【事件の表示】
　特許第３２９２７０６号「小型ターボモレキュラ型真空ポンプ」の請求項１ないし１４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２９２７０６号の請求項１ないし１４に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３２９２７０６号の請求項１〜１４に係る発明は、平成１１年４月３０日（パリ条約による優先権主張１９９８年５月２７日、伊国）に特許出願されたものであって、平成１４年３月２９日にその特許権の設定登録がなされ、平成１４年１２月１７日に竹内君代から、その請求項１〜１４に係る発明の特許に対し特許異議の申立てがなされ、平成１５年４月２２日付け（同年５月６日発送）で取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１５年１１月６日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の、「前記回転シャフト、前記回転支持手段、前記電動モータのステータ、および前記電動モータのロータが、前記ロータ部材の鐘状軸空洞部内において、前記ロータ部材の回転中心から回転半径方向外方に向かって、この順序で入れ子状に配置されていることを特徴とする真空ポンプ（１１）。」を「前記回転シャフト、前記
一対の
の一方
おり、前記一対の回転支持手段の他方が前記ロータ部材の鐘状軸空洞部外に配置されている
訂正事項ｂ
　段落【００１７】の、「前記回転シャフト１５、転動ベアリング５ａ，５ｂ、ステータ７およびロータ８は、ロータ部材９の鐘状軸空洞部１３内において、ロータ部材９の回転中心から回転半径方向外方に向かって、この順序で入れ子状に配置されている。」を「前記回転シャフト１５、転動ベアリング
５ａ、
おり、転動ベアリング５ｂが、ロータ部材９の鐘状軸空洞部１３外に配置されて
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、回転支持手段５ａのみが鐘状軸空洞部内１３内に収容されている場合と、回転支持手段５ａ，５ｂがともに鐘状軸空洞部内１３内に収容されている場合との、二つの態様を意味していると解釈可能であったのを、一方に限定したものである。したがって、この訂正は明りょうでない記載の釈明に該当するとともに、特許請求の範囲の減縮にも該当する。
　そして、一対の回転支持手段の一方がロータ部材の鐘状軸空洞部内に配置され、他方が前記ロータ部材の鐘状軸空洞部外に配置されていることについては、願書に添付された図面に示されているから、新規事項の追加に該当しない。
  上記訂正事項ｂは、上記訂正事項ａに伴って、発明の詳細な説明の欄の対応箇所を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであるとともに、新規事項の追加に該当しない。
　また、上記訂正事項ａ、ｂは、いずれも、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
（３）むすび                         
　以上のとおりであるから、上記訂正は、平成１５年改正前の特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する平成１５年改正前の特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
（１）本件の請求項１に係る発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１〜１４に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」〜「本件発明１４」という。）は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜１４に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
　
「【請求項１】　ベース部と、内面および外面を有し前記ベース部と一体的な中空円筒部（１４）とを有する本体（１）と、
　前記本体（１）の前記中空円筒部（１４）を部分的に取り囲む鐘状軸空洞部（１３）を有するロータ部材（９）と、
　前記鐘状軸空洞部（１３）内に配置され、前記中空円筒部（１４）と同軸の回転シャフト（１５）と、
　間隔を開けて設けられた少なくとも１対の回転支持手段（５ａ，５ｂ）であって、それぞれ、前記中空円筒部（１４）の内面と一体的な固定部と前記回転シャフト（１５）に結合された回転部とを有する回転支持手段と、
　前記回転支持手段（５ａ，５ｂ）の位置に対応させて前記中空円筒部（１４）の外面に結合された電動モータ（７，８）であって、前記中空円筒部（１４）の外面と一体的なステータ（７）と前記鐘状軸空洞部（１３）の内面に結合されたロータ（８）とを含む電動モータとを含み、
　前記回転シャフト、前記一対の回転支持手段の一方、前記電動モータのステータ、および前記電動モータのロータが、前記ロータ部材の鐘状軸空洞部内において、前記ロータ部材の回転中心から回転半径方向外方に向かって、この順序で入れ子状に配置されており、前記一対の回転支持手段の他方が前記ロータ部材の鐘状軸空洞部外に配置されていることを特徴とする真空ポンプ（１１）。
【請求項２】　前記回転シャフト（１５）に沿った前記回転支持手段（５ａ，５ｂ）間の距離が、前記電動モータ（７，８）の軸方向の長さよりも短い請求項１の真空ポンプ。
【請求項３】　前記電動モータが直流電動モータである請求項１の真空ポンプ。
【請求項４】　前記電動モータの前記ロータ（８）が、その周上に交互に配置されたＮ極とＳ極とを有する環状永久磁石を含み、前記ロータ部材（９）の前記鐘状軸空洞部（１３）内に固定されている請求項３の真空ポンプ。
【請求項５】　前記電動モータの前記ロータ（８）が、前記ロータ部材（９）の前記鐘状軸空洞部（１３）内に形成された凹部内に配置されている請求項４の真空ポンプ。
【請求項６】　前記電動モータの前記ステータ（７）が、環状であり、前記電動モータの前記ロータ（８）に対応させて、前記本体（１）の前記中空円筒部（１４）の外面に固定されている請求項４の真空ポンプ。
【請求項７】　前記電動モータの前記ロータ（８）が、前記ロータ部材（９）の鐘状軸空洞部（１３）の内面に結合された複数の永久磁石で形成されている請求項３の真空ポンプ。
【請求項８】　前記電動モータの前記ロータ（８）が、前記ロータ部材（９）の前記鐘状軸空洞部（１３）内に形成された凹部内に配置されている請求項７の真空ポンプ。
【請求項９】　前記電動モータの前記ステータ（７）が、環状であり、前記電動モータの前記ロータ（８）に対応させて前記本体（１）の前記中空円筒部（１４）の外面に固定されている請求項８の真空ポンプ。
【請求項１０】　前記回転支持手段（５ａ，５ｂ）が、それぞれ、ボールまたはロールを有するローラベアリングを含み、前記本体（１）の前記中空円筒部（１４）の内面と一体的な外側リングと、前記ロータ部材（９）の前記回転シャフト（１５）と一体的な内側リングとを有する請求項１の真空ポンプ。
【請求項１１】　前記ローラベアリングの前記外側リングと本体（１）の前記中空円筒部（１４）の内面との間に配置されたゴムリング（４）をさらに含む請求項１０の真空ポンプ。
【請求項１２】　１対のローラベアリングの間に略円柱形の間隔保持バー（６）をさらに含む請求項１１の真空ポンプ。
【請求項１３】　前記回転支持手段（５ａ，５ｂ）が、前記中空円筒部（１４）上に固定された軸格納リング（２ｂ）と、本体（１）のベース部に固定されたカバー（２ａ）と、予備負荷バネ（３）とによって、定位置に保持されている請求項１２の真空ポンプ。
【請求項１４】　前記回転支持手段（５ａ，５ｂ）が磁気ベアリングを含む請求項１の真空ポンプ。」
　
（２）引用刊行物に記載された発明
　当審で通知した取消しの理由で引用した刊行物である、引用例１〜５には、それぞれ以下のような事項が記載されているものと認められる。
　ア．引用例１：特開平１０ー１８９９１号公報（甲第１号証、平成１０年１月２０日公開）
ａ．「請求項６に記載の発明は、上記ロータは回転軸と回転筒状部を有し、上記ステータは上記回転軸と上記筒状部の間に配置される固定筒状部を有し、上記回転軸の外周部と上記固定筒状部の間に上記アキシャル及びラジアル磁気軸受が構成され、上記回転筒状部の内周部と上記固定筒状部の間にラジアルギャップモータが構成されていることを特徴とする請求項１に記載のターボ分子ポンプである。これにより
固定筒状部の内外周部を活用して軸受とモータを組み込み、軸方向の寸法を短くすることができる
 ｂ．「図２以下に示す本発明の実施の形態は、ステータＳが固定筒状部１７を有し、ロータＲがこの固定筒状部１７に囲まれた回転軸１８とこれと一体の回転筒状部２を有するインナーロータ方式を採用したものである。・・・図２の第２の実施の形態では、モータ１９は固定筒状部１７と回転軸１８の間に組み込まれており、ラジアルギャップ形を採用しているが、
軸受部とモータ部は径方向の異なる位置に組み込まれているため、モータ１９がポンプ本体の軸方向寸法に影響を与えることはなく、軸方向にコンパクトなポンプを提供することが可能である
ｃ．「図４は、本発明の第４の実施の形態であり、回転軸１８の外周部と固定筒状部１７の内周部の間には、ラジアル磁気軸受１３とアキシャル磁気軸受１１を設けている。そして、回転筒状部２の円筒部２ａの内周部と固定筒状部１７の外周部の間に、アキシャルギャップ型の
ＤＣブラシレスモータ１４
軸方向寸法をコンパクトにすることができる
　上記記載事項ａ、ｂ、ｃを図２、４を参照して看ると、引用例１には、電動モータの配置に関し、「ラジアル磁気軸受１３（回転支持手段）の位置に対応させて固定筒状部１７（中空円筒部）の外面に結合された電動モータであって、前記中空円筒部の外面と一体的な固定子（ステータ）と前記鐘状軸空洞部の内面に結合された回転子（ロータ）とを含む電動モータ」のように構成して軸方向寸法をコンパクトにすることができるようにする」技術（引用例１記載の技術１）が記載されている。
　また、「回転シャフト、一対の回転支持手段の一方、電動モータのステータ、および前記電動モータのロータを、ロータ部材の鐘状軸空洞部内において、前記ロータ部材の回転中心から回転半径方向外方に向かって、この順序で入れ子状に配置」する技術（引用例１記載の技術２）が記載されている。
　さらに、「ＤＣブラシレスモータ（直流電動モータ）」「電動モータのロータをロータ部材の鐘状軸空洞部内に形成された凹部内に配置すること」が記載されているものと認められる。
　イ．引用例２：特開平５ー１９５９８２号公報（甲第２号証）
ｅ．「本実施例では、
回転軸
動翼５
外側軸９には
モータ１３と上部軸受１０が固定されている
下部軸受１１
ケーシング１
支持部材２０
下部軸受１１と下蓋１５の底部との間には、バネ１６が介装されている
　上記記載事項ｅによれば、引用例２には、「ケーシング１下部端部と、内面および外面を有し前記ケーシング１下部端部と一体に組み立てられた支持部材２０とを有するケーシング１下部端部と支持部材２０との結合体と、
　前記ケーシング１下部端部と支持部材２０との結合体の前記支持部材２０を、部分的に取り囲む空洞部及び動翼５を有するロータと、
　前記空洞部内に配置され、前記支持部材２０と同軸の内側軸７と外側軸９とからなる回転軸と、
　間隔を開けて設けられた少なくとも１対の上部軸受１０、下部軸受１１であって、それぞれ、前記支持部材２０の内面と一体的な固定部と前記内側軸７と外側軸９とからなる回転軸に結合された回転部とを有する上部軸受１０、下部軸受１１と、
　前記支持部材２０の内面に結合されたモータ１３であって、前記支持部材２０の内面と一体的な固定子と回転軸の外面に結合された回転子とを含むモータ１３とを含み、
　内側軸７と外側軸９とからなる回転軸、前記上部軸受１０並びに前記モータ１３の固定子および前記モータ１３の回転子が、前記ロータに設けた空洞部内において、前記動翼５を有し内側に空洞部を設けたロータの回転中心から回転半径方向外方に向かって、この順序で入れ子状に配置されており、前記下部軸受１２が前記動翼５を有するロータの空洞部外に配置されているターボ分子ポンプ。」の発明が記載されているものと認められる。
　また、「軸受１０、１１（回転支持手段）を、支持部材２０上端の内周凸部（軸格納リング）とバネ１６（予備負荷バネ）と下蓋１５（カバー）とによって、定位置に保持すること」が記載されているものと認められる。
　ウ．引用例３：特開平４ー２６５６４７号公報（甲第３号証）
ｈ．「【実施例】　図１に、本発明に従うスピンドルモータの一実施例を示す。図１は、例えば、５吋デイスクを３枚搭載するスピンドルモータの断面図である。図１において、１はハブ、２はブラケット、３はステータ、４はロータマグネット、５及び６は軸受部材、７はネジ、８は磁性流体シール装置、である。・・・ハブ１は、アルミニウムやステンレス鋼等から形成され、ハブ１の本体部の軸芯部に穿設された孔部に軸部１１が圧入され、これらが一体的に回転するように構成されている。ハブ１の内部には磁性材料で形成されたロータヨーク４１が全周にわたり配設され、更にその内周面にはロータマグネット４が設けられている。ブラケット２の内周部に設けられた円筒部２３の外周面にはステータ３がはめ込み固定されており、ロータマグネット４に対向して配置されている。また、円筒部２３の内周面には軸受部材５及び６が装着されており、これら軸受部材５及び６を介して軸部１１が回転自在に支持され、従って、ロータマグネット４とステータ３との相対回転することにより、ハブ１が回転駆動される。」（段落【０００８】〜【００１２】）
ｉ．「図２は図１におけるスピンドルモータのブラケット２の円筒部２３の下部を示した拡大断面図である。図１及び図２において、片方（上側）の軸受部材５は、その内外輪がそれぞれ軸部１１と円筒部の内周面２２にはめ込まれており、また他方（下側）の軸受部材６も同様に装着されている。スピンドルモータの回転精度の維持を図る為に、片方の軸受部材５は、内外輪をそれぞれ軸部１１と円筒部２２に接着剤等により固定されると共に、他方の軸受部材６は、軸部１１に装着されたＣリング６６とブラケット２に配設されたバネワッシャ６５とにより、図２に示すように内輪と外輪の軸芯方向の相互に予圧がかけられている。・・・即ち、
軸受部材６の外輪６１はバネワッシャ６５により、軸芯方向の外方、図２では下方向へ弾性的に押圧され、一方、内輪はＣリング６６により内方、図２では上方向へ相対的に押圧される。
　上記記載事項ｈ、ｉの記載によれば、引用例３には、「軸受部材５、６（回転支持手段）をバネワッシャ６５（予備負荷バネ）によって定位置に保持する」ことが記載されているものと認められる。
　また、図１の記載によれば、引用例３には、「回転支持手段間の距離を電動モータの軸方向の長さよりも短くすること」のように構成する技術が記載されているものと認められる。
　エ．引用例４：特開平６ー３１１７１６号公報（甲第４号証）
　図１、４の記載によれば、引用例４には、「１対のローラベアリングの間に略円柱形のスペーサ２５（間隔保持バー）を設ける」技術が記載されているものと認められる。
　オ．引用例５：特開平９ー２５８９０号公報（甲第５号証）
ｑ．「【発明の実施の形態】　図面を参照すると、ターボ分子ポンプは、ステータ１とロータ２を備えている。ロータ２は、ロータ２を締め付ける止めネジ４によって、シャフト３に連結しており、第１の軸受６の内側リング５は、シャフト３の肩部７に支えられている。・・・ロータ２は、防振型ロータ継手、軸受６については継手１０、軸受７については継手１１を介してステータ１の内部９のなかに取り付けられた第１の軸受６及び第２の軸受８によってステータ１の中に支えられている。エラストマでできたこれらの継手１０と１１は、ステータ１においてロータ２の径方向の振動遮断を行う。軸受８の内側リング１２は、止めネジ１４によってシャフト３の肩部１３に対して締め付けられている。ステータ１の中のロータ２の軸方向の位置決め基準は、一方ではステータの支え面１８に、もう一方では軸受６の外側リング１９に支えられている予荷重ばね１７を用いたステータ１の一部９の支え面１６に対する軸受８の外側リング１５の支承によって与えられる。このばね１７は、ロータ全体を高方に向かって、前記の支え面１６に対する軸受８の外側リング１５の支承まで押し付ける。」
　上記記載事項ｑによれば、引用例５には、「転がり軸受（ローラベアリング）の外側リングと中空円筒部の内面との間にエラストマでできた継手１０、１１（ゴムリング等の弾性体）を配置する」技術が記載されているものと認められる。
　（３）対比及び判断
Ｉ．本件発明１について
Ａ．対比
　まず、本件発明１と引用例２記載の発明とを対比する。
　後者の「ケーシング１下部端部と、内面および外面を有し前記ケーシング１下部端部と一体に組み立てられた支持部材２０とを有するケーシング１下部端部と支持部材２０との結合体」は、その技術的意義からみて、前者の「ベース部と、内面および外面を有し前記ベース部と一体的な中空円筒部（１４）とを有する本体（１）」に相当する。また、後者の「支持部材２０」は前者の「中空円筒部（１４）」に相当し、後者の「空洞部」は前者の「鐘状軸空洞部（１３）」に相当し、後者の「動翼５を有するロータ」は前者の「ロータ部材（９）」に相当し、後者の「内側軸７と外側軸９とからなる回転軸」は前者の「回転シャフト（１５）」に相当し、後者の「上部軸受１０、下部軸受１２」は前者の「回転支持手段」に相当し、後者の「モータ１３」は前者の「電動モータ（７，８）」に相当し、後者の「固定子」は前者の「ステータ（７）」に相当し、後者の「回転子」は前者の「ロータ（８）」に相当し、後者の「上部軸受１０」は前者の「一対の回転支持手段の一方」に相当し、後者の「下部軸受１２」は前者の「一対の回転支持手段の他方」に相当し、後者の「ターボ分子ポンプ」は前者の「真空ポンプ（１１）」に相当する。
　してみると、両者は「ベース部と、内面および外面を有し前記ベース部と一体的な中空円筒部とを有する本体と、
　前記本体の前記中空円筒部を部分的に取り囲む鐘状軸空洞部を有するロータ部材と、
　前記鐘状軸空洞部内に配置され、前記中空円筒部と同軸の回転シャフトと、
　間隔を開けて設けられた少なくとも１対の回転支持手段であって、それぞれ、前記中空円筒部の内面と一体的な固定部と前記回転シャフトに結合された回転部とを有する回転支持手段とを含み、
　前記一対の回転支持手段の他方が前記ロータ部材の鐘状軸空洞部外に配置されている真空ポンプ。」で一致し、以下の点で相違する。
ａ．相違点１：電動モータの配置に関し、本件発明１では、「
回転支持手段（５ａ，５ｂ）の位置に対応させて前記中空円筒部（１４）の外面
鐘状軸空洞部（１３）の内面
中空円筒部の内面
内面
回転軸の外面
ｂ．相違点２：回転シャフト、回転支持手段、電動モータのステータ、および電動モータのロータの配置に関し、本件発明では、「前記回転シャフト、前記一対の回転支持手段の一方、前記電動モータのステータ、および前記電動モータのロータが、前記ロータ部材の鐘状軸空洞部内において、前記ロータ部材の回転中心から回転半径方向外方に向かって、この順序で入れ子状に配置されて」いるのに対し、引用例２記載の発明では、「回転シャフト、一対の回転支持手段の一方並びに電動モータのステータおよび前記電動モータのロータが、前記鐘状軸空洞部において、前記鐘状軸空洞部を有するロータ部材の回転中心から回転半径方向外方に向かって、この順序で入れ子状に配置されて」いる点。
Ｂ．相違点の検討、及び判断
　上記相違点について検討する。
ａ．相違点１について
　機械技術分野において、機器の小型化は一般的な課題である。そして、電動モータの配置に関し、「回転支持手段の位置に対応させて中空円筒部の外面に結合された電動モータであって、前記中空円筒部の外面と一体的なステータと前記鐘状軸空洞部の内面に結合されたロータとを含む電動モータ」のように構成して軸方向寸法をコンパクトにすることができるようにする技術は、引用例１に記載の技術１に示されている。また、引用例１記載の技術１を引用例２記載の発明に適用することを妨げる根拠も見当たらない。
　してみると、引用例２記載の発明に上記引用例１記載の技術１を適用して、相違点１に係る本件発明１のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
ｂ．相違点２について
　ターボモレキュラ型真空ポンプにおいて、回転シャフト、回転支持手段、電動モータのステータ、および電動モータのロータの配置を、「回転シャフト、前記一対の回転支持手段の一方、前記電動モータのステータ、および前記電動モータのロータを、前記ロータ部材の鐘状軸空洞部内において、前記ロータ部材の回転中心から回転半径方向外方に向かって、この順序で入れ子状に配置」することは、引用例１記載の技術２に示されている。また、引用例１記載の技術２を引用例２記載の発明に適用することを妨げる根拠も見当たらない。
　してみると、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術２を適用して、相違点２に係る本件発明１のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
　そして、本件発明１によってもたらされる効果も、引用例２記載の発明、引用例１記載の技術１、２から予測し得る程度のものである。
II．本件発明２について
　回転シャフトに沿った回転支持手段間の距離は、回転シャフトの安定な支持や軸方向寸法のコンパクトさ等を考慮して適宜決定する設計的事項である。したがって、回転支持手段間の距離を電動モータの軸方向の長さよりも短くすることは、当業者が適宜なし得ることである。
　してみると、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２を適用する際に、上記設計的事項を考慮して、本件発明２のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
III．本件発明３について
　電動モータにおいて、直流電動モータは周知の事項（引用例１摘記事項ｃの「ＤＣブラシレスモータ」参照）（以下、「周知の事項１」という）であって、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２及び周知の事項１を適用して、本件発明３のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
IV．本件発明４について
　直流電動モータにおいて、ロータの周上にＮ極とＳ極とを交互に配置した環状永久磁石を設けることは、例示するまでもなく周知の事項（以下、「周知の事項２」という）であって、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２及び上記周知の事項１、２を適用して本件発明４のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
Ｖ．本件発明５について
　一方の部材に他の部材を配置する際に、前記他の部材を前記一方の部材に形成した凹部内に配置することは設計的事項である。そして、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２及び上記周知の事項１、２を適用して、本件発明５のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
VI．本件発明６について
　電動モータのステータを環状にして電動モータのロータに対応させることは例示するまでもなく周知の事項（以下、「周知の事項３」という）である。そして、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２及び周知の事項１、２、３を適用して、本件発明６のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
VII．本件発明７について
　電動モータのロータを複数の永久磁石で形成することは例示するまでもなく周知の事項（以下、「周知の事項４」という）である。そして、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２、周知の事項１、４を適用して、本件発明７のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
VIII．本件発明８について
　一方の部材に他の部材を配置する際に、前記他の部材を前記一方の部材に形成した凹部内に配置することは設計的事項である。そして、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２、上記周知の事項１、４を適用して、本件発明８のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
IX．本件発明９について
　電動モータのステータを環状にして電動モータのロータに対応させることは周知の事項（VII．本件発明６について、の項で「周知の事項３」として示したとおりである）であり、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２、上記周知の事項１、３、４を考慮して、本件発明９のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
Ｘ．本件発明１０について
　それぞれ、ボールまたはロールを有するローラベアリングを含み、固定部材と一体的なリングと、回動部材と一体的なリングとを有する回転支持手段は例示するまでもなく周知の事項（以下、「周知の事項６」という）である。したがって、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２を適用する際に、上記周知の事項６を考慮して、本件発明１０のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
XI．本件発明１１について
  ローラベアリングの外側リングと中空円筒部の内面との間に配置されたゴムリング等の弾性体を設ける技術は引用例５に記載されている。したがって、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２、周知の事項６、引用例５記載の技術を適用して、本件発明１１のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
XII．本件発明１２について
  １対のローラベアリングの間に略円柱形の間隔保持バーを設けることは、引用例４に示されるように電動モータにおいて周知の事項（以下、「周知の事項７」という）である。したがって、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２、周知の事項６、７、引用例５記載の技術を適用して、本件発明１２のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
XIII．本件発明１３について
　回転支持手段を予備負荷バネによって定位置に保持することは、引用例３に記載されるように周知の事項（以下、「周知の事項８」というであり）であるとともに、回転支持手段を、軸格納リングと予備負荷バネとによって、定位置に保持することは 回転支持手段を、中空円筒部上に固定された軸格納リングと予備負荷バネとカバーとによって保持することは、引用例２に記載されるように周知の事項（以下、「周知の事項９」という）である。また、回転する部材に必要に応じてカバーを設けることは設計的事項である。したがって、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２、周知の事項６、７、８、９、引用例５記載の技術を適用して、本件発明１２のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
XIV．本件発明１４について
　ターボモレキュラ型真空ポンプに磁気ベアリングを用いることは、引用例１にも記載されるように周知の事項（以下、「周知の事項１０」という）である。したがって、引用例２記載の発明に引用例１記載の技術１、２、周知の事項１０を適用して、本件発明１４のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
（４）むすび
　以上のとおり、本件発明１〜１４についての特許は、引用例１〜５に記載された発明、及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１〜１４の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、同法１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年４月２日（２００４．４．２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
小型ターボモレキュラ型真空ポンプ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　ベース部と、内面および外面を有し前記ベース部と一体的な中空円筒部（１４）とを有する本体（１）と、
　前記本体（１）の前記中空円筒部（１４）を部分的に取り囲む鐘状軸空洞部（１３）を有するロータ部材（９）と、
　前記鐘状軸空洞部（１３）内に配置され、前記中空円筒部（１４）と同軸の回転シャフト（１５）と、
　間隔を開けて設けられた少なくとも１対の回転支持手段（５ａ，５ｂ）であって、それぞれ、前記中空円筒部（１４）の内面と一体的な固定部と前記回転シャフト（１５）に結合された回転部とを有する回転支持手段と、
　前記回転支持手段（５ａ，５ｂ）の位置に対応させて前記中空円筒部（１４）の外面に結合された電動モータ（７，８）であって、前記中空円筒部（１４）の外面と一体的なステータ（７）と前記鐘状軸空洞部（１３）の内面に結合されたロータ（８）とを含む電動モータとを含み、
　前記回転シャフト、前記
一対の
の一方
おり、前記一対の回転支持手段の他方が前記ロータ部材の鐘状軸空洞部外に配置されて
　【請求項２】
　前記回転シャフト（１５）に沿った前記回転支持手段（５ａ，５ｂ）間の距離が、前記電動モータ（７，８）の軸方向の長さよりも短い請求項１の真空ポンプ。
　【請求項３】
　前記電動モータが直流電動モータである請求項１の真空ポンプ。
　【請求項４】
　前記電動モータの前記ロータ（８）が、その周上に交互に配置されたＮ極とＳ極とを有する環状永久磁石を含み、前記ロータ部材（９）の前記鐘状軸空洞部（１３）内に固定されている請求項３の真空ポンプ。
　【請求項５】
　前記電動モータの前記ロータ（８）が、前記ロータ部材（９）の前記鐘状軸空洞部（１３）内に形成された凹部内に配置されている請求項４の真空ポンプ。
　【請求項６】
　前記電動モータの前記ステータ（７）が、環状であり、前記電動モータの前記ロータ（８）に対応させて、前記本体（１）の前記中空円筒部（１４）の外面に固定されている請求項４の真空ポンプ。
　【請求項７】
　前記電動モータの前記ロータ（８）が、前記ロータ部材（９）の鐘状軸空洞部（１３）の内面に結合された複数の永久磁石で形成されている請求項３の真空ポンプ。
　【請求項８】
　前記電動モータの前記ロータ（８）が、前記ロータ部材（９）の前記鐘状軸空洞部（１３）内に形成された凹部内に配置されている請求項７の真空ポンプ。
　【請求項９】
　前記電動モータの前記ステータ（７）が、環状であり、前記電動モータの前記ロータ（８）に対応させて前記本体（１）の前記中空円筒部（１４）の外面に固定されている請求項８の真空ポンプ。
　【請求項１０】
　前記回転支持手段（５ａ，５ｂ）が、それぞれ、ボールまたはロールを有するローラベアリングを含み、前記本体（１）の前記中空円筒部（１４）の内面と一体的な外側リングと、前記ロータ部材（９）の前記回転シャフト（１５）と一体的な内側リングとを有する請求項１の真空ポンプ。
　【請求項１１】
　前記ローラベアリングの前記外側リングと本体（１）の前記中空円筒部（１４）の内面との間に配置されたゴムリング（４）をさらに含む請求項１０の真空ポンプ。
　【請求項１２】
　１対のローラベアリングの間に略円柱形の間隔保持バー（６）をさらに含む請求項１１の真空ポンプ。
　【請求項１３】
　前記回転支持手段（５ａ，５ｂ）が、前記中空円筒部（１４）上に固定された軸格納リング（２ｂ）と、本体（１）のベース部に固定されたカバー（２ａ）と、予備負荷バネ（３）とによって、定位置に保持されている請求項１２の真空ポンプ。
　【請求項１４】
　前記回転支持手段（５ａ，５ｂ）が磁気ベアリングを含む請求項１の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【関連出願の相互参照】
　本出願は、１９９８年５月２７日出願のイタリア出願Ｎｏ．ＴＯ９８Ａ０００４５３の優先権を主張しており、この出願は参照によりここに組み込まれる。
　【０００２】
　【発明の分野】
　本発明は、真空ポンプに関し、特に、電動モータにより駆動されるターボモレキュラ型の真空ポンプに関する。
　【０００３】
　【発明の背景】
　ターボ型真空ポンプは、複数のガスポンピングステージを内蔵した外装ハウジングを有することがよく知られている。ガスポンピングステージは、通常、ポンプ本体と一体のステータリングと、ポンプのモータにより駆動される回転シャフトと一体のロータディスクとを有する構造体で構成されている。
　【０００４】
　ロータディスクは、フラットディスクである場合もあり、また傾斜フィン付きのものである場合もある。フラットディスクおよびフィン付ディスクの両方を備えた真空ポンプ、通称、ターボモレキュラ型のものがある。この様なポンプは、１００，０００回転／分に達する超高速回転速度でもって約１０−８Ｐａの気圧を得ることができる。
　【０００５】
　ポンプロータのシャフトとモータのシャフトとは、通常、単一の回転シャフトとして同軸とされ、適切な回転支持手段によって支持されている。一般的に、シャフトはベアリングで支持されており、これはボールまたはロールを有するローラベアリング、または磁気ベアリングとすることができる。ベアリングにより、シャフトの自由回転と精密なバランス保持が可能となる。
　【０００６】
　あるタイプの従来の真空ポンプは、電動モータとポンピング部との間において回転シャフト上に配置された一対のローラベアリングを備えている。この様な構成は、構造が簡単でありメンテナンスも容易であるが、モータ、ベアリングおよびポンピング部が互いに完全に分離されており、寸法、特に軸方向の寸法の小さなポンプの製造ができない。
　【０００７】
　上述のものよりも軸方向の寸法の小さな別のタイプのターボモレキュラ型真空ポンプが、米国特許Ｎｏ．５，１６５，８７２に開示されている。この’８７２特許には、ポンピングロータの回転シャフトに加えて、電動モータおよびベアリングを内蔵した円筒形空洞部を有する鐘形状の一体的なポンピングロータを有する真空ポンプが示されている。この真空ポンプのモータは、ベアリング間に配置され、そのシャフトは、ポンプの回転シャフトと同軸とされている。
　【０００８】
　この第２のタイプのターボモレキュラ型ポンプは、第１のタイプのものよりもコンパクトである。しかし、ベアリング間の距離をモータの長さよりも小さくすることはできない。
　【０００９】
　【発明の要旨】
　したがって、本発明の目的は、軸方向の寸法が小さく、構造が非常に簡単な真空ポンプを提供することである。本発明に係る真空ポンプは、性能を損なうことなく、ポンプの寸法を極力小さくする必要のある全用途に好適に使用することができる。
　【００１０】
　本発明における上記およびその他の目的および効果は、図面を参照した、好適な実施形態の詳細な説明により明らかにされる。この詳細な説明は、本発明を説明するために提示されたものであり、本発明を限定する意図はない。
　【００１１】
　【発明の実施の形態の詳細な説明】
　図１を参照して、真空ポンプ１１は通常金属製のポンプ本体１を含み、このポンプ本体１はベース部および中空円筒部１４を有し、このポンプの他の要素の支持部および基部の役割を果たす。ロータ部材９は、図１には示されていないが、ポンプ本体１と一体の複数のステータリングにそれぞれ結合（ｃｏｕｐｌｅｄ）された複数のロータディスク１２を有する。ステータリングとフラットロータディスク１２との協働により、様々な種類のガスポンピングステージを形成することができる。真空ポンプに要求される特性に応じて、いくつかのステージをフラットロータディスクで構成し、他のステージを傾斜フィンを有するロータディスクで構成してもよい。鐘状軸空洞部１３が、ロータ部材９の内部に形成されている。この鐘状軸空洞部１３の中央に、回転シャフト１５が配置されている。
　【００１２】
　本体１の一部、すなわち、中空円筒部１４が、ロータ部材９の鐘状軸空洞部１３を貫通し、その内部に回転シャフト１５用の回転支持手段５ａ、５ｂを収納している。通常、この回転支持手段は、ボールもしくはロールを有するローラベアリング、または、ポンプ自体の破損を回避するために磁気ベアリングの突然の機能不良の場合に介入する安全ボールベアリングに結合された磁気ベアリングとすることができる。図１に示す好適な実施形態においては、特に、第１および第２のローラベアリング５ａ、５ｂは、中空円筒部１４内に位置している。
　【００１３】
　各ベアリングは、中空円筒部１４の内壁に固定された外側リングと、ロータ部材９の回転シャフト１５に連結された内側リングとを有する。複数の転動ボールまたはロールが、これらの２つのリングの間に配置されている。ボールベアリングと中空円筒部１４の内壁との間には、２つのゴムリング４が配置されている。好適には、両ベアリング５ａ、５ｂは、中空円筒部１４に対応させてポンプのベース部内に配置される。これによって、ポンプ構造がさらに単純化され、精度が良くなり、結果的に、ポンプシャフトを正確に回転させるために必要とされる、煩雑なベアリングのバランシングおよびセンタリング操作を回避できる。
　【００１４】
　上記２つの転動ベアリングの間に、間隔保持バー６が配置されている。間隔保持バー６は、ベアリング間を一定距離に保持するために略円柱形状を有する。ベアリング５ａ、５ｂは、中空円筒部１４上に固定された軸格納リング２ｂと、本体１のベースに固定されたカバー２ａと、カバー２ａとベアリング５ｂとの間に配置された予備負荷バネ（ｐｒｅｌｏａｄｉｎｇ　ｓｐｒｉｎｇ）３とによって、定位置に保持されている。
　【００１５】
　鐘状軸空洞部１３内に位置する電動モータ７、８は、ポンプ本体１と一体のステータ７と、ロータ部材９の鐘状軸空洞部１３の内面に結合されたロータ８とを含む。このモータのロータ８は、周上に交互に配置されたＮ極とＳ極とを有する環状永久磁石で構成され、ロータ部材９の鐘状軸空洞部１３内にキー係合している。あるいは、ロータ部材９の鐘状軸空洞部１３の内面に連結された複数の永久磁石を、全体として周面に沿って交互に配置された磁極を有する磁気リングを形成するように配置することによって、ロータ８を構成することもできる。
　【００１６】
　ロータ部材９の鐘状軸空洞部１３内に設けられた凹部内に磁石を配置し、鐘部の内面と同一平面とすることもできる。この様な構成により、モータのロータ／ステータ組立体が占める空間をさらに低減することができる。環状のステータ７は、本体１の中空円筒部１４の外面に固定され、ポンプ本体１と一体化される。永久磁石をロータ部材９内に組み込んだ直流電動モータの使用によって、ベアリング収容領域におけるポンプ本体の形状をかなり単純化することができる。したがって、モータの物理的な長さによる制約を受けることなく、支持ベアリング間の距離を、シャフトの正確なバランシングを確立するために必要な最低限まで狭めることができる。
　【００１７】
　モータロータは、ロータ部材９の空洞部１３にキー係合されている。回転シャフト１５に沿った転動ベアリング５ａ、５ｂ間の距離は、モータ７、８の軸方向長さよりも小さくなる。前記回転シャフト１５、転動ベアリング５
ａ、
おり、転動ベアリング５ｂが、ロータ部材９の鐘状軸空洞部１３外に配置されて
　本発明のポンプ設計によって、構成が実質的に単純化され、特に軸方向に小型化され、また、屈曲剛性が良くなり、回転部材のバランシング操作が簡単になる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の原理に従って構成された真空ポンプの好適な実施形態の概略軸方向断面図を示す。
　【符号の説明】
　１１　　　　真空ポンプ
　１　　　　　ポンプ本体
　２ａ　　　　カバー
　２ｂ　　　　軸格納リング
　３　　　　　予備負荷バネ
　４　　　　　ゴムリング
　５ａ，５ｂ　ローラベアリング
　６　　　　　間隔保持バー
　７　　　　　ステータ
　８　　　　　ロータ
　９　　　　　ロータ部材
　１２　　　　ロータディスク
　１３　　　　鐘状軸空洞部
　１４　　　　中空円筒部
　１５　　　　回転シャフト