(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定流体が接触する受圧ダイアフラムと、
当該受圧ダイアフラムの、前記測定流体が接触する側とは反対の側に接触し、かつ、測定流体から当該受圧ダイアフラムで受圧した圧力を前記受圧ダイアフラムから離れた位置に配置された受圧センサに伝送する封入液と、
前記封入液が封入され、前記受圧ダイアフラムと前記受圧センサとを接続する導圧路と、
前記受圧センサで受圧した圧力に基づいて測定流体の絶対圧又は測定流体同士の差圧を測定して出力する出力回路と、を備え、
前記導圧路の内部には、炭化水素を吸着する炭化水素吸着材と、水素を吸蔵する水素吸蔵材と、が設けられ、
前記導圧路の内部で発生した炭化水素が前記炭化水素吸着材によって吸着されることを特徴とする、圧力伝送装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記炭化水素吸着材は、ゼオライト、活性炭及び多孔性配置の高分子からなる群より選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする、圧力伝送装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記炭化水素吸着材は、粉末状、板状、棒状及び膜状からなる群より選ばれる少なくとも一種の形状であることを特徴とする、圧力伝送装置。
【請求項４】
請求項１又は２において、
前記封入液は、放射線によって分解されることで水素ラジカル及び炭化水素ラジカルを生成し、
前記炭化水素吸着材は、生成した前記水素ラジカルと前記炭化水素ラジカルとが結合してなる炭化水素を吸着するようになっていることを特徴とする、圧力伝送装置。
【請求項５】
請求項１又は２において、
前記受圧ダイアフラムのうち、前記測定流体に接触する側の面、及び、前記封入液に接触する側の面、のうちの少なくとも一方の面には、金メッキが施されていることを特徴とする、圧力伝送装置。
【請求項６】
請求項１又は２において、
前記導圧路の内部に、５ｃｍ以内の間隔を有して、少なくとも一つの前記水素吸蔵材と、少なくとも一つの炭化水素吸着材とが設けられていることを特徴とする、圧力伝送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧力伝送装置及び圧力伝送方法に関し、特には、原子力プラントや石油精製プラント、化学プラント等において好適に使用可能な流体の圧力又は２点間の圧力差を測定し、その検出信号を伝送する圧力伝送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力伝送装置は、ダイアフラムで受けた測定流体の圧力を導圧路に内封した封入液によりセンサまで伝達し、センサで検出された電気信号を外部へ伝送するものである。圧力伝送装置としては、絶対圧力を測定する圧力伝送器と、差圧を測定する差圧伝送器とがある。これらの圧力伝送装置は、原子力プラントや石油精製プラント等で使用されており、プラントの安全確保や製品の品質を確保する点から、例えば±１％の精度が要求されている。しかしながら、圧力伝送装置外部からの透過した水素の影響により、長期間その精度を保つことが困難であった。
【０００３】
例えば、測定流体に含まれる水素（水素分子、水素原子、水素ラジカル）の一部は、ダイアフラムを透過する。そして、その透過した水素は、導圧路に充填された封入液中に気泡となって溜まることになる。さらには、放射線や熱によって封入液が分解することで、水素ラジカルや、メチルラジカル等の炭化水素ラジカルが発生する。そして、それらのラジカルが結合することで水素分子やメタン等の炭化水素が発生する。これらは、前記のダイアフラムを透過した水素と同様、導圧路の内部に蓄積する。これらのように、導圧路の内部に水素の気泡や炭化水素の気泡が溜まると導圧路内部の圧力は上昇し、ダイアフラムに加わる圧力の変化がセンサに正しく伝達されなくなる。その結果、測定精度が低下することになる。
【０００４】
そこで、導圧路の内部に水素の気泡や炭化水素の気泡が溜まることを抑制する技術として、特許文献１に記載の技術が知られている。特許文献１には、圧力を伝達させるための封入液を導圧路内部に封入した圧力・差圧伝送器において、ダイアフラムと本体側壁面との間に空間を形成するものであって、本体側壁面に接続された導圧路を有しており、空間と導圧路に封入された封入液を介して、ダイアフラムで受けた圧力をセンサに伝送するものにおいて、少なくとも封入液、本体側壁面或いは本体側壁面からセンサまでの一部に封入液の水素原子を吸蔵する水素吸蔵材を設けることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−０８９１７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の技術では、水素吸蔵材に炭化水素が接触して発生した水素を水素吸蔵材に吸蔵することで、水素の気泡の発生が抑制されている。さらには、同じく水素吸蔵材に接触して発生した炭化水素を水素吸蔵材表面に吸着することで、炭化水素の気泡の発生が抑制されている（同文献の段落００２８参照）。しかし、高放射線量（例えば積算１ＭＧｙ以上）や高温（例えば４００℃以上）の環境下では、炭化水素が大量に発生することがあり、この場合には炭化水素の気泡が発生し易くなる。
【０００７】
炭化水素の気泡が発生し易くなれば、導圧路内部の圧力も上昇し易くなる。そして、導圧路内部の圧力が上昇すれば、圧力伝送装置の許容誤差の精度（例えば±１％の精度）が低下するため、それを回復するための保守作業が重要となる。しかも、当該保守作業の際には、許容誤差を例えば±１％の精度を保つために部品の交換が必要となることがあり、その交換費用もかさみ易い。これらの課題は、炭化水素の気泡の発生量が多くなったときに特に大きなものとなる。
【０００８】
本発明はこれらの事情に鑑みて為されたものであり、本発明が解決しようとする課題は、炭化水素の気泡及び水素の気泡の発生を確実に抑制し、測定誤差を長期間良好に維持して長寿命化を図った圧力伝送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは前記課題を解決するために鋭意検討を行った結果、以下のようにすることで、前記の課題を解決できることを見出した。即ち、本発明は、測定流体が接触する受圧ダイアフラムと、当該受圧ダイアフラムの、前記測定流体が接触する側とは反対の側に接触し、かつ、測定流体から当該受圧ダイアフラムで受圧した圧力を前記受圧ダイアフラムから離れた位置に配置された受圧センサに伝送する封入液と、前記封入液が封入され、前記受圧ダイアフラムと前記受圧センサとを接続する導圧路と、前記受圧センサで受圧した圧力に基づいて測定流体の絶対圧又は測定流体同士の差圧を測定して出力する出力回路と、を備え、前記導圧路の内部には、炭化水素を吸着する炭化水素吸着材と、水素を吸蔵する水素吸蔵材と、が設けられ、前記導圧路の内部で発生した炭化水素が前記炭化水素吸着材によって吸着されることを特徴とする、圧力伝送装置に関する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、炭化水素の気泡及び水素の気泡の発生を確実に抑制し、測定誤差を長期間良好に維持して長寿命化を図った圧力伝送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態に係る圧力伝送装置の一例である差圧伝送器の説明図である。
【図２】炭化水素吸着材による炭化水素の吸着方法を示す説明図である。
【図３】水素吸蔵材による水素吸蔵方法を示す説明図である。
【図４】（ａ）は封入液の構造式であり、（ｂ）は放射線や熱によって封入液が分解されたときに発生するラジカル種を示す図である。
【図５】水素吸蔵材から離れている場所における炭化水素の生成時の様子を示す図である。
【図６】水素吸蔵材からの距離Ｌと、その部分での炭化水素の発生抑制量との関係を示すグラフである。
【図７】水素吸蔵材から離れた位置に設置された炭化水素吸着材による炭化水素の吸着の様子を示した図である。
【図８】本実施形態に係る圧力伝送装置の別の例である圧力伝送器の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を適宜参照しながら、本発明を実施するための形態（本実施形態）を説明する。
【００１３】
図１は、本実施形態に係る圧力伝送装置の一例である差圧伝送器１００の説明図である。差圧伝送器１００は、高圧側の測定流体と低圧側の測定流体との差圧を測定するものである。図１に示す差圧伝送器１００は、置換器部２、キャピラリ部３及び本体部４を備えて構成される。これらのうち、本体部４を中心として、測定流体の高圧側には置換基部２とキャピラリ部３とが、また、測定流体の低圧側には置換基部２とキャピラリ部３とがそれぞれ設けられている。
【００１４】
差圧伝送器１００では、高圧側の測定流体からの圧力は、その測定流体が接触する受圧ダイアフラム５Ａにより、また、低圧側の測定流体からの圧力は、その測定流体が接触する受圧ダイアフラム５Ｂにより受圧される。これらの受圧ダイアフラム５Ａ，５Ｂと、後記するセンサ１１（受圧センサ）との間は、封入液７により封入された導圧路６により接続されている。受圧ダイアフラム５Ａ，５Ｂにおいて受圧したそれぞれの圧力は、導圧路６に封入された封入液７によって、中間ダイアフラム８、シールダイアフラム９、センタダイアフラム１０を介してセンサ１１まで伝送される。センサ１１で受け取った圧力は、図示しない変換装置によって電気信号に変換された後、図示しない電気信号線を通じて出力回路１２に入力され、入力された圧力値が外部に対して出力される。ここで出力される値は、センサ１１で受圧した圧力に基づいて測定流体同士の差圧を測定して得られたものである。
【００１５】
また、差圧伝送器１００では、封入液７は、受圧ダイアフラム５と中間ダイアフラム８との間のほか、中間ダイアフラム８とシールダイアフラム９との間、シールダイアフラム９とセンタダイアフラム１０との間、及び、センタダイアフラム１０とセンサ１１との間にも封入されている。そして、これらのそれぞれの区間は、全て導圧路６として構成されている。
【００１６】
差圧伝送器１００に備えられる受圧ダイアフラム５Ａ，５Ｂにおいては、外部から水素が透過し易い。そこで、差圧伝送器１００では、受圧ダイアフラム５Ａ，５Ｂのそれぞれの内側面に金メッキが施されている。これにより、外部からの水素の透過が抑制され、水素の蓄積がより十分に抑制される。また、外部からの水素の透過量が抑制されることで、内部から外部への水素の透過量も抑制されることになる。しかし、本実施形態の差圧伝送器１００では、水素が透過しないことによるメタン２２や水素分子２４（それぞれ図４参照）の発生量が増加しても、炭化水素吸着材１６及び水素吸蔵材１８が設けられているため、これらの気泡の発生を抑制することができる。
【００１７】
また、詳細は後記するが、封入液７が熱や放射線等により分解されることで、炭化水素の気泡１５（以下、「炭化水素気泡１５」ということがある）や水素の気泡１７（以下、「水素気泡１７」ということがある）が発生する。即ち、炭化水素や水素が発生し、その発生量が封入液７への溶解可能上限量を超えると、炭化水素気泡１５や水素気泡１７が発生することになる。なお、ここでいう「炭化水素」は、例えばメタン、エタン、プロパン等である。
【００１８】
特に、差圧伝送器１００による測定される測定流体の圧力が真空に近いときほど、導圧路６の内部の圧力は低下する。そのため、このようなときには、溶解可能上限量が少なくなって、炭化水素気泡１５や水素気泡１７が発生し易い。また、前記のように金メッキが施されているものの、受圧ダイアフラム５Ａ，５Ｂの部分からも内部に水素が透過してしまう可能性もある。
【００１９】
そして、これらの炭化水素気泡１５や水素気泡１７により導圧路６の内圧が上昇すると、受圧ダイアフラム５Ａ，５Ｂに加わる圧力の変化をセンサ１１に正しく伝達できなくなる。そのため、測定精度が低下する。特に、高圧側の導圧路６の内部で気泡化した気体量と、低圧側の導圧路６の内部で気泡化した気体量とが異なる場合に、圧力値が正常値からずれて、誤差が大きくなる。
【００２０】
そこで、差圧伝送器１００では、測定流体に最も近く、放射線や熱の影響を特に受けやすい部位である受圧ダイアフラム５Ａ，５Ｂの近傍に、炭化水素を吸着する炭化水素吸着材１６と、水素を吸蔵する水素吸蔵材１８とが配置されている。ここで、炭化水素吸着材１６及び水素吸蔵材１８の配置の形態は、図示の例では封入液７中に混在させているが、例えば導圧路６の内壁面を覆うような膜状に配置してもよい。炭化水素吸着材１６及び水素吸蔵材１８により、炭化水素気泡１５や水素気泡１７の発生が抑制され、又はこれらの気泡が発生しても吸着又は吸蔵が行われることで導圧路６の内部の圧力変動が抑制され、長寿命の差圧伝送器１００が得ら得る。
【００２１】
また、水素ラジカル２７はメチルラジカル２６と結合したメタン２２の状態で炭化水素吸着材１６に吸着されるため、水素吸蔵材１８のみを設ける場合と比べて、水素吸蔵材１８に吸蔵される水素ラジカル２７の量を減少させることができる。そのため、一般的に高価な水素吸蔵材１８の使用量を低減することができ、低コスト化を図ることができる。
【００２２】
図２は、炭化水素吸着材１６による炭化水素の吸着方法を示す説明図である。図２には、炭化水素の一例としてメタン２２が示されている。差圧伝送器１００では、炭化水素吸着材１６として、ゼオライトが用いられている。ゼオライトは多孔体であり、炭化水素吸着材１６を構成するゼオライトの細孔内部にメタン２２が吸着されることになる。ちなみに、炭化水素吸着体１６としては、ゼオライトのほか、活性炭や多孔性配置の高分子材料（多孔質膜等）等も挙げられる。これらは一種が単独で用いられてよく、二種以上が任意の比率及び組み合わせで用いられてもよい。これらのうち、例えばゼオライトや活性炭であれば粉末状にし易いため、封入液７の全体に分散させやすいというメリットがある。さらには、粉末状にすることで封入液７との接触面積を大きくすることができ、炭化水素の吸着をより効率的に行うことができる。また、例えば多孔性配置の高分子材料であれば、製品コストを低減できるというメリットがある。
【００２３】
また、炭化水素吸着材１６の形状は、粉末状、板状、棒状（ワイヤ状）、膜状等にすることができる。また、炭化水素吸着材１６を複数設ける場合には、これらの形状を適宜に組み合わせて配置することができる。これらのうち、例えば粉末状にすることで、前記のようなメリットがある。さらには、板状にすることで、特別な加工を必要とせず、製造コストを低減できるというメリットがある。そして、棒状にすることで、導圧路６が細いキャピラリ状の場合に、その導圧路６の中に設置することが容易になる。また、このような棒状の炭化水素吸着材１６の表面に、粒状の水素吸蔵材１８を担持させることもできる。さらには、膜状にすることで、設置場所の自由度が高くなるため、圧力伝送装置の計測性能を特に高く維持することができる。
【００２４】
図３は、水素吸蔵材１８による水素吸蔵方法を示す説明図である。差圧伝送器１００では、水素吸蔵材１８として、パラジウム２５が用いられている。パラジウム２５は面心立方格子の構造をとる原子であり、水素吸蔵材１８では、複数のパラジウム原子２５を面心立体格子の位置に配置されている。そして、水素分子（水素）２４を構成する水素原子２３は、水素吸蔵材１８において隣接するパラジウム２５同士の間に配置されることで、水素吸蔵材１８に吸蔵されることになる。なお、パラジウムからなる水素吸蔵材１８は、自身の体積の９３５倍もの水素原子を吸蔵する。
【００２５】
ちなみに、水素吸蔵材１８としては、パラジウムのほか、マグネシウムやバナジウム、チタン、マンガン、ジルコニウム、ニッケル、リチウム、ニオブ、コバルト、カルシウム、これらの合金等が挙げられる。また、水素吸蔵材１８の形状は、金属板状やワイヤ状、粉末状、これらを組み合わせた形状等にすることができる。
【００２６】
図４（ａ）は導圧路６に封入される封入液７の構造式であり、（ｂ）は放射線や熱によって封入液７が分解されたときに発生するラジカル種を示す図である。差圧伝送器１００において用いられる封入液７は、図４（ａ）に示す構造を有するシリコーンオイルである。そして、このシリコーンオイルに対して、γ線等の強い放射線や、例えば３１０℃を超えるような高熱が与えられると、図４（ａ）において太実線矢印で示す位置で、シリコーンオイル内の結合が切断される。その結果、図４（ｂ）に示すようなメチルラジカル２６（炭化水素ラジカル）や水素ラジカル２７（即ち、図３を参照しながら説明した水素原子２３）が発生する。
【００２７】
そして、メチルラジカル２６や水素ラジカル２７は不安定であるから、これらのラジカルは、それぞれの周囲に存在する他のラジカルと反応して分子を形成する。具体的には、メチルラジカル２６は、他のメチルラジカル２６と結合したエタン（炭化水素の一例であり、図４では図示しない）や、水素ラジカル２７と結合したメタン２２（炭化水素気泡１５）を形成する。さらに、水素ラジカル２７は、他の水素ラジカル２７と結合して水素分子２４（水素気泡１７）を形成する。
【００２８】
ここで、本実施形態の差圧伝送器１００では、封入液７中に炭化水素吸着材１６及び水素吸蔵材１８が含まれている。そのため、放射線や熱等によって生成した水素ラジカル２７は、水素吸蔵材１８（図３参照）に吸蔵される。これにより、水素ラジカル２７が他の水素ラジカル２７やメチルラジカル２２と反応し、水素分子２４やメタン２２が生成することが抑制される。なお、メチルラジカル２２は、その反応性の低さから、他のメチルラジカル２２とは反応しにくく、生成するエタン２２の量はわずかである。
【００２９】
ただし、高放射線量（例えば積算１ＭＧｙ以上）や、高温（例えば４００℃以上）では、水素ラジカル２７やメチルラジカル２２の生成量が多くなる。そのため、水素吸蔵材１８によるメタン２２の生成抑制効果が低いことがある。しかし、本実施形態の差圧伝送器１００では、水素吸蔵材１８に加えて、炭化水素吸着材１６が備えられている。これにより、水素ラジカル２７とメチルラジカル２２とが結合してメタン２２が生成しても、その生成したメタン２２（炭化水素）は炭化水素吸着材１６により吸着される。従って、メタンの気法等の炭化水素気泡１５の生成が抑制される。
【００３０】
図５は、水素吸蔵材１８から離れている場所における炭化水素の生成時の様子を示す図である。水素吸蔵材１８からの距離Ｌについては図６を参照しながら後記する。封入液７が分解してメチルラジカル２２が生成したとき、そのメチルラジカル２２の生成位置が水素吸蔵材１８の配置場所から遠い可能性がある。そのような場合には、水素吸蔵材１８による水素ラジカル２７の吸蔵効果が低くなる。そのため、生成したメチルラジカル２２がその近傍の水素ラジカル２７と結合していまい、メタン２２等の炭化水素が発生し易くなる。このような現象は、水素吸蔵材１８と封入液７の分解箇所が離れているほど顕著に現れる。
【００３１】
図６は、水素吸蔵材１８からの距離Ｌと、その部分での炭化水素の発生抑制量との関係を示すグラフである。ここでいう距離Ｌは、図５において示した距離Ｌに相当する。図６に示すように、水素吸蔵材１８からの距離Ｌが長くなるほど、炭化水素の発生抑制量が多くなっている。これは、水素吸蔵材１８の近傍では、前記のように水素ラジカル２７が吸蔵され易くなる結果、炭化水素の発生量が抑制され、炭化水素気泡１５の発生が抑制されることを表している。一方で、水素吸蔵材１８から遠ければ、水素ラジカル２７が吸蔵されにくくなるため、メチルラジカル２２と結合してメタン２２が発生し易くなる。そのため、このような場合には、メタン２２等の炭化水素の発生抑制量が低下、即ち、炭化水素気泡１５が発生し易くなる。
【００３２】
特に、水素吸蔵材１８からの距離Ｌが長くなるほど、炭化水素の発生抑制量は急激に低下、即ち、炭化水素の発生量が急激に増加することになる。ここで、差圧伝送器１００の導圧路６の長さや太さ等によっても異なるが、用いられる封入液７の量は通常は４０ｍＬ程度である。そして、この程度の量の封入液７に対しては、炭化水素は１ｍＬ程度まで溶解することが多い。即ち、炭化水素の発生量が１ｍＬ程度までであれば、発生した炭化水素は封入液７に溶解し、炭化水素気泡１５（図１参照）は生じにくい。そこで、炭化水素吸着材１６は、炭化水素の発生抑制量が１ｍＬ以上となる、水素吸蔵材１８からの距離Ｌが５ｃｍ以下となる位置に配置されることが好ましい。
【００３３】
図７は、水素吸蔵材１８から離れた位置に設置された炭化水素吸着材１６による炭化水素１５の吸着の様子を示した図である。図７では、板状の炭化水素吸着材１６及び水素吸蔵材１８を示している。前記のように、水素吸蔵材１８からの距離が５ｃｍを超えると、炭化水素気泡１５が発生易くなる。そこで、炭化水素吸着材１６は、水素吸蔵材１８から離れているため炭化水素の発生量が多い部位、具体的には、水素吸蔵材１８から５ｃｍ程度離れたところに設置されることが好ましい。または、少なくとも一つの炭化水素吸着材１６と少なくとも一つの水素吸着材１８とが、５ｃｍ程度以内の間隔を有して、複数配置されることが好ましい。炭化水素吸着材１６と水素吸蔵材１８とがこのような位置関係で配置されることで、炭化水素気泡１５や水素気泡１７（いずれも図１参照）の発生を十分に抑制することができる。
【００３４】
ちなみに、炭化水素吸着材１６と水素吸着材１８とが５ｃｍ程度以内の間隔を有して交互に配置される形態としては、いずれも５ｃｍ程度以内の間隔で、例えば、「炭化水素吸着材１６、炭化水素吸着材１６、炭化水素吸着材１６、水素吸蔵材１８」や、「炭化水素吸着材１６、水素吸蔵材１８、炭化水素吸着材１６、炭化水素吸着材１６」、「炭化水素吸着材１６、水素吸蔵材１８、炭化水素吸着材１６、水素吸蔵材１８、炭化水素吸着材１６」等の順で並べて配置される形態等が挙げられる。
【００３５】
また、前記の第一実施形態では、本実施形態の圧力伝送装置の一例として差圧伝送器１００を挙げたが、本実施形態の圧力伝送装置としては、図８に示す圧力伝送器２００でもよい。図８において、図１に示した差圧伝送器１００と同じものについては同じ符号を付すものとし、その詳細な説明は省略している。
【００３６】
図８に示す圧力伝送器２００は、測定流体の絶対圧力を測定するものである。圧力伝送器２０では、測定流体の圧力は受圧ダイアフラム５で受圧される。そして、受圧された圧力は、前記の差圧伝送器１００と同様に出力回路１２に入力され、その圧力は圧力値として外部に出力される。ここで出力される値は、センサ１１で受圧した圧力に基づいて測定流体の絶対圧を測定して得られたものである。
【００３７】
この圧力伝送器２００においても、前記の差圧伝送器１００と同様に、受圧ダイアフラム５を透過して内部に入り込んだ水素や、内部で発生した水素及び炭化水素が気泡化しうる。そして、これらの気泡によって、導圧路６の内部の圧力が正常値から外れ、測定誤差が大きくなる。そこで、圧力伝送器２００においても、炭化水素吸着材１６及び水素吸蔵材１８が備えられている。
【００３８】
具体的には、圧力伝送器２００においても、炭化水素吸着材１６は導圧路６内部の封入液７に封入されるか、又は、導圧路６の内壁面を覆うように膜上に配置されている。また、水素吸着材１８も同様に、導圧路６の内部の封入液７に封入されるか、又は、導圧路６の内壁面に配置されている。これにより、圧力伝送器２００においても、炭化水素気泡１５や水素気泡１７の発生を十分に抑制することができる。
【００３９】
以上、本実施形態を具体例を挙げて説明したが、本発明はこれらの内容になんら限られるものではない。
【００４０】
例えば、前記の実施形態では、受圧ダイアフラム５，５Ａ，５Ｂの内側面に金メッキを施したが、金メッキは、受圧ダイアフラム５，５Ａ，５Ｂの外側面に施してもよい。さらには、金メッキは、受圧ダイアフラム５，５Ａ，５Ｂの内側面と外側面との双方に施してもよい。
【００４１】
また、例えば、封入液７の構造は、図４（ａ）に示す構造に限られず、どのような封入液が用いられてもよい。
【符号の説明】
【００４２】
２  置換器部
３  キャピラリ部
４  本体部
５，５Ａ，５Ｂ  受圧ダイアフラム
６  導圧路
７  封入液
８  中間ダイアフラム
９  シールダイアフラム
１０  センタダイアフラム
１１  センサ（受圧センサ）
１２  出力回路
１５  炭化水素気泡
１６  炭化水素吸着材
１８  水素吸蔵材
２２  メタン（炭化水素）
２３  水素原子（水素ラジカル）
２４  水素分子
２５  パラジウム原子
２６  メチルラジカル（炭化水素ラジカル）
１００  差圧伝送器
２００  圧力伝送器
【図１】
0006478776.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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