(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２０〜６０質量部の成分（Ａ）である紫外線感光性プレポリマー樹脂と、
１０〜３０質量部の成分（Ｂ）である活性希釈モノマーと、
１〜５質量部の成分（Ｃ）であるオキシムエステル類光開始剤と、
を含み、
成分（Ｃ）であるオキシムエステル類光開始剤は、下記構造からなる群より選ばれる少なくとも一種である、
オキシムエステル類光開始剤含有感光性組成物であって、
必須成分として、下記：
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー６５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー７３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー７４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１００、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３０、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット５０；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４９：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４９：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５２：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５３：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５７：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５７：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５８：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５８：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６３：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６３：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６４：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８１：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６５；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー２、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６６； 
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３７；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２８；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７；及び
カーボンブラック
からなる群より選ばれる着色剤をさらに含み、
任意成分として、溶剤、増感剤、硬化促進剤、光架橋剤、光増感剤、分散補助剤、充填剤、付着力促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤のうちの少なくとも一種をさらに含む、
オキシムエステル類光開始剤含有感光性組成物。
【化７】
0006510028.tif 000013
0006510028.tif 000014
0006510028.tif 000015
0006510028.tif 000016
【請求項２】
前記成分（Ａ）である紫外線感光性プレポリマー樹脂は、エチレン性不飽和基を有する樹脂から選択されるものである、ことを特徴とする請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項３】
前記成分（Ｂ）である活性希釈モノマーは、エチレン性不飽和基を有するモノマーから選択されるものである、ことを特徴とする請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項４】
さらに、その他の種類の光重合開始剤を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項５】
請求項１に記載の感光性組成物の液晶表示装置への使用。
【請求項６】
請求項１に記載の感光性組成物により製造されたカラーフィルタフィルム、フォトスペーサー又はリブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光硬化の技術分野に属し、具体的にはオキシムエステル類光開始剤含有感光性組成物（すなわち、光硬化性組成物）及びその液晶表示装置、例えばカラーフィルタ、フォトスペーサー（ｐｈｏｔｏｓｐａｃｅｒ）又はリブ（ｒｉｂ）への使用に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、オキシムエステル類光開始剤は、比較的に優れた感光性能のため、だんだん感光性組成物に用いられてきた。しかし、その応用において、従来の製品にまだ多くの欠点が存在していることがわかり、典型的には、安定性が良くなく、溶解性が悪い問題や、ほとんどのオキシムエステル類光開始剤は、それ自体の吸収波長の制限により環境保護の要請がますます高まるＬＥＤ点光源及びレーザー光源に良く整合できない問題、染料などの有色系において、感光度、現像性、解像率に効果が悪く、生産効率が低下する一方、得られた製品が所望の精度及び信頼性に到達できない問題が挙げられる。
【０００３】
また、科学技術が発展しつつあるにつれて、液晶ディスプレイの表示画像の鮮明度及び完全度への要求が高くなるとともに、作業者の操作環境の安全性及び製造過程において有害物質への制御もますます厳しくなり、感光性組成物の使用性能、特に安全性及び環境保護性への要求も高くなっている。
今後、感光性組成物の発展及び使用には各方面の要素を考慮する必要があるが、従来の製品がいずれも総合性能に欠点があり、日々強く要望される応用要求を満足できなくなっている。
【発明の概要】
【０００４】
従来技術の欠点に対し、本発明は、光開始剤としての式（Ｉ）化合物及び該開始剤に適したモノマーとポリマーを含有するオキシムエステル類光開始剤含有感光性組成物を提供することを目的とし、該組成物は、硬化速度が速く、露光剤量が低く、汚染が少なく、省エネルギー、ほとんど残渣欠陥がないなどの利点を有する。実験より、その硬化成膜の厚さ、鮮明度及びパターン完全度がいずれも同種類の製品よりも明らかに優れていることがわかる。
【０００５】
上記の目的を達成するために、本発明が用いる技術手段は下記の通りである。
２０〜６０質量部の成分（Ａ）である紫外線感光性プレポリマー樹脂と、
１０〜３０質量部の成分（Ｂ）である活性希釈モノマーと、
１〜５質量部の成分（Ｃ）であるオキシムエステル類光開始剤と、
を含み、
成分（Ｃ）であるオキシムエステル類光開始剤は、下記一般式（Ｉ）で表されるジオキシムエステル化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種である、オキシムエステル類光開始剤含有感光性組成物。
【化１】
0006510028.tif 000002
式中、
Ｒ１は
【化２】
0006510028.tif 000003
であり、ただし、＊は結合部位を表し、Ａは、空き（すなわち、左右にある二つのベンゼン環がＢのみを介して互いに連結されている）、単結合又はＣ１〜Ｃ５のアルキレン基であり、Ｂは、Ｏ、Ｓ又はＲ５Ｎ−基であり、ただし、Ｒ５は水素原子、Ｃ１〜Ｃ２０の直鎖又は分岐アルキル基、Ｃ３〜Ｃ２０のシクロアルキル基、Ｃ４〜Ｃ２０のシクロアルキルアルキル基又はＣ４〜Ｃ２０のアルキルシクロアルキル基であり、Ｒ６、Ｒ７はそれぞれ独立に水素原子、ハロゲン、ニトロ基、水酸基、カルボキシ基、スルホン酸基、アミノ基、シアノ基、アルコキシ基、あるいは、ハロゲン、ニトロ基、水酸基、カルボキシ基、スルホン酸基、アミノ基、シアノ基及びアルコキシ基からなる群より選ばれる１個又は複数個の基で置換されていてもよいＣ１〜Ｃ２０の直鎖又は分岐アルキル基、Ｃ３〜Ｃ２０のシクロアルキル基、Ｃ４〜Ｃ２０のシクロアルキルアルキル基、Ｃ４〜Ｃ２０のアルキルシクロアルキル基を表し、
Ｘ、Ｙは互いに独立にカルボニル基（−ＣＯ−）又は単結合を表し、
Ｒ２、Ｒ３は互いに独立に水素原子、Ｃ１〜Ｃ２０の直鎖又は分岐アルキル基、Ｃ３〜Ｃ２０のシクロアルキル基、Ｃ４〜Ｃ２０のシクロアルキルアルキル基、Ｃ４〜Ｃ２０のアルキルシクロアルキル基、Ｃ７〜Ｃ２０のアラルキル基を表し、上記の基の１個又は複数個の水素原子は、互いに独立にハロゲン、ニトロ基、水酸基、カルボキシ基、スルホン酸基、アミノ基、シアノ基及びアルコキシ基からなる群より選ばれる基で置換されていてもよく、
Ｒ４は独立にＣ１〜Ｃ２０の直鎖又は分岐アルキル基、Ｃ３〜Ｃ２０のシクロアルキル基、Ｃ４〜Ｃ２０のシクロアルキルアルキル基、Ｃ４〜Ｃ２０のアルキルシクロアルキル基、Ｃ３〜Ｃ２０のヘテロアリール基、Ｃ６〜Ｃ２０のアリール基を表し、上記の基の１個又は複数個の水素原子は、互いに独立に、ハロゲン、フェニル基、ニトロ基、水酸基、カルボキシ基、スルホン酸基、アミノ基、シアノ基及びアルコキシ基からなる群より選ばれる基で置換されていてもよい。
【０００６】
成分（Ｃ）であるオキシムエステル類光開始剤は、下記の方法によって製造することができる。
【化３】
0006510028.tif 000004
オキシム化物を酸無水物又はアシルクロリドと反応させてオキシムエステル類光開始剤を得る。
【０００７】
本発明の好ましい形態として、上記感光性組成物において、成分（Ｃ）であるオキシムエステル類光開始剤は、下記構造から選択される１種又は２種以上の組み合わせである。
【化４】
0006510028.tif 000005
0006510028.tif 000006
0006510028.tif 000007
0006510028.tif 000008
0006510028.tif 000009
0006510028.tif 000010
【０００８】
本発明の感光性組成物において、前記成分（Ａ）である紫外線感光性プレポリマー樹脂は、特に限定されるものではなく、従来公知の紫外線感光性プレポリマー樹脂が用いられる。ただし、エチレン性不飽和基を有する樹脂であることが好ましく、それらを組み合わせて使用することがさらに好ましい。
【０００９】
エチレン性不飽和基を有する樹脂としては、（メタ）アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モノメチルエステル、フマル酸モノエチルエステル、２−ヒドロキシエチル（メタ）アリレート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル（メタ）アリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル（メタ）アリレート、グリセリン（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，６−エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ｃａｒｄｏ−エポキシジアクリレート（ｃａｒｄｏ  ｅｐｏｘｙ  ｄｉａｃｒｙｌａｔｅ）などが重合してなるオリゴマー類；多価アルコール類を一塩基酸又は多塩基酸と縮合させて得られるポリエステルプレポリマーを（メタ）アクリル酸と反応させて得られるポリエステル（メタ）アクリレート；多価アルコールをイソシアネート基を２個有する化合物と反応させた後、さらに（メタ）アクリル酸と反応させて得られるポリウレタン（メタ）アクリレート；ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、フェノール又はクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、可溶の可熔性フェノールエポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ポリカルボン酸ポリグリシジルエステル、多価アルコールポリグリシジルエステル、脂肪族又は脂環族エポキシ樹脂、アミン類エポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂などのエポキシ樹脂を（メタ）アクリル酸と反応させて得られるエポキシ（メタ）アクリレート樹脂などが挙げられる。また、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂には、多塩基酸無水物反応が行われた樹脂を使用することが好適である。
【００１０】
前記成分（Ｂ）である活性希釈モノマーは、特に限定されるものではなく、従来公知の活性希釈モノマーが用いられる。ただし、エチレン性不飽和基を有するモノマーが好ましく、それらを組み合わせて使用することがさらに好ましい。前記エチレン性不飽和基を有するモノマーは、単官能モノマー及び多官能モノマーを含む。
【００１１】
単官能モノマーとしては、（メタ）アクリルアミド、メチロール（メタ）アクリルアミド、メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、エトキシメチル（メタ）アクリルアミド、プロポキシメチル（メタ）アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、ｔ−ブチルアクリルアミドスルホン酸（ｔｅｒｔ−ｂｕｔｙｌ  ａｃｒｙｌａｍｉｄｅ  ｓｕｌｆｏｎｉｃ  ａｃｉｄ）、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２−フェノキシ−２−プロピル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキシ−２−ヒドロキシプロピルフタレート（２−（ｍｅｔｈ）ａｃｒｙｌｏｙｌｏｘｙ−２−ｈｙｄｒｏｘｙｐｒｏｐｙｌｐｈｔｈａｌａｔｅ）、グリセリンモノ（メタ）アクリレート（ｇｌｙｃｅｒｉｎ  ｍｏｎｏ（ｍｅｔｈ）ａｃｒｙｌａｔｅ）、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノ（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ（メタ）アクリレートなど、が挙げられる。これらの単官能モノマーは単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
【００１２】
多官能モノマーとしては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メチル）アクリロイルオキシジエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（メチル）アクリロイルオキシポリエトキシフェニル）プロパン、２−ヒドロキシ−３−（メチル）  アクリロイルオキシプロピル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジルジ（メタ）アクリレート、グリセリントリアクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート（ｕｒｅｔｈａｎｅ（ｍｅｔｈ）ａｃｒｙｌａｔｅ）（すなわち、トリレンジイソシアネート）、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートとヘキサメチレンジイソシアネートと２−ヒドロキシエチル（メタ）アリレートとの三者の反応物、メチレンビス（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリルアミドメチレンエーテル、多価アルコールとＮ−メチロール（メタ）アクリルアミドとの縮合物などの多官能モノマー、及びトリアクリルホルマール（ｔｒｉａｃｒｙｌ  ｆｏｒｍａｌ）など、が挙げられる。これらの多官能モノマーは単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
【００１３】
本発明の上記感光性組成物において、上記オキシムエステル類化合物（すなわち、成分Ｃ）のみを光重合開始剤として用いても良いし、その他の種類の光重合開始剤を追加してもよい。追加可能な光重合開始剤は、例えば下記の化合物から選択される。
【００１４】
２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン又は２−（４−エトキシカルボニルナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンのようなハロゲンメチル化したトリアジン誘導体；２−トリクロロメチル−５−（２’−ベンゾフリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−［β−（２’−ベンゾフリル）ビニル］−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−［β−（２’−（６”−ベンゾフリル）ビニル）−１，３，４−オキサジアゾール又は２−トリクロロメチル−５−フリル−１，３，４−オキサジアゾールのようなハロゲンメチル化したオキサジアゾール誘導体；２−（２’−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾールの単量体、２−（２’−クロロフェニル）−４，５−ビス（３’−メトキシフェニル）イミダゾールの２量体、２−（２’−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾールの２量体、２−（２’−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾールの２量体又は（４’−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾールの２量体のようなイミダゾール誘導体；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル又はベンゾインイソプロピルエーテルのようなベンゾインアルキルエーテル；２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン又は１−クロロアントラキノンのようなアントラキノン誘導体；ベンズアンスロン誘導体；ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、２−メチルベンゾフェノン、３−メチルベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、４−プロモベンゾフェノン又は２−カルボキシベンゾフェノンのようなベンゾフェノン誘導体；２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキサンベンゾフェノン、α−ヒドロキシ−２−メチルフェニルプロピオフェノン、１−ヒドロキシ−１−メチルエチル−（ｐ−イソプロピルフェニル）ケトン、１−ヒドロキシ−１−（ｐ−ドデシルフェニル）ケトン、２−メチル−（４’−（メチルチオ）フェニル）−２−モルホリノプロパ−1−ノン又は１，１，１−トリクロロメチル−（ｐ−ブチルフェニル）ケトンのようなアセトフェノン誘導体；チオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン又は２，４−ジイソプロピルチオキサントンのようなチオキサントン誘導体；ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル又はｐ−ジエチルアミノ安息香酸エチルのような安息香酸エステル誘導体；９−フェニルアクリジン又は９−（ｐ−メトキシフェニル）アクリジンのようなアクリジン誘導体；９，１０−ジメチルベンズフェナジンのようなフェナジン誘導体；あるいは、チタノセンジクロリド、ジフェニルチタノセン、ジ（２，３，４，５，６−��ンタフルオロフェニ−１−イル）チタノセン、ジ（２，３，５，６−テトラフルオロフェニ−１−イル）チタノセン、ジ（２，４，６−トリフルオロフェニ−１−イル）チタノセン、２，６−ジフルオロフェニ−１−イルチタノセン、２，４−ジフルオロフェニ−１−イルチタノセン、ジ（２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニ−１−イル）ジメチルシクロペンタジエニルチタニウム、ジ（２，６−ジフルオロフェニ−１−イル）ジメチルシクロペンタジエニルチタニウム又は２，６−ジフルオロ−３−（ピロリン−１−イル）−フェニ−１−イルチタノセンのようなチタノセン誘導体が挙げられる。
【００１５】
本発明の感光性組成物には、上記成分（Ａ）〜（Ｃ）に加えて、さらに必要に応じて各種の添加剤を添加してもよく、着色剤、溶剤、増感剤、硬化促進剤、光架橋剤、光増感剤、分散補助剤、充填剤、付着力促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤などが挙げられるが、これには限られない。
【００１６】
本発明の感光性組成物に含有してもよい着色剤としては、特に限定されないが、例えば、カラーインデックス（ｃｏｌｏｒ  ｉｎｄｅｘ）（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ  社発行）において顔料（Ｐｉｇｍｅｎｔ）と分類される化合物を用いることが好ましく、具体的には下記のカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号を有する着色剤が用いられる。
【００１７】
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１（以下、同じく「Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー」であるので、記述を簡略化し、番号のみ記載する）、３、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、５５、６０、６１、６５、７１、７３、７４、８１、８３、８６、９３、９５、９７、９８、９９、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１６、１１７、１１９、１２０、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６６、１６７、１６８、１７５、１８０、１８５。
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１（以下、同じく「Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ」であるので、記述を簡略化し、番号のみ記載する）、５、１３、１４、１６、１７、２４、３４、３６、３８、４０、４３、４６、４９、５１、５５、５９、６１、６３、６４、７１、７３。
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１（以下、同じく「Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット」であるので、記述を簡略化し、番号のみ記載する）、１９、２３、２９、３０、３２、３６、３７、３８、３９、４０、５０。
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１（以下、同じく「Ｃ．Ｉ．  ピグメントレッド」であるので、記述を簡略化し、番号のみ記載する）、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、３０、３１、３２、３７、３８、４０、４１、４２、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５３：１、５７、５７：１、５７：２、５８：２、５８：４、６０：１、６３：１、６３：２、６４：１、８１：１、８３、８８、９０：１、９７、１０１、１０２、１０４、１０５、１０６、１０８、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５１、１５５、１６６、１６８、１７０、１７１、１７２、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８０、１８５、１８７、１８８、１９０、１９２、１９３、１９４、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、２４２、２４３、２４５、２５４、２５５、２６４、２６５。
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１（以下、同じく「Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー」であるので、記述を簡略化し、番号のみ記載する）、２、１５、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４、６６。
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３７。
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２８。
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７。
【００１８】
また、無機顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄鉛（黄色）、亜鉛黄、赤色酸化鉄、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラックなどが挙げられる。
【００１９】
本発明において、上記有機顔料及び無機顔料はそれぞれ単独で使用又は２種以上を混合して使用してもよいし、さらに有機顔料と無機顔料とを併用してもよい。
【００２０】
着色剤を遮光剤として用いる場合、黒色顔料を遮光剤として用いることが好ましい。黒色顔料としては、有機顔料と無機顔料のいずれであってもよく、例えば、カーボンブラック、チタンブラック（ｔｉｔａｎ  ｂｌａｃｋ）、銅、鉄、マンガン、コバルト、クロム、ニッケル、亜鉛、カルシウム、銀などの金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸塩又は金属炭酸塩などが挙げられる。これらの黒色顔料のうち、高遮光性を有するカーボンブラックを用いることが好ましい。そして、カーボンブラックの色調を調整するために、上記有機顔料を補助顔料として適宜添加してもよい。
【００２１】
上記着色剤を感光性組成物中に均一に分散させるために、さらに分散剤を使用してもよい。このような分散剤としては、ポリビニルイミド類、ポリウレタン樹脂類、アクリル樹脂類高分子分散剤を使用することが好ましい。特に、カーボンブラックを着色剤として使用する場合、アクリル樹脂類高分子分散剤を分散剤として使用することが好ましい。
【００２２】
本発明の感光性組成物に使用される溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールｎ−プロピルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノｎ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテルなどの（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどの（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフランなどの他のエーテル類；ブタノン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノンなどのケトン類；２−ヒドロキシプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシプロピオン酸エチルなどの乳酸アルキルエステル類、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチル酪酸メチル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート（３−ｍｅｔｈｙｌ−３−ｍｅｔｈｏｘｙ  ｂｕｔｙｌ  ａｃｅｔａｔｅ）、３−メチル−３−メトキシブチルプロピオネート（３−ｍｅｔｈｙｌ−３−ｍｅｔｈｏｘｙ  ｂｕｔｙｌ  ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸ｎ−アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ−プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−アセト酢酸エチルなどのほかのエステル類、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドなどのアミド類などが挙げられる。これらの溶剤は単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
【００２３】
本発明の感光性組成物として使用される熱重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノエチルエーテルなどが挙げられる。
【００２４】
消泡剤としては、ポリシロキサン類、フッ素類などの化合物であってもよい。
【００２５】
界面活性剤としては、アニオン類、カチオン類、ノニオン類界面活性剤であってもよい。
【００２６】
本発明の別の目的は、上記オキシムエステル類光開始剤含有感光性組成物の、液晶表示装置、例えばカラーフィルタ（ＲＧＢ及びＢＭフォトレジスト）、フォトスペーサー（ｐｈｏｔｏｓｐａｃｅｒ）又はリブ（ｒｉｂ）への使用を提供することにある。
【００２７】
本発明の更に別の目的は、上記オキシムエステル類光開始剤含有感光性組成物により製造されたフォトレジストフィルム、カラーフィルタフィルム、フォトスペーサー（ｐｈｏｔｏｓｐａｃｅｒ）及びリブ（ｒｉｂ）を提供することにもある。
【００２８】
感光性組成物を用いて光硬化又はフォトリソグラフィープロセスによってフォトレジストフィルム、カラーフィルタフィルム、フォトスペーサーなどを製造する技術が、当業者に良く知られており、通常、以下のステップを含む。
ｉ）各成分を均一に混合させ、感光性組成物を形成する。
ｉｉ）感光性組成物を基板上に塗布する。
例えば、ロールコーター、リバースコーター、バーコーターなどの接触転写型塗布装置やスピンナー（回転式塗布装置）、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて、感光性樹脂組成物を基板上に塗布する。
ｉｉｉ）基板上に塗布された感光性組成物を乾燥させ、塗膜を形成する。
乾燥方法は特に限定されるものではなく、例えば、（１）ホットプレート上でそれを８０〜１２０℃、好ましくは９０〜１００℃の温度で６０〜１２０秒乾燥させる方法、（２）室温において数時間〜数日放置する方法、（３）それを温風ヒータや赤外線ヒータに数十分間〜数時間入れて溶剤を除去する方法のいずれか１種を用いても良い。
ｉｖ）ネガマスク用活性エネルギー線を該塗膜に照射してそれを一部露光させる。
照射するエネルギー線は紫外線、エキシマレーザーなどであってもよく、強度が感光性組成物の組成により異なるが、例えば３０〜２０００ｍＪ／ｃｍ２であることが好ましい。
ｖ）現像液を用いて露光後の塗膜を現像し、所望形状のパターンを形成する。
現像方法は特に限定されないが、例えば含浸法、噴霧法などを用いても良い。現像液としては、例えば、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンなどの有機類物質、あるいは水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、４級アンモニウム塩などの水溶液が挙げられる。
ｖｉ）ポストベークを行い、好ましいベーク温度が２００℃〜２５０℃である。
【００２９】
本発明において、成分（Ｃ）であるオキシムエステル類光開始剤は成分（Ａ）及び（Ｂ）と良好な適応性を有する。これらの成分の組み合わせによって、得られた組成物が非常に良好な貯蔵安定性を有し、普通の光源に適用するのみならず、ＬＥＤ光源及びレーザー光源の照射下でも非常に高い感光度を有し、非常に低い露光剤量のみで非常に良く架橋硬化することができ、かつ、硬化効果が極めて優れている。該組成物から作製された膜のエッジが平坦で欠陥なく、スカムがなく、パターン全体の完全度が良好であり、レジスト膜の硬度が高く、作製されたカラーフィルタの光学透明度が高く、漏光することはない。特に、カラーフィルタにおけるブラックマトリックス（ＢＭ）を作製する際に、黒色顔料又は染料の存在のため、光源の利用効果が非常に悪くなるが、該組成物を用いると依然として非常に低い露光剤量でＢＭの作製を完成することができ、作製されたＢＭは高遮光性、優れた精度、平坦性及び耐久性を有する。同時に、本発明の組成物もフォトスペーサー及びリブを作製するのに優れた材料である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、具体的な実施例によって本発明をさらに詳しく説明したが、それを本発明の保護範囲への制限とは理解し得ない。
【実施例】
【００３１】
ベンジルメタクリレート／メタクリレート／ヒドロキシエチルメタクリレート（モル比７０／１０／２０）共重合体（Ｍｗ：１００００）（５０質量部）、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（２５質量部）、光開始剤及び顔料を含む感光性組成物を調製する。
上記光開始剤及び顔料の種類及びその使用量は表１に示している。
【００３２】
【表１】
0006510028.tif 000011
【００３３】
表１に示す処方により感光性組成物を調製し、それを１００質量部の溶剤であるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）に溶解し、液状組成物を形成した。
スピンコーターを用いて液状組成物をガラス基板上に塗布し、９０℃で５ｍｉｎ乾燥させて溶剤を除去し、膜厚１．５μｍの塗膜を形成した。上記厚さの塗膜を取得するために、塗布工程は一回で完成させてもよいし、複数回に分けて完成させてもよい。
塗膜が形成された基板を室温に冷却させ、マスク板を付着して、３９５ｎｍのＬＥＤ光源を用いて塗膜を露光した。
２５℃の温度で、１％のＮａＯＨ水溶液を用いて現像させ、さらに超純水で洗浄し、風乾させた。
最後に、２２０℃のオーブン中で３０ｍｉｎポストベークし、マスク板が遷移したパターンを得た。
【００３４】
性能評価
１．貯蔵安定性の評価方法
液状組成物を室温下で１ヵ月貯蔵した後、下記の基準に基づいて視覚的に物質の沈殿程度を評価した。
Ａ：沈殿が観察されなかった。
Ｂ：少しの沈殿が観察された。
Ｃ：明らかな沈殿が観察された。
【００３５】
２．露光感度の評価方法
露光ステップにおいて光照射領域で現像された後に残膜率が９０％又はそれ以上の最小露光量を露光需要量と評価した。露光需要量が小さければ小さいほど感度が高いことを表す。
【００３６】
３．現像性及びパターン完全性の評価方法
走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて基板上のパターンを観察し、現像性及びパターン完全性を評価した。
現像性は下記の基準に基づいて評価した。
○：未露光部分で残留物が観察されなかった。
◎：未露光部分で少量の残留物が観察されたが、残留量が納得できる。
●：未露光部分で明らかな残留物が観察された。
パターン完全性は下記の基準に基づいて評価した。
△：パターン欠陥が観察されなかった。
□：小部分のパターンに少しの欠陥が観察された。
▲：明らかに多くのパターン欠陥が観察された。
評価結果を表２に示す。
【００３７】
【表２】
0006510028.tif 000012
【００３８】
表２の結果から明らかなように、実施例１〜８の組成物の溶剤系における貯蔵安定性が極めて優れ、露光需要量が小さく、作製されたカラーフィル、タフォトレジストが良好な現像性及びパターン完全性を有し、各項目の性能が明らかに比較例１〜３よりも優れている。
【００３９】
なお、実施例１〜８の組成物のＬＥＤ点ランプ光源照射下における露光剤量がいずれも５０ｍＪ／ｃｍ２未満であり、比較実施例  １〜３を遥かに下回っており、極めて優れた感光感度を示している。これは、より省エネルギーで環境保護のＬＥＤ点光源の光硬化技術分野への普及応用に対して非常に良い促進作用を有している。
【００４０】
以上、本発明のオキシムエステル類光開始剤含有感光性組成物は、非常に優れた応用性能を示しており、広く応用される見込みがある。