(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも基材と当該基材の一方の面に積層された接着剤層とからなり、少なくとも３方向に張力が付与されることで、当該接着剤層に接着された板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間用接着シートであって、
当該離間用接着シートの面内の少なくとも３箇所に頂部を有し、前記板状部材が貼付されたときに当該板状部材が貼付された被着体貼付領域を包囲可能な多角形の包囲領域と、
前記各頂部からそれぞれ当該離間用接着シートの外縁方向に延びる２つの辺を有し、前記包囲領域に対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込と、
前記不干渉切込および包囲領域によって区分され、当該包囲領域に張力を付与するとともにフレームに貼付される引張領域と、
互いに隣り合う前記引張領域を接続し、前記フレームに貼付されるフレーム貼付領域とを備えていることを特徴とする離間用接着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、離間用接着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単にウエハという場合がある）を所定の形状、所定のサイズに切断して複数の半導体チップ（以下、単にチップという場合がある）に個片化し、個片化した各チップの相互間隔を広げてからリードフレームや基板等の被搭載物上に搭載することが行われている。
【０００３】
チップ（片状体）の相互間隔を広げる離間方法としては、フィルム（接着シート）を介してフレームと一体化されたウェハ（板状部材）を支持するフレーム支持手段（支持手段）と、フィルム面支持機構（離間テーブル）とを相対移動させることが知られている（例えば、特許文献１参照）。このようなチップの相互間隔を広げる方法では、例えば＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向の張力を接着シートに付与し、例えば最外周に位置するチップが所定の位置に達したことを検知手段が検知することで間隔を広げる動作が完了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２０４７４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の方法では、接着シートには上記４方向に加え、図２（Ｃ）に示すように、それらの合成方向すなわち、＋Ｘ軸方向と＋Ｙ軸方向との合成方向ＣＤ１、＋Ｘ軸方向と−Ｙ軸方向との合成方向ＣＤ２、−Ｘ軸方向と＋Ｙ軸方向との合成方向ＣＤ３、−Ｘ軸方向と−Ｙ軸方向との合成方向ＣＤ４にも張力が付与される。その結果、内側のチップの間隔と外側のチップとの間隔に違いが生じる。しかし、このような間隔の違いは極めて微小なため、各チップは、均等に間隔が広げられたものとされ、計算で導き出される位置（以下、理論上の位置という場合がある）を基準として搬送装置やピックアップ装置等の搬送手段によって搬送され、被搭載物上に搭載されて製造物が形成される。その結果、当該製造物におけるチップと被搭載物との相対位置関係が微妙にずれてしまう場合が生じ、ワイヤボンディングの接続位置がずれたり、チップと被搭載物との端子同士の位置がずれたりして、それらの導通が取れなくなり、当該製造物の歩留りを低下させてしまうという不都合を生じる。なお、このような課題は、半導体装置の製造に係るだけでなく、例えば緻密な機械部品や微細な装飾品等においても発生し得る。
【０００６】
本発明の目的は、板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げたときに、各片状体の位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる離間用接着シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明の離間用接着シートは、少なくとも基材と当該基材の一方の面に積層された接着剤層とからなり、少なくとも３方向に張力が付与されることで、当該接着剤層に接着された板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間用接着シートであって、当該離間用接着シートの面内の少なくとも３箇所に頂部を有し、前記板状部材が貼付されたときに当該板状部材が貼付された被着体貼付領域を包囲可能な多角形の包囲領域と、前記各頂部からそれぞれ当該離間用接着シートの外縁方向に延びる２つの辺を有し、前記包囲領域に対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込と、前記不干渉切込および包囲領域によって区分され、当該包囲領域に張力を付与するとともにフレームに貼付される引張領域と、互いに隣り合う前記引張領域を接続し、前記フレームに貼付されるフレーム貼付領域とを備えている、という構成を採用している。
また、本発明の別の離間用接着シートは、少なくとも基材と当該基材の一方の面に積層された接着剤層とからなり、少なくとも３方向に張力が付与されることで、当該接着剤層に接着された板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間用接着シートであって、当該離間用接着シートの面内の少なくとも３箇所に頂部を有し、前記板状部材が貼付されたときに当該板状部材が貼付された被着体貼付領域を包囲可能な多角形の包囲領域と、前記各頂部からそれぞれ当該離間用接着シートの外縁方向に延びる１本の切込で構成され、前記包囲領域に対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込と、前記不干渉切込および包囲領域によって区分され、当該包囲領域に張力を付与する引張領域とを備えていることを特徴とする離間用接着シートという構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、離間用接着シートが不干渉切込を有するため、引張領域を引っ張ることで包囲領域に対して少なくとも３方向の所定方向に張力を付与したときに、当該包囲領域に対してそれらの合成方向に張力が付与されることを極力抑制することができ、板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げたときに、各片状体の位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる。
【００１０】
また、不干渉切込の２つの辺が断続的な切込であれば、不干渉切込が形成されていない従来の接着シートと同様に、一般的なシート貼付装置やマウント装置等を用いて離間用接着シートを被着体に貼付することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る離間用接着シートの斜視図。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は前記一実施形態に係る離間用接着シートの使用例、（Ｃ）は従来例の説明図。
【図３】本発明の変形例の離間用接着シートの平面図。
【図４】本発明の他の変形例の離間用接着シートの平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行なＤ１方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
図１において、離間用接着シートＡＵは、少なくとも基材ＢＳと当該基材ＢＳの一方の面に積層された接着剤ＡＤ層とからなり、少なくとも３方向に張力が付与されることで、当該接着剤ＡＤ層に接着された板状部材としてのウエハＷＦから形成される複数の片状体としてのチップＣＰの相互間隔を広げる離間用接着シートであって、当該離間用接着シートＡＵの面内の４箇所に頂部ＡＰを有し、ウエハＷＦが貼付されたときに当該ウエハＷＦが貼付された被着体貼付領域ＡＷを包囲可能な多角形の包囲領域ＡＣと、各頂部ＡＰからそれぞれ当該離間用接着シートＡＵの外縁方向に延びて、包囲領域ＡＣに対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込ＣＵと、不干渉切込ＣＵおよび包囲領域ＡＣによって区分され、当該包囲領域ＡＣに張力を付与する引張領域ＡＬと、フレームとしてのリングフレームＲＦ（図２（Ａ）参照）に貼付され、互いに隣り合う引張領域ＡＬを接続するフレーム貼付領域ＡＦとを備えている。
不干渉切込ＣＵは、各頂部ＡＰからそれぞれ離間用接着シートＡＵの外縁方向に延びる２つの辺ＣＳと、リングフレームＲＦの内縁に沿う円弧部ＣＴとから構成されている。
【００１３】
基材ＢＳおよび接着剤ＡＤ層としては、特に制限はなく、基材ＢＳは、例えば上質紙、グラシン紙、コート紙などの紙類、これらの紙類にポリエチレンなどの熱可塑性樹脂をラミネートしたラミネート紙、ポリエステル（例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート）、ポリオレフィン（例えばポリプロピレン、ポリエチレン）、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリビニルアルコール、ポリウレタン、アクリル系樹脂などのプラスチック、セルローストリアセテート、セルロースジアセテート、セロハンなどのセルロース、天然ゴムやシリコンゴムなどのゴム、木材、金属、陶器、硝子、石材などで構成され、１μｍ〜１００ｍｍの厚みを有するものが例示でき、接着剤ＡＤ層は、アクリル系、ゴム系、シリコン系の粘着剤で構成され、１μｍ〜５ｍｍの厚みを有するものが例示できる。なお、これら基材ＢＳおよび接着剤ＡＤ層の厚みは、技術常識に照らし合わせて前述した例示の厚み以上でもよいし、例示の厚み以下のものでもよい。
【００１４】
次に、離間用接着シートＡＵを用いて、ウエハＷＦから形成される複数のチップＣＰの相互間隔を広げる手順を説明する。
先ず、図２（Ａ）に示すように、ウエハＷＦが包囲領域ＡＣ内に配置され、リングフレームＲＦが円弧部ＣＴおよび引張領域ＡＬの外縁部に配置されるように、それらウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに離間用接着シートＡＵを貼付し一体物ＷＫを形成する。なお、ウエハＷＦは、切断刃や加圧水等のウエハ切断手段によりチップＣＰに個片化されるか、レーザ光や薬液等のウエハ脆弱化手段によりチップＣＰに個片化可能とされている。
そして、同図に示すように、左右に一対配置された支持部材２１の間に位置する離間テーブル３０の上方にウエハＷＦが位置するように、リングフレームＲＦの左右の部分を各支持部材２１の溝２１Ａに挿通させる。次に、支持部材２１を下降させると、図２（Ｂ）に示すように、４つの引張領域ＡＬによって包囲領域ＡＣに＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向の張力が付与されてチップＣＰの相互間隔が広がる。そして、最外周に位置するチップＣＰが所定の位置に達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、支持部材２１の下降を停止する。
ここで、接着シートＡＳに不干渉切込ＣＵが形成されていない場合、包囲領域ＡＣには、上記４方向に加え、これらの合成方向（ＣＤ１、ＣＤ２、ＣＤ３、ＣＤ４方向）にも張力が付与される。このため、各チップＣＰは、図２（Ｃ）に示すように、内側のチップＣＰの間隔と外側のチップＣＰとの間隔に違いが生じ、各チップＣＰを理論上の位置に配置することができない。
これに対し、本実施形態では、不干渉切込ＣＵが形成された離間用接着シートＡＵを使用するため、包囲領域ＡＣに対して４方向に張力を付与したときに、当該包囲領域ＡＣに対してそれらの合成方向に張力が付与されることを極力抑制することができる。
【００１５】
その後、搬送装置やピックアップ装置等の図示しない搬送手段が理論上の位置を基準として各チップＣＰを保持して搬送し、リードフレームや基板等の被搭載物上に搭載する。
【００１６】
以上のような実施形態によれば、ウエハＷＦから形成される複数のチップＣＰの相互間隔を広げたときに、各チップＣＰの位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる。
【００１７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００１８】
図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、離間用接着シートＡＵ１、ＡＵ２は、被着体貼付領域ＡＷ１を囲む三角形、五角形の包囲領域ＡＣ１、ＡＣ２の各頂部ＡＰからそれぞれ当該離間用接着シートＡＵ１、ＡＵ２の外縁方向に延びる１／３円状、１／５円状の不干渉切込ＣＵ１、ＣＵ２と、包囲領域ＡＣ１、ＡＣ２に張力を付与する３つ、５つの引張領域ＡＬ１、ＡＬ２と、フレーム貼付領域ＡＦとを備えてもよいし、５つ以上の不干渉切込と、５つ以上の引張領域とを備えてもよい。このように、引張領域の数に合わせてウエハＷＦに付与する張力の方向と数とが変更され、ウエハＷＦに付与する張力の方向は、３方向でもよいし、５方向以上でもよい。
図３（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、離間用接着シートＡＵ３、ＡＵ４、ＡＵ５は、離間用接着シートＡＵ、ＡＵ１、ＡＵ２に対しフレーム貼付領域ＡＦを備えない構成を有してもよい。
【００１９】
図４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、離間用接着シートＡＵ６、ＡＵ７、ＡＵ８は、四角形、三角形、五角形の包囲領域ＡＣ、ＡＣ１、ＡＣ２の各頂部ＡＰからそれぞれ当該離間用接着シートＡＵ６、ＡＵ７、ＡＵ８の外縁方向に延びるスリット状の切込からなる不干渉切込ＣＵ６、ＣＵ７、ＣＵ８と、包囲領域ＡＣ１に張力を付与する４つ、３つ、５つの引張領域ＡＬ６、ＡＬ７、ＡＬ８とを備えてもよいし、互いに隣り合う引張領域ＡＬ６、ＡＬ７、ＡＬ８を接続するフレーム貼付領域をさらに備えてもよい。
図４（Ｄ）、（Ｅ）、（Ｆ）に示すように、離間用接着シートＡＵ９、ＡＵ１０、ＡＵ１１は、各頂部ＡＰからそれぞれ当該離間用接着シートＡＵ９、ＡＵ１０、ＡＵ１１の外縁方向に延びる断続的な切込（切り取り線）からなる不干渉切込ＣＵ９、ＣＵ１０、ＣＵ１１を備え、不干渉切込ＣＵ９、ＣＵ１０の破断により切り離された不要シートＵＳを除去したり、不干渉切込ＣＵ１１を破断したりすることで、図１、図３（Ｃ）、図４（Ａ）に示す離間用接着シートＡＵ、ＡＵ３、ＡＵ６を形成可能に構成されてもよい。
【００２０】
離間用接着シートをウエハＷＦ等の板状部材やリングフレーム貼付するときには、手作業であってもよいし、シート貼付装置やマウント装置を用いてもよい。図４（Ｄ）、（Ｅ）、（Ｆ）に示すように不干渉切込ＣＵ９、ＣＵ１０、ＣＵ１１を切り取り線にすれば、剥離シートから離間用接着シートＡＵ９、ＡＵ１０、ＡＵ１１を剥離して板状部材等に貼付する処理を、不干渉切込が形成されていない従来の接着シートと同様に、一般的なシート貼付装置やマウント装置等を用いて行うことができる。
不干渉切込ＣＵ、ＣＵ１、ＣＵ２、ＣＵ９を構成する各辺や、不干渉切込ＣＵ６〜ＣＵ８、ＣＵ１０〜ＣＵ１１を曲線状や折線状等の切込で形成してもよい。
図１、図３（Ａ）〜（Ｂ）、図４（Ｄ）に示す離間用接着シートＡＵ、ＡＵ１、ＡＵ２、ＡＵ９において、包囲領域ＡＣの各頂部ＡＰからそれぞれ当該離間用接着シートＡＵ、ＡＵ１、ＡＵ２、ＡＵ９の外縁方向に延びる２つの辺のみを形成し、リングフレームＲＦの内縁に沿う円弧部を切断することなく不干渉切込を形成してもよい。
【００２１】
包囲領域は、少なくとも３個所の頂部を最短距離で繋いだ各直線で形成される多角形の内側の領域であり、被着体貼付領域を包囲可能な多角形形状であればどのような形状でもよい。
包囲領域の形状は、離間テーブルの上面の形状と相似関係にある形状でもよいし、相似関係にない形状でもよし、被着体貼付領域と相似関係にある形状でもよいし、相似関係にない形状でもよく、被着体貼付領域を包囲可能な多角形の形状であればなんら限定されることはなく、被着体貼付領域に対して張力を付与する方向と数によってその形状を決定することができる。
板状部材や片状体の形状は、例えば円形、楕円形、三角形や五角形以上の多角形等、その他の形状であってもよい。
【００２２】
また、本発明における離間用接着シートＡＵ、ＡＵ１〜ＡＵ１１の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、離間用接着シートＡＵ、ＡＵ１〜ＡＵ１１は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。また、離間用接着シートＡＵ、ＡＵ１〜ＡＵ１１は、例えば、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。さらに、板状部材としては、例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品等も対象とすることができ、片状体は、それらが個片化されたものであればよい。なお、離間用接着シートＡＵ、ＡＵ１〜ＡＵ１１は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００２３】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、包囲領域は、離間用接着シートの面内の少なくとも３箇所に頂部を有し、板状部材が貼付された被着体貼付領域を囲む多角形のものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の構成についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２４】
ＡＣ、ＡＣ１、ＡＣ２…包囲領域
ＡＤ…接着剤
ＡＬ、ＡＬ１、ＡＬ２、ＡＬ６、ＡＬ７、ＡＬ８…引張領域
ＡＰ…頂部
ＡＵ、ＡＵ１、ＡＵ２、ＡＵ３、ＡＵ４、ＡＵ５、ＡＵ６、ＡＵ７、ＡＵ８、ＡＵ９、ＡＵ１０、ＡＵ１１…離間用接着シート
ＡＷ、ＡＷ１…被着体貼付領域
ＢＳ…基材
ＣＰ…チップ（片状体）
ＣＳ…辺
ＣＵ、ＣＵ１、ＣＵ２、ＣＵ３、ＣＵ６、ＣＵ７、ＣＵ８、ＣＵ９、ＣＵ１０、ＣＵ１…不干渉切込
ＷＦ…ウエハ（板状部材）
【図１】
0006573444.tif 000002
【図２】
0006573444.tif 000003
【図３】
0006573444.tif 000004
【図４】
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