【事件の表示】
　特許第３４１４５６９号「流体圧アクチュエータ」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４１４５６９号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３４１４５６９号の請求項１に係る発明は、平成７年１２月８日に特許出願され、平成１５年４月４日にその特許権の設定登録がなされ、その後、水野幸彦（以下、「申立人」という。）より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１６年６月２５日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
2.1　訂正の内容
2.1.1　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の記載について、「テーブル（３２）と、を備え、前記挿入穴（３５）と交差するように」とあるのを、「テーブル（３２）と、を備え、前記シリンダチューブ（３６）は、前記テーブル（３２）と別体の前記駆動部材（３４）に設けた前記挿入穴（３５）に内挿固着されており、前記挿入穴（３５）と交差するように」と訂正し、全体を
「シリンダチューブ（３６）と、前記シリンダチューブ（３６）に対して相対移動可能にこのシリンダチューブ（３６）内に設けられたピストン（９）と、前記シリンダチューブ（３６）を挿入穴（３５）に内挿固着し、圧縮空気によって進退自在に変位する駆動部材（３４）と、前記駆動部材（３４）の変位に伴ってガイド部材（４）に沿ってスライド自在に従動するテーブル（３２）と、を備え、前記シリンダチューブ（３６）は、前記テーブル（３２）と別体の前記駆動部材（３４）に設けた前記挿入穴（３５）に内挿固着されており、
　前記挿入穴（３５）と交差するように前記駆動部材（３４）に設けられた貫通穴（３９）より連結用ねじ（４４）を前記テーブル（３２）にねじ込んで、前記駆動部材（３４）と前記テーブル（３２）とを連結することを特徴とする流体圧アクチュエータ。」と訂正する。
　
2.1.2　訂正事項ｂ
　明細書の段落【0005】の記載について、「テーブルと、を備え、前記挿入穴と交差するように」とあるのを、「テーブルと、を備え、前記シリンダチューブは、前記テーブルと別体の前記駆動部材に設けた前記挿入穴に内挿固着されており、前記挿入穴と交差するように」と訂正する。
　
2.2　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、発明を特定する事項であるシリンダチューブについて、「前記テーブル（３２）と別体の前記駆動部材（３４）に設けた前記挿入穴（３５）に内挿固着されて」いることを限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、しかも、「前記テーブル（３２）と別体の前記駆動部材（３４）」は願書に添付された明細書の段落【0007】に記載されているから、新規事項の追加には該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　また、上記訂正事項ｂは、上記訂正事項ａとの整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加には該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
2.3　むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する同法第１２６条第２項、第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
3.1　本件発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項に特定されるとおりのものである。（上記2.1.1 訂正事項ａ参照）
　
3.2　引用刊行物に記載された事項
　当審で通知した取消しの理由で引用した刊行物１（特開平７−２４８００６号公報）及び刊行物２（実願昭６３−６４２５８号（実開平１−１６５８０２号）のマイクロフィルム）には、以下の事項が記載されている。
　
3.2.1　刊行物１
イ．「シリンダチューブ６に、ピストン７が内挿されている。」（段落【0010】第１〜２行）
ロ．「シリンダチューブ６に、磁性体製のヨーク９が外挿されている。このヨーク９の、シリンダチューブ６を挿通した貫通孔９ａの内周面には、」（段落【0011】第１〜３行）
ハ．「テーブル１０およびガイドレール１１よりなるリニアガイド３は、両部材１０，１１の間に直動ベアリング２５が組み込まれていることにより、極めて高精度に走行動作する組立済のアッセンブリとして市販されており、当該ロッドレスシリンダは、この組立済の市販アッセンブリと他の部品群を組み合わせたものであり、特にテーブル１０とヨーク９が、互いの接触面１０ａ，９ｃに設けられたキー溝状の嵌合凹部１０ｂ，９ｄにキー状の連結部材２６を嵌合するとともに、ヨーク９に所要数（図では二本）のボルト差込み孔９ｅを設けて、ここにボルト２７をねじ込むことにより、連結されている。ボルト差込み孔９ｅはヨーク９の正面外壁９ｆ側から穿設されて、貫通孔９ａと直角に交叉している。」（段落【0012】第１〜１３行）
ニ．「そして一方の圧力供給ポート１４からシリンダ４内に流体圧（空気圧）を供給すると、ピストン７が他方の圧力供給ポート１５の方へ移動し、ピストン７に備えられた永久磁石８の牽引力により、ヨーク９，テーブル１０およびワークが従動し、」（段落【0014】第１０〜１４行）
　上記記載事項イ〜ニからみて、刊行物１には、「シリンダチューブと、前記シリンダチューブに対して相対移動可能にこのシリンダチューブ内に設けられたピストンと、前記シリンダチューブを貫通孔に挿通し、空気圧によって進退自在に変位するヨークと、前記ヨークの変位に伴ってガイドレールに沿ってスライド自在に従動するテーブルと、を備え、前記シリンダチューブは、前記テーブルと別体の前記ヨークに設けられた貫通孔に挿通されており、前記貫通孔と交差するように前記ヨークに設けられたボルト差込み孔よりボルトを前記テーブルにねじ込んで、前記ヨークと前記テーブルとを連結するロッドレスシリンダ」（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
3.2.2　刊行物２
ホ．「本実施例のシリンダ装置（スライドユニット）は、可動本体１と、この可動本体１内に設けられて該可動本体１を移動させるシリンダ本体２と、このシリンダ本体２から可動本体１の外部に該可動本体１の移動方向に沿って突出されているピストンロッド３と、このピストンロッド３に平行して可動本体１を貫通されて該可動本体１の移動を案内する一対のガイドバー４とを備えている。
　前記可動本体１内のほぼ中央部には、貫通孔１ａが軸方向に沿って形成され、この貫通孔１ａに前記シリンダ本体２が収容されている。
　シリンダ本体２の外周面と貫通孔１ａの内周面との間には、間隙５（遊び）が形成され、この間隙５によりシリンダ本体２が貫通孔１ａ内においてその半径方向上に遊動可能とされている。
　シリンダ本体２の貫通孔１ａ内における軸方向への移動は、該貫通孔１ａの両端側に夫々嵌装された係止リング板６によって阻止されている。
　前記シリンダ本体２は、半径方向に遊びを有する肉薄のシリンダチューブ７と、このシリンダチューブ７の両端部に夫々固定されている軸受けホルダ８とを備えている。
　軸受けホルダ８内には、軸受け９とシール部材１０とが夫々配設されている。
　また、シリンダチューブ７内には、ピストン１１が軸方向に沿って摺動自在に収容されて、該シリンダチューブ７内を流体室７ａ，７ｂに夫々仕切っている。
　ピストン１１には、ピストンロッド３が軸方向に沿って貫通されて固定され、該ピストンロッド３は、軸受けホルダ８を夫々貫通して可動本体１の外部に該可動本体１の移動方向に沿って突出されている。」（明細書第６ページ第１２行〜第８ページ第４行）
ヘ．「第１図に示すように、可動本体１の両端側には、支持部材１８，１９が夫々対向してベース２０等に配設され、可動本体１がピストンロッド３の軸方向に沿って支持部材１８，１９の間を移動される構造とされている。
　支持部材１８，１９の嵌合孔１８ａ，１９ａには、ピストンロッド３の両端部が夫々嵌合され締結手段２１等によって固定され。」（明細書第９ページ第７〜１４行）
ト．「先ず、第１図の状態において、流路１２ｂの右端部の給排ポートを通じて該流路１２ｂに圧縮空気等の流体圧を供給すると、該流体圧が連通路２ｄを経て流体室７ｂに流入されピストン１１に作用し、可動本体１が同図の右側に移動される。」（明細書第１２ページ第１〜５行）
　上記摘記事項ホ〜トからみて、刊行物２には、「固定されたピストンと、ピストンに対して相対移動可能に設けられたシリンダ本体と、前記シリンダ本体を貫通孔に、その半径方向に遊動可能に、かつ軸方向には遊動不能に内挿し、圧縮空気によって進退自在に変位する可動本体と、を備えるシリンダ装置」（以下、「刊行物２記載の事項」という。）が記載されていると認められる。
　
3.3　対比及び判断　
　本件発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「貫通孔」、「ヨーク」、「ガイドレール」、「ボルト差込み穴」、「ボルト」は、前者の「挿入穴」、「駆動部材」、「ガイド部材」、「貫通穴」、「連結用ねじ」にそれぞれ相当することは明白であるから、両者の間には、以下の一致点及び相違点が認められる。
〈一致点〉「シリンダチューブと、シリンダチューブに対して相対移動可能にこのシリンダチューブ内に設けられたピストンと、前記シリンダチューブを挿入穴に内挿し、圧縮空気によって進退自在に変位する駆動部材と、前記駆動部材の変位に伴ってガイド部材に沿ってスライド自在に従動するテーブルと、を備え、前記シリンダチューブは、前記テーブルと別体の前記駆動部材に設けた前記挿入穴に内挿されており、前記挿入穴と交差するように前記駆動部材に設けられた貫通穴より連結用ねじを前記テーブルにねじ込んで、前記駆動部材と前記テーブルとを連結する流体圧アクチュエータ」。
〈相違点〉前者は固定されたピストンに対してシリンダチューブが移動して駆動部材を変位させる形式のものであって、「シリンダチューブを挿入穴に内挿固着し」という発明を特定する事項を有するのに対し、後者はこの発明を特定する事項を有しない点。
 
　上記相違点について検討すると、刊行物２記載の事項における「シリンダ本体」、「貫通穴」、「可動本体」、「シリンダ装置」は、本件発明の「シリンダチューブ」、「挿入穴」、「駆動部材」、「流体圧アクチュエータ」にそれぞれ相当するから、固定されたピストンに対してシリンダチューブが移動して駆動部材を変位させる形式のものであって、シリンダチューブを駆動部材の挿入穴に内挿したものは刊行物２に記載されている。刊行物２記載の事項ではシリンダチューブが挿入穴に対して半径方向に遊動可能、かつ軸方向には遊動不能に内挿されているが、刊行物２の明細書第１２頁第１２行〜第１３頁第１８行の記載に示されるように、半径方向に遊動可能とされているのはシリンダ装置とガイドバーとの平行度や芯合わせの誤差を吸収可能とするためだけであるから、刊行物２記載の事項においてもシリンダチューブは駆動部材の挿入穴に実質的に内挿固着されている、というべきである。また、刊行物２は、刊行物１と同じく流体アクチュエータに関するものであるから、刊行物２記載の事項の、固定されたピストンに対してシリンダチューブが移動して駆動部材を変位させる形式のものであって、「シリンダチューブを挿入穴に内挿固着し」という発明を特定する事項を、刊行物１記載の発明に適用して本件発明に到達することは、当業者であれば容易に推考し得るものである。
　
3.4　むすび　
　以上のとおり、本件発明は、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項１に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件の請求項１に係る特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年７月６日（２００４．７．６）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
流体圧アクチュエータ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　シリンダチューブ（３６）と、前記シリンダチューブ（３６）に対して相対移動可能にこのシリンダチューブ（３６）内に設けられたピストン（９）と、前記シリンダチューブ（３６）を挿入穴（３５）に内挿固着し、圧縮空気によって進退自在に変位する駆動部材（３４）と、前記駆動部材（３４）の変位に伴ってガイド部材（４）に沿ってスライド自在に従動するテーブル（３２）と、を備え、
前記シリンダチューブ（３６）は、前記テーブル（３２）と別体の前記駆動部材（３４）に設けた前記挿入穴（３５）に内挿固着されており、
　前記挿入穴（３５）と交差するように前記駆動部材（３４）に設けられた貫通穴（３９）より連結用ねじ（４４）を前記テーブル（３２）にねじ込んで、前記駆動部材（３４）と前記テーブル（３２）とを連結することを特徴とする流体圧アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、産業用ロボット等に用いられる流体圧アクチュエータに関する。この流体圧アクチュエータは、その構成部品であるテーブルにワークやツール等を搭載し、流体圧の供給によってこれらを移送するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　本願出願人が先に提案した実開平４−１９９０４号考案においては、内部にシリンダを一体的に設けたテーブルに直動ベアリングのベアリングブロックが連結されており、よってテーブルが駆動機能とガイド機能とを兼ね備えた構成となっている。
　【０００３】
　しかしながら、このようにテーブルが二種類の機能を兼ね備えていると、高精度で安価な市販の直動ベアリングを採用しているにもかかわらず、その精度が損なわれるという問題がある。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明は以上の点に鑑み、テーブルがガイド機能を備えるとともに別の部材が駆動機能を備えるように構成されており、もってテーブルが高精度に作動することが確保されている流体圧アクチュエータを提供することを目的とする。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するため、本発明の流体圧アクチュエータは、シリンダチューブと、前記シリンダチューブに対して相対移動可能にこのシリンダチューブ内に設けられたピストンと、前記シリンダチューブを挿入穴に内挿固着し、圧縮空気によって進退自在に変位する駆動部材と、前記駆動部材の変位に伴ってガイド部材に沿ってスライド自在に従動するテーブルと、を備え、
前記シリンダチューブは、前記テーブルと別体の前記駆動部材に設けた前記挿入穴に内挿固着されており、
　【０００６】
　【作用】
　上記構成を備えた本発明の流体圧アクチュエータにおいては、テーブルがガイド部材に対して相対移動するガイド機能を備えるとともに、駆動部材が圧縮空気の供給を受けてテーブルを相対移動させる駆動機能を備えていて、テーブルがガイド機能だけを備えているために、テーブルを高精度に作動させることが可能である。
　【０００７】
　テーブルと駆動部材とを別体として両部材を連結すれば、直動ベアリングの精度を十分に発揮させることが可能であるが、両部材を連結する場合、通常の手段では、駆動部材の内部に設けられたシリンダを避けるようにして、連結用ねじを挿入する穴が設けられることになる。したがってこの穴がシリンダを迂回するように設けられるために、必要以上に駆動部材を大きくしたりシリンダ径を小さくしたりしなければならず、これを原因として、十分な推力を得られなくなる虞がある。これに対して、本発明によれば、駆動部材の内部にシリンダが一体的に設けられておらず、以下のように構成されているために、必要以上に駆動部材を大きくしたりシリンダ径を小さくしたりする必要がない。
　【０００８】
　【発明の実施の形態】
　すなわち、駆動部材に、この駆動部材と別体のシリンダチューブを挿入するための挿入穴が設けられるとともに、駆動部材をテーブルに連結すべく用いられる連結用ねじをねじ込むための貫通穴が設けられており、後者の貫通穴が、外部からテーブルへ向けて、前者の挿入穴と交差するように設けられている。また駆動部材に対してシリンダチューブが別体であるために、挿入穴にシリンダチューブを後付けすることが可能である。したがってアクチュエータの当該構成部分が以下のようにして組み立てられることになる。
　【０００９】
　すなわち、テーブルに対して駆動部材を位置合わせして、駆動部材に設けられた貫通穴に連結用ねじを挿入し、この連結用ねじをテーブルにねじ込んで、先ずテーブルに駆動部材を連結する。テーブルには予め、対応する位置にねじ穴を設けておく。そしてこのようにしてテーブルに駆動部材を連結してから、この駆動部材と別体のシリンダチューブを、駆動部材に設けられた挿入穴に挿入する。したがってこのようにすれば、駆動部材の内部に設けられるシリンダを避けることなく貫通穴を設けることが可能となるために、必要以上に駆動部材を大きくしたりシリンダ径を小さくしたりする必要がなく、これによって駆動部材をコンパクト化することが可能となる。また連結用ねじによってテーブルに駆動部材を連結してから駆動部材の挿入穴にシリンダチューブを挿入するため、シリンダの内壁に連結の痕跡が残ることがない。
　【００１０】
　また連結用ねじの他に、キー、ピンまたは円筒コロ等よりなる嵌合部材をテーブルおよび駆動部材の双方に嵌合して、作動時にテーブルに加わる衝撃によって駆動部材との間に発生する剪断力を支えるようにすると、より強度の高い連結構造を構成することが可能となる。またこのようにすると連結用ねじを小径化することが可能となり、駆動部材を更にコンパクト化することが可能となる。
　【００１１】
　【実施例】
　つぎに本考案の実施例を図面にしたがって説明する。図１は当該実施例に係る流体圧アクチュエータの一部切欠した平面図、図２は正面図、図３は側面図（左側面図）、図４は連結部材単品の断面図である。
　【００１２】
　図１ないし図３において、先ず、符号１は固定部を示しており、この固定部１が以下のように構成されている。
　【００１３】
　すなわち、一対の端部材２，３が互いに平行に配置されており、この一対の端部材２，３の間にレール状のガイド部材４が端部材２，３と直交するように架設されるとともに、ロッド５がガイド部材４と平行に架設されている。ガイド部材４は複数のボルト６によって端部材２，３に硬く固定されている。ロッド５は中空であって、かつ軸方向に二分割されており、分割体７，８同士の間にピストン９が挾まれている。ロッド５の分割体７，８はそれぞれ、その軸方向一端部７ａ，８ａにおいて、端部材２，３の内側側面に設けられた挿入凹部１０，１１に挿入されるとともに、軸方向他端部７ｂ，８ｂにおいて、ピストン９の軸方向端面に設けられた挿入用凹部１２，１３に挿入されている。
　【００１４】
　端部材２，３の外側側面にそれぞれ配管ポート１４，１５が設けられており、この配管ポート１４，１５とロッド５の分割体７，８の中空部７ｃ，８ｃとを連通するように、端部材２，３にそれぞれ接続路１６，１７が設けられている。また中空部７ｃ，８ｃと後記するシリンダチューブ３６内部の両室を連通するように、ピストン９の軸方向端面にそれぞれ、連通用凹部１８，１９が挿入用凹部１２，１３と一部重なるようにして設けられている。また端部材２，３にそれぞれ、後記する移動部３１が往復動のストローク限に来たときに緩衝作用をなすショックアブソーバ２０，２１が取り付けられている。ショックアブソーバ２０，２１はそれぞれねじ込み式であって、よってその端部材２，３に対する取付位置を軸方向に調整可能である。
　【００１５】
　図１ないし図３において、符号３１は移動部を示しており、この移動部３１が以下のように構成されている。
　【００１６】
　すなわち、略箱形を呈し、ワークまたはツール等（以下、ワーク等と称する）の搭載面３３を備えたテーブル３２がガイド部材４の上に転動体（図示せず）を介して、ガイド部材４の長手方向に沿って相対移動自在に高精度に組み合わされており、このテーブル３２に駆動部材３４が連結され、この駆動部材３４の略中央に挿入穴３５が貫通形成され、この挿入穴３５にシリンダチューブ３６が内挿固着され、このシリンダチューブ３６の内周側に上記したロッド５およびピストン９が相対移動自在に組み込まれている。シリンダチューブ３６の両端はカバー３７，３８によって閉塞されており、このカバー３７，３８に対してロッド５の分割体７，８が相対移動自在に貫挿されている。
　【００１７】
　テーブル３２に対して駆動部材３４が、以下のようにして連結されている。
　【００１８】
　すなわち、先ず、図４に良く示されているように、シリンダチューブ３６を内挿固着する挿入穴３５を貫通形成した駆動部材３４に、挿入穴３５と直角に交差するように、貫通穴３９が二組、互いに平行に設けられており、この貫通穴３９がそれぞれ、挿入用開口部４０と連結用開口部４１とを同軸上に備えている。挿入用開口部４０は、テーブル３２に駆動部材３４を連結する際に連結用ねじ４３を矢印Ａ方向に差し通すためのもので、その内径寸法を連結用ねじ４４の大径の頭部の外径寸法より大きく設定されている。一方、連結用開口部４１は、テーブル３２に駆動部材３４を連結する際に連結用ねじ４４の小径のねじ部を通すとともに頭部を着座させるもので、頭部収容部４２と、ねじ部貫挿部４３とを備えており、頭部収容部４２が、連結用ねじ４４の頭部の外径寸法より大きな内径寸法と、頭部の軸方向長さ（ねじ込み方向長さ）より大きな軸方向長さ（ねじ込み方向深さ）とを備えており、ねじ部貫挿部４３が、連結用ねじ４４の頭部の外径寸法より小さく、かつねじ部の外径寸法より大きな内径寸法を備えている。また駆動部材３４と対面することになるテーブル３２の側面に、連結用ねじ４４のねじ部をねじ込むねじ穴（図示せず）が二つ、それぞれねじ部貫挿部４３に対応して設けられている。一部において説明の繰り返しになるが、挿入用開口部４０、頭部収容部４２、ねじ部貫挿部４３およびねじ穴は同軸上に配置されている。
　【００１９】
　また図１および図４に示したように、二組の貫通穴３９のねじ部貫挿部４３の間に位置して、駆動部材３４の側面に嵌合凹部４５が設けられるとともに、これと対向してテーブル３２の側面に嵌合用凹部４６が設けられており、この双方の凹部４５，４６に、キー、ピンまたは円筒コロ等よりなる嵌合部材４７が嵌合されている。この嵌合構造は、作動時にテーブル３２に加わる衝撃によって駆動部材３４との間に発生する剪断力をこれによって支えて、ねじ４４にかかる負担を軽減するものである。また駆動部材３４の変位方向端面にそれぞれ、ショックアブソーバ２０，２１に当接する受け部材４８，４９が取り付けられている。
　【００２０】
　上記構成を備えた流体アクチュエータは、産業用ロボット等に装着され、テーブル３２にワーク等を搭載し、圧縮空気の供給によってこのワーク等を直線的に往復動させるもので、以下の作用効果を奏する。
　【００２１】
（１）ガイド部材４に対し相対移動するガイド機能を備えたテーブル３２と、圧縮空気の供給を受けてテーブル３２を相対移動させる駆動機能を備えた駆動部材３４とが別体とされているために、高精度で安価な市販のベアリング（ガイド部材４、転動体およびテーブル３２よりなる）の精度を十分に発揮させることができる。
（２）駆動部材３４に直接シリンダを設けず、シリンダチューブ３６を内挿固着することにしたために、必要以上に駆動部材３４を大きくしたりシリンダ径を小さくしたりすることなく、駆動部材３４をコンパクトにすることができる。
（３）図５または図６に示すように、テーブル３２およびガイド部材４の数の設定が容易で、用途に応じた剛性を持った流体圧アクチュエータを容易に供給することができる。
　【００２２】
（４）テーブル３２の高さが市販のベアリングそのままなので、ユーザーにおいて市販のベアリングを購入し、テーブル３２およびガイド部材３４を任意に追加することができ、剛性向上の改造を容易に行なうことができる。
（５）端部材２，３にそれぞれ、軸方向に変位可能にショックアブソーバ２０，２１が備えられているために、ストロークエンドでの緩衝効果があるとともに、テーブル３２のストロークエンド位置の微妙な設定が可能である。
（６）駆動部材３４およびテーブル３２双方の凹部４５，４６に、キー、ピンまたは円筒コロ等よりなる嵌合部材４７が嵌合されているために、作動時にテーブル３２に加わる衝撃によって駆動部材３４との間に発生する剪断力をこれによって支えることができる。したがって、より強度の高い連結構造を提供することができる。また併せて、これによって連結用ねじ４４を小径化することができ、駆動部材３４を更にコンパクト化することができる。
　【００２３】
　【発明の効果】
　本発明は、以下の効果を奏する。
　【００２４】
（１）ガイド部材に対し相対移動するガイド機能を備えたテーブルと、圧縮空気の供給を受けてテーブルを相対移動させる駆動機能を備えた駆動部材とが別体とされているために、高精度で安価な市販のベアリングの精度を十分に発揮させることができる。
（２）駆動部材に直接シリンダを設けず、シリンダチューブを内挿固着することにしたために、必要以上に駆動部材を大きくしたりシリンダ径を小さくしたりすることなく、駆動部材をコンパクトにすることができる。
（３）テーブルおよびガイド部材の数の設定が容易で、用途に応じた剛性を持った流体圧アクチュエータを容易に供給することができる。
（４）テーブルの高さが市販のベアリングそのままなので、ユーザーにおいて市販のベアリングを購入し、テーブルおよびガイド部材を任意に追加することができ、剛性向上の改造を容易に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の第一実施例に係る流体圧アクチュエータの一部切欠した平面図
　【図２】
　同実施例に係る流体圧アクチュエータの正面図
　【図３】
　同実施例に係る流体圧アクチュエータの側面図
　【図４】
　同実施例に係る連結部材の断面図
　【図５】
　本発明の第二実施例に係る流体圧アクチュエータの一部切欠した平面図
　【図６】
　本発明の第三実施例に係る流体圧アクチュエータの一部切欠した平面図
　【符号の説明】
　１　固定部
　２，３　端部材
　４　ガイド部材
　５　ロッド
　６　ボルト
　７，８　分割体
　９　ピストン
　１０，１１　挿入凹部
　１２，１３　挿入用凹部
　１４，１５　配管ポート
　１６，１７　接続路
　１８，１９　連通用凹部
　２０，２１　ショックアブソーバ
　３１　移動部
　３２　テーブル
　３３　搭載面
　３４　駆動部材
　３５　挿入穴
　３６　シリンダチューブ
　３７，３８　カバー
　３９　貫通穴
　４０　挿入用開口部
　４１　連結用開口部
　４２　頭部収容部
　４３　ねじ部貫挿部
　４４　連結用ねじ
　４５　嵌合凹部
　４６　嵌合用凹部
　４７　嵌合部材
　４８，４９　受け部材