について
Ｙ（ｉ）＝Ｙ（ｉ−１）
【００４２】
Ｓ２７において、近似データ作成部１６ｂは、Ｎが奇数であるか否かを判定する。図６（Ｂ）の例は、Ｎが偶数であるので（Ｓ２７：ＮＯ）、近似データ作成部１６ｂは、Ｓ２８ｂに進む。
Ｓ２８ｂにおいて、近似データ作成部１６ｂは、Ｐ（Ｎ）：（Ｘ（Ｎ），Ｙ（Ｎ））を以下によって求める。
Ｐ（Ｎ）は、第２半径Ｒ２上の点である。第２半径Ｒ２及びＸ軸のなす角は、４５°であるので、Ｘ（Ｎ）＝Ｙ（Ｎ）である。
Ｘ（Ｎ）：Ｙ（Ｎ−１）
Ｙ（Ｎ）：Ｙ（Ｎ−１）
以上により、近似データ作成部１６ｂは、Ｎが偶数の場合のＰ（０）〜Ｐ（Ｎ）を求めることができる。
【００４３】
Ｓ２９において、近似データ作成部１６ｂは、本フロー（図３（Ａ）のＳ３０）に戻る。
【００４４】
Ｓ３０において、図５（Ｂ）、図６（Ｂ）にハッチングで示すように、近似データ作成部１６ｂは、基準扇形パターンを作成する。
すなわち、近似データ作成部１６ｂは、上記処理で求めたＰ（ｉ）、Ｐ（ｉ＋１）間の座標を線分で接続することにより、基準扇形の円周の近似線（基準近似データ）を作成する。その後、近似データ作成部１６ｂは、近似線と、第１半径Ｒ１、第２半径Ｒ２とに囲まれた領域を塗り潰し、また、この領域に電子線が照射される領域であるという情報を付与する。但し、図５（Ｂ）の場合には、第２半径Ｒ２を延長する。基準扇形パターンは、この塗り潰された領域に関する情報と、この領域に電子線が照射されるという情報とを備える。
なお、基準扇形パターンの外形の一部は、近似線によって形成される。このため、基準扇形パターンは、近似線に関する情報、つまり、基準扇形の円周に関する情報を含む。
以上の工程によって、近似データ作成部１６ｂは、中心角が４５°である基準扇形の円周に関する近似データである基準近似データを作成できる（基準近似データ作成工程）。
【００４５】
Ｓ３１において、図５（Ｂ）、図６（Ｂ）に示すように、近似データ作成部１６ｂは、基準扇形パターンを、第２半径Ｒ２を対称軸として線対称である複製する（図５（Ｂ）、図６（Ｂ）の矢印♯１参照）。
実施形態では、Ｓ３１以降の処理を、Ｎが奇数の基準扇形の処理を例に説明する。Ｎが偶数の基準扇形の処理についても同様である。
これにより、近似データ作成部１６ｂは、パターン形状のうち、半径がｒであり中心角が９０°の扇形の部分を、段差数Ｎの近似線で近似した近似形状（以後、「９０°近似データ」ともいう）が作成できる（複製近似データ作成工程）。
９０°近似データも、基準扇形及び複製扇形の円周の近似線に関する情報を含む。
【００４６】
Ｓ３２において、近似データ作成部１６ｂは、９０°近似データのパターンを、Ｙ軸を対称軸として線対称で複製したパターンを作成する（図２（Ｂ）の矢印♯２参照）。
さらに、近似データ作成部１６ｂは、９０°近似データのパターン及びこの複製したパターンを、Ｘ軸を対称軸として線対称で複製したパターンを作成する（図２（Ｂ）の矢印♯３参照）。
これにより、パターン形状のうち半径がｒであり中心角が９０°の扇形の部分を、第１から第４象限の全てに配置した全円周近似データを作成できる。
この全円周近似データも、基準扇形パターンと同様に、近似線に関する情報、つまり、基準扇形の円周に関する情報を含む。
なお、この複製方法は、一例である。複製方法は、最終的に図２（Ｂ）の形態を作成できればよく、例えば、回転、点対称等を用いた方法でもよい。
近似データ作成部１６ｂは、作成した全円周近似データを、近似データ記憶部１５ｄに記憶する。
【００４７】
以上により近似データの作成処理が終了する。
このように、パターン編集装置１０は、設計パターン５０のうち中心角が４５°の扇形についての処理を行い、その処理結果を複製することにより、全円周近似データを作成することができる。これにより、パターン編集装置１０は、容易かつ短時間で、全円周近似データの作成できる。
【００４８】
また、パターン編集装置１０は、全円周近似データのパターンを、シンメトリーに作成できる。
すなわち、９０°近似データは、第２半径Ｒ２を対称軸として、線対称の形状となる。このため、パターン描画時における外形の湾曲度合は、第２半径Ｒ２を対称軸として、線対称である。さらに、全円周近似データは、Ｘ軸を対称軸として線対称であり、また、Ｙ軸を対称軸として線対称である（つまり、原点を対称点として点対称）。かつ、全円周近似データは、Ｘ軸となす角が４５°又は−４５°の線を対称軸として、線対称である。
これにより、設計パターン５０の再現性を向上できる。
【００４９】
［ショットデータ作成処理］
ショットデータ作成処理は、ショットデータ作成装置２０が、全円周近似データに基づいてショットデータを作成する処理である。
図１の工程♯１１に示すように、作業者は、パターン編集装置１０の近似データ作成部１６ｂに記憶した全円周近似データを、ショットデータ作成装置２０の近似データ記憶部２５ｄに、複製又は移動する（図１の矢印♯１１参照）。
図７に示すように、Ｓ４０において、ショットデータ作成装置２０のショットデータ作成部２６ａは、作業者の操作を受け付け、作成する描画パターンが細分割（図８（Ａ）参照）であるか、粗分割（図８（Ｂ）参照）であるか否かを判定する。
【００５０】
図８（Ａ）に示すように、細分割は、全円周近似データのパターンを、粗分割よりも多くの矩形のショット図形を有する分割したものである。また、細分割では、例えば、外形に近い部分を、小さな３つの矩形に分割している。このため、細分割では、パターン描画時において、ＸＹ差が小さい。
図８（Ｂ）に示すように、粗分割は、近似パターンを、Ｘ軸方向に延在する矩形のショット図形のみによって分割したものである。このため、粗分割では、細分割よりも矩形のショット図形の数が少ない。また、粗分割のショット図形は、細分割よりもＸＹ差が大きくなる。
【００５１】
作業者は、基板２の使用目的、描画条件、ＸＹ差の許容誤差を考慮して、細分割及び粗分割から選択すればよい。
ショットデータ作成部２６ａは、作成する描画パターンが細分割であると判定した場合には（Ｓ４０：ＹＥＳ）、Ｓ４１ａに進み、一方、細分割ではないと判定した場合、つまり粗分割であると判定した場合には（Ｓ４０：ＮＯ）、Ｓ４１ｂに進む。
【００５２】
Ｓ４１ａにおいて、ショットデータ作成部２６ａは、近似データ記憶部２５ｄの全円周近似データを読み出して、このパターンを細分割したショットデータを作成する。ショットデータ作成部２６ａは、ショットデータをショットデータ記憶部２５ｅに記憶する。
Ｓ４１ｂにおいて、ショットデータ作成部２６ａは、近似データ記憶部２５ｄの全円周近似データを読み出して、このパターンを粗分割したショットデータを作成する。ショットデータ作成部２６ａは、ショットデータをショットデータ記憶部２５ｅに記憶する。
Ｓ４２において、ショットデータ作成部２６ａは、処理を終了する。
なお、近似パターンは、シンメトリーであるので、細分割、粗分割のいずれの場合にも、ショットデータのパターンは、シンメトリーである。
また、実施形態の全円周近似データのパターンを分割する処理は、従来のような円周近傍の形状を細かいショット図形で分割する処理よりも、ショット数を少なくすることができる。これにより、実施形態の全円周近似データのパターンを分割する処理は、容易かつ短時間で行うことができる。
【００５３】
［描画工程］
作業者は、ショットデータ作成装置２０のショットデータ記憶部２５ｅに記憶したショットデータを、描画装置３０のショットデータ記憶部３５ｅに、複製又は移動する（図１の矢印♯１２参照）。
描画装置３０の制御部３６は、作業者の操作に基づいて、ショットデータ記憶部３５ｅからショットデータを読み出し、これに基づいて基板２上に電子線描画する（図１の矢印♯１３参照）。
この場合、ショットデータのショット数は、従来よりも少ないため、従来よりも描画時間を短縮できる。さらに、ショットデータのパターンは、シンメトリーである。このため、ショット数が少ない場合でも、パターン描画時における形状再現性を向上できる。
【００５４】
以上説明したように、本実施形態の描画システム１は、設計パターン５０から全円周近似データの容易かつ短時間で作成できる。また、全円周近似データのパターンを分割する処理を、容易かつ短時間で行うことができる。さらに、描画時には、従来よりも描画時間を短縮でき、また、設計パターン５０の形状再現性を向上できる。
【００５５】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾（下２桁）に同一の符号を適宜付して、重複する説明を適宜省略する。
図９は、第２実施形態の段差長さＤの算出処理、点Ｐ（ｉ）の算出処理を説明する図である。
図１０は、第２実施形態のショットデータを説明する図である。
本実施形態の描画システムは、第１実施形態と同様な構成であり、処理のみが第１実施形態とは異なる。
また、図９（Ａ）に示すように、本実施形態の描画システムの処理は、点Ｐ（ｉ）の座標算出処理（図３のＳ３０）までは、第１実施形態と同様である。
なお、本実施形態では、段差数Ｎが奇数であるＮ＝５の場合の処理について説明するが、段差数Ｎが偶数の場合の処理も同様である。
【００５６】
図９（Ａ）、図９（Ｂ）に示すように、パターン編集装置の近似データ作成部（図１の近似データ作成部１６ｂ参照）は、点Ｐ（ｉ）のうち設計パターンの円周の外側のＰ（１）、Ｐ（３）のみを、第２半径Ｒ２を対称軸として線対称になるように複製する（図９（Ａ）の矢印♯２０１参照）。複製された点を、Ｐ（６）、Ｐ（７）とする。この場合、Ｐ（５）は、第２半径Ｒ２上の点であるので、複製する必要はない。
このため、本実施形態の９０°近似データは、Ｐ（１）、Ｐ（３）、Ｐ（５）、Ｐ（６）、Ｐ（７）の座標データを備える。
すなわち、本実施形態では、基準扇形の円周の近似データ（基準近似データ）として、基準扇形の円周上の点を近似した点（基準近似点）であるＰ（１）、Ｐ（３）、Ｐ（５）の座標データを備える。また、９０°近似データは、半径がｒであり中心角が９０°の扇形の円周上の点を近似した、Ｐ（１）、Ｐ（３）、Ｐ（５）、Ｐ（６）、Ｐ（７）の座標データを備える。
【００５７】
その後、パターン編集装置の近似データ作成部は、９０°近似データのＰ（１）、Ｐ（３）、Ｐ（５）、Ｐ（６）、Ｐ（７）を、第１実施形態と同様に複製する。
図１０に示すように、これにより、近似データ作成部は、Ｐ（１）、Ｐ（３）、Ｐ（５）、Ｐ（６）、Ｐ（７）を、第１から第４象限の全てに複製した近似データを作成する。
図１０には、第２から第４象限に応じた各点に、枝番を付して図示した。
【００５８】
このように、近似データの作成処理は、各点の座標を複製すればよいので、容易かつ短時間で行うことができる。
【００５９】
作業者は、ショットデータ作成装置を利用して、近似データからショットデータを作成する。
ショットデータ作成装置のショットデータ作成部（図１のショットデータ作成部２６ａ参照）は、各点に対応した複製点を接続することにより、それぞれ矩形のショット形状を作成する。
ショットデータ作成部は、例えば、Ｐ（１）と、これに対応した複製点Ｐ（１）−２、Ｐ（１）−３、Ｐ（１）−４を接続することにより、１つの矩形のショット形状を作成する。
これにより、ショットデータ作成部は、Ｐ（１）、Ｐ（３）、Ｐ（５）、Ｐ（６）、Ｐ（７）に対応した５つのショット図形を有するショットデータを作成する。
【００６０】
このように、ショットデータの作成処理は、各点を接続すればよいので、容易かつ短時間で行うことができる。
【００６１】
ここで、各ショット図形は、Ｘ軸を対称軸として線対称であり、かつ、Ｙ軸を対称軸として線対称である。
Ｐ（５）に対応したショット図形は、正方形である。
また、各ショット図形と、第２半径Ｒ２を対称軸として複製した点を有する他のショット形状とは、Ｘ軸とのなす角が４５°（又は−４５°）の線Ｌを対称軸として線対称である。
例えば、Ｐ（３）に対応したショット図形と、Ｐ（３）を第２半径Ｒ２を対称軸として複製したＰ（６）に対応したショット図形とは、線Ｌを対称軸として線対称である。
Ｐ（１）に対応したショット図形、Ｐ（７）に対応したショット図形も同様である。
【００６２】
本実施形態では、これら５つのショット図形を、重なりを有するように配置する。このため、パターンを描画時には、重なり部分は、シンメトリーに複数回照射されることになるので、ＸＹ差がない。これにより、設計パターンの形状再現性を向上できる。
なお、詳細な説明は省略するが、ショットデータ作成部は、ショット図形を重ねた形状の外形を抽出することにより、全周近似データを作成できる。これにより、ショットデータ作成部は、第１実施形態と同様に、描画パターンの細分割（図８（Ａ）参照）、粗分割（図８（Ｂ）参照）を行うこともできる。
作業者は、基板の使用目的、描画条件、ＸＹ差の許容誤差を考慮して、ショットデータの形態を、３つの形態から適宜選択すればよい。
【００６３】
以上説明したように、本実施形態の描画システムは、ＸＹ差を少なくでき、また、設計パターンの形状再現性を向上できる。
【００６４】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、後述する変形形態等のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。
【００６５】
（変形形態）
実施形態において、設計パターンは、円形である例を示したが、これに限定されない。設計パターンは、中心角が９０°の整数倍、つまり中心角が９０°、１８０°、２７０°のいずれかの扇形でもよい。
中心角が９０°の扇形の場合には、９０°近似データをそのまま近似データとして用いることができる。
１８０°、２７０°の場合には、９０°近似データを、それぞれ対応する象限に複製すればよい。
【００６６】
（１）実施形態において、パターン編集装置、ショットデータ作成装置は、別々の装置である例を示したが、これに限定されない。パターン編集装置、ショットデータ作成装置は、一体の装置であってもよい。この場合には、この装置の記憶部が、近似データ作成プログラム、ショットデータ作成プログラムを１つのプログラムとして記憶し、この装置の制御部が、設計パターンの近似データの作成から、ショットデータの作成までを、一連の処理で行うことができる。
【符号の説明】
【００６７】
１…描画システム    ２…基板    １０…パターン編集装置    １５，２５，３５…記憶部    １５ｂ…近似データ作成プログラム    １５ｃ…設計パターン記憶部    １６，２６，３６…制御部    １６ｂ…近似データ作成部    ２０…ショットデータ作成装置    ２５ａ…ショットデータ作成プログラム    ２６ａ…ショットデータ作成部    ５０…設計パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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