【事件の表示】
　特許第３２６４２２７号「光ファイバ用母材の製造方法」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２６４２２７号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．訂正の適否についての判断
１−１．訂正の内容
　平成１６年１月２８日になされた訂正の内容は、以下のとおりである。
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の、
「【請求項１】　バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスと酸素ガスを、上記バーナの互いに隣接したポートからそれぞれ供給することを特徴とする光ファイバ用ガラス母材の製造方法。」
という記載を、
「【請求項１】　バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．１〜１．０であることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。」
と訂正する。
訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２の、
「【請求項２】　上記バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出させることを特徴とする請求項１記載の光ファイバ用母材の製造方法。」
という記載を、
「【請求項２】　バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０であることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。」
と訂正する。
訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項３の、
「【請求項３】　上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させることを特徴とする請求項１記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法。」
という記載を、
「【請求項３】　バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０であることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。」
と訂正する。
訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の請求項４を削除する。
訂正事項ｅ
　願書に添付した明細書段落【０００４】第６行〜第７行（特許第３２６４２２７号公報第２ページ第３欄第４２行〜第４３行）の「特開昭６−２４７７２２号公報」という記載を、「特開平６−２４７７２２号公報」と訂正する。
訂正事項ｆ
　願書に添付した明細書段落【０００７】（特許第３２６４２２７号公報第２ページ第４欄第２８行〜第３ページ第５欄第１行）の
「【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決する手段として本発明は、（１）バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスと酸素ガスを、上記バーナの互いに隣接したポートからそれぞれ供給することを特徴とする光ファイバ用ガラス母材の製造方法、
　（２）上記バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出させることを特徴とする上記（１）記載の光ファイバ用母材の製造方法、
　（３）上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させることを特徴とする上記（１）記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法、及び
  （４）水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスにおいて、水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．１〜１．０であることを特徴とする上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の光ファイバ用母材の製造方法、を提供する。」
という記載を、
「【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決する手段として本発明は、（１）バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．１〜１．０であることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法、
　（２）バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０であることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法、及び
  （３）バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０であることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法、を提供する。」
と訂正する。
１−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、特許請求の範囲の訂正であって、具体的には、特許請求の範囲の請求項１において、
訂正事項（ａ−１）
　「上記水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスと酸素ガスを、上記バーナの互いに隣接したポートからそれぞれ供給する」
という記載を、
「上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．１〜１．０である」
と訂正し、更に
訂正事項（ａ−２）
　「光ファイバ用ガラス母材の製造方法」
という記載を、
「光ファイバ用母材の製造方法」
と訂正するものである。
　ここで、訂正事項（ａ−１）は、請求項１に係る発明において用いる「バーナ」を、「酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出」させる「同心円状の多重管からなるバーナ」に限定し、かつ、請求項１に係る発明において、「上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比」を「０．１〜１．０」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、願書に添付した明細書には、「上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させる」（【特許請求の範囲】【請求項３】）、「水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスにおいて、水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．１〜１．０である」（【特許請求の範囲】【請求項４】）と記載されているから、訂正事項（ａ−１）は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項（ａ−２）は、請求項１の「光ファイバ用ガラス母材」という記載を「光ファイバ用母材」と訂正するものであるが、訂正後の請求項１には、「ガラス母材を形成する方法において、」と記載されているから、訂正後の請求項１に係る発明が「光ファイバ用ガラス母材」の製造方法に係る発明であることは明らかであり、かつ、訂正後の請求項２には、「光ファイバ用母材の製造方法」と記載されているから、上記訂正事項（ａ−２）は、請求項１の記載を他の請求項の記載に整合させるものと云え、したがって明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、かつ願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、かつ願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ｂは、特許請求の範囲の訂正であって、具体的には、特許請求の範囲の請求項２において、
訂正事項（ｂ−１）
　「上記バーナとして」の前に「バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、」という記載を追加し、
訂正事項（ｂ−２）
　「混合ガスを噴出させることを」という記載を「混合ガスを噴出させ、」と訂正すると共に、「特徴とする」の前に「上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０であることを」という記載を追加し、更に
訂正事項（ｂ−３）
　「請求項１記載の」という記載を削除する
ものである。
　ここで、訂正事項（ｂ−１）及び（ｂ−３）は、請求項１が訂正されたことに伴って、請求項２を独立請求項とするためものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　そして、請求項２で引用する請求項１には、「バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、」と記載されているから、訂正事項（ｂ−１）及び（ｂ−３）は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項（ｂ−２）は、請求項２に係る発明において、「上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比」を「０．６〜１．０」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、願書に添付した明細書には、「水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスにおいて、水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．１〜１．０である」（【特許請求の範囲】【請求項４】）、「その際、コアバーナの構造として、図１に示すような断面形状を有するバーナを用い、第４ポート４ａから水素とアルゴン（流量比１：０．６）の混合ガスを噴出させ、第４ポート内に複数配置した細径のノズル４ｂから酸素ガスを噴出させた。」（特許明細書段落【００１３】第１０行〜第１３行、特許第３２６４２２７号公報第３ページ第６欄第３０行〜第３５行）と記載されているから、訂正事項（ｂ−２）は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項ｂは、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、かつ願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ｃは、特許請求の範囲の訂正であって、具体的には、特許請求の範囲の請求項３において、
訂正事項（ｃ−１）
　「上記バーナとして」の前に「バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、」という記載を追加し、
訂正事項（ｃ−２）
　「混合ガスを噴出させることを」という記載を「混合ガスを噴出させ、」と訂正すると共に、「特徴とする」の前に「上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０であることを」という記載を追加し、
訂正事項（ｃ−３）
　「請求項１記載の」という記載を削除し、更に
訂正事項（ｃ−４）
　「光ファイバ用ガラス母材の製造方法」
という記載を、
「光ファイバ用母材の製造方法」
と訂正するものである。
　ここで、訂正事項（ｃ−１）及び（ｃ−３）は、請求項１が訂正されたことに伴って、請求項３を独立請求項とするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　そして、請求項３で引用する請求項１には、「バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、」と記載されているから、訂正事項（ｃ−１）及び（ｃ−３）は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項（ｃ−２）は、請求項３に係る発明において、「上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比」を「０．６〜１．０」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、特許明細書には、「水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスにおいて、水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．１〜１．０である」（【特許請求の範囲】【請求項４】）、「その際、コアバーナの構造として、図１に示すような断面形状を有するバーナを用い、第４ポート４ａから水素とアルゴン（流量比１：０．６）の混合ガスを噴出させ、第４ポート内に複数配置した細径のノズル４ｂから酸素ガスを噴出させた。」（特許明細書段落【００１３】第１０行〜第１３行、特許公報第３ページ第６欄第３０行〜第３５行）と記載されているから、訂正事項（ｃ−２）は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項（ｃ−４）は、請求項３の「光ファイバ用ガラス母材」という記載を「光ファイバ用母材」と訂正するものであるが、訂正後の請求項３には、「ガラス母材を形成する方法において、」と記載されているから、訂正後の請求項３に係る発明が「光ファイバ用ガラス母材」の製造方法に係る発明であることは明らかであり、かつ、訂正後の請求項２には、「光ファイバ用母材の製造方法」と記載されているから、上記訂正事項（ｃ−４）の訂正は、請求項３の記載を他の請求項の記載に整合させるものと云え、したがって明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、かつ願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項ｃは、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、かつ願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ｄは、特許請求の範囲の訂正であって、訂正事項ａないし訂正事項ｃにより、特許請求の範囲の請求項１ないし請求項３が訂正されたことに伴って、特許請求の範囲の請求項４を削除するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、かつ願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ｅは、発明の詳細な説明の訂正であって、特許明細書段落【０００４】第６行〜第７行（特許第３２６４２２７号公報第２ページ第３欄第４２行）の「特開昭」という記載を、「特開平」と訂正するものであるから、誤記又は誤訳の訂正を目的とするものであって、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ｆは、発明の詳細な説明の訂正であって、訂正事項ａないし訂正事項ｄにより特許請求の範囲が訂正されたことに伴って、明細書の発明の詳細な説明における特許請求の範囲に対応する記載を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　そして、上記のとおり、訂正事項ａないし訂正事項ｄの訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであるから、訂正事項ｆの訂正もまた、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　そして、これらの訂正は、実質上特許請求の範囲の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
１−３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
２．特許異議申立についての判断
２−１．本件発明
　上記「１．訂正の適否についての判断」で示したように、平成１６年１月２８日になされた訂正は認められるから、訂正後の本件請求項１ないし請求項３に係る発明（以下、「本件訂正発明１」ないし「本件訂正発明３」という）は、上記訂正に係る訂正明細書（以下、「本件訂正明細書」という）の特許請求の範囲請求項１ないし請求項３に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】　バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．１〜１．０であることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。
【請求項２】　バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０であることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。
【請求項３】　バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０であることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。」
２−２．取消理由通知の概要
　当審が平成１５年２月２７日付けで通知した取消しの理由の概要は、
（１）本件の請求項１ないし請求項３に係る発明は、引用例１（特開平４−２０９７３０号公報、特許異議申立人伊藤　友義が提出した甲第１号証）に記載された発明であるか、または、上記発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号または同条第２項の規定により特許を受けることができない、
（２）本件特許請求の範囲の請求項３の「酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから…混合ガスを噴出させること」という記載は、意味が不明確であるから、上記請求項３の記載は、特許法第３６条第６項に規定する要件を満たしていない、
というものである。
２−３．取消理由通知で引用された刊行物の記載事項
　引用例１（特開平４−２０９７３０号公報、特許異議申立人伊藤　友義が提出した甲第１号証）には、以下の事項が記載されている。
（Ａ）「（１）中央のガラス原料ガス用ノズルと、その周囲の燃料ガス用ノズル及び助燃ガス用ノズルとを有するバーナを用いて酸水素火炎中でガラス微粒子を生成し、これを付着・堆積させる光ファイバ母材の製造方法において、上記バーナの燃料ガス用ノズルに、原子・分子量が比較的大きく化学的に安定で取り扱いが容易なガスを燃料ガスに混合した混合ガスを送り込むことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。」（特許請求の範囲）
（Ｂ）「この発明は、酸水素火炎中にガラス原料を導入してガラス微粒子を生成し、これを付着・堆積させて光ファイバ母材を製造する方法に関する。」（第１ページ左下欄第１６行〜第１８行）
（Ｃ）「この発明は、上記に鑑み、火炎を集束させるとともに安定化させ、もってガラス微粒子堆積速度と堆積効率とを向上させることができる、光ファイバ母材の製造方法を提供することを目的とする。」（第２ページ左上欄第１３行〜第１６行）
（Ｄ）「以下、この発明の一実施例について図面を参照しながら詳細に説明する。第１図及び第２図はこの発明の一実施例にかかる光ファイバ母材の製造方法で用いるマルチノズルタイプのバ−ナを示すもので、第１図は先端付近の横断面図、第２図は縦断面図である。
　これら第１図、第２図において、大径ノズル１の中に、複数の小径のノズル２、３が配置されている。小径ノズル２は周辺部分に８本配置されている。中央に２本配置された小径のノズル３は二重ノズルであって、外側ノズル３１と内側ノズル３２とを備える。第２図に示すように、大径ノズル１は先端にきて絞られており、中央の２本の二重ノズル３は直線状に伸びているが、その周囲の８本の小径ノズル２は内側に向けて曲げられている。
　中央の２本の二重ノズル３の各々の内側ノズル３２は、四塩化珪素などのガラス原料ガスを吹き出すためのノズルとなっており、それらの外側ノズル３１はアルゴンなどのシールガスの吹き出し口となっている。また、周囲の８本の小径ノズル２からは助燃ガス、ここでは酸素が吹き出される。そして、大径ノズル１の、これら小径ノズル２、二重ノズル３を除いた部分は、燃料ガス用のノズルであり、ここでは燃料ガスである水素に、水素と比較して原子・分子量が大きくて重く、化学的に安定で、しかも取り扱いに関しても容易な、たとえば二酸化炭素、窒素、アルゴンなどのガスを混合したガスを吹き出すようにしている。このガスの混合は、図示しないが、第１図、第２図で示されたバーナに水素が入る手前であらかじめ行われる。」（第２ページ左下欄第８行〜右下欄第１９行）
（Ｅ）「とくに外付けＶＡＤ法においては、火炎を集束且つ安定化させることが、ガラス微粒子を回転するターゲットの周囲に付着・堆積させるときの、堆積速度アップ及び堆積効率の向上につながるので、その効果はきわめて大きい。
　実際、このことはつぎのような実験でも確かめられている。ここでは、第１図、第２図に示したバーナの大径ノズル１から吹き出す水素ガスに二酸化炭素ガスを混合させて外付けＶＡＤ法によりガラス微粒子の堆積を行うこととした。そして、その大径ノズル１に送り込む水素ガスと二酸化炭素ガスの流量比を変えてみて、ガラス微粒子の付着速度（ｇ／分）を測定する。この実験で得られた、ガス流量比と付着速度との関係についてのデータから、第３図に示すようなグラフが得られた。これから、二酸化炭素の水素に対する流量比が２０％になると、二酸化炭素を流さない場合（二酸化炭素の水素に対する流量比が０％の場合）に比較して、付着速度が２０％ほど高まることが分かる。」（第３ページ右上欄第１行〜第２０行）
２−４．対比、判断
２−４−１．取消の理由（１）について
（ｉ）本件訂正発明１について
　引用例１（Ａ）の記載からみて、引用例１には、「中央のガラス原料ガス用ノズルと、その周囲の燃料ガス用ノズル及び助燃ガス用ノズルとを有するバーナを用いて酸水素火炎中でガラス微粒子を生成し、これを付着・堆積させる光ファイバ母材の製造方法において、上記バーナの燃料ガス用ノズルに、原子・分子量が比較的大きく化学的に安定で取り扱いが容易なガスを燃料ガスに混合した混合ガスを送り込むことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法」が記載されている。
　また、引用例１（Ｂ）及び（Ｃ）の記載からみて、引用例１に記載された発明は、「酸水素火炎中にガラス原料を導入してガラス微粒子を生成し、これを付着・堆積させて光ファイバ母材を製造する方法」に関するものであり、「火炎を集束させるとともに安定化させ、もってガラス微粒子堆積速度と堆積効率とを向上させることができる、光ファイバ母材の製造方法を提供すること」を目的とするものであるから、「バーナを用いて酸水素火炎中でガラス微粒子を生成し、これを付着・堆積させる光ファイバ母材の製造方法」に係るものと云える。
　ここで、引用例１（Ｄ）及び（Ｅ）の記載からみて、上記方法に用いられる「バーナ」は、「大径ノズル１」の中に、複数の「小径のノズル２、３」が配置されており、「小径ノズル２」は周辺部分に８本配置され、一方中央に２本配置された「小径のノズル３」は二重ノズルであり、「外側ノズル３１」と「内側ノズル３２」とを備えるものであって、中央の２本の「二重ノズル３」の各々の「内側ノズル３２」は、四塩化珪素などの「ガラス原料ガス」を吹き出すためのノズルとなっており、「外側ノズル３１」は、アルゴンなどの「シールガス」の吹き出し口となっており、周囲の８本の「小径ノズル２」からは、「助燃ガス」、ここでは酸素が吹き出され、「大径ノズル１」の、これら「小径ノズル２」、「二重ノズル３」を除いた部分は、「燃料ガス」用のノズルであり、ここでは「燃料ガス」である「水素」に、「水素と比較して原子・分子量が大きくて重く、化学的に安定で、しかも取り扱いに関しても容易な、たとえば二酸化炭素、窒素、アルゴンなどのガスを混合したガス」を吹き出すようにしているものである。
　そして、引用例１に記載された「光ファイバ母材の製造方法」は、上記「バーナ」の「酸水素火炎」中で生成する「ガラス微粒子」を、回転する「ターゲット」の周囲に付着・堆積させるものであって、その際、二酸化炭素の水素に対する流量比が２０％になると、二酸化炭素を流さない場合（二酸化炭素の水素に対する流量比が０％の場合）に比較して、付着速度が２０％ほど高まるものである。
　そうすると、引用例１に記載された「光ファイバ母材の製造方法」に用いられる「バーナ」は、「大径ノズルの中に、複数の小径ノズル及び二重ノズルが配置された構造」を有するものであり、「小径ノズル」からは「助燃ガス」を吹き出させ、「大径ノズル」の、「小径ノズル」及び「二重ノズル」を除いた部分からは、「燃料ガス」を吹き出させるものである。
　そして、引用例１（Ｄ）及び（Ｅ）の記載からみて、上記「助燃ガス」は「酸素」であり、「燃料ガス」は、「燃料ガス」である「水素」に、「水素と比較して原子・分子量が大きくて重く、化学的に安定で、しかも取り扱いに関しても容易な、たとえば二酸化炭素、窒素、アルゴンなどのガスを混合したガス」であるから、引用例１に記載された「光ファイバ母材の製造方法」に用いられる「バーナ」においては、「小径ノズル」からは「酸素」が、「大径ノズル」の「小径ノズル」及び「二重ノズル」を除いた部分からは、「水素に、水素と比較して原子・分子量が大きくて重く、化学的に安定で、しかも取り扱いに関しても容易な、たとえば二酸化炭素、窒素、アルゴンなどのガスを混合したガス」が、それぞれ吹き出し、その際、「二酸化炭素」の「水素」に対する流量比が２０％になると、「ガラス微粒子」の「ターゲット」への付着速度が２０％ほど高まるものである
　そこで、引用例１に記載された発明を、本件訂正発明１の記載ぶりに則って整理すると、引用例１には、
「バーナを用いて酸水素火炎中でガラス微粒子を生成し、これを付着・堆積させる光ファイバ母材の製造方法において、上記バーナとして、大径ノズルの中に、複数の小径ノズル及び二重ノズルが配置された構造を有するバーナを用い、小径ノズルからは酸素を吹き出させ、大径ノズルの、小径ノズル及び二重ノズルを除いた部分からは、水素に、原子・分子量が比較的大きく化学的に安定で取り扱いが容易な、たとえば二酸化炭素、窒素、アルゴンなどのガスを混合したガスを吹き出させ、上記混合したガスにおける、上記水素ガス流量に対する二酸化炭素の流量比を２０％とすることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法」
の発明が記載されていると云える。
　ここで、上記発明における「バーナ」を用いた「酸水素火炎」は、当該「バーナ」より噴出する「水素ガス」及び「酸素ガス」により形成されるものであり、かつ、引用例１（Ａ）、（Ｄ）、（Ｅ）の記載からみて、上記発明は、「酸水素火炎」に、「内側ノズル３２」から「ガラス原料ガス」を吹き出すことにより導入して、当該「酸水素火炎」中で「ガラス微粒子」を生成し、生成した「ガラス微粒子」は、「ターゲット」に付着・堆積して「ガラス母材」となるものであって、このときの「ターゲット」は、「ガラス母材」を製造する「出発材」となるものであるから、そうすると、「バーナを用いて酸水素火炎中でガラス微粒子を生成し、これを付着・堆積させる光ファイバ母材の製造方法」に係る上記発明は、「バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法」に係るものと云える。
　そして、引用例１（Ｄ）の記載からみて、「大径ノズル１」は、複数の「小径ノズル２」が内部に配置され、かつ「水素に、水素と比較して原子・分子量が大きくて重く、化学的に安定で、しかも取り扱いに関しても容易な、たとえば二酸化炭素、窒素、アルゴンなどのガスを混合したガス」が吹き出すものであるから、内部に複数の「小径ノズル２」が配置された「ポート」であると云え、上記「小径ノズル２」は、「大径ノズル１」よりも径が細いノズルであるから、「細径ノズル」と云える。
　したがって、上記「大径ノズル１」は、「複数の細径ノズルが配置されたポート」であると云えるから、上記発明において用いられる「バーナ」は、「複数の細径ノズルがポート内に配置された構造」を有するものと云える。
　また、引用例１（Ｄ）の記載からみて、上記「バーナ」の「小径ノズル２」からは、「助燃ガス」である「酸素」が吹き出されるから、上記「バーナ」は、「細径ノズルから酸素ガスを噴出」するものと云える。
　一方、引用例１（Ｄ）の記載からみて、上記「バーナ」の、「大径ノズル１」からは、「燃料ガス」である「水素」に、「水素と比較して原子・分子量が大きくて重く、化学的に安定で、しかも取り扱いに関しても容易な、たとえば二酸化炭素、窒素、アルゴンなどのガスを混合したガス」が吹き出され、かつ、「大径ノズル１」は「細径ノズルが配置されたポート」と云えるから、上記「バーナ」は、「細径ノズルが配置されたポート」から、「燃料ガスである水素に、原子・分子量が比較的大きく化学的に安定で取り扱いが容易な、たとえば二酸化炭素、窒素、アルゴンなどのガスを混合したガス」を噴出させるものと云える。
　そして、引用例１（Ｄ）の記載からみて、「原子・分子量が比較的大きく化学的に安定で取り扱いが容易なガス」は、たとえば「二酸化炭素、窒素、アルゴンなど」であり、これらは「不活性ガスまたは窒素ガス」であるから、上記発明における、「水素」に「原子・分子量が比較的大きく化学的に安定で取り扱いが容易な、たとえば二酸化炭素、窒素、アルゴンなどのガスを混合したガス」は、「水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガス」と云える。
　そうすると、上記「バーナ」は、「細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出」させるものと云える。
　更に、引用例１（Ｅ）の記載からみて、上記発明は、「二酸化炭素の水素に対する流量比が２０％になると、二酸化炭素を流さない場合（二酸化炭素の水素に対する流量比が０％の場合）に比較して、付着速度が２０％ほど高まる」ものであって、当該「二酸化炭素」は「水素」に混合される「不活性ガス」であるから、上記発明においては、「水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガス」における「水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比」が「２０％」であると云える。
　かつ、「光ファイバ母材の製造方法」は、「光ファイバ用母材の製造方法」であることは明らかであるから、そうすると、引用例１には、
「バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出させ、上記混合したガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が２０％であることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法」
の発明（以下、「引用例１発明」という）が記載されていると云える。
　そこで、本件訂正発明１と、引用例１発明とを比較すると、両者は、「バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する、光ファイバ用母材の製造方法」である点で一致し、
（１）前者においては、「バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出」させているのに対して、後者においては、「バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出」させている点、
（２）前者においては、「上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．１〜１．０である」のに対して、「上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が２０％である」点
で相違している。
　そうすると、本件訂正発明１と引用例１発明とは、相違点を有しているから、本件訂正発明１は、引用例１発明であるとは云えない。
　そこで、上記相違点について検討する
・相違点（１）について
　引用例１には、光ファイバ母材の製造に「バーナとして同心円状の多重管からなるバーナ」を用いることについて、記載も示唆もされておらず、かつそのことが周知の技術であることを示す証拠も提示されていない。
　また、光ファイバ母材の製造に「バーナとして同心円状の多重管からなるバーナ」を用いることが周知の技術であったとしても、引用例１には、「酸素ガスを噴出させるポート」に「隣接したポート」から、「水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出」させることにより、「ノズル先端の温度を低下してバーナ寿命を延長でき、しかも安定した火炎で多孔質体の嵩密度を好適な範囲内で光ファイバ用多孔質母材を合成できる」（本件訂正明細書段落【００１８】第２行〜第４行、特許第３２６４２２７号公報第４ページ第８欄第１４行〜第１７行）ことは記載されていないから、引用例１発明において、「ノズル先端の温度を低下してバーナ寿命を延長」し、「安定した火炎で多孔質体の嵩密度を好適な範囲内で光ファイバ用多孔質母材を合成」するために、光ファイバ母材の製造に「バーナとして同心円状の多重管からなるバーナ」を用い、更に「酸素ガスを噴出させるポート」に「隣接したポート」から、「水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出」させることを、当業者が容易になし得るとは云えない。
　そして、本件訂正発明１は、上記構成により本件訂正明細書記載の格別な効果を奏するものである。
　したがって、引用例１発明において、「バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出」させることを、引用例１の記載に基づいて当業者が容易になし得るとは云えない。
　故に、他の相違点について検討するまでもなく、本件訂正発明１を、引用例１発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
（ｉｉ）本件訂正発明２について
　（ｉ）に記載したとおり、引用例１には、
「バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出させ、上記混合したガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が２０％であることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法」
の発明（引用例１発明）が記載されていると云えるから、このことに基づいて本件訂正発明２と引用例１発明とを比較すると、両者は、「バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出させることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法」である点で一致し、前者においては、「混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０である」のに対して、後者においては「混合したガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が２０％である」点で相違している。
　そうすると、本件訂正発明２と引用例１発明とは、相違点を有しているから、本件訂正発明２は、引用例１発明であるとは云えない。
　そこで、上記相違点について検討する。
　本件訂正明細書には、「【実施例】以下に本発明の実施例を示す。〔実施例１〕ガラス製のコア合成用バーナ（以下、「コアバーナ」と略記する）とクラッド合成用バーナ（以下、「クラッドバーナ」と略記する）を配置し、それぞれのバーナに酸素ガスと水素ガスを供給して火炎を形成し、コアバーナにはガラス原料として四塩化ケイ素と四塩化ゲルマニウムを、クラッドバーナにはガラス原料として四塩化ケイ素のみをそれぞれ供給し、生成したガラス微粒子を回転するターゲットに軸方向に堆積させることにより、光ファイバ用多孔質母材を合成した。その際、コアバーナの構造として、図１に示すような断面形状を有するバーナを用い、第４ポート４ａから水素とアルゴン（流量比１：０．６）の混合ガスを噴出させ、第４ポート内に複数配置した細径のノズル４ｂから酸素ガスを噴出させた。なお、中心ポート１には四塩化ケイ素，四塩化ゲルマニウム及び水素ガスの混合ガスを、第２ポート２には水素ガスを、第３ポート３及び第５ポート５にはアルゴンガスを、第６ポート６には酸素ガスを供給した。」（段落【００１３】第１行〜第１５行、特許第３２６４２２７号公報第３ページ第６欄第２１行〜第３９行）、「本発明者等のバーナ寿命に関する実験によれば、バーナ先端の変形、蒸発する速度について本発明と従来法を比較したところ、アルゴンと水素の混合比（流量比）と、従来法による場合の消耗速度を１．０とする本発明による場合のバーナ消耗速度比に関して図７のグラフに示す結果を得た。図７より、本発明に従い不活性ガス（アルゴン）を水素ガスに添加することにより、バーナ先端が蒸発する速さが大幅に遅くなり、寿命が大幅に延びる効果が得られることが明らかにわかる。」（段落【００１７】第１行〜第７行、特許第３２６４２２７号公報第４ページ第７欄第３９行〜第８欄第８行）と記載されており、上記記載及び【図７】の記載からみて、本件訂正発明２は、「混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比」を「０．６〜１．０」とすることにより、「バーナ先端が蒸発する速さが大幅に遅くなり、寿命が大幅に延びる」ものである。
　一方、引用例１には、二酸化炭素の水素に対する流量比が２０％になると、付着速度が２０％ほど高まることは記載されているが、「混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比」と「バーナ」の「寿命」の関係については、記載も示唆もされていない。
　そうすると、引用例１発明において、「バーナ」の「寿命」を延ばすために、「混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比」を「０．６〜１．０」とすることを、引用例１の記載に基づいて当業者が容易になし得るとは云えない。
　故に、本件訂正発明２を、引用例１発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
（ｉｉｉ）本件訂正発明３について
　（ｉ）に記載したとおり、引用例１には、
「バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出させ、上記混合したガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が２０％であることを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法」
の発明（引用例１発明）が記載されていると云えるから、このことに基づいて本件訂正発明３と引用例１発明とを比較すると、両者は、「バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する、光ファイバ用母材の製造方法」である点で一致し、
（１）前者においては、「バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出」させているのに対して、後者においては、「バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出」ている点、
（２）前者においては、「上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０である」のに対して、「混合したガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が２０％である」点
で相違している。
　そうすると、本件訂正発明３と引用例１発明とは、相違点を有しているから、本件訂正発明３は、引用例１発明であるとは云えない。
　そこで、上記相違点について検討すると、上記相違点（１）は、（ｉ）で記載した相違点（１）と同一であり、そうすると、（ｉ）で記載したのと同じ理由により、引用例１発明において、「バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出」ことを、引用例１の記載に基づいて、当業者が容易になし得るとは云えない。
　故に、他の相違点について検討するまでもなく、本件訂正発明３を、引用例１発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
２−４−２．取消の理由（２）について
　本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項３は、上記２−１．に記載したとおりのものである。そして、当該請求項３の記載からみて、本件訂正発明３においては、光ファイバ用母材の製造方法において、「バーナ」として「同心円状の多重管」からなる「バーナ」を用い、「酸素ガスを噴出させるポート」に「隣接」した「ポート」から、「水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガス」を噴出してなるものであるが、「同心円状の多重管」からなる「バーナ」が、ガスを噴出する複数の「ポート」を有し、それらの「ポート」が「隣接」して設けられていることは明らかである。
　そして、上記請求項３の記載からみて、本件訂正発明３は、上記複数の「ポート」のうちの「酸素ガスを噴出させるポート」に「隣接」する「ポート」から、「水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガス」を噴出するものであることは明らかであるから、したがって、上記請求項３の記載が、特許法第３６条第６項の規定を満たしていないとは云えない。
　また、その他の特許異議申立理由及び証拠は、本件訂正発明１ないし本件訂正発明３を取り消すべき理由として採用することができない。
２−５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件訂正発明１ないし本件訂正発明３を取り消すことはできない。
　また、他に本件訂正発明１ないし本件訂正発明３についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年２月２４日（２００４．２．２４）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
光ファイバ用母材の製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、
上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．１〜１．０である
　【請求項２】　
バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０であることを特徴とする
　【請求項３】　
バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０であることを特徴とする
　【請求項４】　削除
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は光ファイバ用母材の製造方法に関するものであり、さらに詳しくはバーナを用いて火炎加水分解反応によりガラス微粒子を生成させ、これを堆積して多孔質ガラス母材を製造する方法の改良に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　光ファイバ用母材の製法の一つとしてＶＡＤ法（気相軸付法）が知られており、この方法ではガラス原料ガス、水素等の可燃性ガス、及び酸素等の助燃性ガスを光ファイバ用多孔質母材合成用バーナ（以下「バーナ」と略記する）から噴出し、形成される火炎中でガラス原料を火炎加水分解させることにより生成されるガラス微粒子を出発材表面に堆積させつつ、該バーナと出発材を相対的に移動させることによりガラス微粒子の堆積体（多孔質体）を形成してゆく。得られた多孔質母材は加熱透明化して光ファイバ用ガラス母材とする。
　例えば図４に概略断面図を示すような同心円状ポートを有する多重管バーナを用い、中心から順にガラス原料４１、水素ガス４２、酸素ガス４４を流す。このときガス４２と酸素ガス４４の間には一般にＡｒ等の不活性ガス４３をシールガスとして流すことが行われている。これは、バーナのノズル出口付近で酸水素火炎が発生すると、ノズルがその高温により変形したり、バーナ成分が不純物として飛散したりするのを防止するためである。
　【０００３】
　図４のタイプのバーナを用いて製造する多孔質体中心部のカサ密度を高くするために、表面温度分布の最高温度を高くしようとすると、ガラス微粒子の堆積効率が著しく悪化するという問題があり、これを解決する手段として、最終的にコアとなる多孔質体の中心部分を、図５に概略断面図を示すような水素供給用の外側ポート５３の内部に複数の酸素供給用の細径ノズル５４が配置されたバーナを用いて合成する方法が提案されている（文献▲１▼：特開昭６２−１８２１２９号公報）。図５において、中心ポート５１にはガラス原料、その外側のシールガスポート５２にはアルゴン等の不活性ガスを流している。
　【０００４】
　また、シールガスを用いずにバーナの劣化を抑制することを目的として、図６に概略断面図を示すバーナにおいて、中心ポート６１にはガラス原料ガスと酸素の混合ガス、水素供給ポート６２には水素ガス、酸素供給用外側ポート６３及び細径ノズル６４には酸素ガスを供給するが、水素ガスと酸素ガスをガス噴出口において１ｍｍ以下の間隔で隣接して供給し、酸素ガスのノズル出口における平均流速を５ｍ／ｓｅｃ以上、１０ｍ／ｓｅｃ以下にする方法も提案されている（文献▲２▼：特開
平
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記のように光ファイバ用多孔質母材合成用バーナにおいて、互いに隣接したポートから酸素と水素を噴出させる場合は、その間のノズル先端部が加熱されやすく、加熱によりノズル先端部が変形し、バーナの寿命を短くしてしまうこと、さらにノズル先端の温度が上昇すると、バーナ構成材料が蒸発し、ガラス母材への不純物混入を引き起こすため、光ファイバの品質を低下させてしまう。一方、ノズル先端部を保護するため、酸素ノズルの周囲にシールガスのポートを設け、不活性ガスを流す方法も考えられるが、バーナ構造が複雑で高価になることから光ファイバの製造コストを増加させてしまう問題があった。
　【０００６】
　文献▲２▼の方法はこのような問題点の解消を目指して、ノズルの厚みを薄くすることによりガスの流れを整え、かつノズルからの酸素噴出速度を大きくすることにより燃焼反応がノズルから離れたところで進むようにしているが、バーナに点火又は消火する場合のように流速が低下するときには、高速の流速を保てない。また、多孔質母材の合成時でも、酸素ノズルの流速を増加させることによりノズル先端温度は低下するものの、充分ではなく、その効果は小さい。
　さらに、酸素ノズルの流速のみを増加させる場合、ノズル周囲の水素噴出流速と差が大きくなって、ガスの流れに乱れが生じ、安定に多孔質母材を合成することができないといった問題もある。また、火炎の乱れを抑えるために水素の流速を増加させると、堆積面の温度が上昇してしまい、嵩密度の大きな多孔質体となって、脱水焼結時に充分脱水されないといった問題がある。
　このような現状に鑑み、バーナ構造がより簡単なものを用いて、ノズル先端の温度を低下でき、安定に多孔質母材を製造できることにより、生産コストを低減できるような光ファイバ用母材の製造方法を提供しようとするものである。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決する手段として本発明は、（１）バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、
上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．１〜１．０である
　（２）　
バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして複数の細径ノズルがポート内に配置された構造を有するバーナを用い、該細径ノズルから酸素ガスを噴出し、該細径ノズルが配置されたポートから水素ガスと不活性ガスまたは窒素ガスの混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０であることを特徴とする
　（３）　
バーナより噴出する水素ガス及び酸素ガスにより形成される酸水素火炎中にガラス原料を導入し、生成するガラス微粒子を出発材に堆積させてガラス母材を形成する方法において、上記バーナとして同心円状の多重管からなるバーナを用い、酸素ガスを噴出させるポートに隣接したポートから水素ガスに不活性ガスまたは窒素ガスを添加してなる混合ガスを噴出させ、上記混合ガスにおける上記水素ガス流量に対する不活性ガスまたは窒素ガスの流量の比が０．６〜１．０であることを特徴とする
　【０００８】
　【発明の実施の形態】
　本発明者らは上記課題に鑑み、安定な火炎を形成しつつノズル先端部の温度を低下させる方法として、酸素ノズルに隣接したポートから噴出される水素ガスにアルゴン，ヘリウムなどの不活性ガスまたは窒素ガスを混合して供給する方法を考えついた。以下の説明では、不活性ガス及び窒素ガスをあわせて「不活性ガス」と総称する。
　図１は本発明の一実施例を説明する概略断面図であり、中心ポート１にはガラス原料ガス及び水素ガス、第２ポート２には水素ガス、第３ポート３には不活性ス、第４ポート４ａには水素ガスと不活性ガスの混合ガス、第４ポート４ａ内にた細径ノズル４ｂには酸素ガス、第５ポート５には不活性ガス、第６ポート６に酸素ガスを供給する。
　【０００９】
　このように供給すると、水素ガスが不活性ガスで希釈されることにより、酸水素火炎がノズル先端から離れた部分で形成され、その結果、ノズル先端部の温度が低下し、ノズル先端部の劣化が抑制され、バーナの寿命を長くすることができる。水素ガスに不活性ガスを混合することにより、酸素ノズルの流速が低い場合でもノズル先端部の温度を充分下げることができるので、バーナの点火時や消火時でもノズル先端部の劣化を防ぐ効果が期待できる。
　さらに、本発明によれば、酸素ノズルの流速を増加させただけのバーナより、ノズル先端部の温度を低下させることができるので、バーナの寿命を延ばす効果は大きい。また、本発明は水素ガスと酸素ガスがガス噴出口において１ｍｍ以上の間隔で隣接したバーナにおいても適用できるので、文献▲２▼に示されたバーナとは異なるバーナ構造のものにも適用できる。
　【００１０】
　本発明において、水素ガスに混合する不活性ガスの割合が大きいほどバーナ先端部温度を低下させる効果は大きいが、不活性ガスの流量を増加しすぎると、多孔質母材の成長速度が低下してくるため好ましくない。本発明者らの実験により、図２のグラフに示すように、水素ガスに対して不活性ガスの流量が０．１〜１．０の範囲が望ましいことが判明した。図２において横軸はアルゴンガス流量／水素流量（比）、縦軸は酸素ノズル先端の平均温度（℃）を表す。
　【００１１】
　なお、本発明においても酸素ノズルの流速が大きいほどノズル先端部の温度が低下する傾向は変わらない。したがって、本発明においても酸素ノズルの流速を増加させた方が、ノズル先端部の劣化抑制に効果的である。
　すなわち、前記のように従来法では隣接した水素ガスポートの流速と比較して酸素ノズルの流速が増加すると、ガスの流れが不安定になり、安定して多孔質母材を合成できないという問題があった。またガスの流れを安定化させるため、水素ガスの流量を増加させると、堆積面の温度が上昇し、多孔質母材の嵩密度が増加して、脱水焼結工程において充分脱水できないという問題もあった。
　本発明によれば、水素ポートから不活性ガスを混合した水素ガスを噴出させるため、酸素流量の増加に対応して水素ポートの流速を増加させてガス流れを安定させても、堆積面の温度を上昇させることはない。従って、多孔質母材の嵩密度を好適な範囲とすることができ、高品質の光ファイバ母材を製造できる。
　【００１２】
　さらに、本発明は、水素ポート内に複数本の細径の酸素ノズルを設けた構造を有するバーナのみに限定されるわけではない。すなわち、従来の同心円状多重管バーナにおいて、酸素ポートと水素ポートの間に、バーナ保護のためシールガス用のポートを設けていたが、水素ポートに水素と不活性ガスを混合して噴出させることにより、シールガスのポートがなくともバーナ先端部の劣化を防止することが可能となる。つまり、酸素ガスポート−シールガスポート−水素ガスポートと３つのポートを用いていたが、酸素ガスポート−（水素ガス＋シールガス）ポートと２つのポートで済む。従って、バーナ構造が簡単、安価になり、光ファイバの低コスト化の効果が期待できる。
　【００１３】
　【実施例】
　以下に本発明の実施例を示す。
〔実施例１〕
　ガラス製のコア合成用バーナ（以下、　「コアバーナ」と略記する）とクラッド合成用バーナ（以下、　「クラッドバーナ」と略記する）を配置し、それぞれのバーナに酸素ガスと水素ガスを供給して火炎を形成し、コアバーナにはガラス原料として四塩化ケイ素と四塩化ゲルマニウムを、クラッドバーナにはガラス原料として四塩化ケイ素のみをそれぞれ供給し、生成したガラス微粒子を回転するターゲットに軸方向に堆積させることにより、光ファイバ用多孔質母材を合成した。その際、コアバーナの構造として、図１に示すような断面形状を有するバーナを用い、第４ポート４ａから水素とアルゴン（流量比１：０．６）の混合ガスを噴出させ、第４ポート内に複数配置した細径のノズル４ｂから酸素ガスを噴出させた。なお、中心ポート１には四塩化ケイ素，四塩化ゲルマニウム及び水素ガスの混合ガスを、第２ポート２には水素ガスを、第３ポート３及び第５ポート５にはアルゴンガスを、第６ポート６には酸素ガスを供給した。
　各ポートの流量は、中心ポート１には四塩化ケイ素０．２リットル／分，四塩化ゲルマニウム０．０２リットル／分及び水素ガスを０．３リットル／分、第２ポート２には水素ガスを１．５リットル／分、第３ポート３にはアルゴンガスを１．５リットル／分、第４ポート４ａには水素ガス３リットル／分とアルゴンガス１．８リットル／分の混合ガスを、第４ポート内の細径ノズル４ｂには酸素ガスを６リットル／分、第５ポート５にはアルゴンガス２リットル／分、第６ポート６には酸素ガス１０リットル／分を供給した。
　このようにして多孔質母材を合成している際に、ノズル先端部を目視により観察したところ、加熱されて赤くなる現象は見られず、非接触の放射温度計で酸素ガスノズル先端部の平均温度を測定したところ、５００℃であった。
　【００１４】
〔実施例２〕
　実施例１と同様の構成により、水素ガスに対するアルゴンガスの流量比を変化させて酸素ノズル先端部の平均温度を放射温度計により測定した。その結果、図２に示すように、流量比が増加するに従って、ノズル先端部の平均温度は低下し、流量比が０．１未満の範囲ではノズル先端部に赤く熱せられている部分が見られた。従って、バーナの変形、蒸発を抑えるために流量比０．１以上が必要と判った。一方、流量比を１．０を超えると、多孔質母材の成長速度が減少したため、アルゴンガスと水素ガスの流量比は０．１から１．０までが望ましい範囲であることがわかった。
　【００１５】
〔実施例３〕
　実施例１のコアバーナを図３に示す同心円状の６重管に交換し、中心ポート１に四塩化ケイ素，四塩化ゲルマニウム及び水素ガスの混合ガスを、第２ポート２に水素ガスを、第３ポート３にアルゴンガスを、第４ポート４に酸素ガスを、第５ポート５にアルゴンガスと水素ガスの混合ガスを、第６ポート６に酸素ガスをそれぞれ供給し、ガラス多孔質体を合成した。その際、第５ポート５のアルゴンガスは水素ガスの０．７倍の流量で供給した。
　各ポートの具体的流量は、中心ポート１に四塩化ケイ素０．２リットル／分，四塩化ゲルマニウム０．０１リットル／分及び水素ガス０．２リットル／分の混合ガス、第２ポート２に水素ガス１．５リットル／分、第３ポートにアルゴンガス１リットル／分、第４ポート４に酸素ガス５リットル／分、第５ポートに水素ガス５リットル／分とアルゴンガス３．５リットル／分の混合ガスを、第６ポート６に酸素ガス８リットル／分をそれぞれ供給した。
　バーナ先端部を実施例１と同様に観察したところ、加熱されて赤くなっている様子は見られなかった。
　【００１６】
　上記実施例３においては第２ポートに水素、第３ポートにアルゴンを流して行ったが、５重管バーナを用いて、第２ポートに水素ガスとアルゴンガスの混合ガスを流し、第３ポートに酸素ガス、第４ポートに水素ガスとアルゴンガスの混合ガス、第５ポートに酸素ガスを流しても同様に有効である。
　【００１７】
　本発明者等のバーナ寿命に関する実験によれば、バーナ先端の変形、蒸発する速度について本発明と従来法を比較したところ、アルゴンと水素の混合比（流量比）と、従来法による場合の消耗速度を１．０とする本発明による場合のバーナ消耗速度比に関して図７のグラフに示す結果を得た。
　図７より、本発明に従い不活性ガス（アルゴン）を水素ガスに添加することにより、バーナ先端が蒸発する速さが大幅に遅くなり、寿命が大幅に延びる効果が得られることが明らかにわかる。
　なお、本発明は実施例で挙げた細径ノズルを多数有するバーナ、同心円状多重管バーナの他、二重火炎バーナ、三重火炎バーナ等にも適用して非常に有効である。
　【００１８】
　【発明の効果】
　以上説明のように、本発明によれば従来より簡単な構成のバーナで、ノズル先端の温度を低下してバーナ寿命を延長でき、しかも安定した火炎で多孔質体の嵩密度を好適な範囲内で光ファイバ用多孔質母材を合成できるので、光ファイバ用母材の品質を向上し製造コストを低減できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の方法を説明するための概略断面図である。
　【図２】　不活性ガスと水素ガスの流量比と酸素ノズル先端の平均温度の関係を示すグラフ図である。
　【図３】　本発明の実施例で用いた多重管バーナの構造を説明するための断面図である。
　【図４】　従来法の一例を説明するための概略断面図である。
　【図５】　従来法の他の例を説明するための概略断面図である。
　【図６】　従来法の他の例を説明するための概略断面図である。
　【図７】　本発明に従いアルゴンガスと水素ガスを混合して流すときの両ガスの流量比と、バーナ消耗速度比（従来法を１．０とする）の関係を示すグラフ図である。
　【符号の説明】
　１　中心ポート、２　第２ポート、３　第３ポート、
　４及び４ａ　第４ポート、４ｂ細径ポート、５　第５ポート、
　６　第６ポート。