【事件の表示】
　特許第３２４８１２９号「基板搬送処理装置」の請求項１ないし２９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２４８１２９号の請求項１ないし３、９ないし１２、１４、１５ないし２２に係る特許を取り消す。
　同請求項４ないし８、１３、２３ないし２９に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第３２４８１２９号の請求項１ないし２９に係る発明の出願は、平成９年４月１８日（優先権主張平成９年１月２１日）に特許出願され、平成１３年１１月９日にその特許権の設定登録がなされ、その後、請求項１ないし２９に係る発明の特許に対して、井上博史より特許異議申立てがなされ、平成１４年１０月９日付けで取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年１２月５日に訂正請求（後日取下げ）がなされた後、、平成１５年５月１３日付で再度取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１５年６月１０日に訂正請求がされたものである。
　
第２　特許異議申立ての理由及び平成１４年１０月９日付け取消しの理由の概要
　異議申立人井上博史は、証拠として甲第１号証（特開平８−１７８９４号公報）、甲第２号証（特開平８−５１０９２号公報）、甲第３号証（特開平７−１２５８０７号公報）、甲第４号証（特開昭６３−２７５１３２号公報）、甲第５号証（特開平７−２７３１６５号公報）、甲第６号証（特開平６−２３６８５４号公報）、甲第７号証（特開平８−１９５３６８号公報）、甲第８号証（特開平７−２１１６７９号公報）、甲第９号証（特開平７−２３５５８７号公報）、甲第１０号証（特開平５−２００６８９号公報）、甲第１１号証（特開平７−２９７２５８号公報）、甲第１２号証（特開平８−１９５４３１号公報）、甲第１３号証（特開平４−３４９３２号公報）及び甲第１４号証（特開平８−２７９５４６号公報）を提出し、本件請求項１ないし２９に係る発明は、本件特許の優先権主張の日前に国内において頒布された甲第１号証ないし甲第１４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、当該発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである旨主張する。
　また、平成１４年１０月９日付けの取消しの理由は、概略上記異議申立ての理由と同様のものである。
　
　
第３　訂正の適否についての判断
１　訂正の内容
　特許権者は、本件設定登録時の願書に添付した明細書及び図面（以下「登録明細書」という。）を平成１５年６月１０日付けの訂正請求書に添付された明細書（以下「訂正明細書」という。）記載のとおり以下のように訂正しようとするものである。
（１）訂正事項ａ
　登録明細書における特許請求の範囲を以下のように訂正する。
ア　請求項１において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段」に訂正する。
イ  請求項２において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段」に訂正する。
ウ　請求項４において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段」に訂正する。
エ　請求項６において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」及び「容器内に基板を収納する基板収納手段」を、「処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段」及び「容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段」に、それぞれ訂正する。
オ　請求項２３において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
カ　請求項２４において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
キ　請求項２５において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
ク　請求項２６において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
ケ　請求項２７において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
コ　請求項２８において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
サ　請求項２９において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　登録明細書の発明の詳細な説明を以下のように訂正する。
ア　段落【００１０】において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段」に訂正する。
イ　段落【００１２】において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段」に訂正する。
ウ　段落【００１５】において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段」に訂正する。
エ　段落【００１７】において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」及び「上記容器内に基板を収納する基板収納手段」を、「処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段」及び「上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段」に、それぞれ訂正する。
オ　段落【００３１】において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
カ　段落【００３２】において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
キ　段落【００３３】において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
ク　段落【００３４】において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
ケ　段落【００３５】において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
コ　段落【００３６】において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
サ　段落【００３７】において「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」に訂正する。
（３）訂正事項ｃ
ア　段落【００９４】において「インターフェース部４Ａに移送されたキャリア１は、」を「インターフェース部４Ａに移送されたウエハＷは、」に訂正する。
イ　段落【０１０５】において「また、基板搬送手段の移動動作の回転機構をもたせることなく水平、垂直の直線機構のみをもたせることができるので」を「また、基板搬送手段の移動動作に回転機構をもたせることなく水平、垂直の直線機構のみをもたせることができるので」に訂正する。
ウ　段落【０１０８】において「また、請求項１４又は１６記載の発明によれば、」を「また、請求項９又は１１記載の発明によれば、」に訂正する。
　
２　訂正の目的の適否、新規事項の追加の有無及び実質的な拡張・変更の存否
（１）訂正の目的の適否
　訂正事項ａは、登録明細書の特許請求の範囲の請求項１、２、４及び請求項６において、「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段」と限定し、請求項２３ないし２９において、「処理部内で基板を搬送する基板搬送手段」を「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」と限定し、さらに、請求項６において、「容器内に基板を収納する基板収納手段」を「容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段」と限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする明細書の訂正に該当する。
　また、上記訂正事項ｂは、上記訂正された特許請求の範囲に整合させるために発明の詳細な説明の記載を訂正したものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当し、上記訂正事項ｃは、誤記の訂正を目的とする明細書の訂正に該当する。
（２）新規事項の追加の有無
　上記訂正事項ａ及びｂにおける、「処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段」は、登録明細書の段落【００５２】、【００５３】及び図１４に、「処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段」は、登録明細書の段落【００７８】及び図２８に、それぞれ記載されており、また、「容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段」は、登録明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載されており、いずれも新規事項の追加には該当しない。
（３）実質的な拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａないしｃは、いずれも実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　
３　むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書き、及び、同条第３項で準用する同法１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
　
第４　特許異議の申立てについての判断
１　本件発明
　上記「第３の３」で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１ないし２９に係る発明（以下「本件発明１ないし２９」という。）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし２９に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
「【請求項１】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、を具備し、
　上記基板搬送手段を、上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、
　上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受け渡し手段を配設し、
　上記基板受渡し手段は、複数枚の基板を支持する支持部材と、この支持部材を水平方向に移動する水平移動部、及び垂直方向に移動する垂直移動部を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項２】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段と、
　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記位置決めされた複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、
　上記基板搬送手段を、上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、
　上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受け渡し手段を配設し、
　上記基板受渡し手段は、複数枚の基板を支持する支持部材と、この支持部材を水平方向に移動する水平移動部、及び垂直方向に移動する垂直移動部を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項３】　請求項１又は２記載の基板搬送処理装置において、
　上記基板受渡し手段は、支持部材及び水平移動部を水平方向に回転する回転部を更に具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項４】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記姿勢変換手段で姿勢変換された上記複数枚の基板を、上記処理部を挟んで上記搬入部及び搬出部と反対側に配設されたインターフェース部に移送する基板移送手段と、
　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、を具備し、
　上記基板搬送手段を上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、
　上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受渡し手段を配設し、
　上記基板受渡し手段は、複数枚の基板を支持する支持部材と、この支持部材を水平方向に移動する水平移動部、及び垂直方向に移動する垂直移動部を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項５】　請求項４記載の基板搬送処理装置において、
　上記処理部と姿勢変換手段との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で基板を搬送する第２の基板搬送手段を設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項６】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記処理部を挟んで上記搬入部及び搬出部と反対側に配設されるインターフェース部と、
　上記搬入部に搬入される上記容器を、上記インターフェース部に移送する容器移送手段と、
　上記インターフェース部内において、上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、上記基板取出し手段により上記容器から取り出された複数枚の基板を水平状態から垂直状態に姿勢変換する第１の姿勢変換手段と、
　上記第１の姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、
　上記搬入部及び搬出部側に配設され、上記複数枚の基板を垂直状態から水平状態に姿勢変換する第２の姿勢変換手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、を具備し、
　上記基板搬送手段を上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、
　上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受渡し手段を配設し、
　上記基板受渡し手段は、複数枚の基板を支持する支持部材と、この支持部材を水平方向に移動する水平移動部、及び垂直方向に移動する垂直移動部を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項７】　請求項６記載の基板搬送処理装置において、
　上記処理部と第２の姿勢変換手段との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で基板を搬送する第２の基板搬送手段を設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項８】　請求項６記載の基板搬送処理装置において、
　上記容器移送手段の移送路に沿設する位置に容器待機部を設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項９】　請求項１，２又は４に記載の基板搬送処理装置において、
　空の容器を収容する容器待機部と、
　上記搬入部及び搬出部内、及び上記搬入部及び搬出部と容器待機部との間で容器を搬送する容器搬送手段と、
を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項１０】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記搬入部及び又は搬出部と、上記基板取出し手段により複数枚の基板が容器から取り出される基板取出し位置及び上記基板収納手段により複数枚の基板が容器へ収納される基板収納位置との間で、上記容器を搬送する容器搬送手段を設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項１１】　請求項１，２又は４に記載の基板搬送処理装置において、
　上記容器を収容する容器待機部と、
　上記搬入部及び搬出部と上記容器待機部との間で容器を搬送する第１の容器搬送手段と、
　上記容器待機部と上記基板取出し手段及び基板収納手段との間で容器を搬送する第２の容器搬送手段と、
を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項１２】　請求項９又は１１に記載の基板搬送処理装置において、
　上記容器待機部内に、容器を移動する容器移動手段を配設してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項１３】　請求項４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記容器内から取り出された複数枚の基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段を具備してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項１４】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記姿勢変換手段に、複数枚の基板間の間隔を調整する間隔調整手段を具備してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項１５】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記処理部に、複数枚の基板を収容する処理槽と、この処理槽内に複数枚の基板を搬入及び搬出する移動手段とを具備してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項１６】　請求項１５記載の基板搬送処理装置において、
　上記移動手段を、複数の処理槽に対して複数枚の基板を搬入及び搬出可能に形成してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項１７】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記処理部に、複数枚の基板を収容する処理槽と、この処理槽内に薬液を供給する薬液供給手段と、上記処理槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段を具備してなる、ことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項１８】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記処理部に、上記基板搬送手段の少なくとも基板保持部を洗浄する洗浄手段を具備してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項１９】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記処理部に、基板の洗浄・乾燥手段を具備してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項２０】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記搬入部に、容器搬入口及び基板搬出口を設け、
　上記搬出部に、容器搬出口及び基板搬入口を設けてなる、
ことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項２１】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記搬入部と搬出部を併設すると共に、これら搬入部及び搬出部と対向して処理部を配設してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項２２】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記姿勢変換手段から処理部との間で複数枚の基板を受け渡しする第１の基板搬送手段と、上記処理部内から上記姿勢変換手段へ上記複数枚の基板を受け渡しする第２の基板搬送手段とを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項２３】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、を具備し、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項２４】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、を具備し、
　上記基板搬送手段を、上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、
　上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受け渡し手段を配設し、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項２５】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段と、
　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記位置決めされた複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　上記基板搬送手段を、上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、
　上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受け渡し手段を配設し、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項２６】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部とが設けられた搬送部と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記搬送部と処理部との間に設けられたインターフェース部と、
　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、を具備し、
　上記インターフェース部に、上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取り出し手段と、上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、上記複数枚の基板に設けられたノッチを検出する位置検出手段とを設け、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項２７】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部とが設けられた搬送部と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記搬送部と処理部との間に設けられたインターフェース部と、
　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、を具備し、
　上記インターフェース部に、上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、上記複数枚の基板間の間隔を調整する間隔調整手段と、上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段とを設け、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項２８】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部とが設けられた搬送部と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記搬送部と処理部との間に設けられたインターフェース部と、
　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、を具備し、
　上記インターフェース部に、上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、上記複数枚の基板間の間隔を調整する間隔調整手段と、上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、上記複数枚の基板に設けられたノッチを検出する位置検出手段とを設け、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項２９】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記姿勢変換手段で姿勢変換された上記複数枚の基板を、上記処理部を挟んで上記搬入部及び搬出部と反対側に配設されたインターフェース部に移送する基板移送手段と、
　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、を具備し、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。」
　
２　甲各号証の記載内容
（１）甲第１号証（特開平８−１７８９４号公報）
ア　段落【００４１】
「まず、本実施例装置における洗浄処理が施される前の複数枚の基板Ｗを収納ピッチｐ１で収納した搬送カセット７が、本実施例の前工程から、図示しない搬送装置により搬送され、図１、図２に示す搬入口１１から搬送カセット７の載置台１２の上に載置される。このとき、搬送用カセット７は、収納する各基板Ｗが水平になるように横転状態で、底部が搬入口１１側を向くように載置台１２上に搬入される。すなわち、載置台１２に搬入され載置された搬送用カセット７に収納された各基板Ｗを搬入口１１と反対側から水平状態で抜き出せる状態である。」
イ　段落【００４５】
「ローダ部基板移替えロボット１３により、載置台１２に載置された搬送用カセット７に収納された処理前の基板Ｗが、載置台１４に載置された処理用カセット８に移替えられる。」
ウ　段落【００５４】
「この表面処理部２には、図２の一点鎖線で示すように、「Ｕ」の字型の搬送経路に沿って、複数個（図では７個）の処理槽２１ａ〜２１ｇが配置されている。各処理槽２１ａ〜２１ｇでは、処理用カセット８に収納された複数枚の基板Ｗに対して、各種の洗浄液で洗浄しあるいは乾燥する。また、表面処理部２には、ローダ部１の載置台１４に横転状態で載置された処理用カセット８を起立させる姿勢転換ロボット２２と、起立状態の処理用カセット８を姿勢転換ロボット２２から受け取り、その処理用カセット８を上記搬送経路に沿って搬送するとともに、各処理槽２１ａ〜２１ｇに処理用カセット８を挿入して洗浄あるいは乾燥を行なうための表面処理ロボット２３、２４、２５と、表面処理ロボット２５から起立状態の処理用カセット８を受け取り横転させて、アンローダ部３の載置台３１に載置する姿勢転換ロボット２６とが設置されている。」
エ　段落【００６４】
「表面処理ロボット２３は、レール２３１ａ、コンベア２３１ｂの姿勢転換ロボット２２側の終端に移動し、フック２３７を閉じて、昇降部材２３４をＺ方向に降下させてフック２３７を降下させる。」
オ　段落【００６３】
「図５に示すように、姿勢転換ロボット２２は、レール２２１ａ、ネジ軸２２１ｃの載置台１４側の終端に台座２２２を移動させ、横転状態の処理用カセット８の側部を挟持できるようにチャック２２７を回転させ、支持腕２２６を開いて駆動部２２５を降下させる。そして、チャック２２７が、載置台１４に載置された処理用カセット８の側部を挟む状態で、支持腕２２６を閉じて処理用カセット８の側部を挟持する。次に、駆動部２２５を上昇させ、挟持した処理用カセット８を載置台１４の上方に持ち上げ、その状態で、チャック２２７を９０°回転させて、処理用カセット８の上部を上にして起立させる。処理用カセット８を載置台１４の上方に持ち上げるのは、処理用カセット８の回転の際に、処理用カセット８と載置台１４等との干渉を避けるためでる。そして、図８に示すように、レール２２１ａ、ネジ軸２２１ｃの最初の処理槽２１ａ側の終端に台座２２２を移動させ、起立させた処理用カセット８を表面処理ロボット２３に受け渡す。」
カ　段落【００７０】
「このアンローダ部３は、処理用カセット８を横転状態で載置する載置台３１、アンローダ部基板移替えロボット３２、空の搬送用カセット７を横転状態で載置する載置台３３、搬送用カセット７を装置外に搬出する搬出口３４とで構成されている。」
キ　段落【００７１】
「載置台３１に載置された処理用カセット８に収納された処理済の基板Ｗが、アンローダ部基板移替えロボット３２により載置台３３に載置されている空の搬送用カセット７に移替えられる。」
ク　段落【００７７】
「搬送用カセットバッファ部５には、ローダ部１の載置台１２とアンローダ部３の載置台３３との間に、搬送用カセット７を載置する７個の載置台５１が連続的に設けられている。これら載置台５１の構成は、載置台１２と同様であり、図２のテーブル１ａ上に設けられている。また、載置台１２、各載置台５１、載置台３３の中央には、開口溝１ｂが連通して設けられている。さらに、テーブル１ａの下には、載置台１２から各載置台５１を経て載置台３３に搬送用カセット７を搬送するための搬送用カセット搬送ロボット５２が設けられている。」
ケ　段落【００７９】
「上述したローダ部１の載置台１２に載置された搬送用カセット７から載置台１４に載置された処理用カセット８への基板Ｗの移替えが終了すると、搬送用カセット搬送ロボット５２は、載置台１２の下方からカセット載置部５２４を上昇させて、空の搬送用カセット７を載置台１２の上方に持ち上げ、Ｘ方向に移動して、搬送用カセット７をアンローダ部３の載置台３３方向に移動させる。」
コ　図２
「搬入口１１及び搬出口３４と対向して表面処理部２を配設していること。」
　上記記載事項アないしコから、甲第１号証には次の発明が記載されていると認める。
　「複数枚の被処理用の基板Ｗを水平状態に収納する搬送用カセット７の搬入口１１と、上記搬送用カセット７の搬出口３４と、上記搬送用カセット７内の基板Ｗを取り出すローダ部基板移替えロボット１３と、上記搬送用カセット７内に基板Ｗを収納するアンローダ部基板移替えロボット３２と、複数枚の基板Ｗが収納された処理用カセット８を水平状態と垂直状態に変換する姿勢転換ロボット２２，２６と、上記処理用カセット８内の複数枚の基板Ｗを適宜処理する、搬入口１１と搬出口３４と対向して設けられた表面処理部２と、表面処理部２に、複数枚の基板Ｗを収納する処理槽２１ａ〜２１ｇと、この処理槽２１ａ〜２１ｇ内に複数枚の基板Ｗを搬入及び搬出する昇降部材２３４と、上記姿勢転換ロボット２２，２６と表面処理部２との間で上記複数枚の基板Ｗが収納された処理用カセット８を受け渡しすると共に、表面処理部２内で複数枚の基板Ｗが収納された処理用カセット８を搬送する表面処理ロボット２３，２４，２５と、を具備し、上記表面処理ロボット２３，２５を、上記姿勢転換ロボット２２，２６と対向する位置に移動可能に形成し、上記表面処理ロボット２３，２５と姿勢転換ロボット２２，２６との間に、複数枚の基板Ｗが収納された処理用カセットを支持するチャック２２７と、このチャック２２７を水平方向に移動する台座２２２、及び垂直方向に移動する駆動部２２５を具備する基板搬送処理装置。」
（２）甲第２号証（特開平８−５１０９２号公報）
ア　段落【０００１】
「本発明は、処理装置及び洗浄装置に関するものである。」
イ　段落【００３５】
「前記洗浄処理部３には、載置部５側から順に、前記搬送装置１１のウエハチャック１４を洗浄、乾燥するチャック洗浄・乾燥処理槽２１、ウエハ表面の有機汚染物、金属不純物、パーティクル等の不純物質を薬液によって洗浄処理する薬液洗浄処理槽２２、前記薬液洗浄処理槽２２で洗浄されたウエハを例えば純水によって洗浄する２つの水洗洗浄処理槽２３、２４、前記薬液洗浄処理槽２２における薬液とは異なった薬液で洗浄処理する薬液洗浄処理槽２５、前記薬液洗浄処理槽２５で洗浄されたウエハを例えば純水によって洗浄する２つの水洗洗浄処理槽２６、２７、前記搬送装置１３のウエハチャック１６を洗浄、乾燥するチャック洗浄・乾燥処理槽２８、及び前記不純物質が除去されたウエハを、例えばＩＰＡ（イソプロピルアルコール）等で蒸気乾燥させるための乾燥処理槽２９が、夫々配設されている。」
　上記記載事項ア及びイから、甲第２号証には次の技術事項が記載されていると認める。
  「洗浄処理部３に、搬送装置１１のウエハチャック１４を洗浄するチャック洗浄・乾燥処理槽２１を具備する基板搬送処理装置。」
（３）甲第３号証（特開平７−１２５８０７号公報）
ア　段落【００１２】
「基板処理装置１０では、基板処理装置１０外から未処理基板Ｗａを収納したカセット３００がカセット搬出入ステージ２０の搬入位置２２に２ケース搬入されると、これらのカセット３００は、カセット搬送ロボット３０により基板移載部４０に搬送される。続いて、カセット３００内の未処理基板Ｗａが基板移載部４０と基板搬送ロボット２００によりカセット３００から取り出され、基板搬送ロボット２００により基板処理部２２０へ搬送される。」
イ　段落【００１４】
「図３に示すように、上記基板移載部４０は、基板処理装置１０の上板４２とほぼ同一面設けられたカセット載置テーブル４４と、第１基板受け渡し具５０Ａ及び第２基板受け渡し具５０Ｂと、第１及び第２基板受け渡し具５０Ａ，５０Ｂを回転及びスライドさせる回転スライド装置６０と、上記第１及び第２基板受け渡し具５０Ａ，５０Ｂ及び回転スライド装置６０を昇降させる昇降駆動装置１３０とを備えている。」
ウ　段落【００３１】
「上述した一連の動作により、第１基板受け渡し具５０Ａにより保持された未処理基板Ｗａと第２基板受け渡し具５０Ｂで保持された未処理基板Ｗａとは、回転と同時にその間隔を狭める幅寄せが行なわれて連続した所定間隔で整列配置されることになる。次に、幅寄せされて整列配置された未処理基板Ｗａは、図１０に示す基板搬送ロボット２００により基板処理部２２０に搬送される。」
エ  段落【００３２】
　「一方、基板処理部２２０で処理された処理済み基板Ｗｂは、上述の搬送動作と逆の動作により、基板搬送ロボット２００から、基板移載部４０を介してカセット搬出入ステージ２０の搬出位置２４まで搬送する。この動作は、上述した図９から図７の順序により行なわれる。すなわち、基板搬送ロボット２００は、処理済み基板Ｗｂを第１及び第２基板受け渡し具５０Ａ，５０Ｂに受け渡す。」
オ　図１
「処理部に複数枚の基板を収納する処理槽と、この処理槽内に複数枚の基板を搬入及び搬出する移動手段を具備すること。」
　上記記載事項アないしオから、甲第３号証には次の技術事項が記載されていると認める。
「カセット３００から未処理基板Ｗａを取出し、複数枚の未処理基板Ｗａを搬送、処理し、処理後カセット３００に処理済み基板Ｗｂを収納する基板搬送処理装置で、処理部に複数枚の未処理基板Ｗａを収納する処理槽と、この処理槽内に複数枚の基板を搬入及び搬出する移動手段を具備する。」
（４）甲第４号証（特開昭６３−２７５１３２号公報）
ア　第３頁左上欄第７行〜第２０行
「モータ７ａ、７ｂの回転に応じてプッシャ４ａ、４ｂが単独に矢印の方向Ａ又はＢに移動する。・・・第１図において、・・・プッシャ４ａ、４ｂを上昇させ、収納キャリア１０から半導体ウェーハを取出す。次に、・・・プッシャ４ａ、４ｂを補正する前の位置まで戻した後、装置キャリヤ３に挿入する。」
　上記記載事項アから、甲第４号証には次の技術事項が記載されていると認める。
「基板を扱う収納キャリア１０から装置キャリア３への基板の受け渡しに、プッシャ４ａ、４ｂを用いる収納キャリア自動交換装置。」
（５）甲第５号証（特開平７−２７３１６５号公報）
ア　段落【００２９】
「そして、姿勢変換機構９の上方領域には姿勢変換されたキャリア７を複数個収容する棚状の収容部４９が設けられと共に、熱処理炉２側には前記キャリア７を半導体ウエハＷの移載のために載置する移載部５０が設けられ、収容部４９と移載部５０との間にはキャリア７の搬送を行う搬送機構５１が、移載部５０とローディグエリアのウエハボート５との間には半導体ウエハＷの移載を行う移載機構５２がそれぞれ設けられている。」
イ　段落【００３１】
「前記搬送機構５１は、支柱５３を有する走行部５４と、その支柱５３に昇降可能に設けられた昇降フレーム５５と、この昇降フレーム５５に水平方向に屈伸可能に設けられてキャリア７の下部を支持する搬送アーム５６とを備えている。この搬送機構５１は、載置台１０と収容部４９との間、収容部４９と移載部５０との間、及び載置台１０と移載部５０との間でキャリア７の受取り受渡しができるように構成されている。」
ウ　段落【００３２】
「前記移載機構５２は、図１０に示すように昇降可能に設けられた昇降フレーム５７と、この昇降フレーム５７上に水平回動可能に設けられた矩形の回動フレーム５８と、この回動フレーム５８上にその長手方向に沿って往復移動可能に設けられた移動体５９と、この移動体５９の移動方向一端に設けられ、複数枚例えば５枚程度の半導体ウエハＷを上下方向に適宜間隔で支持する平板状の移載アーム６０とを備えている。この移載機構５２は、処理前の半導体ウエハＷを移載部５０のキャリア７内から順次取り出してウエハボート５に移載し、また、処理後の半導体ウエハＷをウエハボート５から順次取り出してキャリア７内に移載するように構成されている。」
　上記記載事項アないしウから、甲第５号証には次の技術事項が記載されていると認める。
  「複数枚の被処理用の半導体ウエハＷを収納するキャリア７の搬出入口８と、キャリア７内の複数枚の半導体ウエハＷを取出し収納する移載機構５２と、キャリア７を収容する収容部４９と載置台１０と収容部４９との間でキャリア７を搬送する搬送機構５１と、収容部４９と移載部５０との間でキャリアを搬送する搬送機構５１とを具備する基板搬送処理装置。」
（６）甲第６号証（特開平６−２３６８５４号公報）
ア　段落【００２２】
「キャリア移載機７によりキャリア収納棚５１あるいは５２に収納されているウエハの入ったキャリアＣをウエハ受け渡し部４Ａに移載する。次いでウエハ移載機３４により、ウエハ受け渡し部４Ａに載置されたキャリアＣからウエハＷを取り出してウエハボート３３に１枚づつ、あるいはウエハ移載機３４が複数枚のピンセットを備えている場合には複数枚づつ移載される。」
イ　段落【００２３】
「キャリアＣが空になった後、キャリア移載機７により当該キャリアＣがキャリア収納棚５１あるいは５２に移載されて、キャリア収納棚５１あるいは５２から次のキャリアＣがウエハ受け渡し部４Ａに移載されることになる」
ウ　段落【００２４】
「しかる後ウエハポート３３が下降してウエハＷがアンロードされ、ウエハ移載機によりウエハポート３３からウエハ受け渡し部４ＡのキャリアＣへウエハＷが移載される。」
エ　段落【００２５】
「既に熱処理済みの製品ウエハの入ったキャリアＣをキャリア収納棚５１または５２からキャリア移載機７によりキャリアステージ６に移載したり、あるいは外部からキャリアステージ６に搬入された処理前のウエハの入ったキャリアＣをキャリア収納棚５１または５２に移載する。」
　上記記載事項アないしエから、甲第６号証には次の技術事項が記載されていると認める。
「キャリアＣ内の複数枚のウエハＷを取出し収納するウエア移載機３４と、キャリアＣを収容するキャリア収納棚５１，５２とキャリアステージ６とキャリア収納棚５１，５２との間でキャリアＣを搬送するキャリア移載機７と、キャリア収納棚５１，５２とウエハ受け渡し部４Ａ，４Ｂとの間でキャリアＣを搬送するキャリア移載機７とを具備するウエハ搬送処理装置。」
（７）甲第７号証（特開平８−１９５３６８号公報）
ア　段落【００２９】
「上述実施例によれば、ピッチＰ／２の中間保持部６を用意し、第１のウエハチャック４により先ずウエハカセットＣ内のウエハをそのままピッチで把持し、中間保持部６とウエハチャック４との相対位置を調整してｎ回行えば２回移し替えを行うことにより、中間保持部６上にピッチＰ／ｎ例えばピッチＰ／２で配列するようにし、その後は第２のウエハチャックにより中間保持部６上のウエハを処理槽８内に移し替えているので、ウエハチャック４側では格別の構造を採用することなくウエハの配列ピッチの変換を行うことができる。従って簡易な手法で配列ピッチの変換を行うことができ、狭いピッチでウエハを配列して洗浄処理を行うことができる。」
イ　段落【００３０】
「そしてこのようにウエハボート８２上に統一された配列ピッチＰの１／２倍のピッチでウエハＷを保持できることにより、処理槽の小型化を図ることができ、これにより、装置の小型化及びコストダウンを図ることができると共に、洗浄処理液及び純水の消費量を低減でき、洗浄処理液から純水への置換に要する時間が短くなるのでリンス効率が高くなる。この結果リンス時間を短縮できるためスループットが向上し、タクトタイム（一のウエハが処理された後次のウエハが処理されるまでの時間）を短縮化できる。」
ウ　段落【００２３】
「・・・また前記処理槽８の上部には、第２のウエハチャック７と干渉しない位置に洗浄処理液供給部８６が設けられている。」
エ　段落【００２７】〜【００２８】
「一方処理槽８内には、洗浄処理液供給部８６から洗浄処理液・・・を供給しておき・・・続いてリンス供給管８４ａより処理槽８の底部からリンス液例えば純水を供給する。・・・」
　上記記載事項アないしエから、甲第７号証には次の技術事項が記載されていると認める。
「処理槽を小型化するためにウエハ間の配列ピッチを変換可能とするウエハ間の間隔を調整する間隔調整手段と、処理槽８内に薬液を供給する洗浄処理液供給部８６と、処理槽８内にリンス液を供給するリンス液供給管８４ａを具備するウエハ搬送処理装置。」
（８）甲第８号証（特開平７−２１１６７９号公報）
ア　段落【０００８】
「本実施例の洗浄装置１は、図１、図２に示すように、一方向に順次配列された複数の洗浄処理室を有する洗浄処理機構２と、この洗浄処理機構２に沿って被処理体例えば半導体ウエハＷを搬送し、半導体ウエハＷを各洗浄処理室との間で授受するウエハ搬送機構３とを備えて構成されている。」
イ　段落【００１２】
「各ウエハ搬送機構３１、３２、３３は、例えば５０枚の半導体ウエハＷを把持するようにＰＥＥＫ、石英等の耐熱、耐発塵性材料からなるウエハチャック３１Ａ、３２Ａ、３３Ａをそれぞれ有している。これらのウエハチャック３１Ａ、３２Ａ、３３Ａのウエハ把持部には５０個の溝が形成され、これらの溝によって５０枚の半導体ウエハＷを一括して把持するように構成されている。」
　上記記載事項ア及びイから、甲第８号証には次の技術事項が記載されていると認める。
「複数の半導体ウエハＷを処理槽内に搬入及び搬出する移動手段を具備する洗浄装置。」
（９）甲第９号証（特開平７−２３５５８７号公報）
ア　段落【０００１】
「【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体ウエハ等の複数の被整列体の周縁部に形成されたノッチ等の切り欠き部を所定方向に位置合わせする切り欠き部位置合わせ装置及びその方法に関するものである。」
イ　段落【００２９】
「ノッチ合わせ機構７を用いてカセット４内に収容された複数のウエハ３を所定の状態に整列される」
ウ　段落【００３１】
「ドライブシャフト１１が回転すると、アイドルプーリ４３と共に各ウエハ３がθ方向に回転する。各ウエハ３は、そのノッチ２がドライブシャフト１１の環状溝１３に嵌まり込むと、下方にずれて、支持体２８の溝部２７に受け止められる。これによってウエハ３の回転が停止される。ウエハ３をカセット４に収容した状態では、ノッチ２の位置が各ウエハ３によって異なっていることから、回転が停止されるまでの時間は各ウエハ３によって異なってくる。すなわち、ウエハは個別にその回転が停止される。」
　上記記載事項アないしウから、甲第９号証には次の技術事項が記載されていると認める。
「ドライブシャフト１１の環状溝１３によって、ウエハ３に設けられたノッチ２を検出して位置決めを行うウエハ位置合わせ装置。」
（１０）甲第１０号証（特開平５−２００６８９号公報）
ア　段落【００４１】
「２９は、キャリア２８に収納されたウエハ２を、本実施例にかかるウエハ保持装置３０ａで保持するためのロード部、反対に、３１は処理済のウエハ２をウエハ保持部３０ｂからキャリア２８に収納するためのアンロード部である。」
イ　段落【００４３】
「ウエハ搬送装置３３ａは、ロード部２９と処理層３２ａ、３２ｂ、３２ｃを担当し、ウエハ搬送装置３３ｂは、処理層３２ｃ、３２ｄ、回転乾燥部３７およびアンロード部３１を担当するようになっている。」
ウ　段落【００４４】
「ウエハ処理部３２の上方には、空キャリア移送部３５があり、図示しないベルトコンベアにより、ロード部２９上方からアンロード部３１上方へ空キャリア２８を移動させる。」
　上記記載事項アないしウから、甲第１０号証には次の技術事項が記載されていると認める。
「ベルトコンベアにより、ロード部２９上方からアンロード部３１上方へ空キャリア２８を移動させる容器移送手段を有するウエハ処理装置。」
（１１）甲第１１号証（特開平７−２９７２５８号公報）
ア　段落【００１２】
「図２において、半導体ウェハにレジスト膜形成処理及び現像処理を行うための第１の処理装置、例えば塗布／現像装置Ｓ１に隣接して、第２の処理装置、例ええば露光装置（図示せず）との間でウェハの搬入及び搬出を行うための搬送装置であるインターフェース装置Ｓ２が設置されている。」
イ　段落【００１３】
「一方、上記塗布／現像装置Ｓ１の上記インターフェース装置Ｓ２とは反対側には、上記装置Ｓ１と隣接して、各工程間ウエハを搬送するためにウェハＷを収納するウェハカセット３０を複数個収容例えば、４個直列に載置し、搬送アーム３１例えば、２ピンの金属製載置部を有するアームにより処理前のウェハＷをウェハカセット３０から１枚ずつ取り出して、載置台３２の予め定められた位置に載置することにより、塗布／現像装置Ｓ１側に搬送する。又、塗布／現像装置Ｓ１側で処理が終了した処理済みのウェハＷを上記２ピンのアームの他のピンの搬送アームによりウェハカセット３０に収納したりするためのローダ・アンローダ装置Ｓ３が設置されている。」
ウ　段落【００１４】
「上記塗布／現像装置Ｓ１は、Ｘ方向に伸びるメイン搬送路３２に沿って移動自在でかつ昇降、回転前後動自在に構成された搬送機構である例えば、２ピン金属製載置部を有するメイン搬送アーム３４が設けられている。」
　上記記載事項アないしウから、甲第１１号証には次の技術事項が記載されていると認める。
「塗布／現像装置Ｓ１を挟んでローダ・アンローダ装置Ｓ３と反対側に位置するインターフェイス装置Ｓ２を有する処理装置。」
（１２）甲第１２号証（特開平８−１９５４３１号公報）
ア　段落【００２４】
「そして前記保持棒３１〜３３は図２及び図３に示すように夫々ウエハＷの真下より若干右上、ウエハＷの右斜め上及びウエハＷの左斜め下に位置するように配置されており、各保持棒３１〜３３の表面には、夫々ウエハＷの周縁部を保持するための第１の保持溝４、第２の保持溝５及び第３の保持溝６が夫々保持棒３１〜３３の長さ方向に沿って一定の間隔で例えば５０本形成されている。」
　上記記載事項アから、甲第１２号証には次の技術事項が記載されていると認める。
「一対の側部保持棒３２，３３と下部保持棒３１で構成されるウエハ保持具を有する洗浄装置。」
（１３）甲第１３号証（特開平４−３４９３２号公報）
ア　第３頁左下欄第８行〜第１３行
「アーム部５ａは、その一端が支持部５ｃに固定されているとともに、他端側に設けられた爪部５ｄによりウエハ２をチャックできる構造になっている。また、ガイド部５ｂには、ウエハ２を保持するための保持部５ｅ、５ｅが設けられている。」
　上記記載事項アから、甲第１３号証には次の技術事項が記載されていると認める。
「一対の保持部５ｅと爪部５ｄで構成される搬送アーム５を有する洗浄処理装置。」
（１４）甲第１４号証（特開平８−２７９５４６号公報）
ア　段落【０００１】
「本発明は少なくとも１つの閉鎖可能な装填用開口を備えた半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーションであって、クロージャを取り除いた後で、搬送コンテナ内に収容されているウェハ状または円板体を装填用開口を介してローディング、アンローディング及びリローディングでき、搬送コンテナはコンテナ・カバーを備え、コンテナ・カバーはローディング及びアンローディング用平面に対してほぼ直交する方向に延びているステーションに関する。」
　上記記載事項アから、甲第１４号証には次の技術事項が記載されていると認める。
「装填用開口１３を有する半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーション。」
　
３　対比及び判断
（１）本件発明１について
　本件発明１と甲第１号証記載の発明とを比較すると、甲第１号証記載の発明の「搬入口１１」が本件発明１の「搬入部」に相当し、以下同様に「搬出口３４」が「搬出部」に、「ローダ部基板移替えロボット１３」が「基板取出し手段」に、「アンローダ部基板移替えロボット３２」が「基板収納手段」に、「姿勢転換ロボット２２，２６」が「姿勢変換手段」にそれぞれ相当する。また、甲第１号証記載の発明の「表面処理部２」が本件発明１の「処理部」に、「表面処理ロボット２３，２４，２５」が「基板搬送手段」に、「チャック２２７」が「支持部材」に、「台座２２２」が「水平移動部」に、「駆動部２２５」が「垂直移動部」に、それぞれ相当するから、甲第１号証記載の発明の「チャック２２７」、「台座２２２」、「駆動部２２５」は全体として、本件発明１の「基板搬送手段と姿勢変換手段との間で基板を受け渡す基板受け渡し手段」に相当することが明らかである。
　したがって、本件発明１と甲第１号証記載の発明とは、以下の点で一致している。
＜一致点１＞
　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部と、上記容器内の基板を取り出す基板取出し手段と、上記容器内に基板を収納する基板収納手段と、上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、上記姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、を具備し、上記基板搬送手段を、上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受け渡し手段を配設し、上記基板受渡し手段は、複数枚の基板を支持する支持部材と、この支持部材を水平方向に移動する水平移動部、及び垂直方向に移動する垂直移動部を具備する基板搬送処理装置。
　そして、本件発明１と甲第１号証記載の発明とは、以下の点で相違している。
＜相違点１＞
　本件発明１の基板搬送処理装置が、基板取出しから基板収納まで複数枚の基板を容器内に保持しないで、すなわちキャリアレスで処理を行うのに対して、甲第１号証記載の発明は、そうでない点。
＜相違点２＞
　本件発明１の基板取出し手段及び基板収納手段が、複数枚の基板を取り出し収納するのにのに対して、甲第１号証記載の発明の基板取出し手段及び基板収納手段は、１枚ずつ基板を取り出し収納する点。
＜相違点３＞
　本件発明１の基板受渡し手段が、姿勢変換手段と独立して設けられているのに対して、甲第１号証記載の発明の基板受渡し手段は、姿勢変換手段と一体である点。
　相違点１ないし３について検討する。
　相違点１について
　基板搬送処理装置の分野において、搬送用キャリアから基板を取出し、キャリアレスで基板を処理するキャリアレス基板処理装置に関する技術は、甲第３号証に記載されており、また、甲第３号証及び甲第１号証記載の発明は基板搬送処理装置という同一の技術分野に属するものなので、甲第３号証記載の技術事項を甲第１号証記載の発明に適用し、相違点１に係る本件発明１の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
　相違点２について
　本件発明１と甲第５号証に記載された技術事項を対比すると、甲第５号証記載の技術事項の「移載機構５２」が本件発明１の「基板取出し手段及び基板収納手段」に相当することが明らかであるので、甲第５号証には、基板取出し手段及び基板収納手段が、複数枚の基板を取り出し収納可能という技術事項が記載されているということができ、また、甲第５号証及び甲第１号証記載の発明は基板搬送処理装置という同一の技術分野に属するものなので、甲第５号証記載の技術事項を甲第１号証記載の発明に適用し、相違点２に係る本件発明１の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
　相違点３について
　一般的に、２つの工程の作業を行う場合、スループット向上のために、一方が他方に制約される構成とするより、それぞれ独立させ同時に作業可能とした方が有効であることは技術常識であるので、甲第１号証記載の発明の基板受渡し手段を、姿勢変換手段と分離し、相違点３に係る本件発明１の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明１の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明１は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易になし得たことと認められる。
　
（２）本件発明２について
　本件発明２は、本件発明１に「基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段」という構成要件を付加して限定したものであるから、本件発明２と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者の一致点は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じであり、相違点は上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜相違点４＞
　本件発明２が、基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段を備え、位置決めされた複数枚の基板を姿勢変換手段と処理部の間で受け渡しするのに対して、甲第１号証記載の発明は、そうでない点。
  相違点４について検討する。
　甲第９号証記載の「ドライブシャフト１１の環状溝１３」は、基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段であるから、甲第１号証記載の発明に、上記甲第９号証記載の技術事項を適用し、相違点４に係る本件発明２の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
　上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明２の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証、甲第５号証及び甲第９号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明２は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証、甲第５号証及び甲第９号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）本件発明３について
　本件発明３は、本件発明１又は２を引用しているので、本件発明１に「基板受渡し手段は、支持部材及び水平移動部を水平方向に回転する回転部を更に具備する」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明３と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者の一致点は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じであり、相違点は上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜相違点５＞
　本件発明３が、基板受渡し手段に、支持部材及び水平移動部を水平方向に回転する回転部を更に具備するのに対して、甲第１号証記載の発明の基板受け渡し手段には、そのような回転部を有しない点。
  相違点５について検討する。
　一般的に移動の自由度を高めるために水平及び垂直動作に加えて回転動作を付け加えることは周知であるので、甲第１号証記載の発明の基板受け渡し手段に回転動作を付加し、相違点５に係る本件発明３の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
　上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明３の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明３は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）本件発明９について
　本件発明９は、本件発明１，２又は４を引用しているので、本件発明１に「空の容器を収容する容器待機部と、上記搬入部及び搬出部内、及び上記搬入部及び搬出部と容器待機部との間で容器を搬送する容器搬送手段と、を具備する」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明９と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者の一致点は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じであり、相違点は上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜相違点６＞
　本件発明９が、空の容器を収容する容器待機部と、搬入部及び搬出部内、及び搬入部及び搬出部と容器待機部との間で容器を搬送する容器搬送手段を具備しているのに対して、甲第１号証記載の発明は、それらを具備していない点。
　相違点６について検討する。
　本件発明９と甲第５号証記載の技術事項を対比すると、甲第５号証記載の技術事項の「載置台１０」が本件発明９の「搬入部及び搬出部内」に相当し、以下同様に「収納部４９」が「容器待機部」に、「搬送機構５１」が「容器搬送手段」に相当することが明らかであるので、甲第５号証には、空の容器を収容する容器待機部と、搬入部及び搬出部内、及び上記搬入部及び搬出部と容器待機部との間で容器を搬送する容器搬送手段を具備するとの技術事項が記載されており、また、甲第５号証記載の技術事項及び甲第１号証記載の発明は基板搬送処理装置という同一の技術分野に属するものなので、甲第５号証記載の技術事項を甲第１号証記載の発明に適用し、相違点６に係る本件発明９の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
　なお、甲第１号証記載の発明の搬入部と搬出部はそれぞれ別々に設けられているので、甲第５号証記載の技術事項を甲第１号証記載の発明に適用した場合、搬入部と搬出部はおのずと別々に設けられることになる。
　上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明９の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明９は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（５）本件発明１０について
  本件発明１０は、本件発明１，２，４又は６を引用しているので、本件発明１に「搬入部及び又は搬出部と、基板取出し手段により複数枚の基板が容器から取り出される基板取出し位置及び基板収納手段により複数枚の基板が容器へ収納される基板収納位置との間で、上記容器を搬送する容器搬送手段を設けた」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明１０と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者の一致点は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じであり、相違点は上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜相違点７＞
  本件発明１０が、搬入部及び又は搬出部と、基板取出し手段により複数枚の基板が容器から取り出される基板取出し位置及び基板収納手段により複数枚の基板が容器へ収納される基板収納位置との間で、上記容器を搬送する容器搬送手段を設けたのに対して、甲第１号証記載の発明は、それらを具備していない点。
  相違点７について検討する。
　本件発明１０と甲第５号証記載の技術事項を対比すると、甲第５号証記載の技術事項の「載置台１０」が本件発明１０の「搬入部及び搬出部」に相当し、以下同様に「移載部５０」が「基板取出し位置及び基板収納位置」に、「搬送機構５１」が「容器搬送手段」に相当することが明らかであるので、甲第５号証には、基板取出し手段により複数枚の基板が容器から取り出される基板取出し位置及び基板収納手段により複数枚の基板が容器へ収納される基板収納位置との間で、容器を搬送する容器搬送手段を設けるとの技術事項が記載されており、また、甲第５号証の技術事項及び甲第１号証記載の発明は基板搬送処理装置という同一の技術分野に属するものなので、甲第５号証記載の技術事項を甲第１号証記載の発明に適用し、相違点７に係る本件発明１０の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
  なお、甲第１号証記載の発明の搬入部と搬出部はそれぞれ別々に設けられているので、甲第５号証記載の技術事項を甲第１号証記載の発明に適用した場合、搬入部と搬出部はおのずと別々に設けられることになる。
　上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明１０の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明１０は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（６）本件発明１１について
　本件発明１１は、本件発明１，２又は４を引用しているので、本件発明１に「容器を収容する容器待機部と、搬入部及び搬出部と上記容器待機部との間で容器を搬送する第１の容器搬送手段と、上記容器待機部と基板取出し手段及び基板収納手段との間で容器を搬送する第２の容器搬送手段と、を具備する」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明１１と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者の一致点は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じであり、相違点は上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜相違点８＞
　本願発明１１が、容器を収容する容器待機部と、搬入部及び搬出部と容器待機部との間で容器を搬送する第１の容器搬送手段と、容器待機部と基板取出し手段及び基板収納手段との間で容器を搬送する第２の容器搬送手段を具備するのに対して、甲第１号証記載の発明は、それらを具備していない点。
　相違点８について検討する。
　本件発明１１と甲第５号証記載の技術事項を対比すると、甲第５号証記載の技術事項の「載置台１０」が本件発明１１の「搬入部及び搬出部」に相当し、以下同様に「収納部４９」が「容器待機部」に、「移載機構５２」が「基板取出し手段及び基板収納手段」に、「搬送機構５１」が「第１及び第２の容器搬送手段」に相当することが明らかであるので、甲第５号証には、容器を収容する容器待機部と、搬入部及び搬出部と容器待機部との間で容器を搬送する第１の容器搬送手段と、容器待機部と基板取出し手段及び基板収納手段との間で容器を搬送する第２の容器搬送手段を具備するという技術事項が記載されており、また、甲第５号証及び甲第１号証記載の発明は基板搬送処理装置という同一の技術分野に属するものなので、甲第５号証記載の技術事項を甲第１号証記載の発明に適用し、相違点８に係る本件発明１１の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
　なお、甲第５号証記載の容器搬送手段は１つであるが、搬送効率の向上のため、１つの搬送手段を機能別に２つとすることは技術常識であるので、甲第５号証記載の容器搬送機構を機能分化させて２台とすることは、当業者が容易に発明することができたものである。
　上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明１１の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明１１は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（７）本件発明１２について
　本件発明１２は、本件発明９又は１１を引用しているので、本件発明９に「容器待機部内に、容器を移動する容器移動手段を配設してなること」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明１２と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者の一致点は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じであり、相違点は上記（１）において記載した相違点１ないし３及び上記（４）において記載した相違点６と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜相違点９＞
　本件発明１２が、容器待機部内に、容器を移動する容器移動手段を配設してなるのに対して、甲第１号証記載の発明は、それを配設していない点。
　相違点９について検討する。
  甲第５号証には、容器待機部内に容器を移動する容器移動手段が記載されていないが、水平方向に拡大された容器待機空間に容器移動手段を設けることは甲第１号証に記載されている（例えば甲第１号証の「搬送用カセット搬送ロボット」、「処理用カセット搬送ロボット」参照）ので、収納空間を増加させるため、甲第５号証記載の容器待機部を水平方向に拡大し、その拡大に伴って容器待機部内に容器移動手段を設けたものを甲第１号証記載の発明に適用し、相違点９に係る本件発明１２の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
  上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明１２の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明１２は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（８）本件発明１４について
　本件発明１４は、本件発明１，２，４又は６を引用しているので、本件発明１に「姿勢変換手段に、複数枚の基板間の間隔を調整する間隔調整手段を具備してなる」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明１４と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者の一致点は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じであり、相違点は上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜相違点１０＞
　本件発明１４が、姿勢変換手段に、複数枚の基板間の間隔を調整する間隔調整手段を具備してなるのに対して、甲第１号証記載の発明は、それを具備していない点。
　相違点１０について検討する。
　基板搬送処理装置の分野において、処理槽を小型化するために基板間の配列ピッチを変換可能とする点は、甲第７号証に記載されており、また、甲第７号証及び甲第１号証記載の発明は基板搬送処理装置という同一の技術分野に属するものなので、甲第７号証記載の技術事項を甲第１号証記載の発明に適用し、相違点１０に係る本件発明１４の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。なお、姿勢変換手段に、間隔調整手段を設けた点に格別な技術的意義が認められず、上記点は当業者が容易になし得たことと認める。
　
　上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明１４の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証、甲第５号証及び甲第７号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明１４は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証、甲第５号証及び甲第７号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（９）本件発明１５について
　本件発明１５は、本件発明１，２，４又は６を引用しているので、本件発明１に「処理部に、複数枚の基板を収容する処理槽と、この処理槽内に複数枚の基板を搬入及び搬出する移動手段とを具備してなる」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明１５と甲第１号証記載の発明とを対比すると、甲第１号証記載の発明の「処理槽２１ａ〜２１ｇ」が本件発明１５の「処理槽」に相当し、以下同様に「昇降部材２３４」が「移動手段」相当することが明らかであるので、両者は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じものに加えて次の点で一致し、上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜一致点２＞
　処理部に、複数枚の基板を収容する処理槽と、この処理槽内に複数枚の基板を搬入及び搬出する移動手段とを具備してなる基板搬送処理装置。
＜相違点１１＞
　本願発明１５の基板搬送手段と処理槽内に複数枚の基板を搬入及び搬出する移動手段が、別体であるのに対して、甲第１号証記載の発明は、それらが一体である点。
  相違点１１について検討する。
　基板搬送処理装置において、基板搬送手段と、処理槽内に複数の基板を搬入及び搬出する移動手段を別体で設けることは、甲第３号証の図１に記載されている。また、一般的に、別体とすることに阻害要因がなければ、機能が異なる装置等をそれぞれ別体とすることは技術常識であり、しかも、甲第１号証記載の発明において、基板搬送手段と移動手段を別体にすることを妨げる事情も認められないことからみて、甲第１号証記載の発明において、基板搬送手段と処理槽内に複数の基板を搬入及び搬出する移動手段を別体で設け、相違点１１に係る本件発明１５の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
   
　上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明１５の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明１５は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（１０）本件発明１６について
　本件発明１６は、本件発明１５を引用しているので、本件発明１５に「移動手段を、複数の処理槽に対して複数枚の基板を搬入及び搬出可能に形成してなる」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明１６と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者の一致点は、上記（１）において記載した一致点１と、上記（９）において記載した一致点２と実質的に同じものに加えて次の点で一致し、相違点は上記（１）において記載した相違点１ないし３と、上記（９）において記載した相違点１１と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜一致点３＞
　移動手段を、複数の処理槽に対して複数枚の基板を搬入及び搬出可能に形成してなる基板搬送処理装置。
＜相違点１２＞
　本願発明１６の基板搬送手段と複数の処理槽に対して複数枚の基板を搬入及び搬出可能に形成してなる移動手段が、別体であるのに対して、甲第１号証記載の発明は、それらが一体である点。　
　相違点１２について検討する。
　基板搬送処理装置において、基板搬送手段と、処理槽内に複数の基板を搬入及び搬出する移動手段を別体で設けることは、甲第３号証の図１に記載されている。また、一般的に、別体とすることに阻害要因がなければ、機能が異なる装置等をそれぞれ別体とすることは技術常識であって、しかも、甲第１号証記載の発明において、基板搬送手段と移動手段を別体にすることを妨げる事情も認められないことからみて、甲第１号証記載の発明において、基板搬送手段と複数の処理槽に対して複数枚の基板を搬入及び搬出可能に形成してなる移動手段を別体で設け、相違点１２に係る本件発明１６の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。。
  上記相違点１ないし３及び１１と実質的に同じ相違点については、上記（１）及び（９）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明１６の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明１６は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（１１）本件発明１７について
　本件発明１７は、本件発明１，２，４又は６を引用しているので、本件発明１に「処理部に、複数枚の基板を収容する処理槽と、この処理槽内に薬液を供給する薬液供給手段と、処理槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段を具備してなる」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明１７と甲第１号証記載の発明とを対比すると、甲第１号証記載の発明の「処理槽２１ａ〜２１ｇ」が本件発明１５の「処理槽」に相当することが明らかであるので、両者は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じものに加えて次の点で一致し、上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜一致点４＞
　処理部に、複数枚の基板を収容する処理槽を具備してなる基板搬送処理装置。
＜相違点１３＞
  本願発明１７の処理槽が、処理槽内に薬液を供給する薬液供給手段と、処理槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段を具備してなるのに対して、甲第１号証記載の発明は、それらを具備していない点。
　相違点１３について検討する。
　本件発明１７と甲第７号証記載の技術事項を対比すると、甲第７号証記載の技術事項の「洗浄処理液供給部８６」が本件発明１７の「薬液供給手段」に相当し、以下同様に「リンス液供給管８４ａ」が「洗浄液供給手段」に相当することが明らかであるので、甲第７号証には、処理槽内に薬液を供給する薬液供給手段と、処理槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段を具備するという技術事項が記載されており、また、甲第７号証及び甲第１号証記載の発明は基板搬送処理装置という同一の技術分野に属するものなので、甲第７号証記載の技術事項を甲第１号証記載の発明に適用し、相違点１３に係る本件発明１７の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
　上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明１７の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証、甲第５号証及び甲第７号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明１７は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証、甲第５号証及び甲第７号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（１２）本件発明１８について
  本件発明１８は、本件発明１，２，４又は６を引用しているので、本件発明１に「処理部に、基板搬送手段の少なくとも基板保持部を洗浄する洗浄手段を具備してなる」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明１８と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じ点で一致し、上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜相違点１４＞
　本件発明１８が、処理部に、基板搬送手段の少なくとも基板保持部を洗浄する洗浄手段を具備してなるのに対して、甲第１号証記載の発明は、それを具備していない点。
　相違点１４について検討する。
　本件発明１８と甲第２号証記載の技術事項を対比すると、甲第２号証記載の技術事項の「チャック洗浄・乾燥処理槽２１」が本件発明１８の「洗浄手段」に相当することが明らかであるので、甲第２号証には、処理部に、基板搬送手段の少なくとも基板保持部を洗浄する洗浄手段を具備するという技術事項が記載されており、また、甲第２号証及び甲第１号証記載の発明は基板搬送処理装置という同一の技術分野に属するものなので、甲第２号証記載の技術事項を甲第１号証記載の発明に適用し、相違点１４に係る本件発明１８の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
　上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明１８の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第２号証、甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明１８は、甲第１号証記載の発明並びに甲第２号証、甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（１３）本件発明１９について
  本件発明１９は、本件発明１，２，４又は６を引用しているので、本件発明１に「処理部に、基板の洗浄・乾燥手段を具備してなる」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明１９と甲第１号証記載の発明とを対比すると、甲第１号証記載の発明の「処理槽２１ｄ〜２１ｇ」が本件発明１９の「基板の洗浄・乾燥手段」に相当することが明らかであるので、両者は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じものに加えて次の点で一致し、両者の相違点は上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じもの以外見当たらない。
＜一致点５＞
　処理部に、基板の洗浄・乾燥手段を具備してなる基板搬送処理装置。
  上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明１９の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明１９は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（１４）本件発明２０について
　本件発明２０は、本件発明１，２，４又は６を引用しているので、本件発明１に「搬入部に、容器搬入口及び基板搬出口を設け、搬出部に、容器搬出口及び基板搬入口を設けてなる」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明２０と甲第１号証記載の発明とを対比すると、甲第１号証記載の発明の「搬入口１１」が本件発明２０の「容器搬入口」に相当し、以下同様に「搬出口３４」が「容器搬出口」に相当するすることが明らかであるので、両者は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じものに加えて次の点で一致し、上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜一致点６＞
　搬入部に、容器搬入口を設け、搬出部に、容器搬出口を設けてなる基板搬送処理装置。
＜相違点１５＞
  本件発明２０が、搬入部に基板搬出口を設け、搬出部に基板搬入口を設けてなるのに対して、甲第１号証記載の発明は、それらがない点。
　相違点１５について検討する。
　本件発明２０と甲第１４号証記載の技術事項を対比すると、甲第１４号証記載の技術事項の「装填用開口１３」が本件発明２０の「基板搬入口及び基板搬出口」に相当することが明らかであるので、甲第１４号証には、搬入部に基板搬出口を設け、搬出部に基板搬入口を設けるという技術事項が記載されており、また、甲第１４号証記載の技術事項及び甲第１号証記載の発明は基板搬送処理装置という同一の技術分野に属するものなので、甲第１４号証記載の技術事項を甲第１号証記載の発明に適用し、相違点１５に係る本件発明２０の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。
  上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明２０の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証、甲第５号証及び甲第１４号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明２０は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証、甲第５号証及び甲第１４号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（１５）本件発明２１について
  本件発明２１は、本件発明１，２，４又は６を引用しているので、本件発明１に「搬入部と搬出部を併設すると共に、これら搬入部及び搬出部と対向して処理部を配設してなる」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明２１と甲第１号証記載の発明とを対比すると、甲第１号証記載の発明も、搬入口１１及び搬出口３４と対向して表面処理部２を配設していることは明らかなので（甲第１号証の図２参照）、両者の一致点は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じものに加えて次の点で一致し、相違点は上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜一致点７＞
  搬入部及び搬出部と対向して処理部を配設してなる基板搬送処理装置。
＜相違点１６＞
  本件発明２１が、搬入部と搬出部を併設しているのに対して、甲第１号証記載の発明は、そうでない点。
　相違点１６について検討する。
　基板搬送処理装置の分野において、搬入部と搬出部を併設すると共に、これら搬入部及び搬出部と対向して処理部を配設することは、甲第３号証に記載されており（甲第３号証の図２参照）、また、甲第３号証記載の技術事項及び甲第１号証記載の発明は基板搬送処理装置という同一の技術分野に属するものなので、甲第３号証記載の技術事項を甲第１号証記載の発明に適用し、相違点１６に係る本件発明２１の構成とする程度のことは、当業者が容易になし得たことと認められる。　
　上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明２１の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明２１は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（１６）本件発明２２について
　本件発明２２は、本件発明１，２，４又は６を引用しているので、本件発明１に「姿勢変換手段から処理部との間で複数枚の基板を受け渡しする第１の基板搬送手段と、処理部内から上記姿勢変換手段へ上記複数枚の基板を受け渡しする第２の基板搬送手段とを設けた」という構成要件を付加した発明を含んでおり、該本件発明２２と甲第１号証記載の発明とを対比すると、甲第１号証記載の発明の「表面処理ロボット２３」が本件発明２２の「第１の基板搬送手段」に相当し、以下同様に「表面処理ロボット２５」が「第２の基板搬送手段」に相当するすることが明らかであるので、両者は、上記（１）において記載した一致点１と実質的に同じものに加えて次の点で一致し、両者の相違点は上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じもの以外見当たらない。
＜一致点８＞
  姿勢変換手段から処理部との間で複数枚の基板を受け渡しする第１の基板搬送手段と、処理部内から上記姿勢変換手段へ上記複数枚の基板を受け渡しする第２の基板搬送手段とを設けた基板搬送処理装置。
  
　上記相違点１ないし３と実質的に同じ相違点については、上記（１）に記載したのと同様の理由により当業者が容易になし得たことと認められる。
　そして、本件発明２２の構成によってもたらされる効果も、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本件発明２２は、甲第１号証記載の発明並びに甲第３号証及び甲第５号証記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（１７）本件発明４について
　本件発明４と甲第１号証記載の発明とを比較すると、甲第１号証記載の発明の「搬入口１１」が本件発明４の「搬入部」に相当し、以下同様に「搬出口３４」が「搬出部」に、「ローダ部基板移替えロボット１３」が「基板取出し手段」に、「アンローダ部基板移替えロボット３２」が「基板収納手段」に、「姿勢転換ロボット２２，２６」が「姿勢変換手段」に、「表面処理部２」が「処理部」に、「表面処理ロボット２３，２５」が「基板搬送手段」に、「チャック２２７」が「支持部材」に、「台座２２２」が「水平移動部」に、「駆動部２２５」が「垂直移動部」に相当することが明らかである。
　したがって、本件発明４と甲第１号証記載の発明とは、以下の点で一致している。
＜一致点９＞
　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部と、上記容器内の基板を取り出す基板取出し手段と、上記容器内に基板を収納する基板収納手段と、上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、上記姿勢変換手段で姿勢変換された上記複数の基板を処理部に受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、を具備し、
上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受け渡し手段を配設し、上記基板受渡し手段は、複数枚の基板を支持する支持部材と、この支持部材を水平方向に移動する水平移動部、及び垂直方向に移動する垂直移動部を具備する基板搬送処理装置。
　そして、本件発明４と甲第１号証記載の発明とは、上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜相違点１７＞
　本件発明４が、処理部を挟んで搬入部及び搬出部と反対側に配設されたインターフェース部に移送する基板移送手段を有し、インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しするのに対して、甲第１号証記載の発明は、そうでない点。
  相違点１７について検討する。
  本件発明４と甲第１１号証記載の技術事項を対比すると、甲第１１号証記載の技術事項も、本件発明４記載の「処理部を挟んで搬入部及び搬出部と反対側に配設されたインターフェース部」に相当する「Ｓ２　インターフェイス装置」なる構成を具備するが、本件発明４のように未処理の基板を直接インターフェース部に移送する基板移送手段に相当する構成を備えていない点で相違している。また、上記基板移送手段については、他の甲各号証のいずれにも記載も示唆もされていない。
　そして、本件発明４は、上記構成に基づいて、「複数枚の基板の搬送を連続して行うことができるので、スループットの向上が図れる」という、平成１４年１２月５日付け特許異議意見書に記載されたとおりの作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件発明４は、甲第１号証ないし甲第１４号証記載の発明又は技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
（１８）本件発明５について
　本件発明５は、本件発明４を引用しているので、本件発明５と甲第１号証記載の発明とを比較すると、両者は少なくとも上記（１７）において記載した相違点１７と実質的に同じ点で相違する。
　したがって、上記（１７）で述べたのと同じ理由により、本件発明５は、甲第１号証ないし甲第１４号証記載の発明又は技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
（１９）本件発明６について
　本件発明６と甲第１号証記載の発明とを比較すると、甲第１号証記載の発明の「搬入口１１」が本件発明６の「搬入部」に相当し、以下同様に「搬出口３４」が「搬出部」に、「ローダ部基板移替えロボット１３」が「基板取出し手段」に、「アンローダ部基板移替えロボット３２」が「基板収納手段」に、「姿勢転換ロボット２２，２６」が「第１及び第２の姿勢変換手段」に、「表面処理部２」が「処理部」に、「表面処理ロボット２３，２４，２５」が「基板搬送手段」に、「チャック２２７」が「支持部材」に、「台座２２２」が「水平移動部」に、「駆動部２２５」が「垂直移動部」に相当することが明らかである。
　したがって、本件発明６と甲第１号証記載の発明とは、以下の点で一致している。
＜一致点１０＞
  複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部と、上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、上記容器内の基板を取り出す基板取出し手段と、上記基板取出し手段により上記容器から取り出された複数枚の基板を水平状態から垂直状態に姿勢変換する第１の姿勢変換手段と、上記第１の姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、上記搬入部及び搬出部側に配設され、上記複数枚の基板を垂直状態から水平状態に姿勢変換する第２の姿勢変換手段と、上記容器内に基板を収納する基板収納手段と、を具備し、上記基板搬送手段を上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受渡し手段を配設し、上記基板受渡し手段は、複数枚の基板を支持する支持部材と、この支持部材を水平方向に移動する水平移動部、及び垂直方向に移動する垂直移動部を具備する基板搬送処理装置。
　そして、本件発明６と甲第１号証記載の発明とは、上記（１）において記載した相違点１ないし３と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜相違点１８＞
　本件発明６が、処理部を挟んで搬入部及び搬出部と反対側に配設されるインターフェース部と、搬入部に搬入される容器を、インターフェース部に移送する容器移送手段と、インターフェース部内に基板取出し手段と、第１の姿勢変換手段を設け、第１の姿勢変換手段と処理部との間で複数枚の基板を受け渡しするのに対して、甲第１号証記載の発明は、そうでない点。
  相違点１８について検討する。
　本件発明６と甲第１１号証記載の技術事項を対比すると、甲第１１号証記載の技術事項も、本件発明６記載の「処理部を挟んで搬入部及び搬出部と反対側に配設されたインターフェース部」に相当する「Ｓ２　インターフェイス装置」なる構成を具備するが、本件発明６のように搬入部に搬入される容器を直接インターフェース部に移送する容器移送手段に相当する構成を備えていない点で相違している。また、上記容器移送手段については、他の甲各号証のいずれにも記載も示唆もされていない。
　そして、本件発明６は、上記構成に基づいて、「複数枚の基板の搬送を連続して行うことができるので、スループットの向上が図れる」という、平成１４年１２月５日付け特許異議意見書に記載されたとおりの作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件発明６は、甲第１号証ないし甲第１４号証記載の発明又は技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
（２０）本件発明７及び８について
　本件発明７及び８は、本件発明６を引用しているので、本件発明７及び８と甲第１号証記載の発明とを比較すると、両者は少なくとも上記（１９）において記載した相違点１８と実質的に同じ点で相違する。
　したがって、上記（１９）で述べたのと同じ理由により、本件発明７及び８は、甲第１号証ないし甲第１４号証記載の発明又は技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
（２１）本件発明１３について
　本件発明１３は、本件発明４又は６を引用しているので、本件発明１３と甲第１号証記載の発明とを比較すると、両者は少なくとも上記（１７）において記載した相違点１７又は（１９）において記載した相違点１８と実質的に同じ点で相違する。
　したがって、上記（１７）又は（１９）で述べたのと同じ理由により、本件発明１３は、甲第１号証ないし甲第１４号証記載の発明又は技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
（２２）本件発明２３について
　本件発明２３と甲第１号証記載の発明とを比較すると、甲第１号証記載の発明の「搬入口１１」が本件発明２３の「搬入部」に相当し、以下同様に「搬出口３４」が「搬出部」に、「ローダ部基板移替えロボット１３」が「基板取出し手段」に、「アンローダ部基板移替えロボット３２」が「基板収納手段」に、「姿勢転換ロボット２２，２６」が「姿勢変換手段」に、「表面処理部２」が「処理部」に、「表面処理ロボット２３，２４，２５」が「基板搬送手段」に相当することが明らかである。
　したがって、本件発明２３と甲第１号証記載の発明とは、以下の点で一致している。
＜一致点１１＞
　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部と、上記容器内の基板を取り出す基板取出し手段と、上記容器内に基板を収納する基板収納手段と、上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、上記姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、を具備した基板搬送処理装置。
　そして、本件発明２３と甲第１号証記載の発明とは、上記（１）において記載した相違点１及び２と実質的に同じものに加えて次の点で相違する。
＜相違点１９＞
　本件発明２３が、基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたのに対して、甲第１号証記載の発明は、そうでない点。
  相違点１９について検討する。
　本件発明２３と甲第３号証記載の技術事項を対比すると、甲第３号証記載の技術事項は、回転可能な「基板チャック２１０」を具備するが、本件発明２３が具備する垂直方向に回転可能な回転アームに突設された側部保持棒及び側部保持棒間に位置する下部保持棒に相当する構成を備えていない点で相違している。また、上記構成については、他の甲各号証のいずれにも記載も示唆もされていない。
　そして、本件発明２３は、上記構成に基づいて、「回転アームを垂直方向に回転させて、両側部保持棒と下部保持棒とを略同一の水平面上に位置させて基板の受け渡し位置に移動した後に両側部保持棒を垂直方向の上方側に回転して基板を受け取る、又は、逆の動作によって基板を受け渡すことができるので、各受け渡し部における基板搬送手段への基板の受け渡しの際に、高さ方向への移動距離を短くすることができる」という、平成１４年１２月５日付け特許異議意見書に記載されたとおりの作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件発明２３は、甲第１号証ないし甲第１４号証記載の発明又は技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
  
（２３）本件発明２４ないし２９
　本件発明２４ないし２９は、本件発明２３と同じ構成である「基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けた」という構成を備えているので、本件発明２４ないし２９と甲第１号証記載の発明とは、少なくとも上記（２２）において記載した相違点１９と実質的に同じ点で相違する。
　したがって、上記（２２）で述べたのと同じ理由により、本件発明２４ないし２９は、甲第１号証ないし甲第１４号証記載の発明又は技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
４　むすび
　以上のとおりであるから、本件の請求項１ないし請求項３、請求項９ないし請求項１２、請求項１４、及び請求項１５ないし請求項２２に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであって、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消すべきものである。
　そして、本件の請求項４ないし請求項８、請求項１３、及び請求項２３ないし２９に係る特許については、異議申立ての理由及び証拠によっては、取り消すことができない。
　また、他に本件の請求項４ないし請求項８、請求項１３、及び請求項２３ないし２９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年９月１０日（２００３．９．１０）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
基板搬送処理装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、
　上記基板搬送手段を、上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、
　上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受け渡し手段を配設し、
　上記基板受渡し手段は、複数枚の基板を支持する支持部材と、この支持部材を水平方向に移動する水平移動部、及び垂直方向に移動する垂直移動部を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項２】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段と、
　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記位置決めされた複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、
　上記基板搬送手段を、上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、
　上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受け渡し手段を配設し、
　上記基板受渡し手段は、複数枚の基板を支持する支持部材と、この支持部材を水平方向に移動する水平移動部、及び垂直方向に移動する垂直移動部を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項３】　請求項１又は２記載の基板搬送処理装置において、
　上記基板受渡し手段は、支持部材及び水平移動部を水平方向に回転する回転部を更に具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項４】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記姿勢変換手段で姿勢変換された上記複数枚の基板を、上記処理部を挟んで上記搬入部及び搬出部と反対側に配設されたインターフェース部に移送する基板移送手段と、
　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、
　上記基板搬送手段を上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、
　上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受渡し手段を配設し、
　上記基板受渡し手段は、複数枚の基板を支持する支持部材と、この支持部材を水平方向に移動する水平移動部、及び垂直方向に移動する垂直移動部を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項５】　請求項４記載の基板搬送処理装置において、
　上記処理部と姿勢変換手段との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で基板を搬送する第２の基板搬送手段を設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項６】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記処理部を挟んで上記搬入部及び搬出部と反対側に配設されるインターフェース部と、
　上記搬入部に搬入される上記容器を、上記インターフェース部に移送する容器移送手段と、
　上記インターフェース部内において、上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、上記基板取出し手段により上記容器から取り出された複数枚の基板を水平状態から垂直状態に姿勢変換する第１の姿勢変換手段と、
　上記第１の姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、
　上記搬入部及び搬出部側に配設され、上記複数枚の基板を垂直状態から水平状態に姿勢変換する第２の姿勢変換手段と、
　上記容器内に
複数枚の
　上記基板搬送手段を上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、
　上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受渡し手段を配設し、
　上記基板受渡し手段は、複数枚の基板を支持する支持部材と、この支持部材を水平方向に移動する水平移動部、及び垂直方向に移動する垂直移動部を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項７】　請求項６記載の基板搬送処理装置において、
　上記処理部と第２の姿勢変換手段との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、処理部内で基板を搬送する第２の基板搬送手段を設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項８】　請求項６記載の基板搬送処理装置において、
　上記容器移送手段の移送路に沿設する位置に容器待機部を設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項９】　請求項１，２又は４に記載の基板搬送処理装置において、
　空の容器を収容する容器待機部と、
　上記搬入部及び搬出部内、及び上記搬入部及び搬出部と容器待機部との間で容器を搬送する容器搬送手段と、
を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項１０】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記搬入部及び又は搬出部と、上記基板取出し手段により複数枚の基板が容器から取り出される基板取出し位置及び上記基板収納手段により複数枚の基板が容器へ収納される基板収納位置との間で、上記容器を搬送する容器搬送手段を設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項１１】　請求項１，２又は４に記載の基板搬送処理装置において、
　上記容器を収容する容器待機部と、
　上記搬入部及び搬出部と上記容器待機部との間で容器を搬送する第１の容器搬送手段と、
　上記容器待機部と上記基板取出し手段及び基板収納手段との間で容器を搬送する第２の容器搬送手段と、
を具備することを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項１２】　請求項９又は１１に記載の基板搬送処理装置において、
　上記容器待機部内に、容器を移動する容器移動手段を配設してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項１３】　請求項４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記容器内から取り出された複数枚の基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段を具備してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項１４】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記姿勢変換手段に、複数枚の基板間の間隔を調整する間隔調整手段を具備してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項１５】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記処理部に、複数枚の基板を収容する処理槽と、この処理槽内に複数枚の基板を搬入及び搬出する移動手段とを具備してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項１６】　請求項１５記載の基板搬送処理装置において、
　上記移動手段を、複数の処理槽に対して複数枚の基板を搬入及び搬出可能に形成してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項１７】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記処理部に、複数枚の基板を収容する処理槽と、この処理槽内に薬液を供給する薬液供給手段と、上記処理槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段を具備してなる、ことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項１８】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記処理部に、上記基板搬送手段の少なくとも基板保持部を洗浄する洗浄手段を具備してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項１９】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記処理部に、基板の洗浄・乾燥手段を具備してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項２０】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記搬入部に、容器搬入口及び基板搬出口を設け、
　上記搬出部に、容器搬出口及び基板搬入口を設けてなる、
ことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項２１】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記搬入部と搬出部を併設すると共に、これら搬入部及び搬出部と対向して処理部を配設してなることを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項２２】　請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、
　上記姿勢変換手段から処理部との間で複数枚の基板を受け渡しする第１の基板搬送手段と、上記処理部内から上記姿勢変換手段へ上記複数枚の基板を受け渡しする第２の基板搬送手段とを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項２３】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項２４】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　上記基板搬送手段を、上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、
　上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受け渡し手段を配設し、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項２５】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段と、
　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記位置決めされた複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　上記基板搬送手段を、上記姿勢変換手段と対向する位置に移動可能に形成し、
　上記基板搬送手段と姿勢変換手段との間に、両者間で基板を受け渡す基板受け渡し手段を配設し、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項２６】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部とが設けられた搬送部と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記搬送部と処理部との間に設けられたインターフェース部と、
　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　上記インターフェース部に、上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取り出し手段と、上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、上記複数枚の基板に設けられたノッチを検出する位置検出手段とを設け、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項２７】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部とが設けられた搬送部と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記搬送部と処理部との間に設けられたインターフェース部と、
　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　上記インターフェース部に、上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、上記複数枚の基板間の間隔を調整する間隔調整手段と、上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段とを設け、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項２８】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部とが設けられた搬送部と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記搬送部と処理部との間に設けられたインターフェース部と、
　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　上記インターフェース部に、上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、上記複数枚の基板間の間隔を調整する間隔調整手段と、上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、上記複数枚の基板に設けられたノッチを検出する位置検出手段とを設け、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
　【請求項２９】　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、
　上記容器の搬出部と、
　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、
　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、
　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、
　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、
　上記姿勢変換手段で姿勢変換された上記複数枚の基板を、上記処理部を挟んで上記搬入部及び搬出部と反対側に配設されたインターフェース部に移送する基板移送手段と、
　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　上記基板搬送手段に、垂直方向に回転可能な回転アームに突設される一対の側部保持棒と、これら側部保持棒の間に位置する下部保持棒とで構成される基板チャックを設けたことを特徴とする基板搬送処理装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　この発明は、例えば半導体ウエハやＬＣＤ用ガラス基板等の被処理用の基板を連続的に搬送して適宜処理する基板搬送処理装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　一般に、半導体製造装置の製造工程においては、半導体ウエハやＬＣＤ用ガラス等の被処理用の基板（以下にウエハ等という）を薬液やリンス液（洗浄液）等の処理液が貯留された処理槽や乾燥部に順次搬送して洗浄や乾燥等の処理を行う基板搬送処理装置が広く採用されている。
　【０００３】
　このような基板搬送処理装置において、複数枚例えば５０枚のウエハ等を効率良く洗浄等するには、ウエハ等を垂直に配列して搬送すると共に、各処理ユニットに搬入し、処理ユニットから搬出する方法が好適とされている。
　【０００４】
　また、この種の処理装置において、一般に、未処理のウエハ等を収納する容器例えばキャリアの搬入部と、処理済みのウエハ等を収納する容器例えばキャリアの搬出部との間に複数の処理ユニットや搬送手段の洗浄ユニット等をライン状に配列したシステムが採用されている。
　【０００５】
　また、近年の半導体デバイスの微細高集積化、量産化に伴ないウエハも８インチウエハから１２インチウエハへと大口径化が進んでいる。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、ウエハ等の大口径化に伴ないウエハ等の大きさ及び重量が嵩むため、ウエハの搬入から搬出まで従来通り垂直状態のままで搬送すると、搬入及び搬出部と処理部との間でウエハ等を受け渡しする際に、位置ずれが生じたりウエハ等の移動によりパーティクルが発生し、製品歩留まりが低下するという問題があった。
　【０００７】
　また、ウエハ等の大口径化に伴ない搬送手段や各処理ユニット自体が大型となると共に、装置全体が大型になり、スループットの低下を招くという問題もあった。
　【０００８】
　この発明は上記事情に鑑みなされたもので、装置全体を小型にしてスループットの向上を図れるようにすると共に、製品歩留まりの向上を図れるようにした基板搬送処理装置を提供することを目的とするものである。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、この発明は以下のように構成される。
　【００１０】
　（１）請求項１記載の発明は、複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、　上記容器の搬出部と、　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、
　【００１１】
　このように構成することにより、容器内に水平状態で収納された複数枚の基板を垂直状態に変換して処理を施すことができ、また処理後の複数枚の基板を水平状態に変換して容器内に収納することができる。また、基板搬送手段の移動動作に回転機構をもたせることなく水平、垂直の直線機構のみをもたせることができる。したがって、装置の小型化かつ簡略化が図れると共に、スループットの向上が図れる。
　【００１２】
　（２）請求項２記載の発明は、複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、　上記容器の搬出部と、　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、　上記基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段と、　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記位置決めされた複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、
　【００１３】
　このように構成することにより、請求項１記載の発明に加えて、複数枚の基板を適正な状態で処理することができる。
　【００１４】
　（３）請求項１又は２に記載の発明において、好ましくは、上記基板受渡し手段は、支持部材及び水平移動部を水平方向に回転する回転部を更に具備する方がよい（請求項３）。
　【００１５】
　（４）請求項４記載の発明は、複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、　上記容器の搬出部と、　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、　上記姿勢変換手段で姿勢変換された上記複数枚の基板を、上記処理部を挟んで上記搬入部及び搬出部と反対側に配設されたインターフェース部に移送する基板移送手段と、　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、
　【００１６】
　このように構成することにより、処理部を挟んで搬入部及び搬出部と反対側に配設されたインターフェース部に移送された複数枚の基板を基板搬送手段により処理部に搬送することができるので、処理工程や処理ラインが多い場合にも複数枚の基板の搬送を連続して行うことができる。また、基板搬送手段の移動動作に回転機構をもたせることなく水平、垂直の直線機構のみをもたせることができる。したがって、装置の小型化かつ簡略化が図れると共に、スループットの向上が図れる。また、第１及び第２の基板搬送手段によって処理部内で基板の搬送を分担して行うことができるので、更に、スループットの向上が図れる（請求項５）。
　【００１７】
　（５）請求項６記載の発明は、複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、　上記容器の搬出部と、　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、　上記処理部を挟んで上記搬入部及び搬出部と反対側に配設されるインターフェース部と、　上記搬入部に搬入される上記容器を、上記インターフェース部に移送する容器移送手段と、　上記インターフェース部内において、上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、上記基板取出し手段により上記容器から取り出された複数枚の基板を水平状態から垂直状態に姿勢変換する第１の姿勢変換手段と、　上記第１の姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を保持して搬送する基板搬送手段と、
複数枚の
　【００１８】
　このように構成することにより、搬入部に搬入された容器を容器移送手段を介してインターフェース部に移送し、インターフェース部において、第１の姿勢変換手段により複数枚の基板の姿勢を水平状態から垂直状態に変換した後、基板搬送手段によって処理部に搬送することができるので、処理工程や処理ラインが多い場合にも複数枚の基板を連続して搬送することができる。また、第２の基板搬送手段にて処理後の複数枚の基板を第２の姿勢変換手段に受け渡して複数枚の基板の姿勢を垂直状態から水平状態に変換した後、基板収納手段によって搬出部のからの容器内に収納することができる（請求項７）。したがって、第１及び第２の基板搬送手段によって処理部内で基板の搬送を分担して行うことができるので、スループットの向上が図れる。
　【００１９】
　（６）請求項９記載の発明は、請求項１，２又は４に記載の基板搬送処理装置において、　空の容器を収容する容器待機部と、　上記搬入部及び搬出部内、及び上記搬入部及び搬出部と容器待機部との間で容器を搬送する容器搬送手段と、を具備することを特徴とする。この場合、上記容器待機部内に、容器を移動する容器移動手段を配殺する方が好ましい（請求項１２）。
　このように構成することにより、搬入部及び搬出部における容器の搬送を円滑にすると共に、空の容器の搬入部からの搬出及び空の容器への処理済みの基板の収納を円滑に行うことができる。
　【００２０】
　（７）請求項１０記載の発明は、請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、　上記搬入部及び又は搬出部と、上記基板取出し手段により複数枚の基板が容器から取り出される基板取出し位置及び上記基板収納手段により複数枚の基板が容器へ収納される基板収納位置との間で、上記容器を搬送する容器搬送手段を設けたことを特徴とする。
　このように構成することにより、搬入部及び搬出部における容器の搬送を円滑にすることができる。
　【００２１】
　（８）請求項１１記載の発明は、請求項１，２又は４に記載の基板搬送処理装置において、　上記容器を収容する容器待機部と、　上記搬入部及び搬出部と上記容器待機部との間で容器を搬送する第１の容器搬送手段と、　上記容器待機部と上記基板取出し手段及び基板収納手段との間で容器を搬送する第２の容器搬送手段と、を具備することを特徴とする。
　このように構成することにより、搬入部及び搬出部における容器の搬送を円滑にすることができると共に、容器からの基板の取出し及び容器への基板の収納を円滑にすることができる。したがって、多数の容器をストックすることができると共に、多数の基板を連続的に処理することができる。
　【００２２】
　（９）請求項１３記載の発明は、請求項４又は６に記載の基板搬送処理装置において、　上記容器内から取り出された複数枚の基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段を具備してなることを特徴とする。
　このように構成することにより、複数枚の基板を適正な状態で処理することができる。
　【００２３】
　（１０）請求項１４記載の発明は、請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、　上記姿勢変換手段に、複数枚の基板間の間隔を調整する間隔調整機構を具備してなることを特徴とする。
　このように構成することにより、複数枚の基板を均一な状態で処理することができると共に、基板間の間隔を必要最小限の幅に維持して可及的に多くの基板の処理を可能にすることができる。
　【００２４】
　（１１）請求項１５記載の発明は、請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、　上記処理部に、複数枚の基板を収容する処理槽と、この処理槽内に複数枚の基板を搬入及び搬出する移動機構とを具備してなることを特徴とする。この場合、上記移動機構を、複数の処理槽に対して複数枚の基板を搬入・搬出可能に形成する方が好ましい（請求項１６）。
　このように構成することにより、処理槽内に搬送手段が入り込む構造に比べて処理部を小型にすることができる。また、移動機構を複数の処理槽に対して基板を搬入・搬出可能に形成することにより、薬液等の処理液が基板搬送手段に付着するのを防止することができる（請求項１６）。
　【００２５】
　（１２）請求項１７記載の発明は、請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、　上記処理部に、複数枚の基板を収容する処理槽と、この処理槽内に薬液を供給する薬液供給手段と、上記処理槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段を具備してなる、ことを特徴とする。
　このように構成することにより、複数枚の基板の薬液処理と洗浄処理とを連続的に行うことができ、搬送時のパーティクルの付着防止と装置の小型化を図ることができる。
　【００２６】
　（１３）請求項１８記載の発明は、請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、　上記処理部に、上記基板搬送手段の少なくとも基板保持部を洗浄する洗浄手段を具備してなることを特徴とする。
　このように構成することにより、基板搬送手段の基板保持部を清浄にすることができ、処理前、後の基板の処理部雰囲気による汚染等を防止することができる。
　【００２７】
　（１４）請求項１９記載の発明は、請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、　上記処理部に、基板の洗浄・乾燥手段を具備してなることを特徴とする。
　このように構成することにより、洗浄後の基板を直ちに乾燥することができるので、基板へのパーティクル等の付着やウォーターマークの発生を防止することができる。
　【００２８】
　（１５）請求項２０記載の発明は、請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、　上記搬入部に、容器搬入口及び基板搬出口を設け、　上記搬出部に、容器搬出口及び基板搬入口を設けてなる、ことを特徴とする。
　このように構成することにより、容器及び基板の搬入及び搬出を円滑にすることができると共に、スループットの向上を図ることができる。
　【００２９】
　（１６）請求項２１記載の発明は、請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、　上記搬入部と搬出部を併設すると共に、これら搬入部及び搬出部と対向して処理部を配設してなることを特徴とする。
　このように構成することにより、容器及び基板の搬入、搬出作業を装置の片側より行うことができ、クリーンルームの有効活用ができると共に、装置全体の小型を図ることができる。
　【００３０】
　（１７）請求項２２記載の発明は、請求項１，２，４又は６に記載の基板搬送処理装置において、　上記姿勢変換手段から処理部との間で複数枚の基板を受け渡しする第１の基板搬送手段と、上記処理部内から上記姿勢変換手段へ上記複数枚の基板を受け渡しする第２の基板搬送手段とを設けたことを特徴とする。
　このように構成することにより、未処理の複数枚の基板と処理済みの複数枚の基板とを別々の搬送系を用いて搬送することができ、処理済みの基板へのパーティクル等の再付着等を防止することができる。
　【００３１】
　（１８）請求項２３記載の発明は、複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、　上記容器の搬出部と、　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　このように構成することにより、容器内に水平状態で収納された複数枚の基板を垂直状態に変換して処理を施すことができ、また処理後の複数枚の基板を水平状態に変換して容器内に収納することができる。更に、複数枚の基板を確実に保持して搬送することができる。
　【００３２】
　（１９）請求項２４記載の発明は、複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、　上記容器の搬出部と、　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　このように構成することにより、請求項２３記載の発明に加えて、基板搬送手段の移動動作に回転機構をもたせることなく水平、垂直の直線機構のみをもたせることができる。したがって、装置の小型化かつ簡略化が図れると共に、スループットの向上が図れる。
　【００３３】
　（２０）請求項２５記載の発明は、複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、　上記容器の搬出部と、　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、　上記基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段と、　上記姿勢変換手段と処理部との間で上記位置決めされた複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　このように構成することにより、請求項２３記載の発明に加えて、複数枚の基板を適正な状態で処理することができる。
　【００３４】
　（２１）請求項２６記載の発明は、　複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部とが設けられた搬送部と、　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、　上記搬送部と処理部との間に設けられたインターフェース部と、　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　このように構成することにより、複数枚の被処理用基板を収納する容器の搬送部と、複数枚の基板を処理する処理部との間に設けられたインターフェース部において、容器内に水平状態で収納された複数枚の基板を垂直状態に変換すると共に、適正な状態にして処理に供することができ、また処理後の複数枚の基板を水平状態に変換して容器内に収納することができる。更に、複数枚の基板を確実に保持して搬送することができる。
　【００３５】
　（２２）請求項２７記載の発明は、複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部とが設けられた搬送部と、　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、　上記搬送部と処理部との間に設けられたインターフェース部と、　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　このように構成することにより、複数枚の被処理用基板を収納する容器の搬送部と、複数枚の基板を処理する処理部との間に設けられたインターフェース部において、容器内に水平状態で収納された複数枚の基板を垂直状態に変換することができると共に、複数枚の基板を均一な状態にし、かつ基板間の間隔を必要最小限の幅に維持して可及的に多くの基板を処理に供することができる。また、処理後の複数枚の基板を水平状態に変換して容器内に収納することができる。更に、複数枚の基板を確実に保持して搬送することができる。
　【００３６】
　（２３）請求項２８記載の発明は、複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、上記容器の搬出部とが設けられた搬送部と、　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、　上記搬送部と処理部との間に設けられたインターフェース部と、　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　このように構成することにより、複数枚の被処理用基板を収納する容器の搬送部と、複数枚の基板を処理する処理部との間に設けられたインターフェース部において、容器内に水平状態で収納された複数枚の基板を垂直状態に変換することができると共に、複数枚の基板を適正かつ均一な状態にし、かつ基板間の間隔を必要最小限の幅に維持して可及的に多くの基板を処理に供することができる。また、処理後の複数枚の基板を水平状態に変換して容器内に収納することができる。更に、複数枚の基板を確実に保持して搬送することができる。
　【００３７】
　（２４）請求項２９記載の発明は、複数枚の被処理用の基板を水平状態に収納する容器の搬入部と、　上記容器の搬出部と、　上記容器内の複数枚の基板を取り出す基板取出し手段と、　上記容器内に複数枚の基板を収納する基板収納手段と、　上記複数枚の基板を水平状態と垂直状態に変換する姿勢変換手段と、　上記複数枚の基板を適宜処理する処理部と、　上記姿勢変換手段で姿勢変換された上記複数枚の基板を、上記処理部を挟んで上記搬入部及び搬出部と反対側に配設されたインターフェース部に移送する基板移送手段と、　上記インターフェース部と処理部との間で上記複数枚の基板を受け渡しすると共に、
処理部内で複数枚の基板を搬送する基板搬送手段と、
　このように構成することにより、処理部を挟んで搬入部及び搬出部と反対側に配設されたインターフェース部に移送された複数枚の基板を基板搬送手段により処理部に搬送することができるので、処理工程や処理ラインが多い場合にも複数枚の基板の搬送を連続して行うことができる。また、複数枚の基板を確実に保持して搬送することができる。
　【００３８】
　【発明の実施の形態】
　以下に、この発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。この実施形態では半導体ウエハの洗浄処理システムに適用した場合について説明する。
　【００３９】
　◎第一実施形態
　図１はこの発明の基板搬送処理装置を適用した洗浄処理システムの第一実施形態を示す概略平面図、図２はその概略側面図、図３はその概略斜視図である。
　【００４０】
　上記洗浄処理システムは、複数枚の被処理用の基板である半導体ウエハＷ（以下にウエハという）を水平状態に収納する容器例えばキャリア１を搬入、搬出するための搬送部２と、ウエハＷを薬液、洗浄液等の液処理すると共に乾燥処理する処理部３と、搬送部２と処理部３との間に位置して複数枚のウエハＷの受渡し、位置調整及び姿勢変換等を行うインターフェース部４とで主に構成されている。
　【００４１】
　上記搬送部２は、洗浄処理システムの一側端部に併設して設けられる搬入部５と搬出部６とで構成されている。また、搬入部５及び搬出部６のキャリア１の搬入口５ａ及び搬出口６ｂには、キャリア１を搬入部５、搬出部６に出入れ自在のスライド式の載置テーブル７が設けられている。また、搬入部５と搬出部６には、それぞれキャリアリフタ８（容器搬送手段）が配設され、このキャリアリフタ８によって搬入部５間又は搬出部６間でのキャリア１の搬送、搬入部５と後述するウエハ取出しアームの取出し位置との間の搬送、あるいは、搬出部６と後述するウエハ収納アームの収納位置との間の搬送等を行うことができると共に、空のキャリア１を搬送部２上方に設けられたキャリア待機部９への受け渡し及びキャリア待機部９からの受け取りを行うことができるように構成されている（図２及び図３参照）。この場合、キャリア待機部９には、水平方向（Ｘ，Ｙ方向）及び垂直方向（Ｚ方向）に移動可能なキャリア搬送ロボット１０（容器移動手段）が配設されており、このキャリア搬送ロボット１０によって搬入部５から搬送された空のキャリア１を整列すると共に、搬出部６へ搬出し得るようになっている（図４参照）。また、キャリア待機部９には、空キャリアだけでなく、ウエハＷが収納された状態のキャリア１を待機させておくことも可能である。
　【００４２】
　上記キャリア１は、図５及び図６に示すように、一側に開口部１ａを有し内壁に複数枚例えば２５枚のウエハＷを適宜間隔をおいて水平状態に保持する保持溝（図示せず）を有する容器本体１ｂと、この容器本体１ｂの開口部１ａを開閉する蓋体１ｃとで構成されており、蓋体１ｃ内に組み込まれた係脱機構１ｄを後述する蓋開閉装置によって操作することにより、蓋体１ｃが開閉されるように構成されている。
　【００４３】
　搬入部５のウエハ搬出口５ｂ部及び搬出部６のウエハ搬入口６ａ部には、図７及び図８に示すように、キャリア１の蓋体１ｃの係脱機構１ｄに係合する係合ピン１１と蓋体保持板１２を有する昇降及び揺動可能な蓋開閉装置１３が配設されており、この蓋開閉装置１３によってキャリア１の蓋体１ｃが開放あるいは閉塞されるようになっている。したがって、搬入部５に搬送された未処理のウエハＷを収納するキャリア１の蓋体１ｃを蓋開閉装置１３によって取り外してキャリア１内のウエハＷを搬出可能にし、全てのウエハＷが搬出された後、再び蓋開閉装置１３によって蓋体１ｃを閉塞することができる。また、キャリア待機部９から搬出部６に搬送された空のキャリア１の蓋体１ｃを蓋開閉装置１３によって取り外してキャリア１内へのウエハＷを搬入可能にし、全てのウエハＷが搬入された後、再び蓋開閉装置１３によって蓋体１ｃを閉塞することができる。
　【００４４】
　上記インターフェース部４は、区画壁４ｃによって搬入部５に隣接する第１の室４ａと、搬出部６に隣接する第２の室４ｂとに区画されている。そして、第１の室４ａ内には、搬入部５のキャリア１から複数枚のウエハＷを取り出して搬送する水平方向（Ｘ，Ｙ方向），垂直方向（Ｚ方向）及び回転（θ方向）可能なウエハ取出しアーム１４（基板取出し手段）と、複数枚のウエハＷに設けられたノッチＷａを検出するノッチアライナー２０（位置検出手段）と、ウエハ取出しアーム１４によって取り出された複数枚のウエハＷの間隔を調整する間隔調整機構３０を具備すると共に、水平状態のウエハＷを垂直状態に変換する第１の姿勢変換装置４０（姿勢変換手段）が配設されている。
　【００４５】
　また、第２の室４ｂ内には、処理済みの複数枚のウエハＷを処理部３から垂直状態のまま受け取って搬送するウエハ受渡しアーム１５（基板受渡し手段）と、ウエハ受渡しアーム１５から受け取ったウエハＷを垂直状態から水平状態に変換する第２の姿勢変換装置４０Ａ（姿勢変換手段）と、この第２の姿勢変換装置４０Ａによって水平状態に変換された複数枚のウエハＷを受け取って搬出部６に搬送された空のキャリア１内に収納する水平方向（Ｘ，Ｙ方向），垂直方向（Ｚ方向）及び回転（θ方向）可能なウエハ収納アーム１６（基板収納手段）が配設されている。なお、第２の室４ｂは外部から密閉されており、図示しない不活性ガス例えば窒素（Ｎ２）ガスの供給源から供給されるＮ２ガスによって室内が置換されるように構成されている。
　【００４６】
　上記ノッチアライナー２０は、図９及び図１０に示すように、ウエハ取出しアーム１４によって搬送された各ウエハＷの下面周縁を支持する複数段の支持プレート２１と、支持プレート２１の間隔を変換する変換機構２２と、支持プレート２１によって支持されるウエハＷの下方側に移動してウエハＷを載置すると共に回転するノッチアーム２３と、ウエハＷの縁部の上下位置に配設されてウエハＷに設けられたノッチＷａを検出するフォトセンサ２４とで主に構成されている。なお、変換機構２２の昇降動作、ノッチアーム２３のウエハＷ下面側への進入・後退移動、ノッチアーム２３の昇降・回転動作は、例えばモータ２５〜２８からの動力を図示しないボールねじ機構や伝達機構等を介して行うことができる。
　【００４７】
　このように構成されるノッチアライナー２０によってウエハＷの間隔を調整するには、ウエハ取出しアーム１４によって搬送されて支持プレート２１上に載置されたウエハＷの間隔を変換機構２２によって広げた状態にしてウエハＷの下面側にノッチアーム２３を挿入し、そして、ノッチアーム２３を上昇させてノッチアーム２３上にウエハＷを載置した状態でノッチアーム２３を回転してフォトセンサ２４にてノッチＷａを検出する。このようにして各ウエハＷのノッチＷａの位置検出を行い、ノッチＷａの位置検出により位置決めが行われる。なお、位置決めが行われた後、ノッチアーム２３は下降した後、ウエハＷの下面側から外部に後退され、その後、変換機構２２によってウエハＷの間隔が搬入される状態の間隔に狭められた後、ウエハＷは再びウエハ取出しアーム１４によって受け取られて姿勢変換装置４０に搬送される。したがって、複数枚のウエハＷのノッチＷａを揃えて位置決めした状態で第１の姿勢変換装置４０に搬送することができる。
　【００４８】
　上記第１及び第２の姿勢変換装置４０，４０Ａ（ここでは第１の姿勢変換装置４０を代表して示す）は、図１１ないし図１３に示すように、ウエハＷの間隔を調整する間隔調整機構３０と、ウエハＷの水平方向の向きを調整する水平調整機構４１と、ウエハＷの水平状態の姿勢を垂直状態の姿勢に変換する姿勢変換機構４５とを具備してなる。
　【００４９】
　この場合、間隔調整機構３０は、ウエハＷを保持すべく互いに進退移動可能に対向する複数組の保持部材３１と、これら保持部材３１を摺動可能に支持するガイドバー３２と、アーム３３を介して保持部材３１及びガイドバー３２を進退移動するボールねじ機構３４と、保持部材３１から突設されるピン３５を摺動自在に貫挿するガイド用長孔３６を有するガイド部材３７と、ピン３５を回転自在に支承して間隔調整用モータ３８によって垂直方向に回転するリンク３９とで構成されている。このように間隔調整機構３０を構成することにより、間隔調整用モータ３８を駆動して，例えば図１２の実線で示す状態からリンク３９を反時計方向に回転すると、保持部材３１が二点鎖線で示す互いに近接する方向に移動してウエハＷ間の間隔をＰからｐに変換することができ（Ｐ＞ｐ）、ウエハＷの間隔を以後の処理工程における最適状態にすることができる。
　【００５０】
　上記姿勢変換機構４５は、上記間隔調整機構３０を搭載する支持基盤４６の端部に装着される回転軸４７と、この回転軸４７を回転する姿勢変換用モータ４８とで構成されており、姿勢変換用モータ４８を駆動して回転軸４７を９０度回転することにより、水平状態のウエハＷを垂直状態に変換することができる。なお、第２の姿勢変換装置４０Ａにおいては、回転軸４７を上記と逆方向に回転することにより、垂直状態のウエハＷを水平状態に変換することができる。
　【００５１】
　上記水平調整機構４１は、ウエハＷを適正な垂直状態に変換するためのもので、上記間隔調整機構３０を搭載する支持基盤４６を回転可能に載置する載置部４２ａを有する載置軸４２ｂと、この載置軸４２ｂにベアリング４２ｃを介して回転自在に装着されると共に、上記姿勢変換用モータ４８をブラケット４２ｄを介して装着する回転テーブル４２ｅと、回転テーブル４２ｅを回転可能に支持する固定基盤４３の下方に装着されて回転テーブル４２ｅを水平方向に回転する水平調整用モータ４４とで構成されている。このように水平調整機構４１を構成することにより、上記ノッチアライナー２０によって位置決めされたウエハＷをウエハ取出しアーム１４から姿勢変換装置４０に受け渡されたウエハＷを水平調整用モータ４４の駆動によって水平方向に回転させて水平調整を行うことができ、以後の垂直変換に備えることができる。
　【００５２】
　一方、上記処理部３には、ウエハＷに付着するパーティクルや有機物汚染を除去する第１の処理ユニット５１と、ウエハＷに付着する金属汚染を除去する第２の処理ユニット５２と、ウエハＷに付着する化学酸化膜を除去すると共に乾燥処理する洗浄・乾燥処理ユニット５３及びチャック洗浄ユニット５４が直線状に配列されており、これら各ユニット５１〜５４と対向する位置に設けられた搬送路５５に、Ｘ，Ｙ方向（水平方向）、Ｚ方向（垂直方向）及び回転（θ）可能なウエハ搬送アーム５６（基板搬送手段）が配設されている。
　【００５３】
　この場合、ウエハ搬送アーム５６は、図１４に示すように、搬送路５５に設けられたガイドレール（図示せず）に沿って移動する昇降可能な移動台５７と、この移動台５７上に回転及び水平移動可能に装着される駆動台５８と、この駆動台５９から突設される互いに進退移動可能な一対のウエハ保持チャック５９とで構成されている。
　【００５４】
　上記第１及び第２の処理ユニット５１，５２は、第１５図及び第１６図に示すように、ウエハＷを収容する処理槽６０と、この処理槽６０の上端開口部に連接し、処理槽６０からオーバーフローした薬液例えばＡＰＭ溶液（アンモニア，過酸化水素水及び純水の混合溶液）やＨＰＭ溶液（塩酸，過酸化水素水及び純水の混合溶液）等や洗浄液例えば純水を受け止める外槽６１と、処理槽６０内において所定枚数例えば５０枚のウエハＷを適宜間隔をおいて配列した状態で保持すると共に処理槽６０に対してウエハＷを搬入、搬出する移動手段例えばウエハボート７０及び処理槽６０の底部に配設されてウエハＷに薬液又は純水を供給する薬液及び純水供給手段例えばジェットノズル８０を具備してなる。
　【００５５】
　上記処理槽６０及び外槽６１は、耐食性及び耐薬品性に富む材質例えば石英やポリプロピレン（Ｐ．Ｐ）にて形成されている。また、処理槽６０の底部には排液口６２が設けられ、この排液口６２にドレン弁６３を介してドレン管６４が接続されている。また、外槽６１の底部には排液口６５が設けられており、この排液口６５と上記ジェットノズル８０とに循環管路８１が接続されている。この循環管路８１には排液口６５側から順に、ポンプ８２，ダンパ８３及びフィルタ８４が介設されている。また、排液口６５とポンプ８２との間には切換弁８５を介してドレン管８６が接続され、切換弁８５とポンプ８２の間には切換弁８７が介設されており、切換弁８７には薬液供給管８８が接続されている。また、フィルタ８４とジェットノズル８０との間には、切換弁８９が介設されており、この切換弁８９に純水供給管９０が接続されている。そして、純水供給管９０に図示しない純水供給源が接続され、薬液供給管８８には図示しない薬液供給源が接続されている。また、フィルタ８４と切換弁８９の間にはドレン弁９１を介してドレン管９２が接続されている。
　【００５６】
　上記のように、ジェットノズル８０と外槽６１の排液口６２との間に循環配管系を設けることにより、図示しない薬液供給源から処理槽６０内に供給される薬液を処理槽６０からオーバーフローさせ、循環管路８１を循環させてジェットノズル８０から再度ウエハＷに供給させながらウエハＷの表面に付着するパーティクルや金属イオン等を除去することができる。また、薬液を排出した後、切換弁８９を切り換えて純水供給源から供給される純水をジェットノズル８０に供給することにより、ジェットノズル８０に残留する薬液を除去することができ、ジェットノズル８０から純水をウエハＷに噴射してウエハＷに付着する薬液を除去することができる。なおこの場合、処理槽６０からオーバーフローした純水はドレン管８６を介して排出される。ここでは、ジェットノズル８０から純水を供給して薬液を除去しているが、この薬液除去工程において、純水はジェットノズル８０から供給するのではなく、例えば処理槽６０の底部側あるいは上方側等のような別の箇所に純水供給部を設けて、そこから純水を供給するようにしてもよい。
　【００５７】
　なお、上記処理槽６０及び外槽６１の上方には図示しない純水タンクが配設されており、この純水タンク内の純水が外槽６１を介して処理槽６０内に急速供給されるようになっている。このように、処理槽６０内に収容されるウエハＷを薬液処理すると共に、洗浄処理することができるので、洗浄処理の効率の向上が図れると共に、処理ユニットを小型にすることができる。
　【００５８】
　上記ウエハボート７０は、図１５に示すように、処理槽６０の外側に配設される昇降機構７１に連結される取付部材７２にボルト７３をもって固定される逆Ｔ字状の支持部材７４と、この支持部材７４にて水平に支持される一対の保持部材７５とで構成されており、昇降機構７１の駆動によって処理槽６０内を昇降し得るように構成されている。なおこの場合、保持部材７５にはそれぞれ長手方向に適宜間隔をおいて複数個例えば５０個の保持溝７５ａが設けられている。これら支持部材７４及び保持部材７５は、耐食性、耐熱性及び耐強度性に優れた材質、例えばポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）製あるいは石英製部材にて形成されている。
　【００５９】
　上記実施形態では、ウエハボート７０が逆Ｔ字状の支持部材７４と、この支持部材７４に水平に支持される一対の保持部材７５とで構成される場合について説明したが、別のウエハボートとして図１７ないし図２２に示すような構造のウエハボート７０Ａを使用することができる。
　【００６０】
　上記ウエハボート７０Ａは、上記昇降機構７１の取付部材７２に取り付けられる支持基部材７６ａと、この支持基部材７６ａの下面に垂設される一対の支持棒７６ｂと、各支持棒７６ｂの下端側部から水平に突出される一対の側部保持部材７７と、支持棒７６ｂの下端部間に連結される連結部材７６ｃから両側部保持部材７７との間にかつ側部保持部材７７と平行に突出される下部保持部材７８とで主に構成されている。
　【００６１】
　この場合、側部保持部材７７は、図１９及び図２０に示すように、剛性を有する心材例えばステンレス鋼製パイプ７７ａと、このステンレスパイプ７７ａの表面に被覆され、異なる種類の洗浄液例えば薬液と純水に対して耐液性を有する合成樹脂製部材例えばポリエーテル・エーテル・ケトン（ＰＥＥＫ）からなる被覆部材７７ｂとで形成されている。この被覆部材７７ｂは、外側が上方に向かって起立するウエハ保持部７７ｃを有し、下部には下方に向かって狭小となるテーパ面を有する液切り突起７７ｄを有する。そして、ウエハ保持部７７ｃには、図２２（ａ）に示すように、断面略Ｖ字状の保持溝７７ｅが適宜間隔をおいて設けられている。一方、下部保持部材７８は例えばＰＥＥＫ等の合成樹脂製部材にて形成されており、その上部には、図２２（ｂ）に示すように、拡開テーパ面７８ａと狭小テーパ面７８ｂとからなる断面略Ｙ字状の傾斜防止用溝７８ｃが適宜間隔をおいて設けられている。
　【００６２】
　なお、上記支持棒７６ｂも、側部保持部材７７と同様に、心材例えばステンレスパイプ７６ｄと、ＰＥＥＫ製被覆部材７６ｅとで形成されている。この場合、支持棒７６ｂのステンレスパイプ７６ｄと側部保持部材７７のステンレスパイプ７７ａは、図２０（ｂ）に示すように、ステンレス鋼製ボルト７９によって連結固定され、その表面を被覆する被覆部材７６ｅ，７７ｂ同士がアップセット溶接（バット溶接ともいう）によって溶融接合されている。なお、支持基部材７６ａも同様にステンレス鋼製心材７６ｆとこの心材７６ｆを被覆するＰＥＥＫ製被覆部材７６ｇとで形成されており、心材７６ｆを貫通して支持棒７６ｂのステンレスパイプ７６ｄにねじ結合するステンレス鋼製ボルト７９にて心材７６ｆとステンレスパイプ７６ｄが連結されている。そして、被覆部材７６ｅ，７６ｇ同士がアップセット溶接（バット溶接）にて接合されている（図２０（ａ）参照）。
　【００６３】
　上記のように、ウエハボート７０Ａをステンレス鋼製心材７７ａ，７６ｄ，７６ｆとＰＥＥＫ製被覆部材７７ｂ，７６ｅ，７６ｇとで形成することにより、強度をもたせることができると共に、容積を可及的に少なくすることができる。
　【００６４】
　なお、上記洗浄・乾燥処理ユニット５３では、フッ化水素酸によってウエハＷに生成される化学酸化膜が除去された後、乾燥蒸気例えばイソピルアルコール（ＩＰＡ）ガスの接触によって乾燥される。また、チャック洗浄ユニット５４では、ウエハ搬送アーム５６のチャック５９に純水を供給して洗浄すると共に、例えばＮ２ガスや空気等の乾燥気体を供給して乾燥処理されるようになっている。
　【００６５】
　次に、上記洗浄処理ユニットのウエハＷの搬送及び処理工程について図２３を参照して説明する。なお、図２３において、白抜きの矢印はキャリア１の流れを示し、黒塗りの矢印はウエハＷの流れを示す。
　【００６６】
　まず、オペレータあるいは搬送ロボットによって未処理の複数枚のウエハＷを収納したキャリア１を搬入部５のキャリア搬入口５ａの手前の載置テーブル７上に載置すると、載置テーブル７が移動してキャリア１が搬入部５内に搬入される。搬入部５内に搬入されたキャリア１は蓋開閉装置１３によって蓋体１ｃが開放された状態でインターフェース部４に向かって待機する。すると、インターフェース部４内に配設されたウエハ取出しアーム１４がキャリア１内に進入してキャリア１内の複数枚のウエハＷを取り出し、取出したウエハＷをノッチアライナー２０に受け渡す。なお、ウエハＷが取り出された空のキャリア１はキャリアリフタ８によって搬送部上方のキャリア待機部９に搬送される。また、搬入部５に搬送されるキャリア１はキャリアリフタ８によってキャリア搬入口５ａ部に搬送され、次の搬入に備える。
　【００６７】
　ノッチアライナー２０に搬送された複数枚のウエハＷは、ノッチアライナー２０によって各ウエハＷのノッチＷａの位置が揃えられて位置決めが行われる。位置決めされたウエハＷは再びウエハ取出しアーム１４に受け取られた後、第１の姿勢変換装置４０に搬送される。
　【００６８】
　第１の姿勢変換装置４０に搬送された複数枚のウエハＷは、第１の姿勢変換装置４０に設けられた間隔調整機構３０によって所定の間隔に調整された後、水平調整機構４１によって水平調整され、その後、姿勢変換機構４５によって水平状態から垂直状態に姿勢変換される。
　【００６９】
　ウエハＷが垂直状態に変換されると、姿勢変換されたウエハＷの下側にウエハ搬送アーム５６が進入してウエハＷを受け取り、受け取ったウエハＷをまず第１の処理ユニット５１のウエハボート７０又は７０Ａに受け渡して、ウエハボート７０，７０Ａの下降によって処理槽６０内に収容する。処理槽６０内に収容されたウエハＷは、薬液例えばＡＰＭ溶液（アンモニア，過酸化水素水及び純水の混合溶液）によってパーティクルや有機物汚染が除去された後、洗浄液例えば純水によって洗浄される。このようにして一次洗浄されたウエハＷは再びウエハ搬送アーム５６に受け取られて第２の処理ユニット５２のウエハボート７０に受け渡されて薬液例えばＨＰＭ溶液（塩酸，過酸化水素水及び純水の混合溶液）によって金属汚染が除去された後、純水によって洗浄される。このようにして洗浄処理されたウエハＷは再びウエハ搬送アーム５６に受け取られて洗浄・乾燥処理ユニット５３に搬送され、洗浄・乾燥処理ユニット５３内においてフッ化水素酸によって化学酸化膜が除去された後、乾燥蒸気例えばイソピルアルコール（ＩＰＡ）ガスが接触されて乾燥される。
　【００７０】
　乾燥処理されたウエハＷは第２の室４ｂ内のウエハ受渡しアーム１５によって受け取られた後、第２の姿勢変換装置４０Ａに受け渡され、垂直状態から水平状態に姿勢変換される。水平状態に姿勢変換された複数枚のウエハＷはウエハ収納アーム１６に受け取られて搬出部６で待機する空のキャリア１内に収納される。この際、空のキャリア１はキャリアリフタ８によってキャリア待機部９から搬出部６に搬送され、蓋開閉装置１３によって蓋体１ｃが開放された状態で搬出部６に待機し、キャリア１内にウエハＷが収納された後、蓋体１ｃが閉塞されて、搬出部６から搬出される。
　【００７１】
　なお、処理部３において、洗浄処理後のウエハＷを洗浄・乾燥処理ユニット５３に搬送したウエハ搬送アーム５６には薬液や洗浄液等が付着しているので、次の未処理のウエハＷを受け取る前に、チャック洗浄ユニット５４に移動して、ウエハ搬送アーム５６のチャック５９部を洗浄すると共に乾燥して、次のウエハＷの搬送に供される。
　【００７２】
　なお、図示しないが、上記搬送部２と処理部３とインターフェース部４上に、例えばＨＥＰＡフィルタ，ＵＬＰＡフィルタ等のファンフィルタユニットを設けることにより、より清浄度の高い装置が提供できる。
　【００７３】
　◎第二実施形態
　上記第一実施形態では、ウエハボート７０，７０Ａが、各処理ユニット５１〜５４の処理槽６０に対して各々設けられる場合について説明したが、必ずしもこのような構造である必要はなく、複数例えば２つの処理槽６０に対して１つのウエハボート７０Ｂを用いるようにしてもよい（図２４参照）。すなわち、図２４に示すように、昇降機構７１を隣接する処理槽６０，６０に沿って配設される例えば互いに平行なガイドレール７０ａと、ボールねじ軸７０ｂとを具備する案内移動手段７０ｃにて水平方向（Ｘ方向）に移動可能に形成して、２つの処理槽に対してウエハＷを搬入・搬出するようにしてもよい。
　【００７４】
　上記のように構成することにより、例えば薬液処理した後のウエハＷをウエハ搬送アーム５６で受け取らずに上記ウエハボート７０Ｂにて隣接する処理槽６０内にウエハＷを収容して純水による洗浄処理を行うことができる。したがって、薬液処理が終了した直後のウエハＷをウエハ搬送アーム５６で受け取る場合ではウエハ搬送アーム５６に薬液が付着する問題があったが、このように構成することにより、かかる問題を解決することができる。
　なお、第二実施形態において、その他の部分は上記第一実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
　【００７５】
　◎第三実施形態
　上記実施形態では、キャリア１が蓋体１ｃを有する密閉式の場合について説明したが、必ずしもキャリアは蓋体を有するクローズタイプである必要はなく、蓋体のないオープンタイプのキャリアについても同様にウエハＷを搬送し、処理することができる。なお、オープンタイプのキャリアを使用する場合には、図２５に示すように、搬入部５のウエハ搬出口５ｂ、搬出部６のウエハ搬入口６ａ及びインターフェース部４と処理部３の連通口１００にシャッタ１０１，１０２及び１０３を開閉可能に設け、搬入部５からのウエハＷの受け渡し時は、搬出部６のウエハ搬入口６ａのシャッタ１０２とインターフェース部４と処理部３の連通口１００のシャッタ１０３を閉じておき、処理部３へのウエハＷの受け渡し時には、搬入部５のウエハ搬出口５ｂのシャッタ１０１及び搬出部６のウエハ搬入口６ａのシャッタ１０２を閉じておく必要がある。なお、搬出部６へのウエハＷの受け渡し以外は搬出部６のウエハ搬入口６ａのシャッタ１０２は閉じておく必要がある。なお、図２５において、その他の部分は上記第一実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して、その説明は省略する。
　【００７６】
　◎第四実施形態
　上記実施形態では、上記インターフェース部４と処理部３との間でウエハＷの受渡しを行い、処理部３内でウエハ搬送アーム５６が水平（Ｘ，Ｙ）方向、垂直（Ｚ）方向及び回転（θ）移動してウエハＷを各処理ユニット５１〜５３に受渡しする場合について説明したが、ウエハ搬送アーム５６の動作を水平（Ｘ，Ｙ）方向のみにしてウエハ搬送アームの機構の簡略化及び装置の小型化を図れるようにすることもできる。
　【００７７】
　すなわち、図２６に示すように、ウエハ搬送アーム５６Ａを水平（Ｘ，Ｙ）方向に移動可能に形成し、このウエハ搬送アーム５６Ａの搬送路５５Ａを処理部３からインターフェース部４に渡って延在して設け、インターフェース部４内に配設される第１の姿勢変換装置４０及び第２の姿勢変換装置４０Ａを搬送路５５Ａに対向して配設する。そして、第１及び第２の姿勢変換装置４０，４０Ａと搬送路５５Ａとの間に、それぞれ基板受渡し手段例えばスライダ１１０を配設して、第１及び第２の姿勢変換装置４０（４０Ａ）とウエハ搬送アーム５６Ａとの間でウエハＷの受渡しを行うように構成する。この場合、スライダ１１０は、図２７に示すように、複数例えば５０枚のウエハＷを支持し得る複数の支持溝１１１を有する一対の支持部材１１２と、これら支持部材１１２を水平（Ｙ）方向に移動する水平移動部１１３と、支持部材１１２及び水平移動部１１３を水平方向に回転（θ）する回転部１１４及び支持部材１１２、水平移動部１１３及び回転部１１４を垂直（Ｚ）方向に移動する垂直移動部１１５を具備する。
　【００７８】
　また、ウエハ搬送アーム５６Ａは、図２８に示すように、搬送路５５Ａに沿設されたガイドレール５６ａに沿って水平移動（Ｘ方向移動）可能な可動体５６ｂと、この可動体５６ｂの上部に水平移動（Ｙ方向移動）可能に取り付けられる水平移動体５６ｃと、水平移動体５６ｃの上部に載置される駆動部５６ｄからＹ方向に突設されるウエハチャック５６ｅとで主に構成されている。この場合、ウエハチャック５６ｅは、駆動部５６ｄに内蔵される図示しないモータによって垂直方向に回転可能な回転アーム５６ｆに突設される一対の側部保持棒５６ｇと、これら側部保持棒５６ｇの間に位置する下部保持棒５６ｈとで構成されている。
　【００７９】
　上記のように構成することにより、搬入部５から搬入され、第１の姿勢変換装置４０によって垂直状態に姿勢変換されたウエハＷをスライダ１１０によって受け取ることができ、受け取ったウエハＷをウエハ搬送アーム５６Ａに受け渡すことができる。ウエハＷを受け取ったウエハ搬送アーム５６Ａは、水平（Ｘ，Ｙ）方向に移動して処理部３内の各処理ユニット５１〜５３との間でウエハＷを受渡して処理済みのウエハＷを第２の姿勢変換装置４０Ａのスライダ１１０に受け渡す。そして、スライダ１１０によってウエハＷを第２の姿勢変換装置４０Ａに受け渡し、第２の姿勢変換装置４０ＡによってウエハＷを垂直状態から水平状態に姿勢変換した後、ウエハ収納アーム１６によって搬出部６のキャリア１内に収納することができる。
　【００８０】
　なお、第四実施形態においては、上記ウエハ受渡しアーム１５の代わりにスライダ１１０が設けられており、また、搬入部５のウエハ搬出口５ｂとウエハ取出しアーム１５及び第１の姿勢変換装置４０とは直線状に配設されており、また、第１及び第２の姿勢変換装置４０（４０Ａ）と搬送路５５Ａとの間に配設される両スライダ１１０は互いに平行に配設されて、全体的にウエハＷの移動を直線的に行えるようにしてある。したがって、このように構成することにより、装置の小型化が図れると共に、ウエハＷの搬送を円滑に行うことができ、スループットの向上を図ることができる。なお、第四実施形態において、その他の部分は上記第一実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して、説明は省略する。
　【００８１】
　◎第五実施形態
　図２９はこの発明の基板搬送処理装置を適用した洗浄処理システムの第五実施形態の概略平面図、図３０は第五実施形態におけるキャリア待機部の概略平面図、図３１は第五実施形態におけるキャリアのストック形態を示す概略斜視図である。
　【００８２】
　第五実施形態は、上記第四実施形態と同様に水平（Ｘ，Ｙ）及び垂直（Ｚ）方向に移動可能なウエハ搬送アーム５６Ａとスライダ１１０とを設けてウエハＷの搬送を直線的に行うように構成する他、キャリアのストック形態及びウエハの搬送形態を代えた場合である。
　【００８３】
　すなわち、図２９に示すように、上記搬送路５５Ａと対向する位置に、それぞれスライダ１１０を介して第１の姿勢変換装置４０と第２の姿勢変換装置４０Ａを互いに平行に配設し、また、第１及び第２の姿勢変換装置４０，４０Ａの背部側に、それぞれウエハ取出しアーム１４とウエハ収納アーム１６を互いに平行に配設し、更に、ウエハ取出しアーム１４及びウエハ収納アーム１６と対向する位置に第２の容器搬送手段である搬入用キャリアリフタ１３１及び搬出用キャリアリフタ１３２を配設して、上記キャリア待機部９に待機されたキャリア１との間でウエハＷの受渡しを行うようにした場合である。
　【００８４】
　この場合、搬入部５及び搬出部６とキャリア待機部９との間でキャリア１を搬送するキャリアリフタ８Ａは、図３２に示すように、ボールねじ軸８ａ及びブレーキ付きパルスモータ８ｂ等からなるボールねじ機構８ｃと、このボールねじ機構８ｃによって支柱８ｄに沿って昇降可能な昇降台８ｅと、昇降台８ｅ上に水平回転可能に載置される回転テーブル８ｆとで主に構成されている。このように構成されるキャリアリフタ８Ａは搬入部５の載置テーブル７上に載置されたキャリア１を受け取ってキャリア待機部９に搬送することができる。また、キャリア待機部９から受け取ったキャリア１を搬出部６の載置テーブル７上に搬送することができる。なお、キャリアリフタ８Ａの回転テーブル８ｆ上にはキャリア１の有無を検出するキャリアセンサ８ｇが取り付けられている。また、載置テーブル７の外側にはカバー８ｈが取り付けられており、このカバー８ｈにキャリア検出センサ８ｉが取り付けられている。
　【００８５】
　上記キャリア待機部９内に配設されるキャリア搬送ロボット１０Ａは、図３０及び図３３に示すように、キャリア待機部９の両側のＸ方向に配設される一対のスライドレール１２１と、これらスライドレール１２１に架設されてＸ方向に移動自在な可動部材１２２と、この可動部材１２２に沿ってＹ方向に移動自在に装着される垂直駆動部１２３と、垂直駆動部１２３に取り付けられたシリンダ（図示せず）によって垂直（Ｚ）方向に移動自在な昇降台１２４と、昇降台１２４の下面に接離移動可能かつ水平回転可能に取り付けられる一対の保持爪１２５からなるキャリアホールド１２６とで主に構成されている。なお、Ｘ方向及びＹ方向の移動はボールねじ機構１２７，１２８にて行われている。また、これらボールねじ機構１２７，１２８及びウエハホールド１２６の回転は、図示しない電源に接続する屈曲可能なケーブルダクト１２９内に配線されるケーブル（図示せず）からの電気によって駆動されるように構成されている。
　【００８６】
　一方、上記搬入用及び搬出用キャリアリフタ１３１，１３２は、図３４に示すように、図示しない垂直シリンダによって支柱１３３に沿って昇降可能な昇降台１３４と、昇降台１３４上に水平移動（Ｙ方向移動）可能に載置されるスライドステージ１３５とで主に構成されている。また、スライドステージ１３５の上面にはキャリア位置決めピン１３６とキャリア支持ピン１３７が突設されている。なお、搬入用及び搬出用キャリアリフタ１３１，１３２とキャリア待機部９との間にはキャリア１の蓋体１ｃを開閉する蓋開閉装置１３Ａとウエハカウンタ１４０が配設されている。
　【００８７】
　上記蓋開閉装置１３Ａは、上記第一実施形態で説明した蓋開閉装置１３と同様の構造であるので、ここでは説明は省略する（図７及び図８参照）。また、ウエハカウンタ１４０は、図３５に示すように、垂直駆動部１４１に内蔵された図示しないボールねじ機構によって垂直移動可能な水平シリンダ１４２と、水平シリンダ１４２によって水平移動可能な垂下ロッド１４３の下端部に水平に取り付けられる二又状のアーム１４４と、二又アーム１４４の先端部に取り付けられる発光部と受光部とからなるファイバーセンサ１４５とで構成されている。このように構成されるウエハカウンタ１４０は、二又アーム１４４がキャリア１の開口部に近接すると共に、キャリア１の開口部に沿って垂直方向にスキャンすることによってキャリア１内に収納されているウエハＷの枚数を計測することができるように構成されている。
　【００８８】
　上記のように構成される搬入用キャリアリフタ１３１は、ウエハＷの投入時には、キャリア待機部９内にストックされたウエハＷを収納するキャリア１を受け取って下方のウエハ取出しアーム１４と対向する位置に降ろし、ウエハ取出しアーム１４によってキャリア１内のウエハＷを取り出した空のキャリア１をキャリア待機部９に上昇させて、キャリア待機部９内に搬送することができる。また、搬出用キャリアリフタ１３２は、ウエハＷの搬出時に、キャリア待機部９内の空のキャリア１を受け取ってウエハ収納アーム１６の対向する位置に降ろし、ウエハ収納アーム１６によってキャリア１内にウエハＷを収納した後、キャリア１をキャリア待機部９に上昇させて、キャリア待機部９内に搬送することができる。
　【００８９】
　なお、第五実施形態において、その他の部分は上記第一実施形態及び第四実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して、その説明は省略する。
　【００９０】
　次に、上記のように構成される第五実施形態の洗浄処理システムの動作態様について説明する。まず、搬入部５に搬入されたキャリア１はキャリアリフタ８Ａによってキャリア待機部９内に搬送されてストックされる。キャリア待機部９内にストックされたキャリア１は、キャリア搬送ロボット１０Ａによって搬入用及び搬出用キャリアリフタ１３１，１３２に搬送され、ウエハ投入時には、上述したように、搬入用キャリアリフタ１３１によりキャリア待機部９からウエハ取出しアーム１４と対向する位置に下降される。下降されたキャリア１内からウエハ取出しアーム１４にて取り出されたウエハＷは、ノッチアライナー２０によって位置決めされた後、第１の姿勢変換装置４０によって水平状態から垂直状態に姿勢変換される。垂直状態に姿勢変換されたウエハＷは、スライダ１１０に受け取られてウエハ搬送アーム５６Ａに受け渡される。そして、ウエハ搬送アーム５６Ａによって各処理ユニット５１〜５３に搬送され、処理後再びウエハ搬送アーム５６Ａによって処理部３からインターフェース部４まで搬送されたウエハＷは、スライダ１１０によって受け取られて第２の姿勢変換装置４０Ａに受け渡される。第２の姿勢変換装置４０Ａによって垂直状態から水平状態に姿勢変換されたウエハＷは、ウエハ収納アーム１６によって搬出用キャリアリフタ１３２によってキャリア待機部９から降ろされた空のキャリア１内に収納される。キャリア１内にウエハＷが収納されると、搬出用キャリアリフタ１３２が上昇して、キャリア１をキャリア待機部９内に搬送する、キャリア待機部９に搬送されたキャリア１はキャリア搬送ロボット１０Ａによって搬出部６のキャリアリフタ８の位置まで搬送され、キャリアリフタ８によって受け取られた後、搬出部６まで搬送される。
　【００９１】
　◎第六実施形態
　図３６はこの発明の基板搬送処理装置を適用した洗浄処理システムの第六実施形態を示す概略側面図、図３７は図３６のＡ−Ａ線に沿う概略断面図、図３８は図３６のＢ−Ｂ線に沿う概略断面図である。
　【００９２】
　第六実施形態は、処理部３内におけるウエハＷの搬送時間の短縮を図れるようにした場合である。この場合、図３６及び図３７に示すように、処理部３を挟んでインターフェース部４と反対側に第２のインターフェース部４Ａが設けられ、また、これらインターフェース部４，４Ａを処理部３の上部に設けたウエハ移送路１５０によって連通する。ウエハ移送路１５０内には、インターフェース部４内に配設されるウエハリフタ１５１から受け取ったウエハＷをインターフェース部４Ａに移送するウエハ移送用ライナ１５２（基板移送手段）が配設されている。
　【００９３】
　また、インターフェース部４Ａ内には上記ウエハ移送用ライナ１５２から受け取ったウエハＷを下降するウエハリフタ１５３と、このウエハリフタ１５３からウエハＷを受け取ると共に、処理部３内にウエハＷを搬送する第１のウエハ搬送アーム５６Ｂ（第１の基板搬送手段）が配設されている。一方、上記インターフェース部４及び搬送路５５には、処理部３で処理されたウエハＷを受け取ると共に、受け取ったウエハＷを姿勢変換装置４０Ａに受け渡す第２のウエハ搬送アーム５６Ｃが配設されている。なお、処理部３の天井部と、ウエハ移送路１５０の天井部には、例えばＨＥＰＡフィルタ，ＵＬＰＡフィルタ等のファンフィルタユニット１６０が配設されている。なお、図３７では、第１の姿勢変換装置４０及びノッチアライナー２０の図示を省略したが、上記第一実施形態と同様に設けられている。また、第１の姿勢変換装置と第２の姿勢変換装置は、処理前と処理後のウエハＷの接触部を変えることによって１つにすることも可能である。なお、第六実施形態において、その他の部分は上記第一実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して、その説明は省略する。
　【００９４】
　次に、上記のように構成される第六実施形態の洗浄処理システムの動作態様について説明する。まず、搬入部５に搬入されたキャリア１から取り出されたウエハＷは、上述と同様に、位置決めされた後、水平状態から垂直状態に姿勢変換される。姿勢変換されたウエハＷは、ウエハリフタ１５１によってウエハ移送路１５０に搬送され、ウエハ移送用ライナ１５２によって受け取られてインターフェース部４Ａに移送される。インターフェース部４Ａに移送された
ウエハＷ
　【００９５】
　上記のように、第１のウエハ搬送アーム５６Ｂによって未処理のウエハＷを処理部３内の各処理ユニット５１〜５３に搬送し、処理済みのウエハＷを第２のウエハ搬送アーム５６Ｃによって搬送することにより、１つのウエハ搬送アームによってウエハＷの搬送を行う場合と比較して、処理ユニットの数が多くなった場合にもウエハＷの搬送を連続的に行うことができるので、スループットの向上を図ることができる。
　【００９６】
　◎第七実施形態
　図３９はこの発明の基板搬送処理装置を適用した洗浄処理システムの第七実施形態を示す概略側面図、図４０は図３９のＣ−Ｃ線に沿う概略断面図、図４１は図３９のＤ−Ｄ線に沿う概略断面図である。
　【００９７】
　第七実施形態は、上記第六実施形態と同様に、処理部３内におけるウエハＷの搬送時間の短縮を図れるようにした場合である。この場合、図３９及び図４０に示すように、処理部３を挟んでインターフェース部４Ｂと４Ｃが設けられている。また、インターフェース部４Ｂと４Ｃは処理部３の上方に設けられたキャリア移送路１７０にて連通されている。キャリア移送路１７０内には、搬入部５に配設されるキャリアリフタ１７１から受け取ったキャリア１をインターフェース部４Ｃに移送するキャリア移送用ライナ１７２（容器移送手段）が配設されている。
　【００９８】
　また、インターフェース部４Ｃ内には上記キャリア移送用ライナ１７２から受け取ったキャリア１を下降するキャリアリフタ１７３と、このキャリアリフタ１７３によって下降されたキャリア１からウエハを取り出すウエハ取出しアーム１４と、ウエハＷの位置決めを行うノッチアライナー２０と、ウエハＷの姿勢を水平状態から垂直状態に変換する第１の姿勢変換装置４０と、この第１の姿勢変換装置４０からウエハＷを受け取ると共に、受け取ったウエハＷを処理部３の各処理ユニット５１〜５３に搬送する第１のウエハ搬送アーム５６Ｂが配設されている。また、インターフェース部４Ｂは、搬入部５及び搬出部６に隣接して設けられ、このインターフェース部４Ｂ内には、搬出部６のキャリア１内にウエハＷを収納するウエハ収納アーム１６と、ウエハＷの姿勢を垂直状態から水平状態に姿勢変換する第２の姿勢変換装置４０Ａと、処理部３で処理されたウエハＷを受け取ると共に、受け取ったウエハＷを第２の姿勢変換装置４０Ａに受け渡す第２のウエハ搬送アーム５６Ｃが配設されている。
　【００９９】
　なお、キャリア移送路１７０の一側部にキャリア待機部９Ａが設けられており、このキャリア待機部９ＡにウエハＷを収納するキャリア１あるいは空のキャリア１をストックさせることができるようになっている。なお、キャリア待機部９Ａをキャリア移送路１７０と隣接する位置に設けずに上記第一実施例と同様にインターフェース部４Ｂ上に設けるようにしてもよい。また、処理部３の天井部とキャリア移送路１７０の天井部には例えばＨＥＰＡフィルタ，ＵＬＰＡフィルタ等のファンフィルタユニット１６０が配設されている。なお、第七実施形態において、その他の部分は上記第一実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して、その説明は省略する。
　【０１００】
　次に、第七実施形態の動作態様について説明する。まず、搬入部１に搬入されたキャリア１をキャリアリフタ１７１によってキャリア移送路１７０に搬送し、キャリア移送用ライナ１７２によってキャリア１をインターフェース部４Ｃに移送する。インターフェース部４Ｃ上に移送されたキャリア１はキャリアリフタ１７３によってインターフェース部４Ｃ内に搬送され、キャリア１内からウエハ取出しアーム１４によって取り出されたウエハＷはノッチアライナー２０によって位置決めされた後、第１の姿勢変換装置４０に受け渡される。第１の姿勢変換装置４０によって水平状態から垂直状態に変換されたウエハＷは第１のウエハ搬送アーム５６Ｂによって受け取られ、処理部３内の各処理ユニット５１〜５３に搬送される。処理部３によって処理されたウエハＷは第２のウエハ搬送アーム５６Ｃによって受け取られた後、第２の姿勢変換装置４０Ａによって垂直状態から水平状態に姿勢変換される。そして、ウエハ収納アーム１６によって搬出部６のキャリア１内に収納される。一方、ウエハＷが取り出された空のキャリア１は、上述と逆に搬送され、必要に応じてキャリア待機部９Ａにストックされる。
　【０１０１】
　上記のように、搬入部５に搬入されるキャリア１をインターフェース部４Ｃに移送して、ウエハＷの姿勢を垂直状態に変換した後、第１のウエハ搬送アーム５６Ｂによって未処理のウエハＷを処理部３内の各処理ユニット５１〜５３に搬送し、処理済みのウエハＷを第２のウエハ搬送アーム５６Ｃによって搬送することにより、処理ユニットの数が多い場合にもウエハＷの搬送を連続的に行うことができるので、スループットの向上を図ることができる。
　【０１０２】
　◎その他の実施形態
　（１）上記第一実施形態では、処理部３の各処理ユニットにウエハＷを受け渡すウエハ搬送アーム５６と処理後のウエハＷを受け取るウエハ受渡しアーム１５とを設けた場合について説明したが、必ずしも２種類のアームを設ける必要はなく、これらウエハ搬送アーム５６とウエハ受渡しアーム１５を１つの搬送アームで兼用させることも可能である。
　【０１０３】
　（２）また、上記実施形態では、この発明の基板搬送処理装置を半導体ウエハの洗浄処理システムに適用した場合について説明したが、洗浄処理以外の処理システムにも適用できることは勿論であり、また、半導体ウエハ以外のＬＣＤ用ガラス基板等にも適用できることは勿論である。
　【０１０４】
　【発明の効果】
　以上に説明したように、この発明の基板搬送処理装置によれば、上記のように構成されているので、以下のような優れた効果が得られる。
　【０１０５】
　１）請求項１，３記載の発明によれば、容器内に水平状態で収納された複数枚の基板を垂直状態に変換して処理を施すことができ、また処理後の複数枚の基板を水平状態に変換して容器内に収納することができるので、大型で重量の嵩む基板を垂直状態で受け渡して搬送するものに比べて、装置を大型にすることなく基板の位置ずれ等を防止して搬送し、処理することができる。したがって、製品歩留まり及びスループットの向上を図ることができる。また、基板搬送手段の移動動作
に
　【０１０６】
　２）請求項２記載の発明によれば、上記１）に加えて、複数枚の基板を適正な状態で処理することができる。
　【０１０７】
　３）請求項４ないし８記載の発明によれば、処理工程や処理ラインが多い場合にも複数枚の基板の搬送を連続して行うことができるので、上記１）に加えて更にスループットの向上が図れる。また、基板搬送手段の移動動作に回転機構をもたせることなく水平、垂直の直線機構のみをもたせることができるので、装置の小型化かつ簡略化が図れると共に、スループットの向上が図れる。また、第１及び第２の基板搬送手段によって処理部内で基板の搬送を分担して行うことで、更にスループットの向上が図れる。
　【０１０８】
　４）請求項９ないし１１記載の発明によれば、搬入部及び又は搬出部における容器の搬送を円滑にすることができる。また、請求項
９又は１１
　【０１０９】
　５）請求項１３記載の発明によれば、容器内から取り出された複数枚の基板に設けられたノッチを検出し、位置決めを行う位置検出手段を具備するので、上記１），３）に加えて更に複数枚の基板を適正な状態で処理することができる。
　【０１１０】
　６）請求項１４記載の発明によれば、姿勢変換手段に、複数枚の基板間の間隔を調整する間隔調整機構を具備するので、複数枚の基板を均一な状態で処理することができると共に、基板間の間隔を必要最小限の幅に維持して可及的に多くの基板の処理を可能にすることができる。
　【０１１１】
　７）請求項１５記載の発明によれば、処理部に、複数枚の基板を収容する処理槽と、この処理槽内に複数枚の基板を搬入及び搬出する移動機構とを具備するので、処理槽内に搬送手段が入り込む構造に比べて処理部を小型にすることができ、装置全体を更に小型にすることができる。また、移動機構を複数の処理槽に対して基板を搬入・搬出可能に形成することにより、薬液等の処理液が基板搬送手段に付着するのを防止することができる（請求項１６）。
　【０１１２】
　８）請求項１７記載の発明によれば、処理部に、複数枚の基板を収容する処理槽と、この処理槽内に薬液を供給する薬液供給手段と、処理槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段を具備するので、基板の薬液処理と洗浄処理とを連続的に行うことができ、搬送時のパーティクルの付着防止と装置の小型化を図ることができる。
　【０１１３】
　９）請求項１８記載の発明によれば、処理部に、基板搬送手段の少なくとも基板保持部を洗浄する洗浄手段を具備するので、基板搬送手段の基板保持部を清浄にすることができ、処理前、後の基板の処理部雰囲気による汚染等を防止することができる。
　【０１１４】
　１０）請求項１９記載の発明によれば、処理部に、基板の洗浄・乾燥手段を具備するので、基板へのパーティクル等の付着やウォーターマークの発生を防止することができる。
　【０１１５】
　１１）請求項２０記載の発明によれば、搬入部に、容器搬入口及び基板搬出口を設け、搬出部に、容器搬出口及び基板搬入口を設けるので、容器及び基板の搬入及び搬出を円滑にすることができると共に、スループットの向上を図ることができる。
　【０１１６】
　１２）請求項２１記載の発明によれば、搬入部と搬出部を併設すると共に、これら搬入部及び搬出部と対向して処理部を配設するので、容器及び基板の搬入、搬出作業を装置の片側より行うことができ、クリーンルームの有効活用ができると共に、更に装置全体の小型を図ることができる。
　【０１１７】
　１３）請求項２２記載の発明によれば、未処理の複数枚の基板と処理済みの複数枚の基板とを別々の搬送系を用いて搬送することができ、処理済みの基板へのパーティクル等の再付着等を防止することができるので、上記１）に加えて更に製品歩留まりの向上を図ることができる。
　【０１１８】
　１４）請求項２３記載の発明によれば、容器内に水平状態で収納された複数枚の基板を垂直状態に変換して処理を施すことができ、また処理後の複数枚の基板を水平状態に変換して容器内に収納することができる。更に、複数枚の基板を確実に保持して搬送することができる。
　【０１１９】
　１５）請求項２４記載の発明によれば、上記１４）に加えて、更に、基板搬送手段の移動動作に回転機構をもたせることなく水平、垂直の直線機構のみをもたせることができるので、装置の小型化かつ簡略化が図れると共に、スループットの向上が図れる。
　【０１２０】
　１６）請求項２５記載の発明によれば、上記１４）に加えて、更に、複数枚の基板を適正な状態で処理することができる。
　【０１２１】
　１７）請求項２６記載の発明によれば、複数枚の被処理用基板を収納する容器の搬送部と、複数枚の基板を処理する処理部との間に設けられたインターフェース部において、容器内に水平状態で収納された複数枚の基板を垂直状態に変換すると共に、適正な状態にして処理に供することができ、また、処理後の複数枚の基板を水平状態に変換して容器内に収納することができる。更に、複数枚の基板を確実に保持して搬送することができる。
　【０１２２】
　１８）請求項２７記載の発明によれば、複数枚の被処理用基板を収納する容器の搬送部と、複数枚の基板を処理する処理部との間に設けられたインターフェース部において、容器内に水平状態で収納された複数枚の基板を垂直状態に変換することができると共に、複数枚の基板を均一な状態にし、かつ基板間の間隔を必要最小限の幅に維持して可及的に多くの基板を処理に供することができる。また、処理後の複数枚の基板を水平状態に変換して容器内に収納することができる。更に、複数枚の基板を確実に保持して搬送することができる。
　【０１２３】
　１９）請求項２８記載の発明によれば、複数枚の被処理用基板を収納する容器の搬送部と、複数枚の基板を処理する処理部との間に設けられたインターフェース部において、容器内に水平状態で収納された複数枚の基板を垂直状態に変換することができると共に、複数枚の基板を適正かつ均一な状態にし、かつ基板間の間隔を必要最小限の幅に維持して可及的に多くの基板を処理に供することができる。また、処理後の複数枚の基板を水平状態に変換して容器内に収納することができる。更に、複数枚の基板を確実に保持して搬送することができる。
　【０１２４】
　２０）請求項２９記載の発明によれば、処理部を挟んで搬入部及び搬出部と反対側に配設されたインターフェース部に移送された複数枚の基板を基板搬送手段により処理部に搬送することができるので、処理工程や処理ラインが多い場合にも複数枚の基板の搬送を連続して行うことができる。また、複数枚の基板を確実に保持して搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　この発明の基板搬送処理装置を適用した洗浄処理システムの第一実施形態を示す概略平面図である。
　【図２】
　上記洗浄処理システムの概略側面図である。
　【図３】
　上記洗浄処理システムの概略斜視図である。
　【図４】
　この発明における容器搬送手段及び容器待機部を示す斜視図である。
　【図５】
　この発明における容器の一例を示す斜視図である。
　【図６】
　上記容器の横断面図である。
　【図７】
　この発明における基板排出口部を示す斜視図である。
　【図８】
　基板排出口部における容器の蓋体の取外し状態を示す斜視図である。
　【図９】
　この発明における位置決め手段を示す概略断面図である。
　【図１０】
　上記位置決め手段の要部を示す斜視図である。
　【図１１】
　この発明における間隔調整手段及び姿勢変換手段を示す側面図である。
　【図１２】
　上記間隔調整手段を示す側面図である。
　【図１３】
　上記間隔調整手段の要部を示す斜視図である。
　【図１４】
　この発明における基板搬送手段の要部を示す斜視図である。
　【図１５】
　この発明における基板の移動手段を示す要部斜視図である。
　【図１６】
　この発明における処理ユニットの一例を示す断面図である。
　【図１７】
　この発明におけるウエハボートの別の実施形態を示す平面図である。
　【図１８】
　上記ウエハボートの側面図である。
　【図１９】
　上記ウエハボートの断面図である。
　【図２０】
　上記ウエハボートの支持基部材と支持棒との連結部を示す断面図（ａ）及び支持棒と保持部材との連結部を示す断面図（ｂ）である。
　【図２１】
　上記支持棒と保持部材の連結部の垂直断面図である。
　【図２２】
　上記ウエハボートの側部保持部材の保持溝を示す拡大断面図（ａ）及び下部保持部材の傾斜防止用溝を示す拡大断面図（ｂ）である。
　【図２３】
　この発明における基板の搬送形態を示す概略斜視図である。
　【図２４】
　この発明の第二実施形態を示す概略斜視図である。
　【図２５】
　この発明の第三実施形態を示す概略平面図である。
　【図２６】
　この発明の第四実施形態を示す概略平面図である。
　【図２７】
　第四実施形態における基板受渡し手段を示す斜視図である。
　【図２８】
　第四実施形態における基板搬送手段を示す斜視図である。
　【図２９】
　この発明の第五実施形態を示す概略平面図である。
　【図３０】
　第五実施形態における容器待機部を示す概略平面図である。
　【図３１】
　第五実施形態の容器のストック形態を示す概略斜視図である。
　【図３２】
　第五実施形態における容器搬送手段を示す概略斜視図である。
　【図３３】
　第五実施形態における容器搬送ロボットを示す概略斜視図である。
　【図３４】
　第五実施形態における搬入用及び搬出用容器搬送手段を示す概略斜視図である。
　【図３５】
　第五実施形態におけるウエハカウンタを示す概略斜視図である。
　【図３６】
　この発明の第六実施形態を示す概略側面図である。
　【図３７】
　図３６のＡ−Ａ線に沿う概略断面図である。
　【図３８】
　図３６のＢ−Ｂ線に沿う概略断面図である。
　【図３９】
　この発明の第七実施形態を示す概略側面図である。
　【図４０】
　図３９のＣ−Ｃ線に沿う概略断面図である。
　【図４１】
　図３９のＤ−Ｄ線に沿う概略断面図である。
　【符号の説明】
　　Ｗ　半導体ウエハ（基板）
　Ｗａ　ノッチ
　　１　キャリア（容器）
　　３　処理部
　４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃ　インターフェース部
　　５　搬入部
　５ａ　キャリア搬入口
　５ｂ　ウエハ搬出口
　　６　搬出部
　６ａ　ウエハ搬入口
　６ｂ　キャリア搬出口
　　８　キャリアリフタ（容器搬送手段）
　８Ａ　第１の容器搬送手段
　９，９Ａ　キャリア待機部
　１０，１０Ａ　キャリア搬送ロボット（容器移動手段）
　１４　ウエハ取出しアーム（基板取出し手段）
　１５　ウエハ受渡しアーム（基板受渡し手段）
　１６　ウエハ収納アーム（基板収納手段）
　２０　ノッチアライナー（位置検出手段）
　３０　間隔調整機構（間隔調整手段）
　４０，４０Ａ　姿勢変換装置（姿勢変換手段）
　５１　第１の処理ユニット
　５２　第２の処理ユニット
　５３　洗浄・乾燥処理ユニット（洗浄・乾燥手段）
　５４　チャック洗浄ユニット（洗浄手段）
　５５，５５Ａ　搬送路
　５６，５６Ａ　ウエハ搬送アーム（基板搬送手段）
　５６Ｂ　第１のウエハ搬送アーム（第１の基板搬送手段）
　５６Ｃ　第２のウエハ搬送アーム（第２の基板搬送手段）
　６０　処理槽
　７０，７０Ａ，７０Ｂ　ウエハボート（移動手段）
　８０　ジェットノズル（薬液・洗浄液供給手段）
　１３１，１３２　キャリアリフタ（第２の容器搬送手段）
　１５０　ウエハ移送路
　１５１，１５３　ウエハリフタ
　１５２　ウエハ移送用ライナ（基板移送手段）
　１７０　キャリア移送路
　１７１，１７３　キャリアリフタ
　１７２　キャリア移送用ライナ（容器移送手段）