【事件の表示】
　特許第３３３３４１８号「液体原料の気化装置及びその運転方法」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３３３３４１８号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件発明
　特許第３３３３４１８号の請求項１〜５に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
「【請求項１】処理室にて被処理体に所定の処理を施すために液体原料を気化させて前記処理室に導入するための気化装置において、液体原料を収納するための原料容器、前記液体原料を輸送するための原料供給手段および原料輸送路を有し、前記原料供給手段と前記処理室との間の原料輸送路に、前記液体原料を気化させるための気化部と前記気化部で気化された気化原料中に存在する固形粒子を捕らえるためのフィルタを設け、更に前記フィルタに捕らえた固形粒子を気化させて除去する機構を組み込んだことを特徴とする気化装置。
【請求項２】請求項１に記載の気化装置において、前記フィルタは温度制御されていて、その温度は可変であることを特徴とする気化装置。
【請求項３】処理室にて被処理体に所定の処理を施すために液体原料を気化させて前記処理室に導入するにあたり、液体原料を該液体原料の輸送の途中で気化させつつ、該気化原料中に存在する固形粒子をフィルタに捕らえる気化工程と、前記液体原料の輸送を停止して前記フィルタ周囲の圧力を下げることにより、前記フィルタに捕らえられた固形粒子を気化させ除去する洗浄工程を含むことを特徴とする気化装置の運転方法。
【請求項４】処理室にて被処理体に所定の処理を施すために液体原料を気化させて前記処理室に導入するにあたり、液体原料を該液体原料の輸送中に気化させつつ、該気化した液体原料中に存在する固形粒子をフィルタに捕らえる気化工程と、前記液体原料の輸送を停止して前記フィルタの温度を変化させることにより、前記フィルタに捕らえられた固形粒子を気化させ除去する洗浄工程を含むことを特徴とする気化装置の運転方法。
【請求項５】請求項２又は３に記載の気化装置の運転方法において、前記洗浄工程では前記フィルタに捕らえられた固形粒子を気化させた除去ガスを、前記処理室を経由せずに外部に排気することを特徴とする気化装置の運転方法。」
２．申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、証拠方法として甲第１〜４号証を提出し、本件請求項１〜５に係る発明は、甲第１〜４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１〜５に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきものである旨主張している。
　甲第１号証：特開平７−９４４２６号公報
　甲第２号証：特開平５−１５９８６６号公報
　甲第３号証：特開平８−２９６８００号公報
　甲第４号証：特開平７−１４７２７６号公報
３．甲第１〜４号証の記載内容
　甲第１号証には、第４頁第５欄第３０行〜第６欄第３５行及び【図１】の記載によれば、「反応室にて被処理基板に薄膜を形成するために液体原料を気化させて前記反応室に導入するための気化装置において、液体原料を収納するための原料容器、前記液体原料を輸送するための液体原料供給器および原料ガス輸送管を有し、前記液体原料供給器と前記反応室との間の原料輸送路に、前記液体原料を気化させるための気化器と前記気化器で気化された気化原料中に存在する固化粒子をトラップするためのフィルターを設けた気化装置」という発明（以下、適宜「甲１発明」という）が記載されていると認められる。
　同じく、甲第２号証には、第２頁第１欄第１９〜２３、３５〜４０、４７〜４８行の記載によれば、「温度調節器を接続した加熱器で加熱することにより、フィルターに吸着している水分及びその他の不純物を脱着除去する」ことが記載されていると認められる。
　同じく、甲第３号証には、第２頁第２欄第４８行〜第３頁第３欄第５行、第３頁第３欄第４４行〜第４欄第５行の記載によれば、「表面を加熱しながら、不活性ガスの加圧−減圧サイクルを用いて、フィルター表面に吸着しているＨ２Ｏ分子を熱脱着する」ことが記載されていると認められる。
　同じく、甲第４号証には、第３頁第４欄第５〜２６行及び【図１】の記載によれば、「処理終了時に、水蒸気発生部内の余剰の水蒸気等を排出すると共に置換するパージ用窒素ガスを処理炉を通過させることなく排出する」ことが記載されていると認められる。
４．対比・判断
（１）請求項１に係る発明について
　請１発明と甲１発明とを対比すると、甲１発明の「反応室」は請１発明の「処理室」に、同じく、「被処理基板」は「被処理体」、「薄膜を形成」は「所定の処理」、「液体原料供給器」は「原料供給手段」、「原料ガス輸送管」は「原料輸送路」、「気化器」は「気化部」、「固化粒子」は「固形粒子」、「トラップ」は「捕らえる」にそれぞれ相当するから、両者は、「処理室にて被処理体に所定の処理を施すために液体原料を気化させて前記処理室に導入するための気化装置において、液体原料を収納するための原料容器、前記液体原料を輸送するための原料供給手段および原料輸送路を有し、前記原料供給手段と前記処理室との間の原料輸送路に、前記液体原料を気化させるための気化部と前記気化部で気化された気化原料中に存在する固形粒子を捕らえるためのフィルタを設けた気化装置」において一致し、次の点で相違する。
相違点：請１発明はフィルタに捕らえた固形粒子を気化させて除去する機構を組み込んでいるのに対し、甲１発明は前記機構が組み込まれていない点。
　そこで、上記相違点について検討すると、甲第２号証に、フィルターに吸着している不純物を加熱して除去することが記載されているが、この不純物は吸脱着するガス、特に水分を意味するものであり、不純物が固形粒子であることは記載されておらず、ましてや、フィルタに捕らえた固形粒子を気化させて除去することは何ら示唆されていない。また、甲第３号証には、フィルター表面に吸着しているＨ２Ｏ分子を加圧−減圧サイクルで熱脱着することが記載されているが、Ｈ２Ｏ分子に代えてフィルタに捕らえた固形粒子の除去に適用可能であることは示唆されていない。また、甲第４号証には、パージ用ガスを処理炉を通過させることなく排出することが記載されているのみである。
　以上のとおり、請１発明の発明特定事項である「フィルタに捕らえた固形粒子を気化させて除去する機構を組み込む」点は甲第１〜４号証に記載されていない。そして、請１発明はその点により明細書記載の作用効果を奏するものである。
　したがって、請１発明が甲第１〜４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
（２）請求項２〜５に係る発明について
　請求項３〜４に係る発明は、いずれも「フィルタに捕らえられた固形粒子を気化させ除去する洗浄工程」を発明特定事項としているが、これは前項において検討した請１発明の発明特定事項と実質的に同じものである。
　また、請求項２に係る発明は請求項１、請求項５に係る発明は請求項２または３をそれぞれ引用しているから、前記発明特定事項を有するものである。
　したがって、請求項２〜５に係る発明も、上記４．（１）と同じ理由により、甲第１〜４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
５．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件請求項１ないし５に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に訂正後の本件請求項１ないし５に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年６月８日（２００４．６．８）