【事件の表示】
　特許第３２０７９７３号「電気めっき方法および電気めっき用分割型不溶性電極」の請求項１ないし１４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２０７９７３号の請求項１ないし１４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３２０７９７３号の請求項１乃至１４に係る発明についての出願は、平成５年６月１０日に特許出願され、平成１３年７月６日にその特許権の設定登録がなされたものである。
　これに対して、ペルメレック電極株式会社より請求項１乃至１４に係る発明について特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１５年３月３１日付けで訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
２−１．訂正の内容
　本件訂正請求の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおり、すなわち次の訂正事項ａ乃至ｃのとおりに訂正するものである。
（１）訂正事項ａ：請求項１の「膜厚むら２％以下の金属箔を得ることを特徴とする電気めっき方法。」を「金属箔の膜厚むらを１年連続運転後も２％以下に維持することを特徴とする電気めっき方法。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ：請求項８の「膜厚むら２％以下の金属箔を得ることを特徴とする電気めっき用分割型不溶性電極。」を「金属箔の膜厚むらを１年連続運転後も２％以下に維持することを特徴とする電気めっき用分割型不溶性電極。」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ：特許明細書の段落【００１０】の「膜厚むら２％以下の金属箔を得ることを特徴とする電気めっき方法。」を「金属箔の膜厚むらを１年連続運転後も２％以下に維持することを特徴とする電気めっき方法。」と、「膜厚むら２％以下の金属箔を得ることを特徴とする電気めっき用分割型不溶性電極。」を「金属箔の膜厚むらを１年連続運転後も２％以下に維持することを特徴とする電気めっき用分割型不溶性電極。」とそれぞれ訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａ及びｂは、請求項１及び８における「金属箔の膜厚むら」について「膜厚むら２％以下」を「１年連続運転後も２％以下に維持する」とそれぞれ訂正するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。そして、「１年連続運転後も２％以下に維持する」という記載は、特許明細書の段落【００２５】の「なお、以上では、銅箔を例にとって説明してきたが、本発明の効果は他の金属箔でも同様に実現する。ただ、特に本発明の膜厚むら減少効果は、７０μｍ以下、特に２０μｍ以下の電解銅箔の作製において顕著であり、２％以内、特に１％以内の膜厚むらを容易に実現できる。また、このような小さな膜厚むらを例えば１年以上にわたって維持できる。」という記載に基づくものであり、しかも「１年連続運転後も２％以下に維持する」という効果は、段落【００２５】の「本発明の効果は他の金属箔でも同様に実現する。」という記載に照らせば、銅箔の場合に限ったものではなく他の金属箔の場合でも同様に実現されると認められるから、上記訂正事項ａ及びｂは、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　また、上記訂正事項ｃは、請求項１及び８の上記訂正に伴って特許明細書の記載を請求項１及び８の内容と整合させるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当する。そして、上記訂正事項ｃも、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
２−３．まとめ
　したがって、上記訂正は、平成６年改正法附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．本件訂正発明１乃至１４
　訂正後の請求項１乃至１４に係る発明（以下、「本件訂正発明１乃至１４」という）は、訂正明細書の請求項１乃至１４に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】陰極ドラムの回転駆動方向の所定の位置に、所定の間隙を隔てて円弧状の陽極を対向配置し、これに通電して前記陰極ドラムに金属を析出させ、これを剥離して電解金属箔を得る場合において、
　白金族の金属またはその酸化物で弁金属基体を被覆して形成した複数の電極短片を、バックプレート上に、前記陰極ドラムの回転駆動方向に対して直角方向および平行方向に複数個づつ着脱可能に配置して前記陽極を構成しており、この電極短片は、陰極ドラムの回転駆動方向に沿う辺が一直線状に並ばないように、千鳥状に配置されており、
　その厚さが７０μｍ以下であり、金属箔の膜厚むらを１年連続運転後も２％以下に維持することを特徴とする電気めっき方法。
【請求項２】前記隣合った各電極短片の隣接する辺同士の間隔が、０．５ｍｍ以下に設定されている請求項１の電気めっき方法。
【請求項３】前記金属箔が銅箔である請求項１または２の電気めっき方法。
【請求項４】前記陰極ドラムと前記陽極との間にめっき液を流す請求項１ないし３のいずれかの電気めっき方法。
【請求項５】前記陽極と前記陰極ドラムの対向面同士が、実質的にその全体にわたってほぼ均一に離間されて配置されており、その間隔が５ｍｍ以下である請求項１ないし４のいずれかの電気めっき方法。
【請求項６】前記電極短片が、前記バックプレートに対して、該バックプレート側から導電性固定具によって固定されている請求項１ないし５のいずれかの電気めっき方法。
【請求項７】前記電極短片が、正方形または長方形の平板である請求項１ないし６のいずれかの電気めっき方法。
【請求項８】陰極ドラム上に金属を析出させて剥離して電解金属箔を製造する際に、陰極ドラムの回転駆動方向の所定の位置に、所定間隙を隔てて対向配置して用いる円弧状の陽極であって、
　白金族の金属またはその酸化物で弁金属基体を被覆して形成され、バックプレート上に、前記陰極ドラムの回転駆動方向に対して直角方向および平行方向に複数個づつ導電性固定具により着脱可能に配置された複数の電極短片を備えており、この電極短片は、陰極ドラムの回転駆動方向に沿う辺が一直線に並ばないように、千鳥状に配置されており、
　その厚さが７０μｍ以下であり、金属箔の膜厚むらを１年連続運転後も２％以下に維持することを特徴とする電気めっき用分割型不溶性電極。
【請求項９】前記隣合った各電極短片の隣接する辺同士の間隔が、０．５ｍｍ以下に設定されている請求項８の電気めっき用分割型不溶性電極。
【請求項１０】前記金属箔が銅箔である請求項８または９の電気めっき用分割型不溶性電極。
【請求項１１】前記陰極ドラムと前記陽極との間にめっき液を流す請求項８ないし１０のいずれかの電気めっき用分割型不溶性電極。
【請求項１２】前記陰極ドラムの表面に対してほぼ全面にわたって均一に離間されて配置されており、その間隔が５ｍｍ以下である請求項８ないし１１のいずれかの電気めっき用分割型不溶性電極。
【請求項１３】前記電極短片が、前記バックプレートに対して、該バックプレート側から導電性固定具によって固定されている請求項８ないし１２のいずれかの電気めっき用分割型不溶性電極。
【請求項１４】前記電極短片が、正方形または長方形の平板である請求項８ないし１３のいずれかの電気めっき用分割型不溶性電極。」
４．特許異議申立てについて
４−１．特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、証拠方法として、甲第１号証乃至甲第３号証を提出して、訂正前の本件請求項１乃至１４に係る発明は、甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであると主張している。
４−２．証拠の記載内容
　特許異議申立人が提出した上記甲第１号証乃至甲第３号証には、それぞれ次の事項が記載されている。
（１）甲第１号証：特開平４−２２１０９１号公報
（１ａ）「【請求項１】回転自在の陰極胴と該陰極胴に対面する少なくとも１枚の陽極との間に電解液を流し、該陰極胴表面に銅を電着させそして電着した銅箔を該陰極胴から剥離する電解銅箔の製造方法において、前記陽極の少なくとも一部を長さ方向厚み均一化用分割陽極として構成し、そして該長さ方向厚み均一化用分割陽極に供給する電気量を個別に制御することにより銅箔の長さ方向厚みを均一化することを特徴とする電解銅箔の製造方法。」（特許請求の範囲）
（１ｂ）「本発明の課題は、操業中の長さ方向の厚み修正を可能とする新たな電解銅箔製造方法及び装置を開発することである。
　本発明者等は、陽極の少なくとも一部を複数個の長さ方向厚み均一化用分割陽極として構成し、製造された電解銅箔の長さ方向厚みの変化に応じて長さ方向厚みが均一となるよう分割陽極への電気量を制御することを想到した。」（段落【００１３】乃至【００１４】）
（１ｃ）「図１及び図２の例をもって、電解銅箔製造の操業態様を説明する。
　硫酸銅の硫酸溶液のような電解液を収蔵する電解槽（図示なし）において、例えばステンレス鋼或いはチタン製の、回転円筒体である陰極胴１は電解液に部分的に浸漬され、ここでは時計方向に回転しうるよう支持装置によって設置されている。
　陰極胴１の浸漬された、おおよそ下半部分を覆って且つ陰極胴表面から一定間隔をおいて例えば２枚の円弧状の不溶性陽極５が配設される。不溶性陽極は、鉛、鉛とアンチモン、銀、インジウム等との鉛合金等から作製される。別様には、この不溶性陽極は、ＤＳＥ或いはＤＳＡ（Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ　Ｓｔａｂｌｅ　Ｅｌｅｃｒｏｄｅ，Ａｎｏｄｅ）と呼ばれる、チタンに代表されるバルブ金属上に主として白金族金属或いはその酸化物を被覆した構造のものとなしうる。陽極は、図示のように陰極胴のおおよそ下１／４部分に沿って配設される２枚の陽極シートから構成するのが好ましいが、場合によっては１枚、３枚或いは４枚といった、もっと多くの陽極シートから構成することも出来る。
　本具体例に従えば、こうした陽極の銅箔取り出し側の１枚の一部が、前述したような分割陽極９として構成されるのである。適宜数の分割陽極９’、９”、・・・・が形成される。前述したように、長さ方向分割陽極９は、巾方向に分割せずに１枚巾の分割陽極としても良い。
　陰極胴と陽極との間隔は通常２〜１００ｍｍの範囲で一定位置に維持される。間隔が狭い程、電気量が少なくてすむが、膜厚及び品質の管理が難しくなる。
　陰極胴と陽極との間隔は電解液の流通路を形成する。２枚の陽極５間の６時の位置から電解液が槽内の適宜のポンプ（図示なし）を通して供給されそして電解液は陰極胴と陽極との間の間隙を通して両側に流れて各陽極上縁から溢出して循環される。
　整流器６が陰極胴と陽極との間に所定の電圧を維持している。
　陰極胴１が回転するにつれ、電解液からの銅の電着は、ほぼ３時の位置から始まり、次第に厚みを増し、ほぼ９時の位置において電着を終えて所定の厚みとなり、おおよそ１２時の位置において所定の厚みとなった生箔が適宜の剥離手段により剥離されて巻き取られる。」（段落【００２１】乃至【００２８】）
（１ｄ）「しかしながら、前述したように、供給される電解液の流速あるいは供給される電気量等の不均一性により、生箔に長さ方向厚みの局所的変動が生ずる。
　本実施例に従えば、実際に製造された銅箔サンプルの長さ及び巾方向幾つかの位置での陰極胴一周当たりの厚みパターンを測定し、その測定結果に応じて子整流器７が、個々の分割陽極と陰極胴との間の電流量を調整する。」（段落【００２９】乃至【００３０】）
（１ｅ）「本発明に従えば、分割陽極の個々の制御はそれぞれの設定位置を制御することによっても実施しうる。電解液中で陽極を支持する支持装置とは別に、分割陽極を個別に支持しそして個々の分割陽極を陰極胴に近付け或いはそこから引離すための手段が設置される。これら分割陽極が、螺子機構、ピストン−シリンダ機構等の適宜の位置調節機構により前後に移動される。特定部位に相当する特定の分割陽極の支持棒が位置調節機構により変位される。分割陽極が陰極胴に近付く程電流密度は高まり、電着銅の厚みは増大する。逆に分割陽極を陰極胴から引き離す程、電流密度は減少して電着銅厚みは減少する。」（段落【００３５】）
（１ｆ）「（実施例１）
　直径２．０ｍ及び巾１．３ｍの陰極胴と図示したように陰極胴のほぼ下半部分に沿って配設された巾１．３ｍの、２枚の陽極を使用して硫酸銅溶液を用いて厚み３５μｍの銅箔の製造を行なった。本発明に従う陽極構成としては、図１及び図２に示した構成を使用し、そして長さ方向分割陽極を２０個の分割陽極から構成した。
　そして、あらかじめ測定された、陰極胴一周当たりの長さ方向厚みのパターン（巾方向：２０×長さ方向：３６＝７２０）に基づいて、個々の陽極をパソコンを用い、０．１〜１０Ａ／ｄｍ2 の範囲で調節した。この結果、本発明方法によって長さ方向の厚みの変動は小さくなり、従来の約３％の変動から０．５％以下の変動へと低減することができた。」（段落【００３７】乃至【００３８】）
（１ｇ）図１には、２枚の陽極の一部を分割陽極とした陽極と陰極胴との配置関係が図示されている。
（２）甲第２号証：実願平１−４３５６６号（実開平２−１３６０５８号）のマイクロフィルム
（２ａ）「本考案は鋼帯の電気めっき装置に使用される不溶性電極に関する。
　Ｚｎ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃｕあるいはこれらの合金などを被めっき材の表面に電気めっきするに際しては、不溶性電極を使用することが多い。
　この不溶性電極としては、（１）チタン製の基体表面にＰｂ−Ｓｎ、・・・等のＰｂ合金を被覆した鉛電極、（２）チタン製の基体表面に貴金属、例えば白金をコーティングした電極、等がある。」（第２頁乃至第３頁）
（２ｂ）「鋼帯を連続的に電気めっきするための、めっき槽内に備えられる不溶性電極において、バックプレートとこのバックプレートの前記鋼帯との対向側に取り付けられた電極板よりなり、前記電極板は複数に分割されていると共に、これらの分割電極板は各分割電極板間の鋼帯走行方向と幅方向に複数に分割配置されていると共に、これらの分割電極板は各分割電極板間の鋼帯走行方向の間隙が鋼帯入側から鋼帯出側に亙って直線を形成しないように配置されていることを特徴とする不溶性電極。」（実用新案登録請求の範囲第１項）
（２ｃ）「上記のように、本考案の不溶性電極においては、バックプレートに電極板が取り付けられており、この電極板は複数の分割電極板から構成されているので、電解面が損傷した場合には、損傷部した分割電極板だけを取り替えればよい。・・・上記分割電極板の配置に際しては、隣接する分割電極板と分割電極板との間に帯状の間隙ができるが、間隙が鋼帯走行方向の同一線上に集まって直線ができるような、分割電極板の配置にすると、鋼帯の走行方向に連続した電流密度の低下が生じ、製品々質の低下を招く。間隙が直線を形成する分割電極板の配置例としては、例えば、方眼状の配置がこれに当たる。」（第６頁乃至第７頁）
（２ｄ）「しかし、電極板を分割した場合には、上記の間隙による電流密度の不均一は必然的に生じるので、鋼帯の走行方向の間隙の幅は可能な限り狭くする必要がある。・・・上記間隙の幅は２ｍｍ未満、好ましくは１ｍｍ以下程度にすることが望ましい。」（第７頁）
（２ｅ）「電極板３は複数に分割され、３種類の分割電極板４ａ、４ｂ、４ｃを組み合わせて配置されている。分割電極板４ａ、４ｂ、４ｃはそれぞれ大きさが異なっており、方眼状の配置にならないようにしてある。このため、各分割電極板間の間隙５は鋼帯の走行方向Ａの同一線上に集まることなく、鋼帯の幅方向に分散されている。」（第９頁）
（３）甲第３号証：特開平４−３４６６９７号公報
（３ａ）「本発明は、電気メッキ、エレクトロウィニング、電解仕上げおよび電解加工のような用途のための電解槽の陽極に関し、殊に寸法的に安定な活性陽極表面を有する陽極に関する。」（段落【０００１】）
（３ｂ）「陽極板３２は、適度のボルト締め力によって少量撓むことのできるように十分な可撓性を有する、薄肉、弾力性の、圧延その他によって成形された板である。板３２は、電気接続部から陽極活性面全体にわたって電流を流すのに十分な厚さと、板が自立性を有し、外力がなければ、圧延その他の成形法によって与えられた形状を維持することができるのに十分な厚さとを有するべきである。広義には、例えば、陽極板３２の厚さは約０．０１０〜０．５ｉｎ（０．２５〜１２．５ｍｍ）である。圧延その他で成形された、薄い被膜を施されたチタン板の厚さは約０．２０〜０．２５ｉｎ（５．０８〜６．３５ｍｍ）である。板の厚さが薄いほど、装着が容易で、材料費が安くなる。」（段落【００２７】）
（３ｃ）「親の特許願第４２５，０８４号明細書に開示されるように、各陽極板３２は、殻体１４内に縦に配置される、数個の、端どうし突合わせた分割片３２ａ、３２ｂ、３２ｃを含むことができる。分割片は、偏倚された、例えば陰極１２上に電解沈積される金属薄膜の進行方向に対して傾いた、分離線４４によって分割されている。これは、エッジ効果による、金属の電解沈積の不均一性を排除する。陽極板３２の端３４から端３６までは比較的長く、陽極板を分割片３２ａ、３２ｂ、３２ｃに分割することは、成形と装着を助ける。」（段落【００２９】）
４−３．当審の判断
（１）本件訂正発明１について
　甲第１号証の上記（１ａ）には、操業中の長さ方向の厚み修正を可能とする電解銅箔の製造方法に関し、「回転自在の陰極胴と該陰極胴に対面する少なくとも１枚の陽極との間に電解液を流し、該陰極胴表面に銅を電着させそして電着した銅箔を該陰極胴から剥離する電解銅箔の製造方法において、前記陽極の少なくとも一部を長さ方向厚み均一化用分割陽極として構成し、そして該長さ方向厚み均一化用分割陽極に供給する電気量を個別に制御することにより銅箔の長さ方向厚みを均一化することを特徴とする電解銅箔の製造方法」と記載されている。そして、この電解銅箔の製造方法の「回転自在の陰極胴と該陰極胴に対面する少なくとも１枚の陽極との間に電解液を流し、該陰極胴表面に銅を電着させそして電着した銅箔を該陰極胴から剥離する電解銅箔の製造方法において」という前提部分は、図１等の記載をも参酌すれば、本件訂正発明１と同様「陰極ドラムの回転駆動方向の所定の位置に、所定の間隙を隔てて円弧状の陽極を対向配置し、これに通電して前記陰極ドラムに銅を析出させ、これを剥離して電解銅箔を得る電解銅箔の製造方法において」と言い換えることができると云える。また、上記（１ｃ）や図１によれば、円弧状の陽極５は、その幅方向及び長さ方向に分割された構造のものであり、上記（１ｅ）の「これら分割陽極が、螺子機構、ピストン−シリンダ機構等の適宜の位置調節機構により前後に移動される。」という記載によれば、分割電極の個々の分割部分は着脱可能に配置されていると云えるし、その分割陽極の材質も、上記（１ｃ）の「この不溶性陽極は、・・・チタンに代表されるバルブ金属上に主として白金族金属或いはその酸化物を被覆した構造のものとなしうる。」という記載によれば「弁金属基体を白金族の金属またはその酸化物で被覆した」ものであると云える。さらには、この電解銅箔の製造方法によって製造された銅箔は、上記（１ｅ）の記載によれば、その厚さが「３５μｍ」であり、長さ方向の厚みの変動も「０．５％以下」である。
　そうすると、上記「電解銅箔の製造方法」を以上の記載を踏まえて請求項１の記載ぶりに則って整理すると、甲第１号証には、「陰極ドラムの回転駆動方向の所定の位置に、所定の間隙を隔てて円弧状の陽極を対向配置し、これに通電して前記陰極ドラムに銅を析出させ、これを剥離して電解銅箔を得る場合において、白金族の金属またはその酸化物で弁金属基体を被覆して形成した陽極を幅方向及び長さ方向に分割した着脱可能な分割陽極として構成し、そして該分割陽極に供給する電気量を個別に制御することにより、その厚さが３５μｍであり、長さ方向の厚みの変動を０．５％以下とすることを特徴とする電解銅箔の製造方法」という発明（以下、「甲１発明」という）が記載されていると云える。
　そこで、本件訂正発明１と甲１発明とを対比すると、本件訂正発明１の「電気めっき方法」とは、具体的には陰極ドラムに銅を電気めっきしこれを剥離して電解銅箔を製造する方法であると云えるから、この意味で甲１発明の「電解金属箔の製造方法」も「電気めっき方法」と云って差し支えないと云える。また甲１発明においても、その「分割陽極」は複数の個々の分割部分（電極短片に相当）を着脱可能に配置して構成されており、しかも分割陽極を構成する個々の分割部分は陰極ドラムの回転駆動方向に対して直角方向（幅方向）および平行方向（長さ方向）に複数個づつ配置され、この配置がバックプレート上でなされていることも技術常識から明らかであるから、本件訂正発明１の「金属箔」が「銅箔」である場合には、両者は、「陰極ドラムの回転駆動方向の所定の位置に、所定の間隙を隔てて円弧状の陽極を対向配置し、これに通電して前記陰極ドラムに銅を析出させ、これを剥離して電解銅箔を得る場合において、白金族の金属またはその酸化物で弁金属基体を被覆して形成した複数の電極短片を、バックプレート上に、前記陰極ドラムの回転駆動方向に対して直角方向および平行方向に複数個づつ着脱可能に配置して前記陽極を構成しており、その厚さが３５μｍの銅箔であることを特徴とする電気めっき方法。」という点で一致し、次の点で相違していると云える。
（イ）膜厚むらを抑制するために、本件訂正発明１では、その電極短片を陰極ドラムの回転駆動方向に沿う辺が一直線状に並ばないように千鳥状に配置しているのに対し、甲１発明では、電極短片を千鳥状に配置しておらず、分割陽極に供給する電気量を個別に制御している点
（ロ）本件訂正発明１では、電極短片を上記（イ）の配置とすることにより、銅箔の膜厚むらを１年連続運転後も２％以下に維持しているのに対し、甲１発明では、分割陽極に供給する電気量を個別に制御することにより、銅箔の長さ方向の膜厚むらを０．５％以下にしている点
　次に、これら相違点について検討する。
（ｉ）相違点（イ）について
　ところで、本件訂正発明１の主要な特定事項である「円弧状陽極を複数の電極短片から構成し、その電極短片を陰極ドラムの回転駆動方向に沿う辺が一直線状に並ばないように千鳥状に配置する」というねらいは、陽極の部分的な消耗に対する保守及び補修の容易化を図るためであり、また本件特許明細書の「この膜厚むらの抑制の効果は、電極短片を、その陰極ドラムの回転駆動方向に沿う辺が一直線に並ばないように千鳥状に配置することによって更に向上される。また、第２の目的としての、特に薄い金属箔を得る際の膜厚むらの低減は、陽極板を複数の電極片に分割して、陽極表面の端縁長を大とし、エッジを多数作ることで、エッジ効果を減少させ、電流分布を均一化することによって達成される。同時に連続運転によるエッジ効果の増大率も減少し、電極片寿命も増大する。そして、これらから陽極寿命はきわめて長いものとなる。」（段落【００１１】乃至【００１２】）という記載によれば、電極短片の配置を工夫してエッジ効果の減少等による膜厚むらの抑制を図るためである。そして、本件訂正発明１では、円弧状陽極を複数の電極短片から構成しその電極短片を陰極ドラムの回転駆動方向に沿う辺が一直線状に並ばないように千鳥状に配置することによって上記相違点（ロ）の「膜厚むらを１年連続運転後も２％以下に維持する」という効果を達成することができるものである。
　これに対し、甲１発明の主要な特定事項である「陽極を幅方向及び長さ方向に分割した着脱可能な分割陽極」のねらいは、電解銅箔の製造方法において「供給される電解液の流速あるいは供給される電気量等の不均一性により、生箔に長さ方向厚みの局所的変動が生ずる」（上記（１ｄ））という問題が発生するために、陽極を長さ方向に分割してそこに供給する電気量を個別に制御して膜厚むらの抑制を図るためである。
　そうすると、両者は、陽極を分割陽極として膜厚むらを抑制するという点では一部共通しているとは云えるものの、甲１発明では、分割電極を利用してさらに分割電極に供給する電気量を個別に制御するという対策が採られているから、両者の分割電極に関する作用・効果が大きく相違していると云える。そして、甲第１号証には、膜厚むらを抑制するための「分割陽極に供給する電気量を個別に制御する」という対策以外の、エッジを多数作ることでエッジ効果を減少させるような本件訂正発明１で採られている対策については何ら示唆されていないから、このような甲第１号証の記載内容から抽出して認定できる発明としては、上記「分割陽極に供給する電気量を個別に制御する」という特定事項を必須の内容とする上記「甲１発明」が妥当であり、「分割陽極に供給する電気量を個別に制御する」という特定事項を除外して甲１発明を認定することは、甲第１号証に唯一記載された膜厚むらを抑制する対策を没却することであり妥当なことではないと云うべきである。
　次に、この相違点（イ）に関し、甲第２号証を検討すると、甲第２号証には、鋼帯表面に銅を被覆するための電気めっきに使用する不溶性電極が記載されており、この場合の電気めっきは、本件訂正発明１や甲１発明の如き「電解銅箔の製造」という技術ではないものの、陽極の部分的な消耗に対する保守及び補修の容易化という観点から陽極板を分割陽極板とすること、また電極板を分割した場合には、電極板間の間隙が電流密度の不均一という問題をもたらすために、その間隙が鋼帯の走行方向の同一線上に集まらないような配置の分割陽極板とすることが記載されていると云える。
　しかしながら、甲第１号証に記載された甲１発明は、上述したとおり、膜厚むらを抑制するための唯一の対策が「分割電極に供給する電気量を個々に制御する」というものであり、本件訂正発明１の上記相違点（イ）の対策とは全く別異のものである。また、甲第１号証の記載から「分割電極に供給する電気量を個々に制御する」という特定事項を除外して甲１発明を認定することができないことも前示したとおりであり、しかも甲第１号証及び甲第２号証の記載をみても、膜厚むらを抑制する上記２種類の対策が相互に代替え可能なものであるとする記載も見当たらないから、甲１発明の「分割電極に供給する電気量を個々に制御する」という対策に替えて甲第２号証に記載の分割陽極という対策を採用する動機がないと云うべきである。
　してみると、本件訂正発明１の上記相違点（イ）は、甲第１号証及び甲第２号証の記載から当業者が容易に想到することができないと云う外ない。
（ｉｉ）相違点（ロ）について
　また、上記相違点（ロ）の膜厚むらの効果についても、本件訂正発明１と甲１発明とは、全く別異の対策を講じたことによりそれぞれ「１年連続運転後も２％以下」や「０．５％以下」という数値が達成されたのであり、本件訂正発明１と類似の分割陽極が記載されている甲第２号証にも、膜厚むらの具体的な数値による効果までは記載されていないから、本件訂正発明１の上記相違点（ロ）の効果も、甲第１号証及び甲第２号証の記載から当業者といえど容易に予想することはできないと云うべきである。
　特許異議申立人は、甲第３号証を提出して、甲第３号証の上記（３ｃ）の「分割片は、偏倚された、例えば陰極１２上に電解沈積される金属薄膜の進行方向に対して傾いた、分離線４４によって分割されている。これは、エッジ効果による、金属の電解沈積の不均一性を排除する。」という記載から明らかなように、円弧状の分割陽極に通電するとエッジ効果が減少することは既に公知の事項であるから、甲第１号証に記載の分割陽極においてもエッジ効果が減少することは容易に予測することができたものであると主張している。
　しかしながら、甲第１号証の分割電極は、上述したとおり、膜厚むらの抑制のために陽極に供給する電気量を個々にきめ細かく制御するために分割されたものであり、エッジ効果の減少をねらって分割されたものではない。このようにエッジ効果の減少と異なる作用・効果をねらって工夫された甲第１号証の分割陽極について、甲第３号証のエッジ効果に関する公知事項を参酌してその作用・効果を改めて検討する余地はないと云うべきであるから、特許異議申立人の上記主張は採用することができない。
　したがって、本件訂正発明１は、甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
（２）本件訂正発明２乃至７について
　これら発明は、少なくとも請求項１を引用した内容の発明であるから、本件訂正発明１と同様、甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
（３）本件訂正発明８について
　本件訂正発明８は、「電気めっき用分割型不溶性電極」に関し、その特定事項の一つが本件訂正発明１と同様「千鳥状に着脱可能に配置された複数の電極短片から構成された円弧状の陽極」であるから、本件訂正発明１と同様の理由により、甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
（４）本件訂正発明９乃至１４について
　これら発明は、少なくとも請求項８を引用した内容の発明であるから、本件訂正発明８と同様、甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
５．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件訂正発明１乃至１４についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件訂正発明１乃至１４についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年１１月１０日（２００３．１１．１０）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
電気めっき方法および電気めっき用分割型不溶性電極
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　陰極ドラムの回転駆動方向の所定の位置に、所定の間隙を隔てて円弧状の陽極を対向配置し、これに通電して前記陰極ドラムに金属を析出させ、これを剥離して電解金属箔を得る場合において、
　白金族の金属またはその酸化物で弁金属基体を被覆して形成した複数の電極短片を、バックプレート上に、前記陰極ドラムの回転駆動方向に対して直角方向および平行方向に複数個づつ着脱可能に配置して前記陽極を構成しており、この電極短片は、陰極ドラムの回転駆動方向に沿う辺が一直線状に並ばないように、千鳥状に配置されており、
　その厚さが７０μｍ以下であり、
金属箔の膜厚むらを１年連続運転後も２％以下に維持する
　【請求項２】　前記隣合った各電極短片の隣接する辺同士の間隔が、０．５ｍｍ以下に設定されている請求項１の電気めっき方法。
　【請求項３】　前記金属箔が銅箔である請求項１または２の電気めっき方法。
　【請求項４】　前記陰極ドラムと前記陽極との間にめっき液を流す請求項１ないし３のいずれかの電気めっき方法。
　【請求項５】　前記陽極と前記陰極ドラムの対向面同士が、実質的にその全体にわたってほぼ均一に離間されて配置されており、その間隔が５ｍｍ以下である請求項１ないし４のいずれかの電気めっき方法。
　【請求項６】　前記電極短片が、前記バックプレートに対して、該バックプレート側から導電性固定具によって固定されている請求項１ないし５のいずれかの電気めっき方法。
　【請求項７】　前記電極短片が、正方形または長方形の平板である請求項１ないし６のいずれかの電気めっき方法。
　【請求項８】　陰極ドラム上に金属を析出させて剥離して電解金属箔を製造する際に、陰極ドラムの回転駆動方向の所定の位置に、所定間隙を隔てて対向配置して用いる円弧状の陽極であって、
　白金族の金属またはその酸化物で弁金属基体を被覆して形成され、バックプレート上に、前記陰極ドラムの回転駆動方向に対して直角方向および平行方向に複数個づつ導電性固定具により着脱可能に配置された複数の電極短片を備えており、この電極短片は、陰極ドラムの回転駆動方向に沿う辺が一直線に並ばないように、千鳥状に配置されており、
　その厚さが７０μｍ以下であり、
金属箔の膜厚むらを１年連続運転後も２％以下に維持する
　【請求項９】　前記隣合った各電極短片の隣接する辺同士の間隔が、０．５ｍｍ以下に設定されている請求項８の電気めっき用分割型不溶性電極。
　【請求項１０】　前記金属箔が銅箔である請求項８または９の電気めっき用分割型不溶性電極。
　【請求項１１】　前記陰極ドラムと前記陽極との間にめっき液を流す請求項８ないし１０のいずれかの電気めっき用分割型不溶性電極。
　【請求項１２】　前記陰極ドラムの表面に対してほぼ全面にわたって均一に離間されて配置されており、その間隔が５ｍｍ以下である請求項８ないし１１のいずれかの電気めっき用分割型不溶性電極。
　【請求項１３】　前記電極短片が、前記バックプレートに対して、該バックプレート側から導電性固定具によって固定されている請求項８ないし１２のいずれかの電気めっき用分割型不溶性電極。
　【請求項１４】　前記電極短片が、正方形または長方形の平板である請求項８ないし１３のいずれかの電気めっき用分割型不溶性電極。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、銅箔等の金属箔の電気めっき方法と、それに使用される分割型不溶性電極の改良に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　プリント配線基板が多方面にかつ大量に採用されてる。プリント配線基板には銅箔を必要とするが、その製造には通常電解銅箔が用いられている。電解銅箔の製造に際しては、ピンホール・異常析出物等の点欠陥が発生せず、均一な厚みをもつようにする必要がある。
　【０００３】
　従来の電解銅箔の製造では、図９を参照して説明するならば、陰極としてＴｉあるいはＳＵＳ製回転ドラムを用い、陽極として、例えば陰極ドラム７のほぼ１／４円周の断面円弧状の電極１０として鉛板を２枚下方に設置し、電極１０、１０間から電解液を供給し、この間隙内にめっき液を流す構造としている。この装置に直流電流を流し陰極ドラム７に銅を析出させ、この析出銅８を連続的に剥離し、巻取装置９により巻き取っている。
　【０００４】
　従来一般に用いられている陽極は、Ｐｂ、あるいはＰｂとＳｂ、Ｓｎ、Ａｇ、Ｉｎ、Ｃａその他の二元あるいは多元合金である。このため陽極表面に生成した酸化鉛が、電解浴中にＰｂイオンとして溶け込み、電解浴中の硫酸イオンと反応して、硫酸鉛を形成し浴中に懸濁してしまう。この硫酸鉛のスラツジは濾過器を設置して除去することができるが、この保守作業には多大な労力を要する。スラツジの除去が不十分であると、スラッジは電解槽や配管の内壁面に堆積して液の流に悪影響を及ぼす。さらに、陰極ドラムに硫酸鉛のスラツジが付着すると、その箇所にピンホールもしくは異常析出物等の点欠陥が発生する。これは前記のとおり銅箔の致命的欠陥となる。
　【０００５】
　また鉛系電極を使用すると、電流集中や、エロージョンにより局部的に鉛が損耗するため極間距離が場所により異なってくる。この対策として定期的に鉛陽極の表面を切削しているが、製造稼働率の低下もさることながら、極間の距離の増大のため槽電圧の上昇すなわち製造コストの上昇につながってしまう。そして、極間距離の不均一により、銅箔幅方向の厚みむらが生じてしまう。
　【０００６】
　このような硫酸塩のスラッジに起因するピンホールや、異常析出物の発生を防止し、鉛の損耗による極間距離の不均一化により生じる銅箔幅方向の厚みむらを解決するなどのため、陰極ドラムに対向する円弧板状陽極として、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒ等の弁金属基体表面に主として白金族の金属あるいはその酸化物を触媒として被覆した電極を不溶性陽極として使用する旨の提案がなされている（特公平１−５６１５３号公報）。
　【０００７】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、この方法でも、局部的な陽極の損耗や、陰極側の銅の異常析出によるショートは生じてしまう。しかし一体化した陽極円弧板を用いているため、これらの補修は、陽極全体を取り替えずには行なうことができず、陽極を装置に設置するハンドリングなど、保守ないし補修作業やそのコスト、設備コスト等を高め、めっき設備の稼働率を下げる要因となっている。
　【０００８】
　さらに重要なことは、一体化した陽極円弧板を用いると、通電時に電流密度のいわゆるエッジ効果が生じる。そして、このエッジ効果は、特にめっき液供給口付近の陽極板端部付近に電流を集中させ、一体化した陽極板の一部分のみの電極触媒被覆層の消耗をひきおこし、銅箔の幅方向の膜厚が不均一となり、膜厚むらが生じる。また、膜厚むらは連続運転とともに増大し、やがて実用に耐えないものとなるので、陽極の寿命も短いものとなっている。そして、このような現象は特に２０μｍ以下と膜厚の薄い銅箔の製造において重大なものとなる。実際、上記特公平１−５６１５３号公報でも、１８μｍの銅箔を得る際に、膜厚むらは２％以内であると記載されており、膜厚むらを１％以内にはできていない。この他、円弧状の基体には被覆形成がしにくく、製造が困難で被覆厚さも均一化が難しいという欠点もある。
　【０００９】
　本発明の主たる目的は、このような電極の部分的消耗に対しての保守ないし補修を容易に行なうことができ、しかも膜厚むらが少なく、陽極寿命の長い電解銅箔等の金属箔を得るための電気めっき方法と、それに用いる分割型不溶性電極を提供することにある。
　【００１０】
　【課題を解決するための手段】
　このような目的は、下記（１）〜（１４）の本発明により達成される。
　（１）　陰極ドラムの回転駆動方向の所定の位置に、所定の間隙を隔てて円弧状の陽極を対向配置し、これに通電して前記陰極ドラムに金属を析出させ、これを剥離して電解金属箔を得る場合において、
　白金族の金属またはその酸化物で弁金属基体を被覆して形成した複数の電極短片を、バックプレート上に、前記陰極ドラムの回転駆動方向に対して直角方向および平行方向に複数個づつ着脱可能に配置して前記陽極を構成しており、この電極短片は、陰極ドラムの回転駆動方向に沿う辺が一直線状に並ばないように、千鳥状に配置されており、
　その厚さが７０μｍ以下であり、
金属箔の膜厚むらを１年連続運転後も２％以下に維持する
　（２）　前記隣合った各電極短片の隣接する辺同士の間隔が、０．５ｍｍ以下に設定されている上記（１）の電気めっき方法。
　（３）　前記金属箔が銅箔である上記（１）または（２）の電気めっき方法。
　（４）　前記陰極ドラムと前記陽極との間にめっき液を流す上記（１）ないし（３）のいずれかの電気めっき方法。
　（５）　前記陽極と前記陰極ドラムの対向面同士が、実質的にその全体にわたってほぼ均一に離間されて配置されており、その間隔が５ｍｍ以下である上記（１）ないし（４）のいずれかの電気めっき方法。
　（６）　前記電極短片が、前記バックプレートに対して、該バックプレート側から導電性固定具によって固定されている上記（１）ないし（５）のいずれかの電気めっき方法。
　（７）　前記電極短片が、正方形または長方形の平板である上記（１）ないし（６）のいずれかの電気めっき方法。
　（８）　陰極ドラム上に金属を析出させて剥離して電解金属箔を製造する際に、陰極ドラムの回転駆動方向の所定の位置に、所定間隙を隔てて対向配置して用いる円弧状の陽極であって、
　白金族の金属またはその酸化物で弁金属基体を被覆して形成され、バックプレート上に、前記陰極ドラムの回転駆動方向に対して直角方向および平行方向に複数個づつ導電性固定具により着脱可能に配置された複数の電極短片を備えており、この電極短片は、陰極ドラムの回転駆動方向に沿う辺が一直線に並ばないように、千鳥状に配置されており、
　その厚さが７０μｍ以下であり、
金属箔の膜厚むらを１年連続運転後も２％以下に維持する
　（９）　前記隣合った各電極短片の隣接する辺同士の間隔が、０．５ｍｍ以下に設定されている上記（８）の電気めっき用分割型不溶性電極。
　（１０）　前記金属箔が銅箔である上記（８）または（９）の電気めっき用分割型不溶性電極。
　（１１）　前記陰極ドラムと前記陽極との間にめっき液を流す上記（８）ないし（１０）のいずれかの電気めっき用分割型不溶性電極。
　（１２）　前記陰極ドラムの表面に対してほぼ全面にわたって均一に離間されて配置されており、その間隔が５ｍｍ以下である上記上記（８）ないし（１１）のいずれかの電気めっき用分割型不溶性電極。
　（１３）　前記電極短片が、前記バックプレートに対して、該バックプレート側から導電性固定具によって固定されている上記（８）ないし（１２）のいずれかの電気めっき用分割型不溶性電極。
　（１４）　前記電極短片が、正方形または長方形の平板である上記（８）ないし（１３）のいずれかの電気めっき用分割型不溶性電極。
　【００１１】
　【作用】
　本発明で第１の目的とする電極の部分的な消耗に対しての保守および補修は、分割型不溶性電極の採用によって、必要部分のみを交換すればよいので、きわめて容易でかつ経済的である。電極の構成の仕方は、陽極の長さ方向（陰極の回転駆動に沿った方向すなわち回転駆動方向）長さおよび幅方向長さよりも短い辺を有する長方形、正方形等の４辺形あるいは三角形等の短片平板である複数の電極短片を隙間なくバックプレート上に配置して構成するようにしたので、電極短片の製造も陽極の組み立ても容易であり、Ｒ型の組み立て精度も高い。また、電極短片の形状寸法精度や、弁金属基体上に被覆された白金族の金属またはその酸化物の膜の膜厚の均一も高い。また、各電極短片の隣接する辺同士の間隔が０．５ｍｍ以下に設定されるので、めっき膜の長手方向にすじ状などの膜厚むらが生ずることが極力抑制され、良好な結果が得られる。この膜厚むらの抑制の効果は、電極短片を、その陰極ドラムの回転駆動方向に沿う辺が一直線に並ばないように千鳥状に配置することによって更に向上される。
　【００１２】
　また、第２の目的としての、特に薄い金属箔を得る際の膜厚むらの低減は、陽極板を複数の電極片に分割して、陽極表面の端縁長を大とし、エッジを多数作ることで、エッジ効果を減少させ、電流分布を均一化することによって達成される。同時に連続運転によるエッジ効果の増大率も減少し、電極片寿命も増大する。そして、これらから陽極寿命はきわめて長いものとなる。
　【００１３】
　ところで、各種電気めっき方法において、分割型の電極を用いることは従来知られている。例えば、実開平１−１４９４６５号公報では、電気めっき鋼板を製造する際に、めっき槽内にて鋼帯を連続的に直線的に移動させながら、これに対向して陽極を配置する場合において、陽極を鋼帯搬送方向に平行に分割したものが示されている（同公報第４図、第５図参照）。しかし、このように、回転する陰極ドラムの回転駆動方向に平行に分割しようとすると、各分割片は等しく円弧状としなければならず、特に弁金属基体上に白金族の金属ないし酸化物被覆を設けるようなときには、製造がきわめて困難である。また被覆厚を均一にすることも難しい。しかも、これに加えて重要なことは、めっき基体（鋼帯あるいは陰極ドラム）の搬送ないし回転方向と平行にのみ電極片を分割すると、電流密度の不均一が生じ、めっき膜の長手方向にすじ状の欠陥や、幅方向の膜厚むらが生じてしまい実用には耐えないが、この公報ではこの点について着眼されていない。
　【００１４】
　他方、特開平１−１７６１００号公報、実開平２−１３６０５８号公報では、鋼帯を連続的に直線移動させながらめっきを行なう場合において、鋼帯方向および搬送（長手）方向に複数分割して電極小片を多数組み合わせて形成した分割型電極が提案されている。しかし、これらの公報に開示された電極は、平板のものであり、本発明の電極のように円弧状でないので、本発明のような円弧状電極に適用することは困難である。
　【００１５】
　さらに、特公昭４９−１８９０２号公報には、磁性薄膜の製造において、陰極ローラに沿って、環状の電解槽を設け、この電解槽を仕切板によって複数個の分離槽として、各分離槽に個別に陽極を配置した例が開示されている。このものは、陽極を分離するという点では本発明と一見類似しているが、陽極を分割一体化していないので、分離陽極の間隙でめっき液のうず流が生じ膜厚の不均一が生じてしまう。このため、この公報では分離槽としているが、かえって液組成の不均一化を招き、装置が複雑化し、その制御も難しいものとなっている。
　【００１６】
　さらにまた、特開平４−３４６６９７号公報には、電極の分割を、陰極の回転駆動方向と直角な方向になし、長尺の電極片を上記回転駆動方向に沿って配置したものが提案されているが、この場合、円弧状の電極の両サイドあるいは両端などの部分的な損耗であっても、長尺の電極片全体を交換しなければならず、保守修繕に多くの費用が必要となる。一方、本発明の短片状の電極構成部材は、加工も安価で容易であり、保守、修繕も安価かつ容易なものとなる。
　【００１７】
　【実施例】
　以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに詳細に説明する。
　【００１８】
　本発明の不溶性電極（アノード）は不溶性の電極を複数個に分割した電極片の各々を、形状保持、補強および導電のためのバックプレートへ導電性固定具により着脱自在に取り付けている。以下、本発明の分割不溶性電極について詳述する。
　【００１９】
　図１には本発明の分割型不溶性電極１０の実施例が示される。これらの図において不溶性のアノードである電極１０は、複数個の電極短片１に分割されており、その電極短片１各々は、内面が円弧状のバックプレート５に導電性の固定具であるボルト・ナット３により着脱自在に取り付けられている。電極短片１は、通常可撓性材料で形成され、上記バックプレート５の円弧状の内面に沿って湾曲されて取り付けられる。バックプレート５は、単板であっても、種々の構造をもつものであってもよい。また、その内面は、上記のように、円弧状の一部であってもよいが、電極１の幅方向すなわち陰極ドラムの回転駆動方向と直角な方向に延びるストライプ状平面を、上記回転方向に沿って複数並列配置したものであってもよい。このように、ストライプ状平面を用いる場合には、なるべく、円弧に近い多角形状となるように構成することが望ましい。なお、上記分割型不溶性電極１０は、従来例を説明した図９に示したように、陰極ドラム７に対して２個対向配置してもよい。そして、この場合は、２つの電極１０、１０の間からめっき液を供給し、ドラム−電極間隙間にめっき液を流す。
　【００２０】
　不溶性の電極短片１としては、チタン、タンタル、ニオブ、ジルコン等やそれらの合金など、耐食性を有する弁金属の導電金属板の陰極ドラム７と対向する側の面にイリジウムオキサイドなど白金族および／または酸化物をコーティングしたコーティングタイプのものを用いている。電極短片１の陰極ドラム７に対向する側の表面形状は、単純に平面状にする他、表面積を大にするために、凹凸状、格子状にすることができる。電極１０は、例えば、図１および図４ないし図８に示されているように、陰極ドラム７の回転駆動方向に対して直角方向および平行方向にそれぞれ複数個（２個以上）、好ましくは３〜１０個程度、また、全体として１０〜１００個程度の長方形の電極短片１に分割されている。なお、電極短片１の向きは、図４ないし図８に示されているように、長辺側が、陰極ドラム７の回転駆動方向に対して沿う方向に並べられていても、逆であってもよく、それらが混合していてもよい。そして、図１、図２に示される例では、電極短片１の各々の陰極ドラムと反対側（バックプレート側）の面には、チタン等の耐食性を有する導電性金属のボルト３ａが溶接等によって固定されている。また、電極短片１の各々は、取扱いや精度の点から、上記の図に示したような長方形や正方形の平板であることが望ましく、また、図１等に示したように
、各
る
　【００２１】
　なお、電極１０を陰極ドラム７の回転駆動方向に沿って細かく分割（したがって、分割線は該回転駆動方向と直角方向となる）すれば、平板の電極短片１を曲げることなく設置することができる。
　【００２２】
　バックプレート５は補強、形状寸法維持および導電のための基板で、チタン等の耐食性を有する導電金属板からなっている。また、バックプレート５は、間隙内のめっき液流にうず流を生じさせず、膜厚むらを防止する作用もあわせもつ。バックプレート５と複数の不溶性電極短片１とは図１、図２に示されるようなボルト３ａ等の給電導体で取り付けられている。すなわち、図１、図２ではバックプレート５には、不溶性の電極短片１に固定したボルト３ａ位置に対応して、貫通孔が設けられており、バックプレート５の陰極ドラムと反対側の所要箇所にて、電極短片１に一体化された給電導体としてのボルト３ａが、座金６５を介してナット３ｂで締め付けられている。電極短片１は、電極面への影響がなく、電流密度が均一になるので、上記のように陰極７とは反対側に配置されたボルト・ナット３で固定することが望ましい。不溶性の電極短片１は、上記のようにボルト・ナット３で固定されているので、バックプレート５から取り外すことができる。取りはずされた電極短片１は、必要とする補修を施したり、新しい電極短片１と交換する。なお、図１、図２の例では、バックプレート５と電極短片１の間には、締め付けによる電極短片１の変形を防ぐために絶縁性のゴム４を介挿して、電極短片１の端面とゴム４とを、接触させている。
　【００２３】
　なお、電極短片１のバックプレート５への固定は、例えば、図３に示したように、バックプレート５の所定位置に、ボルト３に対応するタップ穴５５を、また電極短片の所定位置に、ボルト３の貫通を可能とし、ボルト３の頭部を係止する孔３５を設け、電極短片１を所定位置に設置して、陰極ドラム側よりボルト３ａにて電極短片１を締め付けて固定してもよい。この場合は、締め付け時に、電極短片１の変形のないように締め付けトルクを管理する。
　【００２４】
　このように構成される分割型不溶性電極１０は、上記図９に示されるように、めっき槽内にて、回転駆動される陰極ドラム７と所定間隙長隔てて対向配置され、バックプレート５に接続されたブスバー２から供電され、めっきが行なわれる。陰極ドラム７上に堆積した銅箔８は陰極ドラム７から剥離され、巻き取りドラム９に巻き取られる。
　【００２５】
　なお、以上では、銅箔を例にとって説明してきたが、本発明の効果は他の金属箔でも同様に実現する。ただ、特に本発明の膜厚むら減少効果は、７０μｍ以下、特に２０μｍ以下の電解銅箔の作製において顕著であり、２％以内、特に１％以内の膜厚むらを容易に実現できる。また、このような小さな膜厚むらを例えば１年以上にわたって維持できる。
　【００２６】
　【発明の効果】
　本発明の不溶性電極１０は、複数個に分割した上記電極短片１を用いており、この分割した電極短片１をバックプレート５に着脱自在に取り付けているので、陽極面の局部的な損傷の補修や、陰極ドラム７側の銅等の金属の異常析出によるショートによる陽極の補修を、電極短片１ごとに部分的に行なうことができるので、従来のようにアノード全体あるいは長尺の電極片全体を取り替える必要がない。従って、陽極の保守、修理が容易であり、また、陽極自体の寿命も延びる。
　【００２７】
　また、電極短片を矩形の平板状とした場合には、形状加工が容易であり、不溶性電極とするための触媒被覆のコーティングも容易であり、電極短片の形状寸法や被覆厚の精度がきわめて高くなる。そして、組み立てや取りはずし作業も容易であり、組み立ての寸法精度もきわめて高い。これらから寸法形状や被覆厚の精度のきわめて高い不溶性電極が実現し、得られる銅箔等の金属箔の欠陥もきわめて少なく、膜厚や膜質もきわめて均一となる。また、この際、円周方向に分割するときのような膜厚の不均一や欠陥もなく、また円周方向およびそれと垂直な方向に多数分割するときのような組み立て時の労力や組み立て精度の低下も格段と減少し、電解銅箔等の金属箔の膜質はきわめて良好なものとなる。
　【００２８】
　そして、これらに加え、陽極内のエッジ数を増加することにより、エッジ効果を相対的に減少させ、同時にめっき液のうず流の発生を減少させ、膜厚むらをきわめて少ないものとし、連続運転による膜厚むらの増大を減少し、寿命を長いものとすることができる。このような効果を確認するための実験を以下に示す。
　【００２９】
［実験例］
　図９に示される構成において、陽極ドラム７には約２ｍ径のＴｉ回転円筒体を用いた。また、アノード電極１０、１０としては、ＩｒＯ２を主成分とする被覆をＴｉ基板上に設けたものを用い、これを陰極ドラム７の周上に約５ｍｍの間隙で、７５°の円弧成分長を占めるよう２個配置した。各電極１０、１０は、図１に示されるように陰極ドラムの回転駆動方向に対して直角方向および平行方向にに分割し、それぞれ２８枚の電極短片１で構成した。各電極片１０の隣接した辺同士の離間距離は０．５ｍｍとした。
　【００３０】
　めっき液は電極１０、１０間から送液し、電極間隙を上方に流れるようにして循環した。めっき液はＣｕＳＯ４、５Ｈ２Ｏ　２４０ｇ／ｌ、Ｈ２ＳＯ４　１２０ｇ／ｌを含み、浴温４５℃、電流密度４０Ａ／ｍ２とし、１８μｍ厚の銅箔を連続製造した。
　【００３１】
　運転開始時の幅方向の膜厚むらを測定したところ０．８％以内であり、１年連続運転後も０．８％以内が維持された。なお、ピンホールや異常析出物等の膜欠陥は全くなかった。
　【００３２】
　これに対し比較のため、電極１０、１０を一体化した断面円弧状のものとした他は上記と全く同一の条件で連続運転を行ったところ、開始時は２％以内の膜厚むらで、３ケ月後には２％をこえる以上の膜厚むらとなってしまった。これらから、本発明の効果が明らかである。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の分割型不溶性電極の１例を示す斜視図である。
　【図２】
　図１の電極における固定具部分の断面図である。
　【図３】
　固定具部分の他の例を示す断面図である。
　【図４】
　本発明の分割型不溶性電極の他の例を示す展開平面図である。
　【図５】
　本発明の分割型不溶性電極の他の例を示す展開平面図である。
　【図６】
　本発明の分割型不溶性電極の他の例を示す展開平面図である。
　【図７】
　本発明の分割型不溶性電極の他の例を示す展開平面図である。
　【図８】
　本発明の分割型不溶性電極の他の例を示す展開平面図である。
　【図９】
　本発明における電気めっき法を説明するための正面図である。
　【符号の説明】
　１０　分割型不溶性電極
　１　　電極短片
　２　　ブスバー
　３　　ボルト・ナット
　５　　バックプレート
　７　　陰極ドラム
　８　　銅箔