(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動する平面状の被除塵物体の表面に、斜め上方から、前記被除塵物体の進行方向に対して右方向のやや上流方向に向かってエアブローを吹き付けて前記表面に付着した異物を剥離する複数の第１吹出し孔であって、前記進行方向に対して横方向に直線的に配列された第１吹出し孔を有し、前記エアブローによって前記表面に略平行なエア流によって前記異物を前記表面から除去する第１のホコリ払い器と、前記第１のホコリ払い器によって前記表面から除去された異物を、前記被除塵物体表面の側方の前記エア流の下流側で、集塵する第１の集塵器と、前記被除塵物体の表面に、斜め上方から、前記被除塵物体の進行方向に対して左方向のやや上流方向に向かってエアブローを吹き付けて前記表面に付着した異物を剥離する複数の第２吹出し孔であって、前記進行方向に対して横方向に直線的に配列された第２吹出し孔を有し、前記エアブローによって前記表面に略平行なエア流によって前記異物を前記表面から除去する第２のホコリ払い器と、前記第２のホコリ払い器によって前記表面から除去された異物を、前記被除塵物体表面の側方の前記エア流の下流側で、集塵する第２の集塵器と、  を備え、  前記第１のホコリ払い器と前記第２のホコリ払い器との間には隙間が設けられ、前記第１のホコリ払い器は、エア流が被除塵物体の左側縁を煽ることなく、被除塵物体の左側縁近傍から被除塵物体の左右中央を超える範囲までエア流が生じるように、被除塵物体表面にエアブローを吹き付け、前記第２のホコリ払い器は、エア流が被除塵物体の右側縁を煽ることなく、被除塵物体の右側縁近傍から被除塵物体の左右中央を超える範囲までエア流が生じるように、被除塵物体表面にエアブローを吹き付ける、除塵装置。 
【請求項２】
前記ホコリ払い器は、前記被除塵物体を横切る棒状に形成され、前記ホコリ払い器には、複数の吹出し孔が長手方向に配列され、内部の圧縮空気を前記吹出し孔から吹き出すことによってエアブローを発生することを特徴とする請求項１に記載の除塵装置。    
【請求項３】
請求項１または２に記載の除塵装置において、エアブローは除塵装置全域において行うことを特徴とする除塵装置。     
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の除塵装置はエアブローした異物を回収する集塵フードを有し、該フードはエアブロー上流側の断面積が下流側の断面積より小さいことを特徴とする除塵装置。     
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の除塵装置において、被除塵物体の表裏面を同時に除塵することを特徴とする除塵装置。     
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の除塵装置において、除塵装置の上流と下流に空気イオンを満たして被除塵物体の静電気を中和することを特徴とする除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムやパネルなど平面状のワーク等の被除塵物体（以下、ワークということもある）に付着した異物を除去する横方向除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来はフィルムやパネルなど平面状の被除塵物体に付着した異物を除去するためにエアナイフなどを用い、被除塵物体の斜め上方から鋭角にエアブローしていた。エアブローの方向は被除塵物体の進行方向に対し１８０度すなわち進行方向に対して逆方向にエアブローしていた。エアブローにより被除塵物体から剥離された異物を真空吸引してすくい上げ集塵していた。これらの従来技術を図８〜１３を参照して以下に具体的に説明する。
【０００３】
図８は従来の除塵方式の１つを示し、移動する平面状の被除塵物体（ワーク）１０に付着した異物１２を除去するために、エアブロー１４でもって被除塵物体１０の表面を吹き、被除塵物体１０の進行方向に対し１８０度すなわち進行方向と逆方向に異物を押し戻している。このように、異物を押し戻すだけでは、異物は、エアブロー１４の下流からは排除されるが、上流側に堆積し、除去されることはないので、堆積した異物が下流に流入する可能性が高い。すなわち、エアナイフにより異物を吹き飛ばして除去することは容易ではなかった。
【０００４】
図９は同じく従来の除塵方式の１つを示し、被除塵物体１０に付着した異物１２を除去するために、エアブロー１４でもって斜め上方より鋭角度に被除塵物体１０を吹き、異物１２を剥離して吹き飛ばしている。吹き飛ばした異物１２を集塵機１６ですくい上げて回収している。しかし、このすくい上げがうまく機能しないと言う問題があった。
【０００５】
図１０は図９の異物のすくい上げがうまく機能しない理由を説明する図である。斜め上方よりエアブローすると反射したエア流１８とワーク（被除塵物体）１０の間に渦流ができ負圧が発生する。図１１はこの負圧により、エア流１８はワーク１０に引き寄せられて離れない状況を示す。もしワークにテンションがかかっていない場合は、ワークがエア流に吸い上げられて、同様にエア流はワークから離れない（図示せず）。このようにワーク表面に沿ったエア流１８は、異物を搬送方向の上流に押し戻すのみで、集塵機１６に誘導しないので、異物はワーク上に堆積する。
【０００６】
図１１に示すように、反射したエア流１８に含まれる（被除塵物体から剥離された）異物１２は、ワーク１０から少ししか浮き上がらないため、集塵機（図１０参照）で吸い上げても回収できずにいくらかは残ってしまう状況を示す。残った異物は上流のワーク上に乗って再度流れて来て、再びエアブローされるが、やはり完全には回収されないため、除塵できなかった残留異物として残ってしまう。
【０００７】
図１２に示すように、異物１２の一部が集塵機１６で集塵されない場合がある。このことを避けるために、図１３に示すように、残留異物を少なくするための集塵器１６をワーク１０に近付け真空吸引した場合、それによりワーク１０と集塵器１６が接触する恐れがある。接触によりワーク１０に傷を付け不良品化する。以上のように、従来例では完全な異物除去は難しく異物が残り易かった。
【０００８】
その他、公開されている従来技術には、パネル体の除塵装置（実録２５６７１９１号明細書）、除塵ヘッド（特開平１１−２３５５５９号公報）、除塵洗浄方法及び装置（特開２０１０−１６２４４５号公報）がある。
【０００９】
パネル体の除塵装置は、移動するパネルに進行方向からエアを吐出し、逆方向から集塵する技術である。この技術では、異物の集塵残りは防げない。除塵ヘッドは移動するパネルに進行方向からエアを吐出し、両方向から集塵する技術である。やはり、異物の集塵残りは防げない。除塵洗浄方法および装置は移動するパネルの進行方向と逆方向にエアを中央から吐出し、両方向から直角方向に集塵する。あるいはエアを両側から吐出し、中央で直角方向に集塵する。除塵した塵の集塵残りは防げない。いずれもワークと平行方向に走る異物を垂直方向に吸い上げようとするが、異物、すなわち、エアの流速が早ければ早いほど吸い上げ残りが発生し、集塵残りが発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】実録２５６７１９１号明細書
【００１１】
【特許文献２】特開平１１−２３５５５９号公報
【００１２】
【特許文献３】特開２０１０−１６２４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、前述の従来技術に伴う諸欠点を解決することを課題とし、フィルムやパネルなど平面状の被除塵物体（ワーク）に付着した異物を効率よく除去して残留異物を少なくする除塵装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る除塵装置は、移動する平面状の被除塵物体の表面に、斜め上方から、前記被除塵物体の進行方向に対して右方向のやや上流方向に向かってエアブローを吹き付けて前記表面に付着した異物を剥離する複数の第１吹出し孔であって、前記進行方向に対して横方向に直線的に配列された第１吹出し孔を有し、前記エアブローによって前記表面に略平行なエア流によって前記異物を前記表面から除去する第１のホコリ払い器と、前記第１のホコリ払い器によって前記表面から除去された異物を、前記被除塵物体表面の側方の前記エア流の下流側で、集塵する第１の集塵器と、前記被除塵物体の表面に、斜め上方から、前記被除塵物体の進行方向に対して左方向のやや上流方向に向かってエアブローを吹き付けて前記表面に付着した異物を剥離する複数の第２吹出し孔であって、前記進行方向に対して横方向に直線的に配列された第２吹出し孔を有し、前記エアブローによって前記表面に略平行なエア流によって前記異物を前記表面から除去する第２のホコリ払い器と、前記第２のホコリ払い器によって前記表面から除去された異物を、前記被除塵物体表面の側方の前記エア流の下流側で、集塵する第２の集塵器と、を備え、前記第１のホコリ払い器と前記第２のホコリ払い器との間には隙間が設けられ、前記第１のホコリ払い器は、エア流が左側縁にあたらず、左側縁近傍から被除塵物体の左右中央を超える範囲までエア流が生じるように、左側縁よりも右寄りの位置から左右中央の右寄りの範囲に、エア流が生じるようにエアブローを吹き付け、前記第１のホコリ払い器は、エア流が右側縁を煽ることなく、被除塵物体の右側縁近傍から被除塵物体の左右中央を超える範囲までエア流が生じるように、被除塵物体表面にエアブローを吹き付け、前記第２のホコリ払い器は、エア流が左側縁を煽ることなく、被除塵物体の左側縁近傍から被除塵物体の左右中央を超える範囲までエア流が生じるように、被除塵物体表面にエアブローを吹き付ける。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、第１、第２のホコリ払い器によって、平面状被除塵物体の表面に斜め上方からエアブローを吹いて異物を表面から剥離し、エアブローによって、表面に対して略平行に流れるエア流を生じさせ、このエア流によって、異物を被除塵物体表面側方に排除し、表面側方でエア流下流に配置された集塵装置で、集塵するので、異物を効率よく除去し得る。そして、被除塵物体表面側方で集塵するため、集塵装置が被除塵物体表面に接触する恐れはない。また、本発明によれば、フィルムやパネルなど平面状の被除塵物体に付着した異物をも効率よく除去して残留異物を少なくできる。また、第１のホコリ払い器では、被除塵物体の進行方向に対して、右方向のやや上流方向に向かって、被除塵物体表面にエアブローを吹き付け、第２のホコリ払い器では、被除塵物体の進行方向に対して、左方向のやや上流方向に向かって、被除塵物体表面にエアブローを吹き付けるので、異物を上流に戻す作用があり、より効果的かつ確実に異物除去でき、第１ホコリ払い器は、エア流が右側縁を煽ることなく、被除塵物体の右側縁近傍から被除塵物体の左右中央を超える範囲までエア流が生じるように、被除塵物体表面にエアブローを吹き付け、第２のホコリ払い器は、エア流が左側縁を煽ることなく、被除塵物体の左側縁近傍から被除塵物体の左右中央を超える範囲までエア流が生じるように、被除塵物体表面にエアブローを吹き付けるので、被除塵物体のバタつきを防止しつつその全幅を確実に除塵し得る。さらに、第１、第２のホコリ払い器は、それぞれ複数の第１、第２吹出し孔からエアブローを除塵物体表面に吹き付け、第１、第２吹出し孔は、除塵物体進行方向に対して横方向に直線的に配列されているので、第１、第２ホコリ払い器全体の設置面積を最小限に抑え得る。さらに、第１、第２ホコリ払い器は隙間を空けて配置されているので、両者のエア流によって渦気流が発生することはない。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例１を説明するための図である。
【図２】実施例２を説明するための図である。
【図３】実施例３を説明するための図である。
【図４】実施例４を説明するための図である。
【図５】実施例５を説明するための図である。
【図６】実施例６を説明するための図である。
【図７】実施例７を説明するための図である。
【図８】従来の除塵方式を説明するための図である。
【図９】従来の除塵方式を説明するための図である。
【図１０】従来の除塵方式を説明するための図である。
【図１１】従来の除塵方式を説明するための図である。
【図１２】従来の除塵方式を説明するための図である。
【図１３】従来の除塵方式を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
フィルムやパネルなど平面状の被除塵物体に付着した異物を効率よく除去して残留異物を少なくするために被除塵物体の面に平行なエア流が生じるように、横方向ないしやや上流に向かって、斜め上方からエアブローを発生し、エアブローは除塵装置全域において行い、エアブロー下流側横位置において集塵する。除塵装置はエアブローした異物を回収する集塵フードを有し、該フードはエアブロー上流側の断面積を下流側の断面積より小さくする。被除塵物体の進行方向に対し左右の中央を超えてエアブローし、集塵する側と反対側の先端側エアブロー風が被除塵物体の先端側の端をエアブローしないようにして、被除塵物体の側縁を煽ることを防止し、被除塵物体の表裏面を同時に除塵し、被除塵物体を進行方向に向かって左右両方向に同時に除塵し、左方向の除塵装置と右方向の除塵装置間に隙間を設け、除塵装置の上流と下流に空気イオンを満たして被除塵物体の静電気を中和するのが好ましい。 
【実施例１】
【００１８】
実施例１を、図１を参照して説明する。図１は本発明の除塵方式を説明する図である。フィルムやパネルなど平面状の被除塵物体（ワーク）１０に付着した異物１２を横方向にエアブロー１４して除去する。エアブロー１４は、斜め上方から被除塵物体表面に吹き付けられて異物を表面から剥離し、さらに被除塵物体の進行方向に対して横方向ないしやや上流方向に向かって、表面に平行なエア流を生じさせ、このエア流により異物１２を表面に沿って押送し、排除する。
【実施例２】
【００１９】
実施例２を、図２を参照して説明する。図２ａが正面図であり、図２ｂが側面図である。図２は本発明の被除塵物体に付着した異物をエアブロー１４して除去する方法と装置の構造を示す。ホコリ払い器２０にはエアが供給され、ワーク１０と対峙した面に多くの吹出し孔（図示省略）があり、至近距離からワーク１０に向かって、斜め上方からエアブロー１４を吹き付け、エアブロー１４によって、ワーク１０の表面１０Ｓに平行で、ワーク１０の進行方向に対して横方向のエア流Ａが発生する。ワーク１０に付着して流れてきた異物１２はこのエアブローにより横方向に払われて除去される。図２ａ、２ｂから明らかなように、ホコリ払い器２０は、ワーク１０を横切る棒状に形成され、エアブロー１４を吹き出す吹出し孔は、ホコリ払い器２０の長手方向、すなわち被除塵物体進行方向に対して横方向に直線的に複数配列されている。実施例２では、除塵装置は、移動する被除塵物体１０の表面
１０Ｓに向かって、斜め上方から表面１０Ｓに吹き付けられて異物を表面から剥離し、さらに前記被除塵物体の進行方向に対して横方向にエアブロー１４を発生し、表面１０Ｓに略平行（図２における表面に平行な矢印）なエア流Ａを生じさせ、このエア流Ａにより、表面１０Ｓに付着した異物１２を表面１０Ｓから除去するホコリ払い器２０を備える。 
【実施例３】
【００２０】
実施例３を、図３を参照して説明する。図３ａが平面図で、図３ｂが側面図である。図３はホコリ払い器と集塵器を表わし、さらにホコリ払い機２０のエアブロー方向の別の案を示す。この場合、ワーク１０の進行方向に対し、右側（側方）に集塵装置２２がある。前述の実施例１，２ではワークの進行方向に対して、横方向かつ真下にエアブローしていたが、この実施例３ではワークの進行方向に対し、右方向１２０度かつ下方向１１０度に向かってエアブローしている。すなわち、エアブローは斜め上方から、やや上流方向に向かってワーク１０に吹き付けられる。この方が異物を実施例１，２よりより上流に戻す作用があるため、より高速に動くワークに対してより効果的かつ安全に異物除去ができる。そして、エアブローを吹き付ける吹出し孔は実施例２と同様、横方向に直線的に配列されている。
【実施例４】
【００２１】
実施例４を、図４を参照して説明する。図４ａが正面図であり、図４ｂが側面図である。図４は本案の集塵の方法と構造を示す。ワーク１０の表面側にホコリ払い器２０が対峙し、ワーク１０の進行方向に対して右側に集塵器２２がある。ワーク１０に付着して流れてきた異物１２はホコリ払い器２０で斜め上方からエアブローされて、エア流Ａによって右方向に払われ、集塵器２２により回収される。そして、エアブローを吹き付ける吹出し孔は実施例２、３と同様、横方向に直線的に配列されている。
【実施例５】
【００２２】
実施例５を、図５を参照して説明する。図５ａが平面図で、図５ｂが正面図で、図５ｃが側面断面図である。図５はワークの表面と裏面で同時に斜め上方からエアブローする構造を示す。ホコリ払い器２０が表裏両面にあり、ワーク１０の進行方向に対し右側、すなわちエア流の下流側に集塵器２２がある。ワーク１０の表裏を同時にエアブローすることにより、ワーク１０を支持するロールなど機構物が不要になり、完全非接触な除塵動作が可能になる。そして、エアブローを吹き付ける吹出し孔は実施例２、３と同様、横方向に直線的に配列されている。
【００２３】
上下のホコリ払い器２０はそれぞれフード２０ａを有し、払ったホコリを辺りに飛散させることなく回収する。このフード２０ａの断面積は集塵機側が先端側より大きい。それは集塵器側の方が先端側より中を通る風量が大きいからである。またホコリ払い器２０ないしフード２０ａの上流と下流に除電器２４を配置してワーク１０にイオン３０をふりかけ静電気を除去することが好ましい。
【実施例６】
【００２４】
実施例６を、図６を参照して説明する。図６は左右両方向のホコリ払いを同時に行う方式を示す。これによりワークの端の除塵を完全に行えるため異物残留を防ぐ。さらにワーク１０が片方向のエアブローにより片側へ斜行するのを防止する。
【実施例７】
【００２５】
実施例７を、図７を参照して説明する。図７は平面図である。図７は第１のホコリ払い器２０Ｒ、第２のホコリ払い器２０Ｌによって、左右両方向のホコリ払いを同時に行う方式を表わす。ホコリ払い器２０Ｒ、２０Ｌは、実施例３〜５と同様に、斜め上方から被除塵物体１０にエアブローを吹き付けるが、第１のホコリ払い器２０Ｒは、進行方向に対して右方向のやや上流方向に向かって前記表面にエアブローを吹き付け、第２のホコリ払い器２０Ｌは、進行方向に対して左方向のやや上流方向に向かって前記表面にエアブローを吹き付ける。ホコリ払い器２０Ｒ、２０Ｌは被除塵物体１０の前記進行方向に対して横方向に直線的に配列された第１、第２の吹出し孔をそれぞれ有し、エアブローによって被除塵物体１０表面に付着した異物を剥離する。そして、エアブローによって前記表面に略平行なエア流を発生し、異物を前記表面から左右に除去し、除去された異物を、エア流の下流側で、第１、第２の集塵器２２Ｒ、２２Ｌによって集塵する。左右どちらかの片側のみのエアブローをするとワーク１０は片側へ斜行するため、左右両方向同時にエアブローするのが好ましい。またエアブローはワーク１０の進行方向に対し（１）ワークの左右中央を超えて行い、（２）エアブロー風がワーク先端を超えないことが好ましい。（１）の条件を満たさない場合、即ち左右中央を超えない場合には中央に異物が残る。（２）の条件を満たさない場合には、ワーク左右側縁ＲＳ、ＬＳに当たるエアブローによって、側縁ＲＳ、ＬＳが煽られ、ワーク１０がバタついて、ホコリ払い器２０と接触事故を起こす。また左右のホコリ払い器２０Ｒ、２０Ｌ（フードを含む）間の間隔が十分にある事が好ましい。近すぎると両者の間に渦気流が発生するため、払った異物が回収できなくて残留する可能性がある。なお、第１、第２の吹出し孔がいずれも被除塵物体１０進行方向の横方向に配列されているので、ホコリ払い器２０Ｒ、２０Ｌの占有面積は、被除塵物体１０の幅に略比例する。
【符号の説明】
【００２６】
Ａ  エア流１０ 被除塵物体（ワーク）１０Ｓ  表面 １２ 異物 １４ エアブロー ２０ ホコリ払い器 ２２ 集塵器 ２４ イオナイザー ３０ イオン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0006574555.tif 000008
【図８】
0006574555.tif 000009
【図９】
0006574555.tif 000010
【図１０】
0006574555.tif 000011
【図１１】
0006574555.tif 000012
【図１２】
0006574555.tif 000013
【図１３】
0006574555.tif 000014