(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下方に突出した凸状部を有するマスクの下方を水平面内の所定の方向に移動し、その移動の方向の前方側に位置する前方支持部と前記移動の方向の後方側に位置する後方支持部により下方から支持したペーパー部材を前記マスクの下面に擦り付けることにより前記マスクの下面に付着しているペーストを拭き取るマスククリーニング装置であって、
前記前方支持部は、前記ペーパー部材のうち前記移動の方向の前方側の部分を下方から支持して前記凸状部の下面に擦り付けることによりその凸状部の下面に付着したペーストを拭き取り、
前記後方支持部は、前記ペーパー部材のうち前記移動の方向の後方側の部分を下方から支持して前記凸状部のエッジに擦り付けることによりそのエッジに付着したペーストを拭き取り、前記ペーパー部材が前記マスクの下面に接触していない状態において、前記後方支持部が前記ペーパー部材を支持する面は、前記前方支持部が前記ペーパー部材を支持する面よりも上方に位置することを特徴とするマスククリーニング装置。
【請求項２】
前記マスクは前記マスククリーニング装置の前記移動の方向に複数の前記凸状部を有しており、前記後方支持部の前記移動の方向の寸法は、前記凸状部の隣接するもの同士の間隔よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のマスククリーニング装置。
【請求項３】
前記前方支持部及び前記後方支持部はそれぞれ弾性体及び前記弾性体を被覆する金属性の膜部材から構成されることを特徴とする請求項１または２に記載のマスククリーニング装置。
【請求項４】
前記弾性体は発泡ウレタンを素材としていることを特徴とする請求項３に記載のマスククリーニング装置。
【請求項５】
前記後方支持部は前記前方支持部よりも硬度が低いことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のマスククリーニング装置。
【請求項６】
下方に突出した凸状部を有するマスクの下方でマスククリーニング装置を水平面内の所定の方向に移動させ、その移動の方向の前方側に位置する前方支持部と前記移動の方向の後方側に位置する後方支持部により下方から支持したペーパー部材を前記マスクの下面に擦り付けることにより前記マスクの下面に付着しているペーストを拭き取るマスククリーニング方法であって、
前記前方支持部により、前記ペーパー部材のうち前記移動の方向の前方側の部分を前記凸状部の下面に擦り付けてその凸状部の下面に付着したペーストを拭き取る第１のペースト拭取り工程と、
前記後方支持部により、前記ペーパー部材のうち前記移動の方向の後方側の部分を前記凸状部のエッジに擦り付けてそのエッジに付着したペーストを拭き取る第２のペースト拭取り工程とを含み、前記ペーパー部材が前記マスクの下面に接触していない状態において、前記後方支持部が前記ペーパー部材を支持する面は、前記前方支持部が前記ペーパー部材を支持する面よりも上方に位置することを特徴とするマスククリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、上面に開口したキャビティ部を有する基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置のマスクをクリーニングするクリーニング装置及びマスククリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品が実装される基板の中には上面に開口したキャビティ部（凹部）を有し、基板の上面のほかキャビティ部の底にも電極を有する、いわゆるキャビティ基板が知られている。このキャビティ基板は電子部品を三次元的に配置できるため、小型でありながら集積度の高い基板とすることができる。
【０００３】
このようなキャビティ基板（以下、単に基板と称する）が備える各電極にペーストを印刷するスクリーン印刷装置では、基板の上面に設けられた電極（第１電極）に対応するパターン孔（第１パターン孔）を有する第１領域と、キャビティ部の底に設けられた電極（第２電極）に対応するパターン孔（第２パターン孔）を有する第２領域を備えたマスクが（或いは第１の領域を備えた第１のマスクと第２の領域を備えた第２のマスクの２つのマスクが）必要となる。このようなマスクの第１領域は基板の上面とのみ接触することから平坦であるが、第２領域はキャビティ部と嵌合するように下方に突出した凸状部を有するものとなる。
【０００４】
上記スクリーン印刷装置によりスクリーン印刷を実行すると、版離れの際にパターン孔内のペーストがマスクの下面に回り込んで付着する。このようにマスクの下面に付着したペースト（ペースト滓）はその後の基板の印刷精度に影響を与えるので、所定の頻度でマスクの下面からペースト滓を拭き取ってクリーニングする必要がある。このようなマスクの下面のペーストの拭取りには、マスクの下方を水平面内の所定の方向に移動してペーパー部材をマスクの下面に擦り付けるマスククリーニング装置（マスククリーナ）が用いられる（例えば、下記の特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５２４００６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記マスククリーニング装置によってマスクの凸状部に付着したペーストを拭き取る場合、その凸状部のエッジに付着したペーストを確実に拭き取ることは困難であった。しかも、マスククリーニング装置が複数の凸状部を連続してクリーニングしていく場合には、一の凸状部の下面から拭き取ったペーストを次の凸状部のエッジに擦り付けてしまう可能性があり、マスクのクリーニングが不十分となって印刷精度が低下するおそれがあるという問題点があった。
【０００７】
そこで本発明は、キャビティ部を有する基板のスクリーン印刷に用いられるマスクのクリーニングを十分に行うことができるマスククリーニング装置及びマスククリーニング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のマスククリーニング装置は、下方に突出した凸状部を有するマスクの下方を水平面内の所定の方向に移動し、その移動の方向の前方側に位置する前方支持部と前記移動の方向の後方側に位置する後方支持部により下方から支持したペーパー部材を前記マスクの下面に擦り付けることにより前記マスクの下面に付着しているペーストを拭き取るマスククリーニング装置であって、前記前方支持部は、前記ペーパー部材のうち前記移動の方向の前方側の部分を下方から支持して前記凸状部の下面に擦り付けることによりその凸状部の下面に付着したペーストを拭き取り、前記後方支持部は、前記ペーパー部材のうち前記移動の方向の後方側の部分を下方から支持して前記凸状部のエッジに擦り付けることによりそのエッジに付着したペーストを拭き取る。
【０００９】
本発明のマスククリーニング方法は、下方に突出した凸状部を有するマスクの下方でマスククリーニング装置を水平面内の所定の方向に移動させ、その移動の方向の前方側に位置する前方支持部と前記移動の方向の後方側に位置する後方支持部により下方から支持したペーパー部材を前記マスクの下面に擦り付けることにより前記マスクの下面に付着しているペーストを拭き取るマスククリーニング方法であって、前記前方支持部により、前記ペーパー部材のうち前記移動の方向の前方側の部分を前記凸状部の下面に擦り付けてその凸状部の下面に付着したペーストを拭き取る第１のペースト拭取り工程と、前記後方支持部により、前記ペーパー部材のうち前記移動の方向の後方側の部分を前記凸状部のエッジに擦り付けてそのエッジに付着したペーストを拭き取る第２のペースト拭取り工程とを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、キャビティ部を有する基板のスクリーン印刷に用いられるマスクのクリーニングを十分に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の概略構成図
【図２】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスクを基板とともに示す斜視図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図４】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置によりキャビティ基板の第２電極にペーストを印刷する手順を説明する要部側面図
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置によりキャビティ基板の第１電極にペーストを印刷する手順を説明する要部側面図
【図６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナによりマスクの第１領域のクリーニングを行う手順を説明する要部斜視図
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナによりマスクの第１領域のクリーニングを行う手順を説明する要部側面図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナによりマスクの第２領域のクリーニングを行う手順を説明する要部斜視図
【図９】（ａ）〜（ｅ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナによりマスクの第２領域のクリーニングを行う手順を説明する要部側面図
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナによりマスクの第２領域のクリーニングを行っている状態を示す要部拡大側面図
【図１１】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナによりマスクの第２領域のクリーニングを行っている状態を示す要部拡大側面図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に示すスクリーン印刷装置１は、上面に開口した複数のキャビティ部２ａを有する基板２にペーストＰｓｔを印刷する装置である。本実施の形態では、図１の紙面の左右方向をスクリーン印刷装置１の前後方向（Ｙ軸方向）とし、図１の紙面に直交する方向をスクリーン印刷装置１の左右方向（Ｘ軸方向）とし、図１の紙面の上下方向をスクリーン印刷装置１の上下方向（Ｚ軸方向）とする。
【００１３】
図１に示すように、スクリーン印刷装置１は基板２を保持する基板保持部１１を備えており、基板保持部１１の上方にはマスク１２が設けられている。基板保持部１１は真空吸引等により保持した基板２を水平面内で移動（Ｘ軸及びＹ軸方向への移動とＺ軸回りの回転）させる。基板２の上面には第１電極ｄ１が設けられており、基板２のキャビティ部２ａの底には第２電極ｄ２が設けられている。
【００１４】
図２（ａ），（ｂ）において、マスク１２はＸＹ平面内に広がる金属製の板状部材から成り、四辺が枠部材１２ｗによって支持されている。マスク１２は基板２の上面とのみ接触する平坦な第１領域Ｒ１と、基板２の上面のみならずキャビティ部２ａの底とも接触する第２領域Ｒ２とを有している。第１領域Ｒ１内には、基板２の第１電極ｄ１に対応する第１パターン孔ｈ１が設けられている。第２領域Ｒ２には、基板２が有する複数のキャビティ部２ａに嵌合するように下方に突出した複数の凸状部１２ａが設けられており、各凸状部１２ａの底部には、基板２の第２電極ｄ２に対応する第１パターン孔ｈ２が設けられている。
【００１５】
図１において、マスク１２の上方にはペースト圧出ヘッド１３が設けられている。ペースト圧出ヘッド１３はヘッド移動機構１３ＭによってＹ軸方向に移動自在な本体部１３ａと、本体部１３ａから下方に突出して延びた２つのブレード１３ｂを備えている。２つのブレード１３ｂは下端部同士をＹ軸方向に対向させて配置されている。本体部１３ａにはペーストＰｓｔを収容したペースト収納部１３ｃが設けられており、２つのブレード１３ｂの間の通路はペースト収納部１３ｃと繋がるペースト流路を形成している。
【００１６】
図１において、ペースト圧出ヘッド１３は、ペースト収納部１３ｃ内のペーストＰｓｔを加圧する加圧手段１３Ｐを備えている。加圧手段１３Ｐがペースト収納部１３ｃ内のペーストＰｓｔを加圧すると、２つのブレード１３ｂの下端同士の間のペースト吐出口からペーストＰｓｔが吐出される。ペースト吐出口は、マスク１２の第１領域Ｒ１における全ての第１パターン孔ｈ１及び第２領域Ｒ２内における全ての第２パターン孔ｈ２にペーストＰｓｔを供給できるだけの幅（Ｘ軸方向の寸法）を有している。
【００１７】
図１において、スクリーン印刷装置１は、マスク１２の下方にマスククリーナ１４（マスククリーニング装置）を備えている。マスククリーナ１４は、マスク１２の下方を水平面内の所定の方向（ここでは図１の紙面左方から右方に向かう方向であり、クリーナ移動方向と称する）に移動し、下方から支持したペーパー部材２１をマスク１２の下面に擦り付けることによりマスク１２の下面に付着しているペーストＰｓｔをペーパー部材２１により拭き取る装置である。
【００１８】
図３（ａ），（ｂ）において、マスククリーナ１４は、クリーナ移動機構１４Ｍ（図１）に駆動されてマスク１２の下方をクリーナ移動方向に移動するベース部２２と、ベース部２２から上方に突出して設けられた前方支持部２３と後方支持部２４を備えている。前方支持部２３はベース部２２の移動方向（クリーナ移動方向）の前方側（図１では紙面の右方）に位置しており、後方支持部２４はベース部２２の移動方向の後方側（図１では紙面の左方）に位置している。
【００１９】
図３（ａ），（ｂ）において、マスククリーナ１４のベース部２２内にはクリーナ移動方向に配置された一対のローラ部材２５が設けられており、これら一対のローラ部材２５はペーパー部材２１の両端を保持している。ペーパー部材２１は、前方支持部２３と後方支持部２４によって下方から支持されて（押し上げられて）おり、Ｙ軸方向に延びた状態となっている。以下、ペーパー部材２１ののうち前方支持部２３により支持されたクリーナ移動方向の前方側の部分を「前方拭取部２３ｍ」と称し、ペーパー部材２１のうち後方支持部２４により支持されたクリーナ移動方向の後方側の部分を「後方拭取部２４ｍ」と称する。これら前方拭取部２３ｍと後方拭取部２４ｍは、ローラ回転駆動部２５Ｍ（図１）により一対のローラ部材２５を同期して回転させ、ペーパー部材２１をベース部２２の上方でＹ軸方向に進行させることで未使用の領域に更新することができる。
【００２０】
図３（ｂ）に示すように、ペーパー部材２１がマスク１２の下面に接触していない状態において、後方支持部２４がペーパー部材２１を支持する面（上面）は、前方支持部２３がペーパー部材２１を支持する面（上面）よりも微小量Δだけ上方に位置している。また、図１に示すように、後方支持部２４のクリーナ移動方向（Ｙ軸方向）の寸法Ｓは（図３（ａ）も参照）、凸状部１２ａの隣接するもの同士の間隔Ｓ０よりも小さくなっている。なお、後方支持部２４は、ベース部２２に対して着脱可能に構成されており、取り付けるマスク１２の凸状部１２ａの隣接するもの同士の間隔Ｓ０に基づいた後方支持部２４が取り付けられている。
【００２１】
図３（ｂ）において、前方支持部２３及び後方支持部２４はそれぞれ弾性体ＤＴ及びこの弾性体ＤＴを被覆する金属性の膜部材ＫＭから構成されており、弾性体ＤＴは例えば、安価かつ成形が容易な材料である発泡ウレタン等から構成されている。後方支持部２４は前方支持部２３よりも硬度が低くなるように構成されている。これは、前方支持部２３と後方支持部２４とで膜部材ＫＭの厚さを異ならせること等によって実現可能である。
【００２２】
次に、スクリーン印刷装置１により基板２にペーストＰｓｔを印刷するスクリーン印刷作業の手順と、マスク１２の下面に付着しているペーストＰｓｔ（ペースト滓）を拭き取るマスククリーニング作業の手順（マスククリーニング方法）について説明する。図１に示すように、スクリーン印刷装置１の各部の作動は、スクリーン印刷装置１が備える制御装置３０が制御する。
【００２３】
スクリーン印刷作業では、スクリーン印刷装置１は先ず、外部から供給された基板２を基板保持部１１が保持する。そして、基板保持部１１は基板２をマスク１２の第２領域Ｒ２の下方に移動させて、基板２の各第２電極ｄ２をマスク１２の各第２パターン孔ｈ２の直下に位置させる（図２（ａ）及び図４（ａ））。基板２の各第２電極ｄ２がマスク１２の各第２パターン孔ｈ２の直下に位置したら、基板保持部１１は基板２を上昇させ（図４（ｂ）中に示す矢印Ａ１）、基板２のキャビティ部２ａをマスク１２の凸状部１２ａに下方から嵌合させる（図４（ｂ））。これにより第２パターン孔ｈ２と第２電極ｄ２が合致した状態となる。
【００２４】
基板２のキャビティ部２ａをマスク１２の凸状部１２ａに嵌合させたら、ペースト圧出ヘッド１３がマスク１２の第２領域Ｒ２の最後端部に移動したうえで、２つのブレード１３ｂをマスク１２の上面に当接させる。そして、そこから前方に移動し、２つのブレード１３ｂをマスク１２の第２領域Ｒ２上で摺動させつつ（図４（ｃ）中に示す矢印Ｂ１）、ペーストＰｓｔを吐出する（図４（ｃ））。２つのブレード１３ｂがマスク１２の第２領域Ｒ２の端部に達してマスク１２の第２領域Ｒ２の全域にペーストＰｓｔが供給されたら、基板保持部１１は基板２を下降させて（図４（ｄ）中に示す矢印Ａ２）、マスク１２から版離れさせる。これにより第２電極ｄ２にペーストＰｓｔが印刷された状態となる（図４（ｄ））。
【００２５】
次いで、基板保持部１１は、基板２をマスク１２の第１領域Ｒ１の下方に移動させ、基板２の各第１電極ｄ１をマスク１２の各第１パターン孔ｈ１の直下に位置させる（図２（ｂ）及び図５（ａ））。基板２の各第１電極ｄ１がマスク１２の各第１パターン孔ｈ１の直下に位置したら、基板保持部１１は基板２を上昇させ（図５（ｂ）中に示す矢印Ａ３）、基板２の上面をマスク１２の第１領域Ｒ１の下面に接触させる（図５（ｂ））。これにより第１パターン孔ｈ１と第１電極ｄ１とが合致した状態となる（図５（ｂ））。なお、このとき、基板２の第２電極ｄ２は基板２の上面から窪んで設けられたキャビティ部２ａ内に位置しているので、第２電極ｄ２上のペーストＰｓｔがマスク１２の下面に接触することはない（図５（ｂ））。
【００２６】
基板２の上面がマスク１２の第１の領域Ｒ１の下面に接触したら、ペースト圧出ヘッド１３がマスク１２の第１領域Ｒ１の最後端部に移動したうえで、２つのブレード１３ｂをマスク１２の上面に当接させる。そして、そこから前方に移動し、２つのブレード１３ｂをマスク１２の第１領域Ｒ１上で摺動させつつ（図５（ｃ）中に示す矢印Ｂ２）、ペーストＰｓｔを吐出する（図５（ｃ））。２つのブレード１３ｂが第１領域Ｒ１の端部に達してマスク１２の第１領域Ｒ１の全域にペーストＰｓｔが供給されたら、基板保持部１１は基板２を下降させて（図５（ｄ）中に示す矢印Ａ４）、マスク１２から版離れさせる。これにより第１電極ｄ１にペーストＰｓｔが印刷された状態となり（図５（ｄ））、スクリーン印刷作業が完了する。
【００２７】
上記スクリーン印刷を１枚〜複数枚の基板２について実行したら、マスククリーナ１４によってマスククリーニング作業を行う。マスククリーニング作業では、スクリーン印刷装置１は、マスク１２の第１領域Ｒ１の下面に対して行う第１領域クリーニングと、マスク１２の第２領域Ｒ２の下面（凸状部１２ａの下面）に対して行う第２領域クリーニングとをこの順で行う。
【００２８】
第１領域クリーニングでは、スクリーン印刷装置１は、先ず、マスククリーナ１４をマスク１２の第１領域Ｒ１よりも後方の位置に移動させる。そして、ベース部２２をＺ軸方向に移動させて、マスククリーナ１４の高さを調整する。このマスククリーナ１４の高さ調整では、前方拭取部２３ｍの高さがマスク１２の第１領域Ｒ１の下面の高さとほぼ一致するようにする（図６（ａ））。
【００２９】
スクリーン印刷装置１は、マスククリーナ１４の高さを調整したら、ベース部２２を前方に移動させる（図６（ｂ）中に示す矢印Ｃ）。ベース部２２が前方へ移動すると、先ず前方拭取部２３ｍが、次いで後方拭取部２４ｍがマスク１２の第１領域Ｒ１の下面に接触する。このとき前方拭取部２３ｍは、前方支持部２３が上下方向にほとんど変形（圧縮変形）しない状態でマスク１２の下面に接触する。一方、後方拭取部２４ｍは、後方支持部２４が上下方向に弾性的に変形（圧縮変形）することでマスク１２の下面に接触する（図７（ａ））。これは、前述したように、ペーパー部材２１がマスク１２の下面に接触していない状態において、後方支持部２４の上面が、前方支持部２３の上面よりも上方に位置しているからである。
【００３０】
ベース部２２の前方への移動に伴って、前方拭取部２３ｍはマスク１２の第１領域Ｒ１の下面に擦り付けられ、マスク１２の第１領域Ｒ１の下面に付着しているペーストＰｓｔ（ペースト滓Ｄｓ）を拭き取る（図７（ｂ））。次いで、後方拭取部２４ｍが、前方拭取部２３ｍが擦り付けられた後のマスク１２上の領域（第１領域Ｒ１の下面）に擦り付けられる（図７（ｃ））。後方拭取部２４ｍは前方拭取部２３ｍに追従してマスク１２の下面に擦り付けられるが、マスク１２の第１領域Ｒ１の下面に付着していたペースト滓Ｄｓの大部分は前方拭取部２３ｍが拭き取るので、後方拭取部２４ｍはマスク１２の下面のペーストＰｓｔの拭取りにはほとんど寄与しない。前方拭取部２３ｍ及び後方拭取部２４ｍが第１領域Ｒ１に擦り付けられたら（図６（ｂ））、第１領域クリーニングが終了する。
【００３１】
第１領域クリーニングが終了したら、第２領域クリーニングに移行する。第２領域クリーニングでは、スクリーン印刷装置１は先ず、ベース部２２を凸状部１２ａの高さ分だけ下降させて（図８（ａ）中に示す矢印Ｄ）、マスククリーナ１４の高さを調整する。このマスククリーナ１４の高さ調整では、前方拭取部２３ｍの高さがマスク１２の第２領域Ｒ２の凸状部１２ａの下面の高さとほぼ一致するようにする（図８（ａ）及び図９（ａ））。
【００３２】
スクリーン印刷装置１は、マスククリーナ１４の高さを調整したら、ベース部２２を前方に移動させる（図８（ｂ）中に示す矢印Ｃ）。ベース部２２が前方へ移動すると、先ず前方拭取部２３ｍが、次いで後方拭取部２４ｍがマスク１２の凸状部１２ａの下面に接触する。このとき前方拭取部２３ｍは、前方支持部２３が上下方向にほとんど変形（圧縮変形）しない状態で凸状部１２ａの下面に接触する。一方、後方拭取部２４ｍは、後方支持部２４が上下方向に弾性的に変形（圧縮変形）することでマスク１２の下面に接触する（図９（ｂ））。
【００３３】
ベース部２２の前方への移動に伴って、前方拭取部２３ｍは凸状部１２ａの下面に擦り付けられ、その凸状部１２ａの下面に付着しているペーストＰｓｔ（ペースト滓Ｄｓ）を拭き取る（図９（ｂ）。第１のペースト拭取り工程）。次いで、後方拭取部２４ｍが前方拭取部２３ｍに追従して凸状部１２ａの下面に擦り付けられるが（図９（ｃ））、後方拭取部２４ｍが凸状部１２ａの下面に達する前に、後方支持部２４がその進行方向に対向して位置する凸状部１２ａの垂直面（凸状部１２ａが有するクリーナ進行方向の前方及び後方の２つの垂直面のうちクリーナ進行方向の後方に位置する垂直面）と当接した後、その凸状部１２ａの下方に押し込まれるように変形（弾性変形）するので、後方拭取部２４ｍは、後方支持部２４の変形に従って凸状部１２ａのクリーナ進行方向の後方に位置するエッジ１２ｇの表面に擦り付けられ（図１０（ａ）→図１０（ｂ）→図１０（ｃ）→図１０（ｄ））、そのエッジ１２ｇに付着しているペースト滓Ｄｓを拭き取る（第２のペースト拭取り工程）。
【００３４】
ここで、前述したように、後方支持部２４は前方支持部２３よりも硬度が低くなるように構成されていることから、後方支持部２４は前方支持部２３よりも変形が容易である。このため、後方支持部２４は、エッジ１２ｇの形状に従って滑らかに変形し、後方拭取部２４ｍはエッジ１２ｇの表面に密着した状態で擦り付けられる。なお、マスク１２の凸状部１２ａの下面に付着していたペースト滓Ｄｓの大部分は前方拭取部２３ｍが拭き取るので、後方拭取部２４ｍは凸状部１２ａの下面のペーストＰｓｔの拭取りにはほとんど寄与しない。
【００３５】
後方拭取部２４ｍは、凸状部１２ａの下面を通過した後、その凸状部１２ａのクリーナ進行方向の前方に位置するエッジ１２ｇについても同様の第２のペースト拭取り工程を行う（図１１（ａ）→図１１（ｂ）→図１１（ｃ））。前方拭取部２３ｍ及び後方拭取部２４ｍが第２領域Ｒ２の全域に擦り付けられたら（図８（ｂ））、第２領域クリーニングが終了し、マスククリーニング作業が完了する。
【００３６】
このように、マスククリーナ１４によるマスククリーニング作業（マスククリーニング方法）では、前方支持部２３により、ペーパー部材２１のうちクリーナ移動方向の前方側の部分（前方拭取部２３ｍ）を凸状部１２ａの下面に擦り付けてその凸状部１２ａの下面に付着しているペーストＰｓｔを拭き取る第１のペースト拭取り工程と、後方支持部２４により、ペーパー部材２１のうちクリーナ移動方向の後方側の部分（後方拭取部２４ｍ）を凸状部１２ａのエッジ１２ｇに擦り付けてそのエッジ１２ｇに付着しているペーストＰｓｔを拭き取る第２のペースト拭取り工程を実行するようになっている。このため凸状部１２ａの下面だけでなく、その凸状部１２ａのエッジ１２ｇに付着しているペーストＰｓｔ（ペースト滓Ｄｓ）も拭き取ることができる。
【００３７】
マスククリーナ１４は、一の凸状部１２ａについてのクリーニングが終了したら、次いでこれに隣接する他の凸状部１２ａについてのクリーニングを実行するが、一の凸状部１２ａから次の凸状部１２ａに移行する際、前方拭取部２３ｍが一の凸状部１２ａの下面から拭き取ったペースト滓Ｄｓを次の凸状部１２ａのエッジ１２ｇに擦り付けてしまう場合がある（図９（ｃ）→図９（ｄ））。このような場合でも、本実施の形態におけるマスククリーナ１４によれば、後方拭取部２４ｍが前方拭取部２３ｍによってエッジ１２ｇに付着されたペーストＰｓｔ（ペースト滓Ｄｓ）を拭き取るので、マスク１２の下面に拭き残しのペースト滓Ｄｓが残留せず、マスク１２の下面を確実にクリーニングすることができる（図９（ｅ）及び図１０（ｄ））。
【００３８】
前述のように、マスククリーナ１４は、後方支持部２４が凸状部１２ａのエッジ１２ｇの形状に応じて弾性的に変形することで、そのエッジ１２ｇに付着しているペーストＰｓｔを拭き取る。このためには、「後方拭取部２４ｍが凸状部１２ａのエッジ１２ｇに接触する直前において、後方拭取部２４ｍが凸状部１２ａの下面よりも上方に位置している」という条件が満たされている必要がある。本実施の形態では、前述したように、ペーパー部材２１がマスク１２の下面に接触していない状態において、後方拭取部２４ｍが前方拭取部２３ｍよりも上方に位置しているので、前方支持部２３を上下方向に圧縮させない自然の状態で前方拭取部２３ｍを凸状部１２ａの下面に接触させる場合であっても、上記条件は満たされる。なお、仮に、ペーパー部材２１がマスク１２の下面に接触していない状態において、前方拭取部２３ｍが後方拭取部２４ｍと同じ高さに位置している場合、或いは後方拭取部２４ｍよりも下方に位置している場合であっても、前方支持部２３を上下方向に圧縮させた状態で前方拭取部２３ｍを凸状部１２ａの下面に接触させるようにすれば、上記条件が満たされる場合があり得る。
【００３９】
また、前述したように、本実施の形態におけるマスククリーナ１４では、後方支持部２４のクリーナ移動方向（Ｙ軸方向）の寸法Ｓは、凸状部１２ａの隣接するもの同士の間隔Ｓ０よりも小さくなっている。このため後方拭取部２４ｍが一の凸状部１２ａの下面に擦り付けられた後、その凸状部１２ａから離間してから次の凸状部１２ａのエッジ１２ｇに接触するまでの間に、圧縮状態から一旦開放されて自然長に戻ることになる。このため、後方拭取部２４ｍが次の凸状部１２ａのエッジ１２ｇに接触する前に、後方拭取部２４ｍを確実に、凸状部１２ａの下面よりも上方に位置させることができる。
【００４０】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１が備えるマスククリーナ１４は、前方拭取部２３ｍで凸状部１２ａの下面に付着しているペーストＰｓｔを拭き取り、後方拭取部２４ｍで凸状部１２ａのエッジ１２ｇに付着しているペーストＰｓｔを拭き取るようになっており、凸状部１２ａの下面のみならず、その凸状部１２ａのエッジ１２ｇに付着しているペーストＰｓｔを確実に拭き取ることができる。このため、キャビティ部２ａを有する基板２のスクリーン印刷に用いられるマスク１２のクリーニングを十分に行うことができ、ひいてはスクリーン印刷の印刷精度の低下を防止することができる。
【００４１】
上述の実施の形態のマスククリーナ１４では、前方支持部２３と後方支持部２４はクリーナ移動方向（Ｙ軸方向）に対して離間しており、その結果として前方拭取部２３ｍと後方拭取部２４ｍはクリーナ移動方向に離間していたが、前方支持部２３と後方支持部２４とは離間していなくてもよい。すなわち、前方拭取部２３ｍとこの前方拭取部２３ｍよりも上方に位置した後方拭取部２４ｍとが、Ｙ軸方向に階段状に並んでいるのであってもよい。
【００４２】
また、上述の実施の形態では、マスク１２が有する凸状部１２ａは基板２が有するキャビティ部２ａの配置に応じてクリーナ移動方向（Ｙ軸方向）に複数（上述の例では２つ）並んだものとなっていたが、本発明によるマスククリーニングの適用対象とするマスク１２は必ずしもクリーナ移動方向に複数の凸状部１２ａを有していなければならないわけではない。すなわち、本発明は、マスククリーナ１４の移動方向に凸状部１２ａを１つしか備えていない基板２に対しても適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
キャビティ部を有する基板のスクリーン印刷に用いられるマスクのクリーニングを十分に行うことができるマスククリーニング装置及びマスククリーニング方法を提供する。
【符号の説明】
【００４４】
１２  マスク
１２ａ  凸状部
１２ｇ  エッジ
１４  マスククリーナ（マスククリーニング装置）
２１  ペーパー部材
２３  前方支持部
２４  後方支持部
ＤＴ  弾性体
ＫＭ  膜部材
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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