【事件の表示】
　特許第３１５１１５１号「パーフルオロ化合物ガスの分離および回収方法および装置」の請求項１〜６７に係る発明の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１５１１５１号の請求項１〜６０に係る発明の特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第３１５１１５１号の出願は、平成８年７月１７日〔パリ条約による優先権主張：平成７年７月１７日（米国）及び平成８年６月１４日（米国）〕に出願されたものであって、平成１３年１月１９日にその特許の設定登録がなされ、これに対して、中野宗昭より、特許異議の申立がなされ、その後、以下の手続を経ている。
　取消理由通知書　　　　　　　　　　　　　平成１４年　４月１０日
　特許異議意見書　　　　　　　　　　　　　平成１４年１０月２３日
　訂正請求書　　　　　　　　　　　　　　　平成１４年１０月２３日
　取消理由通知　　　　　　　　　　　　　　平成１５年　２月　５日
　訂正請求取下書　　　　　　　　　　　　　平成１５年　８月２１日
　特許異議意見書　　　　　　　　　　　　　平成１５年　８月２１日
　訂正請求書　　　　　　　　　　　　　　　平成１５年　８月２１日
　取消理由通知　　　　　　　　　　　　　　平成１５年１１月１０日
　訂正請求取下書　　　　　　　　　　　　　平成１５年１１月２７日
　訂正請求書　　　　　　　　　　　　　　　平成１５年１１月２７日
　なお、平成１４年１０月２３日付け訂正請求は、上記平成１５年８月２１日付け訂正請求取下書により取下げられ、また、平成１５年８月２１日付け訂正請求は、上記平成１５年１１月２７日付け訂正請求取下書により取下げられたものである。
　
II．訂正の適否
II−１．訂正事項
　本件明細書につき、平成１５年１１月２７日付け訂正請求書に添付された訂正明細書に記載されるとおりの、次の（イ）〜（コ）の訂正を求めるものである（以下、訂正前の明細書を「本件特許明細書」といい、訂正請求書に添付された明細書を「本件訂正明細書」という）。
（イ）本件特許明細書の特許請求の範囲第１項における、
「ａ）少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス・・・」を、
「ａ）ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス・・・」と訂正する。
（ロ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１における、
「・・・ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有する第１のガラス状ポリマー膜を提供し、・・・」を、
「・・・ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有する第１のガラス状ポリマー膜であって、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られた第１のガラス状ポリマー膜を提供し、・・・」と訂正する。
（ハ）本件特許明細書の特許請求の範囲第８項における、
「ガラス状ポリマー膜が、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られた・・・」を、
「ガラス状ポリマー膜が、ポリイミドで作られた・・・」と訂正する。
（ニ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１２における、
「・・・ＳＦ６、Ｃ２Ｆ６、ＣＨＦ３、ＣＦ４およびＮＦ３からなる群の中から選ばれるパーフルオロ化合物ガス・・・」を、
「・・・Ｃ２Ｆ６、ＣＨＦ３、ＣＦ４およびＮＦ３からなる群の中から選ばれるパーフルオロ化合物ガス・・・」と訂正する。
（ホ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項２２における、
「ａ）・・・付設した、パーフルオロ化合物ガス・・・」を、
「ａ）・・・付設した、ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス・・・」と訂正する。
（ヘ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項２２における、
「・・・ｂ）・・・ガラス状ポリマー膜分離ユニットであって、該膜は・・・、かつ少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して実質的に非透過性であり、該膜ユニットは・・・」を
「・・・ｂ）・・・ガラス状ポリマー膜分離ユニットであって、該膜は・・・、かつ少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して実質的に非透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜からなり、該膜ユニットは・・・」と訂正する。
（ト）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項２２における、
「・・・該反応器チャンバに接続し、・・・」を、
「・・・該反応器チャンバに接続し、該膜ユニットは該供給サイドから該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む非透過物流を取り出し、該透過物サイドから該キャリヤーガスに富む透過物流を取り出し、・・・・・・」と訂正する。
（チ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項２４における、
「・・・ａ）少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、・・・」を、
「・・・ａ）ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、・・・」と訂正する。
（リ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項２４における、
「・・・ｃ）複数の中空繊維ガラス状ポリマー膜を有し、・・・、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して非透過性であるところの少なくとも１つの膜ユニットを提供する工程、・・・」を、
「・・・ｃ）複数の中空繊維ガラス状ポリマー膜を有し、・・・、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して非透過性であり、該膜はポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜からなるところの少なくとも１つの膜ユニットを提供する工程、・・・」と訂正する。
（ヌ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項３０における、
「該ガラス状ポリマー膜が、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られた・・・」を、
「該ガラス状ポリマー膜が、ポリイミドで作られた・・・」と訂正する。
（ル）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項３５における、
「・・・該パーフルオロ化合物ガスまたはガス混合物の分離を行うために有効な圧力にもたらす・・・」を、
「・・・該パーフルオロ化合物ガスまたはガス混合物の分離を行うために約１０５パスカルないし約１０６パスカルの範囲の圧力にもたらす・・・」と訂正する。
（ヲ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項４９における、
「半導体製造器具から流出するガス混合物から少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを回収・・・」を、
「半導体製造器具から流出するガス混合物からＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを回収・・・」と訂正する。
（ワ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項４９における、
「・・・ｂ）・・・各中空繊維ガラス状ポリマー膜は・・・、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して非透過性であるところの少なくとも１つの膜ユニット」を、
「・・・ｂ）・・・各中空繊維ガラス状ポリマー膜は・・・、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して非透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたものであるところの少なくとも１つの膜ユニット」と訂正する。
（カ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５０における、
「パーフルオロ化合物ガス、反応性ガスおよびキャリヤーガスを含有するガス混合物・・・」を、
「ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、反応性ガスおよびキャリヤーガスを含有するガス混合物・・・」と訂正する。
（ヨ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５０における、
「・・・ｂ）・・・該ガラス状ポリマー中空繊維は・・・、該パーフルオロ化合物ガスに対して実質的に不透過性であり、該膜ユニットは処理装置流出物導管・・・」を、
「・・・ｂ）・・・該ガラス状ポリマー中空繊維は・・・、該パーフルオロ化合物ガスに対して実質的に不透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたものであり、該膜ユニットは処理装置流出物導管・・・」と訂正する。
（タ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５０における、
「・・・該処理ユニットと接続され、・・・」を、
「・・・該処理ユニットと接続され、該膜ユニットは該供給サイドから該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む非透過物流を取り出し、該透過物サイドから該キャリヤーガスに富む透過物流を取り出し、・・・」と訂正する。
（レ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５５における、
「パーフルオロ化合物ガス、反応性ガスおよびキャリヤーガスを含有するガス混合物・・・」を、
「ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、反応性ガスおよびキャリヤーガスを含有するガス混合物・・・」と訂正する。
（ソ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５５における、
「・・・ｄ）・・・ガラス状ポリマー中空繊維は・・・、該パーフルオロ化合物ガスに対して実質的に不透過性であり、該膜ユニットは・・・」を、
「・・・ｄ）・・・ガラス状ポリマー中空繊維は・・・、該パーフルオロ化合物ガスに対して実質的に不透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたものであり、該膜ユニットは・・・」と訂正する。
（ツ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５５における、
「・・・該コンプレッサーと接続され、・・・」を、
「・・・該コンプレッサーと接続され、該膜ユニットは該供給サイドから該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む非透過物流を取り出し、該透過物サイドから該キャリヤーガスに富む透過物流を取り出し、・・・」と訂正する。
（ネ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５７における、
「・・・（ａ）少なくとも１種のキャリヤーガスおよび少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを・・・」を、
「・・・（ａ）少なくとも１種のキャリヤーガスおよびＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを・・・」と訂正する。
（ナ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５７における、
「・・・（ｂ）該ガス混合物を、該少なくとも１種のキャリヤーガスの透過を選択的に増加させるために十分な温度に」を、
「・・・（ｂ）該ガス混合物を、該少なくとも１種のキャリヤーガスの透過を選択的に増加させるために５０℃ないし６０℃の範囲の温度に」と訂正する。
（ラ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５７における、
「・・・（ｃ）・・・該少なくとも１種のキャリヤーガスを該少なくとも１
種のパーフルオロ化合物ガスよりも速く透過させる膜と接触させて、・・・」を、
「・・・（ｃ）・・・該少なくとも１種のキャリヤーガスを該少なくとも１
種のパーフルオロ化合物ガスよりも速く透過させる膜であって、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜と接触させて、・・・」と訂正する。
（ム）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５７における、
「・・・（ｄ）・・・該少なくとも１種のキャリヤーガスを該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスよりも速く透過させる１またはそれ以上の膜と接触させて、・・・」を、
「・・・（ｄ）・・・該少なくとも１種のキャリヤーガスを該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスよりも速く透過させる１またはそれ以上の膜であって、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜と接触させて、・・・」と訂正する。
（ウ）本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項６６における、
「該膜が、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、セルロースアセテート、それらの共重合体及びブレンドからなる群の中から選ばれる・・・」を、
「該ガラス状ポリマー膜が、ポリイミドで作られる・・・」と訂正する。
（ノ）本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項６、請求項２３、請求項２８、請求項３６、請求項４０、請求項６３、及び、請求項６７の記載を削除する。
（オ）本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項７〜２２の請求項番号を、一つずつ繰り上げ、それぞれ、６〜２１と訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項２４〜２７の請求項番号を、二つずつ繰り上げ、それぞれ、２２〜２５と訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項２９〜３５の請求項番号を、三つずつ繰り上げ、それぞれ、２６〜３２と訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項３７〜３９の請求項番号を、四つずつ繰り上げ、それぞれ、３３〜３５と訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項４１〜６２の請求項番号を、五つずつ繰り上げ、それぞれ、３６〜５７と訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項６４〜６６の請求項番号を、六つずつ繰り上げ、それぞれ、５８〜６０と訂正する。
（ク）本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項１０及び１５で引用する請求項の数字を９から８に訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項１９で引用する請求項番号を１８から１７に訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項２１で引用する請求項番号を２０から１９に訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項２５、２６、２７、２９〜３５、３７、３８、４１及び４５〜４８で引用する請求項番号を、それぞれ、２４から２２に訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項３９で引用する請求項番号を３８から３４に訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項４２〜４４で引用する請求項番号を、それぞれ、４１から３６に訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項５１及び５４で引用する請求項番号を、それぞれ、５０から４５に訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項５２で引用する請求項番号を５１から４６に訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項５３で引用する請求項番号を５２から４７に訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項５６で引用する請求項番号を５５から５０に訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項５８、５９、６０、６４及び６６で引用する請求項番号を、それぞれ、５７から５２に訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項６１及び６２で引用する請求項番号を、それぞれ、６０から５５に訂正する。
　本件特許明細書の特許請求の範囲の、請求項６５で引用する請求項番号を６４から５８に訂正する。
（ヤ）本件特許明細書の段落００１５の記載を、
「本発明の１つの側面は、ａ）ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスおよび少なくとも１種のキャリヤーガスを包含し、第１の圧力および第１の温度にあるガス混合物を提供し、ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有する第１のガラス状ポリマー膜であって、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られた第１のガラス状ポリマー膜を提供し、ｃ）該第１の膜の供給サイドを該ガス混合物と接触させ、ｄ）該第１の膜の供給サイドから、該所定の圧力と実質的に等しい圧力にある第１の非透過物流として、実質的に該少なくとも１種のパーフルオロ化合物を包含する濃縮ガスを取り出し、ｅ）該第１の膜の透過物サイドから、第１の透過物流として、該少なくとも１種のキャリヤーガスから実質的になる欠乏（depleted）ガス混合物を取り出す各工程を備え、ｆ）該ガス混合物を、第１の膜の供給サイドへのガス混合物の供給前に第１の膜に有害な種のほとんどを実質的に除去するために第１の膜の供給サイドへの受け入れ前に処理するたことを特徴とする、ガス混合物から少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを回収する方法に関する。」と訂正する。
（マ）本件特許明細書の段落００２１における、
「本発明の他の側面は、ａ）反応器流出ガス導管を付設した、パーフルオロ化合物ガス、・・・から反応器チャンバーへ向けるところの膜分離ユニットを備えた半導体装置である。・・・」を、
「本発明の他の側面は、ａ）反応器流出ガス導管を付設した、ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、キャリヤーガス等を受けるための少なくとも１つの反応器チャンバ、ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有する少なくとも１つのガラス状ポリマー膜分離ユニットであって、該膜は少なくとも１種のキャリヤーガスに対して透過性であり、かつ少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して実質的に非透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜からなり、該膜ユニットは該反応器流出ガス導管を介して該反応器チャンバに接続し、該膜ユニットは該供給サイドから該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む非透過物流を取り出し、該透過物サイドから該キャリヤーガスに富む透過物流を取り出し、該膜ユニットは透過物排出導管および非透過物排出導管を有するところの膜分離ユニット、ｃ）該膜ユニットからの該非透過物流の少なくとも一部を該少なくとも１つの反応器チャンバに再循環させるための手段を備えた半導体装置である。・・・」と訂正する。
（ケ）本件特許明細書の段落００２９における、
「本発明の目的にとって、パーフルオロ化合物は、・・・ＷＦ６、ＷＯＦ４を含んでもよい。・・・」を、
「本発明の目的にとって、パーフルオロ化合物（ＰＦＣ）ガスは、ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種である。・・・」と訂正する。
（フ）本件特許明細書の段落００３０における記載を、
「本発明に使用される膜は、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの（例えば、アルキル、アリール）置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜である。」と訂正する。
（コ）本件特許明細書の段落０１００における「実施例３」を「参考例１」と訂正し、本件特許明細書の段落０１０５における「実施例４」を「参考例２」と訂正し、本件特許明細書の段落０１１０における「実施例５」を「参考例３」と訂正し、本件特許明細書の段落０１１４における「実施例６」を「実施例３」と訂正し、本件特許明細書の段落０１１８における「実施例７」を「実施例４」と訂正する。
　
III−２．訂正の適否の判断
III−２−１．訂正の目的
〈上記（イ）の訂正〉
　上記（イ）の訂正は、本件特許明細書の請求項１において、少なくと１種のパーフルオロ化合物ガスを、「ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる」と規定し、当該パーフルオロ化合物ガスを下位概念のものに限定するものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ロ）の訂正〉
　上記（ロ）の訂正は、本件特許明細書の請求項１において、ガラス状ポリマー膜を、「ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られた」ものと規定し、当該ガラス状ポリマー膜を下位概念のものに限定するものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ハ）の訂正〉
　上記（ハ）の訂正は、本件特許明細書の請求項８において、そこでのガラス状ポリマー膜を、「ポリイミド」で作られたと規定し、当該ガラス状ポリマー膜を下位概念のものに限定するものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ニ）の訂正〉
　上記（ニ）の訂正は、本件特許明細書の請求項１２において、そこでのパーフルオロ化合物からＳＦ６を削除して、該パーフルオロ化合物を「Ｃ２Ｆ６、ＣＨＦ３、ＣＦ４およびＮＦ３からなる群の中から選ばれる」と規定し、当該パーフルオロ化合物ガスを更に限定するものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ホ）の訂正〉
　上記（ホ）の訂正は、本件特許明細書の請求項２２において、そこでのパーフルオロ化合物ガスを、「ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくと１種」のものと規定し、当該パーフルオロ化合物ガスを下位概念のものに限定するので、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ヘ）の訂正〉
　上記（ヘ）の訂正は、本件特許明細書の請求項２２において、そこでのガラス状ポリマー膜を、上記訂正（ロ）と同じように規定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ト）の訂正〉
　上記（ト）の訂正は、本件特許明細書の請求項２２において、そこでの膜ユニットを、「該供給サイドから該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む非透過物流を取り出し、該透過物サイドから該キャリヤーガスに富む透過物流を取り出」すものと規定し、当該膜ユニットを具体化し限定するので、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（チ）の訂正〉
　上記（チ）の訂正は、本件特許明細書の請求項２４において、そこでの少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを、上記訂正（イ）と同じように規定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（リ）の訂正〉
　上記（リ）の訂正は、本件特許明細書の請求項２４において、そこでのガラス状ポリマー膜を、上記訂正（ロ）と同じように規定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ヌ）の訂正〉
　上記（ヌ）の訂正は、本件特許明細書の請求項３０において、そこでのガラス状ポリマー膜を、上記訂正（ハ）と同じように規定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ル）の訂正〉
　上記（ル）の訂正は、本件特許明細書の請求項３５において、そこでの有効な圧力を、「約１０５パスカルないし約１０６パスカルの範囲」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
（上記（ヲ）の訂正）
　上記（ヲ）の訂正は、本件特許明細書の請求項４９において、そこでの少なくと１種のパーフルオロ化合物ガスを、上記訂正（イ）と同じように規定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ワ）の訂正〉
　上記（ワ）の訂正は、本件特許明細書の請求項４９において、そこでのガラス状ポリマー膜を、上記訂正（ロ）と同じように規定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（カ）の訂正〉
　上記（カ）の訂正は、本件特許明細書の請求項５０において、そこでのパーフルオロ化合物ガスを、上記訂正（ホ）と同じように規定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ヨ）の訂正〉
　上記（ヨ）の訂正は、本件特許明細書の請求項５０において、そこでのガラス状ポリマー中空繊維を、「ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたもの」と規定し、当該ガラス状ポリマー中空繊維を下位概念のものに限定するものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（タ）の訂正〉
　上記（タ）の訂正は、本件特許明細書の請求項５０において、そこでの膜ユニットを、上記訂正（ト）と同じように規定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（レ）の訂正〉
　上記（レ）の訂正は、本件特許明細書の請求項５５において、そこでのパーフルオロ化合物ガスを、上記訂正（ホ）と同じように規定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ソ）の訂正〉
　上記（ソ）の訂正は、本件特許明細書の請求項５５において、そこでのガラス状ポリマー中空繊維を、上記訂正（ヨ）と同じように規定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ツ）の訂正〉
　上記（ツ）の訂正は、本件特許明細書の請求項５５において、そこでの膜ユニットを、上記訂正（ト）と同じように規定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ネ）の訂正〉
　上記（ネ）の訂正は、本件特許明細書の請求項５７において、そこでの少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを、上記訂正（イ）と同じように規定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ナ）の訂正〉
　上記（ナ）の訂正は、本件特許明細書の請求項５７において、そこでの十分な温度を、「５０℃ないし６０℃の範囲」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ラ）及び（ム）の訂正〉
　上記（ラ）及び（ム）の訂正は、本件特許明細書の請求項５７において、そこでの膜を、「ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜」と規定し、当該ガラス状ポリマー中空繊維を下位概念のものに限定するものであるので、当該（ラ）及び（ム）の訂正はいずれも特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ウ）の訂正〉
　上記（ウ）の訂正は、本件特許明細書の請求項６６における、膜を、「ガラス状ポリマー膜」と下位概念のものに限定し、また、「ポリイミドで作られる」と限定するので、これらはいずれも、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（ノ）の訂正〉
　上記（ノ）の訂正は、本件特許明細書の請求項６、２３、２８、３６、４０、６３及び６７を削除するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
〈上記（オ）及び（ク）の訂正〉
　上記（オ）及び（ク）の訂正は、本件特許明細書の特許請求の範囲において、上記請求項の削除に伴い、結果的に不整合となった請求項番号を揃え、また、更に、引用する請求項番号を整合するものであるので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
〈上記（ヤ）〜（コ）の訂正〉
　上記（ヤ）〜（コ）の訂正は、上記請求項の訂正に伴い、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載をこれに整合させるものであるので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　
III−２−２．新規事項の有無
　上記（イ）、（ニ）、（ホ）、（チ）、（ヲ）、（カ）、（レ）及び（ネ）の訂正において、少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスが「ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる」ものであること、ないしは、パーフルオロ化合物ガスが「ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種の」又は「Ｃ２Ｆ６、ＣＨＦ３、ＣＦ４およびＮＦ３からなる群の中から選ばれる」ものであることは、いずれも、本件特許明細書の段落００２９、同請求項６、１２、２８、４０、４４及び６３等の記載から自明なこととして導き出せるものである。
　上記（ロ）、（ヘ）、（リ）、（ワ）、（ヨ）、（ソ）、（ラ）及び（ム）の訂正における、ガラス状ポリマー膜及びガラス状ポリマー中空繊維が「ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られた」ものであること、また、膜が「ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜」であることは、本件特許明細書の段落００３０、同請求項８、３０、及び６６等に記載され、又は、それらの記載から自明なこととして導き出せるものである。
　上記（ハ）、（ヌ）及び（ウ）の訂正における、ガラス状ポリマー膜が「ポリイミド」で作られること、ないしは、膜が「ガラス状ポリマー膜」で「ポリイミド」で作られることは、本件特許明細書の段落００３０、００３１、請求項８、３０、及び６６等に記載され、又は、それらの記載から自明なこととして導き出せるものである。
　上記（ト）、（タ）及び（ツ）の訂正における、膜ユニットが、「該供給サイドから該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む非透過物流を取り出し、該透過物サイドから該キャリヤーガスに富む透過物流を取り出」すものであることは、本件特許明細書の請求項１、５７、同図２等の記載から自明なこととして導き出せるものである。
　上記（ル）の訂正における、有効な圧力が「約１０５パスカルないし約１０６パスカルの範囲」であることは本件特許明細書の請求項３６に記載される。
　上記（ナ）の訂正における、十分な温度が「５０℃ないし６０℃の範囲」であることは、本件特許明細書の請求項６７に記載される。
　上記（ノ）の訂正は、単に請求項を削除するだけのものであり、また、上記（オ）及び（ク）の訂正は、その請求項の削除に伴い請求項番号を揃え、又は、引用する請求項番号を整合するだけのものであり、更に、上記（ヤ）〜（コ）の訂正は、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるだけのものであるから、これらの訂正事項は、本件特許明細書の記載から自明なこととして導き出せないといえるものではない。
　そうすると、上記（イ）〜（コ）の訂正は、いずれも、新規事項の追加には該当せず、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内でなされるものである。
　
III−２−３．拡張・変更の存否
　上記（イ）〜（コ）の訂正は、III−２−１．で説示したとおり、特許請求の範囲を減縮するものであり、請求項を削除するものであり、請求項番号を揃えるものであり、又は、引用する請求項番号を整合させるものであり、更には、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるだけのものであって、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものには該当しないことは明らかなことである。
　
III−３．訂正の適否の結論
　よって、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項、及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
IV．本件発明
　訂正後の本件特許第３１５１１５１号の請求項１〜６０に係る発明は、平成１５年１１月２７日付けで訂正請求がなされ、その請求どおり訂正された明細書の特許請求の範囲に記載されるとおりのものであって、その独立形式で記載される請求項である請求項１、２１、２２、４４、４５、５０及び５２には次のとおりのことが記載される。
（以下、訂正後の請求項１〜６０に係る発明を、必要に応じて、それぞれ、「本件発明１〜６０」という）
【請求項１】ａ）ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスおよび少なくとも１種のキャリヤーガスを包含し、第１の圧力および第１の温度にあるガス混合物を提供し、
ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有する第１のガラス状ポリマー膜であって、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られた第１のガラス状ポリマー膜を提供し、
ｃ）該第１の膜の供給サイドを該ガス混合物と接触させ、
ｄ）該第１の膜の供給サイドから、該所定の圧力と実質的に等しい圧力にある第１の非透過物流として、実質的に該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを包含する濃縮ガスを取り出し、
ｅ）該第１の膜の透過物サイドから、第１の透過物流として、該少なくとも１種のキャリヤーガスから実質的になる欠乏ガス混合物を取り出す各工程を備え、
ｆ）該ガス混合物を、第１の膜の供給サイドへのガス混合物の供給前に第１の膜に有害な種のほとんどを実質的に除去するために第１の膜の供給サイドへの受け入れ前に処理するたことを特徴とする、ガス混合物から少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを回収する方法。
【請求項２１】ａ）反応器流出ガス導管を付設した、ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、キャリヤーガス等を受けるための少なくとも１つの反応器チャンバ、
ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有する少なくとも１つのガラス状ポリマー膜分離ユニットであって、該膜は少なくとも１種のキャリヤーガスに対して透過性であり、かつ少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して実質的に非透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜からなり、該膜ユニットは該反応器流出ガス導管を介して該反応器チャンバに接続し、該膜ユニットは該供給サイドから該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む非透過物流を取り出し、該透過物サイドから該キャリヤーガスに富む透過物流を取り出し、該膜ユニットは透過物排出導管および非透過物排出導管を有するところの膜分離ユニット、
ｃ）該膜ユニットからの該非透過物流の少なくとも一部を該少なくとも１つの反応器チャンバに再循環させるための手段を備えた半導体製造装置。
【請求項２２】反応性ガス、パーフルオロ化合物ガス、およびキャリヤーガスを含有するガス混合物から少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを回収するための方法であって、
ａ）ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、少なくとも１種のキャリヤーガスおよび少なくとも１種の反応性ガスを含有するガス混合物を提供する工程、
ｂ）該ガス混合物を、該反応性ガスの大部分を実質的に除去し、それにより該パーフルオロ化合物ガスと該キャリヤーガスから実質的になる中間ガス混合物を生成する装置に送る工程、
ｃ）複数の中空繊維ガラス状ポリマー膜を有し、供給サイドおよび透過物サイドを有する少なくとも１つの膜ユニットであって、該膜の中空繊維は該少なくとも１種のキャリヤーガスに対して透過性であり、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して非透過性であり、該膜はポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜からなるところの少なくとも１つの膜ユニットを提供する工程、
ｄ）該少なくとも１つの膜ユニットの供給サイドを該中間ガス混合物と接触させる工程であって、該中間ガス混合物は所定の圧力にあり、
ｅ）該膜ユニットの供給サイドから該所定の圧力と実質的に等しい圧力にある第１の非透過物流として、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを実質的に含む濃縮ガス混合物を取り出す工程、および
ｆ）該膜ユニットの透過物サイドから透過物流として、該少なくとも１種のキャリヤーガスから実質的になる欠乏ガス混合物を取り出す工程を備える該方法。
【請求項４４】半導体製造器具から流出するガス混合物からＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを回収するための方法であって、該ガス混合物は少なくとも１種のキャリヤーガスおよび少なくとも１種の反応性ガスを含有し、該方法は、
ａ）該ガス混合物を、該反応性ガスの大部分を実質的に除去し、それにより該パーフルオロ化合物ガスと該キャリヤーガスから実質的になる中間ガス混合物を生成する装置に送る工程、
ｂ）複数の中空繊維ガラス状ポリマー膜を有し、供給サイドおよび透過物サイドを有する少なくとも１つの膜ユニットであって、該膜ユニットの各中空繊維ガラス状ポリマー膜は該少なくとも１種のキャリヤーガスに対して透過性であり、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して非透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたものであるところの少なくとも１つの膜ユニットの該供給サイドに該中間ガス混合物を送る工程であって、該中間ガス混合物は所定の圧力にあり、
ｃ）該膜ユニットの供給サイドから該所定の圧力と実質的に等しい圧力にある非透過物流として、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを実質的に含む濃縮ガス混合物を取り出す工程、および
ｄ）該膜ユニットの透過物サイドから透過物流として、該少なくとも１種のキャリヤーガスから実質的になる欠乏ガス混合物を取り出す工程を備える該方法。
【請求項４５】ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、反応性ガスおよびキャリヤーガスを含有するガス混合物を処理するための、処理ユニットおよび回収ユニットを結合した装置であって、該装置は、
ａ）該ガス混合物を受け取るために適合する処理ユニットであって、燃焼器、熱−化学分解器、プラズマ分解器、パルスコロナ反応器、およびそれらの組み合わせからなる群の中から選ばれ、かつ該パーフルオロ化合物ガスおよび該キャリヤーガスから実質的になる中間ガス混合物を生成するために適合する処理ユニット、
ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有し、複数のガラス状ポリマー中空繊維を備えた少なくとも１つの膜分離ユニットであって、該ガラス状ポリマー中空繊維は該キャリヤーガスに対して透過性であり、該パーフルオロ化合物ガスに対して実質的に不透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたものであり、該膜ユニットは処理装置流出物導管を介して該処理ユニットと接続され、該膜ユニットは該供給サイドから該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む非透過物流を取り出し、該透過物サイドから該キャリヤーガスに富む透過物流を取り出し、該膜ユニットは、透過物排出導管と非透過物導管を備えるところの膜分離ユニットを備える該装置。
【請求項５０】ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、反応性ガスおよびキャリヤーガスを含有するガス混合物を処理するための、処理ユニットおよび回収ユニットを結合した装置であって、該装置は、
ａ）該ガス混合物を受け取るために適合する処理ユニットであって、燃焼器、熱−化学分解器、プラズマ分解器、パルスコロナ反応器、およびそれらの組み合わせからなる群の中から選ばれ、かつ該パーフルオロ化合物ガスおよび該キャリヤーガスから実質的になる中間ガス混合物を生成するために適合する処理ユニット、
ｂ）処理ユニット排出導管を介して該処理ユニットに接続され、コンプレッサー排出導管を通して圧縮された中間ガス混合物を生じさせるために適合したコンプレッサー、
ｃ）所望の圧縮中間ガス温度を提供するために適合し、該コンプレッサー排出導管内に設けられた任意の加熱または冷却手段、
ｄ）供給サイドおよび透過物サイドを有し、複数のガラス状ポリマー中空繊維を備えた少なくとも１つの膜分離ユニットであって、該ガラス状ポリマー中空繊維は該キャリヤーガスに対して透過性であり、該パーフルオロ化合物ガスに対して実質的に不透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたものであり、該膜ユニットはコンプレッサー排出導管を介して該コンプレッサーと接続され、該膜ユニットは該供給サイドから該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む非透過物流を取り出し、該透過物サイドから該キャリヤーガスに富む透過物流を取り出し、該膜ユニットは、透過物排出導管と非透過物導管を備えるところの膜分離ユニットを備える該装置。
【請求項５２】少なくとも１種のキャリヤーガスおよび少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを含有するガス混合物から少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを分離・回収するための方法であって、
（ａ）少なくとも１種のキャリヤーガスおよびＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを含有するガス混合物を圧縮する工程、
（ｂ）該ガス混合物を、該少なくとも１種のキャリヤーガスの透過を選択的に増加させるために５０℃ないし６０℃の範囲の温度に加熱する工程、
（ｃ）該ガス混合物を、該少なくとも１種のキャリヤーガスを該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスよりも速く透過させる膜であって、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜と接触させて、該少なくとも１種のキャリヤーガスに富む透過物流と該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む非透過物流を得る工程、および
（ｄ）該非透過物流を、該少なくとも１種のキャリヤーガスを該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスよりも速く透過させる１またはそれ以上の膜であって、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜と接触させて、該少なくとも１種のキャリヤーガスに富む第２の透過物流と該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む第２の非透過物流を得る工程を備える該方法。
　
V．特許異議申立の概要
　特許異議申立人は、以下の証拠を提示し、次のように主張する。
　本件請求項１〜６７に係る発明（本件訂正発明１〜６０）は、甲第１〜９号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、これらの発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
甲第１号証：Ｉｎｄ．Ｅｎｇ．Ｃｈｅｍ．Ｐｒｏｃｅｓｓ．Ｄｅｓ．Ｄｅｖ
　　　　　　．１９８６，２５，Ａｍｅｒｉｃａｎ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ
　　　　　　Ｓｏｃｉｅｔｙ，ｐ９７１〜９７３
甲第２号証：特開平３−２８４３３５号公報
甲第３号証：特開平２−１５７０１３号公報
甲第４号証：化学機械技術４１、「高度分離技術の新しい展開」、１９８９
　　　　　　年５月２０日、さんえい出版、第２７７〜２８１頁
甲第５号証：特開昭５５−１３４６０３号公報
甲第６号証：Ｍａｔ．Ｒｅｓ．Ｓｏｃ．Ｓｙｍｐ．Ｐｒｏｃ．Ｖｏｌ．
　　　　　　３４４，１９９４，Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　Ｒｅｓｅａｒ
　　　　　　ｃｈ　Ｓｏｃｉｅｔｙ、ｐ２６７〜２７２
甲第７号証：米国特許第３７３５５５８号明細書
甲第８号証：特開平６−２５４３６７号公報
甲第９号証：特開昭６３−１２６５２２号公報
　
VI．証拠の記載内容
　甲第１号証には、「シリコーンゴム膜を用いたフレオンガスの回収」と題し、以下のことが記載される。
（Ａ−１）「種々のフレオンガス（ＣＦ４，ＣＣｌＦ３，ＣＣｌ２Ｆ２，Ｃ２ＣｌＦ５）に対してシリコーンゴム膜を通過する透過性を測定した。これらのガスは種々の工業で普通に使われる溶剤であり、適切な選択性膜を通す透過によってこれらの溶剤を回収する可能性が存在する。我々は、フレオンの透過が、選択性（酸素と比較した）に対する透過性をプロットするとかなり単純な関係になることを見出した。ＣＦ４の透過性は酸素の透過性の１５倍以上小さいことが見出された。この観察から、半導体の製造においてよく使われるプラズマエッチング反応の排気からＣＦ４を回収する可能性が示される。デザイン例の計算によって、我々はＣＦ４が９９．９〜９９．９９％の純度で容易に回収され得ることを見出した。５００ｃｍ３（ＳＴＰ）／ｍｉｎの排気ガスを処理するには、膜ユニットは５０ｆｔ２の膜表面面積が要求されるだろう。ＣＦ４の３分の１又は２分の１を回収したとしても、このシステムは約２００時間の運転で元を取り得るだろう。」（第９７１頁上段）
（Ａ−２）「我々の研究所において、我々は種々のフレオンガスに対するシリコーンゴム膜の透過性を測定した。これらのデータから、我々は、プラズマエッチングで通常使われるフレオン（フレオン１４，ＣＦ４）を回収しリサイクルすることができるスキームを提出した。」（第９７１頁左欄第２６〜３０行）
（Ａ−３）「これらの実験で用いられた膜は、ポリスルホンの裏地を持つシリコーンゴムであった。・・・。シェルは幅が１４ｃｍで長さが１９ｃｍの膜を保持する。」（第９７１頁右欄下から第２６行〜第１７行）
（Ａ−４）「シリコーンゴムでの多くのフレオンガスの透過比は、空気と異なり、フレオンガスを経済的に回収できるほど充分大きくない。事実、他の膜物質がより好ましい選択性を提供するかもしれない。しかしながら、シリコーンゴムでは、図３をもとにして、フレオン１１（ＣＣｌ３Ｆ）がシリコーンゴムをかなり速やかに通過しただろうこと、それ故、フロン１１が洗浄溶剤として用いられる場合には回収可能であることを予測できる。」（第９７２頁右欄第６〜１４行）
（Ａ−５）「しかしながら、今日までの我々のデータから、半導体の製造において最高の用途は、酸素と混合したＣＦ４ガスを用いる反応槽であるプラズマエッチング反応槽の排気ガスからのＣＦ４の回収と思われる。フレオン回収の検知から、プラズマエッチング反応槽は、供給ガス（典型的には９６％ＣＦ４と４％Ｏ２）が低圧で導入される容器である。・・・。反応槽で供給ガスは極めて少量が消費される。それ故、排気は、反応槽からポンプで排出され、供給ガスとほぼ同一の組成を持つ、しかし、プラズマ反応からの幅広い種々の不純物（例えば，ＣＯＦ２とＣＯＣｌ２，Ｆ２）を含んでいる。これらの不純物の全てがシリコーンゴム透過装置でどのような挙動を示するかは確かでないが、これらの不純物はＣＦ４に比較してそれらの極性と反応性のために、酸素と共に透過すると期待される。現時点で、我々は少なくとも、ＣＦ４から酸素を除いて高純度化されたＣＦ４を製造できることを確信している。」（第９７２頁右欄第１８行〜第９７３頁左欄本文第９行）
（Ａ−６）「ＣＦ４の膜回収のフロー図は図４のように表すことができる。第１の真空ポンプは膜ユニットがなくてもプラズマ反応槽に必要なものである。結果として、ＣＦ４を回収するために追加される装置は膜ユニットと第２の真空ポンプである。」（第９７３頁左欄本文第１０〜１５行）
（Ａ−７）図４では、エッチングガス（９６％ＣＦ４と４％Ｏ２）がプラズマ反応槽に流れ、次に、第１の真空ポンプを経て、膜分離装置に導入され、そこから精製されたリサイクル用ＣＦ４が不透過流として取り出され、一方、透過流は、次いで、第２の真空ポンプを経て、酸素を豊富に含む廃棄流として取り出されるフロースキームが掲載され、これと併せて、「プラズマエッチングガスからのＣＦ４を回収するための可能なフロースキーム．膜分離装置への供給ガスはプラズマ反応槽のある組からの排出物を含んでいてもさしつかえない．」ことが示される。
　
　甲第２号証には、「非対称性分離膜及び浸透気化分離法」に関し、以下のことが記載されている。
（Ｂ−１）「この発明は、・・・特定の芳香族ポリイミドからなる非対称性分離膜（極めて薄い緻密層と比較的厚い多孔質層とを一体に有しているへら膜、中空糸膜など）に係わるものである。」（第１頁右下欄第１１〜１７行）
（Ｂ−２）「この発明の非対称性分離膜は、水素、ヘリウム、一酸化炭素、炭酸ガス、メタンなどガスの混合ガスをその膜の片面に供給することによって、透過側から少なくとも一種のガスを選択的に得るような、混合ガスのガス分離を行うことができ、例えば、この発明の非対称性分離膜は、測定温度；２５℃、および測定圧力；１〜２ｋｇ／ｃｍ２である測定条件で、それぞれ純ガスを用いてガス透過性能を測定した場合に、そのヘリウムガスの透過速度（ＰＨｅ）が約０．１〜１０×１０−４ｃｍ３（ＳＴＰ）／ｃｍ３・ｓｅｃ・ｃｍＨｇであって、分離性能〔ヘリウムガスの透過速度と６フッ化硫黄ガスの透過速度との比（ＰＨｅ／ＰＳＦ６）〕が３〜２０程度のガス分離性能を示す。」（第４頁左下欄第１３行〜右下欄第６行）
（Ｂ−３）「実施例１４〜１９
　実施例１〜６で得られた非対称の中空糸分離膜を使用して、実施例７と同様にしてガス分離膜モジュールをそれぞれ製造した。
　前述のようして製造された各ガス分離膜モジュールに、１〜２ｋｇ／ｃｍ３のヘリウムガス、または、６フッ化硫黄ガスを、２５℃で供給して、それぞれのガス分離膜モジュールのガス透過速度をそれぞれ測定した。その結果を第３表に示す。
　　　　　　　　　　　　　　第３表
　　　　　　　　　　　　　　　　　　ガス透過性能
　実施例　中空糸膜の種類　　ガス透過速度　　　　ガス分離性能
　　　　　　実施例）　　　　ＰＨｅ（×１０−４）　ＰＨｅ／ＰＳＦ６　
　１４　　実施例１　　　　　　３．３　　　　　　　４．９
　１５　　実施例２　　　　　　０．８３　　　　　　７．３
　１６　　実施例３　　　　　　３．２　　　　　　　７．３
　１７　　実施例４　　　　　　１．２　　　　　　　８．２
　１８　　実施例５　　　　　　５．２　　　　　　　７．８
　１９　　実施例６　　　　　　０．８２　　　　　　５．１」旨
（第７頁左下欄第１〜末行）
　
　甲第３号証には、「膜劣化の防止」に関し、以下のことが記載されている。
（Ｃ−１）「容易に透過しうる成分と容易に透過し難い成分とを含有し、そしてＣ５（ペンタン）より重い重質炭化水素とＣ５以下の軽質炭化水素とを含む汚染物を含有する供給気体混合物から前記容易に透過しうる成分を選択的に透過することの出来る膜装置における供給気体の分離方法」（特許請求の範囲第１項の抜粋）
（Ｃ−２）「本発明のシステム及びプロセスは、重質油炭化水素蒸気汚染物による膜劣化を低減或いは排除するために吸着剤トラップを使用する。供給気体からこうした重質炭化水素を吸着することにより、吸着剤トラップは、膜システムが分離容量の著しい過剰設計なくしてそして取り替え或いは回復処理前の有効寿命期間を延長して使用されることを可能ならしめる。」（第４頁左下欄第１６行〜右下欄第３行）
（Ｃ−３）「こうした膜構造は、螺旋巻き、中空繊維、平坦シート等のような様々の形態で作製されうる。」（第７頁右下欄第６及び７行）
（Ｃ−４）「ある特定の気体分離において使用される膜材料は、・・・選択的に透過することの出来る任意の材料であり得る。・・・アリールポリアミドやアリールポリイミドを含むポリアミド及びポリイミド；ポリスルホン；ポリスチレン等がそうした材料の例である。」（第７頁右下欄第１６行〜第８頁左上欄第３行）
（Ｃ−５）「図面は、膜ユニットへの通過前に供給気体流れから重質油炭化水素蒸気の除去のための吸着剤トラップの使用に適した膜分離システムの概略流れ図である。」（第８頁左下欄第１０〜１３行）
（Ｃ−６）図面には、膜ユニット１３へ供給するガスを、空気圧縮機２で前処理すること、分離帯域６や吸着剤トラップ１１により前処理すること、及び、アフタークーラーで前処理することからなる概略フローが掲載される。
　
　甲第４号証には、以下のことが記載されている。
（Ｄ−１）「アンモニアプラントパージガスからの水素の回収」と題し、「図１２．５にシステムの概略を示したが，パージガス中のアンモニアを除去する前処理，プリズムセパレーター本体およびアンモニア回収の３工程より構成される。」（第２２７頁下から第９行〜下から第７行）
（Ｄ−２）「プリズムセパレーターを組み込んだハイドロクラッカーシステム」と題する図１２．５には、プリズムセパレータへ供給するガスをミスト除去器及びプレヒーターに導くシステムが掲載される。（第２８１頁上段）
　
　甲第５号証には、「気体回収方法」に関し、以下のことが記載されている。
（Ｅ−１）「本発明は気体混合物から気体を分離および回収するための方法に関し」（第４頁右下欄第２及び３行）
（Ｅ−２）「適当な膜物質としては・・・有機重合体があげられる。平面状、螺旋巻き状および中空状の繊維膜の形成に適当な典型的有機重合体は置換または非置換の重合体であることができ、そしてこれらはポリスルホン、・・・、アリールポリアミドおよびアリールポリイミドを含むポリアミドおよびポリイミド、・・・から選ぶことができる。」（第１１頁右上欄第６行〜第１２頁左上欄第１行）
（Ｅ−３）「この排出気体混合物（・・・）を並列に操作されている二つのパーミエーターを包含する膜パーミエータユニットに導く。この排出流れは前以てすべての混入した液体分を除去されており、そして水溶性反応成分および生成物蒸気除去のために水で洗滌（スクラビング）されていた。」（第１５頁左上欄第４〜１１行）
　
　甲第６号証には、「ＰＦＣの濃縮およびリサイクル」と題し、以下のことが記載されている。
（Ｆ−１）「現在のＰＦＣガスの除去は高温酸化工程を含んだものである。その工程はエネルギー集約的であり、そしてＨＦを生成する。ＨＦは腐食性のために除去が必要である。ＨＦを除去するために水スクラバー法が広く行われる。ＨＦは次の処理の前に処理されねばならない。」（第２６７頁下から第１２行〜下から第９行）
　
　甲第７号証には、「流体分離方法及び装置」に関し、以下のことが記載されている。
（Ｇ−１）第１〜４図（第６欄第４１〜６２行、第７欄第３〜１７行、第８欄第３〜１１行の記載参照）には、中空透過チューブ１０を有する装置において、中空透過チューブ１０の透過側と流体連通する還流又は掃引流体導管２２を設けた装置が掲載される。
（Ｇ−２）「圧縮湿潤空気は、更に必要に応じて、活性炭処理または他の慣用手段によってオイルを除去し、かつクーラー、デミスター、フィルター、及び／又はウォータートラップまたは他の慣用手段によって水滴または過剰の水分を除去してもよい。・・・。上記処理後の圧縮湿潤空気は、透過分離カラムに導入され、上述したとおり処理される。」（第１０欄第４〜１４行）
　
　甲第８号証には、「非対称性中空糸ポリイミド気体分離膜」に関し、以下のことが記載される。
（Ｈ−１）「凝固させた中空糸状体は、これから凝固液等を十分に除去し、乾燥すると、外側表面に緻密な層（スキン層）を有する非対称性中空糸膜が得られる。」（段落００３２の抜粋）
（Ｈ−２）「本願発明の非対称性中空糸ポリイミド気体分離膜は、例えば中空糸を・・・束ねて形成させた中空糸膜束が、その両端の中空（孔）が塞がらないように両端を・・・固着して、モジュ−ル化し、これを少なくとも気体混合物（原料ガス）の供給口、未透過気体の排出口及び透過気体の排出口を有する容器に収納し、気体分離装置として用いられる。
　気体混合物を分離する場合、気体混合物は中空糸の外側から供給して中空糸の内側（孔側）から透過気体を取り出す方法で行っても、また気体混合物を中空糸の一方の内側から供給して中空糸内を流動通過させてもう一方の内側から排出される間に、透過気体を中空糸の外側に透過させる方法で行ってもよい」（段落００３３の抜粋）
　
　甲第９号証には、「気体流体の成分の分離方法」に関し、以下のことが記載されている。
（Ｉ−１）「供給流体１０ははじめに循環流体９５と混合させて６６．６モル％のヘリウム濃度をもつ混合された流体２０を形成させる。混合された流体２０は次に第一の膜ユニット２１に供給して第一の透過流体３０と第一の不透過流体４０を形成させる。・・・。第一の膜ユニット２１からの不透過流体４０は入つてきたばかりの供給物１０とほぼ同じ圧力にあり、第二の膜ユニット２２に供給されて追加のヘリウムを回収する。」（第８頁左上欄第１１行〜右上欄第９行）
　
VII．異議申立に対する当審の判断（訂正された発明について）
VII−１．本件発明１
　甲第１号証には、その前記（Ａ−１）、（Ａ−２）、（Ａ−５）〜（Ａ−７）とＦｉｇｕｒｅ４．の記載により、「エッチングガス（９６％ＣＦ４と４％Ｏ２）をプラズマ反応槽に供給し、エッチングガスとほぼ同一の組成を有するプラズマ反応槽の排気ガスからＣＦ４ガスを回収する方法であって、プラズマ反応槽の排気ガスをシリコーンゴム膜からなる膜分離装置に供給し、当該膜分離装置において、精製されたＣＦ４ガスを不透過流として取り出し、一方、Ｏ２ガスを豊富に含む廃棄流を透過流として取り出すことからなるＣＦ４ガスを回収する方法」に関する発明が記載されている
　そこで、本件発明１と甲第１号証に記載の発明とを対比する。
　甲第１号証の発明のＣＦ４ガスは本件発明１の「ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス」に含まれ、甲第１号証の発明のＯ２ガスは本件発明１の「キャリヤーガス」に含まれ、そして、甲第１号証の発明の排気ガスは本件発明１の「ガス混合物」に相当する。
　また、甲第１号証の発明のシリコーンゴム膜は、それによって排気ガス成分を分離するのであるから、当然のこととして、供給サイド及び排気サイドを具備するものである。
　そして、甲第１号証の発明では、本件発明と同様に、排気ガスを膜分離装置の膜に供給し、ＣＦ４ガスを非透過物流として取り出し、また、Ｏ２ガスから実質的になるＣＦ４ガスが欠乏する混合物を透過物流として取り出すものである。
　この場合、甲第１号証の発明では、排気ガスは上記するエッチングガスと同様にＣＦ４を高濃度で含んでいるものであり、しかも、膜分離装置において不透過物流として取り出されるＣＦ４は全排気ガス体積の殆ど大部分を占めるものである以上、膜分離装置から取り出される不透過物流の圧力は排気ガスのものに比べて低減するとまではいえず、したがって、甲第１号証の発明においても、その不透過物流は、膜分離装置に供給される排気ガスの圧力と実質的に等しい圧力を有するものである。
　よって、両者は、
「ａ）ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスおよび少なくとも１種のキャリヤーガスを包含し、第１の圧力および第１の温度にあるガス混合物を提供し、
ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有する第１の膜を提供し、
ｃ）該第１の膜の供給サイドを該ガス混合物と接触させ、
ｄ）該第１の膜の供給サイドから、該所定の圧力と実質的に等しい圧力にある第１の非透過物流として、実質的に該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを包含する濃縮ガスを取り出し、
ｅ）該第１の膜の透過物サイドから、第１の透過物流として、該少なくとも１種のキャリヤーガスから実質的になる欠乏ガス混合物を取り出す各工程を備える、ガス混合物から少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを回収する方法」である点で一致し、以下の点で相違する。
【相違点１】当該第１の膜が、本件発明１では、「ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜」であるのに対し、甲第１号証に記載の発明では、膜としてシリコーンゴム膜を用いるものの、当該特定ガラス状ポリマーを用いるものではない点
【相違点２】当該方法において、本件発明１では、「ｆ）該ガス混合物を、第１の膜の供給サイドへのガス混合物の供給前に第１の膜に有害な種のほとんどを実質的に除去するために第１の膜の供給サイドへの受け入れ前に処理する」ものであるのに対し、甲第１号証に記載の発明ではそのような特定事項を具備しない点
　以下、上記相違点に関する特定事項が当業者が容易に想到できるものであるか否かにつき検討する。
【相違点１について】
　本件訂正明細書の記載（特に、請求項１の記載と、段落０００３〜００１１及び００８５〜０１１８の記載）によれば、本件発明１は、膜として、「ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマー」（以下、必要に応じて、「特定ポリマー」という）で作られたガラス状ポリマー膜を採択したものであって、当該特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー膜に対して「ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス」（以下、必要に応じて、「特定パーフルオロ化合物ガス」という）及びキャリヤーガスを含むガス混合物を接触させることにより、ＨＦのような腐食性の物質を生ずることなく、また、混合ガスに含まれる水分に影響されることなく、温和なプロセスにより特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物流として有効に分離・回収することができたというものである。
　このように、本件発明１の相違点１に関する特定事項である「特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー膜」は、当該膜と接触するガス混合物から特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物流として分離・回収するために採択されるものである。
　これに対して、甲第１号証に記載の発明は、特定パーフルオロ化合物ガス及びキャリヤーガスを含むガス混合物を、膜に接触させて、特定パーフルオロ化合物ガスとキャリヤーガスとに分離・回収するものであるが、そこでは、膜材料としてシリコーンゴムが用いられているだけであり、その他の材料については何も説明するものはない。
　そして、シリコーンゴム膜によりガス混合物から特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物流として分離・回収することができれば、その他のポリマー膜においても当然の如く特定パーフルオロ化合物ガスを分離・回収できるといえるものではない。しかも、本件発明１で用いるガラス状ポリマー膜の特定ポリマーは、シリコーンゴムとその物性が著しく異なることはいうまでもない。
　したがって、甲第１号証に記載の発明からは、その膜として、特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー膜を用いることが容易に想到できるものではない。
　次に、当該相違点につき、他の甲号証の記載を順次みる。
　甲第２号証には、ポリイミド分離膜による混合ガスのガス分離につき、前記（Ｂ−２）により、「水素、ヘリウム、一酸化炭素、炭酸ガス、メタンなどガスの混合ガスをその膜の片面に供給することによって、透過側から少なくとも一種のガスを選択的に得る」ことができる、また、当該ポリイミド膜の「分離性能〔ヘリウムガスの透過速度と６フッ化硫黄ガスの透過速度との比（ＰＨｅ／ＰＳＦ６）〕が３〜２０程度であることが記載される。
　このように、甲第２号証の発明では、本件発明１の特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー膜を用いることにより、ＳＦ６等からなる混合ガスを分離・回収し得ることが示されるものの、そこで教示されるものはそれだけであって、ＣＦ４等の特定パーフルオロ化合物ガスを分離・回収すること、更には、当該特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物として分離・回収することまでは示唆されないものである。
　してみれば、甲第２号証の発明において分離するガス成分が甲第１号証の発明のものとは異なることから、甲第１号証に記載の発明のシリコーンゴム膜を甲第２号証の発明の当該ガラス状ポリマーに置き換える動機付けがないといわざるを得ない。
　したがって、甲第１号証に記載の発明に甲第２号証の記載を併せてみても、当該特定事項が容易に想到できるものではない。
　甲第３号証には膜劣化の防止に関し、甲第４号証にはプリズムセパレータを組み込んだシステムに関し、甲第５号証には気体回収方法に関し、甲第６号証にはＰＦＣの濃縮及びリサイクルに関し、甲第７号証には液体分離方法及び装置に関し、甲第８号証には非対称性中空糸ポリイミド気体分離膜に関し、そして、甲第９号証には気体流体の分離方法に関し、それぞれ、記載される。
　しかし、これら甲第３〜９号証に記載の発明では、特定パーフルオロ化合物ガスを分離し、更には、当該特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物として分離・回収するために、「特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー膜」を用いることにつき、教示するものは何もない。
　なお、当審においてその他文献として引用した、特開昭６３−３０９１７７号公報にはシリコーンゴム製の中空糸膜モジュールを用いる培養槽に関する記載があり、特開平７−４７３５３号公報には水の浄化方法に関する記載があり、特開平３−１９３１１０号公報、特開平６−９９０３４号公報、特開平１−２５２５０２号公報及び特開平２−１５７１０１号公報には流体分離に際して用いられるタンク、ポンプ、圧縮機、温度計、電熱ヒータ等に関する記載があるが、これらその他文献の記載では、特定パーフルオロ化合物ガスを分離し、更には、当該特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物として分離・回収するために、「特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー膜」を用いることにつき、教示するものは何もない。
　そうすると、上記相違点１に関する特定事項は、甲第１号証に記載の発明に対して甲第２〜９号証に記載の発明を併せてみても、更には、上記その他文献の記載を併せてみても、当業者が容易に想到できるとはいえないものである。
【相違点２について】
　甲第３号証には、その前記（Ｃ−１）により、「容易に透過しうる成分を選択的に透過する供給気体の分離方法」において、前記（Ｃ−２）及び（Ｃ−５）により、「膜ユニットへの通過前に、重質油炭化水素蒸気汚染物による膜劣化を低減或いは排除するために、供給気体流れから重質油炭化水素蒸気の除去する吸着剤トラップを用いる」ことが記載される。
　甲第５号証には、その前記（Ｅ−１）〜（Ｅ−３）により、「気体混合物から気体を分離および回収するための方法において、膜パーミエータユニットに導く排出流れは、前以て、すべての混入した液体分を除去されており、そして水溶性反応成分および生成物蒸気を除去するために水で洗滌（スクラビング）される」ことが記載される。
　このように、気体混合物ないしは排出流れから気体を分離および回収する場合には、分離膜又は膜で処理する前に、膜を劣化する虞のある成分を除去することは、当分野ではごく普通に行われているところである。
　してみれば、気体混合物ないしは排出流れから気体を分離および回収することに関する甲第１号証に記載の発明において、上記公知技術を適用して、当該相違点に関する本件発明１の特定事項のようにすることは、当業者が困難なく適宜なし得るものである。
　以上のとおりであり、上記相違点２に関する特定事項は当業者が困難なくなし得るものであるが、上記相違点１に関する特定事項は当業者といえども容易に想到することができない。
　したがって、本件発明１は、甲第１〜９号証及び上記その他の文献に記載される発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
　
VII−２．本件発明２１
　甲第１号証には、その前記（Ａ−１）、（Ａ−２）、（Ａ−５）〜（Ａ−７）とＦｉｇｕｒｅ４．の記載により、「エッチングガス（９６％ＣＦ４と４％Ｏ２）を半導体の製造に用いられるプラズマ反応槽に供給し、エッチングガスとほぼ同一の組成を有するプラズマ反応槽の排気ガスからＣＦ４ガスを回収し、リサイクルする装置であって、プラズマ反応槽の排気ガスをシリコーンゴム膜からなる膜分離装置に供給し、当該膜分離装置において、精製されたＣＦ４ガスを不透過流として取り出し、一方、Ｏ２ガスを豊富に含む廃棄流を透過流として取り出すことからなるＣＦ４ガスを回収する装置」に関する発明が記載されている
　そこで、本件発明２１と甲第１号証に記載の発明とを対比する。
　甲第１号証の発明のＣＦ４ガスは本件発明２１の「ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス」に含まれ、甲第１号証の発明のＯ２ガスは本件発明の「キャリヤーガス」に含まれる。また、甲第１号証の発明のプラズマ反応槽は本件発明２１の「反応器チャンバ」に相当し、その膜分離装置は本件発明２１の「膜ユニット」し相当する。更に、そのプラズマ反応槽は半導体の製造に用いられるものであり、これを含む甲第１号証の発明の装置は半導体装置ともいえる。
　そして、甲第１号証の発明のシリコーンゴム膜は、それによって排気ガス成分を分離するのであるから、当然のこととして、供給サイド及び排気サイドを具備し、また、甲第１号証の発明では、プラズマ反応槽の排気ガスをシリコーンゴム膜からなる膜分離装置に供給して透過流と不透過流を取り出すのであるから、そこには、そのガスを流出及び排出するための導管に相当するものを当然備えるといえる。更に、甲第１号証の発明は回収したＣＦ４ガスをリサイクルするものであるから、反応器チャンバに再循環することを含むものである。
　よって、両者は、
「ａ）反応器流出ガス導管を付設した、ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、キャリヤーガス等を受けるための少なくとも１つの反応器チャンバ、
ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有する少なくとも１つの膜分離ユニットであって、該膜は少なくとも１種のキャリヤーガスに対して透過性であり、かつ少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して実質的に非透過性であり、該膜ユニットは該反応器流出ガス導管を介して該反応器チャンバに接続し、該膜ユニットは該供給サイドから該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む非透過物流を取り出し、該透過物サイドから該キャリヤーガスに富む透過物流を取り出し、該膜ユニットは透過物排出導管および非透過物排出導管を有するところの膜分離ユニット、
ｃ）該膜ユニットからの該非透過物流の少なくとも一部を該少なくとも１つの反応器チャンバに再循環させるための手段を備えた半導体製造装置」である点で一致し、以下の点で相違する。
【相違点ａ】当該膜分離ユニットの膜につき、本件発明２１では、「ガラス状ポリマー、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜」からなるとするのに対し、甲第１号証に記載の発明では、膜としてシリコーンゴム膜を用いるものの、当該特定ガラス状ポリマーを用いるものではない点
　以下、上記相違点ａに関する特定事項が当業者が容易に想到できるものであるか否かにつき検討する。
　本件訂正明細書の記載（特に、請求項２１の記載と、段落０００３〜００１１、００２１及び００８５〜０１１８の記載）によれば、本件発明２１の相違点に関する特定事項である「特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー膜」を用いるのは、当該膜により、ガス混合物から特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物流として分離・回収するために採択されるものであり、同様なことは、上記VII−１．で記載したとおりである。
　これに対して、上記VII−１．で記載したとおり、甲第１号証に記載の発明は、膜により、特定パーフルオロ化合物ガス及びキャリヤーガスを含むガス混合物から、特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物流として分離・回収するものであるが、そこでは、膜材料としてシリコーンゴムが用いられているだけであり、その他の材料については何も説明するものはなく、また、甲第３〜９号証に記載の発明では、特定パーフルオロ化合物ガスを分離し、更には、当該特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物として分離・回収するために、「特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー膜」を用いることにつき、教示するものは何もない。
　なお、当審においてその他文献として引用した、特開昭６３−３０９１７７号公報、特開平７−４７３５３号公報、特開平３−１９３１１０号公報、特開平６−９９０３４号公報、特開平１−２５２５０２号公報及び特開平２−１５７１０１号公報に記載されるものでは、上記VII−１．で記載したとおり、特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物として分離・回収するために、「特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー膜」を用いることにつき、教示するものは何もない。
　そうすると、上記相違点ａに関する特定事項は、甲第１号証に記載の発明に対して甲第２〜９号証に記載の発明を併せてみても、更には、上記その他文献の記載を併せてみても、当業者が容易に想到できるものではないといえる。
　したがって、本件発明２１は、甲第１〜９号証及び上記その他の文献に記載される発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。　
　
VII−３．本件発明４５及び５０
　甲第１号証に記載の発明は、上記VII−１．に記載したとおりのものである。
　そこで、本件発明４５及び５０と、甲第１号証に記載の発明とを対比すると、少なくとも、以下の点で、両者は相違する。
【相違点イ】
　その膜分離手段が、本件発明４５及び５０では、「ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー中空繊維」であるのに対し、甲第１号証に記載の発明では、膜分離手段としてシリコーンゴム膜を用いるものの、当該特定ガラス状ポリマーを用いるものではなく、また、中空繊維を用いるものでもなく、かかる特定事項を具備しない点
　以下、この相違点につき検討する。
　本件訂正明細書の記載（特に、請求項４５及び５０の記載と、段落０００３〜００１１及び００８５〜０１１８の記載）によれば、本件発明４５及び５０の相違点イに関する特定事項であるところの「ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマー」（前記したとおり、必要に応じて、「特定ポリマー」という）で作られたガラス状ポリマー中空繊維を用いるのは、当該膜と接触するガス混合物から特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物流として分離・回収するために採択されるものである。
　これに対して、甲第１号証に記載の発明は、膜により、特定パーフルオロ化合物ガス及びキャリヤーガスを含むガス混合物から、特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物流として分離・回収するものであるが、そこでは、膜材料としてシリコーンゴムが用いられているだけであり、その他の材料を用いて且つ中空繊維とすることについては何も説明するものはない。
　甲第２号証の発明では、本件発明１の特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー中空繊維を用いることにより、ＳＦ６等からなる混合ガスを分離・回収し得ることが示されるものの、そこで教示されるものはそれだけであって、ＣＦ４等の特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物として分離・回収するために特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー中空繊維を用いることにつき示唆するものはない。
　甲第３、５及び８号証に記載の発明では、特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー中空繊維を用いることにより混合ガスを分離することが示されるが、これら発明のものも、特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物として分離・回収するために特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー中空繊維を用いることにつき示唆するものはない。
　甲第４、６、７及び９号証に記載される発明は、特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物として分離・回収するために特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー中空繊維を用いることにつき示唆するものはない。
　なお、当審においてその他文献として引用した、特開昭６３−３０９１７７号公報、特開平７−４７３５３号公報、特開平３−１９３１１０号公報、特開平６−９９０３４号公報、特開平１−２５２５０２号公報及び特開平２−１５７１０１号公報に記載されるものでも、同様に、特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物として分離・回収するために特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー中空繊維を用いることに関し、示唆するものは何もない。
　そうすると、上記相違点イに関する特定事項は、甲第１号証に記載の発明に対して甲第２〜９号証に記載の発明を併せてみても、更には、上記その他文献の記載を併せてみても、当業者が容易に想到できるとはいえない。
　したがって、本件発明４５及び５０は、甲第１〜９号証及び上記その他の文献に記載される発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
　
VII−４．本件発明２２、４４及び５２
　本件発明２２、４４及び５２は、パーフルオロ化合物ガスを回収するための方法、又は、パーフルオロ化合物ガスを分離・回収するための方法に関するものであるが、それら発明は、そのいずれにおいても、膜として、「特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー膜」を用いることをその特定事項として具備するものである。
　そして、上記VII−１．及びVII−２．で記載したとおり、「特定ポリマーで作られたガラス状ポリマー膜」は、特定パーフルオロ化合物ガスを非透過物として分離・回収するために採択されるものであるが、当該特定事項は甲第１号証に記載の発明に対して甲第２〜９号証に記載の発明を併せてみても、更には、上記その他文献の記載を併せてみても、当業者が容易に想到できるものではない。
　したがって、本件発明２２，４４及び５２は、甲第１〜９号証及び上記その他の文献に記載される発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。　
　
VII−５．本件発明２〜２０、２３〜４３、４６〜４９、５１、及び、５３〜６０
　本件発明２〜２０、２３〜４３、４６〜４９、５１、及び、５３〜６０は、本件発明１、２２、４５、５０又は５２を直接ないしは間接的に引用するものであって、本件発明１、２２、４５、５０又は５２の特定事項を全て具備するものである。
　したがって、上記VII−１．、VII−３．又はVII−４．で説示した理由と同じ理由により、本件発明２〜２０、２３〜４３、４６〜４９、５１、及び、５３〜６０は、甲第１〜９号証及び上記その他の文献に記載される発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。　
　
VIII.　まとめ
　特許異議申立の理由及び証拠によっては、訂正後の本件請求項１〜６０に係る発明の特許を取り消すことができない。
　また、他に訂正後の本件請求項１〜６０に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年１１月２８日（２００３．１１．２８）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
パーフルオロ化合物ガスの分離および回収方法および装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ａ）ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスおよび少なくとも１種のキャリヤーガスを包含し、第１の圧力および第１の温度にあるガス混合物を提供し、
　ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有する第１のガラス状ポリマー膜であって、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られた第１のガラス状ポリマー膜を提供し、
　ｃ）該第１の膜の供給サイドを該ガス混合物と接触させ、
　ｄ）該第１の膜の供給サイドから、該所定の圧力と実質的に等しい圧力にある第１の非透過物流として、実質的に該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを包含する濃縮ガスを取り出し、
　ｅ）該第１の膜の透過物サイドから、第１の透過物流として、該少なくとも１種のキャリヤーガスから実質的になる欠乏ガス混合物を取り出す各工程を備え、
　ｆ）該ガス混合物を、第１の膜の供給サイドへのガス混合物の供給前に第１の膜に有害な種のほとんどを実質的に除去するために第１の膜の供給サイドへの受け入れ前に処理するたことを特徴とする、ガス混合物から少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを回収する方法。
　【請求項２】　ガス混合物が、コンプレッサーによる圧縮により供給されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
　【請求項３】　ガス混合物が、圧縮前にコンプレッサーに有害な種のほとんどを実質的に除去するために圧縮前に処理されることを特徴とする請求項２に記載の方法。
　【請求項４】　第１の膜が複数の中空繊維を含む請求項１に記載の方法。
　【請求項５】　第１の膜の供給サイドが複数の中空繊維のそれぞれの内空サイドからなり、透過物サイドが各中空繊維の外側である請求項４に記載の方法。
　【請求項６】　キャリヤーガスが、Ａｒ、Ｎ２、Ｋｒ、Ｘｅ、Ｎｅ、Ｏ２、Ｈｅ、Ｈ２、ＣＯ、ＣＯ２、Ｈ２Ｏ、および空気を含むそれらの混合物からなる群の中から選ばれる請求項１に記載の方法。
　【請求項７】　ガラス状ポリマー膜が、ポリイミドで作られたことを特徴とする請求項１に記載の方法。
　【請求項８】　第１の非透過物流を第１の膜と類似する第２の膜の供給サイドへ送り、該第２の膜が第１の非透過物流よりもパーフルオロ化合物が濃縮された第２の非透過物流を生成し、該プロセスをＮ−段階を通じで続行されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
　【請求項９】　第１の透過物流を排出し、第２の膜からの第２の透過物流を第１の膜の供給サイドへ再循環させることを特徴とする請求項７に記載の方法。
　【請求項１０】　第１の非透過物流の少なくとも一部を再循環させることを特徴とする請求項１に記載の方法。
　【請求項１１】　非透過物流が、Ｃ２Ｆ６、ＣＨＦ３、ＣＦ４およびＮＦ３からなる群の中から選ばれるパーフルオロ化合物ガスの混合物を包含する請求項１に記載の方法。
　【請求項１２】　非透過物流のパーフルオロ化合物ガスの少なくとも１種を非透過物流中の他のパーフルオロ化合物からさらに分離することを特徴とする請求項１に記載の方法。
　【請求項１３】　第１の非透過物流の少なくとも一部を第１の膜の供給サイドにおける掃引ガスとして使用することを特徴とする請求項１に記載の方法。
　【請求項１４】　段階ＮからのＮ番目の非透過物流の少なくとも一部を前段の膜のいずれかの供給サイド上のおよびまたは膜段階Ｎの供給サイド上の掃引ガスとして使用することを特徴とする請求項８に記載の方法。
　【請求項１５】　当該方法を第１の非透過物流中の１またはそれ以上のパーフルオロ化合物ガスのために一定濃度設定点で操作することを特徴とする請求項１に記載の方法。
　【請求項１６】　透過物ガスを当該方法へまたは貯蔵へ再循環させることを特徴とする請求項１に記載の方法。
　【請求項１７】　複数の同様のもしくは非同様の半導体製造器具を平行流関係に配設し、各器具が専用の対応する膜分離ユニットを有し、該膜ユニットは同一またはことなることを特徴とする請求項１に記載の方法。
　【請求項１８】　該膜分離ユニットを使用に供させるかバイパスさせる１またはそれ以上の余分の膜分離ユニットを有することを特徴とする請求項１７に記載の方法。
　【請求項１９】　処理が、プラズマ分解、熱分解、触媒分解、スクラビングおよび吸着からなる群の中から選ばれる請求項１に記載の方法。
　【請求項２０】　予備処理からの排出流をパーフルオロ化合物を発生させるために使用することを特徴とする請求項１９に記載の方法。
　【請求項２１】　ａ）反応器流出ガス導管を付設した、ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、キャリヤーガス等を受けるための少なくとも１つの反応器チャンバ、
　ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有する少なくとも１つのガラス状ポリマー膜分離ユニットであって、該膜は少なくとも１種のキャリヤーガスに対して透過性であり、かつ少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して実質的に非透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜からなり、該膜ユニットは該反応器流出ガス導管を介して該反応器チャンバに接続し、該膜ユニットは透過物排出導管および非透過物排出導管を有するところの膜分離ユニット、
　ｃ）該膜ユニットからの該非透過物流の少なくとも一部を該少なくとも１つの反応器チャンバに再循環させるための手段を備えた半導体製造装置。
　【請求項２２】　反応性ガス、パーフルオロ化合物ガス、およびキャリヤーガスを含有するガス混合物から少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを回収するための方法であって、
　ａ）ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、少なくとも１種のキャリヤーガスおよび少なくとも１種の反応性ガスを含有するガス混合物を提供する工程、
　ｂ）該ガス混合物を、該反応性ガスの大部分を実質的に除去し、それにより該パーフルオロ化合物ガスと該キャリヤーガスから実質的になる中間ガス混合物を生成する装置に送る工程、
　ｃ）複数の中空繊維ガラス状ポリマー膜を有し、供給サイドおよび透過物サイドを有する少なくとも１つの膜ユニットであって、該膜の中空繊維は該少なくとも１種のキャリヤーガスに対して透過性であり、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して非透過性であり、該膜はポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜からなるところの少なくとも１つの膜ユニットを提供する工程、
　ｄ）該少なくとも１つの膜ユニットの供給サイドを該中間ガス混合物と接触させる工程であって、該中間ガス混合物は所定の圧力にあり、
　ｅ）該膜ユニットの供給サイドから該所定の圧力と実質的に等しい圧力にある第１の非透過物流として、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを実質的に含む濃縮ガス混合物を取り出す工程、および
　ｆ）該膜ユニットの透過物サイドから透過物流として、該少なくとも１種のキャリヤーガスから実質的になる欠乏ガス混合物を取り出す工程を備える該方法。
　【請求項２３】　該所定の圧力が、封止されたオイルフリーのコンプレッサーにより該ガス混合物を圧縮することにより供給される請求項２２に記載の方法。
　【請求項２４】　該膜ユニットの該供給サイドが、該複数の中空繊維ガラス状ポリマー膜の孔側からなり、該透過物サイドが、各中空繊維ガラス状ポリマー膜の外側からなる請求項２２に記載の方法。
　【請求項２５】　該ガス混合物が、酸化物、金属、誘電体等のエッチングプロセス、シリコンＣＶＤ等のデポジションプロセス、タングステンのバックエッチング、およびドライチャンバ洗浄からなる群の中から選ばれるプロセスからの流出流を含む請求項２２に記載の方法。
　【請求項２６】　該キャリヤーガスが、Ａｒ、Ｎ２、Ｋｒ、Ｘｅ、Ｎｅ、Ｏ２、Ｈｅ、Ｈ２、空気およびそれらの混合物からなる群の中から選ばれる請求項２２に記載の方法。
　【請求項２７】　該ガラス状ポリマー膜が、ポリイミドで作られたことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
　【請求項２８】　該膜が、それぞれ、異なるポリマーで作られたコアとスキンを有し、スキンのポリマーの透過性が窒素に対してよりもパーフルオロ化合物に対して低い請求項２２に記載の方法。
　【請求項２９】　該膜と接触する該中間ガス混合物が、１体積％未満の該反応性ガスを含む請求項２２に記載の方法。
　【請求項３０】　該膜と接触する該中間ガス混合物が、１０ｐｐｍ未満の該反応性ガスを含む請求項２２に記載の方法。
　【請求項３１】　該膜と接触する該中間ガス混合物が、１ｐｐｍ未満の該反応性ガスを含む請求項２２に記載の方法。
　【請求項３２】　該膜に供給する前の中間ガス混合物を、該ガス混合物に比べてパーフルオロ化合物種が濃縮された該第１の非透過物流を回収するために、該パーフルオロ化合物ガスまたはガス混合物の分離を行うために約１０５パスカルないし約１０６パスカルの範囲の圧力にもたらす請求項２２に記載の方法。
　【請求項３３】　該第１の非透過物流を圧縮および／または冷却し、さらなる処理のために貯蔵手段に貯蔵する請求項２２に記載の方法。
　【請求項３４】　該第１の非透過物流の少なくとも一部を再循環させる請求項２２に記載の方法。
　【請求項３５】　再循環させる該第１の非透過物流の少なくとも一部を、当該方法に再入させる前または貯蔵する前に、サージタンクへ送る請求項３４に記載の方法。
　【請求項３６】　該第１の非透過物流のパーフルオロ化合物ガスの少なくとも１種を該第１の非透過物流中の他のパーフルオロ化合物ガスから分離工程によりさらに分離する請求項２２に記載の方法。
　【請求項３７】　該分離工程が、効果的な温度および圧力にある冷却流体を用いた熱交換器を用いるものである請求項３６に記載の方法。
　【請求項３８】　該第１の非透過物流の少なくとも一部がＮＦ３およびＣＦ４から実質的になり、該分離工程がＮＦ３を吸着し、ＣＦ４を吸着しない吸着工程である請求項３６に記載の方法。
　【請求項３９】　該第１の非透過物流の少なくとも一部がＣＨＦ３およびＣ２Ｆ６から実質的になり、該分離工程がＣＨＦ３を吸着し、Ｃ２Ｆ６を吸着しない吸着工程である請求項３６に記載の方法。
　【請求項４０】　該中間ガス混合物が、約２０℃ないし１２０℃の範囲の温度を有する請求項２２に記載の方法。
　【請求項４１】　該第１の非透過物流の少なくとも一部を該膜の供給サイドにおける掃引ガスとして使用する請求項２２に記載の方法。
　【請求項４２】　該ガス混合物が、複数の同様のまたは同様でない半導体製造器具から発生する請求項２２に記載の方法。
　【請求項４３】　該装置が、プラズマ分解、熱分解、接触分解、スクラビングおよび吸着からなる群の中から選ばれる請求項２２に記載の方法。
　【請求項４４】　半導体製造器具から流出するガス混合物からＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを回収するための方法であって、該ガス混合物は少なくとも１種のキャリヤーガスおよび少なくとも１種の反応性ガスを含有し、該方法は、
　ａ）該ガス混合物を、該反応性ガスの大部分を実質的に除去し、それにより該パーフルオロ化合物ガスと該キャリヤーガスから実質的になる中間ガス混合物を生成する装置に送る工程、
　ｂ）複数の中空繊維ガラス状ポリマー膜を有し、供給サイドおよび透過物サイドを有する少なくとも１つの膜ユニットであって、該膜ユニットの各中空繊維ガラス状ポリマー膜は該少なくとも１種のキャリヤーガスに対して透過性であり、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して非透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたものであるところの少なくとも１つの膜ユニットの該供給サイドに該中間ガス混合物を送る工程であって、該中間ガス混合物は所定の圧力にあり、
　ｃ）該膜ユニットの供給サイドから該所定の圧力と実質的に等しい圧力にある非透過物流として、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを実質的に含む濃縮ガス混合物を取り出す工程、および
　ｄ）該膜ユニットの透過物サイドから透過物流として、該少なくとも１種のキャリヤーガスから実質的になる欠乏ガス混合物を取り出す工程を備える該方法。
　【請求項４５】　ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、反応性ガスおよびキャリヤーガスを含有するガス混合物を処理するための、処理ユニットおよび回収ユニットを結合した装置であって、該装置は、
　ａ）該ガス混合物を受け取るために適合する処理ユニットであって、燃焼器、熱−化学分解器、プラズマ分解器、パルスコロナ反応器、およびそれらの組み合わせからなる群の中から選ばれ、かつ該パーフルオロ化合物ガスおよび該キャリヤーガスから実質的になる中間ガス混合物を生成するために適合する処理ユニット、
　ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有し、複数のガラス状ポリマー中空繊維を備えた少なくとも１つの膜分離ユニットであって、該ガラス状ポリマー中空繊維は該キャリヤーガスに対して透過性であり、該パーフルオロ化合物ガスに対して実質的に不透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたものであり、該膜ユニットは処理装置流出物導管を介して該処理ユニットと接続され、該膜ユニットは、透過物排出導管と非透過物導管を備えるところの膜分離ユニットを備える該装置。
　【請求項４６】　該非透過物導管が、該パーフルオロ化合物ガスを使用するために適合した処理器具に対して取り外し可能に接続されている請求項４５に記載の装置。
　【請求項４７】　該処理器具が、半導体製造器具である請求項４６に記載の装置。
　【請求項４８】　該半導体製造器具が、エッチング器具、デポジション器具、タングステンバックエッチング器具およびドライチャンバからなる群の中から選ばれる請求項４７に記載の装置。
　【請求項４９】　コンプレッサー、熱交換器、低温ポンプまたは真空ポンプを該非透過物導管内に備える請求項４５に記載の装置。
　【請求項５０】　ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、反応性ガスおよびキャリヤーガスを含有するガス混合物を処理するための、処理ユニットおよび回収ユニットを結合した装置であって、該装置は、
　ａ）該ガス混合物を受け取るために適合する処理ユニットであって、燃焼器、熱−化学分解器、プラズマ分解器、パルスコロナ反応器、およびそれらの組み合わせからなる群の中から選ばれ、かつ該パーフルオロ化合物ガスおよび該キャリヤーガスから実質的になる中間ガス混合物を生成するために適合する処理ユニット、
　ｂ）処理ユニット排出導管を介して該処理ユニットに接続され、コンプレッサー排出導管を通して圧縮された中間ガス混合物を生じさせるために適合したコンプレッサー、
　ｃ）所望の圧縮中間ガス温度を提供するために適合し、該コンプレッサー排出導管内に設けられた任意の加熱または冷却手段、
　ｄ）供給サイドおよび透過物サイドを有し、複数のガラス状ポリマー中空繊維を備えた少なくとも１つの膜分離ユニットであって、該ガラス状ポリマー中空繊維は該キャリヤーガスに対して透過性であり、該パーフルオロ化合物ガスに対して実質的に不透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたものであり、該膜ユニットはコンプレッサー排出導管を介して該コンプレッサーと接続され、該膜ユニットは、透過物排出導管と非透過物導管を備えるところの膜分離ユニットを備える該装置。
　【請求項５１】　並行操作モードで複数のガス混合物を受けるために適合し、該ガス混合物の少なくとも２つは、異なる処理ユニットを必要とする異なるガス組成を有する請求項５０に記載の装置。
　【請求項５２】　少なくとも１種のキャリヤーガスおよび少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを含有するガス混合物から少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを分離・回収するための方法であって、
　（ａ）少なくとも１種のキャリヤーガスおよびＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを含有するガス混合物を圧縮する工程、
　（ｂ）該ガス混合物を、該少なくとも１種のキャリヤーガスの透過を選択的に増加させるために５０℃ないし６０℃の範囲の温度に加熱する工程、
　（ｃ）該ガス混合物を、該少なくとも１種のキャリヤーガスを該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスよりも速く透過させる膜であって、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜と接触させて、該少なくとも１種のキャリヤーガスに富む透過物流と該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む非透過物流を得る工程、および
　（ｄ）該非透過物流を、該少なくとも１種のキャリヤーガスを該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスよりも速く透過させる１またはそれ以上の膜であって、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜と接触させて、該少なくとも１種のキャリヤーガスに富む第２の透過物流と該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに富む第２の非透過物流を得る工程を備える該方法。
　【請求項５３】　該第２の透過物流を工程（ａ）に再循環させることを含む請求項５２に記載の方法。
　【請求項５４】　工程（ｃ）の前に、該ガス混合物をスクラビングして該膜に有害な種を実質的に除去する請求項５２に記載の方法。
　【請求項５５】　該第２の非透過物流を選択的な凝縮または吸着工程に供する請求項５２に記載の方法。
　【請求項５６】　該第２の非透過物流が、Ｃ２Ｆ６を含む請求項５５に記載の方法。
　【請求項５７】　該ガス混合物が半導体製造プロセスからの流出物であり、該第２の非透過物流を該半導体製造プロセスへ再循環させる請求項５５に記載の方法。
　【請求項５８】　該ガス混合物が、半導体製造プロセスからの流出物である請求項５２に記載の方法。
　【請求項５９】　該第２の非透過物流を該半導体製造プロセスへ再循環させる請求項５８に記載の方法。
　【請求項６０】　該ガラス状ポリマー膜が、ポリイミドで作られる請求項５２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する分野】
　本発明は、ガス分離方法に関し、より具体的には、ガス混合物からのパーフルオロ化合物ガスの分離および回収（または処分）に関する。特に、本発明は、半導体製造プロセス、特にエッチングおよび洗浄工程の流出物中に存在するもののようなパーフルオロ化合物ガスの低濃度混合物の濃縮に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　半導体産業では、ガスが関与する半導体製造プロセスにおいて、特に半導体製造プロセスの種々のエッチング工程において、さらには製造工程のチャンバ洗浄工程において、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８、Ｃ４Ｆ１０、ＣＨＦ３、ＳＦ６、ＮＦ３等のパーフルオロ化合物がもっぱら使用されつつある。これらパーフルオロ化合物ガスは、純粋な形態で、あるいは例えば空気、窒素もしくは他の不活性ガスで希釈した状態で、または他のパーフルオロ化合物ガスもしくは他のキャリヤーガス（例えば、不活性ガス）との混合物の形態で使用される。半導体製造プロセス中にこれらガスのすべてが他の種と反応する必要はない。従って、製造プロセスの他の工程を実施するために反応器を洗浄または排気する場合、流出ガスまたはガス混合物は、たとえそれらが空気または不活性ガスのような他のガスで多量に希釈されていても、排出すべきでない。パーフルオロ化合物（ＰＦＣともいう）のほとんどは、大気中で数千年の寿命が測定され、また強力な赤外線吸収剤でもある。１９９４年７月７〜８日に、米国テキサス州ダラスで開催された「地球温暖化シンポジウム」において、四フッ化炭素（ＣＦ４）、ヘキサフルオロエタン（Ｃ２Ｆ６）、三フッ化窒素（ＮＦ３）、および六フッ化硫黄（ＳＦ６）は、半導体産業に関連する温室化ガスであると同定された。
　【０００３】
　このシンポジウムでミカエルＴ．モセラにより行われた「半導体処理器具からのパーフルオロ化合物発生減少：選択および戦略の概観」と題するプレゼンテーションにおいて、大気中へのこれらガスの放出を制御するための可能性のある戦略が説明された。
　【０００４】
　非ＰＦＣによるプロセス置換とは別に、いくつかの方法がすでに知られ、あるいは開発中である：
　・種々の活性化金属による化学−熱分解であって、ここでは使用済床材料を処分しなければならない。これは、たとえ有望な開発中にあっても、現在商業的に立証されていないと考えられている。
　【０００５】
　・分解のために熱エネルギーおよび反応体の双方を供給するために火炎を使用する燃焼に基づく分解プロセス（または化学−熱プロセス）。使用する水素または天然ガスに関連する安全上の問題があり、すべてのＰＦＣは燃焼生成物としてＨＦを生成し（温度が十分高いとき）、その放出は関心事項であり、同様に処理しなければならない。また、抵抗加熱器を使用すると高温が発生し得る。
　【０００６】
　・９０％を超えるＣ２Ｆ６の分解を伴ってＣ２Ｆ６を部分的に分解するための、結合高周波システムのようなプラズマの使用を含むプラズマに基づく分解プロセス。しかしながら、このシステムは、いまだに商業的には立証されていない。非ＰＦＣ生成物への分解を駆動するためには、通常、酸素が必要であるが、後に管理しなければならないＨＦの発生を伴う。
　【０００７】
　・ＰＦＣを破壊する代りに、再循環させるためにこれを回収する回収プロセス。この種のプロセスは、「最も穏和（ｇｒｅｅｎｅｓｔ）」であると考えられるので、大いに関心がある。著者によれば、「ＰＦＣの吸着または低温トラップの燃焼に基づいて」異なるスキームが可能である。しかしながら、ポンプ操作、ＣＦ４とＮＦ４との近接した沸点、種々のプロセス流および／または可能性のある反応体と吸着剤との混合に関連した多量の窒素の処理のようないくつかの問題がある。再循環が示唆されているが、そのような混合物を再循環させることは明らかに疑問である。
　【０００８】
　ＰＦＣを含む高窒素含有率流出ガスを破壊するための他の燃焼システムが、１９９４年７月７〜８日の同じシンポジウムでラリー・アンダーソンにより提出された「ベクターテクノロジーのフェニックス燃焼器」と題する文献に開示されている。この減少システムもガス火炎（天然ガスまたは水素を空気とともに使用）を用いており、同じＨＦ発生とさらなる破壊（プラス燃焼プロセスに固有のＮＯｘ、ＣＯ２の発生）という問題をもたらす。
　【０００９】
　同じシンポジウムでＡＴ＆Ｔマクロエレクトロニクス・アンド・ノバピュア・コーポレーションにより提出された「ＰＦＣの濃縮と再循環」と題する文献において、著者は、二酸化炭素、ＮＯｘおよびＨＦの生成を回避する（燃焼プロセスと比べて）回収プロセスの利点を認めている。簡単にいうと、このプロセスは、二連床吸着剤（活性炭）を使用するものとして開示され、一方の床は吸着モードにある一方、第２の床は再生される。ＰＦＣは、活性炭ふるい上に吸着されるが、窒素、水素のような「キャリヤー」ガスは吸着されずに排出システムに排出される。システムが第２の吸着剤に切り替えられると、第１の吸着剤は真空ポンプを用いて排気され、ついで、流出物が再圧縮され、ＰＦＣガス混合物が回収される。このようなシステムについていまだ解決されていない問題の１つは、非極性であるＣＦ４は活性炭ふるいには容易に吸着されず、排出ガスとともに捨てられてしまうということである。また、どのような吸着システムも水分に非常に敏感であり、痕跡量の水でも供給流から除去しなければならない。
　【００１０】
　米国特許第５，２８１，２５５号から、ポリジメチルシロキサンのようなゴム状ポリマーまたは置換されたポリアセチレン（低いガラス転移温度を有する）のようなある特別のポリマーで作られた膜を−５０℃を超える沸点を有する凝縮性有機成分、本質的には炭化水素（ＣＨ４、Ｃ２Ｈ６等）を回収するために使用することも知られている。この炭化水素は、空気よりもはるかに速く上記膜を透過する性質を有し、したがって上記膜の透過物サイド上にこの炭化水素が回収される。ついで、透過物（炭化水素）は、実質的に大気圧でまたはより低い圧力で回収される一方、非透過物（例えば、空気）は供給流の初期圧になおあるが、排出され、供給流の圧力エネルギーのすべてが失われる。
　【００１１】
　また、ＰＣＴ／ＣＡ９０／００１９５において、炭化水素またはクロロフルオロカーボンを例えば空気から分離するための使用できるパーフルオロ−２，２−ジメチル−１，３−ジオキソールの非晶質ポリマーから作られた選択透過性膜が開示されている。このような特別の膜は、明らかに、炭化水素およびクロロフルオロカーボンよりも速く酸素および窒素を透過し、米国特許第４，５５３，９８３号および第５，２８１，２５５号に開示されている膜を含むすべての膜と対照的に、予期せざることに炭化水素およびクロロフルオロカーボンは膜の非透過物サイド上に回収され得る。また、このＰＣＴ出願において、パーフルオロ−２，２−ジメチル−１，３−ジオキソールの非晶質ポリマーとポリテトラフルオロエチレンとの混合物も開示されている。これらすべてのパーフルオロポリマーは、有害なクロロフルオロカーボンおよび炭化水素のほとんどに対して耐性があることが知られ、これによりこれらポリマーはそのような分離に商業的に好適となっている。しかしながら、この膜は現在入手不能であり、この特許出願には、そのような膜が空気または窒素からのＰＦＣの分離に好適かどうかの指摘がない。
　【００１２】
　【発明が解決しようとする課題】
　水分を包含するか水分で飽和された供給流とともに使用でき、供給流中のＰＦＣの流量および／または濃度の重要なもしくは極端な変動をもってさえもＰＦＣ回収および／または濃縮を安全に取り扱うことができ、（供給物中の可能性のあるＨＦ含有量に加えて）ＰＦＣの分解から残渣としてフッ酸を生成することのない、ガス状流からのＰＦＣの濃縮および／または回収のための「穏和な」プロセスについての要求が現在なお存在する。
　【００１３】
　【課題を解決するための手段】
　予期せざることに、ある種の、好ましくは中空繊維の形態の、膜を用いることにより、パーフルオロ化合物を含む、例えば半導体製造プロセスからの流出ガス（ｅｆｆｌｕｅｎｔ　ｇａｓ）が効率的に処理できることが見い出された。当該膜は、流出ガス混合物の「キャリヤーガス」例えば空気、窒素、酸素、アルゴンおよび／またはヘリウムを該ガス混合物のＰＦＣよりもはるかに迅速に透過させるものであり、ＰＦＣは、この膜の非透過物サイド上に回収される。
　【００１４】
　好ましい膜は、ガラス状ポリマー膜であり、より好ましくは、非対称（ａｓｙｍｍｅｔｒｉｃ）もしくは複合（非対称外側層を有する）膜である。好ましくは、本発明に従って使用されるこれらガラス状ポリマー膜は、ポリテトラフルオロエチレン、非晶質パーフルオロ−２，２−ジメチル−１，３−ジオキシド等のようなフッ素化ポリマーで作られた後処理層等の１の層を含み得る。
　【００１５】
　本発明の１つの側面は、ａ）ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスおよび少なくとも１種のキャリヤーガスを包含し、第１の圧力および第１の温度にあるガス混合物を提供し、ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有する第１のガラス状ポリマー膜であって、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られた第１のガラス状ポリマー膜を提供し、ｃ）該第１の膜の供給サイドを該ガス混合物と接触させ、ｄ）該第１の膜の供給サイドから、該所定の圧力と実質的に等しい圧力にある第１の非透過物流として、実質的に該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを包含する濃縮ガスを取り出し、ｅ）該第１の膜の透過物サイドから、第１の透過物流として、該少なくとも１種のキャリヤーガスから実質的になる欠乏（ｄｅｐｌｅｔｅｄ）ガス混合物を取り出す各工程を備え、ｆ）該ガス混合物を、第１の膜の供給サイドへのガス混合物の供給前に第１の膜に有害な種のほとんどを実質的に除去するために第１の膜の供給サイドへの受け入れ前に処理するたことを特徴とする、ガス混合物から少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを回収する方法に関する。
　【００１６】
　他の側面によれば、本発明は、半導体製造プロセスから流出するガス混合物からパーフルオロ化合物ガスもしくはガス混合物を回収するための方法であって、該ガス混合物を予備処理して膜に対して有害な成分（ガス、粒子等）のほとんどを実質的に除去し、予備処理ガス混合物を配送し、供給サイドと透過物サイドを有する少なくとも１つのガラス状ポリマー膜を提供し、この膜の供給サイドを該予備処理ガス混合物と第１の圧力で接触させ、該膜の供給サイドから該第１の圧力と実質的に等しい圧力で該パーフルオロ化合物ガスもしくはガス混合物を取り出し、該第１の圧力よりも低い第２の圧力にある残存ガスを該膜の透過物サイドから取り出す各工程を備えた方法に関する。ＰＦＣを用いる半導体製造プロセスは、酸化物、金属、誘電体等のエッチングプロセス、シリコンＣＶＤ等のデポジションプロセス、タングステンのバックエッチング、ドライチャンバ洗浄等から選ぶことができる。
　【００１７】
　ガラス状膜のいくつかは、それに対して有害であり得るある種の生成物、すなわち膜をすぐに破壊しまたは閉塞し得る生成物に対して敏感であるので、ガス混合物は、これを膜上に送る前に、スクラビングすることが好ましい。好ましくは、いずれもの有害なガス状ＨＦ、ＮＨ３、ＷＦ６、Ｏ３、ＢＣｌ３、および腐食性種、さらにはＳｉＨ４のようなケイ素水素化物等の自然発火性種、約２０マイクロメートルを超える平均直径を有するいずれもの粒状物、およびいずれもの油ミスト等の供給流中に存在する膜を害し得るどのような種でもこれをスクラバー手段により除去する。実際、本発明の方法および装置に使用されるコンプレッサーは、シールされ、油のないことが好ましいのである。
　【００１８】
　本発明の１つの好ましい側面は、好くなくとも１種のパーフルオロ化合物ガスもしくはガス混合物を回収するための方法であって、
　ａ）供給サイドおよび透過物サイドを有するガラス状ポリマー膜を提供し、
　ｂ）少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス状種、少なくとも１種の、膜に有害な種、および少なくとも１種のキャリヤーガスを含む、第１の圧力にあるガス混合物を提供し、
　ｃ）該膜に有害な種を実質的に除去し、該有害な種の濃度を該膜に許容されるレベルまで化粧させるために該ガス混合物をスクラバー手段中で処理し、およびスクラビングされたガス混合物を第２の圧力で得、
　ｄ）該膜の供給サイドを実質的に該第２の圧力でまたはより高い圧力で該スクラビングされたガス混合物と接触させ、
　ｅ）該スクラビングされたガス混合物におけるよりも高い濃度の該少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスを含む濃縮されたガス混合物を該第２の圧力に実質的に等しい圧力で、非透過物流として、該膜の供給サイドから取り出し、
　ｆ）キャリヤーガスに富み、該少なくとも１種のパーフルオロ化合物に欠乏する透過物流として欠乏ガスもしくはガス混合物を該膜の透過物サイドから取り出す各工程を備える方法に関する。
　【００１９】
　本発明の好ましい側面によれば、膜によりＰＦＣを濃縮した後、別々のＰＦＣまたは近接した沸点を有するＰＦＣの混合物を回収するために、選択凝縮もしくは吸着のようなそれ自体よく知られた方法により、種々のＰＦＣを相互に分離する。本発明の他の側面によれば、ＰＦＣガス混合物は、例えば第２の膜により再度濃縮され、またはＰＦＣガス混合物は貯蔵されるか方法に再循環される（追加の処理を行うかまたは行わないで）。
　【００２０】
　本発明の他の好ましい方法および装置は、ＰＦＣガス混合物が圧縮され、少なくとも部分的に液化され、および将来の使用のために貯蔵され得るように真空ポンプ、熱交換器、コンプレッサーまたは低温ポンプ（ｃｒｙｏｇｅｎｉｃ　ｐｕｍｐ）を提供することを含む。本発明の他の特徴は、ＰＦＣガス混合物を直列に配置された複数の膜を用いて濃縮する工程を提供することを含み、各膜からの濃縮ＰＦＣガス混合物を直列の膜ユニットのいずれか１つまたは全ての透過物サイドの掃引ガスとして使用し得る。本発明のさらなる側面は、ＰＦＣが半導体製造プロセスに再循環される前にまたは貯蔵に送られる前に、ＰＦＣガス混合物サージタンクを提供することを含む。
　【００２１】
　本発明の他の側面は、ａ）反応器流出ガス導管を付設した、ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガス、キャリヤーガス等を受けるための少なくとも１つの反応器チャンバ、ｂ）供給サイドおよび透過物サイドを有する少なくとも１つのガラス状ポリマー膜分離ユニットであって、該膜は少なくとも１種のキャリヤーガスに対して透過性であり、かつ少なくとも１種のパーフルオロ化合物ガスに対して実質的に非透過性であり、かつポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜からなり、該膜ユニットは該反応器流出ガス導管を介して該反応器チャンバに接続し、該膜ユニットは透過物排出導管および非透過物排出導管を有するところの膜分離ユニット、ｃ）該膜ユニットからの該非透過物流の少なくとも一部を該少なくとも１つの反応器チャンバに再循環させるための手段を備えた半導体製造装置である。本発明による好ましい装置は、反応器流出流が膜ユニットに入る前に、ここに開示するドライもしくはウエット（またはその両者の）スクラバー、熱分解器、接触（触媒）分解器、プラズマガス分解器および種々のフィルターのような予備処理および／または後処理手段を提供することを含む。また、ここに開示するように、１または全ての膜の透過物サイド上の非透過物の掃引ガスを提供しまたは提供することなく、複数の膜ユニットを直列に配設することができる。本発明の装置のさらなる好ましい態様は、非透過物導管中（すなわち、第１のまたは複数の膜ユニットと反応器チャンバーとの間）にダンパー（ｄａｍｐｅｒ）もしくはサージ（ｓｕｒｇｅ）タンクを含み、コンプレッサー、熱交換器、低温ポンプもしくは真空ポンプを１またはそれ以上の非透過物ＰＦＣ富化流上に設け、ＰＦＣ富化流を将来の使用のために液体状態で貯蔵させることを含む。また、ここにより十分に説明するように、ダンパーもしくはサージタンクおよび液状ＰＦＣ混合物を生成させるためのコンプレッサーをバイパスさせる適切な弁を設けることも好ましい。
　【００２２】
　本発明の好ましい方法および装置は、各膜ユニットからの非透過物流中のＰＦＣ濃度について一定の濃度設定点で１またはそれ以上の膜ユニットを操作することを含む。この好ましい装置および方法において、各後続のＰＦＣ膜分離ユニットからの非透過物流中のＰＦＣの設定点濃度は、いうまでもなく、直前のものよりも高い。ＰＦＣ濃度について連続的または不連続的に分析するために各膜ユニットからの非透過物流出物導管中に適切なセンサーを挿入することができ、あるいは各膜ユニットから試料を定期的または連続的に採取し、これを現場でのまたは現場を離れた専用の分析器に送ることができる。ついで、この情報を例えば各膜ユニットへの供給の圧力、温度、流量等を制御し得るプロセスコントローラーに送る。また、掃引ガス配設の使用を考えるとき、掃引ガスはオープンループもしくはクローズドループ配置（ｏｐｅｎ　ｌｏｏｐ　ｏｒ　ｃｌｏｓｅｄ　ｌｏｏｐ　ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ）を介して制御することができる。
　【００２３】
　本発明の他の好ましい装置および方法は、膜ユニットの第１のまたは後続の段階の透過物流の再循環を含む（換言すれば、キャリヤーガスまたは他のプロセスガスを再循環させる）。キャリヤーガスは、反応器チャンバーに直接再循環させてもよいし、貯蔵または将来の使用のために、液体状態に減少させるために熱交換器、コンプレッサー等に送ることもできる。キャリヤーガスをプロセスガスから分離するように機能する再循環膜を提供することもできる。
　【００２４】
　本発明の他の好ましい方法および装置は、半導体プロセスから発出するガス混合物のための予備処理工程からの廃棄流が、１またはそれ以上のパーフルオロ化合物もしくは他の化学物質を生成させるために使用することができ、それらは半導体プロセスまたは他の化学プロセスに使用するための精製することができるものである。
　【００２５】
　本発明によるさらに他の好ましい方法および装置は、非パーフルオロ化合物を除去するために、１またはそれ以上の非透過物流を後処理するものである。後処理方法は、膜への供給物の予備処理に好適であるとして上に述べたものを含む。
　【００２６】
　本発明の他の側面は、１またはそれ以上のガスキャビネット、チューブトレーラー、クリーンルーム等からの排出流からここに記載した膜を用いて比較的純粋なＰＦＣ流を回収する方法である。
　【００２７】
　本発明の方法および装置は、以下の説明を図面を参照して考慮することによりよりよく理解されるであろう。
　【００２８】
　【発明の実施の形態】
　例えば半導体製造プロセスからのＰＦＣの回収は、今や、ある種のポリマー膜を用い、膜の非透過物サイド上の非透過物流を回収することによってＰＦＣ含有ガス混合物を濃縮することによって本発明により可能となり、環境に非有害なガスは膜を透過し、直接排出させまたは再循環させることができる。この方法は、上気したように、現存する方法よりも簡単で、環境的にやさしいものである。非透過物流は、半導体製造反応器チャンバーへ再度送られるか、将来の使用のために貯蔵設備に送られるか、あるいは個々のまたは類似のＰＦＣを現場でまたは現場を離れて分離するためのＰＦＣ回収装置に送られ得る。
　【００２９】
　本発明の目的にとって、パーフルオロ化合物（ＰＦＣ）ガスは、ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＮＦ３、およびＣ３Ｆ８からなる群の中から選ばれる少なくとも１種である。パーフルオロ化合物は、クロロフルオロカーボンまたは２つ以上の水素置換基を含む化合物を含まない。そのような化合物は、膜に対してＰＦＣとして挙動せず、半導体製造プロセスに有用でないからである。
　【００３０】
　本発明に使用される膜は、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミド−イミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、アルキル置換芳香族ポリエステル、ポリエーテルスルホンとフッ素化芳香族ポリイミドとポリアミドとポリアミド−イミドとのブレンド、それらのコポリマー、それらの（例えば、アルキル、アリール）置換ポリマーからなる群の中から選ばれた少なくとも１種のポリマーで作られたガラス状ポリマー膜である。
　【００３１】
　非対称膜は、溶媒混和性非溶媒中にポリマー溶液を析出させることにより調製される。そのような膜は、勾配付多孔度の異方性基材上に支持された緻密な分離層により特徴づけられ、一般に一工程で調製される。そのような膜の例および製造方法は、米国特許第４，１１３，６２８号、第４，３７８，３２４号、第４，４６０，５２６号、第４，４７４，６６２号、第４，４８５，０５６号、第４，５１２，８９３号、第５，０８５，６７６号、および第４，７１７，３９４号に開示されている。第４，７１７，３９４号および第５，０８５，６７６号米国特許明細書には、選定されたポリイミドから非対称分離膜を製造する方法が開示されている。特に好ましい膜は、米国特許第５，０８５，６７６号に記載されているポリイミドの非対称ガス分離膜である。
　【００３２】
　圧力駆動ガス膜分離プロセスにおいて、ガス分離膜の１つのサイド（側）は、複雑な多成分ガス混合物と接触され、その混合物のある種のガスは他のガスよりも速く膜を透過する。それによりガス分離膜は、相対的な意味で、いくつかのガスを透過させる一方、他のガスに対するバリヤーとして作用する。膜を通る相対的ガス透過速度は、膜材料組成およびその形態（ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ）の性質である。従来技術において、ポリマー膜の固有の透過性は、膜材料の充填性（ｐａｃｋｉｎｇ）および分子自由体積により一部制御される、膜を通るガス拡散と膜材料内のガス溶解性との組合せであることが示唆されている。選択率は、材料により分離される２種のガスの透過率の比である。また、高いガス選択性を保持するためには、欠陥のない緻密な分離層を作ることが非常に望ましい。
　【００３３】
　複合ガス分離膜は、典型的に、予備成形された微多孔質基材上に緻密な分離層を有する。分離層および基材は、通常、組成が異なる。複合ガス分離膜は、異方性微多孔質基材上に支持された極薄緻密分離層の構造にまで発展した。これらの複合膜構造は、予備成形された異方性支持膜の頂部に予備成形された極薄緻密分離層を積層するころにより調製することができる。そのような膜の例およびその製造方法は、米国特許第４，６６４，６６９号、第４，６８９，２６７号、第４，７４１，８２９号、第２，９４７，６８７号、第２，９５３，５０２号、第３，６１６，６０７号、第４，７１４，４８１号、第４，６０２，９２２号、第２，９７０，１０６号、第２，９６０，４６２号、第４，７１３，２９２号、第４，０８６，３１０号、第４，１３２，８２４号、第４，１９２，８２４号、第４，１５５，７９３号および第４，１５６，５９７号に開示されている。
　【００３４】
　あるいは、複合ガス分離膜は、まず、異方性多孔質基材を作り、ついでこの基材を膜生成溶液と接触される多工程作製方法により調製することができる。そのような方法の例は、米国特許第４，８２６，５９９号および第３，５０８，９９４号に開示されている。
　【００３５】
　米国特許第４，７５６，９３２号には、多ポリマー溶液層の共押出し、その後の溶媒混和性非溶媒中での析出によって複合中空繊維膜を製造する方法が記載されている。
　【００３６】
　本発明の１つの態様によれば、膜は、ＰＦＣを分離しようとするガス混合物中の有害な成分に、低レベルでまたはそのような成分と一時的に接触しても、耐えるその能力を向上させるために、フッ素化もしくはパーフッ素化ポリマー層で処理、被覆、またはこれと共押出しすることができる。
　【００３７】
　中空繊維紡糸プロセスは、中空繊維膜の形態および性質に影響を及ぼし得る多くの変数に依存する。これらの変数には、繊維を生成するために使用されるポリマー溶液の組成、紡糸中に中空繊維押出し物の穴に射出される流体の組成、紡糸口金の温度、中空繊維押出し物を処理するために使用される凝集媒体、凝集媒体の温度、ポリマーの凝集の迅速性、繊維の押出し速度、巻取りロールへの繊維の巻取り速度等が含まれる。
　【００３８】
　分離すべきＰＦＣを含有するガス混合物は、通常、少なくとも１種のＰＦＣおよび空気、窒素、アルゴン、ヘリウム等およびそれらの混合物のようなの少なくとも１種のキャリヤーガスを含有する。
　【００３９】
　以下の表１および表２に、半導体製造プロセスからの廃棄流からの最も普通のＰＦＣおよび他のガスを掲げてある（これらガスのすべてが存在する必要ななく、これらのいくつかのみが廃棄物中に存在し得る）。
　【００４０】
　最も普通のＰＦＣは、通常、以下のものである。
　【００４１】
　チャンバークリーニングについて：四塩化炭素（ＣＦ４）、ヘキサフルオロエタン（Ｃ２Ｆ６）、三フッ化窒素（ＮＦ３）、パーフルオロプロパン（Ｃ３Ｆ８）、六フッ化硫黄（ＳＦ６）、トリフルオロメタン（ＣＨＦ３）；
　エッチング工程については、同じＰＦＣが通常使用されるが、アルゴン、三塩化ホウ素、塩素、臭化水素、塩化水素、フッ化水素、ホスフィン、シラン、四塩化ケイ素等のようないくつかの他のガスも使用される。
　【００４２】
　これらガスのいくつかは、膜に有害であることがあり（表１および２に指摘）、膜に送られる供給ガス混合物からそれらを除去または分解することが好ましい。通常、該流れを膜に送る前に、以下の化合物を除去することが好ましい。すなわち、ＷＦ６、ＨＦ、Ｆ２、ＮＨ３、Ｃｌ２、ＨＢｒ、ＨＣｌ、Ｏ３、およびいずれものケイ素水素化物、ゲルマニウム水素化物等である。そのためには、スクラバー手段（ドライまたはウエットスクラバー）、熱分解、プラズマ分解、触媒（接触）除去等のような種々の方法を使用して各有害物質の１０ｐｐｍ未満、最も好ましくは１ｐｐｍ未満のレベルを達成することができる。ここに後処理として言及されている方法の１またはそれ以上を用いて、分離された非透過物流を処理することもできる。
　【００４３】
　【表１】
　【表２】
ＳｉＦ４、ＷＦ６、ＷＯＦ４、ＨＦ、Ｆ２は、パーフッ素化化合物ではあるが、通常、ＰＦＣとはみなされない。
　【００４４】
　膜にとって有害な物質を除去するためのスクラバー手段は、ドライスクラバー（これは、通常、少なくともＦ２、ＨＦ、ＨＣｌ、ＨＢｒ、Ｃｌ２、ＮＨ３、ＷＦ６およびＳｉＨ４を除去する）であり得る。ドライスクラバーは、通常、樹脂タイプのスクラバーまたはソーダ石灰であるが、ＭｎＯ２のような触媒を包含するいくつかのドライスクラバーもオゾンを除去し得る。また、ガス状水素化物は、米国特許第４，７４３，４３５号、第４，７８４，８３７号、第４，９１０，００１号、第４，９９６，０３０号、第５，１８２，０８８号および第５，３７８，４３９号に開示された方法に従って除去することができる。種々の有害成分を除去するために異なるスクラバーを設置する場合、まずドライスクラバー（または複数のスクラバー）を設置し、ついでウエットスクラバーを設置することが好ましい。スクラバーの上流に、流れから粒子を除去するためのフィルターが通常必要であり（２０ミクロンを超える直径を有する粒子の除去）、本発明により、２０マイクロメートル未満の、好ましくは１０マイクロメートル未満の気孔径を有するフィルターを上流に提供することが推奨され、これは膜の閉塞を避けるために粒子および液滴を除去する。
　【００４５】
　ウエットスクラバーは、例えば、ＤＥＬＡＴＥＣＨ社からの「あなたの特別の用途のためのＣＤＯＴＭの選択」と題するパンフレットに開示されている。
　【００４６】
　本発明の好ましい側面によれば、膜を横切る（横断する）圧力降下（すなわち、供給物と透過物との間のΔＰ）、供給物の温度（すなわち、供給流と膜自体との間の温度平衡後の膜の温度）および供給物流量の間にはある関係が存在する。膜上の供給ガスのある一定の流量および供給ガスの温度について、膜横断圧力差が増すと、例えばＣ２Ｆ６のようなＰＦＣの回収が膜の非透過物もしくは「残渣」サイドで低下する一方、膜の透過物サイドでこのＰＦＣ濃度は増加することが見い出された。従って、本発明によれば、高くない、通常約１３，６００ｋＰａ（２０００ｐｓｉｇ）未満、好ましくは約１２０から約１４５０ｋＰａ（約３から約２００ｐｓｉｇ）まで、最も好ましくは約２４０ないし約５１０ｋＰａ（約２０ないし約６０ｐｓｉｇ）の膜横断圧力降下ΔＰを有することが好ましい。
　【００４７】
　供給ガス混合物が通常実質的に大気圧で得られる限り、この供給物を圧縮して十分な膜横断圧力降下を有するようにする（しかし、これは、通常、供給物中に存在する多くの種がコンプレッサーを劣化させるので、好ましくない）か、または膜の透過物サイドに大気圧よりも低い圧力を産み出す（これは、真空手段を害し得る種のほとんどが膜の非透過物サイドに保持されるため、好ましいものでありえる）という選択事項がある。膜の透過物サイドにこの低い圧力を産み出すために、真空ポンプまたはいずれもの他の吸引手段が適切である。あるいは、膜への供給流を圧縮しようとするなら、圧縮は、好ましくは、ウエットもしくはドライスクラバー、フィルター、接触除去、パルスコロナ分解、熱分解および／またはプラズマ分解を用いて供給流を予備処理した後に行う。好ましいコンプレッサーはシールされ、油のないものであり、例えば、米国オハイオ州のパワレックス・ハリソン社から入手できるＰＯＷＥＲＥＸという商品名で知られているコンプレッサーである。膜ユニットに供給するコンプレッサーの圧縮比（コンプレッサー出口の圧力をコンプレッサー入口の圧力で除した比として定義される）は、一般に、約２：１ないし約１０：１であり、一連の膜ユニットにおいて他の膜供給位置では追加の圧縮が要求され得る。例えば個々の膜に流入する供給物の温度および／または圧力を制御しようとする場合、またはここに開示するように非透過物流中のＰＦＣ濃度を設定点で制御する場合、圧縮された供給流と液体窒素のような冷却剤との間に熱交換を提供することが必要であり得る。
　【００４８】
　上に述べたようなどのような膜横断圧力降下が選ばれても、低い供給流量よりも高い供給流量を有することが好ましい。供給流量が高ければ、回収も高くなる。この供給流量は、分離に利用される膜の平方メートル当りほぼゼロから約１０５Ｎｍ３／ｈ、好ましくは約１０−４ないし約１０Ｎｍ３／ｈ−ｍ２、より好ましくは約０．１ないし約０．５Ｎｍ３／ｈ−ｍ２で変わり得る。
　【００４９】
　あるいは、コンプレッサーは、予備処理手段（ドライおよび／またはウエットスクラバー、フィルター等）の後段に位置し得る。
　【００５０】
　供給流および／または膜の温度は、また、膜の非透過物サイドにおけるＰＦＣの回収に影響する。通常、供給および／または膜温度が増すと、一定の流量および圧力降下では、ガス混合物の種は膜をより多く透過する傾向にあり、特にすでにより低温でより速く透過するものはそうである。たとえば、周囲温度でＰＦＣよりも膜を速く透過する窒素および酸素（空気）は、より高温で例えば５０℃ないし６０℃では、膜をさらに速く透過する。
　【００５１】
　通常、供給および／または膜の温度は、約−１０℃から約１００℃まで、好ましくは約１０℃から約８０℃まで、特に好ましくは周囲温度（通常約２０℃ないし２５℃）から約６０℃まで変わり得る。
　【００５２】
　本発明の方法および装置の膜分離ユニットを操作する他の好ましい方法は、１またはそれ以上の膜ユニットを出る非透過物流中の１またはそれ以上のＰＦＣガスの一定の設定点を持つように各膜ユニットを操作することによる。このように本発明の方法および装置を操作することの利点のいくつかは、供給圧力変動が平滑となり、膜の寿命が有意に延長されるということである。非透過物流中のＰＦＣの設定点濃度を維持する１つの方法は、非透過物流の一部を、好ましくは向流的に、中空繊維膜の外側（すなわち、膜ユニットの中空繊維の透過物サイド）に通すことである。このプラクティスは、いずれもレール・リキードＳ．Ａ．に譲渡されている米国特許第５，２４０，４７１号および第５，３８３，９５７号により詳しく記載されているが、これら特許にはこれら技術を用いたＰＦＣの分離は記載されていない。これら特許は、掃引ガス技術を教示するものである。かくして、段階Ｎの非透過物流の一部または全部を段階Ｎ＋１および／またはＮ＋２などのための供給流として使用することができ、その際、実際には、段階Ｎ、段階Ｎ＋１および段階Ｎ＋２等の間には小さな圧力降下があることが留意される。このことは、段階Ｎの非透過物（供給サイド）の圧力は、段階Ｎ＋１または段階Ｎ＋２のような後の段階の供給サイドでの圧力よりも大きいことを意味する。
　【００５３】
　１または複数の膜によるこの第１の濃縮工程の後、種々のＰＦＣを少なく友部分的に相互に分離する、あるいはより多量のＰＦＣを少量の他のＰＦＣから分離する第２の工程を行うことが好ましい。蒸留、吸着、凝縮等、２種以上のパーフルオロ化合物を分離するための異なる分離技術を用いることができる。好ましくは、かつ半導体製造器具から出てくる流れについてより適切であり得るので、「ソルバール（ＳＯＬＶＡＬ）ＴＭ溶媒凝縮および回収システム」（１９９４）と題する技術報告書に開示されているエール・リキード・アメリカ・コーポレーションのソルバールという商品名で知られているもののような凝縮プロセスを使用することができる。基本的に、この凝縮方法において、１つまたは複数の膜の非透過物サイドからの流出物は、熱交換器に供給される。液体窒素または他の冷却媒体が熱交換器に導入され、冷却コイル中を流れる。ＰＦＣとＮ２との混合物が熱交換器のシェルに導入され、シェル中を通る際にコイルの周りを流れる。この混合物は冷却され、ＰＦＣ蒸気の一部は、冷却コイルの温度に基づいて、凝集し、液化し、集められる。交換器中への液体窒素の流量が高い程、冷却コイルの温度が低く、それゆえより多くのＰＦＣが液化する。
　【００５４】
　いくつかの好ましい態様において、濃縮後のＰＦＣ混合物は、沸点が近接している種を含み、それゆえそれらを分別凝縮により分離することが困難である。例えば、Ｃ２Ｆ６は、−７８．２℃の標準沸点を有し、ＣＨＦ３は、−８２．１℃の標準沸点を有し、また、ＣＦ４は、−１２７．９℃の標準沸点を有し、ＮＦ３は、−１２９℃の標準沸点を有する。近接する沸点を有する少なくとも２の種を分離することを望む場合、近接し過ぎていない沸点を有する種々の種の間で例えば凝縮による第１の分離を行って実質的に純粋な種または近接する沸点を有する種の混合物を提供する。ついで、近接する沸点を有する種の混合物を他の方法、例えば、混合物の種の１つが他のものより極性が高い場合には吸着により分離する。ＮＦ３およびＣＦ４は、モレキュラーシーブ（例えば、ＮａＸ、ＣａＸ、およびＮａＡ、ここで、「Ａ」は５オングストロームのケージサイズを示し、「Ｘ」は、１０オングストロームのケージサイズを示す）、活性炭等を用いて分離することができ、ここで、極性種（例えば、ＮＦ３、ＣＨＦ３）は、ＣＦ４のような非極性種に対して優先的に吸着される。
　【００５５】
　図１は、従来技術の方法におけるＰＦＣを分解するためのバーナーの効率を温度（℃）に対して示している。例えば、空気−燃料バーナーを用いたとき、到達する火炎の温度、ほとんど１００％のＮＦ３、ＣＣｌ２Ｆ２（これはＰＦＣではなく、電子産業に使用されているクロロフルオロ化合物である）、ＣＨＦ３およびＳＦ６が破壊される場合、Ｃ２Ｆ６およびＣＦ４は部分的にのみ破壊され、特にＣ２Ｆ６はわずか５０％しか破壊されない。したがって、燃焼ガスは、排出させることができない。しかしながら、温度が約１４００℃であるオキシ−燃料火炎を使用すると、ほとんどのＣ２Ｆ６を破壊できるが、なお不所望の種を発生する。本発明においては、９００℃での燃焼により、Ｃ２Ｆ６およびＣＦ４を除くすべてのＰＦＣを除去でき、前二者は一緒に再循環させることができるのである。
　【００５６】
　本発明に従う１つの方法の一般的特徴が図２に示され、ここでは、半導体製造プロセス（これは、ＰＦＣを使用し、ＰＦＣを排出するいずれのタイプのプロセスであってもよい）が参照符号１で表されている。プロセス１へのＰＦＣおよびキャリヤーガス供給がそれぞれ符号２３および２２で示されている（電子産業でよく知られた伝統的なバルクシステムもしくはガスキャビネットを通じるバルクおよび／またはシリンダー輸送）。
　【００５７】
　ＰＦＣ、キャリヤーガスおよびいずれもの他のガス２４（例えば、化学反応性ガス）の混合物は、プロセス１から廃棄ライン２に回収される。この混合物は、好ましくは、フィルター５ａを通った後、コンプレッサーＣで圧縮される。ついで、圧縮されたガス混合物は、場合に応じて冷却器または加熱器Ｑへ送られて圧縮ガス混合物に所望の温度を提供する。ついで、ガス混合物は、好ましくは、ドライスクラバーでスクラビングされてほとんどのケイ素水素化物、ＮＨ３、ＡｓＨ３、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）、ハロゲン、ハロゲン化物が除去された後、好ましくは、ウエットスクラバー４でスクラビングされてほとんどの水素化物、ハロゲン化物、ハロゲンガスが除去され（２に提供されるガス混合物の性質に従い、ドライスクラバー３またはウエットスクラバーのみが必要であり得る）、ついでフィルター５ｂで濾過されて２０マイクロメートルを超えるサイズを有する塵、粒子、液滴等が除去される。加えて、粒子および塵は、ドライスクラバー３の上流のフィルターで除去され得る。２５中のガス混合物は、いずれもの実質量の膜ユニット６にとって有害な成分をもはや含有しない。ガス流２５は、膜ユニット６の複数の中空繊維の供給サイド（穴側）に送られ、該混合物のキャリヤーガスは膜ユニット６の中空繊維を透過し、回収されるか、廃棄ガス７として排出される（例えば、キャリヤーガスがヘリウムおよびまたアルゴンを含む場合、これを回収し、さらに精製しあるいは精製することなくプロセスに再循環させることが有用であり得る）。ＰＦＣ（濃縮されている）を含む非透過物流は、８に回収され、ライン９を介して直接再循環（または後にプロセス１に再使用するためにバルクで貯蔵）されるか、あるいは分離ユニット例えば凝縮ユニット１０に送られる。凝縮ユニット１０では、熱交換器がライン１５中の液体窒素ＬＮ２を受け取り、高沸点種を凝縮し（異なる流量のＬＮ２を用いることにより、種々の生成物の凝縮を容易に制御できる）、これはライン１２で液体として回収され、例えば、非極性フラクションから極性フラクション（それぞれ１９、２０）を分離する吸着プロセスに送られ、これらフラクションは、現場でのまたは現場を離れたさらなる処理のために２１に回収される（破線は、好ましいものではないことを示す）か、プロセス１へ再循環／貯蔵される。
　【００５８】
　ガス状フラクションは、ライン１４を介して圧力スイング吸着装置１３（または他のいずれかの吸着装置）に送られ、そこで吸着された種（１またはいくつか）は、ライン１７に回収され、また、非吸着種（１またはいくつか）は、ライン１８に回収される。ライン１７および１８での両生成物は、２１（例えば、現場を離れた処理）に回収されるか、プロセス１に再循環される。
　【００５９】
　これらの種または種の混合物は、プロセス１に再循環されるか、ＰＦＣ回収装置２１に回収される。２４で他のガス（例えば、ＰＦＣ以外のおよび他のガスを希釈するためにもしくはチャンバーをパージするために使用するキャリヤーガス以外の化学種）がプロセスに導入される。これらの他のガスは、時折、膜に有害なもの（例えば、ＳｉＨ４、ＷＦ６等）であり、かつ半導体の製造プロセスの他の工程に使用されるものである。
　【００６０】
　図３は、膜システムおよび凝縮システムである図２の部分の詳細図である。供給流４１（全ての有害成分は除去されている）は、コンプレッサー４０で圧縮され、この流れは膜４２の供給サイドに送られる。膜の透過物サイド４４からの透過物流４５は、通常、排出される。要求されまたは要求されない圧力調節器４６は、膜の下流の圧力を（非透過物流に対して）制御し、非透過物流４７は、例えば凝縮装置４８に送られ、凝縮装置は、液体窒素ＬＮ２との熱交換により、凝縮された流れすなわち液体流４９を未凝縮流すなわちガス（蒸気）流５０から分離する。熱交換後、液体窒素ＬＮ２は、実質的に全体にガス状窒素ＧＮ２として気化される。
　【００６１】
　図４は、本発明の１の方法および装置の態様の単純化された概略図である。半導体製造プロセスからの供給ガス９０は、第１段階膜Ｍ１に入る前に、コンプレッサー９０で圧縮される。第１段階膜Ｍ１は、主としてキャリヤーガスおよびプロセスガスからなる透過物流９４および１またはそれ以上のＰＦＣで富化された非透過物流９６を生成させる。背圧調節器９７は、膜Ｍ１を横切る圧力降下を提供する。ついで、非透過物流９６は、第２段階膜Ｍ２に入り、第２の非透過物ＰＦＣ富化流９８、およびＭ１膜には不透過性であるがＭ２膜には透過性であるキャリヤーガスおよびプロセスガスから主としてなる第２段階の透過物流１００を生成する。第２の背圧調節器９９は、第２段階膜Ｍ２を横切る圧力降下を維持する。場合に応じて、流れ９４および１００を併せ、廃棄するか、流れ１００のために示したように再循環させることができる。図４に示した任意的であるが好ましい部材には、弁１０４および導管１０６が含まれ、これらによりＰＦＣ生成物流９８が膜Ｍ２の透過物サイドを掃引し、それにより上記′４７１および′９５７特許（これらの内容は、すでに、本開示内容の一部とされている）に記載されているようにプロセス効率が与えられる。また、任意的な真空ポンプが再循環されたガス流に対するものとして１０２で示されている。真空ポンプ１０２は、存在する場合、再循環ガス流１００を供給ガスとともに装置に再入させる。
　【００６２】
　図５は、図４に示すものに実質的に従う装置および方法を示し、再循環ガスライン１００内に再循環膜ＭＲを備える。また、再循環膜ＭＲを介してキャリヤーガスの分離を行わせる導管１１０および真空ポンプ１１２が設けられている。かくして、導管１０８中の再循環ガスは、主として、ここに規定する他のプロセスガスからなる。
　【００６３】
　図６および図７は、本発明の他の２つの態様を示す。図６において、類似または異なるＰＦＣガスおよびプロセスガスとして示されている他のガスを用いて、いくつかの同じまたは異なるプロセス６０…６１が使用し得る（同時または非同時に）。プロセス６０…６１からの廃棄ガスは、好ましくはスクラバーＳ１、ＳＮでスクラビングされた後、Ｎ２で希釈され、それぞれ、６２…６３で圧縮され、単一流６７として混合される（実際、種々のプロセス１…Ｎは、順次または同時に廃棄ガスを排出する）。ついで、単一流６７は、好ましくは、最終浄化工程としてＳｍで濾過された後、本発明の膜ユニットＭ１に供給され、ここで、透過物６５は排出し、非透過物６６および６６ａ（濃縮されたＰＦＣ）はプロセス１…Ｎ（それぞれ６０…６１）の１またはそれ以上に再循環させることができる。あるいは、非透過物流６６ｃを１またはそれ以上の膜ユニットＭ２、Ｍ３…ＭＮに送り、ＰＦＣの純度を向上させることができる。膜ユニットＭ２、Ｍ３…ＭＮは、また、掃引ガス流を有することができる。本発明の他の好ましい特徴には、１またはそれ以上の真空ポンプ（６９ａおよび６９ｂ）、高圧ＰＦＣ貯蔵容器６８、および／またはサージタンク６４の設置を含む。多重異種プロセスの例としては、１のプロセスが金属酸化物エッチングであり、他のプロセスが酸化物エッチングであり、さらに他のプロセスがタングステンＣＶＤプロセスであり得る。
　【００６４】
　図６には、さらに、膜ユニットＭ１の非透過物流６６に対して物質流測定装置１００が示され、これは、制御器２００を介して間接的に透過物流の流れを制御し、制御器は、流量測定装置１００から信号を受け取り、導管６７および６５中の流量制御弁を調節する。導管６６は、好ましくは、背圧調節器（簡潔化のため、図示せず）を含む。背圧調節器１０２、１０４および１０６は、背圧調節器９７（図４）について上に述べた機能を提供する。他のプロセス制御スキームも可能である。たとえば、すでに述べたように、非透過物流６６中の設定点ＰＦＣ濃度を用いてＭ１を操作することが有利であり得る。そのような態様において、流量測定装置は、また、導管６６中のＰＦＣ濃度を測定するための分析装置を含み得る。所望により、類似のプロセス制御を膜ユニットＭ１、Ｍ２、Ｍ３およびＭＮについても使用することができる。また、１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃ、１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ、１０６ａ、１０６ｂおよび１０６ｃで示すように、後者の膜ユニット中に類似の配管を使用することができる。
　【００６５】
　図７は、並行処理の態様を示し、ここでは、各プロセス１…Ｎには（それぞれ７２および７３において、窒素での希釈および圧縮後に）、それぞれ、本発明による膜システムＭ１…ＭＮが備えられている。各供給流７４…７５は、膜システムＭ１…ＭＮ（必要により、予備処理システムＳ１…ＳＮを備える）に供給される。透過物ガスは、一緒に、７８で排出されるが、各非透過物７９、８０は、好ましくはその対応するプロセスに、再循環される。本発明の好ましい装置は、余分の膜ユニットＭＲを含み、これは好ましくはそれ自体の予備処理ユニットＳＴを有する。また、再循環膜ユニットＭＲを備えることが好ましく、これは、使用し得る反応性プロセスガスをキャリヤーガスから分離するものである。なお、弁の好適な配置により、この態様は並行または直列（カスケード）モードで操作し得るものである。
　【００６６】
　本発明のこれらすべての異なる態様について、ある場合には、膜横断圧力降下を生じさせることが好ましいということを注意することは重要である。１つの態様において、これは、通常半導体製造プロセスから放出されるガス混合物の圧力にほぼ相当するほぼ大気圧に供給ガスを維持しながら、膜の透過物サイドに真空を発生させることにより行うことができる。通常キャリヤーガスのみが膜を透過する限り、これらガスは真空ポンプまたは他の真空装置を損傷させ得ないが、反対に、膜からの上流でガス混合物を圧縮することは、より多くのガスを圧縮することのみを意味することなく、これは圧縮手段に対する危険をも意味する。
　【００６７】
　図８は、２０℃で２つの異なる流量１７０ｍｌ／分および１３０ｍｌ／分について、表面積約０．２ｍ２を有するポリイミド製中空繊維膜に対して供給流を該中空繊維中に送り、透過物を中空繊維の外側に向けて行った実験例を示している。図８は、膜の非透過物サイドと透過物サイドとの間の圧力降下が低いと、Ｃ２Ｆ６の濃縮が生じないこと（「残渣」をもって非透過物サイド上に０．２％のＣ２Ｆ６回収）を明らかに示している。より高い圧力降下では、流量に依存して、１３０ｍｌ／分の流量に関してはＣ２Ｆ６の濃度は、開始点（ｏｎｓｅｔ　ｐｏｉｎｔ）約７×１０５Ｎ／ｍ２（膜横断ΔＰ）をもって増加する。より高い流量（１７０ｍｌ／分）では、開始点は明らかに高い（流量とともに増加）。
　【００６８】
　図９は、供給流（または膜：図８について使用した同じ膜）の温度の効果を示している。供給流の温度が高いほど、同じ濃度のＰＦＣを達成するためには、より高い膜横断圧力差が必要である。
　【００６９】
　図１０は、膜の非透過物サイド上でのＣ２Ｆ６の回収率を２つの異なる流量について膜横断圧力差に対して示すものである。非常に低い圧力差では、ほぼ全てのＣ２Ｆ６が回収されるが、膜を透過するＣ２Ｆ６の割合は、膜横断圧力降下とともに前進的に増加し、その割合は流量が低い方が速く増加する（１３０ｍｌ／分についての曲線と１７０ｍｌ／分についての曲線を比較されたい）。
　【００７０】
　図１１は、１７０ｍｌ／分についての温度の効果を示すものである。２０℃では透過するＣ２Ｆ６の量は極端に少ないが、約７×１０５Ｎ／ｍ２の圧力降下について５５℃ではそのほぼ半分が透過する。
　【００７１】
　回収の観点（図１０および図１１）から、ある圧力降下では、高流量および周囲温度で操作することがよりよいことである。しかし、図８および図９は、ある程度の純度（したがってある濃度）のＣ２Ｆ６を得るためには、実質的な圧力降下が必要であることを示している。
　【００７２】
　図１２は、ガスキャビネットの一般的操作を示し、図１３および図１４は、本発明の観点を示している。ガスキャビネット（ガスパネルとしても知られる）は、半導体製造分野でよく知られており、当業者に説明する必要はほとんどないものである。ＰＦＣ用のガスキャビネットは、ＰＦＣ排出流を有する。ＰＦＣは、チューブトレーラー、クリーンルーム、ガスパッケージ設備等から排出するが、これも説明をほとんど要しない。以下の説明はガスキャビネットの排出に関するものであるが、その考えは、いずれもの排出ＰＦＣからの比較的純粋なＰＦＣの回収に関する。
　【００７３】
　すべてが自動化されたキャビネットは、シリンダー仕込みの前後に特定のパージルーチンを採用する。一般に予備パージルーチンは、プロセスガスのパージに利用され、後パージルーチンは、一般に、パージ侵入物の除去に使用される。以下に、図１２を参照して、典型的なガスキャビネットの異なる操作モードを説明する。
　【００７４】
　プロセスガス配送モード
　プロセスガスは、まず、Ｖ１を通った後、圧力減少調節器を通り、ついでＶ７を通る。このプロセスガス配送モード中、弁Ｖ２、Ｖ３およびＶ５は、バイパスされる。
　【００７５】
　予備パージルーチン
　排出パージ
　プロセスガスシリンダー弁を閉じたら、Ｖ４により窒素で真空発生装置を駆動し、排出ラインを大気除去のためにパージする。このとき、Ｖ２およびＶ５の間の排出領域もはきする。ついで、Ｖ４を順次オン、オフしてＶ２とＶ５との間の領域を窒素で裏込めする。
　【００７６】
　排出モード
　Ｖ７を閉じ、Ｖ４をオンにして、プロセスガスをＶ５を通して排出し、Ｖ１はプロセスガスが安全に大気圧に達するまで開放しておく（トランスデューサーで検出）。０．０４０″のオリフィスが真空発生装置の真空入口上に配置され、排出流量を制限する。
　【００７７】
　真空モード
　Ｖ４をオンにし、Ｖ１を閉じ、Ｖ２を開放して、２２〜２４″Ｈｇの真空をＶ１とシリンダー弁との間に発生させる。注：Ｖ１は、パージルーチン注常に閉じておく。
　【００７８】
　窒素圧モード
　Ｖ４をオンにし、Ｖ２およびＶ３を開放して、Ｖ６を開放し窒素圧（８０ｐｓｉ）を真空に打ち勝たせ、Ｖ１とシリンダー弁との間で窒素により装置を加圧する。Ｖ６を閉じると、Ｖ１とシリンダー弁との間に真空が再び発生する。予備パージ中、Ｖ６は順次オン、オフさせて真空／パージ動作を生じさせる。
　【００７９】
　窒素パージガスブリード（ｂｌｅｅｄ）
　予備パージが完了したら、Ｖ３を開放し、Ｖ６を部分的に開放することによってピグテールパージブリードを作動させる。プロセスガスシリンダーを取り除くと、予備設定流量の窒素がピグテールから流れ、大気侵入を防止する。
　【００８０】
　後パージルーチン
　真空モード
　Ｖ４をオンにし、Ｖ２を開放して、Ｖ１とシリンダー弁との間に２２〜２４″Ｈｇの真空を発生させる。
　【００８１】
　窒素圧モード
　Ｖ４をオンにし、Ｖ２およびＶ３を開放し、Ｖ６を開放し窒素圧（８０ｐｓｉ）を真空に打ち勝たせ、Ｖ１とシリンダー弁との間で窒素により装置を加圧する。Ｖ６を閉じると、Ｖ１とシリンダー弁との間に真空が再び発生する。予備パージ中、Ｖ６は順次オン、オフさせて真空／パージ動作を生じさせる。このシーケンスは、真空下でＶ１までピグテールで終了する。
　【００８２】
　プロセスガスフラッシュ（ｆｌｕｓｈ）
　さて、プロセスガスシリンダー弁を開放する。Ｖ４をオンにした後、Ｖ１を開放する。次に、Ｖ５を順次オン、オフさせ、オリフィスを介しての排出中プロセスガスをフラシングする。このシーケンスが完了したら、装置はプロセスガス配送モードに戻る。
　【００８３】
　図１３は、ガスキャビネット１５０への純粋なＰＦＣ流の供給を示している（簡潔のため、内部は示していない）。ガスキャビネット１５０は、本明細書に説明したような非透過物流２２０および透過物流２４０を有する膜分離ユニット２００へ至る排出チューブまたは導管１８０を有する。
　【００８４】
　図１４は、共通の膜回収ユニット２００へ排出する多重（この場合は３個）のガスキャビネット１５０ａ、１５０ｂおよび１５０ｃの設置を示している。
　【００８５】
　【実施例】
　以下、本発明の実施例を説明する。
　【００８６】
　実施例１
　０．９５体積％のＣ２Ｆ６、１．０３体積％のＣＨＦ３、１．１０％のＣＦ４および９６．９３％の窒素を含有し、５４４，２１８パスカルの圧力、２９３Ｋ（２０℃）の温度および１９３ｓｌ／ｍ（分当たりの標準リットル）の流量の供給流を米国特許第５，０８５，６７６号に従って作ったポリイミド膜の供給サイドに供給する。真空装置は、膜の反対側に低圧を産み出す：回収された透過物流は６，５７９パスカルの圧力、２９３Ｋの温度および１８１ｓｌ／ｍの流量にあるが、非透過物サイドでは、圧力は５４４，２１８のままであり、温度２９３Ｋおよび流量１２ｓｌ／ｍである。膜からの非透過物（濃縮）流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　１５．６６体積％
　　ＣＨＦ３　　　９．５４体積％
　　ＣＦ４　　　　１８．１５体積％
　　Ｎ２　　　　　５６．６５体積％
を含有する。
　【００８７】
　膜からの透過物流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　０．０２体積％
　　ＣＨＦ３　　　０．４８体積％
　　ＣＦ４　　　　０．０１体積％
　　Ｎ２　　　　　９９．４９体積％
を含有する。
　【００８８】
　非透過物流は、さらに、上記低温凝縮装置に送られ、そこで非透過物流１ポンド当たり０．４９４２ポンドの液体窒素を熱交換器により接触させ、以下述べるようにほとんどのＰＦＣを凝縮させる。蒸気および液体流の成分は以下の通りである。
　【００８９】
　蒸気流：
　　Ｃ２Ｆ６　　　１．０３体積％
　　ＣＨＦ３　　　０．６９体積％
　　ＣＦ４　　　　１６．５体積％
　　Ｎ２　　　　　８１．７８体積％。
　【００９０】
　この蒸気流は、窒素で希釈されたＣＦ４から実質的になる。
　【００９１】
　液体流：
　　Ｃ２Ｆ６　　　４７．８３体積％
　　ＣＨＦ３　　　２９．００体積％
　　ＣＦ４　　　　２１．８１体積％
　　Ｎ２　　　　　１．３７体積％。
　【００９２】
　この液体流は、３種の液体種Ｃ２Ｆ６、ＣＨＦ３およびＣＦ４に実質的に濃縮される。ついで、この液体流を供給流が出てきた当該プロセスに再循環させるか、さらなる処理（濃縮、分離等）のために回収し、搬送する。
　【００９３】
　蒸気流は、好ましくは低温凝縮装置の入力に再循環されるか、処理し（例えば、スクラビング）、捨てる。
　【００９４】
　実施例２
　実施例１と同じ条件の下で、０．９５体積％のＣ２Ｆ６、１．０３体積％のＣＨＦ３、１．１０％のＣＦ４および９６．９３％の窒素を含有し、５４４．１０５パスカルの圧力、２０℃の温度および１９３ｓｌ／ｍ（分当たりの標準リットル）の流量の供給流を実施例１と同じ膜に供給する。この膜は、液体窒素を用いた同じ低温分離装置に接続されている。膜からの非透過物（濃縮）流は、供給流と同じ温度および圧力であるが、１２ｓｌ／ｍの流量で、
　　Ｃ２Ｆ６　　　１５．６６体積％
　　ＣＨＦ３　　　９．５４体積％
　　ＣＦ４　　　　１８．１５体積％
　　Ｎ２　　　　　５６．６５体積％
を含有する。
　【００９５】
　膜からの透過物流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　０．０２体積％
　　ＣＨＦ３　　　０．４８体積％
　　ＣＦ４　　　　０．０１体積％
　　Ｎ２　　　　　９９．４９体積％
を含有する。
　【００９６】
　非透過物流は、実施例１に開示した低温分離装置に送られ、以下の蒸気および液体流が得られる。
　【００９７】
　蒸気流：
　　Ｃ２Ｆ６　　　１．０３体積％
　　ＣＨＦ３　　　０．６９体積％
　　ＣＦ４　　　　１６．５体積％
　　Ｎ２　　　　　８１．７８体積％。
　【００９８】
　液体流：
　　Ｃ２Ｆ６　　　４７．８３体積％
　　ＣＨＦ３　　　２９．００体積％
　　ＣＦ４　　　　２１．８１体積％
　　Ｎ２　　　　　１．３７体積％。
　【００９９】
　液体流は、実質的に３種の液体種Ｃ２Ｆ６、ＣＨＦ３およびＣＦ４に濃縮される。液体および蒸気流は、例えば実施例１で説明したように処理される。
　【０１００】
　参考例１
　実施例１と同じ条件の下で、０．２０体積％のＣ２Ｆ６、０．０１体積％のＣＨＦ３、０．０６％のＣＦ４、０．０１％のＮＦ３、０．０１％のＳＦ６および９９．７１％の窒素を含有し、７１４，２８６パスカルの圧力、２０℃の温度および１９９ｓｌ／ｍ（分当たりの標準リットル）の流量の供給流を実施例１と同じ膜に供給する。この膜は、液体窒素を用いた同じ低温分離装置に接続されている。膜からの非透過物（濃縮）流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　０．５３８１体積％
　　ＣＨＦ３　　　０．０２体積％
　　ＣＦ４　　　　０．１６１１体積％
　　ＮＦ３　　　　０．０２４５体積％
　　ＳＦ６　　　　０．０２７１体積％
　　Ｎ２　　　　　９９．２２９１体積％
を含有する（供給流と同じ温度および圧力であるが、７３ｓｌ／ｍの流量で）。
　【０１０１】
　膜からの透過物流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　０．００４１体積％
　　ＣＨＦ３　　　０．００４７体積％
　　ＣＦ４　　　　０．００１体積％
　　ＮＦ３　　　　０．００１６体積％
　　ＳＦ６　　　　０．０００４体積％
　　Ｎ２　　　　　９９．９８７８体積％
を含有する。
　【０１０２】
　透過物の圧力は、１２６ｓｌ／ｍの流量で、６５７９パスカルである。さらに、非透過物流は、実施例１に開示した低温分離装置（非透過物流１ポンド当たり０．４３３５ポンドのＬＮ２）に送られ、以下の蒸気および液体流が得られる。
　【０１０３】
　蒸気流：
　　Ｃ２Ｆ６　　　０．３４１８％　　圧力：７１４，２８６パスカル
　　ＣＨＦ３　　　０．０１２５％　　温度：１４４Ｋ
　　ＣＦ４　　　　０．１５９２％　　流量：７２．８ｓｌ／ｍ
　　ＮＦ３　　　　０．０２４２％
　　ＳＦ６　　　　０．０１１８％
　　Ｎ２　　　　　９９．４５０５％。
　【０１０４】
　液体流：
　　Ｃ２Ｆ６　　　８５．９１００％　　圧力：７１４，２８６パスカル
　　ＣＨＦ３　　　３．２８００％　　　温度：１４４Ｋ
　　ＣＦ４　　　　０．９９００％　　　流量：０．２ｓｌ／ｍ
　　ＮＦ３　　　　０．１４００％
　　ＳＦ６　　　　６．６９００％
　　Ｎ２　　　　　２．９９００％。
　【０１０５】
　参考例２
　実施例１と同じ条件の下で、０．２０体積％のＣ２Ｆ６、０．０１体積％のＣＨＦ３、０．０６％のＣＦ４、０．０１％のＮＦ３、０．０１％のＳＦ６および９９．７１％の窒素を含有し、３１９，７２８パスカルの圧力、２０℃の温度および１７０ｓｌ／ｍ（分当たりの標準リットル）の流量の供給流を実施例１と同じ膜に供給する。この膜は、液体窒素を用いた同じ低温分離装置に接続されている。膜からの非透過物（濃縮）流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　０．５６００体積％
　　ＣＨＦ３　　　０．０２００体積％
　　ＣＦ４　　　　０．１７００体積％
　　ＮＦ３　　　　０．０３００体積％
　　ＳＦ６　　　　０．０３００体積％
　　Ｎ２　　　　　９９．２００体積％
を含有する（供給流と同じ温度および圧力であるが、１１２ｓｌ／ｍの流量で）。
　【０１０６】
　膜からの透過物流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　０．０１５４体積％
　　ＣＨＦ３　　　０．００４１体積％
　　ＣＦ４　　　　０．００３９体積％
　　ＮＦ３　　　　０．００１９体積％
　　ＳＦ６　　　　０．０００９体積％
　　Ｎ２　　　　　９９．９７３体積％
を含有する。
　【０１０７】
　透過物の圧力は、１１２ｓｌ／ｍの流量で、６５７９パスカルである。さらに、非透過物流は、実施例１に開示した低温分離装置（非透過物流１ポンド当たり０．４３３５ポンドのＬＮ２）に送られ、以下の蒸気および液体流が得られる。
　【０１０８】
　蒸気流：
　　Ｃ２Ｆ６　　　０．００７２％　　圧力：７１４，２８６パスカル
　　ＣＨＦ３　　　０．０００３％　　温度：１４４Ｋ
　　ＣＦ４　　　　０．１１４５％　　流量：７２．８ｓｌ／ｍ
　　ＮＦ３　　　　０．０１９７％
　　ＳＦ６　　　　０．０００３％
　　Ｎ２　　　　　９９．８５８０％。
　【０１０９】
　液体流：
　　Ｃ２Ｆ６　　　８０．６７％　　圧力：７１４，２８６パスカル
　　ＣＨＦ３　　　２．８８％　　　温度：１４４Ｋ
　　ＣＦ４　　　　８．２１％　　　流量：０．２ｓｌ／ｍ
　　ＮＦ３　　　　１．５２％
　　ＳＦ６　　　　４．３４％
　　Ｎ２　　　　　２．３８％。
　【０１１０】
　参考例３
　実施例２と同じ条件の下で、１．００体積％のＣ２Ｆ６、０．０１体積％のＣＨＦ３、０．０１％のＣＦ４および９８．９６％の窒素を含有し、８６６，５９５パスカルの圧力、２０℃の温度および５，０００ｓｌ／ｍ（分当たりの標準リットル）の流量の供給流を実施例１と同じ膜（第１の膜）に供給する。この膜は、第２の膜に接続されている（カスケード接続：第１の膜の非透過物サイドを第２の膜の供給サイドに）。第１の膜からの非透過物（濃縮）流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　３９．９３体積％
　　ＣＨＦ３　　　０．１７体積％
　　ＣＦ４　　　　０．３１体積％
　　ＮＦ３　　　　０．１７体積％
　　ＳＦ６　　　　０．３１体積％
　　Ｎ２　　　　　６５．１１体積％
を含有する。ただし、供給流と同じ温度および圧力であるが、１５０ｓｌ／ｍの流量でである。
　【０１１１】
　第１の膜からの透過物流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　０．００１２体積％
　　ＣＨＦ３　　　０．００５３体積％
　　ＣＦ４　　　　０．０００９体積％
　　ＮＦ３　　　　０．００５２体積％
　　ＳＦ６　　　　０．０００９体積％
　　Ｎ２　　　　　９９．９８６５体積％
を含有する。
　【０１１２】
　第２の膜からの非透過物（濃縮）流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　９６．５２体積％
　　ＣＨＦ３　　　０．２３体積％
　　ＣＦ４　　　　０．８１体積％
　　ＮＦ３　　　　０．２３体積％
　　ＳＦ６　　　　０．８１体積％
　　Ｎ２　　　　　０．３９体積％
を含有する。
　【０１１３】
　第２の膜からの透過物流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　０．０６３６体積％
　　ＣＨＦ３　　　０．１３５８体積％
　　ＣＦ４　　　　０．０４２４体積％
　　ＮＦ３　　　　０．１３３９体積％
　　ＳＦ６　　　　０．０４０６体積％
　　Ｎ２　　　　　９９．５８７３９体積％
を含有する。
　【０１１４】
　実施例３
　実施例２と同じ条件の下で、１．００体積％のＣ２Ｆ６、０．２％のＣＦ４および９８．９％の窒素を含有し、２１３，３１５パスカルの圧力、２０℃の温度および６，３６６グラム／分の流量の供給流を実施例１と同じ膜に供給する。この膜は、切り替え時間１５分を有する真空切り替え吸着装置（ＶＳＡ）に接続されている。膜からの非透過物（濃縮）流は、Ｃ２Ｆ６７４．２重量％ＣＦ４１０．８重量％Ｎ２１５．１重量％を含有する。ただし、供給流と同じ温度および圧力ではあるが、８４グラム／分の流量でである。
　【０１１５】
　膜からの透過物流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　０．００１重量％
　　ＣＦ４　　　　０．０１４重量％
　　Ｎ２　　　　　９９．９８５重量％
を含有する。
　【０１１６】
　ＶＳＡ非吸着流は、
　　Ｃ２Ｆ６　　　９４．９重量％
　　ＣＦ４　　　　５．１重量％
を含有する。
　【０１１７】
　ＶＳＡ吸着流は、
　　ＣＦ４　　　３０．９重量％
　　Ｎ２　　　　６９．１重量％
を含有する。
　【０１１８】
　実施例４
　半導体器具からの流出流からＰＦＣを回収するために、本発明の装置を用いた。第１の膜分離ユニットは、３つの中空繊維束を含み、第２の膜分離ユニットは、１つのみの中空繊維束を含むものであった。各中空繊維束は、表面積が同じであり、従って、第１の膜ユニットは、物質移送のための表面積が第２の膜ユニットの３倍であった。２０８３ｐｐｍのＣ２Ｆ６、５９５ｐｐｍのＣＦ４および残部窒素を含み、約５４０キロパスカルの圧力、３０５Ｋ（３２℃）の温度および２０１ｓｃｆｈすなわち９５ｓｌ／ｍ（分当りの標準リットル）の流量の供給流を米国特許第５，０８５，６７６号に従って作ったポリイミド膜の供給サイドに供給した。ＰＦＣ物質収支は、供給流中のＰＦＣ流量が約０．４５９０ｓｃｆｈすなわち０．２１７ｓｌ／ｍであり、生成物（第２の膜ユニットからの非透過物流）は約６４．７％のＰＦＣ濃度および約３５．３％の窒素濃度を有していたことを示した。第２の膜ユニットから非透過物中に回収されたＰＦＣは、約９９．５％のＰＦＣ回収について、約０．４５７ｓｃｆｈすなわち０．２１６ｓｌ／ｍであった。
　【０１１９】
　本発明の他の変更は当業者に明らかであり、特許請求の範囲は、上記記述に不当に制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　バーナーによるＰＦＣ分解の効率をバーナー火炎温度に対して示す従来技術のグラフ図。
　【図２】
　本発明による１の方法および装置を示す概略図。
　【図３】
　図２の方法および装置の部分の詳細図。
　【図４】
　本発明の態様を示す概略図。
　【図５】
　本発明の別の態様を示す概略図。
　【図６】
　本発明の別の態様を示す概略図。
　【図７】
　本発明の別の態様を示す概略図。
　【図８】
　供給流の異なる流量について、膜の残渣サイド（透過物）上のＰＦＣ濃度を膜を横切る圧力差に対して示すグラフ図。
　【図９】
　供給流の異なる温度について、膜の残渣サイド（透過物）上のＰＦＣ濃度を膜を横切る圧力差に対して示すグラフ図。
　【図１０】
　供給流の異なる流量について、膜の回収サイド（非透過物サイド）上のＰＦＣ濃度を膜を横切る圧力差に対して示すグラフ図。
　【図１１】
　供給流の異なる温度について、膜の回収サイド（非透過物サイド）上のＰＦＣ濃度を膜を横切る圧力差に対して示すグラフ図。
　【図１２】
　従来のガスキャビネットおよびその種々のガス流モードを示す概略図。
　【図１３】
　膜回収ユニットを含むガスキャビネットを示す概略図。
　【図１４】
　共通の膜回収ユニットに排出される多重ガスキャビネットを示す図。
　【符号の説明】
　　１…半導体製造プロセス
　　２…排出ライン
　　３…ドライスクラバー
　　４…ウエットスクラバー
　　５ａ，５ｂ…フィルター
　　６…膜ユニット
　１０…凝縮装置
　２１…回収装置
　２２…キャリヤーガス
　２３…ＰＦＣガス
　４１…供給流。