(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スラスト受け部材と、該スラスト受け部材に対してスラスト作用方向に静圧支持されて相対移動可能に配設される作動部材と、を備え、
前記スラスト受け部材と前記作動部材とには前記スラスト作用方向に対して機能する面として形成されるそれぞれの第１形成面が対向して配設されると共に、該それぞれの第１形成面に直角に形成されるそれぞれの第２形成面が対向して配設されており、
前記スラスト受け部材の第１形成面に形成される流体ポケット部に供給される軸受油圧により静圧支持される作動部材のスラスト支持装置において、
前記流体ポケット部は前記スラスト受け部材の前記第１形成面と前記第２形成面との境界部に跨って形成されており、
前記流体ポケット部から前記第１形成面に向けて流出する軸受油の流量を絞る第１絞りが前記対向して配設される第１形成面間の流通隙間により形成されており、前記流体ポケット部から前記第２形成面に向けて流出する軸受油の流量を絞る第２絞りが前記対向して配設される第２形成面間の流通隙間により形成されており、
前記第１絞りと第２絞りは前記作動部材の無負荷状態において前記第１絞りに前記流体ポケット部からの流れが生じる状態として配設されており、
前記第１絞りと第２絞りは前記作動部材の無負荷状態において前記第２絞りの流通抵抗が前記第１絞りの流通抵抗と同じか又は大きくされていることにより前記第１絞りに前記流体ポケット部からの流れが生じる状態とされており、
前記作動部材は回転軸であり、前記第２形成面は円筒面であり、
前記流体ポケット部へ供給される静圧流体の供給路が前記スラスト受け部材に形成されており、該供給路は前記流体ポケット部の底面に開口している作動部材のスラスト支持装置。
【請求項２】
請求項１に記載の作動部材のスラスト支持装置であって、
前記流体ポケット部は断面Ｌ字形である作動部材のスラスト支持装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の作動部材が砥石のスピンドルであり、該砥石のスピンドルのスラスト支持装置が請求項１又は請求項２に記載のスラスト支持装置とされている工作機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作動部材のスラスト支持装置、及び同支持装置を備えた工作機械に関する。特に、回転軸等の作動部材をスラスト軸受メタル等のスラスト受け部材に流体の静圧支持によりスラスト方向の作用力を支持するスラスト支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械の作動部材である回転軸のスラスト作用力は、一般に、静圧スラスト軸受により支持されている。例えば、研削盤の砥石軸（スピンドル）は、その軸方向のスラスト力を静圧スラスト軸受により非接触支持している。図６はその静圧スラスト支持装置１００の概略断面構成を示す。この静圧スラスト支持装置１００は回転軸として配設される砥石軸（スピンドル）１０２が静圧軸受構成にてスラスト受け部材であるスラスト軸受メタル１０４に対して軸方向に相対移動可能に支持されている。その静圧軸受構成は、砥石軸１０２は大径軸部１０２Ａと小径軸部１０２Ｂとが段付き形状の凹断面形状として形成されており、その凹断面形状の凹部内にスラスト軸受メタル１０４が挿入されて、このスラスト軸受メタル１０４により砥石軸１０２が支持される構成となっている。そして、この支持は、段付き形状部のスラスト軸受メタル１０４と砥石軸１０２との間に供給される軸受油を介して静圧支持されて行われている。
【０００３】
軸受油による静圧スラスト軸受支持は、段付き形状のスラスト軸受メタル１０４の側面１０４Ｓと砥石軸１０２の側面１０２Ｓとの間の微小隙間１０６に軸受油が供給されることにより行われる。当該隙間１０６への軸受油の供給は、軸受メタル１０４に形成された油路９８を通じて行われる。そして、スラスト軸受メタル１０４の側面１０４Ｓに開口する油路９８の端部は円環状の流体ポケット部９６に形成されており、一時的に軸受油は当該流体ポケット部９６に貯留される。当該流体ポケット部９６に供給された軸受油は、当該流体ポケット部９６が形成される位置より径方向内方と径方向外方に形成される流通隙間９２、９４を通って排出される。すなわち、スラスト軸受メタル１０４と砥石軸１０２の両側面１０２Ｓ、１０４Ｓ間の隙間９２，９４を通って排出される。この両隙間９２，９４は砥石軸１０２のスラスト軸受メタル１０４に対する軸方向への相対的作動により隙間が変動する絞りとして形成されており、径方向外方の隙間９２が第１絞りとなり、径方向内方の隙間９４が第２絞りとなっている。なお、第２絞り９４に接続されて形成される砥石軸１０２の小径軸部１０２Ｂとスラスト軸受メタル１０４との隙間１１６は、当該第２絞り９４より隙間間隔が広く形成されており、その中央部位置に形成された排出路９０に接続される排出経路となっている。
【０００４】
図６において、砥石軸１０２に軸方向のスラスト力が作用して、スラスト軸受メタル１０４に対して砥石軸１０２が左右方向の一方向に相対移動すると、スラスト軸受メタル１０４の左右両側位置の隙間は一方側位置の隙間（第１絞り及び第２絞り）が絞られて狭くなり、他方側位置の隙間（第１絞り及び第２絞り）が広くなる。その結果、絞られた隙間を通る軸受油の流れが制限される。この流れが制限されることにより当該位置側のポケット溝に貯留される軸受油の静圧により砥石軸１０２のスラスト力を受けスラスト軸受メタル１０４の側面１０４Ｓにより支持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−６６７１９号公報
【特許文献２】特開平９−１５０３３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、最近、工作機械の小型化の要請がある。回転軸を備える工作機械で、例えば、砥石軸１０２を備える研削盤において、その砥石軸１０２に静圧スラスト軸受を設ける場合には、径方向に充分なスペースが必要となるため、小型化を図ることが困難であった。すなわち、上述した静圧スラスト軸受支持装置１００の構成では、スラスト力を受けるために形成される第１絞り９２と第２絞り９４が共にスラスト軸受メタル１０４と砥石軸１０２の大径軸部１０２Ａの側面に直線的に配列された構成となっている。このため、砥石軸１０２の小径軸部１０２Ｂの外形寸法に比して大径軸部１０２Ａの外形寸法が大きくなる。このため、小型化が困難であった。なお、大径軸部１０２Ａの外形寸法を小型化の要請に基づき単純に小径化するときには、小径軸部１０２Ｂの外形寸法が過度に小径とならざるを得ず、砥石軸１０２の剛性低下を招くという問題を生じる。
【０００７】
而して、本発明は上記した点に鑑みて創案されたものであって、本発明が解決しようとする課題は、スラスト力を受けるための第１絞りと第２絞りを交差する配置関係として配置することによりスラスト力を受ける構成の小型化を可能とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は次の手段をとる。
【０００９】
本発明に係る作動部材のスラスト支持装置は、先ず、スラスト受け部材と、該スラスト受け部材に対してスラスト作用方向に静圧支持されて相対移動可能に配設される作動部材と、を備え、前記スラスト受け部材と前記作動部材とには前記スラスト作用方向に対して機能する面として形成されるそれぞれの第１形成面が対向して配設されると共に、該それぞれの第１形成面に直角に形成されるそれぞれの第２形成面が対向して配設されており、前記スラスト受け部材の第１形成面に形成される流体ポケット部に供給される流体圧により静圧支持される。そして、前記流体ポケット部は前記スラスト受け部材の前記第１形成面と前記第２形成面との境界部に跨って形成されており、前記ポケット部から前記第１形成面に向けて流出する流体の流量を絞る第１絞りが前記対向して配設される第１形成面間の流通隙間により形成されており、前記ポケット部から前記第２形成面に向けて流出する流体の流量を絞る第２絞りが前記対向して配設される第２形成面間の流通隙間により形成されており、前記第１絞りと第２絞りは前記作動部材の無負荷状態において前記第１絞りに前記流体ポケット部からの流れが生じる状態として配設されている。
【００１０】
上記の本発明によれば、スラスト受け部材と作動部材との間に形成される第１絞りと第２絞りは直角の配置関係として配置されおり、この第１絞りと第２絞りを形成するスラスト受け部材の第１形成面と第２形成面の直角部位箇所を跨いで流体ポケット部が設けられている。そして第１絞りと第２絞りとは作動部材の無負荷状態において第１絞りを流体ポケット部からの流れが生じる状態として配設されている。この第１絞りを形成する隙間方向（流体の流れ方向）は作動部材のスラスト作用方向に対して直角に交差する方向とされている。これにより作動部材にスラスト力が作用し、スラスト受け部材に対してスラスト作用方向に移動し、第１絞りを狭くする方向に相対移動すると、第１絞りが絞られて流体ポケット部に貯留される流体の静圧によりスラスト力が受けられて支持される。なお、第２絞りの隙間方向（流体の流れ方向）はスラスト作用方向と同方向とされているので、作動部材の移動によってもその隙間が変動することが無く流体ポケット部からの流体の流れ抵抗は常に同じである。しかして、本発明によれば、作動部材の厚み方向に必要とされる厚みは、第１絞りを形成するための厚みと、流体ポケット部を形成するための厚みのみとすることができ、作動部材及び作動部材を取り囲む構成の小型化を図ることができる。
【００１１】
なお、上記の本発明は次の態様とすることができる。先ず、前記第１絞りと第２絞りは前記作動部材の無負荷状態において前記第２絞りの流通抵抗が前記第１絞りの流通抵抗と同じか又は大きくされていることにより前記第１絞りに前記流体ポケット部からの流れが生じる状態とされているのが好ましい。かかる態様によればより良好にスラスト力の支持を行うことができる。
【００１２】
次に、前記作動部材のスラスト支持装置における作動部材を回転軸とし、前記第２形成面を円筒面とすることができる。かかる構成は、例えば研削盤の砥石軸に適用した場合の構成である。
【００１３】
次に、上記作動部材のスラスト支持装置は、前記流体ポケット部へ供給される流体の供給路が前記スラスト受け部材に形成されており、該供給路は前記流体ポケット部の底面に開口している構成とすることができる。これにより供給路は従来と同様に容易に形成することができる。
【００１４】
次に、前記作動部材が研削盤のスピンドルであり、該研削盤のスピンドルのスラスト支持構成を上述した各スラスト支持装置により構成することができる。これにより研削盤の小型化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１５】
上述した手段の本発明によれば、スラスト力を受けるための第１絞りと第２絞りを交差する配置関係として配置することによりスラスト力を受ける構成の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る作動部材のスラスト支持装置が適用される工作機械の一例としての研削盤の全体構成を示す平面図である。
【図２】図１に示す研削盤の側面図である。
【図３】研削盤における砥石軸支持構成の概念を示す模式図である。
【図４】本発明の実施形態に係る静圧スラスト軸受構成を示す概略図である。
【図５】流体ポケット部の変形例を示す図である。
【図６】従来の静圧スラスト軸受構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。本実施形態は、工作機械の代表として研削盤に備えられる砥石軸を取り上げて説明する。この場合、砥石軸１０２が本発明に言う作動部材に相当し、スラスト軸受メタル１０４が本発明に言うスラスト受け部材に相当する。
【００１８】
先ず、図１及び図２を用いて、研削盤１０の概要構成を説明する。なお、図１及び図２に示されるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の関係は次のとおりである。Ｘ軸とＹ軸とＺ軸は互いに直交しており、Ｙ軸方向は鉛直上向きを示している。また、Ｚ軸方向は砥石軸線Ｌ１と平行な方向を示しており、Ｘ軸方向は砥石軸線Ｌ１に直交する方向であり、砥石１３２がワークＷに切り込む方向を示している。また砥石軸線Ｌ１とワーク回転軸線Ｌ２とツルア回転軸線Ｌ３は、いずれもＺ軸方向と平行である。
【００１９】
図１及び図２に示される研削盤１０は、ワークＷに対して砥石１３２をＸ軸方向及びＺ軸方向へ相対的に移動制御してワークＷを研削するようになっている。平面形状で矩形に形成された基台１１０上の略中央部には、Ｚ軸方向に延びる一対のＺ軸方向ガイドレール１１１にスライド案内されるＺ軸方向スライドテーブル１１２が配設されている。Ｚ軸方向スライドテーブル１１２は、制御手段１８０（ＮＣ制御装置等）によって作動制御されるＺ軸方向駆動モータ１１４（Ｚ軸方向移動手段に相当）を駆動源とするＺ軸方向送りねじ１１３の回転動作によってＺ軸方向へスライドされる。また、Ｚ軸方向駆動モータ１１４には、Ｚ軸方向スライドテーブル１１２のＺ軸方向の位置を確認するために、Ｚ軸方向駆動モータ１１４の出力軸の回転角度を検出してその検出信号を制御手段に送るエンコーダ等のＺ軸方向位置検出手段１１５（Ｚ軸相対移動量検出手段に相当）が設けられている。制御手段１８０は、Ｚ軸方向駆動モータ１１４を用いて、ツルア１７７に対して砥石１３２を相対的にＺ軸方向へ移動させ、Ｚ軸方向位置検出手段１１５からの検出信号に基づいて、ツルア１７７に対する砥石１３２のＺ軸方向への相対的な移動量を検出可能である。
【００２０】
Ｚ軸方向スライドテーブル１２２上には、Ｘ軸方向に延びる一対のＸ軸方向ガイドレール１２１にスライド案内されるＸ軸方向スライドテーブル（砥石スライドテーブル）１２２が配設されている。当該スライドテーブル１２２が上述した図１及び図２に示す実施形態の砥石台１２に相当する。この砥石台１２としてのＸ軸方向スライドテーブル１２２は、制御手段１８０によって作動制御されるＸ軸方向駆動モータ１２４（Ｘ軸方向移動手段に相当）を駆動源とするＸ軸方向送りねじ１２３の回転動作によってＸ軸方向へスライドされる。また、Ｘ軸方向駆動モータ１２４には、Ｘ軸方向スライドテーブル１２２のＸ軸方向の位置を確認するために、Ｘ軸方向駆動モータ１２４の出力軸の回転角度を検出してその検出信号を制御手段に送るエンコーダ等のＸ軸方向位置検出手段１２５（Ｘ軸相対移動量検出手段に相当）が設けられている。制御手段１８０は、Ｘ軸方向駆動モータ１２４を用いて、ツルア１７７に対して砥石１３２を相対的にＸ軸方向へ移動させ、Ｘ軸方向位置検出手段１２５からの検出信号に基づいて、ツルア１７７に対する砥石１３２のＸ軸方向への相対的な移動量を検出可能である。
【００２１】
Ｘ軸方向スライドテーブル１２２上には、砥石駆動モータ１２６と砥石軸ホルダ１３０とがそれぞれ配設されており、砥石駆動モータ１２６の出力軸には駆動プーリ１２７が設けられる。一方、砥石軸ホルダ１３０に回転可能に支持されかつ一端部に略円筒状の砥石１３２が設けられる砥石軸１０２（Ｚ軸方向に平行な砥石軸線Ｌ１回りに回転する砥石軸）の他端には、従動プーリ１２８が設けられている。そして、駆動プーリ１２７と従動プーリ１２８との間にはベルト１２９が張設され、これによって、砥石駆動モータ１２６の出力軸のトルクがベルト１２９を介して砥石軸１０２（図３参照）に伝達される。
【００２２】
基台１１０上には、軸状のワークＷをＺ軸方向のワーク回転軸線Ｌ２回りに回転させながら設定位置に保持する第１主軸装置１４０と第２主軸装置１５０とが、Ｚ軸方向に平行なワーク回転軸Ｌ２上に配設されている。第１主軸装置１４０は、基台１１０上に固定された主軸台１４１と、主軸台１４１に対しワーク回転軸Ｌ２上に往復動可能な主軸ハウジング１４２と、この主軸ハウジング１４２内でワーク回転軸選Ｌ２回りに回転可能に支持された主軸１４３とを備え、主軸１４３の先端にはワークＷの一方の端面の中心部を支持するセンタ部材１４４が設けられている。また、主軸１４３は、制御手段１８０によって作動制御される主軸モータ（図示省略）を駆動源として任意の角速度で任意の角度まで回転制御される。また、第２主軸装置１５０においても、第１主軸装置１４０と同様にして、主軸台１５１、主軸ハウジング１５２、主軸１５３及びセンタ部材１５４を備えて構成されている。また主軸ハウジング１４２には、ツルア回転軸線Ｌ３回りに回転可能に支持されたツルア１７７を備えたツルーイング装置１６０が設けられている。なお、図２に示すように、砥石軸線Ｌ１と、ワーク回転軸線Ｌ２と、ツルア回転軸線Ｌ３は、いずれも、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に平行な平面である仮想平面ＶＭ上にある。
【００２３】
図３は砥石軸１０２が砥石軸ホルダ１３０に支持される箇所の支持装置の概念図を示す。砥石軸１０２の砥石軸ホルダ１３０への支持はラジアル支持手段８０とスラスト支持手段８５の２つの支持手段により支持されるようになっている。本実施形態では、両支持手段８０，８５とも両箇所には共通の軸受油が供給されて、静圧支持される構成をとっている。スラスト支持手段８５については静圧スラスト軸受支持装置１００として後述するが、ラジアル支持手段８０は本実施形態では周知の構成であるので詳細な説明は省略する。
【００２４】
図４は本実施形態の静圧スラスト軸受支持装置１００の概略構成を示しており、図６に示す従来構成と対比して図示した。図４は図３にその配置位置が示された静圧スラスト軸受支持装置１００の一つの概略構成を示すものであり、理解を容易とするために、軸受油が流通する通路隙間は誇張して図示してある。
【００２５】
図４において、回転軸である砥石軸１０２は大径軸部１０２Ａと小径軸部１０２Ｂとが段付き形状の凹断面形状に形成されて配設されている。この砥石軸１０２の軸方向の一方端に砥石１３２（図１参照）が取り付けられて配設されている。他方端には駆動源のモータ等の回転が伝達されており、砥石軸１０２を回転するようになっている。砥石軸１０２の回転はスラスト軸受メタル１０４により回転支持されるようになっている。その意味で、図４のスラスト軸受メタル１０４は図３に示す砥石軸ホルダー１３０の一部を構成する。スラスト軸受メタル１０４は砥石軸１０２の小径軸部１０２Ｂを支持する構成として配設されており、砥石軸１０２の凹断面形状の凹部内にスラスト軸受メタル１０４が挿入された状態として配置されている。なお、砥石軸１０２は軸方向及び径方向にわずか移動可能に支持されており、その軸方向支持が本実施形態の静圧スラスト軸受支持装置１００で支持され、ラジアル方向支持が図３に示す静圧ラジアル軸受支持装置により支持される構成となっており、分担した構成とされている。
【００２６】
図４に示されるように、本実施形態の砥石軸１０２のスラスト軸受メタル１０４によるスラスト支持は軸受油を介した静圧支持で行われる。スラスト支持は砥石軸１０２の段付き形状の両側の段部ｘ，ｙで行われる構成となっている。段部ｘ，ｙは第１形成面７０と第２形成面７５が直角に配設されて形成されている。第１形成面７０はスラスト軸受メタル１０４側に形成される第１形成面７０Ａと砥石軸１０２側に形成される第１形成面７０Ｂとからなっている。両者７０Ａ，７０Ｂは対向して配置されており、流通隙間を形成する。この流通隙間が第１絞り９２となっている。なお、この第１形成面７０は砥石軸線に対して垂直方向とされて形成されており、第１絞り９２は砥石軸１０２の軸方向移動によりその絞り状態が変動する。
【００２７】
第２形成面７５はスラスト軸受メタル１０４側に形成される第２形成面７５Ａと砥石軸１０２側に形成される第２形成面７５Ｂとからなっている。両者７５Ａ，７５Ｂは対向して配置されており、流通隙間を形成する。本実施形態の砥石軸１０２は回転軸であることから、当該流通隙間は円筒形状の隙間として形成される。この流通隙間が第２絞り９４となっている。この第２絞り９４が形成される第２形成面７５は砥石軸線と同方向とされている。このため、第２絞り９４は砥石軸１０２の軸方向移動によっても絞り状態は変動しない。
【００２８】
第１形成面７０の流通隙間（第１絞り９２）と第２形成面７５の流通隙間（第２絞り９４）への軸受油の供給は、スラスト軸受メタル１０４に形成された供給路９８と流体ポケット部９６を通じて行われるようになっている。流体ポケット部９６はスラスト軸受メタル１０４の第１形成面７０と第２形成面７５の直角形成部位箇所を跨いで欠肉させて形成されており、円環状に形成されている。流体ポケット部９６は、第１形成面７０に開口する第１形成面開口部７１と、第２形成面７５に開口する第２形成面開口部７６と、を有する。流体ポケット部９６の断面形状は、本実施形態では軸方向に長辺、径方向に短辺とする長方形状とされているが、加工が可能な適宜形状であれば良い。例えば、図５に変形例として示すような断面Ｌ字形の流体ポケット部９６ａでも良い。供給路９８はこの流体ポケット部９６の底面部に接続されており、供給路９８から流体ポケット部９６に軸受油が供給される。
【００２９】
流体ポケット部９６の軸受油は、第１形成面７０の第１絞り９２と第２形成面７５の第２絞り９４に供給されて排出される。第２絞り９４を流通して排出される軸受油は、スラスト軸受メタル１０４の図４で見て中央部位置に設けられた排出路９０を経由して行われる。本実施形態の排出路９０は両側の第２絞り９４，９４の共通の排出路として構成されている。第１絞り９２を流通した軸受油の排出は、第１絞り９２より外方に放出されることにより行われる。
【００３０】
第１絞り９２と第２絞り９４の関係は、本実施形態では、砥石軸１０２のスラスト方向（軸線方向）の無負荷状態で第１絞り９２の流通抵抗と第２絞り９４の流通抵抗が同じ流通抵抵抗となるように設定されている。したがって、砥石軸１０２に一方向のスラスト力が作用して一方向に移動すると、例えば、図４で見て砥石軸１０２に右方向のスラスト力が作用して右方向に移動すると、左側位置の第１形成面７０による第１絞り９２は無負荷状態より絞られた状態となって、流通抵抗が変動しない第２絞り９４の流通抵抗より流通抵抗が大きくなる。これによりスラスト軸受メタル１０４の第１形成面７０Ａに形成された流体ポケット部９６に貯留される軸受油の静圧を介してスラスト軸受メタル１０４により受けられて支持される。なお、右側の段部ｙの第１絞り９２の絞り状態は無負荷状態時より流通抵抗ＸＲ，ＸＬが小さくなり、左側位置のスラスト力を受ける作用の反動として、砥石軸１０２の左方向への復帰動作をしやすくしている。砥石軸１０２に左方向のスラスト力が生じた場合には、これとは逆の動作がなされる。
【００３１】
上述した実施形態によれば、静圧スラスト軸受装置１００の大きさを決める要因となる段部の大きさ（径方向の長さ）は、第１絞り９２を形成する第１形成面７０の径方向の長さと、流体ポケット部９６の径方向の長さにより決まる。これにより図６に示す従来の構成のように第２絞り９４も第１形成面に形成していた場合に比べ、略第２絞り９４分だけ径方向の小型化を図ることができる。したがって、砥石軸１０２の小径軸部１０２Ｂの外形寸法を図６に示す従来構成と同じとする場合には、砥石軸１０２の剛性を維持したまま、大径軸部１０２Ａの外形寸法の小型化を図ることができる。なお、大径軸部１０２Ａの外形寸法を図６に示す従来構成と同じ寸法とすることが可能なときは、小径軸部１０２Ｂの大径化を図ることが可能となり、全体の剛性アップを図ることができる。
【００３２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はその他各種の形態でも実施できる。例えば、上述した実施形態はスラスト支持する構成が回転軸を支持する構成の場合であった。しかし、本発明は平面状に作動する作動部材の場合にも適用することができて、小型化を図ることができる。
【００３３】
なお、第１絞りと第２絞りの関係は、作動部材の無負荷状態において第１絞りを軸受油が流通する関係状態であればよい。
【００３４】
更に、スラスト力を受ける作動部材を静圧スラスト軸受で支持する装置には広く適用できるものである。
【符号の説明】
【００３５】
１０      研削盤
７０      第１形成面
７５      第２形成面
８０      ラジアル支持手段
８５      スラスト支持手段
９０      排出路
９２      隙間（第１絞り）
９４      隙間（第２絞り）
９６      流体ポケット部
９８      供給路
１００    静圧スラスト軸受支持装置
１０２    砥石軸（作動部材）
１０２Ａ  大径軸部
１０２Ｂ  小径軸部
１０４    スラスト軸受メタル（スラスト受け部材）
１０６    隙間
１３２    砥石
ｘ        段部（左側）
ｙ        段部（右側）
Ｗ        ワーク
【図１】
0006492699.tif 000002
【図２】
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【図３】
0006492699.tif 000004
【図４】
0006492699.tif 000005
【図５】
0006492699.tif 000006
【図６】
0006492699.tif 000007