【事件の表示】
　特許第３３１８４０６号「光導波路、光導波路と光ファイバの接続装置」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３１８４０６号の請求項１及び２に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３３１８４０６号の請求項１及び２に係る発明について、平成５年１０月１３日に特許出願され、平成１４年６月１４日に設定登録がなされ、特許異議申立人日本電信電話株式会社及び特許異議申立人大畑宗子より請求項１及び２に係る特許につき特許異議の申立てがなされた。そして、請求項１及び２に係る発明について平成１５年５月２８日付けで取消理由通知を通知したところ、特許権者から平成１５年８月５日付けで意見書及び訂正請求書が提出された。
　
２．特許請求の範囲の訂正について
２−１．訂正事項
特許請求の範囲の請求項１及び２を、以下のとおり訂正する。
「【請求項１】光導波路基板内に光を伝搬する伝搬用コアが形成された光導波路において、前記光導波路の伝搬用コアの断面積が入出力端面に行くにしたがい徐々に小さくなるとともに、その端部
のみ
【請求項２】光が伝搬する複数の伝搬用コアが光導波路基板に整列形成された光導波路と、整列された複数の光ファイバとが接続される光導波路と光ファイバの接続装置において、前記光導波路の伝搬用コアの断面積が入出力端面に行くにしたがい徐々に小さくなるとともに、その端部
のみ
　
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項は、請求項１又は２に記載の「端部」に「のみ」を付加し限定することにより、「端部のみ」に結合用コアが形成されることを規定するものであって、上記事項は、図５、図７、図９、図１０から明らかである。
　よって、上記訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、願書に添付した明細書の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　
２−３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項、及び第３項で準用する第１２６条第２−３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．本件発明
　特許異議の申立ての対象となる本件特許第３３１８４０６号の請求項に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】光導波路基板内に光を伝搬する伝搬用コアが形成された光導波路において、前記光導波路の伝搬用コアの断面積が入出力端面に行くにしたがい徐々に小さくなるとともに、その端部
のみ
【請求項２】光が伝搬する複数の伝搬用コアが光導波路基板に整列形成された光導波路と、整列された複数の光ファイバとが接続される光導波路と光ファイバの接続装置において、前記光導波路の伝搬用コアの断面積が入出力端面に行くにしたがい徐々に小さくなるとともに、その端部
のみ
　
４．取消理由の内容
　平成１５年５月２８日付けの取消理由通知は、特許異議申立人である大畑宗子よりなされた特許異議の申立てとおおよそ同様であって、以下のとおりである。
「本件の請求項１及び２に係る発明は、その出願前日本国内または外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　記
刊行物１：Appl. Phys. Lett. 55 (23), 4 December 1989 “Efficient coupling of a semiconductor laser to an optical fiber by means of a tapered waveguide on silicon” 第２３８９頁〜第２３９１頁（特に、異議申立人大畑宗子の提出した甲第１号証の抄訳及びFig.１参照。）
刊行物２：特開平５−２５７０３２号公報
刊行物３：特開平４−２８３７０４号公報
なお、詳細な理由は、異議申立人大畑宗子の提出した特許異議申立書第３頁１５行〜第７頁７行（４）．具体的証拠を参照されたい。
仮に、請求項１及び２の「１あるいは複数の結合用コア」を「複数の結合用コア」に限定しても、上記刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。」
　
５．引用例の記載事項
　刊行物１（以下「引用例１」という。）には、おおよそ以下のことが記載されている。
ａ．「光通信用集積回路の開発において、導波路をレーザとファイバの両方に効率的に結合させることも重要である。」（２３８９頁左欄３〜６行）
ｂ．「我々はシリコン上に光通信用集積回路を開発することにたずさわっている。この技術では、光ファイバと効率的に結合する“緩やかな(loose)”モードを有する低損失な導波路と、レーザと結合する適度に効率良く突き合わせ結合する“タイト（引き締まった；tight)”モードの導波路が開発されてきた。」（２３８９頁左欄６〜１０行）
ｃ．「本稿において、我々はタイトモードと緩やかなモード間の、効率的で断熱的なテーパ遷移を報告し、レーザからファイバへ効率的な結合を説明するためにそれを用いる。」（２３８９頁左欄１０〜１３行）
ｄ．「我々の実験で用いられたテーパ構造は図１に示されている。緩やかなモードのコアは、厚さ４μｍ、幅７μｍのリン珪酸ガラス（６．５ｗｔ％Ｐ）で作られている。タイトモードのコアは、厚さ０．１μｍ、幅２μｍの窒化シリコン（Ｓｉ３Ｎ４）で作られている。両方のコア層は、高圧蒸気でシリコン基板を酸化することによって得られた底部クラッド層の上にあり、４μｍ厚の酸化シリコン層に覆われている。」（２３８９頁左欄１４〜２０行）
ｅ．「タイトモードから緩やかなモードへの断熱遷移は、１０００μｍの長さを超えて、窒化シリコンのコアの幅がゼロになるまでテーパ状にすることによって成された。我々の計算によると、５００μｍより大きい窒化珪素のくさびの長さは、低損失、つまり０．２ｄＢより小さい損失、の断熱遷移を得るのに十分である。デバイスの全体の長さは１．２ｃｍであった。」（２３８９頁左欄２１〜２６行）
　また引用例１の図１のタイトルには、「タイトモードの導波路、緩やかなモードの導波路、及びテーパの概略図」と記載されている。
　図１には、上記タイトモードのコアの幅が一方の端面（図１の左側）からもう一方の端面（図１の右側）に行くにしたがい徐々に小さくなっていることがみてとれる。
　
　刊行物２（以下「引用例２」という。）には、以下のことが記載されている。
ｆ．「図２（ａ）（ｂ）は上記図１の端面接続構造を有する光導波路１１と光ファイバＦの接続部の全体図で、光導波路１１は多数のＹ分岐を構成する導波路コア１２とその端面に端面バッファ層１３とを有し、一方複数本の光ファイバＦはそれぞれ端部を加熱されたコア拡大ファイバにされてファイバーサポート１４に保持され、両者は接着されている。この構造を有しているので、従来のようにファイバーサポートとの接続時の位置精度にサブμｍオーダーの高い精度を必要とせず、端面バッファ層１３でモードフィールド径が拡大され、かつ拡大されたコアを持つ光ファイバＦに光を接続するので多少の精度誤差の範囲では損失を極めて少なくすることができる。」（段落００１４）
　また引用例２の図２（ａ）には、Ｙ分岐を構成する導波路コア１２が複数、整列形成された光導波路と、整列された複数の光ファイバとが接続されていることがみてとれる。
　
　刊行物３（以下「引用例３」という。）には、以下のことが記載されている。
ｇ．「こうして低結合損失導波路部としての第１の導波路部６から光の閉じ込めの強い第３の導波路１６に単一モード光を移行させることができる。勿論、必要であれば、第３の導波路１６以降において、より高い屈折率のコア層を有する第４、第５の導波路部を多段階に設けることが可能であり、所望の光閉じ込めの強い単一モード光を実現することもできる。」（段落００１４）
　
ｈ．「屈折率の異なるコア層を多段階に設け、低結合損失でＭＱＷコア層３４に入射された単一モード光を次第により屈折率の高いコア層に移行させていくことにより、導波モードの広がりを小さくし、光の閉じ込めを強くしていくことができる。」（段落００２３）
　
６．取消理由及び異議申立てについての対比・判断
６−１．本件発明１について
　本件発明１と引用例１に記載された発明とを対比する。
（１）引用例１には「我々の実験で用いられたテーパ構造は図１に示されている。緩やかなモードのコアは、厚さ４μｍ、幅７μｍのリン珪酸ガラス（６．５ｗｔ％Ｐ）で作られている。タイトモードのコアは、厚さ０．１μｍ、幅２μｍの窒化シリコン（Ｓｉ３Ｎ４）で作られている。両方のコア層は、高圧蒸気でシリコン基板を酸化することによって得られた底部クラッド層の上にあり、４μｍ厚の酸化シリコン層に覆われている」（上記ｄ）と記載されている。上記コア層がシリコン基板を酸化することによって得られた底部クラッド層の上にあり、かつ、酸化シリコン層に覆われていることから、上記コア層は光導波路基板内に形成されたものであるといえるから、引用例１の「タイトモードのコア」は本件発明１の「伝搬用コア」に相当するとともに、引用例１は、本件発明１の「光導波路基板内に光を伝搬する伝搬用コアが形成された光導波路」との事項を開示する。
（２）引用例１に記載のタイトモードのコアは、「窒化シリコンのコアの幅がゼロになるまでテーパ状」（上記ｅ）となっており、また図１からみてとれる事項から、引用例１記載のものも、「光導波路の伝搬用コアの断面積が入出力端面に行くにしたがい徐々に小さくなる」ものである。
また、引用例１に記載の「緩やかなモードのコア」は、「光ファイバと効率的に結合する」（上記ｂ）ものであるから、「結合用コア」に相当する。上記緩やかなモードのコアは、タイトモードのコアよりも断面積が大きくて、タイトモードのコアの上面及び側面を囲むように形成されていることは、図１から明らかである。
　さらに、引用例１には、緩やかなモードのコアは「リン珪酸ガラス（６．５ｗｔ％Ｐ）で作られて」（上記ｄ）おり、タイトモードのコアは「窒化シリコン（Ｓｉ３Ｎ４）で作られている」（上記ｄ）ことが記載されている。その際、リン珪酸塩ガラスの屈折率が窒化シリコンの屈折率よりも小さいことは、当業者には明らかである。
　そして、引用例１に記載の上記光導波路が、「レーザとファイバの両方に効率的に結合させる」（上記ａ）ものであって、一方の端面（図１では左側の端面）でレーザとタイトモードのコアが結合することから、もう一方の端面（図１では右側の端面）では緩やかなモードのコアがファイバと結合することになるので、上記タイトモードのコア端が光導波路の出力部となることは、明らかであるから、引用例１は、「伝搬用コアよりも断面積が大きくて屈折率が小さな１つの結合用コアを伝搬用コアの上面及び側面を囲むように形成し、前記結合用コア端が光導波路の出力部とされた」に相当する事項を開示するものである。
　
　したがって、両者は、「光導波路基板内に光を伝搬する伝搬用コアが形成された光導波路において、前記光導波路の伝搬用コアの断面積が端面に行くにしたがい徐々に小さくなるとともに、伝搬用コアよりも断面積が大きくて屈折率が小さな１つの結合用コアを伝搬用コアの上面及び側面を囲むように形成し、前記結合用コア端が光導波路の出力部とされた光導波路」である点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点１：本件発明１では、伝搬用コアの「端部のみ」に結合用コアを形成しているのに対し、引用例１では、光導波路の一方の端面からもう一方の端面まで結合用コアを形成しており、したがって端部
のみ
　
相違点２：上記結合用コア端が、本件発明１では、「
入
　
　上記相違点１について検討する。
　引用例１に記載の光導波路において、タイトモードのコアは断面積が一定の部分とそれに続く断面積が徐々に小さくなるテーパ部分とからなり、緩やかなモードのコアは上記両部分におけるタイトモードのコアの上面及び側面を囲むように形成されている。タイトモードと緩やかなモード間の遷移は、タイトモードのコアのテーパ部分でおきており、タイトモードのコアの断面積が一定の部分は、タイトモードと緩やかなモード間の遷移に寄与していないことは明らかである。また、光導波路とレーザとの光結合はタイトモードのコアの断面積が一定の部分で行われ、タイトモードのコアの断面積が一定の部分の上面及び側面を囲む緩やかなモードのコアがなくても、レーザとの光結合及びタイトモードと緩やかなモード間の遷移に実質的な影響がないのであるから、緩やかなモードのコアを形成するにあたって、タイトモードのコアの断面積が一定の部分に設けず、実質的な影響のある「端部のみ」とすることは、当業者が適宜なし得る設計事項である。
　
　次に上記相違点２について検討する。
　引用例１に記載の光導波路では、光導波路のタイトモードのコアの断面積が徐々に小さくなって、その先の光導波の端部（図１では右側の端部）で、例えば光ファイバ等と結合するが、逆に逆方向（右側）から光導波路にも入力し得ることは、当業者に明らかなことであるから、上記端面を光の入力も行う
入
　
　出願人は、平成１５年８月５日付け特許異議意見書において、「刊行物１に示されている光導波路は、図１からも明らかなように、結合用コア(loose mode core)が伝搬用コア(tight mode core)の全長にわたって形成されているため、この光導波路では全長にわたって伝搬用コアおよび結合用コアの２つのコアを有する構造となります。しかし、光導波路を用いて光を分波、合波、変調等を行う際に、それぞれの機能に応じた設計が必要となりますが、刊行物１のように２つのコアを有する光導波路では光導波路の構造が複雑となったり、接続損失が大きくなったりするという問題があります。これに対し、本件特許の請求項１の発明は、
伝搬用コアの端部のみ
　しかし、本件発明１では光を分波、合波、変調等を行うように光導波路を設計することは記載されておらず、また平成１５年８月５日付けで訂正された全文訂正明細書にもそのようなことは記載されていない。かりに、光を分波、合波、変調等を行うように光導波路を設計したとして、光導波路の構造が複雑となったり、接続損失が大きくなったりするという問題がおこったとしても、それは光導波路の、分波、合波、変調等を行うための設計をどのようにするかに係ることであって、光導波路の全長にわたって結合用コアを形成することにのみ依存するものではない。
　また、伝搬用コアの端部のみに結合用コアを形成するから、伝搬用コアと結合用コアのそれぞれのコアを高精度に位置決めする必要がない、と主張する点については、高精度に位置決めする必要性の存否はともかく、結合用コアを伝搬用コアの端部のみに形成したからといって、伝搬用コアと結合用コアのそれぞれのコアを高精度に位置決めする必要がないということはできない。
　さらに、本件発明１では光の入出力端部で結合用コアと伝搬用コアが一体化していることを上記のとおり主張しているが、引用例１に記載された光導波路においても、ファイバと接続する端面（図１では右側の端面）では結合用コアと伝搬用コアが一体化している。
　よって、出願人の上記主張は採用するに足らないものである。
　
　したがって、本件発明１は引用例１に記載された発明から当業者が容易になし得たものである。
　
６−２．本件発明２について
　本件発明２と引用例２に記載された発明とを対比する。
　引用例２には、「図２（ａ）（ｂ）は・・・全体図で、光導波路１１は多数のＹ分岐を構成する導波路コア１２とその端面に端面バッファ層１３とを有し、一方複数本の光ファイバＦはそれぞれ端部を加熱されたコア拡大ファイバにされてファイバーサポート１４に保持され、両者は接着されている。この構造を有しているので・・・接続時の位置精度にサブμｍオーダーの高い精度を必要とせず、端面バッファ層１３でモードフィールド径が拡大され、かつ拡大されたコアを持つ光ファイバＦに光を接続するので多少の精度誤差の範囲では損失を極めて少なくすることができる。」（上記ｆ）と記載され、また引用例２の図２（ａ）には、Ｙ分岐を構成する導波路コア１２が複数、整列形成された光導波路と、整列された複数の光ファイバとが接続されていることがみてとれることから、引用例２のものは、本件発明２の「光が伝搬する複数の伝搬用コアが光導波路基板に整列形成された光導波路と、整列された複数の光ファイバとが接続される光導波路と光ファイバの接続装置」との事項を開示するものである。
　また、引用例２において、光ファイバＦのコアは拡大され、光導波路からの光は、「端面バッファ層１３でモードフィールド径が拡大され」るのであるから、引用例２のものは、本件発明２の「光ファイバのコア径が拡大されて、伝搬光がスポットサイズを拡大して出力される」との事項を開示するものである。
　したがって、両者は、「光が伝搬する複数の伝搬用コアが光導波路基板に整列形成された光導波路と、整列された複数の光ファイバとが接続される光導波路と光ファイバの接続装置において、前記光ファイバのコア径が拡大されて、伝搬光がスポットサイズを拡大して出力される光導波路と光ファイバの接続装置」である点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点３：本件発明２は、「前記光導波路の伝搬用コアの断面積が入出力端面に行くにしたがい徐々に小さくなるとともに、その端部
のみ
相違点４：本件発明２では、伝搬光がスポットサイズを拡大して「入」出力されるのに対し、引用例２に記載された発明では、出力することは記載されているものの、入力については記載がない点。
　
　相違点３について検討する。
　引用例１には、光導波路の伝搬用コアの断面積が入出力端面に行くにしたがい徐々に小さくなるとともに、その端部に伝搬用コアよりも断面積が大きくて屈折率が小さな１つの結合用コアを伝搬用コアの少なくとも上面及び側面を囲むように形成してコア径が拡大される光接続装置が記載されている。
　また、引用例２のものは、上記記載ｆにも見られるように、端面バッファ層１３でモードフィールド径が拡大されるものであるから、このような機能を奏するコア径を拡大するような光接続装置を適用する動機付けを有するものである。
　そして、引用例１の結合用コアを「端部
のみ
　よって、上記相違点３の事項とすることは、引用例２に引用例１の結合用コアを適用することにより、当業者が容易になし得る程度のものである。
　
　次に相違点４について検討する。
　引用例１及び引用例２において、光導波路側から光ファイバに入射するのみならず、逆に逆方向から光導波路にも入力し得ることは、当業者にとって明らかなことであるから、相違点４のように、伝搬光がスポットサイズを拡大して
入
　
　そして、上記構成により奏する効果は、引用例から当業者が予想し得る程度のことである。
　
　　したがって、本件発明２は引用例１及び２に記載された発明から当業者が容易になし得たものである。
　
６−３．その他
　本件発明１及び本件発明２では、結合用コアは「１
あるいは複数
　引用例３には、導波路を多段階に設けることで、光をより光閉じ込めの強いモードへと移行させることが記載されている。
　引用例１に記載された光導波路又は引用例２に記載された光導波路と光ファイバの接続装置において、タイトモードのコアの上部及び側部に設けられている緩やかなモードのコアは１つであるが、タイトモードと緩やかなモードとの遷移を、複数の導波路を設けて多段階に行うといった引用例３に記載されている技術を適用することは、当業者が何ら困難なくなし得ることである。
　
７．むすび
　以上のとおり、請求項１及び２に係る発明は、引用例１及び２に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、請求項１及び２に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年１１月５日（２００３．１１．５）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
光導波路、光導波路と光ファイバの接続装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】光導波路基板内に光を伝搬する伝搬用コアが形成された光導波路において、前記光導波路の伝搬用コアの断面積が入出力端面に行くにしたがい徐々に小さくなるとともに、その端部
のみ
　【請求項２】光が伝搬する複数の伝搬用コアが光導波路基板に整列形成された光導波路と、整列された複数の光ファイバとが接続される光導波路と光ファイバの接続装置において、前記光導波路の伝搬用コアの断面積が入出力端面に行くにしたがい徐々に小さくなるとともに、その端部
のみ
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、光デバイスと光入出力の接続を行うための光導波路に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】図１１は従来の一般的な光導波路と光ファイバの接続構造を示したもので、光導波路のコア３と光ファイバのコア６を直接突き合わせる方法を用いていた。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の接続方法を用いる場合、光導波路と光ファイバの光のスポットサイズは１０μｍ程度と小さく、低損失な接続を行うためには高精度の位置合わせを必要とする。また、２組以上の光導波路と光ファイバを接続する場合には図１２のようなＶ溝基板１３に光ファイバ２を整列させたものを使用する。この時、接続による損失を小さくするには、先に述べた高精度の位置合わせの他に、光ファイバ２のコア６と光導波路のコアの間隔を等しくし、さらに間隔にばらつきがあってはいけない。よって、Ｖ溝１４は精度の良いものが要求されるが、実際には作製が困難で、また作製できても価格の高いものになってしまう。また、光ファイバ２のクラッド８の大きさやクラッド８の外形に対するコア６の同芯度やそのばらつき、さらには光ファイバ２のＶ溝１４への固定の際の浮き上がり等によっても光ファイバ２のコア６の間隔にばらつきが生じ接続損失を大きくし、またそれぞれの光導波路と光ファイバの接続部で損失のばらつきが生じるという問題点があった。
　【０００４】本発明はこのような課題を解決するために、光導波路と光デバイスの接続において、光導波路の入出力部での光のスポットサイズを大きくすることによって、位置合わせの精度を緩くし、さらに低損失な接続を行える光導波路を提供することを目的とする。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】このような目的を達成するための第１の発明は、光導波路の入出力部において、前記光導波路の伝搬用コアの断面積が入出力端面に行くにしたがい徐々に小さくなるとともに、その端部
のみ
　【０００６】第２の発明は、光が伝搬する複数の伝搬用コアが光導波路基板に整列形成された光導波路と、整列された複数の光ファイバとが接続される光導波路と光ファイバの接続装置において、前記光導波路の伝搬用コアの断面積が入出力端面に行くにしたがい徐々に小さくなるとともに、その端部
のみ
　【０００７】
　【作用】本発明は、光導波路の入出力部での光のスポットサイズを大きくすることによって、光デバイスとの位置合わせの精度を緩くし、２つ以上の光導波路とそれらの光導波路と接続を行う光デバイスを低損失に、また損失のばらつきを少なく接続することが可能となる。
　【０００８】
　【実施例】図１は本発明の第１参考例を示す斜視図で、図２は第１参考例の光導波路内のコアを示す斜視図である。光ファイバ２はコア６を拡大したものを用い、光導波路基板１内のコア３も光導波路の入出力端面９に向かうにしたがってコアが大きくなるように構成されている。この光ファイバのコアの拡大部７はクラッド８よりも屈折率を高めるためにコア６にドープされている物質を外部から熱することにより拡散させ、コア６を大きくし、光ファイバの光のスポットサイズを拡大する。一方、光導波路のコアの拡大部４は、光ファイバと同様にコア３内のドープ物質を熱拡散することによって可能であった。また、石英系光導波路では光導波路の作製法として火炎堆積法が用いられるが、その際コアを形成する石英系の原料微粒子の噴射量を調整することにより厚み方向にコアの形状を変化させることができ、光導波路の光のスポットサイズを拡大することができる。
　【０００９】また、図３は本発明の第２参考例を示す光導波路内のコアの斜視図であり、図４は第２参考例の垂直断面図である。光導波路の光のスポットサイズの拡大を行う構造として、方向性結合器の形を用いたものであり、伝搬用コア１０を伝搬する光の等価屈折率と結合用コア１１を伝搬する光の等価屈折率が等しくなるように、クラッド５の屈折率のｎ０、伝搬用コア１０の屈折率ｎ１に対し、結合用コア１１の屈折率ｎ２を選ぶ。それによって各屈折率、コアの大きさとコア間の距離で決定される結合長さＬにおいて、コアの大きい結合用コア１１に入力された光はコアの小さい伝搬用コア１０に効率よく移り、スポットサイズの変換が可能となる。
　【００１０】しかし、第２参考例では伝搬用コア１０の上面にのみ結合用コア１１が形成されているため接触面積が小さく、結合用コア１１の側面から光が漏れやすき損失が大きいものであった。
　【００１１】そこで、本発明の第１実施例として図５に示す斜視図のように、光導波路内のコアは伝搬用コア１０と結合用コア１１からなり、伝搬用コア１０の上面、側面を囲むように結合用コア１１が形成され、伝搬用コア１０と結合用コア１１の中心がほぼ一致するように構成されている。また、光導波路の光の入出力部において光を伝搬させる伝搬用コア１０を囲む形でコアの断面積が伝搬用コア１０より大きく、屈折率ｎ２がｎ０＜ｎ２＜ｎ１となる結合用コア１１が形成されているため、コアの大きい結合用コア１１に入力された光はコアの小さい伝搬用コア１０に効率よく移り、スポットサイズの変換を高効率に行うことができる。このように水平方向と同じように垂直方向に関しても対称性を有する構造をとることにより、結合用コア１１に入力した光をより低損失に伝搬用コア１０に移すことができる。
　【００１２】図６は光導波路と光ファイバのコアの位置ずれに対する接続損失を示した図である。スポットサイズを１０μｍから２０μｍに２倍に拡大した場合には、ある損失値に対して２倍の位置ずれまで許される。また、同じ位置ずれ量であれば、接続損失はより小さくなる。
　【００１３】図７は本発明の第２実施例の光導波路内のコアの斜視図で、図８は第２実施例の（ａ）は垂直断面図、（ｂ）は水平断面図で、いずれも伝搬用コア１０の中心を含んだ断面図である。光導波路の光の入出力部において光を伝搬させる伝搬用コア１０を囲む形でコアの断面積が伝搬用コア１０より大きく屈折率ｎ２がｎ０＜ｎ２＜ｎ１となる結合用コア１１が形成され、さらにその結合用コア１１を囲むように屈折率ｎ３の第２の結合用コアがｎ０＜ｎ３＜ｎ２となるように形成される。また、伝搬用コア１０と結合用コア１１が接している部分では、伝搬用コア１０の断面積が入出力端面９に行くにしたがい徐々に小さくなり、また結合用コア１１と結合用コア１２が接している部分でも同様に結合用コア１１の断面積が徐々に小さくなる構造を持つ。以上のような屈折率と構造を用いることにより、結合用コア１２に入力された光は、徐々に光のスポットサイズを小さくしながら結合用コア１１を通り、伝搬用コア１０に移る。その結果、損失を少なくスポットサイズを変換することができる。
　【００１４】図９は本発明の第３実施例の光導波路内のコアの斜視図である。第１、第２実施例においては、コアの厚さ方向の大きさは均一である構造としたが、図のように伝搬用コア１０の厚さも変化させてよい。例えば、火炎堆積法によって石英系光導波路を作製する場合は、コアを形成する石英系の原料微粒子の噴射量を調整することによって可能となる。
　【００１５】図１０は本発明の第４実施例の光導波路内のコアの斜視図である。図のように結合用コア１１の形状も変化させることにより光の伝搬方向に対する断面の屈折率分布が伝搬方向に対して連続的に変化する。それにより光の等価屈折率も連続的に変化し、屈折率の不連続な変化にともなう反射が起こりにくくなる。
　【００１６】以上の第１、第３、第４実施例において結合用コア１１は１つしか図示していないが、２つ以上ある構造とすることもできる。また、コアが徐々に小さくなる構造では直線状に形状が変化しているが、徐々に小さくなるのであれば曲線的に変化する構造とすることもできる。
　【００１７】
　【発明の効果】以上説明したように、光デバイスと接続を行う光導波路の入出力部において、光導波路の光のスポットサイズを大きくするスポットサイズ変換部を設けることによって、光導波路と光デバイスの位置合わせの精度を緩くし、２つ以上の光導波路とそれらの光導波路と接続を行う光デバイスを低損失に、また損失のばらつきを少なく接続することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の第１参考例の斜視図である。
　【図２】本発明の第１参考例の光導波路内のコアの斜視図である。
　【図３】本発明の第２参考例の光導波路内のコアの斜視図である。
　【図４】本発明の第２参考例の垂直断面図である。
　【図５】本発明の第１実施例の光導波路内のコアの斜視図である。
　【図６】光導波路と光ファイバのコアの位置ずれによる接続損失を示した図である。
　【図７】本発明の第２実施例の光導波路内のコアの斜視図である。
　【図８】本発明の第２実施例に関し、（ａ）は垂直断面図、（ｂ）は水平断面図である。
　【図９】本発明の第３実施例の光導波路内のコアの斜視図である。
　【図１０】本発明の第４実施例の光導波路内のコアの斜視図である。
　【図１１】従来技術による光導波路と光ファイバの接続構造図である。
　【図１２】光ファイバの整列用Ｖ溝の入出力端面図である。
　【符号の説明】
　１　光導波路基板
　２　光ファイバ
　３　光導波路のコア
　４　光導波路のコアの拡大部
　５　光導波路のクラッド
　６　光ファイバのコア
　７　光ファイバのコアの拡大部
　８　光ファイバのクラッド
　９　光導波路の入出力端面
　１０　伝搬用コア
　１１、１２　結合用コア
　１３　Ｖ溝基板
　１４　Ｖ溝