【事件の表示】
　特許第３３４９６５０号「水切り乾燥装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３４９６５０号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３３４９６５０号の請求項１に係る発明は、平成９年４月１８日に特許出願され、平成１４年９月１３日に特許権の設定登録がなされ、その後、請求項１に係る特許について申立人大湯佳子より特許異議の申立てがなされ、取消理由が通知され、その指定期間内である平成１５年１１月２８日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正の内容
　上記訂正請求は、願書に添付された明細書（以下、「特許明細書」という。）を訂正請求書に添付された明細書（以下、「訂正明細書」という。）のとおりに訂正することを求めるもので、その内容は以下のとおりである。
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１を「水分の付着したワークを水切り乾燥する水切り乾燥装置であって、ＩＰＡと混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤と、上記ＩＰＡとが混合された混合液を設け、上記混合液が貯溜された洗浄槽と、該洗浄槽の液面上に形成された上記フッ素系溶剤の蒸気層とを備え、上記フッ素系溶剤はオゾン破壊係数が零のＨＦＥに設定される一方、上記ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５wt％、ＩＰＡを約５wt％の割合に設定され、上記蒸気層には、上記洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行するシャワー装置を設けた、水分の付着したワークを水切り乾燥する水切り乾燥装置。」と訂正する。
訂正事項ｂ
　発明の詳細な説明の【０００４】段落を「【発明が解決しようとする課題】この発明は、ＩＰＡと混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤と、上述のＩＰＡとが混合された混合液を設け、この混合液が貯蔵された洗浄槽と、この洗浄槽の液面上に形成された上記フッ素系溶剤の蒸気層とを備えることで、フッ素系溶剤によりＩＰＡの引火性をなくして、防爆構造を不要となしつつ、水分の付着したワークから水分を除去し、良好な乾燥効果を得ることができ、しかも、上述のフッ素系溶剤をオゾン破壊係数(つまりＯＤＰ)が零のＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ・エーテル）に設定することで、オゾン破壊、大気汚染、地球温暖化を招くことがなく、またＨＦＥ＋ＩＰＡの状態にある混合液中に水分（Ｈ２Ｏ）の付着したワークが入ってくると、ＩＰＡ＋Ｈ２ＯとＨＦＥとに分離して、確実な水切り乾燥効果を得ることができ、さらに洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥでワーク表面のすすぎができる水切り乾燥装置の提供を目的とする。」と訂正する。
訂正事項ｃ
　発明の詳細な説明の【０００５】段落を「【課題を解決するための手段】この発明は、水分の付着したワークを水切り乾燥する水切り乾燥装置であって、ＩＰＡと混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤と、上記ＩＰＡとが混合された混合液を設け、上記混合液が貯溜された洗浄槽と、該洗浄槽の液面上に形成された上記フッ素系溶剤の蒸気層とを備え、上記フッ素系溶剤はオゾン破壊係数が零のＨＦＥに設定され、上記ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５wt％、ＩＰＡを約５wt％の割合に設定され、上記蒸気層には、上記洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行するシャワー装置を設けた水切り乾燥装置であることを特徴とする。」と訂正する。
訂正事項ｄ
　発明の詳細な説明の【０００７】段落を「さらに、上述のフッ素系溶剤をオゾン破壊係数(つまりＯＤＰ)が零のＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ・エーテル）に設定したので、オゾン破壊、大気汚染、地球温暖化を招くことがなく、またＨＦＥ＋ＩＰＡの状態にある混合液中に水分（Ｈ２Ｏ）の付着したワークが入ってくると、ＩＰＡ＋Ｈ２ＯとＨＦＥとに分離して、確実な水切り乾燥効果を得ることができる。しかも、ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５wt％、ＩＰＡを約５wt％の割合に設定したので、ＩＰＡの引火性を確実になくすことができる。さらに、上記シャワー装置により洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行することができる。」と訂正する。
訂正事項ｅ
　発明の詳細な説明の【００２２】段落を「次に超音波洗浄および水切り後のワークをＨＦＥ蒸気層１５まで上昇させ、ワークの乾燥が良好に行なわれるようＨＦＥ蒸気にてワーク温度を上げる。ここで、上述の蒸気層１５には、洗浄槽３におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行するシャワー装置１９を設けているので、すすぎ処理が必要な場合には超音波洗浄槽３におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをシャワー装置１９からワークに吹付けて、ワーク表面のすすぎを実行した後に、ＨＦＥ蒸気層１５にて所定時間ワークを蒸気洗浄する。次に蒸気洗浄終了後のワークを乾燥領域αまで上昇させて、乾燥処理し、乾燥後のワークはワーク出入口２から取出して、次工程へ搬送する。」と訂正する。
訂正事項ｆ
　発明の詳細な説明の【００２５】段落を「さらに、上述のフッ素系溶剤をオゾン破壊係数(つまりＯＤＰ)が零のＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ・エーテル）に設定したので、オゾン破壊、大気汚染、地球温暖化を招くことがなく、またＨＦＥ＋ＩＰＡの状態にある混合液ａ中に水分（Ｈ２Ｏ）の付着したワークが入ってくると、ＩＰＡ＋Ｈ２ＯとＨＦＥとに分離して、確実な水切り乾燥効果を得ることができる効果がある。しかも、ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５wt％、ＩＰＡを約５wt％の割合に設定したので、ＩＰＡの引火性を確実になくすことができる。さらに、上述のシャワー装置１９により洗浄槽３におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けて、ワーク表面のすすぎを実行することができる。」と訂正する。
訂正事項ｇ
　図面の簡単な説明の【符号の説明】を
　「ａ…混合液
　　３…超音波洗浄槽
　１５…ＨＦＥ蒸気層
　１９…シャワー装置」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、特許明細書の請求項１において「蒸気層」に「洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行するシャワー装置を設け」ることを限定したものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであると云える。
　そして、蒸気層に洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行するシャワー装置を設けることは、特許明細書の【００１６】及び【００２２】段落の記載並びに【図１】に記載されていたことであるから、訂正事項ａは、特許明細書に記載された事項の範囲内で明細書の記載を訂正するものであり、新規事項の追加に該当しない。
　また、訂正事項ａは、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ｂ乃至ｇは、訂正事項ａによる請求項１の訂正に整合させて、明細書の発明の詳細な説明の記載及び図面の簡単な説明の記載を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであると云える。そして、訂正事項ｂ乃至ｇは、訂正事項ａについて述べた理由と同じ理由で新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
２−３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立てについて
３−１．本件発明
　特許第３３４９６５０号の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「水分の付着したワークを水切り乾燥する水切り乾燥装置であって、ＩＰＡと混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤と、上記ＩＰＡとが混合された混合液を設け、上記混合液が貯溜された洗浄槽と、該洗浄槽の液面上に形成された上記フッ素系溶剤の蒸気層とを備え、上記フッ素系溶剤はオゾン破壊係数が零のＨＦＥに設定される一方、上記ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５wt％、ＩＰＡを約５wt％の割合に設定され、上記蒸気層には、上記洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行するシャワー装置を設けた、水分の付着したワークを水切り乾燥する水切り乾燥装置。」
３−２．当審が通知した取消理由
　当審が取消理由通知書で通知した取消理由は、本件の請求項１に係る発明は、下記の刊行物１及び２に記載された発明に基き当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項に規定する要件に違反してなされたものであり、取り消されるべきものである、というものである。
　刊行物１：特開平８−２５９９９５号公報
　刊行物２：特開平８−１１７５０３号公報
３−３．各刊行物に記載された事項
（１）上記刊行物１（特許異議申立人が提出した甲第１号証）には、下記の事項が記載されている。
（１−ア）「【請求項１】・・・ＣＦ3 ＣＦ2 ＣＦ2 ＣＦ2 −Ｏ−ＣＨ2 ＣＨ3 、・・・からなる群から選ばれる少なくとも１種の含フッ素エーテルからなるフッ素系溶剤。
【請求項２】アルコール類及び請求項１記載のフッ素系溶剤を含む溶剤組成物。
【請求項３】請求項１記載のフッ素系溶剤又は請求項２記載の溶剤組成物を用いて物品表面から汚れ又は水分を除去する方法。」（特許請求の範囲　請求項１乃至３）
（１−イ）「［実施例２］表５、表６に示す含フッ素エーテル９５重量％とメタノール（ＭｅＯＨ）５重量％、エタノール（ＥｔＯＨ）５重量％，又はイソプロパノール（ｉＰｒＯＨ）５重量％との混合組成物をそれぞれ別個に用いて付着水の除去試験を行った。予めよく脱脂洗浄したガラス板（３０ｍｍ×２０ｍｍ×１ｍｍ）を純水に浸漬し、次いで上記の混合組成物中に３０秒間浸漬した。取り出したガラス板を常温下で１分間放置して残存していた混合組成物を蒸発させた後、無水メタノール中に浸漬し、そのメタノールの水分増加量をカールフィッシャー水分計により測定した。一方、純水に浸漬しただけで上記の混合組成物中に浸漬しなかった場合のメタノールの水分増加量との比較から、付着水の除去状況（○；良好、×；不良）を調べ、その結果を表５（Ｎｏ．１〜１５）、表６（Ｎｏ．１６〜２７）に示した。」（【００２４】段落）
（１−ウ）第８頁の【００３０】段落及び第９頁の【００３１】段落には、実施例２の結果を示す【表５】及び【表６】が記載されており、Ｎｏ２３の行には、含フッ素エーテルであるＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ−ＣＨ２ＣＨ３（９５重量％）とｉＰｒＯＨ（５重量％）の混合組成物を用いた付着水除去試験の結果が「○」、即ち良好であることが記載されている。
（１−エ）「本発明は、上記の構成を採用することにより、塩素原子を含まないため、オゾン層破壊の心配がなく、また、水素原子を含むため、大気中の水酸基ラジカルとの反応性が高く、対流圏で分解され易いため、温室効果が小さく、かつ、フロン１１３に替わる洗浄用溶剤、水切り乾燥用溶剤として有用な溶剤組成物の提供を可能にした。」（【００３２】段落）
（２）上記刊行物２（特許異議申立人が提出した甲第２号証）には、下記の事項が記載されている。
（２−ア）「【請求項２】表面に水が付着した物品を、アルコール類とハロゲン化炭化水素類の混合溶剤であって、その液温が４０℃以上である混合溶剤を入れた浸漬水切り槽に浸漬して引き上げ、次いで前記混合溶剤またはハロゲン化炭化水素類の蒸気中に保持することにより物品に付着した水を除去することを特徴とする水切り乾燥方法。
【請求項４】アルコール類が、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノールおよびイソプロパノールから選ばれる少なくとも１種である請求項１、２または３の方法。
【請求項５】ハロゲン化炭化水素類が、ハイドロクロロカーボン類、ハイドロクロロフルオロカーボン類、ハイドロフルオロカーボン類、およびパーフルオロカーボン類から選ばれる少なくとも１種である請求項１、２または３の方法。」（特許請求の範囲　請求項２、４及び５）
（２−イ）「次に、水が除去された物品を、混合溶剤またはハロゲン化炭化水素類の蒸気に保持する。混合溶剤またはハロゲン化炭化水素類の蒸気は、物品表面が混合溶剤またはハロゲン化炭化水素類の沸点に達するまでの間、物品表面で凝縮し水切りを行うと同時に、物品表面の温度を上昇させる。水切りとともに、物品表面の汚れを洗浄するリンスを同時に行う場合もある。
　最後に、物品を混合溶剤の蒸気から引き出すことで、物品表面に付着していた水は完全に除去され、また物品表面温度は混合溶剤の沸点まで達しており混合溶剤の持ち出しもなく、物品は充分乾燥した状態となる。」（【００２５】、【００２６】段落）
（２−ウ）「以下に図を示し本発明の特徴とするところを一層明らかにする。本発明方法で使用する水切り乾燥方法に採用できる装置の一例を示した図１において、物品は水切り乾燥装置１の中の浸漬水切り槽２に入れた混合溶剤に浸漬され、ここで物品の表面に付着した水を除去する。浸漬水切り槽２の混合溶剤は水切り性の向上と水の分散を防ぐためにヒーター１０により４０℃以上に加温される。水切りを短時間に行うために、超音波発振器１１により超音波洗浄することもできる。
　次に水切りが終了した物品は浸漬水切り槽２から引き上げられ、蒸気槽３の中で蒸気洗浄される。この蒸気洗浄では、物品の表面温度が混合溶剤の沸点に達するまでの間、物品の表面で混合溶剤の凝縮がおこり、凝縮した混合溶剤によりさらにリンスされる。また、物品の温度が混合溶剤の沸点に達した後に、蒸気槽３から取り出すことで、液体状の混合溶剤の持ち出しをなくせる。そのため、物品の表面は蒸気槽３から取り出し後、完全に乾燥状態となる。
　図１における混合溶剤の循環経路としては、まず混合溶剤は蒸気槽３で蒸気となり、蒸気ゾーン４を形成する。この蒸気が冷却管５で凝縮し凝縮溶剤水分離器６に入る。凝縮溶剤水分離器６では、冷却管５で混合溶剤と同時に凝縮した主に空気中の水が層分離される。
　水を分離除去した混合溶剤は次に浸漬水切り槽２へ送られる。浸漬水切り槽２のでは、物品に付着していた水が混入し、混合溶剤と水が混合した状態となる。この水を含む混合溶剤は、次に加温槽７に送られる。
　加温槽７では、ヒーター１２により浸漬水切り槽よりも更に高い温度に加温する。これによりさらに加温された混合溶剤は、次に水分離槽８へ送られ、上層が水１３、下層が混合溶剤１４の２層に分離される。
　層分離した混合溶剤の一部は蒸気槽３に送られ、残りは循環ポンプ９により浸漬水切り槽２へ送られる。浸漬水切り槽２では物品が浸漬した際に、物品から除去された水が浮上する。この浮上した水を加温槽７へ送り出すために、循環ポンプにより浸漬水切り槽２へ送られた混合溶剤が用いられる。液面に層状の流れをつくり、浮上した水を効率よく送り出せるように循環ポンプ９からの混合溶剤出口を工夫することができる。」（【００２９】〜【００３４】段落）
（２−エ）「［実施例１］予めよく洗浄したステンレスメッシュ（５ｃｍ×５ｃｍ）を水に浸漬したものを物品とし水切り乾燥試験を行った。・・・。
　まず、物品を４５℃の混合溶剤に浸漬し、超音波を用いて１分間水切りを行った。次にハロゲン化炭化水素の蒸気ゾーンで３０秒間蒸気洗浄を行った。」（【００３６】、【００３７】段落）
（２−オ）第６頁には、【図１】として「本発明の水切り乾燥方法に用いる装置の一例を示す図」が記載されている。
３−４．対比、判断
　記載事項２−オに図示され、記載事項２−ウに記載された装置は全体として「水切り乾燥装置」と云えるものである。そして、記載事項２−イ〜オからみて、該「水切り乾燥装置」において、混合溶剤は蒸気槽３中で蒸気となり浸漬水切り槽２の液面上に達するハロゲン化炭化水素類の蒸気ゾーン４を形成すると云えるから、記載事項２−ア〜オを本件発明に則って整理すると、上記刊行物２には、下記の発明が記載されていると云える。
「表面に水が付着した物品を水切り乾燥する水切り乾燥装置であって、アルコール類とハロゲン化炭化水素類の混合溶剤を設け、上記混合溶剤を入れた浸漬水切り槽２と、該浸漬水切り槽２の液面上に形成された上記ハロゲン化炭化水素類の蒸気ゾーン４とを備えた、表面に水が付着した物品を水切り乾燥する水切り乾燥装置。」
　本件発明と刊行物２に記載された発明とを対比すると、後者における「水」、「物品」、「浸漬水切り槽２」は、各々、前者における「水分」、「ワーク」、「洗浄槽」に相当する。また、後者における「混合溶剤」は、槽に貯溜されて物品の表面に付着した水を除去する点で、前者における「混合液」に相当すると云え、さらに、後者における「アルコール類」には前者における「ＩＰＡ」が、後者における「ハロゲン化炭化水素類」には前者における「ＩＰＡと混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤」が含まれることは明らかである。また、後者における「蒸気ゾーン４」は、混合溶剤を構成するハロゲン化炭化水素類の蒸気により浸漬水切り槽２の液面上に形成されたものであり、物品を蒸気洗浄する点において、前者における「蒸気層」に相当すると云える。よって、両者は、
「水分の付着したワークを水切り乾燥する水切り乾燥装置であって、アルコール類とハロゲン化炭化水素類が混合された混合液を設け、上記混合液が貯溜された洗浄槽と、該洗浄槽の液面上に形成された上記ハロゲン化炭化水素類の蒸気層とを備えた、水分の付着したワークを水切り乾燥する水切り乾燥装置。」
で一致し、下記の点で相違する。
（ｉ）前者は、混合液を構成するアルコール類がＩＰＡであると共に、ハロゲン化炭素類がＩＰＡと混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤であり、上記フッ素系溶剤はオゾン破壊係数が零のＨＦＥに設定される一方、上記ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率が、ＨＦＥを約９５wt％、ＩＰＡを約５wt％の割合に設定され、さらに、蒸気層が上記フッ素系溶剤の蒸気層であるのに対し、後者は、混合液を構成するアルコール類とハロゲン化炭化水素類についてかかる特定がなく、蒸気層を構成するハロゲン化炭化水素類についてもかかる特定がない点。
（ii）前者は、蒸気層に、洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行するシャワー装置を設けたものであるのに対し、後者は、かかるシャワー装置について何らの特定もない点。
　そこでまず、相違点（ii）について検討すると、上記刊行物１には、記載事項１−ア〜エからみて、物品表面から水分を除去するために用いる溶剤組成物として、ＨＦＥとしてＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ−ＣＨ２ＣＨ３９５重量％とＩＰＡ５重量％の混合組成物を用いることにより、付着水の除去が良好に行えること、及び、フロン１１３に代えＨＦＥを用いることによりオゾン層を破壊する心配がないことが記載されていると云える。しかし、上記刊行物１を検討しても、かかる溶剤組成物を用いた水切り乾燥装置については何等記載がなく、上記相違点（ii）で挙げた本件発明の構成要件である、蒸気層に、洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行するシャワー装置を設けることについては、それを示唆する記載もない。
　そして、本件発明は、少なくとも相違点（ii）で挙げた構成要件を備えたことにより、本件明細書に記載された効果を奏するものである。
　よって、相違点（ｉ）について検討するまでもなく、本件発明は、取消理由で引用した上記刊行物１及び２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
３−５．むすび
　以上のとおりであるから、取消理由で通知した理由によっては本件発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年４月１３日（２００４．４．１３）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
水切り乾燥装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　水分の付着したワークを水切り乾燥する水切り乾燥装置であって、
ＩＰＡと混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤と、上記ＩＰＡとが混合された混合液を設け、
上記混合液が貯溜された洗浄槽と、
該洗浄槽の液面上に形成された上記フッ素系溶剤の蒸気層とを備え、
上記フッ素系溶剤はオゾン破壊係数が零のＨＦＥに設定される一方、
上記ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５ｗｔ％、ＩＰＡを約５ｗｔ％の割合に設定され
、
上記蒸気層には、上記洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行するシャワー装置を設けた、
水分の付着したワークを水切り乾燥する
水切り乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　この発明は、水分の付着したワークを洗浄および水切り乾燥するような水切り乾燥装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、上述例の洗浄および水切りには有機溶剤としてのＡＫ−２２５（商品名）が用いられていたが、大気汚染や地球温暖化の要因となる関係上、規則により使用不可能となる。
　なお上述のＡＫ−２２５の物性は次の通りである。
　【０００３】
　　分子量……２０２．９４
　　沸　点……５４℃
　　比　重……１．５５（但し２５℃において）
　　表面張力…１６．２ｄｙｎｅｓ／ｃｍ（但し２５℃において）
　　引火点……なし
　　ＫＢ値……３１
　　ＳＰ値……６．９
　　オゾン破壊係数…０．０１〜０．０４
　上記の物性から明らかなようにＡＫ−２２５はオゾン破壊係数が０．０１〜０．０４で大気汚染の要因となる。
　一方、ワークの水切り乾燥に有効な溶剤としてはＩＰＡ（イソプロピルアルコール）が知られているが、このＩＰＡは常温以下で引火する危険物（引火点２１．１℃）であるから、防爆構造なしには使用することができない問題点があった。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　この発明は、ＩＰＡと混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤と、上述のＩＰＡとが混合された混合液を設け、この混合液が貯蔵された洗浄槽と、この洗浄槽の液面上に形成された上記フッ素系溶剤の蒸気層とを備えることで、フッ素系溶剤によりＩＰＡの引火性をなくして、防爆構造を不要となしつつ、水分の付着したワークから水分を除去し、良好な乾燥効果を得ることができ、しかも、上述のフッ素系溶剤をオゾン破壊係数（つまりＯＤＰ）が零のＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ・エーテル）に設定することで、オゾン破壊、大気汚染、地球温暖化を招くことがなく、またＨＦＥ＋ＩＰＡの状態にある混合液中に水分（Ｈ２Ｏ）の付着したワークが入ってくると、ＩＰＡ＋Ｈ２ＯとＨＦＥとに分離して、確実な水切り乾燥効果を得ることがで
き、さらに洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥでワーク表面のすすぎができ
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　この発明は、水分の付着したワークを水切り乾燥する水切り乾燥装置であって、ＩＰＡと混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤と、上記ＩＰＡとが混合された混合液を設け、上記混合液が貯溜された洗浄槽と、該洗浄槽の液面上に形成された上記フッ素系溶剤の蒸気層とを備え、上記フッ素系溶剤はオゾン破壊係数が零のＨＦＥに設定され、上記ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５ｗｔ％、ＩＰＡを約５ｗｔ％の割合に設定され
、上記蒸気層には、上記洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行するシャワー装置を設けた
　【０００６】
　【発明の作用及び効果】
　この発明によれば、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）と混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤と、ＩＰＡとを混合した混合液を設けたので、上述のフッ素系溶剤によりＩＰＡの引火性をなくして、装置側の防爆構造を省略することができる。
　また、混合液中に含有するＩＰＡにより水分の付着したワークから水分を除去し、さらにフッ系系溶剤の蒸気層にてワークの温度を上げて乾燥する。したがって、良好な水切り乾燥効果を得ることができ、大気汚染や地球温暖化の影響もなくなる効果がある。
　【０００７】
　さらに、上述のフッ素系溶剤をオゾン破壊係数（つまりＯＤＰ）が零のＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ・エーテル）に設定したので、オゾン破壊、大気汚染、地球温暖化を招くことがなく、またＨＦＥ＋ＩＰＡの状態にある混合液中に水分（Ｈ２Ｏ）の付着したワークが入ってくると、ＩＰＡ＋Ｈ２ＯとＨＦＥとに分離して、確実な水切り乾燥効果を得ることができる。
　しかも、ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５ｗｔ％、ＩＰＡを約５ｗｔ％の割合に設定したので、ＩＰＡの引火性を確実になくすことができる。
　
さらに、上記シャワー装置により洗浄槽におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行することができる。
　【０００８】
　【実施例】
　この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述する。
　図面は水切り乾燥装置を示し、図１において、この水切り乾燥装置はタンク本体１の上部にワーク出入口２を形成する一方、このワーク出入口２と上下方向に対向するタンク下部には超音波洗浄槽３を形成している。
　【０００９】
　この超音波洗浄層３の一側（図示左側）にはオーバフロー部４を介して分離槽５および蒸留槽６をこの順に配設し、超音波洗浄槽３の他側（図示右側）にはオーバフロー部７を介して水分離槽８を配設している。なお上述のタンク本体１においてワーク出入口２以外の部分はそれぞれの天壁５ａ，６ａ，８ａにより覆われている。
　【００１０】
　ここで、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）と混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤としてオゾン破壊係数（つまりＯＤＰ）が零のＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ・エーテル）と、上記ＩＰＡとが混合された混合液ａを設け、この混合液ａを上述の各槽３，５，６に貯溜している。
　上述のＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５ｗｔ％、ＩＰＡを約５ｗｔ％の割合にて混合する。
　【００１１】
　ところで、上述の超音波洗浄槽３の底部には両サイドのフラット部３ａ，３ｂと中央の凹部３ｃとが形成され、上述のフラット部３ａ，３ｂには超音波振動子９，９を設ける一方、凹部３ｃには混合液ａを例えば３５〜５０℃（最良の超音波効果を得られる温度）に加熱する加熱手段としてのヒータ１０を取付けている。
　【００１２】
　また上述の分離槽５には同槽５の側壁と離反する２枚の仕切板１１，１２を立設し、ＨＦＥ＋ＩＰＡの状態の混合液ａと、ワークの水切り洗浄により形成されるＨ２Ｏ＋ＩＰＡの液ｂとを比重差により上下に分離すべく構成し、蒸留槽６に対しては混合液ａのみをオーバフローすべく構成している。
　なお、ＨＦＥの比重は１．４３〜１．５２、ＩＰＡの比重は０．７８６〜０．７８７、Ｈ２Ｏの比重は１．０である。
　【００１３】
　さらに、上述の蒸留槽６には混合液ａをＨＦＥの沸点（使用するＨＦＥの種類により異なるが、例えば６０℃）に加熱する加熱手段としてのヒータ１３を取付け、前述の超音波洗浄槽３の液面と、冷却手段としてタンク本体１の内部周壁部分にのみ配置された冷却ジャケット１４との間にＨＦＥ蒸気層１５を形成すべく構成している。
　【００１４】
　一方、前述の水分離槽８の上方には冷却手段としての冷却コイル１６（溶剤ロスの低減を図る目的で、ＨＦＥ蒸気を凝縮して再生液化するためのコイル）を配設している。この冷却コイル１６と上述の冷却ジャケット１４とは図示しない冷凍サイクルに接続されている。
　【００１５】
　また上述の水分離槽８には２つの仕切板１７，１８を設け、一方の仕切板１７で水分離されたＨ２Ｏが仕切板１８側へ流動しないように規制すると共に、他方の仕切板１８で必要液面を確保すべく構成している。
　【００１６】
　前述の超音波洗浄槽３の液面と冷却ジャケット１４との間にはワークの出入と干渉しないようにシャワー装置１９を配設し、水分離槽８における仕切板１８と底板８ｂとの間から比較的ＨＦＥ濃度の濃い混合液ａを、必要に応じて送液ポンプ２０、開閉弁２１および送液ライン２２を介して上述のシャワー装置１９に送液して、ワーク表面のすすぎを行なうように構成している。
　【００１７】
　さらに上述の水分離槽８における液面部と分離槽５の液ｂの浮上部との間には、水分離槽８で分離されたＨ２Ｏを液ｂの部分に還流させるライン２３を槽外部にて設ける一方、分離槽５において混合液ａ上に浮上した液ｂを槽外へ排出すべく構成している。また前述の冷却ジャケット４上の所定範囲をワークの乾燥領域αに設定している。
　【００１８】
　この実施例では上述のＨＦＥとしてＨＦＥ−７１００（商品名）またはＨＦＥ−７２００（商品名）を使用することができ、ＩＰＡとしてはＩＰＡＳＥ（商品名）またはＩＰＡＳ（商品名）（いずれも高純度のＩＰＡ）を使用するので、これら各溶剤の物件を以下に列記する。
　【００１９】
　ＨＦＥ−７１００の物性
　　化学式……Ｃ４Ｆ９ＯＣＨ３
　　沸　点……６０℃
　　表面張力…１３．６ｄｙｎｅｓ／ｃｍ
　　引火点……なし
　　ＶＯＣ……なし
　　ＯＤＰ（オゾン破壊係数）……０
　　比　重……１．５２
　ＨＦＥ−７２００の物性
　　化学式……Ｃ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５
　　沸　点……７３℃
　　表面張力…１３．６ｄｙｎｅｓ／ｃｍ
　　引火点……なし
　　ＶＯＣ……なし
　　ＯＤＰ（オゾン破壊係数）……０
　　比　重……１．４３
　ＩＰＡＳＥおよびＩＰＡＳの物性
　　比　重……０．７８６〜０．７８７
　　沸　点……８２．４℃
　　粘　度……２．４１ｃｐ／２０℃
　　引火点……２１．１℃（開放式）
　　発火点……４６０℃
　　爆発範囲…２〜１２ｖｏｌ％
　【００２０】
　図示実施例は上記の如く構成するものにして、以下作用を説明する。
　ワークの水切り乾燥に際しては、水分の付着したワークをワーク出入口２から超音波洗浄槽３の混合液ａの液中に浸漬し、超音波振動子９，９を駆動して、上述のワークを超音波洗浄する。
　【００２１】
　混合液ａは約９５ｗｔ％のＨＦＥ＋約５ｗｔ％のＩＰＡの状態にあるが、水分の付着したワークが浸漬されることで、混合液ａの一部はＨＦＥとＩＰＡ＋Ｈ２Ｏの状態に分離する。つまりＩＰＡの物性によりワークに付着した水分（Ｈ２Ｏ）が除去される。
　またＩＰＡ＋Ｈ２Ｏの状態となった液ｂは比重差により混合液ａ上に浮上する。
　【００２２】
　次に超音波洗浄および水切り後のワークをＨＦＥ蒸気層１５まで上昇させ、ワークの乾燥が良好に行なわれるようＨＦＥ蒸気にてワーク温度を上げる。
ここで、上述の蒸気層１５には、洗浄槽３におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けてワーク表面のすすぎを実行するシャワー装置１９を設けているので、
　次に蒸気洗浄終了後のワークを乾燥領域αまで上昇させて、乾燥処理し、乾燥後のワークはワーク出入口２から取出して、次工程へ搬送する。
　【００２３】
　なお、上述の超音波洗浄槽３において混合液ａ上に浮上したＩＰＡ＋Ｈ２Ｏ状態の液ｂはオーバフロー４を介して隣設する分離槽５に流下した後に、この分離槽５において混合液ａと比重分離されてその液ａ面上に浮上した後に、槽外に排出される。
　【００２４】
　以上要するに、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）と混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤（ＨＦＥ参照）と、ＩＰＡとを混合した混合液ａを設けたので、上述のフッ素系溶剤（ＨＦＥ参照）によりＩＰＡの引火性をなくして、装置側の防爆構造を省略することができる。
　また、混合液ａ中に含有するＩＰＡにより水分の付着したワークから水分を除去し、さらにＯＤＰ＝０のＨＦＥの蒸気層１５にてワークの温度を上げて乾燥する。したがって、良好な水切り乾燥効果を得ることができ、大気汚染や地球温暖化の影響もなくなる効果がある。
　【００２５】
　さらに、上述のフッ素系溶剤をオゾン破壊係数（つまりＯＤＰ）が零のＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ・エーテル）に設定したので、オゾン破壊、大気汚染、地球温暖化を招くことがなく、またＨＦＥ＋ＩＰＡの状態にある混合液ａ中に水分（Ｈ２Ｏ）の付着したワークが入ってくると、ＩＰＡ＋Ｈ２ＯとＨＦＥとに分離して、確実な水切り乾燥効果を得ることができる効果がある。
　しかも、ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５ｗｔ％、ＩＰＡを約５ｗｔ％の割合に設定したので、ＩＰＡの引火性を確実になくすことができる。
　
さらに、上述のシャワー装置１９により洗浄槽３におけるＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをワークに吹付けて、ワーク表面のすすぎを実行することができる。
　【００２６】
　この発明の構成と、上述の実施例との対応において、
　この発明の洗浄槽は、実施例の超音波洗浄槽３に対応するも、
　この発明は、上述の実施例の構成のみに限定されるものではない。
　例えば、必要に応じて洗浄槽３の槽数を増加してもよいことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の水切り乾燥装置を示す断面図。
　【符号の説明】
　ａ…混合液
　３…超音波洗浄槽
　１５…ＨＦＥ蒸気層
　
１９…シャワー装置