(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状のハウジングと、
該ハウジング内に配置された管状分離膜と
を有し、
被処理流体が該ハウジング内を一端側から他端側に流れ、管状分離膜を透過した流体が該管状分離膜を通って取り出される分離膜モジュールにおいて、
該管状分離膜の振動を吸収する振動吸収材が設けられた分離膜モジュールであって、
前記管状分離膜の一端部にエンド管が接続され、
該エンド管は、前記ハウジングを横断するように設置された支持板に支持されており、 該管状分離膜の他端部にエンドプラグが接続されており、
該エンドプラグと接触するように前記振動吸収材が設けられており、
前記エンドプラグと対峙して押え板が設けられており、
該押え板に設けられた開口に該エンドプラグ又はそれから突設されたロッドが挿通されており、
該押え板を挟んで管状分離膜と反対側に振動吸収材が設けられており、該振動吸収材に該エンドプラグ又はロッドが接触していることを特徴とする分離膜モジュール。
【請求項２】
請求項１において、前記押え板は
前記振動吸収材は、該押え板に敷設された振動吸収シートであることを特徴とする分離膜モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は溶液や混合気体等の流体から一部の成分を分離するために用いられる分離膜モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
溶液又は混合気体中の成分を分離するための機器として分離膜モジュールが知られている。この分離膜モジュールに用いる管状分離膜は、管状の多孔質セラミック支持体と、該支持体の外周面に設けられたゼオライト等からなる多孔質の分離膜とを有する。溶液や混合気体等の流体から特定の成分を分離するためには、溶液の流体を分離膜エレメントの一方（外面）に接触させて、もう一方（内面）を減圧することにより、特定の成分を気化させ分離する方法や、溶液を気化させて気体状態で分離膜に接触させて、非接触面側を減圧して特定成分を分離する方法、加圧状態の混合気体を分離膜に接触させて特定の成分を分離する方法などが知られている（特許文献１，２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−３９５４６号公報
【特許文献２】特開２００９−３９６５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような分離膜モジュールでは、ゼオライト分離膜が流体の流れにより振動し、異音が生じたり、シール部が劣化し易くなったりするおそれがあった。
【０００５】
本発明は、管状分離膜の振動が防止される分離膜モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の分離膜モジュールは、筒状のハウジングと、該ハウジング内に配置された管状分離膜とを有し、被処理流体が該ハウジング内を一端側から他端側に流れ、管状分離膜を透過した流体が該管状分離膜を通って取り出される分離膜モジュールにおいて、該管状分離膜の振動を吸収する振動吸収材が設けられたことを特徴とするものである。
【０００７】
本発明の一態様では、前記管状分離膜の一端部にエンド管が接続され、該エンド管は、前記ハウジングを横断するように設置された支持板に支持されており、該管状分離膜の他端部にエンドプラグが接続されており、該エンドプラグと接触するように前記振動吸収材が設けられている。
【０００８】
この場合、前記エンドプラグと対峙して押え板が設けられており、該押え板に設けられた開口に該エンドプラグ又はそれから突設されたロッドが挿通されており、該押え板を挟んで管状分離膜と反対側に振動吸収材が設けられており、該振動吸収材に該エンドプラグ又はロッドが接していることが好ましい。
【０００９】
また、前記押え板は、管状分離膜の上方に配置されており、前記振動吸収材は、該押え板の上側に敷設された振動吸収シートであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の分離膜モジュールにあっては、管状分離膜の振動を吸収するための振動吸収部材を設けているので、管状分離膜の振動が防止（抑制を含む）され、異音が防止されると共に、シール部分や支持体、さらには管状分離膜の耐久性も良好となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態に係る分離膜モジュールのハウジング軸心線方向に沿う断面図である。
【図２】図１の上部の拡大図である。
【図３】図１のIII−III線断面図である。
【図４】図１のIV−IV線断面図である。
【図５】エンド管及び支持板の拡大断面図である。
【図６】別の実施の形態に係る分離膜モジュールの一部拡大図である。
【図７】別の実施の形態に係る分離膜モジュールの一部拡大図である。
【図８】実施の形態に係る分離膜モジュールのハウジング軸心線方向に沿う断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１〜５、８を参照して、本発明の一実施の形態に係る分離膜モジュールについて説明する。
【００１３】
この分離膜モジュール１は、円筒状ハウジング２と、ハウジング２の軸心線と平行方向に配置された複数の管状分離膜３と、ハウジング２内の下部に設けられた支持板５と、ハウジング２の下端に取り付けられたボトムカバー６Ａ及び上端に取り付けられたトップカバー６Ｂと、支持板５と平行にハウジング２内の下部及び上部にそれぞれ配置された第１のバッフル（整流板）７、第２のバッフル（整流板）８及び押え板２５等を有する。第１のバッフル７は支持板５の上側に配置されている。
【００１４】
この実施の形態では、ハウジング２の下端及び上端側とボトムカバー６Ａ及びトップカバー６Ｂの外周縁にそれぞれ外向きのフランジ２ａ，２ｂ，６ｂ，６ｃが設けられ、ボルト（図示略）によってこれらが固定されている。支持板５の周縁部は、フランジ２ａ，６ｂ間にガスケット（図示略）を介して挟持されている。
【００１５】
この実施の形態に限らず、分離膜モジュール１は筒軸心方向を逆にしたボトムカバー６Ａが上側に配置される使用方法であっても、ボトムカバー６Ａ、トップカバー６Ｂを結ぶ方向が略水平方向となるように、分離膜モジュール１を横置きに設置して使用しても差し支えない。
【００１６】
この実施の形態では、管状分離膜３の下端にエンド管４が連結されている。管状分離膜３の上端にエンドプラグ２０が連結されている。図８に示すように、２本の管状分離膜３がジョイント管１７によって連結されて管状分離膜連結体とされているものであってもよい。図１〜４、８では、管状分離膜は７本のみ示されているが、実際は1本のみであってもよいし、図５のように多数本（２〜３０００本）設けられている多管式分離膜モジュールであってもよい。
【００１７】
なお、図１の通り、管状分離膜３は、ジョイント管１７によって連結されず、一本物とされてもよい。この場合、管状分離膜３の上端と下端にエンドプラグ２０、エンド管４が連結される。図１の場合においても、管状分離膜３は１本のみ設けられてもよい。
【００１８】
ハウジング２の下部の外周面に被処理流体の流入口９が設けられ、上部の外周面に被処理流体の流出口１０が設けられている。流入口９は、支持板５と第１のバッフル７との間の室１１に臨むように設けられている。流出口１０は、第２のバッフル８の上側の室１２に臨むように設けられている。バッフル７，８間は膜分離を行うための主室１３となっている。
【００１９】
底部の支持板５から複数のロッド１４が立設され、該ロッド１４にバッフル７，８及び押え板２５が支持されている。ロッド１４の下端には雄ねじが刻設されており、支持板５の雌ねじ穴に螺着されている。バッフル７，８及び押え板２５はロッド１４に外嵌された鞘管１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ（図２，５）によって所定高さに支持されている。鞘管１４Ａは、支持板５とバッフル７との間に配置されている。鞘管１４Ｂは、バッフル７，８間に配置されている。鞘管１４Ｃはバッフル８と押え板２５との間に配置されている。バッフル８は、鞘管１４Ｂの上端面に載設されている。押え板２５は、バッフル８の上方に配置されており、鞘管１４Ｃの上端面に載置され、ロッド１４の上端に螺着されたナット１４ｎによって固定されている。
【００２０】
バッフル７，８の外周面とハウジング２の内周面との間には、Ｏリング、Ｖパッキン、Ｃリングなどのシール部材が介在されてもよい。
【００２１】
各バッフル７，８には、管状分離膜３を挿通させるための円形の挿通孔７ａ，８ａが設けられており、管状分離膜３、エンド管４及びエンドプラグ２０の連結体が各挿通孔７ａ，８ａに挿通されている。挿通孔７ａ，８ａの口径は、管状分離膜３、エンド管４及びエンドプラグ２０の直径（外径）よりも大きく、挿通孔７ａ，８ａの内周面と、エンド管４及びエンドプラグ２０の外周面との間に全周にわたって間隙があいている。バッフルの数はこの実施の形態によらず、３以上のバッフルを使用してもよい。
【００２２】
支持板５の上面側には、管状分離膜３に連結されたエンド管４の下端が差し込まれた差込穴５ａが設けられている。差込穴５ａは、円柱形であり、支持板５の上面から厚み方向の途中まで延在している。差込穴５ａの穴底は、小孔５ｂと大孔５ｃとを介して支持板５の下側に連通している。エンド管４と差込穴５ａとの間はＯリングによってシールされている。
【００２３】
各エンド管４の管孔４ａは、小孔５ｂ及び大孔５ｃを介して、ボトムカバー６Ａと支持板５との間の流出室１６に連通している。ボトムカバー６Ａには、分離された透過流体の取出口６ａが設けられている。
【００２４】
図５の通り、エンド管４の上端部は小径部４ｇとなっており、管状分離膜３の下部に差し込まれている。管状分離膜３とエンド管４との間はＯリングによってシールされている。
【００２５】
図１，２の通り、上側の管状分離膜３の上端にエンドプラグ２０が連結されている。エンドプラグ２０は円柱状であり、管状分離膜３の上端を封止している。エンドプラグ２０の下端には、管状分離膜３内に差し込まれた小径部２１が設けられている。エンドプラグ２０と管状分離膜３との間はＯリング３４，３５によってシールされている。このエンドプラグ２０と管状分離膜３とのシール構造は、前記エンド管４の小径部４ｇと管状分離膜３とのシール構造と同様のものとなっている。また、エンドプラグ２０と管状分離膜３は、Ｏリングを使用せず、熱収縮チューブを用いることでシールしてもよいし、Ｏリングを使用した上にさらに熱収縮チューブを用いてもよい。
【００２６】
エンドプラグ２０の上端面の中央から上方にロッド２２が立設されている。エンドプラグ２０の上方に配置された押え板２５には、このロッド２２が挿入された開口２５ａが設けられている。ロッド２２の直径は開口２５ａの口径よりも小さく、ロッド２２と開口２５ａの内周面との間には隙間があいている。
【００２７】
なお、押え板２５の周縁部には、押え板２５の下側の室１２と、上側の室１２ａとを連通するための切欠部２５ｂが設けられている。
【００２８】
ロッド２２は、押え板２５の上方に若干突出している。押え板２５の上面に軟質材よりなる振動吸収シート２８が被せられており、ロッド２２の上端部が該振動吸収シート２８に接している。振動吸収シート２８としては、ゲルシート、ゴムシート、スポンジシートなど粘弾性を有した材料よりなるシートが用いられる。
【００２９】
このロッド２２を取り巻くように、エンドプラグ２０の上端面と押え板２５の下面との間に圧縮コイルばね２６が介在されている。このばね２６により、エンドプラグ２０が下方に付勢されている。このため、何らかの原因で管状分離膜３の内圧が上昇し、エンドプラグ２０が管状分離膜３から抜け出す方向の力が加えられても、エンドプラグ２０の抜け出しが防止される。同様に、上側の管状分離膜３がジョイント管１７から抜け出したり、ジョイント管１７が下側の管状分離膜３から抜け出したりすることも防止される。
【００３０】
なお、管状分離膜３が熱膨張又は熱収縮したときには、ばね２６がそれに追随して縮んだり伸長したりする。
【００３１】
前述の通り、図８に示す実施の形態では複数本、例えば２本の管状分離膜３がジョイント管１７を介して連結されている。このジョイント管１７は、管軸方向に貫通する貫通孔を有する。ジョイント管１７の両端側（上端側と下端側）は、管状分離膜３内に差し込まれる小径部となっている。小径部の外周面には溝が周回して設けられ、Ｏリング（図示略）が装着されている。ジョイント管１７と管状分離膜３は、Ｏリングを使用せず、熱収縮チューブを用いることでシールしてもよいし、Ｏリングを使用した上にさらに熱収縮チューブを用いてもよい。
【００３２】
また、ジョイント管１７の両端側の小径部同士の間は大径部となっており、小径部と大径部との境界部は段差面となっている。この段差面と管状分離膜３の端面との間にもＯリング（図示略）が介在されている。
【００３３】
この分離膜モジュール１を組み立てるには、例えば、支持板５に設けた差込穴５ａに、エンド管４、管状分離膜３及びエンドプラグ２０を、この順に差し込んで支持板５に立設する。差込穴５ａにエンド管４の下端部を差し込むだけでエンド管４と支持板５とを気密ないし液密状に容易に連結することができる。また、差込穴５ａが円柱形であるので、支持板５に差込穴５ａを穿設する作業は容易であり、支持板５の製作も容易である。従って、分離膜モジュールの製作工期の短縮及び製作コストの低減を図ることができる。
【００３４】
管状分離膜３、エンド管４及びエンドプラグ２０の連結体を支持板５上に立設した後、ばね２６を介して押え板２５を被せ、ナット１４ｎを締め込む。その後、振動吸収シート２８を押え板２５上に被せ、トップカバー６Ｂを取り付ける。
【００３５】
このように構成された分離膜モジュール１において、被処理流体は流入口９からハウジング２の室１１内に導入され、バッフル７の挿通孔７ａの内周面とエンド管４の外周面との間の間隙を通って主室１３に流入し、主室１３を通った後、バッフル８の挿通孔８ａとエンドプラグ２０との間隙を通って室１２に流出する。主室１３を流れる間に被処理流体の一部の成分が管状分離膜３を透過して管状分離膜３内から流出室１６及び取出口６ａを介して取り出される。透過しなかった流体は、流出口１０から分離膜モジュール１外に流出する。
【００３６】
この実施の形態では、振動吸収シート２８を設けているので、管状分離膜３の振動が防止され、異音の発生やシール部、支持体及び管状分離膜の早期劣化が防止される。この実施の形態では、管状分離膜３の両端に連結されたエンド管４とエンドプラグ２０がそれぞれバッフル７，８の挿通孔７ａ，８ａに差し込まれている。そのため、仮に管状分離膜３が振動ないし揺動してエンド管４及びエンドプラグ２０が挿通孔７ａ，８ａの内周面に当接してもゼオライト膜が損傷することがなく、長期にわたって安定して運転を行うことができる。
【００３７】
この実施の形態では、管状分離膜３の上端側にエンドプラグ２０を配置し、ばね２６で下方に付勢しているので、管状分離膜３、エンドプラグ２０、エンド管４及びジョイント管１７に対し、各々同士が押し付けられる方向に荷重がかかっている。そのため、これら同士の間のシール性が高いと共に、前述の通り、管状分離膜３の内圧が上昇した場合にエンドプラグ２０や管状分離膜３、ジョイント管１７が抜け出すことが防止される。
【００３８】
なお、主室１３内の流れと管状分離膜３内の流れは並流であっても、向流であっても差し支えなく、被処理流体の流入口９と流出口１０とは入れ替えても差し支えない。
【００３９】
この実施の形態では、管状分離膜３を平行に多数本配列設置しており、膜面積が大きいので、効率良く膜分離が行われる。
【００４０】
上記実施の形態では、Ｏリングによって管状分離膜３、エンド管４及びエンドプラグ２０同士の間をシールしているが、熱収縮チューブによってこれらを連結してシールしてもよい。
【００４１】
上記実施の形態では、ばね２６を用いているが、エンドプラグ２０の上端面と押え板２５との間隔を小さくした場合には、ばね２６を省略してもよい。この場合、管状分離膜３の内圧が高くなってエンドプラグ２０が上方に移動したときに、エンドプラグ２０の上端面が押え板２５に当たり、エンドプラグ２０が抜け出すことが防止される。
【００４２】
上記実施の形態では、ばね２６はエンドプラグ２０を押圧するものとしているが、エンドプラグ２０とエンド管４とを引き付けるためのばねを管状分離膜３内に設けてもよい。
【００４３】
なお、本発明の分離膜モジュール１にあっては、流出口１０から被処理流体を導入し、流入口９から非透過流体を流出させる使用も可能である。
【００４４】
上記実施の形態では、振動吸収材として振動吸収シート２８を用いているが、その他の振動吸収材を用いることもできる。その一例を図６に示す。
【００４５】
図６では、振動吸収シート２８が省略され、その代りに押え板２５の上側にゲル、ゴム、スポンジ等の粘弾性材料よりなるボール（球状体）状振動吸収体４０が敷き詰められ、ロッド２２の上端部が振動吸収体４０によって取り囲まれ、振動吸収体４０に接している。なお、押え板２５には切欠部２５ｂは設けられていないが、切欠部２５ｂが設けられてもよい。図６のその他の構成は図２と同一であり、同一符号は同一部分を示している。この実施の形態によっても管状分離膜３の振動が振動吸収体４０によって吸収される。
【００４６】
上記実施の形態では、管状分離膜３を支持板５上に立設する構造をしているが、支持板を分離膜モジュールの上部に配置し、管状分離膜を支持板に吊支する構造としてもよい。その一例を図７に示す。
【００４７】
図７は、図１〜５の分離膜モジュールを上下逆にした構造の分離膜モジュールの下部を示している。この分離膜モジュールでは、振動吸収シート４１は、カバー６Ｂ上に敷設されている。振動吸収シート４１は、所定の厚みを有した粘弾性体よりなる。ロッド２２の下端は、この振動吸収シート４１中に押し込まれている。この振動吸収シート４１により、管状分離膜３の振動が吸収される。
【００４８】
図７の分離膜モジュールのその他の構成は図１〜５の構成と同様であり、図７のその他の符号は図２と同一部分を示している。図７の分離膜モジュールにおける流体の流れ及び流体分離動作は図１〜５の分離膜モジュールと同じである。なお、切欠部２５ｂは省略されてもよい。
【００４９】
上記の各実施の形態では、エンドプラグ２２から細棒状のロッド２２を突設しているが、ロッド２２を省略し、開口２５ａを大きくし、エンドプラグ２２の先端側をそのまま開口２５ａに挿通させるようにしてもよい。
【００５０】
以下、本発明の分離膜モジュールを構成する各部材の好適な材料等について説明する。
【００５１】
エンド管４及びエンドプラグ２０の材料としては金属、セラミックス、樹脂など、流体を透過させないものが例示されるが、これに限定されない。バッフル７，８及びジョイント管１７の材質は、通常、ステンレスなどの金属材料であるが、分離条件における耐熱性と供給、透過成分に対する耐性があれば特に限定されず、用途によっては、樹脂材料など他の材質に変更可能である。
【００５２】
管状分離膜３は、好ましくは、管状の多孔質支持体と、該多孔質支持体の外周面に形成された無機分離膜としてのゼオライト膜とを有する。この管状の多孔質支持体の材質としては、シリカ、α−アルミナ、γ−アルミナ、ムライト、ジルコニア、チタニア、イットリア、窒化珪素、炭化珪素などを含むセラミックス焼結体または金属焼結体の無機多孔質支持体が挙げられる。その中でもアルミナ、シリカ、ムライトのうち少なくとも１種を含む無機多孔質支持体が好ましい。多孔質支持体表面が有する平均細孔径は特に制限されるものではないが、細孔径が制御されているものが好ましく、通常０．０２μｍ以上、好ましくは０．０５μｍ以上、さらに好ましくは０．１μｍ以上であり、通常２０μｍ以下、好ましくは１０μｍ以下、さらに好ましくは５μｍ以下の範囲が好ましい。
【００５３】
多孔質支持体の表面においてゼオライトを結晶化させゼオライト膜を形成させる。
ゼオライト膜を構成する主たるゼオライトは、通常、酸素６−１０員環構造を有するゼオライトを含み、好ましくは酸素６−８員環構造を有するゼオライトを含む。
【００５４】
ここでいう酸素ｎ員環を有するゼオライトのｎの値は、ゼオライト骨格を形成する酸素とＴ元素で構成される細孔の中で最も酸素の数が大きいものを示す。例えば、ＭＯＲ型ゼオライトのように酸素１２員環と８員環の細孔が存在する場合は、酸素１２員環のゼオライトとみなす。
【００５５】
酸素６−１０員環構造を有するゼオライトの一例を挙げれば、ＡＥＩ、ＡＥＬ、ＡＦＧ、ＡＮＡ、ＢＲＥ、ＣＡＳ、ＣＤＯ、ＣＨＡ、ＤＡＣ、ＤＤＲ、ＤＯＨ、ＥＡＢ、ＥＰＩ、ＥＳＶ、ＥＵＯ、ＦＡＲ、ＦＲＡ、ＦＥＲ、ＧＩＳ、ＧＩＵ、ＧＯＯ、ＨＥＵ、ＩＭＦ、ＩＴＥ、ＩＴＨ、ＫＦＩ、ＬＥＶ、ＬＩＯ、ＬＯＳ、ＬＴＮ、ＭＡＲ、ＭＥＰ、ＭＥＲ、ＭＥＬ、ＭＦＩ、ＭＦＳ、ＭＯＮ、ＭＳＯ、ＭＴＦ、ＭＴＮ、ＭＴＴ、ＭＷＷ、ＮＡＴ、ＮＥＳ、ＮＯＮ、ＰＡＵ、ＰＨＩ、ＲＨＯ、ＲＲＯ、ＲＴＥ、ＲＴＨ、ＲＵＴ、ＳＧＴ、ＳＯＤ、ＳＴＦ、ＳＴＩ、ＳＴＴ、ＴＥＲ、ＴＯＬ、ＴＯＮ、ＴＳＣ、ＴＵＮ、ＵＦＩ、ＶＮＩ、ＶＳＶ、ＷＥＩ、ＹＵＧ等がある。
【００５６】
ゼオライト膜は、ゼオライトが単独で膜となったものでも、前記ゼオライトの粉末をポリマーなどのバインダー中に分散させて膜の形状にしたものでも、各種支持体上にゼオライトを膜状に固着させたゼオライト膜複合体でもよい。ゼオライト膜は、一部アモルファス成分などが含有されていてもよい。
【００５７】
ゼオライト膜の厚さとしては、特に制限されるものではないが、通常、０．１μｍ以上であり、好ましくは０．６μｍ以上、さらに好ましくは１．０μｍ以上である。また通常１００μｍ以下であり、好ましくは６０μｍ以下、さらに好ましくは２０μｍ以下の範囲である。
【００５８】
ただし、本発明はゼオライト膜以外の分離膜を有した管状分離膜を用いてもよい。
【００５９】
管状分離膜３の外径は、好ましくは３ｍｍ以上、より好ましくは６ｍｍ以上、さらに好ましくは１０ｍｍ以上、好ましくは２０ｍｍ以下、より好ましくは１８ｍｍ以下、さらに好ましくは１６ｍｍ以下である。外径が小さすぎると管状分離膜の強度が十分でなく壊れやすくなることがあり、大きすぎるとモジュール当りの膜面積が低下しやすくなることがある。
【００６０】
管状分離膜３のうちゼオライト膜で覆われた部分の長さは好ましくは２０ｃｍ以上、好ましくは２００ｃｍ以下である。
【００６１】
本発明の分離膜モジュールにおいて、管状分離膜は通常１〜３０００本配置され、管状分離膜同士の最短距離は、２ｍｍ〜１０ｍｍとなるように配置されることが好ましい。ハウジングの大きさ、管状分離膜の本数は処理する流体量によって適宜変更されるものである。なお、管状分離膜はジョイント管１７によって連結されなくてもよい。
【００６２】
本発明の分離膜モジュールにおいて、分離または濃縮の対象となる被処理流体としては、分離膜によって分離または濃縮が可能な複数の成分からなる気体または液体の混合物であれば特に制限はなく、如何なる混合物であってもよいが、気体の混合物に使用することが好ましい。
【００６３】
分離または濃縮には、パーベーパレーション法（浸透気化法）、ベーパーパーミエーション法（蒸気透過法）と呼ばれる分離または濃縮方法を用いることができる。パーベーパレーション法は、液体の混合物をそのまま分離膜に導入する分離または濃縮方法であるため、分離または濃縮を含むプロセスを簡便なものにすることができる。
【００６４】
本発明において、分離または濃縮の対象となる混合物が、複数の成分からなる気体の混合物である場合、気体の混合物としては、例えば、二酸化炭素、酸素、窒素、水素、メタン、エタン、エチレン、プロパン、プロピレン、ノルマルブタン、イソブタン、１−ブテン、２-ブテン、イソブテン、トルエン等の芳香族系化合物、六フッ化硫黄、ヘリウム、一酸化炭素、一酸化窒素、水などから選ばれる少なくとも１種の成分を含むものが挙げられる。これらの気体成分からなる混合物のうち、パーミエンスの高い気体成分は、分離膜を透過し分離され、パーミエンスの低い気体成分は供給ガス側に濃縮される。
【００６５】
本発明の分離膜モジュールは、流体量、あるいは目的の分離度、濃縮度によって連結して使用することができる。流体量が多い場合または目的の分離度・濃縮度が高く１つのモジュールでは処理が十分できない場合には出口から出た流体をさらにもう一つのモジュールの入口に入るように配管を接続して使用することが好ましい。また分離度、濃縮度に応じてさらに連結して目的の分離度・濃縮度とすることができる。
【符号の説明】
【００６６】
１  分離膜モジュール
２  ハウジング
３  管状分離膜
４  エンド管
５  支持板
６Ａ  ボトムカバー
６Ｂ  トップカバー
６ａ  取出口
７，８  バッフル
７ａ，８ａ  挿通孔
９  流入口
１０  流出口
１１，１２  室
１３  主室
１４  ロッド
１６  流出室
１７  ジョイント管
２０  エンドプラグ
２２  ロッド
２５  押え板
２５ａ  開口
２６  ばね
２８，４１  振動吸収シート
４０  振動吸収体
【図１】
0006464810.tif 000002
【図２】
0006464810.tif 000003
【図３】
0006464810.tif 000004
【図４】
0006464810.tif 000005
【図５】
0006464810.tif 000006
【図６】
0006464810.tif 000007
【図７】
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【図８】
0006464810.tif 000009