(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に凸部を有する樹脂層を表面層として具備する被測定物の表面に当接部材を当接させたときの該被測定物の表面形状を観察する方法であって、
下記（１）〜（３）の工程を含むことを特徴とする被測定物の表面形状の観察方法：
（１）：下記条件（ｉ）〜（ｉｉｉ）を満たす当接部材を用意する工程：
（ｉ）日本工業規格（ＪＩＳ）  Ｒ  ３１０６  １９９８に基づく可視光域の全域の透過率が９０％以上；
（ｉｉ）少なくとも一方の表面における、日本工業規格（ＪＩＳ）  Ｒ  ３１０６  １９９８に基づく可視光反射率が、該被測定物の表面における日本工業規格（ＪＩＳ）  Ｒ  ３１０６  １９９８に基づく可視光反射率に対して８０％以下；
（ｉｉｉ）該表面における、可視光の波長域内の波長λ１において示される最も高い反射率をＲ１％とし、可視光の波長域内の波長λ２において示される最も低い反射率をＲ２％としたとき、Ｒ１とＲ２との差が、０．５％以上；
（２）該当接部材の該表面側と、該被測定物の表面とを当接させる工程、
（３）該当接部材の該表面とは反対側の表面から該波長λ１及び該波長λ２を含む光を入射させ、該被測定物からの該光の反射光を分光検出する工程。
【請求項２】
前記工程（３）が、
前記波長λ２の光を用い、共焦点顕微鏡で該被測定物の三次元形状を測定する工程を含む請求項１に記載の該被測定物の表面形状の観察方法。
【請求項３】
前記樹脂層が、カーボンブラックを含む請求項１または２に記載の被測定物の表面形状の観察方法。
【請求項４】
前記当接部材が、少なくとも一方の表面に反射防止膜を有する請求項１〜３の何れか一項に記載の被測定物の表面形状の観察方法。
【請求項５】
前記当接部材が、両面に反射防止膜を有する請求項４に記載の被測定物の表面形状の観察方法。
【請求項６】
前記可視光の波長域が、４５０ｎｍ以上７００ｎｍ以下である請求項１〜５のいずれか一項に記載の被測定物の表面形状の観察方法。
【請求項７】
前記波長λ１が、前記波長λ２よりも長波長である請求項１〜６のいずれか一項に記載の被測定物の表面形状の観察方法。
【請求項８】
前記工程（３）が、該被測定物からの該光の反射光を、赤色、緑色、青色の３色に分解する３ＣＣＤカメラを用いて分光検出する工程を含む請求項１〜７のいずれか一項に記載の被測定物の表面形状の観察方法。
【請求項９】
前記被測定物が、表面に凸部を有する電子写真用の帯電部材である請求項１〜８の何れか一項に記載の被測定物の表面形状の観察方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、凸部を表面に有する樹脂層を備えた被測定物の表面に、当接部材を当接させたときの被測定物の表面形状を観察する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面に微細な凸部を形成することによって、放電性能の安定化を図った帯電部材が知られている。ここで、帯電部材が電子写真感光体などの被帯電体との当接部においては、帯電部材の凸部が変形し、その変形の程度が、被帯電体の帯電状態に影響を与えることが分かっている。しかしながら、これまで、当接部における帯電部材の変形の程度を正確に知ることはできなかった。したがって、帯電部材の帯電性能のより一層の向上のための表面形状の最適化を図るうえで、当接状態における帯電部材の表面の三次元形状を正確に知ることが有効である。
【０００３】
これまでに、二次元で当接状態を観察する方法は幾つか提案されており、特許文献１は、一般的に知られている観察対象物と当接部材の当接部における接触点の観察方法である。観察対象物とプリズムを当接させ、当接部に対して全反射する角度でプリズム側より光を入射する。前記当接部では、光の吸収により輝度が低下し、非当接部では、当接部材の裏面から全反射することとなる。
これにより、当接部のコントラストが向上し、接触面積を観察すことが可能となる。また、特許文献２は、特許文献１に記載の方法では困難とされる液中において、観察対象物と当接部材の当接部を観察する方法、及び装置を開示している。特許文献２に開示の方法及び装置では、当接部を観察するために同軸照明を採用し、当接部材の一方の面に反射防止フィルムを張り付け、当接部材と液体の界面における反射光を低減することで、当接部のコントラストを向上させている。
【０００４】
特許文献１及び特許文献２は、当接状態として、当接面積、当接点サイズを評価する平面的な方法であるが、特許文献１及び特許文献２ともに、観察対象物と当接部材を当接させた時の、観察対象物の表面における非当接部分を同時に観察することはできない。これは、当接部材の非当接部からの反射光量が大きいことによる。そのため、当接状態の三次元形状を観察することは困難とされてきた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３３８１４４５号公報
【特許文献２】特開２０１０−１０７４６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、凸部を表面に有する樹脂層を備えた被測定物の表面に当接部材を当接させたときの被測定物の表面形状を観察する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、表面に凸部を有する樹脂層を表面層として具備する被測定物の表面に当接部材を当接させたときの該被測定物の表面形状を観察する方法であって、下記（１）〜（３）の工程を含むことを特徴とする被測定物の表面形状の観察方法が提供される。
（１）：下記条件（ｉ）〜（ｉｉｉ）を満たす当接部材を用意する工程：
（ｉ）日本工業規格（ＪＩＳ）  Ｒ  ３１０６  １９９８に基づく可視光域の全域の透過率が９０％以上；
（ｉｉ）少なくとも一方の表面における、日本工業規格（ＪＩＳ）  Ｒ  ３１０６  １９９８に基づく可視光反射率が、該被測定物の表面における日本工業規格（ＪＩＳ）  Ｒ  ３１０６  １９９８に基づく可視光反射率に対して８０％以下；
（ｉｉｉ）該表面における、可視光の波長域内の波長λ１において示される最も高い反射率をＲ１％とし、可視光の波長域内の波長λ２において示される最も低い反射率をＲ２％としたとき、Ｒ１とＲ２との差が、０．５％以上；
（２）該当接部材の該表面側と、該被測定物の表面とを当接させる工程、
（３）該当接部材の該表面とは反対側の表面から該波長λ１及び該波長λ２を含む光を入射させ、該被測定物からの該光の反射光を分光検出する工程。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、凸部を表面に有する樹脂層を表面層として備えた被測定物の表面に当接部材を当接させたときの被測定物の表面形状を観察することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】当接状態を三次元に観察する方法を説明するための模式図である。
【図２】実施例１において当接前および当接後の被測定物の断面を観察した結果を示す図である。
【図３】実施例１において当接前および当接後の被測定物の表面を観察した結果を示す図である。
【図４】比較例１において当接状態を観察した結果を示す図である。
【図５】当接部からの反射光と非当接部からの反射光を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本発明である当接状態における被測定物の表面の三次元形状を観察する方法を表す模式図である。以下では、被測定物として、金属シャフト（芯金３）に樹脂層としてのゴム弾性層２を有した弾性ローラ１を例に説明するが、研磨処理や、粗し粒子添加などの公知の手法により凸部を表面に有する樹脂層を表面層として備えた被測定物であれば、その限りではない。図１に示す例では、当接部材４は透明板５と反射防止膜６とからなり、反射防止膜６は弾性ローラ１に当接させられる側の面に設けられている。
【００１１】
＜当接状態観察方法＞
弾性ローラ１に対して、当接状態における被測定物の表面の三次元形状を観察する方法について説明する。
本観察方法は、
（１）弾性ローラ１に当接させる当接部材４を用意する工程と、
（２）当接部材４の表面と弾性ローラ１の表面とを当接させる工程と、
（３）当接部材４の弾性ローラ１とは反対側の表面から、波長λ１及び波長λ２を含む光を入射させ、弾性ローラ１からの光の反射光を分光検出する工程と、を有する。
【００１２】
図５に示すように、「当接部材４と弾性ローラ１の非当接部からの反射光」は「反射防止膜６とゴム弾性層２との非当接部５２を透過し、反射防止膜６の表面とゴム弾性層２の表面との間の空間を通過した後に、ゴム弾性層２の表面で反射した反射光」を多く含む。
一方、「当接部材４と弾性ローラ１の当接部からの反射光」は、「反射防止膜６とゴム弾性層２との非当接部５２を透過し、反射防止膜６の表面とゴム弾性層２の表面との間の空間を通過した後に、ゴム弾性層２の表面で反射した反射光」をほとんど含まない。
【００１３】
＜当接部材を用意する工程＞
先ず、弾性ローラ１と当接させる当接部材４を用意する工程について説明する。
当接部材４は、条件（ｉ）〜（ｉｉｉ）を満たす。
（ｉ）日本工業規格（ＪＩＳ）  Ｒ  ３１０６  １９９８に基づく可視光域の全域の透過率が９０％以上；
（ｉｉ）少なくとも一方の表面における、日本工業規格（ＪＩＳ）  Ｒ  ３１０６  １９９８に基づく可視光反射率が、該被測定物の表面における日本工業規格（ＪＩＳ）  Ｒ  ３１０６  １９９８に基づく可視光反射率に対して８０％以下；
（ｉｉｉ）該表面における、可視光の波長域内の波長λ１において示される最も高い反射率をＲ１％とし、可視光の波長域内の波長λ２において示される最も低い反射率をＲ２％としたとき、Ｒ１とＲ２との差が、０．５％以上：
【００１４】
例えば、当接部材４は、透明板５と、透明板５の被測定物の側の表面に反射防止膜６とを備えている。
透明板５は、日本工業規格（ＪＩＳ）  Ｒ  ３１０６  １９９８に基づく可視光域の全域（波長λ１及び波長λ２の光を含む。）の透過率が９０％以上の透明板である。
【００１５】
反射防止膜６は、日本工業規格（ＪＩＳ）  Ｒ  ３１０６  １９９８に基づく、当接部材における弾性ローラ（被測定物）側の反射率が、可視光域の全域において、弾性ローラ１の表面における可視光域の反射率の中で最も低い反射率の８０％以下である。
つまり、弾性ローラ１の表面の反射率であって、可視光域において最も低い反射率を１００とすると、反射防止膜６の弾性ローラ１側の反射率であって、可視光域において最も高い反射率は８０以下である。
【００１６】
当接部材における被測定物側の反射率は、可視光の波長域内の波長λ１において最も高くなり、このときの反射率を反射率Ｒ１とし、
当接部材における被測定物側の反射率は、可視光の波長域内の波長λ２において最も低くなり、このときの反射率を反射率Ｒ２とすると、
反射率Ｒ１と反射率Ｒ２との差は、０．５％以上である。
【００１７】
透明板５の材質としては、可視光の波長域内（波長４５０ｎｍ以上７００ｎｍ以下）において透過率が９０％以上のガラス、樹脂、などがあるが、使用する光の波長λ１及び波長λ２を含む光の透過率が高ければ特に限定されるものではない。
反射防止膜６に関しては、フィルムタイプ、単層膜タイプ、多層膜タイプ、などがあるが、いずれのものでも良い。
【００１８】
反射防止膜６が当接部材の両面に施されていると、観察感度がより良好となるため好ましい。観察感度がより良好となる理由は、以下のとおりである。
当接部材の光を照射する側（光が入射する側。被測定物に当接させる面とは反対側。）の面に施されている反射防止膜６は、当接部材の光を照射する側の面における反射光の影響を抑制することができる。
当接部材の光を反射する側の面に施されている反射防止膜６は、
当接部材と弾性ローラとの当接部からの反射光の強度と、
当接部材と弾性ローラとの非当接部からの反射光の強度と
の差を大きくすることができる。
【００１９】
＜当接部材と被測定物とを当接させる工程＞
次に、当接部材の表面側と、被測定物の表面とを当接させる工程について説明する。
当接部材４の被測定物（弾性ローラ１）側に反射防止膜６が設けられている場合は、反射防止膜６の表面と弾性ローラ１の表面とが接するように当接させる。
例えば、当接部材４の方向へ弾性ローラ１の両端の金属シャフト（芯金３）を押圧する。ここで当接荷重は、特に限定されるものではなく、実使用条件に近い条件であることが好ましい。例えば、実施例１に挙げる電子写真用の弾性ローラでは片側１０００ｇ以下であれば良い。
【００２０】
＜当接部からの反射光と、非当接部からの反射光とを区別して検出する工程＞
次に、当接部材４を通して弾性ローラ１に対して、波長λ１及び波長λ２を含む光を照射し、光を入射させる。そして、当接部材４と弾性ローラ１の当接部からの反射光と、当接部材４と弾性ローラ１との非当接部を透過した後、弾性ローラ１の表面で反射した光とを区別して検出（分光検出）する工程について説明する。
【００２１】
まず、弾性ローラ１に対して、当接部材４を通して波長λ１及び波長λ２を含む光を照射する。当接部材４を透過した光は、当接部材４と弾性ローラの界面において、当接部材における弾性ローラ側の反射率Ｒ１、反射率Ｒ２に対応した波長λ１、波長λ２の強度で、反射光と透過光に分かれる。当接部材を透過した光は、弾性ローラ１の表面で反射した後、再度、反射防止膜により反射率Ｒ１、反射率Ｒ２に対応した波長λ１、波長λ２の強度で、反射光と透過光に分けられる。
【００２２】
本発明では、弾性ローラ１の表面の反射率に対して、当接部材における弾性ローラ側の反射率が８０％以下となる反射防止膜を使用することで、弾性ローラ１の表面を観察可能とした。
また、反射率Ｒ１と反射率Ｒ２に０．５％以上の差を持たせることで、弾性ローラ１の表面と当接部材の表面との当接部又は非当接部からの反射光に含まれる波長λ１と波長λ２の成分に強度差を生じさせる。
【００２３】
具体的には、
最も高い反射率Ｒ１に対応する波長λ１は相対的に長く、最も低い反射率Ｒ２に対応する波長λ２は相対的に短い。すなわち、波長λ１は、波長λ２に対して長波長である。
非当接部への入射光は、弾性ローラ１の表面の凹部内で乱反射を繰り返し、減衰していく。相対的に、波長λ１の光は波長が長いため減衰が進み、波長λ２の光は波長が短いため減衰は進まない。
そして、当接部材から非当接部へ入射した入射光が、反射光として当接部材へ再び入射する際、波長λ１の光の反射率Ｒ１は高く、波長λ２の光の反射率Ｒ２は低いため、波長λ１の光は再び入射し難く、波長λ２の光は再び入射し易い。
その結果、非当接部からの反射光には、波長の短いλ２が、波長の長いλ１よりも多く含まれ、分光検出することによって当接部と非当接部とを観察することができる。
【００２４】
この波長λ１と波長λ２の強度差を、反射光を分光検出する波長分離観察手段７により観察することで、弾性ローラ１と当接部材４との当接部と非当接部との区別を可能とした。ここで波長分離観察手段７として、カラー撮像可能なエリアカメラであることが好ましい。例えば、反射光を赤色、緑色、青色の３色に分解する３ＣＣＤカメラが挙げられる。
【００２５】
本観察方法により、弾性ローラ１と当接部材４との当接部と非当接部を波長（カラー画像上の色）により区別して観察することが可能となる。したがって、弾性ローラ１のゴム弾性層２に添加された粗し粒子の大きさによる当接の違いや、ゴム弾性層２の表面粗さの違いなどを明確に区別して観察することが可能となる。つまり、添加する材料によって、被帯電体と弾性ローラ１との当接部における当接状態（接触面積や、ニップ内三次元形状）を適正化することができる。
【００２６】
また、当接部に到達した光の一部は弾性ローラ１の表面で吸収される。このため、弾性ローラ１の表面層である樹脂層が、カーボンブラックなどの波長の短い光の吸収に優れている材料を含む場合、当接部の反射光には波長の長い光が多く含まれる。この結果、分光検出した場合に、当接部と非当接部とのコントラストがより高くなる。
【００２７】
さらに、前記波長分離観察手段７として、実施例１に挙げる白色共焦点顕微鏡を用いた場合には、図２および図３を用いて説明するように、当接部における三次元形状を直接測定することが可能となる。従来の接触面積だけでなく、ニップ内粗さ、空間体積、ニップ内高さなどのパラメータが測定可能となり、実測値から被帯電体と弾性ローラ１との当接部における当接状態（接触面積や、ニップ内三次元形状）を最適化することができる。
【００２８】
以上、本観察方法によれば、反射防止膜の効果により当接部材からの反射光量を低減し、このとき生じる当接部と非当接部におけるコントラストの低下に対して、反射防止膜の特性と観察波長の選択により色の違いとしてコントラストをつけることができる。例えば、波長λ１が赤い帯域とした場合、図３（ｂ）に示すように、当接部が赤く、非当接部が青緑のように観察することができる。その結果、例えば、表面に粗し粒子に由来する凸部を有する、帯電ローラの如き、電子写真用の帯電部材では、電子写真感光体の如き被帯電体と該帯電部材との当接部における、該帯電部材の変形の程度を正確に捉えることが可能となる。そのため、帯電部材の帯電性能のより一層の向上のための表面形状の最適化を図ることができる。
【実施例】
【００２９】
〔実施例１〕
（弾性ローラの作製）
下記手順にて、樹脂層を備えた被測定物としての弾性ローラを作製した。
ＮＢＲ（アクリロニトリルブタジエンゴム）と球状シリカ粒子を含有する未加硫ゴム組成物を用意した。そして、未加硫ゴム組成物を、クロスヘッドを用いた押出成形装置を用いて、直径５ｍｍ、長さ２５０ｍｍの円柱形ステンレス製の芯金３を中心として同軸状に円筒形に成形しつつ、芯金３と同時に押し出した。このようにして、芯金３の外周に未加硫ゴム組成物がコーティングされた直径８．８ｍｍの未加硫ゴムローラを作製した。
成形した未加硫ゴムローラの未加硫ゴム組成物の層の幅方向の両端部を切断し、未加硫ゴム組成物の層の軸方向の長さを２２６ｍｍとした。
【００３０】
その後、電気炉にて加熱して未加硫ゴム組成物の層を加硫して加硫ゴム層とした。続いて、加硫ゴム層の表面をプランジカットの研削方式の研磨機で研磨し、端部直径８．３５ｍｍ、中央部直径８．５０ｍｍのクラウン形状の球状粒子の一部が露出した加硫ゴム層を有する加硫ゴムローラを得た。
得られた研摩後の加硫ゴムローラの表面に電子線を照射して硬化処理を行い、凸部を表面に有する弾性ローラ１を得た。
【００３１】
（表面粗さの測定）
弾性ローラの表面の十点平均粗さＲｚを測定した。測定は  ＪＩＳ  Ｂ０６０１：１９８２に基づき、表面粗さ測定器（商品名：サーフコーダーＳＥ３４００、（株）小坂研究所製）を用いて行った。測定には、先端半径２μｍのダイヤモンド製接触針を用いた。測定スピードは０．５ｍｍ／秒、カットオフ周波数λｃは０．８ｍｍ、基準長さは０．８ｍｍ、評価長さは８．０ｍｍとした。測定は、軸方向３点×周方向２点の計６点について各々粗さ曲線を測定してＲｚの値を算出し、それらの６点のＲｚの平均値を求めてＲｚの値とした。その結果、Ｒｚは１５μｍであった。
【００３２】
（被測定物の表面に部材を当接させたときの被測定物の三次元形状の測定）
図１に示す当接状態の形状を観察する方法において、下記のガラス板の両面に下記の反射防止膜を備える当接部材を使用した。
ガラス板（ＢＫ７、シグマ光機（株））：波長４５０ｎｍ以上７００ｎｍの範囲で９０％以上の透過率を有する。
反射防止膜（ＷＢＭＡコート、シグマ光機（株））：
波長４５０以上７００ｎｍ以下の範囲において、当接部材における弾性ローラ側の反射率は、
最も高い反射率が波長（λ１）７００ｎｍで０．７％、
最も低い反射率が波長（λ２）４５０ｎｍで０．１％、
最も高い反射率と最も低い反射率との差が０．５％以上である。
当接部からの反射光と、非当接部からの反射光とを区別して検出する工程には、白色共焦点顕微鏡（ＯＰＴＥＬＩＣＳ  ＨＹＢＲＩＤ、レーザーテック（株））を用い、当接状態を観察した。
観察結果を図２および図３に示す。図３の画像の倍率は、（ａ）および（ｂ）ともに、２０倍である。
【００３３】
ここで、弾性ローラの表面の可視光域における最も低い反射率が約１％であることから、波長７００ｎｍで当接部材における弾性ローラ側の反射率が約０．７％となる反射防止膜を使用することで、下記式（１）の値を８０％以下としている。
（当接部材の被測定物側の反射率であって、可視光域で最も高い反射率）／（被測定物の表面の反射率であって、可視光域で最も低い反射率）×１００［％］  …  式（１）
【００３４】
図３（ａ）は、弾性ローラと当接部材を当接させる前の、弾性ローラの表面観察画像である。
図２（ａ）は、弾性ローラと当接部材を当接させる前の、図３（ａ）の画像の中央に示す線３１の位置における、弾性ローラの断面の輪郭を示す形状プロファイルである。
図３（ｂ）は、弾性ローラと当接部材を当接させた後（当接中）の、弾性ローラの表面観察画像である。
図２（ｂ）は、弾性ローラと当接部材を当接させた後（当接中）の、図３（ｂ）の画像の中央に示す線３２の位置における、弾性ローラの断面の輪郭を示す形状プロファイルである。
【００３５】
観察画像上において、弾性ローラと当接部材の当接部と非当接部とを波長（カラー画像上の色に対応）により区別できている。また、当接前後を比較すると、当接により弾性ローラの表面の凸部が変形していること、凹部の多くが当接しない（変形しない）ことが確認できる。
【００３６】
非当接部は、グレースケール画像では濃い灰色に見える箇所、カラー画像では青緑又は緑色に見える箇所である。
当接部は、グレースケール画像では薄い灰色に見える箇所、カラー画像では赤色に見える箇所である。
また、凸部は、皺、鱗又は不規則な線のように見える箇所、及び黒色の箇所で取り囲まれた白色の点である。
凹部は、凸部を除く全ての箇所である。
表１に、当接部、非当接部の観察の可否、及び当接部における弾性ローラの三次元形状の測定の可否の結果を示す。
【００３７】
〔実施例２〕
当接機構の当接部材の両面に下記の反射防止膜を用いた以外は、実施例１と同様にして評価した。
反射防止膜：
波長４５０以上７００ｎｍ以下の範囲において、当接部材における弾性ローラ側の反射率は、
最も高い反射率が波長（λ１）５２０ｎｍで０．７％、
最も低い反射率が波長（λ２）４５０ｎｍで０．１％、
最も高い反射率と最も低い反射率との差が０．５％以上である。
【００３８】
ここで、弾性ローラの表面の可視光域における最も低い反射率が約１％であることから、波長５２０ｎｍで当接部材における弾性ローラ側の反射率が約０．７％となる反射防止膜を使用することで、前記式（１）の値を８０％以下としている。
弾性ローラと当接部材との当接部と非当接部とを波長（カラー画像上の色）により区別し、かつ荷重負荷前後における形状変化を測定可能であることを確認した。
表１に、当接部、非当接部の観察の可否、及び当接部における弾性ローラの三次元形状の測定の可否の結果を示す。
【００３９】
〔実施例３〕
当接機構の当接部材の両面に下記の反射防止膜を用いた以外は、実施例１と同様にして評価した。
反射防止膜：
波長４５０以上７００ｎｍ以下の範囲において、当接部材における弾性ローラ側の反射率の中で、
最も高い反射率が波長（λ１）４７０ｎｍで０．７％、
最も低い反射率が波長（λ２）７００ｎｍで０．１％、
最も高い反射率と最も低い反射率との差が０．５％以上である。
【００４０】
ここで、弾性ローラの表面の可視光域における最も低い反射率が約１％であることから、波長４７０ｎｍで当接部材における弾性ローラ側の反射率が約０．７％となる反射防止膜を使用することで、前記式（１）の値を８０％以下としている。
弾性ローラと当接部材との当接部と非当接部とを波長（カラー画像上の色）により区別し、かつ荷重負荷前後における形状変化を測定可能であることを確認した。
表１に、当接部、非当接部の観察の可否、及び当接部における弾性ローラの三次元形状の測定の可否の結果を示す。
【００４１】
〔比較例１〕
両面のいずれにも反射防止膜を施していない、波長４００ｎｍ以上７００ｎｍの範囲で９０％以上の透過率を有するガラス板を用いた以外は、実施例１と同様にして評価した。
その結果、図４に示すように当接部からの反射光量が、非当接部からの反射光量に比べて多いいために、当接部を観察することはできるが、弾性ローラの非当接部の観察、及び形状測定ができないことを確認した。
表１に、当接部、非当接部の観察の可否、及び当接部における弾性ローラの三次元形状の測定の可否の結果を示す。
【００４２】
【表１】
0006509020.tif 000002
【符号の説明】
【００４３】
１‥‥弾性ローラ
２‥‥ゴム弾性層
３‥‥芯金
４‥‥当接部材
５‥‥透明板
６‥‥反射防止膜
７‥‥波長分離観察手段
【図１】
0006509020.tif 000003
【図２】
0006509020.tif 000004
【図３】
0006509020.tif 000005
【図４】
0006509020.tif 000006
【図５】
0006509020.tif 000007