【事件の表示】
　特許第３０４１９５２号「インクジェット式記録ヘッド、圧電振動体、及びこれらの製造方法」の請求項１ないし請求項４に係る特許異議の申立てについて、平成１４年２月２７日付けの決定に対して、東京高等裁判所において決定取消の判決（平成１４年（行ケ）第１８２号、平成１５年９月１７日判決言渡）があったので、更に審理の結果、次のとおり決定する。　
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０４１９５２号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３０４１９５２号の請求項１ないし請求項２７に係る発明は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴って平成２年１１月３０日（優先日、平成２年２月２３日）に特許出願され、平成１２年３月１０日にその特許の設定登録がなされ、その後、請求項１ないし請求項４に係る発明の特許について、林清美より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年７月１１日に特許異議意見書が提出された後の、平成１４年２月２７日付けの「本件発明１ないし本件発明４についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものと認める。」との決定に対して、東京高等裁判所において決定取消の判決（平成１４年（行ケ）第１８２号、平成１５年９月１７日判決言渡）があったので、更に審理の結果、再度取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１６年１月５日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
　ア．特許権者が求めている訂正の内容は、次のとおりである。
　訂正事項ａ：特許請求の範囲の請求項１を、
　「【請求項１】圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に積層し、それぞれが一端側が基台に固着され、他端側を自由端とした複数の圧電振動体と、ノズル開口に連通するインク溜部を形成する流路形成部材とを備え、前記圧電振動体の前記自由端側の先端により前記インク溜部の容積を膨張、収縮させるように、前記流路形成部材と前記基台とを固定部材を介して固定してなるインクジェット式記録ヘッド。」から、
　「【請求項１】
圧電材料と電極となる導電材料とがそれぞれ複数、層状に前記電極が伸縮方向に平行となるように交互に積層した圧電振動体を、複数、それぞれの一端側を基台に固着し、他端側を自由端とした圧電振動体ユニットと、
　訂正事項ｂ：請求項５乃至請求項９の記載において、それぞれ、行頭に「圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に積層し、それぞれが一端側が基台に固着され、他端側を自由端とした複数の圧電振動体と、ノズル開□に連通するインク溜部を形成する流路形成部材とを備え、前記圧電振動体の前記自由端側の先端により前記インク溜部の容積を膨張、収縮させるように、前記流路形成部材と前記基台とを固定部材を介して固定し、」を加入し、また「請求項１に記載の」を削除する。
　訂正事項ｃ：明細書の第８頁第１７行目乃至第９頁第４行目（特許掲載公報第５欄３９〜４６行）を、「このような問題を解消するために本発明においては、圧電材料と電極となる導電材料とがそれぞれ複数、層状に前記電極が伸縮方向に平行となるように交互に積層した圧電振動体を、複数、それぞれの一端側を基台に固着し、他端側を自由端とした圧電振動体ユニットと、ノズル開□に連通するインク溜部を形成する流路形成部材とを備え、前記圧電振動体の前記自由端側の先端により前記インク溜部の容積を膨張、収縮させるように、前記流路形成部材と前記基台とを固定部材を介して固定するようにした。」　に訂正する。
　訂正事項ｄ：明細書の第４０頁第３行乃至同頁第２０行目（特許掲載公報第１６欄１８〜３７行）を、「以上説明したように本発明においては、圧電材料と電極となる導電材料とがそれぞれ複数、層状に前記電極が伸縮方向に平行となるように交互に積層した圧電振動体を、複数、それぞれの一端側を基台に固着し、他端側を自由端とした圧電振動体ユニットと、ノズル開□に運通するインク溜部を形成する流路形成部材とを備え、前記圧電振動体の前記自由端側の先端により前記インク溜部の容積を膨張、収縮させるように、前記流路形成部材と前記基台とを固定部材を介して固定したので、基台を固定部材に相対的に位置調整することにより圧電振動体を流路形成部材に高い位置精度で当接させることが可能となり、また基台に圧電材料板の一端部側を固着した状態で歯割加工してから、固定部材に位置決めできるため、機械的強度が高い基台を介して脆弱な圧電振動子を位置決めでき、流路形成部材への位置決め時のハンドリングを容易化することができ、さらに基台と固定部材とが別部材として構成できるため、それぞれの目的に合致した材料、つまり基台には圧電振動体からの反力を受け止めるに十分な剛性の高い材料を、また固定部材には射出成形等により製造することが可能な高分子材料を選択することができ、記録ヘッドとしての性能向上と、コストの引き下げを図ることができる。」　に訂正する。
　
　イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項（特に、特許掲載公報第６欄第４１行〜第７欄第１９行、図２、図４）の範囲内で、圧電振動体が圧電振動体ユニットであることに技術的に限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　訂正事項ｂは、特許異議の申立てがなされていない請求項５乃至請求項９を独立項とするための訂正であり、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項ｃ及び訂正事項ｄは、訂正事項ａに伴い、発明の詳細な説明の記載を、請求項１の記載との整合を図るべく訂正するものであり、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　そして、上記訂正は、いずれも新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
　ウ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
　ア．申立ての理由の概要
　特許異議申立人、林清美は、甲第１号証（特願平１−２４６９９４号（特開平３−１０８５４９号公報参照））を提示し、訂正前の請求項１、２、４に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であり、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張し、また、甲第２号証（特願平２−１５８０７号（特開平３−２１８８３９号公報参照））を提示し、訂正前の請求項１ないし請求項４に係る発明は、甲第２号証に記載された発明と同一であり、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張し、さらに、甲第３号証（特開昭６０−９０７７０号公報）を提示し、訂正前の請求項１、２、４に係る発明は、甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張している。
　
　イ．本件の請求項１ないし請求項４に係る発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１ないし請求項４に係る発明は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項４に記載された次のとおりのものである。
　「【請求項１】圧電材料と電極となる導電材料とがそれぞれ複数、層状に前記電極が伸縮方向に平行となるように交互に積層した圧電振動体を、複数、それぞれの一端側を基台に固着し、他端側を自由端とした圧電振動体ユニットと、ノズル開口に連通するインク溜部を形成する流路形成部材とを備え、前記圧電振動体の前記自由端側の先端により前記インク溜部の容積を膨張、収縮させるように、前記流路形成部材と前記基台とを固定部材を介して固定してなるインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項２】前記流路形成部材が、ノズルプレート及び振動板により構成され、前記インク溜部が少なくとも前記ノズルプレートと前記振動板との一方に形成された凹部により構成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項３】前記流路形成部材が、ノズルプレート、スペーサ、及び振動板とにより構成され、前記インク溜部が少なくとも前記スペーサに形成された凹部により形成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項４】前記ノズル開口が、前記圧電振動体の前記自由端の先端面と非対向な位置に形成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。」（以下、「本件発明１」ないし「本件発明４」という。）
　
　ウ．引用例等
　当審が通知した取消理由に引用した引用例である、引用例１：特願平１−２４６９９４号（特開平３−１０８５４９号公報参照）の願書に最初に添付した明細書又は図面（特許異議申立人、林清美提出の甲第１号証）（以下、「先願明細書１」という。）、引用例２：特願平２−１５８０７号（特開平３−２１８８３９号公報参照）の願書に最初に添付した明細書又は図面（特許異議申立人、林清美提出の甲第２号証）（以下、「先願明細書２」という。）、特開昭６０−９０７７０号公報（特許異議申立人、林清美提出の甲第３号証）（以下、「引用例３」という。）、特開昭５８−１１９８７０号公報（以下、「引用例４」という。）、特開平１−２８３１５３号公報（以下、「引用例５」という。）には、それぞれ、下記の事項が記載されている。
　
　［先願明細書１］（尚、記載箇所は特開平３−１０８５４９号公報のものである。）
　ａ．「インクジェット記録ヘッドでは、インクの満たされた液室に加圧してインクの液滴を噴射させるために、圧電体の変形を利用する方式が従来より採用されている。例えば第３図に示している第１従来例では、カバーブロック３０に、その下面から上方へと凹入する複数の溝を形成した後、これらの溝を下側から薄板状の振動板３１で覆うことによって、それぞれインクの満たされる液室３２…が構成され、そして、上記振動板３１の下側に、圧電体材料より成る加圧ブロック３３が配設されている。この加圧ブロック３３は、平板状の基底部３４と、この基底部３４の上面からそれぞれ上方へ延びて上端面が振動板３１に接着された複数の柱状の圧電素子部３５…とを有する形状となされており、各圧電素子部３５の上下の各端面、すなわち基底部３４との接合面、及び振動板３１との接着面にそれぞれグランド電極３６・３７が、また中間位置に信号電極３８が設けられている。この信号電極３８に電圧を印加することによって、圧電素子部３５に伸び変形が生じ、この変形に応じて振動板３１には、図中二点鎖線で示すように、液室３２内に凹入する変形を生じる。これにより、液室３２の内容積が減少することから、液室３２内の液圧が上昇し、この結果、液室３２内のインクがノズル３９を通して噴射される。」（第１頁右下欄３行〜第２頁左上欄８行）、
　ｂ．第３図には、基底部３４と振動板３１との間に設けられた複数の圧電素子部３５のうち、液室３２，３２間に位置する圧電素子部３５は支柱となっている点が記載されている。また、ノズル３９は圧電素子部３５の先端面に対向しない位置に配されている点が記載されている。
　
　［先願明細書２］（尚、記載箇所は特開平３−２１８８３９号公報のものである。）
　ａ．「本発明は、インクジェット記録装置に関し、より詳細には、インクジェット記録装置のヘッド部に関する。」（第１頁右下欄１〜３行）、
　ｂ．「第１図は、本発明によるインクジェット記録装置の一実施例を説明するための構成図で、図中、１は基板、２は圧電素子、３はスリット、４は圧電素子の凸部、５は加圧室、６はノズル、７はインク供給部、８は振動板、９は加圧室形成部材、１０はノズルプレート、１５はノズル側流路である。基板１、圧電素子２、振動板８、加圧室形成部材９とノズルプレート１０が積層されている。」（第２頁右上欄１９行〜左下欄６行）、
　ｃ．「第３図はスリット加工された圧電素子の斜視図である。」（第２頁左下欄１３〜１４行）、
　ｄ．「第４図（ｂ）は積層圧電素子の場合の電極の構成例であり、１３は個別内部電極で、１４が共通内部電極である。」（第２頁右下欄３〜５行）。
　ｅ．第３図には、基板１上に圧電素子の凸部４が並んで配置されているとともに、基板１上の右端に他より幅広の圧電素子２が図示されており、この圧電素子２にインクタンクとインク供給部とを結ぶ穴が図示されている。
　
　［引用例３］
　ａ．「本発明は圧電素子を用いたインクオンデマンド型インクジェットヘッドに係わり」（第１頁左下欄１５〜１６行）、
　ｂ．「第１図に本発明の一実施例として流路の軸に対し垂直方向に切った断面を示す。１はポリサルフォンの基板で表面にインク流路が溝として形成されている。第１図にはインク流路のうち加圧室２の断面を示す。・・・３はポリサルフォンの振動板で・・・基板１に積層されている。４は全ての加圧室をおおう圧電素子で上下に電極５，６を有し、溝７によって各加圧室に対応するように上部を残して分割されている。振動板３と圧電素子４は振動板３の表面に設けられた電極８に接着されている。・・・９は電極１０を介して圧電素子４の電極５に積層された剛性部材で、両端がコの字型に曲がり、振動板３に接着されており」（第２頁右上欄１０行〜左下欄７行）、
　ｃ．「基板１は射出成形により作られ、ノズル１１、供給路１２、供給管１３等のインク流路が加圧室２とともに形成される。その後表面に振動板３を溶剤接着しヘッド体を形成する。」（第２頁左下欄１２〜１５行）、
　ｄ．第２図には、ノズル１１が、圧電素子４の自由端の先端面と非対向な位置に形成される点が記載されている。
　
　［引用例４］
　ａ．「本発明はインクの液滴ないし微粒子を噴出オリフィスから噴射し得るようになったインクジェット装置に係り、より詳しくは、噴射オリフィスからのインク微粒子の噴射を制御するための変換器を支持する手段に関する。」（第２頁右上欄３〜７行）。
　ｂ．「第１図から第３図を参照するに、インクジェット装置は変換器２０４の励起に応じてインクの液滴ないし微粒子を噴出する為の複数のインクジェットチャンバ２００を有し、各チャンバはオリフィスプレート２２０に設けたオリフィス２０２を有する。変換器２０４はその長軸に垂直な断面に於て矩形であり、第３図に矢印で示したように長軸に沿って伸縮する。長軸に沿って生じた変換器２０４の運動は連結手段２０６によってチャンバ２００に伝えられる。連結手段２０６は脚部２０７と、この脚部２０７に並列配置された粘弾性材料２０８と、ダイアフラム２１０とを含んで成り、このダイアフラム２１０は第３図から最も良くわかるような姿勢に予荷重が与えられている。・・・リザーバ２１２はチヤンバプレート２１８内に形成された凹部によって構成されている。・・・本発明に従い、各変換器２０４はその両端に於て支持されているが、その中間部は第１図からよくわかるように基本的に支持されていない。第１図にはプレート２２６とプレート２２８とを含んで成る変換器支持手段が特に示してある。・・・変換器２０４の長軸に沿って変換器が長手方向に運動することは許容されるが変換器２０４が側方運動することは実質的に妨げられることに留意すべきである。変換器２０４の取付手段はプレート２２８により構成されるもので、この取付手段はスロット２３２（第２図）とこれらのスロット２３２内に配置された弾性クランプ手段２３０（第４図から第６図）とを含んでなり、この弾性クランプ手段２３０は変換器２０４をクランプしている。この弾性クランプ手段２３０ならびにスロット２３２はチヤンバーとは反対側の変換器２０４の端部に連結されている。この変換器取付手段は弾性クランプ手段２３０のところで変換器が長手方向運動するのをほぼ完全に阻止するもので、この為変換器２０４の伸縮は変換器２０４に沿った並進運動を生じてプレート２２６内の軸受穴２２４を通る脚部２０７の運動に変換される。」（第３頁左下欄１行〜第４頁左上欄１６行）。
　
　［引用例５］
　ａ．「この発明は、インク液を液滴状に射出して記録を行うインクジェット記録ヘッドに関し、特にインク射出の高速化が可能なマルチノズルのインクジェット記録ヘッドに関する。」（第１頁左下欄１６〜１９行）。
　ｂ．「第４図及び第５図において、２１はノズル板で、このノズル板２１にはインクノズル２２が形成されている。２３は基板としてのキャビティ板で、このキャビティ板２３には中央部にインク加圧室２４が貫通して形成され、さらにその左右に溝状のインク供給通路２５が形成されている。これらのインクノズル２２、インク加圧室２４及びインク供給通路２５は、図の紙面の前後方向に並べて複数設けられている。・・・２９は弾性率の高いステンレス鋼板で作られた振動部材で、振動板２６の凹部に合わせて、凹部２９がプレス成形により連続的に形成されている。３０は圧電素子である。上記各構成部材は、第５図に示すように積層され、接着により一体化される。」（（第３頁右上欄３行〜左下欄５行）。
　
　エ．対比・判断
　（１）本件発明１と引用例１ないし引用例５とを比較すると、いずれの引用例にも、本件発明１の構成要件である「圧電材料と電極となる導電材料とがそれぞれ複数、層状に前記電極が伸縮方向に平行となるように交互に積層した圧電振動体を、複数、それぞれの一端側を基台に固着し、他端側を自由端とした圧電振動体ユニット」については記載がなく、これを示唆する記載もない。
　そして、本件発明１は、上記構成により、「基台を固定部材に相対的に位置調整することにより圧電振動体を流路形成部材に高い精度で当接させることが可能となり、・・・流路形成部材への位置決め時のハンドリングを容易化することができ、さらに基台と固定部材とが別部材として構成できるため、それぞれの目的に合致した材料、つまり基台には圧電振動体からの反力を受け止めるに十分な剛性の高い材料を、また固定部材には射出成形等により製造することが可能な高分子材料を選択することができ、記録ヘッドとしての性能向上と、コストの引き下げを図ることができる。」（訂正明細書第２９頁２１行〜第３０頁９行参照）という、各引用例に記載のものからは期待できない格別の効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、先願明細書１または先願明細書２に記載された発明と同一であるとはいえず、上記引用例３ないし引用例５に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　
　（２）次に、本件発明２について検討する。
　本件発明２は本件発明１の全ての構成要件を含み、流路形成部材とインク溜部との関係を技術的に限定したものであるから、上記（１）と同様の理由により、本件発明２は、先願明細書１または先願明細書２に記載された発明と同一であるとはいえず、上記引用例３ないし引用例５に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　
　（３）次に、本件発明３について検討する。
　本件発明３は本件発明１の全ての構成要件を含み、流路形成部材とインク溜部との関係を技術的に限定したものであるから、上記（１）と同様の理由により、本件発明３は、先願明細書１または先願明細書２に記載された発明と同一であるとはいえず、上記引用例３ないし引用例５に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　
　（４）次に、本件発明４について検討する。
　本件発明４は本件発明１の全ての構成要件を含み、ノズル開口の位置を技術的に限定したものであるから、上記（１）と同様の理由により、本件発明４は、先願明細書１または先願明細書２に記載された発明と同一であるとはいえず、上記引用例３ないし引用例５に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　
　オ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由によっては本件請求項１ないし請求項４に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１ないし請求項４に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項１ないし請求項４に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年２月２７日（２００２．２．２７）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
インクジェット式記録ヘッド、圧電振動体、及びこれらの製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
圧電材料と電極となる導電材料とがそれぞれ複数、層状に前記電極が伸縮方向に平行となるように交互に積層した圧電振動体を、複数、それぞれの一端側を基台に固着し、他端側を自由端とした圧電振動体ユニットと、
　前記圧電振動体の前記自由端側の先端により前記インク溜部の容積を膨張、収縮させるように、前記流路形成部材と前記基台とを固定部材を介して固定してなるインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項２】　前記流路形成部材が、ノズルプレート及び振動板により構成され、前記インク溜部が少なくとも前記ノズルプレートと前記振動板との一方に形成された凹部により構成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項３】　前記流路形成部材が、ノズルプレート、スペーサ、及び振動板とにより構成され、前記インク溜部が少なくとも前記スペーサに形成された凹部により形成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項４】　前記ノズル開口が、前記圧電振動体の前記自由端の先端面と非対向な位置に形成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項５】　
圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に積層し、それぞれが一端側が基台に固着され、他端側を自由端とした複数の圧電振動体と、ノズル開口に連通するインク溜部を形成する流路形成部材とを備え、前記圧電振動体の前記自由端側の先端により前記インク溜部の容積を膨張、収縮させるように、前記流路形成部材と前記基台とを固定部材を介して固定し、
るイ
　【請求項６】　
圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に積層し、それぞれが一端側が基台に固着され、他端側を自由端とした複数の圧電振動体と、ノズル開口に連通するインク溜部を形成する流路形成部材とを備え、前記圧電振動体の前記自由端側の先端により前記インク溜部の容積を膨張、収縮させるように、前記流路形成部材と前記基台とを固定部材を介して固定し、
るイ
　【請求項７】　
圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に積層し、それぞれが一端側が基台に固着され、他端側を自由端とした複数の圧電振動体と、ノズル開口に連通するインク溜部を形成する流路形成部材とを備え、前記圧電振動体の前記自由端側の先端により前記インク溜部の容積を膨張、収縮させるように、前記流路形成部材と前記基台とを固定部材を介して固定し、
るイ
　【請求項８】
　圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に積層し、それぞれが一端側が基台に固着され、他端側を自由端とした複数の圧電振動体と、ノズル開口に連通するインク溜部を形成する流路形成部材とを備え、前記圧電振動体の前記自由端側の先端により前記インク溜部の容積を膨張、収縮させるように、前記流路形成部材と前記基台とを固定部材を介して固定し、
るイ
　【請求項９】　
圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に積層し、それぞれが一端側が基台に固着され、他端側を自由端とした複数の圧電振動体と、ノズル開口に連通するインク溜部を形成する流路形成部材とを備え、前記圧電振動体の前記自由端側の先端により前記インク溜部の容積を膨張、収縮させるように、前記流路形成部材と前記基台とを固定部材を介して固定し、
るイ
　【請求項１０】　圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に積層し、それぞれが一端側を基台に固着され、他端側を自由端とされた複数の圧電振動体と、
　前記圧電振動体の少なくとも前記自由端の近傍を取り囲んでノズル開口に連通するインク溜部を形成する流路形成部材と、
　前記圧電振動体の前記自由端の先端により前記インク溜部のインクを加圧、減圧するように前記流路形成部材と前記基台とを固定部材を介して配置してなるインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項１１】　前記流路形成部材が、前記ノズル開口が形成されたノズルプレートに、各圧電振動体間を仕切る仕切部材を設けて構成されている請求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項１２】　前記ノズル開口の形成されたノズルプレートが、支持部材を介して固定部材に固定されている請求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項１３】　前記支持部材が、前記圧電振動体の間に形成されている請求項１２に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項１４】　前記支持部材が、前記圧電振動体を構成する圧電材料板を切り出して形成されている請求項１３に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項１５】　隣接する圧電振動体の間に、前記自由端の先端面を露出させるように弾性材料が充填されている請求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項１６】　前記圧電振動体が、１枚の圧電材料板を、ノズル開口の配列方向に対して一定の角度ずらせて分割して構成されている請求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項１７】　前記圧電振動体の自由端側が、仕切部材を介して対向するように配置されている請求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項１８】　前記仕切部材が、前記圧電振動体を構成する圧電材料板により構成されている請求項１７に記載のインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項１９】　圧電材料と導電材料とをそれぞれ層状に交互に積層して構成された圧電部材と、該圧電部材の一方の面に貼着された弾性部材とからなり、一端側が基台に固定され、他端側が自由端とされた圧電振動体と、
　ノズル開口に連通するインク溜部を形成する前記流路形成部材とを有し、前記圧電振動体が前記流路形成部材のノズル開口に対してたわみ変位可能な間隔をおいて前記ノズル開口と対向するように、前記流路形成部材と前記基台とが固定部材を介して固定されているインクジェット式記録ヘッド。
　【請求項２０】　流路形成部材を支持する固定部材に固着される基台に、圧電振動板の一端を自由端とするように他端を固定するとともに、前記圧電振動板を前記基台側を固着領域とするように一定のピッチで切断して複数の圧電振動体に分割してなるインクジェット式記録ヘッドの圧電振動体。
　【請求項２１】　前記圧電材料と導電材料とが、前記圧電振動体の伸縮方向に平行に積層されている請求項２０に記載のインクジェット式記録ヘッドの圧電振動体。
　【請求項２２】　前記圧電材料と導電材料とが、前記圧電振動体の伸縮方向に垂直に積層されている請求項２０に記載のインクジェット式記録ヘッドの圧電振動体。
　【請求項２３】　前記圧電振動体の前記基台側に、前記圧電振動体の振動波長の１／４の不動領域が形成されている請求項２０に記載のインクジェット式記録ヘッドの圧電振動体。
　【請求項２４】　前記圧電振動体は、その伸縮方向に平行な面が前記基台と重なるように固着されている請求項２０に記載のインクジェット式記録ヘッドの圧電振動体。
　【請求項２５】　前記圧電振動体が、その伸縮方向に垂直な面を前記基台に当接させて固着されている請求項２０に記載のインクジェット式記録ヘッドの圧電振動体。
　【請求項２６】　一端側を自由端とするように一定のピッチで基台に固定された圧電振動体を、前記自由端がノズル開口に連通するインク溜部を形成する流路形成部材の前記インク溜部のインクを加圧するように、前記基台を介して固定部材に固定する工程を含むインクジェット式記録ヘッドの製造方法。
　【請求項２７】　圧電振動板を、その一端側を自由端とし、かつ他端側の伸縮方向に平行な面を、基台に固定する工程と、
　前記圧電振動板を前記基台側を固着領域とするように一定のピッチで切断して複数の圧電振動体に分割する工程と、からなるインクジェット式記録ヘッドの圧電振動体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
　本発明は、印字データに対応して圧電振動体を伸縮させてインク溜部を加圧し、インク溜部のインクをノズル開口からインク滴として吐出させるいわゆるオンデマンド型のインクジェット式記録ヘッドに関する。
（従来の技術）
　インクジェット式記録ヘッドは、圧電振動体に駆動信号を印加して伸縮させ
てイ
　このような圧電振動体は、記録ヘッドに複数を組み込む必要上、サイズが極めて小さく、したがってインク滴を吐出させることができる程度の変位量を得るには高い電圧での駆動が必要となり、駆動回路を構成する電子部品に高い耐圧の仕様のものを必要としたり、またインク等の液体に接触する虞がある圧電振動体に高い絶縁性を要する等の問題がある。
　このような問題を解消するため、圧電振動体を積層構造として駆動電圧を引き下げることも考えられるが、前述したようにこのような圧電振動体は製造工程の簡素化を図るため、例えば特開平５−１７８０３９号公報に見られるように大判として形成された圧電振動体板を一端に連続部を形成するように圧電振動体のサイズに歯割りして構成されている。
（発明が解決しようとする課題）
　このように構成された圧電振動体は、インク溜部を構成する流路形成部材が固定されている固定部材にノズル開口のピッチに合わせて固定する必要があるが、圧電振動体のサイズが小さいため組立て作業が困難であるという問題がある。
　このような問題を解消するため、圧電振動体の連続部のサイズを大きくすることも考えられるが、高価な圧電振動体板を大量に必要としてコストが上昇する等の問題がある。
　本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは圧電振動体の取付け強度を大きくするとともに、圧電材料板の消費量を可及的に少なくしてコストの引き下げを図ることができ、さらには圧電振動体を正確、かつ容易に流路形成部材に位置決めできるインクジェット式記録ヘッドを提供することである。
　本発明の第２の目的は、上記インクジェット式記録ヘッドに適した圧電振動体を提供することである。
　本発明の第３、第４の目的は、上記インクジェット式記録ヘッド、及び圧電振動体の製造方法を提案することである。
（課題を解決するための手段）
　このような問題を解消するために本発明においては、圧電材料と
電極となる導電材料とがそれぞれ複数、層状に前記電極が伸縮方向に平行となるように交互に積層した圧電振動体を、複数、それぞれの一端側を基台に固着し、他端側を自由端とした圧電振動体ユニットと、
（作用）
　圧電振動体が基台に固着されているため、基台の強度により圧電振動体に大きな強度を必要とすることがなく、また基板を介して流路形成部材に圧電振動体を位置決めできるため、固定部材と基台の位置を調整することにより流路形成部材に対して圧電振動体を正確に位置決めすることができる。
（実施例）
　そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づいて説明する。
　第１図、第２図は本発明のオンデマンド型インクジェット式印字ヘッドを示すものであって、図中符号２により示される基台は一端部、図では下方に後述する圧電振動体１２を固定するための側方に突出した突部２ａ、２ａが形成されており、上端面にはインク溜部と圧電振動体１２とを隔離する振動板４が固定されている。振動板４は、圧電振動体１２と当接する近傍に凹部４ａ、４ａを形成して圧電振動体１２の振動に応答しやすく形成されている。
　振動板４の表面には流路構成部材を兼ねたスペーサ部材６が固定されており、圧電振動体１２に対向する領域には振動板４と協同してインク溜部を形成する凹部６ａが設けられ、また後述するノズルプレートの側にはインク供給流路を形成する凹部６ｂが設けられ、さらにインク溜部を形成する凹部６ａとノズル開口及びインク供給流路を形成する凹部６ｂはそれぞれ通孔６ｃ、６ｄにより連通させられている。スペーサ部材６の表面にはノズルプレート８が固定されており、圧電振動体１２、１２、１２…１２′、１２′、１２′…の配列形態に合せて複数のノズル開口１０、１０、１０…１０′、１０′、１０′…が設けられている。スペーサ部材６に形成されている凹部６ｂは、ノズルプレート８により開口面を封止されてインク供給流路を形成している。
　図中符号１２、１２、１２…１２′、１２′、１２′…は前述した圧電振動体で、一端を振動板４に固定され、また他端の側方を基台２の突部２ａ、２ａ…に固定されている。
　基台２は、その下端を固定部材９に固定されている。固定部材９は、振動板４、スペーサ６、及びノズルプレート８を支持し、また基台２を介して圧電振動体１２、１２、１２、１２′、１２′、１２′…の自由端（図中、上端）を振動板４に当接させている。
　そして第１図、第２図から明らかなように、基台２は、一端が、圧電振動体１２、１２、１２、１２′、１２′、１２′…の自由端側の端面とほぼ一致し、また他端が圧電振動体１２、１２、１２、１２′、１２′、１２′…の固定端側よりも突出する大きさに構成されている。
　第３ａ図乃至第３ｆ図は、上述した圧電振動体の製造方法を示すものである。
　定盤２０の上にペースト状に調製した圧電素子材料、例えばチタン酸・ジルコン酸鉛系複合ペロブスカイトセラミツクス材料を薄く塗布して第１の圧電材料層２１を形成し（第３ａ図）、これの表面に蒸着や導電性塗料により、第１の圧電材料層２１の一部に露出部２１ａを残すようにして第１の導電層２２を形成し（第３ｂ図）、さらにこの導電層２２、及び第１の圧電材料層２１の露出部２１ａとの表面に圧電材料を薄く塗布して第２の圧電材料層２３を形成し、更にこれの上に導電層２２とは異なる側に導電層２４を形成するという工程を必要な回数だけ繰り返す（第３ｃ図）。
　このようにして所定の層数を形成した段階で、乾燥させ、これに圧力を加えた状態で温度１０００乃至１２００℃で１時間程度焼成することにより板状のセラミック２５に仕上がる。導電層２４が露出している一方の端部に導電塗料を塗布して一方の電極２４の集電極２６を、また導電層２２が露出している他方の端部に導電塗料を塗布して集電極２７を形成する（第３ｄ図）。このようにして形成された圧電板２８を基台２の突部２ａに導電性接着剤で固定し（第３ｅ図）、所定幅でもって基台２の表面近傍までダイヤモンドカッタ等によりカットする（第３ｆ図）。
　これにより一端部が基台２に固定され、また自由端部が切削により生じたスリット２９、２９、２９…により分離された圧電振動体３０、３０、３０…（第１図における圧電振動板１２、１２に相当するもの）が構成されることになる。第３ｅ図、第３ｆ図に示した工程を基台２の反対側の面にも施すことにより、第４図に示したような振動体ユニットが完成する。
　このように構成した振動体ユニットの各圧電振動体３０、３０、３０…の一方の電極を接続している集電極２６にはそれぞれ独立の導電材料を接続し、また他方の電極を接続している集電極２７には共通の導電部材や、振動板４が導電材料で構成されている場合にはこの振動板４を導電部材として接続する。
　この状態で、導電部材間に電圧３０ボルト程度の電気信号を印加すると独立の導電部材により選択的に信号が印加された圧電振動体２９は、各圧電材料層に３０ボルトの作動電圧の印加を受けて軸方向に伸張する。
　この実施例では、伸張方向に電極が平行に配置されているので他の振動モードに比較してエネルギー効率が高い。
　圧電振動体１２の先端に固定された振動板４が伸張して、これに接触する振動板４をインク溜部を形成する凹部６ａの方向に変位させインク溜部を圧縮する。インク溜部の容積縮小により圧力を受けたインクは、通孔６ｃを通ってノズル開口１０に到達してインク滴となって飛翔する。
　信号の印加が停止すると圧電振動体１２が縮小するから、振動板４も元の位置に後退する。これにより、インク溜部が信号無印加時の容積に拡大して凹部６ｂのインクが通孔６ｄを介して凹部６ａに流れ込み次のインク滴形成に備えることになる。
　この実施例によれば、圧電振動体１２、１２、１２…１２′、１２′、１２′…により圧縮されるインク溜部とノズル開口１０、１０、１０…を通孔６ｃ、６ｃのようなインク流路により接続することができるから、２つの圧電素子列１２、１２、１２…と１２′、１２′、１２′…の間隔に関わりなくノズル開口列１０、１０、１０…と１０′、１０′、１０′…の間隔を小さくすることが可能となる。
　第５図は第２の実施例を示すものであって図中符号３２は振動板で、表面には圧電振動体１２、１２、１２と圧電振動体１２′、１２′１２′…を仕切るための凸条部３２ａを形成するとともに、圧電振動体１２、１２、１２…１２′、１２′、１２′…の先端を取囲むように凹部３２ｂ、３２ｃ、３２ｄ、３２ｅが形成されている。
　３３はノズルプレートで、圧電振動体１２、１２、１２…、１２′、１２′、１２′…の配列形態に合せてノズル開口３４、３４、３４…、３４′、３４′、３４…が、また両側及び中央部にそれぞれ凸条部３３ａ、３３ｂ、３３ｃが形成されていて、ノズルプレート３３を振動板３２に固定した時、圧電振動体１２、１２、１２…１２′、１２′、１２′の先端にインク溜部を構成する凹部３３ｅ、３３ｆを形成するに構成されている。
　この実施例において、圧電振動体１２、１２、１２…１２′、１２′、１２′が電圧３０ボルト程度の電気信号の印加を受けて軸方向に伸張すると、圧電振動体１２、１２′の先端に固定されている振動板３２が伸張して、これに接触する振動板３２をノズル板３３の凹部３３ｅ、３３ｆの方向に変位させここに存在するインクを振動板３３を介して圧縮する。圧縮を受けたインクは、他面に形成されているノズル開口３４、３４′からインク滴となって飛翔する。
　信号の印加が停止すると圧電振動体１２がもとの状態に縮小して振動板３３が元の位置に後退するから、インク溜部の容積が信号無印加時の容積に拡大する。これによりノズルプレート３３の凹部３２ｂ、３２ｃ、３２ｄ、３２ｅからインク溜部を構成している凹部３３ｅ、３３ｆに流れ込み、次のインク滴形成に備えることになる。この実施例によれば、スペーサ部材を不要として組立工程簡素化を図ることができる。
　第６ａ図、第６ｂ図は、それぞれ本発明の第２形式のオンデマンド型インクジェット式記録ヘッドの実施例を示すものであって、図中符号４０により示されるセラミックス等の電気絶縁性材料により形成された筒状体は両端に開口を備えており、一方の開口にはノズル開口４１、４２が穿設されたノズルプレート４３が接着剤により固定されており、また他方の開口には後述する圧電振動体列の基板４４が固定されている。これら圧電振動体列の各圧電振動体４５、４６は、その伸縮方向をノズル開口４１、４２に対向させて配置されケーブル４７、４８からの電気信号が印加されるようになっている。また、基板４４にはノズルプレート４３に到達する仕切板４９が設けられている。
　このように構成された圧電振動体列を用いて構成された記録ヘッドは、ケーブル４７、４８及び共通電極、この実施例では基板４４を介して電気信号が圧電振動体４５、４６に印加されると、圧電振動体４５、４５、４５…、４６、４６、４６…は積層方向に伸長するから圧電振動体４５、４６の自由端は前面のインクをノズル開口４１、４２に向けて押出すことになる。これによりインクは動圧を受けてノズル開口４１、４２に突入し、インク滴となって外部空間を飛翔し印刷用紙にドットを形成する。
　電気信号の印加がなくなると圧電振動体４５、４６は元の状態に縮小し、ノズルプレート４３と圧電振動体４５、４６の間の間隙にインクが流入して次のインク滴発生に備えることになる。
　第７ａ図、第７ｂ図は、それぞれ圧電振動体列の製造方法の実施例を示すものであって、第７ａ図における符号６５により示す部材は、セラミックス材料を板状に形成した基板６６の表面に接着剤を兼ねた導電材料６７を塗布したものである。このような基板６６の導電材料６７の表面に圧電材料６８、６８、６８…と導電材料６９、６９、６９…を交互に層状に塗布する。
　このようにして所定の層数を積層して焼成可能な状態に乾燥させた段階で、基板６６、圧電材料６８、６８、６８…及び導電材料６９、６９、６９…を一体としてそのまま焼成する。これにより基板６６と圧電材料６８、６８、６８…、及び導電材料６７、６７、６７…は、基板６６の導電層６７により接着されて一体に形成される（第７ｂ図）。焼成が終了した段階で前述したように一定の幅でスリットを形成することにより、導電層６７が形成された基板６６に圧電振動体列一体的に形成することができる。
　ところで、各ノズル開口からの液滴の飛翔能力は、ノズルプレートと圧電振動体の自由端面との間隙の程度に左右されることになるから、圧電振動体に形成したとき自由端となる部分を研摩することにより間隙の大きさを調整することができる。このような調整作業の便を図るため、第８図に示したように自由端面に圧電作用に関与しない層Ｓを圧電材料もしくは電極材料に形成しておき、この層を研摩するようにしてもよい。
　第９図は、本発明の圧電振動体列の他の実施例を示すもので、記録ヘッドに組立てるための基板７０に固定したとき、圧電振動体７８、７８、７８を基板７０に固定したとき、基板７０に一番近接している電極７４、７４、７４…と基板７０との間に、振動波長λの１／４に相当する不活性層７６、７６、７６を形成したものである。これによれば圧電振動体内に生じた弾性波の内、基板７０の側に進行した弾性波は圧電振動体材料と音響インピーダンスが異なる基板７０の表面で反射されるが、この不活性層７６、７６、７６の往復により位相を反転されて自由端に戻るため、有効成分としてインク滴生成に寄与することになる。
　第１０図は、本発明の圧電振動体列の他の実施例を示すもので、記録ヘッドに組立てるための基板８０と圧電振動体列を構成している圧電振動体８２、８２、８２…との間に粘弾性の大きな物質層８４を介装させたり、固化終了時においても大きな粘弾性を維持する接着剤により固定して接着剤層を形成したものである。
　この実施例によれば、基板８０の側に進行した弾性波は粘弾性層８４により減衰されることになるから、基板８０からの反射波による干渉を小さくしてインク滴の生成、飛翔を安定化させることができるばかりでなく、圧電振動体８２、８２、８２…の伸縮時に基板８０と圧電振動体８２、８２、８２…との間に生じる歪を粘弾性層８４により吸収して圧電振動体８２、８２、８２…の破損を防止することができる。
　ところで、インク吐出時には圧電振動体は軸方向ばかりでなく幅方向にも伸縮するので基板との接着面に大きな応力が作用することになる。
　第１１図はこのような問題に積極的に対処したもので、圧電振動体列８６の、基板８５に接する側に浅いスリット８７を形成しておくことにより幅方向の歪をスリット８７により吸収することができ、圧電振動体８６の破損といった事故を防止することができる。
　第１２図は前述したノズルプレートの一実施例を示すものであって、圧電振動体８８の自由端に対向する領域にノズル開口８９を穿設するとともに、ノズル開口８９を取囲むように長円形の凹部９０を設けてノズルプレート９２が構成されている。
　このノズルプレート９２によれば、信号が印加されて圧電振動体８８の自由端がノズルプレート９２の方向に伸長すると、長円形の凹部９０に存在するインクは圧電振動体８８からの弾性波による動圧を受けたとき、周囲を凹部９０の壁面９４により、また後方を圧電振動体８８の自由端により囲まれるため、逃場を失って集中的にノズル開口８９に流動することになる。これにより、可及的に低い印加電圧でインク滴を効率良く飛翔させることができる。
　第１３図は、ノズルプレートの他の実施例を示すもので、幅Ｗが圧電振動体９６の幅Ｗ′よりも若干大きい溝９８をノズル開口１００を通るように形成したものである。
　この実施例によれば圧電振動体９６をその先端が溝９８に入り込む程度まで接近させて配設すると、圧電振動体９６から発生した弾性波は溝９８の中のインクに動圧を与える。このとき両側を溝１０２、１０２の壁面により、また背後を圧電振動体９６の自由端により囲まれているから溝９８の中のインクは効率良くノズル開口１００から飛出す一方、信号が停止して圧電振動体９６が短縮した時点では、溝９８の圧電振動体に対向しない部分からインクが圧電振動体対向領域に流れ込んで次の印字に備えることになる。なお、この実施例では溝９８の幅を圧電振動体９６の幅よりも大きくして、圧電振動体９６の先端か溝９８の中に進入するようにしているか、溝９８の幅Ｗを圧電振動体９６の幅Ｗ′より小さくし、圧電振動体９６の先端とノズルプレート１０１の表面の間に間隙を備えるようにしても、圧電振動体９６からの弾性波を受けたインクは溝９８の壁面１０２、１０２によりノズルプレート１０１に並行な方向への広がりを阻止されるから、効率良くインク滴を発生させることができる。
　第１４図はノズルプレートの他の実施例を示すものであって、ノズル開口１０４を取囲むようにほぼ圧電振動体の自由端面と同形状の凹部１０６を形成するとともに、この凹部１０６の両端に、この凹部１０６よりも浅い溝１０８、１０８を形成したものである。
　この実施例によれば第１３図に示したものと同様に圧電振動体の伸長時、つまり弾性波発生時には、凹部１０６内のインクは圧電振動体１１０からの動圧を受け、また凹部１０６の壁面と圧電振動体１１０の自由端面に囲まれるため効率良くノズル開口１０４から飛出させることができる。また圧電振動体１１０が縮小した時点では、溝１０８、１０８から凹部１０６に急速に流れ込んで次の液滴形成に備えることになる。
　これらのノズルプレートの形成には、第１５図に示したように銅板１１４の両面にニッケル板１１６、１１８を圧着した３層構造の板材を用意し、ニッケル板１１６、１１８だけを選択的に溶解させるエッチング剤により凹部や溝を形成することにより、底部の平坦な凹部を形成することができる。
　すなわち例えば銅板１１４の厚みを５０μｍ、また両面のニッケル板１１６、１１８の厚みをそれぞれ２５μｍの三層構造の板材を用いると、凹部形成に合わせて他方の表面のニッケル板を全て溶解させることができ、これによりノズル開口の溝が５０μｍのノズルプレートを形成することが可能となる。
　第１６図はノズルプレートの他の実施例を示すものであって、ノズル開口１２０、１２０、１２０…、１２２、１２２、１２２…の間で、かつ圧電振動体間の溝に対向する位置にノズルプレート本体１２４に垂直な壁面を形成して隔壁１２６１２６、１２６…を構成したものである。
　この実施例によれば、第１７図に示したように圧電振動体１２８、１２８、１２８…の自由端側が遮蔽されるため、圧電振動体への信号の印加により生じた動圧を隔壁１２６、１２６、１２６…により隣接する他のノズル開口に伝播するのを防止して、不必要なインクの流れ出しを防止することができる。
　第１８図は本発明の他の実施例を示すものであって、図中符号１３０、１３０、１３０…は圧電振動体列を構成している圧電振動体１３２、１３２…間に形成された支柱で、圧電振動体列を固定している基板１３４、もしくはノズルプレート１３６に固定されている。
　この実施例によれば、ノズルプレート１３６と圧電振動体１３２、１３２、１３２…の自由端との間隙を支柱１３０、１３０、１３０…により管理することができるばかりでなく隣接する圧電振動体１３２、１３２間での動圧の伝播を支柱１３０、１３０により遮断することができる。
　第１９図は、第１８図に示した支柱１３０を形成する他の実施例を示すもので、前述した直方体状の圧電セラミックスを基板１４２に固定した状態で、圧電振動体を形成する部分１４４、１４４、１４４…と、支柱となる部分１４６、１４６、１４６…に切り分け、圧電振動体を形成する部分の自由端側を若干研磨したものである。
　このように構成した圧電振動体列に対して第２０図に示したように支柱となる部分１４６、１４６、１４６…に接してノズルプレート１４８を配置することにより、圧電振動体の自由端とノズルプレートとの間隙を一定長として配設することができる。この実施例によれば、圧電振動体列の形成工程に合せて支柱を形成することができるばかりでなく、支柱部材の基板への取り付け作業を不要として組立て作業の簡素化を図ることができる。
　第２１ａ図、第２１ｂ図はノズルプレートの固定法の他の実施例を示すものであって、図中符号１５０はノズル開口１５２、１５２、１５２…が穿設されたノズルプレートで、圧電振動体１５４、１５４、１５４…の自由端に常時接するように磁石１５６、１５８やバネにより基台１６０側に付勢されている。
　この実施例において、液滴を形成すべき位置の圧電振動体１５４に対して縮小方向の電圧を印加する。これによりノズルプレート１５０と圧電振動体１５４、１５４、１５４…の自由端面との間に間隙Ｇが生じ（第２１ｂ図）、この間隙にインクが流れ込む。次いで信号の印加を停止するなり伸長方向の信号を印加すると、圧電振動体１５４、１５４、１５４…の自由端がノズルプレート１５０側に伸長する。
　この伸長の過程で、間隙Ｇに存在するインクはノズル開口１５２に押出されインク滴として外部に飛出すことになる。また、インク滴の形成に関与しないノズル開口１５２は、圧電振動体１５４の自由端に弾接されているため隣接する圧電振動体からの動圧がノズル開口１５２に作用することにはならないからインク漏れが防止されることになる。
　なお、上述の実施例においては隣接する圧電振動体列や基板との間にインクの流入を可能ならしめる空間を形成するようにしているが、第２２ａ図乃至第２２ｃ図に示したように圧電振動体１６０、１６０、１６０…の自由端面を除く部分に、固化したときに粘性が少なく、かつ弾性に富む接着剤、もしくは樹脂１６２、例えばエボキシ系接着剤、例えばアラルタイト社製ＡＷ１０６や紫外線硬化性樹脂、例えば旭化成社製Ｇ１１、Ｇ３１、更には紫外線硬化性シリコンゴム、例えば東芝シリコン社製ＴＵＶ６０００、ＴＵＶ６０２を注入して固化しておくことにより、圧電振動体１６０、１６０、１６０…の振動形態への影響を可及的に少なくして、圧電振動体１６０、１６０、１６０…の機械的強度を補強と導電層の電気的絶縁をより確実にすることができる。
　第２３ａ図乃至第２３ｂ図は、それぞれ本発明の第３形式のオンデマンド型インクジェット式記録ヘッドの実施例を示すものであって、図中符号１６６は基板で、導電性スペーサ１６８、１７０を介して、積層方向が基板１６６と平行となるように圧電振動体１７２、１７２、１７２…、１７４、１７４、１７４…を、その自由端が一定間隔となるように配列されている。この空間には隔壁部材１７６が、圧電振動体１７２、１７２、１７２…、１７４、１７４、１７４…の自由端と一定の間隙を持つように配置されている。
　１７８はノズルプレートで、隔壁部材１７６と圧電振動体１７２、１７４の自由端との間隙部に対向するようにノズル開口１８０、１８０、１８０…、１８２、１８２、１８２…が形成されており、スペーサ１８４を介して一定の間隙をもって固定されている。図中符号１８６は、インクタンクで、通孔１８８、１９０によりノズル開口１８０、１８０、１８０…、１８２、１８２、１８２…に連通している。
　第２４ａ図、第２４ｂ図、第２４ｃ図は、前述の圧電振動体列の形成方法を示すものであって、図中符号１９４は、第２３ａ図、第２３ｂ図における基板１６６となる部材で、ここにスペーサ部材１９６、１９８を接着剤により固定する（第２４ａ図）。この状態で前述の第３図に示したのと同様の圧電振動体板２００、２０２を、その一方の導電層がスペーサ１９６、１９８の側となるように導電性接着材により一端を固定する（第２４ｂ図）。次に、圧電振動体板２００、２０２の積層方向に並行に所定の幅で圧電振動体板の厚みだけスリット２０４、２０４、２０４…、２０６、２０６、２０６を形成する（第２４ｃ図）。これにより、相互がスリット２０４、２０６により分離された圧電振動体２０５、２０５…、２０７、２０７…が、一方の電極をスペーサ１９６、１９８により共通接続された状態で基板１９４に形成されることになる。
　この実施例において、ドットを形成すべき圧電振動体１７２、１７４（第２３ａ図、第２３ｂ図）に信号を印加すると、圧電振動体１７２の面の導電層１７１、１７３、圧電振動体１７４の導電層１７５、１７７を介して圧電振動体１７２、１７４の各圧電層に同時に電圧が印加されるため、各圧電層の伸長が足し合わされて自由端に作用する。これにより隔壁部材１７６と圧電振動体１７４の自由端との間に存在するインクは間隙から押出され、ノズル開口１８２から外部に飛出すことになる。圧電振動体１７４への電圧印加が停止すると、圧電振動体が縮小するため、インクタンク１８６からインクが間隙に流入して次のドット形成に備えることになる。
　なお、第２３ａ図、第２３ｂ図に示した記録ヘッドにおいては圧電振動体をスペーサにより片持梁状に固定しているが、第２５ａ図に示したように、圧電振動体板２１０、２１２のスペーサ２１４、２１６から突出する部分を、固化したとき粘性が小さく、かつ弾性の大きな、例えば接着剤、もしくは樹脂、例えばエボキシ系接着剤、例えばアラルタイト社製ＡＷ１０６や、紫外線硬化性樹脂、例えば旭化成社製Ｇ１１、Ｇ３１、更には紫外線硬化性シリコンゴム、例えば東芝シリコン社製丁ＵＶ６０００、ＴＵＶ６０２１等の接着剤や樹脂２１８により基板２２０に固定する。この状態で所定の間隔でダイヤモンドカッター等によりスリット２２２、２２２、２２２…を形成すると、１つの面が基板２２０に接着された圧電振動体２２４、２２４、２２４…、２２６、２２６、２２６…が形成されることになる（第２５ｂ図）。
　このような製造方法によれば、スリット形成時に発生するびびりを接着剤２１８により吸収して圧電振動体板の破損を防止することができる。
　このようにして製造された圧電振動体列を第２６図に示したように、基板２２０にスペーサ２２８を介装してノズルプレート２３０を取り付けることにより第２３ａ図に示したのと同様の記録ヘッドを構成することができる。なお図中符号２３２は、圧電振動体の対向面に配置した仕切部材を、また２３４、２３６はそれぞれノズル開口を示す。
　この実施例において、ドットを形成すべきノズル開口２３４に対向する圧電振動体２２４に電圧を印加すると、圧電振動体２２４は接着剤２１８を弾性変形させながら伸長して、仕切部材２３２と自由端との間のインクを押出し、ノズル開口２３４からインク滴として飛出させる。云うまでもなく、圧電振動体２２４が発生する力は極めて大きいから、接着剤２１８の粘性の影響は極めて小さく、したがって圧電振動体の変形に伴なって発生したエネルギーが接着剤に消費されてしまうことはない。
　第２７ａ図、第２７ｂ図、第２７ｃ図は、圧電振動体列の形成方法の他の実施例を示すものであって、基板２４０の両端にスペーサ２４２、２４４を固定し、スペーサ２４２、２４４により形成された溝部に、固化したとき粘性が小さく、かつ弾性に富む接着剤２４６を流し込む（第２７ａ図）。この上に前述したのと同様の圧電振動体板２４８を、スペーサ２４２、２４４とは導電性接着剤で、また基板２４０とは接着剤２４６により固定する（第２７ｂ図）。接着剤が固化した段階で、中央部に一定の幅で２本の、基板２４０の表面に到達するスリット２５０、２５２を形成する。次いで、スリット２５０、２５２により分離されたスリット２５０、２５２を挟む圧電振動体板の両端が１／２ピッチずれるように斜方向に並行なスリット２５４、２５４、２５４…を所定の間隔で形成する（第２７ｃ図）。
　これにより、スリット２５０、２５２により分離された部分が仕切部材２５６として、またスリット２５４、２５４、２５４…により分離された部分が圧電振動体２５８、２５８、２５８…、２６０、２６０、２６０…となる。
　ところで、仕切部材２５６を挟んで対向する圧電振動体の自由端は、１／２ピッチずれているので、一方の圧電振動体２５８、２５８、２５８…により形成されるドットの間に他方の圧電振動体２６０、２６０、２６０…により形成されるドットを印刷することができる。
　このようにして構成した圧電振動体に対して、第２８図に示したように第１列目のノズル開口２６２、２６２、２６２…と第２列目のノズル開口２６４、２６４、２６４…を互に１／２ピッチずらせて構成したノズルプレート２６６を用意する。
　このノズルプレート２６６を第２９図に示したようにスペーサ２６８を介して基板２４０（第２７ｃ図）に取り付けることにより記録ヘッドを構成することができる。
　この実施例において、スリット２５０、２５２がインク流路となり、またこのスリット２５０、２５２により分離された部分２５６が仕切部材として機能するから、圧電振動体２５８、２６０に信号が印加されるとノズル開口２６２、２６４からインク滴が飛出すことになる。
　この実施例によれば、圧電振動体の形成に合せて仕切部材及びインク流路を同時に形成することができて、製造工程の簡素化を図ることができるばかりでなく、圧電振動体の幅を狭くすることなくドット密度の向上を図ることができる。
　これら第２、第３形式の記録ヘッドにおいては、圧電振動体の厚み振動により発生する大きな力をそのまま利用するため、圧電振動体によりインクに押圧圧力を加えて飛翔させるため、通常のインクのほかに、ホットメルトインク等の粘性の極めて高いインクを用いた場合にも効果的にインク滴を発生させることができる。
　第３０ａ図、第３０ｂ図は本発明の第４形式のオンデマンド型インクジェット式記録ヘッドの実施例を示すものであって、図中符号２７０は、リード片で、弾性に富むバネ板材２７２に後述する圧電振動体２７４を積層して構成され、バネ板材２７２をノズルプレート２７８に向くように一端をスペーサ２７６に固定され、また他端を自由端として楕み振動が可能に構成されている。２７８は、ノズルプレートで、リード片２７０、２７０、２７０…の自由端に対向する位置にノズル開口２８０が穿設されており、容器を兼ねるベース部材２８２に固定されている。
　第３１ａ図、第３１ｂ図、第３１ｃ図は前述のリード片の製造工程を示すものであって、前述のバネ板材２７２を構成する弾性に富む金属板やセラミックスからなる板材２９０の一方の面に、前述した工程により製作された圧電振動体板２９２をその導電層２９４、２９６が板材２９２と並行となるように接着剤により張り付けて１枚の板材に構成する（第３１ａ図）。
　このように圧電振動体板２９２と板材２９０を一体的に構成したものを、一方の側をスペーサ部材２９８に固定し（第３１ｂ図）、圧電振動体板２９２と板材２９０にダイヤモンドカッターなどにより一定間隔でスリット３００、３００、３００…を入れると、一端側がスペーサ２９８に固定され、また他端側が自由端となる短冊状のリード片３０２、３０２、３０２…が形成されることになる（第３１ｃ図）。
　この実施例によれば、圧電振動体板２９２が収縮する方向の電気信号を導電層２９４、及び２９６に印加すると、リード片３０２の自由端が板材２９０の弾性に抗して圧電振動体板２９２側に湾曲することになる。
　この状態で、電気信号の印加を停止すると、板材２９０に蓄積されていた弾性力が開放されてリード片３０２が元の位置に弾けて復帰することになる。
　これにより、ノズルプレート２７８とリード片２７０の間に存在するインク（第３０ａ図）は、ノズル開口２８２に向けて押出され、インク滴となって外に飛出すことになる。
　なお、第３１図に示した実施例においては予め製作された圧電振動体板２９２を板材２９０に張合わせるようにしているが、板材２８０として耐熱性の高いセラミックスを使用した場合には、これの上に前述した工程（第３図）により圧電振動体板を形成すれば、張合わせの工程を省略することが可能となる。
　第３２ａ図、第３２ｂ図、第３２ｃ図）は、リード片の製造方法の他の実施例を示すものであって、前述のバネ板材２７２を構成する弾性に富む金属板やセラミックスからなる板材３１０の一方の面に、前述した工程により製作された圧電振動体板３１２をその導電層３１４、３１６が板材３１０に対して垂直となるように接着剤により張り付けて１枚の板材に構成する（第３２ａ図）。
　このように圧電振動体板３１２と板材３１０を一体的に構成したものを、一方の側をスペーサ部材３１８に固定し（第３２ｂ図）、圧電振動体板３１２と板材３１０にダイヤモンドカッターなどにより一定間隔でスリット３２０、３２０、３２０…を入れると、一端側がスペーサ３１８に固定され、また他端側が自由端となる短冊状のリード片３２２、３２２、３２２…が形成されることになる（第３２ｃ図）。
　この実施例によれば、圧電振動体板３１２が収縮する方向の電気信号を導電層３１４、及び３１６に印加すると、リード片３２２の自由端が板材３１０の弾性に抗して圧電振動体板３１２側に湾曲することになる。
　この状態で、電気信号の印加を停止すると、板材３１０に蓄積されていた弾性力が開放されてリード片３１０が元の位置に弾けて復帰することになる。
（発明の効果）
　以上説明したように本発明においては、圧電材料と
電極となる導電材料とがそれぞれ複数、層状に前記電極が伸縮方向に平行となるように交互に積層した圧電振動体を、複数、それぞれの一端側を基台に固着し、他端側を自由端とした圧電振動体ユニットと、
前記
前記
前記
前記
前記
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明のオンデマンド型インクジェット式印字ヘッドの要部の構造を示す斜視断面図、第２図は本発明の印字ヘッドの構造を示す断面図、第３ａ図、第３ｂ図、第３ｃ図、第３ｄ図、第３ｅ図、及び第３ｆ図はそれぞれ圧電振動体の製造工程を示す説明図、第４図は第３ａ図乃至第３ｆ図に示す工程により製作された振動体ユニットの構造を示す斜視図、及び第５図は本発明のオンデマンド型インクジェット式印字ヘッドの他の実施例をノズルプレートを外して示す斜視図である。
　第６ａ図、第６ｂ図はそれぞれ本発明の第２の形式のオンデマンド型インクジェット式記録ヘッドの構成を示す断面図、第７ａ図、第７ｂ図は第６図の記録ヘッドに用いる圧電振動体列の製造方法の実施例を示す斜視図、第８図は圧電振動体列の他の実施例を示す斜視図、第９図、第１０図及び第１１図はそれぞれ圧電振動体列と基板との取り付け方法を示す斜視図、第１２図、第１３図及び第１４図はそれぞれ本発明の記録ヘッドに用いるノズルプレートの実施例を示す斜視図、第１５図は、第１２図乃至第１４図のノズルプレートをエッチングにより製作するのに適した素材基板の一実施例を示す断面図、第１６図はノズルプレートの他の実施例を示す斜視図、第１７図は第１６図に示したノズルプレートを用いた記録ヘッドを示す断面図、第１８図はノズルプレートの取り付け形態の他の実施例を示す断面図、第１９図はノズルプレートを支持する支持部材を圧電振動体板を用いて同時に形成した実施例を示す正面図であり、また第２０図は第１９図に示した圧電振動体列を使用した記録ヘッドの構造を示す断面図、第２１ａ図、第２１ｂ図はそれぞれノズルプレートの他の取り付け形態と、インク滴形成時の動作を示す断面図、第２２ａ図、第２２ｂ図及び第２２ｃ図はそれぞれ圧電振動体の間隙部に接着剤等の弾性材料を充填した実施例を示す図、第２３ａ図、第２３ｂ図は、本発明の第３の形式のオンデマンド型インクジェット式記録ヘッドの一実施例を示す断面図と正面図、第２４ａ図、第２４ｂ図、及び第２４ｃ図は、圧電振動体列の形成工程を示す説明図、第２５ａ図、第２５ｂ図は圧電振動体列の製造方法の他の実施例を示す説明図、２６図は第２５ａ図、第２５ｂ図に示す圧電振動体列を使用した記録ヘッドを示す断面図、第２７ａ図、第２７ｂ図及び第２７ｃ図はそれぞれ第２６図に示した記録ヘッドに最適な圧電振動体列の他の形成方法を示す説明図、第２８図は第２７ｃ図に示した圧電振動体列に適したノズルプレートの実施例を示す斜視図、第２９図は第２７ｃ図に示した圧電振動体列と第２８図に示したノズルプレートにより組立てた記録ヘッドを示す断面図、第３０ａ図、及び第３０ｂ図は、それぞれ本発明の第４形式のオンデマンド型インクジェット式記録ヘッドの実施例を示す断面図と正面図、第３１ａ図、第３１ｂ図、第３１ｃ図、及び第３２ａ図、第３２ｂ、第３２ｃ図は圧電振動体の他の実施例を製造工程で示す図である。
　２……基台
　２ａ、２ａ……突部
　４……振動板
　６……スペーサ
　６ａ、６ｂ……凹部
　６ｃ、６ｄ……通孔
　８……ノズルプレート
　９……固定部材
　１０、１０′……ノズル開口
　１２、１２′……圧電振動体