(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部と、
第１方向に沿って振動する駆動部と、
前記固定部と前記駆動部とを接続している第１梁部と、
前記駆動部に作用するコリオリ力により前記第１方向に直交する第２方向に沿って振動する検出部と、
前記駆動部と前記検出部とを接続している第２梁部と、
前記駆動部との間に前記第２方向に沿った静電引力を生じさせる補償用電極と、を有し、
前記駆動部は、前記補償用電極側に開口する孔または凹部で構成された複数の非電極部を有し、前記複数の非電極部は、前記第１方向に沿って並んでおり、
前記補償用電極は、前記第１方向に沿って並んでいる複数の電極部を有していることを特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
前記電極部は、前記第２方向から見たときに、初期状態にある前記非電極部内に内包されている請求項１に記載の物理量センサー。
【請求項３】
前記非電極部は、前記第１方向および前記第２方向の双方に直交する方向に沿ったスリット状をなしている請求項１または２に記載の物理量センサー。
【請求項４】
前記電極部は、前記第１方向および前記第２方向の双方に直交する方向に沿ったスリット状をなしている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項５】
前記補償用電極を支持する凸部を有する支持基板を備えている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項６】
前記補償用電極は、前記第１方向に沿って１対設けられている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項７】
前記補償用電極と前記駆動部との間に直流電圧を印加する電源部を備えている請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項９】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサー、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、振動デバイスとして、例えばシリコンＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用いた機能素子が開発されている。そして、この機能素子の一例としてのジャイロ素子を用いて角速度を検出するジャイロセンサーが知られている。
【０００３】
このようなジャイロセンサーの一例として、例えば特許文献１には、互いに直交する３つの軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）のうちＸ−Ｙ面に設けられた２つのマス（駆動部）と、これを支持する支持基板と、２つのマスを支持基板に振動可能に支持するサスペンションスプリングと、２つのマスの振動を検出する検出プレート（電極部）と、２つのマスを駆動させる駆動手段と、を備えたジャイロセンサーについて開示されている。
【０００４】
この特許文献１に記載されたジャイロセンサーは、２つのマスがＸ軸方向に沿って互いに反対方向に振動している状態で、マスにＹ軸まわりの角速度が加わると、Ｚ軸方向にコリオリ力が作用してマスがＺ軸方向に振動する。これにより、マスと検出プレートとの離間距離が変化することにより、これらの間の静電容量が変化する。このような静電容量の変化に基づいてＹ軸周りの角速度を検知することができる。
【０００５】
また、特許文献１に記載されたジャイロセンサーは、ステアリング電圧部材を有しており、このステアリング電圧部材によって、マスに加わる不要振動を低減することが開示されている。具体的には、２つのマスに対して、Ｚ軸方向に隣接して設けられたステアリング電圧部材により、マスをステアリング電圧部材の方向に静電気的に引き付けることで、マスのＺ軸方向の加わる不要振動を減少させている。
【０００６】
しかしながら、引用文献１に記載されたジャイロセンサーでは、Ｚ軸方向から見たステアリング電圧部材とマスとの重なる面積が小さいため、これらの間に生じる静電引力が小さくなってしまう。そのため、マスのＺ軸方向の運動を十分に抑えることができず、その結果、ジャイロセンサーの検出特性（精度）が低下してしまうという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−３０４０９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、優れた検出特性を有する物理量センサー、この物理量センサーを備えた電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００１０】
［適用例１］
本適用例に係る物理量センサーは、固定部と、
第１方向に沿って振動する駆動部と、
前記固定部と前記駆動部とを接続している第１梁部と、
前記駆動部に作用するコリオリ力により前記第１方向に直交する第２方向に沿って振動する検出部と、
前記駆動部と前記検出部とを接続している第２梁部と、
前記駆動部との間に前記第２方向に沿った静電引力を生じさせる補償用電極と、を有し、
前記駆動部は、前記補償用電極側に開口する孔または凹部で構成された複数の非電極部を有し、前記複数の非電極部は、前記第１方向に沿って並んでおり、
前記補償用電極は、前記第１方向に沿って並んでいる複数の電極部を有していることを特徴とする。
【００１１】
これにより、第２方向から見たとき、駆動部と電極部との重なる面積を、従来のこれらの重なる面積に比べて大きくすることができる。そのため、駆動部と電極部との間に生じる静電引力を大きくすることできるので、例えば、第１梁部の加工精度に起因した駆動部の振動に伴って検出部が第２方向成分を持って振動してしまう不要振動を十分に（効率的に）低減することができる。その結果、物理量センサーは、優れた振動特性を発揮することができる。
【００１２】
［適用例２］
本適用例に係る物理量センサーでは、前記電極部は、前記第２方向から見たときに、初期状態にある前記非電極部内に内包されていることが好ましい。
【００１３】
これにより、駆動部が初期状態、すなわち駆動部が第１方向に沿って振動していない状態にあるとき、駆動部と電極部との間に静電引力が生じることを低減することができる。そのため、駆動部が初期状態にあるとき、駆動部と電極部との間のギャップが極めて小さくなる。すなわち意図していない前記第２方向に沿った運動や、さらにはこれらの間の静電引力が急激に増加するプルイン現象が生じて駆動部と電極部が静電引力により引き合い、接触することを防ぐことができる。
【００１４】
［適用例３］
本適用例に係る物理量センサーでは、前記非電極部は、前記第１方向および前記第２方向の双方に直交する方向に沿ったスリット状をなしていることが好ましい。
【００１５】
これにより、駆動部に非電極部を効率的に配置することができ、その結果、物理量センサーの大型化を防ぐことができる。
【００１６】
［適用例４］
本適用例に係る物理量センサーでは、前記電極部は、前記第１方向および前記第２方向の双方に直交する方向に沿ったスリット状をなしていることが好ましい。
【００１７】
これにより、駆動部が変位したときに電極部と駆動部との重なる面積をより大きくすることができる。
【００１８】
［適用例５］
本適用例に係る物理量センサーでは、前記補償用電極を支持する凸部を有する支持基板を備えていることが好ましい。
【００１９】
これにより、駆動部と補償用電極が備える電極部との間の距離をより小さくすることができるため、駆動部と電極部との間に生じる静電引力をより増大させることができる。その結果、不要振動をより低減することができる。
【００２０】
［適用例６］
本適用例に係る物理量センサーでは、前記補償用電極は、前記第１方向に沿って１対設けられていることが好ましい。
【００２１】
これにより、不要振動の例えば方向や大きさ等の発生特性に応じて、１対の補償用電極のうち、必要な一方の補償用電極のみを選択して用いることができる。
【００２２】
［適用例７］
本適用例に係る物理量センサーでは、前記補償用電極と前記駆動部との間に直流電圧を印加する電源部を備えていることが好ましい。
これにより、交流電圧を用いる場合に比べて、物理量センサーの構成を簡単にできる。
【００２３】
［適用例８］
本適用例の電子機器は、本適用例の物理量センサーを備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器を提供することができる。
【００２４】
［適用例９］
本適用例の移動体は、本適用例の物理量センサーを備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１に示すセンサー素子の拡大平面図である。
【図４】図１に示す駆動部がＸ軸方向に沿って変位したときの検出部の状態を説明するための図である。
【図５】図１に示す駆動部がＸ軸方向に沿って変位したときの検出部の状態を説明するための図である。
【図６】図１に示す駆動部のＸ軸方向に沿った変位を説明するための図である。
【図７】図１に示す駆動部がＸ軸方向に沿って変位したときの駆動部と補償用電極との位置関係を説明するための図である。
【図８】図１に示す補償用電極の作用を説明するための図である。
【図９】本発明の物理量センサーの第１参考例を示す平面図である。
【図１０】図９中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１１】本発明の物理量センサーの第２参考例を示す平面図である。
【図１２】図１１中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１３】本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図１４】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１５】本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図１６】本発明の移動体を適用した自動車を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の物理量センサー、電子機器および移動体を添付図面に示す好適実施形態および参考例に基づいて詳細に説明する。
【００２７】
１．物理量センサー
≪第１実施形態≫
まず、物理量センサー１０について説明する。
【００２８】
図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。図３は、図１に示すセンサー素子の拡大平面図である。図４および図５は、図１に示す駆動部がＸ軸方向に沿って変位したときの検出部の状態を説明するための図である。図６は、図１に示す駆動部のＸ軸方向に沿った変位を説明するための図である。図７は、図１に示す駆動部がＸ軸方向に沿った変位したときの駆動部と補償用電極との位置関係を説明するための図である。図８は、図１に示す補償用電極の作用を説明するための図である。
【００２９】
なお、図１〜図８では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、以下では、Ｘ軸（第１軸）に平行な方向を「Ｘ軸方向（第１方向）」、Ｙ軸（第３軸）に平行な方向を「Ｙ軸方向（第３方向）」、Ｚ軸（第２軸）に平行な方向を「Ｚ軸方向（第２方向）」と言う。また、以下の説明では、説明の便宜上、図２中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図１、図３および図７中の右側を「右」、左側を「左」と言う。また、図１では、パッケージ２が備える蓋部材２２および第１、第２電源部７１、７２の図示を省略している。
【００３０】
図１および図２に示す物理量センサー１０は、本発明の物理量センサーの一例であり、Ｙ軸まわりの角速度を検出するジャイロセンサーである。
【００３１】
この物理量センサー１０は、パッケージ２と、パッケージ２に収容された２つのセンサー素子１Ａ、１Ｂと、第１電源部（電源部）７１、第２電源部（電源部）７２とを有している。
【００３２】
＜パッケージ＞
図２に示すように、パッケージ２は、センサー素子１Ａ、１Ｂを収納する部材であり、支持基板２１と、支持基板２１上に設けられた板状の蓋部材２２とを有している。
【００３３】
支持基板２１には、上面に開口した凹部２１１Ａ、２１１Ｂが形成されている。具体的には、支持基板２１は、底部２１２と、底部２１２の外縁部から立設した側壁部２１３と、底部２１２の中央部から立設した中央壁部２１４とを有し、これらにより、凹部２１１Ａと凹部２１１Ｂとが形成されている。このような凹部２１１Ａ上にセンサー素子１Ａが設けられ、凹部２１１Ｂ上にセンサー素子１Ｂが設けられている。
【００３４】
また、底部２１２には、４つの凸部２１５が設けられている。４つの凸部２１５のうち２つの凸部２１５は、凹部２１１Ａ内に、互いにＸ軸方向に並んで設けられ、残り２つの凸部２１５は、凹部２１１Ｂ内に、互いにＸ軸方向に並んで設けられている。なお、図示では、底部２１２と各凸部２１５とは、別体で形成された後に接着剤等を介して接合されたものであるが、これらは一体で形成されたものであってもよい。
【００３５】
このような構成の支持基板２１の上面に蓋部材２２が接合されている。蓋部材２２には、下面に開口している凹部２２１が形成されている。蓋部材２２が支持基板２１に接合されることにより、凹部２２１と凹部２１１Ａ、２１１Ｂとで、センサー素子１Ａ、１Ｂを気密的に収納する収納空間Ｓが形成されている。なお、収納空間Ｓは、例えば、真空状態となっている。
【００３６】
このような支持基板２１および蓋部材２２の構成材料としては、特に限定されず、例えば、シリコン材料、ガラス材料、セラミックス材料等を用いることができる。
【００３７】
＜センサー素子＞
図１および図２に示すように、センサー素子１Ａ、１Ｂは、Ｘ軸方向に並んで設けられている。
【００３８】
図１に示すように、センサー素子１Ａ、１Ｂは、それぞれ、Ｘ−Ｙ面内に設けられた振動体３と、振動体３をＸ軸方向に振動（駆動）させる駆動機構４と、振動体３の振動を検出する検出機構５と、振動体３の不要振動を低減する２つ（１対）の補償用電極６１、６２と、を有している。
【００３９】
なお、以下に、センサー素子１Ａ、１Ｂについて説明するが、センサー素子１Ａ、１Ｂの構成は同様であるため、以下では、センサー素子１Ａの構成について代表に説明し、センサー素子１Ｂの構成については省略する。ただし、センサー素子１Ｂは、Ｚ軸方向から見て、センサー素子１Ａに対して、図１に示すＹ軸方向に沿った軸Ｄ（物理量センサー１０のＹ軸方向に沿った中心線）を境に対称に配置されている。
【００４０】
（振動体）
図３に示すように、振動体３は、枠状の駆動部３１と、駆動部３１を支持する固定部３２１、３２２、３２３、３２４と、駆動部３１と固定部３２１、３２２、３２３、３２４とを連結する第１梁部３３１、３３２、３３３、３３４と、駆動部３１の内側に設けられた２つの検出部３４１、３４２と、検出部３４１と駆動部３１とを連結する第２梁部３５１、３５２と、検出部３４２と駆動部３１とを連結する第２梁部３５３、３５４と、駆動部３１に設けられた可動電極部３６と、で構成されている。
【００４１】
本実施形態の振動体３は、導電性を有し、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされたシリコン基板から形成されており、駆動部３１、固定部３２１、３２２、３２３、３２４、第１梁部３３１、３３２、３３３、３３４、検出部３４１、３４２、第２梁部３５１、３５２、３５３、３５４および可動電極部３６が一体的に形成されている。
【００４２】
――駆動部――
駆動部３１は、Ｚ軸方向から見て枠状をなしている。具体的には、駆動部３１は、Ｘ軸方向に延在する１対のＸ軸方向延在部３１３、３１４と、Ｙ軸方向に延在し、Ｘ軸方向延在部３１３、３１４を連結する１対のＹ軸方向延在部３１１、３１２とで構成されている。
【００４３】
また、Ｙ軸方向延在部３１１には、Ｙ軸方向に沿った長尺状の２つのスリット（非電極部）３１５が形成されている。２つのスリット３１５は、Ｘ軸方向に間隔を空けて並んで設けられ、それぞれ、Ｙ軸方向延在部３１１の厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通している。また、２つのスリット３１５は、互いにほぼ同じ幅（Ｘ軸方向の長さ）Ｗ１で形成されている。各スリット３１５の幅Ｗ１は、駆動部３１がＸ軸方向に振動する際のＸ軸方向の変位量、すなわち、駆動部３１の振幅と同程度である。
【００４４】
このようなＹ軸方向延在部３１１は、Ｙ軸方向に延在した３つの長尺部３１６を有し、これら３つの長尺部３１６のそれぞれの間に、２つのスリット３１５が形成されている。
【００４５】
３つの長尺部３１６は、互いにほぼ同じ幅（Ｘ軸方向の長さ）Ｗ２で形成されている。また、各長尺部３１６の幅Ｗ２は、スリット３１５の幅Ｗ１とほぼ等しく形成されている。そのため、各長尺部３１６の幅Ｗ２は、駆動部３１のＸ軸方向の変位量（振幅）と同程度である。
【００４６】
なお、本実施形態では、長尺部３１６の幅Ｗ２は、スリット３１５の幅Ｗ１と同程度であるが、スリット３１５の幅Ｗ１と異なっていてもよい。ただし、幅Ｗ１、Ｗ２の関係は、例えば０．８≦Ｗ１／Ｗ２≦２であるのが好ましい。Ｗ１／Ｗ２が大き過ぎると、振動体３の大型化を招き、Ｗ１／Ｗ２が小さすぎると、後述する補償用電極６１、６２により振動体３（より具体的には検出部３４１、３４２）の不要振動を低減する機能が若干低下する可能性がある。
【００４７】
また、本実施形態では、スリット３１５の幅Ｗ１および長尺部３１６の幅Ｗ２は、それぞれ、駆動部３１のＸ軸方向の変位量と同程度であるが、駆動部３１のＸ軸方向の変位量と異なっていても構わない。
【００４８】
また、図３に示すように、Ｙ軸方向延在部３１２の構成も、前述したＹ軸方向延在部３１１の構成と同様である。すなわち、Ｙ軸方向延在部３１２にはＹ軸方向に沿った長尺状の２つのスリット３１５が形成されており、Ｙ軸方向延在部３１２は３つの長尺部３１６を有している。なお、Ｙ軸方向延在部３１２のスリット３１５や長尺部３１６の構成は、上述したＹ軸方向延在部３１１のスリット３１５や長尺部３１６の構成と同様である。
【００４９】
――固定部――
図３に示すように、固定部３２１、３２２、３２３、３２４は、それぞれ、駆動部３１の角部に対応して配置されている。これら固定部３２１、３２２は、それぞれ、側壁部２１３の上面に接合されている。また、固定部３２３、３２４は、中央壁部２１４の上面に接合されている。
【００５０】
――第１梁部――
図３に示すように、第１梁部３３１、３３２、３３３、３３４は、固定部３２１、３２２、３２３、３２４に対して駆動部３１をＸ軸方向に振動可能とするように駆動部３１と固定部３２１、３２２、３２３、３２４とを連結する。
【００５１】
第１梁部３３１は、駆動部３１の左上の角部と固定部３２１とを連結し、第１梁部３３２は、駆動部３１の左下の角部と固定部３２２とを連結し、第１梁部３３３は、駆動部３１の右下の角部と固定部３２３とを連結し、第１梁部３３４は、駆動部３１の右上の角部と固定部３２４とを連結する。
【００５２】
これら第１梁部３３１、３３２、３３３、３３４は、それぞれ、Ｙ軸方向に往復してＸ軸方向に延びた蛇行状をなしている。第１梁部３３１、３３２、３３３、３３４をこのような形状とすることにより、第１梁部３３１、３３２、３３３、３３４がＸ軸方向に変形（伸縮）し易く、Ｙ軸方向に変形し難いものとなる。このような第１梁部３３１、３３２、３３３、３３４によれば、駆動部３１をＸ軸方向により正確に振動させることができる。
【００５３】
――検出部――
図３に示すように、検出部３４１、３４２は、それぞれ板状をなしている。また、検出部３４１、３４２は、それぞれ、駆動部３１の内側に駆動部３１と離間して設けられている。また、検出部３４１、３４２は、それぞれ、Ｚ軸方向から見て、Ｘ軸方向を長手方向とする矩形状をなし、互いに離間してＹ軸方向に並んで設けられている。
また、このような検出部３４１、３４２は、後述する検出機構５の一部を兼ねている。
【００５４】
――第２梁部――
図３に示すように、第２梁部３５１、３５２は、駆動部３１に対して検出部３４１をＺ軸方向に振動可能とするように検出部３４１と駆動部３１とを連結している。同様に、第２梁部３５３、３５４は、駆動部３１に対して検出部３４２をＺ軸方向に振動可能とするように検出部３４２と駆動部３１とを連結している。
【００５５】
第２梁部３５１は、検出部３４１の左上の角部と駆動部３１とを連結し、第２梁部３５２は、検出部３４１の右上の角部と駆動部３１とを連結している。このように検出部３４１の２つの角部に第２梁部３５１、３５２が連結していることにより、第２梁部３５１、３５２により駆動部３１に連結された検出部３４１は、第２梁部３５１、３５２を支点にしてＺ軸方向に振動可能となっている。
【００５６】
同様に、第２梁部３５３は、検出部３４２の左下の角部と駆動部３１とを連結し、第２梁部３５４は、検出部３４２の右下の角部と駆動部３１とを連結している。このように第２梁部３５３、３５４により駆動部３１に連結された検出部３４２は、第２梁部３５３、３５４を支点にしてＺ軸方向に振動可能となっている。
【００５７】
――可動電極部――
図３に示すように、可動電極部３６は、駆動部３１からＹ軸方向に延在した６つの可動電極指３６１を有している。
【００５８】
６つの可動電極指３６１のうち３つの可動電極指３６１は、Ｘ軸方向延在部３１３から＋Ｙ軸方向に延出しており、櫛歯状をなすようにＸ軸方向に一定の間隔で並んでいる。また、６つの可動電極指３６１のうち残りの３つの可動電極指３６１は、Ｘ軸方向延在部３１４から−Ｙ軸方向に延出しており、櫛歯状をなすようにＸ軸方向に一定の間隔で並んでいる。
また、このような可動電極部３６は、後述する駆動機構４の一部を兼ねている。
【００５９】
（駆動機構）
図３に示すように、駆動機構４は、第１固定電極部（固定電極部）４１と、第２固定電極部（固定電極部）４２と、前述した振動体３が備える可動電極部３６と、を有している。
【００６０】
第１固定電極部４１は、Ｙ軸方向に沿った長尺状の第１固定電極指４１１を４つ有している。
【００６１】
４つの第１固定電極指４１１は、それぞれ可動電極指３６１の一方側（−Ｘ方向側）に配置され、対応する可動電極指３６１に対して間隔を隔てて噛み合う櫛歯状をなすように並んでいる。また、４つの第１固定電極指４１１は、それぞれ、一方の端部が固定端として側壁部２１３の上面に接合され、他方の端部が自由端として駆動部３１側に延出して凹部２１１Ａ上に位置している。
【００６２】
第２固定電極部４２は、Ｙ軸方向に沿った長尺状の第２固定電極指４２１を４つ有している。
【００６３】
４つの第２固定電極指４２１は、それぞれ可動電極指３６１の他方側（＋Ｘ方向側）に配置され、対応する可動電極指３６１に対して間隔を隔てて噛み合う櫛歯状をなすように並んでいる。また、４つの第２固定電極指４２１は、それぞれ、一方の端部が固定端として側壁部２１３の上面に接合され、他方の端部が自由端として駆動部３１側に延出して凹部２１１Ａ上に位置している。
【００６４】
このような駆動機構４は、第１固定電極指４１１と可動電極指３６１との間、および、第２固定電極指４２１と可動電極指３６１との間に交互に電圧を印加することにより、これらの間に所定の周波数で静電引力を生じさせる。これにより、可動電極指３６１がＸ軸方向に往復動（振動）し、よって、駆動部３１をＸ軸方向に振動させる。
【００６５】
なお、以下では、図３に示すような駆動部３１がＸ軸方向に沿って振動していない静止状態（自然状態）を「非駆動状態（初期状態）」と言い、駆動部３１がＸ軸方向に振動（駆動）した状態を「駆動状態」と言う。
【００６６】
（検出機構）
図２および図３に示すように、検出機構５は、前述した振動体３が備える検出部３４１、３４２と、底部２１２上に設けられた検出電極５１、５２と、を有している。
【００６７】
検出電極５１は、検出部３４１とＺ軸方向に離間して設けられ、検出電極５２は、検出部３４２とＺ軸方向に離間して設けられている。
【００６８】
また、検出電極５１は、Ｚ軸方向から見て、検出部３４１の縁部を除く中央部と重なり、検出部３４１に内包されるように設けられている。同様に、検出電極５２は、Ｚ軸方向から見て、検出部３４２の縁部を除く中央部と重なり、検出部３４２に内包されるように設けられている。
【００６９】
検出電極５１、５２の構成材料としては、それぞれ、導電性を有していれば特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料や、ＩＴＯ、ＺｎＯ等の電極材料等が挙げられる。
【００７０】
このような検出機構５は、検出電極５１と検出部３４１との間、および、検出電極５２と検出部３４２との間の各離間距離の変化に応じたこれらの間の静電容量の変化量を検出する。
【００７１】
（補償用電極）
図２および図３に示すように、補償用電極６１（一方の補償用電極）は、駆動部３１のＹ軸方向延在部３１１に対応して設けられ、補償用電極６２（他方の補償用電極）は、Ｙ軸方向延在部３１２に対応して設けられている。
【００７２】
補償用電極６１は、Ｙ軸方向に延在した帯状（長尺状）をなす２つ（１対）の電極部６１１を有している。２つの電極部６１１は、それぞれ、支持基板２１の凸部２１５の上面に形成されており、これらは互いにＸ軸方向に離間している。また、２つの電極部６１１は、それぞれ、Ｙ軸方向延在部３１１の下方に位置し、Ｙ軸方向延在部３１１とＺ軸方向に離間して設けられている。
【００７３】
また、２つの電極部６１１は、それぞれ、そのＺ軸方向から見た形状がスリット３１５の形状と相似形であり、その平面積がスリット３１５の平面積よりも小さく形成されている。このような２つの電極部６１１は、それぞれ、その長手方向がスリット３１５の長手方向と平行に配置され、Ｚ軸方向から見てスリット３１５に内包されるように設けられている。
【００７４】
このような補償用電極６１は、駆動部３１の駆動時に、Ｙ軸方向延在部３１１と電極部６１１との間に、静電引力を生じさせることで、駆動部３１に連れて振動する検出部３４１、３４２にそれぞれ生じる不要振動を低減させる機能を有している。
【００７５】
また、図３に示すように、補償用電極６２の構成も、前述した補償用電極６１の構成と同様である。すなわち、補償用電極６２は、Ｙ軸方向に延在した帯状（長尺状）をなす２つ（１対）の電極部６２１を有している。なお、電極部６２１の構成は、上述した電極部６１１の構成と同様である。
【００７６】
＜電源部＞
図２に示すように、第１電源部（電源部）７１はセンサー素子１Ａに接続され、第２電源部（電源部）７２はセンサー素子１Ｂに接続されている。
【００７７】
具体的には、第１電源部７１は、センサー素子１Ａが備える振動体３と１対の補償用電極６１、６２とに接続されており、Ｙ軸方向延在部３１１、３１２とこれに対応する補償用電極６１、６２との間に静電引力を生じさせることができる。
【００７８】
同様に、第２電源部７２は、センサー素子１Ｂが備える振動体３と１対の補償用電極６１、６２とに接続されており、Ｙ軸方向延在部３１１、３１２とこれに対応する補償用電極６１、６２との間に静電引力を生じさせることができる。
【００７９】
また、本実施形態では、第１電源部７１および第２電源部７２は、それぞれ、１対の補償用電極６１、６２のうちいずれか一方に直流電圧を印加できるよう構成されている。
以上、物理量センサー１０の構成について簡単に説明した。
【００８０】
このような構成の物理量センサー１０は、下記のようにして物理量センサー１０にＹ軸周りに加わる角速度を検出する。
【００８１】
まず、第１、第２電源部７１、７２によって、センサー素子１Ａ、１Ｂがそれぞれ備える第１固定電極指４１１と可動電極指３６１との間、および、第２固定電極指４２１と可動電極指３６１との間に交互に電圧を印加して、可動電極指３６１をＸ軸方向に往復動する。これにより、所定の周波数で駆動部３１を＋Ｘ軸方向および−Ｘ軸方向に交互に変位させる、すなわち、駆動部３１をＸ軸方向に振動（駆動）させる。
【００８２】
ここで、前述したように、センサー素子１Ａ、１Ｂは、図１に示す軸Ｄを境にして対照に配置されている。このため、前記のように電圧を印加すると、センサー素子１Ａが備える駆動部３１とセンサー素子１Ｂが備える駆動部３１とは、それぞれ所定の周波数で互いに逆相（逆位相）で振動する、すなわち、Ｘ軸に沿って互いに反対方向に変位する。
【００８３】
例えば、図１に示すように、センサー素子１Ａが備える駆動部３１がα１方向（−Ｘ軸方向）へ変位しているとき、センサー素子１Ｂが備える駆動部３１がα２方向（＋Ｘ軸方向）へ変位する。また、例えば、センサー素子１Ａが備える駆動部３１がβ１方向（＋Ｘ軸方向）へ変位しているとき、センサー素子１Ｂが備える駆動部３１がβ２方向（−Ｘ軸方向）へ変位する。
【００８４】
このようにセンサー素子１Ａ、１Ｂが備える各駆動部３１を互いに逆相で振動された状態で、物理量センサー１０にＹ軸方向まわりの角速度が加わると、各駆動部３１にＺ軸方向のコリオリ力が働く。これに連れて各検出部３４１、３４２もＺ軸方向に変位する。例えば、センサー素子１Ａが備える検出部３４１、３４２と、センサー素子１Ｂが備える検出部３４１、３４２とでは、図４または図５に示すように、コリオリ力の向きが逆に働き、これらはＺ軸に沿って互いに反対方向に変位する。
【００８５】
図４に示す例では、センサー素子１Ａが備える検出部３４１、３４２は、図４（ａ）に示すように、それぞれ＋Ｚ軸方向に変位し、センサー素子１Ｂが備える検出部３４１、３４２は、図４（ｂ）に示すように、それぞれ−Ｚ軸方向に変位する。また、図５に示す例では、センサー素子１Ａが備える検出部３４１、３４２は、図５（ａ）に示すように、それぞれ−Ｚ軸方向に変位し、センサー素子１Ｂが備える検出部３４１、３４２は、図５（ｂ）に示すように、それぞれ＋Ｚ軸方向に変位する。
【００８６】
このように検出部３４１、３４２が変位して検出振動することにより、検出部３４１、３４２と検出電極５１、５２との間の距離が変化するので、これらの間の静電容量が変化する。
【００８７】
そして、このような各検出部３４１、３４２と各検出電極５１、５２との間の静電容量の変化量に基づいて、物理量センサー１０に加わったＹ軸まわりの角速度に応じた容量変化を検出することができる。
【００８８】
上記のように駆動部３１がＸ軸方向に振動（駆動）するにあたり、理想的には、駆動部３１は、非駆動時の状態からＸ軸方向にほぼ平行に変位する。
【００８９】
例えば、図６（ａ）に示すように、センサー素子１Ａが有する駆動部３１がα１方向に変位するとき、理想的には、駆動部３１は、非駆動時の駆動部３１’に対してＸ軸方向にほぼ平行に変位する。
【００９０】
しかしながら、振動体３の各部、特に第１梁部３３１、３３２、３３３、３３４の加工精度等によっては、Ｘ軸方向に振動する駆動部３１に、Ｚ軸方向に振動する成分を有する斜め振動が加わってしまうことがある。そのため、例えば、図６（ｂ）に示すように、駆動部３１がα１方向に変位するとき、駆動部３１が非駆動時の駆動部３１’に対して斜めに変位することがある。なお、図示では、駆動部３１は左斜め上に変位しているが、駆動部３１は右斜め上に変位することもある。
【００９１】
このように、振動体３の各部の加工精度等に起因する駆動部３１の斜め振動により、駆動部３１が底部２１２から離間するように変位することがある。
【００９２】
そして、このような駆動部３１の斜め振動に伴って、各検出部３４１、３４２が検出振動の方向であるＺ軸方向成分を持って振動してしまうことがある。すなわち、駆動部３１の斜め振動に伴って、物理量センサー１０に角速度が加わっていないにもかかわらず、各検出部３４１、３４２にＺ軸方向成分を含む不要振動が加わってしまうことがある。
【００９３】
本実施形態では、このような各検出部３４１、３４２に加わる不要振動を補償用電極６１、６２によって低減している。
【００９４】
以下に、補償用電極６１、６２により、各検出部３４１、３４２に加わる不要振動を低減させることについて説明する。なお、上記のような各検出部３４１、３４２に加わる不要振動は、センサー素子１Ｂにおいても同様に生じることであるが、センサー素子１Ａ、１Ｂは同様の構成であるため、以下では、センサー素子１Ａについて代表して説明する。また、センサー素子１Ａが備える補償用電極６１、６２は同様の構成であるため、以下では、センサー素子１Ａが備える補償用電極６１について代表して説明する。
【００９５】
補償用電極６１は、Ｙ軸方向延在部３１１との間に静電引力を発生させて駆動部３１を底部２１２側（＋Ｚ軸方向）に引き付けることで、駆動部３１の底部２１２から離間する方向（−Ｚ軸方向）の変位を抑え、よって、検出部３４１、３４２に生じる不要振動を低減している。
【００９６】
具体的には、図６（ｂ）に示すように、例えば駆動部３１が非駆動時の駆動部３１’に対して斜めに変位する場合、まず、駆動部３１を振動させる前に、第１電源部７１によって、補償用電極６１が備える電極部６１１に直流電圧を印加しておく。そして、この電極部６１１に電圧を印加した状態で、前述したように、駆動部３１をＸ軸方向に振動させる。
【００９７】
この駆動部３１の振動において、例えば駆動部３１がα１方向に変位すると、駆動部３１のＹ軸方向延在部３１１は、図７（ａ）に示す非駆動状態から図７（ｂ）に示すα１方向（−Ｘ軸方向）に変位した状態となる。このようにＹ軸方向延在部３１１がα１方向に変位した状態では、図７（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向延在部３１１の複数の長尺部３１６は、それぞれＺ軸方向から見て駆動部３１の変位量に応じた面積で電極部６１１と重なる。このように長尺部３１６と電極部６１１とが重なることで、長尺部３１６と電極部６１１との間に実質的な静電引力が生じる。これにより、図８に示すように、破線で示すような底部２１２から離間するように変位しようとする駆動部３１は、実線で示す駆動部３１のように底部２１２側に引き付けられる。
【００９８】
このようにして、補償用電極６１によって、駆動部３１を底部２１２側に引き付けることで、駆動部３１の底部２１２から離間する方向の変位を抑えることができる。
【００９９】
ここで、前述したように、本実施形態では、補償用電極６１が複数の電極部６１１を備え、これらに対応するように、Ｙ軸方向延在部３１１には複数のスリット３１５が設けられている。このため、駆動部３１がα１方向に変位したとき、電極部６１１と長尺部３１６（駆動部３１）との重なる面積を十分に大きくすることができる。すなわち、電極部６１１と長尺部３１６との重なる面積は、駆動部３１の変位量に応じて決定されるが、本実施形態では、スリット３１５と電極部６１１との組を複数有しているため、その組の数分、電極部６１１と長尺部３１６との重なる面積を大きくすることができる。そのため、電極部６１１と長尺部３１６との間に生じる静電引力を十分に大きくすることができる。このため、駆動部３１の斜め振動を低減することができ、検出部３４１、３４２に生じる不要振動を十分に低減することができる。これにより、物理量センサー１０に角速度が加わっていないにもかかわらず、検出部３４１、３４２が角速度を検出してしまったり、検出した角速度に誤差を生じてしまったりことを低減することができる。すなわち、物理量センサー１０の検出特性（精度）を高めることができる。
【０１００】
また、前述したように、各電極部６１１がＹ軸方向に沿った長尺状をなし、同様に、各スリット３１５がＹ軸方向に沿った長尺状をなしている。このように、各電極部６１１とスリット３１５とが駆動部３１の振動方向であるＸ軸方向と交差するＹ軸方向に長い形状であることで、駆動部３１がＸ軸方向に変位した変位量分、電極部６１１と長尺部３１６（駆動部３１）との重なる面積をより大きくすることができる。
【０１０１】
また、前述したように、電極部６１１は、支持基板２１が有する凸部２１５上に固定されている。このため、電極部６１１と長尺部３１６との間の離間距離をより小さくすることができる。電極部６１１と長尺部３１６との間に生じる静電引力は、これらの離間距離が小さいほど大きくなる。このため、凸部２１５上に電極部６１１を固定することで、電極部６１１と長尺部３１６との間に生じる静電引力をより大きくすることができ、よって、検出部３４１、３４２に生じる不要振動をより低減することができる。
【０１０２】
なお、例えば凸部２１５を設ける代わりに、凹部２１１Ａの深さを浅くすることで、電極部６１１と長尺部３１６との間の離間距離をより小さくする方法も考えられる。しかしながら、このような方法では、底部２１２上に設けられた検出電極５１、５２とこれにそれぞれ対応する検出部３４１、３４２との離間距離も小さくなってしまう。その結果、検出部３４１、３４２がＺ軸方向に検出振動したときに、その振幅によっては検出部３４１、３４２が検出電極５１、５２に接触してしまうおそれがある。
【０１０３】
そこで、本実施形態では、検出電極５１、５２を底部２１２上に設け、電極部６１１を凸部２１５上に設けている。これにより、検出部３４１、３４２と検出電極５１、５２との接触を防ぎつつ、電極部６１１と長尺部３１６との間に生じる静電引力をより大きくすることができる。
【０１０４】
このような観点から、図２に示すように、非駆動状態での検出部３４１と検出電極５１との離間距離（および検出部３４２と検出電極５２との離間距離）をｄ１とし、電極部６１１とＹ軸方向延在部３１１との離間距離をｄ２としたとき、離間距離ｄ１と離間距離ｄ２とは以下のような関係であるのが好ましい。
【０１０５】
例えば、補償用電極６１に印加する印加電圧の最大値が１０Ｖである場合、離間距離ｄ１と離間距離ｄ２との関係は、ｄ２≦ｄ１≦（１０×ｄ２）であるのが好ましい。
【０１０６】
また、例えば、補償用電極６１に印加する印加電圧が３Ｖ〜３０Ｖである場合、非駆動時における離間距離ｄ１と離間距離ｄ２との関係は、（２×ｄ２）≦ｄ１≦（４×ｄ２）であるのが好ましい。
【０１０７】
また、前述したように、駆動部３１がα１方向に変位したとき、各電極部６１１は、図７（ｂ）に示すように、Ｚ軸方向から見て長尺部３１６と重なっている。これに対して、非駆動状態では、各電極部６１１は、図７（ａ）に示すように、Ｚ軸方向から見て長尺部３１６と重なっておらずスリット３１５と重なっている。このため、非駆動状態（静止状態）では、電極部６１１と長尺部３１６との間には静電引力が実質的には生じず、駆動部３１は底部２１２側には引き付けられない。そのため、非駆動状態では、電極部６１１と長尺部３１６との間のギャップが極めて小さくなることでこれらの間の静電引力が急激に増加するプルイン現象が生じることを抑えることができる。その結果、非駆動時に、長尺部３１６が電極部６１１に接触することを回避することができる。
【０１０８】
また、電極部６１１は、非駆動状態では、Ｚ軸方向から見てスリット３１５内に内包されていて、駆動部３１が非駆動状態から少しでもα１方向に移動すれば、Ｚ軸方向から見て長尺部３１６に重なるように配置されている。そのため、電極部６１１に直流電圧を印加する本実施形態の構成では、前記のように駆動部３１が非駆動状態から少しでもα１方向に移動すれば、駆動部３１を底部２１２側に引き付けることができる。また、このように電極部６１１に直流電圧を印加する本実施形態の構成は、電極部６１１と長尺部３１６とがＺ軸方向から見て重なる周期に合わせた交流電圧を印加するような構成よりも簡単である。
【０１０９】
また、前述した説明では、補償用電極６１を使用する場合について説明したが、例えば、駆動部３１が図６（ｂ）とは逆方向に斜めに変位する場合には、補償用電極６２を使用すればよい。その際には、第２電源部７２によって補償用電極６２に直流電圧を印加することにより、例えば駆動部３１がβ１方向に変位したとき、Ｙ軸方向延在部３１２の長尺部３１６と電極部６２１とが重なることで、Ｙ軸方向延在部３１２と電極部６２１との間に静電引力を実質的に生じさせることができる。これにより、駆動部３１を底部２１２側に引き付けることができる。
【０１１０】
このように、本実施形態では、Ｘ軸方向に並んで配置された１対の補償用電極６１、６２を備えているので、駆動部３１に生じる斜め振動の方向や大きさ等の発生特性に応じて、必要な一方の補償用電極６１または補償用電極６２を選択して用いることができる。
【０１１１】
以上、物理量センサーを図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１１２】
また、前述した説明では、非電極部として駆動部にスリットを設けた構成について説明したが、非電極部は、例えば駆動部の厚さ方向に貫通しておらず、補償用電極側に開口している凹部等であってもよい。
【０１１３】
また、前述した説明では、スリットはＹ軸方向延在部に２つ設けられた構成について説明したが、スリットの数はこれに限定されない。例えば、スリットの数は、Ｙ軸方向延在部に３つ以上設けられていてもよい。
【０１１４】
≪第１参考例≫
次に、本発明の物理量センサーの第１参考例について説明する。
【０１１５】
図９は、本発明の物理量センサーの第１参考例を示す平面図である。図１０は、図９中のＢ−Ｂ線断面図である。
【０１１６】
以下、物理量センサーの第１参考例について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１１７】
第１参考例の物理量センサー１０では、スリット３１５の数と、電極部６１１、６２１の数が前述した第１実施形態と相違する。
【０１１８】
なお、第１参考例の物理量センサー１０も、前述した第１実施形態と同様にセンサー素子１Ａ、１Ｂを有しており、これらの構成は同様であるため、以下では、センサー素子１Ａの構成について代表して説明する。
【０１１９】
図９および図１０に示す物理量センサー１０が有するセンサー素子１Ａでは、駆動部３１のＹ軸方向延在部３１１、３１２に、それぞれスリット３１５が１つ設けられている。また、Ｙ軸方向延在部３１１、３１２は、それぞれＹ軸方向に延在した２つの長尺部３１６を有し、２つの長尺部３１６の間に１つのスリット３１５が形成されている。
【０１２０】
また、補償用電極６１は電極部６１１を１つ有しており、電極部６１１は、非駆動状態において、Ｚ軸方向から見てＹ軸方向延在部３１１のスリット３１５に内包するように設けられている。同様に、補償用電極６２は電極部６２１を１つ有しており、電極部６２１は、非駆動状態において、Ｚ軸方向から見てＹ軸方向延在部３１２のスリット３１５に内包するように設けられている。
【０１２１】
このような構成の物理量センサー１０によっても、駆動部３１の斜め振動を低減して、検出部３４１、３４２に加わる不要振動を低減することができる。
【０１２２】
特に、本参考例においても、各電極部６１１がＹ軸方向に沿った長尺状をなし、同様に、各スリット３１５がＹ軸方向に沿った長尺状をなしているため、駆動部３１がＸ軸方向に変位した変位量分、電極部６１１とＹ軸方向延在部３１１との重なる面積をより大きくすることができる。そのため、電極部６１１と長尺部３１６との間に生じる静電引力をより大きくすることができ、よって、検出部３４１、３４２に生じる不要振動をより低減することができる。
【０１２３】
≪第２参考例≫
次に、本発明の物理量センサーの第２参考例について説明する。
【０１２４】
図１１は、本発明の物理量センサーの第２参考例を示す平面図である。図１２は、図１１中のＣ−Ｃ線断面図である。
【０１２５】
以下、物理量センサーの第２参考例について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１２６】
第２参考例の物理量センサー１０では、スリット３１５を備えていないところが前述した第１実施形態と相違する。
【０１２７】
なお、第２参考例の物理量センサー１０も、前述した第１実施形態と同様にセンサー素子１Ａ、１Ｂを有しており、これらの構成は同様であるため、以下では、センサー素子１Ａの構成について代表して説明する。
【０１２８】
図１１および図１２に示す物理量センサー１０では、駆動部３１のＹ軸方向延在部３１１、３１２にそれぞれスリット３１５が設けられておらず、駆動部３１は、Ｘ軸方向に延在する１対のＸ軸方向延在部３１３、３１４と、Ｙ軸方向に延在し、Ｘ軸方向延在部３１３、３１４を連結する１対のＹ軸方向延在部３１１、３１２とで構成されている。
【０１２９】
また、補償用電極６１は電極部６１１を１つ有している。電極部６１１は、その幅が、Ｙ軸方向延在部３１１の幅（Ｘ軸方向の長さ）よりも大きく形成されており、非駆動状態で、Ｚ軸方向から見てＹ軸方向延在部３１１と重なるように配置されている。
【０１３０】
同様に、補償用電極６２は電極部６２１を１つ有している。電極部６２１は、その幅が、Ｙ軸方向延在部３１２の幅（Ｘ軸方向の長さ）よりも大きく形成されており、非駆動状態で、Ｚ軸方向から見てＹ軸方向延在部３１２と重なるように配置されている。
【０１３１】
このような構成の物理量センサー１０は、非駆動状態および駆動状態において、Ｚ軸方向から見て、Ｙ軸方向延在部３１１と電極部６１１とが重なり、Ｙ軸方向延在部３１２と電極部６２１とが重なっている。
【０１３２】
そして、本参考例では、第１電源部７１によって、駆動部３１が＋Ｘ軸方向および−Ｘ軸方向に変位する周期に合わせて、補償用電極６１、６２の少なくとも一方に交流電圧を印加する。
【０１３３】
したがって、このような構成の物理量センサー１０によっても、駆動部３１に生じる斜め振動の方向等に応じて、補償用電極６１および補償用電極６２の少なくとも一方を使用して、駆動部３１の斜め振動を低減し、よって、検出部３４１、３４２に加わる不要振動を低減することができる。
【０１３４】
特に、本参考例においても、電極部６１１が、支持基板２１が有する凸部２１５上に固定されているため、電極部６１１とＹ軸方向延在部３１１との間の離間距離をより小さくすることができる。電極部６１１とＹ軸方向延在部３１１との間に生じる静電引力は、これらの離間距離が小さいほど大きくなるため、凸部２１５上に電極部６１１を固定することで、電極部６１１とＹ軸方向延在部３１１との間に生じる静電引力をより大きくすることができる。その結果、検出部３４１、３４２に生じる不要振動をより低減することができる。
【０１３５】
なお、例えば凸部２１５を設ける代わりに、凹部２１１Ａの深さを浅くすることで、電極部６１１とＹ軸方向延在部３１１との間の離間距離をより小さくする方法も考えられる。しかしながら、このような方法では、底部２１２上に設けられた検出電極５１、５２とこれにそれぞれ対応する検出部３４１、３４２との離間距離も小さくなってしまう。その結果、検出部３４１、３４２がＺ軸方向に検出振動したときに、その振幅によっては検出部３４１、３４２が検出電極５１、５２に接触してしまうおそれがある。
【０１３６】
そこで、本参考例では、検出電極５１、５２に底部２１２上に設け、電極部６１１を凸部２１５上に設けている。これにより、検出部３４１、３４２と検出電極５１、５２との接触を防ぎつつ、電極部６１１とＹ軸方向延在部３１１との間に生じる静電引力をより大きくすることができる。
【０１３７】
このような観点から、図１２に示すように、非駆動時における検出部３４１と検出電極５１との離間距離（および検出部３４２と検出電極５２との離間距離）をｄ１とし、電極部６１１とＹ軸方向延在部３１１との離間距離をｄ２としたとき、離間距離ｄ１と離間距離ｄ２とは以下のような関係であるのが好ましい。
【０１３８】
例えば、補償用電極６１に印加する印加電圧の最大値が１０Ｖである場合、離間距離ｄ１と離間距離ｄ２との関係は、ｄ２≦ｄ１≦（１０×ｄ２）であるのが好ましい。
【０１３９】
また、例えば、補償用電極６１に印加する印加電圧が３Ｖ〜３０Ｖである場合、非駆動時における離間距離ｄ１と離間距離ｄ２との関係は、（２×ｄ２）≦ｄ１≦（４×ｄ２）であるのが好ましい。
【０１４０】
２．電子機器
次いで、本発明の物理量センサーを適用した電子機器（本発明の電子機器）について、図１３〜図１５に基づき、詳細に説明する。
【０１４１】
図１３は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部２０００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する物理量センサー１０が内蔵されている。
【０１４２】
図１４は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部２０００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、フィルター、共振器等として機能する物理量センサー１０が内蔵されている。
【０１４３】
図１５は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１４４】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部２０００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１４５】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチルカメラ１３００には、フィルター、共振器等として機能する物理量センサー１０が内蔵されている。
【０１４６】
なお、本発明の物理量センサーを備える電子機器は、図１３のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１４の携帯電話機、図１５のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター等に適用することができる。
【０１４７】
３．移動体
次いで、本発明の物理量センサーを適用した移動体（本発明の移動体）について、図１６に基づき、詳細に説明する。
【０１４８】
図１６は、本発明の移動体を適用した自動車を示す斜視図である。この図において、自動車１５００は、車体１５０１と、４つの車輪１５０３とを有しており、車体１５０１に設けられた図示しない動力源（エンジン）によって車輪１５０３を回転させるように構成されている。
【０１４９】
このような自動車１５００には、物理量センサー１０が内蔵されている。物理量センサー１０によれば、車体１５０１の姿勢や移動方向を検出することができる。物理量センサー１０の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。
【０１５０】
なお、本発明の物理量センサーを備える移動体は、自動車に限定されず、例えば、オートバイ、鉄道等の他の車両、航空機、船舶、宇宙船、二足歩行ロボットやラジコンヘリコプター等にも適用可能である。
【０１５１】
以上、本発明の物理量センサー、電子機器および移動体について図示の実施形態および参考例に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【０１５２】
１０……物理量センサー
１Ａ、１Ｂ……センサー素子
２……パッケージ
２１……支持基板
２１１Ａ、２１１Ｂ……凹部
２１２……底部
２１３……側壁部
２１４……中央壁部
２１５……凸部
２２……蓋部材
２２１……凹部
３……振動体
３１、３１’……駆動部
３１１、３１２……Ｙ軸方向延在部
３１３、３１４……Ｘ軸方向延在部
３１５……スリット
３１６……長尺部
３２１、３２２、３２３、３２４……固定部
３３１、３３２、３３３、３３４……第１梁部
３４１、３４２……検出部
３５１、３５２、３５３、３５４……第２梁部
３６……可動電極部
３６１……可動電極指
４……駆動機構
４１……第１固定電極部（固定電極部）
４２……第２固定電極部（固定電極部）
５……検出機構
５１、５２……検出電極
６１、６２……補償用電極
７１……第１電源部
７２……第２電源部
４１１……第１固定電極指
４２１……第２固定電極指
６１１、６２１……電極部
１１００……パーソナルコンピューター
１１０２……キーボード
１１０４……本体部
１１０６……表示ユニット
１２００……携帯電話機
１２０２……操作ボタン
１２０４……受話口
１２０６……送話口
１３００……ディジタルスチルカメラ
１３０２……ケース
１３０４……受光ユニット
１３０６……シャッターボタン
１３０８……メモリー
１３１２……ビデオ信号出力端子
１３１４……入出力端子
１４３０……テレビモニター
１４４０……パーソナルコンピューター
１５００……自動車
１５０１……車体
１５０２……車体姿勢制御装置
１５０３……車輪
２０００……表示部
Ｄ……軸
Ｓ……収納空間
ｄ１、ｄ２……離間距離
Ｗ１、Ｗ２……幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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