【事件の表示】
　特許第３４３３０６３号「窒化アルミニウム焼結体、電子機能材料および静電チャック」の請求項１ないし１２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３４３３０６３号の請求項１ないし１２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯・本件発明
　本件特許第３４３３０６３号に係る出願は、平成９年９月２９日に特許出願され、平成１５年５月２３日にその発明についての特許権の設定の登録がなされ、その後、平成１５年１２月２５日付けで森田　昭司（以下「申立人」という）より特許異議の申立てがなされたものである。
　本件請求項１〜請求項１２に係る発明（以下「本件第１発明」〜「本件第１２発明」という）は、本件特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜請求項１２に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】窒化アルミニウム結晶粒子を含有する窒化アルミニウム焼結体であって、希士類元素の含有量(酸化物への換算値)が０．０５重量％以上、０．５重量％以下であり、前記窒化アルミニウム結晶粒子の平均粒径が３μｍ以下であり、電子スピン共鳴法によるスペクトルから得られたアルミニウムの単位ｍｇ当たりのスピン数が５×１０１２ｓｐｉｎ／ｍｇ以下であることを特徴とする、窒化アルミニウム焼結体。
【請求項２】前記窒化アルミニウム焼結体の１００℃〜５００℃の体積抵抗率が１×１０１４〜１×１０７Ω・ｃｍであることを特徴とする、請求項１記載の窒化アルミニウム焼結体。
【請求項３】前記窒化アルミニウム焼結体の１００℃〜５００℃までの体積抵抗率が５×１０１３〜１×１０８Ω・ｃｍであることを特徴とする、請求項２記載の窒化アルミニウム焼結体。
【請求項４】電子スピン共鳴法によるスペクトルのアルミニウムの不対電子のｇ値が２．０００１以上、２．０００９以下であることを特徴とする、
請求項１〜３のいずれか一つの請求項に記載の窒化アルミニウム焼結体。
【請求項５】希土類元素を除く金属不純物量が５００ｐｐｍ以下であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一つの請求項に記載の窒化アルミニウム焼結体。
【請求項６】前記窒化アルミニウム焼結体中の全酸素量と、希土類元素を酸化物換算した場合の換算酸素量との差が１．０重量％以下であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一つの請求項に記載の窒化アルミニウム焼結体。
【請求項７】カソードルミネッセンスによるスペクトルにおいて、３５０ｎｍ〜３７０ｎｍの波長領域に主要ピークを有していることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一つの請求項に記載の窒化アルミニウム焼結体。
【請求項８】前記窒化アルミニウム焼結体の窒化アルミニウム結晶粒子の平均粒径が１．０μｍ以上、３．０μｍ以下であることを特徴とする、請求項１−７のいずれか一つの請求項に記載の窒化アルミニウム焼結体。
【請求項９】前記窒化アルミニウム焼結体の窒化アルミニウム結晶粒子の平均粒径が２．２μｍ以上、２．９μｍ以下であることを特徴とする、請求項８記載の窒化アルミニウム焼結体。
【請求項１０】ＪＩＳＺ８７２１に規定する明度がＮ４以下であることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか一つの請求項に記載の窒化アルミニウム焼結体。
【請求項１１】請求項１〜１０のいずれか一つの請求項に記載の窒化アルミニウム焼結体からなる基材を備えていることを特徴とする、電子機能材料。
【請求項１２】半導体を吸着し、保持するための吸着面を備えた静電チャックであって、請求項１〜１０のいずれか一つの請求項に記載の窒化アルミニウム焼結体からなる基体と、この基体中に埋設された面状の電極と、この面状の電極に対して直流電力を供給するための電源とを備えていることを特徴とする、静電チャック。」
２．特許異議申立ての理由の概要　
　申立人は、証拠として甲第１号証及び甲第２号証を提出し、
（１）本件第１発明〜本件第１０発明は甲第１号証に記載された発明であるから、本件第１発明〜本件第１０発明についての特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものであって、取り消すべきものである。
（２）本件第１発明〜本件第１２発明は甲第１号証に記載された発明、又は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件第１発明〜本件第１２発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであって、取り消すべきものである。
旨主張している。
３．証拠の記載内容
（１）甲第１号証：特開昭６１−２１９７８号公報
　甲第１号証には「窒化アルミニウム焼結体の製造方法」に関して次の事項が記載されている。
（１−ア）「窒化アルミニウム粉末の成形体或いは該窒化アルミニウム粉末と焼結助剤との混合粉末の成形体を２〜１００気圧の窒素ガス雰囲気下、１７００〜２４００℃の温度で焼結することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。」（特許請求の範囲）、
（１−イ）「本発明は高密度で高純度な窒化アルミニウム焼結体の製造方法に関するものである。」（第１頁左下欄第１１行〜第１２行）、
（１−ウ）「しかし従来窒化アルミニウム焼結体の原料となる窒化アルミニウム粉末は難焼結性のため、高密度な焼結体を得るためには比較的多量の焼結助剤を添加したり、機械的圧力を加えつつ高温で焼成するいわゆるホットプレス法などの手段に依らねばならなかた。」（第１頁右下欄第３行〜第８行）、
（１−エ）「工業的に最も有利な方法としては窒化アルミニウム粉末あるいはそれに適当な焼結助剤を添加した粉末の成形体を大気圧の窒素ガス圧下で焼結するいわゆる常圧焼結法が挙げられるが、この方法で高密度な焼結体を得るためには原料粉末の性状や助剤の選択、焼成温度など、非常に限られた条件下での製造が要求される。本発明者等は窒化アルミニウム粉末の焼結法について鋭意研究した結果、窒化アルミニウム粉末あるいはそれに適当な助剤を添加した粉末の成形体を窒素ガス加圧下で焼結することによって従来にない優れた熱伝導率を有する窒化アルミニウム焼結体が安定して得られ、しかも、原料となる窒化アルミニウム粉末によっては、得られる窒化アルミニウム焼結体の透光性が向上することを見い出し、本発明を完成するに至った。」（第１頁右下欄第１５行〜第２頁左上欄第４行）、
（１−オ）「原料の窒化アルミニウム粉末の平均粒子径……が５μｍ以下であることが好ましい。好適には３μｍ以下、最も好適には２μｍ以下の粉末が採用される。」（第２頁右上欄第１行〜第６行）、
（１−カ）「前記窒化アルミニウム粉末は単独で或いはこれに焼結助剤を混合した後成形して窒素ガス加圧下の焼結に供する。」（第２頁左下欄第１２行〜第１４行）、
（１−キ）「本発明に於いて好適に用いられる焼結助剤としては……、ランタン族金属およびイットリウムよりなる群から選ばれる少くとも１種の金属又は金属化合物が挙げられる。」（第２頁右下欄第１行〜第５行）、
（１−ク）「また上記ランタン族金属は特に限定されず使用出来る。例えばランタン（Ｌａ）、セリウム（Ｃｅ），プラセオジム（Ｐｒ），ネオジム（Ｎａ），プロメシウム（Ｐｍ），サマリウム（Ｓｍ），ユーロビウム（Ｅｕ），ガドリニウム（Ｇａ），テルビウム（Ｔｂ），ジスプロシウム（Ｄｙ），ホルミウム（Ｈｏ），エルビウム（Ｅｒ），ツリウム（Ｔｍ），イッテルビウム（Ｙｂ），ルチチウム（Ｌｕ）が好適に使用出来る。特に工業的にはランタン，セリウム，ネオジム等が好適に使用される。」（第２頁右下欄第１３行〜第３頁左上欄第３行）、
（１−ケ）「本発明で使用される焼結助剤の窒化アルミニウム粉末への混合量は特に限定されないが、通常は酸化物に換算して０．０２〜５．０重量％含まれるように混合することが好ましい。」（第３頁左上欄第４行〜第７行）、
（１−コ）「本発明における前記窒化アルミニウム粉末またはその原料粉末と焼結助剤との混合は特に限定されず、乾式混合であっても湿式混合であってもよい。特に好適な実施態様は湿式混合すなわち液体分散媒体を使用する湿式状態での混合である。」（第３頁左上欄第８行〜第１３行）、
（１−サ）「本発明における焼結の具体的な態様としては、前記窒化アルミニウム粉末あるいはそれに焼結助剤を添加した混合粉末を適当な成形手段……によって目的の形状に成形した後これを適当なるつぼ，サヤ材などの上に設置して窒素加圧下高温で焼結する方法が最も一般的に採用される。」（第３頁右上欄第９行〜第１６行）、
（１−シ）「また別の態様として前記窒化アルミニウム粉末あるいはそれに焼結助剤を添加した混合粉末に５０〜５００ｋｇ／ｃｍ２の機械的圧力を印加しつつガス加圧下で焼結する方法も採用することができる。」（第３頁右上欄第１６行〜最終行）、
（１−ス）「本発明で採用される窒素ガス圧力は２〜１００気圧の範囲である。」（第３頁左下欄第１行〜第２行）、
（１−セ）「本発明の焼結は１７００〜２４００℃好ましくは１８００〜２３００℃の温度範囲で実施される。」（第３頁左下欄第１２行〜第１４行）、
（１−ソ）「本発明の窒素ガス加圧下での焼結は、窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率および透光性の改良に著るしい効果を与える。」（第３頁左下欄最終行〜同頁右下欄第３行）、
（１−タ）「実施例１．　　平均粒子径が１．３１μｍで、３μｍ以下が９０容積％を占め、……窒化アルミニウム粉末にＣａ（ＮＯ３）２・４Ｈ２Ｏを……均一に混合した。粉末を乾燥後１５００ｋｇ／ｃｍ２の圧力でラバープレスした円板状試料を９．８ｋｇ／ｃｍ２の窒素ガス加圧下、２１００℃で３時間焼結した。」（第３頁右下欄第１３行〜最終行）、
（１−チ）第４頁左下欄に記載の「表２　窒素ガス加圧焼結結果」（Ｎ２ガス圧力が１．０気圧〜９．８気圧）、第４頁右下欄に記載の「表３　窒素ガス加圧焼結結果」（Ｎ２ガス圧力が１．０気圧〜９．８気圧）」、　
（１−ツ）「実施例４．　　平均粒子径が１．８μｍ、３μｍ以下が７５容積％以上で……である窒化アルミニウム粉末（ＡｌＮ含有量９４．８ｗｔ％）にＣａＣＯ３を……均一に混合した。粉末を乾燥後１５００ｋｇ／ｃｍ２の圧力でラバープレスして円板状の成形体を作成した。この成形体を９．８ｋｇ／ｃｍ２の窒素ガス圧下、２１５０℃の温度で３時間焼結した。」（第５頁左上欄第１行〜第１２行）。
（２）甲第２号証：特開平９−７７５５８号公報
　甲第２号証には「窒化アルミニウム焼結体の製造方法」に関して次の事項が記載されている。
（２−ア）「本発明は、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）焼結体の製造方法に係り、特に熱伝導率が１００〜１８０Ｗ／ｍＫのＡｌＮ焼結体を安価に製造する方法に関する。」（第２頁左欄第１０行〜第１３行）、
（２−イ）「本発明は、……、窒化アルミニウム焼結体の焼結温度の低下に応じて、製造コストの低減を図ることを可能にした窒化アルミニウム焼結体の製造方法を提供することを目的としている。」（第２頁右欄第１３行〜第１７行）、
（２−ウ）「アルミナ焼結体等に対して十分に高熱伝導性を維持した窒化アルミニウム焼結体を安価に作製することが可能となる。」（第２頁右欄第４２行〜第４４行）、
（２−エ）「これら……希土類元素の化合物は、それぞれ、０．１〜１０重量％の範囲で添加することが望ましい。」（第３頁左欄第３４行〜第３６行）、
（２−オ）「実施例１　　　……平均一次粒子径が１．５μｍのＡｌＮ粉末９５．４５重量％に、……添加した。この混合粉体を……造粒粉とした。この造粒粉を５０ＭＰａの圧力下でブロック状に成形した後、……焼結した。……この焼結体の一部を切り出して鏡面研磨した後、ＳＥＭ観察してＡｌＮの平均粒子径を測定したところ１．７μｍであった。」（第４頁右欄第４３行〜第５頁左欄第１９行）、
（２−カ）「実施例２      平均一次粒子径が０．９μｍで、不純物酸素量が１．３重量％のＡｌＮ粉末９５重量％に対して、……混合して原料粉末を調製した。続いて……造粒した後、……圧粉体とした。……焼結した。……この焼結体の一部を切り出して鏡面研磨した後、ＳＥＭ観察してＡｌＮの平均粒子径を測定したところ１．６μｍであった。」（第５頁左欄第２６行〜第４７行）、
（２−キ）「実施例３　　　平均一次粒子径が０．６μｍで、不純物酸素量が１．３重量％のＡｌＮ粉末９５重量％に対して……混合し、……シートに成形した。……焼成を行った。……得られたＡｌＮパッケージのＡｌＮ結晶粒の平均粒子径は０．９μｍ」（第５頁右欄第２行〜第３１行）、
（２−ク）「比較例１　　　平均一次粒子径が１．３μｍで、不純物酸素量が０．９重量％のＡｌＮ粉末９７重量％に対して……添加した原料粉末を用いて、……焼結した。……得られたＡｌＮ焼結体の……平均粒子径は６．４μｍ」（第５頁右欄第３４行〜第４４行）、
（２−ケ）「比較例２　　　比較例１において、焼結条件を……に変更する以外は、同組成のＡｌＮ焼結体原料を比較例１と同様にして焼結した。……得られたＡｌＮ焼結体の……平均粒子径は０．６μｍ」（第５頁右欄第４８行〜第６頁左欄第４行）、
（２−コ）「実施例４　　　……平均一次粒子径が０．８μｍのＡｌＮ粉末９５．４５重量％に対して、……添加した。この混合粉体を……造粒粉とした。この造粒粉を５０ＭＰａの圧力下でブロック状に成形した後、……焼結した。……得られたＡｌＮ焼結体の……平均粒子径は１．７μｍ」（第６頁左欄第１３行〜同頁右欄第１３行）。
４．当審の判断
（１）本件第１発明について
　甲第１号証には、記載事項１−アに「窒化アルミニウム粉末の成形体或いは該窒化アルミニウム粉末と焼結助剤との混合粉末の成形体を２〜１００気圧の窒素ガス雰囲気下、１７００〜２４００℃の温度で焼結することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法」が記載され、その「焼結助剤」として、記載事項１−キ、１−クに「希土類元素を使用すること」が記載される。そして、その「焼結助剤」の含有量に関し、記載事項１−ケに「使用される焼結助剤の窒化アルミニウム粉末への混合量は酸化物に換算して０．０２〜５．０重量％含まれるように混合すること」が記載される。また、原料の窒化アルミニウム粉末の平均粒子径については記載事項１−オに「最も好適には２μｍ以下の粉末が採用される」と記載される。これらの記載から、甲第１号証には「平均粒子径２μｍ以下の窒化アルミニウム粉末の成形体或いは該窒化アルミニウム粉末と焼結助剤との混合粉末の成形体を２〜１００気圧の窒素ガス雰囲気下、１７００〜２４００℃の温度で焼結した窒化アルミニウム焼結体であって、希土類元素から成る焼結助剤を窒アルミニウム粉末に対して酸化物に換算して０．０２〜５．０重量％含有する窒化アルミニウム焼結体」（以下「甲１発明」という）が記載されているといえる。
　そこで、本件第１発明と甲１発明を対比すると、甲１発明の窒化アルミニウム焼結体には窒化アルミニウムの結晶粒子が含有されることは自明であるから、両者は、「窒化アルミニウム結晶粒子を含有する窒化アルミニウム焼結体であって、希士類元素の含有量(酸化物への換算値)が０．０５重量％以上、０．５重量％以下の範囲内である窒化アルミニウム焼結体」である点で一致し、下記の点で相違している。
（ａ）本件第１発明では「窒化アルミニウム結晶粒子の平均粒径が３μｍ以下である」のに対して、甲１発明は「窒化アルミニウム粉末の平均粒子径が５μｍ以下である」が結晶粒子の平均粒子径は不明である点
（ｂ）本件第１発明では「電子スピン共鳴法によるスペクトルから得られたアルミニウムの単位ｍｇ当たりのスピン数が５×１０１２ｓｐｉｎ／ｍｇ以下である」のに対して、甲１発明はかかる構成がない点
　これら相違点について、申立人は申立書第９頁〜１２頁において概ね（ア）相違点（ａ）に関し、甲１発明の窒化アルミニウム粉末を用いて窒化アルミニウム焼結体を製造すれば、その焼結体の窒化アルミニウム結晶粒子は３μｍ以下になる、（イ）相違点（ｂ）に関し、原料組成や製造方法が同じであるから甲１発明の焼結体と本件発明のものとは同じである旨主張しているので、その点を検討する。
　本件第１発明は「ホットプレス法によって窒化アルミニウム焼結体を製造」するもの（本件特許明細書の段落番号【００３９】〜【００４３】及び【実施例】参照）であるのに対して、甲１発明は「窒素ガス加圧焼結法によって窒化アルミニウム焼結体を製造するもの」（記載事項１−ア、１−エ、１−カ、１−サ、１−ス、１−ソ、１−タ、１−チ、１−ツ）であるから、両者の「窒化アルミニウム焼結体の製造法」は同じとはいえない。したがって、甲１発明の窒化アルミニウム粉末を用いて窒化アルミニウム焼結体を製造すれば、その焼結体の窒化アルミニウム結晶粒子は３μｍ以下になるという根拠が明確でない上に、相違点ｂの構成について、甲１発明の焼結体と本件発明のものとは同じであるとはいえない。
　そして、これら相違点について他の証拠に基づいて更に検討すると、
（ア）相違点（ａ）について
　甲第２号証には、記載事項２−オに「平均一次粒子径が１．５μｍ・・ＡｌＮの平均粒子径が１．７μｍ」、記載事項２−カに「平均一次粒子径が０．９μｍ・・ＡｌＮの平均粒子径１．６μｍ」と記載されている。しかしながら、甲１発明と甲第２号証のものが共に窒化アルミニウム焼結体に関するものであるとはいえ、本件第１発明が段落【０００４】に記載されるように「広い温度範囲で体積抵抗率の変化を少なく」しようとするものであるのに対し、甲１発明あるいは甲第２号証に記載のものは「優れた熱伝導率を有する窒化アルミニウム焼結体を得る」（記載事項１−エ、２−ウ）ものであり、しかも製造方法が異なるものであるから、甲１発明や甲第２号証に記載のものに甲１発明の技術思想は見出せなく、甲１発明の焼結体のアルミニウム結晶粒子の平均粒子径を甲第２号証に記載されるものにする動機付けは見当たらない。しかも、焼結体の製造方法が、それぞれ異なるのであるから、甲第２号証に上記したような平均一次粒子径とＡｌＮ結晶粒子の平均粒子径の記載あったとしても、甲第２号証の記載事項２−クの比較例に「平均一次粒子径が１．３μｍ・・ＡｌＮ焼結体の平均粒子径６．４μｍ」であることからみても、甲１発明の原料アルミニウム粉末が２μｍ以下から直ちにＡｌＮ結晶粒子の平均粒子径が３μｍ以下ともいうことはできない。
（イ）相違点（ｂ）について
　甲第２号証には記載事項２−エ〜２−コからみて、本件第１発明の構成における「窒化アルミニウム結晶粒子を含有する窒化アルミニウム焼結体であって、希士類元素の含有量(酸化物への換算値)が０．０５重量％以上、０．５重量％以下であり、前記窒化アルミニウム結晶粒子の平均粒径が３μｍ以下であることを特徴とする、窒化アルミニウム焼結体」については記載されているといえるものの、「電子スピン共鳴法によるスペクトルから得られたアルミニウムの単位ｍｇ当たりのスピン数が５×１０１２ｓｐｉｎ／ｍｇ以下である点」については全く記載されていない。そして、本件第１発明と甲第２号証に記載のものとは製造方法が異なることから、同じ構造を有するとはいえなく、また、本件第１発明と甲第２号証に記載のものとは上記したように技術思想が異なるものであるから、相違点（ｂ）の本件第１発明の構成を導出することはできない。
　
　そして、本件第１発明は上記の構成を具備することによって、「従来よりも広い温度範囲で体積抵抗率の変化が少ない新規な窒化アルミニウム焼結体を提供することに成功した」という本件特許明細書（段落番号【００６７】）に記載された顕著な効果を奏するものである。
　したがって、本件第１発明は、甲１発明であるということができないし、また、甲１発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということもできない。
また、本件第１発明は、甲１発明及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということもできない。
（２）本件第２発明〜本件第１２発明について
　本件第２発明〜本件第１２発明はいずれも直接的又は間接的に本件第１発明を引用するものであるから、本件第１発明と同じ理由により本件第２発明〜本件第１２発明は甲１発明であるということができないとともに、甲１発明、又は、甲１発明及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということもできない。
５．むすび
　以上のとおりであるから、申立人の特許異議の申立ての理由及び証拠によっては本件請求項１〜請求項１２に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜請求項１２に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年８月３０日（２００４．８．３０）