(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光体と、前記透光体を振動させるように前記透光体に連結された圧電素子とを有する振動装置において、前記透光体に付着した液滴を霧化により除去するための振動装置の駆動方法であって、
前記透光体に液滴が付着していない場合の透光体の共振周波数と、前記液滴が付着している場合の透光体の共振周波数との双方の共振周波数を含む周波数範囲で前記圧電素子の振動の周波数を掃引するように、前記圧電素子を振動させるための駆動電圧を、１Ｈｚ以上、５０Ｈｚ以下の掃引速度で掃引する、振動装置の駆動方法。
【請求項２】
前記周波数範囲で掃引する工程が、掃引電圧を上昇させる工程と、掃引電圧を上昇させた工程の後に、掃引電圧を低下させる工程とを有し、前記掃引電圧の上昇及び降下が連続的に行われる、請求項１に記載の振動装置の駆動方法。
【請求項３】
前記周波数範囲の掃引により、
前記透光体に付着している液滴を霧化させるように、前記圧電素子を駆動する第１の工程と、
前記第１の工程時よりも、前記透光体の振動が弱くなるように前記透光体を振動させる、もしくは振動を停止させる、第２の工程と、
前記第２の工程後に、前記透光体に付着している液滴を霧化するための第３の工程とが実施される、請求項１または２に記載の振動装置の駆動方法。
【請求項４】
透光体と、
前記透光体に連結されており、前記透光体を振動させる圧電素子と、
前記圧電素子に電気的に接続されており、前記圧電素子に前記透光体の共振周波数と、液滴が付着している場合の前記透光体の共振周波数を含む周波数範囲で、前記圧電素子の振動の周波数を掃引するように、前記圧電素子を振動させるための駆動電圧を１Ｈｚ以上、５０Ｈｚ以下の速度で掃引する制御回路とを備える、振動装置。
【請求項５】
前記透光体と前記圧電素子とを連結している筒状体をさらに備え、前記圧電素子がリング状の形状を有し、前記筒状体の一端側に前記リング状の圧電素子が固定されており、前記筒状体の他端側に前記透光体が固定されている、請求項４に記載の振動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水滴等液滴除去機能を有する振動装置の駆動方法及び振動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１において、雨滴除去機能付きカメラが開示されている。ここでは、カメラ本体の前方に透光性を有するドーム型カバーが配置されている。ドーム型カバーに円筒体が連結されており、該円筒体に圧電セラミック振動子が固定されている。ドーム型カバーに雨滴等の水滴が付着した場合、圧電振動子により、円筒体及びドーム型カバーを振動させる。それによって、水滴を霧化し、除去する。水滴の除去に際しては、ドーム型カバーの共振周波数付近で振動させることにより、水滴を効果的に除去することができる。【０００３】
特許文献１では、駆動に際し、交流電圧の周波数を最高周波数まで高め、しかるのち、共振周波数付近を、周波数が低くなるように掃引する。この場合、特許文献１では、ノコギリ波形状のパターンＡで掃引する方法と、最高周波数まで周波数を高めたのち、複数の共振周波数付近を、周波数が高い順に周波数が低くなるように掃引するパターンＢとが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１３８７６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の駆動方法において、周波数を掃引する掃引範囲には限界が存在する。下限の周波数においても、振幅の極小点が存在すると、水滴等が残存するおそれがある。そのため、パターンＡでは、ノコギリ波の形状となるように掃引を繰り返し、パターンＢでは、複数の共振点を用いることにより掃引範囲を拡げている。【０００６】
しかしながら、ドーム型カバーを振動させて水滴を除去する工程の途中で、水滴が液膜状に拡がり、カメラの視野を損なうことがあった。【０００７】
本発明の目的は、透光体に付着した液滴の除去に際し、液膜の拡がりによる視野の阻害が生じ難い、振動装置の駆動方法及び振動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、透光体と、前記透光体を振動させるように前記透光体に連結された圧電素子とを有する振動装置において、前記透光体に付着した液滴を霧化により除去するための振動装置の駆動方法であって、前記透光体に液滴が付着していない場合の透光体の共振周波数と、前記液滴が付着している場合の透光体の共振周波数との双方の共振周波数を含む周波数範囲で前記圧電素子の振動の周波数を掃引するように、前記圧電素子を振動させるための駆動電圧を、１Ｈｚ以上、５０Ｈｚ以下の掃引速度で掃引する。【０００９】
本発明に係る振動装置の駆動方法のある特定の局面では、前記周波数範囲で掃引する工程が、掃引電圧を上昇させる工程と、掃引電圧を上昇させた工程の後に、掃引電圧を低下させる工程とを有し、前記掃引電圧の上昇及び降下が連続的に行われる。【００１０】
本発明に係る振動装置の駆動方法の他の特定の局面では、前記周波数範囲の掃引により、前記透光体に付着している液滴を霧化させるように、前記圧電素子を駆動する第１の工程と、前記第１の工程時よりも、前記透光体の振動が弱くなるように前記透光体を振動させる、もしくは振動を停止させる、第２の工程と、前記第２の工程後に、前記透光体に付着している液滴を霧化するための第３の工程とが実施される。【００１１】
本発明に係る振動装置は、透光体と、前記透光体に連結されており、前記透光体を振動させる圧電素子と、前記圧電素子に電気的に接続されており、前記圧電素子に前記透光体の共振周波数と、液滴が付着している場合の前記透光体の共振周波数を含む周波数範囲で、前記圧電素子の振動の周波数を掃引するように、前記圧電素子を振動させるための駆動電圧を１Ｈｚ以上、５０Ｈｚ以下の速度で掃引する制御回路とを備える。【００１２】
本発明に係る振動装置のある特定の局面では、前記透光体と前記圧電素子とを連結している筒状体をさらに備え、前記圧電素子がリング状の形状を有し、前記筒状体の一端側に前記リング状の圧電素子が固定されており、前記筒状体の他端側に前記透光体が固定されている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る振動装置の駆動方法及び振動装置によれば、透光体に付着した液滴を霧化することにより除去するにあたり、透光体表面における液膜の拡がりが生じ難い。従って、カメラのカバー等に透光体を用いた場合、視野が妨げられ難い。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置の略図的正面断面図である。
【図２】図２は、本発明に係る振動装置の振動部分を示す分解斜視図である。
【図３】図３は、第１の実施形態に係る振動装置に用いられている圧電素子を説明するための斜視図である。
【図４】図４（ａ）〜図４（ｃ）は、従来技術における水滴除去工程を説明するための模式的正面断面図である。
【図５】図５（ａ）〜図５（ｄ）は、本発明の一実施形態に係る振動装置の駆動方法において、液滴が霧化される工程を説明するための模式的正面断面図である。
【図６】図６（ａ）及び図６（ｂ）は、掃引速度が１Ｈｚ、及び５Ｈｚである場合の透光体の変位量の変化を示す図である。
【図７】図７（ａ）及び図７（ｂ）は、掃引速度が１０Ｈｚ、及び２０Ｈｚである場合の透光体の変位量の変化を示す図である。
【図８】図８は、掃引速度が１００Ｈｚである場合の透光体の変位量の変化を示す図である。
【図９】図９は、透光体に液滴が付着している場合と、付着していない場合の共振特性を示す図である。
【図１０】図１０は、掃引周波数と、霧化に要する必要時間との関係を示す図である。
【図１１】図１１は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置の駆動回路を示す回路図である。
【図１２】図１２は、ＶＣＯに入力する駆動電圧波形及び圧電素子に印加されている磁力電流波形とを示す図である。
【図１３】図１３は、本発明の第２の実施形態に係る振動装置の駆動回路を説明するためのブロック図である。
【図１４】図１４は、制御装置を用いて駆動電圧を制御する方法を示すフローチャートである。
【図１５】図１５は、図１４に示したフローチャートのうち、初期設定工程におけるフローチャートの詳細を示す図である。
【図１６】図１６は、図１４に示したフローチャートのうち、電流最大値検索工程を示すフローチャートである。
【図１７】図１７は、図１４に示したフローチャートにおける掃引工程のフローチャートを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１６】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【００１７】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置を説明するための略図的正面断面図であり、図２は、該振動装置の振動部分を示す分解斜視図である。
【００１８】
振動装置１は、透光性を有する透光体２と、筒状体３と、圧電素子４とを有する。筒状体３は、略円筒状の形状を有している。筒状体３の一端開口を閉じるように、板状の透光体２が筒状体３に固定されている。透光体２は、透光性を有する樹脂やガラスなどからなる。透光体２は、好ましくは、透明である。
【００１９】
透光体２は、接合剤層５を介し筒状体３に固定されている。
【００２０】
圧電素子４は、リング状の形状を有する。圧電素子４は、リング状の圧電体６を有する。リング状の圧電体６は、圧電セラミックスからなり、厚み方向に分極処理されている。また、リング状の圧電体６の一方面に第１の電極７が設けられており、他方面に第２の電極８が設けられている。
【００２１】
図３に示すように、第１の電極７には切欠き部７ａ，７ｂが設けられている。切欠き部７ａ，７ｂは、リング状の圧電体６の一方面において、内周縁に向かって開いている。切欠き部７ａ内には、第１の電極７とは独立している電極１０ａが設けられている。電極１０ａは、振動時に圧電作用で発生する電圧をモニターする帰還電極として機能する。切欠き部７ｂ内には、電極１０ｂが設けられている。電極１０ｂは、リング状の圧電体６の内周の一部を通して第２の電極８に導通している。電極部７ｃは第１の電極７の一部であり、電極１０ｂと、電極部７ｃとの間に交流電圧を印加することで振動を励起する。後述の電流計測回路が必要ではない場合には、帰還電極としての電極１０ａは設けられずともよい。
【００２２】
第１，第２の電極７，８間に交流電圧を印可することにより、圧電素子４が振動する。この圧電素子４の振動が筒状体３に伝わり、筒状体３と共に、透光体２が振動する。
【００２３】
透光体２に水滴等の液滴が付着すると、その振動により水滴を移動させること、及び霧化により除去することができる。
【００２４】
図４（ａ）〜図４（ｃ）は、特許文献１に記載のような従来の振動装置を用いた場合の水滴除去工程を説明するための模式的正面断面図である。
【００２５】
図４(ａ)は、透光体１００１上に液滴１００２が付着した状態を示す。この状態で、従来振動装置において透光体１００１を振動させる場合、共振周波数付近で振動させる。それによって、図４（ｂ）に示すように、液滴１００２から霧滴１００２ａ，１００２ａ，１００２ａが分散霧化し、液滴１００２の一部が除去される。この場合、振動が与えられているため、液滴１００２は透光体１００１の表面において、表面張力が低下し液膜状に拡がる。そして、霧化に必要な振動を与え続けると、図４（ｃ）に示すように、液膜状に液滴１００２が拡がる。さらに振動を与えることにより、霧化により液滴１００２を除去することができる。もっとも、図４（ｃ）に示すように、霧化工程の途中において、液滴１００２が液膜状に張り付き、拡がっている。そのため、カメラの視野が妨げられるという問題があった。
【００２６】
本発明の第１の実施形態の駆動方法では、後述の駆動電圧を掃引するため、以下の第１の工程、第２の工程及び第３の工程が実施されることになる。
【００２７】
図５（ａ）〜図５（ｄ）は、本発明の第１の実施形態の駆動方法により液滴が除去される工程を示す模式的正面断面図である。
【００２８】
図５（ａ）に示すように、透光体２上に液滴１１が付着する。次に、第１の工程として、振動装置を駆動する。第１の工程において、図５（ｂ）に示すように、液滴１１が拡がると共に、霧滴１１ａ，１１ａ，１１ａとなって一部が除去される。
【００２９】
本実施形態では、霧化により液滴を除去するため駆動方法は、透光体２に液滴が付着していない場合の透光体の共振周波数と、付着している場合の透光体の共振周波数との双方の共振周波数を含む周波数範囲で、１Ｈｚ以上、５０Ｈｚ以下の掃引速度で駆動電圧を掃引する。このように、掃引することにより、第１の工程後に、第１の工程よりも透光体２が弱く振動する第２の工程が実施される。この第２の工程では、図５（ｃ）に示すように、一部が霧化されて体積が少なくなった液滴１１が、透光体２の表面において再度厚みを有するように表面張力により球状に復元する。この第２の工程で、透光体２が第１の工程よりも弱く振動させるとは、透光体２の振幅や振動の強度が弱くなるように振動させることをいう。または、第２の工程で透光体２の振動を停止させてもよい。
【００３０】
次に、第３の工程において、第２の工程よりも強い振動で透光体２を振動させる。すなわち、さらに掃引を続けることにより、図５（ｄ）に示すように、霧化が進行する。よって、最終的に液滴１１が除去されることになる。
【００３１】
従って、図５（ｃ）に示すように、本実施形態の振動装置の駆動方法によれば、霧化させる工程において、透光体２上に、液滴１１が液膜状に付着し難い。よって、カメラの視野が妨げられ難い。
【００３２】
上記のように、本実施形態の振動装置の駆動方法では、上記周波数範囲を掃引するにあたり、掃引速度が１Ｈｚ以上、５０Ｈｚ以下であることが特徴である。これを図６（ａ）、図６（ｂ）、図７（ａ）、図７（ｂ）及び図８を参照して説明する。
【００３３】
図６（ａ）、図６（ｂ）、図７（ａ）、図７（ｂ）及び図８では、それぞれ、掃引速度１Ｈｚ、５Ｈｚ、１０Ｈｚ、２０Ｈｚまたは１００Ｈｚにした場合の透光体２の変位量すなわち変位信号の時間的変化を示す図である。
【００３４】
図６〜図８に示すように、掃引速度１Ｈｚ、５Ｈｚでは、十分な変位量を得ることができ、かつ変位量のピークも明確である。
【００３５】
これに対し、掃引速度が速くなるにつれ、変位量が小さくなり、図８に示すように、１００Ｈｚの場合には、最大振幅となる周波数が変動し、液滴の形状が回復する前に次の共振が現れてしまうことがわかる。
【００３６】
上記図６〜図８と同様にして、掃引速度を変化させ、霧化に必要な時間を求めた。図１０の横軸は掃引速度である周波数を示し、縦軸は、液滴としての５μｌの水滴を除去するのに必要な必要時間である。
【００３７】
図１０から明らかなように、掃引速度すなわち掃引周波数が５０Ｈｚを超えると、霧化に必要な時間が急激に長くなる。また、図１０より、１Ｈｚ以上、５０Ｈｚ以下の範囲であれば、霧化に必要な時間が１０秒以下と短く、従って、水滴を効果的に霧化し得ることがわかる。
【００３８】
図９は、透光体２に液滴が付着している状態及び付着していない状態の共振特性を示す図である。図９に示すように、液滴が付着している場合と付着していない場合とで、共振周波数は異なる。
【００３９】
そこで、本実施形態では、上記圧電素子４を振動させるために、透光体２に液滴が付着していない場合の透光体２の共振周波数と、液滴が付着している場合の透光体２の共振周波数との双方の共振周波数とを含む周波数範囲で、上記のとおり、１Ｈｚ以上、５０Ｈｚ以下の掃引速度で掃引する。それによって、上記のように、液滴をすみやかに霧化することができる。
【００４０】
上記のようにして駆動することにより、霧化工程が、透光体に付着している液滴を霧化させるように圧電素子を駆動させる第１の工程と、第１の工程時よりも、透光体２の振動が弱くなるように、振動させる、または振動を停止させる第２の工程と、第２の工程後に、第２の工程よりも強く振動させて、透光体２に付着している液滴を再度霧化するための第３の工程とが実施されることになる。従って、前述した図５（ｃ）に示したように、第２の工程において、液滴が透光体２の表面において液膜状に拡がり難いため、カメラの視野等も妨げられ難い。
【００４１】
上記駆動方法を実現するために、図１に示した振動装置１は、駆動回路２１を備える。
【００４２】
図１１は、駆動回路２１の一例を示す回路図である。駆動回路２１は、ＶＣＯ２２と、ドライバ回路部２３と、電流計測回路２４とを有する。ＶＣＯ２２の制御端子２２ａに印加される制御電圧を変化させることにより、所定の電圧信号がＶＣＯ２２からドライバ回路部２３に送信される。
【００４３】
ドライバ回路部２３は、圧電素子４に、前述した掃引速度で、かつ所定の周波数範囲を掃引するように圧電素子４を駆動する。電流計測回路２４は、圧電素子４に流れている電流を計測し、該電流値に応じた電圧を出力する。
【００４４】
図１２の上方のグラフ部分は、ＶＣＯ２２に入力される電圧波形を示す。また、図１２の下方のグラフ部分は、電流計測回路２４により計測された電流の変化を示す図である。
【００４５】
電流計測回路では、電流値が測定されるが、この電流値は、図１２の下方部分では電圧に変換されて示されている。
【００４６】
図１２に示すように、駆動電圧は、例えば、１．８５Ｖから、１．９０Ｖまで連続的に高め、次に１．９０Ｖから、１．８５Ｖまで連続的に低下させる。これを繰り返すことにより、掃引が繰り返される。
【００４７】
図１２に示すように、本発明においては、好ましくは、掃引周波数の範囲の下限の周波数から上限の周波数まで掃引する工程が、掃引電圧を上昇させる工程と、掃引電圧を上昇させた工程の後に、掃引電圧を低下させる工程とを有し、掃引電圧の上昇及び降下が階段状ではなく、連続的に行われる。この場合には、電圧の変化が穏やかであるため、リンキングが生じ難い。そのため、霧化に必要な振動の効率を高めることができる。すなわち、図１２の上方に示したように、三角波的なスロープとなるようＶＣＯへの入力電圧を制御し、ＦＭ変調させて圧電素子４を駆動することが望ましい。
【００４８】
上記三角波の波高は、ＶＣＯ２２の周波数変化幅を規定し、上記三角波の中心電圧はＣＶＯ２２の中心周波数を規定する。これらに加えて、上記三角波の周期をパラメータとして他励振回路が構成されている。
【００４９】
また、電流計測回路２４により、圧電素子４における電流をモニターすることが望ましい。霧化が可能な最大変位点付近に電流の最大値が来るため、この電流信号を利用することにより、上記他励振回路の固定パラメータを設定することができる。よって、液滴の量や数に応じて最適なパラメータで、液滴の移動及び霧化を果たすことができる。
【００５０】
なお、本発明の振動装置の駆動方法に用いられる回路は、図１に示したように限定されるものではない。
【００５１】
図１３は、本発明の第２の実施形態に係る振動装置の駆動回路を説明するためのブロック図である。駆動回路３１は、制御装置３２を有する。制御装置３２は、ＶＣＯ３３及び電流計測回路３４に接続されている。ＶＣＯ３３は、図１１に示した回路の場合と同様に、Ｈブリッジドライバ３５に接続されている。Ｈブリッジドライバ３５は、圧電素子４を駆動する。電流計測回路３４により、圧電素子４に流れている電流を検出することができる。検出された電流値が、制御装置３２に与えられる。
【００５２】
制御装置３２は、ＤＡコンバータ及びＡＤコンバータを有する。ＤＡコンバータにより、ＶＣＯ３３をコントロールするための電圧が与えられる。ＡＤコンバータにより、電流計測回路３４から検出される電流をデジタル化する。このように、制御装置３２を有する駆動回路３１を用いてもよい。
【００５３】
このような制御装置３２を用いた場合、複数のパラメータを調整する方法を用いて制御することができる。例えば、１）大きな周波数範囲を掃引し、電流ピークを検出する、２）電流ピークの周波数を中心周波数として、より狭い帯域の周波数で複数回駆動する、３）再度１）に戻り中心周波数を補正することができる。上記を繰り返すことにより、液滴を確実に霧化することができる。
【００５４】
本実施形態の振動装置１では、上記他励振回路で霧化が果たされる。よって、自励振回路を用いた場合の液膜による視野阻害が抑制される。
【００５５】
なお、電流計測回路２４により、電流を計測してもよく、また帰還電極を用いて、電圧をモニターしてもよい。
【００５６】
本発明の振動装置の駆動方法において、制御回路を用いて制御する場合の制御方法の一例を図１４〜図１７を参照して説明する。
【００５７】
図１４は、第３の実施形態の駆動方法の全体を示すフローチャートである。まず、ステップＳ１において、初期設定を行う。
【００５８】
初期設定を行うステップＳ１の詳細なフローチャートを図１５に示す。図１５に示すように、ステップＳ１１Ａにおいて、内蔵メモリーからパラメータを読み出す。ステップＳ１２Ａにおいて、内蔵メモリーのパラメータが適切か否かを判断する。適切である場合には、パラメータの初期値を内蔵メモリーに記録されている値とする。内蔵メモリーが適切でない場合には、パラメータの初期値として予め定められたデフォルト値を採用する。それによって、初期設定を終了する。
【００５９】
次に、図１４に示すように、ステップＳ２において、パラメータの変更要求があるか否かを判断する。変更要求がある場合には、ステップＳ４において、パラメータを変更する。次に、ステップＳ５において、ステータスを電流最大値検索状態とする。次に、ステップＳ６において、変更後のパラメータを内蔵メモリーに書き込む。ステップＳ６の次に、再度ステップＳ２に戻る。
【００６０】
ステップＳ２において、パラメータ変更要求がない場合には、ステップＳ７の現在のステータスにおいて、電流最大値検索状態または掃引状態を実行する。ステップＳ８は、電流最大値検索状態の処理を実行する。
【００６１】
電流最大値検索状態の処理のフローチャートを、図１６に示す。まず、ステップＳ２１〜Ｓ２４において、順次、状態をランニングに変更し、検索電圧の刻み幅を計算し、ａｄｃ＿ｍａｘ＝０ｃｔタイマーを開始する。また、ステップＳ７において、ランニング状態となった場合には、ステップＳ２５において、タイマーが満了しているか否かを判断する。満了している場合には、ステップＳ２６において、検索電圧を出力し、ステップＳ２７において、出力された電圧を読み取り、ステップＳ２８において、読み取った電圧がａｄｃ＿ｍａｘよりも大きいか否かを判断する。小さい場合には、ステップＳ２９において検索電圧を上げる。ステップＳ３０において、検索電圧が最大値か否かを判断する。最大値の場合には、ステップＳ３１において、終了状態に変更する。検索電圧が最大値でない場合には、ステップＳ７に戻る。
【００６２】
他方、ステップＳ２８において、読み取られた電圧がａｄｃ＿ｍａｘよりも大きい場合には、ステップＳ３２において、ａｄｃ＿ｍａｘを読み取られた電圧値とする。そして、ステップＳ３３において、現在の検索電圧を記録する。
【００６３】
図１４に戻り、ステップＳ９において、電流最大値の検索が終了したか否かを判断する。終了している場合には、ステップＳ１０において、ステータスを掃引状態とする。ステップＳ９において、電流最大値の検索が終了していない場合には、ステップＳ２に戻る。
【００６４】
また、ステップＳ７において、現在のステータスが掃引状態である場合には、ステップＳ１１において、掃引状態の処理を実行する。この掃引状態の処理のフローチャートを図１７に示す。
【００６５】
図１７に示すように、ステップＳ４１において、現在の状態が初期状態である場合、ステップＳ４２〜Ｓ４４において、状態をランニング状態に変更し、掃引電圧変更タイマーの駆動を開始し、掃引終了タイマーを開始する。ステップＳ４５において、電流最大値から掃引周波数範囲を計算する。ステップＳ４６において、掃引電圧値を掃引周波数範囲の最小の値にセットする。より具体的には、掃引電圧値を、掃引周波数範囲の最小の値に対応する値にセットする。
【００６６】
ステップＳ４１において、ランニング状態である場合には、ステップＳ４７において、掃引電圧変更タイマーが満了しているか否かを判断する。満了している場合には、ステップＳ４８において、掃引電圧値を出力し、ステップＳ４９において、次の掃引電圧の向きを判断する。掃引電圧の向きが電圧値を下げる方向である場合にはステップＳ５０において、掃引電圧値を下げる。次に、ステップＳ５１において、掃引電圧値が掃引周波数範囲の最小値であるか否かを判断する。最小値である場合には、ステップＳ５２において、掃引電圧値の向きを上方向に変更する。
【００６７】
ステップＳ４９において、掃引電圧の向きが上方向である場合には、ステップＳ５３において、掃引電圧を高める。次に、ステップＳ５４において、掃引電圧値が、掃引周波数範囲の最大値であるか否かを判断する。最大値である場合には、ステップＳ５５において、掃引電圧の向きを下方に変更する。最大値でない場合には、終了する。
【００６８】
ステップＳ４７において、掃引電圧変更タイマーが満了していない場合には、ステップＳ５６において、掃引終了タイマーが満了しているか否かを判断する。満了している場合には、ステップＳ５７において、状態をフィニッシュと変更し、終了する。ステップＳ５６において、掃引終了タイマーが満了していない場合には、ステップＳ４１に戻る。
【００６９】
ステップＳ４１において、フィニッシュの状態である場合には、ステップＳ５８，Ｓ５９において、掃引電圧変更タイマーを終了し、状態を初期状態に変更し、終了する。
【００７０】
図１４に戻り、ステップＳ１１において、掃引状態の処理を実行したのち、ステップＳ１２において、掃引終了か否かを判断し、終了している場合には、ステップＳ１３において、ステータスを電流最大値検索状態とする。掃引終了していない場合には、ステップＳ２に戻る。
【００７１】
なお、図１４〜図１７を参照して示した制御方法は、本発明の駆動方法において、制御装置を用いた制御方法の一例にすぎない。
【符号の説明】
【００７２】
１…振動装置
２…透光体
３…筒状体
４…圧電素子
５…接合剤層
６…圧電体
７，８…第１、第２の電極
７ａ，７ｂ…切欠き部
７ｃ…電極部
９…端子電極
１０ａ…帰還電極
１０ｂ…第２の電極からの取り出し用の電極
１１…液滴
１１ａ…霧滴
２１…駆動回路
２２，３３…ＶＣＯ
２２ａ…制御端子
２３…ドライバ回路部
２４，３４…電流計測回路
３１…駆動回路
３２…制御装置
３５…Ｈブリッジドライバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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