(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートを所定の位置に供給するシート供給装置であって、
帯状の剥離シートの一方の面に前記接着シートが仮着された原反に繰出力を付与し、当該原反を所定の繰出方向に繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される原反をその折曲部で折り曲げて前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記繰出手段は、前記折曲部に対して前記繰出方向上流側に配置され、前記原反を挟み込む原反挟込手段を備え、前記剥離手段で前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シートから剥離するときにのみ、前記原反挟込手段で前記原反を挟みこむことを特徴とするシート供給装置。
【請求項２】
接着シートを所定の位置に供給するシート供給方法であって、
帯状の剥離シートの一方の面に前記接着シートが仮着された原反を所定の繰出方向に繰り出す工程と、
前記繰り出される原反を剥離手段の折曲部で折り曲げて前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、
前記剥離手段で前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シートから剥離するときにのみ、前記折曲部に対して前記繰出方向上流側に配置された原反挟込手段で前記原反を挟みこむ工程とを備えていることを特徴とするシート供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート供給装置および供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、剥離手段の折曲部に対して原反の繰出方向上流側に配置された原反挟込手段を備え、接着シートを所定の位置に供給するシート供給装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２１６２４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート供給装置では、原反の繰り出しが行われないとき、接着シートが原反挟込手段である張力付与ローラとピンチローラとで挟み込まれた状態で待機する場合があり、このような待機状態が続くと、それらローラの挟込力が１箇所に集中し、接着シートに筋状の挟込跡を形成してしまうという不都合を発生する。このような挟込跡ができると、例えば、被着体との間に気泡が介在した状態で接着シートが貼付されるといった不都合を発生したり、例えば、被着体が半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）の場合、接着シートでウエハの回路面を保護した状態で、当該回路面の反対側面から５〜３０μｍ前後の厚さまでウエハを研削すると、挟込跡が形成された領域のウエハの厚みが他の領域に比べて厚くなり、半導体装置の厚みが不均一となって品質が低下するという不都合を招来したりする。
【０００５】
本発明の目的は、剥離手段の折曲部に対して原反の繰出方向上流側で当該原反を挟み込んで接着シートを供給しつつも、挟込力が１箇所に集中することによって当該接着シートに挟込跡を形成することを防止することができるシート供給装置および供給方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシート供給装置は、接着シートを所定の位置に供給するシート供給装置であって、帯状の剥離シートの一方の面に前記接着シートが仮着された原反に繰出力を付与し、当該原反を所定の繰出方向に繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出される原反をその折曲部で折り曲げて前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、前記繰出手段は、前記折曲部に対して前記繰出方向上流側に配置され、前記原反を挟み込む原反挟込手段を備え、前記剥離手段で前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シートから剥離するときにのみ、前記原反挟込手段で前記原反を挟みこむことを特徴とする。
【０００７】
本発明のシート供給装置において、前記繰出手段は、前記原反挟込手段による挟込位置を変更可能な挟込位置変更手段を備えていることが好ましい。
本発明のシート供給装置において、前記原反は、前記剥離シートの一方の面に接着シート間領域を隔てて複数の接着シートが仮着され、前記接着シート間領域を検知可能なシート間領域検知手段を備え、前記挟込位置変更手段は、前記シート間領域検知手段の検知結果を基に、前記原反挟込手段によって前記原反を挟み込んだ瞬間の位置を前記接着シート間領域とすることが好ましい。
本発明のシート供給装置において、前記挟込位置変更手段は、前記剥離手段で前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シートから剥離する間、前記原反挟込手段で前記接着シート間領域を挟み込んだ状態のまま当該原反挟込手段を前記繰出方向に移動可能に設けられていることが好ましい。
【０００８】
本発明のシート供給方法は、接着シートを所定の位置に供給するシート供給方法であって、帯状の剥離シートの一方の面に前記接着シートが仮着された原反を所定の繰出方向に繰り出す工程と、前記繰り出される原反を剥離手段の折曲部で折り曲げて前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、前記剥離手段で前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シートから剥離するときにのみ、前記折曲部に対して前記繰出方向上流側に配置された原反挟込手段で前記原反を挟みこむ工程とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、原反が繰り出されていないときに、当該原反上の接着シートの一部分を挟み込み続けることがないので、剥離手段の折曲部に対して原反の繰出方向上流側で当該原反を挟み込んで接着シートを供給しつつも、挟込力が１箇所に集中することによって当該接着シートに挟込跡を形成することを防止することができる。
【００１０】
また、原反挟込手段による挟込位置を変更可能にすれば、原反における所望の位置を当該原反挟込手段で挟み込むことができる。
さらに、原反挟込手段によって原反を挟み込んだ瞬間の位置を接着シート間領域とすれば、原反挟込手段による打撃によって接着シートに挟込跡が形成されることも防止することができる。
また、原反挟込手段で接着シート間領域を挟み込んだ状態のまま、当該原反挟込手段を繰出方向に移動可能にすれば、接着シートの繰出方向先端部を剥離シートから剥離する供給動作中に、何らかの要因でこの供給動作が停止したとしても、挟込力が１箇所に集中することによって接着シートに挟込跡が形成されることを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート供給装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート供給装置１０は、接着シートＡＳを所定の位置に供給する装置であって、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シート間領域ＳＤを隔てて複数の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳに繰出力を付与し、当該原反ＲＳを所定の繰出方向に繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出される原反ＲＳをその折曲部３０Ａで折り曲げて剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３０と、光学センサや撮像手段等で構成され、接着シート間領域ＳＤを検知可能なシート間領域検知手段４０と、光学センサや撮像手段等で構成され、剥離板３０上の所定位置で接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１を検知可能な先端検知手段４０Ａとを備え、接着シートＡＳを被着体としてのウエハＷＦに押圧する押圧手段としての押圧ローラ５０の近傍であって、ウエハＷＦを相対移動させる移送手段６０の上方に配置されている。
【００１４】
繰出手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ２２と、折曲部３０Ａに対して繰出方向上流側に配置され、原反ＲＳを挟み込む原反挟込手段２３と、原反挟込手段２３による挟込位置を変更可能な挟込位置変更手段２４と、剥離シートＲＬを回収する回収手段２５とを備え、その全体がフレーム２６に支持されている。なお、原反ＲＳの繰出方向（以下、単に「繰出方向」という場合がある）とは、当該原反ＲＳが支持ローラ２１から回収手段２５に向かって繰り出される方向である。
原反挟込手段２３は、基台２３Ａに支持された駆動機器としての回動モータ２３Ｂによって駆動される駆動ローラ２３Ｃと、基台２３Ａに回転可能に支持されたアーム２３Ｄと、基台２３Ａに支持され、その出力軸でアーム２３Ｄを回転可能に支持する駆動機器としての直動モータ２３Ｅと、アーム２３Ｄに回転可能に支持されたピンチローラ２３Ｆとを備えている。なお、シート間領域検知手段４０は、図示しないアームを介して基台２３Ａに支持されている。
挟込位置変更手段２４は、そのスライダ２４Ｂによって基台２３Ａを支持する駆動機器としてのリニアモータ２４Ａを備え、シート間領域検知手段４０の検知結果を基に、原反挟込手段２３による挟込位置を変更可能に設けられている。
回収手段２５は、駆動機器としての回動モータ２５Ａによって駆動される駆動ローラ２５Ｂと、駆動ローラ２５Ｂとの間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２５Ｃと、剥離シートＲＬを巻回する巻回ローラ２５Ｄとを備えている。
【００１５】
移送手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１のスライダ６１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面６２Ａを有するテーブル６２を備えている。
【００１６】
以上のシート供給装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、駆動ローラ２３Ｃとピンチローラ２３Ｆとで原反ＲＳを挟み込んでいない状態のシート供給装置１０に対し、作業者が原反ＲＳを図１に示すようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段２０が回動モータ２５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１が先端検知手段４０Ａに検知されると、直動モータ２３Ｅを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、駆動ローラ２３Ｃとピンチローラ２３Ｆとで原反ＲＳを挟み込むとともに、回動モータ２３Ｂを駆動する。そして、図１に示すように、剥離板３０上に位置する先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１が折曲部３０Ａで所定長さ剥離されたことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０が回動モータ２３Ｂ、２５Ａの駆動を停止するとともに、直動モータ２３Ｅを駆動し、駆動ローラ２３Ｃとピンチローラ２３Ｆとでの原反ＲＳの挟み込みを解除して当該繰出手段２０が待機状態となる。これにより、繰出手段２０は、剥離板３０で接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１を剥離シートＲＬから剥離するときにのみ、原反挟込手段２３で原反ＲＳを挟み込むこととなる。これにより、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１が折曲部３０Ａで剥離され易くなる。
ここで、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１を剥離シートＲＬから剥離する供給動作中に、何らかの要因でこの供給動作が停止した場合、駆動ローラ２３Ｃとピンチローラ２３Ｆとでの原反ＲＳの挟み込みを解除する構成としておけば、このように供給動作が停止したときにでも、挟込力が１箇所に集中することによって接着シートに挟込跡が形成されることを確実に防止することができる。
【００１７】
その後、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、図１中実線で示す初期位置にあるテーブル６２の支持面６２Ａ上にウエハＷＦを載置すると、移送手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持した後、リニアモータ６１を駆動し、テーブル６２を左方向に移動させる。次いで、ウエハＷＦが所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０が回動モータ２５Ａを駆動し、テーブル６２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、先頭の接着シートＡＳが剥離板３０の折曲部３０Ａの位置で剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ５０によってウエハＷＦに押圧されて貼付される。なお、先頭の接着シートＡＳを繰出中に、次回貼付予定の接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１が先端検知手段４０Ａに検知されると、上記と同様にして繰出手段２０が駆動ローラ２３Ｃとピンチローラ２３Ｆとで原反ＲＳを挟み込み、当該次回貼付予定の接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１が折曲部３０Ａで所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、上記と同様にして当該繰出手段２０が再び待機状態となる。
【００１８】
ウエハＷＦに接着シートＡＳの貼付が完了すると、移送手段６０がリニアモータ６１および図示しない減圧手段の駆動を停止した後、図示しない搬送手段がウエハＷＦを次工程に搬送する。そして、移送手段６０がリニアモータ６１を駆動し、テーブル６２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００１９】
以上のような実施形態によれば、原反ＲＳが繰り出されていないときに、当該原反ＲＳ上の接着シートＡＳの一部分を挟み込み続けることがないので、剥離板３０の折曲部３０Ａに対して原反ＲＳの繰出方向上流側で当該原反ＲＳを挟み込んで接着シートＡＳを供給しつつも、挟込力が１箇所に集中することによって当該接着シートＡＳに挟込跡を形成することを防止することができる。
【００２０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２１】
例えば、繰出手段２０は、帯状の接着シート基材に閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートＡＳ、外側が不要シートとされ、接着シート間領域ＳＤを隔てて複数の接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反を繰り出してもよい。また、帯状の接着シート基材が帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、図１中二点鎖線で示すように、プラテンローラ７１と、閉ループ状の切断刃７２Ａを有するカッターローラ７２とで構成された切断手段により接着シート基材を所定形状に切断し、接着シート間領域ＳＤを隔てて複数の接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反を形成してもよい。なお、切断手段は、レーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の他のもので構成してもよい。
繰出手段２０は、原反挟込手段２３のみまたは、回収手段２５のみを駆動して原反ＲＳに繰出力を付与してもよい。
繰出手段２０は、回収手段２５を備えなくてもよい。
繰出手段２０は、図１中二点鎖線で示すように、圧力センサやロードセル等の張力検知手段２２Ａを介して下方に位置するガイドローラ２２を回転可能に支持し、当該張力検知手段２２Ａの検知結果を基に、トルク制御と速度制御との少なくとも一方を行い、剥離シートＲＬに張力を付与したり、ウエハＷＦに押圧されている接着シートＡＳに所定の張力を付与したりしてもよいし、トルク制御と速度制御との両方を同時に行ってもよい。
【００２２】
原反挟込手段２３は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、丸棒やブレード材等で原反ＲＳを挟み込んでもよい。
原反挟込手段２３は、回動モータ２３Ｂのトルク制御を行い、駆動ローラ２３Ｃを介して原反ＲＳから受けるトルクが所定値となるように維持しながら当該駆動ローラ２３Ｃを回転させたり、回動モータ２３Ｂの速度制御を行い、回動モータ２５Ａがテーブル６２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す速度よりも遅い速度で駆動ローラ２３Ｃを駆動させたり、原反ＲＳの繰出方向の反対方向（図１の場合、時計回転方向）に駆動ローラ２３Ｃを駆動させたりすることで、剥離シートＲＬに所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬからの接着シートＡＳの剥離を容易に行えるようにしたり、ウエハＷＦに押圧されている接着シートＡＳに所定の張力を付与したりしてもよいし、トルク制御と速度制御との両方を同時に行ってもよい。
原反挟込手段２３は、駆動ローラ２３Ｃを回転させる駆動機器を設けなくてもよい。
【００２３】
挟込位置変更手段２４は、シート間領域検知手段４０の検知結果を基に、原反挟込手段２３によって原反ＲＳを挟み込んだ瞬間の位置を接着シート間領域ＳＤとなるように構成してもよい。
挟込位置変更手段２４は、剥離板３０で接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１を剥離シートＲＬから剥離する間、原反挟込手段２３で接着シート間領域ＳＤを挟み込んだ状態のまま当該原反挟込手段２３を繰出方向に移動させてもよい。この場合、挟込位置変更手段２４によって、図１中二点鎖線で示すように、駆動ローラ２３Ｃとピンチローラ２３Ｆとで原反ＲＳを挟み込んだ瞬間の位置を接着シート間領域ＳＤとしておく。そして、上記と同様にして駆動ローラ２３Ｃとピンチローラ２３Ｆとで原反ＲＳを挟み込んだ後は、回動モータ２３Ｂの回転をロックした状態で、リニアモータ２４Ａを駆動し、原反ＲＳの繰出に合わせて原反挟込手段２３を移動させる。そして、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１が折曲部３０Ａで所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、駆動ローラ２３Ｃとピンチローラ２３Ｆとによる原反ＲＳの挟込を解除した後、それらを、原反ＲＳを挟み込んだ位置に復帰させればよい。
挟込位置変更手段２４は、シート間領域検知手段４０の検知結果を基に、原反挟込手段２３によって原反ＲＳを挟み込んだ瞬間の位置を接着シート間領域ＳＤとなるように構成してもよい。
挟込位置変更手段２４は、リニアモータ２４Ａのトルク制御を行い、駆動ローラ２３Ｃを介して原反ＲＳから受けるトルクが所定値となるように維持しながらスライダ２４Ｂを原反繰出方向に移動させたり、リニアモータ２４Ａの速度制御を行い、回動モータ２５Ａがテーブル６２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す速度よりも遅い速度でスライダ２４Ｂを原反繰出方向に移動させたりすることで、剥離シートＲＬに所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬからの接着シートＡＳの剥離を容易に行えるようにしたり、ウエハＷＦに押圧されている接着シートＡＳに所定の張力を付与したりしてもよいし、トルク制御と速度制御との両方を同時に行ってもよい。
挟込位置変更手段２４はなくてもよい。
挟込位置変更手段２４は、原反挟込手段２３による挟込位置を手動で変更する構成としてもよく、この場合、シート間領域検知手段４０は、あってもよいしなくてもよい。
【００２４】
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
シート間領域検知手段４０は、リミットスイッチ等の接触型のセンサでもよい。
シート間領域検知手段４０は、基台２３Ａに支持されることなく、例えば、原反挟込手段２３に対して繰出方向上流側または繰出方向下流側に配置されてもよい。
押圧手段は、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等で押圧部材を採用してもよいし、エア噴き付けにより接着シートＡＳを被着体に押圧する構成としてもよい。
【００２５】
移送手段６０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で被着体を支持する構成でもよい。
移送手段６０は、テーブル６２の位置を固定しておきシート供給装置１０等を移動させてもよいし、テーブル６２およびシート供給装置１０等の両方を移動させてもよい。
シート供給装置１０等に対し、他の装置でウエハＷＦを相対移動させる場合、移送手段６０はなくてもよい。
【００２６】
シート供給装置１０は、帯状の接着シート基材をウエハＷＦに貼付した後、当該接着シート基材を切断刃、レーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の切断手段で所定形状の接着シートＡＳに切断してもよい。この場合、挟込位置変更手段２４は、後に切断手段で切断される接着シートＡＳの大きさと、切断後の接着シート間領域ＳＤとを考慮して、接着シート基材における挟込位置を変更することができる。
【００２７】
また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２８】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離手段は、繰出手段で繰り出される原反をその折曲部で折り曲げて剥離シートから接着シートを剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２９】
１０    シート供給装置
２０    繰出手段
２３    原反挟込手段
２４    挟込位置変更手段
３０    剥離板（剥離手段）
３０Ａ  折曲部
４０    シート間領域検知手段
ＡＳ    接着シート
ＡＳ１  繰出方向先端部
ＲＬ    剥離シート
ＲＳ    原反
ＳＤ    接着シート間領域
【図１】
0006539523.tif 000002