(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＥＵＶミラーであって、
基板（ＳＵＢ）と、
該基板に施され、極紫外線領域（ＥＵＶ）からの波長λを有する放射線に対して反射効果を有し、且つ高屈折率層材料及び低屈折率層材料からなる交互層を有する複数の層対を備えた多層構成体（ＭＬ）であり、前記高屈折率層材料が、前記波長で前記低屈折率層材料よりも大きな屈折率の実部を有する多層構成体（ＭＬ）と
を備え、前記多層構成体は、前記放射線に対して反射効果を有し且つ１０個以上の第１層対を有する第１層群（ＬＧ１）を備え、
前記第１層対のそれぞれが、第１層厚を有する高屈折率の第１層材料からなる第１層（Ｈ）と、第２層厚を有する低屈折率の第２層材料からなる第２層（Ｌ）とを含み、且つ第１層対の全層の層厚の和に相当する周期厚（Ｐ）を有し、
前記層材料の一方の層厚が、前記周期番号に応じて、１つ、２つ、又は３つの層厚パラメータによって完全に定義可能である単純に単調な第１層厚プロファイル関数によって定義可能であり、且つ
前記層材料の他方の層厚が、前記周期番号に応じて、第２層厚プロファイル関数に従って変化し、且つ
前記第２層厚プロファイル関数は、前記他方の層材料のランダムな層厚分布を定義することを特徴とするＥＵＶミラー。
【請求項２】
請求項１に記載のＥＵＶミラーにおいて、前記第１層群（ＬＧ１）は、１５個以上、又は２０個以上、又は３０個以上、又は５０個以上の第１層対を備えることを特徴とするＥＵＶミラー。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のＥＵＶミラーにおいて、前記第１層厚プロファイル関数は定数関数であり、前記層材料の一方の層厚が前記第１層群（ＬＧ１）全体で一定となることを特徴とするＥＵＶミラー。
【請求項４】
請求項３に記載のＥＵＶミラーにおいて、層厚が前記第１層群（ＬＧ１）全体で一定となる前記層材料は、モリブデン（Ｍｏ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、及びパラジウム（Ｐｄ）の群から選択されることを特徴とするＥＵＶミラー。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一項に記載のＥＵＶミラーにおいて、層厚が前記第１層群（ＬＧ１）全体でランダムに変化する層材料は、ケイ素（Ｓｉ）であることを特徴とするＥＵＶミラー。
【請求項６】
請求項１又は２に記載のＥＵＶミラーにおいて、前記第１層厚プロファイル関数は、線形増加関数又は線形減少関数であり、前記層材料の一方の層厚が前記第１層群（ＬＧ１）全体で線形に増加又は減少することを特徴とするＥＵＶミラー。
【請求項７】
請求項１又は２に記載のＥＵＶミラーにおいて、前記第１層厚プロファイル関数は、二次関数又は指数関数であることを特徴とするＥＵＶミラー。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のＥＵＶミラーにおいて、前記多層構成体は、前記放射線に対して反射効果を有し且つ１０個以上の第２層対を有する第２層群（ＬＧ２）を備え、前記第１層群（ＬＧ１）は、前記基板（ＳＵＢ）と前記第２層群（ＬＧ２）との間に配置されることを特徴とするＥＵＶミラー。
【請求項９】
請求項８に記載のＥＵＶミラーにおいて、前記第２層群（ＬＧ２）内の前記層材料の一方の層厚が、前記周期番号に応じて、単純な単調第１層厚プロファイル関数によって定義可能であり、前記層材料の他方の層厚が、前記周期番号に応じて、第２層厚プロファイル関数に従って変化することを特徴とするＥＵＶミラー。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載のＥＵＶミラーにおいて、前記第２層群（ＬＧ２）内の前記第１層材料及び前記第２層材料の層厚は、いずれの場合も逆方向に線形に変化することを特徴とするＥＵＶミラー。
【請求項１１】
請求項８〜１０のいずれか１項に記載のＥＵＶミラーにおいて、前記第１層群（ＬＧ１）内の前記層材料の最小層厚と最大層厚との層厚差が、前記第２層群（ＬＧ２）内の前記層材料の最小層厚と最大層厚との層厚差の少なくとも２倍であることを特徴とするＥＵＶミラー。
【請求項１２】
請求項８〜１１のいずれか１項に記載のＥＵＶミラーにおいて、前記層材料の一方は、前記第２層群（ＬＧ２）全体で一定の層厚を有し、前記第２層群（ＬＧ２）内の前記層材料の他方の層厚も、同様に一定であることを特徴とするＥＵＶミラー。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載のＥＵＶミラーを少なくとも１つ備えた光学系。
【請求項１４】
請求項１３に記載の光学系において、該光学系は、マイクロリソグラフィ投影露光装置（ＷＳＣ）用の投影レンズ（ＰＯ）又は照明系（ＩＬＬ）であることを特徴とする光学系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１のプリアンブルに記載のＥＵＶミラー及び請求項１６のプリアンブルに記載のＥＵＶミラーを備えた光学系に関する。１つの好ましい応用分野はＥＵＶマイクロリソグラフィである。その他の応用分野としては、ＥＵＶ顕微鏡法及びＥＵＶマスク計測法が挙げられる。
【０００２】
本願は、独国特許出願第１０  ２０１４  ２００  ９３２．４号の優先権を主張するものであり、当該出願の開示を参照により本明細書に援用する。
【背景技術】
【０００３】
マイクロリソグラフィ投影露光法は、近年では、半導体コンポーネント及び他の微細構造コンポーネント、例えばマイクロリソグラフィ用マスクの製造に主に用いられている。この点で、結像対象の構造のパターン、例えば半導体コンポーネントの層のラインパターンを有するか又は形成するマスク（レチクル）又は他のパターン生成デバイスが利用される。パターンは、投影露光装置において照明系と投影レンズとの間で投影レンズの物体平面の領域に配置され、照明系による照明放射線で照明される。パターンによって変化した放射線は、投影放射線として投影レンズを通り、投影レンズは露光対象の基板上にパターンを結像し、上記基板は放射線感応層で被覆されており、上記基板の表面は物体平面に対して光学的に共役である投影レンズの結像面内にある。
【０００４】
より微細な構造を製造できるようにするために、近年開発されている光学系は、中程度の開口数で動作すると共に、実質的に極紫外線領域（ＥＵＶ）からの使用電磁放射線の短波長によって、特に５ｎｍ〜３０ｎｍの範囲の作動波長で、高い分解能を得るものである。作動波長が約１３．５ｎｍであるＥＵＶリソグラフィーの場合、例えば像側開口数ＮＡ＝０．３であれば、理論上は、約０．１５μｍ程度の典型的な焦点深度で０．０３μｍ程度の分解能を達成することができる。
【０００５】
比較的高い波長で透明な既知の光学材料によって短波長が吸収されるので、極紫外線領域からの放射線は、屈折光学コンポーネントを用いて集束又は誘導することができない。したがって、ＥＵＶリソグラフィーにはミラーシステムが用いられる。ある種のＥＵＶミラーは、比較的大きな入射放射線の入射角で、すなわち全反射の原理に従った斜入射で動作する。多層ミラーは、垂直又は略垂直な放射線入射で用いられる。ＥＵＶ領域からの放射線に対して反射効果を有するそのようなミラー（ＥＵＶミラー）は、極紫外線領域（ＥＵＶ）からの放射線に対して反射効果を有する多層構成体を施した基板を有し、上記多層構成体は、低屈折率材料及び高屈折率材料を交互に含む多くの層対を備えている。ＥＵＶミラーのための層対は、多くの場合、モリブデン／ケイ素（Ｍｏ／Ｓｉ）又はルテニウム／ケイ素（Ｒｕ／Ｓｉ）の層材料の組合せで構成される。
【０００６】
多層ミラーの反射率（reflectivity）すなわちリフレクタンス（reflectance）は、入射ＥＵＶ放射線の入射角及び波長に大きく依存することが知られている。多層構成体が実質的に多数の同一層対を有する周期的な層配列からなる場合に、反射率の最大値を高めることができる。しかしながら、反射率が入射角に依存する場合及び反射率が波長に依存する場合の両方で、反射率曲線の半値全幅（ＦＷＨＭ）が比較的短くなる。
【０００７】
比較的大きな開口数を有するＥＵＶ領域用の光学系、例えばＥＵＶマイクロリソグラフィ用の投影レンズでは、入射角の変化が比較的大きくなり得るが、ビーム経路上の特定の位置に限られる。この点で、それぞれ生じる入射角範囲にわたってリフレクタンスが比較的小さくしか変化しないＥＵＶミラーが必要となる。入射角範囲が広帯域であるような多層ミラーの構成に関して、多くの提案がすでになされている。
【０００８】
非特許文献１は、広帯域効果を有するＥＵＶミラーの層構造を記載している。多層構成体は複数の層群を備え、そのそれぞれが、１周期を形成する異なる材料の少なくとも２つの個別層の周期的配列を有する。個々の層群の周期の数及び周期の厚さは、基板から表面に向かって小さくなる。例示的な一実施形態は、３つの異なる層群を有する。この層構造によって果たそうとする目的として、一方では、各層群の反射極大のピーク波長を基板から表面に向かって短波長側へとシフトさせ、系全体の反射ピークを個々の層群の反射の重畳によってより広くする。他方では、全ての層群が、系全体の反射率に略同様に寄与する。このようにして、大きな波長領域及び角度範囲にわたって、略一定の反射率を達成することが可能である。
【０００９】
非特許文献２及び非特許文献３は、広帯域効果を有するＥＵＶミラーの例を示しており、これらのミラーでは、最適化プロセスの結果として、多層コーティングの個別層の層厚が多層構成体の深さ方向でそれぞれ異なることにより広帯域性が達成される。このような多層構成体は、シミュレーションプログラムを用いて最適化された個別層の確率的配列を有しており、「深さ傾斜多層（depth-graded multilayers）」とも称する。コーティングプロセスで層厚の異なる多くの層を連続的に製造しなければならないので、このような多層構成体の製造は困難であり得る。
【００１０】
非周期的な多層構成体を備えたＥＵＶミラーも、特許文献１から知られている。この多層構成体は、放射線入射側に保護層（「キャッピング層」）を備える。この場合、個別層の層厚は、多層構成体の少なくとも１つの部分領域で無秩序に変化する。
【００１１】
従来技術に開示された垂直又は略垂直入射用の広帯域ＥＵＶミラーは、異なる層対群を有する多層構成体を備えている。表面近傍層群（表層膜群）は、多層構成体の放射線入射側に配置される。追加層が放射線入射側の反対側に続く。基板の方向にこれに続いて、より深い層対群（深層膜群）がある。この場合、表面近傍層群の反射率は基板近傍のより深い層群の反射率よりも高く、反射された放射線は追加層の存在により位相シフトし、追加層が無い場合よりも多層構成体全体の反射率ピーク値が低くなり且つピーク波長付近の反射率が高くなる。追加層の光学層厚は、ＥＵＶ放射線の波長の約１／４（すなわち、λ／４）又は多層構成体の周期厚の半分であることが意図され、又はこの値に周期厚の整数倍を加えた値に対応することが意図される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】国際公開第２００９／０４３３７４号
【非特許文献】
【００１３】
【非特許文献１】“EUV multilayer mirrors with tailored spectral reflectivity” by T. Kuhlmann, S. Yulin, T. Feigl and M. Kaiser in: Proceedings of SPIE Vol. 4782 (2002) pages 196 to 203
【非特許文献２】“Broadband multilayer mirrors for optimum use of soft x-ray source output” by Z. Wang and A. G. Michette in: J. Opt. A: Pure Appl. Opt. 2 (2000) pages 452-457
【非特許文献３】“Optimisation of depth-graded multilayer designs for EUV and X-ray optics” by Z. Wang and A. G. Michette in: Proceedings of SPIE Vol. 4145 (2001) pages 243-253
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明が取り組む課題は、広い入射角範囲でリフレクタンスに小さな変化しかなく、さらに高精度で再現可能に製造できる請求項１のプリアンブルに記載のＥＵＶミラーを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この課題を解決するために、本発明は、請求項１の特徴を有するＥＵＶミラーを提供する。さらに、請求項１６の特徴を有するＥＵＶミラーを備えた光学系を提供する。有利な発展形態は、従属請求項で特定される。全ての請求項の文言を、参照により説明の内容に援用する。
【００１６】
第１層群は、十分に多数の第１層対を有し、第１層対は、入射ＥＵＶ放射線の一部をそれぞれが反射する比較的高屈折率の材料と比較的低屈折率の材料との間で多数の界面を概して形成し、第１層群が概して放射線に対する反射効果を有して多層構成体の全反射率に実質的に寄与するようになる。これを達成するために、第１層群は、少なくとも１０個の第１層対を有する。１０個よりも大幅に多い第１層対、例えば１５個以上、又は２０個以上、又は３０個以上、又は５０個以上の第１層対を設けてもよい。
【００１７】
層対は、いずれの場合も高屈折率の層材料からなる第１層及びそれに対して比較的低屈折率の層材料からなる第２層を含む。このような層対は、「周期、」「二重層、」又は「バイレイヤ」とも称し、本願に関しては第１層対の全層の（幾何学的又は光学）層厚の和に相当する周期厚を特徴とし得る。比較的高屈折率の層材料及び比較的低屈折率の層材料からなる２つの層に加えて、層対が１つ又は複数のさらに他の層、例えば隣接層間の相互拡散を低減するための介在バリア層を含むこともできる。
【００１８】
層材料の一方（第１層材料又は第２層材料）の公称層厚は、周期番号に応じて単純な単調（simply monotonic）第１層厚プロファイル関数によって定義可能であるが、他方の層材料（第２層材料又は第１層材料）の層厚は、周期番号に応じて第２層厚プロファイル関数に従って変化する。この場合、「周期番号」は、基板に面した側から始まって第１層群の放射線入射側で終わる直接連続する周期又は層対の番号化を指す。周期番号は、層対番号と称することもできる。
【００１９】
したがって、層対の個別層の公称層厚は、特定の層厚プロファイル関数に従い、各層の公称層厚は、各独立変数（周期番号又は層対番号）についての層厚プロファイル関数の関数値として得られる。この場合、実際の層厚が、層厚プロファイル関数の数学的に正確な関数値（すなわち公称層厚）に対応する必要はない。逆に、実際の層厚は、各層厚プロファイル関数から得られる関数値から製造公差の範囲内で外れていてもよい。製造公差は、個別層毎に、例えば個別層の絶対層厚の５％又は最大１０％近辺であり得る。
【００２０】
層材料の一方（第１層材料又は第２層材料）に関しては、（公称）層厚は単純な単調第１層厚プロファイル関数に従う。これは、分析的に最大５個の層厚パラメータによって完全に記述できる層厚プロファイル関数をここでは示す。本発明者らの認識によれば、結果として、製造時の且つ／又は製造された多層構成体の安定性に関する層厚の精度に関して大きな利点を得ることができる。
【００２１】
したがって、単純な単調第１層厚プロファイル関数に従った層厚は、任意に又は複雑に変化するのではなく、比較的単純にパラメータ化可能な特定の系統化（systematization）に従う。このような系統化は、例えば、製造欠陥を測定値からより容易に推定することを可能にする。さらに、例えば、層の層粗さは、上記層材料の層厚が単純な単調第１層厚プロファイル関数に従っていれば、より良好に設定及び／又は制御することができる。
【００２２】
実際には、例えば、コーティングプロセス全体の間、すなわち多層構成体の連続した個別層の製造中に、コーティング装置がコーティング結果に関係のあるいくつかの特性に関して経時的に変化し得ることを想定すべきである。結果として、各個別層の層厚を測定結果、例えば反射率測定値から推定することが通常は困難になる。この点で、例えば、コーティング率の決定における誤差が層厚の線形誤差をもたらす可能性があるので、誤差の大きさは設計層厚（すなわち公称層厚）に応じて変わる。代替的又は付加的に、コーティング中のコーティング装置における変化により個別層厚の線形ドリフトが生じ得るので、例えば、選択された層材料が多くの層対で一定の層厚を有する代わりに、基板からの距離の増加に伴って上記層材料の層厚が漸増又は漸減する結果となる。第１層厚プロファイル関数が線形関数である場合、これら２つの効果を別個に求める必要がないので、測定の結果をより容易に解釈することが可能である。これに対して、公称層厚が単純な単調第１層厚プロファイル関数に従わなかった場合、正確な層厚を求めることができるように両方の誤差を別個に把握しなければならない。
【００２３】
他方の層材料の層厚は、層対番号に応じて第２層厚プロファイルに従って変化するべきであり、第１層群内のこの他方の層材料では製造公差から著しく外れた層厚差が生じる。
【００２４】
層厚に関するこれらの条件を組み合わせることによって、角度空間での反射率が十分に高い場合に特定の入射角間隔に関する反射率の変化が十分に小さいと同時に、高精度で再現可能に製造できる、多層構成体又はＥＵＶミラーを実現することが可能である。
【００２５】
上記条件は、層厚が幾何学的層厚として指定されるか光学層厚（幾何学的層厚と屈折率の実部との積）として指定されるかに関係なく、ＥＵＶミラーに当てはまるが、それは該当する材料の屈折率の実部が１に近いからである。
【００２６】
本発明の場合、第１層厚プロファイル関数は、１つ、２つ、又は３つの層厚パラメータによって完全に定義可能である。したがって、この条件が満たされると、第１層群全体での層材料の一方の公称層厚の値を完全に定義するのに最大３つの層厚パラメータで十分である。これにより、コーティングプロセスにおける制御不可能な変化を例えば推測できるように、影響を受けた層厚が非常に単純に記述され、それに対応して測定結果を単純且つ正確に解釈することが可能である。
【００２７】
いくつかの実施形態では、第１層厚プロファイル関数は定数関数であり、層材料の一方の層厚が第１層群全体で一定（公差の範囲内）となる。第１層厚プロファイル関数は、この場合、単一の層厚パラメータ、すなわち所望の層厚によって、例えば
ｄ（ｎ）＝ａ
という表現によって与えられ、式中、ｄ（ｎ）は層対中の影響を受けた層の公称層厚、ｎ（ｎ＝１、２、３…）は周期番号、ａは影響を受けた層材料の既定の一定層厚である。第１層群内の一定層厚での製造が意図される層材料は、材料の組合せに応じて、比較的高屈折率の第１層材料又は比較的低屈折率の第２層材料であり得る。
【００２８】
層粗さを制御するという理由で、例えば特定の材料の個別層厚を変化させないことが有利であり得る。いくつかの実施形態では、一定の第１層厚プロファイル関数に従って製造される層材料は、モリブデン（Ｍｏ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、及びパラジウム（Ｐｄ）の群から選択される。
【００２９】
いくつかの実施形態、特に第１層群全体における層材料の一方が実質的に同じ層厚（一定の第１層厚プロファイル関数）を有する実施形態では、第２層厚プロファイル関数が、他方の層材料の確率的な層厚分布を定義する。上記他方の層材料は、例えばケイ素（Ｓｉ）であり得る。したがって、例えば、層厚が大きく異なる場合でも層応力を予測することができる。
【００３０】
いくつかの実施形態では、第１層厚プロファイル関数は、線形増加関数又は線形減少関数であり、層材料の一方の層厚が第１層群全体で線形に増加又は減少する。これらの場合、影響を受けた層材料の公称層厚を完全に求めるために、２つの層厚パラメータを指定すれば十分である。層厚プロファイル関数は、例えば次式のように定式化することができる。
ｄ（ｎ）＝ａ＋ｂ×ｎ
式中、ａは各層厚の初期値、ｎ＝１、２、３…は周期番号、ｂは層厚プロファイル関数の勾配すなわち傾きである。勾配すなわち傾きは、同じ層材料からなる直接隣接する層の層厚の差の絶対値をここでは示す。
【００３１】
第１層厚プロファイル関数が線形増加関数又は線形減少関数であることによって特徴付けられるいくつかの実施形態では、第２層厚プロファイル関数も線形増加関数又は線形減少関数であるものとする。結果として、第１層群内の全ての個別層の公称層厚の特に単純に分析可能な記述が、両方の層材料に関して可能である。
【００３２】
ここで、第２層厚プロファイル関数が第１層厚プロファイル関数とは逆方向に進み（proceeds in the opposite direction）得るので、例えば、第１層材料の線形減少層厚に対して第２層材料の層厚は線形に増加し、又はその逆となる。これらの場合、第１層群内の周期厚は一定であるか、又はごくわずかに、すなわち個別層厚よりも小さく変化する。しかしながら、両方の層材料の層厚が等しく線形減少又は等しく線形増加することも可能であり、個々の層材料の勾配は同一であっても異なっていてもよい。これらの場合、周期厚も同様に線形に増加又は減少する。
【００３３】
いくつかの実施形態では、第１層厚プロファイル関数が二次関数又は指数関数となっていることで、第１層群内で影響を受けた層材料の層厚が系統立てて少しずつ漸増又は漸減するようになり、さらに、ステップサイズ、すなわち同じ層材料の直接隣接する層間の層厚差は、基板からの距離の増加に伴って増加又は減少する。二次及び指数第１層厚プロファイル関数は、いずれの場合も、例えば次式に従って厳密に３つの層厚プロファイルパラメータａ、ｂ、及びｃによって完全に求めることができる。
ｄ（ｎ）＝ａ＋ｂ×ｅｘｐ（ｃ×ｎ）（指数）
ｄ（ｎ）＝ａ＋ｂ×ｎ＋ｃ×ｎ２（二次）
【００３４】
いくつかの実施形態では、第２層厚プロファイル関数が二次関数又は指数関数となっている。特に、第１及び第２層厚プロファイル関数の両方を二次関数及び指数関数とすることができる。この場合、第２層厚プロファイル関数が第１層厚プロファイル関数とは逆方向に進み得るので、周期厚は、変化がより大きな個別層の層厚よりも小さく変化する。
【００３５】
第１層群が、ＥＵＶ放射線に対して反射効果を有する多層構成体の唯一の層群となることが可能である。
【００３６】
場合によっては、第１層群に加えて、多層構成体が放射線に対して反射効果を有し且つ１０個以上の第２層対を有する第２層群を備えていれば、反射率挙動の角度依存性の設計に際してさらなる有利な自由度が生じ、ここで第１層群は、基板と第２層群との間に配置される。したがって、第２層群は、第１層群の基板に面しない側に、すなわち多層構成体の放射線入射側寄りに位置する。第２層群も全反射率に実質的に寄与するという効果を得るために、第２層群は少なくとも１０個の第２層対を有する。１０個よりも大幅に多い第２層対、例えば１５個以上、又は２０個以上、又は３０個以上、又は５０個以上の第２層対を設けることも可能である。
【００３７】
第２層群の個別層の公称層厚は、第１層群の公称層厚と同様の又はそれとは異なる形成則に従って設計することができる。特に、第２層群内で層材料の一方の層厚が周期番号に応じて単純な単調第１層厚プロファイル関数によって定義可能であり、他方の層材料の層厚が周期番号に応じて第２層厚プロファイル関数に従って変化する場合もある。入射側第２層群を備えた例示的な実施形態では、比較的均一な反射率を達成するために設計により多くの自由度が生じる。
【００３８】
例として、実施形態によっては、第１層群内の第１層材料及び第２層材料の層厚は、いずれの場合も逆方向に線形に変化し、第２層群内の上記層材料の層厚も逆方向に線形に変化するが、初期値及び傾きは異なる可能性がある。結果として、場合によっては、比較的大きな入射角範囲で反射率の特に小さな変化を達成することが可能である。
【００３９】
特に、基板の近くに位置する第１層群内の層材料の層厚の変化が、放射線入射側の近くに位置する第２層群内よりも大幅に大きい場合もある。基板近傍の第１層群内の層厚の変化は、放射線入射側寄りの第２層群内の層厚の変化の大きさの例えば少なくとも２倍、又は少なくとも３倍、又は少なくとも４倍であり得る。「変化」という用語は、層群内の層材料の最小層厚と最大層厚との間の差をここでは示す。モノスタック（両方の層材料の総厚が一定）の場合、公称変化はゼロに等しい。高い反射率値を得るには放射線入射側寄りの層厚変化が小さいのが得策であり得るが、基板付近の層厚変化が大きいことが角度空間における広帯域性に好都合な効果をもたらす。
【００４０】
したがって、第２層群内の層材料の層厚は、第２層群が多層構成体の最大反射率に比較的大きく寄与するように選択することができる一方で、第１層群は広帯域性に寄与する。いくつかの実施形態では、第２層群内の層材料の一方、特にモリブデンは、第２層群全体で一定の層厚を有し、第２層群内の他方の層材料、特にケイ素の厚さも同様に一定であり、「モノスタック」の場合と同様の層構造が第２層群内で得られる。
【００４１】
本発明は、より詳細に上述又は後述されるタイプのＥＵＶミラーを少なくとも１つ備えた光学系にも関する。
【００４２】
光学系は、例えば、ＥＵＶ放射線で動作するマイクロリソグラフィ投影露光装置用の投影レンズ又は照明系であり得る。ＥＵＶミラーは、平面状のミラー表面又は凸状若しくは凹状に湾曲したミラー表面を有し得る。投影レンズでは、例えば最大入射角間隔が生じるミラーを、また適切な場合には複数の又は全部のＥＵＶミラーも、ここで説明するように構成することができる。ＥＵＶミラーは、傾斜位置に応じて異なる入射角間隔が生じ得る、制御可能なマルチミラーアレイ（ＭＭＡ）の一軸又は多軸傾斜可能な個別ミラーとすることができる。広帯域効果がここでは特に有利であり得る。マルチミラーアレイは、ここで説明するタイプの複数のＥＵＶミラーを含むことができる。ＥＵＶミラーは、他の光学系で、例えば顕微鏡法の分野で用いることもできる。
【００４３】
本発明のさらに他の利点及び態様は、特許請求の範囲と、図に基づいて以下で説明する本発明の好ましい例示的な実施形態の説明とから明らかとなる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】例示的な第１実施形態による多層構成体の層構造の概略垂直断面を示す。
【図２】例示的な第１実施形態の層厚図を示す。
【図３】例示的な第２実施形態の層厚図を示す。
【図４】例示的な第３実施形態の層厚図を示す。
【図５】例示的な第１実施形態〜第３実施形態の反射率及びＭｏ／Ｓｉモノスタック（ＭＳ）を備えた参照ミラーの反射率の入射角依存性に関する比較グラフを示す。
【図６】例示的な第４実施形態の層厚図を示す。
【図７】例示的な第５実施形態の層厚図を示す。
【図８】例示的な第４実施形態〜第５実施形態の反射率の入射角依存性に関する比較グラフを示す。
【図９】本発明の一実施形態によるＥＵＶマイクロリソグラフィ投影露光装置のコンポーネントを示す。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
ＥＵＶ作動波長λ＝１３．５ｎｍ及び入射角間隔１０°≦ＡＯＩ≦１７．５°、すなわち平均入射角ＡＯＩＭ＝１３．７５°用のＥＵＶミラーの複数の例示的な実施形態に基づいて、本発明の態様を以下で説明する。この場合、入射角（ＡＯＩ）は、ミラー表面に入射する光線と、入射点におけるミラーの表面に対する法線Ｎとによって形成される角度を示す（図１参照）。このタイプの入射角間隔は、高開口数で動作するＥＵＶマイクロリソグラフィ用の光学系で例えば生じ得る。
【００４６】
このような入射角の場合、既知のように、ＥＵＶ放射線に対して反射効果を有する多層構成体を備えた多層ミラーが用いられ、これは、屈折率の実部の大きな層材料の層（「スペーサ」とも称する）及びそれよりも屈折率の実部の小さな層材料の層（「アブソーバ」とも称する）を交互に施した多くの層対（バイレイヤ）を含む。層対は、例えば、モリブデン／ケイ素（Ｍｏ／Ｓｉ）及び／又はルテニウム／ケイ素（Ｒｕ／Ｓｉ）といった層材料の組合せで構成することができる。この場合、ケイ素がそれぞれスペーサ材料を形成し、Ｍｏ及び／又はＲｕがアブソーバ材料として働く。層対は、例えばＣ、Ｂ４Ｃ、ＳｉｘＮｙ、ＳｉＣ、又は上記材料の１つを含む組成物からなり得ると共に界面における相互拡散を防止するための少なくとも１つのさらなる層、特に介在バリア層を含み得る。
【００４７】
以下で説明する例示的な実施形態は、いくつかの基本原理を説明するのに役立つことが意図される。モリブデン（Ｍｏ）及びケイ素（Ｓｉ）がいずれの場合も層材料として用いられるので、明確な図示が得られる。基本原理は、他の波長、他の入射角間隔、及び／又は他の層材料の組合せにも用いることができる。さらに、基本原理は、積層体にさらに設けられ得るバリア層及び／又は保護層の使用とは無関係に働く。
【００４８】
図１は、例示的な第１実施形態による多層構成体ＭＬの層構造の概略垂直断面を示す。
【００４９】
図２は、関連する層厚図を示す。個別層の層数ＬＮを横座標に示し、ｎｍでのそれらの幾何学的層厚ｄを縦座標に示す。点記号はモリブデン（Ｍｏ）からなる個別層を表し、三角記号はケイ素（Ｓｉ）からなる個別層を表す。四角記号は層対の（幾何学的）周期厚Ｐを表す。層番号１及び２を有する個別層は、周期番号１（ｎ＝１）を有する層対に属し、その直後の層番号３及び４を有する個別層は、周期番号２（ｎ＝２）を有する層対に属し、以下同様である。基板（図示せず）は左側に位置するので、層番号１を有する個別層は基板に直接隣接する。したがって、放射線入射側は、最大の層番号で右側にある。この図示方法は、本願の全ての層厚図に適用される。
【００５０】
図１又は図２からのＥＵＶミラーは、光学的に精密に加工された基板表面を有する基板ＳＵＢを有し、この基板表面上に、以下で「多層」とも称する多層構成体ＭＬが施される。この例では、多層構成体は７８個の個別層からなり、モリブデン層（ハッチング）及びケイ素層（ハッチング無し）が交互になっている。結果として、３９個のＭｏ／Ｓｉ層対が形成され、これらをＭｏ／Ｓｉバイレイヤ又は周期とも称する。
【００５１】
多層構成体ＭＬは、入射ＥＵＶ放射線に対して反射効果を有し且つ３９個の第１層対、すなわち３９個のＭｏ／Ｓｉ層対を備えた第１層群ＬＧ１によって実質的に又は専ら形成される。この材料の対偶の場合、層材料のケイ素は、屈折率の実部の大きな層材料、すなわち比較的高屈折率の第１層材料であり、ＥＵＶ波長でのモリブデンは、屈折率の実部が比較的小さく、したがって比較的低屈折率の第２層材料である。Ｓｉ層の幾何学的層厚はｄＳｉで示し、Ｍｏ個別層の幾何学的層厚はｄＭｏで示す。層対の全個別層の幾何学的層厚の和を、ここでは周期厚Ｐｉと称し、指数ｉは周期番号を表す。周期厚は、層厚ｄＭｏ及びｄＳｉによって影響を受けるだけでなく、含まれ得るその他の層の、例えば拡散抑制中間層の幾何学的層厚によっても影響を受けるが、こうしたその他の層の層厚は、概してＭｏ及びＳｉの層厚の数分の一である。
【００５２】
第１層群ＬＧ１内のＭｏ層の層厚は、放射線入射側の方向の基板からの距離の増加に伴って、線形第１層厚プロファイル関数に従って連続的に減少する。したがって、直接隣接するＭｏ層は、いずれの場合も相互に対して同じ層厚差を有する。Ｓｉ層の個別層厚も同様に、同一ステップずつ基板側から放射線入射側まで線形に減少し、層対番号に対するこの依存は、線形第２層厚プロファイル関数によって与えられる。図２における層厚図はこの挙動を説明するものである。Ｍｏ及びＳｉの個別層厚は、いずれの場合も層対番号と共に線形に変化する。同じことが周期厚にも当てはまる。層対番号ｎ（１≦ｎ≦３９）に応じた層厚プロファイル関数は、いずれの場合もｄ（ｎ）＝ａ＋ｂ×ｎとなる。層厚パラメータａは、ここではいずれの場合も層厚の所期値を指定し、層厚パラメータｂは、層厚プロファイルの傾きすなわち勾配を指定する。層厚パラメータに関しては、以下が当てはまる。
Ｍｏ：ａ＝３．５８、ｂ＝−０．０１
Ｓｉ：ａ＝４．２２、ｂ＝−０．０１
【００５３】
入射角ＡＯＩに対する反射率Ｒの依存性に対するこの特定の層構造の影響を、多層構成体が純粋なＭｏ／Ｓｉモノスタックとして具現されている参照ミラーの反射率の入射角依存性と比べて、図５を参照して説明する。「モノスタック」という用語は、全ての連続した層対がＭｏ及びＳｉの同じ層材料の組合せ及び同じ個別層厚を有する多層構成体をここでは示す。ＡＯＩ約１４．８°における最大反射係数が６８％である点破線「ＭＳ」は、２６個の層対を有するこのようなモノスタックの反射率の入射角依存性を示す。
【００５４】
「１」と記した実線は、例示的な第１実施形態（図１及び図２）の場合の、すなわち基板と放射線入射側との間のモリブデン及びケイ素の個別層厚が線形に減少する、対応の反射率プロファイルを示す。純粋なモノスタックの場合の最大反射率である６８％という値は、例示的な第１実施形態において同じ入射角で生じる反射率（約６４％）よりも大幅に高いことが直ちに明らかとなる。しかしながら、例示的な第１実施形態における入射角範囲での反射率の変化は、純粋なモノスタックの場合よりも大幅に小さい。参照系ではリフレクタンスの変化が約６０％（１０°）〜約６８％（約１５°）、すなわち約８％ポイントだが、例示的な第１実施形態における同じ入射角でのリフレクタンスの変化は、約６％ポイント、すなわち約５８％（１７．５°）〜６４％（約１５°）でしかない。したがって、個別層の場合の線形層厚プロファイルが、多層構成体の設計対象である選択入射角範囲での反射率の入射角依存性の均一化につながることが明らかである。
【００５５】
例示的な第２実施形態を、図３における層厚図を参照して説明する。上記例示的な第２実施形態は、例示的な第１実施形態と比べると、選択入射角範囲内の反射率の変化がさらに小さいこと、すなわち角度空間における広帯域性の改善を示す。この例示的な実施形態では、多層構成体は、それぞれが異なる設計で上下に配置された厳密に２つの層群間に分配された合計４４個の層対又は周期を有する。１８個の第１層対を有する第１層群ＬＧ１は、基板の付近に配置される。合計２６個の第２層対を有する第２層群ＬＧ２は、上記第１層群ＬＧ１が基板と第２層群ＬＧ２との間に配置されるように第１層群に施される。
【００５６】
２つの層群のそれぞれで、Ｍｏ個別層の幾何学的層厚が、基板側から放射線入射側まで線形第１層厚プロファイル関数に従って線形に減少する一方で、Ｓｉ個別層の層厚は、いずれの場合も基板側から放射線入射側まで線形第２層厚プロファイルに従って線形に増加する。したがって、両方の層群で、第２層厚プロファイル関数は、第１層厚プロファイル関数とは逆方向に進む。この場合、第１層群ＬＧ１では、Ｓｉ層の層厚の増加がＭｏ個別層の層厚の逆方向の減少よりも比較的大きいので、周期厚が基板側から放射線入射側まで線形に増加する。これに対して、第２層群ＬＧ２内では、Ｍｏ層の層厚の減少がＳｉ層の層厚の逆方向の増加よりも比較的大きいので、周期厚が第１層群側又は基板側から放射線入射側まで線形関数に従ってわずかに減少する。第１層群ＬＧ２内の層材料の層厚の変化（層材料の最小層厚と最大層厚との間の層厚差）は、第２層群ＬＧ２内の大きさの４倍を超える。したがって、第２層群ＬＧ２が「モノスタック」と同様に比較的大きな反射効果を有する一方で、基板により近い第１層群は広帯域性を高める。個別層厚がいずれの場合も式ｄ（ｎ）＝ａ＋ｂ×ｎに従って周期番号又は層対番号の関数として指定される場合、以下の値が層厚パラメータに当てはまる。
基板近傍の第１層群ＬＧ１（１≦ｎ≦１８）：
Ｍｏ：ａ＝４．３１、ｂ＝−０．０７
Ｓｉ：ａ＝０．８４、ｂ＝０．２５
基板から離れた第２層群ＬＧ２（１≦ｎ≦２６）：
Ｍｏ：ａ＝４．０３、ｂ＝−０．０５
Ｓｉ：ａ＝３．３７、ｂ＝０．０４
したがって、層群のそれぞれについて、Ｍｏ層及びＳｉ層の層厚プロファイルをいずれの場合も厳密に２つの層厚パラメータａ及びｂに基づいて曖昧に（ambiguously）求めることが可能である。
【００５７】
反射率の入射角依存性に対するこの層構造の効果は、例示的な第２実施形態の反射率曲線を「２」と記した破線曲線で示す図５を参照して明らかとなる。例示的な第２実施形態における入射角範囲での反射率の変化は、参照系（モノスタック）よりも大幅に小さく、また例示的な第１実施形態よりも大幅に小さい。リフレクタンスの変化は、１０°〜１７．５°の入射角間隔で約６１．５％（ＡＯＩ＝１７．５°）〜約６４．４％（ＡＯＩ約１１．４°）でしかなく、約６４．４％の最大反射率も上記入射角で達成される。所望の入射角間隔でのリフレクタンスの変化は、約３％ポイントでしかない。
【００５８】
角度空間での広帯域性を改善するのに用いることができる、他の数学的に比較的単純に記述可能ではあるが非線形の層厚プロファイルも可能である。例示的な第３実施形態を、図４を参照して説明する。例示的な第１実施形態のものと同様に、多層構成体は、単一の第１層群のみを有し、個別層の層厚は、単純な単調層厚プロファイル関数によって定義することができる。多層構成体は３６個の層対を有する。Ｍｏ層及びＳｉ層に関する個別層厚は、いずれの場合も指数層厚プロファイル関数に従って変化し、Ｍｏ層の層厚が基板側から放射背入射側まで指数的に減少する一方で、Ｓｉ層の層厚は基板側から放射背入射側まで指数的に増加する。層厚プロファイルは、周期厚が最初に基板側から放射線入射側まで減少し、放射線入射側から数層対の距離で最小値を経て、周期厚が上記最小値と放射線入射側との間でわずかに増加するよう選択される。これは、放射線入射側の領域におけるＳｉ層の層厚が、Ｍｏ個別層の層厚がこの部分で減少するよりも大きく増加することに主に起因する。層対番号ｎ（１≦ｎ≦３６）に応じた層厚プロファイル関数は、いずれの場合も以下の層厚パラメータによって定義することができる。
Ｍｏ：ａ＝５．５７、ｂ＝−０．９１、ｃ＝０．０３
Ｓｉ：ａ＝３．３０、ｂ＝０．０３、ｃ＝０．１１
したがって、この層群に関して、全てのＭｏ層及び全てのＳｉ層の層厚プロファイルをいずれの場合も３つの層厚パラメータａ、ｂ、及びｃのみに基づいて明確に求めることが可能である。
【００５９】
例示的な第３実施形態の反射率の入射角依存性は、「３」と記した点線に基づいて図５で明らかである。反射率プロファイルは、同様に１つの第１層群のみが設けられており層厚が比較的単純な系統化に従っている例示的な第１実施形態のものと非常に類似している。
【００６０】
例示的な第４実施形態の多層構成体の構造を、図６の層厚図を参照して説明する。多層構成体は、ここでは４０個の層対を有する単一の第１層群ＬＧ１のみを有する。Ｍｏ層は第１層群全体で同じ層厚を有するので、Ｍｏ層の層厚は、非常に単純な単調第１層厚プロファイル関数によって、すなわち単に全てのＭｏ個別層に当てはまるような一定層厚の表現によって定義することができる。結果として、全てのＭｏ層を定義するのに必要な層厚プロファイルは１つのみである。これに対して、他方の層材料、すなわちケイ素の層厚は、周期番号に応じて確率的第２層厚プロファイル関数に従って変化する。ここで、平均値付近の個別層厚の変動範囲は、基板近傍の領域、例えば層対番号１〜２０では比較的大きく（すなわち、平均値から２０％よりも大きく外れるような個別層が生じる）、放射線入射側の方向に大幅に減るので、例えば、放射線入射側付近の最後の１０個のＳｉ層では、個別層厚がそれに関する平均値から最大５％しか外れない。
【００６１】
例示的な第４実施形態では、放射線入射側におけるケイ素個別層の層厚があまり大きく変動しないことが明らかである。放射線入射側の領域におけるＳｉ層厚の変動範囲がゼロになれば、同様の光学性能が達成可能であり、Ｍｏ層厚だけでなくＳｉ層厚も基板から離れた領域で（第２層群で）一定となる。図７は、対応する例示的な第５実施形態の層厚図を示す。多層構成体は、基板近傍の第１層群ＬＧ１及び基板から離れた第２層群ＬＧ２に細分することができる。合計２０個の層対を備えた第１層群ＬＧ１内では、モリブデン個別層の層厚が一定である一方で、Ｓｉ個別層の層厚は、したがって周期厚も無作為な分布で変化する。合計２０個の層対を有する第２層群ＬＧ２が、上記第１層群ＬＧ１に施される。第２層群ＬＧ２は、Ｍｏ層厚及びＳｉ層厚の両方がいずれの場合も全ての第２層対で一定であることにより、「モノスタック」のような構造である。
【００６２】
反射率曲線の類似点及び相違点は、図８を参照して明らかとなり、図中の実線曲線「４」は例示的な第４実施形態の反射率プロファイルを示し、破線曲線「５」は例示的な第５実施形態の反射率プロファイルを示す。例示的な第４実施形態では、約１１．５°の入射角で最大反射率６４．７％が達成され、検討中の入射角範囲での反射率の変化は約４％ポイント（約６４．７％〜１７．５°における約６１．５％）である。例示的な第５実施形態では、反射率の同様の変化が得られるが、反射率レベル全体は例示的な第４実施形態に対して約０．３％ポイント低下する。例示的な第５実施形態のわずかな性能上の欠点がその用途に許容可能である場合、例示的な第５実施形態と同様の二分割層構造を選択することが可能であり、この構造では、基板から離れた第２層群ＬＧ２が、均一な層厚に起因して例示的な第４実施形態の場合よりも容易に製造可能である。
【００６３】
全ての例示的な実施形態において、基板と基板に最も近い第１層群の第１層対との間に中間層を配置することができ、この中間層はさらに１つ又は複数の個別層から構成することができる。このような中間層は、例えば多層構成体の基板と反射性の第１層群との間の応力を減らすために設けられ得る。いずれの場合も、多層構成体を酸化その他の悪影響から保護するための単層又は多層キャップ層を、放射線入射側に設けることができる。キャップ層は、例えばルテニウム（Ｒｕ）からなる層を含んでもよく、又はこのような層によって形成されてもよい。
【００６４】
図示の例示的な実施形態には、厳密に１つの層群（第１層群）を有するものもあれば、厳密に２つの層群（第１層群及び第２層群）を有するものもある。多層構成体が３つ以上の反射層群、例えば３つ又は４つ又はそれ以上の層群を備えることも可能であり、その場合、説明した系統的に単純な層厚プロファイルを有する少なくとも１つの第１層群が含まれなければならない。
【００６５】
例として、多層構成体が、層材料の層厚がいずれの場合も線形層厚プロファイル関数に従う厳密に３つの層群を備えてもよい。したがって、多層構成体は、３つ以上の（いずれの場合も反射性の）層群だけでなく、いずれの場合も単純な層厚プロファイルを有する３つ以上の（いずれの場合も反射性の）層群も備えることができる。例として、図３に示す例の変形形態の構造は、放射線入射側に位置する周期の１０個以上（例えば、層番号６０〜９０）を、それに対応した数の両方の層材料が一定層厚である層対を有する「モノスタック」に置き換えたものであり得る。
【００６６】
第１層群及び第２層群は、直接上下に位置し、すなわち中間層が介在しない。第１層群と第２層群との間に中間層を配置することも可能であり、この中間層は、単一又は複数の個別層からなり得る。
【００６７】
本願に記載したタイプのＥＵＶミラーは、さまざまな光学系で、例えばＥＵＶマイクロリソグラフィの分野で用いることができる。
【００６８】
図９は、例として本発明の一実施形態によるＥＵＶマイクロリソグラフィ投影露光装置ＷＳＣの光学コンポーネントを示す。ＥＵＶマイクロリソグラフィ投影露光装置は、投影レンズＰＯの像平面ＩＳの領域に配置された放射線感応基板Ｗに、投影レンズの物体平面ＯＳの領域に配置された反射パターニングデバイス又はマスクＭのパターンの少なくとも１つの像を露光するのに役立つ。
【００６９】
説明を容易にするために、図示のコンポーネントの各位置関係を示す直交ｘｙｚ座標系を示す。投影露光装置ＷＳＣはスキャナ型である。投影露光装置の動作中、マスクＭ及び基板をｙ方向に同期移動させることによって走査する。
【００７０】
装置は、一次放射線源ＲＳからの放射線で動作する。照明系ＩＬＬが、一次放射線源からの放射線を受け取り、パターンへ指向させた照明放射線を整形するのに役立つ。投影レンズＰＯは、パターンの構造を感光基板に結像するのに役立つ。
【００７１】
一次放射線源ＲＳは、特に、レーザプラズマ源又はガス放電源又はシンクロトロンベース放射線源であり得る。このような放射線源は、ＥＵＶ領域の、特に５ｎｍ〜１５ｎｍの波長を有する放射線ＲＡＤを発生させる。照明系及び投影レンズがこの波長域で動作できるようにするために、これらをＥＵＶ放射線に対して反射性を有するコンポーネントで構成する。
【００７２】
放射線源ＲＳから出る放射線ＲＡＤは、コレクタＣＯＬによって集光されて照明系ＩＬＬへ誘導される。照明系は、混合ユニットＭＩＸ、望遠鏡光学ユニットＴＥＬ、及び視野形成ミラーＦＦＭを備える。照明系は、放射線を整形し、それによって投影レンズＰＯの物体平面ＯＳ又はその付近に位置する照明視野を照明する。この場合、照明視野の形状及びサイズは、物体平面ＯＳ内の有効物体視野ＯＦの形状及びサイズを決める。
【００７３】
反射レチクル又は他の何らかの反射パターニングデバイスが、装置の動作中に物体平面ＯＳに配置される。
【００７４】
混合ユニットＭＩＸは、実質的には２つのファセットミラーＦＡＣ１、ＦＡＣ２からなる。第１ファセットミラーＦＡＣ１は、物体平面ＯＳに対して光学的に共役である照明系の平面に配置される。したがって、これを視野ファセットミラーとも称する。第２ファセットミラーＦＡＣ２は、投影レンズの瞳平面に対して光学的に共役である照明系の瞳平面に配置される。したがって、これを瞳ファセットミラーとも称する。
【００７５】
瞳ファセットミラーＦＡＣ２と、ビーム経路の下流に配置されて望遠鏡光学ユニットＴＥＬ及び斜入射で動作する視野形成ミラーＦＦＭを備えた結像光学アセンブリとを用いて、第１ファセットミラーＦＡＣ１の個別ミラーリングファセット（個別ミラー）が物体視野に結像される。
【００７６】
視野ファセットミラーＦＡＣ１における空間的（局所的）照明強度分布により、物体視野における局所的照明強度分布が決まる。瞳ファセットミラーＦＡＣ２における空間的（局所的）照明強度分布により、物体視野における照明角強度分布が決まる。
【００７７】
投影レンズＰＯは、投影レンズの物体平面ＯＳに配置されたパターンを、物体平面に対して光学的に共役であり物体平面と平行である像平面ＩＳに縮小して結像するのに役立つ。この結像は、本例の場合では１３．５ｎｍである作動波長λ付近の極紫外線領域（ＥＵＶ）からの電磁放射線によって行われる。
【００７８】
投影レンズは６つのミラーＭ１〜Ｍ６を有し、これらのミラーのミラー表面は、物体平面ＯＳ又は物体視野ＯＦに配置されたパターンをミラーＭ１〜Ｍ６によって像平面ＩＳ又は像視野ＩＦに結像できるように、物体平面と像平面との間の投影ビーム経路ＰＲに配置される。
【００７９】
ＥＵＶ領域からの放射線に対して反射効果を有するミラー（ＥＵＶミラー）Ｍ１〜Ｍ６は、それぞれが基板を有し、基板上には極紫外線領域からの放射線に関して反射効果を有する多層構成体が施され、当該多層構成体は、比較的低屈折率の層材料及び比較的高屈折率の層材料を交互に含む多くの層対を備える。
【００８０】
ミラーＭ１〜Ｍ６は、それぞれが湾曲したミラー表面を有することでミラーのそれぞれが結像に寄与する。物体視野ＯＦからの投影ビーム経路の光線は、最初にわずかに凸状に湾曲した第１ミラーＭ１に入射し、第１ミラーＭ１は光線をわずかに凹状に湾曲した第２ミラーＭ２へ反射する。第２ミラーＭ２は光線を凸面第３ミラーＭ３へ反射し、第３ミラーＭ３は光線を凹面ミラーＭ４へ側方に反射する。凹面ミラーＭ４は、像平面の幾何学的近傍に配置され且つわずかに凸状に湾曲したミラー表面を有する第５ミラーＭ５へ光線を反射し、第５ミラーＭ５は、像平面の上流の最終ミラーである大きな凹面ミラーＭ６へ光線を反射し、凹面ミラーＭ６は像平面ＩＦの方向に光線を収束させる。
【００８１】
投影レンズは、２つの部分レンズからなる。この場合、最初の４つのミラーＭ１〜Ｍ４は第１部分レンズを形成し、第４ミラーＭ４と第５ミラーＭ５との間の光線経路において中間像ＩＭＩを生成する。中間像は、物体平面及び像平面に対して光学的に共役である中間像平面にある。幾何学的には、中間像は第６ミラーＭ６に並んで配置される。第５ミラー及び第６ミラーからなる第２部分レンズは、中間像を像平面に縮小して結像する。
【００８２】
この構造又は同様の構造を有する投影露光装置及び投影レンズが、例えば米国特許第７，９７７，６５１号に開示されている。当該特許の開示を本明細書の内容に援用する。
【００８３】
ミラーＭ１〜Ｍ６の少なくとも１つは、本発明の実施形態による層構造を有し得る。角度空間で広帯域効果を有する反射コーティングが、最大入射角間隔が生じる第５ミラーＭ５で特に好都合であり得る。複数又は全てのミラーＭ１〜Ｍ６を本発明の実施形態に従って設計することも可能である。
【００８４】
照明系ＩＬＬでは、斜入射で動作する視野形成ミラーＦＦＭを除いて、全てのミラーがここで提案されたタイプの多層広帯域コーティングの利益を享受することができる。これは特に、傾斜可能であることにより異なる入射角間隔範囲で動作可能であるファセットミラーＦＡＣ１及びＦＡＣ２の多軸傾斜可能な個別ミラーにも当てはまる。
【００８５】
表Ａは、全ての図示の例示的な実施形態（Ｂ）に関して、基板に最も近い層（ＬＮ＝１）から入射側の最終層（最大層番号すなわち最大ＬＮ値）までの個別層の幾何学的層厚ｄ［ｎｍ］を示す。
【００８６】
【表１−１】
0006527883.tif 000002
【表１−２】
0006527883.tif 000003
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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