【事件の表示】
　特許第３２６６９３６号「水除去用組成物及び物品の水除去方法」の請求項１〜１３に係る発明の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２６６９３６号の請求項１〜６に係る発明の特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第３２６６９３６号の出願は、特許法第４２条の２に基づく優先権主張を伴い（優先権主張番号：特願平３−１２３８０３号、優先日：平成３年５月２８日）平成４年５月２８日に出願され、平成１４年１月１１日にその特許の設定登録がなされたものであって、その特許につき、平成１４年９月１７日付けで三井・デュポンフロロケミカル株式会社より特許異議申立がなされ、また、平成１４年９月１８日付けで旭硝子株式会社（以下、「申立人Ａ」という）及び三井・デュポンフロロケミカル株式会社（以下、「申立人Ｂ」という）よりそれぞれ特許異議の申立がなされ、その後、平成１４年９月１８日付けの特許異議申立の理由と証拠に基づき、平成１５年３月２７日付けで取消理由を通知したところ、権利者より平成１５年６月６日付けで訂正請求がなされたものである。
　なお、平成１４年９月１７日付けの三井・デュポンフロロケミカル株式会社の特許異議申立は、平成１４年１０月１６日付けで取り下げられている。
　
II．訂正の適否
II−１．訂正事項
　本件明細書につき、平成１５年６月６日付け訂正請求書に添付された訂正明細書に記載されるとおりの、次の（イ）〜（ニ）の訂正を求めるものである（以下、訂正前の明細書を「特許明細書」といい、訂正請求書に添付された明細書を「訂正明細書」という）。
（イ）特許明細書の請求項１〜７の記載を削除する。
（ロ）特許明細書の請求項８における、
「表面に付着した水を有する物品から水を除去する方法において、一般式
　　　ＣｎＦｍＨ２ｎ＋２−ｍ（式中ｍおよびｎは、それぞれ４≦ｎ≦６且つ２ｎ−２≦ｍ＜２ｎ＋２である正の整数）で表されるフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除去用組成物を物品と接触させて水を除去することを特徴とする物品の水除去方法。」を、
「表面に付着した水を有する物品から水を除去する方法において、Ｃ４Ｆ６Ｈ４、Ｃ４Ｆ８Ｈ２、Ｃ４Ｆ９Ｈ、Ｃ５Ｆ８Ｈ４、Ｃ５Ｆ９Ｈ３、Ｃ５Ｆ１０Ｈ２、Ｃ５Ｆ１１Ｈ、Ｃ６Ｆ１０Ｈ４、Ｃ６Ｆ１１Ｈ３及びＣ６Ｆ１２Ｈ２から選ばれた少なくとも一種のフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除去用組成物を物品と接触させて水を除去することを特徴とする物品の水除去方法。」に訂正する。
（ハ）特許明細書の請求項８〜１３における請求項番号を、それぞれ、１〜６と訂正し、特許明細書の請求項９〜１３において、「請求項８に記載の物品の水除去方法。」とあるのを「請求項１に記載の物品の水除去方法。」にそれぞれ訂正する。
（ニ）特許明細書の段落０００９の記載を、
「即ち、本発明は、表面に付着した水を有する物品から水を除去する方法において、Ｃ４Ｆ６Ｈ４、Ｃ４Ｆ８Ｈ２、Ｃ４Ｆ９Ｈ、Ｃ５Ｆ８Ｈ４、Ｃ５Ｆ９Ｈ３、Ｃ５Ｆ１０Ｈ２、Ｃ５Ｆ１１Ｈ、Ｃ６Ｆ１０Ｈ４、Ｃ６Ｆ１１Ｈ３及びＣ６Ｆ１２Ｈ２から選ばれた少なくとも一種のフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除去用組成物を物品と接触させて水を除去することを特徴とする物品の水除去方法を提供するものである。」に訂正する。
　
II−２．訂正の適否の判断
II−２−１．訂正の目的
　上記（イ）の訂正は、請求項１〜７を削除するもので、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　上記（ロ）の訂正は、一般式で規定されていたフッ化脂肪族炭化水素を、より具体的な化学式のものに限定するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　上記（ハ）の訂正は、上記の請求項１〜７の削除に伴い、不明瞭となった請求項番号の表示を整理ないしは明瞭化するものであって、当該訂正は明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　上記（ニ）の訂正は、上記の（ロ）の請求項の訂正に伴い、発明の詳細な説明の項の記載をこれに整合させるものであり、当該訂正は明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
II−２−２．新規事項の有無
　上記（ロ）の訂正事項は特許明細書の段落００１０等の箇所に記載されているものであり、当該（ロ）の訂正は願書に添付した明細書に記載した範囲内においてなされたものである。
　上記（イ）、（ハ）及び（ニ）の訂正は、単に、請求項を削除し、請求項番号の表示を訂正し、そして、発明の詳細な説明の記載を請求項の記載に整合させるだけのものであるから、願書に添付した明細書に記載した範囲内においてなされたものである。
II−２−３．拡張・変更の存否
　上記（イ）〜（ニ）の訂正は、上記記載からみて明らかなように、特許請求の範囲に記載される発明の範囲を減縮し、又は、明細書の記載を明瞭化するだけのものであるから、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものには該当しない。
　
II−３．訂正の適否の結論
　よって、上記訂正請求は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
III．本件発明
　本件明細書は、前記のとおり、平成１５年６月６日付けで訂正請求がなされ、その請求どおり訂正されたものであって、訂正後の本件特許第３２６６９３６号の請求項１〜６に係る発明（以下、それぞれ、必要に応じて、「本件発明１」〜「本件発明６」という）は、訂正明細書の特許請求の範囲に記載される次のとおりのものである。
【請求項１】表面に付着した水を有する物品から水を除去する方法において、Ｃ４Ｆ６Ｈ４、Ｃ４Ｆ８Ｈ２、Ｃ４Ｆ９Ｈ、Ｃ５Ｆ８Ｈ４、Ｃ５Ｆ９Ｈ３、Ｃ５Ｆ１０Ｈ２、Ｃ５Ｆ１１Ｈ、Ｃ６Ｆ１０Ｈ４、Ｃ６Ｆ１１Ｈ３及びＣ６Ｆ１２Ｈ２から選ばれた少なくとも一種のフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除去用組成物を物品と接触させて水を除去することを特徴とする物品の水除去方法。
【請求項２】表面に付着した水を有する物品を４０℃乃至沸騰点の温度範囲内に保持した水除去用組成物中に浸漬させて水を除去することを特徴とする請求項１に記載の物品の水除去方法。
【請求項３】表面に付着した水を有する物品に加熱した水除去用組成物をスプレーして水を除去することを特徴とする請求項１に記載の物品の水除去方法。
【請求項４】表面に付着した水を有する物品を水除去用組成物の蒸気と接触させて水を除去することを特徴とする請求項１に記載の物品の水除去方法。
【請求項５】表面に付着した水を有する物品を４０℃乃至沸騰点の温度範囲内に保持した水除去用組成物中に浸漬し、次いで該水除去用組成物の蒸気と接触させて水を除去することを特徴とする請求項１に記載の物品の水除去方法。
【請求項６】表面に付着した水を有する物品に加熱した水除去用組成物をスプレーし、次いで該水除去用組成物の蒸気と接触させて水を除去することを特徴とする請求項１に記載の物品の水除去方法。
　
IV．特許異議申立の概要
　特許異議申立人Ａは、以下の証拠を提示し、次のように主張する。
【理由ａ−１】特許明細書の請求項１、２及び４（訂正により削除）に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当する。
【理由ａ−２】特許明細書の請求項１、２、４及び６（訂正により削除）に係る発明は、甲第２号証に記載された発明と同一であって、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない。
【理由ａ−３】特許明細書の請求項１、４及び６（訂正により削除）に係る発明は、甲第３号証に記載された発明と同一であって、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない。
【理由ａ−４】特許明細書の請求項１〜１３に係る発明（訂正後の請求項１〜６に係る発明）は、甲第１及び４〜８号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、特許明細書の請求項１〜１３に係る発明（訂正後の請求項１〜６に係る発明）の特許は取り消されるべきものである。
甲第１号証：特開平２−１９１５８１号公報（以下、「引用例１」という）
甲第２号証：特願平３−５１７９３９号の願書に最初に添付した明細書に
　　　　　　替える特表平５−５０８４１８号公報
　　　　　　（以下、「先願明細書１」という）
甲第３号証：特願平４−１１２９１６号の願書に最初に添付した明細書に
　　　　　　替える特開平５−１４０５９２号公報
　　　　　　（以下、「先願明細書２」という）
甲第４号証：特開平３−１２３７４４号公報（以下、「引用例２」という）
甲第５号証：特開平３−１２３７４５号公報（以下、「引用例３」という）
甲第６号証：米国特許第３７２９５６７号明細書
　　　　　　（以下、「引用例４」という）
甲第７号証：「フロンの環境化学と対策技術〔季刊　化学総説　Ｎｏ．
　　　　　　１１〕」、学会出版センター、１９９１年４月２５日、第１９
　　　　　　頁（以下、「引用例５」という）
甲第８号証：特開昭４９−１０１９５５号公報
　　　　　　（以下、「引用例６」という）
　
　特許異議申立人Ｂは、以下の証拠を提示し、次のように主張する。
【理由ｂ−１】特許明細書の請求項１、２、４及び８に係る発明（訂正後の請求項１に係る発明）は、甲第１号証に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当する。
【理由ｂ−２】特許明細書の請求項１、２、４、６及び７に係る発明（訂正により削除）は、甲第５号証に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当する。
【理由ｂ−３】特許明細書の請求項１、２、４及び６〜１３に係る発明（訂正後の請求項１〜６に係る発明）は、甲第１〜３、５及び６号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
【理由ｂ−４】特許明細書の請求項１、２、４及び６〜８に係る発明（訂正後の請求項１に係る発明）は、甲第４号証に記載された先願発明と同一であり、特許法第３９条第１項の規定により特許を受けることができない。
甲第１号証：特開平２−１９１５８１号公報
　　　　　　（前記したとおり、「引用例１」という）
甲第２号証：特開平２−２３５９８２号公報（以下、「引用例７」という）
甲第３号証：「精密洗浄技術」、工業図書株式会社、昭和５８年３月２０日
　　　　　　、第２、３、４０、４１及び１７２〜１７５頁
　　　　　　（以下、「引用例８」という）
甲第４号証：特許第３１１２４７８号公報
　　　　　　（以下、「先願明細書３」という）
甲第５号証：国際公開第９２／７１１２号パンフレット
　　　　　　（以下、「引用例９」という）
甲第６号証：特開平２−２２２７０１号公報
　　　　　　（以下、「引用例１０」という）
　
Ｖ．証拠の記載内容
Ｖ−Ａ．引用例１（特開平２−１９１５８１号公報）には、以下のことが記載される。
（Ａ−１）「容器（１２）の中の水素含有、易燃性の液体有機溶剤（２１）との接触により部品を洗浄し乾燥する工程であつて、溶剤表面が、有機溶剤に熱移動する高フツ素化有機化合物に富んだ蒸気層（２６）によりおおわれていること、および、洗浄されるべき部品を液体有機溶剤と接触させ、それから除去し、高フツ素化化合物に富んだ蒸気層中で蒸気−すすぎ、または乾燥し、次に洗浄環境から除去することを特徴とする方法。」（特許請求の範囲第１項）
（Ａ−２）「電子工業の範囲内で、印刷回路板および他の電子部品および集成装置から融剤残滓、その他の汚れを除去し、水を溶解により除去することができる溶剤が要求されている。」（第２頁右上欄第２〜５行）
（Ａ−３）「近年、特に１９８０年以来、クロロフルオロカーボン（ＣＦＣ）は、一般に、上空大気中のオゾン層の枯渇の一因となる可能性があるという疑いを受けるようになつた。・・・本発明は、塩素または臭素を含有しない高フツ素化有機化合物（ＨＦＯ）を、高フツ素化合物よりも高い溶解力を有する溶剤（通常は極性有機溶剤）とともに用いる、特に電子集成装置および部品のための洗浄および乾燥の代わるべき方法を提供する。」（第２頁左下欄第８行〜右下欄第１行）
（Ａ−４）「ＨＦＯは、一般に、非常に乏しい溶解力を有し、大部分の他の溶剤と部分的に飽和するにすぎない。・・・。脂肪族アルコール、ケトン、ニトリル、ニトロアルカンおよびアセールのような官能性炭化水素は、特に極性の汚れに対して比較的に高い溶解力を有するが、それらは常に易燃性である。」（第２頁右下欄第１〜８行）
（Ａ−５）「本発明は、ＨＦＯより比較的に高い溶解力を有する易燃性液体を、フッ素化有機化合物と組合せて用い、したがって引火性の危険を最小に減じる、特に電子集成装置および部品のための、洗浄および乾燥方法および装置の提供を目的とする。」（第２頁右下欄第１７行〜第３頁左上欄第１行）
（Ａ−６）「好ましい有機溶剤は、１〜５個の炭素原子を含有する低級脂肪族アルコール（例えば、エタノール、イソプロパノール）であるが、ケトン、ニトリルおよびニトロアルカンのような他の官能性溶剤も用いることができる。」（第３頁左上欄第１１〜１５行）
（Ａ−７）「有機溶剤は、高フツ素化化合物を有機溶剤中のその化合物の飽和濃度（飽和溶解度）まで含有することができることを理解されたい。」（第３頁左上欄第１５〜１８行）
（Ａ−８）「このようなＨＦＯ化合物は、完全にフッ素化される必要はない。該化合物は、最も好ましくは、ペルフルオロ（アルキル−またはポリアルキル−シクロアルカン）である。
　特に適用な水素含有フッ素化有機化合物は、下記を含む：
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　沸　点
ペルフルオロ−１−ヒドロ−ｎ−ヘプタン　　　　　　４５℃
ペルフルオロ−１−ヒドロ−ｎ−ヘキサン　　　　　　７０℃
ペルフルオロ−１，３−ジヒドロ−シクロヘキサン　　７８℃」（第３頁右上欄第６〜１８行）
（Ａ−９）「蒸発速度は、ペルフルオロカーボン／溶剤混合物が各成分単独よりも高い蒸気圧を有し、その結果、沸点が減少し、水蒸気蒸留と同様の効果を与えるという事実により高まる。ペルフルオロカーボン／溶剤の蒸気は、冷却コイル３２により制御されるレベル５７に上昇する。・・・・〈中略〉・・・・洗浄されるべき部品を区分室４４中の冷却剤４５の中におろす。融剤のような汚れは溶解し、必要なら、攪拌、加圧ジェット、超音波などにより溶解を助けることができる。次に、部品を蒸気層５５に引上げ、そこで凝縮物が部品の上に形成し、純粋な液体中のすすぎを提供する。次に、部品を蒸気から着実に上げ、部品が蒸気／空気の界面５７を出ると同時に乾燥が生じる。」（第５頁左上欄第１８行〜左下欄第１５行）
　
Ｖ−Ｂ．引用例２（特開平３−１２３７４４号公報）には、以下のことが記載されている。
（Ｂ−１）「３，３−ジクロロ−１，１，１，２，２−ペンタフルオロプロパン、１，３−ジクロロ−１，１，２，２，３−ペンタフルオロプロパン及びエタノールからなるフッ素化炭化水素系共沸組成物。」（特許請求の範囲第１項）
（Ｂ−２）「これらの従来のフロンに変わり、オゾン層を破壊しにくい代替フロンの探索が活発に行なわれている。本発明は、・・・代替フロンとして使用できる新規なフロン組成物を提供することを目的とするものである。」（第２頁左上欄第８〜１４行）
（Ｂ−３）「本発明のフッ素化炭化水素系共沸組成物及び擬共沸組成物は、・・・溶剤等の各種用途に好適に使用できる。溶剤の具体的な用途としては、・・・特にＩＣ部品、・・・等の洗浄剤や水切り剤等を挙げることができる。」（第２頁右下欄第６〜１６行）
（Ｂ−４）「実施例３　・・・ガラス板を純水に浸漬後、本発明の前記組成物中に２０秒浸漬して水切りを行ない、取り出したガラス板を無水メタノール中に浸漬してその水分増加量から付着水の除去状況を調べた。その結果、付着水は、・・・、良好に除去できることが確認された。」（第３頁右上欄第７〜１８行）
　
Ｖ−Ｃ．引用例３（特開平３−１２３７４５号公報）には、以下のことが記載されている。
（Ｃ−１）「３，３−ジクロロ−１，１，１，２，２−ペンタフルオロプロパン、１，３−ジクロロ−１，１，２，２，３−ペンタフルオロプロパン及びメタノールからなるフッ素化炭化水素系共沸組成物。」（特許請求の範囲第１項）
（Ｃ−２）「実施例３　・・・ガラス板を純水に浸漬後、本発明の前記組成物中に２０秒浸漬して水切りを行ない、取り出したガラス板を無水メタノール中に浸漬してその水分増加量から付着水の除去状況を調べた。その結果、付着水は、・・・、良好に除去できることが確認された。」（第３頁右上欄第７〜１８行）
　
Ｖ−Ｄ．引用例４（米国特許第３７２９５６７号明細書）には、以下のことが記載されている。
（Ｄ−１）「生成物である１，１，５−トリヒドロ−パーフルオロペンタンは、ソーダ石灰に対して安定であり、麻酔可能な哺乳動物のための麻酔薬である。この化合物は、油脂を含む他の有機液体と容易に混和し、そして、例えば、フッ素化オレフィン、フルオロワックスのような他のフッ素化物質の溶剤として、有用な溶剤特性を有する。本発明の化合物は、コーティングや同様なものに有用な物質につきペーストやディスパージョンを調製するのに用いてよく、脱脂剤として用いてもよい。」旨（第１欄第２８〜３７行）
　
Ｖ−Ｅ．引用例６（特開昭４９−１０１９５５号公報）には、「非吸収性物品から液体を除去する方法および装置」に関し、以下のことが記載されている。
（Ｅ−１）「本発明の特定の１つの目的は、・・・水を含んだ非吸収性物品を乾燥する装置とこの装置を利用してこの種物品を乾燥する方法とを提供することである。」（第２頁右下欄第１３行〜第３頁左上欄第２行）
（Ｅ−２）「実施例２　・・・使用した溶媒はそれぞれ重量にして約９７％の１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフルオロエタンと約３％のイソプロパノールとの共沸混合物である。・・・（１）約１５分間沸騰溝だめ上で蒸気すすぎする。（２）約３０秒間液だめ２の溶媒浴に浸漬（振動なし）（３）１５分間溶媒をスプレイする。（４）１２０秒間第２の蒸気ですすぐ。・・・ウエーファーを以下に示す順序で一連の工程で処理する。・・・処理系統から取出して視覚点検すると接触箇所でも完全に乾燥し水の付着している箇所がないことが判った。」（第１５頁右上欄第５行〜右下欄第６行
　
Ｖ−Ｆ．引用例７（特開平２−２３５９８２号公報）には、以下のことが記載されている。
（Ｆ−１）「式、ＣＸ３−ＣＹ２−Ｒ
　式中、
Ｘ基の各々は独立に水素又はフッ素を表し、
Ｙ基の各々は独立に水素、フッ素又はＣＦ３を表し、
ＲはＣＨ２Ｆ、ＣＨＦ２、ＣＨ３、ＣＦ３、ＣＦ２−ＣＨ３、ＣＦ２ＣＨ２Ｆ、ＣＨ２−ＣＨ３、ＣＨ２ＣＨ２−ＣＨ３、又は−ＣＨ（ＣＨ３）−ＣＨ３を表し、
　上記式のポリフルオロアルカンは少なくとも２個のフッ素原子を含む、
のポリフルオロアルカン少なくとも１種、又は前記ポリフルオロアルカン少なくとも１種と慣用の噴射剤又は脱油剤及び洗浄剤との混合物を含んで成ることを特徴とする、電気工業に有用な脱油剤又は洗浄剤。」（特許請求の範囲第３項）
（Ｆ−２）「本出願人は、式　ＣＸ３−ＣＹ２−Ｒ　　　（Ｉ）
　　　　　　　　　〈中　略〉
　式（Ｉ）のポリフルオロアルカンは少なくとも２個のフッ素原子を含む、
のポリフルオロアルカンは噴射剤として有利に使用することができることを見出した。
　　　　　　　　　〈中　略〉
　本発明に従う使用には、Ｘ３、Ｙ２及びＲが表１に記載した組み合わせで示される式（Ｉ）の化合物が特に好ましい。
　　表１
　　Ｘ３　　　　　Ｙ２　　　　　　　　　Ｒ
　　　　　　　〈中　略〉
　　Ｆ３　　　　　ＨＦ　　　　　　ＣＦ２−ＣＨ３　　
　　Ｆ３　　　　　Ｈ２　　　　　　ＣＦ２−ＣＦＨ２」旨（第２頁左上欄第１２行〜右下欄第１１行）
（Ｆ−３）「式（Ｉ）のポリフルオロアルカン類は、更に電気工業での脱グリース剤及び洗浄剤として使用することができる。好ましいものとして前記したポリフルオロアルカンと同じポリフルオロアルカンがこの目的にとって好ましい。この場合も又、式（Ｉ）の個々の化合物との混合物を使用することができる。」（第５頁右上欄第１６行〜左下欄第３行）
　
Ｖ−Ｇ．引用例８（「精密洗浄技術」）には、以下のことが記載されている。
（Ｇ−１）「同様に超精密洗浄などで問題となる水の単分子の長さは僅かに１オングストローム強である．このような微小な物質の除去も，この分野では必要とされる場合が多いのである．」（第３頁第３〜７行）
（Ｇ−２）「４−１−３微量吸着汚れ　通常の洗浄では全く問題にならない程度の水分，有機物，ガスなどの吸着，吸蔵汚れが，精密洗浄や超精密洗浄の場では，問題とされる．」（第１７３頁第６〜８行）
Ｖ−Ｈ．引用例１０（特開平２−２２２７０１号公報）には、以下のことが記載されている。
（Ｈ−１）「炭素数が４である塩素化弗素化炭化水素を有効成分として含有する付着水除去用溶剤。」（特許請求の範囲第１項）
（Ｈ−２）「例えば、付着水除去効果を高めるためには、炭化水素類、アルコール類、ケトン類、又は、ハロゲン化炭化水素類等の有機溶剤あるいは界面活性剤類から選ばれる少なくとも１種を含有させることができる。」（第２頁右上欄第１９行〜左下欄第３行）
　
Ｖ−Ｊ．先願明細書３（特許第３１１２４７８号公報）には、以下のことが記載されている。
（Ｊ−１）「【請求項１】実質的に
（ａ）８９．０〜９９．０重量％の１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン及び１．０〜１１．０重量％のメタノール；
（ｂ）９１．０〜９９．０重量％の１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン及び１．０〜９．０重量％のエタノール；又は
（ｃ）９３．０〜９９．０重量％の１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン及び１．０〜７．０重量％のイソプロパノール
からなる共沸組成物。」（請求項１）
（Ｊ−２）「【請求項１４】請求の範囲第１項記載の共沸組成物で、表面を処理することを具備する固体表面の清浄化方法。」（請求項１４）
（Ｊ−３）「実施例４
　いくつかの片側回路基板を、活性化ロジンフラックスで被覆し、予備ヒーター上を通過させることによってハンダ付けし、約２００°Ｆ（９３℃）で頂部基板温度を得た。その後、５００°Ｆ（２６０℃）の熔融ハンダを通した。ハンダ付けされた基板は、上述の実施例１及び２で言及した共沸混合物を用いて、回路基板を吊り下げることによって１個ずつ脱脂した。まず、共沸混合物を含む沸騰しているサンプ中で３分間、その後、同様の共沸混合物を含むリンスサンプ中で１分間行なった。各共沸物中で清浄化された基板上には、目に見えるような残渣は残っていなかった。」（第８頁左欄本文第１０〜２２行）
　
VI．異議申立に対する当審の判断
VI−１．申立人Ａの理由について
　申立人Ａの理由ａ−１〜理由ａ−３については、前記訂正請求により明細書が訂正された結果、取消の対象となる請求項が存在しないこととなったものであり、したがって、それら理由ａ−１〜理由ａ−３についてはこれ以上審及しない。
　また、同理由ａ−４については、同訂正により請求項が削除されたので、訂正後の請求項１〜６に係る発明（本件発明１〜６）についてのみ、以下に、審理する。
VI−１−１．理由ａ−４について
VI−１−１−１．本件発明１
　引用例１には、その前記摘示箇所（Ａ−１）、（Ａ−２）、（Ａ−６）及び（Ａ−８）により、「印刷回路板等の部品を、エタノール及びイソプロパノール等から選択される液体有機溶剤と接触させ、当該部品をそこから除去し、ペルフルオロ−１−ヒドロ−ｎ−ヘキサン等から選択される高フツ素化化合物に富んだ蒸気層中で蒸気−すすぎ、または乾燥し、次に洗浄環境から除去することからなる、水を溶解により除去する方法」に関する発明が記載されている。
　そこで、本件発明１と引用例１に記載の発明とを対比する。
　引用例１に記載の発明は、印刷回路板等の部品から水を除去するものであって、通常、印刷回路板等の部品は吸収性ではなく水をその表面に有するものであるから、引用例１に記載の発明は、本件発明１と同じように、表面に付着した水を有する物品から水を除去する方法に関するものであるということができる。
　また、引用例１に記載の発明では、高フツ素化化合物と有機溶剤を用いるものであって、この「高フツ素化化合物」、「液体有機溶剤のアルコール」は、本件発明１の「フッ化脂肪族炭化水素」、「炭素数１〜４のアルコール」にそれぞれ、相当する。
　よって、両者は、
「表面に付着した水を有する物品から水を除去する方法において、フッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールを物品と接触させて水を除去する物品の水除去方法」である点で共通し、以下の点で相違する。
【相違点１】該フッ化脂肪族炭化水素として、本件発明１は、「Ｃ４Ｆ６Ｈ４、Ｃ４Ｆ８Ｈ２、Ｃ４Ｆ９Ｈ、Ｃ５Ｆ８Ｈ４、Ｃ５Ｆ９Ｈ３、Ｃ５Ｆ１０Ｈ２、Ｃ５Ｆ１１Ｈ、Ｃ６Ｆ１０Ｈ４、Ｃ６Ｆ１１Ｈ３及びＣ６Ｆ１２Ｈ２から選ばれた少なくとも一種」のものを用いるのに対して、引用例１の発明では、ペルフルオロ−１−ヒドロ−ｎ−ヘキサン等の高フツ素化化合物を用いるものの、本件発明１の化合物についてまでは示されるところがない点
【相違点２】物品の水除去方法につき、本件発明１では、「フッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除去用組成物」を物品と接触させて水を除去するのに対し、引用例１の発明では、その前記摘示（Ａ−１）及び（Ａ−９）により明らかなように、水の除去はエタノール及びイソプロパノール等から選択される液体有機溶剤との接触により行われるものであり、本件発明１のように高フツ素化化合物と液体有機溶剤との組成物により実施されるものでなく、したがって、当該構成を具備しない点　
　以下、この相違点につき検討する。
【相違点１について】
　訂正明細書の記載（特に、段落０００４〜０００６、００２６の記載）によれば、本件発明１は、フッ化脂肪族炭化水素として、「Ｃ４Ｆ６Ｈ４、Ｃ４Ｆ８Ｈ２、Ｃ４Ｆ９Ｈ、Ｃ５Ｆ８Ｈ４、Ｃ５Ｆ９Ｈ３、Ｃ５Ｆ１０Ｈ２、Ｃ５Ｆ１１Ｈ、Ｃ６Ｆ１０Ｈ４、Ｃ６Ｆ１１Ｈ３及びＣ６Ｆ１２Ｈ２から選ばれた少なくとも一種」のものを選択することにより、これを、炭素数１〜４のアルコールと共に水除去用組成物として用いることにより、オゾン層の破壊を来すことがないだけでなく、実質的に不燃性で、水分離性が良いこと等からその操作性に優れた水除去方法を提供できたものである。
　これに対して、引用例１に記載の発明では、その前記摘示箇所（Ａ−３）及び（Ａ−５）によれば、オゾン層の枯渇及び引火性につき配慮するものの、そこで用いる脂肪族の高フツ素化化合物につき、それ以上に示唆されるものはない。
　次に、引用例２〜６の記載を順次みる。
　引用例２には、代替フロンとして使用できる新規なフロン組成物を提供することを目的して、「３，３−ジクロロ−１，１，１，２，２−ペンタフルオロプロパン、１，３−ジクロロ−１，１，２，２，３−ペンタフルオロプロパン及びエタノールとからなるフッ素化炭化水素系共沸組成物」を水切り（水除去に相当）の用途に用いた発明が記載される。しかし、引用例２の発明では、本件発明１のような特定のフッ化脂肪族炭化水素を用いること、更には、そのフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとから水除去用組成物を構成することが示唆されず、また、そのフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除去用組成物を用いた場合の不燃性及び水分離性等につき教示するものはない。
　引用例３には、引用例２の場合と類似の発明が記載されており、塩素化フッ素化プロパンとメタノールとからなるフッ素化炭化水素系共沸組成物を水切りの用途に用いことが示されるものの、ここでも、本件発明１のような特定のフッ化脂肪族炭化水素を用いることが示されず、更には、そのフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとから水除去用組成物を構成することが示唆されず、また、そのフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除去用組成物を用いた場合の不燃性及び水分離性等につき教示するものはない。
　引用例４では、１，１，５−トリヒドロ−パーフルオロペンタン（本件発明１のＣ５Ｆ９Ｈ３に包含される）の用途・物性などにつき記載され、この化合物が油脂を含む他の有機液体と容易に混和することが示されるものの、そこでは、この化合物と炭素数１〜４のアルコールとから水除去用組成物を構成することが示唆されず、また、この化合物を炭素数１〜４のアルコールと共に用いた場合のオゾン層に対する影響、不燃性、及び水分離性等につき教示するものが何もない。
　引用例５では、フロン１１３（即ち、１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフルオロエタン）とエタノールとからなる共沸組成物につき、その水との相溶性が0.25/100（25℃）であることが示されるだけである。
　引用例６には、「約９７％の１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフルオロエタンと約３％のイソプロパノールとの共沸混合物」とを用いる水切り方法に関する発明が記載されている。しかし、引用例６の発明では、本件発明１のような特定のフッ化脂肪族炭化水素を用いること、更には、そのフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとから水除去用組成物を構成することが示唆されず、また、そのフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除去用組成物を用いた場合の不燃性及び水分離性等につき教示するものはない。
　このように、引用例２〜６に記載の発明では、前記相違点１に係る特定のフッ化脂肪族炭化水素につき、それと炭素数１〜４のアルコールとから水除去用組成物を構成すること、その組成物を用いた場合の不燃性及び水分離性等につき示唆ないし教示するものは何もない。してみれば、引用例１に記載の発明に対して引用例２〜６に記載の発明を併せてみても、そこから、上記意義を有する本件発明の相違点１に関する構成を、容易に導き出すことができるものではない。
　したがって、他の相違点２について検討するまでもなく、本件発明１は、引用例１〜６に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
VI−１−１−２．本件発明２〜６
　本件発明２〜６は、本件発明１につき、更に、その水除去方法の態様を更に限定するものである。したがって、上記VI−１−１−１．で説示した理由と同じ理由により、本件発明２〜６は、引用例１〜６に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
　
VI−２．申立人Ｂの理由について
　申立人Ｂの理由ｂ−２については、前記訂正請求により明細書が訂正された結果、取消の対象となる請求項が存在しないこととなったものであり、したがって、この理由ｂ−２についてはこれ以上審及しない。
　また、同理由ｂ−１及び同理由ｂ−４については、同訂正により請求項が削除されたので、訂正後の請求項１に係る発明（本件発明１）についてのみ審理することとし、同理由ｂ−３については、同訂正により請求項が削除されたので、訂正後の請求項１〜６に係る発明（本件発明１〜６）についてのみ審理することとする。
VI−２−１．理由ｂ−４について
　先願明細書３の請求項１４には、
「【請求項１４】請求の範囲第１項記載の共沸組成物で、表面を処理することを具備する固体表面の清浄化方法。」と記載され、また、そこで引用する先願明細書３の請求項１には、「【請求項１】実質的に
（ａ）８９．０〜９９．０重量％の１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン及び１．０〜１１．０重量％のメタノール；
（ｂ）９１．０〜９９．０重量％の１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン及び１．０〜９．０重量％のエタノール；又は
（ｃ）９３．０〜９９．０重量％の１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン及び１．０〜７．０重量％のイソプロパノール
からなる共沸組成物。」と記載される。
　上記記載を総合すると、先願明細書３の請求項１４に係る発明は、以下のとおりのものと認める。
「実質的に
（ａ）８９．０〜９９．０重量％の１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン及び１．０〜１１．０重量％のメタノール；
（ｂ）９１．０〜９９．０重量％の１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン及び１．０〜９．０重量％のエタノール；又は
（ｃ）９３．０〜９９．０重量％の１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン及び１．０〜７．０重量％のイソプロパノール
からなる共沸組成物で、表面を処理することを具備する固体表面の清浄化方法。」（以下、「先願発明」という）
　そこで、本件発明１と先願発明とを対比する。
　先願発明の「１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン」は、本件発明１のＣ５Ｆ１０Ｈ２に包含され、また、その「メタノール」、「エタノール」及び「イソプロパノール」はいずれも、本件発明１の炭素数１〜４のアルコールに包含される。そして、先願発明の清浄化方法においては、固体表面を処理するのであるから、そこでの処理は、処理に付する物品の存在を前提とするものであり、また、先願発明の清浄化方法においては、その共沸組成物で処理するのであるから、そこでの処理は、当該共沸組成物を物品と接触させるものである。
　よって、両者は、
「Ｃ５Ｆ１０Ｈ２のフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる組成物を物品と接触させる物品の処理方法」である点で一致し、以下の点で相違する。
【相違点ａ】その処理方法が、本件発明１では、「表面に付着した水を有する物品から水を除去する」との構成を具備し、また、「水除去」との構成を具備するのに対し、先願発明ではそのことが具体的に示されない点
【相違点ｂ】その組成物が、本件発明１では、「水除去用」であるとの構成を具備するのに対し、先願発明ではそのことが具体的に示されない点
【相違点ｃ】その処理方法の態様につき、本件発明１では、物品と接触させて「水を除去する」との構成を具備するのに対し、先願発明では、物品と接触させて「清浄化」することが示されるだけで、当該構成を具備しない点
　そこで、先ず、上記相違点ｃにつき検討する。
　先願発明は、固体表面を清浄化するものであるが、そのように清浄化すれば当然のこととして水を除去できるといえるものではない。
　この点に関し、申立人Ｂは引用例８を引用する。しかし、同引用例８では、超精密洗浄等のような特定の用途において、洗浄する場合には極微量の水が問題となることが示されるだけであって、洗浄において、通常、水除去の態様までを含むことが示されるものではない。そのうえ、先願明細書３では、そこでの発明がそのような超精密洗浄等の特定の用途を含み、且つ、水を除去するものであるということが示唆されるものでもない。ちなみに、先願明細書３には、その前記摘示（Ｊ−３）によれば、脱脂の用途が示されるだけである。そうすると、申立人Ｂの主張は、その根拠を欠き、失当という外はない。
　したがって、本件発明１は、上記相違点ｃに係る構成を具備する点で、先願発明に対して別異の発明を構成するものであり、その他の相違点については検討するまでもなく、本件発明１は先願発明と同一であるとすることができない。
　
VI−２−２．理由ｂ−１及びｂ−３について
VI−２−２−１．本件発明１
　前記VI−１−１−１．で説示したとおり、本件発明１と引用例１に記載の発明とを対比すると、両者は、
「表面に付着した水を有する物品から水を除去する方法において、フッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールを物品と接触させて水を除去する物品の水除去方法」である点で共通し、以下の点で相違する。
【相違点１】該フッ化脂肪族炭化水素として、本件発明１は、「Ｃ４Ｆ６Ｈ４、Ｃ４Ｆ８Ｈ２、Ｃ４Ｆ９Ｈ、Ｃ５Ｆ８Ｈ４、Ｃ５Ｆ９Ｈ３、Ｃ５Ｆ１０Ｈ２、Ｃ５Ｆ１１Ｈ、Ｃ６Ｆ１０Ｈ４、Ｃ６Ｆ１１Ｈ３及びＣ６Ｆ１２Ｈ２から選ばれた少なくとも一種」のものを用いるのに対して、引用例１の発明では、ペルフルオロ−１−ヒドロ−ｎ−ヘキサン等の高フツ素化化合物を用いるものの、本件発明１の化合物についてまでは示されるところがない点
【相違点２】物品の水除去方法につき、本件発明１では、「フッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除去用組成物」を物品と接触させて水を除去するのに対し、引用例１の発明では、その前記摘示（Ａ−１）及び（Ａ−９）により明らかなように、水の除去はエタノール及びイソプロパノール等から選択される液体有機溶剤との接触により行われるものであり、本件発明１のように高フツ素化化合物と液体有機溶剤との組成物により実施されるものでなく、したがって、当該構成を具備しない点　
　以下、この相違点につき検討する。
【相違点１について】
　訂正明細書の記載（特に、段落０００４〜０００６、００２６の記載）によれば、本件発明１は、フッ化脂肪族炭化水素として、「Ｃ４Ｆ６Ｈ４、Ｃ４Ｆ８Ｈ２、Ｃ４Ｆ９Ｈ、Ｃ５Ｆ８Ｈ４、Ｃ５Ｆ９Ｈ３、Ｃ５Ｆ１０Ｈ２、Ｃ５Ｆ１１Ｈ、Ｃ６Ｆ１０Ｈ４、Ｃ６Ｆ１１Ｈ３及びＣ６Ｆ１２Ｈ２から選ばれた少なくとも一種」のものを選択することにより、これを、炭素数１〜４のアルコールと共に水除去用組成物として用いることにより、オゾン層の破壊を来すことがないだけでなく、実質的に不燃性で、水分離性が良いこと等からその操作性に優れた水除去方法を提供できたものである。
　これに対して、引用例１に記載の発明では、その前記摘示箇所（Ａ−３）及び（Ａ−５）によれば、オゾン層の枯渇及び引火性につき配慮するものの、そこで用いる脂肪族の高フツ素化化合物につき、それ以上に示唆されるものはない。
　したがって、本件発明１は、引用例１に記載された発明ではない。
　次に、引用例７〜１０の記載を順次みる。
　引用例７には、その前記摘示（Ｆ−１）〜（Ｆ−３）により、式ＣＸ３−ＣＹ２−Ｒ（Ｉ）で示されるポリフルオロアルカンと慣用の脱油剤及び洗浄剤との混合物を用いて脱油又は洗浄する方法が記載されているといえる。しかし、この引用例７の発明では、本件発明１のような特定のフッ化脂肪族炭化水素を水除去用組成物の成分として用いることが示されず、更には、当該フッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除去用組成物を用いた場合の不燃性及び水分離性等につき教示するものは何もない。
　引用例９は、先願明細書３（甲第４号証）の対応国際公開パンフレットに当たるもので、そこには、先願明細書３におけるように、１，１，１，２，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタンと、メタノール、エタノール又はイソプロパノールとからなる共沸組成物で、表面を処理することを具備する固体表面の清浄化方法が記載される。しかし、引用例９には、本件発明１のような特定のフッ化脂肪族炭化水素を水除去用組成物の成分として用いることが示されず、更には、当該フッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除去用組成物を用いた場合の不燃性及び水分離性等につき教示するものは何もない。
　引用例８では、超精密洗浄等のような特定の用途において、洗浄する場合には極微量の水が問題となることが示されるだけであって、洗浄において、通常、水除去の態様までを含むことが示されるものではない。したがって、引用例７及び９に記載の発明に当該引用例８の記載を併せてみても、そこから、本件発明１のような特定のフッ化脂肪族炭化水素を水除去用組成物の成分として用いることが直ちに導き出せるものではない。
　引用例１０には、炭素数が４である塩素化弗素化炭化水素に、アルコール類を含有させたものを用いて、付着水を除去することが記載されているということができるが、ここでは、本件発明１のような特定のフッ化脂肪族炭化水素を用いることが示されず、また、そのフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除去用組成物を用いた場合の不燃性及び水分離性等につき教示するものはない。
　このように、引用例７〜１０に記載の発明では、前記相違点１に係る特定のフッ化脂肪族炭化水素につき、それと炭素数１〜４のアルコールとから水除去用組成物を構成すること、その組成物を用いた場合の不燃性及び水分離性等につき示唆ないし教示するものは何もない。してみれば、引用例１に記載の発明に対して引用例７〜１０に記載の発明を併せてみても、そこから、上記意義を有する本件発明の相違点１に関する構成を、容易に導き出すことができるものではない。
　したがって、他の相違点につき検討するまでもなく、本件発明１は、引用例１及び７〜１０に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
VI−２−２−２．本件発明２〜６
　本件発明２〜６は、本件発明１につき、更に、その水除去方法の態様を更に限定するものである。したがって、上記VI−２−２−１．で説示した理由と同じ理由により、本件発明２〜６は、引用例１及び７〜１０に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
　
VII.　まとめ
　特許異議申立の理由及び証拠によっては、訂正後の本件請求項１〜６に係る発明の特許を取り消すことができない。
　また、他に訂正後の本件請求項１〜６に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年６月２９日（２００４．６．２９）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
水除去用組成物及び物品の水除去方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項
１
Ｃ４Ｆ６Ｈ４、Ｃ４Ｆ８Ｈ２、Ｃ４Ｆ９Ｈ、Ｃ５Ｆ８Ｈ４、Ｃ５Ｆ９Ｈ３、Ｃ５Ｆ１０Ｈ２、Ｃ５Ｆ１１Ｈ、Ｃ６Ｆ１０Ｈ４、Ｃ６Ｆ１１Ｈ３及びＣ６Ｆ１２Ｈ２から選ばれた少なくとも一種の
　【請求項
２
１
　【請求項
３
１
　【請求項
４
１
　【請求項
５
１
　【請求項
６
１
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、水除去用組成物及び該水除去用組成物を使用して物品に付着した水を除去する方法に関する。
　【０００２】
　なお、本願明細書において、“％”とあるのは、“重量％”を意味する。
　【０００３】
　また、“水除去”とは、表面に付着した水を有する物品から水を除去することを意味し、いわゆる乾燥乃至脱水とも同義である。。
　【０００４】
　【従来の技術】
　ＩＣ、ＬＳＩなどの半導体の製造に使用されるウェハー、メッキ製品、光学レンズ、フォトリソグラフィー工程で使用されるマスク、液晶表示装置部品、電子部品、各種の金属、プラスチック、ガラス、セラミックなどの部品（以下単に物品という）は、製造の中間工程または最終工程で洗浄され、次いで脱水される。より具体的には、物品は、洗剤水溶液および純水で洗浄され、次いで脱水されている。この様な物品の表面に残存する水は、シミ状斑の形成、錆の発生などの原因となるので、物品の性能を大きく左右することになる。
　【０００５】
　従来、この様な物品の脱水を効果的に行うための水除去用組成物としては、イソプロパノール、エタノールなどのアルコール類、トリクロロトリフルオロメタンなどのフロンあるいはフロンにアルコール、界面活性剤などを添加した組成物が広く使用されてきた。
　【０００６】
　しかしながら、イソプロパノールおよびエタノールは、引火性が高いので、作業上の危険性が大きいという問題点がある。また、前述のフロンは、成層圏のオゾン層を破壊し、人類を含む地球上の生態系に重大な悪影響を及ぼす危険性が指摘されている。従って、オゾン層破壊の危険性の高いフロンについては、国際的な取決めにより、使用および生産が制限されるに至っている。
　【０００７】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明は、新規な水除去用組成物およびこれを使用する物品の水除去方法を提供することを主な目的とする。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　本発明者は、上記の如き技術の現状に鑑みて研究を進めた結果、特定のフッ化脂肪族炭化水素とアルコールとを配合した組成物が、物品の表面に付着した水の除去に優れた性質を具備していることを見出した。
　【０００９】
　即ち、本発明
は、
　
表
Ｃ４Ｆ６Ｈ４、Ｃ４Ｆ８Ｈ２、Ｃ４Ｆ９Ｈ、Ｃ５Ｆ８Ｈ４、Ｃ５Ｆ９Ｈ３、Ｃ５Ｆ１０Ｈ２、Ｃ５Ｆ１１Ｈ、Ｃ６Ｆ１０Ｈ４、Ｃ６Ｆ１１Ｈ３及びＣ６Ｆ１２Ｈ２から選ばれた少なくとも一種のフッ化脂肪族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる
を物品
を提供するものである。
　【００１０】
　本発明で使用するフッ化脂肪族炭化水素としては、具体的に下記式で表される化合物が例示される：
　　Ｃ４Ｆ６Ｈ４、Ｃ４Ｆ８Ｈ２、Ｃ４Ｆ９Ｈ、Ｃ５Ｆ８Ｈ４、Ｃ５Ｆ９Ｈ３、
　　Ｃ５Ｆ１０Ｈ２、Ｃ５Ｆ１１Ｈ、Ｃ６Ｆ１０Ｈ４、Ｃ６Ｆ１１Ｈ３、
　　Ｃ６Ｆ１２Ｈ２、Ｃ６Ｆ１３Ｈ。
　【００１１】
　これらのフッ化脂肪族炭化水素の具体例としては、１，１，２，３，４，４−ヘキサフルオロブタン、２−メチル−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，２，２，３，３，４−ヘキサフルオロブタン、１，１，１，２，３，３，４−ヘプタフルオロブタン、１，１，２，２，３，４，４−ヘプタフルオロブタン、１，１，１，２，３，４，４−ヘプタフルオロブタン、１，１，２，２，３，３，４−ヘプタフルオロブタン、１，１，１，２，３，３，４，４−オクタフルオロブタン、１，１，１，２，２，３，３，４−オクタフルオロブタン、１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロブタン、１，１，１，２，２，３，３，４，４−ノナフルオロブタン、１，１，１，２，２，３，４，４，４−ノナフルオロブタン、１，１，２，３，３，４，５，５−オクタフルオロペンタン、１，１，１，２，２，５，５，５−オクタフルオロペンタン、１，１，２，２，３，３，４，４，５−ノナフルオロペンタン、１，１，１，２，３，３，４，４，５−ノナフルオロペンタン、１，１，１，２，２，４，５，５，５−ノナフルオロペンタン、１，１，１，２，２，３，５，５，５−ノナフルオロペンタン、１，１，１，２，３，３，４，４，５，５−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，３，３，４，５，５−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，３，４，５，５，５−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，３，３，４，４，５，５−ウンデカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，３，３，４，５，５，５−ウンデカフルオロペンタン、１，１，２，２，３，３，４，４，５，５，６，６−ドデカフルオロヘキサン、１，１，１，２，２，５，５，６，６，６−デカフルオロヘキサン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，２，４，４−ヘキサフルオロブタン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，２，３，３，４，４−オクタフルオロブタン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，３，４，５，５−ヘプタフルオロペンタン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，２，３，４，５−ヘプタフルオロペンタン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，３，４，５，５，５−ノナフルオロペンタン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，２，３，４，５，５−オクタフルオロペンタン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，２，３，５，５，５−オクタフルオロペンタン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，３，４，４，５，５，５−ノナフルオロペンタン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，２，３，４，５，５，５−ノナフルオロペンタン、１，１，１，２，２，３，３，４，４，５，５，６，６−トリデカフルオロヘキサン、１，１，１，２，２，３，３，４，４，５，６，６，６−トリデカフルオロヘキサンなどが例示される。これらのうち、好ましいものとしては、１，１，１，２，３，３，４，４−オクタフルオロブタン、１，１，１，２，２，３，３，４−オクタフルオロブタン、１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロブタン、１，１，１，２，３，３，４，４，５，５−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，３，３，４，５，５−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，２，３，４，５，５，５−ノナフルオロペンタンなどを例示でき、より好ましいものとして１，１，１，２，２，３，３，４−オクタフルオロブタン、１，１，１，２，２，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，２，３，４，５，５，５−ノナフルオロペンタンなどを例示できる。これらは、単独で使用しても或いは２種以上を混合して使用しても良い。
　【００１２】
　上記フッ化脂肪族炭化水素と混合される炭素数１〜４のアルコール類としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、イソブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、ｔｅｒｔ−ブタノールなどが例示される。さらに、２，２，２−トリフルオロエタノール、２，２，３，３−テトラフルオロプロパノール、２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロパノールなどのフッ素化アルコールなどが例示される。これらのアルコール類の中でも、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−プロパノール及びペンタフルオロプロパノールが好ましく、メタノール、エタノール、イソプロパノール及びｎ−プロパノールがより好ましい。これらは、単独で使用しても或いは２種以上を混合して使用しても良い。
　【００１３】
　本発明による水除去用組成物は、下記の条件を充足することが望ましい。
　【００１４】
（１）作業上の安全性の観点から、難燃性ないし不燃性であること。
　【００１５】
（２）性能の観点から、沸点が４０〜８０℃の範囲にあること。
　【００１６】
（３）水の溶解度が０．１〜３％の範囲内にあり、より好ましくは０．１〜２％の範囲内にあること。水の溶解度が０．１％未満の場合には、水の剥離性が不十分となるのに対し、３％を上回る場合には、水溶性不純物の溶解量が増大して、水除去後にシミ状斑が形成されやすい。
　【００１７】
　上記の様な要件を充足させるために、フッ化脂肪族炭化水素とアルコールとの混合割合は、使用する両成分の水溶解性に依存するが、混合物中通常アルコールが約２５％以下であり、アルコールを３〜１５％とすることが好ましく、さらに共沸組成物乃至共沸様組成物（より具体的には、共沸組成物ではないが、定沸点および定組成の挙動を示す組成物）を形成する割合とすることがより好ましい。アルコールの量が約２５％を上回る場合には、水の溶解量が約３％以上となり、その結果、水溶性不純物の溶解量が増大して、シミ状斑が形成されやすくなり、また引火しやすくなるので、好ましくない。一方、アルコールの量が３％を下回る場合には、水除去用組成物への水の溶解量が０．１％以下となるので、物品に付着した水との親和性が低下して、物品に付着した水の除去性能が低下する。
　【００１８】
　さらに、本発明水除去用組成物には、必要ならば、各種の目的に応じて、従来からこの種の水除去用組成物に配合されている公知の添加剤を配合しても良い。この様な添加剤としては、例えば、界面活性剤などの各種脱水助剤、安定剤、オゾンを破壊するおそれの少ない水素含有塩素化フッ素化炭化水素類、オゾンを破壊するおそれが全くない炭化水素類などを挙げることができる。
　【００１９】
　本発明の水除去用組成物を使用して物品からの水除去を行うには、具体的には、表面に付着水を有する物品を水除去用組成物に接触させて、物品から水を除去させれば良い。両者の接触方法としては、水除去用組成物に物品を浸漬する方法、水除去用組成物を物品に対してスプレーする方法、水除去用組成物の蒸気と物品とを接触させる方法、水除去用組成物に物品を浸漬し、さらに該組成物の蒸気を接触させる方法、水除去用組成物を物品に対してスプレーし、さらに該組成物の蒸気を接触させる方法などが挙げられる。水除去用組成物は、通常約４０℃程度乃至沸点の昇温状態で使用することが好ましく、約４０℃から沸点より約５℃程度低い温度の温度範囲で使用することがより好ましい。４０℃以下の温度では、水除去能力が低下する。表面に付着水を有する物品と水除去用組成物との接触に際しては、水分除去効果を改善するために、揺動、超音波振動などの手段を併用しても良い。
　【００２０】
　本発明による水除去用組成物を使用して物品の水除去を行なうには、フロン系などの公知の水除去用組成物を使用する脱水方法と同様の装置を使用して、同様の手順により実施すれば良い。従って、水除去方法および水除去装置に関しては、特に限定されるものでないが、その一例を概略的に示すと、図１に示す通りである。
　【００２１】
　本発明方法で使用する水除去装置の一例を断面図として示す図１において、表面に水の付着した物品（図示せず）は、先ず、ヒータを備えた第１の浸漬槽（１）に収容された本発明による水除去用組成物に浸漬され、ここで水と組成物とが置換され、物品からの水除去が行われる。物品から離れた水は、比重差により、水除去用組成物の上部表面に浮上してくる。
　【００２２】
　物品の水除去をより高度に行う必要がある場合には、第１の浸漬槽（１）での浸漬を終えた物品をヒータを備えた第２の浸漬槽（２）に送り、再度本発明による水除去用組成物に浸漬する。これにより、目的とするより高度の水除去が可能となる。第１の浸漬槽（１）をオバーフローし、水分離装置（３）において水を実質的に除去された水除去用組成物および蒸気槽（６）の蒸気が凝縮して水分離が実質的に可能な凝縮液貯槽（８）に流下した水除去用組成物が、第２の浸漬槽（２）に循環されてくる。
　【００２３】
　物品の水除去をさらに高度に行う必要がある場合には、ヒータ（５）を備えた水除去用組成物の蒸気槽（６）の上方に位置する蒸気ゾーン（４）に第２の浸漬槽（２）での浸漬を終えた物品を送り、水除去用組成物の蒸気と接触させて、さらに水除去を継続することができる。蒸気ゾーン（４）の上方には、冷却管（７）が配設されており、これは、上昇してくる水除去用組成物の蒸気を凝縮させ、水分離が実質的に可能な凝縮液貯槽（８）に流下させる機能を有する。
　【００２４】
　水分離装置（３）或いは水分離方法としては、特に限定されず、水除去用組成物から水を分離し得る限り、任意の装置および方法が使用される。例えば、水除去用組成物を低温にして水分離を行なう方法、蒸留により水除去用組成物と水とを分離する方法、浸透気化膜を利用して水を分離する方法或いはこれらの方法を実施する装置を利用すれば良い。
　【００２５】
　なお、図１には、物品の脱水を２つの浸漬槽と１つの蒸気槽を設けた装置を使用して実施する例を示したが、本発明方法で使用する装置は、この様な構造に限定されるものではない。すなわち、物品表面への水付着量、要求される物品の水除去程度、物品からの水除去の容易さなどに応じて、装置は、例えば、単一の浸漬槽或いは蒸気槽により構成しても良く、１つの浸漬槽と１つの蒸気槽とにより構成しても良い。さらに、スプレー方式による水除去を行なっても良い。
　【００２６】
　【発明の効果】
　本発明による水除去用組成物は、オゾン層破壊などの環境破壊問題を生じることはない。
　さらに、本発明の水除去用組成物は、物品の表面に付着した水の除去性能に極めて優れている。
　また、水除去用組成物が難燃性乃至実質的に不燃性なので、取扱い上特に有利である。
　さらにまた、イソプロパノール、エタノールなどに比して、低温に冷却することにより、水との分離を容易に行い得る。また、水除去用組成物からの水の分離性が良いので、水処理用組成物と水との分離操作を容易にかつ水処理用組成物のロスを少なくして行うことができる。
　また、水除去用組成物は、物品に対して悪影響を与えることが少ない。
　さらにまた、共沸組成物または共沸様組成物からなる本発明の水除去用組成物は、液管理が容易であり、当然のことながら、回収および再使用のために蒸発および凝縮を繰り返しても、混合割合は殆ど変化しない。
　【００２７】
　【実施例】
　以下に実施例を示し、本発明の特徴とするところをより一層明らかにする。
　【００２８】
　実施例１
　予め汚れを除去した、水の付着したガラス板（５０ｍｍ×５０ｍｍ×１ｍｍ）を試料として、第１表に示す処理方法により水除去処理を行なった。水除去用組成物としては、第２表に示す組成のものを用いた。
　【００２９】
　次いで、水除去処理を終えたガラス板を所定量の無水メタノール中に浸漬して、浸漬後のメタノール中の水分増加量をカールフィッシャー法により分析した。この様にして測定した水分量を“Ｗ１”とした。
　【００３０】
　一方、予め汚れを除去した、水の付着したガラス板（５０ｍｍ×５０ｍｍ×１ｍｍ）を水除去用組成物による処理を行なうことなく所定量の無水メタノール中に浸漬した後、カールフィッシャー法によりメタノール中の水分増加量を分析した。この様にして測定した水分量を“Ｗ”とした。
　【００３１】
　次いで、次式により水除去率Ｈ（％）を求めた。
　【００３２】
　　Ｈ（％）＝（Ｗ−Ｗ１）／Ｗ×１００
　各水除去用組成物と水除去方法の組合わせによる水除去率（％）を第３表に示す。なお、上記の測定における全工程は、室温で行なった。
　【００３３】
性能試験
（１）水分離テスト
　１００ｍｌの密栓付きフラスコに、上記第２表に示した本発明の組成物３０ｍｌ及び水３０ｍｌを入れて３０秒間激しく振り、静置後、白濁した液が完全に透明な２相に分離するまでの時間を測定した。
　【００３４】
　評価　　　　分離時間
　　Ａ　　　　１０分以内
　　Ｂ　　　　１時間未満
　　Ｃ　　　　１時間以上
　結果を下記第４表に示す。
　【００３５】
　水分離テストにおいて、水が分離しやすい組成物は、物品から除去された水が物品に再付着し難いものといえる。
　【００３６】
（２）材質テスト
　１００ｍｌのガラスビンに本発明の化合物５０ｍｌ及び樹脂片（ＡＢＳ、アクリル樹脂及びポリカーボネート、５×５０×２ｍｍ）を入れ、５０℃で４時間加熱した。試験前後の樹脂片の外観及び重量変化を測定した。
　【００３７】
　評価
　　Ａ　　　　外観変化なく、重量変化５％以内
　　Ｂ　　　　外観変化なく、重量変化１０％以内
　　Ｃ　　　　溶解又はクラック発生
　結果を下記第４表に示す。
　【００３８】
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明方法で使用する水除去装置の一例を示す断面図である。
　【符号の説明】
　（１）　第１の浸漬槽、
　（２）　第２の浸漬槽、
　（３）　水分離装置、
　（４）　蒸気ゾーン、
　（５）　加熱装置、
　（６）　蒸気槽、
　（７）　冷却管、
　（８）　凝縮液貯槽。