(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンジンへ吸い込まれる吸気の一部が通過する通路（５、６）を形成する通路形成部材（３）と、前記通路（６）を通過する吸気流量を測定する流量センサ４（４）と、吸気温度を測定する吸気温度センサ（３１）とを具備するエアフロメータにおいて、
このエアフロメータは、
前記吸気温度センサ（３１）とは独立して設けられ、前記通路形成部材（３）に伝わる熱影響を受ける箇所にて温度測定を行う第２温度センサ（３２）と、
前記流量センサ（４）の測定した流量信号（ｖｆ）に基づいて、前記吸気温度センサ（３１）の測定した吸気温度信号（ｔａ）と前記第２温度センサ（３２）の測定した第２温度信号（ｔｂ）の出力差（ｔｃ）の応答遅れを補償する応答補償手段（４１）とを備え、
この応答補償手段（４１）で補償した出力差（ｔｃ）に基づいて前記吸気温度センサ（３１）の測定した吸気温度信号（ｔａ）を補正することを特徴とするエアフロメータ。
【請求項２】
請求項１に記載のエアフロメータにおいて、
前記吸気温度センサ（３１）は、前記通路形成部材（３）の外部に配置されることを特徴とするエアフロメータ。
【請求項３】
請求項１に記載のエアフロメータにおいて、
前記流量センサ（４）は、吸気流量を測定する流量検出部（７）が設けられるセンサ基板（８）を備え、
前記吸気温度センサ（３１）は、前記センサ基板（８）上に設けられ、前記流量検出部（７）とともに前記通路（６）内に配置されることを特徴とするエアフロメータ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか１つに記載のエアフロメータにおいて、
前記第２温度センサ（３２）は、前記流量センサ（４）に設けられることを特徴とするエアフロメータ。
【請求項５】
請求項１〜請求項３のいずれか１つに記載のエアフロメータにおいて、
このエアフロメータは、吸気の湿度を測定する湿度センサ（５１）を備え、
前記第２温度センサ（３２）は、前記湿度センサ（５１）に内蔵される環境温度センサを用いることを特徴とするエアフロメータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンジン（内燃機関）に吸い込まれる吸気の温度を検出する吸気温度センサを搭載するエアフロメータに関する。
【背景技術】
【０００２】
（従来技術）
吸気温度センサを搭載するエアフロメータが知られていが、エアフロメータが取り付けられる吸気ダクトは、エンジンの熱を受けて高温になり、伝熱により通路形成部材（内部通路を形成する部材）が昇温し、この通路形成部材の熱影響を吸気温度センサが受けて吸気温度を正確に測定できなくなる懸念がある。
同様に、エアフロメータの内部に搭載されるセンサ回路が自己発熱し、その影響を受けて通路形成部材が昇温し、この通路形成部材の熱影響を吸気温度センサが受けて吸気温度を正確に測定できなくなる懸念もある。
【０００３】
そこで、吸気温度センサとは別に、通路形成部材に伝わる熱影響を受ける箇所（例えば、吸気温度センサの取付箇所や、吸気通路部材の内部に配置されるセンサ回路上など）にて温度測定を行う第２温度センサを設け、この第２温度センサが測定した第２温度信号に基づいて、吸気温度センサに及ぶ伝熱の影響を補正により抑える技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
（従来技術の問題点）
「冷間始動時等にエンジンの熱を吸気ダクトが受けた場合」、「センサ回路の発熱状態が変化した場合」、「エアフロメータへの到達吸気温度が変化した場合」などでは、各部（吸気温度センサ、第２温度センサ、通路形成部材等）の温度が安定するのに、数十秒から数分がかかってしまい、この間は上記温度補正を実施することが困難となる。その結果、吸気温度センサ及び第２温度センサの計測部分の温度が安定するまでの間（温度変化期：過渡期）は、熱伝達遅れによって吸気温度を正確に補正することができない。
【０００５】
理解補助の目的で、「エアフロメータへの到達吸気温度が変化した場合」を例に用いて説明する。
吸気温度が変化すると（図６の実線Ａ参照）、吸気温度センサの検出温度は熱容量による応答遅れが生じるとともに（図６の実線Ｂ参照）、第２温度センサの検出温度も熱容量の違いによる応答遅れが生じる（図６の実線Ｃ参照）。
【０００６】
特許文献１には、吸気温度センサの出力（吸気温度信号）を、流量センサの出力（流量信号）に応じて応答補償する技術が開示されている（特許文献１の請求項９及び図６参照）。
この特許文献１に開示される技術は、吸気温度センサの出力を直接応答補償するものであった。
【０００７】
しかし、温度変化を受ける場合には、吸気温度センサの出力が安定するのと、第２温度センサの出力が安定するのとの間にも熱容量、熱伝達の違いにより時間差（応答遅れ）が生じるため、吸気温度センサと第２温度センサの出力差（偏差）が安定するのに時間を要してしまう。
具体的に、エアフロメータへの到達吸気温度が変化した場合は、通路形成部材の温度が安定するまでに時間がかかってしまう。このため、通路形成部材の内部に設けられる第２温度センサの出力が安定するのに長い時間がかかってしまい、吸気温度センサの応答遅れよりも、第２温度センサの応答遅れが大きくなってしまう。
【０００８】
特許文献１に開示される技術は、吸気温度センサの出力を応答補償するものであるため、吸気温度センサに対する第２温度センサの熱容量・熱伝達の違いによる応答遅れや、センサ自体の応答遅れが補償されていない。このため、特許文献１に開示される技術を用いても、温度変化期に高い補正精度が得られない不具合がある。
【０００９】
具体的には、特許文献１に開示される技術を採用して、吸気温度信号を補正する場合、図６の実線Ｊに示すように、実際の吸気温度（実線Ａ）に対して応答遅れが生じるとともに、過剰補正によるオーバーシュートが発生する不具合が生じてしまい、温度変化期に高い補正精度が得られない不具合が生じてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１２−１５９３１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、温度変化期（過渡期）における吸気温度の検出精度を向上できるエアフロメータの提供にある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上述した従来技術とは異なり、第２温度センサ（３２）の応答遅れを補償して吸気温度を補正するため、従来技術に比較して吸気温度の検出精度を高めることができる。
具体的には、「吸気温度センサ（３１）の測定した吸気温度信号（ｔａ）」と「第２温度センサ（３２）の測定した第２温度信号（ｔｂ）」の出力差（ｔｃ）の応答遅れを補償し、応答補償した出力差（ｔｃ）を用いて吸気温度の補正を行うことにより、温度変化期における吸気温度の検出精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（ａ）吸気上流側から見たエアフロメータの概略図、（ｂ）吸気流に沿ってカットしたエアフロメータの概略断面図である（実施例１）。
【図２】エアフロメータに搭載される電気回路の概略構成図である（実施例１）。
【図３】センサ基板の概略図である（実施例１）。
【図４】吸気温度信号を補正する補正手段の概略構成図である。
【図５】（ａ）応答補償の周波数特性図、（ｂ）流量に対する時定数の特性図である。
【図６】温度変化期における各温度変化の説明図である。
【図７】（ａ）吸気上流側から見たエアフロメータの概略図、（ｂ）吸気流に沿ってカットしたエアフロメータの概略断面図である（実施例２）。
【図８】センサ基板の概略図である（実施例２）。
【図９】（ａ）吸気上流側から見たエアフロメータの概略図、（ｂ）吸気流に沿ってカットしたエアフロメータの概略断面図である（実施例３）。
【図１０】（ａ）吸気上流側から見たエアフロメータの概略図、（ｂ）吸気流に沿ってカットしたエアフロメータの概略断面図である（実施例４）。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下において「発明を実施するための形態」を詳細に説明する。
【実施例】
【００１５】
本発明の具体的な一例（実施例）を図面に基づき説明する。なお、以下の「実施例」は具体的な一例を開示するものであり、本発明が「実施例」に限定されないことは言うまでもない。
【００１６】
［実施例１］
実施例１を図１〜図６参照して説明する。
エアフロメータは、車両走行用エンジンへ吸気（燃焼用の空気）を導く吸気ダクト１（エアクリーナのアウトレットや吸気管等）に搭載されるものであり、少なくともエンジンに吸い込まれる吸気流量（空気流量）の測定を行う。
【００１７】
エアフロメータは、
・蓋部２が設けられる通路形成部材３と、
・この通路形成部材３の内部に組付けられる流量センサ４と、
を備えて構成される。
【００１８】
吸気ダクト１の側面には、内外を貫通するエアフロメータ装着穴が形成されており、このエアフロメータ装着穴の外部より通路形成部材３を吸気ダクト１内に挿入配置した後、蓋部２によってエアフロメータ装着穴を閉塞し、蓋部２をタッピングスクリュ等の固定手段を用いて吸気ダクト１に固定することで吸気ダクト１にエアフロメータが組付けられる。
【００１９】
通路形成部材３は、例えば樹脂材料によって形成されるものであり（限定しない）、通路形成部材３の内部には、吸気ダクト１の内部（主空気通路）を流れる吸気の一部が通過するバイパス通路５（副空気通路）およびサブバイパス通路６（副々空気通路）が形成される。
【００２０】
バイパス通路５は、吸気ダクト１内を流れる空気の一部が通過する空気通路であり、吸気ダクト１における吸気の流れ方向に沿うように通路が形成される。そして、バイパス通路５の吸気上流側に空気取入口５ａが設けられ、バイパス通路５の吸気下流側に空気排出口５ｂが設けられる。なお、空気排出口５ｂには、バイパス通路５を通過する空気流を絞るための出口絞りが形成される。
【００２１】
サブバイパス通路６は、出口絞り（空気排出口５ｂ）で絞られたバイパス通路５の空気流の一部が流入する入口６ａと、サブバイパス通路６を通過した空気流を吸気ダクト１内へ戻す出口とを備え、入口６ａから流入した空気を通路形成部材３の内部で回転させて吸気ダクト１内へ戻す迂回路を形成するものである。
なお、図１では、サブバイパス通路６の出口（図示しない）を独立して設ける例を開示するが、限定するものではなく、例えば出口をバイパス通路５内に開口させて、サブバイパス通路６を通過した空気流を再びバイパス通路５内に戻すものであっても良い。
【００２２】
通路形成部材３と一体に設けられる蓋部２は、ＥＣＵ（エンジン・コントロール・ユニット）接続用のコネクタを備えるものであり、蓋部２と通路形成部材３は共通の樹脂材料によって設けられる。
【００２３】
流量センサ４は、アッシー化されて通路形成部材３の内部に配置されるものであり、
・吸気流量を測定する流量検出部７が設けられるセンサ基板８と、
・通路形成部材３に形成されたコネクタを介して電気的に接続されるセンサ回路９と、
・このセンサ回路９を収容する回路ハウジング１０と、
を備えて構成される。
【００２４】
具体的に、流量センサ４は、熱量に基づいて吸気量を測定する熱式であり、
・吸気の一部を加熱するヒータ制御ブリッジ１１と、
・加熱された吸気から流量に応じた流量信号を得る流量検出ブリッジ１２と、
・流量信号から流量演算を行うデジタル回路１３と、
を備えて構成される。
【００２５】
ヒータ制御ブリッジ１１の一例は、
・センサ基板８に設けられる３つの抵抗体と、
・センサ回路９に設けられる２つの増幅手段と、
で構成される。
【００２６】
ヒータ制御ブリッジ１１における３つの抵抗体は、
・通電による発熱によってサブバイパス通路６を通過する空気の一部を加熱する発熱ヒータ１４と、
・発熱ヒータ１４の近傍に配置されて、発熱ヒータ１４によって加熱された空気の温度（加熱吸気温度）に応じた電圧値Ｖ１を発生させる傍熱抵抗体１５と、
・発熱ヒータ１４によって加熱されていない吸気の温度（非加熱吸気温度）を測定する吸気温度抵抗体１６と、
・この吸気温度抵抗体１６に直列に接続されて非加熱吸気温度に応じた電圧値Ｖ２を発生させる分圧抵抗体１７と、
で構成される。
【００２７】
ヒータ制御ブリッジ１１における２つの増幅手段は、電圧値Ｖ１と電圧値Ｖ２の電圧差に応じた出力を発生するオペアンプ１８と、このオペアンプ１８の出力に応じた電流を発熱ヒータ１４に印加するトランジスタ１９とで構成されるものであり、電圧値Ｖ１と電圧値Ｖ２の電圧差が、予め設定された電圧差となるように発熱ヒータ１４を通電制御することで発熱ヒータ１４を基準温度に保つ。
【００２８】
流量検出ブリッジ１２の一例は、
・センサ基板８に設けられる４つの抵抗体と、
・センサ回路９に設けられる１つの増幅手段と、
で構成される。
【００２９】
流量検出ブリッジ１２における４つの抵抗体は、
・発熱部（発熱ヒータ１４および傍熱抵抗体１５）の上流側に設けられる第１、第２上流抵抗体２１、２２と、
・発熱部の下流側に設けられる第１、第２下流抵抗体２３、２４と、
で構成される。
なお、第１上流抵抗体２１と第１下流抵抗体２３は直列に接続されて吸気量に応じた電圧値Ｖ３を発生させるものであり、第２上流抵抗体２２と第２下流抵抗体２４も直列に接続されて吸気量に応じた電圧値Ｖ４を発生させるものである。
【００３０】
サブバイパス通路６で空気が流れると、吸気流量および吸気の流れ方向に応じて、第１、第２上流抵抗体２１、２２の検出温度と、第１、第２下流抵抗体２３、２４の検出温度とに温度差が生じるため、この温度差に基づいて吸気量および吸気の流れ方向を測定することができる。
具体的に、第１、第２上流抵抗体２１、２２の検出温度と、第１、第２下流抵抗体２３、２４の検出温度とに温度差が生じた場合、第１、第２上流抵抗体２１、２２の抵抗値と、第１、第２下流抵抗体２３、２４の抵抗値とが変化することにより電圧値Ｖ３、Ｖ４が変化する。
【００３１】
流量検出ブリッジ１２における１つの増幅手段は、電圧値Ｖ３、Ｖ４の電位差に応じた出力を発生するオペアンプ２５である。
【００３２】
デジタル回路１３は、流量検出ブリッジ１２の出力する流量信号を、メモリに保存された補正値に基づいて補正を行い、補正後の流量信号ｖｆを周波数変調して外部のＥＣＵへ出力する（一例であり、限定しない）。
【００３３】
（吸気温度センサ３１の説明）
この実施例のエアフロメータは、吸気ダクト１内を通過する吸気の温度（エンジンに吸い込まれる吸気の温度）を測定する吸気温度センサ３１を備える。
この実施例の吸気温度センサ３１は、図１（ａ）に示すように、通路形成部材３の外部に配置されて、吸気ダクト１の内部を流れる吸気の温度を測定する。具体的に、吸気温度センサ３１は、通路形成部材３の伝熱影響を極力抑えるように、吸気温度センサ３１が通路形成部材３から所定量離れた中空に配置される。
【００３４】
具体的な一例として、この実施例の吸気温度センサ３１は、ボビン型の抵抗体形状を呈するサーミスタ素子であり、温度によって抵抗値が変化するサーミスタ本体と、このサーミスタ本体から延びる２本のリード線とを備える。そして、２本のリード線が蓋部２または通路形成部材３によって支持されることで、サーミスタ本体が通路形成部材３から所定量離れた中空に支持される。
そして、吸気温度センサ３１の測定した吸気温度信号ｔａ（吸気温度に応じた信号）は、後述する吸気温度補正手段５０によって補正を行った後に、流量信号ｖｆと同様、デジタル回路１３で周波数変調してＥＣＵへ出力される（限定しない）。
【００３５】
（第２温度センサ３２の説明）
この実施例のエアフロメータは、通路形成部材３に伝わる熱影響を受ける箇所にて温度測定を行う第２温度センサ３２を備える。即ち、吸気温度センサ３１が通路形成部材３から受ける熱影響より、第２温度センサ３２が通路形成部材３から受ける熱影響の方が大きくなるように設けられる。
この第２温度センサ３２は、上述した吸気温度センサ３１とは独立して設けられるものである。
【００３６】
第２温度センサ３２の搭載箇所は、限定するものではないが、具体的な一例として、流量センサ４に設けられる。
さらに、流量センサ４における第２温度センサ３２の搭載箇所も限定するものではなく、一例としてこの実施例ではセンサ回路９に第２温度センサ３２を搭載する例を示す。このように、第２温度センサ３２をセンサ回路９に搭載することで、既存のエアフロメータに第２温度センサ３２を搭載するための仕様変更（通路形成部材３や回路ハウジング１０の仕様変更等）を無くすことができるとともに、第２温度センサ３２のリード配線の引き回しを簡素化する効果が得られる。
【００３７】
（吸気温度補正手段４０の説明）。
この実施例のエアフロメータには、第２温度センサ３２が測定した第２温度信号ｔｂに基づいて、吸気温度センサ３１に及ぶ伝熱の影響（通路形成部材３から吸気温度センサ３１に及び熱影響）を補正する吸気温度補正手段４０が設けられている。
【００３８】
ここで、「冷間始動時にエンジンの熱を吸気ダクト１が受けた場合」や、「センサ回路９の発熱状態が変化した場合」、あるいは「吸気ダクト１内においてエアフロメータへの到達吸気温度が変化した場合」などでは、吸気温度センサ３１及び第２温度センサ３２の出力に応答遅れが生じるとともに、通路形成部材３にも温度変化が生じる。
このため、各部の温度が安定するのに、数十秒から数分の応答遅れが生じてしまう。このように温度変化を受ける場合、各部の温度が安定するまでの期間（温度変化期）は、温度が安定するまでの応答遅れによって吸気温度を正確に補正することが困難になる。
【００３９】
この不具合を解決する手段として、この実施例のエアフロメータは、温度変化期の応答遅れを補償する手段を備える。
具体的に、この実施例のエアフロメータは、応答遅れを補償する手段として、「流量センサ４の測定した流量信号ｖｆ」に基づいて「吸気温度センサ３１の測定した吸気温度信号ｔａと第２温度センサ３２の測定した第２温度信号ｔｂの出力差ｔｃ」の応答遅れを補償する応答補償手段４１を備える。そして、応答補償手段４１で補償した出力差ｔｃに基づいて吸気温度センサ３１の測定した吸気温度信号ｔａを補正するように設けられている。
【００４０】
具体的な吸気温度補正手段４０の構成を、図４参照して説明する。
吸気温度補正手段４０は、デジタル回路１３に設けられる（限定しない）。
デジタル回路１３には、上述した応答補償手段４１の他に、
・「吸気温度センサ３１の測定した吸気温度信号ｔａ」と「第２温度センサ３２の測定した第２温度信号ｔｂ」の出力差ｔｃを求める出力差算出手段４２と、
・流量検出部７の出力信号（オペアンプ２５の出力信号）から吸気流量を算出する流量算出手段４３と、
・応答補償手段４１で補償した出力差ｔｃ（補償後の信号）を用いて吸気温度センサ３１の測定した吸気温度信号ｔａの補正を行う補正実行手段４４と、
が設けられる。
【００４１】
出力差算出手段４２は、「吸気温度センサ３１の測定した吸気温度信号ｔａ」から「第２温度センサ３２の測定した第２温度信号ｔｂ」を減算することで出力差ｔｃを求める減算手段である。
【００４２】
流量算出手段４３は、
・吸気脈動により生じる流量変化の周波数である流量周波数を求める周波数算出部４３ａと、
・吸気脈動により生じる流量変化幅である流量振幅を求める振幅算出部４３ｂと、
・計測流量を単位時間あたりで平均化した平均流量を求める平均流量算出部４３ｃと、
・上記で求めた流量周波数、流量振幅、平均流量から流量信号ｖｆを求める特性変換部４３ｄと、
を備えて構成される。
【００４３】
このように、この実施例で採用する流量算出手段４３は、「流量周波数」、「流量振幅」、「平均流量」を用いて流量信号ｖｆを求めることにより、吸気流量の絶対値（時間経過とともに変動する値）を求める従来技術に比較して、安定した流量信号ｖｆを得ることができる。
なお、この流量算出手段４３は、エアフロメータの出力する流量信号ｖｆを求める手段であっても良いし、応答補償を行うために専用に設けるものであっても良い。
【００４４】
応答補償手段４１は、温度変化期における特性の乱れによって生じる応答遅れを補償によって進める「位相進み補償」であり（一例であり、限定しない）、減算手段で求めた出力差ｔｃの応答遅れを位相進み補償により補償するものである。
応答補償手段４１（位相進み補償）の具体的な構成は限定するものではないが、理解補助を目的に一例を説明する。
【００４５】
この実施例の応答補償手段４１は、
・補償に用いるゲインを周波数（時間軸に対して吸気温度変化をフーリエ変換した周波数）に応じて算出するゲイン算出手段と、
・算出したゲインを用いて応答補償を実行する時間（時定数）を吸気流量に基づいて算出する時定数算出手段と、
・求めたゲインと時定数に基づいて出力差ｔｃを補正する乗算手段と、
を備える。
【００４６】
ゲイン算出手段は、上述したように、周波数に応じてゲインを求めるものであり、具体的な一例は、図５（ａ）に示すように、周波数が低いときにゲインを小さくし、周波数が高いときにゲインを大きくするものである。なお、周波数に応じたゲインは、マップにより付与しても良いし、演算式により付与しても良い。
【００４７】
時定数算出手段は、吸気流量が低速になるほど出力差ｔｃの応答性が悪化するのを防ぐものであり、具体的な一例は、図５（ｂ）に示すように、吸気流量が少ない時ほど時定数を長く設定し、吸気流量が多くなるに従い時定数を短く設定するものである。なお、吸気流量に応じた時定数は、マップにより付与しても良いし、演算式により付与しても良い。
【００４８】
補正実行手段４４は、「吸気温度センサ３１の測定した吸気温度信号ｔａ」に「応答補償手段４１で補償した出力差ｔｃ」を加算して補正後の吸気温度信号ｔａを出力する加算手段である。
なお、補正後の吸気温度信号ｔａは、上述したように、周波数変調した後にＥＣＵへ出力される（限定しない）。
【００４９】
（実施例１の効果１）
実施例１のエアフロメータは、上述したように、「流量センサ４の測定した流量信号ｖｆ」に基づいて「吸気温度センサ３１の測定した吸気温度信号ｔａと第２温度センサ３２の測定した第２温度信号ｔｂの出力差ｔｃ」の応答遅れを応答補償する。即ち、吸気温度が変化するなど、出力差ｔｃに応答遅れが生じる場合であっても、その出力差ｔｃの応答遅れを応答補償手段４１により補償する。
この結果、第２温度センサ３２の応答遅れを含んで吸気温度を補正することができるため、従来技術に比較して温度変化期（過渡期）における吸気温度の検出精度を高めることができる。
【００５０】
具体的な効果の一例を、図６を参照して説明する。
吸気温度が変化すると（図６の実線Ａ参照）、吸気温度センサ３１の検出温度は熱容量による応答遅れが生じるとともに（図６の実線Ｂ参照）、第２温度センサ３２の検出温度も熱容量による応答遅れが生じる（図６の実線Ｃ参照）。
このようにエアフロメータへの到達吸気温度が変化する場合、通路形成部材３の内部に設けられる第２温度センサ３２の出力が安定するのに長い時間がかかるため、吸気温度センサ３１の応答遅れよりも、第２温度センサ３２の応答遅れが大きくなってしまう。即ち、吸気温度信号ｔａに対して第２温度信号ｔｂに応答遅れが生じてしまい、出力差ｔｃに応答遅れが生じてしまう。
【００５１】
そこで、この実施例では、「吸気温度信号ｔａと第２温度信号ｔｂの出力差ｔｃ」を応答補償することにより、吸気温度信号ｔａが第２温度センサ３２の応答遅れを含んで補正される。このため、補正後の吸気温度信号ｔａを、図６の実線Ｄに示すように、実際の吸気温度（実線Ａ）に極めて近似させることができる。
即ち、本発明を採用することにより、出力差ｔｃに応じた補正の応答性を高めることができ、温度変化期であっても吸気温度の検出精度を高めることができる。
【００５２】
（実施例１の効果２）
この実施例とは異なり、応答補償に用いる吸気流量として、流量検出部から検出される信号から直接的に求められる吸気流量を用いる場合（即ち、応答補償に吸気流量の絶対値を用いる場合）、応答補償に用いる吸気流量が安定せず、結果的に応答補償が安定し難い。
これに対し、この実施例１のエアフロメータは、上述したように、流量周波数、流量振幅、平均流量から求めた安定した吸気流量（具体的には、安定した流量信号ｖｆ）を用いて応答補償を実施する。これにより、安定した応答補償を実施することができ、応答補償を行った後の吸気温度（即ち、補正後の吸気温度ｔａ）の測定精度を高めることができる。
【００５３】
［実施例２］
実施例２を図７、図８を参照して説明する。なお、以下の実施例では、上記実施例１と同一符号は同一機能物を示すものである。
上記の実施例１では、吸気温度センサ３１が通路形成部材３の外部に設けられる例を示した。
これに対し、この実施例２の吸気温度センサ３１は、図８に示すように、センサ基板８に設けられるものであり、流量検出部７とともにサブバイパス通路６内に配置されるものである。なお、第２温度センサ３２は、上記実施例１と同様、流量センサ４に設けられるものである。
【００５４】
このように、吸気温度センサ３１を通路形成部材３からの熱影響を受け易いサブバイパス通路６に配置するものであっても、第２温度センサ３２が測定した第２温度信号ｔｂに基づいて、吸気温度センサ３１に及ぶ伝熱の影響を補正することで、吸気温度センサ３１に及ぶ伝熱の影響を排除した吸気温度を測定することが可能になる。
もちろん、上記実施例１で開示した応答補償を実施することにより、温度変化期であっても吸気温度の検出精度を高めることができる。
【００５５】
［実施例３］
実施例３を図９を参照して説明する。
上記実施例１は、第２温度センサ３２を流量センサ４に設ける例を示した。
これに対し、この実施例３のエアフロメータは湿度センサ５１を搭載するものであり、第２温度センサ３２として湿度センサ５１が内蔵する環境温度センサを利用するものである。即ち、この実施例３は、湿度センサ５１に予め内蔵される環境温度センサを第２温度センサ３２として利用するものである。
【００５６】
具体的に、湿度センサ５１は、周知の静電容量式である。この種の湿度センサ５１は、環境温度（湿度センサ５１の搭載箇所の温度）に応じて検出湿度を補正する手段として環境温度センサを内蔵する。そこで、この実施例３は、湿度センサ５１に搭載される環境温度センサを第２温度センサ３２として利用するものである。
【００５７】
このように、湿度センサ５１を搭載するエアフロメータでは、湿度センサ５１が搭載する環境温度センサを第２温度センサ３２として利用することができるため、専用の第２温度センサ３２を設ける必要がない。このため、上記実施例１と同様の効果を得ることができるとともに、エアフロメータに湿度センサ５１を搭載する場合における本発明の実施コストを抑えることができる。
【００５８】
なお、この実施例３は、湿度センサ５１の搭載箇所の一例として、図８に示すように、センサ基板８の下流側のサブバイパス通路６の内壁に湿度センサ５１を搭載する例を示す。
【００５９】
［実施例４］
実施例４を図１０を参照して説明する。
この実施例４は、上記実施例３とは異なる部位に湿度センサ５１を搭載する具体例を示すものであり、湿度センサ５１をセンサ基板８の上流側のサブバイパス通路６の内壁に配置すものである。
このように設けても、実施例３と同様の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
上記の実施例では、流量検出部７の具体例として、センサ基板８を用いたチップタイプを例に示したが、チップタイプに限定されるものではなく、ボビン型の抵抗体を用いるなど、他の構成の流量検出部７を採用しても良い。
【００６１】
上記の実施例では、通路形成部材３の内部に２つの空気通路（バイパス通路５とサブバイパス通路６）が形成されるエアフロメータを示したが、通路形成部材３の内部に１つの空気通路（吸気量測定通路）だけが形成されるエアフロメータに本発明を適用しても良い。
【００６２】
上記の実施例では、流量検出部７を通過する被測定空気の流れ方向が吸気ダクト１を流れる空気の流れ方向とは逆向きの例を示したが、流量検出部７を通過する被測定空気の流れ方向は、吸気ダクト１を流れる空気の流れ方向に沿う順方向や、吸気ダクト１を流れる空気の流れ方向に対して垂直方向など、限定されるものではない。
【符号の説明】
【００６３】
３  通路形成部材
４  流量センサ
５  バイパス通路（通路形成部材の内部に形成される通路の一例）
６  サブバイパス通路（通路形成部材の内部に形成される通路の一例）
３１  吸気温度センサ
３２  第２温度センサ
４１  応答補償手段
【図１】
0006464709.tif 000002
【図２】
0006464709.tif 000003
【図３】
0006464709.tif 000004
【図４】
0006464709.tif 000005
【図５】
0006464709.tif 000006
【図６】
0006464709.tif 000007
【図７】
0006464709.tif 000008
【図８】
0006464709.tif 000009
【図９】
0006464709.tif 000010
【図１０】
0006464709.tif 000011