(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リングフレームを吸引保持して搬送する搬送機構を複数備えた加工装置において該搬送機構が該リングフレームを吸引保持する吸引位置を調節するための搬送調節ジグであって、
該加工装置は、該リングフレームを吸引保持する保持テーブルを備え、
該複数の搬送機構は、該保持テーブルに該リングフレームを搬入する第１の搬送機構と、
該保持テーブルから該リングフレームを搬出する第２の搬送機構との少なくとも２つ備え、
該第１の搬送機構は、該リングフレームを吸引保持する複数の第１吸引保持部と、該リングフレームの中心が該複数の第１吸引保持部の重心として配設される第１ベースと、該複数の第１吸引保持部で吸引保持した該リングフレームを該保持テーブルに搬入する第１移動手段と、を備え、
該第２の搬送機構は、該リングフレームを吸引保持する複数の第２吸引保持部と、該リングフレームの中心が該複数の第２吸引保持部の重心として配設される第２ベースと、該保持テーブルに吸引保持された該リングフレームを搬出する第２移動手段と、を備え、
該搬送調節ジグは、該リングフレームと同型に形成され、
該第１の搬送機構の該第１吸引保持部が吸引保持すべき該リングフレームの吸引位置と、該第２の搬送機構の該第２吸引保持部が吸引保持すべき該リングフレームの吸引位置とに印が形成された搬送調節ジグ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リングフレームを搬送する搬送機構の搬送調節を行うジグに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエーハなどの被加工物は、その表面に、ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて形成されている。ウエーハは、その表面側に保護テープを貼着してから所定の厚みに研削され薄化された後、分割予定ラインに沿って例えば切削ブレードで切削することにより個々のチップに分割される。ウエーハを分割するときは、各チップが分散しないようにするため、中央に開口部を有しウエーハの直径より大きい内径のリングフレームの該開口部にウエーハを載置し、ウエーハの裏面とリングフレームとに粘着性のダイシングテープを貼着することによって、ダイシングテープを介してリングフレームとウエーハとを一体に形成している。
【０００３】
ウエーハにダイシングテープを貼着するテープマウンタなどの装置は、リングフレームを積層するフレームストッカーを備え、フレームストッカーに積層されたリングフレームを上から順次取り出して、ダイシングテープを貼着するための貼着テーブルにリングフレームを搬送する搬送機構を備える（例えば下記の特許文献１を参照）。また、テープマウンタの他の構成として、フレームストッカーに積層されたリングフレームを上から順次取り出す第１の搬送機構と、リングフレームにダイシングテープを貼着した後にリングフレームを保持して表裏を反転させウエーハに貼着した保護テープを剥がす剥離テーブルに搬送する第２の搬送機構と、保護テープが剥離された後、リングフレームを保持してカセットまたは次の工程の分割装置に搬送する第３の搬送機構とを備えるタイプもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−９７８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の少なくとも３つの搬送機構は、何れもリングフレームを保持する吸引保持機構を備え、それぞれの吸引保持機構はリングフレームを吸引保持する位置が異なるため、各吸引保持機構の位置調節が困難となっている。
【０００６】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされてもので、リングフレームを吸引保持する吸引保持機構の位置調節を容易に行えるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、リングフレームを吸引保持して搬送する搬送機構を複数備えた加工装置において該搬送機構が該リングフレームを吸引保持する吸引位置を調節するための搬送調節ジグであって、該加工装置は、該リングフレームを吸引保持する保持テーブルを備え、該複数の搬送機構は、該保持テーブルに該リングフレームを搬入する第１の搬送機構と、該保持テーブルから該リングフレームを搬出する第２の搬送機構との少なくとも２つ備え、該第１の搬送機構は、該リングフレームを吸引保持する複数の第１吸引保持部と、該リングフレームの中心が該複数の第１吸引保持部の重心として配設される第１ベースと、該複数の第１吸引保持部で吸引保持した該リングフレームを該保持テーブルに搬入する第１移動手段と、を備え、該第２の搬送機構は、該リングフレームを吸引保持する複数の第２吸引保持部と、該リングフレームの中心が該複数の第２吸引保持部の重心として配設される第２ベースと、該保持テーブルに吸引保持された該リングフレームを搬出する第２移動手段と、を備え、該搬送調節ジグは、該リングフレームと同型に形成され、該第１の搬送機構の該第１吸引保持部が吸引保持すべき該リングフレームの吸引位置と、該第２の搬送機構の該第２吸引保持部が吸引保持すべき該リングフレームの吸引位置とに印が形成されて構成される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明にかかる搬送調節ジグは、リングフレームと同型に形成され、第１の搬送機構の第１吸引保持部が吸引保持すべきリングフレームの吸引位置と、第２の搬送機構の第２吸引保持部が吸引保持すべきリングフレームの吸引位置とに印が形成されていることから、第１吸引保持部及び第２吸引保持部をリングフレームに形成された印に合わせるだけで、各搬送機構の位置調節を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】複数の搬送機構を備える加工装置の第１例を示す斜視図である。
【図２】（ａ）は、第２の搬送機構でリングフレームの表裏を反転させた状態を示す斜視図である。（ｂ）は、第２の搬送機構でリングフレームを剥離テーブルに搬送した状態を示す斜視図である。
【図３】搬送調節ジグの第１例の構成を示す斜視図である。
【図４】搬送調節ジグの第１例を用いて第１の搬送機構の位置を調節する状態を示す斜視図である。
【図５】搬送調節ジグの第１例を用いて第２の搬送機構の位置を調節する状態を示す斜視図である。
【図６】搬送調節ジグの第１例を用いて第３の搬送機構の位置を調節する状態を示す斜視図である。
【図７】複数の搬送機構を備える加工装置の第２例を示す斜視図である。
【図８】搬送調節ジグの第２例の構成を示す斜視図である。
【図９】搬送調節ジグの第２例を用いて第１の搬送機構の位置を調節する状態を示す斜視図である。
【図１０】搬送調節ジグの第２例を用いて第２の搬送機構の位置を調節する状態を示す斜視図である。
【図１１】搬送調節ジグの第２例を用いて第３の搬送機構の位置を調節する状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
１  第１の実施形態
図１に示す加工装置１０は、中央に開口部を有するリング状のリングフレーム１を吸引保持して搬送する搬送機構を複数備えた加工装置の第１例である。加工装置１０は、基台１１を有している。基台１１の上面には、リングフレーム１及び円形板状のウエーハを吸引保持する保持テーブルとして機能する貼着テーブル１４と、リングフレーム１及びウエーハを吸引保持する保持テーブルとして機能する剥離テーブル１５とを備える。
【００１１】
貼着テーブル１４は、リングフレーム１及びウエーハに例えばダイシングテープを貼着する際に使用されるものであり、ウエーハを吸引保持するウエーハ保持部１４０と、ウエーハ保持部１４０を囲繞してリングフレーム１を吸引保持するリング状のフレーム保持部１４１とを備え、ウエーハ保持部１４０及びフレーム保持部１４１には、吸引源が接続されている。なお、図示していないが、貼着テーブル１４の近傍には、例えばリングフレーム１及びウエーハにダイシングテープを貼着するテープ貼着機構が配設されている。
【００１２】
剥離テーブル１５は、ウエーハの研削時においてウエーハに貼着された保護テープを剥離するために使用されるもので、ウエーハを吸引保持するウエーハ保持部１５０と、ウエーハ保持部１５０を囲繞してリングフレーム１を吸引保持するフレーム保持部１５１とを備え、ウエーハ保持部１５０及びフレーム保持部１５１には、吸引源が接続されている。フレーム保持部１５１の側方側には、搬送機構の進入を可能にするための切り欠き部１５２が形成されている。なお、図示していないが、剥離テーブル１５の近傍には、例えばウエーハから保護テープを剥離する剥離手段が配設されている。
【００１３】
貼着テーブル１４の近傍には、リングフレーム１を積み重ねてストックするフレームストッカー２が配設されている。フレームストッカー２には、リングフレーム１の内周面に接触する円柱部材３がほぼ均等間隔に複数配設されている。円柱部材３の本数は、図示の例では４本となっている。なお、リングフレーム１の材質は、例えば、金属によって構成されている。
【００１４】
基台１１のＸ軸方向後部には第１のコラム１２が立設され、基台１１のＹ軸方向後部には第２のコラム１３が立設されている。第２のコラム１３の近傍には、リングフレーム１に支持されたウエーハを収容するカセット１７が配設されている。カセット１７は、第２のコラム１３の前方に固定された一対のカセット収納レール１６に沿って図１に示す所定の収納位置に移動させることができる。
【００１５】
加工装置１０に備える複数の搬送機構は、貼着テーブル１４にリングフレーム１を搬入する第１の搬送機構２０と、貼着テーブル１４からリングフレーム１を搬出する第２の搬送機構３０と、剥離テーブル１５からリングフレーム１を搬出する第３の搬送機構４０との３つを備える。第１の搬送機構２０、第２の搬送機構３０及び第３の搬送機構４０は、制御部５０によって制御される。
【００１６】
第１の搬送機構２０は、フレームストッカー２の上方側において、固定板２４を介して第１のコラム１２の側方に配設されている。第１の搬送機構２０は、リングフレーム１を吸引保持する複数（例えば４つ）の第１吸引保持部２１と、リングフレーム１の中心が複数の第１吸引保持部２１の重心として配設される第１ベース２２と、複数の第１吸引保持部２１で吸引保持したリングフレーム１を貼着テーブル１４に搬入する第１移動手段２３とを備える。
【００１７】
第１ベース２２は、矩形板状のプレートによって構成されており、プレートの長手方向がＸ軸方向に向いている。第１ベース２２の端部にそれぞれ第１吸引保持部２１が取り付けられている。第１ベース２２は、リングフレーム１の中心と４つの第１吸引保持部２１の重心とが一致した構成となっている。各第１吸引保持部２１には、図示しない吸引源が接続されており、リングフレーム１の例えば上面１ａを吸引保持することができる。
【００１８】
第１移動手段２３は、第１ベース２２をＺ軸方向に昇降させる昇降機構と、第１ベース２２をＺ軸方向と直交する水平方向に旋回させる旋回機構とにより構成されている。旋回機構は、一端が第１ベース２２に連結された連結部２３１と、連結部２３１の他端に連結されたアーム部２３２と、アーム部２３２に連結され第１ベース２２を水平に旋回させる旋回軸２３３と、制御部５０によって駆動され旋回軸２３３を旋回させるモータ２３４とを備える。旋回機構は、第１ベース２２をフレームストッカー２側と貼着テーブル１４側とにそれぞれ移動させることができる。
【００１９】
第１移動手段２３を構成する昇降機構は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ２３５と、ボールネジ２３５の一端に接続されたモータ２３６と、ボールネジ２３５と平行に延在する一対のガイドレール２３７と、一方の面がモータ２３４に固定された昇降部２３８とを備える。一対のガイドレール２３７には、昇降部２３８の他方の面が摺接し、昇降部２３８の内部に形成されたナットにはボールネジ２３５が螺合している。モータ２３６が制御部５０によって駆動されてボールネジ２３５が回動することにより、昇降部２３８とともに第１ベース２２をＺ軸方向に昇降させることができる。第１の搬送機構２０が貼着テーブル１４にリングフレーム１を搬入する際には、各第１吸引保持部２１でリングフレーム１の上面１ａを吸引保持してフレームストッカー２から取り出し、第１移動手段２３により第１ベース２２を水平に旋回させることにより、フレームストッカー２側から貼着テーブル１４側に移動させ、第１移動手段２３により第１ベース２２を降下させて、フレーム保持部１４１にリングフレーム１を搬入すればよい。
【００２０】
第２の搬送機構３０は、第１のコラム１２の前方に配設され、貼着テーブル１４及び剥離テーブル１５の上方側に位置している。第２の搬送機構３０は、リングフレーム１を吸引保持する複数（例えば４つ）の第２吸引保持部３１と、リングフレーム１の中心が複数の第２吸引保持部３１の重心として配設される第２ベース３２と、貼着テーブル１４に吸引保持されたリングフレーム１を搬出する第２移動手段３３とを備える。
【００２１】
第２ベース３２は、門型の連結部３２０と、連結部３２０のそれぞれの先端部に取り付けられ対向配置された２つの矩形板状のプレート３２１と、Ｙ軸方向の軸心を軸まわりにして２つのプレート３２１を反転させる回転軸３２２とを備える。各プレート３２１には２つの第２吸引保持部３１がそれぞれ取り付けられている。第２ベース３２においても、リングフレーム１の中心と４つの第２吸引保持部３１の重心とが一致した構成となっている。第２吸引保持部３１の構成は、第１吸引保持部２１と同様である。
【００２２】
第２移動手段３３は、第２ベース３２をＹ軸方向に水平移動させるスライダー機構と、第２ベース３２をＺ軸方向に昇降させる昇降機構とにより構成されている。スライダー機構は、Ｙ軸方向に延在するボールネジ３３０と、ボールネジ３３０の一端に接続されたモータ３３１と、ボールネジ３３０と平行に延在する一対のガイドレール３３２と、一対のガイドレール３３２に摺接した移動板３３３とを備える。移動板３３３の中央に形成されたナットにはボールネジ３３０が螺合している。制御部５０によってモータ３３１が駆動されてボールネジ３３０が回動することにより、移動板３３３がガイドレール３３２にガイドされてＹ軸方向にスライド移動することができる。昇降機構は、一端が第２ベース３２に連結され他端が移動板３３３に接続された昇降部３３４を少なくとも備え、第２ベース３２をＺ軸方向に昇降させることができる。
【００２３】
第２の搬送機構３０でリングフレーム１を貼着テーブル１４から搬出して、例えば剥離テーブル１５に搬入する動作について説明する。まず、貼着テーブル１４に吸引保持された状態のリングフレーム１の上面１ａを第２の搬送機構３０の第２吸引保持部３１で吸引保持したら、第２移動手段３３により第２ベース３２を上昇させて貼着テーブル１４から搬出するとともに、第２ベース３２を剥離テーブル１５の上方側に移動させる。次いで、図２（ａ）に示すように、回転軸３２２が例えば矢印Ａ方向に回転することにより、プレート３２１とともにリングフレーム１の表裏を反転させ、下面１ｂを上向きにさせる。続いて、図２（ｂ）に示すように、第２の搬送機構３０が降下し、リングフレーム１を剥離テーブル１５に搬入する。このとき、第２の搬送機構３０の降下にともない、プレート３２１が切り欠き部１５２に進入していくため、プレート３２１が剥離テーブル１５に接触することはない。
【００２４】
図１に示す第３の搬送機構４０は、第２のコラム１３の前方に配設されている。第３の搬送機構４０は、リングフレーム１を吸引保持する複数（例えば４つ）の第３吸引保持部４１と、リングフレーム１の中心が複数の第３吸引保持部４１の重心として配設される第３ベース４２と、剥離テーブル１５に吸引保持されたリングフレーム１を搬出する第３移動手段４３とを備える。第３ベース４２は、円形板状のプレートによって構成されている。第３ベース４２には、その周方向に沿って等間隔をあけて４つの第３吸引保持部４１が取り付けられている。第３ベース４２においても、リングフレーム１の中心と４つの第３吸引保持部４１の重心とが一致した構成となっている。第３吸引保持部４１の構成は、第１吸引保持部２１と同様である。
【００２５】
第３移動手段４３は、第３ベース４２をＸ軸方向に水平移動させるスライダー機構と、第３ベース４２をＺ軸方向に昇降させる昇降機構とにより構成されている。スライダー機構は、Ｘ軸方向に延在するボールネジ４３０と、ボールネジ４３０の一端に接続されたモータ４３１と、ボールネジ４３０と平行に延在する一対のガイドレール４３２と、一対のガイドレール４３２に摺接した移動板４３３とを備える。移動板４３３の中央に形成されたナットにはボールネジ４３０が螺合している。モータ４３１が制御部５０によって駆動されてボールネジ４３０が回動することにより、移動板４３３がガイドレール４３２にガイドされてＸ軸方向にスライド移動することができる。昇降機構は、一端が第３ベース４２に連結され他端が移動板４３３に接続された昇降部４３４を少なくとも備え、第３ベース４２をＺ軸方向に昇降させることができる。第３の搬送機構４０がリングフレーム１を剥離テーブル１５から搬出して、例えばカセット１７に収容する際には、図２（ｂ）で示した剥離テーブル１５に保持されたリングフレーム１の下面１ｂを、第３吸引保持部４１で吸引保持して剥離テーブル１５から搬出した後、第３移動手段４３によって第３ベース４２をＸ軸方向に移動させることにより、カセット１７内にリングフレーム１を収容すればよい。
【００２６】
図３に示す搬送調節ジグ４は、上記の加工装置１０において、第１の搬送機構２０，第２の搬送機構３０及び第３の搬送機構４０がリングフレーム１を吸引保持する吸引位置（第１吸引保持部２１，第２吸引保持部３１，第３吸引保持部４１がリングフレーム１に作用する位置）を調節するための搬送調節ジグの第１例である。搬送調節ジグ４は、リングフレーム１と同型に形成されている。すなわち、搬送調節ジグ４は、リングフレーム１のサイズや形状と同様の構成となっている。搬送調節ジグ４の材質は、リングフレーム１と同様の材質で構成してもよいし、異なる材質で構成してもよい。
【００２７】
搬送調節ジグ４には、その上面４ａ及び下面４ｂに複数の印（吸引マーク）が形成されている。複数の印は、図１に示した第１の搬送機構２０，第２の搬送機構３０及び第３の搬送機構４０のそれぞれに対応して、それぞれ異なった位置に形成されている。すなわち、第１の搬送機構２０の４つの第１吸引保持部２１が吸引保持すべき吸引位置（４箇所）に吸引マーク５が形成され、第２の搬送機構３０の４つの第２吸引保持部３１が吸引保持すべき吸引位置（４箇所）に吸引マーク６が形成され、第３の搬送機構４０の４つの第３吸引保持部４１が吸引保持すべき吸引位置（４箇所）に吸引マーク７が形成されている。
【００２８】
搬送調節ジグ４に形成された吸引マーク５，６及び７は、第１の搬送機構２０，第２の搬送機構３０，第３の搬送機構４０に応じてそれぞれ色分けして区別できるようにしてもよい。特に、搬送調節ジグ４では、吸引マーク５と吸引マーク６とが重なって形成されていることから、例えば、吸引マーク５と吸引マーク６とを色分けしてペイントを施しておくことにより、第１の搬送機構２０の各第１吸引保持部２１を各吸引マーク５に正確に合わせることができ、第２の搬送機構３０の各第２吸引保持部３１を各吸引マーク５に正確に合わせることができる。
【００２９】
次に、搬送調節ジグ４の使用例について説明する。図４に示すように、搬送調節ジグ４を用いて第１の搬送機構２０の位置を調節する場合には、例えば、作業者によって搬送調節ジグ４の下面４ｂ側から貼着テーブル１４に載置して上面４ａを上向きにして、図１に示したフレーム保持部１４１で搬送調節ジグ４を吸引保持する。次いで、第１の搬送機構２０の各第１吸引保持部２１を搬送調節ジグ４の上面４ａに形成された４つの吸引マーク５の位置に合わせる。すなわち、第１移動手段２３が第１ベース２２を旋回させることにより、第１ベース２２の長手方向をＸ軸方向からＹ軸方向に向かせるとともに貼着テーブル１４側に移動させて、図４に示す各吸引マーク５の真上に各第１吸引保持部２１がくるように位置づけ、第１ベース２２を降下させ各第１吸引保持部２１を各吸引マーク５に合わせればよい。そして、各第１吸引保持部２１を各吸引マーク５に合わせたときの旋回軸２３３の旋回角度を、例えばモータ２３４に接続されたエンコーダ等から制御部５０が読取って記億させておく。
【００３０】
図５に示すように、搬送調節ジグ４を用いて第２の搬送機構３０の位置を調節する場合には、例えば、作業者によって搬送調節ジグ４の下面４ｂ側から貼着テーブル１４に載置して上面４ａを上向きにして、図１に示したフレーム保持部１４１で搬送調節ジグ４を吸引保持する。次いで、第２の搬送機構３０の各第２吸引保持部３１を搬送調節ジグ４の上面４ａに形成された４つの吸引マーク６の位置に合わせる。すなわち、第２移動手段３３が第２ベース３２をＹ軸方向に移動させることにより、第２ベース３２を貼着テーブル１４側に移動させて、図５に示す各吸引マーク６の真上に各第２吸引保持部３１がくるように位置づけ、第２ベース３２を降下させ各第２吸引保持部３１を各吸引マーク６に合わせればよい。そして、各第２吸引保持部３１を各吸引マーク６に合わせたときの第２ベース３２のＹ軸方向の位置を、例えばモータ３３１に接続されたエンコーダ等から制御部５０が読取って記億させておく。
【００３１】
図６に示すように、搬送調節ジグ４を用いて第３の搬送機構４０の位置を調節する場合には、例えば、作業者によって搬送調節ジグ４の下面４ｂ側から剥離テーブル１５に載置して上面４ａを上向きにして、図１に示したフレーム保持部１５１で搬送調節ジグ４を吸引保持する。次いで、第３の搬送機構４０の各第３吸引保持部４１を搬送調節ジグ４の上面４ａに形成された４つの吸引マーク７の位置に合わせる。すなわち、第３移動手段４３が第３ベース４２をＸ軸方向に移動させることにより、第３ベース４２を剥離テーブル１５側に移動させて、図６に示す各吸引マーク７の真上に各第３吸引保持部４１がくるように位置づけ、第３ベース４２を降下させ各第３吸引保持部４１を各吸引マーク７に合わせればよい。そして、各第３吸引保持部４１を各吸引マーク７に合わせたときの第３ベース４２のＸ軸方向の位置を、例えばモータ４３１に接続されたエンコーダ等から制御部５０が読取って記億させておく。
【００３２】
このように、本発明にかかる搬送調節ジグ４は、リングフレーム１と同型に形成され、
第１の搬送機構２０の第１吸引保持部２１がリングフレーム１を吸引保持すべき吸引位置に吸引マーク５が形成され、第２の搬送機構３０の第２吸引保持部３１がリングフレーム１を吸引保持すべき吸引位置に吸引マーク６が形成され、第３の搬送機構４０の第３吸引保持部４１がリングフレーム１を吸引保持すべき吸引位置に吸引マーク７が形成されているため、位置を調節したい各搬送機構の吸引保持部に対応した吸引マーク５，６及び７に合わせるだけで、各搬送機構の位置調節を容易に行うことができる。そしてその後、実際にフレームストッカー２から搬出されダイシングテープが貼着されるリングフレーム１を吸引保持するときには、制御部５０が記億した位置に第１吸引保持部２１、第２吸引保持部３１及び第３吸引保持部４１をそれぞれ移動させ、その位置においてリングフレーム１を吸引保持することにより、リングフレーム１の適切な位置を確実に吸引保持することができる。
【００３３】
２  第２の実施形態
図７に示す加工装置１０Ａは、リングフレーム１を吸引保持して搬送する搬送機構を複数備えた加工装置の第２例である。加工装置１０Ａは、貼着テーブル１４にリングフレーム１を搬入する第１の搬送機構２０ａと、貼着テーブル１４からリングフレーム１を搬出する第２の搬送機構３０と、剥離テーブル１５からリングフレーム１を搬出する第３の搬送機構４０との３つを備えており、第１の搬送機構２０ａに備える第１ベース２２ａの長手方向の向きがＹ軸方向に向いている点以外は、上記の加工装置１０と同様の構成となっている。
【００３４】
図８に示す搬送調節ジグ４Ａは、加工装置１０Ａにおいて、第１の搬送機構２０ａ，第２の搬送機構３０及び第３の搬送機構４０がリングフレーム１を吸引保持する吸引位置を調節するための搬送調節ジグの第２例である。搬送調節ジグ４Ａは、搬送調節ジグ４と同様に、リングフレーム１と同型に形成されている。
【００３５】
搬送調節ジグ４Ａには、その上面４ａ及び下面４ｂに複数の印（吸引マーク）が形成されている。複数の印は、第１の搬送機構２０ａ，第２の搬送機構３０及び第３の搬送機構４０のそれぞれに対応して、それぞれ異なった位置に形成されている。すなわち、第１の搬送機構２０ａの４つの第１吸引保持部２１が吸引保持すべき吸引位置（４箇所）に吸引マーク８が形成され、吸引マーク８が形成された方向と交差する方向において第２の搬送機構３０の４つの第２吸引保持部３１が吸引保持すべき吸引位置（４箇所）に吸引マーク６ａが形成され、吸引マーク８と吸引マーク６ａとの間において第３の搬送機構４０の４つの第３吸引保持部４１が吸引保持すべき吸引位置（４箇所）に吸引マーク７ａが形成されている。搬送調節ジグ４Ａに形成された吸引マーク６ａ，７ａ及び８についても、第１例と同様にそれぞれ色分けして区別できるようにしてもよい。
【００３６】
次に、搬送調節ジグ４Ａの使用例について説明する。図９に示すように、搬送調節ジグ４Ａを用いて第１の搬送機構２０ａの位置を調節する場合には、例えば、作業者によって搬送調節ジグ４Ａの下面４ｂ側から貼着テーブル１４に載置して上面４ａを上向きにして、図７に示したフレーム保持部１４１で搬送調節ジグ４Ａを吸引保持する。次いで、第１の搬送機構２０ａの各第１吸引保持部２１を搬送調節ジグ４Ａの上面４ａに形成された４つの吸引マーク８の位置に合わせる。すなわち、第１移動手段２３が第１ベース２２ａを旋回させることにより、第１ベース２２ａの長手方向をＹ軸方向からＸ軸方向に向かせるとともに貼着テーブル１４側に移動させて、図９に示す各吸引マーク８の真上に各第１吸引保持部２１がくるように位置づけ、第１ベース２２を降下させ各第１吸引保持部２１を各吸引マーク８に合わせればよい。そして、各第１吸引保持部２１を各吸引マーク８に合わせたときの旋回軸２３３の旋回角度を、例えばモータ２３４に接続されたエンコーダ等から制御部５０が読取って記億させておく。
【００３７】
図１０に示すように、搬送調節ジグ４Ａを用いて第２の搬送機構３０の位置を調節する場合には、例えば、作業者によって搬送調節ジグ４Ａの下面４ｂ側から貼着テーブル１４に載置して上面４ａを上向きにして、図７に示したフレーム保持部１４１で搬送調節ジグ４Ａを吸引保持する。次いで、第２の搬送機構３０の各第２吸引保持部３１を搬送調節ジグ４Ａの上面４ａに形成された４つの吸引マーク６ａの位置に合わせる。すなわち、第２移動手段３３により第２ベース３２をＹ軸方向に移動させることにより、第２ベース３２を貼着テーブル１４側に移動させて、図１０に示す各吸引マーク６ａの真上に各第２吸引保持部３１がくるように位置づけ、第２ベース３２を降下させ各第２吸引保持部３１を各吸引マーク６ａに合わせればよい。そして、各第２吸引保持部３１を各吸引マーク６ａに合わせたときの第２ベース３２のＹ軸方向の位置を、例えばモータ３３１に接続されたエンコーダ等から制御部５０が読取って記億させておく。
【００３８】
図１１に示すように、搬送調節ジグ４Ａを用いて第３の搬送機構４０の位置を調節する場合には、例えば、作業者によって搬送調節ジグ４Ａの下面４ｂ側から剥離テーブル１５に載置して上面４ａを上向きにしたら、図７に示したフレーム保持部１５１で搬送調節ジグ４Ａを吸引保持する。次いで、第３の搬送機構４０の各第３吸引保持部４１を搬送調節ジグ４Ａの上面４ａに形成された４つの吸引マーク７ａの位置に合わせる。すなわち、第３移動手段４３が第３ベース４２をＸ軸方向に移動させることにより、第３ベース４２を剥離テーブル１５側に移動させて、図１１に示す各吸引マーク７ａの真上に各第３吸引保持部４１がくるように位置づけ、第３ベース４２を降下させ各第３吸引保持部４１を各吸引マーク７ａに合わせればよい。そして、各第３吸引保持部４１を各吸引マーク７ａに合わせたときの第３ベース４２のＸ軸方向の位置を、例えばモータ４３１に接続されたエンコーダ等から制御部５０が読取って記億させておく。このように、搬送調節ジグ４Ａにおいても、位置を調節したい各搬送機構の吸引保持部に対応した吸引マーク６ａ，７ａ及び８に合わせるだけで、各搬送機構の位置調節を容易に行うことができる。そしてその後、実際にフレームストッカー２から搬出されダイシングテープが貼着されるリングフレーム１を吸引保持するときには、制御部５０が記億した位置に第１吸引保持部２１、第２吸引保持部３１及び第３吸引保持部４１をそれぞれ移動させ、その位置においてリングフレーム１を吸引保持することにより、リングフレーム１の適切な位置を確実に吸引保持することができる。
【００３９】
なお、本実施形態に示した搬送調節ジグ４，４Ａの各吸引マーク５，６，６ａ，７，７ａ及び８の一部または全部を貫通穴に形成してもよい。また、搬送調節ジグ４，４Ａに、各搬送機構の位置ずれを許容する許容値に応じて幅をもたせた吸引マークを形成してもよい。さらには、フレームストッカー２から先行して搬送される１枚または複数枚のリングフレーム１自体に吸引マークを施してもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１：リングフレーム  １ａ：上面  １ｂ：下面  ２：フレームストッカー
３：円柱部材  ４，４Ａ：搬送調節ジグ  ４ａ：上面  ４ｂ：下面
５，６，６ａ，７，７ａ，８：吸引マーク
１０，１０Ａ：加工装置  １１：基台  １２：第１のコラム  １３：第２のコラム
１４：貼着テーブル  １４０：ウエーハ保持部  １４１：フレーム保持部
１５：剥離テーブル  １５０：ウエーハ保持部  １５１：フレーム保持部
１５２：切り欠き部  １６：カセット収納レール  １７：カセット
２０，２０ａ：第１の搬送機構  ２１：第１吸引保持部  ２２，２２ａ：第１ベース
２３：第１移動手段  ２３１：連結部  ２３２：アーム部  ２３３：旋回軸
２３４：モータ  ２３５：：ボールネジ  ２３６：モータ
２３７：ガイドレール  ２３８：昇降部
２４：固定板
３０：第２の搬送機構  ３１：第２吸引保持部  ３２：第２ベース
３２０：連結部  ３２１：プレート  ３２２：回転軸
３３：第２移動手段  ３３０：ボールネジ  ３３１：モータ  ３３２：ガイドレール
３３３：移動部  ３３４：昇降部
４０：第３の搬送機構  ４１：第３吸引保持部  ４２：第３ベース
４３：第３移動手段  ４３０：ボールネジ  ４３１：モータ  ４３２：ガイドレール
４３３：移動部  ４３４：昇降部
５０：制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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