【事件の表示】
　特許第３４１４９１６号「基板処理装置および方法」の請求項１〜７に係る発明についての特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３４１４９１６号の請求項１〜７に係る発明についての特許を維持する。
【理　由】
１．本件発明
　本件特許第３４１４９１６号（平成８年２月２７日出願、平成１５年４月４日設定登録）の請求項１〜７に係る発明（以下それぞれを、「本件発明１」等という。）は、その特許請求の範囲の請求項１〜７に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】　基板に所定の処理液を付与することによって回転処理を行う基板処理装置において、
　(a) 前記基板を載置して回転させる回転台と、
　(b) 前記回転台上に設けられ、前記基板を前記回転台から離間して水平に支持する基板支持部材と、
　(c) 前記所定の処理液を前記基板に付与する第１のノズルと、
　(d) 前記第１のノズルからの所定の処理液の付与によって前記基板の周縁部に付着した液膜を洗浄するための洗浄液を吐出する第２のノズルと、
　を備え、前記回転台から前記基板を外した状態で前記回転台を回転させつつ、前記第２のノズルからの洗浄液の吐出によって前記回転台の周縁部を洗浄することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】　基板に所定の処理液を付与することによって回転処理を行う基板処理装置において、
　(a) 前記基板を載置して回転させる回転台と、
　(b) 前記回転台上に設けられ、前記基板を前記回転台から離間して水平に支持する基板支持部材と、
　(c) 前記所定の処理液を前記基板に付与する第１のノズルと、
　(d) 前記第１のノズルからの所定の処理液の付与によって前記基板の周縁部に付着した液膜を洗浄するための洗浄液を吐出する第２のノズルと、
　(e) 前記回転台の周囲に配置され、前記回転処理中に前記基板から飛散した前記処理液を回収するカップとを備え、
　前記回転台は、前記回転台の周縁部に前記回転台の中心側から前記カップ側に向けて前記洗浄液を案内する洗浄液案内部を有し、
　前記第２のノズルから前記回転台における前記洗浄液案内部の入口よりも前記回転台の中心側に前記洗浄液を吐出することによって前記カップを洗浄することを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】　請求項１記載の基板処理装置において、
　(e) 前記回転台の周囲に配置され、前記回転処理中に前記基板から飛散した前記処理液を回収するカップ、
　をさらに備え、
　前記回転台は、前記回転台の周縁部に前記回転台の中心側から前記カップ側に向けて前記洗浄液を案内する洗浄液案内部を有し、
　前記第２のノズルから前記回転台における前記洗浄液案内部の入口よりも前記回転台の中心側に前記洗浄液を吐出することによって前記カップを洗浄し、前記第２のノズルから前記回転台における前記洗浄液案内部の入口より前記カップ側に前記洗浄液を吐出することによって前記回転台の周縁部を洗浄することを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】　請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、
　前記回転台が、前記回転処理中に前記基板の裏面を洗浄するための洗浄液を供給する第３のノズルを有することを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】　請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置において、
　(f) 前記第２のノズルからの洗浄液を前記回転台の周縁部において走査させる走査手段をさらに備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】　回転台上に設けられた基板支持部材によって、基板を前記回転台から離間して水平に支持し、前記基板に所定の処理液を付与することによって回転処理を行う基板処理方法において、
　(a) 第１のノズルから前記基板に前記所定の処理液を付与する処理液付与工程と、
　(b) 第２のノズルから洗浄液を供給し、前記第１のノズルからの所定の処理液を付与した前記回転処理により前記基板の周縁部に付着した液膜を洗浄する基板周縁部洗浄工程と、
　(c) 前記回転台から前記基板を外し、前記回転台を回転させつつ、前記第２のノズルから洗浄液を吐出することによって前記回転台の周縁部を洗浄する回転台洗浄工程と、
　を備えることを特徴とする基板処理方法。
【請求項７】　請求項６記載の基板処理方法において、
　前記回転台の中心側から前記回転台の周囲に配置されたカップ側に向けて前記洗浄液を案内する洗浄液案内部が前記回転台の周縁部に設けられており、前記方法は、
　(d) 前記洗浄液案内部の入口よりも前記中心側に前記第２のノズルから洗浄液を供給して前記カップを洗浄するカップ洗浄工程、
　をさらに備えたことを特徴とする基板処理方法。」
　
２．申立ての理由の概要
　申立人早苗道弘は、証拠として甲第１号証（特開平５−１６００１７号公報）、甲第２号証（特開平５−２５９０６０号公報）及び甲第３号証（特開昭６３−１９３５２９号公報）を提示し、本件発明１〜７についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、取り消すべき旨主張している。
　
３．甲第１〜３号証記載の発明
（１）甲第１号証には、段落【００２３】〜【００２９】の記載からみて、
「基板に所定の処理液を付与することによって回転処理を行う基板処理装置において、
　(a) 前記基板を載置して回転させる回転台と、
　(b’) 前記回転台上に設けられ、前記基板を例えば真空吸着して前記回転台に水平に支持する基板支持部材と、
　(c) 前記所定の処理液を前記基板に付与する第１のノズルと、
　(d’)カップを洗浄するための洗浄液を吐出する第２のノズルと、
　(e) 前記回転台の周囲に配置され、前記回転処理中に前記基板から飛散した前記処理液を回収するカップと、を備え、
　前記回転台は、前記回転台の周縁部に前記回転台の中心側から前記カップ側に向けて前記洗浄液を案内する洗浄液案内部を有し、
　前記第２のノズルから前記回転台における前記洗浄液案内部の入口よりも前記回転台の中心側に前記洗浄液を吐出することによって前記カップを洗浄する基板処理装置、及び、当該基板処理装置を使用する基板処理方法」の発明（以下、「甲第１号証記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
（２）甲第２号証には、段落【０００３】、【００１１】〜【００１７】の記載からみて、
「基板に所定の処理液を付与することによって回転処理を行う基板処理装置において、
　(a) 前記基板を載置して回転させる回転台と、
　(b’) 前記回転台上に設けられ、前記基板を例えば真空吸着して前記回転台に水平に支持する基板支持部材と、
　(c) 前記所定の処理液を前記基板に付与する第１のノズルと、
　(d’)基板の裏面を洗浄するための洗浄液を吐出する第２のノズルと、
　(e) 前記回転台の周囲に配置され、前記回転処理中に前記基板から飛散した前記処理液を回収するカップと、を備え、
　前記第２のノズルから基板の裏面に前記洗浄液を吐出することによって前記カップを洗浄する基板処理装置」の発明（以下、「甲第２号証記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
（３）甲第３号証には、第２頁右上欄１９行〜同頁右下欄１６行の記載からみて、
「基板に弗化水素酸希釈液あるいは純水からなる洗浄液を付与することによって回転処理を行う基板洗浄装置において、
　(a) 前記基板を載置して回転させる回転台と、
　(b) 前記回転台上に設けられ、前記基板を前記回転台から離間して水平に支持する基板支持部材と、
　(c) 前記洗浄液を前記基板に付与する複数のノズルと、
　を備えた基板洗浄装置」の発明（以下、「甲第３号証記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
　
４．本件発明１についての判断
　本件発明１と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者は、以下の点で相違し、残余の点で一致する。
〈相違点１〉前者は、基板支持部材が基板を回転台から離間して水平に支持するのに対して、後者は、基板支持部材が基板を例えば真空吸着して回転台に水平に支持する点。
〈相違点２〉前者は、回転台の周縁部も洗浄する、第１のノズルからの所定の処理液の付与によって基板の周縁部に付着した液膜を洗浄するための洗浄液を吐出するノズルを備えるのに対して、後者は、回転台の周縁部も洗浄する、第１のノズルからの所定の処理液の付与によって基板の周縁部に付着した液膜を洗浄するための洗浄液を吐出するノズルを備えていない点。
　そこで、まず相違点２について検討するに、本件発明１の上記相違点２に係る発明特定事項は、甲第２、３号証に、記載も示唆もされていない。
　そして、本件発明１は、当該事項を発明特定事項として備えることにより、本件特許明細書記載の優れた作用効果を奏していると認められる。
　したがって、本件発明１は、相違点１について検討するまでもなく、甲第１〜３号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　
５．本件発明２についての判断
　本件発明２と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者は、以下の点で相違し、残余の点で一致する。
〈相違点１〉前者は、基板支持部材が基板を回転台から離間して水平に支持するのに対して、後者は、基板支持部材が基板を例えば真空吸着して回転台に水平に支持する点。
〈相違点３〉前者は、カップも洗浄する、第１のノズルからの所定の処理液の付与によって基板の周縁部に付着した液膜を洗浄するための洗浄液を吐出するノズルを備えるのに対して、後者は、カップも洗浄する、第１のノズルからの所定の処理液の付与によって基板の周縁部に付着した液膜を洗浄するための洗浄液を吐出するノズルを備えていない点。
　そこで、まず相違点３について検討するに、本件発明２の上記相違点３に係る発明特定事項は、甲第２、３号証に、記載も示唆もされていない。
　そして、本件発明２は、当該事項を発明特定事項として備えることにより、本件特許明細書記載の優れた作用効果を奏していると認められる。
　したがって、本件発明２は、相違点１について検討するまでもなく、甲第１〜３号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　
６．本件発明３〜５についての判断
　本件発明３〜５は、本件発明１又は本件発明２を、さらに他の発明特定事項を付加して限定したものである。
　したがって、本件発明３〜５も、本件発明１又は本件発明２と同様の理由から、甲第１〜３号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　
７．本件発明６、７についての判断
　本件発明６と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者は、上記相違点１、２と実質上同一の点で相違する。また、本件発明７は、本件発明６を、さらに他の発明特定事項を付加して限定したものである。
　したがって、本件発明６、７も、本件発明１又は本件発明２と同様の理由から、甲第１〜３号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　
８．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１〜７についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜７についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年８月２６日（２００４．８．２６）