(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子的な構成部品（Ｂ）のための構成部品操作装置（１００）を自己調整する装置であって、前記装置が、
構成部品（Ｂ）を放出装置（１１０）によって提供箇所（ＳＰＳ）において、複数の引取部（１３２）を有する第１の調整可能な転向装置（１３０）へ引き渡し、かつ
受け取った構成部品（Ｂ）を、その長手軸又は横軸（ＬＡ、ＱＡ）を中心に第１のあらかじめ定められた角度だけ転向させ、置き場所（ＡＳ）へ移送し、かつそこであらかじめ定められた受け取り箇所（ＥＳ１）において調整可能な受け取り装置（２００）へ置くように、
形成されかつ配置されており、
前記提供箇所（ＳＰＳ）へ向けられた第１の調整センサ構成（Ｋ１、Ｋ８）であって、前記提供箇所（ＳＰＳ）に位置決めされた前記引取部（１３２）の位置を、前記放出装置（１１０）に関して検出するように、形成されかつ配置された、第１の調整センサ構成（Ｋ１、Ｋ８）と、
前記置き場所（ＡＳ）へ向けられた第２の調整センサ構成であって、前記置き場所（ＡＳ）に位置決めされた前記引取部（１３２）の位置を、前記受け取り箇所（ＥＳ１）に関して検出するように、形成されかつ配置された、第２の調整センサ構成と、
を備え、
前記第１及び第２の調整センサ構成がそれぞれ、前記提供箇所（ＳＰＳ）及び／又は前記置き場所（ＡＳ）を少なくとも２つの互いに異なる検出方向から検出するように、形成されかつ配置されており、
前記第１及び第２の調整センサ構成がそれぞれ、後段に配置された制御装置に、前記第１の調整可能な転向装置（１３０）の各引き渡し箇所のための画像キャプチャを提供するように、形成されかつ配置されており、
前記制御装置が、獲得された前記画像キャプチャに基づいて、前記第１の調整可能な転向装置（１３０）の各引き渡し箇所について、補正ベクトルを求め、前記補正ベクトルが、前記構成部品操作装置（１００）の駆動の間、前記第１の調整可能な転向装置（１３０）及び／又は個々の引取部（１３２）及び／又は受け取り装置（２００）を調整するために用いられる、装置。
【請求項２】
前記第１の調整可能な転向装置（１３０）の周辺からそれを通過する前記引取部（１３２）へ９０°で向けられた位置及び特性センサ（Ｋ３）をさらに有し、前記位置及び特性センサ（Ｋ３）が、特にカメラセンサであって、前記カメラセンサが、あらかじめ定められた参照点に対する前記引取部（１３２）の位置を定めるように、形成されかつ配置されている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１の調整センサ構成及び／又は前記第２の調整センサ構成の各々が、第１の画像センサと、第２の画像センサと、からなる、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記第１の調整センサ構成及び／又は前記第２の調整センサ構成の各々が、前記第１の調整可能な転向装置（１３０）の中心から垂直に前記提供箇所（ＳＰＳ）又は前記置き場所（ＡＳ）へ向けられた、画像センサと、少なくとも２つの互いに直角に配置されたリフレクタと、からなり、
画像センサが、前記提供箇所（ＳＰＳ）又は前記置き場所（ＡＳ）を第１及び第２の検出方向から間接的に検出するために適しておりかつ意図されており、
前記リフレクタが、２つの検出方向が互いに対して直交するように、配置されている、
請求項１に記載の装置。
【請求項５】
制御装置が、
前記調整センサ構成によって獲得された前記画像キャプチャに基づいて、前記放出装置（１１０）に対する、前記提供箇所（ＳＰＳ）に位置する前記引取部（１３２）の位置を求めて記憶し、及び、
前記置き場所（ＡＳ）に位置する前記引取部（１３２）に対する前記受け取り箇所（ＥＳ１）の位置を求めて記憶し、及び／又は、
請求項２に記載のあらかじめ定められた位置に対する、それぞれの引取部（１３２）の位置偏差を求めて記憶し、及び、
求められた位置に基づいて、個々の引取部（１３２）の位置のため及び／又は前記引取部（１３２）が固定されている前記第１の調整可能な転向装置（１３０）のための補正ベクトルを求め、及び／又は、
求められた位置に基づいて、前記受け取り装置（２００）のための補正ベクトルを求め、及び、
前記第１の調整可能な転向装置（１３０）の各引き渡し箇所のためのさらなる補正ベクトルを同様に求め、及び、
前記引取部（１３２）の求められた位置と前記放出装置（１１０）の位置との間の偏差を打ち消すために、駆動の間、前記第１の調整可能な転向装置（１３０）及び／又は個々の引取部（１３２）の位置決めを制御し、及び、
前記受け取り箇所（ＥＳ１）の求められた位置と前記引取部（１３２）の位置との間の偏差を打ち消すために、駆動の間、前記受け取り装置（２００）及び／又は個々の引取部（１３２）の位置決めを制御し、及び／又は、
前記放出装置（１１０）の位置に対する及び／又は前記受け取り箇所（ＥＳ１）の位置に対する前記引取部（１３２）の位置を、請求項２に記載の定められた参照点に対する前記引取部（１３２）の位置と比較するように、
適しておりかつ意図されている、
請求項２に記載の装置。
【請求項６】
前記第１及び／又は第２の調整センサ構成が、前記構成部品操作装置（１００）と常に接続されており、及び／又は、
請求項２に記載の前記位置及び特性センサ（Ｋ３）が、前記構成部品操作装置（１００）と常に接続されている、
請求項２に記載の装置。
【請求項７】
複数の引取部を有する第２の調整可能な転向装置（１５０）をさらに有し、前記第２の調整可能な転向装置が、引き渡し箇所（ＵＳ）において前記第１の調整可能な転向装置（１３０）の引取部（１３２）から構成部品を受け取って、受け取った構成部品（Ｂ）をその長手軸又は横軸（ＬＡ、ＱＡ）を中心に第２のあらかじめ定められた角度だけ転向させて、前記置き場所（ＡＳ）へ移送し、そこで前記あらかじめ定められた受け取り箇所（ＥＳ１）において調整可能な受け取り装置（２００）へ置くように、形成されかつ配置されており、
前記第１の調整可能な転向装置（１３０）と前記第２の調整可能な転向装置（１５０）との間の前記引き渡し箇所（ＵＳ）へ向けられた第３の調整センサ構成をさらに有し、前記第３の調整センサ構成が、前記引き渡し箇所（ＵＳ）に位置決めされた前記第１の調整可能な転向装置（１３０）の前記引取部（１３２）に対する、前記引き渡し箇所（ＵＳ）に位置決めされた前記第２の調整可能な転向装置（１５０）の前記引取部（１５２）の位置を検出するように、形成されかつ配置されている、
請求項１から６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
構成部品操作装置（１００）を自己調整する方法であって、
前記構成部品操作装置が、電子構成部品（Ｂ）を提供箇所（ＳＰＳ）において放出装置（１１０）から、複数の引取部（１３２）を有する第１の調整可能な転向装置（１３０）へ引き渡し、
受け取った構成部品（Ｂ）をその長手軸又は横軸（ＬＡ、ＱＡ）を中心に第１のあらかじめ定められた角度だけ転向させ、置き場所（ＡＢＳ）へ移送し、そこであらかじめ定められた受け取り箇所（ＥＳ１）において調整可能な受け取り装置（２００）へ置き、
当該方法が、
−調整センサ構成によって、少なくとも２つの互いに異なる検出方向から、前記放出装置（１０）を含む前記提供箇所（ＳＰＳ）及びこの箇所に位置する前記引取部（１３２）を検出するステップと、
−調整センサ構成によって、少なくとも２つの互いに異なる検出方向から、前記置き場所（ＡＳ）に位置する前記引取部（１３２）を含む前記置き場所（ＡＳ）と、前記受け取り箇所（ＥＳ１）と、を検出するステップと、
−前記放出装置（１１０）に対する、前記提供箇所（ＳＰＳ）に位置する前記引取部（１３２）の位置を求め、かつ、前記引取部（１３２）のあらかじめ定められた位置に対する偏差を求めるステップと、
−前記置き場所（ＡＳ）に位置する前記引取部（１３２）に対する、前記受け取り箇所（ＥＳ１）の位置を求め、かつ、前記受け取り箇所（ＥＳ１）のあらかじめ定められた位置に対する偏差を求めるステップと、
−あらかじめ求められた偏差に基づいて、前記第１の調整可能な転向装置（１３０）のための、及び／又は、各個々の引取部（１３２）のための、及び／又は、前記受け取り装置（２００）のための、補正ベクトルを求めるステップと、
−前記第１の調整可能な転向装置（１３０）の全ての可能な引き渡し箇所について、先行する全ての方法ステップを繰り返すステップと、
−前記構成部品操作装置（１００）の駆動の間、前記第１の調整可能な転向装置（１３０）及び／又は前記受け取り装置（２００）及び／又は各個々の引取部（１３２）の位置決めを、全ての可能な引き渡し位置において、前記引取部（１３２）及び／又は前記受け取り箇所（ＥＳ１）の求められた位置と定められた位置との間の偏差を打ち消すように、制御するステップと、
を有している、方法。
【請求項９】
−特にカメラセンサである、位置及び特性センサ（Ｋ３）によって、あらかじめ定められた参照点に対する前記引取部（１３２）の位置を検出するステップと、
−前記受け取り箇所（ＥＳ１）に対して及び／又は前記放出装置（１１０）に対して求められた前記引取部（１３２）の相対的な位置を、前記定められた参照点に対する前記引取部（１３２）の相対的位置と比較するステップと、
−前記第１の調整可能な転向装置（１３０）の全ての可能な引き渡し位置について、先行するすべての方法ステップを繰り返すステップと、
を更に有する、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記電子構成部品（Ｂ）が前記第１の調整可能な転向装置（１３０）から引き渡し箇所（ＵＳ）において第２の調整可能な転向装置（１５０）へ引き渡され、
受け取られた構成部品（Ｂ）が、前記第２の調整可能な転向装置によってその長手軸又は横軸（ＬＡ、ＱＡ）を中心に第２のあらかじめ定められた角度だけ転向されて、置き場所（ＡＳ）へ移送されて、そこであらかじめ定められた受け取り箇所（ＥＳ１）において調整可能な受け取り装置（２００）上へ置かれ、
当該方法が、
−調整センサ構成によって、少なくとも２つの互いに異なる検出方向から、前記置き場所（ＵＳ）に位置する前記第１の調整可能な転向装置（１３０）の前記引取部（１３２）、及び、前記置き場所（ＵＳ）に位置する前記第２の調整可能な転向装置（１５０）の前記引取部（１５２）を含む、前記置き場所（ＵＳ）を検出するステップと、
−前記引き渡し箇所（ＵＳ）に位置する前記第１の調整可能な転向装置（１３０）の前記引取部（１３２）に対する、前記引き渡し箇所（ＵＳ）に位置する前記第２の調整可能な転向装置（１５０）の前記引取部（１５２）の位置を求めるステップと、
−前記引取部（１５２）のあらかじめ定められた位置に対する偏差を求めるステップと、
−前記構成部品操作装置（１００）の駆動の間、前記第２の調整可能な転向装置（１５０）及び／又は各個々の引取部（１５２）の位置決めを、全ての可能な引き渡し位置において、前記引取部（１５２）の求められた位置と定められた位置との間の偏差を打ち消すように、制御するステップと、
を更に有する、請求項８又は９に記載の方法。
【請求項１１】
前記調整センサ構成の検出品質の検査及び／又は損傷についての前記引取部（１３２）の検査が、比較に基づいて実行される、請求項８から１０のいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
ここでは、電子構成部品用の構成部品操作装置を自己調整する装置及び方法が記述される。
【０００２】
この装置及びこの方法は、構成部品操作装置、受け取り装置、及び、画像センサの協働において説明される。
【０００３】
構成部品は、ここではたとえば、「チップ」又は「ダイ」とも称される、（電子的な）半導体構成部品である。この種の構成部品は、通常、角柱状の形態を有しており、実質的に多角形の、たとえば四角形の（矩形又は方形の）横断面と、複数の横側面並びに上面及び端面と、を有している。構成部品の横側面及び２つの（下方と上方の）端面は、以下で一般的に側面と称される。構成部品は、４とは異なる数の横側面を有することもできる。構成部品は、光学的な構成部品（プリズム、ミラー、レンズなど）であってもよい。全体として構成部品は、任意の幾何学的形状を有することができる。
【０００４】
出願人の操作実務から、いわゆる引取載置装置が知られており、それにおいて構成部品は、吸引器又は把持器によって構成部品テーブルから引き取られて、次に、支持体上又は移送容器などの中に置かれる。構成部品を置く前に、通常、構成部品の検査が行われる。そのために構成部品の１つ又は複数の側面の画像が１つ又は複数のカメラによって記録されて、自動的な画像処理によって評価される。
【背景技術】
【０００５】
半導体製造において要求される正確性の要求に対処するために、運転開始の前、装置構成要素の交換後、又は、保守作業後に、引取載置装置の調整が必要である。
【０００６】
そのためには、構成部品を引き取って載置するための装置を測定し、次に調整して、製造及び取り付けの誤差を補償しなければならない。これは、操作者によって行われ、操作者は、引取載置装置を顕微鏡又はカメラ画像を用いてまず視覚化して、次にそれを測定して調節する。この方法は、時間がかかりすぎ、実際においてはエラーが生じ易く、かつ、高度に訓練された人を拘束する。装置の複雑さが増すほど、そしてそれぞれ互いに対して調整しなければならない個々の装置構成要素が増えるほど、調整の時間消費／エラーの生じ易さ／不正確さが増大する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
構成部品操作装置を、時間的に効率よく正確な調整の実施が可能であるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題を解決するのは、構造化された構成部品ストックから角柱状の構成部品を取り出して、取り出した構成部品を受け取り装置に置くための構成部品操作装置であって、それは、内蔵された自己調整装置を有している。複数の引取部を有する第１の転向装置は、提供箇所において、構造化された構成部品ストックから構成部品を受け取って、受け取った構成部品をその長手軸又は横軸を中心に第１のあらかじめ定められた角度だけ転向させて、置き場所へ移送するように、適合されている。第１及び第２の転向装置に対応づけられた位置及び特性センサは、第１及び第２の転向装置の位置データ、引取部にある構成部品の位置データ及び／又は引取部にある構成部品の特性を検出して、制御装置に提供するように、適合されている。
【０００９】
制御装置は、位置及び特性センサによって、特に本来の構成部品移送駆動の前に、第１及び／又は第２の転向装置が構成部品を受け取る又は引き渡す各引き渡し位置について自己調整する過程において、それぞれ第１及び／又は第２の転向装置のための、及び／又は、置き場所のための補正ベクトルを求めるように、整えられており、その補正ベクトルはそれぞれ、自己調整の過程において求められた構成部品操作装置の製造及び取り付け誤差を打ち消す。
【００１０】
制御装置は、さらに、第１の回転ドライブによって第１の転向装置を第１の軸を中心に管理して回転させ、第１のリニアドライブによって第１の転向装置を第１の軸に沿って管理して移動させ、第２の回転ドライブによって第２の転向装置を、第１の軸に対して非共線の第２の軸を中心に管理して回転させ、第２のリニアドライブによって第２の転向装置を第２の軸に沿って管理して移動させるように、適合されている。
【００１１】
自己調整によって求められた補正ベクトルは、構成部品移送駆動において、構成部品操作装置を制御するために、転向装置及び／又は置き場所の管理された移動及び／又は回転によって、自己調整の過程において定められた構成部品操作装置の製造及び組み立て誤差を打ち消すために、用いられる。
【００１２】
すなわち、ここで提示される装置は、自動化された自己調整を可能にする、一体化された操作／検査装置を形成する。画像センサは、構成部品のすべての又はほぼすべての端面及び／又は側面を検査して、その場合にマニピュレータ（引取部）及び受け取り箇所を位置決めするための重要なデータも供給する。したがってこの装置は、必要なプロセス技術的周辺装置、たとえば構成部品を準備するため（たとえばウェハテーブル）と構成部部品置き場（たとえばポケットバンド又は支持体バンド）を有する閉成された機械システムのコアを形成する。ここに提示される構成部品操作装置は、たとえば構成部品操作装置の上方の領域内に水平に配置されている構成部品ストック（ウェハディスク）から、固定配置の放出ユニットによって構成部品を受け取る。この固定配置の放出ユニットに対して構成部品ストックが１つの平面内で移動する。放出ユニットは、ニードルにより又は非接触で（たとえばレーザービームによって）、構成部品ストックから構成部品を個々に自由にして、引取部内に収容させる。放出された構成部品は、全体として６つ以上の検査プロセスへ供給され、最終的にポケットバンド又は支持体バンドの受け取り箇所（ポケット）内へ移送される。ここでは、受け取り箇所及び（載置）ポケットは、同じ意味で使用される。したがって、欠陥部品は、はじき出されることができる。引き渡しプロセスに統合されている、構成部品の光学的調査は、複数の調査工程に分割される。光学的調査は、構成部品の端面及び／又は横側面及び引き渡し／受け取り箇所における引取部の位置を光学的に検出するための１つ又は複数の画像センサを利用する。これらの画像センサは、複数の調査プロセス内でそれぞれ構成部品の端面及び／又は横側面の少なくとも１つの画像を検出するように、適合されている。転向装置の引取部がそれぞれ構成部品を保持している間に、構成部品の移送／送りが行われる。保持されている構成部品は、移送の間、個々の調査プロセスを通過する。画像センサの取得された（画像）データは、マニピュレータ（引取部）及び受け取り箇所の位置制御を同調させるためにも、用いられる。構成部品移送は、パスに沿って構成部品を実質的に連続して又はクロック駆動で移送するように、適合されている。装置は、自己調整のために、構成部品移送駆動内に構成部品検査のために設けられている画像センサを、少なくとも部分的に、利用する。さらに付加的な画像センサを設けることができ、それらのセンサは装置の、構成部品が１つの装置構成要素から他の装置構成要素へ引き渡される領域を、少なくとも２つの異なる観察角度から光学的に検出する。制御装置は、第１及び第２の転向装置の全ての可能な引き渡し箇所において、各構成部品引き渡し箇所について３次元までの補正ベクトルを求めるように整えられおり、その補正ベクトルは、構成部品操作装置の駆動において、それぞれ、構成部品操作装置の製造及び組み立て誤差を打ち消すために、用いられる。ここに提示される完全なアッセンブリは、機能的に３つの視点を統合している：操作、操作の調整及び検査。これら３つの機能は、構成部品の複数の（６以上までの）側面を迅速かつ正確に質的に判定するために互いに絡み合い、これらの構成部品は構成部品ストックから迅速にばらばらに取り出されて、検査によって良品として分類されて、１つ又は複数の受け取り箇所に正確に置かれる。
【００１３】
変形例において、構成部品操作装置は、第１の転向装置のみを有しており、その転向装置は、提供箇所において放出装置から構成部品を引取り、置き場所へ移送し、それによって構成部品がそこで受け取り装置へ引き渡される。
【００１４】
他の変形例において、構成部品操作装置は２つの、好ましくは制御して駆動される、好ましくは互いに対して実質的に直交して（９０°プラスマイナス１５°まで）配置される、ほぼスター形状又はホィール形状の転向装置を有している。転向装置は、矩形の形状を有することもできる。これらの転向装置の各々は、構成部品を構成部品受け取りと引き渡しとの間の揺動角度内で、それぞれ引取部上に固定して、検査、欠陥品はじき出しのための１つ又は複数のプロセスステーション及び場合によっては他のステーションへ供給するために、その回転軸に対して径方向に移動可能な１つ又は複数の引取部を支持している。
【００１５】
ここに提示される構成部品操作装置において、スター形状又はホィール形状の転向装置は、径方向外側を向いた引取部に構成部品を支持し、その引取部は２つの転向装置の（仮想の）周面に配置されている。これは、１つ又は２つの転向装置の引取部が共平面又はその回転軸に対して平行に方向付けされている構成部品操作装置とは、異なって見られるものである。
【００１６】
上では複数の調査プロセスを述べているが、それによって時間的推移又は順序（まず第１の調査プロセスにおいて画像検出し、そしてその後他の調査プロセスにおいて画像を検出）を定めようとするものではない。むしろ、逆の順序が好ましい場合も、考えられる。個々の転向装置における引取部の数に従って転向装置の各々に同時に複数の構成部品を収容することもできるので、様々な構成部品においても、調査プロセスは同時でも行われる。
【００１７】
個々の調査プロセスにおいて画像センサによって検出される構成部品の（上方／下方の）端面及び／又は（側方の）横側面は、構成部品の互いに異なる端面及び／又は横側面であることができる。
【００１８】
光学的調査の視点において、構成部品を有する構成部品移送は、実質的に停止状態なしで又はほぼなしで、構成部品パスを完成させる。移動の間又は最小限の停止時間の間、構成部品の１つ又は複数の端面及び／又は横側面が、画像センサによって検出される。これらの画像は、次に画像処理の方法によって評価される。この光学的検出／調査の変形例においては、画像センサとして、１つ又は複数のカラーカメラ又は白黒カメラが設けられている。
【００１９】
その場合に画像センサは、１つ又は複数のミラー、光学プリズム、レンズ又は同種のものを有することができる。
【００２０】
画像センサに、放射源又は光源を対応づけることができる。各源は、構成部品の少なくとも１つの部分を照射するために、様々なスペクトル領域又は波長領域を有する光／放射を放出するように、整えることができる。波長領域は、少なくとも部分的に互いに異なり、重なり又は一致することができる。すなわち、たとえば第１の光源の光は赤とすることができ、第２の光源の光は青とすることができる。しかしまた、逆の対応づけ又は他の波長の組み合わせ（たとえば赤外線及び可視光）を選択することもできる。
【００２１】
光源は、構成部品を有する引取部がそれぞれ検出領域内にある瞬間に、それぞれ短くオンにされるので、構成部品の端面及び／又は横側面を、それぞれ画像センサによって検出するために、短いフラッシュによって照明することができる。代替的に、永続的な照明を使用することもできる。
【００２２】
変形例において、構成部品操作装置に、放出装置が対応づけられており、その放出装置は、それぞれ構造化された構成部品ストックから構成部品を、制御装置によって適切に位置決めされた第１の転向装置の引取部へ引き渡すように、適合されている。これは、構成部品放出器（エジェクタ）とすることができ、それがニードル又は支持体箔における構成部品の付着接着剤を所望に溶融させるレーザーパルス発生器によってウェハ支持体箔を通して構成部品を突き出す。放出装置に、位置及び／又は特性センサが対応づけられており、それは、放出すべき構成部品に対する放出装置の位置及び／又は放出すべき構成部品の位置データ及び／又は放出すべき構成部品の特性を検出して、放出装置を操作するために制御装置へ提供するように、適合されている。
【００２３】
変形例において、この位置及び／又は特性センサは、放出装置に対する第１の転向装置の引取部の位置を定めて、構成部品操作装置を自己調整する制御装置へ提供するように、適合されている。
【００２４】
変形例において、構成部品操作装置には、置き場所に対応づけられた、そこへ移送される構成部品のための受け取り装置が設けられている。受け取り装置には、位置及び／又は特性センサが対応づけられており、それは、置き場所へ移送された構成部品の位置データ及び／又は受け取り装置内の受け取り箇所及び／又はそこにある構成部品の位置データ及び／又は特性を検出して、制御装置に提供するように、適合されている。
【００２５】
変形例において、位置及び／又は特性センサは、第２の転向装置の引取部に対する受け取り箇所の位置を定めて、構成部品操作装置を自己調整するための制御装置へ提供するように、適合されている。
【００２６】
制御装置は、第３の回転ドライブによって受け取り装置を、少なくとも部分的に、置き場所を含む第３の軸を中心に回転させるように、適合されている。また、制御装置は、受け取り装置を少なくとも１つの第３のリニアドライブによって、少なくとも部分的に、軸に沿って管理して移動させるように、整えることもできる。そしてまた制御装置は、受け取り装置を第３のリニアドライブによって、受け取り装置によって案内される支持体を、第１及び／又は第２の軸に沿って管理して移動させるように、整えることもできる。この支持体は、構成部品を個別化された形式で受け取るために用いられる。
【００２７】
構成部品操作装置において、変形例においては、第１及び／又は第２の転向装置の引取部は、それぞれの転向装置の回転軸又は回転中心に対して管理されて出入りするように、及び／又は、移送すべき構成部品を受け取って引き渡すために管理されて負圧及び／又は過圧を供給され、及び／又は、そのそれぞれの径方向の運動軸を中心に移動しないようにされ、又は、そのそれぞれの径方向の運動軸を中心にある回転角度だけ管理されて回転するように、適合されている。
【００２８】
この形式の構成部品操作装置において、変形例においては、第１及び／又は第２の転向装置の引取部に、提供箇所、すなわち第１及び第２の転向装置の間の引き渡し箇所において、径方向に進入及び／又は退出するために、その引取部に対応づけられたリニアドライブが設けられている。これらのリニアドライブは、それぞれの転向装置の外部からそれぞれしかるべく位置決めされた引取部内へ嵌入して、それぞれの引取部を径方向に出入りするように移動させる。他の変形例においては、これらのリニアドライブはそれぞれの引取部を出るようにだけ移動させ、復帰ばねがそれぞれの引取部を引き戻す。他の変形例においては、引取部の各々に、双方向又は単方向のラジアルドライブが対応づけられている。
【００２９】
構成部品操作装置の変形例において、機能：（ｉ）構成部品の吸い付け、（ｉｉ）構成部品の保持、（ｉｉｉ）制御された吹き出しパルスをもって、又は、それなしで、構成部品を載置し、及び／又は、構成部品の自由な吹き払いを実現するために、弁が個々の引取部の各々に、個別かつ位置的に正しく負圧と過圧の供給を行う。
【００３０】
構成部品操作装置の変形例において、提供箇所と引き渡し箇所との間において、第１の転向装置に、及び／又は、引き渡し箇所と置き場所との間において、第２の転向装置に、それぞれ位置及び特性センサが対応づけられている。これらのセンサは、移送される構成部品の位置データ、並びに／又は、マニピュレータ（引取部）及び受け取り箇所を位置制御するための位置データを検出して、制御装置に提供するように、適合されている。
【００３１】
変形例において、これらのセンサは、あらかじめ定められた参照点に対する、第１の転向装置の引取部の位置を定め、及び／又は、あらかじめ定められた参照点に対する、第２の転向装置の引取部の位置を定め、これらの相対的な位置を、構成部品操作装置を自己調整するための制御装置へ提供するように、適合されている。
【００３２】
変形例において、センサの検出品質及び／又は引取部の損傷の有無を検査するために、定められた参照点に対する第１及び／又は第２の転向装置の引取部の相対的な位置が、それぞれ制御装置によって、引取部の互いに対する、及び／又は、放出装置に対する、及び／又は、各引取部のための受け取り箇所に対する、相対的な位置と比較される。
【００３３】
構成部品操作装置の変形例において、位置及び特性センサの少なくともいくつかは、移送される構成部品のそれぞれ少なくとも１つの端面及び／又は１つ又は複数の横側面を検査し、その位置データ及び／又は特性を検出しかつ制御装置に提供するように、適合されている。
【００３４】
構成部品操作装置の変形例において、第１の転向装置の中心及び／又は第２の転向装置の中心に、受け取るべき構成部品の特性及び／又は位置を求めるために、又は、受け取り装置内の受け取り箇所及び／又はその中にある構成部品の位置を求めるために、それぞれ少なくとも１つの画像形成する特性及び位置センサが設けられている。この／これらのセンサの特性データ及び／又は位置データに基づいて、その後、制御装置によって、受け取るべき構成部品もしくは受け取り箇所の特性エラー及び／又は位置エラーにおいて補正を行うことができる。変形例において、１つ／複数の画像を形成する位置センサは、それぞれ第１又は第２の転向装置が隣接する引取部の間で転向運動する間に画像キャプチャを実施し、かつ、放出ユニット、構成部品ストック若しくはウェハ、転向装置、及び／又は、受け取り装置のしかるべき補正運動を促すために制御装置へ提供するように、適合されている。他の変形例において、放出ユニットは固定されている。他の変形例において、第１及び／又は第２の転向装置の中心に位置決めされている、画像を形成する位置及び／又は特性センサは、反射装置を有しており、その反射装置は、転向装置が構成部品を引き渡すために設けられた位置（引き渡し位置）にある間に、放出ユニット、構成部品ストック若しくはウェハ、第１／第２の転向装置の引取部、及び／又は、受け取り装置の間接的な検出を可能にする。
【００３５】
変形例において、第１の転向装置の中心の位置及び／又は特性センサは、置き場所に対する第１の転向装置の引取部の位置を検出して、構成部品操作装置の自己調整のために制御装置へ提供するように、適合されている。
【００３６】
変形例において、第１の転向装置の中心には、他の位置及び／又は特性センサが設けられており、それは、第１の転向装置の引取部の位置に対する、第２の転向装置の引取部の位置を検出して、構成部品操作装置の自己調整のために制御装置へ提供するように、適合されている。
【００３７】
変形例において、第２の転向装置の中心の位置及び／又は特性センサは、第２の転向装置の引取部に対する受け取り箇所の位置を検出して、構成部品操作装置の自己調整のために制御装置へ提供するように、適合されている。
【００３８】
変形例において、第２の転向装置の中心に、他の位置及び／又は特性センサが設けられており、それは、第１の転向装置の引取部の位置に対する、第２の転向装置の引取部の位置を検出して、構成部操作装置の自己調整のために制御装置へ提供するように、適合されている。
【００３９】
これらの画像を形成する特性及び／又は位置センサに加えて又はその代わりに、第１及び第２の転向装置に対して外部に、受け取るべき構成部品の特性及び／又は位置を求めるための、又は、受け取り装置内の受け取り位置及び／又はその中にある構成部品の位置を求めるための、画像を形成する特性及び／又は位置センサを設けることができる。このセンサ／これらのセンサの特性データ及び／又は位置データに基づいて、その後、受け取るべき構成部品又は受け取り箇所の特性エラー及び／又は位置エラーがある場合に、制御装置によって補正を行うことができる。上述した検査システムとは関係なく、操作システムに構成要素として機能的に対応づけるために、２つの転向装置のそれぞれ中心に、上方へ向けられた構成部品ストックカメラ（９０°ミラーシステムと照明を有する）、又は、好ましいが必ずしもそうである必要のない、等しい構造の、下方へ向けられた、載置カメラとしてのアッセンブリを配置することもできる。それらは、構成部品又は受け取り箇所の位置エラーが発生した場合に、位置を補正するために、構成部品又は受け取り箇所の位置検出のために用いられる。変形例において、構成部品操作装置の自己調整のために、複数のセンサを一緒に組み込むことができる。
【００４０】
変形例において、少なくとも２つの外部に設けられた、画像を形成する特性及び／又は位置センサが、実質的に互いに直交する観察方向（９０°プラス／マイナス１５°）から構成部品の提供箇所へ向けられており、かつ、放出装置に対する第１の転向装置の引取部の位置を求めて、構成部品操作装置の自己調整のために制御装置へ提供するように、適合されている。
【００４１】
変形例において、少なくとも２つの外部に設けられた、画像を形成する特性及び／又は位置センサが、実質的に互いに直交する観察方向（９０°プラス／マイナス１５°）から構成部品の引き渡し箇所へ向けられており、かつ、第１の転向装置の引取部の位置に対する、第２の転向装置の引取部の位置を求めて、構成部品操作装置の自己調整のために制御装置へ提供するように、適合されている。
【００４２】
変形例において、少なくとも２つの外部に設けられた、画像を形成する特性及び／又は位置センサが、実質的に互いに直交する観察方向（９０°プラス／マイナス１５°）から構成部品の置き場所へ向けられており、かつ、第２の転向装置の引取部に対する受け取り箇所の位置を求めて、構成部品操作装置の自己調整のために制御装置へ提供するように、適合されている。
【００４３】
構成部品操作装置の変形例において、引き渡し箇所及び／又は置き場所の前段又は後段に、排出箇所が設けられており、その排出箇所は、制御されて、制御装置によって位置及び特性センサの少なくとも１つによって欠陥部品として認識された構成部品を排出し、良品として受け取り装置内へ案内しないように、適合されている。
【００４４】
構成部品操作装置の変形例において、第１及び／又は第２の転向装置にそれぞれ整数ｎの引取部が対応づけられている。その場合にｎ＞＝２である。その場合に第１の転向装置の引取部の数と第２の転向装置の引取部の数は、等しくてもよく、異なってもよい。
【００４５】
構成部品操作装置の変形例において、第１、第２及び／又は第３の軸は、互いに対してそれぞれ９０°プラス／マイナス最大１０°又は１５°の角度を形成する。
【００４６】
構成部品操作装置の変形例において、位置及び／又は特性センサは、一致する検出スペクトル又は異なる検出スペクトルを有する、画像センサ、又は、接触若しくは非接触で距離を測定する位置センサ、又は、接触若しくは非接触で検出する特性センサである。
【００４７】
位置及び特性センサは、直線的又は屈曲した光学軸を有する、画像センサとすることができる。
【００４８】
そのミラー及び照明ユニットを含む位置及び特性センサのカメラシステムは、その空間的配置によって、それぞれ向き合った構成部品面とその２つの横側面の構成部品検査を併置して、単一のプロセス位置において実現可能であるように組み合わせることができる。たとえば直方体形状の構成部品の６つすべての側面を完全に検査するために、全体として２つのプロセス位置で充分である。そのために、２つのプロセス位置の各々において、構成部品の６つの側面の３つが検出される。その場合に、各転向装置の検査位置として、変形例においては、それぞれ第３のプロセス位置を回転軸又は揺動軸の高さにほぼ水平に定めることができる。
【００４９】
位置を測定する付加的な課題は、他の２つのカメラシステム（前側／後ろ側カメラ）に対応づけることができる。
【００５０】
構成部品操作装置の変形例において、第１及び／又は第２の転向装置は、少なくともほぼスター形状又はホィール形状に形成されている。転向装置は、精確に支承することができ、それぞれの軸に沿った又はそれぞれの軸を中心とするその位置決めは、軸方向に配置された線形もしくは回転作用するドライブを用いて、高解像度の（たとえば回転的又は線形の）エンコーダと組み合わせて、行うことができる。それぞれの引取部は、外周に分配して配置することができ、かつ、移送すべき構成部品のための、径方向外側を向いた吸着接触箇所を有することができる。
【００５１】
転向装置を互いに対して約９０°変位させて配置することの利点は、構成部品の位置が、１つの転向装置から次へ引き渡す場合の移送プロセスの間、引取部軸を中心に、引取部のそれぞれの移動平面（又は転向装置軸）に対して９０°回転し、そのために引取部自体を移動可能に回転支承する必要がないことにある。この構成部品の方位変化が、また、４つの構成部品切断面（＝構成部品側面）の本質的に簡略化された検査を可能にする。そのために、構成部品切断面へ向いた、引取部移動平面（したがって転向装置の軸方向）に対して直交して配置された、構成部品切断面（＝構成部品の横側面）自体に対して好ましくはわずかな距離を有する、それぞれ１つのカメラシステムが、用いられる。
【００５２】
引取部及び構成部品の互いに対する、又は、引き渡し位置及び検査位置に対する位置決めエラーの検出は、引取部又は構成部品位置検出測定システムとしての、カメラシステムを利用して行われる。精度要請がきわめて高い場合には、付加的にそれぞれ転向装置ごとにＢｏｎｄＴｏｏｌ位置検出のためのそれぞれ３つの距離測定センサを設けることができる。
【００５３】
カメラの光学軸が、検査される構成部品表面を「貫通する」。それは、引取部位置のための参照システムを形成する。そこから導き出して、回転する転向装置の理想的な引取部移動平面に対して平行な平面内に配置された距離測定センサによって、目標運動軌跡からの引取部運動軌跡の偏差が求められる。そこから、引き渡し位置において発生する位置エラーを定めることができ、かつ、制御装置によって補償することができる。
【００５４】
それぞれ使用される光学的な位置／特性センサ及び／又は付加的な位置センサの機能原理に応じて、引取部位置についての参照測定及び／又は自己調整が、進行するプロセス内で又はまたサイクリックに繰り返される参照移動の間（たとえば接触してスキャンする測定センサによって必要）に実現される。そのために、空間的な位置エラーを検出するためのプロセス開始時にも、プロセスの間にも、熱的にもたらされる変位を取り込むために、サイクリックな参照移動（接触するセンサの場合には、短時間のプロセス中断をもって）が必要であり、その場合に後者は、比較的長くなることがある。
【００５５】
装置の変形例において、自己調整は、構成部品操作装置の駆動開始前に実施される。その場合に制御装置は次のように、すなわちそれぞれ第１及び第２の転向装置を徐々に回転させ、かつ、光学的な位置及び特性センサ及び／又は付加的な位置センサによって、まず放出装置に対する第１の転向装置のそれぞれ個々の引取部の相対的な位置を求め、それぞれ引き渡し箇所おいて対向する第１の転向装置の引取部に対する、第２の転向装置の各個々の引取部の相対位置を求め、かつ、それぞれ置き場所にある第２の転向装置の引取部に対する受け取り箇所の位置を求めるように、適合されている。その場合に制御装置は、転向装置を徐々に回転させること及び相対位置を求めることを、少なくとも、放出装置に対する、転向装置間の互いに対する、及び、受け取り装置に対する、転向装置のすべての可能な位置が、少なくとも一度は達成されるまで繰り返すように、適合されている。その場合に制御装置は、さらに、求められた値を制御テーブルに記憶するように、適合されている。
【００５６】
放出装置についてあらかじめ定められた位置に対して求められた、提供箇所にある第１の転向装置の引取部の位置偏差が、駆動中に、それぞれ第１の転向装置のための補正ベクトルを形成する。
【００５７】
それぞれ引き渡し箇所において対向する第１の転向装置の引取部についてあらかじめ定められた位置に対して求められた、第２の転向装置の引取部の位置偏差が、第１の転向装置のためのそれぞれの補正ベクトルと加算されて、第２の転向装置のそれぞれの補正ベクトルを形成する。
【００５８】
それぞれ置き場所において対向する第２の転向装置の引取部についてあらかじめ定められた位置に対して求められた、受け取り箇所の位置偏差が、それぞれ第２の転向装置の補正ベクトルと加算されて、受け取り装置のそれぞれの補正ベクトルを形成する。
【００５９】
変形例において、特に自己調整によって求められた、特に構成部品引き渡し位置における、引取部の転向装置の位置エラー及びその上に固定された構成部品（引き渡し及び検査位置における）の位置エラーを補償するために、回転ドライブの回転補正運動及び軸方向における直交する線形の補正運動が実施される。そのために、変形例において、移動キャリッジ上にロータ駆動アッセンブリを配置することができ、かつ、位置制御されるドライブ、たとえば偏心ドライブによって、制限された距離セグメントだけ移動させることができる。
【００６０】
構成部品操作装置の変形例において、転向装置に複数の引取部を堅固に結合することにより、構成部品引き渡し位置又は検査位置から補正値を、順序において次の位置へ伝達することが必要となる。この補正は、固定された引き渡し位置で開始して、受け取り箇所へ最後に構成部品を引き渡す場合に終了することができる。その場合に３本までの軸に沿った概略的な位置エラー及び３本までの軸を中心とするねじれが、受け取り装置によって補償される。
【００６１】
構成部品操作装置の変形例において、引取部はそのそれぞれの転向装置に回転可能に支承されていない。すなわち構成部品の方位エラー補償は、移送自体の間、行うことはできない。したがって変形例においては、後段に位置する周辺領域内、特に受け取り装置内に、軸位置補正の他に回転補正の可能性も、もたらされる。
【００６２】
構成部品操作装置の他の変形例において、回転補正は、回転可能に支承された引取部によって行われる。したがって、構成部品の方位エラーの補償は、移送自体の間に行うことができる。その場合に方位エラーは、上方及び／又は下方の転向装置の回転可能に支承された引取部によって、好ましくは下方の転向装置の引取部によって、補正される。
【００６３】
ここに提示される変形例は、従来技術に比較してコスト的により好ましく、かつ、より高い構成部品装入量、検査のためのより多い時間を提供し、より少ない移動する質量を有する。
【００６４】
構成部品操作装置を自己調整する方法は、以下のステップを有している：
−放出装置とこの箇所にある引取部とを含む、提供箇所を、少なくとも２つの互いに異なる検出方向から、少なくとも１つの光学的な位置又は特性センサによって検出する。
−この箇所にある第１の転向装置の引取部とこの箇所にある第２の転向装置の引取部とを含む、引き渡し箇所を、少なくとも２つの異なる検出方向から、少なくとも１つの光学的な位置又は特性センサによって検出する。
−この箇所にある引取部及び受け取り箇所を含む、置き場所を、少なくとも２つの互いに異なる検出方向から、少なくとも１つの光学的な位置又は特性センサによって検出する。
−放出装置に対する、提供箇所にある引取部の位置を求め、かつ、あらかじめ定められた引取部の位置に対する偏差を求める。
−第１の転向装置の引取部に対する、引き渡し箇所にある第２の転向装置の引取部の位置を求め、第２の転向装置の引取部のあらかじめ定められた位置に対する偏差を求める。
−放出箇所にある引取部に対する、受け取り箇所の位置を求めて、受け取り箇所のあらかじめ定められた位置に対する偏差を求める。
−あらかじめ求められたそれぞれの偏差に基づいて、第１の転向装置のための補正ベクトル及び／又は第２の転向装置のための補正ベクトル及び／又は各個々の引取部のための補正ベクトル及び／又は受け取り装置のための補正ベクトルを求める。
−第１及び／又は第２の転向装置の全ての可能な引き渡し位置について、先行するすべての方法ステップを繰り返す。
−放出装置に対して、引取部の間で互いに対して、及び、受け取り箇所に対して、求められた引取部の相対位置が、定められた参照点に対する引取部の相対位置と比較されることによって、センサの検出品質及び／又は引取部の損傷の有無を検査する。その場合に参照点（それぞれ第１及び第２の転向装置について１つ）に対する引取部の位置は、位置及び特性センサによって求められ、それは、提供箇所と引き渡し位置との間（第１の転向装置用）、又は、引き渡し箇所と置き場所の間（第２の転向装置用）に配置されている。
−構成部品操作装置の駆動の間に、第１の転向装置及び／又は第２の転向装置及び／又は受け取り装置及び／又は各個々の引取部の位置決めを、引取部及び／又は受け取り箇所の求められた位置とあらかじめ定められた位置との間の偏差を打ち消すように、制御する。
【００６５】
もっと正確には、受け取り装置のため、特に上で提示した種類の構成部品操作装置のための解決が提示され、それは、置き場所に対して、回転ドライブによって少なくとも部分的に、置き場所を含む第３の軸を中心に管理して回転させ、及び／又は、少なくとも１つのリニアドライブによって少なくとも部分的に、第１、第２及び／又は第３の軸に沿って管理して移動させ、及び／又は、回転ドライブによって受け取り装置によって案内される支持体を第１及び／又は第２の軸に沿って管理して移動させるように、適合されている。
【００６６】
ここに提示される解決は、転向装置のポジション及び位置を受け取り装置の位置及び／又は回転によって同時に補償することを可能にする。したがって機械の構成部品装入量は、従来技術に対して高くすることができる。載置バンドのバンド駆動におけるあそびを回避するために、従来技術においては、複数の駆動装置を互いに対して調節しなければならない。ここで提示する解決は、それを回避する。というのは、移送は常に１方向のみに行われるからである。これは特に、支持体バンドのポケットが接着カバーベルトによって次々と閉鎖される適用において、役立つ。支持体バンドを再び戻るように移送する場合には、カバーベルトを再び剥がさなければならないと、問題が生じることがある。その場合に駆動におけるあそびは、無視することができる。
【００６７】
他の変形例においては、逆方向に移送することもできる。
【００６８】
構成部品の位置の補正は、受け取り装置において行われる。したがって、そのため多くの時間が提供される。構成部品が載置されるバンドの逆移送は、もはや不要である。したがって受け取り装置をより単純に構成することができる。従来技術におけるような、バンドを逆移送するための第２の駆動ホィールは、もはや不要である。むしろ、必要な状況においては、受け取り装置全体が載置バンドの移送方向とは逆に移動される。利点は、位置決めが移送バンドの移送を介してのみもたらされる、すでに知られている変形例に対して、バンドのより高い位置決め精度が得られることである。その場合に移送バンド上に（自己接着する）カバーテープ（Cover Tape）を後から取り付けることも、より容易に行うことができる。
【００６９】
変形例において、受け取り装置は、固定されたベースプレートの上方に配置されており、３つのドライブのモータは、ベースプレートの下方に配置されている。受け取り装置の位置は、Ｘ、Ｙに調整することができ、Ｚ軸を中心に回転する。受け取り装置の各移動方向には、専用のドライブが設けられている。個々のドライブの位置は、固定されていない。Ｚ補正のための回転軸は、構成部品置き場所の近傍に位置し、又は、その中心にある。
【００７０】
受け取り装置の変形例において、受け取り装置に２つの受け取り箇所が形成されており、それらは、回転ドライブ／リニアドライブの管理された操作によって置き場所に少なくともほぼ整合するように方向付けされている。２つの受け取り箇所は、支持体の隣接する構成部品引取部の間隔に従って互いに対して位置決めされる。
【００７１】
受け取り装置の変形例において、受け取るべき構成部品の特性及び／又は位置を、受け取り装置内の受け取り箇所の少なくとも１つに対するその特性及び／又はその位置に関して求めるための、画像を形成する特性及び／又は位置センサが設けられている。この画像を形成する特性及び／又は位置センサは、下方の転向装置の中心内又はそばに設けられている。このセンサからの画像データよって、受け取るべき構成部品及び／又は受け取り箇所の特性エラー及び／又は位置エラーにおいて、制御装置によってしかるべき補正運動を促すための補正指示を形成することができる。
【００７２】
他の変形例において、受け取り装置に２つの他の画像を形成する特性及び／又は位置センサが設けられている。一方のセンサは、品質エラーを調査するために、上から第２の窓へ向けられている。他方のセンサは、上述したセンサと比較して構成部品の傾きをよりよく検出することができるようにするために、第１の窓の側方に配置されている。
【００７３】
受け取り装置の変形例において、第４の回転ドライブが、制御装置からの制御信号の制御の下で、受け取り装置によって案内される支持体を、第１及び／又は第２の軸の１つに沿って、支持体の隣接する構成部品引取部の間隔の約８０−１２０°、好ましくは約１００％プラスマイナス最大３％だけ、管理された方法で移動させるように、適合されている。回転ドライブも、制御装置からの制御信号の制御の下で、かつ、画像を形成する特性及び／又は位置センサからの信号に従って、受け取り箇所の少なくとも１つをそこに位置する支持体の構成部品引取部と共に、置き場所を含む第３の軸を中心に、最大でプラスマイナス６°だけ、好ましくは最大でプラスマイナス３°だけ、管理された方法で回転させるように、適合されることができる。さらにそれに加えて又はその代わりに、リニアドライブの少なくとも１つが、制御装置からの制御信号の制御の下で、受け取り装置を、第１、第２及び／又は第３の軸のいずれかに沿って、支持体の隣接する構成部品引取部の間隔の約プラスマイナス最大２０％だけ、好ましくはプラスマイナス３％だけ、管理された方法で移動させるように、適合されることができる。
【００７４】
受け取り装置の変形例において、第４の回転ドライブは、受け取り装置によって案内される支持体を、第１及び／又は第２の軸のいずれかに沿って、支持体の隣接する構成部品引取部の間隔にしたがって前へ送るように、適合されている。
【００７５】
受け取り装置の変形例において、受け取り装置内の受け取り箇所の少なくとも１つから及び／又は受け取り装置によって案内される支持体から、不具合のある及び／又は誤って位置決めされたと認識された構成部品を除去するために、吸い出し及び／又は吹き出し装置が設けられている。
【００７６】
受け取り装置の変形例の駆動において、第４の回転ドライブによって駆動されるスプロケットホィールが、載置バンドを移送方向に移送するためにその穴内へ嵌入する。その場合にスプロケットホィールは、好ましくは、送り方向のみに回転する。載置バンドは、規則的な間隔で、構成部品用の載置ポケットを有している。載置ポケット毎に、スプロケットホィールは、固定の角度（たとえば３０°、６０°、９０°、１８０°．．．３６０°）回転する。第２の転向装置の中心のカメラによる画像記録から、構成部品が置かれた載置ポケットの位置が認識される。さらに、第２の転向装置の外周に設けられたカメラによって、次に置くべき構成部品が引取部に回動されて保持されているか、が認識される。この位置情報から、制御内で、どの距離量及び／又は角度量だけ受け取り装置の位置を変更しなければならないか、が計算される。さらに、受け取り装置を位置決めする際に、上方の転向装置から下方の転向装置への引き渡し位置において構成部品を正しく受け取るために、転向装置がｘ方向及びｙ方向に適切に移動されることも、考慮される。その後、受け取り装置は、必要な限りにおいて、構成部品の載置の細かい調整を保証するために、（Ｘ−、Ｙ−）軸に沿って線形に移動され、かつ、場合によっては回転される。
【００７７】
構成部品が置き場所に置かれた場合に、その上方に配置されている第２の転向装置の中心のカメラが、構成部品が欠陥を有するか、すなわち載置することによって損傷されたか、又は、その前にすでに欠陥を有していたか、も検出する。構成部品があらかじめすでに欠陥があると認識されている限りにおいて、その構成部品は置かれない。
【００７８】
受け取り装置内の置き場所は、同時に第１の吸い出し位置とすることもできる。そのために、受け取り装置において、置き場所に負圧を有する吸い出し器が配置されている。支持体バンドの移送方向に、第２の代替的な吸い出し位置が設けられている。すなわち、受け取り装置に２つの窓が設けられている：受け取り位置を有する第１の窓、及び、吸い出し位置を有する第２の窓。２つの窓の間隔は、支持体バンドの間隔に相当し、間隔に合わせて調節可能である。構成部品が正しく置かれなかったので、それが斜めになっており、又は、部分的にまだ張り出している場合に、これが、第２の転向装置の中心のカメラによって認識される。支持体バンドは、正しく置かれなかった構成部品に起因して、先へ送ることができない。したがって、置き場所において構成部品が吸い出しによって引き抜かれて、次に置くべき構成部品と代えられる。構成部品が損傷している場合に、それはこの位置で同様に除去して、次に置くべき構成部品と代えることができる。第２の窓の位置において−場合によっては他のカメラによって−エラーについて検査することができる。構成部品が欠陥品と認識された場合に、受け取り装置は、全体として戻されて、欠陥品と認識された構成部品が置き場所において吸い出しによって引き抜かれる。
【００７９】
代替的に、欠陥品と認識された構成部品を除去するために、第２の吸い出し位置を利用することができる。
【００８０】
ここに提示される配置によって、エラーを認識するために構成部品を検査することが可能である。構成部品は、第１及び第２の転向装置によって置かれ、欠陥品と認識された構成部品が置き場所で除去される。これは、共通の位置で行われる。
【００８１】
受け取り装置は、３つの方向に移動する：Ｘ方向及びＹ方向、並びに、置き場所の中心内／その近傍においてその（Ｚ−）垂直軸を中心に。これは、支持体バンドが移送方向に移送されて、受け取り装置が、構成部品置き場に対して位置決めするために移送装置に対して垂直に移動される、従来の配置との違いにもみられる。置き場所は、シェル形状（トレイ、たとえばＪｅｄｅｃトレイの）で又はアンテナトラックとして、存在する。
【００８２】
代替的な変形例において、受け取り装置には、受け取り装置内の受け取り箇所の少なくとも１つから及び／又は受け取り装置へ供給される支持体から、傷があると及び／又は位置決めが誤っていると認識された構成部品を取り除くために、吸い出し及び／又は吹き出し装置が対応づけられている。
【００８３】
受け取り装置は、変形例において、転向装置から構成部品を受け取ることができ、その転向装置の回転軸は、受け取り装置の移送方向に対して実質的に平行に方向付けされており、又は、受け取り装置は、他の変形例において、転向装置から構成部品を受け取ることができ、その転向装置の回転軸は、受け取り装置の移送方向に対して実質的に横方向に方向付けされている。
【００８４】
変形例において、転向装置の中心に、受け取るべき構成部品の特性及び／又は位置を求めるために、又は、受け取り装置内の受け取り箇所の及び／若しくはその中にある構成部品の位置を求めるために、画像を形成する特性及び／又は位置センサが設けられている。この画像を形成する特性及び／又は位置センサは、転向装置の周面に配置された、隣接する引取部の間を通して、受け取り装置内の受け取り箇所の少なくとも１つの画像キャプチャを実施するように、適合されている。
【００８５】
代替的な変形例において、転向装置の中心に方向変換ミラー又はプリズムが配置されており、それは、受け取るべき構成部品の特性及び／又は位置を求めるための、又は、受け取り装置内の受け取り箇所及び／若しくはその中にある構成部品の位置を求めるための、転向装置の外部に配置された、画像を形成する特性及び／又は位置センサに対応づけられている。方向変換ミラー又はプリズムは、転向装置の外部に配置されている画像を形成する特性及び／又は位置センサと共に、転向装置の周面に配置された隣接する引取部の間を通して、受け取り装置内の受け取り箇所の少なくとも１つの画像キャプチャを実施するように、適合されている。
【００８６】
受け取り装置は、置き場所に対してリニアドライブによって少なくとも部分的に、第１の軸に沿って両方向に管理された方法によって移動される。受け取り装置によって案内される支持体が、回転ドライブによって、第１及び／又は第２の軸に沿って支持体の移送方向に管理された方法によって移動される。受け取り装置によって案内される支持体には、２つの受け取り箇所が設けられており、それらは、ドライブの管理された操作によって、構成部品のための置き場所に対して少なくともほぼ整合するように方向付けされる。画像を形成する特性及び／又は位置センサは、受け取り装置内の受け取り箇所の少なくとも１つにおける、その特性及び／又はその位置に関して調査すべき構成部品の特性及び／又は位置を供給する。特性及び／又は位置センサからの画像データに基づいて、構成部品の特性エラー及び／又は位置エラーがある場合に、制御装置によって受け取り装置及び／又はその中で案内される支持体の適切な補正運動を促すために、補正指示が行われる。受け取り装置には、受け取り装置内の受け取り箇所の少なくとも１つから及び／又は受け取り装置内で案内される支持体から、傷のある及び／又は位置決めが誤っていると認識された構成部品を取り除くために、吸い出し装置及び／又は吹き出し装置が対応づけられている。他の変形例において、第１／第２の転向装置の中心に位置決めされた、画像を形成する位置及び／又は特性センサが、反射装置を有しており、その反射装置は、転向装置が構成部品を引き渡すために設けられた位置（引き渡し位置）にある間、受け取り装置の間接的な検出を可能にする。
【００８７】
特に上述した構造／機能方法の、受け取り装置から欠陥のある構成部品を取り出す方法は、以下のステップを有している：
第１の受け取り箇所における構成部品のための支持体のポケット内に正しく置かれなかった構成部品を検出する、
受け取り装置をリニアドライブによって移送方向に沿って移動させ、これによって、正しく置かれなかった構成部品が第２の受け取り箇所に位置し、受け取り装置内で案内される支持体を移送することはない、
正しく置かれなかった構成部品を第２の受け取り箇所において、構成部品用のポケットから吸い出しによって抜き出す；
リニアドライブによって受け取り装置を移送方向とは逆に戻るように移動させ、これによって、構成部品のための空のポケットが第１の受け取り箇所に位置し、受け取り装置内で案内される支持体を移送することはない、
構成部品を第１の受け取り箇所において支持体のポケット内へ置く。
【００８８】
品質要請が高くなり、同時に電気構成部品の寸法は小さくなり、その構成部品はさらに、常に減少する加工時間で加工されなければならないことに起因して、従来のセンサ構成は充分でないことが認識されている。
【００８９】
したがって変形例として、特に上で開示した種類の構成部品操作装置内で構成部品の位置及び／又は特性を検出するために適しかつ意図された、画像センサが提案される。この画像センサは、少なくとも２つの互いに異なる検出スペクトルを有している。このセンサは、特に、受け取り装置の受け取り箇所にある構成部品の特性エラー及び／又は位置エラーを検出するために適しておりかつ意図されている。この画像センサは、放射源と協働するために適しかつ意図されており、その放射源は、画像センサに対して放射スペクトル及び放射入射角及び／又は放射反射角に関してこのセンサに合わせられている。画像センサは、その検出スペクトルの各々について、その後段に配置されている画像評価部に、分離された画像キャプチャを提供するために適しておりかつ適合されている。
【００９０】
この画像センサにおいて、少なくとも２つの互いに異なる検出スペクトルが、たとえば可視領域及び不可視領域内に形成される。それらは赤のカラー領域−６３０ｎｍプラスマイナス３０ｎｍ−及び／又は緑のカラー領域−５３０ｎｍプラスマイナス６０ｎｍ−及び／又は青のカラー領域−４６０ｎｍプラスマイナス５０ｎｍ−として形成することができる。
【００９１】
画像センサの変形例において、光学的に有効な部材が設けられており、それらは、センサを、受け取り装置内の受け取り箇所の少なくとも１つにおける構成部品と、及び／又は受け取り箇所内で案内される支持体と、光学的に結合するように、適合されている。
【００９２】
画像センサの変形例において、光学的に作用する部材は、方向変換ミラー、プリズム、カラーフィルタ及び／又はレンズを有している。
【００９３】
光学的に有効な部材及び／又は放射源の各々は、他とは関係なく能動化され、方向付けされ、及び／又は、調整／合焦されるように、適合されることができる。
【００９４】
ここで開示される統合された操作／検査装置は、画像センサを使用しており、そのセンサは一方では、構成部品のすべて又はほぼすべての端面及び／又は側面を検査し、他方では、第１及び／又は第２の転向装置及び受け取り箇所にマニピュレータ（引取部）を位置決めするための重要なデータも供給する。
【００９５】
第１（上方）の転向装置の画像センサは、変形例において、転向装置の中心のカラーカメラである。代替的に、カメラは、白／黒カメラであってもよく、それは他の変形例において、側方でかつ転向装置の中心の４５°方向変換ミラーと協働する。変形例において、このカメラは、上方の転向装置の回転の間、２つの引取部の間の間隙を通して、次のステップにおいて構成部品エジェクタによって構成部品ストックから個別化される構成部品を検出する。その場合に獲得された画像キャプチャから、構成部品の検査も、構成部品ストック内のその正確な位置決定も、可能である。画像キャプチャは、上方の転向装置が回転する間、のぞき窓と称される期間内に行われる。他の変形例において、第１（上方）の転向装置の中心に位置決めされたカメラは、ミラー配置を有しており、そのミラー配置は、転向装置が構成部品を引き渡すために設けられた位置（引き渡し位置）にある間に、構成部品エジェクタの間接的な検出を可能にする。
【００９６】
ここに開示される統合された操作／検査装置は、さらに、上方の転向装置に設けられた側方のカメラの形式の画像を形成する複数のセンサを使用する。これらのセンサは、上方の転向装置の径方向外部に約９０°で、構成部品の円形経路上で構成部品の正面が中央のカメラによって検出され、かつ、互いに対向する横側面が中央のカメラの両側から検出されるように、配置されている。これらのカメラは、必ずしもカラーカメラである必要はない。複数の画像キャプチャを形成することができる、何故ならば、上方の転向装置が短時間（１０ｍｓから６０ｍｓ、たとえば４０ｍｓ）、後続の構成部品引き渡しのために、１８０°の位置に静止するからである。この短い停止期間は、検査のために十分である。そのために白／黒カメラを使用することもできる。２つの側方のカメラによる側面検査によって、構成部品の端部が、損傷について調査される。中央のカメラによる裏面検査によって、構成部品裏面が損傷について調査される。裏面検査のために、異なる欠陥を強調するために、複数の画像キャプチャを実施することができる。ここで使用されるカメラは、同様にカラーカメラとすることができる。しかしこれは必ずしもそうである必要はない、何故ならば、上ですでに説明したように、静止期間に基づいて充分な時間が提供されるからである。
【００９７】
ここに開示される統合された操作／検査装置は、さらに、下方の転向装置に設けられた側方のカメラの形式の画像を形成する複数のセンサを使用する。これらのカメラは、下方の転向装置の径方向外側に約９０°で、構成部品の円形経路上で構成部品の正面が中央のカメラによって検出され、かつ、互いに対向する横側面が中央のカメラの両側にあるカメラによって検出されるように、配置されている。これらのカメラは、必ずしもカラーカメラである必要はない。代わりに、白／黒カメラも使用することができる。この位置において、構成部品は、エラーについても調査され、画像データも位置エラーについて評価される。２つの側方のカメラによる側面検査によって、構成部品の切断面が損傷について調査される。中央のカメラによる裏面検査によって、構成部品の裏面が損傷について調査される。裏面検査のために、異なる欠陥を強調するために、複数の画像キャプチャを実施することができる。次に受け取り装置内に構成部品を置くために、構成部品の位置データ（ｘ、ｙ、回転）を側面検査によって求めることができる。他の変形例においては、その目的のために、裏面検査が使用される。これらの情報は、任意の補正を実施するために、制御装置によって使用される。ここで使用されるカメラは、同様にカラーカメラとすることができる。しかしこれは、必ずしも必要ではない、何故ならば、静止期間の間、時間が充分に提供されるからである。
【００９８】
ここに開示される統合された操作／検査装置は、さらに、下方の転向装置の中心のカメラの形式の、画像センサを使用する。このカメラは、３つの個別チャネルＲ、Ｇ、Ｂを有するカラーカメラとすることができる。その場合に３チップカラーカメラが使用されるか、１チップカラーカメラが使用されるかは、重要ではない。３チップカメラは、各カラーＲ、Ｇ、Ｂのために別々の画像センサを有し、１チップカメラは、画像センサの前で交互に能動化されるフィルタを使用する。ここで使用可能な白／黒カメラは、たとえば２５５グレイレベルを備えた１つのチャネルを有し、カラーカメラにおいては、３つのチャネルの各々は、１つのカラーのたとえば２５５の輝度段階を有している。重要なことは、カメラの３つのカラーチャネルが互いに別々に応答可能／読み出し可能であり、又は、制御装置内で３つのカラーチャネルの少なくとも１つの分割を行うことができることである。各チャネルのために、異なる露光時間が可能である。ここでは、たとえば以下の露光時間を使用することができる：５ｍｓ（緑）、１２ｍｓ（赤）、１５ｍｓ（青）。それぞれの能動化されたカラーチャネルに応じて、ここに開示される統合された操作／検査装置においては、異なる照明カラーを使用することもできる。白色光は、特にすべてのカラーの混合であるので、この照明色によってすべてのチャネルが同時に応答することができる。しかしこれは、得られる画像品質が要求を満足しない場合には、ここでは絶対に行われない。
【００９９】
変形例においては、画像センサは、関連付けられた半透明のミラーを有しており、そのミラーは、カメラチップの光学軸に対して約４５°の角度で配置されており、対応する光源からの２つ、複数、又は、任意の所望の数の異なる検出スペクトルのカラー光を光学的に結合し、検査領域へ向けるために、用いられる。検査領域へ、すなわち構成部品端面又は側面及び場合によってはポケット内のその周囲へ向けられたこの光は、そこで反射されて、画像を形成するカメラの少なくとも１つのカメラチップによって検出される。
【０１００】
さらに、変形例においては、画像センサは、検査箇所を中心とするリング光源としての関連付けられた光源を有している。このリング光源は、第３のカラー領域内で約５°−４５°の角度で散乱光を供給する。検査領域へ向けられたこの光も、そこで反射されて、画像センサの少なくとも１つのカメラチップによって検出される。光又は異なる色の光源は、任意に配置することができ、又は、同じ放射角度を有することもできる。
【０１０１】
ここに開示される統合された操作／検査装置は、受け取り装置の同軸の照明を取り込むために、下方の転向装置の中心に方向変換ミラーを有している。もっと正確には、受け取り装置によって案内される、構成部品のための載置ポケットを備えた載置バンドの形式の支持体が、カメラによって検出される。単一の画像キャプチャによって、エラー、たとえば構成部品が斜めに置かれ、それによって載置ポケット内に正しく位置決めされていないことについて、又は、品質の欠陥について、検査が行われる。さらに、この単一の画像キャプチャによって、次の構成部品を置くための載置バンドの載置ポケットの位置データが検出される。個々のカラーチャネルから獲得すべき情報は、調査すべき課題位置に応じて、たとえば次のように、分割することができる。照明タイプ１を有する画像チャネル１：次の構成部品を位置決めするための載置バンドの載置ポケットの位置。照明タイプ２を有する画像チャネル２：構成部品の品質検査（亀裂、レーザーマーク、欠けなど）。照明タイプ３を有する画像チャネル３：特殊な構成部品又は顧客固有のエラーについての付加検査。
【０１０２】
構成部品は、統合された操作／検査装置の変形例において、「ブラインド」載置される。すなわち、実際の載置プロセスは、載置プロセス前に先行する構成部品に対応づけられた画像キャプチャから獲得された情報又は位置データに基づいている。載置プロセスの瞬間には、第２の転向装置の中心のカメラは、そのときに載置される引取部が視野を遮るので、最初は置き場所を見ていない。
【０１０３】
構成部品が回動されているか、の情報又は位置データは、変形例において、下方の転向装置の外周に設けられたカメラが提供する。情報又は位置データは、受け取り装置の制御装置へさらに伝えられる。その前に載置バンドの載置ポケット内に置かれている構成部品の画像キャプチャから、受け取り装置の位置がわかる。同様に２つのポケットの間の間隔は、わかっている。それらから、次に置くべき構成部品について、受け取り装置をどの角度並びにｘ及びｙ量だけ移動させなければならないか、を計算することができる。
【０１０４】
他の装置の態様から、対応する追加の又は代替の方法ステップが生じる。
【０１０５】
ここに提示される、画像センサ技術の構成は、従来のセンサ構成よりも少ない画像キャプチャで済ませることができる。獲得された画像データは、欠陥部品排出のためにも、操作／検査装置のアクチュエータを位置決めするためにも、評価されることができる。この統合された構成及びそれによって可能となる手順が、プロセス時間を短縮し、より高い処理量で向上された検査品質を提供する。
【０１０６】
更なる特徴、特性、利点及び可能な変形は、添付の図面が参照される以下の説明から当業者に明らかになるであろう。図は、構成部品のための光学的調査装置を図式的に示している。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】自己調整装置を有する構成部品操作装置を図式的に側面図で示しており、構成部品操作装置は、構造化された構成部品ストックから角柱状又は円筒状の構成部品を取り出して、受け取り装置へ置くための第１の転向装置を有している。
【図２】図１に示す構成部品操作装置の様々な位置及び特性センサを構成部品の側面に関して方向付けすることを、図式的に示している。
【図３】構成部品操作装置の１つ又は２つの転向装置の周面に配置された位置及び特性センサの１つを上面図で図式的に示している。
【図４】構成部品操作装置と共に使用するための受け取り装置を図式的に斜視図で示している。
【図５】構成部品操作装置と共に使用するために対応づけられた露光装置を有する位置及び特性センサの１つを図式的に示している。
【発明を実施するための形態】
【０１０８】
図１には、構造化された構成部品ストックから電子半導体チップの形式の角柱状の構成部品Ｂを取り出して、受け取り装置２００へ置くための構成部品操作装置１００が示されている。ここで提示される構成部品操作装置１００は、構成部品操作装置の上方の領域内に水平に配置されている固定された放出ユニット１１０を有する構成部品ストック、ここではウェハディスクから構成部品Ｂを受け取る。
【０１０９】
放出ユニット１１０は、構成部品を構成部品ストックから個々に解放し、それによって構成部品が第１の転向装置１３０へ供給されるようにするために、図示される変形例においては、制御ＥＣＵによって管理されるニードルによって、又は、たとえばレーザービームによって非接触で、作動する。この第１の転向装置１３０は、スター又はホィールの形状を有しており、その周面に個別化された構成部品のための複数の（図示される例においては８つの）引取部１３２を有している。引取部１３２の各々は、その引取部が第１の転向装置１３０の０°位置において放出ユニット１１０のもっとも近くにいる場合に、提供箇所ＳＰＳにおいて構造化された構成部品ストックから構成部品を受けとるように、適合されている。
【０１１０】
引取部１３２は、スター形状又はホィール形状の第１の転向装置１３０の（仮想の）周面に径方向外側を向くように配置されており、構成部品Ｂを支持する。第１の転向装置１３０の引取部１３２は、回転軸（ここではＸ軸）に対して径方向に移動可能である。したがって、これらの引取部１３２は、それぞれ引取部１３２の１つに固定されている構成部品Ｂを揺動角度−ここでは０°と１８０°の間−内で構成部品引き取りと構成部品引き渡しの間で移送する。
【０１１１】
第１の転向装置１３０は、詳しく示されない制御ＥＣＵによって制御されて、構成部品Ｂを第１の軸線、ここではＸ軸、を中心に第１の引き渡し箇所ＵＳへ第１のあらかじめ定められた角度、ここでは１８０°だけ回転させる。その場合に構成部品Ｂは、その長手軸又は横軸を中心に転向される。複数の、ここでも同様に８つの、第１の引取部１５２を有する、第１の転向装置１３０に似た第２の転向装置１５０は、第２の転向装置１３０の０°位置において構成部品Ｂが引き渡し箇所ＵＳのもっとも近くにいる場合に、引き渡し箇所ＵＳにおいて第１の転向装置１３０の引取部１３２から構成部品Ｂを受け取るように、適合されている。
【０１１２】
第２の転向装置１５０は、制御ＥＣＵによって制御されて、受け取った構成部品Ｂを第２の軸線、ここではＹ軸を中心に第２のあらかじめ定められた角度だけ、ここでは約１８０°だけ、その長手軸又は横軸を中心に転向させ、それを置き場所ＡＢＳへ移送する。
【０１１３】
他の変形例においては、第１の転向装置１３０が構成部品Ｂを同様に、詳しく図示されない制御ＥＣＵによって制御されて、第１の軸（ここではＸ軸）を中心に第１のあらかじめ定められた角度、ここでは１８０°回転させる。その場合に、構成部品Ｂは、同様にその長手軸又は横軸を中心に転向されるが、あらかじめ第２の転向装置１５０へ引き渡されずに、直接置き場所ＡＢＳへ移送される。
【０１１４】
第１、第２及び／又は第３の軸線は、互いにそれぞれ９０°プラス／マイナス最大１０°又は１５°を形成し、三次元の直交する座標系において方位づけされる。
【０１１５】
２つのスター形状又はホィール形状の転向装置１３０、１５０は、互いに直交して配置されており、その他においてその構造は一致している。図１の表示とは異なり、２つの転向装置１３０、１５０の配置は、受け取り装置２００の移送方向に対してＺ軸を中心に９０°だけ回動することができる。この場合において、下方の転向装置１５０は、受け取り装置２００の移送方向に対して少なくともほぼ横方向に方向付けされている。
【０１１６】
第１及び第２の転向装置１３０、１５０には、位置及び特性センサＫ１．．．Ｋ４、Ｋ７．．．Ｋ１１が対応づけられている。図１に示すように、これらのセンサは、構成全体の複数の箇所に配置されている。それらは、第１及び第２の転向装置１３０、１５０の位置データ、引取部１３２、１５２にある構成部品Ｂの位置データ、並びに、引取部１３２、１５２にある構成部品Ｂの特性を検出するように、適合されている。その場合に、獲得されたデータは、制御装置へ提供される。ここに示される形態において、第１のカメラ構成Ｋ１は、第１の転向装置１３０の中心において垂直上方へ向かって構成部品ストックへ向けられている。その場合に、カメラ構成Ｋ１は、１つのカメラ及び互いに対して直角に配置された２つのミラーを有しており、それらのミラーはそれぞれＸ軸及びＹ軸によって形成される平面に対して４５°で取り付けられている。これらのミラーは、提供箇所ＳＰＳ及び放出ユニット１０、並びに、提供箇所ＳＰＳにある引取部１３２が、第１及び第２の検出方向から間接的に検出されることを可能にする。その場合に、ミラーは、２つの検出方向が互いに対して直交して延びるように、配置されている。
【０１１７】
３つのカメラを有する第２のカメラ構成Ｋ２（図１では見えない）は、第１の転向装置１３０の周辺において、通過する構成部品Ｂへ９０°で向けられている。この第２のカメラ構成Ｋ２についての詳細は、図３との関連において説明する。第２のカメラ構成Ｋ２に相当する、３つのカメラを有する第３のカメラ構成Ｋ３が、第２の転向装置１５０の周辺において、通過する構成部品Ｂへ９０°で向けられている。カメラ構成Ｋ２及びＫ３は、それぞれ、あらかじめ定められた参照点に対する通過する引取部１３２、１５２の位置偏差を求めるためにも適している。
【０１１８】
第４のカメラ構成Ｋ４は、第２の転向装置１５０の中心において、置き場所ＡＢＳ又は受け取り装置２００内の第１の受け取り箇所ＥＳ１へ向けられている。その場合にカメラ構成Ｋ４は、１つのカメラ及び互いに対して直角に配置された２つのミラーを有しており、それらのミラーはそれぞれＸ軸及びＹ軸によって形成される平面に対して４５°の角度で取り付けられている。これらのミラーは、置き場所ＡＢＳ及び受け取り箇所ＥＳ１、並びに、置き場所ＡＢＳにある引取部１５２を、第１及び第２の検出方向から間接的に検出することを可能にする。その場合にミラーは、２つの検出方向が互いに対して直交して延びるように、配置されている。
【０１１９】
第１の転向装置１３０の中央の第７のカメラ構成Ｋ７は、第１及び第２の転向装置の引き渡し箇所ＵＳ並びに引取部１３２及び１５２へ向けられている。その場合にカメラ構成Ｋ７は、１つのカメラ及び互いに対して直角に配置された２つのミラーを有しており、それらのミラーはそれぞれ、Ｘ軸及びＹ軸によって形成される平面に関して４５°の角度で取り付けられている。これらのミラーは、引き渡し箇所ＵＳ及び引き渡し箇所にある引取部１３２、１５２を、第１及び第２の検出方向から間接的に検出することを可能にする。その場合にこれらのミラーは、２つの検出方向が互いに対して直交して延びるように、配置されている。
【０１２０】
構成部品が第１の転向装置１３０から受け取り装置２００へ引き渡される変形例において、カメラ構成Ｋ７が構造の等しいカメラ構成Ｋ４を機能的に代用している。
【０１２１】
構成部品Ｂが第１の転向装置１３０から直接受け取り箇所ＥＳ１へ引き渡される変形例において、カメラ構成Ｋ７は第１の転向装置１３０の中心において置き場所ＡＢＳ及び受け取り装置２００内の第１の受け取り箇所ＥＳ１へ向けられている。その場合にカメラ構成のミラーは、互いに直交する２つの検出方向から受け取り装置２００内の受け取り箇所ＥＳ１を検出することが可能になるように、配置されている。
【０１２２】
第２の転向装置１５０の中心にある第１１のカメラ構成Ｋ１１は、引き渡し箇所ＵＳ並びに第１及び第２の転向装置の引取部１３２及び１５２へ向けられている。その場合にカメラ構成Ｋ１１は、１つのカメラ及び２つの互いに対して直角に配置された、Ｘ軸及びＹ軸によって形成される平面に対して４５°の角度で取り付けられたミラーを有している。これらのミラーは、第１及び第２の検出方向から、引き渡し箇所及び引き渡し箇所ＵＳにある引取部１３２、１５２を間接的に検出することを可能にする。その場合にミラーは、２つの検出方向が互いに対して直交して延びるように、配置されている。
【０１２３】
制御ＥＣＵは、第１の回転ドライブＤＡ１によって第１の転向装置１３０を第１の軸（ここではＸ軸）を中心に管理して回転させ、かつ、第１のリニアドライブＬＡ１によって第１の転向装置１３０を第１の軸に沿って管理して移動させるように、適合されている。
【０１２４】
制御ＥＣＵは、さらに、第２の回転ドライブＤＡ２によって第２の転向装置１５０を、第１の軸（ここではＸ軸）に対して共線でない第２の軸（ここではＹ軸）を中心に管理して回転させ、かつ、第２のリニアドライブＬＡ２によって第２の転向装置１５０を第２の軸に沿って管理して移動させるように、適合されている。
【０１２５】
画像センサは、構成部品Ｂの端面及び／又は側面を検査して、第１及び第２の転向装置１３０、１５０（その軸に沿ってかつその軸を中心に）、並びに、引取部１３２、１５２とそれに存在する構成部品Ｂ及び受け取り箇所を位置決めするための重要なデータも提供する。第１及び第２の転向装置１３０、１５０並びに引取部１３２、１５２を位置決めするためのデータは、特に装置の自己調整の間も使用することができる。
【０１２６】
２つのカメラ（図１にはそのうちの１つだけが見える）を有するカメラ構成Ｋ８は、第１及び第２の転向装置１３０、１５０の周辺において、２つの異なる検出方向から提供箇所ＳＰＳへ向けられている。カメラは、Ｘ軸及びＹ軸によって形成される平面内にそれぞれ互いに対して９０°プラス／マイナス最大１０°又は１５°だけ変位して配置されており、かつ、放出ユニット１１０も引取部１３２も少なくとも部分的に検出するように、提供箇所ＳＰＳへ向けられている。カメラ構成Ｋ８は、（この目的のために必要なように）２つの個別カメラの実質的に垂直の配置に基づいて、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿って放出ユニット１１０に対して引取部１３２の位置を定めることができる。
【０１２７】
２つのカメラ（図１にはそのうちの１つだけが見える）を有するカメラ構成Ｋ９は、第１／第２の転向装置１３０、１５０の周辺において、２つの異なる検出方向から置き場所ＡＢＳへ向けられている。カメラはそれぞれ、Ｘ軸及びＹ軸によって形成される平面内で互いに対して９０°プラス／マイナス最大１０°又は１５°だけ変位して配置されており、かつ、引取部１３２、１５２も受け取り箇所ＥＳ１も少なくとも部分的に検出するように置き場所ＡＢＳへ向けられている。カメラ構成Ｋ９は、（この目的のために必要なように）２つの個別カメラの実質的に直角の配置に基づいて、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿って引取部１３２、１５２に対する受け取り箇所ＥＳ１の位置偏差を定めることができる。
【０１２８】
２つのカメラ（図１にはそのうちの１つだけが見える）を有するカメラ構成Ｋ１０は、第１／第２の転向装置１３０、１５０の周辺において、２つの異なる検出方向から引き渡し箇所ＵＳへ向けられている。カメラはそれぞれ、Ｘ軸及びＹ軸によって形成される平面内で互いに対して９０°、プラス／マイナス最大１０°又１５°変位して配置されており、かつ、引取部１３２も引取部１５２も少なくとも部分的に検出するように、引き渡し箇所ＵＳへ向けられている。カメラ構成Ｋ１０は、（この目的のために必要なように）２つの個別カメラの実質的に垂直の配置に基づいて、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿って引取部１３２に対する引取部１５２の位置偏差を定めることができる。
【０１２９】
構成部品操作装置１００には、置き場所ＡＢＳに対応づけられた、そこへ移送される構成部品のための受け取り装置２００が設けられている。受け取り装置２００には、位置及び特性センサＫ４／Ｋ７、Ｋ５が対応づけられており、それらは、置き場所ＡＢＳへ移送された構成部品Ｂの位置データ、受け取り装置２００内の受け取り箇所ＥＳ１、ＥＳ２及びその中にある構成部品Ｂの位置データ及び特性を検出して、制御ＥＣＵへ提供するように適合されている。位置及び特性センサＫ５には、第５のカメラ構成が対応づけられており、それは第２の受け取り箇所ＥＳ２における第２の窓へ向けられている。制御ＥＣＵは、第３の回転ドライブＤＡ３によって、受け取り装置２００を、置き場所ＡＢＳを含む第３の軸（ここではＺ軸）を中心に管理して回転させ、かつ、第３及び第４のリニアドライブＬＡ３、ＬＡ４によって受け取り装置を第１及び第２の軸に沿って管理して移動させるように、適合されている。制御ＥＣＵは、第４の回転ドライブＤＡ４によって、受け取り装置２００によって案内される支持体３２０を、第１の軸（ここではＸ軸）に沿って管理して移動させる。支持体３２０は、個別化された形状の構成部品Ｂを転向装置１３０、１５０から収容するために用いられる。転向装置１３０、１５０及び回転ドライブＤＡ１、ＤＡ２、．．．は、それぞれ、そのそれぞれの回転位置を定めるために、制御ＥＣＵと接続された、詳しく示されない高解像度の回転角度エンコーダを有している。
【０１３０】
受け取り装置２００内で、第４の回転ドライブＤＡ４は、制御ＥＣＵからの制御信号によって駆動されて、受け取り装置２００によって案内される支持体３２０を、第１の軸（ここではＸ軸）に沿って管理して、支持体３２０の隣接する構成部品引取部（ポケット）の間隔の約１００％プラスマイナス最大３％だけ移動させるために、用いられる。間隔は、２つの互いに連続するポケットの中心間距離から生じる。第３の回転ドライブＤＡ３は、制御ＥＣＵからの制御信号によって駆動されて、第２の転向装置１５０の中心における画像を形成する特性及び位置センサからの、又は、変形例においては第１の転向装置１３０の中心における画像を形成する特性及び位置センサからの信号に従って、受け取り箇所ＥＳ１の１つをそこにある、支持体３２０の構成部品引取部と共に置き場所を含むＺ軸を中心に管理して、プラスマイナス６°までだけ回転させるように、適合されている。
【０１３１】
受け取り装置２００の第４の回転ドライブＤＡ４は、図４に示す変形例において、スプロケットホィールを有しており、それが、支持体２３０（載置ベルト）を移送方向へ移送するために、支持体の移送穴３２５内へ嵌入する。その場合にスプロケットホィールは、好ましくは前進方向のみに回転する。
【０１３２】
受け取り装置２００においては、この変形例において、受け取り箇所ＥＳ１に対して流出側に吸い出し及び／又は吹き出し装置３４０が設けられている。しかしこれは、選択的である。それによって、制御ＥＣＵからの制御信号によって駆動されて、不具合のある、又は、誤って位置決めされたと認識される構成部品Ｂがそのポケットから除去される。
【０１３３】
構成部品Ｂを引取部１３２、１５２内へ吸い込むため、構成部品Ｂを引取部１３２、１５２内に保持するため、制御される吹き出し衝撃をもって又はそれなしで構成部品Ｂを置くため、及び、引取部１３２、１５２から構成部品Ｂを吹き払うために、これらには、詳しく示されないニューマチックユニットが接続されている。ニューマチックユニットは、構成部品Ｂを個々に引き取り、保持し、及び、再び放出するために、制御ＥＣＵによって管理されて、個々の引取部１３２、１５２へ弁制御装置によって、それぞれ必要な時点又は期間に過圧又は負圧を供給する。
【０１３４】
制御ＥＣＵと位置及び特性センサによって個々のステーションにおいて獲得された検査結果が肯定である限りにおいて、それぞれの構成部品Ｂが、その時に置き場所ＡＢＳにある受け取り箇所ＥＳ１へ、したがって支持体３２０のポケット内へ、置かれる。獲得された検査結果が否定である場合には、構成部品Ｂは次の位置だけ第１の吸い出し器３３０へさらに回転され、そこで第１又は第２の転向装置１３０、１５０のその引取部１３２、１５２によって吸い出される。この受け取り箇所ＥＳ１を監視する位置及び特性センサ（図５も参照）によって、置かれた構成部品Ｂが置いた後に位置エラー又は特性エラーを有することが明らかにされた場合に、受け取り箇所ＥＳ１の流出側にある第２の吸い出し器３４０によって、支持体３２０のポケットから吸い出される。この場合において、次に、制御ＥＣＵによって管理されて、受け取り装置２００全体が支持体３２０と共に支持体３２０の２つのポケットの中心間隔だけ第３のリニアドライブユニットＬＡ３によって支持体３２０の移送方向とは逆に後退する。その後、次の構成部品Ｂが転向装置１３０、１５０において支持体３２０の空になったポケット内へ投入される。
【０１３５】
他の変形例において、第１の受け取り箇所ＥＳ１には、受け取り箇所ＥＳ１において斜め位置の構成部品を吸い出すために、付加的な、詳しく示されない吸い出し装置が対応づけられている。位置及び特性センサＫ４／Ｋ７によって、又は、第２の窓における位置及び特性センサＫ５によって、あり得る品質エラーを検出することができる。位置及び特性センサＫ５が品質エラーを検出した場合に、受け取り装置２００が支持体３２０と共に戻るように移送されて、その後置き場所において構成部品Ｂが支持体３２０のポケットから吸い出される。受け取り箇所ＥＳ１における斜め位置の構成部品Ｂの傾きは、受け取り箇所ＥＳ１に対応づけられた、詳しく示されない位置及び特性センサＫ６によって認識することができる。この位置及び特性センサＫ６は、支持体３２０の側方に配置されており、かつ、受け取り箇所ＥＳ１を直接又は支持体３２０の上エッジ上方の方向変換ミラーを介して検出する。すなわち、正しく置かれなかった構成部品のあり得る傾き又は張り出しを認識することができる。
【０１３６】
図１と組み合わせた図２から明らかなように、変形例においてカメラ構成Ｋ１は、位置及び特性センサとして、第１の転向装置１３０の中心において構成部品ストックへ向けられている。それによって、構成部品Ｂの端面Ｄ２の位置及びエラーが検査される。その場合にカメラ構成Ｋ１は、この変形例において、それぞれ第１の転向装置１３０が転向運動する間に２つの隣接する引取部１３２の間を通して画像キャプチャを実施するように、適合されている。制御装置は、この画像データから、放出ユニット、構成部品ストック又はウェハ、及び、第１の転向装置１３０の対応する補正運動を発生させる。
【０１３７】
第２のカメラ構成Ｋ２は、位置及び特性センサとしてその３つのカメラが、第１の転向装置１３０の周辺において、構成部品Ｂの３つの側Ｓ２、Ｓ４及びＤ１へほぼ９０°で向けられている。カメラ構成Ｋ２の３つのカメラＫ２−１、Ｋ２−２及びＫ２−３が図３に上面図で示されている。その場合に中央のカメラＫ２−２が構成部品Ｂの端面Ｄ１を、そして２つの外側のカメラＫ２−１及びＫ２−３がそれぞれのミラーＳＰ１及びＳＰ２を介して構成部品Ｂの側面Ｓ２及びＳ４を、検査する。その場合に検出された画像キャプチャから、これらの面における構成部品Ｂのあり得るエラーの他に、その引取部１３２における構成部品Ｂの正確な位置及び回転も求めることができる。この情報が制御ＥＣＵ内で、検査された構成部品Ｂが引き渡し箇所ＵＳにおいて第１の転向装置１３０から第２の転向装置１５０へ引き渡される時に、第１の転向装置１３０及び第２の転向装置１５０のその軸に沿った方向付け及び回転方位を変化させるために、使用される。さらに、第２のカメラ構成Ｋ２は、あらかじめ定められた参照点に対する第１の転向装置１３０の各引取部１３２の偏差を求めるのに、適している。
【０１３８】
第３のカメラ構成Ｋ３は、位置及び特性センサとしてその３つのカメラが第２の転向装置１５０の外部周辺において、構成部品Ｂの３つの側Ｓ１、Ｓ３及びＤ２へ約９０°で向けられている。このカメラ構成Ｋ３は、その構造及びその配置において、図３における３つのカメラ及び２つのミラーを有するカメラ構成Ｋ２に相当する。その場合に検出された画像キャプチャから、これらの面における構成部品Ｂのあり得るエラーの他に、第２の転向装置１５０のその引取部１５２における構成部品の正確な位置及び回転も求めることができる。この情報は制御ＥＣＵ内で、検査された構成部品Ｂが引き渡し箇所ＵＳにおいて第２の転向装置１５０から置き場所ＡＢＳ内にある受け取り箇所ＥＳ１へ、したがって支持体３２０のポケット内へ置かれる時に、第２の転向装置１５０及び受け取り装置２００のその軸に沿った方向付け及び回転方位を変化させるために、使用される。さらに、第３のカメラ構成Ｋ３は、あらかじめ定められた共通の参照点に対する第２の転向装置１５０の各引取部１５２の偏差を求めるのに適している。
【０１３９】
第４のカメラ構成Ｋ４は、位置及び特性センサとして第２の転向装置１５０の中心において、受け取り装置２００の受け取り箇所Ｅ１へ向けられている。その場合に制御ＥＣＵが、第２の転向装置１５０及び受け取り装置２００のしかるべき補正運動を促す。さらにカメラ構成Ｋ４は、受け取り箇所ＥＳ１も置き場所ＡＢＳにある引取部１５２も、種々の検出方向からミラー光学系を用いて同時に検出するように適合されているので、構成部品操作装置１００の自己調整のために、制御装置のＥＣＵによって、引取部１５２に対する受け取り箇所ＥＳ１の相対的な位置を求めることができる。
【０１４０】
図１に示す構成部品操作装置１００は、制御装置を有しており、その制御装置が構成部品操作装置１００の自立した調整を制御する。
【０１４１】
自己調整は、特に構成部品操作装置１００の駆動開始前に、そしてまた構成部品操作装置１００の駆動の間も、可能である。
【０１４２】
提供箇所ＳＰＳへ向けられた少なくとも１つのセンサ、引き渡し箇所へ向けられた少なくとも１つのセンサ、及び、置き場所ＡＢＳへ向けられた少なくとも１つのセンサが自己調整方法に関与している場合に、構成部品操作装置１００の自己調整のために、カメラ構成Ｋ１、Ｋ４、Ｋ７、Ｋ８、Ｋ９、Ｋ１０及びＫ１１の任意の組み合わせが可能である。
【０１４３】
構成部品が第１の転向装置１３０から受け取り装置２００へ引き渡される変形例において、提供箇所ＳＰＳへ向けられた少なくとも１つのセンサ、及び、置き場所ＡＢＳへ向けられた少なくとも１つのセンサが自己調整方法に関与している限りにおいて、構成部品操作装置１００の自己調整のために２つのカメラ構成で充分である。
【０１４４】
制御装置は、自己調整方法の間、第１の転向装置１３０を徐々に回転させるように、かつ、カメラ構成Ｋ１及び／又はＫ８によって放出ユニット１１０に対する第１の転向装置１３０の各個々の引取部１５２の相対的な位置を求めるように、適合されている。カメラセンサＫ７及び／又はＫ１０及び／又はＫ１１によって、第１の転向装置１３０の引き渡し箇所にある引取部１３２に対する、第２の転向装置１５０の引き渡し箇所ＵＳにある引取部１５２の位置が求められる。カメラ構成Ｋ９及び／又はＫ４／Ｋ７（Ｋ４は２つの転向装置１３０、１５０を有する変形例、そしてＫ７は転向装置１３０を有する変形例）によって、第１／第２の転向装置１３０、１５０の置き場所ＡＢＳにある引取部１３２、１５２に対する、受け取り装置２００内にある受け取り箇所ＥＳ１の位置が求められる。
【０１４５】
第１の転向装置１３０のみを有する変形例においては、提供箇所ＳＰＳ及び置き場所ＡＢＳにおける相対位置のみが求められる。
【０１４６】
その場合に制御装置は、転向装置１３０、１５０を徐々に回転させることと、相対位置を求めることとを、少なくとも、提供箇所ＳＰＳ、引き渡し箇所ＵＳ、及び、置き場所ＡＢＳにおける転向装置１３０、１５０のすべての可能な引き渡し位置が少なくとも１回達成されるまで、繰り返すように適合されている。その場合に制御装置は、さらに、求められた値を制御テーブル内に記憶するように、適合されている。
【０１４７】
放出装置１１０についてあらかじめ定められた位置に対して求められた、第１の転向装置１３０の引取部１３２の３次元の位置偏差が、駆動中に、それぞれの引き渡し箇所のための第１の転向装置１３０用のそれぞれ３次元の補正ベクトルを形成する。
【０１４８】
第１の転向装置１３０の引取部１３２についてあらかじめ定められた位置に対して求められた、第２の転向装置１５０の引き渡し箇所ＵＳにある引取部１５２の３次元の位置偏差が、それぞれに引き渡し箇所のための第１の転向装置１３０用の３次元の補正ベクトルと加算されて、駆動中に、それぞれの引き渡し箇所のための第２の転向装置１５０用のそれぞれ３次元の補正ベクトルを形成する。
【０１４９】
第２の転向装置１５０の置き場所ＡＢＳにある引取部１５２について定められた位置に対して求められた、受け取り箇所ＥＳ１の３次元の位置偏差が、それぞれの引き渡し箇所のための第２の転向装置１５０用の３次元の補正ベクトルと加算されて、駆動中に、それぞれの引き渡し箇所のための受け取り装置２００用のそれぞれ３次元の補正ベクトルを形成する。
【０１５０】
構成部品操作装置１００が第１の転向装置１３０のみを有する変形例において、受け取り装置２００のための３次元の補正ベクトルは、同様に、第１の転向装置１３０の引取部１３２について定められた位置に対する受け取り箇所ＥＳ１の値により、かつ、第１の転向装置１３０のための３次元の補正ベクトルを加算することによって、展開される。
【０１５１】
補正ベクトルの精度は、転向装置１３０、１５０の多数の完全な回転が実施され、かつ、各場合に補正ベクトルのための平均値が求められる場合に、向上される。
【０１５２】
補正ベクトルは、構成部品操作装置１００の他の変形例において、２次元又は１次元とすることができ、その場合に第１の転向装置１３０、第２の転向装置１５０及び受け取り装置２００のための補正次元は、同一でも異なってもよい。
【０１５３】
自己調整のために使用されるカメラセンサの検出品質の第１の検査は、自己調整方法がＫ１、Ｋ４及びＫ７又はＫ１１及び／又はＫ８によって互いに独立して実施され、次にＫ２によって行われることにより、実行される；さらに、Ｋ７及び／又はＫ１０によって自己調整方法を実施することができる。結果が一致しない場合には、測定エラーが存在する。すなわち、比較に基づいて、調整センサの検出品質の検査、及び／又は、損傷についての引取部１３２の検査が行われる。
【０１５４】
他の変形例において、センサのいずれもが２つの自己調整に使用されず、かつ、２つの自己調整においてそれぞれ少なくとも１つのセンサが提供箇所ＳＰＳ、引き渡し箇所ＵＳ及び置き場所ＡＢＳへ向けられている限りにおいて、カメラセンサＫ１、Ｋ４、Ｋ７、Ｋ８、Ｋ９、Ｋ１０及びＫ１１の任意の組み合わせが互いに独立した自己調整のために可能である。
【０１５５】
自己調整のために使用されるカメラセンサの検出品質の第２の検査、及び、引取部１３２、１５２の損傷の有無の付加的な検査は、それぞれの定められた参照点に対してカメラ構成Ｋ２及びＫ３によって求められた引取部１３２、１５２の相対的位置が、各引取部１３２、１５２について、引取部１３２、１５２の互いに対する、放出ユニット１１０に対する、及び、受け取り箇所ＥＳ１に対する相対的位置と、各場合について制御装置によって互いに比較されることにより、実行される。求められた偏差が、−少なくとも−そのそれぞれの関係において互いに一致しない場合に、測定エラーが存在し、及び／又は、引取部１３２、１５２の１つが損傷している。
【０１５６】
構成部品操作装置１００が第１の転向装置１３０のみを有する変形例において、自己調整の検出品質の第１の検査は、自己調整が互いに独立してカメラセンサＫ１及びＫ７並びにＫ８及びＫ９によって実施されることにより、行われる。結果が一致しない場合には、測定エラーが存在する。センサのいずれもが２つの自己調整に使用されず、かつ、２つの自己調整においてそれぞれ少なくとも１つのセンサが提供箇所ＳＰＳ及び置き場所ＡＢＳへ向けられている限りにおいて、カメラセンサＫ１、Ｋ７、Ｋ８、Ｋ９の任意の組み合わせが互いに独立した自己調整のために可能である。
【０１５７】
構成部品操作装置１００が第１の転向装置１３０のみを有する変形例において、検出品質の第２の検査及び自己調整の引取部１３２の損傷の有無の付加的な検査は、それぞれ定められた参照点に対してカメラ構成Ｋ２によって求められた引取部１３２の相対的な位置が、各引取部１３２について、放出ユニット１１０及び受け取り箇所ＥＳ１に対する引取部１３２の相対的な位置と、各場合について制御装置によって互いに比較されることにより、実行される。求められた偏差が−少なくとも−それぞれの関係において、互いに一致しない場合には、測定エラーが存在し、及び／又は、引取部１３２のいずれかが損傷している。
【０１５８】
図５に示す位置及び特性センサ４００は、画像センサとして、カメラ構成Ｋ１−Ｋ５の変形例である。このセンサ４００は、可視光スペクトルを記録するカメラチップ４１０を有している。この画像センサ４００において、互いに異なる検出スペクトルは、カラーセンサの赤のカラー領域−６３０ｎｍプラスマイナス３０ｎｍとして、緑のカラー領域−５３０ｎｍプラスマイナス６０ｎｍとして、そして青のカラー領域−４６０ｎｍプラスマイナス５０ｎｍとして、形成されている。
【０１５９】
画像センサ４００には、半透明のミラー４２０が対応づけられており、そのミラーはカメラチップ４１０の光学軸に対して約４５°の角度で配置されている。半透明のミラー４２０は、しかるべき光源４４０から２つの検出スペクトルのカラー光、ここでは緑のカラー領域と青のカラー領域、を光学的に取り込んで、構成部品Ｂの端面上へ向けるために、用いられる。構成部品Ｂへ向けられた、緑と青のカラー領域のこの光を、カメラチップ４１０が検出する。それぞれ空間的な条件に従って、他の方向変換ミラー、プリズム、カラーフィルタ又はレンズを設けることもできる。
【０１６０】
他の光源４５０が、環状光源として形成されて、置き場所ＡＢＳにある受け取り箇所ＥＳ１を中心に配置されており、かつ、約５°−４５°の角度で赤のカラー領域内の拡散光を構成部品Ｂの端面へ供給する。構成部品Ｂへ向けられた、赤のカラー領域のこの光も、カメラチップ４１０が検出する。
【０１６１】
光学的に作用する部材及び／又は放射源の各々は、他とは関係なく方向付け及び／又は調整及び／又は合焦するように、適合されることができる。
【０１６２】
この変形例におけるカメラチップ４１０は、３つの個別チャネルＲ、Ｇ、Ｂを有するカラーカメラである。しかしまた、より多くのチャネルを有するカメラであってもよい。カメラの３つのカラーチャネルは、互いに別々に応答可能であり／読み出すことができる。単一の画像キャプチャをもって、構成部品Ｂが、エラーについて、たとえば、構成部品Ｂが斜めに置かれていることに起因して支持体３２０の意図されたポケット内に正しく位置決めされていないこと、又は、品質の欠陥について、検査される。さらに、この単一の画像キャプチャによって、次の構成部品Ｂを置くための支持体３２０のポケットの正確な位置データが検出される。個々のカラーチャネルから獲得すべき情報は、以下のように分割される。照明タイプ１を有する画像チャネル１：次の構成部品を位置決めするための載置バンドの載置ポケットの位置。照明タイプ２を有する画像チャネル２：構成部品の品質検査（亀裂、レーザーマーク、欠けなど）。照明タイプ３を有する画像チャネル３：特殊な構成部品又は顧客固有のエラーについての付加検査。
【０１６３】
本明細書で提示される画像センサシステムによって、欠陥部品の撥ねだし及びアクチュエータの位置決めを実現するために、従来のセンサ構成よりも少ない画像キャプチャしか必要とされない。
【０１６４】
なお、本明細書で数値領域及び数値の値が開示されているが、上述した領域内部の開示された値と各数値的下位領域との間のすべての数値的値は、同様に開示されたものとみなされる。
【０１６５】
装置の上述した変形例及びその構造と駆動の視点は、構造、機能方法及び特性をさらによく理解するためだけに用いられる。それらは、開示を実施例に限定するものではない。図は、部分的に概略的であって、その場合に機能、作用原理、技術的形態及び特徴を明らかにするために、重要な特性と効果は、部分的に著しく拡大して示されている。図又はテキストに開示されている各機能方法、各原理、各技術的形態及び各特徴は、この開示に含まれ又はそれから生じるすべての請求項、テキスト及び図における各特徴、他の機能方法、原理、技術的形態及び特徴と自由かつ任意に組み合わせることができるので、すべての考えられる組み合わせは、説明したやり方に対応づけられている。テキスト内の、すなわち明細書の各部分内、請求項内のすべての個別の形態の間の組み合わせ、及び、テキスト内、請求項内及び図内の種々の変形例の組み合わせも、含まれている。また、請求項は、開示及びそれに伴って示されたすべての特徴を互いに組み合わせる可能性を限定するものではない。すべての開示された特徴は、個々に、かつ、他のすべての特徴との組み合わせにおいて、ここに明白に開示されている。
【符号の説明】
【０１６６】
ＡＢＳ  置き場所
Ｂ  構成部品
Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４  構成部品の側面
Ｄ１、Ｄ２  構成部品の端面
ＤＡ１  第１の軸（Ｘ軸）を中心に第１の転向装置を回転させるための第１の回転ドライブ
ＤＡ２  第２の軸（Ｙ軸）を中心に第２の転向装置を回転させるための第２の回転ドライブ
ＤＡ３  置き場所ＡＢＳを含む第３の軸（Ｚ軸）を中心に受け取り装置を回転させるための第３の回転ドライブ
ＤＡ４  支持体を移送方向に移送する、受け取り装置の第４の回転ドライブ
ＬＡ１  第１の転向装置を第１の軸（Ｘ軸）に沿って移動させるための第１のリニアドライブ
ＬＡ２  第２の転向装置を第２の軸（Ｙ軸）に沿って移動させるための第２のリニアドライブ
ＬＡ３  受け取り装置を第１の軸に沿って移動させるための第３のリニアドライブ
ＬＡ４  受け取り装置を第２の軸に沿って移動させるための第４のリニアドライブ
ＬＡ５  受け取り装置によって案内される支持体を第１の軸（Ｘ軸）に沿って移動させるための第５のリニアドライブ
ＥＳ１  第１の受け取り箇所
ＥＳ２  第２の受け取り箇所
ＥＣＵ  制御装置
Ｋ１．．．Ｋ１１  位置及び特性センサ
Ｋ１  第１の転向装置の中心において垂直上方へ向けられた、第１のカメラ構成
Ｋ２  第１の転向装置の周辺においてそのそばを通過する構成部品へ９０°で向けられている、３つのカメラを有する第２のカメラ構成
Ｋ３  第２の転向装置の周辺においてそのそばを通過する構成部品へ９０°で向けられている、３つのカメラを有する第３のカメラ構成
Ｋ４  第２の転向装置の中心において置き場所又は受け取り装置の第１の受け取り箇所へ向けられている、第４のカメラ構成
Ｋ５  第２の受け取り箇所における第２の窓へ向けられている、第５のカメラ構成
Ｋ７  第１の転向装置の中心において引き渡し箇所ＵＳへ向けられている、第７のカメラ構成
Ｋ８  転向装置の周辺において２つの互いに直交する検出方向から提供箇所へ向けられている、２つのカメラを有する第８のカメラ構成
Ｋ９  転向装置の周辺において２つの互いに直交する検出方向から引き渡し箇所へ向けられている、２つのカメラを有する第９のカメラ構成
Ｋ１０  転向装置の周辺において２つの互いに直交する検出方向から置き場所へ向けられている、２つのカメラを有する第１０のカメラ構成
Ｋ１１  第２の転向装置の中心において引き渡し箇所ＵＳへ向けられている、第１１のカメラ構成
ＳＰ１、ＳＰ２  ミラー
ＳＰＳ  提供箇所
ＵＳ  引き渡し箇所
１００  構成部品操作装置
１１０  放出ユニット
１３０  第１の転向装置
１３２  第１の引取部
１５０  第２の転向装置
１５２  第２の引取部
２００  受け取り装置
３２０  支持体
３２５  移送穴
３３０  第１の吸い込み器
３３５  排出箇所
３４０  吸い出し及び／又は吹き出し装置
４００  センサ
４１０  カメラチップ
４２０  半透明のミラー
４４０  光源
４５０  他の光源
【図１】
0006626195.tif 000002
【図２】
0006626195.tif 000003
【図３】
0006626195.tif 000004
【図４】
0006626195.tif 000005
【図５】
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