【事件の表示】
　特許第３３１１４０７号「基板端縁洗浄装置及び方法」の請求項１ないし９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３１１４０７号の請求項１ないし９に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　 本件特許第３３１１４０７号は、平成５年１月５日に特許出願され、平成１４年５月２４日にその特許の設定登録がなされ、その後、異議申立人永田大樹から特許異議の申立てがされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１５年６月１７日に訂正請求（後日取り下げ）がなされ、再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１５年１１月２８日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否
（１）　訂正の内容
　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の記載である、
「【請求項１】一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、
　該基板保持手段によって保持された基板の端縁に液を吐出するノズルと、
　前記ノズルに、第１のリンス液または第１のリンス液とは異なる第２のリンス液を選択して供給するリンス液供給手段と、
　前記リンス液供給手段と前記ノズルとを接続する配管と、
　前記配管内から前記ノズルに向けて気体を導入する気体導入手段と、
を備えることを特徴とする基板端縁洗浄装置。」を、
「【請求項１】一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、
　該基板保持手段によって保持された基板の端縁に液を吐出するノズルと、
　前記ノズルに、前記薄膜を溶解させるための第１のリンス液および第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を選択して供給するリンス液供給手段と、
　前記リンス液供給手段と前記ノズルとを接続する配管と、
　前記配管内から前記ノズルに向けて気体を導入して前記配管および前記ノズルから残存リンス液をパージする気体導入手段と、
を備えることを特徴とする基板端縁洗浄装置。」
と訂正する。
　訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２の記載である、「【請求項２】一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、
　該基板保持手段によって保持された基板の端縁に第１のリンス液を吐出する第１のノズルと、
　前記基板の端縁に第１のリンス液とは異なる第２のリンス液を吐出する第２のノズルと、
　前記第１のノズルに第１のリンス液を供給する第１のリンス液供給手段と、
　前記第２のノズルに第２のリンス液を供給する第２のリンス液供給手段と、
を備えることを特徴とする基板端縁洗浄装置。」を、
「【請求項２】一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、
　該基板保持手段によって保持された基板の端縁に前記薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出する第１のノズルと、
　前記第１のリンス液が吐出された前記端縁に第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出する第２のノズルと、
　前記第１のノズルに第１のリンス液を供給する第１のリンス液供給手段と、
　前記第２のノズルに第２のリンス液を供給する第２のリンス液供給手段と、
を備えることを特徴とする基板端縁洗浄装置。」
と訂正する。
　正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項８の記載である、「【請求項８】一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、
　前記基板の端縁に第１のノズルから第１のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、
　前記第１のリンス液が吐出された前記端縁に、第２のノズルから前記第１のリンス液とは異なる第２のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、
を備えることを特徴とする基板端縁洗浄方法。」を、
「【請求項８】一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、
　前記基板の端縁に第１のノズルから前記薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、
　前記第１のリンス液が吐出された前記端縁に、第２のノズルから前記第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、
を備えることを特徴とする基板端縁洗浄方法。」
と訂正する。
　訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の請求項９の記載である、「【請求項９】一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、
　前記基板の端縁にノズルから第１のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、
　前記ノズルおよび当該ノズルへの配管に気体を導入する工程と、
　前記第１のリンス液が吐出された前記端縁に、気体導入後の前記ノズルから前記第１のリンス液とは異なる第２のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、
を備えることを特徴とする基板端縁洗浄方法。」を、
「【請求項９】一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、
　前記基板の端縁にノズルから前記薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、
　前記ノズルおよび当該ノズルへの配管に気体を導入して前記配管および前記ノズルから残存リンス液をパージする工程と、
　前記第１のリンス液が吐出された前記端縁に、気体導入後の前記ノズルから前記第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、
を備えることを特徴とする基板端縁洗浄方法。」
と訂正する。
　訂正事項ｅ
　明細書の段落【０００７】〜【０００８】の記載を、
「【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、請求項１の発明は、一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、該基板保持手段によって保持された基板の端縁に液を吐出するノズルと、前記ノズルに、前記薄膜を溶解させるための第１のリンス液および第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を選択して供給するリンス液供給手段と、前記リンス液供給手段と前記ノズルとを接続する配管と、前記配管内から前記ノズルに向けて気体を導入して前記配管および前記ノズルから残存リンス液をパージする気体導入手段と、を備えている。
　また、請求項２の発明は、一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、該基板保持手段によって保持された基板の端縁に前記薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出する第１のノズルと、前記第１のリンス液が吐出された前記端縁に第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出する第２のノズルと、前記第１のノズルに第１のリンス液を供給する第１のリンス液供給手段と、前記第２のノズルに第２のリンス液を供給する第２のリンス液供給手段と、を備えている。
　また、請求項３の発明は、請求項２の発明に係る基板端縁洗浄装置において、前記第１のノズルと前記第２のノズルとを、前記基板の端縁に沿う方向に配置している。
　また、請求項４の発明は、請求項２または請求項３の発明に係る基板端縁洗浄装置において、前記第１のノズルに、複数のノズルからなるノズル群を含ませている。
　また、請求項５の発明は、請求項２から請求項４のいずれかの発明に係る基板端縁洗浄装置において、前記第２のノズルに、複数のノズルからなるノズル群を含ませている。
　また、請求項６の発明は、請求項１の発明に係る基板端縁洗浄装置において、前記ノズルを前記基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段をさらに備えている。
　また、請求項７の発明は、請求項２から請求項５のいずれかの発明に係る基板端縁洗浄装置において、前記第１のノズルおよび前記第２のノズルを前記基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段をさらに備えている。
　また、請求項８の発明は、一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、前記基板の端縁に第１のノズルから前記薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、前記第１のリンス液が吐出された前記端縁に、第２のノズルから前記第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、を備えている。
　また、請求項９の発明は、一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、前記基板の端縁にノズルから前記薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、前記ノズルおよび当該ノズルへの配管に気体を導入して前記配管および前記ノズルから残存リンス液をパージする工程と、前記第１のリンス液が吐出された前記端縁に、気体導入後の前記ノズルから前記第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、を備えている。
　【０００８】
　【作用】
　請求項１の発明では、基板の端縁に液を吐出するノズルに、薄膜を溶解させるための第１のリンス液および第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を選択して供給するリンス液供給手段と、リンス液供給手段とノズルとを接続する配管と、配管内からノズルに向けて気体を導入して該配管およびノズルから残存リンス液をパージする気体導入手段と、を備えているため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項２の発明では、基板の端縁に薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出する第１のノズルと、第１のリンス液が吐出された基板の端縁に第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出する第２のノズルと、第１のノズルに第１のリンス液を供給する第１のリンス液供給手段と、第２のノズルに第２のリンス液を供給する第２のリンス液供給手段と、を備えるため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項３の発明では、第１のノズルと第２のノズルとを基板の端縁に沿う方向に配置しているため、洗浄処理時間を短縮することができる。
　また、請求項４の発明では、第１のノズルが複数のノズルからなるノズル群を含むため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項５の発明では、第２のノズルが複数のノズルからなるノズル群を含むため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項６の発明では、ノズルを基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段を備えているため、簡単な装置構成にて複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項７の発明では、第１のノズルおよび第２のノズルを基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段を備えているため、簡単な装置構成にて複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項８の発明では、基板の端縁に第１のノズルから薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出して端縁を洗浄し、第１のリンス液が吐出された端縁に、第２のノズルから第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出して当該端縁を洗浄するため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項９の発明では、基板の端縁にノズルから薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出して端縁を洗浄し、そのノズルおよびノズルへの配管に気体を導入して該配管およびノズルから残存リンス液をパージし、第１のリンス液が吐出された端縁に、気体導入後のノズルから第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出して当該端縁を洗浄するため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。」
と訂正する。
　訂正事項ｆ
　明細書の段落【００４２】の記載を、「【００４２】
　【発明の効果】
　請求項１の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、該基板保持手段によって保持された基板の端縁に液を吐出するノズルと、該ノズルに、薄膜を溶解させるための第１のリンス液および第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を選択して供給するリンス液供給手段と、リンス液供給手段とノズルとを接続する配管と、該配管内からノズルに向けて気体を導入して該配管およびノズルから残存リンス液をパージする気体導入手段と、を備えているため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項２の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、該基板保持手段によって保持された基板の端縁に薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出する第１のノズルと、第１のリンス液が吐出された基板の端縁に第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出する第２のノズルと、前記第１のノズルに第１のリンス液を供給する第１のリンス液供給手段と、前記第２のノズルに第２のリンス液を供給する第２のリンス液供給手段と、を備えているため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項３の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、第１のノズルと第２のノズルとを、基板の端縁に沿う方向に配置するため、洗浄処理時間を短縮することができる。
　また、請求項４の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、第１のノズルが複数のノズルからなるノズル群を含むため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項５の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、第２のノズルが複数のノズルからなるノズル群を含むため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項６の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、ノズルを基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段を備えているため、簡単な装置構成にて複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項７の発明にかかる基板端緑洗浄装置によれば、第１のノズルおよび第２のノズルを基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段を備えているため、簡単な装置構成にて複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項８の発明にかかる基板端縁洗浄方法によれば、一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、基板の端縁に第１のノズルから薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出して端縁を洗浄する工程と、第１のリンス液が吐出された端縁に、第２のノズルから第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出して当該端縁を洗浄する工程と、を備えているため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項９の発明にかかる基板端縁洗浄方法によれば、一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、基板の端縁にノズルから薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出して端縁を洗浄する工程と、当該ノズルおよびノズルへの配管に気体を導入して該配管およびノズルから残存リンス液をパージする工程と、第１のリンス液が吐出された端縁に、気体導入後のノズルから第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出して当該端縁を洗浄する工程と、を備えているため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。」
と訂正する。
　
（２）　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａについて
　上記訂正事項ａについては、請求項１に記載された「第１のリンス液」及び「第２のリンス液」をそれぞれ下位概念である「薄膜を溶解させるための第１のリンス液」及び「第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液」と訂正するとともに、「気体導入手段」を下位概念である「前記配管内から前記ノズルに向けて気体を導入して前記配管および前記ノズルから残存リンス液をパージする気体導入手段」と訂正するものであるから、特許請求の範囲の減縮にあたる。
　第１および第２のリンス液の訂正については、明細書の【００３２】段落の、「ポリイミド薄膜を溶解させるための溶剤（ＮＭＰ）と、揮発性の高い溶剤（ＭＩＢＫ）とを用意し、第１のリンス液（ＮＭＰ）でポリイミド薄膜を溶解した後、第２のリンス液（ＭＩＢＫ）をその溶解除去した領域に供給して短時間で乾燥する」との記載、明細書の【００２７】段落の、「ＮＭＰは揮発性が比較的低い」との記載及び【００３０】段落の、「ＭＩＢＫは揮発性が比較的高く」との記載に基づいている。
　さらに、残存リンス液のパージについては、明細書の【００１８】段落の、「窒素ガスが第１のリンス液吐出ユニット２４ａに向けて導入され、残存溶剤等のリンス液をパージすることができるようになっている」との記載に基づいている。
　従って、上記訂正事項ａは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　訂正事項ｂについて
　上記訂正事項ｂについては、請求項２に記載された「第１のリンス液」及び「第２のリンス液」をそれぞれ下位概念である「薄膜を溶解させるための第１のリンス液」及び「第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液」と訂正するとともに、第２のリンス液の吐出位置を「第１のリンス液が吐出された端縁」と訂正するものであるから、特許請求の範囲の減縮にあたる。
　第１および第２のリンス液の訂正については、明細書の【００３２】段落の、「ポリイミド薄膜を溶解させるための溶剤（ＮＭＰ）と、揮発性の高い溶剤（ＭＩＢＫ）とを用意し、第１のリンス液（ＮＭＰ）でポリイミド薄膜を溶解した後、第２のリンス液（ＭＩＢＫ）をその溶解除去した領域に供給して短時間で乾燥する」との記載、明細書の【００２７】段落の、「ＮＭＰは揮発性が比較的低い」との記載及び【００３０】段落の、「ＭＩＢＫは揮発性が比較的高く」との記載に基づいている。
　また、第２のリンス液の吐出位置の限定については、明細書の段落【００３２】に「第１のリンス液（ＮＭＰ）でボリイミド薄膜を溶解した後、第２のリンス液（ＭＩＢＫ）をその溶解除去した領域に供給して」との記載に基づいている。
　従って、上記訂正事項ｂは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　訂正事項ｃについて
　上記訂正事項ｃについては、請求項８に記載された「第１のリンス液」及び「第２のリンス液」をそれぞれ下位概念である「薄膜を溶解させるための第１のりンス液」及び「第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液」と訂正するものであるから、特許請求の範囲の減縮にあたる。
　第１および第２のリンス液の訂正については、明細書の【００３２】段落の、「ポリイミド薄膜を溶解させるための溶剤（ＮＭＰ）と、揮発性の高い溶剤（ＭＩＢＫ）とを用意し、第１のリンス液（ＮＭＰ）でポリイミド薄膜を溶解した後、第２のリンス液（ＭＩＢＫ）をその溶解除去した領域に供給して短時間で乾燥する」との記載、明細書の【００２７】段落の、「ＮＭＰは揮発性が比較的低い」との記載及び【００３０】段落の、「ＭＩＢＫは揮発性が比較的高く」との記載に基づいている。
　従って、上記訂正事項ｃは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　訂正事項ｄについて
　上記訂正事項ｄについては、請求項９に記載された「第１のリンス液」及び「第２のリンス液」をそれぞれ下位概念である「薄膜を溶解させるための第１のリンス液」及び「第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液」とするとともに、ノズルおよび配管への気体導入に関し、「ノズルおよび当該ノズルへの配管に気体を導入して前記配管および前記ノズルから残存リンス液をパージする」という限定を加えてた訂正であるから、特許請求の範囲の減縮にあたる。。
　第１および第２のリンス液の訂正については、明細書の【００３２】段落の、「ポリイミド薄膜を溶解させるための溶剤（ＮＭＰ）と、揮発性の高い溶剤（ＭＩＢＫ）とを用意し、第１のリンス液（ＮＭＰ）でポリイミド薄膜を溶解した後、第２のリンス液（ＭＩＢＫ）をその溶解除去した領域に供給して短時間で乾燥する」との記載、明細書の【００２７】段落の、「ＮＭＰは揮発性が比較的低い」との記載及び【００３０】段落の、「ＭＩＢＫは揮発性が比較的高く」との記載に基づいている。
　さらに、残存リンス液のパージについては、明細書の【００１８】段落の、「窒素ガスが第１のリンス液吐出ユニット２４ａに向けて導入され、残存溶剤等のリンス液をパージすることができるようになっている」との記載に基づいている。
　従って、上記訂正事項ｄは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　訂正事項ｅについて
　上記訂正事項ｅについては、特許請求の範囲の請求項の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るために、願書に添付した明細書の【０００７】及び【０００８】段落の対応する記載を訂正したものである。
　従って、訂正事項ｅは、明りょうでない記載の釈明にあたり、また、訂正事項ｅは、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張または変更するものではない。
　訂正事項ｆについて
　上記訂正事項ｆについては、特許請求の範囲の請求項の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るために、願書に添付した明細書の【００４２】段落の対応する記載を訂正したものである。
　従って、訂正事項ｆは、明りょうでない記載の釈明にあたり、また、訂正事項ｆは、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張または変更するものではない。
　
（３）　むすび
　上記訂正事項ａ〜ｆは、上記（２）のとおりであるから、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び同条第２項の規定に適合する。
　従って、当該請求を認める。
　
３．特許異議申立てについての判断
（１）　申立て理由の概要
　異議申立人永田大樹は、請求項１〜９に係る発明は、特許異議申立書記載の理由により、甲第１〜７記載の発明に基いて当業者が容易に発明できたものである。
  よって、本件請求項１〜９に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、本件請求項１〜９に係る特許を取り消すべきであると主張している。
　また、本件請求項２及び８に係る発明は、特許異議申立書に記載された理由により、その出願の日前の他の出願であって、その出願後に出願公開された甲第８号証に係る出願（以下「先願」という。）の願書に最初に添付した明細書（以下「先願明細書」という。）又は図面（以下「先願図面」という。）に記載された発明と同一であるから、本件請求項２及び８に係る特許を取り消すべきであると主張している。
　
（２）本件の請求項１〜９に係る発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１〜９に係る発明は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜９に記載されたとおりのものである。
　
（３）刊行物等
　異議申立人永田大樹が証拠として提示した刊行物には、それぞれ、以下のような発明が記載されている。
　刊行物１：特開昭６３−２２６９２８号公報（甲第１号証）
　甲第１号証の第２頁右上欄第１７行〜左下欄第１１行には、第１図参照を参照すると、ウエハ３に薬液を吐出する薬液吐出用のノズル１が配され、異なる薬液Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを供給する配管にそれぞれバルブ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄが設けられ、その出側で１本にまとめられて前記ノズル１に接続される旨記載されている。
　刊行物２：特開平４−１８３９９９号公報（甲第２号証）
　甲第２号証の第２頁右上欄第４〜７行には、液体の入った容器内に配管を介してガス圧力を与えることにより液体を吐出させる旨記載されている。
　また、甲第２号証の第２頁右上欄第１０〜１４行には、第１図を参照すると、制御部１と液体３が入った容器２を接続する配管チューブ６との間に圧力センサー４を設ける旨記載されている。
　刊行物３；実願昭５８−１８５９４５号（実開昭６０−９４６６１号公報）のマイクロフィルム（甲第３号証）
　甲第３号証の第４頁第１２〜１６行には、第３図を参照すると、ドレインカップ１の中央部に回転軸２が設けられてその先端が基板固定板４となっており、その基板固定板４の中央部上方にはしジスト溶液を滴下するノズル５が設けられる旨記載されている。
　また、甲第３号証の明細書第５頁第１〜４行には、第３図を参照すると、基板３のエッジ部の上方には露光されたエッジ部のレジスト塗膜を現像する現像液用のノズル１２と、現像後にそのエッジ部を水洗するための洗浄水用ノズル１３とが設けられる旨記載されている。
　刊行物４：特開平３−２５６３２１号公報（甲第４号証）
　甲第４号証の第２頁右上欄第第５〜１０行には、第１図を参照すると、レジスト膜形成装置は、周辺のレジストを露光するための光源３と、その光源で露光されたレジスト膜をエッチング除去する現像液を滴下するノズル４を設ける旨記載されている。
　また、甲第４号証の第２頁左下欄第５〜１５行には、第１図を参照すると、レジスト液をウェーハ２上に滴下して、塗布した後に、周辺露光用の光源３でウェーハ２の真上から光を照射してウェーハ２を回転させながら露光し、さらに、現像液用ノズルである第２のノズル４から現像液を滴下させ、これによってレジスト膜の端部が盛り上がらずにレジスト膜１１が除去され、さらに、ウェーハ２の側壁部のレジストは残るため、ウェーハ２の裏面から溶剤用ノズル７で、ケトンを噴出して除去する旨記載されている。
　第１図においては、基板を誠置保持するための基板保持手段としてのスピンチャック１０と、第２のノズル４および溶剤用ノズル７に対して洗浄液用ノズル５、５をそれぞれ設けた構成とが示されている。
　刊行物５：特開平１−２５３９２３号公報（甲第５号証）
　甲第５号証の第２頁左上欄第４〜８行には、ウエハ塗布膜のエッジ部分を除去する液体を噴射する第１のノズルと、このノズルの近傍に設けられるウエハ塗布膜の周辺部に対して流体を噴射する第１のノズルとを備えたものである旨記載されている。
　また、甲第５号証の第２頁左上欄第１９行〜右上欄第９行には、第１図を参照すると、半導体ウエハ３上の塗布膜４のエッジ部分を除去するように、薬液２を噴射する第１のノズル１１と、前記塗布膜４の周緑一部に対して、例えばＮ２ガス等の流体１３を噴射する第２のノズル１２とを設ける旨記載されている。
　さらに、甲第５号証の第２頁左下欄第８〜１２行には、第２のノズル１２から噴射する流体としては、Ｎ２ガスに限定されることなく、例えば薬液２の溶剤の飽和蒸気を使用しても何等差し支えない旨記載されている。
　刊行物６；実開昭６２−１８６９３１号（実開平１−９２１３１号公報）のマイクロフィルム（甲第６号証）
　甲第６号証の第１頁第１９行〜第２頁第５行には、第５図を参照すると、従来のフォトレジスト除去機構は、フォトレジスト塗布後の半導体ウェハー２をスピンチャック１に保持しこれを回転させながら、ウェハー周辺部の溶剤ノズル３より溶剤を吐出し、ウェハー周辺部のフォトレジストを除去する構造のものである旨記載されている。
　また、甲第６号証の第４頁第２〜１２行には、第１図を参照すると、レジスト塗布後のウェハー周辺部にレジストの溶剤を吐出するための溶剤ノズル３と、同じくウェハー周辺部に気体を噴き付けるための気体ノズル５と、溶剤ノズル３及び気体ノズル５を支持して、ウェハー２の外周部に接触し回転するローラー７を備え、リニアスライダー８と一体構造の可動部を構成しているノズル支持具６とを有する旨が記載されている。
　さらに、甲第６号証の第５頁第３〜５行には、第１図を参照すると、ローラー７は、処理時以外は、リニアスライダー支持具９を移動させることにより、ウェハー２の外周部より退去することができる旨記載されている。
　刊行物７：特開平３−１９２１６号公報（甲第７号証）
　甲第７号証の第２頁右上欄第１１〜１６行には、スピンナー方式の枚葉型ウェット処理装置において、純水を被処理物に吹き付けるスプレーノズルと、希釈アルコールを含有する純水を彼処理物に吹き付けるスプレーノズルとを有する旨記載されている。
　また、甲第７号証の第２頁左下欄第２〜１１行には、第１図（ａ）を参照すると、純水９用のスプレーノズル６ａとは別に、リンス液１９用のスプレーノズル６ｂを設け、このリンス液１９は、例えば１０１容量のタンク２０に一定量の純水９を投入したのち、エタノール２１を秤量ポンプ２２にて、１．０％濃度となるようにタンク２０に送り込み、タンク室内を窒素ガス２３に置換して、リンス液１９が劣化しないように設定される旨記載されている。
　先願：特願平３−２７６５０６号（特開平６−１２４８８７号公報参照）（甲第８号証）
　甲第８号証の第２頁第１棚第２〜７行の特許請求の範囲には、「半導体基板上にフォトレジストを形成し、基板周辺部のフォトレジストを洗浄除去する工程を有する半導体装置の製造方法において、フォトレジスト溶剤による第１の洗浄工程と、この第１の洗浄工程における残渣除去のための第２の洗浄工程とを少なくとも備える半導体装置の製造方法」と記載されている。
　また、甲第８号証の第４頁第６欄第２５〜４３行には、図３を参照すると、洗浄液である溶剤３を吐出する吐出口４ａ、４ｂが複数設けられている基板洗浄装置であって、前記エッジリンスノズルである吐出口を２本（吐出口４ａ及び４ｂ）を各々位置を変えて設け、最初に吐出口４ａのノズルでレジスト膜２を除去し、次に吐出口４ｂのノズルで残渣を除去する旨記載されている。
　
（４）　対比・判断
［２９条第２項について］
　本件請求項１に係る発明が、「ノズルに、前記薄膜を溶解させるための第１のリンス液および第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を選択して供給するリンス液供給手段」構成（以下、「本件請求項１に係る発明の特徴的構成」という。）を有するのに対し、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明は、いずれも、本件請求項１に係る発明の特徴的構成について記載又は当該記載を示唆をするものではない。
　また、本件請求項１に係る発明は、本件請求項１に係る発明の上記特徴的構成を有することにより、平成１５年１１月２８日付け意見書第４頁第７行〜同頁第１９行に記載された「訂正後の請求項１の発明によれば、基板主面に形成された薄膜を溶解させるための第１のリンス液とその第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液とを順次基板端縁に吐出することができるため、第１のリンス液を吐出して薄膜を溶解した後、揮発性の高い第２のリンス液を吐出して第１のリンス液を洗い流すことにより、基板端縁に付着していた第１のリンス液を第２のリンス液に置換することができます。第２のリンス液は第１のリンス液よりも揮発性が高いため、第１のリンス液をそのまま乾燥させるよりも、第１のリンス液を第２のリンス液に置換してその第２のリンス液を乾燥させる方がより短時間で乾燥させることができ、その結果基板端縁洗浄に要する時間を大幅に短縮することができるのであります。また、第１のリンス液を吐出した後に配管内からノズルに向けて気体を導入することで該配管およびノズルから残存第１リンス液をパージ（排出）し、しかる後に第２のリンス液を吐出することで配管内やノズル内でリンス液が混ざってしまうのを防止できます。」という効果を有する。
　従って、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　本件請求項２に係る発明が、「第１のリンス液を吐出する第１のノズルと、
　前記第１のリンス液が吐出された前記端縁に第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出する第２のノズル」構成（以下、「本件請求項２に係る発明の特徴的構成」という。）を有するのに対し、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明は、いずれも、本件請求項２に係る発明の特徴的構成について記載又は当該記載を示唆をするものではない。
　また、本件請求項２に係る発明は、本件請求項２に係る発明の上記特徴的構成を有することにより、平成１５年１１月２８日付け意見書第４頁第７行〜同頁第１９行に記載された「請求項２の発明によれば、薄膜を溶解させるための第１のリンス液とその第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液とを順次基板端縁に吐出することができるため、上記請求項１の発明と同様に、第１のリンス液を吐出して薄膜を溶解した後、揮発性の高い第２のリンス液を吐出して第１のリンス液を洗い流して置換することにより、乾燥時間を短縮することができます。また、第１および第２のリンス液にそれぞれ専用のノズルを設けているため、ノズル内でリンス液が混ざってしまうのを防止できます。」という、甲第１号証〜甲第７号証にはない効果を有する。
　従って、本件請求項２に係る発明は、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　本件請求項８に係る発明が、「基板の端縁に第１のノズルから前記薄膜を溶解させるための第１のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程と、
　前記第１のリンス液が吐出された前記端縁に、第２のノズルから前記第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程」構成（以下、「本件請求項８に係る発明の特徴的構成」という。）を有するのに対し、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明は、いずれも、本件請求項８に係る発明の上記特徴的構成について記載又は当該記載を示唆をするものではない。
　また、本件請求項８に係る発明は、本件請求項８に係る発明の上記特徴的構成を有することにより、平成１５年１１月２８日付け意見書第４頁第７行〜同頁第１９行に記載された「請求項８の発明によれば、薄膜を溶解させるための第１のリンス液とその第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液とを順次基板端縁に吐出しているため、上記請求項１の発明と同様に、第１のリンス液を吐出して薄膜を溶解した後、揮発性の高い第２のリンス液を吐出して第１のリンス液を洗い流して置換することにより、乾燥時間を短縮することができます。また、第１および第２のリンス液にそれぞれ専用のノズルを設けているため、ノズル内でリンス液が混ざってしまうのを防止できます。」という、甲第１号証〜甲第７号証にはない効果を有する。
　従って、本件請求項８に係る発明は、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　本件請求項９に係る発明が、「第１のリンス液が吐出された前記端縁に、気体導入後の前記ノズルから前記第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を吐出して前記端縁を洗浄する工程」構成（以下、「本件請求項９に係る発明の特徴的構成」という。）を有するのに対し、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明は、いずれも、本件請求項９に係る発明の上記特徴的構成について記載又は当該記載を示唆をするものではない。
　また、本件請求項９に係る発明は、本件請求項９に係る発明の上記特徴的構成を有することにより、平成１５年１１月２８日付け意見書第４頁第７行〜同頁第１９行に記載された「請求項９の発明によれば、薄膜を溶解させるための第１のリンス液を基板端縁に吐出した後、その第１のリンス液よりも揮発性の高い第２のリンス液を該基板端緑に吐出しているため、上記請求項１の発明と同様に、第１のリンス液を吐出して薄膜を溶解した後、揮発性の高い第２のリンス液を吐出して第１のリンス液を洗い流して置換することにより、乾燥時間を短縮することができます。また、第１のリンス液を吐出した後に配管内からノズルに向けて気体を導入することで該配管およびノズルから残存第１リンス液をパージ（排出）し、しかる後に第２のリンス液を吐出することで配管内やノズル内でリンス液が混ざってしまうのを防止できます。」という、甲第１号証〜甲第７号証にはない効果を有する。
　従って、本件請求項９に係る発明は、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　本件請求項１に係る発明を引用する本件請求項３に係る発明は、本件請求項１に係る発明の上記特徴的構成を有するから、本件請求項１に係る発明と同様に、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　本件請求項１または２に係る発明を引用する本件請求項４に係る発明は、本件請求項１に係る発明の上記特徴的構成または本件請求項２に係る発明の特徴的構成を有するから、本件請求項１に係る発明及び本件請求項２に係る発明と同様に、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　本件請求項２ないし４のいずれか１項に係る発明を引用する本件請求項５に係る発明は、本件請求項１に係る発明の上記特徴的構成または本件請求項２に係る発明の特徴的構成を有するから、本件請求項１に係る発明及び本件請求項２に係る発明と同様に、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　本件請求項１に係る発明を引用する本件請求項６に係る発明は、本件請求項１に係る発明の上記特徴的構成を有するから、本件請求項１に係る発明と同様に、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　本件請求項２ないし５のいずれか１項に係る発明を引用する本件請求項７に係る発明は、本件請求項１に係る発明の上記特徴的構成または本件請求項２に係る発明の上記特徴的構成を有するから、本件請求項１に係る発明及び本件請求項２に係る発明と同様に、甲第１号証〜甲第７号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
［２９条の２について］
　本件請求項２に係る発明が、本件請求項２に係る発明の上記特徴的構成を有するのに対し、先願（甲第８号証）に記載された発明は、上記本件請求項２に係る発明の上記特徴的構成について記載又は当該記載を示唆をするものではない。
　従って、本件請求項２に係る発明は、上記先願に記載された発明ではない。
　本件請求項８に係る発明が、本件請求項８に係る発明の上記特徴的構成を有するのに対し、上記先願に記載された発明は、本件請求項８に係る発明の上記特徴的構成について記載又は当該記載を示唆をするものではない。
　従って、本件請求項８に係る発明は、上記先願に記載された発明ではない。
　
（５）　むすび
　したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１〜９に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜９に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　従って、本件請求項１〜９に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年１２月１８日（２００３．１２．１８）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
基板端縁洗浄装置及び方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、
　該基板保持手段によって保持された基板の端縁に液を吐出するノズルと、
　前記ノズルに、
前記薄膜を溶解させるための
および
よりも揮発性の高い
　前記リンス液供給手段と前記ノズルとを接続する配管と、
　前記配管内から前記ノズルに向けて気体を導入
して前記配管および前記ノズルから残存リンス液をパージ
を備えることを特徴とする基板端縁洗浄装置。
　【請求項２】　一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、
　該基板保持手段によって保持された基板の端縁に
前記薄膜を溶解させるための
　
前記第１のリンス液が吐出された前記
よりも揮発性の高い
　前記第１のノズルに第１のリンス液を供給する第１のリンス液供給手段と、
　前記第２のノズルに第２のリンス液を供給する第２のリンス液供給手段と、
を備えることを特徴とする基板端縁洗浄装置。
　【請求項３】　請求項２記載の基板端縁洗浄装置において、
　前記第１のノズルと前記第２のノズルとを、前記基板の端縁に沿う方向に配置することを特徴とする基板端縁洗浄装置。
　【請求項４】　請求項２または請求項３に記載の基板端縁洗浄装置において、
　前記第１のノズルは、複数のノズルからなるノズル群を含むことを特徴とする基板端縁洗浄装置。
　【請求項５】　請求項２から請求項４のいずれかに記載の基板端縁洗浄装置において、
　前記第２のノズルは、複数のノズルからなるノズル群を含むことを特徴とする基板端縁洗浄装置。
　【請求項６】　請求項１記載の基板端縁洗浄装置において、
　前記ノズルを前記基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段をさらに備えることを特徴とする基板端縁洗浄装置。
　【請求項７】　請求項２から請求項５のいずれかに記載の基板端縁洗浄装置において、
　前記第１のノズルおよび前記第２のノズルを前記基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段をさらに備えることを特徴とする基板端縁洗浄装置。
　【請求項８】　一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、
　前記基板の端縁に第１のノズルから
前記薄膜を溶解させるための
　前記第１のリンス液が吐出された前記端縁に、第２のノズルから前記第１のリンス液
よりも揮発性の高い
を備えることを特徴とする基板端縁洗浄方法。
　【請求項９】　一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、
　前記基板の端縁にノズルから
前記薄膜を溶解させるための
　前記ノズルおよび当該ノズルへの配管に気体を導入
して前記配管および前記ノズルから残存リンス液をパージ
　前記第１のリンス液が吐出された前記端縁に、気体導入後の前記ノズルから前記第１のリンス液
よりも揮発性の高い
を備えることを特徴とする基板端縁洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、フォトレジスト液，感光性ポリイミド樹脂，カラーフィルタ用の染色剤などからなる薄膜がその一方主面に塗布された液晶用ガラス基板，フォトマスク用ガラス基板などの基板に対し、上記薄膜塗布後に基板の端面（側面）に付着した不要薄膜を洗浄除去する基板端縁洗浄装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　上述のような基板端縁洗浄装置としては、従来、例えば特公平３−７８７７７号公報に開示されているものがあった。
　【０００３】
　この公知例によれば、その一方主面に薄膜が形成された基板の周縁部の上方主面（表面）と下方主面（裏面）に対向して第１の管と第２の管がそれぞれ設けられるとともに、第１および第２の管の間の間隙部でかつ基板端部の延長上に第３の管が設けられている。そして、第１および第２の管から基板の周縁部の上方主面と下方主面にリンス液として溶剤を供給するとともに、その溶剤ならびに溶解除去された不要薄膜を第３の管から吸引排出できるように構成されている。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　ところで、基板に形成された薄膜の種類によっては、複数種類のリンス液を用いて端縁洗浄する、例えば第１のリンス液による基板の端縁洗浄を行った後、続けて第１のリンス液と異なる第２のリンス液としての溶剤による端縁洗浄を行うのが好ましい場合がある。
　【０００５】
　しかしながら、上記従来例では、１種類のリンス液を用いることしか考慮されていないため、複数種類のリンス液を用いた基板の端縁洗浄を行うことができなかった。
　【０００６】
　本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、複数種類のリンス液を順次、基板端縁に吐出して洗浄することができる基板端縁洗浄装置を提供することを目的とする。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、請求項１の発明は、一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、該基板保持手段によって保持された基板の端縁に液を吐出するノズルと、前記ノズルに、
前記薄膜を溶解させるための
および
よりも揮発性の高い
して前記配管および前記ノズルから残存リンス液をパージ
　また、請求項２の発明は、一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、該基板保持手段によって保持された基板の端縁に
前記薄膜を溶解させるための
前記第１のリンス液が吐出された前記
よりも揮発性の高い
　また、請求項３の発明は、請求項２の発明に係る基板端縁洗浄装置において、前記第１のノズルと前記第２のノズルとを、前記基板の端縁に沿う方向に配置している。
　また、請求項４の発明は、請求項２または請求項３の発明に係る基板端縁洗浄装置において、前記第１のノズルに、複数のノズルからなるノズル群を含ませている。
　また、請求項５の発明は、請求項２から請求項４のいずれかの発明に係る基板端縁洗浄装置において、前記第２のノズルに、複数のノズルからなるノズル群を含ませている。
　また、請求項６の発明は、請求項１の発明に係る基板端縁洗浄装置において、前記ノズルを前記基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段をさらに備えている。
　また、請求項７の発明は、請求項２から請求項５のいずれかの発明に係る基板端縁洗浄装置において、前記第１のノズルおよび前記第２のノズルを前記基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段をさらに備えている。
　また、請求項８の発明は、一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、前記基板の端縁に第１のノズルから
前記薄膜を溶解させるための
よりも揮発性の高い
　また、請求項９の発明は、一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、前記基板の端縁にノズルから
前記薄膜を溶解させるための
して前記配管および前記ノズルから残存リンス液をパージ
よりも揮発性の高い
　【０００８】
　【作用】
　請求項１の発明では、基板の端縁に液を吐出するノズルに、
薄膜を溶解させるための
および
よりも揮発性の高い
して該配管およびノズルから残存リンス液をパージ
　また、請求項２の発明では、基板の端縁に
薄膜を溶解させるための
第１のリンス液が吐出された
よりも揮発性の高い
　また、請求項３の発明では、第１のノズルと第２のノズルとを基板の端縁に沿う方向に配置しているため、洗浄処理時間を短縮することができる。
　また、請求項４の発明では、第１のノズルが複数のノズルからなるノズル群を含むため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項５の発明では、第２のノズルが複数のノズルからなるノズル群を含むため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項６の発明では、ノズルを基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段を備えているため、簡単な装置構成にて複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項７の発明では、第１のノズルおよび第２のノズルを基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段を備えているため、簡単な装置構成にて複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項８の発明では、基板の端縁に第１のノズルから
薄膜を溶解させるための
よりも揮発性の高い
　また、請求項９の発明では、基板の端縁にノズルから
薄膜を溶解させるための
して該配管およびノズルから残存リンス液をパージ
よりも揮発性の高い
　【０００９】
　【実施例】
　次に、本発明の実施例を図面に用いて説明する。
　【００１０】
　Ａ．第１実施例
　図１は、本発明にかかる基板端縁洗浄装置の第１実施例の全体概略平面図であり、図２は一部切欠全体概略側面図である。この基板端縁洗浄装置４では、回転塗布によって表面に薄膜が形成された角型基板１を載置保持する基板保持ユニット２が基台Ｂ上に設けられ、さらにその基板保持ユニット２の周囲４箇所に基板端縁洗浄具３が配置されている。
　【００１１】
　基板保持ユニット２では、基台Ｂに、第１のエアーシリンダ５と一対の第１のガイド６，６を介してシリンダ支持台７が昇降可能に設けられている。また、そのシリンダ支持台７上に第２のエアーシリンダ８が設けられ、さらに第２のエアーシリンダ８に角型基板１を真空吸着によって載置保持する基板載置プレート９が一体的に設けられている。
　【００１２】
　基板端縁洗浄具３は、洗浄具本体１０（後述する図４を参照）と、その洗浄具本体１０を角型基板１の端縁に沿わせて直線移動する移動機構１１と、洗浄具本体１０を角型基板１の端縁に対して遠近変位する位置調整機構１２とで構成されている。
　【００１３】
　図３は、基板端縁洗浄具３を示す図である。移動機構１１は、同図に示すように、基台Ｂに取り付けられた支持台１３を有している。そして、図１に示すように、この支持台１３に一対の第２のガイド１４，１４を介して角型基板１の端縁に沿う方向に移動可能に移動台１５が設けられるとともに、支持台１３に主動プーリー１６と従動プーリー１７とが取り付けられ、さらに、これらのプーリー１６，１７にベルト１８が巻回されている。また、そのベルト１８には移動台１５が一体的に取り付けられており、主動プーリー１６に連動連結されている電動モータ１９を駆動することによって、洗浄具本体１０を角型基板１の端縁に沿わせて直線移動することができるように構成されている。
　【００１４】
　位置調整機構１２は、一対の第３のガイド２０，２０と、第３のエアーシリンダ２１と、支持部材２２（図４）とで構成されている。支持部材２２は、一対の第３のガイド２０，２０と第３のエアーシリンダ２１とを介して、移動台１５に取り付けられており、第３のエアーシリンダ２１を駆動することによって角型基板１に対して遠近する方向に駆動移動するようになっている。したがって、この支持部材２２の移動により、支持部材２２に取り付けられた洗浄具本体１０を角型基板１の大きさに応じて、変位できるように構成されている。
　【００１５】
　図４は、洗浄具本体１０を角型基板１側から見た正面図である。同図に示すように、この支持部材２２には、吸引部材２３が取り付けられるとともに、その吸引部材２３の吸引口２３ａを挟んだ上下方向の上側に第１のリンス液吐出ユニット２４ａと第１のガスノズル２５ａ（図３）とが設けられる一方、その下側に第２のリンス液吐出ユニット２４ｂと第２のガスノズル２５ｂ（図３）とが設けられている。なお、図示を省略するが、吸引部材２３には排気管を介して真空源が接続されている。また、第１および第２のリンス液吐出ユニット２４ａ，２４ｂは、次に説明するリンス液供給ユニットに接続されており、リンス液供給ユニットからのリンス液を基板保持ユニット２に保持された基板１の端縁部分に吐出するように構成されている。さらに、第１および第２のガスノズル２５ａ，２５ｂそれぞれには、ガスとして窒素ガスを供給するガス供給管が接続されている。
　【００１６】
　図５は、リンス液供給ユニットの構成を示す概略ブロック図である。この実施例では、リンス液として互いに種類の異なる溶剤を第１および第２のリンス液吐出ユニット２４ａ，２４ｂに供給するため、第１及び第２のリンス液供給ユニット２７ａ，２７ｂが設けられている。なお、第１のリンス液供給ユニット２７ａから供給する第１のリンス液と、第２のリンス液供給ユニット２７ｂから供給する第２のリンス液との組み合わせてとしては、例えばＮ−メチル，２−ピロリドン（以下「ＮＭＰ」という）とメチルイソブチルケトン（以下「ＭＩＢＫ」という）との組み合わせがある。これ以外の、組み合わせとしては、例えばジメチルホルムアミド（以下「ＤＭＦ」という）と上記ＭＩＢＫとの組み合わせ、ジメチルアセトアミド（以下「ＤＭＡｃ」という）と上記ＭＩＢＫとの組み合わせ、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以下「ＥＣＡ」という）と上記ＭＩＢＫとの組み合わせ等がある。
　【００１７】
　第１のリンス液供給ユニット２７ａでは、第１のリンス液を貯留するボトル２８ａが加圧タンク２９ａに収納されている。この加圧タンク２９ａには、開閉バルブ３０ａが取り付けられており、この開閉バルブ３０ａを介して窒素ガスやエアーを加圧タンク２９ａに導入すると、内圧が上昇し、ボトル２８ａ内の第１のリンス液がチューブ３１ａを通ってトラップタンク３２ａに供給される。なお、このトラップタンク３２ａには、エアー抜き用のバルブ３３ａが取り付けられている。
　【００１８】
　トラップタンク３２ａはチューブ３４ａによってマニホールド３５ａと接続されており、トラップタンク３２ａに一時的に貯留された第１のリンス液がマニホールド３５ａに与えられる。そして、マニホールド３５ａから伸びる４本の分岐端３６ａ〜３９ａのうちの分岐端３６ａには、流量計４０ａおよびエアーオペレート弁４１ａを介して所定の第１のリンス液吐出ユニット２４ａと接続されており、エアーオペレート弁４１ａを開成することによって、第１のリンス液を第１のリンス液吐出ユニット２４ａに供給し、第１のリンス液吐出ユニット２４ａから基板１の上面へ第１のリンス液が吐出される。また、第１のリンス液吐出ユニット２４ａには、エアーオペレート弁４２ａが接続されており、このエアーオペレート弁４２ａを開成することによって窒素ガスが第１のリンス液吐出ユニット２４ａに向けて導入され、残存溶剤等のリンス液をパージすることができるようになっている。
　【００１９】
　なお、図５では吸引口２３ａの上側に配置された第１のリンス液吐出ユニット２４ａにのみ第１のリンス液が供給されるように図示されているが、その下側に配置された第２のリンス液吐出ユニット２４ｂにも同時に供給されるように構成されている。また、エアーオペレート弁４２ａを介して窒素ガスを第２のリンス液吐出ユニット２４ｂに供給して、残存溶剤をパージすることができるようになっている。さらに、上記では、分岐端３６ａに関連する要素（流量計４０ａ，エアーオペレート弁４１ａ，４２ａ）のみを図示しているが、その他の分岐端３７ａ〜３９ａにも同一要素が設けられており、上記と同様にして第１および第２のリンス液吐出ユニット２４ａ，２４ｂへの第１のリンス液の供給および残存溶剤等のリンス液のパージ処理を行うことができるように構成されている。
　【００２０】
　以上のように、第１および第２のリンス液吐出ユニット２４ａ，２４ｂと、第１のリンス液供給ユニット２７ａとで角型基板１の端縁に第１のリンス液を吐出する手段、つまり第１のリンス液吐出手段が構成されている。
　【００２１】
　一方、第２のリンス液供給ユニット２７ｂでは、ボトル２８ｂ内に第１のリンス液とは異なる種類の第２のリンス液としての溶剤が貯留されている。なお、その他の構成は上記第１のリンス液供給ユニット２７ａと同一構成であるため、相当符号を付して、その説明を省略する。
　【００２２】
　次に、基板端縁洗浄装置の動作について具体例（ポリイミド薄膜を除去する場合）を示しながら説明する。
　【００２３】
　図６は、基板端縁洗浄装置の動作を示すフローチャートである。
　【００２４】
　角型基板１へのポリイミド薄膜の形成が完了すると、以下の処理が実行されて、基板端縁の洗浄処理が行われる。なお、予め基板端縁洗浄装置には、ボトル２８ａに第１のリンス液として溶剤ＮＭＰを、またボトル２８ｂに第２のリンス液として溶剤ＭＩＢＫを貯留しておく。また、薄膜形成完了時点では、エアーオペレート弁４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂはともに閉成されている。
　【００２５】
　まず、ステップＳ１で、エアーオペレート弁４１ａが開成され、これによってボトル２８ａに貯留されている第１のリンス液（ＮＭＰ）が第１および第２のリンス液吐出ユニット２４ａ，２４ｂから角型基板１の両主面（表面，裏面）の端縁部に向けて吐出される。
　【００２６】
　そして、この状態のままで、４つの洗浄具本体１０を同期させながら角型基板１の各辺に沿って移動させて（ステップＳ２）、第１のリンス液（ＮＭＰ）によるポリイミド薄膜の溶解除去処理を行う。
　【００２７】
　上記のようにして薄膜の溶解除去処理が完了すると、エアーオペレート弁４１ａを閉成して（ステップＳ３）、第１のリンス液（ＮＭＰ）の供給を停止する。なお、この処理をもって端縁洗浄処理を完了することも可能であるが、ＮＭＰは揮発性が比較的低いので、角型基板１を充分に乾燥させるためには、上記処理（ステップＳ３）の後、角型基板１をその状態（基板保持ユニット２に載置された状態）で長時間放置しておく必要がある。その結果、全体の処理時間が長くなってしまう。また、ＮＭＰは乾燥しにくいため、その吐出領域（基板端縁部）で「シミ」，「ムラ」などの不具合が生じることがある。
　【００２８】
　そこで、この実施例では、長時間放置する代わりに、次の処理（ステップＳ４〜Ｓ８）を行って、基板端縁洗浄処理に要する処理時間の短縮化を図るとともに、上記不具合の発生を防止している。
　【００２９】
　すなわち、ステップＳ４で、エアーオペレート弁４２ａを一定時間開成する。このようにエアーオペレート弁４２ａを開成することによって、窒素ガスが第１および第２のリンス液吐出ユニット２４ａ，２４ｂ側に導入され、第１および第２のリンス液吐出ユニット２４ａ，２４ｂに残存している第１のリンス液（ＮＭＰ）がパージされる。
　【００３０】
　そして、ステップＳ５で、エアーオペレート弁４１ｂが開成され、ボトル２８ｂに貯留されている第２のリンス液としての溶剤（ＭＩＢＫ）が第１および第２のリンス液吐出ユニット２４ａ，２４ｂから角型基板１の両主面（表面，裏面）の端縁部に向けて吐出される。そして、第２のリンス液としての溶剤（ＭＩＢＫ）を角型基板１に吐出しながら、４つの洗浄具本体１０を角型基板１の各辺に沿って移動させる（ステップＳ６）。ここで、第２のリンス液としての溶剤であるＭＩＢＫは揮発性が比較的高く、その溶剤を上記のようにして溶解除去された領域（つまり、基板両主面の端縁部）に供給することによって、その領域は短時間で乾燥する。
　【００３１】
　上記のように第２のリンス液（ＭＩＢＫ）による乾燥処理が完了すると、エアーオペレート弁４１ｂを閉成し（ステップＳ７）、第２のリンス液（ＭＩＢＫ）の角型基板１への吐出を停止する。その後、上記ステップＳ４と同様に、エアーオペレート弁４２ｂを一定時間開成して（ステップＳ８）、第１および第２のリンス液吐出ユニット２４ａ，２４ｂに残存している第２のリンス液（ＭＩＢＫ）をパージする。
　【００３２】
　このように、この具体例によれば、ポリイミド薄膜を溶解させるための溶剤（ＮＭＰ）と、揮発性の高い溶剤（ＭＩＢＫ）とを用意し、第１のリンス液（ＮＭＰ）でポリイミド薄膜を溶解した後、第２のリンス液（ＭＩＢＫ）をその溶解除去した領域に供給して短時間で乾燥するようにしているので、基板端縁洗浄に要する時間を大幅に短縮することができる。また、溶解処理により基板端縁に残り「シミ」，「ムラ」の原因となる第１のリンス液（ＮＭＰ）を第２のリンス液（ＭＩＢＫ）で洗い流すため、上記不具合の発生を効果的に防止することができる。
　【００３３】
　なお、上記具体例では、第１および第２のリンス液の組み合わせを（ＮＭＰ，ＭＩＢＫ）としたが、その組み合わせばこれに限定されるものではなく、上記したような各種の組み合わせによって基板端縁洗浄処理を行うことができ、同様の効果が得られる。
　【００３４】
　また、上記具体例では、第１のリンス液（ＮＭＰ）による溶解処理が完了した後、窒素ガスによるパージ処理（ステップＳ４）を行っているが、この処理を行わず、溶解処理完了に続いて、第２のリンス液（ＭＩＢＫ）による乾燥処理を行うようにしてもよい。
　【００３５】
　また、上記説明では、角型基板１の端縁部に形成されたポリイミド薄膜を溶解除去する具体例について詳述しているが、この実施例にかかる基板端縁洗浄装置はこれ以外の目的にも適用できる。例えば、カラーレジストが形成された基板の端縁を洗浄する場合、カラーレジストを溶解するためには互いに種類の異なる第１および第２のリンス液を用いる必要があり、従来の基板端縁洗浄装置では対応することができなかった。しかし、上記のように構成された基板端縁洗浄装置によれば、第１および第２のリンス液をそれぞれボトル２８ａ，２８ｂに貯留し、上記のように順次基板端縁に吐出することによってカラーレジストの溶解除去が可能となる。
　【００３６】
　Ｂ．第２実施例
　上記第１実施例では第１および第２のリンス液吐出ユニット２４ａ，２４ｂから第１および第２のリンス液が交互に吐出するようにしているが、図７に示すように、各リンス液吐出ユニット２４ａ，２４ｂに第１のリンス液のみを吐出するノズル５０ａ，５０ｂと第２のリンス液のみを吐出するノズル５１ａ，５１ｂとを設け、しかもノズル５０ａ，５０ｂを第１のリンス液供給ユニット２７ａに、またノズル５１ａ，５１ｂを第２のリンス液供給ユニット２７ｂに接続してもよい。
　【００３７】
　Ｃ．第３実施例
　また、図８に示すように、各リンス液吐出ユニット２４ａ，２４ｂを、第１のリンス液のみを吐出するノズル６１ａ群からなるノズルブロック６０ａと第２のリンス液のみを吐出するノズル６１ｂ群からなるノズルブロック６０ｂとで構成し、しかもノズルブロック６０ａ，６０ｂをそれぞれ第１および第２のリンス液供給ユニット２７ａ，２７ｂに接続するようにしてもよい。この場合、上記のように洗浄具本体１０を基板１の各辺に沿って移動させると、ノズルブロック６０ａ，６０ｂが同時に同図の矢印Ｘ方向に移動する。したがって、この第３実施例では、第１および第２のリンス液を基板１に向けて吐出しながら、洗浄具本体１０をＸ方向に移動させることによって、基板１の端縁を洗浄することができる。このように、第３実施例によれば、１回の洗浄具本体移動により洗浄処理を行うことができるので、基板端縁洗浄処理時間を短縮することができる。
　【００３８】
　Ｄ．その他の実施例
　なお、上記実施例では、図１に示す４つの基板端縁洗浄具３でそれぞれ第１および第２のリンス液による基板端縁洗浄処理を行うことができるように構成しているが、例えば上記基板端縁洗浄具３のうち２つを第１のリンス液による洗浄処理ステーション（第１の処理ステーション）とする一方、残りを第２のリンス液による洗浄処理ステーション（第２の処理ステーション）とすることも可能である。この場合、まず第１の処理ステーションでの第１のリンス液による洗浄処理が完了すると、角型基板１を回転させ、第１のリンス液による処理が完了した基板端縁を第２の処理ステーションに位置させる。そして、その第２の処理ステーションで第２のリンス液による洗浄処理を行うことによって、上記実施例と同様の効果が得られる。
　【００３９】
　また、上記説明では、２種類のリンス液を用いて基板の端縁洗浄を行う場合について説明したが、リンス液の種類は２種類に限定されるものではなく、３種類以上のリンス液を用いる場合にも、本発明を適用することができることはいうまでもない。
　【００４０】
　なお、上記実施例では、第１、第２のリンス液吐出ノズルからリンス液として互いに種類の異なる溶剤を吐出させて基板端縁を洗浄するように構成されていたが、水溶性の材料からなる薄膜が基板上に形成されている場合には、水もしくは湯などによって洗浄することができるので、第１のリンス液吐出ノズルからは、薄膜材料の種類に応じて、溶剤の代わりに水、湯、アルカリ現像液等、他の種類のリンス液を吐出するよう構成してもよい。
　【００４１】
　さらに、上記実施例では、基板１の両主面における端縁を洗浄するようにしているが、どちらか一方主面の端縁のみを洗浄する場合にも本発明を適用することができ、上記と同様の効果が得られる。
　【００４２】
　【発明の効果】
　請求項１の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、該基板保持手段によって保持された基板の端縁に液を吐出するノズルと、該ノズルに、
薄膜を溶解させるための
および
よりも揮発性の高い
して該配管およびノズルから残存リンス液をパージ
　また、請求項２の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、該基板保持手段によって保持された基板の端縁に
薄膜を溶解させるための
第１のリンス液が吐出された
よりも揮発性の高い
　また、請求項３の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、第１のノズルと第２のノズルとを、基板の端縁に沿う方向に配置するため、洗浄処理時間を短縮することができる。
　また、請求項４の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、第１のノズルが複数のノズルからなるノズル群を含むため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項５の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、第２のノズルが複数のノズルからなるノズル群を含むため、複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項６の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、ノズルを基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段を備えているため、簡単な装置構成にて複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項７の発明にかかる基板端縁洗浄装置によれば、第１のノズルおよび第２のノズルを基板の端縁に沿わせて相対移動させる移動手段を備えているため、簡単な装置構成にて複数種類のリンス液を用いて基板の端縁を洗浄することができる。
　また、請求項８の発明にかかる基板端縁洗浄方法によれば、一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、基板の端縁に第１のノズルから
薄膜を溶解させるための
よりも揮発性の高い
　また、請求項９の発明にかかる基板端縁洗浄方法によれば、一方主面に薄膜が形成された基板を用意する工程と、基板の端縁にノズルから
薄膜を溶解させるための
して該配管およびノズルから残存リンス液をパージ
よりも揮発性の高い
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明にかかる基板端縁洗浄装置の第１実施例の全体概略平面図である。
　【図２】
　図１の一部切欠拡大概略側面図である。
　【図３】
　図１の要部の一部切欠拡大側面図である。
　【図４】
　洗浄具本体を角型基板側から見た正面図である。
　【図５】
　リンス液供給ユニットの構成を示す概略ブロック図である。
　【図６】
　第１実施例にかかる基板端縁洗浄装置の動作を示すフローチャートである。
　【図７】
　本発明にかかる基板端縁洗浄装置の第２実施例の部分拡大図である。
　【図８】
　本発明にかかる基板端縁洗浄装置の第３実施例の部分拡大図である。
　【符号の説明】
　２４ａ　第１のリンス液吐出ユニット
　２４ｂ　第２のリンス液吐出ユニット
　２７ａ　第１のリンス液供給ユニット
　２７ｂ　第２のリンス液供給ユニット