(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面視矩形状の開口部を備えるペリクル枠体であって、
表面処理が施された部材の端部同士が接合されることにより前記開口部の周縁が形成され、
前記部材の端部同士の接合部における少なくとも一方の前記部材の端部の端面には、表面処理が施されている部分と、表面処理が施されていない部分と、が設けられている、ペリクル枠体。
【請求項２】
前記端面には、前記部材の表層から少なくとも０．１ｍｍ以上の深さまで表面処理が施されている、請求項１に記載のペリクル枠体。
【請求項３】
前記部材は、アルミニウム合金よりなる、請求項１又は２に記載のペリクル枠体。
【請求項４】
前記接合部では、前記部材の端部同士が化学反応型の接着剤で接合されており、
前記接着剤は、嫌気性硬化型接着剤またはシアノアクリレート型接着剤からなる、請求項１〜３のいずれか１項に記載のペリクル枠体。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のペリクル枠体と、
前記ペリクル枠体の前記開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜と、
を備える、ペリクル。
【請求項６】
平面視矩形状の開口部を備えるペリクル枠体の製造方法であって、
表面処理が施された部材の端部同士を接合して前記開口部の周縁を形成する第一の工程と、
前記部材の端部同士の接合部における少なくとも一方の前記部材の端部の端面に、表面処理が施されている部分と、表面処理が施されていない部分と、を設ける第二の工程と、を含み、
前記第二の工程を、前記第一の工程よりも先に実施する、ペリクル枠体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）、ＬＳＩ（Large Scale Integration：大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（Thin Film Transistor，Liquid Crystal Display：薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマクスやレティクルに異物が付着することを防止するために用いるペリクル枠体及びペリクルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体回路パターン等の製造においては、フォトマスクやレティクルの両面側あるいは片面側にペリクルと称する防塵手段を配置して、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。
【０００３】
ペリクルの一般的な構造としては、金属、セラミックス、又はポリマー製のペリクル枠体の片側に、ポリマー又はガラス等の透明な薄膜を貼り付け、その反対側に、マスクに貼り付けるための貼着剤層（粘着材）を設けたものが挙げられる。例えば、ペリクルは、フォトマスクやレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度のペリクル枠体の一方の縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース又はセルロース誘導体等の透明な高分子膜から成るペリクル膜を展張して接着し、且つペリクル枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクやレティクルの表面に貼着している。
【０００４】
フォトマスクやレティクルの表面に異物が付着した場合、その異物が半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像して回路パターン欠陥の原因となるが、フォトマスクやレティクルの少なくともパターン面にペリクルを配置した場合、ペリクルの表面に付着した異物はフォーカス位置がずれるため、半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像することがなく、回路パターンに欠陥を生じさせることがない。
【０００５】
近年では、各種のマルチメディアの普及により、高画質・高精細表示が可能な大型のカラーＴＦＴＬＣＤのフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクに適用でき、更に、低コスト化のペリクルも要望されている。
【０００６】
上記課題に対して、本出願人は、特許文献１〜３として、１枚のシート状母材からの打ち抜きでは無く枠部材を接合してペリクル枠体を開示している。また、特許文献４には、ペリクル枠体に繊維状の補強物質を含む熱可塑性樹脂で形成されたペリクル枠体が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１２−０５３３０２号公報
【特許文献２】特開２０１２−０５３３０４号公報
【特許文献３】特開２０１２−０５３３０５号公報
【特許文献４】特開２０１３−２１４０１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、特許文献１〜３のような接合枠体を作製する場合、接合部の段差を無くすために、アルミニウム母材の枠部材同士を接合した後に研磨等を行ってから表面処理を行いペリクル枠体としていた。表面処理としては、陽極酸化処理をすることが一般的であるが、このような処理をした場合、接合部の微細な隙間でピンホール等をおこす時があり、それが原因で接合部に白点が点在し疑似異物となって外観と検査性が悪くなっていた。
【０００９】
このような問題を解決するために、枠部材を表面処理した後に枠部材同士を接合することも考えられるが、全体が表面処理された枠部材同士を接合すると接着剤等を使用した場合でも接合強度が弱くなる可能性があり、寸法が不安定となったりハンドリング時に変形したりする恐れがあった。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、表面処理された部材同士を接合する場合においても接合部の接合強度の低下を抑制して枠体の剛性を確保することができ、寸法およびハンドリング性を安定させることができ、更には歩留まりも向上させることができるペリクル枠体及びペリクルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明に係るペリクル枠体は、平面視矩形状の開口部を備えるものであって、表面処理が施された部材の端部同士が接合されることにより開口部の周縁が形成され、部材の端部同士の接合部における少なくとも一方の部材の端部の端面には、表面処理が施されていない部分が設けられているものである。
【００１２】
また、本発明に係る製造方法は、平面視矩形状の開口部を備えるペリクル枠体の製造方法であって、表面処理が施された部材の端部同士を接合して開口部の周縁を形成する工程と、部材の端部同士の接合部における少なくとも一方の部材の端部の端面に、表面処理が施されていない部分を設ける工程と、を含むものである。
【００１３】
かかる構成及び方法を採用すると、表面処理が施された部材の端部同士の接合部において、少なくとも一方の部材の端部の端面に表面処理が施されていない部分を設けるため、接合部の接合強度（剛性）を確保することができ、寸法やハンドリング性を安定させることができ、更には、歩留まりも向上させることができる。
【００１４】
本発明に係るペリクル枠体において、部材の表層から少なくとも０．１ｍｍ以上の深さまで端面に表面処理を施すことが好ましい。また、部材は、アルミニウム合金よりなるものが好ましい。また、接合部では、部材の端部同士を化学反応型の接着剤で接合することができ、接着剤としては、嫌気性硬化型接着剤またはシアノアクリレート型接着剤からなるものを採用することができる。
【００１５】
また、本発明に係るペリクルは、上記したペリクル枠体と、ペリクル枠体の開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜と、を備えるものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、表面処理された部材同士を接合する場合においても接合部の接合強度の低下を抑制して枠体の剛性を確保することができ、寸法及びハンドリング性を安定させることができ、更には歩留まりも向上させることができるペリクル枠体及びペリクルを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係るペリクルを示す斜視図である。
【図２】図１に示すペリクルの平面図である。
【図３】図１に示すペリクルを構成するペリクル枠体の角部の拡大斜視図である。
【図４】図３に示すペリクル枠体の接合部の拡大平面図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は接合部の他の形態の拡大平面図であり、（ｃ）及び（ｄ）は本発明の実施例２に係る接合部の端面の斜視図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は接合部の他の形態の拡大平面図であり、（ｃ）は本発明の実施例３に係る接合部の端面の斜視図である
【図７】本発明の実施形態の変形例に係るペリクル枠体の平面図である。
【図８】本発明の実施形態の変形例に係るペリクル枠体の平面図である。
【図９】本発明の参考例に係る接合部の拡大平面図である。
【図１０】（ａ）は本発明の実施例１に係る接合部の拡大平面図であり、（ｂ）は本発明の実施例１に係る接合部の端面の斜視図である
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態に係るペリクルを示す斜視図であり、図２は、図１に示すペリクルを上から見た図である。各図に示すように、ペリクル１は、ペリクル枠体２と、ペリクル枠体２の上縁面２ｅに展張支持されたペリクル膜３と、を備えている。なお、図示しないが、ペリクル１は、ペリクル枠体２の下縁面に塗布された貼着剤層と、貼着剤層に粘着され、この貼着剤層を保護する保護フィルムと、を更に備えている。ペリクル１は、大型ペリクルであり、ペリクル枠体２は、大型のペリクル用枠体である。
【００２０】
ペリクル枠体２は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）、鉄及び鉄系合金、セラミックス（ＳｉＣ、ＡｌＮ、Ａｌ2Ｏ3等）、セラミックスと金属との複合材料（Ａｌ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＡｌＮ、Ａｌ−Ａｌ2Ｏ3等）、炭素鋼、工具鋼、ステンレスシリーズ、マグネシウム合金、又はポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂等の樹脂等からなり、略矩形状を呈している。ペリクル１は、貼着剤層を介してマスクに貼り付くため、剛性が高くて比較的重量が小さいものが好ましく、アルミニウム、アルミニウム合金、マグネシウム合金、樹脂等の素材が好ましい。更には、表面処理のし易さからアルミニウム合金が好ましい。なお、ペリクル枠体２は、後述する複数の分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄにて構成されており、分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄは、同じ弾性係数を有する素材で形成されていることが好ましい。
【００２１】
このペリクル枠体２は、対向する一対の長辺２ａ，２ｂと、この長辺２ａ，２ｂよりも短い対向する一対の短辺２ｃ，２ｄと、を有している。ペリクル枠体２において、長辺２ａと長辺２ｂとの長さは等しく形成されており、短辺２ｃと短辺２ｄとの長さは等しく形成されている。ペリクル枠体２は、矩形状の開口部４を有している。この開口部４の開口面積は、好ましくは１０００ｃｍ2以上、より好ましくは３０００ｃｍ2以上、更に好ましくは５０００ｃｍ2以上、３５０００ｃｍ2以下である。
【００２２】
一対の長辺２ａ，２ｂは、幅が例えば９．０ｍｍの柱部材からなり、その長さは、例えば８００ｍｍである。一対の短辺２ｃ，２ｄは、幅が例えば７．０ｍｍの柱部材からなり、その長さは、例えば４８０ｍｍである。つまり、短辺２ｃ，２ｄの平面視（上面視）における幅は、長辺２ａ，２ｂの幅よりも狭い。ペリクル枠体２の角部５の曲率は、例えば、Ｒ＝２ｍｍである。なお、角部５に曲率が存しないと仮定した際の頂点を、以下、単に、「頂点」と記載する。ペリクル枠体２の側面６には、溝部７が長手方向（辺方向）に沿って設けられている。
【００２３】
ペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅は、露光面積を確保する観点からは細ければ細いほど好ましいが、細すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺の長さに対して剛性を考慮した幅の太さとするために、各辺２ａ〜２ｄは、３ｍｍ〜２５ｍｍ程度とすることができる。
【００２４】
また、ペリクル枠体２の厚みに関しても、薄ければ薄いほど軽くて扱いやすいペリクル１となるが、薄すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺２ａ〜２ｄの長さに応じた両者のバランスから、ペリクル枠体２の厚みは、好ましくは３．５ｍｍ〜１２ｍｍ程度とすることができる。
【００２５】
ペリクル膜３は、例えばニトロセルロースやセルロース誘導体、フッ素系ポリマー、又はシクロオレフィン系ポリマー等の透明な高分子膜からなり、その厚さは、例えば１０μｍ以下０．１μｍ以上が好ましい。このペリクル膜３は、ペリクル枠体２の開口部４を覆うように上縁面２ｅに展張され、ペリクル枠体２に貼着支持されている。
【００２６】
ペリクル膜３をペリクル枠体２の上縁面２ｅに接着する接着剤は、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、又は含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマーを用いることができる。
【００２７】
また、ペリクル膜３を貼着支持する粘着材としては、スチレンエチレンブチレンスチレン、スチレンエチレンプロピレンスチレン、もしくはオレフィン系等のホットメルト粘着材、シリコーン系粘着材、アクリル系粘着材、又は発泡体を基材とした粘着テープを用いることができる。粘着材層の厚さは、ペリクル枠体２の厚さと粘着材厚さの合計が規定されたペリクル膜３とフォトマスクの距離を越えない範囲で設定するものであり、例えば、１０ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
【００２８】
また、ペリクル膜３をフォトマスクに貼り付けた際に、貼着剤層の内側に空間が存在すると、該空間に異物が滞留する可能性がある。そのため、ペリクル枠体２の下縁面に粘着剤を塗布する際には、ペリクル１をフォトマスクに貼り付ける際の加圧で粘着剤層が潰れて広がることを考慮した上で、加圧時に開口部４に粘着剤がはみ出さない程度にペリクル枠体２の開口部４内側寄りに塗布することが好ましい。具体的には、貼着剤層内側の空間が貼着剤層の塗布幅の０．３５倍以内となるように塗布することが好ましい。粘着剤層の塗布幅はペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅に対し０．３〜０．６倍であることが好ましく、ペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄに沿って塗布することが好ましい。
【００２９】
粘着材を保護する保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート樹脂、又はポリエチレン樹脂からなるフィルムを用いることができる。また、粘着材の粘着力に応じて、離型剤、例えばシリコーン系離型剤、又はフッ素系離型剤を、保護フィルムの表面に塗布しても良い。保護フィルムの厚さは、例えば、１ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
【００３０】
続いて、ペリクル枠体２について、図２及び図３を参照しながら詳細に説明する。図３は、角部を拡大して示す斜視図である。
【００３１】
ペリクル枠体２は、開口部４の周縁を形成する複数の枠部材から構成される分割枠体であり、一対の長辺２ａ，２ｂの各々を構成する分割部材２０ａ，２０ｂと、一対の短辺２ｃ，２ｄの各々を構成する分割部材２０ｃ．２０ｄと、角部５を構成すると共に分割部材２０ａ，２０ｂと分割部材２０ｃ，２０ｄとを連結する連結部材２１ａ〜２１ｄと、から構成されている。すなわち、ペリクル枠体２は、分割部材２０ａ，２０ｂの一端部と、分割部材２０ｃ．２０ｄの一端部と、が連結部材２１ａ〜２１ｄを介して略直角をなすように連結されることで略矩形状を呈している。ペリクル枠体２は、枠体の周方向に沿って８箇所の接合部２２ａ〜２２ｈを有している。
【００３２】
分割部材２０ａと分割部材２０ｂとは、実質的に同一で形状であり、分割部材２０ｃと分割部材２０ｄとは、実質的に同一形状である。また、角部５を各々形成する連結部材２１ａ〜２１ｄは、Ｌ字状を呈しており、いずれも実質的に同一形状である。分割部材２０ａ，２０ｂの長さは、例えば７００ｍｍであり、分割部材２０ｃ．２０ｄの長さは、例えば３８０ｍｍである。連結部材２１ａ〜２１ｄの長さは、一辺が例えば５０ｍｍである。接合部２２ａ〜２２ｈとこの接合部２２ａ〜２２ｈと最も近い距離にある角部５との間の距離は、接合部２２ａ〜２２ｈが設けられた長辺２ａ，２ｂ又は短辺２ｃ，２ｄの長さの４５％以下に設定されている。
【００３３】
ペリクル枠体２は、分割部材２０ａを基点とすると、開口部４の開口軸を基準とした時計回り方向に、分割部材２０ａ、連結部材２１ａ、分割部材２０ｄ、連結部材２１ｂ、分割部材２０ｂ、連結部材２１ｃ、分割部材２０ｃ、連結部材２１ｄの順に接続されて形成されている。なお、図２においては、接合部２２ａ〜２２ｈを８箇所としているが、接合部の数としては、１箇所以上あればよく、好ましくは２〜３０箇所、より好ましくは２〜２０箇所、更に好ましくは３〜１５箇所、更には４〜１２箇所である。また、接合部の少なくとも一つと接合部と最も近い距離にある角部との間の距離は、接合部が設けられた辺の長さの４５％以下であることが好ましい。このような構成によれば、枠体は矩形状であり、角部近傍は剛性が高いため、接合部を角部の近傍に配置することで、剛性を維持でき、ペリクル枠体の撓み等を抑えることが可能となる。更には、角部近傍に接合部を設けることで、直角性もよくなり矩形の形状を保つ方向になるため、ペリクル枠体の撓み量を公差の範囲内（０％〜３％）とすることができる。
【００３４】
ここで、接合部が１箇所の場合、１枚のシート状母材からの切削時において、接合部のない一体型ほどの平坦性や寸法精度を求めなくても接合部にて調整可能になり、また、１本の分割部材を塑性変形させて枠体にすることも可能となるため、母材の節約になりコストの低減を図れる。更に、接合部を２箇所以上とする場合、平坦性の調整が容易となるため更に好ましい。このように接合部を２箇所以上とすることで、ペリクル枠体２を構成する各々のパーツの加工精度を高めることができ、１枚のシート状母材から一体型のペリクル枠体を切り出すよりも容易に平坦性の精度を出すことが可能となり寸法精度が高まることになる。
【００３５】
上述の接合部２２ａ〜２２ｈは、図４に示すように、複雑形状（凹凸形状）を呈している。具体的には、例えば接合部２２ｆは、連結部材２１ｃに形成された凸部２３と、分割部材２０ｃに形成された凹部２４と、から構成されている。連結部材２１ｃに形成された凸部２３は、平面視において略円形状を呈しており、基端側の幅寸法ｄ１よりも先端側の幅寸法ｄ２が大きくなっている。これに対応して、分割部材２０ｃに形成された凹部２４は、平面視において略円形状を呈している。接合部２２ｆは、連結部材２１ｃに形成された凸部２３と分割部材２０ｃに形成された凹部２４とか嵌合することにより接合されている。接合部２２ａ〜２２ｅ，２２ｇ，２２ｈについても、同様の構成を有している。
【００３６】
各枠部材２０ａ〜２０ｅ、２１ａ〜２１ｅは、矩形の枠体にする前に、各々のパーツで表面処理がなされていることが好ましい。枠部材の表面処理としては、アルマイト処理、塗装、塗料コーティング、プラズマ電解酸化処理、めっき処理、低融点ガラスフリット処理、ＣＶＤ処理、スパッタ法などによるＰＶＤ処理などが挙げられるが、アルマイト処理やプラズマ電解酸化処理や塗装などが耐光性などの観点から好ましい。また、枠部材で表面処理することで、ペリクル枠体と比較すると設備が小さくてよいため品質の安定性やコストの面からも好ましい。
【００３７】
なお、接合部２２ａ〜２２ｈの形状は、上記形状以外の形状であってもよい。例えば、図５（ａ）に示すように、連結部材２１ａに複数（ここでは２つ）の凸部２３ａ，２３ｂが形成されており、これに対応して、分割部材２０ａに複数の凹部２４ａ，２４ｂが形成されていてもよい。また、図５（ｂ）に示すように、連結部材２１ａ及び分割部材２０ａにおいて、凸部２３及び凹部２４がそれぞれに形成された構成であってもよい。また、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、凸部２３ａ〜２３ｃ及び凹部２４ａ〜２４ｃが平面視において略台形形状を呈していてもよい。接合部２２ａ〜２２ｈの好ましい形状としては、ほぞと溝とから構成され、凸部（ほぞ）２３の全外周面（側面）を凹部（溝）２４の内周面が覆う形状が好ましい。つまり、図９（参考例）に示すような分割部材５０ａ，５０ｂの平坦な端面５１ａ，５１ｂ同士を突き合わせるだけの単純形状ではなく、この単純形状と比較して相対的に接合面積が大きくなっていればよい。なお、角部５付近に接合部を設ける場合には、ペリクル枠体２の周方向に沿って端面を突き合わせる構成に限定されず、分割部材の側面に分割部材の端面を当接させる構成であってもよいし、角部５部分において傾斜する端面同士を当接させる構成でもよい。
【００３８】
接合部２２ａ〜２２ｈの端面には、例えば図５（ｃ）、図５（ｄ）、図６（ｃ）、図１０（ｂ）に示すように、表面処理が施されていない部分が設けられている。このような部分を有することで、接着剤を使って接合する時に接合強度を十分に保つことができ、剛性もよくなり、寸法安定性も良好になる。また、ハンドリング冶具を使ってハンドリングするときもペリクルを変形させることがない。表面処理されていない部分は、パーツ毎に全て表面処理した後に接合部の端面の一部を部分的に切削加工しても良いし、表面処理する時にマスキング等を行い表面処理されない様に予め被覆してもどちらでもよい。
【００３９】
前記端面は、端面全体が表面処理されていなくてもよいが、枠部材の表層から少なくとも０．１ｍｍ以上は表面処理されていた方がよい。この場合、表面処理されていない部分は、端面全体の表面積の５％以上８０％以下であることが好ましく、更には１０％以上７０％以下、２０％以上６０％以下であることが好ましい。このようにすることで、枠部材同士を接合した時に、接合部に沿って白化した状態がなくなり、異物と誤認識されないため検査性も良好になる。また、ペリクル枠体を洗浄した時に洗浄水に触れて腐食する可能性もなくなり好ましい。
【００４０】
また表面処理されていない部分の深さは、端面の表面より１５μｍ以上深いことが好ましく、更には１８μｍ以上深いことが好ましい。また、５０μｍ以下であることが好ましい。この範囲にあることで、複雑な形状の接合部でも形状の変形をおこすことなくアルマイト層を完全に除去できるためアンカー効果となり接合部の嵌め合い部分の剛性をあげることもできる。表面処理されていない部分の形状は特に問わないが、加工のし易さから、表面から見ると矩形が好ましい。更には、深さ方向の形状としては、特に問わないが、加工のし易さから、矩形、三角形状、丸い形状などが好ましい。
【００４１】
この表面処理されていない部分に化学反応型の接着剤を用いて接着させると、接合の剛性があがるため好ましい。中でも接着剤は、液状であることが好ましく、液状の接着剤を用いると接合部に接着剤が侵入し、接合部全体に液体が広がるために製造上及び剛性の観点から好ましい。液状の接着剤の中でも、空気を遮断することで硬化する嫌気性硬化型接着剤、または、微量な水分を開始剤として反応開始するシアノアクリレート型接着剤が好ましい。その中でも、嫌気性硬化型接着剤がさらに好ましい。具体的な嫌気性硬化型接着剤としては、Ｌｏｃｔｉｔｌｅ６３８、Ｌｏｃｔｉｔｅ６０１、Ｌｏｃｔｉｌｔｅ６４８（ともにヘンケルジャパン製）が挙げられる。嫌気性硬化型接着剤であれば、接合部からはみ出した個所では反応が起こりにくく、ふき取り易いことでアウトガスと発塵を最小限に抑えることができること、また、枠部材に好ましく使用されるアルミニウム合金のような金属が触媒となって硬化が促進されるため、表面処理されていない部分を持つことで更に反応が進むなどの観点などから特に好ましい。
【００４２】
このようにすることで、接合部２２ａ〜２２ｈの接合強度は、１０ｋｇｆ以上となる。ペリクル枠体２は、ペリクル膜３を張り付けた際に内側へ撓む。このとき、接合強度が１０ｋｇｆ以上である場合には、応力集中が緩和されるため、接合部２２ａ〜２２ｈにおいて隙間やガタ等が発生しにくくなる。これにより、分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄによりペリクル枠体２を構成しても寸法が安定する。また、ペリクル１は、ペリクル膜３を展張したときのペリクル枠体２の内側への撓みが少ないほうが好ましいが、接合部２２ａ〜２２ｈの接合強度を１０ｋｇｆ以上とすることで、ペリクル枠体２の内側への撓みを抑制できる。
【００４３】
このペリクル１の内側への撓みは、ペリクル１の有効露光面積の確保の観点から、マスクメーカーによって所定の量に規制されている。ペリクル枠体２においては、許容されている範囲内の撓み量とする必要があるが、接合強度を１０ｋｇｆ以上とすることで、上述のように撓みを抑制でき、撓み量を所定の範囲内に設定することができる。更に、ペリクル１をハンドリング（移動等の操作）する際には、ペリクル枠体２の溝部７に治具を装着して上下左右にペリクル１をハンドリングするが、内側への撓みが大きいと治具から外れてペリクル１が落下するおそれがある一方、外側に大きく撓むと治具への装着時にこすれが生じて異物が発生するおそれがある。この点、ペリクル枠体２では、接合部２２ａ〜２２ｈにおける接合強度を１０ｋｇｆとすることで、ペリクル１の落下を防止しつつ、異物の発生を抑制できる。
【００４４】
また、ペリクル枠体２へのペリクル膜３の貼り付けは、ペリクル枠体２に荷重をかけて行われるが、この荷重は、装置によって１０ｋｇｆ〜７０ｋｇｆと異なる。そのため、装置によってそれぞれ異なる荷重により接合部２２ａ〜２２ｈが変形しない対策が必要となる。また、ペリクル枠体２の形状が所定の寸法からずれている場合は、寸法修正を行うため接合部２２ａ〜２２ｈに局所的に荷重がかかり、接合部２２ａ〜２２ｈが変形するおそれがある。これらの課題を解決するために、接合部２２ａ〜２２ｈの接合強度が１０ｋｇｆ以上であることが好ましく、より好ましくは１５ｋｇｆ以上であり、更に好ましくは２５ｋｇｆ以上である。
【００４５】
上述のような接合部２２ａ〜２２ｈの接合強度を達成し、ペリクル１として外観上も使用可能な接合方法としては、分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄを嵌合させる、或いは接着剤を用いること等が好ましい。嵌合させる場合、接合の端部に凸部を設け、他方の端部に嵌合させる凹部が設けられている形状が好ましい。更には、凸部の根元寸法（基端側寸法）が先端側の最大横寸法よりも小さい形状が長さ方向への引張にも強いためより好ましい。また、接合部の段差を０．１０ｍｍ以下にすることが好ましい。この範囲以下であれば膜シワもなく、または、マスクにペリクルを貼り付けた時にもエアパスもない状態になるため好ましい。特に、０．０８ｍｍ以下、更には、０．０５ｍｍ以下が好ましい。平坦であればあるほど好ましい。枠部材毎に表面処理した後にペリクル枠体にするために、段差を０．１０ｍｍ以下にするためには、枠部材各々の寸法精度を良くする必要がある。
【００４６】
以上説明したように、ペリクル１のペリクル枠体２では、分割部材２０ａ〜２０ｄと連結部材２１ａ〜２１ｄとの接合部２２ａ〜２２ｈにおける接合強度を１０ｋｇｆ以上としているため、分割枠体であっても、撓みや歪みを抑制できると共に、剛性を確保することができる。また、分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄからなる分割枠体とすることで、寸法を容易に調整することができ、寸法精度を確保することができると共に製造工程を簡易化できる。そのため、接合部を有さない枠体と同様の寸法精度を容易にでることができる。したがって、分割枠体を用いる際に、接合部２２ａ〜２２ｈに剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。特に、ペリクル１が大型の場合には、本実施形態の構成が更に効果的となる。
【００４７】
続いて、上記実施形態の変形例について説明する。図７は、変形例に係るペリクル枠体を上から見た図である。図７に示すように、ペリクル枠体２Ａは、接合形態が上述のペリクル枠体２と異なっている。ペリクル枠体２Ａは、長辺２Ａａ，２Ａｂを構成する分割部材３０ａ，３０ｂと、短辺２Ａｃ，２Ａｄを構成する分割部材３０ｃ，３０ｄとから形成されている。長辺２Ａａ，２Ａｂ、つまり分割部材３０ａ，３０ｂの長さは等しく形成されており、短辺２Ａｃ，２Ａｄ、つまり分割部材３０ｃ，３０ｄの長さは等しく形成されている。ペリクル枠体２Ａは、分割部材３０ａ，３０ｂと分割部材３０ｃ，３０ｄとが接合されることにより構成されており、４箇所の接合部３１ａ〜３１ｄを有している。接合部３１ａ〜３１ｄの構成は、接合部２２ａ〜２２ｈと同様である。なお、接合部３１ａ〜３１ｄは、その他の形状であってもよい。
【００４８】
図８は、変形例に係るペリクル枠体を上から見た図である。図８に示すように、ペリクル枠体２Ｂは、接合形態が上述のペリクル枠体２と異なっている。ペリクル枠体２Ｂは、長辺２Ｂａ，２Ｂｂを構成する分割部材４０ａ〜４０ｄと、短辺２Ｂｃ，２Ｂｄを構成する分割部材４０ｅ〜４０ｈと、から形成されている。長辺２Ｂａ，２Ｂｂを構成する分割部材４０ａ〜４０ｄの長さは等しく形成されており、短辺２Ｂｃ，２Ｂｄを構成する分割部材４０ｅ〜４０ｈの長さは等しく形成されている。ペリクル枠体２Ｂは、分割部材４０ａ〜４０ｄと分割部材４０ｅ〜４０ｈとが接合されることにより構成されており、８箇所の接合部４１ａ〜４１ｈを有している。接合部４１ａ〜４１ｈの構成は、図５（ａ）に示す構成と同様となっている。なお、接合部４１ａ〜４１ｈは、その他の形状であってもよい。
【実施例】
【００４９】
次に、実施例及び比較例を挙げて本実施形態をより具体的に説明するが、本実施の形態はその要旨を超えない限り、下記の実施例に限定されるものではない。
【００５０】
［実施例１］
ペリクル枠体の材質（全ての枠部材の材質）は、アルミニウム合金（Ａ５０５２系）とした。短辺の枠部材として、厚み４．０ｍｍ、幅６．０ｍｍ、長さ２４０ｍｍを２本用意した。長辺の枠部材として、厚み４．０ｍｍ、幅６．０ｍｍ、長さ３７０ｍｍを２本用意した。コーナー部の枠部材として、厚み３．９７ｍｍ、幅６．０ｍｍ、角部の曲率をＲ＝２ｍｍを４本用意した。また、短辺側の枠部材と、コーナー部の短辺側には、側面に溝を設け、溝の深さを２ｍｍ、溝の高さを１．５ｍｍとした。接合部は、図１０（ａ）に示すように、枠部材８０ａの段差を有する端面８１ａと分割部材８０ｂの段差を有する端面８１ｂとを当接させた階段形状とした。具体的な寸法は、図１０において、幅方向に２．０ｍｍ、長手方向に１０ｍｍ、また幅方向に２．０ｍｍ、長手方向に１０ｍｍ、更に幅方向に２．０ｍｍとした。
【００５１】
その後、それぞれの枠部材にアルマイト処理を行い、全面をアルマイト層にて被覆した。その後、それぞれの接合端面のアルマイト層を取り除き、アルミニウム合金が見える程度に図１０（ｂ）のように加工を行った。この時、外側層から１．５ｍｍはアルマイト層を残した。この時の非アルマイト層の割合は、２２．１％だった。その後、接着剤として嫌気性硬化型のアクリル系接着剤（商品名  ヘンケルロックタイト６３８（ヘンケル社製））を使用して、接着させ図２のようなペリクル枠体を作製した。次に、このペリクル枠体に対し、粘着剤としてスチレンエチレンブチレンスチレン系のホットメルト粘着剤、厚み１．４ｍｍをペリクル枠体の各辺に沿って塗布した。
【００５２】
別途、基板上にセルロースエステルのペリクル膜をスピンコート法により成膜し、そのペリクル膜を仮枠に接着させ、その後基板から剥離させた。この仮枠は、アルミニウム製のものを使用した。その後、上記ホットメルト粘着材を塗布したペリクル枠体において、ホットメルト接着剤が塗布されていない反対側の面に、アクリル系の膜接着剤を塗布し、仮枠のペリクル膜を接着させ硬化した。そして、余剰膜を切断してペリクルを作製した。
【００５３】
（ハンドリング性）
ペリクル枠体の溝を把持し、ペリクル枠体をペリクル枠体の辺の地面と平行方向に置いて、その後、辺を垂直方向にしてその後平行方向に戻す動作を１回とし、この動作を５回繰り返した。更に、ペリクル枠体の水平軸周りの１回の上下回転、垂直軸周りの１回の左右回転のこの動作を５回繰り返し、ハンドリング性及び接合部を確認した。ハンドリングを通して接合部に変化がない場合を「○」、接合部に隙間ができた「△」、接合部が外れそうになった「×」と評価した。結果を表１に示す。
【００５４】
【表１】
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【００５５】
（接合部の目視検査）
検査員１０名にて暗室の中、ペリクルを集光灯にて目視により接合部の外観を検査した。９名以上が問題ない場合を「○」、５〜８名が問題ない場合を「△」、４名以下が問題ない場合を「×」として評価した。
【００５６】
（段差の測定及び段差による不具合検査）
また、接合部の段差をすきまゲージ（株式会社 永井ゲージ製作所製）にて測定した。ペリクル枠体を定盤の上に静置し、接合面を隔てて隙間が空いた部分を測定した。この結果を表1に示す。ペリクル作製時に、膜シワや接着未塗布やマスク粘着剤の浮きなどの不具合がないかを確認し、９名以上が問題ない場合を「○」、５〜８名が問題ない場合を「△」、４名以下が問題ない場合を「×」として評価した。
【００５７】
（接合強度テスト）
次に、接合強度テストを行った。上記と同様の形状の接合部を含む１００ｍｍの棒状の枠体のサンプルを作製した。接合部は、１００ｍｍの棒状の半分の５０ｍｍの位置とした。幅方向を上面に向けて、接合部から１０ｍｍあけてチャッキングを行い（チャッキングは、接合部から１０ｍｍ〜３０ｍｍの範囲）、チャッキングした反対側を接合部から１０ｍｍの箇所に力を加えて測定した。測定装置は、イマダのデジタルフォースゲージを使用した。結果を表１に示す。
【００５８】
［実施例２］
ペリクル枠体の材質（全ての枠部材の材質）は、アルミニウム合金（Ａ６０６３系）とした。短辺の枠部材として、厚み５．０ｍｍ、幅７．０ｍｍ、長さ４８０ｍｍ、角部の曲率をＲ＝３ｍｍとしたものを２本用意した。長辺の枠部材として、厚み５．０ｍｍ、幅９．０ｍｍ、長さ７９０ｍｍを２本用意した。また、短辺側の枠部材と、コーナー部の短辺側には、側面に溝を設け、溝の深さを２ｍｍ、溝の高さを１．５ｍｍとした。接合部は、図５（ａ）に示すように、一方の部材の端部に丸形の凸部が２個設けられている形状とした。凸部の根元側の最大横寸法は１．５ｍｍの長さに設定され、凸部の先端側の最大横寸法は２．０ｍｍに設定し、根元側から凸部の先端までを２ｍｍとした。幅方向に２ｍｍのところに１個目の形状、その後幅方向に２ｍｍのところに２個目の形状を設けた。
【００５９】
その後、それぞれの枠部材にアルマイト処理を行い、全面をアルマイト層にて被覆した。その後、それぞれの接合端面のアルマイト層を取り除き、アルミニウム合金が見える程度に図５（ｃ）及び図５（ｄ）のように加工を行った。この時、外側層から０．５ｍｍはアルマイト層を残し、中央部のアルマイト層も０．５ｍｍ残した。この時の非アルマイト層の割合は、７４．３％だった。その後、接着剤として嫌気性硬化型のアクリル系接着剤（商品名  ヘンケルロックタイト６４８（ヘンケル社製））を使用して、接着させ図７のようなペリクル枠体を作製した。その後は、実施例１と同様にペリクルを作製し評価した。
【００６０】
［実施例３］
ペリクル枠体の材質（全ての枠部材の材質）は、アルミニウム合金（Ａ７０７５系）とした。長辺の枠部材として、厚み６．５ｍｍ、幅１８．０ｍｍ、長さ８８４ｍｍを４本用意した。短辺の枠部材として、厚み６．４７ｍｍ、幅１６．０ｍｍ、長さ７８２ｍｍ、角部の曲率をＲ＝３ｍｍとしたものを４本用意した。また、短辺側の枠部材と、コーナー部の短辺側には、側面に溝を設け、溝の深さを２ｍｍ、溝の高さを１．５ｍｍとした。接合部は、図６（ｂ）に示すように、各々の接合端面の接合距離を長辺幅に対して外側から２．７ｍｍ、３ｍｍ、３ｍｍ、２．７ｍｍとし、短辺幅に対して外側から２．４ｍｍ、２．６６ｍｍ、２．６６ｍｍ、２．４ｍｍとした。各々の接合部内面の図６（ｂ）における２４ａ、２４ｂ、２４ｃはそれぞれ長辺側４．８ｍｍとし、短辺側４．２６ｍｍに設定した。また２４ａの頂端から接合部の根元までの長さを長辺側は２．７ｍｍ、短辺側は２．４ｍｍと設定した。
【００６１】
その後、前記それぞれの枠部材にアルマイト処理を行い、全面をアルマイト層にて被覆した。その後、上記それぞれの接合端面のアルマイト層を取り除き、アルミニウム合金が見える程度に図６（ｃ）のように加工を行った。この時、外側層から１．０ｍｍはアルマイト層を残し、中央部にも２層のアルマイト層を残した。その時の中央部のアルマイト層は、０．５ｍｍずつとした。この時の非アルマイト層の割合は、長辺側が４７．８％、短辺側が５１．０％であった。その後、接着剤として嫌気性硬化型のアクリル系接着剤（商品名  ヘンケルロックタイト６４８（ヘンケル社製））を使用して、接着させ図８のようなペリクル枠体を作製した。その後は、実施例１と同様にペリクルを作製し評価した。
【００６２】
[実施例４]
接合部の接合端面全面のアルマイト層を取り除き、アルミニウム合金が見える程度に加工を行った以外は、実施例２と同様のペリクル枠部材にして、ペリクルを作製し評価した。
【００６３】
［比較例１］
接合部の接合端面のアルマイト層を取り除く作業をせずにアルマイト層をそのまま残した以外は実施例１と同様のペリクル枠部材にして、ペリクルを作製し評価した。
【００６４】
本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、各分割部材２０ａ，２０ｂ（分割部材３０ａ，３０ｂ、分割部材４０ａ〜４０ｄ）、分割部材２０ｃ，２０ｄ（分割部材３０ａ，３０ｂ、分割部材４０ｅ〜４０ｈ）の形状をある程度揃えているが、各分割部材の形状がそれぞれ相違していても差し支えない。
【符号の説明】
【００６５】
１…ペリクル、２…ペリクル枠体、３…ペリクル膜、４…開口部、２０ａ〜２０ｄ…分割部材（部材）、２１ａ〜２１ｄ…連結部材（部材）、２２ａ〜２２ｈ…接合部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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