(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上型、下型及び中型を用いて樹脂封止成形を行う樹脂封止装置と、
前記樹脂封止装置に前記中型を搬入可能で、かつ、前記樹脂封止装置から前記中型を搬出可能な中型搬送機構と
を備え、
前記中型搬送機構は、前記中型を保持可能な中型保持部を複数有し、複数の前記中型保持部によって複数の前記中型を同時に搬送可能に構成されており、
前記中型搬送機構により、前記樹脂封止装置外に配置された装置と、前記樹脂封止装置との間において複数の前記中型を並行して循環させるよう構成されている
ことを特徴とする樹脂封止システム。
【請求項２】
複数の前記中型保持部の少なくとも１つには、樹脂封止成形後の前記中型から分離された不要樹脂を保持する不要樹脂保持部が設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の樹脂封止システム。
【請求項３】
前記樹脂封止装置の一方の側面側に、前記樹脂封止装置にワーク及び樹脂タブレットを供給するためのワーク・タブレット供給機構が配置されたワーク・タブレット供給領域が設けられ、
前記樹脂封止装置の他方の側面側に、前記中型搬送機構により搬送される前記中型に対して予熱処理及びクリーニング処理の少なくとも一方を行うための装置が配置された中型処理領域が設けられ、
前記中型搬送機構は、前記中型処理領域と前記樹脂封止装置との間を往復移動可能に構成されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の樹脂封止システム。
【請求項４】
前記中型搬送機構は、前記中型処理領域及び前記樹脂封止装置を横断して架け渡されたレール部と、前記レール部に沿って移動可能に構成され、複数の前記中型保持部を有する中型搬送本体とを備える
ことを特徴とする請求項３に記載の樹脂封止システム。
【請求項５】
前記ワーク・タブレット供給機構は、前記ワーク・タブレット供給領域及び前記樹脂封止装置を横断して架け渡されたレール部と、前記レール部に沿って移動可能に構成されたワーク・タブレット搬送本体とを備え、
前記ワーク・タブレット供給機構の前記レール部は、前記中型搬送機構の前記中型搬送本体と、前記ワーク・タブレット供給機構の前記ワーク・タブレット搬送本体とが同時に前記樹脂封止装置内に進入できるよう、前記中型搬送機構の前記レール部と異なる位置に設けられている
ことを特徴とする請求項４に記載の樹脂封止システム。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の樹脂封止システムを用いて行う樹脂封止方法であって、
複数の前記中型保持部のうちの一部の中型保持部によって、樹脂封止成形前の前記中型を前記樹脂封止装置に搬入させると共に、複数の前記中型保持部のうちの他の中型保持部によって、樹脂封止成形後の前記中型を前記樹脂封止装置から搬出させ、
前記他の中型保持部によって搬出された前記中型に対してクリーニング処理を行った後、クリーニング後の該中型を前記一部の中型保持部に保持させることで、複数の前記中型を前記中型搬送機構により並行して循環させる
ことを特徴とする樹脂封止方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体の樹脂封止成形に用いられる樹脂封止システム及び樹脂封止方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体の樹脂封止成形に用いられる樹脂封止システムとして、上型、下型及び中型を用いて樹脂封止成形を行う成形プレスユニットと、中型を成形プレスユニットの外に出し入れする複数の中型搬送機構と、成形プレスユニットに搬入される前の中型を予熱する中型予熱ユニットと、封止成形された被封止物及びランナーゲートを中型から分離するエジェクトプレスユニットと、中型を清掃する中型クリーニングユニットとを備えるものが知られている（特許文献１）。
【０００３】
特許文献１の樹脂封止システムは、複数の中型搬送機構によって、複数の中型を中型予熱ユニット、成形プレスユニット、エジェクトプレスユニット及び中型クリーニングユニットの順で互いにタイミングをずらして搬送し、この一連の動作を繰り返し行うことで、樹脂封止システム内において複数の中型を同時に循環させるよう構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４５７４０５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の樹脂封止システムは、複数の中型搬送機構によって複数の中型を搬送するものであるため、樹脂封止成形後の中型を樹脂封止成形前の中型と交換する際に、樹脂封止成形後の中型を成形プレスユニットから搬出してエジェクトプレスユニットまで搬送した後でなければ、樹脂封止成形前の中型を成形プレスユニットに搬入することができないという問題がある。このため、特許文献１の樹脂封止システムでは、インデックスの短縮を図ることが困難であるという問題がある。
【０００６】
本発明は、インデックスの短縮を図ることが可能な樹脂封止システム及び樹脂封止方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明に係る樹脂封止システムは、上型、下型及び中型を用いて樹脂封止成形を行う樹脂封止装置と、前記樹脂封止装置に前記中型を搬入可能で、かつ、前記樹脂封止装置から前記中型を搬出可能な中型搬送機構とを備え、前記中型搬送機構は、前記中型を保持可能な中型保持部を複数有し、複数の前記中型保持部によって複数の前記中型を同時に搬送可能に構成されており、前記中型搬送機構により、前記樹脂封止装置外に配置された装置と、前記樹脂封止装置との間において複数の前記中型を同時に循環させるよう構成されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る樹脂封止システムにおいて、複数の前記中型保持部の少なくとも１つには、樹脂封止成形後の前記中型から分離された不要樹脂を保持する不要樹脂保持部が設けられることが好ましい。
【０００９】
また、本発明に係る樹脂封止方法は、前記樹脂封止装置の一方の側面側に、前記樹脂封止装置にワーク及び樹脂タブレットを供給するためのワーク・タブレット供給機構が配置されたワーク・タブレット供給領域が設けられ、前記樹脂封止装置の他方の側面側に、前記中型搬送機構により搬送される前記中型に対して予熱処理及びクリーニング処理の少なくとも一方を行うための装置が配置された中型処理領域が設けられ、前記中型搬送機構は、前記中型処理領域と前記樹脂封止装置との間を往復移動可能に構成されるとしても良い。
【００１０】
この場合において、前記中型搬送機構は、前記中型処理領域及び前記樹脂封止装置を横断して架け渡されたレール部と、前記レール部に沿って移動可能に構成され、複数の前記中型保持部を有する中型搬送本体とを備えることが好ましい。
【００１１】
また、前記ワーク・タブレット供給機構は、前記ワーク・タブレット供給領域及び前記樹脂封止装置を横断して架け渡されたレール部と、前記レール部に沿って移動可能に構成されたワーク・タブレット搬送本体とを備え、前記ワーク・タブレット供給機構の前記レール部は、前記中型搬送機構の前記中型搬送本体と、前記ワーク・タブレット供給機構の前記ワーク・タブレット搬送本体とが同時に前記樹脂封止装置内に進入できるよう、前記中型搬送機構の前記レール部と異なる位置に設けられることが好ましい。
【００１２】
本発明に係る樹脂封止方法は、上述した樹脂封止システムを用いて行う樹脂封止方法であって、複数の前記中型保持部のうちの一部の中型保持部によって、樹脂封止成形前の前記中型を前記樹脂封止装置に搬入させると共に、複数の前記中型保持部のうちの他の中型保持部によって、樹脂封止成形後の前記中型を前記樹脂封止装置から搬出させ、前記他の中型保持部によって搬出された前記中型に対してクリーニング処理を行った後、クリーニング後の該中型を前記一部の中型保持部に保持させることで、複数の前記中型を前記中型搬送機構により同時に循環させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、インデックスの短縮を図ることが可能な樹脂封止システム及び樹脂封止方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係る樹脂封止システムの概略構成を示す正面斜視図である。
【図２】本実施形態に係る樹脂封止装置の概略構成を一部省略して示す正面図である。
【図３】本実施形態に係る中型搬送機構の概略構成を一部省略して示す斜視図である。
【図４】本実施形態に係るワーク供給機構の概略構成を一部省略して示す背面斜視図である。
【図５】本実施形態に係るクリーニング装置の概略構成を示す側面図である。
【図６】本実施形態に係る樹脂封止方法の成形サイクルの開始時を示す図である。
【図７】本実施形態に係る樹脂封止方法の型開き工程及び成形済中型回収工程を示す図である。
【図８】本実施形態に係る樹脂封止方法のワーク・タブレット供給工程及び中型設置工程を示す図である。
【図９】本実施形態に係る樹脂封止方法のクリーニング工程を示す図である。
【図１０】本実施形態に係る樹脂封止方法のカル廃棄工程を示す図である。
【図１１】本実施形態に係る樹脂封止方法のクリーニング後中型回収工程を示す図である。
【図１２】本実施形態に係る樹脂封止方法の予熱工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための好適な実施形態について、図面を用いて説明する。なお、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１６】
本実施形態に係る樹脂封止システム１は、図１に示すように、上型１３、下型１５及び中型１６ａ，１６ｂを用いて樹脂封止成形を行う樹脂封止装置１０と、樹脂封止装置１０に被封止物（ワーク）及び樹脂タブレットを供給するワーク・タブレット供給機構２０と、中型１６ａ，１６ｂを予熱する予熱装置３０と、中型１６ａ，１６ｂを清掃するクリーニング装置４０と、ランナー及びゲート等で成形された不要樹脂（カル）等の廃棄物が廃棄される廃棄物収集部５０と、樹脂封止システム１内において中型１６ａ，１６ｂを搬送する中型搬送機構６０とを備えている。また、樹脂封止システム１は、中型搬送機構６０から樹脂成形品Ｐを回収する成形品回収機構（図示せず）を備えている。この成形品回収機構は、種々の公知の構成を採用可能であるため、その説明を省略する。
【００１７】
本実施形態に係る樹脂封止システム１では、樹脂封止装置１０を中心として、樹脂封止装置１０の一方の側面側（図１の左側）にワーク・タブレット供給機構２０が配置され、樹脂封止装置１０の他方の側面側（図１の右側）側に予熱装置３０、クリーニング装置４０、廃棄物収集部５０及び成形品回収機構が配置されている。すなわち、本実施形態に係る樹脂封止システム１は、樹脂封止装置１０の一方の側面側の領域が、ワーク及び樹脂タブレットの格納及び搬送を行うためのワーク・タブレット供給領域となっており、樹脂封止装置１０の他方の側面側の領域が、樹脂封止装置１０に搬入される前又は樹脂封止装置１０から搬出された後の中型１６ａ，１６ｂに対して各種処理を実行するための中型処理領域となっている。そして、中型搬送機構６０は、中型処理領域から樹脂封止装置１０を通過してワーク・タブレット供給領域に至る範囲に亘って移動可能となるよう配置されている。
【００１８】
これらワーク・タブレット供給機構２０、予熱装置３０、クリーニング装置４０、廃棄物収集部５０及び中型搬送機構６０は、樹脂封止装置１０の両側面方向に延びる長尺なベース２上に設けられており、樹脂封止装置１０は、ベース２の略中央部分に形成された収容スペースに収容されている。すなわち、これらワーク・タブレット供給機構２０、樹脂封止装置１０、予熱装置３０、クリーニング装置４０及び廃棄物収集部５０は、ベース２の一方の端部（図１の左端部）から他方の端部（図１の右端部）に向かって、ワーク・タブレット供給機構２０→樹脂封止装置１０→予熱装置３０→クリーニング装置４０→廃棄物収集部５０の順でベース２の長手方向に沿って配置されており、中型搬送機構６０は、この列と平行となるようベース２の長手方向に沿って配置されている。なお、成形品回収機構は、中型処理領域の適宜の位置に配置されている。
【００１９】
樹脂封止装置１０は、図１及び図２に示すように、床面上に載置された矩形板状の下プラテン１１と、下プラテン１１の四隅から上方に向けて延びる４本のタイバー１０ａと、４本のタイバー１０ａの上端部に四隅が連結された矩形板状の上プラテン１２と、４本のタイバー１０ａが四隅を貫通し、下プラテン１１及び上プラテン１２の間においてタイバー１０ａに沿って昇降可能に設けられた矩形板状の移動プラテン１４と、下プラテン１１と移動プラテン１４との間に設けられ、移動プラテン１４を昇降させる昇降型締機構１８とを備えている。昇降型締機構１８は、油圧式又は電動式型締シリンダや、油圧式又は電動式トグルリンク型締機構等の種々の型締機構を採用することが可能である。なお、本実施形態に係る樹脂封止装置１０において、これら下プラテン１１、タイバー１０ａ、上プラテン１２、移動プラテン１４及び昇降型締機構１８は、種々の公知の構成を採用することが可能であるため、その詳細な説明を省略する。
【００２０】
また、樹脂封止装置１０は、上プラテン１２の下面に取り付けられた上型１３と、移動プラテン１４の上面（上型１２と対向する面）に取り付けられた下型１５と、上型１３及び下型１５と共に金型キャビティを形成可能な中型１６ａ，１６ｂとを更に備えている。下型１５には、樹脂タブレットを収容可能な複数（本実施形態では５つ）の収容ポット（図示せず）が形成されており、この収容ポットには、それぞれ、収容ポット内に収容された樹脂タブレットを金型キャビティに向けて押し出すプランジャ（図示せず）が配置されている。また、下型１５には、樹脂封止成形後に中型１６ａ，１６ｂを下型１５から離型させるためのエジェクト機構（図示せず）が配置されている。なお、本実施形態に係る樹脂封止装置１０において、これら上型１３、下型１５、収容ポット、プランジャ及びエジェクト機構は、公知の種々の構成を採用することが可能であるため、その詳細な説明を省略する。
【００２１】
中型１６ａ，１６ｂは、複数（本実施形態では２つ）設けられ、これら複数の中型１６ａ，１６ｂが順番に（本実施形態では交互に）上型１３と下型１５との間に配置されることで、上型１３、下型１５及び１つの中型１６ａ（又は１６ｂ）によって金型キャビティが形成されるよう構成されている。これら複数の中型１６ａ，１６ｂは、いずれも同一の構造を有している。中型１６ａ，１６ｂは、それぞれ、所定の厚みを有する矩形板状に形成されており、下面から上面に亘って貫通し、下型１５上に載置された際に下型１５の収容ポットと連通する連通孔と、上面に形成され、連通孔を介して流入した樹脂が流動するランナーと、下面に形成され、被封止物となる半導体が配置されるキャビティ部と、ランナーを流動する樹脂をキャビティ部内に流入させるゲートとが、それぞれ複数（本実施形態では５つ）ずつ形成されている。また、中型１６ａ，１６ｂの正面部には、クリーニング装置４０の後述する一対の棒状支持部４９が挿入される一対の挿入孔が形成されている。また、上型１３、下型１５及び中型１６ａ，１６ｂには、樹脂封止成形後に、ランナー及びゲート等で成形された不要樹脂（カル）と、樹脂成形品Ｐと、中型１６ａ，１６ｂとをそれぞれ分離させるためのエジェクト機構（図示せず）が適宜配置されている。なお、このエジェクト機構は、公知の種々の構成を採用することが可能であるため、その詳細な説明を省略する。
【００２２】
以上の構成を備える中型１６ａ，１６ｂは、樹脂封止装置１０の機体に固定されておらず、中型搬送機構６０によって、樹脂封止装置１０、予熱装置３０及びクリーニング装置４０のいずれかに予め定められた処理フローに基づいて搬送される。
【００２３】
中型搬送機構６０は、図１〜図３に示すように、ベース２の長手方向と平行に延び、中型処理領域及び樹脂封止装置１０を横断して架け渡されたレール部６２と、一対のスライダ部６３，６３を介してレール部６２に摺動移動可能に取り付けられた中型搬送本体６４と、レール部６２に沿って中型搬送本体６４を往復移動させる駆動部（図示せず）と、駆動部を制御する制御部（図示せず）とを備えている。駆動部は、例えばサーボモータ等の種々の公知の駆動手段を採用することができ、制御部から出力される制御信号に基づいて中型搬送本体６４を駆動するよう構成されている。
【００２４】
レール部６２は、図１に示すように、ベース２の中型処理領域側の端部（図１の右端部）から樹脂封止装置１０を通過してワーク・タブレット供給領域にやや進入する長さを有する長尺な板部材であり、図１及び図２に示すように、ワーク・タブレット供給機構２０の後述するレール部２３と前後方向にずれた位置（本実施形態では後方側の位置）かつこのレール部２３よりも高い位置において、ベース２に立設された複数の支持板により支持されている。
【００２５】
中型搬送本体６４は、図３に示すように、上面部６４ａ及び背面部６４ｂからなる断面倒Ｌ字状に形成されており、２つの中型１６ａ，１６ｂを直列的に並べて保持可能な長さを長手方向に有している。中型搬送本体６４は、背面部６４ｂに、一対のスライダ部６３，６３が長手方向に沿って離間して取り付けられており、これら一対のスライダ部６３，６３がレール部６２に取り付けられることにより、中型搬送本体６４の長手方向がレール部６２の延在方向と平行となるよう構成されている。中型搬送本体６４の上面部６４ａの下面には、それぞれ１つの中型１６ａ，１６ｂを保持可能に構成された第１中型保持部６６及び第２中型保持部６８が、中型搬送本体６４の長手方向に沿って並べて設けられている。
【００２６】
第１中型保持部６６は、図２及び図３に示すように、中型搬送本体６４の長手方向の一方側に設けられており、左右一対の中型支持片６７ａ，６７ｂを備えている。一対の中型支持片６７ａ，６７ｂは、中型１６ａ（１６ｂ）の長手方向の長さよりもやや大きい幅をおいて離間して設けられており、その下端部が互いに接近する方向に屈曲して延出することにより、これら左右一対の中型支持片６７ａ，６７ｂ間において１つの中型１６ａ（１６ｂ）を保持可能に構成されている。また、中型支持片６７ａ，６７ｂは、種々の駆動手段により、上端部を中心に回動可能、又は、互いに離間する方向に移動可能に構成されており、一対の中型支持片６７ａ，６７ｂの間において中型１６ａ（１６ｂ）を保持する状態（保持状態）と、保持した中型１６ａ（１６ｂ）を解放する状態（解放状態）との間において、変位可能に構成されている。
【００２７】
第２中型保持部６８は、中型搬送本体６４の長手方向の他方側に設けられており、１つの中型１６ｂ（１６ａ）を保持する左右一対の中型支持片６９ａ，６９ｂと、中型１６ｂ（１６ａ）から分離された樹脂成形品Ｐを受け止める左右一対の成形品支持片７０ａ，７０ｂと、中型１６ｂ（１６ａ）から分離されたカル（図示せず）を吸着させるカル吸着部（不要樹脂保持部）７２とを備えている。中型支持片６９ａ，６９ｂは、第１中型保持部６６の中型支持片６７ａ，６７ｂと同様の構成を有している。成形品支持片７０ａ，７０ｂは、それぞれＬ字状に形成されており、その上端が中型搬送本体６４の上面部６４ａに連結されている。また、一対の成形品支持片７０ａ，７０ｂは、樹脂成形品Ｐの長手方向の長さよりもやや小さい幅をおいて離間して設けられており、これら一対の成形品支持片７０ａ，７０ｂによって中型１６ｂ（１６ａ）から分離された樹脂成形品Ｐの下面を支持するよう構成されている。カル吸着部７２は、フレキシブルチューブ（図示せず）を介して真空ポンプ（図示せず）と接続されており、真空ポンプの駆動によって、中型１６ｂ（１６ａ）から分離されたカル（図示せず）を吸着させるよう構成されている。
【００２８】
中型搬送機構６０の制御部は、第１中型保持部６６が予熱装置３０に中型１６ａ（１６ｂ）を設置し、予熱された中型１６ａ（１６ｂ）を回収する位置（予熱中型設置・回収位置）と、第２中型保持部６８が樹脂封止装置１０内に進入し、樹脂封止成形後の中型１６ｂ（１６ａ）を回収する位置（成形済中型回収位置）と、第１中型保持部６６が樹脂封止装置１０内に中型１６ａ（１６ｂ）を設置する位置（中型設置位置）と、第２中型保持部６８により保持された樹脂封止成形後の中型１６ｂ（１６ａ）をクリーニング装置４０に受け渡す位置（クリーニング位置）と、第２中型保持部６８のカル吸着部７２により保持されたカルを廃棄物収集部５０に廃棄する位置（カル廃棄位置）と、第１中型保持部６６がクリーニング後の中型１６ｂ（１６ａ）を受け取る（クリーニング後中型回収位置）とに、予熱中型設置・回収位置→成形済中型回収位置→中型設置位置→クリーニング位置→カル廃棄位置→クリーニング後中型回収位置の順番で、適宜のタイミングで中型搬送本体６４が搬送され、かつ、この動作を繰り返し実行するよう、予め定められたプログラムに基づいて駆動部を制御するよう構成されている。なお、第１中型保持部６６と第２中型保持部６８との間隔が、クリーニング装置４０と廃棄物収集部５０との間隔と概ね同じである場合には、カル廃棄位置とクリーニング後中型回収位置との間において、中型搬送本体６４は移動されなくても良い（図１０及び図１１参照）。
【００２９】
また、中型搬送機構６０の制御部は、予熱中型設置・回収位置及び中型設置位置において、第１中型保持部６６の中型支持片６７ａ，６７ｂにより中型１６ａ（１６ｂ）の保持又は解放動作が行われ、成形済中型回収位置において、第２中型保持部６８の中型支持片６９ａ，６９ｂにより中型１６ｂ（１６ａ）の保持動作が行われると共に、カル吸着部７２により中型１６ｂ（１６ａ）から分離されたカルを保持する動作が行われ、カル廃棄位置において、カル吸着部７２による吸着が解除されるよう、予め定められたプログラムに基づいて駆動部を制御するよう構成されている。
【００３０】
ワーク・タブレット供給機構２０は、図１及び図４に示すように、樹脂封止装置１０内にワーク及び樹脂タブレットを搬送するワーク・タブレット搬送装置２２と、ワーク・タブレット搬送装置２２にワークを供給するワーク供給装置２６と、ワーク・タブレット搬送装置２２に樹脂タブレットを供給するタブレット供給装置２８とを備えている。また、ワーク・タブレット供給機構２０は、ワーク・タブレット搬送装置２２、ワーク供給装置２６及びタブレット供給装置２８にそれぞれ設けられた駆動部（図示せず）と、各駆動部を同期して又は非同期状態で制御する制御部（図示せず）とを更に備えている。各駆動部は、例えばサーボモータ等の種々の公知の駆動手段を採用することができ、制御部から出力される制御信号に基づいて動作するよう構成されている。
【００３１】
ワーク・タブレット搬送装置２２は、図１、図２及び図４に示すように、ベース２の長手方向と平行に延び、ワーク・タブレット供給領域及び樹脂封止装置１０を横断して架け渡されたレール部２３と、レール部２３に摺動移動可能に取り付けられた一対のスライダ部２４，２４と、一対のスライダ部２４，２４に取り付けられたワーク・タブレット搬送本体２５とを備えている。
【００３２】
レール部２３は、図１に示すように、ワーク・タブレット搬送本体２５がワーク・タブレット供給領域内と樹脂封止装置１０内との間を往復移動可能な長さを有する長尺な板部材である。このレール部２３は、ワーク・タブレット搬送本体２５と中型搬送機構６０の中型搬送本体６４とが同時に樹脂封止装置１０内に進入できるよう、中型搬送機構６０のレール部６２と異なる位置に設けられている。具体的には、レール部２３は、図１及び図２に示すように、中型搬送機構６０のレール部６２と前後方向にずれた位置（本実施形態では前方側の位置）かつこのレール部６２よりも低い位置において、ベース２に立設された複数の支持板により支持されている。
【００３３】
ワーク・タブレット搬送本体２５は、図４に示すように、樹脂タブレットを一時的に収容可能な複数のサブポット２５ａと、ワークを一時的に収容可能なワーク収容部２５ｂとを有するブロック状の部材からなり、一対のスライダ部２４，２４を介してレール部２３に摺動移動可能に取り付けられている。サブポット２５ａは、樹脂封止装置１０の下型１５に形成された収容ポットと同数（本実施形態では５つ）形成されている。
【００３４】
ワーク供給装置２６は、ＩＣチップ等の半導体が実装された基板（リードフレーム）からなるワークを複数収容するラックと、ラックに収容されたワークを１枚ずつワーク・タブレット搬送本体２５に搭載させる搭載手段とを備えており、ワーク・タブレット供給領域内に設置されている。このワーク供給装置２６は、制御部によって適宜のタイミングで搭載手段を動作させることにより、ワーク・タブレット搬送本体２５にワークを１枚ずつ搭載するよう構成されている。
【００３５】
タブレット供給装置２８は、基板をモールド加工（樹脂封止成形）するための樹脂タブレットを多数収容するタブレット収容器（図示せず）と、タブレット収容器内の樹脂タブレットを摘み出してワーク・タブレット搬送本体２５まで搬送し、樹脂タブレットをワーク・タブレット搬送本体２５に搭載させる搭載手段２８ａとを備えており、ワーク・タブレット供給領域内に設置されている。タブレット収容器は、ベース２よりも下方に配置された容器であり、複数の樹脂タブレットを整列して収容可能に構成されている。搭載手段２８ａは、上下方向に沿って延びる一対のレール２８ｂ，２８ｃに沿って昇降可能に構成されており、降下位置において、タブレット収容器から複数（本実施形態では５つ）の樹脂タブレットを摘み出し可能で、かつ、上昇位置において、摘み出した樹脂タブレットをワーク・タブレット搬送本体２５のサブポット２５ａにそれぞれ搭載させることが可能に構成されている。
【００３６】
以上の構成を備えるワーク・タブレット供給機構２０は、ワーク・タブレット供給領域内と樹脂封止装置１０内との間においてワーク・タブレット搬送本体２５を往復移動させることが可能で、かつ、ワーク・タブレット供給領域内においてワーク及び樹脂タブレットが搭載されたワーク・タブレット搬送本体２５を樹脂封止装置１０内に移動させ、ワーク・タブレット搬送本体２５により搬送された樹脂タブレットを下型１５に形成された収容ポットにそれぞれ投下させると共に、下型１５の所定の位置にワークを載置させることが可能に構成されている。
【００３７】
予熱装置３０は、図１に示すように、中型搬送機構６０の中型搬送本体６４の第１中型保持部６６に保持された中型１６ａ（１６ｂ）を載置可能な載置面を有し、この載置面に載置された中型１６ａ（１６ｂ）を加熱する加熱体３２と、加熱体３２を昇降可能に支持する昇降移動部３４とを備えている。この予熱装置３０は、昇降移動部３４によって加熱体３２が上昇された位置において中型１６ａ（１６ｂ）を加熱し、中型１６ａ（１６ｂ）の加熱が完了した後に、昇降移動部３４によって加熱体３２が退避位置まで下降するよう構成されている。
【００３８】
クリーニング装置４０は、図１及び図５に示すように、１つの中型１６ｂ（１６ａ）を清掃するクリーニング装置本体４２と、中型搬送機構６０の中型搬送本体６４の第２中型保持部６８とクリーニング装置本体４２との間において中型１６ｂ（１６ａ）を搬送する搬送部４４とを備えている。なお、クリーニング装置本体４２は、例えばブラッシングにより中型１６ｂ（１６ａ）をクリーニングする構成や、吸引手段によって中型１６ｂ（１６ａ）をクリーニングする構成等の種々の公知のクリーニング手段を採用することができるため、その説明を省略する。
【００３９】
搬送部４４は、図１及び図５に示すように、中型１６ｂ（１６ａ）に対して接近又は離間する方向に移動可能な前後移動体４６と、中型１６ｂ（１６ａ）を上下方向に沿って搬送することが可能な上下移動体４８とを備えている。具体的には、搬送部４４は、ベース２の長手方向と直交する方向に延びるようベース２上に設置された一対の前後ガイドレール４５と、前後ガイドレール４５に沿って移動可能に構成された前後移動体４６と、上下方向に沿って延びるよう前後移動体４６に設けられた一対の上下ガイドレール４７と、上下ガイドレール４７に沿って移動可能に構成された上下移動体４８とを備えている。上下移動体４８は、中型１６ｂ（１６ａ）の正面に形成された一対の挿入孔に係合可能な一対の棒状支持部４９を有している。
【００４０】
この搬送部４４は、上下移動体４８が上昇した状態において、前後移動体４６を中型搬送機構６０の中型搬送本体６４の第２中型保持部６８に保持された中型１６ｂ（１６ａ）に接近させることで、上下移動体４８の棒状支持部４９を中型１６ｂ（１６ａ）の挿入孔に挿入して係合させることが可能に構成されている。また、搬送部４４は、上下移動体４８の棒状支持部４９が中型１６ｂ（１６ａ）の挿入孔と係合した状態において、上下移動体４８を僅かに上昇させて第２中型保持部６８から中型１６ｂ（１６ａ）を離間させ、その後、前後移動体４６を後退移動（第２中型保持部６８から離間する方向に移動）させることにより、第２中型保持部６８から中型１６ｂ（１６ａ）を取り出すことが可能に構成されている。さらに、搬送部４４は、中型１６ｂ（１６ａ）を取り出した状態において、上下移動体４８を下降させ、その後、前後移動体４６を前進移動（クリーニング装置本体４２に接近する方向に移動）させることにより、中型１６ｂ（１６ａ）をクリーニング装置本体４２内に挿入することが可能に構成されている。また、搬送部４４は、以上の動作と逆の動作を行うことにより、クリーニング後の中型１６ｂ（１６ａ）を第１中型保持部６６に受け渡すことが可能に構成されている。
【００４１】
廃棄物収集部５０は、図１に示すように、カルを収集する収集容器５２と、収集容器５２の上部に設けられ、第２中型保持部６８のカル吸着部７２から投下されたカルを収集容器５２に向けて導くガイド部材５４とを備えている。
【００４２】
次に、本実施形態に係る樹脂封止システム１の動作、すなわち、本実施形態に係る樹脂封止システム１を用いて行う樹脂封止方法について、図６〜図１２を用いて説明する。なお、以下の樹脂封止システム１の動作は、予め記憶部に記憶されたプログラムに基づいて、各構成要素が駆動制御されることにより実行される。
【００４３】
図６には、一方の中型（以下、「第２中型１６ｂ」と称呼する）を用いて樹脂封止装置１０内において樹脂封止成形が実行され、かつ、他方の中型（以下、「第１中型１６ａ」と称呼する）が予熱装置３０において予熱されている状態が図示されている。この状態において、中型搬送機構６０の中型搬送本体６４は、予熱された第１中型１６ａを第１中型保持部６６によって回収可能な位置（予熱中型設置・回収位置）に位置している。また、ワーク・タブレット供給機構２０のワーク・タブレット搬送本体２５には、ワーク供給装置２６及びタブレット供給装置２８からワーク及び樹脂タブレットが供給されている。以下、この図６の状態を成形サイクルの開始時として、その後の動作について説明する。
【００４４】
所定のキュア時間が経過した後、樹脂封止装置１０が型開きされ、第２中型１６ｂのエジェクト機構によって、カル、樹脂成形品Ｐ及び第２中型１６ｂがそれぞれ分離されると共に、下型１５のエジェクト機構によって、第２中型１６ｂが下型１５から離型される（型開き工程）。また、予熱装置３０の加熱体３２が退避位置まで下降する。この状態において、中型搬送機構６０の中型搬送本体６４は、予熱された第１中型１６ａを第１中型保持部６６によって保持したまま、第２中型保持部６８が樹脂封止装置１０内に位置するまで、レール部６２に沿って移動する。この際、第１中型１６ａを保持する第１中型保持部６６は、樹脂封止装置１０を通過してワーク・タブレット供給領域内に進入する。そして、中型搬送本体６４がこの成形済中型回収位置に位置している状態において、図７に示すように、第２中型保持部６８の中型支持片６９ａ，６９ｂによって第２中型１６ｂを把持し、回収する。また、第２中型保持部６８の成形品支持片７０ａ，７０ｂによって樹脂成形品Ｐを保持すると共に、カル吸着部７２によってカルを保持する（成形済中型回収工程）。
【００４５】
第２中型保持部６８によって第２中型１６ｂ、樹脂成形品Ｐ及びカルが回収された後、種々の公知の構成により、上型１３及び下型１５がクリーニングされる。その後、図８に示すように、樹脂封止装置１０に対するワーク及び樹脂タブレットの供給と、第１中型１６ａを樹脂封止装置１０内に設置する動作が並行して実行される。具体的には、型開き状態の樹脂封止装置１０内にワーク・タブレット供給機構２０のワーク・タブレット搬送本体２５が進入し、下型１５に形成された収容ポットに樹脂タブレットを供給すると共に、下型１５の所定の位置にワークを載置させる（ワーク・タブレット供給工程）。また、これと並行して、ワーク・タブレット供給領域内に進入していた第１中型保持部６６が樹脂封止装置１０内に再度進入するよう、中型搬送機構６０の中型搬送本体６４がレール部６２に沿って移動する。そして、ワーク及び樹脂タブレットの供給が完了し、ワーク・タブレット搬送本体２５がワーク・タブレット供給領域内に退避した後に、第１中型保持部６６による第１中型１６ａの把持を解除し、下型１５上に第１中型１６ａを設置する（中型設置工程）。
【００４６】
樹脂封止装置１０内に第１中型１６ａが設置された後、図９に示すように、第２中型保持部６８がクリーニング装置４０に対応する位置（クリーニング位置）に至るまで、中型搬送機構６０の中型搬送本体６４がレール部６２に沿って移動する。そして、クリーニング位置において、第２中型１６ｂがクリーニング装置４０に受け渡され、クリーニング装置４０によってクリーニングされる（クリーニング工程）。また、図示しない成形品回収機構によって、樹脂成形品Ｐが回収される。さらに、中型搬送本体６４が樹脂封止装置１０内から退避した後、樹脂封止装置１０が型締され、上型１３、下型１５及び第１中型１６ａを用いて樹脂封止成形が実行される。
【００４７】
第２中型１６ｂ及び樹脂成形品Ｐがクリーニング装置４０及び成形品回収機構にそれぞれ受け渡された後、図１０に示すように、第２中型保持部６８が廃棄物収集部５０に対応する位置（カル廃棄位置）に至るまで、中型搬送機構６０の中型搬送本体６４がレール部６２に沿って移動する。そして、この状態において第２中型保持部６８のカル吸着部７２による吸引を停止し、カル吸着部７２により保持されたカルを廃棄物収集部５０のガイド部材５４を介して収集容器５２内に落下させる（カル廃棄工程）。これにより、第２中型１６ｂから除去されたカルが廃棄物収集部５０に廃棄される。
【００４８】
カルが廃棄物収集部５０に廃棄された後、図１１に示すように、クリーニング装置４０によってクリーニングされた第２中型１６ｂが第１中型保持部６６に受け渡される（クリーニング後中型回収工程）。なお、本実施形態に係る樹脂封止システム１では、第１中型保持部６６と第２中型保持部６８との間隔が、クリーニング装置４０と廃棄物収集部５０との間隔と概ね同じであるため、カル廃棄位置とクリーニング後中型回収位置において、中型搬送本体６４の位置は同じとなる。このため、カル廃棄工程からクリーニング後中型回収工程への移行時に中型搬送本体６４は移動しない。一方、カル廃棄位置とクリーニング後中型回収位置において中型搬送本体６４の位置が異なる場合には、カル廃棄工程後、クリーニング後中型回収工程前に、第１中型保持部６６がクリーニング装置４０に対応する位置（クリーニング位置）に至るまで、中型搬送機構６０の中型搬送本体６４がレール部６２に沿って移動する動作が行われる。
【００４９】
第２中型１６ｂが第１中型保持部６６に受け渡された後、図１２に示すように、第１中型保持部６６が予熱装置３０に対応する位置（予熱中型設置・回収位置）に至るまで、中型搬送機構６０の中型搬送本体６４がレール部６２に沿って移動する。この移動の際、図示しない公知の検査手段によってクリーニング後の第２中型１６ｂが検査され、クリーニングが不十分である場合には、中型搬送本体６４の移動が停止されると共に、エラー音が報知されるとしても良い。そして、第１中型保持部６６が予熱中型設置・回収位置に至った状態において、予熱装置３０の加熱体３２が上昇し、第２中型１６ｂを予熱する（予熱工程）。また、ワーク・タブレット供給機構２０のワーク・タブレット搬送本体２５には、ワーク供給装置２６及びタブレット供給装置２８からワーク及び樹脂タブレットが供給される。
【００５０】
以上の工程により、図６に示す成形サイクルの開始時の状態に対して、第１中型１６ａと第２中型１６ｂとが置き換わった状態となる。したがって、以降、第１中型１６ａと第２中型１６ｂとを適宜読み替えて、上述した工程を繰り返し実施することにより、樹脂封止システム１内において第１中型１６ａ及び第２中型１６ｂを同時に循環させ、樹脂成形品Ｐを連続して成形することができる。
【００５１】
以上説明したとおり、本実施形態に係る樹脂封止システム１は、上型１３、下型１５及び中型１６ａ，１６ｂを用いて樹脂封止成形を行う樹脂封止装置１０と、樹脂封止装置１０に中型１６ａ，１６ｂを搬入可能で、かつ、樹脂封止装置１０から中型１６ａ，１６ｂを搬出可能な中型搬送機構６０とを備え、中型搬送機構６０が、中型１６ａ，１６ｂを保持可能な中型保持部６６，６８を複数有し、複数の中型保持部６６，６８によって複数の中型１６ａ，１６ｂを同時に搬送可能に構成されており、中型搬送機構６０により、樹脂封止装置１０外に配置された装置３０，４０と、樹脂封止装置１０との間において複数の中型１６ａ，１６ｂを同時に循環させるよう構成されている。
【００５２】
そして、本実施形態に係る樹脂封止システム１は、このように、単一の中型搬送機構６０に設けられた複数の中型保持部６６，６８によって複数の中型１６ａ，１６ｂを同時に搬送するものであるため、中型搬送機構６０が樹脂封止装置１０内に進入する一度の動作において、一方の中型保持部６８（６６）によって樹脂封止成形後の中型１６ｂ（１６ａ）を樹脂封止装置１０から取り出す処理と、他方の中型保持部６６（６８）によって樹脂封止成形前の中型１６ａ（１６ｂ）を樹脂封止装置１０に配置する処理とを連続して行うことが可能となる。また、樹脂封止装置１０において中型１６ａ（１６ｂ）を用いて樹脂封止成形が実行されている間に、樹脂封止装置１０から取り出した中型１６ｂ（１６ａ）を樹脂封止装置１０外に配置された装置３０，４０によってクリーニングや予熱等の各種処理を実行し、樹脂封止成形後に、再度中型搬送機構６０を樹脂封止装置１０内に進入させて、中型１６ａ，１６ｂを交換することが可能となる。このような本実施形態に係る樹脂封止システム１によれば、樹脂封止装置１０に導入する中型１６ａ，１６ｂの交換作業を効率的かつ短時間で実行することができると共に、樹脂封止装置１０において樹脂封止成形が実行されている間に、樹脂成形品Ｐの取り出しや中型１６ａ，１６ｂのクリーニングや予熱等の各種処理を並行して実行することができるため、インデックスの短縮を図ることが可能である。
【００５３】
また、本実施形態に係る樹脂封止システム１は、ワーク・タブレット供給機構２０のレール部２３が、ワーク・タブレット搬送本体２５と中型搬送機構６０の中型搬送本体６４とが同時に樹脂封止装置１０内に進入できるよう、中型搬送機構６０のレール部６２と異なる位置に設けられている。このような本実施形態に係る樹脂封止システム１によれば、中型搬送機構６０の中型搬送本体６４による中型１６ａ，１６ｂの交換作業と、ワーク・タブレット供給機構２０のワーク・タブレット搬送本体２５によるワーク及び樹脂タブレットの供給作業とを同時に並行して実行することが可能となるため、より一層インデックスの短縮を図ることが可能である。
【００５４】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は、上述した実施形態に記載の範囲には限定されない。上記各実施形態には、多様な変更又は改良を加えることが可能である。
【００５５】
例えば、上述した実施形態では、樹脂封止システム１が予熱装置３０、クリーニング装置４０、廃棄物収集部５０及び成形品回収機構を備えるものとして説明したが、これに限定されるものではない。樹脂封止システムは、樹脂封止装置及び中型搬送機構を備え、中型搬送機構によって樹脂封止装置と樹脂封止装置外に配置された装置との間において複数の中型を同時に循環させるよう構成されたものであれば、種々の構成を採用することができる。
【００５６】
また、上述した実施形態では、樹脂封止装置１０を中心として、樹脂封止装置１０の一方の側面側の領域がワーク・タブレット供給領域であり、他方の側面側の領域が中型処理領域であるものとして説明したが、これに限定されず、ワーク・タブレット供給領域と中型処理領域との配置関係は、適宜変更することが可能である。また、上述した実施形態では、ワーク・タブレット供給機構２０、樹脂封止装置１０、予熱装置３０、クリーニング装置４０及び廃棄物収集部５０がベース２の長手方向に沿って並べて配置されるものとして説明したが、これに限定されず、これらの構成の配置箇所は、適宜変更することが可能である。
【００５７】
さらに、上述した実施形態では、５つの半導体が並列して実装された基板（リードフレーム）をワーク（封止対象）としていることから、下型１５の収容ポットと、中型１６ａ，１６ｂの連通孔、ランナー、キャビティ部及びゲートと、ワーク・タブレット搬送本体２５のサブポット２５ａとがそれぞれ５つ形成されるとしたが、これに限定されず、これらの数は、封止対象とする基板（リードフレーム）に付設される半導体の数に対応して適宜変更される。
【００５８】
またさらに、上述した実施形態では、中型搬送機構６０に２つの中型保持部（第１中型保持部６６及び第２中型保持部６８）が設けられ、２つの中型を樹脂封止システム内において同時に循環させるものとして説明したが、これに限定されず、中型保持部が３つ以上設けられ、３つ以上の中型を樹脂封止システム内において同時に循環させる構成としても良い。
【００５９】
また、上述した実施形態では、第１中型保持部６６及び第２中型保持部６８が、それぞれ左右一対の中型支持片６７ａ，６７ｂ，６９ａ，６９ｂによって中型１６ａ，１６ｂを挟み込んで保持するものとして説明したが、これに限定されず、例えば真空吸着により保持する構成等、種々の保持手段を採用することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１  樹脂封止システム、１０  樹脂封止装置、１３  上型、１５  下型、１６ａ  第１中型（中型）、１６ｂ  第２中型（中型）、２０  ワーク・タブレット供給機構、２３  レール部、２５  ワーク・タブレット搬送本体、３０  予熱装置、４０  クリーニング装置、６０  中型搬送機構、６２  レール部、６４  中型搬送本体、６６  第１中型保持部（中型保持部）、６８  第２中型保持部（中型保持部）、７２  カル吸着部（不要樹脂保持部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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