(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
給気口及び排気口を有する下部構成体の上面と、上部構成体の下面とを対向させて配置し、前記対向する両面の相互間に形成される処理空間で、前記給気口から吹き出されて前記排気口に吸い込まれる処理ガスによって、水平方向に搬送されるガラス板の下面にエッチング処理を施すと共に、前記給気口と前記排気口とを、ガラス板搬送方向に離隔して位置させたガラス板の製造方法において、
前記下部構成体の上面は、前記排気口から前記給気口までの領域における最高位の上面部が、前記排気口の処理ガス流れ方向下流側の領域における最高位の上面部よりも高くされていることを特徴とするガラス板の製造方法。
【請求項２】
前記下部構成体の上面は、前記給気口の処理ガス流れ方向上流側の領域における最高位の上面部が、前記排気口の処理ガス流れ方向下流側の領域における最高位の上面部よりも高くされていることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記下部構成体の上面は、前記排気口から前記給気口までの領域における最高位の上面部が、前記給気口の処理ガス流れ方向上流側の領域における最高位の上面部と同一高さとされていることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記下部構成体の上面は、前記排気口から前記給気口までの領域における最高位の上面部が、前記給気口の処理ガス流れ方向上流側の領域における最高位の上面部よりも高くされていることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項５】
前記下部構成体の上面は、前記排気口の処理ガス流れ方向下流側の領域における最高位の上面部が、前記給気口の処理ガス流れ方向上流側の領域における最高位の上面部と同一高さとされていることを特徴とする請求項１または４に記載のガラス板の製造方法。
【請求項６】
前記排気口から前記給気口までの領域における最高位の上面部と、エッチング処理が施されているガラス板の下面との上下方向離隔寸法が、当該ガラス板の上面と、前記上部構成体の下面との上下方向離隔寸法よりも短いことを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のガラス板の製造方法。
【請求項７】
給気口及び排気口を有する下部構成体の上面と、上部構成体の下面とを対向させて配置し、前記対向する両面の相互間に形成される処理空間で、前記給気口から吹き出されて前記排気口に吸い込まれる処理ガスによって、水平方向に搬送されるガラス板の下面にエッチング処理を施すと共に、前記給気口と前記排気口とを、ガラス板搬送方向に離隔して位置させたガラス板の製造装置において、
前記下部構成体の上面は、前記排気口から前記給気口までの領域における最高位の上面部が、前記排気口の処理ガス流れ方向下流側の領域における最高位の上面部よりも高くされていることを特徴とするガラス板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ化水素等の処理ガスを用いてガラス板にエッチング処理を施す工程を有するガラス板の製造方法及びその製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等に代表されるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）や、スマートフォン、タブレット型ＰＣ等のモバイル機器、その他の各種電子デバイス等には、種々の板厚やサイズのガラス板が組み込まれている。
【０００３】
この種の最終製品たるガラス板を作り出すための元になるガラス板の製造工程では、静電気の帯電に起因する問題が生じ得る。例えば、作業台上にガラス板を置いて所定の処理を施す際には、静電気の帯電に起因してガラス板が作業面に貼り付く事態が生じ得る。そのため、所定の処理を終えたガラス板を作業台から剥離させる際には、当該ガラス板の破損を招来し得る。
【０００４】
このような問題の対応策として、フッ化水素等の処理ガスをガラス板に吹き付けてエッチング処理を施し、当該ガラス板の表面を粗化させることで、上述の静電気の帯電に起因する問題を解決しようとする試みが推進されている。
【０００５】
その具体例として、特許文献１によれば、一定の搬送経路に沿って搬送されるガラス板が処理空間を通過する際に、吹出しノズルの吹出し口から吹き出されて吸引ノズルの吸い込み口に吸い込まれる処理ガスによって、該ガラス板の下面にエッチング処理を施すことが開示されている。
【０００６】
詳述すると、同文献に開示されたエッチング装置では、上部構成体（上側の構成部）の下面と、下部構成体（下側の構成部）の上面との相互間に、搬送中のガラス板の下面にエッチング処理を施すための処理空間が形成される。この場合、上部構成体は天板のみで形成される。一方、下部構成体は、ガラス板の搬送方向後側（搬送経路の上流側）に配置された吹出しノズルと、ガラス板の搬送方向前側（搬送経路の下流側）に配置された吸引ノズルと、この両ノズル間に介設された底板とを一体化して形成される。そして、下部構成体である吹出しノズルと底板と吸引ノズルとの各上面が面一状態とされる。したがって、下部構成体の高低差を有しない上面に、処理ガスを処理空間に吹き出す吹出し口と、それを処理空間から吸い込む吸い込み口とが形成されていることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第２０１１／１０５３３１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、特許文献１に開示されたエッチング装置では、下部構成体の上面全域が、高低差を有しない平面とされているため、処理空間でガラス板にエッチング処理を施す際には、以下に示すような問題が生じる。
【０００９】
すなわち、処理空間でガラス板の下面に沿って処理ガスが流れる際には、下部構成体の上面における排気口に向かって、処理ガスの流れ方向の上流側と下流側とから空気が流れ込む。そして、上流側からの空気は、処理ガスと流れ方向が同一であるため、上流側からの空気と処理ガスとは、合流してガラス板の下面に沿って流れる。これに対して、下流側からの空気は、処理ガスと流れ方向が反対であって、処理空間での処理ガスの流れ方向の下流端近傍で、処理ガスと共に排気口に吸い込まれる。
【００１０】
この場合に、下部構成体の上面全域が高低差を有しない平面であると、上流側からの空気の流れに付与される流通抵抗（通路抵抗）は極めて小さくなる。そのため、多量の空気が上流側から処理空間に流入して、ガラス板の下面に沿って流れる処理ガスを希薄化させる。その結果、ガラス板の下面に対する処理ガスによる粗化能力が不足して、要求に応じたガラス板の下面の粗化が困難になり、粗化処理にむらが生じる等の問題を招き得る。
【００１１】
なお、このような問題に対しては、処理ガスの流量を増加させることが考えられるが、この種の単純な手法では、ガラス板の上面側に回り込む処理ガスの流量が不当に増加して、ガラス板の上面にエッチング欠陥が生じるなどの致命的な問題が生じ得る。
【００１２】
以上の観点から、本発明の課題は、ガラス板の上面側に回り込む処理ガスの流量を不当に増加させることなく、ガラス板の下面に対する処理ガスによる粗化能力を高めることである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために創案された本発明に係る方法は、給気口及び排気口を有する下部構成体の上面と、上部構成体の下面とを対向させて配置し、対向する両面の相互間に形成される処理空間で、給気口から吹き出されて排気口に吸い込まれる処理ガスによって、水平方向に搬送されるガラス板の下面にエッチング処理を施すと共に、給気口と排気口とを、ガラス板搬送方向に離隔して位置させたガラス板の製造方法において、下部構成体の上面は、排気口から給気口までの領域における最高位の上面部が、排気口の処理ガス流れ方向下流側の領域における最高位の上面部よりも高くされていることに特徴づけられる。ここで、「水平方向に搬送されるガラス板」とは、ガラス板が非傾斜方向である水平方向に搬送される場合のみならず、ガラス板が水平面に対して上下に３０°以下の角度で傾斜した方向に搬送される場合をも含む（以下、同様）。また、これらの場合におけるガラス板の姿勢は、ガラス板が搬送方向の両側方に対して非傾斜状態となる姿勢のみならず、ガラス板が搬送方向の一側方から他側方に対して３０°以下の角度で傾斜状態となる姿勢をも含む（以下、同様）。また、「最高位の上面部」とは、該当する領域において最も高い位置に存在する上面部を意味する（以下、同様）。
【００１４】
このような構成によれば、給気口の処理ガス流れ方向上流側から排気口に吸い込まれる空気（略称して上流側からの空気）は、給気口から排気口までの領域における最高位の上面部によって、相対的に大きな流通抵抗（通路抵抗）が付与される。これに対して、排気口の処理ガス流れ方向下流側から排気口に吸い込まれる空気（略称して下流側からの空気）は、相対的に小さい流通抵抗が付与されるに留まる。この場合、上流側からの空気は、給気口から上方に向かって吹き出され且つガラス板の下面に沿って流通して排気口に吸い込まれる処理ガスの流れと合流する。この上流側からの空気の流量は、下部構成体の上面全域が平面である場合と比較して減少すると共に、下流側からの空気の流量よりも遥かに少なくなる。そのため、ガラス板の下面に沿って流れる処理ガスは、これに合流される上流側からの空気によって希薄化され難くなる。その結果、ガラス板の下面に対する処理ガスによる粗化能力が高められ、要求に応じたガラス板の下面の粗化が実現して、粗化処理にむらが生じる等の問題が回避される。しかも、粗化能力を高めるために処理ガスの流量を増加させる必要がなくなるため、ガラス板の上面側に回り込む処理ガスが増量されることもない。したがって、ガラス板の上面にエッチング欠陥が生じる事態を回避した上で、ガラス板の下面に対する粗化能力を高めることが可能となる。
【００１５】
上記の方法において、下部構成体の上面は、給気口の処理ガス流れ方向上流側の領域における最高位の上面部が、排気口の処理ガス流れ方向下流側の領域における最高位の上面部よりも高くされていてもよい。
【００１６】
このようにすれば、上流側からの空気は、給気口から排気口までの領域と給気口の上流側の領域との２つの領域における最高位の上面部によって、相対的に大きな流通抵抗（通路抵抗）が付与される。しかも、この２つの領域における最高位の上面部の相互間隙間を実質的な給気口とすることができ、この実質的な給気口はガラス板の下面に近づくことになる。これによっても、処理ガスの流量を増加させることなく、ガラス板の下面に対する処理ガスによる粗化能力を高めるという効果を得ることができるため、既述の作用との相乗的作用によって、当該効果が倍増する。
【００１７】
この場合の方法において、下部構成体の上面は、排気口から給気口までの領域における最高位の上面部が、給気口の処理ガス流れ方向上流側の領域における最高位の上面部と同一高さとされていてもよい。
【００１８】
このようにすれば、上述の２つの領域における最高位の上面部が同一高さであるため、この両者の上面部の相互間隙間である実質的な給気口が、効率良くガラス板の下面に近づくことになる。したがって、既述の相乗効果を効率良く得ることができる。
【００１９】
一方、冒頭の方法において、下部構成体の上面は、排気口から給気口までの領域における最高位の上面部が、給気口の処理ガス流れ方向上流側の領域における最高位の上面部よりも高くされていてもよい。
【００２０】
このようにすれば、上流側からの空気が処理ガスの流れと合流する領域における最高位の上面部によって、上流側からの空気に対して相対的に大きな流通抵抗（通路抵抗）が無駄なく付与される。したがって、冒頭の方法による効果と実質的に同等の効果を無駄なく得ることができる。
【００２１】
この場合の方法において、下部構成体の上面は、排気口の処理ガス流れ方向下流側の領域における最高位の上面部が、給気口の処理ガス流れ方向上流側の領域における最高位の上面部と同一高さとされていてもよい。
【００２２】
このようにすれば、下部構成体の上面における給気口の上流側の領域を、排気口の下流側の領域と同様に従来通りの低い面のままとしておいても、既述の効果を享受することができる。これにより、下部構成体に加える改良箇所が削減されて、製作コストの低廉化が図られる。
【００２３】
以上の方法において、排気口から給気口までの領域における最高位の上面部と、エッチング処理が施されているガラス板の下面との上下方向離隔寸法が、ガラス板の上面と、上部構成体の下面との上下方向離隔寸法よりも短いことが好ましい。
【００２４】
このようにすれば、排気口から給気口までの領域における最高位の上面部によって、より一層確実に相対的に大きな流通抵抗（通路抵抗）が付与される。したがって、既述の効果の確保が、より一層確実となる。
【００２５】
上記課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、給気口及び排気口を有する下部構成体の上面と、上部構成体の下面とを対向させて配置し、対向する両面の相互間に形成される処理空間で、給気口から吹き出されて排気口に吸い込まれる処理ガスによって、水平方向に搬送されるガラス板の下面にエッチング処理を施すと共に、給気口と排気口とを、ガラス板搬送方向に離隔して位置させたガラス板の製造装置において、下部構成体の上面は、排気口から給気口までの領域における最高位の上面部が、排気口の処理ガス流れ方向下流側の領域における最高位の上面部よりも高くされていることに特徴づけられる。
【００２６】
このガラス板の製造装置は、冒頭の方法と実質的に同一の構成要件を備えている。したがって、この装置についての説明事項も、冒頭の方法についての説明事項と実質的に同一となるため、ここではその説明を省略する。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、ガラス板の上面側に回り込む処理ガスの流量を不当に増加させることなく、ガラス板の下面に対する処理ガスによる粗化能力を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の全体概略構成を示す縦断正面図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の要部構成を示す拡大縦断正面図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の要部構成を示す拡大縦断側面図である。
【図４】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の構成要素である給気口の周辺構造を示す要部拡大縦断正面図である。
【図５】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の要部構成を示す拡大縦断正面図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係るガラス板の製造装置の要部構成を示す拡大縦断正面図である。
【図７】図１の一部構成を示す部分拡大縦断正面図である。
【図８】図１の構成における一部を変形した例の全体構成を示す縦断正面図である。
【図９】図８の一部構成を示す部分拡大正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法及びその製造装置について添付図面を参照して説明する。
【００３０】
＜第一実施形態＞
先ず、本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の全体概略構成を説明する。図１は、その全体概略構成を示す縦断正面図である。なお、以下の説明に際しては、図１における紙面と直交する方向を幅方向という。同図に示すように、ガラス板の製造装置１は、搬入口２ａからチャンバー２内に搬入したガラス板３を水平方向に搬送しつつ、チャンバー２内におけるガラス板３の搬送経路上に設けた処理エリア４で、処理ガス５としてのフッ化水素によりエッチング処理を施す構成とされている。そして、エッチング処理後のガラス板３は、搬出口２ｂからチャンバー２外に搬出される。
【００３１】
チャンバー２は、その外形が幅方向に長尺な直方体状に形成され、その内部空間からの処理ガス５の流出を防止している。そして、このチャンバー２の側壁部２ｃに、既述の搬入口２ａと搬出口２ｂとが形成されている。なお、チャンバー２の材質は、処理ガス５（フッ化水素）に対する耐食性に優れたポリ塩化ビニルである。
【００３２】
処理エリア４には、水平方向に搬送されるガラス板３に対して、処理ガス５を吹き付けることでエッチング処理を施すためのエッチング装置６が配置されている。このエッチング装置６は、チャンバー２の天井壁２ｄとの間に隙間７が形成されるように、チャンバー２の底部２ｅに設置されている。
【００３３】
さらに、このガラス板の製造装置１は、チャンバー２内外に配置されてガラス板３を水平方向に一直線状に沿って搬送する複数の搬送ローラー８を備えている。これらの搬送ローラー８は、搬送経路に沿う方向に複数配置されているだけでなく、幅方向にも複数配置されている（図３参照）。
【００３４】
図２は、エッチング装置６の構成を詳細に説明するための拡大縦断正面図である。なお、以下の説明に際しては、図２における紙面と直交する方向を幅方向という。また、図２に示す矢印Ａ方向は、ガラス板３の搬送方向であって、この矢印Ａ方向を単に搬送方向という。さらに、本実施形態では、ガラス板３の搬送方向と、後述する処理空間１５での処理ガス５の流れ方向とが同一であって、当該処理ガス５の流れ方向の上流側を単に上流側といい、その流れ方向の下流側を単に下流側という、したがって、図２における右側が上流側（搬送方向後側）であり、左側が下流側（搬送方向前側）である。
【００３５】
図２に示すように、エッチング装置６は、上側に配置された上部構成体１０と、下側に配置された下部構成体１１とを有し、この両構成体１０、１１は、幅方向の両端で連結壁１２によって連結一体化されている。そして、上部構成体１０の下面１３と下部構成体１１の上面１４との相互間に、搬送されるガラス板３の下面に対して処理ガス５によるエッチング処理を施すための処理空間１５が形成されている。なお、上部構成体１０及び下部構成体１１の材質は、ポリ塩化ビニルである。また、上部構成体１０と下部構成体１１とには、処理ガス５による結露の発生を防止するための加熱部材１６（例えば、ヒーター等）が内蔵されている。
【００３６】
上部構成体１０は、一枚の平板状をなす天板１７で構成され、この天板１７の下面すなわち上部構成体１０の下面１３は、単一の平面である。したがって、天板１７の下面１３は、凹凸を有しない。すなわち、天板１７は、幅方向（長手方向）の両端部のみが連結壁１２にボルト等で固定されているため、天板１７の下面１３には、ボルトあるいはボルト穴等の存在による凹凸が形成されていない。そして、この天板１７の下面１３は、搬送されるガラス板３の下面３ａ及び上面３ｂと平行である。
【００３７】
下部構成体１１は、平板状をなす底板１８と、底板１８の下部に固定された給排気構体１９とを有する。底板１８の上下流方向中央部よりも上流側寄り位置には、処理空間１５に通じる給気孔２０が形成される。さらに、給排気構体１９の上下流方向中央部よりも上流側寄り位置には、給気孔２０に通じる給気路２１が形成される。この場合、図示しないが、給気孔２０は、上部が絞られて通路面積が小さくされた給気小孔部を有していてもよい。そして、底板１８の上面１８ａは、天板１７の下面１３と平行である。
【００３８】
底板１８の上部には、上下流方向の中央部近傍領域に平板状の主板状体２２が載置固定されている。主板状体２２の上流側の端面は、給気孔２０の下流側の内側面と略面一状態になっている。したがって、主板状体２２の上流側の端面と、給気孔２０との間には段差が形成されていない。さらに、底板１８の上部には、上下流方向の中央部よりも上流側の領域に平板状の補助板状体２３が載置固定されている。補助板状体２３の下流側の端面は、給気孔２０の上流側の内側面と略面一状態になっている。したがって、補助板状体２３の下流側の端面と、給気孔２０との間にも段差が形成されていない。本実施形態では、主板状体２２の上面部２２ａと、補助板状体２３の上面部２３ａとが、同一高さ位置に存在している。そして、主板状体２２の上流側の端面と、補助板状体２３の下流側の端面との間の隙間２４が、底板１８の給気孔２０に通じている。したがって、処理ガス５を上方に導いて処理空間１５に吹き出させるための給気用通路２５は、上述の隙間２４と給気孔２０と給気路２１とから構成される。そして、この給気用通路２５の上端部すなわち上述の隙間２４の上端部が、下部構成体１１の上面１４に形成された給気口２６となる。
【００３９】
底板１８の上下流方向中央部よりも下流側寄り位置には、処理空間１５に通じる排気孔２７が形成される。さらに、給排気構体１９の上下流方向中央部よりも下流側寄り位置には、排気孔２７に通じる排気路２８が形成される。したがって、処理ガス５を処理空間１５から下方に吸い込んで回収するための回収用通路２９は、排気孔２７と排気路２８とから構成される。そして、この回収用通路２９の上端開口部が、底板１８の上面１８ａすなわち下部構成体１１の上面１４に形成された排気口３０となる。ここで、処理空間１５は、厳密には、上部構成体１０の下面１３と下部構成体１１の上面１４との間における給気口２６と排気口３０との相互間離隔範囲内に形成される空間である。なお、給排気構体１９における給気路２１の下端及び排気路２８の下端は、チャンバー２の底壁２ｆに形成された貫通孔３１、３２をそれぞれ介してチャンバー２外の管路（図示略）に通じている。
【００４０】
この場合において、主板状体２２の下流側の端面は、排気口３０から上流側に僅かに離隔して位置している。したがって、主板状体２２と排気口３０との間には、主板状体２２の下流側の端面である段差（段差形成面）２２ｂが形成されている。ここで、給気口２６から排気口３０までの領域における最高位の上面部は、主板状体２２の上面部２２ａすなわち全域が平面とされた上面部２２ａである。また、排気口３０の下流側の領域における最高位の上面部は、底板１８における排気口３０の下流側の部分上面１８ａｂすなわち当該全域が平面とされた部分上面１８ａｂである。そして、上面部２２ａと部分上面１８ａｂは、上部構成体１０の下面１３と平行である。上面部２２ａは、部分上面１８ａｂよりも高くされている。この場合の高低差寸法Ｈは、部分上面１８ａｂとガラス板３の下面３ａとの上下方向離隔寸法Ｓ１の１０〜９０％が好ましく、３０〜７０％がより好ましい。
【００４１】
一方、補助板状体２３の上流側の端面は、底板１８の上流側の端面から下流側に離隔して位置している。したがって、補助板状体２３と底板１８の上流側の端面との間には、補助板状体２３の上流側の端面である段差（段差形成面）２３ｂが形成されている。ここで、給気口２６の上流側の領域における最高位の上面部は、補助板状体２３の上面部２３ａすなわち全域が平面とされた上面部２３ａである。この上面部２３ａも、排気口３０の下流側の領域における最高位の部分上面１８ａｂよりも高くされており、上面部２３ａと部分上面１８ａｂの高低差寸法は、上述の主板状体２２の場合と同一である。
【００４２】
本実施形態では、下部構成体１１の上面１４が、次のように構成される。すなわち、給気口２６から排気口３０までの領域における上面部は、主板状体２２の平面からなる上面部２２ａと、段差２２ｂと、底板１８の平面からなる部分上面１８ａｃとで構成される。また、給気口２６の上流側の領域における上面部は、補助板状体２３の平面からなる上面部２３ａと、段差２３ｂと、底板１８の平面からなる部分上面１８ａｄとで構成される。さらに、排気口３０の下流側の領域における上面部は、底板１８の平面からなる部分上面１８ａｂのみで構成される。
【００４３】
図３は、底板１８及びその上方周辺部を、給気用通路２５の流れ中心軸線を含む態様で切断した拡大縦断側面図である。同図に示すように、底板１８に形成されている給気孔２０と、主板状体２２及び補助板状体２３の相互間に形成されている給気口２６とは、いずれも幅方向に長尺なスロット状に形成される。これら給気孔２０及び給気口２６の幅方向寸法は、いずれもガラス板３の幅方向寸法よりも長くされている。また、図示しないが、底板１８に形成されている排気孔２７及び排気口３０も、いずれもが幅方向に長尺なスロット状に形成される。そして、これら排気孔２７及び排気口３０の幅方向寸法も、いずれもがガラス板３の幅方向寸法よりも長くされている。
【００４４】
図４は、底板１８に形成された給気孔２０の上部の周辺構造を示す要部拡大縦断正面図である。同図に示すように、給気孔２０の上下流方向寸法Ｌは、当該給気孔２０の上下方向中間に位置して幅方向に複数設置されたスペーサー３３（図３をも参照）によって一定寸法となるように調節されている。すなわち、本実施形態では、給気孔２０は、底板１８を上流側部位で分割した各分割底板の対向端面間の隙間であって、この隙間の大きさがスペーサー３３によって調整されている。
【００４５】
ここで、給気孔２０の上端開口部からスペーサー３３までの深さ寸法Ｂは、１０〜１００ｍｍの範囲内とすることが好ましい。この深さ寸法Ｂが短すぎると、スペーサー３３の存在によって給気孔２０内の処理ガス５の流れに乱れが生じ、エッチング処理によるガラス板３の下面３ａの粗化にむらが生じるおそれがある。これに対して、深さ寸法Ｂが長すぎると、給気口２６の上下流方向寸法Ｌを微調節することが困難となる。そのため、給気口２６から処理空間１５への処理ガス５の供給量が過大あるいは過少となってガラス板３の下面３ａを所望の表面粗さに粗化できないおそれがある。したがって、給気孔２０の上端開口部からスペーサー３３までの深さ寸法Ｂは、上記の数値範囲内にあることが好ましい。
【００４６】
次に、以上の構成を備えたガラス板の製造装置１の作用すなわちガラス板の製造方法について説明する。
【００４７】
図５は、エッチング装置６の特に上部の構成を詳細に示す拡大縦断正面図である。同図に矢印付きの実線で示す経路は、処理ガス５の概ねの流通経路であり、同図に矢印付きの点線で示す経路は、空気の概ねの流通経路である。これらの流通経路を参酌すれば、処理ガス５は、給気口２６から上方に向かって吹き出され且つガラス板３の下面３ａに沿って下流側に向かって流れた後に排気口３０に吸い込まれる。これに伴って、エッチング装置６外方の上流側から処理空間１５に向かって流れる空気（以下、上流側からの空気という）３４は、処理ガス５と合流してガラス板３の下面３ａに沿って流れた後に排気口３０に吸い込まれる。また、エッチング装置６外方の下流側から処理空間１５に向かって流れる空気（以下、下流側からの空気という）３５は、処理ガス５の流れの下流端周辺で処理ガス５と接触または衝突して排気口３０に吸い込まれる。このような処理ガス５と空気３４、３５との流通が行われることによって、ガラス板３の下面３ａに対して適正なエッチング処理が施される。
【００４８】
この場合において、上流側からの空気３４は、補助板状体２３と主板状体２２とが邪魔部になることに起因して、相対的に大きな流通抵抗（通路抵抗）が付与された状態で、処理ガス５と合流してガラス板３の下面３ａに沿って流れる。これに対して、下流側から空気３５は、上記のような邪魔部が存在しないことから、相対的に小さい流通抵抗が付与されるに留まる。したがって、上流側からの空気３４の流量は、下部構成体１１の上面１４全域が平面である場合と比較して減少すると共に、下流側からの空気３５の流量よりも大幅に少なくなる。そのため、ガラス板３の下面３ａに沿って流れる処理ガス５は、これに合流される上流側からの空気３４によって希薄化され難くなる。さらに、補助板状体２３の上面部２３ａと主板状体２２の上面部２２ａとは、同一高さ位置に存在することに起因して、給気口２６がガラス板３の下面３ａに近づいている。
【００４９】
これらの相乗効果によって、ガラス板３の下面３ａに対する処理ガス５による粗化能力が高められ、要求に応じたガラス板３の下面３ａの粗化が実現して、粗化処理にむらが生じる等の問題が回避される。しかも、粗化能力を高めるために処理ガス５の流量を増加させる必要がなくなるため、ガラス板３の上面３ｂ側に回り込む処理ガス５が増量されることもない。したがって、ガラス板３の上面３ｂにエッチング欠陥が生じる事態を回避した上で、ガラス板３の下面３ａに対する粗化能力を高めることができる。
【００５０】
＜第二実施形態＞
次に、本発明の第二実施形態に係るガラス板の製造装置（その製造方法）について説明する。なお、この第二実施形態の説明において、上記の第一実施形態で既に説明した構成要素については、参照図面に同一符号を付すことで重複する説明を省略し、ここでは第一実施形態との相違点についてのみ説明する。
【００５１】
図６に示すように、この第二実施形態に係るガラス板の製造装置１が、上記の第一実施形態に係るガラス板の製造装置１と相違している点は、下部構成体１１の上部に補助板状体が設けられておらずに、主板状体２２のみが載置固定されている点である。したがって、下部構成体１１の上面１４は、主板状体２２の上面部２２ａと、それよりも低い位置に存在する底板１８の上流側の部分上面１８ａｄ及び底板１８の下流側の部分上面１８ａｂ、１８ａｃと、段差２２ｂとで構成される。この底板１８の三つの部分上面１８ａｂ、１８ａｃ、１８ａｄは、同一高さ位置に存在している。さらに、処理ガス５を上方に導いて処理空間１５に吹き出させるための給気用通路２５は、底板１８に形成された給気孔２０と、給排気構体１９に形成された給気路２１とから構成される。そして、この給気用通路２５の上端開口部すなわち給気孔２０の上端開口部が、下部構成体１１の上面１４に形成された給気口２６となる。
【００５２】
この第二実施形態に係るガラス板の製造装置１によれば、上流側からの空気３４は、主板状体２２が邪魔部となることに起因して、相対的に大きな流通抵抗（通路抵抗）が付与された状態で、処理ガス５と合流してガラス板３の下面３ａに沿って流れる。これに対して、下流側から空気３５は、上記のような邪魔部が存在しないことから、相対的に小さい流通抵抗が付与されるに留まる。したがって、上流側からの空気３４の流量は、下部構成体１１の上面１４全域が平面である場合と比較して減少すると共に、下流側からの空気３５の流量よりも大幅に少なくなる。そのため、ガラス板３の下面３ａに沿って流れる処理ガス５は、これに合流される上流側からの空気３４によって希薄化され難くなる。その結果、給気口２６はガラス板３の下面３ａに近づかないものの、上記の第一実施形態の場合と略同質同等の効果を得ることができる。
【００５３】
なお、以上の第一、第二実施形態では、下部構成体１１の上部に、主板状体２２と、これと上面高さが同一の補助板状体２３とを載置固定するか、あるいは主板状体２２のみを載置固定した場合を例示した。本発明は、これに限定されるものではなく、主板状体２２と補助板状体２３との双方を載置固定した上で、主板状体２２の上面部２２ａの高さ位置を補助板状体２３の上面部２３ａの高さ位置よりも高くしてもよい。
【００５４】
また、以上の第一、第二実施形態では、主板状体２２が、下流側で排気口３０から離隔し、上流側で給気口２６に達するように配設されているが、上流側で給気口２６から離隔し、下流側で排気口３０に達するように配設されていてもよく、または、上流側及び下流側の双方で給気口２６及び排気口３０から離隔し、もしくは、上流側及び下流側の双方で給気口２６及び排気口３０に達するように配設されていてもよい。さらに、補助板状体２３についての給気口２６と底板１８の上流側の端面との間の位置関係については、上述の主板状体２２についての給気口２６と排気口３０との間の位置関係が同様に適用可能である。
【００５５】
さらに、以上の第一、第二実施形態では、主板状体２２の上面部２２ａと補助板状体２３の上面部２３ａとが、いずれも平面とされているが、いずれか一方または双方の上面が、上方に凸または上方に凹となるように湾曲あるいは屈曲した曲面であってもよい。その場合には、曲面の最も高い部位が、主板状体２２、補助板状体２３の最高位の上面部となる。この「最高位の上面部」に係る説明事項は、底板１８の部分上面１８ａｂ、１８ａｃ、１８ａｄについても同様にして適用可能である。
【００５６】
また、以上の第一、第二実施形態では、ガラス板３の搬送方向と、処理空間１５での処理ガス５の流れ方向とを同一としたが、ガラス板３の搬送方向は、これと逆方向であってもよい。
【００５７】
さらに、以上の第一、第二実施形態では、底板１８の上部に、主板状体２２（補助板状体２３）を載置固定したが、底板１８と主板状体２２（補助板状体２３）とを別体とせずに、これらを一体化してもよい。
【００５８】
また、以上の第一、第二実施形態では、給排気構体１９を一体として、これに給気路２１及び排気路２８を形成したが、給気路２１が形成された給気構体と、排気路２８が形成された排気構体とを別体とし、必要に応じて、この給気構体と排気構体とを上下流方向に離隔して配設してもよい。
【００５９】
以上の説明は、主としてエッチング装置６に係るものであるが、これ以外に、本発明に係るガラス板の製造装置１は、以下に示すような構成を備えている。
【００６０】
図１に示すように、チャンバー２に形成された搬入口２ａ及び搬出口２ｂは、いずれも上下方向に沿う開口幅を調節できるように構成されている。すなわち、搬入口２ａと搬出口２ｂとの上縁部２ａａ、２ｂａの周辺及び下縁部２ａｂ、２ｂｂの周辺にはそれぞれ、チャンバー２の側壁部２ｃに沿って上下方向移動が可能な一対の開口幅調節部材３６、３７が配設されている。また、チャンバー２内及びチャンバー２外には、それぞれ気圧計（図示省略）が設置されている。したがって、開口幅調節部材３６、３７による搬入口２ａ及び搬出口２ｂの開口幅の調節は、上記の両気圧計によって測定されたチャンバー２内外の気圧差に基づいて行われる。これにより、チャンバー２内外の気圧差に起因して発生する気流３８の流速もしくは流量が制御される。詳述すると、チャンバー２内外の気圧差に基づいて、搬入口２ａ、搬出口２ｂを通じてチャンバー２内に流入する気流３８またはチャンバー２外に流出する気流３８の流速（流量）が制御される。なお、一対の開口幅調節部材３６、３７の材質は、いずれもポリ塩化ビニルである。
【００６１】
開口幅調節部材３６（３７）は、幅方向に長尺な矩形の板状部材で構成され、この板状部材の幅方向寸法は、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの幅方向寸法よりも長くされている。また、開口幅調節部材３６（３７）は、チャンバー２の側壁部２ｃに固定設置されたガイドレール３９に沿って上下方向に移動可能とされる。さらに、開口幅調節部材３６（３７）は、その移動を担う駆動機構としてのボールネジ機構４０に連結されている。
【００６２】
ボールネジ機構４０は、開口幅調節部材３６（３７）に直結されたナット部材４０ａと、自転によりナット部材４０ａを介して開口幅調節部材３６（３７）を上下動させるボールネジ４０ｂと、チャンバー２内外を貫通し且つボールネジ４０ｂと同期して回転する回転軸４０ｃとを有する。さらに、チャンバー２外における回転軸４０ｃの外方端には、作業者によって操作可能なハンドル４０ｄが装着されている。したがって、作業者は、チャンバー２外でハンドル４０ｄを操作することで、ボールネジ４０ｂを回転させて開口幅調節部材３６（３７）を上下動させることが可能である。
【００６３】
この場合において、図７に示すように、搬入口２ａ及び搬出口２ｂはいずれも（図７では搬入口２ａのみを図示）、これらを通過中のガラス板３を基準として、上縁部２ａａの周辺に配置される開口幅調節部材３６の方が、下縁部２ａｂの周辺に配置される開口幅調節部材３７よりも離間した状態となるように開口幅が調節される。すなわち、上縁部２ａａの周辺に配置される開口幅調節部材３６とガラス板３の上面３ｂとの上側相互間距離Ａ１の方が、下縁部２ａｂの周辺に配置される開口幅調節部材３７とガラス板３の下面３ａとの下側相互間距離Ａ２よりも長くなるように開口幅が調節される。上側相互間距離Ａ１の長さと下側相互間距離Ａ２の長さとの比率としては、上側相互間距離Ａ１の長さを下側相互間距離Ａ２の長さに対して２倍以上とすることが好ましい。
【００６４】
ここで、図例では、一対の開口幅調節部材３６、３７の各々がチャンバー２の側壁部２ｃに沿って上下動することで、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの上下方向に沿う開口幅を調節する構成となっているが、これ以外の構成であっても差し支えない。例えば、一対の開口幅調節部材３６、３７の移動方向は、搬入口２ａ及び搬出口２ｂを正面から視て上下方向に対して傾斜していてもよい。また、例えば、一対の開口幅調節部材３６、３７が、搬入口２ａと搬出口２ｂとの上縁部２ａａ（２ｂａ）及び下縁部２ａｂ（２ｂｂ）に連なる側壁部２ｃの部分領域にそれぞれ内蔵された状態で、突出動及び後退動することによって、開口幅を調節するように構成してもよい。
【００６５】
さらに、図例では、作業者によるハンドル４０ｄの操作によって、ボールネジ４０ｂを回転させて、開口幅調節部材３６（３７）を移動させる構成となっているが、作業者によらずに、モーター等の動力源を用いてボールネジ４０ｂを回転させる構成としてもよい。加えて、図例では、ボールネジ機構４０によって開口幅調節部材３６（３７）を移動させる構成とされているが、例えば、ラック・アンド・ピニオン機構等によって開口幅調節部材３６（３７）を移動させる構成としてもよい。
【００６６】
以上のように、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの開口幅を調節する構成を採用すれば、以下に示すような作用効果を享受することができる。
【００６７】
すなわち、チャンバー２内外の気圧差に起因して、搬入口２ａ、搬出口２ｂを通じてチャンバー２内に流入する気流３８またはチャンバー２外に流出する気流３８が発生した場合に、気流３８によって処理ガス５の流れに乱れが生じることを可及的に回避することができる。詳述すると、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの各々における上下方向に沿う開口幅をチャンバー２内外の気圧差に基づいて調節することにより、チャンバー２内に流入する気流３８またはチャンバー２外に流出する気流３８の流速（流量）を、処理ガス５の流れに影響を与えない大きさに制御することができる。その結果、処理ガス５によるガラス板３に対するエッチング処理をより一層適正に実行することが可能となる。
【００６８】
本発明に係るガラス板の製造装置１は、以上説明したチャンバー２の構成及び一対の開口幅調節部材３６、３７の構成に代えて、以下に示すような構成を採用することができる。なお、以下の説明においては、既に述べた構成要件と共通のものについては、参照図面に同一符号を付し、その説明を省略する。
【００６９】
図８に示すように、チャンバー２には、三つの天井孔２ｇが形成されると共に、この天井孔２ｇの各々を塞ぐための板状の蓋体２ｈが付設されている。蓋体２ｈは、天井孔２ｇの開口全体を塞ぐことが可能であると共に、チャンバー２への取り付け及びチャンバー２からの取り外しが可能となっている。なお、蓋体２ｈの材質は、ポリ塩化ビニルである。
【００７０】
図９に示すように、一対の開口幅調節部材３６、３７はそれぞれ、板状部材で構成されると共に、ボルト３６ａ（３７ａ）を貫通させるための上下方向に長尺な一対の長孔３６ｂ（３７ｂ）を有する。なお、一対の開口幅調節部材３６、３７及びボルト３６ａ（３７ａ）の材質は、ポリ塩化ビニルである。そして、ボルト３６ａ（３７ａ）は、長孔３６ｂ（３７ｂ）に遊挿されて、チャンバー２の側壁部２ｃに形成されたネジ穴（図示省略）に固定されている。したがって、ボルト３６ａ（３７ａ）と長孔３６ｂ（３７ｂ）との相対的な上下方向の位置関係を調節すると共に、ボルト３６ａ（３７ａ）によって、一対の開口幅調節部材３６、３７を位置決め固定することで、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの上下方向に沿う開口幅の調節が可能である。この一対の開口幅調節部材３６、３７による搬入口２ａ及び搬出口２ｂの開口幅の調節は、チャンバー２から蓋体２ｈを取り外すことにより、天井孔２ｇを介して作業者が行うことが可能である。
【００７１】
一対の開口幅調節部材３６、３７のうち、上側の開口幅調節部材３６は、ボルト３６ａが緩んで自重により下方へ落下した際においても、ガラス板３が搬入口２ａ、搬出口２ｂを通過することを阻害しないように調節がなされている。詳述すると、開口幅調節部材３６が最も下方に位置した場合、すなわち、図９に示すようにボルト３６ａが長孔３６ｂの上端に位置した場合でも、開口幅調節部材３６の下端部がガラス板３の搬送経路よりも上方に位置する関係にある。このような位置関係となるように、ボルト３６ａの固定位置（チャンバー２の側壁部２ｃに形成されたネジ穴の形成位置）と、長孔３６ｂの上下方向寸法とが調節されている。
【００７２】
以上のような構成によれば、チャンバー２から蓋体２ｈを取り外した後、測定された気圧差に基づいて、作業者が天井孔２ｇを介して一対の開口幅調節部材３６、３７の各々の上下方向に対する位置決めをすることができる。したがって、この場合にも、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの上下方向に沿う開口幅が調節可能となる。
【符号の説明】
【００７３】
１    ガラス板の製造装置
３    ガラス板
３ａ  ガラス板の下面
３ｂ  ガラス板の上面
５    処理ガス
６    エッチング装置
１０  上部構成体
１１  下部構成体
１３  上部構成体の下面
１４  下部構成体の上面
１５  処理空間
１７  天板
１８  底板
２２  主板状体
２３  補助板状体
２６  給気口
３０  排気口
３４  空気
３５  空気
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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