(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、レンズ体を搭載可能な可動ユニットと、前記基台上で前記可動ユニットを支持する支持部材と、前記可動ユニットを光軸方向と交差する方向へ移動させる駆動機構とが設けられたレンズ駆動装置において、
前記可動ユニットには、レンズホルダと、前記レンズホルダを前記光軸方向へ移動させる第１のコイルおよび磁石とが設けられており、
前記支持部材は、前記基台と前記可動ユニットとを連結して前記光軸方向と交差する方向へ変形可能なサスペンションワイヤで、前記サスペンションワイヤが前記第１のコイルへの通電路として使用されており、
前記サスペンションワイヤは、マルテンサイト相の形状記憶合金で形成されており、通電中も前記マルテンサイト相のままであることを特徴とするレンズ駆動装置。
【請求項２】
前記サスペンションワイヤは、Ｃｕ系の形状記憶合金で形成されている請求項１記載のレンズ駆動装置。
【請求項３】
前記サスペンションワイヤは、オーステナイト相に変態した状態でも直線形状を保つものである請求項１または２記載のレンズ駆動装置。
【請求項４】
前記磁石が不可逆減磁となる温度は、前記サスペンションワイヤがオーステナイト相に変態する変態温度よりも低い請求項１ないし３のいずれかに記載のレンズ駆動装置。
【請求項５】
基台と、レンズ体を搭載可能な可動ユニットと、前記基台上で前記可動ユニットを支持する支持部材と、前記可動ユニットを光軸方向と交差する方向へ移動させる駆動機構とが設けられたレンズ駆動装置において、
前記支持部材は、前記基台と前記可動ユニットとを連結して前記光軸方向と交差する方向へ変形可能なサスペンションワイヤであり、前記サスペンションワイヤは、マルテンサイト相の形状記憶合金で形成されており、
前記サスペンションワイヤは、オーステナイト相に変態した状態でも直線形状を保つものであることを特徴とするレンズ駆動装置。
【請求項６】
基台と、レンズ体を搭載可能な可動ユニットと、前記基台上で前記可動ユニットを支持する支持部材と、前記可動ユニットを光軸方向と交差する方向へ移動させる駆動機構とが設けられたレンズ駆動装置において、
前記支持部材は、前記基台と前記可動ユニットとを連結して前記光軸方向と交差する方向へ変形可能なサスペンションワイヤであり、前記サスペンションワイヤは、マルテンサイト相の形状記憶合金で形成されており、
前記駆動機構に設けられた磁石が不可逆減磁となる温度は、前記サスペンションワイヤがオーステナイト相に変態する変態温度よりも低いことを特徴とするレンズ駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ体を搭載可能な可動ユニットがレンズの光軸と交差する方向へ移動させられるレンズ駆動装置に係り、特に可動ユニットの不要な振動を抑制する機能を有するレンズ駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１にレンズ駆動装置に関する発明が記載されている。
特許文献１に記載されたレンズ駆動装置は、コイル基板に４本のサスペンションワイヤが固定されており、サスペンションワイヤの先端部にＡＦユニットが支持されている。
【０００３】
ＡＦユニットでは、マグネットホルダの内側にレンズを搭載するレンズホルダが設けられている。マグネットホルダの上端に上側板ばねが固定され、上側板ばねによってレンズホルダの上端部が支持されている。マグネットホルダの下端に下側板ばねが固定されており、下側板ばねによってレンズホルダの下端部が支持されている。そして、前記サスペンションの上端部が上側板ばねに固定されている。
【０００４】
ＡＦユニットにはフォーカス駆動機構が設けられており、その駆動力によって、上側板ばねと下側板ばねで支持されているレンズホルダが光軸方向へ移動させられる。ベースとＡＦユニットとの間には手振れ補正機構が設けられており、その駆動力によって、サスペンションワイヤで支持されているＡＦユニットが光軸と直交する方向へ移動させられる。
【０００５】
前記フォーカス駆動機構は、レンズホルダの外周に巻かれたフォーカスコイルと、前記マグネットホルダの内部に保持されて前記フォーカスコイルに対向する永久磁石とで構成されている。前記手振れ補正機構は、ベースの上面に手振れ補正用コイルが設けられ、前記永久磁石の下端部が前記手振れ補正コイルに対向して構成されている。
【０００６】
特許文献１に記載されたレンズ駆動装置では、ＡＦユニットのマグネットホルダに形成された４つの下側突起と、コイル基板との間にダンパ材が設けられている。ダンパ材は紫外線硬化シリコーンゲルで形成されている。
【０００７】
このダンパ材を設けることで、ＡＦユニット内でレンズホルダが光軸方向へ駆動されているときの前記ＡＦユニットの光軸方向の高次の共振の発生を抑えることができ、さらに外部からの衝撃が与えられたときにＡＦユニットへの衝撃も緩和できる、ものとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１３−４４９２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１に記載のレンズ駆動装置では、ＡＦユニットの高次の共振を抑えるために、マグネットホルダとコイル基板との間に紫外線硬化シリコーンゲルを塗布しているが、レンズ駆動装置は非常に小さいものであるため、前記箇所にシリコーンゲルを微小でしかも適正量塗布する作業はきわめて困難である。また、シリコーンゲルの塗布量にばらつきが発生しやすいため、レンズ駆動装置毎に、ＡＦユニットに対する振動抑制効果が変動しやすい欠点がある。
【００１０】
本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、ゲル状のダンパ材などを使用することなく、サスペンションワイヤで支持されている可動ユニットの不要な振動を抑制することができるレンズ駆動装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、基台と、レンズ体を搭載可能な可動ユニットと、前記基台上で前記可動ユニットを支持する支持部材と、前記可動ユニットを光軸方向と交差する方向へ移動させる駆動機構とが設けられたレンズ駆動装置において、
前記可動ユニットには、レンズホルダと、前記レンズホルダを前記光軸方向へ移動させる第１のコイルおよび磁石とが設けられており、
前記支持部材は、前記基台と前記可動ユニットとを連結して前記光軸方向と交差する方向へ変形可能なサスペンションワイヤで、前記サスペンションワイヤが前記第１のコイルへの通電路として使用されており、
前記サスペンションワイヤは、マルテンサイト相の形状記憶合金で形成されており、通電中も前記マルテンサイト相のままであることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明のレンズ駆動装置は、可動ユニットを光軸方向と交差する方向へ移動自在に支持する支持部材として、マルテンサイト相の形状記憶合金のサスペンションワイヤが設けられている。マルテンサイト相の形状記憶合金は制振機能を有しているため、可動ユニットに高次共振などの不要な振動が発生するのを抑制することができる。
【００１３】
なお、本発明は複数設けられている支持部材の全てが形状記憶合金で形成されたサスペンションワイヤであってもよいし、一部のものが形状記憶合金で形成されたサスペンションワイヤであり、他のものが銅や銅合金など通常の金属で形成されたサスペンションワイヤであってもよい。すなわち、少なくとも一部の支持部材を形状記憶合金で形成されたサスペンションワイヤとすることで、可動ユニットが動作するときの不要な振動を抑制できるようになる。
【００１５】
本発明のレンズ駆動装置は、サスペンションワイヤを通じて第１のコイルへ通電しているときにも、電流による加熱によって超弾性などの状態となるオーステナイト相に変態しないようにすることで、サスペンションワイヤによって常に制振機能を発揮できるようになる。
【００１６】
本発明のレンズ駆動装置では、前記サスペンションワイヤは、Ｃｕ系の形状記憶合金で形成されていることが好ましい。
【００１７】
Ｃｕ系の形状記憶合金を使用することで、第1のコイルへの通電時の抵抗値を低減できるとともに、マルテンサイト相の状態で制振機能を効果的に発揮できるようになる。
【００１８】
本発明のレンズ駆動装置は、前記サスペンションワイヤは、オーステナイト相に変態した状態でも直線形状を保つものであることが好ましい。
【００１９】
上記構成では、高温状態に長時間置かれた状態でも、サスペンションワイヤが直線形状を維持できるので、可動ユニットの支持状態を常に安定させることができる。
【００２０】
本発明のレンズ駆動装置は、前記駆動機構に設けられた磁石が不可逆減磁となる温度が、前記サスペンションワイヤがオーステナイト相に変態する変態温度よりも低いことが好ましい。
【００２１】
この種のレンズ駆動装置は、駆動機構を構成する磁石が減磁しない温度範囲で使用されているが、この範囲内でサスペンションワイヤがオーステナイト相に変態しないように設定することで、サスペンションワイヤが常に制振機能を発揮できるようになる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、可動ユニットを支持する支持部材として、マルテンサイト相のサスペンションワイヤを使用することにより、可動ユニットが光軸方向と交差する方向へ駆動されているときに、高次共振などの不要な振動が発生するのを抑制でき、安定した手振れ補正などを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態のレンズ駆動装置を上方から示す斜視図、
【図２】図１に示すレンズ駆動装置を、カバーを取り外した状態で示す斜視図、
【図３】図１に示すレンズ駆動装置を、カバーと基台と可動ユニットとに分解して示す分解斜視図、
【図４】図１に示すレンズ駆動装置をＩＶ−ＩＶ線で切断した断面図、
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１に示すレンズ駆動装置１は、携帯用電話機や携帯用情報端末装置などに撮像素子と共に搭載されるものである。以下の実施の形態では省略されているが、レンズ駆動装置１には前記撮像素子に対向するレンズ体（レンズバレルあるいはレンズ自体）が搭載可能であり、レンズ体が光軸方向へ駆動されて自動焦点調整が行われ、またレンズ体が光軸方向と交差する方向へ駆動されて手振れ補正が行われる。
【００２５】
各図では、Ｚ１方向がレンズ駆動装置１の上方であり、Ｚ２方向がレンズ駆動装置の下方である。Ｚ１方向は、撮像素子で撮影すべき対象物が存在する前方であり、Ｚ２方向は撮像素子が存在する後方である。
【００２６】
図１にはレンズ駆動装置１の全体構造が示されており、図２にはカバーを外した状態のレンズ駆動装置１が示され、図３には主要部別に分割されたレンズ駆動装置１が示されている。
【００２７】
図３に示すように、レンズ駆動装置１は、基台構造部１０を有している。基台構造部１０には合成樹脂製の基台１１が設けられており、この基台１１に、２個に分割された金属板製の金属ベース１２が埋設されている。金属ベース１２と基台１１はいわゆるインサート成形法で一体化されている。金属ベース１２には、支持部材を構成する４本のサスペンションワイヤ８の基端部８ａが固定されており、サスペンションワイヤ８の先端部８ｂによって可動ユニット２０がＺ軸と交差する方向（直交する方向）へ動作自在に支持されている。
【００２８】
４本のサスペンションワイヤ８は、形状記憶合金で形成されている。この形状記憶合金はＣｕ系であり、例えばＣｕ−Ａｌ−Ｎｉ（銅−アルミニウム−ニッケル）合金、Ｃｕ−Ｚｎ−Ａｌ（銅−亜鉛−アルミニウム）合金、Ｃｕ−Ａｌ−Ｍｎ（銅−アルミニウム−マンガン）合金である。
【００２９】
サスペンションワイヤ８は、前記形状記憶合金がマルテンサイト相の状態で使用されている。本明細書でのマルテンサイト相の状態とは、結晶構造としてマルテンサイト相が支配的である、との意味であり、結晶構造が厳密に１００％マルテンサイト相となっていなくてはならいない、との意味ではない。
【００３０】
形状記憶合金は、マルテンサイト相の状態でヤング率が２３〜４１ＧＰａ程度であり、オーステナイト相の状態（オーステナイト相が支配的な状態）でヤング率が７０〜８０ＧＰａ程度である。形状記憶合金は、オーステナイト相に変態すると超弾性特性を呈するが、マルテンサイト相ではやや粘弾性的な挙動を示し、弾性体であると同時に制振機能を発揮できるようになる。特に、銅系の形状記憶合金は、マルテンサイト相の状態で使用すると制振機能を発揮できるようになる。前記合金の中でも、Ｃｕ−Ａｌ−Ｍｎ（銅−アルミニウム−マンガン）合金やＣｕ−Ｚｎ−Ａｌ（銅−亜鉛−アルミニウム）合金は、マルテンサイト相において高い制振機能を発揮できる。
【００３１】
サスペンションワイヤ８は、断面が円形で直線状に延びており、直径が５０μｍ程度で、基台１１上で可動ユニット２０を支持する支持スパンが３ｍｍ程度である。
【００３２】
サスペンションワイヤ８は、マルテンサイト相からオーステナイト相に変態したときも、直線形状を維持できるようになっている。これにより、レンズ駆動装置１の使用環境が予期せぬ高温となり、サスペンションワイヤ８がオーステナイト相に変態することがあったとしても、可動ユニット２０を安定して支持することができる。
【００３３】
なお、サスペンションワイヤ８は４本使用されているため、例えばそのうちの２本が前記形状記憶合金で形成され、他の２本が形状記憶合金でない銅合金などで形成されていてもよい。
【００３４】
サスペンションワイヤ８を、Ｃｕ系の形状記憶合金で構成し、あるいはＣｕ系の形状記憶合金と銅合金とを併用して構成することにより、後に説明するように、サスペンションワイヤ８を第１のコイルへの通電路として使用したときに、通電抵抗値を小さくすることができる。
【００３５】
図３に示すように、可動ユニット２０はＺ１方向の最上部に位置する可動ベース２１を有している。可動ベース２１は合成樹脂材料で形成されている。可動ベース２１には、平面視が四角形（ほぼ正方形）の枠部２２と、枠部２２の４つの角部から下方向（Ｚ２方向）に延び出る４つの脚部２３とが、一体に形成されている。
【００３６】
可動ユニット２０では、可動ベース２１にレンズホルダ２５が支持されている。レンズホルダ２５は合成樹脂製であり、中央部に上下方向（Ｚ方向）に貫通する円形の保持穴２６が開口している。撮像用のレンズは鏡筒に保持され、鏡筒が保持穴２６に装着されて固定される。なお、実施の形態ではレンズと鏡筒の図示を省略している。
【００３７】
レンズホルダ２５の中心軸Ｏはレンズの光軸と一致しており、中心軸ＯはＺ方向と平行である。
【００３８】
図４に示すように、レンズホルダ２５の外周には、軸方向駆動機構（フォーカス駆動機構）５０を構成する第１のコイル５１が巻かれている。第１のコイル５１は、導線が中心軸Ｏの周囲を周回する方向に巻かれており、第１のコイル５１に与えられる制御電流は中心軸Ｏと交差する向きに流れる。
【００３９】
図２と図３に示すように、第１の板ばね３０は、互いに独立している２つの分割ばね部３１，３１で構成されている。それぞれの分割ばね部３１は、銅合金やリン青銅板などの導電性のばね性金属板で形成されている。それぞれの分割ばね部３１は、外側固定部３２と内側固定部３３、ならびに外側固定部３２と内側固定部３３とを連結するばね変形部３４とが一体に形成されている。
【００４０】
第１の板ばね３０は、外側固定部３２が、可動ベース２１に形成された枠部２２の下側（Ｚ２側）に向く下面に固定されている。図４にも示すように、第１の板ばね３０の内側固定部３３はレンズホルダ２５の上面２５ａに固定されている。
【００４１】
第２の板ばね４０はばね性を有する金属板で一体に形成されている。第２の板ばね４０は、外側固定部と内側固定部、および前記外側固定部と前記内側固定部とを連結するばね変形部が一体に形成されている。
【００４２】
第２の板ばね４０の外側固定部は、前記可動ベース２１の４箇所で下向きに形成された脚部２３の下面（Ｚ２側に向く下端面）に固定されており、図４に示すように、内側固定部は、レンズホルダ２５の下面２５ｂに固定されている。
【００４３】
レンズホルダ２５は、第１の板ばね３０と第２の板ばね４０とで上下が支持されて、前記可動ベース２１に対し、中心軸Ｏの延びる方向（レンズの光軸方向）へ動作自在に支持されている。
【００４４】
図３に示すように、合成樹脂製の基台１１に金属ベース１２が埋設されており、前述のように金属ベースは２つに分割されている。２つに分割された金属ベース１２のそれぞれの角部に、長穴による支持穴１３が形成されており、サスペンションワイヤ８の基端部８ａが支持穴１３に挿通され、半田付けで固定されている。
【００４５】
図３などに示すように、可動ユニット２０では、四角形の可動ベース２１のそれぞれの角部から第１の板ばね３０の一部が突出している。第１の板ばね３０の突出部分に支持穴３６が形成されており、サスペンションワイヤ８の先端部８ｂが支持穴３６に挿入されて、サスペンションワイヤ８と第１の板ばね３０とが半田付けされて固定されている。サスペンションワイヤ８の弾性変形によって、可動ユニット２０は、中心軸Ｏと交差する方向（レンズの光軸と交差する方向）へ移動可能に支持されている。
【００４６】
第１のコイル５１を構成する導線の一方の端末部は、第１の板ばね３０の一方の分割ばね部３１に半田付けされて接合され、導線の他方の端末部は、第１の板ばね３０の他方の分割ばね部３１に半田付けされて接合されている。
【００４７】
図４に示すように、可動ユニット２０には金属部材６０が設けられている。金属部材６０は磁性を有する金属板で形成されており、軸方向駆動機構５０および軸交差駆動機構７０の磁気回路を構成する磁性ヨークとしての機能を発揮する。金属部材６０は、４つの側板部６３を有しており、側板部６３の内側に磁石５２が固定されている。なお、金属部材６０と第１の板ばね３０との間には、図示していないが、塗膜あるいはシート状の絶縁層が設けられている。このため、２つの分割ばね部３１が金属部材６０によって導通することはない。
【００４８】
図４に示すように、軸方向駆動機構５０は、レンズホルダ２５の外周に巻かれた第１のコイル５１と、前記磁石５２ならびに前記金属部材６０で構成されている。
【００４９】
図３と図４に示すように、基台１１の上側には、軸交差駆動機構７０が設けられている。軸交差駆動機構７０は、基台１１の上に設置された４個の第２のコイル７１と、前記磁石５２ならびに前記金属部材６０で構成されている。したがって、軸交差駆動機構７０は、基台構造部１０および可動ユニット２０に設けられている。
【００５０】
それぞれの第２のコイル７１は細長い平面巻きパターンとなるように形成されており、中心軸Ｏから離れる位置にある外側電磁作用部７１ａと、中心軸Ｏに近い位置にある内側電磁作用部７１ｂとを有している。外側電磁作用部７１ａと内側電磁作用部７１ｂは、その上の磁石５２の下端部５２ｄおよび側板部６３の下端６３ａと平行な方向へ電流が直線的に流れる。基台１１の上面には、複数箇所に位置決め突部１４が一体に形成されており、第２のコイル７１の巻き中空部が位置決め突起１４と嵌合して位置決めされて、第２のコイル７１と基台１１とが接着剤で固定されている。
【００５１】
図４に示すように、基台１１の上にサスペンションワイヤ８を介して可動ユニット２０が取り付けられると、磁石５２の下端部５２ｄが、第２のコイル７１の外側電磁作用部７１ａと内側電磁作用部７１ｂとの中間に対向し、金属部材６０の側板部６３の下端６３ａが外側電磁作用部７１ａの真上に対向する。
【００５２】
図４に示すように、基台１１には、第２のコイル７１の下側に位置検知素子７３が設けられている。位置検知素子７３はホール素子または磁気抵抗効果素子である。位置検知素子７３は、少なくとも２個設けられており、一方はＸ方向に延びる磁石５２の下側に対向し、他方がＹ方向に延びる磁石５２の下側に対向している。
【００５３】
図３に示すように、レンズ駆動装置１には、可動ユニット２０を覆うカバー２が設けられている。カバー２は圧延鋼板やステンレス鋼板などで形成されている。カバー２は立方体形状であり、４つの側板２ａと上方（Ｚ１方向に）に位置する天井板２ｂとが一体に形成されている。天井板２ｂには、光を透過させるための円形の窓２ｃが開口している。
【００５４】
図４に示すように、それぞれの側板２ａの下縁部２ｄは、基台構造部１０に設けられた基台１１の上面に突き当てられ、基台１１とカバー２とが接着剤などで固定されている。
【００５５】
次に、前記構造のレンズ駆動装置１の動作を説明する。
レンズ駆動装置１は、互いに分割された金属ベース１２→それぞれのサスペンションワイヤ８→第１の板ばね３０のそれぞれの分割ばね部３１→第１のコイル５１の導線の両端部、が個別の通電路となっており、前記通電路を経て軸方向駆動機構５０を構成する第１のコイル５１に制御電流が与えられる。
【００５６】
軸方向駆動機構５０を構成する第１のコイル５１に制御電流が与えられると、この制御電流と磁石５２から発せられる磁界とで、可動ユニット２０内においてレンズホルダ２５が中心軸Ｏに沿って移動させられる。基台構造部１０の後方（Ｚ２方向）に撮像素子が設けられており、レンズホルダ２５の中心軸Ｏに沿う動きにより、撮像素子に対する焦点合わせが行われる。
【００５７】
基台１１の表面に形成された導体パターン（図示せず）から軸交差駆動機構７０を構成する第２のコイル７１に制御電流が与えられる。図４に示すように、磁石５２の第１の着磁面５２ａから側板部６３の下端６３ａに至る磁束Φと、第２のコイル７１に流れる前記制御電流とで、可動ユニット２０が、中心軸Ｏと交差する方向へ駆動される。なお、磁石５２の第２の着磁面５２ｂは、側板部６３に接着剤等によって固定されている。
【００５８】
可動ユニット２０の中心軸Ｏと交差する向きへの移動量は位置検知素子７３で検知され、この検知出力がフィードバックされて、第２のコイル７１に与えられる制御電流の電流量が制御される。この制御動作により、撮影時の手振れ補正などが行われる。
【００５９】
可動ユニット２０を支持する少なくとも一部のサスペンションワイヤ８は、マルテンサイト相のＣｕ系の形状記憶合金で形成されているため、弾性を発揮するとともに制振機能を発揮することができる。そのため、軸交差駆動機構７０によって可動ユニット２０が中心軸Ｏと交差する方向へ駆動されているときに、高次共振などの不要な振動の発生を抑制することができる。
【００６０】
軸方向駆動機構５０を動作させるために、サスペンションワイヤ８に第１のコイル５１に与える制御電流が通電される。このときの電流値は５０〜１００ｍＡ程度であり、サスペンションワイヤ８の抵抗値は０．０５〜０．１Ω程度に設定されている。そのため、サスペンションワイヤ８に通電されているときのジュール熱があまり高くならず、レンズ駆動装置１が動作しているときに、サスペンションワイヤ８を構成する形状記憶合金が、マルテンサイト相からオーステナイト相へ変態することはない。
【００６１】
また、軸方向駆動機構５０と軸交差駆動機構７０を構成する磁石５２が加熱されて不可逆減磁となるときの使用限界温度よりも、サスペンションワイヤ８を構成する形状記憶合金がマルテンサイト相からオーステナイト相へ変態するときの変態温度の方が高く設定されている。
【００６２】
レンズ駆動装置１の使用限界温度は、磁石５２が不可逆減磁の状態に陥る温度であり、使用限界温度を超えると、軸方向駆動機構５０と軸交差駆動機構７０が動作できなくなる。ただし、この使用限界温度は１００℃を超える高温であり、通常の使用環境では、磁石５２が不可逆減磁に陥ることはほとんどない。このレンズ駆動装置１では、形状記憶合金の変態温度を前記使用限界温度よりも高くしておくことで、通常の使用環境下では、サスペンションワイヤ８がオーステナイト相に変態することがなく、常に適正な弾性支持力と制振効果を発揮することができる。
【符号の説明】
【００６３】
１  レンズ駆動装置
２  カバー
８  サスペンションワイヤ
１１  基台
１２  金属ベース
２０  可動ユニット
２１  可動ベース
２５  レンズホルダ
３０  第１の板ばね
３１  分割ばね部
４０  第２の板ばね
５０  軸方向駆動機構
５１  第１のコイル
５２  磁石
６０  金属部材
６３  側板部
７０  軸交差駆動機構
７１  第２のコイル
Ｏ  中心軸
【図１】
0006626729.tif 000002
【図２】
0006626729.tif 000003
【図３】
0006626729.tif 000004
【図４】
0006626729.tif 000005