(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する１対の主面並びに当該１対の主面をつなぐ前面、後面及び１対の側面を有している基部と、
前記前面から前方へ延びており、前記主面の平面視において互いに並列な１対の振動腕と、
前記１対の側面のうちの一方の側面から延び出てから曲がって前方へ延びている支持腕と、
前記１対の側面のうちの他方の側面から突出しており、前記支持腕よりも短い突出部と、
を有しており、
前記主面及び前記突出部の前記主面に続く面の少なくともいずれかに穴部が形成されており、
前記穴部は、前記主面に直交する断面において深い位置ほど当該穴部の径が狭くなる向きで傾斜している直線状となる内面を有している
音叉型圧電片。
【請求項２】
互いに対向する１対の主面並びに当該１対の主面をつなぐ前面、後面及び１対の側面を有している基部と、
前記前面から前方へ延びており、前記主面の平面視において互いに並列な１対の振動腕と、
前記１対の側面のうちの一方の側面から延び出てから曲がって前方へ延びている支持腕と、
前記１対の側面のうちの他方の側面から突出しており、前記支持腕よりも短い突出部と、
を有しており、
前記主面及び前記突出部の前記主面に続く面の少なくともいずれかに穴部が形成されており、
前記穴部は、前記主面の平面視において延びている溝を含み、当該溝は、前記主面における幅が広い部分ほど深くなるように長さ方向において深さが変化している
音叉型圧電片。
【請求項３】
互いに対向する１対の主面並びに当該１対の主面をつなぐ前面、後面及び１対の側面を有している基部と、
前記前面から前方へ延びており、前記主面の平面視において互いに並列な１対の振動腕と、
前記１対の側面のうちの一方の側面から延び出てから曲がって前方へ延びている支持腕と、
前記１対の側面のうちの他方の側面から突出しており、前記支持腕よりも短い突出部と、
を有しており、
前記主面及び前記突出部の前記主面に続く面の少なくともいずれかに穴部が形成されており、
前記穴部は、前記突出部に位置する突出用穴部を含んでいる
音叉型圧電片。
【請求項４】
前記穴部は、
前記主面の、前記前面と前記支持腕の根元との間にて前記一方の側面側から前記１対の側面間の中央側へ延びている第１溝と、
前記主面の、前記前面と前記突出部の根元との間にて前記他方の側面側から前記１対の側面間の中央側へ延びている第２溝と、を含んでいる
請求項１〜３のいずれか１項に記載の音叉型圧電片。
【請求項５】
前記第１溝及び前記第２溝は、前記１対の側面間の中央側に、前記１対の側面側の部分よりも幅が広い部分を有している
請求項４に記載の音叉型圧電片。
【請求項６】
前記第１溝及び前記第２溝の前記前面側の縁部は、曲線状に延びている部分を有している
請求項４又は５に記載の音叉型圧電片。
【請求項７】
前記穴部は、
前記基部の主面において、前記支持腕の根元に対して前記一方の側面の内側に位置している第１側方穴部と、
前記基部の主面において、前記突出部の根元に対して前記他方の側面の内側に位置している第２側方穴部と、を含んでいる
請求項１〜６のいずれか１項に記載の音叉型圧電片。
【請求項８】
前記第１側方穴部は、前記一方の側面に沿って延びている第１側方長穴部を含んでおり、
前記第２側方穴部は、前記他方の側面に沿って延びている第２側方長穴部を含んでいる
請求項７に記載の音叉型圧電片。
【請求項９】
前記第１側方穴部は、前記第１側方長穴部から前記後面に沿って中央側へ延びている第１後方長穴部を含んでおり、
前記第２側方穴部は、前記第２側方長穴部から前記後面に沿って中央側へ延びている第２後方長穴部を含んでいる
請求項８に記載の音叉型圧電片。
【請求項１０】
前記第１側方穴部及び前記第２側方穴部それぞれは、分散配置されている複数の分散穴を含んでいる
請求項７〜９のいずれか１項に記載の音叉型圧電片。
【請求項１１】
前記複数の分散穴それぞれの平面形状は、曲線状の輪郭線を有する形状又は５角形状以上の多角形である
請求項１０に記載の音叉型圧電片。
【請求項１２】
前記穴部は、前記主面の平面視において前記後面を切り欠く切り欠き部を含んでいる
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の音叉型圧電片。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の音叉型圧電片と、
前記１対の振動腕それぞれに設けられている１対の励振電極と、
前記支持腕及び前記突出部からなる部分の、前記１対の主面の一方の主面側の面に設けられており、前記１対の励振電極に接続されている１対の端子と、
を有している音叉型振動素子。
【請求項１４】
請求項１３に記載の音叉型振動素子と、
前記音叉型振動素子が実装されている実装基体と、
を有しており、
前記音叉型振動素子は、前記支持腕の前方に曲がっている部分、前記支持腕の前方に延びている部分及び前記突出部の３つの部分のうち、２つに前記１対の端子を有し、
前記実装基体は、
前記１対の端子と対向するとともにバンプを介して接合されている１対のパッドと、
前記３つの部分のうち残りの１つの、前記一方の主面側の面を支持している枕部と、を有している
音叉型振動デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音叉型圧電片、音叉型振動素子及び音叉型振動デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
発振信号の生成等に利用される振動デバイス（例えば振動子又は発振器）として、いわゆる音叉型のものが知られている（例えば特許文献１〜５）。音叉型振動デバイスでは、基部と、基部の前面から並列に延びる１対の振動腕とを有する圧電片（例えば水晶片）において、１対の振動腕に電圧を印加することによって１対の振動腕に生じる振動を利用して、発振信号を生成する。
【０００３】
特許文献１では、圧電片において、基部の後面（１対の振動腕が延び出る面とは反対側の面）から延び出て、実装基体に接合される支持腕を設けることを提案している。特許文献１では、このような構成によって、圧電片の実装基体に対する平行度を向上させ、また、振動漏れを低減できるとしている。また、特許文献２〜５では、基部を実装基体に直接に接合する構成において、振動漏れの低減等を目的として、基部に溝を形成することを提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３４３５４１号公報
【特許文献２】特開２０１１−１５１００号公報
【特許文献３】特開２０１１−１５１５６２号公報
【特許文献４】特開２０１１−１７６７０１号公報
【特許文献５】特開２０１３−７８００７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の技術では、例えば、基部の後面から支持腕が延び出ることから、圧電片が前後方向（振動腕が延びる方向）に大きくなりやすい。しかし、支持腕を設けないこととすれば、例えば、振動腕の振動が実装基体との接合部分の影響によって阻害され、電気特性が低下する。一方、特許文献２〜５の技術では、例えば、圧電片の実装基体に対する傾斜を調整する（例えば平行度を向上させる）ことが難しい。
【０００６】
従って、実装性を向上させつつ振動特性を向上させることが可能な音叉型圧電片、音叉型振動素子及び音叉型振動デバイスが提供されることが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る音叉型圧電片は、互いに対向する１対の主面並びに当該１対の主面をつなぐ前面、後面及び１対の側面を有している基部と、前記前面から前方へ延びており、前記主面の平面視において互いに並列な１対の振動腕と、前記１対の側面のうちの一方の側面から延び出てから曲がって前方へ延びている支持腕と、前記１対の側面のうちの他方の側面から突出しており、前記支持腕よりも短い突出部と、を有しており、前記主面及び前記突出部の前記主面に続く面の少なくともいずれかに穴部が形成されている。
【０００８】
好適には、前記穴部は、前記主面の、前記前面と前記支持腕の根元との間にて前記一方の側面側から前記１対の側面間の中央側へ延びている第１溝と、前記主面の、前記前面と前記突出部の根元との間にて前記他方の側面側から前記１対の側面間の中央側へ延びている第２溝と、を含んでいる。
【０００９】
好適には、前記第１溝及び前記第２溝は、前記１対の側面間の中央側に、前記１対の側面側の部分よりも幅が広い部分を有している。
【００１０】
好適には、前記第１溝及び前記第２溝の前記前面側の縁部は、曲線状に延びている部分を有している。
【００１１】
好適には、前記穴部は、前記基部の主面において、前記支持腕の根元に対して前記一方の側面の内側に位置している第１側方穴部と、前記基部の主面において、前記突出部の根元に対して前記他方の側面の内側に位置している第２側方穴部と、を含んでいる。
【００１２】
好適には、前記第１側方穴部は、前記一方の側面に沿って延びている第１側方長穴部を含んでおり、前記第２側方穴部は、前記他方の側面に沿って延びている第２側方長穴部を含んでいる。
【００１３】
好適には、前記第１側方穴部は、前記第１側方長穴部から前記後面に沿って中央側へ延びている第１後方長穴部を含んでおり、前記第２側方穴部は、前記第２側方長穴部から前記後面に沿って中央側へ延びている第２後方長穴部を含んでいる。
【００１４】
好適には、前記第１側方穴部及び前記第２側方穴部それぞれは、分散配置されている複数の分散穴を含んでいる。
【００１５】
好適には、前記複数の分散穴それぞれの平面形状は、曲線状の輪郭線を有する形状又は５角形状以上の多角形である。
【００１６】
好適には、前記穴部は、前記主面の平面視において前記後面を切り欠く切り欠き部を含んでいる。
【００１７】
好適には、前記穴部は、前記突出部に位置する突出用穴部を含んでいる。
【００１８】
本発明の一態様に係る音叉型振動素子は、上記の音叉型圧電片と、前記１対の振動腕それぞれに設けられている１対の励振電極と、前記支持腕及び前記突出部からなる部分の、前記１対の主面の一方の主面側の面に設けられており、前記１対の励振電極に接続されている１対の端子と、を有している。
【００１９】
好適には、前記１対の端子の一方は、前記支持腕の前方に曲がっている部分に設けられており、前記１対の端子の他方は、前記突出部に設けられている。
【００２０】
好適には、前記１対の端子の一方は、前記支持腕の前方に曲がっている部分に設けられており、前記１対の端子の他方は、前記支持腕の前方に延びている部分に設けられている。
【００２１】
本発明の一態様に係る音叉型振動子は、上記の音叉型振動素子と、前記音叉型振動素子が実装されている実装基体と、を有しており、前記音叉型振動素子は、前記支持腕の前方に曲がっている部分、前記支持腕の前方に延びている部分及び前記突出部の３つの部分のうち、２つに前記１対の端子を有し、前記実装基体は、前記１対の端子と対向するとともにバンプを介して接合されている１対のパッドと、前記３つの部分のうち残りの１つの、前記一方の主面側の面を支持している枕部と、を有している。
【発明の効果】
【００２２】
上記の構成によれば、実装性を向上させつつ振動特性を向上させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る水晶振動子の概略構成を示す分解斜視図。
【図２】図２（ａ）は図１の水晶振動子の内部を示す平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のIIｂ−IIｂ線における断面図、図２（ｃ）は図２（ａ）のIIｃ−IIｃ線における断面図。
【図３】図３（ａ）及び図３（ｂ）は図１の水晶振動子の水晶振動素子を示す斜視図。
【図４】図４は図３（ｂ）の水晶振動素子の配線の一例を示す斜視図。
【図５】図５（ａ）は第２実施形態に係る水晶振動子の内部を示す平面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＶｂ−Ｖｂ線における断面図、図５（ｃ）は図５（ａ）のＶｃ−Ｖｃ線における断面図。
【図６】図６（ａ）及び図６（ｂ）は溝の変形例を示す平面図。
【図７】第３実施形態に係る水晶振動素子の平面図。
【図８】図８（ａ）及び図８（ｂ）は側方穴部の変形例を示す平面図。
【図９】図９（ａ）は側方穴部の他の変形例を示す平面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のIXｂ−IXｂ線における断面図。
【図１０】図１０（ａ）は側方穴部の更に他の変形例を示す平面図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＸｂ−Ｘｂ線における断面図。
【図１１】第４実施形態に係る水晶振動素子の平面図。
【図１２】図１２（ａ）は第５実施形態に係る水晶振動素子の平面図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）の水晶振動素子の水晶片のためのエッチングマスクの一部を示す平面図、図１２（ｃ）は図１２（ａ）の領域XIIｃの拡大図、図１２（ｄ）は凹状の穴部の形成方法を示す断面図。
【図１３】図１３（ａ）〜図１３（ｊ）は突出用穴部の種々の変形例を示す図１２（ｃ）に相当する図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
（用語及び図面等についての留意点）
以下の説明において、「穴」又は「穴部」は、凹部（有底穴）及び貫通孔（無底穴）のいずれであってもよいものとする。また、「穴部」は、個々の穴だけでなく、複数の穴全体を指すことがあるものとする。穴部の一種である「長穴部」は、溝及びスリットのいずれであってもよいものとする。「溝」は、凹部の一種であるものとする。「スリット」は、貫通孔の一種であるものとする。
【００２５】
以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。また、水晶片の形状等の説明においては、基本的に、エッチングの誤差等の加工誤差については無視する。ただし、一部の実施形態においては、その誤差も含めて形状を説明することがある。
【００２６】
図面には、便宜上、Ｄ１軸、Ｄ２軸及びＤ３軸からなる直交座標系を付すことがある。また、以下で説明する水晶振動子等は、いずれの方向が上下方向又は水平方向とされてもよいが、便宜上、Ｄ１軸方向を前後方向、Ｄ２軸方向を左右方向、Ｄ３軸方向を上下方向等ということがある。また、単に平面視という場合は、Ｄ３軸方向に見ることをいうものとする。
【００２７】
第２の実施形態に以降において、既に説明した構成と同一又は類似する構成については、既に説明した構成と同一の符号を付すことがあり、また、説明を省略することがある。
【００２８】
互いに同一又は類似する構成については、「第１振動腕２３Ａ」及び「第２振動腕２３Ｂ」のように、互いに共通する名称（振動腕）に互いに異なる番号（第１、第２）を付すとともに、符号に互いに異なる大文字のアルファベット（Ａ、Ｂ）を用いることがある。また、この場合において、単に「振動腕２３」というなど、番号と大文字のアルファベットとを省略して、両者を区別しないことがある。
【００２９】
＜第１実施形態＞
（水晶振動子の概略構成）
図１は、本発明の第１実施形態に係る水晶振動子１（以下、「水晶」は省略することがある。）の概略構成を示す分解斜視図である。図２（ａ）は、振動子１の内部を示す平面図である。図２（ｂ）は，図２（ａ）のIIｂ−IIｂ線における断面図である。図２（ｃ）は、図２（ａ）のIIｃ−IIｃ線における断面図である。
【００３０】
振動子１は、例えば、図１に特に示すように、主として３つの部材からなる。すなわち、振動子１は、電圧が印加されて振動する水晶振動素子３（以下、「水晶」は省略することがある。）と、振動素子３をパッケージングするための素子搭載部材５及び蓋部材７とを有している。
【００３１】
箱状の素子搭載部材５に振動素子３が収容され、素子搭載部材５に蓋部材７が被せられると、振動子１は、例えば、全体として、概略、薄型の直方体状となる。素子搭載部材５の内部は、例えば、蓋部材７により封止される。また、当該内部は、例えば、真空とされ、又は、適宜なガス（例えば窒素）が封入されている。
【００３２】
振動子１の寸法は適宜に設定されてよい。例えば、比較的小さいものでは、幅（Ｄ１軸方向）は、０．４０ｍｍ以上３．２０ｍｍ以下、長さ（Ｄ２軸方向）は０．６５ｍｍ以上５．００ｍｍ以下、厚さ（Ｄ３軸方向）は０．２ｍｍ以上１．２ｍｍ以下である。
【００３３】
振動子１は、例えば、不図示の回路基板等の実装面に対して下面（Ｄ３軸方向の負側の面）を対向させて配置され、半田等からなるバンプによって実装面に表面実装される。そして、振動子１は、その回路基板に設けられている発振回路によって電圧が印加され、発振信号の生成に寄与する。
【００３４】
（パッケージの構成）
素子搭載部材５は、例えば、素子搭載部材５の主体となる基体９と、振動素子３を実装するためのパッド１１と、振動子１を不図示の回路基板等に実装するための外部端子１３とを有している。
【００３５】
基体９は、絶縁材料からなり、振動素子３を収容する凹部５ａを有している。基体９を構成する絶縁材料は、例えば、セラミック又は樹脂である。なお、基体９は、複数部材から構成されていてもよい。振動素子３の実装面となる凹部５ａの底面は、例えば、平面状である。
【００３６】
パッド１１は、例えば、凹部５ａの底面に設けられた導電層により構成されている。パッド１１は、例えば、２つ（１対）設けられている。２つのパッド１１は、例えば、互いに同一の厚さで、同一平面上（凹部５ａの底面）に位置している。パッド１１の平面形状及び面積は適宜に設定されてよい。
【００３７】
１対のパッド１１の位置は、振動素子３の構成に応じて適宜に設定される。本実施形態では、１対のパッド１１は、凹部５ａの底面のうち、長手方向（Ｄ２軸方向）の一方側の２つの隅部に位置している。
【００３８】
なお、パッド１１を構成する導電層、又は、後述する他の導電層（外部端子１３、励振電極１７及び素子端子１９等）は、例えば、金属層である。導電層は、１層（１種類の材料）からなるものであってもよいし、複数層からなるものであってもよい。
【００３９】
外部端子１３は、例えば、基体９の下面（凹部５ａが開口する側とは反対側の面）に設けられた導電層により構成されている。外部端子１３の数、位置、平面形状及び面積は、適宜に設定されてよい。例えば、外部端子１３は、基体９の下面の４隅に設けられている。なお、本実施形態では、パッド１１が２つであることに対応して、外部端子１３は、少なくとも２つ（１対）設けられればよい。
【００４０】
特に図示しないが、１対のパッド１１と、４つの外部端子１３のうちの２つとは、基体９に設けられた配線導体によって互いに接続されている。配線導体は、例えば、基体９の内部に設けられた層状導体及び／又はビア導体によって構成されている。
【００４１】
蓋部材７は、例えば、金属から構成され、素子搭載部材５の上面にシーム溶接等により接合されている。
【００４２】
（振動素子の概略構成）
図３（ａ）は、振動素子３を上方から見た斜視図である。図３（ｂ）は、振動素子３を下方から見た斜視図である。
【００４３】
振動素子３は、例えば、水晶片１５と、水晶片１５に電圧を印加するための第１励振電極１７Ｖ及び第２励振電極１７Ｈと、振動素子３をパッド１１に実装するための第１素子端子１９Ａ及び第２素子端子１９Ｂとを有している。
【００４４】
なお、後に図示するように、振動素子３は、適宜な配線を有している。また、特に図示しないが、振動素子３は、上記の他、周波数調整用（後述する振動腕の重量調整用）の金属膜を有していてもよい。
【００４５】
（水晶片の基本的構成：基部及び振動腕）
水晶片１５は、全体として概ね一定の厚さ（Ｄ３軸方向）に形成されており、また、適宜な平面形状を有している。具体的には、水晶片１５は、いわゆる音叉型のものであり、基本的な構成として、基部２１と、基部２１から並列に延びる第１振動腕２３Ａ及び第２振動腕２３Ｂとを有している。１対の振動腕２３は、励振電極１７によって電圧が印加されて振動する部分であり、基部２１は、その振動腕２３を支持する部分である。
【００４６】
基部２１は、例えば、概略、薄型の直方体状である。すなわち、基部２１は、互いに対向する第１主面２５Ａ及び第２主面２５Ｂと、この１対の主面２５をつなぐ４つの面（前面２７、後面２９、第１側面３１Ａ及び第２側面３１Ｂ）とを有している。
【００４７】
基部２１の各面は、例えば、平面状である。ただし、前面２７、後面２９及び側面３１は、適宜に湾曲したりしていてもよい。互いに対向する面同士は、例えば、互いに平行である。ただし、互いに対向する前面２７及び後面２９、及び／又は、互いに対向する側面３１は、一方が他方に対して傾斜していてもよい。
【００４８】
基部２１のＤ１軸方向、Ｄ２軸方向及びＤ３軸方向の相対的な大きさは、適宜に設定されてよい。図示の例では、基部２１は、Ｄ１軸方向の大きさと、Ｄ２軸方向の大きさとが概ね同じであるが、一方が他方よりも大きくてもよい。また、図示の例では、Ｄ３軸方向の大きさが他の軸方向の大きさよりも小さいが、他の軸方向の大きさよりも大きくてもよい。
【００４９】
振動腕２３は、基部２１の前面２７から前方へ直線状に延びている。１対の振動腕２３は、平面視において互いに並列（例えば平行）である。振動腕２３の根元は、例えば、前面２７のうちのＤ２軸方向の両側端部に位置している。１対の振動腕２３の形状は、例えば、互いに同一（線対称）である。振動腕２３の断面形状は、例えば、概略矩形であり、また、当該断面形状及びその面積は、振動腕２３の長手方向において一定である。ただし、適宜な位置乃至は範囲において、振動腕２３の表面に凹部又は凸部が設けられるなどしてもよい。
【００５０】
振動腕２３の長さ（Ｄ２軸方向）及び幅（Ｄ１軸方向）の寸法は、公知のように、振動素子３に要求される周波数に応じて設定される。振動腕２３の厚み（Ｄ３軸方向）は、強度確保及びスプリアス抑制等の観点から適宜に設定されてよい。
【００５１】
水晶片１５は、例えば、Ｙ軸（機械軸）からＸ軸（電気軸）回りにＺ軸（光軸）側へ約−５°〜５°回転させた軸をＹ′軸としたときに、Ｘ軸が１対の振動腕２３の並び方向（Ｄ１軸方向）となり、Ｙ′軸が振動腕２３の延在方向（Ｄ２軸方向）となるように切り出されている。
【００５２】
（水晶片の実装のための構成：支持腕及び突出部）
水晶片１５は、上記の基部２１及び振動腕２３に加えて、支持腕３３及び突出部３５を有している。この支持腕３３及び突出部３５は、例えば、素子端子１９が設けられることなどにより、水晶片１５の素子搭載部材５に対する実装に寄与する部分である。
【００５３】
支持腕３３は、例えば、第１側面３１Ａから延び出てから曲がって前方へ延びている。より具体的には、例えば、支持腕３３は、第１側面３１Ａのうち最も後面２９側の領域から延び出ている。支持腕３３の、第１側面３１Ａから延び出る部分は、例えば、振動腕２３に直交する方向（Ｄ１軸方向）に直線状に延びている。支持腕３３の曲がる部分は、例えば、９０°の角度で屈曲している。支持腕３３の、前方に延びる部分は、例えば、基部２１の前面２７を超えて振動腕２３と並列に延びており、また、振動腕２３に平行に直線状に延びている。
【００５４】
支持腕３３の、第１側面３１Ａから延び出る部分の長さ（Ｄ１軸方向への長さ）は、適宜に設定されてよい。当該長さは、例えば、水晶片１５の小型化の観点からは短い方が好ましく、後述の説明から理解されるように、実装の平行度を向上させる観点からは長い方が好ましい。また、本実施形態のように、支持腕３３が振動腕２３に並列に延びる場合においては、振動腕２３が振動したときに振動腕２３が支持腕３３に当接しないように、両者の間にある程度のクリアランスが必要であり、第１側面３１Ａから延び出る部分の長さは、このクリアランスを確保するのに十分な長さとされる。
【００５５】
支持腕３３の先端位置は、適宜な位置とされてよい。別の観点では、支持腕３３のＤ２軸方向の長さは、適宜な長さとされてよい。当該長さは、例えば、水晶片１５の小型化の観点からは短い方が好ましく、後述の説明から理解されるように、実装の平行度を向上させる観点からは長い方が好ましい。ただし、支持腕３３の先端が振動腕２３の先端を超えなければ、支持腕３３の長さが振動子１全体としての大きさに及ぼす影響は比較的低い。図示の例では、支持腕３３の先端は、振動腕２３の先端位置と同等である。
【００５６】
支持腕３３の断面形状は、例えば、概略矩形であり、また、当該断面形状及びその面積は、支持腕３３の長さに亘って一定である。ただし、適宜な位置乃至は範囲において、振動腕２３の表面に凹部又は凸部が設けられるなどしてもよいし、支持腕３３の根元側と先端側とで断面積が異なっていてもよい。支持腕３３の幅等の寸法は適宜に設定されてよい。図示の例では、支持腕３３の幅は、振動腕２３の幅と同等とされているが、振動腕２３の幅よりも小さくてもよいし、大きくてもよい。
【００５７】
突出部３５は、例えば、第２側面３１Ｂから突出している。より具体的には、例えば、突出部３５は、第２側面３１Ｂのうち最も後面２９側の領域から突出している。また、例えば、突出部３５は、第２側面３１Ｂから、振動腕２３に直交する方向（Ｄ１軸方向）に直線状に突出しており、突出部３５の先端は、突出部３５の突出方向に向いている。突出部３５の先端面は、例えば、突出方向（本実施形態ではＤ１軸方向）に直交している。
【００５８】
突出部３５の突出量（長さ）は、適宜な大きさとされてよい。当該突出量は、例えば、水晶片１５の小型化の観点からは短い方が好ましく、後述の説明から理解されるように、実装の平行度を向上させる観点からは長い方が好ましい。また、突出部３５の突出量は、支持腕３３のＤ１軸方向に延び出る部分の長さ（Ｄ１軸方向の負側に面する面までの長さ）に対して、大きくてもよいし、小さくてもよいし、同等でもよい。ただし、突出部３５は、少なくとも支持腕３３全体の長さ（根元から先端までの経路に沿った長さ）よりも短いことが好ましい。このようにすることで、突出部３５が、支持部３３のように第２側面３１ｂから曲がって前方へ延びている場合と比較して、突出部３５に生じる屈曲振動を低減させることができ、振動腕２３の振動への影響を低減させることが可能となる。
【００５９】
突出部３５の断面形状は、例えば、概略矩形であり、また、当該断面形状及びその面積は、突出部３５の長さに亘って一定である。すなわち、突出部３５の形状は直方体状である。ただし、適宜な位置乃至は範囲において、突出部３５の表面に凹部又は凸部が設けられるなどしてもよいし、突出部３５の根元側と先端側とで断面積が異なっていてもよい。突出部３５の幅等の寸法は適宜に設定されてよい。図示の例では、突出部３５の幅は、支持腕３３や振動腕２３の幅と同等とされているが、これらの幅よりも小さくてもよいし、大きくてもよい。
【００６０】
（水晶片の振動特性向上のための構成：穴部）
基部２１の少なくとも一方の主面２５（本実施形態では双方の主面２５）には、いずれかの側面３１側から１対の側面３１間の中央側へ延びる第１溝３７Ａ及び第２溝３７Ｂが設けられている。この溝３７によって、振動腕２３から支持腕３３又は突出部３５への振動の漏れが低減され、及び／又は、支持腕３３又は突出部３５が振動腕２３の振動に及ぼす影響が低減される。
【００６１】
なお、以下において、溝３７の、平面視における位置、形状及び面積等について説明する場合、特に断りがない限り、これらは、基本的には、開口面についてのものであるものとする。後述する実施形態及び変形例の穴部についても同様である。
【００６２】
第１溝３７Ａは、例えば、第１側面３１Ａ側から１対の側面３１間の中央側に延びている。また、例えば、第１溝３７Ａは、前面２７（第１振動腕２３Ａ）と、支持腕３３の根元との間に位置している。すなわち、第１溝３７Ａは、少なくとも第１側面３１Ａ側の端部が、支持腕３３の根元よりも前面２７側に位置している。また、例えば、第１溝３７Ａの少なくとも一部は、Ｄ２軸方向に見て第１振動腕２３Ａの幅の少なくとも一部と重なっている。
【００６３】
第２溝３７Ｂは、例えば、第２側面３１Ｂ側から１対の側面３１間の中央側に延びている。また、例えば、第２溝３７Ｂは、前面２７（第２振動腕２３Ｂ）と、突出部３５との間に位置している。すなわち、第２溝３７Ｂは、少なくとも第２側面３１Ｂ側の端部が、突出部３５の根元よりも前面２７側に位置している。また、例えば、第２溝３７Ｂの少なくとも一部は、Ｄ２軸方向に見て第２振動腕２３Ｂの幅の少なくとも一部と重なっている。
【００６４】
第１溝３７Ａ及び第２溝３７Ｂは、例えば、平面視における位置、形状及び大きさが基部２１の中心（例えば重心）を通りＤ２軸方向に延びる不図示の対称軸に関して線対称とされている。また、第１主面２５Ａと第２主面２５Ｂとの間で、第１溝３７Ａ同士、又は、第２溝３７Ｂ同士は、例えば、平面視において、その位置、形状及び大きさが同一とされている。
【００６５】
溝３７は、例えば、その全体が支持腕３３の根元又は突出部３５の根元よりも前面２７側に位置している。また、溝３７の側面３１側の端部は、例えば、１対の側面３１間の中央位置との距離よりも側面３１との距離が近い位置にあり、図示の例では、側面３１に到達している。また、溝３７は、例えば、Ｄ２軸方向に見て振動腕２３の幅全体に亘る長さを有している。なお、図示の例では、溝３７は、Ｄ２軸方向に見て、側面３１から振動腕２３の内側の側面の位置まで延びているが、当該位置を超えて延びていてもよいし、当該位置の手前まで延びていてもよい。
【００６６】
溝３７は、例えば、平面視において、１対の側面３１間の中央側に、側面３１側の部分よりも幅が広い部分を有している。例えば、溝３７は、１対の側面３１の中央側ほど徐々に幅が広くなるように形成されている。より具体的には、例えば、溝３７は、側面３１側に一の頂点を向けた三角形に形成されている。当該三角形は、例えば、直角三角形であり（図２（ａ）も参照）、直角を構成する２辺は、振動腕２３に平行な方向と直交する方向とに延び、斜辺は振動腕２３に対して傾斜している。
【００６７】
溝３７の深さは、例えば、幅が広い位置ほど深くなっている。なお、本実施形態の説明では、凹状のものを溝として定義しているように、溝３７の最も深い位置においても、第１主面２５Ａ側の溝３７と第２主面２５Ｂ側の溝３７とは通じていない。ただし、本実施形態とは異なり、両者は、１対の側面３１間の中央側において通じていてもよい。すなわち、溝と当該溝に連続するスリットとからなる穴部が構成されていてもよい。
【００６８】
（励振電極の構成）
励振電極１７は、例えば、振動腕２３の表面に設けられた導電層により構成されている。具体的には、第１励振電極１７Ｖは、各振動腕２３において、上下面（Ｄ３軸方向の正側の面及びＤ３軸方向の負側の面）に設けられている。また、第２励振電極１７Ｈは、各振動腕２３において、両側の側面（Ｄ１軸方向の正側の面及びＤ１軸方向の負側の面）に設けられている。すなわち、各振動腕２３においては、上下面及び両側の側面の合計４面に、合計４つの励振電極１７が設けられている。
【００６９】
励振電極１７の平面形状は、例えば、振動腕２３が延びる方向を長手方向とする概ね長方形である。各励振電極１７の幅は、例えば、概ね、各励振電極１７が設けられた振動腕２３の各面（上下面又は側面）の幅に亘る広さとされている。ただし、第１励振電極１７Ｖと第２励振電極１７Ｈとが互いに短絡しないように、これらの少なくとも一方の励振電極１７（本実施形態では第１励振電極１７Ｖ）の幅は、その励振電極１７が設けられた面の幅よりも若干小さくされている。励振電極１７の長さ（Ｄ２軸方向）は、例えば、振動腕２３の長さよりも短い適宜な長さとされている。励振電極１７のＤ２軸方向の位置は、例えば、振動腕２３の根元側とされている。
【００７０】
（素子端子の構成）
素子端子１９は、例えば、支持腕３３又は突出部３５の表面に設けられた導電層により構成されている。具体的には、例えば、第１素子端子１９Ａは、支持腕３３の屈曲部の下面（Ｄ３軸方向の負側の面）に設けられている。第２素子端子１９Ｂは、突出部３５の下面（Ｄ３軸方向の負側の面）に設けられている。
【００７１】
素子端子１９の平面形状及び面積は適宜に設定されよい。図示の例では、第１素子端子１９Ａは、支持腕３３の幅全体に亘って形成されており、概ね矩形乃至はＬ字に形成されている。また、図示の例では、第２素子端子１９Ｂは、突出部３５の幅全体に亘って形成されており、さらには、突出部３５の全体に亘って形成されている。素子端子１９は、図示の例よりも広くてもよいし、狭くてもよいし、基部２１側へはみ出していてもよい。また、素子端子１９は、支持腕３３及び突出部３５等の下面だけでなく、外周面や上面に広がっていてもよい。
【００７２】
（励振電極の電位）
各振動腕２３においては、例えば、２つの第１励振電極１７Ｖが互いに同電位とされ、２つの第２励振電極１７Ｈが互いに同電位とされ、かつ第１励振電極１７Ｖと第２励振電極１７Ｈとの間に交流電圧が印加される。これにより、各振動腕２３は、Ｄ１軸方向に振動する。
【００７３】
また、１対の振動腕２３においては、例えば、第１振動腕２３Ａの第１励振電極１７Ｖと第２振動腕２３Ｂの第２励振電極１７Ｈとが同電位とされ、かつ第１振動腕２３Ａの第２励振電極１７Ｈと第２振動腕２３Ｂの第１励振電極１７Ｖとが同電位とされる。これにより、１対の振動腕２３は、平面視において互いに線対称に振動する。
【００７４】
（振動素子の配線構造）
上記のような励振電極１７同士の電位の関係及び励振電極１７に対する電圧の印加は、例えば、水晶片１５の表面に設けられた導電層からなる配線によって、励振電極１７同士の接続、及び、励振電極１７と素子端子１９との接続がなされることにより実現されている。例えば、以下のとおりである。
【００７５】
図４は、振動素子３の配線３９の一例を示す、図３（ｂ）をより模式的にした斜視図である。
【００７６】
図示の例では、各振動腕２３の２つの第２励振電極１７Ｈは、振動腕２３の先端側に設けられた先端側配線３９ａによって互いに接続されている。各振動腕２３の２つの第１励振電極１７Ｖは、基部２１の側面３１を経由する外側配線３９ｂによって互いに接続されている。各振動腕２３の内側の側面（１対の振動腕２３間）に位置する第２励振電極１７Ｈと、他方の振動腕２３の上面又は下面の第１励振電極１７Ｖとは、基部２１の前面２７を経由する内側配線３９ｃによって互いに接続されている。なお、先端側配線３９ａ、外側配線３９ｂ及び内側配線３９ｃは、例えば、溝３７よりも前面２７側に位置している。
【００７７】
また、図示の例では、内側配線３９ｃ又は外側配線３９ｂから延びる端子用配線３９ｄが素子端子１９に接続されている。端子用配線３９ｄは、例えば、第２主面２５Ｂにおいて、前面２７側から第１溝３７Ａ及び第２溝３７Ｂとの間を経由して後面２９側へ延び、その後、支持腕３３又は突出部３５の方向へ延びて素子端子１９に至っている。
【００７８】
なお、図示の例はあくまで一例であり、この他にも種々の配線が可能である。
【００７９】
（振動素子の実装構造）
図２（ａ）〜図２（ｃ）に示すように、振動素子３は、例えば、素子搭載部材５の凹部５ａの底面に対向配置され、１対の素子端子１９と１対のパッド１１とが接合されることによって、素子搭載部材５に電気的に接続されるとともに固定される（すなわち実装される）。接合は、例えば、素子端子１９とパッド１１との間に介在する接合用バンプ４１によってなされる。接合用バンプ４１は、例えば、導電性接着剤又は半田からなる。導電性接着剤は、例えば、導電性フィラーが混入された樹脂からなる。半田は、鉛フリー半田であってもよい。
【００８０】
さらに、本実施形態では、振動素子３は、支持腕３３の屈曲部よりも先端側において、凹部５ａの底面に支持される。具体的には、例えば、凹部５ａの底面には、支持用バンプ４３が設けられており、支持腕３３の先端部の下面が支持用バンプ４３に当接して支持されている。なお、便宜上、支持用バンプ４３は素子搭載部材５の一部であるものとして説明することがある。支持用バンプ４３は、例えば、導電性接着剤又は半田によって構成されてよく、接合用バンプ４１と同一材料とされてよい。また、支持用バンプ４３は、支持腕３３に当接するだけでなく、支持腕３３と凹部５ａの底面とを接合していてもよい。
【００８１】
特に図示しないが、支持腕３３の下面又は凹部５ａの底面には、導電性接着剤又は半田からなる支持用バンプ４３が接合されるパッドが形成されていてもよい。ただし、このパッドは、パッド１１とは異なり、励振電極１７に対する電圧印加には寄与しない。当該パッドは、電気的に浮遊状態とされてもよいし、基準電位が付与されてもよい。
【００８２】
このように、振動素子３は、支持腕３３の屈曲部、支持腕３３の先端側部分及び突出部３５の３つの部分において、素子搭載部材５に支持される。これにより、振動素子３の凹部５ａの底面に対する意図しない傾斜等が抑制される。
【００８３】
（振動子の製造方法）
振動子１の製造方法は、溝３７及び支持用バンプ４３の形成、並びに、各部の具体的な形状を除けば、概略、公知の振動子の製造方法と同様でよい。
【００８４】
例えば、振動素子３の製造方法では、まず、振動素子３が多数個取りされるウェハが水晶から切り出される。そのウェハの上下面（Ｄ３軸に直交する面）に対して、レジストからなるエッチングマスクを介してエッチング（例えばウェットエッチング）を行うことによって、基部２１、振動腕２３、支持腕３３及び突出部３５を有する水晶片１５が形成される。また、水晶片１５に対してマスクを介して導電層を成膜することによって、励振電極１７、素子端子１９及び配線３９が形成される。なお、導電層の成膜は、ウェハ状態でなされてもよいし、個片化の後であってもよい。
【００８５】
溝３７は、例えば、上記の基部２１、振動腕２３、支持腕３３及び突出部３５を形成するためのエッチングによって、又はこれとは別のエッチングによって形成される。ここで、溝３７が、基部２１、振動腕２３、支持腕３３及び突出部３５を形成するエッチングと同時に行われても、１対の振動腕２３間の隙間のように貫通孔とならずに、凹部となるのは、水晶がエッチングに対して異方性を示すこと、及びエッチングマスクの溝３７を形成するための開口部の径が比較的小さいことからである。具体的には、以下のとおりである。
【００８６】
図１２（ｄ）の模式的な断面図に示すように、エッチングマスク１０１の開口１０３を介して水晶ウェハ１０５のエッチングが進むと、水晶のエッチングに対する異方性によって、例えば、第１結晶面１０５ｓ及び第２結晶面１０５ｔが現れる。第１結晶面１０５ｓ及び第２結晶面１０５ｔは、結晶格子の幾何学的規則性に起因して光軸、電気軸及び機械軸に対して水晶に固有の角度で形成される面である。なお、便宜上、単純な形状で説明しているが、実際には、適宜な方向に面する３以上の結晶面が現われてよい。
【００８７】
図１２（ｄ）において実線で示すように、エッチングの初期においては、例えば、断面視において、第１結晶面１０５ｓ及び第２結晶面１０５ｔを脚とする台形状に凹部が形成される。その後、エッチングが更に進むと、点線及び矢印で示すように、台形の脚が延びるようにエッチングが進む。そして、脚同士が互いに接すると、エッチングの速度は急激に低下する（別の観点では、基本的にエッチングは停止する。）。従って、開口１０３の径が小さいほど、早期に台形の脚同士が接してエッチングが停止する。なお、ここで、「エッチングが停止する」とは、エッチングの速度が急激に低下するため、見かけ上エッチングが停止しているように見える状態のことをいう。
【００８８】
ここで、溝３７に対応する開口１０３は、その径（幅）が小さいことから、当該開口１０３の直下では、穴が貫通する前にエッチングの進行が停止し、凹部が形成される。また、溝３７（これに対応する開口１０３）は、１対の側面３１間の中央側ほど幅が広いから、中央側ほど深く形成されることになる。一方、例えば、１対の振動腕２３間の隙間は、その幅が比較的大きく、また、振動腕２３の先端側からもエッチングされることなどから、貫通孔となる。
【００８９】
また、例えば、素子搭載部材５は、基体９を構成する複数のセラミックグリーンシートに、打ち抜き加工を施すとともに導電層（例えばパッド１１及び外部端子１３）又はビア導体となる導電ペーストを塗布し、焼成することによって形成される。ただし、支持用バンプ４３は、例えば、焼成後、振動素子３を素子搭載部材５に実装する前までに、ディスペンサ等によって導電性接着剤又は半田を供給することによって形成される。
【００９０】
上記のように素子搭載部材５及び水晶振動素子３が作製されると、例えば、ディスペンサ等により、溶融状態の導電性樹脂からなる接合用バンプ４１が素子搭載部材５のパッド１１に供給される。その上に、水晶振動素子３が載置される。そして、接合用バンプ４１が加熱硬化されて、パッド１１と素子端子１９とが接合用バンプ４１によって接合される。なお、支持用バンプ４３は、接合用バンプ４１と同時に供給され、かつ加熱硬化されてもよい。
【００９１】
以上のとおり、本実施形態では、音叉型の水晶片１５は、基部２１、１対の振動腕２３、支持腕３３及び突出部３５を有している。基部２１は、互いに対向する１対の主面２５並びに当該１対の主面２５をつなぐ前面２７、後面２９及び１対の側面３１を有している。１対の振動腕２３は、前面２７から前方へ延びており、主面２５の平面視において互いに並列である。支持腕３３は、１対の側面３１のうちの一方の側面（第１側面３１Ａ）から延び出てから曲がって前方へ延びている。突出部３５は、１対の側面３１のうちの他方の側面（第２側面３１Ｂ）から突出しており、支持腕３３よりも短い、及び／又はその突出方向に先端が向いている。また、主面２５及び突出部３５の、主面２５に続く面（上面及び／又は下面）の少なくともいずれかに穴部（溝３７）が形成されている。
【００９２】
また、別の観点では、音叉型の振動素子３は、上記の水晶片１５と、１対の振動腕２３それぞれに設けられている１対の励振電極１７（１７Ｖ及び１７Ｈ）と、支持腕３３及び突出部３５からなる部分の、１対の主面２５の（少なくとも）一方の主面２５（第２主面２５Ｂ）側の面（下面）に設けられており、１対の励振電極１７に接続されている１対の素子端子１９（１９Ａ及び１９Ｂ）と、を有している。
【００９３】
また、別の観点では、音叉型の振動子１は、上記の振動素子３と、振動素子３が実装されている素子搭載部材５と、を有している。振動素子３は、支持腕３３の前方に曲がる部分、支持腕３３の前方に延びている部分及び突出部３５の３つの部分のうち、２つ（本実施形態では支持腕３３の前方に曲がる部分及び突出部３５）に１対の素子端子１９を有している。素子搭載部材５は、１対の素子端子１９と対向するとともに接合用バンプ４１を介して接合されている１対のパッド１１と、前記の３つの部分のうち残りの１つ（本実施形態では支持腕３３の前方に延びる部分）の、第２主面２５Ｂ側の面を支持している支持用バンプ４３（枕部）と、を有している。
【００９４】
従って、水晶片１５（振動素子３）は、支持腕３３の２箇所及び突出部３５の１箇所の合計３箇所にて支持されることになり、実装面（凹部５ａの底面）に対する傾斜の調整が容易化される。例えば、平行度を向上させることが容易化される。すなわち、実装性が向上する。その一方で、支持腕３３及び突出部３５は、基部２１の側面３１から延び出ていることから、基部２１の後面２９から延び出る場合に比較して、水晶片１５のＤ２軸方向における小型化が容易化される。さらに、基部２１に穴部（溝３７）が設けられていることから、例えば、振動腕２３から支持腕３３及び／又は突出部３５への振動の漏れを低減するとともに、支持腕３３及び／又は突出部３５による振動腕２３の振動阻害を抑制することができる。すなわち、振動特性が向上する。その結果、例えば、クリスタルインピーダンスを小さくして、電気特性を向上させることができる。
【００９５】
また、本実施形態では、穴部は、第１溝３７Ａ及び第２溝３７Ｂを含んでいる（ここでいう穴部は、個々の溝３７ではなく、第１溝３７Ａ及び第２溝３７Ｂの全体を指している）。第１溝３７Ａは、主面２５において第１側面３１Ａ側から１対の側面３１間の中央側に延びており、前面２７と支持腕３３の根元との間に位置している。第２溝３７Ｂは、主面２５において第２側面３１Ｂ側から１対の側面３１間の中央側へ延びており、前面２７と突出部３５の根元との間に位置している。
【００９６】
従って、例えば、振動腕２３（前面２７）から支持腕３３及び突出部３５へ漏れる振動をより確実に減衰させることができる。また、穴部がスリット（この態様も本願発明に含まれる）でなく、溝であることから、例えば、基部２１の、振動腕２３を支持するために必要な強度が確保されやすい。
【００９７】
また、本実施形態では、第１溝３７Ａ及び第２溝３７Ｂは、１対の側面３１間の中央側に、１対の側面３１側の部分よりも幅が広い部分を有している。
【００９８】
従って、例えば、溝の幅が側面３１側において大きい態様（この態様も本願発明に含まれる）に比較して、基部２１は、側面３１側の強度が確保される。その結果、例えば、Ｄ１軸方向等への意図しない衝撃に対する強度が確保される。その一方で、溝３７の幅を一部とは言え広くしていることから、振動の漏れの低減の効果が向上する。また、上述したように、水晶のエッチングに対する異方性を利用して溝３７を形成する態様においては、溝３７は、幅が広いほど深くなるから、深さ方向においても振動の漏れの低減の効果が向上する。また、溝３７を形成しようとしたにも関わらず、側面３１側からのエッチングが進むことによってスリットが形成されてしまう事態が避けられる。
【００９９】
また、本実施形態では、１対の素子端子１９の一方（第１素子端子１９Ａ）は、支持腕３３の前方に曲がる部分に設けられており、１対の素子端子１９の他方（第２素子端子１９Ｂ）は、突出部３５に設けられている。
【０１００】
従って、例えば、１対の振動腕２３に対してＤ１軸方向の両側に接合箇所が位置することになり、１対の振動腕２３の姿勢を互いに同様にしたり、接合箇所が１対の振動腕２３に及ぼす影響を互いに同様にしたりすることが容易である。その結果、例えば、意図しない振動が生じるおそれが低減される。
【０１０１】
＜第２実施形態＞
図５（ａ）〜図５（ｃ）は、第２実施形態に係る振動子２０１の構成を示す、図２（ａ）〜図２（ｃ）に対応する図である。
【０１０２】
振動子２０１は、振動素子２０３の素子搭載部材２０５に対する接合位置及びこれに付随する部分のみが第１実施形態と相違する。
【０１０３】
具体的には、本実施形態では、支持腕３３の前方へ曲がる部分と、支持腕３３の前方へ延びる部分との２箇所において、接合用バンプ４１によって１対の素子端子１９と１対のパッド１１とが接合されている。また、突出部３５は、支持用バンプ４３を介して素子搭載部材２０５の凹部２０５ａの底面に支持されている。
【０１０４】
なお、上記から理解されるように、第２素子端子１９Ｂは、突出部３５ではなく、支持腕３３の前方に延びる部分に設けられている。同様に、２つのパッド１１のうち１つは、凹部２０５ａの底面のうち、突出部３５に対向する位置ではなく、支持腕３３の前方に延びる部分に対向する位置に設けられている。突出部３５及び凹部２０５ａの底面のうち突出部３５に対向する領域は、第１実施形態における支持腕３３の前方に延びる部分及び当該部分に対向する領域と同様に、支持用バンプ４３に直接に当接してもよいし、適宜なパッドを介して支持されてもよいし、当接するだけでなく接合されてもよい。
【０１０５】
配線３９は、特に図示しないが、図４に示したものと、概ね同様でよい。ただし、図４で第２素子端子１９Ｂに接続されている端子用配線３９ｄは、１対の溝３７間を後面２９側へ通過した後、支持腕３３側へ延びる。なお、当該端子用配線３９ｄは、第１素子端子１９Ａを避けるために、支持腕３３の外側の側面を経由してよい。なお、図４で第２素子端子１９Ｂに接続されている端子用配線３９ｄが支持腕３３の下面を経由して第１素子端子１９Ａに接続され、図４で第１素子端子１９Ａに接続されている端子用配線３９ｄが支持腕３３の内側の側面を経由して第２素子端子１９Ｂに接続されてもよい。
【０１０６】
以上の第２実施形態においても、水晶片１５は、基部２１、１対の振動腕２３、支持腕３３及び突出部３５を有しており、主面２５及び突出部３５の、主面２５に続く面の少なくともいずれかに穴部（溝３７）が形成されていることから、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、実装性の向上、小型化の容易化及び振動特性（ひいては電気特性）の向上が図られる。
【０１０７】
また、本実施形態では、１対の素子端子１９の一方（第１素子端子１９Ａ）は、支持腕３３の前方に曲がる部分に設けられており、１対の素子端子１９の他方（第２素子端子１９Ｂ）は、支持腕３３の前方に延びている部分に設けられている。そして、枕部（支持用バンプ４３）は、突出部３５を支持している。
【０１０８】
従って、例えば、接合用バンプ４１の収縮等によって、水晶片１５に２つの接合位置間で応力が生じたとしても、その応力は主として支持腕３３内に生じることとなり、かつこの応力は支持腕３３から基部２１への方向とは異なる方向のものとなるから、当該応力が振動に及ぼす影響が低減される。また、一般的に音叉型の振動素子２０３は、振動腕２３の延びる方向（Ｄ２軸方向）において相対的に大きいことから、この方向において振動素子２０３が傾斜すると、振動素子２０３が凹部２０５ａの底面又は蓋部材７に接するおそれがある。しかし、Ｄ２軸方向に２つの接合位置が配置されることによって、そのような不都合のおそれを低減できる。
【０１０９】
（溝の変形例）
図６（ａ）及び図６（ｂ）は、それぞれ、溝３７の平面形状の変形例を示す平面図である。
【０１１０】
図６（ａ）の変形例では、第１溝３７Ａ及び第２溝３７Ｂに相当する第１溝５１Ａ及び第２溝５１Ｂは、溝３７と同様に、側面３１側から１対の側面３１間の中央側へ延びており、また、中央側ほど幅が広くなるように、その平面形状は三角形である。
【０１１１】
ただし、溝５１は、前面２７側の縁部が振動腕２３に対して直交せず、振動腕２３に直交する方向（Ｄ１軸方向）に対して傾斜している。より具体的には、溝５１の前面２７側の縁部は、１対の側面３１間の中央側ほど振動腕２３側に位置するように傾斜している。なお、図示の例とは逆に、溝５１の前面２７側の縁部は、１対の側面３１間の中央側ほど振動腕２３とは反対側に位置するように傾斜してもよい。傾斜角は、適宜に設定されてよい。
【０１１２】
このように、溝５１の前面２７側の縁部が振動腕２３に直交する方向（Ｄ１軸方向）に対して傾斜していると、例えば、振動腕２３から漏れてきた振動が溝５１の前面２７側の縁部においてＤ２軸方向に平行に反射されるおそれが低減される。その結果、例えば、漏れて反射された振動が振動腕２３に到達して、振動腕２３の本来意図した振動を阻害するおそれが低減される。
【０１１３】
図６（ｂ）の変形例では、第１溝３７Ａ及び第２溝３７Ｂに相当する第１溝５３Ａ及び第２溝５３Ｂは、溝３７と同様に、側面３１側から１対の側面３１間の中央側へ延びており、また、中央側ほど幅が広くなる形状である。また、溝５３の前面２７側の縁部は、図６（ａ）の変形例と同様に、振動腕２３に直交する方向（Ｄ２軸方向）に対して傾斜している。なお、傾斜は、図６（ａ）と同様に、前方及び後方のいずれへの傾斜であってもよい。
【０１１４】
ただし、溝５３（その縁部。特に前面２７側の縁部）は、直線ではなく、曲線状になっている。より具体的には、溝５３の縁部は、振動腕２３側に膨らむ曲線状（例えば弧状）となっている。なお、溝５３の縁部は、振動腕２３とは反対側に膨らむ曲線状であってもよいし、振動腕２３側とその反対側に交互に膨らむ曲線状であってもよい。曲線の曲率は適宜に設定されてよい。
【０１１５】
このように、溝５３の前面２７側の縁部が曲線状であると、例えば、振動腕２３から漏れてきた振動は、溝５３の前面２７側の縁部によって種々の方向へ反射されて分散される。その結果、例えば、反射された振動が振動腕２３等に集中して、本来意図した振動が阻害されるおそれが低減される。
【０１１６】
＜第３実施形態＞
図７は、第３実施形態に係る振動素子３０３を示す平面図である。
【０１１７】
振動素子３０３（水晶片３１５）は、穴部３３６の位置及び平面形状及びこれに付随する部分のみが第１又は第２実施形態と相違する。なお、本実施形態以降の実施形態又は変形例において、支持腕３３及び突出部３５における接合又は支持の態様は、第１及び第２実施形態のいずれのものであってもよい。
【０１１８】
穴部３３６は、第１又は第２実施形態と同様に、基部２１の主面２５に形成されている。穴部３３６は、１対の主面２５の一方又は双方において形成された凹部であってもよいし、一方の主面２５から他方の主面２５へ基部２１を貫通する貫通孔であってもよい。
【０１１９】
穴部３３６は、例えば、平面視において１対の側面３１及び後面２９に沿って延びており、概略Ｕ字状に形成されている。また、穴部３３６は、Ｄ１軸方向に見て、支持腕３３の根元の少なくとも一部及び突出部３５の根元の少なくとも一部に重なる。
【０１２０】
別の観点では、穴部３３６は、支持腕３３の根元の少なくとも一部に対して第１側面３１Ａの内側に位置している第１側方穴部３３７Ａと、突出部３５の根元に対して第２側面３１Ｂの内側に位置している第２側方穴部３３７Ｂと、を含んでいる。第１側方穴部３３７Ａ及び第２側方穴部３３７Ｂは、例えば、基部２１の中心を通りＤ２軸に平行な不図示の対称軸に関して線対称の形状である。
【０１２１】
第１側方穴部３３７Ａは、例えば、第１側面３１Ａに沿って延びている第１側方長穴部３５１Ａと、第１側方長穴部３５１Ａから後面２９に沿って中央側へ延びている第１後方長穴部３５３Ａとを有している。同様に、第２側方穴部３３７Ｂは、例えば、第２側面３１Ｂに沿って延びている第２側方長穴部３５１Ｂと、第２側方長穴部３５１Ｂから後面２９に沿って中央側へ延びている第２後方長穴部３５３Ｂとを有している。
【０１２２】
なお、図示の例では、第１後方長穴部３５３Ａと第２後方長穴部３５３Ｂとはつながっているから、穴部３３６は、第１側方長穴部３５１Ａと第２側方長穴部３５１Ｂとを接続する１つの後方長穴部を有していると捉えられてもよい。
【０１２３】
側方長穴部３５１は、例えば、側面３１に平行に直線状に延びている。側方長穴部３５１の側面３１側の縁部は、例えば、側面３１から若干離れている。側方長穴部３５１の幅は、例えば、側方長穴部３５１の長さ方向において一定であり、その大きさは適宜に設定されてよい。第１側方長穴部３５１Ａは、少なくとも一部が支持腕３３の根元の少なくとも一部に対して第１側面３１Ａの内側に位置している。同様に、第２側方長穴部３５１Ｂは、少なくとも一部が突出部３５の根元の少なくとも一部に対して第２側面３１Ｂの内側に位置している。なお、側方長穴部３５１は支持腕３３又は突出部３５まではみ出していてもよい。側方長穴部３５１の後面２９側の端部は、例えば、後面２９から若干離れている。側方長穴部３５１の前面２７側の端部は、例えば、支持腕３３の根元又は突出部３５の根元よりも前面２７側に位置している。側方長穴部３５１の長さは、適宜に設定されてよい。
【０１２４】
後方長穴部３５３は、例えば、後面２９に平行に直線状に延びている。後方長穴部３５３の後面２９側の縁部は、例えば、後面２９から若干離れている。また、後方長穴部３５３は、例えば、側方長穴部３５１の後面２９側の端部と接続されている。後方長穴部３５３の幅は、例えば、後方長穴部３５３の長さ方向において一定であり、その大きさは適宜に設定されてよく、側方長穴部３５１の幅と同一であってもよいし、異なっていてもよい。
【０１２５】
なお、配線３９は、特に図示しないが、図４に示したものと、概ね同様でよい。ただし、図４で１対の素子端子１９に接続されている２本の端子用配線３９ｄは、１対の溝３７間を後面２９側へ通過する代わりに、例えば、基部２１の側面３１を経由して、１対の素子端子１９に到達する。例えば、第１実施形態のように１対の素子端子１９が支持腕３３及び突出部３５に設けられる態様では、２本の端子用配線３９ｄの一方は、第１側面３１Ａを経由して支持腕３３へ延び、他方は、第２側面３１Ｂを経由して突出部３５へ延びる。また、第２実施形態のように１対の素子端子１９がいずれも支持腕３３に設けられる態様では、２本の端子用配線３９ｄは、いずれも第１側面３１Ａを経由して支持腕３３へ延びる。そして、例えば、第２実施形態で説明したように、一方の端子用配線３９ｄは、支持腕３３の内側又は外側の側面を経由することにより、支持腕３３の屈曲部に位置する第１素子端子１９Ａを避けて第２素子端子１９Ｂへ延びる。
【０１２６】
以上の第３実施形態においても、水晶片３１５は、基部２１、１対の振動腕２３、支持腕３３及び突出部３５を有しており、主面２５及び突出部３５の、主面２５に続く面の少なくともいずれかに穴部３３６が形成されていることから、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、実装性の向上、小型化の容易化及び振動特性（ひいては電気特性）の向上が図られる。
【０１２７】
また、本実施形態では、穴部３３６は、基部２１の主面２５において、支持腕３３の根元に対して第１側面３１Ａの内側に位置している第１側方穴部３３７Ａと、基部２１の主面２５において、突出部３５の根元に対して第２側面３１Ｂの内側に位置している第２側方穴部３３７Ｂと、を含んでいる。
【０１２８】
従って、穴部３３６が支持腕３３及び突出部３５の根元に隣接することになり、支持腕３３及び突出部３５が振動腕２３の振動に及ぼす影響をより確実に低減することができる。また、例えば、第１実施形態の溝３７に比較すると、基部２１の前後方向において、支持腕３３及び突出部３５の根元と、前面２７との間に、穴部を設けるためのスペースを確保する必要はなく、基部２１を前後方向において小さくすることが可能である。
【０１２９】
また、本実施形態では、第１側方穴部３３７Ａは、第１側面３１Ａに沿って延びている第１側方長穴部３５１Ａを含んでおり、第２側方穴部３３７Ｂは、第２側面３１Ｂに沿って延びている第２側方長穴部３５１Ｂを含んでいる。
【０１３０】
従って、例えば、支持腕３３及び突出部３５から基部２１へ伝わるＤ１軸方向の応力又はＤ２軸回りのモーメント等が遮断されやすくなる。また、振動腕２３に対してその根元側に直列的に位置する長穴部が形成されることになるから、振動腕２３からの振動の漏れの低減も効果的になされることが期待される。
【０１３１】
また、本実施形態では、第１側方穴部３３７Ａは、第１側方長穴部３５１Ａから後面２９に沿って中央側へ延びている第１後方長穴部３５３Ａを含んでおり、第２側方穴部３３７Ｂは、第２側方長穴部３５１Ｂから後面２９に沿って中央側へ延びている第２後方長穴部３５３Ｂを含んでいる。
【０１３２】
従って、例えば、後面２９を介して支持腕３３及び突出部３５に漏れる振動が低減される。また、例えば、側方穴部３３７と組み合わせられ、Ｕ字状となっていることから、効果的に振動を閉じ込めることができる。特に１対の後方長穴部３５３が互いにつながっている場合においては、より効果的に振動の漏れが低減される。
【０１３３】
（側方穴部の変形例）
図８（ａ）は、側方穴部の変形例を示す平面図である。
【０１３４】
図７に示した穴部３３６では、１対の側方穴部３３７（１対の後方長穴部３５３）は互いにつながっていた。これに対して、図８（ａ）の変形例では、図７の側方穴部３３７に相当する第１側方穴部３５５Ａ及び第２側方穴部３５５Ｂは互いにつながっていない。すなわち、図７の第１後方長穴部３５３Ａ及び第２後方長穴部３５３Ｂに比較して、これらに相当する第１後方長穴部３５７Ａ及び第２後方長穴部３５７Ｂは、前者よりも短く、互いにつながっていない。このような態様では、例えば、図７に示した態様に比較して、後面２９を介して支持腕３３及び突出部３５に振動が漏れるおそれがあるものの、基部２１の強度を確保することができる。
【０１３５】
図８（ｂ）は、側方穴部の他の変形例を示す平面図である。
【０１３６】
図７及び図８（ａ）では、側方穴部は、後方長穴部を有していた。これに対して、図８（ｂ）の変形例では、側方穴部は、側方長穴部３５１のみから構成されている。このような態様では、例えば、後方長穴部が設けられる態様に比較して、後面２９を介して支持腕３３及び突出部３５に振動が漏れるおそれがあるものの、基部２１の強度を確保することができる。
【０１３７】
（分散穴を用いた変形例）
図９（ａ）は、側方穴部の更に他の変形例を示す平面図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）のIXｂ−IXｂ線における断面図である。
【０１３８】
第１側方穴部３５９Ａ及び第２側方穴部３５９Ｂは、例えば、図７に示した側方穴部３３７と同様に、全体としてＵ字状に構成されている。ただし、各側方穴部３５９は、径が比較的小さい複数の分散穴３６１が分散されて構成されている。
【０１３９】
分散穴３６１の平面形状及び面積（既述のように開口面におけるもの）は、適宜に設定されてよい。図示の例では、複数の分散穴３６１の平面形状及び面積は互いに同一とされており、また、各分散穴３６１の平面形状は矩形とされている。
【０１４０】
分散穴３６１の平面形状は、矩形の他に、例えば、円形、楕円形、三角形又は八角形であってもよい。また、特に、円形、楕円形又は八角形のように、輪郭線が種々の方向を向いている（少なくとも４方向よりも多い方向）を向いていることが好ましい。別の観点では、分散穴３６１の平面形状は、曲線状の輪郭線を有する形状（円形、楕円形など）又は５角形以上の多角形であることが好ましい。また、分散穴３６１は、長穴（溝又はスリット）であってもよいが、複数の分散穴３６１を１列ではなく平面的に（２方向以上に）分散させる観点からは、最大径と最小径との差が比較的小さいものが好ましい。例えば、最大径が最小径の２倍以下であることが好ましい。また、複数の分散穴３６１の平面形状及び面積は互いに異なっていてもよい。
【０１４１】
分散穴３６１は、１対の主面２５の一方又は双方に形成された凹部であってもよいし、一方の主面２５から他方の主面２５へ貫通する貫通孔であってもよい。ただし、分散穴３６１は、その開口面積が比較的小さいことから、凹部となることが多いと考えられる。
【０１４２】
また、分散穴３６１が両主面２５に凹部として設けられる場合、分散穴３６１の位置は、平面視において両主面２５間で互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。図９（ｂ）では、分散穴３６１が両主面２５間で互いに同一の位置に配置されている場合を例示している。
【０１４３】
複数の分散穴３６１は、（各主面２５において）規則的に配列されていてもよいし、ランダムに配置されていてもよい。図示の例では、複数の分散穴３６１は、Ｄ１軸方向及びＤ２軸方向（別の観点では長穴部の長さ方向及び幅方向）に行列状に配列されている。なお、このように複数の穴部３６１が行列状に配列される場合、その行数乃至は列数は適宜に設定されてよい。また、行列状でなく、複数の穴部３６１は、１列に配列されていてもよい。
【０１４４】
複数の分散穴３６１同士の間隔は適宜に設定されてよい。例えば、複数の分散穴３６１同士の間隔は、分散穴３６１の開口面における径よりも大きくてもよいし、小さくてもよい。複数の分散穴３６１同士の間隔が比較的小さいと、例えば、複数の穴部３６１間を介して振動が漏れるおそれが低減される。
【０１４５】
以上のように、この変形例では、側方穴部３５９それぞれは、分散配置されている複数の分散穴３６１を含んでいる。
【０１４６】
従って、例えば、複数の分散穴３６１間の部分によって基部２１の強度を確保しつつ、複数の分散穴３６１全体としての面積を広くして、振動の漏れを抑制することができる。また、例えば、側方穴部３５９の縁部が擬似的に変化していることになるから、漏れた振動が側方穴部３５９の縁部で反射する際に種々の方向に反射されることになり、漏れた振動が分散されることが期待される。
【０１４７】
また、この変形例では、好適には、複数の分散穴３６１それぞれの平面形状は、曲線状の輪郭線を有する形状又は５角形状以上の多角形である。
【０１４８】
従って、漏れた振動は、分散穴３６１の縁部（輪郭線）で反射される際に、種々の方向に分散される。その結果、例えば、反射された振動が振動腕２３の本来意図した振動に悪影響を及ぼすおそれが低減される。
【０１４９】
図１０（ａ）は、分散穴を用いた側方穴部の他の変形例を示す平面図である。図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＸｂ−Ｘｂ線における断面図である。
【０１５０】
第１側方穴部３６３Ａ及び第２側方穴部３６３Ｂは、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示した側方穴部３５９と同様に、複数の分散穴３６１からなるものである。ただし、複数の分散穴３６１の配列が側方穴部３５９と相違する。
【０１５１】
具体的には、この変形例においては、複数の分散穴３６１は、格子状に配列されている。例えば、Ｄ２軸方向に配列された列について見ると、Ｄ１軸方向において互いに隣接する列同士間において、一方の列の分散穴３６１は他方の列の分散穴３６１間に位置している。
【０１５２】
この変形例の側方穴部３６３も、先に述べた変形例の側方穴部３５９と同様に、１対の主面２５の一方及び双方に凹状に形成されてもよいし、一方の主面２５から他方の主面２５へ貫通孔として形成されてもよい。また、複数の分散穴３６１は、両主面２５間で、互いに同一の位置に設けられてもよいし、互いに異なる位置に設けられてもよい。
【０１５３】
図１０（ｂ）では、複数の分散穴３６１が両主面２５間で互いに異なる位置に設けられている場合を例示している。このような場合、例えば、同図に示すように、各分散穴３６１の深さを基部２１（水晶片）の厚さの半分以上としつつ、当該穴部を凹部にすることができる。これにより、例えば、基部２１の強度を保ちつつ基部２１の厚さ方向中央を伝搬する振動を減衰できる。また、このような形状は、複数の分散穴３６１が格子状に配列されるなど、複数の分散穴３６１間の隙間が比較的大きい（例えば分散穴３６１の最大径以上）の場合に容易に実現できる。
【０１５４】
＜第４実施形態＞
図１１は、第４実施形態に係る振動素子４０３を示す平面図である。
【０１５５】
振動素子４０３（水晶片４１５）は、穴部の位置及び平面形状及びこれに付随する部分のみが第１〜第３実施形態と相違する。具体的には、以下のとおりである。
【０１５６】
穴部は、第１〜第３実施形態と同様に、基部２１の主面２５に形成されている。ただし、穴部は、平面視において後面２９を切り欠く第１切り欠き部４３７Ａ及び第２切り欠き部４３７Ｂを含んでいる。すなわち、各切り欠き部４３７は、一方の主面２５から他方の主面２５へ貫通する貫通孔であり、その内周面の一部は、後面２９の外部に通じている。
【０１５７】
各切り欠き部４３７の位置、平面形状及び面積は適宜に設定されてよい。例えば、各切り欠き部４３７は、後面２９から前面２７側へＤ２軸方向に平行に一定の幅で延びる長穴（スリット）状である。また、２つの切り欠き部４３７は、例えば、Ｄ２軸方向に見て２つの振動腕２３と重なる位置にあり、より具体的には、例えば、１点鎖線で示すように、切り欠き部４３７の中心線は振動腕２３の中心線に一致している。２つの切り欠き部４３７は、互いに異なる形状及び面積でもよいが、図示の例では、互いに線対称の形状である。
【０１５８】
別の観点では、切り欠き部４３７は、例えば、第３実施形態の側方穴部乃至は側方長穴部（図７参照）であると捉えられてもよい。すなわち、切り欠き部４３７は、支持腕３３の根元に対して第１側面３１Ａの内側、又は、突出部３５の根元に対して第２側面３１Ｂの内側に位置している。ただし、切り欠き部４３７は、第３実施形態の側方長穴部３５１とは異なり、後面２９に到達している側方長穴部である。
【０１５９】
なお、配線３９は、特に図示しないが、第３実施形態と同様に構成されてよい。
【０１６０】
以上の第４実施形態においても、水晶片４１５は、基部２１、１対の振動腕２３、支持腕３３及び突出部３５を有しており、主面２５及び突出部３５の、主面２５に続く面の少なくともいずれかに穴部（２つの切り欠き部４３７）が形成されていることから、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、実装性の向上、小型化の容易化及び振動特性（ひいては電気特性）の向上が図られる。
【０１６１】
また、本実施形態では、穴部は、主面２５の平面視において後面２９を切り欠く切り欠き部４３７を含んでいる。
【０１６２】
従って、例えば、後面２９付近における応力の伝達を遮断して、支持腕３３及び突出部３５が振動腕２３の振動に及ぼす影響を低減できる。特に、後面２９を切り欠いていることから、例えば、第３実施形態の側方長穴部３５１（図７）よりも確実に後面２９付近における応力を遮断できる。また、Ｄ２軸方向に見て振動腕２３と重なっていれば、振動腕２３からＤ２軸方向に漏れた振動を好適に逃がすことができる。
【０１６３】
＜第５実施形態＞
図１２（ａ）は、第５実施形態に係る振動素子５０３を示す平面図である。
【０１６４】
振動素子５０３（水晶片５１５）は、穴部の位置及び平面形状及びこれに付随する部分のみが第１〜第４実施形態と相違する。具体的には、以下のとおりである。
【０１６５】
穴部５３６は、基部２１ではなく、突出部３５に設けられている。穴部５３６は、凹部であってもよいし、貫通孔であってもよい。ただし、例えば、突出部３５の強度を確保する観点からは凹部であることが好ましい。以下では、穴部５３６が凹部である場合を例にとって説明する。
【０１６６】
穴部５３６は、突出部３５の上下面の一方に形成されてもよいし、上下面の双方に形成されてもよい。ただし、突出部３５の下面に素子端子１９が設けられる場合において、突出部３５の下面に穴部５３６を設ける場合は、穴部５３６と素子端子１９とが重ならないことが好ましい。
【０１６７】
穴部５３６の位置、平面形状及び面積は、適宜に設定されてよい。ただし、穴部５３６の位置は、突出部３５の先端側過ぎては、振動腕２３と突出部３５との相互影響を低減する効果が弱くなることから、突出部３５の根元側であることが好ましい。図１２（ａ）では、概ね矩形の穴部５３６が、突出部３５の突出方向の中央位置よりも根元側に位置している場合を例示している。
【０１６８】
図１２（ｂ）は、水晶片５１５をエッチングするためのエッチングマスク１０１について、図１２（ａ）の領域VIIｃ付近を示す平面図である。また、図１２（ｃ）は、領域VIIｃの拡大図である。
【０１６９】
図１２（ｄ）を参照して説明したように、水晶はエッチングに対して異方性を示す。従って、図１２（ｂ）に示すような形状のエッチングマスク１０１を用いてエッチングを行うと、図１２（ｃ）に示すように、穴部５３６は、凹状（底があることをハッチングして示す）となり、また、第２側面３１Ｂと突出部３５との間には残渣１１１（ハッチングして示す）が生じる。なお、図１２（ｄ）の説明から理解されるように、残渣１１１の表面は主面２５に対して傾斜する傾斜面（例えば結晶面）である。残渣１１１は、通常は好ましくないものであるが、本実施形態においては、例えば、穴部５３６を形成したことによる突出部３５の強度低下を補償する補強部として機能する。
【０１７０】
以上の第５実施形態においても、水晶片５１５は、基部２１、１対の振動腕２３、支持腕３３及び突出部３５を有しており、主面２５及び突出部３５の、主面２５に続く面の少なくともいずれかに穴部５３６が形成されていることから、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、実装性の向上、小型化の容易化及び振動特性（ひいては電気特性）の向上が図られる。
【０１７１】
また、本実施形態では、穴部は、突出部３５に位置する穴部５３６（突出用穴部）を含んでいる。
【０１７２】
従って、突出部３５が振動腕２３の振動に及ぼす影響を直接的に抑制することができる。また、例えば、穴部５３６が突出部３５のみに形成され、基部２１に形成されない場合においては、穴部が基部２１の挙動に直接的に及ぼす影響が低減されるから、振動腕２３の振動が意図したものからずれるおそれが低減される。また、素子搭載部材２０５から振動素子３へ伝わる音叉型振動デバイスの外部から振動を受けた場合や、音叉型振動デバイスの外部から熱が加わり素子搭載部材２０５が変形した場合に対しても、穴部５３６を形成することで振動腕２３の振動に及ぼす影響を抑制することができ、振動特性を向上させることがえきる。
【０１７３】
（突出部の穴部の変形例）
図１３（ａ）〜図１３（ｊ）は、突出部３５に設けられる穴部５３６の変形例を示す、図１２（ｃ）に相当する平面図である。
【０１７４】
図１３（ａ）に示すように、穴部５３６は、基部２１と突出部３５との境界（第２側面３１Ｂ）に隣接していてもよい。この場合、例えば、突出部３５の接合位置又は被支持位置に対して基部２１側に穴部５３６を位置させやすい。その結果、例えば、接合又は支持が振動腕２３の振動に及ぼす影響を効果的に低減できる。
【０１７５】
図１３（ｂ）に示すように、穴部５３６は、複数設けられていてもよい。この場合、穴部５３６の配置は適宜に設定されてよい。例えば、同図に例示するように、突出部３５の突出方向に配列されていてもよい。この場合、穴部５３６は、突出方向に交差（例えば直交）する溝状であることが好ましい。また、特に図示しないが、図９（ａ）又は図９（ｂ）に示した変形例のように、穴部５３６として、比較的小径の分散穴３６１が平面的に分散配置されてもよい。
【０１７６】
このように、複数の穴部５３６が設けられることによって、例えば、突出部３５の強度を確保しつつ、穴部５３６全体としての面積を大きくして、振動乃至は応力の伝達を抑制することができる。
【０１７７】
図１３（ｃ）〜図１３（ｅ）に示すように、穴部５３６は、突出部３５の前方の面に到達していてもよい。この場合において、穴部５３６は、図１３（ａ）と同様に基部２１と突出部３５との境界に隣接していてもよいし（図１３（ｃ））、図１２（ｃ）と同様に基部２１から離れていてもよいし（図１３（ｄ））、図１３（ｅ）と同様に複数設けられていてもよい（図１３（ｅ））。
【０１７８】
このように、穴部５３６を突出部３５の前方の面に到達させると、例えば、突出部３５と振動腕２３との最短経路に穴部５３６が位置することになるから、突出部３５の接合又は支持が振動腕２３の振動に及ぼす影響をより確実に低減できる。なお、穴部５３６は、残渣１１１に近いことから、エッチングマスク１０１の開口１０３が切り欠き状であっても、穴部５３６が貫通孔（切り欠き）になってしまうことは抑制され、突出部３５の強度は確保される。
【０１７９】
上記とは逆に、図１３（ｆ）〜図１３（ｈ）に示すように、穴部５３６は、突出部３５の後方の面に到達していてもよい。この場合において、穴部５３６は、上記と同様に、基部２１と突出部３５との境界に隣接していてもよいし（図１３（ｆ））、基部２１から離れていてもよいし（図１３（ｇ））、複数設けられていてもよい（図１３（ｈ））。
【０１８０】
このように、穴部５３６を突出部３５の後方の面に到達させると、例えば、後面２９側を経由して突出部３５と振動腕２３との間で伝達される応力が低減される。なお、穴部５３６は、後面２９側の端部が貫通孔（切り欠き）になるものの、穴部５３６の径（幅）が小さいので、全体としては凹部（溝）となる。逆の観点で捉えれば、穴部５３６は、幅が小さくても、一部を貫通孔にして、より確実に応力の伝達を遮断できる。
【０１８１】
さらに、上記を組み合わせて、図１３（ｉ）及び図１３（ｊ）に示すように、穴部５３６として、突出部３５の前方の面と後方の面との双方に到達するものが設けられてもよい。この場合において、前方側の穴部５３６と後方側の穴部５３６とは、突出部３５の突出方向において互いに同一の位置とされてもよいし（図１３（ｉ））、互いに異なる位置とされてもよい（図１３（ｊ））。
【０１８２】
このように、穴部５３６を前方及び後方の双方に設けることにより、例えば、上述した前方に穴部を形成する効果と、後方に穴部を形成する効果との双方を得ることができる。なお、この変形例とは逆に、図１２（ｃ）、図１３（ａ）及び図１３（ｂ）のように穴部５３６が前後面から離れている場合においては、例えば、捩りや前後方向の曲げに対する突出部３５の強度を確保しやすい。
【０１８３】
図１３（ｉ）のように前後の穴部５３６を同一位置にした場合においては、例えば、穴部５３６の幅（突出部３５の突出方向）を確保しやすいことから、前面側又は後面側を経由する振動が大きいときに有利である。
【０１８４】
図１３（ｊ）のように前後の穴部５３６を互いに異なる位置にした場合においては、例えば、穴部５３６の長さ（前後方向）を突出部３５の幅の半分以上にすることが可能である。すなわち、複数の穴部５３６全体として、突出部３５を横切ることができる。その結果、例えば、突出部３５が振動腕２３の振動に及ぼす影響を確実に低減できる。
【０１８５】
なお、以上の実施形態において、水晶片１５、３１５及び５１５は音叉型圧電片の一例である。水晶振動素子３、２０３、３０３、４０３及び５０３は音叉型振動素子の一例である。水晶振動子１及び２０１は音叉型振動デバイスの一例である。第１側面３１Ａは一方の側面の一例である。第２側面３１Ｂは他方の側面の一例である。穴部５３６は突出用穴部の一例である。素子搭載部材５は実装基体の一例である。素子端子１９は端子の一例である。支持用バンプ４３は枕部の一例である。
【０１８６】
本発明は、上述した実施形態又は変形例に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【０１８７】
上述した実施形態又は変形例は、適宜に組み合わされてよい。例えば、第１実施形態の溝（３７等）、第３実施形態の側方穴部（３３７等）、第４実施形態の切り欠き部４３７及び第５実施形態の穴部３５６（突出用穴部）のいずれか２つ以上が組み合わされて、一の圧電片に適用されてもよい。また、例えば、図９（ａ）及び図９（ｂ）に例示した分散穴は、第３実施形態の側方穴部に限らず、第１実施形態の溝３７のように左右方向に延びる長穴部及び第５実施形態の突出用穴部（３５６）に適用されてもよい。
【０１８８】
圧電片、圧電振動素子及び圧電振動子は、水晶片、水晶振動素子及び水晶振動子に限定されない。例えば、圧電片は、水晶ではなく、セラミックからなるものであってもよい。圧電デバイスは、振動子に限定されない。例えば、圧電デバイスは、振動子となる部分と、発振回路とを備えた発振器であってもよい。また、振動子は、振動素子の他に、サーミスタなどの他の電子部品を備えていてもよい。
【０１８９】
圧電片の基部は矩形でなくてもよい。上下に対向する１対の主面と、前後に対向する１対の面（前面及び後面）と、左右に対向する１対の側面とを有していればよい。例えば、実施形態の説明でも言及したように、側面が外側に膨らむ形状とされ、基部は、全体として長円とされてもよい。また、側面が互いに傾斜して、基部は台形状とされてもよい。また、例えば、基部は、側面の前面側の端部から側方へ突出する突起を有していてもよい。このような突起は、各振動腕の根元側の強度を左右対称として振動を均等化することに寄与する。
【０１９０】
振動腕は、基部の前面から延び出れば、基部の前面における両端に位置していなくてもよい。換言すれば、基部の側面の位置と、振動腕の外側の側面の位置とは一致していなくてもよい。
【０１９１】
支持腕及び突出部は、基部の側面における後端から延び出ていなくてもよく、後端よりも前方から延び出ていてもよい。ただし、これらの部位が振動腕に及ぼす影響を低減する観点からは、振動腕から最も離れた位置である、側面の後端から延び出ることが好ましい。支持腕及び突出部は、側面から振動腕又は側面に直交する方向に延び出ていなくてもよく、振動腕又は側面に対して傾斜する方向に延び出ていてもよい。
【０１９２】
支持腕の、基部の側面から延び出る部分及び前方へ延びる部分は、全体が直線状である必要はなく、一部又は全部が曲線状であってもよい。ただし、前方へ延びる部分を長く形成する場合においては、直線状部分があることが好ましい。振動腕の前方へ曲がる部分は、屈曲に限定されず、湾曲であってもよい。振動腕の前方へ延びる部分は、振動腕に対して傾斜していてもよい。ただし、小型化の観点からは平行が好ましい。支持腕の前方に延びる部分は、基部の前面を超えていなくてもよい。ただし、実施形態においても述べたように、支持腕は、振動腕の長さを超えない範囲で長い方が好ましい。支持腕の幅は長さ方向に一定でなくてもよく、適宜に変化してもよい。
【０１９３】
突出部の形状は、一定の幅で直線状に突出する形状（矩形乃至は長方形）に限定されない。例えば、先端側に幅が広い部分を有していてもよいし、先端側ほど幅広になる逆テーパ状であってもよい。また、突出部は、屈曲又は湾曲していてもよい。ただし、屈曲又は湾曲しても、突出部は支持腕よりは短い。
【０１９４】
穴部は、実施形態及び変形例に示したもの以外に、種々可能である。例えば、基部の主面の中央に穴部を設けてもよい。この場合であっても、多少なりとも支持腕及び突出部が振動腕の振動に及ぼす影響が低減される。また、例えば、穴部は、基部の全面に亘って設けられた一つの大きなものからなってもよいし、基部の全面に亘って設けられた複数の分散穴を含んでいてもよい。また、例えば、穴部は、基部及び突出部に跨って設けられた１つの穴を含んでいてもよい。また、実施形態のように溝（３７等）や側方穴部（３３７等）が基部に設けられる場合において、支持腕側及び突出部側の一方のみに穴部が設けられてもよいし、支持腕側と突出部側とで穴部の構成が異なっていてもよい。
【０１９５】
第１実施形態のような基部の側面側から中央側へ延びる溝（３７等）は、中央側で互いにつながっていてもよい。なお、この場合、配線は、例えば、基部の側面を介して支持腕又は突出部へ延ばせばよい。また、溝は、基部の側面に到達していなくてもよい。また、溝は、中央側に延びる部分が後方へ延びて、左右方向（Ｄ１軸方向）に見て支持腕又は突出部と重なっていてもよい。溝は、長さ方向に亘って同じ幅であってもよい。
【０１９６】
第２実施形態のような側方穴部は、長穴部からなるものに限定されない。例えば、矩形状に形成された１つの穴、又は全体として矩形に配置された複数の分散穴から構成されてもよい。また、側方穴部が側方長穴部（３５１等）を含む場合、側方長穴部は、側面に傾斜していてもよいし、曲線状に延びてもよい。
【０１９７】
振動素子は、いずれの主面が実装側とされてもよいように、両主面にパッドが設けられていてもよい。
【０１９８】
枕部は、バンプからなるものに限定されない。例えば、実装基体（素子搭載部材５）が複数のグリーンシートを焼成したセラミックから構成される場合において、枠状部分（壁部）を構成する、底面の直ぐ上に重ねられるグリーンシートに、内壁面から突出する部分を形成して枕部としてもよい。また、例えば、セラミック、樹脂又は金属からなる部材を実装基体の実装面（凹部５ａの底面）に接着剤等により固定して、枕部としてもよい。
【符号の説明】
【０１９９】
１…水晶振動子（圧電デバイス）、３…水晶振動素子（圧電振動素子）、１５…水晶片（圧電片）、２１…基部、２３…振動腕、２５Ａ…第１主面、２５Ｂ…第２主面、２７…前面、２９…後面、３１Ａ…第１側面（一方の側面）、３１Ｂ…第２側面（他方の側面）、３５…突出部、３７…溝（穴部）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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