(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体吸入口および気体吐出口を有するケーシングと、
前記ケーシング内に配置されるファンと、
前記ケーシング内に液体を噴出するノズルと、
前記ファンに接続された主軸、前記主軸と一体に回転するロータ、前記ロータの外周に配置されたステータ、前記ロータと前記ステータとを収容するモータケーシング、及び、前記モータケーシング内で前記ロータが配置されるロータ室と前記ステータが配置されるステータ室とを区画するキャン、を有するキャンドモータと、
を備えるファンスクラバー。
【請求項２】
請求項１に記載のファンスクラバーであって、
前記キャンドモータは、外部と前記ロータ室とを連通して前記ロータ室内に液体を供給する液体流入口と、前記ロータ室と前記ケーシングとを連通して前記ロータ室内の液体を前記ケーシング内へ排出する液体吐出口と、を更に有する、
ファンスクラバー。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のファンスクラバーであって、
前記ケーシングと前記モータケーシングとは、直接に締結されている、
ファンスクラバー。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載のファンスクラバーであって、
前記ファンは、前記主軸に直接に取り付けられる、
ファンスクラバー。
【請求項５】
請求項４に記載のファンスクラバーであって、
前記主軸には、前記ノズルと連通して当該ノズルに液体を供給する液体供給路が形成されている、
ファンスクラバー。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載のファンスクラバーであって、
前記ケーシングの気体吸入口を通って前記ノズルと連通し、当該ノズルに液体を供給する液体供給管と、
前記気体吸入口における前記液体供給管が配置されている部位の上流に設けられ、前記気体吸入口に向けて液体を噴出する第２ノズルと、
を備えるファンスクラバー。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れかに記載のファンスクラバーであって、
前記気体吸入口の内壁面に沿って移動するスクレーパと、
前記スクレーパの下流に向けて液体を噴出する第３ノズルと、
を備えるファンスクラバー。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れかに記載のファンスクラバーであって、
前記ノズルは、アルカリ性液体を噴出する、
ファンスクラバー。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れかに記載のファンスクラバーと、
真空チャンバから気体を真空引きし、前記ファンスクラバーの気体吸入口に気体を吐出する真空ポンプと、
を備える真空ポンプ装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の真空ポンプ装置であって、
前記ファンスクラバーの気体吐出口に接続される除害装置を更に備え、
前記除害装置は、前記ノズルから噴出される液体を用いて前記ファンスクラバーから吐出される気体に含まれる異物および所定のガスを除去する、
真空ポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空ポンプ装置は、半導体、液晶、太陽光パネル、又は、ＬＥＤ等の製造設備の一つとして広く使用されている。これらの製造プロセス等においては、真空ポンプを真空チャンバに接続して、真空チャンバ内に導入されたプロセスガスを真空ポンプによって真空引きする。真空ポンプによって真空引きする気体には、シランガス（ＳｉＨ４）またはハロゲン系ガス（ＮＦ３、ＣｌＦ３，ＳＦ６，ＣＨＦ３，Ｃ２Ｆ６，ＣＦ４等）を含むガスが含まれる場合がある。これらのガスは、有害可燃性または難分解性のガスであり、そのまま大気中に放出することができない。そのため、従来、真空ポンプ装置では、真空ポンプの後段に、真空引きしたガスを無害化処理する除害装置を設けている。
【０００３】
また、真空ポンプから排気されるプロセスガスには、真空チャンバ内での反応等によって固形化した物質、または、固形化しやすい物質が反応副生成物として混入している場合がある。こうした生成物が除害装置に侵入すると、配管および除害装置の詰まり、又は、除害装置の処理効率の低下を招くおそれがある。このため、真空ポンプ装置と除害装置との間に、異物を取り除くための異物除去機構が設けられる場合がある。
【０００４】
異物除去機構としては、例えばフィルタ又はトラップなどを用いることができる。フィルタ又はトラップは、簡易な構成で異物を除去することができるが、定期的にフィルタの交換などのメンテナンスが必要となる。また、異物除去機構としては、気体を撹拌するファンと、ファンを駆動するモータと、液体を噴出するノズルと、を備えるファンスクラバーも知られている。ファンスクラバーでは、ノズルから噴出される液体によって異物を捕捉する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２５１１３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
除害装置の前段に異物除去機構としてファンスクラバーを設ける場合、真空引きされた気体が、ファンとモータとの軸受を通じてモータの内部に侵入するおそれがある。真空引きされた気体には、腐食性があるガス、又は、人体に有害なガスが含まれる場合もあり、これらのガスがモータ内部に侵入すると、モータのステータ等を劣化させる原因となる。
【０００７】
これに対して、モータ内部にガスが侵入しないように、ファンが設けられるスクラバー室とモータとを、メカニカルシールおよび軸継手などを経由して接続することも考えられる。しかし、メカニカルシールは、真空引きした気体に含まれるガスで劣化する場合があり、この場合にはメンテナンスの頻度が大きくなってファンスクラバーの保守費用が増加する。また、軸継手を用いる場合には、モータの主軸とファンの回転軸の軸心がずれるとモータの振動および騒音の原因となるので、ファンスクラバーの製造に十分な経験と特殊な治工具が必要とされる。
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、ケーシング内部に吸引された気体によってモータが損傷するのを抑制することができるファンス
クラバー、及び、真空ポンプ装置を提供することを目的の一つとする。また、本発明は、メンテナンス費用を低下することができ、簡易な構成のファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置を提供すことを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のファンスクラバーは、気体吸入口および気体吐出口を有するケーシングと、ケーシング内に配置されるファンと、ケーシング内に液体を噴出するノズルと、ファンに接続されたキャンドモータと、を備える。キャンドモータは、ファンに接続された主軸、主軸と一体に回転するロータ、ロータの外周に配置されたステータ、ロータとステータとを収容するモータケーシング、及び、モータケーシング内でロータが配置されるロータ室とステータが配置されるステータ室とを区画するキャン、を有する。
かかる構成により、本発明のファンスクラバーは、キャンによってロータ室とステータ室とが区画される。これにより、主軸の軸受を通じてモータ内部に気体が侵入したとしても、ステータ室には気体が侵入せず、ステータが劣化するのを抑制することができる。
【００１０】
また、キャンドモータは、外部とロータ室とを連通してロータ室内に液体を供給する液体流入口と、ロータ室とケーシングとを連通してロータ室内の液体をケーシング内へ排出する液体吐出口と、を更に有してもよい。
こうすれば、液体をロータ室内に流してケーシング内に排出することができる。これにより、モータの冷却または回転軸の軸受の潤滑を行うことができるとともに、排出した液体をノズルから噴出される液体と共に処理することができる。
【００１１】
また、ケーシングとモータケーシングとは、直接に締結されていてもよい。
こうすれば、ケーシングとモータケーシングとの気密を容易に確保することができる。これにより、ケーシングに吸入された気体が外部に漏出するのを抑制することができる。
【００１２】
また、ファンは、主軸に直接に取り付けられてもよい。
こうすれば、軸継手などの動力伝達機構を介さずにファンと主軸との動力伝達を行うことができる。これにより、動力伝達機構から気体および液体が漏れるのを防止することができる。また、ファンと主軸との芯出しを行うことなく、ファンスクラバーを容易に製造することができる。
【００１３】
また、主軸には、ノズルと連通してノズルに液体を供給する液体供給路が形成されていてもよい。
こうすれば、ノズルに液体を供給する配管が別途設けられるものに比して、液体の流路を簡易にしたり、省スペースを図ったりすることができる。
【００１４】
また、ケーシングの気体吸入口を通ってノズルと連通し、ノズルに液体を供給する液体供給管と、気体吸入口における液体供給管が配置されている部位の上流に設けられ、気体吸入口に向けて液体を噴出する第２ノズルと、を備えてもよい。
これは、液体供給管の付近を流れる気体が冷やされて固形化しやすいことに基づく。気体吸入口における液体供給管が配置されている部位の上流に設けられた第２ノズルを備えることにより、気体吸入口に異物が堆積するのを抑制することができる。
【００１５】
また、気体吸入口の内壁面に沿って移動するスクレーパと、スクレーパの下流に向けて液体を噴出する第３ノズルと、を備えてもよい。
こうすれば、気体吸入口に異物が堆積するのをスクレーパ及び第３ノズルによって抑制することができる。
【００１６】
また、ノズルは、アルカリ性液体を噴出してもよい。
こうすれば、異物によって除去率を向上することができる。また、ケーシング及びファンなどの腐食を抑制することができる。
【００１７】
本発明の真空ポンプ装置は、上記のファンスクラバーと、真空チャンバから気体を真空引きし、ファンスクラバーの気体吸入口に気体を吐出する真空ポンプと、を備える。
この本発明の真空ポンプ装置においても、本発明のファンスクラバーと同様の効果を奏することができる。
【００１８】
また、真空ポンプ装置は、ファンスクラバーの気体吐出口に接続される除害装置を更に備えてもよい。そして、除害装置は、ノズルから噴出される液体を用いて、ファンスクラバーから吐出される気体に含まれる異物および所定のガスを除去するものでもよい。
こうすれば、ファンスクラバーのノズルから噴出される液体を除害装置で再利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施形態の真空ポンプ装置の構成概略を示す図である。
【図２】第１実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。
【図３】すべり軸受および主軸の断面の一例を示す図である。
【図４】第２実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。
【図５】第３実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。
【図６】第４実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施形態に係るファンスクラバー及び真空ポンプ装置を図面に基づいて説明する。なお、図面では、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。本実施形態の真空ポンプ装置は、例えば半導体、液晶、太陽光パネル、又は、ＬＥＤ等の製造設備の一つとして利用することができる。
【００２１】
図１は、本実施形態の真空ポンプ装置の構成概略を示す図である。本実施形態の真空ポンプ装置１０は、図示しないチャンバに接続されてチャンバを真空引きする真空ポンプ１２と、真空ポンプ１２の後段に接続されるファンスクラバー２０及び除害装置１４を備える。本実施形態では、ポンプ１２は、一例として、ドライ真空ポンプが用いられている。
【００２２】
ファンスクラバー２０は、真空ポンプ１２からの気体に含まれる固形化物（例えば反応副生成物）などの異物を除去するために設けられている。また、除害装置１４は、真空ポンプ１２からの気体を無害化処理するために設けられている。除害装置１４としては、燃焼式、乾式、湿式、ヒーター式、フッ素固定式、触媒式、プラズマ式、希釈ユニット式（ブロア、Ｎ２添加、Ａｉｒ添加）等のうちの１つ又は複数を用いることができる。
【００２３】
本実施形態の真空ポンプ装置１０では、真空ポンプ１２によって真空引きされた気体がまずファンスクラバー２０に案内され、ファンスクラバー２０を通過した気体が除害装置１４に案内される。こうした構成により、固形化物などの異物が除害装置１４に導入されるのを抑制することができ、除害装置１４の詰まり又は処理効率の低下が生じるのを抑制することができる。
【００２４】
また、本実施形態では、ファンスクラバー２０にて異物を捕集するために利用された液体（廃液）が除害装置１４に導入されるものとした（図１中、ハッチングを付した部分参照）。これにより、ファンスクラバー２０にて利用される液体（以下、洗浄液）を除害装置１４にて再利用することができる。ここで、除害装置１４での洗浄液の再利用としては、例えば、除害装置１４によって気体から固形化した固形化物をファンスクラバー２０と
同様に捕集するために利用してもよいし、除害装置１４を通過する気体と熱交換するために利用してもよい。また、除害装置１４の構成要素の潤滑または冷却などのために洗浄液を利用してもよい。また、ファンスクラバー２０からの液体は、フィルタ又はトラップなどの異物を捕集する機構を通って除害装置１４に送られてもよい。
【００２５】
＜第１実施形態＞
次に、本実施形態の真空ポンプ装置１０に備えられたファンスクラバー２０について詳細に説明する。図２は、第１実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。なお、図２中、太線矢印はノズル２７から吐出される洗浄液の経路を示しており、太い一点鎖線矢印はキャンドモータ３０内を通る洗浄液の経路を示している。本実施形態のファンスクラバー２０は、真空ポンプ１２から吐出される気体を気体吸入口２２ａから吸入する。そして、ファンスクラバー２０は、吸入した気体に含まれる固形化物等の異物を取り除いて、処理した気体を気体吐出口２２ｂから除害装置１４へ送る。ファンスクラバー２０は、ケーシング２２と、ファン２４と、液体吐出部２６と、キャンドモータ３０と、を備えている。
【００２６】
ケーシング２２は、処理対象である気体の流路を画定する。ケーシング２２には、真空ポンプ１２からの気体をケーシング２２内のファン２４へ案内する気体吸入口２２ａ、吸入した気体を吐出する気体吐出口２２ｂ、及び、洗浄液を廃液として吐出する液体排出口２２ｃが形成されている。本実施形態では、気体吸入口２２ａは、ケーシング２２の側面に形成され、真空ポンプ１２からの気体をファン２４の回転軸ＡＬに沿って案内する。また、本実施形態では、気体吐出口２２ｂは、ケーシング２２の上面に形成され、液体排出口２２ｃは、ケーシング２２の下面に形成されている。ただし、こうした例に限定されず、気体吸入口２２ａ、気体吐出口２２ｂ、及び液体排出口２２ｃはケーシング２２の任意の位置に形成されればよい。また、気体吸入口２２ａ，気体吐出口２２ｂ，及び液体排出口２２ｃのそれぞれは、流体または異物が円滑に流れるように傾斜等が形成されていてもよい。
【００２７】
ケーシング２２の内部には、ファン２４が配置されている。ファン２４は、キャンドモータ３０の主軸３１に取り付けられ、キャンドモータ３０からの動力によって回転してケーシング２２内を撹拌する。ファン２４は、気体吸入口２２ａからケーシング２２内に吸入された気体を撹拌して気体吐出口２２ｂに案内できるものであれば如何なる構成であってもよい。一例として、ファン２４は、対向する２枚の円盤状の側板と、これらの側板の間に固着された複数の羽根と、を有する構成とすることができる。
【００２８】
また、ケーシング２２の内部には、液体吐出部２６が設けられている。液体吐出部２６は、ケーシング２２内に洗浄液を噴出する。洗浄液としては、一例として、水を使用することができる。また、洗浄液として、水酸化系（例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム）等の液体を含むアルカリ性の液体を使用することによって、異物の捕集効率を向上させることができると共に、ケーシング２２及びファン２４などの腐食を抑制することができる。なお、洗浄液は、捕集する異物に基づいて決められればよい。
【００２９】
液体吐出部２６は、複数の噴出口が形成されたノズル２７と、ノズル２７と連通する液体供給管２８と、を有する。液体吐出部２６は、図示しない圧送機構によって液体供給管２８を介して洗浄液をノズル２７に供給し、ノズル２７から洗浄液を吐出する。本実施形態では、ノズル２７は、ファン２４の内側でファン２４の回転軸（キャンドモータ３０の主軸３１）に対向して設けられ、ファン２４の中央から外周に向けて洗浄液を吐出する。また、液体供給管２８は、ファン２４の回転を妨げないように、気体吸入口２２ａ内に延びて配設されている。
【００３０】
また、ケーシング２２には、ファン２４と気体吐出口２２ｂとの間に衝突板２３が形成されている。ノズル２７から噴出される洗浄液はファン２４の遠心力によって外周に飛散するが、衝突板２３が設けられていることによって気体吐出口２２ｂに洗浄液が侵入するのを抑制することができる。なお、衝突板２３は、ファン２４と気体吐出口２２ｂとの間だけではなく、例えば、ファン２４の略全周を覆うように形成されてもよい。
【００３１】
キャンドモータ３０は、主軸３１がファン２４に連結されており、ファン２４に回転駆動力を提供する。主軸３１及びファン２４は、軸線ＡＬを中心に回転する。図示するように、キャンドモータ３０は、主軸３１と、ロータ３２と、ステータ３３と、モータケーシング４０と、キャン５０とを備えている。
【００３２】
ロータ３２は、ロータコアに二次導体が電気的に接続された構成を有している。また、ステータ３３は、ステータコアに巻線が装着された構成を有している。ステータ３３の軸線ＡＬ方向の両端では、ステータコアの外方に向けて巻線の一部が突出している。キャンドモータ３０では、ステータ３１の巻線への通電による電磁誘導によってロータ３２及び主軸３１が回転する。
【００３３】
モータケーシング４０は、ステータフレーム４１と、フレーム側板４２，４３と、ブラケット４４，４５と、を含んでいる。ステータフレーム４１は、軸線ＡＬに沿って内部空間が形成された、円筒形状を有している。このステータフレーム４１の中に、ステータ３３が配置されている。ステータ３３は、ステータフレーム４１の内部にステータコアが嵌め込まれることによって、軸線ＡＬと同心にステータフレーム４１に固定される。ステータ３３の内周側には、ロータ３２が同心に配置される。
【００３４】
かかるロータ３２とステータ３３との間には、キャン５０が設けられている。キャン５０は、ロータ３２とステータ３３とを離隔する。つまり、キャン５０は、モータケーシング４０の内部を、ロータ３２が配置されるロータ室４８と、ステータ３３が配置されるステータ室４９とに区画する。キャン５０は、軸線ＡＬに沿って延びて形成された円筒形状に形成されている。軸線ＡＬは、キャン５０の軸線でもある。軸線ＡＬ方向におけるキャン５０の両端は、開放されている（開口している）。かかるキャン５０は、キャン５０とモータロータ３１との間に僅かなギャップを生じる状態で、ステータ３２（より具体的には、ステータコア）の内面に貼り付けられている。
【００３５】
キャン５０の軸線ＡＬの両端側には、フレーム側板４２，４３が配置されている。このフレーム側板４２，４３は、略円筒形状を有している。フレーム側板４２，４３は、軸線ＡＬ方向におけるキャンドモータ３０の両端において、ステータフレーム４１とキャン５０との間に嵌め込まれている。そして、ステータ３３が収容される空間であるステータ室４９は、ステータフレーム４１とキャン５０とフレーム側板４２，４３とによって封止される。
【００３６】
フレーム側板４２，４３は、軸線ＡＬ方向におけるキャンドモータ３０の両端側において、ブラケット４４，４５と締結されている。そして、ロータ３２が収容される空間であるロータ室４８は、キャン５０とブラケット４４，４５とによって画定される。ファン２４側（負荷側）において、フレーム側板４２はブラケット４４と締結されている。本実施形態では、負荷側のブラケット４５は、ケーシング２２と直接に連結されている。負荷側のブラケット４４には、主軸３１を挿通するための貫通孔が形成され、この貫通孔に主軸３１を軸支するすべり軸受４６が設けられている。また、ファン２４とは反対側（反負荷側）の端部において、フレーム側板４３はブラケット４５と締結されている。また、反負荷側のブラケット４５には、主軸３１を軸支するすべり軸受４７が設けられている。そして、本実施形態では、反負荷側のブラケット４５には、すべり軸受４７が外部と連通する
ように貫通孔（液体流入口）４５ａが形成されている。この貫通孔４５ａには、ロータ室内に洗浄液を供給するための図示しない圧送機構が接続される。
【００３７】
図３は、すべり軸受および主軸の断面の一例を示す図である。本実施形態では、すべり軸受４６，４７は、ファンスクラバー２０の洗浄液を作動流体としてすべり面４６ａ，４７ａで主軸３１を受ける。また、本実施形態のすべり軸受４６，４７は、すべり面４６ａ，４７ａに凹部４６ｂ，４７ｂが形成されている。図３に示す例では、３つの凹部４６ｂ，４７ｂが円周方向に均等な位置に形成されている。なお、凹部４６ｂ，４７ｂは、図３に示すように断面が矩形状であってもよいし、断面がＶ字形状または半円状などであってもよい。
【００３８】
図２中太い一点鎖線矢印に示すように、図示しない圧送機構から貫通孔（液体流入口）４５ａを通じて反負荷側のすべり軸受４７に洗浄液が供給されると、洗浄液はすべり軸受４７と主軸３１との間を通ってロータ室４８に移動する。続いて、洗浄液は、ロータ室４８内でロータ３２とキャン５０との間を通って負荷側のすべり軸受４６に向かう。そして、洗浄液は、すべり軸受４６と主軸３１の間（液体吐出口）を通ってケーシング２２内に排出される。
【００３９】
以上説明した本実施形態のファンスクラバー２０では、キャンドモータ３０のロータ３２とステータ３３とがキャン５０で離隔されている。このため、ケーシング２２内の気体が負荷側のすべり軸受４６を介してキャンドモータ３０内部に侵入したとしても、侵入した気体がステータ３２に接触するのを防止することができ、ステータ３２が劣化するのを防止することができる。したがって、ケーシング２２内の気体によってファン２４を駆動するモータが損傷するのを抑制することができる。
【００４０】
また、ファンスクラバー２０では、貫通孔４５ａとすべり軸受４７とを通じてロータ室４８に洗浄液が供給され、すべり軸受４６を通じて洗浄液がケーシング２２内に吐出される。これにより、すべり軸受４７の作動流体としての洗浄液を、ノズル２７から吐出される洗浄液と共に排出して処理することができる。また、洗浄液をロータ室４８内に流すことによってキャンドモータ３０の冷却を行うこともできる。さらに、すべり軸受４６を通じてロータ室４８からケーシング２２内に洗浄液が吐出されることによって、ケーシング２２内からロータ室４８内に気体が侵入するのを抑制できる。
【００４１】
また、ファンスクラバー２０では、モータケーシング４０のうちのブラケット４４とケーシング２２とが直接に連結されている。これにより、ケーシング２２とモータケーシング４０との気密を容易に確保することができ、ケーシングに吸入された気体が外部に漏出するのを抑制することができる。このため、例えば、ケーシング２２とモータケーシング４０との隙間からケーシング２２内に向けて窒素パージを行うものに比して、ファンスクラバー２０を簡易な構成とすることができる。なお、モータケーシング４０とケーシング２２との連結は、ビスによる締結でもよいし、接着剤による接着でもよいし、溶接などでもよい。
【００４２】
また、ファンスクラバー２０では、キャンドモータ３０の主軸３１にファン２４が直接取り付けられている。つまり、主軸３１とファン２４との間に軸継手などの動力伝達機構が介在していないので、動力伝達機構等から気体および液体が漏出することがない。また、ファン２４と主軸３１との芯出しを行うことなく、ファンスクラバー２０を容易に製造することができる。
【００４３】
＜第２実施形態＞
図４は、第２実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。第２実施形態の
ファンスクラバー２０Ａは、ノズル２７への洗浄液の供給経路が第１実施形態と異なり、その他の点については、第１実施形態と同様である。
【００４４】
第２実施形態のファンスクラバー２０Ａでは、キャンドモータ３０Ａの主軸３１Ａの中心に貫通孔３８が形成されている。つまり、主軸３１Ａが中空に形成されている。そして、第２実施形態のファンスクラバー２０Ａでは、主軸３１Ａの内部（貫通孔３８）を液体供給路とし、主軸３１Ａの内部を通じてノズル２７に洗浄液が供給される。
【００４５】
ここで、一般に、すべり軸受４６，４７は、作動流体の量があまり大きくなくても機能する。このため、ノズル２７から噴出される洗浄水の量が十分に確保できるように、ノズル２７の噴出口は、ロータ室４８とケーシング２２とを連結する液体吐出口（すべり軸受４６と主軸３１のギャップ、図３参照）よりも開口面積が大きい方が好ましい。
【００４６】
上記したように、第１実施形態のファンスクラバー２０では、液体供給管２８が気体吸入口２２ａ内に配設されている。この場合には、気体吸入口２２ａを流れる気体が液体供給管２８に流れる洗浄液によって冷やされて固形化物が生じ、気体吸入口２２ａに堆積する可能性がある。これに対して、第２実施形態のファンスクラバー２０Ａでは、キャンドモータ３０Ａ側からノズル２７に洗浄液が供給されるので、気体吸入口２２ａに異物が堆積するのを抑制することができる。また、ファンスクラバー２０Ａでは、反負荷側のブラケット４５の貫通孔４５ａからノズル２７及びロータ室４８への洗浄液の供給を行うことができ、洗浄液の流路を簡易化、及び、ファンスクラバー２０Ａの省スペース化を図ることができる。
【００４７】
＜第３実施形態＞
図５は、第３実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。第３実施形態のファンスクラバー２０Ｂは、第２ノズル２７Ｂを備える点で第１実施形態と異なり、その他の点については、第１実施形態と同様である。
【００４８】
第３実施形態のファンスクラバー２０Ｂは、気体吸入口２２ａに洗浄液を噴出する第２ノズル２７Ｂを備えている。第２ノズル２７Ｂは、図５に示すように、気体吸入口２２ａ内に設けられ、図示しない圧送機構から洗浄液が供給される。具体的には、第２ノズル２７Ｂは、気体吸入口２２ａにおける液体供給管２８が配置されている部位よりも上流に設けられる。こうした構成により、液体供給管２８の近傍で気体が冷やされて固形化物が生じても、第２ノズル２７Ｂから洗浄液を噴出することで気体吸入口２２ａに異物が堆積するのを抑制することができる。
【００４９】
＜第４実施形態＞
図６は、第４実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。第４実施形態のファンスクラバー２０Ｃは、スクレーパ２９および第３ノズル２７Ｃを備える点で第１実施形態と異なり、その他の点については、第１実施形態と同様である。
【００５０】
第４実施形態のファンスクラバー２０Ｃは、気体吸入口２２ａの内壁面に沿って移動するスクレーバ２９を備えている。一例として、スクレーパ２９は、図６中破線で示すように、図示しないアクチュエータによって気体吸入口２２ａ内を直線状に移動する。スクレーパ２９は、気体吸入口２２ａ内を移動して気体吸入口２２ａの内壁面を引っかくことによって、気体吸入口２２ａに堆積している異物を下流に押し出す。このようにスクレーパ２９を設けることによって、気体吸入口２２ａに異物が堆積するのを抑制することができる。ここで、ファンスクラバー２０Ｃは、図６に示すように、気体の流路が鉛直方向に形成されている位置に設けられることが好ましい。こうすれば、スクレーパ２９によって引っかかれた異物を重力によって下流に向かわせることができる。
【００５１】
また、ファンスクラバー２０Ｃは、スクレーパ２９の下流に向けて洗浄液を噴出する第３ノズル２７Ｃを備えている。第３ノズル２７Ｃには、図示しない圧送機構から洗浄液が供給される。第３ノズル２７Ｃは、例えば、スクレーパ２９が移動可能な範囲のうち最も下流側の位置に向けて洗浄液を吐出してもよいし、図６に示すように、スクレーパ２９が鉛直方向に移動するときにはスクレーパ２９の下方に設けてもよい。こうした構成により、スクレーパ２９によって下流に押し出された異物を第３ノズル２７Ｃから噴出した洗浄液によって下流に流すことができる。したがって、気体吸入口２２ａに異物が堆積するのをより抑制することができる。
【００５２】
＜変形例＞
上記したファンスクラバー２０では、ロータ室４８を通ってケーシング２２に排出される洗浄液は、そのまま液体排出口２２ｃから排出されるものとした。しかし、ロータ室４８を通った洗浄液をノズル２７から噴出されるように構成してもよい。
【００５３】
上記したファンスクラバー２０では、ノズル２７から噴出される洗浄液とロータ室４８を通る洗浄液とは同一のものとしたが、異なる液体を用いてもよい。例えば、ロータ室４８には、潤滑オイルまたは冷却水が流れるように構成してもよい。また、上記したファンスクラバー２０では、ロータ室４８を通った液体がケーシング２２内へ排出されるものとしたが、外部に排出されてもよい。
【００５４】
上記したファンスクラバー２０では、主軸３１の軸受として、すべり面４６ａ，４７ａに凹部４６ｂ，４７ｂが形成されたすべり軸受４６，４７が用いられるものとした。しかし、すべり軸受４６，４７のすべり面４６ａ，４７ａに代えて、又は加えて、主軸３１の外周面に凹部が形成されてもよい。また、凹部４６ｂ，４７ｂが形成されていないすべり軸受を用いてもよい。さらに、すべり軸受に代えて、又は加えて、玉軸受など他の軸受の構成を用いてもよい。
【００５５】
上記した真空ポンプ装置１０では、真空ポンプ１２の後段に、ファンスクラバー２０と除害装置１４とが設けられるものとしたが、他の構成を更に備えてもよい。また、除害装置１４の後段にファンスクラバー２０が備えられてもよい。また、上記した真空ポンプ装置１０では、除害装置１４には、ファンスクラバー２０で利用された洗浄液が導入されるものとした。しかし、これに代えて、除害装置１４で利用された液体がノズル２７などのファンスクラバー２０に供給されてもよい。また、廃液を再利用しなくてもよい。
【００５６】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、実施形態および変形例の任意の組み合わせが可能であり、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
【符号の説明】
【００５７】
１０  真空ポンプ装置
１２  真空ポンプ
１４  除害装置
２０，２０Ａ〜２０Ｃ  ファンスクラバー
２２  ケーシング
２２ａ  気体吸入口
２２ｂ  気体吐出口
２２ｃ  液体排出口
２３  衝突板
２４  ファン
２６  液体吐出部
２７  ノズル
２７Ｂ  第２ノズル
２７Ｃ  第３ノズル
２８  液体供給管
２９  スクレーパ
３０，３０Ａ  キャンドモータ
３１  主軸
３２  ロータ
３３  ステータ
３８  貫通孔
４０  モータケーシング
４１  ステータフレーム
４２，４３  フレーム側板
４４，４５  ブラケット
４５ａ  貫通孔
４６，４７  すべり軸受
４８  ロータ室
４９  ステータ室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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