(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気密構造のチャンバーと、チャンバー内の圧力を調節する圧力調節部と、制御装置と、を備え、吐出口を有する吐出装置の内部流路に液体材料を充填する液体材料充填装置において、
前記吐出装置が、吐出口と連通された出口およびコネクタを有する液体貯留容器を含み、前記チャンバー外にある塗布装置に搭載されて使用される吐出装置であり、
前記圧力調節部が、負圧供給源と、チャンバーと連通するチャンバー連通管と、前記液体貯留容器のコネクタと連通される吐出装置連通管と、チャンバー連通管とチャンバーにガスを供給するガス供給口とを連通または遮断する開閉弁Ａと、チャンバー連通管と吐出装置連通管とを連通または遮断する開閉弁Ｂと、吐出装置連通管と液体貯留容器にガスを供給するガス供給口とを連通または遮断する開閉弁Ｃと、圧力計と、を有し、
前記制御装置が、負圧供給源とチャンバー連通管および吐出装置連通管を連通してチャンバー内および貯留容器内の上方にある空間を真空または真空に近い低圧力に減圧する減圧手段、
チャンバー内および貯留容器内の上方にある空間を一定時間低圧力の状態に維持して液体材料内の気泡を脱気する脱気手段、
前記吐出装置の吐出口をチャンバー内空間に開放した状態で貯留容器内の上方にある空間を液体貯留容器にガスを供給するガス供給口と連通してガスを流入することでチャンバー内よりも高圧として貯留容器内の液体材料を吐出装置に充填する充填手段、
貯留容器内の上方にある空間をチャンバー内と連通して圧力平衡状態とする充填停止手段、並びに、
チャンバー内および貯留容器内の上方にある空間をチャンバーにガスを供給するガス供給口または液体貯留容器にガスを供給するガス供給口と連通する圧力開放手段を備え、
前記チャンバーが、前記吐出装置を出し入れ可能とする扉を備えることを特徴とする液体材料充填装置。
【請求項２】
さらに、チャンバー連通管と負圧供給源とを連通する第１の位置およびチャンバー連通管とチャンバーにガスを供給するガス供給口とを連通する第２の位置を切り換える切換弁とを備え、
前記制御装置が、前記減圧手段において切換弁を第１の位置とすること、並びに、前記圧力開放手段において切換弁を第２の位置とすることを特徴とする請求項１に記載の液体材料充填装置。
【請求項３】
さらに、チャンバー連通管とチャンバーにガスを供給するガス供給口とを連通する流路に設けられた第１の流量制御弁と、吐出装置連通管と液体貯留容器にガスを供給するガス供給口とを連通する流路に設けられた第２の流量制御弁とを備えることを特徴とする請求項２に記載の液体材料充填装置。
【請求項４】
第１の流量制御弁の最大流量が、第２の流量制御弁の最大流量の３倍以上に設定されることを特徴とする請求項３に記載の液体材料充填装置。
【請求項５】
さらに、前記吐出装置の吐出口から吐出された液体材料を検出し、前記制御装置に液体検出信号を送信するセンサを備えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体材料充填装置。
【請求項６】
チャンバーに設置された吐出口を有する吐出装置の内部流路に液体材料を充填する方法において、
前記吐出装置が、吐出口と連通された出口および負圧が供給される管が接続されたコネクタを有する液体貯留容器を含み、前記チャンバー外にある塗布装置に搭載されて使用される吐出装置であり、
前記チャンバーが、前記吐出装置を出し入れ可能とする扉を備え、
チャンバー内および貯留容器内の上方にある空間を真空または真空に近い低圧力に減圧する減圧工程、
チャンバー内および貯留容器内の上方にある空間を一定時間低圧力の状態に維持して液体材料内の気泡を脱気する脱気工程、
前記吐出装置の吐出口をチャンバー内空間に開放した状態で貯留容器内の上方にある空間を液体貯留容器にガスを供給するガス供給口と連通してガスを流入することでチャンバー内よりも高圧とし、貯留容器内の液体材料を吐出装置に充填する充填工程、
吐出口から液滴が流出するのを検出後、速やかに貯留容器内の上方にある空間をチャンバー内と連通して圧力平衡状態とし、液体材料の充填を停止する充填停止工程、並びに、
チャンバー内および貯留容器内の上方にある空間をチャンバーにガスを供給するガス供給口または液体貯留容器にガスを供給するガス供給口と連通してガスを流入する圧力開放工程を有する液体材料充填方法。
【請求項７】
前記減圧工程において、流量制御弁を経時的に調節して、チャンバーおよび貯留容器内のエアを緩やかに排出することを特徴とする請求項６に記載の液体材料充填方法。
【請求項８】
前記充填工程において、流量制御弁を経時的に調節しながら貯留容器内の上方にある空間へ緩やかにガスを流入すること、並びに、
前記圧力開放工程において、流量制御弁を経時的に調節しながら貯留容器内の上方にある空間へ緩やかにガスを流入することを特徴とする請求項６または７に記載の液体材料充填方法。
【請求項９】
前記圧力開放工程において、前記流量制御弁の最大流量が、前記充填工程における流量制御弁の最大流量の３倍以上に設定されることを特徴とする請求項８に記載の液体材料充填方法。
【請求項１０】
前記吐出装置が、吐出口と連通する液室内でロッドが動作する吐出装置であることを特徴とする請求項６または７に記載の液体材料充填方法。
【請求項１１】
前記吐出装置が、吐出口と連通する液室内でロッドが動作する吐出装置であることを特徴とする請求項８に記載の液体材料充填方法。
【請求項１２】
前記吐出装置が、吐出口と連通する液室内でロッドが動作する吐出装置であることを特徴とする請求項９に記載の液体材料充填方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、液体材料吐出装置に液体材料を充填する液体材料充填装置および方法に関する。特に、液体材料吐出装置を使用開始するにあたり、液体材料が充填されていない流路に気泡を残留させることなく液体材料を充填する液体材料充填装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  液体材料を吐出する装置としては、液体材料が供給される供給口から液体材料が吐出される吐出口に至る流路内に、回転移動または進退移動する軸体を配設し、軸体の動作により吐出口より液体材料を吐出するものが知られている（例えば、特許文献１）。  特許文献１の図１に開示される装置は、シリンジに貯留される液体材料が、穴を介して分配装置ハウジングに形成された流路に導入され、シャフトの進出移動によりノズルから液体材料が吐出されるものである。ここで、シャフトは、流動穴に挿入されており、流路は流動穴に挿入されたシャフトの間隙で形成される。また、シャフトは、シールリングでシャフトの駆動源である制御機構に向かって漏出しないように構成されており、従って、シリンジ内に貯留された液体材料はノズルの吐出口に至る分配装置内の流路がすべて液体材料で満たされるよう構成される。【０００３】  このような構成の吐出装置は、流路内に気泡が存在すると、装置が吐出する液体材料の量にばらつきを引き起こすことが知られている。また、使用開始時に気泡を混入してしまうとこれを排除するのが難しく、精度良い吐出が阻害される要因となっていた。具体的には、吐出中に気泡が吐き出されて液体材料が吐出されなかったり、液体材料が吐出されても液滴を形成しないなどの吐出不良が生じたりしていた。そのため、従来は液体材料が充填された貯留容器（シリンジ）に遠心脱泡や真空脱泡の処理を行ってから、吐出装置本体に取り付けることが行われていた。【０００４】  インクジェット式の吐出装置においても、気泡の混入は問題となっている。すなわち、気泡の混入があるとインク吐出エネルギーとなる発熱による気泡の圧力やインク押し出しのための駆動体の圧力がうまくノズルまで伝わらずに、ヘッドのノズルからインクが吐出されない不具合が発生し易い。そこで、例えば、特許文献２では、気密構造のチャンバー内にワークを載置し、チャンバー内を真空に近く減圧し、チャンバー内の真空圧と液体を貯蔵した供給タンク内の大気圧との差圧により、一定量の液体を前記ワーク内に充填する液体充填方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３２２０９９号公報
【特許文献２】特開２００６−２４８０８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  貯留容器（シリンジ）内の液体材料から気泡を除去することができても、貯留容器から吐出装置本体内の流路に液体材料を導入する際に、流路内に存在していた気体が屈曲部や段差部に残留し、これを原因とした新たな気泡発生の問題があった。【０００７】  特許文献２に開示される充填方法は、インク貯蔵部内の気泡を脱気することを可能とするものであるが、インク貯蔵部とキャップ部とを連通する流路内で新たな気泡の混入が生じる可能性がある。具体的には、インク貯蔵部とキャップ部との間にある三方弁や流量調整弁に屈曲部や段差部があるため、そこに気泡が残留する可能性がある。さらには、三方弁の切り替え時に生じるエアーバイパスへのインクの吸い込み時に気泡が生じる可能性があり（同文献段落［００３９］参照）、インクパンへのインク排出後も気泡を含んだインクが流路内に残留する可能性がある。【０００８】  そこで、本発明は、液体材料の貯留部から吐出口に至るまでの流路の全長にわたり気泡の残留を無くすことができる液体材料充填装置および方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  本発明の液体材料充填装置は、気密構造のチャンバーと、チャンバー内の圧力を調節する圧力調節部と、制御装置と、を備え、吐出口を有する吐出装置の内部流路に液体材料を充填する液体材料充填装置において、前記吐出装置が、吐出口と連通された出口およびコネクタを有する液体貯留容器を含み、前記チャンバー外にある塗布装置に搭載されて使用される吐出装置であり、前記圧力調節部が、負圧供給源と、チャンバーと連通するチャンバー連通管と、前記液体貯留容器のコネクタと連通される吐出装置連通管と、チャンバー連通管とチャンバーにガスを供給するガス供給口とを連通または遮断する開閉弁Ａと、チャンバー連通管と吐出装置連通管とを連通または遮断する開閉弁Ｂと、吐出装置連通管と液体貯留容器にガスを供給するガス供給口とを連通または遮断する開閉弁Ｃと、圧力計と、を有し、前記制御装置が、負圧供給源とチャンバー連通管および吐出装置連通管を連通してチャンバー内および貯留容器内の上方にある空間を真空または真空に近い低圧力に減圧する減圧手段、チャンバー内および貯留容器内の上方にある空間を一定時間低圧力の状態に維持して液体材料内の気泡を脱気する脱気手段、前記吐出装置の吐出口をチャンバー内空間に開放した状態で貯留容器内の上方にある空間を液体貯留容器にガスを供給するガス供給口と連通してガスを流入することでチャンバー内よりも高圧として貯留容器内の液体材料を吐出装置に充填する充填手段、貯留容器内の上方にある空間をチャンバー内と連通して圧力平衡状態とする充填停止手段、並びに、チャンバー内および貯留容器内の上方にある空間をチャンバーにガスを供給するガス供給口または液体貯留容器にガスを供給するガス供給口と連通する圧力開放手段を備え、前記チャンバーが、前記吐出装置を出し入れ可能とする扉を備えることを特徴とする。
上記液体材料充填装置において、好ましくは、さらに、チャンバー連通管と負圧供給源とを連通する第１の位置およびチャンバー連通管とチャンバーにガスを供給するガス供給口とを連通する第２の位置を切り換える切換弁とを備え、前記制御装置が、前記減圧手段において切換弁を第１の位置とすること、並びに、前記圧力開放手段において切換弁を第２の位置とすることを特徴とし、より好ましくは、さらに、チャンバー連通管とチャンバーにガスを供給するガス供給口とを連通する流路に設けられた第１の流量制御弁と、吐出装置連通管と液体貯留容器にガスを供給するガス供給口とを連通する流路に設けられた第２の流量制御弁とを備えることを特徴とし、さらに好ましくは第１の流量制御弁の最大流量が、第２の流量制御弁の最大流量の３倍以上に設定されることを特徴とする。
上記液体材料充填装置において、さらに、前記吐出装置の吐出口から吐出された液体材料を検出し、前記制御装置に液体検出信号を送信するセンサを備えることを特徴としてもよい。【００１０】
本発明の液体材料充填方法は、チャンバーに設置された吐出口を有する吐出装置の内部流路に液体材料を充填する方法において、前記吐出装置が、吐出口と連通された出口および負圧が供給される管が接続されたコネクタを有する液体貯留容器を含み、前記チャンバー外にある塗布装置に搭載されて使用される吐出装置であり、前記チャンバーが、前記吐出装置を出し入れ可能とする扉を備え、チャンバー内および貯留容器内の上方にある空間を真空または真空に近い低圧力に減圧する減圧工程、チャンバー内および貯留容器内の上方にある空間を一定時間低圧力の状態に維持して液体材料内の気泡を脱気する脱気工程、前記吐出装置の吐出口をチャンバー内空間に開放した状態で貯留容器内の上方にある空間を液体貯留容器にガスを供給するガス供給口と連通してガスを流入することでチャンバー内よりも高圧とし、貯留容器内の液体材料を吐出装置に充填する充填工程、吐出口から液滴が流出するのを検出後、速やかに貯留容器内の上方にある空間をチャンバー内と連通して圧力平衡状態とし、液体材料の充填を停止する充填停止工程、並びに、チャンバー内および貯留容器内の上方にある空間をチャンバーにガスを供給するガス供給口または液体貯留容器にガスを供給するガス供給口と連通してガスを流入する圧力開放工程を有することを特徴とする。
上記液体材料充填方法において、前記減圧工程において、流量制御弁を経時的に調節して、チャンバーおよび貯留容器内のエアを緩やかに排出することを特徴としてもよい。
上記液体材料充填方法において、前記充填工程において、流量制御弁を経時的に調節しながら貯留容器内の上方にある空間へ緩やかにガスを流入すること、並びに、前記圧力開放工程において、流量制御弁を経時的に調節しながら貯留容器内の上方にある空間へ緩やかにガスを流入することを特徴としてもよく、ここで好ましくは、前記圧力開放工程において、前記流量制御弁の最大流量が、前記充填工程における流量制御弁の最大流量の３倍以上に設定されることを特徴とする。
上記液体材料充填方法において、前記吐出装置が、吐出口と連通する液室内でロッドが動作する吐出装置であることを特徴としてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、液体材料の貯留部から吐出口に至るまでの流路の全長にわたり気泡の残留を無くすことができる液体材料充填装置および方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の液体材料充填装置の構成図である。
【図２】本発明の液体材料充填装置内に吐出装置を設置した状態を示す斜視図である。
【図３】制御装置の構成を示すブロック図である。
【図４】吐出装置の構成を示す要部断面側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下では、本発明を実施するための形態の一例を図面を参照しながら説明する。
【００１４】＜構成＞
本発明の液体材料充填装置１は、図１に示すように、チャンバー１０と、圧力調節部７０と、制御装置１００とを主要な構成要素とする。気密構造のチャンバー１０の中に吐出装置５０が設置され、充填工程が実施される。圧力調節部７０は、チャンバー１０および吐出装置５０の貯留容器５１の圧力を調節するものであり、制御装置１００により動作が制御される。
【００１５】
図２に示すように、チャンバー１０は、ヒンジで固定された扉１１と、把手１２と、係止具１３〜１４と、気密部材１５を備えている。
扉１１の開閉は把手１２を掴んで行われる。扉１１を閉めて額縁状に設けられた気密部材１５を押圧した状態で、係止具Ａ１３および係止具Ｂ１４により扉１１を固定することでチャンバー内を気密にできる。チャンバー１０の上部の直方体状の筐体内には、制御装置１００および圧力調節部７０が設置されている。この筐体の正面には、負圧計Ａ８７および負圧計Ｂ８８が配置されており、正面から視認することができる。
【００１６】  圧力調節部７０は、負圧供給源７１と、流量制御弁８０〜８２と、開閉弁８３〜８５と、切換弁８６と、負圧計８７〜８８を備えている。  負圧供給源７１は、所定の負圧を供給するもので、例えば真空ポンプに減圧弁を組み合わせて構成することができる。  切換弁８６は、負圧供給源７１と開閉弁Ａ８３とを連通する第１位置と、開閉弁Ａ８３とガス供給口９２とを流量制御弁Ｃ８２を介して連通する第２位置とを切り換える。  チャンバー１０に挿通される管Ａ９０の一端は、チャンバー内空間に開放されている。チャンバー１０に挿通される管Ｂ９１の一端は、貯留容器５１の下端出口と連通している。管Ａ９０および管Ｂ９１は、図１に示す如く、流量制御弁８０〜８２、開閉弁８３〜８５および切換弁８６を介してガス供給口９２，９３および負圧源７１と連通している。なお、本実施形態例では、ガス供給口を大気と連通させ大気ガスを供給しているが、ガス供給口を不活性ガス供給源と連通させ不活性ガスを供給するようにしてもよい。
【００１７】  制御装置１００は、図３に示すように、液滴検知センサ６１および圧力調節部７０の各要素と電気的に接続されている。制御装置１００は、演算装置および記憶装置を備え、後述する充填工程において、液滴検知センサ６１および負圧計８７〜８８からの信号に基づき切換弁８６および開閉弁８３〜８５の動作を自動で制御する。なお、圧力調節部７０の各要素の動作の制御を時間により行う場合には、制御装置１００にハードウェアまたはソフトウェアで実現されるタイマーを設けてもよい。
【００１８】  液滴検知センサ６１は、吐出装置５０の吐出口５３から吐出された液滴（または糸状の液）を検出し、検出信号を制御装置１００へ送信する。受け皿６２に液滴を計量する計量装置を設け、受け皿６２の重量変化により液滴の吐出を検出するようにしてもよい。
【００１９】  図４は、吐出装置５０の構成を示す要部断面側面図である。  貯留容器５１と吐出装置本体５２は、内部に流路が設けられた液送部材５６を介して連結されている。吐出装置本体５２の一方の側面には、電磁弁５７が固設されている。  吐出口５３と連通する液室５４内には、鉛直方向に延伸するロッド５５の先端が配置されている。ロッド５５は、例えばピエゾ素子からなるロッド駆動源により、液室５４内を往復移動する。  貯留容器５１は、下端に出口を有し、上端に開口を有している。貯留容器５１の開口を覆う蓋部材（コネクタ）にはエアチューブが接続され、エア圧力供給５８のエア供給口と連通される。コントローラ５９は、電磁弁５７およびエア圧力供給５８の動作を制御する。  吐出装置５０をチャンバー１０内に設置する際は、エア圧力供給５８およびコントローラ５９との接続は外される。この際、ロッド５５は上昇位置で固定し、ロッド５５が液室５４と吐出口５３とを連通する流路を塞がないようにする。すなわち、チャンバー１０内には、吐出口５３と液体貯留容器５１の出口とが連通する状態の吐出装置５０を設置する。
【００２０】  吐出装置５０は、塗布対象物を載置するワークテーブルと、液体定量吐出装置とワークテーブルとを相対的に移動させるＸＹＺ方向移動装置と、ＸＹＺ方向移動装置の動作を制御する制御部とを備える塗布装置に搭載されて使用される。  図４に示した吐出装置５０は一例に過ぎず、吐出口と連通する液室内でロッドが動作するあらゆる吐出装置に本発明は適用可能である。例えば、ノズルに連通する流路の端部に設けられた弁座に弁体を衝突させてまたは弁体を弁座に衝突する寸前に停止させて液体材料をノズル先端より飛翔吐出させるジェット式の吐出装置、先端にノズルを有する貯留容器の内面に密着摺動するプランジャーを所望量移動して吐出するプランジャー式、スクリューの回転により液体材料を吐出するスクリュー式の吐出装置にも本発明は適用可能である。
【００２１】＜充填工程＞（準備工程：吐出装置の取り付け等）  作業者は、準備工程として次の作業を行う。（１）チャンバー１０内にあるホルダー６０に吐出装置５０を取り付ける。（２）液体材料を貯留する貯留容器５１の開口を覆う蓋部材に管Ｂ９１を接続し、貯留容器５１内の上方に閉空間を作る。（３）吐出装置５０の吐出口５３の下に受け皿６２を設置する。（４）吐出装置５０の吐出口５３から下方に延びる垂直線と、液滴検知センサ６１の検知範囲が重なるようにする。
【００２２】（第１の工程：チャンバーおよび貯留容器の減圧）  制御装置１００が、切換弁８６を負圧供給源７１と開閉弁Ａ８３とを連通する第１位置とし、開閉弁Ａ８３および開閉弁Ｂ８４を開き、開閉弁Ｃ８５を閉じた状態とする。この状態では、負圧供給源７１は管Ａ９０を介してチャンバー１０と連通し、管Ｂ９１を介して貯留容器５１と連通している。そのため、負圧供給源７１からの負圧によりチャンバー１０内の圧力および貯留容器５１内の上方に存在する気体の圧力は減少する。  吐出装置５０の吐出口５３はチャンバー内空間に開放されているので、吐出口５３と連通する装置本体５２の内部流路は、チャンバー１０の圧力減少に伴い減圧される。この際、制御装置１００により流量制御弁Ａ８０を経時的に調節して、チャンバー１０および貯留容器５１内の空気が急激に排気されないようコントロールすることが好ましい。吐出装置５０内の流路および貯留容器５１内に急激な圧力変化が生じると気泡混入のおそれがあり、特に貯留容器５１内の液体材料が暴れてしまうと気泡を混入するおそれが相当程度高まるからである。
【００２３】（第２の工程：気泡の除去）  制御装置１００は、負圧計Ａ８７と負圧計Ｂ８８が所望の圧力（すなわち、真空または真空に近い低圧力）に到達したら、開閉弁Ａ８３を閉じる。これにより、負圧供給源７１からチャンバー１０および貯留容器５１への負圧の供給が停止し、チャンバー１０内の圧力と貯留容器５１内の圧力および装置本体５２の内部流路の圧力が等しい状態となる。この状態においては、装置本体５２の内部流路は実質的に真空となり、チャンバー１０内に存在する全ての液体材料から気泡が除去される。気泡を除去する工程は、予め設定した一定時間継続して行われる。
【００２４】（第３の工程：液体材料の充填開始）  制御装置１００は、一定時間経過後開閉弁Ｂ８４を閉じ、管Ａ９０と管Ｂ９１の連通を遮断する。これにより、チャンバー１０と貯留容器５１の上方の空間との連通が遮断される。続いて、制御装置１００は、流量制御弁Ｂ８１を閉じてから、開閉弁Ｃ８５を開く。この際、流量制御弁Ｂ８１は閉じているので、負圧計Ｂ８８の指示値は変化しない。  続いて、制御装置１００は、流量制御弁Ｂ８１を徐々に開く。これにより、ガス供給口９３から開閉弁Ｃ８５を介して貯留容器５１の上方の空間内に大気ガスが流入する。この際、貯留容器５０内の液体材料が急激に装置本体５２の内部流路に流れ込まないように、制御装置１００により流量制御弁Ｂ８１の開放度合いを調節することが好ましい。
【００２５】  貯留容器５１内への大気ガス流入量が増加するに連れ貯留容器５１内の圧力も上昇し、負圧計Ｂ８８の指示値も増加する。貯留容器５１内への大気ガス流入（圧力上昇）は、負圧計Ｂ８８が所望の圧力値を指示するまで行う。流路Ｂ９１と流路Ａ９０との連通は、貯留容器５１内の液体材料により遮断されているため、負圧計Ａ８７の指示値は増加しない。負圧計Ａ８７の指示値と負圧計Ｂ８８の指示値との差が、貯留容器５１と装置本体５２の内部流路との差圧となる。この差圧が、貯留容器５１内の液体材料を吐出装置の内部流路に送り込むための推進圧となる。チャンバー１０内の負圧は、例えば−６０〜−１００ｋＰａであり、負圧計Ａと負圧計Ｂの差圧は、例えば数１０ｋＰａ〜数１００ｋＰａである。  なお、上記では、制御装置１００により開閉弁Ｃ８５を開いた後に流量制御弁Ｂ８１を開く方法を説明したが、制御装置１００により予め流量制御弁Ｂ８１の開き度合いを設定してから開閉弁Ｃ８５を開いても良い。
【００２６】（第４の工程：液体材料の充填停止）  負圧計Ｂ８８の指示値が所望値に到達したら、制御装置１００は開閉弁Ｃ８５を閉じる。負圧計Ｂ８８の指示値に代わり、一定時間経過後に開閉弁Ｃ８５を閉じるのでもよい。この際、開閉弁Ｂ８４を閉じたままとすることにより、負圧計Ａ８７と負圧計Ｂ８８の差圧が維持される。従って、液体材料は貯留容器から５１から装置本体５２の内部流路へ緩やかに流れ続ける。液滴検知センサ６１からの検出信号により貯留容器５１から流入した液体材料が吐出口５３まで到達したことが確認されたら、制御装置１００は開閉弁Ｂ８４を開き、管Ａ９０と管Ｂ９１を連通する。これにより、貯留容器５１内の圧力とチャンバー１０との圧力差がなくなり、貯留容器５１から装置本体５２の内部流路への液体材料の流入が停止する。このとき、負圧計Ａ８７と負圧計Ｂ８８の指示値は等しくなっている（圧力平衡状態）。
【００２７】（第５工程：チャンバー内負圧の開放）  制御装置１００は切換弁８６を第２位置に設定し、開閉弁Ａ８３と流量制御弁Ｃ８２とを連通させる。この際、開閉弁Ａ８３および流量制御弁Ｃ８２は閉じた状態にあり、開閉弁Ｂ８４は開いた状態にある。続いて、制御装置１００は開閉弁Ａ８３を開き、流量制御弁Ｃ８２を徐々に開く。これにより、ガス供給口９２から大気ガスが、管Ａ９０を介してチャンバー１０に流入し、管Ｂ９１を介して貯留容器５１の上方空間内に流入する。チャンバー１０および貯留容器５１の圧力が上昇し、大気圧と等しくなる。  なお、上記では、制御装置１００により開閉弁Ａ８３を開いた後に流量制御弁Ｃ８２を開く方法を説明したが、制御装置１００により流量制御弁Ｃ８２の開き度合いを設定してから開閉弁Ａ８３を開いても良い。
【００２８】  さらには、本工程において、ガス供給口９３からチャンバー１０および貯留容器５１の上方空間内に大気ガスを流入してもよい。すなわち、制御装置１００は開閉弁Ａ８３、開閉弁Ｃ８５および流量制御弁Ｂ８１は閉じた状態、開閉弁Ｂ８４は開いた状態とし、続いて開閉弁Ｃ８５を開き、流量制御弁Ｂ８１を徐々に開くようにしてもよい。ここでも、制御装置１００により予め流量制御弁Ｂ８１の開き度合いを設定してから開閉弁Ｃ８５を開いても良い。ガス供給口９３経由でチャンバー内の負圧を開放する場合には切換弁８６は不要となり、流量制御弁Ａ８０と開閉弁Ａ８３を直結することが可能となる。  但し、第３の工程における貯留容器５１への大気ガスの流入と第５の工程における大気ガスの流入を比べると、後者の方が著しく流入量が多いため、大気ガスの流入口を分けた方が良い場合がある。すなわち、切換弁８６を設けた構成の方が、ガス供給口９２からは大流量の弁を介して大気ガスを流入させ、ガス供給口９３からは小流量の弁を介して大気ガスを流入させることができるので、第５の工程において速やかにチャンバー内の負圧を開放することが可能となる。例えば、流量制御弁Ｃ８２の最大流量を流量制御弁Ｂ８１の３倍以上（好ましくは５倍以上、より好ましくは１０倍以上）とすることも可能である。
【００２９】（事後工程：吐出装置の取り出し）  作業者は、負圧計Ａ８７および負圧計Ｂ８８の指示値が大気圧に戻ったことを目視確認し、チャンバー１０から吐出装置５０（貯留容器５１および装置本体５２）を取り出す。  以上に説明した第１〜５の工程は自動で行われるのが原則であるが、その一部または全部を人手により行うことも当然に可能である。
【００３０】  以上に説明した液体材料充填装置１によれば、大気が残らない真空の状態または実質的に真空の状態において液体材料の充填を行うので、貯留容器から吐出口に至る流路の隅々まで残留気泡の無い液体材料が行き渡る。また、吐出装置そのものがチャンバー内で真空状態にあるから、吐出口から吐出装置の内部流路に気体が流入するおそれもない。  本発明によれば、貯留容器から吐出口に至る流路内に気泡が残留しないので、吐出量が安定し、吐出不良が生じないという有利な効果が奏される。また、残留気泡を原因とする吐出口からの液だれ、後だれがなくなるので、クリーンに吐出できる。さらには、吐出口から液滴の状態で吐出を行う吐出装置においては、着弾位置の精度が上がる。本発明は、特に吐出口と連通する液室内に作業軸（ロッド）の先端部分が配置されるメカ式吐出装置に大変有効である。
【符号の説明】
【００３１】  １：液体材料充填装置１０：チャンバー１１：扉１２：把手１３：係止具Ａ１４：係止具Ｂ１５：シール部材５０：吐出装置５１：貯留容器（シリンジ）５２：装置本体５３：吐出口５４：液室５５：ロッド５６：液送部材５７：電磁弁５８：エア圧力供給５９：コントローラ６０：ホルダー６１：液滴検知センサ６２：受け皿７０：圧力調節部７１：負圧供給源８０：流量制御弁Ａ８１：流量制御弁Ｂ
８２：流量制御弁Ｃ
８３：開閉弁Ａ
８４：開閉弁Ｂ
８５：開閉弁Ｃ
８６：切換弁
８７：負圧計Ａ（圧力計Ａ）
８８：負圧計Ｂ（圧力計Ｂ）
９０：管Ａ（チャンバー連通管）
９１：管Ｂ（吐出装置連通管）
９２：（チャンバーにガスを供給する）ガス供給口
９３：（液体貯留容器にガスを供給する）ガス供給口
１００：制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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