(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査治具の本体に着脱可能な交換用コンタクトユニットであって、
検査対象物との接点部が設けられたフレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板に直接電気的に接続された同軸コネクタと、を備え、
前記同軸コネクタは、同軸ケーブルを着脱可能な本体部と、前記フレキシブル基板を貫通して前記フレキシブル基板に電気的に接続された脚部と、を含む、交換用コンタクトユニット。
【請求項２】
支持基板を備え、前記同軸コネクタが前記支持基板に固定されている、請求項１に記載の交換用コンタクトユニット。
【請求項３】
前記フレキシブル基板は、前記支持基板の一方の面側に位置し、
前記同軸コネクタは、前記支持基板の他方の面側に位置する前記本体部と、前記本体部から延びて前記支持基板及び前記フレキシブル基板を貫通し、前記フレキシブル基板に電気的に接続された前記脚部と、を含み、
前記検査治具の基板と前記支持基板とで前記フレキシブル基板を挟み込むように前記検査治具の本体に着脱可能に固定される、請求項２に記載の交換用コンタクトユニット。
【請求項４】
前記フレキシブル基板の前記支持基板とは反対側の面の、前記検査治具の本体に対する固定用の貫通穴の周囲に、前記同軸コネクタのグランド用の脚部と電気的に接続されたグランドパターンが延びている、請求項３に記載の交換用コンタクトユニット。
【請求項５】
検査対象物との接点部を有するコンタクトユニットと、
前記コンタクトユニットが着脱可能に固定されたメイン基板と、
前記接点部に検査対象物との接触力を与える付勢手段と、を備え、
前記コンタクトユニットは、前記接点部が設けられたフレキシブル基板と、前記フレキシブル基板に直接電気的に接続された同軸コネクタと、を有し、前記フレキシブル基板及び前記同軸コネクタが、前記メイン基板に半田接合されておらず、
前記同軸コネクタは、同軸ケーブルを着脱可能な本体部と、前記フレキシブル基板を貫通して前記フレキシブル基板に電気的に接続された脚部と、を含む、検査治具。
【請求項６】
前記コンタクトユニットが支持基板を備え、前記同軸コネクタが前記支持基板に固定されている、請求項５に記載の検査治具。
【請求項７】
前記メイン基板と前記支持基板とで前記フレキシブル基板を挟み込んでいる、請求項６に記載の検査治具。
【請求項８】
前記メイン基板、前記フレキシブル基板、及び前記支持基板が、締結部品により相互に固定され、
前記メイン基板及び前記フレキシブル基板の相互対向面の、前記締結部品による固定箇所の周囲に、前記同軸コネクタ用のグランドパターンがそれぞれ延びていて、前記グランドパターン同士が前記固定箇所の周囲で相互に対面接触している、請求項７に記載の検査治具。
【請求項９】
前記メイン基板に固定され前記付勢手段の一端を支持するユニット押え部材を備え、
前記メイン基板と前記ユニット押え部材との間に前記フレキシブル基板が位置し、
前記ユニット押え部材に、前記フレキシブル基板を前記メイン基板に押し付けて相互に電気的に接続させる弾性部材が設けられている、請求項５から８のいずれか一項に記載の検査治具。
【請求項１０】
前記ユニット押え部材は、前記弾性部材の両側において前記メイン基板に締結部品によりそれぞれ固定されている、請求項９に記載の検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体集積回路の電気的特性の検査に使用される、交換用コンタクトユニット及びプローブカード等の検査治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体集積回路の電気的特性の検査に使用されるプローブカード等の検査治具は、メイン基板と、メイン基板に半田付け等により接合されたフレキシブル基板とを備える。フレキシブル基板には、検査対象物（例えばウェハー）の電極に接触する接点部が形成される。フレキシブル基板は、接点部の裏側からスプリングにより検査対象物側に付勢され、検査対象物との接触力が与えられる。このような構成のプローブカードは、メンブレンタイプと呼ばれることもある。
【０００３】
電気的特性の検査の際、高周波の電気信号は、同軸ケーブルによって検査治具と検査装置（テスター）との間で伝送される。検査治具には、テスターから延びる同軸ケーブルを着脱自在に接続するための同軸コネクタが設けられる。同軸コネクタは、フレキシブル基板に半田付け等により電気的に接続されると共に、メイン基板に半田付け等により固定（接合）される。
【０００４】
フレキシブル基板は、例えば１００万回程度のコンタクトを経ると、接点部が摩耗し、交換する必要がある。フレキシブル基板とメイン基板が半田付けされていると、フレキシブル基板をメイン基板から取り外す際に半田を除去しなければならず、フレキシブル基板の交換に技術と時間が必要であった。下記特許文献１は、メンブレンタイプのプローブカードにおいて、検査対象ウェハのパッドと接触するバンプを有するメンブレンアセンブリ（フレキシブル基板）の交換を容易とする技術を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２０８７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１には、同軸コネクタについての言及はない。ここで、同軸コネクタをメイン基板に固定し、フレキシブル基板と同軸コネクタとの電気的な接続を、メイン基板とフレキシブル基板との圧接等により行う場合、フレキシブル基板の交換は容易でも、圧接部での電気的特性の劣化が大きくなる。
【０００７】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、プローブカード等の検査治具の本体に容易に着脱可能でありながら検査治具における電気的特性の劣化を抑制することの可能な交換用コンタクトユニットを提供することにある。
【０００８】
本発明のもう１つの目的は、電気的特性の劣化を抑制しながらも消耗品であるフレキシブル基板の交換を容易とすることの可能な検査治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の態様は、検査治具の本体に着脱可能な交換用コンタクトユニットであって、検査対象物との接点部が設けられたフレキシブル基板と、前記フレキシブル基板に直接電気的に接続された同軸コネクタと、を備え、
前記同軸コネクタは、同軸ケーブルを着脱可能な本体部と、前記フレキシブル基板を貫通して前記フレキシブル基板に電気的に接続された脚部と、を含む。
【００１０】
支持基板を備え、前記同軸コネクタが前記支持基板に固定されていてもよい。
【００１１】
前記フレキシブル基板は、前記支持基板の一方の面側に位置し、
前記同軸コネクタは、前記支持基板の他方の面側に位置する前記本体部と、前記本体部から延びて前記支持基板及び前記フレキシブル基板を貫通し、前記フレキシブル基板に電気的に接続された前記脚部と、を含み、
前記検査治具の基板と前記支持基板とで前記フレキシブル基板を挟み込むように前記検査治具の本体に着脱可能に固定されてもよい。
【００１２】
前記フレキシブル基板の前記支持基板とは反対側の面の、前記検査治具の本体に対する固定用の貫通穴の周囲に、前記同軸コネクタのグランド用の脚部と電気的に接続されたグランドパターンが延びていてもよい。
【００１３】
本発明の第２の態様は、検査治具である。この検査治具は、
検査対象物との接点部を有するコンタクトユニットと、
前記コンタクトユニットが着脱可能に固定されたメイン基板と、
前記接点部に検査対象物との接触力を与える付勢手段と、を備え、
前記コンタクトユニットは、前記接点部が設けられたフレキシブル基板と、前記フレキシブル基板に直接電気的に接続された同軸コネクタと、を有し、前記フレキシブル基板及び前記同軸コネクタが、前記メイン基板に半田接合されておらず、
前記同軸コネクタは、同軸ケーブルを着脱可能な本体部と、前記フレキシブル基板を貫通して前記フレキシブル基板に電気的に接続された脚部と、を含む。
【００１４】
前記コンタクトユニットが支持基板を備え、前記同軸コネクタが前記支持基板に固定されていてもよい。
【００１５】
前記メイン基板と前記支持基板とで前記フレキシブル基板を挟み込んでいてもよい。
【００１６】
前記メイン基板、前記フレキシブル基板、及び前記支持基板が、締結部品により相互に固定され、
前記メイン基板及び前記フレキシブル基板の相互対向面の、前記締結部品による固定箇所の周囲に、前記同軸コネクタ用のグランドパターンがそれぞれ延びていて、前記グランドパターン同士が前記固定箇所の周囲で相互に対面接触していてもよい。
【００１７】
前記メイン基板に固定され前記付勢手段の一端を支持するユニット押え部材を備え、
前記メイン基板と前記ユニット押え部材との間に前記フレキシブル基板が位置し、
前記ユニット押え部材に、前記フレキシブル基板を前記メイン基板に押し付けて相互に電気的に接続させる弾性部材が設けられていてもよい。
【００１８】
前記ユニット押え部材は、前記弾性部材の両側において前記メイン基板に締結部品によりそれぞれ固定されてもよい。
【００１９】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の第１の態様によれば、プローブカード等の検査治具の本体に容易に着脱可能でありながら検査治具における電気的特性の劣化を抑制することの可能な交換用コンタクトユニットを提供することができる。
【００２１】
本発明の第２の態様によれば、電気的特性の劣化を抑制しながらも消耗品であるフレキシブル基板の交換を容易とすることの可能な検査治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態に係るコンタクトユニット３０の分解下方斜視図。
【図２】コンタクトユニット３０の分解上方斜視図。
【図３】本発明の実施の形態に係る検査治具１の分解下方斜視図。
【図４】検査治具１の分解上方斜視図。
【図５】検査治具１からユニット押え部材９０を省略した下方斜視図。
【図６】検査治具１からユニット押え部材９０を省略した上方斜視図。
【図７】検査治具１の平面図。
【図８】図７のＡ−Ａ断面図。
【図９】図７のＢ−Ｂ断面図。
【図１０】コンタクトユニット３０のサブ基板６０の平面図。
【図１１】コンタクトユニット３０のフレキシブル基板４０の、導体パターンを透視した平面図。
【図１２】検査治具１のメイン基板１０の一部拡大平面図。
【図１３】検査治具１の弾性部材９２近傍の拡大断面図。
【図１４】コンタクトユニット３０における同軸コネクタ５０近傍の拡大断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００２４】
図１は、本発明の実施の形態に係るコンタクトユニット３０の分解下方斜視図である。図２は同分解上方斜視図である。図３は、本発明の実施の形態に係る検査治具１の分解下方斜視図である。図４は、同分解上方斜視図である。図５は、検査治具１からユニット押え部材９０を省略した下方斜視図である。図６は、同上方斜視図である。図７は、検査治具１の平面図である。図８は、図７のＡ−Ａ断面図である。図９は、図７のＢ−Ｂ断面図である。図１０は、コンタクトユニット３０のサブ基板６０の平面図である。図１１は、コンタクトユニット３０のフレキシブル基板４０の、導体パターンを透視した平面図である。図１１では、フレキシブル基板４０の下面に形成された導体パターンを、フレキシブル基板４０の上面側からフレキシブル基板４０を透過して現している。図１２は、検査治具１のメイン基板１０の一部拡大平面図である。図１３は、検査治具１の弾性部材９２近傍の拡大断面図である。図１４は、コンタクトユニット３０における同軸コネクタ５０近傍の拡大断面図である。
【００２５】
コンタクトユニット３０は、プローブカード等の検査治具の交換用コンタクトユニットであり、図３及び図４等に示すように、検査治具１のメイン基板１０に着脱可能に固定される。コンタクトユニット３０は、フレキシブル基板４０と、ＳＭＡコネクタ等の４つの同軸コネクタ５０と、例えばガラスエポキシ基板等の硬質基板からなるサブ基板６０と、例えば樹脂成形体からなるブロック７０と、を有する。
【００２６】
フレキシブル基板４０は、ウェハー等の検査対象物とのコンタクト用に設けられる。フレキシブル基板４０は、サブ基板６０の一方の面（下面）側に位置する。フレキシブル基板４０の下面（サブ基板６０とは反対側の面）には、ウェハー等の検査対象物との接点部４１（図１）、信号用パターン４２（図１１）、グランドパターン４３（同）、及びＤＣ用パターン４４（同）が設けられる。フレキシブル基板４０には、また、スルーホール４５、コネクタ脚部用貫通穴４６、ネジ止め用貫通穴４７,４８、及び位置決め用貫通穴４９が設けられる。なお、図１１に示す信号用パターン４２及びＤＣ用パターン４４は、図１１以外のフレキシブル基板４０を含む図面では図示を省略している。また、グランドパターン４３は、図３及び図１１以外のフレキシブル基板４０を含む図面では図示を省略している。コンタクトユニット３０を検査治具１に取り付ける際、フレキシブル基板４０は、後述のメイン基板１０には半田付け等により接合されない。
【００２７】
接点部４１は、フレキシブル基板４０の十字部の中心部に位置する、信号用とＤＣ用の各バンプの集合体である。信号用パターン４２及びＤＣ用パターン４４の一端は接点部４１のバンプである。信号用パターン４２の他端は、同軸コネクタ５０の信号用脚部５２と半田付け等により直接電気的に接続される。信号用パターン４２は、同軸コネクタ５０と同数設けられている。ＤＣ用パターン４４の他端はスルーホール４５となっている。グランドパターン４３は、フレキシブル基板４０の下面（メイン基板１０との対向面）における、同軸コネクタ５０のグランド用脚部が挿通されるコネクタ脚部用貫通穴４６とその近傍に配置されるネジ止め用貫通穴４７の周囲まで延びるように形成され、同軸コネクタ５０のグランド用脚部５３と電気的に接続される。なお、図１１に図示しないが、グランドパターン４３の一部は接点部４１に延びる信号用パターン４２を挟んでコプレーナ線路を構成するように接点部４１近傍まで設けられている。スルーホール４５は、ＤＣ用パターン４４とメイン基板１０との電気的な接続のために設けられる。
【００２８】
コネクタ脚部用貫通穴４６は、同軸コネクタ５０の信号用脚部５２及びグランド用脚部５３を挿通するために設けられる。ネジ止め用貫通穴４７は、コンタクトユニット３０を検査治具１のメイン基板１０に固定するネジ（締結部品）１０７を通すために設けられる。なお、図１及び図２に示すネジ１０７は、コンタクトユニット３０の構成要素とする必要はない。ネジ止め用貫通穴４８は、検査治具１のユニット押え部材９０をメイン基板１０に固定するネジ（締結部品）１０８を通すために設けられる。ネジ止め用貫通穴４８は、スルーホール４５の両側にそれぞれ設けられる。位置決め用貫通穴４９は、コンタクトユニット３０をメイン基板１０に対して位置決めする位置決め用ピン１０９（図４）を通すために設けられる。位置決め用貫通穴４９は、ネジ止め用貫通穴４８の側方に設けられる。
【００２９】
４つの同軸コネクタ５０は、フレキシブル基板４０の接点部４１を囲む位置にあり、フレキシブル基板４０に直接電気的に接続され、不図示の検査装置（テスター）から延びる同軸ケーブルを着脱自在に接続可能である。同軸コネクタ５０は、本体部５１、１本の信号用脚部５２、及び４本のグランド用脚部５３を含む。本体部５１には、一端が検査装置に接続される同軸ケーブルの他端が着脱自在に接続される（取り付けられる）。本体部５１は、サブ基板６０の他方の面（上面）側に位置する。本体部５１のフランジ部５１ａは、図１０に示すサブ基板６０のコネクタ固定用ランド６２（図２では図示省略）に、半田付け等により固定される（図１４）。信号用脚部５２及びグランド用脚部５３は、本体部５１から延びて、サブ基板６０のコネクタ脚部用貫通穴６６、及びフレキシブル基板４０のコネクタ脚部用貫通穴４６を貫通し、フレキシブル基板４０のサブ基板６０とは反対側の面に半田付け等により直接電気的に接続される（図１４）。具体的には、信号用脚部５２は、フレキシブル基板４０の信号用パターン４２と直接電気的に接続され、グランド用脚部５３は、フレキシブル基板４０のグランドパターン４３と直接電気的に接続される。コンタクトユニット３０を検査治具１に取り付ける際、同軸コネクタ５０は、後述のメイン基板１０には半田付け等により接合されない。
【００３０】
支持基板（硬質基板）としてのサブ基板６０は、同軸コネクタ５０に対する同軸ケーブルの着脱の際にフレキシブル基板４０と同軸コネクタ５０との接合部（半田付け部）に大きな負荷が加わることを防止する目的で設けられる。サブ基板６０には、中央貫通穴６１、コネクタ固定用ランド６２（図１０）、コネクタ脚部用貫通穴６６、ネジ止め用貫通穴６７、及び位置決め用貫通穴６９が設けられる。中央貫通穴６１は、ブロック７０を配置するためのスペースとなる。コネクタ固定用ランド６２は、同軸コネクタ５０を半田付け等により固定するためにサブ基板６０の上面に設けられる。コネクタ脚部用貫通穴６６は、同軸コネクタ５０の信号用脚部５２及びグランド用脚部５３を挿通するために設けられる。ネジ止め用貫通穴６７は、コンタクトユニット３０を検査治具１のメイン基板１０に固定するネジ１０７を通すために設けられる。位置決め用貫通穴６９は、コンタクトユニット３０をメイン基板１０に対して位置決めする位置決め用ピン１０９（図４）を通すために設けられる。
【００３１】
ブロック７０は、検査治具１に組み込まれた状態で、スプリング９１によって下方に付勢され、フレキシブル基板４０を、接点部４１がメイン基板１０から下方に突出した状態に保持する。ブロック７０は、下方に凸となる中央の角錐部７１の周囲に４つの脚部７２を有する。ブロック７０の各脚部７２には、平行度調整ネジ７３が取り付けられる。平行度調整ネジ７３の先端は、後述のリテーナ２０のブロック用ベース部２２に接触する。スプリング９１によって付勢されるブロック７０は、平行度調整ネジ７３の先端がリテーナ２０のブロック用ベース部２２に接触することで上下方向位置が定まる。ブロック７０には、２本の位置決め用ピン１０３が保持されて上方に突出する。位置決め用ピン１０３は、後述のユニット押え部材９０をコンタクトユニット３０に対して位置決めする役割を持つ。なお、図２ではスプリング９１をブロック７０上に図示しているが、スプリング９１は、検査治具１のユニット押え部材９０に接着等により支持されていてもよく、コンタクトユニット３０の構成要素とする必要はない。
【００３２】
検査治具１は、例えばプローブカードであり、ウェハー状態の半導体集積回路の電気的特性の検査に使用される。検査治具１は、例えばガラスエポキシ基板からなるメイン基板１０と、例えばステンレス鋼等の金属製のリテーナ２０と、前述のコンタクトユニット３０と、例えば樹脂成形体からなるユニット押え部材９０と、を備える。
【００３３】
メイン基板１０には、接点用貫通穴１１、スルーホール１５、コネクタ脚部用貫通穴１６、ネジ止め用貫通穴１７,１８、及び位置決め用貫通穴１９（図１２）が設けられる。接点用貫通穴１１は、フレキシブル基板４０の接点部４１を下方に突出させるために設けられる。スルーホール１５は、フレキシブル基板４０のＤＣ用パターン４４の一端を成すスルーホール４５との電気的な接続のために設けられる。コネクタ脚部用貫通穴１６は、同軸コネクタ５０の信号用脚部５２及びグランド用脚部５３を逃げるために設けられる。ネジ止め用貫通穴１７は、コンタクトユニット３０をメイン基板１０に固定するネジ１０７を通すために設けられる。ネジ止め用貫通穴１８は、ユニット押え部材９０をメイン基板１０に固定するネジ１０８を通すために設けられる。図１２に示す位置決め用貫通穴１９は、コンタクトユニット３０をメイン基板１０に対して位置決めする位置決め用ピン１０９（図４）を通すために設けられる。メイン基板１０の上面（フレキシブル基板４０との対向面）のコネクタ脚部用貫通穴１６及びネジ止め用貫通穴１７の周囲には、グランドパターン１３が設けられる。ネジ１０７の締結により、メイン基板１０のグランドパターン１３とフレキシブル基板４０のグランドパターン４３とが相互に対面接触する。グランドパターン１３,４３は、ネジ止め用貫通穴１７,４７の周囲に延在するため、ネジ１０７による固定箇所の周囲で特に強く対面接触する。
【００３４】
リテーナ２０は、例えば薄い金属板であり、メイン基板１０から下方へのコンタクトユニット３０の突出量を規制する役割を持つ。リテーナ２０は、メイン基板１０の下面にネジ（締結具）１０６によって取り付けられる（固定される）。リテーナ２０には、十字状の接点用貫通穴２１及びネジ穴２７,２８が設けられる。接点用貫通穴２１の周囲はブロック用ベース部２２（図４）を成す。接点用貫通穴２１は、フレキシブル基板４０の接点部４１を下方に突出させるために設けられる。ネジ穴２７は、コンタクトユニット３０を検査治具１のメイン基板１０に固定するネジ１０７を螺合させるために設けられる。ネジ穴２８は、ユニット押え部材９０をメイン基板１０に固定するネジ１０８を螺合させるために設けられる。ブロック用ベース部２２は、ブロック７０の各脚部７２の下方にそれぞれ位置し、各脚部７２に取り付けられて各脚部７２から下方に延びる平行度調整ネジ７３の先端を受ける（支持する）。リテーナ２０には、位置決め用ピン１０４,１０９が設けられてメイン基板１０の上面から上方に突出する。位置決め用ピン１０４は、ユニット押え部材９０をメイン基板１０に対して位置決めする役割を持つ。位置決め用ピン１０９は、コンタクトユニット３０をメイン基板１０に対して位置決めする役割を持つ。メイン基板１０及びリテーナ２０は、検査治具１の本体を成す。
【００３５】
ユニット押え部材９０は、コンタクトユニット３０を上方から押さえる部材である。ユニット押え部材９０には、位置決め用貫通穴９３,９４、コネクタ本体用貫通穴９５、及びスプリング用凹部９６（図３）が設けられる。位置決め用貫通穴９３は、ユニット押え部材９０をコンタクトユニット３０に対して位置決めする位置決め用ピン１０３を挿通するために設けられる。位置決め用貫通穴９４は、ユニット押え部材９０をメイン基板１０に対して位置決めする位置決め用ピン１０４を挿通するために設けられる。コネクタ本体用貫通穴９５は、同軸コネクタ５０の本体部５１を上方に突出させるために設けられる。スプリング用凹部９６は、図２に示すスプリング９１の一端を支持するために設けられる。スプリング９１は、ユニット押え部材９０がメイン基板１０にネジ１０８により固定された状態で、ブロック７０を下方に付勢し（すなわちフレキシブル基板４０の接点部４１を下方に付勢し）、フレキシブル基板４０の接点部４１に、ウェハー等の検査対象物との接触力を与える。ユニット押え部材９０の下面（フレキシブル基板４０との対向面）には、シリコンゴム等からなる２つの紐状（線状）の弾性部材９２（図３）が保持される。弾性部材９２は、フレキシブル基板４０のスルーホール４５及びメイン基板１０のスルーホール１５の直上となる位置に設けられ、ユニット押え部材９０がメイン基板１０にネジ１０８により固定された状態で、フレキシブル基板４０のスルーホール４５をメイン基板１０のスルーホール１５に向けて押圧する。ネジ１０８は、弾性部材９２の両側でユニット押え部材９０をメイン基板１０にそれぞれ固定するため、弾性部材９２による押付け効果が高められる。弾性部材９２により、スルーホール１５,４５が相互に圧接されて電気的に接続される。
【００３６】
以下、検査治具１の組立の流れを説明する。
【００３７】
まず、コンタクトユニット３０を組み立てておく。具体的には以下の手順を行う。同軸コネクタ５０の信号用脚部５２及びグランド用脚部５３をサブ基板６０のコネクタ脚部用貫通穴６６に通し、同軸コネクタ５０のフランジ部５１ａをサブ基板６０の上面のコネクタ固定用ランド６２上に半田付け等により固定する。その後、ブロック７０が接着されたフレキシブル基板４０のコネクタ脚部用貫通穴４６に同軸コネクタ５０の信号用脚部５２及びグランド用脚部５３を通しながら、フレキシブル基板４０をサブ基板６０の下面（同軸コネクタ５０の本体部５１の固定面とは反対側の面）にセットする。そして、同軸コネクタ５０の信号用脚部５２及びグランド用脚部５３をフレキシブル基板４０の下面（サブ基板６０とは反対側の面）に半田付け等により直接電気的に接続する。なお、同軸コネクタ５０の信号用脚部５２及びグランド用脚部５３を先にフレキシブル基板４０の下面に電気的に接続してから同軸コネクタ５０のフランジ部５１ａをサブ基板６０の上面（コネクタ固定用ランド６２）に固定してもよい。フレキシブル基板４０は、サブ基板６０に固定された同軸コネクタ５０の信号用脚部５２及びグランド用脚部５３との半田接合によって、間接的にサブ基板６０に固定される。以上によりコンタクトユニット３０の組立が完了する。なお、ブロック７０を、最後に、サブ基板６０の中央貫通穴６１を通してフレキシブル基板４０の接点部４１の裏面上に接着により固定してもよい。
【００３８】
次に、コンタクトユニット３０を、ネジ１０７によりメイン基板１０に取り付ける（固定する）。具体的には、メイン基板１０から突出する４本の位置決め用ピン１０９をフレキシブル基板４０の位置決め用貫通穴４９及びサブ基板６０の位置決め用貫通穴６９にそれぞれ通し、４本のネジ１０７をそれぞれ、サブ基板６０のネジ止め用貫通穴６７、フレキシブル基板４０のネジ止め用貫通穴４７、及びメイン基板１０のネジ止め用貫通穴１７を貫通させて、メイン基板１０の下面に予め固定してあるリテーナ２０のネジ穴２７に螺合させる。これにより、フレキシブル基板４０は、メイン基板１０とサブ基板６０とで挟み込まれる。
【００３９】
続いて、ユニット押え部材９０を、ネジ１０８によりメイン基板１０に固定する。具体的には、ブロック７０から上方に突出する２本の位置決め用ピン１０３及びメイン基板１０から上方に突出する２本の位置決め用ピン１０４をユニット押え部材９０の位置決め用貫通穴９３,９４にそれぞれ通し、４本のネジ１０８を、ユニット押え部材９０の貫通穴、フレキシブル基板４０のネジ止め用貫通穴４８、及びメイン基板１０のネジ止め用貫通穴１８を貫通させて、リテーナ２０のネジ穴２８に螺合させる。フレキシブル基板４０の接点部４１の平行度は、平行度調整ネジ７３を回すことで必要に応じて調整する。以上により検査治具１の組立が完了する。なお、メイン基板１０からのコンタクトユニット３０の取外しは、取付けの逆順の作業を行えばよい。
【００４０】
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
【００４１】
(1) 同軸コネクタ５０が、ウェハー等の検査対象物との接点部４１を有するフレキシブル基板４０の信号用パターン４２と直接電気的に接続されるため、メイン基板１０とフレキシブル基板４０との圧接による電気的接続を介さずに高周波の電気信号を伝送でき、電気的特性の劣化を抑制することができる。したがって、検査治具１における電気的特性の劣化を抑制することの可能なコンタクトユニット３０、及び電気的特性の劣化を抑制可能な検査治具１を実現できる。
【００４２】
(2) コンタクトユニット３０は、サブ基板６０及びフレキシブル基板４０を貫通するネジ１０７によってメイン基板１０に取り付けられる（固定される）一方、フレキシブル基板４０及び同軸コネクタ５０はメイン基板１０に半田付け等により接合されないため、コンタクトユニット３０の交換の際にはネジ１０７の着脱を行えばよく、半田の除去が不要なため、コンタクトユニット３０の交換（着脱）作業が容易である。したがって、検査治具１の本体に容易に着脱可能なコンタクトユニット３０、及び消耗品であるフレキシブル基板４０の交換を容易とすることの可能な検査治具１を実現できる。
【００４３】
(3) 同軸コネクタ５０がサブ基板６０に半田付け等で固定されるため、同軸ケーブルの着脱の際にフレキシブル基板４０と同軸コネクタ５０との接合部（半田付け部）に大きな負荷が加わることを防止できる。ここで、同軸コネクタ５０をメイン基板１０に半田付け等により固定するとコンタクトユニット３０の着脱容易性を阻害するが、メイン基板１０とは別に設けたサブ基板６０への半田付け等による固定とすることで、コンタクトユニット３０の着脱容易性を確保することができる。また、同軸コネクタ５０をネジ止め等でメイン基板１０に固定するには、大きなフランジ部が必要でスペース確保の点から現実的でないが、サブ基板６０への半田付け等による固定とすることで、限られたスペースの中で強固な固定が可能となる。
【００４４】
(4) メイン基板１０のグランドパターン１３とフレキシブル基板４０のグランドパターン４３とがネジ止め用貫通穴１７,４７の周囲に延在するため、メイン基板１０とサブ基板６０とによるフレキシブル基板４０の挟み込みにより、ネジ１０７による固定箇所の周囲でグランドパターン１３,４３を強力に対面接触させることができ、同軸コネクタ５０のグランド用脚部５３を容易かつ確実にメイン基板１０のグランドパターン１３に電気的に接続できる。
【００４５】
(5) ユニット押え部材９０に設けた弾性部材９２がフレキシブル基板４０をメイン基板１０に対して押し付けてフレキシブル基板４０のスルーホール１５をメイン基板１０のスルーホール１５に圧接させるため、スルーホール１５,４５を相互に容易かつ確実に電気的に接続できる。ここで、ユニット押え部材９０をメイン基板１０に固定するネジ１０８が弾性部材９２の両側に設けられるため、弾性部材９２によるフレキシブル基板４０の押付け効果が高い。
【００４６】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
【００４７】
検査治具１は、個品に分割された状態の半導体集積回路の電気的特性の検査に使用されるものであってもよい。コンタクトユニット３０は、サブ基板６０を有さなくてもよい。この場合、同軸ケーブルの着脱の際に加わる負荷には弱くなるが、部品点数が削減される。その他、同軸コネクタ５０の数やスルーホールの数、各部の固定に用いるネジの本数、位置決め用のピンの本数等のパラメータは、実施の形態で例示した具体的な数に限定されず、必要な性能や設計上の都合に合わせて任意に定めることができる。
【符号の説明】
【００４８】
１  検査治具（プローブカード）、
１０  メイン基板、１１  接点用貫通穴、１３  グランドパターン、１５  スルーホール、１６  コネクタ脚部用貫通穴、１７,１８  ネジ止め用貫通穴、１９  位置決め用貫通穴、
２０  リテーナ、２１  接点用貫通穴、２２  ブロック用ベース部、２７,２８  ネジ穴
３０  コンタクトユニット、
４０  フレキシブル基板、４１  接点部、４２  信号用パターン、４３  グランドパターン、４４  ＤＣ用パターン、４５  スルーホール、４６  コネクタ脚部用貫通穴、４７,４８  ネジ止め用貫通穴、４９  位置決め用貫通穴、
５０  同軸コネクタ、５１  本体部、５１ａ  フランジ部、５２  信号用脚部、５３  グランド用脚部、
６０  サブ基板（支持基板）、６１  中央貫通穴、６２  コネクタ固定用ランド、６６  コネクタ脚部用貫通穴、６７  ネジ止め用貫通穴、６９  位置決め用貫通穴、
７０  ブロック、７１  角錐部、７２  脚部、７３  平行度調整ネジ、
９０  ユニット押え部材、９１  スプリング（付勢手段）、９２  弾性部材、９３,９４  位置決め用貫通穴、９５  コネクタ本体用貫通穴、９６  スプリング用凹部、
１０３,１０４  位置決め用ピン、１０６〜１０８  ネジ（締結具）、１０９  位置決め用ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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