(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ディスペンス領域に第１流体パターンをディスペンシングし、第２ディスペンス領域に第２流体パターンをディスペンシングする方法であって、
前記第１ディスペンス領域及び前記第２ディスペンス領域は、１または複数の電子基板上にあり、
前記第１ディスペンス領域及び前記第２ディスペンス領域は、第１軸及び当該第１軸に直交する第２軸によって規定される参照面に対して位置決めされ、
前記第１ディスペンス領域には、前記参照面に対して、前記第１軸及び前記第２軸に相互に直交する第３軸に沿って、第１傾斜または第１輪郭が設けられており、
前記第１傾斜または第１輪郭は、前記第１ディスペンス領域に対して特有であり、
前記方法は、
前記第１傾斜または第１輪郭に対応する第１ディスペンス高さ経路を決定する工程と、
前記第１アプリケータ及び第２アプリケータの両方を前記第１軸に平行な方向及び前記第２軸に平行な方向に移動する第１位置決め器を介して、前記第１ディスペンス領域に前記第１流体パターンをディスペンスするために前記第１ディスペンス高さ経路に沿って前記第１アプリケータの第１チップを移動させ、当該ディスペンスの間、第１ディスペンスギャップが、前記第１チップと前記１または複数の電子基板との間で維持され、同時に、前記第１アプリケータに対して前記第２アプリケータを前記第１軸に平行な方向及び前記第２軸に平行な方向に移動する第２位置決め器を介して、前記第２ディスペンス領域に前記第２流体パターンをディスペンスするために前記第２ディスペンス領域に対して前記第２アプリケータの第２チップを移動させ、当該ディスペンスの間、第２ディスペンスギャップが、前記第２チップと前記１または複数の電子基板との間で維持される工程と、
を備え、
前記第１ディスペンス高さ経路は、前記第３軸に沿って変化し、
前記第１軸に平行な前記第１アプリケータの移動は、前記第１軸に平行な前記第２アプリケータの移動と同時である
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記第３軸に沿って、前記第１ディスペンス領域に対応する複数の高さ測定値を収集する工程
を更に備え、
前記第１ディスペンス高さ経路を決定する工程は、前記複数の高さ測定値に基づいて前記第１ディスペンス高さ経路を決定する工程を含んでいる
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１ディスペンス高さ経路は、実質的に、前記第１ディスペンス領域の前記第１傾斜または第１輪郭のうちの少なくとも１つに倣っており、
前記第１アプリケータを前記第１ディスペンス高さに沿って移動させる工程は、前記第１アプリケータと前記第１ディスペンス領域との間の第１ディスペンスギャップを実質的に維持する工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第２アプリケータを前記第２ディスペンス領域に対して移動させる工程は、前記第１アプリケータに対して前記第３軸に平行な方向に前記第２アプリケータを移動させる工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第２ディスペンス領域には、前記参照面に対して、前記第３軸に沿って、第２傾斜または第２輪郭のうちの少なくとも１つが設けられており、
前記第２傾斜または第２輪郭のうちの少なくとも１つは、前記第２ディスペンス領域に対して特有であり、
前記方法は、
前記第２傾斜または第２輪郭のうちの少なくとも１つに対応する第２ディスペンス高さ経路を決定する工程
を更に備えており、
前記第２ディスペンス高さ経路は、前記第３軸に沿って変化し且つ前記第２ディスペンス領域に対して特有であり、
前記第２ディスペンス領域に対して前記第２アプリケータを移動させる工程は、前記第２ディスペンス高さ経路に沿って前記第２アプリケータを移動させる工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記第２ディスペンス高さ経路は、実質的に、前記第２ディスペンス領域の前記第２傾斜または第２輪郭のうちの少なくとも１つに倣っており、
前記第２アプリケータを前記第２ディスペンス高さに沿って移動させる工程は、前記第２アプリケータと前記第２ディスペンス領域との間の第２ディスペンスギャップを実質的に維持する工程を含む
ことを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記第２ディスペンス領域に前記第２流体パターンをディスペンシングする工程は、前記第１流体パターンと実質的に同じサイズ及び形状である流体パターンをディスペンシングする工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記第１ディスペンス高さ経路に沿って前記第１アプリケータを移動させ、且つ、前記第２ディスペンス領域に対して前記第２アプリケータを移動させる工程は、共通の位置決め器を用いて前記第１アプリケータ及び前記第２アプリケータを同時に移動させる工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
第１ディスペンス領域及び第２ディスペンス領域に流体をディスペンシングするディスペンシングシステムであって、
前記第１ディスペンス領域及び前記第２ディスペンス領域は、第１軸及び当該第１軸に直交する第２軸によって規定される参照面に対して位置決めされており、
当該システムは、
前記第１ディスペンス領域に流体をディスペンシングするための第１アプリケータと、
前記第２ディスペンス領域に流体をディスペンシングするための第２アプリケータと、
前記第１及び第２ディスペンス領域に流体をディスペンシングするために前記第１及び第２アプリケータを位置決めするように構成された第１位置決め器と、
前記第１位置決め器によって支持された第２位置決め器と、
を備え、
前記第１位置決め器は、前記第１及び第２アプリケータを前記第２軸に平行な方向に同時に移動させる第２駆動部と、前記第１及び第２アプリケータを第３軸に平行な方向に同時に移動させる第３駆動部と、を有しており、
前記第３軸は、前記第１軸及び前記第２軸に相互に直交しており、
前記第２位置決め器は、前記第１及び第２アプリケータの一方を他方に対して前記第２軸に平行な方向に移動させる第２駆動部と、前記第１及び第２アプリケータの一方を他方に対して第３軸に平行な方向に移動させる第３駆動部と、を有しており、
前記第１位置決め器の第３駆動部は、前記第３軸に平行な方向に前記第２位置決め器を移動させる
ことを特徴とするディスペンシングシステム。
【請求項１０】
前記第２位置決め器は、前記第１アプリケータが前記第１ディスペンス領域に流体をディスペンスし同時に前記第２アプリケータが前記第２ディスペンス領域に流体をディスペンスする間に、前記第１位置決め器に対して対応する駆動部によって自動的に移動可能である
ことを特徴とする請求項９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項１１】
前記第１位置決め器は、前記第１軸に平行な方向において第１移動範囲で移動可能であり、前記第２軸に平行な方向において第２移動範囲で移動可能であり、前記第３軸に平行な方向において第３移動範囲で移動可能であり、
前記第２位置決め器は、前記第１軸に平行な方向において第１移動範囲で移動可能であり、前記第２軸に平行な方向において第２移動範囲で移動可能であり、前記第３軸に平行な方向において第３移動範囲で移動可能であり、
前記第２位置決め器の前記第１移動範囲、前記第２移動範囲及び前記第３移動範囲は、前記第１位置決め器の前記第１移動範囲、前記第２移動範囲及び前記第３移動範囲よりも小さい
ことを特徴とする請求項９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項１２】
前記第２駆動部の各々、及び、前記第３駆動部の各々は、電気モータを含んでいる
ことを特徴とする請求項９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項１３】
前記第１軸、前記第２軸及び前記第３軸に対する前記第１位置決め器の移動と、前記第１軸、前記第２軸及び前記第３軸に対する前記第２位置決め器の移動と、を指令するための少なくとも１つのコントローラ
を更に備えたことを特徴とする請求項９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項１４】
前記第１位置決め器は、前記第３軸に平行な方向に当該第１位置決め器の前記第３駆動部によって移動されるキャリッジを更に含んでおり、
前記第２位置決め器は、前記キャリッジに結合されており、
前記第３駆動部による前記キャリッジの移動が、前記第３軸に平行な方向に前記第１及び前記第２アプリケータを移動させる
ことを特徴とする請求項９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項１５】
前記第１位置決め器は、前記第１及び前記第２アプリケータを支持している
ことを特徴とする請求項９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項１６】
前記第２位置決め器の前記第２駆動部は、前記第２軸に平行な方向に前記第１アプリケータに対して前記第２アプリケータを移動させ、
前記第２位置決め器の前記第３駆動部は、前記第３軸に平行な方向に前記第１アプリケータに対して前記第２アプリケータを移動させる
ことを特徴とする請求項９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項１７】
前記第１位置決め器は、前記第１アプリケータを支持しており、
前記第２位置決め器は、前記第２アプリケータを支持している
ことを特徴とする請求項９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項１８】
前記第２位置決め器の前記第２駆動部及び前記第３駆動部は、前記第１アプリケータに対して前記第２アプリケータを移動させる
ことを特徴とする請求項９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項１９】
第１軸及び当該第１軸に直交する第２軸によって規定される参照面に対して位置決めされた第１ディスペンス領域及び第２ディスペンス領域に流体をディスペンシングするディスペンシングシステムであって、
当該ディスペンシングシステムは、
前記第１ディスペンス領域に第１流体パターンをディスペンシングするための第１アプリケータと、
前記第２ディスペンス領域に第２流体パターンをディスペンシングするための第２アプリケータと、
第３軸に平行な方向に前記第１アプリケータを移動させる第１駆動部と、
前記第３軸に平行な方向に前記第１アプリケータに対して前記第２アプリケータを移動させる第２駆動部と、
前記第１及び第２ディスペンス領域に流体をディスペンシングするために前記第１及び第２アプリケータを位置決めすると共に、前記第１及び第２アプリケータを同時に前記第１軸に平行な方向及び前記第２軸に平行な方向に移動させる、というように構成された第１位置決め器と、
前記第１位置決め器によって支持され、前記第１及び第２アプリケータの一方を他方に対して前記第１軸に平行な方向及び前記第２軸に平行な方向に移動させるように構成された第２位置決め器と、
前記第１及び第２駆動部に動作可能に結合されたコントローラと、
を備え、
前記第３軸は、前記第１軸及び前記第２軸に相互に直交しており、
前記コントローラは、前記第１ディスペンス領域の前記参照面に対する第１傾斜または第１輪郭を特定し、前記第１傾斜または前記第１輪郭を表すコントローラ出力信号を生成し、
前記第２駆動部は、前記コントローラ出力信号に応答して、前記第１アプリケータが前記第１ディスペンス領域に前記第１流体パターンをディスペンスし同時に前記第２アプリケータが前記第２ディスペンス領域に前記第２流体パターンをディスペンスする間に、前記第１アプリケータに対して前記第２アプリケータを前記第３軸に平行な方向に移動させる
ことを特徴とするディスペンシングシステム。
【請求項２０】
前記第１傾斜または第１輪郭のうちの少なくとも１つは、前記第３軸に沿って前記第１ディスペンス領域に対応して高さセンサによって収集された複数の高さ測定値に基づいて前記コントローラによって特定され、
前記高さセンサは、前記第１傾斜または前記第１輪郭を表し前記複数の高さ測定値に基づくセンサ出力信号を生成し、
前記コントローラ出力信号は、前記センサ出力信号に応答して生成される
ことを特徴とする請求項１９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項２１】
前記第１傾斜または第１輪郭のうちの少なくとも１つは、前記コントローラによってアクセスされる電子データファイルに基づいて前記コントローラによって特定され、
前記電子データファイルは、前記第３軸を参照して前記第１ディスペンス領域に対応する高さ測定値情報を含んでおり、
前記コントローラ出力信号は、前記高さ測定値情報に応答して生成される
ことを特徴とする請求項１９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項２２】
前記コントローラ出力信号は、第１コントローラ出力信号であり、
前記コントローラは、前記第２ディスペンス領域の前記参照面に対する第２傾斜または第２輪郭のうちの少なくとも１つを更に特定し、前記第２傾斜または前記第２輪郭を表す第２コントローラ出力信号を生成し、
前記第１駆動部は、前記第２コントローラ出力信号に応答して、前記第２駆動部が前記第１コントローラ出力信号に応答して前記第１アプリケータに対して前記第２アプリケータを前記第３軸に平行な方向に移動させる間に、前記第１アプリケータを前記第３軸に平行な方向に移動させる
ことを特徴とする請求項１９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項２３】
前記第１駆動部は、前記第３軸に平行な方向に前記第１アプリケータ及び前記第２アプリケータを移動させる
ことを特徴とする請求項１９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項２４】
前記第１位置決め器及び前記第２位置決め器のうちの少なくとも一方は、前記第１位置決め器及び前記第２位置決め器のうちの当該少なくとも一方が前記第１アプリケータ及び前記第２アプリケータを位置決めする時、前記第１アプリケータと前記第１ディスペンス領域との間に規定される第１ギャップ、及び、前記第２アプリケータと前記第２ディスペンス領域との間に規定される第２ギャップ、をそれぞれ実質的に維持するように構成されている
ことを特徴とする請求項９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項２５】
前記コントローラ出力信号は、前記第１ディスペンス領域と前記第１アプリケータとの間の第１距離を含んでおり、
前記第１距離は、前記第１アプリケータが前記第１ディスペンス領域に前記第１流体パターンをディスペンスする間、実質的に一定に維持される
ことを特徴とする請求項１９に記載のディスペンシングシステム。
【請求項２６】
前記コントローラ出力信号は、前記第２ディスペンス領域と前記第２アプリケータとの間の第２距離を含んでおり、
前記第２距離は、前記第２アプリケータが前記第２ディスペンス領域に前記第１流体パターンをディスペンスする間、実質的に一定に維持される
ことを特徴とする請求項２５に記載のディスペンシングシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、全体としては粘性流体をディスペンシング（投与）することに関しており、特には、複数の流体アプリケータを用いて複数のディスペンシング領域に同時に粘性流体をディスペンシング（投与）することに関している。
【背景技術】
【０００２】
例えば印刷回路基板（ＰＣＢ）のような電子基板の製造において、しばしば、５０センチポワーズを超える粘度を有する粘性流体の少量で正確な量を適用（塗布）することが必要である。そのような粘性流体は、接着剤、はんだペースト、はんだ溶剤（solder flux）、はんだマスク、下地補充材料（underfill material）、カプセル化剤、埋込用材料（potting compounds）、エポキシ樹脂、ダイ取り付けペースト、シリコン、ＲＴＶ、シアノアクリレート、を例示的に含み得る。
【０００３】
自動的な流体ディスペンシングシステムが、しばしば、そのような粘性流体のパターンを、高精度、高再現性及び高効率で基材上にディスペンシングするために用いられている。ここで用いられるように、「流体のパターン」という用語及びその変形例は、１または２以上のライン状、円弧状、ドット状、それらの組合せ、及び／または、連続的または間欠的にディスペンスされる流体の任意の他の形態であり得る。伝統的な流体ディスペンシングシステムは、ディスペンサまたはバルブとも呼ばれる流体アプリケータを含む。それは、水平なＸＹ面内に略位置決めされた１または複数の基材上で当該アプリケータを３つの相互に直交する軸（Ｘ、Ｙ、Ｚ）に沿って所望に位置決めするために移動可能であるガントリーに取り付けられる。ガントリーは、全体的に、コンピュータシステムまたは他のコントローラによって制御される駆動機構によって移動可能である。ディスペンシングシステムのＸ軸に略整列される移動コンベヤが、流体ディスペンシングシステムの略下方の位置に複数の基材を連続的に供給するために利用され得る。複数の基材は、しばしば、ＪＥＤＥＣ（登録商標）トレイのようなキャリヤトレイ内に組織化され、それによって搬送される。ディスペンシングシステムは、その後、基材上に予めプログラムされた流体パターンをディスペンシングするべく、作動され得る。
【０００４】
キャリヤトレイに保持された１または複数の基材上に流体のパターンをディスペンシングするために、コントローラは、最初に、基材が全体的に横たわっている水平方向のＸＹ平面内で、基材の位置及び方向（向き）を決定（測定）する。ガントリーに取り付けられたカメラが、コントローラによって既知の当該参照基準点の予めプログラムされた複数の位置を横切って移動する経路に沿って移動することによって、基材を走査（スキャン）して、各基材の上面に設けられた参照基準点の視覚画像を捕捉する。これらの捕捉された視覚画像に基づいて、コントローラは、ＸＹ平面での各基材の実際の位置及び方向（向き）を決定する。ガントリーに取り付けられた高さセンサが、基材上へのディスペンシング時にアプリケータのディスペンシングチップが位置決めされるべき適切なディスペンス高さを決定するために、鉛直向きのＺ軸に沿った各基材の位置を計測する。アプリケータが下方に位置決めされた基材の所望の領域上でＸＹ平面内で適切に位置決めされるまで、コントローラは、Ｘ軸及びＹ軸に沿ってアプリケータを移動させるように、ガントリーを作動させる。アプリケータは、その後、ディスペンシングチップが前記適切なディスペンス高さに至るまで、Ｚ軸に沿って下降される。当該下降位置において、アプリケータは、基材上に予めプログラムされた流体のパターンをディスペンシングする。ディスペンシングの完了時、アプリケータは、Ｘ軸に沿って上昇され、同一の基材または新しい基材の新しい領域への次のディスペンシングのために、ＸＹ平面内で再位置決めされ得る。
【０００５】
製造上のスループットを増大させるべく、流体ディスペンシングシステムには、第１及び第２のディスペンス領域で同時にディスペンシングを行うべくデュアル式の流体アプリケータが設けられている。ここで用いられるように、「ディスペンス領域」という用語は、流体パターンがディスペンス（投与）される一般的な領域を指している。例えば、「ディスペンス領域」というのは、全体として基材を指していることがあり得るし、あるいは、基材の特定の領域を指していることもあり得る。従って、「第１及び第２のディスペンス領域」という用語及びその変形例は、互いに物理的に独立である第１及び第２の基材を指していることもあり得るし、あるいは、単一の基材の第１及び第２の区分領域を指していることもあり得る。例えば、パネル化された基材のような単一の基材は、流体がディスペンスされる複数の区分領域を含み得る。
【０００６】
伝統的な流体ディスペンシングシステムでは、第１アプリケータが、第１基材のような第１ディスペンス領域にディスペンスするべく、位置決めされて制御され、第２アプリケータが、同時に、第２基材のような第２ディスペンス領域にディスペンスするべく、位置決めされて制御される。時々、ディスペンシングシステムのＸＹ面内でＸ軸及びＹ軸に対して、第１及び第２基材は同時に回転され得る（すなわち、「グローバル回転」）。基材のグローバル回転は、基材が保持されているキャリヤトレイがＸ軸及びＹ軸に整列されていない時に、生じ得る。伝統的なデュアル式のディスペンシング方法は、グローバル回転された第１及び第２基材上への同一の流体パターンの同時のディスペンシングを可能にするための、ディスペンシングに先立っての、Ｘ軸及びＹ軸に沿っての第２アプリケータの第１アプリケータに対する自動化された１回の位置調整工程を含んでいる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、伝統的なデュアル式のディスペンシング方法は、能動的にディスペンシングする間に、Ｘ軸またはＹ軸に沿って互いに対して第１及び第２アプリケータを自動的に再位置決めすることを含んでいない。換言すれば、伝統的なデュアル式のディスペンシングシステムは、ディスペンシング中には、ＸＹ面内での第１及び第２アプリケータの互いに対する能動的なリアルタイムでの位置調整は実施しない。結果的に、伝統的なデュアル式のディスペンシング方法は、互いに対してＸＹ面内で回転される（すなわち、「局所的回転」）第１及び第２基板のような第１及び第２ディスペンス領域への同一の流体パターンの正確な同時のディスペンシングを達成していない。例えば、第１矩形基材が、Ｘ軸及びＹ軸に対して平行に整列され得て、第２矩形基材が、Ｘ軸及びＹ軸に対してＸＹ面内で回転され得る。そのような局所的な回転は、基材が着座しているキャリヤトレイポケットよりも基材のサイズが小さくて、基材の外周とポケットの内壁との間に１または複数のギャップが形成されている時に、生じ得る。基材は、この時、ポケット内で、ＸＹ平面内で、隣接する１または複数の基材に対して回転することが許容される。付加的に、局所的な回転は、例えばパネル化された回路基板のような単一の基材の複数のディスペンス領域の間で存在し得る。伝統的なデュアル式のディスペンシング方法は、ディスペンシング中において、そのような局所的な回転を能動的に較正することに欠陥がある。
【０００８】
更に、伝統的なデュアル式のディスペンシング方法は、第１及び第２アプリケータがディスペンシングを実施している間に、ディスペンシングシステムの鉛直のＺ軸に沿って第１または第２アプリケータを互いに対して能動的に再位置決めする工程を含んでいない。従って、伝統的なデュアル式のディスペンシングシステムは、以下のような第１及び第２基材のような第１及び第２ディスペンス領域における正確なデュアル式のディスペンシングを達成していない。そのような第１及び第２ディスペンス領域とは、互いに対してＸＹ面内で傾斜されたり、あるいは、ディスペンス領域の一方がＺ軸に沿ってＸＹ面に対して独自に輪郭付けられたりするものである。互いに対して「回転」されるディスペンス領域は、共通のＸＹ参照面内に横たわり得る。対照的に、互いに対して「傾斜」及び／または「輪郭付け」されるディスペンス領域は、共通の面内に横たわらないで、当該ディスペンス領域は、ＸＹ参照面に対して、独自に傾斜され、及び／または、独自に輪郭付けされる。これは、本発明の実施形態との関係で、以下により詳細に説明される（例えば図１３Ａ参照）。
【０００９】
前述の説明の図示として、図１は、対応する複数の基材１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄを受容するための複数の隣接するポケット１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄを有するキャリヤトレイ１０を示している。図示のように、各基材１４ａ〜１４ｄは、それに取り付けられた対応の構成成分１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄを含み得る。各ポケット１２ａ〜１２ｄは、ＸＹ面に垂直な方向に深さを有していて、対応する基材１４ａ〜１４ｄを中心位置にグローバル原点Ｏに対する適切な向きに保持するようなサイズ及び形状となっている。図２は、ポケット２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄがそれらに保持される対応基材２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄよりも僅かに大きいサイズである、キャリヤトレイ２０を示している。各基材Ａ〜Ｄの外周と対応ポケット２２ａ〜２２ｄの内壁との間に、ギャップが形成されている。従って、各基材２４ａ〜２４ｄは、シフト移動することが許容され、ＸＹ面内でその中心向き（一点鎖線で図示されている）に対して及び他の基材２４ａ〜２４ｄの各々に対して、回転されたり、及び／または、平行移動されたりする。
【００１０】
図３は、図２のキャリヤトレイ２０と基材２４ａ〜２４ｄとを示しているが、基材２４ｂがＸＹ面に対して傾斜されている。より具体的には、図３Ａが、基材２４ｂの底面２６とポケット２２ｂのベース面２８との間の角度オフセットを図示している。それによって、楔形状ギャップ２５が形成されている。このような傾斜は、底面２６とベース面２８との間に外部材料が存在することによって引き起こされ得る。あるいは、基材の傾斜は、例えば撓み等によって基材が変形される場合に、生じ得る。前述のように、伝統的なデュアル式のディスペンシング方法は、図２乃至図３Ａに示すように整列されていない第１及び第２基材のような第１及び第２ディスペンス領域に正確にディスペンスするための、ディスペンシング中のアプリケータ位置決めの自動的なリアルタイムの調整を達成していない。従って、そのような欠陥に対処するデュアル式のディスペンシング方法及びシステムの必要性がある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
例示的な方法が、第１ディスペンス領域に第１流体パターンをディスペンシングし、第２ディスペンス領域に第２流体パターンをディスペンシングするために提供される。第１及び第２ディスペンス領域は、ここで主に図示され説明されるように、第１及び第２の独立の基材であり得る。あるいは、それらは、共通の基材の別個の領域であり得る。第１及び第２ディスペンス領域は、第１軸及び当該第１軸に直交する第２軸によって規定される参照面に対して位置決めされる。参照面内での第１及び第２ディスペンス領域の位置が、決定される。第３軸に沿った第１ディスペンス領域及び第２ディスペンス領域の位置が、決定される。第３軸は、第１軸及び第２軸に相互に直交する軸である。第１アプリケータが、位置決め器によって、第１ディスペンス領域に向かって移動され、第２アプリケータが、当該位置決め器によって、第２ディスペンス領域に向かって移動される。第１流体パターンが、第１アプリケータによって第１ディスペンス領域にディスペンスされ、同時に、第２流体パターンが、第２アプリケータによって第２ディスペンス領域にディスペンスされる。第１アプリケータが第１ディスペンス領域にディスペンスし同時に第２アプリケータが第２ディスペンス領域にディスペンスしている間に、第２アプリケータは、第１軸に平行な方向、第２軸に平行な方向または第３軸に平行な方向の少なくとも１つにおいて、第１アプリケータに対して移動される。
【００１２】
別の例示的な方法が、第１ディスペンス領域に第１流体パターンをディスペンシングし、第２ディスペンス領域に第２流体パターンをディスペンシングするために提供される。第１及び第２ディスペンス領域は、第１軸及び当該第１軸に直交する第２軸によって規定される参照面に対して位置決めされる。第１ディスペンス領域には、参照面に対して、第１軸及び第２軸に相互に直交する第３軸に沿って、第１傾斜または第１輪郭のうちの少なくとも１つが設けられている。前記第１傾斜または第１輪郭のうちの少なくとも１つは、第１ディスペンス領域に対して特有である。前記方法は、前記第１傾斜または第１輪郭のうちの少なくとも１つに対応する第１ディスペンス高さ経路を決定する工程を備える。第１ディスペンス高さ経路は、第１ディスペンス領域に対して特有である。前記方法は、更に、第１ディスペンス領域に第１流体パターンをディスペンスするために第１ディスペンス高さ経路に沿って第１アプリケータを移動させる工程を備える。同時に、第２アプリケータが、第２ディスペンス領域に第２流体パターンをディスペンスするために第２ディスペンス領域に対して移動される。
【００１３】
別の例示的な方法は、第１ディスペンス領域に流体をディスペンシングするための第１アプリケータを位置決めし、第２ディスペンス領域に流体をディスペンシングするための第２アプリケータを位置決めするために提供される。第１ディスペンス領域及び第２ディスペンス領域は、第１軸及び当該第１軸に直交する第２軸によって規定される参照面に対して位置決めされる。参照面内での第１及び第２ディスペンス領域の位置が、決定される。第３軸に沿った第１ディスペンス領域及び第２ディスペンス領域の位置が、決定される。第３軸は、第１軸及び第２軸に相互に直交する軸である。第１位置決め器が、第１軸に平行な方向または第２軸に平行な方向に平行な方向の少なくとも１つにおいて、第１ディスペンス領域に対して第１アプリケータを位置決めさせるべく、第１アプリケータ及び第２アプリケータを移動するように制御される。同時に、第１位置決め器に結合された第２位置決め器が、第１軸に平行な方向または第２軸に平行な方向の少なくとも１つにおいて、第２ディスペンス領域に対して第２アプリケータを位置決めさせるべく、第１アプリケータに対して第２アプリケータを移動するように制御される。
【００１４】
例示的なディスペンシングシステムが、第１ディスペンス領域及び第２ディスペンス領域に流体をディスペンシングするために提供される。第１及び第２ディスペンス領域は、各々、第１軸及び当該第１軸に直交する第２軸によって規定される参照面に対して位置決めされる。当該システムは、第１ディスペンス領域に流体をディスペンシングするための第１アプリケータと、第２ディスペンス領域に流体をディスペンシングするための第２アプリケータと、を備える。第１位置決め器が、第１及び第２ディスペンス領域に流体をディスペンシングするために第１及び第２アプリケータを位置決めするように構成されている。第１位置決め器は、第１及び第２アプリケータを第１軸に平行な方向に同時に移動させる第１駆動部と、第１及び第２アプリケータを第２軸に平行な方向に同時に移動させる第２駆動部と、第１及び第２アプリケータを第３軸に平行な方向に同時に移動させる第３駆動部と、を有している。  第３軸は、第１軸及び第２軸に相互に直交している。第１位置決め器によって支持された第２位置決め器が、第１及び第２アプリケータの一方を他方に対して第１軸に平行な方向に移動させる第１駆動部と、第１及び第２アプリケータの一方を他方に対して第２軸に平行な方向に移動させる第２駆動部と、第１及び第２アプリケータの一方を他方に対して第３軸に平行な方向に移動させる第３駆動部と、を有している。第１位置決め器の第３駆動部は、第３軸に平行な方向に第２位置決め器を移動させる。第１位置決め器及び第２位置決め器に関連する複数の第１駆動部、複数の第２駆動部及び複数の第３駆動部は、システムコントローラによって制御される。
【００１５】
別の実施形態による例示的なディスペンシングシステムが、第１及び第２ディスペンス領域に流体をディスペンシングするために提供される。第１及び第２ディスペンス領域は、第１軸及び当該第１軸に直交する第２軸によって規定される参照面に対して位置決めされる。当該ディスペンシングシステムは、第１ディスペンス領域に第１流体パターンをディスペンシングするための第１アプリケータと、第２ディスペンス領域に第２流体パターンをディスペンシングするための第２アプリケータと、を備える。当該システムは、更に、第３軸に平行な方向に前記第１アプリケータを移動させる第１駆動部と、第３軸に平行な方向に前記第１アプリケータに対して前記第２アプリケータを移動させる第２駆動部と、を備える。第３軸は、第１軸及び前記第２軸に相互に直交している。コントローラが、第１及び第２駆動部に動作可能に結合されており、第１ディスペンス領域の参照面に対する第１傾斜または第１輪郭のうちの少なくとも１つを特定する。当該コントローラは、第１傾斜または第１輪郭を表すコントローラ出力信号を生成する。第２駆動部は、コントローラ出力信号に応答して、第１アプリケータが第１ディスペンス領域に第１流体パターンをディスペンスし同時に第２アプリケータが第２ディスペンス領域に第２流体パターンをディスペンスする間に、第１アプリケータに対して第２アプリケータを第３軸に平行な方向に移動させる。
【００１６】
本発明の様々な付加的な特徴及び利点が、添付の図面と関連して図示の実施形態の以下の詳細な説明を参酌することで、当業者にはより明らかとなるであろう。  
【００１７】
添付の図面は、本明細書に組み込まれて本明細書の一部を構成し、本発明の実施形態を図示しているが、前述の本発明の概要と、以下に与えられる実施形態の詳細な説明と共に、本発明の原理を説明するのに役立つ。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、各々適切な中心決め方向状態に整列された複数の基板を含むキャリヤトレイを示す平面図である。
【００１９】
【図２】図２は、それらの中心決め方向状態から各々回転ないし平行移動された複数の基板を含むキャリヤトレイを示す平面図である。
【００２０】
【図３】図３は、水平なＸＹ平面に対して傾斜された１つの基板を示す、図２と同様の平面図である。
【００２１】
【図３Ａ】図３Ａは、水平なＸＹ平面に対して傾斜された前記基板を示す、図３の３Ａ−３Ａ線断面図である。
【００２２】
【図４】図４は、本発明の一実施形態によるデュアルアプリケータ式のディスペンシングシステムの等角投影概略図である。
【００２３】
【図５】図５は、第１位置決め器から分解された第２位置決め器を示す、図３と同様の等角投影概略図である。
【００２４】
【図６】図６は、基板がそれらの中心決め方向状態から各々回転ないし平行移動されているキャリヤトレイを別個に示す、図４のディスペンシングシステムの平面図である。
【００２５】
【図７】図７は、第１及び第２流体パターンをディスペンシングする前の第１及び第２アプリケータのディスペンスチップの位置を示す、図６の第１及び第２基板の平面図である。
【００２６】
【図８】図８は、流体パターンの第１部分をディスペンシングした後のアプリケータのディスペンスチップの位置を示す、図７と同様の平面図である。
【００２７】
【図９】図９は、流体パターンの第１部分をディスペンシングした後のアプリケータのディスペンスチップの位置を示す、図７と同様の平面図である。
【００２８】
【図１０】図１０は、流体パターンの第１部分をディスペンシングした後のアプリケータのディスペンスチップの位置を示す、図７と同様の平面図である。
【００２９】
【図１１】図１１は、流体パターンの第１部分をディスペンシングした後のアプリケータのディスペンスチップの位置を示す、図７と同様の平面図である。
【００３０】
【図１２Ａ】図１２Ａは、ＸＹ平面に対して傾斜された基板と、アプリケータが当該傾斜された基板上にディスペンシングする間にそれに沿って移動する対応するディスペンス高さ経路と、を示す等角投影図である。
【００３１】
【図１２Ｂ】図１２Ｂは、ＸＹ平面に対して輪郭付けされた基板と、アプリケータが当該輪郭付けされた基板上にディスペンシングする間にそれに沿って移動する対応するディスペンス高さ経路と、を示す等角投影図である。
【００３２】
【図１３Ａ】図１３Ａは、ＸＹ平面に対して各々特有に傾斜され輪郭付けされた第１及び第２基板上に設けられた第１及び第２ディスペンス領域と、各ディスペンス領域に対応する特有のディスペンス高さ経路と、を示す側面図である。
【００３３】
【図１３Ｂ】図１３Ｂは、単一の輪郭付けされた基板上に設けられた第１及び第２ディスペンス領域と、各ディスペンス領域に対応する特有のディスペンス高さ経路と、を示す側面図である。
【００３４】
【図１４Ａ】図１４Ａ及び図１４Ｂは、第１及び第２ディスペンス領域に同時にディスペンシングするための方法の各工程を示すフロー図である。
【図１４Ｂ】図１４Ａ及び図１４Ｂは、第１及び第２ディスペンス領域に同時にディスペンシングするための方法の各工程を示すフロー図である。
【００３５】
【図１５】図１５は、本発明の他の例示的な実施形態による、第１位置決めから分解された第２位置決め器を示す、当該第２位置決め器の等角投影図である。
【００３６】
【図１６】図１６は、部分的に分解された状態を示す、図１５の第２位置決め器の等角投影図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
図４及び図５を参照して、キャリヤトレイ３２に保持された独立した基材Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄのような複数のディスペンス領域に粘性のある流体をディスペンシングするための例示的なデュアルアプリケータ式の流体ディスペンシングシステム３０が、概略的に図示されている。対応するポケット３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ内の矩形に構成された４つの基材Ａ−Ｄのみがここでは図示されているが、キャリヤトレイ３２は、任意の所望の形態に構成された任意の所望の数の基材を保持するように適合され得る。あるいは、複数のディスペンス領域は、前述のように、単一の基材の別個の領域であり得る。この点において、複数のディスペンス領域はここでは主に複数の独立の基材として例示されるが、例えば図１３Ｂに示すように、複数のディスペンス領域の各々が単一の共通の基材の一部であり得ることも、理解されるであろう。ある実施形態では、複数のディスペンス領域は、パネル化された回路基板（不図示）のようなパネル化された基材の一部であり得る。
【００３８】
キャリヤトレイ３２は、コンベヤベルト（不図示）上に位置決めされ得る。コンベヤベルトは、キャリヤトレイ３２の内部に保持された基材Ａ−Ｄがディスペンシングシステム３０によってディスペンスされ得るように当該キャリヤトレイ３２をディスペンシングシステム３０の略下方位置へと供給するように、作動され得る。あるいは、キャリヤトレイ３２は、ディスペンシングシステム３０の作動縁内に位置された、例えば静止テーブルや台座（ペデスタル）のような、任意の他の好適なプラットフォーム上に位置決めされ得る。デュアル式のディスペンシングシステム３０は、第１位置決め器３６に取り付けられた第１流体アプリケータ３４と、第２位置決め器４０に取り付けられた第２流体アプリケータ３８と、を含んでいる。第２位置決め器４０は、第１位置決め器３６に結合されて、当該第１位置決め器３６によって移動可能である。位置決め器３６、４０は、集約的に、第１ディスペンス領域にディスペンシングするために第１アプリケータ３４を位置決めすると同時に第２ディスペンス領域にディスペンシングするために第２アプリケータ３８を位置決めするガントリー４２を規定している。これは、以下により詳細に説明される。
【００３９】
デュアル式のディスペンシングシステム３０は、グローバル原点Ｏと、３つの互いに直交するグローバル軸Ｘ、Ｙ及びＺと、を規定している。第１位置決め器３６は、それぞれｘ１、ｙ１及びｚ１並びに対応の矢印によって表される、グローバル軸Ｘ、Ｙ及びＺに平行な方向に移動可能である。同様に、第２位置決め器４０は、それぞれｘ２、ｙ２及びｚ２並びに対応の矢印によって表される、グローバル軸Ｘ、Ｙ及びＺに平行な方向に移動可能である。
【００４０】
第１位置決め器３６は、Ｘ軸に平行に整列されて全体に長手ビームとして示された一対の対向するｘ１支持部４４ａ、４４ｂを含んでいる。ｘ１支持部４４ａ、４４ｂには、各々、アプリケータ３４、３８のＸ軸に平行なｘ１直線移動を可能にするべく、リニアベアリングガイド４６ａ、４６ｂとして図示されたｘ１ベアリングが設けられている。第１位置決め器３６は、更に、Ｙ軸に平行に整列されて全体に横ビームとして示された横向きのｙ１支持部４８を含んでいる。ｙ１支持部４８には、アプリケータ３４、３８のＹ軸に平行なｙ１直線移動を可能にするべく、リニアベアリングガイド５０ａ、５０ｂとして図示された一対のｙ１ベアリングが設けられている。ｙ１支持部４８は、一対の対向する脚部５２ａ、５２ｂを介して、ｘ１支持部４４ａ、４４ｂに移動可能に結合されている。一対の対向する脚部５２ａ、５２ｂは、それぞれｘ１ベアリングガイド４６ａ、４６ｂに係合していて、ｘ１移動のためにそれに沿って摺動可能である。第１位置決め器３６は、更に、ｙ１ベアリングガイド５０ａ、５０ｂに係合していて、ｙ１移動のためにそれに沿って摺動可能である下方ＸＹ表面を有するｙ１キャリッジ５４を含んでいる。ｙ１キャリッジ５４は、ＹＺ表面（すなわち、ＹＺ面内に存在する面）を有している。それに、Ｚ軸に平行に整列されプレートの形態で示された鉛直向きのｚ１支持部５６が取り付けられている。ｚ１支持部５６は、アプリケータ３４、３８のＺ軸に平行なｚ１直線移動を可能にするべく、リニアベアリングガイド５８ａ、５８ｂとして図示された一対の鉛直向きのｚ１ベアリングを含んでいる。図示のように、ｚ１ベアリングガイド５８ａ、５８ｂは、それぞれ、ｚ１支持部５６の隣接するＸＺ面及びＹＺ面上に設けられ得る。Ｌ形ブラケットの形態で図示されているｚ１キャリッジ６０が、第１脚部６２ａ及び第２脚部６２ｂを有しており、それらは、それぞれｚ１ベアリングガイド５８ａ、５８ｂに係合していて、ｚ１移動のためにそれに沿って摺動可能である。以下により詳細に説明されるように、第１アプリケータ取付機構６４が、第２脚部６２ｂに結合され得て、第１アプリケータ３４を解除可能に支持するように構成され得る。
【００４１】
第２位置決め器４０は、第１位置決め器３６に結合されていて、第１位置決め器３６及びそれに取り付けられた第１アプリケータ３４に対する第２アプリケータ３４のｘ２移動、ｙ２移動及びｚ２移動を可能にする。第２位置決め器４０は、ベース板として作用し得て、第１位置決め器３６のｚ１キャリッジ６０の第１脚部６２ａにＹＺ面で堅固に結合され得るｙ２支持部７０を含んでいる。ｙ２支持部７０は、リニアベアリングガイド７２ａ、７２ｂとして図示された一対のｙ２ベアリングを含み得る。リニアベアリングガイド７２ａ、７２ｂは、当該ｙ２支持部７０の反対側のＹＺ面上に互いに隣接して位置決めされ得る。ｙ２ベアリングガイド７２ａ、７２ｂは、Ｙ軸と平行に整列されて、第２アプリケータ３８の第１位置決め器３６に対するｙ２移動を可能にする。第２位置決め器４０は、更に、全体にプレートとして図示されたｚ２支持部７４を含む。ｚ２支持部７４のＹＺ表面が、ｙ２ベアリングガイド７２ａ、７２ｂに係合し得て、ｙ２移動のためにそれに沿って摺動可能であり得る。ｚ２支持部７４の反対側のＹＺ表面が、リニアベアリングガイド７６ａ、７６ｂとして図示された一対のｚ２ベアリングを含み得る。リニアベアリングガイド７６ａ、７６ｂは、第１位置決め器３６に対する第２アプリケータ３８のｚ２直線移動を可能にするべく、Ｚ軸と平行に整列されている。
【００４２】
ｚ２キャリッジ７８が、全体にプレートの形態で図示されているが、ｚ２ベアリングガイド７６ａ、７６ｂに係合していて、ｚ２移動のためにそれに沿って摺動可能であるＹＺ表面を含み得る。ｘ２支持部８０が、垂直な方向付けで、ｚ２キャリッジ７８のＸＺ表面に堅固に結合され得る。あるいは、ｘ２支持部８０及びｚ２キャリッジ７８は、一体的に形成され得る。ｘ２支持部８０は、リニアベアリングガイド８２として図示されたｘ２ベアリングを含み得る。リニアベアリングガイド８２は、第１位置決め器３６に対する第２アプリケータ３８のｘ２移動を可能にするべく、Ｘ軸と平行に整列されている。以下により詳細に説明されるように、第２アプリケータ取付機構８４が、ｘ２ベアリングガイド８２に係合し得てｘ２移動のためにそれに沿って摺動可能であり得て、第２アプリケータ３８を解除可能に支持するように構成され得る。
【００４３】
第１及び第２アプリケータ取付機構６４、８４は、それぞれ、第１及び第２アプリケータ３４、３８を受容して解除可能に係合するように構成され得る。例えば、アプリケータ取付機構６４、８４は、各々、１または複数の突部及び対応凹部を介して対応するアプリケータ３４、３８との適切な整列を可能にするクイック接続解除部（不図示）を含み得る。米国特許第６２１４１１７及び欧州特許第１１６５２５０Ｂ１が、アプリケータを当該アプリケータを移動するための機構に取り付けるためのクイック接続解除機構の従来例を示しており、それら公報の内容は当該参照によって本明細書に組み入れられる。
【００４４】
第１及び第２アプリケータ３４、３８は、ユーザが意図する適用例にとって適当な任意の好適なタイプであり得る。例えば、カリフォルニアのカールスバッドのノードソンＡＳＹＭＴＥＫ（登録商標）によって入手可能とされるタイプの、空気作動式のニードルバルブないしジェットであり得る。図４及び図５に最も良く示されているように、各アプリケータ３４、３８は、空圧作動式のジェットバルブの形態であり得る。例えば、ノードソンＡＳＹＭＴＥＫ（登録商標）から入手可能なディスペンスジェット（登録商標）ＤＪ−９０００バルブであり得る。図示のように、各アプリケータ３４、３８は、粘性のある流体を貯蔵するための対応の流体リザーバ８６、８８と、ディスペンシングチップ９４、９６の下方に位置決めされた基材Ａ−Ｄへの塗布のため当該ディスペンシングチップ９４、９６から粘性のある流体を噴射ないしディスペンシングするためのアクチュエータ９０、９２と、を含み得る。好適なディスペンサの一例が、米国特許第８５７８７２９に図示されている。当該公報の内容は当該参照によって本明細書に組み入れられる。前述のように、粘性のある流体は、任意のはんだペースト、下地補充材料（underfill material）、接着剤、または、カプセル化剤、であり得る。
【００４５】
第１及び第２位置決め器３６、４０の動作は、好適には、一連の制御可能な電力駆動の駆動機構によって達成され得る。より具体的には、移動方向ｘ１、ｙ１、ｚ１、ｘ２、ｙ２、ｚ２の各々は、少なくとも１つの対応する電力駆動の駆動機構によって、電力駆動され得る。図示のように、一対のｘ１駆動機構１００ａ、１００ｂが、それぞれｘ１ベアリングガイド４６ａ、４６ｂに沿ったｘ１移動を駆動するべく、平行に作動し得て、それぞれ脚部５２ａ、５２ｂの内部にまたはそれに隣接して設けられ得る。あるいは、ｘ１移動は、単一の駆動機構（不図示）によって電力駆動され得る。ｙ１駆動機構１０２が、ｙ１ベアリングガイド５０ａ、５０ｂに沿ったｙ１移動を駆動し得て、図示のように、ｙ１キャリッジ５４の内部にまたはそれに隣接して設けられ得る。ｚ１駆動機構１０４が、ｚ１ベアリングガイド５８ａ、５８ｂに沿ったｚ１移動を駆動し得て、図示のように、ｚ１支持部５６の外部ＸＺ表面に隣接して設けられ得る。ｙ２駆動機構１０６が、ｙ２ベアリングガイド７２ａ、７２ｂに沿ったｙ２移動を駆動し得て、図示のように、ｙ２支持部７０の外部ＸＺ表面に隣接して設けられ得る。ｚ２駆動機構１０７が、ｚ２ベアリングガイド７６ａ、７６ｂに沿ったｚ２移動を駆動し得て、図示のように、ｚ２キャリッジ７８の外部上方ＸＹ表面に隣接して設けられ得る。ｘ２駆動機構１０８が、ｘ２ベアリングガイド８２に沿ったｘ２移動を駆動し得て、図示のように、第２アプリケータ取付機構８４の外部ＹＺ表面に隣接して設けられ得る。
【００４６】
ある実施形態では、駆動機構１００ａ、１００ｂ、１０２、１０４、１０６、１０７、１０８は、ステッピングモータを含み得る。あるいは、駆動機構１００ａ、１００ｂ、１０２、１０４、１０６、１０７、１０８は、高精度、高再現性及び高安定性を伴う移動に適合された、任意の他の好適な電気式駆動部、空圧式駆動部、または、流体圧式駆動部を含み得る。付加的に、駆動機構１００ａ、１００ｂ、１０２、１０４、１０６、１０７、１０８は、位置決め器３６、４０を移動するのに好適な、任意の付加的な機械的駆動要素を含み得る。例えば、ある実施形態（不図示）では、駆動機構１００ａ、１００ｂ、１０２、１０４、１０６、１０７、１０８は、各々がリードネジに柔軟駆動カップリングで接続された出力軸を有するステッピングモータを含み得る。リードネジは、当該モータによって回転可能であり、対応するリニアベアリングガイドに沿った移動を起動するために対応する支持部上に取り付けられたネジ要素または歯要素に係合する。駆動機構１００ａ、１００ｂ、１０２、１０４、１０６、１０７、１０８は、ここで図示され説明されている位置とは異なる、ディスペンシングシステム３０内の任意の好適な位置に取り付けられ得る。
【００４７】
前述のように、第２位置決め器４０は、第１位置決め器３６に結合されており、従って、第１位置決め器３６のｘ１移動、ｙ１移動及びｚ１移動は、第２位置決め器４０及びそれに取り付けられた第２アプリケータ３４に伝達され得る。第２位置決め器４０は、第１位置決め器３６に対する付加的なｘ１移動、ｙ１移動及びｚ１移動を可能にする。それらの移動は、第１位置決め器３６によって実施される対応のｘ１移動、ｙ１移動及びｚ１移動と比較して、精細であり得る。従って、ある実施形態では、第２位置決め器４０は、第１位置決め器３６の対応の運動範囲よりも小さい運動範囲内で移動可能である。より具体的には、第１位置決め器３６は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸に平行な方向の各々において運動範囲を有し得る（すなわち、ｘ１移動、ｙ１移動及びｚ１移動）。同様に、第２位置決め器４０は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸に平行な方向の各々において運動範囲を有し得る（すなわち、ｘ２移動、ｙ２移動及びｚ２移動）。第２位置決め器４０の運動範囲は、第１位置決め器３６の対応の運動範囲よりも、小さい場合があり得る。この態様では、第１位置決め器３６は、第１アプリケータ３４及び第２アプリケータ３８を移動するべく第１移動を実施し得る。当該第１移動は、ｘ１移動、ｙ１移動及びｚ１移動のうちの任意の１つまたは組合せによって規定され、ある大きさを有する。同時に、第２位置決め器４０は、第１アプリケータ３４に対して第２アプリケータ３８を移動するべく第１位置決め器３６に対する第２移動を実施し得る。当該第２移動は、ｘ２移動、ｙ２移動及びｚ２移動のうちの任意の１つまたは組合せによって規定され、第１移動の大きさよりも小さい大きさを有する。
【００４８】
以上により、第１アプリケータ３４は、第１位置決め器３６によって位置決めされ得て、第２アプリケータ３８は、第１位置決め器３６及び第２位置決め器４０によって結合的に位置決めされ得る。より具体的には、第１アプリケータ３４及び第２アプリケータ３８は、両方とも、ｘ１移動、ｙ１移動及びｚ１移動によって位置決め可能である。第２アプリケータ３８は、付加的に、第１位置決め器３６に対してなされるｘ２移動、ｙ２移動及びｚ２移動によって位置決め可能である。従って、ディスペンシングシステム３０の構造的な形態が、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸に平行な方向での第１アプリケータ３４に対する第２アプリケータ３８の移動を可能にする。これにより、第１及び第２アプリケータ３４、３８は、同時に、それぞれ、第１及び第２基材上に第１及び第２流体パターンをディスペンスし得る。流体パターンは、サイズ及び形状において実質的に同一であり、基材は互いに対して誤って（ずれて）整列されている。前述のように、流体パターンは、１または２以上のライン状、円弧状、ドット状、それらの組合せ、及び／または、連続的または間欠的にディスペンスされる流体の任意の他の形態であり得る。
【００４９】
第１位置決め器３６及び第２位置決め器４０は、例えばコンピュータのような少なくとも１つのコントローラ（不図示）によって独立に制御可能である。好適には、コントローラは、駆動機構１００ａ、１００ｂ、１０２、１０４、１０６、１０７、１０８を制御することによって、第１位置決め器３６のｘ１移動、ｙ１移動及びｚ１移動を指示すると同時に、第２位置決め器４０のｘ２移動、ｙ２移動及びｚ２移動を指示するように構成されている。この態様では、第１位置決め器３６は、第１アプリケータ３４が、基材Ａのような第１ディスペンス領域に対して適切に位置決めされてディスペンスし得るように、制御可能である。同時に、第２位置決め器４０は、第２アプリケータ３８が、基材Ｂのような第２ディスペンス領域に対して適切に位置決めされてディスペンスし得るように、独立に制御可能である。以下により詳細に説明されるように、位置決め器３６、４０は、例えば基材Ａ及びＢのような第１ディスペンス領域と第２ディスペンス領域との間の整列ずれを考慮するように、制御可能である。
【００５０】
構造において新規であるディスペンシングシステムが説明されてきたが、ここで、第１及び第２ディスペンス領域に同時にディスペンシングする方法が説明される。当該方法は、図６乃至図１１に示される基材Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを参照して説明される。前述のように、当業者は、ここで説明されるディスペンシング方法が、ディスペンシングシステム３０を用いて複数のディスペンス領域のうちの任意の２つのディスペンス領域に同時にディスペンシングするために適合され得ることを、認識するであろう。例えば、第１及び第２ディスペンス領域は、パネル化された基材のような単一の基材の一部であってもよい。
【００５１】
ディスペンシングシステム３０は、最初に、各基材Ａ−Ｄ上に設けられた少なくとも２つの参照基準点１１０ａ、１１０ｂの位置に基づいて、グローバル原点Ｏに対するＸＹ面内での各基材Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの位置及び方向を特定し得る。例えば、基材Ａを参照して、２つの基準点１１０ａ、１１０ｂが基材Ａの上方ＸＹ表面の対向するコーナー部に設けられ得る。円によって囲まれた「×」として示されているが、基準点１１０ａ、１１０ｂは、例えば文字、数値、ドットまたはパターンのような、任意の特定可能なマークであってよい。この態様では、ディスペンシングシステム３０は、各基材が原点Ｏに関して規定された対応参照位置に対してＸＹ面内で回転及び／または平行移動されているか否か、を決定し得る。
【００５２】
デュアル式のディスペンシングシステム３０は、参照基準点１１０ａ、１１０ｂを特定するためのカメラ１１２を含んでいる。カメラ１１２は、図６に示すように、第２位置決め器４０の一部のような、任意の好適な位置においてガントリー４２に取り付けられ得る。基準特定のため、ガントリー４２は、ＸＹ面内での基準点１１０ａ、１１０ｂの予測位置に基づいて、予めプログラムされた経路に沿ってカメラ１１２を移動するように、制御され得る。あるモードでは、ガントリー４２は、各基準点１１０ａ、１１０ｂの予測位置で連続的に停止してカメラ１１２が各停止中に基準点１１０ａ、１１０ｂの画像を捕捉できるように、制御され得る。別のモードでは、ガントリーは、連続的に移動してカメラ１１２が移動中に基準点１１０ａ、１１０ｂの画像を捕捉できるように、制御され得る。カメラ１１２によって捕捉された基準点１１０ａ、１１０ｂの画像に基づいて、コントローラは、ＸＹ面内での各基材Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの実際の位置を決定し得る。
【００５３】
デュアル式のディスペンシングシステム３０は、高さ検出動作を実施するための高さセンサ１１４を更に含んでいる。高さ検出動作は、各基材Ａ−ＤのＸＹ面に対するＺ軸に沿った位置（姿勢）の測定を含み得る。高さセンサ１１４は、非接触式のレーザセンサであり得る、あるいは、接触式の機械的センサであり得る。動作中、ガントリー４２は、Ｚ軸に沿った各基材Ａ−Ｄの位置（姿勢）を測定するために高さセンサ１１４を予めプログラムされた経路に沿って移動させるべく、制御され得る。ここではＺ高さ測定と呼ばれるこれらの測定は、コントローラがＺ軸に沿っての各基材Ａ−Ｄ毎の適切な高さを決定することを、可能にする。当該適切な高さは、ディスペンス高さと呼ばれ、第１または第２アプリケータ３４、３８のディスペンシングチップ９４、９６が、基材Ａ−Ｄ上の流体をディスペンシングするために、下降されるべき高さである。この態様で、システム３０は、ディスペンシング中、ディスペンシングチップ９４、９６と対応の基材Ａ−Ｄとの間の適切なディスペンスギャップを保証し得る。
【００５４】
図６に示されるように、基材Ａ−Ｄは、ＸＹ面に対して略平行に存在し得て、各基材Ａ−Ｄ毎に１回の高さ測定が十分であり得る。あるいは、基材Ａ−Ｄのうちの１または複数がＸＹ面に対して傾斜され得て（例えば図３Ａ、図１２Ａを参照）、ディスペンスされるべき表面がＺ軸に沿った様々な位置で位置決めされる。そのような場合、高さセンサ１１４が作動され得て、傾斜基材の複数の高さを測定し、それによってＺ軸に沿って当該傾斜をマッピングする。同様に、複数のＺ高さ測定が、例えば図１２Ｂ乃至図１３Ｂに示されるように、流体がディスペンスされるべきであってＸＹ面に対してＺ軸に沿って輪郭付けされる表面を有する基材のために、集約され得る（ここでは「輪郭付け基材」及びその類似変形例と呼ばれる）。高さセンサ１１４は、その時、基材の傾斜及び／または輪郭を表し集約された複数の高さ測定に基づくセンサ出力信号を生成する。当該信号は、その後、コントローラに通信される。カメラ１１２及び高さセンサ１１４は、ディスペンスされるべき基材Ａ−Ｄの各々のために基準点情報と高さ測定値とを集約するためのコントローラによって動作可能な単一のシステムに一体化され得る。
【００５５】
あるいは、ディスペンスされるべき基材に対応するＺ高さ測定情報が、コントローラによってアクセスされユーザによって利用可能とされ得る電子データファイルから、コントローラに読み込まれ得る。そのような場合、高さセンサ１１４は、それに対して基材が位置決めされるＸＹ面を検出するために、利用され得る。それによって、コントローラに提供されるＺ高さデータが適用され得る参照面を、コントローラに提供する。
【００５６】
センサ出力信号に応答して、あるいは、外部の電子データファイルから読み込まれた電子データに応答して、コントローラは、ディスペンスされるべき基材の傾斜及び／または輪郭を特定して、基材の傾斜方向及び／またはその輪郭付けられた表面に適合するべくディスペンシング中に第１位置決め器３６及び／または第２位置決め器４０が積極的に実施しなければならないｚ１移動及び／またはｚ２移動を命令するための１または複数のコントローラ出力信号を生成する。そのようなコントローラ出力信号は、基材の傾斜及び／または輪郭を表す。
【００５７】
前述の基準点の位置特定動作中及び高さ検出動作中にコントローラに提供される情報に基づいて、第１位置決め器３６及び第２位置決め器４０は、第１基材に対して第１アプリケータ３４を位置決めすると同時に第２基材に対して第２アプリケータ３８を位置決めするように動作され得る。第１アプリケータ３４は、その後、第１基材上に第１流体パターンをディスペンス可能であり、第２アプリケータ３８は、同時に、第２基材上に第２の同一の流体パターンをディスペンス可能である。位置決め器３６、４０は、互いに対する基材の１つの任意の位置の整列ずれを積極的に較正するように、ディスペンシングの間に、自動的に移動可能である。これらの位置決め及びディスペンシング工程は、基材Ａ−Ｄのうちの任意の２つに関して実施され得る。例えば、それら基材は、図６乃至図１１に示されるように、他の基材Ａ−Ｄの各々に対して回転及び／またはＸ軸及びＹ軸に沿って平行移動されている。
【００５８】
図７乃至図１１は、第１アプリケータ３４が基材Ａに対して位置決めされて流体パターン１１６をディスペンスする一連の工程を示している。同時に、第２アプリケータ３８が、基材Ｂに対して位置決めされて、略同一の流体パターン１１８をディスペンスする。基材Ａ及びＢは、各々、それらのポケット３３ａ、３３ｂ内で、それらの中心位置から整列ずれした状態で示されている（例えば図２参照）。ＸＹ面内のポケット３３ａ、３３ｂの幾何的な中心は、十字線によって表されている。図示のように、基材Ａは、Ｘ軸及びＹ軸に対してその中心位置から回転されており、基材Ｂは、Ｘ軸及びＹ軸に沿ってその中心位置から平行移動されている。従って、基材Ａ及び基材Ｂは、Ｘ軸及びＹ軸に関して互いに対して回転及び平行移動されている。後述するように、第２アプリケータ３８は、ディスペンシング中に第１アプリケータ３４に対してＸＹ面内で移動可能であり、それによって、ＸＹ面内での基材Ａ、Ｂのミスアライメントを積極的かつ自動的に較正する。
【００５９】
図示のように、第１及び第２アプリケータのディスペンシングチップ９４、９６は、図７乃至図１１において、各々、一対の同心仮想円によって表されている。ディスペンスされるべき流体パターン１１６、１１８の形状は、基材Ａ、Ｂ上に設けられた構成要素１２０ａ、１２０ｂの周縁周りの略長方形状の輪郭を形成する方向矢印によって表されている。従って、図７乃至図１１は、構成要素の縁に沿ってディスペンスされる接着性の下地補充材料のディスペンシングを模擬している。当該構成要素は、例えば、その下側にはんだボールのグリッドを有するフリップチップである。はんだボールは、基材上の対応する接触パッド上に位置決めされる。下地補充材料がチップの下方のはんだボールの周辺に流されて、フリップチップを基材に固定する。当業者は、位置決め器３６、４０及びそれらに取り付けられたアプリケータ３４、３８が、任意の他の所望の形状の流体パターンを、１または複数の基材または他の類似のワークの任意の他の所望の領域にディスペンスするべく制御され得ることを、認識するであろう。例えば、前述のように、流体パターンは、１または２以上のライン状、円弧状、ドット状、それらの組合せ、及び／または、連続的または間欠的にディスペンスされる流体の任意の他の形態であり得る。
【００６０】
図７を参照して、コントローラは、ｘ１移動及びｙ１移動を実行して第１アプリケータのディスペンシングチップ９４を基材Ａ上の第１ディスペンス場所１２２の上方に位置決めするべく、第１位置決め器３６に指令し得る。同時に、コントローラは、第１位置決め器３６に対してｘ２移動及びｙ２移動を実行して第２アプリケータのディスペンシングチップ９６を基材Ｂ上の対応の第１ディスペンス場所１２４の上方に位置決めするべく、第２位置決め器４０に指令し得る。コントローラは、その後、下向きのｚ１移動を実施して第１及び第２ディスペンシングチップ９４、９６を同時にそれらの適切なディスペンス高さに向けて前進させるべく、第１位置決め器３６に指令し得る。当該適切なディスペンス高さは、前述の高さ検出動作中に決定される。コントローラが、高さ検出動作を介して、基材Ａ及びＢが各々Ｚ軸に沿って同じ位置に位置決めされていると決定（判断）する場合、第１及び第２ディスペンシングチップ９４、９６は、第１位置決め器３６のｚ１移動を介して同じディスペンス高さに位置決めされ得る。コントローラが、高さ検出動作を介して、基材Ａ及びＢがＺ軸に沿って異なる位置に位置決めされていると決定（判断）する場合、コントローラは、第１位置決め器３６のｚ１移動と同時にそれに対するｚ２移動を実施するべく、付加的に第２位置決め器４０に指令し得る。これによって、第１及び第２ディスペンシングチップ９４、９６は、それらの適切なディスペンス高さに同時に位置決めされ得る。今や、ディスペンシングシステム３０は、基材Ａ及びＢ上にディスペンス可能である。
【００６１】
図８に示すように、第１アプリケータ３４及びそのディスペンシングチップ９４は、流体パターン１１６の第１脚部１１６ａをディスペンスするべく、第１位置決め器３６によって移動され得る。同時に、第２アプリケータ３８及びそのディスペンシングチップ９６は、流体パターン１１８の第１脚部１１８ａをディスペンスするべく、第１位置決め器３６及び第１アプリケータ３４に対して第２位置決め器４０によって移動され得る。より具体的には、コントローラは、ｘ１移動及びｙ１移動を実施するべく、第１位置決め器３６に指令し得て、更に、第１位置決め器３６に対して矯正的なｘ２移動及びｙ２移動を同時に実施するべく、第２位置決め器４０に指令し得る。コントローラは、前述の基準点特定プロセスの間に当該コントローラによって決定されるように、ＸＹ面内での基材Ａ，Ｂの知られた位置と方向とに基づいて、そのような指令を出し得る。この態様で、ディスペンシングシステム３０は、基材Ａ、Ｂの局所的な回転を矯正するように、ディスペンシング中に第１及び第２アプリケータ３４、３８の位置を自動的かつ積極的に調整し得る。
【００６２】
図９に示すように、第１アプリケータ３４及びそのディスペンシングチップ９４は、流体パターン１１６の第２脚部１１６ｂをディスペンスするべく、第１位置決め器３６によって移動され得る。同時に、第２アプリケータ３８及びそのディスペンシングチップ９６は、流体パターン１１８の第２脚部１１８ｂをディスペンスするべく、第１位置決め器３６及び第１アプリケータ３４に対して第２位置決め器４０によって移動され得る。より具体的には、コントローラは、ｘ１移動及びｙ１移動を実施するべく、第１位置決め器３６に指令し得て、更に、第１位置決め器３６に対して矯正的なｘ２移動及びｙ２移動を同時に実施して基材Ａ、Ｂの局所的な回転を矯正するべく、ディスペンシングの間に第２位置決め器４０に指令し得る。
【００６３】
図１０に示すように、第１アプリケータ３４及びそのディスペンシングチップ９４は、流体パターン１１６の第３脚部１１６ｃをディスペンスするべく、第１位置決め器３６によって移動され得る。同時に、第２アプリケータ３８及びそのディスペンシングチップ９６は、流体パターン１１８の第３脚部１１８ｃをディスペンスするべく、第１位置決め器３６及び第１アプリケータ３４に対して第２位置決め器４０によって移動され得る。より具体的には、第１脚部１１６ａ、１１８ａをディスペンシングする時に実施されるのと同様、コントローラは、ｘ１移動及びｙ１移動を実施するべく、第１位置決め器３６に指令し得て、同時に、第１位置決め器３６に対して矯正的なｘ２移動及びｙ２移動を実施して基材Ａ、Ｂの局所的な回転を矯正するべく、第２位置決め器４０に指令し得る。
【００６４】
図１１に示すように、第１アプリケータ３４及びそのディスペンシングチップ９４は、流体パターン１１６の第４脚部１１６ｄをディスペンスするべく、第１位置決め器３６によって移動され得る。同時に、第２アプリケータ３８及びそのディスペンシングチップ９６は、流体パターン１１８の第４脚部１１８ｄをディスペンスするべく、第１位置決め器３６及び第１アプリケータ３４に対して第２位置決め器４０によって移動され得る。これによって、流体パターン１１６、１１８が完成する。より具体的には、第２脚部１１６ｂ、１１８ｂをディスペンシングする時に実施されるのと同様、コントローラは、ｘ１移動及びｙ１移動を実施するべく、第１位置決め器３６に指令し得て、同時に、第１位置決め器３６に対して矯正的なｘ２移動及びｙ２移動を実施して基材Ａ、Ｂの局所的な回転を矯正するべく、第２位置決め器４０に指令し得る。
【００６５】
基材Ａ、Ｂの一方または両方は、図１２Ａの基材１３０によって示されているように、ＸＹ面に対して傾斜され得る。前述のように、Ｚ軸に沿って傾斜した基材の複数の高さ測定値を集めるべく、高さセンサ１１４が作動され得て、それらの測定値は、その後、センサ出力信号を介してコントローラに伝送され得る。あるいは、前述のように、それらのＺ高さ測定値は、ユーザによって利用可能とされた電子データファイルからコントローラに読み込まれ得る。図１２Ａに示されるように、コントローラは、Ｚ軸に沿って高さにおいて変化するディスペンス高さ経路Ｐを決定し得る。当該経路Ｐに沿って、対応するディスペンシングチップ９４、９６は、当該チップ９４、９６と傾斜基材１３０との間の一定で正確なディスペンスギャップＧを維持するべく、移動され得る。これにより、図７乃至図１１の基材Ｂ及びその対応の構成要素１２０ｂが、基材１３０のために示されたのと同様の傾斜を有する場合には、前述のｘ２矯正移動及びｙ２矯正移動に加えて、第２位置決め器４０は、ディスペンシングの間に、基材Ａに対する基材Ｂの傾斜を較正するべく、第１位置決め器３６に対する矯正的なｚ２移動をも実施する。この態様で、システム３０は、パターン１１８のような流体パターンを傾斜基材上に正確にディスペンスし得る。結果として、図１２Ａに示すように、矯正的なｚ２移動がＺ軸に沿って実施されて、ディスペンシングチップ９６は、傾斜基材に略平行な面内を移行する。
【００６６】
図１２Ｂの基材１３２によって示されているように、基材Ａ、Ｂの一方または両方がＸＹ面に対してＺ軸に沿って輪郭付けられている場合、同様のプロセスが実施され得る。当該基材１３２は、例えば歪んだ基材であり得る。特に、システムは、輪郭付けられた基材に対応する複数のＺ高さ測定値を集め得る、あるいは、電子データファイルからＺ高さ測定値を読み込み得る。図１２Ｂに示すように、システム３０は、Ｚ軸に沿って高さにおいて変化する対応のディスペンス高さ経路Ｐを決定し得る。当該経路Ｐに沿って、対応するディスペンシングチップ９４、９６は、当該チップ９４、９６と輪郭付けられた基材１３２との間の一定で正確なディスペンスギャップＧを維持するべく、移動され得る。図１２Ａに示された傾斜基材に対する前述のプロセスが、輪郭付けられた基材に対しても適用され得る。例えば、図７乃至図１１に示された基材Ｂが、基材１３２のために示されたのと同様の輪郭を有する場合には、前述のｘ２矯正移動及びｙ２矯正移動に加えて、第２位置決め器４０は、ディスペンシングの間に、基材Ａに対する基材Ｂの輪郭を較正するべく、第１位置決め器３６に対する矯正的なｚ２移動をも実施する。この態様で、システム３０は、流体パターン１１８のような流体パターンを輪郭付けられた基材上に正確にディスペンスし得る。結果として、図１２Ｂに示すように、矯正的なｚ２移動がＺ軸に沿って実施されて、ディスペンシングチップ９６は、輪郭付けられた基材に実質的に倣う経路に沿って移行する。
【００６７】
図１３Ａの例示的な基材１３４、１３６によって示されているように、ディスペンスされる２つの基材、例えば基材Ａ、Ｂは、各々、ＸＹ面に対して、及び、互いに対して、特有に傾斜され及び輪郭付けられ得る。対応のディスペンス高さ経路Ｐ１及びＰ２が、システムコントローラによって参照されるＺ高さ測定値に基づいてシステム３０によって決定される。特に、前述のように、高さセンサが、基材１３４、１３６の各々の複数の高さ測定値を集め得て、これらの高さ測定値をシステムコントローラに通信するセンサ出力信号を生成する。他の実施形態では、基材の傾斜及び／または輪郭を規定する高さ測定値は、システム３０内に投入されるかユーザによってシステム３０に利用可能とされる電子データによって、提供され得る。そのような電子データが、ディスペンス高さ経路を決定するために利用され得る。
【００６８】
他の実施形態（不図示）では、第１及び第２基材が、それらがＸＹ面内で互いに対して回転されていないで、各基材にＸＹ面に対して同じ傾斜及び／または輪郭が設けられている、というように配置され得る。基材は、互いに対しては、特有に傾斜ないし輪郭付けされていない。このような場合、基材のためにシステム３０によって決定されるディスペンス高さ経路は、実質的に同一であり得て、第２位置決め器４０は、ディスペンス中に第１位置決め器３６に対して矯正的な移動を実施する必要がない。換言すれば、第１及び第２アプリケータは、第１及び第２基材上に同時にディスペンスするべく第１位置決め器によってＸ，Ｙ、Ｚに沿って共に移動されている間、互いに対しては静止を維持し得る。
【００６９】
図６乃至図１１の基材Ａ、Ｂを参照して、前述されてもいる、第１の例示的なシナリオが生じ得る。この場合、基材Ａが、概ね平板状であって、ＸＹ面に平行に位置しており、基材Ｂが、図１２Ａ及び図１２Ｂの基材１３０、１３２によって示されているように、ＸＹ面に対して傾斜されている、及び／または、輪郭付けられた表面を含んでいる。このような場合、コントローラは、前述の高さ検出動作中に集められた高さ測定値に基づいて、傾斜及び／または輪郭付けされた基材Ｂのためにディスペンス高さ経路を決定し得る。その後、第１アプリケータ３４が基材Ａ上にディスペンスするべくＸＹ面内で移動されて第２アプリケータ３８が基材Ｂ上にディスペンスするべくＸＹ面内で同時に移動される間、コントローラは、第１位置決め器３６に対するｚ２移動を同時に実施するべく、第２位置決め器４０に指令し得る。これによって、第２アプリケータ３８が傾斜及び／または輪郭付けされた基材Ｂ上にディスペンスしている間に、第２ディスペンシングチップ９６は、予め決定されたディスペンス高さ経路に沿って、移動可能である。この態様で、ディスペンシングシステム３０は、ＸＹ面に対する基材Ｂの傾斜及び／または輪郭を較正するべく、Ｚ軸に沿った第２アプリケータ３８の位置を自動的かつ積極的に調整し得る。
【００７０】
第２の例示的なシナリオでは、基材Ｂが、概ね平板状であって、ＸＹ面に平行に位置しており、基材Ａが、図１２Ａ及び図１２Ｂの基材１３０、１３２によって示されているように、ＸＹ面に対して傾斜され得る、及び／または、輪郭付けられ得る。このような場合、コントローラは、前述のような態様で、傾斜及び／または輪郭付けされた基材Ａのためにディスペンス高さ経路を決定し得る。その後、第１アプリケータ３４が傾斜及び／または輪郭付けされた基材Ａ上にディスペンスするべくＸＹ面内で移動される間、コントローラは、ｚ１移動を同時に実施するべく、第１位置決め器３６に指令し得る。これによって、第１アプリケータ３４が傾斜及び／または輪郭付けされた基材Ａ上にディスペンスしている間に、第１ディスペンシングチップ９４は、予め決定されたディスペンス高さ経路に沿って、移動可能である。同時に、第２アプリケータ３８が基材Ｂ上にディスペンスするべくＸＹ面内で移動され、コントローラは、第１位置決め器３６に対するｚ２移動を同時に実施するべく、第２位置決め器４０に指令し得る。ｚ２移動は、第１位置決め器３６によって実施されるｚ１移動に対して実質的に反対の移動である。これによって、第２ディスペンシングチップ９６は、第２アプリケータ３８が基材Ｂ上にディスペンスする間に、基材Ｂに対応した一定の予め決定されたディスペンス高さに維持され得る。
【００７１】
第３の例示的なシナリオでは、基材Ａ、Ｂの両方が、ＸＹ面に対して傾斜され得る、及び／または、輪郭付けられ得る。例として、図１３Ａを参照して、基材Ａが、基材１３４に対応し得て、基材Ｂが、基材１３６に対応し得る。この観点で、基材Ａには、基材Ａに特有の第１傾斜及び／または第１輪郭が設けられ得て、基材Ｂには、基材Ｂに特有の第２傾斜及び／または第２輪郭が設けられ得る。コントローラは、前述の態様で、傾斜及び／または輪郭付けされた基材Ａに対応する第１ディスペンス高さ経路Ｐ１と、傾斜及び／または輪郭付けされた基材Ｂに対応する第２ディスペンス高さ経路Ｐ２と、を決定し得る。その後、第１アプリケータ３４が基材Ａ上にディスペンスするべくＸＹ面内で移動される間、コントローラは、ｚ１移動を同時に実施するべく、第１位置決め器３６に指令し得る。これによって、第１アプリケータ３４が基材Ａ上にディスペンスしている間に、第１ディスペンシングチップ９４は、第１ディスペンス高さ経路Ｐ１に沿って、第１ディスペンスギャップＧ１を維持するべく、移動可能である。同時に、第２アプリケータ３８が傾斜及び／または輪郭付けされた基材Ｂ上にディスペンスするべくＸＹ面内で移動される間、コントローラは、第１位置決め器３６に対するｚ２移動を実施して、第１位置決め器３６によって実施されるｚ１移動と基材Ｂの特有の傾斜及び／または輪郭との両方を較正するべく、第２位置決め器４０に指令し得る。これによって、第２ディスペンシングチップ９６は、第２アプリケータ３８が基材Ｂ上にディスペンスする間に、第２ディスペンス高さ経路Ｐ２に沿って、第２ディスペンスギャップＧ２を維持するべく、移動可能である。この態様で、第１アプリケータ３４は、特有に傾斜及び／または輪郭付けされた基材Ａ上に正確にディスペンス可能であり、同時に、第２アプリケータ３８は、特有に傾斜及び／または輪郭付けされた基材Ｂ上に正確にディスペンス可能である。
【００７２】
前述の第３の例示的なシナリオに類似する別の例示的な実施形態では、第１及び第２アプリケータ３４、３８は、単一の共通の基材の別個の領域である第１及び第２ディスペンス領域に、第１及び第２流体パターンを同時にディスペンスし得る。例えば、図１３Ｂに示すように、第１位置決め器３６は、基材１３８の第１の特有に輪郭付けられたディスペンス領域で第１ディスペンス高さ経路Ｐ１に沿って第１アプリケータ３４を移動させるべく、ｚ１移動を実施し得る。これによって、第１ディスペンス領域に関連付けられた第１ディスペンスギャップＧ１が、ディスペンシングの間、維持され得る。同時に、第２位置決め器４０は、基材１３８の第２の特有に輪郭付けられたディスペンス領域で第２ディスペンス高さ経路Ｐ２に沿って第２アプリケータ３８を移動させるべく、ｚ２移動を実施し得る。これによって、第２ディスペンス領域に関連付けられた第２ディスペンスギャップＧ２が、ディスペンシングの間、維持され得る。様々な実施形態において、第１及び第２ディスペンスギャップＧ１、Ｇ２は、同一であってもよいし、異なっていてもよい。
【００７３】
第４の例示的なシナリオでは、基材Ａ、Ｂの両方が、概ね平板状であってＸＹ面に平行に位置しているが、ＸＹ面に対してＺ軸に沿って異なる距離で位置決めされている。例えば、基材Ａが、ＸＹ面内に位置し得て、基材Ｂが、ＸＹ面の上方に離れている。そのような場合、基材Ａ、ＢのいずれもＸＹ面に対して傾斜も輪郭付けもされていないので、ディスペンス中のＺ軸に沿った積極的な較正はアプリケータ３４、３８のいずれにとっても不要である。コントローラは、前述の態様で、各基材Ａ、Ｂのために適切なディスペンス高さを決定し得る。ディスペンシングの前に、コントローラは、第１ディスペンシングチップ９４をＺ軸に沿って基材Ａ上のその対応のディスペンス高さに下降させるようなｚ１移動を実施するべく、第１位置決め器３６に指令し得る。同時に、コントローラは、第２ディスペンシングチップ９６をＺ軸に沿って基材Ｂ上のその対応のディスペンス高さに下降させるような第１位置決め器３６に対するｚ２移動を実施するべく、第２位置決め器４０に指令し得る。コントローラは、ＸＹ面内で共に第１及び第２アプリケータ３４，３８を移動させるべく、第１位置決め器３６に指令し得る。その結果、アプリケータ３４、３８のための対応のディスペンス高さを維持しながら、それらは、同時に、第１及び第２流体パターンを基材Ａ、Ｂ上にディスペンス可能である。
【００７４】
前述の観点で、当業者は、ディスペンシングシステム３０が、第１位置決め器３６によってｘ１移動、ｙ１移動及びｚ１移動を実施可能であり、同時に、第２位置決め器４０によってｘ２移動、ｙ２移動及びｚ２移動を実施可能であることを、理解するであろう。さらに、これらの移動は、第１アプリケータ３４が第１基材のような第１ディスペンス領域にディスペンスしていて、第２アプリケータ３８が第２基材のような第２ディスペンス領域に同時にディスペンスしている間に、実施可能である。この態様で、ディスペンシングシステム３０は、ディスペンスされる第１及び第２基材の整列ずれを較正するべく、ディスペンシングの間の第１及び第２アプリケータ３４、３８の位置を自動的かつ積極的に調整するべく、制御可能である。
【００７５】
図１４Ａ及び図１４Ｂは、前述の内容と整合する態様で第１及び第２ディスペンス領域に同時にディスペンシングするための本発明の一実施形態による方法２００の工程を示すフロー図を表している。方法２００は、例えば、ディスペンシングシステム３０またはその任意の好適な変形例によって実施され得る。言及されるディスペンス領域は、「ＤＲ」で示されている。前述のように、第１及び第２ディスペンス領域は、第１及び第２基板であり得る、あるいは、それらは、例えばパネル化された回路基板のような単一の基材の別個の第１及び第２領域であり得る。言及される第１及び第２アプリケータは、「Ａ１」及び「Ａ２」で示されており、それぞれ、前述のディスペンシングシステム３０の位置決め器３６、４０のような第１及び第２位置決め器に取り付けられ得て、移動可能であり得る。
【００７６】
工程２０２において、まず、ディスペンシングシステムは、例えば前述の態様で、複数のディスペンス領域の各々と関連付けられた参照基準点を特定する。一実施形態では、各ディスペンス領域に、それ自身の対応の参照基準点の組（セット）が設けられ得る。他の実施形態では、例えばディスペンス領域が単一の基材の複数の領域である場合、複数のディスペンス領域が、一組の参照基準点と関連付けられ得る。工程２０４において、システムは、特定された参照基準点に基づいて、当該システムによって規定されたＸＹ面内での各ディスペンス場所の位置及び方向（すなわち、位置姿勢）を決定する。
【００７７】
工程２０６において、システムは、高さ検出によって、ディスペンス領域のためのＺ高さ測定値を収集する。前述のように、そのような高さ検出工程は、ＸＹ面に対して傾斜及び／または輪郭付けされたディスペンス領域のために複数の高さ測定値を収集するために高さセンサを用いる工程を含み得る。例えば、そのような高さ検出工程は、それに沿って流体がディスペンスされるべき経路の複数の高さ測定値を収集する工程を含み得る。当該経路は、ディスペンス領域によって包含（encompass）されている。高さセンサは、システムコントローラに高さ測定値を通信するセンサ出力信号を生成し得る。
【００７８】
あるいは、前述のように、高さ測定値は、例えば表面輪郭データファイルのような、ユーザによって利用可能とされた電子データファイルからシステムコントローラにそれらを読み込むことによって、収集され得る。従って、工程２０６において、ユーザは、ディスペンスシステムによって使用されるべきＺ高さ情報の源（ソース）を特定するように、ディスペンシングシステムのグラフィカルユーザインタフェースによって促され得る。当該促進に応答して、ユーザは、システムコントローラに対して利用可能とされた電子データファイルによってＺ高さ情報が提供される、ということを指示し得る。当該ファイルは、当該ユーザによって特定され得る。あるいは、ユーザは、前述のように高さセンサを用いたＺ高さ測定値の収集によってＺ高さ情報がディスペンシングシステムによって決定（測定）されるべきである、ということを指示し得る。
【００７９】
工程２０８において、システムは、複数のディスペンス領域から第１及び第２ディスペンス領域を選択し得て、第１流体パターンをディスペンシングするための第１アプリケータＡ１を第１ディスペンス領域に割り当て、第２流体パターンをディスペンシングするための第２アプリケータＡ２を第２ディスペンス領域に割り当てる。
【００８０】
工程２１０において、システムは、選択された第１及び第２ディスペンス領域の各々のため、ディスペンス領域がＸＹ面に対してＺ軸に沿って傾斜及び／または輪郭付けされているか否か、を評価する。ディスペンス領域が傾斜または輪郭付けされていない場合、システムは、工程２１２に進行し得て、前述のように、当該ディスペンス領域のために以前に測定された単一のＺ高さに基づいて、当該ディスペンス領域に割り当てられたアプリケータのための適切なディスペンス高さを決定し得る。あるいは、工程２１４において、ディスペンス領域がＸＹ面に対して傾斜及び／または輪郭付けされている場合、システムは、高さセンサによって以前に測定された、あるいは、前述のようにユーザによって入力された外部データによって提供された、複数のＺ高さに基づいて、対応するディスペンス高さ経路を決定し得る。例えば、各ディスペンス領域が特有に傾斜及び／または輪郭付けされている場合（図１３Ａ及び図１３Ｂ参照）、システムは、各ディスペンス領域に対応する特有のディスペンス高さ経路を決定し得る。工程２１６において、システムは、適切なように、ディスペンスされる表面の傾斜及び／または輪郭を考慮すべく、傾斜及び／または輪郭付けされたディスペンス領域に割り当てられたアプリケータに関連付けられた制御アルゴリズムを調整し得る。例えば、制御アルゴリズムは、傾斜及び／または輪郭付けられたディスペンス領域に割り当てられたアプリケータのためのコントローラ出力信号を含み、流体パターンをディスペンスするべく、Ｘ移動要素とＹ移動要素とを有する方向に移動する間、当該アプリケータがディスペンス高さ経路に依存した適切な高さから選択的に流体をディスペンスするように、調整され得る。
【００８１】
工程２１８ａ及び工程２１８ｂにおいて、システムは、ＸＹ面内で、第１ディスペンス領域の最初のディスペンス場所の上方に、第１アプリケータを位置決めする。同時に、システムは、ＸＹ面内で第１アプリケータに対して第２アプリケータを移動し得て、第２ディスペンス領域の最初のディスペンス場所の上方に、第２アプリケータを位置決めする。工程２２０において、システムは、同時に、工程２１０乃至２１４において決定されたように、それぞれのディスペンス高さへとＺ軸に沿って第１及び第２アプリケータを降下させる。ディスペンス領域が傾斜及び／または輪郭付けされている場合、そのアプリケータは、ディスペンス高さ経路内に位置決めされた最初のディスペンス高さまで降下され得る。工程２２２において、第１及び第２アプリケータは、以下のように位置決めされるそれぞれのディスペンス領域への流体のディスペンシングを始動するべく制御される。
【００８２】
工程２２４において始動すると、第１及び第２アプリケータは、システムコントローラによって提供されるコントローラ出力信号に基づいて、第１及び第２ディスペンス領域のいずれかがＸＹ面に対して傾斜及び／または輪郭付けされているか、及び／または、他のディスペンス領域に対してＸＹ面内で回転されている（すなわち、局所的に回転されている）か、に従って、それぞれ第１及び第２流体パターンをディスペンスするべく、Ｘ軸、Ｙ軸及び／またはＺ軸に沿って、移動される。工程２２６において、ディスペンス領域が傾斜も輪郭付けもされておらず、局所的な回転もない場合、システムは、工程２２８に進行し得て、第１及び第２流体パターンをディスペンスするべく、第１及び第２アプリケータを共にＸＹ面内で移動させ得る。例えば、そのような制御は、ディスペンシングシステム３０の第１位置決め器３６によって、ｘ１移動及びｙ１移動を介して達成され得る。工程２２８において、第２アプリケータは、ディスペンシングの間、第１アプリケータに対して移動される必要がない。なぜなら、ディスペンス領域がＸＹ面に対して傾斜も輪郭付けもされておらず、ＸＹ面内で互いに回転されてもいないからである。工程２２８の代わりに、ディスペンス領域がＸＹ面内で互いに対して回転されている場合、システムは工程２３０ａ及び２３０ｂに進行する。工程２３０ａ及び２３０ｂにおいて、システムは、例えば第１位置決め器３６を用いて、第１アプリケータをＸＹ面内で移動させ、第１ディスペンス領域に第１流体パターンをディスペンスする。同時に、システムは、例えば第２位置決め器４０を用いて、第１アプリケータに対して第２アプリケータをＸＹ面内で移動させ、第２ディスペンス領域に第２流体パターンをディスペンスする。これによって、システムは、ディスペンシングの間、局所的な回転を積極的に較正し得る。
【００８３】
工程２２６の代わりに、第１ディスペンス領域及び／または第２ディスペンス領域がＸＹ面に対して傾斜及び／または輪郭付けされている場合、システムは工程２３２に進行し得る。工程２３２において、システムは、第１及び第２ディスペンス領域がＸＹ面内で互いに対して回転されている（局所的に回転されている）か否かに従って、第１及び第２アプリケータを移動させる。ディスペンス領域が局所的に回転されていない場合、システムは、工程２３４ａ及び２３４ｂに進行し得る。工程２３４ａ及び２３４ｂにおいて、システムは、工程２３４ａに示されるように、例えば第１位置決め器３６を用いて、第１及び第２流体パターンをディスペンスするべく、ＸＹ面内でのアプリケータ間の相対移動無しで、ＸＹ面内で共に第１及び第２アプリケータを移動させ得る。同時に、システムは、工程２３４ｂに示されるように、対応するディスペンス領域のＸＹ面に対する傾斜及び／または輪郭を考慮すべく、対応するディスペンス高さ経路（工程２１４において決定される）に沿ってＺ軸方向に第１アプリケータ及び／または第２アプリケータを移動させ得る。
【００８４】
例えば、ディスペンスの間、第２アプリケータは、ディスペンス領域の一方の傾斜及び／または輪郭を表す第１コントローラ出力信号に従って、第１アプリケータに対してＺ軸方向に移動され得る。ディスペンス領域の両方がＺ軸方向に特有に傾斜及び／または輪郭付けられている場合、第１及び第２アプリケータは、ディスペンスの間に、ディスペンス領域の一方の第１の傾斜及び／または輪郭を表す第１コントローラ出力信号とディスペンス領域の他方の第２の傾斜及び／または輪郭を表す第２コントローラ出力信号とに従って、Ｚ軸方向に独立に移動され得る。
【００８５】
工程２３４ａ及び２３４ｂの代わりに、ディスペンス領域が、それらのうちの少なくとも１つが傾斜及び／または輪郭付けされていることに加えて局所的に回転されている場合、システムは、工程２３６ａ、２３６ｂ及び２３６ｃに進行し得る。工程２３６ａにおいては、第１アプリケータが、例えば第１位置決め器３６によって、第１ディスペンス領域に第１流体パターンをディスペンスするべく、ＸＹ面内で移動される。同時に、工程２３６ｂにおいて、第２アプリケータが、例えば第２位置決め器４０によって、第２ディスペンス領域に第２流体パターンをディスペンスするべく、ＸＹ面内で第１アプリケータに対して移動される。同時に、工程２３６ｃにおいて、第１アプリケータ及び／または第２アプリケータは、対応するディスペンス領域のＸＹ面に対する傾斜及び／または輪郭を考慮すべく、対応のディスペンス高さ経路に沿ってＺ軸方向に移動される。
【００８６】
工程２３８において、第１及び第２流体パターンのディスペンシングの完了時に、第１及び第２アプリケータは、例えばそれらのディスペンス前の高さまでＺ軸に沿って上昇され得る。工程２４０において、システムは、例えば第３及び第４ディスペンス領域にディスペンスされるべき付加的な流体パターンが存在するか否かを評価し得る。実施されるべき付加的なディスペンシングが存在する場合、表示Ｂに示されるように、システムは工程２０８に戻り得る。全てのディスペンシングが完了している場合、システムは、そのディスペンシング動作を終了し得る。
【００８７】
ディスペンシングの方法は、第１及び第２ディスペンス領域の具体的な方向（向き）と、第１及び第２ディスペンス領域に同時にディスペンスするための対応する第１及び第２アプリケータの移動と、に関連して前述されてきた。しかしながら、当業者は、任意の２つのディスペンス領域に同時にディスペンスするべく前述の方法が適切なように適応され得ることを、理解するであろう。例えば、第１ディスペンス領域及び／または第２ディスペンス領域がＸＹ面に対して特有に傾斜及び／または輪郭付けられている場合、システムは、第１ディスペンス領域に第１流体パターン及び第２ディスペンス領域に第２流体パターンを同時にディスペンシングする間、第１アプリケータ及び第２アプリケータをＸ軸、Ｙ軸及び／またはＺ軸に沿って独立に移動し得る。
【００８８】
図１５及び図１６を参照して、本発明の別の例示的な実施形態による第２位置決め器３００が図示されている。同様の参照符号が、図４乃至図６に示されたのと同様の特徴、例えば第１位置決め器３６の特徴、を示していることが、理解されるであろう。この実施形態では、第１位置決め器３６がＸＹ面内で図４乃至図６の実施形態に示された方向（向き）に対して９０°シフトされている。例えば、支持部４８は、Ｘ軸に関して整列されており、ｘ１支持部として機能する。同様に、図示されていないが、支持部４４ａ及び４４ｂは、Ｙ軸に関して整列されており、ｙ１支持部として機能する。第１位置決め器３６は、グローバルのＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に対して任意の所望の方向（向き）で提供され得て、本発明の範囲は、ここで図示され説明される例示的な方向（向き）に限定されない、ということが理解される。
【００８９】
第２位置決め器３００と第２位置決め器４０との間の全体的な類似点と相違点とが、第２位置決め器３００の構造上の特徴を説明することによって、説明される。
【００９０】
第２位置決め器４０と同様に、第２位置決め器３００は、第１位置決め器３６が第１及び第２アプリケータ３４、３８の両方を同時にｘ１、ｙ１、ｚ１で示されているようにＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動させるように、ｚ１キャリッジ６０を介して第１位置決め器３６に取り付けられて支持されている。更に、第２位置決め器４０と同様に、第２位置決め器３００は、ｘ２、ｙ２、ｚ２で示されているようにＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に第１及び第２アプリケータ３４、３８の間の自動的な相対移動を提供するように、作動する。従って、第２位置決め器４０と同様に、第２位置決め器３００は、第１位置決め器３６との組合せにおいて、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の第１アプリケータ３４及び第２アプリケータ３８の各々の同時の独立の位置決め制御を可能にする。
【００９１】
前述のように、第２位置決め器４０は、３つの軸（図５においてｘ２、ｙ２、ｚ２で示されているＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸）の全てにおいて第１アプリケータ３４に対して第２アプリケータ３８を移動することによって、互いに対する第１及び第２アプリケータ３４、３８の自動的な位置調整を提供する。対照的に、第２位置決め器３００は、２つの軸（すなわち、図１５及び図１６においてｙ２、ｚ２で示されているＹ軸及びＺ軸）において第１アプリケータ３４に対して第２アプリケータ３８を移動することによって、及び、残りの軸（すなわち、図１５及び図１６においてｘ２で示されているＸ軸）において第２アプリケータ３８に対して第１アプリケータ３４を移動することによって、これらの自動的な位置調整を提供する。
【００９２】
第２位置決め器４０とは異なり、第２位置決め器３００は、以下により詳細に説明されるように、両方のアプリケータ３４、３８を保持している。更に、第１アプリケータ３４のＸ軸方向の移動は、ｘ１で示される第１位置決め器３６とｘ２で示される第２位置決め器３００との両方によって達成される。換言すれば、第２位置決め器４０とは異なり、第２位置決め器３００は、第２アプリケータ３８がｚ１キャリッジ６０に対してＸ方向に固定されたままで、ｚ１キャリッジ６０を含む第１位置決め器３６に対する第１アプリケータ３４の自動的な位置調整を可能にする。第２位置決め器３００に関して、第２アプリケータ３８のＸ軸方向の移動は、第１位置決め器３６によって全体的に制御される。
【００９３】
第２位置決め器３００の構成要素は、グローバルのＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に対して第１位置決め器３６の方向（向き）の観点で、以下に説明される。もっとも、前述のように、第１位置決め器３６は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸に対して任意の好適な態様で方向付けられ得る。従って、グローバル軸に対する第２位置決め器３００の構成要素の方向（向き）も、第２位置決め器４０のそれらも、これらの軸に対する第１位置決め器３６の方向（向き）に依存して変更し得る。
【００９４】
第２位置決め器３００は、第１位置決め器３６のｚ１キャリッジ６０のＸＺ表面に堅固に取り付けられている、取付ブラケット３０２、またはベースプレート、を含んでいる。この実施形態では、ｚ１キャリッジ６０が、平坦プレートの形態であり、ｚ１支持部５６の共通のＸＺ外表面上に配置されたｚ１ベアリングガイド５８ａ、５８ｂに沿って摺動可能である。図１６に最もよく示されているように、取付ブラケット３０２は、実質的にＬ形であり、ＸＺ面内に延びる第１脚部３０４とＹＺ面内に第１脚部３０４から垂直に延びる第２脚部３０６とを含んでいる。取付ブラケット３０２は、第１脚部３０４を介してｚ１キャリッジ６０に取り付けられ得る。
【００９５】
ｘ２移動ユニット３０８が、取付ブラケット３０２の第１脚部３０４に取り付けられており、Ｘ軸に沿ってそれらの間を延びるリニアベアリングガイド（不図示）を支持する対向配置された第１及び第２エンドブロック３１０、３１２を含んでいる。ｘ２キャリッジ３１４が、当該リニアベアリングガイドによって保持されており、ｘ２で示されているように第１アプリケータ３４を第１位置決め器３６に対してＸ軸方向に移動させるべく、エンドブロック３１０、３１２の間をＸ軸方向に移動可能である。ｘ２キャリッジの移動は、制御可能なｘ２駆動機構３１６によって駆動される。第１アプリケータ３４は、ｘ２キャリッジ３１４に結合されてそれによって移動可能である第１アプリケータ取付部３１８に対して解除可能に取り付けられている。
【００９６】
ｙ２移動ユニット３２０が、取付ブラケット３０２の第２脚部３０６に取り付けられており、ｘ２移動ユニット３０８と構造及び機能において略同一である。特に、ｙ２移動ユニット３２０は、Ｙ軸に沿ってそれらの間を延びるリニアベアリングガイド（不図示）を支持する対向配置された第１及び第２エンドブロック３２２、３２４を含んでいる。ｙ２キャリッジ３２６が、当該リニアベアリングガイドによって保持されており、ｙ２で示されているように第２アプリケータ３８を第１アプリケータ３４及び第１位置決め器３６に対してＹ軸方向に移動させるべく、エンドブロック３２２、３２４の間をＹ軸方向に移動可能である。ｙ２キャリッジ３２６の移動は、制御可能なｙ２駆動機構３２８によって駆動される。
【００９７】
ｚ２移動ユニット３３０が、ｙ２キャリッジ３２６に取り付けられており、ｚ２で示されているように第２アプリケータ３８を第１アプリケータ３４及び第１位置決め器３６に対してＺ軸方向に移動させる。ｚ２移動ユニット３３０は、全体的に、第１支持ブラケット３３２と、第１支持ブラケット３３２に対してＺ軸方向に移動可能な第２支持ブラケット３３４と、を含んでいる。ブラケット３３２、３３４の各々は、例えば、略Ｌ形である。第１支持ブラケット３３２は、ＹＺ面内に延びる下方脚部３３６と、ＸＹ面内で下方脚部３３６から垂直に延びる上方脚部３３８と、を含んでいる。下方脚部３３６は、ｚ２ベースプレート３４０を支持しており、その上に、Ｚ軸に沿って延びる一対のリニアベアリングガイド３４２ａ、３４２ｂが設けられている。上方脚部３３８は、制御可能なｚ２駆動機構３４４を支持し得る。ｚ２移動ユニット３３０の第２支持ブラケット３３４は、ＹＺ面内に延びる第１脚部３４６と、ＸＺ面内で第１脚部３４６から垂直に延びる第２脚部３４８と、を含んでいる。第２支持ブラケット３３４は、第1脚部３４６を介して、ｚ２で示されているようにｚ２リニアベアリングガイド３４２ａ、３４２ｂに沿って摺動可能なｚ２キャリッジ３５０上に支持されている。ｚ２キャリッジ３５０の移動は、ｚ２駆動機構３４４によって駆動される。
【００９８】
第２アプリケータ３８は、略ＸＺ面内に延びるピッチ調整プレート３５４に結合された第２アプリケータ取付部３５２に解除可能に取り付けられている。特に、第２アプリケータ取付部３５２は、ピッチ調整プレート３５４に対して、当該ピッチ調整プレート３５４の長さに沿った複数の位置で選択的に結合可能である。この態様で、第１及び第２アプリケータ３４、３８の間のＸ軸方向の間隔（すなわち、ピッチ）の手動の粗い調整が、ディスペンシングが始まる前に、実施され得る。図示のように、第２アプリケータ取付部３５２は、前記複数の位置の間でピッチ調整プレート３５４の上方縁に沿って摺動し、いずれか１つの所望の位置で固定され得る、上方顎部３５６を含み得る。
【００９９】
ピッチ調整プレート３５４は、ｚ２移動ユニット３３０の第２支持ブラケット３３４の第２脚部３４８に結合されている。特に、ピッチ調整プレート３５４は、第２脚部３４８に対して、当該ピッチ調整プレート３５４の長さに沿った複数の位置で選択的に結合可能である。従って、第１及び第２アプリケータ３４、３８の間のＸ軸方向の間隔、すなわちピッチの粗い調整が、第２アプリケータ取付部３５２をピッチ調整プレート３５４に対して選択的に位置決めすることによって、及び／または、ピッチ調整プレート３５４を第２支持ブラケット３３４の第２脚部３４８に対して選択的に位置決めすることによって、達成され得る。
【０１００】
ｚ２移動ユニット３３０は、第１及び第２アプリケータ３４、３８のディスペンシングチップ９４、９６間のＺ軸方向の間隔の粗い調整を実施するための特徴をも、含み得る。例えば、一実施形態では、第２支持ブラケット３３４の第１脚部３４６が、Ｚ軸に沿って延びる複数の位置で選択的にｚ２キャリッジ３５０に結合され得る。他の実施形態では、第２位置決め器３００が、第１及び第２アプリケータ３４、３８の間のＹ軸方向の間隔の粗い調整を実施するための特徴を、更に含み得る。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及び／またはＺ軸方向のアプリケータ間隔のこれらの粗い調整は、ディスペンス前に実施されて、特定のディスペンシング用途に調整され得る。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及び／またはＺ軸方向のアプリケータ間隔の自動的な微調整の調整が、ディスペンスの間に、以下に説明されるように、ｘ２移動ユニット３０８、ｙ２移動ユニット３２０及び／またはｚ２移動ユニット３３０を起動することによって、リアルタイムに実施され得る。
【０１０１】
一実施形態では、ｘ２駆動機構３１６、ｙ２駆動機構３２８及びｚ２駆動機構３４４が、各々、ステッピングモータを含み得る。あるいは、これら駆動機構３１６、３２８、３４４は、高精度、高再現性及び高安定性を伴う移動に好適な、任意の他の好適な電気式駆動部、空圧式駆動部、または、流体圧式駆動部を含み得る。駆動機構３１６、３２８、３４４は、更に、駆動機構１００ａ、１００ｂ、１０２、１０４、１０６、１０７、１０８に関連して前述されたのと同様の、機械的駆動要素を更に含み得る。例えば、駆動機構３１６、３２８、３４４の１または２以上が、回転するリードネジに柔軟駆動カップリングで接続された出力軸を有するステッピングモータを含み得る。当該リードネジは、各キャリッジ３１４、３２６、３５０上に設けられた歯付き要素に係合している。
【０１０２】
前述のように、第２位置決め器３００は、第１位置決め器３６のｘ１移動、ｙ１移動及びｚ１移動が当該第２位置決め器３００に、従って当該第２位置決め器３００によって支持された第１及び第２アプリケータ３４、３８に伝達される、というように、第１位置決め器３６に結合されている。従って、有利なことに、第１位置決め器３６は、ディスペンスされるべき第１及び第２ディスペンス領域に対するＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の第１及び第２アプリケータ３４、３８の第１の（一次的な）位置決め移動（ｘ１、ｙ１、ｚ１）を実施し得て、同時に、第２位置決め器４０、３００が、ディスペンスの間のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の第１及び第２アプリケータ３４、３８の間の相対的な間隔の微調整の調整（ｘ２、ｙ２、ｚ２）を実施し得る。更に、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向における両方のアプリケータ３４、３８の第１移動が第１位置決め器３６のみを用いて実施され得るため、最小数の駆動機構がディスペンス動作中に起動され得て、ディスペンス動作中にディスペンシングシステム３０に提供される制御信号は、最も効率的であり得る。第１及び第２位置決め器３６、４０、３００によって提供される前述の利点が維持される限りにおいて、第１及び第２位置決め器３６、４０、３００の様々な代替的な構造上の形態が可能であることが、理解されるであろう。
【０１０３】
例えば、システム３０が第１及び第２ディスペンス領域（例えば複数の基材）に第１及び第２の同一の流体パターンをディスペンスするべく制御され得て、ディスペンス領域が互いにＸＹ面内で整列されていて（すなわち、局所的に回転されていない）ＸＹ面に対して特有に輪郭付けも傾斜もされていない場合、ディスペンシングのための全ての移動は、第１位置決め器３６のみを用いて達成され得る。特に、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及び／またはＺ軸方向における任意の好適なディスペンス前のアプリケータ間隔の調整は、前述のように実施され得て、自動的なｘ１移動及びｙ１移動が、第１及び第２アプリケータ３４、３８をそれらのディスペンス領域に対して正確に位置決めし得て、自動的なｚ１移動が、アプリケータ３４、３８のディスペンシングチップ９４、９６をそれらのディスペンス高さに正確に位置決めし得る。
【０１０４】
第２位置決め器３００の構造上の形態は、第１移動ユニットを起動する駆動機構によって保持される負荷を最小にするという付加的な利点を提供する。特に、ｘ２駆動機構３１６は、ｘ２キャリッジ３１４、第１アプリケータ３４及び第１アプリケータ取付部３１８のみを移動する負担を担っている。比較により、第２位置決め器３００のｘ２駆動機構３１６に対応する第２位置決め器４０のｙ２駆動機構１０６は、より大きい量の構成要素を移動する負担を担っており、それはより大きい負荷となる。特に、ｙ２駆動機構１０６は、例えば、ｚ２支持部７４、ｚ２キャリッジ７８、ｘ２支持部８０、第２アプリケータ３８及び駆動機構１０６、１０８を移動する。
【０１０５】
第２位置決め器４０と同様に、第２位置決め器３００は、第１位置決め器３６に対する付加的な移動ｘ２、ｙ２、ｚ２を可能にする。これらの移動は、対応のｘ１、ｙ１、ｚ１移動と比較して、相対的に微細であり得る。換言すれば、第２位置決め器３００の移動範囲は、第１位置決め器３６の対応の移動範囲よりも、小さくてよい。従って、第１位置決め器３６は、第１及び第２アプリケータ３４、３８のＸ軸方向、Ｙ軸方向及び／またはＺ軸方向の自動の第１（一次的）移動を共にディスペンスの間に実施するように、制御され得る。同時に、第２位置決め器３００は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及び／またはＺ軸方向の第１及び第２アプリケータ３４、３８の間の間隔の自動の微細な調整をディスペンスの間に実施するように、制御され得る。この態様で、第１及び第２アプリケータ３４、３８は、第１及び第２ディスペンス領域（例えば第１及び第２基材）に第１及び第２流体パターンを同時にディスペンスするように、動的に位置決めされ得る。前述のように、ディスペンス領域は、図７乃至図１１に示されるように、互いに対して整列ずれしていてもよいし、及び／または、ディスペンス領域の少なくとも１つが、図１２Ａ乃至図１３Ｂに示されるように、ＸＹ面に対して傾斜及び／または輪郭付けされていてもよい。
【０１０６】
付加的に、第２位置決め器３００は、前述され図１４Ａ及び図１４Ｂに示された方法２００の工程を実施するために採用され得る。この点で、第２位置決め器３００は、更に、当該第２位置決め器３００の構成要素上の任意の好適な位置に取り付けられた、カメラ及び高さセンサ（不図示）を含み得る。前述のように、第２位置決め器４０、３００間の構造上の差異のために、第２位置決め器４０によって実施される時と比較すると、方法２００の所定の工程は、第２位置決め器３００によって僅かに異なって実施され得る、ということが理解されるであろう。例えば、第２位置決め器３００によって実施される時、工程２１８ｂ、２３０ｂ、２３６ｂは、第１アプリケータ３４を第２アプリケータ３８に対してＸ軸方向に移動させる工程と、第２アプリケータ３８を第１アプリケータ３４に対してＹ軸方向に移動させる工程と、を含む。
【０１０７】
本発明は、特定の実施形態についての記述によって説明され、当該実施形態は、かなり詳しく説明された。しかしながら、添付の特許請求の範囲の請求項の範囲を、そのような詳細に制限することや、何らかの態様で限定することは、意図されていない。ここで説明された様々な特徴は、単独でも、任意の組合せでも、利用可能である。付加的な利点及び修正は、当業者にとって容易である。本発明は、その広い観点では、特定の詳細や代表的な装置及び方法や図示の例に限定されない。従って、本発明の概念の範囲から逸脱することなく、そのような詳細からの発展がなされ得る。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図３Ａ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５】
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【図１６】
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