(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータプレートの表面上に、第１方向に沿って延設されるとともに、前記第１方向に交差する第２方向に間隔をあけて並設された液体が充填される噴射チャネルと、
前記アクチュエータプレートの前記表面上に、前記第２方向で前記噴射チャネルと交互に並設され、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向に前記アクチュエータプレートを貫通する液体が充填されないダミーチャネルと、
前記ダミーチャネルの内側面に形成された個別電極と、
前記噴射チャネルの内側面に形成された共通電極と、
前記アクチュエータプレートのうち、前記噴射チャネルに対して前記第１方向の一端側であって、前記第２方向で隣り合う前記ダミーチャネル間に位置する尾部の前記表面に形成され、前記共通電極に接続される共通配線と、
前記アクチュエータプレートにおける前記尾部の裏面側に前記共通配線を引き出す引出配線と、
前記アクチュエータプレートにおける前記尾部の前記裏面に形成され、前記噴射チャネルを挟んで第２方向で対向する前記個別電極同士を各別に接続する個別パッドと、を備えていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記アクチュエータプレートの前記裏面において、前記個別パッドが形成されている部分には、前記表面側に向けて窪む接続溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記アクチュエータプレートの前記裏面には、前記引出配線に接続されるとともに、前記第１方向の他端側に向けて延びる共通パッドが形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記引出配線は、前記アクチュエータプレートの前記尾部に形成された貫通孔の内面に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記アクチュエータプレートの表面側には、前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルを前記第３方向で覆うカバープレートが配設され、
前記カバープレートには、前記噴射チャネル内に各別に連通する液体導入路が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記アクチュエータプレートは、互いの前記表面を前記第３方向で対向させて配置された第１アクチュエータプレート及び第２アクチュエータプレートを備え、
前記カバープレートは、前記第１アクチュエータプレートの前記表面側に配設された第１カバープレートと、前記第２アクチュエータプレートの前記表面側に配設された第２カバープレートと、を備え、
前記第１カバープレートと前記第２カバープレートとの間には、流路プレートが配設され、
前記流路プレートには、前記第１カバープレート及び前記第２カバープレートの前記液体導入路に連通する入口流路が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記噴射チャネルは、前記第１アクチュエータプレート及び前記第２アクチュエータプレートにおける前記第１方向の他端面でそれぞれ開口し、
前記第１アクチュエータプレート及び前記第２アクチュエータプレートにおける前記第１方向の他端側には、前記噴射チャネルに各別に連通する噴射孔を有する噴射プレートが配設され、
前記第１方向における前記第１アクチュエータプレート及び前記第２アクチュエータプレートと前記噴射プレートとの間には、前記噴射チャネルと前記噴射孔とを各別に連通する循環流路を有するスペーサプレートが配設され、
前記流路プレートには、前記循環流路に連通する出口流路が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、記録紙等の被記録媒体に液滴状のインクを吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）を備えたインクジェットプリンタ（液体噴射装置）がある。インクジェットヘッドは、吐出チャネル及びダミーチャネルが交互に並設されたアクチュエータプレートと、アクチュエータプレートにおけるチャネル延在方向の一端側に配設され、吐出チャネルに各別に連通するノズル孔を有するノズルプレートと、を有している。また、各チャネルのうち、吐出チャネルの内面には基準電位ＧＮＤとなる共通電極が形成され、ダミーチャネルの内面には駆動電位Ｖｄｄとする個別電極が形成されている。
【０００３】
例えば、下記特許文献１には、アクチュエータプレートにおけるチャネル延在方向の他端面及び裏面に跨るようにマニホールドが配設された構成が開示されている。マニホールドには、吐出チャネルに連通するインク供給路が形成されている。
また、下記特許文献１において、個別配線は、アクチュエータプレートにおけるチャネル延在方向の一端面を通って、アクチュエータプレートの裏面上に形成された個別パッドに接続されている。一方、共通配線は、アクチュエータプレートにおけるチャネル延在方向の他端面を通ってアクチュエータプレートにおける裏面上に形成された共通パッドに接続されている。各パッドは、アクチュエータプレートの裏面において、上述したマニホールドよりもチャネル延在方向の一端側（マニホールドと干渉しない位置）に形成されている。各パッドには、制御手段との間を電気的に接続するフレキシブルプリント基板等の外部配線が圧着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１３７２４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の構成では、個別配線及び共通配線が、アクチュエータプレートにおけるチャネル延在方向の両端面を通して裏面上の各パッドまで引き回されているため、配線パターンが複雑になるという課題があった。
【０００６】
また、特許文献１の構成において、各パッドには上述したように外部配線が接続されることになる。この場合、外部配線は、各パッドからチャネル延在方向の他端側（ノズルプレート側とは反対側）に引き回され、制御手段に接続される。
しかしながら、特許文献１の構成では、各パッドよりもチャネル延在方向の他端側にマニホールドが配設されているため、マニホールドとの干渉を避けながら外部配線をチャネル延在方向の他端側に引き回す必要がある。これにより、各パッドへの外部配線の圧着作業や、外部配線の制御手段への引き回し作業が複雑になるという課題があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、各種配線の簡素化やレイアウトの自由度の向上を図るとともに、外部配線の接続作業の容易化を図ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る液体噴射ヘッドは、アクチュエータプレートの表面上に、第１方向に沿って延設されるとともに、前記第１方向に交差する第２方向に間隔をあけて並設された液体が充填される噴射チャネルと、前記アクチュエータプレートの前記表面上に、前記第２方向で前記噴射チャネルと交互に並設され、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向に前記アクチュエータプレートを貫通する液体が充填されないダミーチャネルと、前記ダミーチャネルの内側面に形成された個別電極と、前記噴射チャネルの内側面に形成された共通電極と、前記アクチュエータプレートのうち、前記噴射チャネルに対して前記第１方向の一端側であって、前記第２方向で隣り合う前記ダミーチャネル間に位置する尾部の前記表面に形成され、前記共通電極に接続される共通配線と、前記アクチュエータプレートにおける前記尾部の裏面側に前記共通配線を引き出す引出配線と、前記アクチュエータプレートにおける前記尾部の前記裏面に形成され、前記噴射チャネルを挟んで第２方向で対向する前記個別電極同士を各別に接続する個別パッドと、を備えていることを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、例えば各チャネルが開口するアクチュエータプレートの表面側に個別パッド等を形成する場合に比べて個別パッドや引出配線等を形成可能な領域の面積を確保できる。これにより、パッド等のレイアウトの自由度を向上させるとともに、配線パターンの簡素化を図ることができる。この場合、例えば第３方向で吐出チャネルと重なる位置まで尾部の裏面からパッド等を引き回す等、パッド等をより第１方向の他端側に形成することで、尾部の第１方向の長さを短縮できる。そのため、液体噴射ヘッドのチップ長（第１方向の長さ）を短縮でき、液体噴射ヘッドの小型化が可能になる。
【００１０】
特に、アクチュエータプレートそれぞれの尾部を通して各電極を裏面に引き回す構成としたため、従来のようにアクチュエータプレートにおけるチャネル延在方向の両端面を通して各電極を引き回す構成に比べて配線パターンの更なる簡素化を図ることができる。
また、アクチュエータプレートの尾部を通して各電極を裏面に引き回しているため、フレキシブルプリント基板等の外部配線とパッド等との圧着作業を容易に行うことができる。また、外部配線をパッドから第１方向の他端側に引き回す際の周辺部材との干渉を避けることもできる。そのため、パッド等への外部配線の圧着作業や、外部配線の制御手段への引き回し作業等、外部配線の接続作業の容易化を図ることができる。
【００１１】
本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記アクチュエータプレートの前記裏面において、前記個別パッドが形成されている部分には、前記表面側に向けて窪む接続溝が形成されていてもよい。
この構成によれば、例えば無電解めっきによって各種配線を形成した後、アクチュエータプレートの裏面に形成されためっき被膜を研削等によって除去した場合に、接続溝内に残存しためっき被膜を個別パッドとして利用することができる。これにより、各種配線の形成時に個別パッドを一括で形成できる。したがって、アクチュエータプレートの裏面に対して個別パッドを形成するための電極形成工程を別途行う必要がないので、製造効率の向上を図ることができる。
【００１２】
本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記アクチュエータプレートの前記裏面には、前記引出配線に接続されるとともに、前記第１方向の他端側に向けて延びる共通パッドが形成されていてもよい。
この構成によれば、第１方向の他端側に向けて共通パッドを引き回すことで、尾部の第１方向の長さを短縮できる。そのため、液体噴射ヘッドのチップ長（第１方向の長さ）を短縮でき、液体噴射ヘッドの小型化が可能になる。
【００１３】
本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記引出配線は、前記アクチュエータプレートの前記尾部に形成された貫通孔の内面に形成されていてもよい。
この構成によれば、アクチュエータプレートの貫通孔の内面に引き出し電極を形成することで、共通電極を簡単にアクチュエータプレートの裏面まで引き回すことができる。
【００１４】
本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記アクチュエータプレートの表面側には、前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルを前記第３方向で覆うカバープレートが配設され、前記カバープレートには、前記噴射チャネル内に各別に連通する液体導入路が形成されていてもよい。
この構成によれば、カバープレートとパッド等とがアクチュエータプレートの異なる面に配置されることになる。そのため、例えばカバープレートとパッド等とをアクチュエータプレートの同一面（例えば、表面）に配置する構成に比べ、パッド等を形成可能な領域の面積を確保できる。また、外部配線をパッド等から第１方向の他端側に引き回す際に、カバープレートとの干渉を避けることができるので、外部配線の接続作業の容易化を図ることができる。
【００１５】
本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記アクチュエータプレートは、互いの前記表面を前記第３方向で対向させて配置された第１アクチュエータプレート及び第２アクチュエータプレートを備え、前記カバープレートは、前記第１アクチュエータプレートの前記表面側に配設された第１カバープレートと、前記第２アクチュエータプレートの前記表面側に配設された第２カバープレートと、を備え、前記第１カバープレートと前記第２カバープレートとの間には、流路プレートが配設され、前記流路プレートには、前記第１カバープレート及び前記第２カバープレートの前記液体導入路に連通する入口流路が形成されていてもよい。
この構成によれば、各アクチュエータプレートの裏面を第３方向の外側に露出させることができるので、二列タイプの液体噴射ヘッドにおいて外部配線と各パッド等との接続を簡単に行うことができる。
【００１６】
本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記噴射チャネルは、前記第１アクチュエータプレート及び前記第２アクチュエータプレートにおける前記第１方向の他端面でそれぞれ開口し、前記第１アクチュエータプレート及び前記第２アクチュエータプレートにおける前記第１方向の他端側には、前記噴射チャネルに各別に連通する噴射孔を有する噴射プレートが配設され、前記第１方向における前記第１アクチュエータプレート及び前記第２アクチュエータプレートと前記噴射プレートとの間には、前記噴射チャネルと前記噴射孔とを各別に連通する循環流路を有するスペーサプレートが配設され、前記流路プレートには、前記循環流路に連通する出口流路が形成されていてもよい。
この構成によれば、各吐出チャネルと液体タンクとの間で液体を循環させることができるので、吐出チャネル内における噴射孔付近での気泡の滞留を抑えることができる。
【００１７】
本発明に係る液体噴射装置は、上記本発明に係る液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明に係る液体噴射ヘッドを備えているため、安価で信頼性の高い液体噴射装置を提供できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、各種配線の簡素化や自由度の向上を図るとともに、外部配線の接続作業の容易化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】インクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】インクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】インクジェットヘッドの断面図である。
【図４】インクジェットヘッドの断面図である。
【図５】第１実施形態に係るヘッドチップをＹ方向の内側から見た分解斜視図である。
【図６】図５に示すアクチュエータプレートを裏面側から見た斜視図である。
【図７】マスク形成工程を説明するための工程図（平面図）である。
【図８】マスク形成工程を説明するための工程図（図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩ断面）である。
【図９】ダイシングライン形成工程を説明するための工程図（平面図）である。
【図１０】ダイシングライン形成工程を説明するための工程図（図９のＸ−Ｘ断面）である。
【図１１】ダイシングライン形成工程を説明するための工程図（図９のＸＩ−ＸＩ断面）である。
【図１２】貫通孔形成工程を説明するための工程図（平面図）である。
【図１３】貫通孔形成工程を説明するための工程図（図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ断面）である。
【図１４】第１電極形成工程を説明するための工程図（平面図）である。
【図１５】第１電極形成工程を説明するための工程図（図１４のＸＶ−ＸＶ断面）である。
【図１６】第１電極形成工程を説明するための工程図（図１４のＸＶＩ−ＸＶＩ断面）である。
【図１７】カバーウエハ作製工程を説明するための工程図（平面図）である。
【図１８】カバーウエハ作製工程を説明するための工程図（図１７のＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩ断面）である。
【図１９】貼り合わせ工程を説明するための工程図（平面図）である。
【図２０】研削工程を説明するための工程図（図１９のＸＸ−ＸＸ断面）である。
【図２１】研削工程を説明するための工程図（図１９のＸＸＩ−ＸＸＩ断面）である。
【図２２】第２電極形成工程を説明するための工程図（底面図）である。
【図２３】個片化工程を説明するための工程図（底面図）である。
【図２４】第１実施形態の変形例に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【図２５】図２４に示すアクチュエータプレートを裏面側から見た斜視図である。
【図２６】第２実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【図２７】図２６に示すアクチュエータプレートを裏面側から見た斜視図である。
【図２８】第３ダイシングライン形成工程及び電極形成工程を説明するための工程図である。
【図２９】研削工程を説明するための工程図である。
【図３０】研削工程を説明するための工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、本発明の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００２１】
［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、紙等の被記録媒体Ｐを搬送する一対の搬送手段２，３と、インクが収容されたインクタンク４と、被記録媒体Ｐに液滴状のインクを吐出するインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させるインク循環手段６と、インクジェットヘッド５を被記録媒体Ｐの搬送方向（以下、Ｘ方向とする。）と直交する方向（被記録媒体Ｐの幅方向（以下、Ｙ方向とする。））に走査させる走査手段（移動機構）７と、を備えている。なお、図中Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向と直交する高さ方向を示す。
【００２２】
搬送手段２は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ１１と、グリッドローラ１１に平行に延設されたピンチローラ１２と、グリッドローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備えている。同様に、搬送手段３は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ１３と、グリッドローラ１３に平行に延設されたピンチローラ１４と、グリッドローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備えている。
【００２３】
インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクタンク４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４ＢがＸ方向に並んで設けられている。
【００２４】
図２はインクジェットヘッド５及びインク循環手段６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環手段６は、循環流路２３と、加圧ポンプ２４と、吸引ポンプ２５と、を備えている。
循環流路２３は、インクジェットヘッド５にインクを供給するインク供給管２１と、インクジェットヘッド５からインクを排出するインク排出管２２と、を有している。インク供給管２１及びインク排出管２２は、インクジェットヘッド５を支持する走査手段７の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホース等により構成されている。
【００２５】
加圧ポンプ２４は、インク供給管２１に接続されている。加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を介してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２に接続されている。吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。そして、インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を介して循環可能となっている。
【００２６】
図１に示すように、走査手段７は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール３１，３２と、一対のガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、キャリッジ３３をＹ方向に移動させる駆動機構３４と、を備えている。駆動機構３４は、一対のガイドレール３１，３２の間に配設された一対のプーリ３５，３６と、一対のプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、一方のプーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を備えている。
【００２７】
一対のプーリ３５，３６は、一対のガイドレール３１，３２の両端部間にそれぞれ配設されている。無端ベルト３７は、一対のガイドレール３１，３２間に配設されている。この無端ベルト３７にキャリッジ３３が連結されている。キャリッジ３３には、複数のインクジェットヘッド５として、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５ＢがＹ方向に並んで搭載される。なお、上述した搬送手段２，３及び走査手段７により、インクジェットヘッド５と被記録媒体Ｐとを相対的に移動させる移動機構を構成している。
【００２８】
＜インクジェットヘッド＞
次に、上述したインクジェットヘッド５について詳述する。なお、インクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明ではまとめてインクジェットヘッド５として説明する。
図３は、インクジェットヘッド５の断面図である。図４は、インクジェットヘッド５の断面図である。
図３、図４に示すように、各インクジェットヘッド５は、後述する吐出チャネル５４におけるチャネル延在方向の先端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートのうち、インクタンク４との間でインクを循環させる循環式（縦循環式）のインクジェットヘッド５である。また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、複数のノズル孔（噴射孔）８３，８４が二列に亘って形成された二列タイプのインクジェットヘッド５である。
【００２９】
インクジェットヘッド５は、第１ヘッドチップ４０Ａ及び第２ヘッドチップ４０Ｂと、流路プレート４１と、入口マニホールド４２と、スペーサプレート４３と、ノズルプレート（噴射プレート）４４と、を主に備えている。以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート４４側を下方といい、ノズルプレート４４とは反対側を上方という場合がある。また、以下の説明では、Ｙ方向において、インクジェットヘッド５の中心に向かう方向を内側といい、インクジェットヘッド５の中心から離間する方向を外側という場合がある。
なお、以下の説明では、各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂのうち、第１ヘッドチップ４０Ａについて主に説明し、第２ヘッドチップ４０Ｂにおける第１ヘッドチップ４０Ａと同様の構成については第１ヘッドチップ４０Ａと同一の符号を付して説明を省略する場合がある。
【００３０】
図５は、ヘッドチップ４０Ａ，４０ＢをＹ方向の内側から見た分解斜視図である。
図３〜図５に示すように、第１ヘッドチップ４０Ａは、第１アクチュエータプレート５１と、第１カバープレート５２と、を有している。
第１アクチュエータプレート５１は、分極方向が厚さ方向（Ｙ方向）で異なる２枚の圧電基板を積層した積層基板とされている（いわゆる、シェブロン基板）。なお、圧電基板は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等からなるセラミックス基板が好適に用いられている。
【００３１】
第１アクチュエータプレート５１の表面（Ｙ方向の内側に位置する面）側には、少なくとも表面上で開口する複数のチャネル５４，５５が形成されている。各チャネル５４，５５は、Ｚ方向（第１方向）に直線状、かつＸ方向（第２方向）に間隔をあけて交互に形成されている。したがって、各チャネル５４，５５間は、第１アクチュエータプレート５１からなる駆動壁５６（図５参照）によってそれぞれ画成されている。具体的に、複数のチャネル５４，５５は、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）５４と、インクが充填されないダミーチャネル５５と、を有している。
【００３２】
図３、図５に示すように、吐出チャネル５４は、上端部が第１アクチュエータプレート５１内で終端し、下端部が第１アクチュエータプレート５１における下端面で開口している。図３に示すように、吐出チャネル５４は、下端部に位置し、溝深さが一様とされた延在部５４ａと、延在部５４ａから上方に連なり、上方に向かうに従い溝深さが浅くなる切り上がり部５４ｂと、を有している。
図４、図５に示すように、ダミーチャネル５５は、Ｙ方向における溝深さがＺ方向の全体に亘って一様に形成されている。ダミーチャネル５５は、第１アクチュエータプレート５１をＺ方向に貫通し、Ｚ方向の両端部が第１アクチュエータプレート５１におけるＺ方向の両端面でそれぞれ開口している。また、ダミーチャネル５５は、第１アクチュエータプレート５１をＹ方向（第３方向）に貫通している。
【００３３】
図３、図５に示すように、吐出チャネル５４の内面には、共通電極６１が形成されている。共通電極６１は、吐出チャネル５４の内面全体に形成されている。
アクチュエータプレート５１のうち、吐出チャネル５４に対して上方に位置する部分（以下、単に尾部という。）の表面には、共通配線６２が形成されている。共通配線６２は、Ｚ方向に延びる帯状に形成されている。共通配線６２は、下端部が共通電極６１に接続され、上端部が尾部上で終端している。
【００３４】
図４、図５に示すように、アクチュエータプレート５１の駆動壁５６のうち、各ダミーチャネル５５を画成する面（ダミーチャネル５５の内面）には、個別電極６３が形成されている。個別電極６３は、ダミーチャネル５５の内面のうち、Ｘ方向で対向する内側面に各別に形成されている。したがって、各個別電極６３のうち、同一のダミーチャネル５５内で対向する個別電極６３同士は、電気的に分離されている。また、個別電極６３は、ダミーチャネル５５の内側面全体（Ｙ方向及びＺ方向の全体）に亘って形成されている。
【００３５】
図３、図４に示すように、第１アクチュエータプレート５１における裏面（Ｙ方向の外側に位置する面）の下部には、熱伝達部材６６が配設されている。熱伝達部材６６は、第１アクチュエータプレート５１よりも熱伝導性に優れた材料により形成されている。熱伝達部材６６は、Ｘ方向に沿って延設されている。熱伝達部材６６は、アクチュエータプレート５１の熱を外部に放熱するとともに、アクチュエータプレート５１内の温度ばらつきを緩和する機能を有する。
【００３６】
図３〜図５に示すように、カバープレート５２は、Ｙ方向から見た平面視外形が第１アクチュエータプレート５１と同等の外形を有する板状に形成されている。第１カバープレート５２は、その裏面が第１アクチュエータプレート５１の表面上に接着等により固定されている。
【００３７】
第１カバープレート５２は、表面側に形成された共通インク室７１と、裏面側に形成されて共通インク室７１及び各吐出チャネル５４間を各別に連通させる複数のスリット（液体導入路）７２と、を有している。
共通インク室７１は、第１カバープレート５２における上端部に位置して裏面側に向けて窪む溝であり、Ｘ方向に延設されている。共通インク室７１には、上述した流路プレート４１を通してインクが流入する。
【００３８】
スリット７２は、共通インク室７１内において、吐出チャネル５４の切り上がり部５４ｂとＹ方向で重なる位置に形成されている。スリット７２は、第１カバープレート５２をＹ方向に貫通している。すなわち、上述した共通インク室７１は、スリット７２を通して各吐出チャネル５４内に各別に連通する一方、ダミーチャネル５５には連通していない。なお、スリット７２は、Ｘ方向における幅が吐出チャネル５４と同等に形成されている。
【００３９】
第２ヘッドチップ４０Ｂは、上述した第１ヘッドチップ４０Ａと同様に第２アクチュエータプレート７４及び第２カバープレート７５がＹ方向に積層されて構成されている。各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは、各カバープレート５２，７５（アクチュエータプレート５１，７４の表面側）をＹ方向で対向させた状態で、Ｙ方向に間隔をあけて配置されている。
【００４０】
図３、図４に示すように、第２ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４及びダミーチャネル５５は、第１ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４及びダミーチャネル５５の配列ピッチに対して半ピッチずれて配列されている。すなわち、各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの吐出チャネル５４同士及びダミーチャネル５５同士は、千鳥状に配列されている。この場合、第１ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４と、第２ヘッドチップ４０Ｂのダミーチャネル５５と、がＹ方向で対向し、第１ヘッドチップ４０Ａのダミーチャネル５５と、第２ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４と、がＹ方向で対向している。
【００４１】
流路プレート４１は、第１ヘッドチップ４０Ａと第２ヘッドチップ４０Ｂとの間に挟持されている。流路プレート４１は、Ｙ方向から見た平面視外形がアクチュエータプレート５１，７４と同等の外形を有する板状に形成されている。流路プレート４１のうち、Ｙ方向における第１主面には第１カバープレート５２の表面が接合され、第２主面には第２カバープレート７５の表面が接合されている。
【００４２】
流路プレート４１の各主面には、上述した共通インク室７１に各別に連通する入口流路７７が形成されている。各入口流路７７は、流路プレート４１の各主面からＹ方向の内側に向けて窪んでいる。各入口流路７７は、その下端部が上述した共通インク室７１に各別に連通し、上端部が流路プレート４１の上端面で開口している。なお、入口流路７７は、Ｘ方向における幅が共通インク室７１と同等になっている。但し、入口流路７７の幅は共通インク室７１より小さくても大きくても構わない。
【００４３】
流路プレート４１の下端面には、出口流路７８が形成されている。出口流路７８は、流路プレート４１の下端面から上方に向けて窪んでいる。出口流路７８は、流路プレート４１をＹ方向に貫通している。また、出口流路７８は、Ｘ方向における幅が上述した入口流路７７よりも広くなっている。出口流路７８は、入口流路７７よりもＸ方向の外側に位置する部分で図示しない出口マニホールドに接続されている。出口マニホールドは、上述したインク排出管２２に接続されている。
【００４４】
入口マニホールド４２は、各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂ及び流路プレート４１の上端面にまとめて接合されている。入口マニホールド４２には、上述した各入口流路７７に連通する供給路８０が形成されている。供給路８０は、入口マニホールド４２の下端面から上方に向けて窪んでいる。供給路８０は、各入口流路７７にまとめて連通している。
【００４５】
スペーサプレート４３は、各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂ及び流路プレート４１の下端面にまとめて接合されている。スペーサプレート４３には、各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの吐出チャネル５４と出口流路７８との間を接続する循環流路（第１循環流路８１及び第２循環流路８２）が複数形成されている。
【００４６】
図３に示すように、第１循環流路８１は、第１ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４とＸ方向で同等の位置に形成されるとともに、吐出チャネル５４と同等の配列ピッチで形成されている。具体的に、第１循環流路８１は、スペーサプレート４３をＺ方向に貫通している。第１循環流路８１は、Ｙ方向の内側端部が第１カバープレート５２の表面よりもＹ方向の内側に位置している。第１循環流路８１は、Ｙ方向の外側端部が第１ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４内に各別に連通し、Ｙ方向の内側端部が出口流路７８内に連通している。
第２循環流路８２は、第２ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４とＸ方向で同等の位置に形成されている。第２循環流路８２は、Ｙ方向の外側端部が第２ヘッドチップ４０Ｂの各吐出チャネル５４に各別に連通し、Ｙ方向の内側端部が出口流路７８内に連通している。
【００４７】
ノズルプレート４４は、スペーサプレート４３の下端面に接合されている。ノズルプレート４４には、ノズルプレート４４をＺ方向に貫通するノズル孔（第１ノズル孔８３及び第２ノズル孔８４）が複数配列されている。
【００４８】
第１ノズル孔８３は、ノズルプレート４４のうち、スペーサプレート４３の第１循環流路８１とＺ方向で対向する部分にそれぞれ形成されている。すなわち、第１ノズル孔８３は、第１循環流路８１と同ピッチで、Ｘ方向に間隔をあけて一直線上に配列されている。具体的に、第１ノズル孔８３は、第１循環流路８１におけるＹ方向の中央部で第１循環流路８１内に連通している。これにより、各第１ノズル孔８３は、第１循環流路８１を介して第１ヘッドチップ４０Ａの対応する吐出チャネル５４にそれぞれ連通している。
【００４９】
第２ノズル孔８４は、ノズルプレート４４のうち、スペーサプレート４３の第２循環流路８２とＺ方向で対向する部分にそれぞれ形成されている。すなわち、第２ノズル孔８４は、第２循環流路８２と同ピッチで、Ｘ方向に間隔をあけて一直線上に配列されている。具体的に、第２ノズル孔８４は、第２循環流路８２におけるＹ方向の中央部で第２循環流路８２内に連通している。これにより、各第２ノズル孔８４は、第２循環流路８２を介して第２ヘッドチップ４０Ｂの対応する吐出チャネル５４にそれぞれ連通している。したがって、各ダミーチャネル５５は、ノズル孔８３，８４には連通しておらず、ノズルプレート４４により下方から覆われている。
【００５０】
ここで、図３〜図５に示すように、上述した各アクチュエータプレート５１，７４の尾部のうち、共通配線６２とＹ方向で重なり合う位置には、アクチュエータプレート５１，７４をＹ方向に貫通する貫通孔９１が形成されている。貫通孔９１の内面には、共通配線６２を各アクチュエータプレート５１，７４の裏面まで引き回す引出配線９２が形成されている。引出配線９２は、Ｙ方向の内側端部が貫通孔９１の開口縁で共通配線６２に接続されている。
【００５１】
図６は、アクチュエータプレート５１，７４を裏面側から見た斜視図である。
図６に示すように、アクチュエータプレート５１，７４の裏面には、共通パッド９３が形成されている。共通パッド９３は、アクチュエータプレート５１，７４の裏面上をＺ方向に延在している。共通パッド９３は、上端部が上述した貫通孔９１の開口縁で引出配線９２に接続され、下端部はアクチュエータプレート５１，７４内で終端している。なお、共通パッド９３は、下端部がＹ方向から見て吐出チャネル５４の上端部と重なる位置まで延在させても構わない。
【００５２】
また、アクチュエータプレート５１，７４における尾部の裏面のうち、共通パッド９３よりも上方に位置する部分には、個別パッド９４が形成されている。個別パッド９４は、Ｘ方向に延びる帯状に形成されている。個別パッド９４は、吐出チャネル５４を間に挟んでＸ方向で対向する個別電極６３同士を接続している。具体的に、個別パッド９４におけるＸ方向の一端部は、吐出チャネル５４に対してＸ方向の一端側に位置するダミーチャネル５５内において、Ｘ方向の他端側に形成された個別電極６３に接続されている。一方、個別パッド９４におけるＸ方向の他端部は、吐出チャネル５４に対してＸ方向の他端側に位置するダミーチャネル５５内において、Ｘ方向の一端側に形成された個別電極６３に形成されている。
【００５３】
このように、本実施形態では、共通電極６１及び個別電極６３がアクチュエータプレート５１，７４の尾部において裏面まで引き回されている。
なお、上述した尾部の裏面には、図示しない制御手段と各パッド９３，９４とを接続するフレキシブルプリント基板９６，９７（以下、単にＦＰＣ９６，９７という。）が実装される。これにより、ＦＰＣ９６，９７を介して制御手段から各電極６１，６３に駆動電圧が印加される。
【００５４】
［プリンタの動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環手段６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
【００５５】
このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、搬送手段２，３のグリッドローラ１１，１３が回転することで、これらグリッドローラ１１，１３及びピンチローラ１２，１４間に被記録媒体Ｐを搬送方向（Ｘ方向）に向けて搬送する。また、これと同時に駆動モータ３８がプーリ３５，３６を回転させて無端ベルト３７を動かす。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド５より４色のインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。
【００５６】
ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のようなエッジシュートタイプのうち、循環式のインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口マニホールド４２の供給路８０を通り、流路プレート４１の各入口流路７７内に流入する。各入口流路７７内に流入したインクは、各共通インク室７１を通過した後、スリット７２を通って各吐出チャネル５４内に供給される。各吐出チャネル５４内に流入したインクは、スペーサプレート４３の循環流路８１を通して出口流路７８内で集合し、その後図示しない出口マニホールドを通してインク排出管２２に排出される。インク排出管２２に排出されたインクは、インクタンク４に戻された後、再びインク供給管２１に供給される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させる。
【００５７】
そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、制御手段はＦＰＣ９６，９７を介して電極６１，６３に駆動電圧を印加する。すると、吐出チャネル５４を画成する２つ駆動壁５６に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁５６がダミーチャネル５５側へ突出するように変形する。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート５１，７４は、厚さ方向（Ｙ方向）に分極処理された２枚の圧電基板が積層されているため、駆動電圧を印加することで、駆動壁５６におけるＹ方向の中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル５４があたかも膨らむように変形する。
【００５８】
２つの駆動壁５６の変形によって、吐出チャネル５４の容積が増大すると、共通インク室７１内のインクがスリット７２を通って吐出チャネル５４内に誘導される。そして、吐出チャネル５４の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル５４の内部に伝搬し、この圧力波がノズル孔８３，８４に到達したタイミングで、各電極６１，６３間に印加した駆動電圧をゼロにする。
これにより、駆動壁５６が復元し、一旦増大した吐出チャネル５４の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル５４の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、インクをノズル孔８３，８４から吐出させることができる。この際、インクはノズル孔８３，８４を通過する際に、液滴状のインク滴となって吐出される。これにより、上述したように被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。
【００５９】
なお、インクジェットヘッド５の動作方法は上述した内容に限られない。例えば、通常状態の駆動壁５６が吐出チャネル５４の内側に変形し、吐出チャネル５４があたかも内側に凹むように構成しても構わない。この場合は、電極６１，６３間に印可する電圧を上述した電圧とは正負逆の電圧にするか、電圧の正負は変えずにアクチュエータプレート５１，７４の分極方向を逆にすることで実現可能である。また、吐出チャネル５４が外側に膨らむように変形させた後で、吐出チャネル５４が内側に凹むように変形させ、吐出時のインクの加圧力を高めても構わない。
【００６０】
［ヘッドチップの製造方法］
次に、上述したヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの製造方法について説明する。なお、各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは、何れも同様の方法により製造することが可能である。したがって、以下の説明では第１ヘッドチップ４０Ａの製造方法について説明する。また、以下の説明では、複数の第１アクチュエータプレート５１がＺ方向で連なるアクチュエータウエハ１０１と、複数の第１カバープレート５２がＺ方向で連なるカバーウエハ１０２と、を接合してウエハ接合体１０３を形成し、このウエハ接合体１０３を切断することにより複数の第１ヘッドチップ４０Ａを一括して製造する方法について説明する。
【００６１】
本実施形態の第１ヘッドチップ４０Ａの製造方法は、主にアクチュエータウエハ作製工程と、カバーウエハ作製工程と、組立工程と、を有している。そのうち、アクチュエータウエハ作製工程及びカバーウエハ作製工程は、並行して実施することが可能である。
【００６２】
＜アクチュエータウエハ作製工程＞
図７、図８はマスク形成工程を説明するための工程図である。
図７、図８に示すように、アクチュエータウエハ作製工程では、まずアクチュエータウエハ１０１の表面に、後に第１電極形成工程で用いるマスク１０５を形成する（マスク形成工程）。具体的には、まず例えば感光性ドライフィルム等のマスク材料をアクチュエータウエハ１０１の表面に貼り付ける。その後、フォトリソグラフィ技術を用いてマスク材料をパターニングすることで、マスク材料のうち上述した共通配線６２の形成領域に位置する部分のマスク材料を除去する。これにより、共通配線６２の形成領域に位置する部分に開口部１０５ａを有するマスク１０５が形成される。
【００６３】
図９〜図１１は、ダイシングライン形成工程を説明するための工程図である。なお、図９以降では、上述したマスク１０５（開口部１０５ａ）を鎖線で示している。
続いて、図９、図１０に示すように、図示しないダイサーを用いた切削加工等により、後に吐出チャネル５４となる第１ダイシングライン１１０を形成する（第１ダイシングライン形成工程）。具体的には、アクチュエータウエハ１０１に対して表面側からダイサーを進入させるとともに、ダイサーをＺ方向に走行させる。これにより、アクチュエータウエハ１０１がマスク１０５とともに切削される。その後、ダイサーを所定量走行させた後、アクチュエータウエハ１０１からダイサーを退避させる。これにより、第１ダイシングライン１１０が形成される。
【００６４】
このとき、Ｘ方向から見た側面視において、第１ダイシングライン１１０のＺ方向における両端部は、上述した切り上がり部５４ｂに相当する部分であって、ダイサーの曲率半径に倣った円弧状とされる。なお、第１ダイシングライン１１０のＺ方向における長さ（ダイサーの走行量）は、吐出チャネル５４の２つ分程度の長さに設定されている。そして、第１ダイシングライン形成工程では、上述した動作を、アクチュエータウエハ１０１に対してＺ方向及びＸ方向に間隔をあけて繰り返し行い、複数の第１ダイシングライン１１０を形成する。すなわち、アクチュエータウエハ１０１は、アクチュエータプレート５１における下端部に相当する部分同士及び上端部に相当する部分同士が向かい合った状態でそれぞれ連なっている。
【００６５】
次に、図９、図１１に示すように、後にダミーチャネル５５となる第２ダイシングライン１１１を形成する（第２ダイシングライン形成工程）。具体的には、アクチュエータウエハ１０１における第１ダイシングライン１１０に対してＸ方向の両側に位置する部分にダイサーを進入させ、アクチュエータウエハ１０１におけるＺ方向の全体に亘ってダイサーを走行させる。これにより、アクチュエータウエハ１０１がマスク１０５とともに切削される。本実施形態において、ダイサーによる加工深さはＺ方向の全体に亘って一様とされている。なお、第２ダイシングライン１１１は、Ｙ方向における溝深さが第１ダイシングライン１１０よりも深くなるように形成する。
【００６６】
図１２、図１３は貫通孔形成工程を説明するための工程図である。
続いて、図１２、図１３に示すように、アクチュエータウエハ１０１をＹ方向に貫通する貫通孔９１を形成する（貫通孔形成工程）。具体的に、貫通孔９１は、アクチュエータウエハ１０１のうち、Ｚ方向で隣り合う第１ダイシングライン１１０間に位置する部分に、Ｚ方向に間隔をあけて２つ形成する。なお、貫通孔形成工程では、貫通孔９１に代えて第２ダイシングライン１１１と同等の深さを有する凹部を形成しても構わない。
【００６７】
図１４〜図１６は第１電極形成工程を説明するための工程図である。
次に、図１４〜図１６に示すように、後に各種配線（共通電極６１や個別電極６３、共通配線６２、引出配線９２）となる電極材料をアクチュエータウエハ１０１に形成する（第１電極形成工程）。本実施形態の第１電極形成工程では、各電極６１，６３や各配線６２，９２を無電解めっきにより形成する。第１電極形成工程では、まずアクチュエータウエハ１０１のうち、マスク１０５で覆われていない領域に対して触媒を付与する。具体的には、塩化第１錫水溶液に浸漬させ、アクチュエータウエハ１０１に塩化第１錫を吸着させるセンシタイジング処理を行う。続いて、アクチュエータウエハ１０１を水洗等により軽く洗浄する。その後、アクチュエータウエハ１０１を塩化パラジウム水溶液に浸漬させ、アクチュエータウエハ１０１の表面に塩化パラジウムを吸着させる。すると、アクチュエータウエハ１０１に吸着した塩化パラジウムと、上述したセンシタイジング処理で吸着した塩化第１錫と、の間で酸化還元反応が生じることで、触媒として金属パラジウムが析出される（アクチベーティング処理）。次に、触媒（金属パラジウム）が付与されたアクチュエータウエハ１０１をめっき液に浸漬させることで、アクチュエータウエハ１０１のうち、触媒が付与された部分にめっき被膜１２０が析出される。なお、めっき被膜１２０は、アクチュエータウエハ１０１の裏面全体にも形成される。
【００６８】
次に、アクチュエータウエハ１０１の表面に形成されたマスク１０５をリフトオフ等によって除去する。
【００６９】
＜カバーウエハ作製工程＞
図１７、図１８はカバーウエハ作製工程を説明するための工程図である。
図１７、図１８に示すように、カバーウエハ作製工程では、まずカバーウエハ１０２に対して表面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、共通インク室７１を形成する（共通インク室形成工程）。このとき、共通インク室７１は、カバーウエハ１０２において、上述した第１ダイシングライン１１０のＺ方向の両端部に対応する部分に、Ｘ方向に沿って形成する。
【００７０】
続いて、カバーウエハ１０２に対して裏面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、共通インク室７１内に各別に連通するスリット７２を形成する（スリット形成工程）。このとき、スリット７２は、カバーウエハ１０２において、各第１ダイシングライン１１０のＺ方向の両端部に対応する部分に、各別に形成する。なお、カバーウエハ形成工程の各工程は、サンドブラストに限らず、ダイシング等により行っても構わない。
【００７１】
＜組立工程＞
図１９は、貼り合わせ工程を説明するための工程図である。
図１９に示すように、組立工程では、まずアクチュエータウエハ１０１及びカバーウエハ１０２を積層し、ウエハ接合体１０３とする（貼り合わせ工程）。具体的には、カバーウエハ１０２の裏面と、アクチュエータウエハ１０１の表面と、を貼り合わせる。
【００７２】
図２０、図２１は研削工程を説明するための工程図である。
次に、図２０、図２１に示すように、第１ダイシングライン１１０がアクチュエータウエハ１０１を貫通せず、かつ第２ダイシングライン１１１がアクチュエータウエハ１０１を貫通するように、アクチュエータウエハ１０１を裏面側から研削する（研削工程）。
【００７３】
図２２は第２電極形成工程を説明するための工程図である。
図２２に示すように、アクチュエータウエハ１０１の裏面に各パッド９３，９４を形成する。具体的には、まずアクチュエータウエハ１０１の裏面に、各パッド９３，９４の形成領域が開口するマスク１２５をセットする。その後、アクチュエータウエハ１０１の裏面に対して蒸着等により電極材料を成膜する。これにより、マスク１２５の開口を通してアクチュエータウエハ１０１の裏面に各パッド９３，９４となる電極材料が成膜される。なお、マスク１２５としては、例えばメタルマスクや感光性ドライフィルム等を用いることができる。また、第２電極形成工程の終了後には、アクチュエータウエハ１０１の裏面からマスクを除去する。
【００７４】
図２３は個片化工程を説明するための工程図である。
続いて、図２３に示すように、ウエハ接合体１０３を各第１ヘッドチップ４０Ａごとに切断する（個片化工程）。具体的には、ウエハ接合体１０３のうち、Ｚ方向における各第１ダイシングライン１１０の中間位置、及び各第１ダイシングライン１１０間に位置する部分に対して、ダイサーをＸ方向に走行させ、ウエハ接合体１０３を切断する。このとき、第１ダイシングライン１１０がＺ方向の中間位置で分割されるとともに、各第１ダイシングライン１１０間に位置する部分で分割される。これにより、第１ヘッドチップ４０Ａが一枚のウエハ接合体１０３から複数切り出される。
【００７５】
このように、本実施形態のインクジェットヘッド５では、アクチュエータプレート５１，７４のうち、少なくとも吐出チャネル５４が開口していない裏面側に各電極６１，６３を引き回す構成とした。
この構成によれば、例えば各チャネル５４，５５が開口するアクチュエータプレート５１，７４の表面側に各パッド９３，９４を形成する場合に比べてパッド９３，９４を形成可能な領域の面積を確保できる。これにより、各パッド９３，９４のレイアウトの自由度を向上させるとともに、配線パターンの簡素化を図ることができる。この場合、例えばＹ方向で吐出チャネル５４と重なる位置まで共通パッド９３の下端部を引き回す等、各パッド９３，９４をより下方に形成することで、尾部のＺ方向の長さを短縮できる。そのため、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂのチップ長（Ｚ方向の長さ）を短縮でき、インクジェットヘッド５の小型化が可能になる。
【００７６】
特に、本実施形態では、アクチュエータプレート５１，７４それぞれの尾部を通して各電極６１，６３を裏面に引き回す構成とした。そのため、従来のようにアクチュエータプレートにおけるチャネル延在方向の両端面を通して各電極を引き回す構成に比べて配線パターンの更なる簡素化を図ることができる。
また、本実施形態では、アクチュエータプレート５１，７４それぞれの尾部を通して各電極６１，６３を裏面に引き回しているため、ＦＰＣ９６，９７と各パッド９３，９４との圧着作業を容易に行うことができる。また、ＦＰＣ９６，９７を各パッド９３，９４から上方に引き回す際の周辺部材との干渉を避けることもできる。そのため、各パッド９３，９４へのＦＰＣ９６，９７の圧着作業や、ＦＰＣ９６，９７の制御手段への引き回し作業等、ＦＰＣ９６，９７の接続作業の容易化を図ることができる。
【００７７】
本実施形態では、アクチュエータプレート５１，７４の貫通孔９１の内面に引出配線９２を形成することで、共通電極６１を簡単にアクチュエータプレート５１，７４の裏面まで引き回すことができる。
【００７８】
本実施形態では、各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂがカバープレート５２，７５をＹ方向で対向させた状態で配置されるとともに、各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの吐出チャネル５４内に連通する入口流路７７を有する流路プレート４１を各ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂ間に配設する構成とした。
この構成によれば、各アクチュエータプレート５１，７４の裏面をＹ方向の外側に露出させることができるので、二列タイプのインクジェットヘッド５においてＦＰＣ９６，９７と各パッド９３，９４との接続を簡単に行うことができる。
【００７９】
本実施形態では、各アクチュエータプレート５１，７４の表面側にカバープレート５２，７５が積層されているため、カバープレート５２，７５と各パッド９３，９４とがアクチュエータプレート５１，７４の異なる面に配置されることになる。そのため、例えばカバープレート５２，７５と各パッド９３，９４とをアクチュエータプレート５１，７４の同一面（例えば、表面）に配置する構成に比べ、パッド９３，９４を形成可能な領域の面積を確保できる。また、ＦＰＣ９６，９７を各パッド９３，９４から上方に引き回す際に、カバープレート５２，７５との干渉を避けることができるので、ＦＰＣ９６，９７の接続作業の更なる容易化を図ることができる。
【００８０】
本実施形態では、各アクチュエータプレート５１，７４とノズルプレート４４との間に、循環流路８１を有するスペーサプレート４３が配設された構成とした。
この構成によれば、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂとインクタンク４との間でインクを循環させることができるので、ノズル孔８３，８４付近での気泡の滞留を抑えることができる。
【００８１】
そして、本実施形態のプリンタ１では、上述したインクジェットヘッド５を備えているため、安価で信頼性の高いプリンタ１を提供できる。
【００８２】
（変形例）
次に、第１実施形態の変形例について説明する。図２４は、第１実施形態の変形例に係るヘッドチップ１４０の分解斜視図である。本変形例では、共通パッド１６３が個別パッド１７０よりも上方に位置している点で上述した第１実施形態と相違している。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
【００８３】
図２４に示すように、本変形例のヘッドチップ１４０において、共通配線１６２の上端部は、アクチュエータプレート１５１の上端縁まで達している。アクチュエータプレート１５１の上端縁には、アクチュエータプレート１５１をＹ方向に貫通する引き回し凹部１５０が形成されている。引き回し凹部１５０は、Ｙ方向から見た平面視で半円状に形成されている。引き回し凹部１５０は、上方に向けて開放されている。引き回し凹部１５０の内面には、引出配線１６０が形成されている。引出配線１６０は、Ｙ方向の内側端部が引き回し凹部１５０の開口縁で共通配線１６２に接続されている。
【００８４】
図２５は、アクチュエータプレート１５１を裏面側から見た斜視図である。
図２５に示すように、アクチュエータプレート１５１の裏面には、共通パッド１６３が形成されている。共通パッド１６３は、アクチュエータプレート１５１の裏面上をＺ方向に延在している。共通パッド１６３は、上端部が上述した引き回し凹部１５０の開口縁で引出配線１６０に接続され、下端部はアクチュエータプレート１５１内で終端している。
【００８５】
アクチュエータプレート１５１の裏面において、共通パッド１６３よりも下方に位置する部分には、個別パッド１７０が形成されている。個別パッド１７０は、Ｘ方向に延びる帯状に形成されている。個別パッド１７０は、吐出チャネル５４を間に挟んでＸ方向で対向する個別電極６３同士を接続している。なお、個別パッド１７０は、Ｚ方向において尾部と吐出チャネル５４とを跨るように形成されていることが好ましい。これにより、チップ長の短縮を図ることができる。
【００８６】
この構成においても、上述した第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００８７】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。図２６は、第２実施形態に係るヘッドチップ２４０の分解斜視図である。図２７は、アクチュエータプレート２５１を裏面側から見た斜視図である。本実施形態では、アクチュエータプレート２５１の裏面に形成された接続溝２１０内に個別パッド２２０を形成している点で上述した第１実施形態と相違している。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
【００８８】
図２６、図２７に示すように、本実施形態のヘッドチップ２４０において、アクチュエータプレート２５１の裏面には、Ｙ方向の内側に向けて窪む接続溝２１０が形成されている。接続溝２１０は、アクチュエータプレート２５１の裏面において、貫通孔９１よりも上方に位置する部分に形成されている。接続溝２１０は、アクチュエータプレート２５１の上端面において、上方に向けて開放されている。なお、接続溝２１０の底面（Ｙ方向の内側端面）は、吐出チャネル５４の底面（Ｙ方向の外側端面）よりもＹ方向の外側に位置している。また、接続溝２１０は、アクチュエータプレート２５１の尾部のうち貫通孔９１よりも下方に位置する部分に形成しても構わない。
【００８９】
接続溝２１０の内面には、吐出チャネル５４を間に挟んでＸ方向で対向する個別電極６３同士を接続する個別パッド２２０が形成されている。個別パッド２２０は、接続溝２１０の内面全体に亘って形成されている。なお、本実施形態において、図示しないＦＰＣとして、いわゆるバンプＦＰＣを用いることが好ましい。この場合、ＦＰＣは、バンプを介して貫通孔９１内の引出配線９２や、接続溝２１０内の個別パッド２２０に接続される。
【００９０】
次に、第２実施形態のヘッドチップ２４０の製造方法について説明する。図２８は、第３ダイシングライン形成工程及び電極形成工程を説明するための工程図である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の工程については説明を省略する。
図２８に示すように、本実施形態では、アクチュエータウエハ作製工程において、例えば貫通孔形成工程の後に、接続溝２１０となる第３ダイシングライン２６０を形成する（第３ダイシングライン形成工程）。具体的に、第３ダイシングライン形成工程は、アクチュエータウエハ２６１の裏面において、Ｚ方向の各貫通孔９１間に位置する部分に対してＸ方向にダイサーを走行させる。このとき、第３ダイシングライン２６０は、その底面（Ｙ方向の内側端面）が第１ダイシングライン１１０の底面（Ｙ方向の外側端面）よりもＹ方向の外側に位置するような深さに形成する。
【００９１】
続いて、第１実施形態の第１電極形成工程と同様の方法により、アクチュエータウエハ２６１にめっき被膜１２０を形成する。これにより、第３ダイシングライン２６０の内面にもめっき被膜１２０が形成される。なお、第３ダイシングライン形成工程は、貫通孔形成工程や第１ダイシングライン形成工程、第２ダイシングライン形成工程よりも前に行っても構わない。
また、第３ダイシングライン工程の後、貼り合わせ工程までは上述した第１実施形態と同様の方法により行う。
【００９２】
図２９、図３０は研削工程を説明するための工程図である。
図２９、図３０に示す研削工程では、第１ダイシングライン１１０がアクチュエータウエハ２６１を貫通せず、第２ダイシングライン１１１がアクチュエータウエハ２６１を貫通し、かつ第３ダイシングライン２６０が除去されないように、アクチュエータウエハ２６１を裏面側から研削する。すると、アクチュエータウエハ２６１の裏面側に形成されためっき被膜１２０のうち、第３ダイシングライン２６０の内面に形成された部分のみが残存する。
【００９３】
その後、第１実施形態と同様の方法により個片化工程を行う。このとき、第３ダイシングライン２６０がＺ方向の中間位置で分割されることで、上述した接続溝２１０が形成される。
【００９４】
このように、本実施形態では、無電解めっきによってアクチュエータウエハ２６１の裏面に形成されためっき被膜１２０を研削等によって除去した場合に、接続溝２１０内に残存しためっき被膜１２０を個別パッド２２０として利用することができる。これにより、電極形成工程において、各電極や配線に加えて個別パッド２２０を一括で形成できる。したがって、アクチュエータウエハ２６１の裏面に対して個別パッド２２０を形成するための電極形成工程を別途行う必要がないので、製造効率の向上を図ることができる。
【００９５】
なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００９６】
例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
【００９７】
上述した実施形態では、ノズル孔８３，８４が二列並んだ二列タイプのインクジェットヘッド５について説明したが、これに限られない。例えば、ノズル孔が三列以上のインクジェットヘッド５としてもよく、ノズル孔が一列のインクジェットヘッド５としてもよい。
【００９８】
上述した実施形態では、エッジシュートタイプのうち、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクが循環する循環式について説明したが、これに限られない。
また、吐出チャネルにおけるチャネル延在方向の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドに本発明を適用しても構わない。
上述した実施形態では、ダミーチャネル５５がアクチュエータプレートにおけるＺ方向の全体に亘ってＹ方向に貫通する構成について説明したが、これに限らず、アクチュエータプレートの尾部のみでアクチュエータプレートを貫通してれば構わない。この場合、ダミーチャネル５５のうち、アクチュエータプレートをＹ方向に貫通している部分を通して個別パッドと個別電極６３とを接続すれば構わない。
上述した実施形態では、アクチュエータプレートとしてシェブロン基板を用いた構成について説明したが、これに限られない。すなわち、分極方向が厚さ方向で一方向の圧電基板をアクチュエータプレートとして用いても構わない。
【００９９】
上述した実施形態では、貫通孔９１や引き回し凹部１５０の内面に引出配線を形成した場合について説明したが、これに限られない。引出配線は、アクチュエータプレートの裏面に共通配線を引き回す構成であれば適宜設計変更が可能である。
【０１００】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。
【符号の説明】
【０１０１】
１…インクジェットプリンタ
２…搬送手段（移動機構）
３…搬送手段（移動機構）
５，５Ｂ，５Ｃ，５Ｍ，５Ｙ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
７…走査手段（移動機構）
４１…流路プレート
４３…スペーサプレート
５１…第１アクチュエータプレート
５２…第１カバープレート
５４…吐出チャネル（噴射チャネル）
５５…ダミーチャネル
６１…共通電極
６２…共通配線
６３…個別電極
７２…スリット（液体導入路）
７４…第２アクチュエータプレート
７５…第２カバープレート
７７…入口流路
７８…出口流路
８１…第１循環流路（循環流路）
８２…第２循環流路（循環流路）
８３…第１ノズル孔（噴射孔）
８４…第２ノズル孔（噴射孔）
９２…引出配線
９３…共通パッド
９４…個別パッド
１５１…アクチュエータプレート
１６０…引出配線
１６２…共通配線
１６３…共通パッド
１７０…個別パッド
２１０…接続溝
２２０…個別パッド
２５１…アクチュエータプレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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