(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベーア基板をスキャンして前記ベーア基板に対する画像情報を獲得する段階と、
前記画像情報から抽出したパッド座標情報と予め貯蔵されている設計情報上のパッド座標情報を用いて補償マトリックスを生成する段階と、
前記補償マトリックスを前記画像情報に適用して特徴客体の座標情報を含む基準データを生成する段階と、を含み、
前記基準データが、キャドデータを代替することのできるデータであることを特徴とする基板検査のための基準データ生成方法。
【請求項２】
前記基準データを生成する段階は、
前記画像情報から特徴客体の座標情報を抽出する段階と、
前記補償マトリックスを前記抽出された特徴客体の座標に適用して基準データを生成する段階を含むことを特徴とする請求項１に記載の基板検査のための基準データ生成方法。
【請求項３】
前記特徴客体は前記ベーア基板上のホールパターン、サークルパターンまたは曲がったパターンのコーナー部分のうち少なくとも一つであることを特徴とする請求項２に記載の基板検査のための基準データ生成方法。
【請求項４】
前記基準データは、
前記生成された補償マトリックスを実測画像情報に適用して生成したイメージ情報であることを特徴とする請求項１に記載の基板検査のための基準データ生成方法。
【請求項５】
前記画像情報は、前記ベーア基板に対する２次元画像情報であることを特徴とする請求項１に記載の基板検査のための基準データ生成方法。
【請求項６】
前記補償マトリックスが、アフィン変換行列又は射影変換行列である、請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の基板検査のための基準データ生成方法。
【請求項７】
第１項乃至第６項のうちいずれか一つの項の方法を遂行するためのコンピュータで駆動可能であるプログラムが貯蔵された記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板検査のための基準データ生成方法に関わり、より詳細には、ベーア基板の画像情報上のパッド座標情報と設計情報上のパッド座標情報を用いて補償マトリックスを生成し、それを前記画像情報に適用して基板検査のための基準データを生成する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、電子装置内には少なくとも一つの印刷回路基板（printed  circuit  board；ＰＣＢ）が具備され、このような印刷回路基板上には回路パターン、連結パッド部、前記連結パッド部と電気的に連結された駆動チップなど多様な回路素子が実装されている。
【０００３】
一般的に、前記のような多様な回路素子が前記印刷回路基板にまともに形成または配置されているか確認するために形状測定装置が使用される。
【０００４】
一般的に基板検査を遂行するために基準データを獲得する。前記基準データは基板に対する理論的な平面イメージであってもよい。前記基準データは前記基板に対する形状を記録したキャド（ＣＡＤ）情報から獲得できる。前記キャド情報は前記基板の設計基準情報を含み、一般的にパッド、回路、パターン、ホールパターンなどに関する配置情報を含む。
【０００５】
しかし、基板に対するキャド情報を生成するためには相当の処理時間が所要され、キャド情報生成の際エラーが発生する場合キャド情報生成作業を再度しなければならないのでキャド情報生成は基板検査の作業効率を低下させる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記技術的課題を解決するために、本発明はベーア基板に対する画像情報上のパッド座標情報と予め貯蔵された設計情報上のパッド座標情報を用いて補償マトリックスを生成し、前記補償マトリックスを前記ベーア基板に対する画像情報に適用して特徴客体の座標情報を含む基準データを生成することでキャド情報の生成なしに基板検査のための基準データ生成方法を提供することをその目的とする。
【０００７】
本発明の目的は以上で言及したものに限られず、言及されていない他の目的は下記の記載から本発明が属する技術分野の通常の知識を有した者に明確に理解されるだろう。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するための本発明の一特徴による基板検査のための基準データ生成方法はベーア基板をスキャンして前記ベーア基板に対する画像情報を獲得する段階と、前記画像情報から抽出したパッド座標情報と予め貯蔵されている設計情報上のパッド座標情報を用いて補償マトリックスを生成する段階と、前記補償マトリックスを前記画像情報に適用して特徴客体の座標情報を含む基準データを生成する段階と、を含む。
【０００９】
前記基準データを生成する段階は、前記画像情報から特徴客体の座標情報を抽出する段階と、前記補償マトリックスを前記抽出された特徴客体の座標に適用して基準データを生成する段階を含んでいても良い。
【００１０】
前記特徴客体は前記ベーア基板上のホールパターン、サークルパターンまたは曲がったパターンのコーナー部分のうち少なくとも一つであってもよい。
【００１１】
前記基準データは、前記生成された補償マトリックスを前記実測画像情報に適用して生成したイメージ情報であってもよい。
【００１２】
前記画像情報は、前記ベーア基板に対する２次元画像情報であってもよい。
【００１３】
前記方法を遂行するためのコンピュータで駆動可能であるプログラムが貯蔵されてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の実施形態による基板検査のための基準データ生成方法及びそれを用いた基板検査方法によると、基板検査のために印刷回路基板に対するキャドデータを生成する必要なしに、前記キャドデータを代替することのできる基準データを生成することができるのでキャドデータ生成のための時間を節約することができて作業効率性を顕著に高めることができる。
【００１５】
本発明の効果は以上で言及したのに制限されなく、言及されていないさらに他の効果は下記の記載から本発明が属する技術分野の通常の知識を有した者に明確に理解されるだろう。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態による基板検査際の測定領域補償方法を遂行するための基板検査装置の構成図である。
【図２】本発明の一実施形態による基板検査のための基準データ生成方法の順序図である。
【図３】本発明の一実施形態による基板検査のための基準データ生成方法を説明するためのベーア基板の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の目的及び効果、それからそれを達成するための技術的な構成は添付される図面と共に詳細に後で説明される実施形態を参照すると明確になる。本発明を説明するにおいて公知機能または構成に対する具体的な説明が本発明の要旨を不必要に濁すと判断される場合にはその詳細な説明を省略する。また、後で説明される用語は本発明での構造、役割及び機能などを考慮して定義された用語としてこれは使用者、運用者の意図または慣例などによって異なっても良い。
【００１８】
しかし、本発明は以下で開示される実施形態に限定されるものでなく互いに異なる多様な形態に具現されてもよい。ただ、本実施形態は本発明の開示が完全であるようにし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるのであり、本発明は特許請求範囲に記載された請求項の範疇によって定義されるだけである。よって、その定義は本明細書全般に渡る内容に基づくべきである。
【００１９】
明細書全体において、ある部分がある構成要素を“含む”とする時は、それは特別に反対される記載がない限り他の構成要素を除くのではなく他の構成要素をさらに含めることを意味する。
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の好適な一実施形態をより詳細に説明する。  
【００２１】
図１は本発明の一実施形態による基板検査のための基準データ生成方法を遂行するための基板検査装置の構成図であり、図２は本発明の一実施形態による基板検査のための基準データ生成方法の順序図であり、図４は本発明の一実施形態による基板検査のための基準データ生成方法を説明するためのベーア基板の平面図である。
【００２２】
前記図１を参照すると、基板検査装置１００は基板検査装置１００の作動を制御し各種機能を遂行するための演算を処理する制御部１１０、検査対象である基板を移送及び搭載して固定するステージ部１２０、前記ステージ部１２０に搭載された基板に対して検査を遂行するための測定部１３０、基板検査装置１００を駆動するためのプログラム及びデータを貯蔵するメモリー部１４０、基板検査装置１００の作動状態及び検査結果などを出力するためのディスプレイ部１５０及び使用者の命令の入力を受けるための使用者インタフェース部１６０などを含んでいても良い。
【００２３】
図２及び図３を参照すると、まず、測定部１３０を通じてベーア基板２００をスキャンして前記ベーア基板に対する画像情報を獲得する（Ｓ１００）。
【００２４】
ベーア基板２００は図３に示されたように、鉛の塗布される前の基板で実際に鉛が塗布されるパッド領域２１０と鉛の塗布されていないホール２２０及びシルクのような特徴客体が形成された基板を意味する。
【００２５】
前記特徴客体はベーア基板上に形成されたホールパターン、サークルパターンまたは曲がったパターンのコーナー部分のうち少なくとも一つであってもよい。
【００２６】
この際、前記画像情報は前記ベーア基板２００に対する２次元画像情報であってもよい。
【００２７】
それから、制御部１１０は前記画像情報から抽出したパッド２１０の座標情報と予め貯蔵されている設計情報上のパッド座標情報を用いて補償マトリックスを生成する（Ｓ１１０）。
【００２８】
この際、前記補償マトリックスはアフィン変換（affine  transformation）行列または射影変換（projective transformation）行列 のうち一つであっても良い。  
【００２９】
続いて、前記制御部１１０は前記補償マトリックスを前記画像情報に適用して特徴客体の座標情報を含む基準データを生成する（Ｓ１２０）。
【００３０】
この際、基準データは特徴客体の座標情報で生成されるか特徴客体の座標情報を含むイメージ情報で生成されてもよい。
【００３１】
例えば、前記画像情報から特徴客体の座標情報を抽出してから、前記補償マトリックスを前記抽出された特徴客体の座標に適用して基準データを生成することができる。この際は、特徴客体の座標情報が基準データとして生成される。
【００３２】
一方、前記生成された補償マトリックスを前記ベーア基板に対する画像情報に適用して前記画像情報を補償して生成されたイメージが基準データとして生成されてもよい。
【００３３】
キャド情報を生成する代わりに、前記において説明した本発明の一実施形態による特徴客体の座標情報を含む基準データを生成することで基板検査際の作業効率性を極大化させることができる。
【００３４】
一方、前記において説明した本発明の一実施形態による基板検査のための基準データ生成方法によって生成された基準データを基板検査際に使用することができる。検査対象基板を検査の際、基板上で特徴客体を抽出して該当特徴客体の座標情報と前記基準データ上の特徴客体の座標情報を用いて補償マトリックスを生成することができる。続いて、生成された補償マトリックスを予め貯蔵された設計情報上のパッドの座標情報に適用して前記基板上での検査するパッドの座標情報を生成することができる。前記パッドの座標情報上の位置で基板検査を遂行することができる。
【００３５】
前記において説明した本発明の実施形態による基板検査のための基準データ生成方法は多様なコンピュータ手段を通じて遂行できるプログラム命令形態で具現されコンピュータ判読可能媒体に記録されてもよい。前記コンピュータ前記コンピュータ判読可能媒体はプログラム命令、データファイル、データ構造などを単独または組合して含んでいても良い。前記媒体に記録されるプログラム命令は本発明のために特別に設計され構成されたのであるかコンピュータソフトウェア、当業者に公知されて使用可能であってもよい。コンピュータ判読可能記録媒体の例にはハードディスク、フロッピーディスク及び磁気テープのような磁気媒体（magnetic  media）、 ＣＤ-ＲＯＭ、ＤＶＤのような光記録媒体（optical  media）、フロプティカルディスクのような磁気-光媒体（magneto-optical  media）、及びロム（ＲＯＭ）、ラム（ＲＡＭ）、フレッシュメモリーなどのようなプログラム命令を貯蔵し遂行するように特別に構成されたハードウェア装置が含まれる。プログラム命令の例としてはコンパイラーによって作られるようなマシンコードだけではなくインタープリターなどを使用してコンピュータによって実行できる高級言語コードを含む。
【００３６】
本発明の実施形態による基板検査際の測定領域補償方法によると、現在の測定領域内の特徴客体の情報を用いて生成する補償マトリックスの有効性が信頼できない時隣接した測定領域内の特徴客体の情報を用いて補償マトリックスを生成することで現在の測定領域に対する基板検査結果の信頼度を向上させることができる。
【００３７】
発明の実施形態による基板検査の際測定領域補償方法によると現在の測定領域内の特徴客体の情報を用いて生成する補償マトリックスの有効性を信頼することができない時隣接した測定領域内の特徴客体の情報を用いて補償マトリックスを生成することで現在の測定領域に対する基板検査結果の信頼度を向上させることができる。
【００３８】
以上、本発明の実施形態によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、本発明の思想と精神を離れることなく、構成要素の付加、変更、削除または追加などによって本発明を修正または変更でき、それも本発明の権利範囲内に含まれる理解されるだろう。
【図１】
0006603664.tif 000002
【図２】
0006603664.tif 000003
【図３】
0006603664.tif 000004