【事件の表示】
　特許第３２７５３９０号「可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム」の請求項１ないし３、５、６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２７５３９０号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
I．手続の経緯
（１）特許出願：平成４年１０月６日
（２）特許権の設定登録：平成１４年２月８日
（３）特許公報の発行：平成１４年４月１５日
（４）特許異議の申立て：平成１４年１０月１５日
（５）取消の理由の通知（１回目）：平成１５年１月２８日（発送日：同年２月７日）
（６）上申書の提出：平成１５年７月３１日
（７）特許異議申立人に対する審尋：平成１５年８月２９日（発送日：同年９月９日）
（８）回答書の提出：平成１５年１０月２０日
（９）取消の理由の通知（２回目）：平成１５年１２月１９日（発送日：平成１６年１月９日）
（１０）意見書、訂正請求書の提出：平成１６年３月８日
　
II．訂正の適否についての判断
１．訂正の内容
（１）訂正事項１
　設定登録時の願書に添付した明細書又は図面（以下、「本件特許明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項１に、
「【請求項１】　第１の装置と第２の装置間を搬送する被搬送物を可搬式の密閉コンテナに入れて搬送し、当該搬送を、無人搬送装置で自動的に行なう自動搬送システムにおいて、
　上記無人搬送装置が、上記密閉コンテナからの上記被搬送物の自動出し入れを可能にする自動出し入れ装置を台車内に備えていることを特徴とする可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム。」
と記載されるのを、
「【請求項１】　第１の装置と第２の装置間を搬送する被搬送物を可搬式の密閉コンテナに入れて搬送し、当該搬送を、無人搬送装置で自動的に行なう自動搬送システムにおいて、
　上記無人搬送装置
における被搬送物授受用の扉付き窓を有する壁によって囲まれた空間内に、
を備
と訂正する。
（２）訂正事項２
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項３に、
「【請求項３】　無人搬送装置は、第１の装置とは、被搬送物を収納した密閉コンテナをコンテナ移載装置により授受し、第２の装置とは、被搬送物を被搬送物移載装置により授受することを特徴とする請求項１または２記載の可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム。」
と記載されるのを、
「【請求項３】　無人搬送装置は、第１の装置とは、被搬送物を収納した密閉コンテナをコンテナ移載装置により授受し、第２の装置とは、被搬送物を
上記自動出し入れ装置
と訂正する。
（３）訂正事項３
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項４の記載を削除する。
（４）訂正事項４
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５に、
「【請求項５】　無人搬送装置の台車および第２の装置は被搬送物授受用の扉付き窓を有していることを特徴とする請求項３記載の可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム。」
と記載されるのを、項番を繰り上げ、
「【請求項
４
第２の装置は
と訂正する。
（５）訂正事項５
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項６に、
「【請求項６】　無人搬送装置および第２の装置は被搬送物授受用の窓を防塵する防塵装置を有していることを特徴とする請求項３記載の可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム。」
と記載されるのを、項番を繰り上げ、
「【請求項
５
と訂正する。
（６）訂正事項６
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項７に、
「【請求項７】　防塵装置は窓の上方から下方へダウンフローする清浄流体であることを特徴とする請求項５記載の可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム。」
と記載されるのを、項番を繰り上げ
「【請求項
６
と訂正する。
（７）訂正事項７
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項８に、
「【請求項８】　無人搬送装置の窓と第２の装置の窓とが蛇腹型のフードを通して連通することを特徴とする請求項７記載の可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム。」
と記載されるのを、項番を繰り上げ、
「【請求項
７
６
と訂正する。
（８）訂正事項８
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項９に、
「【請求項９】　フード内は不活性ガスパージ可能であることを特徴とする請求項８記載の可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム。」
と記載されるのを、項番を繰り上げ、
「【請求項
８
７
と訂正する。
（９）訂正事項９
　本件特許明細書の段落【００１１】に、
「・・・自動搬送システムにおいて、上記無人搬送装置が、上記密閉コンテナからの上記被搬送物の自動出し入れを可能にする自動出し入れ装置を台車内に備える構成とした。」
と記載されるのを、
「自動搬送システムにおいて、　上記無人搬送装置
における被搬送物授受用の扉付き窓を有する壁によって囲まれた空間内に、
を備
と訂正する。
（１０）訂正事項１０
　本件特許明細書の段落【００１３】に、
「・・・第２の装置とは、被搬送物を被搬送物移載装置により授受する。また、請求項４においては、被搬送物移載装置はコンテナインターフェース装置との間で被搬送物を授受する。」と記載されるのを、
「・・・第２の装置とは、被搬送物を
上記自動出し入れ装置
。
と訂正する。
（１１）訂正事項１１
　本件特許明細書の段落【００１４】に、
「また、請求項５においては、・・・」
と記載されるのを、
「また、請求項
４
と訂正する。
（１２）訂正事項１２
　本件特許明細書の段落【００１５】に、
「また、請求項６においては、・・・」
と記載されるのを、
「また、請求項
５
と訂正する。
（１３）訂正事項１３
　本件特許明細書の段落【００１６】に、
「また、請求項７においては、・・・」
と記載されるのを、
「また、請求項
６
と訂正する。
（１４）訂正事項１４
　本件特許明細書の段落【００１７】に、
「また、請求項８においては、・・・」
と記載されるのを、
「また、請求項
７
と訂正する。
（１５）訂正事項１５
　本件特許明細書の段落【００１８】に、
「また、請求項９においては、・・・」
と記載されるのを、
「また、請求項
８
と訂正する。
（１６）訂正事項１６
　本件特許明細書の段落【００１９】に、
「・・・無人搬送車（無人搬送装置）が、複数の・・・」
と記載されるのを、
「・・・無人搬送車（無人搬送装置）
における被搬送物授受用の扉付き窓を有する壁によって囲まれた空間内に
と訂正する。
（１７）訂正事項１７
　本件特許明細書の段落【００３８】の記載を削除する。これに伴って、以下の段落番号を１ずつ繰り上げる。
（１８）訂正事項１８
　本件特許明細書の図面の【図５】を削除する。これに伴って、以下の図面番号を１ずつ繰り上げ、発明の詳細な説明及び図面の簡単な説明の記載中の図面番号を変更する。
（下線は、対比の便のため当審で付したものである。下記２．についても同様。）
　
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（１）訂正事項１について
　訂正事項１は、訂正前の請求項１に、「無人搬送装置が、上記密閉コンテナからの上記被搬送物の自動出し入れを可能にする自動出し入れ装置を台車内に備えている」と記載されていたのを、「無人搬送装置
における被搬送物授受用の扉付き窓を有する壁によって囲まれた空間内に
を備
　したがって、訂正事項１は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものである上、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（２）訂正事項２について
　訂正事項２は、意味が不明確であった訂正前の請求項３に記載の「被搬送物移載装置」を、「上記自動出し入れ装置」としたものであり、この事項は、本件特許明細書の段落【００３０】、【００４０】、図４，６，７などに記載されていたものである。
　したがって、訂正事項２は、明りょうでない記載の釈明を目的としたものである上、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（３）訂正事項３について
　訂正事項３は、意味が不明確な「被搬送物移載装置」の記載を含む訂正前の請求項４を削除するものである。
　したがって、訂正事項３は、明りょうでない記載の釈明を目的としたものである上、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（４）訂正事項４について
　訂正事項４は、訂正前の請求項４が削除されたことに伴い、訂正前の請求項５の項番を繰り上げ、さらに、請求項１が訂正されたことに伴い、それと記載を整合させるものである。
　したがって、訂正事項４は、明りょうでない記載の釈明を目的としたものである上、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（５）訂正事項５について
　訂正事項５は、訂正前の請求項４が削除されたことに伴い、訂正前の請求項６の項番を繰り上げるものである。
　したがって、訂正事項５は、明りょうでない記載の釈明を目的としたものである上、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（６）訂正事項６について
　訂正事項６は、訂正前の請求項４が削除されたことに伴い、訂正前の請求項７の項番を繰り上げるものである。
　ところで、訂正前の請求項７で引用していた「請求項５」は、訂正事項４に伴い「請求項４」となるべきところ、依然として「請求項５」のままであるから、実質的には引用請求項を変更する訂正をしたといえる。
　この点について検討する。
　本件特許明細書の記載をみると、請求項７は、「防塵装置」について規定するものであるところ、請求項７で引用する請求項５には（請求項５で直接的又は間接的に引用する請求項１〜３も含めて）、「防塵装置」なる記載は存在しないこと、「防塵装置」なる記載は、請求項７以前の請求項では請求項６にのみ記載されていること、発明の詳細な説明の「また、請求項６においては、無人搬送装置および第２の装置は被搬送物授受用の窓を防塵する防塵装置を有している。・・　また、請求項７においては、防塵装置は窓の上方から下方へダウンフローする清浄流体である。」（段落【００１５】〜【００１６】）の記載から、請求項６における、「無人搬送装置および第２の装置は被搬送物授受用の窓を防塵する防塵装置」について、請求項７において、「防塵装置は窓の上方から下方へダウンフローする清浄流体である」と規定していることが読みとれること等からみて、訂正前の請求項７に「・・・請求項５に記載の・・・」とあったのは、「・・・請求項６に記載の・・・」の誤記であったと認めることができる。
　そうすると、訂正事項６は、訂正前の請求項７の記載「【請求項７】・・・請求項５に記載の・・・」が、「【請求項７】・・・請求項
６
６
５
（７）訂正事項７，８について
　訂正事項７，８は、訂正前の請求項４が削除されたことに伴い、訂正前の請求項８，９の項番及びそれらで引用している請求項の項番を繰り上げるものである。なお、訂正後の請求項７，８は、誤記の訂正を含む訂正後の請求項６を直接的又は間接的に引用している。
　したがって、訂正事項７，８は、誤記の訂正及び明りょうでない記載の釈明を目的としたものである上、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（８）訂正事項９〜１６について
　上記訂正事項９〜１６は、上記訂正事項１〜８と整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的としたものである上、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（９）訂正事項１７，１８について
　上記訂正事項１７，１８は、当審で通知した第２回目の取消理由で指摘した記載不備を解消するためのもので、明りょうでない記載の釈明を目的としたものである上、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
３．独立特許要件について
　上記訂正事項６は、特許異議申立てのされていなかった請求項７〜９について、誤記の訂正を目的とする明細書の訂正を含むから、当該請求項（訂正後の請求項６〜８）に係る発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
（１）訂正後の請求項６〜８に係る発明
　訂正後の請求項６〜８に係る発明は、次のとおりである。
「【請求項６】　防塵装置は窓の上方から下方へダウンフローする清浄流体であることを特徴とする請求項５記載の可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム。
【請求項７】　無人搬送装置の窓と第２の装置の窓とが蛇腹型のフードを通して連通することを特徴とする請求項６記載の可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム。
【請求項８】　フード内は不活性ガスパージ可能であることを特徴とする請求項７記載の可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム。」
（２）検討
　訂正後の請求項６〜８に係る発明は、間接的に請求項１を引用している。
　そして、請求項１に係る発明は、下記III．５．５−２．（１）で示すとおり、刊行物１〜４（下記III．１．参照）に記載された発明でなく、また、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　したがって、訂正後の請求項６〜８に係る発明も、同様の理由により、刊行物１〜４に記載された発明でなく、また、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　また、訂正後の請求項６〜８自体の記載に不備は存在せず、訂正後の請求項６〜８に係る発明において直接的に又は間接的に引用している請求項１〜３，５の記載にも、下記III．３．及び４．で示したとおり、不備は存在しないから、特許法第３６条第５項及び第６項の規定を満たしている。
　そして、他に、訂正後の請求項６〜８に係る発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由は見当たらない。
　したがって、訂正後の請求項６〜８に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　
４．訂正の適否についてのむすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
III．特許異議の申立てについての判断
１．特許異議申立ての理由及び当審の通知した取消理由
（１）特許異議申立ての理由及び当審の通知した第１回目の取消理由の概要
〈特許法第２９条第１項第３号及び特許法第２９条第２項違反〉
　本件の請求項１に係る発明は、本件特許出願前に日本国内又は外国において頒布された刊行物である甲第１，２号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない。
　本件の、請求項１，２，３，５，６に係る発明は、本件特許出願前に日本国内又は外国において頒布された刊行物である甲第１，２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　甲第１号証：特開昭６３−２８０４７号公報（以下、「刊行物１」という。）
　甲第２号証：特開昭６０−１８４６７８号公報（以下、「刊行物２」という。）
〈特許法第３６条第５項及び第６項違反〉
　本件の請求項１の記載は、「無人搬送装置の台車」と「密閉コンテナ」との関係（別体か一体か）が不明なため、特許を受けようとする発明の構成に欠くことができない事項のみを記載したものではなく、また、発明の詳細な説明に記載されていない事項を含むものである。したがって、本件明細書の記載は、特許法第３６条第５項及び第６項に規定する要件を満たしていない。（なお、特許異議申立人は、特許法第３６条第５項並びに第６項第１号並びに第２号違反と主張するが、これは、本件特許出願の時期と主張の趣旨からみて特許法第３６条第５項第１号及び第２号並びに第６項違反の誤記と認める。）
（２）特許異議申立人が提出した平成１５年１０月２０日付け上申書の概要
　本件の請求項１に係る発明の前提技術である、「被搬送物を可搬式の密閉コンテナに入れて搬送し、当該搬送を、無人搬送装置で自動的に行なう」技術は、下記参考資料にみられるように、本件出願前に周知である。
　参考資料：特開平２−８５０５６号公報
（３）当審の通知した第２回目の取消理由の概要
〈特許法第２９条第２項違反〉
　本件の、請求項１，２，３，６に係る発明の特許は、本件特許出願前に日本国内又は外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
《刊行物》
　　特開昭６２−８８６５７号公報（以下、「刊行物３」という。）
　　特開平２−８５０５６８号公報（上記参考資料に同じ。以下、「刊行物４」という。）
〈特許法第３６条第４項並びに第５項及び第６項違反〉
　本件の請求項１の記載は、「台車内に」の意味が不明確である。
　本件の請求項３の記載は、「被搬送物移載装置」が何を指すのか（「自動出し入れ装置」を指すのか、「移載装置７９」を指すのか）不明確であるとともに、もし、「移載装置７９」を指すのであれば、発明の詳細な説明に記載の作用、効果との関連が不明確である。したがって、本件明細書の記載は、特許法第３６条第４項並びに第５項及び第６項に規定する要件を満たしていない。
２．本件発明
　上記II．で示したように上記I．（１０）の訂正請求書による訂正が認められるから、特許異議申立てのあった請求項１，２，３，５，６に対応する請求項は、それぞれ訂正後の請求項１，２，３，４，５となった。そして、訂正後の請求項１〜５に係る発明（以下、「本件発明１〜５」という。）は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜５に記載されたとおりのものである。
　
３．（特許異議申立て理由、第１回目の取消理由中の）特許法第３６条第５項及び第６項違反について
　訂正後の請求項１には、「・・・被搬送物を可搬式の密閉コンテナに入れて搬送し、当該搬送を、無人搬送装置で自動的に行なう・・・」と記載されている。
　この記載より、「密閉コンテナ」と「無人搬送装置」は別体であることは明確である。したがって、本件明細書の記載は特許法第３６条第５項及び第６項の規定を満たしていないとすることはできない。
　
４．（第２回目の取消理由中の）特許法第３６条第４項並びに第５項及び第６項違反について
　上記の訂正によって、訂正前の請求項１に記載されていた「台車内の」、同じく請求項３に記載されていた「被搬送物移載装置」は訂正され、意味は明確になった。したがって、本件明細書の記載は特許法第３６条第５項及び第６項の規定を満たしていないとすることはできない。
　
５．特許法第２９条第１項第３号及び特許法第２９条第２項違反について
５−１．刊行物３（特開昭６２−８８６５７号公報）に記載の発明
　刊行物３には、特に、第１頁左下欄第１０〜１２行、同頁右下欄第１４〜１５行、第３，４図の記載からみて、次の発明が記載されているものと認められる。
「半導体を製造する際の各工程間及び各製造設備間を搬送する被搬送物の製品２を密閉箱５に入れて搬送し、当該搬送を、自動搬送車で自動的に行なう自動搬送システム」（以下、「刊行物３記載の発明」という。）
　
５−２．対比・判断
（１）本件発明１について
　本件発明１と刊行物３記載の発明とを対比すると、後者の「被搬送物の製品２」は、その技術的意義からみて、前者の「被搬送物」に相当し、同様にして、後者の「密閉箱５」は前者の「密閉コンテナ」に、後者の「自動搬送車」は前者の「無人搬送装置」に、それぞれ相当する。
　また、本件発明１の「第１の装置」及び「第２の装置」は、本件明細書の記載を参酌しても、特定の装置を意味するものとは解されず、単に、搬送区間の一方側にあるものを「第１の装置」、他方側にあるものを「第２の装置」と称しているに過ぎないものと認められるから、後者の「半導体を製造する際の各工程間及び各製造設備間」は、前者の「第１の装置と第２の装置間」に相当するものといえる。
　そうすると、両者の一致点、相違点は次のとおりになる。
〈一致点〉
「第１の装置と第２の装置間を搬送する被搬送物を密閉コンテナに入れて搬送し、当該搬送を、無人搬送装置で自動的に行なう自動搬送システム」
〈相違点１〉
　密閉コンテナが、本件発明１では、可搬式であるのに対し、刊行物３記載の発明では、可搬式であるかどうか不明である点。
〈相違点２〉
　本件発明１は、「無人搬送装置における被搬送物授受用の扉付き窓を有する壁によって囲まれた空間内に、密閉コンテナからの被搬送物の自動出し入れを可能にする自動出し入れ装置を備えている」のに対し、刊行物３記載の発明は、そのような構成を有していない点。
　そこで、上記〈相違点２〉について検討するに、上記〈相違点２〉に係る本件発明１の構成である、「無人搬送装置における被搬送物授受用の扉付き窓を有する壁によって囲まれた空間内に、密閉コンテナからの被搬送物の自動出し入れを可能にする自動出し入れ装置を備えている」ことは、刊行物１，２，４のいずれにも記載も示唆もされていない。そして、本件発明１は、上記の構成を採ることによって、「無人搬送装置における空間内において、密閉コンテナから被搬送物の出し入れが可能となり、被搬送物が無人搬送装置外のエアに曝される確率が大幅に減少する。」（平成１６年３月８日付け意見書の（４−２）を参照。）という顕著な作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、上記〈相違点１〉については検討するまでもなく、本件発明１は、刊行物１〜４に記載された発明でなく、また、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　
（２）本件発明２〜５について
　本件発明２〜５は、本件発明１を引用するものであるから、本件発明１についての検討で示したのと同様の理由により、刊行物１〜４に記載された発明でなく、また、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１〜５についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものとは認めることができない。
　また、他に、本件発明１〜５についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めるべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明１〜５についての特許を取り消すことはできない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年３月２９日（２００４．３．２９）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　第１の装置と第２の装置間を搬送する被搬送物を可搬式の密閉コンテナに入れて搬送し、当該搬送を、無人搬送装置で自動的に行なう自動搬送システムにおいて、
　上記無人搬送装置
における被搬送物授受用の扉付き窓を有する壁によって囲まれた空間内に、
　【請求項２】　自動出し入れ装置が、上記被搬送物を鉛直に搬送する機構と、上記被搬送物を水平に搬送する機構とを含んでいることを特徴とする請求項１記載の可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム。
　【請求項３】　無人搬送装置は、第１の装置とは、被搬送物を収納した密閉コンテナをコンテナ移載装置により授受し、第２の装置とは、被搬送物を
上記自動出し入れ装置
　【請求項
４
第２の装置は
　【請求項
５
　【請求項
６
　【請求項
７
６
　【請求項
８
７
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、装置から装置へ搬送する被搬送物を可搬式の密閉コンテナに入れて搬送し、当該搬送を、コンテナインターフェースを搭載した無人搬送車が自動的に行なう自動搬送システムに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　例えば、半導体の製造は、内部雰囲気を清浄化したクリーンルーム内において行なわれるが、クリーンルーム内での装置間もしくは工程間搬送を、半導体ウエハへの塵埃の付着を防ぐために当該半導体ウエハを収納したウエハカセットを図８に示すような可搬式の密閉コンテナ４０に収納して行なうシステムがある。同図において、４１はコンテナ本体、４２Ａはコンテナ本体４１の開口４２に設けたフランジ、４３は把手、４４は中空の底蓋、４５はシール材であって、底蓋４４は図９に示すように施錠／解錠機構を備えている。図９において、４５はカムである。４６は板状のロックアームであって、転動子４６ａを有し、長手方向進退可能かつ系統可能に片持ち支持されている。４７は支点部材、４８はバネである。４９は後述するコンテナインターフェースを構成する昇降台５０から伸びるカム軸であって、カム４５とスプライン係合可能となっている。この昇降台５０はカム軸４９を所定角度だけ回動するカム軸駆動機構５１を内蔵している。なお、コンテナ本体４１の開口４２の内周面には、ロックアーム４６が係合する凹所４２Ｂが形成されている。なお、図８の５２はウエハＷを収納したカセットである。
　【０００３】
　図１０はこの種の密閉コンテナを用いるクリーンルームの自動搬送システムの１例を示したものである。
　【０００４】
　図１０において、１はＬＩＭ式の工程間搬送ラインである。１１〜１４はＣＶＤ装置や製膜装置等のウエハ処理装置、２０はストッカ、３０は移載ロボット３１を搭載した無人搬送車である。
　【０００５】
　このシステムでは、無人搬送車３０は、処理前のウエハを収納したカセットを収めた密閉コンテナ４０を移載ロボット３１でストッカ２０から当該無人搬送車３０の荷台へ移載してウエハ処理装置１１〜１４の１つへ搬送し、ウエハ処理装置に渡す。また、処理を終えたウエハを収納したカセットを収めた密閉コンテナ４０を移載ロボット３１でウエハ処理装置からから当該無人搬送車３０の荷台へ移載してストッカ２０へ搬送する。ウエハ処理装置１１〜１４は受け取った密閉コンテナ４０からカセットを自動的に取り出して、内部のＣＶＤ炉等（図示しない）へ移し、また、処理を終えたウエハを収納したカセットを密閉コンテナ４０に自動的に収容させる必要があるので、この自動取り出し／収容をするための装置（上記コンテナインターフェース）を備えている。
　【０００６】
　ウエハ処理装置１１〜１４の符号Ａで示す部分はこのコンテナインターフェースを内蔵した部分であって、この部分が形成する台部Ａ上に、当該台部Ａに形成した開口Ｂと同心に、密閉コンテナ４０が移載される。
　【０００７】
　【発明が解決しようとする課題】
　このように、従来のものでは、ＣＶＤや拡散炉のウエハ処理装置１１〜１４や図示しない洗浄装置等装置の全てに、コンテナインターフェースを持たせているので、その分、これら装置が大形になり、高価になる。
　【０００８】
　また、多量枚数のウエハをバッチ処理するウエハ処理装置では、空の密閉コンテナの処理を考慮しなくてはならず、その分のスペースが必要になる。例えば、ウエハ１００枚処理の拡散炉では、カセットは２５枚入りが普通であるので、４箇の空密閉コンテナができる。
　【０００９】
　クリーンルームは建設費や運転費が非常に高くつくので、ウエハ処理装置等が大形になると、大幅にコスト上昇を招く。
　【００１０】
　本発明はこの問題を解消するためになされたもので、ウエハ処理装置等を小形・簡素で安価に製作できるようにし、システム全体の所要スペースを低減して、当該システムを安価で、コンバクトに構築することができる可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システムを提供することを目的とする。
　【００１１】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は上記目的を達成するため、請求項１では、第１の装置と第２の装置間を搬送する被搬送物を可搬式の密閉コンテナに入れて搬送し、当該搬送を、無人搬送装置で自動的に行なう自動搬送システムにおいて、上記無人搬送装置
における被搬送物授受用の扉付き窓を有する壁によって囲まれた空間内に、
　【００１２】
　請求項２は、自動出し入れ装置が、上記被搬送物を鉛直に搬送する機構と、上記被搬送物を水平に搬送する機構とを含んでいることを特徴としている。
　【００１３】
　請求項３においては、無人搬送装置は、第１の装置とは、被搬送物を収納した密閉コンテナをコンテナ移載装置により授受し、第２の装置とは、被搬送物を
上記自動出し入れ装置
　【００１４】
　また、請求項
４
　【００１５】
　また、請求項
５
　【００１６】
　また、請求項
６
　【００１７】
　また、請求項
７
　【００１８】
　また、請求項
８
　【００１９】
　【作用】
　本発明では、無人搬送車（無人搬送装置）
における被搬送物授受用の扉付き窓を有する壁によって囲まれた空間内に
　【００２０】
　【実施例】
　以下、本発明の１実施例を図面を参照して説明する。
　【００２１】
　図１において、６０は無人搬送車（無人搬送装置）であって、図４に記すように、カセット５２を鉛直に搬送する機構および水平に搬送する機構を含む自動出し入れ装置を台車６１内に内蔵している。台車６１の一方の側壁６１Ｌにはカセット搬入・搬出用窓６２が形成されるとともに当該カセット搬入・搬出用窓６２を開閉する自動扉６３が設けられている。６４は車輪である。台車６１の上壁６１Ｕには開口６５が形成されており、この開口６５の上面周部がコンテナ載置部６６として構成されている。
　【００２２】
　６７は昇降台であって、開口６５内に出入り可能な大きさを有し、開口６５の下面周部にシール材６８を介して係合するフランジ６９を有している。この昇降台６７は横方向に伸びる支持アーム７０の一端側で支持され、支持アーム７０の他端側７０Ａは垂直向きのねじ軸７１に螺合するとともに垂直向きのガイド軸（図示しない）に摺動自在に嵌合している。このねじ軸７１は図示しない駆動装置により正逆回転駆動される。この昇降台６７は、前記昇降台５０と同様にカム軸４９と当該カム軸４９を所定角度だけ回動するカム軸駆動機構５１を内蔵している。
　【００２３】
　台車６１内の符号７２で示す部材はカセット移載具である。この移載具７２は支持アーム７３の一端側で支持され、支持アーム７３の他端側７３Ａはカセット搬入・搬出用窓６２に向かって横向きに伸びるねじ軸７４に螺合するとともに水平向きのガイド軸（図示しない）に摺動自在に嵌合している。
　【００２４】
　ウエハ処理装置１１〜１４のケーシングの、無人搬送車６０の搬送路Ｌｏａｄ側に向く側壁には、カセット搬入・搬出用窓７５が形成されるとともに当該カセット搬入・搬出用窓７５を開閉する自動扉７６が設けられている。７７はカセット用台である。
　【００２５】
　また、ストッカ２０は、そのコンテナ取出し口２１の奥にコンテナハンドリング装置２２を備えている。
　【００２６】
　なお、図４の９１および９２は光通信装置であって、ウエハ処理装置１１〜１４と無人搬送車６０はこの光通信装置９１および９２を通して会話しながら、後述するシーケンスを実行する。
　【００２７】
　このシステムでは、処理前のウエハを収納したカセット５２を収めた密閉コンテナ４０はコンテナハンドリング装置２２によりストッカ２０から無人搬送車６０のコンテナ載置部６６へ移載される。この移載位置において、昇降台６７から突出するカム軸４９が密閉コンテナ４０の底蓋４４内のカム４５に係合するとともにコンテナ押さえ具（図示しない）が密閉コンテナ４０のフランジ４２Ａに上から係合して密閉コンテナ４０を固定する。密閉コンテナ４０を移載された無人搬送車６０は図示しない中央管理室から指定されたウエハ処理装置（例えば１１）の前まで移動して、カセット搬入・搬出用窓６２がウエハ処理装置１１のカセット搬入・搬出用窓７５と対向する所定位置に停車する。
　【００２８】
　（１）無人搬送車６０が上記所定位置に停車すると、カム軸４９が回動してロックアーム４６と底蓋４４の凹所４２Ａとの係合が外れ、解錠される。
　【００２９】
　（２）解錠が終わると、昇降台６７がカセット５２と底蓋４４を載せた状態で図Ｘの鎖線で示す位置まで下降する。
　【００３０】
　（３）昇降台６７の下降が終わると、自動扉６３と７６が開するとともに移載具７２が図示しない退避位置からカセット５２の上方へ移動し、カセット５２を若干持ち上げたのち、カセット搬入・搬出用窓６２側へ運び、カセット搬入・搬出用窓６２からウエハ処理後装置側のカセット搬入・搬出用窓７５を通してウエハ処理装置１１内へ搬入し、カセット用台７７上へ移載する。
　【００３１】
　（４）この移載が終わると、移載具７２が元の位置へ戻るとともに扉６３と７６が閉じる。移載具７２が上記退避位置へ戻ると、昇降台６７が上昇して、開口６５を閉鎖する。
　【００３２】
　（５）他方、ウエハ処理装置１１側では、カセット用台７７上のカセット５２を図示しない搬送機構により図示しない例えばＣＶＤ炉へ搬送する。
　【００３３】
　処理が終わったウエハを装置から取り出す場合は次のようになる。
　【００３４】
　（６）ウエハの処理が終わると、処理済みのウエハを収納したカセットが上記図示しない搬送機構によりカセット用台７７上へ搬送される。
　【００３５】
　（７）処理済みのウエハを収納したカセットがカセット用台７７上へ搬送されると、上記（１）から（５）のシーケンスが逆に繰り返されて、当該カセットが密閉コンテナ４０内へ収容される。
　【００３６】
　図２は本発明の他の実施例を示したもので、ストッカ２０は前記コンテナハンドリング装置２２を持たず、無人搬送車６０がコンテナハンドリング装置７８を備えている点において、図１のものと相違する。
　【００３７】
　図３は本発明の更に他の実施例を示したもので、無人搬送車６０が複数個の密閉コンテナ４０を搬送可能にしたもので、各密閉コンテナ４０に対応するコンテナインターフェースを内蔵している。
　【００３８】
　図５において、８１はブロア、８２は高性能フィルタ（ＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ等）であって、ウエハ処理装置１１〜１４の搬送路Ｌｏａｄ側に向く側壁の上部に設けられており、無人搬送車６０からウエハ処理装置へ、またその逆にカセット５２を受け渡しする間、クリーンエアを窓６２、７５側へダウンフローする。
　【００３９】
　この構成では、無人搬送車６０のカセット搬入・搬出用窓６２とウエハ処理装置１１のカセット搬入・搬出用窓７５との間がクリーン環境となり、カセット５２はこのクリーン環境として無人搬送車６０からウエハ処理装置へ、またその逆に受け渡しされることになるから、カセット授受時にウエハＷに塵埃が付着するのを防止することができる。
　【００４０】
　図６は上記クリーン環境を得る他の手段を示したものである。ベローズ（フード）８３であって、一端側が窓６２もしくは７５側に取り付けられ、他端側が相手窓の周部に圧接する構成となっており、窓６２と７５とはベローズ８３を通して連通する。なお、ベローズ（フード）８３の伸縮は図示しないアクチュエータで行なう。
　【００４１】
　図７は、ベローズ８３内に給気口８４と弁８５Ａを備える排気口８５とを開口ささせるともに、ベローズ８３の伸縮をアクチュエータ８６で制御する構成としたものである。８７はクリーンエア供給管である。
　【００４２】
　ところで、近年、ウエハ等に表面に形成される自然酸化膜が問題になり、この自然酸化膜の成長を抑制するために、ウエハ処理装置１１〜１４内や密閉コンテナ４０内を窒素やドライエア等のウエハにとって不活性なガスでガスパージする必要性が言われているが、ウエハ処理装置１１〜１４内や密閉コンテナ４０内を上記不活性なガスで満たすシステムでは、図７の構成で、クリーンエア供給管８７を不活性なガスの供給管とし、扉６３と７６およびベローズ８３で囲まれる空間を不活性なガスでガスパージしたのち、扉６３と７６を開けるようにすればよい。もちろん、ガスパージは、必要に応じて台車内部においても行なわれる。
　【００４３】
　【発明の効果】
　本発明は以上説明した通り、被搬送物であるカセットの密閉コンテナからの自動出し入れを可能にする自動出し入れ装置を無人搬送装置
における被搬送物授受用の扉付き窓を有する壁によって囲まれた空間内に
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の実施例を示すシステムの斜視図である。
　【図２】
　本発明の他の実施例を示すシステムの斜視図である。
　【図３】
　本発明の更に他の実施例を示すシステムの斜視図である。
　【図４】
　上記実施例における無人搬送車（無人搬送装置）を示す断面図である。
　【図
５
　上記実施例における無人搬送車とウエハ処理装置間のカセット授受空間の防塵機構を示す図である。
　【図
６
　上記実施例における防塵機構の他の例を示す図である。
　【図
７
　上記実施例における防塵機構の更に他の例を示す図である。
　【図
８
　可搬式密閉コンテナの１例を示す図である。
　【図
９
　可搬式密閉コンテナの施錠／解錠機構の１例を示す図である。
　【図
１０
　従来の自動搬送システムの斜視図である。
　【符号の説明】
　１　密閉コンテナ
　１１〜１４　ウエハ処理装置
　２０　ストッカ
　２２　ハンドリング装置
　４０　可搬式密閉コンテナ
　４４　密閉コンテナの底蓋
　５２　カセット
　６０　無人搬送車
　６１　無人搬送車の台車
　６２、７５　窓
　６３、７６　自動扉
　６７　昇降台
　６８　シール材
　６９　昇降台のフランジ
　７２　移載具
　７７　台
　７９　移載装置
　８１　ブロア
　８２　フィルタ
　８３　ベローズ（フード）
　８４　給気口
　８５　排気口
【図面】