(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブルにおける主面の反対面に接続され、第１方向に直線運動を行う可動部と、
平面視で前記第１方向に直交する第２方向において、前記テーブルと前記可動部の両端部とを接続する一対の接続部材と、
前記可動部を直線運動させる駆動機構と、
前記駆動機構を駆動する駆動源と、
前記第１方向に前記可動部を案内する案内部材と、
前記可動部において前記第１方向に沿う一方側に接続され、前記テーブルにおける前記主面の反対面の側において前記駆動機構及び前記案内部材の周囲を囲う第１ジャバラと、
前記可動部において前記第１方向に沿う他方側に接続され、前記テーブルにおける前記反対面の側において前記駆動機構及び前記案内部材の周囲を囲う第２ジャバラと、
前記第１ジャバラにおける前記可動部とは反対側の端部を支持する第１支持部材と、
前記第２ジャバラにおける前記可動部とは反対側の端部を支持する第２支持部材と、
前記第１ジャバラ及び前記第２ジャバラとテーブルとの間で、前記第１ジャバラ、前記第２ジャバラ及び前記可動部を覆うように配置された板状部材と、
前記第１ジャバラ及び前記第２ジャバラを囲うように前記第１支持部の両端部と前記第２支持部の両端部とを接続する一対の側壁部材とを備え、
前記可動部は、前記第１ジャバラによって囲まれた第１空間と前記第２ジャバラによって囲まれた第２空間とを連通する連通孔を含み、
前記可動部が移動する際に前記第１空間と前記第２空間との間に気圧差が生じないように前記連通孔の大きさ及び前記連通孔の断面形状が設定され、
前記連通孔の端部における前記可動部の稜角には面取りが設けられ、
平面視で前記第２方向において、前記板状部材の幅は、前記一対の側壁部材の内側の間隔よりも大きく、
前記一対の接続部材は、一端が前記可動部材の両側面に接続され、前記一対の側壁部材の上方及び前記板状部材の両側方を経由して、他端が前記テーブルに接続される、テーブル移動装置。
【請求項２】
テーブルに接続され、第1方向に直線運動を行う可動部と、
平面視で前記第１方向に直交する第２方向において、前記テーブルと前記可動部の両端部とを接続する一対の接続部材と、
前記可動部を前記第１方向に直線運動させる駆動機構と、
前記可動部の前記第１方向の両側に一端が接続され、前記駆動機構の周囲を囲う一対のジャバラと、
前記一対のジャバラの他端が接続される一対の支持部材と、
前記一対のジャバラを囲うように前記一対の支持部材の両端部を接続する一対の側壁部材と、
前記一対のジャバラとテーブルとの間で、前記一対のジャバラ及び前記可動部を覆うように配置された板状部材とを備え、
平面視で前記第２方向において、前記板状部材の幅は、前記一対の側壁部材の内側の間隔よりも大きく、
前記一対の接続部材は、一端が前記可動部材の両側面に接続され、前記一対の側壁部材の上方及び前記板状部材の両側方を経由して、他端が前記テーブルに接続される、テーブル移動装置。
【請求項３】
更に、前記第１方向に前記可動部を案内する案内部材を備える、請求項２に記載のテーブル移動装置。
【請求項４】
前記可動部は、前記可動部を挟んで前記一対のジャバラによって囲まれた２つの空間を連通する連通孔を備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載のテーブル移動装置。
【請求項５】
前記駆動機構はボールねじ機構又はリニアモータ機構である、請求項１〜４のいずれか１項に記載のテーブル移動装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のテーブル移動装置を備える処理装置であって、前記テーブルとして、処理対象物又は処理対象物を処理するための処理用部材が前記主面に取り付けられるテーブルが設けられる、処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理対象物を処理するための処理装置及びテーブル移動装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、加工装置などにおいて、直線運動を行う移動機構としてボールねじ機構が使用されている。ボールねじ機構は、駆動モータと回転運動を直線運動に変換するボールねじと直線運動を行う可動部とから構成される。可動部の直線運動を案内するガイドレールがボールねじの両側に設けられる。加工によって生じる粉塵などがボールねじ及びガイドレールに付着することを防止するために、保護カバーとして伸縮自在なジャバラなどがボールねじ及びガイドレールを囲うようにして設けられる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６０−２０１８５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に示されるボールねじ機構は次のような課題を有する。特許文献１に示されるように、ガイドレール１及びボールネジ機構３は、固定カバー６と可動収縮カバー７とによって保護される。しかしながら、固定カバー６と可動収縮カバー７との間には隙間が生じる。可動収縮カバー７が収縮すると隙間を介して外部から空気が流入する。この流入する空気に粉塵などが巻き込まれて、ガイドレール１及びボールネジ機構３に粉塵が付着するおそれがある。粉塵の付着が続けば、ガイドレール１及びボールネジ機構３に粉塵が堆積するおそれがある。これらの場合も含めて、テーブルを安定して往復移動させることが粉塵などによって阻害されるおそれがある。
【０００５】
本発明は上記の課題を解決するもので、テーブルを安定して往復移動させることができる処理装置及びテーブル移動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明に係る処理装置は、処理対象物又は処理対象物を処理するための処理用部材が主面に取り付けられるテーブルと、テーブルが接続され、直線運動を行う可動部と、可動部を直線運動させる駆動機構と、駆動機構を駆動する駆動源と、直線運動の方向に沿う第１方向に可動部を案内する案内部材と、可動部において第１方向に沿う一方側に接続され、テーブルにおける主面の反対面の側において駆動機構及び案内部材の周囲を囲う第１ジャバラと、可動部において第１方向に沿う他方側に接続され、テーブルにおける反対面の側において駆動機構及び案内部材の周囲を囲う第２ジャバラと、第１ジャバラにおける可動部とは反対側の端部を支持する第１支持部材と、第２ジャバラにおける可動部とは反対側の端部を支持する第２支持部材とを備え、可動部は、第１ジャバラによって囲まれた第１空間と第２ジャバラによって囲まれた第２空間とを連通する連通孔を含む。
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明に係るテーブル移動装置は、テーブルにおける主面の反対面に接続され、直線運動を行う可動部と、可動部を直線運動させる駆動機構と、駆動機構を駆動する駆動源と、直線運動の方向に沿う第１方向に可動部を案内する案内部材と、可動部において第１方向に沿う一方側に接続され、テーブルにおける主面の反対面の側において駆動機構及び案内部材の周囲を囲う第１ジャバラと、可動部において第１方向に沿う他方側に接続され、テーブルにおける反対面の側において駆動機構及び案内部材の周囲を囲う第２ジャバラと、第１ジャバラにおける可動部とは反対側の端部を支持する第１支持部材と、第２ジャバラにおける可動部とは反対側の端部を支持する第２支持部材とを備え、可動部は、第１ジャバラによって囲まれた第１空間と第２ジャバラによって囲まれた第２空間とを連通する連通孔を含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、テーブルを安定して往復移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態１のテーブル移動装置を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＡ−Ａ線断面図、（ｃ）はＢ−Ｂ線断面図である。
【図２】実施形態１のテーブル移動装置に処理用部材を取り付け、処理装置として処理対象物を処理している状態を示す概略図である。
【図３】実施形態２のテーブル移動装置を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＣ−Ｃ線断面図、（ｃ）はＤ−Ｄ線断面図である。
【図４】実施形態２のテーブル移動装置を処理装置における移動機構として使用し、テーブルの上に載置された処理対象物を処理している状態を示す概略図である。
【図５】実施形態３のテーブル移動装置を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＥ−Ｅ線断面図、（ｃ）はＦ−Ｆ線断面図である。
【図６】実施形態４のテーブル移動装置を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＧ−Ｇ線断面図、（ｃ）はＨ−Ｈ線断面図である。
【図７】実施形態５のテーブル移動装置を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＩ−Ｉ線断面図、（ｃ）はＪ−Ｊ線断面図である。
【図８】実施形態６のテーブル移動装置を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＫ−Ｋ線断面図、（ｃ）はＬ−Ｌ線断面図である。
【図９】実施形態７の処理装置を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照して説明する。本出願書類におけるいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。なお、平面図においては駆動機構の構成をわかりやすくするために、便宜上、テーブル、保護カバー及びジャバラを透明なものとして描く。
〔実施形態１〕
【００１１】
（テーブル移動装置の構成）
本発明に係るテーブル移動装置の実施形態１について、図１を参照して説明する。テーブル移動装置１はテーブル２を第１方向（図においてはＹ方向）に移動させる移動装置である。テーブル移動装置１は、テーブル２を移動させるためにサーボモータ３などの駆動源を有する。サーボモータ３は、Ｙ方向に沿って伸びる回転部材であるボールねじ４を回転させる。ボールねじ４には、ボールねじナット（図示なし）を介して軸方向（Ｙ方向）に沿う直線運動を行う可動部５が取り付けられる。サーボモータ３とボールねじ４と可動部５とはボールねじ機構を構成する。ボールねじ４を回転させる駆動源として、ステッピングモータなど他の駆動源を使用しても良い。ボールねじ４は、可動部５を直線運動させる駆動機構として働く。
【００１２】
ボールねじ４は、サーボモータ３の側（＋Ｙ方向側）に設けられた第１支持部材６と、サーボモータ３の反対側（−Ｙ方向側）に設けられた第２支持部材７とによって、回転可能に支持される。具体的には、第１支持部材６及び第２支持部材７にそれぞれ取り付けられた回転軸受（図示なし）によって、ボールねじ４が支持される。回転軸受には、加工による粉塵などが内部に侵入しないようにガスケットなどのシール材が設けられる。
【００１３】
サーボモータ３の回転軸とボールねじ４とは、カップリング（図示なし）によって結合される。カップリングを保護する保護カバー（図示なし）が、第１支持部材６に固定される。粉塵などが保護カバー内部に侵入しないように保護カバー固定部にもガスケットなどのシール材が設けられる。
【００１４】
第１支持部材６及び第２支持部材７は、テーブル移動装置１の基台８の上に取り付けられる。第１支持部材６と第２支持部材７とは、Ｙ方向において相対向するようにして取り付けられる。第１支持部材６と第２支持部材７とは、Ｘ方向において相対向する２個の側壁部材９によって、互いに接続される。したがって、テーブル移動装置１は、第１支持部材６と第２支持部材７と２個の側壁部材９とを含む枠状部材を備える。
【００１５】
処理対象物などを載置するテーブル２が、可動部５の上端に固定される。テーブル２は可動部５の移動に伴ってＹ方向に移動する。２個のボールスプライン１０は、ボールねじ４の両側に設けられた案内部材である。２個のボールスプライン１０は、それぞれスプライン軸及びスプラインナット（いずれも図示なし）によって構成される。可動部５は、ボールねじ４の両側に設けられた案内部材である２個のボールスプライン１０に沿ってボールねじ４の軸方向（Ｙ方向）に移動する。スプラインナットは可動部５に固定される。ボールスプライン１０のスプライン軸の両端は、第１支持部材６及び第２支持部材７にそれぞれ固定される。ボールスプライン１０に代えて、リニアブッシュとリニアシャフトとの組み合わせ、又は、ボールねじスプラインを使用しても良い。
【００１６】
図１（ｂ）に示されるように、可動部５の一端５Ｒ（テーブル移動装置１におけるサーボモータ３の側）と第１支持部材６とは、Ｙ方向（第１方向）に沿って伸縮できる第１ジャバラ１１によって接続される。可動部５の他端５Ｌ（テーブル移動装置１におけるサーボモータ３の反対側）と第２支持部材７とは、Ｙ方向に沿って伸縮できる第２ジャバラ１２によって接続される。
【００１７】
第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２は、それぞれ筒状であってボールねじ４及びボールスプライン１０の周囲を囲う。第１ジャバラ１１は、可動部５の一端５Ｒと第１支持部材６との間において、密閉された第１空間１３を形成する。第２ジャバラ１２は、可動部５の一端５Ｌと第２支持部材７との間において、密閉された第２空間１４を形成する。ボールねじ４及び２個のボールスプライン１０は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって外部から完全に遮断される。したがって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが防止される。
【００１８】
第１ジャバラ１１と可動部５の一端５Ｒとの接続部、第１ジャバラ１１と第１支持部材６との接続部、第２ジャバラ１２と可動部５の他端５Ｌとの接続部及び第２ジャバラ１２と第２支持部材７との接続部は、粉塵などがジャバラの内部に侵入しないようにそれぞれガスケットなどのシール材が設けられる。
【００１９】
第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２は、それぞれ筒状であって、四角形又は円形の断面形状を有する。それぞれのジャバラが収縮した時の長さが短くなるように、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２として、縫いジャバラではなく溶着ジャバラを使用することが好ましい。第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の断面形状は楕円形であってもよい。
【００２０】
図１（ｃ）に示されるように、可動部５には、第１ジャバラ１１内に形成された第１空間１３と第２ジャバラ１２内に形成された第２空間１４とを連通する２個の連通孔１５が設けられる。２個の連通孔１５は、図１（ａ）に示されるＺ方向に沿って見て（平面視して）、ボールねじ４を挟んでボールねじ４の両側に設けられる。可動部５に連通孔１５が設けられることによって、第１空間１３と第２空間１４との間において、連通孔１５を経由して互いに空気を流動させることができる。連通孔１５は四角形の断面形状を有する。連通孔１５の端部における可動部５の４つの稜角には、Ｃ面取り又はＲ面取りなどの面取りを施すことが好ましい。このことにより、空気をより滑らかに流動させることができる。
【００２１】
本実施形態では、四角形の断面形状を有する連通孔１５をボールねじ４の両側に設けた。これに限らず、連通孔１５の断面形状は円形又は多角形などであっても良い。各実施形態では、連通孔１５の断面形状を問わない。連通孔１５を形成する位置も問わない。連通孔１５は、可動部５が移動する際に第１空間１３と第２空間１４との間において空気が滑らかに流動できるような大きさ及び断面形状を有していれば良い。言い換えれば、可動部５が移動する際に第１空間１３と第２空間１４との間に気圧差が生じないように連通孔１５の大きさ及び断面形状が設定されていれば良い。
【００２２】
（テーブル移動装置の動作）
図１を参照して、テーブル移動装置１の動作について説明する。まず、サーボモータ３を駆動（正回転）させることによってボールねじ４を正回転させる。ボールねじ４を正回転させることによって可動部５を−Ｙ方向に移動させる。可動部５が−Ｙ方向に移動することによって、第１ジャバラ１１は伸長し、第２ジャバラ１２は収縮する。
【００２３】
第１ジャバラ１１が伸長すると第１ジャバラ１１内の気圧が下がろうとする。第２ジャバラ１２が収縮すると第２ジャバラ１２内の気圧が上がろうとする。第１空間１３と第２空間１４との間において気圧差が発生すると、可動部５の滑らかな移動が妨げられる。本実施形態では、第１空間１３と第２空間１４との間において空気が滑らかに流動できるようにして、可動部５に連通孔１５を設ける。可動部５が移動する場合において、連通孔１５を経由して空気が流動することによって、第１空間１３と第２空間１４との間に気圧差が実質的に発生しない。したがって、可動部５が滑らかに−Ｙ方向に移動することができる。「気圧差が実質的に発生しない」という文言は、物理的には気圧差が発生する場合であって発生した気圧差の大きさが可動部５の滑らかな移動を妨げない程度である場合を含む。
【００２４】
次に、サーボモータ３を逆に駆動（逆回転）させることによってボールねじ４を逆回転させる。ボールねじ４を逆回転させることによって可動部５を＋Ｙ方向に移動させる。可動部５が＋Ｙ方向に移動することによって、第１ジャバラ１１は収縮し、第２ジャバラ１２は伸長する。この場合においても、可動部５が移動しても連通孔１５を経由して空気が流動することによって、第１空間１３と第２空間１４との間に気圧差が実質的に発生しない。したがって、可動部５が滑らかに＋Ｙ方向に移動することができる。
【００２５】
ボールねじ４及びボールスプライン１０は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって外部から完全に遮断されている。このことによって、可動部５がＹ方向に往復移動する場合において、加工によって生じる粉塵などが第１空間１３及び第２空間１４に吸い込まれない。したがって、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に粉塵などが侵入することが防止される。加えて、可動部５に連通孔１５を設けることによって、第１空間１３と第２空間１４との間に気圧差が実質的に発生しない。これらのことによって、可動部５が滑らかに往復移動することができる。
【００２６】
（処理装置の構成）
図２を参照して、処理装置の一種である加工装置１６の構成について説明する。図２に示されるように、テーブル移動装置１のテーブル２の上に加工部材（処理用部材）を取り付ける。このことによって、加工装置（処理装置）１６においてテーブル移動装置１を使用することができる。図２においては、加工部材（処理用部材）としてブラスト噴射装置１７をテーブル２に取り付けた例を示す。
【００２７】
加工装置１６において、テーブル２のテーブル面がＺ方向に沿うようにして、テーブル２が配置される。テーブル２には、ブラスト噴射装置１７が取り付けられる。本実施形態においては、ブラスト噴射装置１７として、例えば、サクション式ブラスト噴射装置を取り付けた例を示す。ブラスト噴射装置１７は、ブラスト材が供給されるブラスト材供給管１８と、圧縮空気が供給される圧縮空気供給管１９と、ブラスト材を圧縮空気によって噴射させるノズル２０とを備える。ブラスト噴射装置１７の下方には、加工用テーブル２１の上に載置された加工対象物（処理対象物）２２が配置される。ブラスト材として、珪砂、アルミナ、鋼球などの粉粒体が用途に応じて使用される。
【００２８】
本実施形態においては、ブラスト噴射装置１７として、ブラスト材と圧縮空気とをそれぞれの供給管から供給するサクション式ブラスト噴射装置を使用する例を示した。これに限らず、ブラスト材と圧縮空気とを同一の供給管から供給する直圧式ブラスト噴射装置を使用してもよい。
【００２９】
（処理装置の動作）
図２を参照して、加工装置１６の動作について説明する。図２に示されるように、加工用テーブル２１の上に加工対象物２２を載置する。加工対象物２２の上方の所定位置にブラスト噴射装置１７を配置する。サーボモータ３を駆動させることによって、テーブル２をＹ方向に往復移動させる。テーブル２をＹ方向に往復移動させることによって、ブラスト噴射装置１７をＹ方向に往復移動させる。ブラスト噴射装置１７のノズル２０から加工対象物２２に向かってブラスト材２３を噴射して、加工対象物２２を加工する。この場合には、加工用テーブル２１を固定した状態で、ブラスト噴射装置１７をＹ方向に往復移動させることによって加工対象物２２を加工することができる。
【００３０】
変形例として、加工用テーブル２１をＸ方向に移動させても良い。この場合には、ブラスト噴射装置１７をＹ方向に往復移動させ、かつ、加工用テーブル２１をＸ方向に往復移動させることによって、加工対象物２２をＸ方向及びＹ方向に沿って加工することができる。
【００３１】
（作用効果）
本実施形態では、加工装置１６は、加工部材であるブラスト噴射装置１７が取り付けられるテーブル２と、テーブル２が接続されて直線運動を行う可動部５と、可動部５を直線運動させる駆動機構であるボールねじ４と、ボールねじ４を駆動する駆動源であるサーボモータ３と、可動部５を直線運動の方向に案内する案内部材であるボールスプライン１０と、可動部５の一方側５Ｒに接続されてボールねじ４及びボールスプライン１０の周囲を囲う第１ジャバラ１１と、可動部５の他方側５Ｌに接続されてボールねじ４及びボールスプライン１０の周囲を囲う第２ジャバラ１２と、第１ジャバラ１１の可動部５とは反対側の端部を支持する第１支持部材６と、第２ジャバラ１２の可動部５とは反対側の端部を支持する第２支持部材７とを備え、可動部５は第１ジャバラ１１によって囲まれた第１空間１３と第２ジャバラ１２によって囲まれた第２空間１４とを連通する連通孔１５を含む構成を有する。
【００３２】
このような構成にすることによって、ブラスト加工によって生じる粉塵及びブラスト材など（以下「粉塵など」という。）が第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが防止される。言い替えれば、第１空間１３及び第２空間１４に粉塵などが侵入することが防止される。
【００３３】
本実施形態によれば、Ｙ方向に沿って可動部５を直線運動させるボールねじ４及びＹ方向に沿って可動部５を案内するボールスプライン１０の周囲を、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって完全に囲う。このことによって、ブラスト加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが、防止される。ボールねじ４及びボールスプライン１０に粉塵などが付着することによって可動部５の直線運動が妨げられることが、抑制される。したがって、テーブル２が安定して往復移動することができる。
【００３４】
本実施形態によれば、可動部５に第１空間１３と第２空間１４とを連通させる連通孔１５をボールねじ４の両側に設ける。このことによって、可動部５が移動する際に第１空間１３と第２空間１４との間において連通孔１５を経由して空気が流動する。第１空間１３と第２空間１４との間において、連通孔１５を経由して空気が流動するので気圧差が実質的に発生しない。このことにより、気圧差が可動部５の直線運動を妨げることが抑制される。したがって、可動部５が滑らかに往復移動することができるので、テーブル２が安定して往復移動することができる。
〔実施形態２〕
【００３５】
（テーブル移動装置の構成）
図３を参照して、実施形態２のテーブル移動装置について説明する。実施形態２の特徴は、第１に、実施形態１においては可動部５とテーブル２とが直接的に接続されるのに対して、実施形態２においては可動部５とテーブル２とが別部材を介して間接的に接続されることである。第２に、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２とテーブル２との間に保護カバーが設けられたことである。
【００３６】
図３（ｃ）に示されるように、テーブル移動装置２４において、可動部５とテーブル２とは、Ｘ方向（第２方向）において相対向する２個の接続部材２５によって接続される。２個の接続部材２５は、Ｘ方向（第２方向）における可動部５の両端部にそれぞれ設けられる。第１方向と第２方向とは互いに交わる方向であればよい。図３（ａ）に示されるように、第１方向と第２方向とは、Ｙ方向とＸ方向とのように直交することが好ましい。
【００３７】
２個の接続部材２５の間に、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部を覆うようにして、板状部材からなる保護カバー２６が設けられる。Ｙ方向における保護カバー２６の両端は、支持部材６及び支持部材７に接続される。保護カバー２６は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２とテーブル２との間において、平面視して可動部５の直線運動を妨げない位置に設けられる。平面視して可動部５の直線運動を妨げない位置の例として、Ｘ方向において相対向する２個の接続部材２５の間が挙げられる。平面視して、保護カバー２６が第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２を完全に内包することが好ましい。上述した以外の構成及び動作については、実施形態１のテーブル移動装置と同じなので説明を省略する。
【００３８】
（処理装置の構成）
図４を参照して、処理装置の一種である加工装置２７の構成について説明する。図４に示されるように、テーブル移動装置２４は、テーブル２の面がＹ方向に沿うようにして配置される。ブラスト噴射装置１７の下方にテーブル移動装置２４を設置することにより、テーブル移動装置２４を加工装置２７における移動機構として使用することができる。第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２とテーブル２との間には保護カバー２６が設けられる。加工対象物２２は、テーブル移動装置２４のテーブル２の上に載置される。
【００３９】
（処理装置の動作）
図４を参照して、加工装置２７の動作について説明する。図４に示されるように、加工装置２７において、テーブル移動装置２４が有するテーブル２の上に加工対象物２２を載置する。ブラスト噴射装置１７は、テーブル移動装置２４の上方における所定の位置に固定される。サーボモータ３を駆動させてテーブル２をＹ方向に往復移動させる。テーブル２をＹ方向に往復移動させることによって、加工対象物２２をＹ方向に往復移動させる。ブラスト噴射装置１７のノズル２０から加工対象物２２に向かってブラスト材２３を噴射することによって、加工対象物２２を加工する。この場合には、ブラスト噴射装置１７を固定した状態で、テーブル２をＹ方向に往復移動させることによって加工対象物２２を加工することができる。
【００４０】
変形例として、ブラスト噴射装置１７をＸ方向に移動させるようにしても良い。この場合には、ブラスト噴射装置１７をＸ方向に往復移動させ、かつ、テーブル２をＹ方向に往復移動させることによって、加工対象物２２をＸ方向及びＹ方向に沿って加工することができる。
【００４１】
（作用効果）
本実施形態では、加工装置２７は、加工対象物２２が載置されるテーブル２と、テーブル２が接続されて直線運動を行う可動部５と、可動部５を直線運動させるボールねじ４と、ボールねじ４を駆動する駆動源であるサーボモータ３と、可動部５を直線運動の方向に案内するボールスプライン１０と、可動部５の一方側５Ｒに接続されてボールねじ４及びボールスプライン１０の周囲を囲う第１ジャバラ１１と、可動部５の他方側５Ｌに接続されてボールねじ４及びボールスプライン１０の周囲を囲う第２ジャバラ１２と、第１ジャバラ１１の可動部５とは反対側の端部を支持する第１支持部材６と、第２ジャバラ１２の可動部５とは反対側の端部を支持する第２支持部材７とを備え、可動部５は第１ジャバラ１１によって囲まれた第１空間１３と第２ジャバラ１２によって囲まれた第２空間１４とを連通する連通孔１５を含む構成を有する。
【００４２】
更に、本実施形態では、加工装置２７は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２とテーブル２との間に配置された保護カバー２６と、Ｘ方向における保護カバー２６の外側に位置し可動部５とテーブル２とを接続する接続部材２５とを含む構成を有する。
【００４３】
これらの構成が採用されることによって、第１に、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが防止される。第２に、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部に付着することが抑制される。
【００４４】
本実施形態によれば、可動部５を直線運動させるボールねじ４及び可動部５を軸方向に案内するボールスプライン１０の周囲を第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって完全に囲う。このことによって、ブラスト加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが、防止される。ボールねじ４及びボールスプライン１０に粉塵などが付着することによって可動部５の直線運動が妨げられることが、抑制される。したがって、テーブル２が安定して往復移動することができる。
【００４５】
本実施形態によれば、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２を覆うようにして、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２とテーブル２との間に保護カバー２６を設ける。このことによって、ブラスト加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部に付着することが、抑制される。第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２に粉塵などが付着することによって第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の収縮運動が妨げられることが、抑制される。したがって、テーブル２が安定して往復移動することができる。
【００４６】
本実施形態によれば、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２とテーブル２との間に保護カバー２６を設けるので、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部に粉塵などが付着することが抑制される。したがって、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の劣化（最悪の場合には破損）が抑制される。このことによって、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の寿命を長くすることができる。したがって、テーブル２が長期間安定して往復移動することができる。
【００４７】
本実施形態によれば、可動部５に第１空間１３と第２空間１４とを連通させる連通孔１５をボールねじ４の両側に設ける。このことによって、可動部５が移動する際に第１空間１３と第２空間１４との間において連通孔１５を経由して空気が流動する。第１空間１３と第２空間１４との間において、連通孔１５を経由して空気が流動するので気圧差が実質的に発生しない。このことにより、気圧差が可動部５の直線運動を妨げることが抑制される。したがって、可動部５が滑らかに往復移動することができるので、テーブル２が安定して往復移動することができる。
【００４８】
保護カバー２６において、ボールねじ４の上方に稜部を設けてもよい。この場合には、Ｘ方向における保護カバー２６の両端に向かって稜部から下り勾配を設けることが好ましい。この構成によれば、保護カバー２６の上面に落下した粉塵などが下り勾配に沿って保護カバー２６の両端からテーブル移動装置２４の下方に落下しやすくなる。したがって、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に粉塵などが侵入することが、いっそう防止される。
〔実施形態３〕
【００４９】
図５を参照して、実施形態３のテーブル移動装置について説明する。実施形態２のテーブル移動装置との違いは、可動部を案内する案内部材としてボールスプラインではなくリニアガイドを使用することである。それ以外の構成及び動作については、実施形態２のテーブル移動装置と同じなので説明を省略する。
【００５０】
図５（ｃ）に示されるように、テーブル移動装置２８において、可動部２９（ドットで塗りつぶしている部分）は、基台３０に設けられたリニアガイド３１を案内部材として直線運動を行う。図５（ｂ）に示されるように、基台３０の一端は、第１空間１３を通過して第１支持部材６に固定される。基台３０の他端は、第２空間１４を通過して第２支持部材７に固定される。したがって、基台３０は第１支持部材６と第２支持部材７とによって支持される。基台３０の両端部にリニアガイド３１が設けられる。可動部２９は、リニアガイド３１に沿ってボールねじ４の軸方向（Ｙ方向）に移動する。
【００５１】
図５（ｃ）に示されるように、可動部２９は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２と接続される枠状部材２９ａと、枠状部材２９ａが有する貫通穴に設けられ枠状部材２９ａに接続される可動部材２９ｂとを備える。可動部材２９ｂがリニアガイド３１に沿って直線運動を行う。したがって、可動部材２９ｂと枠状部材２９ａと接続部材２５とテーブル２とが一体となって、リニアガイド３１に沿って直線運動を行う。
【００５２】
可動部材２９ｂにおいて、ボールねじ４の両側に凹部３２が設けられる。凹部３２は、第１空間１３と第２空間１４とを連通する連通孔に相当する。本実施形態においては、可動部２９を構成する枠状部材２９ａと可動部材２９ｂとの間の空間、可動部材２９ｂと基台３０との間の空間、枠状部材２９ａと基台３０との間の空間及び可動部材２９ｂに設けられた凹部３２のそれぞれが、第１空間１３と第２空間１４とを連通する連通孔に相当する。第１空間１３と第２空間１４との間において、これらの連通孔を経由して空気が流動する。ボールねじ４、リニアガイド３１及び基台３０は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって外部から完全に遮断される。
【００５３】
このような構成とすることによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが防止される。保護カバー２６を設けることによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部に付着することが抑制される。
【００５４】
加えて、可動部２９が移動した際に第１空間１３と第２空間１４との間において、連通孔を経由して空気が流動する。したがって、可動部２９が滑らかに往復移動することができる。本実施形態においても、テーブル２が安定して往復移動することができる。
〔実施形態４〕
【００５５】
図６を参照して、実施形態４のテーブル移動装置について説明する。実施形態２のテーブル移動装置との違いは、テーブルに接続される可動部を２個設けることである。それ以外の構成及び動作については、実施形態２のテーブル移動装置と同じなので説明を省略する。
【００５６】
図６（ｂ）に示されるように、テーブル移動装置３３は、ボールねじナット（図示なし）を介してボールねじ４に取り付けられる２個の可動部５ａ、５ｂを有する。テーブル２は、接続部材２５ａ、２５ｂによってそれぞれ可動部５ａ、５ｂに接続される。可動部５ａと可動部５ｂとは、第３ジャバラ３４によって接続される。第３ジャバラ３４は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２と同様にボールねじ４及びボールスプライン１０の周囲を囲うジャバラである。第３ジャバラ３４は、可動部５ａと可動部５ｂとの間に密閉された第３空間３５を形成する。したがって、ボールねじ４及びボールスプライン１０は、第１ジャバラ１１、第２ジャバラ１２及び第３ジャバラ３４によって外部から完全に遮断される。
【００５７】
可動部５ａには、第１ジャバラ１１内に形成された第１空間１３と第３ジャバラ３４内に形成された第３空間３５とを連通させる連通孔１５ａがボールねじ４の両側に設けられる。可動部５ｂには、第２ジャバラ１２内に形成された第２空間１４と第３ジャバラ３４内に形成された第３空間３５とを連通させる連通孔１５ｂがボールねじ４の両側に設けられる。したがって、第１空間１３と第３空間３５と第２空間１４とは、連通孔１５ａ及び連通孔１５ｂをそれぞれ経由して互いに空気を流動させることができる。
【００５８】
これらのような構成を採用することによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１、第２ジャバラ１２及び第３ジャバラ３４の内部に侵入することが防止される。保護カバー２６を設けることにより、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１、第２ジャバラ１２及び第３ジャバラ３４の上部に付着することが抑制される。
【００５９】
加えて、可動部５ａ、５ｂが移動した際に第１空間１３と第３空間３５と第２空間１４との間において、連通孔１５ａ、１５ｂを経由して空気が流動する。したがって、可動部５ａ、５ｂが滑らかに往復移動することができる。本実施形態においても、テーブル２が安定して往復移動することができる。なお、第３ジャバラ３４に代えて、可動部５ａと可動部５ｂとの間において、第３空間３５を密閉する枠状部材を用いることもできる。
〔実施形態５〕
【００６０】
図７を参照して、実施形態５のテーブル移動装置について説明する。実施形態２のテーブル移動装置との違いは、可動部（テーブル）を直線運動させる駆動機構としてリニアモータ機構を使用することである。それ以外の構成及び動作については、実施形態２のテーブル移動装置と同じなので説明を省略する。
【００６１】
図７（ｃ）に示されるように、テーブル移動装置３６において、可動部３７（ドットで塗りつぶしている部分）は、基台３０に設けられたリニアガイド３１を案内部材として直線運動を行う。基台３０の一端は、第１空間１３を通過して第１支持部材６に固定される。基台３０の他端は、第２空間１４を通過して第２支持部材７に固定される。基台３０は第１支持部材６と第２支持部材７とによって支持される。基台３０の両端部にリニアガイド３１が設けられる。可動部３７は、リニアガイド３１に沿って直線運動を行う。
【００６２】
可動部３７は、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２に接続される枠状部材３７ａと、枠状部材３７ａが有する貫通穴に設けられ枠状部材３７ａに接続される可動部材３７ｂとを備える。可動部材３７ｂがリニアガイド３１に沿って直線運動を行う。したがって、可動部材３７ｂと枠状部材３７ａと接続部材２５とテーブル２とが一体となって、リニアガイド３１に沿って直線運動を行う。可動部材３７ｂは下側に凹部３８を有する。凹部３８は、第１空間１３と第２空間１４とを連通する連通孔に相当する。
【００６３】
本実施形態において、可動部材３７ｂは、リニアモータ機構３９によって直線運動を行う。リニアモータ機構３９は、可動子であるリニアモータ４０と、共通固定子である磁石板４１とを備える。リニアモータ４０自身が駆動機構及び駆動源の双方に相当する。リニアモータ４０は、可動部材３７ｂが有する凹部３８に設けられ、可動部材３７ｂに固定される。図７（ａ）、（ｂ）に示されるように、磁石板４１はリニアガイド３１が沿う方向（Ｙ方向）に沿って基台３０の上に設けられる。リニアモータ４０は磁石板４１の上方に配置される。磁石板４１の上方において、リニアモータ４０は磁石板４１に沿って直線運動を行う。したがって、リニアモータ４０と可動部材３７ｂと枠状部材３７ａと接続部材２５とテーブル２とが一体となって、リニアガイド３１に沿って直線運動を行う。
【００６４】
図７（ｃ）に示されるように、可動部３７を構成する枠状部材３７ａと可動部材３７ｂとの間の空間、可動部材３７ｂと基台３０との間の空間、枠状部材３７ａと基台３０との間の空間、リニアモータ４０と磁石板４１との間の空間、及び可動部材３７ｂが有する凹部３８が、第１空間１３と第２空間１４とを連通する連通孔に相当する。第１空間１３と第２空間１４との間において、これらの連通孔を経由して空気が流動する。
【００６５】
これらのような構成を採用することによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが防止される。保護カバー２６を設けることによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部に付着することが抑制される。
【００６６】
加えて、可動部３７が移動した際に第１空間１３と第２空間１４との間において、連通孔を経由して空気が流動する。したがって、可動部３７が滑らかに往復移動することができる。
【００６７】
本実施形態によれば、リニアモータ４０、磁石板４１、リニアガイド３１及び基台３０が、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって外部から完全に遮断される。駆動機構を構成する要素部材のすべてが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって外部から遮断される。したがって、第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２によって、加工によって生じる粉塵などから駆動機構全体を保護することができる。したがって、本実施形態においても、テーブル２が安定して往復移動することができる。
〔実施形態６〕
【００６８】
図８を参照して、実施形態６のテーブル移動装置について説明する。実施形態２のテーブル移動装置との違いは、保護カバーを第１ジャバラ及び第２ジャバラの上部を覆うだけでなく可動部の上部も覆うようにして設けることである。それ以外の構成及び動作については、実施形態２のテーブル移動装置と同じなので説明を省略する。
【００６９】
図８（ｃ）に示されるように、テーブル移動装置４２において、可動部５とテーブル２とは、Ｘ方向において相対向する２個のＬ字形状を有する接続部材４３によって接続される。２個の接続部材４３は、Ｘ方向における可動部５の両側面にそれぞれ設けられる。
【００７０】
２個の接続部材４３の間に、第１ジャバラ１１、第２ジャバラ１２及び可動部５の上部を覆うようにして、板状部材からなる保護カバー４４が設けられる。保護カバー４４は、可動部５とテーブル２との間に設けられる。
【００７１】
図８（ｂ）に示されるように、Ｙ方向における保護カバー４４の両端は、支持部材６及び支持部材７に接続される。保護カバー４４は、基台８の上において内部を取り囲む第１支持部材６と第２支持部材７と２個の側壁部材９とを含む枠状部材の上に固定される。平面視して保護カバー４４は基台８に重なることが好ましい。平面視して保護カバー４４は基台８を完全に内包してもよい。したがって、平面視して、保護カバー４４が第１ジャバラ１１、第２ジャバラ１２及び可動部５を完全に内包する。
【００７２】
このような構成とすることによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１、第２ジャバラ１２及び可動部５の上部に付着することがいっそう抑制される。加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが、防止される。したがって、本実施形態においても、テーブル２が安定して往復移動することができる。
【００７３】
実施形態３、４、５、６においては、テーブル移動装置２８、３３、３６、４２について説明した。実施形態３、４、５、６に示したテーブル移動装置２８、３３、３６、４２を、それぞれ実施形態１又は２に示した加工装置（処理装置）に適用して使用することができる。
〔実施形態７〕
【００７４】
図９を参照して、実施形態７の処理装置の一種である加工装置について説明する。実施形態２の加工装置との違いは、テーブル移動装置２４を２個積み重ねることによって、ブラスト噴射装置１７を固定した状態で加工対象物２２をＸ方向及びＹ方向に沿って移動させることである。
【００７５】
図９に示されるように、加工装置４５はテーブル移動装置２４ａとテーブル移動装置２４ｂとを備える。テーブル移動装置２４ａは、ボールねじ４ａの軸方向がＹ方向に沿うようにして配置される。テーブル移動装置２４ｂは、ボールねじ４ｂの軸方向がＸ方向に沿うようにして配置される。テーブル移動装置２４ａのテーブル２ａ上に、テーブル移動装置２４ｂの基台８が固定される。テーブル移動装置２４ｂのテーブル２ｂの上に加工対象物２２が載置される。ブラスト噴射装置１７はテーブル２ｂの上方の所定位置に固定される。このような構成とすることによって、加工装置４５において、加工対象物２２をＸ方向及びＹ方向に沿って移動させることができる。
【００７６】
図９を参照して、加工装置４５の動作について説明する。加工装置４５において、テーブル移動装置２４ａを使用してテーブル２ａをＹ方向に往復移動させることによって、テーブル移動装置２４ｂをＹ方向に往復移動させる。テーブル移動装置２４ｂを使用してテーブル２ｂをＸ方向に往復移動させる。このことによって、テーブル２ｂの上に載置された加工対象物２２を、Ｘ方向及びＹ方向に沿って移動させることができる。ブラスト噴射装置１７からブラスト材２３を加工対象物２２に噴射することによって、加工対象物２２を加工する。したがって、加工装置４５において、加工対象物２２をＸ方向及びＹ方向に沿って加工することができる。
【００７７】
これらのような構成とすることによって、テーブル移動装置２４ａ及びテーブル移動装置２４ｂそれぞれにおいて、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の内部に侵入することが防止される。更に、実施形態２と同様に保護カバー２６をそれぞれ設けるので、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ１１及び第２ジャバラ１２の上部に付着することが抑制される。したがって、本実施形態においても、テーブル２ｂが安定してＸ方向及びＹ方向に沿って往復移動することができる。
【００７８】
本実施形態においては、テーブル移動装置２４を２個積み重ねることによって、加工対象物２２をＸ方向及びＹ方向に沿って移動させた。これに限らず、テーブル移動装置２４の底面に、テーブル移動装置２４の軸方向に対して直交する方向にテーブル移動装置２４を移動させる移動機構を設けても良い。このことによって、テーブル移動装置２４をＸ方向及びＹ方向に沿って往復移動させることができる。
【００７９】
各実施形態においては、可動部を直線運動させる駆動機構としてボールねじ機構又はリニアモータ機構を使用した。これに限らず、可動部を直線運動させる駆動機構として直線運動するアクチュエータを使用しても良い。この場合には、直線運動するアクチュエータの駆動部の周囲を、第１ジャバラ及び第２ジャバラで囲う。このことによって、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ及び第２ジャバラの内部に侵入することが防止される。
【００８０】
各実施形態においては、第１ジャバラ及び第２ジャバラによって加工によって生じる粉塵などがジャバラの内部に侵入することを防止した。このことにより、加工によって硬い粉塵が発生した場合であっても、ボールねじ、ボールスプライン、リニアガイドなどを硬い粉塵から保護することができ、例えば、これらの部材の磨耗による精度劣化を防ぐことができる。したがって、駆動機構の劣化を抑制して駆動機構の寿命を長くすることができる。
【００８１】
各実施形態において、ボールねじ機構を使用した場合には、基台の上に設けられた枠状部材の外側にサーボモータを配置した。これに限らず、枠状部材の内側にサーボモータを配置しても良い。言い換えれば、サーボモータを第１ジャバラの内部に配置しても良い。この場合には、テーブル移動装置において、サーボモータに粉塵などが付着することが防止される。
【００８２】
各実施形態に示した加工装置おいては、加工によって生じる粉塵などが第１ジャバラ及び第２ジャバラの内部に侵入することが防止される。第１ジャバラ及び第２ジャバラの上方に保護カバーを設けることによって、第１ジャバラ及び第２ジャバラの上部に粉塵などが付着することが抑制される。加えて、それぞれの加工装置において、第１ジャバラ及び第２ジャバラの上部又は保護カバーの上部に向かって高圧の空気を噴射する噴射装置を設けることができる。このことによって、第１ジャバラ及び第２ジャバラの上部又は保護カバーの上部に付着する粉塵などを、高圧の空気を使用して吹き飛ばすことができる。このことによって、第１ジャバラ及び第２ジャバラの劣化がいっそう抑制される。
【００８３】
更に、保護カバーと側壁部材との隙間から内部に侵入した粉塵を外部に排出するために、高圧の空気を噴射する噴射装置を設けても良い。この場合には、基台又は側壁部材に排出口を設けることが好ましく、噴射装置を用いて、内部に侵入した粉塵を排出口から強制的に外部に吹き飛ばすことができる。
【００８４】
各実施形態においては、加工装置の一つの例としてブラスト加工装置を示した。本発明は、切断加工装置、切削加工装置、旋盤加工装置、研削加工装置、ＮＣ加工装置など、加工装置一般に適用することができる。加工装置においては、加工液、洗浄液を使用してもよく、使用しなくてもよい。加えて、加工装置、搬送装置、測定装置などの駆動機構に、本発明のテーブル移動装置を適用することができる。
【００８５】
本発明は、加工装置以外の処理装置に適用される。それらの処理装置は、それぞれ移動機構を有する洗浄装置、移動装置（搬送装置を含む）、測定装置（検査装置を含む）、試験装置、乾燥装置などを含む。それらの処理装置において、洗浄、移動、測定、検査、試験、乾燥などの処理が行われる。本発明が適用される処理装置は、医療用の測定装置、ちり、ほこりなどを極力含まない雰囲気中（クリーンルームなどの雰囲気中）において使用される半導体製造装置などを含む。
【００８６】
本発明は、エレクトロニクスの分野において使用される処理装置に適用される。それらの処理装置は、基板を研磨する研磨装置、フォトレジストの塗布装置、露光装置、現像装置、基板に装着された電子部品が樹脂封止された樹脂封止済み基板を切断する切断装置などを含む。それらの処理装置において、研磨、塗布、露光、現像、切断などの処理が行われる。
【００８７】
本発明は、医療技術分野において使用される処理装置に適用される。それらの処理装置は、測定装置（検査装置を含む）などであって、具体的には、ＣＴスキャナ（ Computed Tomography Scanner ）、ＭＲＩ( Magnetic Resonance Imaging )装置などを含む。これらの処理装置においては、撮像、測定、検査などの処理が行われる。
【００８８】
本発明によれば、工作機械などの加工装置、その他の処理装置において発生する粉塵などが移動機構の周囲の空間に入り込むことが防止される。加えて、処理装置が動作する際に、塵などが移動機構の周囲の空間に入り込むことが防止される。したがって、テーブルが安定して往復移動することができる。
【００８９】
本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。
【符号の説明】
【００９０】
１、２４、２４ａ、２４ｂ、２８、３３、３６、４２  テーブル移動装置
２、２ａ、２ｂ  テーブル
３    サーボモータ（駆動源）
４、４ａ、４ｂ    ボールねじ（駆動機構）
５、５ａ、５ｂ、２９、３７  可動部
５Ｒ  可動部の一端
５Ｌ  可動部の他端
６    第１支持部材
７    第２支持部材
８    基台
９    側壁部材
１０  ボールスプライン（案内部材）
１１  第１ジャバラ
１２  第２ジャバラ
１３  第１空間
１４  第２空間
１５、１５ａ、１５ｂ  連通孔
１６、２７、４５  加工装置（処理装置）
１７  ブラスト噴射装置（処理用部材）
１８  ブラスト材供給管
１９  圧縮空気供給管
２０  ノズル
２１  加工用テーブル
２２  加工対象物（処理対象物）
２３  ブラスト材
２５、２５ａ、２５ｂ、４３  接続部材
２６、４４  保護カバー（板状部材）
２９ａ、３７ａ  枠状部材（可動部）
２９ｂ、３７ｂ  可動部材（可動部）
３０  基台
３１  リニアガイド（案内部材）
３２、３８  凹部（連通孔）
３４  第３ジャバラ
３５  第３空間
３９  リニアモータ機構（駆動機構）
４０  リニアモータ（駆動源、駆動機構）
４１  磁石板（駆動機構）
【図１】
0006598731.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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