(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
主支持架台の内部に副支持架台を配置し、該副支持架台の上下部を前記主支持架台に対して鉛直方向に回動軸芯を持つ十字バネでそれぞれ連結してヨーイング軸を形成するとともに、前記主支持架台に本体部を固定したリニアアクチュエータの押圧部を前記副支持架台に固定した可動体に圧接し、前記リニアアクチュエータの押圧部による前記可動体への押圧力と前記十字バネの弾性復元力とで前記主支持架台に対して副支持架台をヨーイング駆動することを特徴とする高精度ヨーイング駆動装置。
【請求項２】
前記主支持架台は、上板と下板を複数の主支柱で上下に間隔を隔てて固定した剛構造であり、前記副支持架台は、前記主支持架台の上板と下板の間に収まる大きさを有し、天板と前記載置板を複数の副支柱で上下に間隔を隔てて固定した剛構造であり、前記主支持架台の上板の下面に固定した固定体と、前記副支持架台の天板の上面に固定した可動体との間を前記十字バネで連結するとともに、前記主支持架台の下板の上面に固定した固定体と、前記副支持架台の載置板の下面に固定した可動体との間を前記十字バネで連結し、リニアアクチュエータの本体部を前記主支持架台に固定するとともに、押圧部を前記副支持架台に固定した可動体の側面に圧接して、ヨーイング駆動してなる請求項１記載の高精度ヨーイング駆動装置。
【請求項３】
前記主支持架台の上板の下面近傍に前記副支持架台の天板の上面に固定した吊板を接触することなく配置し、該吊板から上方に前記ヨーイング軸と同心状に垂設した吊支棒を前記主支持架台の上板の開口を通して上方へ貫通させるとともに、該開口の上部に前記ヨーイング軸と同心状に設けたスラスト軸受と前記吊支棒の先端に設けた係止リングとの間に圧縮コイルバネを配置して前記副支持架台の荷重を上方から支持してなる請求項２記載の高精度ヨーイング駆動装置。
【請求項４】
前記副支持架台の載置板の下面に、前記ヨーイング軸と同心状に設けたスラスト軸受を介して押上板を回転可能に配置するとともに、前記主支持架台の下板と該押上板の間に複数の圧縮コイルバネを配置して前記副支持架台の荷重を下方から支持してなる請求項２又は３記載の高精度ヨーイング駆動装置。
【請求項５】
前記リニアアクチュエータの押圧部と前記可動体とが常に接触するように、該リニアアクチュエータの本体部と前記可動体とを引張コイルバネにて直接的又は間接的に引き付けてなる請求項１〜４何れか１項に記載の高精度ヨーイング駆動装置。
【請求項６】
前記十字バネによるヨーイング軸から半径方向に伸ばした線に直交する接線方向に、前記リニアアクチュエータの押圧部の駆動方向を設定し、該押圧部と前記可動体を常に点接触させてなる請求項１〜５何れか１項に記載の高精度ヨーイング駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高精度ヨーイング駆動装置に係わり、更に詳しくは精密素子や精密機器を搭載してヨーイング駆動するための高精度ヨーイング駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、回転駆動部には回転軸と軸受が用いられている。軸受には、転がり軸受や摺動軸受があるが、転がり軸受の場合、鋼球やコロの真円度、転動面の形状精度の限界によって精度はミクロンオーダーであり、摺動軸受の場合も同様である。ナノオーダーの高精度の回転駆動部には機械的に接触、若しくは摺動する機構は採用できない。
【０００３】
大型放射光施設（SPring-８等）やＸ線自由電子レーザー（SACLA等）で発生させた硬Ｘ線から軟Ｘ線を集光させるための斜入射光学系には、平面ミラーあるいは平面に近い形状の球面ミラーや非球面ミラー等の各種のＸ線ミラーが使われ、それらＸ線ミラーがミラーマニピュレーターのホルダーに保持されて高精度に姿勢制御される。このミラーマニピュレーターの駆動部には弾性ヒンジが用いられ、高精度の角度調整が実現されている（特許文献１参照）。
【０００４】
また、特許文献２には、主軸ヘッドに対して回転弾性体をモータ駆動する加工ヘッド機構部を十字バネで連結し、該十字バネが回転弾性体の回転による動圧と荷重とのバランスをとり回転弾性体と被加工面との間隔を調節するために使用されている。また、特許文献３には、ミラーの角度を調節するために十字バネが使用されている。
【０００５】
しかし、従来から弾性ヒンジや十字バネが特殊な用途で用いられているものの、Ｘ線ミラー等の精密素子や干渉計による形状測定装置等の精密機器を簡単に搭載できて、重量物でも高精度にヨーイング駆動できる汎用的なヨーイング駆動装置は存在しなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４６８２０８２号公報
【特許文献２】特公平７−１６８７０号公報
【特許文献３】特公平２−２３８４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明が前述の状況に鑑み、解決しようとするところは、各種の精密素子や精密機器を搭載して高精度にヨーイング駆動することが可能であり、重量のある精密機器を搭載しても動作がスムーズである汎用性に優れた高精度ヨーイング駆動装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、前述の課題解決のために、主支持架台の内部に副支持架台を配置し、該副支持架台の上下部を前記主支持架台に対して鉛直方向に回動軸芯を持つ十字バネでそれぞれ連結してヨーイング軸を形成するとともに、前記主支持架台に本体部を固定したリニアアクチュエータの押圧部を前記副支持架台に固定した可動体に圧接し、前記リニアアクチュエータの押圧部による前記可動体への押圧力と前記十字バネの弾性復元力とで前記主支持架台に対して副支持架台をヨーイング駆動することを特徴とする高精度ヨーイング駆動装置を構成した（請求項１）。
【０００９】
ここで、前記主支持架台は、上板と下板を複数の主支柱で上下に間隔を隔てて固定した剛構造であり、前記副支持架台は、前記主支持架台の上板と下板の間に収まる大きさを有し、天板と前記載置板を複数の副支柱で上下に間隔を隔てて固定した剛構造であり、前記主支持架台の上板の下面に固定した固定体と、前記副支持架台の天板の上面に固定した可動体との間を前記十字バネで連結するとともに、前記主支持架台の下板の上面に固定した固定体と、前記副支持架台の載置板の下面に固定した可動体との間を前記十字バネで連結し、リニアアクチュエータの本体部を前記主支持架台に固定するとともに、押圧部を前記副支持架台に固定した可動体の側面に圧接して、ヨーイング駆動してなることが好ましい（請求項２）。
【００１０】
また、前記主支持架台の上板の下面近傍に前記副支持架台の天板の上面に固定した吊板を接触することなく配置し、該吊板から上方に前記ヨーイング軸と同心状に垂設した吊支棒を前記主支持架台の上板の開口を通して上方へ貫通させるとともに、該開口の上部に前記ヨーイング軸と同心状に設けたスラスト軸受と前記吊支棒の先端に設けた係止リングとの間に圧縮コイルバネを配置して前記副支持架台の荷重を上方から支持してなることがより好ましい（請求項３）。
【００１１】
また、前記副支持架台の載置板の下面に、前記ヨーイング軸と同心状に設けたスラスト軸受を介して押上板を回転可能に配置するとともに、前記主支持架台の下板と該押上板の間に複数の圧縮コイルバネを配置して前記副支持架台の荷重を下方から支持してなることがより好ましい（請求項４）。
【００１２】
更に、前記リニアアクチュエータの押圧部と前記可動体とが常に接触するように、該リニアアクチュエータの本体部と前記可動体とを引張コイルバネにて直接的又は間接的に引き付けてなることより好ましい（請求項５）。
【００１３】
そして、前記十字バネによるヨーイング軸から半径方向に伸ばした線に直交する接線方向に、前記リニアアクチュエータの押圧部の駆動方向を設定し、該押圧部と前記可動体を常に点接触させてなることがより好ましい（請求項６）。
【発明の効果】
【００１４】
以上にしてなる本発明の高精度ヨーイング駆動装置は、主支持架台の内部に副支持架台を配置し、該副支持架台の上下部を前記主支持架台に対して鉛直方向に回動軸芯を持つ十字バネでそれぞれ連結してヨーイング軸を形成するとともに、前記主支持架台に本体部を固定したリニアアクチュエータの押圧部を前記副支持架台に固定した可動体に圧接し、前記リニアアクチュエータの押圧部による前記可動体への押圧力と前記十字バネの弾性復元力とで前記主支持架台に対して副支持架台をヨーイング駆動するので、主支持架台に対する副支持架台のヨーイング角度を微小な範囲ではあるがスムーズ且つ高精度に調節することができ、各種精密機器のヨーイング駆動部に用いることができる。また、各種の精密素子や精密機器を副支持架台に搭載することができ、特に載置板上に搭載する場合には汎用性が非常に高い。
【００１５】
また、副支持架台の載置板上に重量のある精密機器を搭載した場合にも、主支持架台に対して副支持架台の荷重を圧縮コイルバネの弾性力で受ける構造であるので、十字バネに加わる荷重を最小限に抑制することができ、主支持架台に対して副支持架台をスムーズ且つ高精度にヨーインング角度を設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態の高精度ヨーイング駆動装置Ａを示す全体斜視図である。
【図２】十字バネによるヨーイング機構部の主要部を示す分解斜視図である。
【図３】リニアアクチュエータによる駆動部を示す部分斜視図である。
【図４】同じくリニアアクチュエータによる駆動部を示す部分平面図である。
【図５】本発明の第２実施形態の高精度ヨーイング駆動装置Ｂを示す全体斜視図である。
【図６】十字バネによるヨーイング機構部を示す部分斜視図である。
【図７】十字バネによるヨーイング機構部の主要部を示す分解斜視図である。
【図８】十字バネによるヨーイング機構部の下部構造を示す斜視図である。
【図９】十字バネによるヨーイング機構部の下部構造を示す平面図である。
【図１０】十字バネの拡大斜視図である。
【図１１】副支持架台の荷重を弾性的に支持する機構を示す部分斜視図である。
【図１２】副支持架台の荷重を弾性的に支持する機構の上部構造を一部破断して示した部分斜視図である。
【図１３】副支持架台の荷重を弾性的に支持する機構の下部構造を一部破断して示した部分斜視図である。
【図１４】第１実施形態の高精度ヨーイング駆動装置Ａを用いたＸ線ミラーマニピュレーターの全体斜視図である。
【図１５】副支持架台に搭載したＸ線ミラーマニピュレーターの本体機構部の斜視図である。
【図１６】Ｘ線ミラーマニピュレーターのピッチング駆動機構部を示す部分斜視図である。
【図１７】Ｘ線ミラーマニピュレーターのローリング駆動機構部を示す部分斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、添付図面に基づいて本発明を更に詳細に説明する。図１〜図４は本発明の第１実施形態の高精度ヨーイング駆動装置Ａを示し、図５〜図１３は本発明の第２実施形態の高精度ヨーイング駆動装置Ｂを示し、図中符号１は主支持架台、２は副支持架台、３は上部の十字バネ、４は下部の十字バネ、５はリニアアクチュエータ、６は可動体をそれぞれ示している。
【００１８】
第１実施形態の高精度ヨーイング駆動装置Ａは、図１〜図４に示すように、支持架台１の内部に副支持架台２を配置し、該副支持架台２の上下部を前記主支持架台１に対して鉛直方向に回動軸芯を持つ十字バネ３，４でそれぞれ連結してヨーイング軸を形成するとともに、前記主支持架台１に本体部５Ａを固定したリニアアクチュエータ５の押圧部５Ｂを前記副支持架台に固定した可動体６に圧接し、前記リニアアクチュエータ５の押圧部５Ｂによる前記可動体６への押圧力と前記十字バネの弾性復元力とで前記主支持架台１に対して副支持架台２をヨーイング駆動するものである。
【００１９】
更に詳しくは、前記主支持架台１は、上板７と下板８を複数の主支柱９，…で上下に間隔を隔てて固定した剛構造であり、前記副支持架台２は、前記主支持架台１の上板７と下板８の間に収まる大きさを有し、天板１０と前記載置板１１を複数の副支柱１２，…で上下に間隔を隔てて固定した剛構造である。そして、前記主支持架台１の上板７の下面に固定した固定体１３と前記副支持架台２の天板１０との上面に固定した可動体１４の間を前記十字バネ３で連結するとともに、前記主支持架台１の下板８の上面に固定した固定体１５と前記副支持架台２の載置板１１の下面に固定した前記可動体６の間を前記十字バネ４で連結し、リニアアクチュエータ５の本体部５Ａを前記主支持架台１に固定するとともに、押圧部５Ｂを前記副支持架台２に固定した可動体６の側面に圧接して、ヨーイング駆動するのである。尚、前記リニアアクチュエータ５による副支持架台２のヨーイング駆動は、前記主支持架台１の上板７の下面側で行ってもよい。
【００２０】
更に詳しくは、図２〜図４に示すように、前記固定体１３、可動体１４、固定体１５及び可動体６は、直方体のブロック部材であり、前記固定体１３と可動体１４、固定体１５と可動体６の鉛直方向（Ｚ軸）に向いた直角エッジをそれぞれ対向させ、一対の平面状の板バネ１６，１７を上下に配置して直交状態で対応する側面にネジ止めなどの適宜な手段で固定して前記十字バネ３，４を構成するのである。上下の前記十字バネ３，４の屈曲中心を通る鉛直線がヨーイング軸となる。前記リニアアクチュエータ５はモータ駆動でも手動でも構わないが、正確に変位を検出する変位センサーを設けて変位量からヨーイング角度を算出する。勿論、パルスモータ駆動のリニアアクチュエータ５では、押圧部５Ｂの変位を正確に制御できるので、そのモータ制御情報からヨーイング角度を算出することもできる。
【００２１】
また、前記リニアアクチュエータ５は、前記主支持架台１の下板８の上面に固定した取付台１８に本体部５Ａを貫通状態で固定し、先端が半球状の押圧部５Ｂを前記可動体６の側面に圧接している。ここで、前記リニアアクチュエータ５の押圧部５Ｂの駆動方向と前記可動体６の側面は直交するように配置する。ここで、図示しないが、前記可動体６と取付台１８との間に引張コイルバネを設けて互いに引き付け、常に押圧部５Ｂと可動体６の側面とが点接触した状態を維持するようにすることが望ましい。
【００２２】
次に、図５〜図１３に基づいて第２実施形態の高精度ヨーイング駆動装置Ｂを説明する。本実施形態でも、支持架台１の内部に副支持架台２を配置し、該副支持架台２の上下部を前記主支持架台１に対して鉛直方向に回動軸芯を持つ十字バネ３，４でそれぞれ連結してヨーイング軸を形成するとともに、前記主支持架台１に本体部５Ａを固定したリニアアクチュエータ５の押圧部５Ｂを前記副支持架台に固定した可動体６に圧接し、前記リニアアクチュエータ５の押圧部５Ｂによる前記可動体６への押圧力と前記十字バネの弾性復元力とで前記主支持架台１に対して副支持架台２をヨーイング駆動する構造は前記同様である。その他の構成で前記同一構成には、同一符号を付してその説明は省略する。
【００２３】
本実施形態では、前記固定体１３、可動体１４、固定体１５及び可動体６は、それぞれ二つの部材を直交状態で連結して強度を高め、それぞれには鉛直方向に向いた直角エッジが形成され、該直角エッジを利用して前記十字バネ３，４を取付けるのである。前記十字バネ３，４は、図１０に示すように、複数の板バネ１９，…を交互に直交させて上下に配置し、両端部をそれぞれ固定板２０で挟んで前記固定体１３、可動体１４、固定体１５及び可動体６の対応面にボルト止めする。また、図７に示すように、前記主支持架台１の上板７の下面に固定した固定体１３の上部で前記十字バネ３の近傍部分には切欠部２１を形成し、また前記副支持架台２の載置板１１の下面に固定した可動体６の上部で前記十字バネ４の近傍部分にも切欠部２２を形成し、前記上板７の下面と十字バネ３の間と前記載置板１１の下面と十字バネ４の間にそれぞれ空間を設けている。また、前記リニアアクチュエータ５の本体部５Ａは、前記載置板１１の上面に突設した取付台１８に固定し、該取付台１８から突出したリニアアクチュエータ５の押圧部５Ｂを前記副支持架台２に固定した可動体６の側面に当接し、該取付台１８と可動体６とを引張コイルバネ２３で引き付けて、常に押圧部５Ｂが可動体６の側面に点接触している状態を維持する。
【００２４】
前記副支持架台２に、重量のある精密素子や精密装置を搭載する場合、前記十字バネ３，４に過大な荷重が加わるので、それを低減するために圧縮コイルバネによる荷重軽減機構が設けられている（図５及び図１１参照）。図１１は、主支持架台１と副支持架台２及び圧縮コイルバネによる荷重軽減機構のみを取り出して示したものであり、副支持架台２の上部に上荷重軽減機構２４と下部に下荷重軽減機構２５が設けられている。
【００２５】
前記上荷重軽減機構２４は、図１１及び図１２に示すように、前記主支持架台１の上板７の下面近傍に前記副支持架台２の天板１０の上面に４本の支持脚２６，…で固定した吊板２７を接触することなく配置し、該吊板２７から上方に前記ヨーイング軸と同心状に垂設した吊支棒２８を前記主支持架台１の上板７の開口２９を通して上方へ貫通させるとともに、該開口２９の上部に前記ヨーイング軸と同心状に設けたスラスト軸受３０と前記吊支棒２８の先端に設けた係止リング３１との間に圧縮コイルバネ３２を配置して前記副支持架台２の荷重を上方から吊り下げて支持するものである。ここで、前記吊支棒２８の先端にはネジを切っており、これにナット３３を螺合して圧縮コイルバネ３２の弾性力を調節できるようにしている。前記吊板２７は、前記切欠部２１による空間に位置し、前記各支持脚２６は、前記固定体１３及び可動体１４と干渉しない位置に設けている。
【００２６】
前記下荷重軽減機構２５は、図１１及び図１３に示すように、前記副支持架台２の載置板１１の下面に、前記ヨーイング軸と同心状に設けたスラスト軸受３４を介して押上板３５を回転可能に配置するとともに、前記主支持架台１の下板８と該押上板３５の間に複数の圧縮コイルバネ３６，…を配置して前記副支持架台２の荷重を下方から支持するものである。更に詳しくは、前記押上板３５の４隅には上下に貫通させてスリーブ３７を設け、前記下板８の上面に垂設したガイド棒３８を前記スリーブ３７にスライド可能に嵌挿し、前記スリーブ３７とガイド棒３８を巻回するように前記圧縮コイルバネ３６を配置している。また、前記ガイド棒３８の上端は前記載置板１１に形成した逃がし孔３９内に遊挿されている。前記押上板３５は、前記切欠部２２による空間に位置し、前記各圧縮コイルバネ３６は、前記固定体１５及び可動体６と干渉しない位置に設けている。更に、前記主支持架台１の下板８と副支持架台２の載置板１１の間には、本装置の搬送時の振動を防止するために、前記下板８と載置板１１を固定する４本の仮支持棒４０，…が下荷重軽減機構２５の外側で前記固定体１５及び可動体６と干渉しない位置に設けている。
【００２７】
ここで、前記リニアアクチュエータ５は、０．０１２５μｍ／パルス（フルステップ）のものを用いており、ヨーイング軸から２０〜３０ｃｍ離れた位置で駆動するので、分解能は約０．０６μradである。但し、ステッピングモータ駆動のリニアアクチュエータを用いれば、ステップを分割してフルステップを1/100ステップに設定を変えれば、ｎradのレベルの角度調節が可能になる能力を秘めている。
【００２８】
次に、第１実施形態の高精度ヨーイング駆動装置Ａを用いて、Ｘ線集光光学系のＸ線ミラーの姿勢を高精度に調節可能なＸ線ミラーマニピュレーターＣを構成する実施例を図１４〜図１７に基づいて説明する。Ｘ線ミラーマニピュレーターＣは、前記主支持架台１を、Ｘ軸ステージ４１とＹ軸ステージ４２とＺ軸ステージ４３を積層した上に設置するとともに、前記副支持架台２に傾動ステージ４４を搭載し、該傾動スタージ４４のミラーホルダー４５にＸ線ミラー４６を保持し、該Ｘ線ミラー４６の姿勢を高精度に調節するものである。ここで、前記Ｘ線ミラー４６として、Montel mirrorを例示している。
【００２９】
前記副支持架台２に搭載する傾動ステージ４４は、図１５〜図１７に示すように、ピッチング駆動機構４７の上にローリング駆動機構４８を設けた構造である。ここで、ピッチング軸はＹ軸に、ローリング軸はＸ軸に設定している。先ず、前記ピッチング駆動機構４７は、前記載置板１１の上面両端部でＹ軸方向に間隔を隔てて立設した支持アーム４９，４９の上端部に、ヒンジ部５０Ａの屈曲中心線をＹ軸方向に向けて固定した弾性ヒンジ５０を介して一対の可動アーム５１，５１を吊下げ状態で連結するとともに、該両可動アーム５１，５１の下端に前記支持アーム４９，４９に接触しないようにピッチング傾動板５２を固定し、更に前記載置板１１の上面に固定した取付台５３に、リニアアクチュエータ５４の本体部５４Ａを固定するとともに、前記ピッチング傾動板５２の遊端部に下設した受部５５にリニアアクチュエータ５４の押圧部５４Ｂを圧接し、前記ピッチング傾動板５２をピッチング可能としている。ここで、前記ピッチング傾動板５２には、前記支持アーム４９，４９を逃がすための切欠部５６，５６を形成し、干渉しないようにしている。
【００３０】
次に、前記ローリング駆動機構４８は、前記ピッチング駆動機構４７のピッチング傾動板５２の上面にヒンジ部５７Ａの屈曲中心線をＸ軸方向に向けて固定した弾性ヒンジ５７を介してローリング傾動板５８を前記支持アーム４９と可動アーム５１に接触しないように積層し、一側の前記支持アーム４９よりも側方を延びた前記ローリング傾動板５８に、鉛直方向に駆動方向を向けてリニアアクチュエータ５９の本体部５９Ａを固定するとともに、該ローリング傾動板５８を貫通させた駆動部５９Ｂを前記ピッチング傾動板５２の上面に圧接し、前記ローリング傾動板５８をローリング可能としている。ここで、前記ローリング傾動板５８には、前記支持アーム４９と可動アーム５１を逃がすための切欠部６０を形成し、干渉しないようにしている。
【００３１】
そして、前記ローリング駆動機構４８のローリング傾動板５８の上に、前記ミラーホルダー４５を固定する。前記ミラーホルダー４５に保持されたＸ線ミラー４６は、リニアアクチュエータ５４，５９を駆動することにより、ピッチング角度とローリング角度を微調節できるようになっている。尚、前記ミラーホルダー４５を変更することにより、各種のＸ線ミラーを保持することが可能である。
【符号の説明】
【００３２】
Ａ，Ｂ  高精度ヨーイング駆動装置、
Ｃ  Ｘ線ミラーマニピュレーター、
１  支持架台、              ２  副支持架台、
３  十字バネ、              ４  十字バネ、
５  リニアアクチュエータ、  ５Ａ  本体部、
５Ｂ  押圧部、              ６  可動体、
７  上板、                  ８  下板、
９  主支柱、                １０  天板、
１１  載置板、              １２  副支柱、
１３  固定体、              １４  可動体、
１５  固定体、              １６  板バネ、
１７  板バネ、              １８  取付台、
１９  板バネ、              ２０  固定板、
２１  切欠部、              ２２  切欠部、
２３  引張コイルバネ、      ２４  上荷重軽減機構、
２５  下荷重軽減機構、      ２６  支持脚、
２７  吊板、                ２８  吊支棒、
２９  開口、                ３０  スラスト軸受、
３１  係止リング、          ３２  圧縮コイルバネ、
３３  ナット、              ３４  スラスト軸受、
３５  押上板、              ３６  圧縮コイルバネ、
３７  スリーブ、            ３８  ガイド棒、
３９  逃がし孔、            ４０  仮支持棒、
４１  Ｘ軸ステージ、        ４２  Ｙ軸ステージ、
４３  Ｚ軸ステージ、        ４４  傾動ステージ、
４５  ミラーホルダー、      ４６  Ｘ線ミラー、
４７  ピッチング駆動機構、  ４８  ローリング駆動機構、
４９  支持アーム、          ５０  弾性ヒンジ、
５０Ａ  ヒンジ部、          ５１  可動アーム、
５２  ピッチング傾動板、    ５３  取付台、
５４  リニアアクチュエータ、５４Ａ  本体部、
５４Ｂ  押圧部、            ５５  受部、
５６  切欠部、              ５７  弾性ヒンジ、
５７Ａ  ヒンジ部、          ５８  ローリング傾動板、
５９  リニアアクチュエータ、５９Ａ  本体部、
５９Ｂ  駆動部、            ６０  切欠部。
【図１】
0006459035.tif 000002
【図２】
0006459035.tif 000003
【図３】
0006459035.tif 000004
【図４】
0006459035.tif 000005
【図５】
0006459035.tif 000006
【図６】
0006459035.tif 000007
【図７】
0006459035.tif 000008
【図８】
0006459035.tif 000009
【図９】
0006459035.tif 000010
【図１０】
0006459035.tif 000011
【図１１】
0006459035.tif 000012
【図１２】
0006459035.tif 000013
【図１３】
0006459035.tif 000014
【図１４】
0006459035.tif 000015
【図１５】
0006459035.tif 000016
【図１６】
0006459035.tif 000017
【図１７】
0006459035.tif 000018