(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック基板の製造方法であって、
第１セラミックスラリーをシート状に塗布して、第１グリーンシートを成形するグリーンシート成形工程と、
未乾燥の前記第１グリーンシートの上に、第２セラミックスラリーをシート状に塗布して、第２グリーンシートを成形し、前記第１グリーンシートと前記第２グリーンシートとが積層されたグリーンシート積層体を形成する積層体形成工程と、
前記グリーンシート積層体を、前記グリーンシート積層体が乾燥した状態にならない条件で加熱する加熱工程と、
を備え、
前記グリーンシート成形工程と前記積層体形成工程は、メインローラーの側面に巻きかかった状態で搬送されていく搬送ベルトの表面に前記第１グリーンシートと前記第２グリーンシートを順に形成するグリーンシート成形部を備えるグリーンシート積層体製造装置を用いて実行され、
前記グリーンシート成形工程は、前記グリーンシート成形部が備える第１塗工ヘッドによって、前記第１セラミックスラリーを前記搬送ベルトの前記メインローラー上に位置する表面に塗布する工程を含み、
前記積層体形成工程は、前記搬送ベルトが搬送されていく方向において前記第１塗工ヘッドよりも下流側に設けられている第２塗工ヘッドによって、前記第２セラミックスラリーを前記メインローラー上に位置する未乾燥の前記第１グリーンシート上に塗布する工程を含む、製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の製造方法であって、
前記加熱工程は、第１加熱温度で加熱する第１加熱工程であり、さらに、
前記第１加熱工程の後、前記第１加熱温度よりも高い第２加熱温度で、前記グリーンシート積層体を加熱する第２加熱工程を備える、製造方法。
【請求項３】
請求項２記載の製造方法であって、
前記第１加熱温度は、１００℃以下の温度であり、
前記第２加熱温度は、２５０℃以下の温度である、製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の製造方法であって、
前記第１セラミックスラリーは、熱溶融したときに接着性を発現する接着剤を含む、製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の製造方法であって、
前記第１セラミックスラリーの粘度は、前記第２セラミックスラリーの粘度よりも低い、製造方法。
【請求項６】
請求項４記載の製造方法であって、さらに、
前記グリーンシート積層体に未焼成の導体材料を配置する導体材料配置工程と、
前記導体材料が配置された複数の前記グリーンシート積層体を積層して熱圧着し、未焼成のセラミック積層体を形成する未焼成セラミック積層体形成工程と、
前記未焼成のセラミック積層体を焼成する焼成工程と、
を備える、製造方法。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の製造方法であって、
前記加熱工程は、前記グリーンシート積層体を、前記乾燥した状態にならない条件で加熱し、前記グリーンシート積層体を乾燥させないまま加熱を終了する工程を含む、製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミック基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック基板には、複数のセラミックグリーンシート（以下、単に「グリーンシート」とも呼ぶ。）が積層されたグリーンシート積層体によってセラミック層が構成されるものがある。グリーンシート積層体の製造方法としては、第１塗工ヘッドによって第１層を形成し、続けて、その上に、第２塗工ヘッドによって第２層を形成する方法が知られている（例えば、下記特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４４７１５７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
グリーンシート積層体を用いたセラミック基板の製造工程では、熱負荷に対するグリーンシート間の変形量の差に起因するグリーンシート積層体の歪み変形によって、完成品であるセラミック基板に、製造誤差や、変形・劣化などが生じてしまう場合がある。特許文献１の技術では、グリーンシート積層体の歪み変形を抑制するために、各層のグリーンシートを構成するセラミックスラリーの引っ張り伸度や粘度、厚みを調整している。しかしながら、特許文献１の技術では、各セラミックスラリーにおける構成成分の選択の自由度や、各グリーンシートの厚みの設計自由度が制限されてしまう可能性がある。このように、セラミック基板の製造工程において、グリーンシート積層体の歪み変形を抑制する技術については、依然として改良の余地がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、少なくとも上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。本発明の一形態は、例えば、セラミック基板の製造方法であって、第１セラミックスラリーをシート状に塗布して、第１グリーンシートを成形するグリーンシート成形工程と、未乾燥の前記第１グリーンシートの上に、第２セラミックスラリーをシート状に塗布して、第２グリーンシートを成形し、前記第１グリーンシートと前記第２グリーンシートとが積層されたグリーンシート積層体を形成する積層体形成工程と、前記グリーンシート積層体を、前記グリーンシート積層体が乾燥した状態にならない条件で加熱する加熱工程と、を備え、前記グリーンシート成形工程と前記積層体形成工程は、メインローラーの側面に巻きかかった状態で搬送されていく搬送ベルトの表面に前記第１グリーンシートと前記第２グリーンシートを順に形成するグリーンシート成形部を備えるグリーンシート積層体製造装置を用いて実行され、前記グリーンシート成形工程は、前記グリーンシート成形部が備える第１塗工ヘッドによって、前記第１セラミックスラリーを前記搬送ベルトの前記メインローラー上に位置する表面に塗布する工程を含み、前記積層体形成工程は、前記搬送ベルトが搬送されていく方向において前記第１塗工ヘッドよりも下流側に設けられている第２塗工ヘッドによって、前記第２セラミックスラリーを前記メインローラー上に位置する未乾燥の前記第１グリーンシート上に塗布する工程を含む、製造方法として提供される。
【０００６】
［１］本発明の一形態によれば、セラミック基板の製造方法が提供される。この製造方法は、グリーンシート成形工程と、積層体形成工程と、加熱工程とを備えてよい。前記グリーンシート成形工程は、第１セラミックスラリーをシート状に塗布して、第１グリーンシートを成形する工程であってよい。前記積層体形成工程は、未乾燥の前記第１グリーンシートの上に、第２セラミックスラリーをシート状に塗布して、第２グリーンシートを成形し、前記第１グリーンシートと前記第２グリーンシートとが積層されたグリーンシート積層体を形成する工程であってよい。前記加熱工程は、前記グリーンシート積層体を、前記グリーンシート積層体が乾燥した状態にならない条件で加熱する工程であってよい。この形態の製造方法によれば、グリーンシート積層体における熱負荷に対するグリーンシート間の変形量の差に起因する歪み変形が抑制される。従って、セラミック基板における製造誤差や変形・劣化の発生が抑制される。
【０００７】
［２］上記形態の製造方法において、前記加熱工程は、第１加熱温度で、所定の時間、加熱する第１加熱工程であり、さらに、前記第１加熱工程の後に、前記第１加熱温度よりも高い第２加熱温度で加熱して、前記グリーンシート積層体を乾燥させる第２加熱工程を備えてよい。この形態の製造方法によれば、第１加熱工程と第２加熱工程とを有することによって、グリーンシート積層体が、後の工程において、熱負荷による歪み変形を生じてしてしまうことが抑制される。
【０００８】
［３］上記形態の製造方法において、前記第１加熱温度は、１００℃以下の温度であり、前記第２加熱温度は、２５０℃以下の温度であってよい。この形態の製造方法によれば、グリーンシート積層体が、後の工程において、熱負荷による歪み変形を生じてしてしまうことが、さらに抑制される。
【０００９】
［４］上記形態の製造方法において、前記第１セラミックスラリーは、熱溶融したときに接着性を発現する接着剤を含んでよい。この形態の製造方法によれば、熱負荷による歪み変形の発生が抑制されている接着層付きのグリーンシートを得ることができる。
【００１０】
［５］上記形態の製造方法において、前記第１セラミックスラリーの粘度は、前記第２セラミックスラリーの粘度よりも低くてよい。この形態の製造方法によれば、第２グリーンシートの形成前に第１グリーンシートにおける溶剤成分の揮発が促進されるため、第１グリーンシートと第２グリーンシートとの境界において両者の成分が混ざり合ってしまうことが抑制される。従って、グリーンシート積層体に歪み変形が生じてしてしまうことがさらに抑制される。
【００１１】
［６］上記形態の製造方法において、さらに、前記グリーンシート積層体に未焼成の導体材料を配置する導体材料配置工程と、前記導体材料が配置された複数の前記グリーンシート積層体を積層して熱圧着し、未焼成のセラミック積層体を形成する未焼成セラミック積層体形成工程と、前記未焼成のセラミック積層体を焼成する焼成工程と、を備えてよい。この製造方法によれば、加熱によるグリーンシート積層体の歪み変形が抑制されるため、セラミック基板における製造誤差や変形・劣化の発生が抑制される。
【００１２】
上述した本発明の各形態の有する複数の構成要素はすべてが必須のものではなく、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、適宜、前記複数の構成要素の一部の構成要素について、その変更、削除、新たな他の構成要素との差し替え、限定内容の一部削除を行うことが可能である。また、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、上述した本発明の一形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部を上述した本発明の他の形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部と組み合わせて、本発明の独立した一形態とすることも可能である。
【００１３】
本発明は、セラミック基板の製造方法以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、セラミック基板や、グリーンシート積層体、グリーンシート積層体の製造方法等の形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】セラミック基板の製造工程を示す工程フロー図。
【図２】グリーンシート積層体製造装置の構成例を示す概略図。
【図３】セラミック基板の製造工程の内容を模式的に示す概略図。
【図４】実験例において作製した比較例のサンプルの製造工程を説明するための概略図。
【図５】実験例において測定されたサンプルの変形量を表すパラメーターを説明するための概略図。
【図６】実験例において得られたグラフを示す説明図。
【図７】実験例において得られたグラフを示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
A．実施形態：
図１は、本発明の一実施形態としてのセラミック基板の製造工程を示す工程フロー図である。本実施形態では、片面に接着層を有する接着層付きのグリーンシートを作製し、それを用いて多層構造のセラミック基板が作製される。工程１〜４では、接着層付きのグリーンシートとして、接着成分を含むグリーンシートと通常のグリーンシートとが積層されたグリーンシート積層体が作製される。以下では、工程１〜４の工程の内容の概要を説明した後に、工程１〜４を実行可能なグリーンシート積層体製造装置の一例を説明する。
【００１６】
工程１では、第１セラミックスラリーがシート状に塗布されて、第１グリーンシートが成形される。第１セラミックスラリーは、例えば、主成分としてのアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）粉末と、液状の接着剤と、加熱によって溶融する有機化合物と、溶剤と、を混合することによって作製される。液状の接着剤としては、ブラチール系樹脂と可塑剤とを主成分とするものが望ましい。有機化合物としては、高級アルコール（例えば、ステリアルアルコール）を用いることができる。溶剤としては、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）やトルエンを用いることができる。第１セラミックスラリーは、以下に説明する第２セラミックスラリーよりも溶剤の含有量を低減させて粘度を低下させてある。この理由については後述する。第１グリーンシートは、以下に説明する第２グリーンシートよりも薄く形成されることが望ましく、例えば、１０μ以上、かつ、５０μｍ以下の厚みで形成される。本実施形態の工程１が、本発明におけるグリーンシート成形工程の下位概念に相当する。
【００１７】
工程２では、未乾燥の第１グリーンシートの上に、第２セラミックスラリーをシート状に塗布して、第２グリーンシートが成形され、未乾燥のグリーンシート積層体が形成される。第２セラミックスラリーは、例えば、主成分としてのアルミナ粉末と、ブラチール系樹脂（例えば、ポリビニルブラチール系樹脂）と、第１セラミックスラリーと同様な溶剤と、可塑剤と、を混合することによって作製される。第２グリーンシートは、例えば、１５μｍ以上の厚さで形成される。本実施形態の工程２が、本発明における積層体形成工程の下位概念に相当する。
【００１８】
工程３では、未乾燥のグリーンシート積層体を加熱する第１加熱処理が実行される。第１加熱処理では、グリーンシート積層体が過剰に乾燥した状態になってしまわない程度の温度や時間で加熱されることが望ましい。第１加熱処理では、グリーンシート積層体の乾燥が抑制されるように湿度が調整された環境下で加熱されてもよい。第１加熱処理では、グリーンシート積層体が、例えば、５０℃以上、かつ、１００℃以下の温度で、数分以上、加熱される。以下では、第１加熱処理における加熱温度を「第１加熱温度」とも呼ぶ。本実施形態の工程３が、本発明における加熱工程の下位概念に相当する。
【００１９】
工程４では、グリーンシート積層体に対する加熱をいったん終了させた後、グリーンシート積層体を、再び加熱する第２加熱処理が実行される。第２加熱処理では、グリーンシート積層体が乾燥するように加熱される。工程４では、第１グリーンシートの常温での接着性がほとんどなくなる程度に加熱されることが望ましい。第２加熱処理では、グリーンシート積層体は、例えば、１００℃より高く、２５０℃以下の温度で、数分〜数時間以上、加熱されることが望ましい。以下では、第２加熱処理における加熱温度を「第２加熱温度」とも呼ぶ。工程４を経て、第１グリーンシートが有する接着性能が一時的にほとんど消失した状態になればグリーンシート積層体のその後の取り回しが容易になる。
【００２０】
図２は、上述の工程１〜工程４を実行するグリーンシート積層体製造装置１０の構成例を示す概略図である。グリーンシート積層体製造装置１０では、ロール状に巻き取られた帯状のグリーンシート積層体が作製される。グリーンシート積層体製造装置１０は、搬送部２０と、グリーンシート成形部３０と、第１加熱部４１と、第１巻取部４２と、第２加熱部４３と、第２巻取部４５と、を備える。
【００２１】
搬送部２０は、メインローラー２２と、複数の補助ローラー２３と、搬送ベルト２４と、を備える。搬送部２０は、搬送ベルト２４を、複数の補助ローラー２３によって支持させつつ、メインローラー２２の側面に巻き掛かった状態で、所定の搬送速度で搬送する。搬送ベルト２４は、グリーンシート成形部３０と、第１加熱部４１を経て、第１巻取部４２へと搬送されていく。以下では、搬送ベルト２４が搬送されていく方向を単に「搬送方向」と呼ぶ。
【００２２】
グリーンシート成形部３０は、第１塗工ヘッド部３１と、第１セラミックスラリー供給部３２と、第２塗工ヘッド部３５と、第２セラミックスラリー供給部３６と、を備える。グリーンシート成形部３０は、メインローラー２２の側面に巻き掛かって搬送されていく搬送ベルト２４の表面に、第１グリーンシート５１と第２グリーンシート５２と順に形成し、グリーンシート積層体５３を形成する。
【００２３】
第１塗工ヘッド部３１は、吐出口がメインローラー２２の側面に向かって開口するように配置されている。第１塗工ヘッド部３１は、第１セラミックスラリー供給部３２から供給される第１セラミックスラリーを、搬送ベルト２４の表面に塗布し、接着層として機能する第１グリーンシート５１を形成する。第１塗工ヘッド部３１としては、スラリーの吐出圧力の制御が容易であり、厚みの小さい第１グリーンシート５１の成形に適しているタイプのものが用いられることが望ましい。
【００２４】
第２塗工ヘッド部３５は、第１塗工ヘッド部３１よりも搬送方向における下流側に設けられており、第１塗工ヘッド部３１と同様に、吐出口がメインローラー２２の側面に向かって開口するように配置されている。第２塗工ヘッド部３５は、第２セラミックスラリー供給部３２から供給される第２セラミックスラリーを、未乾燥の第１グリーンシート５１の上に塗布し、第２グリーンシート５２を形成する。
【００２５】
第１加熱部４１は、搬送方向においてグリーンシート成形部３０の下流側に設けられており、搬送ベルト２４によって搬送されていく未乾燥のグリーンシート積層体５３に対して、上述した第１加熱処理を実行する。第１加熱部４１は、第１加熱温度に相当する温度を有する熱源体を備えており、グリーンシート積層体５３は、当該熱源体によって直接的または間接的に加熱される。
【００２６】
第１加熱部４１において加熱されたグリーンシート積層体５３は、第１巻取部４２へと搬送される。第１巻取部４２は、回転リール（図示は省略）を備えている。グリーンシート積層体５３は、未乾燥の状態のまま、第１巻取部４２において回転リールに巻き取られる。第１巻取部４２において巻き取られたグリーンシート積層体５３は、回転リールから再び繰り出されて、再び搬送ベルト（図示は省略）によって第２加熱部４３へと搬送される。
【００２７】
第２加熱部４３は、搬送ベルトによって搬送されていく未乾燥のグリーンシート積層体５３に対して、上述した第２加熱処理を実行する。第２加熱部４３は、第２加熱温度に相当する温度を有する熱源体を備えており、グリーンシート積層体５３は、当該熱源体によって直接的または間接的に加熱されて、乾燥される。
【００２８】
第２巻取部４５は、回転リール（図示は省略）を備えている。第２巻取部４５は、第２加熱部４３を通過して、第１グリーンシート５１の接着性能が低下しているグリーンシート積層体５３を、搬送ベルトから剥離させて、当該回転リールに巻き取る。このように、グリーンシート積層体製造装置１０によれば、帯状のグリーンシート積層体５３を流れ工程によって効率的に製造することができる。この後のセラミック基板の製造工程における工程５〜７（図１）では、必要なサイズのグリーンシート積層体５３が切り出されて用いられる。
【００２９】
このように、本実施形態では、グリーンシート積層体５３に対して、第２加熱処理の前に、第１加熱処理が施されている。後述する実験例において示すように、そのような加熱工程を経たグリーンシート積層体５３であれば、後の工程において熱負荷が付与された場合であっても、各層間の変形量の差に起因して歪み変形が生じてしまうことが抑制される。これは、第１加熱処理によって、グリーンシートの成形時や搬送時に各層に生じてしまう内部応力が低減されるためであると推察される。
【００３０】
また、本実施形態では、上述したように、溶剤の含有量を調整することによって、第１セラミックスラリーの粘度を第２セラミックスラリーより低下させてある。これによって、第１グリーンシート５１の上に第２グリーンシート５２が成形される前に、第１グリーンシート５１の表面における溶剤成分の揮発が促進され、第１グリーンシート５１の成分と第２グリーンシート５２の成分とが混ざり合ってしまうことが抑制される。これによって、後の工程における熱負荷によるグリーンシート積層体５３の歪み変形が、さらに抑制される。
【００３１】
図３は、セラミック基板の製造工程（図１）における工程５〜７の内容を模式的に示す概略図である。工程５では、グリーンシート積層体５３に導体ペーストが配置される（図３の（ａ）欄）。導体ペーストとしては、例えば、タングステン（Ｗ）やモリブデン（Ｍｏ）を主成分とするものを用いることができる。工程５では、まず、グリーンシート積層体５３に貫通孔（ビア）が形成され、当該貫通孔内に導体ペーストが充填されることによって未焼成のビア電極５４が形成される。次に、グリーンシート積層体５３の表面にスクリーン印刷などによって、導体ペーストが塗布され、未焼成の電極パッドや配線パターンなどを含む未焼成の配線層５５が形成される。導体ペーストが配置された後に、グリーンシート積層体５３は、乾燥のために加熱される。本実施形態のグリーンシート積層体５３であれば、このときの熱負荷によって歪み変形が生じてしまうことが抑制される。
【００３２】
工程６では、導体ペーストが配置されたグリーンシート積層体５３が複数枚積層されて熱圧着されることにより、未焼成積層体５６が作製される（図３の（ｂ）欄）。工程６の熱圧着工程では、各グリーンシート積層体５３は、ヒーターブロックなどによって、第１グリーンシート５１に含まれる有機化合物の溶融温度よりも高い温度で加熱される。これによって、第１グリーンシート５１に含まれる有機化合物が溶融し、同じく第１グリーンシート５１に含まれる接着剤の接着性が発現するため、未焼成積層体５６を構成している各グリーンシート積層体５３同士が接着される。本実施形態のグリーンシート積層体５３であれば、このときの熱負荷によって歪み変形が生じてしまうことも抑制される。
【００３３】
工程７では、未焼成積層体５６を、各グリーンシート５１，５２の主成分材料を焼結させることができる温度（例えば、１８００℃以下）で加熱して焼成することによって、セラミック基板６０が生成される（図３の（ｃ）欄）。この工程では、第２グリーンシート５２中の接着剤が脱脂されて焼失され、第１グリーンシート５１と第２グリーンシート５２とが一体化し、セラミック層６３が生成される。また、導体ペーストの焼結によって、ビア電極６４および配線層６５が生成される。
【００３４】
以上のように、本実施形態の製造工程によれば、グリーンシート積層体５３に第１加熱処理が施されているため、工程中の熱負荷によるグリーンシート積層体５３の変形が抑制され、セラミック基板６０における製造誤差や変形・劣化の発生が抑制される。その他にも、上記実施形態中で説明した種々の作用効果を奏することができる。
【００３５】
［実験例］
図４〜図７を順に参照して、本実施形態の製造工程によって作製されたグリーンシート積層体における歪み変形の抑制効果を示す実験結果を説明する。本実験例では、実施例および比較例としてのグリーンシート積層体のサンプルＳａ，Ｓｂのそれぞれに熱負荷を与え、加熱時間に対する変形量の変化を検証した。実施例のサンプルＳａは、図２で説明したグリーンシート積層体製造装置１０を用いて作製された帯状のグリーンシート積層体５３から所定のサイズで略四角形状に切り出されたものである。比較例のサンプルＳｂは、以下に説明する製造工程によって作製された帯状のグリーンシート積層体から実施例のサンプルと同一のサイズで切り出されたものである。
【００３６】
図４は、比較例のサンプルの製造工程を説明するための概略図である。比較例のサンプルにおける第１グリーンシート５１および第２グリーンシート５２は、ドクターブレード法によって、それぞれ別々の支持フィルム７０ａ，７０ｂ上に形成され、乾燥後に、別々のリール７１，７２に巻き取られたものを用いた。各リール７１，７２に巻き取られている第１グリーンシート５１と第２グリーンシート５２とは、以下に説明するラミネート装置８０により貼り合わされた。
【００３７】
ラミネート装置８０は、第１グリーンシート５１と第２グリーンシート５２とをそれぞれリール７１，７２から繰り出して、搬送ローラー８３によって並列に搬送し、圧着ローラー８５によって両者を圧着し、リール８６に巻き取るように構成されている。ラミネート装置８０は、圧着ローラー８５の上流側に設けられた加熱部８４の加熱により、第１グリーンシート５１の接着性能を発現させた状態で、第１グリーンシート５１と第２グリーンシート５２とを貼り合わせることが可能である。
【００３８】
図５は、本実験例において測定されたサンプルＳａ，Ｓｂの変形量を表すパラメーターを説明するための概略図であり、実施例および比較例のサンプルＳａ，Ｓｂを表す四角形が図示されている。本実験例では、実施例および比較例の各サンプルＳａ，Ｓｂの表面全体に、パンチング加工によって、９つのマークＭＫが、幅方向に３列、長さ方向に３列の格子状に設けられた。
【００３９】
ここで、サンプルＳａ，Ｓｂにおける幅方向は、図５における紙面上下方向であり、サンプルＳａ，Ｓｂが切り出される前の帯状のグリーンシート積層体の幅方向と一致する。サンプルＳａ，Ｓｂにおける長さ方向は、図５における紙面左右方向であり、サンプルＳａ，Ｓｂが切り出される前の帯状のグリーンシート積層体の長さ方向、つまり、帯状のグリーンシート積層体の搬送方向に一致する。
【００４０】
本実験例では、９つのマークＭＫが設けられた実施例および比較例の各サンプルＳａ，Ｓｂに対して、乾燥機によって１００℃以上の加熱温度で加熱する熱負荷を付与した。そして、加熱時間ごとに、幅方向の両端に位置するマークＭＫ間の距離Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３と、長さ方向の両端に位置するマークＭＫ間の距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３とを、サンプルＳａ，Ｓｂの変形量を表すパラメーターとして測定した。
【００４１】
図６の（ａ１）〜（ａ３）欄にはそれぞれ、実施例のサンプルＳａから得られた加熱時間に対する距離Ｗ１〜Ｗ３の変化を示すグラフが図示されている。図６の（ｂ１）〜（ｂ３）欄には、比較例のサンプルＳｂから得られた加熱時間に対する距離Ｗ１〜Ｗ３の変化を示すグラフが図示されている。
【００４２】
図６の各グラフに示されているように、実施例のサンプルＳａでは、加熱時間が長くなった場合でも、各距離Ｗ１〜Ｗ３の測定値は、基準値ＷＳから大きく外れることはなかった。これに対して、比較例のサンプルＳｂでは、加熱が開始された後、すぐに、基準値ＷＳよりも著しく小さくなった。
【００４３】
図７の（ａ１）〜（ａ３）欄には、実施例のサンプルＳａから得られた加熱時間に対する距離Ｌ１〜Ｌ３の変化を示すグラフが図示されている。図７の（ｂ１）〜（ｂ３）欄には、比較例のサンプルＳｂから得られた加熱時間に対する距離Ｌ１〜Ｌ３の変化を示すグラフが図示されている。なお、各グラフには、距離Ｗ１〜Ｗ３の基準値ＷＳまたは距離Ｌ１〜Ｌ３の基準値ＬＳが一点鎖線で図示されている。
【００４４】
図７の各グラフに示されているように、実施例のサンプルＳａでは、加熱時間が長くなった場合でも、各距離Ｌ１〜Ｌ３の測定値は、基準値ＷＳから大きく外れることはなかった。これに対して、比較例のサンプルＳｂでは、加熱が開始された後、すぐに、基準値ＬＳよりも著しく大きくなった。
【００４５】
このように、本実施形態の製造工程によって作製されたグリーンシート積層体５３であれば、セラミック基板６０の製造工程の途中に、熱負荷を与えられた場合であっても、歪み変形を生じることが抑制される。
【００４６】
B．変形例：
B1．変形例１：
上記実施形態では、グリーンシート積層体５３は、第１グリーンシート５１が加熱によって接着性能を発現する接着層付きのグリーンシートである。これに対して、グリーンシート積層体５３の第１グリーンシート５１は、第２グリーンシート５２と同様に、接着性能を有していなくてもよい。第１グリーンシート５１は、第２グリーンシート５２とは異なる材料成分のセラミックスラリーによって構成されていればよい。
【００４７】
B2．変形例２：
上記実施形態において、第１グリーンシート５１および第２グリーンシート５２はアルミナを主成分とするセラミックスラリーによって作製されている。これに対して、第１グリーンシート５１および第２グリーンシート５２はアルミナ以外の他の材料を主成分とするセラミックスラリーによって作製されてもよい。第１グリーンシート５１および第２グリーンシート５２は、例えば、ジルコニア（ＺｒＯ２）を主成分とするセラミックスラリーによって作製されてもよい。
【００４８】
本発明は、上述の実施形態や実施例、変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、実施例、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【００４９】
１０…グリーンシート積層体製造装置
２０…搬送部
２２…メインローラー
２３…補助ローラー
２４…搬送ベルト
３０…グリーンシート成形部
３１…第１塗工ヘッド部
３２…第１セラミックスラリー供給部
３５…第２塗工ヘッド部
３６…第２セラミックスラリー供給部
４１…第１加熱部
４２…第１巻取部
４３…第２加熱部
４５…第２巻取部
５１…第１グリーンシート
５２…第２グリーンシート
５３…グリーンシート積層体
５４…未焼成のビア電極
５５…未焼成の配線層
５６…未焼成積層体
６０…セラミック基板
６３…セラミック層
６４…ビア電極
６５…配線層
７０ａ，７０ｂ…支持フィルム
７１，７２…リール
８０…ラミネート装置
８３…搬送ローラー
８４…加熱部
８５…圧着ローラー
８６…リール
【図１】
0006626672.tif 000002
【図２】
0006626672.tif 000003
【図３】
0006626672.tif 000004
【図４】
0006626672.tif 000005
【図５】
0006626672.tif 000006
【図６】
0006626672.tif 000007
【図７】
0006626672.tif 000008