(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検出部（８５）の回転により変化する回転磁界に応じたメイン正信号と、前記メイン正信号と正負が反転したメイン負信号とを出力するフルブリッジ回路であるメイン回路部（２１、３１、４１）、および、前記被検出部の回転により変化する回転磁界に応じた信号であって前記メイン正信号と位相が異なるサブ正信号と、前記サブ正信号と正負が反転したサブ負信号とを出力するフルブリッジ回路であるサブ回路部（２５、３５、４５）を有する３つ以上のセンサ部（２０、３０、４０、５４１〜５４４、５４６〜５４９、５５１〜５５５、５６１〜５６６、５７１〜５７７）と、
少なくとも１つの前記メイン回路部から出力される前記メイン正信号および前記メイン負信号に応じたメイン信号と、少なくとも１つの前記サブ回路部から出力される前記サブ正信号および前記サブ負信号に応じたサブ信号とに基づき、前記被検出部の回転角度を演算する角度演算部（６２）、ならびに、異なる前記センサ部から出力される対応する信号同士を比較し、比較結果に基づいて異常を監視する異常監視部（６５）を有する制御部（６０）と、
を備える回転角検出装置。
【請求項２】
少なくとも一部の前記センサ部（２０、３０、４０、５４１〜５４４、５５１〜５５５、５６１〜５６６、５７１〜５７７）は、前記被検出部の回転磁界の中心である回転中心からの位置ずれによる検出誤差をキャンセル可能な箇所に配置されている請求項１に記載の回転角検出装置。
【請求項３】
２つの前記センサ部（３０、４０、５４１〜５４４、５５１〜５５４、５６１〜５６６、５７１〜５７６）は、前記回転中心に対して点対称に配置される請求項２に記載の回転角検出装置。
【請求項４】
前記回転中心に対して点対称に配置される前記センサ部の組み合わせを、対称センサ部組とすると、
前記角度演算部は、少なくとも１組の前記対称センサ部組から出力される信号が正常である場合、正常である少なくとも１組の前記対称センサ部組から出力される信号を用いて前記回転角度を演算し、
前記異常監視部は、前記回転中心に対して点対称に配置される前記センサ部の信号同士の比較結果に基づいて異常を監視する請求項３に記載の回転角検出装置。
【請求項５】
１つの前記センサ部（２０、５５５、５７７）は、前記被検出部の回転磁界の中心線上に配置される請求項２〜４のいずれか一項に記載の回転角検出装置。
【請求項６】
前記異常監視部は、
前記被検出部の回転磁界の中心線上に配置される前記センサ部である中心センサ部の信号と、前記中心センサ部以外の前記センサ部の信号との比較結果に基づいて異常を監視し、
前記角度演算部は、
前記中心センサ部から出力される信号が正常である場合、当該中心センサ部から出力される信号を用いて前記回転角度を演算し、
前記中心センサ部から出力される信号が異常である場合、前記回転中心に対して点対称に配置される前記センサ部の組み合わせである対称センサ部組のうちの少なくとも一部が正常である場合、前記対称センサ部組の信号を用いて前記回転角度を演算する請求項５に記載の回転角検出装置。
【請求項７】
前記センサ部は、それぞれに対応して設けられる給電部（６９１、６９２、６９３）から電力が供給される請求項１〜６のいずれか一項に記載の回転角検出装置。
【請求項８】
複数の前記センサ部を封止してなる封止部（１６）と、
前記メイン回路部または前記サブ回路部からの信号出力に用いられる複数の信号出力端子（２３、２７、３３、３７、４３、４７）、前記センサ部への給電に用いられる給電端子（２８、３８、４８）、および、前記センサ部とグランドとの接続に用いられるグランド端子（２９、３９、４９）を含み、前記封止部から突出する端子部（１７、１８）と、
をさらに備える請求項１〜７のいずれか一項に記載の回転角検出装置。
【請求項９】
１つの前記信号出力端子と他の前記信号出力端子との間には、前記信号出力端子以外の端子が配置される請求項８に記載の回転角検出装置。
【請求項１０】
前記給電端子と前記グランド端子との間には、前記給電端子および前記グランド端子以外の端子が配置される請求項８または９に記載の回転角検出装置。
【請求項１１】
前記メイン正信号は、＋ｓｉｎ信号であり、
前記メイン負信号は、−ｓｉｎ信号であり、
前記サブ正信号は、前記＋ｓｉｎ信号と位相が９０°ずれている＋ｃｏｓ信号であり、
前記サブ負信号は、−ｃｏｓ信号であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の回転角検出装置。
【請求項１２】
前記制御部は、前記メイン信号および前記サブ信号をＡＤ変換するＡＤ変換部（６１）を有する請求項１〜１１のいずれか一項に記載の回転角検出装置。
【請求項１３】
前記ＡＤ変換部は、複数のＡＤ変換器（６１１、６１２）を有し、
それぞれの前記ＡＤ変換器は、少なくとも１つの前記メイン信号、および、少なくとも１つの前記サブ信号をＡＤ変換する請求項１２に記載の回転角検出装置。
【請求項１４】
前記センサ部は、第１センサ部（２０）、第２センサ部（３０）および第３センサ部（４０）の３つであり、
前記ＡＤ変換器は、信号取得タイミングおよび信号出力タイミングが同期されている第１ＡＤ変換器（６１１）および第２ＡＤ変換器（６１２）の２つであって、
前記第１ＡＤ変換器は、前記第１センサ部の前記メイン信号または前記サブ信号の一方、ならびに、前記第２センサ部の前記メイン信号および前記サブ信号をＡＤ変換し、
前記第２ＡＤ変換器は、前記第１センサ部の前記メイン信号または前記サブ信号の他方、ならびに、前記第３センサ部の前記メイン信号および前記サブ信号をＡＤ変換し、
前記第１ＡＤ変換器におけるＡＤ変換順は、前記第２センサ部の前記メイン信号または前記サブ信号の一方、前記第１センサ部の信号、前記第２センサ部の前記メイン信号または前記サブ信号の他方の順であり、
前記第２ＡＤ変換器におけるＡＤ変換順は、前記第３センサ部の前記メイン信号または前記サブ信号の他方、前記第１センサ部の信号、前記第３センサ部の前記メイン信号または前記サブ信号の一方の順である請求項１３に記載の回転角検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転角検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回転磁界を検出することで回転角度を検出する回転角検出装置が知られている。例えば特許文献１では、ハーフブリッジの中点から出力される少なくとも４つの出力信号を用いて回転角度を演算している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５１２６３２５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ハーフブリッジ回路からの出力値は、オフセットずれを含んでいる。特許文献１では、制御部の内部にてオフセット補正を行っているが、フルブリッジ回路からの出力値を用いる場合とは異なり、製造誤差に起因する位相差や配線抵抗、温度特性等の影響がある場合、オフセットを完全にキャンセルすることができない。また、出力信号の一部に異常が生じた場合、１つのハーフブリッジから出力されるｓｉｎ系信号またはｃｏｓ系信号を用いて角度演算を継続するため、オフセットを完全にキャンセルすることができず、正常時と比較して検出精度が低下する虞がある。
本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、精度よく回転角度を検出可能な回転角検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の回転角検出装置は、３つ以上のセンサ部と、制御部と、を備える。
センサ部は、メイン回路部、および、サブ回路部を有する。メイン回路部は、被検出部の回転により変化する回転磁界に応じたメイン正信号と、メイン正信号と正負が反転したメイン負信号とを出力するフルブリッジ回路である。サブ回路部は、被検出部の回転により変換する回転磁界に応じた信号であって、メイン正信号と位相が異なるサブ正信号と、サブ正信号と正負が反転したサブ負信号とを出力するフルブリッジ回路である。
【０００６】
制御部は、角度演算部、および、異常監視部を有する。角度演算部は、少なくとも１つのメイン回路部から出力されるメイン正信号およびメイン負信号に応じたメイン信号と、少なくとも１つのサブ回路部から出力されるサブ正信号およびサブ負信号とに基づき、被検出部の回転角度を演算する。異常監視部は、異なるセンサ部から出力される対応する信号同士を比較し、比較結果に基づいて異常を監視する。
【０００７】
本発明では、位相の異なる信号を出力する２つのフルブリッジ回路を有するセンサ部を３つ以上設けているので、対応する信号の差等、比較的簡単な演算で異常判定を行うことができる。
また、メイン回路部およびサブ回路部がフルブリッジ回路で構成されており、各回路部から出力される各信号のオフセットをキャンセル可能である。そのため、一部の信号に異常が生じ、正常である信号にて角度演算を継続する場合においても、精度よく回転角度を検出可能である。
さらにまた、一部のメイン信号が異常になった場合にも、正常である他のメイン信号同士を比較することにより、異常監視を継続することができる。サブ信号についても同様である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態による電動パワーステアリングシステムを示す概略構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるモータを示す模式的な断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態による回転角検出装置を示す回路図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるｓｉｎ信号およびｃｏｓ信号を示す説明図である。
【図５】本発明の第１実施形態によるセンサ部の配置を説明する模式的な平面図である。
【図６】本発明の第１実施形態によるセンサユニットの端子配列を説明する模式図である。
【図７】本発明の第１実施形態による制御部を示すブロック図である。
【図８】本発明の第１実施形態によるＡＤ変換順を説明するタイムチャートである。
【図９】本発明の第１実施形態による角度演算処理を説明するフローチャートである。
【図１０】本発明の第１実施形態による角度演算および異常監視を説明する説明図である。
【図１１】本発明の第２実施形態による角度演算処理を説明するフローチャートである。
【図１２】本発明の第２実施形態による角度演算および異常監視を説明する説明図である。
【図１３】本発明の第３実施形態による角度演算処理を説明するフローチャートである。
【図１４】本発明の第４実施形態による角度演算処理を説明するフローチャートである。
【図１５】本発明の第５実施形態による角度演算および異常監視を説明する説明図である。
【図１６】本発明の第６実施形態による角度演算および異常監視を説明する説明図である。
【図１７】本発明の第７実施形態による角度演算および異常監視を説明する説明図である。
【図１８】本発明の第８実施形態による角度演算および異常監視を説明する説明図である。
【図１９】本発明の第９実施形態によるセンサ部の配置を説明する模式的な平面図である。
【図２０】本発明の第９実施形態による角度演算処理を説明するフローチャートである。
【図２１】本発明の第１０実施形態によるセンサ部の配置を説明する模式的な平面図である。
【図２２】本発明の第１１実施形態によるセンサ部の配置を説明する模式的な平面図である。
【図２３】本発明の第１１実施形態による角度演算処理を説明するフローチャートである。
【図２４】本発明の第１２実施形態による角度演算処理を説明するフローチャートである。
【図２５】本発明の第１３実施形態によるセンサ部の配置を説明する模式的な平面図である。
【図２６】本発明の第１４実施形態によるセンサ部の配置を説明する模式的な平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明による回転角検出装置を図面に基づいて説明する。以下、複数の実施形態において、実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態による回転角検出装置を図１〜図１０に基づいて説明する。
図１〜図３に示すように、本発明の第１実施形態による回転角検出装置１０は、センサユニット１５、および、制御部６０を有し、車両のステアリング操作をアシストするための電動パワーステアリング装置１に用いられる。
図１は、電動パワーステアリング装置１を備えるステアリングシステム９０の全体構成を示す図である。ステアリングシステム９０は、操舵部材であるハンドル（ステアリングホイール）９１、ステアリングシャフト９２、ピニオンギア９６、ラック軸９７、車輪９８、および、電動パワーステアリング装置１等から構成される。
【００１０】
ハンドル９１は、ステアリングシャフト９２と接続される。ステアリングシャフト９２の先端にはピニオンギア９６が設けられ、ピニオンギア９６はラック軸９７に噛み合っている。ラック軸９７の両端には、タイロッド等を介して一対の車輪９８が連結される。
運転者がハンドル９１を回転させると、ハンドル９１に接続されたステアリングシャフト９２が回転する。ステアリングシャフト９２の回転運動は、ピニオンギア９６によってラック軸９７の直線運動に変換され、ラック軸９７の変位量に応じた角度に一対の車輪９８が操舵される。
【００１１】
電動パワーステアリング装置１は、運転者によるハンドル９１の操舵を補助する補助トルクを出力するモータ８０、当該モータ８０の駆動制御に用いられる制御ユニット（図中「ＥＣＵ」と記す。）５、トルクセンサ８、および、モータ８０の回転を減速してステアリングシャフト９２に伝える減速ギア８９等を備える。すなわち、本実施形態の電動パワーステアリング装置１は、所謂「コラムアシストタイプ」であるが、モータの回転をラック軸９７に伝え、ラック軸９７の駆動をアシストする、所謂「ラックアシストタイプ」としてもよい。
トルクセンサ８は、ステアリングシャフト９２に設けられ、運転者がハンドル９１を操作することにより入力される操舵トルクを検出する。
【００１２】
モータ８０は、図示しないバッテリからの電力が供給されることにより駆動され、減速ギア８９を正逆回転させる。
モータ８０の概略構成を図２に示す。モータ８０は、ステータ８１、ロータ８３、および、シャフト８４等を有している。
ステータ８１は、ハウジング８６に固定される。ステータ８１には、コイル８２が巻回される。
ロータ８３は、シャフト８４とともに回転する筒状の部材であり、ステータ８１の径方向内側に設けられる。ロータ８３の表面には、永久磁石が貼り付けられ、磁極を有している。コイル８２への通電によって生じる回転磁界により、ロータ８３はシャフト８４とともに回転する。
シャフト８４は、ハウジング８６の両端から突出する。シャフト８４の一端には、被検出部としてのマグネット８５が設けられる。マグネット８５は、略円板状に形成される２極磁石であり、シャフト８４と一体となって回転する。
【００１３】
制御ユニット５は、基板６、および、基板６に実装される各種電子部品を有し、カバー部材８７により覆われる。基板６は、ハウジング８６の図示しない固定部に固定される。基板６には、センサユニット１５、制御部６０、および、電源ＩＣ６９が実装される。センサユニット１５は、基板６のモータ８０側の面であって、マグネット８５と対向する箇所に実装される。制御部６０および電源ＩＣ６９は、基板６のモータ８０と反対側の面に実装される。電源ＩＣ６９には、レギュレータ６９１〜６９３が含まれる（図６参照）。
【００１４】
回転角検出装置１０の回路構成を図３に示す。
センサユニット１５は、３つのセンサ部２０、３０、４０を有し、１つのパッケージとして構成される。３つのセンサ部２０、３０、４０の構成は同様であるので、センサ部２０の構成を中心に説明する。
第１センサ部２０は、ｓｉｎ回路部２１、ｓｉｎ差動増幅器２２、ｃｏｓ回路部２５、および、ｃｏｓ差動増幅器２６を有する。
ｓｉｎ回路部２１は、マグネット８５の回転に応じて変化する回転磁界によりインピーダンスが変化する４つの磁気抵抗素子２１１〜２１４が接続されるフルブリッジ回路により構成されるｓｉｎ信号出力回路である。磁気抵抗素子２１１、２１２の接続点からは第１＋ｓｉｎ信号が出力され、磁気抵抗素子２１３、２１４の接続点からは第１−ｓｉｎ信号が出力される。第１−ｓｉｎ信号は、第１＋ｓｉｎ信号と正負が反転された信号である。第１＋ｓｉｎ信号は、ｓｉｎ差動増幅器２２のプラス入力端子に入力され、第１−ｓｉｎ信号は、ｓｉｎ差動増幅器２２のマイナス入力端子に入力される。
【００１５】
ｓｉｎ差動増幅器２２は、第１＋ｓｉｎ信号および第１−ｓｉｎ信号を差動増幅する。ｓｉｎ差動増幅器２２にて差動増幅された信号である第１ｓｉｎ信号は、第１ｓｉｎ信号出力端子２３を経由して制御部６０に出力される。第１ｓｉｎ信号は、第１＋ｓｉｎ信号および第１−ｓｉｎ信号に基づく信号である。
【００１６】
ｃｏｓ回路部２５は、マグネット８５の回転に応じて変化する回転磁界によりインピーダンスが変化する４つの磁気抵抗素子２５１〜２５４が接続されるフルブリッジ回路により構成されるｃｏｓ信号出力回路である。磁気抵抗素子２５１、２５２の接続点からは第１＋ｃｏｓ信号が出力され、磁気抵抗素子２５３、２５４の接続点からは第１−ｃｏｓ信号が出力される。第１−ｃｏｓ信号は、第１＋ｃｏｓ信号と正負が反転された信号である。第１＋ｃｏｓ信号は、ｃｏｓ差動増幅器２６のプラス入力端子に入力され、第１−ｃｏｓ信号は、ｃｏｓ差動増幅器２６のマイナス入力端子に入力される。
【００１７】
ｃｏｓ差動増幅器２６は、第１＋ｃｏｓ信号および第１−ｃｏｓ信号を差動増幅する。ｃｏｓ差動増幅器２６により差動増幅された信号である第１ｃｏｓ信号は、第１ｃｏｓ信号出力端子２７を経由して制御部６０に出力する。第１ｃｏｓ信号は、第１＋ｃｏｓ信号および第１−ｃｏｓ信号に基づく信号である。
【００１８】
ｓｉｎ回路部２１、ｃｏｓ回路部２５、および、差動増幅器２２、２６は、第１給電端子２８を経由して第１レギュレータ６９１と接続され、第１グランド端子２９を経由してグランドと接続される。
図３中においては、第１＋ｓｉｎ信号を「＋ｓｉｎ１」、第１−ｓｉｎ信号を「−ｓｉｎ１」、第１＋ｃｏｓ信号を「＋ｃｏｓ１」、第１−ｃｏｓ信号を「−ｃｏｓ１」と記載する。第２センサ部３０および第３センサ部４０からの信号についても同様である
【００１９】
第２センサ部３０は、ｓｉｎ回路部３１、ｓｉｎ差動増幅器３２、ｃｏｓ回路部３５、および、ｃｏｓ差動増幅器３６を有する。
磁気抵抗素子３１１、３１２の接続点から出力される第２＋ｓｉｎ信号および磁気抵抗素子３１３、３１４の接続点から出力される第２−ｓｉｎ信号は、ｓｉｎ差動増幅器３２にて差動増幅される。ｓｉｎ差動増幅器３２にて差動増幅された信号である第２ｓｉｎ信号は、ｓｉｎ信号出力端子３３を経由して制御部６０に出力される。
【００２０】
磁気抵抗素子３５１、３５２の接続点から出力される第２＋ｃｏｓ信号および磁気抵抗素子３５３、３５４の接続点から出力される第２−ｃｏｓ信号は、ｃｏｓ差動増幅器３６にて差動増幅される。ｃｏｓ差動増幅器３６にて差動増幅された信号である第２ｃｏｓ信号は、ｃｏｓ信号出力端子３７を経由して制御部６０に出力される。第２ｓｉｎ信号は、第２＋ｓｉｎ信号および第２−ｓｉｎ信号に基づく信号であり、第２ｃｏｓ信号は、第２＋ｃｏｓ信号および第２−ｃｏｓ信号に基づく信号である。
ｓｉｎ回路部３１、ｃｏｓ回路部３５、および、差動増幅器３２、３６は、第２給電端子３８を経由して第２レギュレータ６９２と接続され、第２グランド端子３９を経由してグランドと接続される。
【００２１】
第３センサ部４０は、ｓｉｎ回路部４１、ｓｉｎ差動増幅器４２、ｃｏｓ回路部４５、および、ｃｏｓ差動増幅器４６を有する。
磁気抵抗素子４１１、４１２の接続点から出力される第３＋ｓｉｎ信号および磁気抵抗素子４１３、４１４の接続点から出力される第３−ｓｉｎ信号は、ｓｉｎ差動増幅器４２にて差動増幅される。ｓｉｎ差動増幅器４２にて差動増幅された信号である第３ｓｉｎ信号は、第３ｓｉｎ信号出力端子４３を経由して制御部６０に出力される。
【００２２】
磁気抵抗素子４５１、４５２の接続点から出力される第３＋ｃｏｓ信号および磁気抵抗素子４５３、４５４の接続点から出力される第３−ｃｏｓ信号は、ｃｏｓ差動増幅器４６にて差動増幅される。ｃｏｓ差動増幅器４６にて差動増幅された信号である第３ｃｏｓ信号は、第３ｃｏｓ信号出力端子４７を経由して制御部６０に出力される。第３ｓｉｎ信号は、第３＋ｓｉｎ信号および第３−ｓｉｎ信号に基づく信号であり、第３ｃｏｓ信号は、第３＋ｃｏｓ信号および第３−ｃｏｓ信号に基づく信号である。
ｓｉｎ回路部４１、ｃｏｓ回路部４５、および、差動増幅器４２、４６は、第３給電端子４８を経由して第３レギュレータ６９３と接続され、第３グランド端子４９を経由してグランドと接続される。
【００２３】
図４に示すように、第１ｓｉｎ信号、第２ｓｉｎ信号および第３ｓｉｎ信号（図中、「ｓｉｎ信号」と記載する。）は、振幅および位相が等しい信号である。第１ｃｏｓ信号、第２ｃｏｓ信号および第３ｃｏｓ信号（図中、「ｃｏｓ信号」と記載する。）は、振幅および位相が等しい信号である。また、第１ｓｉｎ信号、第２ｓｉｎ信号および第３ｓｉｎ信号と、第１ｃｏｓ信号、第２ｃｏｓ信号および第３ｃｏｓ信号とは、位相が９０°ずれている。
【００２４】
本実施形態では、第１＋ｓｉｎ信号、第１−ｓｉｎ信号、第２＋ｓｉｎ信号、第２−ｓｉｎ信号、第３＋ｓｉｎ信号、第３−ｓｉｎ信号、第１＋ｃｏｓ信号、第１−ｃｏｓ信号、第２＋ｃｏｓ信号、第２−ｃｏｓ信号、第３＋ｃｏｓ信号、第３−ｃｏｓ信号の振幅が等しく、差動増幅器２２、２６、３２、３６、４２、４６におけるゲインが等しいものとする。
【００２５】
本実施形態では、ｓｉｎ回路部２１、３１、４１が「メイン回路部」、ｃｏｓ回路部２５、３５、４５が「サブ回路部」に対応し、ｓｉｎ差動増幅器２２、３２、４２が「メイン差動増幅器」、ｃｏｓ差動増幅器２６、３６、４６が「サブ差動増幅器」に対応する。
また、＋ｓｉｎ信号が「メイン正信号」、−ｓｉｎ信号が「メイン負信号」、＋ｃｏｓ信号が「サブ正信号」、−ｃｏｓ信号が「サブ負信号」に対応し、ｓｉｎ信号が「メイン信号」および「メイン差動増幅信号」、ｃｏｓ信号が「サブ信号」および「サブ差動増幅信号」に対応する。ここで、ｓｉｎを「メイン」、ｃｏｓを「サブ」としているが、単にｓｉｎ、ｃｏｓの区別のために「メイン」または「サブ」を付しているにすぎず、主従の関係ではないことを補足しておく。
【００２６】
図５（ａ）に示すように、第２センサ部３０および第３センサ部４０は、第１センサ部２０の中心に対して点対称となるように配置される。本実施形態では、第１センサ部２０の中心が、マグネット８５の回転磁界の中心線Ｃ上となるように配置される。以下適宜、マグネット８５の回転磁界の中心線Ｃを、単に「回転中心Ｃ」という。
本実施形態では、第２センサ部３０および第３センサ部４０は、第１センサ部２０を挟んで両側に隣接して配置されるが、図５（ｂ）のようにセンサ同士が離間していてもよいし、図５（ｃ）のようにずれて配置してもよい。回転中心Ｃから離間するほど、検出誤差が大きくなるので、センサ部２０、３０、４０は、可及的近接させて配置することが望ましい。
以下適宜、中心線Ｃ上に配置されるセンサ部２０を「中心センサ部」、回転中心Ｃに対して点対称に配置されるセンサ部３０、４０の組み合わせを「対称センサ部組」とする。
【００２７】
図６に基づいてセンサユニット１５の端子配列を説明する。図６に示すように、センサ部２０、３０、４０は、１つの封止部１６にて封止されている。封止部１６は、略矩形に形成される。封止部１６の第１側面１６１には、第１端子部１７が突出して形成され、第１側面１６１と反対側の第２側面１６２には、第２端子部１８が突出して形成される。
【００２８】
第１端子部１７および第２端子部１８は、それぞれ８本ずつの端子を含む。
第１端子部１７において、一端１６５から３番目の端子から順に、第１ｓｉｎ信号出力端子２３、第１給電端子２８、第１ｃｏｓ信号出力端子２７、第１グランド端子２９の順に配列される。第１端子部１７において、一端１６５側の２本、および、一端１６５と反対側の端部である他端１６６側の２本の端子は、ＮＣピン１７０である。ＮＣピン１７０は、センサユニット１５外とは接続されていない空ピンである。
【００２９】
第２端子部１８において、一端１６５側から、第２ｓｉｎ信号出力端子３３、第２給電端子３８、第２ｃｏｓ信号出力端子３７、第２グランド端子３９、第３ｓｉｎ信号出力端子４３、第３給電端子４８、第３ｃｏｓ信号出力端子４７、第３グランド端子４９の順に配列される。本実施形態では、第２端子部１８には、空ピンが含まれないが、端子数によっては、空ピンが含まれてもよい。
【００３０】
第１端子部１７において、第１ｓｉｎ信号出力端子２３と第１ｃｏｓ信号出力端子２７との間には第１給電端子２８が配置される。
第１給電端子２８と第１グランド端子２９との間には第１ｃｏｓ信号出力端子２７が配置される。
【００３１】
第２端子部１８において、第２ｓｉｎ信号出力端子３３と第２ｃｏｓ信号出力端子３７との間には第２給電端子３８が配置され、第３ｓｉｎ信号出力端子４３と第３ｃｏｓ信号出力端子４７との間には第３給電端子４８が配置される。また、第２ｃｏｓ信号出力端子３７と第３ｓｉｎ信号出力端子４３との間には第２グランド端子３９が配置される。
第２端子部１８において、第２給電端子３８と第２グランド端子３９との間には第２ｃｏｓ信号出力端子３７が配置され、第３給電端子４８と第３グランド端子４９との間には第３ｃｏｓ信号出力端子４７が配置される。また、第２グランド端子３９と第３給電端子４８との間には第３ｓｉｎ信号出力端子４３が配置される。
【００３２】
すなわち本実施形態では、信号出力端子２３、２７、３３、３７、４３、４７の間には、信号出力端子以外の端子である給電端子２８、３８、４８またはグランド端子３９が配置され、信号出力端子２３、２７、３３、３７、４３、４７同士が隣接しないように配列されている。給電端子２８、３８、４８またはグランド端子２９、３９、４９に替えて、空ピンを配置することで、信号出力端子２３、２７、３３、３７、４３、４７同士が隣接しないようにしてもよい。これにより、信号出力端子同士の短絡による誤検出を防ぐことができる。なお、隣り合う信号出力端子２３と給電端子２８とが短絡したとしても、天絡異常を容易に判定可能である。また、隣り合う信号出力端子２７とグランド端子２９とが短絡したとしても、地絡異常を容易に判定可能である。他の信号出力端子についても同様である。
【００３３】
また、給電端子２８、３８、４８とグランド端子２９、３９、４９との間には、給電端子２８、３８、４８およびグランド端子２９、３９、４９以外の端子である信号出力端子２７、３７、４３、４７が配置され、給電端子２８、３８、４８とグランド端子２９、３９、４９とが隣接しないように配列されている。信号出力端子２３、２７、３３、３７、４３、４７に替えて、空ピンを配置することで、給電端子２８、３８、４８とグランド端子２９、３９、４９とが隣接しないようにしてもよい。これにより、給電端子２８、３８、４８とグランド端子２９、３９、４９との短絡を防いでいる。
【００３４】
また、第１給電端子２８は、基板６に形成される配線パターン６０１を経由して第１レギュレータ６９１に接続される。これにより、第１センサ部２０には、第１レギュレータ６９１にて調圧された電圧が供給される。
第２給電端子３８は、基板６に形成される配線パターン６０２を経由して第２レギュレータ６９２に接続される。これにより、第２センサ部３０には、第２レギュレータ６９２にて調圧された電圧が供給される。
第３給電端子４８は、基板６に形成される配線パターン６０３を経由して第３レギュレータ６９３に接続される。これにより、第３センサ部４０には、第３レギュレータ６９３にて調圧された電圧が供給される。
すなわち本実施形態では、センサ部２０、３０、４０には、それぞれ別途のレギュレータ６９１、６９２、６９３から電力が供給される。
【００３５】
本実施形態では、第１レギュレータ６９１、第２レギュレータ６９２および第３レギュレータ６９３は、電源ＩＣ６９に設けられるが、それぞれ別々のＩＣとして設けられていてもよい。本実施形態では、第１レギュレータ６９１、第２レギュレータ６９２および第３レギュレータ６９３が「給電部」に対応する。
【００３６】
図３および図７に示すように、制御部６０は、モータ８０の駆動制御を司るものであり、各種演算を実行するマイクロコンピュータ等により構成され、内部にはＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、Ｉ／Ｏ、および、これらの構成を接続するバスライン等を備える。制御部６０における各処理は、予め記憶されたプログラムをＣＰＵで実行することによるソフトウェア処理であってもよいし、専用の電子回路によるハードウェア処理であってもよい。
【００３７】
図７に示すように、制御部６０は、機能ブロックとして、ＡＤ変換部６１、角度演算部６２、および、異常監視部６５を有する。
ＡＤ変換部６１は、２つのＡＤ変換器６１１、６１２を有する。
第１ＡＤ変換器６１１は、第２ｃｏｓ信号、第２ｓｉｎ信号、および、第１ｃｏｓ信号を取得し、アナログ信号からデジタル信号に変換する。第２ＡＤ変換器６１２は、第１ｓｉｎ信号、第３ｃｏｓ信号、および、第３ｓｉｎ信号を取得し、アナログ信号からデジタル信号に変換する。
デジタル信号に変換されたｓｉｎ信号およびｃｏｓ信号は、角度演算部６２および異常監視部６５に出力される。
【００３８】
図中において、第１ｓｉｎ信号を「ｓｉｎ１」、第１ｃｏｓ信号を「ｃｏｓ１」、第２ｓｉｎ信号を「ｓｉｎ２」、第２ｃｏｓ信号を「ｃｏｓ２」、第３ｓｉｎ信号を「ｓｉｎ３」、第３ｃｏｓ信号を「ｃｏｓ３」と記す。また適宜、アナログ信号に（Ａ）、デジタル信号に（Ｄ）を付す。
【００３９】
ＡＤ変換器６１１、６１２におけるＡＤ変換順を図８に基づいて説明する。ＡＤ変換器６１１、６１２におけるＡＤ変換周期ΔＴは等しく、かつ、同期されている。
第１ＡＤ変換器６１１は、時刻Ｔ１に取得した第２ｃｏｓ信号をＡＤ変換し、時刻Ｔ２にてデジタル信号に変換された信号を出力する。第１ＡＤ変換器６１１は、時刻Ｔ２に取得した第１ｃｏｓ信号をＡＤ変換し、時刻Ｔ３にてデジタル信号に変換された信号を出力する。第１ＡＤ変換器６１１は、時刻Ｔ３に取得した第２ｓｉｎ信号をＡＤ変換し、時刻Ｔ４にてデジタル信号に変換された信号を出力する。
【００４０】
第２ＡＤ変換器６１２は、時刻Ｔ１に取得した第３ｓｉｎ信号をＡＤ変換し、時刻Ｔ２にてデジタル信号に変換された信号を出力する。第２ＡＤ変換器６１２は、時刻Ｔ２にて取得した第１ｓｉｎ信号をＡＤ変換し、時刻Ｔ３にてデジタル信号に変換された信号を出力する。第２ＡＤ変換器６１２は、時刻Ｔ３にて取得した第３ｓｉｎ信号をＡＤ変換し、時刻Ｔ４にてデジタル信号に変換された信号を出力する。
【００４１】
図８に示すように、本実施形態では、第１ＡＤ変換器６１１にてｓｉｎ信号またはｃｏｓ信号の一方をＡＤ変換しているとき、第２ＡＤ変換器６１２にてｓｉｎ信号またはｃｏｓ信号の他方をＡＤ変換している。
角度演算部６２および異常監視部６５の処理では、デジタル信号に変換されたｓｉｎ信号およびｃｏｓ信号を用いる。以下、ＡＤ変換によりデジタル信号に変換された値を、単に「ｓｉｎ信号」、「ｃｏｓ信号」等という。
【００４２】
角度演算部６２は、第１ｓｉｎ信号、第２ｓｉｎ信号および第３ｓｉｎ信号のうちの少なくとも１つと、第１ｃｏｓ信号、第２ｃｏｓ信号および第３ｃｏｓ信号のうちの少なくとも１つとを用いてａｒｃｔａｎを演算し、演算されたａｒｃｔａｎに基づいて機械角θｍを演算する。本実施形態では、機械角θｍが「被検出部の回転角度」に対応する。
異常監視部６５は、対応する信号である第１ｓｉｎ信号、第２ｓｉｎ信号、および、第３ｓｉｎ信号を比較し、対応する信号である第１ｃｏｓ信号、第２ｃｏｓ信号、および、第３ｓｉｎ信号を比較し、センサ部２０、３０、４０の異常を監視する。異常監視結果は、異常情報として、角度演算部６２に出力される。
【００４３】
角度演算および異常監視について、図９および図１０に基づいて説明する。図９および図１０では、適宜、第１センサ部２０からの信号を「信号１」、第２センサ部３０からの信号を「信号２」、第３センサ部４０からの信号を「信号３」と記載する。
角度演算処理を図９に示すフローチャートに基づいて説明する。角度演算処理は、制御部６０にて、ＡＤ変換周期ΔＴの３倍以上の所定の周期で実行される。
【００４４】
最初のステップＳ１０１では、異常監視部６５は、全ての判定式の演算結果が判定閾値ｚ以下か否かを判断する。以下、「ステップＳ１０１」の「ステップ」を省略し、単に記号「Ｓ」と記す。他のステップも同様である。なお、判定閾値ｚは、適宜設定可能である。以下、判定閾値が同一の値ｚであるものとして説明するが、例えば判定式等に応じて異なっていてもよい。
判定式は、式（１）〜式（６）で表される。
｜ｓｉｎ１−ｓｉｎ２｜    ・・・（１）
｜ｃｏｓ１−ｃｏｓ２｜    ・・・（２）
｜ｓｉｎ１−ｓｉｎ３｜    ・・・（３）
｜ｃｏｓ１−ｃｏｓ３｜    ・・・（４）
｜ｓｉｎ２−ｓｉｎ３｜    ・・・（５）
｜ｃｏｓ２−ｃｏｓ３｜    ・・・（６）
【００４５】
全ての判定式の演算結果が判定閾値ｚ以下であると判断された場合（Ｓ１０１：ＹＥＳ）、第１センサ部２０からの信号、第２センサ部３０からの信号、および、第３センサ部４０からの信号が、いずれも正常であるとみなし、Ｓ１０４へ移行する。少なくとも１つの判定式の演算結果が判定閾値ｚより大きいと判断された場合（Ｓ１０１：ＮＯ）、Ｓ１０２へ移行する。
Ｓ１０２では、異常監視部６５は、異常信号を特定する。異常信号特定の詳細については、図１０に基づいて後述する。
【００４６】
Ｓ１０３では、異常監視部６５は、第１センサ部２０からの信号が正常か否かを判断する。第１センサ部２０からの信号が異常であると判断された場合（Ｓ１０３：ＮＯ）、Ｓ１０５へ移行する。第１センサ部２０からの信号が正常であると判断された場合（Ｓ１０３：ＹＥＳ）、Ｓ１０４へ移行する。
【００４７】
全てのセンサ部２０、３０、４０からの信号が正常であると判断された場合（Ｓ１０１：ＹＥＳ）、または、第１センサ部２０からの信号が正常であると判断された場合（Ｓ１０３：ＹＥＳ）に移行するＳ１０４では、角度演算部６２は、第１センサ部２０からの信号を用いて角度演算を行う。すなわち本実施形態では、第１センサ部２０が正常であれば、第１センサ部２０からの信号を用いて角度演算を行う。
【００４８】
第１センサ部２０からの信号が異常であると判断された場合（Ｓ１０３：ＮＯ）に移行するＳ１０５では、異常監視部６５は、第２センサ部３０および第３センサ部４０からの信号が正常であるか否かを判断する。第２センサ部３０および第３センサ部４０からの信号が正常であると判断された場合（Ｓ１０５：ＹＥＳ）、Ｓ１０６へ移行する。第２センサ部３０または第３センサ部４０からの信号が異常であると判断された場合（Ｓ１０５：ＮＯ）、Ｓ１０７へ移行する。
Ｓ１０６では、角度演算部６２は、第２センサ部３０および第３センサ部４０からの信号の少なくとも一方を用いて角度演算を行う。本実施形態では、第２センサ部３０および第３センサ部４０の信号を用いて角度演算を行う。
Ｓ１０７では、正常であるセンサ部を特定できないため、角度演算部６２は、角度演算を中止する。
【００４９】
異常監視処理の詳細を図１０に基づいて説明する。図１０では、正常判定される場合を「○」、異常判定される場合を「×」と記載する。また、図中の「：」は、２つの信号を比較することを意味し、例えば「信号１：信号２」と記載した場合、第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号とを比較し、第１ｃｏｓ信号と第２ｃｏｓ信号とを比較することを意味するものとする。後述の実施形態に係る図１２等についても同様とする。
【００５０】
本実施形態では、回転中心Ｃ上にある第１センサ部２０を中心センサ部、回転中心Ｃからずれて配置される第２センサ部３０および第３センサ部４０を非中心センサ部とする。角度演算部６２は、第１センサ部２０が正常である場合、第１センサ部２０からの信号を用いて角度演算を行う。すなわち、第１センサ部２０が正常である場合、時刻Ｔ２にて取得される第１ｓｉｎ信号および第１ｃｏｓ信号を用いて角度演算が行われる。
また、角度演算部６２は、第１センサ部２０が異常である場合、第２センサ部３０からの信号、および、第３センサ部４０からの信号の少なくとも一方を用いて角度演算を行う。
【００５１】
異常監視部６５は、３つのセンサ部２０、３０、４０から出力されるｓｉｎ信号のうちの２つを比較する３通りの組み合わせでの演算を行い、ｓｉｎ信号の異常を監視する。ｃｏｓ信号についても同様、３つのセンサ部２０、３０、４０から出力されるｃｏｓ信号のうちの２つを比較する３通りの組み合わせでの演算を行い、ｃｏｓ信号の異常を監視する。すなわち、本実施形態では、３通り×２（ｓｉｎ信号、ｃｏｓ信号）の演算を行い、センサ部２０、３０、４０の異常を監視する。
【００５２】
具体的には、異常監視部６５は、第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との差の絶対値が判定閾値ｚより大きい場合、第１ｓｉｎ信号または第２ｓｉｎ信号の少なくとも一方が異常であると判定する。同様に、異常監視部６５は、第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差の絶対値が判定閾値ｚより大きい場合、第１ｓｉｎ信号または第３ｓｉｎ信号の少なくとも一方が異常であると判定し、第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差の絶対値が判定閾値ｚより大きい場合、第２ｓｉｎ信号または第３ｓｉｎ信号の少なくとも一方が異常であると判定する。
【００５３】
また、異常監視部６５は、第１ｃｏｓ信号と第２ｃｏｓ信号との差の絶対値が判定閾値ｚより大きい場合、第１ｃｏｓ信号または第２ｃｏｓ信号の少なくとも一方が異常であると判定する。同様に、異常監視部６５は、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差の絶対値が判定閾値ｚより大きい場合、第１ｃｏｓ信号または第３ｃｏｓ信号の少なくとも一方が異常であると判定し、第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差の絶対値が判定閾値ｚより大きい場合、第２ｃｏｓ信号または第３ｃｏｓ信号の少なくとも一方が異常であると判定する。
【００５４】
第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との差、第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差、第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差がいずれも判定閾値ｚ以下であり、かつ、第１ｃｏｓ信号と第２ｃｏｓ信号との差、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差、第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差がいずれも判定閾値ｚ以下である場合、異常監視部６５は、センサ部２０、３０、４０がいずれも正常であると判定する。この場合、第１センサ部２０が正常であるので、第１ｓｉｎ信号および第１ｃｏｓ信号を用いて角度演算を行う。
【００５５】
第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との差、および、第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差が判定閾値ｚより大きく、第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差が判定閾値ｚ以下である場合、異常監視部６５は、第２ｓｉｎ信号が異常であると判定する。
また、第１ｃｏｓ信号と第２ｃｏｓ信号との差、および、第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差がが判定閾値ｚより大きく、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差が判定閾値ｚ以下である場合、異常監視部６５は、第２ｃｏｓ信号が異常であると判定する。
【００５６】
第２ｓｉｎ信号または第２ｃｏｓ信号が異常である場合、異常監視部６５は、第２センサ部３０が異常であると判定する。
この場合、第１センサ部２０は正常であるので、角度演算部６２は、第１ｓｉｎ信号および第１ｃｏｓ信号を用いて角度演算を行う。これにより、第２センサ部３０に異常が生じた場合であっても、全てのセンサ部２０、３０、４０が正常である場合と同等の精度で角度演算を継続することができる。
【００５７】
また、異常監視部６５は、第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との比較、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との比較を行うことにより、異常監視を継続する。これにより、角度演算に用いる信号の監視を継続可能である。なお、第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差、または、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差が判定閾値ｚより大きくなった場合、第１センサ部２０または第３センサ部４０に異常が生じていると判定し、角度演算を停止する。これにより、異常が生じている信号を用いて誤った角度演算が行われるのを防ぐことができる。
【００５８】
第２ｓｉｎ信号または第２ｃｏｓ信号が異常である場合、異常監視部６５は、第２センサ部３０が異常であると判定する。本実施形態では、第２センサ部３０が異常であると判定された場合、第２センサ部３０からの出力値である第２ｓｉｎ信号および第２ｃｏｓ信号を角度演算および異常監視に用いない。換言すると、本実施形態では、センサ部２０、３０、４０ごとに異常監視を行っている、と捉えることができる。第１センサ部２０または第３センサ部４０が異常である場合についても同様である。
【００５９】
第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差、および、第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差が判定閾値ｚより大きく、第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との差が判定閾値ｚ以下である場合、異常監視部６５は、第３ｓｉｎ信号が異常であると判定する。
また、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差、および、第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差が判定閾値ｚより大きく、第１ｃｏｓ信号と第２ｃｏｓ信号との差が判定閾値ｚ以下である場合、異常監視部６５は、第３ｃｏｓ信号が異常であると判定する。
【００６０】
第３ｓｉｎ信号または第３ｃｏｓ信号が異常である場合、異常監視部６５は、第３センサ部４０が異常であると判定する。
この場合、第１センサ部２０は正常であるので、角度演算部６２は、第１ｓｉｎ信号および第１ｃｏｓ信号を用いて角度演算を行う。これにより、第３センサ部４０に異常が生じた場合であっても、全てのセンサ部２０、３０、４０が正常である場合と同等の精度で角度演算を継続することができる。
【００６１】
また、異常監視部６５は、第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との比較、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との比較を行うことにより、異常監視を継続する。これにより、角度演算に用いる信号の監視を継続可能である。なお、第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との差、または、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差が判定閾値ｚより大きくなった場合、第１センサ部２０または第２センサ部３０に異常が生じていると判定し、角度演算を中止する。これにより、異常が生じている信号を用いて誤った角度演算が行われるのを防ぐことができる。
【００６２】
第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との差、および、第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差が判定閾値ｚより大きく、第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差が判定閾値ｚ以下である場合、異常監視部６５は、第１ｓｉｎ信号が異常であると判定する。
また、第１ｃｏｓ信号と第２ｃｏｓ信号との差、および、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差が判定閾値ｚより大きく、第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差が判定閾値ｚ以下である場合、異常監視部６５は、第１センサ部２０が異常であると判定する。
【００６３】
第１ｓｉｎ信号または第１ｃｏｓ信号が異常である場合、異常監視部６５は、第１センサ部２０が異常であると判定する。
この場合、角度演算部６２は、第１ｓｉｎ信号および第１ｃｏｓ信号に替えて、第２ｓｉｎ信号、第３ｓｉｎ信号、第２ｃｏｓ信号、および、第３ｃｏｓ信号を用いて角度演算を行う。
図５にて説明したように、第２センサ部３０および第３センサ部４０は、回転中心Ｃからずれた位置に配置されているため、第２センサ部３０からの信号および第３センサ部４０からの信号は、回転中心Ｃ上に配置される第１センサ部２０からの信号よりも検出精度が劣る虞がある。ここで、第２センサ部３０と第３センサ部４０とは、回転中心Ｃに対して点対称に配置されているため、第１ｓｉｎ信号に対する第２ｓｉｎ信号の波形歪み成分と、第３ｓｉｎ信号の波形歪み成分とは、反転される。同様に、第１ｃｏｓ信号に対する第２ｃｏｓ信号の波形歪み成分と、第３ｃｏｓ信号の波形歪み成分とは、反転される。
【００６４】
そこで、角度演算部６２は、第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との和、および、第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との和を用いて角度演算を行う。例えば、第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との平均値等を用いることも、「和を用いる」ことの概念に含まれるものとする。ｃｏｓ信号についても同様である。第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との和、第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との和を取ることで、出力信号の波形歪み成分をキャンセルすることができる。
【００６５】
また、モータ８０が回転しているとき、厳密に言うと、機械角θｍは、時刻Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３で異なる（図８参照）。また、第１センサ部２０が正常であるときに演算される機械角θｍは、時刻Ｔ２のときの値である。
一方、第２ｓｉｎ信号が時刻Ｔ３で取得された値であり、第３ｓｉｎ信号が時刻Ｔ１で取得された値である。また、第２ｃｏｓ信号が時刻Ｔ１で取得された値であり、第３ｃｏｓ信号が時刻Ｔ３で取得された値である。ここで、第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号の和、および、第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との和を用いることで、演算される機械角θｍは、時刻Ｔ２における値と概ね一致する。
これにより、第１センサ部２０が異常である場合でも、精度よく角度演算を継続することができる。
【００６６】
なお、第２センサ部３０および第３センサ部４０の少なくとも一方がマグネット８５の磁場検出に係る最適磁場範囲内に配置されている場合、角度演算部６２は、第２センサ部３０からの信号である第２ｓｉｎ信号および第２ｃｏｓ信号、または、第３センサ部４０からの信号である第３ｓｉｎ信号および第３ｃｏｓ信号を用いて角度演算を行ってもよい。また、角度演算部６２の内部にて、回転中心Ｃからのずれに起因する検出誤差を補正する補正演算を行ってもよい。
【００６７】
また、異常監視部６５は、第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との比較、第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との比較を行うことにより、異常監視を継続する。これにより、第１センサ部２０が異常であったとしても、角度演算に用いる信号の監視を継続可能である。なお、第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差、または、第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差が判定閾値ｚより大きくなった場合、第２センサ部３０または第３センサ部に異常が生じていると判定し、角度演算を中止する。これにより、異常が生じている信号を用いて誤った角度演算が行われるのを防ぐことができる。
【００６８】
また、本実施形態では、ＡＤ変換器６１１、６１２は、いずれも少なくとも１つずつのｓｉｎ信号およびｃｏｓ信号をＡＤ変換している。そのため、ＡＤ変換器６１１、６１２のいずれか一方に異常が生じた場合であっても、他方から出力される値を用いて角度演算を継続可能である。
【００６９】
ＡＤ変換器６１１、６１２は、時刻Ｔ１にてｓｉｎ信号またはｃｏｓ信号の一方を取得し、時刻Ｔ３にてｓｉｎ信号またはｃｏｓ信号の他方を取得する。そのため、時刻Ｔ１にて取得されたｓｉｎ信号またはｃｏｓ信号の一方と、時刻Ｔ３にて取得されたｓｉｎ信号またはｃｏｓ信号の他方とを用いて角度演算を行うことで、時刻Ｔ２にて取得されたｓｉｎ信号またはｃｏｓ信号に基づいて演算される機械角θｍとの誤差を小さくすることができる。
【００７０】
好ましくは、センサ部が奇数であり、回転中心Ｃ上に１つのセンサ部が配置されている場合、中心センサ部のｓｉｎ信号をＡＤ変換器６１１、６１２の一方、ｃｏｓ信号をＡＤ変換器６１１、６１２の他方において、真ん中の変換順で変換する。また、他のセンサ部が回転中心Ｃに対して点対称配置されている場合、中心センサ部の信号の変換タイミングに対して、前後対称の順でｓｉｎ信号とｃｏｓ信号とを変換する。これにより、一部のセンサ部に異常が生じた場合の変換タイミングのずれによる誤差を低減可能である。
【００７１】
以上詳述したように、本実施形態の回転角検出装置１０は、３つ以上（本実施形態では３つ）のセンサ部２０、３０、４０と、制御部６０と、を備える。
第１センサ部２０は、ｓｉｎ回路部２１、および、ｃｏｓ回路部２５を有する。ｓｉｎ回路部２１は、マグネット８５の回転により変化する回転磁界に応じた第１＋ｓｉｎ信号と、第１＋ｓｉｎ信号と正負が反転した第１−ｓｉｎ信号とを出力するフルブリッジ回路である。ｃｏｓ回路部２５は、マグネット８５の回転により変化する回転磁界に応じた信号であって、第１＋ｓｉｎ信号と位相が異なる第１＋ｃｏｓ信号と、第１＋ｃｏｓ信号と正負が反転した第１−ｃｏｓ信号とを出力するフルブリッジ回路である。
【００７２】
第２センサ部３０は、ｓｉｎ回路部３１、および、ｃｏｓ回路部３５を有する。ｓｉｎ回路部３１は、マグネット８５の回転により変化する回転磁界に応じた第２＋ｓｉｎ信号と、第２＋ｓｉｎ信号と正負が反転した第２−ｓｉｎ信号とを出力するフルブリッジ回路である。ｃｏｓ回路部３５は、マグネット８５の回転により変化する回転磁界に応じた信号であって、第２＋ｓｉｎ信号と位相が異なる第２＋ｃｏｓ信号と、第２＋ｃｏｓ信号と正負が反転した第２−ｃｏｓ信号とを出力するフルブリッジ回路である。
【００７３】
第３センサ部４０は、ｓｉｎ回路部４１、および、ｃｏｓ回路部４５を有する。ｓｉｎ回路部４１は、マグネット８５の回転により変化する回転磁界に応じた第３＋ｓｉｎ信号と、第３＋ｓｉｎ信号と正負が反転した第３−ｓｉｎ信号とを出力するフルブリッジ回路である。ｃｏｓ回路部４５は、マグネット８５の回転により変化する回転磁界に応じた信号であって、第３＋ｓｉｎ信号と位相が異なる第３＋ｃｏｓ信号と、第３＋ｃｏｓ信号と正負が反転した第３−ｃｏｓ信号とを出力するフルブリッジ回路である。
【００７４】
制御部６０は、角度演算部６２、および、異常監視部６５を有する。角度演算部６２は、少なくとも１つのｓｉｎ回路部２１、３１、４１から出力される＋ｓｉｎ信号および−ｓｉｎ信号に応じたｓｉｎ信号と、少なくとも１つのｃｏｓ回路部２５、３５、４５から出力される＋ｃｏｓ信号および−ｃｏｓ信号に応じたｃｏｓ信号とに基づき、マグネット８５の回転角度（本実施形態では機械角θｍ）を演算する。異常監視部６５は、異なるセンサ部２０、３０、４０から出力される対応する信号同士を比較し、比較結果に基づいて異常を監視する。
【００７５】
本実施形態では、位相の異なる信号を出力する２つのフルブリッジ回路を有するセンサ部を３つ設けることにより、対応する信号の差等、比較的簡単な演算で異常判定を行うことができる。
また、ｓｉｎ回路部２１、３１、４１およびｃｏｓ回路部２５、３５、４５がフルブリッジ回路で構成されており、各回路部２１、３１、４１、２５、３５、４５から出力される各信号のオフセットをキャンセル可能である。そのため、一部の信号が異常であり、正常である信号にて角度演算を継続する場合、ハーフブリッジからの信号を用いる場合と比較して検出精度が悪化する懸念が小さい。したがって、正常である信号にて角度演算を継続する場合においても、精度よく回転角度を検出可能である。
さらにまた、１つのｓｉｎ回路部からの信号が異常になった場合にも、残り２つのｓｉｎ回路部からの信号を比較することにより、異常監視を継続することができる。ｃｏｓ回路部についても同様である。
【００７６】
少なくとも一部のセンサ部２０、３０、４０は、マグネット８５の回転磁界の中心である回転中心からの位置ずれによる検出誤差をキャンセル可能な箇所に配置される。
２つのセンサ部３０、４０は、回転中心に対して点対称に配置される。これにより、例えば第２センサ部３０からの信号と第３センサ部４０からの信号とを加算することで、回転中心からの位置ずれによるセンサ部３０、４０の検出値の波形歪みをキャンセルすることができる。
【００７７】
第１センサ部２０の中心は、マグネット８５の回転磁界の中心線Ｃ上に配置される。換言すると、中心線Ｃ上のセンサ部２０は、回転中心からの位置ずれがない。本実施形態では、センサ部２０のように、中心線Ｃ上に配置されることについても、「回転中心からの位置ずれをキャンセル可能な箇所に配置されている」の概念に含まれるものとする。これにより、第１センサ部２０により、マグネット８５の回転磁界を適切に検出することができる。
【００７８】
角度演算部６２は、中心センサ部である第１センサ部２０から出力される信号が正常である場合、第１センサ部２０から出力される信号に基づいて機械角θｍを演算する。
また、角度演算部６２は、第１センサ部２０から出力される信号が異常である場合、対称センサ部組のうちの少なくとも一部が正常である場合、対称センサ部組である第２センサ部３０および第３センサ部４０の信号を用いて機械角θｍを演算する。
【００７９】
これにより、第１センサ部２０に異常がない場合には、回転中心Ｃ上に配置される第１センサ部２０から出力される信号に基づき、適切に機械角θｍを演算することができる。
また、第１センサ部２０に異常がある場合には、第２センサ部３０から出力される信号および第３センサ部４０から出力される信号の少なくとも一方を用いることで、角度演算を継続可能である。本実施形態では、回転中心Ｃ上からずれて配置されることに起因する角度誤差をキャンセル可能である対称センサ部組である第２センサ部３０および第３センサ部４０の信号の和を用いて角度演算を行う。これにより、正常時と同等の精度での角度演算を継続することができる。
【００８０】
センサ部２０、３０、４０は、それぞれに対応して設けられるレギュレータ６９１、６９２、６９３から電力が供給される。これにより、レギュレータ６９１、６９２、６９３のいずれかに異常が生じた場合であっても、正常であるレギュレータから電力が供給されるセンサ部の信号を用いて角度演算を継続することができる。
【００８１】
回転角検出装置１０は、封止部１６と、端子部１７、１８と、をさらに備える。
封止部１６は、複数のセンサ部２０、３０、４０を封止してなる。
端子部１７、１８は、ｓｉｎ回路部２１、３１、４１からの信号出力に用いられる複数の信号出力端子２３、２７、３３、３７、４３、４７、センサ部２０、３０、４０への給電に用いられる給電端子２８、３８、４８、および、センサ部２０、３０、４０とグランドとの接続に用いられるグランド端子２９、３９、４９を含み、封止部１６から突出する。
【００８２】
１つの信号出力端子と他の信号出力端子の間には、信号出力端子以外の端子が配置される。これにより、信号出力端子同士の短絡による回転角度の誤検出を防ぐことができる。
給電端子２８、３８、４８とグランド端子２９、３９、４９との間には、給電端子２８、３８、４８およびグランド端子２９、３９、４９以外の端子が配置される。これにより、給電端子２８、３８、４８とグランド端子２９、３９、４９との短絡を防ぐことができる。
【００８３】
本実施形態では、メイン正信号は＋ｓｉｎ信号であり、メイン負信号は−ｓｉｎ信号である。サブ正信号は＋ｃｏｓ信号であり、サブ負信号は−ｃｏｓ信号である。＋ｃｏｓ信号は、＋ｓｉｎ信号と位相が９０°ずれている。
これにより、＋ｓｉｎ信号、−ｓｉｎ信号、＋ｃｏｓ信号、−ｃｏｓ信号に基づき、適切に角度演算を行うことができる。
【００８４】
第１センサ部２０は、ｓｉｎ差動増幅器２２、および、ｃｏｓ差動増幅器２６を有する。
ｓｉｎ差動増幅器２２は、第１＋ｓｉｎ信号または第１−ｓｉｎ信号の一方がプラス入力端子に入力され、他方がマイナス入力端子に入力され、第１ｓｉｎ信号を制御部６０に出力する。ｃｏｓ差動増幅器２６は、第１＋ｃｏｓ信号または第１−ｃｏｓ信号の一方がプラス入力端子に入力され、他方がマイナス入力端子に入力され、第１ｃｏｓ信号を制御部６０に出力する。
【００８５】
同様に、第２センサ部３０は、ｓｉｎ差動増幅器３２、および、ｃｏｓ差動増幅器３６を有する。
ｓｉｎ差動増幅器３２は、第２＋ｓｉｎ信号または第２−ｓｉｎ信号の一方がプラス入力端子に入力され、他方がマイナス入力端子に入力され、第２ｓｉｎ信号を制御部６０に出力する。ｃｏｓ差動増幅器３６は、第２＋ｃｏｓ信号または第２−ｃｏｓ信号の一方がプラス入力端子に入力され、他方がマイナス入力端子に入力され、第２ｃｏｓ信号を制御部６０に出力する。
【００８６】
また、第３センサ部４０は、ｓｉｎ差動増幅器４２、および、ｃｏｓ差動増幅器４６を有する。
ｓｉｎ差動増幅器４２は、第３＋ｓｉｎ信号または第３−ｓｉｎ信号の一方がプラス入力端子に入力され、他方がマイナス入力端子に入力され、第３ｓｉｎ信号を制御部６０に出力する。ｃｏｓ差動増幅器４６は、第３＋ｃｏｓ信号または第３−ｃｏｓ信号の一方がプラス入力端子に入力され、他方がマイナス入力端子に入力され、第３ｃｏｓ信号を制御部６０に出力する。
これにより、＋ｓｉｎ信号、−ｓｉｎ信号、＋ｃｏｓ信号、−ｃｏｓ信号を、それぞれセンサ部２０、３０、４０の外部へ出力する場合と比較し、端子数を低減することができる。
【００８７】
異常監視部６５は、異なるセンサ部２０、３０、４０から出力される対応する信号同士の差の絶対値である差分値が判定閾値ｚより大きい場合、演算に用いた信号の一方が異常であると判定する。これにより、比較的簡単な演算にて異常判定を行うことができる。
異常監視部６５は、ｓｉｎ回路部２１、３１、４１から出力される信号およびｃｏｓ回路部２５、３５、４５から出力される信号のそれぞれについて、少なくとも２組の差分値と判定閾値との比較を行う。本実施形態では、第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との差分値、第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差分値、および、第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差分値と判定閾値との比較を行う。すなわち、本実施形態では、３組の差分値と判定閾値との比較を行っている。ｃｏｓ信号についても同様である。これにより、異常である信号を適切に特定することができる。
【００８８】
制御部６０は、ｓｉｎ信号およびｃｏｓ信号をＡＤ変換するＡＤ変換部６１を有する。
ＡＤ変換部６１は、複数のＡＤ変換器６１１、６１２を有する。それぞれのＡＤ変換器６１１、６１２は、少なくとも１つのｓｉｎ信号、および、少なくとも１つのｃｏｓ信号をＡＤ変換する。これにより、一部のＡＤ変換器に異常が生じた場合であっても、正常であるＡＤ変換器にてＡＤ変換されるｓｉｎ信号およびｃｏｓ信号を用いて角度演算を継続可能である。
【００８９】
本実施形態では、センサ部は、第１センサ部２０、第２センサ部３０および第３センサ部４０の３つである。また、ＡＤ変換器は、信号取得タイミングおよび信号出力タイミングが同期されている第１ＡＤ変換器６１１および第２ＡＤ変換器６１２である。
第１ＡＤ変換器６１１は、第１センサ部２０のｓｉｎ信号またはｃｏｓ信号の一方、ならびに、第２センサ部３０のｓｉｎ信号およびｃｏｓ信号をＡＤ変換する。
第２ＡＤ変換器６１２は、第１センサ部２０のｓｉｎ信号またはｃｏｓ信号の他方、ならびに、第３センサ部４０のｓｉｎ信号およびｃｏｓ信号をＡＤ変換する。
【００９０】
第１ＡＤ変換器６１１におけるＡＤ変換順は、第２ｓｉｎ信号または第２ｃｏｓ信号の一方、第１センサ部２０の信号、第２ｓｉｎ信号または第２ｃｏｓ信号の他方である。
第２ＡＤ変換器６１２におけるＡＤ変換順は、第３ｓｉｎ信号または第３ｃｏｓ信号の他方、第１センサ部２０の信号、第３ｓｉｎ信号または第３ｃｏｓ信号の一方である。
すなわち、第１ＡＤ変換器６１１にて、第２ｓｉｎ信号を先にＡＤ変換した場合、第２ＡＤ変換器６１２では、第３ｃｏｓ信号を先にＡＤ変換し、第１ＡＤ変換器６１１にて、第２ｃｏｓ信号を先にＡＤ変換した場合、第２ＡＤ変換器６１２では、第３ｓｉｎ信号を先にＡＤ変換する。
これにより、センサ部２０、３０、４０の信号が全て正常である場合、および、信号の一部に異常が生じ、正常である信号を用いて角度演算を継続する場合のいずれにおいても、角度演算の精度を向上可能である。
【００９１】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態を図１１および図１２に基づいて説明する。
本実施形態の角度演算処理を図１１に示すフローチャートに基づいて説明する。
Ｓ２０１では、異常監視部６５は、上述の判定式（１）〜（４）が判定閾値ｚ以下か否かを判断する。ここでは４つの判定式を用いるが、判定式（１）、（２）の組、または、判定式（３）、（４）の組の一方を省略してもよい。判定式（１）〜（４）の全てが判定閾値ｚ以下であると判断された場合（Ｓ２０１：ＹＥＳ）、第１センサ部２０からの信号が正常であるとみなし、Ｓ２０４へ移行する。判定式（１）〜（４）の少なくとも１つが判定閾値ｚより大きいと判断された場合（Ｓ２０１：ＮＯ）、Ｓ２０２へ移行する。
Ｓ２０２では、異常監視部６５は、判定式（５）、（６）の演算を行い、異常信号を特定する。異常信号特定の詳細は、図１２に基づいて後述する。
Ｓ２０３〜Ｓ２０７の処理は、図９中のＳ１０３〜Ｓ１０７の処理と同様である。
【００９２】
異常監視処理の詳細を図１２に基づいて説明する。
本実施形態では、上記実施形態と同様、角度演算部６２は、中心センサ部である第１センサ部２０が正常である場合、第１センサ部２０からの第１ｓｉｎ信号および第１ｃｏｓ信号を用いて角度演算を行う。
【００９３】
異常監視部６５では、センサ部２０、３０、４０が正常である場合、第１センサ部２０を中心に監視する。具体的には、センサ部２０、３０、４０が正常である場合、第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との比較、第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との比較、第１ｃｏｓ信号と第２ｃｏｓ信号との比較、および、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との比較を行うことで、第１ｓｉｎ信号および第１ｃｏｓ信号を監視する。換言すると、第１センサ部２０が正常である場合、第２センサ部３０から出力される信号と、第３センサ部４０から出力される信号との比較を省略している。
第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との差、第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差、第１ｃｏｓ信号と第２ｃｏｓ信号との差、および、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差が、いずれも判定閾値以下である場合、センサ部２０、３０、４０が正常であるとみなす。
【００９４】
第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との差が判定閾値ｚより大きく、第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差が判定閾値以下である場合、異常監視部６５は、第２ｓｉｎ信号が異常であるとみなす。また、第１ｃｏｓ信号と第２ｃｏｓ信号との差が判定閾値ｚより大きく、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差が判定閾値以下である場合、異常監視部６５は、第２ｃｏｓ信号が異常であるとみなす。
異常監視部６５は、第２ｓｉｎ信号または第２ｃｏｓ信号が異常である場合、第２センサ部３０が異常であるとみなす。この場合、角度演算部６２は、第１センサ部２０からの第１ｓｉｎ信号および第１ｃｏｓ信号を用いて角度演算を継続する。また、異常監視部６５は、第１センサ部２０からの信号と第３センサ部４０からの信号とを比較することで、異常監視を継続する。
【００９５】
第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との差が判定閾値以下であり、第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差が判定閾値ｚより大きい場合、異常監視部６５は、第３ｓｉｎ信号が異常であるとみなす。また、第１ｃｏｓ信号と第２ｃｏｓ信号との差が判定閾値ｚ以下であり、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差が判定閾値ｚより大きい場合、第３ｓｉｎ信号が異常であるとみなす。
異常監視部６５は、第３ｓｉｎ信号または第３ｃｏｓ信号が異常である場合、第３センサ部４０が異常であるとみなす。この場合、角度演算部６２は、第１センサ部２０からの第１ｓｉｎ信号および第１ｃｏｓ信号を用いて角度演算を継続する。また、異常監視部６５は、第１センサ部２０からの信号と第２センサ部３０からの信号とを比較することで、異常監視を継続する。
【００９６】
第１ｓｉｎ信号と第２ｓｉｎ信号との差、および、第１ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との差が、ともに判定閾値ｚより大きい場合、異常監視部６５は、第１ｓｉｎ信号が異常であるとみなす。また、第１ｃｏｓ信号と第２ｃｏｓ信号との差、および、第１ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との差が、ともに判定閾値ｚより大きい場合、第１ｃｏｓ信号が異常であるとみなす。
異常監視部６５は、第１ｓｉｎ信号または第１ｃｏｓ信号が異常である場合、第１センサ部２０が異常であるとみなす。この場合、角度演算部６２は、第２センサ部３０から出力される信号、および、第３センサ部４０出力される信号の少なくとも一方を用いて角度演算を継続する。また、異常監視部６５は、第２センサ部３０からの信号と第３センサ部４０からの信号とを比較することで、異常監視を継続する。
【００９７】
本実施形態では、異常監視部６５は、マグネット８５の回転磁界の中心線Ｃ上に配置されるセンサ部２０の信号と、中心センサ部以外のセンサ部であるセンサ部３０、４０の信号との比較結果に基づいて異常を監視する。
詳細には、異常監視部６５は、第１センサ部２０から出力される信号が正常である場合、第１センサ部２０から出力される信号と第２センサ部３０から出力される信号との比較結果、および、第１センサ部２０から出力される信号と第３センサ部４０から出力される信号との比較結果の少なくとも一方に基づき、第１センサ部２０から出力される信号の異常を監視する。
【００９８】
また、異常監視部６５は、第１センサ部２０から出力される信号が異常である場合、第２センサ部３０から出力される信号と第３センサ部４０から出力される信号との比較結果に基づいて異常監視を行う。
換言すると、第１センサ部２０が正常である場合、異常監視部６５は、第２センサ部３０からの信号と第３センサ部４０からの信号との比較を行わない。これにより、全ての組み合わせの信号比較を行う場合と比較し、異常監視部６５における演算負荷を低減することができる。
また、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【００９９】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態を図１３に基づいて説明する。
本実施形態の角度演算処理を図１３に示すフローチャートに基づいて説明する。
Ｓ３０１およびＳ３０２は、図９中のＳ１０１およびＳ３０２と同様である。
Ｓ３０３では、異常監視部６５は、第２センサ部３０および第３センサ部４０からの信号が正常であるか否かを判断する。第２センサ部３０および第３センサ部４０からの信号が正常であると判断された場合（Ｓ３０３：ＹＥＳ）、Ｓ３０４へ移行する。第２センサ部３０または第３センサ部４０からの信号が異常であると判断された場合（Ｓ３０３：ＮＯ）、Ｓ３０５へ移行する。
【０１００】
全てのセンサ部２０、３０、４０からの信号が正常であると判断された場合（Ｓ３０１：ＹＥＳ）、または、第２センサ部３０および第３センサ部４０からの信号が正常でああると判断された場合（Ｓ３０３：ＹＥＳ）に移行するＳ３０４では、角度演算部６２は、第２センサ部３０および第３センサ部４０からの信号を用いて角度演算を行う。すなわち本実施形態では、第２センサ部３０および第３センサ部４０が正常であれば、第２センサ部３０および第３センサ部４０からの信号を用いて角度演算を行う。
【０１０１】
第２センサ部３０または第３センサ部４０からの信号が異常であると判断された場合（Ｓ３０３：ＮＯ）に移行するＳ３０５では、異常監視部６５は、角度演算の継続が可能か否かを判断する。ここでは、第１センサ部２０および第２センサ部３０が正常である場合、または、第１センサ部２０および第３センサ部４０が正常である場合、角度演算の継続が可能であると判断する。角度演算の継続が可能であると判断された場合（Ｓ３０５：ＹＥＳ）、Ｓ３０６へ移行する。角度演算をできないと判断された場合（Ｓ３０５：ＮＯ）、Ｓ３０７へ移行する。
【０１０２】
Ｓ３０６では、角度演算部６２は、正常である信号を用いて角度演算を継続する。詳細には、第１センサ部２０および第２センサ部３０の信号が正常であれば、角度演算部６２は、第１センサ部２０および第２センサ部３０の少なくとも一方の信号を用いて角度演算を行う。また、第１センサ部２０および第３センサ部４０の信号が正常であれば、角度演算部６２は、第１センサ部２０および第３センサ部の少なくとも一方の信号を用いて角度演算を行う。
Ｓ３０７の処理は、Ｓ１０７の処理と同様である。
【０１０３】
本実施形態では、センサ部２０、３０、４０が全て正常である場合、回転中心Ｃからのずれに起因する角度誤算をキャンセルできる組み合わせである第２センサ部３０から出力される信号、および、第３センサ部４０から出力される信号を角度演算に用いる。詳細には、第２ｓｉｎ信号および第３ｓｉｎ信号の和と、第２ｃｏｓ信号および第３ｃｏｓ信号の和と、を用いて角度演算を行う。２つの信号の和を用いて角度演算を行う場合、一方の信号に異常が生じてから異常特定されるまでの間における角度誤差の影響を低減することができる。また、３つのｓｉｎ信号、ｃｏｓ信号を用いる場合と比較し、演算負荷を低減できる。
【０１０４】
角度演算部６２は、少なくとも１組の対称センサ部組であるセンサ部３０、４０から出力される信号が正常である場合、正常である対称センサ部組であるセンサ部３０、４０から出力される信号を用いて機械角θｍを演算する。これにより、演算誤差を低減可能であるとともに、角度演算に用いているセンサ部に異常が生じた場合の角度誤差の影響を低減することができる。また、全てのセンサ部２０、３０、４０の信号を用いて角度演算を行う場合と比較し、演算負荷を低減可能である。
また、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【０１０５】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態を図１４に基づいて説明する。
本実施形態の角度演算処理を図１４に示すフローチャートに基づいて説明する。
Ｓ４０１では、異常監視部６５は、判定式（５）、（６）がともに判定閾値ｚ以下か否かを判断する。判定式（５）、（６）がともに判定閾値ｚ以下であると判断された場合（Ｓ４０１：ＹＥＳ）、Ｓ４０２へ移行する。判定式（５）、（６）の少なくとも一方が判定閾値ｚより大きいと判断された場合（Ｓ４０１：ＮＯ）、Ｓ４０３へ移行する。
【０１０６】
Ｓ４０２の処理は、図１３中のＳ３０４の処理と同様である。
Ｓ４０３では、異常監視部６５は、判定式（１）〜（４）の演算を行い、異常信号を特定する。異常信号特定の詳細は、上記実施形態と同様である。
Ｓ４０４〜Ｓ４０６の処理は、Ｓ３０５〜Ｓ３０６の処理と同様である。
【０１０７】
本実施形態では、第２センサ部３０および第３センサ部４０が正常である場合、異常監視部６５は、第１センサ部２０からの信号と第２センサ部３０からの信号との比較、および、第１センサ部２０からの信号と第３センサ部４０からの信号との比較を行わない。これにより、異常監視部６５における演算負荷を低減することができる。
【０１０８】
異常監視部６５は、回転中心に対して点対称に配置されるセンサ部３０、４０の信号同士の比較結果に基づいて異常を監視する。これにより、全ての組み合わせの信号比較を行う場合と比較し、異常監視部６５における演算負荷を低減することができる。
また、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【０１０９】
（第５実施形態）
本発明の第５実施形態を図１５に基づいて説明する。
本実施形態では、例えば、センサ部２０、３０、４０が、いずれも最適磁場範囲内に配置されている場合、角度演算部６２は、正常である信号のうちの少なくとも１つを用いて角度演算を行う。
詳細には、センサ部２０、３０、４０が全て正常である場合、角度演算部６２は、第１センサ部２０から出力される信号、第２センサ部３０から出力される信号、および、第３センサ部４０から出力される信号のうちの少なくとも１つを用いて角度演算を行う。
本実施形態では、ｓｉｎ信号として、第１ｓｉｎ信号、第２ｓｉｎ信号、または、第３ｓｉｎ信号のうちの任意の１つを用いてもよいし、例えば平均値等の複数のｓｉｎ信号の演算値を用いてもよい。ｃｏｓ信号についても同様である。
【０１１０】
本実施形態では、第１ｓｉｎ信号、第２ｓｉｎ信号および第３ｓｉｎ信号の和と、第１ｃｏｓ信号、第２ｃｏｓ信号および第３ｃｏｓ信号の和と、を用いて角度演算を行う。複数の信号の和を用いることで、回転中心Ｃからのずれに起因する角度誤差をキャンセルすることができる。また、各センサ部２０、３０、４０における固有の角度誤差が平均化されるので、機械角θｍの演算精度がより向上する。また、複数の信号の和を用いることで、センサ部２０、３０、４０のいずれか１つの信号に基づいて角度演算を行う場合と比較し、異常発生直後の角度演算において、異常である信号の影響を低減可能である。
【０１１１】
第２センサ部３０が異常である場合、角度演算部６２は、第１センサ部２０から出力される信号および第３センサ部４０から出力される信号を用いて角度演算を行う。
第３センサ部４０が異常である場合、角度演算部６２は、第１センサ部２０から出力される信号および第２センサ部３０から出力される信号を用いて角度演算を行う。
第１センサ部２０が異常である場合、角度演算部６２は、第２センサ部３０から出力される信号および第３センサ部４０から出力される信号を用いて角度演算を行う。
異常監視部６５における処理は、第１実施形態と同様である。
【０１１２】
本実施形態では、角度演算部６２は、複数のセンサ部２０、３０、４０が正常である場合、正常である全てのセンサ部から出力される信号を用いて機械角θｍを演算する。複数の信号を用いて演算することで、センサ部に異常が生じてから異常特定されるまでの間における角度誤差の影響を低減することができる。
また、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【０１１３】
（第６実施形態）
本発明の第６実施形態を図１６に基づいて説明する。
上記実施形態では、異常監視部６５は、センサ部２０、３０、４０ごとに異常箇所を特定する。本実施形態では、異常監視部６５は、信号ごとに異常を特定する。図１６中の「ａｖｅ＿ｃｏｓ２，３」は、第２ｃｏｓ信号および第３ｃｏｓ信号の平均値であることを意味し、「ａｖｅ＿ｓｉｎ２，３」は、第２ｓｉｎ信号および第３ｓｉｎ信号の平均値であることを意味する。図１７および図１８についても同様とする。上述の通り、平均値を用いることは、「和を用いる」の概念に含まれる。
【０１１４】
本実施形態では、第１センサ部２０からの信号である第１ｓｉｎ信号および第１ｃｏｓ信号を「中心信号」、第２センサ部３０からの第２ｓｉｎ信号および第２ｃｏｓ信号、ならびに、第３センサ部４０からの第３ｓｉｎ信号および第３ｃｏｓ信号を「非中心信号」とする。
角度演算部６２は、第１ｃｏｓ信号が正常である場合、ｃｏｓ信号として中心信号である第１ｃｏｓ信号を用いて角度演算を行う。また、角度演算部６２は、第１ｃｏｓ信号が異常である場合、ｃｏｓ信号として非中心信号である第２ｃｏｓ信号および第３ｃｏｓ信号の少なくとも一方を用いて角度演算を行う。
【０１１５】
本実施形態では、第１ｃｏｓ信号が異常である場合、角度演算部６２は、ｃｏｓ信号として第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との平均値を用いて角度演算を行う。第１実施形態にて説明した通り、第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との平均値を用いることで、第２センサ部３０および第３センサ部４０が回転中心Ｃからずれて配置されることに伴う出力信号の波形歪みをキャンセルすることができる。第１実施形態と同様、例えば第２センサ部３０および第３センサ部４０が最適磁場範囲内に配置されていれば、第２ｃｏｓ信号または第３ｃｏｓ信号の一方をｃｏｓ信号として用いてもよい。ｓｉｎ信号についても同様である。
【０１１６】
また、角度演算部６２は、第１ｓｉｎ信号が正常である場合、ｓｉｎ信号として中心信号である第１ｓｉｎ信号を用いて角度演算を行う。また、角度演算部６２は、第１ｓｉｎ信号が異常である場合、ｓｉｎ信号として非中心信号である第２ｓｉｎ信号および第３ｓｉｎ信号の少なくとも一方を用いて角度演算を行う。
本実施形態では、第１ｓｉｎ信号が異常である場合、角度演算部６２は、ｓｉｎ信号として第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との平均値を用いて角度演算を行う。
【０１１７】
異常監視部６５は、全てのｃｏｓ信号が正常である場合、２つのｃｏｓ信号を比較する３通りの組み合わせでの演算を行い、ｃｏｓ信号の異常を監視する。ｃｏｓ信号のうちの１つが異常である場合、異常監視部６５は、正常である２つのｃｏｓ信号を比較し、異常監視を継続する。
異常監視部６５は、全てのｓｉｎ信号が正常である場合、２つのｓｉｎ信号を比較する３通りの組み合わせでの演算を行い、ｓｉｎ信号の異常を監視する。ｓｉｎ信号のうちの１つが異常である場合、異常監視部６５は、正常である２つのｓｉｎ信号を比較し、異常監視を継続する。
異常監視の詳細は、第１実施形態と同様である。
【０１１８】
本実施形態では、信号ごとに異常監視を行っているので、図１６には示していないが、例えば、第２ｓｉｎ信号および第３ｃｏｓ信号が異常になる、といった具合に、異なるセンサ部のｓｉｎ信号、ｃｏｓ信号が異常となった場合であっても、異常であるｓｉｎ信号およびｃｏｓ信号が１つずつであれば、正常時と同等の精度での角度演算が可能であるとともに、演算に用いる信号の監視を継続可能である。
【０１１９】
本実施形態では、センサ部２０、３０、４０から出力される信号ごとに異常監視を行う。これにより、例えばｓｉｎ信号、ｃｏｓ信号の連続故障や電源失陥等が生じない限り、２つ目の故障が生じた場合でも、角度演算を継続することができるとともに、角度演算に用いる信号の監視を行うことができる。
また、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【０１２０】
（第７実施形態）
本発明の第７実施形態を図１７に基づいて説明する。
本実施形態では、第６実施形態と同様、異常監視部６５は、信号ごとに異常を特定する。また、第２実施形態のように、中心信号である第１ｓｉｎ信号が正常である場合、第１ｓｉｎ信号を中心に監視する。同様に、中心信号である第１ｃｏｓ信号が正常である場合、第１ｃｏｓ信号を中心に監視する。すなわち、第１ｓｉｎ信号が正常である場合、異常監視部６５は、第２ｓｉｎ信号と第３ｓｉｎ信号との比較を行わない。また、第１ｃｏｓ信号が正常である場合、異常監視部６５は、第２ｃｏｓ信号と第３ｃｏｓ信号との比較を行わない。これにより、異常監視部６５における演算負荷を低減することができる。
異常監視部６５における異常監視処理の詳細は第２実施形態と同様であり、角度演算部６２における角度演算処理の詳細は第６実施形態と同様である。
このように構成しても、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【０１２１】
（第８実施形態）
本発明の第８実施形態を図１８に基づいて説明する。本実施形態は、第６実施形態の変形例である。
第６実施形態では、第１ｓｉｎ信号および第１ｃｏｓ信号を中心信号、第２ｓｉｎ信号、第３ｓｉｎ信号、第２ｃｏｓ信号、および、第３ｃｏｓ信号を非中心信号とした。本実施形態では、第５実施形態のように、中心信号を設定せず、角度演算部６２は、正常である信号のうちの少なくとも１つを用いて角度演算を行う。
【０１２２】
詳細には、第１ｃｏｓ信号、第２ｃｏｓ信号および第３ｃｏｓ信号がいずれも正常である場合、角度演算部６２は、第１ｃｏｓ信号、第２ｃｏｓ信号および第３ｃｏｓ信号のうちの少なくとも１つを用いて角度演算を行う。
第２ｃｏｓ信号が異常である場合、角度演算部６２は、第１ｃｏｓ信号および第３ｃｏｓ信号の少なくとも一方を用いて角度演算を行う。
第３ｃｏｓ信号が異常である場合、角度演算部６２は、第１ｃｏｓ信号および第２ｃｏｓ信号の少なくとも一方を用いて角度演算を行う。
第１ｃｏｓ信号が異常である場合、角度演算部６２は、第２ｃｏｓ信号および第３ｃｏｓ信号の少なくとも一方を用いて角度演算を行う。
ｓｉｎ信号についても同様である。
異常監視部６５における処理は、第６実施形態と同様である。
このように構成しても、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【０１２３】
（第９実施形態）
本発明の第９実施形態を図１９および図２０に基づいて説明する。
第１実施形態〜第８実施形態では、３つのセンサ部２０、３０、４０がセンサユニット１５に含まれる例について説明した。本実施形態では、図１９に示すように、センサユニット５４０には、４つのセンサ部５４１〜５４４が含まれる。図１９には図示していないが、センサ部５４１〜５４４は、上記実施形態と同様、１つの封止部１６に封止されている。また、信号出力端子同士が隣接せず、給電端子とグランド端子とが隣接しないように、各端子が形成される。センサ部５４１〜５４４の回路構成は、センサ部２０、３０、４０と同様であるので、説明を省略する。後述の実施形態におけるセンサユニット５４５、５５０、５６０、５７０についても同様である。
また、第１ＡＤ変換器６１１がセンサ部５４１、５４２の信号をＡＤ変換し、第２ＡＤ変換器６１２がセンサ部５４３、５４４の信号をＡＤ変換する。ＡＤ変換順は、どのようであってもよい。後述の実施形態においても、各センサ部からの信号は、適宜ＡＤ変換器６１１、６１２に振り分けてＡＤ変換される。
【０１２４】
以下、センサ部５４１〜５４４の配置、および、角度演算処理を中心に説明する。
図１９に示すように、４つのセンサ部５４１〜５４４は、回転中心Ｃからの距離が等しくなるように、回転中心Ｃの周りに配置される。本実施形態では、センサ部５４１とセンサ部５４２とが、回転中心Ｃに対して点対称となるように配置されている。また、センサ部５４３とセンサ部５４４とが、回転中心Ｃに対して点対称となるように配置されている。
【０１２５】
そのため、センサ部５４１からのｓｉｎ信号とセンサ部５４２からのｓｉｎ信号との和を用いることで、出力信号の波形歪み成分をキャンセルできる。また、センサ部５４３からのｓｉｎ信号とセンサ部５４４からのｓｉｎ信号との和を用いることで、出力信号の歪み成分をキャンセルできる。ｃｏｓ信号についても同様である。本実施形態では、センサ部５４１、５４２が対称センサ部組である。また、センサ部５４３、５４４が対称センサ部組である。以下、対称センサ部組におけるｓｉｎ信号同士、または、ｃｏｓ信号同士の偏差の絶対値を、ペア差分値ΔＰａｉｒとする。
【０１２６】
図１９のようにセンサ部５４１〜５４４が配置されている場合、以下の（４１）、（４２）が、回転中心Ｃからの位置ずれによる誤差をキャンセル可能な組み合わせである。
（４１）センサ部４４１＋センサ部４４２
（４２）センサ部４４３＋センサ部４４４
【０１２７】
そのため、（４１）、（４２）のいずれか、または、（４１）および（４２）の和を用いることで、出力信号の歪み成分がキャンセルされ、精度よく角度演算を行うことができる。
なお、例えば「センサ部５４１＋センサ部５４２」は、センサ部５４１からのｓｉｎ信号とセンサ部５４２からのｓｉｎ信号との和、および、センサ部５４１からのｃｏｓ信号とセンサ部５４２からのｃｏｓ信号との和を用いて角度演算を行うことを意味する。また例えば（４１）と（４２）とを用いる場合、センサ部５４１〜５４４のｓｉｎ信号の和と、センサ部５４１〜５４４のｃｏｓ信号の和とを用いて角度演算を行うものとする。
後述の（５１）〜（５３）、（６１）〜（６３）、（７１）〜（７４）も同様である。
【０１２８】
本実施形態の角度演算処理を図２０のフローチャートに基づいて説明する。この処理は、回転中心Ｃ上にセンサ部が配置されておらず、回転中心Ｃに対して点対称配置されているセンサ部の組み合わせがある場合に適用可能である。
Ｓ５０１では、異常監視部６５は、後述する異常フラグがセットされているか否かを判断する。異常フラグがセットされていると判断された場合（Ｓ５０１：ＹＥＳ）、Ｓ５０４へ移行する。異常フラグがセットされていないと判断された場合（Ｓ５０１：ＮＯ）、Ｓ５０２へ移行する。
【０１２９】
Ｓ５０２では、異常監視部６５は、全てのペア差分値ΔＰａｉｒが判定閾値ｚ以下か否かを判断する。少なくとも一部のペア差分値ΔＰａｉｒが判定閾値ｚより大きいと判断された場合（Ｓ５０２：ＮＯ）、異常フラグをセットし、Ｓ５０４へ移行する。全てのペア差分値ΔＰａｉｒが判定閾値ｚ以下であると判断された場合（Ｓ５０２：ＹＥＳ）、Ｓ５０３へ移行する。
Ｓ５０３では、角度演算部６２は、誤差キャンセル可能な全組を用いて角度演算を行う。なお、ここでは、一部の誤差キャンセル可能な組み合わせを用いて角度演算を行うようにしてもよい。
【０１３０】
異常フラグがセットされている場合（Ｓ５０１：ＹＥＳ）、または、少なくとも一部のペア差分値ΔＰａｉｒが判定閾値ｚより大きいと判断された場合（Ｓ５０２：ＮＯ）に移行するＳ５０４では、異常監視部６５は、ペア差分値ΔＰａｉｒが判定閾値ｚ以下である対称センサ部組があるか否かを判断する。ペア差分値ΔＰａｉｒが判定閾値ｚ以下である対称センサ部組がないと判断された場合（Ｓ５０４：ＮＯ）、Ｓ５０６へ移行する。ペア差分値ΔＰａｉｒが判定閾値ｚ以下である対称センサ部組があると判断された場合（Ｓ５０４：ＹＥＳ）、Ｓ５０５へ移行する。
Ｓ５０５では、角度演算部６２は、ペア差分値ΔＰａｉｒが判定閾値以下である対称センサ部組を用いて角度演算を行う。なお、対称センサ部組が複数あれば、複数の組み合わせの和を用いてもよいし、いずれか１つを用いてもよい。
【０１３１】
ペア差分値ΔＰａｉｒが判定閾値ｚ以下である対称センサ部組がないと判断された場合（Ｓ５０４：ＮＯ）に移行するＳ５０６では、異常監視部６５は、異常信号を特定する。詳細には、異常監視部６５は、ペア差分値ΔＰａｉｒ以外の信号偏差を演算して判定閾値ｚと比較し、比較結果に基づいて異常信号を特定する。異常信号特定の詳細は、上記実施形態と同様である。
【０１３２】
Ｓ５０７では、異常監視部６５は、角度演算の継続が可能か否か判断する。本実施形態では、少なくとも２つのセンサ部が正常であれば、角度演算を継続可能であるものとする。角度演算の継続が可能であると判断された場合（Ｓ５０７：ＹＥＳ）、Ｓ５０８へ移行する。角度演算を継続できないと判断された場合（Ｓ５０７：ＮＯ）、Ｓ５０９へ移行する。
Ｓ５０８およびＳ５０９の処理は、図１３中のＳ３０６およびＳ３０７と同様である。
【０１３３】
本実施形態では、角度演算部６２は、誤差キャンセル可能な組み合わせである点対称に配置されたセンサ部からの信号の和を用いて角度演算を行うことで、出力信号の歪み成分をキャンセル可能であるので、精度よく角度演算を行うことができる。
また、異常監視部６５は、誤差キャンセル可能な組み合わせが正常である間は、ペア差分値ΔＰａｉｒに基づいて異常監視を行うので、演算負荷を低減することができる。
また、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【０１３４】
（第１０実施形態）
本発明の第１０実施形態を図２１に示す。なお、図２１（ａ）が本実施形態のセンサユニット５４５であり、図２１（ｂ）は第９実施形態のセンサユニット５４０である。
図２１（ａ）に示すように、センサユニット５４５には、４つのセンサ部５４６〜５４９が含まれる。
図２１（ｂ）に示す第９実施形態のセンサユニット５４５では、センサ部５４１とセンサ部５４２、センサ部５４３とセンサ部５４４とが、マグネット８５の中心と一致する回転中心Ｃに対して点対称配置されているので、信号の和を用いて角度演算を行うことで、出力成分の歪み成分をキャンセル可能である。
【０１３５】
一方、本実施形態では、図２１（ａ）に示すように、センサ部５４６〜５４９の対称中心Ｃａは、回転中心Ｃと異なっている。換言すると、センサ部５４６〜５４９は、回転中心Ｃに対して、点対称に配置されていない。そのため、センサ部５４６〜５４９の出力信号の歪み成分を完全にキャンセルすることができない。ただし、４つの信号の和を用いれば、例えば回転中心Ｃから最も離れているセンサ部５４７の信号のみに基づいて角度演算を行う場合と比較して、演算される角度誤差を低減することができる。そのため、本実施形態では、角度演算部６２は、４つのセンサ部５４６〜５４９が全て正常である場合、正常である全てのセンサ部５４６〜５４９からの信号を用いて角度演算を行う。これにより、最悪条件よりも角度誤差を低減可能であり、位置ずれに対するロバスト性を高めることができる。また、いずれかのセンサ部に異常が生じてから異常特定されるまでの間における角度誤差の影響を低減することができる。
異常監視部６５は、上記実施形態のように、２つの信号偏差と判定閾値ｚとの比較結果に基づき、異常信号を特定可能である。
また、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【０１３６】
（第１１実施形態）
本発明の第１１実施形態を図２２および図２３に基づいて説明する。
図２２に示すように、本実施形態のセンサユニット５５０には、５つのセンサ部５５１〜５５５が含まれる。４つのセンサ部５５１〜５５４は、第９実施形態のセンサ部５４１〜５４４と同様、回転中心Ｃからの距離が等しくなるように、回転中心Ｃの周りに配置される。また、センサ部５５１とセンサ部５５２とが回転中心Ｃに対して点対称に配置され、センサ部５５３とセンサ部５５４とが回転中心Ｃに対して点対称に配置される。すなわち本実施形態では、センサ部５５１、５５２、および、センサ部５５３、５５４が、それぞれ、回転中心Ｃからの位置ずれによる検出誤差をキャンセル可能な「対称センサ部組」である。
【０１３７】
また、センサ部５５５は、第１実施形態等の第１センサ部２０と同様、中心が回転中心Ｃ上となるように配置される。以下、回転中心Ｃ上に配置されるセンサ部５５５を、「中心センサ部」とする。また、センサ部５５５の信号と他のセンサ部５５１〜５５４のいずれかの信号との偏差の差分値を、中心差分値Δｃｎｔとする。
【０１３８】
図２２のようにセンサ部５５１〜５５５が配置されている場合、以下の（５１）、（５２）、（５３）が、回転中心Ｃからの位置ずれによる誤差をキャンセル可能な組み合わせである。そのため、（５１）〜（５３）のいずれか、または、（５１）〜（５３）のうちの２つ以上の和を用いることで、出力信号の歪み成分がキャンセルされ、精度よく角度演算を行うことができる。
【０１３９】
（５１）センサ部５５１＋センサ部５５２
（５２）センサ部５５３＋センサ部５５４
（５３）センサ部５５５
【０１４０】
本実施形態では、センサ部５５５が正常である場合、センサ部５５５の信号を優先的に用いて角度演算を行う。
本実施形態の角度演算処理を図２３のフローチャートに基づいて説明する。この処理は、回転中心Ｃ上にセンサ部が配置されている場合に適用可能である。
Ｓ６０１では、異常監視部６５は、センサ部５５１〜５５４との中心差分値Δｃｎｔが判定閾値ｚ以下か否かを判断する。ここでは、少なくとも２つのセンサ部５５１〜５５４の信号と、センサ部５５５との信号の偏差と判定閾値ｚとを比較する。演算された全ての中心差分値Δｃｎｔが判定閾値ｚ以下であると判断された場合（Ｓ６０１：ＹＥＳ）、Ｓ６０３へ移行する。少なくとも一部の中心差分値Δｃｎｔが判定閾値ｚより大きいと判断された場合（Ｓ６０１：ＮＯ）、Ｓ６０２へ移行する。
【０１４１】
Ｓ６０２では、異常監視部６５は、センサ部５５５が正常か否かを判断する。センサ部５５５が正常ではないと判断された場合（Ｓ６０２：ＮＯ）、Ｓ６０４へ移行する。センサ部５５５が正常であると判断された場合（Ｓ６０２：ＹＥＳ）、Ｓ６０３へ移行する。
Ｓ６０３では、角度演算部６２は、センサ部５５５の信号を用いて角度演算を行う。
Ｓ６０４〜Ｓ６１２の処理は、図２０のＳ５０１〜５０９の処理と同様である。
このように構成しても、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【０１４２】
（第１２実施形態）
本発明の第１２実施形態を図２４に基づいて説明する。
本実施形態は、角度演算処理が第１１実施形態と異なる。第１１実施形態では、回転中心Ｃ上に配置されるセンサ部５５５を優先して用いるのに対し、本実施形態では、回転中心Ｃに点対称に配置される組み合わせ（すなわち第１１実施形態で説明した（５１）、（５２）の組み合わせ）を優先的に用いて角度演算を行う。
Ｓ７０１〜Ｓ７０６の処理は、図２０のＳ５０１〜Ｓ５０６の処理と同様である。なお、センサ部５５５が正常であることを前提とし、Ｓ７０３およびＳ７０５において、角度演算に用いる信号に、センサ部５５５の信号を加えてもよい。
【０１４３】
Ｓ７０６に続いて移行するＳ７０７では、異常監視部６５は、センサ部５５５が正常か否かを判断する。センサ部５５５が正常ではないと判断された場合（Ｓ７０７：ＮＯ）、Ｓ７０９へ移行する。センサ部５５５が正常であると判断された場合（Ｓ７０７：ＹＥＳ）、Ｓ７０８へ移行する。
Ｓ７０８の処理は、図２３中のＳ６０３の処理と同様である。
Ｓ７０９〜Ｓ７１１の処理は、図２０中のＳ５０７〜Ｓ５０９の処理と同様である。
このように構成しても、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【０１４４】
（第１３実施形態）
本発明の第１３実施形態を図２５に基づいて説明する。
図２５に示すように、本実施形態のセンサユニット５６０には、６つのセンサ部５６１〜５６６が含まれる。センサ部５６１とセンサ部５６２、センサ部５６３とセンサ部５６４、センサ部５６５とセンサ部５６６は、それぞれ、回転中心Ｃに対して点対称となるように配置されている。すなわち、センサ部５６１、５６２、センサ部５６３、５６４、および、センサ部５６５、５６６が、それぞれ「対称センサ部組」であり、回転中心Ｃからの位置ずれによる誤差をキャンセル可能な組み合わせは、（６１）〜（６３）である。
【０１４５】
（６１）センサ部５６１＋センサ部５６２
（６２）センサ部５６３＋センサ部５６４
（６３）センサ部５６５＋センサ部５６６
【０１４６】
そのため、（６１）〜（６３）のいずれか、または、（６１）〜（６３）のうちの２つ以上の和を用いることで、出力信号の歪み成分がキャンセルされ、精度よく角度演算を行うことができる。
異常監視および角度演算は、図２０のフローチャートに基づいて実行可能である。
このように構成しても、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【０１４７】
（第１４実施形態）
本発明の第１４実施形態を図２６に基づいて説明する。
図２６に示すように、本実施形態のセンサユニット５７０には、７つのセンサ部５７１〜５７７が含まれる。センサ部５７１とセンサ部５７２、センサ部５７３とセンサ部５７４、センサ部５７５とセンサ部５７６は、それぞれ、回転中心Ｃに対して点対称となるように配置されている。すなわち、センサ部５７１、５７２、センサ部５７３、５７４、および、センサ部５７５、５７６が、それぞれ「対称センサ部組」である。
【０１４８】
また、センサ部５７７は、センサ部５５５と同様、中心が回転中心Ｃ上となるように配置される。すなわち、本実施形態では、センサ部５７７が「中心センサ部」である。
本実施形態において、回転中心Ｃからの位置ずれによる誤差をキャンセル可能な組み合わせは、（７１）〜（７４）である。そのため、（７１）〜（７４）のいずれか、または、（７１）〜（７４）のうちの２つ以上の和を用いることで、出力信号の歪み成分がキャンセルされ、精度よく角度演算を行うことができる。
【０１４９】
（７１）センサ部５７１＋センサ部５７２
（７２）センサ部５７３＋センサ部５７４
（７３）センサ部５７５＋センサ部５７６
（７４）センサ部５７７
【０１５０】
異常監視および角度演算は、図２３または図２４のフローチャートに基づいて実行可能である。
このように構成しても、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【０１５１】
（他の実施形態）
上記実施形態では、各センサ部のｓｉｎ回路部は、同様に構成され、出力されるｓｉｎ信号の振幅が等しい。他の実施形態では、各センサ部のｓｉｎ回路部から出力されるｓｉｎ信号の振幅は異なっていてもよい。この場合、差動増幅器におけるゲインを振幅に応じて変更することにより振幅補正を行ってもよいし、制御部における演算にて振幅補正を行ってもよい。ｃｏｓ回路部から出力されるｃｏｓ信号についても同様である。
【０１５２】
上記実施形態では、メイン回路部から出力されるメイン信号がｓｉｎ信号であり、サブ回路部から出力されるサブ信号がｃｏｓ信号であり、メイン信号とサブ信号との位相差は９０°である。他の実施形態では、メイン回路部から出力されるメイン正信号およびメイン負信号の位相と、サブ回路部から出力されるサブ正号およびサブ負信号の位相は異なっていればよく、位相差は９０°に限らない。メイン正信号およびメイン負信号の位相と、サブ正信号およびサブ負信号との位相が異なっていれば、角度演算手段にて被検出部の回転角度を演算可能である。
【０１５３】
また、メイン差動増幅器およびサブ差動増幅器の少なくとも一方を、センサ部とは別途に設けてもよいし、省略してもよい。また、上記実施形態では、ｓｉｎ差動増幅器のプラス入力端子に＋ｓｉｎ信号が入力され、マイナス入力端子に−ｓｉｎ信号が入力される。また、ｃｏｓ差動増幅器のプラス入力端子に＋ｃｏｓ信号が入力され、マイナス入力端子に−ｃｏｓ信号が入力される。他の実施形態では、ｓｉｎ差動増幅器のプラス入力端子に−ｓｉｎ信号が入力され、マイナス入力端子に＋ｓｉｎ信号が入力されるように構成してもよい。同様に、ｃｏｓ差動増幅器のプラス入力端子に−ｃｏｓ信号が入力され、マイナス入力端子に＋ｃｏｓ信号が入力されるように構成してもよい。
【０１５４】
第１実施形態では、第１センサ部が第２センサ部および第３センサ部の中央に配置され、第２センサ部および第３センサ部が第１センサ部に対して点対称に配置される。他の実施形態では、第２センサ部および第３センサ部を第１センサ部に対して点対称に配置しなくてもよい。また、第１センサ部に替えて、第２センサ部または第３センサ部を中央に配置してもよいし、第１センサ部、第２センサ部および第３センサ部をどのように配置してもよい。
上記実施形態では、第１センサ部の中心が被検出部の回転磁界の中心線上となるように配置する。他の実施形態では、第１センサ部を、その中心が被検出部の回転磁界の中心線上以外の箇所に配置してもよい。
【０１５５】
上記実施形態では、センサ部の数として、３〜７を例示したが、８以上であってもよい。また、上記実施形態では、センサ部数が奇数のとき、１つのセンサ部を中心線上に配置し、残りの偶数のセンサ部を回転中心に対して点対称に配置する。また、センサ部数が偶数のとき、中心線上にセンサ部を配置せず、回転中心に対して点対称に配置する。他の実施形態では、例えばセンサ部数が偶数のときに、１つのセンサ部を中心線上に配置する等、センサ部の配置はどのようであってもよい。なお、角度演算は、回転中心からの位置ずれの影響がキャンセルできる組み合わせの信号を用いて行うことが好ましい。
【０１５６】
上記実施形態では、ＡＤ変換部は、２つのＡＤ変換器を有する。他の実施形態では、ＡＤ変換器の数は、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。また、ＡＤ変換器における変換順は、上記実施形態とは異なる順であってもよい。
【０１５７】
上記実施形態では、全てのセンサ部は、１つの封止部で封止されており、センサユニットが１つのパッケージとなっている。他の実施形態では、センサユニットを、複数パッケージとしてもよい。
上記実施形態では、信号出力端子同士が隣接しないように配列される。他の実施形態では、少なくとも一部の信号出力端子が隣接して配列されていてもよい。また、上記実施形態では、給電端子とグランド端子とが隣接しないように配列される。他の実施形態では、少なくとも一部の信号出力端子とグランド端子とが隣接して配列されていてもよい。
上記実施形態では、センサ部ごとに給電部が設けられる。他の実施形態では、複数のセンサ部に対して、１つの給電部が設けられていてもよい。
【０１５８】
上記実施形態では、制御部は、センサ部と同一の基板上であって、センサ部とは反対側の面に実装される。他の実施形態では、制御部をセンサ部と同一基板上の同一面に実装してもよいし、センサ部が実装される基板とは異なる箇所に設けてもよい。電源ＩＣについても同様である。
上記実施形態では、回転角検出装置は、電動パワーステアリング装置に適用される。他の実施形態では、回転角検出装置を電動パワーステアリング装置以外の装置に適用してもよい。
以上、本発明は、上記実施形態になんら限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【０１５９】
１０・・・回転角検出装置
２０、３０、４０、５４１〜５４４、５４６〜５４９、５５１〜５５５、５６１〜５６６、５７１〜５７７・・・センサ部
２１、３１、４１・・・ｓｉｎ回路部（メイン回路部）
２５、３５、４５・・・ｃｏｓ回路部（サブ回路部）
６０・・・制御部
６２・・・角度演算部
６５・・・異常監視部
８５・・・マグネット（被検出部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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