(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管の途中に接続されて、前記配管を流れる流体が通過可能な筒内流路を内側に有する筒形ボディと、
前記筒内流路から径方向外側に延びて前記筒形ボディの側部で開口した装着孔と、
前記装着孔に着脱可能に取り付けられて前記流体の流量を計測する計測ユニットと、を有する流量計において、
前記計測ユニットは、前記装着孔に挿通されて前記筒内流路に突入するシャフト部と、前記シャフト部のうち前記筒内流路に突入した部分を前記筒形ボディの軸方向に沿って貫通するシャフト貫通孔と、前記シャフト貫通孔を流れる前記流体の流量を計測する計測部と、を有し、
前記装着孔は、前記筒形ボディの径方向で対向するように対をなして設けられ、
前記シャフト部は、前記筒形ボディのうち１対の前記装着孔が形成された部分に差し渡されて、それら１対の装着孔の両方に挿通されると共に、軸方向の中間部で縮径された構造をなして、その縮径部分に対して軸方向の一方側と他方側とに大径部と小径部とを有し、
前記１対の装着孔は、前記大径部が挿通される大径孔と、前記大径孔より小径で前記小径部が挿通される小径孔と、で構成され、
前記計測ユニットは、前記大径部に嵌着されて前記大径孔との間をシールする大径シール部材と、前記小径部に嵌着されて前記小径孔との間をシールする小径シール部材と、を有する流量計。
【請求項２】
前記小径孔の内周面のうち前記筒内流路に臨む部分には、前記筒内流路側へ向かうに従って拡径される小径拡張部が形成されると共に、
前記大径孔の内周面のうち前記筒形ボディの外側に臨む部分には、前記筒形ボディの外側へ向かうに従って拡径される大径拡張部が形成されている請求項１に記載の流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配管の途中に接続される筒形ボディに計測ユニットが装着された流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の流量計として、計測ユニットが、筒形ボディの筒壁を貫通する装着孔に挿通された状態で筒形ボディに片持ち状に支持され、計測ユニットのうち筒形ボディ内に突入した部分で流体の流量を計測するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭６３−１６３４１７号公報（第４頁第１８行目〜第５頁第１１行目、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、計測ユニットを交換可能にするために、筒形ボディに計測ユニットを着脱可能に取り付けることが考えられる。しかしながら、上記した従来の流量計では、計測ユニットが片持ち状に支持されているため、筒形ボディ内の流体圧によって計測ユニットが筒形ボディの外側に押され、計測ユニットの位置がずれるという問題があった。また、計測ユニットのずれ量が大きい場合には、計測ユニットが筒形ボディから外れるという問題も生じ得た。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、筒形ボディに着脱可能に取り付けられた計測ユニットの位置ずれを抑えることが可能な流量計の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するためになされた請求項１の発明は、配管の途中に接続されて、前記配管を流れる流体が通過可能な筒内流路を内側に有する筒形ボディと、前記筒内流路から径方向外側に延びて前記筒形ボディの側部で開口した装着孔と、前記装着孔に着脱可能に取り付けられて前記流体の流量を計測する計測ユニットと、を有する流量計において、前記計測ユニットは、前記装着孔に挿通されて前記筒内流路に突入するシャフト部と、前記シャフト部のうち前記筒内流路に突入した部分を前記筒形ボディの軸方向に沿って貫通するシャフト貫通孔と、前記シャフト貫通孔を流れる前記流体の流量を計測する計測部と、を有し、前記装着孔は、前記筒形ボディの径方向で対向するように対をなして設けられ、前記シャフト部は、前記筒形ボディのうち１対の前記装着孔が形成された部分に差し渡されて、それら１対の装着孔の両方に挿通されると共に、軸方向の中間部で縮径された構造をなして、その縮径部分に対して軸方向の一方側と他方側とに大径部と小径部とを有し、前記１対の装着孔は、前記大径部が挿通される大径孔と、前記大径孔より小径で前記小径部が挿通される小径孔と、で構成され、前記計測ユニットは、前記大径部に嵌着されて前記大径孔との間をシールする大径シール部材と、前記小径部に嵌着されて前記小径孔との間をシールする小径シール部材と、を有する流量計である。
【０００８】
請求項２の発明は、前記小径孔の内周面のうち前記筒内流路に臨む部分には、前記筒内流路側へ向かうに従って拡径される小径拡張部が形成されると共に、前記大径孔の内周面のうち前記筒形ボディの外側に臨む部分には、前記筒形ボディの外側へ向かうに従って拡径される大径拡張部が形成されている請求項１に記載の流量計である。
【発明の効果】
【０００９】
［請求項１の発明］
本発明では、計測ユニットのシャフト部が筒形ボディの装着孔に挿通され、計測部がシャフト部に形成されたシャフト貫通孔を流れる流体の流量を計測する。ここで、本発明では、装着孔は、筒形ボディの径方向で対向するように対をなして設けられ、シャフト部は、筒形ボディのうち１対の装着孔が形成された部分に差し渡されるように配置されて、１対の装着孔の両方に挿通されている。従って、筒内流路を流れる流体からシャフト部が受ける流体圧を１対の装着孔の対向方向で相殺させることが可能となり、計測ユニットの位置ずれを抑えることが可能となる。
【００１０】
ところで、本発明の流量計の構成においては、筒形ボディに計測ユニットを取り付ける場合、１対の装着孔のうち一方の装着孔に外側からシャフト部を挿通して、シャフト部の先端を他方の装着孔にも挿通させる。このとき、１対の装着孔が同径であると、シャフト部の先端部を一方の装着孔に挿通させることが困難になるという問題が生じ得る。また、シャフト部に嵌着されたシール部材によってシャフト部と装着孔との間をシールすることが考えられるが、１対の装着孔が同径であると、前記一方の装着孔にシャフト部の先端部を挿通させるときに、前記他方の装着孔との間をシールするためのシール部材が損傷したり脱落したりするという問題も生じ得る。これに対し、請求項１の発明では、シャフト部は、軸方向の中間部で縮径された構造をなして、その縮径部分に対して軸方向の一方側と他方側とに大径部と小径部とを有し、１対の装着孔は、大径部が挿通される大径孔と、大径孔より小径で小径部が挿通される小径孔と、で構成されているので、小径部を先端にしてシャフト部を１対の装着孔に挿通させれば、小径部の大径孔への挿通が容易に行えると共に、小径部に嵌着された小径シール部材の損傷や脱落が抑えられる。
【００１１】
［請求項２の発明］
本発明では、小径孔の内周面のうち筒内流路に臨む部分に、筒内流路側へ向かうに従って拡径される小径拡張部が形成されているので、大径孔に挿通されたシャフト部の小径部を小径孔に挿通させるときに、小径拡張部によって小径部を小径孔内に案内することが可能となる。また、本発明では、大径孔の内周面のうち筒形ボディの外側に臨む部分に、筒形ボディの外側へ向かうに従って拡径される大径拡張部が形成されているので、シャフト部の小径部を大径孔に挿通させる際に、大径拡張部によって小径部を大径孔内に案内することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係る流量計の側断面図
【図２】図１における計測ユニット周辺の拡大図
【図３】流量計の正断面図
【図４】流量計の分解斜視図
【図５】（Ａ）シャフト部の側断面図、（Ｂ）大径孔及び小径孔の側断面図
【図６】シャフト部が大径孔に挿通される前の計測ユニットと筒形ボディの側断面図
【図７】シャフト部が小径孔に挿通される前の計測ユニットと筒形ボディの側断面図
【図８】他の実施形態に係る流量計の計測ユニット周辺の側断面図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を電磁流量計に適用した一実施形態を図１〜図７に基づいて説明する。図１に示すように、本実施形態の流量計１０は、筒形ボディ１１の軸方向の中間部がケース部６０にて外側を覆われ、そのケース部６０内に、計測ユニット３０を収容した構造となっている。
【００１４】
筒形ボディ１１は、配管９０の途中に接続され、筒形ボディ１１における筒壁１２の内側には、配管９０を流れる流体が通過可能な筒内流路１３が形成されている。また、筒形ボディ１１の軸方向の中間部には、筒内流路１３から径方向外側に延びて筒形ボディ１１の側部で開口した装着孔２０が形成されている。具体的には、筒形ボディ１１には、筒壁１２の軸方向の中間部から径方向外側に突出する枝管１４が設けられ、その枝管１４の内側部分によって装着孔２０が形成されている（図４及び図５（Ｂ）参照）。なお、筒形ボディ１１の軸方向の両端部には、配管９０のフランジ９０Ｆと接続するフランジ１１Ｆが形成されている。
【００１５】
ケース部６０は、ボックス状をなし、筒形ボディ１１の筒壁１２を受容するボディ受容孔６０Ａ，６０Ａを有している。詳細には、図１及び図４に示すように、ケース部６０は、底部が開口した上側ケース体６１と、上部が開口した下側ケース体６２とに分割可能となっている。下側ケース体６２のうち筒形ボディ１１の軸方向に対向配置される１対の対向側壁６２Ｓ，６２Ｓには、下側ケース体６２の上端から下方に延びる切欠部６２Ｋ，６２Ｋが形成されている。また、上側ケース体６１の底部開口は、下側ケース体６２の上部開口よりも一回り大きくなっている。そして、両ケース体６１，６２が結合されたときに、下側ケース体６２における切欠部６２Ｋの上端部に上側ケース体６１の側壁６１Ｓが重ねられることで、ボディ受容孔６０Ａが形成される。
【００１６】
図２及び図４に示すように、計測ユニット３０は、ボックス部３０Ａの下面から脚部３０Ｂが垂下した側面視略Ｔ字状をなしている。詳細には、計測ユニット３０は、脚部３０Ｂの中間位置より上側に配置される脚付きヘッド部３１に、上記中間位置より下側に配置されるシャフト部４０を連結してなる。
【００１７】
図２に示すように、シャフト部４０は、筒形ボディ１１の装着孔２０に挿通され、脚付きヘッド部３１は、筒形ボディ１１の外側に配置されている。また、シャフト部４０の外周部には、環状溝４０Ｍが形成されていて、その環状溝４０Ｍに嵌着されたシール部材４５によって、シャフト部４０と装着孔２０との間がシールされている。
【００１８】
シャフト部４０の一部は筒内流路１３内に突入し、その突入部分に筒形ボディ１１の軸方向に沿って延びるシャフト貫通孔４０Ａが形成されている。そして、シャフト貫通孔４０Ａに、筒内流路１３内の流体が流れるようになっている。
【００１９】
図３に示すように、シャフト部４０には、シャフト貫通孔４０Ａを流れる流体の流量を計測する計測部５０が内蔵されている。具体的には、計測部５０は、コイル５２が巻回されたコア５１と、１対の検知電極５３，５３と、１対の検知電極５３，５３間の電圧を計測する電圧計（図示せず）と、を有している。コア５１は、略Ｕ字状をなすと共に、両端部にてシャフト貫通孔４０Ａを、例えば、水平方向に挟むように配置されている。１対の検知電極５３，５３は、シャフト貫通孔４０Ａを、例えば、上下方向に挟むように配置されている。シャフト貫通孔４０Ａの内周面には、各検知電極５３を露出させる開口部５３Ａが形成されていて、１対の検知電極５３，５３は、シャフト貫通孔４０Ａの内側を流れる流体と接触するようになっている。そして、コイル５２が通電された状態でシャフト貫通孔４０Ａ内を流体が流れると、１対の検知電極５３，５３の間に、流体の流速に応じた電位差が生じ、この電位差が図示しない電圧計によって計測されるようになっている。
【００２０】
脚付きヘッド部３１（図４参照）の内部には、計測部５０の計測結果（即ち、シャフト貫通孔４０Ａ内を流れる流体の流速）からシャフト貫通孔４０Ａを流れる流体の流量を演算する演算部（図示せず）が備えられている。また、脚付きヘッド部３１には、例えば、演算部の演算結果を表示する表示部や該演算結果を外部に無線送信する送信部等が設けられている。
【００２１】
ここで、本実施形態の流量計１０では、装着孔２０が筒形ボディ１１の径方向で対向するように対をなして設けられている。そして、計測ユニット３０のシャフト部４０は、筒形ボディ１１のうち１対の装着孔２０，２０が形成された部分、即ち、１対の枝管１４，１４に差し渡されるように配置されて、１対の装着孔２０，２０に挿通されている。なお、環状溝４０Ｍは、シャフト部４０の先端寄り部分と基端寄り部分の２か所に設けられていて、各環状溝４０Ｍに嵌着されたシール部材４５が、シャフト部４０と装着孔２０との間をシールしている。また、１対の装着孔２０，２０にシャフト部４０が取り付けられた状態では、シャフト貫通孔４０Ａは、筒形ボディ１１の中心軸と略同軸に配置されている。
【００２２】
このように、本実施形態では、筒形ボディ１１に、径方向で対向するように１対の装着孔２０，２０が設けられ、計測ユニット３０のシャフト部４０は、筒形ボディ１１のうち１対の装着孔２０，２０が形成された部分（即ち、１対の枝管１４，１４）に差し渡されるように配置されているので、筒内流路１３を流れる流体からシャフト部４０が受ける流体圧を１対の装着孔２０，２０の対向方向で相殺させることが可能となり、計測ユニット３０の位置ずれを抑えることが可能となる。
【００２３】
ところで、流量計１０は、図４に示すように、筒形ボディ１１に、計測ユニット３０と、ケース部６０（即ち、上側ケース体６１及び下側ケース体６２）と、を組み付けて形成される。具体的には、まず、１対の装着孔２０，２０のうち一方の装着孔２０に、計測ユニット３０のシャフト部４０を筒形ボディ１１の外側から挿入する（図６参照）。シャフト部４０が一方の装着孔２０を貫通したら、シャフト部４０をさらに挿入して、他方の装着孔２０にシャフト部４０の先端部を挿入する（図７参照）。１対の装着孔２０，２０の両方にシャフト部４０が挿通されると、次いで、筒形ボディ１１の中間部を上側ケース体６１と下側ケース体６２とで上下に挟み、それら上側ケース体６１と下側ケース体６２とを結合してケース部６０内に計測ユニット３０を収容する。以上により、図１に示した流量計１０が完成する。
【００２４】
ここで、１対の装着孔２０，２０が同じ大きさになっている（この場合、シャフト部４０の両端部も同じ大きさとなっている。）と、シャフト部４０を装着孔２０に挿通させることが困難となるという事態が生じ得る。また、シャフト部４０を一方の装着孔２０に挿通させるときに、他方の装着孔２０との間をシールするためのシール部材４５が、枝管１４との衝突や摩擦によって損傷したり環状溝４０Ｍから外れたりして、シャフト部４０と装着孔２０との間のシール性が悪くなるという事態が生じ得る。このような事態を防ぐべく、本実施形態の流量計１０には、以下に説明する構成が備えられている。
【００２５】
即ち、図５（Ａ）に示すように、シャフト部４０は、軸方向の中間部で脚付きヘッド部３１から遠い側が縮径された構造になっていて、脚付きヘッド部３１側から大径部４１、縮径部４２、小径部４３を軸方向に並べて備えている。環状溝４０Ｍは、大径部４１と小径部４３とに形成され、１対のシール部材４５，４５は、大径部４１の環状溝４０Ｍに嵌着される大径シール部材４５Ａと、小径部４３の環状溝４０Ｍに嵌着される小径シール部材４５Ｂと、で構成されている。また、縮径部４２は、小径部４３側へ向かうに従って徐々に縮径されるテーパ状に形成されている。なお、詳細には、縮径部４２は、シャフト貫通孔４０Ａに対して大径部４１側に配置されていて、シャフト部４０の半分以上は小径部４３で構成されている。
【００２６】
図５（Ｂ）に示すように、１対の装着孔２０，２０は、径の大きさが互いに異なる大径孔２１と小径孔２２とで構成されている。そして、計測ユニット３０が筒形ボディ１１に組み付けられた状態では、大径孔２１にシャフト部４０の大径部４１が挿通され、小径孔２２にシャフト部４０の小径部４３が挿通されるようになっている。なお、詳細には、大径孔２１の内径は、大径部４１の外径よりも若干大きくなっていて、大径孔２１と大径部４１との間は、大径シール部材４５Ａによってシールされる。また、小径孔２２の内径は、小径部４３の外径よりも若干大きくなっていて、小径孔２２と小径部４３との間は、小径シール部材４５Ｂによってシールされる。
【００２７】
大径孔２１の内周面のうち筒形ボディ１１の外側（筒内流路１３から遠い側）に臨む部分には、筒形ボディ１１の外側へ向かうに従って拡径される外側拡張部２１Ａが形成されている。また、大径孔２１の内周面のうち筒内流路１３に臨む部分には、筒内流路１３側へ向かうに従って拡径される内側拡張部２１Ｂが形成されている。本実施形態の例では、外側拡張部２１Ａと内側拡張部２１Ｂとは、共に、Ｒ形状に形成されている。なお、上述した大径孔２１の内径は、大径孔２１の最小径を意味するものとする。
【００２８】
小径孔２２の内周面のうち筒内流路１３に臨む部分には、筒内流路１３側へ向かうに従って拡径される内側拡張部２２Ｂが形成されている。本実施形態の例では、内側拡張部２２Ｂは、上述の内側拡張部２１Ｂと同様のＲ形状に形成されている。また、小径孔２２のうち筒形ボディ１１の外側に臨む部分は、ストレート状になっている。なお、上述した小径孔２２の内径は、小径孔２２の最小径を意味するものとする。
【００２９】
このように、本実施形態の流量計１０では、シャフト部４０が大径部４１と小径部４３とを有し、１対の装着孔２０，２０は、大径部４１が挿通される大径孔２１と、大径孔２１より小径で小径部４３が挿通される小径孔２２と、で構成されているので、図６に示すように、小径部４３を先端にしてシャフト部４０を１対の装着孔２０，２０に挿通させることで、シャフト部４０の１対の装着孔２０，２０への挿通が容易になると共に、大径孔２１に小径部４３を挿通させるときに、大径孔２１を構成する枝管１４と小径シール部材４５Ｂとの衝突や摩擦が抑制され、小径シール部材４５Ｂの損傷や脱落が抑えられる。
【００３０】
また、本実施形態では、小径孔２２の内周面のうち筒内流路１３に臨む部分に、筒内流路１３側へ向かうに従って拡径される内側拡張部２２Ｂが形成されているので、大径孔２１を貫通したシャフト部４０の小径部４３を小径孔２２に挿通させるときに、内側拡張部２２Ｂによって小径部４３を小径孔２２内に案内することが可能となる。さらに、本実施形態では、大径孔４１の内周面のうち筒形ボディ１１の外側に臨む部分に、筒形ボディ１１の外側へ向かうに従って拡径される外側拡張部２１Ａが形成されているので、シャフト部４０の小径部４３を大径孔２１に挿通させるときに、外側拡張部２１Ａによって小径部４３を大径孔２１内に案内することが可能となると共に、シャフト部４０の大径部４１を大径孔２１に挿通させるときにも、外側拡張部２１Ａによって大径部４１を大径孔２１内に案内することが可能となる。なお、本実施形態では、大径孔２１の外側拡張部２１Ａが本発明の「大径拡張部」に相当し、小径孔２２の内側拡張部２２Ｂが本発明の「小径拡張部」に相当する。
【００３１】
本実施形態の流量計１０の構成に関する説明は以上である。次に、流量計１０の作用効果について説明する。
【００３２】
本実施形態の流量計１０では、筒形ボディ１１には、径方向で対向する１対の装着孔２０，２０が設けられ、計測ユニット３０のシャフト部４０は、１対の装着孔２０，２０に挿通されるので、筒内流路１３を流れる流体からシャフト部４０が受ける流体圧を１対の装着孔２０，２０の対向方向で相殺させることが可能となり、計測ユニット３０の位置ずれを抑えることが可能となる。
【００３３】
また、シャフト部４０に大径部４１と小径部４３とが形成され、１対の装着孔２０，２０が大径孔２１と小径孔２２とで構成されているので、筒形ボディ１１に計測ユニット３０を組み付ける際には、小径部４３を先端にしてシャフト部４０が１対の装着孔２０，２０に挿入されることで、シャフト部４０の１対の装着孔２０，２０への挿通が容易となる。さらに、大径孔２１を構成する枝管１４と小径シール部材４５Ｂとの衝突や摩擦が抑制され、小径シール部材４５Ｂの損傷や脱落が抑えられる。
【００３４】
しかも、小径孔２２の内周面のうち筒内流路１３に臨む部分には、筒内流路１３側へ向かうに従って拡径される内側拡張部２２Ｂが形成されているので、シャフト部４０の小径部４３を小径孔２２に挿通させるときに、内側拡張部２２Ｂによって小径部４３を小径孔２２内に案内することが可能となる。また、本実施形態では、大径孔２１の内周面のうち筒形ボディ１１の外側に臨む部分に、筒形ボディ１１の外側へ向かうに従って拡径される外側拡張部２１Ａが形成されているので、シャフト部４０の大径部４１と小径部４３を大径孔２１に挿通させる際に、外側拡張部２１Ａによって大径部４１と小径部４３を大径孔２１内に案内することが可能となる。
【００３５】
［他の実施形態］
【００３６】
（１）上記実施形態では、本発明を電磁流量計に適用した例を示したが、例えば、超音波流量計や熱式流量計のように電磁流量計以外の流量計に適用してもよい。
【００３７】
（２）上記実施形態では、大径孔２１の外側拡張部２１Ａと小径孔２２の内側拡張部２２Ｂが共にＲ形状であったが、一方又は両方がテーパ形状であってもよい。即ち、外側拡張部２１Ａが、筒形ボディ１１の外側へ向かうに従って拡径されるテーパ形状であってもよいし、内側拡張部２２Ｂが、筒内流路１３側へ向かうに従って拡径されるテーパ形状であってもよい。
【００３８】
（３）上記実施形態では、シャフト部４０の縮径部４２がテーパ状に形成されていたが、段付き状に形成されていてもよい。なお、上記実施形態の構成によれば、縮径部４２を大径孔２１に挿通させ易くなる。
【００３９】
（４）上記実施形態において、大径孔２１の内周面に外側拡張部２１Ａを備えない構成としてもよい。この場合であっても、小径孔２２の内側拡張部２２Ｂによって、シャフト部４０の小径部４３を小径孔２２に案内することが可能となる。
【００４０】
（５）上記実施形態において、１対の装着孔２０，２０が同径であってもよい。その際、一方の装着孔２０の内周面のうち筒内流路１３に臨む部分に、筒内流路１３側へ向かうに従って拡径される拡張部が形成された構成とすれば、上記実施形態の内側拡張部２２Ｂと同様に、シャフト部４０の先端部を前記一方の装着孔２０に案内して、当該一方の装着孔２０へのシャフト部４０の挿通を容易にすることが可能となる。
【００４１】
（６）上記実施形態では、装着孔２０，２０が筒壁１２から突出した枝管１４，１４によって形成されていたが、例えば、図８に示すように、筒壁１２を肉厚にして、その筒壁１２を貫通する貫通孔１２Ａ，１２Ａによって装着孔２０，２０が形成されてもよい。この場合、筒壁１２は、軸方向全体に亘って肉厚であってもよいし、計測ユニット３０が組み付けられる部分のみが肉厚であってもよい。なお、図８の例では、各貫通孔１２Ａの内径が軸方向全体に亘って一定となっているが、一方の貫通孔１２Ａのうち筒形ボディ１１の外側を向く端部が、筒形ボディ１１の外側へ向かうに従って拡張されてもよいし、他方の貫通孔１２Ａの筒内流路１３側の端部が、筒内流路１３側へ近づくに従って拡張されてもよい。
【００４２】
（７）上記実施形態において、シャフト部４０の両端部が１対の装着孔２０，２０と螺合する構成であってもよい。具体的には、シャフト部４０の両端部の外周面に螺子部が形成されると共に、１対の装着孔２０，２０が螺子孔となっていてもよい。本構成によればシャフト部４０が受ける流体圧によって螺子が緩むことが抑えられ、シャフト部４０の位置ずれを抑えることが可能となる。
【符号の説明】
【００４３】
１０    流量計
１１    筒形ボディ
１３    筒内流路
２０    装着孔
２１    大径孔
２１Ａ    外側拡張部（大径拡張部）
２２    小径孔
２２Ｂ    内側拡張部（小径拡張部）
３０    計測ユニット
４０    シャフト部
４１    大径部
４３    小径部
４５Ａ    大径シール部材
４５Ｂ    小径シール部材
５０    計測部
９０    配管
【図１】
0006622092.tif 000002
【図２】
0006622092.tif 000003
【図３】
0006622092.tif 000004
【図４】
0006622092.tif 000005
【図５】
0006622092.tif 000006
【図６】
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【図７】
0006622092.tif 000008
【図８】
0006622092.tif 000009