(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光透過性を有し、放電ガスが封入された容器と、
前記容器内に配置された陰極放電部、及び前記容器の封着部を貫通する陰極支持部を有する棒状の陰極と、
前記容器内に配置された陽極放電部、及び前記封着部を貫通する陽極支持部を有する棒状の陽極と、を備え、
前記陰極及び前記陽極のいずれか一方のみに、前記陰極放電部と前記陽極放電部とが第１間隔で互いに対向し且つ前記陰極支持部と前記陽極支持部とが前記第１間隔よりも大きい第２間隔で互いに対向するように、曲げ部が設けられており、
前記陰極放電部の少なくとも表面を構成する第１材料は、可視域の光に対する平均感度よりも所定の紫外域の光に対する平均感度が高く且つ前記陰極支持部の少なくとも表面を構成する第２材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低く、
前記曲げ部は、前記陽極に設けられており、前記曲げ部の少なくとも一部は、前記陰極放電部と対向している、紫外線検出器。
【請求項２】
光透過性を有し、放電ガスが封入された容器と、
前記容器内に配置された陰極放電部、及び前記容器の封着部を貫通する陰極支持部を有する棒状の陰極と、
前記容器内に配置された陽極放電部、及び前記封着部を貫通する陽極支持部を有する棒状の陽極と、を備え、
前記陰極及び前記陽極のいずれか一方のみに、前記陰極放電部と前記陽極放電部とが第１間隔で互いに対向し且つ前記陰極支持部と前記陽極支持部とが前記第１間隔よりも大きい第２間隔で互いに対向するように、曲げ部が設けられており、
前記陰極放電部の少なくとも表面を構成する第１材料は、可視域の光に対する平均感度よりも所定の紫外域の光に対する平均感度が高く且つ前記陰極支持部の少なくとも表面を構成する第２材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低く、
前記曲げ部は、前記陰極放電部に設けられている、紫外線検出器。
【請求項３】
前記第２材料と前記容器の材料との熱膨張係数差は、前記第１材料と前記容器の前記材料との熱膨張係数差よりも小さい、請求項１又は２記載の紫外線検出器。
【請求項４】
前記陰極放電部は、前記第１材料からなる棒状部材である、請求項１〜３のいずれか一項記載の紫外線検出器。
【請求項５】
前記陰極放電部と前記陽極放電部とが対向する方向から見た場合、前記陰極放電部の幅は、前記陽極放電部の幅よりも大きい、請求項１〜４のいずれか一項記載の紫外線検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
光電子放出効果及び放電現象を利用した紫外線検出器として、光透過性を有し、放電ガスが封入された容器と、容器内に配置された陰極放電部、及び容器の封着部を貫通する陰極支持部を有する陰極と、容器内に配置された陽極放電部、及び容器の封着部を貫通する陽極支持部を有する陽極と、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭４９−５９５６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような紫外線検出器においては、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することが好ましく、また、その検出感度も、個体によるばらつきを抑制して均一化することが好ましい。
【０００５】
本発明は、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる紫外線検出器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の紫外線検出器は、光透過性を有し、放電ガスが封入された容器と、容器内に配置された陰極放電部、及び容器の封着部を貫通する陰極支持部を有する棒状の陰極と、容器内に配置された陽極放電部、及び封着部を貫通する陽極支持部を有する棒状の陽極と、を備え、陰極及び陽極のいずれか一方には、陰極放電部と陽極放電部とが第１間隔で互いに対向し且つ陰極支持部と陽極支持部とが第１間隔よりも大きい第２間隔で互いに対向するように、曲げ部が設けられており、陰極放電部の少なくとも表面を構成する第１材料は、可視域の光に対する平均感度よりも所定の紫外域の光に対する平均感度が高く且つ陰極支持部の少なくとも表面を構成する第２材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低い。
【０００７】
この紫外線検出器では、可視域の光に対する平均感度よりも所定の紫外域の光に対する平均感度が高く且つ陰極支持部の第２材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低い第１材料が、陰極放電部に使用されており、陰極放電部と陽極放電部とが、陰極支持部と陽極支持部との第２間隔よりも小さい第１間隔で対向している。これにより、陰極と陽極の間において放電の発生しやすい領域は、所定の紫外域の光に対して感度の高い領域と重なるので、可視域の光に起因する光電子放出及び放電は抑制され、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができる。更に、陰極及び陽極のいずれか一方に曲げ部を設けることで第１間隔及び第２間隔を構成しているため、例えば陰極及び陽極の両方に曲げ部が設けられている場合と比較して、精度良く第１間隔及び第２間隔を構成することができる。これにより、簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。以上により、この紫外線検出器によれば、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。
【０００８】
本発明の紫外線検出器では、第２材料と容器の材料との熱膨張係数差は、第１材料と容器の材料との熱膨張係数差よりも小さくてもよい。これにより、封着部での不具合による第１間隔及び第２間隔の変化が生じるのを確実に抑制し、検出感度の均一化をより確実に図ることができる。
【０００９】
本発明の紫外線検出器では、曲げ部は、陽極に設けられていてもよい。これにより、光電子放出領域となる陰極放電部に対する曲げ部の影響を抑制し、検出感度の更なる均一化を図ることができる。
【００１０】
本発明の紫外線検出器では、曲げ部の少なくとも一部は、陰極放電部と対向していてもよい。例えば、陽極に設けられた曲げ部が陰極支持部とのみ対向している位置に設けられた場合、陰極支持部が陽極放電部と第１間隔で対向する場合もあるために、陰極支持部と陽極放電部との間で、可視域の光に起因する光電子放出及び放電が生じるおそれがある。陽極に設けられた曲げ部の少なくとも一部を陰極放電部と対向させることで、陰極支持部は陽極に対して少なくとも第１間隔よりも大きく離間するため、そのような現象を抑制し、所定の紫外域の光をより精度良く検出することができる。
【００１１】
本発明の紫外線検出器では、曲げ部は、陰極放電部に設けられていてもよい。これにより、曲げ部の途中で放電が発生しても、その放電は所定の紫外域の光に起因するため、所定の紫外域の光をより精度良く検出することができる。
【００１２】
本発明の紫外線検出器では、陰極放電部は、第１材料からなる棒状部材であってもよい。陰極放電部を第１材料からなる棒状部材で構成することで、例えば、陰極放電部の表面が、所望の基材上に第１材料を膜状に形成することで構成される場合と比べて、放電によって第１材料が剥離する等の不具合が生じるおそれを抑制し、長寿命化を図ることができる。
【００１３】
本発明の紫外線検出器では、陰極放電部と陽極放電部とが対向する方向から見た場合、陰極放電部の幅は、陽極放電部の幅よりも大きくてもよい。これにより、所定の紫外域の光に対する検出感度をより高くすることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる紫外線検出器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態の紫外線検出器の断面図である。
【図２】図１の紫外線検出器をＡ方向から見た図である。
【図３】陰極放電部がニッケルからなる場合、及び陰極放電部がコバールからなる場合の分光感度特性を示すグラフである。
【図４】第１変形例の紫外線検出器の断面図である。
【図５】図４の紫外線検出器をＢ方向から見た図である。
【図６】第２変形例の紫外線検出器の断面図である。
【図７】第３変形例の紫外線検出器の断面図である。
【図８】第４変形例の紫外線検出器の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明は省略する。
【００１７】
図１及び図２に示されるように、紫外線検出器１は、容器１０と、陰極２０と、陽極３０と、を備えている。紫外線検出器１は、光電子放出効果及び放電現象を利用して所定の紫外域の光を検出するセンサであって、例えば炎センサとして用いられる。なお、図２では、容器１０が透過されており、容器１０の外形が仮想線で示されている。
【００１８】
容器１０は、略円筒状の本体部１１と、扁平状の封着部１２と、を有している。容器１０は、例えばコバールガラス等の光透過性（紫外線透過性）を有する材料からなる。容器１０内には、例えばネオン、アルゴン等の放電ガスが封入されており、容器１０内は、気密に維持されている。
【００１９】
陰極２０は、容器１０内に配置された陰極放電部２１と、容器１０の封着部１２を貫通する陰極支持部２２と、を有する棒状の電極である。陰極放電部２１及び陰極支持部２２のそれぞれは、直線状且つ断面円形状の棒状部材である。陰極放電部２１の直径は、陰極支持部２２の直径よりも大きい。陰極放電部２１は、可視域の光に対する平均感度よりも所定の紫外域の光に対する平均感度が高く且つ陰極支持部２２の材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低い材料（以下、「第１材料」という）からなる。このような第１材料としては、例えばニッケル、白金、又は金等の金属が挙げられる。陰極支持部２２は、陰極放電部と異なる材料（以下、「第２材料」という）からなる。第２材料と容器１０の材料との熱膨張係数差は、第１材料と容器１０の材料との熱膨張係数差よりも小さい。このような第２材料としては、例えばコバール等の金属が挙げられる。陰極放電部２１と陰極支持部２２とは、長手方向から見た場合に互いの中心が一致するように（陰極２０として同軸に延びるように）、長手方向の端面において、例えば溶接によって互いに接続されている。
【００２０】
陰極支持部２２は、陰極放電部２１と接続された陰極接続部分２４と、容器１０の封着部１２に対して封着（気密封止）された陰極被封着部分２５と、容器１０外に延在する陰極リード部分２６と、を含んでいる。陰極被封着部分２５が容器１０の封着部１２に対して封着されていることによって、陰極２０が容器１０に固定されている。陰極２０は、陰極放電部２１及び陰極支持部２２が容器１０の中心線Ｃと平行となるように固定されている。陰極リード部分２６は、外部回路との電気的な接続に供される。
【００２１】
陽極３０は、容器１０内に配置された陽極放電部３１と、容器１０の封着部１２を貫通する陽極支持部３２と、陽極放電部３１と陽極支持部３２との間に設けられた曲げ部３３と、を有する棒状の電極である。陽極３０は、直線状且つ断面円形状の棒状部材を、陽極放電部３１と陽極支持部３２とで延在方向の軸がずれるように曲げ部３３でクランク状に屈曲させた部材である。陽極放電部３１及び陽極支持部３２は、直線状に形成されている。陽極３０の直径は、陰極放電部２１の直径よりも小さく、例えば陰極支持部２２の直径と同一である。陽極３０は、例えばコバール等の金属からなり、陰極支持部２２と同じ第２材料としてもよい。
【００２２】
陽極支持部３２は、曲げ部３３と接続された陽極接続部分３４と、容器１０の封着部１２に対して封着（気密封止）された陽極被封着部分３５と、容器１０外に延在する陽極リード部分３６と、を含んでいる。陽極被封着部分３５が容器１０の封着部１２に対して封着されていることによって、陽極３０が容器１０に固定されている。陽極３０は、陽極放電部３１及び陽極支持部３２が容器１０の中心線Ｃと平行となるように固定されている。陽極リード部分３６は、外部回路との電気的な接続に供される。
【００２３】
陰極放電部２１、陰極支持部２２、陽極放電部３１、陽極支持部３２及び曲げ部３３は、同一平面上に位置している。陰極放電部２１、陰極支持部２２、陽極放電部３１及び陽極支持部３２は、当該平面内の所定線（例えば、容器１０の中心線Ｃ）と平行である。
【００２４】
図１に示されるように、陰極２０と陽極３０とは、容器１０の中心線Ｃと直交する方向において互いに対向している。陰極放電部２１と陽極放電部３１とは、第１間隔Ｄ１で互いに平行となるように対向している。そして、曲げ部３３によって離間した陰極支持部２２と陽極支持部３２とは、第１間隔Ｄ１よりも大きい第２間隔Ｄ２で互いに対向している。つまり、曲げ部３３は、陰極放電部２１と陽極放電部３１とが第１間隔Ｄ１で互いに対向し且つ曲げ部３３の陽極支持部３２側の端部（曲げ部３３の終端）から封着部１２に到るまでの間において陰極支持部２２と陽極支持部３２とが第２間隔Ｄ２で対向するように、陽極３０に設けられている。曲げ部３３は、容器１０の中心線Ｃと直交する方向において、陰極放電部２１と対向している。より詳しくは、曲げ部３３のうち、少なくとも陽極放電部３１側の端部（曲げ部３３の始端）は、陰極放電部２１のうちの封着部１２側の端部を含む領域と対向している。よって、陰極放電部２１のうちの封着部１２側の端部（陰極支持部２２との境界部）においては、陽極３０との間の距離が、第１間隔Ｄ１よりも大きく、第２間隔Ｄ２以下となる。陰極放電部２１の先端２１ａと陽極放電部３１の先端３１ａとは、容器１０の中心線Ｃと直交する方向において互いに対向している。
【００２５】
図２に示されるように、陰極放電部２１と陽極放電部３１とが対向する方向（陰極２０と陽極３０とが重なって見える方向）から見た場合、陰極放電部２１の幅は、陽極放電部３１の幅よりも大きい。このため、陰極放電部２１と陽極放電部３１とが対向する方向から見て、陰極放電部２１が陽極放電部３１からはみ出している。なお、陰極放電部２１及び陽極放電部３１の幅方向とは、陰極放電部２１、陰極支持部２２、陽極放電部３１、陽極支持部３２及び曲げ部３３が位置する上記平面と直交する方向である。
【００２６】
次に、第１材料及び第２材料の特性について説明する。陰極放電部２１に使用される第１材料は、可視域（例えば、４００ｎｍ以上７００ｎｍ未満）の光に対する平均感度よりも所定の紫外域（例えば、１８５ｎｍ以上２６０ｎｍ以下）の光に対する平均感度が高い材料であり、且つ陰極支持部２２に使用される第２材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低い材料である。また、上記所定の紫外域の光に対する平均感度を可視域の光に対する平均感度で除した（割った）値に着目すると、陰極放電部２１に使用される第１材料の当該値は、陰極支持部２２に使用される第２材料の当該値よりも大きい。特に、この例では、第１材料は、２６０ｎｍ以上の波長域（可視域及び赤外域を含む）の光に対して実質的に感度を有していない。言い換えれば、光電子放出において、第１材料は、第２材料よりも、紫外域の光に対する選択性が高いとも言える。なお、所定の波長域の光に対する平均感度とは、当該波長域における感度の平均値であり、例えば相加平均値である。
【００２７】
具体例を挙げて更に説明すると、図３に示されるように、陰極放電部２１が第１材料の一例であるニッケルからなる場合、陰極放電部２１は、約２５２ｎｍ以下の紫外域の光に対して感度を有し、約２５２ｎｍよりも大きい波長域の光に対して感度を有していない。一方、陰極放電部２１が第２材料の一例であるコバールからなる場合、陰極放電部２１は、約２５２ｎｍよりも大きい波長域の光に対して感度を有している。このように、ニッケルは、可視域の光に対する平均感度（すなわち、「０」）よりも所定の紫外域（約２５２ｎｍ以下）の光に対する平均感度が高い材料であり、且つコバールに比べて可視域の光に対する平均感度が低い材料である。
【００２８】
次に、紫外線検出器１の動作原理について説明する。使用状態においては、陰極２０と陽極３０との間に電圧が供給されている。陰極放電部２１及び陽極放電部３１は、第１間隔Ｄ１で互いに近接して対向しているため、陰極２０と陽極３０の間において放電の発生しやすい領域であり、放電領域として機能する。一方、陰極支持部２２及び陽極支持部３２は、第２間隔Ｄ２で互いに離間して対向しているため、放電領域として機能し難い。使用状態において、容器１０を介して陰極放電部２１に所定の紫外域の光が入射すると、陰極放電部２１から光電子が放出される（光電子放出効果）。この光電子は、陽極放電部３１に引き寄せられ、容器１０内の放電ガス分子と衝突して放電ガス分子を電離させる。電離によって発生した電子及び正イオンのうち、電子は更に他の放電ガス分子と衝突及び電離を繰り返して陽極放電部３１に至る。一方、正イオンは、陽極放電部３１に向けて加速され、陽極放電部３１に衝突して多くの二次電子を発生させる。以上の現象を繰り返すことにより、陰極２０と陽極３０との間に電流が流れ、放電状態となる。紫外線検出器１では、光電子放出効果及び放電現象を利用して、所定の紫外域の光を検出する。
【００２９】
以上説明したように、紫外線検出器１では、可視域の光に対する平均感度よりも所定の紫外域の光に対する平均感度が高く且つ陰極支持部２２の第２材料に比べて可視域の光に対する平均感度が低い第１材料が、陰極放電部２１に使用されており、陰極放電部２１と陽極放電部３１とが、封着部１２における陰極支持部２２と陽極支持部３２との第２間隔Ｄ２よりも小さい第１間隔Ｄ１で対向している。これにより、陰極２０と陽極３０の間において放電の発生しやすい領域は、所定の紫外域の光に対して感度の高い領域と重なるので、可視域の光に起因する光電子放出及び放電は抑制され、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができる。更に、陽極３０に曲げ部３３が設けられているため、例えば陰極２０及び陽極３０の両方に曲げ部３３が設けられている場合と比較して、精度良く第１間隔Ｄ１及び第２間隔Ｄ２を構成することができる。これにより、簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。以上により、この紫外線検出器１によれば、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。また、陰極放電部２１と異なる材料が陰極支持部２２に使用されていることから、陰極支持部２２の材料として、封着部１２での封着に適した材料を選択することで、封着部１２からの放電ガスの抜け等を抑制し、長寿命化を図ることができる。
【００３０】
例えば、ガスバーナの炎（都市ガス）の波長域は、約１８５ｎｍよりも大きく、太陽光の波長域は、約２８０ｎｍよりも大きい。また、タングステン電球から出力される光の波長域は、約３００ｎｍよりも大きい。したがって、紫外線検出器１によれば、太陽光又はタングステン電球から出力される光の存在下であっても、ガスバーナの炎に含まれる紫外域の光を精度良く検出することができる。
【００３１】
また、紫外線検出器１では、陰極放電部２１の第１材料は、可視域の光に対して実質的に感度を有していない。これにより、可視域の光に起因する光電子放出及び放電をより確実に抑制し、所定の紫外域の光をより精度良く検出することができる。
【００３２】
また、紫外線検出器１では、陰極支持部２２に使用される第２材料と容器１０の材料との熱膨張係数差が、陰極放電部２１に使用される第１材料と容器１０の材料との熱膨張係数差よりも小さい。これにより、封着部１２での不具合による第１間隔Ｄ１及び第２間隔Ｄ２の変化が生じるのを確実に抑制し、検出感度の均一化をより確実に図ることができるとともに、封着部１２からの放電ガスの抜け等を抑制し、長寿命化を図ることができる。
【００３３】
また、紫外線検出器１では、曲げ部３３が陽極３０に設けられている、これにより、光電子放出領域となる陰極放電部２１に対する曲げ部３３の影響、例えば曲げ作業による陰極支持部２２との接続部に対する影響を抑制し、検出感度の更なる均一化を図ることができる。
【００３４】
また、紫外線検出器１では、曲げ部３３が陰極放電部２１と対向している。例えば、本実施形態において、陽極３０に設けられた曲げ部３３が陰極支持部２２とのみ対向している位置に設けられた場合、陰極支持部２２と陽極放電部３１とが、放電の発生しやすい第１間隔Ｄ１で対向する。そのため、紫外域の光に対する選択性が低い陰極支持部２２と陽極放電部３１との間で、可視域の光に起因する光電子放出及び放電が生じるおそれがある。陽極３０に設けられた曲げ部３３の少なくとも一部を陰極放電部２１と対向させることで、陰極支持部２２は陽極３０に対して少なくとも第１間隔Ｄ１よりも大きく離間するため、そのような現象を抑制し、所定の紫外域の光をより精度良く検出することができる。
【００３５】
また、紫外線検出器１では、陰極放電部２１が第１材料からなる棒状部材であると共に、陰極支持部２２が第２材料からなる棒状部材であり、陰極放電部２１と陰極支持部２２とが互いに接続されている。陰極放電部２１を第１材料からなる棒状部材で構成することで、例えば、陰極支持部２２の表面が、所望の基材上に第１材料を膜状に形成することで構成される場合と比べて、放電によって第１材料が剥離する等の不具合が生じるおそれを抑制し、長寿命化を図ることができる。
【００３６】
また、紫外線検出器１では、陰極放電部２１と陽極放電部３１とが対向する方向から見た場合、陰極放電部２１の幅は、陽極放電部３１の幅よりも大きくなっている。これにより、所定の紫外域の光に対する検出感度をより高くすることができる。また、陰極放電部２１の直径は、陰極支持部２２の直径よりも大きいため、その接続部においては段差が生じる。この段差の分でも、陰極支持部２２は陽極３０と離間するため、陰極支持部２２における放電は抑制され、所定の紫外域の光に対する検出感度をより高くすることができる。
【００３７】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲で変形し、又は他のものに適用してもよい。
【００３８】
例えば、図４及び図５に示される第１変形例の紫外線検出器１Ａのように、陰極放電部２１Ａが扁平な板状に形成されていてもよい。図５に示されるように、紫外線検出器１Ａにおいても、上記実施形態と同様に、陰極放電部２１Ａと陽極放電部３１とが対向する方向（陰極２０と陽極３０とが重なって見える方向）から見た場合、陰極放電部２１Ａの幅は、陽極放電部３１の幅よりも大きい。このような紫外線検出器１Ａによっても、上記実施形態と同様に、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。特に、本実施形態においては、陰極放電部２１Ａと陽極放電部３１とが対向する方向から見た場合の陰極放電部２１Ａの幅を大きくすることがより容易となる。さらに、少ない材料で陰極放電部２１Ａの幅を大きくすることができるので、電極先端部を軽量化することができ、耐震性を向上することができる。なお、図５では、容器１０が透過されており、容器１０の外形が仮想線で示されている。
【００３９】
また、図６に示される第２変形例の紫外線検出器１Ｂのように、陰極放電部２１Ｂが封着部１２と接触していてもよい。紫外線検出器１Ｂでは、陰極放電部２１Ｂのうちの封着部１２側の先端は、封着部１２に埋め込まれている。そのため、陰極支持部２２Ｂは、陰極接続部分２４を有していない。このような紫外線検出器１Ｂによっても、上記実施形態と同様に、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。また、容器１０内に露出するのは紫外域の光に対する選択性が高い陰極放電部２１Ｂのみであるため、可視域の光に起因する光電子放出及び放電が生じるのをより確実に抑制し、所定の紫外域の光をより精度良く検出することができる。なお、このように陰極支持部２２Ｂの先端が封着部１２に埋め込まれる場合でも、封着部１２で封着される部位の大半が陰極被封着部分２５であるので、封着部１２での陰極２０の封着を問題なく行うことができる。
【００４０】
また、図７に示される第３変形例の紫外線検出器１Ｃのように、陰極２０に曲げ部２３Ｃが設けられていてもよい。紫外線検出器１Ｃでは、陰極支持部２２に曲げ部２３Ｃが設けられている。また、陽極３０には曲げ部３３が設けられておらず、陽極３０は、直線状に形成されている。曲げ部２３Ｃは、陽極支持部３２と対向している。このような紫外線検出器１Ｃによっても、上記実施形態と同様に、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。
【００４１】
また、図８に示される第４変形例の紫外線検出器１Ｄのように、陰極放電部２１に曲げ部２３Ｄが設けられていてもよい。紫外線検出器１Ｄでは、曲げ部２３Ｄは、陽極放電部３１と対向している。このような紫外線検出器１Ｄによっても、上記実施形態と同様に、可視光下であっても所定の紫外域の光を精度良く検出することができ、且つ簡単な構成で検出感度の均一化を図ることができる。特に、曲げ部２３Ｄの途中で放電が発生しても、その放電は所定の紫外域の光に起因するため、所定の紫外域の光をより精度良く検出することができる。
【００４２】
また、上記実施形態では、陰極放電部２１が第１材料からなる棒状部材であると共に、陰極支持部２２が第２材料からなる棒状部材であり、陰極放電部２１と陰極支持部２２とが互いに接続されていたが、所望の基材の表面の一部を覆うように第１材料を膜状に形成することで、陰極放電部２１とされていてもよい。例えば、上記実施形態における陰極放電部２１及び陰極支持部２２を合わせた長さの第２材料からなる基材を用意し、当該基材のうちの所望の一端側を覆うように、例えば第１材料によるメッキ処理等をすることによって、膜状の陰極放電部２１が形成されていてもよい。
【００４３】
また、上記実施形態では、曲げ部３３が陰極放電部２１のうちの封着部１２側の端部を含む領域に対向していたが、曲げ部３３によって、陰極放電部２１のうちの封着部１２側の端部（陰極支持部２２との境界部）における陽極３０との間の距離が、第１間隔Ｄ１以上となればよく、曲げ部３３が陰極放電部２１の中間部と対向していてもよい。また、曲げ部３３は、より急峻に屈曲していても、より緩やかに屈曲していてもよい。また、陰極支持部２２と陽極支持部３２とは、第２間隔Ｄ２で一定に離間するのではなく、離間の間隔が変化してもよい。また、陰極放電部２１と陽極放電部３１とが対向する方向から見た場合、陰極放電部２１の幅は、陽極放電部３１の幅と同程度であってもよく、陽極放電部３１の幅よりも小さくてもよい。また、陰極放電部２１の直径は、陰極支持部２２の直径と同一であってもよく、陰極支持部２２の直径よりも小さくてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ…紫外線検出器、１０…容器、１２…封着部、２０…陰極、２１，２１Ａ，２１Ｂ…陰極放電部、２２，２２Ｂ…陰極支持部、２３Ｃ，２３Ｄ…曲げ部、３０…陽極、３１…陽極放電部、３２…陽極支持部、３３…曲げ部、Ｄ１…第１間隔、Ｄ２…第２間隔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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