(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｔｉ系酸化物層と、亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層と、低放射保護金属層と、低放射層と、を順に含む多層構造であり、
前記亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層は、ＺｎＡｌＯｘ、０．９≦ｘ≦１．１で表される亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物を含む、低放射コーティング。
【請求項２】
前記亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層の厚さが、２ｎｍ〜１０ｎｍである、請求項１に記載の低放射コーティング。
【請求項３】
前記低放射層は、放射率が０．０１〜０．３である、請求項１に記載の低放射コーティング。
【請求項４】
前記低放射層は、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｐｔ、イオンドープ金属酸化物、およびこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも１つを含む、請求項１に記載の低放射コーティング。
【請求項５】
前記低放射層の厚さが５ｎｍ〜２５ｎｍである、請求項１に記載の低放射コーティング。
【請求項６】
前記低放射保護金属層は、可視光線領域の消衰係数が１．５〜４である、請求項１に記載の低放射コーティング。
【請求項７】
前記低放射保護金属層は、Ｎｉ、Ｃｒ、ＮｉとＣｒの合金、Ｔｉ、およびこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも１つを含む、請求項１に記載の低放射コーティング。
【請求項８】
前記低放射コーティングの最外層の片面または両面に、Ｓｉ系複合金属窒化物を含む最外層誘電体層をさらに含む、請求項１に記載の低放射コーティング。
【請求項９】
前記Ｓｉ系複合金属窒化物は、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｏ、およびこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも１つを含む、請求項８に記載の低放射コーティング。
【請求項１０】
下部から、第１の最外層誘電体層、Ｔｉ系酸化物層、亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層、第１の低放射保護金属層、低放射層、第２の低放射保護金属層、および第２の最外層誘電体層が積層された構造であって、
前記第１の最外層誘電体層および前記第２の最外層誘電体層は、Ｓｉ系複合金属窒化物を含む層である、請求項１に記載の低放射コーティング。
【請求項１１】
透明基材と、
前記透明基材にコートされた請求項１乃至１０の何れか一項に記載の低放射コーティングと、を含む、建具用機能性建築資材。
【請求項１２】
前記低放射コーティングの積層方向は、前記Ｔｉ系酸化物層が、前記低放射層より前記透明基材に近くなる方向に積層される、請求項１１に記載の建具用機能性建築資材。
【請求項１３】
前記透明基材は、９０〜１００％の可視光透過率を有する、請求項１１に記載の建具用機能性建築資材。
【請求項１４】
前記透明基材は、ガラスまたは透明プラスチック基板である、請求項１１に記載の建具用機能性建築資材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低放射コーティングおよびそれを含む建具用機能性建築資材に関する。
【背景技術】
【０００２】
低放射ガラス（Ｌｏｗ−Ｅｍｉｓｓｉｖｉｔｙ  ｇｌａｓｓ）は、銀（Ａｇ）のように赤外線領域における反射率が高い金属を含む低放射層が薄膜に蒸着されたガラスのことである。かかる低放射ガラスは、夏期には太陽の輻射熱を反射させ、冬期には室内暖房器で発生する赤外線を保持することで、建築物の省エネルギー効果を図る機能性素材である。
【０００３】
通常、低放射層に用いられる銀（Ａｇ）は、空気中に露出すると酸化されるため、該低放射層の上部および下部には、誘電体層が酸化防止膜として蒸着される。かかる誘電体層は、可視光の透過率を増大させる役割もする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】なし
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の一目的は、熱処理後でも耐久性を維持し、且つ光学性能に優れた低放射コーティングを提供することにある。
【０００６】
本発明の他の目的は、前記低放射コーティングを含む建具用機能性建築資材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一具現例において、Ｔｉ系酸化物層と、亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層と、低放射保護金属層と、低放射層と、を順に含む多層構造であり、前記亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層は、ＺｎＡｌＯｘ、０．９≦ｘ≦１．１で表される亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物を含む、低放射コーティングを提供する。
【０００９】
前記亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層の厚さが、約２ｎｍ〜約１０ｎｍであることができる。
【００１０】
前記低放射層は、放射率が約０．０１〜約０．３であることができる。
前記低放射層は、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｐｔ、イオンドープ金属酸化物、およびこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも１つを含むことができる。
前記低放射層の厚さが約５ｎｍ〜約２５ｎｍであることができる。
【００１１】
前記低放射保護金属層は、可視光線領域の消衰係数が約１．５〜約４であることができる。
前記低放射保護金属層は、Ｎｉ、Ｃｒ、ＮｉとＣｒの合金、Ｔｉ、およびこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも１つを含むことができる。
【００１２】
前記低放射コーティングの最外層の片面または両面に、Ｓｉ系複合金属窒化物を含む最外層誘電体層をさらに含むことができる。
前記Ｓｉ系複合金属窒化物は、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｏ、およびこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも１つを含むことができる。
【００１３】
前記低放射コーティングは、下部から、第１の最外層誘電体層、Ｔｉ系酸化物層、亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層、第１の低放射保護金属層、低放射層、第２の低放射保護金属層、および第２の最外層誘電体層が積層された構造であって、前記第１の最外層誘電体層および前記第２の最外層誘電体層は、Ｓｉ系複合金属窒化物を含む層であることができる。
【００１４】
本発明の他の具現例において、透明基材と、前記透明基材にコートされた前記低放射コーティングと、を含む建具用機能性建築資材を提供する。
【００１５】
前記低放射コーティングの積層方法は、前記Ｔｉ系酸化物層が、前記低放射層より前記透明基材に近くなる方向に積層されることができる。
【００１６】
前記透明基材は、約９０〜約１００％の可視光透過率を有する透明基材であることができる。
【００１７】
前記透明基材は、ガラスまたは透明プラスチック基板であることができる。
【発明の効果】
【００１８】
前記低放射コーティングは、優れた光学性能を実現し、且つ熱処理加工処理後でも優れた耐久性を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一具現例による低放射コーティングの概略的な断面図である。
【図２】本発明の他の具現例による低放射コーティングがコートされた建具用機能性建築資材の概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、添付図面を参照しながら、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者が容易に実施できるように、本発明の実施例について詳細に説明する。本発明は様々な異なる形態に具現でき、ここで説明する実施例に限定されない。
【００２１】
本発明を明確に説明するために、説明に関係のない部分は省略し、明細書全体にわたって、同一または類似の構成要素に対しては同一の参照符号を付ける。
【００２２】
図面において、多数の層および領域を明確に表現するために、その厚さを拡大して示した。そして、図面において、説明の便宜のために、一部の層および領域の厚さを誇張して示したことがある。
【００２３】
以下において、基材の「上部（または下部）」または基材の「上（または下）」に任意の構成が形成されるということは、任意の構成が前記基材の上面（または下面）に接して形成されることを意味する上で、前記基材と基材上に（または下に）形成された任意の構成との間に他の構成を含まないと限定するものではない。
【００２４】
以下、図１を参照して本発明の一具現例による低放射コーティングを説明する。
【００２５】
図１は本発明の一具現例による低放射コーティング１００の断面図である。
前記コーティング１００は、Ｔｉ系酸化物層１１０と、亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層１２０と、低放射保護金属層１３０と、低放射層１４０と、を順に含む多層構造である。
【００２６】
前記低放射コーティング１００は、いわゆるローイー（Ｌｏｗ−ｅ：ｌｏｗ  ｅｍｉｓｓｉｖｉｔｙ）ガラスを製造する際に用いることができる。前記ローイーガラスは、低い放射率を有する建具用の機能性建築資材であって、通常、透明ガラス基材にコーティング層を形成して具現する。前記低放射コーティング１００は、前記コーティング層として用いられることができる。
【００２７】
前記低放射コーティング１００は、上記のような特定材料を含む各層およびその積層順序によって特定構造をなすことで、適用される建具用機能性建築資材の耐久性を向上させることができる。
【００２８】
前記低放射コーティング１００は、太陽光のうち遠赤外線を選択的に反射する低放射層１４０を基盤とする多層薄膜構造を有する。前記低放射コーティング１００が適用された建具用機能性建築資材には、前記低放射コーティング１００により放射率が低くなるローイー効果が付与され、且つローイー効果による断熱性能が付与されることができる。
【００２９】
前記低放射コーティング１００をコーティング層として含む建具用機能性建築資材は、透明基材と、前記低放射コーティング１００からなるコーティング層と、を含む構造を有して、夏期には太陽の輻射熱を反射させ、冬期には室内暖房器で発生する赤外線を保持することにより、建築物の省エネルギー効果を図る機能性素材である。
【００３０】
「放射率（Ｅｍｉｓｓｉｖｉｔｙ）」とは、物体が任意の特定波長を有するエネルギーを吸収、透過、および反射する比率を意味する。すなわち、本明細書における放射率は、赤外線の波長領域にある赤外線エネルギーの吸収の度合いを示すものであって、具体的には、強い熱作用を示す約５μｍ〜約５０μｍの波長領域に該当する遠赤外線が印加された時に、印加された赤外線エネルギーに対する、吸収される赤外線エネルギーの比率を意味する。
【００３１】
キルヒホッフの法則によれば、物質に吸収された赤外線エネルギーは、再度放射されて出てくるエネルギーと同一であるため、吸収率は放射率と同一である。
【００３２】
また、吸収されなかった赤外線エネルギーは物質の表面で反射されるため、放射率は、赤外線エネルギーの反射が高いほど低い値を有することにある。これを数値で表すと、（放射率＝１−赤外線反射率）の関係を有する。
【００３３】
かかる放射率は、本分野において公知の通常の様々な方法により測定でき、特に制限されるものではないが、例えば、ＫＳＬ２５１４規格に準じて、フーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴ−ＩＲ）などの装置で測定することができる。
【００３４】
このような強い熱作用を示す遠赤外線に対する吸収率、すなわち、放射率が、断熱性能の程度を測定するにおいて非常に重要な意味を表すことができる。
【００３５】
前記低放射コーティング１００は、ガラスなどのような透明基材に上記のコーティング層を形成することで、可視光線領域では所定の透過特性を維持しながら放射率を下げ、優れた断熱効果を奏することができる、省エネルギー型機能性建築資材として用いられることができる。
【００３６】
以下、前記低放射コーティング１００に含まれる各層について詳細に説明する。
【００３７】
前記低放射層１４０は、低い放射率を有し得る電気伝導性材料、例えば、金属で形成された層であって、すなわち、低い面抵抗を有し、それによって低い放射率を有する。例えば、前記低放射層１４０は、放射率が約０．０１〜約０．３であり、具体的には約０．０１〜約０．２であり、より具体的には約０．０１〜約０．１であり、さらに具体的には約０．０１〜約０．０８であることができる。前記低放射層１４０が前記範囲の放射率を有する場合、低放射コーティング１００の断熱効果および可視光透過率の点をともに考慮して好適である。上記のような放射率を有する前記低放射層１４０は、薄膜で構成した材料の面抵抗が約０．７８Ω／ｓｑ〜約６．４２Ω／ｓｑであることができる。
【００３８】
前記低放射層１４０は、太陽輻射線を選択的に透過および反射させる機能を担う。前記低放射層１４０は、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｐｔ、イオンドープ金属酸化物、およびこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも１つを含むことができるが、これに制限されるものではない。前記イオンドープ金属酸化物は、例えば、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、フッ素ドープスズ酸化物（ＦＴＯ）、アルミニウムドープ亜鉛酸化物（ＡＺＯ）、ガリウム亜鉛酸化物（ＧＺＯ）などを含む。一具現例において、前記低放射層１４０は銀（Ａｇ）を含むことができる。これにより、前記低放射コーティング１００は、高い電気伝導度、可視光線領域における低い吸収率、優れた耐久性などを実現することができる。
【００３９】
前記低放射層１４０の厚さは、例えば、約１０ｎｍ〜約２５ｎｍであることができる。前記範囲の厚さを有する低放射層１４０は、低い放射率および高い可視光透過率の両方を実現するのに適する。
【００４０】
前記低放射保護金属層１３０は、光吸収性能に優れた金属からなって、太陽光を調節する機能を担う。また、前記低放射保護金属層１３０の材料、厚さなどを調節することで、前記低放射コーティング１００が具現する色を調節することができる。
【００４１】
前記低放射保護金属層１３０は、前記低放射層１４０の片面または両面に積層されて形成されることができる。
【００４２】
一具現例において、前記低放射性保護金属層１３０は、可視光線領域における消衰係数（ｅｘｔｉｎｃｔｉｏｎ  ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ）が約１．５〜約３．５であることができる。前記消衰係数は、素材の物質固有の特性である光学定数から導出される値であり、前記光学定数は、数式ではｎ−ｉｋで表される。この際、実数部分であるｎは屈折率であり、虚数部分であるｋは消衰係数（吸収係数、吸光係数、消光係数などとも命名される）である。消衰係数は、波長（λ）の関数であり、金属の場合、消衰係数が０より大きいことが一般的である。消衰係数ｋは、吸収係数αとα＝（４πｋ）／λの関係を有し、吸収係数αは、光が通過する媒質の厚さをｄとしたときに、Ｉ＝Ｉ０ｅｘｐ（−αｄ）の関係を有して、媒質による光の吸収によって、通過した光の強度（Ｉ）が入射した光の強度（Ｉ０）に比べて減少する。
【００４３】
前記低放射保護金属層１３０は、前記範囲の可視光線領域の消衰係数を有する金属を用いることで、可視光線の一定部分を吸収して、前記低放射コーティング１００が特定の色を有するようにする。
【００４４】
例えば、前記低放射保護金属層１３０は、Ｎｉ、Ｃｒ、ＮｉとＣｒの合金、Ｔｉ、およびこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも１つを含むことができるが、これに制限されるものではない。
【００４５】
前記低放射保護金属層１３０の厚さは、例えば、約１ｎｍ〜約５ｎｍであることができる。前記低放射コーティング１００は、前記厚さ範囲の低放射保護金属層１３０を含み、低放射保護層としての役割をするとともに、所定の透過率および反射率を有するように調節することができる。
【００４６】
前記Ｔｉ系酸化物層１１０と前記亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層１２０は、誘電体層であって、前記低放射保護金属層１３０および前記低放射層１４０を保護する保護膜として作用する。また、その材料、厚さなどを調節することで、屈折率の値に応じて、透過率、反射率、透過および反射色相などの光学性能を所望の目標レベルに実現することができる。
【００４７】
前記Ｔｉ系酸化物層１１０は、具体的に、ＴｉＯｘ、１．８≦ｘ≦２．２で表されるチタン酸化物を蒸着して形成された層であることができる。前記Ｔｉ系酸化物層１１０は、前記低放射コーティング１００に様々な光学性能（透過率、反射率、色指数）を容易に付与することができる。すなわち、前記Ｔｉ系酸化物層１１０を除いた低放射コーティング１００では実現できない光学性能範囲を、前記Ｔｉ系酸化物層１１０を適用することで実現することができる。
【００４８】
しかし、Ｔｉ系酸化物層を含む場合、低放射保護金属層を上部に形成すると、Ｔｉ系酸化物層と低放射保護金属層との間の界面反応により、熱処理後に耐摩耗性などの耐久性が低下するという問題が発生し得る。
【００４９】
前記亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層１２０は、前記低放射保護金属層１３０と前記Ｔｉ系酸化物層１１０との間に挟まれることで、前記低放射保護金属層１３０と前記Ｔｉ系酸化物層１１０とが直接接する場合に熱処理後に発生する界面反応による耐久性の低下を防止する役割をすることができる。すなわち、前記亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層１２０は、前記低放射保護金属層１３０と前記Ｔｉ系酸化物層１１０との接着力を高めて、熱処理後における低放射コーティングの耐久性の低下を防止する。
【００５０】
これにより、前記低放射コーティング１００は、前記Ｔｉ系酸化物層１１０により様々な光学的性能を実現し、且つ前記亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層１２０により耐久性低下の問題を解決することができる。
【００５１】
前記亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層１２０は、ＺｎＡｌＯｘ、０．９≦ｘ≦１．１で表される亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物を含む層であって、具体的には、前記亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物を蒸着することで形成されることができる。
【００５２】
前記亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層１２０の厚さは、約２ｎｍ〜約１０ｎｍであることができる。
【００５３】
前記低放射コーティング１００は、前記低放射コーティングの最外層の片面または両面に、Ｓｉ系複合金属窒化物を含む最外層誘電体層１５０をさらに含むことができる。
【００５４】
前記Ｓｉ系複合金属窒化物は、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｏ、およびこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも１つを含む金属とＳｉの窒化物で形成されることができる。具体的に、前記Ｓｉ系複合金属窒化物は、ＳｉＡｌＮｘ、１．２≦ｘ≦１．５で表される化合物を蒸着することで形成された層であることができる。
【００５５】
前記低放射コーティング１００は、上述の層の他にも、実現しようとする性能および目的用途に応じて、追加的な誘電体層をさらに含むことができる。例えば、前記追加的な誘電体層は、様々な金属酸化物、金属窒化物などを含み、例えば、チタンオキサイド、スズ亜鉛オキサイド、亜鉛オキサイド、亜鉛アルミニウムオキサイド、スズオキサイド、ビスマスオキサイド、シリコンナイトライド、シリコンアルミニウムナイトライド、およびこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも１つを含むことができるが、これに制限されるものではない。かかる金属酸化物および／または金属窒化物に、ビスマス（Ｂｉ）、ホウ素（Ｂ）、アルミニウム（Ａｌ）、ケイ素（Ｓｉ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アンチモン（Ｓｂ）、ベリリウム（Ｂｅ）、およびこれらの組合せからなる群から選択される少なくとも１つの元素をドープすることができる。
【００５６】
前記低放射コーティング１００は、使用目的に合った光学スペクトルを実現するために、前記低放射コーティング１００を構成する各層の材料、位置、および厚さを調節することで、光の波長帯に応じて透過率および反射率を制御して達成することができる。すなわち、前記低放射コーティング１００は、各層の材料および厚さを調整することで、外部から見える前記低放射コーティング１００の高反射面の色、反射率、透過率などの高額性能を微細に制御することができる。
【００５７】
図１に図示された前記低放射コーティング１００は、下部から、第１の最外層誘電体層１５０、Ｔｉ系酸化物層１１０、亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層１２０、第１の低放射保護金属層１３０、低放射層１４０、第２の低放射保護金属層１３０、および第２の最外層誘電体層１５０が積層された構造を有する。
【００５８】
前記第１の最外層誘電体層１５０および前記第２の最外層誘電体層１５０は、Ｓｉ系複合金属窒化物を含む層である。
【００５９】
前記低放射コーティング１００の低放射層１４０を基準として、亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層１２０への方向に、低放射コーティングを形成しようとする基材に付着することができる。
【００６０】
例えば、前記基材１９０は、透明基材であって、前記低放射コーティング１００からなるコーティング層を形成することで、ローイーガラスなどの建具用機能性建築資材を製造することができる。
【００６１】
本発明の他の具現例によれば、透明基材２９０と、前記透明基材２９０にコートされた低放射コーティング２８０と、を含む建具用機能性建築資材２００を提供する。
【００６２】
図２は前記建具用機能性建築資材の断面を図示したものである。
【００６３】
前記透明基材２９０は、高い可視光透過率を有する透明基材であり、例えば、約９０〜約１００％の可視光透過率を有するガラスまたは透明プラスチック基板が用いられることができる。前記透明基材２９０は、例えば、建築用に用いられるガラスであれば制限されずに使用でき、使用目的に応じて、例えば、約２ｍｍ〜約１２ｍｍの厚さを有することができる。
【００６４】
前記建具用機能性建築資材２００は、前記低放射コーティング２８０を適用することにより、ローイー効果による断熱性能を確保し、且つ上述のように前記低放射コーティング２８０により優れた耐久性を有する。
【００６５】
前記低放射コーティング２８０の各層は、公知の方法により積層して製造されることができる。前記各層は、例えば、蒸着方法により積層されることができ、前記蒸着方法は、特に制限されずに、公知の方法により行われることができる。
【００６６】
たとえば、前記低放射コーティング２８０の各層は蒸着により積層されることができ、公知の方法により制限されずに行われることができる。例えば、マグネトロンスパッタ蒸着装置を用いて蒸着することができる。
【００６７】
以下、本発明の実施例および比較例を記載する。かかる下記実施例は、本発明の一実施例にすぎず、本発明が下記実施例により限定されるものではない。
【００６８】
＜実施例＞
（実施例１）
マグネトロン（Ｃ−Ｍａｇ）スパッタ蒸着装置（Ｓｅｌｃｏｓ、Ｃｅｔｕｓ−Ｓ）を用いて、下記表１に示す組成および厚さを有する多層構造の低放射コーティングがコートされたローイーガラスを制作した。
【００６９】
先ず、６ｍｍ厚さの透明ガラス基材上に、ＳｉＡｌＮｘ層を窒素／アルゴン（窒素６０体積％、アルゴン４０体積％）雰囲気下で厚さ３８ｎｍに蒸着した。次いで、ＴｉＯｘ層を酸素／アルゴン（酸素１０体積％、アルゴン９０体積％）雰囲気下で厚さ３４ｎｍに蒸着し、ＺｎＡｌＯｘ層をアルゴン１００体積％雰囲気下で厚さ６ｎｍに蒸着した。ＮｉＣｒ層、Ａｇ層、ＮｉＣｒ層を、アルゴン１００体積％雰囲気下で順にそれぞれ厚さ３．５ｎｍ、１１ｎｍ、および３．５ｎｍに蒸着した後、最後に、ＳｉＡｌＮｘ層を、前記ＳｉＡｌＮｘ層の蒸着条件と同一の条件下で厚さ５０ｎｍに蒸着することで、低放射コーティングがコートされたローイーガラスを制作した。
【００７０】
（実施例２）
ＺｎＡｌＯｘ層の厚さを３ｎｍに積層したことを除き、実施例１と同様の条件でローイーガラスを制作した。
【００７１】
（比較例１）
多相構造の膜のうちＺｎＡｌＯｘ層を除いたことを除き、実施例１と同様の条件でローイーガラスを制作した。
【００７２】
（比較例２）
多層構造の膜のうちＴｉＯｘ層およびＺｎＡｌＯｘ層を除いたことを除き、実施例１と同様の条件でローイーガラスを制作した。
【００７３】
【表１】
0006498202.tif 000002
【００７４】
＜評価＞
（実験例１）
実施例１〜５および比較例１〜３で制作されたローイーガラスのサンプルに対して、下記の方法で熱処理を行った後、光学物性を評価した。
【００７５】
実験室用箱形炉（ｂｏｘ  ｆｕｒｎａｃｅ）装備を用いて、装備内部の温度が約７００℃に維持されている状態で前記サンプルを入れ、７分間維持した後、サンプルを取り出した。
【００７６】
ヘイズ―ガードナープラス（ｈａｚｅ−ｇａｒｄｎｅｒ  ｐｌｕｓ）装備を用いて、熱処理前後の可視光透過率およびヘイズ（Ｈａｚｅ）を測定した。その結果を下記表２に示す。
【００７７】
（実験例２）
実施例１〜５および比較例１〜３で制作されたローイーガラスのサンプルに対して、小型洗浄機を用いて熱処理前後の耐摩耗性テストを行った。サンプルを入れ、ブラシ位置で５７秒間停止し、３秒間通過させた。この際、水を十分に供給した。洗浄等級を１〜６等級に分けて、洗浄後にスクラッチが発生しなかった場合を１等級と評価し、下記表３に示す。
【００７８】
【表２】
0006498202.tif 000003
【００７９】
【表３】
0006498202.tif 000004
【００８０】
比較例２の場合、熱処理前後の可視光透過率およびヘイズ変化量が実施例１、２および比較例１に比べて小さいが、金属層以外に１つの物質（ＳｉＡｌＮｘ）のみを使用しているため、ＴｉＯｘ層を追加した場合（実施例１、２および比較例１）に比べて実現可能な光学性能範囲が制限される。
【００８１】
実施例１、実施例２および比較例１は、比較例２に比べてＴｉＯｘ層を追加して光学性能を広くしたものであるが、比較例１は、熱処理後にＴｉＯｘ層とＮｉＣｒ層との界面接着力に問題が生じて耐摩耗性が低下することを、前記表２および表３の結果から確認できる。
【００８２】
これに対し、実施例１および２は、熱処理後にも耐摩耗性に優れており、ＴｉＯｘ層とＮｉＣｒ層との界面接着力の問題が解消されたことを確認することができた。表３から分かるように、実施例１および実施例２は、熱処理後にも洗浄テストで低放射コーティングの損傷が発生しなかった。
【００８３】
表２から分かるように、より厚いＺｎＡｌＯｘ層を形成した実施例１は、実施例２に比べて熱処理後にもヘイズが殆ど発生せず、蒸着膜間の界面反応による可視光透過率の変化がより小さい。
【符号の説明】
【００８４】
１００、２８０  低放射コーティング
１１０、２１０  Ｔｉ系酸化物層
１２０、２２０  亜鉛およびアルミニウムの複合金属系酸化物層
１３０、２３０  低放射保護金属層
１４０、２４０  低放射層
１５０、２５０  最外層誘電体層
１９０、２９０  ガラス基材
２００  建具用機能性建築資材
【図１】
0006498202.tif 000005
【図２】
0006498202.tif 000006