【事件の表示】
　特許第３２２５９８７号「インクジェット式記録ヘッドの駆動装置及び駆動方法」の請求項１ないし１０に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２２５９８７号の請求項１及び２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯     
　出願日　　　　　　　　　　　　　　　平成　５年１２月２４日
　登録日　　　　　　　　　　　　　　　平成１３年　８月３１日
　公報発行日　　　　　　　　　　　　　平成１３年１１月　５日
　特許異議の申し立て　　　　　　　　　平成１４年　５月　７日
　第１回取消理由通知　　　　　　　　　平成１４年　８月１３日（発送）
　第１回訂正請求及び意見書提出　　　　平成１４年１０月１５日
　審尋（申立人に対して）　　　　　　　平成１４年１２月２０日（発送）
　回答書提出　　　　　　　　　　　　　平成１５年　２月１７日
　第２回取消理由通知　　　　　　　　　平成１５年１０月　３日（発送）
　第１回訂正請求取り下げ　　　　　　　平成１５年１２月　２日
　第２回訂正請求及び意見書提出　　　　平成１５年１２月　２日
　　
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
　特許権者の求めている訂正の内容は、以下のとおりである（訂正箇所にアンダーラインを付した。）。
　ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の 
「【請求項１】 インクを吐出するノズル開口と、前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の容積を変化させて圧力を発生させる圧電振動子を複数備えたインクジェット式記録ヘッドの駆動装置において、
　前記圧力発生室の容積を拡大させる第１の電圧波形を発生する手段と、
　第１の電圧波形を選択的に前記圧電振動子に印加する手段と、
　前記圧力発生室の容積を収縮させてインク滴を吐出させる第２の電圧波形を前記圧電振動子に選択的に印加する手段と、
　第２の電圧波形の印加後、インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれた時点で、前記圧力発生室の容積を拡大させてメニスカスを前記圧力発生室側に引き込む第３の電圧波形を前記圧電振動子に印加する手段と、
　を有するインクジェット式記録ヘッドの駆動装置。
【請求項２】 前記第３の電圧の電圧波形が、前記記録ヘッドを構成する全ての圧電振動子に印加される請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッドの駆動装置。
【請求項３】 第３の電圧波形が、前記圧力発生室の容積を初期状態まで拡大させる請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッドの駆動装置。
【請求項４】 第１の電圧波形の継続時間Ｔｒと前記メニスカスの固有振動周期Ｔｃとの関係が０．５＜Ｔｃ／Ｔｒ＜３である請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッドの駆動装置。
【請求項５】 第２の電圧波形の継続時間Ｔｆと前記メニスカスの固有振動周期Ｔｃとの関係が０．５＜Ｔｃ／Ｔｆ＜３である請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッドの駆動装置。
【請求項６】 インクを吐出するノズル開口と、前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の容積を変化させて圧力を発生させる圧電振動子を複数備えたインクジェット式記録ヘッドの駆動方法において、
　前記圧力発生室の容積を選択的に拡大させる第１の工程と、
　前記圧力発生室の容積を収縮させてインク滴を吐出させる第２の工程と、
　インク滴吐出後、インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれた時点で、前記圧力発生室の容積を拡大させてメニスカスを圧力発生室側に引き込む第３の工程と、
　からなるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。
【請求項７】 第３の工程が、前記記録ヘッドを構成する全ての圧力発生室に対して実行される請求項６に記載のインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。
【請求項８】 第３の工程により前記圧力発生室の容積が初期状態まで拡大される請求項６に記載のインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。
【請求項９】 第１の工程の継続時間Ｔｒと前記メニスカスの固有振動周期Ｔｃとの関係が０．５＜Ｔｃ／Ｔｒ＜３である請求項６に記載のインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。
【請求項１０】 第２の工程の継続時間Ｔｆと前記メニスカスの固有振動周期Ｔｃとの関係が０．５＜Ｔｃ／Ｔｆ＜３である請求項６に記載のインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。」
を、
「【請求項１】インクを吐出するノズル開口と、前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の容積を変化させて圧力を発生させる圧電振動子を複数備えたインクジェット式記録ヘッドの駆動装置において、
　前記圧力発生室の容積を拡大させる
所定の傾斜で変化する
、前記圧力発生室の容積を前記第１の電圧波形による前記圧力発生室を拡大させる以前の容積よりも小さくなるように収縮させてインク滴を吐出させる所定の傾斜で変化する第２の電圧波形、及び前記圧力発生室の容積を、前記第１の電圧波形により前記圧力発生室を拡大させる以前の容積に拡大させてメニスカスを前記圧力発生室側に引き込む所定の傾斜で変化する第３の電圧波形
　
前記圧力発生室の容積を拡大させる前記
選択的に
　
前記第１の電圧波形により引き込まれたメニスカスが元の位置に復帰した時点で
前記
　
前記
て前記ノズル開口側に反転する
の
前記
選択的に
　を有するインクジェット式記録ヘッドの駆動装置。
【請求項２】インクを吐出するノズル開口と、前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の容積を変化させて圧力を発生させる圧電振動子を複数備えたインクジェット式記録ヘッドの駆動方法において、
　前記圧力発生室の容積を選択的に所定の容積変化で拡大させる第１の工程と、
　
前記第１の工程によるメニスカスが元の位置に復帰した時点で、
前記第１の工程により拡大させる以前の容積よりも小さくなるように所定の容積変化で選択的に
　インク滴吐出後、インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれ
て前記ノズル開口側に反転する時点で、前記圧力発生室の容積を、前記第１の工程で前記圧力発生室を拡大させる以前の容積に所定の容積変化で選択的に
　からなるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。」
と訂正する。
イ．訂正事項ｂ      
　段落【０００６】を、
「【課題を解決するための手段】このような課題を達成するために本発明のインクジェット式記録ヘッドの駆動装置は、インクを吐出するノズル開口と、前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の容積を変化させて圧力を発生させる圧電振動子を複数備えたインクジェット式記録ヘッドの駆動装置において、前記圧力発生室の容積を拡大させる
所定の傾斜で変化する
、前記圧力発生室の容積を前記第１の電圧波形による前記圧力発生室を拡大させる以前の容積よりも小さくなるように収縮させてインク滴を吐出させる所定の傾斜で変化する第２の電圧波形、及び前記圧力発生室の容積を、前記第１の電圧波形により前記圧力発生室を拡大させる以前の容積に拡大させてメニスカスを前記圧力発生室側に引き込む所定の傾斜で変化する第３の電圧波形
前記圧力発生室の容積を拡大させる
選択的に
前記第１の電圧波形により引き込まれたメニスカスが元の位置に復帰した時点で
前記
前記
て前記ノズル開口側に反転する
の
前記
選択的に
と訂正する。
　　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、以下の事項を含んでいる。
　ア．請求項２乃至５、７乃至１０を削除して、請求項６を繰り上げ請求項２とする。
　イ．請求項１において、「第１の電圧波形を発生する手段」が、「第２の電圧波形」及び「第３の電圧波形」を発生する手段であると限定する。
　ウ．請求項１において、「第１の電圧波形」が「所定の傾斜で変化する」ものであると、また、「第２の電圧波形」が「圧力発生室の容積を第１の電圧波形による圧力発生室を拡大させる以前の容積よりも小さくなるように収縮させてインク滴を吐出させる所定の傾斜で変化する」ものであると、さらに、「第３の電圧波形」が「圧力発生室の容積を、第１の電圧波形により圧力発生室を拡大させる以前の容積に拡大させてメニスカスを圧力発生室側に引き込む所定の傾斜で変化する」ものであるとそれぞれ限定する。
　エ．請求項１において、「第２の電圧波形を圧電素子に選択的に印加する」時点が、「第１の電圧波形により引き込まれたメニスカスが元の位置に復帰した時点」であると限定する。
　オ．請求項１における「インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれた時点」を「インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれて開口側に反転する時点」と訂正する。
　カ．請求項１において、第３の電圧波形の印加が選択的であると規定する。
　キ．請求項２（元の請求項６）において、「第１の工程」が「所定の容積変化」で拡大させる工程であること、また、「第２の工程」が「第１の工程により拡大させる以前の容積よりも小さくなるように所定の容積変化」で収縮させる工程であること、さらに、「第３の工程」が「第１の工程で圧力発生室を拡大させる以前の容積に所定の容積変化」で拡大させる工程であることを、それぞれ、限定する。
　ク．請求項２（元の請求項６）において、第２の工程（の開始時点）が、「第１の工程によるメニスカスが元の位置に復帰した時点」であると限定する。
　ケ．請求項２（元の請求項６）における「インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれた時点」を「インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれて開口側に反転する時点」と訂正する。
　コ．請求項２（元の請求項６）において、「第２の工程の圧力発生室の容積収縮」及び「第３の工程における圧力発生室の容積拡大」が選択的であると規定する。
　上記ア．乃至コ．に関連する事項として、願書に添付された明細書及び図面（以下、「特許明細書等」という。）には、「図４は、駆動電圧信号発生回路８４からの駆動電圧信号出力と、圧電振動子に印加される電圧との時系列的な関係を示す・・・第１の定電流回路１８０の動作が開始され、駆動電圧信号発生回路８４の出力が−ＶＭボルトから略０ボルトに一定勾配で変化する第１の工程では、・・・インク滴を飛翔させる必要のある圧電振動子・・・のみが収縮して圧力発生室１が拡大し・・・ノズル開口２の近傍に形成されているメニスカスは、圧力発生室１側に引き込まれ、所定時間後に元の位置に復帰する。メニスカスが元の位置に復帰した時点で、第２の定電流回路１８１が動作を開始する・・・略０ボルトから略−ＶＬボルトに一定勾配で変化する第２の工程に切り換わり、・・・圧力発生室１が収縮し、この収縮によってノズル開口２からインク滴が飛翔する。インク滴の吐出後、メニスカスは、再度大きく圧力発生室１側に大きく引き込まれ、振動しながら元の位置に復帰して行くが、圧力発生室１側に最も引き込まれてメニスカスがノズル開口２側への移動に転じる時点で、第３の定電流回路１８２の動作を開始する・・・略−ＶＬボルトから−ＶＭボルトに一定勾配で変化する第３の工程が開始され・・・圧力発生室１を初期の状態まで拡大する。」（段落【００１７】〜【００２０】参照）が、図示（図４及び図５）と共に、記載されている。
　してみると、上記ア．〜エ．、キ．及びク．は、特許明細書等に記載されていた事項内において、特許請求の範囲を減縮するものであり、また、第１電圧波形の印加すなわち第１の工程における圧力発生室の容積の拡大がなければ、第２の電圧波形の印加すなわち第２の工程における圧力発生室の容積の収縮及び第３の電圧波形の印加すなわち第３の工程における圧力発生室の容積の拡大があり得ないことが明らかであり、そして、第１電圧波形の印加すなわち第１の工程における圧力発生室の容積の拡大が選択的すなわち印字データにより行われるものであれば、必然的に、第２の電圧波形の印加すなわち第２の工程における圧力発生室の容積の収縮及び第３の電圧波形の印加すなわち第３の工程における圧力発生室の容積の拡大も、選択的すなわち印字データにより行われるものであることも明らかであるから、上記カ．及びコ．は、明りょうでない記載の釈明に該当し、さらに、「インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれた時点」が、「インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれて開口側に反転する時点」であることも、図５の記載から明らかなことであるから、上記オ．及びケ．も明りょうでない記載の釈明に該当する。
　ゆえに、上記訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　また、上記訂正事項ｂは、上記訂正事項ａに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、発明の詳細な説明の記載を訂正したものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　さらに、上記訂正事項ａ及びｂは、いずれも、実質的に特許請求の範囲を拡張変更するものでない。
　　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するものであるから、当該訂正を認める。
　　　　
３．特許異議申し立てについての判断
（１）申立の理由の概要
  申立人渡辺等は、以下の旨の主張をしている。
　主張Ａ
　請求項１及び６の各記載は、発明の詳細な説明において当業者が容易に実施し得る程度に記載された構成の記載とはいえず、また、請求項４、５、９、１０の各記載は、発明の構成に欠くことができない事項のみの記載ではないから、本件特許出願は、特許法第３６条第４項及び第５項に規定する要件を満たしていない。
　主張Ｂ
　特許異議申立書で甲第１号証（特開平５−６９５４２号公報）、甲第２号証（特開平４−７３１５４号公報）及び甲第３号証（特開平３−１６４２５８号公報）を提出し、平成１５年２月１７日付の回答書で、参考資料１（特開昭５９−２１８８６６号公報）、参考資料２（特開平４−２９０７４８号公報）及び参考資料３（特開平２−２５３９６０号公報）を提出し、本件請求項１、２、３、６、７、８に係る発明は、これらに記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　
（２）主張Ａについて
　申立人は、上記訂正前の請求項１における「第２の電圧波形の印加後、インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれた時点で、前記圧力発生室の容積を拡大させてメニスカスを前記圧力発生室側に引き込む第３の電圧波形を前記圧電振動子に印加する手段」及び上記訂正前の請求項６における「インク滴吐出後、インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれた時点で、前記圧力発生室の容積を拡大させてメニスカスを圧力発生室側に引き込む第３の工程」は、いずれも、当業者が容易に実施しうる程度に記載された構成でないとし、
　その理由として、
　本件特許明細書の発明の詳細な説明には、如何にしてメニスカスの位置と圧力波形印加をタイミング良く合わせて制御するのかが記載されていないこと、また、当業者の技術常識を以てしても、どのようにすればそのようなタイミングで圧力波形が印加できるのか、メニスカス位置はどう検知するのか明らかでなく、さらに、通常、インク吐出動作直後は、メニスカス全体がノズル開口面に対して振動する事もあるが、メニスカス面内で揺動しているのが普通であり、吐出動作後でも、インク自体がまだインク滴としてちぎれていないような場合（メニスカスが平坦でない場合）には特にそのメニスカスの位置とはどの部分を指すのか不明である
　と主張している。
　そこで、この主張について検討するに、まず、上記訂正前の請求項１及び請求項６における「インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれた時点」は、上記訂正により、「インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれて開口側に反転する時点」と訂正されている（上記２．（１）ア．参照）。
　本件特許権者が平成１４年１０月１５日付特許異議意見書で提出した本件の出願前に頒布された特開平５−３１８７３１号公報には、メニスカスの形状の経時変化態様を、シュミレーション等によって、把握することが記載されているから、「インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれて開口側に反転する時点」を把握することが当業者にとって困難なことは思えず、したがって、本件出願当時、メニスカス位置と圧力波形（電圧波形）の印加をタイミング良く合わせて制御することも当業者にとって容易に実施可能でないとはいえない。
　してみると、本件特許明細書の発明の詳細な説明には、如何にしてメニスカスの位置と圧力波形印加をタイミング良く合わせて制御するのかが記載されていないというだけで、上記訂正前の請求項１における「第２の電圧波形の印加後、インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれた時点で、前記圧力発生室の容積を拡大させてメニスカスを前記圧力発生室側に引き込む第３の電圧波形を前記圧電振動子に印加する手段」及び上記訂正前の請求項６における「インク滴吐出後、インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれた時点で、前記圧力発生室の容積を拡大させてメニスカスを圧力発生室側に引き込む第３の工程」の各構成が、発明の構成に欠くことができない事項ではないといえないばかりでなく、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載に不備があるとすることができない。
　また、本件請求項４、５、９、１０は、いずれも、上記訂正により削除されたから、これらの各記載に対する取消理由については、その対象がなくなっている。
　ゆえに、主張Ａは、採用することができない。
　　　
（３）主張Ｂについて
　ア．本件発明
　本件請求項１及び２に係る発明（以下、「本件発明１及び２」という。）は、上記訂正によって訂正された明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２に記載されたとおりのものである（上記訂正事項ａ参照。）。 
　　　　
　イ．申立人の提出した各刊行物に記載された発明
　申立人の提出した上記甲各号証及び各参考資料の各刊行物には、本件発明１及び２に関連する事項として、以下のような事項が記載されている。
　ａ．甲第１号証（特開平５−６９５４２号公報）
　甲第１号証には、「複数のノズル開口が形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートとの間に圧力室を形成する圧力板と、前記圧力板に自由端をベース板に他の一端をそれぞれ接合された圧電素子と、前記圧力室内に満たされたインクとを具備したインクジェットヘッド」（【請求項１】参照。）及び「図４は、本発明のインクジェットヘッドの基本動作を表したグラフであり、駆動電圧、圧力室の内部の排除体積、ノズルの内部のインクの体積変位と体積速度を表わしている。波形Ｗ１は、圧電素子２４に印加する電圧の波形を表している。波形Ｗ２は、圧力室２３の内部において、圧電素子２４の運動に伴い圧力板２２が排除したインク３０の体積変化の波形を表している。波形Ｗ３は、ノズル２１を通過した、インク３０の体積変化の波形を表している。波形Ｗ４は、ノズル２１を通過する、インク３０の体積速度の波形を表している。・・・時間ｔ１以前において、圧力室２３の内部とノズル２１の内部のインク３０は、静止した状態である。時間ｔ１において、圧電素子２４が、波形Ｗ１に示すような台形波状に駆動される。時間ｔ１を起点として、圧電素子２４が運動を開始するため、圧力室２３は、内部の体積が縮小する方向に変形する。この変形により排除されたインク３０の体積変化を表しているのが、波形Ｗ２である。・・・時間ｔ２は、圧電素子２４の変形が最大に到達する・・・時間ｔ３において、再び圧電素子２４に電圧が印加され・・・時間ｔ３において、波形Ｗ３に示す通り、メニスカスはノズル２１の内部に大きく引き込まれる。」（段落【００１１】及び【００１２】参照）が、時間ｔ３が波形Ｗ３の最下点の時間を示す図示（図４）と共に、記載されている。
　ｂ．甲第２号証（特開平４−７３１５４号公報）
　甲第２号証には、
　「オンデマンド型インクジェットヘッドの駆動方法に於て、印字駆動パルス印加後に、印字駆動パルスとは異なる補助パルスをキャビティ内圧力に応じた遅延時間を持たせて印加させる際に、前記補助パルスとして放電パルスのみを印加することを特徴とするオンデマンド型インクジェットヘッドの駆動方法。」（特許請求の範囲）が、駆動波形図と電歪素子の電圧波形図の図示（第２図）と共に、記載されている。
　ｃ．甲第３号証（特開平３−１６４２５８号公報）
　甲第３号証には、「複数のノズルを有しインク室の一部の壁面に設けた圧電素子に駆動パルスを印加して前記ノズルよりインク滴を噴射し記録を行うオンデマンド型のインクジェット記録装置において、前記圧電素子を、前記ノズルよりインク滴が噴射しない程度の大きさの電圧により一定周期で常に駆動しておき、記録を行うべき時のみ印加電圧の大きさを高めてインク滴を噴射することを特徴とするインクジェット記録装置の駆動方法。」（特許請求の範囲）が、駆動タイミング及び駆動電圧波形の図示（第７図及び第８図）と共に、記載されている。
　ｄ．参考資料１（特開昭５９−２１８８６６号公報）
　参考資料１には、「第２図の時刻ｔ１に・・・圧電素子１１の・・・負電極１２には・・・正電圧Ｖ２が印加され・・・時刻ｔ２には・・・圧電素子１１の・・・正電極１３には・・・正電圧Ｖ１が印加され・・・時刻ｔ３以降は・・・圧電素子１１の両電極１３及び１２がそれぞれ可変抵抗８及び１０を通して接地された状態になり、両電極１２及び１３の間に電位差を生じない。」（２頁右下欄末行〜３頁左上欄１３行）及び「２図の時刻ｔ１では圧電素子１１にその分極方向と逆方向の電圧Ｖ２が印加されることにより噴射ヘッドの圧力室が膨張し、そのオリフイス先端部のメニスカスがオリフイス内部に後退する。後退したメニスカスは、・・・表面張力によって前進を開始する・・・タイミングパルス（第２図ａ）の幅を調整して上記のメニスカスの前進と位相を合わせて分極方向と同方向の電圧Ｖ１を圧電素子１１に印加すると（第２図ｃ）、前記圧力室が急激に圧縮され、記録液滴が吐出される。」（３頁左下欄１０行〜右下欄１行）が、タイミングパルスと圧電素子に印加される電圧波形の図示（第２図）と共に、記載されている。
　ｅ．参考資料２（特開平４−２９０７４８号公報）
　参考資料２には、「図２に電極５に印加される電圧と圧力との変化を示し、図３に中央の圧力室３からのインクの吐出動作を示す。図３における（ａ）〜（ｆ）の吐出過程は図２における印加電圧が変化する過程ａ〜ｆに対応する。図２におけるａの過程は、電極５に電圧が印加されていない状態で、この状態では、図３（ａ）に示すように、インク吐出口８においてインクは表面張力により凹状の形状を維持する。そして、図２にＡで示すように、中央の電極５と左側の電極５とに、ａ−ｂ−ｃの過程を経て電位を徐々に高めながら電圧を印加し、Ｂで示すようにこの電圧の極性と異なる極性の電圧を中央の電極５と右側の電極５とに印加すると、中央の圧力室３の両側の側壁４が外側に変形するため中央の圧力室３の容積が徐々に増大し、これに伴い内部の圧力Ｐが負圧になる。これにより、中央の圧力室３にインク供給部のインクが吸引される。この負圧により、図３（ｂ）に示すように、インク吐出口８のインクも内方に吸引される。この時、対称的に左右の圧力室３の容積が縮小されるが、その変化は徐々に行われるため圧力の変化も徐々になされ、したがって、左右の圧力室３のインクが吐出されることはない。続いて、図２におけるｃの時点で印加電圧の極性を反転し、ｃ−ｄ−ｅの経過時間内で一定の電位の電圧を印加すると、中央の圧力室３の両側に位置する側壁４が内側に変形するため中央の圧力室３の圧力が高められ、図３（ｃ）（ｄ）（ｅ）に示すように、圧力室３のインクがインク吐出口８から吐出される。このように、ｃ−ｄ−ｅの過程で一定電位の電圧を一定時間印加することにより、インクの吐出に伴う圧力室３の圧力Ｐの減衰速度が遅くなるため、インク滴９の尾部側の飛翔速度の減衰が緩和される。また、図２におけるｅの時点で電極５への電圧印加を急速に停止すると、圧力室３の圧力Ｐが急激に低下するため、図３（ｅ）に示すようにインク滴９の尾部の長さが短くなり、図３（ｆ）に示すように、急激に圧力Ｐが低下した圧力室３のインクに対してインク滴９の尾部が速やかに分離される。したがって、インク滴９の飛翔方向を一定にすることが可能となる。」（段落【００１１】参照）が、電極に印加される電圧と圧力室の圧力の変化を示すタイミングチャート及びインク吐出動作の図示（第２図及び第３図）と共に、記載されている。
　ｆ．参考資料３（特開平２−２５３９６０号公報）
　参考資料３には、「吐出口に導通する記録液室に取付けられた圧電素子に電気エネルギーを供給して前記記録液室を拡大させた後、縮少、回復させることにより記録液を前記吐出口から被記録媒体に向け吐出する液体噴射記録装置」（特許請求の範囲第１項参照）、「インク液の粘度が温度に応じて変化してもインク液のメニスカスの位置はインク吐出に好適な位置となるように制御される」（４頁右下欄１２〜１５行）及び「インク吐出時に正の電圧ＶＯＰ・・・印加するときにメニスカスが前後どちらかに移動していることが多いが、メニスカスの位置を制御することにより吐出時にメニスカスを静止させることも可能となり、よりインクの吐出状態を安定させることが可能となる」（５頁左上欄４〜９行）が、印加電圧とメニスカス位置の関係を示す図示（第３図）と共に、記載されている。
　　　
　ウ．対比・判断
　ａ．本件発明１について、
　本件発明１と上記各刊行物に記載された発明とを対比すると、
　上記各刊行物のいずれにも、本件発明１の構成要件である、
「第１の電圧波形により引き込まれたメニスカスが元の位置に復帰した時点で圧力発生室の容積を収縮させてインク滴を吐出させる第２の電圧波形を圧電振動子に選択的に印加する手段と、第２の電圧波形の印加後、インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれてノズル開口側に反転する時点で、前記圧力発生室の容積を拡大させてメニスカスを前記圧力発生室の側に引き込む第３の電圧波形を前記圧電振動子に選択的に印加する手段と、を有する」
点について、記載も示唆もされていない。
　因みに、上記甲第１号証には、インク滴吐出後のメニスカスが圧力発生室側に実質的に最も引き込まれてノズル開口側に反転する時点で、前記圧力発生室の容積を拡大させてメニスカスを前記圧力発生室の側に引き込む電圧波形を前記圧電振動子に選択的に印加することについては、記載されていると認められるものの、第１の電圧波形により引き込まれたメニスカスが元の位置に復帰した時点で圧力発生室の容積を収縮させてインク滴を吐出させる第２の電圧波形を圧電振動子に選択的に印加することについては、記載も示唆もなく、また、その他の上記刊行物には、インク滴吐出後のメニスカスが圧力発生室側に実質的に最も引き込まれてノズル開口側に反転する時点で、前記圧力発生室の容積を拡大させてメニスカスを前記圧力発生室の側に引き込む電圧波形を前記圧電振動子に選択的に印加することは、勿論、第１の電圧波形により引き込まれたメニスカスが元の位置に復帰した時点で圧力発生室の容積を収縮させてインク滴を吐出させる第２の電圧波形を圧電振動子に選択的に印加することについても何らの記載も示唆もない。
　そして、上記「」内の点は、当該技術分野において、周知のものでない。
　したがって、本件発明１は、上記各刊行物に記載されたものから、当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
　ｂ．本件発明２について、
　本件発明２と上記各刊行物に記載された発明とを対比すると、
　上記各刊行物のいずれにも、本件発明２の構成要件である、
「第１の工程によるメニスカスが元の位置に復帰した時点で、前記圧力発生室の容積を、前記第１の工程により拡大させる以前の容積よりも小さくなるように所定の容積変化で選択的に収縮させてインク滴を吐出させる第２の工程と、インク滴吐出後、インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれて前記ノズル開口側に反転する時点で、前記圧力発生室の容積を、前記第１の工程で前記圧力発生室を拡大させる以前の容積に所定の容積変化で選択的に拡大させてメニスカスを前記圧力発生室側に引き込む第３の工程と、からなる」
点について記載も示唆もされていない。
  因みに、上記甲第１号証には、インク滴吐出後、インク滴吐出後のメニスカスが圧力発生室側に実質的に最も引き込まれてノズル開口側に反転する時点で、前記圧力発生室の容積を、所定の容積変化で選択的に拡大させてメニスカスを前記圧力発生室側に引き込む工程ついては、記載されていると認められるものの、第１の工程によるメニスカスが元の位置に復帰した時点で、圧力発生室の容積を、第１の工程により拡大させる以前の容積よりも小さくなるように所定の容積変化で選択的に収縮させてインク滴を吐出させる第２の工程ついては、記載も示唆もなく、また、その他の上記刊行物には、インク滴吐出後、インク滴吐出後のメニスカスが圧力発生室側に実質的に最も引き込まれてノズル開口側に反転する時点で、前記圧力発生室の容積を、所定の容積変化で選択的に拡大させてメニスカスを前記圧力発生室側に引き込む工程ついては、勿論、第１の工程によるメニスカスが元の位置に復帰した時点で、前記圧力発生室の容積を、前記第１の工程により拡大させる以前の容積よりも小さくなるように所定の容積変化で選択的に収縮させてインク滴を吐出させる第２の工程について何らの記載も示唆もない。
　そして、上記「」内の点は、当該技術分野において、周知のものでない。
　したがって、本件発明２は、上記各刊行物に記載されたものから、当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
　ゆえに、主張Ｂは採用することができない。
　　　
（５）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申し立ての理由及び証拠方法によっては、本件請求項１及び２に係る発明についての特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１及び２に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項１及び２に係る発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年４月２７日（２００４．４．２７）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
インクジェット式記録ヘッドの駆動装置及び駆動方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　インクを吐出するノズル開口と、前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の容積を変化させて圧力を発生させる圧電振動子を複数備えたインクジェット式記録ヘッドの駆動装置において、
　前記圧力発生室の容積を拡大させる
所定の傾斜で変化する
、前記圧力発生室の容積を前記第１の電圧波形による前記圧力発生室を拡大させる以前の容積よりも小さくなるように収縮させてインク滴を吐出させる所定の傾斜で変化する第２の電圧波形、及び前記圧力発生室の容積を、前記第１の電圧波形により前記圧力発生室を拡大させる以前の容積に拡大させてメニスカスを前記圧力発生室側に引き込む所定の傾斜で変化する第３の電圧波形を
　
前記圧力発生室の容積を拡大させる前記
　
前記第１の電圧波形により引き込まれたメニスカスが元の位置に復帰した時点で
　前記第２の電圧波形の印加後、インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれて
前記ノズル開口側に反転する
　を有するインクジェット式記録ヘッドの駆動装置。
　【請求項２】　インクを吐出するノズル開口と、前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の容積を変化させて圧力を発生させる圧電振動子を複数備えたインクジェット式記録ヘッドの駆動方法において、
　前記圧力発生室の容積を選択的に所定の容積変化で拡大させる第１の工程と、
　
前記第１の工程によるメニスカスが元の位置に復帰した時点で、
前記第１の工程により拡大させる以前の容積よりも小さくなるように所定の容積変化で選択的に
　インク滴吐出後、インク滴吐出後のメニスカスが前記圧力発生室側に実質的に最も引き込まれ
て前記ノズル開口側に反転する
、前記第１の工程で前記圧力発生室を拡大させる以前の容積に所定の容積変化で選択的に
前記
　からなるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、インク滴を飛翔させ、記録紙等の記録媒体上にインク像を形成するインクジェット式記録ヘッドの駆動技術に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　オンデマンド型インクジェット式記録ヘッドは、圧電振動子や発熱素子によりインク圧を発生させる複数の圧力発生室と、各圧力発生室にインクを供給する共通のリザ−バと、各圧力発生室に連通するノズル開口を備えた記録ヘッドを備えており、印字信号に応じて圧力発生室のインク圧を高めて、ノズル開口からインク滴を飛翔させ、記録媒体にドットを形成している。
　【０００３】
　このような、オンデマンド型インクジェット式記録ヘッドでは、インク滴の飛翔後に、ノズル開口近傍に形成されているメニスカスが圧力室側に大きく引き込まれ、このメニスカスが元の位置に戻る前に次のインク滴の吐出動作が行なわれると、飛翔インク滴のインク量及び飛翔速度が、変動して印字品質が劣化する。
　これを回避するため、連続してインク滴を吐出させる場合には、前回のインク滴の吐出によるメニスカスの運動が基に位置に復帰した後に行う必要があり、高速印字を行う上での障害となりこれを改善するための提案がされている。
　例えば、特開平２−２３３２５８号公報に見られるように発熱素子により蒸気バブルを発生させてインク滴を飛翔させるインクジェット記録ヘッドにおいて、１回目の蒸気バブルによりインク滴が飛翔した後、メニスカスが圧力室側に最大に吸引される時点で、２回目の蒸気バブルの成長が最大となるように入力パルスを発熱素子に印加することにより、メニスカスのノズル側への復帰を早め、高速印字を行うことが提案されている。
　【０００４】
　しかしながら、２回目の蒸気パルスを発生させるために、入力エネルギー、つまり熱エネルギーを余分に供給するため、の熱によりインクが変質してノズルを詰まらせてしまうという問題がり、また圧電振動子の変位により圧力室の容積を変化させてインク滴を吐出させるインクジェット記録ヘッドでは上記公報に記載された方式を採用することができない。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明はこのような課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところはインク滴の吐出間隔を短縮するとともに、ノズルの目詰まりをも防止できる圧電振動子をアクチュエータとするインクジェット式記録ヘッドの駆動装置を提供することにある。
　また、本発明の他の目的は、インクを吐出するノズル開口と、ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧力発生室の容積を変えて圧力を発生させる圧電振動子を複数備えたインクジェット式記録ヘッドの駆動方法を提案することである。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　このような課題を達成するために本発明のインクジェット式記録ヘッドの駆動装置は、インクを吐出するノズル開口と、前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の容積を変化させて圧力を発生させる圧電振動子を複数備えたインクジェット式記録ヘッドの駆動装置において、前記圧力発生室の容積を拡大させる
所定の傾斜で変化する
前記圧力発生室の容積を前記第１の電圧波形による前記圧力発生室を拡大させる以前の容積よりも小さくなるように収縮させてインク滴を吐出させる所定の傾斜で変化する第２の電圧波形、及び前記圧力発生室の容積を、前記第１の電圧波形により前記圧力発生室を拡大させる以前の容積に拡大させてメニスカスを前記圧力発生室側に引き込む所定の傾斜で変化する第３の電圧波形を
前記圧力発生室の容積を拡大させる前記
前記第１の電圧波形により引き込まれたメニスカスが元の位置に復帰した時点で
て前記ノズル開口側に反転する
　【０００７】
　【作用】
　ドットを記録する場合は、初期状態から最大位置まで圧力発生室を拡大してインクを吸引し、圧力発生室を初期状態以上に収縮させてインク滴を吐出させ、その後のメニスカスが圧力発生室側に引き込まれた時点で、圧力発生室を拡大してメニスカスの移動を静定させる。
　【０００８】
　【実施例】
　以下本発明の詳細を実施例に基づいて図示して説明する。
　図１は、本発明に用いられるインクジェット式記録ヘッドの構成図である。図中符号１は、圧力発生室で、ノズル開口２が形成されたノズルプレート３と、後述する圧電振動子７の先端に当接する振動板４とをスペーサ５を挟んで構成されており、インク供給口６を通して図示しないインクタンクに接続するリザーバ１４からインクの補給を受けるように構成されている。
　【０００９】
　７は、前述の圧電振動子で、この実施例では圧電材料８と電極形成材料９、１０を交互にサンドイッチ状に挟んで積層構造となるように構成され、電極が存在しない不活性領域が固定基板１１に固定されている。これら固定基板１１とスペーサ５、及び振動板４は、基台１２を介して一体に固定されてインクジェット式記録ヘッドとしてまとめ上げられている。
　【００１０】
　このように構成されたインクジェット式記録ヘッドは圧電振動子７の電極９、１０に電圧が印加されれば、圧電振動子７がノズルプレート３側に伸長し、振動板４が圧力発生室１を圧縮する。その結果、圧力発生室１に存在するインクの一部がノズル開口２から吐出される。
　【００１１】
　図２は上述したインクジェット式記録ヘッドを駆動する駆動回路の一実施例である。
　図中符号１３０は、後述する制御信号発生回路で、図示しない装置よりデータバス１３１を介して送られてくる印字データを取り込み、記録ヘッドが印字位置に達したことを示す印字タイミング信号が端子１３２に入力された段階で、取り込んだ印字データをシリアル転送して記録ヘッドの駆動回路に出力する。
　【００１２】
　この制御信号発生回路１３０からは、カスケードに接続されシフトレジスタを構成するフリップフロップ１３９、１３９、・・・・のデータ端子に信号線１３４を介してシリアルデータ信号が、また信号線１３３を介してシフトクロック信号が出力される。更に、全ての圧電振動子４８、４８、・・・・に対する印字データの信号が転送された段階で、信号線１３５を介してラッチ１３８、１３８、・・・・にシリアル転送した印字データをラッチするための信号を出力する。この信号線１３５は、駆動電圧信号発生回路８４にも出力されており、信号出力と同時に駆動電圧信号号発生回路８４からは、後述する所定の電圧波形を持った駆動電圧信号を出力する。
　【００１３】
　図３は前述した駆動電圧信号発生回路の一実施例を示す図である。タイミング発生回路１７０は３つのワンショットマルチバイブレータ１７１、１７２、１７３より構成されており、制御信号発生回路１３０からの信号線１３５にタイミング信号が出力されると、まず第１のワンショットマルチバイブレータ１７１から一定パルス幅のＬＯＷレベル信号が出力し、この出力信号で、第１の定電流回路１８０が動作し、初期状態で−ＶＭボルトに充電されているコンデンサ１５２を一定電流Ｉｒにより充電する。
　一定電流値Ｉｒでコンデンサ１５２が略０ボルトまで充電されると、コンデンサ１５２に並列接続されたダイオード１５３によりコンデンサ１５２の端子電圧はクランプされて略０ボルト状態に維持される。
　【００１４】
　第１のワンショットマルチバイブレータ１７１の出力信号がＨＩＧＨレベルに変わると、これをトリガとして第２のワンショットマルチバイブレータ１７２から一定パルス幅のＬＯＷレベル信号が出力し、今度は第２の定電流回路１８１を動作させ、コンデンサ１５２の端子電圧が略０ボルトから給電電圧である略−ＶＬボルトまで一定電流値Ｉｆで放電される。
　【００１５】
　さらに、第２のワンショットマルチバイブレータ１７２の出力信号がＨＩＧＨレベルに変わると、これをトリガとして第３のワンショットマルチバイブレータ１７３から一定パルス幅のＬＯＷレベル信号が出力して、今度は第３の定電流回路１８２を動作させ、コンデンサ１５２が、略−ＶＬボルトから−ＶＭボルトまで一定電流値Ｉｒ１で充電される。このコンデンサ１５２の電圧変化は、電流増幅用トランジスタ対１５９、１６０を介して圧電振動子４８、４８、・・・・に印加される。
　【００１６】
　上述の駆動電圧信号発生回路８４では、コンデンサ１５２の容量をＣ、第１の定電流回路１８０の抵抗２００の値をＲｒ、第２の定電流回路１８１の抵抗２０１の値をＲｆ、第３の定電流回路１８２の抵抗３００の値をＲｒ１、トランジスタ１５４、１５８、３５４のベース・エミッタ間の電圧をＶｂｅ１５４、Ｖｂｅ１５８、Ｖｂｅ３５４とすると、前述した充放電電流Ｉｒ、Ｉｆ、Ｉｒ１は、それぞれ
　　Ｉｒ＝Ｖｂｅ１５４／Ｒｒ　（１）
　　Ｉｆ＝Ｖｂｅ１５８／Ｒｆ　（２）
　　Ｉｒ１＝Ｖｂｅ３５４／Ｒｒ１　（３）
　となり、
　また充放電時定数Ｔｒ、Ｔｆ、Ｔｒ１は、それぞれ
　　Ｔｒ＝Ｃ×ＶＭ／Ｉｒ　（４）
　　Ｔｆ＝Ｃ×ＶＬ／Ｉｆ　（５）
　　Ｔｒ１＝Ｃ×（ＶＬ−ＶＭ）／Ｉｒ１　（６）
　となる。
　【００１７】
　図４は、駆動電圧信号発生回路８４からの駆動電圧信号出力と、圧電振動子に印加される電圧との時系列的な関係を示すものである。
　次に上述した駆動電圧信号発生回路８４を用いて圧電振動子を駆動した場合のインク滴吐出の動作について説明する。
　初期状態では、駆動電圧信号発生回路８４の出力は、−ＶＭボルトとなっており、この状態では、トラジスタ８５、８５、・・・・に並列接続されたダイオードＤ、Ｄ、・・・・を通して全ての圧電振動子４８、４８、・・・・は共通接続端子が負電位（−ＶＭボルト）に、他端を略０ボルトとした過放電状態、つまりＶＭボルトの電圧が印加された状態にあり、圧電振動子４８、４８、・・・・は伸長しており、したがって圧力発生室１は収縮状態にある。
　【００１８】
　第１の定電流回路１８０の動作が開始され、駆動電圧信号発生回路８４の出力が−ＶＭボルトから略０ボルトに一定勾配で変化する第１の工程では、ラッチ１３８、１３８、・・・・にラッチされている印字データにより導通状態のトランジスタ８５、８５、・・・・に接続された圧電振動子４８、４８、・・・・に対してのみ充電がなされ、結果として、過放電状態から電圧無印加状態に印加電圧が変わる。
　つまり、インク滴を飛翔させる必要のある圧電振動子４８、４８、・・・・のみが収縮して圧力発生室１が拡大し、リザーバー１４からインクを吸引する。この圧力発生室１の拡大に伴って、ノズル開口２の近傍に形成されているメニスカスは、圧力発生室１側に引き込まれ、所定時間後に元の位置に復帰する。
　【００１９】
　メニスカスが元の位置に復帰した時点で、第２の定電流回路１８１が動作を開始する。これにより、駆動電圧信号発生回路８４の出力が略０ボルトから略−ＶＬボルトに一定勾配で変化する第２の工程に切り換わり、第１の工程の充電でほぼ印加電圧が零となり収縮状態にある圧電振動子４８、４８、・・・・は、共通接続端子を負電位として過放電されて行き、最終的にＶＬボルトの電圧が印加された状態になり伸長する。この圧電振動子４８、４８、・・・・の伸長により拡大状態であった圧力発生室１が収縮し、この収縮によってノズル開口２からインク滴が飛翔する。
　【００２０】
　インク滴の吐出後、メニスカスは、再度大きく圧力発生室１側に大きく引き込まれ、振動しながら元の位置に復帰して行くが、圧力発生室１側に最も引き込まれてメニスカスがノズル開口２側への移動に転じる時点で、第３の定電流回路１８２の動作を開始する。
　これより、駆動電圧信号発生回路８４の出力が略−ＶＬボルトから−ＶＭボルトに一定勾配で変化する第３の工程が開始されるから、第２の工程でインク滴を吐出させた圧電振動子４８、４８、・・・・は、充電され初期状態の位置まで収縮して圧力発生室１を初期の状態まで拡大する。この拡大に伴ってメニスカスを圧力発生室１側に引き戻す力が生じ、インク滴吐出後のメニスカスのノズル開口２側へ移動させようとする力と、上記引戻す力が相殺されてメニスカスは振動することなく速やかにノズル開口近傍に静止する。
　【００２１】
　シュミレーション及び実験結果では、メニスカスの振動に代表されるヘッドの流路系の固有振動周期をＴｃとすると、インク滴吐出後のメニスカスの振動を効果的に抑えるには、
　　０．５＜Ｔｃ／Ｔｒ＜３　（７）
　　０．５＜Ｔｃ／Ｔｆ＜３　（８）
　なる条件の下では、
　　２＜ＶＭ／（ＶＬ−ＶＭ）＜１０　（９）
　　１／８＜Ｔｃ／Ｔｒ１＜１　（１０）
　となるように設定すればよいことが確認された。
　また、本発明の記録ヘッドでは、縦振動型の圧電振動子を用いているため、圧力発生室の容積変化は、圧電振動子の印加電圧とほぼ比例することが確認された。
　【００２２】
　図５は、本発明によるメニスカスの振動の様子を示したもので、図５（ａ）はメニスカスの挙動を、図５（ｂ）は圧電振動子に印加する駆動電圧信号を示している。
　これに対して本発明における第３の工程が作用しない場合は、図６に示したようにインク滴飛翔後、メニスカスの振動が継続するが、第３の工程を作用させる本発明ではメニスカスは速やかに静定されている。
　【００２３】
　本発明による駆動周波数とインク滴の飛翔速度との関係は図７に、また従来の駆動周波数とインク滴飛翔速度との関係は図８に示すようになり、これらの図から解るように本発明によれば高い駆動周波数の領域においてもインク滴の飛翔速度に変化がなく、印字品質を維持することができる。
　【００２４】
　一方、印字データが信号が無い場合、つまりラッチ１３８、１３８、・・・・に印字データがラッチされていない場合には、トランジスタ８５、８５、・・・・に並列接続されたダイオードＤ、Ｄ、Ｄ、・・・・を通じて圧電振動子４８、４８、・・・・は、駆動電圧信号発生回路８４の出力が略０ボルトから略−ＶＬボルトに一定勾配で変化する第２の工程で、共通接続端子側を負電位として印字データに関係なく常に充電される。
　【００２５】
　また駆動電圧信号発生回路８４の出力が略−ＶＬボルトから−ＶＭボルトに一定勾配で変化する第３の工程では、ワンショットマルチバイブレータ１７３のＬＯＷレベル出力信号をインバータ９１でＨＩＧＨレベル信号に変換し、ＯＲゲート１８０、１８０、・・・・を介して全トランジスタ８５、８５、・・・・の制御端子に供給するから第３の工程では、印字データに関わらず常にトランジスタ８５、８５、・・・・は導通し、略ＶＬボルトに充電された圧電振動子４８、４８、・・・・を初期状態のＶＭボルトまで放電する。
　【００２６】
　つまり、非印字時においては、圧電振動子４８、４８、・・・・は印字タイミング毎にインク滴を吐出させない程度の伸長、収縮を繰返して、ノズル開口２の近傍に形成されるメニスカスを揺動させる。これにより、ノズル開口２近傍のインクが撹拌され、インク滴を長時間に渡り吐出しないノズルのインクの増粘が抑制されてノズル開口２の乾燥に起因する目詰まりが防止される。
　【００２７】
　なお、上述の実施例において記録ヘッドを駆動する圧電振動子として電圧を印加すると伸長し、圧力発生室１を収縮させるものを例に採って説明したが、図９に示すように電圧印加により図中縦方向に収縮して、圧力発生室１を拡大するものを用いてもよい。
　【００２８】
　この場合の駆動電圧信号発生回路８４としては、図３において、ダイオード１５３を外して、供給電源を片電源（ＶＨボルト）とすること対応することができる。
　【００２９】
　図１０は、本発明の駆動技術が適用できる他の形式の記録ヘッドの構造を示したもので、符号７ａ、７ｂで示す２組の圧電振動子がある。圧電振動子７ａには、図１１（ａ）で示す電圧波形を印加することで、インク滴ををノズル開口２より飛翔させる。また、圧電振動子７ｂには図１１（ｂ）の電圧波形が印加され、インク滴吐出後、電圧を幾分低下させ、また元に戻す。これにより、振動板４の両端に図中上下方向に伸縮力が生じ、振動板４がたわめられて圧力発生室１を拡大し、またもとに戻すよう作用するため、メニスカスの振動を速やかに静定できる。
　【００３０】
　また、印字データに関わらず、圧電振動子７ｂに図１１（ｂ）の電圧波形を印加すれば、メニスカスを揺動させてノズル開口の目詰まりを防止することができる。
　【００３１】
　【発明の効果】
　以上、説明したように本発明によれば、インク滴吐出後のメニスカスが圧力発生室側に実質的に最も引き込まれた時点で圧力発生室を拡大させるため、インク滴吐出後のメニスカスの移動を圧力発生室の膨張で相殺できてインク滴の吐出周波数を向上できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明に用いる記録ヘッドの構造図。
　【図２】　本発明の駆動回路の一実施例を示す図。
　【図３】　図２における駆動電圧信号発生回路８４の詳細図。
　【図４】　本発明の駆動方法を説明するタイミング図。
　【図５】　本発明の実施例におけるメニスカスの挙動を示す図。
　【図６】　従来のメニスカスの挙動を示す図。
　【図７】　本発明の実施例の周波数特性を示す図。
　【図８】　従来の周波数特性を示す図。
　【図９】　本発明に用いる別の記録ヘッドの構造図。
　【図１０】　本発明に用いる更に別の記録ヘッドの構造図。
　【図１１】　図１０の記録ヘッドを駆動するための駆動電圧波形を示す図。
　【符号の説明】
　１　圧力発生室
　２　ノズル開口
　７　圧電振動子
　８４　駆動電圧信号発生回路