【事件の表示】
　特許第３３２００３４号「ミスト供給装置」の請求項１ないし１０に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３２００３４号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１、手続の経緯
　特許第３３２００３４号の請求項１〜１０に係る発明は、平成１１年４月１６日（優先権主張平成１０年１０月２７日）に特許出願され、平成１４年６月２１日に特許権の設定の登録がなされたが、その後、タコ株式会社及び酒巻紫より特許異議の申立てがなされ、平成１５年５月２９日付で取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１５年８月８日に訂正請求がなされたものである。　
　
２、訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　本件特許の明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正するものである。
　ア、訂正事項ａ
　特許明細書の特許請求の範囲の請求項１、２、６〜１０を削除し、請求項３〜５を請求項１〜３と繰り上げ訂正する。
　つまり、特許明細書の【特許請求の範囲】の欄を、
「　【請求項１】　液体を収容する液体収容室と、該液体収容室からの前記液体と圧力気体源からの気体とからミストを生成するミスト生成手段と、該ミスト生成手段により生成した前記ミストを収容するミスト収容室とを備え、前記ミスト生成手段に対して前記圧力気体源から圧縮気体を供給する主回路を接続し、前記圧力気体源から気体の一部を前記ミスト収容室に供給するための分岐回路を設け、該分岐回路に圧力制御弁を設け、前記ミスト収容室の内圧を前記圧力制御弁にフィードバックし前記ミスト収容室を所定圧に制御するミスト供給装置において、前記ミスト収容室は内部ミスト収容室と外部ミスト収容室から成り、前記ミスト生成手段により生成した前記ミストは前記内部ミスト収容室に収容することを特徴とするミスト供給装置。
　　【請求項２】　前記内部ミスト収容室の上部から前記外部ミスト収容室の下部にミストを導出するミスト通路を有する請求項１に記載のミスト供給装置。
　　【請求項３】　前記ミスト通路は螺旋状とした請求項２に記載のミスト供給装置。」と訂正するものである。
  イ、訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【０００６】の記載に関し、
「【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するための本発明に係るミスト供給装置は、液体を収容する液体収容室と、該液体収容室からの前記液体と圧力気体源からの気体とからミストを生成するミスト生成手段と、該ミスト生成手段により生成した前記ミストを収容するミスト収容室とを備えたミスト供給装置において、前記ミスト生成手段に対して前記圧力気体源から圧縮気体を供給する主回路を接続し、前記圧力気体源から気体の一部を前記ミスト収容室に供給するための分岐回路を設け、該分岐回路に圧力制御弁を設け、前記ミスト収容室の内圧を前記圧力制御弁にフィードバックし前記ミスト収容室を所定圧に制御することを特徴とする。」とあるを、
「【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するための本発明に係るミスト供給装置は、液体を収容する液体収容室と、該液体収容室からの前記液体と圧力気体源からの気体とからミストを生成するミスト生成手段と、該ミスト生成手段により生成した前記ミストを収容するミスト収容室とを備え、前記ミスト生成手段に対して前記圧力気体源から圧縮気体を供給する主回路を接続し、前記圧力気体源から気体の一部を前記ミスト収容室に供給するための分岐回路を設け、該分岐回路に圧力制御弁を設け、前記ミスト収容室の内圧を前記圧力制御弁にフィードバックし前記ミスト収容室を所定圧に制御するミスト供給装置において、前記ミスト収容室は内部ミスト収容室と外部ミスト収容室から成り、前記ミスト生成手段により生成した前記ミストは前記内部ミスト収容室に収容することを特徴とする。」と訂正する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項１、２、６〜１０の削除を求めると共に、従属項たる請求項３〜５を、請求項３を独立項として請求項１〜３に繰り上げることを求める訂正である。
　請求項の削除は、実質的に特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、従属項たる請求項３〜５を、請求項３を独立項として請求項１〜３に繰り上げることも、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当すると共に、何れも、新規事項の追加には該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　また、上記訂正事項ｂは、独立項を削除すると共に従属項を独立項に繰り上げたことに伴う訂正であるから、特許請求の範囲と詳細な説明との整合を図ることに伴う明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加には該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　そして、本件は請求項１〜１０全てに対して特許異議の申立てが為されているから独立特許要件につき検討する必要を認めない。
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項並びに同条第３項で準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３、特許異議の申立てについての判断
（１）申立ての理由の概要
　（ア）特許異議申立人タコ株式会社は、特許第３３２００３４号の請求項１〜１０に係る特許発明は、下記の甲第１〜１０号証に記載されるものから当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであって、特許法第１１３条第１項第２号の異議理由に該当するため、その特許は取り消されるべきであると主張している。
　甲第１号証：実公平２−１５９９号公報
　甲第２号証：特開平７−２５６０８４号公報
　甲第３号証：実開昭６３−６２２６２号公報
　甲第４号証：特開平７−２８９８０２号公報
　甲第５号証：実公平２−１６００号公報
　甲第６号証：特開平１０−５３４１号公報
  甲第７号証：特公昭６３−４３６３６号公報
  甲第８号証：特開平１０−１９１９２号公報
  甲第９号証：特開平７−２４７８２０号公報
  甲第１０号証：特開平７−３３３８５７号公報
　（イ）特許異議申立人酒巻紫は、特許第３３２００３４号の請求項１、２、６に係る特許発明は、下記の甲第１〜４号証に記載されているか、少なくとも下記の甲第１〜４号証に記載されるものから当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号又は同条第２項の規定に違反して特許されたものであって、特許法第１１３条第１項第２号の異議理由に該当するため、その特許は取り消されるべきであると主張している。
　甲第１号証：実開昭６３−１０３０９４号公報のマイクロフィルム
　甲第２号証：特開平６−１２９５９４号公報
　甲第３号証：特開平４−２１０１９５号公報
　甲第４号証：特開平６−１７９９９号公報
（２）請求項１〜３に係る特許発明
　上記２で示したように、上記訂正が認められたから、本件の請求項１〜３に係る特許発明は上記訂正請求に係る平成１５年８月８日付全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
「　【請求項１】　液体を収容する液体収容室と、該液体収容室からの前記液体と圧力気体源からの気体とからミストを生成するミスト生成手段と、該ミスト生成手段により生成した前記ミストを収容するミスト収容室とを備え、前記ミスト生成手段に対して前記圧力気体源から圧縮気体を供給する主回路を接続し、前記圧力気体源から気体の一部を前記ミスト収容室に供給するための分岐回路を設け、該分岐回路に圧力制御弁を設け、前記ミスト収容室の内圧を前記圧力制御弁にフィードバックし前記ミスト収容室を所定圧に制御するミスト供給装置において、前記ミスト収容室は内部ミスト収容室と外部ミスト収容室から成り、前記ミスト生成手段により生成した前記ミストは前記内部ミスト収容室に収容することを特徴とするミスト供給装置。
　　【請求項２】　前記内部ミスト収容室の上部から前記外部ミスト収容室の下部にミストを導出するミスト通路を有する請求項１に記載のミスト供給装置。
　　【請求項３】　前記ミスト通路は螺旋状とした請求項２に記載のミスト供給装置。」
（３）対比・判断
　なお、訂正後の請求項１に係る特許発明は訂正前の請求項３に係る特許発明であって、取消理由通知の対象とはなっていない。
　そして、訂正後の請求項１に係る特許発明の特徴的記載である「ミスト供給装置において、前記ミスト収容室は内部ミスト収容室と外部ミスト収容室から成り、前記ミスト生成手段により生成した前記ミストは前記内部ミスト収容室に収容することを特徴とする」なる記載は、特許異議申立人タコ株式会社が提出し、その構成の記載を主張する甲第６、７号証を検討しても見いだすことができないと共に、同じく特許異議申立人タコ株式会社の提出に係る甲第１〜５、８〜１０号証はもとより、特許異議申立人酒巻紫の提出した甲第１〜４号証の何れにも開示されておらず、訂正後の請求項１に係る特許発明はかかる構成を有することにより、「ノズル５で発生したミストは内部ミスト収容室４ａに充満し、ミストの中の小さい粒子が上部に残る。そして、外部ミスト収容室４ｂの上部には更に小さい粒子から成るミストが位置し、」といった訂正明細書の段落【００２２】に記載されるような作用効果を奏する。
　そうしてみると、訂正後の請求項１に係る特許発明は、特許異議申立人の提出にかかる甲各号証の何れにも記載されているということができないばかりでなく、甲各号証に記載されるものから当業者が容易に発明をすることができたということもできない。
　また、他に請求項１に係る特許発明が新規性、進歩性を有しないとするに足る理由を発見しない。
　請求項１に係る特許発明の新規性、進歩性を否定できない以上、その引用形式で記載された請求項２、３に係る特許発明の新規性、進歩性を否定することもできない。
　よって、請求項１〜３に係る特許発明が、特許法第２９条第１項第３号に掲げる発明であるとすることができないばかりでなく、同条第２項の規定に違背して特許されたものであるとすることもできない。
（４）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては本件特許発明についての特許を取り消すことができない。
　また、他に本件特許発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年１１月１４日（２００３．１１．１４）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
ミスト供給装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
液体を収容する液体収容室と、該液体収容室からの前記液体と圧力気体源からの気体とからミストを生成するミスト生成手段と、該ミスト生成手段により生成した前記ミストを収容するミスト収容室とを備え、前記ミスト生成手段に対して前記圧力気体源から圧縮気体を供給する主回路を接続し、前記圧力気体源から気体の一部を前記ミスト収容室に供給するための分岐回路を設け、該分岐回路に圧力制御弁を設け、前記ミスト収容室の内圧を前記圧力制御弁にフィードバックし前記ミスト収容室を所定圧に制御するミスト供給装置において、
ことを特徴とする
　【請求項２】　前記内部ミスト収容室の上部から前記外部ミスト収容室の下部にミストを導出するミスト通路を有する請求項
１
　【請求項３】　前記ミスト通路は螺旋状とした請求項
２
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、マシニングセンタ等の工作機械の加工点に例えば冷却用及び／又は潤滑用のミストを供給するためのミスト供給装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、工作機械によりワークを加工する際には、冷却や潤滑を目的とするオイルを液体状として工具の内部の流体路、所謂クーラントホールを通して加工点に噴射するか、或いは工具の内部を通さずに加工点に直接噴射するようになっている。従って、何れの場合にもオイルを液体状として加工点に噴射するため、多量のオイルを消費する上に環境を汚染するという問題が発生する。
　【０００３】
　このような問題に対処するため、近年ではオイルをミスト化して加工点に噴射する技術が提案され、一部は実用化されている。この種のミスト供給装置は、オイルと空気をノズルに圧送することによりミストを生成し、生成したミストをミスト収容室に収容し、その後に工作機械に供給するようになっている。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、上述のミスト供給装置をマシンニングセンタ等に使用する場合には、マシニングセンタはミストを工具の内部の流体路を通してワークに噴射すると共に、工具を自動的に交換するようになっている。このため、工具のサイズが異なる毎に流体路の径も異なり、工具から加工点に噴射するミストの流量と圧力が変化する。例えば、流体路の径の小さい工具に交換した場合には、ミストの圧力が上昇して切粉等の排除能力を維持できる反面で、ミストの吐出流量が減少して冷却能力や潤滑能力が低下するという問題が発生する。一方、流体路の径の大きい工具に交換した場合には、ミストの吐出流量が増大して冷却能力や潤滑能力を維持できる反面で、ミストの圧力が低下して切粉等の排除能力が低下し、特に深孔をセミドライ加工により形成する場合には切粉等の排除が不可能になるという問題が発生する。
　【０００５】
　本発明の目的は、上述の問題点を解消し、ミスト供給圧力を所定に維持し得ると共に一時的に高め得るミスト供給装置を提供することにある。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するための本発明に係るミスト供給装置は、液体を収容する液体収容室と、該液体収容室からの前記液体と圧力気体源からの気体とからミストを生成するミスト生成手段と、該ミスト生成手段により生成した前記ミストを収容するミスト収容室とを
備え、
ミスト供給装置において、前記ミスト収容室は内部ミスト収容室と外部ミスト収容室から成り、前記ミスト生成手段により生成した前記ミストは前記内部ミスト収容室に収容する
　【０００７】
　【発明の実施の形態】
　本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
　は第１の実施例のブロック図であり、タンク１の内部は通孔２ａを有する仕切板２により上下に仕切られ、下部はオイルＬを収容するオイル収容室３とされ、上部はミストを収容するミスト収容室４とされている。タンク１の天壁には、オイルＬと圧縮空気からミストを生成するためのノズル５が、生成したミストをミスト収容室４に噴射するように設置されている。また、タンク１の天壁には、ミストを外部に供給するためのミスト路６が供給口１ａを介して接続され、ミスト路６には圧力計７が設置されている。なお、ミスト収容室４内で一旦ミスト化したミストから液体化したオイルＬは、通孔２ａを通ってオイル収容室３に還元されるようになっている。
　【０００８】
　オイル収容室３の底部とノズル５のオイル供給路５ａは、逆止弁８を備えたオイル路９と、タイマ１０を備えたポンプ１１と、逆止弁１２を備えたオイル路１３とを介して接続されている。なお、逆止弁８は必要不可欠なものではない。ポンプ１１はプランジャを往復することによりオイル収容室３内のオイルＬを定量ずつ所定間隔で送出するプランジャ形とされ、タイマ１０はポンプ１１を駆動する電磁弁とされ、ポンプ１１のプランジャの往復頻度を調整するようになっている。
　【０００９】
　一方、ノズル５の空気供給路５ｂには、圧縮空気を供給し得る空気圧源１４が空気路１５を介して接続されており、空気路１５には上流から順次にフィルタ１６、第１の減圧弁１７、圧力計１８、二方向電磁弁１９及び可変絞り弁２０が配設されている。そして、空気路１５は二方向電磁弁１９と可変絞り弁２０の間で分岐され、空気路２１を介してタイマ１０に接続されている。
　【００１０】
　ここで、空気路２１もまた二方向電磁弁１９とタイマ１０の間で分岐され、空気路２２を介してミスト収容室４に接続されている。空気路２２には上流から順次に第２の減圧弁２３と圧力計２４が配置されており、第２の減圧弁２３は外部パイロット式とされ、そのパイロット路２５はミスト収容室４に接続されている。
　【００１１】
　図２は第２の減圧弁２３の断面図であり、第２の減圧弁２３のハウジング３１には空気路２２から圧縮空気を導入する導入口３２、圧縮空気を後流の空気路２２に排出する排出口３３、これらの導入口３２から排出口３３に圧縮空気を流通させる空気路３４、この空気路３４を流通する圧縮空気の量を弁座３５と共働して調整する弁体３６、二次側つまりミスト収容室４の圧力をパイロット路２５と圧力口３７を介して導入するパイロット室３８、リリーフ弁３９を一体に備えパイロット室３８の圧力に応じて変位するダイアフラム４０、弁体３６に連結すると共にリリーフ弁３９を開閉する弁棒４１、弁体３６を支持した支持ばね４２、ダイアフラム４０の付勢力を調整する調圧ばね４３、この調圧ばね４３の付勢力を手動で調整する調整ノブ４４、リリーフ弁３９からの空気を逃がすリリーフ室４５等が設けられている。
　【００１２】
　このような構成のミスト供給装置をマシニングセンタ等の工作機械５１に使用する際には、図１に示すようにミスト路６と工作機械５１をミスト路５２により接続する。これにより、ミスト収容室４内のミストはミスト路６、ミスト路５２、機械本体５３のミスト路５３ａ、工具５４のミスト路５４ａを通ってワークＷに噴射することが可能となる。
　【００１３】
　工作機械５１の制御手段の指令により二方向電磁弁１９が始動すると、ポンプ１１が作動してオイルＬがオイル収容室３からノズル５のオイル供給路５ａに一定量ずつ所定間隔で流入する。同時に、圧縮空気が空気圧源１４からノズル５の空気供給路５ｂに所定の圧力で流入すると共に、タイマ１０と第２の減圧弁２３に流入する。これにより、ノズル５はオイルＬと圧縮空気からミストを生成し、噴射口５ｃからミスト収容室４に噴射する。また、ミスト収容室４内の圧力がパイロット路２５を通って第２の減圧弁２３に入力する。
　【００１４】
　第２の減圧弁２３では、パイロット路２５からの圧力が圧力口３７を通ってパイロット室３８に流入するので、ダイアフラム４０が調圧ばね４３の付勢力に抗して上方に変位する。これにより、弁体３６が支持ばね４２の付勢力により弁座３５に当接し、ミスト収容室４内の圧力が所定になり、所定圧のミストがミスト路６、５２、５３ａ、５４ａを通ってワークＷに噴射する。この際に、工具５４のミスト路５４ａから噴射するミストの圧力を増加又は減少させる場合には、調整ノブ４４を回して調整する。
　【００１５】
　ここで、工具交換時について説明すると、ミスト発生装置が稼動したままで行う際には、工具を主軸から取り外すと、主軸の図示しない工具取り付け穴から大気中へ排気されるため、ミスト収容室４内の圧力は急激に低下する。そして、新しい工具を主軸へ装着を終了すると、ミスト収容室４内の圧力はノズル５側及び第２の減圧弁２３側からの流入空気により上昇してゆく。圧力は減圧弁２３の設定値まで上昇し、発生したミストをミスト路６からワークへ噴射することになる。このように作用するので、工具の交換に拘わらず、常に設定した圧力のミストを吐出することができる。
　【００１６】
　また、前述した方法はミスト発生装置が可動したままでの交換を説明したが、図１における二方向電磁弁１９をオフにしてミスト発生装置のオフの状態において工具を交換してもよい。この場合も、前述の方法と同様に、交換後に二方向電磁弁１９をオンさせてミスト発生装置が稼動することにより、同様にミスト収容室４内の圧力が上昇し、ミストの供給が行われる。
　【００１７】
　このように、第１の実施例では空気圧源１４からの圧縮空気を第２の減圧弁２３を介してミスト収容室４内に導入して、ミスト供給圧力を所定の大きさに制御するので、工作機械５１に利用して工具交換による工具５４のミスト路５４ａの径の変化が生じた場合でも、ミストを工具５４から常に所定の圧力で噴射することができ、冷却能力や潤滑能力を良好に維持できる上に、切粉等の排除能力を損なうことがない。
　【００１８】
　なお、上述の第１の実施例では第２の減圧弁２３のパイロット室３８への入力圧をミスト収容室４からパイロット路２５を介して導入したが、図３の部分ブロック図に示すように、ミスト路６又はミスト路５２からパイロット路２５’を介して導入すれば、より実際的な圧力の変動に対応できる。また、外部パイロット式の第２の減圧弁２３に代えて、図４の部分ブロック図と図５の断面図に示すように、圧力口３７に代る圧力口３７’を内部に有する内部パイロット式の第２の減圧弁２３ａを採用すれば、パイロット路２５の省略が可能となる。
　【００１９】
　図６は第２の実施例の要部ブロック図であり、タンク１の内部にはノズル５を含む内部タンク６１がタンク１の天壁に固定され、第１の実施例のミスト収容室４は内部ミスト収容室４ａと外部ミスト収容室４ｂに仕切られている。また、内部タンク６１の外周面にはミスト路６２が螺旋状に配設され、ミスト路６２の内部開口６２ａは内部ミスト収容室４ａの上部に連通され、ミスト路６２の外部開口６２ｂは外部ミスト収容室４ｂの下部に配置されている。
　【００２０】
　そして、第１の実施例の第２の減圧弁２３に代えて第２の減圧弁２３ｂが配置されていると共に、空気路２２は内部ミスト収容室４ａに導入されている。また、パイロット路２５にはその内部の圧力を大気中に放出可能な制御弁６３が配置されている。この制御弁６３は例えば３方向電磁弁とされ、工作機械５１の制御手段の切粉排除信号等により制御されるようになっている。
　【００２１】
　図７は第２の減圧弁２３ｂの断面図であり、この第２の減圧弁２３ｂは第１の実施例の第２の減圧弁２３と同様とされているが、ダイヤフラム４０を調圧ばね４３側に付勢して差圧を発生するための差圧発生用ばね４６が追加されている。この差圧発生用ばね４６は調圧ばね４３よりも弱い付勢力を有し、弁体３６の移動量を規制するようになっている。
　【００２２】
　ノズル５で発生したミストは内部ミスト収容室４ａに充満し、ミストの中の小さい粒子が上部に残る。内部ミスト収容室４ａ内の小さい粒子のみから成るミストは、螺旋状のミスト路６２を通って外部ミスト収容室４ｂの下部に噴出する。この際に、ミストの中の大きい粒子がミスト路６２の周壁に付着し、更に小さい粒子から成るミストが外部ミスト収容室４ｂに充満する。そして、外部ミスト収容室４ｂの上部には更に小さい粒子から成るミストが位置し、ミスト路６、５２を通って工作機械５１に流出し、その後は第１の実施例と同様に作用する。
　【００２３】
　ここで、例えば深孔加工において切粉処理を容易にするためのステップ送りを行う際には、工作機械５１の主軸の動きの信号が制御弁６３に入力する。これにより、制御弁６３はパイロット路２５内の空気を大気中に放出すると共に、パイロット室３８内の空気も大気中に放出する。パイロット室３８内の空気の放出によりパイロット室３８の圧力が降下し、ダイアフラム４０がパイロット室３８側に変形する。これにより、弁体３６が下方に移動し、空気路３４が全開しようとする。
　【００２４】
　このとき、差圧発生用ばね４６はダイヤフラム４０の大きい変形を抑制し、弁体３６は少々移動する。弁体３６の移動により圧縮空気が導入口３２から排出口３３に流通して内部ミスト収容室４ａに流入する。これにより、内部ミスト収容室４ａ内の圧力が急上昇すると共に、ミスト供給圧力が上昇し、深孔内の切粉の排除が可能となる。そして、所定時間経過し切粉が排除されると、例えば、タイマ等のスイッチ或いは工作機械５１の主軸の動きが再開する際の信号等により制御弁６が作動し、制御弁６３がパイロット路２５を密閉し、パイロット室３８内の圧力を設定値に戻し、ミスト供給圧力を所定に維持する。
　【００２５】
　このように、第２の実施例では内部タンク６１とミスト路６２により小さい粒子から成るミストを供給できる。また、第２の減圧弁２３によりミスト供給圧力を所定に維持できる上に、制御弁６３によりミスト供給圧力を一時的に上昇させて切粉を確実に排除できる。
　【００２６】
　【発明の効果】
　以上説明したように本発明に係るミスト供給装置は、圧力気体源とミスト収容室を圧力制御手段を介して接続し、ミスト供給圧力を制御可能としたので、圧力制御手段によりミスト供給圧力を所定に維持すれば、工作機械に利用して工具交換による工具の流体路の径の変化が生じた場合でも、冷却能力や潤滑能力を良好に保持できる上に、切粉等の排除能力を損なうことがない。また、圧力制御手段によりミスト供給圧力を一時的に高めれば、深孔加工の際にも切粉等の排除能力を良好に維持できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　工作機械に接続した状態の第１の実施例のブロック図である。
　【図２】
　外部パイロット式の第２の減圧弁の断面図である。
　【図３】
　入力圧をミスト路から導入した部分ブロック図である。
　【図４】
　内部パイロット式の第２の減圧弁を採用した部分ブロック図である。
　【図５】
　内部パイロット式の第２の減圧弁の断面図である。
　【図６】
　第２の実施例の要部ブロック図である。
　【図７】
　外部パイロット式の第２の減圧弁の断面図である。
　【符号の説明】
　１　タンク
　３　オイル収容室
　４　ミスト収容室
　４ａ　内部ミスト収容室
　４ｂ　外部ミスト収容室
　５　ノズル
　６、５２、５３ａ、５４ａ、６２　ミスト路
　１４　空気圧源
　２３、２３ａ、２３ｂ　第２の減圧弁
　２５、２５’　パイロット路
　４６　差圧発生用ばね
　６１　内部タンク
　６３　制御弁
　Ｌ　オイル
　Ｗ　ワーク