(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する一対の開口部が形成された筐体と、
前記一対の開口部の間に挿脱される弁体と、
前記筐体内を前記一対の開口部の対向方向にスライド移動し、前記一対の開口部の間に挿入された前記弁体に当接してバルブ閉状態とする環状の封止体と、を備え、
前記筐体には、内周側壁面及び外周側壁面を備えると共に、スライド移動する前記封止体が収容される環状の収容部が形成され、
前記環状の封止体の内周面及び外周面のそれぞれには、前記封止体と前記内周側壁面との隙間を封止する第１シール材、及び、前記封止体と前記外周側壁面との隙間を封止する第２シール材が設けられ、
前記封止体は、圧縮ばねの作用によってバルブ閉状態とする方向にスライド移動し、圧縮空気の作用によってバルブ閉状態とは反対側のバルブ開状態とする方向にスライド移動し、
前記封止体は、
前記第１及び第２シール材が設けられたシールリングと、
前記シールリングに対し、スライド方向に接続され、スライド駆動されるピストン部と、を備え、
前記ピストン部は、
圧縮空気が作用する受圧部と、
前記シールリングと係合する筒部と、を備え、
前記受圧部の外周面である大径部と、前記筒部の外周面である小径部とを有する真空バルブ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空バルブにおいて、
前記シールリング及び前記ピストン部の一方の接続面には、凸状係合部が形成され、
前記シールリング及び前記ピストン部の他方の接続面には、前記凸状係合部に対して着脱可能に係合する凹状係合部が形成されている、真空バルブ。
【請求項３】
請求項１に記載の真空バルブにおいて、
さらに、前記受圧部の外周面である大径部に設けられ、前記ピストン部と前記筐体との間を封止し、圧縮空気が漏洩することを防止する第３シール材を備える真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空処理装置の真空チャンバにターボ分子ポンプなどの真空ポンプを装着する場合には、一般的に真空バルブを介在させる。
【０００３】
特許文献１に記載の真空バルブは、スライドプレートをスライドして流路に挿脱させることで、流量調整を行う。バルブを完全に閉状態とする場合には、流路中に挿入されたスライドプレートの縁部に、シールリングが設けられた環状の封止体を当接させることで流路を遮断するようにしている。
【０００４】
特許文献１に記載の封止体は、上記のシールリングと環状のピストンとを接続する周方向に複数設けられたボルトにより構成されている。このピストンをスプリング及び圧縮空気を用いて駆動することにより、封止体のスライドプレートへの当接および離反を行わせるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第５５７７７０７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
バルブの動作に伴い、シールリングの固定部とピストンの固定部の周方向の位置関係のずれなどが起こりうる。特許文献１に記載の発明では、これが原因で、ボルトのシールリング側の固定位置とピストン側の固定位置と結ぶ線が封止体の移動方向に対して平行とならない可能性がある。その場合、当然ながらボルトも封止体の移動方向に対して平行とならない。
【０００７】
ボルトの周面とボルトが収納されている空間の壁面との間にはＯリングが設けられているが、上記のように、ボルトが封止体の移動方向に対して平行でない場合、Ｏリングが片当たりとなり、Ｏリングのシール性を悪化させることになる。その結果、圧縮空気、又は、大気が真空系側に漏れてしまうことになったり、ボルトとボルト周囲の壁面との接触による動作不良が発生したりして、真空バルブとしての性能が確保できない。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の好ましい態様による真空バルブは、対向する一対の開口部が形成された筐体と、一対の開口部の間に挿脱される弁体と、筐体内を一対の開口部の対向方向にスライド移動し、一対の開口部の間に挿入された弁体に当接してバルブ閉状態とする環状の封止体と、を備える。筐体には、内周側壁面及び外周側壁面を備えると共に、スライド移動する封止体が収容される環状の収容部が形成される。環状の封止体の内周面及び外周面のそれぞれには、封止体と内周側壁面との隙間を封止する第１シール材、及び、封止体と外周側壁面との隙間を封止する第２シール材が設けられ、封止体は、圧縮ばねの作用によってバルブ閉状態とする方向にスライド移動し、圧縮空気の作用によってバルブ閉状態とは反対側のバルブ開状態とする方向にスライド移動する。封止体は、第１及び第２シール材が設けられたシールリングと、シールリングに対し、スライド方向に接続され、スライド駆動されるピストン部と、を備える。ピストン部は、圧縮空気が作用する受圧部と、シールリングと係合する筒部と、を備え、受圧部の外周面である大径部と、筒部の外周面である小径部とを有する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、真空バルブの封止体のシール性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一の実施形態による真空バルブを示した斜視図。
【図２】本発明の一の実施形態による真空バルブの部分断面図。
【図３】本発明の一の実施形態による真空バルブのフランジとピストン部とシールリングを示した断面図。
【図４】本発明の一の実施形態による真空バルブのピストン部を示した図。
【図５】本発明の一の実施形態による真空バルブのシールリングを示した図。
【図６】本発明の一の実施形態による真空バルブのピストン部とシールリングの係合を説明するための図。
【図７】本発明の一の実施形態の変形例による真空バルブの部分断面図。
【図８】比較例の真空バルブの部分断面図。
【図９】比較例の真空バルブの封止体のボルト周辺の拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
―実施形態―
図１，２は、本発明の一の実施形態による真空バルブ１を示す図である。図１は真空バルブ１の外観を示す斜視図であり、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。
【００１２】
真空バルブ１は、筐体２と駆動部１０とを備えている。筐体２は、フランジ３と、締結面６（図２参照）とカプラ９とが形成された筐体基部４と、筐体基部４内においてスライド駆動される弁体８（スライドプレート８）と、を備えている。真空処理装置の真空チャンバにフランジ３の締結面３Ａが固定され、締結面６に真空ポンプが固定される。図示は省略するが、駆動部１０には弁体８を揺動駆動するモータと、モータを駆動制御する制御部とが設けられている。
【００１３】
図１に示すθは、弁体８のθ開度を示している。図に示す「θ＝０」は、フランジ３の開口部３１を全閉するθ開度を示し、「θ＝θmax」は、フランジ３の開口部３１を全開するθ開度を示している。破線で示された弁体８ａは、全開（θ＝θmax）時の弁体８を示している。弁体８は、駆動部１０のモータによって揺動駆動されθ開度を調節することで、真空処理装置から真空ポンプへ流れる気体の流量を調節する。
【００１４】
筐体２は、開閉可能なカバー１１が設けられた取り出し口１２を有する。これは、真空バルブ１を真空処理装置や真空ポンプから取り外さずに、筐体２内に設けられている部品を交換するために設けられている。
【００１５】
図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。ただし、図１と異なり、弁体８だけは全閉（θ＝０）時のものを示している。
【００１６】
フランジ３は、締結面３Ａと、開口部３１と、凹部３３と、筒部３４とを有している。筐体基部４は、カプラ９と、通気口４２、開口部４１と、締結面６とを有している。なお、図示していないが、フランジ３と筐体基部４とは、ボルト締結されている。
【００１７】
開口部３１と開口部４１は互いに対向している。弁体８は、開口部３１と開口部４１の間に挿脱される。なお、以下では、開口部３１と開口部４１との対向方向（図２の図示上下方向）における締結面３Ａ側（図２の図示上側）を、単に「締結面３Ａ側」と呼び、開口部３１と開口部４１との対向方向における締結面６側（図２の図示下側）を、単に「締結面６側」と呼ぶ。
【００１８】
筐体２は、フランジ３と筐体基部４との間に、筒状の収容部５を有している。収容部５は、後述する筒部３４の外周面３４Ａを有する筒状の内周側壁面と、後述する内周面４３を有する筒状の外周側壁面と、を備える。収容部５には、封止体７が収容されている。
【００１９】
封止体７は、ピストン部７１０とシールリング７２０とから構成されている。ここで、図３を用いて、ピストン部７１０とシールリング７２０の構造についてさらに説明する。図３（ａ）は、フランジ３の軸方向断面図である。図３（ｂ）は、ピストン部７１０の軸方向断面図である。図３（ｃ）は、シールリング７２０の軸方向断面図である。図３に示すように、フランジ３、ピストン部７１０、シールリング７２０は、別体として作製される。
【００２０】
図３（ｂ）に示すように、ピストン部７１０は、基部７１と、シール材７１１と、シール材７１２とを有する。基部７１は、受圧部７１ａと筒部７１ｂと凸部７１ｃと、凹部７１３とを有する。図３（ｃ）に示すように、シールリング７２０は、基部７２と、シール材７２１と、シール材７２２と、シール材７２３とを有する。基部７２は、溝７２ａと、係合部７２ｂと、円環部７２ｃとを有する。
【００２１】
図２の説明に戻る。ピストン部７１０の外周面は、図２に示すように大径部７１５（受圧部７１ａの外周面）と小径部７１６（筒部７１ｂの外周面）がある。ピストン部７１０は、大径部７１５に設けられた凹部７１５Ａにシール材７１１を有し、小径部７１６に設けられた凹部７１６Ａにシール材７１２を有する。さらに、ピストン部７１０は、フランジ３の凹部３３と対向する端面７１７に凹部７１３を有し、シールリング７２０との接続面７１８に凸部７１ｃを有する。
【００２２】
シールリング７２０は、外周面７２６に設けられた凹部７２６Ａにシール材７２１を有し、内周面７２７に設けられた凹部７２７Ａにシール材７２２を有し、締結面６側の端面７２８に設けられた凹部７２８Ａにシール材７２３を有し、締結面３Ａ側の端面である接続面７２９に溝７２ａを有している。
【００２３】
凹部３３と凹部７１３との間には、圧縮ばね５０が設けられている。
【００２４】
ピストン部７１０及びシールリング７２０は、凸部７１ｃと溝７２ａとが係合されることで互いに接続されている。そのため、ピストン部７１０及びシールリング７２０は、封止体７として一体的に移動することができる。なお、凸部７１ｃと溝７２ａとの係合の詳細については、後述する。
【００２５】
カプラ９から導入された圧縮空気は通気口４２を通り、ピストン部７１０の受圧部７１ａに作用する。シール材７１１は、ピストン部７１０と筐体基部４の内周面４３との隙間を封止している。シール材７１２は、ピストン部７１０と筐体基部４の内周面４４との隙間を封止している。シール材７１１、７１２の封止によって、圧縮空気が漏えいすることを防止している。ピストン部７１０は、受圧部７１ａを介して、圧縮空気から締結面３Ａ側の力を受ける。また、ピストン部７１０は、凹部７１３を介して、圧縮ばね５０から締結面６側の力を受ける。圧縮空気から受ける力が圧縮ばね５０から受ける力より大きい場合、封止体７は、締結面３Ａ側にスライド移動する。反対に、圧縮ばね５０から受ける力が圧縮空気から受ける力より大きい場合、封止体７は、締結面６側にスライド移動する。すなわち、封止体７は、圧縮ばね５０及び圧縮空気によって、開口部３１と開口部４１との対向方向をスライド移動する。
【００２６】
弁体８が全閉（θ＝０）の時、封止体７は、上述の圧縮ばね５０の力を受けて締結面６側にスライド移動して、シールリング７２０のシール材７２３を介して、弁体８に当接することができる。これによって、真空処理装置から流出し開口部３１及び開口部４１の内周側を流れ真空ポンプへと流出する気体（図２で示す気体Ｇ）を遮断、すなわち、真空バルブ１を閉状態にすることができる。
【００２７】
シール材７２１は、シールリング７２０とハウジングの内周面４４、すなわち、収容部５の外周側壁面との隙間を封止している。シール材７２２は、シールリング７２０と筒部３４の外周面３４Ａ、すなわち、収容部５の内周側壁面との隙間を封止している。
【００２８】
このように、環状の収容部５と、収容部５に収容される環状の封止体７とを備えて、収容部５と封止体７との間にシール材７２１、７２２を設けているために、シール材７２１、７２２のシール性が確保され、気体Ｇがピストン部７１０側に漏えいすることを防止できる。その結果、真空バルブ１の信頼性が向上する。
【００２９】
また、シールリング７２０にシール材７２１、７２２が設けられているので、シールリング７２０とピストン部７１０の接続領域と、気体Ｇとが接触しないようにすることができる。シールリング７２０とピストン部７１０の接続領域は、摩耗箇所であるので摩耗屑などが仮に発生しても、その摩耗屑などが気体Ｇ中に流出することを防止できる。
【００３０】
なお、封止体７に設けられた上面７１７が、フランジ３と当接することで、封止体７の締結面３Ａ側への移動は停止する。
【００３１】
図４〜６は、ピストン部７１０の基部７１とシールリング７２０の基部７２との接続構造を説明する図である。図４は基部７１の構造を説明する図であり、（ａ）は基部７１のＡ矢視図（図３参照）、（ｂ）はＸ１−Ｘ１断面図、（ｃ）はＸ２−Ｘ２断面図である。基部７１のシールリング７２０との接続面７１８、すなわち、筒部７１ｂの端面７１８には、リング状の凸部７１ｃが形成されている。凸部７１ｃには、係合部７１ｄが周方向に沿って複数箇所形成されている。図４に示す例では、９０度ピッチで４箇所形成されている。係合部７１ｄは、断面形状が三角形であって、凸部７１ｃの内周側に突出するように形成されている。
【００３２】
図５はシールリング７２０の基部７２の構造を説明する図であり、（ａ）は基部７２のＢ矢視図（図３参照）、（ｂ）はＸ３−Ｘ３断面図、（ｃ）はＸ４−Ｘ４断面図である。基部７２のピストン部７１０との接続面７２９には、リング状の溝７２ａが形成されている。溝７２ａには、係合部７２ｂが周方向に沿って複数箇所形成されている。図５に示す例では、９０度ピッチで４箇所形成されている。係合部７２ｂが形成されていない領域における溝７２ａの断面形状は、図５（ｂ）に示すように、内側側面は垂直な面となっている。一方、溝７２ａの外側側面は、溝幅が底面に向かって狭くなるように傾斜した斜面となっている。
【００３３】
図６は、ピストン部７１０の基部７１へのシールリング７２０の基部７２の接続を説明する図である。図６（ａ）に示す工程では、図４および図５に示す配置で、ピストン部７１０の基部７１およびシールリング７２０の基部７２の接続面を対向させる。このとき、凸部７１ｃの係合部７１ｄが形成されている部分は、図６（ａ）の左側の図（Ｘ１−Ｘ１断面部分）のように、シールリング７２０の基部７２の溝７２ａの係合部７２ｂが形成されていない部分に挿入される。一方、凸部７１ｃの係合部７１ｄが形成されていない部分は、図６（ａ）の右側の図（Ｘ２−Ｘ２断面部分）のように、基部７２の溝７２ａの係合部７２ｂが形成されている部分に挿入される。
【００３４】
次いで、図６（ａ）に示す状態から、ピストン部７１０の基部７１に対してシールリング７２０の基部７２を４５度だけ回転させると、図６（ｂ）に示す状態となる。凸部７１ｃの係合部７１ｄが形成されている部分は、図６（ｂ）の左側の図（Ｘ１−Ｘ１断面部分）のように、溝７２ａの係合部７２ｂが形成されていない部分に移動する。その結果、ピストン部７１０の基部７１側の凸部７１ｃの係合部７１ｄとシールリング７２０の基部７２側の溝７２ａの係合部７２ｂとが係合し、ピストン部７１０の基部７１にシールリング７２０の基部７２が固定される。一方、凸部７１ｃの係合部７１ｄが形成されていない部分は、シールリング７２０の基部７２を４５度だけ回転すると、図６（ｂ）の右側の図（Ｘ２−Ｘ２断面部分）のように、溝７２ａの係合部７２ｂが形成されていない部分に移動することになる。
【００３５】
以上、図４〜６を用いて説明したとおり、シールリング７２０は、ピストン部７１０に対して着脱可能に係合している。そのため、真空バルブ１を真空処理装置や真空ポンプから取り外さずに、開閉可能なカバー１１が設けられた取り出し口１２（図１参照）を用いて、シールリング７２０を簡便に交換することができる。
【００３６】
気体Ｇは一般的に腐食性のプロセスガスであるので、シール材７２１、７２２、７２３は、気体Ｇによって侵食されやすい。そのため、シール材７２１、７２２、７２３は、交換頻度が高い。本実施形態では、簡便に取り外し可能なシールリング７２０に、シール材７２３だけでなく、上述のようにシール材７２１、７２２も設けられているので、シール材７２１、７２２、７２３の交換を簡便に行うことができる。
【００３７】
本実施形態の真空バルブは、以下の構成を備え、その結果、以下の作用効果を奏する。
（１）真空バルブ１は、対向する一対の開口部３１，４１が形成された筐体２と、一対の開口部３１，４１の間に挿脱される弁体８と、圧縮空気の圧力によって筐体２内を開口部３１，４１の対向方向（図２の上下方向）にスライド移動し、開口部３１，４１の間に挿入された弁体８に当接してバルブ閉状態とする環状の封止体７と、を備える。
筐体２には、内周側壁面３４Ａ及び外周側壁面４４を備えると共に、スライド移動する封止体７が収容される環状の収容部５が形成される。
封止体７の内周面７２７及び外周面７２６のそれぞれには、封止体７と内周側壁面３４Ａとの隙間を封止するシール材７２２、及び、封止体７と外周側壁面４４との隙間を封止するシール材７２１が設けられている。
以上のように、環状の収容部５と、収容部５に収容される環状の封止体７とを備えて、収容部５と封止体７との間にシール材７２１、７２２を設けているために、シール材７２１、７２２のシール性が確保されて、真空バルブ１の信頼性が向上する。
【００３８】
（２）封止体７は、シール材７２１、７２２が設けられたシールリング７２０と、シールリング７２０に対し、スライド方向（図２の上下方向）に接続され圧縮空気の圧力によってスライド駆動されるピストン部７１０と、を備える。
このように、シールリング７２０とピストン部７１０で接続するようにしても、シールリング７２０にシール材７２１、７２２が設けられているので、真空処理装置から流出し開口部３１及び開口部４１の内周側を流れ真空ポンプへと流出する気体（図２に示す気体Ｇ）と、シールリング７２０とピストン部７１０の接続領域とが接触しないようにすることができる。
その結果、シールリング７２０とピストン部７１０の接続領域から発生する可能性のある摩耗屑が気体Ｇ中に流出することを防止できる。
【００３９】
（３）筐体２は、ピストン部７１０の接続面７１８には、係合部７１ｄを有する凸部７１ｃが形成され、シールリング７２０の接続面７２９には、係合部７１ｄを有する凸部７１ｃに対して着脱可能に係合する係合部７２ｂを有する溝７２ａが形成されている。
これによって、ピストン部７１０からシールリング７２０を着脱可能にすることができる。
さらに、開閉可能な取り出し口１２を有することで、真空処理装置や真空ポンプから真空バルブを取り外さずに、シールリング７２０の交換が簡便に行える。シールリング７２０には、上述のようにシール材７２１、７２２が設けられているので、シール材７２１、７２２の交換も簡便に行える。
【００４０】
ここで、比較例として特許文献１に記載のボルトを用いた封止体を有する真空バルブ（以下、真空バルブ６０と呼ぶ）を挙げ、図２に示した本実施形態の真空バルブ１と対比する。図８は、比較例の真空バルブ６０を示している。比較例の真空バルブ６０と、本実施形態の真空バルブ１との主な相違点は、封止体の構成である。真空バルブ６０の封止体６１は、環状のピストン６２と、環状のシールリング６４と、ピストン６２とシールリング６４とを接続している周方向に複数配置されたボルト６３とを有している。
【００４１】
（対比１）
シール材のシール性について対比する。
上述のように、環状のピストン６２と環状のシールリング６４とを複数のボルト６３で接続する場合、ピストン６２における各ボルトの取り付け位置と、シールリング６４における対応するボルト取り付け位置とを、精度良く対向させる必要がある。対応する一対のボルト取り付け位置に位置ズレが生じた場合、ボルト６３の軸がスライド方向に対して傾くことになる。その場合、ボルト６３の上下動に伴って、シール材６３１のシール性が悪化する（図９参照）。図９を用いて具体的に説明する。図９は、比較例の真空バルブの封止体のボルト周辺の拡大図である。図９において、傾いたボルト６３が破線６３０のように下方に移動すると、図示左側においてシール性が悪化する。その結果、カプラ９から導入された圧縮空気が、真空系へと流入してしまうという問題が生じる。また、ボルト６３が、壁面６５、６６と接触し、キズや動作不良の問題が生じる。
【００４２】
一方、本実施形態の真空バルブ１における封止体７においては、環状のピストン部７１０と、環状のシールリング７２０とがスライド方向に積層されるように接続されているので、上記のような問題が生じない。そのため、シール材７２１、７２２等のシール性を良好に保つことができる。
【００４３】
（対比２）
封止体の強度について対比する。
比較例の真空バルブ６０の封止体６１においては、環状のピストン６２と環状のシールリング６４とが周方向に複数配置されたボルト６３で接続されている。よって、封止体６１において、ボルト６３とボルト６３の間には、環状のピストン６２と環状のシールリング６４とを接続する部材が設けられておらず、隙間が空いている。その結果、強度不足で、封止体６１が変形し、ボルト６３が傾斜して、図９に示すような封止体６１のボルト６３に設けられたシール材６３１のシール性の悪化を招く可能性がある。
【００４４】
一方、本実施形態の真空バルブ１における封止体７においては、環状のピストン部７１０と、環状のシールリング７２０とがスライド方向に積層されるように接続されているので、封止体７の周方向において上述のような隙間が空いていない。その結果、封止体７の強度を高くすることができ、封止体７の変形を防止できる。さらに、封止体７が変形しにくくなっているため、封止体７のシール材７２１、７２２等のシール性を良好に保つことができる。
【００４５】
（対比３）
シール材の必要数について対比する。
比較例の真空バルブ６０の封止体６１は、圧縮空気が真空系側に漏れないように各ボルト６３にシール材６３１が設けられている。
【００４６】
一方、本実施形態の真空バルブ１の封止体７は、内周側にシール材７２２を、外周側にシール材７２１（または、７１６）を有しているだけなので、必要なシール材は２個である。よって、比較例よりも必要なシール材の数を低減できる。その結果、交換作業の負担が軽減される。
【００４７】
（対比４）
接続領域の置かれている環境について対比する。
比較例の真空バルブ６０において、シールリング６４とボルト６３とは、凸部６３ａと凹部６４ａとが係合することで接続されている。この係合部において、摩耗屑が生じることがある。比較例の真空バルブ６０において、当該接続領域は、気体Ｇに接触している。そのため、上述の摩耗屑が真空系側に流出する虞がある。
【００４８】
一方、本実施形態の真空バルブ１の封止体７においては、シールリング７２０とピストン部７１０の接続領域は、気体Ｇと接触しないため、摩耗屑が仮に発生しても気体Ｇに流出しない。
【００４９】
（対比５）
シール材の交換の簡便さについて対比する。気体Ｇが腐食性を有する場合、気体Ｇと接触するシール材は、侵食されやすくなるので、交換頻度が高くなる。
比較例の真空バルブ６０においては、気体Ｇと接触するシール材は、シール材６３１、６４１、６４２である。シール材６４１、６４２については、着脱可能なシールリング６４に設けられているので、交換が簡便である。しかし、ボルト６３の周面に設けられているシール材６３１は、真空処理装置や真空ポンプから真空バルブ６０を取り外し、さらに、フランジ３を取り外さないと交換できない。
【００５０】
一方、本実施形態の真空バルブ１の封止体７においては、気体Ｇと接触するシール材は、シール材７２１、７２２、７２３である。シール材７２１、７２２、７２３のいずれも、着脱可能なシールリング７２０に設けられているので、シール材７２１、７２２、７２３のいずれも交換が簡便に行える。
【００５１】
本実施形態の真空バルブ１は、以下のようにも変形できる。
―封止体７の駆動についての変形例１―
図７（ａ）は、封止体７の駆動についての変形例１について示した図である。以上の実施形態で示した封止体７は、図２に示すように圧縮空気と圧縮ばね５０によって駆動されるようにしたが、図７（ａ）に示す本変形例のように、圧縮ばね５０の代わりに圧縮空気を用いるようにしてもよい。その場合、シール材としては、以上の実施形態で用いたシール材に加えて、ピストン部７１０の内周側にシール材７１４を追加する必要がある。このように変形しても、以上の実施形態と同様の作用効果を奏する。
【００５２】
―封止体７の駆動についての変形例２―
図７（ｂ）は、封止体７の駆動についての変形例２について示した図である。以上の実施形態で示した封止体７は、図２に示すように、圧縮空気によって図２の図示上側に移動し、圧縮ばね５０によって図２の図示下側に移動する。図７（ｂ）に示すように、本変形例の封止体７は、圧縮ばね５０によって図２の図示上側に移動し、圧縮空気によって図２の図示下側に移動する。このように変形しても、以上の実施形態と同様の作用効果を奏する。
【００５３】
―封止体７の駆動についての変形例３―
図７（ｃ）は、封止体７の駆動についての変形例３について示した図である。以上の実施形態で示した封止体７は、図２に示すように、圧縮空気によって図２の図示上側に移動し、圧縮ばね５０によって図２の図示下側に移動する。図７（ｃ）に示すように、本変形例の封止体７は、圧縮空気の代わりに電磁石５２を用いて、ピストン部７１０を磁気的に吸引することで図２の図示上側に移動する。そのため、本変形例のピストン部７１０は、磁性材料で作製されている。また、本変形例の封止体７は、以上の実施形態と同様に圧縮ばね５０によって図２の図示下側に移動する。このように変形しても、以上の実施形態と同様の作用効果を奏する。
【００５４】
―シールリングとピストン部の係合関係の変形―
以上では、シールリング７２０の接続面７２９に係合部７２ｂを有する溝７２ａが形成され、ピストン部７１０の接続面７１８に係合部７１ｄを有する凸部７１ｃが形成されるようにしたが、これに限定されない。シールリング７２０の接続面７２９に係合部を有する凸部（凸部Ａと呼ぶことにする）が形成され、ピストン部７１０の接続面７１８に凸部Ａと係合する係合部を有する溝が形成されるようにしてもよい。
【００５５】
以上では、封止体７は、圧縮空気の圧力によって駆動されるとしたが、油圧など他の流体圧で駆動されるようにしてもよい。また、電磁石によって駆動するようにしてもよい。
【００５６】
本発明は以上で示した内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００５７】
１：真空バルブ
２：筐体
３：フランジ
３Ａ：締結面
４：筐体基部
５：収容部
６：締結面
７：封止体
８：弁体（スライドプレート）
９：カプラ
１０：駆動部
１１：カバー
３１：開口部
３３：凹部
３４：筒部
３４Ａ：筒部の外周面（収容部の内周側壁面）
３４Ｂ：下端
４１：開口部
４２：通気口
４４：筐体基部の内周面（収容部の外周側壁面）
６０：真空バルブ
６１：封止体
６２：ピストン
６３：ボルト
６３ａ：凸部
６４：シールリング
６４ａ：凹部
７１：基部
７１ａ：受圧部
７１ｂ：筒部
７１ｃ：凸部
７１ｄ：係合部
７２：基部
７２ａ：溝
７２ｂ：係合部
７２ｃ：円環部
６３１：シール材
６４１：シール材
７１０：ピストン部
７１１：シール材
７１２：シール材
７１３：凹部
７１４：シール材
７１５：大径部
７１５Ａ：凹部
７１６：小径部
７１６Ａ：凹部
７１８：接続面
７２０：シールリング
７２１：シール材
７２２：シール材
７２３：シール材
７２６：外周面
７２６Ａ：凹部
７２７：内周面
７２７Ａ：凹部
７２８：端面
７２８Ａ：凹部
７２９：接続面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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