(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光強度を検出する光検出素子と、
前記光検出素子を冷却するための冷却手段と、
光導入窓が形成され、前記光検出素子および前記冷却手段が内部に配置された筐体と、
前記光検出素子の温度を検出して検出素子温度情報を出力する検出素子温度センサと、
前記検出素子温度情報が目標温度Ｔｃｔｒｌとなるように、前記冷却手段を制御するための出力値を演算して、当該出力値を前記冷却手段に出力する制御部とを備える検出器システムであって、
前記筐体に結露が発生する結露温度Ｔｃｏｎｄを算出する結露温度予測部と、
結露温度Ｔｃｏｎｄに基づいて、目標温度Ｔｃｔｒｌを決定する最適冷却温度決定部とを備えることを特徴とする検出器システム。
【請求項２】
冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔを記憶する記憶部を備え、
前記最適冷却温度決定部は、冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔおよび結露温度Ｔｃｏｎｄに基づいて、目標温度Ｔｃｔｒｌを決定することを特徴とする請求項１に記載の検出器システム。
【請求項３】
前記最適冷却温度決定部は、結露温度Ｔｃｏｎｄにマージン温度差ΔＴｍａｒｇｉｎを加えた温度（Ｔｃｏｎｄ＋ΔＴｍａｒｇｉｎ）と、冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔとを比較して、高い方の温度を目標温度Ｔｃｔｒｌとすることを特徴とする請求項２に記載の検出器システム。
【請求項４】
前記筐体内の湿度を検出して筐体湿度情報を出力する筐体湿度センサと、
前記筐体内の温度を検出して筐体温度情報を出力する筐体温度センサとを備え、
前記結露温度予測部は、前記筐体湿度情報および前記筐体温度情報に基づいて、結露温度Ｔｃｏｎｄを算出することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の検出器システム。
【請求項５】
前記筐体内には、除湿器が配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の検出器システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却することで性能が向上する検出器を備える検出器システムに関し、特に光電子増倍管（以下「ＰＭＴ」という）を備える検出器システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
本願先行技術の実施例として、例えば、高周波誘導結合プラズマを光源とする発光分析法を用いたＩＣＰ発光分光分析装置等では、溶液化した試料をプラズマトーチに導入して発光させ、放射された光を分光器で各元素のスペクトル光に分光した後、各スペクトル光の強度を光検出器システムで測定して、試料に含まれる各元素の定性や定量を行っている。
【０００３】
このような光検出器システムは、通常、筐体と、筐体内に配置された光検出素子と、制御基板とを備えており、光検出素子としては、例えば、ＰＭＴや半導体検出素子等が使用されている。このとき、要求される感度性能（Ｓ／Ｎ比）によっては、ＰＭＴ内部で生じる暗電流による検出信号への寄与（サーマルノイズ）を低減させるために、ＰＭＴを冷却する場合がある。この場合の冷却手段としては、例えば、筐体内にペルチェ素子と検出素子温度センサとを配置し、検出素子温度センサからの検出素子温度と冷却目標温度とを入力して、ペルチェ素子への電流値を出力設定するＰＩＤ制御を、制御基板上で動作する組込みソフトウェア等で行っている。
【０００４】
ところで、冷却機能を備えた光検出器システムでは、総じて、冷却時に生じる「結露」が問題となる。例えば、結露が光路上に生じると、その水滴による光の散乱や光量の減衰が起こり、結果として検出信号が劣化する。また、水滴自体が制御基板等に接すると、電子部品や回路基板そのものの劣化や故障が発生し、最悪の場合には、漏電による事故を引き起こしてしまう可能性がある。
【０００５】
このような結露問題に対する解決策として、例えば、後記特許文献１のような内部の高湿度の空気をパージガスで置換する構成を採用したＩＣＰ発光分光分析装置等が提案されている。図５は、このようなＩＣＰ発光分光分析装置の構成を示す概略構成図である。ＩＣＰ発光分光分析装置１０１は、プラズマトーチ（図示せず）と、分光器１１０と、導光路１２０と、光検出器１３０と、制御部１４０と、ガス源１５０と、ガス流量調整弁１５１とを備える。
【０００６】
また、導光路１２０と光検出器１３０との間には光検出素子１３３が配置されるとともに、光検出器１３０の筐体内にはペルチェ素子１３４と放熱板１３２と基板１３１と熱交換部１３５とが配置されている。すなわち、冷却機構のうち低温（−２０℃〜−１０℃）になる部分が導光路１２０の外側に設置されている。
そして、ガス源１５０と導光路１２０内と光検出器１３０の筐体内と外部とは、通気孔Ａ〜Ｃを介して連通されている。
【０００７】
このようなＩＣＰ発光分光分析装置１０１によれば、分析実行前にパージガス（アルゴンガス等）が、導光路１２０に設けられた通気孔Ａ、導光路１２０、導光路１２０から光検出器１３０に通じる通気孔Ｂ、光検出器１３０、光検出器１３０に設けられた通気孔Ｃを経て、大気中に排気される。これにより、導光路１２０内と光検出器１３０の筐体内のガスはパージガスで置換される。このとき、基板１３１はペルチェ素子１３４に設定する電流値を算出して出力する。
その結果、プラズマトーチからの光は、分光器１１０で分光され、分光器１１０の出口窓１１１より導光路１２０を経て光検出素子１３３に入射する。光検出素子１３３に入射した光は光電変換され、検出信号として基板１３１へ伝達される。
【０００８】
また、結露による光検出器システムの劣化や故障のリスクを軽減させる方法として、結露に至らない温度と湿度を設置／動作環境として制限する制限方法や、光検出素子とペルチェ素子とを「除湿器を備えた密閉筐体」に内包して結露を防ぐ構成とする改良方法等も行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−３３２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述したようなＩＣＰ発光分光分析装置１０１では、その構成要素として、ガス源１５０や、ガス流量調整弁１５１等を備える必要があるため、システム構成全体としては、比較的大きなものとなる。
また、上述した温度と湿度を制限する制限方法では、結露に至らない温度と湿度を設置／動作環境とするため、常に理想的な動作環境でユーザが光検出器システムを使えるとは限らなかった。そのため、ユーザは冷却目標温度を高めの温度に設定して光検出器システムを用いたり、さらには、湿度が高いため仕方なく冷却機能をＯＦＦにして光検出器システムを用いたりすることがあった。つまり、本来得られるはずの感度性能（Ｓ／Ｎ比）を充分に発揮できない状態でシステムを使わざるを得ない状況が発生するという問題点があった。
一方、上述した改良方法、すなわち、光検出素子とペルチェ素子とを「除湿器を備えた密閉筐体」に内包する方法においても、除湿器には性能保証の寿命があるため、その除湿能力が使用時間に比例して低下するという問題点があった。
上記した課題に対し、本発明は、ユーザの利用状況によって、理想的な動作環境ではない状況下であっても、その時々の環境に応じて結露しない温度を自動で算出し、常にベストな感度性能を得ることができる検出器システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するためになされた本発明の検出器システムは、光強度を検出する光検出素子と、前記光検出素子を冷却するための冷却手段と、光導入窓が形成され、前記光検出素子および前記冷却手段が内部に配置された筐体と、前記光検出素子の温度を検出して検出素子温度情報を出力する検出素子温度センサと、前記検出素子温度情報が目標温度Ｔｃｔｒｌとなるように、前記冷却手段を制御するための出力値を演算して、当該出力値を前記冷却手段に出力する制御部とを備える検出器システムであって、前記筐体に結露が発生する結露温度Ｔｃｏｎｄを算出する結露温度予測部と、結露温度Ｔｃｏｎｄに基づいて、目標温度Ｔｃｔｒｌを決定する最適冷却温度決定部とを備える。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように、本発明の検出器システムによれば、光検出素子の冷却を自動かつその時々の環境に応じた最適の温度で行うことができるため、ユーザは環境の変化に煩わされることなく、現環境下での最高感度性能を得ることができる。
【００１３】
（他の課題を解決するための手段および効果）
また、上記の発明において、冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔを記憶する記憶部を備え、前記最適冷却温度決定部は、冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔおよび結露温度Ｔｃｏｎｄに基づいて、目標温度Ｔｃｔｒｌを決定するようにしてもよい。
ここで、「冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔ」とは、設計者やユーザ等によって決定される任意の温度であり、製品仕様として要求される感度性能を充分に得るために必要となる冷却温度である。
【００１４】
また、上記の発明において、前記最適冷却温度決定部は、結露温度Ｔｃｏｎｄにマージン温度差ΔＴｍａｒｇｉｎを加えた温度（Ｔｃｏｎｄ＋ΔＴｍａｒｇｉｎ）と、冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔとを比較して、高い方の温度を目標温度Ｔｃｔｒｌとするようにしてもよい。
ここで、「マージン温度差ΔＴｍａｒｇｉｎ」とは、設計者やユーザ等によって決定される任意の温度差であり、測定誤差を考慮した温度差である。
【００１５】
そして、上記の発明において、前記筐体内の湿度を検出して筐体湿度情報を出力する筐体湿度センサと、前記筐体内の温度を検出して筐体温度情報を出力する筐体温度センサとを備え、前記結露温度予測部は、前記筐体湿度情報および前記筐体温度情報に基づいて、結露温度Ｔｃｏｎｄを算出するようにしてもよい。
さらに、本発明において、前記筐体内には、除湿器が配置されるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る分光光度計の一例を示す概略構成図。
【図２】図１の分光光度計による目標温度の時間変化の一例を示すグラフ。
【図３】飽和水蒸気量曲線の一例を示すグラフ。
【図４】図１の分光光度計における温調方法を説明するフローチャート。
【図５】従来のＩＣＰ発光分光分析装置の構成を示す概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれる。
【００１８】
図１は、本発明に係る分光光度計の一例を示す概略構成図である。
分光光度計１は、サンプルが配置される配置部（図示せず）と、光源（図示せず）と、分光器１０と、光検出器システム３０とを備える。
【００１９】
光検出器システム３０は、光導入窓３１が左壁に形成された密閉筐体３２を備える。そして、密閉筐体３２内には、光強度を検出するＰＭＴ（光検出素子）３３と、ＰＭＴ３３を冷却するためのペルチェモジュール（冷却手段）３４と、除湿器３５と、ＰＭＴ３３に取り付けられた検出素子温度センサ３６と、筐体内雰囲気の湿度と温度を測定するための筐体湿度センサ３７および筐体温度センサ３８と、雰囲気拡散用ファン３９と、制御基板４０とが配置されている。また、密閉筐体３２外には、ペルチェモジュール３４の放熱フィン（放熱用ヒートシンク）５１が配置されている。
これにより、除湿器３５によって密閉筐体３２内の湿度を下げた上で、雰囲気拡散用ファン３９によって密閉筐体３２内の温度と湿度を均一にしている。
【００２０】
上記ペルチェモジュールとしては、例えばアイシン精機株式会社製の「Ｕ−１１Ｇ２３６Ｆシリーズ」等が挙げられる。
上記光検出器システムとしては、ＰＭＴとペルチェモジュールとが一体になった冷却機能付きの光電子増倍管モジュール（例えば浜松ホトニクス株式会社製の「フォトンカウンティングヘッド；Ｈ７４２１−４０」）を用いてもよい。
上記除湿器としては、機器組込み用の除湿素子、例えば菱彩テクニカ株式会社（三菱電機株式会社）製の商品名「ロサール（登録商標）」等が挙げられる。
【００２１】
筐体湿度センサ３７は、「結露」を予知するためのものであり、冷却部位周辺雰囲気の結露温度Ｔｃｏｎｄを予測するために、雰囲気拡散用ファン３９によって温度と湿度が均一にされた密閉筐体３２内に取り付けられており、密閉筐体３２内雰囲気の湿度を検出して、筐体湿度情報Ｈｖａｐを所定時間間隔Δｔ（例えば１０ｓｅｃ）で制御基板４０に入力する。
筐体温度センサ３８は、筐体湿度センサ３７と同様に「結露」を予知するためのものであり、雰囲気拡散用ファン３９によって温度と湿度が均一にされた密閉筐体３２内に取り付けられており、密閉筐体３２内雰囲気の温度を検出して、筐体温度情報Ｔｖａｐを所定時間間隔Δｔ（例えば１０ｓｅｃ）で制御基板４０に入力する。
【００２２】
制御基板４０は、制御部４１と記憶部４２とを備える。なお、組込みソフトウェアで実現される制御部４１が処理する機能をブロック化して説明すると、筐体湿度情報Ｈｖａｐと筐体温度情報Ｔｖａｐとに基づいて結露温度Ｔｃｏｎｄを算出する結露温度予測部４１ａと、冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔと結露温度Ｔｃｏｎｄとに基づいて目標温度Ｔｃｔｒｌを決定する最適冷却温度決定部４１ｂと、目標温度Ｔｃｔｒｌに基づいてペルチェモジュール３４を制御する温度制御部４１ｃと、サンプルの分析が要求されたときにＰＭＴ３３から光強度検出信号を取得する光検出素子制御部４１ｄと、除湿器３５および雰囲気拡散用ファン３９を制御する除湿器制御部４１ｅとを有する。
【００２３】
また、記憶部４２には、「冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔ」と「飽和水蒸気量曲線」と「マージン温度差ΔＴｍａｒｇｉｎ」と「初期除湿時間（例えば６０ｍｉｎ）」とが予め記憶されている。
ここで、図３は、記憶部４２に記憶された飽和水蒸気量曲線の一例を示すグラフである。飽和水蒸気量曲線は、飽和水蒸気量Ｖｃｏｎｄ（ｇ／ｍ３）と結露温度Ｔｃｏｎｄ（℃）との関係を示すものである。
【００２４】
結露温度予測部４１ａは、筐体湿度センサ３７から取得した筐体湿度情報Ｈｖａｐと筐体温度センサ３８から取得した筐体温度情報Ｔｖａｐとを所定時間間隔Δｔ（例えば１０ｓｅｃ）で受信することで、飽和水蒸気量曲線を用いて密閉筐体３２に結露が発生する結露温度Ｔｃｏｎｄを算出する制御を行う。
例えば、まず、下記式（１）に示すように、筐体温度情報Ｔｖａｐを飽和水蒸気量曲線の関数Ｖ＝Ｆ（Ｔ）に代入することにより、その筺体温度情報Ｔｖａｐにおける密閉筐体３２内の飽和水蒸気量Ｖｃｏｎｄ（ｇ／ｍ３）を算出する。
Ｖｃｏｎｄ＝Ｆ（Ｔｖａｐ）  ・・・（１）
【００２５】
次に、下記式（２）に示すように、飽和水蒸気量Ｖｃｏｎｄと筐体湿度情報Ｈｖａｐとを用いて、密閉筐体３２内の水蒸気量Ｖｍｏｎ（ｇ／ｍ３）を算出する。
Ｖｍｏｎ＝Ｈｖａｐ×Ｖｃｏｎｄ  ・・・（２）
最後に、下記式（３）に示すように、水蒸気量Ｖｍｏｎを飽和水蒸気量曲線の逆関数Ｔ＝Ｆ−１（Ｖ）に代入することにより、密閉筐体３２内に水蒸気量Ｖｍｏｎが存在したときの結露温度Ｔｃｏｎｄ（℃）を算出する。
Ｔｃｏｎｄ＝Ｆ−１（Ｖｍｏｎ）  ・・・（３）
【００２６】
最適冷却温度決定部４１ｂは、結露温度予測部４１ａで算出された結露温度Ｔｃｏｎｄにマージン温度差ΔＴｍａｒｇｉｎを加えた温度（Ｔｃｏｎｄ＋ΔＴｍａｒｇｉｎ）と、冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔとを比較して、高い方の温度を目標温度Ｔｃｔｒｌとする制御を行う。
つまり、（Ｔｃｏｎｄ＋ΔＴｍａｒｇｉｎ）＜Ｔｂｅｓｔであるときには、Ｔｃｔｒｌ＝Ｔｂｅｓｔとし、（Ｔｃｏｎｄ＋ΔＴｍａｒｇｉｎ）≧Ｔｂｅｓｔであるときには、Ｔｃｔｒｌ＝（Ｔｃｏｎｄ＋ΔＴｍａｒｇｉｎ）とする。
【００２７】
温度制御部４１ｃは、検出素子温度センサ３６から検出素子温度情報Ｔｔを所定時間間隔Δｔ（例えば１ｓｅｃ）で受信し、ＰＭＴ３３の温度が目標温度Ｔｃｔｒｌとなるように、比例先行型ＰＩＤ制御（Ｉ−ＰＤ制御）を用いて電流値Ｉｔを算出し、ペルチェモジュール３４に出力する制御を行う。
【００２８】
ここで、本発明の分光光度計１を起動（電源ＯＮ）してから、上記ＰＭＴ３３の温度調整（目標温度＝Ｔｃｔｒｌ）に至るまでの手順を、図４を用いて説明する。
まず、ユーザが分光光度計１の電源をＯＮにした直後、ステップＳ１０１の処理において、除湿器制御部４１ｅは、除湿器３５と雰囲気拡散用ファン３９を作動させる。
【００２９】
次に、ステップＳ１０２の処理において、「初期除湿時間（例えば６０ｍｉｎ）」が経過するまで待機する。そして、「初期除湿時間（例えば６０ｍｉｎ）」が経過すると、次のステップＳ１０３に進む。
【００３０】
ステップＳ１０３の処理において、結露温度予測部４１ａは、筐体湿度センサ３７から取得した筐体湿度情報Ｈｖａｐと筐体温度センサ３８から取得した筐体温度情報Ｔｖａｐとを受信して、結露温度Ｔｃｏｎｄを算出する。
【００３１】
次に、ステップＳ１０４の処理において、最適冷却温度決定部４１ｂは、結露温度Ｔｃｏｎｄにマージン温度差ΔＴｍａｒｇｉｎを加えた温度（Ｔｃｏｎｄ＋ΔＴｍａｒｇｉｎ）と、冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔとを比較する。（Ｔｃｏｎｄ＋ΔＴｍａｒｇｉｎ）＜Ｔｂｅｓｔであるときには、ステップＳ１０５の処理において、目標温度Ｔｃｔｒｌ＝Ｔｂｅｓｔとする。
一方、（Ｔｃｏｎｄ＋ΔＴｍａｒｇｉｎ）≧Ｔｂｅｓｔであるときには、ステップＳ１０６の処理において、目標温度Ｔｃｔｒｌ＝（Ｔｃｏｎｄ＋ΔＴｍａｒｇｉｎ）とする。
【００３２】
ステップＳ１０５の処理またはステップＳ１０６のいずれかの処理が終了したときには、ステップＳ１０７の処理において、温度制御部４１ｃは、検出素子温度センサ３６から検出素子温度情報Ｔｔを受信することで、ＰＭＴ３３の温度が目標温度Ｔｃｔｒｌとなるように、電流値Ｉｔを算出してペルチェモジュール３４に出力する。
【００３３】
次に、ステップＳ１０８の処理において、電流値Ｉｔをペルチェモジュール３４に出力してから「１ｓｅｃ」が経過したか否かを判定し、「１ｓｅｃ」が経過するまで、ステップＳ１０８の処理を繰り返す。
一方、「１ｓｅｃ」が経過したと判定したときには、ステップＳ１０９の処理において、最新の目標温度Ｔｃｔｒｌを設定してから「１０ｓｅｃ」が経過したか否かを判定し、「１０ｓｅｃ」が経過していないと判定したときには、ステップＳ１０７の処理に戻る。
一方、「１０ｓｅｃ」が経過したと判定したときには、ステップＳ１０３の処理に戻る。つまり、新たな目標温度Ｔｃｔｒｌを更新する処理に移行する。
【００３４】
なお、図２は、図１の分光光度計１で温調された目標温度Ｔｃｔｒｌの時間変化の一例を示すグラフである。ある時間までは、冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔまで冷却しても結露しないため、目標温度Ｔｃｔｒｌを冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔに設定し、ある時間以降は冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔまで冷却すると結露するため、目標温度Ｔｃｔｒｌを温度（Ｔｃｏｎｄ＋ΔＴｍａｒｇｉｎ）に設定している。
【００３５】
以上のように、本発明の分光光度計１によれば、ＰＭＴ３３の冷却を自動かつその時々の環境に応じた最適の温度で行うことができるため、ユーザは環境の変化に煩わされることなく、その環境での最高感度性能を得ることができる。
【００３６】
＜他の実施形態＞
＜１＞上述した分光光度計１においては、「１０ｓｅｃ」ごとに新たに目標温度Ｔｃｔｒｌを設定する構成としたが、目標温度Ｔｃｔｒｌの急激な変化は検出信号への外乱として働き、好ましくないため、目標温度Ｔｃｔｒｌを算出する際に移動平均処理（フィルタ）を適度にかけるような構成としてもよい。
【００３７】
＜２＞上述した分光光度計１において、分光光度計１の電源がＯＮにされると、結露温度予測部４１ａと最適冷却温度決定部４１ｂとが起動する構成としたが、ユーザの業務や実行する測定の内容によっては、「ＰＭＴ３３を冷却するほどの感度性能は必要ない」という場合や、「ＰＭＴ３３の冷却は必要だが、目標温度Ｔｃｔｒｌの自動変更は好ましくない」という場合もあるので、ユーザが前もって自動設定機能のＯＮ／ＯＦＦを選択できるようにしたり、それらの自動設定機能を特徴づけるパラメータ（「冷却温度下限値Ｔｂｅｓｔ」や「マージン温度差ΔＴｍａｒｇｉｎ」や「１０ｓｅｃ」等）もある程度の範囲内で変更できるようにしたりするような構成としてもよい。
【００３８】
＜３＞なお、実サンプルの検出信号を取得する前に、ＰＭＴ３３への光を遮断した状態で取得した検出信号を「暗電流値」として保持し、実サンプルの分析時に「補正データ」として演算時に用いているが、本発明の分光光度計１では目標温度Ｔｃｔｒｌが変更されると「暗電流値」も変化するため、以下のような機能を備えるようにしてもよい。
ａ：ステップＳ１０３の処理を実行する前に、「暗電流値１」と、そのときの検出素子温度情報Ｔｔ（「温度１」）とを記憶する。
ｂ：ステップＳ１０３の処理〜ステップＳ１０９の処理を実行する。
ｃ：検出素子温度情報Ｔｔが目標温度Ｔｃｔｒｌに近づき、温調が安定する（例えば、ある規定時間以上において、ＴｔとＴｃｔｒｌとの差が規定温度差以下を保つ）ようになったら、その時点での「暗電流値２」と、そのときの検出素子温度情報Ｔｔ（「温度２」）とを記憶する。
ｄ：上記ａ以後（ｃ以後を含む）において、実サンプルの分析が要求されたときには、その時点での検出素子温度情報Ｔｔと、最も直近に取得した「暗電流」取得時の検出素子温度（例えば、「温度１」や「温度２」）とを比べ、それらの差が±２℃以上乖離している（例えば、Ｔｔが上記「温度１」や「温度２」と比べて±２℃以上乖離している）場合には、「暗電流値」を測定し直す。このとき、再測定した「暗電流値」と、そのときの検出素子温度情報Ｔｔとを、最も直近に取得した「暗電流値」、およびそのときの検出素子温度として記憶（上書き保存）する。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、光電子増倍管（ＰＭＴ）を備える検出器システム等に利用することができる。
【符号の説明】
【００４０】
３０  光検出器システム
３１  光導入窓
３２  密閉筐体
３３  ＰＭＴ（光検出素子）
３４  ペルチェモジュール（冷却手段）
３６  検出素子温度センサ
４１  制御部
４１ａ  結露温度予測部
４１ｂ  最適冷却温度決定部
【図１】
0006515749.tif 000002
【図２】
0006515749.tif 000003
【図３】
0006515749.tif 000004
【図４】
0006515749.tif 000005
【図５】
0006515749.tif 000006