(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像表示のための表示素子と、
制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を前記表示素子に表示させるループ情報表示制御手段と、
１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、同一の制御ループの情報を表示している継続時間を計測する時間計測手段と、
情報出力装置から全ての制御ループの情報を定期的に取得する表示情報取得手段と、
前記時間計測手段が計測している継続時間が規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得して前記ループ情報表示制御手段に渡し、この制御ループの情報のみを拡大して表示するように前記表示素子の画面を切り替えさせる表示変更手段と、
１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、前記ループ情報表示制御手段が表示させている情報を記憶する表示情報記憶手段と、
前記時間計測手段が計測している継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶手段に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、次に表示すべき制御ループの情報が目立つように表示を変更させる指示手段とを備えることを特徴とする表示装置。
【請求項２】
請求項１記載の表示装置において、
前記指示手段は、前記時間計測手段が計測している継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶手段に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、この物理量の表示形式を変更するように前記ループ情報表示制御手段に指示することを特徴とする表示装置。
【請求項３】
請求項１記載の表示装置において、
前記指示手段は、前記時間計測手段が計測している継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶手段に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、次に表示すべき制御ループの前記規定継続時間を所定時間だけ長くするよう前記表示変更手段に指示することを特徴とする表示装置。
【請求項４】
請求項１記載の表示装置において、
前記指示手段は、前記時間計測手段が計測している継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶手段に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、次に表示すべき制御ループの表示頻度が増えるように、前記表示変更手段に登録されているローテーション順序を一時的に変更することを特徴とする表示装置。
【請求項５】
画像表示のための表示素子と、
制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を前記表示素子に表示させるループ情報表示制御手段と、
１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、同一の制御ループの情報を表示している継続時間を計測する時間計測手段と、
情報出力装置から全ての制御ループの情報を定期的に取得する表示情報取得手段と、
前記時間計測手段が計測している継続時間が規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得して前記ループ情報表示制御手段に渡し、この制御ループの情報のみを拡大して表示するように前記表示素子の画面を切り替えさせる表示変更手段と、
１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、前記ループ情報表示制御手段が表示させている情報を記憶する表示情報記憶手段と、
前記時間計測手段が計測している継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶手段に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、全ての物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化していない場合に、次に表示すべき制御ループの前記規定継続時間を所定時間だけ短くするよう前記表示変更手段に指示する指示手段とを備えることを特徴とする表示装置。
【請求項６】
制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を表示素子に表示させるループ情報表示制御ステップと、
１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、同一の制御ループの情報を表示している継続時間を計測する時間計測ステップと、
情報出力装置から全ての制御ループの情報を定期的に取得する表示情報取得ステップと、
前記時間計測ステップで計測した継続時間が規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を取得して、取得した制御ループの情報のみを拡大して表示するように前記表示素子の画面を切り替えさせる表示変更ステップと、
１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、前記表示素子に表示させている制御ループの情報を記憶する表示情報記憶ステップと、
前記時間計測ステップで計測した継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶ステップで記憶した当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、次に表示すべき制御ループの情報が目立つように表示を変更させる指示ステップとを含むことを特徴とする表示方法。
【請求項７】
請求項６記載の表示方法において、
前記指示ステップは、前記時間計測ステップで計測した継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶ステップで記憶した当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、この物理量の表示形式を変更させるステップを含むことを特徴とする表示方法。
【請求項８】
請求項６記載の表示方法において、
前記指示ステップは、前記時間計測ステップで計測した継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶ステップで記憶した当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、次に表示すべき制御ループの前記規定継続時間を所定時間だけ長くするステップを含むことを特徴とする表示方法。
【請求項９】
請求項６記載の表示方法において、
前記指示ステップは、前記時間計測ステップで計測した継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶ステップで記憶した当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、次に表示すべき制御ループの表示頻度が増えるように、前記表示変更ステップで用いるローテーション順序を一時的に変更するステップを含むことを特徴とする表示方法。
【請求項１０】
制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を表示素子に表示させるループ情報表示制御ステップと、
１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、同一の制御ループの情報を表示している継続時間を計測する時間計測ステップと、
情報出力装置から全ての制御ループの情報を定期的に取得する表示情報取得ステップと、
前記時間計測ステップで計測した継続時間が規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を取得して、取得した制御ループの情報のみを拡大して表示するように前記表示素子の画面を切り替えさせる表示変更ステップと、
１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、前記表示素子に表示させている制御ループの情報を記憶する表示情報記憶ステップと、
前記時間計測ステップで計測した継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶ステップで記憶した当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、全ての物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化していない場合に、次に表示すべき制御ループの前記規定継続時間を所定時間だけ短くする指示ステップとを含むことを特徴とする表示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の制御ループを備えた装置を制御する汎用調節計から、表示対象の制御ループに関わる情報を受け取って表示する表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の制御ループを備える装置（マルチループ系）を扱うために、汎用調節計（温調計）が使用されることがある（特許文献１参照）。マルチループ系の調節計（温調計）が対象とする加熱装置の例を図１４、図１５に示す。
【０００３】
図１４の例では、加熱装置は、被加熱物を加熱するための加熱処理炉１００と、加熱処理炉１００の内部に設置された複数のヒータＨ１〜Ｈ４と、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される加熱処理炉１００内の温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度を測定する複数の温度センサＳ１〜Ｓ４と、ヒータＨ１〜Ｈ４に出力する操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する調節計１０１と、調節計１０１から出力された操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する電力調整器１０２−１〜１０２−４とから構成される。調節計１０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する。この図１４に示した加熱装置においては、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。
【０００４】
また、図１５に示した加熱装置の例では、酸化拡散炉２００内の石英管２０３の内部に、シリコンウェハ２０４が搬入される。温度センサＳ１〜Ｓ４は、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度ＰＶ１〜ＰＶ４を測定する。調節計２０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出してヒータ電源２０２に出力する。ヒータ電源２０２は、操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する。こうして、酸化拡散炉２００内の石英管２０３内に導入される酸素とシリコンウェハ２０４とを加熱することにより、シリコンウェハ２０４の表面に酸化膜を形成する。この図１５に示した加熱装置においても、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。
【０００５】
調節計１０１，２０１や、調節計１０１，２０１を用いて例えば半導体の製造を行う製造装置においては、オペレータに情報を伝えるために、液晶ディスプレイなどの表示装置が使用される（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−０４８３７０号公報
【特許文献２】特開２００１−１５４７８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
小型の製造装置に表示装置を実装する場合は、小型の表示装置が使用される。しかしながら、図１４、図１５で説明したようなマルチループ系を扱う場合、小型の表示装置では画面の大きさが十分とは限らず、表示が見難くなり、利便性に支障が生じるという問題点があった。
【０００８】
特に、図１６に示すように、汎用調節計３００と一体化され、汎用目的で画面の仕様が設計される小型の表示装置３０１では、個々の制御対象（図１６のＮｏ．１〜Ｎｏ．４のループ番号で区別される制御対象）に固有の性質を反映した表示を効率的に行なうことに限界があった。このようにマルチループ系の情報表示に使用される小型の表示装置には、利便性の改善が求められている。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、マルチループ系で汎用的に使用される表示装置において、オペレータにとっての利便性を改善することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の表示装置は、画像表示のための表示素子と、制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を前記表示素子に表示させるループ情報表示制御手段と、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、同一の制御ループの情報を表示している継続時間を計測する時間計測手段と、情報出力装置から全ての制御ループの情報を定期的に取得する表示情報取得手段と、前記時間計測手段が計測している継続時間が規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得して前記ループ情報表示制御手段に渡し、この制御ループの情報のみを拡大して表示するように前記表示素子の画面を切り替えさせる表示変更手段と、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、前記ループ情報表示制御手段が表示させている情報を記憶する表示情報記憶手段と、前記時間計測手段が計測している継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶手段に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、次に表示すべき制御ループの情報が目立つように表示を変更させる指示手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の表示装置の１構成例において、前記指示手段は、前記時間計測手段が計測している継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶手段に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、この物理量の表示形式を変更するように前記ループ情報表示制御手段に指示することを特徴とするものである。
また、本発明の表示装置の１構成例において、前記指示手段は、前記時間計測手段が計測している継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶手段に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、次に表示すべき制御ループの前記規定継続時間を所定時間だけ長くするよう前記表示変更手段に指示することを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の表示装置の１構成例において、前記指示手段は、前記時間計測手段が計測している継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶手段に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、次に表示すべき制御ループの表示頻度が増えるように、前記表示変更手段に登録されているローテーション順序を一時的に変更することを特徴とするものである。
また、本発明の表示装置は、画像表示のための表示素子と、制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を前記表示素子に表示させるループ情報表示制御手段と、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、同一の制御ループの情報を表示している継続時間を計測する時間計測手段と、情報出力装置から全ての制御ループの情報を定期的に取得する表示情報取得手段と、前記時間計測手段が計測している継続時間が規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得して前記ループ情報表示制御手段に渡し、この制御ループの情報のみを拡大して表示するように前記表示素子の画面を切り替えさせる表示変更手段と、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、前記ループ情報表示制御手段が表示させている情報を記憶する表示情報記憶手段と、前記時間計測手段が計測している継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を前記表示情報取得手段から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶手段に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、全ての物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化していない場合に、次に表示すべき制御ループの前記規定継続時間を所定時間だけ短くするよう前記表示変更手段に指示する指示手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の表示方法は、制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を表示素子に表示させるループ情報表示制御ステップと、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、同一の制御ループの情報を表示している継続時間を計測する時間計測ステップと、情報出力装置から全ての制御ループの情報を定期的に取得する表示情報取得ステップと、前記時間計測ステップで計測した継続時間が規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を取得して、取得した制御ループの情報のみを拡大して表示するように前記表示素子の画面を切り替えさせる表示変更ステップと、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、前記表示素子に表示させている制御ループの情報を記憶する表示情報記憶ステップと、前記時間計測ステップで計測した継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶ステップで記憶した当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、次に表示すべき制御ループの情報が目立つように表示を変更させる指示ステップとを含むことを特徴とするものである。
また、本発明の表示方法は、制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を表示素子に表示させるループ情報表示制御ステップと、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、同一の制御ループの情報を表示している継続時間を計測する時間計測ステップと、情報出力装置から全ての制御ループの情報を定期的に取得する表示情報取得ステップと、前記時間計測ステップで計測した継続時間が規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を取得して、取得した制御ループの情報のみを拡大して表示するように前記表示素子の画面を切り替えさせる表示変更ステップと、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、前記表示素子に表示させている制御ループの情報を記憶する表示情報記憶ステップと、前記時間計測ステップで計測した継続時間が前記規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、前記表示情報記憶ステップで記憶した当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、全ての物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化していない場合に、次に表示すべき制御ループの前記規定継続時間を所定時間だけ短くする指示ステップとを含むことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、時間計測手段と、表示情報取得手段と、表示変更手段とを設けることにより、オペレータが表示装置から離れた位置にいても、複数の制御ループを監視することができので、汎用目的で画面の仕様が設計される、マルチループ系で使用される小型の表示装置において、オペレータにとっての利便性を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】表示装置の画面に４つの制御ループ分の情報を表示させる例を示す図である。
【図２】表示装置の画面に１つの制御ループ分の情報を拡大表示させる例を示す図である。
【図３】本発明の参考例に係る表示装置の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の参考例に係る表示装置の動作を説明するフローチャートである。
【図５】本発明の参考例における表示例を示す図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る表示装置の動作を説明するフローチャートである。
【図８】本発明の第１の実施の形態における表示例を示す図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態に係る表示装置の動作を説明するフローチャートである。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係る表示装置の動作を説明するフローチャートである。
【図１２】本発明の第４の実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図である。
【図１３】本発明の第４の実施の形態に係る表示装置の動作を説明するフローチャートである。
【図１４】複数の制御ループを備えた加熱装置の構成例を示す図である。
【図１５】複数の制御ループを備えた加熱装置の別の構成例を示す図である。
【図１６】汎用調節計と一体化された表示装置の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
［発明の原理１］
例えば、汎用的な数として４ループ分の情報を同時に表示すれば（図１）、全ての制御ループの情報監視という点では好都合である。図１の例では、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４のループ番号で区別される各制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとを画面１上の対応する区画１−１〜１−４に１ループ分ずつ表示している。しかし、小型の表示装置の場合、図１のような表示形態では、個々の数値などが小さめにならざるを得ず、ある程度距離が離れた位置から数値を監視しようとするときに不都合になる。
【００１７】
一方、小型の表示装置で想定される操作として、１ループ分の情報のみを拡大表示する状態がある（図２）。仮に最も重要な１ループに限定して小型の表示装置の画面をフルに１ループ分に割り当てれば、数値などは大きめに表示できる。ただし、表示されない残りの３ループは、監視の対象外になる。
【００１８】
発明者は、以上のような複数ループ表示の問題と１ループ拡大表示の問題とが、オペレータにとっての利便性に支障を生じさせる要因であることを見出した。そして、１ループ分の情報のみを拡大表示する表示状態を基礎とし、複数ループの情報を特定の時間毎に自動でローテーション表示するモードを追加することに想到した。これにより、離れた位置（小さめの表示が見え難く、表示の切換操作の手も届かない位置）からでも、複数ループを監視することができる。
【００１９】
例えば、４ループの情報を１ループあたり１０秒の表示時間でローテーション表示しても、監視としては制御状態を十分に認識できると考えられ、かつ一般的に応答の遅い温度のような制御対象であれば、ローテーションで監視しても、オーバーシュートなどの事象を把握することが手遅れになる確率は低い。
【００２０】
［発明の原理２］
前回のローテーション表示時の数値から変化した場合、表示形式（例えば表示色）を変更することで、変化を認識し易くなる。例えば、制御量ＰＶが変化せずに安定している場合は白色で数値を表示し、制御量ＰＶが変化した場合は桃色や黄色で数値を表示する。
【００２１】
［発明の原理３］
前回のローテーション表示時の数値から変化した場合、表示時間を長くすることで、変化の継続を把握し易くなる。逆に、変化がない場合、表示時間を短くしてもよい。例えば、制御量ＰＶが変化せずに安定している場合は５秒間表示し、制御量ＰＶが変化した場合は１５秒間表示する。
【００２２】
［参考例］
以下、本発明の参考例について図面を参照して説明する。図３は本発明の参考例に係る表示装置の構成を示すブロック図である。本参考例は、上記発明の原理１に対応する例である。本参考例では、図１４、図１５に示したように４制御ループ（装置としては４制御ゾーン）の製造装置を汎用調節計で制御する事例とする。ただし、４制御ループよりも少ない３制御ループや、４制御ループよりも多い５制御ループ、６制御ループであっても、本発明の本質部分であるローテーション表示は適用可能である。
【００２３】
本参考例の表示装置は、制御対象の装置における表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を後述する表示素子に表示させるループ情報表示制御部１０と、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、同一の制御ループの情報を表示している継続時間を計測する時間計測部１１と、情報出力装置（例えば汎用調節計）から全ての制御ループの情報を定期的に取得する表示情報取得部１２と、時間計測部１１が計測している継続時間が規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を表示情報取得部１２から取得してループ情報表示制御部１０に渡し、この制御ループの情報のみを拡大して表示するように表示素子の画面を切り替えさせる表示変更部１３と、画像表示のための液晶パネル等の表示素子１４とから構成される。
【００２４】
図４は本参考例の表示装置の動作を説明するフローチャートである。ループ情報表示制御部１０は、図示しない情報出力装置（例えば汎用調節計）から渡された表示すべき情報を予め定められた規則に従って表示素子１４に表示させる（図４ステップＳ１００）。汎用調節計は、予め定められた規則に従って自動的に選択した表示すべき情報、若しくはオペレータの操作に応じて選択した表示すべき情報をループ情報表示制御部１０に渡す。
【００２５】
例えば４ループ分の表示を行う場合、汎用調節計は、制御対象の装置（例えば加熱装置）における各制御ループに対応する制御情報や操作情報と、各制御ループを特定するループ番号とをループ情報表示制御部１０に渡す。ループ情報表示制御部１０は、予め定められた規則に従って、図１のように各制御ループに対応する情報（図１の例では温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶ）とループ番号（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４）とを縦２×横２のマトリクス状に配置した画像を表示素子１４に表示させる。
【００２６】
また、１ループ分の表示を行う場合、汎用調節計は、対象となる制御ループに対応する制御情報や操作情報と、当該制御ループを特定するループ番号とをループ情報表示制御部１０に渡す。ループ情報表示制御部１０は、予め定められた規則に従って、図２のように制御ループに対応する情報（図２の例では温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶ）とループ番号（Ｎｏ．３）とを１画面に拡大して配置した画像を表示素子１４に表示させる。
【００２７】
以上のステップＳ１００の処理は、従来から汎用調節計で行われている処理と同じである。そして、本参考例では、上記のとおり、１ループ分の情報のみを拡大表示している状態を基礎として説明する。
時間計測部１１は、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに（図４ステップＳ１０１においてＹＥＳ）、同一の制御ループの情報を表示している継続時間を計測する（図４ステップＳ１０２）。
【００２８】
表示情報取得部１２は、情報出力装置（例えば汎用調節計）から全ての制御ループの情報を一定周期ごとに取得する（図４ステップＳ１０３）。情報を取得する周期は、後述する規定継続時間よりも短いことが好ましい。また、表示情報取得部１２は、全ての制御ループの情報として、現在表示されている表示項目と同種の表示項目の情報を取得すればよい。例えばループ番号Ｎｏ．３の制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとを現在表示しているとすれば、ループ番号Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４の制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとを取得すればよい。
【００２９】
表示変更部１３は、時間計測部１１が計測している継続時間が予め定められた規定継続時間（例えば５秒）に到達したときに（図４ステップＳ１０４においてＹＥＳ）、次に表示すべき制御ループの最新の情報を表示情報取得部１２から取得してループ情報表示制御部１０に渡し、この制御ループの情報のみを拡大して表示するように表示素子１４の画面を切り替えさせる（図４ステップＳ１０５）。
【００３０】
表示変更部１３には、予め制御ループの表示順序を示すローテーション順序（例えばＮｏ．１→Ｎｏ．２→Ｎｏ．３→Ｎｏ．４という順序）が設定されている。表示変更部１３は、このローテーション順序に従って次に表示すべき制御ループの情報を表示情報取得部１２から取得する。ループ番号Ｎｏ．１の制御ループの情報を現在表示しているとすれば、次に表示すべき制御ループの情報はループ番号Ｎｏ．２の制御ループの情報であり、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループの情報を現在表示しているとすれば、次に表示すべき制御ループの情報はループ番号Ｎｏ．３の制御ループの情報である。
【００３１】
以上のようなステップＳ１０１〜Ｓ１０５の処理を、１ループ分の情報のみを拡大表示する動作が終了するまで（図４ステップＳ１０６においてＹＥＳ）、繰り返し実行する。なお、ステップＳ１０５の処理で画面の切り替えが行なわれると、時間計測部１１で計測している継続時間が０にリセットされ、時間計測が再開されることは言うまでもない。
【００３２】
図５（Ａ）〜図５（Ｄ）は本参考例の表示例を示す図である。図５（Ａ）〜図５（Ｄ）の例は、ループ番号Ｎｏ．１の制御ループの情報のみの拡大表示→ループ番号Ｎｏ．２の制御ループの情報のみの拡大表示→ループ番号Ｎｏ．３の制御ループの情報のみの拡大表示→ループ番号Ｎｏ．４の制御ループの情報のみの拡大表示→ループ番号Ｎｏ．１の制御ループの情報のみの拡大表示→ループ番号Ｎｏ．２の制御ループの情報のみの拡大表示→・・・・という順序で画面１にローテーション表示する例である。
【００３３】
このようなローテーション表示により、本参考例では、オペレータが表示装置（あるいは表示装置が実装された製造装置）から離れた位置（小さめの表示が見え難く、表示の切換操作の手も届かない位置）にいても、複数の制御ループを監視することができる。
【００３４】
［第１の実施の形態］
次に、本発明の第１の実施の形態について説明する。本実施の形態は、上記発明の原理２に対応する例である。図６は本実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図であり、図３と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の表示装置は、ループ情報表示制御部１０ａと、時間計測部１１と、表示情報取得部１２と、表示変更部１３と、表示素子１４と、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに、ループ情報表示制御部１０ａが表示させている情報を記憶する表示情報記憶部１５と、時間計測部１１が計測している継続時間が規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を表示情報取得部１２から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、表示情報記憶部１５に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、この物理量の表示形式を変更するようにループ情報表示制御部１０ａに指示する形式指示部１６（指示手段）とから構成される。
【００３５】
図７は本実施の形態の表示装置の動作を説明するフローチャートである。ループ情報表示制御部１０ａのステップＳ１００の動作は、参考例のループ情報表示制御部１０の動作と同じである。
表示情報記憶部１５は、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに（図７ステップＳ１０１においてＹＥＳ）、ループ情報表示制御部１０ａが表示素子１４に表示させている情報を記憶する（図７ステップＳ１０７）。表示情報記憶部１５は、この情報の記憶を制御ループ別に行なう。
【００３６】
時間計測部１１のステップＳ１０２の動作と表示情報取得部１２のステップＳ１０３の動作は、参考例で説明したとおりである。
形式指示部１６は、時間計測部１１が計測している継続時間が規定継続時間に到達したときに（図７ステップＳ１０４においてＹＥＳ）、次に表示すべき制御ループの最新の情報を表示情報取得部１２から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量（例えば制御量ＰＶ）と、表示情報記憶部１５に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化（変化量の絶対値が規定量以上）した場合（図７ステップＳ１０８においてＹＥＳ）、この物理量の表示形式（例えば表示色）を変更するようにループ情報表示制御部１０ａに指示する（図７ステップＳ１０９）。形式指示部１６には、表示変更部１３に設定されているものと同じローテーション順序が設定されている。
【００３７】
形式指示部１６から指示がなかった場合の表示変更部１３とループ情報表示制御部１０ａの動作（図７ステップＳ１０５）は、参考例の表示変更部１３とループ情報表示制御部１０の動作と同じである。
【００３８】
一方、ループ情報表示制御部１０ａは、形式指示部１６から指示があった場合、ステップＳ１０５と同様に、表示情報取得部１２から表示変更部１３を介して受け取った制御ループの情報を拡大して表示するように表示素子１４の画面を切り替えるが、この拡大表示する制御ループの情報に含まれる物理量のうち、形式指示部１６から指示された物理量の表示形式を変更して表示する（図７ステップＳ１１０）。
【００３９】
以上のようなステップＳ１０１，Ｓ１０７，Ｓ１０２〜Ｓ１０４，Ｓ１０８，Ｓ１０５，Ｓ１０９，Ｓ１１０の処理を、１ループ分の情報のみを拡大表示する動作が終了するまで（図７ステップＳ１０６においてＹＥＳ）、繰り返し実行する。参考例と同様に、ステップＳ１０５またはステップＳ１１０の処理で画面の切り替えが行なわれると、時間計測部１１で計測している継続時間が０にリセットされ、時間計測が再開されることは言うまでもない。
【００４０】
図８（Ａ）〜図８（Ｄ）は本実施の形態の表示例を示す図である。図８（Ａ）〜図８（Ｄ）の例は、図５（Ａ）〜図５（Ｄ）のローテーション表示の後に続くローテーション表示で、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループの温度計測値ＰＶが１０１℃から１０３℃に変化した状態を表している。ここでは、変化せずに安定している数値を例えば白色で表示し、１．０℃以上変化した数値を例えば桃色で表示する。こうして、本実施の形態では、オペレータが数値の変化を認識し易いように表示することができる。
【００４１】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態は、上記発明の原理３に対応する例である。図９は本実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図であり、図３、図６と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の表示装置は、ループ情報表示制御部１０と、時間計測部１１と、表示情報取得部１２と、表示変更部１３と、表示素子１４と、表示情報記憶部１５と、時間計測部１１が計測している継続時間が規定継続時間に到達したときに、次に表示すべき制御ループの最新の情報を表示情報取得部１２から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量と、表示情報記憶部１５に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合に、次に表示すべき制御ループの規定継続時間を所定時間だけ長くするよう表示変更部１３に指示する時間指示部１７（指示手段）とから構成される。
【００４２】
図１０は本実施の形態の表示装置の動作を説明するフローチャートである。ループ情報表示制御部１０のステップＳ１００の動作は参考例で説明したとおりである。
表示情報記憶部１５のステップＳ１０７の動作は第１の実施の形態で説明したとおりである。
時間計測部１１のステップＳ１０２の動作と表示情報取得部１２のステップＳ１０３の動作は、参考例で説明したとおりである。
【００４３】
時間指示部１７は、時間計測部１１が計測している継続時間が規定継続時間に到達したときに（図１０ステップＳ１０４においてＹＥＳ）、次に表示すべき制御ループの最新の情報を表示情報取得部１２から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量（例えば制御量ＰＶ）と、表示情報記憶部１５に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化（変化量の絶対値が規定量以上）した場合（図１０ステップＳ１０８においてＹＥＳ）、次に表示すべき制御ループの規定継続時間を所定時間だけ長くするよう表示変更部１３に指示すると共に、時間指示部１７自身が用いる規定継続時間についても次に表示すべき制御ループについてのみ所定時間だけ長くする（図１０ステップＳ１１１）。
【００４４】
表示変更部１３とループ情報表示制御部１０のステップＳ１０５の動作は参考例で説明したとおりである。
以上のようなステップＳ１０１，Ｓ１０７，Ｓ１０２〜Ｓ１０４，Ｓ１０８，Ｓ１１１，Ｓ１０５の処理を、１ループ分の情報のみを拡大表示する動作が終了するまで（図１０ステップＳ１０６においてＹＥＳ）、繰り返し実行する。
【００４５】
こうして、参考例と同様にローテーション表示が行なわれるが、時間指示部１７から指示があった場合には、ステップＳ１０５の処理で次に表示すべき制御ループの情報表示に画面が切り替わったときに、この制御ループの規定継続時間が一時的に長くなるので、ステップＳ１０４の処理で判定ＹＥＳとなるまでの時間が長くなり、この制御ループの表示の継続時間が所定時間だけ長くなる。
【００４６】
例えば、図５（Ａ）〜図５（Ｄ）のローテーション表示の後に、 図８（Ａ）〜図８（Ｄ）のローテーション表示を行なう場合、上記のとおりループ番号Ｎｏ．３の制御ループの温度計測値ＰＶが１０１℃から１０３℃に変化しているので、ループ番号Ｎｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．４の制御ループの情報（図８（Ａ）、図８（Ｂ）、図８（Ｄ））については表示の継続時間が例えば５秒であるが、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループの情報（図８（Ｃ））については表示の継続時間が例えば１５秒になる。こうして、本実施の形態では、オペレータが数値の変化の継続を認識し易いように表示することができる。
【００４７】
［第３の実施の形態］
第２の実施の形態では、標準の規定継続時間を５秒として、物理量（例えば制御量ＰＶ）が規定量以上変化した制御ループの規定継続時間を１５秒にする構成としたが、標準の規定継続時間を１５秒として、物理量（例えば制御量ＰＶ）が規定量以上変化していない（変化量の絶対値が規定量を下回る）制御ループの規定継続時間を５秒に変更する構成としてもよい。この場合の表示装置の動作を図１１に示す。表示装置の構成は第２の実施の形態と同じである。
【００４８】
本実施の形態の場合、時間指示部１７は、時間計測部１１が計測している継続時間が規定継続時間に到達したときに（図１１ステップＳ１０４においてＹＥＳ）、次に表示すべき制御ループの最新の情報を表示情報取得部１２から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量（例えば制御量ＰＶ）と、表示情報記憶部１５に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、全ての物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化していない（変化量の絶対値が規定量未満）場合（図１１ステップＳ１１２においてＹＥＳ）、次に表示すべき制御ループの規定継続時間を所定時間だけ短くするよう表示変更部１３に指示すると共に、時間指示部１７自身が用いる規定継続時間についても次に表示すべき制御ループについてのみ所定時間だけ短くする（図１１ステップＳ１１３）。その他の動作は第２の実施の形態で説明したとおりである。
【００４９】
［第４の実施の形態］
また、表示形式や時間間隔に限らず、ローテーションでの表示頻度を増やしてオペレータが認識しやすいように表示のレベルをハイレベル側（目立つ側）に変更するようにしてもよい。例えばループ番号Ｎｏ．３の制御ループの物理量（例えば制御量ＰＶ）が変化している場合に、Ｎｏ．１→Ｎｏ．２→Ｎｏ．３→Ｎｏ．４→Ｎｏ．３→Ｎｏ．１→Ｎｏ．２→・・・というようにループ番号Ｎｏ．３の制御ループの情報の表示頻度を増やしてもよい。この場合の表示装置の構成を図１２に示し、表示装置の動作を図１３に示す。
【００５０】
本実施の形態の形式指示部１６ａ（指示手段）は、時間計測部１１が計測している継続時間が規定継続時間に到達したときに（図１３ステップＳ１０４においてＹＥＳ）、次に表示すべき制御ループの最新の情報を表示情報取得部１２から取得し、取得した制御ループの情報に含まれる、制御動作に関わる物理量（例えば制御量ＰＶ）と、表示情報記憶部１５に記憶されている当該制御ループの直前の情報に含まれる物理量とを同種の物理量毎に比較し、少なくとも１つの物理量について、直前の物理量の値に対して次に表示すべき物理量の値が規定量以上変化した場合（図１３ステップＳ１０８においてＹＥＳ）、次に表示すべき制御ループの表示頻度が増えるように、表示変更部１３に登録されているローテーション順序を一時的に変更すると共に、形式指示部１６ａ自身が用いるローテーション順序についても一時的に変更する（図１３ステップＳ１１４）。ローテーション順序は、一定時間だけ継続して変更した後で初期設定に戻すようにすればよい。その他の動作は第１の実施の形態で説明したとおりである。
【００５１】
なお、参考例および第１〜第４の実施の形態では、汎用調節計と分離した表示装置として説明しているが、汎用調節計と一体化された表示装置に本発明を適用してもよいことは言うまでもない。
【００５２】
参考例で説明した表示装置のうち、ループ情報表示制御部１０と時間計測部１１と表示情報取得部１２と表示変更部１３とは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。同様に、第１の実施の形態で説明した表示装置のうち、ループ情報表示制御部１０ａと時間計測部１１と表示情報取得部１２と表示変更部１３と表示情報記憶部１５と形式指示部１６とは、コンピュータによって実現することができる。同様に、第２、第３の実施の形態で説明した表示装置のうち、ループ情報表示制御部１０と時間計測部１１と表示情報取得部１２と表示変更部１３と表示情報記憶部１５と時間指示部１７とは、コンピュータによって実現することができる。また、第４の実施の形態で説明した表示装置のうち、ループ情報表示制御部１０と時間計測部１１と表示情報取得部１２と表示変更部１３と表示情報記憶部１５と形式指示部１６ａとは、コンピュータによって実現することができる。これらのコンピュータのＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って参考例および第１〜第４の実施の形態で説明した処理を実行する。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、マルチループ系で使用される表示装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１０，１０ａ…ループ情報表示制御部、１１…時間計測部、１２…表示情報取得部、１３…表示変更部、１４…表示素子、１５…表示情報記憶部、１６，１６ａ…形式指示部、１７…時間指示部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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