(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の表面を有する板状であり、内部に冷媒流路が形成されたベース板と、第２の表面を有する板状であり、前記第２の表面が前記ベース板の前記第１の表面に対向するように配置された他の部材と、前記ベース板の前記第１の表面と前記他の部材の前記第２の表面との間に配置され、前記ベース板と前記他の部材とを接着する接着層と、を備える静電チャックの製造方法において、
前記ベース板の前記第１の表面に、ペーストを半硬化させた第１のシート状接着剤を貼り付ける工程と、
前記他の部材の前記第２の表面に、ペーストを半硬化させた第２のシート状接着剤を貼り付ける工程と、
前記ベース板の前記第１の表面と前記他の部材の前記第２の表面とを前記第１のシート状接着剤および前記第２のシート状接着剤を介して貼り合わせた状態で、前記第１のシート状接着剤および前記第２のシート状接着剤を硬化させることにより、前記接着層を形成する工程と、
を備えることを特徴とする、静電チャックの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の静電チャックの製造方法において、
前記第１のシート状接着剤の厚さは、前記第２のシート状接着剤の厚さと略同一であることを特徴とする、静電チャックの製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の静電チャックの製造方法において、
前記ベース板が前記他の部材より厚い場合には、前記第１のシート状接着剤は前記第２のシート状接着剤より厚く、
前記ベース板が前記他の部材より薄い場合には、前記第１のシート状接着剤は前記第２のシート状接着剤より薄いことを特徴とする、静電チャックの製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の静電チャックの製造方法において、
前記第１のシート状接着剤および前記第２のシート状接着剤は、接着成分と粉末成分とを含み、
前記第１のシート状接着剤における前記接着成分の含有割合である接着成分割合（％）の値と、前記第２のシート状接着剤における前記接着成分の含有割合である接着成分割合（％）の値との差の絶対値は２０（％）以下であることを特徴とする、静電チャックの製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の静電チャックの製造方法において、
前記第１のシート状接着剤および前記第２のシート状接着剤は、接着成分と粉末成分とを含み、
前記第１のシート状接着剤に含まれる前記接着成分と、前記第２のシート状接着剤に含まれる前記接着成分とは、同一材料であることを特徴とする、静電チャックの製造方法。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の静電チャックの製造方法において、
前記他の部材は、セラミックスで形成されたセラミックス板であることを特徴とする、静電チャックの製造方法。
【請求項７】
第１の表面を有する板状であり、内部に冷媒流路が形成されたベース板と、第２の表面を有する板状であり、前記第２の表面が前記ベース板の前記第１の表面に対向するように配置された他の部材と、前記ベース板の前記第１の表面と前記他の部材の前記第２の表面との間に配置され、前記ベース板と前記他の部材とを接着する接着層と、を備える静電チャックの製造方法において、
前記ベース板の前記第１の表面に、第１のシート状接着剤を貼り付ける工程と、
前記他の部材の前記第２の表面に、第２のシート状接着剤を貼り付ける工程と、
前記ベース板の前記第１の表面と前記他の部材の前記第２の表面とを前記第１のシート状接着剤および前記第２のシート状接着剤を介して貼り合わせた状態で、前記第１のシート状接着剤および前記第２のシート状接着剤を硬化させることにより、前記接着層を形成する工程と、
を備え、
前記ベース板が前記他の部材より厚い場合には、前記第１のシート状接着剤は前記第２のシート状接着剤より厚く、
前記ベース板が前記他の部材より薄い場合には、前記第１のシート状接着剤は前記第２のシート状接着剤より薄いことを特徴とする、静電チャックの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書に開示される技術は、静電チャックの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造装置において、ウェハを静電引力により吸着して保持する静電チャックが用いられる。静電チャックは、例えば金属により形成されたベース板と、セラミックスにより形成されたセラミックス板と、ベース板とセラミックス板とを接着する接着層とを備える。静電チャックは、内部電極を有しており、内部電極に電圧が印加されることにより発生する静電引力を利用して、セラミックス板の表面（以下、「吸着面」という）にウェハを吸着して保持する。
【０００３】
ベース板とセラミックス板とを接着する接着層は、例えば、接着剤のペーストを半硬化させてゲル状としたシート状接着剤をベース板とセラミックス板との間に配置し、該接着剤を硬化させることにより形成される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１５８９６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
静電チャックに保持されたウェハの温度分布が不均一になると、ウェハに対する各処理（成膜、加工、露光等）の精度が低下するため、静電チャックにはウェハの温度分布を均一にする性能が求められる。例えば、ベース板の内部には冷媒流路が形成されており、冷媒流路に冷媒が流されることによりベース板が冷却され、接着層を介したベース板からセラミックス板への熱伝達によりセラミックス板が冷却され、セラミックス板の吸着面に保持されたウェハが冷却されるが、このとき静電チャックには、ウェハを均一に冷却する性能が求められる。
【０００６】
ここで、ベース板の内部に冷媒流路が形成されているため、ベース板には凹凸やうねりが生じやすい。また、セラミックス板にも凹凸やうねりが生じ得る。上記従来の接着層の形成方法では、ベース板およびセラミックス板に凹凸やうねりが存在すると、接着層がベース板やセラミックス板の表面に密着しない箇所が生じ、当該箇所においてベース板とセラミックス板との間の伝熱性が低下する場合がある。そのような場合には、伝熱性が低下した箇所においてセラミックス板の冷却が十分になされず、セラミックス板の吸着面における温度分布の均一性が低下し、ひいては、ウェハの温度分布の均一性が低下するおそれがある。
【０００７】
なお、このような課題は、ベース板とセラミックス板とが接着層により接着された構成の静電チャックに限らず、ベース板と他の部材とが接着層により接着された構成の静電チャックに共通の課題である。
【０００８】
本明細書では、上述した課題を解決することが可能な技術を開示する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本明細書に開示される技術は、例えば、以下の形態として実現することが可能である。
【００１０】
（１）本明細書に開示される静電チャックの製造方法は、第１の表面を有する板状であり、内部に冷媒流路が形成されたベース板と、第２の表面を有する板状であり、前記第２の表面が前記ベース板の前記第１の表面に対向するように配置された他の部材と、前記ベース板の前記第１の表面と前記他の部材の前記第２の表面との間に配置され、前記ベース板と前記他の部材とを接着する接着層と、を備える静電チャックの製造方法において、前記ベース板の前記第１の表面に、第１のシート状接着剤を貼り付ける工程と、前記他の部材の前記第２の表面に、第２のシート状接着剤を貼り付ける工程と、前記ベース板の前記第１の表面と前記他の部材の前記第２の表面とを前記第１のシート状接着剤および前記第２のシート状接着剤を介して貼り合わせた状態で、前記第１のシート状接着剤および前記第２のシート状接着剤を硬化させることにより、前記接着層を形成する工程と、を備える。本静電チャックの製造方法は、ベース板の第１の表面に第１のシート状接着剤を貼り付け、他の部材の第２の表面に第２のシート状接着剤を貼り付ける工程を備えるため、ベース板と他の部材との両方に凹凸やうねりが存在しても、第１のシート状接着剤によってベース板の凹凸やうねりが緩和され、かつ、第２のシート状接着剤によって他の部材の凹凸やうねりが緩和され、接着層がベース板の第１の表面や他の部材の第２の表面に密着しない箇所が生ずることが抑制され、他の部材における温度分布の均一性が低下することを抑制することができる。
【００１１】
（２）上記静電チャックの製造方法において、前記第１のシート状接着剤の厚さは、前記第２のシート状接着剤の厚さと略同一であるとしてもよい。本静電チャックの製造方法によれば、例えば、一様な厚さのシート状接着剤を、第１のシート状接着剤および第２のシート状接着剤として使用することができるため、第１のシート状接着剤および第２のシート状接着剤の製造工程を効率化することができ、ひいては、静電チャックの製造工程を効率化することができる。
【００１２】
（３）上記静電チャックの製造方法において、前記ベース板が前記他の部材より厚い場合には、前記第１のシート状接着剤は前記第２のシート状接着剤より厚く、前記ベース板が前記他の部材より薄い場合には、前記第１のシート状接着剤は前記第２のシート状接着剤より薄いとしてもよい。本静電チャックの製造方法によれば、厚さがより厚いために凹凸やうねりの程度が大きくなりやすい部材に、より厚いシート状接着剤が貼り付けられるため、シート状接着剤によって部材の比較的大きな凹凸やうねりを効果的に緩和することができる。
【００１３】
（４）上記静電チャックの製造方法において、前記第１のシート状接着剤および前記第２のシート状接着剤は、接着成分と粉末成分とを含み、前記第１のシート状接着剤における前記接着成分の含有割合である接着成分割合（％）の値と、前記第２のシート状接着剤における前記接着成分の含有割合である接着成分割合（％）の値との差の絶対値は２０（％）以下であるとしてもよい。本静電チャックの製造方法によれば、第１のシート状接着剤と第２のシート状接着剤との組成を互いに近似させることにより、第１のシート状接着剤と第２のシート状接着剤とを併用して形成された接着層において特異点が発生することを抑制し、接着層における剥がれの発生を抑制することができる。
【００１４】
（５）上記静電チャックの製造方法において、前記第１のシート状接着剤および前記第２のシート状接着剤は、接着成分と粉末成分とを含み、前記第１のシート状接着剤に含まれる前記接着成分と、前記第２のシート状接着剤に含まれる前記接着成分とは、同一材料であるとしてもよい。本静電チャックの製造方法によれば、第１のシート状接着剤と第２のシート状接着剤との組成を互いに近似させることにより、第１のシート状接着剤と第２のシート状接着剤とを併用して形成された接着層において特異点が発生することを抑制し、接着層における剥がれの発生を抑制することができる。
【００１５】
（６）上記静電チャックの製造方法において、前記他の部材は、セラミックスで形成されたセラミックス板であるとしてもよい。本静電チャックの製造方法によれば、セラミックス板における温度分布の均一性が低下することを抑制することができる。
【００１６】
なお、本明細書に開示される技術は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、静電チャックおよびその製造方法、静電チャックにおけるベース板と他の部材との接着方法等の形態で実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１実施形態における静電チャック１０の外観構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】第１実施形態における静電チャック１０のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。
【図３】第１実施形態における静電チャック１０の製造方法を示すフローチャートである。
【図４】第１実施形態における静電チャック１０の製造方法を示す概略図である。
【図５】第１実施形態における静電チャック１０の製造方法を示す概略図である。
【図６】第１実施形態における静電チャック１０の製造方法を示す概略図である。
【図７】比較例における静電チャック１０の製造方法を示す概略図である。
【図８】比較例における静電チャック１０の製造方法を示す概略図である。
【図９】第２実施形態における静電チャック１０の製造方法を示す概略図である。
【図１０】第２実施形態における静電チャック１０の製造方法を示す概略図である。
【図１１】第２実施形態における静電チャック１０の製造方法を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
Ａ．第１実施形態：
Ａ−１．静電チャック１０の構成：
図１は、第１実施形態における静電チャック１０の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図２は、第１実施形態における静電チャック１０のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するＸＹＺ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Ｚ軸正方向を上方向といい、Ｚ軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック１０は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。図３以降についても同様である。
【００１９】
静電チャック１０は、対象物（例えばウェハＷ）を静電引力により吸着して保持する装置であり、例えば半導体製造装置の真空チャンバー内でウェハＷを固定するために使用される。図１および図２に示すように、静電チャック１０は、所定の配列方向（本実施形態では上下方向（Ｚ軸方向））に並べて配置されたセラミックス板１００およびベース板２００を備える。セラミックス板１００とベース板２００とは、セラミックス板１００の下面（以下、「セラミックス側接着面Ｓ２」という）とベース板２００の上面（以下、「ベース側接着面Ｓ１」という）とが上記配列方向に対向するように配置されている。静電チャック１０は、さらに、セラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２とベース板２００のベース側接着面Ｓ１との間に配置された接着層３００を備える。なお、ベース板２００のベース側接着面Ｓ１は、特許請求の範囲における第１の表面に相当し、セラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２は、特許請求の範囲における第２の表面に相当する。
【００２０】
セラミックス板１００は、例えば円形の平板形状部材であり、セラミックス（例えば、アルミナや窒化アルミニウム等）により形成されている。セラミックス板１００の内部には、導電性材料（例えば、タングステンやモリブデン等）により形成された一対の内部電極４００と、導電性材料（例えば、タングステンやモリブデン等）により形成された抵抗発熱体で構成されたヒータ５００とが設けられている。一対の内部電極４００に電源（図示せず）から電圧が印加されると、静電引力が発生し、この静電引力によってウェハＷがセラミックス板１００の上面（以下、「吸着面Ｓｓ」という）に吸着固定される。また、ヒータ５００に電源（図示せず）から電圧が印加されると、ヒータ５００が発熱することによってセラミックス板１００が温められ、セラミックス板１００の吸着面Ｓｓに保持されたウェハＷが温められる。セラミックス板１００は、特許請求の範囲における他の部材に相当する。
【００２１】
ベース板２００は、例えばセラミックス板１００より径が大きい円形の平板形状部材であり、金属（例えば、アルミニウムやアルミニウム合金等）により形成されている。ベース板２００の内部には冷媒流路２１０が形成されており、冷媒流路２１０に冷媒（例えば、フッ素化液や水等）が流されることによってベース板２００が冷却され、接着層３００を介したベース板２００からセラミックス板１００への熱伝達によりセラミックス板１００が冷却され、セラミックス板１００の吸着面Ｓｓに保持されたウェハＷが冷却される。なお、本実施形態では、ベース板２００の上下方向における厚さＴａは、セラミックス板１００の上下方向における厚さＴｂより厚い。
【００２２】
接着層３００は、例えばシリコーン系樹脂やアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等の接着剤により形成されており、セラミックス板１００とベース板２００とを接着する。
【００２３】
Ａ−２．静電チャック１０の製造方法：
次に、第１実施形態における静電チャック１０の製造方法を説明する。図３は、第１実施形態における静電チャック１０の製造方法を示すフローチャートである。また、図４から図６は、第１実施形態における静電チャック１０の製造方法を示す概略図である。
【００２４】
はじめに、図４に示すように、セラミックス板１００とベース板２００とを準備する（Ｓ１１０）。なお、セラミックス板１００およびベース板２００は、公知の製造方法によって製造可能であるため、ここでは製造方法の説明を省略する。図４に示す例では、ベース板２００のベース側接着面Ｓ１に１つの凹部Ｐｃ１が存在しており、セラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２に１つの凹部Ｐｃ２が存在している。
【００２５】
次に、図５に示すように、ベース板２００のベース側接着面Ｓ１に第１のシート状接着剤Ａｓ１を貼り付け、セラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２に第２のシート状接着剤Ａｓ２を貼り付ける（Ｓ１３０）。ここで、第１のシート状接着剤Ａｓ１および第２のシート状接着剤Ａｓ２（以下、まとめて「シート状接着剤Ａｓ」という）は、接着成分（例えばシリコーン系樹脂やアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等）と粉末成分（例えばアルミナやシリカ、炭化ケイ素、窒化ケイ素等）とを混合して作製したペーストを、例えば離型シート上に膜状に塗布した後、硬化処理によって半硬化させてゲル状としたものである。ペーストは、カップリング剤等の添加剤を含んでいてもよい。シート状接着剤Ａｓは、粘度が比較的高いため、ある程度の厚さを確保したり厚さを均一にしたりすることが容易である。なお、硬化処理の内容は、使用する接着剤の種類に応じて異なり、熱硬化型の接着剤であれば硬化処理として熱を付与する処理が行われ、水分硬化型の接着剤であれば硬化処理として水分を付与する処理が行われる。
【００２６】
ベース板２００のベース側接着面Ｓ１に第１のシート状接着剤Ａｓ１を貼り付けることにより、第１のシート状接着剤Ａｓ１がベース側接着面Ｓ１になじんで、ベース側接着面Ｓ１における凹凸やうねりが緩和される。同様に、セラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２に第２のシート状接着剤Ａｓ２を貼り付けることにより、第２のシート状接着剤Ａｓ２がセラミックス側接着面Ｓ２になじんで、セラミックス側接着面Ｓ２における凹凸やうねりが緩和される。なお、接着剤が部材表面の凹凸やうねりを緩和するとは、部材表面に凹凸やうねりがあっても、接着剤が部材表面に一様に接すると共に、接着剤における部材表面に対向する表面とは反対側の表面が部材表面より平坦に近くなることを意味する。図５に示すように、第１のシート状接着剤Ａｓ１におけるベース側接着面Ｓ１に対向する表面とは反対側の表面は略平坦形状になっており、第２のシート状接着剤Ａｓ２におけるセラミックス側接着面Ｓ２に対向する表面とは反対側の表面も略平坦形状になっている。
【００２７】
なお、本実施形態では、第１のシート状接着剤Ａｓ１の厚さＴ１と、第２のシート状接着剤Ａｓ２の厚さＴ２とは、略同一である。ここで、厚さＴ１と厚さＴ２とが略同一とは、０．９×Ｔ２≦Ｔ１≦１．１×Ｔ２という関係が成立することを意味する。また、Ｓ１３０において、第１のシート状接着剤Ａｓ１の貼り付けと第２のシート状接着剤Ａｓ２の貼り付けとが同時に実行されてもよいし、一方の貼り付けが実行された後に他方の貼り付けが実行されてもよい。
【００２８】
次に、図６に示すように、ベース板２００のベース側接着面Ｓ１とセラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２とを第１のシート状接着剤Ａｓ１および第２のシート状接着剤Ａｓ２を介して貼り合わせた状態で、第１のシート状接着剤Ａｓ１および第２のシート状接着剤Ａｓ２を硬化させる硬化処理を行うことにより、接着層３００を形成する（Ｓ１５０）。これにより、静電チャック１０の製造が完了する。なお、上述したように、硬化処理としては、使用する接着剤の種類に応じた処理（熱を付与する処理や水分を付与する処理）が行われる。また、Ｓ１５０の工程のうち少なくともベース板２００とセラミックス板１００とを貼り合わせる作業は、真空状態の密閉容器内にセラミックス板１００およびベース板２００を収容した状態で実行されると、接着層３００内に気泡が生じにくいという点で好ましい。
【００２９】
Ａ−３．第１実施形態の効果：
第１実施形態における静電チャック１０の製造方法によれば、以下の効果を奏する。図７および図８は、比較例における静電チャック１０の製造方法を示す概略図である。ベース板２００は、その内部に冷媒流路２１０（図２）が形成されており、金属製で、厚さも比較的厚いため、凹凸やうねりが生じやすい。また、セラミックス板１００にも凹凸やうねりが生じ得る。ベース板２００およびセラミックス板１００の両方に凹凸やうねりが存在する場合に、図７に示す比較例のように、ベース板２００とセラミックス板１００との一方のみ（図７の例ではベース板２００のみ）にシート状接着剤Ａｓを貼り付け、図８に示すようにシート状接着剤Ａｓを硬化させて接着層３００を形成すると、製造された静電チャック１０において、シート状接着剤Ａｓが貼り付けられた方の部材（ベース板２００）の凹凸やうねりは緩和されるものの、他方の部材（セラミックス板１００）の凹凸やうねりは効果的に緩和されず、接着層３００が他方の部材（セラミックス板１００）の表面（セラミックス側接着面Ｓ２）に密着しない箇所が生じ、当該箇所において伝熱性が低下する場合がある。このような場合には、ベース板２００の冷媒流路２１０に冷媒を流してベース板２００を冷却し、これによってセラミックス板１００を冷却する際に、伝熱性が低下した箇所においてセラミックス板１００の冷却が十分になされず、セラミックス板１００における温度分布の均一性が低下し、ひいては、吸着面Ｓｓに保持されたウェハＷの温度分布の均一性が低下するおそれがある。本実施形態の静電チャック１０の製造方法は、ベース板２００のベース側接着面Ｓ１に第１のシート状接着剤Ａｓ１を貼り付け、セラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２に第２のシート状接着剤Ａｓ２を貼り付ける工程を備えるため、ベース板２００とセラミックス板１００との両方に凹凸やうねりが存在しても、第１のシート状接着剤Ａｓ１によってベース板２００の凹凸やうねりが緩和され、かつ、第２のシート状接着剤Ａｓ２によってセラミックス板１００の凹凸やうねりが緩和され、接着層３００がベース板２００のベース側接着面Ｓ１やセラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２に密着しない箇所が生ずることが抑制され、セラミックス板１００における温度分布の均一性が低下することを抑制することができる。
【００３０】
また、本実施形態の静電チャック１０の製造方法では、第１のシート状接着剤Ａｓ１の厚さＴ１と、第２のシート状接着剤Ａｓ２の厚さＴ２とは、略同一である。そのため、本実施形態では、例えば、一様な厚さのシート状接着剤Ａｓを、第１のシート状接着剤Ａｓ１および第２のシート状接着剤Ａｓ２として使用することができるため、第１のシート状接着剤Ａｓ１および第２のシート状接着剤Ａｓ２の製造工程を効率化することができ、ひいては、静電チャック１０の製造工程を効率化することができる。
【００３１】
なお、上述したように、本実施形態において使用される第１のシート状接着剤Ａｓ１および第２のシート状接着剤Ａｓ２は、接着成分と粉末成分とを含むが、第１のシート状接着剤Ａｓ１における接着成分の含有割合（重量割合）である接着成分割合（％）の値と、第２のシート状接着剤Ａｓ２における接着成分の含有割合（重量割合）である接着成分割合（％）の値との差の絶対値が２０（％）以下であることが好ましい。このようにすれば、第１のシート状接着剤Ａｓ１と第２のシート状接着剤Ａｓ２との組成を互いに近似させることができ、第１のシート状接着剤Ａｓ１と第２のシート状接着剤Ａｓ２とを併用して形成された接着層３００において特異点が発生することを抑制し、接着層３００における剥がれの発生を抑制することができる。
【００３２】
また、第１のシート状接着剤Ａｓ１に含まれる接着成分と、第２のシート状接着剤Ａｓ２に含まれる接着成分とは、同一材料（例えばシリコーン系樹脂）であることが好ましい。このようにしても、第１のシート状接着剤Ａｓ１と第２のシート状接着剤Ａｓ２との組成を互いに近似させることができ、第１のシート状接着剤Ａｓ１と第２のシート状接着剤Ａｓ２とを併用して形成された接着層３００において特異点が発生することを抑制し、接着層３００における剥がれの発生を抑制することができる。
【００３３】
Ｂ．第２実施形態：
図９から図１１は、第２実施形態における静電チャック１０の製造方法を示す概略図である。以下では、第２実施形態における静電チャック１０の製造方法の内、上述した第１実施形態における静電チャック１０の製造方法と同一内容については、その説明を適宜省略する。
【００３４】
図９に示すように、第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、セラミックス板１００とベース板２００とを準備する（図３のＳ１１０）。図９に示す例では、ベース板２００のベース側接着面Ｓ１に１つの凹部Ｐｃ１が存在しており、セラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２に１つの凹部Ｐｃ２が存在している。ここで、一般に、部材の厚さが厚いほど、部材に生ずる凹凸やうねりの程度が大きくなる傾向にある。そのため、図９に示す例では、ベース板２００のベース側接着面Ｓ１の凹部Ｐｃ１の深さは、セラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２の凹部Ｐｃ２の深さより深い。
【００３５】
次に、図１０に示すように、ベース板２００のベース側接着面Ｓ１に第１のシート状接着剤Ａｓ１を貼り付け、セラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２に第２のシート状接着剤Ａｓ２を貼り付ける（図３のＳ１３０）。このとき、第２実施形態では、第１のシート状接着剤Ａｓ１の厚さＴ１は、第２のシート状接着剤Ａｓ２の厚さＴ２より厚い。
【００３６】
次に、図１１に示すように、ベース板２００のベース側接着面Ｓ１とセラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２とを第１のシート状接着剤Ａｓ１および第２のシート状接着剤Ａｓ２を介して貼り合わせた状態で、第１のシート状接着剤Ａｓ１および第２のシート状接着剤Ａｓ２を硬化させる硬化処理を行うことにより、接着層３００を形成する（図３のＳ１５０）。これにより、静電チャック１０の製造が完了する。
【００３７】
第２実施形態における静電チャック１０の製造方法によれば、第１実施形態における静電チャック１０の製造方法と同様に、ベース板２００とセラミックス板１００との両方に凹凸やうねりが存在しても、第１のシート状接着剤Ａｓ１によってベース板２００の凹凸やうねりが緩和され、かつ、第２のシート状接着剤Ａｓ２によってセラミックス板１００の凹凸やうねりが緩和され、接着層３００がベース板２００のベース側接着面Ｓ１やセラミックス板１００のセラミックス側接着面Ｓ２に密着しない箇所が生ずることが抑制され、セラミックス板１００における温度分布の均一性が低下することを抑制することができる。
【００３８】
また、一般に、部材の厚さが厚いほど、部材に生ずる凹凸やうねりの程度が大きくなる傾向にあるため、セラミックス板１００より厚いベース板２００に生ずる凹凸やうねりの程度は大きくなりやすい。第２実施形態では、ベース板２００に貼り付けられる第１のシート状接着剤Ａｓ１の厚さＴ１が、セラミックス板１００に貼り付けられる第２のシート状接着剤Ａｓ２の厚さＴ２より厚いため、第１のシート状接着剤Ａｓ１によってベース板２００の比較的大きな凹凸やうねりを効果的に緩和することができ、セラミックス板１００における温度分布の均一性が低下することを効果的に抑制することができる。
【００３９】
Ｃ．変形例：
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
【００４０】
上記各実施形態では、ベース板２００の上下方向における厚さＴａはセラミックス板１００の上下方向における厚さＴｂより厚いとしているが、反対に、セラミックス板１００の厚さＴｂはベース板２００の厚さＴａより厚いとしてもよい。この場合には、上記第２実施形態において、セラミックス板１００に貼り付けられる第２のシート状接着剤Ａｓ２の厚さＴ２をベース板２００に貼り付けられる第１のシート状接着剤Ａｓ１の厚さＴ１より厚くすれば、第２のシート状接着剤Ａｓ２によってセラミックス板１００の比較的大きな凹凸やうねりを効果的に緩和することができ、セラミックス板１００における温度分布の均一性が低下することを効果的に抑制することができる。
【００４１】
また、上記各実施形態では、ベース板２００とセラミックス板１００とが接着層３００により接着される構成の静電チャック１０の製造方法について説明したが、本発明は、ベース板２００と他の部材とが接着層により接着される構成の静電チャック１０の製造方法についても適用可能である。例えば、ベース板２００とセラミックス板１００との間にポリイミドにより形成されたヒータ層が配置され、ベース板２００とヒータ層とが接着層により接着された構成の静電チャック１０の製造方法にも本発明を同様に適用することができる。この場合にも、第１のシート状接着剤Ａｓ１の厚さＴ１と第２のシート状接着剤Ａｓ２の厚さＴ２とを略同一とすれば、第１のシート状接着剤Ａｓ１および第２のシート状接着剤Ａｓ２の製造工程を効率化することができ、ひいては、静電チャック１０の製造工程を効率化することができる。あるいは、この場合にも、ベース板２００が他の部材より厚い場合に、第１のシート状接着剤Ａｓ１の厚さＴ１を第２のシート状接着剤Ａｓ２の厚さＴ２より厚くし、ベース板２００が他の部材より薄い場合に、第１のシート状接着剤Ａｓ１の厚さＴ１を第２のシート状接着剤Ａｓ２の厚さＴ２より薄くする（すなわち、第２のシート状接着剤Ａｓ２の厚さＴ２を第１のシート状接着剤Ａｓ１の厚さＴ１より厚くする）と、セラミックス板１００または他の部材の比較的大きな凹凸やうねりを効果的に緩和することができ、セラミックス板１００または他の部材における温度分布の均一性が低下することを効果的に抑制することができる。
【００４２】
また、上記各実施形態の静電チャック１０では、セラミックス板１００の内部に一対の内部電極４００が設けられた双極方式が採用されているが、セラミックス板１００の内部に１つの内部電極４００が設けられた単極方式が採用されてもよい。また、内部電極４００は、セラミックス板１００の内部ではなく、セラミックス板１００と接着層３００との間に配置されているとしてもよい。
【００４３】
また、上記各実施形態における各部材を形成する材料は、あくまで例示であり、各部材が他の材料により形成されてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１０：静電チャック  １００：セラミックス板  ２００：ベース板  ２１０：冷媒流路  ３００：接着層  ４００：内部電極  ５００：ヒータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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