(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体の一端側から他端側に向けて押圧手段で接着シートを押圧し、当該接着シートを前記被着体に貼付するシート貼付装置に用いられる支持装置であって、
接着剤層が積層された積層面が前記被着体の被着面よりも大きな形状に設定された前記接着シートの外縁部を支持するシート支持手段と、
前記接着剤層との間に所定の間隔をあけて前記被着面を対向配置させて前記被着体を支持する被着体支持手段とを備え、
対向配置された前記被着体の外縁よりも外側であって、前記接着シートの外縁よりも内側の前記接着剤層および積層面の少なくとも一方に当接し、前記接着シートにおける前記被着面に対向する対向領域に当該被着面と平行な方向の張力を付与し、前記押圧手段で押圧する前の接着剤層が前記被着面に当接することを防止する先付き防止手段を有することを特徴とする支持装置。
【請求項２】
前記先付き防止手段は、前記押圧手段の押圧力によって変位可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
【請求項３】
前記押圧手段の押圧力によって変位した先付き防止手段の変位を維持する変位維持手段を有することを特徴とする請求項２に記載の支持装置。
【請求項４】
前記被着体支持手段は、前記先付き防止手段で支持された接着シートの接着剤層に前記被着体の被着面を離間接近可能な被着体移動手段を有することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の支持装置。
【請求項５】
被着体の一端側から他端側に向けて押圧手段で接着シートを押圧し、当該接着シートを前記被着体に貼付するシート貼付方法に用いられる支持方法であって、
接着剤層が積層された積層面が前記被着体の被着面よりも大きな形状に設定された前記接着シートの外縁部を支持するシート支持工程と、
前記接着剤層との間に所定の間隔をあけて前記被着面を対向配置させて前記被着体を支持する被着体支持工程とを有し、
対向配置された前記被着体の外縁よりも外側であって、前記接着シートの外縁よりも内側の前記接着剤層および積層面の少なくとも一方に当接し、前記接着シートにおける前記被着面に対向する対向領域に当該被着面と平行な方向の張力を付与し、前記押圧手段で押圧する前の接着剤層が前記被着面に当接することを防止する先付き防止工程を含むことを特徴とする支持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持装置および支持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、接着テープを支持したトレーテーブルの一端側を揺動中心とし、他端側を揺動させて半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）に接着テープを貼付するテープ貼付装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−７８３６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のテープ貼付装置に用いられる支持装置では、トレーテーブルで支持した接着テープが弛むと（弛んでいると）、ゴムロールで押圧する前の接着テープがウエハに当接する所謂先付きを発生するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、先付きを防止して被着体に接着シートを貼付することができる支持装置および支持方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するために、本発明は、被着体の一端側から他端側に向けて押圧手段で接着シートを押圧し、当該接着シートを前記被着体に貼付するシート貼付装置に用いられる支持装置であって、接着剤層が積層された積層面が前記被着体の被着面よりも大きな形状に設定された前記接着シートの外縁部を支持するシート支持手段と、前記接着剤層との間に所定の間隔をあけて前記被着面を対向配置させて前記被着体を支持する被着体支持手段とを備え、対向配置された前記被着体の外縁よりも外側であって、前記接着シートの外縁よりも内側の前記接着剤層および積層面の少なくとも一方に当接し、前記接着シートにおける前記被着面に対向する対向領域に当該被着面と平行な方向の張力を付与し、前記押圧手段で押圧する前の接着剤層が前記被着面に当接することを防止する先付き防止手段を有することを特徴とする支持装置である。
【０００７】
前記先付き防止手段は、前記押圧手段の押圧力によって変位可能に設けられていることを特徴としてもよい。
【０００８】
前記押圧手段の押圧力によって変位した先付き防止手段の変位を維持する変位維持手段を有することを特徴としてもよい。
【０００９】
前記被着体支持手段は、前記先付き防止手段で支持された接着シートの接着剤層に前記被着体の被着面を離間接近可能な被着体移動手段を有することを特徴としてもよい。
【００１０】
本発明の他の態様は、被着体の一端側から他端側に向けて押圧手段で接着シートを押圧し、当該接着シートを前記被着体に貼付するシート貼付方法に用いられる支持方法であって、接着剤層が積層された積層面が前記被着体の被着面よりも大きな形状に設定された前記接着シートの外縁部を支持するシート支持工程と、前記接着剤層との間に所定の間隔をあけて前記被着面を対向配置させて前記被着体を支持する被着体支持工程とを有し、対向配置された前記被着体の外縁よりも外側であって、前記接着シートの外縁よりも内側の前記接着剤層および積層面の少なくとも一方に当接し、前記接着シートにおける前記被着面に対向する対向領域に当該被着面と平行な方向の張力を付与し、前記押圧手段で押圧する前の接着剤層が前記被着面に当接することを防止する先付き防止工程を含むことを特徴とする支持方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、先付き防止手段（先付き防止工程）で接着シートにおける対向領域に被着面と平行な方向の張力を付与するので、当該対向領域が弛むことがなく、先付きを防止して被着体に接着シートを貼付することができる。
また、先付き防止手段が押圧手段の押圧力によって変位可能とすれば、押圧手段の移動に伴って接着シートを一端側から他端側に向けて徐々に被着体に貼付することができ、先付きをより確実に防止することができる。
さらに、変位維持手段を備えれば、先付き防止手段が変位状態から変位前状態に復帰することで接着シートが被着体から剥離してしまうことを防止することができる。
また、被着体移動手段を備えることで、対向配置させる接着剤層と被着面との所定の間隔を任意の間隔に設定し、先付きを防止しつつ、接着シートに適正な張力を付与して当該接着シートを被着体に貼付することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態に係る支持装置の側面図。
【図２】実施形態に係る支持装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１４】
図１において、支持装置１０Ａは、被着体としてのウエハＷＦの一端側（左側）から他端側（右側）に向けて押圧手段４０で接着シートＡＳを押圧し、当該接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付するシート貼付装置１０に用いられる装置であって、接着剤ＡＤ層が積層された積層面ＡＳ１がウエハＷＦの被着面ＷＦ１よりも大きな形状に設定された接着シートＡＳの外縁部ＡＳ２を支持するシート支持手段２０と、接着剤ＡＤ層との間に所定の間隔をあけて被着面ＷＦ１を対向配置させてウエハＷＦを支持する被着体支持手段３０と、一端側から他端側に向けて接着シートＡＳを押圧し、当該接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付する押圧手段４０と、対向配置されたウエハＷＦの外縁よりも外側であって、接着シートＡＳの外縁よりも内側の接着剤ＡＤ層に当接し、接着シートＡＳにおける被着面ＷＦ１に対向する対向領域ＡＳ３に当該被着面ＷＦ１と平行な方向の張力を付与し、押圧手段４０で押圧する前の接着剤ＡＤ層が当該被着面ＷＦ１に当接することを防止する先付き防止手段５０と、押圧手段４０の押圧力によって変位した先付き防止手段５０の変位を維持する変位維持手段６０とを備えている。なお、本願発明の支持装置１０Ａは、シート支持手段２０と、被着体支持手段３０と、先付き防止手段５０と、変位維持手段６０とで構成される。
【００１５】
シート支持手段２０は、駆動機器としての直動モータ２１と、直動モータ２１の出力軸２１Ａに支持されるとともに、上面に接着シートＡＳが貼付されたリングフレームＲＦを減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持可能な支持面２２Ａを有する支持テーブル２２とを備えている。なお、本実施形態の場合、接着シートＡＳは、積層面ＡＳ１の全面に接着剤ＡＤ層が積層されている。
【００１６】
被着体支持手段３０は、先付き防止手段５０で支持された接着シートＡＳの接着剤ＡＤ層にウエハＷＦの被着面ＷＦ１を離間接近可能な被着体移動手段であって駆動機器としての直動モータ３１と、直動モータ３１の出力軸３１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを保持可能な支持面３２Ａを有する支持テーブル３２とを備えている。
【００１７】
押圧手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、リニアモータ４１のスライダ４１Ａに変位維持手段６０を介して回転可能に支持された押圧ローラ４２とを備えている。
【００１８】
先付き防止手段５０は、駆動機器としての直動モータ５１と、直動モータ５１の出力軸５１Ａに支持されて押圧手段４０の押圧力によって変位可能に設けられるとともに、ウエハＷＦを囲む環状に設けられたシート支持部５２Ａを有する支持部材５２とを備えている。なお、本実施形態の場合、シート支持部５２Ａは、ゴム、樹脂、スポンジ、バネなどの弾性体で構成され、変形することで変位する構成となっている。
【００１９】
変位維持手段６０は、シート支持部５２Ａの平面形状よりも大きな平面形状に設定されるとともに、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段による吸着保持と加圧ポンプやタービン等の図示しない加圧手段による密着解除とが可能に設けられた維持面６１Ａを備えた変位維持板６１と、押圧ローラ４２を回転可能に支持するブラケット６２とを備えている。
【００２０】
次に、本実施形態における支持装置１０Ａの動作について説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート貼付装置１０に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段がウエハＷＦを支持面３２Ａ上に載置すると、被着体支持手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持する。その後、人手または図示しない移送手段が、接着シートＡＳが貼付されたリングフレームＲＦを支持面２２Ａ上に載置すると、シート支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、リングフレームＲＦを吸着保持する。そして、先付き防止手段５０が直動モータ５１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、支持部材５２を上昇させてシート支持部５２Ａで接着シートＡＳを所定量持ち上げる。このとき、先付き防止手段５０は、シート支持部５２Ａの上端部が押圧ローラ４２の最下部よりも３ｍｍ上方に位置するように支持部材５２を上昇させるようになっている。次いで、シート支持手段２０が直動モータ２１を駆動し、図２（Ａ）に示すように、対向領域ＡＳ３に被着面ＷＦ１と平行な方向の張力を付与し、当該対向領域ＡＳ３に弛みが無くなる、または、殆ど無くなるまで支持テーブル２２を下降させる。その後、被着体支持手段３０が直動モータ３１を駆動し、被着面ＷＦ１と接着剤ＡＤ層との間隔が所定の間隔となるまでウエハＷＦを上昇させる。このとき、被着体支持手段３０は、被着面ＷＦ１が押圧ローラ４２の最下部よりも１ｍｍ上方に位置するように支持テーブル３２を上昇させるようになっている。
【００２１】
そして、押圧手段４０がリニアモータ４１を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、押圧ローラ４２を右方に移動させて接着シートＡＳの一端側から他端側に向けて当該接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付し、一体物ＷＫ１を形成する。このとき、シート支持部５２Ａは、押圧ローラ４２によって押圧されて下方に縮むように変位し、変位したシート支持部５２Ａは、変位維持板６１によって押さえ付けられてその変位が維持される。一体物ＷＫ１が形成されると、変位維持手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、接着シートＡＳを吸着保持した後、被着体支持手段３０および先付き防止手段５０が直動モータ３１、５１を駆動し、図２（Ｃ）に示すように、支持テーブル３２および支持部材５２を初期位置に復帰させる。その後、人手または図示しない移送手段が、一体物ＷＫ１の下方から当該一体物ＷＫ１を支持すると、シート支持手段２０および変位維持手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、図示しない加圧手段を駆動し、維持面６１Ａと接着シートＡＳとの密着を解除して当該一体物ＷＫ１を人手または図示しない移送手段に受け渡す。人手または図示しない移送手段が一体物ＷＫ１を受け取ると、当該一体物ＷＫ１を次工程に搬送し、シート支持手段２０および押圧手段４０が直動モータ２１およびリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル２２および押圧ローラ４２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２２】
以上のような本実施形態によれば、先付き防止手段５０で接着シートＡＳにおける対向領域ＡＳ３に被着面ＷＦ１と平行な方向の張力を付与するので、当該対向領域ＡＳ３が弛むことがなく、先付きを防止してウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付することができる。
【００２３】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート支持手段は、接着剤層が積層された積層面が被着体の被着面よりも大きな形状に設定された接着シートの外縁部を支持することが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
【００２４】
シート支持手段２０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等でリングフレームＲＦを支持する構成でもよい。
シート支持手段２０は、リングフレームＲＦを介することなく接着シートＡＳの外縁部ＡＳ２を直接支持する構成でもよい。
シート支持手段２０が備える直動モータ２１は、１体でもよいし２体以上でもよい。
シート支持手段２０は、先付き防止手段５０による支持部材５２の上昇だけで接着シートＡＳにたるみが無くなる、または、たるみが殆ど無くなるように構成すれば、支持テーブル２２を昇降させなくてもよく、この場合、直動モータ２１は、あってもよいし、なくてもよい。なお、このような場合、シート支持部５２Ａの上端部の位置を検知する光学センサや撮像手段等の支持部検知手段を設け、押圧手段４０が当該支持部検知手段の検知結果を基に、シート支持部５２Ａの上端部に対する押圧ローラ４２の最下部の位置が所定の位置となるように移動させてもよい。
【００２５】
被着体支持手段３０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等でウエハＷＦを支持する構成でもよいし、このような強制的にウエハＷＦを支持する構成を採用しなくてもよい。
被着体支持手段３０は、支持テーブル２２、押圧ローラ４２、支持部材５２、変位維持板６１等が移動して前記実施形態と同様の動作が可能であれば、支持テーブル３２を昇降させなくてもよく、この場合、直動モータ３１はあってもよいし、なくてもよい。
被着体支持手段３０は、押圧ローラ４２の最下部に対して支持テーブル３２を上昇させるとき、被着面ＷＦ１が押圧ローラ４２の最下部と同じ高さとなるように位置させてもよいし、１ｍｍに満たない上方に位置させてもよいし、１ｍｍよりも高い上方に位置させてもよい。
被着体支持手段３０は、押圧手段４０によってウエハＷＦに所定の押圧力が付与されるように、支持テーブル３２を昇降させてもよい。
押圧ローラ４２の最下部の位置を検知する光学センサや撮像手段等の押圧ローラ検知手段を設け、被着体支持手段３０が押圧ローラ検知手段の検知結果を基に、押圧ローラ４２の最下部に対する被着面ＷＦ１の位置が所定の位置となるように移動させてもよい。
【００２６】
押圧手段４０は、押圧ローラ４２を適宜な駆動機器で回転させてもよい。
押圧手段４０は、押圧ローラ４２の代わりに、または併用して、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、大気やガス等のエアの噴き付けにより接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する構成を採用してもよい。
押圧手段４０は、弾性変形可能な押圧ローラ４２を採用してもよいし、弾性変形しない押圧ローラ４２を採用してもよい。
押圧手段４０は、接着シートＡＳの一端側から他端側に向けて当該接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧する際、押圧ローラ４２を移動させずに、ウエハＷＦおよび接着シートＡＳを移動させてもよいし、押圧ローラ４２とウエハＷＦおよび接着シートＡＳとの両方を移動させて押圧して貼付してもよい。
押圧手段４０は、押圧ローラ４２が変位維持手段６０を介すことなくリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持されていてもよく、この場合、変位維持手段６０を移動させる適宜な駆動機器を採用するとよい。
ウエハＷＦの一端側および他端側は、例えば当該ウエハＷＦの右側および左側や、前側および後側等どの位置でもよく、押圧手段４０は、当該ウエハＷＦの右側から左側に向けて接着シートＡＳを押圧してもよいし、当該ウエハＷＦの前側から後側に向けて接着シートＡＳを押圧してもよく、どの位置からどの位置に向けて接着シートＡＳを押圧してもよい。
他の装置で接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する場合、本願発明において押圧手段４０は、なくてもよい。
【００２７】
先付き防止手段５０は、変位しなくてもよく、この場合、押圧手段４０が変形する構成を採用すればよい。
先付き防止手段５０は、支持部材５２を樹脂、金属、陶器、ガラス等の変形不能な部材で構成し、押圧手段４０の押圧方向に先付き防止手段５０全体が移動することで変位する構成としてもよい。
先付き防止手段５０は、支持部材５２を複数の樹脂、金属、陶器、ガラス等の変形不能な部材で構成し、各支持部材５２をそれぞれ支持するバネやゴム等の弾性部材や駆動機器を設け、押圧ローラ４２で押圧した領域に対応する弾性部材や駆動機器が支持部材５２を押圧手段４０の押圧方向に移動させることで変位する構成としてもよい。
先付き防止手段５０が備える直動モータ５１は、１体でもよいし２体以上でもよい。
先付き防止手段５０は、押圧ローラ４２の最下部に対して支持部材５２を上昇させるとき、当該押圧ローラ４２の最下部よりも３ｍｍに満たない上方に位置させてもよいし、３ｍｍよりも高い上方に位置させてもよい。
シート支持部５２Ａは、途切れることのない環状でもよいし、断続的な環状でもよいし、例えば、ウエハＷＦの一端側と他端側に位置し、前後方向または左右方向に延びる２体の部材で構成してもよいし、前後方向、左右方向およびその他の方向等に延びる３体以上の部材で構成してもよいし、その平面形状は、円形、楕円形、多角形等どんな形状または、どのような配置のされ方でもよい。
前述の押圧ローラ検知手段を設けた場合、先付き防止手段５０が押圧ローラ検知手段の検知結果を基に、押圧ローラ４２の最下部に対するシート支持部５２Ａの上端部の位置が所定の位置となるように移動させてもよい。
先付き防止手段５０は、支持テーブル２２、支持テーブル３２、押圧ローラ４２、変位維持板６１等が移動して前記実施形態と同様の動作が可能であれば、支持部材５２を昇降させなくてもよく、この場合、直動モータ５１はあってもよいし、なくてもよい。
【００２８】
変位維持手段６０は、図１中二点鎖線に示すように、スライダ４１Ａに支持された図示しないフレームに支持されるとともに、駆動機器としての回動モータ６３Ａによって駆動する駆動プーリ６３と、図示しないフレームに支持された従動プーリ６４と、駆動プーリ６３と従動プーリ６４とに巻回されたベルト６５とを備えた構成としてもよい。この場合、変位維持手段６０が回動モータ６３Ａを駆動し、押圧手段４０の右方への移動の速度に合わせてベルト６５を回行させればよく、接着シートＡＳ上を変位維持手段６０が摺動する場合と異なり、接着シートＡＳに皺や傷が付くことを防止できる。なお、駆動プーリ６３と従動プーリ６４との位置を入れ替えてもよいし、両プーリに駆動をかけなくてもよいし、右側に位置するプーリを省いて押圧ローラ４２にベルト６５を巻回させてもよい。
変位維持板６１は、図１中ＡＡで示す図に示すように、接着シートＡＳと摺動する先端部６１Ｂに、Ｃ面取やＲ面取を施して呼込部６１Ｃを設けたり、同図中ＢＢで示す図に示すように、先端部６１Ｂにローラ６１Ｄを設けたりして、当該先端部６１Ｂに接着シートＡＳが引っ掛かりにくくしてもよい。
変位維持手段６０は、大気やガス等のエアの噴き付けや、複数のローラ等により変位した先付き防止手段５０の変位を維持する構成を採用してもよい。
変位維持手段６０は、減圧手段および加圧手段の少なくとも一方を採用しなくてもよい。
本願発明において変位維持手段６０は、なくてもよい。
【００２９】
支持装置は、天地反転して配置したり横置きにしたりしてもよい。
接着シートＡＳは、積層面ＡＳ１の一部に接着剤ＡＤ層が積層されていてもよく、このような場合、接着剤ＡＤ層の平面形状は、被着面ＷＦ１と同じ形状とされてもよいし、被着面ＷＦ１よりも大きな形状でもよいし、被着面ＷＦ１よりも小さな形状でもよいし、被着面ＷＦ１とは全く関係のない幾何学形状や斑形状等の他の形状でもよい。なお、接着剤ＡＤ層の平面形状が被着面ＷＦ１よりも小さな形状の場合、先付き防止手段５０は、ウエハＷＦの外縁よりも外側であって、接着シートＡＳの外縁よりも内側の積層面ＡＳ１に当接することになる。また、接着剤ＡＤ層の平面形状が幾何学形状や斑形状等の他の形状の場合、先付き防止手段５０は、ウエハＷＦの外縁よりも外側であって、接着シートＡＳの外縁よりも内側の接着剤ＡＤ層および積層面ＡＳ１に当接する場合を含むことになる。
本発明における接着シートＡＳ、リングフレームＲＦ、ウエハＷＦ等の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。感熱接着性のものが採用された場合は、接着シートＡＳを適宜加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設ければよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とからなるもの、それらの間に中間層を有するものや、基材シートの上面にカバー層を有する３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよいし、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板、環状でないフレーム等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３０】
１０Ａ・・・支持装置
２０・・・・シート支持手段
３０・・・・被着体支持手段
３１・・・・直動モータ（被着体移動手段）
４０・・・・押圧手段
５０・・・・先付き防止手段
６０・・・・変位維持手段
ＡＤ・・・・接着剤
ＡＳ・・・・接着シート
ＡＳ１・・・積層面
ＡＳ２・・・外縁部
ＡＳ３・・・対向領域
ＷＦ・・・・ウエハ（被着体）
ＷＦ１・・・被着面
【図１】
0006559032.tif 000002
【図２】
0006559032.tif 000003