【事件の表示】
　特許第３３５１２７３号「圧電共振部品の製造方法」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３５１２７３号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
【１】手続きの経緯
　本件特許第3351273号の発明は、平成8年12月25日に特許出願（特願平8-344847号）されたものであって、平成14年9月20日にその特許（請求項の数3）について設定登録がなされ、平成14年11月25日に特許公報が発行され、その特許（全請求項）について、平成15年5月26日に雨山範子より特許異議の申立てがなされ、その後、その特許（全請求項）に対する取消理由の通知がなされた。
　これに対して、被請求人（特許権者）から、平成16年6月4日に訂正請求がなされるとともに異議意見書が提出されたものである。
　
【２】訂正の適否について
（１）訂正の要旨
　訂正請求書により訂正する訂正事項は、特許請求の範囲の減縮及びこれに関連する明細書の記載における明りょうでない記載の釈明を目的とするものであって、その訂正内容は、要旨、以下のとおりである。
（1-1)訂正事項(a）
　【請求項１】の下記の文章（特許公報1頁左欄3〜6行）
「大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層することによって前記圧電共振子の振動空間を形成し、」を、
「大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層することによって前記圧電共振子の振動空間を形成し、
前記振動空間内部の圧力は大気圧よりも低い圧力で形成されており、
（下線部は訂正部分、以下同。）と訂正する。
（1-2）訂正事項（b）
　【請求項１】の下記の文章（特許公報1頁左欄6〜8行）
「大気圧中または加圧槽中で加圧することによって前記振動空間内部の圧力を大気圧よりも低い圧力にする工程と、」を、
「大気圧中または加圧槽中で加圧する
とともに、
保つ
と訂正する。
（1-3）訂正事項（c）
　【請求項１】の下記の文章（特許公報1頁左欄8〜9行）
「前記接着剤層を硬化させる工程と、を含む圧電共振部品の製造方法。」を、
「前記接着剤層を硬化させる工程
とを含み、前記接着剤の硬化の際にも、前記振動空間は気密性を保っている
と訂正する。
（1-4）訂正事項（d）
　【請求項２】の下記の語句（特許公報1頁左欄12行目）
「減圧層中」を、
「減圧
槽
と訂正する。
（1-5）訂正事項（e）
　明細書の段落番号【0009】の下記の文章（特許公報2頁右欄23〜26行）
「大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層することによって前記圧電共振子の振動空間を形成し、」を、
「大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層することによって前記圧電共振子の振動空間を形成し、
前記振動空間内部の圧力は大気圧よりも低い圧力で形成されており、
と訂正する。
（1-6）訂正事項（f）
　明細書の段落番号【0009】の下記の文章（特許公報2頁右欄26〜28行）
「大気圧中または加圧槽中で加圧することによって前記振動空間内部の圧力を大気圧よりも低い圧力にする工程と、」を、
「大気圧中または加圧槽中で加圧する
とともに、
保つ
と訂正する。
（1-7）訂正事項（g）
　明細書の段落番号【0009】の下記の文章（特許公報2頁右欄28〜29行）
「前記接着剤層を硬化させる工程と、を含む圧電共振部品の製造方法。」を、
「前記接着剤層を硬化させる工程
とを含み、前記接着剤の硬化の際にも、前記振動空間は気密性を保っている
と訂正する。
（1-8）訂正事項（h）
　明細書の段落番号【0010】の下記の語句（特許公報2頁右欄33行目）
「減圧層中」を、
「減圧
槽
と訂正する。
（1-9）訂正事項（i）
　図面中、図1を添付の図1に訂正する。
（２）訂正の適否についての判断
＜訂正の目的の適否、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否についての判断＞
(2-1)訂正の目的等
　本件訂正の要旨は、上記訂正事項(a)乃至(i)のとおりであって、その訂正事項(a)の訂正内容は特許請求の範囲の減縮を目的とし、訂正事項(b)〜(c)の訂正内容は明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的とし、また訂正事項(d)(i)の訂正内容は誤記の訂正を目的とし、さらに訂正事項(e)〜(h)の訂正内容は特許請求の範囲の訂正に対応してこれに整合するように訂正するための明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
(2-2)検討
　以下、各訂正事項について検討する。
・訂正事項(a）〜(c)は、特許請求の範囲の請求項１を訂正するもので、当該請求項１に係る発明の構成である「封止基板を積層」し「振動空間を形成」することについて、その記載を明確なものとなして構成を限定するものであって、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明にあたるものである。そして、この訂正は、本件特許明細書の段落【0012】（特に、特許公報3頁左欄1〜25行）の記載に基づくもので、明細書に記載された事項の範囲内のものである。
・訂正事項(d）及び訂正事項(i)は、特許請求の範囲の請求項２及び図面を訂正するもので、この訂正は、明細書全般の記載からみて、明らかな誤記の訂正にあたるものである。
・訂正事項(e）〜(g)は、特許請求の範囲の請求項１を訂正する前記訂正事項(a)〜(c)の訂正に対応して、これと整合するように発明の詳細な説明の欄を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明に相当する。
・訂正事項(h）は、特許請求の範囲の請求項２を訂正する前記訂正事項(d)の訂正に対応して、これと整合するように発明の詳細な説明の欄を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明または誤記の訂正にあたるものである。
・したがって、訂正事項(a)乃至(i)に係る訂正は、いずれも特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明または誤記の訂正を目的とするものであり、新規事項を追加するものではなく、また請求項を追加するなど実質的に特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものとも認められない。
(2-3)まとめ
　以上のとおりであって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書き及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
【３】本件特許発明
　訂正された特許請求の範囲の請求項１乃至３に係る発明は、以下のとおりである。
「【請求項１】　圧電基板の両主面に振動用電極を設けて圧電共振子を形成する工程と、
　大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層することによって前記圧電共振子の振動空間を形成し、
前記振動空間内部の圧力は大気圧よりも低い圧力で形成されており、
　大気圧中または加圧槽中で加圧する
とともに、
保つ
　前記接着剤層を硬化させる工程
とを含み、前記接着剤の硬化の際にも、前記振動空間は気密性を保っている
　【請求項２】　大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層する際に、減圧パックに密封した状態もしくは減圧
槽
　【請求項３】　前記接着剤層が半硬化のシート状の接着剤である請求項１記載の圧電共振部品の製造方法。」
　
【４】特許異議申立ての概要
　異議申立人雨山範子は、証拠方法として甲第1号証（特開平3-210809号公報）、甲第2号証（特開平8-195640号公報）及び甲第3号証（特開平8-39747号公報）を提出し、概要、以下のとおり請求項１乃至３に係る発明についての特許を取り消すべきであると申立てるものである。
「本件特許請求項1〜請求項3に記載の発明は、出願前公知の甲第1号証の発明または甲第2号証の発明に甲第3号証の発明を組み合せることにより容易に想到できるものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものであり、特許法第113条第1項第2号の規定により取り消すべきものである。」
　
【５】当審の判断
 (１)訂正明細書の請求項１に係る発明について
　訂正明細書に記載された請求項１に係る発明（以下「本件発明１」という。）は、前記【３】記載のとおりである。
 (1-1)引用刊行物及び刊行物記載の発明
　異議申立て及び取消理由で引用した引用刊行物（甲号証）は、以下のとおりである。
　(1)刊行物１：特開平3-210809号公報（異議甲第1号証）
　(2)刊行物２：特開平8-195640号公報（異議甲第2号証）
　(3)刊行物３：特開平8-39747号公報（異議甲第3号証）
(1-1-1)前記刊行物１（特開平3-210809号公報）は、チップ状圧電部品に関するもので、従来技術と実施例及び図面に係わる記載を参酌すると、以下のような技術的事項が記載されている。
・「第6図は圧電素子と封止板の積層前の分解斜視図である。同図において1は圧電基板、2、4および3、5はその両主面に形成された振動電極および引出電極であり、これによって圧電素子11が構成されている。7、7はそれぞれ封止板であり、圧電素子11に面する側の周辺部に接着剤10、10がそれぞれ塗布されている。」（第1頁右欄第5〜11行）
・「接着剤層10によって圧電素子11と封止板7との間を接着するとともに振動電極2、4による振動空間を確保している。」（第1頁右欄第16〜19行）
・「接着剤層が硬化するまで」（第2頁左上欄7行）
・「第1図において7、7はそれぞれアルミナセラミクスなどからなる平板状の封止板であり、その内面にそれぞれ例えばエポキシ系接着剤等の接着剤8、8が必要な厚さに塗布されている。この接着剤層8、8は気密性が得られる厚みであれば任意であるが、一般的には数μm以下である。また、圧電素子11に貼り合わせる際、真空、加圧、加熱などの処理を行えばより完全となる。」（第2頁右下欄第13〜20行）
(1-1-2)前記刊行物２（特開平8-195640号公報）は、内部に空洞を有した電子部品の製造方法に関するもので、その実施例及び図面に係わる記載を参酌すると、以下のような技術的事項が記載されている。
・「【0009】図1に示すように、接着シート1はベースフィルム2の表面に接着剤3を均一にコーティングしたものである。ベースフィルム2としては、耐熱性に優れ、かつ接着剤3が剥離しやすい材料、例えばポリイミド樹脂フィルムが使用される。接着剤3としては、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が使用される。ここに、接着剤3をベースフィルム2に塗布する際に、接着剤3の中に気泡が取り込まれる場合がある。そこで、通常、この気泡を取り除くため、ベースフィルム2に塗布された後の接着剤3を予熱する。接着剤3の粘度が下がり、接着剤3に取り込まれた気泡が接着剤3から脱ける。」（第2頁右欄第24〜34行）
・「【0011】こうして準備された封止基板12は、図4に示すように、圧電体基板15を挟んで積層体とされる。すなわち、封止基板12の接着剤3を設けた面を圧電体基板15に接触させ、加圧しながら加熱して接着剤3にて封止基板12と圧電体基板15を接合する。圧電体基板15はPZT等のセラミックス材からなる。圧電体基板15の材料としてはPZT以外に水晶、BiTaO3等であってもよい。圧電体基板２の上下面には振動電極16,17が設けられている。振動電極16,17はそれぞれ引出し電極18,19に電気的に接続している。これらの電極16〜19は、Ag,Pd,Cu,Niあるいはこれらの合金のスパッタリング、蒸着あるいは印刷乾燥等の手段にて形成される。」（第3頁左欄第1〜11行）
(1-1-3)前記刊行物３（特開平8-39747号公報）は、薄物プリント基板や液晶ガラス基板を作製する際の基板貼合方法に関するもので、以下のような技術的事項が記載されている。
・「【0027】ここで、接着する被接着基板18は、………2枚のガラス基板を、液晶封止用シール剤の厚さで間隔を保つようにした液晶ガラス基板が一例として使用された。」（第4頁左欄第33〜36行）
・「被接着基板18は、上下の薄膜シート19、24内に収納されるが、………上下薄膜シート19、24内が所要（所望）の減圧力に減圧される。」（第4頁左欄第48行〜同頁右欄第6行）
・「大気圧との差圧でガラス基板の上下面をゆっくりと均一に押圧する。」（第4頁右欄第8〜9行）
・「密封体は熱媒体7による加熱と、減圧力と熱媒体7の液圧とによる加圧により所要（所望）時間本加熱を行なう。」（第4頁右欄第30〜32行）
（1-2）対比・判断
　本件発明１と前記刊行物１（特開平3-210809号公報）或いは刊行物２（特開平8-195640号公報）に記載された発明とを対比すると、両者は、以下のとおりの一致点及び相違点(i)を有するものと認められる。
（一致点）
「圧電基板の両主面に振動用電極を設けて圧電共振子を形成する工程と、
　前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層することによって前記圧電共振子の振動空間を形成し、大気圧中で加圧する工程と、
　前記接着剤層を硬化させる工程とを含む、圧電共振部品の製造方法。」
（相違点）
 (i)本件発明１にあっては、大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層することによって前記圧電共振子の振動空間を形成し、前記振動空間内部の圧力は大気圧よりも低い圧力で形成されており、大気圧中または加圧槽中で加圧するとともに、前記振動空間内部の圧力を大気圧よりも低い圧力に保つ工程とを含み、前記接着剤の硬化の際にも、前記振動空間は気密性を保っているのに対し、刊行物１（或いは刊行物２）にあっては、前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層することによって前記圧電共振子の振動空間を形成するものである点、
（検討）
　上記相違点について検討すると、前記刊行物３には、液晶封止用シ−ル剤の厚さで間隔を保つようにした液晶ガラス基板を一例として２枚のガラス基板を減圧下で積層し、大気圧との差圧でガラス基板の上下面を均一に押圧し、熱媒体(7)による加熱と、減圧力と熱媒体(7)の液圧とによる加圧により密封体を構成することが開示されている。
　しかしながら、この刊行物３の密封体構成は、「上下薄膜シート19、24内が所要（所望）の減圧力に減圧される」ことで「密封体は熱媒体7による加熱と、減圧力と熱媒体7の液圧とによる加圧により所要（所望）時間本加熱を行なう」ものであるから、前記相違点に係る本件発明１の構成である「前記振動空間内部の圧力は大気圧よりも低い圧力で形成されており、大気圧中または加圧槽中で加圧するとともに、前記振動空間内部の圧力を大気圧よりも低い圧力に保つ工程とを含み、前記接着剤の硬化の際にも、前記振動空間は気密性を保っている」構成を採用するものではなく、このような構成は刊行物３に何ら開示乃至示唆されていない。また当該構成は、当業者における技術常識であるとも認められない。
　そして、本件発明１は、この相違点に係る構成（振動空間内部の圧力を大気圧よりも低い圧力に保つ工程と接着剤層を硬化させる工程とを含んで、接着剤の硬化の際にも、前記振動空間は気密性を保っていること）により、明細書記載の格別の作用効果を奏するものと認められる。
　以上のとおり、本件発明１は、刊行物１乃至３及び技術常識を考慮しても、前記相違点(i)に関して当業者が容易になし得るものとは認められない。
（２）訂正明細書の請求項２〜３に係る発明について
　この請求項２〜３に係る発明は、前記【３】記載のとおり前記請求項１を引用するものであって、当該請求項１の構成についてさらに限定する構成「減圧パックに密封した状態もしくは減圧層中で前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層する」(請求項2)、「接着剤層が半硬化のシート状の接着剤である」(請求項3)を付加するものである。
　したがって、この付加された各構成に係わらず、本件請求項２〜３に係る発明についても、前記請求項１と同様の理由により上記刊行物１乃至３に記載された発明に基づいて、当業者が容易になし得るものとは認められない。
（３）まとめ
　以上のとおりであって、異議申立人雨山範子による異議申立ての理由について、本件特許請求の範囲の請求項１乃至３に係る発明は、異議申立人雨山範子が提出する甲第１号証乃至甲第３号証（刊行物1乃至3）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認めることができない。
　したがって、本件特許請求の範囲の請求項１乃至３に係る発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものともすることができない。
　
【６】むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件特許請求の範囲の請求項１乃至３に係る発明についての特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１乃至３に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年８月１７日（２００４．８．１７）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
圧電共振部品の製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　圧電基板の両主面に振動用電極を設けて圧電共振子を形成する工程と、
　大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層することによって前記圧電共振子の振動空間を形成し、
前記振動空間内部の圧力は大気圧よりも低い圧力で形成されており、
　大気圧中または加圧槽中で加圧する
とともに、
保つ
　前記接着剤層を硬化させる工程
とを含み、前記接着剤の硬化の際にも、前記振動空間は気密性を保っている
　【請求項２】　大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層する際に、減圧パックに密封した状態もしくは減圧
槽
　【請求項３】　前記接着剤層が半硬化のシート状の接着剤である請求項１記載の圧電共振部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、発信回路やフィルタ回路等を構成する際に使用される圧電共振部品及びその製造方法に関し、特に共振特性の劣化が抑制された信頼性の高い圧電共振部品の製造方法に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、移動体通信機器やＯＡ機器等において、水晶等の単結晶を用いた発振子やフィルタが広く用いられてきた。しかし、水晶等の単結晶を用いた発振子及びフィルタは高度な研磨技術を要し、また、周波数安定性を追求することから非常に高価であった。ことろが、近年、移動体通信機器やＯＡ機器の普及により、特に、近年需要が拡大している携帯電話においては、安価な発振子やフィルタが求められるようになった。そのため、従来より、一般機器や家電製品等に用いられてきた圧電セラミックを用いて発振子やフィルタを構成した圧電共振部品が移動体通信分野やＯＡ機器分野においても多く使用されるようになってきた。
　【０００３】
　例えば特開平７−３３６１８０号公報に記載された従来の圧電共振部品を、図３から図５を用いて説明する。図３は従来の圧電共振部品の中間積層体の構成を示す分解斜視図、図４はその中間積層体を示す斜視図、図５は従来の圧電共振部品（完成品）を示す斜視図である。
　【０００４】
　図３及び図４に於いて１は圧電共振子、２は励振電極、３は引き出し電極、４は封止基板、５は接着剤層、６は振動空間、７は固形充填物、８は外部電極である。図３及び図５に示すように、従来の圧電共振部品の中間積層体は、圧電共振子１と圧電共振子をその両主面側から挟持する一対の封止基板４と、圧電共振子１と封止基板４とを接合するための接着剤層５を具備する。圧電共振子１は、例えばＰＺＴ等の圧電セラミックス材料からなる圧電基板を母材とし、圧電基板の上面及び下面をそれぞれ主面とする。圧電基板の上面及び下面のそれぞれの中央部には励振電極２が形成されている。また、圧電基板の上面及び下面の互いに異なる端縁部上には引き出し電極３が形成されており、圧電基板の上面及び下面の励振電極２と引き出し電極３はそれぞれ導通接続されている。
　【０００５】
　封止基板は、それぞれアルミナや誘電体材料等のセラミック基板であり、圧電共振子とほぼ同じ形状及び大きさの矩形平板上に形成されている。図３に示すように、封止基板４の圧電共振子１に対向する面には、それぞれ励振電極２に対向する略円形の部分（以下、振動空間と称する）６を除いて接着剤層５が形成されている。接着剤層５を構成する接着剤中には、固形充填物７がほぼ均一に分散されている。固形充填物７はほぼ球形の外形を有し、圧電共振子１が振動しうる高さ（振動空間６の高さ）に対応した大きさである。固形充填物７はスペーサとして機能し、封止基板４と圧電共振子１と接着する接着剤層５の厚さ、すなわち、接着剤層５に形成された振動空間６の高さを一定に保つとともに、圧電共振子１と封止基板４とを加圧する際に、接着剤が振動空間６内に押し出されることによる振動阻害を防止する。
　【０００６】
　上記積層体の端面に、例えばめっき法などの湿式製膜法あるいはスパッター法等の乾式製膜法により、外部電極８を形成する。その結果、図５に示すように、従来の圧電共振部品が完成される。これらの外部電極８が形成された圧電共振部品は半田付けによりプリント配線板上に実装される。
　【０００７】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記従来の圧電共振部品においては、振動空間を形成する際の封止基板と圧電基板を接着する工程の接着剤層にエポキシ樹脂などを用いることが一般的となっている。熱硬化性樹脂の場合、所定の温度と所定の時間で硬化させるが、その過程は、おおよそ室温から温度を上昇させると一旦粘度が低下し、ある温度を超えると再び粘度が上昇し完全に硬化する。また空洞内の気体は状態方程式に従い、シャルルの法則で知られるように一定容積内の圧力は気体の温度に比例することがわかっている。つまり、接着剤層の硬化に際して、加熱によって接着剤層の粘度が低下するのと同時に空洞内の圧力が上昇することから、空洞内の空気が外部へ漏れ、気密性が阻害されるという問題を有していた。
　【０００８】
　本発明は、上記従来例の問題を解決するためになされたものであり、気密性の信頼が高く、共振特性が安定した圧電共振部品を、再現性良く製造し得る製造方法を提供することを目的とする。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】
　この課題を解決するために本発明の圧電共振部品は、圧電基板の両主面に振動用電極を設けて圧電共振子を形成する工程と、
　大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層することによって前記圧電共振子の振動空間を形成し、
前記振動空間内部の圧力は大気圧よりも低い圧力で形成されており、
　大気圧中または加圧槽中で加圧する
とともに、
保つ
　前記接着剤層を硬化させる工程
とを含み、前記接着剤の硬化の際にも、前記振動空間は気密性を保っている
　【００１０】
　また、前記製造方法において、大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で前記圧電基板の両側に接着剤層を介して封止基板を積層する際に、減圧パックに密封した状態もしくは減圧
槽
　【００１１】
　また、前記製造方法において、前記接着剤層が半硬化のシート状の接着剤であることを特徴とするものである。
　【００１２】
　【発明の実施の形態】
　（実施の形態１）
　本発明の圧電共振部品に関する実施の形態１について、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２を参照しつつ説明する。図１（ａ）は実施の形態１にかかる圧電共振部品の中間積層体を示す斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａでの断面図、図２はその構造を示す分解斜視図である。図１（ａ）と図１（ｂ）と図２において、ＰＺＴ等の圧電性セラミックス材料を矩形平板状に形成した圧電基板から成る圧電共振子１の両主面には励振電極２と引き出し電極３がそれぞれ形成されている。励振電極２に外部から電圧を印加すると励振電極２の近傍のみが振動する振動モードが励振される。圧電共振子１と封止基板４との間には接着剤層５が層状に設置されており、圧電振動子１の振動を阻害しないように振動空間を形成している。接着剤としては、耐熱性と接着強度を考慮して、例えばエポキシ系の熱硬化型樹脂を用いる。さらにこの振動空間は内部の圧力が大気圧よりも低い圧力で形成されている。振動空間の内部の圧力が大気圧とほぼ同じ圧力である場合、接着剤層５の硬化が室温で行われれば、振動空間内の空気が熱膨張し、外部へ漏れることなく気密性が保たれる。しかしながら一般には、接着剤層に熱硬化性樹脂を用いる場合、接着剤層の硬化において加熱が必要であり、このとき振動空間内の気体が熱膨張し、外部へ漏れることがあり、そのため気密性が阻害されることがある。そこで本実施の形態１では、振動空間の内部の圧力が大気圧よりも低い圧力で形成されているため、接着剤層の硬化における加熱の際に振動空間の気体が熱膨張しても接着剤の変形をもたらすような圧力にならず、気体が外部へ漏れることによって気密性が損なわれる割合を小さくすることができる。さらに、外部と振動空間の内部の圧力差により、振動空間に対して等方的に圧力差に等しい大きさの力が加わるため、圧電共振子１と封止板４との密着度が均一となり、変形がほとんどない振動空間が形成できる。また、接着剤層の硬化後においても、振動空間の内部と外部との圧力差により、加圧力が維持されるため剥離などの可能性が低くなる。尚、接着剤層は接着剤層の硬化に際する粘度の変化に対して、硬化の前後で振動空間の容積を一定に保つために任意の形状と大きさの固形充填物を含有したものがより好ましい。
　【００１３】
　（実施の形態２）
　次に、本発明の圧電共振部品の製造方法に関する実施の形態２について、図２を参照しつつ説明する。実施の形態２は、上記実施の形態１にかかる圧電共振部品の製造に適する方法に関する。
　【００１４】
　本発明の実施の形態２における圧電共振子の製造方法は、圧電共振子１の２つの主面上に励振電極２に対向する部分を除いて所定の厚さに接着剤層５を印刷等により塗布し、特定の温度と時間で加熱して半硬化状態にしたものを介して大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で封止基板４を圧電共振子１の外側に積層し、特定の温度と時間で加熱して接着剤層を完全硬化させることにより、接着剤層が励振電極２の近傍に流れることなく、かつ振動空間内の気体が熱膨張し、外部へ漏れることなく気密性を保った振動空間を安定に形成することができる。このような圧電共振部品の製造方法をとることにより、特性の安定した実施の形態１にかかる圧電共振部品を得ることができる。例えば大気圧よりも低い圧力の雰囲気中で積層することを実現する方法として、積層前の中間積層体を減圧パックに密封し大気圧中または加圧槽中で加圧することによって振動空間の内部の圧力を大気圧よりも低い圧力にすることができる。また接着剤層の形成には、印刷のほかに半硬化状態のシート状の接着剤を用いても同様の効果が得られ、この場合、減圧槽中で中間積層体をラミネートすることで所望の振動空間を形成できる。
　【００１５】
　（参考例）
　次に、本発明の圧電共振部品の製造方法に関する参考例について、図２を参照しつつ説明する。参考例は、実施の形態２と同様に、実施の形態１にかかる圧電共振部品の製造に適する方法に関する。従って、上記実施の形態２にかかる製造方法と共通する部分の説明は省略する。
　【００１６】
　本発明の参考例における圧電共振子の製造方法は、圧電振動子１の２つの主面上に励振電極２に対向する部分を除いて形成した半硬化状態の接着剤層５を介して、接着剤層５を硬化させるときの温度よりも高い温度において、封止基板４を圧電共振子１の外側に積層し、特定の温度と時間で加熱して接着剤層を硬化させることにより、振動空間を形成する。
　【００１７】
　上記参考例にかかる圧電共振部品の製造方法では、全ての工程において大気圧中で行うので、接着剤層を介して封止基板と圧電共振子を高温で積層しなければならないが、実施の形態２に於ける大気圧よりも低い圧力の雰囲気中での工程を経ることなく簡便に特性の安定した実施の形態１にかかる圧電共振部品を得ることができる。
　【００１８】
　【発明の効果】
　以上のように本発明によれば、振動空間の内部の圧力を大気圧よりも低い圧力で振動空間を形成しているため接着剤層の硬化の際に振動空間内の気体が熱膨張し外部へ漏れることなく安定して気密性を保つことができ、且つ、振動空間の形成に圧電基板やアルミナ等のセラミック基板と半硬化状態の接着剤層を用いているため振動空間の変形や接着剤が流れ出すことによる励振電極への付着を防ぎ、電極の励振を阻害することなく安定して振動空間を形成できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】（ａ）は本発明の実施の形態１における圧電共振部品の中間積層体の斜視図
　（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ面での部分断面図
　【図２】本発明の実施の形態１における圧電共振部品の中間積層体の構造を示す分解斜視図
　【図３】従来の圧電共振部品の中間積層体の構造を示す分解斜視図
　【図４】図３に示す中間積層体の外観を示す斜視図
　【図５】従来の圧電共振部品の外観を示す斜視図
　【符号の説明】
　１　圧電共振子
　２　励振電極
　３　引き出し電極
　４　封止基板
　５　接着剤層
　６　振動空間
　７　固形充填物
　８　外部電極
【図面】