(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁ケース（１）の内部に一端側から他端側へ直列状に形成された入口室（８）と減圧弁座（９）と出口室（１０）と、
前記入口室（８）に進退可能に挿入されると共に閉弁バネ（１５）によって他端側へ付勢された減圧部材（１４）と、
前記出口室（１０）に形成されたピストン孔（１８）と、
前記ピストン孔（１８）に進退可能に挿入されると共に圧力設定バネ（４４）によって一端側へ付勢された受圧ピストン（２１）と、
前記ピストン孔（１８）と前記受圧ピストン（２１）とによって区画形成される流体室（２８）であって、前記受圧ピストン（２１）の一端側への進出及び他端側への後退に応じて容積が減少及び増加される流体室（２８）と、
その流体室（２８）と前記出口室（１０）とを連通するように並列に設けられた第１通路（２９）と第２通路（３０）と、
前記第１通路（２９）に設けられた逆止弁（３４）であって、前記流体室（２８）から前記出口室（１０）への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する逆止弁（３４）と、
前記第２通路（３０）に設けられた絞り部（４１）と、
を備える、
ことを特徴とする減圧弁。
【請求項２】
請求項１に記載の減圧弁において、
前記ピストン孔（１８）と前記受圧ピストン（２１）との間の嵌合隙間によって前記絞り部（４１）が構成される、
ことを特徴とする減圧弁。
【請求項３】
請求項１に記載の減圧弁において、
前記ピストン孔（１８）は、前記出口室（１０）の他端側の端壁に他端方向へ順に形成された小径孔（１９）と大径孔（２０）とを有し、
前記受圧ピストン（２１）は、前記小径孔（１９）に嵌合された小径部分（２２）と前記大径孔（２０）に保密状に挿入された大径部分（２３）とを有し、
前記流体室（２８）は、前記大径孔（２０）と前記小径部分（２２）との間に形成され、
前記絞り部（４１）は、前記小径孔（１９）と前記小径部分（２２）との間に設けられる、
ことを特徴とする減圧弁。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の減圧弁において、
前記受圧ピストン（２１）の内部に前記逆止弁（３４）を設ける、
ことを特徴とする減圧弁。
【請求項５】
請求項１に記載の減圧弁において、
前記第１通路（２９）が、前記ピストン孔（１８）と前記受圧ピストン（２１）の外周面との間に形成され、
前記第２通路（３０）が、前記弁ケース（１）に設けられ、
前記逆止弁（３４）が、前記ピストン孔（１８）と前記受圧ピストン（２１）との間に装着される弾性シール部材（５０）を有し、
その弾性シール部材（５０）は、前記流体室（２８）から前記出口室（１０）への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する、
ことを特徴とする減圧弁。
【請求項６】
弁ケース（１）の内部に一端側から他端側へ直列状に形成された入口室（８）と減圧弁座（９）と出口室（１０）と、
前記入口室（８）に形成された収容孔（１３）と、
前記出口室（１０）に進退可能に挿入されると共に圧力設定バネ（４４）によって一端側へ付勢された受圧ピストン（２１）と、
前記収容孔（１３）に進退可能に挿入されると共に閉弁バネ（１５）によって他端側へ付勢された減圧部材（１４）と、
前記収容孔（１３）と前記減圧部材（１４）とによって区画形成される流体室（２８）であって、前記減圧部材（１４）の一端側への移動及び他端側への移動に応じて容積が減少及び増加される流体室（２８）と、
その流体室（２８）と前記入口室（８）とを連通するように並列に設けられた第１通路（２９）と第２通路（３０）と、
前記第１通路（２９）に設けられた逆止弁（３４）であって、前記流体室（２８）から前記入口室（８）への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する逆止弁（３４）と、
前記第２通路（３０）に設けられた絞り部（４１）と、
を備える、
ことを特徴とする減圧弁。
【請求項７】
請求項６に記載の減圧弁において、
前記収容孔（１３）と前記減圧部材（１４）の外周壁との間の嵌合隙間によって前記絞り部（４１）が構成される、
ことを特徴とする減圧弁。
【請求項８】
請求項６に記載の減圧弁において、
前記減圧部材（１４）の内部に前記逆止弁（３４）を設ける、
ことを特徴とする減圧弁。
【請求項９】
請求項６に記載の減圧弁において、
前記第１通路（２９）が、前記収容孔（１３）と前記減圧部材（１４）の外周面との間に形成され、
前記第２通路（３０）が、前記弁ケース（１）に設けられ、
前記逆止弁（３４）が、前記収容孔（１３）と前記減圧部材（１４）との間に装着される弾性シール部材（５０）を有し、
その弾性シール部材（５０）は、前記流体室（２８）から前記入口室（８）への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する、
ことを特徴とする減圧弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、減圧弁に関し、より詳しくは、弁ケース内に挿入された受圧ピストンや減圧部材に発生するハンチングやチャタリング等の振動現象を抑制する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】  この種の減圧弁には、従来では、特許文献１（日本国・特開２００１−０５１７２７号公報）に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
弁ケース内部の出口室に受圧ピストンが挿入される。弁ケース内部の入口室に減圧部材を挿入し、その減圧部材に形成された収容孔に可動子弁体が挿入される。出口室の圧力の上昇によって減圧部材が閉弁して、入口室の圧力流体が、可動子弁体の外周に形成された絞り通路を通って出口室へ流出する。その出口室の圧力がさらに上昇して設定圧力に達すると、可動子弁体が閉弁される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】  特開２００１−０５１７２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  従来の減圧弁では、出口室の圧力の急激な変動により、可動子弁体や減圧部材や受圧ピストンがハンチングやチャタリング等の振動現象によって異常音を発生させることがある。
本発明の目的は、減圧部材や受圧ピストンに発生する振動現象を確実に抑制する減圧弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  上記の目的を達成するため、第１の発明は、例えば、図１及び図２Ａ〜図２Ｃ，図３，図４に示すように、減圧弁を次のように構成した。
弁ケース１の内部に、入口室８と減圧弁座９と出口室１０とが一端側から他端側へ直列状に形成される。前記入口室８に減圧部材１４が進退可能に挿入される共に、その減圧部材１４が閉弁バネ１５によって他端側へ付勢される。前記出口室１０にピストン孔１８が形成される。前記ピストン孔１８に受圧ピストン２１が進退可能に挿入されると共に、その受圧ピストン２１が圧力設定バネ４４によって一端側へ付勢される。前記ピストン孔１８と前記受圧ピストン２１とによって流体室２８が区画形成される。その流体室２８の容積は、前記受圧ピストン２１の一端側への進出に応じて減少され、前記受圧ピストン２１の他端側への後退に応じて増加される。その流体室２８と前記出口室１０とを連通するように第１通路２９と第２通路３０とが並列に設けられる。前記第１通路２９に逆止弁３４が設けられ、その逆止弁３４が前記流体室２８から前記出口室１０への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する。前記第２通路３０に絞り部４１が設けられる。【０００６】  従って、第１の発明は次の作用効果を奏する。
前記受圧ピストンが他端側へ後退して流体室の容積が増加するときには、その流体室の圧力が低下して逆止弁が開弁すると共に、出口室の圧力流体が第１通路を通って流体室へ流入する。これにより、その出口室の圧力と流体室の圧力によって受圧ピストンが圧力設定バネの付勢力に抗して他端側へ速やかに後退される。
これに対し、受圧ピストンが一端側へ進出して流体室の容積が減少するときには、その流体室の圧力が上昇して逆止弁が閉弁すると共に、流体室の圧力流体が第２通路の絞り部を通って出口室へ緩やかに流出する。これにより、流体室が加圧されて出口室の圧力よりも高圧力となり、その流体室の高圧力と出口室の圧力とが受圧ピストンを一端側へ進出させる圧力設定バネの付勢力に対する抵抗力として他端側へ作用する。このため、その他端側へ作用する抵抗力が、受圧ピストンの一端側への進出速度を緩やかにする。
ここで、従来の減圧弁では、出口室の圧力が設定圧力に調整されているときに、その出口室の圧力が急に低下すると、減圧部材や受圧ピストンがハンチングやチャタリング等の振動現象を発生することがある。しかしながら、本発明によれば、上記抵抗力が受圧ピストンの一端側への進出速度を緩やかにするので、減圧部材が急に開弁して出口室の圧力が急に上昇するのを防止でき、その結果、受圧ピストン及び減圧部材の振動が抑制される。【０００７】  第１の発明は、下記（１）から（４）の構成を加えることが好ましい。
（１）  例えば、図１〜図２Ｃ又は図３に示すように、前記ピストン孔１８と前記受圧ピストン２１との間の嵌合隙間に前記絞り部４１が設けられる。
この場合、減圧弁を簡素な構成とすることができる。【０００８】（２）  例えば、図１〜図２Ｃ又は図３に示すように、前記ピストン孔１８は、前記出口室１０の他端側の端壁に他端方向へ順に形成された小径孔１９と大径孔２０とを有する。前記受圧ピストン２１は、前記小径孔１９に嵌合された小径部分２２と前記大径孔２０に保密状に挿入された大径部分２３とを有する。前記流体室２８は、前記大径孔２０と前記小径部分２２との間に形成される。前記絞り部４１は、前記小径孔１９と前記小径部分２２との間に設けられる。
この場合、減圧弁を簡素な構成とすることができる。【０００９】（３）  例えば、図１〜図２Ｃに示すように、前記受圧ピストン２１の内部に前記逆止弁３４を設ける。
この場合、弁ケースに逆止弁を設ける場合に比べて、その逆止弁の弁室や弁座を容易に加工できるので、減圧弁を能率良く製作できる。【００１０】（４）  例えば、図４に示すように、前記第１通路２９が、前記ピストン孔１８と前記受圧ピストン２１の外周面との間に形成される。前記第２通路３０が、前記弁ケース１に設けられる。前記逆止弁３４が、前記ピストン孔１８と前記受圧ピストン２１との間に装着された弾性シール部材５０を備える。その弾性シール部材５０は、前記流体室２８から前記出口室１０への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する。
この場合、逆止弁を簡素な構成とすることができる。【００１１】  第２の発明は、例えば、図５又は図６に示すように、減圧弁を次のように構成した。
弁ケース１の内部に、入口室８と減圧弁座９と出口室１０とが一端側から他端側へ直列状に形成される。前記入口室８に収容孔１３が形成される。前記出口室１０に受圧ピストン２１が進退可能に挿入されると共に、その受圧ピストン２１が圧力設定バネ４４によって一端側へ付勢される。前記収容孔１３に減圧部材１４が進退可能に挿入されると共に、その減圧部材１４が閉弁バネ１５によって他端側へ付勢される。前記収容孔１３と前記減圧部材１４とによって流体室２８が区画形成される。その流体室２８の容積は、前記減圧部材１４の一端側への移動に応じて減少され、前記減圧部材１４の他端側への移動に応じて増加される。その流体室２８と前記入口室８とを連通するように第１通路２９と第２通路３０とが並列に設けられる。前記第１通路２９に逆止弁３４が設けられ、その逆止弁３４が前記流体室２８から前記入口室８への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する。前記第２通路３０に絞り部４１が設けられる。【００１２】  この場合、第２の発明は、第１の発明と同様の効果を奏する。即ち、前記減圧部材が他端側へ移動して流体室の容積が増加するときには、その流体室の圧力が低下して逆止弁が開弁すると共に、入口室の圧力流体が第１通路を通って流体室へ流入する。これにより、減圧部材が他端側へ速やかに移動される。
これに対し、減圧部材が一端側へ進出して流体室の容積が減少するときには、その流体室の圧力が上昇して逆止弁が閉弁すると共に、流体室の圧力流体が第２通路の絞り部を通って入口室へ緩やかに流出する。これにより、流体室が加圧されて入口室の圧力より高圧力となり、その流体室の高圧力と閉弁バネの付勢力とが、減圧部材および受圧ピストンを一端側へ進出させる圧力設定バネの付勢力に対する抵抗力として他端側へ作用する。このため、その他端側へ作用する抵抗力が、減圧部材の一端側への進出速度を緩やかにするので、減圧部材が急に開弁して出口室の圧力が急に上昇するのを防止でき、その結果、受圧ピストン及び減圧部材の振動が抑制される。【００１３】  第２の発明は、下記（５）から（７）の構成を加えることが好ましい。
（５）  例えば、図５に示すように、前記収容孔１３と前記減圧部材１４の外周壁との間の嵌合隙間によって前記絞り部４１が構成される。
この場合、減圧弁を簡素な構成とすることができる。【００１４】（６）  例えば、図５に示すように、前記減圧部材１４の内部に前記逆止弁３４が設けられる。
この場合、弁ケースに逆止弁を設ける場合に比べて、その逆止弁の弁室や弁座を容易に加工できるので、減圧弁を能率良く製作できる。【００１５】（７）  例えば、図６に示すように、前記第１通路２９が、前記収容孔１３と前記減圧部材１４の外周面との間に形成される。前記第２通路３０が、前記弁ケース１に設けられる。前記逆止弁３４が、前記収容孔１３と前記減圧部材１４との間に装着される弾性シール部材５０を有する。その弾性シール部材５０は、前記流体室２８から前記入口室８への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する。
この場合、逆止弁を簡素な構成とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態を示し、減圧弁の断面図である。
【図２】図２Ａから図２Ｃは、上記減圧弁の動作説明図であって、それぞれ、上記図１に類似する部分図である。図２Ａは、減圧弁の全開状態を示し、図２Ｂは、全開状態から閉弁状態への切換え途中状態を示し、図２Ｃは、減圧弁の閉弁状態を示している。
【図３】図３は、本発明の第２実施形態を示し、図２Ｃに類似する図である。
【図４】図４は、本発明の第３実施形態を示し、図２Ｃに類似する図である。
【図５】図５は、本発明の第４実施形態を示し、図２Ｃに類似する図である。
【図６】図６は、本発明の第５実施形態を示し、図２Ｃに類似する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】  本発明の第１実施形態を、図１〜図２Ｃによって説明する。まず、全開状態を示す図１に基づいて減圧弁の構造を説明する。
弁ケース１の下部に圧油の入口孔３及び出口孔４が設けられる。入口孔３に油圧源が連通されると共に、出口孔４に油圧シリンダが連通される（いずれも図示せず）。弁ケース１の内部に、入口室８と減圧弁座９と出口室１０とが右端壁１ａ側（一端側）から左端壁１ｂ側（他端側）へ直列状に形成される。
【００１８】  前記の右端壁１ａに収容孔１３が形成され、その収容孔１３に減圧部材１４が左右方向へ進退可能に挿入される。右端壁１ａと減圧部材１４との間に装着された閉弁バネ１５が、減圧部材１４を左方へ付勢する。その減圧部材１４の周壁に形成された溝１４ａが、収容孔１３の内部と入口室８とを連通させる。入口室８の左端壁には、前記の減圧弁座９が形成され、その減圧弁座９の中央に開口部が形成される。その開口部を介して入口室８と出口室１０とが連通される。
【００１９】  前記の出口室１０に形成されたピストン孔１８は、出口室１０の左端壁から左方へ順に形成された小径孔１９と大径孔２０とを有する。そのピストン孔１８に受圧ピストン２１を左右方向へ進退可能に挿入する。その受圧ピストン２１は、小径孔１９に挿入される小径部分２２と、大径孔２０に保密状に挿入される大径部分２３とを有する。大径孔２０と小径部分２２との間に、流体室２８が形成される。その流体室２８と出口室１０とは、並列に配置された第１通路２９及び第２通路３０によって連通される。
【００２０】  上記第１通路２９は、受圧ピストン２１の内部に設けられる。その第１通路２９にポペット式の逆止弁３４が設けられ、その逆止弁３４の弁室３５が左右方向に延在するように形成されている。その弁室３５の右端壁に弁座３６が設けられ、その弁座３６にボール３７がバネ３８によって付勢される。弁座３６の中央に入口路３９が出口室１０に連通されるように形成される。また、その弁室３５は、出口路４０を介して流体室２８に連通される。前記の第１通路２９は、入口路３９と弁室３５と出口路４０とからなる。
【００２１】  前記の第２通路３０は、小径孔１９と小径部分２２との間の嵌合隙間によって形成され、その嵌合隙間の全体によって絞り部４１が構成されている。前記小径部分２２から右方へ操作ロッド３２が突設される。その操作ロッド３２は、前記開口部を通って減圧部材１４に当接する。
なお、絞り部４１は、嵌合隙間の全体によって構成されるのに代えて、その嵌合隙間の一部に形成されるようにしてもよい。
【００２２】  弁ケース１の左端壁１ｂと受圧ピストン２１との間には、その受圧ピストン２１を右方へ付勢する圧力設定バネ４４が、バネ受け４５，４６を介して装着される。
【００２３】  上記の減圧弁は、図２Ａから図２Ｃに示すように、次のように作動する。
図２Ａの初期状態では、入口室８と出口室１０と流体室２８とに油が充満されているが、入口孔３に油圧力を作用させていない。このため、圧力設定バネ４４が受圧ピストン２１を右方へ進出させると共に、受圧ピストン２１が前記操作ロッド３２を介して減圧部材１４を減圧弁座９から離間させ、これらの両者間に大きな隙間が形成されている。また、流体室２８の容積が最小となっている。
【００２４】  上記図２Ａの全開状態において、入口孔３に圧油を供給すると、出口室１０の圧力が上昇して、受圧ピストン２１が図２Ａに示す位置から図２Ｂに示す位置へ後退されると共に、減圧部材１４が閉弁バネ１５の付勢力によって左方に移動される。また、受圧ピストン２１の左方への後退に応じて流体室２８の容積が増加されると、流体室２８内の圧力が低下して逆止弁３４が開弁されると共に、出口室１０の圧油が第１流路２９を通って流体室２８へ流入する。
【００２５】  図２Ｂの切換え途中状態において、入口室８の圧油が出口室１０へさらに流出すると、その出口室１０の圧力が設定圧力まで上昇して、受圧ピストン２１が図２Ｃに示す位置へ後退すると共に、減圧部材１４が左方へ移動して減圧弁座９に当接し、減圧部材１４が閉弁される。
【００２６】  図２Ｃの閉弁状態において、出口孔４に接続された油圧シリンダが圧油を消費して前記の出口室１０内の油圧力が低下すると、図２Ｂに示すように、受圧ピストン２１が右方へ進出して減圧部材１４を開弁させる。その図２Ｂの開弁状態と図２Ｃの閉弁状態とを繰り返して、出口孔４の圧力を設定値に保持する。
【００２７】  上述したように、出口室１０内の油圧力が低下することにより、前記の受圧ピストン２１が右方へ進出したときには、それに応じて流体室２８の容積が減少する。このため、その流体室２８の圧力が上昇して、流体室２８の圧油が第２流路３０の絞り部４１を通って出口室１０へ緩やかに流出されていく。より詳しくいえば、流体室２８の上記の容積減少速度が、当該出口室１０への上記圧油流出速度を超えることにより、流体室２８の圧力が高くなる。これにより、その流体室２８の高圧力と出口室１０の圧力とが受圧ピストン２１を右方へ進出させる圧力設定バネ４４の付勢力に対する抵抗力として左方へ作用する。その結果、受圧ピストン２１は、右方へ緩やかに進出し、減圧部材１４が緩やかに開弁する。
また、前記の受圧ピストン２１が左方へ後退したときには、それに応じて流体室２８の容積が増加され、流体室２８の圧力が出口室１０に比べて低くなる。その出口室１０の圧力が前記のバネ３８に抗して逆止弁３４を開弁させて、出口室１０の圧油が前記の弁室３５を通って流体室２８へ速やかに流入する。これにより、受圧ピストン２１は、左方へ速やかに後退し、減圧部材１４が速やかに閉弁する。
【００２８】  ここで、従来の減圧弁の問題点は、上記第１実施形態の図面および参照数字を利用して説明すると、次のとおりである。即ち、出口孔４（及び出口室１０）の圧力が設定圧力に調整されているときに、上記の油圧シリンダが圧油を消費して出口孔４の圧力が急に低下すると、圧力設定バネ４４の付勢力によって受圧ピストン２１が右方へ急に進出して減圧部材１４が大きく開弁されて、入口室８の圧油が出口室１０へ勢いよく流出して、出口室１０の圧力を高める。その出口室１０の高い圧力が圧力設定バネ４４に抗して受圧ピストン２１を左方へ急速に後退させるので、減圧部材１４が急に閉弁される。すると、出口室１０の圧力が急に低下するので、圧力設定バネ４４が受圧ピストン２１を介して減圧部材１４を急に開弁させる。このように、従来の減圧弁の減圧部材１４には、急な開弁と閉弁とを繰り返してチャタリングが発生する。
これに対し、本発明の減圧弁では、出口孔４の圧力が急に低下しても、前述した抵抗力によって受圧ピストン２１が緩やかに右方へ進出して減圧部材１４が緩やかに開弁されるので、出口室１０の圧力は緩やかに上昇する。このため、受圧ピストン２１及び減圧部材１４のチャタリングが抑制される。
【００２９】  また、従来の減圧弁では、出口室１０の圧力が急に低下して圧力設定バネ４４が受圧ピストン２１を介して減圧部材１４を急に開弁方向へ移動させると、入口室８の圧油が出口室１０へ勢いよく流出して、その出口室１０の圧力がオーバーシュートしてハンチングするおそれがあった。
これに対し、本発明の減圧弁では、前記の抵抗力が受圧ピストン２１に作用して、その受圧ピストン２１が緩やかに右方へ進出する。これにより、出口室１０の圧力を緩やかに上昇させることができる。即ち、出口室１０の圧力がオーバーシュートしてハンチングが発生するのを確実に防止できる。
【００３０】  前記受圧ピストン２１の小径部分２２及び大径部分２３は、一体に形成されるのに代えて、別体に設けてもよい。例えば、上記大径部分２３をピストンリング状に形成して、その大径部分２３を小径部分２２に取り付けてもよい。
【００３１】  図３から図６は、それぞれ本発明の第２実施形態から第５実施形態を示している。これらの各実施形態においては、上記の第１実施形態の構成部材と同じ部材（または類似する部材）には原則として同一の参照数字を付けて説明する。
【００３２】  図３に示す第２実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
弁ケース１の上部に第１通路２９が設けられ、その第１通路２９に逆止弁３４が設けられる。
より詳しくは、上記弁ケース１の上部にキャップ部材４７がネジ止めされ、そのキャップ部材４７の下側に前記弁室３５が設けられる。キャップ部材４７の下端壁に設けた弁座３６にボール３７がバネ３８によって付勢される。弁座３６の中央に入口路３９を介して出口室１０が連通される。また、弁室３５は、出口路４０を介して流体室２８に連通される。入口路３９と弁室３５と出口室４０とによって前記の第１通路２９が構成される。
【００３３】  図４に示す第３実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
弁ケース１の出口室１０内に筒部材５５が保密状に装着される。その筒部材５５の内周孔にピストン孔１８が形成され、そのピストン孔１８の小径孔１９と受圧ピストン２１の小径部分２２との間に第１通路２９が設けられる。その第１通路２９に、ゴム製のＵパッキン（弾性シール部材）５０を備える逆止弁３４を設ける。そのＵパッキン５０は、その基部５０ａが出口室１０側となるように受圧ピストン２１の溝２１ａに装着され、Ｕパッキン５０の先端部５０ｂの外周部が小径孔１９の周壁と接触することで小径孔１９と小径部分２２との間を封止している。これにより、逆止弁３４を簡素な構成とすることができる。
また、前記筒部材５５の外周壁の右部と出口室１０の内周壁との間に絞り部４１が形成され、その絞り部４１と流体室２８とを連通させる通路５６が筒部材５１に形成される。前記通路５６と絞り部４１とによって第２通路３０が構成される。即ち、第２通路３０は弁ケース１の内部に設けられ、その第２通路３０に絞り部４１が設けられる。
【００３４】  この場合、受圧ピストン２１の左方への後退に応じて、流体室２８の容積が増加されると、流体室２８の圧力が低下して逆止弁３４が開弁され、出口室１０の圧油が先端部５０ｂと小径孔１９の周壁との間を通って流体室２８へ流入する。
これに対し、受圧ピストン２１の右方への進出に応じて、流体室２８の容積が減少されると、流体室２８の圧力が上昇して逆止弁３４が閉弁され、流体室２８の圧油が第２通路３０の絞り部４１を通って出口室１０へ緩やかに流出する。これにより、流体室２８が加圧されて出口室１０の圧力よりも高圧力となり、その流体室２８の高圧力と出口室１０の圧力とが、受圧ピストン２１を右方へ進出させる圧力設定バネ４４の付勢力に対する抵抗力として左方へ作用する。このため、その左方へ作用する抵抗力が、受圧ピストン２１の右方への進出速度を緩やかにするので、減圧部材１４が急に開弁して出口室１０の圧力が急に上昇するのを防止でき、その結果、受圧ピストン２１及び減圧部材１４に発生するハンチングやチャタリング等の振動現象が抑制される。
なお、上記の弾性シール部材は、例示したゴム製のＵパッキン５０に代えて、形状の異なるＯリング等であってもよく、また、材質の異なる樹脂製等であってもよい。
【００３５】  図５に示す第４実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
弁ケース１の右端壁１ａに形成された収容孔１３と、減圧部材１４の右端部とによって流体室２８が形成され、減圧部材１４の内部に第１通路２９が設けられ、収容孔１３と減圧部材１４の外周壁との間の嵌合隙間によって第２通路３０が構成される。
【００３６】  より詳しくは、その第１通路２９にポペット式の逆止弁３４が設けられ、その逆止弁３４の弁室３５が左右方向に延在するように形成されている。その弁室３５の左端壁に弁座３６が設けられ、その弁座３６にボール３７がバネ３８によって付勢される。弁座３６の中央に入口路３９が入口室８に連通されるように形成される。また、その弁室３５は、出口路４０を介して流体室２８に連通される。第２通路３０に絞り部４１が設けられる。
この場合、減圧部材１４の左方への移動に応じて、流体室２８の容積が増加されると、入口室８の圧力よりも流体室２８の圧力が低下して逆止弁３４が開弁され、入口室８の圧油が弁室３５を通って流体室２８へ流入する。
これに対し、減圧部材１４の右方への移動に応じて、流体室２８の容積が減少されると、流体室２８の圧力が上昇して逆止弁３４が閉弁され、流体室２８の圧油が第２通路３０の絞り部４１を通って入口室８へ緩やかに流出する。これにより、流体室２８が加圧されて入口室８の圧力より高圧力となる。その流体室２８の高圧力と閉弁バネ１５の付勢力とが、減圧部材１４および受圧ピストン２１を右方へ進出させる圧力設定バネ４４の付勢力に対する抵抗力として左方へ作用する。このため、その左方へ作用する抵抗力が、減圧部材１４の右方への進出速度を緩やかにするので、減圧部材１４が急に開弁して出口室１０の圧力が急に上昇するのを防止でき、その結果、受圧ピストン２１及び減圧部材１４の振動が抑制される。
【００３７】  図６に示す第５実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
弁ケース１の右端部に蓋部材５９がネジ止めされ、その蓋部材５９の左端部に収容孔１３が形成される。その収容孔１３に減圧部材１４が挿入される。前記収容孔１３と減圧部材１４の右端部とによって流体室２８が区画形成される。収容孔１３と減圧部材１４の外周面との隙間に、ゴム製のＵパッキン（弾性シール部材）５０を備える逆止弁３４が設けられる。そのＵパッキン５０は、その基部５０ａが入口室８側となるように減圧部材１４の溝１４ｂに装着され、Ｕパッキン５０の先端部５０ｂの外周部が収容孔１３の周壁と接触することで減圧部材１４の外周面と収容孔１３との間を封止している。収容孔１３と減圧部材１４の外周面との隙間が第１通路２９を構成する。
また、前記蓋部材５９は、左方へ順に大径部６０と小径部６１とを有する。小径部６１の外周面と弁ケース１との間の隙間に絞り部４１が形成される。その絞り部４１と収容孔１３とを連通させる通路６２が蓋部材５９に設けられる。その絞り部４１と通路６２が第２通路３０を構成する。
【００３８】  この場合、減圧部材１４の左方への移動に応じて、流体室２８の容積が増加されると、流体室２８の圧力が低下して逆止弁３４が開弁され、入口室８の圧油が先端部５０ｂと収容孔１３の周壁との間を通って流体室２８へ流入する。
これに対し、減圧部材１４の右方への移動に応じて、流体室２８の容積が減少されると、流体室２８の圧力が上昇して逆止弁３４が閉弁され、流体室２８の圧油が第２通路３０の絞り部４１を通って入口室８へ緩やかに流出する。これにより、流体室２８が加圧されて入口室８の圧力より高圧力となる。その流体室２８の高圧力と閉弁バネ１５の付勢力とが、減圧部材１４および受圧ピストン２１を右方へ進出させる圧力設定バネ４４の付勢力に対する抵抗力として左方へ作用する。このため、上記抵抗力が受圧ピストン２１の右方への進出速度を緩やかにするので、減圧部材１４が急に開弁して出口室１０の圧力が急に上昇するのを防止でき、その結果、受圧ピストン２１及び減圧部材１４に生じるハンチングやチャタリング等の振動現象が抑制される。
【００３９】  上記の各実施形態は次のように変更可能である。
圧力流体は、例示した圧油に代えて、他の液体または圧縮空気等の気体であってもよい。
上記の逆止弁３４は、例示したポペット式やパッキン式の逆止弁に限定されるものではない。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
【符号の説明】
【００４０】  １：弁ケース，８：入口室，９：減圧弁座，１０：出口室，１３：収容孔，１４：減圧部材，１５：閉弁バネ，１８：ピストン孔，１９：小径孔，２０：大径孔，２１：受圧ピストン，２２：小径部分，２３：大径部分，２８：流体室，２９：第１通路，３０：第２通路，３４：逆止弁，４１：絞り部，４４：圧力設定バネ，５０：弾性シール部材．
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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