(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、溶剤（Ｄ）と、を含み、
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、オキセタン（oxetane）官能基を含む繰り返し単位、及び下記化学式１で表される繰り返し単位を有する第１の樹脂（Ａ−１）と、下記化学式６で表される第２の樹脂（Ａ−２）と、を含み、
前記第１の樹脂（Ａ−１）を前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の重量に対して３０重量％以上含む、感光性樹脂組成物。
【化１】
0006559720.tif 000021
（式中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基であり、Ｒ２は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基である。）
【化２】
0006559720.tif 000022
（式中、Ｒ９及びＲ１０は、互いに独立して水素原子またはメチル基であり、Ｘは、単結合または炭素数１〜６のアルキレン基であり、該アルキレン基は、ヘテロ原子を含んでも含まなくてもよく、ｅ＝６０〜９５ｍｏｌ％、ｆ＝５〜４０ｍｏｌ％である。）
【請求項２】
前記オキセタン（oxetane）官能基を含む繰り返し単位は、下記化学式２で表されるものである、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【化３】
0006559720.tif 000023
（式中、Ｒ３は、水素原子またはメチル基であり、Ｒ４は、単結合または炭素数１〜６のアルキレン基であり、Ｒ５は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基である。）
【請求項３】
前記第１の樹脂（Ａ−１）は、下記化学式３で表される繰り返し単位、及び下記化学式４で表される繰り返し単位をさらに有する、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【化４】
0006559720.tif 000024
（式中、Ｒ６は、水素原子またはメチル基であり、Ｒ７は、炭素数３〜８のシクロアルキル、炭素数６〜１８のアリール基、または−ＣＯＯ−Ｒ７’であり、前記Ｒ７’は、炭素数３〜８のシクロアルキル、炭素数６〜１８のアリール基であり、前記シクロアルキルまたは前記アリール基の水素原子のうちの少なくとも一つは、炭素数１〜５の直鎖若しくは分岐鎖のアルキル基でさらに置換されてもよい。）
【化５】
0006559720.tif 000025
（式中、Ｒ８は、水素原子またはメチル基である。）
【請求項４】
前記第１の樹脂（Ａ−１）は、下記化学式５で表されるものである、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【化６】
0006559720.tif 000026
（式中、Ｒ１、Ｒ３、Ｒ６及びＲ８は、互いに独立して水素またはメチル基であり、Ｒ２は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基であり、Ｒ４は、単結合または炭素数１〜６のアルキレン基であり、Ｒ５は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基であり、Ｒ７は、炭素数３〜８のシクロアルキルまたは炭素数６〜１８のアリール基であり、前記シクロアルキル又は前記アリール基の水素原子のうちの少なくとも一つは、炭素数１〜５の直鎖若しくは分岐鎖のアルキル基でさらに置換されてもよく、ａ＝０．１〜５０ｍｏｌ％、ｂ＝２〜５０ｍｏｌ％、ｃ＝２〜９５ｍｏｌ％、ｄ＝２〜７０ｍｏｌ％である。）
【請求項５】
感光性樹脂組成物中の固形分１００重量部に対して、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は５〜９０重量部、前記光重合性化合物（Ｂ）は１〜９０重量部、前記光重合開始剤（Ｃ）は０．１〜２０重量部含まれる、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物で製造される光硬化パターン。
【請求項７】
前記光硬化パターンは、接着剤層、アレイ平坦化膜パターン、保護膜パターン、絶縁膜パターン、フォトレジストパターン、カラーフィルタパターン、ブラックマトリックスパターン、及びスペーサパターンからなる群より選択される、請求項６に記載の光硬化パターン。
【請求項８】
請求項６に記載の光硬化パターンを備える画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、感光性樹脂組成物で製造される光硬化パターン、及び光硬化パターンを備える画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ分野において、感光性樹脂組成物は、フォトレジスト、絶縁膜、保護膜、ブラックマトリックス、カラムスペーサ等の様々な光硬化パターンを形成するために用いられる。具体的には、感光性樹脂組成物をフォトリソグラフィ工程によって選択的に露光及び現像して所望の光硬化パターンを形成するが、この過程において、工程上の歩留を向上させ、適用対象の物性を向上させるために、高感度な感光性樹脂組成物が求められている。
【０００３】
感光性樹脂組成物のパターン形成は、フォトリソグラフィ、すなわち光反応により起こる高分子の極性変化及び架橋反応によって行われる。特に、露光後のアルカリ水溶液などの溶媒に対する溶解性の変化特性を利用する。
【０００４】
感光性樹脂組成物によるパターン形成は、感光された部分の現像に対する溶解度によってポジ型とネガ型とに分類される。ポジ型フォトレジストは、露光された部分が現像液によって溶解され、ネガ型フォトレジストは、露光された部分が現像液に溶解されず、露光されない部分が溶解されることによって、パターンが形成される方式である。ポジ型とネガ型とは、用いられるバインダー樹脂、架橋剤などで互いに相違する。
【０００５】
従来の感光性樹脂組成物は、熱工程前後で厚さの変化が発生し、微細パターンの形成が困難であり、現像性が十分ではないといった問題がある。
【０００６】
近年、このような問題を解決するために、感光性樹脂組成物に無機質粉末を添加する方法が特開２０００−０９５８９６号公報に開示されている。しかし、感光性樹脂組成物と無機質粉末との相溶性の低下及び基板との接着性等が招く現像性低下の問題によって、無機質粉末の含有量を充分に高くすることができない問題がある。それ故に、前述の感光性樹脂組成物の問題を充分に解決することができないという限界があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−０９５８９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、硬化密度が高く、密着性、耐化学性及び保存安定性などが向上した感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【０００９】
また、本発明は、前記感光性樹脂組成物から形成される光硬化パターン及びそれを備える画像表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
１．アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、溶剤（Ｄ）とを含み、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、オキセタン（oxetane）官能基を含む繰り返し単位、及び下記化学式１で表される繰り返し単位を有する第１の樹脂（Ａ−１）と、下記化学式６で表される第２の樹脂（Ａ−２）と、を含み、前記第１の樹脂（Ａ−１）を前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の重量に対して３０重量％以上含む、感光性樹脂組成物。
【００１１】
【化１】
0006559720.tif 000002
（式中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基であり、Ｒ２は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基である。）
【化２】
0006559720.tif 000003
（式中、Ｒ９及びＲ１０は、互いに独立して水素原子またはメチル基であり、Ｘは、単結合または炭素数１〜６のアルキレン基であり、前記アルキレン基は、ヘテロ原子を含んでも含まなくてもよく、ｅ＝６０〜９５ｍｏｌ％、ｆ＝５〜４０ｍｏｌ％である。）
【００１２】
２．前記項目１において、前記オキセタン（oxetane）官能基を含む繰り返し単位は、下記化学式２で表されるものである、感光性樹脂組成物。
【００１３】
【化３】
0006559720.tif 000004
（式中、Ｒ３は、水素原子またはメチル基であり、Ｒ４は、単結合または炭素数１〜６のアルキレン基であり、Ｒ５は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基である。）
【００１４】
３．前記項目１において、前記第１の樹脂（Ａ−１）は、下記化学式３で表される繰り返し単位、及び下記化学式４で表される繰り返し単位をさらに有する、感光性樹脂組成物。
【００１５】
【化４】
0006559720.tif 000005
（式中、Ｒ６は、水素原子またはメチル基であり、Ｒ７は、炭素数３〜８のシクロアルキル、炭素数６〜１８のアリール基、または−ＣＯＯ−Ｒ７’であり、前記Ｒ７’は、炭素数３〜８のシクロアルキル、炭素数６〜１８のアリール基であり、前記シクロアルキル又は前記アリール基の水素原子のうちの少なくとも一つは、炭素数１〜５の直鎖若しくは分岐鎖のアルキル基でさらに置換されてもよい。）
【００１６】
【化５】
0006559720.tif 000006
（式中、Ｒ８は、水素原子またはメチル基である。）
【００１７】
４．前記項目１において、前記第１の樹脂（Ａ−１）は、下記化学式５で表されるものである、感光性樹脂組成物。
【００１８】
【化６】
0006559720.tif 000007
（式中、Ｒ１、Ｒ３、Ｒ６及びＲ８は、互いに独立して水素またはメチル基であり、Ｒ２は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基であり、Ｒ４は、単結合または炭素数１〜６のアルキレン基であり、Ｒ５は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基であり、Ｒ７は、炭素数３〜８のシクロアルキルまたは炭素数６〜１８のアリール基であり、前記シクロアルキル又は前記アリール基の水素原子のうちの少なくとも一つは、炭素数１〜５の直鎖若しくは分岐鎖のアルキル基でさらに置換されてもよく、ａ＝０．１〜５０ｍｏｌ％、ｂ＝２〜５０ｍｏｌ％、ｃ＝２〜９５ｍｏｌ％、ｄ＝２〜７０ｍｏｌ％である。）
【００１９】
５．前記項目１において、感光性樹脂組成物中の固形分１００重量部に対して、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は５〜９０重量部、前記光重合性化合物（Ｂ）は１〜９０重量部、前記光重合開始剤（Ｃ）は０．１〜２０重量部含まれる、感光性樹脂組成物。
【００２２】
７．前記項目１〜６のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物で製造される光硬化パターン。
【００２３】
８．前記項目７において、前記光硬化パターンは、接着剤層、アレイ平坦化膜パターン、保護膜パターン、絶縁膜パターン、フォトレジストパターン、カラーフィルタパターン、ブラックマトリックスパターン、及びスペーサパターンからなる群より選択される、光硬化パターン。
【００２４】
９．前記項目７に記載の光硬化パターンを備える画像表示装置。
【発明の効果】
【００２５】
本発明による感光性樹脂組成物は、硬化密度が高くて線幅とパターン形状が良好であり、密着性、耐化学性、保存安定性及び微細パターン形成性などに優れる。
【００２６】
本発明の一実施形態に係る感光性樹脂組成物は、第２の樹脂（Ａ−２）をさらに含むことにより、第１の樹脂のラジカル重合および第２の樹脂の熱硬化反応により、さらに堅固なパターンを形成することができる。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
本発明の一実施形態は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、溶剤（Ｄ）と、添加剤（Ｅ）とを含み、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、オキセタン（oxetane）官能基を含む繰り返し単位、及び下記化学式１で表される繰り返し単位を有する第１の樹脂（Ａ−１）を含むことにより、硬化密度が高く、優れた密着性、耐化学性及び保存安定性などを提供できる感光性樹脂組成物に関する。
【００２８】
本発明において、化学式で表される繰り返し単位、化合物または樹脂が異性体を有する場合は、繰り返し単位、化合物または樹脂を表示する当該化学式は、その異性体まで含む代表化学式を意味する。
【００２９】
本発明において、「（メタ）アクリル−」は、「アクリル−」又は「メタアクリル−」、或いはその両方を指す。
【００３０】
本発明において、「第１の樹脂」の「第１」は、以下で説明する樹脂を、必要に応じてさらに添加し得る他の樹脂と区別するために使用する用語であるだけで、他の樹脂の併用を前提とするものではない。
【００３１】
本発明において、前記第１及び第２の樹脂で表される各々の繰り返し単位は、表されたものに限定して解釈してはならず、括弧内のサブ繰り返し単位が、定められたモル％の範囲内で、鎖のいずれの位置でも自由に位置することができる。つまり、各々の繰り返し単位の括弧は、モル％を示すために１つのブロックとして表示されているが、各サブ繰り返し単位は、当該樹脂内であれば、制限されることなく、ブロックとして、又はそれぞれ分離して位置され得る。
【００３２】
＜感光性樹脂組成物＞
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、溶剤（Ｄ）と、添加剤（Ｅ）とを含む。
【００３３】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）
本発明に用いられるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、パターンを形成する際の現像処理工程で用いられるアルカリ現像液に対して可溶性を付与する成分であり、オキセタン（oxetane）官能基を含む繰り返し単位、及び下記化学式１で表される繰り返し単位を有する第１の樹脂（Ａ−１）を含む。
【００３４】
本発明による第１の樹脂は、オキセタン（oxetane）官能基を含む繰り返し単位、及び下記化学式１で表される繰り返し単位を有することにより、硬化密度を高くすることができる。これにより、これを含めて形成した光硬化パターンの線幅とパターン形状が良好であり、密着性、耐化学性、保存安定性及び微細パターン形成性などに優れる。
【００３５】
【化７】
0006559720.tif 000008
（式中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基であり、Ｒ２は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基である。）
【００３６】
本発明によるオキセタン官能基と前記化学式１で表される繰り返し単位に含まれる官能基とが一つの樹脂に共存する場合、組成物の硬化時に熱硬化及び光硬化のいずれも採用できるので、優れた硬化性が得られることは勿論であり、それぞれが別個の樹脂に含まれる場合よりも同一の樹脂に含まれる場合に、架橋などによる反応性に優れ、硬化密度の側面で顕著に優れるため、これを含む組成物によりパターンを形成すると、優れた現像性、密着性、耐化学性及び保存安定性などを確保するのに顕著に有利である。
【００３７】
このような側面から、好ましくは、本発明の一実施形態に係る前記オキセタン（oxetane）官能基を含む繰り返し単位は、下記化学式２で表すことができる。
【００３８】
【化８】
0006559720.tif 000009
（式中、Ｒ３は、水素原子またはメチル基であり、Ｒ４は、炭素数１〜６のアルキレン基であり、Ｒ５は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基である。）
【００３９】
これにより、前述した本発明の目的及び効果をさらに効率よく達成することができる。
【００４０】
本発明による第１の樹脂は、前記化学式１の繰り返し単位以外にも、当分野で公知の他の単量体で形成された繰り返し単位をさらに有してもよい。
【００４１】
必要に応じて、本発明の一実施形態に係る第１の樹脂（Ａ−１）は、好ましくは、下記化学式３で表される繰り返し単位及び下記化学式４で表される繰り返し単位をさらに有することができる。
【００４２】
【化９】
0006559720.tif 000010
（式中、Ｒ６は、水素原子またはメチル基であり、Ｒ７は、炭素数３〜８のシクロアルキル、炭素数６〜１８のアリール基、または−ＣＯＯ−Ｒ７’であり、前記Ｒ７’は、炭素数３〜８のシクロアルキル、炭素数６〜１８のアリール基であり、前記シクロアルキル又は前記アリール基の水素原子のうちの少なくとも一つは、炭素数１〜５の直鎖若しくは分岐鎖のアルキル基でさらに置換されてもよい。）
【００４３】
【化１０】
0006559720.tif 000011
（式中、Ｒ８は、水素原子またはメチル基である。）
【００４４】
本発明の一実施形態に係る第１の樹脂（Ａ−１）は、炭素数３〜８のシクロアルキル又は炭素数６〜１８のアリール基を含むことにより、環状構造を樹脂中に含むことになるので、耐化学性、耐熱性などに優れる。例えば、後工程の際に、パターンがストリッパーなどに対して良好に耐えるなどの効果があるので、現像性の向上に役立つ。また、前記化学式４の繰り返し単位を有することにより、樹脂にアルカリ溶解性を付与することができる。
【００４５】
本発明による第１の樹脂は、オキセタン（oxetane）官能基を含む繰り返し単位及び前記化学式１で表される繰り返し単位を有するアルカリ可溶性樹脂であれば特に制限されないが、好ましい例として、下記化学式５で表される繰り返し単位を含むことができる。
【００４６】
【化１１】
0006559720.tif 000012
（式中、Ｒ１、Ｒ３、Ｒ６及びＲ８は、互いに独立して水素またはメチル基であり、Ｒ２は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基であり、Ｒ４は、炭素数１〜６のアルキレン基であり、Ｒ５は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基であり、Ｒ７は、炭素数３〜８のシクロアルキルまたは炭素数６〜１８のアリール基であり、前記シクロアルキル又は前記アリール基の水素原子のうちの少なくとも一つは、炭素数１〜５の直鎖若しくは分岐鎖のアルキル基でさらに置換されてもよく、ａ＝０．１〜５０ｍｏｌ％、ｂ＝２〜５０ｍｏｌ％、ｃ＝２〜９５ｍｏｌ％、ｄ＝２〜７０ｍｏｌ％、好ましくは、ａ＝２５〜４５ｍｏｌ％、ｂ＝２０〜４０ｍｏｌ％、ｃ＝１０〜３０ｍｏｌ％、ｄ＝２０〜５０ｍｏｌ％である。）
【００４７】
最も優れたパターン形成性、現像性を示す側面から、第１の樹脂の重量平均分子量は１０，０００〜３０，０００であることが好ましい。前記分子量範囲において最も優れたパターン形成性及び現像性等が示される。
【００４８】
必要に応じて、本発明による前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、下記化学式６で表される第２の樹脂（Ａ−２）をさらに含むことができる。本発明のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、第２の樹脂（Ａ−２）を含み、ポストベーク段階におけるエポキシ官能基とカルボン酸との開環重合反応により熱硬化反応が行われる。そのため、本発明の感光性樹脂組成物で形成されたパターンは、第１の樹脂のラジカル重合及び第２の樹脂の熱硬化反応によってさらに硬く形成することができる。
【００４９】
【化１２】
0006559720.tif 000013
（式中、Ｒ９及びＲ１０は、互いに独立して水素原子またはメチル基であり、Ｘは、単結合または炭素数１〜６のアルキレン基であり、前記アルキレン基は、ヘテロ原子を含んでも含まなくてもよく、ｅ＝６０〜９５ｍｏｌ％、ｆ＝５〜４０ｍｏｌ％である。）
【００５０】
密着性をさらに改善する側面から、第２の樹脂の重量平均分子量は２，０００〜３０，０００であることが好ましい。
【００５１】
また、本発明の一実施形態による前記第１の樹脂及び前記第２の樹脂に、互いに独立して、他の繰り返し単位を付加することができる。このような付加することができる繰り返し単位を形成する共単量体としては、本発明の目的を達成できるものであれば、当分野で公知の共単量体を特に制限なく用いることができる。
【００５２】
本発明の一実施形態に係るアルカリ可溶性樹脂（Ａ）において、第１の樹脂と第２の樹脂との混合重量比は、２０：８０〜８０：２０であってもよく、好ましくは３０：７０〜７０：３０であってもよい。前記範囲において最も優れた密着性、現像性、Ｔ／Ｂ比が示される。
【００５３】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、酸価が２０〜２００（ＫＯＨｍｇ／ｇ）の範囲であることが好ましい。酸価が前記範囲にあると、優れた現像性及び経時安定性を有することができる。
【００５４】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の分子量分布［重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）］は、１．５〜６．０であることが好ましく、１．８〜４．０であることがより好ましい。前記分子量分布［重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）］が前記範囲内であると、現像性に優れるため好ましい。
【００５５】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の含有量は、特に限定されないが、例えば、感光性樹脂組成物中の固形分１００重量部に対して、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）を５〜９０重量部、好ましくは１０〜７０重量部含むことができる。前記範囲内であれば、現像液への溶解性が十分で現像性に優れ、優れた機械的物性を有する光硬化パターンを形成することができる。
【００５６】
光重合性化合物（Ｂ）
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる光重合性化合物（Ｂ）は、光及び後述する光重合開始剤（Ｃ）の作用により重合できる化合物であり、製造工程中の架橋密度を増加させ、光硬化パターンの機械的特性を強化し得る。
【００５７】
光重合性化合物（Ｂ）は、樹脂組成物の現像性、感度、密着性、表面の問題などを改善するために、官能基の構造や官能基の数が異なる２つまたはそれ以上の光重合性化合物を混合して用いることができ、当分野で用いられるものを特に制限なく用いることができる。例えば、単官能単量体、２官能単量体及びその他の多官能単量体であり、下記の化合物がその例として挙げられる。
【００５８】
単官能単量体の具体例としては、ノニルフェニルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、Ｎ−ビニルピロリドン等が挙げられる。２官能単量体の具体例としては、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのビス（アクリロイルオキシエチル）エーテル、３−メチルペンタンジオールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。その他の多官能単量体の具体例としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エトキシル化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロポキシル化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、エトキシル化ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、プロポキシル化ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの中でも、２官能以上の多官能単量体が好ましく用いられる。
【００５９】
前記光重合性化合物（Ｂ）の含有量は、特に限定されないが、例えば、感光性樹脂組成物中の固形分を基準として、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００重量部に対して１〜９０重量部、好ましくは１０〜８０重量部の範囲で用いられる。光重合性化合物（Ｂ）の含有量が前記範囲内であると、優れた耐久性を有することができ、組成物の現像性を向上させることができる。
【００６０】
光重合開始剤（Ｃ）
本発明による光重合開始剤としては、当分野で通常用いられるものを、本発明の目的に逸脱しない範囲内で制限なく用いることができる。高感度、および本発明の感光性樹脂組成物から形成される光硬化パターンの強度や表面平滑性の側面から、トリアジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、オキシム化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、アントラセン系化合物などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。これらは、それぞれ単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００６１】
そのほか、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナントレンキノン、カンファキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物なども用いることができる。
【００６２】
また、光重合開始剤として、連鎖移動を起こすことができる基を有する光重合開始剤を用いることもできる。このような光重合開始剤としては、例えば、特表２００２−５４４２０５号公報に記載されているものが挙げられる。
【００６３】
前記光重合開始剤は、重合開始助剤と組み合わせて用いてもよい。前記光重合開始剤と重合開始助剤とを併用すると、これらを含有する感光性樹脂組成物は、さらに高感度になり、光硬化パターン形成時の生産性を向上させることができるため好ましい。
【００６４】
前記重合開始助剤としては、当分野で通常用いられるものを、本発明の目的から逸脱しない範囲内でその種類を特に制限することなく用いることができる。具体的には、アミン化合物、カルボン酸化合物を好ましく用いることができる。
【００６５】
前記光重合開始剤の含有量は、特に制限されないが、例えば、感光性樹脂組成物中の固形分１００重量部に対して０．１〜２０重量部であってもよい。前記範囲内であると、感光性樹脂組成物の高感度化によって露光時間が短縮されるため、生産性が向上し、高解像度を維持することができ、形成した画素部の強度及び画素部の表面における平滑性が良好になる点で好ましい。
【００６６】
溶剤（Ｄ）
本発明による溶剤は、当該分野で通常用いられるものであれば、何れでも制限されることなく用いることができる。
【００６７】
前記溶剤の具体例としては、エチレングリコールモノアルキルエーテル類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート類、アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、アルコキシブチルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールジアルキルエーテル類、プロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネート類、ブチルジオールモノアルキルエーテル類、ブタンジオールモノアルキルエーテルアセテート類、ブタンジオールモノアルキルエーテルプロピオネート類、アルコキシエチルプロピオネート類、ジプロピレングリコールジアルキルエーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アルコキシアルカノール類、環状エーテル類、環状エステル類などが挙げられる。塗布性及び乾燥性を考慮すると、メチルエチルジエチレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシ−１−ブタノールなどが好ましい。これらは、それぞれ単独に又は２種以上を混合して用いることができる。
【００６８】
前記溶剤の含有量は、特に制限されないが、例えば、感光性樹脂組成物の合計１００重量部に対して４０〜９０重量部であってもよい。前記範囲を満たすと、スピンコーター、スリットアンドスピンコーター、スリットコーター（「ダイコーター」、「カーテンフローコーター」と呼ばれることもある。）、インクジェット等の塗布装置で塗布したとき、塗布性が良好になるため好ましい。
【００６９】
添加剤（Ｅ）
本発明による感光性樹脂組成物は、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、硬化剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、連鎖移動剤などの添加剤をさらに含んでもよい。
【００７０】
前記添加剤は、それぞれ単独で又は２種以上を混合して用いることができる。
【００７１】
前記添加剤の含有量は、特に制限されないが、例えば、感光性樹脂組成物中の固形分１００重量部に対して０．００１〜１重量部であってもよい。
【００７２】
＜光硬化パターン及び画像表示装置＞
本発明は、前記感光性樹脂組成物で製造される光硬化パターン、及び該光硬化パターンを備える画像表示装置を提供することを目的とする。
【００７３】
前記感光性樹脂組成物で製造された光硬化パターンは、ＣＤ−Ｂｉａｓの制御が可能であり、Ｔ／Ｂ比の値、現像性、密着性及び機械的物性に優れる。これによって、画像表示装置における各種パターン、例えば、接着剤層、アレイ平坦化膜、保護膜、絶縁膜パターンなどに利用することができ、フォトレジスト、ブラックマトリクス、スペーサパターンなどに利用することもできるが、これらに限定されるものではない。
【００７４】
このような光硬化パターンを備えるか、或いは製造過程中に前記パターンを用いる画像表示装置としては、液晶表示装置、ＯＬＥＤ、フレキシブルディスプレイなどが挙げられる。しかし、これらに限定されるものではなく、適用可能な当分野で公知となった全ての画像表示装置が挙げられる。
【００７５】
光硬化パターンは、前述の本発明の感光性樹脂組成物を基材上に塗布し、（必要に応じて現像工程を経た後）光硬化パターンを形成することによって製造できる。
【００７６】
具体的に、まず、感光性樹脂組成物を基板に塗布した後、加熱乾燥することにより、溶媒などの揮発成分を除去して平滑な塗膜を得る。
【００７７】
塗布方法としては、例えば、スピンコート、流延塗布法、ロール塗布法、スリットアンドスピンコート又はスリットコート法等が挙げられる。塗布後、加熱乾燥（プリベーク）、又は減圧乾燥後に加熱して溶媒などの揮発成分を揮発させる。ここで、加熱温度は、比較的低温である７０〜１００℃である。加熱乾燥後の塗膜厚さは、通常１〜８μｍ程度である。このようにして得られた塗膜に、目的とするパターンを形成するためのマスクを介して紫外線を照射する。このとき、露光部全体に均一に平行光線が照射されるように、またマスクと基板との正確な位置合わせがなされるように、マスクアライナー又はステッパなどの装置を用いることが好ましい。紫外線を照射すると、紫外線が照射された部位の硬化が行われる。
【００７８】
前記紫外線としては、ｇ線（波長：４３６ｎｍ）、ｈ線、ｉ線（波長：３６５ｎｍ）などを用いることができる。紫外線の照射量は、必要に応じて適宜選択することができ、本発明ではこれを限定しない。硬化が終了した塗膜を必要に応じて現像液に接触させ、非露光部を溶解させて現像すると、目的とするパターン形状を形成することができる。
【００７９】
前記現像方法は、液添加法、ディッピング法、スプレー法などのいずれを用いても構わない。また、現像時に基板を任意の角度に傾斜させてもよい。前記現像液は、通常、アルカリ性化合物及び界面活性剤を含有する水溶液である。
【００８０】
前記現像液中の界面活性剤の濃度は、通常０．０１〜１０重量％、好ましくは０．０５〜８重量％、より好ましくは０．１〜５重量％である。現像後、水洗し、比較的低温である１００〜１５０℃で１０〜６０分間ポストベークを行う。
【００８１】
以下、本発明の理解を助けるために好適な実施例を提示するが、これらの実施例は本発明を例示するものに過ぎず、添付の特許請求の範囲を制限するものではない。これらの実施例に対し、本発明の範疇及び技術思想の範囲内で種々の変更及び修正を加えることが可能であることは当業者にとって明らかであり、これらの変形及び修正が添付の特許請求の範囲に属することも当然のことである。
【００８２】
＜合成例１＞第１の樹脂Ａ−１−１の合成
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に、窒素を０．０２Ｌ／分で流入するようにして窒素雰囲気とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５０ｇを投入した。これを１００℃に昇温した後、アクリル酸３６．０ｇ（０．５０モル）、３−エチル−３−オキセタニルメタクリレート５１．１ｇ（０．３０モル）、ビニルトルエン２３．６ｇ（０．２０モル）、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５０ｇを含む混合物に２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３．６ｇを添加した溶液を滴下ロートで２時間かけてフラスコに滴下し、さらに１００℃で５時間撹拌を続けた。
【００８３】
次いで、フラスコ内の雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート４９．８ｇ［０．３５モル（本反応に用いたアクリル酸に対して７０モル％）］をフラスコ内に投入して、１１０℃で６時間反応を行った。これにより、固形分酸価が７０ｍｇＫＯＨ／ｇである不飽和基含有樹脂（Ａ−１−１）を得た。ＧＰＣにより測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は２４，１００であり、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は２．３０であった。
【００８４】
＜合成例１−２＞第１の樹脂Ａ−１−２の合成
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に、窒素を０．０２Ｌ／分で流入するようにして窒素雰囲気とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５０ｇを投入した。これを１００℃に昇温した後、アクリル酸３６．０ｇ（０．５０モル）、３−エチル−３−オキセタニルメタクリレート５１．１ｇ（０．３０モル）、シクロヘキシルメタクリレート３３．６ｇ（０．２０モル）、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５０ｇを含む混合物に２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３．６ｇを添加した溶液を滴下ロートで２時間かけてフラスコに滴下し、さらに１００℃で５時間撹拌を続けた。
【００８５】
次いで、フラスコ内の雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート４９．８ｇ［０．３５モル（本反応に用いたアクリル酸に対して７０モル％）］をフラスコ内に投入して、１１０℃で６時間反応を行った。これにより、固形分酸価が７１ｍｇＫＯＨ／ｇである不飽和基含有樹脂（Ａ−１−２）を得た。ＧＰＣにより測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は２３，９００であり、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は２．３４であった。
【００８６】
＜合成例２＞第１の樹脂Ａ−１−３の合成
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に、窒素を０．０２Ｌ／分で流入するようにして窒素雰囲気とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５０ｇを投入した。これを１００℃に昇温した後、アクリル酸３６．０ｇ（０．５０モル）、３−エチル−３−オキセタニルメタクリレート５１．１ｇ（０．３０モル）、スチレン２０．８ｇ（０．２０モル）、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５０ｇを含む混合物に２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３．６ｇを添加した溶液を滴下ロートで２時間かけてフラスコに滴下し、さらに１００℃で５時間撹拌を続けた。
【００８７】
次いで、フラスコ内の雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート４９．８ｇ［０．３５モル（本反応に用いたアクリル酸に対して７０モル％）］をフラスコ内に投入して、１１０℃で６時間反応を行った。これにより、固形分酸価が７１ｍｇＫＯＨ／ｇである不飽和基含有樹脂（Ａ−１−３）を得た。ＧＰＣにより測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は２３，９００であり、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は２．３１であった。
【００８８】
＜合成例３＞第２の樹脂Ａ−２−１の合成
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に、窒素を０．０２Ｌ／分で流入するようにして窒素雰囲気とし、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル１５０ｇを投入し、撹拌しながら７０℃まで加熱した。次いで、下記の化学式１６及び化学式１７の混合物（モル比は５０：５０）２１０．２ｇ（０．９５モル）、及びメタクリル酸１４．５ｇ（０．１７モル）をジエチレングリコールメチルエチルエーテル１５０ｇに溶解して溶液を調製した。調製した溶解液を、滴下漏斗を用いてフラスコ内に滴下した後、 重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）２７．９ｇ（０．１１モル）をジエチレングリコールメチルエチルエーテル２００ｇに溶解した溶液を、別の滴下漏斗を用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、４時間、７０℃に維持し、その後に室温まで冷却した。これにより、固形分４１．６質量％、酸価６５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ（固形分換算）の共重合体の溶液を得た。得られた樹脂（Ａ−２−１）の重量平均分子量Ｍｗは８，３００であり、分子量分布は１．８５であった。
【００８９】
【化１３】
0006559720.tif 000014
【００９０】
【化１４】
0006559720.tif 000015
【００９１】
このとき、前記分散樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）の測定は、ＨＬＣ−８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）装置を用いて、カラムは、ＴＳＫ−ＧＥＬＧ４０００ＨＸＬ及びＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬを直列接続して用い、カラム温度を４０℃とし、移動相溶媒としてテトラヒドロフランを用い、流速を１．０ｍｌ／分、注入量を５０μＬ、検出器はＲＩを用い、測定試料濃度を０．６質量％（溶媒＝テトラヒドロフラン）とし、校正用標準物質としてＴＳＫ ＳＴＡＮＤＡＲＤ ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−１、Ａ−２５００、Ａ−５００（東ソー（株）製）を用いた。
【００９２】
前記で得られた重量平均分子量及び数平均分子量の比を分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）とした。
【００９３】
＜合成例４＞不飽和基含有樹脂Ａ−４の合成
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に、窒素を０．０２Ｌ／分で流入するようにして窒素雰囲気とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２００ｇを投入した。これを１００℃に昇温した後、アクリル酸３３．９ｇ（０．４７モル）、ノルボルネン４．７ｇ（０．０５モル）、ビニルトルエン５６．７ｇ（０．４８モル）、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５０ｇを含む混合物に２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３．６ｇを添加した溶液を滴下ロートで２時間かけてフラスコに滴下し、さらに１００℃で５時間撹拌を続けた。
【００９４】
次いで、フラスコ内の雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート４２．６ｇ［０．３０モル（本反応に用いたアクリル酸に対して６４モル％）］をフラスコ内に投入して、１１０℃で６時間反応を行った。これにより、固形分酸価が７９ｍｇＫＯＨ／ｇである不飽和基含有樹脂Ａ−４を得た。ＧＰＣにより測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は６，６００であり、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は１．９であった。
【００９５】
＜合成例５＞オキセタン含有樹脂Ａ−５の合成
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に、窒素を０．０２Ｌ／分で流入するようにして窒素雰囲気とし、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル１５０ｇを投入して、撹拌しながら７０℃まで加熱した。次いで、下記の化学式１６及び化学式１７の混合物（モル比は５０：５０）１３２．２ｇ（０．６０モル）、３−エチル−３−オキセタニルメタクリレート５１．１ｇ（０．３０モル）、及びメタクリル酸８．６ｇ（０．１０モル）をジエチレングリコールメチルエチルエーテル１５０ｇに溶解して溶液を調製した。
【００９６】
【化１５】
0006559720.tif 000016
【００９７】
【化１６】
0006559720.tif 000017
【００９８】
調製した溶解液を、滴下漏斗を用いてフラスコ内に滴下した後、重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）２７．９ｇ（０．１１モル）をジエチレングリコールメチルエチルエーテル２００ｇに溶解した溶液を、別の滴下漏斗を用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、４時間、７０℃に維持し、その後に室温まで冷却した。これにより、固形分４１．８質量％、酸価６２ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ（固形分換算）の共重合体の溶液（樹脂Ａ−5）を得た。
【００９９】
得られた樹脂Ａ−５の重量平均分子量Ｍｗは７，７００、分子量分布は１．８２であった。
【０１００】
＜合成例６＞オキセタンを単独に含む樹脂（Ａ−６）の合成
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に、窒素を０．０２Ｌ／分で流入するようにして窒素雰囲気とし、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル１５０ｇを投入し、撹拌しながら７０℃まで加熱した。３−エチル−３−オキセタニルメタクリレート１６１．７ｇ（０．９５モル）、及びメタクリル酸１４．５ｇ（０．１７モル）をジエチレングリコールメチルエチルエーテル１５０ｇに溶解して溶液を調製した。
【０１０１】
調製した溶解液を、滴下漏斗を用いてフラスコ内に滴下した後、重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）２７．９ｇ（０．１１モル）をジエチレングリコールメチルエチルエーテル２００ｇに溶解した溶液を、別の滴下漏斗を用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、４時間、７０℃に維持し、その後に室温まで冷却した。これにより、固形分４１．６質量％、酸価６５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ（固形分換算）の共重合体（樹脂Ａ−6）の溶液を得た。得られた樹脂Ａ−６の重量平均分子量Ｍｗは８，３００であり、分子量分布は１．８５であった。
【０１０２】
このとき、前記分散樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）の測定は、ＨＬＣ−８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）装置を用いて、カラムは、ＴＳＫ−ＧＥＬＧ４０００ＨＸＬ及びＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬを直列接続して用い、カラム温度を４０℃とし、移動相溶媒としてテトラヒドロフランを用い、流速を１．０ｍｌ／分、注入量を５０μＬとして、検出器はＲＩを用い、測定試料濃度を０．６質量％（溶媒＝テトラヒドロフラン）、校正用標準物質としてＴＳＫ ＳＴＡＮＤＡＲＤ ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−１、Ａ−２５００、Ａ−５００（東ソー（株）製）を用いた。
【０１０３】
前記で得られた重量平均分子量及び数平均分子量の比を分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）とした。
【０１０４】
前記樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）の測定は、ＧＰＣ法を用いて以下の条件で行った。
装置：ＨＬＣ−８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム：ＴＳＫ−ＧＥＬＧ４０００ＨＸＬ＋ＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬ（直列接続）
カラム温度：４０℃
移動相溶媒：テトラヒドロフラン
流速：１．０ｍｌ／分
注入量：５０μＬ
検出器：ＲＩ
測定試料濃度：０．６質量％（溶媒＝テトラヒドロフラン）
校正用標準物質：ＴＳＫ ＳＴＡＮＤＡＲＤ ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−１、Ａ−２５００、Ａ−５００（東ソー（株）製）
【０１０５】
前記で得られた重量平均分子量及び数平均分子量の比を分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）とした。
【０１０６】
下記表１に示す組成及び含有量（重量部）を有する感光性樹脂組成物を調製した。
【０１０７】
【表１】
0006559720.tif 000018
【０１０８】
前記表１で使用された各成分は次の通りである。
Ａ−１−１：合成例１で製造された樹脂
Ａ−１−２：合成例１−２で製造された樹脂
Ａ−１−３：合成例２で製造された樹脂
Ａ−２−１：合成例３で製造された樹脂
Ａ−４：合成例４で製造された樹脂
Ａ−５：合成例５で製造された樹脂
Ａ−６：合成例６で製造された樹脂
Ｂ：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ，日本化薬（株）製）
Ｃ：１，２−オクタンジオン−１−[４−（フェニルチオ）フェニル]−２−ｏ−ベンゾイルオキシム（Ｃｉｂａ社製）
Ｃ−１：４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（ＥＡＢ−Ｆ，保土谷化学工業（株）製）
Ｄ−１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
Ｄ−２：３−エトキシエチルプロピオネート
Ｄ−３：３−メトキシ−１−ブタノール
Ｄ−４：３−メトキシブチルアセテート
Ｆ（酸化防止剤）：１，３，５−トリス（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）−１，３，５−トリアジン−２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）−トリオン（Ｉｒｇａｎｏｘ３１１４，Ｃｉｂａ Ｓｐｅｃｉａｌｔｙ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ社製）
【０１０９】
＜実験例＞
２インチ角のガラス基板（イーグル２０００，コーニング社製）を中性洗剤、水、及びアルコールで順次洗浄した後、乾燥した。このガラス基板上に、前記実施例及び比較例で調製した感光性樹脂組成物をそれぞれスピンコートした後、クリーンオーブンの中で９０℃で３分間プリベークを行った。前記プリベークを行った基板を常温に冷却した後、石英硝子製フォトマスクとの間隔を１５０μｍにして露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ，トプコン(株)製）を用いて、６０ｍＪ／ｃｍ２の露光量（４０５ｎｍ基準）で光照射した。このとき、重合性樹脂組成物への照射は、超高圧水銀灯からの放射光を、光学フィルター（ＬＵ０４００，朝日分光（株）製）を通過させ、４００ｎｍ以下の光をカットして使用した。フォトマスクとしては、次のパターンが同一平面上に形成されたフォトマスクを用いた。
【０１１０】
パターンは、一辺が１０μｍである正方形の透光部（パターン）を有し、当該正方形の間隔が１００μｍである。光照射後、ノニオン系界面活性剤０．１２％と水酸化カリウム０．０４％とを含有する水系現像液に、前記塗膜を２５℃で１００秒間浸漬して現像し、水洗した。その後、オーブンの中で、２２０℃で２０分間ポストベークを行った。得られた膜厚は３μｍであった。膜厚は、膜厚測定装置（ＤＥＫＴＡＫ６Ｍ，Ｖｅｅｃｏ社製）を用いて測定した。このようにして得られたパターンを下記のように物性評価を実施し、その結果を下記表２に示す。
【０１１１】
１．透過率の評価
前記で得られた硬化膜の４００ｎｍにおける透過率（％）を顕微鏡分光測光装置（ＯＳＰ−ＳＰ２００，ＯＬＹＭＰＵＳ社製）を用いて測定した。透過率は、膜厚３．０μｍにおける透過率に換算して表２に示す。透過率は、１００％に近いほど良好なことを表す。
【０１１２】
２．線幅、断面形状
前記で得られた硬化膜に対して、走査型電子顕微鏡（Ｓ−４２００，（株）日立製作所製）を用いて線幅を測定し、断面形状を下記のようにして評価した。断面形状は、基板に対するパターンの角度が９０度未満の場合を順テーパとし、９０度以上の場合を逆テーパと判断した。
【０１１３】
順テーパであることが、表示装置の形成時にＩＴＯ配線の断線が起こりにくいため好ましい。
【０１１４】
３．機械特性（総変位量及び回復率）
前記で得られた硬化膜をダイナミック超微小硬度計（ＤＵＨ−Ｗ２０１，（株）島津製作所製）を用いて、その総変位量（μｍ）及び弾性変位量（μｍ）を以下の測定条件で測定した。測定された数値を用いて以下のように回復率（％）を算出した。総変位量が少なく、かつ回復率が大きければ、硬いと判断した。
回復率（％）＝［弾性変位量（μｍ）］／［総変位量（μｍ）］×１００
【０１１５】
測定条件
試験モード：負荷−除荷試験
試験力：５ｇｆ［ＳＩ単位換算値：４９．０ｍＮ］
負荷速度：０．４５ｇｆ／ｓｅｃ［ＳＩ単位換算値：４．４１ｍＮ／ｓｅｃ］
保持時間：５ｓｅｃ
圧子：円錐台圧子（直径５０μｍ）
【０１１６】
４．密着性
現像密着性は、直径（size）が５μｍ〜２０μｍ、１μｍ間隔の円形パターンが１０００個あるフォトマスクによって、膜厚さが３μｍで形成されたパターンが欠落することなく１００％残っている場合のマスクのサイズを顕微鏡により評価した。マスクのサイズが小さいほど感度に優れたことを表す。
【０１１７】
５．耐化学性
９０℃で１時間加熱して硬化段階を経た塗膜を５０℃のｅｔｃｈａｎｔ（ＭＡ−Ｓ０２，東友ファインケム社製）溶液（耐酸性の評価）、または５０℃のｓｔｒｉｐｐｅｒ（ＳＡＭ−１９，東友ファインケム社製）溶液（耐剥離液性の評価）にそれぞれ１０分間浸漬した。前記複数の溶液に放置しておいたときの厚さの変化を観察することにより、耐化学性の評価を行った。厚さ変化率は、下記数式１で算出した。厚さ変化率が少ないほど好ましいと言える。評価の結果を下記表２に示す。
（数式１）
厚さ変化率（％）＝｛（溶液放置前の膜厚−溶液放置後の膜厚）／（溶液放置前の膜厚）}×１００（％）
前記数式１による厚さ変化率が５％以下の場合を「○」、５％超え〜１０％以下の場合を「△」、１０％超えの場合を「×」と評価した。
【０１１８】
６．保存安定性の評価基準
粘度変化が２ｃｐ以上：×
粘度変化が２ｃｐ未満：○
【０１１９】
【表２】
0006559720.tif 000019
【０１２０】
【表３】
0006559720.tif 000020
【０１２１】
前記表２及び３に示すように、本発明によるアルカリ可溶性樹脂を使用している実施例１〜６の場合は、これを使用していない比較例１〜５と比較して、低露光量で基板に対する線幅とパターン形状が良好であり、密着性、耐化学性及び保存安定性に優れていることを確認することができる。