(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象圧力の変化を測定する圧力変化測定装置であって、
前記測定対象圧力を伝達する圧力伝達媒体が流入するキャビティと、前記圧力伝達媒体を前記キャビティ内外に流通させる連通孔と、を有し、前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力との差圧に関する情報を含む出力信号を出力する差圧センサと、
前記測定対象圧力の変化を算出する演算処理部と、
前記差圧が所定の範囲内にある所定状態における前記差圧センサの出力信号に基づいて、当該出力信号の基準値を表す基準値信号を設定する基準値設定部と、
を備え、
前記演算処理部は、
前記出力信号と前記基準値信号とに基づいて、前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力との差圧を算出する差圧算出部と、
前記キャビティの内部圧力の予め設定された設定値と、前記差圧算出部により算出された差圧とに基づいて、前記測定対象圧力を算出する測定対象圧力算出部と、
前記差圧算出部により算出された差圧に基づいて、前記キャビティ内外を流通する圧力伝達媒体の所定時間の流通量を算出する流量算出部と、
前記流量算出部により算出された前記流通量と前記キャビティの容積とに基づいて、
所定時間後の前記キャビティの内部圧力を算出し、当該算出した内部圧力で前記測定対象圧力算出部にて用いる前記キャビティの内部圧力の前記設定値を更新する内圧更新部と、
を有することを特徴とする圧力変化測定装置。
【請求項２】
前記基準値設定部は、
前記差圧センサの前記出力信号に基づいて前記基準値信号を生成する判定部を有しており、
前記判定部は、前記差圧センサの出力信号の分布が所定範囲内にあるか否かを判断し、
前記所定範囲内にあると判断した場合に前記所定状態であると判定して前記基準値信号を生成することを特徴とする請求項１に記載の圧力変化測定装置。
【請求項３】
前記基準値設定部は、前記測定対象圧力の変動有無を検知する検知部を有し、
前記判定部は、前記検知部により前記測定対象圧力の変動がないと検知した場合に、前記差圧センサの出力信号の分布が前記所定範囲内にあるか否かを判断することを特徴とする請求項２に記載の圧力変化測定装置。
【請求項４】
前記検知部は、前記圧力変化測定装置の周囲の絶対圧を検出する絶対圧センサであって、
前記判定部は、前記絶対圧センサの出力信号の変化に基づいて前記測定対象圧力の変動有無を検知することを特徴とする請求項３に記載の圧力変化測定装置。
【請求項５】
前記検知部は、前記差圧センサと前記測定対象圧力との間に設けられた通気孔付き筐体と、前記通気孔に接続された流量センサとであって、
前記判定部は、前記流量センサの出力信号の変化に基づいて前記測定対象圧力の変動有無を検知することを特徴とする請求項３に記載の圧力変化測定装置。
【請求項６】
前記検知部は、さらに前記圧力変化測定装置が静止状態にあるか否かを検知し、
前記判定部は、前記検知部により前記静止状態にあると検知した場合に、前記所定範囲内にあるか否かを判断することを特徴とする請求項３に記載の圧力変化測定装置。
【請求項７】
前記検知部は、前記圧力変化測定装置に作用する慣性力を検出する慣性センサを含み、
前記判定部は、前記慣性センサの出力信号の変化に基づいて前記静止状態を検知することを特徴とする請求項６に記載の圧力変化測定装置。
【請求項８】
前記検知部は、前記圧力変化測定装置の測位情報を取得する測位システム機構であって、
前記判定部は、前記測位システム機構の測位情報の変化に基づいて前記静止状態を検知することを特徴とする請求項６に記載の圧力変化測定装置。
【請求項９】
前記基準値設定部は、前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力とを等しくするための圧力調整部を有し、
前記判定部は、前記差圧センサより前記出力信号を取得する前に、前記圧力調整部により前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力とを等しくする調整を行うことを特徴とする請求項２〜８の何れか一項に記載の圧力変化測定装置。
【請求項１０】
前記圧力調整部は、前記キャビティ内部に外気を通気させる前記連通孔と別体の通気口を開閉する開閉機構であることを特徴とする請求項９に記載の圧力変化測定装置。
【請求項１１】
前記基準値設定部は、前記差圧を所定値に変化させる差圧制御部を有し、
前記判定部は、前記差圧センサより前記出力信号を取得する前に、前記差圧制御部により前記差圧を制御して変動させることを特徴とする請求項２〜８の何れか一項に記載の圧力変化測定装置。
【請求項１２】
前記差圧制御部は、前記キャビティを形成するキャビティ筐体に設けられたメンブレン型アクチュエータであることを特徴とする請求項１１に記載の圧力変化測定装置。
【請求項１３】
前記差圧センサは、
前記連通孔を除く前記キャビティの開口面を塞ぐように設けられ、前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力との差圧に応じて撓み変形するカンチレバーと、
前記カンチレバーの撓み変形に応じた変位を測定する変位測定部と、
を有することを特徴とする請求項１〜１２の何れか一項に記載の圧力変化測定装置。
【請求項１４】
前記差圧センサは、
前記連通孔が前記キャビティの開口部側と連接された通路形状からなり、
前記連通孔内に配置された熱源と、
前記熱源を挟んで等間隔に配置された一対の温度センサと、
前記一対の温度センサの出力信号に応じて、前記連通孔両端の差圧を測定する差圧測定部と、
を有することを特徴とする請求項１〜１２の何れか一項に記載の圧力変化測定装置。
【請求項１５】
前記圧力変化測定装置から得られた前記測定対象圧力の変化を高度情報量に変換して出力することを特徴とする請求項１〜１４の何れか一項に記載の圧力変化測定装置を用いた高度測定装置。
【請求項１６】
測定対象圧力を伝達する圧力伝達媒体が流入するキャビティと、前記測定対象圧力を伝達する圧力伝達媒体を前記キャビティ内外に流通させる連通孔と、を有し、前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力との差圧に関する情報を含む出力信号を出力する差圧センサを備えた圧力変化測定装置により該測定対象圧力の変化を測定する圧力変化測定方法であって、
前記差圧が所定の範囲内にある所定状態における前記差圧センサの出力信号に基づいて基準値信号を生成する基準値生成ステップと、
前記出力信号と前記基準値信号とに基づいて、前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力との差圧を算出する差圧算出ステップと、
前記キャビティの内部圧力の予め設定された設定値と前記差圧算出ステップにより算出された差圧とに基づいて、前記測定対象圧力を算出する測定対象圧力算出ステップと、
前記差圧算出ステップにより算出された差圧に基づいて、前記キャビティ内外を流通する圧力伝達媒体の所定時間単位の流通量を算出する流量算出ステップと、
前記流量算出ステップにより算出された前記流通量と前記キャビティの容積とに基づいて、所定時間後の前記キャビティの内部圧力を算出し、当該算出した内部圧力で前記測定対象圧力算出ステップに用いる前記キャビティの内部圧力の設定値を更新する内圧更新ステップと、
を有することを特徴とする圧力変化測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力変化測定装置、高度測定装置及び圧力変化測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、測定対象の圧力変化を測定する装置として、内室（圧力室）と、この内室の圧力と測定対象の圧力との差圧を測定する差圧計（ダイヤフラム等）と、測定対象の圧力伝達媒体が内室に対して流入出できる圧力通過孔とを有する圧力変化測定装置が知られている（例えば、特許文献１、２）。【０００３】
ここで、上記圧力通過孔は非常に小さい構造であり、内室への圧力伝達媒体の流動を制限しており、さらに、内室の圧力は、圧力伝達媒体の流入出量によって変化するため、内室の圧力は、測定対象の圧力の変化に対して遅れて追従する。このため、内室の圧力と測定対象の圧力との差圧を測定することで、測定対象の圧力変化を検知することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭４８−１２７７８号公報
【特許文献２】特開平２−５２２２９号公報
【特許文献３】特許５６５０３６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の特許文献１−３に開示されている圧力変化測定装置では、その出力信号から所定のタイミングにおける測定対象の圧力変化を検知できる反面、測定対象の圧力の経時的変化、つまり時間軸に対する測定対象圧力の変化を測定することが難しい。つまり、得られた出力信号に基づいて、測定対象の圧力の経時的変化を測定する場合は、測定対象の圧力が一定である状態の基準値に対して、出力信号がどれだけ変化したかを測定する必要があるが、従来技術では、この基準値をどのように設定するかに関しては明らかにされておらず、その為、測定対象の圧力の経時的変化を高精度に測定することが困難である。また、このような圧力測定装置の出力結果に基づいて高度情報を測定する高度測定装置においても、高度情報を高精度に測定することが困難である。【０００６】
そこで本発明は、測定対象の圧力の経時的変化を高精度に測定可能な圧力変化測定装置、高度測定装置及び圧力変化測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく、本発明にあっては、
測定対象圧力の変化を測定する圧力変化測定装置であって、前記測定対象圧力を伝達する圧力伝達媒体が流入するキャビティと、前記圧力伝達媒体を前記キャビティ内外に流通させる連通孔と、を有し、前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力との差圧に関する情報を含む出力信号を出力する差圧センサと、前記測定対象圧力の変化を算出する演算処理部と、前記差圧が所定の範囲内にある所定状態における前記差圧センサの出力信号に基づいて、当該出力信号の基準値を表す基準値信号を設定する基準値設定部と、を備え、前記演算処理部は、前記出力信号と前記基準値信号とに基づいて、前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力との差圧を算出する差圧算出部と、前記キャビティの内部圧力の予め設定された設定値と、前記差圧算出部により算出された差圧とに基づいて、前記測定対象圧力を算出する測定対象圧力算出部と、前記差圧算出部により算出された差圧に基づいて、前記キャビティ内外を流通する圧力伝達媒体の所定時間の流通量を算出する流量算出部と、前記流量算出部により算出された前記流通量と前記キャビティの容積とに基づいて、所定時間後の前記キャビティの内部圧力を算出し、当該算出した内部圧力で前記測定対象圧力算出部にて用いる前記キャビティの内部圧力の前記設定値を更新する内圧更新部と、を有することを特徴とする。【０００８】
また、前記基準値設定部は、前記差圧センサの前記出力信号に基づいて前記基準値信号を生成する判定部を有しており、前記判定部は、前記差圧センサの出力信号の分布が所定範囲内にあるか否かを判断し、前記所定範囲内にあると判断した場合に前記所定状態であると判定して前記基準値信号を生成することを特徴とする。【０００９】
また、前記基準値設定部は、前記測定対象圧力の変動有無を検知する検知部を有し、前記判定部は、前記検知部により前記測定対象圧力の変動がないと検知した場合に、前記差圧センサの出力信号の分布が前記所定範囲内にあるか否かを判断することを特徴とする。【００１０】
また、前記検知部は、前記圧力変化測定装置の周囲の絶対圧を検出する絶対圧センサであって、前記判定部は、前記絶対圧センサの出力信号の変化に基づいて前記測定対象圧力の変動有無を検知することを特徴とする。【００１１】
また、前記検知部は、前記差圧センサと前記測定対象圧力との間に設けられた通気孔付き筐体と、前記通気孔に接続された流量センサとであって、前記判定部は、前記流量センサの出力信号の変化に基づいて前記測定対象圧力の変動有無を検知することを特徴とする。【００１２】
また、前記検知部は、さらに前記圧力変化測定装置が静止状態にあるか否かを検知し、前記判定部は、前記検知部により前記静止状態にあると検知した場合に、前記所定範囲内にあるか否かを判断することを特徴とする。
【００１３】
また、前記検知部は、前記圧力変化測定装置に作用する慣性力を検出する慣性センサを含み、前記判定部は、前記慣性センサの出力信号の変化に基づいて前記静止状態を検知することを特徴とする。【００１４】
また、前記検知部は、前記圧力変化測定装置の測位情報を取得する測位システム機構であって、前記判定部は、前記測位システム機構の測位情報の変化に基づいて前記静止状態を検知することを特徴とする。【００１５】
また、前記基準値設定部は、前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力とを等しくするための圧力調整部を有し、前記判定部は、前記差圧センサより前記出力信号を取得する前に、前記圧力調整部により前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力とを等しくする調整を行うことを特徴とする。【００１６】
また、前記圧力調整部は、前記キャビティ内部に外気を通気させる前記連通孔と別体の通気口を開閉する開閉機構であることを特徴とする。【００１７】
また、前記基準値設定部は、前記差圧を所定値に変化させる差圧制御部を有し、前記判定部は、前記差圧センサより前記出力信号を取得する前に、前記差圧制御部により前記差圧を制御して変動させることを特徴とする。【００１８】
また、前記差圧制御部は、前記キャビティを形成するキャビティ筐体に設けられたメンブレン型アクチュエータであることを特徴とする。【００１９】
また、前記差圧センサは、前記連通孔を除く前記キャビティの開口面を塞ぐように設けられ、前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力との差圧に応じて撓み変形するカンチレバーと、前記カンチレバーの撓み変形に応じた変位を測定する変位測定部と、を有することを特徴とする。【００２０】
また、前記差圧センサは、前記連通孔が前記キャビティの開口部側と連接された通路形状からなり、前記連通孔内に配置された熱源と、前記熱源を挟んで等間隔に配置された一対の温度センサと、前記一対の温度センサの出力信号に応じて、前記連通孔両端の差圧を測定する差圧測定部と、を有することを特徴とする。【００２１】
また、本発明の高度測定装置では、前記圧力変化測定装置から得られた前記測定対象圧力の変化を高度情報に変換して出力することを特徴とする。【００２２】
また、本発明の圧力変化測定方法では、
測定対象圧力を伝達する圧力伝達媒体が流入するキャビティと、前記測定対象圧力を伝達する圧力伝達媒体を前記キャビティ内外に流通させる連通孔と、を有し、前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力との差圧に関する情報を含む出力信号を出力する差圧センサを備えた圧力変化測定装置により該測定対象圧力の変化を測定する圧力変化測定方法であって、
前記差圧が所定の範囲内にある所定状態における前記差圧センサの出力信号に基づいて基準値信号を生成する基準値生成ステップと、前記出力信号と前記基準値信号とに基づいて、前記キャビティの内部圧力と前記測定対象圧力との差圧を算出する差圧算出ステップと、前記キャビティの内部圧力の予め設定された設定値と前記差圧算出ステップにより算出された差圧とに基づいて、前記測定対象圧力を算出する測定対象圧力算出ステップと、前記差圧算出ステップにより算出された差圧に基づいて、前記キャビティ内外を流通する圧力伝達媒体の所定時間単位の流通量を算出する流量算出ステップと、前記流量算出ステップにより算出された前記流通量と前記キャビティの容積とに基づいて、所定時間後の前記キャビティの内部圧力を算出し、当該算出した内部圧力で前記測定対象圧力算出ステップに用いる前記キャビティの内部圧力の設定値を更新する内圧更新ステップと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
このように本発明によれば、測定対象の圧力の経時的変化を高精度に測定可能な圧力変化測定装置、高度測定装置及び圧力変化測定方法を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第一の実施形態に係る圧力変化測定装置の構成図である。
【図２】第一の実施形態に係る圧力変化測定装置に用いる差圧センサの構造を示す説明図である。
【図３】第一の実施形態に係る圧力変化測定装置を構成する検出回路の構成を示す説明図である。
【図４】第一の実施形態に係る圧力変化測定装置を構成する検出回路の出力を示す説明図である。
【図５】第一の実施形態に係る圧力変化測定装置を構成する差圧計測用カンチレバーの動作を示す説明図である。
【図６】第一の実施形態に係る圧力変化測定装置の動作を示す説明図である。
【図７】第一の実施形態に係る圧力変化測定装置を構成する演算処理部の処理の流れを示すフローチャート図である。
【図８】第一の実施形態に係る圧力変化測定装置を構成する演算処理部の処理の流れを示すフローチャート図である。
【図９】第一の実施形態に係る圧力変化測定装置を構成する基準値設定部の処理の流れを示すフローチャート図である。
【図１０】第一の実施形態に係る圧力変化測定装置の変形例の構成図である。
【図１１】第二の実施形態に係る圧力変化測定装置の構成図である。
【図１２】第二の実施形態に係る圧力変化測定装置の構成図である。
【図１３】第二の実施形態に係る圧力変化測定装置を構成する基準値設定部の処理の流れを示すフローチャート図である。
【図１４】第三の実施形態に係る圧力変化測定装置の断面構造を示す断面図である。
【図１５】第三の実施形態に係る圧力変化測定装置を構成する基準値設定部の処理の流れを示すフローチャート図である。
【図１６】第三の実施形態に係る圧力変化測定装置の断面構造を示す断面図である。
【図１７】第三の実施形態に係る圧力変化測定装置の変形例の断面構造を示す断面図である。
【図１８】第三の実施形態に係る圧力変化測定装置の変形例を構成する基準値設定部の処理の流れを示すフローチャート図である。
【図１９】第三の実施形態に係る圧力変化測定装置の変形例を構成する基準値設定部の処理の流れを示すフローチャート図である。
【図２０】第四の実施形態に係る圧力変化測定装置の断面構造を示す断面図である。
【図２１】第四の実施形態に係る圧力変化測定装置を構成する基準値設定部の処理の流れを示すフローチャート図である。
【図２２】第四の実施形態に係る圧力変化測定装置を構成する検出回路の出力を示す説明図である。
【図２３】第四の実施形態に係る圧力変化測定装置の変形例の断面構造を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係る圧力変化測定装置の実施形態について図面を参照して説明する。
（第一の実施形態）
（１−１：全体構成）
図１は、本発明の第一の実施形態に係る圧力変化測定装置１の構成を示す。
第一の実施形態の圧力変化測定装置１は、差圧センサ９０と、差圧センサ９０の出力が所定条件を満たしているか否かを判定して、満たしている場合に、差圧センサ９０の出力信号から基準値信号を生成する基準値設定部６０と、差圧センサ９０の出力信号と基準値設定部６０が設定した基準値信号に基づいて、測定対象圧力の変化を算出する演算処理部３０と、を有している。
【００２６】
差圧センサ９０の詳細な構造については、後述するが、キャビティ１０と、測定対象圧力を伝達する圧力伝達媒体をキャビティ１０内外に流通させる連通孔であるギャップ１３、キャビティ１０の内部圧力と測定対象圧力との差圧を測定する差圧計測用カンチレバー４と、差圧計測用カンチレバー４で測定した差圧を電気信号に変換する検出回路２２と、を有する。
【００２７】
基準値設定部６０は、差圧センサ９０及び演算処理部３０に接続されており、差圧センサ９０の出力が所定条件を満たしているのか否かを判定する判定部６１と、プログラム等を記憶する記憶装置（図示省略）と、を有する。
演算処理部３０は、検出回路２２及び基準値設定部６０に接続されており、測定対象の圧力変化を算出する処理を行う集積回路（差圧算出部３１、測定対象圧力算出部３２、流量算出部３３、内圧更新部３４）と、集積回路で利用するプログラムや値を記憶する記憶装置（図示省略）とで構成される。
【００２８】
次に、差圧センサ９０の詳細な構成について、図２を用いて説明する。
差圧センサ９０は、表裏の圧力差に応じて変形する差圧計測用カンチレバー４と、一端が差圧計測用カンチレバー４と対向するように配設された蓋部１２と、差圧計測用カンチレバー４の変位を測定するための変位測定部５と、差圧計測用カンチレバー４及び蓋部１２の一面に配設されたキャビティ筐体３と、を有する。
【００２９】
キャビティ筐体３は、内部にキャビティ１０が形成された箱状の部材である。キャビティ筐体３は、例えば、キャビティ１０を構成するセラミック材よりなる第１の部分３１と、第１の部分３１上に配置され、かつ後述のシリコン支持層２ａ、及びシリコン酸化膜等の酸化層２ｂよりなる第２の部分３２とを有している。
【００３０】
差圧計測用カンチレバー４は、例えば、シリコン支持層２ａ、シリコン酸化膜等の酸化層２ｂ、及びシリコン活性層２ｃを熱的に貼り合わせたＳＯＩ基板２を加工することで形成される。具体的には、差圧計測用カンチレバー４は、ＳＯＩ基板２を構成するシリコン活性層２ｃよりなり、平板状のシリコン活性層２ｃから平面視コ字状に形成されたギャップ１３を切り出した形状からなる。
これにより、差圧計測用カンチレバー４は、基端部４ａを固定端とし、蓋部１２と対向する側の端部である先端部４ｂを自由端とした片持ち梁構造となる。
【００３１】
また、差圧計測用カンチレバー４は、キャビティ筐体３に形成されたキャビティ１０の上面を囲うよう配置される。つまり、差圧計測用カンチレバー４は、キャビティ１０の開口を略閉塞している。
差圧計測用カンチレバー４は、基端部４ａを介してキャビティ筐体３に第２の部分３２上に対して一体的に固定されることで、片持ち支持される。これにより、差圧計測用カンチレバー４は、基端部４ａを固定端としてキャビティ１０内部と外部との圧力差（差圧）に応じた撓み変形が可能になる。
【００３２】
なお、差圧計測用カンチレバー４の基端部４ａには、差圧計測用カンチレバー４が撓み変形しやすいように、平面視コ字状の貫通孔１５が形成される。ただし、この貫通孔１５の形状は、差圧計測用カンチレバー４の撓み変形を容易にする形状ならば、上記コ字状に限定されるものではない。
【００３３】
蓋部１２は、キャビティ１０上方に位置し、ギャップ１３を介して、差圧計測用カンチレバー４の周囲に配置されている。当該蓋部１２は、シリコン活性層２ｃで構成される。
変位測定部５は、外部から加わる応力に応じて電気抵抗値が変化するピエゾ抵抗２０と、この電気抵抗値変化を取り出す検出回路２２から構成されている。
ピエゾ抵抗２０は、図１に示すように、Ｙ方向において、貫通孔１５を挟んだ両側に対となって配置される。これら一対のピエゾ抵抗２０は、導電性材料からなる配線部２１を介して相互に電気的に接続されている。
【００３４】
なお、この配線部２１及びピエゾ抵抗２０を含む全体的な形状は、例えば図１に示すように平面視Ｕ字状とすることができるが、別の配置形状としてもよい。
【００３５】
検出回路２２は、ピエゾ抵抗２０と接続され、ピエゾ抵抗２０の電気抵抗値変化に基づいた信号を出力する回路である。
上記検出回路２２は、例えば、図３に示すように、ブリッジ回路及び増幅回路２２ａで構成される。すなわち、検出回路２２は、ピエゾ抵抗２０と、固定抵抗Ｒｏ、可変抵抗Ｒｏ’を用いて、ブリッジ回路を構成することで、ピエゾ抵抗２０の電気抵抗値の変化を電圧変化として取り出すことができる。そして、検出回路２２は、この電圧変化を増幅回路２２ａで所定のゲインで増幅して出力する。
なお、上記ピエゾ抵抗２０は、例えば、イオン注入法や拡散法等の各種方法により、リン等のドープ剤（不純物）をシリコン活性層２ｃにドーピングすることで形成される。また、ドープ剤は、シリコン活性層２ｃ表面近傍のみに添加される。このため、ピエゾ抵抗２０の電気抵抗値の変化は、差圧計測用カンチレバー４に加わる応力の圧縮／伸長の方向に対して正負逆となる。
【００３６】
また、一対のピエゾ抵抗２０間は、配線部２１のみで電気的に導通するように構成されている。このため、差圧計測用カンチレバー４のうち配線部２１近傍におけるシリコン活性層２ｃは、配線部２１以外でピエゾ抵抗２０双方が導通しないよう、エッチング等によりシリコン活性層２ｃを除去して形成した溝部１６を有している。なお、上記配線部２１近傍におけるシリコン活性層２ｃは、部分的に不純物ドープされることで、エッチングを省略した構成としてもよい。
【００３７】
（１−２：圧力変化時の差圧計測用カンチレバーの動作と検出回路の出力特性）
次いで、測定対象の圧力が変化した場合の差圧計測用カンチレバー４の動作と、その時の検出回路２２の出力特性について、図４及び図５を用いて説明する。なお、測定対象の圧力は、以下、外圧Ｐｏｕｔと表記することとする。外圧Ｐｏｕｔは、差圧計測用カンチレバー４のキャビティ筐体３への配設面と対向する面（すなわち、図２における上面）側の圧力である。また、キャビティ１０内部の内圧を内圧Ｐｉｎと定義し、外圧Ｐｏｕｔとする。
【００３８】
ここで、図４は、図１に示す検出回路２２の出力特性の一例を模式的に示す図であり、図４（Ａ）は、外圧Ｐｏｕｔ及び内圧Ｐｉｎの経時変化を、図４（Ｂ）は検出回路２２の出力信号の経時変化をそれぞれ表す。また、図５は、図１及び図２に示す差圧計測用カンチレバー４の動作の一例を模式的に示す断面図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は外圧Ｐｏｕｔが内圧Ｐｉｎより高い状態、（Ｃ）はキャビティ内外の圧力が同じに戻った状態の差圧計測用カンチレバー４の断面図をそれぞれ表す。なお、図５において、検出回路２２の図示を省略する。
【００３９】
始めに、図４（Ａ）における期間Ａのように、外圧Ｐｏｕｔと内圧Ｐｉｎとが等しく、差圧ΔＰがゼロである場合には、図５（Ａ）に示すように、差圧計測用カンチレバー４は撓み変形しない。
【００４０】
ここで、図４（Ａ）における時刻ｔ以降の期間Ｂのように、例えば、外圧Ｐｏｕｔがステップ状に上昇すると、内圧Ｐｉｎは急激に変化できず、差圧ΔＰが生じるため、図５（Ｂ）に示すように、差圧計測用カンチレバー４はキャビティ１０内部に向けて撓み変形する。すると、当該差圧計測用カンチレバー４の撓み変形に応じてピエゾ抵抗２０に応力が加わり、電気抵抗値が変化するので、図４（Ｂ）に示すように、検出回路２２の出力信号が増大する。
【００４１】
また、外圧Ｐｏｕｔの上昇以降（時刻ｔ１以降）において、ギャップ１３を介してキャビティ１０の外部から内部へと圧力伝達媒体が徐々に流動する。このため、図４（Ａ）に示すように、内圧Ｐｉｎは時間の経過とともに、外圧Ｐｏｕｔに遅れながら、かつ外圧Ｐｏｕｔの変動よりも緩やかな応答で上昇する。
【００４２】
その結果、内圧Ｐｉｎが外圧Ｐｏｕｔに徐々に近づくので、差圧計測用カンチレバー４の撓みが徐々に小さくなり、図４（Ｂ）に示すように上記出力信号が徐々に低下する。
【００４３】
そして、図４（Ａ）に示す時刻ｔ３以降の期間Ｄのように、内圧Ｐｉｎが外圧Ｐｏｕｔと同じになると、図５（Ｃ）に示すように、差圧計測用カンチレバー４の撓み変形が解消され、図５（Ａ）に示す初期状態に復帰する。さらに、図４（Ｂ）に示すように、検出回路２２の出力信号も期間Ａの初期状態と同値に戻る。
【００４４】
なお、検出回路２２の出力信号は、初期状態における基準電圧と、ピエゾ抵抗２０の抵抗変化に基づいて増幅された信号との加算となる。初期状態における基準電圧は、差圧計測用カンチレバー４に加わる差圧ΔＰがゼロの場合の、図３に図示したブリッジ回路分圧点ＶａとＶｂとの電圧差を増幅回路２２ａで増幅した電圧値となる。後述するが、基準値設定部６０は、初期状態、つまり内圧Ｐｉｎと外圧Ｐｏｕｔとの差圧ΔＰ（＝Ｐｏｕｔ−Ｐｉｎ）が所定の範囲内にある状態（所定状態）にあるか否かを判別して、基準電圧を測定し、基準値として設定する。なお、ここでいう「所定の範囲内」とは、具体的には１Ｐａ以内であり、好ましくは０．５Ｐａ以内の範囲を指す。
【００４５】
このように、差圧計測用カンチレバー４の変位に基づいた検出回路２２の出力信号をモニタすることで、差圧計測用カンチレバー４の変形、そして差圧ΔＰの時間変化、さらに外圧Ｐｏｕｔの時間変化を測定することができる。
【００４６】
特に、ＳＯＩ基板２のシリコン活性層２ｃを利用して半導体プロセス技術により差圧計測用カンチレバー４を形成できるので、非常に薄型化（例えば数十から数百ｎｍ厚）しやすい。したがって、微小な圧力変動の検出を精度よく行うことができる。
【００４７】
さらに、外圧Ｐｏｕｔが非常に緩やかに変化する場合、ギャップ１３による圧力伝達媒体の流動制限機能が作用せず、内圧Ｐｉｎは外圧Ｐｏｕｔに対して時間遅れせず、ほぼ同じ圧力値となり、差圧ΔＰが発生しないが、本実施形態では、これを逆に利用し、外圧Ｐｏｕｔが非常に遅い変化速度の場合（例えば、気象変化のような気圧変化の場合）、外圧Ｐｏｕｔの変化を無視することが可能となる。よって、気象変化のような気圧変化をノイズとして除去することが可能になる。
【００４８】
（１−３：圧力変化測定装置の制御処理）
次に図４のフローチャートを用いて、外圧Ｐｏｕｔに変化の変化を算出する処理について説明する。
【００４９】
まず、圧力変化測定装置１の外部の圧力、すなわち、外圧Ｐｏｕｔが変化する（ステップＳ１）。
すると、キャビティ１０内部の内圧である内圧Ｐｉｎは、ステップＳ１における外圧Ｐｏｕｔの変化に追従するように変化する（ステップＳ２）。ここで、ギャップ１３はキャビティ１０内外を連通する連通孔として機能するため、差圧計測用カンチレバー４の表裏に加わる差圧に応じて、高圧側から低圧側へと圧力伝達媒体が移動する。ただし、圧力伝達媒体の移動が微小なギャップ１３によって規制されているため、内圧Ｐｉｎは、外圧Ｐｏｕｔの変化に応じて急激に変化することはなく、外圧Ｐｏｕｔの変化に対して遅れて追従することとなる。
【００５０】
そして、差圧計測用カンチレバー４の表裏面には、上述の外圧Ｐｏｕｔの変化に対する内圧Ｐｉｎの遅れによって、圧力差（以下、差圧ΔＰ＝Ｐｏｕｔ−Ｐｉｎ）が発生する（ステップＳ３）。その結果、差圧計測用カンチレバー４は、ステップＳ４に係る差圧ΔＰの大きさに応じて撓み変形することになる（ステップＳ４）。
【００５１】
差圧計測用カンチレバー４が撓み変形をすると、差圧計測用カンチレバー４の基端部に設けられたピエゾ抵抗２０に応力が加わり（ステップＳ５）、ピエゾ抵抗２０の電気抵抗値が変化する（ステップＳ６）。ここで、検出回路２２は、ピエゾ抵抗２０へ電流を流すことで、ステップＳ６に係るピエゾ抵抗２０の電気抵抗値の変化を検出する（ステップＳ７）。そして、演算処理部３０は、検出回路２２よりピエゾ抵抗２０の電気抵抗値の変化に応じた信号が入力されると、当該入力された信号と基準値設定部６０より入力された基準値信号とに基づいて、外圧Ｐｏｕｔの変化を算出する（ステップＳ８）。
この処理により、演算処理部３０は外圧Ｐｏｕｔの変化を算出することができる。
【００５２】
（１−４：演算処理部による外圧Ｐｏｕｔの変化の算出処理）
次に、図４のステップＳ８で述べた、演算処理部３０による外圧Ｐｏｕｔの変化の算出処理について、図７及び図８のフローチャートを用いて詳細に説明する。
【００５３】
まず、図７に示すように、演算処理部３０は、基準値設定部６０から受信した基準値信号に基づいて記憶装置に記憶されている（予め設定されている）基準値を読み込む（ステップＳ７０１）。なお、基準値設定部６０による基準値信号の生成処理については、図９を用いて後段で詳述する。
【００５４】
次いで、演算処理部３０は、ステップＳ８で述べた検出回路２２から出力信号が検出されると（ステップＳ７０２）、当該検出回路２２の出力信号の値を一定時間Δｔ毎に合計Ｎ個、記憶装置（図示省略）に格納する（ステップＳ７０３）。
【００５５】
次いで、演算処理部３０は、換算期間（Ｎ×Δｔ）中に、上記出力信号Ｎ個に対して、ステップＳ７０１にて記憶した基準値を減算することで、ピエゾ抵抗２０の抵抗値変化の部分だけを算出する（ステップＳ７０４）。次いで、演算処理部３０は、上記減算結果に対して、検出回路２２を構成する増幅回路２２ａの増幅率（ゲイン値）で除算することで、図３で示したブリッジ回路から出力される一定時間Δｔ毎の電圧値のうち、ピエゾ抵抗２０の抵抗値変化に基づく部分の電圧値Ｎ個を算出する（ステップＳ７０５）。
【００５６】
次いで、演算処理部３０は、ステップＳ７０５の除算結果（ピエゾ抵抗２０の抵抗値変化に基づく、ブリッジ回路からの電圧値）と、ブリッジ回路を構成する抵抗素子の抵抗値Ｒｏと、ブリッジ回路に供給される電圧とから、一定時間Δｔ毎のピエゾ抵抗２０の電気抵抗値Ｒ＋ΔＲをＮ個、算出する（ステップＳ７０６）。なお、電気抵抗値Ｒは、差圧ΔＰがゼロの場合のピエゾ抵抗２０の電気抵抗値、電気抵抗値ΔＲは加わる差圧ΔＰによって変化した、ピエゾ抵抗２０の変化を示す。
【００５７】
次いで、演算処理部３０の差圧算出部３１は、ステップＳ７０６で算出したピエゾ抵抗２０の電気抵抗値Ｒ＋ΔＲから、差圧計測用カンチレバー４に加わる差圧ΔＰ、Ｎ個（ΔＰ（１〜Ｎ））を差圧データベースから求める（ステップＳ７０７；差圧算出ステップ）。
【００５８】
この差圧データベースは、差圧ΔＰと電気抵抗値の変化率ΔＲ／Ｒとの関係性を、差圧ΔＰごとに格納したものである。具体的には、上記差圧データベースは、予め、差圧計測用カンチレバー４に差圧ΔＰを加えた場合の検出回路２２の出力値を測定し、差圧ΔＰの値と、上記測定値から算出される電気抵抗値の変化率ΔＲ／Ｒと、を対応付けて演算処理部３０の記憶装置に格納した数値データベースである。
そのため、演算処理部３０の差圧算出部３１は、差圧データベースを参照することで、差圧ΔＰがゼロの場合のピエゾ抵抗２０の電気抵抗値Ｒと、ステップＳ７０６で算出したピエゾ抵抗２０の電気抵抗値Ｒ＋ΔＲとにより、差圧計測用カンチレバー４に加わる差圧ΔＰを求めることができる。
【００５９】
次いで、図８に示すように、演算処理部３０の測定対象圧力算出部３２は、内圧Ｐｉｎ（ｉ）のうち（ｉ＝１〜Ｎ、Ｎ：２以上の自然数）、最も時刻の早い１個目の内圧Ｐｉｎ（１）に初期値を設定する（ステップＳ７０８）。本実施形態にかかる内圧Ｐｉｎ（１）は、空気中で用いることを前提として、大気圧とする。
【００６０】
次いで、演算処理部３０の測定対象圧力算出部３２は、Ｐｉｎ（ｉ）に差圧ΔＰ（ｉ）を加算して、外圧Ｐｏｕｔ（ｉ）を算出する（ステップＳ７０９；測定対象圧力算出ステップ）。
【００６１】
次いで、演算処理部３０の流量算出部３３は、差圧ΔＰ（ｉ）を用いて、キャビティ１０に流入する圧力伝達媒体の流量Ｑ（ｉ）を流量データベースから読みだす（ステップＳ７１０；流量算出ステップ）。
ここで流量データベース（流量データベース部）は、差圧ΔＰと流量Ｑとの関係性を、差圧ΔＰの値ごとに、予め記憶装置に格納したものである。これにより、差圧ΔＰと差圧計測用カンチレバー４の表裏を流動する圧力伝達媒体の流量Ｑとの関係を得ることができる。つまり、演算処理部３０の流量算出部３３は、上記関係性から構築される流量データベースに基づいて、差圧ΔＰよりキャビティに流れ込む流量Ｑを特定できる。
【００６２】
次いで、演算処理部３０の内圧更新部３４は、流量Ｑ（ｉ）とキャビティの容積Ｖから、Δｔ時間後の内圧Ｐｉｎ（ｉ＋１）を算出する（ステップＳ７１１）。ここで、一定時間Δｔは非常に小さく、またΔｔ毎の外圧Ｐｏｕｔの変化が非常に小さいと仮定し、熱移動や圧力損失を無視できるほど小さいとする。このため、圧力伝達媒体がキャビティ１０に流入した分だけ内圧Ｐｉｎが上昇する。したがって流量Ｑ（ｉ）、容積Ｖ、内圧Ｐｉｎ（ｉ＋１）、内圧Ｐｉｎ（ｉ）の関係を、以下の式（１）で表すことができる。
Ｐｉｎ（ｉ）×（Ｖ＋Ｑ（ｉ）×Δｔ）＝Ｐｉｎ（ｉ＋１）×Ｖ      ・・・（１）
【００６３】
このため、演算処理部３０の内圧更新部３４は、Δｔ時間後のＰｉｎ（ｉ＋１）を、次の式（２）で得ることができる。
Ｐｉｎ（ｉ＋１）＝（Ｖ＋Ｑ（ｉ）×Δｔ）×Ｐｉｎ（ｉ）／Ｖ      ・・・（２）
次いで、演算処理部３０は、ステップＳ７１１にて得られたＰｉｎ（ｉ＋１）と、当初算出したＰｏｕｔ（ｉ）とを演算処理部３０を構成する記憶装置に格納する（ステップＳ７１２）。
【００６４】
次いで演算処理部３０は、ｉにｉ＋１を代入し、ｉがＮを上回ったか否かを判断して（ステップＳ７１３）、ｉがＮ以下と判断した場合（ステップＳ７１３；Ｎ）、ステップＳ７０９〜Ｓ７１２の処理を繰り返す（繰返し処理ステップ）。この際、演算処理部３０の内圧更新部３４は、ステップＳ７０９にて使用する内圧Ｐｉｎを、ステップＳ７１１にて算出したＰｉｎ（ｉ＋１）に更新する（内圧更新ステップ）。
【００６５】
そして、演算処理部３０は、ｉがＮを上回ったと判断した場合（ステップＳ７１３；Ｙ）、本処理を終了する。これにより、演算処理部３０は、Δｔ時間毎にＮ個のＰｏｕｔを記憶装置内部に蓄積することができる。この情報は、Ｎ×Δｔ期間中に、外圧Ｐｏｕｔがどのように変化したかを示している。
【００６６】
なお、上記Δｔ（所定時間）は、演算処理部３０により予め設定された値であっても良いし、圧力変化測定装置１に備わる図示しないユーザーインターフェース部を介してユーザーが適宜設定できるように構成してもよい。
これらの処理によって、演算処理部３０は、検出回路２２の出力信号と基準値設定部６０の基準値信号から容易に得られなかった外圧Ｐｏｕｔの変化を計測することができる。
【００６７】
（１−５：基準値設定部による基準値生成処理）
次いで、図９を参照して、図７のステップＳ７０１に示す基準値設定部６０による基準値信号の生成方法について説明する。図９は、基準値設定部６０が検出回路２２の出力信号に基づいて、基準値を算出及び更新する処理の流れを示すフローチャート図である。なお、基準値設定部６０の生成処理は、大まかには、図４で述べた圧力変化測定装置１の制御処理のうち、外圧Ｐｏｕｔの変化から検出回路２２の出力信号までをおおよそ逆順に演算して行うものである。つまり、図６中のステップＳ１〜Ｓ８をおおよそ逆順に演算処理していくことになる。
【００６８】
まず、基準値設定部６０は、検出回路２２の出力信号を受信すると（ステップＳ９０１）、当該検出回路２２の出力信号の値Ｎｒ個を、時間Δｔｒ毎に記憶装置（図示省略）に格納する（ステップＳ９０２）。
【００６９】
ついで、基準値設定部６０の判定部６１は、判定期間（Ｎｒ×Δｔｒ）において、差圧センサ９０の出力信号の分布、具体的には、上記で説明した出力信号Ｎｒ個の分布が所定範囲内か否かを判断し、所定範囲内にあると判断した場合は、外圧Ｐｏｕｔがほぼ一定であり、差圧ΔＰがゼロ近傍の状態、即ち、所定状態であると判断する（ステップＳ９０３）。
より具体的には、例えば、上記ステップＳ９０２にて格納した出力信号のノイズ幅をＶｎ、ステップ応答時の時定数をτとした場合に、判定部６１は、判定期間をτとし、当該判定期間τ中の出力信号の最大値と最小値の差が２×Ｖｎ以内の場合に、「出力信号の分布が所定範囲内」と判断する。
つまり、外圧Ｐｏｕｔが変化した後に一定圧力となっても、出力信号は変化し続ける（図５（Ｂ）、期間Ｃに相当）。この期間は少なくとも時定数τ以上であるため、外圧Ｐｏｕｔが変動せずに一定であり、かつ差圧ΔＰがゼロ近傍である条件を判定するには、少なくとも判定期間τ以上の時間を必要とするためである。また、出力信号は実際には、ある一定幅の電気的なノイズＶｎが付加されて出力されるため、これを加味して出力信号の所定範囲を設定する必要があるためである。
【００７０】
次いで、判定部６１が上記出力信号の変動が所定範囲外であると判断した場合（ステップＳ９０３；Ｎ）、ステップＳ９０１〜Ｓ９０３の処理を繰り返す。
【００７１】
一方、判定部６１は、上記出力信号の値Ｎｒ個が所定範囲内であると判断した場合（ステップＳ９０３；Ｙ）、基準値を算出する（ステップＳ９０４）。ここで、判定部６１は、例えば、判定期間（Ｎｒ×Δｔｒ）中の出力信号の平均値を基準値として算出する。
【００７２】
この時の出力信号は前述したように、外圧Ｐｏｕｔの変化に応じて変動する信号と、外圧Ｐｏｕｔと内圧Ｐｉｎの差圧ΔＰがゼロの場合の電圧である基準値（電圧）とを加算した信号である。すなわち、ステップＳ９０４に係る処理は、出力信号のＮｒ個の分布が所定範囲内であれば、外圧Ｐｏｕｔの変動が小さく、上記出力信号はおおよそ基準値近傍にあると考えられるため、この現象を利用して基準値を設定する。
【００７３】
次いで、基準値設定部６０は、ステップＳ９０４にて算出した基準値と判定期間（Ｎｒ×Δｔｒ）中の出力信号の値Ｎｒ個とを演算処理部３０に出力する（ステップＳ９０５）。
すると、演算処理部３０は、割り込み処理を行う。具体的には、受信した出力信号の値Ｎｒ個と基準値とを用い、（演算処理部による外圧Ｐｏｕｔの変化の算出処理）で述べた外圧Ｐｏｕｔの変化の算出処理とおおよそ同等の処理を行う（図７；ステップＳ７０４〜図８；ステップＳ７１３参照）。最終的には、ステップＳ７１３と同等の処理で算出した外圧Ｐｏｕｔに関するＮｒ個の情報を、基準値設定部６０に出力する（ステップＳ９０６）。
【００７４】
その後、判定部６１は、受信した外圧Ｐｏｕｔ情報Ｎｒ個より、Δｔｒ毎の各時間における外圧ＰｏｕｔのＮｒ個の情報が、所定範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ９０７）。判定部６１は、例えば、時間軸に対する外圧Ｐｏｕｔ情報のプロットに対して、一次近似式を算出し、当該近似式の勾配が１／１２τ（ｍ／ｓｅｃ）以下の場合、所定範囲内にある判定とする。このステップＳ９０７では、ステップＳ９０４で算出された基準値が正確であるか検証することを目的としている。
【００７５】
基準値が正確であり、かつ差圧ΔＰがおおよそゼロの場合、得られる外圧Ｐｏｕｔは、時間軸に対して一定値をとるはずである。一方、基準値が正しくない場合、時間軸に対して外圧Ｐｏｕｔが一定の傾きを持つこととなる。つまり、不正確な基準値は正確な基準値と誤差との加算値であり、不正確な基準値に基づいて外圧Ｐｏｕｔを算出する際に、この誤差分が外圧Ｐｏｕｔに積算されていくため、時間軸に対する外圧Ｐｏｕｔは一定の傾きを持つこととなる。
【００７６】
そして、判定部６１は、上記所定範囲外であると判断した場合（ステップＳ９０７；Ｎ）、算出した基準値の修正処理を行い、修正した基準値に更新する（ステップＳ９０８）。上述したように、基準値の誤差と時間軸における外圧Ｐｏｕｔの勾配とは関係性があるため、例えば、ステップＳ９０４にて算出した基準値から上記近似式の勾配に応じて算出した数値を減算した値を修正後の基準値として更新する等の修正処理を行うことができる。
【００７７】
一方で、判定部６１は、上記上下方向の位置に関するＮｒ個の情報が所定範囲内であると判断した場合（ステップＳ９０７；Ｙ）、もしくはステップＳ９０８の処理を終えた後、基準値から基準値信号を生成し、演算処理部３０へ出力し（ステップＳ９０９）、処理を終了する。
【００７８】
その後、演算処理部３０は、受信した基準値信号に基づいて、基準値を演算処理部３０の記憶装置に格納し、次回、基準値を必要とする場合は、この値を参照する。
上記により、基準値設定部６０は、検出回路２２の出力信号に基づいて基準値を算出し、基準値として適正かどうか判断した上で、設定することができる。
これにより、正確な基準値を設定することができるため、正確な外圧Ｐｏｕｔの変化を測定することができる。
【００７９】
（１−６：「変形例１」  基準値信号でブリッジの抵抗やアンプのオフセット調整）
第一の実施形態に係る基準値設定部６０は、基準値信号を演算処理部３０に出力する処理の流れを示した。
この際、本変形例のように、基準値設定部６０が基準値信号を生成した後、検出回路２２の出力特性を制御する構成を設けても良い。
ここで、本変形例の圧力変化測定装置１の構成を図１０に示す。本変形例に係る圧力変化測定装置１では、第一の実施形態の圧力変化測定装置１の基準値設定部６０と検出回路２２との間に調整回路７０を設ける。
【００８０】
そして、調整回路７０は、基準値設定部６０から出力される基準値信号を受信すると、基準値信号に基づいて調整信号を生成し、当該調整信号を検出回路２２に出力する。ここで、調整信号とは、差圧ΔＰがゼロの場合に出力信号が規定電圧となるよう、検出回路２２の出力特性を調整制御するための信号である。調整信号を受信した検出回路２２は、基準値信号に基づいて生成された調整信号により、検出回路２２の出力信号を調整する。
【００８１】
ここで、出力信号の調整とは、具体的には、検出回路２２の可変抵抗Ｒｏ’をプログラマブル可変抵抗で構成し、受信した調整信号に基づいて電気抵抗値を変更する、もしくは、増幅回路２２ａに調整信号を入力し、増幅回路２２ａの出力のオフセットを調整する等の処理である。
これにより、基準値信号に基づいて生成された調整信号から、出力信号の調整を行うことで、差圧ΔＰがおおよそゼロの場合、出力信号の値を規定電圧に調整することが可能となる。
【００８２】
（第二の実施形態）
第二の実施形態に係る圧力変化測定装置１について、図１１を用いて説明する。なお、前述の第一の実施形態に係る圧力変化測定装置と同様の構成については、同じ名称及び符号を用い、その説明を省略する。
【００８３】
（２−１：全体構成）
ここで、第二の実施形態に係る圧力変化測定装置１において、第一の実施形態に係る圧力変化測定装置１と異なる点は、圧力変化測定装置１を構成する基準値設定部６０が、判定部６１と、検知部６２と、記憶装置（図示省略）とからなることである。
検知部６２は、外圧Ｐｏｕｔの変化の有無を検知するセンサや検出器からなる。また、判定部６１は、第一の実施形態同様、検出回路２２の出力信号から基準値を算出、更新して、基準値信号を生成する機能を有する。
【００８４】
ここで、検知部６２を構成するセンサや検知器は二種類ある。
ひとつは外圧Ｐｏｕｔが変化したことを直接検知するもの、もうひとつは圧力変化測定装置が上下動していることを検知して、上下動による外圧Ｐｏｕｔの変化を推定するものである。重力加速度が加わる状況で使用する場合、大気圧や水圧等と重力加速度方向の位置とは関連があり、重力加速度方向の位置（上下方向の位置）変化により装置周囲の圧力が変化するためである。
【００８５】
まず、外圧Ｐｏｕｔが変化したことを直接検知する構成について示す。検知部６２は例えば、絶対圧センサやカンチレバー上部と外部との間に設けられた流量センサ等である。これらのセンサの出力に基づいて圧力変化の測定精度をおおまかに把握できるため、圧力変化測定装置１周囲の外圧Ｐｏｕｔ変動の有無を判定することができる。
【００８６】
検知部６２を絶対圧センサを用いた場合の構成例は図１１であるが、流量センサを用いた場合の構成例を図１２に示す。カンチレバー４と測定対象の圧力との間に通気孔付き筐体８０を設け、通気孔に検知部６２を構成する流量センサを設置する。通気孔付き筐体８０外部の測定対象の圧力が変動すると、通気孔付き筐体８０内の圧力が外部の圧力に連動して変動する。
【００８７】
このとき、通気孔を経由して圧力伝達媒体が通気孔付き筐体８０内外を出入りする。測定対象の圧力が変動しない場合は、通気孔を圧力伝達媒体が移動しない。このため、圧力伝達媒体が通気孔を移動するかどうかを検知することで、外圧Ｐｏｕｔの変動の有無を判断できることとなる。そこで、通気孔を移動する圧力伝達媒体の流速もしくは流量を流量センサで検知すると、外圧Ｐｏｕｔが変動しない瞬間をとらえることができ、その時刻における検出回路２２の出力信号から基準値を算出して、基準値信号を生成することが可能となる。
【００８８】
次に、圧力変化測定装置１が重力加速度の方向（上下方向）の位置が変化していることを検知して、外圧Ｐｏｕｔの有無を推定する構成について説明する。検知部６２を構成するセンサや検出器は、例えば、加速度センサや、角速度センサ、磁気センサ、絶対圧センサ、ＧＰＳ等である。すなわち、判定部６１は、これらのセンサやシステムの出力から、上下方向の位置移動をおおまかに把握できるため、圧力変化測定装置１の動き（移動）に応じた外圧Ｐｏｕｔ変動の有無を判定することができる。
【００８９】
（２−２：基準値設定部による基準値生成処理）
第二の実施形態の上下動検知による外圧Ｐｏｕｔの推定に係る基準値測定部６０による基準値生成処理について、図１３を用いて図９に示したフローチャートとの相違点を中心に説明する。図１３は、基準値測定部６０が基準値信号を生成するまでの処理の流れを示すフローチャートである。
【００９０】
まず、基準値設定部６０は、検出回路２２の出力信号を検出し（ステップＳ９０１）、記憶装置に格納した後（ステップＳ９０２）、検知部６２の検知信号を検知し（ステップＳ１３０３）、時間Δｔｒ毎に検知信号Ｎｒ個を記憶装置に格納する（ステップＳ１３０４）。
【００９１】
次いで、判定部６１は、圧力変化測定装置１が静止状態、つまり位置の移動がない状態かどうか、検知部２２の検知信号から判断する。ここで、検知部６２は、加速度センサ等の慣性センサやＧＰＳ等の測位システムからなっており、位置の移動を検知できる。判定条件は、例えば、検知部６２を加速度センサで構成し、検知信号である加速度センサの出力信号が１±０．０２Ｇの範囲にある場合、静止状態にあると判定する。
【００９２】
そして、判定部６１は、上記検知信号からの判断が静止状態でないと判断した場合（ステップＳ１３０５；Ｎ）、ステップＳ９０１〜Ｓ１３０５の処理を繰り返す。
一方、判定部６１は、上記検知信号からの判断が静止状態であると判断した場合（ステップＳ１３０５；Ｙ）、第一の実施形態と同様、ステップＳ９０４〜Ｓ９０９までの処理を実行する。
これにより、検出回路の出力信号からだけでなく、他のセンサや検知器からの情報に基づいて、外圧Ｐｏｕｔの変化の有無を検知することができるため、正確な基準値を設定することができる。このため、微小な差圧ΔＰを測定でき、外圧Ｐｏｕｔの変動を高精度に測定できる。
【００９３】
（２−３：「変形例２」）
第二の実施形態では、重力加速度の方向（上下方向）の位置変化に基づいて装置周囲の外圧Ｐｏｕｔの変動有無を検知する構成を例示した。この際、外圧Ｐｏｕｔの変動が上下方向の位置移動によって主に引き起こされる使用状況であると、圧力変化測定装置１を上下方向の位置変化を検知する装置として使用することも可能である。
【００９４】
この際、本変形例のように、圧力変化測定装置１を用いて車両の上下方向の位置の変化を検知する場合、検知部６２は上述の慣性センサや測位システムでなくとも良い。
すなわち、車両が上下方向に移動していない状態の判定は、慣性だけでなく、車輪が動いていないか、動力源が停止状態かどうかでも判別できる。例えば、自動車等に圧力変化測定装置１を搭載して上下方向の位置変化を検知する場合、検知部６２の検知信号として自動車の本体より検出可能な車速パルスを用いることができる。判定部６１は、車速パルスが検出できない場合、搭載した自動車は動いておらず、静止状態と判別できる。
【００９５】
このように、圧力変化測定装置１を自動車等に搭載して上下方向の位置変化を検知する場合、検知部６２を構成するセンサとしては、車速センサやクランクシャフトセンサ、パーキングブレーキセンサーやスイッチ等を利用し、自転車に搭載する場合の検知部６２を構成するセンサとしては、速度計やケイデンスセンサー等を利用することで、静止状態を判別することができる。
【００９６】
さらに、基準値設定部６０は、カーナビ等の地図情報の上下方向の位置情報を利用して、基準値を設定することも可能である。例えば、基準値設定部６０は、航路軌跡を記憶しておき、周囲に高架道路等の上下方向の位置が異なる箇所のない地点の上下方向の位置と、時間経過した後、再度、同一地点を通過した時の上下方向の位置とが一致するよう、基準値を設定することで、正確な基準値設定をすることが可能となる。
【００９７】
（第三の実施形態）
第三の実施形態に係る圧力変化測定装置１について、図１４を用いて説明する。なお、前述の第一及び第二の実施形態に係る圧力変化測定装置と同様の構成については、同じ名称及び符号を用い、その説明を省略する。
【００９８】
（３−１：全体構成）
ここで、第三の実施形態に係る圧力変化測定装置１において、第一及び第二の実施形態に係る圧力変化測定装置１と異なる点は、基準値設定部６０を判定部６１と、圧力調整部６３と、記憶装置（図示省略）とで構成する点である。また、判定部６１には、ユーザーからの基準値の設定指示を受信するためのユーザーインターフェース（図示省略）が接続されているものとする。さらに、図１４に示す圧力調整部６３は、差圧計測用カンチレバー４におけるキャビティ１０と外部との間に設けられた通気孔を開閉制御可能なバルブである。
【００９９】
（３−２：基準値設定部による基準値生成処理）
第三の実施形態に係る基準値測定部６０による基準値生成処理について、図１５を用いて図９に示したフローチャートとの相違点を中心に説明する。図１５は、基準値測定部６０が基準値信号を生成するまでの処理の流れを示すフローチャートである。
【０１００】
まず、判定部６１は、接続されたユーザーインターフェースから基準値の設定指示を表す設定信号を受信するまで待機する（ステップＳ１５０１）。そして、判定部６１は、設定信号を受信すると（ステップＳ１５０１；Ｙ）、圧力調整部６３（バルブ）を閉状態から開状態へ変更する（ステップＳ１５０２）。すると、キャビティ１０と外気との間の通気孔が開放し、通気孔を介して圧力伝達媒体が流動することで、キャビティ１０の内圧Ｐｉｎと外圧Ｐｏｕｔとが等しくなる。
【０１０１】
次いで、基準値設定部６０は、検出回路２２の出力信号を検出し（ステップＳ９０１）、記憶装置に格納する（ステップＳ９０２）。すなわち、ここで得られる出力信号値は、内圧Ｐｉｎと外圧Ｐｏｕｔが等しい、つまり差圧ΔＰがおおよそゼロの状態の出力信号である。
【０１０２】
次いで、判定部６１は、圧力調整部６３を開状態から閉状態に変更する（ステップＳ１５０３）。これにより、差圧計測用カンチレバー４周囲に設けられたギャップ１３もしくは貫通孔１５のみで、キャビティ１０内部と外気とが連通することとなり、圧力伝達媒体の流動が制限される。このため、外圧Ｐｏｕｔに遅れて内圧Ｐｉｎが追従することとなり、差圧ΔＰが発生する構成となる。
【０１０３】
次いで、基準値設定部６０の判定部６１は、上記出力信号の変動が所定範囲内か判断する（ステップＳ９０３）。ここで判定部６１は、異常な状態で、出力信号が取得されていないか判断する。そして、判定部６１は、所定範囲を超える異常値が含まれると判断した場合（ステップＳ９０３；Ｎ）、ユーザーインターフェースを介してエラーを示す表示を行い（ステップＳ１５０４）、処理を終了する。
一方、判定部６１は、出力信号が所定範囲内であると判断した場合（ステップＳ９０３；Ｙ）、ステップＳ９０４〜Ｓ９０９の処理を実行する。
【０１０４】
これにより、上下方向の位置の計測時以外の期間を選択して、ユーザーが基準値を設定する操作を行うことができる。また、差圧ΔＰがゼロとなる状態を意図的に作り出せるため、正確な基準値を設定することができ、高精度に外圧Ｐｏｕｔの変動を測定することができる。
【０１０５】
なお、圧力調整部６３は、キャビティ筐体３に設けられたバルブに限らない。バルブを用いない圧力変化測定装置１の構成例を図１６に示す。
図１６に示す通気孔付き筐体８０は、内部に、キャビティ筐体３及び差圧計測用カンチレバー４すべてを収容し、一部に外部と通気するための通気孔を備えて構成される。そして、通気孔には、当該通気孔の開閉を制御するためのシャッターが備わる。該シャッターは、差圧計測用カンチレバー４に加わる外圧Ｐｏｕｔと、通気孔付き筐体８０外部の圧力との遮断／伝達を制御する機能を有し、圧力調整部６３として機能する。つまり、判定部６１がシャッターを閉状態にすると、通気孔付き筐体８０内部の圧力変化が一定となり、外圧Ｐｏｕｔと内圧Ｐｉｎが徐々に等しくなり、差圧ΔＰがゼロとなる。
【０１０６】
そして、判定部６１は、シャッターを閉状態にして、所定の待機時間を経た後、図９に示した基準値生成処理を行うことで、基準値の設定を正確に行うことが可能となる。
なお、バルブの圧力調整部６３の開閉制御した直後にも、内圧Ｐｉｎが圧力制御部６３の開閉動作に起因する圧力変動を生じることがある。このような場合にも、開閉制御と出力信号の検出との間（ステップＳ１４０２とＳ９０１との間）に、待機時間を設けることで、基準値の設定を正確に行うことができる。
【０１０７】
（３−３：「変形例３」）
差圧計測用カンチレバー４を用いる圧力変化測定装置１の構成を示してきたが、本変形例のように、外圧Ｐｏｕｔとキャビティ内部の内圧Ｐｉｎの差圧ΔＰを測定するのに、上述の差圧計測用カンチレバー４を用いない構成も可能である。
【０１０８】
ここで、本変形例の圧力変化測定装置１の構成を図１７に示す。具体的には、圧力変化測定装置１は、熱式差圧計４０と、熱式差圧計４０の一端に設けられたキャビティ筐体３と、熱式差圧計４０の検出回路２２に接続された演算処理部３０と、該検出回路２２と該演算処理部３０とに接続された基準値設定部６０と、で構成される。
【０１０９】
基準値設定部６０は、検出回路２２と演算処理部３０とに接続された判定部６１と、該判定部６１と接続され、圧力変化測定装置１の静止状態を検知するための検知部６２と、キャビティ筐体３内部と外部とを連通する通気孔を開閉制御するために設置されたバルブである圧力調整部６３とからなる。
【０１１０】
熱式差圧計４０は、一般的に微細な流路４３内に設けられた一対の温度センサ４１と、各温度センサ４１から等距離の位置に設置されたヒーター４２（熱源）と、から構成され、連通孔がキャビティ筐体３の開口部側と連接された通路形状からなる。熱式差圧計４０では、ヒーター４２が発熱していると、流路４３内部の圧力伝達媒体が加熱される。そして、熱式差圧計４０では、圧力伝達媒体が停止していると、ヒーター４２を中心に熱が広がり、流路４３内において左右対称の温度分布が得られる。この場合、各々の温度センサ４１からは同じ出力値が得られる。
【０１１１】
ここで、流路４３両端に差圧が発生すると、圧力伝達媒体は高い圧力側の流路４３端から低い圧力側の流路４３端へと流動する。この時の流路４３内部の温度分布は、下流側に押し流されるため、上流側の温度が低く、下流側の温度が高くなる。
【０１１２】
このため、下流側の温度センサ４１の出力値が大きくなる。そのため、熱式差圧計４０では、この時の上流側と下流側の温度センサ４１の出力値の差から圧力伝達媒体の流速が得られるので、この流速から流路４３両端の差圧を測定することが可能となる。
【０１１３】
このため、熱式差圧計４０を備える圧力変化測定装置１は、演算処理部３０が熱式差圧計４０の検出回路２２からの出力信号と、基準値設定部６０からの基準値設定信号とを用いて外圧Ｐｏｕｔの変動を測定することができる。
【０１１４】
（３−４：基準値設定部による基準値生成処理）
次に、基準値設定部６０の処理の流れについて、図１８及び１９を用いて説明する。
まず、基準値設定部６０は、検知部６２の検知信号を検知し（ステップＳ１３０３）、時間Δｔｒ毎に検知信号に関するＮｒ個の情報を記憶装置に格納する（ステップＳ１３０４）。そして、判定部６１は、検知信号を用いて、圧力変化測定装置１が静止状態、つまり特に上下方向の位置の変化のない状態かどうかを判断する（ステップＳ１３０５）。
【０１１５】
そして、判定部６１は、ステップＳ１３０５において静止状態でないと判断した場合（ステップＳ１３０５；Ｎ）、ステップＳ１３０３〜Ｓ１３０５の処理を繰り返す。
【０１１６】
一方、判定部６１は、ステップＳ１３０５において静止状態であると判断した場合（ステップＳ１３０５；Ｙ）、圧力調整部６３を閉状態から開状態に変更する（ステップＳ１５０２）。そして、判定部６１は、制御部６３の動作によりキャビティ１０内部の内圧Ｐｉｎが変化するため、確実に差圧ΔＰがゼロとなるまで所定の時間待機する（ステップＳ１８０１）。
【０１１７】
次いで、判定部６１は、検出回路２２の出力信号を検出し（ステップＳ９０１）、記憶装置に格納した後（ステップＳ９０２）、圧力調整部６３を開状態から閉状態に変更する（ステップＳ１５０３）。
次いで、基準値設定部６０の判定部６１は、上記出力信号の変動が所定範囲内か否かを判断する（ステップＳ９０３）。ここで判定部６１は、異常な状態で、出力信号が取得されていないか判断する。そして、判定部６１は、所定範囲を超える異常値が含まれると判断した場合（ステップＳ９０３；Ｎ）、エラーを示す表示を行い（ステップＳ１５０４）、処理を終了する。
【０１１８】
一方、判定部６１は、出力信号が所定範囲内であると判断した場合（ステップＳ９０３；Ｙ）、ステップＳ９０４〜Ｓ９０９の処理を実行する。
これにより、圧力変化測定装置１の上下方向の位置の変化がない状態を検知して、差圧ΔＰがゼロの状態を意図的に作り出せることができ、正確な基準値を設定することができる。このため、高精度に外圧Ｐｏｕｔの変化を測定することができる。
【０１１９】
（第四の実施形態）
第四の実施形態に係る圧力変化測定装置１について、図２０を用いて説明する。なお、前述の第一から第三いずれかの実施形態に係る圧力変化測定装置と同様の構成については、同じ名称及び符号を用い、その説明を省略する。
【０１２０】
（４−１：全体構成）
ここで、第四の実施形態に係る圧力変化測定装置１において、第一から第三いずれかの実施形態に係る圧力変化測定装置１と異なる点は、基準値設定部６０を判定部６１と、差圧制御部６４と、記憶装置（図示省略）とで構成する点である。また、判定部６１には、ユーザーからの基準値の設定指示を受信するためのユーザーインターフェース（図示省略）が接続されているものとする。さらに、図２０に示す差圧制御部６４は、キャビティ筐体３に接続され、かつキャビティ筐体３および差圧計測用カンチレバー４を上下方向に振動させる直動アクチュエータである。
【０１２１】
（４−２：基準値設定部による基準値生成処理）
第四の実施形態に係る基準値測定部６０による基準値生成処理について、図２１を用いて図９に示したフローチャートとの相違点を中心に説明する。図２１は、第四の実施形態に係る基準値測定部６０が基準値信号を生成するまでの処理の流れを示すフローチャートである。
【０１２２】
まず、判定部６１は、接続されたユーザーインターフェースから基準値の設定指示を表す設定信号を受信するまで待機する（ステップＳ１５０１）。そして、判定部６１は、設定信号を受信すると（ステップＳ１５０１；Ｙ）、差圧制御部６４が駆動し、キャビティ筐体３および差圧計測用カンチレバー４を上下方向に振動させる（ステップＳ２１０１）。すると、上下方向の移動量に応じて外圧Ｐｏｕｔが変化し、キャビティ１０との間に差圧ΔＰが発生する。ここでは、例えば、一定時間間隔にパルス状の上下移動を行う。この時の上下方向の移動量と出力信号の関係について、図２２に説明する。ΔＨの移動量でパルス状に下方向に移動すると（図２２（Ａ）参照）、移動に応じて検出回路の出力信号が得られる（図２２（Ｂ）参照）。この時の出力信号の変動幅をΔＶ１〜ΔＶ３、移動直後の出力信号の極大値をＶ１〜Ｖ３とする。
【０１２３】
次いで、基準値設定部６０は、上述の検出回路２２の出力信号を検出し、（ステップＳ９０１）、記憶装置に格納する（ステップＳ９０２）。
【０１２４】
次いで、上下方向の移動発生時の出力信号値の変動量ΔＶ１〜ΔＶ３と、上下方向の移動量ΔＨに基づく外圧Ｐｏｕｔの変動量との関連を求める（ステップＳ１５０２）。この関連と上下方向の移動発生時直後の出力信号の極大値Ｖ１〜Ｖ３とから、基準値を算出する（ステップＳ１５０３）。ここで、移動時毎の極大値Ｖ１〜Ｖ３からそれぞれ基準値が算出できるが、例えば算出した３つの基準値の平均をとり、最終的な基準値とする。
【０１２５】
次いで、基準値と出力信号を演算処理部へと出力する（ステップＳ９０５）。
次いで、基準値設定部６０の判定部６１は、上記出力信号の変動が、与えた上下方向の移動量に対して所定範囲内か判断する（ステップＳ９０７）。範囲外の場合（ステップＳ９０７；Ｎ）、エラー表示して（ステップＳ１５０４）、処理を終了する。範囲内の場合（ステップＳ９０７；Ｙ）は上述同様の処理を実行する。
【０１２６】
なお、ここで、上下方向の移動量ΔＨは同じで複数回の振動を与え、得られた出力信号の応答から基準値を得た。しかし、既知の移動量であれば、その時の外圧Ｐｏｕｔの変動量を算出できるため、複数種類の上下方向の移動量を与えても、基準値の算出は可能である。また、出力信号と上下方向の移動量との関連を算出する例を示したが、予めデータベースとして記憶装置に格納しておき、必要に応じて読みだしても基準値の設定は実現可能である。
【０１２７】
これにより、上下移動量により差圧ΔＰを制御して発生させることができるため、ユーザーが基準値を設定する操作を行うことができる。また、差圧ΔＰを制御して発生させ、その時の出力信号の応答との関連から、差圧ΔＰがゼロとなる状態の出力信号値を予測できるため、正確な基準値を設定することができ、高精度に外圧Ｐｏｕｔの変動を測定することができる。
【０１２８】
なお、差圧制御部６４は、上下方向に振動させる直動アクチュエータに限らない。直動アクチュエータを用いない圧力変化測定装置１の構成を図２３に示す。
図２３に示すメンブレン付キャビティ筐体８３は、その一面にメンブレン型アクチュエータを備えて構成される。メンブレン型アクチュエータは、差圧制御部６４として機能する。すなわち、メンブレン部分を変形させて、キャビティ内圧Ｐｉｎを制御する。そして、キャビティ内圧Ｐｉｎを変化させることで、差圧計測用カンチレバー４表裏に差圧ΔＰを発生させることが可能となる。このため、直動アクチュエータを用いずとも、上述の基準値生成処理を実行でき、基準値の設定を正確に行うことが可能となる。
【０１２９】
（第五の実施形態）
第五の実施形態に係る圧力変化測定装置１に用いる基準値判定部６０について説明する。なお、前述の第一から第四いずれかの実施形態に係る圧力変化測定装置と同様の構成については、同じ名称及び符号を用い、その説明を省略する。
【０１３０】
（５−１：全体構成）
ここで、第五の実施形態に係る圧力変化測定装置１に用いる基準値設定部６０において、第一から第四いずれかの基準値設定部６０と異なる点は、基準値設定部６０をフィルターで構成する点である。
検出回路２２から出力された出力信号は、基準値設定部６０に入力される。
【０１３１】
基準値設定部６０はごく低周波数の遮断周波数を持つハイパスフィルターで構成される。このため、検出回路２２から入力された信号は、基準値設定部６０の周波数特性に応じた信号を出力することとなる。おおよそ、直流電圧から遮断周波数までの信号をカットして出力するため、基準値をゼロとして出力することとなる。このため、基準値設定部６０からの出力信号は、基準値がゼロで、かつ遮断周波数より高速な圧力変動に応じた信号を出力信号として出力することができる。
【０１３２】
なお、上記遮断周波数は、測定したい圧力変動の周波数で設定することも可能であるが、キャビティ筐体３と差圧計測用カンチレバー４の構成と圧力伝達媒体の物性により定まる圧力変化測定装置１の周波数特性の遮断周波数より小さいことが望ましい。
【０１３３】
また、基準値設定部６０をフィルターのみではなく、フィルターと比較器を用いて構成することも可能である。検出回路からの出力信号を二分割し、一方を上記のハイパスフィルターに入力する。他方の出力信号とハイパスフィルターの出力信号を比較器に入力し、双方の信号の差分を演算する。比較器の出力は、基準値とハイパスフィルターの遮断周波数と圧力変化測定装置１の遮断周波数の間でバンドパスフィルターを通した信号との加算になる。
【０１３４】
したがって、比較器からの出力信号は、基準値を中心として非常に低周波で変動する信号となる。このため、比較器からの信号を平均化することで、基準値を算出することが可能となる。このため、基準値の設定を正確に行うことができ、この基準値を用いて外圧Ｐｏｕｔの変動を正確に計測することが可能となる。
【０１３５】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上述した実施例の構成に限るものではない。一例をあげると、第二の実施形態の静止状態の検知と第三の実施形態のキャビティ筐体にバルブを取り付けた構成を組み合わせ、静止検知した時にバルブを開放して基準値信号を生成することも可能である。
【０１３６】
また、測定対象圧力の変動を測定する装置及び方法について述べたが、例えば、測定対象圧力の変動を測定して、別の物理量に変換して、別の物理量の変動を測定する装置にも応用可能である。別の物理量としては、例えば、第二の実施形態に述べた上下方向の移動量や、気体の膨張や収縮等の容積変化、さらに容積変化から温度変化等への変換も可能である。即ち、圧力変化測定装置から得られた測定対象圧力の変化を高度情報量に変換して出力することで、高度を測定する高度測定装置として利用することも可能である。これによれば、例えば使用者が高度を測定する際に、気象条件の変動に伴う気圧変動をノイズとして除去したうえで、使用者の高度変化を高精度に測定することが可能になる。
【符号の説明】
【０１３７】
１  圧力変化測定装置
２  ＳＯＩ基板
３  キャビティ筐体
４  差圧計測用カンチレバー（カンチレバー）
５  変位測定部
１０  キャビティ
１２  蓋部
１３  ギャップ
１５  貫通孔
１６  溝部
２０  ピエゾ抵抗
２２  検出回路
３０  演算処理部
３１  差圧算出部
３２  測定対象圧力算出部
３３  流量算出部
３４  内圧更新部
４０  熱式差圧計
４１  温度センサ
４２  ヒーター
４３  流路
６０  基準値設定部
６１  判定部
６２  検知部
６３  圧力調整部
６４  差圧制御部
７０  調整回路
８０  通気孔付き筐体
８３  メンブレン付キャビティ筐体
９０  差圧センサ
【図１】
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【図２】
0006563939.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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