(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性材料に対して回転磁界を印加する磁界印加装置と、
前記回転磁界の位相角と同期して前記磁性材料に歪みを付加する歪み付加装置と、
前記歪み付加装置によって前記磁性材料に歪みが付加された状態で、前記磁性材料の磁気特性を測定する測定装置と、を備えることを特徴とする磁気特性測定装置。
【請求項２】
前記磁界印加装置は、前記回転磁界のスカラ量を一定に保持する制御を行うことを特徴とする請求項１記載の磁気特性測定装置。
【請求項３】
前記歪み付加装置は、電圧駆動するピエゾ材であることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気特性測定装置。
【請求項４】
磁性材料に対して回転磁界を印加し、
前記回転磁界の位相角と同期して前記磁性材料に歪みを付加し、
前記磁性材料に歪みが付加された状態で、前記磁性材料の磁気特性を測定する、ことを特徴とする磁気特性測定方法。
【請求項５】
コンピュータに、
磁性材料に対して回転磁界を印加する処理と、
前記回転磁界の位相角と同期して前記磁性材料に歪みを付加する処理と、
前記磁性材料に歪みが付加された状態で、前記磁性材料の磁気特性を測定する処理と、を実行させることを特徴とする磁気特性測定プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本件は、磁気特性測定装置、磁気特性測定方法、および磁気特性測定プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁性材料に磁界を印加することによって磁気特性を測定する手法が開発されている。磁性材料が使用される実際の装置内においては、磁性材料に応力が加わるため、応力が加えられた状態で磁気特性を測定する手法が開発されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２０２９７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、磁性材料に磁界を印加すると、磁性材料を構成する結晶格子が主として磁界方向に変形するため、磁歪が生じる。磁歪が生じている状態で応力を加えて磁気特性を測定することは、実環境での磁気挙動を把握するには適している。しかしながら、磁気特性（例えばシミュレーション）を行うためには、磁歪の影響と外力起因の影響とを切り分けることが好ましい。
【０００５】
本件は上記課題に鑑みなされたものであり、磁歪の影響を軽減して磁気特性を測定することができる磁気特性測定装置、磁気特性測定方法、および磁気特性測定プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
１つの態様では、磁気特性測定装置は、磁性材料に対して回転磁界を印加する磁界印加装置と、前記回転磁界の位相角と同期して前記磁性材料に歪みを付加する歪み付加装置と、前記歪み付加装置によって前記磁性材料に歪みが付加された状態で、前記磁性材料の磁気特性を測定する測定装置と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
磁歪の影響を軽減して磁気特性を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（ａ）〜（ｃ）は実施例１に係る磁気特性測定装置で使用する磁性試料について例示する図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は実施例１に係る磁気特性測定装置の全体構成を例示する図である。
【図３】磁気特性測定装置の動作の一例を表すフローチャートである。
【図４】図３の詳細を表すフローチャートである。
【図５】図３の詳細を表すフローチャートである。
【図６】図３の詳細を表すフローチャートである。
【図７】図３の詳細を表すフローチャートである。
【図８】図３の詳細を表すフローチャートである。
【図９】図３の詳細を表すフローチャートである。
【図１０】図３の詳細を表すフローチャートである。
【図１１】図３の詳細を表すフローチャートである。
【図１２】データのテーブル例を表す図である。
【図１３】（ａ）〜（ｅ）は実施例１に係る手法で行った磁気特性試験の結果を表す図である。
【図１４】コントローラのハードウェア構成を説明するためのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
磁気エネルギを用いる装置が知られている。例えば、磁気エネルギを介して電気エネルギと機械エネルギとを相互に変換する発電機や電動機、磁気エネルギを介して直流から交流への電力変換を行なうインバータ、磁気エネルギを介して交流の電圧変換を行なう変圧器等が挙げられる。これらの装置においては、磁気エネルギを効率よく利用するため（磁束密度を高めて磁界強度を強めるため）、電磁コイルのコア（鉄心）として大きな透磁率をもつ磁性材料（例えばケイ素鋼板などの電磁鋼板）が使用されている。
【００１０】
ところで、磁性材料は、外部磁界に応答して磁気ヒステリシス特性を示す。したがって、外部磁界との相互作用に際しエネルギ損失（ヒステリシス損）が生じる。つまり、磁性材料の磁気特性が、電磁エネルギの変換効率に著しく影響を及ぼす。よって、これらの装置の性能改善においては、磁性材料の磁気特性を詳細に把握し機器設計を行なうことが好ましい。
【００１１】
実際の装置内においては、磁性材料に多様な磁界のみならず応力も加わるため、応力が加えられた状態でベクトル磁気特性を測定する手法の開発が期待されている。例えば、応力を加えて磁気特性を測定する場合、磁性材料には数〜２００ｐｐｍの歪み（＝応力／ヤング率）が生じる。一方、磁性材料に磁界が印加され磁化（＝磁束密度×定数）が生じると、磁化方向に磁歪と呼ばれる歪みが磁性材料に生じる。一般に磁歪の大きさは数〜数百ｐｐｍであり、外力起因の応力による歪みと互角である。つまり、外力による応力を磁性材料に加えない状態であっても、磁気特性測定時には（磁界を磁性材料に印加しているため）大きな歪み（応力）が磁性材料に生じている。
【００１２】
測定磁界による磁歪が生じている状態に、さらに外力による応力を加えた場合の磁気特性を調べることは実環境での磁気挙動を知るには適している。しかしながら、磁気特性の詳細解析（例えば、シミュレーション）を行なうためには磁歪による影響と外力起因の応力による影響を切り分けることが好ましい。以下の実施例では、磁歪の影響を軽減して磁気特性を測定することができる磁気特性測定装置、磁気特性測定方法、および磁気特性測定プログラムについて説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１（ａ）〜図１（ｃ）は、実施例１に係る磁気特性測定装置で使用する磁性試料１０について例示する図である。図１（ａ）は磁性試料１０の上面図であり、図１（ｂ）は磁性試料１０のＢｙコイルに沿った断面図である。図１（ｃ）は、ベクトル磁気特性について説明する図である。磁性試料１０は、磁性材料であれば特に限定されるものではない。本実施例においては、磁性試料１０は、一例として、円盤状の無方向性電磁鋼板３５Ａ３００（板厚０．３５ｍｍ）などの電磁鋼板であり、例えば直径７０ｍｍにワイヤーカットされている。
【００１４】
磁性試料１０の主面において互いに直交する２軸をＸ軸およびＹ軸とする。図１（ａ）および図１（ｂ）で例示するように、磁性試料１０には、Ｙ軸に沿って互いに離間する２つの貫通孔を通ってＢｘコイル１１が１ターンループするように設けられている。また、磁性試料１０には、Ｘ軸に沿って互いに離間する２つの貫通孔を通ってＢｙコイル１２が１ターンループするように設けられている。これらの貫通孔の直径は、例えば０．１５ｍｍである。Ｘ軸に沿った２つの貫通孔およびＹ軸に沿った２つの貫通孔の中心間距離は、例えば２０ｍｍである。Ｂｘコイル１１およびＢｙコイル１２は、例えば線径０．１ｍｍの銅細線である。
【００１５】
磁性試料１０を磁化することによって、磁性試料１０に磁束が生じる。図１（ｃ）で例示するように、Ｘ軸方向の磁束密度ＢｘとＹ軸方向の磁束密度Ｂｙとの合成により、回転磁束密度Ｂが得られる。磁束密度Ｂｘは、Ｂｘコイル１１を用いて検出することができる。磁束密度Ｂｙは、Ｂｙコイル１２を用いて検出することができる。
【００１６】
Ｘ軸方向の磁界ＨｘとＹ軸方向の磁界Ｈｙとの合成により、回転磁界Ｈを得ることができる。回転磁束密度Ｂのスカラ量が一定値になるように（Ｂの軌跡が真円になるように）回転磁界Ｈを制御することで、ベクトル磁気特性を測定することができる。なお、Ｂｘ＝Ｂｓｉｎθ＝Ｂｓｉｎωｔと表すことができ、Ｂｙ＝Ｂｃｏｓθ＝Ｂｃｏｓωｔと表すことができる。「θ」はＸＹ平面における角度を表し、回転磁界の位相角を表す。「ｔ」は時刻であり、「ω」は回転磁界の角速度である。
【００１７】
また、図１（ｂ）で例示するように、磁性試料１０の主面には、磁性試料１０に対してＸ軸方向の歪みを与えるＸ軸ピエゾ材１３が固定されている。磁性試料１０の他面には、磁性試料１０に対してＹ軸方向の歪みを与えるＹ軸ピエゾ材１４が固定されている。Ｘ軸ピエゾ材１３およびＹ軸ピエゾ材１４は、磁性試料１０に外力を付加できる材料であれば特に限定されないが、一例として圧電膜などである。本実施例においては、Ｘ軸ピエゾ材１３およびＹ軸ピエゾ材１４は、厚さ１ｍｍ、直径７０ｍｍのＰＺＴ系セラミックスの板材であり、エポキシ系接着剤などで磁性試料１０に固定されている。
【００１８】
本実施例においては、２軸磁界の合成により得られる回転磁界を用いたベクトル磁気特性測定法を使用する。この測定法を用いることにより、磁界の方向と強度（ベクトル）、磁束密度の方向と強度（ベクトル）を個別に観測できることから、多様な磁界に対する磁気特性（ベクトル磁気特性）が得られる。
【００１９】
図２（ａ）および図２（ｂ）は、実施例１に係る磁気特性測定装置１００の全体構成を例示する図である。図２（ａ）で例示するように、磁気特性測定装置１００は、コントローラ２０、位相調整器３０、Ｘ軸コイル４０ａ、Ｙ軸コイル４０ｂ、Ｘ軸コイル用電源５０ａ、Ｙ軸コイル用電源５０ｂ、データベースＤＢなどを備える。また、図２（ｂ）で例示するように、磁気特性測定装置１００は、Ｘ軸ピエゾ電源６０ａ、Ｙ軸ピエゾ電源６０ｂ、Ｘ軸磁界センサ７０ａ、Ｙ軸磁界センサ７０ｂ、Ｘ軸歪みセンサ８０ａ、Ｙ軸歪みセンサ８０ｂ、集録器９０などを備える。
【００２０】
Ｘ軸コイル４０ａは、磁性試料１０に対し、Ｘ軸方向の磁界を印加する。Ｙ軸コイル４０ｂは、磁性試料１０に対し、Ｙ軸方向の磁界を印加する。Ｘ軸コイル用電源５０ａは、交流電源であり、Ｘ軸コイル４０ａに交流電流を供給する。Ｙ軸コイル用電源５０ｂは、交流電源であり、Ｙ軸コイル４０ｂに交流電流を供給する。
【００２１】
Ｘ軸ピエゾ電源６０ａは、交流電源であり、Ｘ軸ピエゾ材１３に交流電流を供給する。Ｙ軸ピエゾ電源６０ｂは、交流電源であり、Ｙ軸ピエゾ材１４に交流電流を供給する。Ｘ軸磁界センサ７０ａは、Ｈコイル、ホール素子などであり、Ｘ軸方向の磁界を検出する。Ｙ軸磁界センサ７０ｂは、Ｈコイル、ホール素子などであり、Ｙ軸方向の磁界を検出する。Ｘ軸磁界センサ７０ａおよびＹ軸磁界センサ７０ｂは、例えば線径０．１ｍｍの銅細線であり、断面２０ｍｍ×１ｍｍ、奥行き２０ｍｍ、巻き数５００ターンの巻き線コイルである。Ｘ軸歪みセンサ８０ａは、磁性試料１０のＸ軸方向の歪みを検出する。Ｙ軸歪みセンサ８０ｂは、磁性試料１０のＹ軸方向の歪みを検出する。Ｘ軸歪みセンサ８０ａおよびＹ軸歪みセンサ８０ｂは、例えば歪みゲージなどである。
【００２２】
位相調整器３０は、コントローラ２０から入力される設定に応じて、Ｘ軸コイル用電源５０ａ、Ｙ軸コイル用電源５０ｂ、Ｘ軸ピエゾ電源６０ａ、およびＹ軸ピエゾ電源６０ｂの動作を制御する。具体的には、位相調整器３０は、Ｘ軸コイル用電源５０ａ、Ｙ軸コイル用電源５０ｂ、Ｘ軸ピエゾ電源６０ａおよびＹ軸ピエゾ電源６０ｂの交流位相を調整することによって、ＸＹ平面における磁歪の方向と歪み方向とを同期させる。
【００２３】
集録器９０は、オシロスコープなどであり、Ｂｘコイル１１、Ｂｙコイル１２、Ｘ軸磁界センサ７０ａ、Ｙ軸磁界センサ７０ｂ、Ｘ軸歪みセンサ８０ａおよびＹ軸歪みセンサ８０ｂの検出結果の波形を検出し、コントローラ２０に送信する。コントローラ２０は、Ｂｘコイル１１の検出結果に応じてＸ軸方向の磁束密度Ｂｘを検出し、Ｂｙコイル１２の検出結果に応じてＹ軸方向の磁束密度Ｂｙを検出する。また、コントローラ２０は、Ｘ軸磁界センサ７０ａの検出結果に応じてＸ軸方向の磁界Ｈｘを検出し、Ｙ軸磁界センサ７０ｂの検出結果に応じてＹ軸方向の磁界Ｈｙを検出する。また、コントローラ２０は、Ｘ軸歪みセンサ８０ａの検出結果に応じて磁性試料１０のＸ軸方向の歪みεｘを検出し、Ｙ軸歪みセンサ８０ｂの検出結果に応じて磁性試料１０のＹ軸方向の歪みεｙを検出する。なお、位相調整器３０の出力信号を測定トリガーとするために、位相調整器３０の出力信号は集録器９０に送信される。
【００２４】
本実施例においては、位相調整器３０は、Ｘ軸コイル４０ａおよびＹ軸コイル４０ｂによる磁界の印加によって生じる磁歪による結晶格子変形応力と逆方向の応力が磁性試料１０に印加されるように、Ｘ軸ピエゾ電源６０ａおよびＹ軸ピエゾ電源６０ｂを制御する。それにより、磁歪の影響を軽減して磁気特性を測定することができる。
【００２５】
また、本実施例に係るベクトル磁気特性測定では、磁束密度および磁界周波数を測定パラメータとし、任意の固定値とする。つまり、磁束密度の時間変化は、一意に決まる。また、磁歪は磁束密度によって決まるため、磁歪の時間変化も一意に決まる。一方、Ｘ軸ピエゾ材１３およびＹ軸ピエゾ材１４の歪みは、印加される駆動電圧（時間の関数）で制御できるため、Ｘ軸ピエゾ材１３およびＹ軸ピエゾ材１４の歪みの時間変化も一意に決まる。以上のことから、時間変化（位相変化）に対して、磁歪とピエゾ材の歪みとを同期して制御できることになる。したがって、ピエゾ材の歪みにより磁歪を任意に制御することが可能となり、磁性試料１０に加わる応力を制御してベクトル磁気特性を測定することが可能となる。
【００２６】
一般に、ベクトル磁気特性測定で使用する磁界の周波数は、数Ｈｚ〜数十ｋＨｚである。したがって、磁性材料端を引っ張る等の機械的手法による外力の印加方法で対応することは困難である。しかしながら、本実施例においては、圧電膜を用いることで、数Ｈｚ〜数十ｋＨｚの周波数で変化する磁化（磁束密度）に応じて、磁歪の影響を制御することができる。
【００２７】
以下、磁気特性測定装置１００の動作の詳細について説明する。図３は、磁気特性測定装置１００の動作の一例を表すフローチャートである。図３で例示するように、まず、コントローラ２０は、測定周波数および磁束密度の入力を受け付ける（ステップＳ１）。次に、コントローラ２０は、基準データの作成を行う（ステップＳ２）。
【００２８】
図４は、ステップＳ１およびステップＳ２の詳細を例示するフローチャートである。図４で例示するように、コントローラ２０は、以前の入力内容および一時保存内容の初期化を行う（ステップＳ１０１）。次に、コントローラ２０は、測定周波数ｆおよび磁束密度Ｂの入力を受け付ける（ステップＳ１０２）。測定周波数ｆは、Ｘ軸コイル４０ａおよびＹ軸コイル４０ｂに生じさせる回転磁界の回転周波数である。磁束密度Ｂは、回転磁界の印加によって誘起させる回転磁束密度のスカラ量である。次に、コントローラ２０は、時間Ｔ＝１／ｆの計算を行う（ステップＳ１０３）。次に、コントローラ２０は、時間ＴをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１０４）。
【００２９】
次に、コントローラ２０は、位相角θ＝２πｆｔを計算する（ステップＳ１０５）。例えば、「ｔ」は、０からＴまでの段階値である。次に、コントローラ２０は、各ｔに対してθを保存する（ステップＳ１０６）。次に、コントローラ２０は、各θに対して基準データＢｓｉｎθおよびＢｃｏｓθを計算する（ステップＳ１０７）。次に、コントローラ２０は、各θに関連付けて基準データＢｓｉｎθおよびＢｃｏｓθをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１０８）。
【００３０】
再度図３を参照し、コントローラ２０は、Ｘ軸コイル４０ａにＸコイル電圧を印加する（ステップＳ３）。次に、コントローラ２０は、磁束密度を測定する（ステップＳ４）。次に、コントローラ２０は、測定された磁束密度と基準データとの比較を行う（ステップＳ５）。次に、コントローラ２０は、Ｘコイル電圧の調整を行う（ステップＳ６）。
【００３１】
図５は、ステップＳ３〜ステップＳ６の詳細を例示するフローチャートである。図５で例示するように、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧としてＥｘ（０）（周波数ｆ）を入力する（ステップＳ１０９）。それにより、Ｘ軸コイル用電源５０ａは、Ｘ軸コイル４０ａに対し、Ｘコイル電圧Ｅｘ＝Ｅｘ（０）を印加する（ステップＳ１１０）。次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果に応じて、Ｘ軸方向の磁束密度Ｂｘを測定する（ステップＳ１１１）。コントローラ２０は、各θに対して磁束密度Ｂｘを保存する（ステップＳ１１２）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧Ｅｘの印加を停止させる（ステップＳ１１３）。
【００３２】
次に、コントローラ２０は、各θに対し、磁束密度ＢｘとＢｓｉｎθとの比較を行う（ステップＳ１１４）。誤差程度の不一致であれば一致と判定してもよい。ステップＳ１１４で「一致」と判定された場合、コントローラ２０は、Ｘコイル電圧ＥｘをＥｘ（１）としてデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１１５）。ステップＳ１１４で「不一致」と判定された場合、コントローラ２０は、Ｘコイル電圧Ｅｘを調整する（ステップＳ１１６）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に指示し、Ｘ軸コイル用電源５０ａに、調整されたＸコイル電圧ＥｘをＸ軸コイル４０ａに印加させる（ステップＳ１１７）。次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果を用いてＸ軸方向の磁束密度Ｂｘを測定する（ステップＳ１１８）。コントローラ２０は、各θに関連付けて磁束密度ＢｘをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１１９）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧Ｅｘの印加を停止させる（ステップＳ１２０）。その後、ステップＳ１１４が再度実行される。
【００３３】
再度図３を参照し、コントローラ２０は、Ｙ軸コイル４０ｂにＹコイル電圧を印加する（ステップＳ７）。次に、コントローラ２０は、磁束密度を測定する（ステップＳ８）。次に、コントローラ２０は、測定された磁束密度と基準データとの比較を行う（ステップＳ９）。次に、コントローラ２０は、Ｙコイル電圧の調整を行う（ステップＳ１０）。
【００３４】
図６は、ステップＳ７〜ステップＳ１０の詳細を例示するフローチャートである。図６で例示するように、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｙコイル電圧としてＥｙ（０）（周波数ｆ）を入力する（ステップＳ１２１）。それにより、Ｙ軸コイル用電源５０ｂは、Ｙ軸コイル４０ｂに対し、Ｙコイル電圧Ｅｙ＝Ｅｙ（０）を印加する（ステップＳ１２２）。次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果に応じて、Ｙ軸方向の磁束密度Ｂｙを測定する（ステップＳ１２３）。コントローラ２０は、各θに対して磁束密度Ｂｙを保存する（ステップＳ１２４）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｙコイル電圧Ｅｙの印加を停止させる（ステップＳ１２５）。
【００３５】
次に、コントローラ２０は、各θに対し、磁束密度ＢｙとＢｃｏｓθとの比較を行う（ステップＳ１２６）。誤差程度の不一致であれば一致と判定してもよい。ステップＳ１２６で「一致」と判定された場合、コントローラ２０は、Ｙコイル電圧ＥｙをＥｙ（１）としてデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１２７）。ステップＳ１２６で「不一致」と判定された場合、コントローラ２０は、Ｙコイル電圧Ｅｙを調整する（ステップＳ１２８）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に指示し、Ｙ軸コイル用電源５０ｂに、調整されたＹコイル電圧ＥｙをＹ軸コイル４０ｂに印加させる（ステップＳ１２９）。次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果を用いてＹ軸方向の磁束密度Ｂｙを測定する（ステップＳ１３０）。コントローラ２０は、各θに関連付けて磁束密度ＢｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１３１）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｙコイル電圧Ｅｙの印加を停止させる（ステップＳ１３２）。その後、ステップＳ１２６が再度実行される。
【００３６】
再度図３を参照し、コントローラ２０は、調整されたＸコイル電圧の印加、および調整されたＹコイル電圧の印加を行う（ステップＳ１１）。次に、コントローラ２０は、磁束密度を測定する（ステップＳ１２）。次に、コントローラ２０は、測定された磁束密度と基準データとの比較を行う（ステップＳ１３）。次に、コントローラ２０は、Ｘコイル電圧およびＹコイル電圧の再調整を行う（ステップＳ１４）。
【００３７】
図７は、ステップＳ１１〜ステップＳ１４の詳細を例示するフローチャートである。図７で例示するように、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧としてＥｘ（１）を入力し、Ｙコイル電圧としてＥｙ（１）を入力する。それにより、Ｘ軸コイル用電源５０ａは、Ｘ軸コイル４０ａに対しＸコイル電圧Ｅｘ＝Ｅｘ（１）を印加し、Ｙ軸コイル用電源５０ｂは、Ｙ軸コイル４０ｂに対しＹコイル電圧Ｅｙ＝Ｅｙ（１）を印加する（ステップＳ１３３）。次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果に応じて、Ｘ軸方向の磁束密度ＢｘおよびＹ軸方向の磁束密度Ｂｙを測定する（ステップＳ１３４）。コントローラ２０は、各θに関連付けて磁束密度Ｂｘおよび磁束密度ＢｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１３５）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧Ｅｘ（１）およびＹコイル電圧Ｅｙ（１）の印加を停止させる（ステップＳ１３６）。
【００３８】
次に、コントローラ２０は、各θに対し、磁束密度ＢｘとＢｓｉｎθとの比較を行い、磁束密度ＢｙとＢｃｏｓθとの比較を行う（ステップＳ１３７）。誤差程度の不一致であれば一致と判定してもよい。ステップＳ１３７で「一致」と判定された場合、コントローラ２０は、ＸコイルＥｘをＥｘ（２）としてデータベースＤＢに保存し、Ｙコイル電圧ＥｙをＥｙ（２）としてデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１３８）。ステップＳ１３７で「不一致」と判定された場合、コントローラ２０は、Ｘコイル電圧ＥｘおよびＹコイル電圧Ｅｙを調整する（ステップＳ１３９）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に指示し、Ｘ軸コイル用電源５０ａに、調整されたＸコイル電圧ＥｘをＸ軸コイル４０ａに印加させ、Ｙ軸コイル用電源５０ｂに、調整されたＹコイル電圧ＥｙをＹ軸コイル４０ｂに印加させる（ステップＳ１４０）。
【００３９】
次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果を用いてＸ軸方向の磁束密度ＢｘおよびＹ軸方向の磁束密度Ｂｙを測定する（ステップＳ１４１）。次に、コントローラ２０は、各θに関連付けて磁束密度Ｂｘおよび磁束密度ＢｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１４２）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧ＥｘおよびＹコイル電圧Ｅｙの印加を停止させる（ステップＳ１４３）。その後、ステップＳ１３７が再度実行される。
【００４０】
再度図３を参照し、コントローラ２０は、印加応力に基づいた所望の歪みの入力を受け付ける（ステップＳ１５）。ここで、所望の歪みとは、（印加応力／磁性試料１０のヤング率）のことである。次に、コントローラ２０は、データベースＤＢを参照し、磁束密度に応じて磁歪の引き当てを行う（ステップＳ１６）。次に、コントローラ２０は、所望の歪みと磁歪とに基づいたピエゾ歪みを算出する（ステップＳ１７）。ここで、ピエゾ歪みとは、所望の歪みから磁歪を差し引いた値のことである。次に、コントローラ２０は、データベースＤＢを参照し、ピエゾ歪に応じたピエゾ駆動電圧の引き当てを行う（ステップＳ１８）。
【００４１】
図８は、ステップＳ１５〜ステップＳ１８の詳細を例示するフローチャートである。図８で例示するように、コントローラ２０は、Ｘ軸方向の所望の歪みおよびＹ軸方向の所望の歪みの入力を受け付ける（ステップＳ１４４）。次に、コントローラ２０は、データベースＤＢから、磁束密度ＢｘとＸ軸方向の磁歪λｘとの関係および磁束密度ＢｙとＹ軸方向の磁歪λｙとの関係を読み込む（ステップＳ１４５）。磁束密度Ｂｘと磁歪λｘとの関係および磁束密度Ｂｙと磁歪λｙとの関係は、磁性試料１０を用いて予め測定しておくことができる。さらに、コントローラ２０は、データベースＤＢから、Ｘ軸方向のピエゾ駆動電圧Ｖｘとピエゾ歪みεｘとの関係およびＹ軸方向のピエゾ駆動電圧Ｖｙとピエゾ歪みεｙとの関係を読み込む（ステップＳ１４６）。ピエゾ駆動電圧Ｖｘとピエゾ歪みεｘとの関係およびピエゾ駆動電圧Ｖｙとピエゾ歪みεｙとの関係は、磁性試料１０を用いて予め測定しておくことができる。
【００４２】
次に、コントローラ２０は、Ｂｘ＝Ｂｓｉｎθに応じた磁歪λｘおよびＢｙ＝Ｂｃｏｓθに応じた磁歪λｙの引き当てを行う（ステップＳ１４７）。次に、コントローラ２０は、Ｂｘ＝Ｂｓｉｎθに応じた磁歪λｘおよびＢｙ＝Ｂｃｏｓθに応じた磁歪λｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１４８）。次に、コントローラ２０は、各θに対し、下記式の計算を行う（ステップＳ１４９）。
εｘ＝Ｘ方向の所望の歪み＋λｘ
εｙ＝Ｙ方向の所望の歪み＋λｙ
ここで、ピエゾ歪みεｘ、εｙ、Ｘ方向の所望の歪み、Ｙ方向の所望の歪み、λｘ、λｙともに符号を含んだ値であり、正値なら伸び（引張り）、負値なら縮み（圧縮）応力である。
【００４３】
次に、コントローラ２０は、各θに関連付けて、ピエゾ歪みεｘおよびピエゾ歪みεｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１５０）。次に、コントローラ２０は、ピエゾ歪みεｘおよびピエゾ歪みεｙに応じたピエゾ駆動電圧Ｖｘおよびピエゾ駆動電圧Ｖｙの引き当てを行う（ステップＳ１５１）。ピエゾ駆動電圧Ｖｘは、Ｘ軸ピエゾ材１３に印加される電圧である。ピエゾ駆動電圧Ｖｙは、Ｙ軸ピエゾ材１４に印加される電圧である。次に、コントローラ２０は、各θに関連付けて、ピエゾ駆動電圧Ｖｘおよびピエゾ駆動電圧ＶｙをＶｘ（０）およびＶｙ（０）として保存する（ステップＳ１５２）。
【００４４】
再度図３を参照し、コントローラ２０は、再調整されたＸコイル電圧の印加、および再調整されたＹコイル電圧の印加を行う（ステップＳ１９）。次に、コントローラ２０は、ピエゾ駆動電圧の印加を行う（ステップＳ２０）。次に、コントローラ２０は、磁束密度の測定を行う（ステップＳ２１）。次に、コントローラ２０は、ピエゾ歪みの測定を行う（ステップＳ２２）。
【００４５】
次に、コントローラ２０は、所望の歪みと実測歪みとの比較を行う（ステップＳ２３）。次に、コントローラ２０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のピエゾ駆動電圧の調整を行う（ステップＳ２４）。次に、コントローラ２０は、測定された磁束密度と基準データとの比較を行う（ステップＳ２５）。次に、コントローラ２０は、Ｘコイル電圧およびＹコイル電圧の最終調整を行う（ステップＳ２６）。
【００４６】
図９および図１０は、ステップＳ１９〜ステップＳ２６の詳細を例示するフローチャートである。図９で例示するように、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧としてＥｘ（２）を入力する。それにより、Ｘ軸コイル用電源５０ａは、Ｘ軸コイル４０ａにＸコイル電圧Ｅｘ＝Ｅｘ（２）を印加する（ステップＳ１５３）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｙコイル電圧としてＥｙ（２）を入力する。それにより、Ｙ軸コイル用電源５０ｂは、Ｙ軸コイル４０ｂにＹコイル電圧Ｅｙ＝Ｅｙ（２）を印加する（ステップＳ１５４）。
【００４７】
次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、ピエゾ駆動電圧としてＶｘ（０）を入力する。それにより、Ｘ軸ピエゾ電源６０ａは、Ｘ軸ピエゾ材１３にピエゾ駆動電圧Ｖｘ＝Ｖｘ（０）を印加する（ステップＳ１５５）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、ピエゾ駆動電圧としてＶｙ（０）を入力する。それにより、Ｙ軸ピエゾ電源６０ｂは、Ｙ軸ピエゾ材１４にピエゾ駆動電圧Ｖｙ＝Ｖｙ（０）を印加する（ステップＳ１５６）。
【００４８】
次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果に応じて、磁束密度Ｂｘおよび磁束密度Ｂｙを測定する（ステップＳ１５７）。次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果に応じて、歪みεｘおよび歪みεｙを測定する（ステップＳ１５８）。次に、コントローラ２０は、各θに関連付けて、磁束密度Ｂｘおよび磁束密度ＢｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１５９）。次に、コントローラ２０は、各θに関連付けて、歪みεｘおよび歪みεｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１６０）。
【００４９】
次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、ピエゾ駆動電圧Ｖｘ（０）の印加を停止させる（ステップＳ１６１）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、ピエゾ駆動電圧Ｖｙ（０）の印加を停止させる（ステップＳ１６２）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧Ｅｘ（２）の印加を停止させる（ステップＳ１６３）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｙコイル電圧Ｅｙ（２）の印加を停止させる（ステップＳ１６４）。
【００５０】
次に、図１０で例示するように、コントローラ２０は、各θに対し、所望の歪みと歪みεｘおよび歪みεｙとが一致しているか否かを判定する（ステップＳ１６５）。誤差程度の不一致であれば一致と判定してもよい。ステップＳ１６５の判定を判定Ａと称する。ステップＳ１６５で「一致」と判定された場合、コントローラ２０は、各θに関連付けて、ピエゾ駆動電圧Ｖｘおよびピエゾ駆動電圧Ｖｙをピエゾ駆動電圧Ｖｘ（１）およびピエゾ駆動電圧Ｖｙ（１）としてデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１６６）。
【００５１】
次に、コントローラ２０は、各θに対し、磁束密度ＢｘとＢｓｉｎθとが一致しかつ磁束密度ＢｙとＢｃｏｓθとが一致するか否かを判定する（ステップＳ１６７）。誤差程度の不一致であれば一致と判定してもよい。ステップＳ１６７の判定を判定Ｂと称する。ステップＳ１６７で「一致」と判定された場合、コントローラ２０は、Ｘコイル電圧Ｅｘ（２）およびＹコイル電圧Ｅｙ（２）をＸコイル電圧Ｅｘ（３）およびＹコイル電圧Ｅｙ（３）としてデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１６８）。次に、コントローラ２０は、判定Ａおよび判定Ｂで不一致の経験があるか否かを判定する（ステップＳ１６９）。ステップＳ１６９で「Ｎｏ」と判定された場合、ステップＳ１６５から再度実行される。この場合、判定Ａおよび判定Ｂの不一致の経験の有無はリセットされる。
【００５２】
ステップＳ１６５で「不一致」と判定された場合、コントローラ２０は、ピエゾ駆動電圧Ｖｘおよびピエゾ駆動電圧Ｖｙを調整する（ステップＳ１７０）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧としてＥｘ（２）を入力する。それにより、Ｘ軸コイル用電源５０ａは、Ｘ軸コイル４０ａにＸコイル電圧Ｅｘ＝Ｅｘ（２）を印加する（ステップＳ１７１）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｙコイル電圧としてＥｙ（２）を入力する。それにより、Ｙ軸コイル用電源５０ｂは、Ｙ軸コイル４０ｂにＹコイル電圧Ｅｙ＝Ｅｙ（２）を印加する（ステップＳ１７２）。
【００５３】
次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、調整されたピエゾ駆動電圧Ｖｘを入力する。それにより、Ｘ軸ピエゾ電源６０ａは、Ｘ軸ピエゾ材１３にピエゾ駆動電圧Ｖｘを印加する（ステップＳ１７３）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、調整されたピエゾ駆動電圧Ｖｙを入力する。それにより、Ｙ軸ピエゾ電源６０ｂは、Ｙ軸ピエゾ材１４にピエゾ駆動電圧Ｖｙを印加する（ステップＳ１７４）。
【００５４】
次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果に応じて、磁束密度Ｂｘおよび磁束密度Ｂｙを測定する（ステップＳ１７５）。次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果に応じて、歪みεｘおよび歪みεｙを測定する（ステップＳ１７６）。次に、コントローラ２０は、各θに関連付けて、磁束密度Ｂｘおよび磁束密度ＢｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１７７）。次に、コントローラ２０は、各θに関連付けて、歪みεｘおよび歪みεｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１７８）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、ピエゾ駆動電圧Ｖｘおよびピエゾ駆動電圧Ｖｙの印加を停止させる（ステップＳ１７９）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧Ｅｘ（２）およびＹコイル電圧Ｅｙ（２）の印加を停止させる（ステップＳ１８０）。その後、ステップＳ１６５が再度実行される。
【００５５】
ステップＳ１６７で「不一致」と判定された場合、コントローラ２０は、Ｘコイル電圧ＥｘおよびＹコイル電圧Ｅｙを調整する（ステップＳ１８１）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、調整されたＸコイル電圧Ｅｘを入力する。それにより、Ｘ軸コイル用電源５０ａは、調整されたＸコイル電圧ＥｘをＸ軸コイル４０ａに入力する（ステップＳ１８２）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、調整されたＹコイル電圧Ｅｙを入力する。それにより、Ｙ軸コイル用電源５０ｂは、調整されたＹコイル電圧ＥｙをＹ軸コイル４０ｂに入力する（ステップＳ１８３）。
【００５６】
次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、ピエゾ駆動電圧Ｖｘ＝Ｖｘ（１）を入力する。それにより、Ｘ軸ピエゾ電源６０ａは、ピエゾ駆動電圧Ｖｘ＝Ｖｘ（１）をＸ軸ピエゾ材１３に印加する（ステップＳ１８４）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、ピエゾ駆動電圧Ｖｙ＝Ｖｙ（１）を入力する。それにより、Ｙ軸ピエゾ電源６０ｂは、ピエゾ駆動電圧Ｖｙ＝Ｖｙ（１）をＹ軸ピエゾ材１４に印加する（ステップＳ１８５）。
【００５７】
次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果に応じて、磁束密度Ｂｘおよび磁束密度Ｂｙを測定する（ステップＳ１８６）。次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果に応じて、歪みεｘおよび歪みεｙを測定する（ステップＳ１８７）。次に、コントローラ２０は、各θに関連付けて、磁束密度Ｂｘおよび磁束密度ＢｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１８８）。次に、コントローラ２０は、各θに関連付けて、歪みεｘおよび歪みεｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１８９）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、ピエゾ駆動電圧Ｖｘ（１）およびピエゾ駆動電圧Ｖｙ（１）の印加を停止させる（ステップＳ１９０）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧ＥｘおよびＹコイル電圧Ｅｙの印加を停止させる（ステップＳ１９１）。その後、ステップＳ１６７が再度実行される。
【００５８】
再度図３を参照し、コントローラ２０は、最終調整されたＸコイル電圧およびＹコイル電圧の印加を行う（ステップＳ２７）。次に、コントローラ２０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に、調整されたピエゾ駆動電圧の印加を行う（ステップＳ２８）。次に、コントローラ２０は、磁界および磁束密度の測定を行う（ステップＳ２９）。次に、コントローラ２０は、磁束密度Ｂｘと磁束密度Ｂｙとの関係および磁界Ｈｘと磁界Ｈｙとの関係をグラフ化する（ステップＳ３０）。
【００５９】
図１１は、ステップＳ２７からステップＳ３０の詳細を表すフローチャートである。図１１で例示するように、コントローラ２０は、図１０のステップＳ１６９で「Ｙｅｓ」と判定されると、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧としてＥｘ（３）を入力する。それにより、Ｘ軸コイル用電源５０ａは、Ｘコイル電圧Ｅｘ＝Ｅｘ（３）をＸ軸コイル４０ａに印加する（ステップＳ１９２）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｙコイル電圧としてＥｙ（３）を入力する。それにより、Ｙ軸コイル用電源５０ｂは、Ｙコイル電圧Ｅｙ＝Ｅｙ（３）をＹ軸コイル４０ｂに印加する（ステップＳ１９３）。
【００６０】
次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、ピエゾ駆動電圧としてＶｘ（１）を入力する。それにより、Ｘ軸ピエゾ電源６０ａは、ピエゾ駆動電圧Ｖｘ＝Ｖｘ（１）をＸ軸ピエゾ材１３に印加する（ステップＳ１９４）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、ピエゾ駆動電圧としてＶｙ（１）を入力する。それにより、Ｙ軸ピエゾ電源６０ｂは、ピエゾ駆動電圧Ｖｙ＝Ｖｙ（１）をＹ軸ピエゾ材１４に印加する（ステップＳ１９５）。
【００６１】
次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果に応じて、磁界Ｈｘおよび磁界Ｈｙを測定する（ステップＳ１９６）。次に、コントローラ２０は、集録器９０の集録結果に応じて、磁束密度Ｂｘおよび磁束密度Ｂｙを測定する（ステップＳ１９７）。次に、コントローラ２０は、各θに関連付けて、磁界Ｈｘおよび磁界ＨｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１９８）。次に、コントローラ２０は、各θに関連付けて、磁束密度Ｂｘおよび磁束密度ＢｙをデータベースＤＢに保存する（ステップＳ１９９）。
【００６２】
次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、ピエゾ駆動電圧Ｖｘ（１）の印加を停止させる（ステップＳ２００）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、ピエゾ駆動電圧Ｖｙ（１）の印加を停止させる（ステップＳ２０１）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｘコイル電圧Ｅｘ（３）の印加を停止させる（ステップＳ２０２）。次に、コントローラ２０は、位相調整器３０に、Ｙコイル電圧Ｅｙ（３）の印加を停止させる（ステップＳ２０３）。次に、コントローラ２０は、θを共有する磁束密度Ｂｘと磁束密度Ｂｙとの関係をグラフ化する（ステップＳ２０４）。次に、コントローラ２０は、θを共有する磁界Ｈｘと磁界Ｈｙとの関係をグラフ化する（ステップＳ２０５）。その後、フローチャートの実行が終了する。
【００６３】
図１２は、各θに関連付けて保存されるデータのテーブル例を表す図である。図１２で例示するように、例えば、θ１、θ２、θ３…に関連付けて、Ｘコイル電圧Ｅｘ、Ｙコイル電圧Ｅｙ、ピエゾ駆動電圧Ｖｘ、ピエゾ駆動電圧Ｖｙなどが格納される。これらのデータは、図３のステップＳ１〜Ｓ２６の処理によって作成される。また、θ１、θ２、θ３…に関連付けて、磁束密度Ｂｘ、磁束密度Ｂｙ，磁界Ｈｘ、磁界Ｈｙなどが測定値として格納される。これらのデータは、図３のステップＳ２９の処理によって作成される。
【００６４】
図１３（ａ）〜図１３（ｅ）は、本実施例に係る手法で行った磁気特性試験の結果を表す図である。図１３（ａ）は、Ｘ軸方向における磁性試料１０の歪みを表す。図１３（ｂ）は、Ｙ軸方向における磁性試料１０の歪みを表す。図１３（ｃ）は、Ｘ軸方向の歪みおよびＹ軸方向の歪みの合成歪みを表す。図１３（ａ）から図１３（ｃ）において、横軸は回転磁界の位相を表し、縦軸は歪み（ｐｐｍ）を表す。実線は、Ｘ軸ピエゾ材１３およびＹ軸ピエゾ材１４を用いなかった場合を表す。点線は、Ｘ軸ピエゾ材１３およびＹ軸ピエゾ材１４を用いて磁歪を軽減した場合を表す。破線は、Ｘ軸ピエゾ材１３およびＹ軸ピエゾ材１４を用いて磁歪キャンセルした（打ち消した）場合を表す。また、回転周波数は、１ｋＨｚである。
【００６５】
図１３（ａ）〜図１３（ｃ）で例示するように、Ｘ軸ピエゾ材１３およびＹ軸ピエゾ材１４を用いなかった場合、磁歪が軽減されないため、歪みが大きくなっている。これに対して、Ｘ軸ピエゾ材１３およびＹ軸ピエゾ材１４を用いて磁歪を軽減することで、歪みが小さくなっている。回転磁界の位相θに同期してピエゾ材を駆動することで、磁歪がキャンセルされている。なお、本実施例においては磁束密度が一定に制御されるため、図１３（ｄ）で例示するように、いずれの場合においても磁束密度の軌跡はほぼ真円に近くなっている。一方で、図１３（ｅ）で例示するように、ピエゾ材を駆動することで、磁界の軌跡は異なるようになる。これは、磁歪を軽減・制御できているからである。
【００６６】
（他の例）
図１４は、コントローラ２０のハードウェア構成を説明するためのブロック図である。図１４で例示するように、コントローラ２０は、ＣＰＵ２０１、ＲＡＭ２０２、記憶装置２０３、インタフェース２０４などを備える。これらの各機器は、バスなどによって接続されている。ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）２０１は、中央演算処理装置である。ＣＰＵ２０１は、１以上のコアを含む。ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）２０２は、ＣＰＵ２０１が実行するプログラム、ＣＰＵ２０１が処理するデータなどを一時的に記憶する揮発性メモリである。記憶装置２０３は、不揮発性記憶装置である。記憶装置２０３として、例えば、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、フラッシュメモリなどのソリッド・ステート・ドライブ（ＳＳＤ）、ハードディスクドライブに駆動されるハードディスクなどを用いることができる。ＣＰＵ２０１が磁気測定プログラムを実行することによって、磁気特性測定装置１００内にコントローラ２０が実現される。または、コントローラ２０は、専用の回路などのハードウェアであってもよい。
【００６７】
上記例では、２軸方向の磁界の印加によって生じる磁性材料の磁歪を軽減するように歪みを付加したが、それに限られない。１軸方向や３軸方向の磁界を印加する場合において、当該磁界の印加によって生じる磁性材料の磁歪を軽減するように磁性材料に歪みを付加することによって、磁歪の影響を軽減して磁気特性を測定することができる。
【００６８】
なお、上記例において、Ｘ軸コイル４０ａおよびＹ軸コイル４０ｂが、磁性材料に磁界を印加する磁界印加装置の一例として機能する。Ｘ軸ピエゾ材１３、Ｙ軸ピエゾ材１４、コントローラ２０および位相調整器３０が、磁界印加装置による磁界の印加によって生じる磁性材料の磁歪を軽減するように磁性材料に歪みを付加する歪み付加装置の一例として機能する。Ｂｘコイル１１、Ｂｙコイル１２、コントローラ２０および集録器９０が、磁性材料に誘起される磁束密度を測定する測定装置の一例として機能する。
【００６９】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【００７０】
１０  磁性試料
１１  Ｂｘコイル
１２  Ｂｙコイル
１３  Ｘ軸ピエゾ材
１４  Ｙ軸ピエゾ材
２０  コントローラ
３０  位相調整器
４０ａ  Ｘ軸コイル
４０ｂ  Ｙ軸コイル
５０ａ  Ｘ軸コイル用電源
５０ｂ  Ｙ軸コイル用電源
６０ａ  Ｘ軸ピエゾ電源
６０ｂ  Ｙ軸ピエゾ電源
７０ａ  Ｘ軸磁界センサ
７０ｂ  Ｙ軸磁界センサ
８０ａ  Ｘ軸歪みセンサ
８０ｂ  Ｙ軸歪みセンサ
９０  集録器
１００  磁気特性測定装置
【図１】
0006464425.tif 000002
【図２】
0006464425.tif 000003
【図３】
0006464425.tif 000004
【図４】
0006464425.tif 000005
【図５】
0006464425.tif 000006
【図６】
0006464425.tif 000007
【図７】
0006464425.tif 000008
【図８】
0006464425.tif 000009
【図９】
0006464425.tif 000010
【図１０】
0006464425.tif 000011
【図１１】
0006464425.tif 000012
【図１２】
0006464425.tif 000013
【図１３】
0006464425.tif 000014
【図１４】
0006464425.tif 000015