【事件の表示】
　特許第３２６７４１２号「インクジェット式記録ヘッド」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２６７４１２号の請求項１及び２に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯　本件特許第３２６７４１２号の請求項１及び２に係る発明についての出願は、平成５年１０月７日に特許出願され、平成１４年１月１１日にその特許権の設定の登録がなされ、その特許について、松井弘三より特許異議の申し立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１５年６月３日に訂正請求がなされたものである。
　　　
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
　特許権者の求めている訂正の内容は、以下のとおりである（訂正箇所にアンダーラインを付した。）。
　ａ．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の
「【請求項１】 印字信号に応じて圧力を発生させる圧力発生素子と、
　ノズル開口列を複数列有するノズルプレートと、
　前記ノズル開口列に連通する圧力発生室列、インク供給口を介して前記圧力発生室列に連通するリザーバ、及び前記ノズル開口列の対称線上に配置された単一のインク導入口から前記リザーバにインクを供給する流路をそれぞれ区画形成され、一方の面を前記ノズルプレートにより封止されるスペーサと、
　前記スペーサの他方の面を封止する板部材と、
　を備え、
　前記ノズル開口列、及び前記リザーバとがともに複数形成され、また前記インク導入口が横切るように形成された隔壁により分割され、前記各リザーバが前記隔壁により分割された領域にそれぞれ接続されているインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】　前記ノズル開口列の列数を２Ｍ（ただし、Ｍは１以上の整数）としたとき、前記リザーバがＭ＋１個形成され、また前記インク導入口が横切るように形成された隔壁により分割され、前記各リザーバが前記隔壁により分割された領域にそれぞれ接続されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。」
を、
「【請求項１】 印字信号に応じて圧力を発生させる圧力発生素子と、
　ノズル開口列を複数列有するノズルプレートと、
　前記ノズル開口列に連通する圧力発生室列、インク供給口を介して前記圧力発生室列に連通するリザーバ、及び前記ノズル開口列の対称線上に配置された単一のインク導入口から前記リザーバにインクを供給する流路をそれぞれ区画形成され、一方の面を前記ノズルプレートにより封止されるスペーサと、
　前記スペーサの他方の面を封止する板部材と、
　を備え、
　前記ノズル開口列、及び前記リザーバとがともに複数形成され、また前記インク導入口が
、前記リザーバの領域内に位置し、かつ前記インク導入口の外側から延びて前記インク導入口を横切る
【請求項２】　前記ノズル開口列の列数を２Ｍ（ただし、Ｍは１以上の整数）としたとき、前記リザーバがＭ＋１個形成され、また前記インク導入口が横切るように形成された隔壁により分割され、前記各リザーバが前記隔壁により分割された領域にそれぞれ接続されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。」
と訂正する。
　　　
ｂ．訂正事項ｂ      
　段落【０００４】を、
「【課題を解決するための手段】
　このような問題を解消するために本発明においては、印字信号に応じて圧力を発生させる圧力発生素子と、ノズル開口列を複数列有するノズルプレートと、前記ノズル開口列に連通する圧力発生室列、インク供給口を介して前記圧力発生室列に連通するリザーバ、及び前記ノズル開口列の対称線上に配置された単一のインク導入口から前記リザーバにインクを供給する流路をそれぞれ区画形成され、一方の面を前記ノズルプレートにより封止されるスペーサと、前記スペーサの他方の面を封止する板部材と、を備え、前記ノズル開口列、及び前記リザーバとがともに複数形成され、また前記インク導入口が
、前記リザーバの領域内に位置し、かつ前記インク導入口の外側から延びて前記インク導入口を横切る
と訂正する。
　　　　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａに関連する記載として、願書に添付した明細書（以下、特許明細書という。）には、「図６は、インク導入口１９近傍における隔壁の一実施例を拡大して示すものであって、隔壁７５、７６、７７、７８は、振動板１８に形成されたインク導入口１９を跨いで一体となるように、この実施例では「十」字状に形成されている。」（段落【００１７】参照）と記載され、図面には、インク導入口１９とリザーバ７１、７２、７３、７４相互の配置関係を示す図（【図５】）及びインク導入口１９近傍における、該インク導入口１９、リザーバ７１、７２、７３、７４のそれぞれの流路７１ａ、７２ａ、７３ａ、７４ａ及びスペーサ１０に形成された隔壁７５、７６、７７、７８相互の配置関係を示す図（【図６】）が記載されている。
　してみると、上記訂正事項ａは、特許明細書又は図面に記載されていた範囲内で、特許請求の範囲の請求項１において、その「インク導入口」の位置及び「インク導入口を横切るように形成された隔壁」の形状を限定することにより、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、上記訂正事項ｂは、上記訂正事項ａ伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、発明の詳細な説明の記載を訂正したものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　さらに、上記訂正事項ａ及びｂは、実質的に特許請求の範囲を拡張変更するものでない。
　　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　　　　
３．特許異議申し立てについての判断
（１）申立の理由の概要
　申立人松井弘三は、甲第１号証（特開昭６２−１１１７５８号公報）及び甲第２号証（特開平５−８４９１９号公報）を提出し、本件請求項１及び２に係る発明は、甲第１号証に記載されたものから、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない旨の主張をしている。  
　　　
（２）本件発明
　本件請求項１及び２に係る発明（以下、「本件発明１及び２」という。）は、上記訂正によって訂正された明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものである（上記訂正事項ａ参照。）。       
　　　　
（３）刊行物に記載された発明
　当審で通知した取消理由に引用した刊行物１及び２には、本件発明に関連する事項として、以下のような事項が記載されている。
　ア．刊行物１：特開昭６２−１１１７５８号公報（＝上記甲第１号証）
ａ．「第１図及び第２図に図示されているように、プリントヘッド２０は、参照番号２２により集合的に表わされた複数の重なった、接触した積層つまりプレートから成っている（第２図）。プレート２２の各々は個別に製造され、プリントヘッドの要素としての機能を有している。」（７頁右上欄５〜１０行）、
ｂ．「第１図及び第３図に示されているように．インクは一連の不連続な矢印のヘッド２６により示されているように供給管２４を通って入りそしてプリントヘッド２０を通って流れる。インクは主チャンバつまりマニホルド２８に流れ、次に制限オリフイス３２を介してチャンバ３０に流れ、そしてこれを通して個々のインク小滴３６が放出されるノズル３４へ流れる。インクが供給管２４からマニホルド２８へ流れる時に、インクはそれぞれダイヤフラムプレート４４、チャンネルプレート４６及び制限プレート４８内に形成された整列された孔３８，４０及び４２を通る。」（７頁右上欄１６行〜左下欄７行）、
ｃ．「ダイヤフレームプレート４４であるチャンバ３０の頂部は典型的には１ないし４ミルの厚さであり、また説明した適当なピアゾセラミック部材から成るトランスジューサ５０を有している。トランスジューサ５０への電界の印加に応じて、ダイヤフラム板４４はチャンバ３０内へ曲げられ、これによりチャンバ内のインクの変位を発生させる。これがノズルからの小滴の放出を生じさせまた次の凹面の振動及びチャンバの充填を生じさせる。」（７頁左下欄１４行〜右下欄３行）、
ｄ．「第１図及び第４図におけるように、１対のマニホルド２８がプレート５２内に形成され、また供給管２４と連通している相対的に広い端部から、複数の凹んだ部分７０を有する狭い部分へのびている。各部分７０は関連した制限オリフイス３２の下にある。」（８頁右下欄１７行〜９頁左上欄２行）、
ｅ．「第１図に最も良く示されているように、ノズルプレート５４は、プリントヘッド２０が完全に組み立てられた時には出口６４，コネクタ孔６６及びテーパー孔６８と整列されるノズル３４の列によって形成される。」（９頁左上欄１４〜１８行）、
ｆ．マニホルドプレート５２に、１対のマニホルド２８の端部相互の間に整列された孔３８，４０及び４２の内径にほぼ等しい長さで内径より幅狭な直線的部分を含む部分を残して、１対のマニホルド２８とコネクタ孔６６が形成され、当該残された幅狭な直線的部分を含む部分が前記整列された孔３８，４０及び４２を横切るようになっていることを示す図（ＦＩＧ．１．及びＦＩＧ．４．）
　　　　
  イ．刊行物２：特開平５−８４９１９号公報（＝上記甲第２号証）
ａ．「インクが噴射されるノズル基板５、インクが導入される基板６及び第２の基板７は構造体１６上に積層型圧電素子８との位置関係が確保された上で積層状態で接着剤により固定される。ノズル基板５の材質はニッケル電鋳板であるが他に成形樹脂、ステンレス板、ガラス板でも可能である。基板６は図３及び図４に示す様に、リザーバ１、供給路２、圧力室３によって構成されている。」（段落【００１２】参照）、
ｂ．「インクは図４に示すようにインク供給パイプ９、リザーバ１、供給路２を通って圧力室３に毛細管力によって到達する。印字動作が行なわれる場合は、入力信号に応じて積層型圧電素子８に１５〜３０Ｖの電圧が印加され積層型圧電素子８の活性部８ｃは矢印Ｄの方向に膨張変位し第２の基板７をたわませることにより圧力室３を加圧する。圧力室３内のインクはこれに応じてノズル４、及び供給路２の方向に瞬間的に移動するが、ノズル４からは外部に向けてインク滴Ａが噴射される。」（段落【００１４】参照）、
ｃ．４個のノズル４の列に連通する４個の圧力室３の列、供給路２を介して外側の２つの圧力室３の列のそれぞれに連通する２個のリザーバ１及び中央の２つの圧力室の列に共通に連通する１個のリザーバ１、及び前記ノズル４の列の対称線上に配置された単一のインク導入口（符号Ｂ１が付されている部分）から、前記各リザーバ１にインクを供給する流路をそれぞれ区画形成され、一方の面をノズル基板５により封止されたインクジェットヘッドの基板６を示す図（【図３】及び【図４】）
　上記記載事項を含む刊行物２には、以下の発明が記載されていると認める。
　「入力信号に応じて圧力を発生させる積層型圧電素子８と、
　ノズル４の列を複数列有するノズル基板５と、
　前記ノズル４の列に連通する圧力室３の列、供給路２を介して前記圧力室３の列に連通するリザーバ１、及び前記ノズル４の列の対称線上に配置された単一のインク導入口から前記リザーバ１にインクを供給する流路をそれぞれ区画形成され、一方の面を前記ノズル基板５により封止される基板６と、
　前記基板５の他方の面を封止する第２の基板７と、
　を備え、
　前記ノズル４の列、前記リザーバ１とがともに複数形成され、また前記インク導入口が各リザーバへインクを供給する流路相互の間に位置するインクジェットヘッド。」
　　　　
（４）対比判断
　本件発明１（前者）と刊行物２に記載された発明（後者）を対比する。
　ア．前者の「インク導入口がリザーバの領域内に位置する」ということの意味についてみるに、前者の特許明細書には、「リザーバの領域内」とは、どの部分をいうか明示されていないが、同明細書の「リザーバ７１、７２、７３、７４はそれぞれ流路７１ａ、７２ａ、７３ａ、７４ａにより・・・インク導入口１９に連通しており、・・・比較的広い空間となるインク導入口１９付近で・・・領域を補強する。」（段落【００１６】参照）及び【図６】の各記載を参酌すると、インク導入口が各リザーバの各流路相互の間に位置することと解され、また、後者のインク導入口も各リザーバへインクを供給する流路相互の間に位置しているから、両者は、インク導入口がリザーバ領域内に位置するものである点で一致している。
　イ．後者の、「入力信号」、「積層型圧電素子８」、「ノズル４の列」、「ノズル基板５」、「圧力室３の列」、「供給路２」、「リザーバ１」、「導入口」、「基板６」、「第２の基板７」及び「インクジェットヘッド」は、それぞれ、前者の、「印字信号」、「圧力発生素子」、「ノズル開口列」、「ノズルプレート」、「圧力発生室列」、「インク供給口」、「リザーバ」、「インク導入口」、「スペーサ」、「板部材」及び「インクジェット式記録ヘッド」に対応している。
　以上のことから、両者の一致点と相違点は、以下のとおりである。
　　　
　［一致点］
　「印字信号に応じて圧力を発生させる圧力発生素子と、
　ノズル開口列を複数列有するノズルプレートと、
　前記ノズル開口列に連通する圧力発生室列、インク供給口を介して前記圧力発生室列に連通するリザーバ、及び前記ノズル開口列の対称線上に配置された単一のインク導入口から前記リザーバにインクを供給する流路をそれぞれ区画形成され、一方の面を前記ノズルプレートにより封止されるスペーサと、
　前記スペーサの他方の面を封止する板部材と、
　を備え、
　前記ノズル開口列、及び前記リザーバとがともに複数形成され、また前記インク導入口がリザーバの領域内に位置するインクジェット式記録ヘッド。」
　　
　［相違点］
　各リザーバに接続されるインク導入口が、前者では、「前記インク導入口の外側から延びて前記インク導入口を横切る隔壁により分割され、前記各リザーバが前記隔壁により分割された領域にそれぞれ接続されている」としているのに対して、後者では、横切る隔壁により分割されていない点。
　　　
　［相違点の検討］
　上記記載事項（３）ア．ａ．乃至ｆ．を含む上記刊行物１には、インクジェットプリントヘッド（インクジェット式記録ヘッド）において、制限オリフィス３２（インク供給口）を介してチャンバ３０（圧力発生室）の列に連通する１対のマニホルド２８（リザーバ）に接続される、整列された孔３８，４０及び４２（リザーバの領域内に位置するインク導入口）が、マニホルドプレート５２の、残された１対のマニホルド２８の端部相互の間の前記整列された孔３８，４０及び４２（インク導入口）の内径にほぼ等しい長さで内径より幅狭な直線的部分を含む部分（隔壁）により横切られて分割され、各マニホルド２８（リザーバ）が、上記内径より幅狭な直線的部分を含む部分（隔壁）により分割された領域にそれぞれ接続されるように構成することが記載されている（括弧内は対応する前者の構成を示す。）。
　そして、上記内径より幅狭な直線的部分を含む部分（隔壁）は、整列された孔３８，４０及び４２（リザーバの領域内に位置するインク導入口）の外側から延びて上記整列された孔３８，４０及び４２（インク導入口）を横切るようになっている。
　してみると、前者の上記相違点に係る構成は、後者に、刊行物１のインク導入口を隔壁により分割するという構成を単に採用することにより、当業者が容易に構成し得たものということができ、その作用効果も格別なものでない。
　
　これに関して、特許権者は、刊行物１に記載の発明について、「刊行物１には、インク導入口が横切るように形成された隔壁により分割されるとともに、インク供給口を介して圧力発生室に連通する複数のリザーバが、隔壁（異議申立人が付した符号Ｋ）により分割された領域にそれぞれ接続されたインクジェット記録ヘッドが記載されているが、インク導入口と隔壁との相対関係が本件請求項１の発明と相違する。すなわち、刊行物１に記載された隔壁は、インク誘導口の内部領域、詰まりインク供給口の直径程度の長さとして形成されている。これに対して、本件請求項１の発明は、隔壁が、インク導入口の外側から延びるように、つまりインク誘導口よりも外側に延在するように形成されている。この相違によりインク誘導口近傍のリザーバの形状がインク誘導口のサイズに制限を受けることがなくなり、リザーバの形状の自由度が高くなる。これに対して、刊行物１の発明では、小さい直径（内径）のインク誘導口の範囲内に複数のリザーバの端部を均等に位置させる必要があり、リザーバの形状の自由度が低いという問題がある。」と主張している。
　しかし、前者１の隔壁、すなわち、本件請求項１で規定される隔壁でいう限り、刊行物１に記載のものと構成上差異がないが、仮に、隔壁がインク導入口を横切る幅狭な直線的部分のみをいい、該部分がインク導入口の外側にまで延びている構成を本件請求項１の記載で規定しているものとしても、当業者が容易に想到できる。
　なぜならば、刊行物１に記載の発明の、整列された孔３８，４０及び４２（インク導入口）を介してマニホルド２８（リザーバ）に流入するインク量の大小（インク導入口に対するリザーバの構成の設計に当たって、第一に決定すべき事項である）は、両者が重なる部分の面積の大小によること、別の言い方するならば、幅狭な直線的部分を含む部分のうちの、整列された孔３８，４０及び４２（インク導入口）の内部にある部分の面積の大小によるものであって、幅狭な直線的部分が、整列された孔３８，４０及び４２（インク導入口）の外部にまで延在したとしても、延在した幅狭な直線的部分の長さによるものでないことが、ＦＩＧ．１及びＦＩＧ．４の記載から明らかであって、したがって、整列された孔３８，４０及び４２（インク導入口）の外部に存在する部分のマニホルド２８（リザーバ）の形状は、整列された孔３８，４０及び４２（インク導入口）の内径の長さに制限されず、当業者が自由に決定できることであることも明らかであることを考えれば、インク導入口を横切る幅狭な直線的部分をインク導入口の外側にまで延びるようにすることは、当業者が適宜なす程度のことといわざるを得ず、その作用効果も刊行物１に記載の発明から予測できる程度ものにすぎないからである。
　したがって、本件発明１は、上記刊行物１及び２に記載の発明から、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　
　また、上記刊行物２には、インクジェットヘッド（インクジェット式記録ヘッド）においてノズル４の列数を４（Ｍ＝２のときの２Ｍ）としたとき、インクジェットヘッドの基板６にリザーバ１が３（Ｍ＝２のときのＭ＋１）個形成することが記載されている（上記記載事項（３）イ．ｃ．参照）から、本件発明２も、上記刊行物１及び２に記載の発明から、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　
（５）むすび
　以上のとおりであるから、本件請求項１及び２に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件請求項１及び２に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年８月６日（２００３．８．６）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
インクジェット式記録ヘッド
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　印字信号に応じて圧力を発生させる圧力発生素子と、ノズル開口列を複数列有するノズルプレートと、
　前記ノズル開口列に連通する圧力発生室列、インク供給口を介して前記圧力発生室列に連通するリザーバ、及び前記ノズル開口列の対称線上に配置された単一のインク導入口から前記リザーバにインクを供給する流路をそれぞれ区画形成され、一方の面を前記ノズルプレートにより封止されるスペーサと、
　前記スペーサの他方の面を封止する板部材と、
　を備え、
　前記ノズル開口列、及び前記リザーバとがともに複数形成され、また前記インク導入口が
、前記リザーバの領域内に位置し、かつ前記インク導入口の外側から延びて前記インク導入口を横切る
　【請求項２】　前記ノズル開口列の列数を２Ｍ（ただし、Ｍは１以上の整数）としたとき、前記リザーバがＭ＋１個形成され、また前記インク導入口が横切るように形成された隔壁により分割され、前記各リザーバが前記隔壁により分割された領域にそれぞれ接続されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、圧電振動子により圧力発生室を収縮させ、圧力発生室のインクをノズル開口からインク滴として噴射させるインクジェット式記録ヘッドに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　インクジェット式記録ヘッドは、記録媒体上のドットをインク滴により構成する関係上、インク滴のサイズを小さくすることにより極めて高い解像度での印刷が可能であるものの、効率よく印刷するためにはノズル開口の数を多くする必要があり、圧電振動子をインク滴噴射源に使用する場合には、圧電振動子の小型化が極めて重要な要件となる。
　しかしながら、インク滴を飛翔させるためにはある程度の駆動力が必要で、圧電振動子の小型化にも限度がある。
　このような制約の中で記録密度を向上させるために、ノズル開口の列を複数設けるとともに、各列のノズル開口が他の列の空間に位置するよう、いわゆる千鳥状に配置することが行われている。
　このようにノズル開口を千鳥状に配列することにより、９０ｄｐｉ乃至１８０ｄｐｉ程度まで記録密度を向上することが可能となる。そしてノズル開口列の列数を増やせば、３６０ｄｐｉ程度まで記録密度をさらに向上させることが理論上、可能ではあるが、インクジェット式記録ヘッドの主走査方向、つまり紙幅方向のサイズがサイズが大きくなるため、両端に配置されたノズル開口列により形成されるドットの位置がずれが目立つという問題がある。
　このような問題を解消するために最外端に位置するノズル開口に連通する圧力発生室列に対して専用のリザーバを配置することにより、最外端のノズル開口列間の距離を可及的に小さくして、記録ヘッドの傾きによるドットの位置ずれを小さくしたインクジェット式記録ヘッドも、特開昭５−８４９１９号公報に見られるように提案されている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　上述のような配列形態を採る記録ヘッドは、インク導入口からそれぞれ独立の供給管路で各リザーバの接続点にインクを供給しているため、各リザーバへのインク分配を均等化しやすいものの流路構造が複雑になるという問題がある。
　本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところはドット間の位置ずれを防止して高密度印刷を可能ならしめつつ、インク導入口からリザーバへのインク流路の構造を簡素化した新規なインクジェット式記録ヘッドを提供することである。
　【０００４】
　【課題を解決するための手段】
　このような問題を解消するために本発明においては、印字信号に応じて圧力を発生させる圧力発生素子と、ノズル開口列を複数列有するノズルプレートと、前記ノズル開口列に連通する圧力発生室列、インク供給口を介して前記圧力発生室列に連通するリザーバ、及び前記ノズル開口列の対称線上に配置された単一のインク導入口から前記リザーバにインクを供給する流路をそれぞれ区画形成され、一方の面を前記ノズルプレートにより封止されるスペーサと、前記スペーサの他方の面を封止する板部材と、を備え、前記ノズル開口列、及び前記リザーバとがともに複数形成され、また前記インク導入口が
、前記リザーバの領域内に位置し、かつ前記インク導入口の外側から延びて前記インク導入口を横切る
　【０００５】
　【作用】
　リザーバにインクを供給する流路を、ここの領域の強度を落とすことなく共通の流路として形成することができる。
　【０００６】
　【実施例】
　そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づいて説明する。
　図１は本発明の一実施例を示すもので、図中符号１はノズルプレートで、所定のピッチ、例えば１８０ＤＰＩとなるようにノズル開口２．２、２‥‥が配置されたノズル開口列が、２Ｍ＝６列分、３、４、５、６、７、８が形成されている。
　【０００７】
　１０はスペーサで、後述する振動板１８とノズルプレート１の間に挟まれて配置されるもので、これにはノズル列に対応するようにリザーバ（図示せず）や圧力発生室を形成する通孔列１１、１２、１３、１４、１５、１６‥がノズル開口列３、４、５、６、７、８に対応する位置に形成されている。これらノズル開口列３〜８は、図２に示したように各列のノズルが他の列のノズル開口を補完、この実施例では１つのノズル開口列３のノズル開口間に他のノズル開口列４乃至８のノズル開口が位置するように相互に位置をずらせて配置されていて、記録用紙上に可及的に高い密度でドットを形成するように構成されている。
　【０００８】
　１８は振動板で、スペーサ１０を介してノズルプレート１と対向して圧力発生室を形成するもので、後述する圧電振動子ユニットの２１、２２、２３、２４、２５、２６の圧電振動子３０、３０の先端に当接して配置され、圧電振動子３０、３０‥‥の伸縮に応動して、圧力発生室を縮小、膨張させるものである。
　【０００９】
　これら圧電振動子ユニット２１、２２、２３、２４、２５、２６は、図３に示したように圧電振動子３０、３０、３０‥‥の一半を固定基板３１に一定ピッチで固定して、他半が縦振動モードでの振動が可能にまとめられている。各振動子３０は、図４に示したように圧電振動材料３２と駆動電極３３と共通電極３４とを交互にサンドイッチ状に積層して構成されている。そして駆動電極３３、３３、３３‥‥は、圧電振動子３０の後端側で端面から露出していて、蒸着などで形成された駆動外部電極３５により並列に接続され、また共通電極３４、３４、３４‥‥は圧電振動子３０の自由端側に露出し、かつ側方にまで延長されていて共通外部電極３６により並列に接続されている。
　【００１０】
　各圧電振動子３０の駆動外部電極３５は、端面が固定基板３１とほぼ同一面となるように位置決めされており、また各圧電振動子３０、３０、３０‥‥の共通外部電極３６は、導電部材３８を介して振動子３０、３０、３０‥‥の両側に位置するダミー振動子３９の後端面の電極４０に導通関係を持つように接続されている。ダミ−振動子３９の後端面には、駆動外部電極３５と同様に電極４０が構成されていて、接続用回路基板との接続が可能となっている。
　【００１１】
　再び図１に戻って、図中符号５０は、基台で、圧電振動子３０、３０、３０‥‥の自由端側が露出するように振動子ユニット２１、２２、２３、２４、２５、２６を収容するユニット収容穴５１、５２、５３、５４、５５、５６と、インクタンクからのインクをリザーバに供給するためのインク導入管の開口５７が設けられており、表面に振動板１８、スペーサ１０、ノズルプレート１を位置決めして静電シールドを兼ねる枠体５８により固定して記録ヘッド本体としてまとめ上げている。
　【００１２】
　一方、基台５０の他端には、ユニット収容穴５１、５２、５３、５４、５５、５６から露出している圧電振動子３０、３０、３０‥‥の駆動外部電極３５、３５、３５‥‥、及びダミー振動子３９の電極４０に接続される接続用回路基板６０が固定されて、これを介してキャリッジとの固定に使用される基板６１が固定されている。
　【００１３】
　図５は、本発明のインク流路、つまりリザーバ、圧力発生室の配置構造をスペーサ１０に形成された通孔でもって示すもので、図中符号１１ａ、１１ａ、１１ａ‥‥、１２ａ、１２ａ、１２ａ‥‥、１３ａ、１３ａ、１３ａ‥‥、１４ａ、１４ａ、１４ａ‥‥、１５ａ、１５ａ、１５ａ‥‥、１６ａ、１６ａ、１６ａ‥‥は、それぞれノズル開口列３、４、５、６、７、８に対応するように形成された圧力発生室となる通孔で、中央部に配置される圧力発生室となる通孔１３ａ、１３ａ、１３ａ‥‥、１４ａ、１４ａ、１４ａ‥‥は、対称線７０を挟んで対向する側にノズル開口列５、６のノズル開口に連通する通孔１３ｂ、１３ｂ、１３ｂ‥‥、１４ｂ、１４ｂ、１４ｂ‥‥が配置され、他端側に後述するリザーバとなる通孔７１、７２に連通する連通口１３ｃ、１３ｃ、１３ｃ‥‥、１４ｃ、１４ｃ、１４ｃ‥‥が形成されている。
　【００１４】
　１２、１５は、それぞれ対称線７０に対して対称となるように配置された圧力発生室となる通孔列で、これらの通孔列を形成している各通孔１２ａ、１２ａ、１２ａ‥‥、及び１５ａ、１５ａ、１５ａ‥‥は対称線に対して外側向きとなるようにノズル開口に連通する通孔１２ｂ、１２ｂ、１２ｂ‥‥、及び１５ｂ、１５ｂ、１５ｂ‥‥が配置され、また対称線に対向する側には前述のリザーバとなる通孔７１、７２に連通するようにインク供給口の連通口１２ｃ、１２ｃ、１２ｃ‥‥、及び１５ｃ、１５ｃ、１５ｃ‥‥が形成されている。
　【００１５】
　さらに最外端側には対称線７０側にノズル開口列３、８に連通する通孔１１ｂ、１１ｂ、１１ｂ‥‥、及び１６ｂ、１６ｂ、１６ｂ‥‥が配置され、これらは外側にインク供給口となる連通孔１１ｃ、１１ｃ、１１ｃ‥‥、及び１６ｃ、１６ｃ、１６ｃ‥‥を備え、それぞれ独立のリザーバとなる通孔７３、７４に連通している。
　【００１６】
　これらリザーバ７１、７２、７３、７４はそれぞれ流路７１ａ、７２ａ、７３ａ、７４ａにより振動板１８のインク導入口１９に連通しており、対称線７０に対称となるように形成された隔壁７５、７６、７７により分離されていて、各リザーバにインクが均等に流れ込むように構成されている。この結果、流路の急激な拡大が防止されて圧力損失の発生、及び気泡の停滞を防止することができる。また比較的広い空間となるインク導入口１９付近で隔壁７５、７６、７７が一種の構造部材となるので、この領域を補強することができる。
　【００１７】
　図６は、インク導入口１９近傍における隔壁の一実施例を拡大して示すものであって、隔壁７５、７６、７７、７８は、振動板１８に形成されたインク導入口１９を跨いで一体となるように、この実施例では「十」字状に形成されている。この実施例によればインク導入口１９からのインクを各流路により一層均等に分配することが可能となるとともに、インクタンクから侵入した気泡を分散させてノズル開口から効率よく排除することが可能となる。さらに、流路の急激な拡大が防止されて圧力損失の発生、及び気泡の停滞を防止することができるばかりでなく、比較的広い空間となるインク導入口１９を含む領域を隔壁７５、７６、７７により一層確実に補強することができる。
　【００１８】
　図７は、前述のスペーサの製造方法の一実施例を示すもので、ノズル開口列２、２、２‥‥が穿設されたノズルプレ−ト１の圧力発生室側の表面に、圧力発生室の厚みを確保できる程度の厚みを備える１枚もしくは複数枚の露光により硬化する感光性樹脂フィルム８０を溶着する（ｉ）。ついで圧力発生室に一致する通孔１３ａ、１４ａやリザーバに一致する通孔７１、７２の部分を遮光し、また残部に窓８１、８２が形成された露光マスク８３を介して反応光を照射する（ｉｉ）。これにより光照射を受けた領域８５、８６、８６が硬化し、また光照射を受けなかった領域８７が未硬化状態のまま残る。この未硬化領域をエッチングすることにより圧力発生室、及びリザーバ、流路等に対応する部分だけが凹部８８、８８となったスペーサが形成されることになる（ｉｉｉ）。
　【００１９】
　図８は、スペーサを結晶軸（１１０）とする単結晶シリコン基板の異方性エッチングにより製造する工程を示すものであって、両面を研磨して表面に熱酸化膜９０を２２０μｍ程度の厚みで形成されてた結晶方位（１１０）の単結晶シリコン基板９１を用意し（Ｉ）、これの両面、もしくは片面に形成すべきパターンに合わせてフォトリソグラフィにより、通孔を形成すべき領域９２、９２‥‥以外の部分に対応して二酸化シリコンのパターン９３、９３‥‥を形成する（ＩＩ）。
　【００２０】
　ついで、これら二酸化シリコン膜のパターン９３、９３‥‥をマスクとして、摂氏７０°Ｃの水酸化カリウム溶液（３０ｗｔ％）により、貫通孔となるまでエッチングを行う（ＩＩＩ）。これにより実質的にエッチングが厚み方向にだけ進行し、結晶軸（１１１）を壁面とする空洞９４、９４、９４‥‥が形成される。その後、不要となった二酸化シリコン膜を除去することにより圧力発生室やリザーバとなる通孔９５、９５、９５‥‥を備えたとスペーサを得ることができる（ＩＶ）。
　【００２１】
　図９は、上述した単結晶シリコン基板の異方性エッチングにより構成したスペーサの一実施例を示すもので、図５に示した実施例と同様に、ノズル開口列３、４、５、６、７、８に対応する圧力発生室となる通孔１１’ａ、１１’ａ、１１’ａ‥‥、１２’ａ、１２’ａ、１２’ａ‥‥、１３’ａ、１３’ａ、１３’ａ‥‥、１４’ａ、１４’ａ、１４’ａ‥‥、１５’ａ、１５’ａ、１５’ａ‥‥、１６’ａ、１６’ａ、１６’ａ‥‥、インク供給口となる通孔１１’ｃ、１１’ｃ、１１’ｃ‥‥、１２’ｃ、１２’ｃ、１２’ｃ‥‥、１３’ｃ、１３’ｃ、１３’ｃ‥‥、１４’ｃ、１４’ｃ、１４’ｃ‥‥、１５’ｃ、１５’ｃ、１５’ｃ‥‥、１６’ｃ、１６’ｃ、１６’ｃ‥‥、リザーバとなる通孔７１’、７２’、７３’、７４’、インク導入口１９とリザーバを結ぶ流路７１’ａ、７２’ａ、７３’ａ、７４’ａを形成する隔壁７６’、７７’が対応するように形成されている。
　そしてこの実施例においてもやはり流路を構成する隔壁７５’、７６’、７７’は、流路の急激な拡大の防止と、一種の構造部材として機能することになる。
　【００２２】
　ただシリコン単結晶基板の異方性エッチングを利用する関係上、図９（Ｂ）に示したようにインク供給用の連通孔となる通孔１６ｃは、圧力発生室となる通孔１６ａの一方の側に偏して形成される点で若干相違する。
　【００２３】
　図１０は、上述のように形成された各部材を使用して構成されたインクジェット式記録ヘッドを、第３、及び第４ノズル開口列５、６の近傍の断面構造を拡大して示すものであって、スペーサ部材１０を挟んで振動板１８、及びノズルプレート１を積層し、これら３者を気密状態を維持するように接着剤や共晶接合等により一体に固定されている。
　そして、振動板１８の圧力発生室に対向している領域には、圧電振動子ユニットの圧電振動子３０、３０‥‥の自由端を当接させて配置されている。
　【００２４】
　このように構成されたインクジェット式記録ヘッドは、スペーサ１０の通孔７１、７２によりリザーバが、また通孔１３ａ、１４ａにより圧力発生室が形成されることになる。
　この状態で圧電振動子３０、３０により振動板１８が押圧されると、圧力発生室の容積が縮小してリザーバから供給されているインクがインク滴となってノズル開口５、６がインク滴として吐出する。
　インク滴の吐出後、圧電振動子３０、３０が収縮すると、圧力発生室が膨張して、リザーバのインクが、インク滴を発生した圧力発生室に流れ込む。
　【００２５】
　このように構成された、つまり６列のノズル開口列を同一ノズルプレートに形成する場合に、中央に位置する第３列、及び第４列の圧力発生室を、そのノズル開口列５、６に連通する側１３ｂ、１４ｂを対向させ、またこれら圧力発生室の外側に配列される第２列、及び第５列のノズル開口列４、７に連通する圧力発生室を、そのノズル開口に連通する側１２ｂ、１５ｂを外側に向けて配列し、さらに第１列、及び第６列のノズル開口列３、８に連通する圧力発生室のノズル開口側を１１ｂ、１６ｂを直近に位置するノズル開口列４、７側に向けて配列し、これら通孔列１１、１６にはそれぞれ独立のリザーバとなる通孔７３、７４を連通させることにより、ノズル開口列間の距離Ｌ１を小さくすることができる。
　【００２６】
　すなわち、図５（Ｂ）に示したように中央部にリザーバ１００を形成し、これに連通するように第３列、及び第４列の圧力発生室となる通孔１０１、１０１‥‥、及び１０２、１０２‥‥を形成し、これの外側に第２列、及び第５列の圧力発生室となる通孔１０３、及び１０４を、そのノズル開口に連通する側を、内側に向けて配列し、これの外側にリザーバとなる通孔１０５、１０６を設け、これに連通するように圧力発生室となる通孔１０７、及び１０８を配列したものに比べて、ノズル開口列の距離をＬ’１−Ｌ１＝ΔＬ１だけ小さくすることが可能となり、キャリッジへの記録ヘッドの取付誤差、特に主走査方向に対する傾きθに起因するドットの位置ずれＬ×Ｃｏｓθを可及的に小さくして印字品質の向上を図ることができる。
　【００２７】
　図１１は、ノズル開口列数２Ｍ＝４の場合の構成をスペーサの構造でもって示すものであって、図中符号９０〜９３は、圧力発生室列を形成する第１乃至第４の通孔列で、第１、第２の通孔列９０、９１は、ノズル開口に連通する側９０ａ、９１ａが対向し、また第３、第４の通孔列９２、９３のノズル開口に連通する側９２ａ、９３ａが対向していて、最外端と対称線７０上に合計３つのリザーバ９４、９５、９６が形成されていて最外端のものには通孔列９０、９３だけが、またリザーバ９６には通孔列９１、９２が共通に連通するように構成されている。また、インク導入口１９と各リザーバ９４、９５、９６は、対称線７０に対して対称な隔壁９７、９８により分離されて接続されている。
　【００２８】
　このような圧力発生室の配置構造を採ることにより、２つのリザーバ１１０、１１１を設け、これらに２列ずつの圧力発生室用通孔１１２、１１３、及び１１４、１１５を連通させる場合（図１１（Ｂ））に比較してΔＬ２＝Ｌ’２−Ｌ２だけ最外端ンのノズル開口列間の距離が小さくなる。このように構成されたインクジェット記録ヘッドは、最外端のノズル開口列を外側に向けて配置する場合に比較してノズル開口列間の距離が小さくなるため、主走査方向と記録ヘッドの基準線との間に傾きが生じてもΔＬ×ｃｏｓθ分だけドットのずれが小さくなって、印字品質の低下を防止することができる。
　【００２９】
　また、前述したのと同様にインク導入口１９からのインクを各流路により一層均等に分配することが可能となるとともに、インクタンクから侵入した気泡を分散させてノズル開口から効率よく排除することが可能となり、さらに、流路の急激な拡大を防止して圧力損失の発生、及び気泡の停滞を防止することができるばかりでなく、比較的広い空間となるインク導入口１９を含む領域を隔壁９７、９８により補強することができる。
　特に、ノズル開口列が４列というように少なくなった場合には、隔壁の数も少なくなる関係上、同図（Ｂ）のような配列を採るよりも、同図（Ａ）の配列構造を採ると隔壁の数が多くなり、かつインク導入口１９から放射状に延びるため、インク導入口１９近傍を一層確実に補強することができる。
　【００３０】
　なお、上述の実施例においては、ノズル開口列が４列、及び６列の場合について説明したが、８列、１０列、１２列‥‥の場合においても同様に構成することができる。
　すなわち、ノズル開口列が８列の場合には、前述の第二実施例で示したようにリザーバを対称線と一致するように配置し、また１０列の場合には対称線と対称になるようにリザーバを配置し、それぞれの場合においても最外端のリザーバには単一列の圧力発生室が連通するように配置することによりノズル開口列間の距離を小さくすることができる。
　【００３１】
　【発明の効果】
　以上、説明したように本発明によれば、インク導入口のサイズを大きくしてもその近傍の強度の低下を来すことがなく、各リザーバにインクを均等に供給することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例を示す分解組立図である。
　【図２】
　ノズル開口列の配置状態を示す図である。
　【図３】
　同上装置に使用する圧電振動子ユニットの一実施例を示す斜視図である。
　【図４】
　圧電振動子ユニットを構成している圧電振動子の断面構造を示す図である。
　【図５】
　図（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ同上装置に使用するスペーサの一実施例を示す図、及び他の形態で構成した場合の例を示す図である。
　【図６】
　同上スペーサのインク導入口近傍の構造の一実施例を拡大して示す図である。
　【図７】
　図（Ｉ）乃至（ＩＩＩ）は、それぞれスペーサの製造方法の一実施例を示す図である。
　【図８】
　図（Ｉ）乃至（ＩＶ）は、それぞれシリコン単結晶基板を使用してスペーサを構成する場合の製造方法の一実施例を示す図である。
　【図９】
　同図（Ａ）（Ｂ）は、それぞれシリコン単結晶基板により構成したスペーサの一実施例、及び圧力発生室となる通孔を拡大して示す図である。
　【図１０】
　同上スペーサを用いたインクジェット式記録ヘッドの一実施例を圧力発生室近傍を拡大して示す断面図である。
　【図１１】
　同図（Ａ）（Ｂ）は、それぞれノズル開口列を４列とした場合の圧力発生室、リザーバの最適な配置形態と、従来の配置形態とをスペーサの構造で示す図である。
　【符号の説明】
　１　ノズル開口
　３〜８　ノズル開口列
　１０　スペーサ
　１１〜１６　圧力発生室を形成する通孔列
　１１ａ〜１６ａ　圧力発生室形成用通孔
　１１ｂ〜１６ａ　ノズル開口連通側
　１１ｃ〜１６ｃ　リザーバ連通側
　１８　振動板
　１９　インク導入口
　２１〜２６　圧電振動子ユニット
　３０　圧電振動子
　３１　基板
　７１〜７４　リザーバ用通孔
　７５〜７７　隔壁