【事件の表示】
　特許第３１３９３５９号「枚葉塗工方法およびカラーフィルタの製造方法」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１３９３５９号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　
（１）本件特許第３１３９３５９号の請求項１ないし７に係る発明（以下、それぞれ、「本件発明１ないし７」という。）についての出願は、特許法４１条に基づく優先権主張（出願日：平成６年１２月２８日、出願番号：特願平６−３２８２４１号）を伴って、平成７年１２月２８日に特許出願され、平成１２年１２月１５日にその発明について特許権の設定の登録がなされた。
（２）これに対し、平成１３年８月２７日に、本件発明１ないし７のうち本件発明１ないし４に係る特許について、異議申立人　佐藤　正より特許異議の申立てがなされた。
（３）平成１３年１１月２日（発送日：平成１３年１１月１３日）に取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年１月１５日に訂正請求書が提出された。
（４）平成１５年７月８日（発送日：平成１５年７月１８日）に新たな取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１５年８月１８日に訂正請求書が提出されるとともに、上記（３）の訂正請求が取り下げられた。　
　
　
II．訂正の適否についての判断
　
１．訂正の内容
　特許権者が求めた訂正の内容は、平成１５年８月１８日付けの訂正請求書及び該請求書に添付された訂正明細書の記載からみて、次の訂正事項ａ〜ｎのとおりであると認められる。
（１）訂正事項ａ
　特許査定時の願書に添付された明細書（以下、「訂正前特許明細書」という。）の【特許請求の範囲】の請求項１に、
「【請求項１】　塗料供給装置（５）により塗料吐出用のスリット（１４）を有する塗料吐出装置（７）に塗料を供給しつつ、被塗工材（９）を保持するステージ（１０）または塗料吐出装置（７）の少なくとも一方を相対的に移動させることにより、被塗工材（９）表面に塗膜（８）を形成する枚葉塗工方法であって、…（記載省略）…塗料ビード（１３）に供給されなかった塗料の体積Ｕ（ｍｍ３）と、塗料吐出装置（７）のスリット（１４）を通じて吸引される塗料の体積Ｓ（ｍｍ３）が次の式ｈ×（Ｃ−ｄ）×Ｗ≦Ｕ＋Ｓ≦Ｌｆ×Ｃ×Ｗ＋（ｈ＋Ｌｒ）×（Ｃ−ｄ）×Ｗで与えられる範囲であることを特徴とする枚葉塗工方法。」と記載されているのを削除する。
（２）訂正事項ｂ
　訂正前特許明細書の【特許請求の範囲】の請求項２に、
「【請求項
２
塗工終了後
充填するとともに、
「【請求項
１
一枚一枚の枚葉塗工終了後
充填し、そして、
（３）訂正事項ｃ
　訂正前特許明細書の【特許請求の範囲】の請求項３に、
「【請求項
３
請求項１または２の何れかに
「【請求項
２
請求項１に
（４）訂正事項ｄ
　訂正前特許明細書の【特許請求の範囲】の請求項４に、
「【請求項
４
請求項１または２の何れかに
「【請求項
３
請求項１に
（５）訂正事項ｅ
　訂正前特許明細書の【特許請求の範囲】の請求項５に、
「【請求項
５
請求項１から４の何れかに
「【請求項
４
請求項１から３の何れかに
（６）訂正事項ｆ
　訂正前特許明細書の【特許請求の範囲】の請求項６に、
「【請求項
６
請求項１から５の
「【請求項
５
請求項１から４の
（７）訂正事項ｇ
　訂正前特許明細書の【特許請求の範囲】の請求項７に、
「【請求項
７
請求項６に
「【請求項
６
請求項５に
（８）訂正事項ｈ
ア．訂正前特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【００１７】及び【００２４】の記載を削除する。
イ．訂正前特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【００５７】に、
「…体積
Ｖは、［ｈ×ＬC×Ｗ］以上［（ＬF＋ＬR＋ｈ）×ＬC×Ｗ］以下となるように赤、
「…体積
は、赤
ウ．訂正前特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【００５９】の記載を削除する。
（９）訂正事項ｉ
　訂正前特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【００１８】、【００２５】及び【００６０】に、
「請求項
２
塗工終了後
充填するとともに、
「請求項
１
一枚一枚の枚葉塗工終了後
充填すし、そして、
（１０）訂正事項ｊ
　訂正前特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【００１９】、【００２６】及び【００６１】に、
「請求項
３
「請求項
２
（１１）訂正事項ｋ
　訂正前特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【００２０】、【００２７】及び【００６２】に、
「請求項
４
「請求項
３
（１２）訂正事項ｌ
　訂正前特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【００２１】、【００２８】及び【００６３】に、
「請求項
５
「請求項
４
（１３）訂正事項ｍ
ア．訂正前特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【００２２】、【００２９】及び【００６４】に、
「請求項
６
「請求項
５
イ．訂正前特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【００２２】及び【００２９】に、
「…
請求項１から５の
「…
請求項１から４の
（１４）訂正事項ｎ
　訂正前特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【００２３】、【００３０】及び【００６５】に、
「請求項
７
「請求項
６
　なお、下線は、対比の便のため当審で付したものである。
　
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（１）訂正事項ａについて
　該訂正事項ａは、訂正前特許明細書の【特許請求の範囲】の請求項１全体を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　そして、いわゆる新規事項に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（２）訂正事項ｂについて
　該訂正事項ｂは、訂正前では、単に「塗工終了後または塗工開始前」となっていて、複数の枚葉を同時に塗工することを含むものであったのを、訂正後では、一枚一枚の枚葉を個別に塗工するように限定し、また、訂正前では、「空隙を塗料で充填すること」と「塗料吐出装置（７）の先端を塗料によって濡らすこと」の前後関係が特定されていなかったのを、「空隙を塗料で充填すること」の後に、「塗料吐出装置（７）の先端を塗料によって濡らすこと」を行うように前後関係を限定したものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　そして、訂正前特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【００２５】の記載「…一枚一枚の枚葉被塗工材の塗工の直前に塗料吐出装置のスリット先端部分の塗料の状態を初期化できるため連続して均一で良好な塗膜が得られるとともに…」、同段落【００３９】の記載「…空隙を解消させるために定量ポンプ５を動作させて塗料を吐出させる。…そして、同時に定量ポンプ５による塗料の吐出および口金７の拭き取りを行って口金７の先端部に残留する塗料を除去する。」からみて、これらは、いわゆる新規事項に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（３）訂正事項ｃ〜ｇについて
　該訂正事項ｃ〜ｇは、いずれも、訂正前では、訂正前の請求項１及び２に直接又は間接的に従属したものを、訂正後では、訂正前の請求項２に直接又は間接的に従属したもののみに限定し、また、上記訂正事項ｂの検討で説示したように、発明特定事項の一部を限定する訂正後の請求項１に従属するようにしたものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　そして、上記訂正事項ｂの検討したのと同じ理由により、いわゆる新規事項に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（４）訂正事項ｈ〜ｎについて
　該訂正事項ｈ〜ｎは、いずれも、上記訂正事項ａ〜ｇによる【特許請求の範囲】の記載と【発明の詳細な説明】の記載の整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当する。
　そして、いわゆる新規事項に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（５）訂正の目的の適否等についてのむすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第２項ただし書の規定及び同第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合する。
　
３．独立特許要件
　訂正前の請求項５ないし７は、特許異議の申立てがされていない請求項であって、これらを訂正後の請求項４ないし６とするものが、上記「２．（３）訂正事項ｃ〜ｇについて」にて検討したように、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するから、上記訂正が認められるためには、該訂正後の請求項４ないし６に記載されている事項により特定される発明（以下、「訂正発明４ないし６」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであることを要する（一般に、「独立特許要件」といわれている。）。
　そこで、上記訂正について、該訂正発明４ないし６が独立特許要件を具備するか否かの観点で検討する必要がある。
　ところで、該訂正発明４ないし６は、いずれも、訂正後の請求項１に記載されている事項により特定される発明（以下、「訂正発明１」という。）に直接又は間接的に従属したものであるから、該訂正発明１が独立特許要件を具備すれば、当然、同じ理由により、独立特許要件を具備するということができる。
　したがって、先ず、該訂正発明１が独立特許要件を具備するか否かについて検討する。
（１）訂正発明１
　平成１５年８月１８日付けの訂正請求書に添付された全文訂正明細書の請求項１には、次のように記載されている。
　「【請求項１】　塗料供給装置（５）により塗料吐出用のスリット（１４）を有する塗料吐出装置（７）に塗料を供給しつつ、被塗工材（９）を保持するステージ（１０）または塗料吐出装置（７）の少なくとも一方を相対的に移動させることにより、被塗工材（９）表面に塗膜（８）を形成する枚葉塗工方法であって、一枚一枚の枚葉塗工終了後または塗工開始前に塗料供給装置（５）を動作させて塗料吐出装置（７）から塗料の吐出を行い、スリット（１４）内に生じる可能性のある空隙を塗料で充填すし、そして、塗料吐出装置（７）の先端を塗料によって濡らしたのちに塗料吐出装置（７）の先端部に付着した余剰の前記塗料を拭き取り、塗料吐出装置（７）のスリット（１４）の先端を略均一とすることを特徴とする枚葉塗工方法。」
（２）独立特許要件の検討に引用する刊行物
　引用例１：特開平６−３３９６５６号公報（異議申立における甲第１号証）
　引用例２：特開平４−６１９５８号公報（異議申立における甲第２号証）
　引用例３：特開平５−３４５４１５号公報（異議申立における甲第３号証）
　引用例４：特公平６−７３６５１号公報（異議申立における甲第４号証）
　引用例５：特開平６−２０６０３９号公報（異議申立における甲第５号証）
　引用例６：米国特許第５，３２６，５９８号明細書（異議申立における甲第６号証）
　引用例７：特開平６−２４６２０９号公報（異議申立における甲第７号証）
（３）引用例に記載された発明
（３−１）引用例１：特開平６−３３９６５６号公報
　引用例１には、次のような事項が記載されている。
ア．「【請求項１】　流体を注入するための流体注入口と、該流体注入口から注入された流体を幅方向に拡散させるための空洞部と、該空洞部内の流体を一定の厚みにして流出させるためのスロットとを塗布ヘッドに形成された流体塗布装置において、塗布ヘッドによる流体の塗布開始時ないし塗布終了時に、塗布ヘッド内を減圧させる手段を備えたことを特徴とする流体塗布装置。
【請求項２】　流体を注入するための流体注入口と、該流体注入口から注入された流体を幅方向に拡散させるための空洞部と、該空洞部内の流体を一定の厚みにして流出させるためのスロットとを塗布ヘッドに形成された流体塗布装置において、塗布ヘッドのスロット開口部に付着している余分な流体を除去し、スロット開口部の流体界面を略均一にならす手段を備えたことを特徴とする流体塗布装置。
【請求項４】　流体を注入するための流体注入口と、該流体注入口から注入された流体を幅方向に拡散させるための空洞部と、該空洞部内の流体を一定の厚みにして流出させるためのスロットとを塗布ヘッドに形成された流体塗布装置において、流体の塗布を終了するよりも前に、塗布ヘッドへの流体の供給を停止させるようにしたことを特徴とする流体塗布装置。」（【特許請求の範囲】）
イ．本発明の産業上の利用分野として、「本発明は流体塗布装置に関する。具体的にいうと、本発明は、塗布対象物の表面に均一な膜厚で流体を塗布するためのスロット型の流体塗布装置において、流体塗膜の端部の膜厚を均一にするための技術に関する。」（段落【０００１】）、「液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や半導体光学素子…等の製造工程においては、…各種塗布液を塗布対象物（例えば、ガラス基板や半導体ウエハ等）の表面に塗布し、」（段落【０００２】）
ウ．本発明の作用として、「本発明の第１の流体塗布装置にあっては、塗布ヘッドによる流体の塗布開始時もしくは塗布終了時に塗布ヘッド内を減圧することができるので、塗布ヘッド内の残圧を除去し、スロット内の塗布液を引き気味にすることができ、…（中略）…さらに、余分な流体を除去して流体界面を幅方向にわたって略均一にならすことができるので、塗膜の塗布開始端をまっすぐに揃えることができ、塗膜の品質を向上させることができる。」（段落【００１６】〜【００１８】）、「また、本発明の第４の流体塗布装置にあっては、流体の塗布を終了する少し前に、塗布ヘッドへの流体の供給を停止させるようにしているので、塗布終了端において流体塗膜の膜厚が厚くなるのを防止でき、塗膜の塗布終了端をまつすぐに揃えることができる。」（段落【００２０】）
エ．「図４には上記塗布ヘッド５５の断面図を示す。この塗布ヘッド５５は、２つの分割ヘッド１０１，１０２と１枚のシム１０３とから構成されており」（段落【００２８】）
オ．「塗布ヘッド５５内の塗布液１２が若干サックバックバルブ１２０，１２８ａ，１２８ｂ内へ引き込まれて塗布ヘッド５５内が減圧され、スロット１１６のノズル口１１７から液垂れするのを防止できる。」（段落【００３４】）
カ．「塗布ヘッド５５内の液圧が急激に低下し、塗布終了後の液垂れが防止される。…（中略）…塗布ヘッド５５内が大気圧ないし負圧となり、より確実に塗布ヘッド５５からの液垂れが防止される。従って、再度塗布動作を開始した場合に、塗布された塗膜の塗布開始端の膜厚が厚くなることを防止でき、均一な厚みの塗膜を得ることができる。」（段落【００３８】）
キ．「図１２は本発明の別な実施例を示す図である。…（中略）……この実施例においては、塗布液１２の塗布を終了して塗布ヘッド５５を上昇させる時間ｔ４よりも早い時期、すなわち図１２における時間ｔ６（くｔ４）に開閉弁１２２を閉じている。塗布ヘッド５５を上昇させると同時に開閉弁１２２を閉じた場合には、塗布ヘッド５５内に残っている塗布液１２によって塗膜の終端部が図１３（ａ）に示すように盛り上がって膜厚が厚くなる恐れがあるが、少し前に開閉弁１２２を閉じて塗布ヘッド５５へ塗布液１２を供給しないようにすることにより、図１３（ｂ）に示すように塗膜の終端部を薄くすることができ、塗膜の膜厚を均一にすることができる。」（段落【００４０】）
ク．「図１５及び図１６に示すものは本発明のさらに別な実施例による流体塗布装置Ｂの一部を示す概略図である。…（中略）…ノズル口１１７から垂れ下がっている塗布液１２が液吸着用線材１３５に触れることによって余分な塗布液１２が表面張力によって液吸着用線材１３　５に吸着され、液吸着用線材１３５に吸着された塗布液１２は自重によって傾斜片１３４の上に落ち、傾斜片１３４に沿って容器１３２内に集められる。一方、余分な塗布液１２を除去された塗布ヘッド５５は、幅方向の全長にわたってノズル口１１７における塗布液１２の界面を平に揃えられる。ついで、再び塗布ヘッド５５を降下させ、塗布対象物１１と一定の間隔をおいて対向する位置で静止させると共に塗布液１２の塗布を開始する。従って、液垂れを除去された状態で塗布液１２の塗布を開始するので、塗布開始点における塗膜の膜厚を均一にすることができる。」（段落【００４２】）
ケ．「液吸着用線材１３５や液吸着用部材１３７によってノズル口１１７をこするようにして液垂れを除去しても差し支えない」（段落【００４４】）
コ．「流体の塗布を終了する少し前に、塗布ヘッドへの流体の供給を停止させるようにしているので、塗布終了端において流体塗膜の膜厚が厚くなるのを防止でき、塗膜の終了端をまっすぐに揃えることができる。」（段落【００４８】）
　これらの記載事項及び図面の記載によると、引用例１には、次のとおりの発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されているものと認めることができる。
　「【引用発明１】　塗布液供給手段により塗布液整形用のスロット（１１６）を有する塗布ヘッド（５５）に塗料を供給しつつ、塗布対象物（１１）を吸着して移送するテーブル（２４）を塗布ヘッド（５５）に対して相対的に移動させることにより、ガラス基板や半導体ウエハ等の塗布対象物（１１）表面に塗布液（１２）をコーティングする塗布液塗布方法であって、塗布開始前に塗布ヘッド（５５）のスロット（１１６）開口部に付着している余分な塗布液を除去し、スロット（１１６）開口部の塗布液界面を略均一にならすガラス基板や半導体ウエハ等の塗布液塗布方法。」
（３−２）引用例２：特開平４−６１９５８号公報
　引用例２には、次のような事項が記載されている。
サ．「液体被覆ビードの終端は、液体含有室の一部に一時的な真空を生ずる負の切離しパルスにより行われる。その真空は被覆液体を付着器のスロット内に吸込み、付着器スロットの出口開口部と基板表面の間の液体被覆の間の連結ビードを壊す。」（第４頁左下欄１１〜１６行目）
　この記載事項及び公報全体の記載によると、引用例２には、次のとおりの発明（以下、「引用発明２」という。）が記載されているものと認めることができる。
　「【引用発明２】　貯蔵器（２４）より被覆液体（２２）吐出用の付着器スロット（１６）を有する被覆液体付着器（１２）に被覆液体（２２）を供給しつつ、銅被覆ラミネート（５０）を保持する真空台（５２）を被覆液体付着器（１２）に対して相対的に移動させることにより、銅被覆ラミネート（５０）表面に液状被覆を形成する被覆方法であって、被覆終了位置において、被覆液体（２２）を被覆液体付着器（１２）の付着器スロット（１６）内に吸込んで連結ビードを壊すことからなる被覆方法。」
（３−３）引用例３：特開平５−３４５４１５号公報
　引用例３には、次のような事項が記載されている。
シ．「本発明の目的は、室温より高い温度で溶解する固体インクを液化して吐出する場合でも、ワイピング部材の表面に付着するインクを容易に除去することができ、常時清浄なワイピング部材で吐出口形成面をクリーニングすることにより、不完全なクリーニングに起因する吐出不良を防止し得るインクジェット記録装置を提供することである。」（段落【００１１】）
ス．「記録手段から被記録材へインクを吐出して記録を行なうインクジェット記録装置において、吐出口形成面をワイピング部材でクリーニングした後、インクの融点より高い温度に加熱した突起部にワイピング部材を接触させながら相対移動させることを特徴とするインクジェット記録装置。」（【請求項１】）
セ．「上記の所定の温度に達したら、弁２８を閉じてポンプ３１を一定時間駆動し、キャップ２６の各空間３４内を負圧にすることによりインクタンク３内の溶融インク供給管５を通して共通液室８３内に吸い上げる。
　共通液室８３内に溶融インクが供給されると、少量のインクが吐出口８２から吸い出され、キャップゴム２５を通って空間３４の下部に貯まる。ポンプ３１を停止させた後に弁２８を開き、空間３４内のインクを第１の排インクタンク３０内に排出する。次いで、記録信号が入力されると、キャップ２６を記録ヘッド１から離隔し、キャリッジ２を図３中の右方向（矢印Ｆ）に移動させる。ワイピング部材３５は図３の位置で待機しており、最初の記録ヘッド１ａの吐出口形成面８１が触れた瞬間に該ワイピング部材３５は矢印Ｄ方向に回転を始める。このワイピング部材３５の回転により記録ヘッド１ａの吐出口形成面８１がクリーニング（拭き取り清掃）される。」（段落【００２６】〜【００２７】）
　これらの記載事項によると、引用例３には、次のとおりの発明（以下、「引用発明３」という。）が記載されているものと認めることができる。
　「室温より高い温度で溶解する固体インクを液化して吐出する場合でも、ワイピング部材の表面に付着するインクを容易に除去することができ、常時清浄なワイピング部材で吐出口形成面をクリーニングすることにより、不完全なクリーニングに起因する吐出不良を防止し得るインクジェット記録装置を提供すること」を目的とした、
　「【引用発明３】　インクタンク（３）より吐出口（８２）を有する記録ヘッド（１）にインクを供給しつつ、被記録材（１４）を搬送ローラ（１５）により相対的に移動させることにより、被記録材（１４）表面に記録する記録方法であって、記録開始前にエアーポンプ（３１）を動作させて吐出口（８２）からインクの吸い出しを行い、この吸い出しにより吐出口（８２）の先端をインクによって濡らしたのちに吐出口（８２）の先端部に付着した余剰のインクをワイピング部材（３５）で拭き取るインクジェット記録方法。」
（３−４）引用例４：特公平６−７３６５１号公報
　引用例４には、次のような事項が記載されている。
タ．「塗布剤供給源（２）から所定圧力で送給された塗布剤を一定の流量で連続的に塗布機（３）に供給する塗布剤供給装置であって、作動流体供給源（１２）から一定流量で供給される作動流体によりピストンもしくはダイヤフラム（４）が押圧されて該作動流体の流量に応じた流量の塗布剤を塗布機（３）に供給する一組の往復ポンプ（ＩＡ，ＩＢ）と、…（中略）…とを備えたことを特徴とする塗布剤供給装置。」（【請求項１】）
チ．「実施例の説明では、往復ポンプとしてダイヤフラムを利用したものについて説明したが、本発明はこれに限らず、ベローズを利用したものその他ピストンポンプ、プランジャポンプ等を使用することができる。」（第５頁左欄１６〜１９行目）
　これらの記載事項によると、引用例４には、次のとおりの発明（以下、「引用発明４」という。）が記載されているものと認めることができる。
「【引用発明４】　塗布機（３）に塗料を供給する塗布剤供給装置がピストンポンプである塗布剤供給方法。」
（３−５）引用例５：特開平６−２０６０３９号公報
　引用例５には、次のような事項が記載されている。
ツ．「複数の塗布成分を塗布する方法において、…（中略）…塗布成分を前記スロットを通して流出させ、前記基板に適用可能に構成された塗布ホッパを準備する」（【請求項１】）
テ．「使用されるポンプＰ１、ＰＩ−Ａ、Ｐ３、Ｐ４は、フルード・メタリング社（Ｆｌｕｉｄ　Ｍｅｔｅｒｉｎｇ　Ｉｎｃ．）のピストンポンプである。」（段落【００１３】）
　これらの記載事項によると、引用例５には、次のとおりの発明（以下、「引用発明５」という。）が記載されているものと認めることができる。
「【引用発明５】　塗布機械に塗料を供給する装置がピストンポンプであるウェブへの塗布方法。」
（３−６）引用例６：米国特許第５，３２６，５９８号明細書
　引用例６には、次のような事項が記載されている。
ト．「本実施例ではスロットとワイヤを備えた電子噴射被覆工程により、粗面上に溶液を塗布し、６〜９マイクロメートルの被覆層を形成する方法について説明する。」（第１３欄５１〜５４行目）
ナ．「この溶液を、マサチューセッツ州、ケンブリッジのセイジインスツルメンツ社より入手したシリンジボンプ「セイジモデル３５５」を用いた電子噴射被覆ヘッドシステムに導入した。」（第１４欄１〜４行目）
　これらの記載事項によると、引用例６には、次のとおりの発明（以下、「引用発明６」という。）が記載されているものと認めることができる。
「【引用発明６】　電子噴射被覆ヘッドシステムに塗料を供給する装置がシリンジ型ポンプである電子噴射被覆方法。」
（３−７）引用例７：特開平６−２４６２０９号公報
　引用例７には、次のような事項が記載されている。　
ニ．「５は液体を排出するためのシリンジポンプ」（段落【０００９】）
　この記載事項及び公報全体の記載によると、引用例７には、次のとおりの発明（以下、「引用発明７」という。）が記載されているものと認めることができる。
「【引用発明７】　マイクロピペット（１１）に高分子溶液を供給する装置がシリンジポンプ（５）である塗布方法。」
（４）訂正発明１と引用発明の対比・判断
（４−１）訂正発明１と引用発明１の対比
　訂正発明１と引用発明１とを対比すると、引用発明１の「塗布液供給手段」は、その技術的意義において、訂正発明６の「塗料供給装置（５）」に相当し、以下同様に、「塗布液整形用のスロット（１１６）」は「塗料吐出用のスリット（１４）」に、「塗布ヘッド（５５）」は「塗料吐出装置（７）」に、「塗布対象物（１１）を吸着して移送するテーブル（２４）」は「被塗工材（９）を保持するステージ（１０）」に、「ガラス基板や半導体ウエハ等の塗布対象物（１１）表面に塗布液（１２）をコーティングする塗布液塗布方法」は「被塗工材（９）表面に塗膜（８）を形成する枚葉塗工方法」に、「塗布対象物（１１）」は「被塗工材（９）」に、「塗布液（１２）」は「塗料」に、「スロット（１１６）開口部の塗布液界面を略均一にならす」は「塗料吐出装置（７）のスリット（１４）の先端を略均一とする」に、それぞれ相当するものと認められる。
　また、訂正発明１の「一枚一枚の枚葉塗工終了後または塗工開始前に塗料供給装置（５）を動作させて塗料吐出装置（７）から塗料の吐出を行い、スリット（１４）内に生じる可能性のある空隙を塗料で充填し、そして、塗料吐出装置（７）の先端を塗料によって濡らしたのちに塗料吐出装置（７）の先端部に付着した余剰の前記塗料を拭き取り、塗料吐出装置（７）のスリット（１４）の先端を略均一とする」と引用発明１の「塗布開始前に塗布ヘッド（５５）のスロット（１１６）開口部に付着している余分な塗布液を除去し、スロット（１１６）開口部の塗布液界面を略均一にならす」は、「塗工開始前に、塗料吐出装置の先端部に付着した余剰の塗料を除去し、塗料吐出装置のスリットの先端を略均一とする」の限度において一致すると認められる。
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりと認められる。
＜一致点＞
　「塗料供給装置により塗料吐出用のスリットを有する塗料吐出装置に塗料を供給しつつ、被塗工材を保持するステージを塗料吐出装置に対して相対的に移動させることにより、被塗工材表面に塗膜を形成する枚葉塗工方法であって、塗工開始前に、塗料吐出装置の先端部に付着した余剰の塗料を除去し、塗料吐出装置のスリットの先端を略均一とする枚葉塗工方法。」である点。
＜相違点＞
ア．訂正発明１では、「一枚一枚の枚葉塗工終了後または塗工開始前に塗料供給装置（５）を動作させて塗料吐出装置（７）から塗料の吐出を行い、スリット（１４）内に生じる可能性のある空隙を塗料で充填し、そして、塗料吐出装置（７）の先端を塗料によって濡らしたのちに塗料吐出装置（７）の先端部に付着した余剰の前記塗料を拭き取り、塗料吐出装置（７）のスリット（１４）の先端を略均一とする」となっているのに対し、引用発明１では、「塗布開始前に塗布ヘッド（５５）（塗料吐出装置（７））のスロット（１１６）（スリット（１４））開口部に付着している余分な塗布液（塗料）を除去し、スロット（１１６）（スリット（１４））開口部の塗布液（塗料）界面を略均一にならす」となっている点（以下、「相違点ア」という。）。
（４−２）相違点の検討
　そこで、この相違点について検討する。
ア．相違点アについて
　訂正発明１は、該相違点アに係る発明特定事項により、「一枚一枚の枚葉被塗工材の塗工の直前に塗料吐出装置のスリット先端部分の塗料の状態を初期化できるため連続して均一で良好な塗膜が得られるとともに、塗料吐出装置の先端スリットを塗料自身で潤滑して拭き取るのであるから、不要の発塵を抑え、拭き取り装置の寿命を延ばすことができる。」（段落【００２５】参照）及び「塗工終了後または塗工開始前に塗料供給装置を動作させて塗料吐出装置から塗料の吐出を行い、スリット内に生じる可能性のある空隙を塗料で充填するとともに、塗料吐出装置の先端を塗料によって濡らしてのちに塗料吐出装置の先端部に付着した余剰の塗料を拭き取るのであるから、一枚一枚の枚葉被塗工材の塗工の直前に塗料吐出装置のスリット先端部分の塗料の状態を初期化できるため連続して均一で良好な塗膜が得られるとともに、塗料吐出装置の先端スリットを塗料自身で潤滑して拭き取るのであるから、不要の発塵を抑え、拭き取り装置の寿命を延ばすことができる」（段落【００６０】参照）といった作用効果を奏することができるものと認めることができる。
　これに対し、引用発明１は、このような作用効果を奏することができない。
　確かに、訂正発明１と引用発明１は、この相違点アに関し、「塗工開始前に、塗料吐出装置の先端部に付着した余剰の塗料を除去し、塗料吐出装置のスリットの先端を略均一とする」の限度において一致することは、前示のとおりであって、一方、この相違点アに関し、引用発明３をみると、該引用発明３は、「塗工開始前に塗布液を塗布液吐出口から意図的に他の部材で吸引することにより出され、吐出口の先端を塗布液によって濡らしたのちに吐出口の先端部に付着した余剰の前記塗料を拭き取る」技術思想を含むものである。
　しかしながら、該引用発明３は、その目的「室温より高い温度で溶解する固体インクを液化して吐出する場合でも、ワイピング部材の表面に付着するインクを容易に除去することができ、常時清浄なワイピング部材で吐出口形成面をクリーニングすることにより、不完全なクリーニングに起因する吐出不良を防止し得るインクジェット記録装置を提供すること」からみて、吐出口（８２）からインクを吸い出すことがあっても該吐出口（８２）をインクで充填する必要がない上に、引用例３の記載全体をみても吐出口（８２）をインクで充填することが記載されていないばかりか、示唆もされていない。
　そうすると、引用発明１に引用発明３の技術思想を適用しても、相違点アに係る訂正発明１の発明特定事項に相当する構成に至らない。
　また、引用発明２、引用発明４ないし７は、当該構成を具備していない。
　そして、上記相違点アに係る発明特定事項が、当業者にとって容易に想到することができたとするに足りる根拠も見当たらない。
　してみると、訂正発明１は、引用発明１ないし７に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることができないので、特許出願の際独立して特許を受けることができるものではないとすることができない。
（５）独立特許要件についてのむすび
　訂正発明４ないし６は、いずれも、訂正発明１に直接又は間接的に従属したものであるから、該訂正発明１が独立特許要件を具備すれば、当然、同じ理由により、訂正発明４ないし６も独立特許要件を具備するということができるところ、該訂正発明１が独立特許要件を具備することは、前示のとおりである。
　したがって、訂正発明４ないし６がいずれも独立特許要件を具備するので、上記訂正は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する特許法第１２６条第４規定に適合する。
　
４．訂正の適否についてのむすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第２項ただし書の規定及び同第３項において準用する特許法第１２６条第２項ないし第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
　
III．特許異議申立てについての判断
　
１．特許異議申立ての概要
（１）取消の理由１（進歩性の欠如）　
ア．本件発明１は、その出願の優先日前に頒布された刊行物である甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものである。
イ．本件発明２は、その出願の優先日前に頒布された刊行物である甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものである。
ウ．本件発明３は、その出願の優先日前に頒布された刊行物である甲第１号証ないし甲第５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものである。
エ．本件発明４は、その出願目に頒布された刊行物である甲第１号証ないし甲第３号証、甲第６号証及び甲第７号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものである。
＜証拠方法＞
　上記「II．３．（２）独立特許要件の検討に引用する刊行物」と同じ甲第１号証〜甲第７号証。
（２）取消の理由２（明細書の記載不備）
　本件発明１は、その請求項１に記載された事項「塗工終了位置に達するまで塗料吐出装置（７）へ塗料の供給を行った場合に本来供給されるべき塗料のうち塗工終了位置に達する前に塗料吐出装置（７）への塗料の供給を停止したために塗料ビード（１３）に供給されなかった塗料の体積Ｕ（ｍｍ３）と、塗料吐出装置（７）のスリット（１４）を通じて吸引される塗料の体積Ｓ（ｍｍ３）が次の式ｈ×（Ｃ−ｄ）×Ｗ≦Ｕ＋Ｓ≦Ｌｆ×Ｃ×Ｗ＋（ｈ＋Ｌｒ）×（Ｃ−ｄ）×Ｗで与えられる範囲である」と【発明の詳細な説明】における記載とが一致しないばかりか、その範囲の臨界的意義が不明であって、該記載が特許法第３６条第５項の規定を満たしていないから、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものである。
　
２．本件特許発明
　上記IIで説示したとおり、上記訂正が認められるから、特許異議の申立てがなされた本件発明１は、削除により存在せず、他の本件発明２ないし４は、それぞれ、訂正明細書の【特許請求の範囲】の請求項１ないし３に記載されたとおりの事項により特定されるものである（以下、「本件特許発明１ないし３」という。上記II．「１．訂正の内容」参照。）。
　
３．取消の理由１（進歩性の欠如）について
　本件特許発明１は、上記「II．３．独立特許要件」で検討した訂正発明１と同じであって、該訂正発明１が引用例１ないし引用例７（甲第１号証ないし甲第７号証）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができないので、同じ理由により、甲第１号証ないし甲第７号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
　また、本件特許発明２及び３は、いずれも、本件特許発明１に直接的に従属したものであるから、該本件特許発明１の発明特定事項の全てを具備するので、該本件特許発明１と同じ理由により、甲第１号証ないし甲第７号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
　
４．取消しの理由２（明細書の記載不備）
　明細書の記載不備があるとされた【特許請求の範囲】の請求項１の記載は、上記IIで説示したとおり、削除されるとともに、それと整合を図るように【発明の詳細な説明】の記載も訂正されたので、上記取消しの理由２（明細書の記載不備）は、解消している。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由によっては、本件特許発明１ないし３についての特許を取り消すことはできない。
  また、他に同特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年１０月７日（２００３．１０．７）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
枚葉塗工方法およびカラーフィルタの製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項
１
一枚一枚の枚葉
し、そして
　【請求項
２
１に
　【請求項
３
１に
　【請求項
４
３
　【請求項
５
４
　【請求項
６
５
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】この発明は枚葉塗工方法に関し、さらに詳細にいえば精密塗工用のダイコータを用いて枚葉塗工を行うための方法に関する。そして、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを作成するために基板上に塗膜を形成する場合のほか、例えばレジスト塗工等の半導体製造分野、紫外線吸収層塗工等の光学フィルタ製造分野等の液体状の塗料を枚葉方式で供給される被塗工材の表面に薄く均一に塗工する場合に好適である。
　【０００２】
　【従来の技術】従来から、光学フィルタ用のプラスティック基板や、液晶ディスプレイ用のガラス基板、カラーフィルタ用のガラス基板などのように、塗工方向の長さが１ｍにも満たないような小さな基板に様々な塗料を薄く、しかも均一に塗布することが強く要請されている。工業的にこのような基板に塗膜を形成するためには、被塗工材を１枚ずつコータに供給し、塗料を塗布し、乾燥などの次工程に搬送する枚葉塗工方式を採用することになる。
　【０００３】
　また、被塗工材に塗膜を形成するに当って、スピンコータ、バーコータ、ロールコータが広く用いられている。
　【０００４】
　このうち、スピンコータを用いる方法は、半導体ウエハのフォトレジスト塗布に広く用いられている方法であり、回転する被塗工材の表面中央に塗料を滴下することにより塗膜を形成することができる。そして、この方法により得られる塗膜は塗料の種類をこの方法に適したものに設定することにより全範囲にわたって膜厚をかなり精度よく均一化できる。しかし、所定の膜厚の塗膜を得るための塗料の使用量が著しく多く、不経済である。また、被塗工材のエッジ部、裏面に塗料が付着したり、装置内に飛散した塗料がゲル化あるいは固形化することがあり、工程の安定性、清浄性に欠けるので、塗工製品の品質低下の原因になってしまう。
　【０００５】
　ロールコータを用いる方法は、ゴムロールを介して塗料を被塗工材に転写する方法であり、長尺の被塗工材、ロール状の巻きとられた被塗工材への塗工を行うことができる。しかし、塗料がパンからアプリケーションロール、被塗工材へ順次送られる関係上、塗料が空気に曝される時間が長く、ひいては、塗料の吸湿、酸化による変質が起こり易いのみならず、異物の混入も発生し易い。この結果、塗工製品の品質低下を招いてしまう。
　【０００６】
　バーコータを用いる方法は、ロッドに細いワイヤを巻いたバーを用いて被塗工材に塗料を塗布する方法である。この方法では、ロッドに巻かれたワイヤが被塗工材に接するため塗膜のスジが入り易いという不都合がある。
　【０００７】
　このような不都合を考慮して、近年に至って、ダイコータを用いることが提案されている。そして、ダイコータをカラーフィルタの製造に応用する提案が特開平５−１１１０５号公報、特開平５−１４２４０７号公報、特開平６−３３９６５６号公報においてなされている。
　【０００８】
　ダイコータは、従来から厚膜塗工や、高粘度塗料を連続塗布する用途に広く採用されており、ダイコータを用いて被塗工材に塗膜を形成する場合には、米国特許第４，２３０，７９３号、米国特許第４，６９６，８８５号、米国特許第２，７６１，７９１号に見られるようにカーテンフロー法、押し出し法、ビード法などの塗工方法が知られる。中でも上記ビード法は、ダイコータの口金に設けられたスリットから塗料を吐出して、口金と一定の間隔を保って相対的に走行する被塗工材との間に塗料ビードと呼ばれる塗料溜りを形成し、この状態で被塗工材の走行に伴なって塗料を引き出して塗膜を形成するそして、塗膜形成により消費される塗料と同量の塗料をスリットから供給することにより塗膜を連続的に形成するビード法を採用すれば、形成された塗膜は膜厚の均一性をかなり高精度に達成できる。また、塗料の無駄が殆どなく、また、スリットから吐出されるまで塗料送液経路が密閉されているのであるから、塗料の変質、異物の混入を防止でき、得られる塗膜の品質を高く維持できる。
　【０００９】
　【発明が解決しようとする課題】しかし、枚葉方式で供給される被塗工材に対してダイコータによりビード法を採用して塗膜を形成しようとすれば、被塗工材への塗工が必然的に断続的になってしまうのであるから、塗料を連続的に吐出しているか間欠的に吐出しているかに拘らず、被塗工材の塗工開始位置、塗工終了位置で塗料ビードが乱れ、あるいは塗料ビードが消滅する。そして、塗工の全範囲にわたって塗工に適した安定な塗料ビードを保持することが困難になり、塗料ビードが安定状態になるまでは均一な塗膜が得られなくなってしまう。
　【００１０】
　このような不都合は短寸の被塗工材であっても、長尺の被塗工材であっても同様に発生するのであるが、短寸の被塗工材の場合には、全長に対して均一な膜厚の塗膜が得られる長さの割合が小さいのに対して、長尺の被塗工材の場合にはこの割合が大きくなるので、特公昭４３−２４１３３号公報に「ビードコーティングでは、断続した支持体では、安定したビードを保持することが不可能なので連続した支持体にのみ応用できる。」とあるように、一般には長尺の被塗工材に対してダイコータによる塗工が行われていた。また、特開平５−１１１０５号公報、特開平５−１４２４０７号公報の何れにもこれら短寸の断続支持体に塗工する不都合やそれを解決する手段についての記載は見られない。また、特開平６−３３９６５６号公報においても、塗料供給手段に加圧圧送を採用したために原理的に不可避な送液の時間的な遅れを補償するために予め見込んだ時間だけ塗工に先立って加圧を開始する技術については述べられているが、塗料ビードの形成や消滅を制御する方法や塗料ビードの乱れを抑制することについては全く記載されていないのであるから、これらの技術を採用するといずれの場合にも被塗工材のうち有効活用することができない長さの割合が大きい。従って被塗工材の無駄が著しく多くなる。言い換えれば被塗工材の全長に対して均一な膜厚の塗膜が得られる長さの割合が小さいのであるから被塗工材に対する有効利用可能割合が小さい状態での使用しかなされておらず、経済性、高精度薄膜塗工性、塗料の密閉性というダイコータの特徴を有効活用することができない。
　【００１１】
　公知の技術の中にはこれら塗工開始部に着目した技術の開示も見られる。例えば連続した支持体への塗布においても、特開平１−２１３６４１号公報には、塗布機にウエブを接近させる塗工開始時にビード前後に印加する圧力を一時的に増減させることで不安定な塗工先頭のビードの状態を安定化させることが述べられているし、特開昭６３−１４８２５１号公報のように塗料の吐出速度を一時的に大きくすることでビード形成を促す方法が述べられている。また、短寸の枚葉基材に関しても米国特許第４，９３８，９９４号には、パルスを発生させて接続ビードを形成する方法が開示されている。
　【００１２】
　しかしながら、上記いずれの方法を採用しても、塗工方向の膜厚分布とこれにほぼ直交する方向である幅方向の膜厚分布の両者を、塗工開始直後から均一かつ安定に塗布できるように両立させることが困難であった。
　【００１３】
　この発明は上記の問題点を解消すべくなされたものであり、経済性、高精度薄膜塗工性、塗料の密閉性というダイコータの特徴を損なうことなく、枚葉方式で供給される被塗工材に対して、安定して均一な膜厚の塗膜を形成することができる枚葉塗工方法を提供することを目的としている。
　【００１４】
　【課題を解決するための手段】前述のビード法による均一かつ安定した塗工に必要な塗料ビードの状態とは、塗料ビードを塗料吐出装置と被塗工材の間に留めようとする力と、持ち去ろうとする力が、拮抗し丁度バランスのとれた状態である。前者の力としてはメニスカスを形成する表面張力などが考えられるし、後者の力としては被塗工材の移動に伴なう剪断力が挙げられる。従って安定状態にあるビードの形状は塗料の吐出速度、塗工速度、口金仕様、クリアランスという塗工条件、粘度、比重、表面張力などの塗料の物性、温度などの塗工環境などにより一義的に決定するものであり、仮に外的要因などで一時的にビードが乱れたとしても自己修復的に前記安定状態を保もとうとする類のものである。
　【００１５】
　このようにある定まった塗布状況下においては均一安定塗工するための塗工条件は一義的に決定してしまうにも拘わらず工業的、経済的理由により更に高速に更に薄膜に塗工したいという要請がある。このような場合に米国特許第２，６８１，２９４号などに減圧室などを設けてビードをウエブの走行方向と逆方向にビードを吸引する技術が開示されているが、この技術は高速化、薄膜化することにより前述の塗料ビードを持ち去ろうとする力が大きくなり、液体の表面張力などだけではこれに抗しきれなくなったため、減圧により生じる力でこれを補強し、塗料ビードを保持できるように積極的にビードを安定化する技術であると理解できる。
　【００１６】
　これらの解析を考慮し検討した結果出願人らは、塗工開始直後から塗工方向及びこれに直交する方向に均一安定な膜厚の塗膜を得るためには、塗工開始時に吐出装置と被塗工材を相対的に停止させて塗料を吐出し、スリット開口幅全域にわたる基板の濡れを確保し、安定塗工状態の塗料ビードを形成するのに過不足のない量の塗料を供給して、塗工開始に先立って塗料塗布装置と被塗工材の間にその塗工条件下で一義的に決定する安定塗工状態の塗料ビードとほぼ同じ形の塗料ビードを形成して後に、被塗工材の移動を開始するとよいことを見い出した。
　【００１７
】
　
【
　請求項
１
一枚一枚の枚葉
し、そして
　【００１９】
　請求項
２
　【００２０】
　請求項
３
　【００２１】
　請求項
４
　【００２２】
　請求項
５
４
　【００２３】
　請求項
６
　【００２４
】
　
【
　請求項
１
一枚一枚の枚葉
し、そして
　【００２６】
　請求項
２
　【００２７】
　請求項
３
　【００２８】
　請求項
４
　【００２９】
　請求項
５
４
　【００３０】
　請求項
６
　【００３１】
　【発明の実施の形態】以下、添付図面によってこの発明の好ましい実施の形態を詳細に説明する。
　【００３２】
　図２はこの発明の枚葉塗工方法が実施される塗工装置の一例を示す概略図である。この塗工装置は、塗料タンク１から、開閉弁３、フィルタ６が設けられた第１管路２および切換え弁４を通して、シリンジポンプに代表されるピストン型定量ポンプなどからなる定量ポンプ５（塗料供給装置に相当する）に塗料を供給し、この定量ポンプ５から切換え弁４および第２管路２´を通して塗料吐出装置の口金７に塗料を供給する。ここで定量ポンプとは、上記シリンジポンプの他、ギヤポンプ、ダイヤフラムポンプなどの容積式ポンプをいう。また典型的な口金７はフロントリップ７１とリアリップ７２とこれらフロントリップ７１およびリアリップ７２間に形成されその開口部が塗料吐出口として規定されたスリット１４から成り、口金７に供給された塗料はスリット１４を通して吐出される。また口金７の先端に近接する状態でステージ１０により被塗工材９を走行させることにより、口金７と被塗工材９の間にスリット１４を通して吐出される塗料で塗料ビード１３を形成し、この状態で被塗工材の走行に伴なって塗料を引き出して塗膜を形成するそして、塗膜形成により消費される塗料と同量の塗料をスリットから供給することにより所定厚みの塗膜８を形成する。なお、開閉弁３、フィルタ６は省略することが可能であり、定量ポンプ５の種類によっては切換え弁４を省略することも可能である。
　【００３３】
　上記の構成の塗工装置において、塗料吐出の即応答性を確保するためには、塗料配管系のシール性を十分に確保することが必要である。塗膜８の膜厚は特に限定されるものではないが、塗布後・乾燥前の膜厚が１〜５００μｍの範囲の薄膜塗工に特に有利に用いられる。塗膜８の膜厚が１μｍ未満の場合には、口金７の加工精度や被塗工材９の膜厚精度の制約から均一性の高い塗膜８を得ることが難しく、５００μｍを越える場合にも当然応用できるが、本発明の有効性が特に発揮される塗工ではない。
　【００３４】
　塗膜８の均一性は図３に拡大して示す口金７のスリット間隙１２や、口金７と被塗工材９との間隙であるクリアランス１１を調節することにより制御する。本発明において口金の形状、スリット間隙１２やクリアランス１１は特に限定されるものではないが、例えば二つのリップをお互いに向かい合うように張り合わせて成る口金を用いる場合は、ステージの移動方向に沿ったリップ下面の長さが、フロントリップで０．５ｍｍ以下、リアリップで１〜４ｍｍのものを用いることが薄膜到達度や塗工の安定性からは好ましい。スリット間隙１２は、１０〜５００μｍの範囲に設定することが好ましい。なぜならば、１０μｍ未満のスリット間隙１２を精度よく保つように口金７を加工するのは困難であり、間隙のばらつきやうねりの影響が著しく大きくなるからである。また、スリット間隙１２が５００μｍを越える場合には、スリット間隙１２での均一な塗料の流れを実現するのが難しく渡り方向の塗料吐出量にばらつきを生じ、この結果均一な塗膜を得ることが困難になるからである。さらに、クリアランス１１は１０μｍ〜１ｍｍの範囲に設定することが好ましい。なぜならば、１０μｍ未満のクリアランス１１を精度よく保つようにするのは、装置や被塗工材９の加工精度の制約などから難しいからである。またクリアランス１１が１ｍｍを越える場合には、塗料ビード１３を安定に保つことが困難だからである。また、塗料ビード１３を安定して形成し、均一性の高い塗膜８を得るためには、クリアランス１１を塗膜膜厚のおよそ１．５〜数十倍程度に精度よく保持することが好ましい。また、与圧室１５などを設けて塗料ビード１３のステージ搬送逆方向上流側面の圧力を加減圧し、安定した塗料ビード１３形成を促すようにしてもよい。
　【００３５】
　次いで、図４に示すタイムチャートを参照しながら枚葉塗工方法を説明する。ただし、図４中Ａがステージ走行のタイムチャートを示し、上側が順走行を、下側が逆走行をそれぞれ示している。Ｂは被塗工材の吸着動作を示している。Ｃはステージ１０に設けたリフトピン（図示せず）の動作を示している。Ｄは口金７の減圧動作を示している。Ｅは口金７の拭き取り動作を示している。Ｆは口金７の昇降を示している。Ｇは切換え弁４の動作を示し、上側が口金側への切換えを、下側が塗料タンク側への切換えをれぞれ示している。Ｈは定量ポンプ５の動作を示し、上側が吐出動作を、下側が吸引動作をそれぞれ示している。Ｉは一連の動作を概略的に説明する図である。なお、特には図示していないが、ステージ１０の位置または被塗工材９の位置を検出するセンサを有している。このセンサは近接センサ、光電センサなどからなるセンサであってもよいが、ステージ駆動用のモータの動作量を検出するエンコーダなどからなるものであってもよい。
　【００３６】
　先ず、塗工装置の各部の原点復帰を行った後、切換え弁４を塗料タンク側に切換えるとともに、定量ポンプ５による吸引動作を行う。そして、リフトピンを上昇させた状態で図示しない移載機から被塗工材９を受け取り、リフトピンを下降させて被塗工材９をステージ１０上の所定位置に納め、さらに被塗工材９を真空吸引することにより被塗工材９をステージ１０上に固定する。なお、被塗工材９のステージ１０上への固定（保持）手段としては、上記真空吸引の他、リンク機構を応用したレバーによる挾み込みや、吸盤、粘着シート等による保持手段を用いてもよく、この様な手段も本発明でいう「保持」に含まれる。
　【００３７】
　そして、塗料タンク１から定量ポンプ５に所定量の塗料が吸引された後に、切換え弁４を口金側に切換えるとともに、ステージ１０を順走行させて被塗工材９を口金７の直下まで移動させ、ステージ１０の順走行を停止させる。次いで、口金７を下降させ、リニアセンサやコッタ等の位置決め機構により所定のクリアランス１１を確保する。ただし、口金７を下降させた後に被塗工材９を移動させるようにしてもよい。そして、クリアランス１１の確保と実質的に同時に定量ポンプ５を動作させることにより塗料を口金７に供給して塗料の吐出を開始し、塗料の吐出開始後、所定時間だけステージ１０を停止状態に維持することにより、口金７と被塗工材９との間に所定の渡り方向の全域にわたって濡れを確保し定常塗工とほぼ同じ塗料ビード１３を形成させる。
　【００３８】
　以上のようにして安定塗工に必要な塗料ビード１３が形成された後に、ステージ１０を所定速度で順走行させることにより塗工を開始する。また、塗工開始と実質的に同時に減圧室の気圧を所定圧力に保つことにより減圧を行い、塗料ビード１３を安定化することもできる。したがって、塗料ビード１３の安定化により塗膜形成に消費される塗料と口金７のスリット１４から吐出される塗料とが平衡し、塗工開始直後から、安定な塗膜の形成を行うことができる定常塗工状態になる。
　【００３９】
　一定の塗料の液溜まりである塗料ビードは安定塗工を行うためには必要不可欠であるが、塗工の終了時点で巧く消滅させてやらないとこの部分での厚膜化を招いてしまう。そこで塗料ビードの消滅を積極的に制御する手段として、被塗工材９が塗工終了位置よりも所定距離だけ手前の位置に到達した時点で定量ポンプ５による塗料の供給を停止することにより、塗料ビード１３を消費しながらいわゆるスキージ塗工により塗膜を形成する。ただし、被塗工材７が塗工終了位置に到達した時点で塗料の供給を停止してもよい。そして、被塗工材９が塗工終了位置に到達すれば、定量ポンプ５を反転動作させることにより口金７のスリット１４を通して所定量の塗料を吸引回収する。ただし、被塗工材７が塗工終了位置に到達した時点で塗料の供給を停止する場合には、被塗工材７を塗工終了位置で一旦停止させ、確実に塗料ビードを回収してもよい。これらの動作の後に口金７を上昇させて被塗工材９から遠ざけることにより塗工を終了する。その後、塗料の吸引回収によりスリット１４に形成されている可能性がある空隙を解消させるために定量ポンプ５を動作させて塗料を吐出させる。ステージ１０はその後も順走行を行って、被塗工材９を次工程に移載するための所定位置まで搬送して停止し、真空吸着を解除するとともに、リフトピンを上昇させて被塗工材９を持ち上げ、その位置で被塗工材９を被塗工材移載機（図示せず）に渡す。そして、同時に定量ポンプ５による塗料の吐出および口金７の拭き取りを行って口金７の先端部に残留する塗料を除去する。次いで、ステージ１０を逆走行させ、次の被塗工材９を受け取るべく所定位置まで復帰することにより一連の処理を終了し、次の被塗工材９の塗工に備える。
　【００４０】
　以上の一連の処理を行うことにより、塗工開始部および塗工終了部における膜厚の定常塗工により得られた定常部の膜厚に対するばらつきを大幅に抑制することができる。また、塗料ビード１３が形成された後にステージ１０を走行させて塗膜を形成するのであるから、被塗工材９の端部から対応する定常塗膜膜厚部端部までの距離を著しく小さくすることができ、被塗工材９の全長範囲に対する有効活用塗膜形成範囲（定常部）の割合を大きくすることができる。更にこれらの効果により被塗工材９の内側に塗工開始点と終了点を設定できる枚葉ダイコータの利点を最大限に活用することが可能となる。
　【００４１】
　【実施例および比較例】
実施例１
ポリイミド前駆体であるポリアミド酸をバインダーとして用い、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを溶媒とし、塩臭素化フタロシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６）を混合・分散して得た重量固形分濃度８ｗｔ％、粘度２５ｃＰｓの緑色着色塗膜形成用塗料を塗料として採用し、３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×１．１ｍｍの無アルカリガラス基板ＯＡ−２（日本電気硝子（株）製）を被塗工材９として採用し、スリット間隙１２を１００μｍ、クリアランス１１を７５μｍに設定して塗工を行った。定量ポンプ５としてはギアポンプを用いた。基板搬送ステージ１０の駆動には高精度ステッピングモータを使用しシーケンサにより制御を行って実施した（図５）。前述の着色塗膜形成用塗料を塗料タンク１に仕込み予め口金７に至るまでの送液路内を塗料で満たした。口金７のフロントリップ、リアリップのリップ下面長はそれぞれ０．５ｍｍ、３．５ｍｍのものを用いた。また塗膜をガラス基板の両端２ｍｍの部分に形成させないためにスリット先端の吐出口の渡り方向の幅を３５６ｍｍとした。被塗工材を真空吸着することで被塗工材９を搬送ステージ１０上に固定する。搬送ステージ１０を駆動して被塗工材９を口金７の直下に移動せしめ停止させる。この時近接センサによりステージ１０が口金７直下に至ったのを感知し、口金７を先述の所定のクリアランスを確保する位置にまで降下させるのと実質的に同時に定量ポンプ５を駆動させて２８５μｌ／秒の割合で塗料の吐出を開始し、０．３秒間だけ被塗工材を静止して口金７と被塗工材９との間に３５６ｍｍの渡り方向全域に渡るビードを形成せしめて後、再び搬送ステージ１０を３ｍ／分で駆動させて被塗工材９を相対移動させることで塗工を開始した。ほぼこの直後から塗膜形成に消費される塗料と口金スリット１４から供給する塗料とが平衡することにより連続して安定な塗膜を形成することが可能となる定常塗工状態となる。先と同様に近接センサにより塗工終了位置よりも１０ｍｍ手前で定量ポンプ５の駆動を止めた。一方ステージ１０が継続して移動を続けるために、被塗工材９と口金７との間に形成された塗料ビード１３を消費しながら所謂スキージ塗工により塗膜を形成する。被塗工材が塗工終了位置に達したら、口金７を上昇して被塗工材９より遠ざけることで塗工を終了した。塗工開始点、終了点はそれぞれ基板端部より１ｍｍ内側となるように塗工した。得られた塗工基板を乾燥オーブン（図示せず）にて１２０℃で２０分乾燥して緑色着色塗膜を得た。得られた塗膜の膜厚プロフィールを図６に示す。塗膜は塗工開始位置から９ｍｍ及び塗工終了から遡ること１０ｍｍを除いて定常部膜厚が得られた。また塗工開始部、塗工終了部のいずれの膜厚も定常部の８７％から１３４％の範囲で良好であった。
　【００４２】
　実施例２
塗工開始点、終了点をそれぞれ被塗工材端部とし、定量ポンプ５としてシリンジポンプを用い、近接センサにより塗工終了位置で定量ポンプ５の駆動とステージ１０の駆動を止め、これと同時に被塗工材９と口金７との間に形成された塗料ビード１３を定量ポンプ５を反転駆動させることにより口金スリット１４を通じて８５．５μｌ吸引回収し、しかる後に口金７を上昇して被塗工材９より遠ざけることで塗工を終了し、ステージ１０を再起動する事を除いては、実施例１と同様にして緑色着色塗膜を得た。得られた塗膜は図７に示すように塗工開始部から終了部まで膜切れや欠落を起すことなく所望の領域全てにわたって良好に形成されており、この塗膜の膜厚プロフィールを図８に示す。塗膜は塗工開始位置から９ｍｍ及び塗工終了位置から遡ること９ｍｍを除いて定常部膜厚が得られた。また、塗工開始部、塗工終了部のいずれの膜厚も定常部の８８％から１０８％の範囲であった。
　【００４３】
　実施例３
実施例と同様に、ただしその塗工終了位置で近接センサにより塗工終了位置よりも５ｍｍ手前でシリンジポンプ５の駆動を止め、一方ステージ１０が継続して移動を続けるために被塗工材９と口金７との間に形成された塗料ビード１３を消費しながら所謂スキージ塗工により塗膜を形成し、近接センサにより塗工終了位置で定量ポンプ５の駆動を止め、これと同時に被塗工材９と口金７との間に形成された塗料ビード１３を定量ポンプ５を反転駆動させることにより口金スリット１４を通じて１４０μｌ／秒の速度で３５μｌ吸引回収し、口金７を上昇して被塗工材９より遠ざけることで塗工を終了することを除いては、実施例２と同様にして緑色着色塗膜を得た。得られた塗膜の膜厚プロフィールを図９に示す。塗膜は塗工開始位置から５ｍｍ及び塗工終了位置から遡ること７ｍｍを除いて定常部膜厚が得られた。また塗工開始部、塗工終了部のいずれの膜厚も定常部の９２％から１０７％の範囲で良好であった。
　【００４４】
　比較例１
この比較例においては、口金の上下動作、ステージの順走行途中における停止動作を全く行なわず、スキージ塗工を行なわず、塗料ビードにおける塗料の吸引回収を行なわないほかは、上記実施例１と同様にして、被塗工材上に塗膜を形成した。この比較例１により得られた塗膜の典型的な膜厚プロフィールを図１０に示す。図１１に示すように塗工開始位置から１２２ｍｍでは全幅にわたる塗膜は形成されず、未塗工部が残った。塗工開始位置から１８０ｍｍ及び塗工終了位置から遡ること４０ｍｍを除いて定常部膜厚が得られた。また塗工終了部では定常部膜厚の３００％を越える点があった。
　【００４５】
　比較例２
この比較例においては、塗工開始点でのステージの順走行途中における停止動作を全く行なわず、これに替えて被塗工材が口金の直下を通過するのと実質的に同時に、塗料吐出を行う方向を正として塗料の送りに正の瞬間的な脈動（パルス）を発生させること、また塗工終了点でスキージ塗工を行なわず、塗料の送りに負の脈動（パルス）を発生させることのほかは、上記実施例１と同様にして、被塗工材上に塗膜を形成した（図１２）。この比較例２により得られた塗膜の典型的な膜厚プロフィールを図１３に示す。塗工開始位置から２８ｍｍ及び塗工終了位置から遡ること２０ｍｍを除いて定常部膜厚が得られた。特に塗工開始部に見られる膜厚の一時的な落ち込みは塗料ビード再形成のためであると考えられ吐出速度や搬送速度を変えても同じ傾向が見られた。
　【００４６】
　比較例３
この比較例においては、塗工開始点でのステージの順走行途中における停止動作を全く行なわず、被塗工材が口金の直下を通過するよりも以前に定量ポンプによる塗料の吐出を開始すること、また塗工終了点でスキージ塗工を行なわず、塗料ビードにおける塗料の吸引回収を行なわないほかは、上記実施例１と同様にして、被塗工材上に塗膜を形成した（図１４）。図１５に示すように塗工開始位置から８ｍｍでは全幅にわたる塗膜は形成されず未塗工部が残った。この比較例３により得られた塗膜の典型的な膜厚プロフィールを図１６に示す。塗工開始位置から３７ｍｍ及び塗工終了位置から遡ること２４ｍｍを除いて定常部膜厚が得られた。特に塗工開始部では塗膜が全面に形成されなかった。これは被塗工材が口金の直下を通過する前に口金下面には塗料が吐出されておりこの塗料が自重によりいわゆる懸垂曲線状にリップ下面に付着している様子などから、被塗工材と接触するときに渡り方向にわたって不均一な接触となるためであると考えられる。そのため塗工開始直後から渡り方向全域に渡って塗膜を確保するために、被塗工材が口金直下に到着するまでに吐出する塗料の量を増やしてやると、塗工開始直後から渡り方向全域に渡って塗膜形成が可能となったが、この部分の膜厚は所望の膜厚に対して約３倍となり、基板の側面に塗料が付着し搬送ステージを汚染した。この方法によっては、塗工開始直後からの所望幅の塗膜の確保とその厚膜化の防止が両立しない。
　【００４７】
　実施例１〜３と比較例１〜３を比較すれば、実施例１〜３の方が広範囲にわたる定常部を得ることができており、しかも被塗工材の端部に著しく近接する位置から塗膜を形成できている。また実施例１〜３の方が塗工開始位置、塗工終了位置における膜厚のばらつきも大幅に低減されている。
　【００４８】
　実施例４
ステージの順走行途中における０．５秒間の停止動作の後、搬送ステージ１０を駆動させて被塗工材９を相対移動させることで塗工を開始すると同時に与圧室１５の気圧を−１５ｍｍＡｑに保つことで塗料ビード１３の安定化を図り、１４３μｌ／秒の割合で塗料の吐出により塗工を行ない塗工終了と実質的に同時に与圧室１５の気圧を常圧に戻したことを除いては、実施例１と全く同様にして緑色着色塗膜を得た。定常部膜厚０．９μｍの均一塗膜が得られた。
　【００４９】
　比較例４
この比較例においては、与圧室１５の気圧調整を行なわないほかは、上記実施例４と同様にして、被塗工材上に塗膜を形成した。この比較例により得られた塗膜は、図１７に示すように所々に膜が形成されない所謂膜切れを生じ、またその形成された塗膜も膜厚分布の不均一なものであった。これは比較例４の塗工条件が、得られる塗膜の膜厚が薄膜設定でありすぎるために前述の塗料ビードを持ち去ろうとする力が大きくなり、液体の表面張力などだけではこれに抗しきれなくなったため、塗料ビードを保持できなくなったため膜切れを起すと考えられる。実施例４と比較例４を比較すれば、塗料ビードを減圧により生じる力で制御することにより比較例４で示されているような常法では膜切れを起こしてしまうようなより薄い膜厚の塗膜を均一に塗工できている。
　【００５０】
　実施例５
ポリイミド前駆体であるポリアミド酸をバインダーとして用い、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを溶媒とし、フタロシアニンブルー（Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４）をジオキサジンバイオレット（Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３）を加え分散して重量固形分濃度７ｗｔ％、粘度２０ｃＰｓの青色着色塗膜形成用塗料を塗料として採用し、３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラス基板ＯＡ−２（日本電気硝子（株）製）を被塗工材９として採用し、スリット間隙１２を１００μｍ、クリアランス１１を７５μｍに設定して塗工を行った。定量ポンプ５としてはシリンジポンプを採用した。基板搬送ステージ１０の駆動には精密ＡＣサーボモータを使用した。被塗工材９を搬送ステージ１０に内蔵される受け渡し用のリフトピン（図示せず）を上げてこの位置で移載機（図示せず）より受け取り、次いでリフトピンを下げて搬送ステージ１０上の所定の場所に納める。更に被塗工材９を真空吸着することで被塗工材９を搬送ステージ１０上に固定する。これらの動作と同時に切り換え弁４を塗料タンク１側に開き、定量ポンプ５を吸引側に駆動し塗料を３１００μｌ充填し、切り換え弁４を口金側に切り替えて塗工に備える。これと同時に口金７を先述の所定のクリアランスを確保する位置にまで降下させる。次いで搬送ステージ１０を駆動して被塗工材９を口金７の直下に移動せしめて停止させる。この時ステージ駆動用のＡＣサーボモータのステップ数によりステージ１０が口金７直下に至ったのを感知し、定量ポンプ５を駆動させて塗料の吐出を塗料送液速度３０８μｌ／秒で開始し、０．３秒間被塗工材を静止して口金７と被塗工材９との間にわたり方向全域に渡るビードを形成せしめて後、再び搬送ステージ１０を駆動速度は３ｍ／分にて駆動させて被塗工材９を相対移動させることで塗工を開始した。ほぼこの直後から塗膜形成に消費される塗料と口金スリット１４から供給する塗料とが平衡することにより連続して安定な塗膜を形成することが可能となる定常塗工状態となる。先と同様にステージ駆動用のＡＣサーボモータのステップ数により塗工終了位置よりも５ｍｍ手前位置を感知して定量ポンプ５の駆動を止める一方ステージ１０が継続して移動を続けるために、被塗工材９と口金７との間に形成された塗料ビート１３を消費しながら所謂スキージ塗工により塗膜を形成する。被塗工材が塗工終了位置に達したら、定量ポンプ５を反転駆動させ口金スリット１４を通じて、塗料ビード１３を２８０μｌ／秒の速度で７０μｌ吸引回収した。しかる後に口金７を上昇して被塗工材９より遠ざけることで塗工を終了した。引き続いて定量ポンプ５を正転駆動して口金に７０μｌの塗料を充填した。ステージは更に次工程への移載のための所定位置にまで移動して止まり、真空吸着を解除すると共にリフトピンを上げて被塗工材を持ち上げその位置でガラス基板移載機（図示せず）に基板を受け渡す。ステージ１０は次の基板を受け取るべくリフトピンを収納し所定の位置に反転移動する。更に塗工基板は次工程の乾燥ホットプレート（図示せず）にて１３０℃で１０分乾燥して青色着色塗膜を得た。引き続いて定量ポンプ５を正転駆動して口金にはさらに過剰の塗料を吐出すべく１４０μｌの塗料を���金７に供給した。この時過剰供給された塗料は口金７から溢れたが、口金７に付着して止まった。次いで図示されていない口金拭き取り装置を作動させて、口金７から溢れたた塗料を拭き取り次の被塗工材９の塗工に備える。以上の動作を順次繰り返して１００枚の基板に塗膜を形成した。これら一連の動作の概略は図１８に示す。得られた塗膜は定常部膜厚１．２μｍであった。かくして得られた塗膜の典型的な膜厚プロフィールの例を図１９に示す。塗膜は塗工開始位置から８±１ｍｍ及び塗工終了位置から遡ること７ｍｍ±１を除いて定常部膜厚が得られた。又、塗工開始部、塗工終了部のいずれの膜厚も定常部の９３％から１２６％の範囲で良好であった。また塗工した１００枚の塗膜間においても定常部膜厚のばらつき及び、塗工開始部、塗工終了部の同じ位置での膜厚のばらつきはいずれも±０．０５μｍの範囲に収まる良好な再現性を有していた。
　【００５１】
　比較例５
この比較例においては、塗工終了時において定量ポンプ５を正転駆動して吸引動作によってスリットに生じた空隙に塗料を充填せず、定量ポンプ５を正転駆動して口金に過剰の塗料を吐出せず、口金拭き取り装置を作動させて、口金７を拭き取ることをしないほかは、実施例５と全く同様にして１００枚の被塗工材に塗膜を形成した。第１枚目の被塗工材に塗工された塗膜は図１９に示された膜厚プロフィールとほぼ同等のものであったが、第２枚目から第１００枚目までの被塗工材に塗工された塗膜は、特に塗工開始部分で膜厚変動、ばらつきが大きく塗工開始位置から０〜１５ｍｍの範囲で未塗工の部分を生じたり、その最大膜厚が定常部の１０６％から３５０％の範囲でばらついた。塗工開始位置から３０〜１８０ｍｍの部分で定常部膜厚が得られなかった。
　【００５２】
　実施例５と比較例５を比較すれば２枚以上の被塗工材に連続塗布する場合に実施例５の方が比較例３よりも広範囲にわたる定常部を得られており、しかも得られた塗膜間のばらつきも少ないものであった。
　【００５３】
　実施例６
ポリイミド前駆体であるポリアミド酸をバインダーとして用い、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを溶媒とし、フタロシアニンブルー（Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４）をジオキサジンバイオレット（Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３）を加え分散して重量固形分濃度７ｗｔ％、粘度２０ｃＰｓの青色着色塗膜形成用塗料を得る。同様にＮ−メチル−２−ピロリドンを溶媒とし、塩臭素化フタロシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６）を混合・分散して重量固形分濃度８ｗｔ％、粘度２５ｃＰｓの緑色着色塗膜形成用塗料を得る。さらに同様にジアントラキノンニルレッド（Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７）を混合した赤色着色塗膜形成用塗料を重量固形分濃度５ｗｔ％、粘度１２０ｃＰｓを用意し、パターン加工されたクロム遮光膜層を設けられた４６５ｍｍ×３６０ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラス基板（ＯＡ−２）上に、赤色着色塗膜形成用塗料を、充填量を５１７０μｌ、塗料の吐出を塗料送液速度を５１８μｌ／秒、塗工開始時の停止時間を０．１秒とする以外は実施例５と同様に塗工した後、減圧溶媒除去を７０℃、２Ｔｏｒｒ以下の状況に３分間保持することにより行い、これに続いてホットプレートにて１３０℃１０分の乾燥を行った。この塗膜面上にポジ型レジスト（２６．７ｗｔ％、２０ＣＰＳ）を充填量を１１００μｌ、塗料の吐出を塗料送液速度を１０９μｌ／秒、塗工開始時の停止時間を０．８秒とする以外は実施例５と同様に塗工・乾燥した得られたレジストの塗膜膜厚は１．６μｍであった。次いでマスク露光・現像・エッチングを行なう所謂フォトリソグラフィの手法によりパターン形成して後加熱してイミド閉環させることで赤色画素を形成する。この工程を青、緑色塗膜について適正な条件で順次繰り返し赤緑青三原色の画素を得た。該画素を設けたガラス基板上に厚さ０．９μｍのポリイミド膜を保護膜として設け更にその上に透明導電膜として厚さ０．１８μｍの酸化錫−インジウム膜をスパッタ形成しカラーフィルタとした。該ガラス上に対角１０．４インチのカラーフィルタを４面形成した。評価のために各色のパターン形成後同一色の画素膜厚を測定した。得られたいずれの画素もばらつきのない膜厚を示し、得られたカラーフィルタも良好な特性を示した。
　【００５４】
　比較例６
実施例６において、着色層の塗工工程を比較例１のようにする以外は全く同様にしてカラーフィルタを得た。同様に評価のために各色のパターン形成後同一色の画素膜厚を測定した。塗工開始部及び塗工終了部に位置する画素の膜厚が定常膜厚部から得られた画素部とは異なった。かくして得られたカラーフィルタは母材のどの部分から得られたかによって特性が異なるが母基板の塗工開始部及び塗工終了部にあたる部分から得られた画素は膜厚変動に起因する面内の色特性のばらつきがみられ製品として使用するに耐えないものばかりであった。
　【００５５】
　実施例７
実施例６と同様にして、赤色着色塗膜形成用塗布液を塗工した後、減圧溶媒除去を７０℃、２Ｔｏｒｒ以下の状況に３分間保持することにより行い、これに続いてホットプレート（図示せず）にて１３０℃、１０分の乾燥を行った。次にこの塗膜面上にポジ型フォトレジスト（２６．７ｗｔ％、２０センチポアズ）を、充填量が１１００μｌ、塗料の塗料送液速度が１０９μｌ／秒、塗工開始時の停止時間が０．８秒とする以外は赤色着色塗膜形成用塗布液の方法と同様に、塗工・乾燥し、膜厚１．６μｍのフォトレジスト塗膜を得た。
　【００５６】
　次いでマスク露光・現像・エッチングを行なう所謂フォトリソグラフィの手法によりパターン形成して後加熱してイミド閉環させることで赤色画素を形成した。赤色画素の幅は９０μｍ（設計値）±１μｍの範囲に納まる高精度なものであり、フォトレジスト層膜厚の不均一に起因するバラツキは見られなかった。この工程を青、緑色塗膜について適正な条件で順次繰り返し赤緑青三原色の画素を得た。ダイは、フロントリップ、リアリップの下端面長ＬＦ、ＬＲがそれぞれ０．５ｍｍ、３．５ｍｍ、スリットの先端開口部の開口幅ｈが１００μｍ、塗布方向に直交する方向におけるスリットの先端開口部の長さ（ダイ長手方向の長さ）Ｗが３６０ｍｍのものを用いた。
　【００５７】
　塗工開始部の停止動作中に塗料ビードを形成するために吐出する塗料の体
積は、赤
　【００５８】
　こうして画素を設けたガラス基板上に厚さ０．９μｍのポリイミド膜を保護膜として設け更にその上に透明導電膜として厚さ０．１８μｍの酸化錫−インジウム膜をスパッタ形成しカラーフィルタとした。このガラス上には対角１０．４インチのカラーフィルタを４面形成した。評価のために各色のパターン形成後同一色の画素膜厚を測定した。得られたいずれの画素もばらつきのない膜厚を示し、得られたカラーフィルタも良好な特性を示した。
　【００５９】
　【発明の効果
】
　
【
　請求項
１
また、
一枚一枚の枚葉
し、そして
　【００６１】
　請求項
２
　【００６２】
　請求項
３
　【００６３】
　請求項
４
　【００６４】
　請求項
５
　【００６５】
　請求項
６
【図面の簡単な説明】
　【図１】ダイコータの口金近傍の寸法と塗料ビードとの関係を示した断面図である。
　【図２】本発明に係るダイコータの一例を示す概略図である。
　【図３】第１図の口金近傍を拡大した図である。
　【図４】実施例の各種装置の動作関係を示す模式図である。
　【図５】実施例１に係るダイコータの一例を示す概略図である。
　【図６】実施例１で得られた塗膜の代表的な膜厚プロフィールである。
　【図７】実施例２で得られた塗膜の概略図である。
　【図８】実施例２で得られた塗膜の代表的な膜厚プロフィールである。
　【図９】実施例３で得られた塗膜の代表的な膜厚プロフィールである。
　【図１０】比較例１で得られた塗膜の代表的な膜厚プロフィールである。
　【図１１】比較例１で得られた塗膜の概略図である。
　【図１２】比較例２の各種装置の動作関係を示す模式図である。
　【図１３】比較例２で得られた塗膜の代表的な膜厚プロフィールである。
　【図１４】比較例３の各種装置の動作関係を示す模式図である。
　【図１５】比較例３で得られた塗膜の概略図である。
　【図１６】比較例３で得られた塗膜の代表的な膜厚プロフィールである。
　【図１７】比較例４で得られた塗膜の概略図である。
　【図１８】実施例５の各種装置の動作関係を示す模式図である。
　【図１９】実施例５で得られた塗膜の代表的な膜厚プロフィールである。
　【符号の説明】
　１　塗料タンク
　２　配管
　３　開閉弁
　４　切換え弁
　５　定量ポンプ（シリンジポンプ）
　６　フィルタ
　７　口金
　７１　フロントリップ
　７２　リアリップ
　８　塗膜
　９　被塗工材
　１０　搬送ステージ
　１１　クリアランス
　１２　スリット間隙
　１３　塗料ビード
　１４　口金スリット
　１５　与圧室