(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
床に設置される装置の下面に配設され、当該装置からの漏液を受け止める防水パンであって、床に敷設される柔軟性を有する防水シートと、該防水シートの外周を折り曲げ立ち上げた外周側壁を支持する剛性を有する複数の枠体と、該枠体の上辺部と立ち上げた該外周側壁の上部とを固定する固定部材と、を備え、
前記枠体は、前記防水シート上面に配設される床部と、前記外周側壁に沿って延在し、該外周側壁を支持する側壁部と、を備えた防水パン。
【請求項２】
前記複数の枠体の各々は直接連結されず、前記防水シートおよび固定部材のうち少なくともいずれかを介して連結される、請求項１に記載の防水パン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を加工する際に加工水を使用する装置の下部に配設される防水パンに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列された分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、当該デバイスが形成された半導体ウエーハの裏面を研削装置により所定の厚みになるように研削され、ダイシング装置により半導体ウエーハを分割予定ラインに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。
【０００３】
上記した研削装置、ダイシング装置は、いずれも加工時に研削水、切削水等の加工水を使用することが一般的に行われており、当該加工水の供給、回収経路において外部に漏水しないように管理している。
【０００４】
しかし、上記管理にも関わらず、加工水を供給、回収するための配管、チューブが経年劣化して漏水が発生することがあり、またメンテナンス時における当該加工装置の外部への漏水を完全に排除することは困難であることから、当該加工装置の直下に防水パンを設置して、当該加工装置の下部に漏水が発生しても床面に漏水が広がらないようにすることが行われている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２７７０４８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記したような加工装置に使用される防水パンは、重量が重い装置と床面との間に設置されるものであり、当該装置を設置した際にその重量により変形したり、割れが生じたりしないような十分な剛性と、漏水による錆などが生じ難い性質を必要とされることから、一般的にステンレス等の金属から形成されており、その重量や大きさは、作業者が持ち運ぶには不便であった。
【０００７】
また、従来の防水パンを使用する場合、すでに配置された加工装置の直下に後から設置するには、当該装置全体をクレーン等により上昇させてその下部空間に防水パンをもぐりこませる作業が必要となり、大掛かりな作業となって煩に耐えないものであった。さらに、各種加工装置はその大きさが異なるため、各装置の形状、サイズ毎に防水パンを制作するとなると、結局一つ一つ加工装置の底面形状に合わせた防水パンを制作しなければならないことになり、製造コストの観点からみても効率の良いものとはいえなかった。
【０００８】
本発明は、上記問題を解決すべくなされたものであり、その主たる技術的課題は、防水パンの構成を簡単にし、防水パンとしての性能を確保しつつ、その持ち運び、設置を容易にする防水パンを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記主たる技術的課題を解決するため、本発明によれば、床に設置される装置の下面に配設され、当該装置からの漏液を受け止める防水パンであって、床に敷設される柔軟性を有する防水シートと、該防水シートの外周を折り曲げ立ち上げた外周側壁を支持する剛性を有する複数の枠体と、該枠体の上辺部と立ち上げた該外周側壁の上部とを固定する固定部材と、を備え、
前記枠体は、前記防水シート上面に配設される床部と、前記外周側壁に沿って延在し、該外周側壁を支持する側壁部と、を備えた防水パン、が提供される。
【００１０】
また、前記複数の枠体の各々は直接連結されず、前記防水シートおよび固定部材のうち少なくともいずれかを介して連結される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明による防水パンは、上述したように構成され、床に設置される装置の下面に配設され、当該装置からの漏液を受け止める防水パンであって、床に敷設される柔軟性を有する防水シートと、該防水シートの外周を折り曲げ立ち上げた外周側壁を支持する剛性を有する複数の枠体と、該枠体の上辺部と立ち上げた該外周側壁の上部とを固定する固定部材と、を備え、前記枠体は、前記防水シート上面に配設される床部と、前記外周側壁に沿って延在し、該外周側壁を支持する側壁部と、を備えるので、設置箇所まで防水シート、枠体、固定部材を別々に運ぶことができ、防水パンの設置も容易になされる。
【００１３】
特に、床面にすでに設置された加工装置の下部に本発明による防水パンを設置する際には、当該装置の一方をジャッキアップして装置下面に空間を形成し、当該空間に防水シートを挿入して広げ、当該防水シートの一辺をジャッキアップした装置の一方側に位置づけて装置を一旦おろし、その後装置の他方側をジャッキアップして該防水シートの残りの部分を当該装置の他方側に平らにして広げ、当該防水シートの他方の一辺をジャッキアップした装置の他方側に位置付けて装置を降ろすことにより、防水シートで囲まれた領域内に加工装置を位置づけることができる。そして、該防水シートの各辺に枠体を位置づけるとともに、防水シートを枠体に沿って立ち上げ、固定部材で枠体の上部と立ち上がった防水シートの外周側壁の上部とを固定することで、クレーンで装置全体を持ち上げることなく、容易に防水パンを設置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本願発明に従って構成された防水パンを加工装置の下面と床面との間に設置した状態を示す斜視図。
【図２】本願発明に基づく防水パンの第１の実施形態を構成する各部品の組み立て前の状態を示す斜視図。
【図３】図２の防水パンを構成する防水シートおよび枠体を設置箇所に配置した図面。
【図４】図３に示す状態から、防水シートの外周側壁部を立ち上げた状態を示す斜視図。
【図５】図４に示す状態に対して、固定部材により枠体と防水シートを一体化した状態を示す斜視図。
【図６】本願発明に基づく防水パンの第２の実施形態を構成する各部品の組み立て前の状態を示す斜視図。
【図７】図６に示す状態から、固定部材により枠体と防水シートを一体化した状態を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に従って構成された防水パンの第１の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】
図１には、切削装置（ダイシング装置）と、当該切削装置の下部に本発明に従って構成された防水パンを配設した一実施形態の斜視図が示されている。
【００１７】
保持テープＴを介してフレームＦに支持された半導体ウエーハＷは、カセット１１に複数段に重ねて収納されており搬出入手段１２によってカセット１１から搬出され、第１の搬送手段１３に吸着され該第１の搬送手段１３が旋回動することによりチャックテーブル１６に載置される。
【００１８】
半導体ウエーハＷがチャックテーブル１６に吸引保持されると、回転ブレード１７に向けて移動し、途中アライメント手段を経て切削すべき領域を特定した後、回転ブレード１７との位置合わせをして、さらにチャックテーブル１６を移動させながら、回転ブレード１７の作用を受けて切削工程が行われる。当該切削工程は、半導体ウエーハ上のデバイスがすべて分割されるように、切削予定のすべてのストリートラインの切削が終了するまで、位置、方向をずらしながら繰り返し実行される。この際、半導体ウエーハ上には当該半導体ウエーハを冷却すべく切削水が供給される。
【００１９】
上記切削工程により半導体ウエーハＷの切削工程が終了すると、第２の搬送手段１８により洗浄領域１４に搬送され、スピンナーテーブル１５に載置された後、該スピンナーテーブル１５を回転させるとともに、半導体ウエーハＷ上に洗浄水供給手段から洗浄水が供給されて切削屑が洗い出される。以降、半導体ウエーハＷを乾燥させる乾燥処理を経て当該半導体ウエーハＷは再びカセット１１に収容され切削工程が終了する。
【００２０】
上記したように、当該切削装置においては、半導体ウエーハの洗浄工程、デバイスを分割する切削工程等において多量の水が供給され、回収されることになっている。基本的に当該供給水は、切削装置内において供給、回収されるものであり、通常の運転がなされている場合は外部に漏れ出ることはない。しかし、切削装置内における水供給チューブが劣化したり、あるいは、切削時の破片により配管が傷つけられたりした場合、さらには装置の分解などを伴うメンテナンス時などに、当該水が漏水する可能性がある。
【００２１】
上記したような漏水を当該切削装置１の下面にて受け止めるべく、該切削装置１の下面と床面との間に防水パン３０が設置される。以下に、本願発明に基づく防水パン３０を詳細に説明する。
【００２２】
本願発明に基づく防水パン３０は、図２に示すように少なくとも防水シート３１、床部３２ａ、側壁部３２ｂからなる枠体３２、固定部材３３から構成される。当該防水シートには例えばＥＰＤＭ(エチレン・プロピレンゴム)シート、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ樹脂）等、一般的に知られた柔軟性のあるシートを利用することができる。なお、本願発明でいう「柔軟性のある」とは、後述するような防水シートの外周側壁部分を立ち上げ、あるいは角部の折り曲げなどに支障がない程度に柔軟性があるものをいう。
【００２３】
前記枠体３２は、アルミ材で形成され、床面に延在する床部３２ａと側壁部３２ｂとにより断面Ｌ字状に構成されており、角部に位置する床部３２ａの端部は角部を落とした形状となっている。また、固定部材３３は、後述するように枠体３２の側壁部３２ｂと、防水シート３１を挟持すべく下向きＵ字形状をなしており、下側開口部が枠体３２と防水シート３１を挟持する際にある程度開くように構成され、例えば繊維強化プラスチックにより形成されている。
【００２４】
先ず、当該加工装置を設置する箇所の床に防水シート３１を敷設する。当該防水シート３１は、設置予定の加工装置の底面形状Ｘと、該防水シート３１の各辺部に設置される枠体３２の幅を考慮して当該加工装置の底面形状Ｘの各辺から所定寸法だけ大きい寸法となっている。
【００２５】
前記加工装置が設置される床に前記防水シート３１を敷設した後、当該防水シート３１の各辺端部から、枠体３２の側壁部３２ｂの高さ分だけ内側に該枠体３２を設置する。このとき、各枠体３２は、直接連結されておらず、角部において間隔を開けて設けられる（図３を参照）。
【００２６】
次に、図４に示すように、防水シート３１の外周側壁を構成する外周側壁部３１ａを各枠体３２の各側壁部３２ｂに沿って立ち上げる。この際、防水シート３１の角部は、各枠体の端部に間隔を開けられ形成される角部から内側に折り曲げた折り曲げ部３１ｂを形成する。この際、当該折り曲げ部３１ｂが開かないようにクリップ等で止めておくと後の固定部材３３による固定作業がしやすくなる。
【００２７】
前記防水シート３１の外周側壁部３１ａと、前記枠体３２の側壁部３２ｂと重ねた後、断面下向きＵ字形状をなす固定部材３３の開口側を少し広げ、上方から該外周側壁部３１ａの上部と、該側壁部３２ｂの上辺とを挟持するようにはめ込むことで該防水シート３１を枠体３２に固定し、本願発明に基づく防水パン３０が完成する（図５を参照）。
【００２８】
なお、上述した第１の実施形態では、図４、５に示すように、各固定部材３３を、前記枠体３２と近い寸法で設定し、折り曲げ部３１ｂが、当該防水パン３０の角部に位置する隙間から内側に突出するように形成したが、当該実施形態に限らず、例えば、固定部材３３を枠体３２によりも所定量短く設定し、前記角部から内側に突出する折り曲げ部３１ｂを隣接する枠体３２の側壁部３２ｂの内面方向に折り曲げ、該側壁部３２ｂの端部に設けたねじ穴３２ｃに対してねじ止めにより固定する、あるいは別途のクリップにより該側壁部３２ｂ、外周側壁３１ａとともに挟持することで、防水パンとしてより安定性を向上させることが可能である。
【００２９】
次に、図６、７に基づいて、本発明に基づく防水パン４０の第２の実施形態について説明する。図６、７に記載された防水パン４０は、第１の実施形態と同様の防水シート３１、固定部材３３´を有しているのに対し、枠体が、コーナー部材４１、直線部材４２とから構成される点で第１の実施形態と異なっている。なお、図６では、説明の都合上、図面手前の左方、および右方の辺に対応する固定部材３３´は省略している。
【００３０】
当該第２の実施形態においても、第１の実施形態と略同様の手順で防水パン４０が設置される。まず、防水シート３１を、加工装置を設置する予定の床面に敷設し、設置予定の加工装置の底面形状を考慮して、枠体を構成するコーナー部材４１、直線部材４２の各床部４１ａ、４２ａを防水シート上の外周に配置する。
【００３１】
前記防水シート３１の外周側壁を構成する外周側壁部３１ａを枠体の側壁部４１ｂ、４２ｂに沿って立ち上げ、該外周側壁部３１ｂと、枠体の側壁部４１ｂ、４２ｂとを、固定部材３３´で挟持し固定する。
【００３２】
ここで、第１の実施形態では、防水シート３１の角部を枠体同士の間隙から内方に折り曲げていたのに対して、当該第２の実施形態では、角部に間隙を有しないため、防水シート３１の角部を外方に折り曲げた折り曲げ部３１ｃを形成し、該コーナー部材４１の側壁部４１ｂ側にたたみ、側壁部４１ｂの角部上方に設けられたねじ穴４１ｃに対してねじ止めを行っている。
【００３３】
この第２の実施形態においては、防水パン４０の角部がコーナー部材４１にて構成されていることから、第１の実施形態に対して部材状態における携帯性については若干劣るものの、防水パンとしての安定性はより高まっている。
【００３４】
なお、上記第１、第２の実施形態では、防水シートの外周上に枠体を配設し、防水シートの外周側壁部を立ち上げて、当該外周側壁部の内側を枠体の側壁部の外側に重ねて一体化した。しかし、本願発明の防水パンはこれに限らず、防水シートの外周側壁部の外側に枠体を設置し、枠体の側壁部の内側に重ねて一体化することも可能である。また、第１、第２の実施形態では、切削装置の下部に設置する防水パンとして説明したが、本願発明の防水パンは当該切削装置に適用される場合に限らず、研削装置、さらには、他の漏水の恐れがあらゆる装置の下部に設置することが可能である。
【００３５】
以上、本願発明に基づく防水パンによれば、漏水の恐れがある装置の下部に防水パンを設置するに際し、当該防水パンを構成する部材を設置予定箇所まで容易に運ぶことができるとともに、設置箇所において容易に組み立てることが可能で、仮に漏水があったとしても床面に漏水を広げることのない十分な機能を有する防水パンを構成することができる。  
【符号の説明】
【００３６】
１：切削装置
１１：カセット
１２：搬出入手段
１３：第１の搬送手段
１４：洗浄領域
１５：スピンナーテーブル
１６：チャックテーブル
１７：回転ブレード
１８：第２の搬送手段
３０、４０：防水パン
３１：防水シート
３２：枠体
３３：固定部材
４１：コーナー部材（枠体）
４２：直線部材（枠体）
【図１】
0006566729.tif 000002
【図２】
0006566729.tif 000003
【図３】
0006566729.tif 000004
【図４】
0006566729.tif 000005
【図５】
0006566729.tif 000006
【図６】
0006566729.tif 000007
【図７】
0006566729.tif 000008