【事件の表示】
　特許第３２０６１３１号「ウエハ用メッキ装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２０６１３１号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３２０６１３１号の請求項１に係る発明についての出願は、平成４年８月１０日に特許出願され、平成１３年７月６日にその特許権の設定登録がなされたものである。
　これに対して、西山忠克より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１５年３月２８日付けで訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
２−１．訂正の内容
　本件訂正請求の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおり、すなわち次の訂正事項ａ及びｂのとおりに訂正するものである。
（１）訂正事項ａ：請求項１の「メッキ液が噴流されるカップと、このカップの上壁部に内側から外側に向かって斜め下方に傾斜し、且つ放射状に設けられた多数のメッキ液流出孔と、前記カップの上面に設けられたリング状のゴムシートと、端部がこのゴムシートの内周端よりも所定の距離だけ外側に位置した状態で、前記ゴムシートの上面に設けられたカソード電極とを具備し、ウエハの被メッキ面に設けられたメッキ用接続端子を前記カソード電極に接触させた状態で、該メッキ面のほぼ周囲を前記ゴムシートの上面に密接させるようにしたことを特徴とするウエハ用メッキ装置。」を、
「メッキ液が噴流されるカップと、このカップの上壁部に内側から外側に向かって斜め下方に傾斜し、且つ放射状に設けられた多数のメッキ液流出孔と、前記カップの上面に設けられたリング状のゴムシートと、内端部がこのリング状のゴムシートの内周端よりも所定の距離だけ外側に位置し、外端部が前記リング状のゴムシートの外終端より外側に配置された状態で、前記ゴムシートの上面に設けられた板状のカソード電極とを具備し、ウエハの被メッキ面に設けられたメッキ用接続端子を前記板状のカソード電極の上面に接触させた状態で、該メッキ面のほぼ周囲を前記ゴムシートの上面に密接させるようにしたことを特徴とするウエハ用メッキ装置。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ：特許明細書の段落【０００６】の
「【課題を解決するための手段】　
　この発明は、メッキ液が噴流されるカップと、このカップの上壁部に内側から外側に向かって斜め下方に傾斜し、且つ放射状に設けられた多数のメッキ液流出孔と、前記カップの上面に設けられたリング状のゴムシートと、端部がこのゴムシートの内周端よりも所定の距離だけ外側に位置した状態で、前記ゴムシートの上面に設けられたカソード電極とを具備し、ウエハの被メッキ面に設けられたメッキ用接続端子を前記カソード電極に接触させた状態で、該メッキ面のほぼ周囲を前記ゴムシートの上面に密接させるようにしたものである。」を、
「【課題を解決するための手段】　
　この発明は、メッキ液が噴流されるカップと、このカップの上壁部に内側から外側に向かって斜め下方に傾斜し、且つ放射状に設けられた多数のメッキ液流出孔と、前記カップの上面に設けられたリング状のゴムシートと、内端部がこのリング状のゴムシートの内周端よりも所定の距離だけ外側に位置し、外端部が前記リング状のゴムシートの外終端より外側に配置された状態で、前記ゴムシートの上面に設けられた板状のカソード電極とを具備し、ウエハの被メッキ面に設けられたメッキ用接続端子を前記板状のカソード電極の上面に接触させた状態で、該メッキ面のほぼ周囲を前記ゴムシートの上面に密接させるようにしたものである。」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項１の「ゴムシート」を「リング状のゴムシート」と、「カソード電極」を「板状のカソード電極」とそれぞれ訂正し、カソード電極の内端部と外端部について「内端部がこのリング状のゴムシートの内周端よりも所定の距離だけ外側に位置し、外端部が前記リング状のゴムシートの外終端より外側に配置された状態」と限定すると共に、メッキ用接続端子の接触を「カソード電極の上面に」と特定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。そして、上記訂正事項ａは、特許明細書の段落【０００８】や図１（Ａ）及び（Ｂ）に基づくものであるから、上記訂正事項ａは、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　また、上記訂正事項ｂは、請求項１の上記訂正に伴って特許明細書の記載を請求項１の内容と整合させるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当する。そして、上記訂正事項ｂも、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
２−３．まとめ
　したがって、上記訂正は、平成６年改正法附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．本件訂正発明１
　訂正後の請求項１に係る発明（以下、「本件訂正発明１」という）は、訂正明細書の請求項１に記載された事項により特定される上記２−１．（１）訂正事項ａに示すとおりのものである。
４．特許異議申立てについて
４−１．特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、証拠方法として、甲第１号証乃至甲第４号証を提出して、訂正前の本件請求項１に係る発明は、甲第１号証乃至甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであると主張している。
４−２．証拠の記載内容
　特許異議申立人が提出した上記甲第１号証乃至甲第４号証には、それぞれ次の事項が記載されている。
（１）甲第１号証：特公平２−４０７４８号公報
（１ａ）「１  半導体ウエハー上に多数区画形成された配線パターン上の微小部位を選択的にメツキする半導体ウエハーのメツキ方法であつて、 複数の第１噴射ノズルと複数の第２噴射ノズルとを、相互に密接させて格子状に、しかも第１、第２何れか一方の噴射ノズルから噴射されるメツキ液が相互に干渉し合つて乱流状態となることにより特定の流れ方向を形成することのないような間隔で配列させ、第１、第２の噴射ノズルの何れか一方からメツキ液を噴射すると共に他方の噴射ノズルにてメツキ液を回収するようにし、且つメツキ液の噴射と回収とを第１、第２の各噴射ノズルについて交互に行わせるようにすることを特徴とする半導体ウエハーのメツキ方法。」（特許請求の範囲）
（１ｂ）「 このメツキ装置１５は、半導体ウエハー２〔以下、ウエハー〕にメツキ処理を施す略円形状の第１メツキ処理槽１６と、該第１メツキ処理槽１６を囲繞する略円形状の第２メツキ槽１７と、第１メツキ処理槽１６の上部に載置されるウエハー２を押圧し固定する押圧手段１８と、メツキ液７の供給・排出が可能な第１給排兼用パイプ１９（以下、第１パイプ〕と、同じくメツキ液７の供給・排出可能な第２給排兼用パイプ２０（以下、第２パイプ〕と、第１メツキ処理槽１６及び第２メツキ槽１７を支持するベース体２１とからなる。
  この第１メツキ処理槽１６は、略円形状の枠体としての処理槽本体２２により全体が形成され、この処理槽本体２２の上部に押圧手段１８と対応しウエハー２を載置・固定すると共に第１パイプ１９から供給されるメツキ液７によりウエハー２にメツキ処理を施す処理部２３が設けられ、又側面は第２パイプ２０と接続されている。
  上記処理部２３は、ウエハー２と当接しメツキ液７の外部流出防止用のシール部２４を有し前記処理槽本体２２の上縁部に嵌合して固定される受部材２５と、前記第１パイプ１９に接続されている第１下部受部材２６と、該１下部受部材２６の上方に設けられ後述のノズル形成体を載置、固定すると共に第１噴射ノズル用の開口部２７を有する第２下部受部材２８と、格子状で第１、第２両噴射ノズル２９，３０を形成するノズル形成体３１と、からなる。」（第２頁第４欄第４２行乃至第３頁第５欄第２５行）
（１ｃ）「尚、４８はカソード接点用のリード線であり、７１はアノードであり、又押圧手段１８は図示の例に限定されるものでなく、シリンダとピストンを用い空圧を利用してもよいものである。」（第４頁第８欄第６行乃至第９行）
（２）甲第２号証：実願昭６３−１１３８９９号（実開平２−３８４７２号）のマイクロフィルム
（２ａ）「この板状陰極５、５上には導電性緩衝板６、６が載置され、さらにこの上にウエファー固定枠７に固定されたウエファー４が載置されている。板状陰極５、５が導電性緩衝板６、６と接触する部分である板状陰極５、５の上面以外の各面は、板状陰極５、５に通電した際に、めっき液Ｌ中の金属が析出しないように、フッ素樹脂等の絶縁膜５ａがマスクとして形成されている。」（第７頁）
（３）甲第３号証：特開昭５８−２８８２９号公報
（３ａ）「すなわち、メッキ液はメッキ部本体２１の下部流入口２８より本体２１内に流入し、上部に開口された排液孔２１ａより外部へ流出する。」（第２頁左下欄第６行乃至第８行）
（３ｂ）「また、カソード電極を半導体ウエハーの上方、すなわち、メッキ液外に設置したため、カソード電極がメッキ液中で半導体ウエハーに接触することによって生ずる問題点、たとえば接触不良、電極の劣化などの欠点を解消することができるばかりでなく、カソード電極と、ウエハーとを面接触させることが可能となり、」（第２頁左下欄第１７行乃至右下欄第３行）
（４）甲第４号証：特開昭５８−１８１８９８号公報
（４ａ）「１  比較的小なる外力により変形する環状の弾性体と、該環状の弾性体の表面に設けられた環状の導体とを有し、メツキされる物体と前記環状の弾性体との間に前記環状の導体を挾んで前記環状の弾性体を前記メツキされる物体に押し付けた場合、前記環状の導体は前記メツキされる物体と前記環状の弾性体とによつて、水密に包囲されるように構成されていることを特徴とするメツキ用給電装置。」（特許請求の範囲）
（４ｂ）「第３図に本発明の給電装置の実施例を示す。同図ａは該装置の全体的形状を示すもので、１１は例えばシリコンゴムの如き変形容易な弾性体で、図示のように環状に形成され、その表面に例えば銅線である環状導体１２が設けられている。該環状導体１２は、後述するようにシリコンゴム１１を介してウエフアーに押し付けられるので、メツキベースとの良好な接触を得る為に、比較的柔軟なものであることが望ましい。
  同図ｂはその断面の一部を拡大したもので、この図のように銅線１２がシリコンゴム１１に一部埋め込まれていると、シリコンゴムをウエフアー１に押し付けた時に、銅線の位置が変らないという利点がある。然し乍ら、これは本発明の要件ではない。
  同図ｃは、外力を加えてシリコンゴムをウエフアーに押し付けた状態を示すもので、銅線１２はシリコンゴム１１と基板であるウエフアー１によつて包み込まれている。シリコンゴムとウエフアーとの間は水密状態となるので、この状態でメツキ液中に浸漬しても、銅線はメツキ液に接触することがない。従つて銅線自体がメツキされることはなく、給電装置は何度使用してもウエフアーに対する接触状態が変ることはない。即ち本発明に於ては、シリコンゴムの如き弾性体は、給電用導体の支持体であると同時に、パツキングとしての役割も果している。
  第４図は本発明の給電装置の使用形態を示すものである。窓１４を持つ支持枠１３に本発明の給電装置及びウエフアー１を嵌め込み、押し当て治具１５によつてウエフアーを支持枠に押し付けると、既述したようにシリコンゴム１１が変形し、銅線１２はメツキ液から完全に隔離された状態で、メツキベースの周辺領域から給電し得るようになる。」（第２頁左下欄第１７行乃至第３頁左上欄第１１行）
４−３．当審の判断
　本件訂正発明１は、そのリング状のゴムシートと板状のカソード電極との接触状態に関する「内端部がこのリング状のゴムシートの内周端よりも所定の距離だけ外側に位置し、外端部が前記リング状のゴムシートの外終端より外側に配置された状態で、前記ゴムシートの上面に設けられた板状のカソード電極とを具備し、ウエハの被メッキ面に設けられたメッキ用接続端子を前記板状のカソード電極の上面に接触させた状態で、該メッキ面のほぼ周囲を前記ゴムシートの上面に密接させるようにした」という特定事項により、「ウエハ１１の下面のほぼ周囲がゴムシート２１の上面に密接し、その間が液密状態となっているので、この間からメッキ液４が流出することがなく、しかもカソード電極９の端部がゴムシート２１の内周端よりも所定の距離だけ外側に位置させられているので、カソード電極９がメッキ液４と全く接触しないようにすることができる。」（段落【００１０】）という作用効果を奏するものである。
　これに対し、甲第１号証には、「ウエハーのメッキ装置」が記載されているが、このメッキ装置のカソード電極については「尚、４８はカソード接点用のリード線であり、」（上記（１ｃ））と記載され、第１図にもこのリード線が単に図示されているだけであるから、甲第１号証には、本件訂正発明１の板状のカソード電極とリング状のゴムシートとの接触状態に関する上記特定事項については何ら示唆されていないことが明らかである。甲第２号証には、ウエハーめっき装置の板状陰極について、陰極面にめっき金属が析出しないようにフッ素樹脂等の絶縁膜をマスク形成することが記載されているが、これは、マスキングによりめっき金属の析出を防止する方策であり、陰極をめっき液と接触しないようにする方策ではないから、甲第２号証にも、本件訂正発明１の上記特定事項について何ら示唆されていないことが明らかである。
　また、甲第３号証について検討すると、甲第３号証には、メッキ液を外部に排出するための「内側から外側に向かって斜め下方に傾斜して設けられたメッキ液流出孔」が記載されているが、この甲第３号証に記載されたメッキ装置において採られているカソード電極とメッキ液との接触を回避する方策は、カソード電極をメッキ液外に設置してメッキ液とそもそも接触しないようにするというものであり、本件訂正発明１の如くカソード電極をメッキ液と接触するメッキ面下（液中）に設置した場合における回避策とその基本的な技術思想が明らかに相違しているから、甲第３号証にも、本件訂正発明１の上記特定事項については何ら示唆されていないと云える。
　さらに、甲第４号証について検討すると、甲第４号証には、その給電用導体である銅線自体をシリコンゴムとウエフアーとで包み込むことによりメッキ液との接触を回避する方策が記載されているが、この回避策は、「銅線」を対象としたものであり、本件訂正発明１の如き「板状のカソード電極」を対象としたものではないから、リング状のゴムシートと板状のカソード電極との配置状態である上記特定事項の「内端部がこのリング状のゴムシートの内周端よりも所定の距離だけ外側に位置し、外端部が前記リング状のゴムシートの外終端より外側に配置された状態」について何ら示唆するものではない。加えて、甲第４号証には、本件訂正発明１のウエハ用メッキ装置を特定するその余の「メッキ液が噴流されるカップ」、「このカップの上壁部に内側から外側に向かって斜め下方に傾斜し、且つ放射状に設けられた多数のメッキ液流出孔」及び「板状のカソード電極」についても何ら示唆されていないと云える。
　してみると、甲第１号証及び甲第２号証は、本件訂正発明１の主要な上記特定事項について何ら示唆するものではなく、甲第３号証は、そこに記載された上記回避策が本件訂正発明１と別異の技術思想に基づくものであるから、この証拠を主要な証拠として本件訂正発明１に到達することは困難であり、また、甲第４号証は、本件訂正発明１の特定事項の一部について示唆するのみでその余の特定事項については何ら示唆するものではないから、本件訂正発明１は、甲第１号証乃至甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
　
５．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件訂正発明１についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件訂正発明１についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年１１月１２日（２００３．１１．１２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
ウエハ用メッキ装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　メッキ液が噴流されるカップと、
　このカップの上壁部に内側から外側に向かって斜め下方に傾斜し、且つ放射状に設けられた多数のメッキ液流出孔と、
　前記カップの上面に設けられたリング状のゴムシートと、
　
内
リング状の
、外端部が前記リング状のゴムシートの外終端より外側に配置された
板状の
　ウエハの被メッキ面に設けられたメッキ用接続端子を前記
板状の
の上面
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　この発明は半導体ウエハにメッキを施すためのウエハ用メッキ装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　例えば、半導体ウエハ（以下、単にウエハという）にバンプ電極を形成する場合、ウエハのバンプ電極形成面（被メッキ面）にメッキレジスト層を形成し、このメッキレジスト層をエッチングして開口を形成することにより、この開口を介してパッド部を露出させ、この露出したパッド部にウエハ用メッキ装置を用いて金等のメッキを施し、この施したメッキによってバンプ電極を形成している。
　【０００３】
　図２（Ａ）、（Ｂ）はこのような場合に用いられている従来のウエハ用メッキ装置を示したものである。このウエハ用メッキ装置では、メッキ槽１内にカップ２が設けられている。メッキ槽１とカップ２とは液路３によって連通されている。液路３には、メッキ槽１内に収容されているメッキ液（イオン化された金を含む）４をカップ２内に噴流させるための噴流ポンプ５が介在されている。カップ２内の底部には網状のアノード電極６が設けられている。アノード電極６はリード線７を介して図示しない電源装置の陽極に接続されている。カップ２の上面の等間隔ずつ離間する所定の３個所には、所定の３辺にメッキ液遮断壁８ａを有する平面ほぼ方形状のメッキ液遮断部材８が設けられている。メッキ液遮断部材８内には、内側にウエハ載置壁９ａを有する側面ほぼＵ字状のカソード電極９が設けられている。カソード電極９のウエハ載置壁９ａはメッキ液遮断部材８のメッキ液遮断壁８ａよりも若干上方に突出されている。カソード電極９はリード線１０を介して電源装置の陰極に接続されている。３つのカソード電極９のウエハ載置壁９ａにはウエハ１１が載置されている。ウエハ１１は、詳細には図示していないが、既に説明したように、バンプ電極形成面（図２（Ａ）において下面）に形成された図示しないメッキレジスト層に開口が形成されていることにより、この開口を介してパッド部が露出され、さらにカソード電極９のウエハ載置壁９ａと接触する部分に図示しないメッキ用接続端子が設けられた構造となっている。ウエハ１１は、メッキ槽１に取り付けられた上蓋１２の下面に設けられた板バネ１３によって押え付けられている。
　【０００４】
　そして、このウエハ用メッキ装置の噴流ポンプ５が駆動すると、メッキ槽１内に収容されているメッキ液４がアノード電極６を通過してカップ２内に噴流され、ウエハ１１の下面に噴き付けられる。このとき、アノード電極６とカソード電極９との間にメッキ電流を流すと、ウエハ１１の下面に露出したパッド部に金メッキが施され、この施された金メッキによってバンプ電極が形成される。ウエハ１１の下面に噴き付けられたメッキ液４は、特に図２（Ｂ）において矢印で示すように、３つのメッキ液遮断部材８を除くカップ２の上端部から外側にオーバーフローして流れ落ち、メッキ槽１内に回収される。この場合、メッキ液４が３つのメッキ液遮断部材８を除くカップ２の上端部から外側に流れ落ちるようにしているのは、１つは、ウエハ１１の下面に常に新しいメッキ液４を供給するとともに、ウエハ１１の下面に接触しているメッキ液４中の気泡を除去してメッキ不良が発生するのを防止するためである。もう１つは、メッキ液遮断部材８のメッキ液遮断壁８ａによってメッキ液４がメッキ液遮断部材８内に流れ込むのを防止し、これによりメッキ液遮断部材８内に設けたカソード電極９がメッキ液４と接触してこのカソード電極９がメッキされるのを防止し、ひいてはメッキ液４中の高価な金（メッキ金属）が無駄に消費されるのを防止するためである。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、従来のこのようなウエハ用メッキ装置では、メッキ液遮断部材８内に設けたカソード電極９のウエハ載置壁９ａにウエハ１１を載置して、ウエハ１１のメッキ用接続端子とカソード電極９とを導通させているので、メッキ液遮断部材８のメッキ液遮断壁８ａの上面とウエハ１１の下面との接触を避けるために、その間に若干の例えば０．２〜０．３ｍｍ程度の隙間を設ける必要があり、一方、カップ２内で噴流されるメッキ液４の液面がウエハ１１の下面に接触しており、したがってメッキ液４が上述した隙間を介してメッキ液遮断部材８内に流出するのを完全に防止することができず、メッキ液遮断部材８内に流出したメッキ液４によってカソード電極９がメッキされてしまうことがあるという問題があった。この発明の目的は、カソード電極がメッキ液と全く接触しないようにすることのできるウエハ用メッキ装置を提供することにある。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　この発明は、メッキ液が噴流されるカップと、このカップの上壁部に内側から外側に向かって斜め下方に傾斜し、且つ放射状に設けられた多数のメッキ液流出孔と、前記カップの上面に設けられたリング状のゴムシートと、
内
リング状の
、外端部が前記リング状のゴムシートの外終端より外側に配置された
板状の
板状の
の上面
　【０００７】
　【作用】
　この発明によれば、ウエハの被メッキ面のほぼ周囲がゴムシートの上面に密接し、その間が液密状態となるので、この間からメッキ液が流出することがなく、したがってカソード電極がメッキ液と全く接触しないようにすることができる。
　【０００８】
　【実施例】
　図１（Ａ）、（Ｂ）はこの発明の一実施例におけるウエハ用メッキ装置を示したものである。これらの図において、図２（Ａ）、（Ｂ）と同一名称部分には同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。このウエハ用メッキ装置では、カップ２の上面にリング状のゴムシート２１が設けられている。ゴムシート２１の厚さは無負荷の状態で全体にわたって均一であって、１．０〜１．５ｍｍ程度となっている。ゴムシート２１の上面の等間隔ずつ離間する所定の３個所には、側面ほぼＬ字状のカソード電極９がその端部をゴムシート２１の内周端よりも所定の距離だけ外側に位置させられた状態で設けられている。カソード電極９は厚さ０．１〜０．３ｍｍ程度の白金板からなっている。カップ２の上壁部の等間隔ずつ離間する多数の個所には、図１（Ｂ）において一部の図示を省略しているが、メッキ液流出孔２２が放射状に設けられている。メッキ液流出孔２２は内側から外側に向かって斜め下方に３０〜６０°程度の角度で傾斜されている。メッキ液流出孔２２の内端開口部とカップ２の上面との間隔は、０が望ましいが、強度の関係上、０．５〜１．０ｍｍ程度となっている。
　【０００９】
　さて、このウエハ用メッキ装置を用いてウエハ１１に金メッキからなるバンプ電極を形成する場合には、まず、上蓋１２を取り外し、ウエハ１１をそのバンプ電極形成面を下側にして位置決めした状態でゴムシート２１上における３つのカソード電極９の上に載置する。次に、上蓋１２をメッキ槽１に取り付け、上蓋１２の下面に設けられた板バネ１３によってウエハ１１を押え付ける。すると、ウエハ１１がカソード電極９を押え付けることにより、カソード電極９がゴムシート２１にこれを弾性変形させつつ食い込み、ウエハ１１の下面のほぼ周囲がゴムシート２１の上面に密接する状態となる。したがって、この状態では、ウエハ１１の下面に設けられたメッキ用接続端子がカソード電極９に確実に接触され、確実な電気的接続が得られる。また、ウエハ１１の下面がゴムシート２１の上面に密接することにより、その間が液密状態となる。
　【００１０】
　この状態で、噴流ポンプ５が駆動すると、メッキ槽１内に収容されているメッキ液４がアノード電極６を通過してカップ２内に噴流され、ウエハ１１の下面に噴き付けられる。このとき、アノード電極６とカソード電極９との間にメッキ電流を流すと、ウエハ１１の下面に露出したパッド部に金メッキが施され、この施された金メッキによってバンプ電極が形成される。ウエハ１１の下面に噴き付けられたメッキ液４は、多数のメッキ液流出孔２２を介してメッキ槽１内に回収される。この場合、多数のメッキ液流出孔２２からメッキ液４が流出するので、従来のオーバーフローと同等の効果が得られ、ウエハ１１の下面に常に新しいメッキ液４を供給することができるとともに、ウエハ１１の下面に接触しているメッキ液４中の気泡を除去してメッキ不良が発生するのを防止することができる。また、ウエハ１１の下面のほぼ周囲がゴムシート２１の上面に密接し、その間が液密状態となっているので、この間からメッキ液４が流出することがなく、しかもカソード電極９の端部がゴムシート２１の内周端よりも所定の距離だけ外側に位置さ
　せられているので、カソード電極９がメッキ液４と全く接触しないようにすることができる。
　【００１１】
　【発明の効果】
　以上説明したように、この発明によれば、ウエハの被メッキ面のほぼ周囲をゴムシートの上面に密接させ、その間を液密状態としているので、この間からメッキ液が流出することがなく、したがってカソード電極がメッキ液と全く接触しないようにすることができ、ひいてはメッキ金属の無駄な消費を皆無とすることができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　（Ａ）はこの発明の一実施例におけるウエハ用メッキ装置の断面図、（Ｂ）はその一部の平面図。
　【図２】
　（Ａ）は従来のウエハ用メッキ装置の断面図、（Ｂ）はその一部の平面図。
　【符号の説明】
　１　メッキ槽
　２　カップ
　４　メッキ液
　５　噴流ポンプ
　６　アノード電極
　９　カソード電極
　１１　ウエハ
　２１　ゴムシート
　２２　メッキ液流出孔