(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のダイに分割されているウエハが配置されているウエハシートを把持するグリップリングであり、
前記ウエハシートを把持したときに、前記複数のダイに分割されている前記ウエハを取り囲むように配置されるリング部を備えており、
前記リング部の表面には、円周方向の予め定められた位置に間隔を空けて、前記ウエハの外周に沿うように、複数の第１位置識別情報が付されており、
前記複数の第１位置識別情報のそれぞれは、他の第１位置識別情報と識別可能であり、当該第１位置識別情報が付された円周方向の位置が当該第１位置識別情報から特定可能となっており、前記複数の第１位置識別情報のそれぞれを用いて、前記複数のダイの位置を特定可能となっている、グリップリング。
【請求項２】
前記複数の第１位置識別情報は、周方向に等間隔で配置されている、請求項１に記載のグリップリング。
【請求項３】
複数のダイが配置されているウエハシートを把持する把持部と、前記把持部に前記ウエハシートを把持したときに当該ウエハシートの複数のダイを取り囲むように位置するフレームと、を有するグリップリング本体のフレームに着脱可能に取付けられるアダプタであり、
前記アダプタの表面には、少なくとも周方向の予め定められた位置に間隔を空けて複数の第１位置識別情報が付されており、
前記複数の第１位置識別情報のそれぞれは、他の第１位置識別情報と識別可能であり、当該第１位置識別情報が付された周方向の位置が当該第１位置識別情報から特定可能となっており、
前記把持部に前記ウエハシートが把持された状態で、前記フレームの内側に前記アダプタが配置されると、当該アダプタの内側に前記ウエハシートの複数のダイが配置されるように構成されている、アダプタ。
【請求項４】
複数のダイに分割されているウエハが配置されているウエハシートを把持するグリップリングと、
前記グリップリングと前記ダイを撮像するカメラと、を備えており、
前記グリップリングは、前記ウエハシートを把持したときに、前記複数のダイを取り囲むように配置されるリング部を備えており、
前記リング部の表面には、円周方向の予め定められた位置に間隔を空けて、前記ウエハの外周に沿うように、複数の第１位置識別情報が付されており、
前記複数の第１位置識別情報のそれぞれは、他の第１位置識別情報と識別可能であり、当該第１位置識別情報が付された円周方向の位置が当該第１位置識別情報から特定可能となっており、前記複数の第１位置識別情報のそれぞれを用いて、前記複数のダイの位置を特定可能となっている、ダイ位置特定装置。
【請求項５】
前記カメラは、当該カメラで撮像される画像内に前記複数のダイの中の少なくとも１つのダイと、前記リング部の表面に付された前記第１位置識別情報の少なくとも１つとを同時に撮像可能とされている、請求項４に記載のダイ位置特定装置。
【請求項６】
前記ウエハシートに配置されている前記複数のダイの中から１つのダイが選択されたときに、前記カメラで撮像された画像から前記選択されたダイの位置を特定する演算装置をさらに備えている、請求項４または５に記載のダイ位置特定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書に開示する技術は、複数のダイが配置されているウエハシートを把持するグリップリングに関する。詳しくは、グリップリングに把持されたウエハシートに配置されているダイの位置を特定するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、複数のチップが貼着された粘着シートを固定するグリップリングが開示されている。グリップリングは、引き伸ばされた状態の粘着シートを固定している。これにより、粘着シート上に貼着されている複数のチップは、互いに間隔を有した状態で配置され、その周囲がグリップリングにより取り囲まれている。このグリップリングでは、グリップリングの外周の一箇所に凹部が設けられている。この凹部を位置決めピンに嵌合させることで、グリップリングとリング治具板の位置決めを実行している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−３４４３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、グリップリングに固定された粘着シート上の複数のチップのそれぞれは、ピッアップ装置等で吸着され、吸着されたチップが基板に実装される。粘着シートからチップをピックアップするには、粘着シート上のチップの位置を特定しなければならない。このためには、グリップリングに対する各チップの位置を特定しなければならない。しかしながら、特許文献１のグリップリングでは、リング治具板との位置決めについては考慮されているが、チップの位置（グリップリングに対する相対的位置）を特定することまでは考慮されていない。すなわち、特許文献１のグリップリングでは、その外周に凹部が設けられているため、この凹部を利用してチップの位置を特定することが考えられる。しかしながら、特許文献１のグリップリングでは、凹部が円周方向の１箇所にだけ設けられている。このため、凹部から離れた位置にあるチップの位置を特定したい場合、チップと凹部とを同時にカメラで撮像することができず、凹部に対するチップの位置を特定することはできない。すなわち、特許文献１のグリップリングでは、凹部近傍のチップの位置は特定できるものの、凹部から離れた位置にあるチップの位置を特定することはできない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本明細書に開示するグリップリングは、複数のダイが配置されているウエハシートを把持する。グリップリングは、ウエハシートを把持したときに、複数のダイを取り囲むように配置されるリング部を備えている。リング部の表面には、周方向の予め定められた位置に間隔を空けて複数の第１位置識別情報が付されており、複数の第１位置識別情報のそれぞれは、他の第１位置識別情報と識別可能であり、当該第１識別情報が付された周方向の位置が当該識別情報から特定可能となっている。
【０００６】
上記のグリップリングでは、リング部の表面の周方向の予め定められた位置に間隔を空けて複数の第１識別情報が付されている。そして、複数の第１識別情報のそれぞれは、他の第１識別情報と識別可能となっている。このため、リング部の表面に付された複数の第１識別情報のそれぞれを利用して、その第１識別情報が付されているリング部の周方向の位置を特定することができる。この結果、複数の第１識別情報のそれぞれを用いて、リング部に取り囲まれている複数のダイ（すなわち、各第１識別情報の近傍に位置するダイ）の位置を特定することができる。したがって、特許文献１の技術と比較して、数多くのダイの位置を特定することが可能となる。
【０００７】
また、本明細書は、ウエハシートを把持するグリップリング本体に着脱可能に取付けられるアダプタを開示する。アダプタが取付けられるグリップリング本体は、複数のダイが配置されているウエハシートを把持する把持部と、把持部にウエハシートを把持したときに当該ウエハシートの複数のダイを取り囲むように位置するフレームと、を有している。アダプタは、グリップリング本体のフレームに着脱可能に取付けられる。アダプタの表面には、少なくとも周方向の予め定められた位置に間隔を空けて複数の第１位置識別情報が付されている。複数の第１位置識別情報のそれぞれは、他の第１位置識別情報と識別可能であり、当該第１識別情報が付された周方向の位置が当該識別情報から特定可能となっている。把持部にウエハシートが把持された状態で、フレームの内側にアダプタが配置されると、当該アダプタの内側にウエハシートの複数のダイが配置されるように構成されている。このアダプタによっても、アダプタをグリップリング本体に取付けることで、アダプタの表面に付された第１識別情報を利用して、各第１識別情報の近傍に位置するダイの位置を特定することができる。
【０００８】
さらに、本明細書は、グリップリングに把持されたウエハシート上のダイの位置を特定するダイ位置特定装置を開示する。ダイ位置特定装置は、複数のダイが配置されているウエハシートを把持するグリップリングと、グリップリングとダイを撮像するカメラと、を備えている。グリップリングは、ウエハシートを把持したときに、複数のダイを取り囲むように配置されるリング部を備えている。リング部の表面には、周方向の予め定められた位置に複数の第１位置識別情報が付されている。複数の第１位置識別情報のそれぞれは、他の第１位置識別情報と識別可能であり、当該第１識別情報が付された周方向の位置が当該識別情報から特定可能となっている。このような構成によると、画像から特定されるダイと第１識別情報の相対的な位置情報と、第１識別情報から特定される当該第１識別情報の周方向の位置とから、リング部に取り囲まれている複数のダイの位置を特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】部品実装機の構成を模式的に表す側面図である。
【図２】第１実施例のウエハフレームの上面図である。
【図３】第１実施例のカメラによる画像である。
【図４】部品実装機の制御系の構成を表すブロック図である。
【図５】ティーチング処理のフローチャートを示す図である。
【図６】第２実施例のウエハフレームの上面図である。
【図７】図６の破線VII−VIIの断面図である。
【図８】第２実施例のカメラによる画像である。
【図９】第３実施例のウエハフレームの上面図である。
【図１０】第３実施例のティーチング処理のフローチャートを示す図である。
【図１１】第３実施例のカメラによる画像である。
【図１２】第３実施例のカメラによる画像である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。
【００１１】
（特徴１）複数の第１位置識別情報は、周方向に等間隔で配置されていてもよい。このような構成によると、複数の第１識別情報の中の１つの第１識別情報の円周方向の位置を特定することで、他の第１識別情報の位置を特定することができる。
【００１２】
（特徴２）ダイ位置特定装置のカメラは、当該カメラで撮像される画像内に前記複数のダイの中の少なくとも１つのダイと、前記リング部の表面に付された第１識別情報の少なくとも１つとを同時に撮像可能とされていてもよい。このような構成によると、第１識別情報と同一の画像内に位置するダイの位置を特定するのに要する時間を短縮することができる。
【００１３】
（特徴３）ダイ位置特定装置は、ウエハシートに配置されている複数のダイの中から１つのダイが選択されたときに、カメラで撮像された画像から選択されたダイの位置を特定する演算装置を備えていてもよい。カメラで撮像された画像内には、選択されたダイと少なくとも１つの第１識別情報が含まれている。第１識別情報の周方向の位置は、第１識別情報自身によって特定することができる。このため、演算装置は、画像内の第１識別情報を用いて、選択されたダイの位置を特定することができる。
【００１４】
（第１実施例）
以下、第１実施例に係る部品実装機１０について説明する。図１に示すように、部品実装機１０は、モジュール２０と、モジュール２０の前方部（図面Ｙ軸の負方向側）に配置されるウエハ供給装置４０と、モジュール２０とウエハ供給装置４０を制御する制御装置１２０で構成されている。なお、部品実装機１０は、「ダイ位置特定装置」の一例である。
【００１５】
モジュール２０は、カメラ２２と、移載ヘッド２４と、カメラ２２及び移載ヘッド２４を移動させる移動装置２８と、基板コンベア３０と、操作パネル３２を備える。
【００１６】
移動装置２８は、ウエハ供給パレット１００の上方と回路基板２の上方との間でカメラ２２及び移載ヘッド２４を移動させる。移動装置２８は、移動ベース２８ａをＸ方向及びＹ方向に移動させるＸＹロボットである。移動装置２８は、移動ベース２８ａを案内するガイドレールや、移動ベース２８ａをガイドレールに沿って移動させる移動機構や、その移動機構を駆動するモータ等によって構成されている。移動装置２８は、回路基板２の上方に配置されている。移動ベース２８ａに対してカメラ２２及び移載ヘッド２４が取付けられている。カメラ２２及び移載ヘッド２４は、移動装置２８によってウエハ供給パレット１００の上方から回路基板２の上方の間を移動する。
【００１７】
移載ヘッド２４は、ダイ１０８を吸着する吸着ノズル２６を備えている。吸着ノズル２６は、移載ヘッド２４に対して着脱可能とされている。吸着ノズル２６は、Ｚ方向（図面上下方向）に移動可能に移載ヘッド２４に取り付けられている。吸着ノズル２６は、移載ヘッド２４に収容されたアクチュエータ（図示省略）によって上下方向に昇降されると共に、ダイ１０８を吸着可能に構成されている。ウエハフレーム１０２上に配置されているダイ１０８を回路基板２に実装するには、まず、ダイ１０８に吸着ノズル２６の吸着面（下面）が当接するまで、吸着ノズル２６を下方に移動させる。次いで、吸着ノズル２６にダイ１０８を吸着し、吸着ノズル２６を上方に移動させる。次いで、移動装置２８により移載ヘッド２４を回路基板２に対して位置決めする。次いで、吸着ノズル２６を回路基板２に向かって下降させることで、回路基板２にダイ１０８を実装する。
【００１８】
カメラ２２は、移動ベース２８ａに取り付けられている。カメラ２２は、吸着ノズル２６に吸着される前のダイ１０８を上方から撮像する。カメラ２２により撮像される画像２２ｂは、制御装置１２０を介して管理装置１５０（図４に図示）に送信される。
【００１９】
基板コンベア３０は、回路基板２のモジュール２０への搬入、モジュール２０への位置決め、及びモジュール２０からの搬出を行う装置である。基板コンベア３０は、例えば、一対のベルトコンベアと、ベルトコンベアに取り付けられると共に回路基板２を下方から支持する支持装置（図示省略）と、ベルトコンベアを駆動する駆動装置（図示省略）により構成することができる。操作パネル３２は、作業者の指示を受け付ける入力装置であると共に、作業者に対して各種の情報を表示する表示装置でもある。
【００２０】
ウエハ供給装置４０は、モジュール２０の前方部（図面Ｙ軸の負方向側）に配置されている。ウエハ供給装置４０は、補給部５０とウエハ供給部６０を備えている。補給部５０は、マガジン５２と、昇降機構５８を備えている。マガジン５２は、ウエハ供給パレット１００を収容する複数のパレット収容部５４を備えている。複数のパレット収容部５４は、高さ方向（図面Ｚ方向）に積層されている。補給部５０は、パレット収容部５４に収容されているウエハ供給パレット１００を、ウエハ供給部６０に供給する。
【００２１】
昇降機構５８は、昇降機構５８の上面に配置されたマガジン５２を上下に昇降し、マガジン５２を任意の高さで停止可能とされている。昇降機構５８は、公知のウエハ供給装置４０に装備されている機構を用いることができ、例えば、ボールねじと、ボールねじを回転させるモータなどで構成される。昇降機構５８によってパレット収容部５４があらかじめ設定された取り出し位置に位置決めされると、パレット収容部５４から搬出口５６を通って、ウエハ供給部６０にウエハ供給パレット１００を搬出することができる。
【００２２】
ウエハ供給部６０は、ウエハフレーム支持部６２を備えている。ウエハフレーム支持部６２は、移動ベース２８ａの下方に配置されている。ウエハフレーム支持部６２には、パレット収容部５４に収容されているウエハ供給パレット１００が搬送される。ウエハ供給パレット１００は、ロボット６４（図４に図示）によって、パレット収容部５４からウエハフレーム支持部６２に搬送される。
【００２３】
パレット収容部５４に収容されているウエハ供給パレット１００について、図２を用いて説明する。ウエハ供給パレット１００は、ウエハフレーム１０２と、ウエハシート１０４と、ウエハ１０６と、円環状のグリップリング１１０を備えている。ウエハフレーム１０２の上面には、ウエハシート１０４が配置されている。ウエハシート１０４の上面は粘着性を有しており、その上面には、ウエハ１０６が貼着されている。ウエハ１０６は、ダイシングされており、複数のダイ１０８に分割されている。
【００２４】
グリップリング１１０は、ウエハシート１０４を把持する把持部１１２と、ウエハシート１０４の上面に配置されているウエハ１０６を取り囲む円環状のリング部１１４を有する。グリップリング１１０の把持部１１２は、水平方向に伸張された状態のウエハシート１０４を把持している。このため、ダイシングされている複数のダイ１０８は、互いにダイシング幅より広い間隔を有した状態でウエハシート１０４の上面に配置される。把持部１１２のウエハシート１０４を把持する機構は、従来と同様の構成を採ることができる。
【００２５】
リング部１１４の上面には、リング部１１４の円周方向の予め定められた位置に間隔を空けて複数の第１識別情報１１６が付されている。複数の第１識別情報１１６は、リング部１１４の円周方向に等間隔で配置されている。複数の第１識別情報１１６のそれぞれは、他の第１識別情報１１６と識別可能なように構成されている。例えば、本実施例では、複数のアルファベット（図２のＡ〜Ｚ）と複数の数字（図２の１〜１０）が複数の第１識別情報１１６として付されている。これにより、作業者は、複数の第１識別情報１１６のそれぞれが付されているリング部１１４の円周方向の位置を特定することができる。リング部１１４の上面に付される第１識別情報１１６の数は、任意に設定することができる。なお、グリップリング１１０とウエハフレーム１０２とは、予め設定された位置関係で位置決めされるようになっている。このため、ウエハフレーム１０２に対する複数の第１識別情報１１６のそれぞれの位置も予め設定されていることとなる。
【００２６】
制御装置１２０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えたコンピュータで構成されている。図４に示すように、制御装置１２０には、モジュール２０（詳細には、移載ヘッド２４、移動装置２８、カメラ２２、操作パネル３２）と、ウエハ供給装置４０（詳細には、昇降機構５８と、ロボット６４）が通信可能に接続されている。制御装置１２０は、モジュール２０の各部（２４、２８、２２、３２等）を制御することでダイ１０８の回路基板２への実装を行う（実装処理）。また、制御装置１２０は、ウエハ供給装置４０の各部（５８、６４等）を制御することで、所定のウエハフレーム１０２を、パレット収容部５４からウエハフレーム支持部６２に搬送する（搬送処理）。
【００２７】
また、制御装置１２０には、記憶装置１３０と管理装置１５０が通信可能に接続されている。記憶装置１３０は、部品実装機１０の動作を制御するためのプログラムと、複数の第１識別情報１１６のそれぞれの位置情報ｐ１〜ｐ３６と、複数のダイ１０８のうち最初に吸着するダイ１０８（以下、第１吸着ダイ１０８ａとする）に対応する第１識別情報１１６（以下、第１吸着情報とする）と、後述する作業者によりティーチングされた第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｑを記憶する。第１吸着情報とは、複数の第１識別情報１１６のうち、第１吸着ダイ１０８ａからの距離が最も短い第１識別情報１１６についての情報である。例えば、図３の場合、第１吸着情報は第１吸着ダイ１０８ａに最も近い”Ｊ”である。記憶装置１３０には、ウエハ供給パレット１００の種類毎（すなわち、部品の種類毎）に第１吸着情報が記憶されている。第１吸着情報は、ウエハ供給パレット１００をマガジン５２にセットする際に、作業者により設定される。なお、ウエハ供給パレット１００の種類が同一であっても、製造ロット等が異なる場合には、新たに第１吸着情報が設定され、第１吸着ダイ１０８ａの位置をティーチングするティーチング処理が行われる。制御装置１２０は、記憶装置１３０に記憶されるプログラムに基づいて、部品実装機１０の各部（２０、４０）を制御する。また、制御装置１２０は、カメラ２２により取得された画像２２ｂを、管理装置１５０に送信する。
【００２８】
管理装置１５０は、制御装置１６０を備えている。制御装置１６０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えたコンピュータで構成されている。制御装置１６０は、制御装置１２０から送信される画像２２ｂを表示する表示部（図示省略）を備えている。制御装置１６０は、作業者により入力される種々の情報を、制御装置１２０に送信する。種々の情報とは、例えば、第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｑである。
【００２９】
部品実装機１０は、制御装置１２０により各部（２０、４０）を動作することで、ウエハフレーム支持部６２に配置されているウエハフレーム１０２上の複数のダイ１０８を、回路基板２に実装するように構成されている。第１実施例において、第１吸着ダイ１０８ａの位置については、作業者がティーチングするように構成されている。２番目以降のダイ１０８については、記憶装置１３０に記憶されるプログラムに基づいて、実装処理が実行される。
【００３０】
次に、第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｑをティーチングにより特定するティーチング処理について、図２、図３、図５を用いて説明する。第１吸着情報として、複数の第１識別情報１１６の中の“Ｊ”を指定する場合について説明する。より具体的には、第１識別情報１１６として“Ｊ”が付された位置の近傍のダイ１０８ａを「第１吸着ダイ」として指定する場合を例として説明する。ティーチング処理は、作業者によってウエハ供給装置４０に供給されるウエハ供給パレット１００の製造ロッドが変更された場合などに実行される。ティーチング処理は、作業者が、操作パネル３２を介して制御装置１２０にティーチング処理開始信号を入力することで開始される。なお、ティーチング処理開始信号の入力は、管理装置１５０を介して実行されてもよい。
【００３１】
まず、ステップＳ１２において、制御装置１２０は、ティーチング処理開始信号を受信すると、制御装置１２０は、記憶装置１３０に記憶されている第１吸着情報（“Ｊ”）に基づいて、移動ベース２８ａを動作させ、カメラ２２の撮像領域２２ａを調整する（ステップＳ１４）。具体的には、制御装置１２０は、撮像領域２２ａ内に、第１吸着情報（“Ｊ”）及び第１吸着情報（“Ｊ”）の近傍のダイ１０８が含まれるように、カメラ２２の位置を調整する（図２参照）。次いで、ステップＳ１６において、制御装置１２０は、カメラ２２を動作させ、画像２２ｂを取得する。これによって、図３に示す画像２２ｂがカメラ２２で撮像され、カメラ２２で撮像された画像２２ｂが制御装置１２０に入力される。次いで、ステップＳ１８において、制御装置１２０は、管理装置１５０に画像２２ｂを送信する。管理装置１５０は、制御装置１２０から受信した画像２２ｂを管理装置１５０の表示部に表示させる（図３）。これにより、作業者は、カメラ２２で撮像された画像２２ｂを確認することができる。作業者は、表示部に表示される画像２２ｂ内に含まれる第１識別情報１１６により、カメラ２２の撮像領域２２ａが適切な領域であることを確認することができる。次いで、作業者は、画像２２ｂ上の複数のダイ１０８の中から第１吸着ダイ１０８ａをポインティングデバイス等で選択する。管理装置１５０は、第１吸着ダイ１０８ａが選択されると、その選択した第１吸着ダイ１０８ａの画像２２ｂ内の位置を特定する。次いで、管理装置１５０は、制御装置１２０に対して、第１吸着ダイ１０８ａの画像２２ｂ上の位置を示す位置情報ｒ１（画像内の座標値（ｒ１ｘ、ｒ１ｙ））を送信する。
【００３２】
次いで、ステップＳ２０において、制御装置１２０は、管理装置１５０から送信された第１吸着ダイ１０８ａの画像２２ｂ上の位置情報ｒ１を受信する。次いで、ステップＳ２２において、制御装置１２０は、第１吸着情報（“Ｊ”）に対する第１吸着ダイ１０８ａの相対位置情報ｒ３を算出する。具体的には、制御装置１２０は、画像認識処理を行うことで、画像２２ｂ上の第１吸着情報（“Ｊ”）の位置情報ｒ２（画像内の座標値（ｒ２ｘ、ｒ２ｙ））を特定することができるように構成されている。このため、制御装置１２０は、位置情報ｒ１（画像内の座標値（ｒ１ｘ、ｒ１ｙ））と位置情報ｒ２（画像内の座標値（ｒ２ｘ、ｒ２ｙ））に基づいて、相対位置情報ｒ３（（ｒ１ｘ−ｒ２ｘ、ｒ１ｙ−ｒ２ｙ））を算出する。次いで、ステップＳ２４において、制御装置１２０は、第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｑを算出する。具体的には、制御装置１２０は、記憶装置１３０に記憶されている第１吸着情報（“Ｊ”）の位置情報ｐ１０と相対位置情報ｒ３に基づいて、第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｑを算出する。即ち、制御装置１２０は、第１吸着ダイ１０８ａがウエハ供給パレット１００のどの位置にあるかを特定する。これにより、第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｑのティーチング処理は終了する。なお、算出された位置情報ｑは、記憶装置１３０に記憶される。
【００３３】
次に、ウエハ供給装置４０から供給されるウエハ供給パレット１００のダイ１０８を、回路基板２に実装する処理について説明する。ウエハ供給パレット１００の複数のダイ１０８は、第１吸着ダイ１０８ａから順に回路基板２に実装される。すなわち、制御装置１２０は、昇降機構５８を動作させ、所定のウエハ供給パレット１００が収容されているパレット収容部５４の高さと、搬出口５６の高さを一致させる。次いで、制御装置１２０は、ロボット６４を動作させて、パレット収容部５４に収容されているウエハ供給パレット１００を、ウエハフレーム支持部６２の予め定められた位置（ダイ供給位置）に搬送する。なお、吸着ノズル２６がダイ１０８を吸着する前、移動ベース２４ａは、部品実装機１０の前方部に配置されている。このため、ロボット６４により搬送されたウエハ供給パレット１００は、カメラ２２及び移載ヘッド２４の下方に位置するようになる。
【００３４】
次いで、制御装置１２０は、上述のティーチング処理で特定した第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｑに基づいて移動ベース２８ａを動作させ、吸着ノズル２６の位置を調整する。これにより、吸着ノズル２６は、第１吸着ダイ１０８ａの上方に位置するようになる。次いで、制御装置１２０は、吸着ノズル２６を動作させ、第１吸着ダイ１０８ａを吸着する。次いで、制御装置１２０は、移動ベース２８ａを動作させ、吸着ノズル２６を回路基板２に対して位置決めし、第１吸着ダイ１０８ａを回路基板２に実装する。第１吸着ダイ１０８ａが回路基板２に実装されると、２番目に実装するダイ１０８を回路基板２に実装する。すなわち、第１吸着ダイ１０８ａの位置が特定されているため、第１吸着ダイ１０８ａに隣接する２番目のダイ１０８の位置も特定できる。このため、制御装置１２０は、２番目に吸着するダイ１０８を吸着し、回路基板２に実装する。以下、ウエハ供給パレット１００の複数のダイ１０８が、順番に回路基板２に実装される。
【００３５】
上記のように、第１実施例のグリップリング１１０のリング部１１４の上面には、複数の第１識別情報１１６が付されている。複数の第１識別情報１１６のそれぞれは、他の第１識別情報１１６と識別可能である。このため、制御装置１２０は、記憶装置１３０に記憶される第１吸着情報に基づいて、カメラ２２の撮像領域２２ａを調整することができる（例えば、図３）。作業者は、管理装置１５０の表示部に表示される画像２２ｂ上の第１識別情報１１６により、撮像領域２２ａが適切な領域であることを確認することができる。また、作業者は、表示部に表示される画像２２ｂ上で第１吸着ダイ１０８ａを選択し、これによって、制御装置１２０には、第１吸着ダイ１０８ａの画像２２ｂ上の位置情報ｒ１が送信される。これにより、制御装置１２０は、第１吸着情報（“Ｊ”）の位置情報ｐ１０と第１吸着情報（“Ｊ”）に対する第１吸着ダイ１０８ａの相対位置情報ｒ３に基づいて、第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｑを特定することができる。
【００３６】
（第２実施例）
図６〜図８を用いて、第１実施例と異なる点を説明する。なお、以下では、実施例間で共通する構成については、同じ符号を付して説明を省略する。図６では、分かり易さを優先するため、グリップリング２１０の内周と外周を２点鎖線で記載している。第２実施例は、パレット収容部５４に収容されているウエハ供給パレット２００が、第１実施例のウエハ供給パレット１００と異なる。
【００３７】
ウエハ供給パレット２００は、ウエハフレーム１０２と、ウエハシート１０４と、ウエハ１０６と、円環状のグリップリング２１０と、円環状のアダプタ２２０を備えている。グリップリング２１０は、ウエハシート１０４を把持する把持部２１２と、ウエハ１０６を取り囲む円環状のフレーム２１４を有する。グリップリング２１０の把持部２１２は、水平方向に伸張された状態のウエハシート１０４を把持している。このため、ダイシングされている複数のダイ１０８は、互いに間隔を有した状態でウエハシート１０４の上面に配置される。
【００３８】
アダプタ２２０は、グリップリング２１０に着脱可能に取り付けられ、フレーム２１４の上面及び外周を覆っている。アダプタ２２０の内径Ｄ１は、グリップリング２１０の内径Ｄ２よりも小さい。アダプタ２２０の上面には、少なくともアダプタ２２０の内径Ｄ１と内径Ｄ２との間の領域（以下、第１識別情報付与領域２２２とする）に、複数の第１識別情報２２４が付されている。複数の第１識別情報２２４は、アダプタ２２０の円周方向に等間隔で配置されている。なお、図６に示すように、複数の第１識別情報２２４は、アダプタ２２０の同一円周上に配置されているが、このような形態に限られず、交互に径方向にずれて配置されていてもよい。径方向にずらして配置することにより、第１識別情報付与領域２２２により多くの第１識別情報を付すことができる。複数の第１識別情報２２４のそれぞれは、他の第１識別情報２２４と識別可能に構成されている。例えば、第２実施例では、複数のアルファベットと複数の数字が複数の第１識別情報２２４として付されている。これにより、複数の第１識別情報２２４のそれぞれが付されているアダプタ２２０の円周方向の位置を特定することができる。アダプタ２２０の上面に付される第１識別情報２２４の数は、任意に設定することができる。
【００３９】
記憶装置１３０は、第１吸着情報を記憶している。第１吸着情報とは、複数の第１識別情報２２４のうち、第１吸着ダイ１０８ａからの距離が最も短い第１識別情報２２４についての情報である。例えば、図８の場合、第１吸着情報は”ｊ”である。
【００４０】
第２実施例においても、第１吸着ダイ１０８ａの位置については、作業者がティーチングするように構成されている。ティーチング処理に要する時間を短縮するには、第１識別情報２２４と第１吸着ダイ１０８ａを同時に撮像することが好ましい。しかしながら、ウエハ１０６とグリップリング２１０とが離れている場合、カメラ２２の撮像領域２２ａに、第１吸着ダイ１０８ａと第１識別情報２２４を同時に収めることはできない。すなわち、第１吸着ダイ１０８ａからグリップリング２１０までの距離が、撮像領域２２ａのサイズよりも長いためである。そこで、本実施例では、グリップリング２１０にアダプタ２２０が取付けられている。グリップリング２１０のアダプタ２２０が取付けられると、第１吸着ダイ１０８ａとアダプタ２２０上の第１識別情報２２４の距離を近づけることができる。これにより、画像２２ｂに、第１吸着ダイ１０８ａと第１識別情報２２４を同時に収めることができるようになる（例えば、図８）。このような構成によると、作業者は、第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｒ１を、制御装置１２０に送信できるようになる。これにより、制御装置１２０は、第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｑを算出することができ、第１吸着ダイ１０８ａの位置を特定することができる。
【００４１】
（第３実施例）
図９〜図１２を用いて、第１実施例と異なる点を説明する。なお、以下では、実施例間で共通する構成については、同じ符号を付して説明を省略する。第３実施例は、パレット収容部５４に収容されているウエハ供給パレット３００が、第１実施例のウエハ供給パレット１００と異なる。具体的には、第３実施例のウエハ３０６のサイズが、第１実施例のウエハ１０６のサイズよりも小さい。このため、ウエハ３０６とグリップリング１１０が離れており、カメラ２２を用いて、ダイ１０８と第１識別情報１１６を同時に撮像することができない。
【００４２】
第３実施例のティーチング処理について説明する。第１吸着情報として、複数の第１識別情報１１６の中の“Ｊ”を指定する場合について説明する。より具体的には、第１識別情報１１６として“Ｊ”が付された位置の近傍のダイ１０８ａを「第１吸着ダイ」として指定する場合を例として説明する。ティーチング処理は、作業者が、操作パネル３２を介して制御装置１２０にティーチング処理開始信号を入力することで開始される。
【００４３】
まず、ステップＳ１１２において、制御装置１２０は、ティーチング処理開始信号を受信すると、記憶装置１３０に記憶されている第１吸着情報（“Ｊ”）に基づいて、移動ベース２８ａを動作させ、カメラ２２の撮像領域２２ａを調整する（ステップＳ１１４）。具体的には、制御装置１２０は、撮像領域２２ａ内に、第１吸着情報（“Ｊ”）が含まれるように、カメラ２２の位置を調整する（図１１参照）。次いで、ステップＳ１１６において、制御装置１２０は、カメラ２２を動作させ、画像２２ｂを取得する。これによって、図１１に示す画像２２ｂがカメラ２２で撮像され、カメラ２２で撮像された画像２２ｂが制御装置１２０に入力される。次いで、ステップＳ１１８において、制御装置１２０は、画像２２ｂ上の第１吸着情報（“Ｊ”）の位置情報ｒ２（画像内の座標値（ｒ２ｘ、ｒ２ｙ））を特定し、記憶装置１３０に記憶する。次いで、ステップＳ１２０において、制御装置１２０は、移動ベース２８ａを動作させ、カメラ２２の撮像領域２２ａを調整し、第１吸着情報（“Ｊ”）の近傍に配置されている複数のダイ１０８を撮像する。第１吸着ダイ１０８ａは、第１吸着情報（“Ｊ”）の近傍に配置されている。このため、第１吸着情報（“Ｊ”）の近傍に配置されている複数のダイ１０８を撮像することで、カメラ２２は、第１吸着ダイ１０８ａを撮像することができる（図１２参照）。このとき、制御装置１２０は、ステップＳ１２０におけるカメラ２２の移動距離ｄ（移動距離の座標換算値（ｄ１ｘ、ｄ１ｙ））を記憶装置１３０に記憶する。次いで、ステップＳ１２２において、制御装置１２０は、カメラ２２を動作させ、画像２２ｂを取得する。次いで、ステップＳ１２４において、制御装置１２０は、管理装置１５０に画像２２ｂを送信する。管理装置１５０は、制御装置１２０から受信した画像２２ｂを管理装置１５０の表示部に表示させる（図１２）。これにより、作業者は、カメラ２２で撮像された画像２２ｂを確認することができる。作業者は、画像２２ｂ上の複数のダイ１０８の中から第１吸着ダイ１０８ａをポインティングデバイス等で選択する。管理装置１５０は、第１吸着ダイ１０８ａが選択されると、その選択した第１吸着ダイ１０８ａの画像２２ｂ内の位置を特定する。次いで、管理装置１５０は、制御装置１２０に対して、第１吸着ダイ１０８ａの画像２２ｂ上の位置を示す位置情報ｒ１（画像内の座標値（ｒ１ｘ、ｒ１ｙ））を送信する。
【００４４】
次いで、ステップＳ１２６において、制御装置１２０は、管理装置１５０から送信された第１吸着ダイ１０８ａの画像２２ｂ上の位置情報ｒ１を受信する。次いで、ステップＳ１２８において、制御装置１２０は、第１吸着情報（“Ｊ”）に対する第１吸着ダイ１０８ａの相対位置情報ｒ３を算出する。制御装置１２０は、位置情報ｒ１（画像内の座標値（ｒ１ｘ、ｒ１ｙ））と位置情報ｒ２（画像内の座標値（ｒ２ｘ、ｒ２ｙ））と移動距離ｄ（移動距離の座標換算値（ｄ１ｘ、ｄ１ｙ））に基づいて、相対位置情報ｒ３（（ｒ１ｘ−ｒ２ｘ＋ｄ１ｘ、ｒ１ｙ−ｒ２ｙ＋ｄ１ｙ））を算出する。次いで、ステップＳ１３０において、制御装置１２０は、第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｑを算出する。具体的には、制御装置１２０は、記憶装置１３０に記憶されている第１吸着情報（“Ｊ”）の位置情報ｐ１０と相対位置情報ｒ３に基づいて、第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｑを算出する。即ち、制御装置１２０は、第１吸着ダイ１０８ａがウエハ供給パレット３００のどの位置にあるかを特定する。これにより、第１吸着ダイ１０８ａの位置情報ｑのティーチング処理は終了する。なお、算出された位置情報ｑは、記憶装置１３０に記憶される。
【００４５】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【００４６】
上記の各実施例では、モジュール２０がカメラ２２を備えている。しかしながら、ウエハ供給装置４０が、カメラ２２を備えていてもよい。
【００４７】
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は、複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００４８】
２：回路基板
１０：部品実装機
２０：モジュール
２２：カメラ
２２ａ：撮像領域
２２ｂ：画像
２４：移載ヘッド
２４ａ：移動ベース
２６：吸着ノズル
２８：移動装置
２８ａ：移動ベース
３０：基板コンベア
３２：操作パネル
４０：ウエハ供給装置
５０：補給部
５２：マガジン
５４：パレット収容部
５６：搬出口
５８：昇降機構
６０：ウエハ供給部
６２：ウエハフレーム支持部
６４：ロボット
１００、２００、３００：ウエハ供給パレット
１０２：ウエハフレーム
１０４：ウエハシート
１０６、３０６：ウエハ
１０８：ダイ
１１０、２１０：グリップリング
１１２、２１２：把持部
１１４、２１４：リング部
１１６、２２４：第１識別情報
１２０、１６０：制御装置
１３０：記憶装置
１５０：管理装置
２２０：アダプタ
２２２：第１識別情報付与領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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