【事件の表示】
　特許第３２５６１１２号「セラミックスグリーンシートおよびそれを用いたセラミックス基板の製造方法」の請求項１ないし４、６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２５６１１２号の請求項１ないし４、６に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３２５６１１２号の請求項１ないし請求項６に係る発明についての出願は、平成７年１１月２日（優先権主張平成６年１１月９日）に特許出願され、平成１３年１１月３０日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、その特許について、特許異議申立人雨山　範子より特許異議の申立てがなされた後、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１５年１月６日に訂正請求がされた後、再度取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１６年６月３日に再度訂正請求がされると共に、平成１５年１月６日にした訂正請求が取り下げられたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正の内容
　平成１６年６月３日になされた訂正の内容は、以下のとおりである。
・訂正事項１
　特許請求の範囲の、
「【請求項１】　焼成後の厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板用のセラミックスグリーンシートであって、セラミックス成分として、１次粒子の球相当径が ０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０であるセラミックス粒子からなり、粒子径２０μｍ以上の２次粒子が体積割合で多くとも１％であり、且つ、表面粗さＲａが大きくとも０．２μｍであることを特徴とするセラミックスグリーンシート。
【請求項２】　前記セラミックス粒子の主成分が、部分安定化ジルコニア、完全安定化ジルコニア、アルミナもしくはそれらの混合材料、または焼成後にそれらの成分となる材料であることを特徴とする請求項１に記載のセラミックスグリーンシート。
【請求項３】  厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、このセラミックススラリーから粗大凝集粒子を除去する工程、このセラミックススラリーを用いてリバースロールコーター法によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成し、焼結体の平均結晶粒子径を最大２μｍとする工程を含むことを特徴とするセラミックス基板の製造方法。
【請求項４】　前記セラミックス粉末が、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０であるセラミックス粒子からなり、前記粗大凝集粒子を除去する工程が、セラミックススラリーを加圧して平均気孔径が大きくとも１００μｍのデプスタイプフィルターで濾過する工程である請求項３に記載のセラミックス基板の製造方法。
【請求項５】　前記粗大凝集粒子を除去する工程が、セラミックススラリーに少なくとも１００ｍ／ｓ２の加速度を加えて粗大凝集粒子を分離する工程である請求項３に記載のセラミックス基板の製造方法。
【請求項６】　前記セラミックス粉末が、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０であるセラミックス粒子からなることを特徴とする請求項３または請求項５に記載のセラミックス基板の製造方法。」
という記載を、
「【請求項１】　焼成後の厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板用のセラミックスグリーンシートであって、セラミックス成分として、１次粒子の球相当径が ０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス２次粒子から実質的になり、粒子径２０μｍ以上の２次粒子が体積割合で多くとも１％であり、且つ、表面粗さＲａが大きくとも０．２μｍであることを特徴とするセラミックスグリーンシート。
【請求項２】　前記セラミックス粒子の主成分が、部分安定化ジルコニア、完全安定化ジルコニア、アルミナもしくはそれらの混合材料、または焼成後にそれらの成分となる材料であることを特徴とし、用途を振動板、弾性板とする請求項１に記載のセラミックスグリーンシート。
【請求項３】  厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末の１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、このセラミックススラリーから粗大凝集粒子を除去する工程、このセラミックススラリーを用いてリバースロールコーター法によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成し、焼結体の平均結晶粒子径を最大２μｍとする工程を含み、且つ、該セラミックス基板の用途が振動板、弾性板であることを特徴とするセラミックス基板の製造方法。
【請求項４】　前記粗大凝集粒子を除去する工程が、セラミックススラリーを加圧して平均気孔径が大きくとも１００μｍのデプスタイプフィルターで濾過する工程である請求項３に記載のセラミックス基板の製造方法。
【請求項５】　厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、このセラミックススラリーに少なくとも１００ｍ／ｓ２である加速度を加えて粗大凝集粒子を分離することにより粗大凝集粒子をセラミックススラリーから除去する工程、このセラミックススラリーを用いてリバースロールコーター法によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成し、焼結体の平均結晶粒子径を最大２μｍとする工程を含むことを特徴とするセラミックス基板の製造方法。
【請求項６】　前記セラミックス粉末が、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子からなることを特徴とする請求項５に記載のセラミックス基板の製造方法。」
と訂正する。
・訂正事項２
　明細書段落【０００６】の
「【課題を解決するための手段】本発明は、前記問題を解決すべくなされたもので、第１の発明であるセラミックスグリーンシートは、請求項１の通り、焼成後の厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板用のセラミックスグリーンシートであって、セラミックス成分として、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０であるセラミックス粒子からなり、粒子径２０μｍ以上の２次粒子が体積割合で多くとも１％であり、且つ、表面粗さＲａが大きくとも０．２μｍであることを特徴とする。」
という記載を、
「【課題を解決するための手段】本発明は、前記問題を解決すべくなされたもので、第１の発明であるセラミックスグリーンシートは、請求項１の通り、焼成後の厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板用のセラミックスグリーンシートであって、セラミックス成分として、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス２次粒子から実質的になり、粒子径２０μｍ以上の２次粒子が体積割合で多くとも１％であり、且つ、表面粗さＲａが大きくとも０．２μｍであることを特徴とする。」
と訂正する。
・訂正事項３
　明細書段落【０００７】の
「本発明のセラミックスグリーンシートの望ましい態様には、前記セラミックス粒子の主成分が、部分安定化ジルコニア、完全安定化ジルコニア、アルミナもしくはそれらの混合材料を主成分とする材料、または焼成後にそれらの材料となる材料を用いて形成されているものがある。」
という記載を、
「本発明のセラミックスグリーンシートの望ましい態様には、前記セラミックス粒子の主成分が、部分安定化ジルコニア、完全安定化ジルコニア、アルミナもしくはそれらの混合材料を主成分とする材料、または焼成後にそれらの成分となる材料を用いて形成されており、用途を振動板、弾性板とするものがある。」
と訂正する。
・訂正事項４
　明細書段落【０００８】の
「また、本発明の第２の発明であるセラミックス基板の製造方法は、請求項３記載の通り、厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、このセラミックススラリーから粗大凝集粒子を除去する工程、このセラミックススラリーを用いてリバースロールコーター法によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成し、焼結体の平均結晶粒子径を最大２μｍとする工程を含むことを特徴とするものである。」
という記載を、
「また、本発明の第２の発明であるセラミックス基板の製造方法の一つの態様としては、請求項３記載の通り、厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末の１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、このセラミックススラリーから粗大凝集粒子を除去する工程、このセラミックススラリーを用いてリバースロールコーター法によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成し、焼結体の平均結晶粒子径を最大２μｍとする工程を含み、且つ、該セラミックス基板の用途が振動板、弾性板であることを特徴とするものである。」
と訂正する。
・訂正事項５
　明細書段落【０００９】の
「そして、粗大凝集粒子を除去する工程の好適なものとして、セラミックススラリーを加圧して平均気孔径が大きくとも１００μｍのデプスタイプフィルターで濾過する工程が好ましい。」
という記載を、
「好ましくは、前記粗大凝集粒子を除去する工程が、セラミックススラリーを加圧して平均気孔径が大きくとも１００μｍのデプスタイプフィルターで濾過する工程を含むものである。」
と訂正する。
・訂正事項６
　明細書段落【００１０】の
「また、粗大凝集粒子を除去する工程の好適なものとして、セラミックススラリーに少なくとも１００ｍ／ｓ２の加速度を加えて粗大凝集粒子を分離する工程が好ましい。」
という記載を、
「さらに、本発明に係る製造方法の第二の態様は、請求項６記載の通り、厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、このセラミックススラリーに少なくとも１００ｍ／ｓ２である加速度を加えて粗大凝集粒子を分離することにより粗大凝集粒子をセラミックススラリーから除去する工程、このセラミックススラリーを用いてリバースロールコーター法によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成し、焼結体の平均結晶粒子径を最大２μｍとする工程を含むことを特徴とするものである。」
と訂正する。
・訂正事項７
　明細書段落【００１１】の
「また、前記セラミックス粉末が、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０であることが好ましい。」
という記載を、
「なお、前記セラミックス粉末は、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子からなることが好ましい。」
と訂正する。
・訂正事項８
　明細書段落【００１９】の
「【作用】本発明のセラミックスグリーンシートは、まず、その構成成分であるセラミックス粒子の一次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、かつ平均凝集度が１０以下であるセラミックス粒子をセラミックス成分として含むものであり、このように一次粒子の球相当径と平均凝集度を特定の範囲に規定することにより、厚みの薄いセラミックス基板の製作に好適となる。」
という記載を、
「【作用】本発明のセラミックスグリーンシートは、セラミックス成分として、まず、その構成成分であるセラミックス粒子の１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、かつ平均凝集度が１０以下で凝集してなるセラミックス２次粒子から実質的になるものであり、このように１次粒子の球相当径と平均凝集度を特定の範囲に規定することにより、厚みの薄いセラミックス基板の製作に好適となる。」
と訂正する。
・訂正事項９
　明細書段落【００２９】の
「本発明の方法の態様において、デプスタイプの濾過を用いるのは、サーフェイスタイプの濾過とは異なり、濾過層本体の目開きに相当する平均気孔径よりかなり小さい粒子の除去が可能であるにもかかわらず、目詰まりしにくく濾過効率が高い結果をえた研究結果の知見に基づく。目詰まりしにくいのは、濾過層本体の気孔が、ある程度距離を持っている表裏間に複雑に連結していることと、気孔の内側に吸着した比較的軟質なスラリー層が粗大凝集粒子の流れを阻止するなどによるものと考えられる。」
という記載を、
「本発明に係る製造方法の第一の態様において、デプスタイプの濾過を用いるのは、サーフェイスタイプの濾過とは異なり、濾過層本体の目開きに相当する平均気孔径よりかなり小さい粒子の除去が可能であるにもかかわらず、目詰まりしにくく濾過効率が高い結果をえた研究結果の知見に基づく。目詰まりしにくいのは、濾過層本体の気孔が、ある程度距離を持っている表裏間に複雑に連結していることと、気孔の内側に吸着した比較的軟質なスラリー層が粗大凝集粒子の流れを阻止するなどによるものと考えられる。」
と訂正する。
・訂正事項１０
　明細書段落【００３０】の
「本発明における粗大凝集粒子を除去する工程として、セラミックススラリーに少なくとも１００ｍ／ｓ２の加速度を加えて粗大凝集粒子を分離する工程が、上記の濾過工程とは異なる態様として推奨される。例えば、１００ｍ／ｓ２の加速度は、遠心分離処理の形式で図４に示すように与えられる。容器に収容したセラミックススラリーを遠心分離処理することにより、容器内の底面に凝集物、セラミックススラリーの乾燥物等の粗大凝集粒子を沈降固着させて分離するすることができる。この場合の加速度は、１００ｍ／ｓ２以上、望ましくは１０００ｍ／ｓ２以上、さらに望ましくは５０００ｍ／ｓ２以上である。さらに、フィルターにおいては、平均凝集度が１０以上のセラミックス粒子を用いると粗大凝集粒子による目詰まりのため分離困難なことがあるが、遠心分離法では平均凝集度に関係なく分離することが可能である。なお、沈降固着する割合が多くなるとセラミックス粒子と有機物組成の比が変わるので、使用するセラミックス粉末の一次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、かつ平均凝集度が１０以下であるあることが好ましい。」
という記載を、
「本発明に係る製造方法の第二の態様における粗大凝集粒子を除去する工程としては、セラミックススラリーに少なくとも１００ｍ／ｓ２の加速度を加えて粗大凝集粒子を分離する工程が、推奨される。例えば、１００ｍ／ｓ２の加速度は、遠心分離処理の形式で図４に示すように与えられる。容器に収容したセラミックススラリーを遠心分離処理することにより、容器内の底面に凝集物、セラミックススラリーの乾燥物等の粗大凝集粒子を沈降固着させて分離することができる。この場合の加速度は、１００ｍ／ｓ２以上、望ましくは１０００ｍ／ｓ２以上、さらに望ましくは５０００ｍ／ｓ２以上である。さらに、フィルターにおいては、平均凝集度が１０以上のセラミックス粒子を用いると粗大凝集粒子による目詰まりのため分離困難なことがあるが、遠心分離法では平均凝集度に関係なく分離することが可能である。なお、沈降固着する割合が多くなるとセラミックス粒子と有機物組成の比が変わるので、使用するセラミックス粉末が、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、かつ平均凝集度が１０以下で凝集してなるセラミックス粒子からなることが好ましい。」
と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項１は、特許請求の範囲の訂正であって、具体的には、以下の訂正をするものである。
訂正事項（１−１）請求項１の「平均凝集度が最大１０であるセラミックス粒子からなり、」という記載を「平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス２次粒子から実質的になり、」と訂正する。
訂正事項（１−２）請求項２の「特徴とする」という記載を「特徴とし、用途を振動板、弾性板とする」と訂正する。
訂正事項（１−３）請求項３の「セラミックス粉末に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、」という記載を「セラミックス粉末の１次粒子の球相当径が ０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、」と訂正する。
訂正事項（１−４）請求項３の「工程を含むことを特徴とする」という記載を「工程を含み、且つ、該セラミックス基板の用途が振動板、弾性板であることを特徴とする」と訂正する。
訂正事項（１−５）請求項４の「前記セラミックス粉末が、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０であるセラミックス粒子からなり、」という記載を削除する。
訂正事項（１−６）訂正前の請求項３を引用する請求項５を、当該訂正前の請求項３の構成を記載して独立請求項とする。
訂正事項（１−７）請求項６の「平均凝集度が最大１０である」という記載を「平均凝集度が最大１０で凝集してなる」と訂正する。
訂正事項（１−８）請求項６の「請求項３または５に記載の」という記載を「請求項５に記載の」と訂正する。
　そして、訂正事項（１−１）は、請求項１に記載のセラミックスグリーンシートが、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス２次粒子から実質的になることを明確にするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項（１−２）及び（１−４）は、請求項２に記載のセラミックスグリーンシート及び請求項３に記載のセラミックス基板の用途を「振動板、弾性板」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　訂正事項（１−３）は、請求項３に記載のセラミックス基板の製造方法におけるセラミックス粉末を、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　訂正事項（１−５）は、訂正事項（１−３）により請求項３が訂正されたことに伴って、請求項４の記載を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項（１−６）は、訂正事項（１−３）により請求項３が訂正されたことに伴って、請求項５に、訂正前の請求項３の構成を記載することにより、当該請求項５を、構成を変更することなく独立請求項とするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項（１−７）は、請求項６に記載のセラミックス粉末が、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子からなることを明確にするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項（１−８）は、訂正事項（１−３）により請求項３が訂正されたことに伴って、請求項６で引用する請求項を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　また、本件明細書には、「【作用】本発明のセラミックスグリーンシートは、まず、その構成成分であるセラミックス粒子の一次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、かつ平均凝集度が１０以下であるセラミックス粒子をセラミックス成分として含むものであり、このように一次粒子の球相当径と平均凝集度を特定の範囲に規定することにより、厚みの薄いセラミックス基板の製作に好適となる。」（段落【００１９】）、「本発明のセラミックスグリーンシート、およびセラミックス基板の製造方法は（１）多層セラミックス基板、（２）ＩＣ基板、（３）燃料電池用固体電解質体、および（４）各種センサー、アクチュエーター、発信子、振動子、ディスプレイ、マイクロホン、スピーカーおよびフィルター等に用いられる振動板、弾性板などおよびその製造に好ましく適用することができる。また、上記用途での適用手段としては、セラミックスグリーンシートを単独に用いるだけでなく、セラミックスグリーンシート上に印刷し、それらを積層することにより多層化したり、振動板、弾性板として使用する際には、基体となる他のセラミックスグリーンシートと積層して用い、基板上に受動素子、能動素子を形成する、等の手段が挙げられる。」（段落【００３６】、ただし「（１）〜（４）」は「丸の中に１〜４」で記載されている。）と記載されているから、上記訂正事項（１−１）ないし訂正事項（１−８）は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである
　また、訂正事項２乃至訂正事項１０は、発明の詳細な説明の訂正であって、訂正事項１により特許請求の範囲が訂正されたことに伴って、明細書の発明の詳細な説明における特許請求の範囲に対応する記載を訂正すると共に、特許請求の範囲の記載と、発明の詳細な説明に記載された、セラミックス基板の製造方法の第一の態様、第二の態様の対応関係を明確にするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　そして、上記のとおり、訂正事項１の訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであるから、訂正事項２乃至訂正事項１０の訂正もまた、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　そして、これらの訂正は、実質上特許請求の範囲の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
２−３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立についての判断
３−１．本件発明
　上記「２．訂正の適否についての判断」で示したように、平成１６年６月３日に提出の訂正請求書による訂正は認められるから、訂正後の本件請求項１ないし請求項６に係る発明（以下、「本件訂正発明１」ないし「本件訂正発明６」という）は、上記訂正に係る訂正明細書（以下、「本件訂正明細書」という）の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項６に記載された事項に特定される、以下のとおりのものと認める。
「【請求項１】　焼成後の厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板用のセラミックスグリーンシートであって、セラミックス成分として、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス２次粒子から実質的になり、粒子径２０μｍ以上の２次粒子が体積割合で多くとも１％であり、且つ、表面粗さＲａが大きくとも０．２μｍであることを特徴とするセラミックスグリーンシート。
【請求項２】　前記セラミックス粒子の主成分が、部分安定化ジルコニア、完全安定化ジルコニア、アルミナもしくはそれらの混合材料、または焼成後にそれらの成分となる材料であることを特徴とし、用途を振動板、弾性板とする請求項１に記載のセラミックスグリーンシート。
【請求項３】  厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末の１次粒子の球相当径が ０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、このセラミックススラリーから粗大凝集粒子を除去する工程、このセラミックススラリーを用いてリバースロールコーター法によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成し、焼結体の平均結晶粒子径を最大２μｍとする工程を含み、且つ、該セラミックス基板の用途が振動板、弾性板であることを特徴とするセラミックス基板の製造方法。
【請求項４】　前記粗大凝集粒子を除去する工程が、セラミックススラリーを加圧して平均気孔径が大きくとも１００μｍのデプスタイプフィルターで濾過する工程である請求項３に記載のセラミックス基板の製造方法。
【請求項５】　厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、このセラミックススラリーに少なくとも１００ｍ／ｓ２である加速度を加えて粗大凝集粒子を分離することにより粗大凝集粒子をセラミックススラリーから除去する工程、このセラミックススラリーを用いてリバースロールコーター法によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成し、焼結体の平均結晶粒子径を最大２μｍとする工程を含むことを特徴とするセラミックス基板の製造方法。
【請求項６】　前記セラミックス粉末が、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子からなることを特徴とする請求項５に記載のセラミックス基板の製造方法。」
３−２．取消理由通知に記載した引用刊行物及び取消理由通知の概要
　当審が平成１４年１０月２３日付けで通知した取消しの理由に記載した引用刊行物は、以下のとおりである。
引用刊行物１：特開昭６３−２７７５４６号公報（特許異議申立人雨山　範子が提出した甲第１号証）
引用刊行物２：特開昭６２−１２１１６号公報（特許異議申立人雨山　範子が提出した甲第２号証）
　そして、取消しの理由の概要は、本件請求項１乃至４及び６に係る発明は、引用刊行物１ないし引用刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、上記発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである、というものである。
３−３．取消理由通知で引用された刊行物の記載内容
　引用刊行物１（特開昭６３−２７７５４６号公報）には、以下の事項が記載されている。
（１−Ａ）「（１）セラミック粉末に有機バインダー、溶媒および必要に応じて分散剤、可塑剤、消泡剤等を添加し所要時間混練して得るセラミックスラリーをシート状となし、これを固化、乾燥してグリーンシートを製造する方法において、当該セラミック粉末がアルミナ球形微粒子あるいはジルコニア系球形微粒子であることを特徴とするセラミックシートの製造方法。」（特許請求の範囲）
（１−Ｂ）「本発明は民生用または産業用エレクトロニクス機器あるいはエレクトリック機器等に利用されるセラミックシ−ト、工具、機械、部品等に用いられるセラミックシートあるいは建築用材料、しゃ音板、断熱板等に利用されるセラミックシートの製造方法に関するものである。」（第１頁左下欄第１８行〜右下欄第３行）
（１−Ｃ）「本発明はセラミック粉末に有機バンイダ−、溶媒および必要に応じて分散剤、可塑剤、消泡剤等を添加し、所要時間混練して得るセラミックスラリーをシート状となしこれを固化乾燥してグリーンシートを製造する方法において、アルミナ球形微粒子あるいはジルコニア系球形微粒子を使用すること、特にそれらの平均粒子径が０．２〜２μｍでありかつ単分散した球形微粒子を使用することを特徴とするものである。」（第２頁右上欄第１行〜第９行）
（１−Ｄ）「実施例２
　３モル％のイットリアを含有する平均粒子径０．３μｍの球形ジルコニア微粒子１００部にブチルアクリレート、２ヒドロキシエチルアクリレート等の共重合体からなるアクリル系バインダー３０部、分散剤としてアクアリックＮＬ（日本触媒化学工業（株）製）０．８部およびトルエンとして６０部をボールミル中へ仕込んで１６時間混練りした。　混練り後脱脂した２００メッシュのステンレス製の金網によって得られたスラリーを濾過し、４０ｒｐｍの速度でかくはんしながら焼成し、次いで真空ポンプで脱泡して１２ポイズの粘度に調整した。
　このスラリーを０．１５ｍｍの隙間に調整したしたドクターブレード装置を用いてシート引きを行ない、３０℃、６０℃と昇温させて乾燥せしめてグリーンシートを得た。」（第３頁左上欄第１４行〜右上欄第１０行）
（１−Ｅ）「グリーンシートおよび焼成後のセラミックシートの特性を第１表にまとめた。なおシートのソリ量は５０×５０ｍｍ角の試験片の凹曲面の最大深さ（ｍｍ）を求めることによった。」（第３頁左下欄第１行〜第４行）
（１−Ｆ）「第１表」（第３頁左下欄）
（１−Ｇ）「成形方法はドクターブレード法が一般的であるが、カレンダー口ール法、リバースロール法によっても行なうことができる。」（第２頁右下欄第１１行〜第１３行）
　引用刊行物２（特開昭６２−１２１１６号公報）には、以下の事項が記載されている。
（２−Ａ）「（１）（ａ）予め定められた粘度及び配合組成を有する誘電体材料のスラリーを調製し、
（ｂ）前記誘電体材料を加圧貯槽へ導入し、
（ｃ）前記貯槽の開口から誘電体材料の液体膜を予め定められた速度及び圧力で、前記貯槽よりも小さい予め定められた速度で動いている基材上へ施し、
（ｄ）誘電体材料の膜上へ電極材料の模様を続く作集場所で付着させ、
（ｅ）誘電体材料の層と電極材料の層とを交互に前の層上に施す工程を、希望の数の層が得られる迄くり返す、
諸工程からなる多層コンデンサーの製造方法。」（特許請求の範囲）
（２−Ｂ）「実施例１
　主たる成分としてチタン酸バリウムを基にしたＸＲ７セラミック配合物を次の割合で調製してセラミックスラリーをつくった。
ＸＲ７　セラミック　　　　　　　２５００ｇ
エチルメタクリレート　　　２００〜６００ｇ
ブチルベンジルフタレート　　　３０〜９０ｇ
エチレンジクロライド　　５００〜１５００ｇ
エチルメタクリレートは、ブチルベンジルルフタレートと同様、結合剤である。エチレンジクロライドは上記結合剤のための溶剤である。配合物は従来のボールミル法を用いて分散され、スラリーはエチレンジクロライドを添加することによって１５０センチポイズの粘度へ調節された。次にスラリーを貯槽へ入れ、ポンプにより１０ミクロンフィルターを通して送った。圧力を２ｐｓｉに調節するために圧力計を用い、金属基材を運ぶベルトは４００ｆｔ／分の速度で走行するように調節した。これらの条件下でのスラリーの放出により、乾燥後０．６ミルの厚さの生の誘電体付着物を生じた。全板上の厚さは５％以内の均一さにあった。
　続く場所で、７０％の銀と３０％のパラジウムからなる電極材料層をシルクスクリーンにより付着した。然る後、全部で５０層になる迄、電極とセラミック組成物の交互になった層を付着した。この積層体は、板上の個々の、セラミックチップコンデンサーの各々に対し、セラミック誘電体層で分離されに均一に整合した電極層を与えた。この方法によるセラミックチップコンデンサーの製造は、空隙や層剥離の如き従来法の欠陥を最小にする電極層と誘電体層からなる均一な一体的構造をもたらした。
　然る後、そのセラミック材料板から個々のチップへ積層体を切断した。」（第７頁右上欄第４行〜左下欄第１７行）
３−４．対比及び判断
　以下、本件訂正発明１乃至本件訂正発明４及び本件訂正発明６が、引用刊行物１ないし引用刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるか否かについて検討する。
３−４−１．本件訂正発明１について
　引用刊行物１には、（１−Ａ）の記載からみて、「セラミック粉末に有機バインダー、溶媒および必要に応じて分散剤、可塑剤、消泡剤等を添加し所要時間混練して得るセラミックスラリーをシート状となし、これを固化、乾燥してグリーンシートを製造する方法において、当該セラミック粉末がアルミナ球形微粒子あるいはジルコニア系球形微粒子であることを特徴とするセラミックシートの製造方法」が記載されており、（１−Ｂ）の記載からみて、上記「セラミックシートの製造方法」は、「民生用または産業用エレクトロニクス機器あるいはエレクトリック機器等に利用されるセラミックシ−ト、工具、機械、部品等に用いられるセラミックシートあるいは建築用材料、しゃ音板、断熱板等に利用されるセラミックシートの製造方法に関する」ものである。
　そして、（１−Ｃ）、（１−Ｄ）の記載からみて、上記「セラミックシートの製造方法」においては、アルミナ球形微粒子あるいはジルコニア系球形微粒子は、それらの平均粒子径が０．２〜２μｍでありかつ単分散した球形微粒子であって、具体的な方法としては、３モル％のイットリアを含有する平均粒子径０．３μｍの球形ジルコニア微粒子１００部にブチルアクリレート、２ヒドロキシエチルアクリレート等の共重合体からなるアクリル系バインダー３０部、分散剤としてアクアリックＮＬ（日本触媒化学工業（株）製）０．８部およびトルエンとして６０部をボールミル中へ仕込んで１６時間混練りし、混練り後脱脂した２００メッシュのステンレス製の金網によって得られたスラリーを濾過し、４０ｒｐｍの速度でかくはんしながら焼成し、次いで真空ポンプで脱泡して１２ポイズの粘度に調整し、このスラリーを０．１５ｍｍの隙間に調整したしたドクターブレード装置を用いてシート引きを行ない、３０℃、６０℃と昇温させて乾燥せしめてグリーンシートを得るものである。
　また、（１−Ｅ）、（１−Ｆ）の記載からみて、上記グリーンシートを焼成後のセラミックシートは、シート厚８０μｍ、表面粗さ（Ｒａ）０．１０μｍのものである。
　ここで、引用刊行物１に記載された「セラミックシートの製造方法」は、「民生用または産業用エレクトロニクス機器あるいはエレクトリック機器等に利用されるセラミックシ−ト」の製造方法に関するものであるから、当該製造方法で製造されたセラミックシートは、「セラミックス基板用のセラミックシート」と云え、その製造過程におけるグリーンシートは、「セラミックス基板用のセラミックスグリーンシート」と云える。
　また、上記セラミックシートを製造する場合の「アルミナ球形微粒子あるいはジルコニア系球形微粒子」についてみると、上記微粒子が、平均粒子径が０．２〜２μｍでありかつ単分散した球形微粒子であれば、上記微粒子は、グリーンシートのセラミックス成分であって、１次粒子の球相当径が０．２〜２μｍのものと云えるから、上記「セラミックシートの製造方法」におけるグリーンシートのセラミックス成分は、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍのものと云える。
　そして、グリーンシートを焼成後のセラミックシートの表面粗さ（Ｒａ）が０．１０μｍであれば、グリーンシートの表面粗さＲａが大きくとも０．２μｍであることは明らかである。
　これらのことから、引用刊行物１に記載された発明を、本件訂正発明１の記載ぶりに則って整理すると、引用刊行物１には、
「焼成後の厚みの値が８０μｍであるセラミックス基板用のセラミックスグリーンシートであって、セラミックス成分として、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍのアルミナ球形微粒子あるいはジルコニア系球形微粒子から実質的になり、且つ、表面粗さＲａが大きくとも０．２μｍであることを特徴とするセラミックスグリーンシート」
の発明（以下、「引用刊行物１−１発明」という）が記載されていると云える。
　そこで、本件訂正発明１と、引用刊行物１−１発明とを比較すると、両者は、
「セラミックス基板用のセラミックスグリーンシートであって、セラミックス成分として、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍの粒子から実質的になり、且つ、表面粗さＲａが大きくとも０．２μｍであることを特徴とするセラミックスグリーンシート」
である点で一致し、
相違点１
　前者においては、セラミックスグリーンシートの焼成後の厚みの値が大きくとも３０μｍであるのに対して、後者においては、焼成後の厚みの値が８０μｍである点、
相違点２
　前者においては、セラミックス成分が、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス２次粒子から実質的になり、粒子径２０μｍ以上の２次粒子が体積割合で多くとも１％であるのに対して、後者においては、アルミナ球形微粒子あるいはジルコニア系球形微粒子の２次粒子については記載がなされていない点、
で相違している。
　以下、上記相違点２について検討する。
　（２−Ａ）の記載からみて、引用刊行物２には、「（ａ）予め定められた粘度及び配合組成を有する誘電体材料のスラリーを調整し、（ｂ）前記誘電体材料を加圧貯槽へ導入し、（ｃ）前記貯槽の開口から誘電体材料の液体膜を予め定められた速度及び圧力で、前記貯槽よりも小さい予め定められた速度で動いている基材上へ施し、（ｄ）誘電体材料の膜上へ電極材料の模様を続く作集場所で付着させ、（ｅ）誘電体材料の層と電極材料の層とを交互に前の層上に施す工程を、希望の数の層が得られる迄くり返す、諸工程からなる多層コンデンサーの製造方法」が記載されており、上記多層コンデンサーの製造方法は、具体的には、（２−Ｂ）の記載からみて、主たる成分としてチタン酸バリウムを基にしたＸＲ７セラミック配合物を次の割合で調製してセラミックスラリーをつくり、
ＸＲ７　セラミック　　　　　　　２５００ｇ
エチルメタクリレート　　　２００〜６００ｇ
ブチルベンジルフタレート　　　３０〜９０ｇ
エチレンジクロライド　　５００〜１５００ｇ
配合物は従来のボールミル法を用いて分散され、スラリーは１５０センチポイズの粘度へ調節され、次にスラリーを貯槽へ入れ、ポンプにより１０ミクロンフィルターを通して送り、金属基材を運ぶベルトは４００ｆｔ／分の速度で走行するように調節して、これらの条件下でのスラリーの放出により、乾燥後０．６ミルの厚さの生の誘電体付着物を生じ、続く場所で、７０％の銀と３０％のパラジウムからなる電極材料層をシルクスクリーンにより付着した後、全部で５０層になる迄、電極とセラミック組成物の交互になった層を付着することにより、板上の個々の、セラミックチップコンデンサーの各々に対し、セラミック誘電体層で分離されに均一に整合した電極層を与え、この方法によるセラミックチップコンデンサーの製造は、空隙や層剥離の如き従来法の欠陥を最小にする電極層と誘電体層からなる均一な一体的構造をもたらすものであって、そのセラミック材料板から個々のチップへ積層体を切断した、というものである。
　ところが、引用刊行物２に記載された発明は「多層コンデンサーの製造方法」に係るものであり、これは、「セラミックス基板用のセラミックスグリーンシート」を製造するものとは云えない。
　かつ、引用刊行物２には、セラミック２次粒子の平均凝集度を管理することにより、表面欠陥の少なく、平滑性が高くかつ薄肉なセラミックスグリーンシートが得られることは記載も示唆もされていないうえ、このことが、本件出願前に周知の技術事項であることを証明するに足る証拠もない。
　一方、本件訂正発明１において、セラミック２次粒子の平均凝集度を最大１０とするのは、「セラミックス粒子の平均凝集度が過大となると、セラミックスグリーンシートの厚みが不均一となったり変形、亀裂を生じたり、セラミックス基板となったときの表面粗さが粗大となり、また、寸法安定性が低下するなど厚みの薄いセラミックス基板に不適当となる」（段落【００２１】）からであり、更に、粒子径２０μｍ以上の２次粒子が体積割合で多くとも１％であるのは、「セラミックス粒子の平均凝集度の大きな粒子は、セラミックス基板となったときの表面欠陥の原因となるだけでなく、リバースロールコータ法にて成形する際にもセラミックスグリーンシート表面にキズ等の欠陥をつくり出す」（段落【００２２】）からである。
　そして、本件訂正発明１は、１次粒子の球相当径を０．０１〜０．５μｍとすることに加えて、上記相違点２に記載の構成を採用することにより、「セラミックス粒子の球相当径かつ平均凝集度を管理することにより表面欠陥の少なく、平滑性が高くかつ薄肉なセラミックスグリーンシートを得ることができた」（段落【００５３】）ものである。
　そうすると、引用刊行物１−１発明において上記相違点２に記載の構成を採用することを、当業者が容易になし得るとは云えない。
　したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本件訂正発明１を、引用刊行物１ないし引用刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
３−４−２．本件訂正発明２について
　本件訂正発明２は、本件訂正発明１におけるセラミックス粒子の主成分を、部分安定化ジルコニア、完全安定化ジルコニア、アルミナもしくはそれらの混合材料、または焼成後にそれらの成分となる材料に限定し、更に用途を振動板、弾性板に限定するものであるから、「３−４−１．本件訂正発明１について」に記載したのと同様の理由により、本件訂正発明２を、引用刊行物１ないし引用刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
３−４−３．本件訂正発明３について
　引用刊行物１には、（１−Ａ）及び（１−Ｂ）の記載からみて、「セラミックシートの製造方法」が記載されているが、「３−４−１．本件訂正発明１について」に記載したのと同様の理由により、上記「セラミックシートの製造方法」は、「セラミックス基板の製造方法」と云えるものである。
　また、「３−４−１．本件訂正発明１について」に記載したのと同様の理由により、（１−Ｃ）の記載からみて、上記「セラミックシートの製造方法」におけるセラミックス成分は、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍのものと云える。
　更に、（１−Ｄ）及び（１−Ｅ）の記載からみて、上記セラミックシートは、具体的には、セラミック粒子に、アクリル系バインダー３０部、分散剤０．８部およびトルエンとして６０部をボールミル中へ仕込んで１６時間混練りし、１２ポイズの粘度に調整し、このスラリーをドクターブレード装置を用いてシート引きを行ない、乾燥せしめてグリーンシートを得たのち、焼成して製造されるものであるが、アクリル系バインダー及びトルエンは、それぞれ有機バインダ及び有機溶剤と云え、スラリーを１２ポイズの粘度に調製する工程は、スラリーの粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整する工程と云え、ドクターブレード装置を用いてシート引きを行う工程は、セラミックスグリーンシートを成形する工程と云える。
　そうすると、引用刊行物１に記載された発明においては、セラミックシートは、セラミックス粉末に有機バインダ及び有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、このセラミックススラリーを用いてドクターブレード装置によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成する工程により製造されるものであり、かつ、（１−Ｆ）の記載からみて、その厚さは８０μｍである。
　また、（１−Ｇ）の記載からみて、成形方法はドクターブレード法が一般的であるが、カレンダー口ール法、リバースロール法によっても行なうことができるものである。
　そうすると、引用刊行物１に記載された発明を、本件訂正発明３の記載ぶりに則って整理すると、引用刊行物１には、
「厚みの値が８０μｍであるセラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末の１次粒子の球相当径が ０．０１〜０．５μｍのセラミックス粒子に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、このセラミックススラリーを用いてリバースロールコーター法によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成する工程を含むことを特徴とするセラミックス基板の製造方法」
の発明（以下、「引用刊行物１−２発明」という）が記載されていると云える。
　そこで、本件訂正発明１と、引用刊行物１−２発明とを比較すると、両者は、
「セラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末の１次粒子の球相当径が ０．０１〜０．５μｍのセラミックス粒子に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、このセラミックススラリーを用いてリバースロールコーター法によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成する工程を含むことを特徴とするセラミックス基板の製造方法」
である点で一致し、
相違点１
　前者においては、セラミックス基板の厚みの値が大きくとも３０μｍであるのに対して、後者においては、厚みの値が８０μｍである点、
相違点２
　前者においては、セラミックス粉末が平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子であるのに対して、後者においては、平均凝集度について記載がなされていない点、
相違点３
　前者においては、セラミックススラリーから粗大凝集粒子を除去する工程を有するのに対して、後者においては、当該工程を有しない点、
相違点４
　前者においては、焼結体の平均結晶粒子径を最大２μｍとしているのに対して、後者においては、焼結体の平均結晶粒子径について記載がなされていない点、
相違点５
　前者においては、セラミックス基板の用途が振動板、弾性板であるのに対して、後者においては、セラミックス基板の用途が振動板、弾性板ではない点
で相違している。
　以下、上記相違点３について検討する。
　引用刊行物２に記載された発明は「多層コンデンサーの製造方法」に係るものであり、これは、「セラミックス基板用のセラミックスグリーンシート」を製造するものとは云えず、かつ、引用刊行物２には、セラミック粒子の平均凝集度を管理し、セラミックススラリ中の粗大凝集粒子を除去することにより、表面欠陥の少なく、平滑性が高くかつ薄肉なセラミックスグリーンシートが得られることは記載も示唆もされていないうえ、このことが本件出願前に周知の技術事項であることを証明するに足る証拠もないことは、「３−４−１．本件訂正発明１について」に記載したのと同様である。
　一方、本件訂正発明３において、セラミックススラリーから粗大凝集粒子を除去する工程を設けるのは、「セラミックス粒子の平均凝集度の大きな粒子は、セラミックス基板となったときの表面欠陥の原因となるだけでなく、リバースロールコータ法にて成形する際にもセラミックスグリーンシート表面にキズ等の欠陥をつくり出す」（段落【００２２】）からである。
　そして、本件訂正発明３は、１次粒子の球相当径及び平均凝集度を管理することに加えて、セラミックススラリーから粗大凝集粒子を除去することにより、「表面欠陥の少なく、平滑性が高くかつ薄肉なセラミックスグリーンシートを得ることができた」（段落【００５３】）ものである。
　そうすると、引用刊行物１−２発明において、セラミックススラリーから粗大凝集粒子を除去する工程を設けることを、当業者が容易になし得るとは云えない。
　したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本件訂正発明３を、引用刊行物１ないし引用刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
３−４−４．本件訂正発明４について
　本件訂正発明４は、本件訂正発明３におけるセラミックススラリーから粗大凝集粒子を除去する工程を、セラミックススラリーを加圧して平均気孔径が大きくとも１００μｍのデプスタイプフィルターで濾過する工程に限定するものであるから、「３−４−３．本件訂正発明３について」に記載したのと同様の理由により、本件訂正発明４を、引用刊行物１ないし引用刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
３−４−５．本件訂正発明６について
　本件訂正発明６は、本件訂正発明５におけるセラミックス粉末を、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子に限定するものである。
　そして、本件訂正発明５は、引用刊行物１ないし引用刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
　そうすると、本件訂正発明６も、引用刊行物１ないし引用刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
　これらのことから、上記取消の理由により、本件訂正発明１ないし本件訂正発明４及び本件訂正発明６を取り消すことはできない。　
３−５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件訂正発明１ないし本件訂正発明４及び本件訂正発明６を取り消すことはできない。
　また、他に本件訂正発明１ないし本件訂正発明４及び本件訂正発明６についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年６月１５日（２００４．６．１５）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
セラミックスグリーンシートおよびそれを用いたセラミックス基板の製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　焼成後の厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板用のセラミックスグリーンシートであって、セラミックス成分として、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で
凝集してなる
２次
実質的に
　【請求項２】　前記セラミックス粒子の主成分が、部分安定化ジルコニア、完全安定化ジルコニア、アルミナもしくはそれらの混合材料、または焼成後にそれらの成分となる材料であることを特徴と
し、用途を振動板、弾性板と
　【請求項３】　厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末
の１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子
み、且つ、該セラミックス基板の用途が振動板、弾性板である
　【請求項４】　
前
　【請求項５】　
厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、この
である
ことにより粗大凝集粒子をセラミックススラリーから除去する工程、このセラミックススラリーを用いてリバースロールコーター法によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成し、焼結体の平均結晶粒子径を最大２μｍとする工程を含むことを特徴とする
　【請求項６】　前記セラミックス粉末が、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で
凝集してな
る請
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、回路基板、多層回路基板、振動板、弾性板等に用いられる、厚みが薄く、表面欠陥の少ないセラミックス基板およびセラミックスグリーンシートに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】厚みが薄いセラミックスグリーンシートまたはセラミックス基板を得るためには、特開昭５５ー１３４９９１号公報に示されているように、セラミックス粉末、有機バインダ、有機溶剤等を混合し、セラミックススラリーを製作し、該セラミックススラリーを吸引方法によって図６に示すメッシュネット（６０）で濾過し、セラミックススラリー中の凝集物等を除去する方法が知られている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】従来、厚みが特に薄い、例えば厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板およびセラミックスグリーンシートが近年要求されているが、それらを構成するセラミックス粒子の好適な性状に関する知見は得られていなかった。そこで、従来のセラミックス技術を用い、粒子の大きさをより微細なものとするなどの配慮がなされているが、表面欠陥の少ない製品を得るのが困難であり、多くを不良品として処分しなけばならなかった。
　【０００４】一方、セラミックス粉末、有機バインダ、有機溶剤を混合したセラミックススラリー中には、不純物以外に、粗大凝集粒子、乾燥凝固状の粒状体、再凝集物、あるいは微細な気泡などの粗大凝集粒子等を止むを得ず含むのが通常である。このようなセラミックススラリーから得られるセラミックスグリーンシートまたはセラミックス基板には、前記粗大凝集粒子等が欠陥として内在することとなる。セラミックス基板の厚みが薄くなればなるほど、前記欠陥は顕在化し、表面平滑性の低下、強度低下、クラックの発生、寸法安定性の低下、電気絶縁性の低下、気密性の低下等を引き起こし易くなる。また、リバースロールコータ法の場合、成形が転写方式であるため、前記粗大凝集粒子等がセラミックススラリー中に存在すると、セラミックスグリーンシート表面に致命的な欠陥をつくり出す。特に、厚みの値が大きくとも３０μｍである、回路基板、多層回路基板、振動板、弾性板等に用いられる厚みの薄いセラミックス基板の場合、これらの改善が製造技術上の問題であった。
　【０００５】特開昭５５ー１３４９９１号公報記載の方法によれば、粗大凝集粒子等を除去する方法として、１００〜５００メッシュのネットを通過させる例が開示されているが、このネットの場合、５００メッシュ（２５μｍ目開）を使用しても２５μｍ以下の粗大凝集粒子等を除去することができない。また、目開きを更に細かくすることは、メッシュの製作が極めて困難となるうえ、短時間に目詰まりを起こすため全く実用に供されなかった。また、上記の方法では吸引濾過しているため、セラミックススラリー中の有機溶剤が蒸発しやすいので、好ましくない気泡が発生したり、部分的に凝固乾燥物の発生するなどの問題もあった。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】本発明は、前記問題を解決すべくなされたもので、第１の発明であるセラミックスグリーンシートは、請求項１の通り、焼成後の厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板用のセラミックスグリーンシートであって、セラミックス成分として、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で
凝集してな
２次
実質的に
　【０００７】本発明のセラミックスグリーンシートの望ましい態様には、前記セラミックス粒子の主成分が、部分安定化ジルコニア、完全安定化ジルコニア、アルミナもしくはそれらの混合材料を主成分とする材料、または焼成後にそれらの
成分
おり、用途を振動板、弾性板とす
　【０００８】また、本発明の第２の発明であるセラミックス基板の製造方法
の一つの態様として
の１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子
み、且つ、該セラミックス基板の用途が振動板、弾性板である
　【０００９】
好ましくは、前記
が、
を含むものである。
　【００１０】
さらに、本発明に係る製造方法の第二の態様は、請求項６記載の通り、厚みの値が大きくとも３０μｍであるセラミックス基板の製造方法において、セラミックス粉末に有機バインダおよび有機溶剤を混合し、粘度を１００〜１０，０００ｍＰａ・ｓに調整したセラミックススラリーを製作する工程、この
である
ことにより粗大凝集粒子をセラミックススラリーから除去する工程、このセラミックススラリーを用いてリバースロールコーター法によりセラミックスグリーンシートを成形する工程、このセラミックスグリーンシートを焼成し、焼結体の平均結晶粒子径を最大２μｍとする工程を含むことを特徴とするものである。
　【００１１】
なお、前記セラミックス粉末は、１次粒子の球相当径が０．０１〜０．５μｍ、平均凝集度が最大１０で凝集してなるセラミックス粒子からなることが好ましい。
　【００１２】ここにおいて、前記の球相当径とは、セラミックス粒子の比表面積値から換算した球に相当する直径（μｍ）＝６／ρＳで表されるもので、ρはセラミックス粒子の密度（ｇ／ｃｍ３）、Ｓはセラミックス粒子の気体吸着法（ＢＥＴ法）による比表面積値（ｍ２／ｇ）を表す。
　【００１３】また、前記の平均凝集度は、セラミックス粉末について、レーザ散乱法により測定されたメジアン径を前記一次粒子の球相当径で除した値で表される。この場合、レーザー散乱法による粒径測定に供される試料として、ヘキサメタリン酸ナトリウム０．２％水溶液３０ｍｌとセラミックス粉末５０ｍｇを秤量し、容器に入れ、ホモジナイザー（超音波振動子）で１分間分散させたものを使用した。なお、測定機器は、株式会社堀場製作所製のＬＡ−７００型を使用した。
　【００１４】なお、セラミックスグリーンシートの一次粒子の球相当径および平均凝集度の測定試料は、セラミックスグリーンシートを酸化雰囲気下で図５に示すプロファイルのように、ゆっくりと昇温し、最高温度３５０℃で熱処理を行うことにより、バインダ類を十分分解、除去し、セラミックス粉末化したものを用い、上記と同様の方法で測定した。また、２次粒子の体積割合は、レーザ散乱法により測定された粒子径２０μｍ以上の粒子の合計値の体積割合を示す。
　【００１５】また、上記した製造方法における、デプスタイプのフィルターとしては、多孔質セラミックフィルターまたは多孔質樹脂フィルターであることが望ましい。
　【００１６】これらフィルターの平均気孔径とは、水銀圧入法により測定したメジアン細孔径である。なお、測定装置は、島津製作所製カルロ．エルベ水銀圧入式ポロシメータ　オートポア９２２０型を使用した。
　【００１７】前記有機バインダとしては、▲１▼ポリビニルブチラール、▲２▼エチルセルロース、▲３▼ポリエチルアクリレート、ポリブチルアクリレート等のポリエステルアクリレート類または、▲４▼ポリメチルメタクリレート、ポリブチルメタクリレート等のポリエステルメタクリレート類等が好適であるが、有機溶剤に可溶な有機バインダであれば使用することができる。
　【００１８】また、上記した製造方法における、粘度は、ＢＲＯＯＫ　ＦＩＥＬＤ社製粘度計、ＬＶＴ型を用い、測定条件は、Ｎｏ．３ローター、回転数１２ｒｐｍとし、試料のセラミックススラリーの温度は２５℃とした。
　【００１９】
　【作用】本発明のセラミックスグリーンシートは、
セラミックス成分として、
１
凝集してな
２次
から実質的になる
１
　【００２０】一次粒子の球相当径としては、より好ましくは０．０５〜０．３μｍ、さらに好ましくは０．１〜０．２μｍの範囲がよい。この球相当径が大きいと、セラミックス基板とするときの焼成温度の高温化を招くまたは結晶粒子が粗大に成長するため表面平滑性の低下やセラミックス基板の強度低下を招くなど好ましくない。また、球相当径が小さいと、セラミックス粒子相互の凝集力が強くなりセラミックススラリーでの均質な分散が困難となり、成形に適したスラリー性状が得られないので均一な厚みのセラミックスグリーンシートが得られない、また、スラリー中に粗大凝集粒子を形成し易く、スラリーからシートに変化する際の乾燥収縮が不均一となるので、変形、亀裂を生じやすく好ましくない。また、焼成時においては粗大凝集粒子の焼成収縮率が他の部分と大きく異なるため、焼成後の寸法安定性の低下が起こる。なお、１次粒子の球相当径は粉末作製法として共沈法を用いる場合、例えば、共沈させる際の溶液のｐＨ、温度、濃度等により変化させることができ、更に共沈後の粉末仮焼温度に依存し、高温であるほど大きくすることができる。また、固相反応法を用いる場合においては、出発原料粉末の粒径や粉末合成のための仮焼温度に依存する。また、更に、それぞれの合成法とも、粉砕工程の条件や粉砕後の熱処理温度等によっても１次粒子の球相当径を制御することができる。
　【００２１】本発明においては、セラミックス粒子の平均凝集度を管理することが特徴であり、最大で１０、好ましくは７、より好ましくは５を超えないのがよい。このセラミックス粒子の平均凝集度が過大となると、セラミックスグリーンシートの厚みが不均一となったり変形、亀裂を生じたり、、セラミックス基板となったときの表面粗さが粗大となり、また、寸法安定性が低下するなど厚みの薄いセラミックス基板に不適当となる。
　【００２２】さらに、セラミックス粒子の平均凝集度の大きな粒子は、セラミックス基板となったときの表面欠陥の原因となるだけでなく、リバースロールコータ法にて成形する際にもセラミックスグリーンシート表面にキズ等の欠陥をつくり出す。したがって、本発明においては、粒子径２０μｍ以上の２次粒子を体積割合で１％より多く含まないことも必須の要件としており、好ましくは１０μｍ以上の２次粒子を、さらに好ましくは５μｍ以上の２次粒子を、それぞれ、体積割合で１％より多く含まないことが望ましい。なお、平均凝集度は、前記１次粒子の球相当径制御と同様の手法によって、制御することができる。
　【００２３】本発明のセラミックス粒子としては、部分安定化ジルコニア、完全安定化ジルコニア、アルミナ、スピネル、ムライト、窒化珪素、窒化アルミ、炭化珪素、チタニア、ベリリア、あるいはそれらの混合物を主成分とする材料、または、焼成後にそれらの材料になる材料が用いられるが、特に部分安定化ジルコニア、完全安定化ジルコニア、アルミナ、あるいはそれらの混合物を主成分とする材料が望ましい。その中でも、ジルコニアに、酸化イットリウム等の化合物を添加せしめて、結晶相が、主として正方晶、もしくは主として立方晶、正方晶、単斜晶の内、少なくとも２種以上の結晶相からなる混晶とすることで部分安定化したジルコニアを主成分とするものがより好ましい。なお、ここで言う部分安定化ジルコニアとは、熱や応力などが加えられたときに結晶変態が部分的にしか起こらないように、結晶相を部分的に安定化せしめた酸化ジルコニウム（ジルコニア）を意味する。なお、上記材料に最多３０％の焼結助剤、例えば、粘土、シリカ、マグネシア、遷移金属酸化物等を含んでもよい。
　【００２４】さらに、本発明のセラミックスグリーンシートの表面粗さＲａは、０．２μｍ以下とすることも必須の要件としており、好ましくは０．１５μｍ以下、さらに好ましくは０．１０μｍ以下であるのが望ましい。前記の表面の粗さＲａは、表面粗さ計　東京精密製サーフコム４７０Ａを使用し、先端ダイヤモンド形状が５μｍＲ９０°円錐、カットオフ値が０．８０ｍｍ，トレース速度が０．３０ｍｍ／ｓ，測定長さが２．５ｍｍの３ポイント測定の中心線平均粗さの平均値として測定されたものである。
　【００２５】また、本発明の第２の発明であるセラミックス基板の製造方法にあっては、前記のセラミックス粉末と有機バインダおよび有機溶剤とを混合し、セラミックススラリーを形成するにあたり、その粘度を望ましくは１００〜１００００ｍＰａ・ｓに、より望ましくは５００〜２０００ｍＰａ・ｓに調整する。この理由は、粘度が高い場合は、次の工程である粗大凝集粒子を除去する工程において、粗大凝集粒子の除去を困難にするからであり、例えば、デプスタイプフィルターで濾過する場合は目詰まりを起こしやすく、濾過効率が低下する、また、加速度を加えて粗大凝集粒子を分離する工程においても、粗大凝集粒子の移動速度が低下し分離効率が低下する。一方、粘度が低過ぎると、グリーンシート成形が困難となり、また、セラミックススラリーの均質性が低下する。
　【００２６】フィルターとしては、そのメディアの構造から図３に示す、サーフェイスタイプと、デプスタイプの二つに大きく分類できる。サーフェイスタイプとはステンレス線などで構成されるスクリーンメッシュに代表されるように、被濾過物の通過するメディアの距離が短いものを言う。このタイプは表面の目開きで除去できる粒子の大きさが決まるが、本発明の技術分野におけるような粒子径の小さい物の濾過では目詰りし易くかつ、全く実用にならないことが分かった。
　【００２７】他方、デプスタイプのフィルターによる濾過は、深層濾過または体積濾過とも言い、メディアの厚さをある程度持たせたものである。本発明の方法の好ましい態様では、粗大凝集粒子を除去するのにこのデプスタイプのフィルターによる濾過を用いるところにある。以下にその態様を図１および図２を用いて説明する。
　【００２８】セラミックススラリー中の粗大凝集粒子を除去するため、粘度調整されたセラミックススラリーを加圧して、図示の流れに従ってデプスタイプのフィルター（１）、例えば多孔質セラミックスまたは多孔質樹脂からなるフィルターで濾過する。ここで用いるフィルターは、平均気孔径は１００μｍ以下、望ましくは５０μｍ以下、さらに望ましくは３０μｍ以下である。フィルター（１）の厚さ（ｔ）は、本発明の場合、５ｍｍ以上が望ましいが、濾過すべき粗粒子の大きさ、フィルター本体の強度等を考慮し適宜定めればよい。スラリーを加圧する圧力は、０．１〜５．０Ｋｇ／ｃｍ２の範囲内が望ましい。低圧すぎると、セラミックススラリーの濾過に時間がかかりすぎる、また、高圧にすぎると、フィルターの気孔が拡大したり、破壊が起こり、所定の粒子径以上の粒子が通過するおそれが生じる。濾過前後でセラミックススラリーを減圧脱泡処理するのも好適である。
　【００２９】本発明
に係る製造
第一の
　【００３０】本発明
に係る製造方法の第二の態様
は
が、推
るこ
が、１
凝集してなるセラミックス粒子からなる
　【００３１】次に、本発明のセラミックススラリーを用いてセラミックスグリーンシートを成形する工程においては、リバースロールコーター法が採用される。シート成形法で広く使われているドクターブレード法は、薄くて、均一な膜厚のグリーンシート成形が困難であり、薄肉シートの表面には、ブレードでかきとった跡が縦筋となって残留し、強度の低下、表面平滑度の低下の原因となる。従って、表面欠陥の少ないシートを得るため、リバースロールコーター法による成形が必須となる。
　【００３２】次に、本発明において、上記セラミックスグリーンシートは従来と同様に脱バインダおよび焼結等に適した条件で、用途に応じて、他のグリーンシートを積層して、または単独で、焼成される。この場合、セラミックス成分の平均結晶粒子径を最大２μｍとする焼結体に焼成することが必須要件である。また、平均結晶粒子径を最大２μｍとする範囲内で、表面粗さＲａを０．３０μｍ以下とするのが好ましく、０．２０μｍ以下に制御するのが特に好ましい。本発明のような厚さの薄いセラミックス基板の製造方法にあっては、表面欠陥が少なく、かつ表面の平滑度が優れたことが要求されるからである。なお、平均結晶粒子径は、セラミックス基板断面を研磨、鏡面仕上げした後、常法に従ってサーマルエッチングして粒界を現出させ、電子顕微鏡にて、粒子数ｎとその面積Ｓ（μｍ２）を測定し、平均結晶粒子径Ｄ（μｍ）＝√（４Ｓ／πｎ）にて算出した。
　【００３３】前記セラミックス基板の表面粗さＲａは、前記グリーンシートの測定と同じ表面粗さ計を使用し、先端ダイヤモンド形状が５μｍＲ９０°円錐、カットオフ値が０．８０ｍｍ，トレース速度が０．３０ｍｍ／ｓ，測定長さが２．５ｍｍの３ポイント測定の中心線平均粗さの平均値として測定されたものである。
　【００３４】本発明において、使用される有機バインダ、有機溶剤、および特性を改善するために使用され得る可塑剤、分散剤として以下のものが推奨される。有機バインダとしては、ポリビニルブチラール、ポリエステルメタクリレート、エチルセルロース等が好適であるが、有機溶剤に可溶な有機バインダであれば使用できる。有機溶剤としては、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコール等のアルコール類、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトン等のケトン類、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン等の一般的な有機溶剤またはそれらの混合溶剤が使用できる。可塑剤としては、フタル酸エステル類、セバシン酸エステル類、エチレングリコール等、一般的なものが使用できる。分散剤としては、ソルビタン脂肪酸エステル系分散剤等一般的な分散剤、表面活性剤が使用できる。
　【００３５】また、本発明のセラミックス基板は、相対密度が、一般に９０％以上の緻密体、好ましくは９５％以上の緻密体、より好ましくは９８％以上の緻密体であることが、強度、ヤング率等の材料特性上望ましい。
　【００３６】本発明のセラミックスグリーンシート、およびセラミックス基板の製造方法は▲１▼多層セラミックス基板、▲２▼ＩＣ基板、▲３▼燃料電池用固体電解質体、および▲４▼各種センサー、アクチュエーター、発信子、振動子、ディスプレイ、マイクロホン、スピーカーおよびフィルター等に用いられる振動板、弾性板などおよびその製造に好ましく適用することができる。また、上記用途での適用手段としては、セラミックスグリーンシートを単独に用いるだけでなく、セラミックスグリーンシート上に印刷し、それらを積層することにより多層化したり、振動板、弾性板として使用する際には、基体となる他のセラミックスグリーンシートと積層して用い、基板上に受動素子、能動素子を形成する、等の手段が挙げられる。
　【００３７】
　【実施例】次に、本発明を実施例に基づき説明する。
（実施例１）表中に記載された球相当径および平均凝集度を有するセラミックス粉末を準備する。セラミックス粉末として、酸化イットリウム３ｍｏｌ％を含有する部分安定化ジルコニア粉末１００重量部、可塑剤としてフタル酸ジオクチル４．５重量部、ソルビタン脂肪酸エステル系分散剤２重量部、溶剤としてトルエン２０重量部、イソプロピルアルコール３０重量部を、アルミナ製容器にジルコニア製玉石と共に投入し、５時間ボールミル混合する。次に、有機バインダ溶液として、ポリビニルブチラール樹脂９重量部、トルエン１０重量部、イソプロピルアルコール１０重量部を前記アルミナ製容器に追加投入し、３０時間ボールミル混合する。このときセラミックススラリーの粘度は、１５００ｍＰａ・ｓに調整する。このスラリーを樹脂製円筒形フィルター（フィルター厚さｔ：２０ｍｍ，外径Ｄ１：７０ｍｍφ，内径Ｄ２：３０ｍｍφ，フィルター幅Ｌ：２５０ｍｍ）を用いて、１Ｋｇ／ｃｍ２の加圧下で濾過する。かくして得られたセラミックススラリーをリバースロールコータにより約１０μｍの厚みのセラミックスグリーンシートを成形した。図１にここに使用した円筒形デプスフィルター装置の濾過部模式断面図を示す。なお、セラミックス粉末は、共沈法で得た原料を仮焼し、ボールミル粉砕し、熱処理した。１次粒子の球相当径は、前記仮焼温度に依存し、高温であるほど大きくすることができ、また、前記共沈工程の条件、例えば、ｐＨ、温度、濃度等により変化させることができる。さらに、ボールミル粉砕工程、熱処理工程の条件によっても変化させることができる。平均凝集度は、前記ボールミル粉砕工程、熱処理工程の処理条件により変化させることができる。こうして得られたセラミックスグリーンシートを所定の温度で焼成（大気中）し、厚さ７μｍのセラミックス基板を得た。
　【００３８】該セラミックスグリーンシートの表面粗さＲａ、および該セラミックスグリーンシートを３５０℃にて仮焼することにより、セラミックス粉末化し、その球相当径、平均凝集度、２次粒子の体積割合を測定した。その結果を表１に示す。また、焼成後のセラミックス基板の表面に存在する１０μｍ以上の欠陥数（実体顕微鏡で観察）、表面粗さＲａおよび平均結晶粒子径を表２に示す。
　【００３９】
　【表１】
　【００４０】
　【表２】
　【００４１】（実施例２）セラミックス成分として酸化イットリウム３ｍｏｌ％含有する部分安定化ジルコニア粉末１００重量部、可塑剤としてフタル酸ジオクチル４．５重量部、ソルビタン脂肪酸エステル系分散剤２重量部、溶剤としてトルエン２０重量部、イソプロピルアルコール３０重量部を、アルミナ製容器にジルコニア製玉石と共に投入し、５時間ボールミル混合する。次に、有機バインダー溶液として、ポリビニルブチラール樹脂９重量部、トルエン１０重量部、イソプロピルアルコール１０重量部を前記アルミナ製容器に追加投入し、３０時間ボールミル混合する。このときセラミックススラリーの粘度は、１５００ｍＰａ・ｓに調整する。次いで、ふた付きガラス容器に入れて、遠心分離機にて３０分間処理し、前記セラミックススラリーをリバースロールコータ法で約１０μｍの厚みのセラミックスグリーンシートを成形した。こうして得られたセラミックスグリーンシートを所定の温度で焼成（大気中）し、厚さ７μｍのセラミックス基板を得た。その結果を表３および表４に示す。評価方法は実施例１と同じ。
　【００４２】
　【表３】
　【００４３】
　【表４】
　【００４４】（比較例１）セラミックス粉末として酸化イットリウム３ｍｏｌ％含有部分安定化ジルコニア粉末１００重量部、可塑剤としてフタル酸ジオクチル４．５重量部、ソルビタン脂肪酸エステル系分散剤２重量部、溶剤としてトルエン２０重量部、イソプロピルアルコール３０重量部を、アルミナ製容器にジルコニア製玉石と共に投入し、５時間ボールミル混合する。次に、有機バインダー溶液として、ポリビニルブチラール樹脂９重量部、トルエン１０重量部、イソプロピルアルコール１０重量部を前記アルミナ製容器に追加投入し、３０時間ボールミル混合する。このときセラミックススラリーの粘度は、１５００ｍＰａ・ｓに調整する。次いで、３２５メッシュのステンレスメッシュ（目開き４４μｍ）で濾過し、前記セラミックススラリーをリバースロールコータで約１０μｍの厚みのセラミックスグリーンシートを成形した。こうして得られたセラミックスグリーンシートを所定の温度で焼成（大気中）し、厚さ７μｍのセラミックス基板を得た。その結果を表５および表６に示す。評価方法は実施例１と同じ。
　【００４５】
　【表５】
　【００４６】
　【表６】
　【００４７】（実施例３）次の事項を除いて実施例１の操作と全く同様に行われるものである。なお、樹脂製の円筒形フィルタの平均気孔径は、３０μｍのものを用いた。セラミックス粉末として▲１▼完全安定化ジルコニア粉末（表７および８の試料Ｎｏ．２３）、▲２▼アルミナ粉末（同Ｎｏ．２１）、▲３▼部分安定化ジルコニア粉末９０重量部＋アルミナ粉末１０重量部（同Ｎｏ．２２）の３種類を用いた。その結果を表７および表８に示す。評価方法は実施例１と同じ。
　【００４８】
　【表７】
　【００４９】
　【表８】
　【００５０】（実施例４）次の事項を除いて実施例２の操作と全く同様に行われるものである。なお、遠心分離による加速度は、６０００ｍ／ｓ２である。セラミックス粉末として▲１▼完全安定化ジルコニア粉末（表９および１０の試料Ｎｏ．２６）、▲２▼アルミナ粉末（同Ｎｏ．２４）、▲３▼部分安定化ジルコニア粉末９０重量部＋アルミナ粉末１０重量部（同Ｎｏ．２５）の３種類を用いた。その結果を表９および表１０に示す。評価方法は実施例１と同じ。
　【００５１】
　【表９】
　【００５２】
　【表１０】
　【００５３】
　【発明の効果】以上説明した通り、本発明の第１の発明であるセラミックスグリーンシートにおいては、セラミックス粒子の球相当径かつ平均凝集度を管理することにより表面欠陥の少なく、平滑性が高くかつ薄肉なセラミックスグリーンシートを得ることができた。本発明の第２の発明であるセラミックスシートの製造方法においては、セラミックス粒子の球相当径かつ平均凝集度を管理し、セラミックススラリ中の粗大凝集粒子を除去することにより、表面欠陥の少なく、平滑性が高くかつ薄肉なセラミックスシートを得ることができた。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　円筒形デプスフィルター装置の濾過部模式断面図
　【図２】　円筒形デプスフィルターのメディアの斜視図
　【図３】　サーフェイスフィルターおよびデプスフィルターの模式図
　【図４】　遠心分離処理の説明図
　【図５】　セラミックスグリーンシートを粉末化するためのプロファイル
　【図６】　従来のサーフェイスフィルターの濾過器
　【符号の説明】
　１：フィルター、２：容器Ａ，３：スラリー供給口、４：凝集物を除去したスラリー排出口、５：容器Ａ、１０：スラリー、２０：凝集粒子またはスラリー乾燥物、３０：気泡、、４０：沈降した凝集物等、５０：濾過用の器、６０：ネット、７０：吸引用瓶、８０：真空管、９０：凝集物を除去したスラリー。