(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プランジャと、
前記プランジャをその軸方向に往復動させるプランジャ駆動機構と、
一端側が開口しその開口から前記プランジャの先端部が挿入されたポンプ室、前記ポンプ室に液を流入させる入口流路、及び前記ポンプ室から液を流出させる出口流路を有するポンプヘッドと、
前記プランジャ駆動機構を内部に収容し、先端面に前記プランジャを先端側へ突出させるためのプランジャ通過孔を有するとともに、先端側内部の前記プランジャが貫通する位置に洗浄液が存在する洗浄空間を有し、前記プランジャ通過孔から突出した前記プランジャの先端が前記ポンプ室に挿入されるように前記ポンプヘッドが先端部に装着され、前記プランジャ通過孔が前記洗浄空間の洗浄液を前記ポンプヘッド側へ流出させる大きさの内径を有するポンプボディと、
前記ポンプヘッドに装着され、前記プランジャを貫通させる貫通孔を有し、前記プランジャの外周面を保持するとともに前記ポンプ室の前記開口を封止するプランジャシールと、
前記プランジャシールと前記ポンプボディの先端面との間に介在するように前記ポンプヘッドに装着され、前記プランジャを貫通させかつ前記プランジャの外周面との間の隙間に前記プランジャシールを進入させないように形成された貫通孔を有するとともに、前記洗浄空間の洗浄液を前記貫通孔を通じてプランジャシールへ到達させる液通過構造を有するバックアップリングと、を備え、
前記バックアップリングの前記ポンプボディ側の面の中央部に前記プランジャ通過孔と同程度又はそれよりも大きい凹部が前記液通過構造として設けられ、その凹部の中央に前記貫通孔が設けられている、送液ポンプ。
【請求項２】
プランジャと、
前記プランジャをその軸方向に往復動させるプランジャ駆動機構と、
一端側が開口しその開口から前記プランジャの先端部が挿入されたポンプ室、前記ポンプ室に液を流入させる入口流路、及び前記ポンプ室から液を流出させる出口流路を有するポンプヘッドと、
前記プランジャ駆動機構を内部に収容し、先端面に前記プランジャを先端側へ突出させるためのプランジャ通過孔を有するとともに、先端側内部の前記プランジャが貫通する位置に洗浄液が存在する洗浄空間を有し、前記プランジャ通過孔から突出した前記プランジャの先端が前記ポンプ室に挿入されるように前記ポンプヘッドが先端部に装着され、前記プランジャ通過孔が前記洗浄空間の洗浄液を前記ポンプヘッド側へ流出させる大きさの内径を有するポンプボディと、
前記ポンプヘッドに装着され、前記プランジャを貫通させる貫通孔を有し、前記プランジャの外周面を保持するとともに前記ポンプ室の前記開口を封止するプランジャシールと、
前記プランジャシールと前記ポンプボディの先端面との間に介在するように前記ポンプヘッドに装着され、前記プランジャを貫通させかつ前記プランジャの外周面との間の隙間に前記プランジャシールを進入させないように形成された貫通孔を有するとともに、前記洗浄空間の洗浄液を前記貫通孔を通じてプランジャシールへ到達させる液通過構造を有するバックアップリングと、を備え、
前記バックアップリングの前記貫通孔の内周面に、前記液通過構造として、前記洗浄空間からの洗浄液を通過させる溝が設けられている、送液ポンプ。
【請求項３】
プランジャと、
前記プランジャをその軸方向に往復動させるプランジャ駆動機構と、
一端側が開口しその開口から前記プランジャの先端部が挿入されたポンプ室、前記ポンプ室に液を流入させる入口流路、及び前記ポンプ室から液を流出させる出口流路を有するポンプヘッドと、
前記プランジャ駆動機構を内部に収容し、先端面に前記プランジャを先端側へ突出させるためのプランジャ通過孔を有するとともに、先端側内部の前記プランジャが貫通する位置に洗浄液が存在する洗浄空間を有し、前記プランジャ通過孔から突出した前記プランジャの先端が前記ポンプ室に挿入されるように前記ポンプヘッドが先端部に装着され、前記プランジャ通過孔が前記洗浄空間の洗浄液を前記ポンプヘッド側へ流出させる大きさの内径を有するポンプボディと、
前記ポンプヘッドに装着され、前記プランジャを貫通させる貫通孔を有し、前記プランジャの外周面を保持するとともに前記ポンプ室の前記開口を封止するプランジャシールと、
前記プランジャシールと前記ポンプボディの先端面との間に介在するように前記ポンプヘッドに装着され、前記プランジャを貫通させかつ前記プランジャの外周面との間の隙間に前記プランジャシールを進入させないように形成された貫通孔を有するとともに、前記洗浄空間の洗浄液を前記貫通孔を通じてプランジャシールへ到達させる液通過構造を有するバックアップリングと、を備え、
前記バックアップリングの前記貫通孔は、前記液通過構造として、前記ポンプボディ側が前記プランジャ通過孔と同程度又はそれよりも大きい内径を有し、前記プランジャシール側へいくにしたがって内径が小さくなるように内周面が傾斜している、送液ポンプ。
【請求項４】
前記バックアップリングの前記貫通孔の内周面に親水性コーティングが施されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の送液ポンプ。
【請求項５】
プランジャと、
前記プランジャをその軸方向に往復動させるプランジャ駆動機構と、
一端側が開口しその開口から前記プランジャの先端部が挿入されたポンプ室、前記ポンプ室に液を流入させる入口流路、及び前記ポンプ室から液を流出させる出口流路を有するポンプヘッドと、
前記プランジャ駆動機構を内部に収容し、先端面に前記プランジャを先端側へ突出させるためのプランジャ通過孔を有するとともに、先端側内部の前記プランジャが貫通する位置に洗浄液が存在する洗浄空間を有し、前記プランジャ通過孔から突出した前記プランジャの先端が前記ポンプ室に挿入されるように前記ポンプヘッドが先端部に装着され、前記プランジャ通過孔が前記洗浄空間の洗浄液を前記ポンプヘッド側へ流出させる大きさの内径を有するポンプボディと、
前記ポンプヘッドに装着され、前記プランジャを貫通させる貫通孔を有し、前記プランジャの外周面を保持するとともに前記ポンプ室の前記開口を封止するプランジャシールと、
前記プランジャシールと前記ポンプボディの先端面との間に介在するように前記ポンプヘッドに装着され、前記プランジャを貫通させかつ前記プランジャの外周面との間の隙間に前記プランジャシールを進入させないように形成された貫通孔を有するとともに、前記洗浄空間の洗浄液を前記貫通孔を通じてプランジャシールへ到達させる液通過構造を有するバックアップリングと、を備え、
前記バックアップリングの前記貫通孔の内周面に、前記液通過構造として、親水性コーティングが施されている、送液ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプヘッドに設けられたポンプ室内でプランジャの先端を摺動させて吸入口からの液の吸入と吐出口からの液の吐出を繰り返すことにより送液を行なうプランジャ式の送液ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プランジャ式の送液ポンプは、ポンプ室を内部に有するポンプヘッドがポンプボディの先端部に装着され、ポンプボディ内でプランジャの基端を保持したクロスヘッドをプランジャの軸方向に往復動させることにより、プランジャの先端部をポンプ室内において摺動させる。
【０００３】
ポンプヘッドには、液をポンプ室に流入させる入口流路と液をポンプ室から流出させる出口流路が設けられ、入口流路と出口流路のそれぞれに逆止弁が設けられている。かかる構造により、プランジャがポンプ室内から引き抜かれる方向（以下、吸入方向という。）に駆動されたときは、ポンプ室内が減圧になることで、入口流路側の逆止弁が開いて出口流路側の逆止弁が閉じ、ポンプ室内に液が吸入される（吸入動作）。逆に、プランジャがポンプ室内に押し込まれる方向（以下、吐出方向という。）に駆動されたときは、ポンプ室内が加圧されることで、入口流路側の逆止弁が閉じて出口流路側の逆止弁が開き、ポンプ室内の液が出口流路から吐出される（吐出動作）。かかる吸入動作と吐出動作を連続的に行なうことにより、送液が行われる。
【０００４】
ポンプヘッドには、ポンプ室からの液漏れを防止するためのプランジャシールが装着されている。プランジャシールはプランジャを貫通させる貫通孔をもち、その内側でプランジャを摺動させながらポンプ室のプランジャが挿入される開口を封止するリング状の弾性部材である。
【０００５】
プランジャシールがポンプ室側へ押し付けられるように、プランジャシールはポンプボディの先端面によって支持されている。ポンプボディの先端面には、プランジャ先端部をポンプヘッド側へ導く穴が設けられているが、ポンプ室内の圧力が高圧になるとその圧力によってプランジャシールが変形し、プランジャシールの一部がポンプボディ先端面の穴の内周面とプランジャ外周面との間に入り込んで、プランジャの駆動を妨げるとともに、プランジャシールの劣化が早まるという問題がある。
【０００６】
上記問題に対応するため、ポンプボディ先端面の穴の内径を小さくしてプランジャとの間の隙間を小さくすることも考えられる。ここで、プランジャはポンプヘッド側に装着されたプランジャシールによってその外周面が保持され、プランジャシールの内周面と摺動しながら往復動を行なうものであるから、プランジャの動作時における軸の軌道は、プランジャシールとの位置関係によって決まる。しかし、ポンプヘッドとポンプボディとの組付け公差等により、ポンプボディ先端面の穴とプランジャシールとの位置関係は常に同じにはならないため、ポンプボディ先端面の穴の内径を小さくしすぎると、穴の内周面がプランジャ外周面に接触し、プランジャの損傷等の問題がある。
【０００７】
そのような問題から、ポンプヘッドのプランジャシールの背面側にバックアップリングを装着することが一般的である（特許文献１参照。）。バックアップリングはポンプヘッド側に装着されるため、バックアップリングに設けられた貫通孔とプランジャシールの貫通孔との位置関係は、ポンプヘッドとポンプボディとの組付け公差による影響を受けず、バックアップリングの貫通孔の内径をポンプボディ先端面の穴よりも小さくすることができ、これによってプランジャシールの変形を抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第５３７０３１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
プランジャ方式の送液ポンプにおいて、長期にわたって送液流量の精度を維持するためには、プランジャシールの劣化を抑制することが重要な課題である。プランジャシールは、ポンプ室からの液漏れを防止するものであるから、プランジャの外周面にある程度密着させるものである一方、プランジャの動作を妨げないように、プランジャとの間にある程度の摺動性がなければならない。プランジャ外周面とプランジャシールの内周面との間の摺動性が損なわれると、それによってプランジャシールの摩耗が起こり、プランジャ外周面のシール不良による液漏れのほか、摩擦熱によってプランジャシールの劣化が早まるという問題がある。
【００１０】
そこで、本発明は、プランジャの外周面とプランジャシールの内周面との間の摺動性を向上させて、プランジャシールの劣化を抑制することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る送液ポンプの一実施形態は、プランジャ、プランジャ駆動機構、ポンプヘッド、ポンプボディ、プランジャシール及びバックアップリングを備えている。プランジャ駆動機構は、プランジャをその軸方向に往復動させるものである。ポンプヘッドには、一端側が開口しその開口からプランジャの先端部が挿入されたポンプ室、ポンプ室に液を流入させる入口流路、及びポンプ室から液を流出させる出口流路が設けられている。ポンプボディは、プランジャ駆動機構を内部に収容し、先端面にプランジャを先端側へ突出させるためのプランジャ通過孔を有するとともに、先端側内部のプランジャが貫通する位置に洗浄液が存在する洗浄空間を有する。ポンプボディの先端部に、プランジャ通過孔から突出したプランジャの先端がポンプ室に挿入されるようにポンプヘッドが装着されている。ポンプボディの先端面のプランジャ通過孔は、洗浄空間の洗浄液をポンプヘッド側へ流出させる大きさの内径を有する。プランジャシールはポンプヘッドに装着され、プランジャを貫通させる貫通孔を有し、プランジャの外周面を保持するとともにポンプ室の開口を封止する。バックアップリングは、プランジャシールとポンプボディの先端面との間に介在するようにポンプヘッドに装着されている。さらに、バックアップリングは、プランジャを貫通させかつプランジャの外周面との間の隙間にプランジャシールを進入させないように形成された貫通孔を有するとともに、洗浄空間の洗浄液をその貫通孔を通じてプランジャシールへ到達させる液通過構造を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る送液ポンプの一実施形態は、ポンプボディの先端側に洗浄液が存在する洗浄空間を有し、ポンプボディの先端面のプランジャ通過孔が、洗浄空間の洗浄液をポンプヘッド側へ流出させる大きさの内径を有するものであって、バックアップリングは、プランジャを貫通させかつプランジャの外周面との間の隙間にプランジャシールを進入させないように形成された貫通孔を有するとともに、洗浄空間の洗浄液をその貫通孔を通じてプランジャシールへ到達させる液通過構造を有するものであるため、洗浄空間の洗浄液がプランジャシールに供給され、洗浄空間の洗浄液を利用してプランジャとプランジャシールとの間の摺動性を確保することができる。これにより、プランジャシールの摩耗や劣化を抑制し、送液精度の低下を抑制することができる。
【００１３】
なお、ポンプボディの先端面のプランジャ通過孔の内径を小さくしてプランジャシールがそのプランジャ通過孔の隙間に入り込まないようにすれば、バックアップリングを設ける必要がなくなり、バックアップリングの厚み分だけ洗浄空間がプランジャシールに近くなって洗浄空間の洗浄液がプランジャシールに供給されやすくなる。しかし、既述のように、ポンプボディ先端面のプランジャ通過孔の内径を小さくすると、ポンプボディとポンプヘッドの組付け公差等の影響で、プランジャ外周面がその孔の内周面と接触するおそれがあることから、ポンプヘッド側にプランジャシールの変形を防止するバックアップリングを装着することでかかる問題を解決している。しかし、バックアップリングをプランジャシールの背面側に挿入すると、バックアップリングの内径の小ささによって洗浄液の通過が妨げられ、プランジャシールに洗浄液が供給されにくい。
【００１４】
本発明に係る上記形態は、プランジャシールの背面側にバックアップリングを挿入しつつもプランジャシールに洗浄液が供給されやすいようにして、プランジャの摩耗や劣化の抑制を図っている。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】送液ポンプの一実施例を概略的に示す断面図である。
【図２】バックアップリングの液通過構造の一例を説明するための、バックアップリングが送液ポンプに組み込まれた状態の断面図である。
【図３】液通過構造の他の例を示す図であり、（Ａ）はバックアップリングが送液ポンプに組み込まれた状態の断面図、（Ｂ）はバックアップリングの平面図である。
【図４】液通過構造のさらに他の例を説明するための、バックアップリングが送液ポンプに組み込まれた状態の断面図である。
【図５】液通過構造のさらに他の例を説明するための、バックアップリングが送液ポンプに組み込まれた状態の断面図である。
【図６】液通過構造のさらに他の例を説明するための、バックアップリングが送液ポンプに組み込まれた状態の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明に係る送液ポンプの好ましい実施形態として、バックアップリングのポンプボディ側の面の中央部にプランジャ通過孔と同程度又はそれよりも大きい凹部が、液通過構造として設けられ、その凹部の中央に貫通孔が設けられているものが挙げられる。この構造により、洗浄空間から流出した洗浄液がプランジャシールにより近い位置に貯留されるようになり、プランジャシールに洗浄液が供給されやすくなる。
【００１７】
また、バックアップリングの貫通孔の内周面に、液通過構造として、洗浄空間からの洗浄液を通過させる溝が設けられていてもよい。この構造により、バックアップリングの貫通孔にプランジャシールが入り込むことを防止しつつ洗浄液をプランジャシールに供給することができる。
【００１８】
また、バックアップリングの貫通孔は、液通過構造として、ポンプボディ側がプランジャ通過孔と同程度又はそれよりも大きい内径を有し、プランジャシール側へいくにしたがって内径が小さくなるように内周面が傾斜しているものであってもよい。すなわち、バックアップリングの貫通孔がテーパ状に形成されていれば、洗浄空間から流出した洗浄液がプランジャシールまで導かれやすくなる。
【００１９】
さらに、バックアップリングの貫通孔の内周面に、液通過構造として、親水性コーティングが施されていてもよい。そうすれば、洗浄液が貫通孔の内周面とプランジャの外周面との間の隙間を通過しやすくなり、プランジャシールに洗浄液が供給されやすくなる。
【００２０】
送液ポンプの一実施例について、図１を用いて説明する。
【００２１】
ポンプボディ２の先端にポンプヘッド８が装着されている。ポンプボディ２の先端部に洗浄チャンバ１２が設けられている。ポンプボディ２内にはクロスヘッド４が移動可能に収容されている。クロスヘッド４はバネなどの弾性体６によってポンプヘッド８から遠ざかる方向（図において右方向）へ付勢され、クロスヘッド４の基端部側に設けられたカム（図示は省略）の周面に追従する。これにより、クロスヘッド４はポンプボディ２内において一方向（図において左右方向）へ往復動する。クロスヘッド４を一方向へ往復動させる機構（プランジャ駆動機構）としては、カム機構のほか、送りねじなどを利用した直動機構が挙げられる。
【００２２】
クロスヘッド４の先端にプランジャ３の基端部が保持されている。プランジャ３の先端部は、洗浄チャンバ１２を貫通してポンプボディ２の先端面からポンプヘッド８側へ突出し、ポンプヘッド８の内部に設けられたポンプ室８ａに挿入されている。プランジャ３の先端部はクロスヘッド４の往復動によりポンプ室８ａの壁面に沿って摺動する。
【００２３】
ポンプヘッド８には、ポンプ室８ａに液を流入させる入口流路８ｂとポンプ室８ａから液を流出させる出口流路８ｃが設けられている。入口流路８ｂ及び出口流路８ｃは逆止弁９ａ，９ｂに通じている。図１では、ポンプヘッド８の内部に逆止弁９ａ及び９ｂが設けられているように表されているが、ポンプヘッド８の外部に別途設けられていてもよい。
【００２４】
ポンプ室８ａはポンプヘッド８のポンプボディ２側の面に、プランジャ３の先端部を挿入させる開口を有し、その開口がプランジャシール１０によって封止されている。プランジャシール１０はプランジャ３を貫通させる貫通孔を有し、その貫通孔の内周面でプランジャ３の外周面を摺動可能に保持しつつ、ポンプ室８ａからの液漏れを防止するリング状の弾性部材である。プランジャシール１０は、ポンプヘッド８のポンプボディ２側の面に設けられた凹部に嵌め込まれ、ポンプヘッド８に装着されている。
【００２５】
プランジャシール１０の背面側（ポンプボディ２側）にバックアップリング１１が設けられている。バックアップリング１１はポンプボディ２の先端面、すなわち洗浄チャンバ１２のポンプヘッド８側の面とプランジャシール１０との間に介在するリング状の部材である。バックアップリング１１は、洗浄チャンバ１２のポンプヘッド８側の面（ポンプボディ２の先端面）によって支持されている。バックアップリング１１は、例えばＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂やステンレスからなるものである。
【００２６】
洗浄チャンバ１２は内部に洗浄空間１３を有し、その洗浄空間１３をプランジャ３が貫通している。洗浄チャンバ１２の洗浄空間１３には洗浄液が流れるようになっており、洗浄空間１３を貫通するプランジャ３の外周面の洗浄を行なうようになっている。洗浄チャンバ１２のポンプヘッド側の面（ポンプヘッド２の先端面）に、プランジャを貫通させるプランジャ通過孔１４が設けられている。プランジャ通過孔１４は、プランジャ３の外周面との間に、洗浄空間１３を流れる洗浄液がバックアップリング１１側へ流出することができる程度、例えば０．１ｍｍ程度の隙間が形成される大きさの内径を有する。
【００２７】
バックアップリング１１には、洗浄空間１３から流出してきた洗浄液をプランジャシール１０側へ導く液通過構造が設けられている。液通過構造については後述する。
【００２８】
この実施例の送液ポンプの動作について説明すると、プランジャ３がポンプ室８ａ内から引き出される方向（図において右方向）へ駆動されると、ポンプ室８ａ内が減圧され、逆止弁９ｂが閉じて逆止弁９ａが開き、入口流路８ｂから液が吸入される。逆に、プランジャ３がポンプ室８ａ内へ押し込まれる方向（図において左方向。）へ駆動されると、ポンプ室８ａ内が加圧され、逆止弁９ａが閉じて逆止弁９ｂが開き、ポンプ室８ａから出口流路８ｃを通じて液が吐出される。この吸入動作と吐出動作が交互に連続的に行なわれることで、送液が行われる。
【００２９】
液通過構造を有するバックアップリング１１の例を図２から図６に示す。
【００３０】
図２に示されたバックアップリング１１ａは、洗浄チャンバ１２側の面における中央部に、洗浄チャンバ１２のプランジャ通過孔１４と同程度の内径を有する凹部２０が、液通過構造として設けられている。凹部２０の底面中央部にプランジャ３を貫通させる貫通孔１８が設けられている。なお、凹部２０の内径はプランジャ通過孔１４よりも大きくてもよい。
【００３１】
貫通孔１８は、貫通孔１８の内周面とプランジャ３の外周面との間に、プランジャシール１０の一部が入り込まない程度、例えば０．０１ｍｍ程度の隙間が形成されるような大きさの内径を有する。貫通孔１８の幅（プランジャ３の軸方向の長さ）は、プランジャシール１０側からの圧力に耐えうる最小限度の大きさであることが好ましい。最小限度の大きさの幅とは、例えばバックアップリング１１ａがＰＥＥＫ樹脂からなるものである場合には１ｍｍ程度、バックアップリング１１ａがステンレスからなるものである場合には０．５ｍｍ程度の幅である。
【００３２】
かかる構造により、貫通孔１８の直近の位置に設けられた凹部２０内に、洗浄空間１３からプランジャ通過孔１４の隙間を通じて流出してきた洗浄液が貯留され、その洗浄液が必要最小限度の幅で形成された貫通孔１８を通過してプランジャシール１０側へ供給されやすくなる。プランジャシール１０側へ供給された洗浄液は、プランジャ３の外周面とプランジャシール１０の内周面との間に入り込んで潤滑剤となり、プランジャ３とプランジャシール１０との間における摩擦係数が低減され、プランジャシール１０の摩耗や劣化が抑制される。
【００３３】
図３に示されたバックアップリング１１ｂは、中央部にプランジャ３を貫通させる貫通孔２１が設けられている。貫通孔２１は、貫通孔２１の内周面とプランジャ３の外周面との間に、プランジャシール１０の一部が入り込まない程度、例えば０．０１ｍｍ程度の隙間が形成されるような大きさの内径を有する。貫通孔２１の内周面の複数の箇所に、バックアップリング１１ｂの洗浄チャンバ１２側の面からプランジャシール１０側の面にまで通じる溝２２が、液通過構造として設けられている。
【００３４】
貫通孔２１の内周面に溝２２が設けられていることにより、プランジャ通過孔１４の隙間を通じて流出してきた洗浄液が溝２２を通ってプランジャシール１０に供給され、プランジャ３とプランジャシール１０との間における摩擦係数が低減され、プランジャシール１０の摩耗や劣化が抑制される。
【００３５】
図４に示されたバックアップリング１１ｃは、液通過構造として、プランジャ３を貫通させるための貫通孔２４の内周面が、洗浄チャンバ１２側からプランジャシール１０側へいくにしたがって内径が小さくなるように傾斜している。貫通孔２４の洗浄チャンバ１２側の内径はプランジャ通過孔１４の内径と同程度かそれ以上の大きさである。貫通孔２４のプランジャシール１０側の内径は、プランジャシール１０の一部が入り込まない程度、例えば０．０１ｍｍ程度の隙間が形成されるような大きさである。
【００３６】
このように、貫通孔２４を、洗浄チャンバ１２側が大きく開口するようにテーパ状にすることで、プランジャ通過孔１４の隙間を通じて流出してきた洗浄液がプランジャシール１０に到達しやすくなり、プランジャ３とプランジャシール１０との間における摩擦係数が低減され、プランジャシール１０の摩耗や劣化が抑制される。
【００３７】
図５に示されたバックアップリング１１ｄは、液通過構造として、プランジャ３を貫通させる貫通孔の内周面に親水性コーティング２６が施されている。親水性コーティング２６としては、プラズマＣＶＤ法により形成された酸化チタン薄膜や塗布された親水性ポリマー薄膜が挙げられる。
【００３８】
バックアップリング１１ｄの貫通孔の内径は、プランジャシール１０の一部が入り込まない程度、例えば０．０１ｍｍ程度の隙間が形成されるような大きさであるが、内周面に親水性コーティング２６が施されていることにより、洗浄液がプランジャシール１０側へ導かれやすくなり、プランジャ３とプランジャシール１０との間における摩擦係数が低減され、プランジャシール１０の摩耗や劣化が抑制される。
【００３９】
なお、親水性コーティング２６を、図２から図４に示したバックアップリング１１ａ−１１ｃの貫通孔の内周面に施してもよい。図６は図２のバックアップリング１１ａの貫通孔１８及び凹部２０の内周面に親水性コーティング２６を施した例を示している。このように、貫通孔１８及び凹部２０の内周面に親水性コーティング２６を施すことで、プランジャシール１０への洗浄液の供給がさらに促され、プランジャシール１０の摩耗や劣化の抑制効果が向上する。
【符号の説明】
【００４０】
２      ポンプボディ
３      プランジャ
４      クロスヘッド
６      弾性体
８      ポンプヘッド
８ａ      ポンプ室
８ｂ      入口流路
８ｃ      出口流路
９ａ，９ｂ      逆止弁
１０      プランジャシール
１１，１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ      バックアップリング
１２      洗浄チャンバ
１３      洗浄空間
１４      プランジャ通過孔
１８，２１，２４      貫通孔
２０      凹部
２２      溝
２６      親水性コーティング
【図１】
0006447384.tif 000002
【図２】
0006447384.tif 000003
【図３】
0006447384.tif 000004
【図４】
0006447384.tif 000005
【図５】
0006447384.tif 000006
【図６】
0006447384.tif 000007