(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の式（１−１）及び式（１−２）で表される構造単位を少なくとも５０モル％含有するポリアミック酸であって、重量平均分子量が５０００以上であるポリアミック酸を含む、ディスプレイ基板用樹脂組成物。
【化１】
0006459152.tif 000007
［式中、
Ａｒ１は、下記式（２）の２価の基を表し、
Ａｒ２は、下記式（３）の２価の基を表し、
Ａｒ３は、下記式（４）の４価の基を表し、かつ
ｎ１、ｎ２は、各繰り返し単位の数を示し、ｎ１／ｎ２＝１．７〜８．２の条件を満たす］。
【化２】
0006459152.tif 000008
【請求項２】
前記式（１−１）及び式（１−２）において、ｎ１およびｎ２が、ｎ１／ｎ２＝２．１〜６．０の条件を満たす、請求項１に記載のディスプレイ基板用樹脂組成物。
【請求項３】
前記ポリアミック酸が、式（１−１）及び式（１−２）で表される構造単位を少なくとも８０モル％含有する、請求項１または２に記載のディスプレイ基板用樹脂組成物。
【請求項４】
溶剤に溶解されてなる、請求項１〜３のいずれか一項に記載のディスプレイ基板用樹脂組成物。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のディスプレイ基板用樹脂組成物を用いて作製される、ディスプレイ基板用樹脂薄膜。
【請求項６】
請求項５に記載のディスプレイ基板用樹脂薄膜を備える、画像表示装置。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のディスプレイ基板用樹脂組成物を用いることを特徴とする、ディスプレイ基板用樹脂薄膜の製造方法。
【請求項８】
請求項５に記載のディスプレイ基板用樹脂薄膜を用いることを特徴とする、画像表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイ基板用樹脂組成物、ディスプレイ基板用樹脂薄膜及びディスプレイ基板用樹脂薄膜の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイや液晶ディスプレイなどの表示装置の分野においては、高精細化に加え、軽量化、フレキシブル化等に対する要求がますます高まっている。そのような事情の下、製造が容易で、高い耐熱性を持つことが知られるポリイミド樹脂が、ガラスに代わるディスプレイ用基板材料として注目を集めている。
しかしながら、ポリイミドをディスプレイ基板の材料として用いるには、ガラスの線膨張係数（約３〜８ｐｐｍ／Ｋ程度）に近い値が必要となるが、大半のポリイミドは６０〜８０ｐｐｍ／Ｋ程度の線膨張係数を有するため、ディスプレイの基板材料に適さない。【０００３】
高精細ディスプレイにはアクティブマトリックス駆動のパネルが使用されており、マトリックス状の画素電極に加えて薄膜アクティブ素子を含むアクティブマトリックス層を形成するには、３００〜５００℃程度の高温処理が必要であることに加え、正確な位置合わせも必要となる。しかしながら、ポリイミドは線膨張係数特性の点でガラスに劣るため、高温下においてガラス基板より大きく収縮また膨張してしまうため、ポリイミドを基板材料として用いた場合、ディスプレイの製造プロセスで高い寸法安定性を維持することは困難となることが多い
それゆえ、ポリイミドの耐熱性を活かしつつ、好適な線膨張係数特性を実現するためには、適切な分子設計が必要となる。【０００４】
低線膨張性を示すポリイミドとして、剛直性の高い酸二無水物とジアミンから成るポリイミドが提案されているが、ポリマーのガラス転移温度近傍の高温領域（３００〜５００℃）において高線膨張性となることや、ポリマー骨格の剛直性が高すぎる場合、フィルムの強度や柔軟性が損なわれるなどの課題は多く（特許文献１、非特許文献１）、高度な要求を十分に満たすものは未だ知られていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２０２７２９号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】Journal of Applied Polymer Science, Vol.62, 2303-2310(1996)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従って、ガラスに代わるディスプレイ用基板材料となり得るような、高い耐熱性と、適度な線膨張係数および高い引っ張り強度を有する、ポリイミド系のディスプレイ基板用樹脂薄膜を製造することが依然として、求められている。【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、高い耐熱性と、適度な線膨張係数および高い引っ張り強度を有するディスプレイ機基板用樹脂薄膜を形成することができるディスプレイ基板用樹脂組成物の提供をその目的とする。【０００９】
詳しくは、本発明は、汎用性のある酸二無水物とジアミンを主成分とし、ディスプレイの製造プロセスに耐え得る耐熱性、適度な柔軟性、及び適度な線膨張係数、特に４００〜５００℃付近における適度な線膨張係数を有する樹脂薄膜を形成することができるディスプレイ基板用樹脂組成物を提供することを目的とする。
なお、ここでいう適度な柔軟性とは、樹脂薄膜が、自己支持性があって、かつ、９０度若しくはそれに近い角度に曲げても割れない程度の高い柔軟性をいう。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は今般、鋭意検討を重ねた結果、予想外にも、ピロメリット酸無水物（ＰＭＤＡ）と、ｐ−フェニレンジアミン（ｐＰＤＡ）と、４，４”−ジアミノ−ｐ−ターフェニル（ＴＰＤＡ）から誘導される、特定のポリアミック酸を含む樹脂組成物を使用することによって、ディスプレイ基板に必要な耐熱性、適度な柔軟性及び適度な線膨張係数を持つ樹脂薄膜が得られることを見出した。得られた樹脂薄膜はまた、高い引っ張り強度を有するものであり、これら特性からガラスに代わる特性を備えたすぐれたディスプレイ用基板材料となりうるものであることが分かった。本発明はこれらの知見に基づくものである。【００１１】
よって本発明は、以下の通りの発明に関する。
＜１＞  下記の式（１−１）及び式（１−２）で表される構造単位を少なくとも５０モル％含有するポリアミック酸であって、重量平均分子量が５０００以上であるポリアミック酸を含む、ディスプレイ基板用樹脂組成物。
【化１】
0006459152.tif 000002
［式中、
Ａｒ１は、下記式（２）の２価の基を表し、
Ａｒ２は、下記式（３）の２価の基を表し、
Ａｒ３は、下記式（４）の４価の基を表し、かつ
ｎ１、ｎ２は、各繰り返し単位の数を示し、ｎ１／ｎ２＝１．７〜８．２の条件を満たす］。
【化２】
0006459152.tif 000003
【００１２】
＜２＞  前記＜１＞において、式（１−１）及び式（１−２）において、ｎ１およびｎ２が、ｎ１／ｎ２＝１．５〜６．０の条件を満たすのがよい。
＜３＞  前記＜１＞または＜２＞において、前記ポリアミック酸が、式（１−１）及び式（１−２）で表される構造単位を少なくとも８０モル％含有するのがよい。【００１３】
＜４＞  前記＜１＞〜＜３＞のいずれかにおいて、ディスプレイ基板用樹脂組成物が、溶剤に溶解されてなるのがよい。【００１４】
＜５＞  前記＜１＞〜＜４＞のいずれかのディスプレイ基板用樹脂組成物を用いて作製される、ディスプレイ基板用樹脂薄膜。
＜６＞  前記＜５＞のディスプレイ基板用樹脂薄膜を備える、画像表示装置。【００１５】
＜７＞  前記＜１＞〜＜４＞のいずれかのディスプレイ基板用樹脂組成物を用いることを特徴とする、ディスプレイ基板用樹脂薄膜の製造方法。一つの好ましい態様において、前記ディスプレイ基板用樹脂薄膜の製造方法は、前記ディスプレイ基板用樹脂組成物を基板へ塗布し、加熱する工程を含む。
＜８＞  前記＜５＞のディスプレイ基板用樹脂薄膜を用いることを特徴とする、画像表示装置の製造方法。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のディスプレイ基板用樹脂組成物は、汎用性のある酸二無水物及び汎用性のあるジアミンを主成分として製造することができ、これを用いることで、ウェットプロセスによって、高い耐熱性、適度な柔軟性及び適度な線膨張係数、特に４００〜５００℃付近における適度な線膨張係数、を有する樹脂薄膜を大面積で再現性よく得ることができる。
それゆえ、本発明のディスプレイ基板用樹脂組成物を用いることで、ディスプレイの軽量化やコンパクト化だけでなく、原材料費の低減や製造効率の向上によるディスプレイの低価格化等も図ることが可能となる。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明について詳細に説明する。
【００１８】
ディスプレイ基板用樹脂組成物
本発明のディスプレイ基板用樹脂組成物は、前記したように、式（１−１）及び式（１−２）で表される構造単位を少なくとも５０モル％含有するポリアミック酸であって、その重量平均分子量が５０００以上であるポリアミック酸を含むものである。
【００１９】
また前記したように、式（１−１）及び式（１−２）において、Ａｒ１は、式（２）で表される２価の基を表し、Ａｒ２は、式（３）で表される２価の基を表し、Ａｒ３は、式（４）で表される４価の基を表す。
【００２０】
式（１−１）及び式（１−２）において、ｎ１、ｎ２は、各繰り返し単位の数を示し、ｎ１／ｎ２＝１．７〜８．２の条件を満たす。ここで、前記のｎ１／ｎ２の数値範囲の下限値は、好ましくは２．１、さらに好ましくは３．２である。一方、ｎ１／ｎ２の数値範囲の上限値は、好ましくは７．５、より好ましくは６．８、より一層好ましくは６．０、さらに好ましくは５．１である。
【００２１】
適度な線膨脹係数、耐熱性、柔軟性（特に引張強度）を有する樹脂薄膜を再現性よく得ることを考慮すると、ｎ１／ｎ２は、２．１〜７．５を満たすことが好ましく、２．１〜６．８を満たすことがより好ましく、３．２〜６．０を満たすことがより一層好ましく、３．２〜５．１を満たすことがさらに好ましい。
【００２２】
本発明で用いるポリアミック酸は、式（１−１）及び式（１−２）で表される繰り返し単位を、少なくとも５０モル％、好ましくは少なくとも６０モル％、より好ましくは少なくとも７０モル％、より一層好ましくは少なくとも８０モル％、さらに好ましくは少なくとも９０モル％含有する。このような量で、ポリアミック酸を用いることで、ディスプレイ基板に適した特性を持つ樹脂薄膜を再現性よく得ることができる。
【００２３】
本発明の特に好ましい態様によれば、ポリアミック酸は、式（１−１）及び式（１−２）で表される繰り返し単位のみからコポリマー、すなわち、これら繰り返し単位が１００モル％で含有されるポリマ−である。
【００２４】
本発明で用いるポリアミック酸の重量平均分子量は、５０００以上である必要があり、好ましくは１０，０００以上、より好ましくは２０，０００以上、より一層好ましくは３０，０００以上である。一方、本発明で用いるポリアミック酸の重量平均分子量の上限値は、通常２，０００，０００以下であるが、樹脂組成物（ワニス）の粘度が過度に高くなることを抑制することや柔軟性の高い樹脂薄膜を再現性よく得ること等を考慮すると、好ましくは１，０００，０００以下、より好ましくは２００，０００以下である。
【００２５】
本発明で用いるポリアミック酸は、式（１−１）及び式（１−２）で表される構造単位以外にも、他の構造単位（繰り返し単位）を含んでもよい。このような他の構造単位の含有量は、５０モル％未満である必要があり、４０モル％未満であることが好ましく、３０モル％未満であることがより好ましく、２０モル％未満であることがより一層好ましく、１０モル％未満であることがさらに好ましい。
【００２６】
このような他の構造単位としては、ｏ−フェニレンジアミン、ｍ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、２−メチル−１，４−フェニレンジアミン、５−メチル−１，３−フェニレンジアミン、４−メチル−１，３−フェニレンジアミン、２−（トリフルオロメチル）−１，４−フェニレンジアミン、２−（トリフルオロメチル）−１，３−フェニレンジアミン及び４−（トリフルオロメチル）−１，３−フェニレンジアミン、ベンジジン、２，２’−ジメチルベンジジン、３，３’−ジメチルベンジジン、２，３’−ジメチルベンジジン、２，２’−ビス（トリフルオロメチル）ベンジジン、３，３’−ビス（トリフルオロメチル）ベンジジン、２，３’−ビス（トリフルオロメチル）ベンジジン、４，４’−ジフェニルエーテル、４，４’−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル、４，４’−ジアミノベンズアニリド、５−アミノ−２−(３−アミノフェニル)−１Ｈ−ベンゾイミダゾール、９，９−ビス(４−アミノフェニル)フルオレンといったジアミンと、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、３，３’、４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、４，４’−オキシジフタル酸無水物、３，３’、４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物といった酸二無水物とから誘導される構造などが挙げられる。
【００２７】
本発明で用いるポリアミック酸は、酸二無水物としてのピロメリット酸無水物（ＰＭＤＡ）（式（５））と、ジアミンとしての、ｐ−フェニレンジアミン（ｐＰＤＡ）（式(６)）及び４，４”−ジアミノ−ｐ−ターフェニル（ＴＰＤＡ）（式（７））とを反応させることで
得ることができる。
【００２８】
【化３】
0006459152.tif 000004
【００２９】
上記反応において、ピロメリット酸無水物（ＰＭＤＡ）と、ｐ−フェニレンジアミン（ｐＰＤＡ）及び４，４”−ジアミノ−ｐ−ターフェニル（ＴＰＤＡ）からなるジアミンの仕込み比（モル比）は、所望するポリアミック酸の分子量や構造単位の割合等を勘案して適宜設定することができるが、アミン成分１に対して、通常、酸無水物成分であるＰＭＤＡ０．７〜１．３程度とすることができ、好ましく０．８〜１．２程度である。
【００３０】
一方、ジアミンであるｐＰＤＡとＴＰＤＡの仕込み比は、ＴＰＤＡの物質量（ｍ2）を１とした場合に、ｐＰＤＡの物質量（ｍ1）を、通常１．７〜８．２程度とすることができるが、好ましくは２．１〜７．５、より好ましくは２．１〜６．８、より一層好ましくは３．２〜６．０、さらに好ましくは３．２〜５．１、である。すなわち、ｍ1とｍ2は、通常、ｍ1／ｍ2＝１．７〜８．２であり、好ましくは２．１〜７．５であり、より好ましくは２．１〜６．８であり、より一層好ましくは３．２〜６．０であり、さらに好ましくは３．２〜５．１である。
【００３１】
上記反応は溶媒中で行うことが好ましく、溶媒を使用する場合、その種類は、反応に悪影響を及ぼさないものであれば、各種溶剤を用いることができる。
具体例としては、ｍ−クレゾール、２−ピロリドン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−エチル−２−ピロリドン、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、３−メトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロピルアミド、３−エトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロピルアミド、３−プロポキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロピルアミド、３−イソプロポキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロピルアミド、３−ブトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロピルアミド、３−ｓｅｃ−ブトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロピルアミド、３−ｔｅｒｔ−ブトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロピルアミド、γ−ブチロラクトン等のプロトン性溶剤等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて使用してもよい。
【００３２】
反応温度は、用いる溶媒の融点から沸点までの範囲で適宜設定すればよく、通常０〜１００℃程度であるが、得られるポリアミック酸のイミド化を防いでポリアミック酸単位の高含有量を維持するためには、好ましくは０〜７０℃程度であり、より好ましくは０〜６０℃程度であり、より一層好ましくは０〜５０℃程度である。
反応時間は、反応温度や原料物質の反応性に依存するため一概に規定できないが、通常１〜１００時間程度である。
【００３３】
以上説明した方法によって、目的とするポリアミック酸を含む反応溶液を得ることができる。
【００３４】
本発明においては、通常、上記反応溶液をろ過した後、そのろ液をそのまま、又は、希釈若しくは濃縮し、ディスプレイ基板用樹脂組成物（ワニス）として用いる。このようにすることで、得られる樹脂薄膜の耐熱性、柔軟性あるいは線膨張係数特性の悪化の原因となり得る不純物の混入を低減できるだけでなく、効率よく組成物を得ることができる。
希釈や濃縮に用いる溶媒は、特に限定されるものではなく、例えば、上記反応の反応溶媒の具体例と同様のものが挙げられ、それらは単独で又は２種以上を組み合わせて使用してもよい。
【００３５】
これらの中でも、平坦性の高い樹脂薄膜を再現性よく得ることを考慮すると、用いる溶剤としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、Ｎ−エチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトンが好ましい。
【００３６】
また、本発明においては、上記反応溶液を常法に従って後処理してポリアミック酸を単離した後、単離したポリアミック酸を溶媒に溶解又は分散させることで得られるワニスを、ディスプレイ基板用樹脂組成物として用いてもよい。この場合、平坦性の高い薄膜を再現性よく得ることを考慮すると、ポリアミック酸は溶媒に溶解していることが好ましい。溶解や分散に用いる溶媒は、特に限定されるものではなく、例えば、上記反応の反応溶媒の具体例と同様のものが挙げられ、それらは単独で又は２種以上を組み合わせて使用してもよい。
【００３７】
ポリアミック酸のワニス総質量に対する濃度は、作製する薄膜の厚みやワニス粘度等を勘案して適宜設定するものではあるが、通常０．５〜３０質量％程度、好ましくは５〜２５質量％程度である。
【００３８】
また、ワニスの粘度も、作製する薄膜の厚み等勘案し適宜設定するものではあるが、特に５〜５０μｍ程度の厚さの樹脂薄膜を再現性よく得ること目的とする場合、通常、２５℃で５００〜５０，０００ｍＰａ・ｓ程度、好ましくは１，０００〜２０，０００ｍＰａ・ｓ程度である。
ここで、ワニスの粘度は、市販の液体の粘度測定用粘度計を使用して、例えば、ＪＩＳ  Ｋ７１１７−２に記載の手順を参照して、ワニス温度２５℃の条件にて測定することができる。好ましくは、粘度計としては、円錐平板型（コーンプレート型）回転粘度計を使用し、好ましくは同型の粘度計で標準コーンロータとして１°３４‘×Ｒ２４を使用して、ワニス温度２５℃の条件にて測定することができる。このような回転粘度計としては、例えば、東機産業株式会社製ＴＶＥ−２５Ｈが挙げられる。
【００３９】
以上説明した本発明のディスプレイ基板用樹脂組成物を基体に塗布して加熱することで、高い耐熱性と、適度な柔軟性と、適度な線膨張係数とを有するポリイミドからなる樹脂薄膜を得ることができる。
【００４０】
基体（基材）としては、例えば、プラスチック（ポリカーボネート、ポリメタクリレート、ポリスチレン、ポリエステル、ポリオレフィン、エポキシ、メラミン、トリアセチルセルロース、ＡＢＳ、ＡＳ、ノルボルネン系樹脂等）、金属(シリコンウエハ 等)、木材、紙、ガラス、スレート等が挙げられる。
【００４１】
塗布する方法は、特に限定されるものではないが、例えば、キャストコート法、スピンコート法、ブレードコート法、ディップコート法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法、インクジェット法、印刷法（凸版、凹版、平版、スクリーン印刷等）等が挙げられる。
【００４２】
また本発明のディスプレイ基板用樹脂組成物中に含むポリアミック酸をイミド化させる方法としては、基板上に塗布した樹脂組成物をそのまま加熱する熱イミド化、及び、樹脂組成物中に触媒を添加し加熱する触媒イミド化が挙げられる。
【００４３】
ポリアミック酸の触媒イミド化は、本発明の樹脂組成物中に触媒を添加し、攪拌することにより触媒添加樹脂組成物を調整した後、基板へ塗布、加熱することで樹脂薄膜が得られる。触媒の量はアミド酸基の０．１から３０モル倍、好ましくは１から２０モル倍である。また触媒添加樹脂組成物中に脱水剤として無水酢酸 等を加えることもでき、その量はアミド酸基の１から５０モル倍、好ましくは３から３０モル倍である。
【００４４】
イミド化触媒としては三級アミンを用いることが好ましい。三級アミンとしては、ピリジン、置換ピリジン類、イミダゾール、置換イミダゾール類、ピコリン、キノリン、イソキノリンなどが好ましい。
【００４５】
熱イミド化、及び触媒イミド化時の加熱温度は、４５０℃以下が好ましい。４５０℃を超えると、得られる樹脂薄膜が脆くなり、ディスプレイ基板用途に適した樹脂薄膜を得ることができない場合がある。
また、得られる樹脂薄膜の耐熱性と線膨張係数特性を考慮すると、塗布した樹脂組成物を５０℃〜１００℃で５分間〜２時間加熱した後に、そのまま段階的に加熱温度を上昇させて最終的に３７５℃超〜４５０℃で３０分〜４時間加熱することが望ましい。
特に、塗布した樹脂組成物は、５０℃〜１００℃で５分間〜２時間加熱した後に、１００℃超〜２００℃で５分間〜２時間、次いで、２００℃超〜３７５℃で５分間〜２時間、最後に３７５℃超〜４５０℃で３０分〜４時間加熱することが好ましい。
加熱に用いる器具は、例えばホットプレート、オーブン等が挙げられる。加熱雰囲気は、空気下であっても不活性ガス下であってもよく、また、常圧下であっても減圧下であってもよい。
【００４６】
樹脂薄膜の厚さは、特にフレキシブルディスプレイ用の基板として用いる場合、通常１〜６０μｍ程度、好ましくは５〜５０μｍ程度であり、加熱前の塗膜の厚さを調整して所望の厚さの樹脂薄膜を形成する。
【００４７】
以上説明した樹脂薄膜は、フレキシブルディスプレイ基板のベースフィルムとして必要な各条件を満たすことから、フレキシブルディスプレイ基板のベースフィルムとして使用するのに最適である。
【実施例】
【００４８】
以下、実施例を挙げて、本発明をより具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。【００４９】
［１］実施例で用いる略記号
本実施例で使用する略号は以下のとおりである。
＜無水物＞
ＰＭＤＡ：  ピロメリット酸無水物
＜アミン＞
ｐＰＤＡ：  ｐ−フェニレンジアミン
ＴＰＤＡ：  ４，４”−ジアミノ−ｐ−ターフェニル
＜溶剤＞
ＮＭＰ：  Ｎ−メチル−２−ピロリドン【００５０】
［２］ディスプレイ基板用樹脂組成物の調整（ポリアミック酸の合成）
＜実施例１＞
ｐＰＤＡ  ０．８２５ｇ（０．００７６３モル）とＴＰＤＡ  ０．２７１ｇ（０．００１０４モル）をＮＭＰ  ２２．０５ｇに溶解し、ＰＭＤＡ  １．８５４ｇ（０．００８５０モル）を添加した後、窒素雰囲気下、２３℃で２４時間反応させた。
得られたポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は８９，０００、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は９．３であった。この溶液をディスプレイ基板用樹脂組成物とした。【００５１】
なお、重量分子量（Ｍｗ）及び分子量分布の測定は、日本分光株式会社製ＧＰＣ装置（カラム：Ｓｈｏｄｅｘ製  ＯＨｐａｋ ＳＢ８０３−ＨＱ、及びＯＨｐａｋ ＳＢ８０４−ＨＱ；溶離液：ジメチルホルムアミド／ＬｉＢｒ・Ｈ２Ｏ（２９．６ｍＭ）／Ｈ３ＰＯ４（２９．６ｍＭ）／ＴＨＦ（０．１ｗｔ％）；流量：１．０ｍＬ／分；カラム温度：４０℃；Ｍｗ：標準ポリスチレン換算値）を用いて行った（以下の実施例及び比較例において、同じ）。
また、ワニス溶液の粘度は、東機産業株式会社製コーンプレート型回転粘度計ＴＶＥ−２５Ｈを用いて測定した（ワニス温度２５℃）。【００５２】
＜実施例２＞
ｐＰＤＡ  ０．７９９ｇ（０．００７３９モル）とＴＰＤＡ  ０．３１３ｇ（０．００１２０モル）をＮＭＰ  ２２．０５ｇに溶解し、ＰＭＤＡ  １．８３７ｇ（０．００８４２モル）を添加した後、窒素雰囲気下、２３℃で２４時間反応させた。
得られたポリマーのＭｗは８６，６００、分子量分布は９．４であった。この溶液をディスプレイ基板用樹脂組成物とした。【００５３】
＜実施例３＞
ｐＰＤＡ  ０．７２４ｇ（０．００６７０モル）とＴＰＤＡ  ０．４３６ｇ（０．００１６７モル）をＮＭＰ  ２２．０５ｇに溶解し、ＰＭＤＡ  １．７９０ｇ（０．００８２１モル）を添加した後、窒素雰囲気下、２３℃で２４時間反応させた。
得られたポリマーのＭｗは８２，６００、分子量分布は９．７であった。この溶液をディスプレイ基板用樹脂組成物とした。【００５４】
＜実施例４＞
ｐＰＤＡ  ０．６６５ｇ（０．００６１５モル）とＴＰＤＡ  ０．５３３ｇ（０．００２０５モル）をＮＭＰ  ２２．０５ｇに溶解し、ＰＭＤＡ  １．７５２ｇ（０．００８０３モル）を添加した後、窒素雰囲気下、２３℃で２４時間反応させた。
得られたポリマーのＭｗは９３，３００、分子量分布は８．７であった。この溶液をディスプレイ基板用樹脂組成物とした。【００５５】
＜実施例５＞
ｐＰＤＡ  ０．６０８ｇ（０．００５６２モル）とＴＰＤＡ  ０．６２７ｇ（０．００２４１モル）をＮＭＰ  ２２．０５ｇに溶解し、ＰＭＤＡ  １．７１６ｇ（０．００７８７モル）を添加した後、窒素雰囲気下、２３℃で２４時間反応させた。
得られたポリマーのＭｗは８５，７００、分子量分布は９．６であった。この溶液をディスプレイ基板用樹脂組成物とした。【００５６】
＜実施例６＞
ｐＰＤＡ  ０．５５３ｇ（０．００５１１モル）とＴＰＤＡ  ０．７１６ｇ（０．００２７５モル）をＮＭＰ  ２２．０５ｇに溶解し、ＰＭＤＡ  １．６８１ｇ（０．００７７１モル）を添加した後、窒素雰囲気下、２３℃で２４時間反応させた。
得られたポリマーのＭｗは９１，１００、分子量分布は９．５であった。この溶液をディスプレイ基板用樹脂組成物とした。【００５７】
＜比較例１＞
ｐＰＤＡ  ０．８５２ｇ（０．００７８８モル）とＴＰＤＡ  ０．２２８ｇ（０．０００８８モル）をＮＭＰ  ２２．０５ｇに溶解し、ＰＭＤＡ  １．８７１ｇ（０．００８５８モル）を添加した後、窒素雰囲気下、２３℃で２４時間反応させた。
得られたポリマーのＭｗは９２，１００、分子量分布は９．７であった。この溶液をディスプレイ基板用樹脂組成物とした。【００５８】
＜比較例２＞
ｐＰＤＡ  ０．５００ｇ（０．００４６２モル）とＴＰＤＡ  ０．８０３ｇ（０．００３０８モル）をＮＭＰ  ２２．０５ｇに溶解し、ＰＭＤＡ  １．６４７ｇ（０．００７５５モル）を添加した後、窒素雰囲気下、２３℃で２４時間反応させた。
得られたポリマーのＭｗは１１２，０００、分子量分布は９．１であった。この溶液をディスプレイ基板用樹脂組成物とした。【００５９】
＜比較例３＞（ＰＭＤＡ（９８）//ＰＤＡ（１００））
ｐＰＤＡ  ０．９９１ｇ（０．００９１６モル）をＮＭＰ  ２２．０５ｇに溶解し、ＰＭＤＡ  １．９５９ｇ（０．００８９８モル）を添加した後、窒素雰囲気下、２３℃で２４時間反応させた。
得られたポリマーのＭｗは７９，１００、分子量分布は９．９であった。この溶液をディスプレイ基板用樹脂組成物とした。【００６０】
以上の実施例及び比較例の各ディスプレイ基板用樹脂組成物を組成比、物性をまとめると下記の表１の通りであった。【００６１】
【表１】
0006459152.tif 000005
【００６２】
［３］ディスプレイ基板用樹脂薄膜の作製（ポリイミドフィルムの作製）
＜樹脂薄膜１（実施例）＞
実施例１で得られたディスプレイ基板用樹脂組成物をワニスとして使用し、塗布厚３００μｍのドクターブレードを用いてシリコンウエハ基板上に塗布し、空気下、９０℃で、２０分間ベークした後、窒素雰囲気下にて、オーブン内で１２０℃、３０分間、続いて１８０℃、２０分間、続いて２４０℃、２０分間、続いて３００℃、２０分間、続いて４００℃、２０分間、続いて４５０℃、６０分間、ベークを行って樹脂薄膜を作製した。【００６３】
＜樹脂薄膜２〜６（実施例）及び樹脂薄膜Ｃ１〜Ｃ３（比較例）＞
実施例１で得られたディスプレイ基板用樹脂組成物の代わりに、それぞれ樹脂薄膜２〜６（実施例）及び比較例１〜３で得られたディスプレイ基板用樹脂組成物をワニスとして用いた以外は、樹脂薄膜１と同様の方法によって、各樹脂薄膜を作製した。【００６４】
［４］樹脂薄膜の評価
得られた樹脂薄膜の評価を、以下の方法に従って行った。なお、薄膜は、各評価試験のためにそれぞれ作製した。【００６５】
＜膜厚の測定＞
樹脂薄膜の膜厚を、株式会社ミツトヨ製マイクロメータを用いて測定した。【００６６】
＜耐熱性評価＞
樹脂被膜の耐熱性評価のために、樹脂薄膜の１％質量減少温度（Ｔｄ１％(℃)）と５％質量減少温度（Ｔｄ５％(℃))を測定した。測定は、ブルカー・エイエックスエス株式会社製ＴＧ／ＤＴＡ２０００ＳＡを用いて行った（昇温レート：毎分１０℃で５０℃から８００℃まで）。【００６７】
＜線膨張係数の測定＞
樹脂薄膜の線膨張係数の測定は、株式会社島津製作所製ＴＭＡ−６０（昇温レート：毎分５℃で５０℃から５６０℃まで）を用いて測定した（試験片：幅４ｍｍ、長さ１２ｍｍ、荷重：３．０ｇ）。なお、線膨張係数は、１００℃〜４００℃と４００℃〜５００℃の各温度領域での平均値を示した。【００６８】
＜引張試験＞
樹脂薄膜の引張強度を測定した。測定は、株式会社島津製作所製ＡＵＴＯＧＲＡＰＨ／ＡＧＳ−Ｘを用いて、室温下（２５±２℃）で引張試験を行った（試験片サイズ：５０ｍｍ×１０ｍｍ×０．０１３−０．０１６ｍｍ、チャック間隔：２０ｍｍ、引張速度：５ｍｍ／ｍｉｎ）。なお、結果における各値は、測定４回の平均値を示した。【００６９】
結果は表２に示した通りであった。【００７０】
【表２】
0006459152.tif 000006