(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂製の環状のバルブシートと、前記バルブシートを装着するシート装着溝を画定するとともに流体流路を画定するバルブボディと、前記流体流路の一部を画定するとともに、前記バルブシートに対して当接離隔可能に前記バルブボディに支持されて前記流体流路を開閉可能なダイヤフラムと、を有するダイヤフラムバルブの製造方法であって、
前記バルブボディは、前記シート装着溝の対向する２つの側壁面の少なくとも一方に、周方向に延在する固定用凹部を有し、
樹脂製の環状の固定用部材を前記固定用凹部に配置して当該固定用凹部を埋め、
前記固定用部材が配置された状態のシート装着溝に前記バルブシートを挿入し、
前記バルブシートの前記シート装着溝から露出した部分に、温度コントロール手段を備えた金型をはめ込み、
前記金型の温度を、前記温度コントロール手段により、前記バルブシートの前記部分が溶融せず該部分の形状が維持できる温度にコントロールし、
前記バルブボディを加熱して前記固定用部材とバルブシートとを溶着により接合する、ことを含むことを特徴とするダイヤフラムバルブの製造方法。
【請求項２】
樹脂製の環状のバルブシートと、前記バルブシートを装着するシート装着溝を画定するとともに流体流路を画定するバルブボディと、前記流体流路の一部を画定するとともに、前記バルブシートに対して当接離隔可能に前記バルブボディに支持されて前記流体流路を開閉可能なダイヤフラムと、を有するダイヤフラムバルブの製造方法であって、
前記バルブボディは、前記シート装着溝の対向する２つの側壁面の少なくとも一方に、周方向に延在する固定用凹部を有し、
前記固定用凹部を満たすための溶融した樹脂材料を前記シート装着溝内に注入し、または、前記固定用凹部を満たすための樹脂材料を前記シート装着溝内で溶融し、
前記溶融した樹脂材料を収容するシート装着溝内に前記バルブシートを挿入し、
前記バルブシートの前記シート装着溝から露出した部分に、温度コントロール手段を備えた金型をはめ込み、
前記金型の温度を、前記温度コントロール手段により、前記バルブシートの前記部分が溶融せず該部分の形状が維持できる温度にコントロールし、
前記樹脂材料を固化して前記バルブシートと接合する、ことを含むことを特徴とするダイヤフラムバルブの製造方法。
【請求項３】
前記固定用部材と、前記バルブシートとは異なる材料で形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラムバルブの製造方法。
【請求項４】
前記固定用部材と、前記バルブシートとは同一材料で形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラムバルブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラムバルブおよびダイヤフラムバルブの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセス、フラットパネルディスプレイの製造プロセス、ソーラーパネルの製造プロセス等において、各種処理ガスの流れを制御するための流体制御機器の一つとして、ダイヤフラムバルブが知られている。ダイヤフラムバルブは、バルブボディのシート装着溝にバルブシートを装着し、ダイヤフラムをこのバルブシートに対して当接離隔可能にバルブボディに設けることで、流路を開閉可能とする（たとえば、特許文献１−３等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平０５−０９４５８４号公報
【特許文献２】特開平０６−２６５０３５号公報
【特許文献３】特開平０７−００４５４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記したようなダイヤフラムバルブでは、シート装着溝の対向する２つの側壁の一方に設けられたバルブボディの一部であるかしめ部を塑性変形させてバルブシートをバルブボディに固定している。
しかしながら、この固定方法では、バルブボディへのバルブシートの固定力が十分でない場合があることが判明した。たとえば、製造工程やメンテナンス工程等でバルブシートをパージガスでパージした際に、バルブシートがパージガスの圧力でシート装着溝から外れる可能性があった。
また、上記のような固定方法では、かしめ部の押圧によりバルブシートに残留する応力を利用してバルブボディに固定するので、ダイヤフラムバルブの加熱や時間の経過により応力が緩和され、バルブシートの固定力が低下する可能性がある。
さらに、上記の固定方法では、かしめ部をバルブボディにかならず確保する必要があり、ダイヤフラムバルブの小型化に対応するのが難しい。
【０００５】
本発明の目的の一つは、バルブシートがバルブボディへより確実に固定可能なダイヤフラムバルブおよびその製造方法を提供することである。
本発明の目的の一つは、小型化に対応可能なダイヤフラムバルブおよびその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のダイヤフラムバルブは、シート装着溝を画定するとともに流体流路を画定するバルブボディと、前記シート装着溝に適合するように挿入される樹脂製の環状のバルブシートと、を有し、前記バルブボディは、前記流体流路の一部を画定する弁体としてのダイヤフラムを前記バルブシートに対して当接離隔可能に支持し、前記バルブボディは、前記シート装着溝の対向する２つの側壁面の少なくとも一方に、周方向に延在する固定用凹部を有し、前記固定用凹部を埋めるように配置される樹脂製の環状の固定用部材をさらに有し、前記固定用部材と前記バルブシートとが接合され、当該バルブシートは当該固定用部材により前記バルブボディに固定されている、ことを特徴とする。
【０００７】
本発明のダイヤフラムバルブの製造方法は、樹脂製の環状のバルブシートと、前記バルブシートを装着するシート装着溝を画定するとともに流体流路を画定するバルブボディと、前記流体流路の一部を画定するとともに、前記バルブシートに対して当接離隔可能に前記バルブボディに支持されて前記流体流路を開閉可能なダイヤフラムと、を有するダイヤフラムバルブの製造方法であって、
前記バルブボディは、前記シート装着溝の対向する２つの側壁面の少なくとも一方に、周方向に延在する固定用凹部を有し、
樹脂製の環状の固定用部材を前記固定用凹部に配置して当該固定用凹部を埋め、
前記固定用部材が配置された状態のシート装着溝に前記バルブシートを挿入し、
前記バルブシートの前記シート装着溝から露出した部分に、温度コントロール手段を備えた金型をはめ込み、
前記金型の温度を、前記温度コントロール手段により、前記バルブシートの前記部分が溶融せず該部分の形状が維持できる温度にコントロールし、
前記バルブボディを加熱して前記固定用部材とバルブシートとを溶着により接合する、ことを含むことを特徴とする。
【０００８】
本発明のダイヤフラムバルブの製造方法は、樹脂製の環状のバルブシートと、前記バルブシートを装着するシート装着溝を画定するとともに流体流路を画定するバルブボディと、前記流体流路の一部を画定するとともに、前記バルブシートに対して当接離隔可能に前記バルブボディに支持されて前記流体流路を開閉可能なダイヤフラムと、を有するダイヤフラムバルブの製造方法であって、
前記バルブボディは、前記シート装着溝の対向する２つの側壁面の少なくとも一方に、周方向に延在する固定用凹部を有し、
前記固定用凹部を満たすための溶融した樹脂材料を前記シート装着溝内に注入し、または、前記固定用凹部を満たすための樹脂材料を前記シート装着溝内で溶融し、
前記溶融した樹脂材料を収容するシート装着溝内に前記バルブシートを挿入し、
前記バルブシートの前記シート装着溝から露出した部分に、温度コントロール手段を備えた金型をはめ込み、
前記金型の温度を、前記温度コントロール手段により、前記バルブシートの前記部分が溶融せず該部分の形状が維持できる温度にコントロールし、
前記樹脂材料を固化して前記バルブシートと接合する、ことを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、バルブボディのシート装着溝に形成された固定用凹部を環状の固定用部材で埋めるとともに、バルブシートをシート装着溝に挿入して固定用部材と接合させるので、バルブシートがシート装着溝から脱落するのを固定用凹部に嵌った固定用部材が阻止する。これにより、バルブシートがバルブボディのシート装着溝に確実に固定される。また、本発明では、バルブボディを変形させることなく、バルブシートをシート装着溝に固定させることができるので、バルブボディ（ダイヤフラムバルブ）の小型化にも対応可能となる。
なお、本発明で用いる「接合」なる用語は、元々別々の部材又は材料同士を、溶着、溶接、接着剤による接着等の各種接続方法を用いて結合させることを意味するものとし、分子レベルで結合させる場合に限らず、機械的に結合させる場合も含まれるものとする。
また、本発明で用いる「一体化」なる用語は、別体であった固定用部材とバルブシートとが、結合して一つの部材となる意味で用いられ、分子レベルで融合している場合のみならず、機械的に結合している場合も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの一部に破断部を有する外観図。
【図２】図１の円Ａ内の拡大断面図。
【図３Ａ】本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブのバルブシートの組み付け工程を示す断面図。
【図３Ｂ】図３Ａに続く工程を示す断面図。
【図３Ｃ】図３Ｂに続く工程を示す断面図。
【図４】本発明の第２の実施形態に係るダイヤフラムバルブの要部の拡大断面図。
【図５Ａ】図４のダイヤフラムバルブのバルブシートの組み付け工程を示す断面図。
【図５Ｂ】図５Ａに続く工程を示す断面図。
【図５Ｃ】図５Ｂに続く工程を示す断面図。
【図６】本発明の第３の実施形態に係るダイヤフラムバルブの要部の拡大断面図。
【図７Ａ】図６のダイヤフラムバルブのバルブシートの組み付け工程を示す断面図。
【図７Ｂ】図７Ａに続く工程を示す断面図。
【図８】本発明の第４の実施形態に係るダイヤフラムバルブの要部の拡大断面図。
【図９Ａ】図８のダイヤフラムバルブのバルブシートの組み付け工程を示す断面図。
【図９Ｂ】図９Ａに続く工程を示す断面図。
【図１０Ａ】本発明の第５の実施形態に係るダイヤフラムバルブのバルブシートの組み付け工程を示す断面図
【図１０Ｂ】図１０Ａに続く工程を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１２】
第１実施形態
図１〜図３Ｃを参照して本発明の第１の実施形態について説明する。
図１は本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの外観図である。なお、図１は本実施形態に係るダイヤフラムバルブの要部の構造を示すため一部に破断部を有する。また、図２は、図１の破断部の円Ａ内の拡大断面図である。図３Ａ〜図３Ｃは、本実施形態に係るダイヤフラムバルブのバルブシートの組み付け工程を説明するための図である。
ダイヤフラムバルブ１は、金属製のバルブボディ１０を有し、図１に示すように、バルブボディ１０はガス等の流体の流路１１，１２，１３を画定している。流路１１は継手部２１に形成された図示しない流路と連通し、流路１２は継手部２２に形成された図示しない流路と連通している。流路１１と流路１２とを連通させる流路１３は、バルブボディ１０と後述するダイヤフラム８０により画定されている。バルブボディ１０の流路１１の周囲には、環状のシート装着溝３０が形成され、このシート装着溝３０に環状のバルブシート７０が装着されている。なお、バルブシート７０およびシート装着溝３０の構造と、バルブシート７０のシート装着溝３０への固定方法については後で詳述する。
【００１３】
弁体としてのダイヤフラム８０は、バルブシート７０に対して当接離隔可能にバルブボディ１０に支持されている。
ダイヤフラム８０は図１，２に示すように、バルブシート７０よりも大きな直径を有し、ステンレス、ＮｉＣｏ系合金などの金属やフッ素系樹脂で球殻状に弾性変形可能に形成されている。ダイヤフラム８０は、押えアダプタ９０を介してバルブヘッド１００の図示しない下端面によりバルブボディ１０に向けて押し付けられることによりバルブボディ１０に固定されている。
図１，２においては、ダイヤフラム８０はダイヤフラム押え１１０により押圧されて弾性変形し、バルブシート７０に押し付けられている状態にある。ダイヤフラム押え１１０による押圧を開放すると、球殻状に復元する。ダイヤフラム８０がバルブシート７０に押し付けられている状態では、流体流路１３が閉鎖され、ダイヤフラムバルブ１は閉じた状態になり、ダイヤフラム８０がバルブシート７０から離れると、流体流路１３は開放されダイヤフラムバルブ１は開いた状態となる。
【００１４】
ダイヤフラム押え１１０は、バルブヘッド１００に内蔵された図示しない駆動機構により操作される。駆動機構は、エア等の操作流体ＦＬにより作動する。なお、ダイヤフラム押え１１０を駆動する駆動機構については、周知であるので詳細説明は省略する。
【００１５】
図２に示すように、シート装着溝３０はバルブボディ１０の中心軸線Ｃｔを中心とする環状に形成され、平坦状の底面３３と、この底面３３から上方に延びる対向する内周壁面３１および外周壁面３２とを有する。内周壁面３１は、バルブボディ１０に形成された円筒状の内周壁部１５の外周面により画定されている。
外周壁面３２の底面３３側には、断面形状が矩形状の固定用凹部３５が周方向に沿って形成されている。この固定用凹部３５には、熱可塑性樹脂からなる環状の固定用部材６０が固定用凹部３５を埋めるように嵌め込まれている。固定用部材６０の断面形状は矩形状であり、固定用凹部３５の断面形状に適合している。
固定用部材６０に隣接して、熱可塑性樹脂からなり、断面形状が略矩形状の環状のバルブシート７０がシート装着溝３０に嵌め込まれている。バルブシート７０は、その幅がシート装着溝３０の内周壁面３１と外周壁面３２との距離に適合している。
【００１６】
ここで、重要なのは、バルブシート７０と固定用部材６０とが接合されていることである。固定用部材６０が固定用凹部３５に嵌め込まれ、バルブシート７０はシート装着溝３０に嵌め込まれているので、バルブシート７０は、固定用部材６０によりシート装着溝３０から脱落するのを阻止され、シート装着溝３０に確実に固定される。
【００１７】
図３Ａ〜図３Ｃを参照して、バルブシートのバルブボディへの組み付け工程について説明する。
図３Ａは、固定用部材６０をシート装着溝３０の固定用凹部３５に嵌め込む前の状態を示している。固定用部材６０の外径ｄ１は、固定用凹部３５の内径Ｄ１、固定用部材６０の幅ｗ１は固定用凹部３５の径方向の幅Ｗ１、固定用部材６０の高さｈ１は固定用凹部３５の高さＨ１にそれぞれ適合している。
固定用部材６０の外径ｄ１は、内周壁面３２の直径よりも大きいので、固定用部材６０を変形させつつ圧入により図３Ｂに示すように固定用凹部３５に嵌める。この状態では、固定用部材６０の内周面６１は、外周壁面３２と略面一となっている。
【００１８】
この状態から、バルブシート７０をシート装着溝３０に挿入する。バルブシート７０の外径ｄ２は外周壁面３２の直径Ｄ２に、バルブシート７０の幅ｗ２はシート装着溝３０の幅Ｗ２にそれぞれ適合している。このため、バルブシート７０を変形させることなく、シート装着溝３０に嵌め込むことができる。このため、バルブシート７０が損傷しにくい。固定用部材６０を圧入により固定用凹部３５に嵌めると、損傷する可能性が高くなるが、固定用部材６０の損傷がバルブ性能に影響を及ぼす可能性は非常に低い。
【００１９】
バルブシート７０をシート装着溝３０に嵌め込むと、図３Ｃに示すように、固定用部材６０の内周面６１と、バルブシート７０の外周面７３とが接触した状態となる。ここで、本実施形態では、固定用部材６０の内周面６１とバルブシート７０の外周面７３とを溶着させることにより接合し、固定用部材６０とバルブシート７０とを一体化する。バルブシート７０の形成材料は、ＰＴＦＥやＰＣＴＦＥが用いられる。固定用部材６０の形成材料として、ＰＴＦＥやＰＣＴＦＥ等のバルブシート７０の形成材料と同様の材料を用いることもできるが、本実施形態では、バルブシート７０の形成材料とは異なる、バルブシート７０の形成材料よりも低い融点をもつ材料、たとえば、ＰＶＤＦを用いる。
次いで、固定用部材６０とバルブシート７０とが接触した状態で、バルブボディ１０をバルブシート７０の形成材料の融点を若干超える温度付近まで加熱する。固定用部材６０およびバルブシート７０は、熱により膨張すると、内周壁面３１と固定用凹部３５の内周面とに挟まれていることから、固定用部材６０の内周面６１とバルブシート７０の外周面７３との間には圧力が作用しつつ固定用部材６０およびバルブシート７０が溶融されその後冷却して固化させる。その結果、固定用部材６０およびバルブシート７０は、溶融状態で作用する圧力により、分子レベルで結合し一体化する。固定用部材６０の材料として比較的融点の低いＰＶＤＦを用いることで、バルブシート７０の変形量を最小限にでき、バルブシート７０の接触面である上面７４の位置精度を維持できる。
バルブシート７０の変形を抑制するためには、バルブシート７０のシート装着溝３０から露出した部分に金型を嵌め込むことでバルブシート７０の形状を維持することも可能である。この場合に、バルブシート７０はシート装着溝３０内にある部分は固定用部材６０と溶着させるためにバルブボディ１０の加熱により溶融させるが、その他の部分は、金型の温度コントロールにより溶融させずに、形状を維持することも可能である。このことは、固定用部材６０とバルブシート７０とが同じ材料の場合においても適用できる。
他にも、固定用部材６０をバルブシート７０の形成材料よりも低い融点をもつ材料で形成し、固定用部材６０とバルブシート７０の加熱温度を、バルブシート７０の融点よりも低くかつ固定用部材６０の融点よりも高くして固定用部材６０のみを溶融しこれを冷却固化することで、バルブシート７０の変形を防ぎつつ固定用部材６０とバルブシート７０を接合できる。
【００２０】
以上のように、本実施形態によれば、バルブシート７０の固定にカシメが不要となり、工程の削減になり、生産性が向上する。また、カシメを行なわないので、シート高さのバラつきを抑制できる。
また、固定用凹部３５を大きく形成することができるため、カシメよりも引っ掛かりが大きくなり、より確実な固定が可能となる。
本実施形態によれば、バルブボディ１０を加熱して溶着するので、複数のバルブボディを同時に加熱して各バルブシートを一括して固定することが可能であり、また、一のダイヤフラムバルブに存在する複数のバルブシートを同時に固定することができる。その結果、生産性を向上させることができる。
【００２１】
第２実施形態
図４〜図５Ｃを用いて第２の実施形態について説明する。なお、第１実施形態と同様の構成部分については同一の符号を使用している。図４は、第２実施形態に係るダイヤフラムバルブの要部の拡大断面図である。図５Ａ〜図５Ｃは、図４に係るダイヤフラムバルブのバルブシートの組み付け工程を説明するための図である。
本実施形態では、第１実施形態と比較して、固定用部材６０Ａの形状および固定用凹部３５Ａが異なる。具体的には、固定用部材６０Ａは、外周面が末広がり状に形成されているとともにＲ部６０Ｒが形成されている。バルブボディ１０Ｂ側では、図５Ａに示すように、バルブシート７０の径方向の位置を規定する基準面３２ｂ付近の形状を凸状に滑らかに湾曲する湾曲面とするとともに、基準面３２ｂの下側に外側に窪む周方向に延びる固定用凹部３５Ａの形状を固定用部材６０Ａの形状に適合させている。
これにより、図５Ｂに示すように、固定用凹部３５Ａに固定用部材６０Ａを圧入した際に、固定用部材６０Ａをスムーズに嵌め込むことができ、固定用部材６０Ａの損傷をより確実に防ぐことができる。
固定用凹部３５Ａに固定用部材６０Ａを圧入したのちは、第１実施形態と同様に、図５Ｃに示すようにバルブシート７０をシート装着溝３０Ａに装着し、バルブボディ１０Ｂを加熱して、バルブシート７０と固定用部材６０Ａとを溶着する。
【００２２】
第３実施形態
図６，図７Ａ，Ｂを用いて第３の実施形態について説明する。なお、第１実施形態と同様の構成部分については同一の符号を使用している。図６は、第３実施形態に係るダイヤフラムバルブの要部の拡大断面図である。図７Ａ，７Ｂは、バルブシートの組み付け工程を説明するための図である。
本実施形態では、固定用部材６０に加えて、これよりも小径の環状の固定用部材１６０を使用するとともに、バルブボディ１０Ｃのシート装着溝３０Ｃの内周壁面３１の底部に固定用部材１６０を嵌め込むための固定用凹部３６を形成している。
固定用部材１６０の形成材料は、固定用部材６０の形成材料と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
図７Ｂに示すように、２つの固定用部材６０，１６０をそれぞれ固定用凹部３５,３６に圧入する。その後は、第１実施形態で説明したのと同様の手順でバルブシート７０と２つの固定用部材６０，１６０とを溶着する。
本実施形態によれば、バルブシート７０の外径側および内径側の双方に固定用部材を設けることで、バルブシート７０をさらに確実にバルブボディ１０Ｃに固定できる。
【００２３】
第４の実施形態
図８，図９Ａ，Ｂを用いて第４の実施形態について説明する。なお、第１および第３の実施形態と同様の構成部分については同一の符号を使用している。図８は、第３実施形態に係るダイヤフラムバルブの要部の拡大断面図である。図９Ａ，９Ｂは、バルブシートの組み付け工程を説明するための図である。
本実施形態では、バルブボディ１０Ｃのシート装着溝３０Ｃの内周壁面３１および外周壁面３２に固定用凹部３５，３６をそれぞれ形成している点は、第３の実施形態と同様であるが、２つの固定用凹部３５，３６には、共通の固定用部材２６０が圧入される。
そして、図８および図９Ｂからわかるように、バルブシート７０Ａは、シート装着溝３０Ｃの幅と適合しているが、シート装着溝３０Ｃの底面３３とは接触せず、その底面７１Ａと固定用部材２６０の上面２６２とが接合されている。
なお、本実施形態においても、第１の実施形態において説明した各種方法で、固定用部材２６０およびバルブシート７０Ａの両方、または、固定用部材２６０のみを溶融させ、その後、冷却固化することでバルブシート７０Ａと固定用部材２６０とを接合することができる。
本実施形態では、バルブシート７０Ａと固定用部材２６０との接合面積をより大きく確保でき、より確実に結合できる。
【００２４】
第５の実施形態
図１０Ａ，図１０Ｂを用いて第５の実施形態について説明する。  
上述した第１〜第４実施形態では、固定用部材を固定用凹部に圧入する構成としたが、本発明では、図１０Ａに示すように、溶融した熱可塑性樹脂Ｍを用いて、シート装着溝３０内で固定用部材を成形する。
具体的には、溶融した熱可塑性樹脂Ｍをシート装着溝３０内に外部から供給する、または、固体状の熱可塑性樹脂をシート装着溝３０内に供給しバルブボディ１０を加熱して溶融した熱可塑性樹脂Ｍとする。なお、熱可塑性樹脂Ｍは、固定用凹部３５を満たすのに充分な量とする。
図１０Ｂに示すように、溶融した熱可塑性樹脂Ｍを収容しているシート装着溝３０内にバルブシート７０を挿入すると、固定用凹部３５の外にあった溶融した熱可塑性樹脂Ｍは、固定用凹部３５内に押しやられて、固定用凹部３５に溶融した熱可塑性樹脂Ｍが充填される。この状態で、冷却すれば、溶融した熱可塑性樹脂Ｍが固化し、バルブシート７０と接合するとともに、固定用部材３６０が成形される。
【００２５】
上記した各実施形態では、バルブシートの断面形状が矩形状の場合について説明したが、本発明はこれ以外の形状のバルブシートにも適用可能である。
【００２６】
上記した各実施形態に係るダイヤフラムバルブは、半導体製造プロセス、フラットパネルディスプレイの製造プロセス、ソーラーパネルの製造プロセス等の各種製造プロセスにおいて流体を制御する流体制御機器として使用される。
【００２７】
上記した各実施形態では、樹脂同士を溶着で接合した場合について説明したが、これ以外にも、熱硬化性樹脂等の接着剤を用いて接合することも可能である。また、熱溶着以外にも、高周波溶着、超音波溶着、レーザ溶着、高周波誘電加熱法等の他の方法を使用することも可能である。
【符号の説明】
【００２８】
１  ダイヤフラムバルブ
１０，１０Ｂ，１０Ｃ  バルブボディ
１１，１２，１３  流体流路
３０，３０Ａ，３０Ｃ  シート装着溝
３１  内周壁面
３２  外周壁面
３３  底面
３５，３６  固定用凹部
６０，６０Ａ，１６０，２６０，３６０  固定用部材
７０  バルブシート
７３  外周面
７４  上面
８０  ダイヤフラム
９０  押えアダプタ
１００  バルブヘッド
１１０  ダイヤフラム押え
Ｃｔ  中心軸線
【図１】
0006598656.tif 000002
【図２】
0006598656.tif 000003
【図３Ａ】
0006598656.tif 000004
【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
0006598656.tif 000009
【図５Ｃ】
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【図６】
0006598656.tif 000011
【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
0006598656.tif 000013
【図８】
0006598656.tif 000014
【図９Ａ】
0006598656.tif 000015
【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
0006598656.tif 000018