【事件の表示】
　特許第３２８１８１５号「真空処理装置及び真空処理方法」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２８１８１５号の請求項１ないし５に係る特許を取り消す。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第３２８１８１５号については、平成８年９月１１日に出願され、同１４年２月２２日にその特許権の設定登録がなされ、その後、特許異議申立人藤野研治より、全請求項である請求項１〜５に対して、特許異議の申立てがなされた。これに対し、当審より同１５年３月５日付で取消しの理由を通知したところ、その指定期間内である同１５年５月１２日に特許権者より特許異議意見書及び訂正明細書を添付した訂正請求書が提出された。
第２　訂正の適否についての判断
１　訂正事項
（１）訂正事項ａ
　本件登録時の明細書（以下「登録明細書」という。）の特許請求の範囲に記載の
　「【請求項１】プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室と接続して前記プロセス処理装置にウエハを搬送する搬送処理装置からなり、前記プロセス処理装置を用いて前記ウエハに真空処理を施す真空処理装置において、
　前記搬送処理装置は、前記複数のプロセス処理装置間におけるウエハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段と、
　前記各プロセス処理装置が運転可状態または不可状態であることを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段と、
　前記運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段と、
　前記プロセス処理装置の運転を制御する装置制御手段を備え、
　該装置制御手段は、前記処理順序情報信号と運転開始直後に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を開始する手段、及び運転開始後に新たに異常が発生したときには前記処理順序情報信号と前記新たに異常が発生した後で運転再開前に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を再開する手段を備えたことを特徴とする真空処理装置。
　　【請求項２】　請求項１の記載において、
　前記運転情報信号として、プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いることを特徴とする真空処理装置。
　　【請求項３】　請求項１の記載において、
　前記運転情報信号として、プロセス処理装置の使用の有効／無効を設定する運転切り替え信号を用いることを特徴とする真空処理装置。
　　【請求項４】請求項１の記載において、
　前記運転情報信号として、プロセス処理装置の使用の有効／無効を示す運転制御信号を用いることを特徴とする真空処理装置。
　　【請求項５】プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室と接続して前記プロセス処理装置にウエハを搬送する搬送処理装置からなり、前記プロセス処理装置を用いて前記ウエハに真空処理を施す真空処理方法において、
　前記搬送処理装置は、前記複数のプロセス処理装置間におけるウエハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段と、
　前記各プロセス処理装置が運転可状態または不可状態であることを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段と、
　前記運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段と、
　前記プロセス処理装置の運転を制御する装置制御手段を備え、
　該装置制御手段は、前記処理順序情報信号と運転開始直後に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を開始する工程と、運転開始後に新たに異常が発生したときには前記処理順序情報信号と前記新たに異常が発生した後で運転再開前に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を再開する工程とを有することを特徴とする真空処理方法。」
を、
　「【請求項１】プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室と接続して前記
各
１つの
　前記搬送処理装置は、前記複数のプロセス処理装置間におけるウエハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段と、
　前記各プロセス処理装置が運転可状態または不可状態であることを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段と、
　前記運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段と、
　前記プロセス処理装置の運転を制御する装置制御手段を備え、
　該装置制御手段は、前記処理順序情報信号と運転開始直後に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を開始する手段、及び運転開始後に新たに異常が発生したときには前記処理順序情報信号と前記新たに異常が発生した後で運転再開前に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を再開する手段を備えたことを特徴とする真空処理装置。
　　【請求項２】　請求項１の記載において、
　前記運転情報信号として、プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いることを特徴とする真空処理装置。
　　【請求項３】　請求項１の記載において、
　前記運転情報信号として、プロセス処理装置の使用の有効／無効を設定する運転切り替え信号を用いることを特徴とする真空処理装置。
　　【請求項４】請求項１の記載において、
　前記運転情報信号として、プロセス処理装置の使用の有効／無効を示す運転制御信号を用いることを特徴とする真空処理装置。
　　【請求項５】プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室と接続して前記
各
１つの
　前記搬送処理装置は、前記複数のプロセス処理装置間におけるウエハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段と、
　前記各プロセス処理装置が運転可状態または不可状態であることを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段と、
　前記運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段と、
　前記プロセス処理装置の運転を制御する装置制御手段を備え、
　該装置制御手段は、前記処理順序情報信号と運転開始直後に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を開始する工程と、運転開始後に新たに異常が発生したときには前記処理順序情報信号と前記新たに異常が発生した後で運転再開前に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を再開する工程とを有することを特徴とする真空処理方法。」と訂正する。
　（訂正箇所は、アンダーライン部分である。）
（２）訂正事項ｂ
　登録明細書段落【０００４】の記載を次の通り訂正する。
「【０００４】
【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、本発明は、プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室と接続して前記
各
１つの
２　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（１）訂正事項ａ
　訂正事項ａについては、「前記
各
１つの
　そして、この訂正は、登録明細書の段落【０００５】の「図１において、１はウエハの搬送を行う搬送処理装置、２−１〜２−４はプロセス処理を行うプロセス処理装置、・・・・・５は搬送処理装置に設置されたウエハの搬送を行う真空ロボット、・・・・・を示す。本装置の運転にあたっては、オペレータは、カセット７−１(又は７−２)を大気搬送装置６に設置する。その後・・・・・、ウエハの搬送が開始しプロセス処理装置２−１（２−２〜２−４）に搬送され、プロセス処理を行って元のカセットに戻される。」の記載、及び図１による１つの搬送処理装置の記載に基づいている。
　したがって、この訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とし、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（２）訂正事項ｂ            
　訂正事項ｂについては、上記訂正事項ａの特許請求の範囲の訂正に伴い、明細書の発明の詳細な説明における記載を整合させるものであり、この訂正は、明りようでない記載の釈明を目的とするものである。
　そして、この訂正は、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
３　むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項、及び同第３項で準用する同法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
第３　特許異議の申立てについての判断
１　特許異議申立ての理由及び取消しの理由の概要
　取消しの理由は、特許異議申立人藤野研治の提出した特許異議申立書のとおりというものであり、具体的には次の理由その１〜理由その３による。
（１）理由その１
　特許異議申立人藤野研治は、異議申立の証拠として次の甲第１号証を提出している。     
　甲第１号証　　　特願平７−３４４４１６号（特開平９−１５９９８１号公報参照）の願書に最初に添付した明細書及び図面（以下先願１の「先願明細書１」という。）
　先願明細書１の記載事項は、特許異議申立書第１６頁第１９行〜第１８頁第１４行に記載されているとおりである。
　そして、本件特許の請求項１〜５に係る発明は、上記特許異議申立書第２２頁第１行〜第２８頁第２７行に記載された理由により、甲第１号証の先願明細書１に記載された発明と同一であり、しかも、本件特許の請求項１〜５に係る発明の発明者が、上記先願明細書１に記載された発明の発明者と同一であるとも、また、本件特許の出願時に、その出願人が上記先願１の他の出願の出願人と同一であるとも認められないので、本件特許の請求項１〜５に係る発明は、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないものである。
（２）理由その２
　特許異議申立人藤野研治は、異議申立の証拠として次の甲第２号証を提出している。     
　甲第２号証　　　特願平７−２２２６２３号（特開平９−５０９４８号公報参照）の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下先願２の「先願明細書２」という。）
　先願明細書２の記載事項は、特許異議申立書第１８頁第１５行〜第１９頁第５行に記載されているとおりである。
　そして、本件特許の請求項１〜５に係る発明は、上記特許異議申立書第２９頁第１行〜第３５頁第１９行に記載された理由により、甲第２号証の先願明細書２に記載された発明と同一であり、しかも、本件特許の請求項１〜５に係る発明の発明者が、上記先願明細書２に記載された発明の発明者と同一であるとも、また、本件特許の出願時に、その出願人が上記先願２の他の出願の出願人と同一であるとも認められないので、本件特許の請求項１〜５に係る発明は、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないものである。
（３）理由その３
　特許異議申立人藤野研治は、異議申立の証拠として次の甲第３号証〜甲第５号証を提出している。     
　甲第３号証　　　特開平３−２５７９４５号公報　
　甲第４号証　　　特開平５−７４７３９号公報
　甲第５号証　　　特開平８−１８１１８４号公報
　上記甲第３号証の記載事項は、特許異議申立書第１９頁第７〜１８行に、甲第４号証の記載事項は、同第１９頁第１９行〜第２０頁第２６行に、甲第５号証の記載事項は、同第２１頁第１〜２６行に、それぞれ記載されているとおりである。
　そして、本件特許の請求項１〜５に係る発明は、上記特許異議申立書第３５頁第２０行〜第４１頁第８行に記載された理由により、甲第３号証〜甲第５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められ、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
２　本件特許発明
　上記のように本件特許については訂正が認められており、本件特許の請求項１乃至請求項５に係る発明（以下それぞれ「本件発明１」乃至「本件発明５」という。）は、上記第２の１（１）に記載された、訂正後の請求項１乃至請求項５に記載されたとおりのものと認める。
３　取消しの理由その２（特許法第２９条の２の規定違反）についての検討
（１）　先願明細書２の記載事項
　先願明細書２の記載事項は、次のとおりのものである。
ア　「【請求項１】　処理対象の基板を複数枚収容する搬入モジュールと、前記基板に所定の処理を施すプロセスモジュールと、処理がなされた基板を収容する搬出モジュールとを、基板を各モジュール間で搬送するトランスポートモジュールを介して連接した半導体製造装置において、
　前記プロセスモジュールを複数設けるとともに、トランスポートモジュールで搬入モジュールからの基板を各プロセスモジュールに分散させて搬送し、各複数のプロセス系で基板を分散処理させ、
　各モジュールを統括して制御する統合制御コントローラが、いずれかのプロセス系で発生した障害を検知し、各モジュールを制御して当該障害の発生した系を除く残余のプロセス系で基板処理を続行させることを特徴とする半導体製造装置の障害対処システム。」（特許請求の範囲、請求項１）
イ　「【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明は、複数のプロセスモジュールによって複数のプロセス系を構成し、処理対象の基板を各プロセス系で分散処理する半導体製造装置に関し、特に、いずれかのプロセス系に障害が発生した場合に統合制御コントローラにより残余のプロセス系で基板処理を続行させる障害対処システムに関する。」
ウ　「【０００２】
　　【従来の技術】
　シリコンウエハ等といった処理対象の基板に、エッチング、アッシング、成膜等といったプロセス処理を施す半導体製造装置には、基板を搬入や搬出のために収容するモジュール、基板を搬送するモジュール、基板に所定の処理を施すモジュールをゲートバルブを介して連接し、上記の処理並びに基板の搬送を自動的に連続して行うものが知られている。」
エ　「【０００３】
　図１には、このような半導体製造装置の一例として枚葉式クラスタ型半導体製造装置の構成例を示してある。この半導体製造装置は、４つのプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４と、２つのカセットモジュールＣＭ１及びＣＭ２と、トランスポートモジュールＴＭと、を備えており、トランスポートモジュールＴＭにプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４及びカセットモジュールＣＭ１、ＣＭ２をそれぞれゲートバルブ（図示せず）を介して気密に接続して構成されている。
　　　【０００４】
　プロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４はそれぞれ処理対象のウエハに所定の処理を施すモジュールであり、この例では、これらプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４を２つの系に分割してウエハを分散処理している。すなわち、プロセスモジュールＰＭ１とＰＭ４と、そして、プロセスモジュールＰＭ２とＰＭ３とは同一のウエハ処理を実行し、プロセスモジュールＰＭ１とＰＭ２とから成るプロセス系と、プロセスモジュールＰＭ４とＰＭ３とから成るプロセス系とによって、ウエハに一連の処理を施すようになっている。
　　　【０００５】
　また、カセットモジュールＣＭ１とＣＭ２は複数（例えば、１０枚）のウエハを収容するモジュールであり、この例では、カセットモジュールＣＭ１は未処理のウエハを収容する搬入モジュール（ロードモジュール）に設定され、カセットモジュールＣＭ２はプロセス系で処理されたウエハを収容する搬出モジュール（アンロードモジュール）に設定されている。また、トランスポートモジュールＴＭはウエハを搬送するためのロボットアームＲを収容しており、カセットモジュールＣＭ１とプロセスモジュールＰＭ１及びＰＭ４の間、プロセスモジュールＰＭ１とＰＭ２並びにＰＭ４とＰＭ３との間、及び、プロセスモジュールＰＭ２及びＰＭ３とカセットモジュールＣＭ２との間でウエハを搬送する。なお、このウエハ搬送に際して、各モジュール間の通口を閉止しているゲートバルブが開閉操作される。」
オ　「【０００６】
　プロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４、カセットモジュールＣＭ１及びＣＭ２、トランスポートモジュールＴＭによる動作は、それぞれのモジュールに付設されたコントローラＰＣ１〜ＰＣ４、ＣＣ１、ＣＣ２、ＴＣによって直接的に制御される。そして、図２に示すように、これらコントローラＰＣ１〜ＰＣ４、ＣＣ１、ＣＣ２、ＴＣは、ＬＡＮ等のネットワークＮを介して統合制御コントローラＧＣに接続されており、各コントローラＰＣ１〜ＰＣ４、ＣＣ１、ＣＣ２、ＴＣによる各モジュールＰＭ１〜ＰＭ４、ＣＭ１、ＣＭ２、ＴＭの制御を統合制御コントローラＧＣが統括して制御する。
　　　【０００７】
　統合制御コントローラＧＣには図３に示すような内容のウエハ搬送テーブルＴが設けられており、統合制御コントローラＧＣがテーブルＴの内容に従って制御を行うことにより、ウエハが２つのプロセス系ＰＭ１及びＰＭ２とＰＭ４及びＰＭ３へ分散して搬送され、それぞれの系でプロセス処理が実施される。図３に示す例では、カセットモジュールＣＭ１に収容されているウエハを奇数枚目と偶数枚目とに分けて、奇数枚目のウエハは各モジュールＣＭ１、ＰＭ１、ＰＭ２、ＣＭ２から成る経路で、偶数枚目のウエハは各モジュールＣＭ１、ＰＭ４、ＰＭ３、ＣＭ２から成る経路で分散して処理する。
　　　【０００８】
　すなわち、図４に示すように、１枚目のウエハはカセットモジュールＣＭ１からプロセスモジュールＰＭ１へ搬送されて処理がなされ、更にプロセスモジュールＰＭ２へ搬送されて処理がなされた後に、カセットモジュールＣＭ２へ搬送される。また、２枚目のウエハは、１台のロボットアームＲで搬送処理を行うために１枚目と若干の待ち時間をもって、カセットモジュールＣＭ１からプロセスモジュールＰＭ４へ搬送されて処理がなされ、更にプロセスモジュールＰＭ３へ搬送されて処理がなされた後に、カセットモジュールＣＭ２へ搬送される。なお、３枚目及び４枚目以降のウエハについては、先のウエハについての処理が終了した後に同様に処理される。」
カ　「【００１３】
　　【実施例】
　本発明の一実施例に係る半導体製造装置の障害対処システムを図面を参照して説明する。なお、本実施例は図１及び図２に示した半導体製造装置に本発明を適用したものであり、既に説明した部分には同一符号を付して重複する説明は省略する。プロセスモジュールＰＭ１とＰＭ２とから成るプロセス系と、プロセスモジュールＰＭ４とＰＭ３とから成るプロセス系とのいずれにも障害がなく正常に稼働している状態では、本実施例においても、統合制御コントローラＧＣが図３に示したテーブル内容に従って各コントローラＰＣ１〜ＰＣ４、ＣＣ１、ＣＣ２、ＴＣを統括して制御し、図４に示したようにウエハを奇数枚目と偶数枚目に分けてそれぞれのプロセス系で分散処理させる。
　　　【００１４】
　本実施例の統合制御コントローラＧＣは、各プロセスモジュールコントローラＰＣ１〜ＰＣ４からのエラー信号を受けて、各プロセスモジュールコントローラＰＣ１〜ＰＣ４及び各プロセスモジュールＰＣ１〜ＰＣ４（当審注：「ＰＭ１〜ＰＭ４」の誤記）での障害発生を検知する手段を有しており、システム稼働中はこの障害発生検知を常時行っている。また、本実施例の統合制御コントローラＧＣは、ウエハ搬送テーブルＴの内容を書き換える手段を有しており、障害発生を検知したときには、この書換手段によってテーブルＴの内容を書き換え、障害が発生したプロセス系で処理する予定のウエハを残余の正常なプロセス系へ振り替えて処理を続行する縮退運用を実施する。なお、本実施例では、統合制御コントローラＧＣの操作パネルを操作して、作業者が縮退運用を実施するか否かを選択指示することができ、当該指示がなされている場合にのみ、統合制御コントローラＧＣが縮退運用を実施する。」
キ　「【００１５】
　次に、各プロセス系を成すプロセスモジュールコントローラＰＣ１〜ＰＣ４及びプロセスモジュールＰＣ１〜ＰＣ４（当審注：「ＰＭ１〜ＰＭ４」の誤記）で障害が発生した場合における、本実施例のシステムの動作を図５〜図７を参照して説明する。まず、システムが起動されると統合制御コントローラＧＣが各プロセスモジュールコントローラＰＣ１〜ＰＣ４からのエラー信号の監視を開始し（ステップＳＳ１）、プロセスモジュールコントローラＰＣ１〜ＰＣ４或いはプロセスモジュールＰＣ１〜ＰＣ４（当審注：「ＰＭ１〜ＰＭ４」の誤記）のいずれかで障害が発生して、統合制御コントローラＧＣが当該障害に係るプロセスモジュールコントローラＰＣ１〜ＰＣ４からのエラー信号を受信すると、縮退運用を実施する指示がなされていか否かを判断する（ステップＳ２）。
　　　【００１６】
　この結果、縮退運用の実施が指示されていない場合には、従来と同様に全てのプロセス系の処理を中断させる（ステップＳ３）。なお、本実施例では、統合制御コントローラＧＣの操作パネルを操作して、縮退運用をすることなく、正常なプロセス系のみをそのまま稼動させるように選択指示することもでき、この指示がなされている場合には、正常なプロセス系は図３に示した内容のままのテーブエルＴに従って自己が処理すべきウエハのみの処理を続行する（ステップＳ３）。一方、上記の判断の結果、縮退運用実施の指示がなされている場合には、エラー信号及び図３のテーブル内容に基づいて、障害が発生したプロセス系が奇数枚目のウエハを処理する系であるかを統合制御コントローラＧＣが判断する（ステップＳ４）。」
ク　「【００１７】
　この結果、奇数枚目のウエハを処理する系（すなわち、ＰＭ１及びＰＭ２の系）で障害が発生している場合にはウエハ搬送テーブルＴの奇数枚目のウエハに関するスケジュールを書き換える一方（ステップＳ５）、偶数枚目のウエハを処理する系（すなわち、ＰＭ４及びＰＭ３の系）で障害が発生している場合にはウエハ搬送テーブルＴの偶数枚目のウエハに関するスケジュールを書き換える（ステップＳ６）。
　　　【００１８】
　この書き換え処理は統合制御コントローラＧＣの書換手段でなされ、例えば、図３中及び図５図中に×印で示すように、１枚目（奇数枚目）のウエハのプロセス処理中に障害が発生した場合には、図６に＊印で示すように、ウエハ搬送テーブルＴの当該ウエハ以降の奇数枚目に係るスケジュールが書き換えられる。すなわち、３枚目、５枚目、７枚目、９枚目のウエハは、正常な処理においてはプロセスモジュールＰＭ１及びＰＭ２から成るプロセス系で処理されるようにスケジュールされているが（図３参照）、このプロセス系に障害が発生したことにより、プロセスモジュールＰＭ４及びＰＭ３から成る正常なプロセス系で処理されるように書き換えられる。
　　　【００１９】
　このようにテーブルＴの書き換えがなされた後、このテーブルＴの内容に従って統合制御コントローラＧＣが制御を行う（ステップＳ７）。この結果、図５に示すように、プロセスモジュールＰＭ４及びＰＭ３から成る正常なプロセス系において、後続する（３枚目以降の）ウエハが処理される。したがって、障害が生じたプロセス系で処理する予定のウエハについても処理が続行され、ウエハに薄膜形成等の所定の処理が施される。
　　　【００２０】
　なお、この縮退運用による処理においては、プロセス系が減少することによってウエハ搬送の重複が減少することから、統合制御コントローラＧＣは図５に示すように３枚目以降のウエハについての待ち時間を調整し、２経路で処理していたものを１経路で処理するように制御を行う。このため、プロセス系に障害が生じても装置を停止することなく、全てのウエハを処理することができる。」
ケ　「【００２１】
　なお、上記の実施例では、統合制御コントローラＧＣはコントローラＰＣ１〜ＰＣ４からのエラー信号で障害発生を検知するようにしたが、各コントローラＰＣ１〜ＰＣ４や各プロセスモジュールＰＣ１〜ＰＣ４（当審注：「ＰＭ１〜ＰＭ４」の誤記）を直接監視して、障害発生を検知するようにしてもよい。また、上記実施例の半導体製造装置では、搬入用と搬出用のカセットモジュールＣＭ１、ＣＭ２をそれぞれ設けたが、１つのカセットモジュールで搬入と搬出とを兼用させることも可能である。
　　　【００２２】
　また、本発明においては、半導体製造装置のプロセス系は２つ以上あればよく、また、各プロセス系は１つ以上のプロセスモジュールで構成されていればよい。また、本発明はクラスタ型以外の半導体製造装置にも適用することが可能であり、要は、２つ以上のプロセス系で処理対象の基板を分散処理する半導体製造装置であれば本発明を適用することができる。」
コ　「【００２３】
　　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明に係る障害対処システムによれば、基板を複数のプロセス系で分散して処理する半導体製造装置において、いずれかのプロセス系で障害が発生した場合に、統合制御コントローラが障害が発生したプロセス系で処理する予定の基板を残余の正常なプロセス系へ振り替えて処理を続行させるようにしたため、最小限の遅延によって、処理予定の基板の所定の処理を施すことができ、従来に比して半導体製造の効率を高めることができる。」
　ここで、上記記載事項のア〜コのうち、統合制御コントローラＧＣに関する記載を参照すると、段落【００２１】には、「なお、上記の実施例では、統合制御コントローラＧＣはコントローラＰＣ１〜ＰＣ４からのエラー信号で障害発生を検知するようにしたが、各コントローラＰＣ１〜ＰＣ４や各プロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４を直接監視して、障害発生を検知するようにしてもよい。」と記載されていることより、統合制御コントローラＧＣは、各プロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４が運転可状態または運転不可状態である信号を発生する手段、およびその運転情報信号を記憶する手段、を備えているものと認められる。
　そして、統合制御コントローラＧＣは、複数のプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４間におけるウエハの処理順序を記憶するウエハ搬送テーブルＴ、が設けられており、段落【００１４】には、「障害発生を検知したときには、この書換手段によってテーブルＴの内容を書き換え、障害が発生したプロセス系で処理する予定のウエハを残余の正常なプロセス系へ振り替えて処理を続行する縮退運用を実施する。」と記載されていることより、処理順序信号と運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４を除くプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４を用いて運転を制御する手段、を備えているものと認められる。
　さらに、段落【００１４】には、統合制御コントローラＧＣは、「システム稼働中はこの障害発生検知を常時行っている。」と、段落【００１５】には、「システムが起動されると統合制御コントローラＧＣが・・・・・エラー信号の監視を開始し（ステップＳＳ１）」と記載されていることより、上記運転を制御する手段は、運転開始直後に取得した運転情報信号により運転を開始し、運転開始後に新たに異常が発生したときには、新たに異常が発生した後で運転再開前に取得した運転情報信号により運転を再開するものと認められる。
　したがって、先願明細書２には、次の発明が記載されていると認める。
　プロセス処理を行う複数のプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４、搬入用カセットモジュールＣＭ１及び搬出用カセットモジュールＣＭ２、並びに前記複数のプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４、搬入用カセットモジュールＣＭ１及び搬出用カセットモジュールＣＭ２と接続して前記各プロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４にウエハを搬送する１つのトランスポートモジュールＴＭからなり、前記プロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４を用いて前記ウエハにエッチング等のプロセス処理を施す半導体製造装置において、
　統合制御コントローラＧＣは、前記複数のプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４間におけるウエハの処理順序を記憶するウエハ搬送テーブルＴと、
　前記各プロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４が運転可状態又は運転不可状態であることを示す運転情報信号を発生する手段と、
　前記運転情報信号を記憶する手段と、
　前記プロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４の運転を制御する手段を備え、
　前記運転を制御する手段は、前記処理順序情報信号と運転開始直後に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４を除くプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４を用いて運転を開始する手段、及び運転開始後に新たに異常が発生したときには前記処理順序情報信号と前記新たに異常が発生した後で運転再開前に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４を除くプロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４を用いて運転を再開する手段を備えた半導体製造装置。
（２）　対比・検討
　本件発明１（前者）と先願明細書２記載の発明（後者）を対比すると、後者の、「プロセスモジュールＰＭ１〜ＰＭ４」、「搬入用カセットモジュールＣＭ１」、「搬出用カセットモジュールＣＭ２」、「トランスポートモジュールＴＭ」、「ウエハにエッチング等のプロセス処理を施す半導体製造装置」、「ウエハ搬送テーブルＴ」、「運転情報信号を発生する手段」、「運転情報信号を記憶する手段」、「運転を制御する手段」が、それぞれ前者の、「プロセス処理装置」、「ロードロック室」、「アンロードロック室」、「搬送処理装置」、「真空処理装置」、「処理順序情報記憶手段」、「運転情報信号発生手段」、「運転情報信号記憶手段」、「装置制御手段」、に相当しており、両者は、次の構成で一致している。
　プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室と接続して前記各プロセス処理装置にウエハを搬送する１つの搬送処理装置からなり、前記プロセス処理装置を用いて前記ウエハに真空処理を施す真空処理装置において、
　前記複数のプロセス処理装置間におけるウエハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段と、
　前記各プロセス処理装置が運転可状態または不可状態であることを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段と、
　前記運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段と、
　前記プロセス処理装置の運転を制御する装置制御手段を備え、
　該装置制御手段は、前記処理順序情報信号と運転開始直後に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を開始する手段、及び運転開始後に新たに異常が発生したときには前記処理順序情報信号と前記新たに異常が発生した後で運転再開前に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を再開する手段を備えた真空処理装置。
　しかし、両者は、次の点で一応その構成が相違している。
　前者は、「搬送処理装置」が、「処理順序情報記憶手段」、「運転情報信号発生手段」、「運転情報信号記憶手段」、「装置制御手段」、の各手段を備えているのに対して、後者は、これらの各手段を統合制御コントローラＧＣが、備えており、また、後者の統合制御コントローラＧＣは、どこに設けられているか明らかでない点。
　上記相違点を検討するに、訂正明細書の【０００６】には、「図２は、本発明の制御構成図を示す。本一実施例では、装置全体の主制御部は、搬送処理装置に搭載している場合を示す。尚、装置全体の主制御部は、搬送処理装置以外にあっても構わない。・・・・・・１９−１〜１９−４は、・・・運転情報信号発生手段である。本一実施例では、プロセス処理装置に設けているが、どこにあっても良い。」と記載されていることより、「処理順序情報記憶手段」、「運転情報信号発生手段」、「運転情報信号記憶手段」、「装置制御手段」の各手段は、主制御部として、「搬送処理装置」に設けられているものと認められる。後者の統合制御コントローラＧＣは、前者の主制御部に相当するものであり、後者の統合制御コントローラＧＣを前者の如く「搬送処理装置」に設けることは、当業者であれば適宜なし得るものであるから、したがって、両者は、同一であるといえる。
　そして、本件発明２については、本件発明２の「運転情報信号として、プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる」点は、当業者であれば適宜なし得る程度のものと認められるので、請求項１を引用する請求項２に係る本件発明２も、本件発明１と同様に後者と同一である。
　本件発明３については、本件発明３の「運転情報信号として、プロセス処理装置の使用の有効／無効を設定する運転切り替え信号を用いる」点は、当業者であれば適宜なし得る程度のものと認められるので、請求項１を引用する請求項３に係る本件発明３も、本件発明１と同様に後者と同一である。
　本件発明４については、本件発明４の「運転情報信号として、プロセス処理装置の使用の有効／無効を示す運転制御信号を用いる」点は、当業者であれば適宜なし得る程度のものと認められるので、請求項１を引用する請求項４に係る本件発明４も、本件発明１と同様に後者と同一である。
　本件発明５については、本件発明５は、真空処理方法の発明であり、本件発明１の真空処理装置の発明とは、そのカテゴリーを異にしているが、単にカテゴリーが異なっているだけで、実質的に本件発明１と同一である。
　したがって、本件発明１乃至本件発明５は、先願の明細書及び図面に記載された発明と同一であり、しかも、本件発明１乃至本件発明５の発明者が先願の発明者と同一であるとも、また、本件発明１乃至本件発明５の出願時に、その出願人が上記先願の出願人と同一であるとも認められないので、本件発明１乃至本件発明５の特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものであり取り消すべきものである。
４　むすび
　以上のとおり、本件の請求項１乃至請求項５に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものであり、取消しの理由その１及びその３について検討するまでもなく取り消すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。　
【異議決定日】
平成１５年７月１７日（２００３．７．１７）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
真空処理装置及び真空処理方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室と接続して前記
各
１つの
　前記搬送処理装置は、前記複数のプロセス処理装置間におけるウエハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段と、
　前記各プロセス処理装置が運転可状態または不可状態であることを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段と、
　前記運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段と、
　前記プロセス処理装置の運転を制御する装置制御手段を備え、
　該装置制御手段は、前記処理順序情報信号と運転開始直後に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を開始する手段、及び運転開始後に新たに異常が発生したときには前記処理順序情報信号と前記新たに異常が発生した後で運転再開前に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を再開する手段を備えたことを特徴とする真空処理装置。
　【請求項２】　請求項１の記載において、
　前記運転情報信号として、プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いることを特徴とする真空処理装置。
　【請求項３】　請求項１の記載において、
　前記運転情報信号として、プロセス処理装置の使用の有効／無効を設定する運転切り替え信号を用いることを特徴とする真空処理装置。
　【請求項４】　請求項１の記載において、
　前記運転情報信号として、プロセス処理装置の使用の有効／無効を示す運転制御信号を用いることを特徴とする真空処理装置。
　【請求項５】　プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室と接続して前記
各
１つの
　前記搬送処理装置は、前記複数のプロセス処理装置間におけるウエハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段と、
　前記各プロセス処理装置が運転可状態または不可状態であることを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段と、
　前記運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段と、
　前記プロセス処理装置の運転を制御する装置制御手段を備え、
　該装置制御手段は、前記処理順序情報信号と運転開始直後に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を開始する工程と、運転開始後に新たに異常が発生したときには前記処理順序情報信号と前記新たに異常が発生した後で運転再開前に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を再開する工程とを有することを特徴とする真空処理方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、ウエハの搬送を行う搬送処理装置で構成され、少なくとも２つ以上のプロセス処理装置を使って処理する真空処理装置及び真空処理方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来の装置は、例えば、特開昭６３ー１３３５３２号公報、特開昭６３ー２５２４３９号公報、特開昭６３ー１２９６４１号公報等のように搬送室に処理室を接続したシステムにおいて、別々のウエハを別々の処理室で同時に処理を実行したり、又はウエハを順次に複数の処理室を経由して処理することのできる真空処理装置及び真空処理方法に関するものであった。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記従来技術は、複数のプロセス処理を施すにつき、ウエハを真空雰囲気の搬送路を介して複数の処理室に搬送し、個々の処理室では、その処理室が持つ固有の処理を施すことにより、大気状態にさらすことなく真空中で複数のプロセス処理をする為の装置構成、搬送方法を考案したものであった。
　ところで、従来技術では複数ある処理室の内、どれかが故障等で使用できなくなった時の処理の続行については、考慮されていなかった。
　又、運転開始時修復する必要のある処理室があるが、正常な処理室のみを使って装置を運転する方法についても考慮されていなかった。
　このように処理室が正常な状態にあるときの運転は、考慮されているが、処理室が異常等で使用できない時の運転については考慮されていないため、例えば同種の処理室が接続されておれば、他方の正常な処理室を使って運転を続行するという装置の運転方法が考慮されておらず、稼働率の低い装置であった。
　本発明の目的は、プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、ウエハの搬送を行う搬送処理装置で構成され、少なくとも２つ以上のプロセス処理装置を使って処理する真空処理装置において、
　１）複数ある処理室の内、どれかが故障等で使用できなくなった場合でも運転が続行でき、又、
　２）修復する必要のあるプロセス処理装置がある場合は、正常な処理室のみを使って運転できるようにすること（以下では、片肺運転と称す）により、装置の稼働率を向上できる真空処理装置を提供することにある。
　【０００４】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、本発明は、プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアンロードロック室と接続して前記
各
１つの
　【０００５】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明の一実施例を図１〜図４により説明する。
図１は、本発明の装置構成図を示す。図１において、１はウエハの搬送を行う搬送処理装置、２−１〜２−４はプロセス処理を行うプロセス処理装置、３はロードロック室、４はアンロードロック室、５は搬送処理装置に設置されたウエハの搬送を行う真空ロボット、６はウエハを収納したカセットを設置するための大気搬送装置、７は処理するウエハを収納したカセット、８は大気搬送装置上のカセット内のウエハをカセットから搬出し、搬送処理装置１に搬入する大気ロボットを示す。
　本装置の運転にあたっては、オペレ−タは、カセット７−１（又は７−２）を大気搬送装置６に設置する。その後本図に図示していない操作盤にある表示手段１３、入力手段１４とを使って運転条件の設定を行った後運転の開始指示を行うことで、ウエハの搬送が開始しプロセス処理装置２−１（２−２〜２−４）に搬送され、プロセス処理を行って元のカセットに戻される。元のカセット内のウエハが全て処理されるとそのカセットの回収の為にこの図に図示していないブザ−を鳴らし、オペレ−タにカセット回収要求を通知し、オペレ−タがカセットを取り除く。
　【０００６】
　尚、運転条件の設定においては、使用するプロセス処理装置の確認を行い、ウエハの処理する順序を設定する。
　図２は、本発明の制御構成図を示す。本一実施例では、装置全体の主制御部は、搬送処理装置に搭載している場合を示す。尚、装置全体の主制御部は、搬送処理装置以外にあっても構わない。図２において、１１は、装置全体を制御する主制御部の構成を示す。本発明の請求範囲に該当する部分のみを記述しており、装置を動かす上での制御部分については、特に記述していない。１６は、処理装置内でのウエハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段であり、例えばＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）である。このウエハの処理順序は、運転開始前に表示手段１３、入力手段１４とを使ってオペレ−タによって入力されたデ−タである。１７は、プロセス処理装置１８−１〜１８−４の運転可／不可であることを示す運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段であり、例えばＲＡＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）である。１３は、運転状態、運転条件の設定内容、運転の開始指示／終了の表示を行う表示手段であり、例えばＣＲＴである。１４は、運転条件の設定、運転の開始指示入力等を行う入力手段であり、例えばキ−ボ−ボである。１５は、上記プロセス処理装置１８−１〜１８−４の運転可／不可であることを示す運転情報信号状態を判断し、自動運転中にプロセス処理装置１８−１〜１８−４のどれかが運転不可となっても該プロセス処理装置を使用せず、他のプロセス処理装置を使って運転続行する処理手順を記憶した装置制御手段であり、例えばＲＯＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）である。１２は、上記１３〜１７を制御する中央制御手段であり、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ　Ｕｎｉｔ）である。１８−１〜１８−４は、ウエハのプロセス処理を行うプロセス処理装置である。この処理装置としては、エッチング、成膜、ＣＶＤ等プロセス処理を行う処理であれば、何であっても良い。１９−１〜１９−４は、プロセス処理装置１８−１〜１８−４の運転可／不可であることを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段である。本一実施例では、プロセス処理装置に設けているが、どこにあっても良い。この運転情報信号を発生する手段として、
　１）プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる
　２）プロセス処理装置の使用の有効／無効を設定する運転切り替え信号（例えば、切り替えスイッチ）を用いる
　３）プロセス処理装置の使用の可／不可を示す運転制御信号として、オペレ−タが設定入力した入力情報を用いる
ことが考えられる。
　【０００７】
　表１は、運転情報信号表である。
　【０００８】
　【表１】
　【０００９】
　表１において、各プロセス処理装置毎割り当てられた情報記憶番地に接続の有効／無効を示す情報が記憶される。この場合では、有効な場合は、１を、無効な場合は、０を示すが区別できる内容であれば、記号や数字であっても良い。この情報は、運転情報信号発生手段１９−１〜１９−４の信号状態が反映されたものであり、運転情報信号記憶手段１７に記憶される。
　表２は、処理順序情報表である。
　【００１０】
　【表２】
　【００１１】
　表２において、運転条件設定の一つとして、オペレ−タが運転開始前に表示手段１３、入力手段１４とを使ってウエハの処理する順序を設定した情報である。この情報は搬送経路（ステップ）順搬送位置の情報が処理順序情報記憶手段１６に記憶される。
　図３は、本発明の装置運転フロ−図を示す。図３において、オペレ−タは運転開始前に真空処理装置として構成されているプロセス処理装置の内、故障等で運転に使用できない、又は保守（プラズマクリ−ニングも含む）の為使用しないプロセス処理装置があるか否かを判断する（３０）。使用できない（又は、使用しない）プロセス処理装置があれば、運転情報信号発生手段１９を用いて表１に記述した状態になるように設定する（３２）。この設定の方法の一つとして、
　１）プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる場合は、該プロセス処理装置の装置電源供給用電磁開閉器をＯＦＦする。これにより、遮断信号が発生し、運転情報信号記憶手段１７に伝えられ、表１に記載された情報として記憶される。
　２）プロセス処理装置の使用の有無を設定する運転切り替え信号（例えば、切り替えスイッチ）を用いる場合は、該プロセス処理装置に割り当てられた切り替えスイッチを有効又は無効の状態に設定する。これにより、切り替え信号が確定し、運転情報信号記憶手段１７に伝えられ、表１に記載された情報として記憶される。
　３）プロセス処理装置の使用の可／不可を示す運転制御信号として、オペレ−タが設定入力した入力情報を用いる場合は、オペレ−タは、該プロセス処理装置に割り当てられた設定情報を入力手段１４より入力する。これにより、設定情報が確定し、運転情報信号記憶手段１７に伝えられ、表１に記載された情報として記憶される。装置接続構成を決定した後、自動運転をスタ−トする（３４）。尚、ウエハの処理する順序を設定する手順は、図３のフロ−の中で行っても良いし、図４の自動運転フロ−の中で行っても良いが、この手順は、本発明の請求範囲でない為，省略している。
　図４は、本発明の自動運転フロ−図を示す。図４において、自動運転を開始すると、処理すべきウエハを全て搬送したかを判断し、搬送済であれば処理が終了し、搬送必要であれば、（４２）に進む（４０）。自動運転中に異常等が発生し、運転が一時中断した状態にあるか否かを判断する（４２）。異常が無ければ、運転を続行する（４４へ）。運転に使用できないプロセス処理装置がある場合は、該プロセス処理装置を使わないで運転続行が可能か否かをオペレ−タが判断する（５４）。続行が不可能な場合は、オペレ−タが自動運転の中止設定を行うことにより、装置は自動運転停止処理を行う（６０）。続行が可能な場合は、使用しないプロセス処理装置に対して図４の（３２）にて示した内容と同じ運転情報信号発生手段の切り替え操作（５６）を行うことにより、異常発生情報がリセットされ（５８）、自動運転が続行する。
　正常な運転状態では、次のウエハの搬送経路を処理順序情報記憶手段１６に記憶されてある情報を読み出し（４４）、運転情報信号記憶手段１７に記憶されてある情報と整合処理し搬送順路を決定する（４６）。決定した搬送順路はカセットより搬出するウエハ毎に搬送順路デ−タを持っても良いし、処理順序情報記憶手段１６とは別の処理順序情報テ−ブルを作成し、ウエハを搬送する際には、このテ−ブルを参照するようにしても良い。搬送順路が決定すると大気ロボット８はカセット７よりウエハを搬出し（４８）、上記決定した搬送順路に登録されてあるプロセス処理装置に搬送し（５０）、ウエハの処理を行う（５２）。このウエハ搬送処理及びプロセス処理で異常が発生した場合は、異常が発生した部分以外で処理続行可能な処理は終了させ、異常発生したことを示す異常発生情報（図示は省略）を記憶させた後、装置を一時中断状態にオペレ−タに中断したことを表示手段１３に表示するとともに図示しないブザ−を鳴らす。この後（４２）に戻り、所定のフロ−で処理する。
　以上に述べた内容でも分かるように故障等で運転に使用できない、又は修復や保守（プラズマクリ−ニングも含む）の為使用しないプロセス処理装置は、運転情報信号記憶手段１７に記憶されており、装置制御手段はこの情報を参照して運転を進める上で、ウエハを使用できないプロセス処理装置に搬送することはない。又この使用しないプロセス処理装置は、修復、保守及び不具合原因を行うために続行しているウエハ処理とは異なる運転（例えば、プラズマクリ−ニング処理、ガスライン排気処理、ウエハプッシャ−の押上げ／押下げ動作）ができることは、いうまでもない。
　よって、本実施例では、以上の内容でもって、片肺運転を実行することができる。
　【００１２】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明によれば、運転途中に或プロセス処理装置が故障等で使用できなくなった場合や、運転開始時点で修復や保守の必要のあるプロセス処理装置がある状態で運転を開始する場合に、装置運転続行の処置を施すことで運転続行が可能となるようにしたことにより、プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、ウエハの搬送を行う搬送処理装置で構成された真空処理装置では、複数ある処理室の内、どれかが故障等で使用できなくなった場合でも運転続行ができ、又運転開始時修復や保守する必要のあるプロセス処理装置がある場合でも、正常なプロセス処理装置を使って運転でき、装置の稼働率を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例を説明する装置構成図である。
　【図２】
　本発明の一実施例を説明する制御構成図である。
　【図３】
　本発明の一実施例を説明する装置運転フロ−図である。
　【図４】
　本発明の一実施例を説明する自動運転フロ−図である。
　【符号の説明】
　１…搬送処理装置、２−１，２，３，４…プロセス処理装置、３…ロ−ドロック室、４…アンロ−ドロック室、５…真空ロボット、６…大気搬送装置、７…カセット、８…大気ロボット、１１…主制御部、１２…中央制御手段、１３…表示手段、１４…入力手段、１５…装置制御手段、１６…処理順序情報記憶手段、１７…運転情報信号記憶手段、１８−１，２，３，４…プロセス処理装置、１９−１，２，３，４…運転情報信号発生手段。