(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置を制御するコントローラに対し、温度データを送信する温度計システムであって、
温度を検出する複数の温度センサと、
前記コントローラに温度データを送信する複数の温度計ユニットとを備え、
複数の前記温度センサは、複数の前記温度計ユニットのいずれかに接続され、
複数の前記温度計ユニットは、共通の規格を有し、相互に入れ換えて取り付けることが可能に構成されている
ことを特徴とする温度計システム。
【請求項２】
請求項１に記載の温度計システムを備え、測定物の形状を測定する形状測定装置であって、
予め記憶された駆動プログラムにより各軸の駆動を制御する駆動制御部と、
前記各軸の位置データを取得するとともに、取得した位置データに基づいて前記測定物の形状データを取得する測定部と、
前記温度計システムから送信された温度データに応じて、前記駆動プログラムおよび前記形状データの少なくとも一方を補正する温度補正部とを備える
ことを特徴とする形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度計システムおよび形状測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、形状測定装置において、装置自身の熱膨張や測定物の熱膨張の影響を回避するために、温度計システムにより検出した温度データを用いた補正を行う温度補正処理が知られている（例えば特許文献１）。
特許文献１に記載の形状測定装置である一次元測定機は、測定物に粘土や磁石により取り付けられた温度センサからの温度データを取得する温度計システムを備える。また、特許文献１に記載の発明は、温度計システムにより取得した測定物の温度に基づいて測定値を補正し、それにより、測定物の温度が基準温度であったならば得られたであろう測定物の寸法を算出する。
【０００３】
特許文献２に記載の形状測定装置である三次元測定機は、ベース面に対して垂直なＺ軸に沿って立設された２つのビーム支持体と、−Ｚ側の端部にプローブが取り付けられＺ軸方向にスライドするスピンドルとの温度を取得する温度計システムを備える。また、特許文献２に記載の発明は、温度計システムにより取得した三次元測定機の各部の温度と各可動部のスライド位置とに応じて、熱膨張に起因する三次元測定機の各部のＺ方向シフト量を算出する。
【０００４】
Ｚ方向のシフト量を用いた補正方法として、三次元測定機の測定データの値を補正する方法と、プローブの停止位置や押し付け量などを変更するように駆動プログラムを補正して実際の測定データを変化させる方法とが知られている。これらはいずれも、温度データが基準温度であったならば得られたはずの測定値を得るための補正方法である。したがって、温度計システムにより得られた温度データが基準温度に一致するときには補正量がゼロになる。
【０００５】
また、形状測定装置は、各種の制御を行うコントローラを備えている。コントローラは、温度計システムによる温度データの取得の他、駆動部を制御する駆動制御部や、プローブを動かして得られた座標データから測定物の寸法・形状を算出する測定部を有している。コントローラに送信されるデータは、予め割り付けられたアドレスに送信される。温度計システムは、形状測定装置の各部に設けられた複数の温度センサの全てを、１つの温度計ユニットにまとめて接続し、各温度センサから得た全温度データを、コントローラの温度データ用のアドレスに送信する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２２８４３４号公報
【特許文献２】特開２０１２−５３０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上述の構成の温度計システムでは、１つの形状測定装置に１つの大きな温度計ユニットが設けられており、全ての温度センサが、その１つの温度計ユニットにまとめて接続されていた。また、温度計ユニットは、接続可能な温度センサの数が多いほど、筐体のサイズが大きくなっていた。このため、１つの温度センサが故障した場合でも、全ての温度センサが接続された大きな温度計ユニットを備える温度計システム全体を、形状測定装置から外して交換・修理する必要があった。その際、温度センサは形状測定装置の内部で配線されているため、温度計システムを形状測定装置から外すのに１〜２日を要していた。
また、温度センサと温度計ユニットとは組み合わせた状態で校正するので、１つだけセンサが故障した場合であっても、全センサを再校正する必要があり、校正のために多くの時間を要していた。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、修理や校正を容易に行うことができ、管理に要する時間とコストとを抑制できる温度計システムおよび形状測定装置を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の温度計システムは、装置を制御するコントローラに対し、温度データを送信する温度計システムであって、温度を検出する複数の温度センサと、前記コントローラに温度データを送信する複数の温度計ユニットとを備え、複数の前記温度センサは、複数の前記温度計ユニットのいずれかに接続され、複数の前記温度計ユニットは、共通の規格を有し、相互に入れ換えて取り付けることが可能に構成されていることを特徴とする。
【００１０】
従来は、装置に１つのコントローラが設けられ、その１つのコントローラに対して１つの温度計ユニットが設けられていた。そして、温度計ユニットには、全ての温度センサが接続されていた。
これに対し、本発明では、１つのコントローラに対して複数の温度計ユニットが設けられており、温度センサは、複数の温度計ユニットのいずれかに接続されている。このため、仮に１つの温度センサが故障した場合でも、その温度センサが接続された温度計ユニットのみを取り外して修理すればよい。つまり、その他の温度計ユニットおよびそれに接続された温度センサは交換する必要がない。さらに、１つの温度計ユニットに接続されている温度センサの数が少ないので、個々の温度計ユニットのサイズは小さくなっている。
これらにより、大きな温度計ユニットと、それに接続された全ての温度センサを取り外さなくてはならなかった従来の温度計システムと比較して、温度計ユニットの脱着を容易に行うことができる。
また、修理後においては、修理した温度計ユニットとそれに接続された温度センサのみを校正すればよいので、全ての校正が必要であった従来の温度計システムと比較して校正が容易であり、修理に伴う温度計システムの停止期間を短くすることができる。
このように、本発明の温度計システムは、修理や校正を容易に行うことができ、管理に要する時間とコストとを抑制することができる
【００１２】
複数の前記温度計ユニットは、共通の規格を有するので、予備として温度計システムに設けられたのと同数の温度計ユニットを用意しなくても、最低限の個数の温度計ユニットを用意しておけば、どの温度計ユニットが故障しても予備の温度計ユニットと交換することが可能である。それにより、温度計システムの保守管理に要するコストを抑制することができる。
【００１３】
本発明の形状測定装置は、上述した温度計システムを備え、測定物の形状を測定する形状測定装置であって、予め記憶された駆動プログラムにより各軸の駆動を制御する駆動制御部と、前記各軸の位置データを取得するとともに、取得した位置データに基づいて前記測定物の形状データを取得する測定部と、前記温度計システムから送信された温度データに応じて、前記駆動プログラムおよび前記形状データの少なくとも一方を補正する温度補正部とを備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明では、上述した温度計システムと同様の作用効果を奏することができる。
また、上述した温度計システムを形状測定装置が備えることで、駆動制御部の駆動プログラムおよび測定物の形状データの少なくとも一方を補正する温度補正処理を適切に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る温度計システムを適用した三次元測定機の斜視図。
【図２】温度計システムのブロック図。
【図３】温度計システムの送信処理を示すフローチャート。
【図４】温度計システムの受信処理を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
〔三次元測定機の概略構成〕
以下、本発明に係る実施形態について、図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る形状測定装置である三次元測定機１の概略構成を示す斜視図である。
【００１７】
理解を容易にするために、互いに直交する３方向を、それぞれ「Ｘ方向」「Ｙ方向」「Ｚ方向」と定義し、適宜参照しながら説明する。「Ｘ方向」は三次元測定機１の左右方向であり、矢印側を右側とする。「Ｙ方向」は三次元測定機１の前後方向であり、矢印側を前側とする。「Ｚ方向」は三次元測定機１の上下方向であり、矢印側を上側とする。
【００１８】
三次元測定機１は、一定の範囲内で移動可能に構成され、測定物Ｗの表面に当接される接触子としての測定子２Ａを先端側（−Ｚ側）に有するプローブ２と、プローブ２の基端側（＋Ｚ側）を保持するとともに、プローブ２を移動させる移動機構３と、移動機構３が立設される定盤４とを備える。この三次元測定機１は、測定子２Ａを測定物Ｗに押し込んだ状態で測定物Ｗの表面に倣って測定子２Ａを移動させることによって測定物Ｗを測定する測定機である。
【００１９】
移動機構３は、定盤４におけるＸ軸方向の両端から＋Ｚ方向に延出するＹ軸方向にスライド可能な２つのビーム支持体３１Ａ，３１Ｂと、ビーム支持体３１Ａ，３１Ｂにて支持されＸ軸方向に沿って延出するビーム３２と、ビーム３２上をＸ軸方向に沿ってスライド移動可能なコラム３３と、コラム３３の内部をＺ軸方向に沿ってスライド可能なスピンドル３４とを備える。
このように、移動機構３は、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各軸方向にプローブ２を移動させる複数の移動軸を備えている。そして、スピンドル３４は、−Ｚ軸方向側の端部においてプローブ２の基端側を保持している。
【００２０】
コントローラ１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等からなるマイクロコンピュータで構成されている。コントローラ１０には、電源回路、入力操作部およびモータドライバ等（いずれも図示せず）が接続されている。モータドライバには、三次元測定機１を駆動するための複数のモータが接続されている。コントローラ１０は、入力操作部からの信号等に基づき、ＲＯＭに記憶された制御プログラムに従い、三次元測定機１の全体を制御する。具体的には、三次元測定機１の駆動制御は、コントローラ１０の駆動制御部１０Ａ（図２参照）において行われ、測定物Ｗの形状データを取得する測定制御は測定部１０Ｂ（図２参照）において行われる。
【００２１】
さらに、コントローラ１０は、温度補正部１０Ｃ（図２参照）を有する。温度補正部１０Ｃは、ＲＯＭに記憶された制御プログラムに従い、後述する温度補正処理を実行する。
【００２２】
また、三次元測定機１は、温度計システム１１を備えている。温度計システム１１の構成の詳細を、図２のブロック図を参照して説明する。温度計システム１１は、コントローラ１０の機能の一部を用いて制御され、前述した温度補正部１０Ｃに対して温度補正処理に必要な温度データを供給する。
【００２３】
温度計システム１１は、コントローラ１０に接続された４つの温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄと、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄのいずれかに接続された計８つの温度センサ１３とを備えている。温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄは、共通の規格を有し、相互に入れ換えて取り付けることが可能に構成されている。
【００２４】
温度センサ１３の検出部は、三次元測定機１の各部分、具体的には、図１に示すように、ビーム支持体３１Ａ，３１Ｂ、コラム３３およびスピンドル３４に取り付けられており、測定物Ｗにも粘土や磁石等で温度センサ１３の検出部が取り付けられている。測定物Ｗに取り付けられる温度センサ１３の検出部（ワークセンサ）は、測定の邪魔にならない位置（例えば内部）に取り付けられている。
【００２５】
具体的な位置は図示していないが、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄは、温度センサ１３の検出部からの配線を短くできるように、接続された温度センサ１３の検出部の近くにそれぞれ配置されている。例えば、ビーム支持体３１Ａに取り付けられたセンサ１３が接続された温度計ユニット１２Ａは、ビーム支持体３１Ａに設けられている。測定物Ｗに取り付けられる温度センサ１３に対応する温度計ユニット１２Ｄは、測定物Ｗのセット位置の近くに配置されている。これは、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄを複数にしたことで可能になったことである。温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄをこのように配置することにより、温度計ユニットが１つだった従来の場合と比較して、配線を短くすることができ、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄおよび温度センサ１３の脱着が容易になっている。
【００２６】
図２に示すように、最もコントローラ１０寄り（上流側）に配置された温度計ユニット１２Ａは、通信ケーブル１４によりコントローラ１０に接続されている。温度計ユニット１２Ａの下流側には、温度計ユニット１２Ｂ〜１２Ｄが、通信ケーブル１４を介して直列に接続されている。温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄとコントローラ１０との通信は、例えばアークネット通信により行われる。温度センサ１３は、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄの下流側に２つずつ接続されている。
【００２７】
［温度補正処理の説明］
温度補正部１０Ｃは、三次元測定機１の製造時に予め測定した、基準温度（例えば２０℃）における位置基準データや、ビーム支持体３１Ａ，３１Ｂ、コラム３３およびスピンドル３４の熱膨張係数、ならびに各種測定物Ｗの熱膨張係数等を記憶している。位置基準データとしては、例えば基準温度における定盤４の上面からの垂直距離が用いられる。また、温度補正部１０Ｃには、熱膨張に伴う位置基準データのシフトを補正するための補正プログラムが記憶されている。
【００２８】
温度補正部１０Ｃは、温度計システム１１が取得した温度データを用いて、例えば、ビーム支持体３１Ａ，３１Ｂ、コラム３３およびスピンドル３４の平均温度ＴＥと、測定物Ｗの平均温度ＴＷとをそれぞれ算出するとともに、これらの平均温度ＴＥ，ＴＷと基準温度との温度差ΔＴＥ，ΔＴＷをそれぞれ算出する。次に、算出した温度差ΔＴＥ，ΔＴＷを用い、補正プログラムによって、熱膨張に伴う位置基準データのシフト量ΔＳＥ、および測定物Ｗの寸法シフト量ΔＳＷをそれぞれ算出する。そして、位置基準データのシフト量ΔＳＥおよび測定物Ｗの寸法シフト量ΔＳＷに応じて、測定物Ｗの実寸寸法を補正して、基準温度における測定物Ｗの寸法を算出する。
【００２９】
なお、コラム３３およびスピンドル３４の平均温度ＴＥは、相加平均値でなくてもよく、標準偏差を用いて異常値を排除した値（例えば、中央値やトリム平均値）でもよい。また、温度データの勾配が大きい場合には、温度計システム１１が取得した温度データに基づいて近似直線または近似曲線を引き、その直線上または曲線上の値を、熱膨張に伴う位置基準データのシフト量ΔＳＥおよび測定物Ｗの寸法シフト量ΔＳＷとしてもよい。
【００３０】
本実施形態では、上述のように、温度計システム１１が取得した温度データを用い、測定物Ｗの実寸寸法を補正することにより、基準温度における測定物Ｗの寸法を取得する。
しかし、基準温度における測定物Ｗの寸法を取得する別の方法として、温度計システム１１が取得した温度データを用い、三次元測定機１の測定動作（例えば、測定動作における各駆動部の停止位置の変更）に補正を加えることにより、基準温度における測定物Ｗの寸法を取得する方法もある。
【００３１】
［送信処理の説明］
次に、図３のフローチャートを参照しながら、コントローラ１０の温度計システム１１において行われる送信処理について説明する。この送信処理は、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄからコントローラ１０に温度データを送信させる処理であり、所定時間（例えば１ｓｅｃ）ごとに実行される。
【００３２】
本処理ではまず、ステップＳ１において、前回分の温度データの受信が正常であったか否かを判別する。具体的には、前回の受信処理において、異常を表すエラーフラグＦ＿ＥＲＲ（この後説明する図４のステップＳ１４参照）が「１」にセットされた状態で終了したか否かを判別する。この答えがＮＯで、エラーフラグＦ＿ＥＲＲが「０」にセットされているときには、前回分の温度データの受信が正常に終了しているため、ステップＳ３において、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄからコントローラ１０への温度データの送信を実行する。
【００３３】
一方、エラーフラグＦ＿ＥＲＲが「１」にセットされているときには、前回分の温度データの受信が異常であったため、ステップＳ２に進み、エラーフラグＦ＿ＥＲＲを「１」に維持したまま、本処理を終了する。コントローラ１０は、エラーフラグＦ＿ＥＲＲが「１」にセットされているときには、図示しない異常報知処理により、表示または発報を行い、三次元測定機１の操作者に温度計システム１１に異常が発生したことを報知する。エラーフラグＦ＿ＥＲＲは、異常が解消されたときに「０」にリセットされる。
【００３４】
次に、ステップＳ４において、送信エラーが発生していないか否かを判別する。この判別は、温度計システム１１の内部的なステイタスが立っているか否かによって行われ、その結果は、温度データの送信直後に判明する。この答えがＹＥＳで、送信エラーが発生していないときには、温度データの送信が正常に終了したとして、本処理を終了する。一方、ステップＳ４の答えがＮＯで、送信エラーが発生しているときには、前記ステップＳ２に進み、エラーフラグＦ＿ＥＲＲを「１」にセットし、本処理を終了する。
【００３５】
［受信処理の説明］
次に、図４のフローチャートを参照しながら、温度計システム１１の受信処理について説明する。この受信処理は、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄから送信された温度データをコントローラ１０が受信する処理であり、所定時間（例えば２ｍｓｅｃ）ごとに実行される。コントローラ１０は、温度データ以外にも各種データを受信するので、このような早い処理サイクルになっている。
【００３６】
本処理ではまず、ステップＳ１１において、温度データの通信を行うネットワークが構築されているか否かを判別する。この答えがＹＥＳのときには、通信が可能な状態であるとして、下記ステップＳ１２以降の処理を実行する。一方、この答えがＮＯのときには、そのまま本処理を終了する。この場合には、ネットワークが構築されるのを待つことになる。図示しないが、ステップＳ１１の判別を所定回数（所定時間）繰り返してもネットワークがまだ構築されないときには、コントローラ１０は、表示または発報により、その旨を三次元測定機１の操作者に知らせる。
【００３７】
ステップＳ１１の答えがＹＥＳの時に実行されるステップＳ１２では、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄから温度データの受信を行い、ステップＳ１３以降において受信した温度データの点検を行う。
【００３８】
まず、ステップＳ１３において、コントローラ１０に接続されている温度計ユニット１２Ａ〜１２ＤのＩＤがコントローラ１０に割り振られたＩＤと合致するか否かを判別する。具体的には、前述の受信処理において、コントローラ１０から温度データの送信許可を送ったＩＤと温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄから温度データの送信があったＩＤとが合致しているか否かを判別する。この答えがＮＯで、ＩＤが合致していないときには、ネットワーク内の経路が正しく構築されていないおそれがあるとして、ステップＳ１４に進み、エラーフラグＦ＿ＥＲＲを「１」にセットし、本処理を終了する。
【００３９】
ステップＳ１３の答えがＹＥＳで、ＩＤが合致しているときには、ステップＳ１５において、温度データが８つ全て揃っているか否かを判別する。図示しないが、この答えがＮＯのときには、判別を所定回数（所定時間）繰り返すループが設けられている。それでも揃わない温度データがあるときには、ステップＳ１６において、温度データを送信していない温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄを特定した後、ステップＳ１４に進み、エラーフラグＦ＿ＥＲＲを「１」にセットし、本処理を終了する。その場合には、コントローラ１０は、温度データの受信が確認できない温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄを、表示により三次元測定機１の操作者に知らせる。
【００４０】
一方、ステップＳ１５の答えがＹＥＳで、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄからの温度データが８つ全て揃っているときには、ステップＳ１７において、各温度データが表す温度が所定の範囲内にあるか否かを判別する。この答えがＮＯのときには、温度データが表す温度が異常であるとして、ステップＳ１４に進み、エラーフラグＦ＿ＥＲＲを「１」にセットし、この答えがＹＥＳのときには、各温度データの受信を正常終了したとして、本処理を終了する。
【００４１】
［温度計システム１１の修理および再校正］
上述の送信処理または受信処理において、エラーフラグＦ＿ＥＲＲが「１」にセットされた場合には、温度計システム１１の修理が必要である。温度計システム１１の修理は、各温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄごとに行う。ここでは、温度計ユニット１２Ａに接続された２つの温度センサ１３のうち、１つが故障した場合について説明する。この場合には、先ず温度計ユニット１２Ａを取り外す。その際、他の温度計ユニット１２Ｂ〜１２Ｄは取り外す必要はない。温度計ユニット１２Ａを取り外したら、温度計ユニット１２Ａに接続されたセンサ１３を２つとも外して、新しいセンサ１３に交換する。
【００４２】
温度センサ１３の交換が終了したら、温度計ユニット１２Ａを取り付けた後、温度計システム１１の再校正を行う。再校正は、センサ１３の交換を行った温度計ユニット１２Ａのみで行う。その他の温度計ユニット１２Ｂ〜１２Ｄの再校正を行う必要はない。温度計ユニット１２Ａの校正が完了すると、温度計システム１１が使用可能な状態になる。
なお、上述した温度計システム１１の再校正は、三次元測定機１の所有者が行う作業ではなく、再校正を依頼された製造元や販売店が行う作業である。本実施形態では、４つの温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄを備えているので、三次元測定機１の所有者は、校正が必要な温度計ユニット１２Ａのみを製造元または販売店に送付すればよい。
【００４３】
以上のように、本実施形態では、４つの温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄを備えるので、仮に１つの温度センサ１３が故障した場合でも、その温度センサ１３が接続された温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄのみを取り外して修理すればよい。つまり、温度計ユニット全体を取り外さなくてはならなかった従来の温度計システムと比較して、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄの脱着を容易に行うことができる。
また、修理後において、修理した温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄのみを校正すればよいので、修理に伴う三次元測定機１の停止期間を短くすることができる。
さらに、三次元測定機１の所有者は、校正が必要な温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄのみを製造元または販売店に送付すればよいので、送付に関するコスト（梱包料、送料）を抑制することができる。
このように、本発明の温度計システム１１は、修理や校正を容易に行うことができ、管理に要する時間とコストとを抑制することができる
【００４４】
温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄは共通の規格を有するので、予備として４つの温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄを用意しなくても、例えば温度計ユニット１２Ａを１つ用意しておけば、温度計ユニット１２Ｂ〜１２Ｄに代えて用いることができる。それにより、温度計システム１１を備えた三次元測定機１の保守管理に要するコストを抑制することができる。
【００４５】
本発明は、前記実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
例えば、前記実施形態では、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄは、コントローラ１０に直列に接続されているが、コントローラ１０に並列に接続されていてもよい。
各温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄに接続される温度センサ１３の数量は、２でなくてもよく、均等でなくてもよい。各温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄにおける温度センサ１３の数量は、温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄの設定により変更可能である。
温度計ユニット１２Ａ〜１２Ｄの数量は、４でなくてもよく、２以上であればよい。
温度計システム１１を備える装置は、温度計システム１１から温度データが送信される装置であればよく、三次元測定機１のような形状測定装置に限られない。
温度計システム１１から送信された温度データを用いた制御は、前述した温度補正処理に限られず、例えば、送信された温度データをそのまま表示する制御であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、温度補正機能付きの三次元測定機に利用できる。
【符号の説明】
【００４７】
１…三次元測定機（形状測定装置）、１０…コントローラ、１１…温度計システム、１３…温度センサ、１０Ａ…駆動制御部、１０Ｂ…測定部、１０Ｃ…温度補正部、１２Ａ…温度計ユニット、１２Ｂ…温度計ユニット、１２Ｃ…温度計ユニット、１２Ｄ…温度計ユニット、Ｗ…測定物。
【図１】
0006527686.tif 000002
【図２】
0006527686.tif 000003
【図３】
0006527686.tif 000004
【図４】
0006527686.tif 000005