【事件の表示】
　特許第３１８７９３７号「廃ガス処理用吸着剤及びそれを使用する廃ガス処理方法」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１８７９３７号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件の経緯
　本件特許第３１８７９３７号は、平成４年６月２日の出願であって、平成１３年５月１１日（公報発行平成１３年７月１６日）に設定登録され、平成１４年１月１６日に宮崎厚から特許異議の申立を受けたものであって、その後平成１４年３月２７日（発送日平成１４年４月９日）付で取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年６月１０日に訂正請求がなされ、更に平成１６年１月２６日に再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１６年１月２９日に再度の訂正請求がなされ、先の訂正請求が取り下げられたものである。
　
２．訂正の要旨
（１）訂正事項ａ：本件明細書中特許請求の範囲の請求項１の「（イ）真空下で遊離しない結晶水を持つアルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物または遷移金属化合物、（ロ）遷移金属単体、（ハ）前記（イ）の化合物または（ロ）の金属を活性炭またはゼオライトに含浸させたもの；から選択される少なくとも１種の物質からなる減圧下で用いるための腐食性ガス吸着剤。」を、「（イ）真空下で遊離しない結晶水を持つＣａＯ、（ロ）遷移金属単体、（ハ）前記（イ）の化合物または（ロ）の金属を活性炭またはゼオライトに含浸させたもの；から選択される少なくとも１種の物質からなる減圧下で用いるための腐食性ガス吸着剤。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ：本件明細書中特許請求の範囲の請求項２を削除し、請求項３の項番を「２」に繰り上げる。
（３）訂正事項ｃ：本件明細書中発明の詳細な説明の段落【0014】の「第１の廃ガス処理装置に真空下に設置されるため、それに充填される吸着剤の充分な脱気、脱水が行われなければならない。」を、「第１の廃ガス処理装置は真空下に設置されるため、それに充填される吸着剤の充分な脱気、脱水が行われなければならない。」と訂正する。
（４）訂正事項ｅ：本件明細書中発明の詳細な説明の段落【0030】の「また図１に示したような実施例においては、第１の廃ガス処理装置３をメカニカルプースタポンプ４と油回転ポンプ５との間に設置しても同等な効果が期待できる。」と「また図１に示したような実施例においては、第１の廃ガス処理装置３をメカニカルブースータポンプ４と油回転ポンプ５との間に設置しても同等な効果が期待できる。」と訂正する。
　
３．訂正の適否についての検討
（１）上記訂正事項ａは、「アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物または遷移金属化合物」を「ＣａＯ」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
　そして、「アルカリ土類金属化合物」として「ＣａＯ」を用いることは、本件明細書の段落【0023】に実施例として記載されている事項であるから、新規事項の追加に該当しない。
（２）上記訂正事項ｂは、請求項２の削除であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
（３）上記訂正事項ｃは、「廃ガス処理装置に」を「廃ガス処理装置は」と訂正するものであるが、前後の文章から「廃ガス処理装置に」では意味が通じなく、助詞の「に」が「は」の誤記であることは明確であるから、明らかな誤記の訂正を目的とする訂正に該当する。
（４）上記訂正事項ｄは、「メカニカルプースタポンプ４」を「メカニカルブースータポンプ４」と訂正するものであるが、「メカニカルプースタポンプ」は意味が通じなく、「メカニカルブースータポンプ」の誤記であることは段落【0021】や【0025】に同じ図番４として「メカニカルブースータポンプ」と記載されていることから明らかであるから、明らかな誤記の訂正を目的とする訂正に該当し、新規事項の追加に該当しない。
　また、上記訂正事項（１）〜（４）は、いずれも実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するものであるから、当該訂正は認める。
　
４．特許異議申立人の主張の概要
４−１．特許異議申立人は、下記甲第１ないし２号証を提出し、訂正前の本件請求項１ないし３に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるか、同発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号ないし同条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、さらに本件特許明細書の記載に不備があり、訂正前の本件請求項１ないし３に係る特許は、同法第１１３条第１項第２号ないし第４号の規定により取り消されるべきものである旨主張している。
　甲第１号証：特開昭６１−６１６１９号公報
　甲第２号証：「化学大辞典　５」（昭36-4-15）共立出版株式会社、第36頁「すいさんかぶつ」の項
　
５．特許異議申立人の主張についての検討
５−１．本件発明、本件明細書
　上記のとおり訂正が認められるから、本件発明及び本件明細書は、平成１６年１月２９日付訂正請求書に添付された明細書（以下「本件訂正明細書」という）及び該明細書の請求項１ないし２に記載された事項により特定された次のとおりのものである（以下「本件訂正発明１」ないし「本件訂正発明２」という）。
「【請求項１】（イ）真空下で遊離しない結晶水を持つＣａＯ、（ロ）遷移金属単体、（ハ）前記（イ）の化合物または（ロ）の金属を活性炭またはゼオライトに含浸させたもの；から選択される少なくとも１種の物質からなる減圧下で用いるための腐食性ガス吸着剤。
【請求項２】半導体製造装置等のような真空下での処理装置からの廃ガスを処理するために排気用真空ポンプで廃ガスを廃ガス処理装置に供給して処理する方式のシステムにおいて、該真空処理装置と排気用真空ポンプとの間に、請求項１に記載の吸着剤を充填した第１の廃ガス処理装置を設置し、更に真空ポンプの出口側に別の第２の廃ガス処理装置を設置して実施することを特徴とする廃ガス処理方法。」
　
５−２．明細書の記載不備について
　異議申立人は、請求項２における「細孔径」が平均細孔径、最少細孔径等どのような細孔径を示すか不明であり、また、「０．２〜１．５ｃｍ３の平均体積を有する吸着剤」は、実施例に記載がなく、当業者が実施できる程度に、発明の構成及び効果が記載されていない旨主張する。
　しかしながら、上記構成を含む請求項２は、平成１６年１月２９日付訂正請求により削除され、しかも、本件訂正発明１の「吸着剤」の細孔径や平均体積は、本件訂正明細書の段落【0018】、【0019】の記載から、当業者が吸着速度と吸着量、表面状態と吸着量を勘案して適宜選択しうるものであって、当業者は本件訂正明細書の記載に基づいて本件発明を実施できるものであり、本件訂正明細書には異議申立人が主張するような不備は存在しない。
　
５−３．新規性・進歩性について
（１）取消理由通知に引用された刊行物記載の発明
　ア．刊行物１：特開昭６１−６１６１９号公報（甲第１号証）
　ア−１．「本発明は排ガスの処理方法、特にアルミニウムやシリコン等の金属を弗素或は塩素を含むガスによってドライエッチングした際、排出されたガス中の弗素分や塩素分を有効に捕捉せしめる処理手段に係るものである。」（第1頁左欄10行〜14行）
　ア−２．「かくして本発明は、弗素分及び／又は塩素分を含有する排ガスを、酸化マグネシウム、炭酸マグネシウム、塩基性炭酸マグネシウム、炭酸ナトリウム、重炭酸ナトリウム、酸化カルシウム、珪酸カルシウムから選ばれた少なくとも一種と接触せしめることを特徴とする排ガスの処理方法を提供するにある。」（第2頁左上欄11〜16行）
　ア−３．「実施例１　アルミニウムのドライエッチング装置から排出された廃ガス・・・を、・・・充填材として顆粒状酸化マグネシウム・・・を１００ｇ充填した反応管に・・・絶対圧力０．１ｔｏｒｒなる条件で通過させた。」（第2頁右上欄18行〜左下欄8行）
　ア−４．第3頁「表１」及び「表２」には、「充填材」に、実施例３，１０として「水酸化マグネシウム」、実施例６，１３として「炭酸ナトリウム・１水塩」が例示されている。
　
（３）対比・判断
　刊行物１に記載される「水酸化マグネシウム」が「ＭｇＯ・Ｈ２Ｏ」と表現できることは甲第２号証に記載されるとおりであり、ドライエッチングから排出される弗素分及び／又は塩素分は本件補正発明１でいう「腐食性ガス」に相当する。
　また、記載ア−３によれば刊行物１に記載される充填材は減圧下で用いられている。
　したがって、上記記載を総合すれば、刊行物１には、「結晶水を持つアルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物からなる減圧下で用いるための腐食性ガス処理剤。」が記載されていると云える。
　本件補正発明１と刊行物１記載の発明とを対比すると、上記の構成で一致し、以下の点で相違する。
　相違点：排ガス処理剤が、本件訂正発明１では真空下で遊離しない結晶水を持つＣａＯからなる吸着剤であるのに対し、刊行物１記載の発明における「アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物」は結晶水を持つものの真空下で遊離するか否かは不明であり、刊行物１の「吸着法によらず、有害ガス或は腐食性ガスと反応して是を無害化」（第2頁左上欄6〜8行）なる記載からみて吸着剤として使用するものではなく、しかもアルカリ土類金属化合物としてＣａＯを用いることも記載されていない。
　そして、刊行物１ないし２には、上記相違点を示唆する記載はない。
　したがって、本件訂正発明１は、刊行物１に記載された発明とはいえないばかりか、該発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
　
　さらに、本件発明２は本件発明１を引用する発明であるから、本件発明１が刊行物１記載の発明とはいえないばかりか該発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとはいえない以上、本件発明２も、同じ理由で刊行物１記載の発明とはいえないばかりか該発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとはいえない
　したがって、本件発明１ないし３は、刊行物１ないし４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
６．結び
　以上のとおりであるから、本件請求項１ないし２に係る特許は、特許異議申立の理由および証拠によっては取り消すことができない。
　また、他に本件発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する
【異議決定日】
平成１６年４月２０日（２００４．４．２０）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
廃ガス処理用吸着剤及びそれを使用する廃ガス処理方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　（イ）
真空下で遊離しない結晶水を持つＣａＯ
　【請求項２】半導体製造装置等のような真空下での処理装置からの廃ガスを処理するために排気用真空ポンプで廃ガスを廃ガス処理装置に供給して処理する方式のシステムにおいて、該真空処理装置と排気用真空ポンプとの間に、請求項１に記載の吸着剤を充填した第１の廃ガス処理装置を設置し、更に真空ポンプの出口側に別の第２の廃ガス処理装置を設置して実施することを特徴とする廃ガス処理方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、減圧（真空）下での排気及び廃ガスの処理に適当な吸着剤、及びそれを使用する廃ガス処理方法に関する。さらに特定的には、本発明は、インライン方式での半導体製造の様に真空下で操作され、有害ガスを含む廃ガスを多量に真空ポンプで排気する真空処理装置からの排出廃ガスの真空下での処理に有用な吸着剤、及びその吸着剤を使用する廃ガス処理方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】従来この種のインライン装置からの廃ガス処理システムは、図２に示される如く、排気用真空ポンプの出口側に常圧下で運転される吸着剤充填処理ユニットを設置してなるものであった。
　【０００３】またインライン方式以外の分野において、ある種の特定の有害ガスを含む廃ガスを少量発生する装置からの廃ガスを処理するために、低ガス流量用の廃ガス処理装置を排気用油回転ポンプの入口側に設けることが稀に行われてきた。
　【０００４】しかしながら、上記従来のインライン方式装置からの廃ガス処理装置においては、廃ガス中に含まれる腐食性ガスによる腐食、固形物を形成する反応性ガスによる目詰まり等によって、真空ポンプが劣化したり、機能低下しやすいという、欠点があった。
　【０００５】また非インラインで使われる油回転ポンプ用の従来装置は、廃ガス処理装置自体の到達圧力が不十分で除害効率が低く、大流量の廃ガスを流すと圧力損失が大きく、インラインで長時間に渡って多量のガスを処理できないという欠点があった。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来技術における諸問題を解決し、長時間にわたりポンプの劣化及びポンプの機能低下を防止し、かつ恕限度以下にまで廃ガスを除害できる廃ガス処理方法、ならびにそれに適切な吸着剤を提供することが、本発明の主要な目的である。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】本発明の廃ガス処理方法では、有害ガスを含む廃ガスを発生させる真空処理装置（例えばインライン方式の半導体製造のためのエッチング処理装置）とその廃ガスを排出させる真空ポンプ装置の間に第１の廃ガス処理装置を設置する。この第１の廃ガス処理装置には、本発明の特徴の一つをなす特定の吸着剤を充填する。この第１の廃ガス処理装置は真空下（減圧下）で運転され、供給廃ガス中の有害ガスの一部を除害する。第１の廃ガス処理装置で処理された後の残留有害ガス含有廃ガスは、ついで真空ポンプ装置（例えば、メカニカルブースターポンプ及び油回転ポンプを直列配置）を経て、第２の廃ガス処理装置に導入され、ここで常圧下で廃ガス中の有害ガスを恕限度以下まで除害される。
　【０００８】かかる廃ガス装置システムにおける真空系統内に設置される第１の廃ガス処理装置に充填されて使用される吸着剤は、本発明の一特徴をなすものであり、
（イ）真空下で遊離（脱離）しない結晶水を持つ、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物または遷移金属化合物；
（ロ）遷移金属自体（例えばＦｅ，Ｃｕ，Ｃｏ等）；または
（ハ）上記（イ）の化合物または（ロ）の金属を活性炭またはゼオライトに含浸させたもの；の少なくとも１種である。
　【０００９】実用的には、上記吸着剤は、平均体積が０．２〜１．５ｃｍ３の粒状であり、且つ廃ガス処理装置内の圧力でのガスの平均自由行程の０．１〜１０倍の径の細孔を有するのが好ましい。
　【００１０】
　【作用】真空下で使用される第１の廃ガス処理装置では、真空ポンプの劣化に寄与する種類の活性なガスを吸着剤に吸着させ、そのような活性ガス濃度の過半、例えば５０〜９９．９９９％を除害処理させ、このような処理された廃ガスが真空ポンプに入るようにする。なかでも真空ポンプの劣化に大きく影響する非常に活性なガスは可及的に低減させるのが好ましい。但し、全ての種類の有害ガスを恕限度以下にまで、第１の廃ガス処理装置で除害することはしない。例えば真空ポンプの劣化に余り影響を与えない有害ガスは第１の廃ガス処理装置では、余り吸着除害せずに、第２の廃ガス処理装置で吸着除害するようにでき、このようにすることは第１及び第２の処理装置の吸着負荷のバランスのため望ましい。
　【００１１】第１の廃ガス処理装置を通過した低濃度の残留有害ガスを含む廃ガスは、次に真空ポンプを経て第２の廃ガス処理装置に入り、ここで常圧下に処理されて恕限度以下にまで除害される。
　【００１２】第２の廃ガス処理装置で使用される吸着剤は従来技術の吸着剤であってよく、所望により本発明による吸着剤を使用することもできる。
　【００１３】第１の廃ガス処理装置及びその吸着剤について以下詳細に説明する。第１の廃ガス処理装置では完全除害を行われないで、吸着剤の層高を大きくする必要が無いため、ポンプの排気速度を損なわないコンダクタンスで、実用可能な装置の大きさが実現でき、かつ使用期間も長くとれる。また第１の処理装置により有害ガス濃度を可成り低下させているため、第２の廃ガス処理装置の破過までの使用期間もそれに応じて長くなり、かつ第２の処理装置本体の寿命も大幅に延長される。
　【００１４】第１の廃ガス処理装置
は
　【００１５】真空中でも遊離しない結晶水を持つアルカリ金属、アルカリ土類金属又は、遷移金属の化合物は、有害ガスと加水分解反応、中和反応、酸化還元反応等を単独又は同時に起こし、除害を行う。
　【００１６】第１の廃ガス処理装置で使用する吸着剤の具体例としては、Ｋ２Ｏ・Ｈ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ・Ｈ２Ｏ，ＣａＯ・Ｈ２Ｏ、Ａｌ２Ｏ３・３Ｈ２Ｏ、ＡｌＫ（ＳＯ４）２・１２Ｈ２Ｏ、ＭｇＯ・Ｈ２Ｏ、ＣｏＳＯ４・７Ｈ２Ｏ、Ｆｅ２Ｏ３・Ｈ２Ｏ、ＣｕＳＯ４・Ｈ２Ｏ等；Ｆｅ、Ｃｕ、Ｃｏ等の単体；あるいは上記化合物を活性炭またはゼオライトに含浸、担持させたもの；等を挙げることができる。特に好ましいものとして、結晶水をそれぞれ含むＫ２Ｏ、ＣａＯ及びＡｌ２Ｏ３の混合物を挙げることができる。
　【００１７】これらの材料を、真空下でガスを吸着しやすくそして排気速度を損なわないような、構造にして第１の廃ガス処理装置に充填する。排気速度の低下を防止するため、ポンプの排気速度の０．１倍〜１０倍のコンダクタンス値となるよう、吸着剤の充填形状を選ぶ。コンダクタンスが小さいと系の排気速度を大きく低下させるので、コンダクタンスは大きい方が好ましい。しかし大きくするためには装置寸法を大きくすることになる。上記範囲のコンダクタンスを選ぶことで実用的装置となっている。
　【００１８】コンダクタンスは充填される吸着剤の粒の形状によっても変化する。吸着剤の粒を大きくするとコンダクタンスは大きくなるが、吸着速度及び吸着量は小さくなる。充填密度が低下するためである。反対に吸着剤の粒を小さくすると吸着速度、と吸着量は大きくなるが、コンダクタンスの低下を招く。実用上の要求から吸着剤の粒は、平均体積をほぼ０．２〜１．５ｃｍ３としたものが一般的には最も適している。
　【００１９】吸着剤の表面状態によっても、吸着力、吸着量が変化する。第１の廃ガス処理装置無圧力でのガスの平均自由行程のほぼ０．１倍〜１０倍の径の細孔を吸着剤に持たせると吸着性能の大幅な改善が見られる。
　【００２０】真空装置の到達圧力に影響する要因として吸着剤のガス放出量がある。ガス放出量を、装置の到達圧力に影響しない程度に小さく抑えるように吸着剤の脱ガス処理を行うべきである。本発明による上記吸着剤は、第１の廃ガス処理装置への充填の前または後に充分に脱ガス処理を行うことができるから、廃ガスの吸引排出のための真空ポンプによる到達圧力にほとんどまたは全く影響しない程度のガス放出量に低減できる。
　【００２１】
　【実施例】以下、添付図を参照して、本発明を具体的実施例によりさらに説明する。図１は、本発明をドライエッチング装置に適応した場合の実施例フローシートである。システムの構成を先ず述べる。ガス導入口１から、ＣＦ４とＯ２ガスがドライエッチング装置２に導入され、物理的及び化学的作用によって、エッチングが起こり、ＨＦ、Ｆ２等の有害ガスが生成される。これらを含んだ廃ガスは第１の廃ガス処理装置３を通してメカニカルブースターポンプ４、油回転ポンプ５によって排気される。ポンプから排出されたガスは第２の廃ガス処理装置６により恕限度以下にまで除害され、大気放出される。なお第２の廃ガス処理装置６は特願昭６１−２７８３４９号明細書に記載の装置を使用した。
　【００２２】次に、第１の廃ガス処理装置の条件及び詳細構成を述べる。第１の廃ガス処理装置内の圧力は、ガスを流さないとき約１０−５トール、ガスを流した状態で、１トール付近のとき、その圧力損失は０．５０〜０．０１トールの結果を得た。このために、吸着剤形状は、平均で直径２ｍｍ長さ１０ｍｍの細長柱形状でその表面に０．１ｍｍ以下の多数の細孔を持つポーラス構造とし、充填層の形状は、直径３００ｍｍ高さ２００ｍｍとした。
　【００２３】結晶水を含むアルカリ土類金属酸化物の（ＣａＯ・Ｈ２Ｏ）を吸着剤として使用した。
　【００２４】ガス放出量は上記薬剤の脱ガス処理を行い、１０−４ｓｃｃｍ以下にできた。
　【００２５】上記実施例装置により、インラインのエッチング装置にて３ヶ月の使用に耐え得る結果を得た。表１に運転初期及び３ヶ月経過後に、図１中のＡ、Ｂ及びＣにおいて実施したガス分析（Ｆ２及び酸性物質）に基づく廃ガス処理性能試験結果を示す。ここに示すように、位置Ｂ（第１廃ガス処理装置３出口）において恕限度以下まで除害することは困難であるが、同位置においては３ヶ月後であっても、有害ガスの５０％以上を除害処理することができ、顆粒の第２の廃ガス処理装置６までの経路の途中にあるメカニカルブースターポンプ４、油回転ポンプ５、配管等の保護のために効果的である。
　【００２６】比較の目的で上記と同一の装置を用い、同一の条件の下で、但し第１の廃ガス処理装置用吸着剤として結晶水を含まないＣａＯをもちいて試験を繰り返したところ、吸着性能は半分以下に低減した。
　【００２７】
　【表１】
　【００２８】吸着剤として、真空下で脱離しない結晶水を含むその他のアルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、遷移金属化合物；これらを活性炭、ゼオライトに含浸、担持させたもの；を用いて上記の実験を繰返したときにＣａＯ・Ｈ２Ｏ吸着剤と同様な吸着性能及び寿命が得られた。
　【００２９】かくして本発明によれば、従来の廃ガス処理方法及び装置と比較して、排気用真空ポンプの性能劣化により、そのメインテナンスが必要になるまでの期間を大幅に延長できる。
　【００３０】本発明によれば、第１の廃ガス処理装置での有害ガスの除害は、排気真空ポンプの劣化を有意に遅延させるような部分的なものであればよいから、第１の廃ガス処理装置にバイパスライン、パージライン等を取り付けて、廃ガス流の一部分が第１の廃ガス処理装置に供給されない状態で本発明方法を有効に実施することが可能である。また図１に示したような実施例においては、第１の廃ガス処理装置３をメカニカル
ブースター
　【００３１】従来の技術では腐食性あるいは活性の高いガスがそのまま排気用真空ポンプ内に直接に吸気され、真空ポンプ油が激しく劣化したり、場合によっては、活性の強いガス（例えばフッ素等）が真空ポンプ油と瞬間的に反応し、爆発を生じる危険もあった。本発明によればそのような有害ないし危険なガスは、第１の廃ガス処理装置で予め安全な低濃度にまで除害される。
　【００３２】さらには、従来の技術では真空ポンプに使用されているガスケットが有害ガスによって劣化し、油漏れの原因にもなったが、本発明によればそのようなガスケットの寿命が大幅に延長される。
　【００３３】さらに従来の技術では、排気用真空ポンプの出口側に設置された廃ガス処理装置に高濃度の有害、活性ガスが供給されるために温度が上昇し、それにより腐食や損傷が一段と進行した。しかるに本発明では第１及び第２の廃ガス処理装置の間で処理負荷が分担されるので、高温度の発生を有効に防ぐことができる。
　【００３４】
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明方法の実施例フローシート
　【図２】従来方法のフローシート
　【符号の説明】
　１　　ガス導入ライン
　２　　半導体製造ドライエッチング装置
　３　　第１の廃ガス処理装置
　４　　メカニカルブースターポンプ
　５　　油回転真空ポンプ
　６　　第２の廃ガス処理装置
　Ａ，Ｂ及びＣ　ガス分析試料採取場所
　１１　ガス導入ライン
　１２　廃ガス発生真空処理装置
　１３　真空ポンプ
　１４　排ガス処理装置