【事件の表示】
　特許第３２９１１６１号「圧力式流量制御装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３２９１１６１号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
【１】手続の経緯
  本件特許第３２９１１６１号は、平成７年６月１２日に特許出願され、平成１４年３月２２日にその請求項１ないし４に係る発明について特許権の設定登録がなされ、その後、特許異議申立人・株式会社平井より請求項１ないし４について特許異議の申立てがあったので、当審において当該申立ての理由を検討の上、その請求項１ないし４に係る発明について平成１５年２月２８日付で取消理由を通知したところ、その通知書で指定した指定期間内である平成１５年５月９日に特許異議意見書が提出され、平成１５年５月２０日にその特許異議意見書を補正する手続補正書が提出され、平成１５年１１月５日に上申書が提出されたものである。　
　
【２】特許異議申立てについて　
１．特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人・株式会社平井は、甲第１号証（特願平７−１４２７６６号（特開平８−３３５１１７号）、甲第２号証（川田裕郎，小宮勤一，山崎弘郎編著　「流量計測ハンドブック」，日刊工業新聞社，昭和５４年７月１０日，ｐ．１０７−１０９）及び甲第３号証（ＩＳＯ９３００，「Measurement of gas flow by means of critical flow Venturi nozzles」，財団法人日本規格協会，１９９０年８月１５日，ｐ．１−５）を証拠として提出して、本件特許の請求項１ないし４に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるから、本件特許の請求項１ないし４に係る発明についての特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものであり、特許法第１１３条第２号の規定に該当し、取り消されるべきものである旨主張している。
（なお、本件は、平成７年１２月３１日以前の出願であるから、上記主張は、本件請求項１ないし４に係る発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものであり、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過規定を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、取り消されるべきものである旨の主張であると認められる。）
　
２．本件発明
　本件特許第３２９１１６１号の請求項１ないし４に係る発明（以下、このうちの請求項１に係る発明を、「本件発明」という）は、願書に添付した明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載される次のとおりのものと認める。
「【請求項１】　オリフィスの上流側圧力Ｐ１を下流側圧力Ｐ２の約２倍以上に保持した状態で流体の流量制御を行なう圧力式流量制御装置に於いて、金属薄板に微小な孔を穿設して形成され、上流側と下流側の気体の圧力比が前記約２倍以上で且つ前記孔の径が一定の場合には、気体の種類に拘わらず前記孔を通過する気体の流量が上流側圧力Ｐ１に正比例する流量特性を具備したオリフィス（５）と，オリフィス（５）の上流側に設けたコントロール弁（２）と，コントロール弁（２）とオリフィス（５）間に設けた圧力検出器（３）と，圧力検出器（３）の検出圧力Ｐ１から流量ＱｃをＱｃ＝ＫＰ１（但しＫは定数）として演算すると共に、流量指令信号Ｑｓと前記演算した流量信号Ｑｃとの差を制御信号Ｑｙとして前記コントロール弁（２）の駆動部（１４）へ出力する演算制御装置（６）とから構成され、コントロール弁（２）の開閉によりオリフィス上流側圧力Ｐ１を調整し、オリフィス下流側流量を制御することを特徴とする圧力式流量制御装置。
　【請求項２】　演算制御装置（６）を、圧力検出器（３）の検出圧力Ｐ１から流量ＱｃをＱｃ＝ＫＰ１（但しＫは定数）として演算すると共に、演算した前記流量Ｑｃの値をオリフィス（５）の上流側の気体温度Ｔ１に応じて補正するための温度補正回路（６ａ）を備え、流量指令信号Ｑｓと前記温度補正回路（６ａ）からの演算した流量信号Ｑｃとの差を制御信号Ｑｙとして前記コントロール弁（２）の駆動部（１４）へ出力する演算制御装置（６）とした請求項１に記載の圧力式流量制御装置。
　【請求項３】　オリフィス（５）を交換自在に取付けする構成とした請求項１に記載の圧力式流量制御装置。
　【請求項４】　コントロール弁（２）の弁本体（１２）に圧力検出器（３）の取付孔（１２ｄ）及びオリフィス（５）の取付孔（１２ｆ）を夫々設け、コントロール弁（２）の弁本体（１２）をブロック化して成る請求項１に記載の圧力式流量制御装置。」
　
３．引用出願に係る明細書等に記載された事項、並びに関連技術用語を示す刊行物
（１）特願平７−１４２７６６号（特開平８−３３５１１７号）
　特願平７−１４２７６６号（特開平８−３３５１１７号）の願書に最初に添付した明細書又は図面（甲第１号証：以下、「先願明細書」という）には、第１図〜第３図とともに、以下のア〜チの事項が記載されている。
　ア）「【従来の技術】近年においては各種産業の発展に伴い質量流量の制御を行う必要が増大し、質量流量を精度良く制御できないと製造等が適切に実施できない分野が多くなってきている。例えば、半導体産業の分野では、微細加工技術の発展と共に高集積化が進み、半導体製造プロセスの微細化にもとないウエハ上に生成される薄膜の制御は重要となってきている。この薄膜の成長制御はプロセスガスの微少流量制御によって行われる。したがって、このような製造過程において使用されるプロセスガス等の流体の流量制御は、再現性、安定性だけでなく、正確な絶対値としての質量流量が要求される。現在のところ、このようなプロセスガス等の流体の流量制御は、その殆どが熱式の質量流量計を用いて行われている。しかしながら、いままでの質量流量計を用いた流量制御では、微少流量制御を必要とされるレベルで精度よく正確に行うことを期待できない場合がある。」(段落番号【０００２】)
　イ）「ここで、質量流量計としては音速ノズルが利用されている。一般的には、この音速ノズルは、質量流量にして約５０グラム／分以上の中流量域において使用されている。音速ノズルは、そのレイノルズ数が１０６ 以上の領域においては流出係数が一定であり、その変動率が０．１パーセント以下である。また、その上流側流体圧力と下流側流体圧力の関係を臨界圧力比以下に保持して音速流を形成すれば、下流側の流体圧力、温度等の流体条件に影響されずに一定の質量流量で流体を供給することができる。したがって、非常に正確に一定の質量流量を得ることができる。しかし、レイノルズ数が１０６よりも小さな領域では流出係数が非線型で大幅に変化するので、このような範囲での使用、すなわち、微少流量域では全く利用されていない。」（段落番号【０００３】）
　ウ）「【作用】本発明の方法および装置においては、音速ノズルを用いているので、下流側の流体条件に影響されることなく流量の制御を行うことができる。また、音速ノズルのスロート直径に基づくレイノルズ数（ＲｅＴＨ）と実際の流出係数（Ｃｄ）の対応関係は、再現性があり、変動幅も０．１パーセント程度に抑制したものを得ることができることが確認されたので、高精度で微少流量制御を行うことができる。さらには、上流側の流体条件を変えるのみで流量を調整でき、ノズル径を絞る等といった機械的な可動部分が不要であるので、信頼性のある流量制御を実現できる。」（段落番号【００１１】）
　エ）「この質量流量制御装置１は、上流側配管３と下流側配管５の間に接続された配管１１を備え、この配管１１には、上流側から、管内圧力調整用の可変バルブ１２と音速ノズル１３がこの順序に配列されている。音速ノズル１３の上流側には、上流側流体の圧力Ｐｕおよび温度Ｔｕを検出するための圧力センサ１４および温度センサ１５が取付けれ、その下流側には、下流側流体の圧力Ｐｄを検出するための圧力センサ１６が取付けられている。」（段落番号【００１４】）
　オ）「これら各センサの出力は、Ａ／Ｄコンバータ１７、１８、１９を介してデジタル化されて、マイクロコンピュータから構成される制御回路２０に入力される。」（段落番号【００１５】）
　カ）「制御回路２０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備え、Ｉ／Ｏポートを介して入力されたセンサ出力に基づき、予めＲＯＭ内に格納されている制御プログラムを実行して、音速ノズル１３を介して下流側に供給される流体の質量流量が、目標とする質量流量となるように、ドライバ２１を介して可変バルブ１２を制御して、音速ノズル１３の上流側流体圧力Ｐｕを変化させる。」（段落番号【００１６】）
　キ）「音速ノズル１３としては、例えば、ＩＳＯ型トロコイダルスロートソニックベンチュリノズルを用いることができ、この形式のノズル断面を図２（ａ）に示してある。音速ノズル１３は、例えば、図２（ｂ）に示すような形状のノズルホルダ１３０に取り付けて使用する。本例で使用するのに適したノズル１３のスロート直径Ｄは約０．２ｍｍから約０．７ｍｍ程度の細いものである。従来において一般的に使用されている中流量領域で使用される音速ノズルのスロート直径は通常は約２ｍｍ程度のものである。」（段落番号【００１７】）
　ク）「この音速ノズル１３の臨界圧力比（Ｐｄ／Ｐｕ）は０．５乃至０．６の範囲である。この臨界圧力比を越えないように上流側および下流側の流体圧力Ｐｕ、Ｐｄを保持すれば、レイノルズ数が大きな領域ではノズルの流出係数Ｃｄはほぼ一定値をとり、その変動幅は０．１パーセント以内である。ここで、この流出係数Ｃｄとは、理論質量流量ＱｍＴＨと実際に精密天秤を使って測定された質量流量Ｑｍの比である。理論質量流量は次式で表される。」（段落番号【００１８】）
　ケ）「　ＱｍＴＨ＝ａ（＊）・ρ（＊）・Ａ（＊）　（１）
　　　　　ａ（＊）：スロート部での音速
　　　　　ρ（＊）：スロート部での密度
　　　　　Ａ（＊）：スロートの断面積
　一方、図３には、音速ノズルの上流側流体圧力を制御して、スロート部分でのレイノルズ数ＲｅＴＨを変化させ、臨界圧力比よりも低い安定した圧力比（例えば、Ｐｄ／Ｐｕ＝０．４）での音速ノズルの流出係数のレイノルズ数の依存性の定性的変化状態を示してある。このグラフから分かるように、レイノルズ数が１０４以上、通常は１０６以上の領域では、一定値をとり、その変動幅は０．１パーセントに過ぎない。このために、音速ノズルは中流量以上の領域において一定質量流量素子して広く利用されている。」（段落番号【００１９】）
　コ）「しかし、例えば、１０４程度よりも低いレイノルズ数の領域においては、流出係数はレイノルズ数の変化に応じて非線型に変動する。したがって、このような所謂微少流量領域においては音速ノズルが使用されることはなかった。しかるに、このような低いレイノルズ数の領域における流出係数とレイノルズ数の対応関係が判り、しかも、得られた対応関係に再現性があり変動幅が０．１パーセントのような極めて微少であれば、この領域を利用して、音速ノズルを質量流量制御のための可変質量流量素子として利用することができる。本発明者は、この点に着目して、実験を行ったところ、再現性よくしかも正確にこのような領域におけるレイノルズ数と流出係数との関係を求めることが可能なことを見いだした。すなわち、次式を求めることができる。」（段落番号【００２０】）
　サ）「Ｃｄ＝ｆ（ＲｅＴＨ）　　　　　（２）
　このような関係式を実験により予め求めておき、音速ノズルの上流側流体の圧力Ｐｕおよび温度Ｔｕを検出すれば理論質量流量ＱｍＴＨおよび理論レイノルズ数ＲｅＴＨを算出でき、算出したレイノルズ数に基づき、上記の関係式Ｃｄ＝ｆ（ＲｅＴＨ）から実際の流出係数Ｃｄを算出できるので、次の関係式から実際の質量流量Ｑｍを算出することができる。」（段落番号【００２１】）
　シ）「Ｑｍ＝Ｃｄ・ＱｍＴＨ　　　　（３）
　したがって、目標とする質量流量Ｑｍを得るためには、そのようなＱｍが得られるように、上記の関係式（２）に基づき、音速ノズルの上流側流体の圧力Ｐｕまたは温度（Ｔｕ）を制御すればよいことになる（勿論、双方を制御してもよい。）。密度は、圧力および温度を検出することにより算出することができる。」（段落番号【００２２】）
　ス）「ここで再び図１に戻って本例の質量流量制御装置１を説明すと、制御回路２０のＲＯＭ内には、音速ノズル１３を用いて較正試験を行うことによって求めたレイノルズ数と流出係数の関係式（２）が予め対応テーブルの形態で格納されている。したがって、入力部（図示せず）を介して目標質量流量を設定入力すれば、ＣＰＵにより演算が実行されて、その値の質量流量を得るための上流側圧力Ｐｕおよび密度ρｕが算出され、これらの値となるように、可変バルブ１２が駆動制御される。」（段落番号【００２３】）
　セ）「このように構成した本例の質量流量制御装置１は、音速ノズル１３を使用して、質量流量、特に微少質量流量を制御するようにしている。低いレイノルズ数の領域、すなわち１０６よりも小さな領域、特に１０４以下の低い領域においては、実験により、再現性のある変動幅の極めて小さなレイノルズ数と流出係数の関係式を求めることができるので、極めて精度のよい微少流量制御機構を実現できる。また、下流側流体の圧力、温度等の条件が変動してもそれが質量流量には影響しないという音速ノズルの優れた利点をそのまま活用できるという効果がある。さらには、機械的な可動部分を用いることなく、上流側の流体の圧力、温度を変えるのみで目標とする質量流量を得ることができるので、極めて信頼性のある制御機構を実現できる。」（段落番号【００２４】）
　ソ）「なお、上記の例においては、音速ノズルを１個だけ使用している。しかし、低いレイノルズ数の領域において径の細い１個の音速ノズルを使用したのみでは、広レンジでの質量流量調整を行うことができない。したがって、一般には、同一径あるいは異なる径の音速ノズルを多数個並列に接続し、これらの上流側に開閉弁を接続して、選択的に必要な音速ノズルを用いて、必要とされる質量流量の流体を下流側に供給することが望ましい。例えば、スロート直径Ｄが０．２ｍｍ、０．３ｍｍ、０．５ｍｍ、０．７ｍｍの４個の音速ノズルを並列接続して使用することができる。」（段落番号【００２５】）
　タ）「また、上記の例では、ベンチュリノズルを用いているが、その他の形状の音速ノズルを用いてもよいことは勿論である。また、上記の例では、マイクロコンピュータを用いて、関係式（２）を対応テーブルの形態でデジタル値として記憶しているが、例えば、関数発生器等を用いて関係式（２）を発生させてもよい。」（段落番号【００２６】）
　チ）「【発明の効果】
　以上説明したように、本発明の質量流量制御方法および装置においては、低レイノルズ数の領域でのレイノルズ数に対する音速ノズルの流出係数の関係を予め実験により求めておき、この関係に基づき、音速ノズルの上流側の圧力および密度を調整して、目標とする質量流量を得るようにしている。上記の関係は再現性のある極めて変動幅の少ないものであるので、極めて正確な微少質量流量の制御を実現することができる。また、音速ノズルを用いているので、下流側の圧力、温度等の変動要因には左右されずに流量制御を行うことができるという実用上極めて優れた利点がある。さらには、流量制御を行う部分である音速ノズルには、機械的な可動部分が無いので、信頼性のある質量流量調整を実現できるという利点もある。」（段落番号【００２７】）
　
（２）川田裕郎，小宮勤一，山崎弘郎編著　「流量計測ハンドブック」，日刊工業新聞社，昭和５４年７月１０日，ｐ．１０７−１０９　（甲第２号証：以下、「刊行物１」という）
　関連技術用語を示すものとして、上記刊行物１には、
　ツ）「・・・次の実用式により流量を計算する　Ｗ＝１．２５２Ｕ２ｄ２√ρｐ（ｋｇ／ｈ）・・・」（第１０７頁〜第１０９頁、ただし、記号√は、「ρｐのルート（平方根）」という意味である。）
等が記載されている。
　
（３）ＩＳＯ９３００，「Measurement of gas flow by means of critical flow Venturi nozzles」，財団法人日本規格協会，１９９０年８月１５日，ｐ．１−５（甲第３号証：以下、「刊行物２」という）
　関連技術用語を示すものとして、上記刊行物２には、
　テ）「音速ノズルとして用いるベンチュリノズルにおいても、臨界条件下では温度が一定であれば流量が上流側圧力に比例する。」旨
等が記載されているものと認められる。
　
４．先願発明
　上記３．（１）の記載事項を参酌すると、先願明細書には、以下の事項が示されているものと認められる。
　第２図（ａ）、第２図（ｂ）及び記載事項キを参酌すると、音速ノズル１３は、板状部材にスロート部分を含む孔が形成されたものであり、「ノズル１３のスロート直径Ｄは約０．２ｍｍから約０．７ｍｍ程度の細いもの」であるから、音速ノズル１３は、板状部材に微細な孔を穿設して形成されていると認められ、前記微細な孔の径を変化させる制御が行われているわけではないから、音速ノズルの孔の径は一定であるものと認められる。
　記載事項ク、ケ及び第３図を参酌すると、音速ノズル１３は、「臨界圧力比よりも低い安定した圧力比（例えば、Ｐｄ／Ｐｕ＝０．４）」（上流側流体圧力Ｐｕ を下流側流体圧力Ｐｄの約２倍以上に保持した状態と認められる。）で、「レイノルズ数が１０４以上、通常は１０６以上の領域」では、流出係数Ｃｄは、ほぼ「一定値」をとるものと認められる。
　「図１に戻って本例の質量流量制御装置１を説明・・・目標質量流量を設定入力すれば、・・・その値の質量流量を得るための上流側圧力Ｐｕ」（記載事項ス）、及び「このように構成した本例の質量流量制御装置１は、音速ノズル１３を使用して、質量流量、特に微少質量流量を制御するようにしている。」（記載事項セ）から、音速ノズル１３は、音速ノズル１３の微細な孔を通過する気体の質量流量が上流側流体圧力Ｐｕをパラメータとする流量特性を具備しているノズルであると認められるし、質量流量制御装置１は、目標とする質量流量Ｑｍを得るように、上流側流体圧力Ｐｕから質量流量Ｑｍを演算するものと認められる。
　記載事項エ及び第１図から、音速ノズル１３の上流側に設けた可変バルブ１２と、可変バルブ１２と音速ノズル１３間に設けられた、上流側流体圧力Ｐｕを検出する圧力センサ１４が認められる。
　上記質量流量制御装置１は、圧力センサ１４で検出される上流側流体圧力Ｐｕを用いて制御を行っているから、圧力式であると認められる。
　記載事項オ、カ及び第１図から、上記質量流量制御装置１は、目標とする質量流量Ｑｍを得るように制御信号を前記可変バルブ１２のドライバ２１へ出力する制御回路２０を構成し、可変バルブ１２の制御により（開閉により）音速ノズル1３の上流側流体圧力Ｐｕを変化させ（調整し）、音速ノズル１３の下流側に供給される流体の質量流量を制御するものと認められる。
　よって、上記記載事項ア〜チ、第１図〜第３図から、先願明細書には、
「音速ノズル１３の上流側流体圧力Ｐｕ を下流側流体圧力Ｐｄの約２倍以上に保持した状態で、流体の質量流量制御を行なう圧力式質量流量制御装置１に於いて、板状部材に微細な孔を穿設して形成され、上流側と下流側の気体の圧力比が前記約２倍以上で且つ前記孔の径が一定の場合に、レイノルズ数が１０４以上（通常は１０６以上）の領域では、流出係数Ｃｄがほぼ一定で、音速ノズル１３の微細な孔を通過する気体の質量流量が上流側流体圧力Ｐｕをパラメータとする流量特性を具備した音速ノズル１３と、音速ノズル１３の上流側に設けた可変バルブ１２と、可変バルブ１２と音速ノズル１３間に設けた圧力センサ１４と、圧力センサ１４により検出される上流側流体圧力Ｐｕから質量流量Ｑｍを演算すると共に、目標とする質量流量Ｑｍを得るように制御信号を前記可変バルブ１２のドライバ２１へ出力する制御回路２０とから構成され、可変バルブ１２の開閉により音速ノズル1３の上流側流体圧力Ｐｕを調整し、音速ノズル１３の下流側に供給される流体の質量流量を制御する圧力式質量流量制御装置１。」（以下、「先願発明」という）
が記載されているものと認められる。
　
５．対比・判断
　５−１．請求項１に係る発明について
［発明の対比］
　本件発明と先願発明とを対比する。
ａ）先願発明の「質量流量」と本件発明の「流量」とについて
　「流量」という用語は、一般にその用語の意味上、質量流量の上記概念に相当するから、先願明細書に記載の「質量流量」は、本件発明の「流量」に相当するといえる。
　本件発明の「流量」が、体積流量という意味に限定して用いられているとしても、以下の理由により、先願発明の「質量流量」と、本件発明の「流量」は、実質的に同じものであると認められる。
　臨界状態を前提とした先願発明において、圧力を変動させた場合に温度を含む他の物理的条件がほぼ一定であれば、上流側流体圧力と質量流量が正比例の関係にあるのであれば、上流側流体圧力と体積流量も同様の比例関係にあることは、記載事項ツの式等から導かれることを証明するまでもなく技術常識である。
　そうすると、本件発明の「流量」は、体積流量を意味するものであるとしても、先願発明の「質量流量」と比較して、計測及び制御する際に、流量の単位として質量を選択するか体積を選択するかという単なる単位に違いがあるだけであり、上流側流体圧力と流量が正比例の関係にあるという技術的な意味においては同様のものであるから、先願発明の「質量流量」と本件発明の「流量」は、実質的に同じものであると認められる。
　ｂ）上述のように、先願発明の「質量流量」は、本件発明の「流量」に相当するから、先願発明の「流体の質量流量制御」、「圧力式質量流量制御装置１」、「下流側に供給される流体の質量流量」は、それぞれ本件発明の「流体の流量制御」、「圧力式流量制御装置」、「下流側流量」に相当する。
　先願発明の「上流側流体圧力Ｐｕ」は、本件発明の「上流側圧力Ｐ1」又は「検出圧力Ｐ1」に相当する。
　先願発明の「下流側流体圧力Ｐｄ」、「圧力センサ１４」、「可変バルブ１２」、「ドライバ２１」、「制御回路２０」は、それぞれ、本件発明の「下流側圧力Ｐ2」、「圧力検出器（３）」、「コントロール弁（２）」「駆動部（１４）」、「演算制御装置（６）」に相当する。
　本件発明の「金属薄板」は、「板」という意味では、先願発明の「板状部材」に相当する。
　ｃ）先願発明の「音速ノズル」と本件発明の「オリフィス」との構成上の共通点について、検討する。
　一般的に、「オリフィス」は、単に「すきま又は孔」を意味し、「ノズル」は、「筒状の先端の細孔から流体を噴出させる装置」のように孔を含めたノズル装置を意味しているので（「マグローヒル　科学技術用語大辞典第２版」，日刊工業新聞社，昭和60年3月25日発行、等を参照）、これらは、用語の意味としては異なるものである。
　しかし、本件発明と先願発明についていえば、本件の発明の詳細な説明（段落番号【００２４】等）を参酌すると、本件発明の「オリフィス」は、孔そのものを意味するのではなく、金属薄板に孔部を設けたものを「オリフィス」としていると認められるから、先願発明の板状部材に微細な孔を穿設して形成された「音速ノズル１３」と対応するものであると認められる。
　本件発明のオリフィスの孔部（微小な孔）は、本件の発明の詳細な説明の記載から、内径は特定できるものの、孔部全体の具体的形状までは特定できないし、先願発明の音速ノズルの孔部（微細な孔）も、先願明細書の記載から、内径は特定できるものの、ベンチュリノズルやその他の形状の音速ノズルに用いてもよいとされているだけで、孔部全体の具体的形状までは特定できないが、少なくとも、両者の「孔」は、流路の途中を絞るための機能を有している微小な孔（微細な孔）であると認められるから、本件発明の「オリフィス」と先願発明の「音速ノズル」は、「板状部材に設けられた微小な孔（微細な孔）」という点では一致する。
（以下、本件発明の「オリフィス」は、先願発明の「音速ノズル」と対応し、同様に、「オリフィスの孔」は、「音速ノズルの孔」に対応するものと仮定する。）
　ｄ）先願発明の「音速ノズル」と本件発明の「オリフィス」との機能上の共通点について、検討する。
　先願発明において、音速ノズル１３は、「板状部材に微細な孔を穿設して形成され、上流側と下流側の気体の圧力比が前記約２倍以上で且つ前記孔の径が一定の場合に、レイノルズ数が１０４以上（通常は１０６以上）の領域では、流出係数Ｃｄがほぼ一定で、音速ノズル１３の微細な孔を通過する気体の質量流量が上流側流体圧力Ｐｕをパラメータとする流量特性を具備した音速ノズル１３」である。
　そこで、臨界状態を含む安定した状態（即ち、流出係数Ｃｄが一定の状態）では、質量流量が上流側流体圧力に比例し上流側流体温度の平方根に反比例するという技術常識（必要であれば、上記刊行物１の記載事項ツ及び上記刊行物２の記載事項テ等を参照）を考慮すると、先願発明では、レイノルズ数が１０４以上（通常は１０６以上）の領域では、流出係数Ｃｄがほぼ一定であるから、上流側流体温度が一定であれば、前記音速ノズルの微細な孔を通過する気体の質量流量は、上流側流体圧力Ｐｕに正比例するといえる。
　そうすると、先願発明の音速ノズルは、「板状部材に微細な孔を穿設して形成され、上流側流体圧力Ｐｕ と下流側流体圧力Ｐｄの圧力比が約２倍以上で且つ音速ノズルの微細な孔の径が一定の場合には、レイノルズ数が１０４以上（通常は１０６以上）の領域では、前記音速ノズルの微細な孔を通過する気体の質量流量が上流側流体圧力Ｐｕに正比例する流量特性を有する音速ノズル」であると認められ、レイノルズ数が１０４以上（通常は１０６以上）の領域では、本件発明のオリフィスと同様の機能を有しているものと認められる。
　よって、両者は、
＜一致点＞
「板状部材に設けられた微小な孔の上流側圧力Ｐ１を下流側圧力Ｐ２の約２倍以上に保持した状態で流体の流量制御を行なう圧力式流量制御装置に於いて、板状部材に微小な孔を穿設して形成され、上流側と下流側の気体の圧力比が前記約２倍以上で且つ前記孔の径が一定の場合には、前記孔を通過する気体の流量が上流側圧力Ｐ１に正比例する流量特性を具備した板状部材に設けられた微小な孔と，板状部材に設けられた微小な孔の上流側に設けたコントロール弁と，コントロール弁と板状部材に設けられた微小な孔間に設けた圧力検出器と，圧力検出器の検出圧力Ｐ１から流量Ｑｃを演算すると共に、制御信号Ｑｙとして、前記コントロール弁の駆動部へ出力する演算制御装置とから構成され、コントロール弁の開閉により板状部材に設けられた微小な孔の上流側圧力Ｐ１を調整し、板状部材に設けられた微小な孔の下流側流量を制御する圧力式流量制御装置。」
で一致し、次の４点で、文言上は相違する。
＜相違点１＞
　板状部材に穿設れた微小な孔（微細な孔）が、本件発明は、「オリフィスの孔」であるの対して、先願発明は、「音速ノズルの孔」である点。
＜相違点２＞
　微小な孔（微細な孔）を穿設した板状部材として、本件発明は、「金属薄板」を用いているの対して、先願発明は、板状部材の材質及び厚さは不明である点。
＜相違点３＞
　微小な孔（微細な孔）の流量特性が、本件発明は、「気体の種類に拘わらず」得られる特性であるのに対して、先願発明は、「気体の種類に拘わらず」と明記されていない点。
＜相違点４＞
　コントロール弁の駆動部へ出力する制御信号として、本件発明は、「圧力検出器の検出圧力Ｐ１から流量ＱｃをＱｃ＝ＫＰ１（但しＫは定数）として演算すると共に、流量指令信号Ｑｓと前記演算した流量信号Ｑｃとの差を制御信号Ｑｙとして前記コントロール弁（２）の駆動部（１４）へ出力する」のに対して、先願発明は、「圧力センサ１４により検出される上流側流体圧力Ｐｕから質量流量Ｑｍを演算すると共に、目標とする質量流量Ｑｍを得るように制御信号を可変バルブ１２のドライバ２１へ出力する」点。
　
［相違点の判断］
　上記文言上の相違点１ないし４について、以下で検討する。
＜相違点１について＞
　一般に、オリフィスの孔は、上流側が鋭いエッジとなっているのに対し、ノズルの孔は、上流側が特定形状の円弧になるように設計されるのが技術常識である。
（日本工業標準調査会，「絞り機構による流量測定方法」，ＪＩＳ　Ｚ　８７６２−1995，日本規格協会発行，平成７年７月１日改正，第１１頁第２１行と図３、第１６頁下第３行〜最下行と第１７頁図６（特許異議意見書に添付された乙第１号証）、又は、「機械工学便覧」，社団法人日本機械学会発行，昭和５４年７月２０日改訂第６版２刷発行，第３章　圧力・流速および流量測定　第８−３７頁〜第８−３８頁を参照。）
　そうすると、それらの孔の形状から、本件発明のオリフィスと先願発明の音速ノズルは、文言上で相違するだけではなく、技術的な意義においても、明らかに相違するものと認められる。
　次に、両者の孔の機能についてみる。
　先願発明の音速ノズルでは、レイノルズ数が１０４未満（通常は１０６未満）の領域になると、流出係数Ｃｄが減少するから（先願明細書の第３図を参照）、音速ノズルの微細な孔を通過する気体の質量流量は、上流側流体圧力Ｐｕ（上流側圧力Ｐ1）と正比例しなくなる。
　一方、本件明細書の第１０図に記載されるデータから、演算し（特許権者が提出した上申書及びその添付資料Ａの記載を参照）、レイノルズ数と流出係数Ｃｄとの関係を示すと、前記平成１５年１１月５日付の上申書に添付した添付資料Ａ第７頁のＦｉｇ４の結果が導きだされる。
　該Ｆｉｇ４は、本件発明のオリフィスの微細な孔を用いると、低流量域、即ち、レイノルズ数１０６未満（レイノルズ数が１０３〜１０５の範囲を含む）においても、流出係数Ｃｄがほぼ一定となり、気体の流量が上流側圧力Ｐ１に正比例することを示している。
　したがって、微小な孔としてオリフィスの孔を用いる本件発明は、１０４未満の低流量域においても、オリフィスの微小な孔を通過する気体の流量と上流側圧力Ｐ１がほぼ比例するので、低流量域であっても流量係数Ｃｄの補正を行う必要はなく、低流量域に於ける測定精度を高めることができるという独自の効果を奏する。
＜相違点２について＞
　オリフィスやノズルの技術分野において、金属薄板に微小な孔を穿設することは慣用技術であるので、先願発明の微細な孔（微小な孔）を穿設する板状部材を、金属薄板とすることは、単なる慣用技術の付加にすぎない。
＜相違点３について＞
　記載事項ア等を参酌すると、先願明細書には、「気体の種類に拘わらず」と明記はされていないが、使用する又は不使用とする気体の種類について特に限定がされていないので、先願発明は、プロセスガスの一般的なものに適用できる（気体の種類に拘わらず一般的な流体に適用できる）とするのが自然であるから、一定のレイノルズ数の領域では、先願発明の音速ノズル（板状部材に設けた微小な孔）は、本件発明のオリフィスと同様に気体の種類に拘わらず、上流側圧力に正比例する流量特性が得られると考えられる。
＜相違点４について＞
　先願発明には流量演算をＱｃ＝ＫＰ１（但しＫは定数）という式により行うことが記載されていないが、前記式は、一定のレイノルズ数の領域では、流量（質量流量又は体積流量）が圧力に正比例するという先願発明の原理を単に式に示したにすぎないので、実質的には、先願発明でも、前記式を用いて流量演算が行われているものとするが妥当である。
　そして、フィードバック制御等の自動制御技術分野では、実測値と目標値の差に関する値を制御信号とすることにより実測値を目標値に近づける制御を行うことは、常套手段であるから、先願発明の流量の制御においても、実測値である上記演算した質量流量（流量信号）と目標値である目標質量流量（流量指令信号）の差を制御信号として用いることは、単に自動制御技術の常套手段を用いたにすぎない。
　
　したがって、本件発明と先願発明は、上記相違点２ないし４においては、文言上で相違するものの技術的な意義において実質的に相違がないといえるが、本件発明は、上記相違点１で技術的な意義において先願発明と相違することで、製造コストの低減が可能となるだけでなく、上述したように先願発明が有さない独自の作用効果を奏するから、本件発明と先願発明とは同一発明であるとはいえない。
　
５−２．請求項２ないし４に係る発明について
　本件の請求項２ないし４に係る発明は、いずれも、本件発明（本件の請求項１に係る発明）を引用し、本件発明より更に構成を限定した発明であるから、上記４−１．で説示したとおり、先願発明と同一であるとはいえない。
　
【３】むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件の請求項１ないし４に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件の請求項１ないし４に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年１２月１２日（２００３．１２．１２）