【事件の表示】
　特許第３４１６３９１号「空気液化分離装置の前処理方法及び装置」の請求項１ないし１３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３４１６３９１号の請求項１ないし１３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件発明
　特許第３４１６３９１号（平成８年５月８日出願、優先権主張平成７年５月２５日、平成１５年４月４日設定登録）の請求項１乃至請求項１３に係る発明（以下、「本件発明１」乃至「本件発明１３」という）は、その特許請求の範囲の請求項１乃至請求項１３に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
「【請求項１】　原料空気から水分、炭酸ガス等の不純物を吸着除去する吸着剤を充填してなり、切り替え使用する複数基の吸着筒を備え、連続的に原料空気の精製を行う空気液化分離装置の前処理方法であって、
ａ　加圧原料空気を吸着筒に導入し該原料空気から前記不純物を吸着除去する吸着工程、
ｂ　吸着工程終了後、吸着筒内を大気圧まで減圧する減圧工程、
ｃ　前記不純物を含まないパージガスを吸着筒に導入して吸着剤を加熱再生する加熱工程、
ｄ　吸着筒内を上記パージガスにより吸着操作温度まで冷却する冷却工程、
ｅ　加熱再生、冷却された吸着筒を再び加圧する充圧工程、
のａからｅの工程を含み、前記不純物を吸着除去する吸着工程ａが、温度１０〜４５℃の加圧原料空気を、水分吸着剤および炭酸ガス吸着剤がそれぞれ空気入口側からこの順序で充填された吸着筒内に導入し、
　炭酸ガス吸着剤は、炭酸ガス等温吸着容量が、原料空気温度４５℃において、炭酸ガス分圧０．１ｋＰａで０．１ｍｏｌ／ｋｇ以上、炭酸ガス分圧１．０ｋＰａで０．６ｍｏｌ／ｋｇ以上であり、かつ原料空気温度２５℃において、炭酸ガス分圧０．１ｋＰａで０．３ｍｏｌ／ｋｇ以上、炭酸ガス分圧１．０ｋＰａで１．５ｍｏｌ／ｋｇ以上であり、
　水分吸着剤の全吸着剤に対する重量比が０．４〜０．７であり、
　空塔速度５〜４０ｃｍ／ｓで吸着処理を行うことを特徴とする空気液化分離装置の前処理方法。
【請求項２】　前記吸着剤を加熱再生する工程が、加熱再生温度１００〜２５０℃であり、かつ再生工程に使用するパージガスのパージガス率が２０〜６０％であることを特徴とする請求項１記載の空気液化分離装置の前処理方法。
【請求項３】　前記吸着筒が２筒切り替え方式であり、前記吸着工程ａ及び再生工程ｂ〜ｅよりなる切り替え周期の一周期が２〜８時間であることを特徴とする請求項１記載の空気液化分離装置の前処理方法。
【請求項４】　前記吸着筒が３筒切り替え方式であり、吸着工程ａと再生工程ｂ〜ｅよりなる切り替え周期の一周期が２〜１２時間であることを特徴とする請求項１記載の空気液化分離装置の前処理方法。
【請求項５】　空気圧縮機により加圧された原料空気を、空冷あるいは水冷のアフタークーラーによって冷却した後、前記切り替え使用する複数基の吸着筒に導入することを特徴とする請求項１記載の空気液化分離装置の前処理方法。
【請求項６】　空気圧縮機により加圧された原料空気を、水洗冷却塔によって冷却した後、前記切り替え使用する複数基の吸着筒に導入することを特徴とする請求項１記載の空気液化分離装置の前処理方法。
【請求項７】　原料空気から水分、炭酸ガス等の不純物を吸着除去する吸着剤を充填してなり、切り替え使用する複数基の吸着筒を備え、連続的に原料空気の精製を行う空気液化分離装置の前処理装置であって、
ａ　加圧原料空気を吸着筒に導入し、筒内温度２０〜８０℃の範囲で吸着操作を行う、該原料空気から前記不純物を吸着除去する吸着工程、
ｂ　吸着工程終了後、吸着筒内を大気圧まで減圧する減圧工程、
ｃ　前記不純物を含まないパージガスを吸着筒に導入して吸着剤を加熱再生する加熱工程、
ｄ　吸着筒内を上記パージガスにより吸着操作温度まで冷却する冷却工程、
ｅ　加熱再生、冷却された吸着筒を再び加圧する充圧工程、
のａからｅの工程を含む吸着分離を行う装置であり、
　前記不純物を吸着除去する吸着剤が、水分吸着剤および炭酸ガス吸着剤がそれぞれ空気入口側からこの順序で充填され、
　炭酸ガス吸着剤は、炭酸ガス等温吸着容量が、原料空気温度４５℃において、炭酸ガス分圧０．１ｋＰａで０．１ｍｏｌ／ｋｇ以上、炭酸ガス分圧１．０ｋＰａで０．６ｍｏｌ／ｋｇ以上であり、かつ原料空気温度２５℃において、炭酸ガス分圧０．１ｋＰａで０．３ｍｏｌ／ｋｇ以上、炭酸ガス分圧１．０ｋＰａで１．５ｍｏｌ／ｋｇ以上であり、
　水分吸着剤の全吸着剤に対する重量比が０．４〜０．７であり、
　空塔速度５〜４０ｃｍ／ｓで吸着処理を行うことができることを特徴とする空気液化分離装置の前処理装置。
【請求項８】　前記水分吸着剤が、活性アルミナ、シリカゲルもしくはＡ型ゼオライトまたはこれらを混成充填してなることを特徴とする請求項７記載の空気液化分離装置の前処理装置。
【請求項９】　前記炭酸ガス吸着剤がゼオライトであることを特徴とする請求項７記載の空気液化分離装置の前処理装置。
【請求項１０】　前記炭酸ガス吸着剤がＸ型ゼオライトであることを特徴とする請求項７記載の空気液化分離装置の前処理装置。
【請求項１１】　前記水分吸着剤の水分等温吸着容量が、原料空気温度２５℃、水分飽和蒸気圧において、少なくとも１０ｍｏｌ／ｋｇであることを特徴とする請求項７記載の空気液化分離装置の前処理装置。
【請求項１２】　空気圧縮機により加圧された原料空気を冷却する空冷あるいは水冷のアフタークーラーと、該冷却後の空気を、直接前記切り替え使用する複数基の吸着筒に導入する導管を備えたことを特徴とする請求項７記載の空気液化分離装置の前処理装置。
【請求項１３】　空気圧縮機により加圧された原料空気を冷却する水洗冷却塔と、該冷却後の空気を、直接前記切り替え使用する複数基の吸着筒に導入する導管を備えたことを特徴とする請求項７記載の空気液化分離装置の前処理装置。」
　
２．申立の理由の概要
　特許異議申立人レール・リキード−ソシエテ・アノニム・ア・ディレクトワール・エ・コンセイユ・ドゥ・スールベイランス・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロードが提出した証拠方法は、以下のとおりである。
甲第１号証：米国特許第３８６６４２８号明細書（１９７５年）
甲第２号証：ＣＡＲＢＯＮ　ＤＩＯＸＩＤＥ　ＲＥＭＯＶＡＬ　ＦＲＯＭ　ＡＩＲ　ＢＹ　ＳＯＤＩＵＭ−Ｘ　ＭＯＬＥＣＵＬＡＲ　ＳＩＥＶＥ　ＵＮＤＥＲ　ＮＯＮＩＳＯＴＨＥＲＭＡＬ　ＣＯＮＤＩＴＩＯＮＳ、ＡＩＣｈＥ　ＳＹＭＰＯＳＩＵＭ　ＳＥＲＩＥＳ　１９７１−Ｎｏ．１１７　ｐ．８４−８９
甲第３号証の１：特公昭５９−２４６５４号公報
甲第３号証の２：西独国特許出願公開第３０４５４５１号明細書（１９８１年）
甲第４号証：米国特許第４２４９９１５号明細書（１９８１年）
甲第５号証：特開平４−２２２６１４号公報
　そして、特許異議申立人は、特許異議申立書において、本件発明１乃至本件発明１３は、上記甲第１号証乃至甲第５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、本件発明１乃至本件発明１３の特許を取り消すべき旨主張している。
　
３．甲各号証の記載事項
３−１．甲第１号証の記載事項
　甲第１号証には、以下の事項が記載されている。
（１−Ａ）「要約
　本発明は、ガス混合物の少なくとも１つの第１の成分および１つの第２の成分を部分的に含まないガス状留分を得るためのガス混合物の分別方法に関するものであり、これが少なくとも１つの吸着サイクルによってなされ、この吸着サイクルは、少なくとも１つの第１の吸着ゾーンおよび１つの第２の吸着ゾーンを連続的に上記ガス混合物を循環させる吸着過程であって、それにより該ガス状留分を得るために上記の第１および第２の成分を吸着させる過程と；該ガス状留分を得るために該第１および第２の成分を夫々放散させ、再生留分を該第１および第２の吸着ゾーンに連続的に循環させる過程とを具備してなり；該ガス混合物を該吸着過程において、該ガス混合物からの該第１の成分の吸着により解放された熱量を抽出することにより熱蓄積ゾーンにて冷却させ、ついで、先のサイクルの間において該第２の成分の放散により解放された少なくとも冷却量を該ガス混合物に戻し；該第２の成分の放散により解放された冷却量を少なくとも該再生留分から抽出することにより該ゾーンにて該再生留分を加熱し；ついで、抽出された熱量を少なくとも該再生留分に戻すことを特徴とするものである。」（第１頁右欄「要約」）
（１−Ｂ）「図１に示す大気を分別するための設備は、単一の吸着ラインを有するものである。これは、下から上に向かって、第１の吸着ゾーン１又は第１の吸着ベッド５１（例えば活性化アルミナ又はシリカゲル）を有する乾燥−脱炭酸ガスゾーン；蓄熱物質５２を有する熱蓄積ゾーン２、なお、この蓄熱物質は鉛ショット、銅カッティング、その他の金属質物質でガスを透過させ、熱容量が大きいものから構成される；第２の吸着ゾーン３又は酸素−窒素分離ゾーンであって、第２の吸着ベッド５３（例えば５Ａ分子篩タイプのもの）を有するもの；からなる。」（第４欄第３１行〜第４３行）
（１−Ｃ）「第１の吸着ゾーン１において、大気の湿気（ガス混合物の第１の成分）および炭酸ガスが優先的に吸着され、或る量の熱を解放する。熱蓄積ゾーン２において、この第１の吸着ゾーン１からの脱水、脱炭酸ガスされた乾燥空気が冷却される。この目的のため、熱蓄積ソーン２の下方部分において、水の吸着により解放された熱量か少なくともこの乾燥空気から抽出され、ついで、熱蓄積ゾーン２の上方部分において、窒素（第２の成分）の放散により解放され、先のサイクルの放散過程の間にこの熱蓄積ゾーン２に蓄積された冷却量が少なくともこの乾燥空気に戻される。
　第３の吸着ゾーンにおいて、この乾燥し、冷却された空気の窒素が優先的に吸着される。最後に、この第３の吸着ゾーンの出口５９にて、酸素が富化され、乾燥した気体画分、すなわち、当初の空気の湿気および窒素が事実上除去された気体画分が抽出される。」（第５欄第５行〜第２５行）
３−２．甲第２号証の記載事項
　甲第２号証には、以下の事項が記載されている。
（２−Ａ）「パイロットプラントについての実験的研究を非等温条件で行ったもので、Ｄａｖｉｓｏｎ分子篩、タイプ１３Ｘからなる固定床を用い空気から吸着させた二酸化炭素の力学的性能を判定した。」（第８４頁左上欄第１行〜第４行）
（２−Ｂ）「実験
　この実験装置の模式図が図１に示されている。
　水蒸気および炭酸ガスが、５Ａ分子篩（４インチ×６フィート）の固定床に圧縮空気を通過させることにより空気から除去された。シリンダーからの二酸化炭素（実験クレード）をノズル中にて浄化空気と混合した。サージドラムをこのノズルミキサーに接続し、空気中の二酸化炭素濃度を安定化させた。ついで、この空気を恒温バス中に浸漬した長いコイルを通過させた。この制御された温度、圧力下並びに二酸化炭素濃度に維持された空気を最終的に固定床吸着器内に一定の流量で導入した。」（第８５頁右欄第１行〜第１２行）
（２−Ｃ）Ｆｉｇ．１（第８５頁）
（２−Ｄ）ＴＡＢＬＥ　１（第８６頁）
３−３．甲第３号証の１及び甲第３号証の２の記載事項
　甲第３号証の１及び甲第３号証の２には、以下の事項が記載されている。なお、甲第３号証の２は、甲第３号証の１を優先権の基礎とした西独国における出願の公開公報である。
（３−Ａ）「１　合成ゼオライトよりなる第１の吸着層と全吸着剤の２５〜８０％の容量を占める活性アルミナよりなる第２の吸着層とを直列に配置して前記第１の吸着層側から原料ガスを供給し窒素又は酸素富化ガスを得る吸着工程と、前記吸着工程時のガス圧力よりも低圧の脱着用ガスを前記第２の吸着層側から流して吸着物を脱着する脱着工程とを交互に行うことを特徴とする圧力差吸着式ガス精製方法。」（甲第３号証の１、特許請求の範囲）
（３−Ｂ）「空気あるいは窒素等のガスを制御用、パージ用あるいは深冷分離用等に利用する場合や、空気を原料として酸素富化ガスや窒素富化ガスを製造する場合には、原料ガス中に不純物として含有される炭酸ガス（以下、ＣＯ２と記す。）及び水分（以下、Ｈ２Ｏと記す。）を空気等から除去することが重要で、一般に吸着処理が行われている。」（甲第３号証の１、第１頁第２欄第６行〜第１２行）
（３−Ｃ）「従って、本発明に係る方法及び装置によれば、二酸化炭素ガスと高濃度で水分とを含有する空気は、吸着コラムの５０容量％を占める合成ゼオライトからなる吸着層を通る。そのことにより、二酸化炭素ガスと水分の多くは吸着層に吸着する。その結果、これらが除去され、酸素や窒素が共吸着されることなく、空気中に存在されるのと同様となる。吸着層で除去されない低濃度の二酸化炭素ガスと水分は、第一の吸着層の下流に設けられた第２の吸着層に更に通される空気により吸着され除去される。この吸着層は活性アルミナからなり、吸着層の残りの５０容量％を占める。その結果、高純度ガスが作られる。」（甲第３号証の２、第１２頁第１０行〜最終行）
３−４．甲第４号証の記載事項
　甲第４号証には、以下の事項が記載されている。
（４−Ａ）「１．発明の技術分野
　本発明は、空気からの水分とＣＯ２の除去に関し、特に、深冷空気分離装置の供給ガスとして使用される空気からのこれらの成分の除去に関するものである。」（第１欄第６行〜第１１行）
（４−Ｂ）「本発明によれば、原料空気が吸着剤の２つの別々のベッドを通過させる。このベッドの第１のものにおいて、水分が除去され、第２のベッドにおいてＣＯ２が除去される。第１のベッドは比較的短い操作サイクルを用いた圧力振り吸着（ＰＳＡ）モードで操作し、第２のベッドは可なり長い時間サイクルを用いた温度振り吸着（ＴＳＡ）モードで操作する。」（第２欄第５３行〜第６０行）
３−５．甲第５号証の記載事項
　甲第５号証には、以下の事項が記載されている。
（５−Ａ）「吸着により流体を精製するための方法と装置」（発明の名称）
（５−Ｂ）「本発明は流体を精製するための方法と装置に関する。さらに詳細には，本発明は，温度−スウィング吸着（ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ−ｓｗｉｎｇ　ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）によって空気から水蒸気と二酸化炭素を除去するための方法と装置に関する。」（段落【０００１】）
（５−Ｃ）「従来，吸着によって流体を精製する方法が数多くあり，現在種々の方法が使用されている。このような方法の１つとして，空気分離ユニット中で空気の冷却及び蒸留を行う前に温度−スウィング吸着によって空気から水蒸気と二酸化炭素を除去する，という方法がある。このような方法の進歩と変遷については，Ｍ．グレニアー（Ｇｒｅｎｉｅｒ）らによる「“空気分離ユニットのための吸着精製（Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ　Ｐｕｒｉｆｉｃａｔｉｏｎ　ｆｏｒ　Ａｉｒ　Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ　Ｕｎｉｔｓ）”，Ｃｒｙｏｇｅｎｉｃ　Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ　ａｎｄ　Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔに掲載，Ｐ．Ｊ．カーネイ（Ｋｅｒｎｅｙ）ら編集，１９８４（ＡＳＭＥ）」に説明されている。」（段落【０００２】）
（５−Ｄ）「図１の装置においては，供給ガス流れ（例えば圧縮空気）がライン２を介して圧縮機４に送られ，そこでガスが０．１４〜１．１４ＭＰａ（２０〜１６５ｐｓｉａ）の圧力に圧縮される。次いで圧縮ガスがライン６を介して熱交換器８に送られ，そこで冷却されてから，ライン１０を介して水分離器１２に導入され，ここから液状水が除去される。熱交換器からの流出物の温度は５〜２５℃であるのが好ましい。」（段落【００１８】）
（５−Ｅ）「ガスがパイプマニホルド１４を介して進み，弁１６とマニホルド２０を通って処理容器３０に送られる。処理容器３０には，４つの吸着剤セクション３４，３８，４２，及び４６が底部から頂部に向かってこの順序で収容されている。吸着剤セクション３４と３８は成分Ａを除去するための吸着剤Ｘを，そして吸着剤セクション４２と４６は成分Ｂを除去するための吸着剤Ｙを含んでいる。精製すべきガス混合物が空気であり，除去すべき成分ＡとＢがそれぞれＨ２ＯとＣＯ２である場合，セクション３４と３８に対する好ましい吸着剤は活性アルミナ又はシリカゲルであり，セクション４２と４６に対する好ましい吸着剤はタイプＡ又はタイプＸのゼオライトである。処理容器３２は本質的に処理容器３０と同じであり，吸着剤セクション３４に対応した吸着剤セクション３６，吸着剤セクション３８に対応した吸着剤セクション４０，吸着剤セクション４２に対応した吸着剤セクション４４，及び吸着剤セクション４６に対応した吸着剤セクション４８を含んでいる。これらの吸着剤セクションの詳細については後述する。」（段落【００１９】）
（５−Ｆ）「精製サイクルを開始すると，開放弁１６とマニホルド２０を通って送られてきた供給ガスの一部を使用して，処理容器３０が徐々に加圧される。特定量以下の不純物を含有した精製ガスが容器３０から取り出され，マニホルド５０と弁６２を通ってマニホルド６６に送られ，そこで下流のプロセスにてさらに精製されるか，又は本発明の形での用途に対する他のプロセスもしくは装置に送られる。」（段落【００２０】）
（５−Ｇ）「処理容器３０がガス供給物を精製しているのと同時に，もう１つの処理容器３２では再生が行われて堆積した不純物を除去している。容器３２は先ず通気されて，その圧力が大気圧近くに下げられる。このことは，弁２６を開にすることによって，従ってマニホルド２２と出口マニホルド２８を通して通気することによって行われる。さらなる不純物は，容器３２から除去すべきタイプの不純物を実質的に含まないガスで容器３２をパージすることによって除去される。例えば，空気供給物から水や二酸化炭素等の不純物を除去しなければならない場合，適切なパージガスは，水蒸気や二酸化炭素を含まない窒素，酸素，及びこれらの混合物である。パージガスの供給源７６は，精製ガス流れ６６からの，又は下流のプロセスの廃棄物流れからのサイド流れ（ｓｉｄｅ　ｓｔｒｅａｍ）であってもよい。」（段落【００２１】）
（５−Ｈ）「適切な供給源７６からのパージガスが，ライン７４を介して任意のブロアー７２に供給され，そこで必要に応じて，ガスの圧力が約１１０〜１４０ｋＰａ（１６〜２０ｐｓｉａ）に増大される。」（段落【００２２】）
（５−Ｉ）「通常，ライン７４を介してシステムに入るパージガスの温度は供給ガスの温度に近い。パージガスは，加熱器６８において好ましくは約８０〜２５０℃の温度に加熱される。加熱されたガスは，ライン５８，開放弁５６，及びライン５２を通って容器３２に進み，次いで開放弁２６を介してライン２８から排出され，これによってあらかじめ吸着されていた不純物が容器から除去される。」（段落【００２３】）
（５−Ｊ）「パージガスによって与えられる熱は，容器３２内の不純物を脱着させるに足るものでなければならない。充分な熱が容器３２に導入された後，加熱器６８のスイッチを切るのが好ましい。容器に対して必要とされる熱量は，実験によって容易に求めることができる。脱着した不純物を除去するために，また次の精製サイクルにかかれるよう容器３２を冷却するために，加熱器６８のスイッチを切った後にパージガスの流れを続ける。容器３２が充分に冷却された後，開放弁１８とライン２２を通ってきた供給ガスの一部を使用して容器３２が再び徐々に加圧される。この時間中，容器３０は供給物を精製し続けている。」（段落【００２４】）
（５−Ｋ）「排気が行われると，パージ操作と再加圧が完了し，容器３２は再び精製操作にかかれる。このことは，弁１６を閉じ，そして弁１８を開くことによって行われ，これによってガス流れがライン１４からライン２２に進み，次いで容器３２の種々の吸着セクションを通る。容器３２から得られた精製ガスは，ライン５２と弁６４を通って出口ライン６６に進む。このとき同時に，弁１６を閉じ，マニホルド２０，開放弁２４，及び出口ライン２８を介して容器３０を排気し，次いでライン７０，ライン５８，及び弁５４を介してライン５０にパージガスを導入することによって，容器３０の再生が行われている。再生後，容器３０が再び加圧されて精製ガスを造り出し，一方容器３２では再生が行われる。この循環精製プロセスはこのようにして連続的に行うことができる。」（段落【００２５】）
（５−Ｌ）「実施例１（比較用）
　１１ｃｍ（４．３”）の直径を有し，外部断熱材を施した垂直に据え付けられた直円柱体を，圧縮空気からＨ２ＯとＣＯ２を除去するための試験用容器として使用した。供給空気の圧力は７２４ｋＰａ（１０５ｐｓｉａ），流量は０．６６Ｓｍ３／分（２３．２ＳＣＦＭ），そして温度は２０℃であった。供給空気は，飽和量の水蒸気と約３３０ｐｐｍのＣＯ２を含有していた。」（段落【００３５】）
（５−Ｍ）「比較実施例５と６
　上記の実施例にて使用した容器を用い，異なるサイズの活性アルミナに関して，平衡容量及びＨ２Ｏ物質移動ゾーンの長さを求めた。実施例５においては，１／８”ＡＡの単一層を容器に充填した。高さと重量は表４に示す通りである。供給空気の温度は２０℃，圧力は７２４ｋＰａ（１０５ｐｓｉａ），そして流量は０．６６Ｓｍ３／分（２３．２ＳＣＦＭ）であった。供給空気は水で飽和していた。」（段落【００４５】）
（５−Ｎ）「実施例７と８
　実施例７と８では，実施例１と２からのデータ（表３）及び実施例５と６からのデータ（表４）を利用し，２種の吸着剤（活性アルミナと１３Ｘゼオライト）を使用して２種の不純物（Ｈ２ＯとＣＯ２）を除去する本発明の利点を明らかにする。層の条件は実施例１，２，５，及び６の場合と同じであり，結果が表４に示されている。表４の欄７は従来システムの比較実施例であり，Ｈ２Ｏの除去に対しては１／８”サイズの活性アルミナが，そしてＣＯ２の除去に対しては１／８”サイズの１３Ｘゼオライトが使用されている。欄８は本発明による実施例であり，１／８”と１／１６”の活性アルミナ層及び１／８”と１／１６”の１３Ｘゼオライト層が使用されている。欄８において種々の層長さを計算し，実施例７の場合と同じＣＯ２平衡容量及びＨ２Ｏ平衡容量が得られるよう調整した。層が同一のＣＯ２容量とＨ２Ｏ容量を有している場合，本発明に従って設計された層（欄８）は，従来型の層（欄７）に比べて約１２％少ない層容積で済む。」（段落【００４８】）
（５−Ｏ）表４
（５−Ｐ）図１
　
４．対比・検討
４−１．本件発明１について
　甲第５号証には、（５−Ａ）の記載からみて、「吸着により流体を精製するための方法と装置」が記載されており、これは、（５−Ｂ）及び（５−Ｃ）の記載からみて、「温度−スウィング吸着（ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ−ｓｗｉｎｇ　ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）によって空気から水蒸気と二酸化炭素を除去するための方法と装置に関する」ものであって、「空気分離ユニット中で空気の冷却及び蒸留を行う前に温度−スウィング吸着によって空気から水蒸気と二酸化炭素を除去する」ものである。
　更に、（５−Ｄ）乃至（５−Ｋ）及び（５−Ｐ）の図１の記載からみて、上記「吸着により流体を精製するための方法と装置」は、具体的には、以下のとおりのものである。
　すなわち、供給ガス流れ（例えば圧縮空気）が圧縮機４に送られ、そこでガスが０．１４〜１．１４ＭＰａ（２０〜１６５ｐｓｉａ）の圧力に圧縮され、次いで圧縮ガスが熱交換器８に送られ、そこで冷却されてから、水分離器１２に導入され、ここから液状水が除去され、ガスがパイプマニホルド１４を介して進み、弁１６とマニホルド２０を通って処理容器３０に送られる。
　ここで、処理容器３０には、４つの吸着剤セクション３４，３８，４２，及び４６が底部から頂部に向かってこの順序で収容されていて、吸着剤セクション３４と３８は成分Ａを除去するための吸着剤Ｘを、そして吸着剤セクション４２と４６は成分Ｂを除去するための吸着剤Ｙを含んでいるものであって、精製すべきガス混合物が空気であり、除去すべき成分ＡとＢがそれぞれＨ２ＯとＣＯ２である場合、セクション３４と３８に対する好ましい吸着剤は活性アルミナ又はシリカゲルであり、セクション４２と４６に対する好ましい吸着剤はタイプＡ又はタイプＸのゼオライトである。
　そして、精製サイクルを開始すると、開放弁１６とマニホルド２０を通って送られてきた供給ガスの一部を使用して、処理容器３０が徐々に加圧され、特定量以下の不純物を含有した精製ガスが容器３０から取り出され、マニホルド５０と弁６２を通ってマニホルド６６に送られ、そこで下流のプロセスにてさらに精製されるか、又は本発明の形での用途に対する他のプロセスもしくは装置に送られる。
　一方、処理容器３０がガス供給物を精製しているのと同時に、もう１つの処理容器３２では再生が行われて堆積した不純物を除去しており、容器３２は先ず通気されて、その圧力が大気圧近くに下げられ、さらなる不純物は、容器３２から除去すべきタイプの不純物を実質的に含まないガスで容器３２をパージすることによって除去されるものである。
　すなわち、適切な供給源７６からのパージガスが、ライン７４を介して任意のブロアー７２に供給され、そこで必要に応じて、ガスの圧力が約１１０〜１４０ｋＰａ（１６〜２０ｐｓｉａ）に増大されるのであるが、通常、ライン７４を介してシステムに入るパージガスの温度は供給ガスの温度に近いので、パージガスは、加熱器６８において好ましくは約８０〜２５０℃の温度に加熱され、加熱されたガスは、容器３２に進み、次いで開放弁２６を介してライン２８から排出され、これによってあらかじめ吸着されていた不純物が容器から除去される。
　ここで、パージガスによって与えられる熱は、容器３２内の不純物を脱着させるに足るものでなければならないが、充分な熱が容器３２に導入された後、加熱器６８のスイッチを切るのが好ましく、脱着した不純物を除去するために、また次の精製サイクルにかかれるよう容器３２を冷却するために、加熱器６８のスイッチを切った後にパージガスの流れを続け、容器３２が充分に冷却された後、開放弁１８とライン２２を通ってきた供給ガスの一部を使用して容器３２が再び徐々に加圧され、この時間中、容器３０は供給物を精製し続けている。
　そして、排気が行われると、パージ操作と再加圧が完了し、容器３２は再び精製操作にかかれる。このとき同時に、容器３０を排気し、ライン５０にパージガスを導入することによって、容器３０の再生が行われている。再生後、容器３０が再び加圧されて精製ガスを造り出し、一方容器３２では再生が行われ、この循環精製プロセスはこのようにして連続的に行うことができるものである。
　また、（５−Ｌ）乃至（５−Ｏ）の記載からみて、上記「吸着により流体を精製するための方法と装置」の一例としては、容器は１１ｃｍ（４．３”）の直径を有するものであり、供給空気の圧力は７２４ｋＰａ（１０５ｐｓｉａ）、流量は０．６６Ｓｍ３／分（２３．２ＳＣＦＭ）、そして温度は２０℃であり、吸着剤は、（５−Ｏ）の表４に記載の層長さ及び重量を有するものである。
　ここで、甲第５号証に記載された「吸着により流体を精製するための方法」は、「空気分離ユニット中で空気の冷却及び蒸留を行う前に温度−スウィング吸着によって空気から水蒸気と二酸化炭素を除去する」ものであるから、「空気液化分離装置の前処理方法」と云え、吸着剤が収容された容器３０及び容器３２により循環精製プロセスを連続的に行うものであるから、「原料空気から水分、炭酸ガス等の不純物を吸着除去する吸着剤を充填してなり、切り替え使用する複数基の吸着筒を備え、連続的に原料空気の精製を行う」ものと云える。
　また、処理容器３０がガス供給物を精製する工程は、「加圧原料空気を吸着筒に導入し該原料空気から前記不純物を吸着除去する吸着工程」に相当し、処理容器３０がガス供給物を精製しているのと同時に、もう１つの処理容器３２において再生が行われる際に、容器３２が先ず通気されて、その圧力が大気圧近くに下げられる工程は、「吸着工程終了後、吸着筒内を大気圧まで減圧する減圧工程」に相当し、パージガスが加熱され、加熱されたガスが容器３２に進み、次いでライン２８から排出され、これによってあらかじめ吸着されていた不純物が容器から除去される工程は、「前記不純物を含まないパージガスを吸着筒に導入して吸着剤を加熱再生する加熱工程」に相当し、加熱器６８のスイッチを切った後にパージガスの流れを続け、容器３２を充分に冷却する工程は、「吸着筒内を上記パージガスにより吸着操作温度まで冷却する冷却工程」に相当し、供給ガスの一部を使用して容器３２を再び徐々に加圧する工程は、「加熱再生、冷却された吸着筒を再び加圧する充圧工程」に相当する。
　かつ、上記「吸着により流体を精製するための方法」の一例における供給空気の温度は２０℃であって、容器３０には、底部から頂部に向かって、Ｈ２Ｏを除去する吸着剤である活性アルミナ又はシリカゲルとＣＯ２を除去する吸着剤であるタイプＡ又はタイプＸのゼオライトが、この順序で収容されているのであるから、処理容器３０がガス供給物を精製する工程は、温度１０〜４５℃の加圧原料空気を、水分吸着剤および炭酸ガス吸着剤がそれぞれ空気入口側からこの順序で充填された吸着筒内に導入するものと云える。
　加えて、（５−Ｏ）の表４には、「実施例８」として、ＡＡの重量が４．２５ｋｇ、１３Ｘの重量が６．５ｋｇの例が記載されており、ＡＡは水分吸着剤であり、１３Ｘは炭酸ガス吸着剤であるから、上記「実施例８」においては、水分吸着剤の全吸着剤に対する重量比は、０．３９５と計算される。
　そうすると、甲第５号証には、
「原料空気から水分、炭酸ガス等の不純物を吸着除去する吸着剤を充填してなり、切り替え使用する複数基の吸着筒を備え、連続的に原料空気の精製を行う空気液化分離装置の前処理方法であって、
ａ　加圧原料空気を吸着筒に導入し該原料空気から前記不純物を吸着除去する吸着工程、
ｂ　吸着工程終了後、吸着筒内を大気圧まで減圧する減圧工程、
ｃ　前記不純物を含まないパージガスを吸着筒に導入して吸着剤を加熱再生する加熱工程、
ｄ　吸着筒内を上記パージガスにより吸着操作温度まで冷却する冷却工程、
ｅ　加熱再生、冷却された吸着筒を再び加圧する充圧工程、
のａからｅの工程を含み、前記不純物を吸着除去する吸着工程ａが、温度１０〜４５℃の加圧原料空気を、水分吸着剤および炭酸ガス吸着剤がそれぞれ空気入口側からこの順序で充填された吸着筒内に導入し、水分吸着剤の全吸着剤に対する重量比が０．３９５であることを特徴とする空気液化分離装置の前処理方法」の発明（以下、「甲５−１発明」という）が記載されていると云える。
　そこで、本件発明１と甲５−１発明とを比較すると、両者は、
「原料空気から水分、炭酸ガス等の不純物を吸着除去する吸着剤を充填してなり、切り替え使用する複数基の吸着筒を備え、連続的に原料空気の精製を行う空気液化分離装置の前処理方法であって、
ａ　加圧原料空気を吸着筒に導入し該原料空気から前記不純物を吸着除去する吸着工程、
ｂ　吸着工程終了後、吸着筒内を大気圧まで減圧する減圧工程、
ｃ　前記不純物を含まないパージガスを吸着筒に導入して吸着剤を加熱再生する加熱工程、
ｄ　吸着筒内を上記パージガスにより吸着操作温度まで冷却する冷却工程、
ｅ　加熱再生、冷却された吸着筒を再び加圧する充圧工程、
のａからｅの工程を含み、前記不純物を吸着除去する吸着工程ａが、温度１０〜４５℃の加圧原料空気を、水分吸着剤および炭酸ガス吸着剤がそれぞれ空気入口側からこの順序で充填された吸着筒内に導入することを特徴とする空気液化分離装置の前処理方法」である点で一致し、
相違点１：前者においては、「炭酸ガス吸着剤」が、「炭酸ガス等温吸着容量が、原料空気温度４５℃において、炭酸ガス分圧０．１ｋＰａで０．１ｍｏｌ／ｋｇ以上、炭酸ガス分圧１．０ｋＰａで０．６ｍｏｌ／ｋｇ以上であり、かつ原料空気温度２５℃において、炭酸ガス分圧０．１ｋＰａで０．３ｍｏｌ／ｋｇ以上、炭酸ガス分圧１．０ｋＰａで１．５ｍｏｌ／ｋｇ以上」であるのに対して、後者においては、「炭酸ガス吸着剤」の「炭酸ガス等温吸着容量」について記載がなされていない点、
相違点２：前者においては、水分吸着剤の全吸着剤に対する重量比が０．４〜０．７であるのに対して、後者においては上記重量比が０．３９５である点、
相違点３：前者においては、空塔速度が５〜４０ｃｍ／ｓであるのに対して、後者においては空塔速度が記載されていない点、
で相違している。
　以下、上記相違点１について検討する。
　甲第１号証には、（１−Ａ）の記載からみて、「ガス混合物の少なくとも１つの第１の成分および１つの第２の成分を部分的に含まないガス状留分を得るためのガス混合物の分別方法」が記載されており、これは、具体的には、（１−Ｂ）及び（１−Ｃ）の記載からみて、「大気を分別するための設備」を有するものであって、下から上に向かって、第１の吸着ゾーン１又は第１の吸着ベッド５１を有する乾燥−脱炭酸ガスゾーン、蓄熱物質５２を有する熱蓄積ゾーン２、第２の吸着ゾーン３又は酸素−窒素分離ゾーンであって、第２の吸着ベッド５３を有するものからなり、第１の吸着ゾーン１において、大気の湿気（ガス混合物の第１の成分）および炭酸ガスが優先的に吸着され、第３の吸着ゾーンにおいて、この乾燥し、冷却された空気の窒素が優先的に吸着され、酸素が富化されて、当初の空気の湿気および窒素が事実上除去された気体画分が抽出されるものである。
　更に、（１−Ｂ）の記載からみて、第１の吸着ベッド５１として活性化アルミナ又はシリカゲルが、第２の吸着ベッド５３として５Ａ分子タイプ篩のものが、それぞれ例示されている。
　ところが、甲第１号証に記載された「ガス混合物の分別方法」は、生成物として酸素を富化した気体画分を抽出するものであるから、「空気液化分離装置の前処理方法」に関するものとは云えない。
　かつ、上記「ガス混合物の分別方法」において炭酸ガスを吸着するのは、第１の吸着ゾーン１又は第１の吸着ベッド５１であり、そうすると、上記「ガス混合物の分別方法」における「炭酸ガス吸着剤」は活性化アルミナ又はシリカゲルということになるが、甲第１号証には、上記活性化アルミナ又はシリカゲルの「炭酸ガス等温吸着容量」を上記相違点１に記載されたものとすることは、記載も示唆もされていない。
　次に、甲第２号証には、（２−Ａ）の記載からみて、「パイロットプラントについての実験的研究」により、「Ｄａｖｉｓｏｎ分子篩、タイプ１３Ｘからなる固定床を用い空気から吸着させた二酸化炭素の力学的性能を判定」したことが記載されており、具体的には、（２−Ｂ）及び（２−Ｃ）のＦｉｇ．１の記載からみて、水蒸気および炭酸ガスを、５Ａ分子篩（４インチ×６フィート）の固定床に圧縮空気を通過させることにより空気から除去し、シリンダーからの二酸化炭素（実験クレード）をノズル中にて浄化空気と混合し、サージドラムをこのノズルミキサーに接続し、空気中の二酸化炭素濃度を安定化させ、ついで、この空気を恒温バス中に浸漬した長いコイルを通過させて、この制御された温度、圧力下並びに二酸化炭素濃度に維持された空気を最終的に固定床吸着器内に一定の流量で導入したものである。
　そして、その実験条件と結果が、（２−Ｄ）のＴＡＢＬＥ１に記載されている。
　ところが、甲第２号証に記載された「パイロットプラントについての実験的研究」は、水蒸気および炭酸ガスを空気から除去し、二酸化炭素（実験クレード）を浄化空気と混合し、制御された温度、圧力下並びに二酸化炭素濃度に維持された空気を最終的に固定床吸着器内に一定の流量で導入して、二酸化炭素の力学的性能を判定するものであるから、「空気液化分離装置の前処理方法」に関するものではなく、かつ、甲第２号証には、ＴＡＢＬＥ１の記載を参照しても、「炭酸ガス吸着剤」の「炭酸ガス等温吸着容量」を上記相違点１に記載されたものとすることは、記載も示唆もされていない。
　更に、甲第３号証の１には、（３−Ａ）の記載からみて、「圧力差吸着式ガス精製方法」が記載されており、（３−Ｂ）の記載からみて、当該「圧力差吸着式ガス精製方法」は、空気あるいは窒素等のガスを制御用、パージ用あるいは深冷分離用等に利用する場合や、空気を原料として酸素富化ガスや窒素富化ガスを製造する場合に行われるものである。
　また、甲第３号証の２は、甲第３号証の１を優先権の基礎とした西独国における出願の公開公報であり、たとえば特許請求の範囲の請求項１の記載からみて、甲第３号証の１と同様、「圧力差吸着式ガス精製方法」が記載されるものであるが、当該甲第３号証の２の（３−Ｃ）の記載からみて、当該「圧力差吸着式ガス精製方法」は、二酸化炭素ガスと高濃度で水分とを含有する空気は、吸着コラムの５０容量％を占める合成ゼオライトからなる吸着層を通り、二酸化炭素ガスと水分の多くは吸着層に吸着し、更に、吸着層で除去されない低濃度の二酸化炭素ガスと水分は、第一の吸着層の下流に設けられた第２の吸着層に更に通される空気により吸着され除去されるが、この吸着層は活性アルミナからなり、吸着層の残りの５０容量％を占めるものである。
　ここで、甲第３号証の１及び甲第３号証の２に記載されたガス精製方法は、パージ用あるいは深冷分離用等に利用するものであるから、「空気液化分離装置の前処理方法」に関するものと云えるが、上記ガス精製方法は、「圧力差吸着式ガス精製方法」、いわゆる「ＰＳＡ法」に係るものである。
　一方、本件発明１は、たとえば「ａ〜ｅ」の工程の記載、及び明細書の「このように、…とりわけ２５〜４５℃の高温空気条件でのＴＳＡ法前処理吸着器の設計を可能ならしめたものである。」（段落【００３３】）の記載からみて、いわゆる「ＴＳＡ法」に係るものである。
　そうすると、両者は、共に「空気液化分離装置の前処理方法」に関するものと云えるものの、採用する吸着法が異なるものである。
　かつ、甲第３号証の１及び甲第３号証の２には、「炭酸ガス吸着剤」の「炭酸ガス等温吸着容量」を上記相違点１に記載されたものとすることは、記載も示唆もされていない。
　最後に、甲第４号証には、（４−Ａ）の記載からみて、深冷空気分離装置の供給ガスとして使用される空気から水分とＣＯ２を除去することが記載されており、（４−Ｂ）の記載からみて、具体的には、原料空気を吸着剤の２つの別々のベッドを通過させ、このベッドの第１のものにおいて、水分が除去され、第２のベッドにおいてＣＯ２が除去されるものであり、第１のベッドは比較的短い操作サイクルを用いた圧力振り吸着（ＰＳＡ）モードで操作し、第２のベッドは可なり長い時間サイクルを用いた温度振り吸着（ＴＳＡ）モードで操作するものである。
　ここで、甲第４号証に記載された発明は、深冷空気分離装置の供給ガスとして使用される空気から水分とＣＯ２を除去するものであるから、「空気液化分離装置の前処理方法」に関するものと云えるが、これは、第１のベッドを圧力振り吸着（ＰＳＡ）モードで操作し、第２のベッドを温度振り吸着（ＴＳＡ）モードで操作するものである。
　一方、本件発明１は、上記のとおり「ＴＳＡ法」に係るものであるから、故に、両者は、共に「空気液化分離装置の前処理方法」に関するものと云えるものの、採用する吸着法が異なるものであって、かつ、甲第４号証には、炭酸ガス吸着剤の「炭酸ガス等温吸着容量」を上記相違点１に記載されたものとすることは、記載も示唆もされていない。
　これらのことからみて、甲第１号証乃至甲第４号証には、「ＴＳＡ法」による「空気液化分離装置の前処理方法」において、「炭酸ガス吸着剤」の「炭酸ガス等温吸着容量」を上記相違点１に記載したものとすることは、記載も示唆もされていないのであって、かつ、このことが、本件出願前に周知の技術事項であることを証明するに足る証拠もない。
　そして、本件発明１は、「ＴＳＡ法」による「空気液化分離装置の前処理方法」において、「炭酸ガス吸着剤」の「炭酸ガス等温吸着容量」を上記相違点１に記載したものとすることにより、他の相違点に係る構成と相俟って、明細書記載の効果を奏するものである。
　故に、甲５−１発明において、「炭酸ガス吸着剤」の「炭酸ガス等温吸着容量」を、上記相違点１に記載したものとすることを、甲第１号証乃至甲第４号証の記載に基づいて、当業者が容易になし得るとは云えない。
　そうすると、相違点２及び３を検討するまでもなく、本件発明１は、甲第１号証乃至甲第５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
４−２．本件発明２乃至本件発明６について
　本件発明２乃至本件発明６は、いずれも本件発明１を引用するものであり、本件発明１に係る「空気液化分離装置の前処理方法」の構成を更に限定したものであるから、「４−１．本件発明１について」に記載したのと同様の理由により、本件発明３乃至本件発明６は、甲第１号証乃至甲第５号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
４−３．本件発明７について
　甲第５号証に、
「原料空気から水分、炭酸ガス等の不純物を吸着除去する吸着剤を充填してなり、切り替え使用する複数基の吸着筒を備え、連続的に原料空気の精製を行う空気液化分離装置の前処理方法であって、
ａ　加圧原料空気を吸着筒に導入し該原料空気から前記不純物を吸着除去する吸着工程、
ｂ　吸着工程終了後、吸着筒内を大気圧まで減圧する減圧工程、
ｃ　前記不純物を含まないパージガスを吸着筒に導入して吸着剤を加熱再生する加熱工程、
ｄ　吸着筒内を上記パージガスにより吸着操作温度まで冷却する冷却工程、
ｅ　加熱再生、冷却された吸着筒を再び加圧する充圧工程、
のａからｅの工程を含み、前記不純物を吸着除去する吸着工程ａが、温度１０〜４５℃の加圧原料空気を、水分吸着剤および炭酸ガス吸着剤がそれぞれ空気入口側からこの順序で充填された吸着筒内に導入し、水分吸着剤の全吸着剤に対する重量比が０．３９５であることを特徴とする空気液化分離装置の前処理方法」
の発明が記載されていると云えることは、「４−１．本件発明１について」に記載したとおりであるが、一方、甲第５号証には、（５−Ａ）の記載からみて、「吸着により流体を精製するための方法と装置」が記載されており、当該装置が、上記「空気液化分離装置の前処理方法」の処理を行うことができるものであることは明らかであるから、してみれば、甲第５号証には、
「原料空気から水分、炭酸ガス等の不純物を吸着除去する吸着剤を充填してなり、切り替え使用する複数基の吸着筒を備え、連続的に原料空気の精製を行う空気液化分離装置の前処理装置であって、
ａ　加圧原料空気を吸着筒に導入し、吸着操作を行う、該原料空気から前記不純物を吸着除去する吸着工程、
ｂ　吸着工程終了後、吸着筒内を大気圧まで減圧する減圧工程、
ｃ　前記不純物を含まないパージガスを吸着筒に導入して吸着剤を加熱再生する加熱工程、
ｄ　吸着筒内を上記パージガスにより吸着操作温度まで冷却する冷却工程、
ｅ　加熱再生、冷却された吸着筒を再び加圧する充圧工程、
のａからｅの工程を含む吸着分離を行う装置であり、
　前記不純物を吸着除去する吸着剤が、水分吸着剤および炭酸ガス吸着剤がそれぞれ空気入口側からこの順序で充填され、水分吸着剤の全吸着剤に対する重量比が０．３９５であることを特徴とする空気液化分離装置の前処理装置」
の発明（以下、「甲５−２発明」という）が記載されていると云える。
　そして、本件発明７と甲５−２発明とを比較した場合、本件発明７もまた、「炭酸ガス吸着剤」の「炭酸ガス等温吸着容量」を、「原料空気温度４５℃において、炭酸ガス分圧０．１ｋＰａで０．１ｍｏｌ／ｋｇ以上、炭酸ガス分圧１．０ｋＰａで０．６ｍｏｌ／ｋｇ以上であり、かつ原料空気温度２５℃において、炭酸ガス分圧０．１ｋＰａで０．３ｍｏｌ／ｋｇ以上、炭酸ガス分圧１．０ｋＰａで１．５ｍｏｌ／ｋｇ以上」とするものであるから、両者は、少なくとも「炭酸ガス吸着剤」の「炭酸ガス等温吸着容量」について構成が相違するものであり、すなわち、「４−１．本件発明１について」に記載した「相違点１」と同じ相違点を有するものである。
　そして、「炭酸ガス吸着剤」の「炭酸ガス等温吸着容量」を上記相違点１に記載したものとすることを、甲第１号証乃至甲第４号証の記載に基づいて当業者が容易になし得るとは云えないことは、「４−１．本件発明１について」に記載したとおりであるから、甲５−２発明において、「炭酸ガス吸着剤」の「炭酸ガス等温吸着容量」を上記相違点１に記載したものとすることを、甲第１号証乃至甲第４号証の記載に基づいて、当業者が容易になし得るとは云えない
　そうすると、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明７は、甲第１号証乃至甲第５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
４−４．本件発明８乃至本件発明１３について
　本件発明８乃至本件発明１３は、いずれも本件発明７を引用するものであり、本件発明７に係る「空気液化分離装置の前処理装置」の構成を更に限定したものであるから、「４−３．本件発明７について」に記載したのと同様の理由により、本件発明８乃至本件発明１３は、甲第１号証乃至甲第５号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
　なお、上記判断は甲第５号証を主引例としたものであるが、仮に特許異議申立人が主張するように甲第１号証を主引例としたとしても、少なくとも上記相違点１については上記判断と同じであることから、上記判断と結論において同じである。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては本件請求項１乃至請求項１３に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１乃至請求項１３に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年７月１日（２００４．７．１）