【事件の表示】
　特許第３３３３３５７号「電子部品吸着ノズルの製造方法および電子部品吸着ノズル」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３３３３５７号の請求項１ないし２に係る特許を取り消す。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第３３３３３５７号の請求項１ないし３に係る発明についての出願は、平成７年８月２２日に特許出願され、平成１４年７月２６日にその特許権の設定の登録がされ、その後、特許異議申立人坂本武彦により請求項１ないし２に係る特許について特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１５年１１月２５日に訂正請求がなされたものである。
第２　訂正の適否
１　訂正請求の内容
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１に記載の
「　【請求項１】 次の各工程を含むことを特徴とする電子部品吸着ノズルの製造方法。
ａ）ノズルパイプの先端にダイヤモンドチップを固着して成るノズル棒の他端側を所定の寸法に細く加工して他端にシャンクとの接続部を形成する。
ｂ）ノズル棒をシャンクに接続する。
ｃ）ノズル棒のダイヤモンドチップを含む先端部を所定断面に加工する。
ｄ）ダイヤモンドチップに中心孔を形成する。
ｅ）ダイヤモンドチップに所定形状のノズル開口を持ったノズル孔を形成する。」を、
「　【請求項１】 次の各工程を含むことを特徴とする電子部品吸着ノズルの製造方法。
ａ）ノズルパイプの先端にダイヤモンドチップを固着して成るノズル棒の他端側を所定の寸法に細く加工して他端にシャンクとの接続部を形成する。
ｂ）ａ工程の後に、ノズル棒をシャンクに接続する。
ｃ）ｂ工程の後に、ノズル棒のダイヤモンドチップを含む先端部を所定断面に加工する。
ｄ）ｂ工程の後に、ダイヤモンドチップに中心孔を形成する。
ｅ）ｂ工程の後に、ダイヤモンドチップに所定形状のノズル開口を持ったノズル孔を形成する。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項３に記載の
「　【請求項３】 請求項１または２に記載の電子部品吸着ノズルの製造方法により製造され、中央スリットと、中央スリットの長手方向の両側に外方向に開いて対称的に設けたコの字形のスリットから成るノズル開口を有することを特徴とする電子部品吸着ノズル。」を、
「　【請求項３】 下記のａ〜ｅの各工程を含む電子部品吸着ノズルの製造方法により製造され、中央スリットと、中央スリットの長手方向の両側に外方向に開いて対称的に設けたコの字形のスリットから成るノズル開口を有することを特徴とする電子部品吸着ノズル。
ａ）ノズルパイプの先端にダイヤモンドチップを固着して成るノズル棒の他端側を所定の寸法に細く加工して他端にシャンクとの接続部を形成する。
ｂ）ノズル棒をシャンクに接続する。
ｃ）ノズル棒のダイヤモンドチップを含む先端部を所定断面に加工する。
ｄ）ダイヤモンドチップに中心孔を形成する。
ｅ）ダイヤモンドチップに所定形状のノズル開口を持ったノズル孔を形成する。」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　特許明細書の段落【００１１】項の記載を、
「　【００１１】ｂ）ａ工程の後に、ノズル棒をシャンクに接続する。
」と訂正する。
（４）訂正事項ｄ
　特許明細書の段落【００１２】項の記載を、
「　【００１２】ｃ）ｂ工程の後に、ノズル棒のダイヤモンドチップを含む先端部を所定断面に加工する。」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　特許明細書の段落【００１３】項の記載を、
「　【００１３】ｄ）ｂ工程の後に、ダイヤモンドチップに中心孔を形成する。」と訂正する。
（６）訂正事項ｆ
　特許明細書の段落【００１４】項の記載を、
「　【００１４】ｅ）ｂ工程の後に、ダイヤモンドチップに所定形状のノズル開口を持ったノズル孔を形成する。」と訂正する。
（７）訂正事項ｇ
　特許明細書の段落【００１６】項の記載を、
「【００１６】本発明はまた、下記のａ〜ｅの各工程を含む方法で製造され、中央スリットと、中央スリットの長手方向の両側に外方向に開いて対称的に設けたコの字形のスリットから成るノズル孔のノズル開口を有する電子部品吸着ノズルである。
ａ）ノズルパイプの先端にダイヤモンドチップを固着して成るノズル棒の他端側を所定の寸法に細く加工して他端にシャンクとの接続部を形成する。
ｂ）ノズル棒をシャンクに接続する。
ｃ）ノズル棒のダイヤモンドチップを含む先端部を所定断面に加工する。
ｄ）ダイヤモンドチップに中心孔を形成する。
ｅ）ダイヤモンドチップに所定形状のノズル開口を持ったノズル孔を形成する。」
２　訂正の目的の適否、新規事項の有無および拡張・変更の存否
（１）訂正事項ａについて
　この訂正は、特許請求の範囲の請求項１において、「ｂ）工程」に「ａ）工程の後に、」を加入し、また、「ｃ）工程」、「ｄ）工程」及び「ｅ）工程」にそれぞれ、「ｂ）工程の後に」を加入して各工程の順序を限定することから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そして、この訂正は、明細書の段落【００２２】〜【００２７】の記載及び図１の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であって、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（２）訂正事項ｂ
　この訂正は、特許請求の範囲の請求項２の記載を、従属形式から独立形式に直すと共に、引用請求項１、２の内、請求項１のみを引用した内容にするものであるから、明りょうでない記載の釈明および特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そして、この訂正は、明らかに願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であって、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（３）訂正事項ｃ〜ｇについて
　これらの訂正は、訂正事項ａ及びｂによる特許請求の範囲の請求項１及び３の訂正に伴い、発明の詳細な説明の記載をこれに整合するように訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当し、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
３　独立特許要件
　上記訂正事項ｂは、特許異議の申立てがされていない請求項３についての訂正であって、特許請求の範囲の減縮を目的としたものに該当することから、訂正明細書の請求項３に係る発明（以下、「訂正発明３」という。）の独立特許要件について検討する。
　訂正発明３は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項３に記載された事項により特定されたとおりのものである（上記第２の１の（２）訂正事項ｂ参照。）。
　訂正明細書の訂正発明３と下記刊行物１（特許異議申立人の提出した甲第２号証）に記載の発明とを対比すると、両者は、少なくとも次の点で相違している。
　相違点：ノズル開口の形状が、前者においては、中央スリットと、中央スリットの長手方向の両側に外方向に開いて対称的に設けたコの字形のスリットから成るのに対して、後者においては、ノズル開口（刊行物１記載の発明の「吸引口１４」に相当する。）がそのような形状を有していない点。
　上記相違点について検討すると、下記刊行物２（同甲第１号証）、下記刊行物３（同甲第４号証）及び特開昭５７−１００９８２号公報（同甲第３号証）には上記相違点に係る特定事項について記載も示唆もされていない。
　そして、訂正発明３は、前記相違点に係る特定事項を含むことにより、
「【００３４】破線枠５０は、ノズル吸着面２０に吸着された最小な電子部品の１例であり、吸着ノズルの吸着位置、支持位置、電子部品との相対関係を示している。この関係において、ドットを付加して示した部分Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇは電子部品の表面に吸着力が作用する吸着位置、斜線を付加して示した部分Ｓ、Ｔ、Ｕ、Ｖ及び外枠部分は電子部品を支承する支持位置に該当し、ノズル吸着面２０上において、吸着位置と支持位置とが交互にかつほぼ均等に分散配置された状態となっており、この関係が図にも明確に示されている。吸着位置と支持位置とのこの関係は、破線枠５０より多少小さい場合、十分大きい場合（例えばノズル端面と同じ大きさの場合）でも、また吸着の角度がノズル軸のまわりに若干回転している場合でも、ほぼ維持される。
【００３５】またノズル開口１１の輪郭が電子部品の輪郭よりはみ出す場合には、はみ出し部分からの吸引エアの抜けが生じるが、図２の場合この抜けの生じる範囲（枠１１内の白い部分）も電子部品５０の４隅に均等に分散され、電子部品を正常位置にかつ正常な向きに安定して吸着するのに役立つ。
【００３６】図４に、本発明の・・・構成による電子部品吸着ノズル（Ｎｏ．１）と従来の電子部品吸着ノズル（Ｎｏ．２）とのノズル性能を比較して示した。図４に示されるように、本発明の電子部品吸着ノズルによれば、・・・中央スリットと、中央スリットの長手方向の両側に対称的に設けたコの字形のスリットから成るノズル開口を有する吸着ノズルを構成することにより、吸着性能が総合的に格段に向上した。
【００３７】例えば、圧縮強度は、図５の従来品の９６．９Ｋｇから１５３．０と約１．６倍に高められ、またエッジ部耐磨耗性も一段と向上し、その結果ノズル寿命については、従来の３〜１０倍に向上し、１個のノズルで１０００万個程度の部品吸着が可能となる場合もあった。
【００３８】また、吸着力も十分であり、エアー流れは均一であった。
【００３９】また立ち吸着優位性の点でも改善が得られた。即ち、部品に対する吸着位置分布と支持位置分布とが偏ることなく、吸着面上で交互にかつほぼ均等に分散しているので、部品吸着位置が若干ずれても正常な姿勢で吸着することができる。
【００４０】したがつて、本発明によれば、ノズルの製造、使用面での経済性が向上するとともに、また上記の従来のノズルの弱点であったエッジ部磨耗性、圧縮強度等の問題が解消されて、安定な吸着性能を長く維持でき、耐久性にすぐれた電子部品吸着ノズルを構成することが可能となった。
【００４１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、上記の従来の電子部品吸着ノズルの弱点であった生産コスト高、エッジ部圧縮強度等の問題を解消し、吸着ノズル生産、使用時の経済性および耐久性を高めることができる。」という訂正明細書記載の格別な効果を奏するものである。
　したがって、他の相違点を検討するまでもなく、訂正発明３は、出願の際、独立して特許を受けることができるものである。
４　むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、平成１１年法改正前の、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する同法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
第３　取消しの理由についての判断
１　本件発明
　本件特許第３３３３３５７号の請求項１ないし２に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」ないし「本件発明２」という。）は、訂正明細書及び設定登録時の図面からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし２に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。
「【請求項１】 次の各工程を含むことを特徴とする電子部品吸着ノズルの製造方法。
ａ）ノズルパイプの先端にダイヤモンドチップを固着して成るノズル棒の他端側を所定の寸法に細く加工して他端にシャンクとの接続部を形成する。
ｂ）ａ工程の後に、ノズル棒をシャンクに接続する。
ｃ）ｂ工程の後に、ノズル棒のダイヤモンドチップを含む先端部を所定断面に加工する。
ｄ）ｂ工程の後に、ダイヤモンドチップに中心孔を形成する。
ｅ）ｂ工程の後に、ダイヤモンドチップに所定形状のノズル開口を持ったノズル孔を形成する。
　【請求項２】ｃ）〜ｅ）の工程をワイヤ放電加工により処理することを特徴とする請求項１記載の電子部品吸着のズルの製造方法。」
２　引用刊行物
　当審が通知した取消しの理由に引用した本件特許出願前に日本国内において頒布された
　刊行物１：特開平　６−２４４５９２号公報（特許異議申立人の提出した甲第２号証）、
　刊行物２：特開平　５−３４３８９２号公報（特許異議申立人の提出した甲第１号証）、
　刊行物３：「圧力技術」，社団法人日本高圧力技術協会（ＨＰＩ），１９８７年，第２５巻，第２号，ｐ．１０７−１１５（特許異議申立人の提出した甲第４号証）
には、それぞれ次の事項が記載されている。
（１）刊行物１
ａ「チップ部品１２を吸着する吸着面・・・現状では、工業用の黒色ダイヤモンドを加工し、これを先端に蝋付けしたノズルが一部実用化されている。・・・しかしながらこのような従来例では、・・・チップ部品を効率よく吸引して吸引後は移動しないようにするために、ノズルの吸引口１４は図５のように複雑な形状となっている。チップ状に加工した工業用黒ダイヤに、このような形状の吸引口１４を加工する」（第２欄第６〜２３行）
ｂ　ノズルはパイプ状であること。（図４参照。）
ｃ　チップ状に加工した工業用黒ダイヤが所定断面に加工されていること。（図５参照。）
　上記記載事項ａ〜ｃ及び図４〜５の記載からみて、刊行物１には、従来例として、次の発明が記載されていると認める。
「 次の各工程を含むチップ部品１２吸着ノズルの製造方法。
　パイプ状のノズルの先端にチップ状に加工した工業用黒ダイヤを蝋付けしてノズルを形成する。
　チップ状に加工した工業用黒ダイヤを所定断面に加工する。
　チップ状に加工した工業用黒ダイヤに所定形状のノズル開口を持った吸引口１４を形成する。」
（２）刊行物２
ａ「前記吸着シャフト３はノズルパイプ６とノズルパイプ担持体７で構成されており、このノズルパイプ担持体７は前記光拡散体２の材料と同様の光りをよく拡散させる性質を有する材料で形成してある。前記ノズルパイプ６は、例えば、ステンレスのような摩耗しにくい材料で形成することができ、前記ノズルパイプ担持体７に圧嵌め或いは接着剤で固定される。」（第３欄第３〜９行）
　上記記載事項ａ及び図１，２の記載からみて、刊行物２には次の事項が記載されていると認める。
「ノズルパイプ６とノズルパイプ担持体７とを別体として、ノズルパイプ６をノズルパイプ担持体７に接続するようにしたこと。」
（３）刊行物３
ａ「切削加工用のチップを得る場合には，削り上った素材（図９の左端）から所望の形状に切り出す工程が必要となる。結合助剤金属を含むダイヤモンド焼結体は若干の導電性があるので，ワイヤ放電加工技術を用いた切断加工を行ない，図９に示したようなチップが得られる。・・・超硬合金基体の付いた状態で所定の形状に切り出した焼結体片（図９の右側）は，多くの場合銀蝋付けによって工具ホルダー（シャンク）上に固定する。」（第１１４頁左欄第１〜１４行）
３　対比・判断
（１）本件発明２について
　本件発明２と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「チップ部品１２吸着ノズル」は、その技術的意義からみて、前者の「電子部品吸着ノズル」に相当し、以下、同様に「パイプ状のノズル」は「ノズルパイプ」に、「工業用黒ダイヤを蝋付けしたノズル」は「ノズル棒」に、「吸引口１４」は「ノズル孔」に、「チップ状に加工した工業用黒ダイヤ」は「ダイヤモンドチップ」にそれぞれ相当することは明らかであるので、両者は、
「次の各工程を含む電子部品吸着ノズルの製造方法。
　ノズルパイプの先端にダイヤモンドチップを固着してノズル棒と成す。
　ダイヤモンドチップを所定断面に加工する。
　ダイヤモンドチップに所定形状のノズル開口を持ったノズル孔を形成する。」である点で一致し、次の点で相違している。
　相違点１：前者では、ノズル棒の他端側を所定の寸法に細く加工して他端にシャンクとの接続部を形成し、その後に、ノズル棒をシャンクに接続するのに対して、後者では、ノズル棒とシャンクとの関係については不明である点。
　相違点２：前者では、ノズル棒をシャンクに接続した後に、ノズル棒のダイヤモンドチップを含む先端部をワイヤ放電加工により所定断面に加工するのに対して、後者では、ノズル棒とシャンクとの関係については前述のように不明であって、また、ノズル棒のダイヤモンドチップを含む先端部の加工については不明である点。
　相違点３：前者では、ノズル棒をシャンクに接続した後に、ダイヤモンドチップに中心孔をワイヤ放電加工により形成し、また、ダイヤモンドチップに所定形状のノズル開口を持ったノズル孔をワイヤ放電加工により形成するのに対して、後者では、ノズル棒とシャンクとの関係については前述のように不明であって、また、ダイヤモンドチップに所定形状のノズル開口を持ったノズル孔をどのような手段で形成するのか不明である点。
　以下、相違点１ないし３について検討する。
　相違点１について、刊行物２には、ノズル棒（刊行物２記載の「ノズルパイプ６」が対応する。）とシャンク（同「ノズルパイプ担持体７」）とを別体として、ノズル棒をシャンクに接続するようにしたことが記載されており、刊行物１記載の発明と刊行物２記載の技術的事項とは、技術分野が同一であるので、刊行物１記載の発明に刊行物１記載の技術的事項を適用して、ノズル棒とシャンクとを別体としてノズル棒をシャンクに接続するものとすることは、当業者であれば容易に想到し得たことである。
　その際に、ノズル棒の他端側を相手の形状や寸法に応じて適宜太くしたり、細くしたりして、所定の形状や寸法に加工した接続部を形成して接続することは、当業者が適宜なし得た設計上の選択的事項にすぎないことである。
　相違点２について、刊行物１記載の発明は、ダイヤモンドチップを所定断面に加工したものであり、また、ダイヤモンド焼結体を超硬合金基体に固着された状態でワイヤ放電加工により、当該ダイヤモンド焼結体を所定断面に加工することは刊行物３に記載されている。そして、両者は、ダイヤモンドチップを加工する点で共通しており、しかも、刊行物１記載の発明において、刊行物３記載の技術的事項の適用を阻害する特段の事由も見出せない。
　そうすると、刊行物３記載の前記技術的事項を刊行物１記載の発明に適用して、ダイヤモンドチップの加工に際し、ダイヤモンドチップを含むノズル棒の先端部をワイヤ放電加工により所定断面に加工することは、寸法の小さなダイヤモンドチップの加工のしにくさを考えても、当業者であれば、容易に想到し得たことである。
　その際に、相違点１についてで述べたようにノズル棒とシャンクとを接続する構造とした場合に、前記先端部の加工を、接続する前と接続した後のどちらかの内、接続した後に行う程度のことは当業者が適宜なし得た設計上の選択的事項にすぎないことである。
　相違点３について、ダイヤモンドチップをワイヤ放電加工により加工することは、前述したように、刊行物３に記載されており、また、ワイヤ放電加工により所定形状の開口を持った孔を形成すること、及びその際に、まず、ワイヤ放電加工で中心孔を形成することは、例えば、向山芳世監修，「形彫・ワイヤ放電加工マニュアル」，再版，大河出版，平成５年５月１０日，ｐ．１６１−１６２（特に、（４）工作物スタート穴の加工及び図３の（ａ）参照。）に記載されているように従来周知である。
　そうすると、刊行物１記載の発明に、前記刊行物３に記載された技術的事項及び前記周知技術を適用して、ダイヤモンドチップに中心孔をワイヤ放電加工により形成し、また、ダイヤモンドチップに所定形状のノズル開口を持ったノズル孔をワイヤ放電加工により形成することは当業者が容易に想到し得たことである。
　その際に、相違点１についてで述べたように吸着ノズルをノズル棒とシャンクとを接続する構造とした場合に、前記先端部の加工を、接続する前と接続した後のどちらかの内、接続した後に行う程度のことは当業者が適宜なし得た設計上の選択的事項にすぎないことである。
　したがって、本件発明２は、刊行物１記載の発明、刊行物２及び刊行物３記載の各技術的事項並びに前記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　また、本件発明２の奏する効果も、刊行物１記載の発明、刊行物２及び刊行物３記載の各技術的事項並びに前記周知技術から当業者であれば予測できる程度のものであって格別なものでもない。
（２）本件発明１について
　本件発明１にさらに発明を特定する事項を付加した本件発明２が、前記第３の３の（１）で示したように、刊行物１記載の発明、刊行物２及び刊行物３記載の各技術的事項並びに前記周知技術に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、本件発明１は、同様の理由により、刊行物１記載の発明、刊行物２及び刊行物３記載の各技術的事項並びに前記周知技術に基づいて当業者が容易に発明できたものである。
　また、本件発明１の奏する効果も、刊行物１記載の発明、刊行物２及び刊行物３記載の各技術的事項並びに前記周知技術から当業者であれば予測できる程度のものであって格別なものでもない。
第４　むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１ないし２は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件発明１ないし２についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する
【異議決定日】
平成１６年２月２４日（２００４．２．２４）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
電子部品吸着ノズルの製造方法および電子部品吸着ノズル
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　次の各工程を含むことを特徴とする電子部品吸着ノズルの製造方法。
ａ）ノズルパイプの先端にダイヤモンドチップを固着して成るノズル棒の他端側を所定の寸法に細く加工して他端にシャンクとの接続部を形成する。
ｂ）
ａ工程の後に、
ｃ）
ｂ工程の後に、
ｄ）
ｂ工程の後に、
ｅ
）ｂ工程の後に、
　【請求項２】　ｃ）〜ｅ）の工程をワイヤ放電加工により処理することを特徴とする請求項１記載の電子部品吸着ノズルの製造方法。
　【請求項３】　
下記のａ〜ｅの各工程を含む
ａ）ノズルパイプの先端にダイヤモンドチップを固着して成るノズル棒の他端側を所定の寸法に細く加工して他端にシャンクとの接続部を形成する。
ｂ）ノズル棒をシャンクに接続する。
ｃ）ノズル棒のダイヤモンドチップを含む先端部を所定断面に加工する。
ｄ）ダイヤモンドチップに中心孔を形成する。
ｅ）ダイヤモンドチップに所定形状のノズル開口を持ったノズル孔を形成する。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】この発明は、電子部品装着機に使用する電子部品吸着ノズルの製造方法および電子部品吸着ノズルの構成に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】電子部品装着機には、所要の電子部品を吸着し、回路基板の所定個所に装着するための電子部品吸着ノズルが用いられている。
　【０００３】従来、電子部品吸着ノズルとしては、超硬金属製のノズルの先端に例えば図５のような所定形状のノズル開口７１を形成した後、先端の吸着面にダイヤモンドコーティングを施し、耐磨耗性と着磁防止機能を付与したものが用いられている。
　【０００４】このノズル開口７１は、図５に示すように中央スリット７２とスリット７２の中央から左右に対称的に放射状に延びたＶ字形スリット７３、７４から形成され、中心軸Ｘ、Ｙにそれぞれ対称であり、電子部品に吸着力の作用する吸着部分と電子部品を受け止める支持部分とが交互にかつ均等に分散配置された構成を有しており、部品の大小や、吸着位置ずれにも対応することができた。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】上記従来の吸着ノズルは、製造時において、先端吸着面へのダイヤモンドコーティングの際コーティング材がノズル開口７１にはみ出す等により、不良品が発生することが多く、歩留りが低下しコスト高とならざるを得なかった。
　【０００６】また、放射状に形成したスリットによりノズル開口７１が構成されているため、吸着時に電子部品を受け止める支持部が自ずから鋭角形状となり、鋭角形状の尖端部に欠けが生じやすいと云った圧縮強度上の問題がある。具体的には、破線枠５０を吸着する最小な電子部品とすると、電子部品５０に吸着力が作用するのは図のドットを付加した領域Ｊ、Ｋ、Ｌ、Ｍ、Ｎであり、この電子部品５０にかかる吸着力は図の斜線を付加して示した鋭角形状の支持部７５〜８０で受け止められ、基板への部品装着時にはこの鋭角形状支持部にさらに大きな圧縮力が負荷されるので、高硬度材に欠けを生じ易い。
　【０００７】しかもダイヤモンドコーティングしたノズル先端から装着用のシャンク（柄部）までノズル全体が一体に形成されているため、欠けが生じても、ノズル先端部の交換と云ったことによる補正ができないので、先端部に問題が生じた場合には、ノズル全体を使い捨てにせざるを得ない等の問題もあった。
　【０００８】本発明は、生産または使用時の経済性と耐久性にすぐれた電子部品吸着ノズルを提供することを目的とする。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】本発明は、次の工程を含む電子部品吸着ノズルの製造方法である。
　【００１０】ａ）ノズルパイプの先端にダイヤモンドチップを固着して成るノズル棒の他端側を所定の寸法に細く加工して他端にシャンクとの接続部を形成する。
　【００１１】ｂ）
ａ工程の後に、
　【００１２】ｃ）
ｂ工程の後に、
　【００１３】ｄ）
ｂ工程の後に、
　【００１４】ｅ）
ｂ工程の後に、
　【００１５】上記発明は、ｃ）〜ｅ）の工程をワイヤ放電加工により処理することが好ましい。
　【００１６】本発明はまた、
下記のａ〜ｅの各工程を含む
ａ）ノズルパイプの先端にダイヤモンドチップを固着して成るノズル棒の他端側を所定の寸法に細く加工して他端にシャンクとの接続部を形成する。
ｂ）ノズル棒をシャンクに接続する。
ｃ）ノズル棒のダイヤモンドチップを含む先端部を所定断面に加工する。
ｄ）ダイヤモンドチップに中心孔を形成する。
ｅ）ダイヤモンドチップに所定形状のノズル開口を持ったノズル孔を形成する。
　【００１７】
　【作用】本発明によれば、上記製造方法により、ノズルパイプの先端にダイヤモンドチップを固着して与えられたダイヤモンドチップ付きのノズル棒につき、チップを含む先端部を所定の断面形状に削成するとともに所定の形状のノズル孔を穿孔することにより、必要とするどのような種類のノズルをも簡単に歩留りよく作ることができ、またノズル棒の基部を削成して形成した取付け部にて各種ノズルに共通したシャンクに結合して、各種電子部品装着機に適用される安価なノズルで、しかも先端がダイヤモンドチップより成り耐磨耗性と耐圧縮性に優れた、しかもダイヤモンドチップの厚みが大であることにより、着磁の問題を十分に防止し、欠けも生じにくい耐久性の良いノズルを得ることができる。またワイヤ放電加工によると，ダイヤモンドチップを付加していることにかかわらず、加工が容易かつ高精度に達成される。
　【００１８】しかも、万一ダイヤモンドチップに欠けを生じても、必要に応じてノズル棒の交換ができるし、ノズル棒単位の交換で容易かつ安価に対応できる。
　【００１９】上記のような特徴を持って製造される上、さらに、ノズル孔のノズル開口の形状が、中央スリットと、中央スリットの長手方向の両側に対称的に設けたコの字形スリットとから形成され、吸着部分と支持部分との分散配置による部品吸着の安定性を損なわずに、部品支持部に鋭角部をなくして、開口部に欠けの生じにくい耐圧縮性に優れたものとすることができる。また、吸着口に鋭角部分、とくに細かい鋭角部分がないので、加工性は良好である。
　【００２０】
　【発明の実施の形態】図１は、本発明による電子部品吸着ノズルの製造工程の説明図である。これについて、概略を説明する。
　【００２１】（ａ）超硬金属のノズルパイプ４の先端にダイヤモンドチップ２を固着して成るノズル棒１の他端（基部）を所定の径に細く削成して、シャンク５と接続するための接続部４１を形成する。ダイヤモンドチップ２としては、細かい粒状のダイヤモンドをバインダーにより、たとえば２ｍｍ前後の厚みに固めたものが使用されている。
　【００２２】（ｂ）ノズル棒１の接続部４１をシャンク５の一端に設けられた接続用孔に挿入し、両者の突き合わせ部分を接着等により接続する。これにより、ノズル棒１とシャンク５とが一体に接続され、かつノズルパイプ４とシャンク５に予め設けられているエア流れ用孔が接続される。なおシャンク５の他端（図では下端）には、電子部品装着ヘッド（図示せず）に装着するための装着部６が予め設けられている。
　【００２３】（ｃ）ノズル棒１の先端部付近を角切加工し、ノズル吸着口に必要な形状と寸法に適合した断面形状と大きさのノズルブロック３を形成する。ノズルブロック３の断面は、吸着対象電子部品の寸法にもよるが、微小部品用の場合、たとえば、１．２ｍｍ×１．５ｍｍ程度の大きさとなる。ダイヤモンド、超硬合金等の超硬材料にしかもかなりの微細加工を施す必要があるので、ワイヤ放電加工を用いることが好ましい。次の（ｄ）、（ｅ）工程についても同じである。
　【００２４】放電加工では、絶縁性の加工液中で微小間隙をおいて、工具電極と工作物との間に１００ｖ前後の電圧を印加してパルス状にアーク放電させ、放電による両者の溶融、気化および、これによる衝撃圧により、工作物にクレータを生じさせ、超硬金属、ダイヤモンド等を精度良く加工でき、また加工時に働く力が小さく、熱影響が少なく、複雑形状の加工が容易であり、自動化もし易く、上記の加工に好適である。ワイヤ放電加工は、電極として金属細線を用いるものであり、上記の微細加工に効果的である。
　【００２５】（ｄ）ダイヤモンドチップ２の中心に、ワイヤ放電加工により、ノズル軸Ａの方向の中心孔を形成する。これにより、ノズル棒１全体を通る貫通孔ｐが形成される。なおノズル棒の超硬度金属として中心孔を有しない棒材を用いた場合には、この工程により、棒材自体にも中心孔を形成することができる。
　【００２６】（ｅ）ダイヤモンドチップ２に、ワイヤ放電加工により、所定形状のノズル開口１１を持ったノズル孔１０を形成する。ノズル孔１０は、シャンク５に予め設けられている空気流れ孔（図示せず）と繋がり、ノズル１全体の吸引エア通路となる。
　【００２７】なお、上記ａ）〜ｅ）の工程の順序は一部変更することができるが、精度維持のため、ノズル孔形成工程（ｅ）は最終であることが望ましく、またワイヤ放電加工を用いる工程は、生産効率上連続させる方が望ましい。
　【００２８】上記の製造方法により、電子部品吸着ノズル製造時にノズル先端にダイヤモンドコーティングを施す必要が無くなり、、製作が容易となり製作時間が短縮されるとともに、歩留りが向上し、その結果製造コストは約３０〜４０％程度低減された。
　【００２９】図２は、図１の方法により製造された本発明の１実施形態の電子部品吸着ノズル７のノズル棒１の部分の拡大図であり、ダイヤモンドチップ２がノズルブロック３の先端に固着されている。ノズルブロック３はノズルパイプ４の先端にダイヤモンドチップ２と共に形成され、ノズル棒１の下部は図１に示すように、シャンク５に固着されている。
　【００３０】ノズル７の先端付近にはノズル孔１０のノズル開口１１が形成され、長方形のノズル吸着面２０に開口している。
　【００３１】図３は、本発明の１実施形態の電子部品吸着ノズル７の先端開口面の平面図であり、ノズル先端を構成するダイヤモンドチップ２、従って吸着面２０は、長方形状を有する。ノズル孔１０のノズル開口１１は吸着面１０の長方形の中心線Ｘ、Ｙにそれぞれ対称であり、ノズル軸Ａに点対称の形状を有している。
　【００３２】ノズル開口１１は、具体的には、やや細長の中心スリツト１２と、中心スリツト１２の長さ方向の両側に外方向に開いて、中心線Ｘ、Ｙにそれぞれ対称に設けられたコの字形スリット１３、１４から成っている。一方、吸着した電子部品を支承するための支持部は、吸着ノズルの中心軸Ａの方向に突出した支持脚２１、２２、２３、２４から成り、いずれもほぼ方形状に形成されて、鋭角部分を有ることなく、またほぼ同程度の幅と長さ、面積を有している。なお、ノズル開口１１の外向き部分の角はほぼ円形に形成されている。
　【００３３】上記構成においては、Ｘ、Ｙ２軸方向について、電子部品を支承すべき支持部分と吸着すべき吸着部分とが交互にかつほぼ均等に分散して配置されている。例えばＹ軸方向にみると、中央部では、支持脚２３−吸着部分１２−支持脚２４の如く交互にほぼ均等に分散して配置され、また中央の左側部分でも、外枠支持部−吸着部分１３１−支持部分２１−吸着部分１３２−外枠支持部分のように、両者が交互に且つほぼ均等に分散して配置されている。中央の右側部分、およびＸ軸方向についても、同じである。
　【００３４】破線枠５０は、ノズル吸着面２０に吸着された最小な電子部品の１例であり、吸着ノズルの吸着位置、支持位置、電子部品との相対関係を示している。この関係において、ドットを付加して示した部分Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇは電子部品の表面に吸着力が作用する吸着位置、斜線を付加して示した部分Ｓ、Ｔ、Ｕ、Ｖ及び外枠部分は電子部品を支承する支持位置に該当し、ノズル吸着面２０上において、吸着位置と支持位置とが交互にかつほぼ均等に分散配置された状態となっており、この関係が図にも明確に示されている。吸着位置と支持位置とのこの関係は、破線枠５０より多少小さい場合、十分大きい場合（例えばノズル端面と同じ大きさの場合）でも、また吸着の角度がノズル軸のまわりに若干回転している場合でも、ほぼ維持される。
　【００３５】またノズル開口１１の輪郭が電子部品の輪郭よりはみ出す場合には、はみ出し部分からの吸引エアの抜けが生じるが、図２の場合この抜けの生じる範囲（枠１１内の白い部分）も電子部品５０の４隅に均等に分散され、電子部品を正常位置にかつ正常な向きに安定して吸着するのに役立つ。
　【００３６】図４に、本発明の製造方法および構成による電子部品吸着ノズル（Ｎｏ．１）と従来の電子部品吸着ノズル（Ｎｏ．２）とのノズル性能を比較して示した。図４に示されるように、本発明の電子部品吸着ノズルによれば、上記の製造方法および中央スリットと、中央スリットの長手方向の両側に対称的に設けたコの字形のスリットから成るノズル開口を有する吸着ノズルを構成することにより、吸着性能が総合的に格段に向上した。
　【００３７】例えば、圧縮強度は、図５の従来品の９６．９Ｋｇから１５３．０と約１．６倍に高められ、またエッジ部耐磨耗性も一段と向上し、その結果ノズル寿命については、従来の３〜１０倍に向上し、１個のノズルで１０００万個程度の部品吸着が可能となる場合もあった。
　【００３８】また、吸着力も十分であり、エアー流れは均一であった。
　【００３９】また立ち吸着優位性の点でも改善が得られた。即ち、部品に対する吸着位置分布と支持位置分布とが偏ることなく、吸着面上で交互にかつほぼ均等に分散しているので、部品吸着位置が若干ずれても正常な姿勢で吸着することができる。
　【００４０】したがつて、本発明によれば、ノズルの製造、使用面での経済性が向上するとともに、また上記の従来のノズルの弱点であったエッジ部磨耗性、圧縮強度等の問題が解消されて、安定な吸着性能を長く維持でき、耐久性にすぐれた電子部品吸着ノズルを構成することが可能となった。
　【００４１】
　【発明の効果】以上のように、本発明によれば、上記の従来の電子部品吸着ノズルの弱点であった生産コスト高、エッジ部圧縮強度等の問題を解消し、吸着ノズル生産、使用時の経済性および耐久性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明による電子部品吸着ノズルの製造工程の１例図。
　【図２】本発明の１実施形態の電子部品吸着ノズルの要部構成図。
　【図３】本発明の１実施形態の電子部品吸着ノズルのノズル開口の平面図。
　【図４】本発明の電子部品吸着ノズルと従来のノズルとのノズル性能比較図。
　【図５】従来の電子部品吸着ノズルのノズル開口の構成例図。
　【符号の説明】
　１　ノズル棒
　２　ダイヤモンドチップ
　３　ノズル先端ブロック
　４　ノズルパイプ
　５　シャンク
　６　装着部
　７　電子部品吸着ノズル
　１０　ノズル孔
　１１　ノズル開口
　１２　中央スリット
　１３　１４　コの字スリツト
　２０　ノズル吸着面
　２１、２２、２３、２４　支持部
　４１　取付け部
　５０　電子部品
　Ａ　ノズル軸
　Ｂ〜Ｇ　吸着位置
　Ｓ〜Ｖ　支持位置