(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を支持するための複数の支持部を有し、且つ少なくとも１自由度において軸のまわりに回動可能な第１部材と、該第１部材を前記軸のまわりに回動可能に支持する第２部材をそれぞれが含み、前記対象物を支持する複数の支持機構と、
前記複数の支持機構のそれぞれに含まれる前記第１部材に結合され、前記第１部材の制振を行う制振器と、
を有することを特徴とする支持装置。
【請求項２】
前記対象物の支持により前記複数の支持部での複数の力がつり合うように前記軸のまわりに前記第１部材を回動させることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
【請求項３】
前記制振器は、前記軸を含み且つ重力の方向に沿った平面で区切られて得られる前記支持機構の２つの領域のそれぞれに少なくとも１つずつ結合されていることを特徴とする請求項１または２に記載の支持装置。
【請求項４】
前記２つの領域のそれぞれに少なくとも１つずつ結合されている複数の前記制振器は、前記平面に関して対称に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の支持装置。
【請求項５】
前記２つの領域のそれぞれに少なくとも１つずつ結合されている複数の前記制振器は、前記軸のまわりにそれぞれが生成する複数のモーメントが釣り合うように構成されていることを特徴とする請求項３に記載の支持装置。
【請求項６】
それぞれが前記第１部材と前記第２部材とを含む複数のユニットを支持する第３部材と、
前記第３部材を少なくとも１自由度において軸のまわりに回動可能に支持する第４部材と、を有することを特徴とする請求項１ないし５のうちいずれか１項に記載の支持装置。
【請求項７】
前記制振器は、動吸振器を含むことを特徴とする請求項１ないし６のうちいずれか１項に記載の支持装置。
【請求項８】
前記制振器は、減衰器を含むことを特徴とする請求項１ないし６のうちいずれか１項に記載の支持装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のうちいずれか１項に記載の支持装置と、
前記支持装置により支持された対象物を計測する計測部と、
を含むことを特徴とする計測装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の計測装置を用いて対象物の計測を行う工程と、
前記工程で行われた前記計測に基づいて前記対象物を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持装置、計測装置および物品製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
天文台における望遠鏡等の天文・宇宙観測機器や、フラットパネルディスプレイ用の露光装置等の産業機器等において、レンズまたはミラー等の光学素子またはそれを構成する分割素子を大型化するニーズがある。当該素子は、その径または対角長が、例えば、１ないし数メートルに及ぶ。大型の光学素子は、軽量化のため薄肉化されると、それが支持された場合に、重力などの外力により生じる変形や応力が大きくなる。その結果、光学素子の光学特性（例えば波面収差）の変化が大きくなる。そのため、大型の光学素子を支持する装置は、光学素子の変形や応力が許容条件を満たすように、その支持点の数や配置を設定している。また、光学素子の特性を計測する場合には、それを使用する場合において目標とする特性を得るためにも、その支持状態の再現性、もって光学素子に生じる変形や応力の再現性が高いことが要求される。
【０００３】
特許文献１は、それぞれが回転機構を介して光学素子に対する姿勢を可変とされた複数の支持部により光学素子を支持する支持装置を開示している。当該支持部の姿勢を初期化することにより、変形の低減と支持状態の高い再現性とを得ている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１８１９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の支持装置は、回転機構を含むため、それを含まない固定の支持点による支持の場合と比較すると、剛性が低下しうる。そのため、光学素子等の計測対象物およびその支持部は、計測装置内外からの振動の影響が顕著になりうる。当該振動による計測対象物の（局所的な）振動は、一般に計測精度の低下をもたらす。例えば、光学素子の形状を計測する場合、当該形状を表す情報のうち特定の（比較的高次の）空間周波数成分に、振動による誤差が顕著に生じうる。
【０００６】
本発明は、制振の点で有利な支持装置を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一つの側面は、対象物を支持するための複数の支持部を有し、且つ少なくとも１自由度において軸のまわりに回動可能な第１部材と、該第１部材を前記軸のまわりに回動可能に支持する第２部材をそれぞれが含み、前記対象物を支持する複数の支持機構と、前記複数の支持機構のそれぞれに含まれる前記第１部材に結合され、前記第１部材の制振を行う制振器と、を有することを特徴とする支持装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、例えば、制振の点で有利な支持装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態１に係る支持装置の構成例を示す図
【図２】第２部材の構成例を示す図
【図３】支持装置の構成の具体例を示す図
【図４】制振器の配置例を示す図
【図５】制振器の構成例を示す図
【図６】回動部分の重心を例示する図
【図７】実施形態２に係る支持装置の構成例を示す図
【図８】実施形態３に係る支持装置の構成例を示す図
【図９】実施形態４に係る支持装置の構成例を示す図
【図１０】第２部材の構成例を示す図
【図１１】支持装置の構成の具体例を示す図
【図１２】回転部分の重心を例示する図
【図１３】実施形態５に係る支持装置の構成例を示す図
【図１４】制振器の配置例を示す図
【図１５】実施形態６に係る支持装置の構成例を示す図
【図１６】制振器の配置例を示す図
【図１７】計測装置の構成例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。なお、実施形態を説明するための全図を通して、原則として（断りのない限り）、同一の部材等には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１１】
〔実施形態１〕
図１は、実施形態１に係る支持装置の構成例を示す図である。図１の（ａ）は、支持装置１の上面図である。同図の（ｂ）は、支持装置１の側面図であり、重力方向ＤＧも図示している。同図の（ｃ）は、対象物Ｗを支持している状態での支持装置１の側面図である。支持装置１は、ここでは、搭載基板１０１を介して計測装置Ｍの計測ステージＭＳに搭載されている。搭載基板１０１には、３つの第２部材１０２が設けられている。第２部材１０２は、第１部材１０３を支持している。第２部材１０２は、搭載基板１０１に対して第１部材１０３を少なくとも１自由度において軸のまわりに回動可能に支持している。ここでは、軸ＡＸ１のまわりに第１部材１０３は回動可能である。ここで、第１部材１０３と第２部材１０２とをそれぞれが含む複数（ここでは３つ）の機構を複数の支持機構ともいう。
【００１２】
図２は、第２部材の構成例を示す図である。第２部材１０２は、同図の（ａ）（正面図）および同図の（ｂ）（側面図）に示すように、シャフト１０２１とベアリング１０２２とを含み、それらにより第１部材１０３の回動を可能としうる。ここで、ベアリング１０２２は、ベアリングケース１０２３を介して搭載基板１０１に結合されている。一方、シャフト１０２１は、回転アーム１０２４を介して第１部材１０３に結合されている。これにより、ベアリングの転がり摩擦による極めて低い摩擦力で搭載基板１０１に対する第１部材１０３の回動が可能となっている。または、第２部材１０２は、同図の（ｃ）に示されるような１軸ヒンジ１０２５を含み、それによって、搭載基板１０１に対し１自由度において軸のまわりに回動可能に第１部材１０３を支持してもよい。
【００１３】
第１部材１０３は、２つの支持部１０４ａ、１０４ｂを有している。２つの支持部は、第２部材１０２における軸ＡＸ１を含み且つ重力方向に沿った平面で区切られて得られる第１部材の２つの領域のそれぞれに１つずつ配置されている。これにより、図１の（ｃ）のように対象物Ｗが総計６個の支持部１０４により支持される場合、軸ＡＸ１まわりのモーメントがつり合うように第１部材１０３が回動する（式（１）参照）。これにより、対象物Ｗの３つの自由度、すなわち、重力方向における並進と、重力とは直交し互いに直交する２方向のそれぞれのまわりの回転とを過不足なく拘束することができる。これは、各支持部に作用する力（支持反力）がバランスするように、第２部材１０２を介して、第１部材１０３が回動可能であることによる。ここで、２つの支持部にそれぞれ作用する力ＦａおよびＦｂは、軸ＡＸ１と各支持部との距離ＬａおよびＬｂにより決定されうる。すなわち、支持部と軸との距離により、各支持部に作用する力（支持反力）は、次式（１）から得られる。
Ｆａ・Ｌａ＝Ｆｂ・Ｌｂ      ・・・（１）
【００１４】
ここで、支持部１０４は、対象物Ｗに接触する面として球面を有していてもよい。また、支持部１０４は、対象物Ｗを損傷しないように、樹脂で構成されていてもよい。
【００１５】
図３は、支持装置の構成の具体例を示す図である。図３に示されるように、第１部材１０３（被回動部材）の重心ＣＧ１は、重力方向ＤＧにおいて軸ＡＸ１より下方にあるのが好ましい。これにより、第１部材１０３により対象物Ｗが支持されていない状態でも、第１部材１０３の姿勢（軸ＡＸ１のまわりの回動角度）を安定させることができる。その結果、対象物を支持する第１部材１０３の動作の再現性、すなわち対象物の支持状態の再現性、もって対象物（光学素子等）に生じる変形や応力の再現性の点で有利となる。そこで、第２部材１０２の軸ＡＸ１に対して回動する部分、すなわち第１部材１０３を含む部分の重心を重力方向において軸ＡＸ１より下方に配置している。ここでは、第１部材１０３は、懸垂部１０７によって第２部材１０２から吊り下げられている。そして、支持部１０４は、対象物Ｗが懸垂部１０７と接触しないよう、重力方向において支持部材１０３から十分な距離をもって上方に配置されている。回動する部分の重心ＣＧ１は、重力方向において軸ＡＸ１より下方に配置されている。これにより、支持装置が対象物を支持していない状態でも、回動する部分の姿勢が安定し、もって支持装置が対象物を支持した状態での該対象物の変形または応力の再現性を改善することができる。
【００１６】
第１部材１０３には、制振器として、２つのマスダンパ１０５（動吸振器）が連結されている。図１では、各マスダンパは、質量部材（マス）１０５（１０５ａ、１０５ｂ）と、ばね１０６（１０６ａ、１０６ｂ）とからなっている。この構成は、軸ＡＸ１のまわりにおける第１部材１０３全体の回動（回転）に係る制振、または第１部材１０３の重心の両側における局所的な部分の重力方向に平行な方向における並進に係る制振に有利である。または、図４の（ａ）に示すように、第１部材１０３の上方にマスダンパ（１０５ｃ、１０６ｃ）が連結されていてもよい。または、正面図（図４の（ｂ））および上面図（図４の（ｃ））に示すように、環状のマスダンパ（１０５ｄ、１０６ｄ）が第１部材１０３に連結されていてもよい。ここで、図４は、制振器の配置例を示す図である。図４における構成は、重力方向に平行な方向における第１部材１０３全体の制振に有利である。
【００１７】
ここで、減衰のない非減衰動吸振器について説明する。第１部材１０３の質量をｍ、第２部材１０２のばね定数をｋ１、質量部材１０５の質量をｍｄ、ばね１０６のばね定数をｋ２とする。すると、第１部材１０３とそれを支持するばねとからなる固有角振動数ωｎ、動吸振器の固有角振動数ωｄは、それぞれ式（２）および式（３）で表わされる。
【００１８】
【数１】
0006622493.tif 000002
【００１９】
【数２】
0006622493.tif 000003
【００２０】
第１部材１０３に対して計測装置Ｍの計測ステージＭＳから角振動数ωの外力（加振力）Ｐｓｉｎωｔが作用する場合の運動方程式は式（４）および式（５）で表わされる。
【００２１】
【数３】
0006622493.tif 000004
【００２２】
【数４】
0006622493.tif 000005
【００２３】
ただし、ｘ１は第１部材１０３の変位、ｘ２は質量部材１０５の変位である。第１部材１０３の静的変位をｘｓｔとおくと、加振力による強制振動の振幅は式（６）ないし式（８）で表わされる。
【００２４】
【数５】
0006622493.tif 000006
【００２５】
【数６】
0006622493.tif 000007
【００２６】
【数７】
0006622493.tif 000008
【００２７】
式（６）より、ωｄ＝ωのとき第１部材１０３の変位は０になる。ここで、第１部材とそのばねからなる系の固有角振動数ωｎと動吸振器の固有角振動数ωｄとをωｎ＝ωｄとなるようにすれば、式（２）および式（３）より式（９）を得る。さらに、式（６）および式（８）より式（１０）を得る。
ｋ２／ｋ１＝ｍｄ／ｍ      ・・・（９）
【００２８】
【数８】
0006622493.tif 000009
【００２９】
すなわち、ωｄ＝ωのとき｜ｘ１／ｘｓｔ｜＝０となり、第１部材は静止することになる。よって、質量部材１０５（１０５ａ、１０５ｂ）の質量ｍｄおよびばね定数ｋ２は、式（９）を満たすようにする。また、軸ＡＸ１のまわりのモーメントは、式（１１）のように表わされる。
Ｆａ・Ｌａ＋ｍｄａ・ｇ・ｌａ＝Ｆｂ・Ｌｂ＋ｍｄｂ・ｇ・ｌｂ      ・・・（１１）
【００３０】
ここで、ｇは重力定数（重力加速度）である。２つの質量部材は、最も単純な場合として、等質量（ｍｄａ＝ｍｄｂ）であり、かつ軸ＡＸ１からの水平方向における距離が互いに等しければ、式（１１）の条件を満たす。この条件は、軸ＡＸ１を含み且つ重力の方向に沿った平面に関してマスダンパの配置が対称であり、対象物Ｗが支持された場合のモーメントの釣り合いをマスダンパの生成するモーメントが変化させないことである。
【００３１】
ここで、図５は、制振器の構成例を示す図である。質量部材１０５１は、同図の（ａ）に示すように、所定のばね定数を有する板ばね１０６１によって第１部材に連結されていてもよい。または、同図の（ｂ）および（ｃ）に示すように、所定のばね定数を有する平行板ばね１０６２によって連結されていてもよい。または、同図の（ｄ）に示すように、質量部材１０５３がコイルばね１０６３により連結されていてもよい。
【００３２】
ここで、動吸収器を連結することにより、第１部材１０３を含む支持装置１の安定性を低下させることは、計測装置Ｍの計測精度を損ないうるため、避ける必要がある。そのため、支持部材１０３を含む回動する部分の重心が軸ＡＸ１に対して上方に移動しなければよい。ここで、図６は、回動部分の重心を例示する図である。図６を参照するに、動吸振器１０５４、１０６４は、第１部材１０３に連結されて回動する部分の重心をＣＧ１’に移動させている。ここで、重心ＣＧ１’は元の重心ＣＧ１より下方にあるため、支持装置の安定性（計測装置の精度）に寄与することになる。
【００３３】
なお、各支持部１０４と軸ＡＸ１との距離を異ならせることによって、各支持部における対象物Ｗへの反力の比を変化させることができる。例えば、支持部１０４ａとＡＸ１との距離と、支持部１０４ｂとＡＸ１との距離との比が２対１である場合、対象物が回転しない場合の反力の比は１対２である。この場合にも、動吸振器は、第１部材１０３におけるモーメントの釣り合いを変化させないように構成されればよい。
【００３４】
以上説明したように、本実施形態に係る支持装置によれば、対象物の支持状態の再現性をことなく、対象物を制振して支持することができる。
【００３５】
〔実施形態２〕
図７は、実施形態２に係る支持装置の構成例を示す図である。実施形態２は、制振器として、減衰器を採用している。同図の（ａ）は、支持装置２の上面図である。同図の（ｂ）は、支持装置２の側面図であり、重力の方向ＤＧも示している。同図の（ｃ）は、対象物Ｗを支持している状態での支持装置２の側面図である。
【００３６】
支持装置２は、減衰器として、２つのオイルダンパ（流体ダンパ）２０７ａ、２０７ｂを有し、各オイルダンパの両端は第１部材２０３と搭載基板２０１とにそれぞれ連結されている。オイルダンパは、ここでは、ピストン・シリンダ方式のものであり、ピストンの移動によるピストン前後のオイル圧力の差がピストンに対する抵抗力（流体抵抗）として作用し、第１部材２０３の振動の振動に対する減衰力となる。この抵抗力は、減衰器の構成にもよるが、速度ｖのべき（累乗）に比例するのが一般的である。ここでは、オイルダンパ２０７、いずれも同程度の減衰力を発生するものとしており、図７に示すように、軸ＡＸ１を含み且つ重力の方向に沿った平面に関して対称となるように配置されている。よって、第１部材２０３におけるモーメントの釣り合いが影響を受けないため、オイルダンパが連結されていても、対象物の支持状態の再現性に与える影響を許容範囲内にしうる。なお、本実施形態における減衰器は、実施形態１における支持装置において動吸振器とともに並列に設けてもよい。
【００３７】
以上説明したように、本実施形態に係る支持装置によれば、対象物の支持状態の再現性を損なうことなく、対象物を制振して支持することができる。
【００３８】
〔実施形態３〕
図８は、実施形態３に係る支持装置の構成例を示す図である。実施形態３は、制振器として減衰器を採用した別の例である。同図の（ａ）は、支持装置３の上面図である。同図の（ｂ）は、支持装置３の側面図であり、重力の方向ＤＧも示している。同図の（ｃ）は、対象物Ｗを支持している状態での支持装置３の側面図である。
【００３９】
支持装置３は、減衰器として、２つの磁気ダンパ３０８ａ、３０８ｂを有している。磁気ダンパ３０８は、磁石部３０８１と導体部３０８２とを含み、磁石部と導体部とが相対的に運動する場合に、その相対速度に比例した渦電流が導体部に生じる。この渦電流により導体部に働くローレンツ力と、当該ローレンツ力に対する磁石部に働く反作用力とが抵抗力となり、両者の相対運動を妨げる。なお、磁石部３０８１と導体部３０８２とは、搭載基板１０１と第１部材１０３とにそれぞれ配置されていてもよい。
【００４０】
ここでは、磁気ダンパ３０８はいずれも同程度の減衰力を発生するものとし、図８に示すように、軸ＡＸ１を含み且つ重力の方向に沿った平面に関して対称となるように配置されている。よって、第１部材１０３におけるモーメントの釣り合いが影響を受けないため、磁気ダンパが配置されていても、対象物の支持状態の再現性に与える影響を許容範囲内にしうる。なお、本実施形態における減衰器は、実施形態１における支持装置において動吸振器とともに並列に設けてもよい。
【００４１】
以上説明したように、本実施形態に係る支持装置によれば、対象物の支持状態の再現性を損なうことなく、対象物を制振して支持することができる。
【００４２】
〔実施形態４〕
図９は、実施形態４に係る支持装置の構成例を示す図である。実施形態１との相違点は、支持部の数が６から９に変更されている点である。同図の（ａ）は、支持装置４の上面図である。同図の（ｂ）は、支持装置４の側面図であり、重力の方向ＤＧも示されている。同図の（ｃ）は、対象物Ｗが支持されている状態での支持装置４の側面図である。支持装置４は、ここでは、搭載基板１０１を介して計測装置Ｍの計測ステージＭＳに搭載されている。搭載基板１０１には、３つの第２部材４０２が設けられている。第２部材４０２は、第１部材４０３を支持している。第２部材４０２は、搭載基板１０１に対して第１部材４０３を二自由度において軸のまわりに回動可能に支持している。ここでは、軸ＡＸ４１および軸ＡＸ４２のまわりに第１部材４０３は回動可能である。
【００４３】
図１０は、第２部材の構成例を示す図である。第２部材４０２は、同図の（ａ）（正面図）および（ｂ）（側面図）に示すように、シャフト４０２１とベアリング４０２２とを含み、それらにより第１部材４０３の回動を可能としうる。ここで、ベアリング４０２２ａおよび４０２２ｂは、それぞれベアリングケース４０２３ａおよび４０２３ｂを介して搭載基板１０１に結合されている。一方、ベアリング４０２２ｃおよび４０２２ｄは、それぞれベアリングケース４０２３ｃおよび４０２３ｄを介して第１部材４０３に結合されている。さらに、ベアリング４０２２ａおよび４０２２ｂには、第１部材４０３に結合されたシャフト４０２１ａが、ベアリング４０２２ｃおよび４０２２ｄには、搭載基板１０１に結合されたシャフト４０２１ｂがそれぞれ嵌合している。これにより、ベアリングの転がり摩擦によるきわめて低い摩擦力で搭載基板１０１に対する第１部材４０３の回動が可能となっている。シャフト４０２１ａおよびシャフト４０２１ｂは、図１０の（ｃ）に示すように、一体で構成されていてもよいし、同図の（ｄ）に示すように、中心部材４０２４により結合されて構成されていてもよい。
【００４４】
または、第２部材４０２は、正面図である図１０の（ｅ）および側面図である同図の（ｆ）に示すように、２軸ヒンジ４０２５を含み、それによって搭載基板１０１に対して２自由度において回動可能に第１部材４０３を支持してもよい。または、同図の（ｇ）に示すように、第２部材４０２は、ユニバーサルジョイント４０２７を含み、それによって搭載基板１０１に対して２自由度において回動可能に第１部材４０３を支持してもよい。ここで、回動の軸は、物理的な軸および仮想的な軸のいずれであってもよい。
【００４５】
各第１部材４０３は、３つの支持部４０４ａ、４０４ｂおよび４０４ｃを有している。当該支持部は、軸ＡＸ４１を含み且つ重力の方向に沿った平面で区切られて得られる２つの領域のそれぞれに少なくとも１つ配置されている。また、もう一方の軸ＡＸ４２を含み且つ重力の方向に沿った平面で区切られて得られる２つの領域のそれぞれに少なくとも１つ配置されている。これにより、図９の（ｃ）に示すように、対象物Ｗが総計９個の支持部４０４により支持される場合、軸ＡＸ４１および軸ＡＸ４２それぞれのまわりのモーメントが釣り合うように第１部材４０３が回動する（式（１２）および式（１３）参照）。これにより、対象物Ｗの３自由度、すなわち重力方向における並進と、重力とは直交し且つ互いに直交した２方向のそれぞれのまわりの回動とを過不足なく拘束することができる。これは、各支持部に作用する力（支持反力）がバランスするように、第２部材４０２を介して、第１部材４０３が回動可能であることによる。
【００４６】
このとき、３つの支持部（４０４ａ、４０４ｂ、４０４ｃ）にそれぞれ作用する力Ｆａ、ＦｂおよびＦｃは、各軸と各支持部との距離により決定されうる。すなわち、支持部と軸との距離により、各支持部に作用する力（支持反力）は、式（１２）および式（１３）から得られる。
Ｆｂ・Ｌｂ１＝Ｆｃ・Ｌｃ１              ・・・（１２）
Ｆａ・Ｌａ２＝Ｆｂ・Ｌｂ２＋Ｆｃ・Ｌｃ２      ・・・（１３）
【００４７】
ここで、支持部４０４は、対象物Ｗに接触する面として球面を有していてもよい。また、支持部４０４は、対象物Ｗを損傷しないように、樹脂で構成されていてもよい。図１１は、支持装置の構成の具体例を示す図である。同図に示すように、支持部材４０３の重心ＣＧ４は、軸ＡＸ４１および軸ＡＸ４２より下方にあるのが好ましい。第１部材４０３に対象物が支持されていない状態において、軸ＡＸ４１および軸ＡＸ４２に関して支持部材４０３の姿勢が安定するからである。当該姿勢が安定すれば、支持装置が対象物を支持した状態での該対象物の変形または応力の再現性の点で有利となりうる。そこで、第２部材４０２の軸ＡＸ４１および軸ＡＸ４２に対して回動する部分、すなわち第１部材４０３を含む部分の重心を重力方向において軸ＡＸ４１および軸ＡＸ４２より下方に配置している。ここでは、支持部材４０３は、懸垂部４０７によって第２部材４０２から吊下げられている。支持部４０４は、対象物Ｗが懸垂部４０７と接触しないよう、重力方向において支持部材４０３から十分な距離をもって上方に配置されている。回動する部分の重心ＣＧ４は、重力方向において軸ＡＸ４１および軸ＡＸ４２より下方に配置されている。これにより、支持装置が支持対象物を支持していない状態でも、回動する部分の姿勢が安定し、もって支持装置が対象物を支持した状態での該対象物の変形または応力の再現性を改善することができる。
【００４８】
第１部材４０３には、制振器として、３つのマスダンパ（動吸振器）が連結されている。各マスダンパは、質量部材４０５（４０５ａ、４０５ｂ、４０５ｃ）と、ばね４０６（４０６ａ、４０６ｂ、４０６ｃ）とからなっている。各マスダンパは、式（２）ないし式（１０）で示した関係式を満たすように構成することができる。また、マスダンパを構成するばね４０６は、実施形態１の場合と同様、板ばねまたはコイルばねによって構成しうる。
【００４９】
ここで、動吸振器を連結することにより、第１部材４０３を含む支持装置４の安定性を低下させることは、計測装置Ｍの計測精度を損ないうるため、避ける必要がある。そのため、軸ＡＸ４１および軸ＡＸ４２に対して第１部材４０３を含む回転部分の重心が上方に移動しなければよい。ここで、図１２は、回転部分の重心を例示する図である。図１２を参照するに、動吸振器１０５４は、第１部材４０３に連結されて回動部分の重心をＣＧ４’に移動させている。ここで、重心ＣＧ４’は元の重心ＣＧ４より下方にあるため、支持装置の安定性（計測装置の精度）の改善に寄与することになる。なお、本実施形態における以上の説明では、制振器としてマスダンパ（動吸振器）を用いる例を示したが、マスダンパに替えて、実施形態２で示したようなオイルダンパまたは実施形態３で示したような磁気ダンパ等の他の制振器を採用してもよい。
【００５０】
以上説明したように、本実施形態に係る支持装置によれば、対象物の支持状態の再現性を損なうことなく、対象物を制振して支持することができる。
【００５１】
〔実施形態５〕
図１３は、実施形態５に係る支持装置の構成例を示す図である。実施形態１との相違点は、支持部の数が６から１２に変更されている点である。同図の（ａ）は、支持装置５の上面図である。同図の（ｂ）は、支持装置５の側面図であり、重力の方向ＤＧも示している。同図の（ｃ）は、対象物Ｗを支持している状態での支持装置５の側面図である。支持装置５は、ここでは、搭載基板１０１を介して計測装置Ｍの計測ステージＭＳに搭載されている。搭載基板１０１には、３つの第２部材５１２（第４部材ともいう）が設けられている。第２部材５１２は、部材５１３（第３部材ともいう）を含んで構成されている。部材５１３は、搭載基板５０１に対して１自由度において軸ＡＸ５のまわりに回動可能である。第２部材５１２は、実施形態１と同様に、ベアリングを含んで構成されていてもよいし、板ばねを含むヒンジ機構で構成されていてもよい。または、摺動可能な嵌合部で構成されていてもよい。
【００５２】
部材５１３は、２つの部材５０２ａ、５０２ｂ（（狭義の）第２部材ともいう）を含んで構成されている。当該２つの部材は、第２部材５１２の軸ＡＸ５を含み且つ重力の方向に沿った平面で区切られて得られる２つの領域のそれぞれに１つずつ配置されている。部材５０２ａおよび５０２ｂは、第１部材５０３ａおよび５０３ｂを部材５１３に対してそれぞれ１自由度において回動可能に支持している。すなわち、部材５０２ａの軸ＡＸ５ａおよび部材５０２ｂの軸ＡＸ５ｂのまわりに第１部材５０３ａおよび第１部材５０３ｂはそれぞれ回動可能である。第１部材５０３は、２つの支持部５０４を有している。これにより、対象物Ｗは、１２個の支持部により支持されることになる。支持部、第１部材および第２部材の構成は、実施形態１ないし４において示した支持部、第１部材および第２部材の構成を適宜採用することができる。ここで、部材５１３（第３部材）は、それぞれが第１部材５０３と（狭義の）第２部材５０２とを含む複数のユニットを支持している。また、（広義の第２部材における）第４部材５１２は、第３部材５１３を少なくとも１自由度において軸のまわりに回動可能に支持している。
【００５３】
各第１部材５０３には、２つのマスダンパ（質量部材５０５、ばね５０６）が結合されている。各マスダンパは、式（２）ないし式（１０）で示した関係式を満たすように構成することができる。また、ばね５０６は、実施形態１に示したような板ばねまたはコイルばねを採用しうる。
【００５４】
ここで、動吸振器を連結することにより、第１部材５０３を含む支持装置５の安定性を低下させることは、計測装置Ｍの計測精度を損ないうるため、避ける必要がある。そのため、軸ＡＸ５ａおよび軸ＡＸ５ｂに対して第１部材５０３を含む回動部分の重心が上方に移動しなければよい。動吸振器は、第１部材５０３に連結されて回動部分の重心を下方に移動させるため、支持装置の安定性（計測装置の精度）の改善に寄与することになる。または、図１４に示すように、マスダンパが部材５１３に代替的にまたは追加的に連結されていてもよい。ここで、図１４は、制振器の配置例を示す図である。この場合も、支持装置の安定性を低下させないよう、第２部材５１２の軸ＡＸ５に対して回動部分の重心が上方に存在しないようにマスダンパ（制振器）を連結すればよい。
【００５５】
なお、本実施形態における以上の説明では、制振器としてマスダンパ（動吸振器）を用いる例を示したが、マスダンパに替えて、実施形態２で示したようなオイルダンパまたは実施形態３で示したような磁気ダンパ等の他の制振器を採用してもよい。
【００５６】
以上説明したように、本実施形態に係る支持装置によれば、対象物の支持状態の再現性を損なうことなく、対象物を制振して支持することができる。
【００５７】
〔実施形態６〕
図１５は、実施形態６に係る支持装置の構成例を示す図である。実施形態５との相違点は、支持部の数が１２から２７に変更されている点である。同図の（ａ）は、支持装置６の上面図である。同図の（ｂ）は、支持装置６の側面図であり、重力の方向ＤＧも示している。同図の（ｃ）は、対象物Ｗを支持している状態での支持装置６の側面図である。
【００５８】
支持装置６は、ここでは、搭載基板１０１を介して計測装置Ｍの計測ステージＭＳに搭載されている。搭載基板１０１は、３つの第２部材６１２が設けられている。第２部材６１２は、３つの部材６１３を含んで構成されている。部材６１３は、搭載基板６０１に対して２自由度において回動可能である。すなわち、回転中心ＣＲ６を通る軸ＡＸ６１および軸ＡＸ６２それぞれのまわりに部材６１３は回動可能である。第２部材６１２は、実施形態１と同様に、ベアリングを含んで構成されていてもよいし、板ばねを含むヒンジ機構で構成されていてもよい。または、摺動可能な嵌合部で構成されていてもよい。ここで、本実施形態では、簡単のため、回転中心ＣＲ６を例示したが、これは、少なくとも２自由度における回動が可能に第１部材を支持する第２部材の一例を示すためのものに過ぎず、第２部材の構成を限定するものではない。
【００５９】
部材６１３は、３つの部材６０２ａ、６０２ｂおよび６０２ｃを含んで構成されている。当該３つの部材は、第２部材６１２の軸ＡＸ６１を含み且つ重力の方向に沿った平面で区切られて得られる２つの領域のそれぞれに少なくとも１つ配置されている。また、もう一方の軸ＡＸ６２を含み且つ重力の方向に沿った平面で区切られて得られる２つの領域のそれぞれに少なくとも１つ配置されている。各部材６０２は、２自由度において回動可能に、部材６１３に対して、対応する第１部材６０３を支持している。各第１部材６０３は、３つの支持部６０４を有している。当該３つの支持部は、部材６０２の一方の軸ＡＸ６を含み且つ重力の方向に沿った平面で区切られて得られる２つの領域のそれぞれに少なくとも１つ配置されている。また、他方の軸ＡＸ６を含み且つ重力の方向に沿った平面で区切られて得られる２つの領域のそれぞれに少なくとも１つ配置されている。これにより、図１５の（ｃ）に示すように、対象物Ｗが総計２７個の支持部６０４により支持される。この場合、第２部材６１２の軸ＡＸ６１および軸ＡＸ６２ならびに部材６０２の２つの軸（例えばＡＸ６ａ１、ＡＸ６ａ２）それぞれのまわりのモーメントが釣り合うように第１部材６０３が回動する。これにより、対象物Ｗの３自由度、すなわち重力方向における並進と、重力とは直交し且つ互いに直交する２方向のそれぞれのまわりの回転とを過不足なく拘束することができる。これは、各支持部に作用する力（支持反力）がバランスするように、第２部材６１２を介して、第１部材６０３が回動可能であることによる。なお、支持部、第１部材および第２部材の構成は、実施形態１ないし５において示した支持部、第１部材および第２部材の構成を適宜採用することができる。
【００６０】
各第１部材６０３には、３つのマスダンパ（質量部材６０５、ばね６０６）が結合されている。各マスダンパは、式（２）ないし式（１０）で示した関係式を満たすように構成することができる。また、ばね６０６は、実施形態１に示したような板ばねまたはコイルばねを採用しうる。
【００６１】
ここで、動吸振器を連結することにより、第１部材６０３を含む支持装置６の安定性を低下させることは、計測装置Ｍの計測精度を損ないうるため、避ける必要がある。そのため、軸（例えばＡＸ６ａ１および軸ＡＸ６ａ２）に対して第１部材６０３を含む回動部分の重心が上方に移動しなければよい。動吸振器は、第１部材６０３に連結されて回動部分の重心を下方に移動させるため、支持装置の安定性（計測装置の精度）の改善に寄与することになる。または、図１６に示すように、マスダンパが部材６１３に代替的にまたは追加的に連結されていてもよい。ここで、図１６は、制振器の配置例を示す図である。この場合も、支持装置の安定性を低下させないよう、第２部材６１２の軸ＡＸ６１および軸ＡＸ６２に対して回動部分の重心が上方に存在しないようにマスダンパ（制振器）を連結すればよい。
【００６２】
なお、本実施形態における以上の説明では、制振器としてマスダンパ（動吸振器）を用いる例を示したが、マスダンパに替えて、実施形態２で示したようなオイルダンパまたは実施形態３で示したような磁気ダンパ等の他の制振器を採用してもよい。
【００６３】
以上説明したように、本実施形態に係る支持装置によれば、対象物の支持状態の再現性を損なうことなく、対象物を制振して支持することができる。
【００６４】
〔計測装置に係る実施形態〕
図１７は、上述の支持装置を含む計測装置の構成を示す図である。計測装置Ｍは、例えば実施形態１に係る支持装置１を計測ステージＭＳ上に保持していて、対象物Ｗを支持装置１上に支持することができる。また、計測ステージＭＳ上には実施形態２ないし６に係る支持装置２ないし６のいずれかが保持されていてもよい。この計測装置Ｍにおいて、支持装置によって支持された対象物Ｗを計測ヘッドＭＨ（計測部）によって計測することにより、対象物Ｗの支持状態の再現性を損なうことなく、対象物を制振して計測することができる。よって、計測精度の点で有利な計測装置を提供することができる。なお、計測ヘッドＭＨには、干渉計の方式やプローブの接触式・非接触式の別等を問わず、種々の計測器を用いうる。
【００６５】
〔物品製造方法に係る実施形態〕
本実施形態における物品の製造方法は、例えば、光学素子等の種々の素子または部品等の物品の製造に用いられうる。本実施形態の物品の製造方法は、上記の計測装置を用いて対象物Ｗの形状あるいは特性（光学特性等）の計測を行う工程と、かかる工程における計測（結果）に基づいて対象物を処理する工程とを含む。例えば、計測装置を用いて対象物の形状を計測し、その計測結果に基づいて、対象物の形状が設計値（許容範囲内）になるように当該対象物を処理（加工または製造）する。本実施形態の物品の製造方法は、計測装置により高精度に対象物を計測できるため、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストのうちの少なくとも１つにおいて有利である。
【００６６】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【符号の説明】
【００６７】
１  支持装置
１０３  第１部材
１０４  （複数の）支持部
１０５  （制振器を構成する）質量部材
１０６  （制振器を構成する）ばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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