(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内筒と、該内筒の噴射側の中空部に配置する整流ピンと、前記内筒の外周に配置する外筒を備え、
噴射側端の前記内筒の内周面と前記整流ピンの外周面の間に環状液体噴射口を設けると共に、該内筒の外周面と前記外筒の内周面の間に前記環状液体噴射口を囲む環状気体噴射口を設け、
前記整流ピンは液噴射側を小径部とすると共に反対側を大径部とし、前記小径部の外周と前記内筒の内周面との間に噴射側環状液体流路を設ける一方、前記大径部の外周面を前記内筒の内周面と当接させると共に該外周面に周方向に間隔を空けて軸線方向の凹部を設けて複数の整流用液体流路を設け、該整流用液体流路を前記整流ピンを配置していない前記内筒の中空部からなる液体流路を介して液体供給口に連通させる一方、
前記環状気体噴射口に気体供給口を連通する気体流路の途中に、前記内筒の外周面および／または前記外筒の内周面に周方向に間隔をあけて複数の傾斜溝を設けて旋回気体流路を設け、前記傾斜溝の流出口を前記環状気体噴射口より外周方向に位置させ、該傾斜溝の流出口と前記環状気体噴射口との間に傾斜環状気体流路を設け、
前記環状液体噴射口の内周と外周間の径方向寸法を０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、前記環状気体噴射口の内周と外周間の径方向寸法を前記環状液体噴射口の１．５倍〜４倍に設定していることを特徴とする二流体ノズル。
【請求項２】
前記内筒、前記整流ピンおよび前記外筒の噴射側端面を同一平面に位置させて外部混合とし、あるいは前記外筒を前記内筒および前記整流ピンの噴射側端面より突出させて内部混合としている請求項１に記載の二流体ノズル。
【請求項３】
前記環状液体噴射口に連続する噴射側環状液体流路は環状液体噴射口と同一形状の筒形状とし、液体を軸線方向と平行な直流として前記環状液体噴射口から噴射し、かつ、前記環状気体噴射口に連続する噴射側環状気体流路を環状気体噴射口と同一形状の筒形状とし、気体を軸線方向と平行に旋回させながら環状気体噴射口から噴射する請求項１または請求項２に記載の二流体ノズル。
【請求項４】
前記外筒の前記環状気体噴射口に連続する内周面を中心軸線と平行な直線面、またはラッパ状に広がる傾斜面としている請求項１または請求項２に記載の二流体ノズル。
【請求項５】
前記噴射側環状気体流路を軸線方向に平行な筒形状の流路とし、該噴射側環状気体流路に外径側へ傾斜する傾斜気体流路を設け、該傾斜気体流路に前記傾斜溝からなる旋回気体流路を連続させている請求項３に記載の二流体ノズル。
【請求項６】
前記整流ピンの小径部の外周と前記内筒の内周面の間に旋回用ワーラを配置し、前記噴射側環状液体流路を流れる液体を旋回流とし、前記環状液体噴射口から液体を旋回させながら噴射させる請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の二流体ノズル。
【請求項７】
内筒と、該内筒の噴射側の中空部に配置する旋回用ピンと、前記内筒の外周に配置する外筒を備え、
噴射側端の前記内筒の内周面と前記旋回用ピンの外周面の間に環状液体噴射口を設けると共に、該内筒の外周面と前記外筒の内周面の間に前記環状液体噴射口を囲む環状気体噴射口を設け、
前記旋回用ピンは噴射側を小径棒状部とすると共に反対側を大径棒状部とし、前記小径棒状部の外周と前記内筒の内周面との間に噴射側環状液体流路を設ける一方、前記大径棒状部の外周面を前記内筒の内周面に密着させると共に、該大径棒状部の外周面に軸線に対して傾斜する傾斜溝を周方向に間隔をあけて複数設け、該傾斜溝を通る液体を旋回させ、かつ、
前記環状気体噴射口に気体供給口を連通する気体流路の途中に、前記内筒外周面および／または前記外筒内周面に周方向に間隔をあけて複数の傾斜溝を設けて旋回気体流路を設けていることを特徴とする二流体ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は二流体ノズルに関し、詳しくは、水等の液体と空気や窒素ガス等からなる気体とを混合して噴射する二流体ノズルであり、特に、微細な回路パターンを設けた基板の洗浄用として好適に用いられるものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の二流体ノズルとして、本出願人は特許第４９７１７０８号において、図１０（Ａ）（Ｂ）に示す二流体ノズル１００を提供している。該二流体ノズル１００は内筒１０１と、外筒１０２を備えた２重筒であり、内筒１０１の中空部を液体流路１０３とし、噴射側先端の円形の液体噴射口１０３ａから液滴を噴射している。また、内筒１０１と外筒１０２に挟まれた環状通路を気体流路１０４とし、噴射側先端の環状の気体噴射口１０４ａから気体を噴射している。噴射する液体と気体は外部混合または内部混合している。
【０００３】
前記二流体ノズルでは気体噴射口１０４ａの面積より連続する気体流路１０４の断面積を同等以下として気体の噴射圧を低減してソフトな噴射を行って、噴霧パターンの安定化を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４９７１７０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の二流体ノズルでは、内筒の中空部を液体流路とし、円形の液体噴射口から液滴を噴射しているため、液体噴射口を大径として液量を増加しようとすると、液滴が粗大化し、噴霧範囲に微細粒子を均等に噴射できなくなる問題がある。
【０００６】
本発明は前記問題に鑑みてなされたもので、噴射する液量を増加する構成としても、液滴の均等な微粒化を図ることができる二流体ノズルを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、第１の発明として、内筒と、該内筒の噴射側の中空部に配置する整流ピンと、前記内筒の外周に配置する外筒を備え、
噴射側端の前記内筒の内周面と前記整流ピンの外周面の間に環状液体噴射口を設けると共に、該内筒の外周面と前記外筒の内周面の間に前記環状液体噴射口を囲む環状気体噴射口を設け、
前記整流ピンは液噴射側を小径部とすると共に反対側を大径部とし、前記小径部の外周と前記内筒の内周面との間に噴射側環状液体流路を設ける一方、前記大径部の外周面を前記内筒の内周面と当接させると共に該外周面に周方向に間隔を空けて軸線方向の凹部を設けて複数の整流用液体流路を設け、該整流用液体流路を前記整流ピンを配置していない前記内筒の中空部からなる液体流路を介して液体供給口に連通させる一方、
前記環状気体噴射口に気体供給口を連通する気体流路の途中に、前記内筒の外周面および／または前記外筒の内周面に周方向に間隔をあけて複数の傾斜溝を設けて旋回気体流路を設け、前記傾斜溝の流出口を前記環状気体噴射口より外周方向に位置させ、該傾斜溝の流出口と前記環状気体噴射口との間に傾斜環状気体流路を設け、
前記環状液体噴射口の内周と外周間の径方向寸法を０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、前記環状気体噴射口の内周と外周間の径方向寸法を前記環状液体噴射口の１．５倍〜４倍に設定していることを特徴とする二流体ノズルを提供している。
【０００８】
前記第１の発明の二流体ノズルでは、液体噴射口を環状とし、その内周と外周間の径方向寸法を０．１ｍｍ〜０．５ｍｍと薄くしているため、該環状液体噴射口の外径を大として開口面積を増加し、噴射する液量を増加しても、薄幅の液体噴射口から噴射する液滴を均等に微粒化でき、液量の増加による水滴の粗大化を防止できる。なお、前記寸法を０．１ｍｍ未満とすることは加工上困難であり、０．５ｍｍを越えると液滴の微粒化が困難になることによる。
かつ、環状液体噴射口に流入させる液体を整流用液体流路を通しているため、噴射する液体の噴霧範囲を安定化させることができる。
さらに、環状気体噴射口に対して前記傾斜溝の流出口を外方に位置させ、その間の気体旋回流路を通して気体を旋回した状態で安定させながら環状気体噴射口より噴射するため、液滴の均等な微細化および噴霧の安定化を図ることができる。
【０００９】
前記気体流路に形成する傾斜溝は４本〜８本を周方向に等角度で配置し、かつ、傾斜角度は１０°〜３０°とすることが好ましい。
【００１０】
前記内筒、前記整流ピンおよび前記外筒の噴射側端面を同一平面に位置させて外部混合とし、あるいは前記外筒を前記内筒および前記整流ピンの噴射側端面より突出させて内部混合としている。
前記内部混合とする場合は、外筒を内筒より０．５ｍｍ以下の寸法で突出させることが好ましい。０．５ｍｍを越えると、低気水比での噴霧の時に中心に粗大粒子が発生する問題がある。
【００１１】
前記環状液体噴射口に連続する噴射側環状液体流路は環状液体噴射口と同一形状の筒形状とし、液体を軸線方向と平行な直流として前記環状液体噴射口から噴射し、かつ、前記環状気体噴射口に連続する噴射側環状気体流路を環状気体噴射口と同一形状の筒形状とし、気体を軸線方向と平行に旋回させながら環状気体噴射口から噴射することが好ましい。
【００１２】
また、前記外筒の前記環状気体噴射口に連続する内周面を中心軸線と平行な直線面、またはラッパ状に広がる傾斜面としてもよい。
【００１３】
前記噴射側環状気体流路を軸線方向に平行な筒形状の流路とし、該噴射側環状気体流路の流入側に連続して外径側へ傾斜する傾斜気体流路を設け、該傾斜気体流路の流入側に連続して前記傾斜溝からなる旋回気体流路を連続させていることが好ましい。
【００１４】
前記整流ピンの小径部の外周と前記内筒の内周面の間に旋回用ワーラを配置し、前記噴射側環状液体流路を流れる液体を旋回流とし、前記環状液体噴射口から液体を旋回させながら噴射させてもよい。
【００１５】
また、第２の発明として、内筒と、該内筒の噴射側の中空部に配置する旋回用ピンと、前記内筒の外周に配置する外筒を備え、
噴射側端の前記内筒の内周面と前記旋回用ピンの外周面の間に環状液体噴射口を設けると共に、該内筒の外周面と前記外筒の内周面の間に前記環状液体噴射口を囲む環状気体噴射口を設け、
前記旋回用ピンは噴射側を小径棒状部とすると共に反対側を大径棒状部とし、前記小径棒状部の外周と前記内筒の内周面との間に噴射側環状液体流路を設ける一方、前記大径棒状部の外周面を前記内筒の内周面に密着させると共に、該大径棒状部の外周面に軸線に対して傾斜する傾斜溝を周方向に間隔をあけて複数設け、該傾斜溝を通る液体を旋回させ、かつ、
前記環状気体噴射口に気体供給口を連通する気体流路の途中に、前記内筒外周面および／または前記外筒内周面に周方向に間隔をあけて複数の傾斜溝を設けて旋回気体流路を設けていることを特徴とする二流体ノズルを提供している。
【発明の効果】
【００１６】
前記第１の発明からなる二流体ノズルは、液体噴射口を環状とし、その内周と外周間の径方向寸法を０．１ｍｍ〜０．５ｍｍと薄くしているため、該環状液体噴射口の外径を大として開口面積を増加し、噴射する液量を増加しても、薄幅の液体噴射口から噴射する液滴を均等に微粒化でき、液量の増加による水滴の粗大化を防止できる。
かつ、環状液体噴射口に流入させる液体を整流用液体流路を通しているため、液体を安定した直進流として噴射でき、液体の噴霧を安定化させることができると共に、流速を低下させない利点がある。また、環状気体噴射口に対して前記傾斜溝の流出口を外方に位置させ、その間の傾斜環状気体流路を通して気体を旋回した状態で安定させながら環状気体噴射口より噴射するため、液滴の均等な微細化および噴霧範囲の安定化を図ることができる。さらに、前記傾斜溝の傾斜角度を調整することで噴霧時の広がり寸法を変えることができる。
【００１７】
前記第２の発明からなる二流体ノズルでは、第１の発明と同様に、液体噴射口を環状としているため、該環状液体噴射口の外径を大として開口面積を増加し、噴射する液量を増加しても、薄幅の液体噴射口から噴射する液滴を均等に微粒化でき、液量の増加による水滴の粗大化を防止できる。かつ、環状液体噴射口から噴射する液体を旋回させると共に、外周の環状気体噴射口から噴射する気体も旋回させているため、旋回流同士で混合する気体と液体との混合を効率良く行い、液滴の微粒化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態の二流体ノズルを示し、（Ａ）が断面図、（Ｂ）は噴射側の拡大断面図である。
【図２】（Ａ）は前記第１実施形態の液体噴射口および気体噴射口と傾斜溝の位置関係を示す図面、（Ｂ）は傾斜溝を設けた内筒の一部斜視図である。
【図３】前記第１実施形態に用いる整流ピンを示し、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】前記二流体ノズルを基板洗浄用として用いた場合の概略図である。
【図５】第１実施形態の第１変形例の二流体ノズルを示し、（Ａ）が断面図、（Ｂ）は噴射側の拡大断面図である。
【図６】第２変形例の噴射側断面図である。
【図７】第３変形例の噴射側断面図である。
【図８】第２実施形態の二流体ノズルを示し、（Ａ）は噴射側断面図、（Ｂ）は要部拡大断面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＣ−Ｃ線断面図、（Ｄ）は整流ピンの右側面図である。
【図９】第３実施形態の二流体ノズルを示し、（Ａ）は断面図、（Ｂ）は要部拡大断面図である。
【図１０】（Ａ）（Ｂ）は従来例の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
第１実施形態の二流体ノズルを図１乃至図４に示す。
二流体ノズル１は、内筒２と、内筒２の噴射側の中空部３に配置する整流ピン４と、内筒２の外周に配置する外筒５を備え、これら内筒２、整流ピン４および外筒５は同心としている。内筒２、整流ピン４および外筒５の噴射側（Ｘ）の先端は同一平面上に位置させている。前記内筒２の内周面と整流ピン４の外周面の間を環状の液体流路とし、噴射側先端に環状液体噴射口６を設けている。また、内筒２の外周面と外筒５の内周面の間を気体流路とし、噴射側先端に環状気体噴射口７を設けている。
【００２０】
図４に示すように、前記環状液体噴射口６から水からなる液体Ｑを余り拡散しない略直流として噴射して噴射圧を高める一方、外周の環状気体噴射口７から空気または窒素ガスからなる気体Ａを旋回流として噴射し、直流噴射する液体の外周を気体の旋回流で囲んだ状態で液体と気体を外部混合しながら対象物に向けて噴射している。
【００２１】
内筒２の噴射側端からノズル全長の約１／４の位置まで、中空部３内に整流ピン４を挿入している。整流ピン４は液噴射側を小径部４ａとすると共に反対側の流体供給側（Ｙ）を大径部４ｂとしている。小径部４ａの外周と内筒２の内周面との間に噴射側環状液体流路８を設けている。該噴射側環状液体流路８の断面形状は先端の環状液体噴射口６と同一形状の円環形状で、中心軸Ｐに沿って軸線方向に所要長さ延在させている。
前記環状液体噴射口６および連続する噴射側環状液体流路８は薄幅かつ大径の断面円環形状としており、内周６ｉと外周６ｏ間の径方向寸法Ｌ１を０．１ｍｍ〜０．５ｍｍとし、外径を１．５ｍｍ〜３．５ｍｍとしている。
【００２２】
整流ピン４の大径部４ｂの外周面４ｃを内筒２の拡径した内周面２ｉと当接させると共に、図３に示すように、外周面４ｃに周方向に間隔を空けて軸線方向の凹部４ｄを設けて複数の整流用液体流路９を設けている。本実施形態では９０度間隔をあけて４つの凹部４ｄを設けている。整流用液体流路９の流入口９ａを整流ピン４を配置していない内筒２の下流側中空部に形成して断面円形の液体流路１１を介して、内筒２の中空部３の噴射側と反対側の開口からなる液体供給口１２と連通させている。これにより、二流体ノズル１に液体供給口１２から供給する液体Ｑ（水）は液体流路１１より分流して整流用液体流路９を通して、ついで、細幅円環形状の噴射側環状液体流路８を直進させて通し、環状液体噴射口６より大きく拡散させず、略直進流として打力を保持した状態で噴射している。
【００２３】
一方、環状気体噴射口７と、外筒５の下流側の周壁に設けた気体供給口１５との間の気体流路は、気体供給口１５に連続する環状気体流路１６と、該環状気体流路１６の流出端に連続する旋回気体流路１７と、該旋回気体流路１７の流出端に連続する円錐筒形状とした傾斜環状気体流路１８と、該傾斜環状気体流路１８の先端と前記環状気体噴射口７との間の噴射側環状気体流路１９からなる。
【００２４】
前記環状気体噴射口７は内周７ｉと外周７ｏとの間の径方向寸法Ｌ２は、前記環状液体噴射口６の寸法Ｌ１の１．５〜４倍とし、本実施形態では２倍としている。該環状気体噴射口７に連続する噴射側環状気体流路１９は同一形状の円環形状とし、傾斜環状気体流路１８の噴射側先端から流入する旋回気体を中心軸Ｐを中心として旋回させながら噴射口へ導出している。前記傾斜環状気体流路１８は内筒２の外周を（Ｙ）方向に向けて拡径した円錐状突出部２ｃと外筒５の平行とした傾斜内面５ｃの間に形成した円錐筒形状であり、噴射側に向けて傾斜した流路である。
【００２５】
前記傾斜環状気体流路１８の流入口は前記旋回気体流路１７の流出口と連続する。図２（Ａ）（Ｂ）に示すように、旋回気体流路１７は、内筒２の円錐状突出部２ｃの大径端に連続する大径円筒部２ｄの外周面に、周方向に等間隔をあけて形成した複数個（本実施形態では６個）の傾斜溝２０から構成している。前記大径円筒部２ｄの外周面２ｅを外筒５の内周面５ｅに接触させることにより、外周面２ｅに凹設した傾斜溝２０を旋回気体流路１７としている。各傾斜溝２０は外周面２ｅに軸線方向に角度θで傾斜させている。該角度θは１０°〜３０°が好ましい。
【００２６】
前記複数の傾斜溝２０に気体が通ることにより、気体を中心軸Ｐを中心として渦巻き状に旋回させ、この旋回状態とする気体を前記環状の傾斜環状気体流路１８および噴射側環状気体流路１９で旋回させながら環状気体噴射口７に向けて直進させ、該環状気体噴射口７から旋回流として噴射している。
【００２７】
環状気体噴射口７から気体を旋回流として噴射するために設ける傾斜溝２０の流出口２０ｅは、環状気体噴射口７の軸線より外周方向に位置させている。該傾斜溝２０で気体を渦流として旋回気体流路１７から傾斜環状気体流路１８へと流入させ、噴射口に向けて縮径させて流速を高めた状態とした後に、噴射側環状気体流路１９を直進させて環状気体噴射口７から噴射している。
【００２８】
前記二流体ノズル１は、例えば、図４に示すように、環状液体噴射口６を下向きとし、下方に設置する基板６０に向けて水と空気や窒素ガスの混合液を洗浄液として噴射している。
【００２９】
前記構成からなる二流体ノズルは液体噴射口を環状とし、該環状液体噴射口６の内周と外周間の径方向の寸法Ｌ１を０．１ｍｍ〜０．５ｍｍと薄くしている。よって、該寸法Ｌ１を維持しながら環状液体噴射口６の外径を大として開口面積を増加し、噴射する液量を増加しても、薄幅の環状液体噴射口から噴射する液滴を外周で旋回させて混合する気体と混合させて均等に微粒化でき、液量の増加による水滴の粗大化を防止できる。その結果、より回路幅の狭い基板の洗浄が可能になり、また噴射量を増加させて洗浄時間を短くすることができる。
【００３０】
さらに、整流ピン４を設け、整流用液体流路９に分流して直進させて通しているため、噴射する液体の噴霧を安定化させ、液水の均等化に寄与させることができる。さらに、気体流路では、環状気体噴射口７に対して旋回気体流路１７を形成する傾斜溝２０の流出口２０ｅを外周側に位置させ、その間の傾斜環状気体流路１８を通して気体圧を高めた状態で噴射側環状気体流路１９を通して同形とした環状気体噴射口７から気体を旋回させながら噴射している。これにより、所要圧とした気体を安定した状態で旋回させながら液体を囲むように噴射でき、液体と均等に混合できる。かつ、気体流路の傾斜溝の角度を変えることにより、広がり寸法を変えることができる。基板の回路幅および使用距離Ｌ３にあったノズルを提供することができる。
【００３１】
前記第１実施形態の二流体ノズル１は図５〜図７に示す第１変形例〜第３変形例の構成としてもよい。
前記図５〜図７に示す第１実施形態の変形例の二流体ノズルは、いずれも、環状液体噴射口６、その外周に環状気体噴射口７を備え、環状液体噴射口６の幅寸法Ｌ１は第１実施形態と同様な０．１ｍｍ〜０．５ｍｍとし、外径を１．５〜３．５ｍｍと従来品より大きくして液量を増加している。また、環状気体噴射口７の幅寸法Ｌ２も第１実施形態と同様として、Ｌ１の１．５〜４倍としている。
【００３２】
図５（Ａ）（Ｂ）に示す第１変形例の二流体ノズルは、気体流路に設ける旋回気体流路とする傾斜溝２０−１を内筒２の外周面に段状に突出した部分２ｈに貫通して設けている。該傾斜溝２０−１の噴射側の流出口は、環状気体噴射口７に連続する噴射側環状気体流路１９と断面三角形状の流路７０を介して連通させている。よって、傾斜溝２０−１の流出端は環状気体噴射口７より外周側に位置させている。
前記構成として、複数の傾斜溝２０−１から旋回する気体を前記流路７０に流入して円環状に旋回させ、この旋回状態を保持しながら、噴射側環状気体流路１９に気体を旋回させながら流通している。
他の作用効果は第１実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００３３】
図６に第２変形例の二流体ノズルを示す。
第２変形例では内筒２の噴射端面２ｓを外筒５の噴射端面５ｓより０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ内側とし、気体と液体の一部を内部混合している。また、環状液体噴射口６を囲む外周の環状気体噴射口７は、環状液体噴射口６より軸線方向で外方へ突出する内周面５ｉを角度θ１で外広がりとしている。該角度θ１は１０〜３０°の範囲としている。
このように、気体噴射口を外広がりとすると、気体圧を低減出来ると共に噴霧範囲を若干広げることができる。
他の構成は第１変形例と同様であるため、同一符号を付して説明を省略する。
【００３４】
図７に第３変形例の二流体ノズルを示す。
第３変形例では、整流ピン４の小径部４ａの噴射側先端を外周に傾斜させて拡径し、該傾斜部４ｋに沿わせる外周側の内筒２の内周面２ｋも平行に傾斜させている。これにより、直線状としていた噴射側環状液体流路８−１を噴射側に向けて同一幅で外向きに傾斜する傾斜流路としている。このように、噴射側環状液体流路８−１を噴射端に向けて拡径すると、環状液体噴射口６の径を増大させて、液量を増加させることができる。
他の構成および作用効果は第１変形例と同様であるため、同一符号を付して説明を省略する。
【００３５】
図８（Ａ）〜（Ｄ）に本発明の第２実施形態の二流体ノズルを示す。
第２実施形態は図７に示す第３変形例と同様な構成としているが、図８（Ｂ）（Ｃ）に示すように、整流ピン４の小径部４ａの外周と内筒２の内周面の間に環状のワーラ８０を取り付け、噴射側環状液体流路８を通過する直進流を旋回させている。これにより、環状液体噴射口６に連続する傾斜した噴射側環状液体流路８−１に液体を旋回して流しこみ、環状液体噴射口６から液体を旋回させながら噴射している。
外周の環状気体噴射口７からは、第１実施形態および第１〜第３変形例と同様に気体を旋回しながら噴射し、旋回しながら噴射する液体と外周の気体とを外部混合している。
他の構成および作用効果は第３変形例と同様であり、同一符号を付して説明を省略する。
【００３６】
図９（Ａ）（Ｂ）に第３実施形態の二流体ノズルを示す。
二流体ノズルは整流ピンの代わりに旋回用ピン４０を用いて液体を旋回させている点でワーラを用いて液体を旋回させている第２実施形態と相違する。
旋回用ピン４０は小径棒状部４０ａと大径棒状部４０ｂからなり、大径棒状部４０ｂの外周面に整流用の凹部を軸線方向に設ける代わりに、図９（Ｂ）に示すように、軸線方向で傾斜させた傾斜溝４５を設けている。大径棒状部４０ｂの外周面を内筒２の内周面と接触させることで、周方向に等間隔をあけて設ける複数の傾斜溝４５の外面が内筒２で閉鎖されて旋回液体流路４６となる。  
他の構成は前記第１変形例と同様であるため、同一符号を付して説明を省略する。
【００３７】
本発明の二流体ノズルは前記実施形態および変形例に限定されず、要旨を越えない範囲で変形することができる。
また、本発明の二流体ノズルは基板洗浄用に限定されず、二流体を混合して噴射する用途に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００３８】
１  二流体ノズル
２  内筒
３  中空部  
４  整流ピン
４ｄ  凹部
５  外筒
６  環状液体噴射口
７  環状気体噴射口
８  噴射側環状液体流路
９  整流用液体流路
１７  旋回気体流路
１９  噴射側環状気体流路
２０−１  傾斜溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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