(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
タンク外缶と、
タンク外缶の内面に設けられたライニング層とを少なくとも有し、
ライニング層は、少なくとも一部において、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含み、
フッ素樹脂Ａは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択され、
ライニング層は、少なくとも一部において複合樹脂材料を含むライニングシートを用いて設けられ、ライニングシート間の隙間がＰＦＡ材料を用いて溶接されている、タンク。
【請求項２】
投入された薬液がタンク外缶の内面と最初に接する部分に設けられたライニング層が、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含む、請求項１に記載のタンク。
【請求項３】
タンクの内部と外部とに繋がる薬液管を備え、
薬液管は、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニング層を薬液管の内面の少なくとも一部に有する、および／または、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体であり、
フッ素樹脂Ｂは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される、請求項１または２に記載のタンク。
【請求項４】
タンクの内部と外部とに繋がる薬液管を備え、
薬液管は、薬液をタンクに入れる薬液投入管を含み、
薬液投入管は、その端部にノズルを有し、
ノズルは、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニング層をノズルの内面の少なくとも一部に有する、および／または、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体であり、
フッ素樹脂Ｂは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される、請求項１〜３のいずれかに記載のタンク。
【請求項５】
ノズルは、スプレーノズル、回転ノズル、直進ノズル、シャワーノズルからなる群から選択される、請求項４に記載のタンク。
【請求項６】
フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含む中空球状の成形体をさらに有し、フッ素樹脂Ｃは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される、請求項１〜５のいずれかに記載のタンク。
【請求項７】
フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含む棒状の成形体をさらに有し、フッ素樹脂Ｃは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される、請求項１〜６のいずれかに記載のタンク。
【請求項８】
フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含む攪拌棒をさらに有し、フッ素樹脂Ｃは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される、請求項１〜７のいずれかに記載のタンク。
【請求項９】
攪拌棒は、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含むプロペラを有する、請求項８に記載のタンク。
【請求項１０】
薬液は、有機溶剤、可燃性液体、酸性液体、塩基性液体、中性液体、水溶液、導電性液体から選択される少なくとも１種を含む、請求項１〜９のいずれかに記載のタンク。
【請求項１１】
フッ素樹脂Ａは変性ポリテトラフルオロエチレンである、請求項１〜１０のいずれかに記載のタンク。
【請求項１２】
変性ポリテトラフルオロエチレンは、式（Ｉ）：
【化１】
0006571304.tif 000019
で表されるテトラフルオロエチレン単位と、式（ＩＩ）：
【化２】
0006571304.tif 000020
［式中、Ｘは、炭素数１〜６のパーフルオロアルキル基または炭素数４〜９のパーフルオロアルコキシアルキル基を表す］
で表されるパーフルオロビニルエーテル単位とを有する化合物であり、式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位の量は、変性ポリテトラフルオロエチレンの全質量に基づいて０．０１〜１質量％である、請求項１〜１１のいずれかに記載のタンク。
【請求項１３】
複合樹脂材料は、フッ素樹脂Ａ〜Ｃのいずれかとカーボンナノチューブを含む、５μｍ以上５００μｍ以下の平均粒子径を有する複合樹脂粒子の圧縮成形体である、請求項１〜１２のいずれかに記載のタンク。
【請求項１４】
薬液供給タンク、薬液貯蔵タンク、および／または、薬液運搬タンクである、請求項１〜１３のいずれかに記載のタンク。
【請求項１５】
更に、アース線を含む、請求項１〜１４のいずれかに記載のタンク。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれかに記載のタンクを用いて薬液の供給を行うことを含む、薬液供給システム。
【請求項１７】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載のタンクに使用される、フッ素樹脂Ａ〜Ｃのいずれかとカーボンナノチューブを含む成形体。
【請求項１８】
ライニングシート、薬液管、中空形状の成形体、棒状の成形体、棒状成形体ホルダー、攪拌棒、攪拌羽根、及び攪拌棒アダプタから選択される、請求項１７に記載の成形体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本特許出願は、日本国特許出願第２０１７−１４２２６４号（２０１７年７月２１日出願）及び日本国特許出願第２０１８−０２１６４９号（２０１８年２月９日出願）に基づくパリ条約上の優先権を主張し、ここに参照することによって、上記出願に記載された内容の全体が、本明細書に組み込まれる。
本発明は、フッ素樹脂およびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料をライニング層の少なくとも一部において含むタンク、および、該タンクを用いる薬液供給システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種薬液を貯蔵等するために使用されるタンクにおいて、薬液の有する腐食性によるタンク内壁の腐食や、腐食による該薬液の汚染を防止する目的で、金属製のタンク外缶の内壁に、ポリ塩化ビニル、ゴム、ポリオレフィン樹脂、フッ素樹脂等の耐薬品性材料からなるライニング材が貼り合わされている。【０００３】
ライニング材に含まれる耐薬品性材料ついては、種々の検討がなされている。例えば特許文献１には、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）をライニングさせたフッ素樹脂ライニングタンクが記載されている。特許文献２には、ポリオレフィン基材からなるシート基材を含むライニング材が記載されている。特許文献３には、四フッ化エチレン樹脂とカーボンブラック、グラファイトなどの導電性充填剤とから形成された導電性四フッ化エチレン樹脂層を有するライニングシートが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１７０９９４号公報
【特許文献２】特開２００１−３２８２０９号公報
【特許文献３】特開平０６−２７０３５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
通常ライニング材として使用されるフッ素樹脂等の耐薬品性材料は帯電性を有するために、耐薬品性材料と内容物である薬液との間での摩擦が起こる場合に、静電気が発生し、内容物の引火の問題が生じる場合がある。さらに、例えば特許文献３に記載されるように、ライニング材として使用する耐薬品性材料にカーボンブラック等の導電性材料を添加する場合には、所望の帯電防止性を達成するために多量の導電性材料を添加する必要があり、タンク内容物に汚染物質が混入する可能性もある。また、これら導電性材料等がライニング材とタンク内壁との接着面に存在することにより、ライニング材が剥離しやすくなるなどの問題も生じる。【０００６】
本発明は、各種薬液を取り扱うタンクであって、タンク内容物の帯電を防止することが可能であり、タンク内容物の汚染が低減されたタンクを提供することを目的とする。また本発明は、該タンクを用いる薬液供給システムを提供することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上記課題を解決すべく、タンクの内面に設けられたライニング層について鋭意検討を行った。その結果、フッ素樹脂およびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも一部に含むライニング層をタンク内面に設けることにより、上記課題が達成されることを見出し、本発明を完成させるに至った。【０００８】
すなわち、本発明は、以下の好適な態様を包含する。
［１］タンク外缶と、
タンク外缶の内面に設けられたライニング層とを少なくとも有し、
ライニング層は、少なくとも一部において、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含み、
フッ素樹脂Ａは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される、タンク。
［２］投入された薬液がタンク外缶の内面と最初に接する部分に設けられたライニング層が、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含む、前記［１］に記載のタンク。
［３］タンクの内部と外部とに繋がる薬液管を備え、
薬液管は、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニング層を管の内面の少なくとも一部に有する、および／または、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体であり、
フッ素樹脂Ｂは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される、前記［１］または［２］に記載のタンク。
［４］タンクの内部と外部とに繋がる薬液管を備え、
薬液管は、薬液をタンクに入れる薬液投入管を含み、
薬液投入管は、その端部（又は先端）にノズルを有し、
ノズルは、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニング層をノズルの内面の少なくとも一部に有する、および／または、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体であり、
フッ素樹脂Ｂは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される、前記［１］〜［３］のいずれかに記載のタンク。
［５］ノズルは、スプレーノズル、回転ノズル、直進ノズル、シャワーノズルからなる群から選択される、前記［４］に記載のタンク。
［６］フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含む中空球状の成形体をさらに有し、フッ素樹脂Ｃは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される、前記［１］〜［５］のいずれかに記載のタンク。
［７］フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含む棒状の成形体をさらに有し、フッ素樹脂Ｃは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される、前記［１］〜［６］のいずれかに記載のタンク。
［８］フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含む攪拌棒をさらに有し、フッ素樹脂Ｃは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される、前記［１］〜［７］のいずれかに記載のタンク。
［９］攪拌棒は、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含むプロペラを有する、前記［８］に記載のタンク。
［１０］薬液は、有機溶剤、可燃性液体、酸性液体、塩基性液体、中性液体、水溶液、導電性液体から選択される少なくとも１種を含む、前記［１］〜［９］のいずれかに記載のタンク。
［１１］薬液は、有機溶媒を含む、前記［１］〜［９］のいずれかに記載のタンク。
［１２］薬液は、酸性液体、塩基性液体、導電性液体から選択される少なくとも１種を含む、前記［１］〜［９］のいずれかに記載のタンク。
［１３］フッ素樹脂Ａは変性ポリテトラフルオロエチレンである、前記［１］〜［１２］のいずれかに記載のタンク。
［１４］変性ポリテトラフルオロエチレンは、式（Ｉ）：
【化１】
0006571304.tif 000002
で表されるテトラフルオロエチレン単位と、式（ＩＩ）：
【化２】
0006571304.tif 000003
［式中、Ｘは、炭素数１〜６のパーフルオロアルキル基または炭素数４〜９のパーフルオロアルコキシアルキル基を表す］
で表されるパーフルオロビニルエーテル単位とを有する化合物であり、式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位の量は、変性ポリテトラフルオロエチレンの全質量に基づいて０．０１〜１質量％である、前記［１］〜［１３］のいずれかに記載のタンク。
［１５］複合樹脂材料は、フッ素樹脂Ａ〜Ｃのいずれかとカーボンナノチューブを含む、５μｍ以上５００μｍ以下の平均粒子径を有する複合樹脂粒子の圧縮成形体である、前記［１］〜［１４］のいずれかに記載のタンク。
［１６］薬液供給タンク、薬液貯蔵タンク、および／または、薬液運搬タンクである、前記［１］〜［１５］のいずれかに記載のタンク。
［１７］前記［１］〜［１６］のいずれかに記載のタンクを用いて薬液の供給を行うことを含む、薬液供給システム。
［１８］前記［１］〜［１６］のいずれか１に記載のタンクに使用される、フッ素樹脂Ａ〜Ｃのいずれかとカーボンナノチューブを含む成形体。
［１９］
ライニングシート、薬液管、中空形状の成形体、棒状の成形体、棒状成形体ホルダー、攪拌棒、攪拌羽根、及び攪拌棒アダプタから選択される、前記［１８］に記載の成形体。
［２０］フッ素樹脂Ａ〜Ｃのいずれかとカーボンナノチューブを含む、５μｍ以上５００μｍ以下の平均粒子径を有する複合樹脂粒子の圧縮成形体。
［２１］ライニングシート、薬液管、中空形状の成形体、棒状の成形体、棒状成形体ホルダー、攪拌棒、攪拌羽根、及び攪拌棒アダプタから選択される、前記［２０］に記載の圧縮成形体。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、各種薬液を取り扱うためのタンクであって、タンク内容物の帯電を防止することが可能であり、タンク内容物の汚染が低減されたタンク、ならびに、該タンクを用いる薬液供給システムが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１Ａ】本発明の第１実施形態Ａのタンクの縦断面図である。
【図１Ｂ】本発明の第１実施形態Ｂのタンクの縦断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態のタンクの縦断面図である。
【図３】本発明の第３実施形態の薬液供給システムの概略図である。
【図４】複合樹脂材料の溶接強度を測定するための測定試料を示す図である。
【図５】複合樹脂材料の溶接強度の測定方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、本発明の範囲はここで説明する実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更をすることができる。
【００１２】
本発明のタンクは、タンク外缶と、タンク外缶の内面に設けられたライニング層とを少なくとも有する。
【００１３】
＜タンク外缶＞
タンク外缶の材質は、耐腐食性、耐熱性および機械的強度が良好な材質であれば特に限定されないが、通常は金属であり、例えばステンレス、鉄、炭素鋼、チタンなどが挙げられる。タンク外缶の形状、大きさ、肉厚等は特に限定されず、本発明のタンクの用途に応じて、適宜選択してよい。
【００１４】
＜ライニング層＞
タンク外缶の内面にはライニング層が設けられている。ライニング層に含まれる樹脂としては、フッ素樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリオレフィン樹脂等が挙げられる。耐薬品性および耐熱性の観点からは、ライニング層はフッ素樹脂を含むことが好ましい。フッ素樹脂としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）が挙げられる。
【００１５】
ライニング層の厚みは、金属溶出を抑制しやすい観点から、好ましくは１．３〜８ｍｍ、より好ましくは１．８〜４ｍｍ、さらに好ましくは２〜４ｍｍである。ライニング層の厚みは、マイクロメーターを用いて測定される。本発明の好ましい一態様において、ライニング層はガラスクロスと樹脂シートの積層体であり、その場合、ガラスクロスの厚みは好ましくは０．３〜３ｍｍ、より好ましくは０．３〜１ｍｍ、さらに好ましくは０．５〜１ｍｍであり、樹脂シートの厚みは、好ましくは１〜５ｍｍ、より好ましくは１．５〜３ｍｍである。
【００１６】
本発明のタンクにおいて、ライニング層は、少なくとも一部において、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含む。ライニング層が複合樹脂材料を少なくとも一部において含むとは、タンク外缶の内面に設けられたライニング層の少なくとも一部が複合樹脂材料で構成されていてもよいし、ライニング層全体が複合樹脂材料で構成されていてもよい。また、タンク外缶の内面に設けられたライニング層の一部に複合樹脂材料が含有されていてもよいし、タンク外缶の内面に設けられたライニング層全体に複合樹脂材料が含有されていてもよい。帯電防止性を効率的に付与し、タンクの製造コストを低減する観点からは、タンク外缶の内面に設けられたライニング層の一部が複合樹脂材料で構成されるか、または、ライニング層の一部が複合樹脂材料を含むことが好ましい。
【００１７】
本発明のタンクに薬液を投入する際、投入された薬液がタンク外缶の内面と最初に接する部分において摩擦が生じることにより静電気が発生し、薬液が帯電しやすい。そのため、薬液の帯電を効率的に防止する観点からは、投入された薬液がタンク外缶の内面と最初に接する部分に設けられたライニング層が、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むことが好ましく、該ライニング層がフッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料で構成されることがより好ましい。また、同様の観点から、投入された薬液との摩擦が生じることにより静電気が発生しやすい、タンク外缶の内面の底部に設けられたライニング層が、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むことが好ましく、該ライニング層がフッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料で構成されることがより好ましい。
【００１８】
＜複合樹脂材料＞
本発明のタンクにおいて、ライニング層は、少なくとも一部において、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含む。フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料は、フッ素樹脂Ａとカーボンナノチューブとを複合化させた複合樹脂粒子の成形体である。複合樹脂粒子は、フッ素樹脂Ａの粒子とカーボンナノチューブとを複合化させた材料であり、フッ素樹脂Ａの粒子の少なくとも表面および／または表層にカーボンナノチューブが存在する。例えば、フッ素樹脂Ａの粒子表面にカーボンナノチューブの少なくとも一部が担持または埋没されている。カーボンナノチューブは、フッ素樹脂Ａの粒子表面に付着して担持されていてもよいし、一部が埋没して担持されていてもよいし、フッ素樹脂Ａの粒子の表層に完全に埋没していてもよい。このような複合樹脂粒子の成形体である複合樹脂材料においては、複合樹脂粒子の少なくとも一部が粒子形状を維持して含まれていてもよいし、複合樹脂粒子が一体となり複合樹脂材料を形成していてもよい。
【００１９】
複合樹脂粒子の平均粒子径は、好ましくは５００μｍ以下、より好ましくは３００μｍ以下、さらに好ましくは２００μｍ以下、特に好ましくは１００μｍ以下、極めて好ましくは５０μｍ以下、最も好ましくは３０μｍ以下である。平均粒子径が上記の上限以下である場合、カーボンナノチューブをライニング層中に均一に分散させやすく、特にライニング層の厚みが薄い場合であっても、ライニング層の体積抵抗率を十分に低減することができる。複合樹脂材料の平均粒子径の下限は特に限定されないが、通常５μｍ以上である。上記範囲の平均粒子径を有する複合樹脂粒子からライニング層の少なくとも一部を構成する複合樹脂材料を製造することにより、ライニング層の体積抵抗率を効率的に低下させやすい。本発明において、ライニング層に含まれる複合樹脂材料を与える複合樹脂粒子の平均粒子径は、上記複合樹脂材料の製造に使用した複合樹脂粒子の平均粒子径であってよく、該平均粒子径は、レーザー回折・散乱法によって求めた粒度分布における積算値５０％での粒子径を意味するメジアン径（Ｄ５０）であり、レーザー回折散乱式粒度分布装置を用いて測定される。なお、本発明のタンクにおいては、ライニング層等が、上記の平均粒子径を有する複合樹脂粒子の成形体である複合樹脂材料を含むことが好ましく、ライニング層等における複合樹脂材料が、上記好ましい範囲の粒子径を有する複合樹脂粒子であってもよいし、複合樹脂粒子が一体となり複合樹脂材料を形成し粒子形状を維持していなくてもよい。
【００２０】
本発明のタンクにおいて、ライニング層が、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを複合化させた複合樹脂材料を少なくとも一部において含むことにより、ライニング層の体積抵抗率を効果的に低下させ、ライニング層に帯電防止性および／または導電性を付与することができる。このため、内容物が帯電することを防止し、例えば有機溶媒等の薬液の引火を防止することができる。また、複合樹脂材料を用いることにより、少量のカーボンナノチューブで体積抵抗率を効果的に低下させることができるため、ライニング層に含まれる導電性材料が内容物に混入することによる、薬液等のタンク内容物の汚染が抑制され、クリーン性に優れる。
【００２１】
複合樹脂材料に含まれるフッ素樹脂Ａの量は、複合樹脂材料の総量に基づいて好ましくは９８．０質量％以上、より好ましくは９９．０質量％以上、さらにより好ましくは９９．８質量％以上である。フッ素樹脂Ａの量が上記の下限以上である場合、複合樹脂材料の機械的特性および成形性を高めやすい。フッ素樹脂Ａの量の上限は、特に限定されないが、９９．９９質量％程度以下である。複合樹脂材料に含まれるフッ素樹脂Ａの量は、炭素成分分析法により測定される。
【００２２】
複合樹脂材料に含まれるカーボンナノチューブの量は、複合樹脂材料の総量に基づいて好ましくは０．０１〜２．０質量％、より好ましくは０．０２〜０．５質量％、さらにより好ましくは０．０２５〜０．２質量％である。カーボンナノチューブの量が上記の下限以上であると、帯電防止性または導電性を高めるために体積抵抗率を低下させやすいため好ましい。カーボンナノチューブの量が上記の上限以下であると、体積抵抗率を効率的に低下させやすいため好ましい。複合樹脂材料に含まれるカーボンナノチューブの量は、炭素成分分析法により測定される。
【００２３】
複合樹脂材料は、複合樹脂粒子の成形体であり、複合樹脂粒子の比表面積は、ＪＩＳ Ｚ８８３０に準拠し測定して、好ましくは０．５〜９．０ｍ２／ｇ、より好ましくは０．８〜４．０ｍ２／ｇ、さらにより好ましくは１．０〜３．０ｍ２／ｇである。比表面積が上記の下限以上であると、フッ素樹脂Ａとカーボンナノチューブとの密着性を高めやすい観点から好ましく、上記の上限以下であると、複合樹脂材料の製造しやすさの観点から好ましい。上記範囲の比表面積を有する複合樹脂粒子からライニング層の少なくとも一部を構成する複合樹脂材料を製造することにより、ライニング層の体積抵抗率を効率的に低下させやすい。本発明において、ライニング層に含まれる複合樹脂材料を与える複合樹脂粒子の比表面積は、上記複合樹脂材料の製造に使用した複合樹脂粒子の平均粒子径であってよく、該平均粒子径は、具体的には、定容量式ガス吸着法である比表面積/細孔分布測定装置（例えば日本ベル製ＢＥＬＳＯＲＰ−ｍｉｎｉII）を用いて、一般的な比表面積の測定方法であるＢＥＴ法により測定される。なお、本発明のタンクにおいては、ライニング層等が、上記の平均粒子径を有する複合樹脂粒子の成形体である複合樹脂材料を含むことが好ましく、ライニング層等における複合樹脂材料が、上記好ましい範囲の粒子径を有する複合樹脂粒子であってもよいし、複合樹脂粒子が一体となり複合樹脂材料を形成し粒子形状を維持していなくてもよい。
【００２４】
複合樹脂材料の体積抵抗率は、帯電防止性の観点から、ＪＩＳ Ｋ６９１１に従い測定して、好ましくは１．０×１０８Ω・ｃｍ以下、より好ましくは１．０×１０７Ω・ｃｍ以下、さらにより好ましくは１．０×１０６Ω・ｃｍ以下である。体積抵抗率が上記の上限以下であると良好な帯電防止性が得られる。複合樹脂材料の体積抵抗率の下限値は特に限定されず、０以上であってよいが、通常１０Ω・ｃｍ以上である。複合樹脂材料の体積抵抗率は、ＪＩＳ Ｋ６９１１に従い成形素材または切削加工した試験片を用いて、抵抗率計（例えば三菱化学アナリテック製「ロレスター」または「ハイレスター」）により測定される。例えば圧縮成形（コンプレッション成形）により作製したφ１１０×１０ｍｍの試験片を用いて測定した場合に、複合樹脂材料が上記体積抵抗率を示すことが好ましい。
複合樹脂材料がライニング層に含まれる場合には、複合樹脂材料を含む部分のライニング層が上記帯電防止性を有することが好ましい。なお、上記体積抵抗率は、後述するフッ素樹脂Ｂまたはフッ素樹脂Ｃを含有する複合樹脂材料についても同様にあてはまる。
【００２５】
ここで、複合樹脂材料の体積抵抗率をＸΩ・ｃｍとし、複合樹脂材料の総量に基づく複合樹脂材料に含まれるカーボンナノチューブの量をＹ質量％とすると、ＸおよびＹは次の式（１）：
Ｘ／Ｙ-１４≦４×１０-１２                      （１）
を満たすことが好ましい。上記関係を満たす場合、複合樹脂材料の体積抵抗率を効率的に低下させることができる。また、少量のカーボンナノチューブで、体積抵抗率を十分に低下させることができるため、複合樹脂材料を含むライニング層のクリーン性を高めやすい。上記式（１）より算出される値（Ｘ／Ｙ-１４）は、複合樹脂材料の体積抵抗率を効率的に低下させやすい観点から、より好ましくは１０-１２以下であり、さらに好ましくは１０-１３以下である。なお、上記式（１）より算出される値（Ｘ／Ｙ-１４）の下限値は特に限定されないが、通常１０-１８以上、好ましくは１０-１６以上である。上記関係は、後述する製造方法で成形体を製造することや、体積抵抗率を効率的に低下させるに好ましい複合樹脂粒子を用いて複合樹脂材料を製造することで、達成することができる。なお、体積抵抗率の測定方法は上記に述べたとおりであり、複合樹脂材料に含まれるカーボンナノチューブの量は、炭素成分分析法により測定される。
【００２６】
本発明のタンクは、上記複合樹脂材料を含有するライニング層を用いることにより、理由は明らかではないが、少量のカーボンナノチューブで、所望の帯電防止性を達成することができる。そのため、本発明の複合樹脂材料はクリーン性に優れる。また、例えば本発明の複合樹脂材料から製造した成形体をライニング層の一部として溶接に使用する場合であっても、溶接面に存在する導電性材料の量が少ないため、密着性の低下を回避することができる。さらに、本発明の複合樹脂材料によれば、上記好ましい範囲の体積抵抗率を有する場合であっても、樹脂が本来有する機械的強度を維持しやすい。
【００２７】
（フッ素樹脂Ａ）
複合樹脂材料に含まれるフッ素樹脂Ａは、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される。
複合樹脂材料に含まれるフッ素樹脂Ａは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）およびテトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）からなる群から選択されることが好ましい。フッ素樹脂Ａは、導電性を効率的に高めやすい観点から、より好ましくはポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）および変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）からなる群から選択され、さらに、導電性を効率的に高めやすい観点ならびに屈曲性および溶接性の観点から、更により好ましくは変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）である。
【００２８】
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）は、テトラフルオロエチレンの単独重合体である。
【００２９】
変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）は、テトラフルオロエチレンに由来する式（Ｉ）：
【化３】
0006571304.tif 000004
で表されるテトラフルオロエチレン単位に加えて、例えば式（ＩＩ）：
【化４】
0006571304.tif 000005
［式中、Ｘは、炭素数１〜６のパーフルオロアルキル基又は炭素数４〜９のパーフルオロアルコキシアルキル基を表す］
で表されるパーフルオロビニルエーテル単位を含有する化合物であり、式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位の量は、変性ポリテトラフルオロエチレンの全質量に基づいて０．０１〜１質量％である変性ポリテトラフルオロエチレンが挙げられる。
【００３０】
式（ＩＩ）中のＸとしては、炭素数１〜６のパーフルオロアルキル基又は炭素数４〜９のパーフルオロアルコキシアルキル基が挙げられる。炭素数１〜６のパーフルオロアルキル基としては、パーフルオロメチル基、パーフルオロエチル基、パーフルオロブチル基、パーフルオロプロピル基、パーフルオロブチル基等が挙げられる。炭素数４〜９のパーフルオロアルコキシアルキル基としては、パーフルオロ２−メトキシプロピル基、パーフルオロ２−プロポキシプロピル基等が挙げられる。変性ＰＴＦＥの熱的安定性を高めやすい観点からは、Ｘは、好ましくはパーフルオロプロピル基、パーフルオロエチル基、パーフルオロメチル基であり、より好ましくはパーフルオロプロピル基である。変性ＰＴＦＥは、１種類の式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位を有していてもよいし、２種以上の式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位を有していてもよい。
【００３１】
変性ＰＴＦＥに含まれる式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位の量は、変性ＰＴＦＥに含まれる全構成単位の量に基づいて、１モル％未満であり、好ましくは０．００１モル％以上１モル％未満である。式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位の量が上記の上限より小さいと、ＰＴＦＥ樹脂に近い物性になりやすくなる。また、式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位の量が上記の下限以上であると、ＰＴＦＥよりも屈曲性や溶接性、圧縮クリープ性の向上が優れる。上記パーフルオロビニルエーテル単位の量は、例えば特性吸収１０４０〜８９０ｃｍ−１の範囲で赤外分光分析を行うことにより測定される。変性ＰＴＦＥに含まれる式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位の量は、変性ＰＴＦＥの全質量に基づいて、０．０１〜１質量％、好ましくは０.０３〜０.２質量％である。
【００３２】
変性ＰＴＦＥの融点は、好ましくは３００〜３８０℃、より好ましくは３２０〜３８０℃、さらにより好ましくは３２０〜３５０℃である。融点が上記の下限以上であると、成形性を向上しやすいため好ましく、上記の上限以下であると、樹脂の最適な機械的特性を得やすいため好ましい。変性ＰＴＦＥの融点は、ＡＳＴＭ−Ｄ４５９１に準拠し、示差走査型熱量計（ＤＳＣ）を用いて測定できる融解熱ピークの温度として求めた値である。
【００３３】
変性ＰＴＦＥの結晶化熱は、好ましくは１８．０〜２５．０Ｊ／ｇであり、より好ましくは１８．０〜２３．５Ｊ／ｇである。上記結晶化熱は、示差走査型熱量計（例えば島津製作所製「ＤＳＣ−５０」）により測定される。具体的には、約３ｍｇの試料を５０℃／分の速度にて２５０℃まで昇温させ、一旦保持し、更に１０℃／分の速度にて３８０℃まで昇温させることにより結晶を融解させた後、１０℃／分の速度で降温させた際に測定される結晶化点のピークから熱量に換算して測定される。
【００３４】
テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）は、テトラフルオロエチレンに由来する式（Ｉ）：
【化５】
0006571304.tif 000006
で表されるテトラフルオロエチレン単位に加えて、例えば式（ＩＩ）：
【化６】
0006571304.tif 000007
［式中、Ｘは、炭素数１〜６のパーフルオロアルキル基又は炭素数４〜９のパーフルオロアルコキシアルキル基を表す］
で表されるパーフルオロビニルエーテル単位を含有する化合物であり、式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位の量が、ＰＦＡの全質量に基づいて１質量％より多い化合物が挙げられる。
【００３５】
式（ＩＩ）中のＸとしては、変性ＰＴＦＥについて上記に述べた基が挙げられ、好ましい記載が同様にあてはまる。ＰＦＡは、１種類の式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位を有していてもよいし、２種以上の式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位を有していてもよい。
【００３６】
ＰＦＡに含まれる式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位の量は、ＰＦＡに含まれる全構成単位の量に基づいて、１モル％以上、好ましくは１〜３モル％である。式（ＩＩ）で表されるパーフルオロビニルエーテル単位の量が上記の範囲内である場合、複合樹脂材料から得た成形体の成形性を高めやすい。上記パーフルオロビニルエーテル単位の量は、例えば特性吸収１０４０〜８９０ｃｍ−１の範囲で赤外分光分析を行うことにより測定される。
【００３７】
特にフッ素樹脂が変性ＰＴＦＥである場合、その融点は、好ましくは３００〜３８０℃、より好ましくは３２０〜３８０℃、さらにより好ましくは３２０〜３５０℃である。融点が上記の下限以上であると、成形性を向上しやすいため好ましく、上記の上限以下であると、樹脂の最適な機械的特性を得やすいため好ましい。変性ＰＴＦＥの融点は、ＡＳＴＭ−Ｄ４５９１に準拠し、示差走査型熱量計（ＤＳＣ）を用いて測定できる融解熱ピークの温度として求めた値である。
【００３８】
特にフッ素樹脂が変性ＰＴＦＥである場合、その結晶化熱は、好ましくは１８．０〜２５．０Ｊ／ｇであり、より好ましくは１８．０〜２３．５Ｊ／ｇである。上記結晶化熱は、示差走査型熱量計（例えば島津製作所製「ＤＳＣ−５０」）により測定される。具体的には、約３ｍｇの試料を５０℃／分の速度にて２５０℃まで昇温させ、一旦保持し、更に１０℃／分の速度にて３８０℃まで昇温させることにより結晶を融解させた後、１０℃／分の速度で降温させた際に測定される結晶化点のピークから熱量に換算して測定される。
【００３９】
（カーボンナノチューブ）
複合樹脂材料に含まれるカーボンナノチューブ（以下において「ＣＮＴ」とも称する）は、炭素原子の六員環で構成される１枚または複数枚のグラフェンシートが円筒状に巻かれた構造を有する。ＣＮＴは、１枚のグラフェンシートが同心円状に巻かれた単層ＣＮＴ（シングルウォールカーボンナノチューブ）、または、２枚以上の複数のグラフェンシートが同心円状に巻かれた多層ＣＮＴ（マルチウォールカーボンナノチューブ）である。上記のカーボンナノ材料を単独で用いてもよいし、これらを組み合わせて用いてもよい。変性ＰＴＦＥの粒子と複合化させやすく、体積抵抗率を低くしやすい観点からは、カーボンナノチューブは多層カーボンナノチューブであることがより好ましい。
【００４０】
（複合樹脂材料の製造方法）
ライニング層に含まれる複合樹脂材料の製造方法を以下に説明する。なお、薬液管等に含まれ得るフッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料、中空球状の成形体等に含まれ得るフッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料についても、フッ素樹脂Ａをフッ素樹脂Ｂまたはフッ素樹脂Ｃに置き換えることにより、下記の記載が同様にあてはまる。
【００４１】
ライニング層に含まれる複合樹脂材料は、フッ素樹脂Ａと、カーボンナノチューブを複合化させた材料である。複合樹脂材料を製造するための方法は、好ましくは上記のような物性を有する、フッ素樹脂とカーボンナノチューブとを複合化させた材料が得られる限り特に限定されない。好ましくは、ライニング層に含まれる複合樹脂材料は、フッ素樹脂Ａとカーボンナノチューブとを複合化させた複合樹脂粒子から製造される。ここで、複合樹脂粒子の製造方法は、フッ素樹脂Ａ、フッ素樹脂Ｂまたはフッ素樹脂Ｃの少なくとも表面および／または表層にカーボンナノチューブが存在する複合樹脂材料が得られる限り特に限定されない。例えば、特開２０１４−３４５９１号に記載されるような方法で亜臨界または超臨界状態の二酸化炭素を用いて、または、特開２０１５−３０８２１号に記載されるような方法でケトン系溶媒を用いて、フッ素樹脂Ａ、フッ素樹脂Ｂまたはフッ素樹脂Ｃの粒子と、カーボンナノチューブとを複合化することにより、複合樹脂粒子を製造することができる。
【００４２】
亜臨界または超臨界状態の二酸化炭素を用いてフッ素樹脂Ａの粒子とカーボンナノチューブとを複合化する複合樹脂粒子の製造方法について、以下に具体的に説明する。なお、当該方法は、フッ素樹脂Ｂまたはフッ素樹脂Ｃを用いる場合の複合樹脂粒子の製造方法にも同様にあてはまる。
【００４３】
まず第１工程において、カーボンナノチューブを溶媒に分散させて、カーボンナノチューブ分散液を調製する。溶媒としては、水、アルコール系溶媒（エタノール、ｎ−ブチルアルコール、イソプロピルアルコール、エチレングリコール等）、エステル系溶媒（酢酸エチル等）、エーテル系溶媒（ジエチルエーテル、ジメチルエーテル等）、ケトン系溶媒（メチルエチルケトン、アセトン、ジエチルケトン、メチルプロピルケトン、シクロヘキサノン等）、脂肪族炭化水素系溶媒（ヘキサン、ヘプタン等）、芳香族炭化水素系溶媒（トルエン、ベンゼン等）、塩素化炭化水素系溶媒（ジクロロメタン、クロロホルム、クロロベンゼン等）が挙げられる。１種類の溶媒を使用してもよいし、２種以上の溶媒を組み合わせて使用してもよい。フッ素樹脂Ａとカーボンナノチューブとを複合化させやすい観点からは、フッ素樹脂Ａの粒子表面を膨潤させやすい溶媒を使用することが好ましく、具体的にはケトン系溶媒を使用することが好ましい。
【００４４】
カーボンナノチューブ分散液に含まれる溶媒の量は、溶媒中にカーボンナノチューブを単一分散させやすい観点から、カーボンナノチューブ分散液に含まれるカーボンナノチューブ１００質量部に対して、好ましくは２０，０００〜１，０００，０００質量部、より好ましくは３０，０００〜３００，０００質量部、さらにより好ましくは５０，０００〜２００，０００質量部である。
【００４５】
複合樹脂粒子の製造に使用するカーボンナノチューブは、好ましくは５０〜６００μｍ、より好ましくは５０〜３００μｍ、さらにより好ましくは１００〜２００μｍの平均長さを有する。カーボンナノチューブの平均長さは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ、ＦＥ−ＳＥＭ）や透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により測定される。
【００４６】
カーボンナノチューブは、従来の製造方法によって製造できる。具体的には、二酸化炭素の接触水素還元、アーク放電法、レーザー蒸発法、ＣＶＤ法などの気相成長法、気相流動法、一酸化炭素を高温高圧化で鉄触媒と共に反応させて気相で成長させるＨｉＰｃｏ法、オイルファーネス法等が挙げられる。市販のカーボンナノチューブ、例えばＮａｎｏｃｙｌ製「ＮＣ７０００」を使用してもよい。
【００４７】
溶媒にカーボンナノチューブを分散させる際、カーボンナノチューブの分散性を高める目的で分散剤を使用してもよい。分散剤としては、例えばアクリル系分散剤、ポリビニルピロリドン、ポリアニリンスルホン酸等の合成ポリマー、ＤＮＡ、ペプチド、有機アミン化合物等が挙げられる。１種類の分散剤を使用してもよいし、２種以上の分散剤を組み合わせて使用してもよい。最終的に得られる成形体中に残存する分散剤の量を低減しやすい観点からは、分散剤が、本発明に好ましい複合樹脂粒子の成形温度よりも低い温度の沸点を有することが好ましい。分散剤を使用する場合、カーボンナノチューブ分散液に含まれる分散剤の量は、カーボンナノチューブ、溶媒および分散剤の種類や量によって適宜選択してよい。例えば、使用する分散剤の量は、カーボンナノチューブ１００質量部に対して好ましくは１００〜６，０００質量部、より好ましくは２００〜３，０００質量部、さらにより好ましくは３００〜１，０００質量部である。
【００４８】
上記第１工程において水を溶媒として用いる場合、後述する第２工程の前に、カーボンナノチューブ分散液をアルコール系溶媒等と混合する。これは、続く第２工程において添加するフッ素樹脂Ａと水との親和性が低く、溶媒として水を用いるカーボンナノチューブ分散液中にフッ素樹脂Ａの粒子を分散させることが難しいためである。そこで、アルコール系溶媒を混合することにより、フッ素樹脂Ａの粒子とカーボンナノチューブ分散液との親和性を高めることができる。
【００４９】
次に、第２工程において、カーボンナノチューブ分散液にフッ素樹脂Ａの粒子を添加し撹拌して、カーボンナノチューブおよびフッ素樹脂Ａの粒子が分散した混合スラリーを調製する。
【００５０】
カーボンナノチューブ分散液にフッ素樹脂Ａの粒子を添加すると、分散液中のカーボンナノチューブがフッ素樹脂Ａの粒子表面に緩やかに吸着する。ここで、溶媒の温度、カーボンナノチューブおよびフッ素樹脂Ａの分散濃度、フッ素樹脂Ａの添加速度等を適宜調整することにより、カーボンナノチューブおよびフッ素樹脂Ａの高い分散状態を維持しつつ、カーボンナノチューブをフッ素樹脂Ａの粒子表面に吸着させることができる。このような方法により、カーボンナノチューブを、低い添加濃度であっても、フッ素樹脂Ａの粒子表面に均一に分散させることができる。また、長尺のカーボンナノチューブを用いる場合であっても、その性質を損なうことなく、フッ素樹脂Ａの粒子表面に均一に分散させることができる。フッ素樹脂Ａの添加は、フッ素樹脂Ａの粒子をそのまま添加してもよいし、フッ素樹脂Ａの粒子を溶媒にあらかじめ分散させた分散液の形態で添加してもよい。
【００５１】
本発明に好ましい複合樹脂粒子の製造に使用するフッ素樹脂Ａの粒子は、好ましくは５〜５００μｍ、より好ましくは１０〜２５０μｍ、さらにより好ましくは１０〜１００μｍ、特に好ましくは１０〜５０μｍ、極めて好ましくは１５〜３０μｍの平均粒子径を有する。フッ素樹脂Ａの平均粒子径が上記の上限以下であることが、複合樹脂粒子から作製した成形体（複合樹脂材料）におけるカーボンナノチューブの分散性を高めやすく、帯電防止性を均一かつ効率的に高めやすいため好ましい。フッ素樹脂Ａの平均粒子径が上記の下限以上であることが、複合樹脂粒子の製造しやすさの観点から好ましい。フッ素樹脂Ａの平均粒子径は、レーザー回折・散乱法によって求めた粒度分布における積算値５０％での粒子径を意味するメジアン径（Ｄ５０）であり、レーザー回折散乱式粒度分布装置を用いて測定される。
【００５２】
複合樹脂粒子の製造に使用するフッ素樹脂Ａの粒子は、ＪＩＳ Ｚ８８３０に従い測定して好ましくは０．５〜９．０ｍ２／ｇ、より好ましくは０．８〜４．０ｍ２／ｇ、さらにより好ましくは１．０〜３．０ｍ２／ｇの比表面積を有する。比表面積が上記の上限以下であることが、フッ素樹脂Ａの粒子とカーボンナノチューブとの密着性を高めやすい観点から好ましく、上記の下限以上であることが、複合樹脂粒子の製造しやすさの観点から好ましい。フッ素樹脂Ａの粒子の比表面積は、具体的には、定容量式ガス吸着法である比表面積/細孔分布測定装置を用いて、一般的な比表面積の測定方法であるＢＥＴ法により測定される。
【００５３】
本発明のタンクにおいてライニング層の少なくとも一部に含まれる複合樹脂材料におけるフッ素樹脂Ａについて上記に述べた、フッ素樹脂Ａの構造、融点に関する記載は、これらは複合化前後や、複合樹脂材料の製造前後で変化しない特性であるため、複合樹脂粒子の製造に使用するフッ素樹脂Ａの粒子についても同様にあてはまる。フッ素樹脂ＢおよびＣについても同様である。
【００５４】
上記好ましい範囲の平均粒子径や比表面積を有するフッ素樹脂Ａの粒子の製造方法は特に限定されず、従来公知の重合方法、好ましくは懸濁重合によってフッ素樹脂Ａを製造し、上記重合により得た反応性重合体を含む分散液を噴霧乾燥させる方法、得られるフッ素樹脂Ａをハンマーミル、ターボミル、カッティングミル、ジェットミル等の粉砕機を使用して機械的に粉砕する方法、得られるフッ素樹脂Ａを室温未満の温度で機械的に粉砕する凍結粉砕などが挙げられる。所望の平均粒子径および比表面積を有するフッ素樹脂Ａの粒子を得やすい観点からは、ジェットミル等の粉砕機を使用してフッ素樹脂Ａの粒子を製造することが好ましい。
【００５５】
上記好ましい範囲の平均粒子径を有するフッ素樹脂Ａの粒子は、篩や気流を用いる分級工程により平均粒子径を調整して製造してもよい。
【００５６】
次に第３工程において、第２工程で得た混合スラリーを耐圧容器に供給し、耐圧容器内で二酸化炭素が亜臨界または超臨界状態となる温度および圧力を維持しながら、二酸化炭素を特定の速度で供給し、耐圧容器内に二酸化炭素を充満させる。二酸化炭素としては、液化二酸化炭素、気液混合の二酸化炭素、気体の二酸化炭素のうちいずれを使用してもよい。ここで、二酸化炭素が超臨界状態とは、臨界点以上の温度および臨界点以上の圧力にある状態をいい、具体的には３１.１℃以上の温度および７２.８気圧以上の圧力にある状態をいう。また、亜臨界状態とは、臨界点以上の圧力および臨界点以下の温度にある状態をいう。
【００５７】
第３工程において、混合スラリーに含まれていた溶媒および分散剤が二酸化炭素中に溶け込み、混合スラリー中に分散していたカーボンナノチューブがフッ素樹脂Ａの粒子に付着する。
【００５８】
二酸化炭素の供給速度は、カーボンナノチューブ同士の凝集を抑制し、フッ素樹脂Ａの粒子表面にカーボンナノチューブを均一に付着させやすい観点から、例えば混合スラリーに含まれる分散剤１ｍｇに対して好ましくは０.２５ｇ／分以下、より好ましくは０.０７ｇ／分以下、さらにより好ましくは０.０５ｇ／分以下である。
【００５９】
続く第４工程において、二酸化炭素が亜臨界または超臨界状態となる温度および圧力を所定時間保持しながら、二酸化炭素を、二酸化炭素中に溶け込んだ溶媒および分散剤と共に耐圧容器から排出する。
【００６０】
次に、第５工程において、第４工程の状態を維持しながら分散剤と親和性の高いエントレーナを耐圧容器中に添加する。これにより、残存する分散剤を効率的に除去することができる。エントレーナとしては、例えば、第１工程においてカーボンナノチューブ分散液を調製する際に使用した溶媒を使用してよい。具体的には、第１工程において有機溶媒を使用した場合にはエントレーナとして同様の有機溶媒を使用してよい。第１工程において溶媒として水を使用した場合には、エントレーナとしてアルコール系溶媒を使用することが好ましい。なお、第５工程は分散剤を効率的に除去するための任意の工程であり、必須の工程ではない。例えばエントレーナを添加せず、第４工程を維持することにより、分散剤を除去することも可能である。
【００６１】
次に、第６工程において、耐圧容器の圧力を下げることにより耐圧容器中の二酸化炭素を除去し、複合樹脂粒子を得ることができる。ここで、二酸化炭素の除去方法によっては、複合樹脂粒子に二酸化炭素や溶媒が残存する場合がある。そのため、得られる複合樹脂粒子を真空にさらしたり、加熱することにより、残存する二酸化炭素や溶媒を効率的に除去することができる。
【００６２】
（本発明のタンクの製造方法）
本発明のタンクの内面に設けられたライニング層は、少なくとも一部において、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含む。複合樹脂材料を含むライニング層は、例えば、上記複合樹脂材料を含むライニングシートで構成されていてもよいし、上記複合樹脂材料を含むライニングシートと他のシート（例えばガラスクロス）との積層体であってもよい。複合樹脂材料を含むライニングシートは、例えば上記複合樹脂粒子を溶融し、シート状に成形することにより製造してもよいし、上記複合樹脂粒子を例えば圧縮成形（コンプレッション成形）してシート状の成形体を得てもよいし、該圧縮成形により得た成形体を例えばシート状に切り出して製造してもよい。ライニングシートの導電性を効率的に高めやすい観点からは、複合樹脂粒子を圧縮成形してシート状の成形体を得るか、該圧縮成形により得た成形体を例えばシート状に切り出して、複合樹脂材料を含むライニングシートを製造することが好ましい。上記好ましい製造方法により、ライニングシートの導電性を効率的に高めやすい理由は明らかではないが、以下のメカニズムによると考えられる。なお、本発明のタンクは後述するメカニズムに何ら限定されるものではない。複合樹脂粒子においては、上記に述べたように、フッ素樹脂の少なくとも表面および／または表層にカーボンナノチューブが存在し、これらカーボンナノチューブは導電性ネットワークを形成していると考えられる。カーボンナノチューブの導電性ネットワークは、複合樹脂粒子にかかる外力によりカーボンナノチューブが切断されたり、カーボンナノチューブが凝集したりすることにより、切断されやすいと考えられる。そのため、複合樹脂粒子からライニングシートを製造する際に、該ネットワークができる限り切断されないような方法を用いることにより、ライニングシートの導電性を効率的に高めやすいと考えられる。複合樹脂粒子を圧縮成形してシート状の成形体を得る方法、および、該圧縮成形により得た複合樹脂材料を例えばシート状に切り出してライニングシートを製造する方法は、複合樹脂粒子を溶融押出することによりライニングシートを製造する方法と比較して、カーボンナノチューブのネットワークの切断を抑制しやすく、その結果、ライニングシートの導電性を効率的に高めやすいと考えられる。
【００６３】
従って、本発明は、フッ素樹脂Ａとカーボンナノチューブを含む複合樹脂粒子（例えば、５μｍ以上５００μｍ以下の平均粒子径を有する複合樹脂粒子）を、圧縮成形して得られる複合樹脂材料を、ライニング層の少なくとも一部において含むタンクを提供することができる。
また、ライニング層の少なくとも一部に含まれる複合樹脂材料は、フッ素樹脂Ａとカーボンナノチューブを含む複合樹脂粒子（例えば、５μｍ以上５００μｍ以下の平均粒子径を有する複合樹脂粒子）を、圧縮成形して得られる圧縮成形体である、実施形態のタンクを提供することができる。
【００６４】
複合樹脂粒子を圧縮成形することを経てライニングシートを製造しやすく、ライニングシートの導電性を効率的に高めやすい観点から、複合樹脂材料に含まれるフッ素樹脂として、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択できる。複合樹脂材料に含まれるフッ素樹脂として、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）及びテトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）からなる群から選択されるフッ素樹脂を用いることが好ましい。
なお、複合樹脂材料からシートを製造する場合を例に上記製造方法を説明したが、薬液管、中空球状の成形体等を製造する際にも、複合樹脂粒子を溶融押出成形することによりこれらの成形体を製造してもよいし、複合樹脂粒子を圧縮成形してこれらの成形体を得てもよいし、該圧縮成形により得た成形体から切削加工によりこれらの成形体を製造してもよい。ここで、上記に述べたように、カーボンナノチューブのネットワークの切断を抑制しやすく、その結果、薬液管等の導電性を効率的に高めやすい観点から、複合樹脂粒子を圧縮成形することを経て、薬液管、中空球状の成形体を製造することが好ましい。
このような製造方法に適する観点から、複合樹脂材料に含まれるフッ素樹脂Ｂおよび／またはＣは、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択できる。複合樹脂材料に含まれるフッ素樹脂Ｂおよび／またはＣとして、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）及びテトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）からなる群から選択されることが好ましい。
【００６５】
フッ素樹脂がＰＴＦＥ樹脂及び変性ＰＴＦＥ樹脂の場合、複合樹脂粒子を圧縮成形して複合樹脂材料を製造する方法としては、複合樹脂粒子を圧縮して得た予備成形体に焼成処理を施す方法が挙げられる。焼成前の予備成形体は、複合樹脂粒子を、必要に応じて適切な前処理（例えば、予備乾燥、造粒等）を行った後、金型に入れて圧縮して製造する。焼成前の予備成形体を製造するために圧縮する際の加圧としては、好ましくは０．１〜１００ＭＰａ、より好ましくは１〜８０ＭＰａ、さらにより好ましくは５〜５０ＭＰａである。
【００６６】
上記のようにして得た予備成形体を例えば複合樹脂粒子に含まれる樹脂の融点以上の温度にて焼成し、成形体を製造する。焼成温度は焼成前の予備成形体の寸法や焼成時間等にもよるが、好ましくは３４５〜４００℃、より好ましくは３６０〜３９０℃である。焼成前の予備成形体を焼成炉内に入れ、好ましくは上記焼成温度で焼成して、成形体を製造する。
得られた成形体をそのままライニングシート等（例えば、後述する棒状の成形体、撹拌棒等）として用いてもよいし、該成形体から切削加工等を行いライニングシート等（例えば、後述するノズル、中空球状成形体、棒状の成形体、撹拌棒等）を作製してもよい。
【００６７】
フッ素樹脂がＰＣＴＦＥ樹脂、ＰＦＡ樹脂、ＦＥＰ樹脂、ＥＴＦＥ樹脂、ＥＣＴＦＥ樹脂、ＰＶＤＦ樹脂及びＰＶＦ樹脂（ＰＴＦＥ樹脂及び変性ＰＴＦＥ樹脂以外）の場合、複合樹脂粒子を圧縮成形して複合樹脂材料を製造する方法としては、成形体寸法に応じて予備乾燥などの適切な前処理を行い、前処理実施後、金型を２００℃以上、好ましくは２００〜４００℃、より好ましくは２１０〜３８０℃に設定した熱風循環式電気炉で２時間以上、好ましくは２〜１２時間、加熱させて樹脂を溶融させる。所定時間加熱後、電気炉から金型を取り出し、油圧プレスを用いて２５ｋｇ/ｃｍ２以上、好ましくは５０ｋｇ/ｃｍ２以上、の面圧で加圧圧縮しながら常温付近まで金型を冷却したのち、複合樹脂粒子の成形体（樹脂材料）を得た。
得られた成形体をそのままライニングシート等（例えば、後述する棒状の成形体、撹拌棒等）として用いてもよいし、該成形体から切削加工等を行いライニングシート等（例えば、後述するノズル、中空球状成形体、棒状の成形体、撹拌棒等）を作製してもよい。
【００６８】
タンク外缶の内面にライニング層を設ける方法としては、フッ素樹脂のシートの片面をエッチングしたシート、または、フッ素樹脂のシートの片面にガラスクロスを積層させたシートを、タンク外缶の内面の形状に合わせて切り出し、切り出したシートをエポキシ接着剤等を用いてタンク内面に貼り合せる方法が挙げられる。タンク内面に貼り合せたシート間の隙間を、例えば直径２〜５ｍｍの円形または三角形の断面を有する棒状の溶接材料、好ましくはＰＦＡ材料を用いて溶接してもよい。
【００６９】
＜薬液管＞
本発明のタンクは、タンクの内部と外部とに繋がる薬液管を備えることができる。薬液管としては、薬液を投入するための薬液投入管、薬液を排出するための薬液排出管が挙げられる。薬液管内を薬液が通過する際、薬液管の内面と薬液との間で摩擦が生じ、静電気が発生することにより薬液が帯電しやすい。そのため、薬液の帯電を効率的に防止する観点からは、薬液管が、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニング層を薬液管の内面の少なくとも一部に有する、および／または、薬液管がフッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体であることが好ましい。ここで、フッ素樹脂Ｂは、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）から選択されることができる。フッ素樹脂Ｂは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）およびテトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）からなる群から選択されることが好ましい。フッ素樹脂Ｂは、導電性を効率的に高めやすい観点から、更に好ましくはポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）および変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）からなる群から選択され、さらに、導電性を効率的に高めやすい観点ならびに屈曲性および溶接性の観点から、更により好ましくは変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）である。
【００７０】
薬液管を構成する複合樹脂材料、または、薬液管の内面に設けられたライニング層に含まれる複合樹脂材料は、フッ素樹脂Ｂとカーボンナノチューブとを複合化させた複合樹脂粒子の成形体である。複合樹脂粒子は、フッ素樹脂Ｂの粒子とカーボンナノチューブとを複合化させた材料であり、フッ素樹脂Ｂの粒子の少なくとも表面および／または表層にカーボンナノチューブが存在する。例えば、フッ素樹脂Ｂの粒子表面にカーボンナノチューブの少なくとも一部が担持または埋没されている。カーボンナノチューブは、フッ素樹脂Ｂの粒子表面に付着して担持されていてもよいし、一部が埋没して担持されていてもよいし、フッ素樹脂Ｂの粒子の表層に完全に埋没していてもよい。このような複合樹脂粒子の成形体である複合樹脂材料においては、複合樹脂粒子の少なくとも一部が粒子形状を維持して含まれていてもよいし、複合樹脂粒子が一体となり複合樹脂材料を形成していてもよい。
【００７１】
薬液管を構成する複合樹脂材料、または、薬液管の内面に設けられたライニング層に含まれる複合樹脂材料について、上記フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料について述べた記載が同様にあてはまる。また、フッ素樹脂Ｂについては、上記フッ素樹脂Ａについて述べた記載が同様にあてはまり、カーボンナノチューブについても、上記カーボンナノチューブについて述べた記載が同様にあてはまる。なお、フッ素樹脂Ｂはフッ素樹脂Ａと同一の樹脂であってもよいし、異なる樹脂であってもよい。
【００７２】
薬液管の内面の少なくとも一部にフッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニング層を設ける方法としては、例えば、複合樹脂粒子を溶融押出しまた圧縮成形して複合樹脂材料のシートを作成し、これを薬液管の内面に貼り合せる方法、複合樹脂粒子の成形体を管状に切削加工し、これを薬液管の内面に貼り合せる方法が挙げられる。複合樹脂材料のシートを作成する方法については、上記においてライニングシートの製造方法について述べた記載が同様にあてはまる。貼り合せる方法としては、薬液管が金属製の場合には、薬液管の内面に接着剤等を用いて接合させる方法、または、薬液管が樹脂製の場合には、薬液管の内面に溶接させる方法が挙げられる。
【００７３】
＜ノズル＞
本発明は、タンクの内部と外部とに繋がる薬液管を備え、
薬液管は、薬液をタンクに入れる薬液投入管を含み、
薬液投入管は、その端部（又は先端）にノズルを有し、
ノズルは、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニング層をノズルの内面の少なくとも一部に有する、および／または、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体であり、
フッ素樹脂Ｂは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）およびテトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択される、タンクを提供することができる。
【００７４】
本明細書において「ノズル」とは、流体の流れる方向を定めるために使用されるパイプ状の機械部品をいい、流れる物質の流量、流速、方向及び圧力等の流体の持つ特性をコントロールするために使用され、通常ノズルとして理解される部品であれば特に制限されることはない。
ノズルは、例えば、スプレーノズル、回転ノズル、直進ノズル、シャワーノズルからなる群から選択されることができる。
ノズルのライニング層及びフッ素樹脂Ｂ等については、薬液管に関するそれらの記載を参照することができる。
【００７５】
＜中空球状成形体＞
本発明のタンクは、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含む中空球状の成形体を有してもよい。かかる中空球状成形体は、通常、本発明のタンク内に投入された薬液の液面に浮遊し、薬液に帯電する静電気を液面から除去するために用いられる。特に薬液を本発明のタンクに貯蔵した状態で運搬等を行う場合には、薬液が振動することによりタンク内面との摩擦が生じ、静電気が発生し、薬液が帯電しやすい。複合樹脂材料を少なくとも部分的に含む中空球状の成形体を用いることにより、運搬等の際の摩擦に生じる静電気を効率的に除去することができる。フッ素樹脂Ｃは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択されることが好ましく、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）およびテトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）からなる群から選択されることがより好ましい。フッ素樹脂Ｃは、成型加工性の観点からは、好ましくは変性ＰＴＦＥ、ＰＴＦＥ及びＰＦＡからなる群から選択され、導電性を効率的に高めやすい観点から、より好ましくはＰＴＦＥおよび変性ＰＴＦＥからなる群から選択され、導電性を効率的に高めやすい観点ならびに屈曲性および溶接性の観点から、さらに好ましくは変性ＰＴＦＥである。
【００７６】
中空球状成形体に少なくとも部分的に含まれる複合樹脂材料は、フッ素樹脂Ｃとカーボンナノチューブとを複合化させた複合樹脂粒子の成形体である。複合樹脂粒子は、フッ素樹脂Ｃの粒子とカーボンナノチューブとを複合化させた材料であり、フッ素樹脂Ｃの粒子の少なくとも表面および／または表層にカーボンナノチューブが存在する。例えば、フッ素樹脂Ｃの粒子表面にカーボンナノチューブの少なくとも一部が担持または埋没されている。カーボンナノチューブは、フッ素樹脂Ｃの粒子表面に付着して担持されていてもよいし、一部が埋没して担持されていてもよいし、フッ素樹脂Ｃの粒子の表層に完全に埋没していてもよい。
【００７７】
中空球状成形体に少なくとも部分的に含まれる複合樹脂材料について、上記フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料について述べた記載が同様にあてはまる。また、フッ素樹脂Ｃについては、上記フッ素樹脂Ａについて述べた記載が同様にあてはまる。なお、フッ素樹脂Ｃはフッ素樹脂ＡまたはＢと同一の樹脂であってもよいし、異なる樹脂であってもよい。カーボンナノチューブについても、上記カーボンナノチューブについて述べた記載が同様にあてはまる。
【００７８】
中空球状成形体が複合樹脂材料を少なくとも部分的に含む態様は、中空球状成形体の少なくとも一部にフッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料が含まれていればよく、例えば、樹脂製の中空球状成形体の表面の少なくとも一部に上記複合樹脂材料を含むライニング材がライニングされている態様、中空球状成形体がフッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料で構成される成形体である態様などが包含される。
【００７９】
＜棒状の成形体＞
本発明の実施形態において、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含む棒状の成形体をさらに有するタンクを提供する。
そのような棒状の成形体は、通常、本発明のタンク内に投入された薬液の液面から薬液の内部に入り、薬液に帯電する静電気を液から除去するために用いられる。特に薬液を本発明のタンクに貯蔵した状態で運搬等を行う場合には、薬液が振動することによりタンク内面との摩擦が生じ、静電気が発生し、薬液が帯電しやすい。複合樹脂材料を少なくとも部分的に含む棒状の成形体を用いることにより、運搬等の際の摩擦に生じる静電気を効率的に除去することができる。棒状の成形体の寸法（直径及び長さ）、横断面の形状（円形、六角形等）、導電性等は、適宜選択することができる。
【００８０】
フッ素樹脂Ｃは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択されることが好ましい。
「フッ素樹脂Ｃ」、「カーボンナノチューブ」及び「複合樹脂材料」等については、上述の記載を適宜参照することができる。
【００８１】
棒状の成形体は、アース線と接続することができる。棒状の成形体をアース線と接続して、より効率的に除電することができる。
タンクに棒状の成形体を設けるためのホルダー（「棒状成形体ホルダー」ともいう）を用いることができる。棒状成形体ホルダーは、一般的に、円筒形であって、外形は、タンクの穴の大きさに対応し、内形は、棒状の成形体の外形に対応する。棒状成形体ホルダーの寸法は、棒状成形体の寸法と、タンクの穴の寸法に応じて、適宜選択することができる。
【００８２】
＜攪拌棒＞
本発明の実施形態において、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含む攪拌棒をさらに有するタンクを提供する。
そのような攪拌棒は、通常、本発明のタンク内に投入された薬液の液面から薬液の内部に入り、薬液を攪拌するために使用されるが、その攪拌の際に、薬液に生じ得る静電気を液から除去するために用いられる。攪拌棒の寸法（直径及び長さ）、横断面の形状（円形、六角形等）、導電性等は、適宜選択することができる。
【００８３】
フッ素樹脂Ｃは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン／エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなる群から選択されることが好ましい。
「フッ素樹脂Ｃ」、「カーボンナノチューブ」及び「複合樹脂材料」等については、上述の記載を適宜参照することができる。
【００８４】
攪拌棒は、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含むプロペラ（又は撹拌羽根）を有することができる。攪拌棒とプロペラは一体であってよいが、攪拌棒は、プロペラと分離可能であってよい。攪拌棒がプロペラを有する場合、薬液の攪拌をより効率的に行うことができる。攪拌棒の寸法（大きさ）及び形状（三日月形等）、導電性等は、適宜選択することができる。
プロペラに関する「フッ素樹脂Ｃ」、「カーボンナノチューブ」及び「複合樹脂材料」について、上述の記載を適宜参照することができる。
攪拌棒がプロペラを有する場合、攪拌棒とプロペラの両者で目的とする除電性を示せばよい。
【００８５】
攪拌棒は、適宜、アース線と接続することができる。攪拌棒をアース線と接続して、より効率的に除電することができる。
タンクに攪拌棒を設けるためのアダプタ（「攪拌棒アダプタ」ともいう）を用いることができる。攪拌棒アダプタは、一般的に、円筒形であって、外形は、タンクの穴の大きさに対応し、内形は、攪拌棒の外形に対応する。攪拌棒アダプタの寸法は、攪拌棒の寸法と、タンクの穴の寸法に応じて、適宜選択することができる。
【００８６】
＜タンク＞
本発明のタンクの用途は特に限定されないが、例えば薬液を内容物とするタンクが挙げられ、具体的には薬液供給タンク、薬液貯蔵タンクおよび／または薬液運搬タンクである。薬液供給タンクは、例えば後述する薬液を供給するためのシステムにおいて使用されるタンクである。薬液供給タンクは、薬液が該タンク内を通過し別の槽へと供給されるために使用される。そのため、薬液供給タンクは通常、薬液投入管と薬液排出管とを備え、薬液の投入と排出を同時に行うこともできる。薬液貯蔵タンクは、薬液を内部に貯蔵することを目的とするタンクである。そのため、薬液貯蔵タンクは少なくとも１つの開口部を有していればよい。薬液運搬タンクは、内容物として薬液を貯蔵した状態で運搬されるタンクである。薬液の運搬に際しては、薬液が振動することにより静電気が発生しやすいが、本発明のタンクを用いることにより、静電気を除去することができる。本発明のタンクは、薬液の供給、貯蔵または運搬等のいずれかを目的とするタンクであってもよいし、これらの２つ以上の目的を兼ね備えるタンクであってもよい。
【００８７】
＜薬液＞
本発明のタンクに収容される薬液としては、塩酸、硝酸、フッ酸、過酸化水素水、硫酸等の水溶液、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、エタノール、アセトン、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）等の有機溶媒、および、水が挙げられる。タンクに含まれる薬液は、好ましくは有機溶媒である。有機溶媒は、例えば半導体製造等において使用される薬液であり、半導体製造の用途においては、薬液に帯電する静電気や微量の混入物による汚染であっても問題となるため、本発明のタンクの利点をより発揮しやすい。
【００８８】
＜薬液＞
本発明の実施形態のタンクに収容される薬液は、収容可能な薬液であれば、特に制限されることはない。薬液は、例えば、有機溶剤、可燃性液体、酸性液体、塩基性液体、中性液体、水溶液、導電性液体から選択される少なくとも１種を含むことができる。
有機溶媒は、例えば、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、エタノール、アセトン、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）等を含む。
可燃性液体は、例えば、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、エタノール、アセトン、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）等を含む。
酸性液体は、例えば、塩酸、硝酸、フッ酸、硫酸、過酸化水素水等を含む。
塩基性液体は、例えば、アンモニア水等を含む。
中性液体は、例えば、オゾン水、いわゆる水、超純水、純水、脱イオン水、イオン交換水、蒸留水等を含む。
水溶液は、例えば、塩酸、硝酸、フッ酸、硫酸、アンモニア水、過酸化水素水、オゾン水等を含む。
導電性液体は、例えば、塩酸、硝酸、フッ酸、硫酸、過酸化水素水、アンモニア水、いわゆる水、イオン交換水、脱イオン水、純水等を含む。
タンクに含まれる薬液は、例えば、有機溶媒であってよい。有機溶媒は、例えば半導体製造等において使用される薬液であり、半導体製造の用途においては、薬液に帯電する静電気や微量の混入物による汚染であっても問題となるため、本発明のタンクの利点をより発揮しやすい。
タンクに含まれる薬液は、導電性液体であっても使用することができる。
【００８９】
＜薬液供給システム＞
本発明は、本発明のタンクを用いて薬液の供給を行うことを含む、薬液供給システムも提供する。本発明の薬液供給システムの用途は特に限定されないが、内容物である薬液の汚染が低減されクリーン性が高いという本発明の薬液供給システムの利点を最大限に利用しやすい観点からは、半導体製造に使用される薬液供給システムであることが好ましい。本発明の好ましい一態様において、本発明の薬液供給システムは、薬液運搬タンク、半導体工場ラインの薬液貯蔵タンク、薬液運搬タンクから薬液貯蔵タンクへ薬液を圧送するためのポンプ、薬液貯蔵タンクから各ラインへ薬液を圧送するためのポンプを含み、ここで、該薬液運搬タンクおよび／または該薬液貯蔵タンクとして、本発明のタンクを用いてよい。この態様の本発明の好ましい薬液供給システムによれば、具体的には、薬液運搬タンク（例えばＩＳＯタンク）をタンクローリーで半導体工場まで運送し、薬液運搬タンクから半導体工場ライン内の薬液貯蔵タンクでポンプにより薬液を圧送し、薬液貯蔵タンクから各ラインへと薬液を送液するという一連の薬液供給を行うことができる。本発明の薬液供給システムは、本発明のタンクの他に、本発明のタンクの内容物を供給するための装置、例えば窒素ガス等の不活性ガスを高圧下で送るための圧縮ガス源または薬液供給ポンプを備えていてもよいし、薬液をろ過し不純物等を除去するためのフィルター等を備えていてもよい。
【００９０】
＜成形体＞
本発明は、成形体を提供することができ、
それは、薬液が取り扱われるタンクに使用することができる。
タンクは、ライニングシートの層を有していても良い。
成形体は、フッ素樹脂とカーボンナノチューブを含む複合樹脂粒子を圧縮成形して得ることができる圧縮成形体であり得る。フッ素樹脂は、例えば、本明細書で記載するフッ素樹脂Ａ〜Ｃのいずれかであり得る。複合樹脂粒子、フッ素樹脂Ａ〜Ｃのいずれか及びカーボンナノチューブに関する本明細書の記載は、成形体の複合樹脂粒子、フッ素樹脂Ａ〜Ｃのいずれか及びカーボンナノチューブの各々について参照することができる。
タンクに使用できる成形体は、例えば、上述のライニングシート、薬液管、中空形状の成形体、棒状の成形体、棒状成形体ホルダー、攪拌棒、攪拌羽根、攪拌棒アダプタ等を含むことができる。
【００９１】
＜実施形態＞
次に、本発明を以下の実施形態により詳細に説明する。なお、以下において、図面に表された構成を説明するうえで、「上」、「下」、「左」、「右」等の方向を示す用語、およびそれらを含む別の用語を使用するが、それらの用語を使用する目的は図面を通じて実施形態の理解を容易にすることである。したがって、それらの用語は本発明の実施形態が実際に使用されるときの方向を示すものとは限らないし、それらの用語によって特許請求の範囲に記載された発明の技術的範囲は何ら限定されない。
【００９２】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態のタンクは、第１実施形態Ａと第１実施形態Ｂのタンクを含む。
本発明の第１実施形態Ａのタンクは、図１Ａに示すように、タンク外缶１と、タンク外缶１の内面に設けられたライニング層２、タンク内に薬液を投入するための薬液投入管３、タンク外に薬液を排出するための薬液排出管４、薬液の液面に浮遊し薬液中に帯電する静電気を除去するための中空球状の成形体５を有し、タンク内には薬液６が貯蔵されている。タンク外缶１の内面にライニング層２を設ける方法としては、フッ素樹脂のシートの片面をエッチングしたライニングシート、または、フッ素樹脂のシートの片面にガラスクロスを積層させたライニングシートを、タンク外缶１の内面の形状に合わせて切り出し、切り出したシートをエポキシ接着剤等を用いてタンク内面に貼り合せる方法が挙げられる。タンク内面に貼り合せたシート間の隙間を、例えば直径２〜５ｍｍの円形または三角形の断面を有する棒状の溶接材料、好ましくはＰＦＡ材料を用いて溶接してもよい。第１実施形態Ａにおけるタンクは、薬液投入管３、薬液排出管４、中空球状の成形体５を有するが、これらは本発明のタンクに必須の構成ではなく、これらのうちの少なくとも１つを有していてもよいし、これらのいずれも有していなくてもよい。
【００９３】
本発明の第１実施形態Ａのタンクにおいては、静電気の除去を効率的に行う観点から、少なくとも、タンクに薬液を投入する際、投入された薬液がタンク外缶の内面と最初に接する部分（図１Ａ中の接液部７）に設けられたライニングシート８を含むライニング層が、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むことが好ましく、該ライニングシートがフッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料で構成される成形体であることがより好ましい。帯電防止性をさらに向上する観点からは、タンク底部９に設けられたライニングシート１０（ライニングシート８を含む）を含むライニング層が、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むことが好ましく、該ライニングシートがフッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料で構成される成形体であることがより好ましい。ライニングシート８またはライニングシート１０には、アース線１１が接続され、薬液から体積抵抗率の低いライニングシート８または１０に流れ込んだ静電気は、アース線１１を介して地面等へと流れ込み除去される。フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニングシートは、例えば上記のようにして製造した複合樹脂粒子の成形体を薄く切り出してシートにするか、または、複合樹脂粒子をシート状に押出成形することにより製造される。このようにして得た複合樹脂材料を含むライニングシートを接液部７またはタンク底部９におけるタンク内面に、上記のライニング層２を設けるための方法と同様にしてライニングすることにより、薬液６の効率的な除電が可能となる。
【００９４】
本発明の第１実施形態Ａのタンクは、図１Ａに示すように、タンク上部に設けられた薬液投入管３および薬液排出管４を備える。薬液投入管３の排出口は薬液６の液面１２よりも高い位置に設けられており、薬液排出管４の吸入口は、タンクの底部に近い位置に設けられている。なお、第１実施形態Ａにおけるタンクは、上記位置に薬液投入管３および薬液排出管４を有するが、タンクが薬液投入管３および／または薬液排出管４を備える場合、これらの位置は特に限定されず、タンク上部に薬液投入管を有しタンク底部に薬液排出管を有していてもよいし、これらの配管がタンク側面に位置していてもよい。薬液投入管の排出口や薬液排出管の吸入口の位置も適宜設定してよい。第１実施形態Ａのタンクは、図１Ａには示されていないが、タンクに一般的なその他の構成、例えば上部、横部、下部等の任意の位置に設けられたさらなる薬液管、安全弁、通気口等をさらに有していてよい。
【００９５】
薬液投入管３および薬液排出管４の内面には、それぞれ、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニング層３１および４１が設けられている。管の内面に上記複合樹脂材料を含むライニング層３１および４１が設けられた薬液投入管３および薬液排出管４は、例えば、複合樹脂粒子の成形体を管状に切削加工し、これを金属製の配管内面に接合させる方法、または、樹脂製の配管内面と溶接させる方法により製造される。薬液投入管３および薬液排出管４のライニング層３１および４１はそれぞれ、アース線１１と電気的に接続されており、薬液投入管３および薬液排出管４を通過する際に帯電した静電気は、最終的にアース線１１を介して除去される。なお、ライニング層３１および４１がそれぞれ、アース線１１とは異なるアース線を有していてもよい。なお、図１Ａに示される薬液投入管３および薬液排出管４は、内面の一部にフッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニング層が設けられているが、これらの管が、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料で構成される成形体であってもよく、複合樹脂粒子の成形体を管状に切削加工した管を、薬液投入管および薬液排出管としてそのまま使用してもよい。
【００９６】
本発明の第１実施形態Ａのタンクは、図１Ａに示すように、中空球状の成形体５を有する。中空球状の成形体５の数は特に限定されず、各成形体５の大きさや、求められる帯電効果に応じて、適宜選択してよい。成形体５のそれぞれにはアース線１３が接続され、アース線は蓋体１４からタンク外部へと出て、地面へと接続されている。薬液６中に帯電した静電気は、低い体積抵抗率を有する成形体５に流れ込み、アース線１３を介して除去される。中空球状の成形体５は、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体を薄く切り出すか、または、複合樹脂材料をシート状に押出成形することにより製造したシートを、中空球状に貼り合せることにより製造してよい。本実施形態のタンクは、蓋体１４を有するが、蓋体１４は必須ではない。また、第１実施形態Ａにおいてアース線１３は蓋体１４から伸びているが、アース線１３がアース線１１に電気的に接続されていてもよい。
【００９７】
本発明の第１実施形態Ｂのタンクは、第１実施形態Ａのタンクと形状が類似しており、図１Ｂに示すように、タンク外缶１と、タンク外缶１の内面に設けられたライニング層２、タンク内に薬液を投入するための薬液投入管３、薬液投入管３の端部に設けられたノズル３６、タンク外に薬液を排出するための薬液排出管４、薬液中の静電気を除去するための、薬液中に挿入された棒状の成形体５２、及び薬液を攪拌するための攪拌棒５６を有し、タンク内には薬液６が貯蔵されている。
タンク外缶１の内面にライニング層２を設ける方法は、第１実施形態Ａのタンクで記載した方法と同様の方法を使用することができる。
第１実施形態Ｂのタンクは、薬液投入管３、薬液排出管４、棒状の成形体５２及び攪拌棒５６を有するが、これらは本発明のタンクに必須の構成ではなく、これらのうちの少なくとも１つを有していてもよいし、これらのいずれも有していなくてもよい。
【００９８】
本発明の第１実施形態Ｂのタンクも、接液部７、ライニングシート８を含むライニング層、タンク底部９に設けられたライニングシート１０（ライニングシート８を含む）を含むライニング層、及びアース線１１を有する。これらについて、第１実施形態Ａのタンクの記載を参照することができ、薬液６の効率的な除電が可能となる。
【００９９】
本発明の第１実施形態Ｂのタンクも、図１Ｂ示すように、タンク上部に設けられた薬液投入管３および薬液排出管４を備える。薬液投入管３及び薬液排出管４について、第１実施形態Ａのタンクに関する記載を参照することができる。
第１実施形態Ｂのタンクも、図１Ｂには示されていないが、タンクに一般的なその他の構成、例えば上部、横部、下部等の任意の位置に設けられたさらなる薬液管、安全弁、通気口等をさらに有していてよい。
【０１００】
本発明の第１実施形態Ｂのタンクは、図１Ｂに示すように、薬液投入管３の端部に設けられたノズル３６を有する。ノズル３６の寸法は特に限定されず、長さ、太さ及び断面の形状等は、求められる帯電効果に応じて、適宜選択してよい。ノズル３６に、アース線を接続してよいが、薬液投入管３がアース線として機能し得る。ノズルを通過する薬液の静電気を、タンクに入る前に、低下し得るので好ましい。
ノズル３６は、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体を筒状に切り出すか、または、複合樹脂材料を筒状に押出成形することにより製造してよい。
【０１０１】
本発明の第１実施形態Ｂのタンクは、図１Ｂに示すように、棒状の成形体５２を有することができる。棒状の成形体５２の寸法は特に限定されず、長さ、太さ及び断面の形状等は、求められる帯電効果に応じて、適宜選択してよい。棒状の成形体５２にはアース線５３が接続され、地面へと接続されている。薬液６の静電気は、低い体積抵抗率を有する棒状の成形体５２に流れ込み、アース線５３を介して除去される。
棒状の成形体５２は、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体を棒状に切り出すか、または、複合樹脂材料を棒状に押出成形することにより製造してよい。
本発明の実施形態Ｂのタンクは、棒状の成形体用ホルダー５４（以下「棒状成形体ホルダー」ともいう）を有し、ホルダー５４で棒状の成形体５２を保持することが好ましいが、「棒状成形体ホルダー５４」は必須ではない。棒状成形体ホルダー５４の外側の寸法は、タンクに設けられた穴の寸法を考慮して、適宜選択することができる。
【０１０２】
本発明の第１実施形態Ｂのタンクは、図１Ｂに示すように、攪拌棒５６を有することができる。攪拌棒５６の寸法は特に限定されず、長さ、太さ及び断面の形状等は、求められる帯電効果及び攪拌効果に応じて、適宜選択してよい。攪拌棒５６は、その端部にプロペラ（又は撹拌羽根）５７を設けることができる。攪拌棒５６とプロペラ５７は、一体であっても、分離可能であってもよい。攪拌棒５６に、アース線（図示せず）が接触され、地面に接続することができる。薬液６の静電気は、低い体積抵抗率を有する攪拌棒５６に流れ込み、アース線を介して除去することができる。
攪拌棒５６は、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体を棒状に切り出すか、または、複合樹脂材料を棒状に押出成形することにより製造してよい。
プロペラ５７は、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を少なくとも部分的に含み、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体をプロペラ状に切り出して製造することができる。
本発明の実施形態Ｂのタンクは、攪拌棒用アダプタ５８（以下「攪拌棒アダプタ」ともいう）を有し、アダプタ５８で攪拌棒５６を保持すること好ましいが、「攪拌棒用アダプタ５８」は必須ではない。攪拌棒用アダプタ５８の外側の寸法は、タンクに設けられた穴の寸法を考慮して適宜選択することができる。
攪拌棒アダプタは、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体を筒状に切り出すか、または、複合樹脂材料を筒状に押出成形することにより製造してよい。更に、攪拌棒アダプタにアース線を接続してよい。
【０１０３】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態のタンクは、図２に示すように、タンク外缶１と、タンク外缶１の内面に設けられたライニング層２、タンク内に薬液を投入又は排出するための薬液管１５、薬液の液面に浮遊し薬液中に帯電する静電気を除去するための中空球状の成形体５を有し、タンク内には薬液６が貯蔵されている。タンク外缶１の内面にライニング層２を設ける方法としては、フッ素樹脂のシートの片面をエッチングしたライニングシート、または、フッ素樹脂のシートの片面にガラスクロスを積層させたライニングシートを、タンク外缶１の内面の形状に合わせて切り出し、切り出したシートをエポキシ接着剤等を用いてタンク内面に貼り合せる方法が挙げられる。タンク内面に貼り合せたシート間の隙間を、例えば直径２〜５ｍｍの円形または三角形の断面を有する棒状の溶接材料、好ましくはＰＦＡ材料を用いて溶接してもよい。本実施形態におけるタンクは、薬液管１５および中空球状の成形体５を有するが、これらは本発明のタンクに必須の構成ではなく、これらのうちの少なくとも１つを有していてもよいし、これらのいずれもを有していなくてもよい。
【０１０４】
本発明の第２実施形態のタンクにおいては、静電気の除去を効率的に行う観点から、少なくとも、タンクに薬液を投入する際、投入された薬液がタンク外缶の内面と最初に接する部分（図２中の接液部７）に設けられたライニングシート８を含むライニング層が、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むことが好ましく、該ライニングシートがフッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体であることがより好ましい。帯電防止性をさらに向上する観点からは、タンク底部９に設けられたライニングシート１０（ライニングシート８を含む）を含むライニング層が、フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むことが好ましく、該ライニングシートがフッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体であることがより好ましい。ライニングシート８またはライニングライニングシート１０には、アース線１１が接続され、薬液から体積抵抗率の低いライニングシート８または１０に流れ込んだ静電気は、アース線１１を介して地面等へと流れ込み除去される。フッ素樹脂Ａおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニングシートは、例えば上記のようにして製造した複合樹脂材料の成形体を薄く切り出してシートにするか、または、複合樹脂材料をシート状に押出成形することにより製造される。このようにして得た複合樹脂材料を含むライニングシートを接液部７またはタンク底部９におけるタンク内面に、上記のライニング層２を設けるための方法と同様にしてライニングすることにより、薬液６の効率的な除電が可能となる。
【０１０５】
本発明の第２実施形態のタンクは、図２に示すように、薬液管１５を有する。薬液管１５の内面には、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニング層１５１が設けられている。管の内面に上記複合樹脂材料を含むライニング層１５１が設けられた薬液管１５は、例えば、複合樹脂材料の成形体を管状に切削加工し、これを金属製の配管内面に接合させる方法、または、樹脂製の配管内面と溶接させる方法により製造される。薬液管１５のライニング層１５１は、アース線１１と電気的に接続されており、薬液管１５を通過する際に帯電した静電気は、最終的にアース線１１を介して除去される。なお、ライニング層１５１が、アース線１１とは異なるアース線を有していてもよい。なお、図２に示される薬液管１５は、内面の一部にフッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料を含むライニング層が設けられているが、フッ素樹脂Ｂおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体であってもよく、複合樹脂材料の成形体を管状に切削加工した管を、薬液管としてそのまま使用してもよい。
【０１０６】
本発明の第２実施形態のタンクは、図２に示すように、中空球状の成形体５を有する。中空球状の成形体５の数は特に限定されず、各成形体５の大きさや、求められる帯電効果に応じて、適宜選択してよい。成形体５のそれぞれにはアース線１３が接続され、アース線は蓋体１４からタンク外部へと出て、外部と接続されている。薬液６中に帯電した静電気は、低い体積抵抗率を有する成形体５に流れ込み、アース線１３を介して除去される。中空球状の成形体５は、フッ素樹脂Ｃおよびカーボンナノチューブを含む複合樹脂材料の成形体を薄く切り出すか、または、複合樹脂材料をシート状に押出成形することにより製造したシートを、中空球状に貼り合せることにより製造してよい。本実施形態のタンクは、蓋体１４を有するが、蓋体１４は必須ではない。また、本実施形態においてアース線１３は蓋体１４から伸びているが、アース線１３がアース線１１に電気的に接続されていてもよい。
【０１０７】
本発明の第２実施形態のタンクは、図２に示すような形状を有し、例えば薬液運搬用タンクとして使用される。具体的には、ＩＳＯタンクとして知られるようなタンクコンテナであってよい。タンクコンテナは、船舶、鉄道、自動車などの貨物輸送において、貨物が液体の場合に使用されるコンテナである。特に、タンクコンテナで薬液を運搬する際、運搬時の振動によって、タンク内部の液体が振動し、かかる振動によって摩擦が生じ、薬液が帯電する可能性がある。本実施形態のタンクによれば、薬液に生じた静電気を効率的に除去することが可能である。本実施形態のタンクは、図２には示されていないが、タンクに一般的なその他の構成、例えば上部、横部、下部等の任意の位置に設けられたさらなる薬液管、安全弁、通気口等をさらに有していてよい。また、本実施形態のタンクの運搬手段は特に限定されず、タンクローリーおよび貨物列車等の運搬車両や、船舶等によって運搬されてよい。
【０１０８】
（第３実施形態）
次に、本発明の供給システムの実施形態を第３実施形態として図３に示す。この実施形態における本発明の供給システムは、図３に示すように、薬液運搬タンク１６および薬液供給タンク２２を有し、各使用ポイント１８（ＰＯＵ、ポイントオブユース）へ薬液を供給するためのシステムである。薬液運搬タンク１６および薬液供給タンク２２の少なくとも一方が本発明のタンクであればよく、いずれもが本発明のタンクであってもよい。薬液運搬タンク１６は、例えば図２に示す実施形態のタンクであり得る。薬液運搬タンク１６は薬液を内容物とし、運搬車両１７に積載されて運搬される。薬液運搬タンク１６にて運搬された薬液は、ポンプ２４の動作によって、最終的に各使用ポイント２８へと運ばれる。まず、薬液運搬タンク１６は、例えば半導体製造工場において、パスボックス１９内のカプラー２０と接続管１８および２１を介して、薬液供給タンク２２へと接続される。薬液運搬タンク１６内の薬液は、接続管１８を通り、カプラー２０にて連結され、接続管２１を介して、薬液供給タンク２２へと運ばれる。薬液供給タンク２２には、ポンプ２４が接続されており、薬液供給タンク２２から接続管２３および２５を介して運ばれた薬液は、フィルター２６を通過することにより、薬液中に含まれ得る微細な汚染物質を除去され、接続管２７を介して各使用ポイント２８へと運ばれる。図３に示す第３実施形態においては、液の供給をポンプ２４を用いて行っているが、ポンプ２４の位置は図示される場所に限定されない。また、複数のポンプ２４を使用してもよい。さらに、供給をポンプを用いずに、加圧システム等により薬液を供給してもよい。
【実施例】
【０１０９】
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、これらは本発明の範囲を限定するものではない。【０１１０】
＜平均粒子径Ｄ５０の測定＞
複合樹脂粒子の製造に使用したフッ素樹脂粒子、および、複合樹脂粒子の平均粒子径は、レーザー回折散乱式粒度分布装置（日機装製「ＭＴ３３００II」）により粒度分布を測定し、平均粒子径Ｄ５０を得た。【０１１１】
＜比表面積の測定＞
複合樹脂粒子の製造に使用したフッ素樹脂粒子、および、複合樹脂粒子の比表面積の測定は、ＪＩＳ Ｚ８８３０に従い、比表面積/細孔分布測定装置（日本ベル製ＢＥＬＳＯＲＰ−ｍｉｎｉII）を用いて行った。【０１１２】
＜結晶化熱の測定＞
複合樹脂粒子の製造に使用したフッ素樹脂粒子の結晶化熱は、示差走査型熱量計（島津製作所製「ＤＳＣ−５０」）を用いて測定した。３ｍｇの測定試料を、５０℃／分の速度にて２５０℃まで昇温させ、一旦保持し、さらに１０℃／分の速度にて３８０℃まで昇温させることにより結晶を融解させた後、１０℃／分の速度で降温させた際に測定される結晶化点のピークから熱量に換算して測定した。【０１１３】
＜融点の測定＞
複合樹脂粒子の製造に使用したフッ素樹脂粒子の融点の測定は、ＡＳＴＭ−Ｄ４５９１に準拠し、示差走査熱量計（ＤＳＣ）を用いて測定できる融解熱ピークの温度として求めた。【０１１４】
＜複合樹脂材料の作製＞
後述する製造例で得た複合樹脂粒子を、必要に応じて前処理（例えば、予備乾燥、造粒等）を行った後、成形用金型に一定量、均一に充填した。充填後の作製手順はフッ素樹脂の種類によって異なる。
フッ素樹脂が、ＰＴＦＥ樹脂及び変性ＰＴＦＥ樹脂の場合は、１５ＭＰaで加圧し一定時間保持することにより複合樹脂粒子を圧縮し、予備成形体を得た。得られた予備成形体を成形金型から取り出して、３４５℃以上に設定した熱風循環式電気炉で２時間以上焼成し、徐冷を行ったのち電気炉から取り出し、複合樹脂粒子の成形体（複合樹脂材料）を得た。
フッ素樹脂が、ＰＣＴＦＥ樹脂、ＰＦＡ樹脂、ＦＥＰ樹脂、ＥＴＦＥ樹脂、ＥＣＴＦＥ樹脂、ＰＶＤＦ樹脂及びＰＶＦ樹脂（ＰＴＦＥ樹脂及び変性ＰＴＦＥ樹脂以外）の場合は、金型を２００℃以上に設定した熱風循環式電気炉で２時間以上加熱させて樹脂を溶融させる。所定時間加熱後、電気炉から金型を取り出し、油圧プレスを用いて２５ｋｇ/ｃｍ２以上の面圧で加圧圧縮しながら常温付近まで金型を冷却したのち、複合樹脂粒子の成形体（樹脂材料）を得た。【０１１５】
＜体積抵抗率の測定＞
複合樹脂粒子から上記のようにして得た複合樹脂材料（成形体）からφ１１０×１０ｍｍの試験片を作製し、測定試料とした。体積抵抗率の測定は、ＪＩＳ Ｋ６９１１に従い、抵抗率計（三菱化学アナリテック製「ロレスタ」または「ハイレスタ」）を用いて行った。【０１１６】
＜複合樹脂材料の溶接強度の測定＞
複合樹脂粒子から上記のようにして得た複合樹脂材料（成形体）から、厚さ１０ｍｍ×幅３０ｍｍ×長さ１００ｍｍの試験片を作製し、この試験片に長さ５０ｍｍ、深さ約１ｍｍのＶ溝を切削した。次いで、直径３ｍｍのＰＦＡ溶接棒を、熱風式溶接機を用いて、融着する部分の長さが５０ｍｍとなるように溝部分に溶接し、図４に示されるような溶接強度測定用試験片を作成した。次に、溶接強度測定用試験片を、図５に示すように、融着したＰＦＡ溶接棒の折り返し部分が下側となるように引張試験機にセットし、溶接棒の融着されずに残る部分を引張試験機の上チャックにセットする。１０ｍｍ／分の速度にて引張試験機（株式会社エー・アンド・デイ製「テンシロン万能材料試験機」）を用いて引張を行い、最大応力を測定し、溶接強度とした。【０１１７】
＜複合樹脂材料の金属溶出量の測定＞
カーボンナノチューブを添加したことによる、成形体における金属汚染の程度を、ＩＣＰ質量分析装置（パーキンエルマー製「ＥＬＡＮ ＤＲＣII」）を用いて金属系１７元素の金属溶出量を測定することにより評価した。具体的には、上記のようにして得た複合樹脂材料から切削取得した１０ｍｍ×２０ｍｍ×５０ｍｍの試験片を、３.６％塩酸（関東化学製ＥＬ-ＵＭグレード）０.５Ｌに１時間程度浸漬し、１時間浸漬後に取出して超純水（比抵抗値：≧１８.０ＭΩ・ｃｍ）で掛け流し洗浄を行い、３.６％塩酸０.１Ｌに試験片全体を浸漬して室温環境下で２４時間および１６８時間保存した。規定時間経過後に浸漬液を全量回収し、浸漬液の金属不純物濃度を分析した。【０１１８】
＜複合樹脂材料の炭素脱落の測定＞
複合樹脂材料からのカーボンナノチューブの脱離の程度を、全有機体炭素計（島津製作所製「ＴＯＣｖｗｐ」）を用いてＴＯＣを測定することにより評価した。具体的には、上記のようにして得た複合樹脂材料から切削取得した１０ｍｍ×２０ｍｍ×５０ｍｍの試験片を、３.６％塩酸（関東化学製ＥＬ-ＵＭグレード）０.５Ｌに１時間程度浸漬し、１時間浸漬後に取出して超純水（比抵抗値：≧１８.０ＭΩ・ｃｍ）で掛け流し洗浄を行い、超純水に試験片全体を浸漬して室温環境下で２４時間および１６８時間保存した。規定時間経過後に浸漬液を全量回収し、浸漬液について全有機体炭素分析をした。【０１１９】
＜複合樹脂材料の耐薬品性の評価＞
上記のようにして得た複合樹脂材料から切削取得した１０ｍｍ×２０ｍｍ×５０ｍｍの試験片の重量を電子天秤（エイ・アンド・デイ製分析用電子天びん「ＢＭ-２５２」）を用いて測定した。次いで、該試験片を、ＳＰＭ（Ｈ２ＳＯ４：Ｈ２Ｏ２＝１：２（質量比））、ＦＰＭ（ＨＦ：Ｈ２Ｏ２＝１：２（質量比））、ＡＰＭ（ＳＣ−１）（ＮＨ４ＯＨ：Ｈ２Ｏ２：Ｈ２Ｏ＝１：１：５（質量比））、オゾン水（５０ｐｐｍ）の各溶液中に１６８時間浸漬し、乾燥させて、浸漬後の試験片の重量を浸漬前度同様に電子天秤を用いて測定した。浸漬前後の重量変化を、次の式にて算出し、耐薬品性の指標とした。
重量変化（％）＝［（浸漬後の重量−浸漬前の重量）／浸漬前の重量］×１００【０１２０】
〔複合樹脂粒子の製造〕
以下の実施例および比較例において、次の表１に示す変性ＰＴＦＥ粒子またはポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）粒子を使用した。なお、表１に示す変性ＰＴＦＥ粒子１および２における、上記式（ＩＩ）中のＸはパーフルオロプロピル基であり、パーフルオロビニルエーテル単位の量は、変性ポリテトラフルオロエチレンの全質量に基づいて、０．０１〜１質量％であることを確認した。
【表１】
0006571304.tif 000008
【０１２１】
〔製造例１〕
水を溶媒としたカーボンナノチューブ分散液（分散剤＝０．１５質量％、カーボンナノチューブ＝０．０２５質量％）５００ｇにエタノールを３，５００ｇ加えて希釈した。さらに、変性ＰＴＦＥ粒子１を１,０００ｇ添加して混合スラリーを作製した。
次いで、作製した混合スラリーを耐圧容器に供給し、耐圧容器内の混合スラリーに含まれる分散剤１ｍｇに対して０．０３ｇ／分の供給速度で液化二酸化炭素を供給し、耐圧容器内の圧力を２０ＭＰａ、温度を５０℃となるまで昇圧・昇温させた。上記圧力および温度を３時間保持しながら二酸化炭素を、二酸化炭素中に溶け込んだ溶媒（水、エタノール）および分散剤と共に耐圧容器から排出させた。
次いで、耐圧容器内の圧力、温度を大気圧、常温まで下げることにより耐圧容器内の二酸化炭素を除去し、ＣＮＴ複合樹脂粒子１を得た。【０１２２】
〔製造例２〕
ＣＮＴの量を得られる複合樹脂粒子の総量に基づいて０.０５質量％としたこと以外は製造例１−１と同様にしてＣＮＴ複合樹脂粒子２を得た。【０１２３】
〔製造例３〕
ＣＮＴの量を得られる複合樹脂粒子の総量に基づいて０.１質量％としたこと以外は製造例１−１と同様にしてＣＮＴ複合樹脂粒子３を得た。【０１２４】
〔製造例４〕
変性ＰＴＦＥ１に代えて変性ＰＴＦＥ２を用いたこと以外は製造例１と同様にしてＣＮＴ複合樹脂粒子４を得た。【０１２５】
〔製造例５〕
変性ＰＴＦＥ１に代えて変性ＰＴＦＥ２を用いたこと以外は製造例２と同様にしてＣＮＴ複合樹脂材料５を得た。【０１２６】
〔比較用樹脂粒子６（製造例６）〕
ＣＮＴを複合化させていない変性ＰＴＦＥ１を比較用樹脂粒子６とした。【０１２７】
〔比較用樹脂粒子７（製造例７）〕
ＣＮＴを複合化させていない変性ＰＴＦＥ２を比較用樹脂粒子７とした。【０１２８】
〔比較用樹脂粒子８（製造例８）〕
ＣＮＴを複合化させていないＰＴＦＥ粒子を比較用樹脂粒子８とした【０１２９】
上記の製造例１〜８で得た樹脂粒子の平均粒子径および比表面積を上記測定方法に従い測定した。結果を表２に示す。また、上記の製造例１〜８で得た樹脂粒子を用いて上記の方法に従い作製した成形体について測定した体積抵抗率及び溶接強度を表２に示し、耐薬品性評価の結果を表３に示す。さらに、ＣＮＴの量と樹脂材料の体積抵抗率から、次の式：
Ａ＝Ｘ／Ｙ-１４
により得た値Ａも表２に示す。上記式中のＸは、樹脂材料の体積抵抗率［Ω・ｃｍ］であり、Ｙは樹脂材料に含まれるＣＮＴの量［質量％］（樹脂材料の製造に使用したＣＮＴの量に等しい）である。
なお、以下において、複合樹脂粒子１〜５から上記方法に従い作成した複合樹脂材料を、それぞれ、複合樹脂材料１〜５とも称し、比較用樹脂粒子６〜８から上記方法に従い作成した樹脂材料を、それぞれ、比較用樹脂材料６〜８とも称する。また、複合樹脂粒子または樹脂粒子におけるＣＮＴの量は、これらから得た複合樹脂材料または樹脂材料におけるＣＮＴの量と等しい。
【表２】
0006571304.tif 000009
【０１３０】
【表３】
0006571304.tif 000010
【０１３１】
複合樹脂材料１および２、ならびに、比較用樹脂材料６から得た樹脂材料について、金属溶出量および炭素脱落の評価を行った。得られた結果を表４に示す。なお、表４中の金属溶出量の欄に記載した元素以外の元素（Ａｇ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｋ、Ｌｉ、Ｍｎ、Ｎａ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｚｎ）については、金属溶出量の測定を行ったが装置検出限界（ＮＤ）であったため、表４中には結果を記載していない。また、表４中の結果はいずれも２４時間浸漬後の結果である。
【表４】
0006571304.tif 000011
【０１３２】
上記複合樹脂材料の作製方法にしたがい製造例２で得た複合樹脂粒子を用いて作製した複合樹脂材料２から、１０ｍｍ×１０ｍｍ×厚さ２ｍｍの試験片を得た。該試験片を表５に示す種々の薬液に浸漬させ、浸漬前と約１週間（１Ｗ）および約１ヶ月（１Ｍ）浸漬後の重量変化を測定した。得られた結果を表５に示す。なお、表５中のＡＰＭへの浸漬試験は８０℃の温度条件下で行い、その他の薬液への浸漬試験は室温条件下で行った。また、表５中の各薬液の詳細は表６に示すとおりである。【０１３３】
〔製造例９および複合樹脂材料９〕
変性ＰＴＦＥ１に代えてＰＣＴＦＥ（平均粒子径１０μｍ、比表面積２．９、体積抵抗率１０２Ω・ｃｍ）を用いたこと以外は製造例２と同様にしてＣＮＴ複合樹脂粒子９を得た。得られたＣＮＴ複合樹脂粒子９を用いて、上記複合樹脂材料の作製方法にしたがい複合樹脂材料９を作製し、１０ｍｍ×１０ｍｍ×厚さ２ｍｍの試験片を得た。該試験片についても同様に、表５に示す種々の薬液への浸漬試験を行った。得られた結果を表５に示す。【０１３４】
〔比較用樹脂材料１０〜１２〕
ＰＴＦＥにグラファイトを１５重量％添加した市販成形体を比較用樹脂材料１０とし、ＰＴＦＥにカーボンファイバーを１５重量％添加した市販成形体を比較用樹脂材料１１とした。また、市販の複合材料（ＰＦＡ樹脂と炭素繊維の複合材料）を比較用樹脂材料１２とした。これらの材料の上記サイズを有する試験片についても同様に、表５に示す種々の薬液への浸漬試験を行った。得られた結果を表５に示す。【０１３５】
【表５】
0006571304.tif 000012
【０１３６】
【表６】
0006571304.tif 000013
【０１３７】
〔複合樹脂粒子の製造（ＰＣＴＦＥ）〕
次の表７に示すポリクロロテトラフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）粒子を使用し、複合樹脂粒子を製造した。
【表７】
0006571304.tif 000014
【０１３８】
〔製造例１３：ＣＮＴ複合樹脂粒子１３の製造〕
変性ＰＴＦＥ粒子１に代えてＰＣＴＦＥ粒子２を用いたこと以外は製造例１と同様にしてＣＮＴ複合樹脂粒子１３を得た。【０１３９】
（製造例１４：ＣＮＴ複合樹脂粒子１４の製造）
変性ＰＴＦＥ粒子１に代えてＰＣＴＦＥ粒子２を用いたこと以外は製造例２と同様にしてＣＮＴ複合樹脂粒子１４を得た。【０１４０】
（製造例１５：ＣＮＴ複合樹脂粒子１５の製造）
ＣＮＴの量を得られる複合樹脂粒子の総量に基づいて０.１質量％としたこと以外は製造例１４と同様にしてＣＮＴ複合樹脂粒子１５を得た。【０１４１】
（製造例１６：ＣＮＴ複合樹脂粒子１６の製造）
ＣＮＴの量を得られる複合樹脂粒子の総量に基づいて０.１２５質量％としたこと以外は製造例１４と同様にしてＣＮＴ複合樹脂粒子１６を得た。【０１４２】
（製造例１７：ＣＮＴ複合樹脂粒子１７の製造）
ＣＮＴの量を得られる複合樹脂粒子の総量に基づいて０.１５質量％としたこと以外は製造例１４と同様にしてＣＮＴ複合樹脂粒子１７を得た。【０１４３】
（製造例１８：ＣＮＴ複合樹脂粒子１８の製造）
ＰＣＴＦＥ粒子２に代えてＰＣＴＦＥ粒子３を用いたこと以外は製造例１５と同様にしてＣＮＴ複合樹脂粒子１８を得た。【０１４４】
（製造例１９：ＣＮＴ複合樹脂粒子１９の製造）
ＰＣＴＦＥ粒子２に代えてＰＣＴＦＥ粒子１を用いたこと以外は製造例１５と同様にしてＣＮＴ複合樹脂粒子１９を得た。【０１４５】
（製造例２０：比較用樹脂粒子２０）
ＣＮＴを複合化させていないＰＣＴＦＥ２を比較用の樹脂粒子２０とした。【０１４６】
上記の製造例１３〜２０で得た複合樹脂粒子および比較用樹脂粒子の平均粒子径および比表面積を上記測定方法に従い測定した。結果を表８に示す。また、上記の樹脂粒子を用いて上記の方法に従い作製した複合樹脂材料（成形体）１３〜１９および比較用樹脂材料（成形体）２０について測定した体積抵抗率も表８に示す。さらに、ＣＮＴの量と樹脂材料の体積抵抗率から、次の式：
Ａ＝Ｘ／Ｙ-１４
により得た値Ａも表８に示す。上記式中のＸは、樹脂材料の体積抵抗率［Ω・ｃｍ］であり、Ｙは樹脂材料に含まれるＣＮＴの量［質量％］（樹脂材料の製造に使用したＣＮＴの量に等しい）である。なお、複合樹脂粒子１３〜１９から上記方法に従い作成した複合樹脂材料を、それぞれ、複合樹脂材料１３〜１９とも称し、比較用樹脂粒子２０から上記方法に従い作成した複合樹脂材料を、比較用樹脂材料２０とも称する。
【表８】
0006571304.tif 000015
【０１４７】
複合樹脂材料１４および１５、ならびに、比較用樹脂材料２０について、金属溶出量および炭素脱落の評価を行った。得られた結果を表９に示す。なお、表９中の金属溶出量の欄に記載した元素以外の元素（Ａｇ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｋ、Ｌｉ、Ｍｎ、Ｎａ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｚｎ）については、金属溶出量の測定を行ったが装置検出限界（ＮＤ）であったため、表９中には結果を記載していない。また、表９中の結果はいずれも２４時間浸漬後の結果である。
【表９】
0006571304.tif 000016
【０１４８】
複合樹脂材料１４および１５、ならびに、比較用樹脂材料２０について、上記方法にしたがい耐薬品性の評価を行った。得られた結果を表１０に示す。
【表１０】
0006571304.tif 000017
【０１４９】
上記の複合樹脂材料１４および１５について、上記の条件で硫酸過水浸漬処理（ＳＰＭ処理）を行い、処理後の体積抵抗率を測定した。その結果、次の表１１に示すように、複合樹脂材料１４および１５はＳＰＭ処理を行っても体積抵抗率が増加しないことが確認された。
【表１１】
0006571304.tif 000018
【０１５０】
〔複合樹脂材料を含むライニングシート１の製造〕
上記のようにして得た複合樹脂粒子から複合樹脂材料を含むライングシート１を製造するための方法を述べる。製造方法は用いたフッ素樹脂によって異なる。フッ素樹脂がポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）または変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）の場合、製造例２で得た複合樹脂粒子を、必要に応じて前処理（例えば、予備乾燥、造粒等）を行った後、成形用金型に一定量、均一に充填し、１５ＭＰaで加圧し一定時間保持することにより複合樹脂材料を圧縮し、予備成形体を得た。得られた予備成形体を成形金型から取り出して、３４５℃以上に設定した熱風循環式電気炉で２時間以上焼成し、徐冷を行ったのち電気炉から取り出し、複合樹脂材料のブロック状の成形体を得た。（実施例、比較例には無いがふっ素樹脂がテトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）の場合、圧縮成形法やコンプレッション成形法、シート押出成形法等あるが、圧縮成形法の場合、ＣＮＴ複合樹脂粒子を、必要に応じて前処理（例えば、予備乾燥、造粒等）を行った後、成形用金型に一定量、均一に充填し、３００℃以上に設定した電気炉で２時間以上焼成したのち、電気炉から取出し、油圧プレスで５ＭＰa以上で加圧冷却して複合樹脂材料のブロック状の成形体を得る。）該成形体を、切削加工（鬘むき）し、厚み２．４ｍｍのシートを作成した。得られたシートを厚み０．５ｍｍのガラスクロスと積層させ、熱融着させ、ライニングシート１を得た。得られたライニングシート１の体積抵抗率は１０２Ω・ｃｍであった。【０１５１】
〔複合樹脂材料を含まないライニングシート２の製造〕
製造例２で得た複合樹脂粒子に代えて比較用樹脂粒子６（製造例６）を用いたこと以外はライニングシート１の製造と同様にしてライニングシート２を得た。【０１５２】
〔複合樹脂材料を含む薬液管１の製造〕
上記のようにして得た複合樹脂粒子から複合樹脂材料を含む薬液管１を製造するための方法を述べる。製造例２で得た複合樹脂粒子を、必要に応じて前処理（例えば、予備乾燥、造粒等）を行った後、成形用金型に一定量、均一に充填し、１５ＭＰaで加圧し一定時間保持することにより複合樹脂材料を圧縮し、予備成形体を得た。得られた予備成形体を成形金型から取り出して、３４５℃以上に設定した熱風循環式電気炉で２時間以上焼成し、徐冷を行ったのち電気炉から取り出し、複合樹脂材料のブロック状の成形体を得た。得られた成形体を、ＣＮＣ普通旋盤（(株)滝澤鉄工所製「ＴＡＣ−５１０」）を用いて切削加工し、直径２インチの薬液管を製造した。得られた薬液管１の体積抵抗率は５．０×１０２Ω・ｃｍであった。【０１５３】
〔複合樹脂材料を含む薬液管２の製造〕
製造例２で得た複合樹脂粒子に代えて比較用樹脂粒子６（製造例６）を用いたこと以外は薬液管１の製造と同様にして薬液管２を得た。【０１５４】
〔複合樹脂材料を含む中空球状１の製造〕
上記のようにして得た複合樹脂粒子から複合樹脂材料を含む薬液管１を製造するための方法を述べる。製造例２で得た複合樹脂粒子を、必要に応じて前処理（例えば、予備乾燥、造粒等）を行った後、成形用金型に一定量、均一に充填し、１５ＭＰaで加圧し一定時間保持することにより複合樹脂材料を圧縮し、予備成形体を得た。得られた予備成形体を成形金型から取り出して、３４５℃以上に設定した熱風循環式電気炉で２時間以上焼成し、徐冷を行ったのち電気炉から取り出し、複合樹脂材料のブロック状の成形体を得た。得られた成形体を、マシニングセンタを用いた切削加工や溶接加工を行う事で、直径５０ｍｍの中空球状の成形体を製造した。得られた中空球状成形体の体積抵抗率は５．０×１０２Ω・ｃｍであった。【０１５５】
〔複合樹脂材料を含む中空球状２の製造〕
製造例２で得た複合樹脂粒子に代えて比較用樹脂粒子６（製造例６）を用いたこと以外は中空球状１の製造と同様にして中空球状２を得た。【０１５６】
実施例１
容量５０Ｌのタンクの内側面に、接着剤（例えば、エポキシ系）を用いてライニングシート１を貼り合せた。シート間の継ぎ目を、φ５ｍｍのＰＦＡの溶接棒を用いて封止した。該タンクに、薬液管１を取り付け、タンク内部に中空球状１を複数個配置させた。【０１５７】
比較例１
ライニングシート１、薬液管１、中空球状１に代えてライニングシート２、薬液管２、中空球状２を用いたこと以外は実施例１の製造と同様にして比較例１を得た。【０１５８】
帯電防止性の評価
実施例１、比較例１で製作したタンクに、シンナー（三協化学株式会社製ＮＴＸエコシンナー）を１０Ｌ入れ、ＰＴＦＥ製の拡販羽根を有した撹拌機で２８５ｒ.ｐ.ｍの回転数で１０分間撹拌を行い、電位計（ＳＩＭＣＯ製ＦＭＸ-００３）を用いてライニングシートの帯電電位を測定する事で有機溶剤に対する帯電防止性の評価を行った。その結果、比較例１は撹拌により急激に帯電し、かつ時間経過と共に帯電電位が増加する傾向にあった（約５分で１．５ｋＶ程度）。これに対して、実施例１は測定限界以下（−０.０１ｋＶ）の値であり、実施例１のタンクは、比較例１のタンクと比べ、帯電防止性に優れていることが確認された。
【符号の説明】
【０１５９】
１  タンク外缶
２  ライニング層
３  薬液投入管
３１  ライニング層
４  薬液排出管
４１  ライニング層
５  中空球状成形体
６  薬液
７  接液部
８  ライニングシート
９  タンク底部
１０  ライニングシート
１１  アース線
１２  液面
１３  アース線
１４  蓋体
１５  薬液管
１５１  ライニング層
１６  薬液運搬タンク
１７  運搬車両
１８  接続管
１９  パスボックス
２０  カプラー
２１  接続管
２２  薬液供給タンク
２４  循環ポンプ
２５  接続管
２６  フィルター
２７  接続管
２８  使用ポイント
２９  ＰＦＡ溶接棒
３０  試験片
３１  溝
３２  下チャック
３３  上チャック
３６  ノズル
５２  棒状成形体
５３  アース線
５４  ホルダー
５６  攪拌棒
５７  プロペラ
５８  アダプタ
【図１Ａ】
0006571304.tif 000021
【図１Ｂ】
0006571304.tif 000022
【図２】
0006571304.tif 000023
【図３】
0006571304.tif 000024
【図４】
0006571304.tif 000025
【図５】
0006571304.tif 000026