(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置と接続される通信デバイスであって、
外部装置とネットワークを介して通信する通信部と、
前記製造装置と接続される少なくとも一つのＩＯポートと、
前記ＩＯポートの状態をモニタリングするＩＯモニタ部と、
記憶部と、
前記通信部で受信された所定のパケットデータが送信された時刻と前記ＩＯモニタ部で所定のポート状態が検知された時刻とを含む時間データを前記記憶部に蓄積し、かつ、前記時間データに基づくデータである通信データを前記通信部から前記ネットワークを介して前記外部装置に送信する制御部と、を備える
通信デバイス。
【請求項２】
前記制御部は、前記所定のポート状態が所定の回数検知された場合に、前記通信データを送信する
請求項１に記載の通信デバイス。
【請求項３】
前記記憶部に蓄積された前記時間データの統計値を算出するデータ計算部をさらに備える
請求項１又は２に記載の通信デバイス。
【請求項４】
前記制御部は、所定の時間間隔で、前記通信データを送信する
請求項１〜３のいずれか１項に記載の通信デバイス。
【請求項５】
製造装置と接続される通信デバイスの制御方法であって、
前記通信デバイスは、
外部装置とネットワークを介して通信する通信部と、
前記製造装置と接続される少なくとも一つのＩＯポートと、
前記ＩＯポートの状態をモニタリングするＩＯモニタ部と、を備え、
前記通信デバイスの制御方法は、
前記通信部で受信された所定のパケットデータが送信された時刻と前記ＩＯモニタ部で所定のポート状態が検知された時刻とを含む時間データを蓄積するステップと、
前記時間データに基づくデータである通信データを前記通信部から前記ネットワークを介して前記外部装置に送信するステップと、を含む
通信デバイスの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造装置と接続される通信デバイス及び通信デバイスの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば半導体製造装置の載置ポートへ、ウェハを収納したポッド（ＦＯＵＰ：Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄなど）を載置、及び搬出するために、天井走行台車などの搬送台車が用いられている。半導体製造装置本体は、製造コントローラにより制御される。一方、天井走行台車は、搬送コントローラにより制御される。また、載置ポートと天井走行台車との間は、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  ａｎｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）のＥ８４通信（以下、「Ｅ８４通信」という）が適用されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００３】
このようなシステムでは、製造コントローラから、製造スケジュールに基づいた所定のポッドに対する処理が半導体製造装置に対して指示される。また、製造スケジュールに基づいた処理に対応するように、搬送コントローラで搬送スケジュールが生成され、搬送コントローラから天井走行台車に対して搬送指示が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１８４７６０号公報
【特許文献２】特開２０１１−０１８７３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のようなシステムにおいて、Ｅ８４通信では、載置ポート上方に天井走行台車が到達してから載置ポートと通信が行われる。すなわち、天井走行台車は、Ｅ８４通信によっては、載置ポート上方に到達するまで、載置ポートの受け入れ準備状態に関する情報を得ることができない。そのため、載置ポートのポッド受け入れ準備が完了する前に天井走行台車が載置ポート上方に到達する場合がある。この場合、天井走行台車が所定の時間待機してもポッドの移載を実行できないため、タイムアウトエラーが発生し、かつ、後続の天井走行台車の走行の妨げになるという問題が発生し得る。
【０００６】
そこで、本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、半導体製造装置などの製造装置を用いた製造システムにおいて、エラー発生原因を解析するためのデータを蓄積できる通信デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る通信デバイスは、製造装置と接続される通信デバイスであって、外部装置とネットワークを介して通信する通信部と、前記製造装置と接続される少なくとも一つのＩＯポートと、前記ＩＯポートの状態をモニタリングするＩＯモニタ部と、記憶部と、前記通信部で受信された所定のパケットデータが送信された時刻と前記ＩＯモニタ部で所定のポート状態が検知された時刻とを含む時間データを前記記憶部に蓄積し、かつ、前記時間データに基づくデータである通信データを前記通信部から前記ネットワークを介して前記外部装置に送信する制御部と、を備える。
【０００８】
これにより、通信デバイスを用いた製造システムの制御の修正に利用可能な時間データを得ることができる。そして、当該時間データに基づく通信データを外部装置に送信することで、当該通信データを外部装置の制御の修正のために利用することができる。
【０００９】
また、本発明の一態様に係る通信デバイスにおいて、前記制御部は、前記所定のポート状態が所定の回数検知された場合に、前記通信データを送信してもよい。
【００１０】
これにより、所定のエラーが繰り返し発生していることを外部装置に報知することができ、外部装置に制御の修正を促すことができる。
【００１１】
また、上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る通信デバイスは、製造装置と接続される通信デバイスであって、外部装置とネットワークを介して通信する通信部と、前記製造装置と接続される少なくとも一つのＩＯポートと、前記ＩＯポートの状態をモニタリングするＩＯモニタ部と、記憶部と、前記ＩＯモニタ部で第１のポート状態を検知した時刻と前記ＩＯモニタ部で第２のポート状態を検知した時刻とを含む時間データを前記記憶部に蓄積し、かつ、前記時間データに基づくデータである通信データを前記通信部から前記ネットワークを介して前記外部装置に送信する制御部と、を備える。
【００１２】
これにより、通信デバイスを用いた製造システムの制御の修正に利用可能な時間データを得ることができる。そして、当該時間データに基づく通信データを外部装置に送信することで、当該通信データを外部装置の制御の修正のために利用することができる。
【００１３】
また、本発明の一態様に係る通信デバイスにおいて、前記制御部は、前記第１のポート状態及び前記第２のポート状態の少なくとも一方が所定の回数検知された場合に、前記通信データを送信してもよい。
【００１４】
これにより、所定のエラーが繰り返し発生していることを外部装置に報知することができ、外部装置に制御の修正を促すことができる。
【００１５】
また、本発明の一態様に係る通信デバイスは、前記記憶部に蓄積された前記時間データの統計値を算出するデータ計算部をさらに備えてもよい。
【００１６】
これにより、通信デバイスが統計値に基づいた通信データを外部装置に送信することで、外部装置において当該統計値に基づいた制御の修正を行うことができる。
【００１７】
また、本発明の一態様に係る通信デバイスにおいて、前記制御部は、所定の時間間隔で、前記通信データを送信してもよい。
【００１８】
これにより、外部装置において定期的に製造装置などの状態を把握できる。
【００１９】
また、上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る通信デバイスの制御方法は、製造装置と接続される通信デバイスの制御方法であって、前記通信デバイスは、外部装置とネットワークを介して通信する通信部と、前記製造装置と接続される少なくとも一つのＩＯポートと、前記ＩＯポートの状態をモニタリングするＩＯモニタ部と、を備え、前記通信デバイスの制御方法は、前記通信部で受信された所定のパケットデータが送信された時刻と前記ＩＯモニタ部で所定のポート状態が検知された時刻とを含む時間データを蓄積するステップと、前記時間データに基づくデータである通信データを前記通信部から前記ネットワークを介して前記外部装置に送信するステップと、を含む。
【００２０】
これにより、通信デバイスを用いた製造システムの制御の修正に利用可能な時間データを得ることができる。そして、当該時間データに基づく通信データを外部装置に送信することで、当該通信データを外部装置の制御の修正のために利用することができる。
【００２１】
また、上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る通信デバイスの制御方法は、製造装置と接続される通信デバイスの制御方法であって、前記通信デバイスは、外部装置とネットワークを介して通信する通信部と、前記製造装置と接続される少なくとも一つのＩＯポートと、前記ＩＯポートの状態をモニタリングするＩＯモニタ部と、を備え、前記通信デバイスの制御方法は、前記ＩＯモニタ部で第１のポート状態を検知した時刻と前記ＩＯモニタ部で第２のポート状態を検知した時刻とを含む時間データを蓄積するステップと、前記時間データに基づくデータである通信データを前記通信部から前記ネットワークを介して前記外部装置に送信するステップと、を含む。
【００２２】
これにより、通信デバイスを用いた製造システムの制御の修正に利用可能な時間データを得ることができる。そして、当該時間データに基づく通信データを外部装置に送信することで、当該通信データを外部装置の制御の修正のために利用することができる。
【００２３】
なお、本発明は、装置及び制御方法として実現できるだけでなく、制御方法におけるステップをコンピュータに実行させるプログラムとして実現することもできる。また、そのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体として実現すること、及び、そのプログラムを示す情報、データ又は信号として実現することもできる。そして、それらプログラム、情報、データ及び信号は、インターネット等の通信ネットワークを介して配信してもよい。
【発明の効果】
【００２４】
本発明により、半導体製造装置などの製造装置を用いた製造システムにおいて、エラー発生原因を解析するためのデータを蓄積できる通信デバイスを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、実施の形態に係る通信デバイスが用いられる製造システムの概要の一例を示す概略図である。
【図２】図２は、実施の形態に係る通信デバイスが用いられる製造システムにおける各構成機器間の接続態様の一例を示す図である。
【図３】図３は、実施の形態に係る通信デバイスの機能構成を示すブロック図である。
【図４】図４は、実施の形態に係る通信デバイスの制御部が有する変換テーブルの一例を示す図である。
【図５】図５は、実施の形態に係る通信デバイスの制御部が有する変換テーブルの一例を示す図である。
【図６】図６は、実施の形態に係る通信デバイスの記憶部が有する時間データの一例を示す図である。
【図７】図７は、実施の形態に係る通信デバイスを用いた製造システムにおける時間データを用いた動作の手順の一例を示すフローチャートである。
【図８】図８は、実施の形態に係る通信デバイスによる時間データ蓄積工程における動作の手順の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、より好ましい形態を構成する任意の構成要素として説明される。
【００２７】
なお、同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。
【００２８】
（実施の形態）
以下、実施の形態に係る通信システム及び通信システムが用いられる製造システムについて、図面を用いて説明する。
【００２９】
［１．製造システムの概要］
まず、本発明の実施の形態に係る通信デバイスが用いられる製造システムの概要について図１を用いて説明する。
【００３０】
図１は、本実施の形態に係る通信デバイスが用いられる製造システムの概要の一例を示す概略図である。
【００３１】
図１に示される製造システム１０は、例えば半導体等の製品を製造するためのシステムである。図１に示されるように、製造システム１０は、製造系システムとして、製造装置２１及び２２、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）２４並びに製造コントローラ２５を備えている。また、製造システム１０は、搬送系システムとして、搬送コントローラ３１、無線アクセスポイント３２及び３３、複数台の天井走行台車（搬送台車）３４、ＬＡＮ３５並びにレール３６を備えている。なお、半導体等の製造システムでは、一般的に複数の製造装置が備えられるが、図１では便宜上２台の製造装置２１及び２２を図示している。また、天井走行台車（搬送台車）３４は、一般的に複数台（例えば数十〜数百台）備えられるが、図１では便宜上１台しか図示していない。また、ＬＡＮ２４及びＬＡＮ３５は独立のＬＡＮであっても良いし、例えばゲートウェイ等を介して接続されていてもよい。
【００３２】
製造装置２１及び２２は、半導体等の製品を製造する製造装置であり、例えばウェハ等の処理対象物を収納したポッド３７を搬出入するための載置ポートを１つ以上備えている。図１に示す例では、製造装置２１及び２２は、それぞれ２つの載置ポートを備えている。また、各載置ポートは、天井走行台車３４とＥ８４通信を行うための光ＩＯ５１、５２、５３及び５４を備えている。
【００３３】
ＬＡＮ２４は、製造装置２１及び２２と製造コントローラ２５とを接続するためのネットワークである。
【００３４】
製造コントローラ２５は、製造スケジュールを生成し、生成した製造スケジュールに基づいて、ＬＡＮ２４を介して接続されている製造装置２１及び２２に対して、所定のポッド３７（実際には、ポッド３７に収納されている処理対象物）に対する処理を指示する。また、製造コントローラ２５は、搬送コントローラ３１に対して、処理が行われる所定のポッド３７の搬送を要求する。
【００３５】
搬送コントローラ３１は、製造コントローラ２５からの要求により、搬送スケジュールを生成する。搬送コントローラ３１は、生成した搬送スケジュールに基づいて、各天井走行台車３４に対して、所定のポッド３７の搬送を指示する。
【００３６】
無線アクセスポイント３２及び３３は、ＬＡＮ３５に接続され、無線ＬＡＮにより天井走行台車（搬送台車）３４と通信を行うための無線ＬＡＮアクセスポイントである。
【００３７】
天井走行台車３４は、レール３６に吊り下げられる形で取り付けられており、レール３６に沿って走行し、製造装置２１及び２２にポッド３７を搬送する。また、天井走行台車３４は、光ＩＯ３８を備えており製造装置２１及び２２の各載置ポートとＥ８４通信を行う。さらに、天井走行台車３４は、制御部及び通信部（図示せず）を備え、搬送コントローラ３１と通信を行い、搬送コントローラ３１からの指示に基づいて制御される。
【００３８】
ＬＡＮ３５は、各天井走行台車３４と、各製造装置２１及び２２並びに搬送コントローラ３１と、を接続するためのネットワークである。
【００３９】
通信デバイス１００は、製造系システム及び搬送系システムに接続され、両システムと通信を行うデバイスである。通信デバイス１００の詳細については後述する。
【００４０】
［２．製造システムの各構成機器の接続態様］
次に、本実施の形態に係る通信デバイス１００を含む製造システム１０の各構成機器の接続態様について図２を用いて説明する。
【００４１】
図２は、本実施の形態に係る通信デバイス１００が用いられる製造システム１０における各構成機器間の接続態様の一例を示す図である。ここでは、２つの載置ポートを備えている製造装置２１及び２２に通信デバイス１００が接続されている例を示している。また、図１と同様に図面上、ＬＡＮ２４及びＬＡＮ３５は接続されていないが、独立のＬＡＮであってもよいし、例えばゲートウェイ等を介して接続されていてもよい。
【００４２】
図２に示されるように、通信デバイス１００は、ハブ（ＨＵＢ）４１を介してＬＡＮ２４に接続されている。また、通信デバイス１００は、ハブ４２を介してＬＡＮ３５に接続されている。また、通信デバイス１００は、ハブ４３を介して製造装置２１及び２２に接続されている。さらに、通信デバイス１００のＩＯポート１０６、１０７、ｌ０８及び１０９は、製造装置２１の各載置ポート（ＬＰ１及びＬＰ２）及び製造装置２２の各載置ポート（ＬＰ１及びＬＰ２）に接続されている。なお、図２では、通信デバイス１００及び製造コントローラ２５が同じハブ４１に接続されているが、製造コントローラ２５はＬＡＮ２４に直接又は他のハブを介して接続されてもよい。また、通信デバイス１００及び搬送コントローラ３１が同じハブ４２に接続されているが、搬送コントローラ３１はＬＡＮ３５に直接又は他のハブを介して接続されていてもよい。
【００４３】
［３．通信デバイスの機能構成］
次に、本実施の形態に係る通信デバイス１００の機能構成について図３を用いて説明する。
【００４４】
図３は、本実施の形態に係る通信デバイス１００の機能構成を示すブロック図である。
【００４５】
図３に示されるように、通信デバイス１００は、通信部１２０、パケットモニタ部１０４、制御部１０５、ＩＯポート１０６、１０７、１０８及び１０９、ＩＯモニタ部１１０、計算部１３０、記憶部１４０並びに時計回路１５０を備えている。
【００４６】
通信部１２０は、製造コントローラ２５、搬送コントローラ３１などの外部装置とネットワークを介して通信する処理部であり、第１通信ポート１０１、第２通信ポート１０２、第３通信ポート１１１及び中継部１０３により構成されている。
【００４７】
第１通信ポート１０１、第２通信ポート１０２及び第３通信ポート１１１は、ＬＡＮを介して通信が行われるポートである。
【００４８】
中継部１０３は、第１通信ポート１０１と第２通信ポート１０２との間でパケットデータを中継する。すなわち、第１通信ポート１０１に接続されている製造コントローラ２５と、第２通信ポート１０２に接続されている製造装置２１及び２２との間でパケットデータを中継する。
【００４９】
パケットモニタ部１０４は、中継部１０３によって中継されている第１通信ポート１０１と第２通信ポート１０２との間のパケットデータをモニタリングする。すなわち、第１通信ポート１０１に接続されている製造コントローラ２５と第２通信ポート１０２に接続されている製造装置２１及び２２との間で通信されているパケットデータをモニタリングする。
【００５０】
ＩＯポート１０６、１０７、１０８及び１０９は、例えば有線のパラレル通信線により製造装置２１の各載置ポート及び製造装置２２の各載置ポートに接続されて、信号の入出力を行う片側８ビット、双方向で１６ビットのパラレルポートである。ここで、入出力される信号は、例えばＥ８４通信プロトコルに基づく、ポッド３７の移載に関する信号である。
【００５１】
ＩＯモニタ部１１０は、各ＩＯポート１０６、１０７、１０８及び１０９で入出力される信号をモニタリングすることで、各ＩＯポート１０６、１０７、１０８及び１０９の状態をモニタリングする。ここで、各ＩＯポート１０６、１０７、１０８及び１０９の状態とは、各ＩＯポート１０６、１０７、１０８及び１０９から受け取ったそれぞれ例えば８ビット等のデータのデータパターンである。
【００５２】
制御部１０５は、通信デバイス１００の制御を行う処理部である。具体的には、通信部１２０、パケットモニタ部１０４、ＩＯポート１０６、１０７、１０８及び１０９から入力された信号に基づくデータを記憶部１４０に蓄積する。
【００５３】
また、制御部１０５は、各載置ポートの光ＩＯと天井走行台車３４の光ＩＯ３８との間で行われるＥ８４通信を、ネットワーク経由で行うこともできる。すなわち、載置ポートの状態を示す情報を天井走行台車３４に送信するために、制御部１０５は、パケットモニタ部１０４及びＩＯモニタ部１１０によってモニタリングされたモニタリング情報を、天井走行台車３４へ第３通信ポート１１１を介して送信する。また、天井走行台車３４の状態を示す情報を載置ポートに送信するために、制御部１０５は、第３通信ポート１１１を介して天井走行台車３４から受信したデータを各ＩＯポート１０６、１０７、１０８及び１０９に出力する。
【００５４】
また、制御部１０５は、変換テーブルを有している。この変換テーブルは、パケットモニタ部１０４によってモニタリングされたモニタリング情報に含まれる情報を変換するためのテーブルである。制御部１０５は、この変換テーブルを用いて、上記モニタリング情報に含まれる製造装置２１及び２２が載置ポートを識別するための第１識別情報を、搬送コントローラ３１及び天井走行台車３４が載置ポートを識別するための第２識別情報に変換する。ここで、第１識別情報は、製造装置２１及び２２が載置ポートを識別するための情報であり、製造装置２１及び２２内で一意に特定されるローカルなＩＤ（例えば１、２等のポート番号）である。また、第２識別情報は、搬送コントローラ３１及び天井走行台車３４が載置ポートを識別するための情報であり、製造システム１０内で一意に特定されるグローバルなＩＤ（グローバルＩＤ）である。上記変換テーブルの詳細については後述する。
【００５５】
計算部１３０は、記憶部１４０に蓄積されるデータに基づいて計算を行う処理部である。計算部１３０は、例えば、記憶部１４０に蓄積されるデータの統計値を算出する。
【００５６】
記憶部１４０は、パケットモニタ部１０４で受信されたパケットデータ、ＩＯモニタ部１１０でモニタリングされた信号に係るデータなどが蓄積されるメモリである。記憶部１４０には、例えば、パケットモニタ部１０４で受信された所定のパケットデータが送信された時刻と、ＩＯモニタ部１１０で所定のポート状態が検知された時刻と、を含む時間データが蓄積される。当該時間データの詳細については後述する。
【００５７】
時計回路１５０は時刻をカウントする。制御部１０５の要求に応じて、現在の時刻を出力する。時計回路１５０から出力された時刻は、時間データを構成する時刻となる。なお時計回路１５０から時刻を取得することにかえて、外部の機器から時刻を取得することもできる。
【００５８】
次に上述した制御部１０５が有する変換テーブルについて説明する。
【００５９】
図４及び図５は、制御部１０５が有する変換テーブルの一例を示す図である。
【００６０】
図４及び図５に示されるように、変換テーブル１１２には、装置アドレス、載置ポートのポート番号、載置ポートのグローバルＩＤ、及び、搬送台車番号が、それぞれ対応付けられて記載されている。ここで、装置アドレスとは、通信デバイス１００に接続されている製造装置の、例えばＩＰ（Ｉｎｔｅｒｎｅｔ  Ｐｒｏｔｏｃｏｌ）アドレス等である。また、搬送台車番号とは、載置ポートに割り当てられた天井走行台車３４の番号である。
【００６１】
製造コントローラ２５は、製造装置２１及び２２の装置アドレス及び載置ポートのポート番号を用いて、製造システム１０内において載置ポートを識別している。また、搬送コントローラ３１及び天井走行台車３４は、上記のようにグローバルＩＤを用いて、製造システム１０内において載置ポートを識別している。
【００６２】
例えば、制御部１０５が、図４に示される変換テーブル１１２を有している場合に、搬送コントローラ３１が、天井走行台車３４（搬送台車番号「５２１」）に、製造装置２２（「ＩＰ２」）の載置ポートＬＰ１（ポート番号「１」）への搬送を指示すると仮定する。この場合、搬送コントローラ３１から天井走行台車３４への、グローバルＩＤ「１０７」への搬送指示を示す信号を、通信デバイス１００の通信部１２０が受信する。当該信号を受信したことを受けて、通信デバイス１００の制御部１０５は、図５に示されるように変換テーブル１１２を更新する。
【００６３】
通信デバイス１００は、変換テーブル１１２を有することにより、製造コントローラ２５から製造装置２１及び２２への指示と、搬送コントローラ３１から天井走行台車３４への指示と、を対応させることができる。これにより、通信デバイス１００がＩＯモニタ部１１０によって検知した特定の載置ポートの状態に基づいて、当該載置ポートへの搬送を指示されている天井走行台車３４の搬送台車番号を特定して、当該天井走行台車３４へ指示を送ることができる。
【００６４】
［４．製造システム及び通信デバイスの基本動作］
次に、上記のように構成された製造システム１０において、ポッド３７の搬送及び移載を行う場合の基本動作について説明する。
【００６５】
製造システム１０において、製造コントローラ２５は、製造スケジュールを生成し、生成した製造スケジュールに基づいて、ＬＡＮ２４を介して接続されている各製造装置２１及び２２に対して、所定のポッド３７に対する処理を指示する。また、製造コントローラ２５は、搬送コントローラ３１に対して、処理が行われる所定のポッド３７の搬送を要求する。
【００６６】
搬送コントローラ３１は、製造コントローラ２５からの要求により、搬送スケジュールを生成する。搬送コントローラ３１は、生成した搬送スケジュールに基づいて、各天井走行台車３４に対して、所定のポッド３７の搬送を指示する。すなわち、処理が行われる所定のポッド３７の搬送を複数の天井走行台車３４の中から１台の天井走行台車３４を割り当て、割り当てた天井走行台車３４に対して対象のポッド３７の搬送を指示する。このとき、搬送コントローラ３１は、割り当てた天井走行台車３４を識別するための第３識別情報を、搬送先である製造装置に送信する。ここで、第３識別情報は、製造装置が天井走行台車３４を識別するための情報であり、製造システム１０内で天井走行台車３４を一意に特定する台車番号である。
【００６７】
対象のポッド３７を搬送する天井走行台車３４が、処理が行われる製造装置に到着すると、天井走行台車３４の光ＩＯ３８と製造装置２２の対象となる載置ポートの光ＩＯとの間で、ポッド３７の移載に関するＥ８４通信が行われる。なお、本実施の形態においては、上述のとおりＥ８４通信をネットワーク経由で行うこともできる。すなわち、制御部１０５は、ＩＯモニタ部１１０によってモニタリングされたモニタリング情報（各載置ポートの状態を示す信号）を天井走行台車３４へ送信する。また、制御部１０５は、天井走行台車３４から受信したデータを各ＩＯポート１０６、１０７、１０８及び１０９に出力する。これにより、製造装置２２の載置ポートＬＰ１と天井走行台車３４との間で、Ｅ８４通信を行うことができる。
【００６８】
そして、製造装置２２の載置ポート（ＬＰ１）にポッド３７が載置されると、ポッド３７に収納された処理対象物が製造装置２１において処理される。
【００６９】
このようにして、製造システム１０において、一連の処理が行われ、例えば半導体等の製品の製造が行われる。
【００７０】
［５．時間データ及びその取得・蓄積方法］
以上のような、製造工程において、通信デバイス１００の記憶部１４０に蓄積される時間データについて図６を用いて説明する。
【００７１】
図６は、通信デバイス１００の記憶部１４０が有する時間データが蓄積されたデータテーブル１１３の一例を示す図である。
【００７２】
図６に示されるように、時間データは、グローバルＩＤ、搬送指示時刻、台車到着時刻及びＩＬ結果の情報を含む。ここで、時間データのグローバルＩＤは、搬送コントローラ３１が天井走行台車３４に指示した行き先の載置ポートのグローバルＩＤを示す。また、時間データの搬送指示時刻は、搬送コントローラ３１が天井走行台車３４に搬送指示を伝えるパケットデータを送信した時刻を示す。また、時間データの台車到着時刻は、天井走行台車３４が、指示された行き先の載置ポートに到着した時刻を示す。また時間データのＩＬ結果は、天井走行台車３４と載置ポートとの間におけるＥ８４通信のインターロックシーケンスの結果を示し、エラーなくシーケンスが完了したことを示すコード（「ＯＫ」など）、又は、エラーコード（「Ｅ１」など）が示される。
【００７３】
次に、通信デバイス１００による時間データの取得方法について説明する。
【００７４】
通信デバイス１００の通信部１２０は、搬送コントローラ３１から送信された搬送指示を示すパケットデータを受信する。通信部１２０が受信したパケットデータは、制御部１０５に入力され、制御部１０５は、当該パケットデータに示される行き先の載置ポートのグローバルＩＤ及び当該パケットデータの送信時刻を記憶部１４０に時間データとして蓄積する。また、通信デバイス１００は、ＩＯモニタ部１１０によって、載置ポートの状態（ポート状態）を検知することによって、載置ポートに天井走行台車３４が到着した時刻、及び、Ｅ８４通信のインターロックシーケンスの結果を検知する。そして、通信デバイス１００の制御部１０５は、台車到着時刻とＩＬ結果とを記憶部１４０に時間データとして蓄積する。
【００７５】
以上のように記憶部１４０に時間データが蓄積されれば、当該時間データにエラーの発生を示すデータが含まれる場合、当該時間データの解析によりエラー発生原因などを推測することができる。
【００７６】
［６．時間データを用いた制御動作］
そこで、製造システム１０における時間データを用いた制御動作の手順について図７を用いて説明する。
【００７７】
図７は、製造システム１０における時間データを用いた制御動作の手順の一例を示すフローチャートである。
【００７８】
図７に示されるように、まず、通信デバイス１００の制御部１０５が、時間データを蓄積する（Ｓ１）。ここで、通信デバイス１００は、時間データに基づくデータを、製造コントローラ２５等の外部機器に送信する。なお、通信デバイス１００による時間データ蓄積工程の詳細については後述する。
【００７９】
制御部１０５によって、時間データが蓄積されると、続いて当該時間データが解析される（Ｓ２）。例えば、通信デバイス１００の計算部１３０が、時間データの統計値を算出し、当該統計値に基づいて、計算部１３０又は制御部１０５が解析を行う。当該解析の一例について説明する。天井走行台車３４が、所定の載置ポートの上方に到着して所定の時間待機しても当該載置ポートの準備が完了しないタイムアウトエラーが複数回発生した場合を仮定する。そして、当該タイムアウトエラーが発生する場合と、発生しない場合とで、それぞれ、搬送指示時刻から台車到着時刻までの時間の平均値が計算部１３０によって求められる。続いて、制御部１０５によって、タイムアウトエラーと搬送指示時刻から台車到着時刻までの時間の平均値との相関が解析される。
【００８０】
次に、時間データの解析結果に基づいて、搬送制御における修正の必要性が判断される（Ｓ３）。例えば、上記タイムアウトエラーが発生する場合の搬送指示時刻から台車到着時刻までの時間の平均値が、エラーが発生しない場合のそれより著しく短い場合は、天井走行台車３４の到着が早過ぎる場合にタイムアウトエラーが発生すると推測される。したがって、天井走行台車３４の到着を遅らせることでタイムアウトエラーの発生を低減できると推測されるため、通信デバイス１００の制御部１０５によって、タイムアウトエラーの発生を低減するために搬送制御の修正が必要と判断される（Ｓ３でＹｅｓ）。
【００８１】
搬送制御の修正が必要と判断されると、搬送制御の修正が行われる（Ｓ４）。具体的には、例えば、通信デバイス１００の制御部１０５から、製造コントローラ２５及び搬送コントローラ３１の少なくとも一方に、搬送指示のタイミングを遅らせる旨の指示を含む通信データを送信する。そして、例えば当該通信データを受信した搬送コントローラ３１は、搬送スケジュールを修正して、天井走行台車３４への搬送指示を遅らせる。
【００８２】
そして、搬送制御の修正が完了した場合、及び、制御部１０５によって搬送制御の修正が必要でないと判断された場合（Ｓ３でＮｏ）には、時間データを用いた製造システム１０の動作は終了する。ここで、制御部１０５によって搬送制御の修正が必要でないと判断される場合としては、例えば、エラーが発生していない場合、エラーと搬送指示時刻などとの相関が見出されない場合などが考えられる。
【００８３】
なお、ここでは、上記各動作は、通信デバイス１００によって自動的に行われる例を示したが、上記各動作は、製造コントローラ２５、搬送コントローラ３１などの機器によって行われてもよいし、ユーザによって手作業で行われてもよい。
【００８４】
次に、上記の時間データ蓄積工程について図８を用いて詳細に説明する。
【００８５】
図８は、通信デバイス１００による時間データ蓄積工程における動作の手順の一例を示すフローチャートである。
【００８６】
通信デバイス１００は、時間データを蓄積する動作において、まず時間データを取得する（Ｓ１１）。時間データの取得方法は、上述のとおりである。
【００８７】
通信デバイス１００が時間データを取得すると、制御部１０５は、時間データに含まれるＩＬ結果のデータから、天井走行台車３４と載置ポートとの間におけるポッド３７の移載において、エラーが発生したか否かを判断する（Ｓ１２）。
【００８８】
ここで、制御部１０５は、エラーが発生しなかったと判断すると（Ｓ１２でＮｏ）、記憶部１４０に時間データを記録する（Ｓ１３）。
【００８９】
また、制御部１０５は、エラーが発生したと判断すると（Ｓ１２でＹｅｓ）、当該エラーが至急ユーザに通知する必要のある重大なエラーか否かを判断する（Ｓ１４）。
【００９０】
制御部１０５は、当該エラーが重大なエラーであると判断すると（Ｓ１４でＹｅｓ）、当該エラーの内容を示す通信データを製造コントローラ２５などに送信する（Ｓ１５）。
【００９１】
制御部１０５は、当該エラーが重大なエラーでないと判断すると（Ｓ１４でＮｏ）、エラーの種類毎に発生回数をカウントする（Ｓ１６）。続いて制御部１０５は、特定のエラーが所定の回数以上発生したか否かを判断する（Ｓ１７）。ここで、当該所定の回数は、特に限定されない。例えば、当該所定の回数を１０回などと定めてもよい。
【００９２】
制御部１０５は、特定のエラーが所定の回数以上発生したと判断すると（Ｓ１７でＹｅｓ）、例えば、所定の回数以上発生したエラーとその発生回数とを示す通信データを、製造コントローラ２５などに送信する（Ｓ１５）。また、当該送信が終了した場合、及び、制御部１０５が特定のエラーが所定の回数以上発生していないと判断した場合（Ｓ１７でＮｏ）には、制御部１０５は、取得した時間データを記憶部１４０に記録する（Ｓ１３）。
【００９３】
なお、上記の動作例においては、通信データを送信するタイミングとして、重大なエラーが発生したタイミングなどを採用したが、通信データを送信するタイミングは、これらに限られない。例えば、蓄積した時間データを周期的に送信してもよい。
【００９４】
［７．効果など］
以上のように、本実施の形態に係る通信デバイス１００では、通信部１２０で受信された搬送指示時刻と、ＩＯモニタ部１１０で検知された台車到着時刻と、を含む時間データが蓄積される記憶部１４０とを備える。さらに、通信デバイス１００は、蓄積された時間データに基づく通信データを通信部１２０からネットワークを介して製造コントローラ２５などの外部装置に送信する制御部１０５を備える。これにより、本実施の形態に係る通信デバイス１００では、製造システム１０の制御の修正に利用可能な時間データを得ることができる。そして、当該時間データに基づく通信データを外部装置に送信することで、当該通信データを外部装置の制御の修正のために利用することができる。
【００９５】
また、本実施の形態に係る通信デバイス１００では、さらに、所定のエラーが所定の回数発生した場合には、通信データを送信する。これにより、所定のエラーが繰り返し発生していることを外部装置に報知することができ、外部装置に制御の修正を促すことができる。
【００９６】
また、本実施の形態に係る通信デバイス１００では、蓄積された時間データの統計値を算出する計算部１３０を備える。これにより、通信デバイス１００によって、当該統計値に基づいた通信データを外部装置に送信することで、外部装置において、当該統計値に基づいた制御の修正を行うことができる。
【００９７】
また、本実施の形態では、制御部１０５は、変換テーブル１１２を用いて、製造装置のポート番号をグローバルＩＤに変換しているが、これに限られるものではない。例えば、製造コントローラ２５における載置ポートの識別情報と、搬送コントローラ３１における載置ポートの識別情報が同じであれば、識別情報を変換する必要はない。
【００９８】
（変形例など）
以上、本発明の通信デバイスについて、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。
【００９９】
例えば、上記実施の形態では、搬送指示時刻及び台車到着時刻を含む時間データを用いたが、時間データとして蓄積される時刻としては、これらに限られない。例えば、ＩＯモニタ部１１０で第１のポート状態を検知した時刻と、第２のポート状態を検知した時刻とを、含む時間データを用いてもよい。例えば、第１のポート状態として天井走行台車３４の到着を示す状態を選択し、第２のポート状態として天井走行台車３４のポート出発を示す状態を選択してもよい。これにより、両状態を検知した時刻から天井走行台車３４がポート上方に停車していた時間が求められるため、台車停車時間をより短くすべく搬送制御を修正するために時間データを用いることができる。また、上記第１のポート状態及び上記第２のポート状態の少なくとも一方として、所定のエラー状態を示すポート状態を選択してもよい。これにより、所定のエラー状態が発生する原因などを解析することができる。また、所定のエラー状態が所定の回数は検知された場合に、制御部１０５が当該エラー状態及びその回数を含む通信データを外部装置に送信してもよい。これによれば、当該通信データを外部装置の制御の修正のために利用することができる。
【０１００】
また、上記実施の形態では、エラーの発生を抑制するために、搬送コントローラ３１などの外部装置の搬送制御を修正する構成が示されたが、エラーの発生を抑制する手段としては、これに限られない。例えば、通信デバイス１００のＩＯモニタ部１１０によって、各載置ポートの状態を監視して、通信デバイス１００の通信部１２０が各載置ポートの状態を天井走行台車３４、搬送コントローラ３１など外部装置に送信してもよい。これにより、例えば、天井走行台車３４が行き先として指定された載置ポートに到着する直前に、天井走行台車３４などは、当該載置ポートのポッド３７移載準備が完了していないことを検知し、当該載置ポートでの停車を取りやめることができる。したがって、エラーの発生が回避される。
【０１０１】
また、上記実施の形態では、搬送台車として天井走行台車を用いているが、これに限られるものではなく、例えば地上を走行する走行台車等であっても構わない。
【０１０２】
また、本実施の形態においては、Ｅ８４通信に基づくインターロックシーケンスを実行する例を示したが、本発明は、これ以外のインターロックシーケンスにおいても採用することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０３】
本発明は、ポッドを載置する載置ポートと、ポッドを搬送及び移載する搬送台車との間で通信を行う通信デバイスに利用することができる。
【符号の説明】
【０１０４】
１０  製造システム
２１、２２  製造装置
２４、３５  ＬＡＮ
２５  製造コントローラ
３１  搬送コントローラ
３２、３３  無線アクセスポイント
３４  天井走行台車
３６  レール
３７  ポッド
３８、５１、５２、５３、５４  光ＩＯ
４１、４２、４３  ハブ
１００  通信デバイス
１０１  第１通信ポート
１０２  第２通信ポート
１０３  中継部
１０４  パケットモニタ部
１０５  制御部
１０６、１０７、１０８、１０９  ＩＯポート
１１０  ＩＯモニタ部
１１１  第３通信ポート
１２０  通信部
１３０  計算部
１４０  記憶部
１５０  時計回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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