(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理装置を結ぶように設けられた走行経路と、前記走行経路を走行して前記処理装置により処理される物品を搬送する搬送車と、前記搬送車の走行を管理する管理部と、を備え、
前記走行経路には、前記搬送車に電力を供給する第１走行経路と、前記搬送車に電力を供給しない第２走行経路とが含まれ、
前記搬送車として、前記第１走行経路から供給される電力によって走行する第１搬送車と、蓄電装置を搭載して当該蓄電装置から供給される電力によって走行する第２搬送車と、を備えた物品搬送設備であって、
前記第１走行経路と前記第２走行経路とは、相互に接続されており、
前記管理部は、前記第１搬送車が前記第１走行経路及び前記第２走行経路のうちの前記第１走行経路のみを走行するように前記第１搬送車の走行を管理し、前記第２搬送車が前記第１走行経路及び前記第２走行経路の双方に亘って走行するように前記第２搬送車の走行を管理し、
前記走行経路を走行する前記搬送車に電力を供給する給電部が、前記走行経路の長手方向に沿って前記第１走行経路及び前記第２走行経路の全域に亘って設けられ、
前記給電部が、前記長手方向に複数の給電区間に区分されているとともに、前記複数の給電区間の夫々が、電力を供給する供給状態と電力の供給を停止する供給停止状態とに各別に切換え自在であり、
前記第１走行経路は、前記走行経路のうちの前記供給状態の前記給電区間に対応する部分によって構成され、
前記第２走行経路は、前記走行経路のうちの前記供給停止状態の前記給電区間に対応する部分によって構成されている物品搬送設備。
【請求項２】
前記管理部は、物品の搬送元の前記処理装置から当該物品の搬送先の前記処理装置までの物品の搬送の指令である搬送指令を生成する指令生成処理と、複数の前記搬送車の中から前記搬送指令に係る物品の搬送を担当する担当搬送車を選択する選択処理と、前記選択処理により選択された前記搬送車に対して前記搬送指令を出力する指令処理と、を実行し、
前記管理部は、前記第１走行経路に対応する前記処理装置の配置情報及び前記第２走行経路に対応する前記処理装置の配置情報を記憶するとともに、前記選択処理において、前記処理装置の配置情報に基づいて、前記搬送指令の搬送元である前記処理装置が前記第１走行経路に沿って配置されている場合は、前記第１搬送車及び前記第２搬送車のいずれかを前記担当搬送車として選択し、前記搬送指令の搬送元である前記処理装置が前記第２走行経路に沿って配置されている場合は、前記第２搬送車を前記担当搬送車として選択する請求項１に記載の物品搬送設備。
【請求項３】
前記第１搬送車に搭載され、前記第１搬送車を制御する第１制御部と、前記第２搬送車に搭載され、前記第２搬送車を制御する第２制御部と、を更に備え、
前記管理部が、前記走行経路において前記第１搬送車の走行が許容される区間である第１走行許容区間を規定する第１許容区間定義データ、及び、前記走行経路において前記第２搬送車の走行が許容される区間である第２走行許容区間を規定する第２許容区間定義データを記憶し、
前記第１走行許容区間には、前記第１走行経路のみが含まれ、
前記第２走行許容区間には、前記第２走行経路と前記第１走行経路との双方が含まれ、
前記第１制御部が、前記管理部から取得した前記第１許容区間定義データに基づいて、前記第１走行許容区間内で前記第１搬送車を走行させ、
前記第２制御部が、前記管理部から取得した前記第２許容区間定義データに基づいて、前記第２走行許容区間内で前記第２搬送車を走行させ、
前記第１搬送車及び前記第２搬送車の夫々が物品を移載可能な物品保持部が、前記第１走行経路に沿って設けられ、
前記管理部は、前記第１走行経路に沿って配置された前記処理装置を搬送元とし、前記第２走行経路に沿って配置された前記処理装置を搬送先とする物品の搬送について、物品を前記搬送元の処理装置から前記物品保持部まで搬送して当該物品保持部に移載するように前記第１搬送車を作動させる前半搬送指令を前記第１制御部に指令し、かつ、物品を前記物品保持部から移載して前記搬送先の前記処理装置まで搬送するように前記第２搬送車を作動させる後半搬送指令を前記第２制御部に指令する請求項２に記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の処理装置を結ぶように設けられた走行経路と、前記走行経路を走行して前記処理装置により処理される物品を搬送する搬送車と、前記搬送車の走行を管理する管理部と、を備え、前記走行経路には、前記搬送車に電力を供給する第１走行経路と、前記搬送車に電力を供給しない第２走行経路とが含まれ、前記搬送車として、前記第１走行経路から供給される電力によって走行する第１搬送車と、蓄電装置を搭載して当該蓄電装置から供給される電力によって走行する第２搬送車と、を備えた物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
このような物品搬送設備の一例として、例えば、特許第５２２９３６３号公報（特許文献１）には、走行経路に沿って設けられた給電線から給電された電力で作動する第１搬送車（天井走行車２）のみが走行する第１走行経路（軌道６）と、自己が備える蓄電池により供給される電力で作動する第２搬送車（ローカル台車４）のみが走行する第２走行経路（軌道８）と、が、各別に設けられた物品搬送設備が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５２２９３６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の物品搬送設備においては、第１搬送車との間でのみ物品の授受が可能な処理装置を搬送元とし、第２搬送車との間でのみ物品の移載が可能な処理装置を搬送先とする物品の搬送、あるいは、搬送元と搬送先とがその逆となる物品の搬送を行う場合には、第１搬送車のみ又は第２搬送車のみでは搬送元から搬送先への物品の搬送を完結できない。
そこで、特許文献１では、第１搬送車と第２搬送車との双方が物品を授受可能な物品保持部（バッファ１０）を設け、第１搬送車とバッファ１０との間で物品の移載を行い、かつ、バッファ１０と第２搬送車との間で物品の移載を行うことで、第１搬送車と第２搬送車との間で物品を受け渡して、搬送元から搬送先へ物品を搬送する。
【０００５】
しかしながら、このような構成では、第１搬送車との間でのみ物品の授受が可能な処理装置を搬送元とし、第２搬送車との間でのみ物品の移載が可能な処理装置を搬送先とする物品の搬送に際して、バッファ１０を介しての第１搬送車と第２搬送車との間での物品の受け渡しが必ず発生することになるため、物品の搬送効率が低下する。
【０００６】
そこで、第１走行経路に属する搬送対象箇所と第２走行経路に属する搬送対象箇所とに亘って物品を搬送する場合の搬送効率の低下を極力抑制可能な物品搬送設備が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る物品搬送設備は、複数の処理装置を結ぶように設けられた走行経路と、前記走行経路を走行して前記処理装置により処理される物品を搬送する搬送車と、前記搬送車の走行を管理する管理部と、を備え、前記走行経路には、前記搬送車に電力を供給する第１走行経路と、前記搬送車に電力を供給しない第２走行経路とが含まれ、前記搬送車として、前記第１走行経路から供給される電力によって走行する第１搬送車と、蓄電装置を搭載して当該蓄電装置から供給される電力によって走行する第２搬送車と、を備えたものであって、
前記第１走行経路と前記第２走行経路とは、相互に接続されており、前記管理部は、前記第１搬送車が前記第１走行経路及び前記第２走行経路のうちの前記第１走行経路のみを走行するように前記第１搬送車の走行を管理し、前記第２搬送車が前記第１走行経路及び前記第２走行経路の双方に亘って走行するように前記第２搬送車の走行を管理し、前記走行経路を走行する前記搬送車に電力を供給する給電部が、前記走行経路の長手方向に沿って前記第１走行経路及び前記第２走行経路の全域に亘って設けられ、前記給電部が、前記長手方向に複数の給電区間に区分されているとともに、前記複数の給電区間の夫々が、電力を供給する供給状態と電力の供給を停止する供給停止状態とに各別に切換え自在であり、前記第１走行経路は、前記走行経路のうちの前記供給状態の前記給電区間に対応する部分によって構成され、前記第２走行経路は、前記走行経路のうちの前記供給停止状態の前記給電区間に対応する部分によって構成されている点を特徴とする。
【０００８】
すなわち、物品の搬送元と搬送先との双方が第１走行経路に沿って存在する場合には、第１搬送車及び第２搬送車の何れかに物品を搬送させることで、物品の搬送を１台の搬送車で完結させることができる。また、物品の搬送元と搬送先との双方が第２走行経路に沿って存在する場合には、第２搬送車に物品を搬送させることで、物品の搬送を１台の搬送車で完結させることができる。
さらに、第２搬送車は、相互に接続された第１走行経路と第２走行経路との双方を走行可能であるから、物品の搬送元と搬送先とが第１走行経路と第２走行経路とに亘って存在する場合には、第２搬送車に物品を搬送させることで、搬送元から搬送先までの物品の搬送を１台の搬送車で完結させることができる。
したがって、第１走行経路に属する搬送対象箇所と第２走行経路に属する搬送対象箇所とに亘って物品を搬送する場合の搬送効率の低下を極力抑制可能な物品搬送設備を提供できる。
また、給電部は走行経路に沿って設けられている為、例えば、走行経路を構成する走行レールに対する作業（交換工事や新設工事等。以下、走行経路での作業と称する。）を行う場合、作業を行う該当箇所及び周辺箇所に対応する給電区間においては、給電部を供給停止状態にする必要がある。本特徴構成によれば、走行経路に沿って設けられる複数の給電区間の夫々について、給電部を各別に供給状態と供給停止状態とに切換え可能であるから、上記のような作業を行う場合、作業対象の給電区間についてのみ供給停止状態に切換えることができる。その為、走行経路での作業を行うに当たって、作業対象でない給電区間に対する給電まで停止して設備全体の搬送機能を停止させる必要がない。したがって、設備の稼働率の低下を抑制できる。
【００１１】
また、搬送元と搬送先との一方が給電停止状態である給電区間に属する場合や、搬送元と搬送先との双方が給電状態である給電区間であっても、その間において給電停止状態の給電区間を通過しなければならない場合には、第１搬送車のみでは物品の搬送を完了できない。そこで、このような場合には、物品の搬送を行うために第２搬送車を引き当てることによって、給電停止状態である給電区間に属する搬送元又は搬送先と、給電状態である給電区間に属する搬送先又は搬送元との間で、物品の中継をすることなく、単一の第２搬送車によって物品の搬送を行うことができる。その為、物品の搬送効率の低下を抑制できる。
このように、設備の稼働効率の低下、及び、搬送効率の低下を抑制可能な物品搬送設備を提供できる。
【００１２】
本発明に係る物品搬送設備においては、前記管理部は、物品の搬送元の前記処理装置から当該物品の搬送先の前記処理装置までの物品の搬送の指令である搬送指令を生成する指令生成処理と、複数の前記搬送車の中から前記搬送指令に係る物品の搬送を担当する担当搬送車を選択する選択処理と、前記選択処理により選択された前記搬送車に対して前記搬送指令を出力する指令処理と、を実行し、前記管理部は、前記第１走行経路に対応する前記処理装置の配置情報及び前記第２走行経路に対応する前記処理装置の配置情報を記憶するとともに、前記選択処理において、前記処理装置の配置情報に基づいて、前記搬送指令の搬送元である前記処理装置が第１走行経路に沿って配置されている場合は、前記第１搬送車及び前記第２搬送車のいずれかを前記担当搬送車として選択し、前記搬送指令の搬送元である前記処理装置が第２走行経路に沿って配置されている場合は、前記第２搬送車を前記担当搬送車として選択することが好ましい。
【００１３】
すなわち、搬送指令の搬送元である処理装置が第１走行経路に沿って配置されている場合には、第１搬送車及び第２搬送車のいずれでも搬送対象の物品を受け取ることができる。しかしながら、搬送指令の搬送元である処理装置が第２走行経路に沿って配置されている場合は、第１搬送車は第２走行経路を走行できないため、搬送元である処理装置から物品を受け取ることができない。そこで、搬送指令の搬送元である処理装置が第２走行経路に沿って配置されている場合には、第２搬送車を担当搬送車として選択することによって、搬送元である処理装置から物品を受け取ることができる。
また、第２搬送車は第１走行経路と第２走行経路との双方を走行することができるので、搬送先である処理装置が第１走行経路に沿って配置されている場合であっても、当該第１走行経路に第２搬送車を走行させて物品を搬送先まで搬送することができる。このため、物品の搬送効率の低下を抑制することが可能となる。  
【００１４】
本発明に係る物品搬送設備においては、前記第１搬送車に搭載され、前記第１搬送車を制御する第１制御部と、前記第２搬送車に搭載され、前記第２搬送車を制御する第２制御部と、を更に備え、前記管理部が、前記走行経路において前記第１搬送車の走行が許容される区間である第１走行許容区間を規定する第１許容区間定義データ、及び、前記走行経路において前記第２搬送車の走行が許容される区間である第２走行許容区間を規定する第２許容区間定義データを記憶し、前記第１走行許容区間には、前記第１走行経路のみが含まれ、前記第２走行許容区間には、前記第２走行経路と前記第１走行経路との双方が含まれ、前記第１制御部が、前記管理部から取得した前記第１許容区間定義データに基づいて、前記第１走行許容区間内で前記第１搬送車を走行させ、前記第２制御部が、前記管理部から取得した前記第２許容区間定義データに基づいて、前記第２走行許容区間内で前記第２搬送車を走行させ、前記第１搬送車及び前記第２搬送車の夫々が物品を移載可能な物品保持部が、前記第１走行経路に沿って設けられ、前記管理部は、前記第１走行経路に沿って配置された前記処理装置を搬送元とし、前記第２走行経路に沿って配置された前記処理装置を搬送先とする物品の搬送について、物品を前記搬送元の処理装置から前記物品保持部まで搬送して当該物品保持部に移載するように前記第１搬送車を作動させる前半搬送指令を前記第１制御部に指令し、かつ、物品を前記物品保持部から移載して前記搬送先の前記処理装置まで搬送するように前記第２搬送車を作動させる後半搬送指令を前記第２制御部に指令することが好ましい。
【００１５】
すなわち、第１搬送車は第２走行経路を走行できないので、第２走行経路に沿って配置された処理装置を搬送元とし、第１走行経路に沿って配置された処理装置を搬送先とする物品の搬送については、まず第２搬送車を搬送元まで走行させて物品を受け取る必要がある。その後、物品を受け取り済みの第２搬送車を物品保持部まで走行させて物品を物品保持部に移載し、物品保持部に保持されている物品を、第１搬送車が受け取って、物品を受け取り済みの第１搬送車を第１走行経路に沿って走行させて搬送先まで物品を搬送することができる。
このように、第２搬送車を走行させる必要のない第１走行経路では極力第２搬送車を走行させないようにすることで、第２搬送車の蓄電装置の消耗を抑制しながら、第２走行経路に沿って配置された処理装置を搬送元とし、第１走行経路に沿って配置された処理装置を搬送先とする物品の搬送を行うことができるようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】通常搬送車及び走行レールの概略側面図
【図２】通常搬送車及び走行レールの概略正面図
【図３】バッテリ搭載搬送車の概略側面図
【図４】走行レール及び給電エリアを示す概略平面図
【図５】走行レール敷設工事に伴う給電停止エリアを示す図
【図６】制御ブロック図
【図７】走行が許容される区間を示す許容区間定義データを更新する制御を示すフローチャート
【図８】管理装置が行う搬送指令の指令態様を示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面に基づいて、本発明の物品搬送設備を、複数の天井搬送車が設けられた半導体処理設備に適用した実施形態を説明する。天井搬送車は、走行経路に沿って設けられた複数の処理装置に亘って物品としてのＦＯＵＰを搬送するように構成されている。
本実施形態の物品搬送設備を適用した半導体処理設備は、図１〜３に示すように、物品ＢとしてのＦＯＵＰを保持して走行可能な搬送車Ｖと、走行経路Ｔに沿って配設され、天井から吊り下げて支持されている走行レールＲとを備えている。また、図４に示すように、走行経路Ｔに沿って、物品Ｂに収容された半導体基板に対する処理を行う半導体処理装置ＳＴｐ、及び、物品Ｂを複数保管可能な半導体容器保管装置ＳＴｋが、夫々複数設けられている。搬送車Ｖは、複数の半導体処理装置ＳＴｐのうち異なる半導体処理装置ＳＴｐ同士の間、複数の半導体容器保管装置ＳＴｋのうち異なる半導体容器保管装置ＳＴｋの間、又は、半導体処理装置ＳＴｐと半導体容器保管装置ＳＴｋとの間等で物品Ｂを搬送する為に、搬送元の半導体処理装置ＳＴｐや半導体容器保管装置ＳＴｋから受け取った物品Ｂを保持した状態で走行レールＲ上を走行して搬送先の半導体処理装置ＳＴｐや半導体容器保管装置ＳＴｋまで搬送するように構成されている。
【００１８】
搬送車Ｖには、本半導体処理設備における物品Ｂの処理スケジュールや、半導体処理装置ＳＴｐ又は半導体容器保管装置ＳＴｋの間での物品Ｂの搬送を管理する管理装置Ｋ（図６）からの指令を受信する指令受信部（図示省略）が設けられている。
本実施形態においては、半導体容器保管装置ＳＴｋ及び半導体処理装置ＳＴｐが処理装置に相当し、管理装置Ｋが管理部に相当する。すなわち、複数の処理装置を結ぶように設けられた走行経路Ｔと、走行経路Ｔを走行して処理装置により処理される物品Ｂを搬送する搬送車Ｖと、搬送車Ｖの走行を管理する管理装置Ｋと、を備えている。
【００１９】
走行レールＲに沿って、図２に示すように、搬送車Ｖに駆動電力を供給する給電線ＲＨが設けられている。給電線ＲＨは、絶縁性材料で構成された支持体を介して、走行レールＲに支持されている。また、搬送車Ｖには、給電線ＲＨの周囲の磁場の変動によって誘導電流を発生させる誘導コイルＶＥが取り付けられており、給電線ＲＨから非接触状態で当該搬送車Ｖを走行等させるための電力を誘導コイルＶＥが取得するようになっている。以降、本実施形態において、誘導コイルＶＥが給電線ＲＨの磁場の変動より誘導電流を得ることを、給電線ＲＨから給電を受ける、と表現する。
【００２０】
本実施形態では、搬送車Ｖとして、上述の給電線ＲＨから給電を受けることで作動する給電駆動搬送車Ｖ１（図１及び図２を参照）と、給電線ＲＨから給電を受けずに自己が搭載するバッテリで作動するバッテリ駆動搬送車Ｖ２（図３を参照）とを備えている。
【００２１】
給電駆動搬送車Ｖ１は、図１及び図２に示すように、走行レールＲ上を走行する走行車輪Ｗ１を備えた走行部１１と、走行部１１に吊り下げ状態で支持された本体部１２とを備えている。
走行部１１は、さらに、走行レールＲの分岐部分において当該走行部１１の進行方向を切換える操向案内輪Ｗ２を備えている。操向案内輪Ｗ２は、走行レールＲに沿って設けられる案内レール（図示省略）の一対の側面のうち一方に当接し、走行レールＲの分岐部分では、当接する側面を切換えることによって、走行部１１の進行方向を切換えることになる。そして、走行部１１は、上記した走行車輪Ｗ１を回転駆動する走行駆動部Ｍ１と、上記した操向案内輪Ｗ２の位置を切換える操向駆動部Ｍ２とを備えている。
【００２２】
本体部１２は、カバー部１２Ｃと、カバー部１２Ｃに支持された昇降駆動部Ｍ３によって昇降移動する昇降部１３と、を備えている。昇降部１３は、図示は省略するが、物品ＢとしてのＦＯＵＰの上端に設けられたフランジを把持する把持部を備えている。把持部は、フランジを把持する把持状態とフランジの把持を解除する把持解除状態とに切換え可能に構成されている。走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び昇降駆動部Ｍ３は、電動モータ又は電動アクチュエータ（図示省略）を備えており、電力によって駆動するように構成されている。
また、給電駆動搬送車Ｖ１には、図６に示すように、走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び昇降駆動部Ｍ３の作動を制御する制御部Ｈとして、第１制御部Ｈ１が搭載されている。なお、給電駆動搬送車Ｖ１は、第１制御部Ｈ１によって自律走行を行うように制御される。
【００２３】
図３に示すバッテリ駆動搬送車Ｖ２は、給電駆動搬送車Ｖ１を流用して構成されている。バッテリ駆動搬送車Ｖ２は蓄電装置ＶＢを搭載しており、誘導コイルＶＥが取得した電力に代えて蓄電装置ＶＢから供給される電力によって走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び昇降駆動部Ｍ３等を作動させるようになっている。なお、バッテリ駆動搬送車Ｖ２にも誘導コイルＶＥが搭載されているが、これは後述する充電ステーションＣＨ（図５参照）において蓄電装置ＶＢに供給する電力を充電ステーションＣＨにおける給電線ＲＨから取得するためのものであり、走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び昇降駆動部Ｍ３を作動させる際には誘導コイルＶＥが取得した電力を用いない構成としている。
バッテリ駆動搬送車Ｖ２には、図６に示すように、走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び昇降駆動部Ｍ３の作動を制御する制御部Ｈとして、第２制御部Ｈ２が搭載されている。なお、バッテリ駆動搬送車Ｖ２は、第２制御部Ｈ２によって自律走行を行うように制御される。
【００２４】
本実施形態において、走行レールＲは図４のように連続して設けられている。このため、搬送車Ｖは、この走行レールＲ上を連続的に走行することが可能である。よって、例えば、図４に示す半導体処理装置ＳＴｐ１から半導体処理装置ＳＴｐ２に物品Ｂを搬送する場合、物品Ｂを保持する給電駆動搬送車Ｖ１を、例えばＲＴ０で示すルートで走行させることで、給電駆動搬送車Ｖ１のみを用いて搬送元（半導体処理装置ＳＴｐ１）から搬送先（半導体処理装置ＳＴｐ２）への物品Ｂの搬送を行うことができる。
【００２５】
本実施形態のような給電線ＲＨに対しては、電圧や周波数を給電のための適正な出力に制御する整流装置から電力が供給されているが、給電線ＲＨの線路長が長くなると線路抵抗によるロス等が大きくなるため、給電線ＲＨの線路長が一定の長さ以下になるように給電線ＲＨを複数の領域Ａ（図４では領域Ａ１〜領域Ａ４の４つ）に対応して分割し、領域Ａの夫々に対応して各別に整流装置を設けている。そして、エリア給電状態切換装置Ｘ（図６）による整流装置の切換えによって、領域Ａごとに、給電線ＲＨに電力を供給する供給状態と、電力の供給を停止する供給停止状態とを切換えることができるようになっている。本実施形態では、給電線ＲＨが給電部に相当し、当該給電線ＲＨにおいて各領域Ａに含まれる区間が給電区間に相当する。
【００２６】
本実施形態では、走行経路Ｔのうち、供給状態の給電区間に対応する経路部分が搬送車Ｖに電力を供給する第１走行経路Ｔ１であり、供給停止状態の給電区間に対応する部分が搬送車Ｖに電力を供給しない第２走行経路である。そして、給電駆動搬送車Ｖ１が第１搬送車に相当し、バッテリ駆動搬送車Ｖ２が第２搬送車に相当する。
すなわち、走行経路Ｔには、搬送車Ｖに電力を供給する第１走行経路と、搬送車に電力を供給しない第２走行経路とが含まれ、給電線ＲＨは、走行経路Ｔの長手方向に沿って第１走行経路及び第２走行経路の全域に亘って設けられ、第１走行経路と第２走行経路とは、相互に接続されている。
また、搬送車Ｖとして、第１走行経路から供給される電力によって走行する給電駆動搬送車Ｖ１と、蓄電装置を搭載して当該蓄電装置から供給される電力によって走行するバッテリ駆動搬送車Ｖ２と、を備えている。
さらに、走行経路Ｔを走行する搬送車Ｖに電力を供給する給電線ＲＨが、走行経路の長手方向に沿って第１走行経路Ｔ１及び第２走行経路Ｔ２の全域に亘って設けられ、給電線ＲＨが、電力を供給する供給状態と電力の供給を停止する供給停止状態とに各別に切換え自在に構成されている。
【００２７】
次に、管理装置Ｋが実行する制御を説明する。
管理装置Ｋは、搬送スケジュールに基づいて、搬送を担当させる搬送車Ｖとして給電駆動搬送車Ｖ１又はバッテリ駆動搬送車Ｖ２を選択し、その選択された搬送車Ｖ（担当搬送車と称する）に対して搬送指令を指令するように構成されている。
また、管理装置Ｋは、搬送車Ｖごとに、その搬送車Ｖの走行を許容する区間を規定する許容区間定義データを記憶する許容区間定義データ保持部Ｋ１を備えている。許容区間定義データは、管理装置Ｋが担当搬送車を決定する際に用いられる。
許容区間定義データ保持部Ｋ１は、記憶装置（例えばハードディスク）におけるフォルダとして構成されており、当該フォルダに、夫々の搬送車Ｖについての許容区間定義データを各別にファイルとして保持している。
搬送車Ｖは、自己に対応する許容区間定義データを制御部Ｈに保持しており、自己が保持する許容区間定義データに基づいて、走行経路Ｔにおいて自己が走行を許容された区間を判断し、当該区間を走行するように制御部Ｈによって自律走行制御されるようになっている。
また、管理装置Ｋは、許容区間定義データが更新されたことを最終更新時刻情報より判別するデータ更新判別部Ｋ２を、プログラム形式で備えている。
【００２８】
本実施形態に示すような半導体処理設備において、例えば図５に示すように、複数の領域Ａのうちのある領域Ａ１に属する走行レールＲに連続する新たな走行レールＲａを新設したり、又は、ある領域Ａ１に属する走行レールＲを交換するような作業を行う場合、当該作業個所の給電線ＲＨへの電力の供給を停止しなければならない。
このように領域Ａ１について給電線ＲＨを供給停止状態に切換えた場合に、半導体処理装置ＳＴｐ１から半導体処理装置ＳＴｐ２に物品Ｂを搬送する必要が生じた場合についての制御を、図７に基づいて説明する。
【００２９】
上記許容区間定義データ保持部Ｋ１には、許容区間定義データとして、走行経路Ｔにおいて給電駆動搬送車Ｖ１の走行が許容される区間である第１走行許容区間を規定する第１許容区間定義データ、及び、走行経路Ｔにおいてバッテリ駆動搬送車Ｖ２の走行が許容される区間である第２走行許容区間を規定する第２許容区間定義データが記憶されている。
【００３０】
本実施形態では、許容区間定義データとは、走行経路Ｔを長手方向に複数の区間に区分して夫々に識別ＩＤを付与し、搬送車Ｖの夫々に対応して、走行を許容する区間の識別ＩＤを列挙するデータとして構成されている。
すなわち、ある給電駆動搬送車Ｖ１に対応する第１許容区間定義データには、第１走行経路Ｔ１において当該給電駆動搬送車Ｖ１が走行を許容されている区間の識別ＩＤが列挙されており、あるバッテリ駆動搬送車Ｖ２に対応する第２許容区間定義データには、第１走行経路Ｔ１において当該バッテリ駆動搬送車Ｖ２が走行が許容される区間の識別ＩＤ、及び、第２走行経路Ｔ２において当該バッテリ駆動搬送車Ｖ２が走行を許容されている区間の識別ＩＤが列挙されている。
さらに、管理装置Ｋは、第１走行経路Ｔ１に対応する区間の区間ＩＤと、その区間に対応する処理装置（半導体処理装置ＳＴｐ又は半導体容器保管装置ＳＴｋ）の配置情報、及び、第２走行経路Ｔ２に対応する区間の区間ＩＤと、その区間に対応する処理装置（半導体処理装置ＳＴｐ又は半導体容器保管装置ＳＴｋ）の配置情報とを記憶している。
本実施形態では、第１許容区間定義データは、図５における領域Ａ２〜Ａ４の対応する区間ＩＤを列挙したデータであり、第２許容区間定義データは、領域Ａ１〜Ａ４の全てに対応する区間ＩＤを列挙したデータである。
【００３１】
すなわち、管理装置Ｋが、走行経路Ｔにおいて給電駆動搬送車Ｖ１の走行が許容される区間である第１走行許容区間を規定する第１許容区間定義データ、及び、走行経路Ｔにおいてバッテリ駆動搬送車Ｖ２の走行が許容される区間である第２走行許容区間を規定する第２許容区間定義データを記憶するように構成されている。また、第１走行許容区間には第１走行経路のみが含まれ、第２走行許容区間には第２走行経路と第１走行経路との双方が含まれている。
また、管理装置Ｋは、複数の処理装置（半導体処理装置ＳＴｐ又は半導体容器保管装置ＳＴｋ）のうち、第１走行経路Ｔ１に対応するものについての配置情報及び第２走行経路Ｔ２に対応するものについての配置情報を記憶している。
【００３２】
作業者は、エリア給電状態切換装置Ｘによって工事を行う区間が含まれる領域Ａ１の給電線ＲＨを供給停止状態に切換えるに先立って、許容区間定義データ保持部Ｋ１としてのフォルダに、第１許容区間定義データ及び第２許容区間定義データを保存する。このとき、フォルダに既に許容区間定義データが存在しているときは、新たな許容区間定義データを上書き保存する。
【００３３】
データ更新判別部Ｋ２は、第１許容区間定義データの最終更新時刻情報に基づいて第１許容区間定義データが更新されたと判別すると（＃１１：Ｙｅｓ）、給電駆動搬送車Ｖ１に新たな第１許容区間定義データを送信する（＃１２）。第１許容区間定義データを受け取った給電駆動搬送車Ｖ１の第１制御部Ｈ１は、管理装置Ｋから送信された第１許容区間定義データに基づいて、第１走行許容区間内で給電駆動搬送車Ｖ１を走行させるように給電駆動搬送車Ｖ１を制御する。
【００３４】
また、データ更新判別部Ｋ２は、第２許容区間定義データの最終更新時刻情報に基づいて第２許容区間定義データが更新されたと判別すると（＃１３：Ｙｅｓ）、バッテリ駆動搬送車Ｖ２に新たな第１許容区間定義データを送信する（＃１４）。第２許容区間定義データを受け取ったバッテリ駆動搬送車Ｖ２の第２制御部Ｈ２は、管理装置Ｋから送信された第２許容区間定義データに基づいて、第２走行許容区間内でバッテリ駆動搬送車Ｖ２を走行させるようにバッテリ駆動搬送車Ｖ２を制御する。
【００３５】
また、図５の破線で示すように、給電駆動搬送車Ｖ１及びバッテリ駆動搬送車Ｖ２の夫々が物品Ｂを移載可能な物品保持部ＺＦが、第１走行経路Ｔ１に沿って設けられている。なお、物品保持部ＺＦは、工事期間中に一時的に設けられる着脱式又は仮設式のものであってもよく、天井搬送車である搬送車Ｖの昇降部１３に設けられた把持部との間での物品Ｂの受け渡しが可能な位置（例えば、走行レールＲの直下）に設けられる。なお、搬送車Ｖの把持部が平面視で走行レールＲと直交する側方にスライド移動可能に構成されている場合には、物品保持部ＺＦを走行レールＲの側方に配置してもよい。
【００３６】
図５のように、給電駆動搬送車Ｖ１は第２走行経路Ｔ２を走行できないため、第１走行経路Ｔ１に対応する半導体処理装置ＳＴｐ１を搬送元とし、第２走行経路Ｔ２に対応する半導体処理装置ＳＴｐ２を搬送先とする物品Ｂの搬送が指令された場合において、給電駆動搬送車Ｖ１を担当搬送車として選択した場合には、搬送対象の物品Ｂを給電駆動搬送車Ｖ１からバッテリ駆動搬送車Ｖ２に渡さなければならない。このため、管理装置Ｋは、搬送指令を前半搬送指令と後半搬送指令とに分解し、前半搬送指令を給電駆動搬送車Ｖ１に対して指令し、後半搬送指令をバッテリ駆動搬送車Ｖ２に対して指令する。
以下、この場合の管理装置Ｋの搬送指令の態様を図８のフローチャートに基づいて説明する。
【００３７】
まず、管理装置Ｋは、物品Ｂの搬送元の処理装置（半導体処理装置ＳＴｐ１）から当該物品Ｂの搬送先の処理装置（半導体処理装置ＳＴｐ２）までの物品Ｂの搬送の指令である搬送指令を生成する指令生成処理（＃２１）を実行する。
続いて、搬送元（半導体処理装置ＳＴｐ１）が第１走行経路Ｔ１に属するか否かを判別し（＃２２）、搬送元（半導体処理装置ＳＴｐ１）が第１走行経路Ｔ１に属すると判別すると（＃２２：Ｙｅｓ）、担当搬送車として給電駆動搬送車Ｖ１を選択する（＃２３）。
【００３８】
引き続き、管理装置Ｋは、搬送先である処理装置（半導体処理装置ＳＴｐ２）が第２走行経路Ｔ２に属するか否かを判別する（＃２４）。搬送先（半導体処理装置ＳＴｐ２）が第２走行経路Ｔ２に属すると判別すると（＃２４：Ｙｅｓ）、前半搬送先を物品保持部ＺＦに設定し（＃２５）、物品Ｂを搬送元（半導体処理装置ＳＴｐ１）から物品保持部ＺＦまで搬送して当該物品保持部ＺＦに移載するように給電駆動搬送車Ｖ１を作動させる前半搬送指令を給電駆動搬送車Ｖ１の第１制御部Ｈ１に指令する（＃２６）。
【００３９】
給電駆動搬送車Ｖ１の第１制御部Ｈ１は、物品Ｂの物品保持部ＺＦへの搬送が完了すると、管理装置Ｋにその旨を通知する。管理装置Ｋは、この通知に基づいて給電駆動搬送車Ｖ１が物品保持部ＺＦに物品Ｂを搬送したことを検知すると（＃２７）、当該物品Ｂの搬送を担当する担当搬送車としてバッテリ駆動搬送車Ｖ２を選択（＃２８）し、物品Ｂを物品保持部ＺＦから移載して搬送先の処理装置（半導体処理装置ＳＴｐ２）まで搬送する後半搬送指令を指令する（＃２９）。
なお、物品保持部ＺＦが複数存在する場合には、給電駆動搬送車Ｖ１が、物品Ｂを保持しておらず且つ搬送先に最も近い物品保持部ＺＦを選択して搬送対象の物品Ｂを移載することが考えられる。この場合は、給電駆動搬送車Ｖ１の第１制御部Ｈ１が、物品Ｂを移載した物品保持部ＺＦの識別情報を管理装置Ｋに送信し、管理装置Ｋが、バッテリ駆動搬送車Ｖ２に対して当該識別情報に対応する物品保持部ＺＦを搬送元とする後半搬送指令を指令するように構成することが好ましい。
【００４０】
管理装置Ｋは、＃２２において、搬送元（半導体処理装置ＳＴｐ１）が第１走行経路Ｔ１に属しない、つまり、搬送元（半導体処理装置ＳＴｐ１）が第２走行経路Ｔ２に属すると判別すると（＃２２：Ｎｏ）、担当搬送車としてバッテリ駆動搬送車Ｖ２を選択する（＃３０）。＃３０に引き続き、又は、＃２４において搬送先（半導体処理装置ＳＴｐ２）が第２走行経路Ｔ２に属しない、つまり、搬送先（半導体処理装置ＳＴｐ２）が第１走行経路Ｔ１に属すると判別すると、管理装置Ｋは、選択した担当搬送車（給電駆動搬送車Ｖ１又はバッテリ駆動搬送車Ｖ２のいずれか）に対して、物品Ｂを搬送先（半導体処理装置ＳＴｐ２）まで搬送するように指令する（＃３１）。
【００４１】
このように、管理装置Ｋは、給電駆動搬送車Ｖ１が第１走行経路Ｔ１及び第２走行経路Ｔ２のうちの第１走行経路Ｔ１のみを走行するように給電駆動搬送車Ｖ１の走行を管理し、バッテリ駆動搬送車Ｖ２が第１走行経路Ｔ１及び第２走行経路Ｔ２の双方に亘って走行するようにバッテリ駆動搬送車Ｖ２の走行を管理するように構成されている。
【００４２】
また、本実施形態においては、上記図８のフローチャートにおける＃２３、＃２８、＃３０の処理が選択処理に相当し、＃２６、＃２９、＃３１の処理が指令処理に相当する。
すなわち、管理装置Ｋは、物品Ｂの搬送元の処理装置から当該物品Ｂの搬送先の処理装置までの物品Ｂの搬送の指令である搬送指令を生成する指令生成処理（＃２１）と、複数の搬送車Ｖの中から搬送指令に係る物品Ｂの搬送を担当する担当搬送車を選択する選択処理と、選択処理により選択された搬送車Ｖに対して搬送指令を出力する指令処理と、を実行し、選択処理において、処理装置の配置情報に基づいて、搬送指令の搬送元である処理装置が第１走行経路Ｔ１に沿って配置されている場合は、給電駆動搬送車Ｖ１及びバッテリ駆動搬送車Ｖ２のいずれかを担当搬送車として選択し、搬送指令の搬送元である処理装置が第２走行経路Ｔ２に沿って配置されている場合は、バッテリ駆動搬送車Ｖ２を担当搬送車として選択する。
【００４３】
さらに、管理装置Ｋは、第１走行経路Ｔ１に沿って配置された処理装置を搬送元とし、第２走行経路Ｔ２に沿って配置された処理装置を搬送先とする物品Ｂの搬送について、物品Ｂを搬送元の処理装置から物品保持部ＺＦまで搬送して当該物品保持部ＺＦに移載するように給電駆動搬送車Ｖ１を作動させる前半搬送指令を第１制御部Ｈ１に指令し、かつ、物品Ｂを物品保持部ＺＦから移載して搬送先の処理装置まで搬送するようにバッテリ駆動搬送車Ｖ２を作動させる後半搬送指令を第２制御部Ｈ２に指令するように構成されている。
【００４４】
このように、搬送車Ｖに電力を供給する第１走行経路Ｔ１に沿って配置されている搬送対象箇所と、搬送車Ｖに電力を供給しない第２走行経路Ｔ２に沿って配置されている搬送対象箇所とに亘って物品Ｂを搬送する場合の搬送効率の低下を極力抑制可能な物品搬送設備を提供できる。
【００４５】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、物品搬送設備を半導体処理設備に適用する例を示したが、走行経路に沿って走行しかつ電力によって走行駆動される搬送車が設けられる設備であれば、半導体処理設備以外の設備にも適用可能である。
【００４６】
（２）上記実施形態では、走行経路Ｔを、領域Ａ１〜Ａ４の夫々に対応する４つの給電区間に区分する例を示したが、給電区間は３つ以下、又は５つ以上であってもよい。
また、上記実施形態では、給電区間を、領域Ａ１〜Ａ４の夫々に対応して設ける例を示したが、給電区間の設置形態は適宜変更可能である。
【００４７】
（３）上記実施形態では、給電線ＲＨの周囲の磁場の変動によって誘導コイルＶＥに誘導電流を発生させる非接触式の給電部を設ける構成としたが、給電線ＲＨに接触する集電子から電力の供給を受ける接触式の給電部としてもよい。
【００４８】
（４）上記実施形態では、選択処理において、搬送指令が示す搬送元である処理装置が第１走行経路Ｔ１に沿って配置されている場合は、給電駆動搬送車Ｖ１及びバッテリ駆動搬送車Ｖ２のいずれかを担当搬送車として選択する構成を説明したが、搬送指令が示す搬送元である処理装置が第１走行経路Ｔ１に沿って配置され、かつ、搬送先である処理装置が第２走行経路Ｔ２に沿って配置されている場合には、選択処理に置いてバッテリ駆動搬送車Ｖ２を担当搬送車として選択するように構成してもよい。
【００４９】
（５）上記実施形態では、第２走行経路Ｔ２を、給電線ＲＨを給電停止状態に切換えた給電区間に対応する走行経路Ｔとする構成を示したが、このような構成に代えて、第２走行経路Ｔ２を給電線ＲＨを備えない区間としてもよい。
【００５０】
（６）上記実施形態では、バッテリ駆動搬送車Ｖ２については、走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び昇降駆動部Ｍ３を作動させる際に誘導コイルＶＥが取得した電力を用いない構成としたが、このような構成に限定されるものではない。例えば、バッテリ駆動搬送車Ｖ２が第１走行経路Ｔ１を走行する場合には、誘導コイルＶＥが取得した電力によって走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び昇降駆動部Ｍ３を作動させるようにしてもよいし、走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び昇降駆動部Ｍ３を作動させながら余剰する電力を蓄電装置ＶＢに供給するように構成してもよい。
【符号の説明】
【００５１】
Ｂ        物品
Ｈ１      第１制御部
Ｈ２      第２制御部
Ｋ        管理装置（管理部）
ＲＨ      給電線（給電部）
ＳＴｋ    半導体容器保管装置（処理装置）
ＳＴｐ    半導体処理装置（処理装置）
ＳＴｐ１  半導体処理装置（処理装置、搬送元）
ＳＴｐ２  半導体処理装置（処理装置、搬送先）
Ｔ        走行経路
Ｔ１      第１走行経路
Ｔ２      第２走行経路
Ｖ        搬送車
Ｖ１      給電駆動搬送車（第１搬送車）
Ｖ２      バッテリ駆動搬送車（第２搬送車）
ＶＢ      蓄電装置
ＺＦ      物品保持部
【図１】
0006507897.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0006507897.tif 000007
【図７】
0006507897.tif 000008
【図８】
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