(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材に貼付されたシートを板状部材から剥離する剥離装置であって、
該シートを貼付された板状部材を保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該板状部材の該シートの外周の少なくとも一部に針状部材の先端部を突き当て、該一部を該板状部材から剥離させ、該一部が剥離した該シートと該板状部材との間にエアーを吹き込み、該一部を含む拡大された剥離領域により形成される剥離起点部を生成する剥離起点部生成手段と、
該剥離した剥離起点部を挟持する挟持手段と、
該剥離起点部を挟持した該挟持手段を該保持テーブルに対して上方に離間させる離間手段と、上方に離間した該挟持手段の下方にて該板状部材から剥離した該シートの粘着面側に作用し該シートを該板状部材から剥離しつつ剥離方向に折り曲げる折り曲げローラと、
該折り曲げローラと該保持テーブルとの少なくとも一方を該シートが該板状部材から剥離されるように該板状部材と並行な剥離方向に相対的に移動させる移動手段と、
該移動手段の移動により該板状部材から該シートをすべて剥離させる剥離装置。
【請求項２】
該板状部材から剥離された該シートを吸引保持するシート保持手段と、を備えた請求項１に記載の剥離装置。
【請求項３】
剥離後の該シートを収容する廃棄容器を備え、該シート保持手段は、該シートを吸引保持した後、該廃棄容器の直上に移動し、該廃棄容器の直上にて吸引保持した該シートの吸引を解除し、該シートを該廃棄容器内に収容する請求項２に記載の剥離装置。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の板状部材に貼付されたシートを剥離する剥離方法および剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配置された分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、該半導体ウエーハの裏面を研削装置にて研削し所定の厚みに形成した後に、ダイシング装置、レーザー加工装置等により分割予定ラインに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。
【０００３】
上記したＩＣ、ＬＳＩ等の半導体チップを小型化すべく、上記研削工程においては、半導体ウエーハ(板状部材）の裏面をできるだけ薄くすることが望まれており、研削する際に半導体ウエーハのデバイスが形成された表面を保護すべく粘着フィルム等からなる保護テープ（シート）を貼付するようになっている。
【０００４】
研削工程が終了したあとは、前記保護テープを半導体ウエーハから剥離させる必要があり、該保護テープの剥離方法としては、半導体ウエーハの表面に貼付された保護テープの端部に剥離用の接着テープを熱圧着し、該接着テープを引っ張り、該保護テープを半導体ウエーハから剥離させることが知られている（例えば、特許文献１、２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−０１６８６２号
【特許文献２】特開２００３−３３８４７７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した従来技術による保護テープの剥離装置では、保護テープが研削工程の際に生じる押圧力によって半導体ウエーハの表面に貼着されていることから、半導体ウエーハの表面から保護テープを剥離する際に強い粘着力を発揮する剥離用テープを保護テープに貼着して該剥離用テープを引っ張ることで保護テープを剥離する構成となっており、当該構成を実現するために、少なくとも剥離用テープの送り出し機構、剥離用テープの切断機構、剥離用テープの圧着機構が必要となり、構造が複雑になるという問題がある。さらに、上記したように、剥離用テープは強い粘着力が要求されるとともに、強固に貼着された保護テープの剥離工程に耐え得る強度が要求され、消耗品として用いられる当該剥離装置の剥離用テープのランニングコストが高くなるという問題も生じる。
【０００７】
また、上記の従来技術においては、保護テープの端部に剥離用テープを圧着して剥離を行った後、剥離後の保護テープを剥離装置の廃棄容器に廃棄する際、廃棄容器の側壁等に剥離用テープの粘着面が付着してしまい、廃棄容器の容量にまだ余裕があるにも関わらず剥離後の保護テープが廃棄容器の開口部を塞ぐことになり、廃棄容器の容量を十分に生かすことができないという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、板状部材に貼付されたシートを板状部材から剥離する剥離装置であって、該シートを貼付された板状部材を保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該板状部材の該シートの外周の少なくとも一部に針状部材の先端部を突き当て、該一部を該板状部材から剥離させ、該一部が剥離した該シートと該板状部材との間にエアーを吹き込み、該一部を含む拡大された剥離領域により形成される剥離起点部を生成する剥離起点部生成手段と、該剥離した剥離起点部を挟持する挟持手段と、該剥離起点部を挟持した該挟持手段を該保持テーブルに対して上方に離間させる離間手段と、上方に離間した該挟持手段の下方にて該板状部材から剥離した該シートの粘着面側に作用し該シートを該板状部材から剥離しつつ剥離方向に折り曲げる折り曲げローラと、該折り曲げローラと該保持テーブルとの少なくとも一方を該シートが該板状部材から剥離されるように該板状部材と並行な剥離方向に相対的に移動させる移動手段と、該移動手段の移動により該板状部材から該シートをすべて剥離させる剥離装置、が提供される。
【００１１】
上記剥離装置では、該板状部材から剥離された該シートを吸引保持するシート保持手段と、剥離後の前記シートを収容する廃棄容器と、を備え、該シート保持手段は、該シートを吸引保持した後、該廃棄容器の直上に移動し、該廃棄容器の直上にて吸引保持した該シートの吸引を解除し、該シートを該廃棄容器内に収容するように構成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明による剥離装置は、板状部材に貼付されたシートを板状部材から剥離する剥離装置であって、該シートを貼付された板状部材を保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該板状部材の該シートの外周の少なくとも一部に先端針状部材の先端部を突き当て該一部を剥離させ、該一部が剥離した該シートと該板状部材との間にエアーを吹き込み、該一部を含む拡大された剥離領域により形成される剥離起点部を生成する剥離起点部生成手段と、該剥離した剥離起点部を挟持する挟持手段と、該剥離起点部を挟持した該挟持手段を該保持テーブルに対して上方に離間させる離間手段と、上方に離間した該挟持手段の下方にて該板状部材から剥離した該シートの粘着面側に作用し該シートを該板状部材から剥離しつつ剥離方向に折り曲げる折り曲げローラと、該折り曲げローラと該保持テーブルとの少なくとも一方を該シートが該板状部材から剥離されるように該板状部材と並行な剥離方向に相対的に移動させる移動手段と、該移動手段の移動により該板状部材から該シートをすべて剥離させるように構成されているので、剥離用のテープの送り出し、切断、圧着機構が不要となり、高額な剥離用テープ等の消耗品を必要とせず、シートを板状部材から剥離する際のランニングコストを抑えることが可能となる。
【００１４】
また、上記剥離装置は、該板状部材から剥離された該シートを吸引保持するシート保持手段と、剥離後の該シートを収容する廃棄容器を備え、該シート保持手段は、該シートを吸引保持した後、該廃棄容器の直上に移動し、該廃棄容器の直上にて吸引保持した該シートの吸引を解除し、該シートを該廃棄容器内に収容する廃棄手段を備えることが好ましい。本発明で利用される剥離装置では、剥離用テープ等の粘着性を有する消耗品を用いないため、廃棄容器に該シートを収納する際に廃棄容器の入口部や、内側側面に付着するおそれがなく、シート保持手段により容易に該シートを廃棄容器の底から重ねるように廃棄すること可能となり、廃棄容器の容量を十分に生かすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に従って構成された剥離装置の斜視図。
【図２】図１に示す剥離装置のシート保持手段を示す斜視図。
【図３】図１に示す剥離装置の折り曲げローラを構成する支持フレームを示す斜視図。
【図４】図１に示す剥離装置の剥離起点部生成手段の斜視図。
【図５】図１に示す剥離装置の要部側面図。
【図６】図５に示す状態において、保持テーブル上に保護テープが貼付された半導体ウエーハを載置した状態を示す要部側面図。
【図７】図６の状態から保持テーブルを移動させて、半導体ウエーハを移動させた状態を示す要部側面図。
【図８】図７の状態から先端針状部材を下方に移動させて半導体ウエーハに近接させた状態を示す要部側面図。
【図９】図８の状態から半導体ウエーハに対して先端針状部材を突き当てた状態を示す要部側面図。
【図１０】図９の状態から保護テープの剥離部分と半導体ウエーハとの間にエアーノズルからエアーを噴射した状態を示す要部側面図。
【図１１】図１０の状態から挟持部材を作動させて剥離した保護テープの外周端部を挟持した状態を示す要部側面図。
【図１２】図１１の状態から折り曲げローラを移動させて保護テープの粘着面に接触させた状態を示す要部側面図。
【図１３】図１２の状態から折り曲げローラと保持テーブルを移動させて保護テープを折り曲げ剥離を進めている状態を示す図。
【図１４】図１３の状態から折り曲げローラを移動させて半導体ウエーハから保護テープを剥離させた状態を示す図。
【図１５】図１４の状態から剥離した保護テープをシート保持板の下面に吸引保持させた状態を示す図。
【図１６】図１５の状態からシート保持板の下面に保護テープを吸引保持した状態で廃棄容器直上にシート保持手段を移動させた状態を示す要部側面図。
【図１７】図１６の状態からシート保持板を廃棄容器内に降下させた状態を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に従って構成された剥離装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１７】
図１には、本発明に従って構成された剥離装置１の一実施形態の斜視図が示されている。図示の実施形態における剥離装置１は、静止基台２、保持テーブル機構３、シート保持手段４、折り曲げローラ移動手段５、剥離起点部生成手段６、及び廃棄容器７を具備している。
【００１８】
前記保持テーブル機構３は、図に示すように、静止基台２上に矢印Ｘで示す剥離加工送り方向（剥離方向）に沿って配設された２本のガイドレール３１、３１と、該２本のガイドレール３１、３１上に摺動自在に配設された移動基台３２と、ガイドレール３１、３１に沿って該移動基台３２の下面のナット部に係合するボールねじ軸３３と、該ボールねじ軸３３の一端側にて該ボールねじ軸３３を回転自在に支持する軸受３４と、他端側にて該ボールねじ軸３３を回転させ該移動基台３２をＸ方向で往復動自在に移動させるためのパルスモータ３５と、から構成される。
【００１９】
該移動基台３２は、該移動基台３２上に配設された円筒状のテーブル本体３６と、該テーブル本体３６の上面に配設された吸着チャック３７と、を具備している。吸着チャック３７は、ポーラスセラミックスによって形成され図示しない吸引手段に接続されており、該吸着チャック３７の表面にて適宜負圧が生じるようになっている。従って、吸着チャック３７上に載置された本発明の板状部材を構成する半導体ウエーハ１０は、図示しない吸引手段を作動することにより吸着チャック３７上に吸引保持される。
【００２０】
図１、図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、シート保持手段４は静止基台２に配設されており、該静止基台２に立設された第１エアーシリンダー４１と、該第１エアーシリンダー４１から伸びた軸４２により支持される保持ベース４３とを有している。該保持ベース４３には、上面に立設された第２エアーシリンダー４４と、該第２エアーシリンダー４４から保持ベース４３の下面側に貫通し、第２エアーシリンダー４４の進退自在な軸４５に支持されるシート保持板４６と、該保持ベース４３上に配設され、端部に挟持片４８ａを具備し水平方向に進退自在な軸を備えた第３エアーシリンダー４７と、前記保持ベース４３の下面側で、該挟持片４８ａと対向する位置に配置され、挟持片４８ａとともに挟持手段４８を構成する挟持片４８ｂと、が配設されている。
【００２１】
前記シート保持板４６は内部が中空に構成され、下面には図示しない微孔が全面に多数設けられており、第２エアーシリンダー４４とシート保持板４６とを連結する軸内部を介してシート保持板４６内部を吸引可能に構成され、前記微孔を介してシート保持板下面に負圧を生じさせることが可能となっている。
【００２２】
前記保持ベース４３は、前記第１エアーシリンダー４１により進退可能に駆動される軸４２とともに上下動可能に構成され、さらに、図２（ｂ）中の矢印で示されるように、該軸４２を中心にして水平方向に回転可能になっている。なお、該保持ベース４３をガイドレール３１、３１上に位置する図２（ａ）の位置から、図２（ｂ）に示す位置に向け時計方向に回転させることで、前記シート保持板４６を静止基台２の傍らに設置された廃棄容器７の直上に移動させることができる。
【００２３】
前記折り曲げローラ移動手段５は、図３に示すように、門型形状をなす支持フレーム５１により構成され、該支持フレーム５１は、支持基台２上のガイドレール３１、３１に沿って間隔を置いて並設された柱部５２、５２と、該柱部５２、５２の上端を連結する支持部５３と、該支持部５３の案内孔５４に沿って該支持部５３内に内蔵された図示しない駆動機構により移動せしめられる折り曲げローラ５５と、を具備している。当該折り曲げローラ５５は、長手方向の軸中心に回転可能であり、少なくとも半導体ウエーハ１０に貼着され本発明のシートを構成する保護テープ１１の直径よりも長く、また、剥離後の保護テープの粘着面が付着しないようにその表面にはフッ素樹脂がコーティングされている。
【００２４】
前記剥離起点部生成手段６は、図４に示すように、第４エアーシリンダー６１と、該第４エアーシリンダー６１から伸びて進退自在で高さ方向における位置を微調整可能な軸６２と、アーム部材６３と、該アーム部材６３の先端部に設けられ、先端針状部材６５と、エアーノズル６６とを備えた先端部材６４、から構成されている。当該構成により、先端部材６４は、上下に移動可能に構成され、その高さ位置が調整されることにより該板状部材上の保護テープの高さに針状部材の先端部が位置づけ可能に構成されている。また、エアーノズル６６は、第４エアーシリンダー６１、軸６２を介してエアーが供給され、必要に応じてエアーを噴出可能に構成されている。
【００２５】
廃棄容器７は、図１に記載されているように、静止基台２のシート保持手段４の傍に配置されており、上方が解放された円筒状に形成され、略円形状にカットされて使用される保護テープ１１より一回り大きく形成されており、本発明の剥離装置により剥離される該保護テープ１１を容器内に積層可能に構成されている。
【００２６】
図示の実施形態における剥離装置１は、以上のように構成されており、その作用について図５ないし１７を参照しながら説明する。なお、図５ないし１５は、図１の剥離装置１の要部側面図であり、動作を分かり易く説明するため静止基台２、支持フレーム５１、第１エアーシリンダー４１、第４エアーシリンダー６１、モータ３５等、作動説明上直接的に関与しない構成は、適宜省略している。
【００２７】
当該剥離装置１において、半導体ウエーハ１０に貼着された保護テープ１１を剥離する剥離工程を開始するに当たり、先ず、図５に示すように、保持テーブル機構３のガイドレール３１、３１上で移動基台３２を待機位置（図中右側）で待機させるとともに、シート保持板４６は第２エアーシリンダー４４により最上位位置に引き上げられている。また、折り曲げローラ５５はエアーノズル６６よりも移動基台３２の待機位置側に位置づけられている。
【００２８】
図５、６に示されているように、先ず、保護テープ１１が表面に貼着された半導体ウエーハ１０を移動基台３２のテーブル本体３６の吸着チャック３７上に載置する。この時、吸着チャック３７裏側の空間と図示しない吸引手段が連結されていることによりポーラスセラミックスにて表裏間で通気可能に形成された吸着チャック３７上に負圧が発生せしめられ、半導体ウエーハ１０は吸着チャック３７上に吸引固定される。
【００２９】
半導体ウエーハ１０を吸着チャック３７上に固定した後、パルスモータ３５を駆動しボールねじ軸３３を回転させることにより、該移動基台３２を図６の待機位置からガイドレール３１に沿ってシート保持手段４及び剥離起点部生成手段６の下方に移動させる。この際、半導体ウエーハ１０に貼着された保護テープ１１の外周端部の僅かに外側部分が剥離起点部生成手段６における先端針状部材６５の先端の直下になるように位置づけられる（図７を参照）。
【００３０】
（第１の剥離工程）
半導体ウエーハ１０の外周端部の僅かに外側部分が剥離起点部生成手段６の先端針状部材６５の直下に位置づけられた後、第４エアーシリンダー６１を作動し先端針状部材６５の先端部を半導体ウエーハ１０の保護テープ１１の外周端部に近接する位置まで降下させる（図８を参照）。
【００３１】
先端針状部材６５の先端が半導体ウエーハ１０の保護テープ１１の外周部分に近接するように、該保護テープ１１の表面高さに合わせて該先端針状部材６５の先端部の高さを微調整し、該先端部が近接した状態で該移動基台をわずかに図中右方に移動させることにより、該先端針状部材６５の先端が該保護テープ１１の外周部分に突き当てる（図９を参照）。なお、図９に示すように保護テープ１１の周方向外側から該先端部を突き当てるようにしてもよいが、該保護テープ１１の外周部分の上方から該先端部を突き当てるようにすることも可能である。
【００３２】
そして、該先端部が該保護テープ１１の外周部分に突き当たった後、該第４エアーシリンダー６１を作動させて、該先端針状部材６５を僅かに上昇させると共に該移動基台をさらに右方に移動させることで、該保護テープ１１の外周部分の一部が良好に剥離させられる。
【００３３】
（剥離起点部生成工程）
該保護テープ１１の該一部が剥離された後、図１０に示すように、該先端部分６４が上昇させられるとともに、エアーノズル６６から高圧エアーを噴射することにより、該先端針状部材６５の先端部から該保護テープ１１の外周部分が離反し、該保護テープ１１の外周部分において先に剥離した該一部を含む剥離領域が拡大し、後述する挟持手段４８にて挟持するのに適する剥離起点部１２が生成される。なお、剥離起点部生成工程における該保持ベース４３の高さは、当該剥離起点部１２がエアーノズル６６からの高圧エアーにより剥離されたときに、該剥離起点部１２が該保持ベース４３に設けられた挟持手段４８の挟持片４８ａ、４８ｂ間に収まるように調整される。なお、前記エアーノズル６６により高圧エアーを噴射して剥離領域を拡大する際に、上記した第１の剥離工程により使用した先端針状部材６４をさらに突き当ててもよい。このようにして剥離起点部が好適に生成される。
【００３４】
（最終剥離工程）
前記保護テープ１１の外周端部がエアーノズル６６からの高圧エアーにより持ち上げられると、該移動基台３２の待機位置方向への移動を一旦停止し、第３エアーシリンダー４７の作動により挟持部材４８ａを挟持部材４８ｂ側に移動させて、剥離した保護テープ１１の外周端部を挟持手段４８により挟持する（図１１を参照）。そして、第１エアーシリンダー４１を作動させることにより、挟持手段４８の下方に折り曲げローラ５５を進入させることが可能な程度にシート保持手段４全体を上方に移動させる。
【００３５】
前記シート保持手段４を上方に移動させ、移動基台３２を待機方向に移動させながら、前記門型の支持フレーム５１の支持部５３の案内孔５４に沿って折り曲げローラ５５をシート保持手段４側に移動させる（図１２を参照）。なお、折り曲げローラ５５は、保護テープ１１の半導体ウエーハ１０に対する粘着面側に当接しながら剥離を進行させるため、長手方向の軸中心に回転可能で、且つ接触する保護テープ１１の粘着面が付着しないようにその表面にはフッ素樹脂がコーティングされている。
【００３６】
本実施形態では、半導体ウエーハ１０上の保護テープ１１は、剥離する方向（図中左方）に１８０度折り曲げられているが（図１３を参照）、当該折り曲げ角度は、必ずしも１８０度である必要はない。しかし、半導体ウエーハ１０は裏面が研削されて極めて薄い板状に形成されるものであり、当該折り曲げ角度が小さいと保護テープ１１の剥離時に半導体ウエーハ１０の割れ、破損等を引き起こす恐れがあり、できるだけ１８０度、もしくは、それに近い角度で折り曲げられることが好ましい。
【００３７】
折り曲げローラ５５がシート保持板４６下面の図中左方側他端部まで移動すると、半導体ウエーハ１０から保護テープ１１が完全に剥離される（図１４を参照）。このようにして最終剥離工程が完了する。
【００３８】
図１５に示されているように、剥離した保護テープ１１がシート保持板４６の下面に展開させられるとき、中空に形成され下面に微孔が設けられているシート保持板４６の内部を図示しない吸引手段により吸引し、剥離された保護テープ１１を吸引保持する。そして移動基台３２と折り曲げローラ５５は、剥離工程開始時に位置付けされる待機位置に移動させられるとともに、第３エアーシリンダー４７の作動により挟持手段４８ａを一方の挟持手段４８ｂから離反させ保護テープ１１の外周端部を解放する。
【００３９】
次に、図２、１６、１７により、前記剥離工程に続き、剥離した保護テープ１１を廃棄容器７に廃棄する廃棄工程について説明する。
【００４０】
前述したように、半導体ウエーハ１０から剥離された保護テープ１１は、シート保持板４６が静止基台２のガイドレール３１、３１の上方に位置付けられた状態で吸引保持されている。
【００４１】
その状態から保護テープ１１をシート保持板４６に吸引保持させたまま、第１エアーシリンダー４１の軸４２を平面視時計回りに回転させて、静止基台２の傍らに配設された廃棄容器７の直上に該シート保持板４６を位置づける（図２（ｂ）、図１６を参照）。なお、図１６、１７は、静止基台２の廃棄容器を配設した側から見た側面図であり、説明の都合上、シート保持手段４と廃棄容器７のみを提示し、廃棄容器７は断面図としている。
【００４２】
シート保持板４６を廃棄容器７の直上に位置づけた後、第２エアーシリンダー４４を作動させて、シート保持板４６を廃棄容器７内に降下させる（図１７を参照）。当該降下させる際の下端位置は廃棄容器７内に設けた図示しないレベルセンサーを用いて廃棄した保護テープ１１の積層レベルに応じて適宜変化させてもよいし、廃棄した枚数をカウントしてカウントした枚数に応じて変化させてもよい。
【００４３】
シート保持板４６を廃棄容器内に降下させた後、最下端においてシート保持板４６の下面の微孔からの吸引を停止し、保護テープ１１を落下させる。この際シート保持板４６の下面の微孔から空気を噴出させることにより保護テープ１１の離脱をより確実に実行させることができる。そして、廃棄容器７のレベルセンサーにより廃棄容器に積層される剥離後の保護テープ１１が廃棄容器に所定量溜まったことが検出された場合、あるいはカウントされた枚数が所定量に達した場合、廃棄容器７に溜まった保護テープ１１の廃棄を促すべく、当該剥離装置のオペレーターに知らせる警報音の発生、警報ランプの点灯などを実行する。
【００４４】
本発明に基づく剥離装置は以上のように構成されており、保護テープの剥離を必要とする種々の分野にて幅広く利用されることが可能であり、取り扱いが容易で、剥離用のテープ等の消耗品を使用していないことから、当該剥離装置を複雑化することなく構成することができ、また、剥離した保護テープを効率よく廃棄容器に積層廃棄できることから、廃棄容器の容量を十分に生かすことができる。
なお、上記した本発明の実施形態では、板状部材を半導体ウエーハとしたが、これに限定されず、例えば、板状部材としてサファイヤ基板を採用し、該サファイヤ基板に対して保護テープを貼付したような場合等、表面にシート状の部材を貼付した板状部材を使用し、シート状の部材を剥離させるものであれば、本願発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１：剥離装置
２：静止基台
３：保持テーブル機構（保持テーブル）
４：シート保持手段
５：折り曲げローラ移動手段
６：剥離起点部生成手段
７：廃棄容器
１０：半導体ウエーハ（板状部材）
１１：保護テープ(シート）
１２：剥離起点部
３１、３１：ガイドレール
３２：移動基台
３６：テーブル本体
４１：第１エアーシリンダー
４４：第２エアーシリンダー
４７：第３エアーシリンダー
４８：挟持部材
５５：折り曲げローラ
６１：第４エアーシリンダー
６４：先端部材
６５：先端針状部材
６６：エアーノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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