(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
両側端面に平行に形成されたＶ溝を有するガイドベースと、前記両側端の一方のＶ溝に対峙する対峙面を有するスライドブロックと、前記対峙面に前記一方のＶ溝に対向する位置で所定の間隔を開けて２箇所に穿設された円錐凹部と、該円錐凹部に嵌合すると共に前記一方のＶ溝に嵌合する第１の鋼球と、前記スライドブロックの他方のＶ溝側の側面に取付けられ、バネ性を有する鋼球支持プレートと、該鋼球支持プレートは前記他方のＶ溝と対峙する鋼球保持溝を有し、該鋼球保持溝と前記他方のＶ溝とに嵌合する所要数の第２の鋼球とを有し、前記鋼球支持プレートは前記第２の鋼球を前記他方のＶ溝に押圧し、前記スライドブロックは前記第１の鋼球、前記第２の鋼球を介して前記一方のＶ溝、前記他方のＶ溝側に沿って移動自在に構成されたことを特徴とするスライドガイドユニット。
【請求項２】
前記鋼球保持溝は溝の両端に脱落防止用の折返し片を有し、前記第２の鋼球は密着又は略密着した状態で前記鋼球保持溝に設けられた請求項１のスライドガイドユニット。
【請求項３】
前記鋼球保持溝は溝の両端に脱落防止用の折返し片を有し、前記第２の鋼球の間に圧縮スプリングが設けられ、該圧縮スプリングの反発力で前記第２の鋼球は密着した状態で前記鋼球保持溝に設けられた請求項１のスライドガイドユニット。
【請求項４】
前記鋼球支持プレートは前記鋼球保持溝から離反する位置に位置する固定ボルトと前記鋼球保持溝に近接する位置に位置する調整ボルトによって前記スライドブロックに固定され、前記鋼球支持プレートは前記第２の鋼球を前記他方のＶ溝に押圧すると共に前記調整ボルトによって前記鋼球支持プレートの押圧力が調整される請求項１又は請求項２又は請求項３のスライドガイドユニット。
【請求項５】
前記ガイドベースの前記スライドブロックと対峙する面にリニア位置検出器が設けられ、前記スライドブロックには前記リニア位置検出器に検出光を照射する発光素子が設けられ、前記リニア位置検出器の前記検出光の検出結果に基づき、ガイドユニットに対するスライダユニットの相対位置が検出される請求項１又は請求項２又は請求項３のスライドガイドユニット。
【請求項６】
レーザ光線を回転照射してレーザ基準面を形成する測量装置であり、該測量装置がレーザ基準面の傾斜角を設定する傾斜設定装置を具備し、該傾斜設定装置は水平２方向に傾斜可能であり、水平２方向の水平を検出するチルトセンサを有する２軸チルトユニットと、該２軸チルトユニットから水平２方向に延出する２の傾斜設定アームと、該傾斜設定アームとそれぞれ係合する請求項１〜請求項５のいずれか１つのスライドガイドユニットと、各スライドガイドユニットは係合する前記傾斜設定アームを鉛直方向に変位させ、前記傾斜設定アームを所定の傾斜に設定する様構成されたことを特徴とする測量装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スライダを高精度に支持するスライドガイドユニット及び該スライドガイドユニットを用いた測量装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高精度の位置決めが要求される精密機械、例えば測量装置では傾斜角の設定に数秒という高精度が求められる。例えば、測定用のレーザ光線を照射して、測角、測距を行うレーザ測量装置に於いては、レーザ光線を照射する投光器の傾斜は数秒単位で設定される必要がある。
【０００３】
投光器の傾斜を設定する機構としては、投光器から延出するアームに直線的な変位を与えることで投光器を傾斜させ、直線的な変位を投光器の傾斜角に換算する機構がある。
【０００４】
斯かる傾斜設定機構では、直線的に移動可能に支持されたスライダを投光器に連結し、モータ等のアクチュエータによりスライダに変位を与えている。
【０００５】
高精度に角度設定を行うには、アクチュエータが与える変位に正確にスライダが追従する必要がある。ところが、スライダと該スライダを支持するスライダ支持部との間にガタツキがあると、アクチュエータが与える変位がスライダに正確に伝達されず、誤差が発生する。
【０００６】
尚、特許文献１には投光器の傾斜を設定する機構が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−１２２０１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は斯かる実情に鑑み、スライダと該スライダを支持するスライダ支持部との間にガタツキが発生しないスライドガイドユニット及び該スライドガイドユニットを用いた測量装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、両側端面に平行に形成されたＶ溝を有するガイドベースと、前記両側端の一方のＶ溝に対峙する対峙面を有するスライドブロックと、前記対峙面に前記一方のＶ溝に対向する位置で所定の間隔を開けて２箇所に穿設された円錐凹部と、該円錐凹部に嵌合すると共に前記一方のＶ溝に嵌合する第１の鋼球と、前記スライドブロックの他方のＶ溝側の側面に取付けられ、バネ性を有する鋼球支持プレートと、該鋼球支持プレートは前記他方のＶ溝と対峙する鋼球保持溝を有し、該鋼球保持溝と前記他方のＶ溝とに嵌合する所要数の第２の鋼球とを有し、前記鋼球支持プレートは前記第２の鋼球を前記他方のＶ溝に押圧し、前記スライドブロックは前記第１の鋼球、前記第２の鋼球を介して前記一方のＶ溝、前記他方のＶ溝側に沿って移動自在に構成されたスライドガイドユニットに係るものである。
【００１０】
又本発明は、前記鋼球保持溝は溝の両端に脱落防止用の折返し片を有し、前記第２の鋼球は密着又は略密着した状態で前記鋼球保持溝に設けられたスライドガイドユニットに係るものである。
【００１１】
又本発明は、前記鋼球保持溝は溝の両端に脱落防止用の折返し片を有し、前記第２の鋼球の間に圧縮スプリングが設けられ、該圧縮スプリングの反発力で前記第２の鋼球は密着した状態で前記鋼球保持溝に設けられたスライドガイドユニットに係るものである。
【００１２】
又本発明は、前記鋼球支持プレートは前記鋼球保持溝から離反する位置に位置する固定ボルトと前記鋼球保持溝に近接する位置に位置する調整ボルトによって前記スライドブロックに固定され、前記鋼球支持プレートは前記第２の鋼球を前記他方のＶ溝に押圧すると共に前記調整ボルトによって前記鋼球支持プレートの押圧力が調整されるスライドガイドユニットに係るものである。
【００１３】
又本発明は、前記ガイドベースの前記スライドブロックと対峙する面にリニア位置検出器が設けられ、前記スライドブロックには前記リニア位置検出器に検出光を照射する発光素子が設けられ、前記リニア位置検出器の前記検出光の検出結果に基づき、ガイドユニットに対するスライダユニットの相対位置が検出されるスライドガイドユニットに係るものである。
【００１４】
更に又本発明は、レーザ光線を回転照射してレーザ基準面を形成する測量装置であり、該測量装置がレーザ基準面の傾斜角を設定する傾斜設定装置を具備し、該傾斜設定装置は水平２方向に傾斜可能であり、水平２方向の水平を検出するチルトセンサを有する２軸チルトユニットと、該２軸チルトユニットから水平２方向に延出する２の傾斜設定アームと、該傾斜設定アームとそれぞれ係合する前記スライドガイドユニットと、各スライドガイドユニットは係合する前記傾斜設定アームを鉛直方向に変位させ、前記傾斜設定アームを所定の傾斜に設定する様構成された測量装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、両側端面に平行に形成されたＶ溝を有するガイドベースと、前記両側端の一方のＶ溝に対峙する対峙面を有するスライドブロックと、前記対峙面に前記一方のＶ溝に対向する位置で所定の間隔を開けて２箇所に穿設された円錐凹部と、該円錐凹部に嵌合すると共に前記一方のＶ溝に嵌合する第１の鋼球と、前記スライドブロックの他方のＶ溝側の側面に取付けられ、バネ性を有する鋼球支持プレートと、該鋼球支持プレートは前記他方のＶ溝と対峙する鋼球保持溝を有し、該鋼球保持溝と前記他方のＶ溝とに嵌合する所要数の第２の鋼球とを有し、前記鋼球支持プレートは前記第２の鋼球を前記他方のＶ溝に押圧し、前記スライドブロックは前記第１の鋼球、前記第２の鋼球を介して前記一方のＶ溝、前記他方のＶ溝側に沿って移動自在に構成されたので、前記ガイドベースの前記一方のＶ溝を基準として、高精度に前記スライドブロックを変位させることができる。
【００１６】
又本発明によれば、前記鋼球保持溝は溝の両端に脱落防止用の折返し片を有し、前記第２の鋼球は密着又は略密着した状態で前記鋼球保持溝に設けられたので、前記第２の鋼球は略回転無く前記他方のＶ溝をスライドし、前記スライドブロックは、前記一方のＶ溝を基準として高精度に変位する。
【００１７】
又本発明によれば、前記鋼球保持溝は溝の両端に脱落防止用の折返し片を有し、前記第２の鋼球の間に圧縮スプリングが設けられ、該圧縮スプリングの反発力で前記第２の鋼球は密着した状態で前記鋼球保持溝に設けられたので、前記第２の鋼球は回転無く前記他方のＶ溝をスライドし、前記スライドブロックは前記一方のＶ溝を基準として高精度に変位する。
【００１８】
又本発明によれば、前記鋼球支持プレートは前記鋼球保持溝から離反する位置に位置する固定ボルトと前記鋼球保持溝に近接する位置に位置する調整ボルトによって前記スライドブロックに固定され、前記鋼球支持プレートは前記第２の鋼球を前記他方のＶ溝に押圧すると共に前記調整ボルトによって前記鋼球支持プレートの押圧力が調整されるので、前記第２の鋼球が前記他方のＶ溝をスライドする際の抵抗を少なくし、最適な状態が得られる。
【００１９】
又本発明によれば、前記ガイドベースの前記スライドブロックと対峙する面にリニア位置検出器が設けられ、前記スライドブロックには前記リニア位置検出器に検出光を照射する発光素子が設けられ、前記リニア位置検出器の前記検出光の検出結果に基づき、ガイドユニットに対するスライダユニットの相対位置が検出されるので、前記ガイドベースと前記スライドブロックとの間のガタツキに影響されず、高精度の位置検出が可能となる。
【００２０】
更に又本発明によれば、レーザ光線を回転照射してレーザ基準面を形成する測量装置であり、該測量装置がレーザ基準面の傾斜角を設定する傾斜設定装置を具備し、該傾斜設定装置は水平２方向に傾斜可能であり、水平２方向の水平を検出するチルトセンサを有する２軸チルトユニットと、該２軸チルトユニットから水平２方向に延出する２の傾斜設定アームと、該傾斜設定アームとそれぞれ係合する前記スライドガイドユニットと、各スライドガイドユニットは係合する前記傾斜設定アームを鉛直方向に変位させ、前記傾斜設定アームを所定の傾斜に設定する様構成されたので、高精度に前記レーザ基準面の傾斜を設定できるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施例に係るスライドガイドユニット上方からの斜視図である。
【図２】該スライドガイドユニットの下方からの斜視図である。
【図３】図１のＡ矢視図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ矢視図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ矢視相当図である。
【図６】前記スライドガイドユニットを具備した測量装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。
【００２３】
図１〜図５を参照して本発明の実施例に係るスライドガイドユニット１を説明する。
【００２４】
該スライドガイドユニット１は、ガイドユニット２及びスライダユニット３を具備している。
【００２５】
前記ガイドユニット２は、矩形形状の平板からなるガイドベース４を有し、該ガイドベース４の両側端面にはＶ溝５ａ，５ｂが刻設され、前記ガイドベース４の上面中央には前記Ｖ溝５ａ，５ｂと平行に延びる凹部６が形成されている。
【００２６】
該凹部６には、リニアスケール７、リニアセンサ８からなるリニア位置検出器９が設けられている。又、前記ガイドベース４の底面には前記リニアセンサ８からの信号に基づき、位置を演算する演算部１１が設けられている。
【００２７】
前記スライダユニット３は、前記ガイドユニット２の前記Ｖ溝５ａ，５ｂに沿って移動可能に設けられている。
【００２８】
前記スライダユニット３はスライドブロック１２を有し、該スライドブロック１２には前記Ｖ溝５ａ，５ｂと平行な軸心を有するナット部１３が設けられ、該ナット部１３にはスクリューロッド（図示せず）が回転自在に螺合し、更に該スクリューロッドはモータ（図示せず）に連結されている。該モータにより前記スクリューロッドを回転することで、前記スライダユニット３が進退する様に構成されている。
【００２９】
又、前記スライドブロック１２は前記Ｖ溝５ａ，５ｂの一方の前記Ｖ溝５ａに対峙する様形成された脚部１４を有する。該脚部１４の前記Ｖ溝５ａに対峙する対峙面１４ａに、且つ該対峙面１４ａの両端に円錐凹部１５が穿設されている。
【００３０】
該円錐凹部１５には鋼球１６がそれぞれ嵌合され、更に該鋼球１６は前記Ｖ溝５ａにも嵌合している。
【００３１】
前記スライドブロック１２の前記脚部１４の反対側に位置する側面１２ａには、鋼球支持プレート１７が設けられる。該鋼球支持プレート１７は、鋼板、ステンレス鋼板等、バネ性を有する材質であり、該鋼球支持プレート１７の下端部には、鋼球保持溝１８が形成される。該鋼球保持溝１８はＶ溝形状であり、前記Ｖ溝５ｂと対峙し、該Ｖ溝５ｂと平行となっている。
【００３２】
前記鋼球保持溝１８と前記Ｖ溝５ｂ間には、鋼球１９が嵌合される。該鋼球１９は所要数、例えば、５個であり、前記鋼球保持溝１８の両端部に形成された、折返し片２１によって、前記鋼球保持溝１８からの脱落が防止される構成となっている。又、前記鋼球１９が設けられている状態は、加工公差の範囲で隙間が生じる様になっており、好ましくは互いに密着し、隙間のない状態となっている。
【００３３】
前記鋼球支持プレート１７は、該鋼球支持プレート１７の上端部で２本の固定ボルト２２によって固定され、更に前記鋼球支持プレート１７は、前記固定ボルト２２の下方であり、前記スライドブロック１２の下端部に相当する位置で、２本の調整ボルト２３によって固定されている。
【００３４】
前記固定ボルト２２は前記鋼球支持プレート１７の上端部を完全に固定する。前記調整ボルト２３は前記鋼球支持プレート１７と前記スライドブロック１２との間に僅かに隙間が生じる様に固定し、前記調整ボルト２３と前記鋼球支持プレート１７との間には緩み止座金２４が介設されている。
【００３５】
而して、前記鋼球支持プレート１７は、前記鋼球１９を前記Ｖ溝５ｂに押付ける板バネとして作用し、押付け力は前記調整ボルト２３によって調整可能となっている。
【００３６】
前記鋼球支持プレート１７が、前記鋼球１９を前記Ｖ溝５ｂに押付けることで、押付け力は前記ガイドベース４を介して前記鋼球１６に伝達され、該鋼球１６は前記円錐凹部１５に押圧される。前記鋼球１６が前記円錐凹部１５に押圧された状態では、該円錐凹部１５の軸心方向、及び該軸心方向に対する直交する２方向（３軸方向）での変位が拘束される。
【００３７】
従って、前記ガイドベース４と前記スライドブロック１２との位置関係は、前記脚部１４を基準として（即ち、前記円錐凹部１５に嵌合した前記鋼球１６を基準として）決定される。尚、前記鋼球１６、前記鋼球１９は、高度な真円度を有し、高硬度で且つ円滑な球面を有しており、市販の鋼球が使用可能である。
【００３８】
前記Ｖ溝５ａ，５ｂには、適宜潤滑油が給油、又は塗布されており、前記スライダユニット３は前記ガイドベース４に対して円滑に移動可能となっている。
【００３９】
前記スライダユニット３の底面、即ち前記ガイドベース４の上面に対峙する面には、位置検出用パターン２５が設けられている。前記スライダユニット３には前記位置検出用パターン２５に対して垂直な軸心を有する投光孔２６が形成され、該投光孔２６は下方に向って拡径するテーパ形状を有している。
【００４０】
前記投光孔２６の上端に発光素子（例えば、発光ダイオード）２７が設けられ、該発光素子２７の光軸は、前記投光孔２６の軸心と合致する。前記発光素子２７を点灯し、検出光を射出すると、該検出光は前記位置検出用パターン２５を透過し、パターン像を前記リニアスケール７に投影する様になっている。
【００４１】
以下、前記スライドガイドユニット１の作用について説明する。
【００４２】
前記円錐凹部１５と前記Ｖ溝５ａ間に掛渡って前記鋼球１６が嵌合され、前記鋼球保持溝１８と前記Ｖ溝５ｂとの間に掛渡って前記鋼球１９が嵌合されている。前記鋼球１６、前記鋼球１９が前記Ｖ溝５ａ，５ｂ内を摺動することで、前記スライドブロック１２が前記ガイドベース４に対して移動する。
【００４３】
前記鋼球１６は前記円錐凹部１５に嵌合し、更に、前記鋼球１９は互いに密着或いは略密着していることから、前記鋼球１６、前記鋼球１９は前記ガイドベース４が移動する際には、略回転せず、前記鋼球１６、前記鋼球１９は前記Ｖ溝５ａ，５ｂに対して回転を伴わない滑り運動となる。更に、前記鋼球１６、前記鋼球１９は、高硬度で且つ円滑な球面を有し、前記Ｖ溝５ａ，５ｂには潤滑油が塗布されることから、抵抗の少ない円滑で直進性の高い移動が実現される。
【００４４】
又、前記鋼球１６は前記円錐凹部１５に嵌合し、前記鋼球１６は、前記ガイドベース４、前記スライドブロック１２間の位置の基準となり、更に前記鋼球１６は前記円錐凹部１５に押圧されることから、隙間は発生せず、ガタツキも生じない。
【００４５】
従って、前記スライドブロック１２は前記Ｖ溝５ａに沿って、円滑に且つ高い直進性で移動する。更に、前記スライドブロック１２の移動の基準となる前記Ｖ溝５ａ、前記鋼球１６、前記円錐凹部１５間で、隙間が発生しないことから、前記ガイドベース４に対する前記スライドブロック１２の位置精度、姿勢精度は、前記Ｖ溝５ａの仕上げ精度によって決定される。従って、２つの前記鋼球１６間の距離が小さくても、高精度のガイド機能が発揮される。従って、前記スライドガイドユニット１の小型化が可能となる。
【００４６】
次に、前記発光素子２７を点灯することで、前記位置検出用パターン２５、前記リニアスケール７を透過した検出光が、前記リニアセンサ８によって検出される。
【００４７】
前記スライドブロック１２が移動することで、前記位置検出用パターン２５の前記リニアスケール７への投影位置が移動し、更に前記リニアスケール７を透過し、前記リニアセンサ８に投影される前記位置検出用パターン２５の位置も変化する。
【００４８】
前記リニアセンサ８は、前記位置検出用パターン２５を検出することで受光信号を、前記演算部１１に発する。該演算部１１は受光信号に基づき、前記ガイドユニット２に対する前記スライダユニット３の位置を演算する。
【００４９】
前記演算部１１の演算結果を、スクリューロッドを回転するモータ（図示せず）の駆動にフィードバックすることで、高精度の位置決めが可能となる。
【００５０】
図５は、本発明の他の実施例に係るスライドガイドユニットを示している。尚、図５中、図４中で示したものと同等のものには同符号を付してある。
【００５１】
図５は、他の実施例に於けるガイドベース４とスライドブロック１２との関係を示すものであり、図３のＢ−Ｂ矢視相当図である。
【００５２】
該他の実施例では、鋼球保持溝１８に収納される鋼球１９の数を１つ少なくし、４個の前記鋼球１９の中央に、圧縮スプリング２９を設け、該圧縮スプリング２９により前記鋼球１９を離反する方向に付勢したものである。
【００５３】
前記圧縮スプリング２９を設けることで、前記両折返し片２１と収納される前記鋼球１９との間に加工誤差等が存在しても、前記両折返し片２１と前記鋼球１９間に隙間が発生することを防止できる。
【００５４】
次に、図６に於いて、上記したスライドガイドユニット１を用いた測量装置３１について説明する。
【００５５】
図６中、前記スライドガイドユニット１は傾斜設定装置３２に用いられている。
【００５６】
前記測量装置３１の概略を説明する。
【００５７】
該測量装置３１は、測量装置の１つであるレーザ基準面を形成する回転レーザ装置である。
【００５８】
前記測量装置３１は投光器３３を有し、該投光器３３には発光素子３５が収納されている。
【００５９】
レーザ光線３４は、前記発光素子３５で発光され、投光光学系３６により平行光束とされ、偏向光学部材としてのペンタプリズム３７により水平方向に偏向される。
【００６０】
該ペンタプリズム３７は回転照射部３８に設けられており、該回転照射部３８を回転することで前記レーザ光線３４が回転照射され、該レーザ光線３４により前記レーザ基準面が形成される様になっている。
【００６１】
前記投光器３３、前記回転照射部３８、前記傾斜設定装置３２等は、本体フレーム３９に設けられており、該本体フレーム３９と一体に傾動する様に構成されている。
【００６２】
又、前記本体フレーム３９は直交する２軸、即ちＸ軸４１、Ｙ軸４２を有し、前記Ｘ軸４１を中心に傾動し、又前記Ｙ軸４２を中心に傾動する様になっている。
【００６３】
前記傾斜設定装置３２は、２軸チルトユニット４４及び前記スライドガイドユニット１、該スライドガイドユニット１を駆動する傾斜設定モータ４５を具備している。
【００６４】
前記２軸チルトユニット４４は、チルト支点４６を中心に前記本体フレーム３９に対して、Ｘ方向、Ｙ方向の２方向に傾斜可能となっており、更にＸ方向の傾斜を検出するＸ方向チルトセンサ４７、Ｙ方向の傾斜を検出するＹ方向チルトセンサ４８を有し、前記Ｘ方向チルトセンサ４７、前記Ｙ方向チルトセンサ４８はそれぞれ、各方向の水平を検出する。従って、前記Ｘ方向チルトセンサ４７、前記Ｙ方向チルトセンサ４８がそれぞれ水平を検出する状態では、前記２軸チルトユニット４４は水平となる。
【００６５】
該２軸チルトユニット４４から、Ｘ方向、Ｙ方向の２方向にそれぞれ傾斜設定アーム５１，５２が延出する。図６ではＸ方向に延出する前記傾斜設定アーム５１のみを示している。又、以下は、Ｘ方向の傾斜設定について説明する。
【００６６】
前記スライドガイドユニット１のスライダユニット３は、前記投光光学系３６の光軸（即ち、前記回転照射部３８の回転軸心）方向に移動可能に設けられている。
【００６７】
前記スライダユニット３からは、傾動ピン５３が立設され、該傾動ピン５３は前記傾斜設定アーム５１と係合している。前記２軸チルトユニット４４には前記傾斜設定アーム５１が前記傾動ピン５３に常時、係合する様前記傾斜設定アーム５１を付勢するスプリング５４が設けられている。
【００６８】
前記測量装置３１が水平に整準された状態から、Ｘ方向に前記レーザ基準面を所定角度傾斜させる場合を説明する。
【００６９】
前記測量装置３１が水平に整準された状態では、前記Ｘ方向チルトセンサ４７、前記Ｙ方向チルトセンサ４８は共に水平を検出する。
【００７０】
前記傾斜設定モータ４５を駆動して、前記スライダユニット３を所定角に対応する量だけ移動させる。例えば、該スライダユニット３を図６中、上方に移動させる。該スライダユニット３の移動量はリニア位置検出器９によって検出される。
【００７１】
前記傾動ピン５３を介して前記傾斜設定アーム５１が上方に傾斜し、又前記２軸チルトユニット４４は前記チルト支点４６を中心に前記傾斜設定アーム５１と一体に、図６中時計方向に回転し、所定角度傾斜する。
【００７２】
次に、図示しない傾動装置により、前記本体フレーム３９を前記Ｘ軸４１を中心に反時計方向に所定角度傾斜させる。前記Ｘ方向チルトセンサ４７、前記Ｙ方向チルトセンサ４８により水平が検出される状態に設定することで、前記回転照射部３８の回転軸心をＸ方向の所定角度傾斜させることができる。
【００７３】
該回転照射部３８の回転軸心をＸ方向の所定角度傾斜させることで、前記レーザ光線３４が形成する前記レーザ基準面はＸ方向に所定角度傾斜する。
【００７４】
上記した様に、前記スライダユニット３はガイドユニット２に対して円滑に、且つ高い直進性で移動するので、前記２軸チルトユニット４４の傾斜を高精度に設定できる。
【００７５】
尚、本発明に係るスライドガイドユニットは測量装置に限らず、高精度を要求されるＸ−Ｙテーブル等にも実施可能である。
【符号の説明】
【００７６】
１              スライドガイドユニット
２              ガイドユニット
３              スライダユニット
４              ガイドベース
５ａ            Ｖ溝
５ｂ            Ｖ溝
７              リニアスケール
８              リニアセンサ
９              リニア位置検出器
１２            スライドブロック
１４ａ          対峙面
１５            円錐凹部
１６            鋼球
１７            鋼球支持プレート
１８            鋼球保持溝
１９            鋼球
２１            折返し片
２２            固定ボルト
２３            調整ボルト
２５            位置検出用パターン
２７            発光素子
２９            圧縮スプリング
３１            測量装置
３２            傾斜設定装置
３３            投光器
３４            レーザ光線
３８            回転照射部
３９            本体フレーム
４４            ２軸チルトユニット
４５            傾斜設定モータ
４６            チルト支点
４７            Ｘ方向チルトセンサ
４８            Ｙ方向チルトセンサ
５１            傾斜設定アーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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