(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査対象平面内において第１の方向に延びる第１の軸と、
前記第１の方向と直角方向の第２の方向に延びる第２の軸であって、一端が前記第１の軸に取り付けられ、他端が自由端となっている、前記第１の方向に平行移動できるように構成されている第２の軸と、前記第２の軸に取り付けられ、前記第２の軸に沿って移動可能な移動体と、を有する平面走査機構を備え、
該平面走査機構が互いに向き合う位置関係で前記走査対象平面内に配置されており、
それぞれが前記移動体を備えた複数の前記第２の軸が、前記第１の軸に取り付けられており、それぞれの前記第２の軸は前記それぞれの第１の軸上を平行移動できるようになっており、それぞれの前記移動体はそれぞれの前記第２の軸に沿って移動できるようになっていることを特徴とする平面走査装置。
【請求項２】
前記移動体が回路基板検査用に設けられている検査用プローブであることを特徴とする請求項１に記載の平面走査装置。
【請求項３】
前記第１の方向に沿って第２の軸を平行移動させるための第１の駆動機構が前記第１の軸に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の平面走査装置。
【請求項４】
前記第２の方向に前記移動体を前記第２の軸に沿って移動させる第２の駆動機構が前記第２の軸に設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つの請求項に記載の平面走査装置。
【請求項５】
前記第１及び第２の駆動機構が回転モータを備えており、前記第１の軸及び第２の軸が、表面にボールネジ有するシャフトから構成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つの請求項に記載の平面走査装置。
【請求項６】
前記走査対象平面に関し前記第１の軸がＸ軸方向に延びており、前記第２の軸がＹ軸方向に延びていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つの請求項に記載の平面走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板検査などを行う平面走査装置に関し、より詳細には、検査装置などの高速かつ精密な位置決め精度を要求される平面走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３、図４は、従来の平面走査装置を示している。従来の平面走査装置は、走査対象表面上において平行してＸ軸方向に延びる一対のＸ軸駆動機構を二組備えている。この場合、Ｘ軸駆動機構は、上記走査対象平面に関して、上段と下段の二段に配置されている。さらに、この平面走査装置は、上側及び下側、それぞれのＸ軸駆動機構に支持される、Ｙ軸方向に延びる４つのＹ軸駆動機構を備えている。すなわち、それぞれのＹ軸駆動機構は、上側及び下側のそれぞれのＸ軸駆動機構に支持されている。一対の上側Ｘ軸駆動機構に支持される上側Ｙ軸駆動機構は上側Ｘ軸駆動機構上を、また、下側Ｙ軸駆動機構は、下側Ｘ軸駆動機構上をそれぞれＸ軸方向に平行移動できるようになっている。
【０００３】
それぞれの上側Ｘ軸駆動機構及び下側Ｘ軸駆動機構はＸ軸方向に沿って移動する移動体を載置する上側載置プレート１１１ａ、１１１ｂ、及び下側載置プレート１１１ｃ、１１１ｄを備えている。この場合、図３は、従来の平面走査装置の正面図である。図４は、図３に示した平面走査装置のＡ−Ａ’の断面図であり、図５は、図３に示した平面走査装置のＢ−Ｂ’の断面図である。この平面走査装置は、装置の作業エリアすなわち走査対象面１１３を挟んで互いに平行に延びる上側Ｘ軸直動ガイド１０１ａ、１０１ｂ、及び下側Ｘ軸直動ガイド１０１ｃ、１０１ｄと一対の上側Ｘ軸ボールネジ付シャフト１０２ａ、１０２ｂ、一対の下側Ｘ軸ボールネジ付シャフト１０２ｃ、１０２ｄを含むＸ軸駆動機構が、一対の上側Ｙ軸駆動機構１０７ａ、１０７ｂ、及び一対の下側Ｙ軸駆動機構１０７ｃ、１０７ｄと直交した配置の構造を有する。
【０００４】
上記したようにこの従来の構造では、Ｘ軸駆動機構は走査対象面に対して２段に構成されている。すなわち、下側Ｘ軸直動ガイド１０１ｃ、１０１ｄ、下側Ｘ軸ボールネジ付シャフト１０２ｃ、１０２ｄ、下側Ｙ軸駆動機構１０７ｃ及び１０７ｄは走査対象面１１３の外側の該走査対象面１１３から近い位置に配置され、上側Ｘ軸直動ガイド１０１ａ、１０１ｂ、上側Ｘ軸ボールネジ付シャフト１０２ａ、１０２ｂ、上側Ｙ軸駆動機構１０７ａ及びＹ軸駆動機構１０７ｂは走査対象面１１３から遠い位置に配置されている。
【０００５】
そして、上記したようにＹ軸駆動機構はそれぞれのＸ軸駆動機構上に設けられている。すなわち、Ｙ軸駆動機構１０７は、Ｙ軸駆動機構の載置プレート１０６を介してＸ軸直動ガイド１０１の移動ブロック１０５の間に配置されている。
【０００６】
Ｘ軸ボールネジ付シャフト１０２の一端部には、モータ１０４が設置されている。また、Ｘ軸ボールネジ付シャフト１０２のネジ付シャフトとモータの回転軸（図示せず）とは、カップリング１０３を介して接続されている。また、４つのＹ軸駆動機構１０７には、上記同様のＹ軸ボールネジ付シャフト１０８、モータ１１０、カップリング１１２が内蔵されている。
【０００７】
この平面走査装置におけるＸ軸方向の動作について説明する。Ｘ軸モータ１０４を駆動すると、その回転運動はＸ軸ボールネジ付シャフト１０２によって直線運動に変換され、ナットを組み込んだ移動ブロックをY軸に沿って移動させる。移動ブロックの移動に伴い、この移動ブロックにその一端を接続してあるＹ軸駆動機構載置プレート１０６も移動する。
このとき、Ｙ軸駆動機構１０７は、他端に接続されているＸ軸直動ガイドの移動ブロック１０５と共に移動することになる。
【０００８】
Ｙ軸方向の動作については、Ｙ軸モータ１１０を駆動すると、その回転運動はＹ軸ボールネジ付シャフト１０８によって直線運動に変換され、移動ブロック１０９を移動させる。移動ブロック１０９の移動に伴い、この移動ブロックに載置された載置プレート１１１も移動する。
【０００９】
載置プレート１１１に検査用プローブを載置し、検査用プローブをＸ軸方向、Ｙ軸方向に所望の量だけ移動させることで、所望の位置に検査用プローブを移動させることが可能である。
【００１０】
同様に、走査対象面１１３に近い位置に設けられているもう１組のＸＹ移動ユニット及び走査対象面１１３に遠い位置に設けられている２組のＸＹ移動ユニットも同様にＸＹ移動することが可能である。
【００１１】
しかしながら、図２に示すような平面走査装置の構造では、Ｘ軸及びＹ軸ともに２段構造となるため平面走査装置が大きくなってしまうといった問題がある。また、２段構造にすることで、走査対象面１１３からの距離が遠いＸＹ軸は、走査対象面１１３からの距離が近いＸＹ軸に比べ位置精度が悪くなるといった問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
そこで、本発明は上記問題点を解決し、小型で精度の高い平面走査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本件発明の１つの特徴によれば、  走査対象平面内において第１の方向に延びる第１の軸と、
前記第１の方向と直角方向の第２の方向に延びる第２の軸であって、一端が前記第１の軸に取り付けられ、他端が自由端となっている、前記第１の方向に平行移動できるように構成されている第２の軸と、前記第２の軸に取り付けられ、前記第２の軸に沿って移動可能な移動体とを有する、平面走査機構を備え、
該平面走査機構が互いに向き合う位置関係で前記走査対象平面内に配置されていることを特徴とする平面走査装置が提供される。
【００１４】
好ましい態様では、それぞれが前記移動体を備えた複数の前記第２の軸が、前記第１の軸に取り付けられており、それぞれの前記第２軸は前記それぞれの第１の軸上を平行移動できるようになっており、それぞれの前記移動体はそれぞれの前記第２の軸に沿って移動できるようになっている。
【００１５】
前記移動体は、走査対象面の所定の範囲内において、精密に位置制御することができるようになっており、該対象面に沿って自在に移動ができるようになっている。また、移動体には様々な態様が考えられる。たとえば、放射線を対象面に発生する放射線発生装置、走査対象面上に配置された回路基板の欠陥を検査するためのＸ線センサ備えることもできる。さらに、光発生装置あるいは光受信装置等を構成あるいは搭載することもできる。さらに走査面上において画像を撮像する撮像装置としても機能させることができる。
【００１６】
また、好ましくは、前記第１の方向に沿って第２の軸を平行移動させるための第１の駆動機構が前記第１の軸に設けられている。
【００１７】
さらに、第２の方向に前記センサを前記第２の軸に沿って移動させる第２の駆動機構が前記第２の軸に設けられている。
【００１８】
好ましくは、第１及び第２の駆動機構が回転モータを備えており、前記第１の軸及び第２の軸が、表面にボールネジ有するシャフトから構成されている。
【００１９】
また、典型的には、前記走査対象平面に関し前記第１の軸がＸ軸方向に延びており、前記第２の軸がＹ軸方向に延びている。
【００２０】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００２１】
本発明による平面走査装置は、ベースフレームと、Ｘ軸直動ガイド、Ｘ軸ボールネジ付シャフト、Ｘ軸モータ、カップリング等を含んだＸ軸駆動機構と、Ｙ軸駆動機構載置プレート及びＹ軸ボールネジ付シャフト、Ｙ軸モータ、カップリング等を含んだＹ軸駆動機構などを備えている。
【００２２】
Ｘ軸駆動機構を構成するＸ軸直動ガイドは他のＸ軸直動ガイド及びＸ軸ボールネジ付シャフトと平行配置してベースフレームに取り付けられている。
【００２３】
Ｘ軸ボールネジ付シャフトはベースフレームに取り付けられており、Ｘ軸ボールネジ付シャフトの一端部にはカップリングを介してモータの回転軸が接続されている。
【００２４】
Ｙ軸駆動機構載置プレートは一対のＸ軸直動ガイドの移動ブロック上に架設されており、Ｙ軸駆動機構載置プレートにＹ軸駆動機構が載置されている。
【００２５】
Ｙ軸駆動機構はＸ軸直動ガイド及びＸ軸ボールネジ付シャフトに対して直交するように取り付けられており、Ｙ軸駆動機構にはボールネジ付シャフト、移動ブロック、モータ、カップリングが内蔵されている。また、Ｙ軸駆動機構の移動ブロックには、載置プレートが取り付けられている。
【００２６】
Ｙ軸駆動機構は、Ｘ軸直動ガイドの移動ブロックに固定された固定端と、Ｘ軸直動ガイドの移動ブロックに固定されていない開放端になるように取り付けられ、Ｘ軸直動ガイドよりＹ軸駆動機構の開放端側の領域で検査等を行うような位置関係になるように設けられている。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の平面走査装置によれば、複数の移動体が走査対象面内との間隔が同一であり、各移動体間の個体差は生じない。また、従来の構造と異なり、各平面走査機構は一段であり、移動体は走査対象面の所定の範囲内を同一の条件で走査、移動することとなるため、小型で高精度な走査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施の形態による平面走査装置の構造を示す正面図である。
【図２】図１に示した平面走査装置のＡ−Ａ’の断面図である。
【図３】従来における平面走査装置の構造を示す正面図である。
【図４】図３に示した平面走査装置のＡ−Ａ’の断面図である。
【図５】図３に示した平面走査装置のＢ−Ｂ’の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明に従う実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。同一部材には同一の符号を付する。本件発明は、本実施の形態に限定されるものではない。
【００３０】
図１は、本実施の形態に係る平面走査装置の構造図の正面図を示す。図２は、図１に示した平面走査装置のＡ−Ａ’の断面図である。
【００３１】
本例の構成では、矩形状の走査対象面１３を真ん中にしてこれを取り囲むように走査対象面を走査するための走査用移動ブロックを載置して支持する載置プレート１１を有する４つの駆動機構が設置されている。４つの駆動機構は、それぞれが同一の構成を有しており、そして、上記走査対象面をＸ軸方向とＹ軸方向で４等分した場合の該走査対象面の少なくとも１つの区画領域内を移動ブロックが自由に移動できるように構成されている。したがって、それぞれの駆動機構の移動ブロックは、基本的に走査対象面を図１において上下左右に４等分した１つ領域を走査対象領域としてそれぞれがカバーするようになっている。
【００３２】
この場合、４つの駆動機構にそれぞれ支持される４つの移動ブロックは上記走査対象面に対して同一の距離を有するように配置される。すなわち、本例の装置では、４つの移動ブロックが走査対象面に対して同じ位置関係であるので、４つの移動ブロックの走査対象面に対する感度を同じにすることができ、かつ４つ移動ブロックからの情報を共通に管理することができる。
【００３３】
４つの駆動機構はそれぞれＸ軸駆動機構と該Ｘ軸駆動機構に支持されるＹ軸駆動機構とを備えている。４つの移動ブロックはそれぞれＹ軸駆動機構により独立して支持されている。この場合、一対の駆動機構は図１において走査対象面の上端側に左右対照の位置関係で配置され、Ｘ軸駆動機構に支持されるＹ軸駆動機構は上端側が支持され、下方に向かってＸ軸駆動機構と直角方向に（Ｙ軸方向に）延びその下端は自由端になっている。
【００３４】
また、図１において上下対照の関係で走査対象面の下端側に上記同様、図１において左右対照の位置関係で一対の駆動機構が配置され、その駆動機構のＸ軸駆動機構に支持されるＹ軸駆動機構は下端側が支持され、上方に向かってＸ軸駆動機構と直角方向に（Ｙ軸方向に）延びその上端は自由端になっている。
【００３５】
それぞれのＸ軸駆動機構はＸ軸直動ガイド、Ｘ軸ボールネジ付シャフト、Ｘ軸モータ、カップリングを備えており、Ｘ軸直動ガイド１ａは他のＸ軸直動ガイド１ｂ、１ｃ、１ｄ及びＸ軸ボールネジ付シャフト２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄと平行配置してベースフレーム２０に取り付けられている。同様に、Ｘ軸直動ガイド１ｂ、１ｃ、１ｄもベースフレーム２０に取り付けられている。
【００３６】
Ｘ軸ボールネジ付シャフト２ａはベースフレーム２０に取り付けられており、Ｘ軸ボールネジ付シャフト２ａの一端部にはカップリング３ａを介してモータ４ａの回転軸が接続されている。同様に、Ｘ軸ボールネジ付シャフト２ｂ、２ｃ、２ｄもベースフレーム２０に取り付けられており、Ｘ軸ボールネジ付シャフト２ｂの一端部にはカップリング３ｂを介してモータ４ｂの回転軸、Ｘ軸ボールネジ付シャフト２ｃの一端部にはカップリング３ｃを介してモータ４ｃの回転軸、Ｘ軸ボールネジ付シャフト２ｄの一端部にはカップリング３ｄを介してモータ４ｄの回転軸が接続されている。
【００３７】
Ｘ軸ボールネジ付シャフト２ａのナット（図示せず）を組み込んだ移動ブロック（図示せず）は、Ｙ軸駆動機構載置プレート６ａに固定されている。同様に、Ｘ軸ボールネジ付シャフト２ｂのナット（図示せず）を組み込んだ移動ブロック（図示せず）は、Ｙ軸駆動機構載置プレート６ｂに、Ｘ軸ボールネジ付シャフト２ｃのナット（図示せず）を組み込んだ移動ブロック（図示せず）は、Ｙ軸駆動機構載置プレート６ｃに、Ｘ軸ボールネジ付シャフト２ｄのナット（図示せず）を組み込んだ移動ブロック（図示せず）は、Ｙ軸駆動機構載置プレート６ｄに固定されている。
【００３８】
Ｙ軸駆動機構載置プレート６ａは一対のＸ軸直動ガイド１ａ、１ｂの移動ブロック５ａ、５ｂ上に架設されており、Ｙ軸駆動機構載置プレート６ａにＹ軸駆動機構７ａが載置されている。同様に、Ｙ軸駆動機構載置プレート６ｂは一対のＸ軸直動ガイド１ａ、１ｂの移動ブロック５ｃ、５ｄ上に架設されており、Ｙ軸駆動機構載置プレート６ｂにＹ軸駆動機構７ｂが、Ｙ軸駆動機構載置プレート６ｃは一対のＸ軸直動ガイド１ｃ、１ｄの移動ブロック５ｅ、５ｆ上に架設されており、Ｙ軸駆動機構載置プレート６ｃにＹ軸駆動機構７ｃが、Ｙ軸駆動機構載置プレート６ｄは一対のＸ軸直動ガイド１ｃ、１ｄの移動ブロック５ｇ、５ｈ上に架設されており、Ｙ軸駆動機構載置プレート６ｄにＹ軸駆動機構７ｄが載置されている。
【００３９】
Ｙ軸駆動機構７ａはＸ軸直動ガイド１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ及びＸ軸ボールネジ付シャフト２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに対して直交するように取り付けられており、Ｙ軸駆動機構７ａにはボールネジ付シャフト８ａ、移動ブロック９ａ、モータ１０ａが内蔵されており、Ｙ軸駆動機構７ａの移動ブロック９ａには、載置プレート１１ａが取り付けられている。同様に、Ｙ軸駆動機構７ｂはＸ軸直動ガイド１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ及びＸ軸ボールネジ付シャフト２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに対して直交するように取り付けられており、Ｙ軸駆動機構７ｂにはボールネジ付シャフト８ｂ、移動ブロック９ｂ、モータ１０ｂが内蔵されており、Ｙ軸駆動機構７ｂの移動ブロック９ｂには、載置プレート１１ｂが取り付けられ、Ｙ軸駆動機構７ｃはＸ軸直動ガイド１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ及びＸ軸ボールネジ付シャフト２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに対して直交するように取り付けられており、Ｙ軸駆動機構７ｃにはボールネジ付シャフト８ｃ、移動ブロック９ｃ、モータ１０ｃが内蔵されており、Ｙ軸駆動機構７ｃの移動ブロック９ｃには、載置プレート１１ｃが取り付けられており、Ｙ軸駆動機構７ｄはＸ軸直動ガイド１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ及びＸ軸ボールネジ付シャフト２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに対して直交するように取り付けられており、Ｙ軸駆動機構７ｄにはボールネジ付シャフト８ｄ、移動ブロック９ｄ、モータ１０ｄが内蔵されており、Ｙ軸駆動機構７ｄの移動ブロック９ｄには、載置プレート１１ｄが取り付けられている。
【００４０】
また、Ｙ軸駆動機構７ａの移動ブロック９ａ上の載置プレート１１ａは、Ｙ軸駆動機構７ａの固定端側であるＸ軸直動ガイド１ａ及び１ｂより開放端側（図１ではＸ軸直動ガイド１ｂより上方）の領域で運用されるような位置関係に設けられている。
同様に、Ｙ軸駆動機構７ｂの移動ブロック９ｂ上の載置プレート１１ｂは、Ｙ軸駆動機構7ｂの固定端側であるＸ軸直動ガイド１ａ及び１ｂより開放端側（図１ではＸ軸直動ガイド１ｂより上方）の領域で運用されるような位置関係に設けられ、Ｙ軸駆動機構７ｃの移動ブロック９ｃ上の載置プレート１１ｃは、Ｙ軸駆動機構7ｃの固定端側であるＸ軸直動ガイド１ｃ及び１ｄより開放端側（図１ではＸ軸直動ガイド１ｃより下方）の領域で運用されるような位置関係に設けられ、Ｙ軸駆動機構７ｄの移動ブロック９ｄ上の載置プレート１１ｄは、Ｙ軸駆動機構7ｄの固定端側であるＸ軸直動ガイド１ｃ及び１ｄより開放端側（図１ではＸ軸直動ガイド１ｃより下方）の領域で運用されるような位置関係に設けられている。
【００４１】
Ｘ軸モータ４ａを駆動すると、その回転運動はＸ軸ボールネジ付シャフト２ａによって直線運動に変換され、ナットを組み込んだ移動ブロックを移動させる。移動ブロックの移動に伴い、この移動ブロックに固定してあるＹ軸駆動機構載置プレート６ａや、Ｙ軸駆動機構載置プレート６ａに載置されているＹ軸駆動機構７ａがＸ軸方向に移動する。他のＸ軸モータ４ｂ、４ｃ、４ｄについても同様に、Ｘ軸モータを駆動すると、それぞれのＹ軸駆動機構載置プレートや、Ｙ軸駆動機構載置プレートに載置されているＹ軸駆動機構がＸ軸方向に移動する。
【００４２】
Ｙ軸モータ１０ａを駆動すると、その回転運動はＹ軸ボールネジ付シャフト８ａによって直線運動に変換され、移動ブロック９ａをＹ軸方向に移動させる。移動ブロック９ａの移動に伴い、移動ブロック９ａに載置された載置プレート１１ａもＹ軸方向に移動する。他のＹ軸モータ１０ｂ、１０ｃ、１０ｄについても同様に、Ｙ軸モータを駆動すると、それぞれの移動ブロックがＹ軸方向に移動し、移動ブロックの移動に伴い、移動ブロックに載置された載置プレートがＹ軸方向に移動する。
【００４３】
可動プローブ方式のプリント配線板検査装置の平面走査装置として使用する場合には、載置プレートに検査用プローブを載置し、Ｘ軸モータ及びＹ軸モータを駆動させて、検査用プローブを所望のＸＹ位置に移動させることが可能である。前記以外に、プリント配線板固定部、プローブのＺ軸方向（ＸＹ平面に対して垂直方向）移動機構部、測定部、記憶部、制御部などの構成で実現することができる。
【００４４】
本発明によれば移動ブロック駆動機構を上下２段とする構造にせず、複数の駆動機構によって支持される走査用移動ブロックのレベルを走査対象面に対して１段の高さに構成にすることにより、従来のものに比して小型の平面走査装置を実現することができる。また、２段構成のものに比べ、走査位置からの距離が近くなるため、高精度の測定、位置決め等も可能になる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明は、可動プローブ方式のプリント配線板検査装置などのような高速かつ高精度な位置決めが必要な装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ  Ｘ軸直動ガイド
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ  Ｘ軸ボールネジ付シャフト
３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ  カップリング
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ  Ｘ軸モータ
５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ、５ｆ、５ｇ、５ｈ  移動ブロック（Ｘ軸直動ガイド）
６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ  Ｙ軸駆動機構載置プレート
７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ  Ｙ軸駆動機構
８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ  Ｙ軸ボールネジ付シャフト
９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ  移動ブロック（Ｙ軸）
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ  Ｙ軸モータ
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ  載置プレート
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ  Ｙ軸カップリング
１３  走査対象面
２０  ベースフレーム
１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ  Ｘ軸直動ガイド
１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄ  Ｘ軸ボールネジ付シャフト
１０３ａ、１０３ｂ  Ｘ軸カップリング
１０４ａ、１０４ｂ  Ｘ軸モータ
１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃ、１０５ｄ、１０５ｅ、１０５ｆ  移動ブロック（Ｘ軸直動ガイド）
１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄ  Ｙ軸駆動機構載置プレート
１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃ、１０７ｄ  Ｙ軸駆動機構
１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃ、１０８ｄ  Ｙ軸ボールネジ付シャフト
１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃ、１０９ｄ  移動ブロック（Ｙ軸）
１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄ  Ｙ軸モータ
１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ  載置プレート
１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄ  Ｙ軸カップリング
１１３  走査対象面
１２０  ベースフレーム
【図１】
0006478541.tif 000002
【図２】
0006478541.tif 000003
【図３】
0006478541.tif 000004
【図４】
0006478541.tif 000005
【図５】
0006478541.tif 000006