(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１可動部と第２可動部を含む可動部、平面視で前記第１可動部と前記第２可動部との間に配置されている支持部、および前記可動部と前記支持部とを連結している連結部を含む素子片と、
前記第１可動部と対向して配置されている第１電極と、
前記第２可動部と対向して配置されている第２電極と、
前記可動部と対向し、かつ、前記平面視で前記第１電極および前記第２電極と重ならないように配置され、前記素子片と同電位である第３電極と、
前記平面視で、前記素子片の周囲の少なくとも一部を囲むように配置され、前記可動部と同電位である周囲配置部と、
を含み、
前記第３電極は、前記平面視で、前記第１電極と前記第２電極との間、前記第１電極の前記第２電極の側とは反対側、および前記第２電極の前記第１電極の側とは反対側、にそれぞれ設けられていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
基板と、
第１可動部と第２可動部とを含み、前記基板に対して揺動可能な可動部と、前記基板の平面視で前記第１可動部と前記第２可動部との間に配置され、前記基板に固定されている支持部と、前記可動部と前記支持部とを連結している連結部と、を含む素子片と、
前記基板に配置され、前記第１可動部と対向している第１電極と、
前記基板に配置され、前記第２可動部と対向している第２電極と、
前記可動部とは別体であり、前記基板に配置され、前記平面視で、前記素子片の周囲の少なくとも一部を囲み、前記可動部と同電位である周囲配置部と、
を含むことを特徴とする物理量センサー。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記周囲配置部は、前記可動部に電気的に接続されていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項において、
前記周囲配置部は、前記平面視で、前記素子片の全周を囲んでいる枠状部であることを特徴とする物理量センサー。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項において、
前記素子片が揺動する方向とは異なる方向へ前記素子片が変位することを規制する規制部が、前記周囲配置部に設けられていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項６】
請求項５において、
前記規制部は、前記周囲配置部から前記素子片に向けて突出している突起部を含むことを特徴とする物理量センサー。
【請求項７】
請求項１において、
前記第３電極は、前記素子片と電気的に接続されていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか一項において、
前記素子片に加速度が作用したとき、前記第１可動部に生じる回転モーメントと前記第２可動部に生じる回転モーメントは互いに異なることを特徴とする物理量センサー。
【請求項９】
請求項８において、
前記第２可動部に生じる回転モーメントは、前記第１可動部に生じる回転モーメントよりも大きいことを特徴とする物理量センサー。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか一項に記載の物理量センサーを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれか一項に記載の物理量センサーを備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサー、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、大きい可動電極部と小さい可動電極部とを備える可動電極部を有し、この可動電極部がシーソー状に揺動可能となるように絶縁基板に支持されている可動電極と、大きい可動電極部と対向して設けられ、大きい可動電極部との間に静電容量を形成する固定電極と、小さい可動電極部と対向して設けられ、小さい可動電極部との間に静電容量を形成する固定電極と、を有する物理量センサーが記載されている。このような物理量センサーでは、厚さ方向に加速度が加わると、加わった加速度の大きさに基づいて可動電極が揺動し、この揺動に対応して前記静電容量が変化するため、この静電容量の変化に基づいて加速度を検出することができる。
【０００３】
しかしながら、各固定電極に接続される配線（可動電極と異なる電位となる配線）が可動電極部の周囲に配置されると、この配線と可動電極部との間に発生する静電力によって、加速度が加わった際の可動電極部の変位が阻害される。すなわち、加わった加速度に応じた可動電極の揺動が阻害される。そのため、物理量検知能が低下するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２９８４０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、優れた物理量検知能を有する物理量センサー、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
本適用例の物理量センサーは、一方側に設けられる第１可動部と、他方側に設けられ、加速度が加わった時に発生する回転モーメントが前記第１可動部と異なっている第２可動部と、を有し、前記第１可動部および前記第２可動部の間に位置する軸まわりに揺動可能に支持されている可動部を備える可動電極と、
前記第１可動部と対向して配置される第１電極と、
前記第２可動部と対向して配置される第２電極と、
前記可動部の平面視にて、前記可動部の周囲の少なくとも一部を囲むように配置され、前記可動電極と同電位となる周囲配置部と、を有することを特徴とする。
【０００８】
このように、可動部の周囲に、可動部と同電位の周囲配置部を設けることで、可動部の揺動に影響を与える不要な静電力の発生が低減される。そのため、受けた物理量に応じて可動部を適切に揺動（変位）させることができ、優れた物理量検知能を発揮することができる。
【０００９】
［適用例２］
本適用例の物理量センサーでは、前記周囲配置部は、前記可動電極に電気的に接続されていることが好ましい。
これにより、周囲配置部を簡単に可動電極と同電位とすることができる。
【００１０】
［適用例３］
本適用例の物理量センサーでは、前記周囲配置部は、前記可動部の平面視にて、前記可動部の全周を囲む枠状をなしていることが好ましい。
【００１１】
これにより、可動電極の揺動に影響を与える静電力の発生をより低減することができる。
【００１２】
［適用例４］
本適用例の物理量センサーでは、前記周囲配置部に、前記可動部の前記揺動とは異なる方向への変位を規制する規制部が設けられていることが好ましい。
【００１３】
これにより、可動部の意図しない方向への変位を低減でき、物理量センサーの破損等を低減することができる。
【００１４】
［適用例５］
本適用例の物理量センサーでは、前記規制部は、前記周囲配置部から前記可動部に向けて突出する突起部を有していることが好ましい。
【００１５】
これにより、規制部の構成が簡単となる。また、規制部と可動部との接触面積が小さくなる。
【００１６】
［適用例６］
本適用例の物理量センサーでは、前記可動部の平面視にて、前記可動部と対向し、かつ、前記第１電極および前記第２電極と重ならないように配置され、前記可動電極と同電位となる第３電極を有していることが好ましい。
【００１７】
これにより、可動部の揺動に影響を与える静電力の発生をより低減することができる。また、陽極接合時（製造時）のスティッキングを低減することができる。
【００１８】
［適用例７］
本適用例の物理量センサーでは、前記第３電極は、前記可動電極と電気的に接続されていることが好ましい。
これにより、第３電極を簡単に可動電極と同電位とすることができる。
【００１９】
［適用例８］
本適用例の物理量センサーでは、前記第３電極は、前記第１電極と前記第２電極との間と、前記第１電極の前記第２電極とは反対側と、前記第２電極の前記第１電極とは反対側と、に設けられていることが好ましい。
これにより、第３電極をより広く配置することができる。
【００２０】
［適用例９］
本適用例の電子機器は、上記いずれかの適用例の物理量センサーを有していることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
【００２１】
［適用例１０］
本適用例の移動体は、上記いずれかの適用例の物理量センサーを有していることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の好適な実施形態に係る物理量センサーの平面図（上面図）である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１に示す物理量センサーの駆動を説明するための概略図である。
【図４】本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図５】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図６】本発明の電子機器を適用したデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。
【図７】本発明の移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の物理量センサー、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２４】
図１は、本発明の好適な実施形態に係る物理量センサーの平面図（上面図）である。図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。図３は、図１に示す物理量センサーの駆動を説明するための概略図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１中の紙面手前側（＋Ｚ軸側）を「上」、紙面奥側（−Ｚ軸側）を「下」とも言う。また、各図には、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸が図示されている。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」とも言う。
【００２５】
図１および図２に示す物理量センサー１は、Ｚ軸方向（鉛直方向）の加速度を測定するための加速度センサーとして利用可能である。このような物理量センサー１は、ベース基板（基板）２および蓋体３を備えているパッケージ１０と、パッケージ１０内の内部空間Ｓに配置されている素子片（可動電極）４および枠状部（周囲配置部）６と、を有している。
【００２６】
−ベース基板−
図１および図２に示すように、ベース基板２には上面に開口する凹部２１が形成されている。この凹部２１は、素子片４とベース基板２との接触を防止するための逃げ部として機能する。また、凹部２１の中央部には、凹部２１の底面から突出した凸部２５が設けられており、この凸部２５に素子片４がシーソー揺動可能に固定されている。
【００２７】
また、ベース基板２には、上面に開口し、一端部が凹部２１と接続されている凹部２２、２３、２４が形成されている。これら凹部２２、２３、２４は、平面視で、凹部２１の周囲に配置され、凹部２２、２３、２４内には素子片４用の配線７１１、７２１、７３１および端子７１２、７２２、７３２が配置されている。また、各端子７１２、７２２、７３２は、パッケージ１０の外部に露出するように配置されており、これにより、外部（例えばＩＣチップ）との電気的な接続が容易となっている。
【００２８】
また、凹部２１の底面には、第１検出電極（第１電極）５１１と、第２検出電極（第２電極）５１２と、ダミー電極（第３電極）５１３と、が配置されている。そして、第１検出電極５１１が配線７１１に電気的に接続され、第２検出電極５１２が配線７２１に電気的に接続され、ダミー電極５１３が配線７３１に電気的に接続されている。
【００２９】
このようなベース基板２は、アルカリ金属イオン（可動イオン）を含むガラス材料（例えば、パイレックスガラス（登録商標）のような硼珪酸ガラス）から形成されている。これにより、シリコン基板から形成されている素子片４をベース基板２に対して陽極接合により強固に接合することができる。ただし、ベース基板２の構成材料としては、ガラス材料に限定されず、例えば、高抵抗なシリコン材料を用いることができる。この場合、素子片４との接合は、例えば、樹脂系接着剤、ガラスペースト、金属層等を介して行うことができる。
【００３０】
また、配線７１１、７２１、７３１、端子７１２、７２２、７３２、および、電極５１１、５１２、５１３の構成材料としては、それぞれ、導電性を有するものであれば、特に限定されず、各種電極材料を用いることができる。例えば、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ等の金属単体またはこれらを含む合金等の金属が好適に用いられる。
【００３１】
−素子片−
素子片４は、図１および図２に示すように、ベース基板２の上方に設けられている。この素子片４は、支持部４１と、可動部４２と、可動部４２を支持部４１に対して揺動可能とするように可動部４２と支持部４１とを連結する一対の連結部４３、４４と、を有している。そして、連結部４３、４４を軸Ｊとして、可動部４２が支持部４１に対してシーソー揺動するように構成されている。
【００３２】
また、可動部４２は、Ｘ方向に延びる長手形状（略長方形状）をなし、＋Ｘ方向（一方）側が第１可動部４２１となっており、−Ｘ方向（他方）側が第２可動部４２２となっている。また、第１、第２可動部４２１、４２２には、それぞれ、Ｘ方向に並設され、Ｙ方向に延在する複数のスリット４２１ａ、４２２ａが形成されている。これにより、可動部４２のシーソー揺動の抵抗が低減する。また、第１可動部４２１と第２可動部４２２との間には開口４２３が形成されており、この開口４２３の内側に、支持部４１および連結部４３、４４が配置されている。
【００３３】
また、第１、第２可動部４２１、４２２は、鉛直方向（Ｚ軸方向）の加速度が加わったときの回転モーメントが互いに異なっており、前記加速度に応じて可動部４２に所定の傾きが生じるように設計されている。これにより、鉛直方向の加速度が生じると、可動部４２が軸Ｊまわりにシーソー揺動する。具体的には、本実施形態では、平面視で、第１可動部４２１の面積よりも第２可動部４２２の面積を大きくすることで、言い換えると、第１可動部４２１の質量よりも第２可動部４２２の質量を大きくすることで、第１可動部４２１の回転モーメントよりも第２可動部４２２の回転モーメントが大きくなるように設計されている。
【００３４】
なお、第１、第２可動部４２１、４２２の形状としては、前述したように、互いに異なる回転モーメントを有していれば特に限定されず、例えば、平面視での形状が同じであって、厚みが異なっていてもよい。また、同じ形状であって、いずれか一方に錘部が配置されていてもよい。錘部は、例えば、タングステン、モリブテン等の錘材料を別体として配置してもよいし、可動部４２と一体的に形成されていてもよい。
【００３５】
また、支持部４１は、開口４２３内に配置されており、図２に示すように、ベース基板２の凸部２５に接合されている。また、連結部４３、４４も開口４２３内に配置されており、これら連結部４３、４４によって、支持部４１と可動部４２とが連結されている。また、連結部４３、４４は、支持部４１の両側にＹ軸方向に沿って同軸的に位置している。これにより、鉛直方向の加速度が加わると、連結部４３、４４を捩り変形させながら、可動部４２が軸Ｊまわりにシーソー揺動する。
【００３６】
このような素子片４は、リン、ボロン等の不純物をドープしたシリコン基板から一体形成されている。これにより、エッチングによって高精度に加工することができるため、素子片４の寸法精度を優れたものとすることができる。また、素子片４を陽極接合によってベース基板２に接合することができる。ただし、素子片４の材料としては、シリコンに限定されない。また、導電性を付与する方法も、ドーピングに限定されず、例えば、可動部４２の表面に金属等の導体層を形成してもよい。
【００３７】
また、素子片４は、図２に示すように、支持部４１において、配線７３１（ダミー電極５１３）に電気的に接続されている。支持部４１と配線７３１との電気的な接続は、支持部４１と配線７３１との間に位置する導電性のバンプＢ（例えば、金バンプ）を介して行われる。
【００３８】
このような素子片４に対する各電極５１１、５１２、５１３の配置は、次の通りである。すなわち、図２に示すように、第１検出電極５１１は、第１可動部４２１と対向するように配置されており、第１可動部４２１との間に静電容量Ｃａを形成している。また、第２検出電極５１２は、第２可動部４２２と対向するように配置されており、第２可動部４２２との間に静電容量Ｃｂを形成している。これら第１、第２検出電極５１１、５１２は、平面視で、軸Ｊに対してほぼ線対称に配置されている。また、ダミー電極５１３は、第１、第２検出電極５１１、５１２と重ならないように、かつ、なるべく、凹部２１の底面のガラス露出部分が少なくなるように配置されている。具体的には、ダミー電極５１３は、第１検出電極５１１と第２検出電極５１２の間と、第１検出電極５１１の＋Ｘ軸側と、第２検出電極５１２の−Ｘ軸側と、に３分割となって設けられている。なお、第１検出電極５１１と第２検出電極５１２の間に位置するダミー電極５１３は、配線７３１を兼ねている。
【００３９】
これら３つの電極５１１、５１２、５１３のうち、第１、第２検出電極５１１、５１２は、加速度検知に用いられる電極であり、ダミー電極５１３は、製造時のスティッキングの発生を低減するための電極である。前述したように、素子片４（素子片４をパターニングする前のシリコン基板を含む）とベース基板２とは陽極接合により接合するが、この際に印加する電圧によって、素子片４とベース基板２との間に静電力が発生し、この静電力によって素子片４がベース基板２（凹部２１の底面）に張り付いてしまう場合がある。そのため、本実施形態では、ベース基板２の素子片４と対向する面である凹部２１の底面に素子片４と同電位のダミー電極５１３を設けて前記静電力を低減し、前述したような素子片４のベース基板２への貼り付き（スティッキング）を低減している。
【００４０】
−枠状部−
枠状部６は、枠状をなしており、素子片４を囲むようにして、素子片４の周囲に設けられ、ベース基板２の上面に接合されている。また、枠状部６は、導電性のバンプＢを介して、各ダミー電極５１３と電気的に接続されている。なお、中央に位置するダミー電極５１３は、配線７３１と電気的に接続されており、配線７３１は、可動部４２と電気的に接続されている。そのため、可動部４２、枠状部６およびダミー電極５１３が同電位となっている。
【００４１】
このような枠状部６は、導電性を有していれば、特に限定されないが、リン、ボロン等の不純物をドープしたシリコン基板から形成されていることが好ましい。これにより、シリコン基板から枠状部６と素子片４とを一括形成することができるため、物理量センサー１の製造が容易となる。
【００４２】
なお、枠状部６の形状としては、平面視で、可動部４２の周囲の少なくとも一部を囲むように配置されていればよく、例えば、途中で欠損していてもよいし、２つ以上に分割されていてもよい。
【００４３】
また、枠状部６には、可動部４２のシーソー揺動とは異なる変位（平面視での面内方向への変位。すなわち、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＸ軸とＹ軸の合成方向への変位）を規制する規制部８が設けられている。このような規制部８は、可動部４２のＸ軸方向への変位を規制する第１変位規制部８１と、可動部４２のＹ軸方向への変位を規制する第２変位規制部８２と、を有している。
【００４４】
第１変位規制部８１は、可動部４２とＸ軸方向に対向し、枠状部６の内周面から可動部４２へ向けて突出する突起部８１１を有している。そのため、例えば、物理量センサー１にＸ軸方向の加速度（衝撃）が加わり、可動部４２が枠状部６に対してＸ軸方向に変位すると、可動部４２が突起部８１１にぶつかって、それ以上の変位が規制される。よって、可動部４２のＸ軸方向への過度な変位を低減でき、素子片４の破損を低減することができる。
【００４５】
同様に、第２変位規制部８２は、可動部４２とＹ軸方向に対向し、枠状部６の内周面から可動部４２へ向けて突出する突起部８２１を有している。そのため、例えば、物理量センサー１にＹ軸方向の加速度（衝撃）が加わり、可動部４２が枠状部６に対してＹ軸方向に変位すると、可動部４２が突起部８２１にぶつかって、それ以上の変位が規制される。よって、可動部４２のＹ軸方向への過度な変位を低減でき、素子片４の破損を低減することができる。
【００４６】
なお、第１、第２変位規制部８１、８２を突起部８１１、８２１で構成することで、その構成が簡単となる。また、突起部８１１、８２１は、枠状部６と一体形成されていてもよいし、例えば、樹脂材料、ゴム材料等の比較的柔らかい材料で別体として形成されていてもよい。
【００４７】
−蓋体−
蓋体３は、下面に開口する凹部３１を有しており、この凹部３１が凹部２１とで素子片４を収容する内部空間Ｓを形成するように、ベース基板２に接合されている。このような蓋体３は、本実施形態では、シリコン基板で形成されている。これにより、蓋体３とベース基板２とを陽極接合によって接合することができる。なお、蓋体３をベース基板２に接合しただけの状態では、ベース基板２に形成されている凹部２２、２３、２４を介して内部空間Ｓの内外が連通されている。そのため、本実施形態では、ＴＥＯＳＣＶＤ法等で形成された図示しないＳｉＯ２膜によって凹部２２、２３、２４を塞いで、内部空間Ｓを気密封止している。
【００４８】
以上、物理量センサー１の構成について簡単に説明した。このような物理量センサー１は、次のようにして鉛直方向の加速度を検知することができる。物理量センサー１に鉛直方向の加速度が加わっていない場合、可動部４２は、図３（ａ）に示すように、水平状態を維持している。そして、物理量センサー１に鉛直方向下向き（−Ｚ軸方向）の加速度Ｇ１が加わると、第１、第２可動部４２１、４２２の回転モーメントの異なりから、可動部４２は、図３（ｂ）に示すように、軸Ｊを中心にして反時計回りにシーソー揺動する。反対に、物理量センサー１に鉛直方向上向き（＋Ｚ軸方向）の加速度Ｇ２が加わると、可動部４２は、図３（ｃ）に示すように、軸Ｊを中心して時計回りにシーソー揺動する。このような可動部４２のシーソー揺動によって、第１可動部４２１と第１検出電極５１１の離間距離および第２可動部４２２と第２検出電極５１２の離間距離が変化し、これに応じて静電容量Ｃａ、Ｃｂが変化する。そのため、これら静電容量Ｃａ、Ｃｂの変化量（静電容量Ｃａ、Ｃｂの差動信号）に基づいて加速度の値を検出することができる。また、静電容量Ｃａ、Ｃｂの変化の方向から加速度の方向（−Ｚ軸側の加速度なのか、＋Ｚ軸側の加速度なのか）を特定することができる。このようにして、物理量センサー１を用いて加速度を検出することができる。
【００４９】
ここで、前述したように、素子片４が枠状部６を介して配線７３１に接続されていることから、可動部４２と、その周囲に位置する枠状部６とが同電位となっている。このように、可動部４２の周囲に位置する枠状部６を可動部４２と同電位とすることで、加わった加速度に応じて可動部４２を適切にシーソー揺動させることができ、加速度を精度よく検知することができる。具体的に説明すると、図１にも示されているように、可動部４２の周囲には可動部４２と電位の異なる配線７１１、７２１が配置されている。そのため、配線７１１、７２１と可動部４２との間で静電力が発生し、この静電力が可動部４２のシーソー揺動を阻害して、加速度の検知精度が低下する。これに対して、本実施形態では、可動部４２の周囲（配線７１１、７２１との間）に、可動部４２と同電位の枠状部６を設けているため、前述のような静電力の発生が低減されている。そのため、加わった加速度に応じて可動部４２を適切にシーソー揺動させることができ、加速度を精度よく検知することができる。特に、本実施形態では、枠状部６が枠状をなし、平面視で、可動部４２の全周を囲っているため、上記の効果をより顕著に発揮することができる。
【００５０】
（電子機器）
次に、本発明の電子機器を説明する。
【００５１】
図４は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【００５２】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、その落下や傾斜を計測するための加速度や角速度等の物理量を計測する物理量センサー１が搭載されている。このように、上述した物理量センサー１を搭載することで、信頼性の高いパーソナルコンピューター１１００を得ることができる。
【００５３】
図５は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【００５４】
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、その落下や傾斜を計測するための加速度や角速度等の物理量を計測する物理量センサー１が搭載されている。このように、上述した物理量センサー１を搭載することで、信頼性の高い携帯電話機１２００を得ることができる。
【００５５】
図６は、本発明の電子機器を適用したデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
【００５６】
デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge  Coupled  Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３０８が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示をおこなう構成になっており、表示部１３０８は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００５７】
撮影者が表示部１３０８に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３１０に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示される様に、ビデオ信号出力端子１３１２には液晶ディスプレイ１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３１０に格納された撮像信号が、液晶ディスプレイ１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。この様なデジタルスチールカメラ１３００には、その落下や傾斜を計測するための加速度や角速度等の物理量を計測する物理量センサー１が搭載されている。このように、上述した物理量センサー１を搭載することで、信頼性の高いデジタルスチールカメラ１３００を得ることができる。
【００５８】
なお、本発明の電子機器は、図４のパーソナルコンピューター、図５の携帯電話機、図６のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、スマートフォン、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。
【００５９】
（移動体）
次に、本発明の移動体を説明する。
図７は、本発明の移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。
【００６０】
自動車１５００は、種々の制御信号を処理する物理量センサー１を備えた各種制御ユニットが搭載されている。例えば、同図に示す様に、移動体としての自動車１５００には、当該自動車１５００の加速度を検知するセンサーを内蔵してエンジンの出力を制御する電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic  Control  Unit）１５０８が車体１５０７に搭載されている。電子制御ユニット１５０８には、車体１５０７の加速度や角速度等の物理量を計測する物理量センサー１が搭載されている。このように、上述した物理量センサー１を搭載することで、車体１５０７の姿勢に応じた適切なエンジン出力制御を高精度に実行し、燃料等の消費を抑制した効率的な移動体としての自動車１５００を得ることができる。
【００６１】
また、物理量センサー１は、他にも、車体姿勢制御ユニット、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire  Pressure  Monitoring  System）等に広く適用できる。
【００６２】
以上、本発明の物理量センサー、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【００６３】
また、前述した実施形態では、物理量センサーが規制部を有している構成について説明したが、規制部を省略してもよい。また、前述した実施形態では、物理量センサーがダミー電極を有している構成について説明したが、ダミー電極は、省略してもよい。また、前述した実施形態では、加速度センサーに適用した場合について説明したが、角速度センサーに適用してもよいし、加速度センサーと角速度センサーが一体化された複合センサーに適用してもよい。
【符号の説明】
【００６４】
１……物理量センサー
１０……パッケージ
２……ベース基板
２１、２２、２３、２４……凹部
２５……凸部
３……蓋体
３１……凹部
４……素子片
４１……支持部
４２……可動部
４２１……第１可動部
４２１ａ……スリット
４２２……第２可動部
４２２ａ……スリット
４２３……開口
４３、４４……連結部
５１１……第１検出電極
５１２……第２検出電極
５１３……ダミー電極
６……枠状部
７１１、７２１、７３１……配線
７１２、７２２、７３２……端子
８……規制部
８１……第１変位規制部
８１１……突起部
８２……第２変位規制部
８２１……突起部
１１００……パーソナルコンピューター
１１０２……キーボード
１１０４……本体部
１１０６……表示ユニット
１１０８……表示部
１２００……携帯電話機
１２０２……操作ボタン
１２０４……受話口
１２０６……送話口
１２０８……表示部
１３００……デジタルスチールカメラ
１３０２……ケース
１３０４……受光ユニット
１３０６……シャッターボタン
１３０８……表示部
１３１０……メモリー
１３１２……ビデオ信号出力端子
１３１４……入出力端子
１４３０……液晶ディスプレイ
１４４０……パーソナルコンピューター
１５００……自動車
１５０７……車体
１５０８……電子制御ユニット
Ｂ……バンプ
Ｃａ……静電容量
Ｃｂ……静電容量
Ｇ１、Ｇ２……加速度
Ｊ……軸
Ｓ……内部空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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