(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動する検査面においてその移動方向に分割された複数の検査位置のそれぞれを、第一撮影位置で撮影し、前記検査位置のそれぞれの第一画像を取得する第一撮像部と、
前記検査位置のそれぞれを、前記第一撮影位置に位置した前記検査位置に対して前記移動方向の前方に隣接した検査位置が位置する第二撮影位置で撮影し、前記検査位置のそれぞれの第二画像を取得する第二撮像部と、
前記第一撮影位置および前記第二撮影位置に前記移動方向の後方から光を照射する第一照明部と、
前記第一撮影位置および前記第二撮影位置に前記移動方向の前方から光を照射する第二照明部と、
前記第一照明部および前記第二照明部による光の照射および照射停止を制御する照明制御部と、
前記第一撮像部および前記第二撮像部による撮影を制御する撮影制御部と、
前記第一撮像部および前記第二撮像部によって同一の前記検査位置を撮影した前記第一画像および前記第二画像に基づく演算処理を行う演算処理部と、
を備え、
前記照明制御部は、前記検査面の移動に伴って前記複数の検査位置のそれぞれが順次前記第一撮影位置に位置する度に、前記第一照明部が光を出射しかつ前記第二照明部が光を出射しない第一照明状態と、前記第二照明部が光を出射しかつ前記第一照明部が光を出射しない第二照明状態とを、択一的かつ交互に切り替え、
前記撮影制御部は、前記第一照明状態および前記第二照明状態のそれぞれにおいて、前記第一画像および前記第二画像を取得するよう、前記第一撮像部および前記第二撮像部を制御する、画像検査システム。
【請求項２】
前記演算処理部は、各検査位置の前記第一画像と前記第二画像との差分の絶対値に基づいて演算処理を行う、請求項１に記載の画像検査システム。
【請求項３】
前記第一撮像部および前記第二撮像部は、前記検査面の移動方向と交差する方向に延びるラインセンサである、請求項１または２に記載の画像検査システム。
【請求項４】
前記第一撮像部および前記第二撮像部を一体的に有したカメラを備えた、請求項３に記載の画像検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一つのカメラで、移動する被検査体に一方から光を当てた場合の画像や、他方から光を当てた画像、両方から光を当てた画像等を取得し、それら画像に基づいて異常の有無を調べる技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１５９３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
異なる照明条件での撮影を一つのカメラで同時に行うことはできない。よって、上記画像検査システムでは、被検査体が移動している場合にあっては、被検査体の表面の厳密に同一の位置を、異なる照明条件で撮影することができない。このため、例えば、僅かにずれた位置の撮像結果が、同一位置での撮像結果として用いられたりする。しかしながら、このように、僅かにずれた位置の撮像結果が同一位置の撮像結果として用いられる場合にあっては、例えば、被検査体の移動速度が速い場合には検査精度が低下したり、逆に検査精度を確保するために被検査体の移動速度に制限が生じたり、といった問題が生じる虞があった。よって、例えば、移動する被検査面の画像検査をより精度良く行うことが可能な新規な画像検査システムが得られれば、有意義である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態の画像検査システムにあっては、移動する検査面においてその移動方向に分割された複数の検査位置のそれぞれを、第一撮影位置で撮影し、上記検査位置のそれぞれの第一画像を取得する第一撮像部と、上記検査位置のそれぞれを、上記第一撮影位置に位置した上記検査位置に対して上記移動方向の前方に隣接した検査位置が位置する第二撮影位置で撮影し、上記検査位置のそれぞれの第二画像を取得する第二撮像部と、上記第一撮影位置および上記第二撮影位置に上記移動方向の後方から光を照射する第一照明部と、上記第一撮影位置および上記第二撮影位置に上記移動方向の前方から光を照射する第二照明部と、上記第一照明部および上記第二照明部による光の照射および照射停止を制御する照明制御部と、上記第一撮像部および上記第二撮像部による撮影を制御する撮影制御部と、上記第一撮像部および上記第二撮像部によって同一の上記検査位置を撮影した上記第一画像および上記第二画像に基づく演算処理を行う演算処理部と、を備え、上記照明制御部は、上記検査面の移動に伴って上記複数の検査位置のそれぞれが順次上記第一撮影位置に位置する度に、上記第一照明部が光を出射しかつ上記第二照明部が光を出射しない第一照明状態と、上記第二照明部が光を出射しかつ上記第一照明部が光を出射しない第二照明状態とを、択一的かつ交互に切り替え、上記撮影制御部は、上記第一照明状態および上記第二照明状態のそれぞれにおいて、上記第一画像および上記第二画像を取得するよう、上記第一撮像部および上記第二撮像部を制御する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１は、実施形態の画像検査システムの一部の例示的かつ模式的な構成図である。
【図２】図２は、実施形態の画像検査システムにおいて被検査面のうち撮像される位置の経時変化の例示的かつ模式的な説明図である。
【図３】図３は、実施形態の画像検査システムにおいて被検査面のうち撮像される位置の経時変化、撮影された画像のサンプル、および撮影された画像の演算処理についての、例示的かつ模式的な説明図である。
【図４】図４は、実施形態の画像検査システムにおいて後方照射時の画像と前方照射時の画像との差分絶対値によって突起が検出されることが示された例示的かつ模式的な説明図である。
【図５】図５は、実施形態の画像検査システムにおいて後方照射時の画像と前方照射時の画像との差分絶対値によっては模様あるいは汚れが検出されないことが示された例示的かつ模式的な説明図である。
【図６】図６は、実施形態の画像検査システムの例示的かつ模式的な制御ブロック図である。
【図７】図７は、実施形態の画像検査システムによる画像検査の手順の例示的かつ模式的なフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の例示的な実施形態が開示される。以下に示される実施形態の構成や制御、ならびに当該構成や制御によってもたらされる作用および結果（効果）は、一例である。本発明は、以下の実施形態に開示される構成や制御以外によっても実現可能であるとともに、基本的な構成や制御によって得られる種々の効果を得ることが可能である。
【０００８】
図１に示される検査システム１は、被検査体１０の被検査面１０ａを検査する。検査システム１は、被検査面１０ａを撮影した画像に対する演算処理により、被検査面１０ａにおける凹凸等の異常の有無を判断する。なお、被検査体１０は、検査物や、検査対象物等とも称され、被検査面１０ａは、検査面や、検査対象面等とも称され、検査システム１は、画像検査システムとも称されうる。なお、画像とは、画像データであり、格子状に離散化された二次元の各点（各座標、各画素）での輝度値等のデータ群である。
【０００９】
検査システム１は、移動する被検査体１０の被検査面１０ａを検査する。被検査体１０（被検査面１０ａ）は、図１には示されない駆動部４（図６参照）によって、被検査面１０ａに沿う方向、すなわち図１の右方向に、一定の速度で動かされる。なお、エンコーダやセンサ等によって撮像時刻における被検査面１０ａの位置を検出でき、撮影された画像データ（輝度値）と被検査面１０ａの位置との対応付けができれば、移動速度は一定でなくてもよい。被検査体１０は、例えば、ホースや、配管、シート、フィルム、布、紙、板等の長尺状の物体である。なお、以下では、便宜上、被検査体１０の動く方向は、移動方向と称される場合がある。また、被検査体１０の移動方向の前方は、前方と称され、被検査体１０の移動方向の後方は、後方と称される場合がある。
【００１０】
検査システム１は、被検査面１０ａを照らす照明部２と、被検査面１０ａを撮影する撮像装置３と、を備える。
【００１１】
照明部２は、複数の発光部２１を有する。本実施形態では、二つの発光部２１が、被検査体１０および被検査面１０ａの移動方向（図１では右方向）に沿って、互いに離れて配置されている。二つの発光部２１のうちの一つである図１の左側に示される発光部２１ｒは、被検査面１０ａの撮像位置Ｐｆ，Ｐｒに対して、被検査体１０の移動方向の斜め後方、すなわち図１では左上方に位置され、撮像位置Ｐｆ，Ｐｒに向けて斜め前方、すなわち図１では右下方に、光を出射している。二つの発光部２１のうちのもう一つである図１の右側に示される発光部２１ｆは、被検査面１０ａの撮像位置Ｐｆ，Ｐｒに対して、被検査体１０の移動方向の斜め前方、すなわち図１では右上方に位置され、撮像位置Ｐｆ，Ｐｒに向けて斜め後方、すなわち図１では左下方に、光を出射している。二つの発光部２１（２１ｆ，２１ｒ）は、例えば、被検査面１０ａでの光の強度や被検査面１０ａに対する入射角度の絶対値が略同じとなるよう、設定されうる。また、発光部２１は、例えば、ＬＥＤ（light  emitting  diode）である。なお、発光部２１からの光の強度の場所によるばらつきが小さくなるよう、発光部２１は、光を拡散しながら透過する拡散部材で覆われてもよい。
【００１２】
撮像装置３は、複数の撮像部３１を有する。本実施形態では、撮像装置３は、移動方向にずれて配置された二つの撮像部３１ｆ，３１ｒを有する。移動方向の前方に位置される撮像部３１ｆは、前方の撮像位置Ｐｆで被検査面１０ａを撮影し、移動方向の後方に位置される撮像部３１ｒは、後方の撮像位置Ｐｒで被検査面１０ａを撮影する。撮像位置Ｐｆ，Ｐｒは、移動方向に互いにずれている。検査システム１では、被検査面１０ａの同一位置（同一領域）が撮像位置Ｐｆ，Ｐｒでそれぞれ撮影されるよう、図１には示されない制御部５１（図６参照）により、撮像装置３および駆動部４のうち一方、他方、または両方を制御する。検査システム１において、被検査面１０ａの同一位置は、撮像位置Ｐｆ，Ｐｒで、それぞれ異なる時刻で、異なる光の照明条件で、撮像装置３によって撮影される。
【００１３】
撮像部３１（３１ｆ，３１ｒ）は、例えば、被検査体１０の移動方向との直交方向、すなわち図１の紙面と垂直な方向に延びた、ラインセンサである。本実施形態では、二つの撮像部３１ｆ，３１ｒは移動方向に互いに隣接して配置されている。よって、撮像装置３は、移動方向に隣接した二つのラインセンサ、すなわち撮像部３１ｆ，３１ｒを有した、デュアルラインセンサ（マルチラインセンサ）である。撮像部３１は、ディジタル画像、すなわち１次元の複数の画素毎の輝度値（データ）を取得する。撮像部３１は、ＣＭＯＳ（complementary  metal-oxide-semiconductor）イメージセンサやＣＣＤ（charge-coupled  device）イメージセンサ等の撮像素子を有する。なお、以下では、移動方向との直交方向のうち、被検査面１０ａに沿って延びる方向が、単に、直交方向と称される場合がある。
【００１４】
図２には、複数の撮像時刻ｔにおいて、撮像装置３によって被検査面１０ａの撮影される位置が示されている。なお、ここで言う「位置」とは、被検査面１０ａのうち移動方向との直交方向に延びた線状の領域である。また、以下では、撮像時刻は、単に時刻とも称されうる。図２の例では、被検査面１０ａの移動方向、すなわち長手方向の位置ｎｐが、０〜８に分けて示されている。図２において、時刻ｔ＝ｔ０では、前方の撮像部３１ｆは、被検査面１０ａの位置ｎｐ：３を撮影し、後方の撮像部３１ｒは、被検査面１０ａの位置ｎｐ：４を撮影する。また、時刻ｔ＝ｔ１では、前方の撮像部３１ｆは、被検査面１０ａの位置ｎｐ：４を撮影し、後方の撮像部３１ｒは、被検査面１０ａの位置ｎｐ：５を撮影する。また、時刻ｔ＝ｔ２では、前方の撮像部３１ｆは、被検査面１０ａの位置ｎｐ：５を撮影し、後方の撮像部３１ｒは、被検査面１０ａの位置ｎｐ：６を撮影する。また、時刻ｔ＝ｔ３では、前方の撮像部３１ｆは、被検査面１０ａの位置ｎｐ：６を撮影し、後方の撮像部３１ｒは、被検査面１０ａの位置ｎｐ：７を撮影する。図２から明らかとなるように、検査システム１では、複数の撮像部３１（３１ｆ，３１ｒ）による撮影と、被検査面１０ａの移動とが同期されているため、被検査面１０ａの各位置が、撮像装置３によってそれぞれ２回ずつ撮影される。
【００１５】
また、本実施形態では、上述したように、撮像装置３による被検査面１０ａの同一位置の２回の撮影が、互いに異なる光の照明条件で実行される。図３は、被検査面のうち撮像される位置の経時変化、撮影された画像のサンプル、および撮影された画像の演算処理についての、例示的かつ模式的な説明図（平面図）である。図３に示されるように、時刻ｔ＝ｔ０での撮影は、移動方向の後方の発光部２１ｒが発光するとともに前方の発光部２１ｆが発光しない状態で行われ、時刻ｔ＝ｔ１での撮影は、移動方向の後方の発光部２１ｒが発光しないとともに前方の発光部２１ｆが発光する状態で行われ、時刻ｔ＝ｔ２での撮影は、移動方向の後方の発光部２１ｒが発光するとともに前方の発光部２１ｆが発光しない状態で行われ、時刻ｔ＝ｔ３での撮影は、移動方向の後方の発光部２１ｒが発光しないとともに前方の発光部２１ｆが発光する状態で行われる。このように、本実施形態では、発光部２１ｆの発光停止および発光部２１ｒの発光（照明条件１）と、発光部２１ｆの発光および発光部２１ｒの発光停止（照明条件２）とが、交互に繰り返される。したがって、被検査面１０ａ中の各位置は、全て、照明条件１および照明条件２の両方で撮影される。そして、本実施形態では、各位置について撮影された二つの画像から、それら二つの画像の差分の絶対値の画像が算出される。なお、前の時刻で撮影された画像データは、図３には示されない記憶部５２（図６参照）に一時的に記憶される等により遅延された上で、後の時刻で撮影されたデータとの演算に用いられる。すなわち、記憶部５２は、遅延部とも称されうる。
【００１６】
図４には、被検査面１０ａ上に突起Ｉｐが存在した場合が例示されており、照明条件１で撮影された複数位置の画像、照明条件２で撮影された複数位置の画像、および照明条件１で撮影された画像と照明条件２で撮影された画像の差分の絶対値の画像が、含まれている。図４中に示される三つの画像は、それぞれ、被検査面１０ａの各位置での１次元の輝度値が移動方向に沿って二次元に並べられた輝度値の群（画像データ）である。図４では、画像中の各画素における値（輝度値）が低いほど黒く、高いほど白く表されている。発光部２１が斜めから突起Ｉｐを照らすと、突起Ｉｐの発光部２１側は明るくなり、突起Ｉｐの発光部２１とは反対側は影となって暗くなる。すなわち、照明条件１での後方照射時の画像は、突起Ｉｐの後方の領域Ａｐｒが明るく、かつ突起Ｉｐの前方の領域Ａｐｆが暗くなり、照明条件２での前方照射時の画像は、突起Ｉｐの前方の領域Ａｐｆが明るく、かつ突起Ｉｐの後方の領域Ａｐｒが暗くなる。このように、突起Ｉｐの前方の領域Ａｐｆと後方の領域Ａｐｒとでは、照射方向によって明暗が反転する。したがって、当該領域Ａｐｆ，Ａｐｒ内、すなわち突起Ｉｐの領域内では、照明条件１および照明条件２の二つの画像間の、各画素の輝度値の差分の絶対値は、正の値となる。これに対し、被検査面１０ａの突起Ｉｐが無い領域については、発光部２１からの光の照射方向による明るさの違いは小さく、二つの画像における各画素の輝度値の差分の絶対値は略０（ゼロ）となる。したがって、差分の絶対値の画像中で、値が大きい領域を、突起Ｉｐとして識別することができる。
【００１７】
被検査面１０ａに存在する不図示の凹部も、上記突起Ｉｐと同様に、照明条件１で撮影された画像と照明条件２で撮影された画像の差分の絶対値の画像から識別することができる。ただし、凹部の場合は、後方照射時および前方照射時の各画像中で明るくなる領域の存在する位置が、突起の場合とは逆になる。すなわち、凹部の場合、発光部２１ｆ，２１ｒ側が暗くなり、発光部２１ｆ，２１ｒよりも遠い側が明るくなる。よって、検査システム１は、例えば、後方照射時の画像あるいは前方照射時の画像における明るい領域または暗い領域の位置から、突起か凹部かを判断することができる。
【００１８】
また、図５には、被検査面１０ａ上に模様Ｉｆや汚れＩｄが存在した場合が例示されており、照明条件１で撮影された複数位置の画像、照明条件２で撮影された複数位置の画像、および照明条件１で撮影された画像と照明条件２で撮影された画像の差分の絶対値の画像が、含まれている。図５中に示される三つの画像は、図４と同様であり、図５では、画像中の各画素における値（輝度値）が低いほど黒く、高いほど白く表されている。図５に示されるように、照射方向の異なる二つの画像において、模様Ｉｆや汚れＩｄの明るさ（輝度値）はほぼ同じである。よって、二つの画像における各画素の輝度値の差分の絶対値は略０（ゼロ）である。したがって、図４，５から、本実施形態によれば、照明条件１で撮影された画像と照明条件２で撮影された画像の差分の絶対値の画像から、突起または凹部を検出できることが理解できよう。
【００１９】
検査システム１における検査は、図６に例示されるようなＰＣ５によって制御されうる。ＰＣ５は、電子機器の一例である。ＰＣ５は、制御部５１や、記憶部５２等を有する。制御部５１は、例えばＣＰＵ（central  processing  unit）や、コントローラ等として構成されうる。記憶部５２は、ＲＡＭ（random  access  memory）や、ＲＯＭ（read  only  memory）、ＨＤＤ（hard  disk  drive）、ＳＳＤ（solid  state  drive）等として構成されうる。すなわち、記憶部５２には、ＨＤＤやＳＳＤ等の、不揮発性の書き換え可能な記憶デバイスが含まれうる。
【００２０】
制御部５１は、撮影画像取得部５１ｄを有する。撮影画像取得部５１ｄは、各位置において撮像装置３で取得された輝度値を取得し、記憶部５２に記憶する。
【００２１】
制御部５１は、差分絶対値画像算出部５１ｅを有する。差分絶対値画像算出部５１ｅは、記憶部５２に記憶された光の照明条件の異なる二つの画像から、それら画像の差分の絶対値の画像を算出する。差分絶対値画像算出部５１ｅは、演算処理部の一例である。
【００２２】
制御部５１は、異常判断部５１ｊを有する。異常判断部５１ｊは、差分絶対値画像から、被検査面１０ａにおける異常の有無を判断する。異常判断部５１ｊは、フィルタリングや、穴埋め、二値化、グルーピング、ラベリング、膨張処理等の公知の画像処理手法に基づいて、所定の条件を満たす互いに隣接した複数の画素の集合を、異常領域と判断することができる。異常判断は、例えば、周囲の画素の輝度値との比較や、正常形状や基準形状の参照データとの比較等に基づいて実行されうる。異常判断部５１ｊは、演算処理部の一例である。
【００２３】
制御部５１は、出力制御部５１ｋを有する。出力制御部５１ｋは、異常判断部５１ｊによる異常の判断の結果を示す画像を出力するよう、画像出力部５３を制御することができる。画像出力部５３は、例えば、ＬＣＤ（liquid  crystal  display）等の表示装置である。
【００２４】
また、制御部５１は、撮像制御部５１ａや、駆動制御部５１ｂ、照明制御部５１ｃ等を有することができる。撮像制御部５１ａは、撮像装置３（撮像部３１）による被検査面１０ａの撮影を制御する。駆動制御部５１ｂは、駆動部４による被検査体１０の移動を制御する。駆動部４は、移動機構や、搬送機構等とも称されうる。また、照明制御部５１ｃは、照明部２による被検査面１０ａに対する照明を制御する。これら、撮像制御部５１ａや、駆動制御部５１ｂ、照明制御部５１ｃ等により、図２，３に例示されたような、被検査面１０ａの位置（移動）、照明部２による被検査面１０ａに対する照明、および撮像装置３による撮影等が、同期して実行される。これらの同期制御は、例えば、被検査体１０の位置のセンサ等による検出結果に基づいて行われうる。また、なお、検査システム１における演算処理や、各部の制御は、ＰＣ５以外の電子機器によって制御されてもよい。また、制御部５１の単独、あるいは制御部５１および記憶部５２は、ＥＣＵ（electronic  control  unit）や、ボード、ユニット、デバイス等として構成されうる。このような場合、制御部５１は、電子機器の一例である。
【００２５】
また、制御部５１による上述した演算処理や制御は、ソフトウエアによって実行されてもよいし、ハードウエアによって実行されてもよいし、ソフトウエアによる演算処理や制御とハードウエアによる演算処理や制御とが含まれてもよい。ソフトウエアによる処理の場合にあっては、制御部５１は、ＲＯＭや、ＨＤＤ、ＳＳＤ等に記憶されたプログラムを読み出して実行する。この場合、プログラムには、制御部５１に含まれる各部に対応するモジュールが含まれうる。制御部５１の全部あるいは一部がハードウエアによって構成される場合、制御部５１には、ＦＰＧＡ（field  programmable  gate  array）やＡＳＩＣ（application  specific  integrated  circuit）等が含まれうる。
【００２６】
検査システム１による検査は、図７に示されるような手順で実行される。まず、駆動制御部５１ｂは、被検査面１０ａを所定の位置に移動するとともに、照明制御部５１ｃは、照明部２を所定の照明条件に設定する（Ｓ１）。次に、撮像制御部５１ａは、撮影を行うよう撮像装置３を制御する（Ｓ２）。次に、撮影画像取得部５１ｄは、撮像装置３から撮像によって得られた画像データを取得し、記憶部５２に格納する（Ｓ３）。Ｓ１〜Ｓ３は、所定範囲の撮影が終了するまで継続される（Ｓ４）。すなわち、Ｓ４でＮｏの場合、Ｓ１に戻る。
【００２７】
所定範囲についてＳ１〜Ｓ３が終了したら（Ｓ４でＹｅｓ）、差分絶対値画像算出部５１ｅは、記憶部５２に格納されている各位置に対応した複数の画像（輝度値）からそれら画像データの差分の絶対値の画像を算出する（Ｓ５）。次いで、異常判断部５１ｊは、差分絶対値画像に基づいて異常判断を実行する（Ｓ６）。出力制御部５１ｋは、Ｓ６で得られた検査結果が表示されるよう、画像出力部５３を制御する（Ｓ７）。
【００２８】
以上、説明したように、本実施形態では、複数の撮像部３１は、被検査面１０ａ（検査面）の移動方向に互いにずれた撮像位置Ｐｆ，Ｐｒで、互いに異なる光の照明条件で、それぞれ撮影を行う。また、差分絶対値画像算出部５１ｅ（演算処理部）は、複数の撮像部３１によって同一領域を撮影した複数の画像から、差分絶対値画像を算出する。すなわち、本実施形態によれば、被検査面１０ａの同一位置を、複数の撮像位置でそれぞれ異なる照明条件で撮影し、撮影によって得られた複数の画像に対する演算処理によって、被検査面１０ａの異常の有無を判断することができる。よって、例えば、被検査面１０ａの一つの画像のみから異常の有無を判断する場合に比べて、より効率良くあるいはより精度良く、異常の有無を判断することができる場合がある。また、例えば、一つの撮像部によって異なる照明条件による撮影が行われる場合に比べて、より精度の高い画像が得られやすい。
【００２９】
また、本実施形態によれば、撮像位置Ｐｆ，Ｐｒへの光の照射方向が異なる複数の画像に対する演算処理によって、被検査面１０ａの異常の有無を判断することができる。よって、例えば、被検査面１０ａの同一位置について異なる光の照射方向で撮影された複数の画像の差分の絶対値の画像から、より容易にあるいはより精度良く、凹凸の有無を判断することができる。
【００３０】
また、本実施形態によれば、撮像部３１ｆ，３１ｒは、それぞれ、被検査面１０ａの移動方向との直交方向（交差方向）に延びるラインセンサであり、撮像装置３は、複数の撮像部３１ｆ，３１ｒを一体的に有したデュアルラインセンサである。よって、例えば、撮像部３１ｆ，３１ｒおよび撮像装置３を、比較的簡素な構成によって実現することができる。
【００３１】
なお、検査システム１は、各部の構成を種々に変更して実施することができる。例えば、光の照射方向は、移動方向の前方と後方である必要は無く、移動方向との交差方向の一方と他方であってもよい。また、撮像位置Ｐｆと撮像位置Ｐｒとは互いに離れていてもよいし、撮像部３１ｆと撮像部３１ｒとが互いに離れていてもよい。また、照明条件は、光の波長（周波数）や、偏向方向等、照射方向以外の照明条件であってもよい。このような場合にあっても、例えば、複数の波長あるいは偏向方向に応じた複数の画像に基づいて、より効率良くあるいはより精度良く、異常の有無が判断されやすい。また、照明条件の異なる複数の画像は、三つ以上の画像であってもよいし、差分絶対値画像以外の演算処理に基づく画像から、異常の有無が判断されてもよい。また、上記実施形態では、被検査体１０および被検査面１０ａが移動したが、照明部２および撮像装置３と被検査面１０ａとが相対的に移動すれば良く、検査システム１は、例えば、被検査体１０および被検査面１０ａが固定されて照明部２および撮像装置３が移動するシステムであってもよいし、被検査体１０および被検査面１０ａと照明部２および撮像装置３との双方が移動するシステムであってもよい。
【００３２】
また、上記実施形態では、複数の撮像位置で、照明条件として、照射方向が異なるよう構成されたが、これには限定されず、例えば、複数の撮像位置で、光の強度や光の波長（周波数）が異なるよう構成されてもよい。この場合、例えば、複数の撮像位置のそれぞれには、色の異なる複数の光が照射されてもよい。
【００３３】
以上、本発明の実施形態および変形例を例示したが、上記実施形態および変形例は一例であって、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態および変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。これら実施形態および変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、各実施形態や各変形例の構成や形状は、部分的に入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック（構造や、種類、方向、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置等）は、適宜に変更して実施することができる。
【符号の説明】
【００３４】
１…検査システム（画像検査システム）、２…照明部、３１，３１ｆ，３１ｒ…撮像部、５１ｅ…差分絶対値画像算出部（演算処理部）、５１ｊ…異常判断部（演算処理部）。
【図１】
0006580390.tif 000002
【図２】
0006580390.tif 000003
【図３】
0006580390.tif 000004
【図４】
0006580390.tif 000005
【図５】
0006580390.tif 000006
【図６】
0006580390.tif 000007
【図７】
0006580390.tif 000008