(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１アーム部および第２アーム部を備えるロボットであって、
前記第１アーム部内に設けられ、前記第１アーム部を第１軸周りに回動させる第１駆動部と、
前記第１アーム部内に設けられ、前記第２アーム部を第２軸周りに回動させる第２駆動部と、
を備え、
前記第１駆動部および前記第２駆動部の少なくとも一方は、圧電体を含み、
前記第２軸に沿って前記第１駆動部と前記第２駆動部とを見たときに、前記第１駆動部と前記第２駆動部とが重なる部分があり、かつ、前記第１軸に沿って前記第２駆動部を見たときに、前記第１駆動部により駆動される被駆動部と前記第２駆動部とが重なる部分があり、
前記第１軸と前記第２軸とは直交する、
ロボット。
【請求項２】
請求項１に記載のロボットであって、
前記被駆動部は、開口を有する、ロボット。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のロボットであって、
前記第１駆動部および前記第２駆動部は、それぞれ、圧電体を含む、ロボット。
【請求項４】
請求項３に記載のロボットであって、
前記第１駆動部は、前記圧電体を含む１または複数の第１の圧電駆動装置により構成される、ロボット。
【請求項５】
請求項４に記載のロボットであって、
前記第２駆動部は、前記圧電体を含む１または複数の第２の圧電駆動装置により構成される、ロボット。
【請求項６】
請求項５に記載のロボットであって、
前記第２駆動部を構成する前記第２の圧電駆動装置の数は、前記第１駆動部を構成する前記第１の圧電駆動装置の数よりも少ない、ロボット。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載のロボットであって、
前記第２アーム部に設けられたエンドエフェクターを備える、ロボット。
【請求項８】
第１アーム部および第２アーム部を備えるロボットであって、
前記第１アーム部内に設けられ、前記第１アーム部を第１軸周りに回動させる第１駆動部と、
前記第１アーム部内に設けられ、前記第２アーム部を第２軸周りに回動させる第２駆動部と、
を備え、
前記第１駆動部および前記第２駆動部の少なくとも一方は、圧電体を含み、
前記第１軸および前記第２軸に直交する第３軸に沿って前記第１駆動部と前記第２駆動部とを見たときに、前記第１駆動部と前記第２駆動部とが重なる部分があり、
前記第１軸と前記第２軸とは直交する、
ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電磁モーターによりアームを駆動するロボットがある（例えば、特許文献１参照。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−８４９８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、電磁モーターは比較的容積が大きいため、アームの駆動源に電磁モーターのみを採用すると、アーム内に配線を通すスペースが不足するおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。  本発明の第１の形態は、第１アーム部および第２アーム部を備えるロボットであって、前記第１アーム部内に設けられ、前記第１アーム部を第１軸周りに回動させる第１駆動部と、前記第１アーム部内に設けられ、前記第２アーム部を第２軸周りに回動させる第２駆動部と、を備え、前記第１駆動部および前記第２駆動部の少なくとも一方は、圧電体を含み、前記第２軸に沿って前記第１駆動部と前記第２駆動部とを見たときに、前記第１駆動部と前記第２駆動部とが重なる部分があり、かつ、前記第１軸に沿って前記第２駆動部を見たときに、前記第１駆動部により駆動される被駆動部と前記第２駆動部とが重なる部分があり、前記第１軸と前記第２軸とは直交する、ロボットである。  本発明の第２の形態は、第１アーム部および第２アーム部を備えるロボットであって、前記第１アーム部内に設けられ、前記第１アーム部を第１軸周りに回動させる第１駆動部と、前記第１アーム部内に設けられ、前記第２アーム部を第２軸周りに回動させる第２駆動部と、を備え、前記第１駆動部および前記第２駆動部の少なくとも一方は、圧電体を含み、前記第１軸および前記第２軸に直交する第３軸に沿って前記第１駆動部と前記第２駆動部とを見たときに、前記第１駆動部と前記第２駆動部とが重なる部分があり、前記第１軸と前記第２軸とは直交する、ロボットである。  本発明は以下の形態としても実現することが可能である。【０００６】
（１）本発明の一形態によれば、第１アーム部および第２アーム部を備えるロボットが提供される。このロボットは、前記第１アーム部内に設けられ、前記第１アーム部を第１軸周りに回動させる第１駆動部と、前記第１アーム部内に設けられ、前記第２アーム部を第２軸周りに回動させる第２駆動部と、を備え、前記第１駆動部および前記第２駆動部の少なくとも一方は、圧電体を含む。このような形態のロボットによれば、第１駆動部と第２駆動部の少なくとも一方を、圧電体を含む駆動部とすることにより小型化することができる。そのため、ロボットのアーム内に配線スペースが不足することを抑制することができる。
【０００７】
（２）上記形態のロボットにおいて、前記第１軸および前記第２軸に直交する第３軸に沿って前記第１駆動部と前記第２駆動部とを見たときに、前記第１駆動部と前記第２駆動部とが重なる部分があってもよい。このような形態のロボットであれば、第１アーム部内に第１駆動部と第２駆動部とを効率的に配置することができるので、アーム内に配線スペースが不足することを抑制することができる。
【０００８】
（３）上記形態のロボットにおいて、前記第２軸に沿って前記第１駆動部と前記第２駆動部とを見たときに、前記第１駆動部と前記第２駆動部とが重なる部分があり、かつ、前記第１軸に沿って前記第２駆動部を見たときに、前記第１駆動部により駆動される被駆動部と前記第２駆動部とが重なる部分があってもよい。このような形態のロボットであれば、第１アーム部内に第１駆動部と第２駆動部とを効率的に配置することができるので、アーム内に配線スペースが不足することを抑制することができる。
【０００９】
（４）上記形態のロボットにおいて、前記被駆動部は、開口を有してもよい。このような形態のロボットであれば、被駆動部内の開口に配線を通すことができる。
【００１０】
（５）上記形態のロボットにおいて、前記第１軸と前記第２軸とは直交してもよい。このような形態のロボットであれば、第１アーム部を、直交する２つの軸周りに回動可能なアーム部として構成することができる。
【００１１】
（６）上記形態のロボットにおいて、前記第１駆動部および前記第２駆動部は、それぞれ、圧電体を含んでもよい。このような形態のロボットであれば、第１アーム部内に第１駆動部と第２駆動部とをより効率的に配置することができるので、アーム内に配線スペースが不足することを抑制することができる。
【００１２】
（７）上記形態のロボットにおいて、前記第１駆動部は、前記圧電体を含む１または複数の第１の圧電駆動装置により構成されてもよい。このような形態のロボットであれば、第１の圧電駆動装置の数に応じて、第１駆動部の駆動力を高めることができる。
【００１３】
（８）上記形態のロボットにおいて、前記第２駆動部は、前記圧電体を含む１または複数の第２の圧電駆動装置により構成されてもよい。このような形態のロボットであれば、第２の圧電駆動装置の数に応じて、第２駆動部の駆動力を高めることができる。
【００１４】
（９）上記形態のロボットにおいて、前記第２駆動部を構成する前記第２の圧電駆動装置の数は、前記第１駆動部を構成する前記第１の圧電駆動装置の数よりも少なくてもよい。このような形態のロボットであれば、第２アーム部を回動させる部分の機構を小型化することができる。
【００１５】
（１０）上記形態のロボットは、前記第２アーム部に設けられたエンドエフェクターを備えてもよい。このような形態のロボットであれば、第１アーム部が小型化されているため、エンドエフェクターを用いた作業性を向上させることができる。
【００１６】
本発明は、ロボットとしての形態以外にも、種々の形態で実現することが可能である。例えば、ロボットアームや、ロボットを駆動する駆動装置等の形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態としてのロボットの斜視図である。
【図２】第１アーム部の内部構成を示す図である。
【図３】図２のうちの第２駆動部および第２ローターを示す斜視図である。
【図４】圧電駆動装置の内部構成を示す説明図である。
【図５】圧電駆動装置の動作原理について示す説明図である。
【図６】第１駆動部および第２駆動部の配置を示す図である。
【図７】第２実施形態における第１駆動部および第２駆動部の配置を示す図である。
【図８】第１駆動部および第２駆動部の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
Ａ．第１実施形態：
図１は、本発明の第１実施形態としてのロボットの斜視図である。本実施形態のロボット１０は、垂直多関節ロボットとして構成されている。ロボット１０は、第１アーム部１１０と第２アーム部１２０とを含むアーム１００を備えている。第１アーム部１１０は、第１軸ＡＸ１と第２軸ＡＸ２とを備えている。第１軸ＡＸ１は、水平方向に延びる軸である。また、第１軸ＡＸ１は、第１アーム部１１０が、第３アーム部１３０に対して鉛直方向に回動する軸である。第２軸ＡＸ２は、第２アーム部１２０が第１アーム部１１０に対して回動する軸である。本実施形態では、第１軸ＡＸ１と第２軸ＡＸ２とは直交している。
【００１９】
第１アーム部１１０は、本体部１１１と突出部１１２とを備えている。本体部１１１は、第１軸ＡＸ１に沿って延びる円筒状の部材である。突出部１１２は、本体部１１１の側面の一部に設けられており、第２軸ＡＸ２に沿った円筒状の部材である。以下では、第１アーム部１１０から見て、突出部１１２側を先端側といい、本体部１１１側を後端側という。
【００２０】
本体部１１１は、第３アーム部１３０に備えられた第１支持部１３１と第２支持部１３２とによって、第１軸ＡＸ１上の対向する２方向から挟持されるように支持されている。第３アーム部１３０の第１支持部１３１および第２支持部１３２には、第１アーム部１１０の本体部１１１との間に、それぞれ、円環状の第１ローター２１３が固定されている。
【００２１】
第１アーム部１１０の突出部１１２の先端側には、第２アーム部１２０が設けられている。第２アーム部１２０は、第２軸ＡＸ２に沿って延びる円筒状の部材である。第２アーム部１２０には、第１アーム部１１０との間に、円環状の第２ローター２２３が固定されている。
【００２２】
第２アーム部１２０の先端には、エンドエフェクター１５０が設けられている。エンドエフェクター１５０は、第２アーム部１２０とともに第２軸ＡＸ２周りに回動する。エンドエフェクター１５０は、ワークを把持するための把持部１５１を備えている。エンドエフェクター１５０内には把持部１５１を駆動するためのアクチュエーターが備えられている。このアクチュエーターは、ロボット１０に接続された制御装置（図示省略）によって制御される。アクチュエーターと制御装置とは、各アーム部内を挿通された配線（図示省略）によって接続される。把持部１５１を駆動するためのアクチュエーターとしては、後述する圧電駆動装置や電磁モーター等を用いることができる。
【００２３】
図２は、第１アーム部の内部構成を示す図である。第１アーム部１１０は、内部に、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とを備えている。本実施形態では、第１駆動部２１０は、複数の第１圧電駆動装置２１１によって構成されている。また、第２駆動部２２０も、複数の第２圧電駆動装置２２１によって構成されている。なお、図２には、図示の都合上、第１圧電駆動装置２１１についてはその一部のみを示している。第１駆動部２１０は、本体部１１１内に配置されている。第２駆動部２２０は、一部が突出部１１２内に配置され、他の部分が本体部１１１内に配置されている。
【００２４】
第１駆動部２１０は、第３アーム部１３０の内側面に固定された第１ローター２１３を駆動することにより、第１アーム部１１０を、相対的に第１軸ＡＸ１周りに回動させる。第１ローター２１３の中心には開口２１４が形成されている。この開口には、エンドエフェクター１５０や第１駆動部２１０、第２駆動部２２０に接続される配線（図示省略）が通る。
【００２５】
図３は、図２のうちの第２駆動部および第２ローターを示す斜視図である。第２駆動部２２０は、第２アーム部１２０の後端に固定された第２ローター２２３を駆動することにより、第２アーム部１２０を、第２軸ＡＸ２周りに回動させる。第２ローター２２３の中心には開口２２４が形成されている。この開口２２４には、エンドエフェクター１５０に接続される配線（図示省略）が通る。
【００２６】
図４は、第１駆動部および第２駆動部を構成する圧電駆動装置の内部構成を示す説明図である。第１圧電駆動装置２１１と第２圧電駆動装置２２１とは、同じ構成であるため、以下では、第１圧電駆動装置２１１の構成を代表して説明する。第１圧電駆動装置２１１は、不図示の駆動回路によって駆動され、被駆動部としての第１ローター２１３を回転させる。第１圧電駆動装置２１１の駆動回路は、例えば、ロボット１０に接続された制御装置に搭載される。
【００２７】
第１圧電駆動装置２１１は、５つの圧電素子６５１を含む２組の振動構造体６５と、これらの間に挿んで貼り合わされた振動板６６とを有している。各圧電素子６５１の長辺の長さは、例えば、３．５ｍｍ〜３０ｍｍである。
【００２８】
振動構造体６５の５つの圧電素子６５１は、それぞれ、圧電体と、圧電体を挟持する第１電極及び第２電極とを有している（図示省略）。なお、第１電極と第２電極のどちらか一方の電極は共通電極としてもよい。これらの圧電素子６５１は、不図示の駆動回路に電気的に接続されている。なお、振動構造体６５に含まれる圧電素子６５１は少なくとも１つあればよく、その数や配置は、これ以外の種々のものを採用可能である。また、振動構造体６５は、振動板６６の２つの面のうちの少なくとも一方に設けられていればよい。
【００２９】
第１圧電駆動装置２１１の端部には、突起部６７が設けられている。第１圧電駆動装置２１１の両側面には、第１圧電駆動装置２１１を支持するための複数の支持部６８が振動の節に対応する位置に設けられている。これらの支持部６８は、振動板６６と一体的に形成されている。なお、振動板６６の同一の側面から突出している複数の支持部６８同士は、連結板６９を介して連結されていることが好ましい。
【００３０】
図５は、圧電駆動装置の動作原理について示す説明図である。説明を容易にするため、図５には、図４の５つの圧電素子６５１のうち、対角線状に配置された４つの圧電素子６５１のみを示し、中央の１つの圧電素子６５１を省略して示している。第１圧電駆動装置２１１は、圧電素子６５１に一定周期で電圧を印加したときに、第１圧電駆動装置２１１の突起部６７が伸縮又は楕円運動することによって動作する。すなわち、図５（ａ）に示すように、互いに対角線の位置にある２つの圧電素子６５１を１組として、特定の周波数の電圧を印加すると、第１圧電駆動装置２１１は、屈曲して蛇行形状（Ｓ字形状）に変形し、突起部６７の先端が特定の方向に往復運動するか、又は、楕円運動する。この結果、突起部６７に接する第１ローター２１３が、第１軸ＡＸ１を中心に所定の方向に回転する。また、図５（ｂ）に示すように、他の１組の圧電素子６５１に特定の周波数の電圧を印加すると、第１ローター２１３は逆方向に回転する。第１圧電駆動装置２１１（又は振動構造体６５）のこのような動作については、先行技術文献（特開２００４−３２０９７９号公報、又は、対応する米国特許第７２２４１０２号）に記載されており、その開示内容は参照により組み込まれる。
【００３１】
図６は、第１アーム部１１０内における第１駆動部および第２駆動部の配置を示す図である。図６（Ａ）は、第３アーム部１３０の一部の側面図である。図６（Ｂ）は、図６（Ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。図６（Ｃ）は、図６（Ｂ）におけるＣ−Ｃ断面図である。図６（Ｄ）は、図６（Ｂ）におけるＤ−Ｄ断面図である。図６には、第１軸ＡＸ１と第２軸ＡＸ２とを示すと共に、これらの軸に直交する仮想的な第３軸ＡＸ３を示している。以下では、便宜的に、図６（Ｃ）における第３軸ＡＸ３の上向きの方向を「上」といい、図６（Ｃ）における第３軸ＡＸ３の下向きの方向を「下」という。図６（Ｂ）には、エンドエフェクター１５０に接続される配線９５が各アーム部を通る様子が示されている。
【００３２】
本実施形態における第１圧電駆動装置２１１および第２圧電駆動装置２２１の長辺の長さ（突起部６７の軸に沿った長さ）は、第１アーム部１１０の本体部１１１の直径よりも短く、本体部１１１の直径の１／２程度である。また、第１圧電駆動装置２１１および第２圧電駆動装置２２１の短辺の長さは、それぞれ、第１アーム部１１０の本体部１１１の直径の１／３程度である。
【００３３】
本実施形態では、第１駆動部２１０は、４つの第１圧電駆動装置２１１によって構成されている。また、第２駆動部２２０は、２つの第２圧電駆動装置２２１によって構成されている。つまり、本実施形態では、第２駆動部２２０を構成する第２圧電駆動装置２２１の数は、第１駆動部２１０を構成する第１圧電駆動装置２１１の数よりも少ない。第１駆動部２１０を構成する４つの第１圧電駆動装置２１１は、図６（Ｃ）に示すように、本体部１１１内の上側と下側とにそれぞれ２つずつ配置されている。上側の２つの第１圧電駆動装置２１１は、それぞれ、第３アーム部１３０に設けられた２つの第１ローター２１３を駆動可能なように、それぞれの突起部６７が第１軸ＡＸ１に沿って反対方向を向くように配置されている。また、下側の２つの第１圧電駆動装置２１１も、それぞれ、第３アーム部１３０に設けられた２つの第１ローター２１３を駆動可能なように、それぞれの突起部６７が第１軸ＡＸ１に沿って反対方向を向くように配置されている。第２駆動部２２０を構成する２つの第２圧電駆動装置２２１は、図６（Ｂ）に示すように、第１アーム部１１０内における第１軸ＡＸ１の両端付近に、それぞれの突起部６７が第２軸ＡＸ２に沿って第２ローター２２３側を向くように１つずつ配置されている。
【００３４】
本実施形態では、図６（Ｂ）に示すように、第３軸ＡＸ３に沿って、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とを見たとき、つまり、第１アーム部１１０の上側または下側から第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とを見たときには、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とに重なる部分９０が存在する。換言すれば、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とを、第１軸ＡＸ１と第２軸ＡＸ２とを含む平面に投影したときに、第１駆動部２１０によって形成される投影領域と第２駆動部２２０によって形成される投影領域に重複部分が存在する。
【００３５】
以上で説明した本実施形態のロボット１０によれば、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とが、圧電体を含む小型の圧電駆動装置によって構成されているため、第１アーム部１１０内に、第１軸ＡＸ１に対する回動を行う第１駆動部２１０と第２軸ＡＸ２に対する回動を行う第２駆動部２２０とを効率的に配置することができる。そのため、第１アーム部１１０内に配線を行うためのスペースが不足することを抑制することができる。
【００３６】
また、本実施形態では、第１軸ＡＸ１と第２軸ＡＸ２とに直交する第３軸ＡＸ３に沿って、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とを見たときに、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とに重なる部分９０が存在するように、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とが第１アーム部１１０内に配置されている。そのため、第１アーム部１１０内に、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とを、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とが干渉しないように効率的に配置することができる。従って、第１アーム部１１０内に配線を行うためのスペースが不足することをより効果的に抑制することができる。
【００３７】
また、本実施形態では、第１ローター２１３や第２ローター２２３には、それぞれ開口が形成されているため、その開口を通じて効率的に配線を行うことができる。更に、本実施形態では、第１軸ＡＸ１と第２軸ＡＸ２とが直交しているため、第１アーム部１１０を、直交する２つの軸周りに回動可能なアーム部として構成することができる。
【００３８】
また、本実施形態では、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とが両方とも、圧電体を含む圧電駆動装置によって構成されているため、第１アーム部１１０内に第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とをより効率的に配置することができる。そのため、第１アーム部１１０内に配線スペースが不足することをより効果的に抑制することができる。
【００３９】
また、本実施形態では、第１駆動部２１０が、複数の第１圧電駆動装置２１１によって構成されているため、第１駆動部２１０の駆動力を、第１圧電駆動装置２１１の数に応じて高めることができる。また、本実施形態では、第２駆動部２２０も、複数の第２圧電駆動装置２２１によって構成されているため、第２駆動部２２０の駆動力を、第２圧電駆動装置２２１の数に応じて高めることができる。
【００４０】
更に、本実施形態では、第２駆動部２２０を構成する第２圧電駆動装置２２１の数が、第１駆動部２１０を構成する第１圧電駆動装置２１１の数よりも少ない。そのため、第２アーム部１２０を回動させる部分の機構、つまり、突出部１１２付近の機構を小型化することができる。そのため、第２アーム部１２０に設けられたエンドエフェクターの作業性を向上させることができる。
【００４１】
また、例えば、第１駆動部２１０や第２駆動部２２０を電磁モーターによって構成した場合には、減速機や停止状態を保持するブレーキも必要になり、重量が重くなる。そのため、アーム１００が自重によってたわむおそれがある。しかし、本実施形態では、駆動部を、圧電駆動装置によって構成している。圧電駆動装置は、一般的に、電磁モーターよりも軽量であり、また、減速機やブレーキも不要である。そのため、駆動部を大幅に軽量化することができる。この結果、アーム１００が自重によってたわむことを抑制することが可能になる。
【００４２】
Ｂ．第２実施形態：
図７は、第２実施形態における第１駆動部および第２駆動部の配置を示す図である。第１実施形態と第２実施形態とで異なる点は、第１駆動部２１０の配置と、第１駆動部２１０を構成する第１圧電駆動装置２１１の数である。具体的には、第２実施形態では、第１駆動部２１０は、２つの第１圧電駆動装置２１１によって構成されており、それらの第１圧電駆動装置２１１は、第１アーム部１１０の本体部１１１の後端に配置されている。そして、それぞれの第１圧電駆動装置２１１は、第３アーム部１３０に設けられた２つの第１ローター２１３を駆動可能なように、それぞれの突起部６７が第１軸ＡＸ１に沿って反対方向を向くように配置されている。
【００４３】
本実施形態では、図７（Ｃ）に示すように、第２軸ＡＸ２に沿って、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とを見たときには、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とに重なる部分９１が存在する。換言すれば、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とを、第１軸ＡＸ１と第３軸ＡＸ３とを含む平面に投影したときに、第１駆動部２１０によって形成される投影領域と第２駆動部２２０によって形成される投影領域に重複部分が存在する。また、本実施形態では、図７（Ｄ）に示すように、第１軸ＡＸ１に沿って第２駆動部２２０を見たときには、第１ローター２１３と第２駆動部２２０とが重なる部分９２が存在する。換言すれば、第１ローター２１３と第２駆動部２２０とを、第２軸ＡＸ２と第３軸ＡＸ３とを含む平面に投影したときに、第１ローター２１３によって形成される投影領域と第２駆動部２２０によって形成される投影領域に重複部分が存在する。
【００４４】
以上で説明した第２実施形態によっても、第１アーム部１１０内に、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とを、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０とが干渉しないように効率的に配置することができる。従って、第１アーム部１１０内に配線を行うためのスペースが不足することを抑制することができる。その他、第１実施形態と同様の作用効果を奏することが可能である。
【００４５】
Ｃ．変形例：
＜変形例１＞
図８は、第１駆動部および第２駆動部の変形例を示す図である。図８に示すように、第１駆動部２１０は、第１圧電駆動装置２１１が隣接して複数配置されることによって構成されても良い。また、第２駆動部２２０も、第２圧電駆動装置２２１が隣接して複数配置されることによって構成されても良い。第１駆動部２１０や第２駆動部２２０がこのように構成されていれば、第１ローター２１３や第２ローター２２３を駆動する駆動力を高めることができる。
【００４６】
＜変形例２＞
上記第１実施形態では、第２駆動部２２０を構成する第２圧電駆動装置２２１の数が、第１駆動部２１０を構成する第１圧電駆動装置２１１の数よりも少なく、第２実施形態では、第２圧電駆動装置２２１の数と第１圧電駆動装置２１１の数とは同じである。これらに対して、第２圧電駆動装置２２１の数が、第１圧電駆動装置２１１の数よりも多くても良い。また、上記各実施形態で説明した各圧電駆動装置の数は例示である。各圧電駆動装置の数は、ロボット１０の大きさや、圧電駆動装置の大きさ、各軸を回転させるために必要なトルクに応じて、適宜、設定することが可能である。
【００４７】
＜変形例３＞
上記実施形態では、第１アーム部１１０は、２つの軸を備えているが、３つ以上の軸を備えていても良い。また、上記実施形態では、第１軸ＡＸ１と第２軸ＡＸ２とは直交しているが、これらの軸は、平行していても良いし、交差していても良い。また、ねじれの位置にあってもよい。
【００４８】
＜変形例４＞
上記実施形態において、第１アーム部１１０の本体部１１１や突出部１１２、第２アーム部１２０、は、それぞれ円筒状であるが、これらは、他の形状であってもよく、例えば、柱状であってもよい。
【００４９】
＜変形例５＞
上記実施形態では、第１駆動部２１０と第２駆動部２２０は、いずれも、圧電駆動装置によって構成されているが、これらのうち、いずれか一方は、他のアクチュエーターによって構成されていても良い。他のアクチュエーターとしては、例えば、電磁モーターや、流体アクチュエーターを用いることができる。
【００５０】
本発明は、上述の実施形態や変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態や変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０…ロボット
６５…振動構造体
６６…振動板
６７…突起部
６８…支持部
６９…連結板
９５…配線
１００…アーム
１１０…第１アーム部
１１１…本体部
１１２…突出部
１２０…第２アーム部
１３０…第３アーム部
１３１…第１支持部
１３２…第２支持部
１５０…エンドエフェクター
１５１…把持部
２１０…第１駆動部
２１１…第１圧電駆動装置
２１３…第１ローター
２１４…開口
２２０…第２駆動部
２２１…第２圧電駆動装置
２２３…第２ローター
２２４…開口
６５１…圧電素子
ＡＸ１…第１軸
ＡＸ２…第２軸
ＡＸ３…第３軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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