(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の内壁面のうちマスキングを行わない加工面に環状の弾性体を設置し、前記弾性体の内周面に弾性治具を設置し、前記弾性治具を前記弾性体方向に拡張させ、前記弾性体を前記加工面に押圧させた状態で前記基材にレジスト処理を施すことを特徴とするマスキング方法。
【請求項２】
請求項１に記載のマスキング方法において、前記弾性治具は中空チューブ又は風船状であり、内部に気体を導入することにより前記加工面方向又は前記弾性体方向に拡張することを特徴とするマスキング方法。
【請求項３】
請求項２に記載のマスキング方法において、前記弾性治具の前記加工面に当接する部分が他の部分と比べて薄いことを特徴とするマスキング方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のマスキング方法において、前記弾性治具及び前記弾性体はシリコーンゴム又はフッ素樹脂からなることを特徴とするマスキング方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のマスキング方法において、前記弾性治具及び前記弾性体は撥水処理が施されていることを特徴とするマスキング方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のマスキング方法において、前記基材は内周面と一方の側面に前記加工面を有する円筒状であり、一対の前記基材の一方の側面同士を接着するか、一対の前記基材の一方の側面を中間環の両面にそれぞれ接着することにより内周面に一体加工面を有する一対の基材を形成した後、前記一体加工面を前記弾性治具により押圧した状態で前記一対の基材にレジスト処理を施し、前記一対の基材を剥離することを特徴とするマスキング方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のマスキング方法において、前記基材は内周面と一方の側面に前記加工面を有する円筒状であり、複数の前記基材の側面同士を押接させ、前記複数の基材の内周面を前記弾性治具により押圧した状態で前記複数の基材の外周面にレジスト処理を施した後、前記複数の基材を一対の基材ごとに離隔させ、前記複数の一対の基材の内周面に前記弾性治具を押圧させた状態で各基材の他方の側面にレジスト処理を施すことを特徴とするマスキング方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のマスキング方法において、前記基材は鏡筒又は前記鏡筒の光学素子支持枠、間隔環及び押さえ環の少なくとも一種の内部環であることを特徴とするマスキング方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載のマスキング方法により作製したレジスト膜が形成された前記基材にめっき処理を施し、又はめっき処理を施した後にエッチング処理を施した後、前記レジスト膜を除去することにより前記加工面に反射防止層を形成することを特徴とする反射防止層の形成方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の反射防止層の形成方法において、前記反射防止層は0.1〜30μmのピッチでランダムに形成された高さ0.5〜20μmの多数の微小突起を有することを特徴とする反射防止層の形成方法。
【請求項１１】
基材のマスキング面とマスキングを行わない加工面とを有する内壁面のうちマスキングを行わない前記加工面に円筒状の外周面を有する中空チューブ又は風船状の弾性治具を設置し、前記弾性治具を前記基材の前記加工面方向に拡張させ、前記弾性治具を前記加工面に押圧させた状態で前記基材にレジスト処理を施すことを特徴とするマスキング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カメラ、顕微鏡等の光学装置に用いる鏡筒に好適なマスキング方法及び反射防止層の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
撮影レンズ、プリズム等の光学素子を保持するカメラ、顕微鏡等の光学装置の鏡筒は、内壁面に反射防止処理を施すのが一般的であり、それにより光学系の光路から外れた光の反射を抑え、もってゴーストやフレアの発生を抑える。鏡筒内で光路から外れた光の反射を抑えるために、種々の提案がなされている。
【０００３】
内壁面に反射防止処理を施す際、反射防止処理を行わない部分にマスキングを行うことにより、内壁面の反射防止層を設ける箇所に選択的に反射防止処理を施すことができる。マスキング方法としては、樹脂製の粘着テープを貼る方法や、マスキング用治具を取り付ける方法が挙げられる。しかし、粘着テープを貼る方法ではカメラ鏡筒の内壁のような狭い場所や、小さい部品に正確に張ることが難しい。マスキング用治具を用いる方法では正確な寸法精度と密着力が要求されるため、治具が高価になることや、レジスト剤の浸み込みを完全に防止することは難しい。
【０００４】
特開昭64-83685号公報（特許文献１）は、絶縁性かつ耐食性のフィルムを貼り付けた後、レーザー、ウォータージェット、サンドブラスト等の物理的な手段で不必要な部分を除去する方法を開示している。しかし、除去の工程で下地素地自体を削ってしまい、表面を粗す可能性がある。また特にカメラ鏡筒や鏡筒内部の部品は小さく複雑であるため、物理的手段によるフィルムの除去によりマスキングの境界線を正確に形成することは難しい。
【０００５】
特開平9-262519号公報（特許文献２）は、ＵＶ硬化樹脂をデスペンサーで塗布し、ＵＶ光を照射して硬化させることによりマスキングする方法を開示している。しかし、特にカメラ鏡筒や鏡筒内部の部品は小さく複雑であるため、マスキングの境界線が正確になるようにＵＶ硬化樹脂を塗布することは難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭64-83685号公報
【特許文献２】特開平9-262519号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従って本発明の目的は、境界線が正確なマスキングを簡便に行う方法を提供することである。
【０００８】
本発明の別の目的は、かかるマスキング方法を用いて境界線が正確な反射防止層を形成する方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題に鑑み鋭意研究の結果、本発明者は、基材の内壁面のうちマスキングを行わない面に弾性治具を押圧した状態で基材にレジスト処理を施すことにより、境界線が正確なマスキングを行うことができることを発見し、本発明に想到した。
【００１０】
本発明の第一の実施態様によるマスキング方法は、基材のマスキング面とマスキングを行わない加工面とを有する内壁面のうちマスキングを行わない前記加工面に円筒状の外周面を有する中空チューブ又は風船状の弾性治具を設置し、前記弾性治具を前記基材の前記加工面方向に拡張させ、前記弾性治具を前記加工面に押圧させた状態で前記基材にレジスト処理を施すことを特徴とする。
【００１１】
本発明の第二の実施態様によるマスキング方法は、基材の内壁面のうちマスキングを行わない加工面に環状の弾性体を設置し、前記弾性体の内周面に弾性治具を設置し、前記弾性治具を前記弾性体方向に拡張させ、前記弾性体を前記加工面に押圧させた状態で前記基材にレジスト処理を施すことを特徴とする。
【００１２】
前記弾性治具は中空チューブ又は風船状であり、内部に気体を導入することにより前記加工面方向又は前記弾性体方向に拡張するのが好ましい。
【００１３】
前記弾性治具の前記加工面に当接する部分が他の部分と比べて薄いのが好ましい。
【００１４】
前記弾性治具及び前記弾性体はシリコーンゴム又はフッ素樹脂からなるのが好ましく、レジスト処理の際にレジスト剤がかかる場所に撥水処理が施されても良い。
【００１５】
前記基材は内周面と一方の側面に前記加工面を有する円筒状であり、一対の前記基材の一方の側面同士を接着するか、一対の前記基材の一方の側面を中間環の両面にそれぞれ接着することにより内周面に一体加工面を有する一対の基材を形成した後、前記一体加工面を前記弾性治具により押圧した状態で前記一対の基材にレジスト処理を施し、前記一対の基材を剥離するのが好ましい。
【００１６】
前記基材は内周面と一方の側面に前記加工面を有する円筒状であり、複数の前記基材の側面同士を押接させ、前記複数の基材の内周面を前記弾性治具により押圧した状態で前記複数の基材の外周面にレジスト処理を施した後、前記複数の基材を一対の基材ごとに離隔させ、前記複数の一対の基材の内周面に前記弾性治具を押圧させた状態で各基材の他方の側面にレジスト処理を施すのが好ましい。
【００１７】
前記基材は鏡筒又は前記鏡筒の光学素子支持枠、間隔環及び押さえ環の少なくとも一種の内部環であるのが好ましい。
【００１８】
本発明の一実施態様による反射防止層の形成方法は、上記マスキング方法により作製したレジスト膜が形成された前記基材にめっき処理を施し、又はめっき処理を施した後にエッチング処理を施した後、前記レジスト膜を除去することにより前記加工面に反射防止層を形成することを特徴とする。
【００１９】
前記反射防止層は0.1〜30μmのピッチでランダムに形成された高さ0.5〜20μmの多数の微小突起を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、基材の内壁面のうちマスキングを行わない面に弾性治具を押圧した状態で基材にレジスト処理を施しているので、境界線が正確なマスキングを簡便に行うことができ、境界線が正確な反射防止層を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】反射防止層を有する第一の鏡筒にレンズを装着した例を示す縦断面図である。
【図２】反射防止層を有する押さえ環の一例を示す縦断面図である。
【図３】本発明の一実施例による押さえ環に反射防止層を形成する方法を示す図である。
【図４】押さえ環に弾性治具を押圧した状態の一例を示す図である。
【図５】本発明の別の実施例による押さえ環に反射防止層を形成する方法を示す図である。
【図６】図５(1) の正面図である。
【図７】押さえ環に弾性治具を押圧した状態の別の例を示す図である。
【図８】反射防止層を有する押さえ環の別の例を示す縦断面図である。
【図９】本発明のさらに別の実施例による押さえ環に反射防止層を形成する方法を示す図である。
【図１０】本発明のさらに別の実施例による押さえ環に反射防止層を形成する方法を示す図である。
【図１１】反射防止層を有する第二の鏡筒にレンズを装着した例を示す縦断面図である。
【図１２】本発明のさらに別の実施例による第二の鏡筒に反射防止層を形成する方法を示す図である。
【図１３】本発明のさらに別の実施例による第二の鏡筒に反射防止層を形成する方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明のマスキング方法及び反射防止層の形成方法は、鏡筒又は鏡筒の光学素子支持枠、間隔環及び押さえ環の少なくとも一種の内部環からなる基材に対して好適に用いることができる。鏡筒内での反射防止効果を向上するために、かかる鏡筒又は内部環に境界線が正確な反射防止面を形成することが望まれており、境界線が正確なマスキング及び反射防止層の形成が必要である。従って、本発明のマスキング方法及び反射防止層の形成方法を、基材として鏡筒又は内部環を用いて添付図面を参照して以下詳細に説明する。しかし、本発明は勿論それらに限定されるものではない。各実施形態に関する説明は、特に断りがなければ他の実施形態にも適用できる。
【００２３】
[1] 第一の鏡筒
反射防止層を形成した第一の鏡筒１を図１に示す。図１には説明のために、鏡筒により支持されるレンズを記載している。以下の説明では図１の左側を「前方」とし、右側を「後方」とする。
【００２４】
鏡筒1は、前方に設けられ、第一のレンズL1を設置するための内径の大きい前方径部21と、後方に設けられ、第三のレンズL3を設置するための内径の小さい後方径部23と、前方径部21と後方径部23との間に設けられ、第二のレンズL2を設置するための前方径部21と後方径部23との間の内径を有する中間径部22とを有する鏡筒本体11と、中間径部22に設置され、第二のレンズL2の前端縁に当接する押さえ環12と、後方径部23に設置され、第三のレンズL3の前端縁に当接する押さえ環13とを有する。鏡筒本体11と押さえ環12及び押さえ環13の内部環とは光軸Oを中心として同軸的に配置されている。
【００２５】
図1に示すように、鏡筒1の内部に、樹脂製又はガラス製で無色透明かつ光軸Oを中心とする回転対称形状の第一のレンズL1、第二のレンズL2及び第三のレンズL3を設置することができる。
【００２６】
第一のレンズL1は前方径部21の内周面に設けられ、その後端縁は中間径部22の前面と当接している。中間径部22は前方に押さえ環12を設置する前方拡径部221と、後方に前方拡径部221よりも小さい内径を有し、第二のレンズL2を設置する後方縮径部222とを有する。第二のレンズL2の後端縁は後方径部23の前面と当接しており、第二のレンズL2の前端縁は押さえ環12と当接している。後方径部23は前方に押さえ環13を設置する前方拡径部231と、後方に前方拡径部231よりも小さい内径を有し、第三のレンズL3を設置する後方縮径部232と、後方縮径部232の後方に設けられた内方フランジ233とを有する。第三のレンズL3の後端縁は内方フランジ233の前面と当接しており、第三のレンズL3の前端縁は押さえ環13と当接している。
【００２７】
図１に示すように、鏡筒本体11、押さえ環12及び押さえ環13はレンズ等の光学素子を支持し、光学素子の位置を決める役割を果たす鏡筒１を構成する。押さえ環12及び押さえ環13の内壁面のうち、反射防止を要する面（反射防止層を形成する加工面）に反射防止層がそれぞれ設けられている。すなわち、押さえ環12の内周面及び前面には反射防止層12aが設けられており、押さえ環13の内周面には反射防止層13aが設けられている。鏡筒1の反射防止層は、レンズや各部材と嵌合する面を除く部分全てに設けられていれば最も反射防止効果が得られるが、少なくともレンズ等の光学素子に挟まれる領域に設けられているのが望ましい。
【００２８】
図１の例では反射防止層を押さえ環12及び押さえ環13に設けたが、反射防止層を設ける箇所はそれらに限定されず、鏡枠部材のあらゆる箇所に取り付けることができる。例えば、内部を光路が通過する部材であれば内壁面は円筒形に限定されず、カメラボディの内のミラーボックス内の壁面や、ファインダー光路の壁面のような円筒形でない壁面にも反射防止層を設けることができる。さらに、反射防止層を設ける鏡筒はカメラに限定されず、顕微鏡の鏡筒にも取り付け可能である。
【００２９】
鏡筒の材料は特に限定されないが、アルミニウム又はアルミニウムを主成分とする合金からなるのが好ましい。また反射防止効果をより高めるために、鏡筒の内壁面にアルマイト処理又は黒アルマイト処理が施されているのが好ましい。また鏡筒の構成は図1のものに限らず、光学素子の支持・位置決めを行うものであれば、種々のものを採用することができる。例えば、鏡筒はレンズ等の光学素子同士の間隔を調整する間隔環や、鏡筒内に取り付けられ、光学素子を設置する光学素子支持枠等の内部環を有していても良い。
【００３０】
[2] 第一の鏡筒のマスキング方法及び反射防止層の形成方法
図２は内周面（反射防止層を形成する加工面）131に反射防止層13aが設けられた押さえ環13を示す。反射防止層13aを押さえ環13の内周面131に設けることにより、押さえ環13に反射防止効果を付与することができる。押さえ環13にマスキングする方法及び反射防止層13aを形成する方法を以下説明する。
【００３１】
図３は押さえ環13にマスキングを施した後、反射防止層13aを設ける方法を示す。押さえ環13の内周面131にチューブ状の弾性治具31を設置する（図3(1)）。チューブ状の弾性治具31は一端が気体供給装置（図示せず）に連結し、他端が封止されているのが望ましい。弾性治具31の外径は押さえ環13の内径より僅かに小さい。弾性治具31はゴム又は樹脂からなるのが好ましく、適度な弾性を有し、かつ後述するレジスト処理の後でも取り外しが容易なように撥水性を有するシリコーンゴム又はフッ素樹脂からなるのが特に好ましい。弾性治具31のレジスト剤がかかる箇所に撥水処理を施しても良い。
【００３２】
気体供給装置により弾性治具31内に気体を供給する。それにより弾性治具31の内部の気圧が上昇し、弾性治具31が内周面131方向に弾性的に拡張する。気体は空気であるのが好ましい。弾性治具31が内周面131方向に拡張すると、押さえ環13の内周面131が弾性治具31により押圧される（図3(2)）。弾性治具31を内周面131に押圧すると、図４に示すように弾性治具31は押さえ環13の内周面131に密着し、内周面131の端辺Cが弾性治具31に食い込むように弾性治具31が変形する。それにより、後述するレジスト処理の際に押さえ環13の内周面131にレジスト剤が流入するのを防止することができる。
【００３３】
押さえ環13の内周面131が弾性治具31により押圧された状態で、押さえ環13にレジスト処理を施す（図3(3)）。それにより押さえ環13の内周面131以外の面にレジスト膜13bが形成される。レジスト処理はレジストインキ又はレジスト剤をスプレー、刷毛や筆等により塗布した後、乾燥することにより行う。レジストインキ又はレジスト剤は特に限定されないが、めっき処理に好適に用いられる205ブルーメッキレジスト等が挙げられる。押さえ環13の内周面131に弾性治具31が密着した状態でレジスト処理を行っているため、押さえ環13の内周面131にレジスト剤が流入するのを防止でき、正確な境界線を有するレジスト膜13bが得られる。
【００３４】
レジスト処理を施した後、気体供給装置により弾性治具31の内部に供給した気体を排気し、弾性治具31を元の状態に収縮させることにより、弾性治具31を押さえ環13の内周面131から取り外す（図3(4)）。
【００３５】
押さえ環13をニッケルめっき処理又はニッケル合金めっき処理等のめっき処理を行うことにより、押さえ環13の内周面131に反射防止層13aを形成する（図3(5)）。反射防止層13aの厚みは３〜90μmであるのが好ましい。レジスト膜13bの境界線が正確であるため、正確な境界線を有する反射防止層13aが得られる。
【００３６】
押さえ環13の反射防止層13aにエッチング処理を施しても良い。これにより、押さえ環13の反射防止層13aに多数の微小突起がランダムに形成される。微小突起の高さは0.5〜20μmであるのが好ましく、ピッチが0.1〜30μmであるのが好ましい。このエッチング処理は、例えば、硝酸エッチングにより行う。エッチング処理はレジスト膜13bを除去する前に行っても良いし、レジスト膜13bを除去した後に行っても良い。またエッチング処理前の反射防止層13aの微小突起の高さ及びピッチが上記数値範囲に含まれる場合、このエッチング工程を省略しても良い。このように部材表面に多数の微小突起がランダムな配列で形成された微細凹凸構造を設けることにより、可視光波長に対して反射防止効果を得ることができる。微細凹凸構造による反射防止特性に関する説明については、特開2010-186157号を参照されたい。
【００３７】
レジスト膜13bを除去することにより、内周面131に反射防止層13aが設けられた押さえ環13が得られる（図3(6)）。レジスト膜13bの除去は、例えば押さえ環13をレジスト剥離剤に浸漬してレジスト膜13bを剥離させた後、純水で洗浄することにより行う。
【００３８】
図５及び６に示すように、複数の押さえ環13をチューブ状の弾性治具31に取り付け、複数の押さえ環13に対して同時にレジスト処理を行っても良い（図5(2)）。その他の工程は図３に示す工程と同じで良い。
【００３９】
弾性治具の基材に当接する部分を他の部分と比べて薄くしても良い。例えば図７(1) に示すように、弾性治具31の押さえ環13の内周面131に当接する環状部分31aを他の部分31bと比べて薄くする。それにより弾性治具31内に気体を供給することにより弾性治具31の当接部分31aが他の部分31bと比べて膨らみやすくなる。そのため図７(2) に示すように、弾性治具31の当接部分31aは押さえ環13の内周面131に十分に密着し、内周面131の端辺Dが弾性治具31aに食い込むように当接部分31aが変形する。それにより、レジスト処理の際に押さえ環13の内周面131にレジスト剤が流入するのを防止することができる。
【００４０】
図８は内周面121及び前面122に反射防止層12aが設けられた押さえ環12を示す。図９は一対の押さえ環12，12を組み合わせることにより、一度のレジスト処理で押さえ環12の内周面121及び前面122に反射防止層12aを設ける方法を示す。
【００４１】
まず一対の押さえ環12，12と、中間環14とを用意する（図9(1)）。中間環14の内径及び外径は押さえ環12の内径及び外径と同じであるか、僅かに大きいのが望ましい。中間環14の両側面の内周側には接着剤層Aが設けられており、外周側には離型剤層Bが設けられている。
【００４２】
中間環14の両側面に一対の押さえ環12，12の前面122，122をそれぞれ接着剤層Aにより接着する。その際、一対の押さえ環12，12の内周面121，121と中間環14の内周面141は面一であるか、中間環14の内周面141が僅かに凹んでいるのが望ましい。中間環14を介して接着された一対の押さえ環12，12の内周面121，121は一体加工面123を形成する。一対の押さえ環12，12の一体加工面123にチューブ状の弾性治具31を設置し、図３に示す方法と同様にチューブ状の弾性治具31内に気体を供給し、弾性治具31を一体加工面123方向に膨張させ、一体加工面123を弾性治具31により押圧させる（図9(2)）。
【００４３】
一対の押さえ環12，12の一体加工面123が弾性治具31により押圧された状態で、図３に示す方法と同様に一対の押さえ環12，12にレジスト処理を施し、レジスト膜12bを形成する（図9(3)）。
【００４４】
レジスト処理を施した後、図３に示す方法と同様に弾性治具31を一対の押さえ環12，12の一体加工面123から取り外し、一対の押さえ環12，12を中間環14から剥離させる（図9(4)）。その際、中間環14の両側面の外周側には離型剤層Bが設けられているので、押さえ環12，12の外周面の中間環14と接する部分に形成されたレジスト膜12bが剥離することなく、一対の押さえ環12，12を中間環14から取り外すことができる。
【００４５】
レジスト膜12bが設けられた押さえ環12に図３に示す方法と同様にめっき処理を施し、押さえ環12の内周面121及び前面122に反射防止層12aを形成する（図9(5)）。図３に示す方法と同様にレジスト膜12bを除去することにより、反射防止層12aが設けられた押さえ環12が得られる（図9(6)）。
【００４６】
図９の方法では一対の押さえ環12，12の前面122，122を中間環14を介して接着しているが、本発明はこれに限らず、一対の押さえ環12，12の前面122，122を直接接着しても良い。その際、一対の押さえ環12，12の前面122，122の内周側に接着剤層を設け、外周側に離型剤層を設けても良い。
【００４７】
図10は２段階のレジスト処理を行うことにより、押さえ環12の接着工程を行うことなく、複数の押さえ環12の内周面121及び前面122に反射防止層12aを設ける方法を示す。
【００４８】
まず複数の押さえ環12をチューブ状の弾性治具31に取り付け、その両側に押圧環15，15を取り付ける。押圧環15，15の内径は押さえ環12の内径と同じであるか、僅かに大きいのが望ましい。押圧環15，15により複数の押さえ環12の側面同士を押接した状態で図３に示す方法と同様に弾性治具31内に気体を供給し、弾性治具31を複数の押さえ環12の内周面121の方向に膨張させ、複数の押さえ環12の内周面121を弾性治具31により押圧させる（図10(1)）。
【００４９】
複数の押さえ環12を両側面から押圧環15，15により押接し、かつ内周面121が弾性治具31により押圧された状態で、図３に示す方法と同様に複数の押さえ環12にレジスト処理を施し、複数の押さえ環12の外周面にレジスト膜12bを形成する（図10(2)）。
【００５０】
複数の押さえ環12の外周面にレジスト処理を施した後、弾性治具31内に供給した気体を排気させ、弾性治具31を縮径させる。さらに押圧環15，15を取り外し、複数の押さえ環12を隔離させる。その際、前面122同士が当接するように一対の押さえ環12，12ごとに隔離させるのが好ましい。その状態で再び弾性治具31内に気体を供給し、複数の一対の押さえ環12，12の内周面121を弾性治具31により押圧させる（図10(3)）。
【００５１】
複数の一対の押さえ環12，12の内周面121が弾性治具31により押圧された状態で、一対の押さえ環12，12の後面124にレジスト処理を施し、レジスト膜12bを形成する（図10(4)）。その際、一対の押さえ環12，12の前面122は接着されていないため、レジスト剤の塗布は刷毛や筆等を用いて後面124のみに局所的に塗布するのが望ましい。
【００５２】
レジスト処理を施した後、図３に示す方法と同様に複数の押さえ環12を弾性治具31から取り外す（図10(5)）。得られたレジスト膜12bが設けられた押さえ環12に図９に示す方法と同様に反射防止層12aを形成し、レジスト膜12bを除去することにより、反射防止層12aが設けられた押さえ環12が得られる。
【００５３】
[3] 第二の鏡筒
第二の鏡筒２を図11に示す。第二の鏡筒２は後方径部23の前方拡径部231に押さえ環13が設けられておらず、前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322に反射防止層231aが形成されている以外は、第一の鏡筒１と同じである。第一の鏡筒１と共通する部分については同じ参照番号を付している。
【００５４】
[4] 第二の鏡筒のマスキング方法及び反射防止層の形成方法
反射防止層231aが設けられている前方拡径部231は後方に内径の小さい後方縮径部232を有するため、チューブ状の弾性治具を直接押圧させることはできない。そのため図12に示す方法では、チューブ状の弾性治具と環状の弾性体とを組み合わせて用いることにより、第二の鏡筒２の前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322に反射防止層231aを形成している。
【００５５】
第二の鏡筒２の前方拡径部231に環状の弾性体32を設置し、弾性体32の内側にチューブ状の弾性治具31を設置する（図12(1)）。弾性体32の外周面及び後面は第二の鏡筒２の前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322と相補的な形状を有しており、弾性体32の外径は前方拡径部231の内径よりも僅かに小さいのが望ましく、弾性体32の内径は弾性治具31の外径よりも僅かに大きいのが望ましい。弾性体32の材料は弾性治具31と同じものを用いることができる。弾性体32のレジスト剤がかかる箇所に撥水処理を施しても良い。
【００５６】
気体供給装置により弾性治具31の内部に気体を供給し、弾性治具31を弾性体32方向に拡張させる。それにより弾性体32が弾性治具31により押圧させて拡径し、第二の鏡筒２の前方拡径部231の内周面2311を押圧する（図12(2)）。その際、前方拡径部231の内周面2311を押圧する弾性体32は弾性変形により後方縮径部232の前面2322方向にも拡張し、後方縮径部232の前面2322を押圧するように変形する。それにより、弾性体32は前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322に密着し、レジスト処理の際に第二の鏡筒２の前方拡径部231及び後方縮径部232の前面2322にレジスト剤が流入するのを防止することができる。
【００５７】
第二の鏡筒２の前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322が弾性体32により押圧された状態で、第二の鏡筒２にレジスト処理を施す（図12(3)）。それにより第二の鏡筒２の前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322以外の面にレジスト膜231bが形成される。
【００５８】
レジスト処理を施した後、図３に示す方法と同様に弾性治具31及び弾性体32を第二の鏡筒２から取り外す（図12(4)）。第二の鏡筒２に図３に示す方法と同様にめっき処理を行うことにより、第二の鏡筒２の前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322に反射防止層231aを形成する（図12(5)）。図３に示す方法と同様にレジスト膜231bを除去することにより、反射防止層231aが設けられた第二の鏡筒２が得られる（図12(6)）。
【００５９】
弾性治具としてチューブ状のものを用いる実施例を開示してきたが、本発明に用いる弾性治具はこれに限らず、例えば風船状のものを用いることもできる。図13は風船状の弾性治具33を用いて第二の鏡筒２の前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322に反射防止層231aを設ける方法を示す。
【００６０】
第二の鏡筒２の前方拡径部231に風船状の弾性治具33を設置する（図13(1)）。本実施例では、弾性治具33の第二の鏡筒２の前方拡径部231の前方端部と接する環状部分33a及び先端部33bは他の部分33cと比べて薄い。弾性治具33の外径は前方拡径部231の内径よりも僅かに小さいのが望ましい。弾性治具33の材料は弾性治具31と同じものを用いることができる。弾性体33のレジスト剤がかかる箇所に撥水処理を施しても良い。
【００６１】
気体供給装置により弾性治具33内に気体を供給し、弾性治具33を半径方向及び先端方向に拡張させる（図13(2)）。その際、環状部分33a及び先端部33bが他の部分33bと比べて膨らみやすいため、弾性治具33は前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322を食い込むように変形し、押圧する。それにより、弾性治具33が前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322に密着し、レジスト処理の際に第二の鏡筒２の前方拡径部231及び後方縮径部232の前面2322にレジスト剤が流入するのを防止することができる。
【００６２】
第二の鏡筒２の前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322が弾性治具33により押圧された状態で、第二の鏡筒２にレジスト処理を施す（図13(3)）。それにより第二の鏡筒２の前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322以外の面にレジスト膜231bが形成される。
【００６３】
レジスト処理を施した後、図３に示す方法と同様に弾性治具33を第二の鏡筒２から取り外す（図13(4)）。第二の鏡筒２に図12に示す方法と同様にめっき処理を行うことにより、第二の鏡筒２の前方拡径部231の内周面2311及び後方縮径部232の前面2322に反射防止層231aを形成する。図12に示す方法と同様にレジスト膜231bを除去することにより、反射防止層231aが設けられた第二の鏡筒２が得られる。
【符号の説明】
【００６４】
１，２・・・鏡筒
11・・・鏡筒本体
21・・・前方径部
22・・・中間径部
221・・・前方拡径部
222・・・後方縮径部
23・・・後方径部
231・・・前方拡径部
232・・・後方縮径部
233・・・内方フランジ
12，13・・・押さえ環
31・・・チューブ状の弾性治具
32・・・環状の弾性体
33・・・風船状の弾性治具
12a，13a，231a・・・反射防止層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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