(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
防振対象物が載置される載置部と、
前記載置部を支持する支持部と、
前記載置部と前記支持部とを連結する連結機構と、
を有し、
前記連結機構は、一端部側が前記載置部に装着されていて、他端部側が前記支持部に装着されている少なくとも２つの弾性体を有し、
前記少なくとも２つの弾性体は、少なくとも２つの変曲点を持つようにそれぞれに湾曲し、
前記少なくとも２つの弾性体が前記支持部に対して装着される位置をそれぞれに変更する位置変更機構をさらに有する防振装置。
【請求項２】
前記少なくとも２つの弾性体が前記支持部に対して装着される角度をそれぞれに変更する角度変更機構をさらに有する請求項１記載の防振装置。
【請求項３】
前記少なくとも２つの弾性体は、前記少なくとも２つの変曲点のうち前記一端部に最も近い変曲点よりも前記一端部側の部分が、前記弾性体の厚さ方向と交わる方向に前記載置部を押し上げるように前記載置部を支持する請求項１又は２記載の防振装置。
【請求項４】
防振対象物が載置される載置部と、
前記載置部を支持する支持部と、
前記載置部と前記支持部とを連結する連結機構と、
を有し、
前記連結機構は、一端部側が前記載置部に装着されていて、他端部側が前記支持部に装着されている少なくとも２つの弾性体を有し、
前記少なくとも２つの弾性体は、少なくとも２つの変曲点を持つようにそれぞれに湾曲し、
前記少なくとも２つの弾性体が前記載置部に対して装着される位置をそれぞれに変更する位置変更機構をさらに有する防振装置。
【請求項５】
前記少なくとも２つの弾性体が前記載置部に対して装着される角度をそれぞれに変更する角度変更機構をさらに有する請求項４記載の防振装置。
【請求項６】
前記少なくとも２つの弾性体は、前記少なくとも２つの変曲点のうち前記他端部に最も近い変曲点よりも前記他端部側の部分が、前記弾性体の厚さ方向と交わる方向へと前記載置部を押し上げる前記載置部を支持する請求項４又は５記載の防振装置。
【請求項７】
前記少なくとも２つの弾性体は、それぞれの弾性体が前記載置部に対して加える力が水平面方向において釣り合うように配置されている請求項１乃至６いずれか記載の防振装置。
【請求項８】
防振対象物が載置される載置部と、
前記載置部を支持する支持部と、
前記載置部と前記支持部とを連結する連結機構と、
を有し、
前記連結機構は、
前記載置部を吊架する吊架部と、
一端部側が前記吊架部に装着されていて、他端部側が前記支持部に装着されている少なくとも２つの第１の弾性体と、
一端部側が前記吊架部に装着されていて、他端部側が前記載置部に装着されている少なくとも２つの第２の弾性体と、
を有し、
前記少なくとも２つの第１の弾性体及び前記少なくとも２つの第２の弾性体は、少なくとも２つの変曲点を持つようにそれぞれに湾曲している防振装置。
【請求項９】
防振対象物が載置される載置部と、
前記載置部を支持する第１の支持部と、
前記第１の支持部を支持する第２の支持部と、
前記載置部と前記第１の支持部とを連結する第１の連結機構と、
前記第１の支持部と前記第２の支持部とを連結する第２の連結機構と、
を有し、
前記第１の連結機構は、一端部側が前記載置部に装着されていて、他端部側が前記第１の支持部に装着されている少なくとも２つの第１の弾性体を有し、
前記第２の連結機構は、一端部側が前記第１の支持部に支持されていて、他端部が前記第２の支持部に支持されている少なくとも２つの第２の弾性体を有し、
前記少なくとも２つの第１の弾性体及び前記少なくとも２つの第２の弾性体は、少なくとも２つの変曲点を持つようにそれぞれに湾曲している防振装置。
【請求項１０】
前記少なくとも２つの第１の弾性体が前記載置部に対して加える力と前記少なくとも２つの第２の弾性体が前記第１の支持部に対して加える力とは、水平面方向において互いに向きが異なる請求項９記載の防振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は防振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、水平に固定配置された下板と、この下板に対して上方に所定間隔で水平に配置され且つ構造物等の被支持物を支持する上板と、これらの下板及び上板の間に水平に配置され中心に貫通孔を備えた中間板と、この中間板の貫通孔を通って上記下板と上板を互いに連結する一つの第一の粘弾性体と、上記下板と中間板との間にて鉛直方向に延びるように粘弾性体の周りに配置される少なくとも三つ以上の第一の圧縮コイルバネと、上記中間板と上板との間にて水平方向に関して第一の圧縮コイルバネと同じ位置にて鉛直方向に延びるように少なくとも三つ以上の第二の圧縮コイルバネと、を含んでおり、対応する第一及び第二の圧縮コイルバネが、それぞれ第一の粘弾性体の中心線の周りに点対称または等角度間隔に配置されている防振装置であって、上記下板と中間板との間で、水平方向に関して第一の圧縮コイルバネと干渉しない位置にて、下板と中間板とを互いに連結するように鉛直方向に延びる複数個の第二の粘弾性体が配置されていることを特徴とする、防振装置が記載されている。
【０００３】
特許文献２には、形板状の機器搭載用ベンチ、当該機器搭載用ベンチを下面の四隅で支持する制振器、上記機器搭載用ベンチの振動を測定する振動センサ、上記機器搭載用ベンチを動かすアクチュエータ、上記振動センサからの振動情報によりアクチュエータに対して制御出力を演算するコントローラから成るアクティブ型防振台において、上記各制振器としてコイルばねを鉛直方向に設け、当該コイルばねの近傍に上記アクチュエータ及び上記振動センサを夫々設けたことを特徴とする、アクティブ型防振台が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２００１２号公報
【特許文献２】特開２００２−１９５３４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の技術においては、防振対象物の重量の変化に応じて弾性体を交換することを要し、防振対象物に振動が伝達する際の固有振動数を十分に小さくすることができなかった。
【０００６】
本発明は、重量が一定の範囲内にある防振対象物に対して同じ弾性体を用いることができ、防振対象物に振動が伝達する際の固有振動数を小さくすることができる防振装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る本発明は、防振対象物が載置される載置部と、前記載置部を支持する支持部と、前記載置部と前記支持部とを連結する連結機構と、を有し、前記連結機構は、一端部側が前記載置部に装着されていて、他端部側が前記支持部に装着されている少なくとも２つの弾性体を有し、前記少なくとも２つの弾性体は、少なくとも２つの変曲点を持つようにそれぞれに湾曲している防振装置である。
【０００８】
請求項２に係る本発明は、前記少なくとも２つの弾性体が前記支持部に対して装着される位置をそれぞれに変更する位置変更機構をさらに有する請求項１記載の防振装置である。
【０００９】
請求項３に係る本発明は、前記少なくとも２つの弾性体が前記支持部に対して装着される角度をそれぞれに変更する角度変更機構をさらに有する請求項１又は２記載の防振装置である。
【００１０】
請求項４に係る本発明は、前記少なくとも２つの弾性体は、前記少なくとも２つの変曲点のうち前記一端部に最も近い変曲点よりも前記一端部側の部分が、前記弾性体の厚さ方向と交わる方向に前記載置部を押し上げるように前記載置部を支持する請求項１乃至３いずれか記載の防振装置である。
【００１１】
請求項５に係る本発明は、前記少なくとも２つの弾性体が前記載置部に対して装着される位置をそれぞれに変更する位置変更機構をさらに有する請求項１記載の防振装置である。
【００１２】
請求項６に係る本発明は、前記少なくとも２つの弾性体が前記載置部に対して装着される角度をそれぞれに変更する角度変更機構をさらに有する請求項１又は５記載の防振装置である。
【００１３】
請求項７に係る本発明は、前記少なくとも２つの弾性体は、前記少なくとも２つの変曲点のうち前記他端部に最も近い変曲点よりも前記他端部側の部分が、前記弾性体の厚さ方向と交わる方向へと前記載置部を押し上げるように前記載置部を支持する請求項１、５又は６記載の防振装置である。
【００１４】
請求項８に係る本発明は、前記少なくとも２つの弾性体は、それぞれの弾性体が前記載置部に対して加える力が水平面方向において釣り合うように配置されている請求項１乃至７いずれか記載の防振装置である。
【００１５】
請求項９に係る本発明は、防振対象物が載置される載置部と、前記載置部を支持する支持部と、前記載置部と前記支持部とを連結する連結機構と、を有し、前記連結機構は、前記載置部を吊架する吊架部と、一端部側が前記吊架部に装着されていて、他端部側が前記支持部に装着されている少なくとも２つの第１の弾性体と、一端部側が前記吊架部に装着されていて、他端部側が前記載置部に装着されている少なくとも２つの第２の弾性体と、を有し、前記少なくとも２つの第１の弾性体及び前記少なくとも２つの第２の弾性体は、少なくとも２つの変曲点を持つようにそれぞれに湾曲している防振装置である。
【００１６】
請求項１０に係る本発明は、防振対象物が載置される載置部と、前記載置部を支持する第１の支持部と、前記第１の支持部を支持する第２の支持部と、前記載置部と前記第１の支持部とを連結する第１の連結機構と、前記第１の支持部と前記第２の支持部とを連結する第２の連結機構と、を有し、前記第１の連結機構は、一端部側が前記載置部に装着されていて、他端部側が前記第１の支持部に装着されている少なくとも２つの第１の弾性体を有し、前記第２の連結機構は、一端部側が前記第１の支持部に支持されていて、他端部が前記第２の支持部に支持されている少なくとも２つの第２の弾性体を有し、前記少なくとも２つの第１の弾性体及び前記少なくとも２つの第２の弾性体は、少なくとも２つの変曲点を持つようにそれぞれに湾曲している防振装置である。
【００１７】
請求項１１に係る本発明は、前記少なくとも２つの第１の弾性体が前記載置部に対して加える力と前記少なくとも２つの第２の弾性体が前記第１の支持部に対して加える力とは、水平面方向において互いに向きが異なる請求項１０記載の防振装置である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、重量が一定の範囲内にある防振対象物に対して同じ弾性体を用いることができ、防振対象物に振動が伝達する際の固有振動数を小さくすることができる防振装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る防振装置を示す側面図である。
【図２】図１に示す防振装置が有する変更機構を模式的に示す側面図である。
【図３】図１に示す防振装置が有する弾性体を拡大して示す図である。
【図４】図１に示す防振装置１０の効果を示し、図４（ａ）は、弾性体が支持部に対して装着される角度θをθ１と定めた場合の振動伝達率の測定結果を示すグラフであり、図４（ｂ）は、θをθ１とは異なる角度であるθ２に定めた場合の振動伝達率の測定結果を示すグラフである。
【図５】図１に示す防振装置において、弾性体が支持部に対して装着される角度を変化させ、それぞれの角度における防振対象物に振動が伝達する際の固有振動数を測定した結果を示すグラフである。
【図６】図１に示す防振装置の効果を示し、図６（ａ）は、弾性体を基準とする位置から距離ｄ１移動させた場合の振動伝達率の測定結果を示すグラフであり、図６（ｂ）は、弾性体を基準とする位置から距離ｄ１とは異なる距離である距離ｄ２移動させた場合の振動伝達率の測定結果を示すグラフである。
【図７】図１に示す防振装置において、弾性体が支持部に対して装着される位置を変更し、それぞれの位置における防振対象物に振動が伝達する際の固有振動数を測定した結果を示すグラフである。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る防振装置を示す側面図である。
【図９】図８に示す防振装置が有する弾性体を拡大して示す図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態に係る防振装置を示す側面図である。
【図１１】本発明の第４の実施形態に係る防振装置を示す側面図である。
【図１２】本発明の第４の実施形態に係る防振装置の変形例を示す平面図である。
【図１３】第１の実施形態において用いることができる弾性体の変形例を示し、図１３（ａ）は弾性体の変形例を上方から示す図であり、図１３（ｂ）は弾性体の変形例を側方から示す図である。
【図１４】本発明の第１の実施形態に係る防振装置の変形例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１には、本発明の第１の実施形態に係る防振装置１０が示されている。防振装置１０は、防振対象物９００の振動を抑制し、好ましくは防止するための装置であり、図１に示されているように、支持部１００と、載置部２００と、連結機構３００と、脚部材４０２とを有する。
【００２１】
支持部１００は、載置部２００を支持する構造物であり、底板１０２と、天板１０４とを有し、底板１０２と天板１０４とが例えば４個（図１においては２個を図示）の柱部材１１０によって連結されることで枠体を形成している。天板１０４の例えば中央部には、貫通孔１０６が形成されている。
【００２２】
脚部材４０２は、防振対象物９００の水平方向の振動を抑制し、好ましくは防止するための水平方向防振部として用いられていて、載置部２００を重力方向における下側から支えている。脚部材４０２は、上端部が底板１０２の下向きの面に装着されていて、防振装置１０が設置面９２０に設置された状態において、下端部が設置面９２０に接触する。脚部材４０２は、例えば４個等（図１においては３個を図示）、例えば複数個が設けられている。
【００２３】
また、脚部材４０２は、設置面９２０に対する支持部１００の円周方向の運動を許容する部材であり、例えば、円柱形状のゴム塊やコイルスプリングを用いることができる。脚部材４０２は、水平方向に弾性変形する粘弾性体あればよく、ゴム塊やコイルスプリングに替えて他の部材を用いてもよい。脚部材４０２は、４個であることを要せず少なくとも１つがあればよい。
【００２４】
載置部２００は、防振対象物９００が載置される構造体である。防振対象物９００としては、例えばコンピュータや通信機器に用いられる電子デバイスの回路パターンを形成する露光機、青色レーザを用いた光学測定に使われる光学素子の高精度な形状を読み取る三次元形状測定装置、遺伝子解析などに用いられる電子顕微鏡のようにナノメートルの精度が問題となる機器等を挙げることができる。載置部２００は、底板２０２と、天板２０４とを有し、天板２０４と底板２０２とが例えば４個の柱部材２１０（図１には２個を図示）によって連結されることで枠体を形成している。図１に示すように、防振対象物９００は、底板２０２の重力方向における上向きの面に載置される。
【００２５】
また、載置部２００は、後述する板バネ部材３１０の端部３１０ｃ側が装着される装着部材２２０と、装着部材２２０を天板２０４に対して固定するための固定部材２３０とを有する。装着部材２２０は、例えば板状の部材であり、天板１０４の重力方向における上方であって、貫通孔１０６の重力方向における上方に配置されている。固定部材２３０は、例えば棒状の部材であって、貫通孔１０６を貫通するように配置されていて、下端部側が天板２０４に対して固定されていて、上端部側が装着部材２２０に対して固定されている。
【００２６】
連結機構３００は、支持部１００と載置部２００とを連結する機構であり、少なくとも２つの弾性体として用いられている例えば２つの板バネ部材３１０を有する。２つの板バネ部材３１０は、それぞれが、端部３１０ｃ側が載置部２００に装着されていて、端部３１０ｅ側が支持部１００に装着されている弾性体として用いられている。より具体的には、２つの板バネ部材３１０は、端部３１０ｃ側が載置部２００の装着部材２２０にそれぞれに装着されていて、端部３１０ｅ側が後述する変更機構５００を介して支持部１００の天板１０４にそれぞれに装着されている。この実施形態においては、連結機構３００は、２つの板バネ部材３１０を有するものの、連結機構３００は少なくとも２つの板バネ部材３１０を有すればよく、連結機構３００は、３個以上の板バネ部材３１０を有するものであってもよい（図１２を参照）。
【００２７】
図１に示すように、防振装置１０は、変更機構５００をさらに有する。変更機構５００は、板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される位置を変更する位置変更機構として用いられているとともに、板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される角度θ（図２を参照）を変更する角度変更機構として用いられている。変更機構５００は、板バネ部材３１０と同じ数だけ設けられていて、この実施形態においては２個が設けられている。変更機構５００の詳細は後述する。
【００２８】
図２には、変更機構５００が示されている。図２に示すように、変更機構５００は、装着板５０４と、移動部材５１０と、レール部材５２０とを有する。装着板５０４は、板バネ部材３１０の装着部材２２０（図１を参照）が装着される側と逆側の端部３１０ｅ側が装着される部材であり、ヒンジ５１２を用いてヒンジ５１２を中止に回転することができるように移動部材５１０に対して取り付けられている。装着板５０４に対する板バネ部材３１０の装着には、例えば複数の螺子部材（不図示）が用いられている。
【００２９】
また、装着板５０４には貫通孔５０６が形成されていて、貫通孔５０６には、後述する螺子部材５３０が噛み合うように雌螺子５０８が形成されている。図２に示す矢印ａ１と矢印ａ２とは、装着板５０４がヒンジ５１２を中心に回転する方向を示している。
【００３０】
レール部材５２０は、移動部材５１０の移動を案内する案内手段として用いられていて、支持部１００の天板１０４に対して固定されている。
【００３１】
移動部材５１０は、レール部材５２０に案内されるようにして、装着部材２２０及び固定部材２３０（それぞれ図１を参照）へと近づく方向と、装着部材２２０及び固定部材２３０から遠ざかる方向へと移動することができるようになっている。また、移動部材５１０には、移動部材５１０をレール部材５２０に対して固定する螺子部材（不図示）が設けられていて、この螺子部材を用いて所望の位置への移動が完了した移動部材５１０がレール部材５２０に対して固定される。図２に示す矢印ｂは、移動部材５１０が移動する方向を示している。
【００３２】
変更機構５００は、雄螺子５３２が形成された螺子部材５３０をさらに有する。螺子部材５３０は、雄螺子５３２が雌螺子５０８に対して噛み合うようにして装着板５０４に対して取り付けられている。また、螺子部材５３０は、先端部５３４が移動部材５１０に接触することにより、重力の作用による装着板５０４と板バネ部材３１０との矢印ａ１方向への回転を制限している。また、螺子部材５３０は、回転させるように操作することにより、装着板５０４に対して図２に示す矢印ｃ１の方向とｃ２の方向とに移動するようになっている。
【００３３】
図３には、板バネ部材３１０が拡大して示されている。図３に示すように、板バネ部材３１０は、２つの変曲点３１０ａ、変曲点３１０ｂを持つようにそれぞれが湾曲している。この実施形態においては、板バネ部材３１０は、２つの変曲点有するように湾曲しているものの、板バネ部材３１０は、少なくとも２つの変曲点を有するように湾曲していればよく、例えば３個の変曲点を有するように湾曲していてもよい。
【００３４】
また、板バネ部材３１０は、２つの変曲点である変曲点３１０ａ、変曲点３１０ｂのうちの載置部２００に対して装着されている側の端部３１０ｃに最も近い変曲点である変曲点３１０ａよりも端部３１０ｃに近い部分である先端部分３１０ｄが、板バネ部材３１０の厚さ方向と交わる方向である矢印ｄ方向へと載置部２００を押し上げるように載置部２００を支持している。即ち、先端部分３１０ｄは、載置部２００に対して固定部材２３０の方向の力を加えつつ、載置部２００に対して重力方向における上方に向かう力を加えるように載置部２００を支持している。
【００３５】
また、板バネ部材３１０は、２つの変曲点である変曲点３１０ａ、変曲点３１０ｂのうちの載置部２００に対して装着されている側の端部３１０ｃに最も近い変曲点である変曲点３１０ａよりも変更機構５００に対して装着されている側の端部３１０ｅに近い部分である後端部分３１０ｆが通常のバネとして、すなわち変形に応じて反力を発生させる部材として用いられている。
【００３６】
以上のように構成された防振装置１０においては、操作者が変更機構５００を操作することにより、矢印ｂ方向へと移動部材５１０を移動させることができ、移動部材５１０を移動させることで板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される位置を変更することができる。
【００３７】
また、以上のように構成された変更機構５００においては、操作者が螺子部材５３０を操作することにより、板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される角度θを変更することができる。すなわち、螺子部材５３０を操作することにより螺子部材５３０を装着板５０４に対してｃ１方向（図２を参照）に移動させることで、装着板５０４と板バネ部材３１０とを矢印ａ１方向（図２を参照）に回転させることができ、角度θを小さくすることができる。一方、螺子部材５３０を装着板５０４に対してｃ２方向（図２を参照）に移動させることで、装着板５０４と板バネ部材３１０とを矢印ａ２（図２を参照）方向に回転させることができ、角度θを大きくすることができる。
【００３８】
防振装置１０においては、板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される位置及び板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される角度θの少なくともいずれか一方を変更することで、板バネ部材３１０に変曲点３１０ａ、３１０ｂが生じる位置を変更することができる。そして、板バネ部材３１０の変曲点３１０ａの位置を変更することで板バネ部材３１０の先端部分３１０ｄの長さと後端部分３１０ｆの長さとを変更することができる。そして、板バネ部材３１０の先端部分３１０ｄの長さと後端部分３１０ｆの長さとを変更することにより、板バネ部材３１０が矢印ｄ方向へと載置部２００を押し上げる力を調整することができる。
【００３９】
以上のように、防振装置１０においては、板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される位置及び板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される角度θの少なくともいずれか一方を変更することで板バネ部材３１０が矢印ｄ方向へと載置部２００を押し上げる力を調整することができるため、重量が一定の範囲内にある防振対象物９００に対して、板バネ部材３１０を強さが異なる他の板バネ部材に交換することなく同じ板バネ部材３１０を用いることができる。
【００４０】
また、防振装置１０においては、板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される位置及び板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される角度θの少なくともいずれか一方を変更することで、防振対象物９００に振動が伝達される際の振動伝達率を変更することができる。
【００４１】
図４は、防振装置１０の効果を示し、図４（ａ）は、板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される角度θをθ１と定めた場合の振動伝達率の測定結果を示すグラフであり、図４（ｂ）は、θをθ１とは異なる角度であるθ２に定めた場合の振動伝達率の測定結果を示すグラブである。図４（ａ）及び図４（ｂ）において、横軸は設置面９２０の垂直方向における振動の周波数を示していて、縦軸は、設置面９２０の垂直方向における振動に対する防振対象物９００の垂直方向における振動の比を示している。より具体的には、縦軸は、
振動伝達率（ｄＢ）＝２０×Ｌｏｇ１０（防振対象物９００の振動／設置面９２０の振動）
を示している。
【００４２】
図４（ａ）と図４（ｂ）とを比較すると、防振装置１０においては、板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される角度θを変更することで、防振対象物９００への振動伝達率を変更することができることが分かる。
【００４３】
測定の結果、振動伝達率が最大となる設置面９２０の周波数である固有振動数ｆ０は、θがθ１である場合、２．３７５（Ｈｚ）であり、θがθ２である場合、０．２５（Ｈｚ）であった。ここで、固有振動数ｆ０は、数値が小さいほど低い周波数の振動の伝達を抑制していること意味し、数値が小さいほど振動を抑制する効果が大きいことを意味する。
【００４４】
図５には、板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される角度θを変化させ、それぞれのθにおける固有振動数ｆ０を測定した測定結果が示されている。
【００４５】
図６は、防振装置１０の効果を示し、図６（ａ）は、板バネ部材３１０を基準とする位置から距離ｄ１移動させた場合の振動伝達率の測定結果を示すグラフであり、図６（ｂ）は、板バネ部材３１０を基準とする位置から距離ｄ２移動させた場合の振動伝達率の測定結果を示すグラフである。図６（ａ）及び図６（ｂ）において、横軸は設置面９２０の垂直方向における振動の周波数を示していて、縦軸は、設置面９２０の垂直方向における振動に対する防振対象物９００の垂直方向における振動の比を示している。より具体的には、縦軸は、
振動伝達率（ｄＢ）＝２０×Ｌｏｇ１０（防振対象物９００の振動／設置面９２０の振動）
を示している。
【００４６】
図６（ａ）と図６（ｂ）とを比較すると、防振装置１０においては、板バネ部材３１０が支持部１００に対して装着される位置を変更することで、防振対象物９００への振動伝達率を変更することができることが分かる。
【００４７】
測定の結果、固有振動数ｆ０は、板バネ部材３１０を基準とする位置から距離ｄ１移動させた場合、１．３７５（Ｈｚ）であり、板バネ部材３１０を基準とする位置から距離ｄ２移動させた場合、０．２５（Ｈｚ）であった。
【００４８】
図７には、板バネ部材３１０の基準となる位置からの距離ｄを変化させ、それぞれの距離ｄにおける固有振動数ｆ０を測定した測定結果が示されている。
【００４９】
次に本発明の第２の実施形態に係る防振装置１０を説明する。図８には、本発明の第２の実施形態に係る防振装置が示されている。本発明の第２の実施形態に係る防振装置１０は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同様に、支持部１００と、載置部２００と、連結機構３００と、脚部材４０２と、変更機構５００とを有する。
【００５０】
第２の実施形態に係る防振装置１０においては、支持部１００は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同様に、底板１０２と、天板１０４と、例えば４個の柱部材１１０とを有するものの、第１の実施形態に係る防振装置１０において形成されていた貫通孔１０６（図１を参照）は、天板１０４に形成されていない。一方、第２の実施形態に係る防振装置１０は、板バネ部材３１０の一端部側が装着される装着部材１２０と、装着部材１２０を天板１０４に対して固定するための固定部材１３０とを有する。
【００５１】
装着部材１２０は、例えば板状の部材であり、天板１０４の重力方向における下側に配置されている。固定部材１３０は、例えば棒状の部材であって、後述する貫通孔２０６を貫通するように配置されていて、上端部側が天板１０４の下側の面に対して固定されていて、下端部側が装着部材１２０に対して固定されている。
【００５２】
脚部材４０２は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同等であるため説明を省略する。
【００５３】
載置部２００は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同様に、底板２０２と、天板２０４と、例えば４個の柱部材２１０とを有するものの、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０が有していた装着部材２２０及び固定部材２３０（それぞれ図１を参照）を有しない。一方、この第２の実施形態に係る防振装置１０においては、天板２０４に貫通孔２０６が形成されている。
【００５４】
連結機構３００は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同様に、例えば２つの板バネ部材３１０を有する。２つの板バネ部材３１０は、それぞれが、端部３１０ｃ側が支持部１００の装着部材１２０にそれぞれに装着されていて、端部３１０ｅ側が変更機構５００を介して載置部２００の天板２０４にそれぞれに装着されている。この実施形態第２の実施形態においても、連結機構３００は少なくとも２つの板バネ部材３１０を有すればよく、連結機構３００は、３個以上の板バネ部材３１０を有するものであってもよい。
【００５５】
変更機構５００は、この第２の実施形態においては、板バネ部材３１０が載置部２００の天板２０４の下向きの面装着される位置を変更する位置変更機構として用いられているとともに、板バネ部材３１０が載置部２００の天板２０４の下向きの面装着される角度θ（図９を参照）を変更する角度変更機構として用いられている。
【００５６】
変更機構５００の部品構成は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０が有する変更機構５００と同等である。すなわち、変更機構５００は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同様に、装着板５０４、ヒンジ５１２、移動部材５１０、レール部材５２０及び螺子部材５３０（それぞれ図２を参照）を有する。レール部材５２０は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０においては、天板１０４の上向きの面に固定されていたものの、この第２の実施形態に係る防振装置１０においては、天板２０４の下側の面に固定されている。
【００５７】
図９には、板バネ部材３１０が拡大して示されている。板バネ部材３１０は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同様に、２つの変曲点３１０ａ、変曲点３１０ｂを持つようにそれぞれが湾曲している。また、板バネ部材３１０は、２つの変曲点である変曲点３１０ａ、変曲点３１０ｂのうちの支持部１００に対して装着されている側の端部３１０ｃに最も近い変曲点である変曲点３１０ａよりも端部３１０ｃに近い部分である先端部分３１０ｄが、板バネ部材３１０の厚さ方向と交わる方向である矢印ｅ方向へと載置部２００を押し上げるように載置部２００を支持している。即ち、先端部分３１０ｄは、載置部２００に対して固定部材１３０の方向の力を加えつつ、載置部２００に対して重力方向における上方に向かう力を加えるように載置部２００を支持している。
【００５８】
また、板バネ部材３１０は、２つの変曲点である変曲点３１０ａ、変曲点３１０ｂのうちの支持部１００に対して装着されている側の端部３１０ｃに最も近い変曲点である変曲点３１０ａよりも変更機構５００に対して装着されている側の端部３１０ｅに近い部分である後端部分３１０ｆが通常のバネとして、すなわち変形に応じて反力を発生させる部材として用いられている。
【００５９】
以上のように構成された第２の実施形態に係る防振装置１０においては、操作者が変更機構５００を操作することにより、板バネ部材３１０が載置部２００に対して装着される位置を変更することができ、板バネ部材３１０が載置部２００装着される角度θを変更することができる。そして、この第２の実施形態に係る防振装置１０においては、板バネ部材３１０が載置部２００に対して装着される位置及び板バネ部材３１０が載置部２００に対して装着される角度θの少なくともいずれか一方を変更することで、板バネ部材３１０に変曲点３１０ａ、３１０ｂが生じる位置を変更することができる。
【００６０】
そして、板バネ部材３１０の変曲点３１０ａの位置を変更することで板バネ部材３１０の先端部分３１０ｄの長さと後端部分３１０ｆの長さとを変更することができ、板バネ部材３１０の先端部分３１０ｄの長さと後端部分３１０ｆの長さとを変更することにより、板バネ部材３１０が矢印ｅ方向へと載置部２００を上方へ押し上げる力を調整することができる。
【００６１】
次に、本発明の第３の実施形態に係る防振装置１０を説明する。図１０には、本発明の第３の実施形態に係る防振装置１０が示されている。本発明の第３の実施形態に係る防振装置１０は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同様に、支持部１００と、載置部２００と、連結機構３００と、脚部材４０２と、変更機構５００とを有する。
【００６２】
支持部１００は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同等であるため、支持部１００の説明を省略する。
【００６３】
脚部材４０２は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同等であるため、脚部材４０２の説明を省略する。
【００６４】
載置部２００は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同様に、底板２０２と、天板２０４と、例えば４個の柱部材２１０とを有するものの、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０が有していた装着部材２２０及び固定部材２３０（それぞれ図１を参照）を有しない。一方、この第３の実施形態に係る防振装置１０においては、天板２０４に貫通孔２０６が形成されている。
【００６５】
連結機構３００は、載置部２００を吊架する吊架部３８０と、第１の弾性体として用いられている例えば２つの第１板バネ部材３２０と、第２の弾性体として用いられている例えば２つの第２板バネ部材３３０とを有する。
【００６６】
吊架部３８０は、第１板バネ部材３１０が装着される第１装着部材３８２と、第２板バネ部材３３０が装着される第２装着部材３８４と、第１装着部材３８２と第２装着部材３８４とを連結する連結部材３８６とを有する。第１装着部材３８２は、例えば板状の部材であって、天板１０４の上方であって、貫通孔１０６の上方に配置されている。第２装着部材３８４は、例えば板状の部材であって、天板２０４の下方であって、貫通孔２０６の下方に配置されている。連結部材３８６は、例えば棒状の部材であって、貫通孔１０６及び貫通孔２０６を貫通するように配置されていて、端部側が第１の装着部材３８２に対して固定されていて、他端部側が第２の装着部材３８４に対して装着されている。
【００６７】
第１板バネ部材３２０は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０が有する板バネ部材３１０と略同等の構成である。即ち、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０が有する板バネ部材３１０は端部３１０ｃが装着部材２２０に装着されていた（図３を参照）のに対して、第１板バネ部材３２０は、端部３２０ｃが装着部材３８２に装着されているとの違いがあるものの、他の部分は、第１板バネ部材３２０は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０が有する板バネ部材３１０と同等である。
【００６８】
より具体的には、第１板バネ部材３２０は、第１の実施形態に係る防振装置１０が有する板バネ部材３１０と同様に、他端部３２０ｅ側が変更機構５００を介して支持部１００に装着されていて、例えば２つ等の少なくとも２つの変曲点を持つように湾曲していて、変更機構５００が操作されることによって支持部１００に対して装着される位置が変更され、変更機構５００が操作されることによって支持部１００に対して装着される角度が変更される。
【００６９】
第２板バネ部材３３０は、先述の第２の実施形態に係る防振装置１０が有する板バネ部材３１０と略同等の構成である。即ち、先述の第２の実施形態に係る防振装置１０が有する板バネ部材３１０は端部３１０ｃが装着部材１２０に装着されていた（図９を参照）のに対して、第２板バネ部材３３０は、端部３３０ｃが装着部材３８４に装着されているとの違いがあるものの、他の部分は、第２の板バネ部材３３０は、先述の第２の実施形態に係る防振装置１０が有する板バネ部材３１０と同等である。
【００７０】
より具体的には、第２板バネ部材３３０は、第２の実施形態に係る防振装置１０が有する板バネ部材３１０と同様に、他端部３２０ｅ側が変更機構５００を介して載置部２００の天板２０４に装着されていて、例えば２つ等の少なくとも２つの変曲点を持つように湾曲していて、変更機構５００が操作されることによって載置部２００に対して装着される位置が変更され、変更機構５００が操作されることによって載置部２００に対して装着される角度が変更される。
【００７１】
次に、本発明の第４の実施形態に係る防振装置１０を説明する。図１１には、本発明の第４の実施形態に係る防振装置１０が示されている。先述の第１の実施形態に係る防振装置１０においては、載置部２００を支持する支持部１００は、脚部材４０２を介して設置面９２０に設置されていた（図１を参照）。これに対し、この第４の実施形態においては、載置部２００を支持する第１支持部１００が、さらに第２支持部６００により支持されていて、第２支持部６００が脚部材４０２を介して設置面９２０に設置されている。
【００７２】
また、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０においては、連結機構３００によって載置部２００と支持部１００とが連結されていた（図１を参照）。これに対し、この第４の実施形態においては、第１連結機構３００によって載置部２００と第１支持部１００とが連結されているとともに、第２連結機構７００によって、第１支持部１００と第２支持部６００とが連結されている。
【００７３】
載置部２００は、先述の第１の実施形態における載置部２００と同等である。このため、載置部２００の説明を省略する。
【００７４】
第１支持部１００は、載置部２００を支持する第１の支持部として用いられていて、底板１０２と、天板１０４とを有し、底板１０２と天板１０４とが例えば４個（図１１においては２個を図示）の柱部材１１０によって連結されることで枠体が形成されている。また、底板１０２の例えば中央部には、貫通孔１０６が形成されている。
【００７５】
また、第１支持部１００は、後述する第２板バネ部材７１０の端部７１０ｃが装着される装着部材１２０と、装着部材１２０を天板１０４に対して固定するための固定部材１３０とを有する。装着部材１２０は、例えば板状の部材であり、後述する天板６０４の重力方向における上方であって、後述する貫通孔６０６の重力方向における上方に配置されている。固定部材１３０は、例えば棒状の部材であって、貫通孔６０６を貫通するように配置されていて、下端部側が天板１０４に対して固定されていて、上端部側が装着部材１２０に対して固定されている。
【００７６】
第２支持部６００は、第１支持部１００を支持する構造物であり、底板６０２と、天板６０４とを有し、底板６０２と天板６０４とが例えば４個（図１１においては２個を図示）の柱部材６１０によって連結されることで枠体を形成している。天板６０４の例えば中央部には、貫通孔６０６が形成されている。
【００７７】
脚部材４０２は、先述の第１の実施形態に係る脚部材４０２と同等である。このため、脚部材４０２の説明を省略する。
【００７８】
第１連結機構３００の構成は、先述の第１の実施形態における連結機構３００と略同等である。すなわち、第１連結機構３００は、少なくとも２つの第１の弾性体として用いられている例えば２つの第１板バネ部材３１０を有し、２つの第１板バネ部材３１０は、それぞれが、端部３１０ｃ側が載置部２００に装着されていて、端部３１０ｅ側が第１支持部１００に装着されている。より具体的には、２つの第１板バネ部材３１０は、端部３１０ｃ側が載置部２００の装着部材２２０にそれぞれに装着されていて、端部３１０ｅ側が変更機構５００を介して第１支持部１００の底板１０２の上向きの面にそれぞれに装着されている。変更機構５００は、第１の実施形態における変更機構５００と同等であるため説明を省略する。
【００７９】
第１板バネ部材３１０は、第１の実施形態における板バネ部材３１０と同様に、例えば２つ等の少なくとも２つの変曲点を持つように湾曲している。
【００８０】
第２連結機構７００は、第１支持部１００と第２支持部６００とを連結する機構であり、少なくとも２つの第２の弾性体として用いられている例えば２つの第２板バネ部材７１０を有する。２つの第２板バネ部材７１０は、それぞれが、端部７１０ｃ側が第１支持部１００に装着されていて、端部７１０ｅ側が第２支持部６００に装着されている。より具体的には、２つの第２板バネ部材７１０は、端部７１０ｃ側が第１支持部１００の装着部材１２０にそれぞれに装着されていて、端部７１０ｅ側が変更機構５００を介して第２支持部６００の天板６０４の上向きの面にそれぞれに装着されている。変更機構５００は、第１の実施形態における変更機構５００と同等であるため説明を省略する。
【００８１】
第２板バネ部材７１０は、第１の実施形態における板バネ部材３１０と同様に、例えば２つ等の少なくとも２つの変曲点を持つように湾曲している。
【００８２】
図１２には、先述の第４の実施形態に係る防振装置１０の変形例が示されている。先述の第４の実施形態に係る防振装置１０は、第１板バネ部材３１０が載置部２００に対して加える力と、第２板バネ部材７１０が第１支持部１００に対して加える力とは、水平方向において同じ方向であった。これに対して、この変形例においては、第１板バネ部材３１０が載置部２００に対して加える力Ｆ１と、第２板バネ部材７１０が第１支持部１００に対して加える力Ｆ２とは、図１２に示すように、水平面方向において互いに向きが異なっている。
【００８３】
図１３には、板バネ部材３１０に替えて、弾性体として用いることができる弾性構造体３４０が示されている。弾性構造体３４０は、例えば５個等の複数の棒状の弾性体３４２を有し、これらの棒状の弾性体３４２は、一端部が支持部材３４４に固定されることにより支持され、他端部が支持部材３４６に固定されることにより支持されている。
【００８４】
板バネ部材３１０に替えて弾性構造体３４０を用いることができることと同様に、第１板バネ部材３２０（図１０を参照）に替えて弾性構造体３４０を用いることができ、第２板バネ部材３３０（図１０を参照）に替えて弾性構造体３４０を用いることができる。また、第１板バネ部材３１０（図１１を参照）に替えて弾性構造体３４０を用いることができ、第２板バネ部材７１０（図１１を参照）に替えて弾性構造体３４０を用いることができる。
【００８５】
図１４には、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０の変形例が示されている。先述の第１の実施形態に係る防振装置１０は、弾性体として用いられている板バネ部材３１０を２つ有していた。これに対し、この変形例は、板バネ部材３１０を５つ有している。５つの板バネ部材３１０は、載置部２００に対して加える力が水平面方向で釣り合うように配置されている。例えば、５つの板バネ部材３１０の強さが全て同じ場合、互いに隣り合う２つの板バネ部材３１０の間の角度が全て同じとなるように５つの板バネ部材３１０が配置されている。
【００８６】
第１の実施形態に係る防振装置１０の変形例として防振装置１０に板バネ部材３１０を５つ設けることと同様に、第２の実施形態に係る防振装置１０の変形例として、防振装置１０に板バネ部材３１０を５つ設けるようにすることもできる。また、第３の実施形態に係る防振装置１０の変形例として、防振装置１０に第１板バネ部材３２０を５つ設けることができ、防振装置１０に第２板バネ部材３３０を５つ設けることができる。また、第４の実施形態に係る防振装置１０の変形例として、防振装置１０に第１板バネ部材３１０を５つ設けることができ、第２板バネ部材７１０を５つ設けることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８７】
以上で述べたように、本発明は、防振装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００８８】
１０・・・防振装置
１００・・・支持部、第１支持部
２００・・・載置部
３００・・・連結機構、第１連結機構
３１０・・・板バネ部材、第１板バネ部材
３１０ａ、３１０ｂ・・・変曲点
３２０・・・第１板バネ部材
３３０・・・第２板バネ部材
３８０・・・吊架部
５００・・・変更機構
６００・・・第２支持部
７００・・・第２連結機構
７１０・・・第２板バネ部材
９００・・・防振対象物
【図１】
0006478403.tif 000002
【図２】
0006478403.tif 000003
【図３】
0006478403.tif 000004
【図４】
0006478403.tif 000005
【図５】
0006478403.tif 000006
【図６】
0006478403.tif 000007
【図７】
0006478403.tif 000008
【図８】
0006478403.tif 000009
【図９】
0006478403.tif 000010
【図１０】
0006478403.tif 000011
【図１１】
0006478403.tif 000012
【図１２】
0006478403.tif 000013
【図１３】
0006478403.tif 000014
【図１４】
0006478403.tif 000015