(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバと真空ポンプとの間に介在され、前記真空チャンバの圧力を調整する真空バルブであって、
弁体と、前記弁体を駆動して前記弁体の開度を変化させる駆動モータとを有するバルブ本体と、
ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部と、前記駆動モータを駆動する駆動部と、少なくとも前記駆動部を制御する制御部とを含み、前記バルブ本体と一体的に構成されたコントローラとを備え、
前記入力操作部は、前記指令を前記制御部に出力し、
前記制御部は、前記入力操作部から入力された前記指令に応じた作業を実行する真空バルブであって、
前記入力操作部は、前記真空チャンバの圧力と前記弁体の開度との関係を取得する校正作業を指令する入力操作形態での操作が可能に構成され、
前記入力操作形態による前記指令が前記制御部に出力されたとき、前記制御部は、前記真空チャンバの圧力を入力するとともに、前記弁体を駆動させて前記開度を変化させて前記真空チャンバの圧力を検出する作業を行って、前記開度と前記真空チャンバの圧力との関係を取得する前記校正作業を実行する真空バルブ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空バルブにおいて、
前記入力操作部は、前記入力操作形態を含む切り換え可能な複数の入力操作形態を有し、前記複数の入力操作形態に応じた指令を前記制御部に出力する真空バルブ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の真空バルブにおいて、
前記コントローラは、前記校正作業の作業状況を表示する表示部を有する真空バルブ。
【請求項４】
真空チャンバと真空ポンプとの間に介在され、前記真空チャンバの圧力を調整する真空バルブであって、
弁体と、前記弁体を駆動して前記弁体の開度を変化させる駆動モータとを有するバルブ本体と、
ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部と、前記駆動モータを駆動する駆動部と、少なくとも前記駆動部を制御する制御部とを含み、前記バルブ本体と一体的に構成されたコントローラとを備え、
前記入力操作部は、前記指令を前記制御部に出力し、
前記制御部は、前記入力操作部から入力された前記指令に応じた作業を実行する真空バルブであって、
前記入力操作部は、切り換え可能な複数の入力操作形態を有し、前記複数の入力操作形態に応じた指令を前記制御部に出力し、
前記複数の入力操作形態のいずれか一つの入力操作形態によって、前記入力操作部は、前記真空チャンバの圧力値が目標圧力値となるように前記弁体を駆動させる調圧作業を実行させる指令を前記制御部に出力し、
前記制御部は、前記指令に応じて、前記調圧作業を実行する真空バルブ。
【請求項５】
請求項４に記載の真空バルブにおいて、
前記コントローラは、前記調圧作業の作業状況を表示する表示部を有する真空バルブ。
【請求項６】
真空チャンバと真空ポンプとの間に介在され、前記真空チャンバの圧力を調整する真空バルブであって、
弁体と、前記弁体を駆動して前記弁体の開度を変化させる駆動モータとを有するバルブ本体と、
ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部と、前記駆動モータを駆動する駆動部と、少なくとも前記駆動部を制御する制御部とを含み、前記バルブ本体と一体的に構成されたコントローラとを備え、
前記入力操作部は、前記指令を前記制御部に出力し、
前記制御部は、前記入力操作部から入力された前記指令に応じた作業を実行する真空バルブであって、
前記入力操作部は、切り換え可能な複数の入力操作形態を有し、前記複数の入力操作形態に応じた指令を前記制御部に出力し、
前記複数の入力操作形態のいずれか一つの入力操作形態によって前記弁体を目標開度へ駆動させる開度変更作業を実行させる指令を前記制御部に出力し、
前記制御部は、前記指令に応じて、前記開度変更作業を実行する真空バルブ。
【請求項７】
真空チャンバと真空ポンプとの間に介在され、前記真空チャンバの圧力を調整する真空バルブであって、
弁体と、前記弁体を駆動して前記弁体の開度を変化させる駆動モータとを有するバルブ本体と、
ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部と、前記駆動モータを駆動する駆動部と、少なくとも前記駆動部を制御する制御部とを含み、前記バルブ本体と一体的に構成されたコントローラとを備え、
前記入力操作部は、前記指令を前記制御部に出力し、
前記制御部は、前記入力操作部から入力された前記指令に応じた作業を実行する真空バルブであって、
前記入力操作部は、前記真空チャンバの圧力値が目標圧力値となるように前記弁体を駆動させる調圧作業を実行させる指令を前記制御部に出力し、
前記制御部は、前記指令に応じて、前記調圧作業を実行する真空バルブ。
【請求項８】
真空チャンバと真空ポンプとの間に介在され、前記真空チャンバの圧力を調整する真空バルブであって、
弁体と、前記弁体を駆動して前記弁体の開度を変化させる駆動モータとを有するバルブ本体と、
ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部と、前記駆動モータを駆動する駆動部と、少なくとも前記駆動部を制御する制御部とを含み、前記バルブ本体と一体的に構成されたコントローラとを備え、
前記入力操作部は、前記指令を前記制御部に出力し、
前記制御部は、前記入力操作部から入力された前記指令に応じた作業を実行する真空バルブであって、
前記弁体を目標開度へ駆動させる開度変更作業を実行させる指令を前記制御部に出力し、
前記制御部は、前記指令に応じて、前記開度変更作業を実行する真空バルブ。
【請求項９】
真空チャンバと真空ポンプとの間に介在され、前記真空チャンバの圧力を調整する真空バルブであって、
前記真空チャンバのフランジに固定される第１環状フランジと、前記真空ポンプのフランジに固定される第２環状フランジと、前記第１環状フランジに延設される筒状の第１開口部と、前記第２環状フランジに延設される筒状の第２開口部と、前記第１開口部と前記第２開口部との間を挿脱される弁体と、前記弁体を駆動して前記弁体の開度を変化させる駆動モータとを有するバルブ本体と、
ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部と、前記駆動モータを駆動する駆動部と、少なくとも前記駆動部を制御する制御部とを含み、前記バルブ本体と一体的に構成されたコントローラとを備え、
前記コントローラは、前記バルブ本体における前記第２環状フランジが形成されている側の面に前記バルブ本体と一体的になるように結合されており、
前記入力操作部は、前記指令を前記制御部に出力し、
前記制御部は、前記入力操作部から入力された前記指令に応じた作業を実行する真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力制御バルブとして用いられる真空バルブは、弁体の開度を変化させて、真空チャンバから真空ポンプに流れる気体の流量を制御することで、真空チャンバ内の圧力を制御する。
【０００３】
特許文献１には、ゲートバルブが、当該ゲートバルブと別体となっている制御装置によって通信手段を介して制御される記載がある。なお、このような別体の制御装置は、操作ユニットやパソコン（ＰＣ）であるのが一般的である。
【０００４】
ところで、真空バルブは、様々な真空処理装置の真空チャンバと真空ポンプの間に介在される。真空バルブは、取り付け後で真空処理装置の使用前に、真空チャンバの圧力と弁体のθ開度の関係が示されている対応関係データを取得する校正作業を行う必要がある。この対応関係データは、真空バルブが弁体のθ開度を制御して精度良く調圧を行うことができるようにするためのものである。
【０００５】
しかし、特許文献１に記載の真空バルブは、その校正作業や調圧作業を行うに際し、ＰＣなどの外部制御装置と通信するための各種配線を接続する必要がある。そのため、校正作業や調圧作業をするのに多くの手間がかかり、また、外部制御装置を設けるためのコストがかかる。また、真空バルブ周辺の空間に制限などがある場合に、外部制御装置や各種配線を設ける空間がないなどの問題が生じており、真空バルブをローカル操作して、校正作業や調圧作業を行う必要があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−２３１４６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このように、校正作業や調圧作業などを、ローカル操作で行うことができる真空バルブが望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の好ましい第１の態様による真空バルブは、真空チャンバと真空ポンプとの間に介在され、真空チャンバの圧力を調整する真空バルブであって、弁体と、弁体を駆動して弁体の開度を変化させる駆動モータとを有するバルブ本体と、ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部と、駆動モータを駆動する駆動部と、少なくとも駆動部を制御する制御部とを含み、バルブ本体と一体的に構成されたコントローラとを備え、入力操作部は、指令を制御部に出力し、制御部は、入力操作部から入力された指令に応じた作業を実行する真空バルブであって、入力操作部は、真空チャンバの圧力と弁体の開度との関係を取得する校正作業を指令する入力操作形態での操作が可能に構成され、入力操作形態による指令が制御部に出力されたとき、制御部は、真空チャンバの圧力を入力するとともに、弁体を駆動させて開度を変化させて真空チャンバの圧力を検出する作業を行って、開度と真空チャンバの圧力との関係を取得する校正作業を実行する。
入力操作部は、入力操作形態を含む切り換え可能な複数の入力操作形態を有し、複数の入力操作形態に応じた指令を制御部に出力することが好ましい。
コントローラは、校正作業の作業状況を表示する表示部を有することが好ましい。
本発明の好ましい第２の態様による真空バルブは、真空チャンバと真空ポンプとの間に介在され、真空チャンバの圧力を調整する真空バルブであって、弁体と、弁体を駆動して弁体の開度を変化させる駆動モータとを有するバルブ本体と、ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部と、駆動モータを駆動する駆動部と、少なくとも駆動部を制御する制御部とを含み、バルブ本体と一体的に構成されたコントローラとを備え、入力操作部は、指令を制御部に出力し、制御部は、入力操作部から入力された指令に応じた作業を実行する真空バルブであって、入力操作部は、切り換え可能な複数の入力操作形態を有し、複数の入力操作形態に応じた指令を制御部に出力し、複数の入力操作形態のいずれか一つの入力操作形態によって、入力操作部は、真空チャンバの圧力値が目標圧力値となるように弁体を駆動させる調圧作業を実行させる指令を制御部に出力し、制御部は、指令に応じて、調圧作業を実行する。
コントローラは、調圧作業の作業状況を表示する表示部を有することが好ましい。
本発明の好ましい第３の態様による真空バルブは、真空チャンバと真空ポンプとの間に介在され、真空チャンバの圧力を調整する真空バルブであって、弁体と、弁体を駆動して弁体の開度を変化させる駆動モータとを有するバルブ本体と、ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部と、駆動モータを駆動する駆動部と、少なくとも駆動部を制御する制御部とを含み、バルブ本体と一体的に構成されたコントローラとを備え、入力操作部は、指令を制御部に出力し、制御部は、入力操作部から入力された指令に応じた作業を実行する真空バルブであって、入力操作部は、切り換え可能な複数の入力操作形態を有し、複数の入力操作形態に応じた指令を制御部に出力し、複数の入力操作形態のいずれか一つの入力操作形態によって弁体を目標開度へ駆動させる開度変更作業を実行させる指令を制御部に出力し、制御部は、指令に応じて、開度変更作業を実行する。
本発明の好ましい第４の態様による真空バルブは、真空チャンバと真空ポンプとの間に介在され、真空チャンバの圧力を調整する真空バルブであって、弁体と、弁体を駆動して弁体の開度を変化させる駆動モータとを有するバルブ本体と、ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部と、駆動モータを駆動する駆動部と、少なくとも駆動部を制御する制御部とを含み、バルブ本体と一体的に構成されたコントローラとを備え、入力操作部は、指令を制御部に出力し、制御部は、入力操作部から入力された指令に応じた作業を実行する真空バルブであって、入力操作部は、真空チャンバの圧力値が目標圧力値となるように弁体を駆動させる調圧作業を実行させる指令を制御部に出力し、制御部は、指令に応じて、調圧作業を実行する。
本発明の好ましい第５の態様による真空バルブは、真空チャンバと真空ポンプとの間に介在され、真空チャンバの圧力を調整する真空バルブであって、弁体と、弁体を駆動して弁体の開度を変化させる駆動モータとを有するバルブ本体と、ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部と、駆動モータを駆動する駆動部と、少なくとも駆動部を制御する制御部とを含み、バルブ本体と一体的に構成されたコントローラとを備え、入力操作部は、指令を制御部に出力し、制御部は、入力操作部から入力された指令に応じた作業を実行する真空バルブであって、弁体を目標開度へ駆動させる開度変更作業を実行させる指令を制御部に出力し、制御部は、指令に応じて、開度変更作業を実行する。
本発明の好ましい第６の態様による真空バルブは、真空チャンバと真空ポンプとの間に介在され、真空チャンバの圧力を調整する真空バルブであって、真空チャンバのフランジに固定される第１環状フランジと、真空ポンプのフランジに固定される第２環状フランジと、第１環状フランジに延設される筒状の第１開口部と、第２環状フランジに延設される筒状の第２開口部と、第１開口部と第２開口部との間を挿脱される弁体と、弁体を駆動して弁体の開度を変化させる駆動モータとを有するバルブ本体と、ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部と、駆動モータを駆動する駆動部と、少なくとも駆動部を制御する制御部とを含み、バルブ本体と一体的に構成されたコントローラとを備え、コントローラは、バルブ本体における第２環状フランジが形成されている側の面にバルブ本体と一体的になるように結合されており、入力操作部は、指令を制御部に出力し、制御部は、入力操作部から入力された指令に応じた作業を実行する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、校正作業や調圧作業などをローカル操作で行うことができる真空バルブを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一の実施形態による真空バルブを示した斜視図。
【図２】コントローラに設けられた操作パネル及びコネクタ部を示した図。
【図３】真空バルブのブロック図。
【図４】コントローラの制御部で実行されるフローチャートについて示した図。
【図５】操作パネルに設けられたＬＥＤランプ及びＬＥＤアレイの表示について示した図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
―実施形態―
図１は、本発明の一の実施形態による真空バルブ１を示した斜視図である。真空バルブ１は、不図示の真空処理装置の真空チャンバと、不図示の真空ポンプとの間に介在される。真空バルブ１は、バルブ本体２と、コントローラ７と、を備えている。
【００１２】
バルブ本体２は、真空処理装置の真空チャンバのフランジに固定される環状のフランジ３と、真空ポンプのフランジに固定される環状のフランジ１０と、フランジ３に延設される筒状の開口部４と、フランジ１０に延設される筒状の開口部１１と、開口部４と開口部１１との間を挿脱されるバルブプレート８（弁体８）と、バルブプレート８を後述するθ方向に揺動駆動するモータ２１と、バルブプレート８を後述するＺ方向に駆動するモータ２２と、不図示のバルブプレート位置検出部６（図３参照）と、を備えている。
【００１３】
コントローラ７は、側面に操作パネル７３を、底面にコネクタ部７４を、備えている。コントローラ７が備えるその他の構成については、図３の説明箇所で後述する。
【００１４】
図１に示すθは、バルブプレート８のθ開度（％）を示している。図１に示す「θ＝０％」は、開口部４、１１を全閉したときのθ開度を示し、「θ＝１００％」は、開口部４、１１を全開したときのθ開度を示している。破線で示されたバルブプレート８ａは、全開（θ＝１００％）時のバルブプレート８を示している。バルブプレート８は、モータ２１によって揺動駆動されθ開度を調節することで、開口部４、１１の流路面積を変化させて、真空処理装置の真空チャンバから真空ポンプへ流れる気体の流量を調節する。その結果、真空処理装置の真空チャンバ内の圧力が調圧される。
【００１５】
図１に示すＺ方向は、バルブプレート８がθ方向に揺動する軸と平行な方向である。バルブプレート８は、モータ２２によって、Ｚ方向に移動することができる。バルブプレート８は、全閉（θ＝０％）となった上で、Ｚ方向に移動して開口部４の軸方向端部又は開口部１１の軸方向端部と当接することで、真空処理装置の真空チャンバから真空ポンプへの気体を遮断する状態、すなわち、バルブ閉状態を実現することができる。本実施形態では、バルブプレート８を上下させてバルブ閉状態としたが、バルブプレート８に対してシール部材を上下させてバルブ閉状態とするような構成であっても構わない。
【００１６】
図２（ａ）は、コントローラ７を図１の矢視方向ＹＡから見た矢視図であって、コントローラ７の側面に設けられた操作パネル７３を示したものである。図２（ｂ）は、コントローラ７を図１の矢視方向ＹＢから見た矢視図であって、コントローラ７の底面に設けられたコネクタ部７４を示したものである。
【００１７】
操作パネル７３は、入力操作部７３１として、ボタン７３１ａと、ボタン７３１ｂと、ボタン７３１ｃと、を有し、表示部７３２として、多色発光をすることができるＬＥＤランプ７３２ａと、同じく多色発光をすることができるＬＥＤアレイ７３２ｂと、を有している。ボタン７３１ａと、ボタン７３１ｂと、ボタン７３１ｃは、それぞれメンブレンスイッチにより構成されている。ここでは、上記の操作パネル７３の各構成の概要について説明する。これらの構成の詳細については図４、５の説明箇所で述べる。
【００１８】
真空バルブ１は、機能として、「基本機能モード」、「校正機能モード」、「調圧機能モード」を有する。これらのモードの詳細については後述する。ＬＥＤランプ７３２ａは、それらのモードに対応した表示を行う。さらに、それぞれのモードは、複数のステップを有する（図４参照）。ボタン７３１ｂは、各ステップ間を移動するのに用いられる。
【００１９】
ボタン７３１ａ及びボタン７３１ｃは、θ開度の目標値変更や、圧力設定値変更や、校正作業開始決定等に用いられる。
【００２０】
ＬＥＤアレイ７３２ｂは、θ開度や、圧力値や、校正作業残り時間などを百分率で表示する。図２（ａ）に示すように、ＬＥＤアレイ７３２ｂは、１１個のＬＥＤ素子を有している。左端のＬＥＤ素子が０％を示しており、右端のＬＥＤ素子が１００％を示している。その間に設けられたＬＥＤ素子は、１０％刻みで設けられている。
【００２１】
ここで、ＬＥＤランプ７３２ａ、及びＬＥＤアレイ７３２ｂの表示形態について説明する。
【００２２】
＜ＬＥＤランプ７３２ａによるモードの表示＞
ＬＥＤランプ７３２ａは３種類の表示形態が可能であり、図２（ａ）では、符号Ｇ，Ｇ１，Ｙで示した。符号Ｇは緑色点灯を示しており、緑色点灯（Ｇ）は基本機能モードＭ１であることを示す。符号Ｇ１は緑色点滅を示しており、緑色点滅（Ｇ１）は校正機能モードＭ２であることを示す。符号Ｙは黄色点灯を示しており、黄色点灯（Ｙ）は調圧機能モードＭ３であることを示す。
【００２３】
＜ＬＥＤアレイ７３２ｂの表示形態＞
ＬＥＤアレイ７３２ｂの各ＬＥＤ素子は、５つの表示形態が可能である。符号Ｃは、黄色点灯を示している。符号Ｄは、黄色点滅を示している。符号Ｅは、橙色点灯を示している。符号Ｆは、橙色点滅を示している。符号が示されていない空白のものは、消灯を示している。なお、図５（ｄ）や図５（ｇ）に見られる、１つのＬＥＤに２つの符号が示されているものは、各符号で示される表示を交互に行うことを意味している。図５（ｇ）において符号Ｄと符号Ｅとが表示されたＬＥＤ素子は、黄色点滅と橙色点灯を交互に行う。例えば、「黄色点灯（０．５秒間）＋消灯（０．５秒間）」で構成される黄色点滅と、「橙色点灯（１秒間）」で構成される橙色点灯を交互に行うことを意味する。ＬＥＤアレイ７３２ｂの表示の詳細については、後述する図４の各ステップの説明箇所で説明する。
【００２４】
図２（ｂ）に示すように、コネクタ部７４は、電力コネクタ７４１と、通信用コネクタ７４２と、を有している。電力コネクタ７４１を介して、外部電源から電力が供給される。コントローラ７は、通信用コネクタ７４２を介して、真空処理装置などと通信する。
【００２５】
図３は、真空バルブ１の機能ブロック図である。ここで、真空バルブ１が備える構成について、上述したものも含めて、説明する。真空バルブ１は、バルブ本体２と、コントローラ７と、を備えている。バルブ本体２は、θ方向駆動用のモータ２１と、Ｚ方向駆動用のモータ２２と、バルブプレート位置検出部６と、を備えている。コントローラ７は、内部時計ＣＬ７１（タイマＣＬ７１）を有する制御部７１と、モータ２１を駆動するためのモータ駆動部７５と、モータ２２を駆動するためのモータ駆動部７６と、入力操作部７３１と表示部７３２とを有する操作パネル７３と、電力コネクタ７４１と通信用コネクタとを有するコネクタ部７４と、を備えている。入力操作部７３１は、ボタン７３１ａ、７３１ｂ、７３１ｃを有している（図２参照）。表示部７３２は、ＬＥＤランプ７３２ａと、ＬＥＤアレイ７３２ｂと、を有している（図２参照）。
【００２６】
真空バルブ１は、外部装置（例えば、真空処理装置）５０２からの指令により動作を行うリモート操作機能と、入力操作部７３１の操作により動作を行うローカル操作機能とを備えている。ローカル操作は、例えば、真空バルブ１のメンテナンス時や後述する校正動作時等において使用される。ローカル操作とリモート操作との切り替えは、通信用コネクタ７４２を介して入力される外部装置５０２からの指令により行うこともできるし、操作パネル７３のボタン７３１ｂとボタン７３１ｃとを同時押しする操作でも行うことができる。
【００２７】
真空バルブ１は、電力コネクタ７４１を介して外部電源５０１から電力を供給され、各構成に電力を供給する。
【００２８】
操作パネル７３の入力操作部７３１（ボタン７３１ａ、７３１ｂ、７３１ｃ）を操作すると、その操作動作に応じた指令が、入力操作部７３１から制御部７１に入力される。制御部７１は、入力操作部７３１からの指令を受けてモータ駆動部７５によってモータ２１を駆動して、バルブプレート８をθ方向に駆動させる。その他、制御部７１は、入力操作部７３１からの指令を受けて、外部装置５０２と通信したり、表示部７３２に所定の表示形態を行わせたりする。
【００２９】
バルブプレート位置検出部６は、バルブプレート８のθ方向の位置とＺ方向の位置を検出し、制御部７１にその位置情報を送信する。なお、入力操作部７３１の入力によるバルブプレート８の駆動はθ方向のみである。
【００３０】
制御部７１には、真空バルブ１が取り付けられた真空処理装置の真空チャンバの圧力情報が通信用コネクタ７４２を介して真空処理装置から入力される。
【００３１】
内部時計ＣＬ７１は、制御タイミングをとるためのクロック信号を出力する。
【００３２】
制御部７１は、後述する校正作業時に得られる対応関係データ、すなわち、校正作業時のバルブプレート８のθ開度と真空チャンバの圧力との関係を表すデータを記憶する記憶部（不図示）を備えている。
【００３３】
また、制御部７１は、調圧時には、上述の対応関係データを用いて所定の圧力に対応したθ位置にバルブプレート８を移動させて、θ開度を変化させる。
【００３４】
制御部７１は、真空チャンバの圧力やバルブプレート８のθ開度などの情報に基づいて、操作パネル７３の表示部７３２（ＬＥＤランプ７３２ａ、ＬＥＤアレイ７３２ｂ）の表示を制御する。詳細は、図５を用いて後述する。
【００３５】
次に、図４、５を用いて、操作パネル７３を使用する時、すなわち、ローカル操作時のフローと操作パネル７３の表示について説明する。図４は、ローカル操作時におけるボタン操作と表示部７３２（ＬＥＤランプ７３２ａ、ＬＥＤアレイ７３２ｂ）の表示との関係を示すフローチャートである。このフローチャートは制御部７１で実行される。図５は、ボタン操作時の表示部７３２の表示を示す図である。
【００３６】
上述したように、ローカル操作とリモート操作との切り替えは、外部からの指令によってもできるし、操作パネル７３のボタン７３１ｂとボタン７３１ｃとを同時押しすることでもでき、これにより、図４のフローチャートの実行および停止が行われる。
【００３７】
図４に示すフローチャートは、基本機能モードＭ１、校正機能モードＭ２、および、調圧機能モードＭ３を有する。基本機能モードＭ１では、ステップＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３が実行される。校正機能モードＭ２では、ステップＳ２１、Ｓ２２、Ｓ２３が実行される。調圧機能モードＭ３では、ステップＳ３１、Ｓ３２、Ｓ３３が実行される。各ステップの内容については、後述する。
【００３８】
外部からの切り替えの指令、または、ボタン７３１ｂ，７３１ｃの同時押しによりローカル操作に移行すると、基本機能モードＭ１のステップＳ１１に入る。なお、基本機能モードＭ１、および、調圧機能モードＭ３においては、どのステップからもリモート操作に移行することができるが、校正機能モードＭ２の場合には、ステップＳ２１のみリモート操作に移行することができる。すなわち、ステップＳ２２、Ｓ２３の実行中は校正作業が行われているので、ステップＳ２２、Ｓ２３からはリモート操作に移行することができない。
【００３９】
図４に示すＣ１、Ｃ２、Ｃ３は、各ステップ間の移行する際のボタン操作を示している。また、符号Ｃ４は、後述する校正作業が終了した時点で行われる自動移行動作を示している。
【００４０】
符号Ｃ１で示されたボタン操作は、ボタン７３１ｂの短押しである。符号Ｃ２で示されたボタン操作は、ボタン７３１ｂの長押しである。なお、ボタン７３１ｂを押す長さが、所定の時間（例えば１秒）未満であれば短押しであると制御部７１が認識し、当該所定の時間以上であれば長押しであると制御部７１が認識する。符号Ｃ３で示されたボタン操作は、ボタン７３１ａとボタン７３１ｃとを同時押しする操作である。
【００４１】
図４の各モード及び各ステップについて、図５を参照しながら説明する。
【００４２】
（基本機能モードＭ１）
基本機能モードＭ１、及び、基本機能モードＭ１に属するステップＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３について説明する。
【００４３】
基本機能モードＭ１では、ユーザは、ローカル操作によりバルブプレート８のθ開度を所望の開度に変化させること（θ開度変更作業）ができる。
【００４４】
ローカル操作に移行すると、基本機能モードＭ１のステップＳ１１が実行される。ステップＳ１１では、バルブプレート８のθ開度の限界位置であるリミット位置が表示される。具体的には、図５（ａ）に示すように、ＬＥＤアレイ７３２ｂの両端のＬＥＤがリミット位置であるとして橙色点灯（符号Ｅ）し、それらの間にある残りのＬＥＤが黄色点滅（符号Ｄ）する。ステップＳ１１において、ボタン７３１ｂが短押しされるとステップＳ１２に移行し、ボタン７３１ｂが長押しされると校正機能モードＭ２のステップＳ２１に移行する。
【００４５】
ステップＳ１２では、θ開度の現在値が表示される。図５（ｂ）のＬＥＤアレイ７３２ｂの表示は、θ開度が８０％を示している例である。すなわち、図５（ｂ）のＬＥＤアレイ７３２ｂでは、１０％刻みで設けられた１１個のＬＥＤのうち、左から９個のＬＥＤが黄色点灯（符号Ｃで示す）し、残りの右から２個のＬＥＤが消灯（空白）している。なお、図２で説明したように、左端のＬＥＤは０％を意味しているため、図５（ｂ）のように、θ開度が８０％の時には左から９個のＬＥＤが黄色点灯表示される。ステップＳ１２の表示状態において、ボタン７３１ｂが短押しされるとステップＳ１３に移行し、ボタン７３１ｂが長押しされると校正機能モードＭ２のステップＳ２１に移行する。
【００４６】
ステップＳ１３では、θ開度の目標値（ユーザが指定したいθ開度）を設定する。図５（ｃ）のＬＥＤアレイ７３２ｂはその目標値（５０％）を示している。この状態においてボタン７３１ａを押せば目標値を下げることができ、ボタン７３１ｃを押せば目標値を上げることができる。なお、図３に示す制御部７１は、ボタン７３１ａ、７３１ｃで目標値が変更されると、モータ駆動部７５によってモータ２１を駆動して、バルブプレート８を目標値まで移動させてθ開度を変更する。ステップＳ１３において、ボタン７３１ｂが短押しされるとステップＳ１１に移行し、ボタン７３１ｂが長押しされると校正機能モードＭ２のステップＳ２１に移行する。
【００４７】
（校正機能モードＭ２）
校正機能モードＭ２、及び、校正機能モードＭ２に属するステップＳ２１、Ｓ２２、Ｓ２３について説明する。
【００４８】
校正機能モードＭ２は、バルブプレート８のθ開度と真空チャンバの圧力との関係について求める校正作業を実行するモードである。
【００４９】
ステップＳ２１では、図５（ｄ）に示すように、ＬＥＤアレイ７３２ｂの全てのＬＥＤについて黄色点灯と橙色点灯を交互に繰り返す表示が行われる。この状態でボタン７３１ａ及びボタン７３１ｃが同時押しされると、校正作業が開始される。
【００５０】
校正作業に関する一連の作業は、制御部７１によって自動的に実行される。以下、具体的に説明する。制御部７１は、真空処理装置と通信して真空チャンバの圧力を監視しながら、バルブプレート８をθ方向に駆動させてθ開度を変化させる。制御部７１は、所望の圧力となったところで、バルブプレート８の駆動を止めて、バルブプレート位置検出部６から受信した情報に基づいて、そのθ開度を読み取る。そして、制御部７１は、当該θ開度と当該圧力との関係を示すデータ（対応関係データ）を記憶部に記憶する。この校正作業は、真空チャンバ内で行われるそれぞれのプロセスで実行される。
【００５１】
ステップＳ２１におけるボタン７３１ａ及びボタン７３１ｃの同時押しの操作によって構成作業が開始されると、図４に示すようにステップＳ２２に移行する。また、ステップＳ２１において、ボタン７３１ｂが長押しされると、ステップＳ３１に移行する。
【００５２】
ステップＳ２２では、校正作業時のθ開度が表示される。図５（ｅ）に示すＬＥＤアレイ７３２ｂは、黄色点滅（符号Ｄ）によって、θ開度が３０％である状態を表示の一例として示している。ステップＳ２２において、ボタン７３１ｂが短押しされると図４に示すように、ステップＳ２３に移行する。
【００５３】
ステップＳ２３では、校正作業の時間経過が表示される。図５（ｆ）に示すＬＥＤアレイ７３２ｂは、橙色点灯（符号Ｅ）によって、全作業時間を１００％とした時にどのくらい作業時間が経過したかを示している。また、黄色点滅（符号Ｄ）によって、残りの作業時間を示している。時間が経過すれば、黄色点滅が橙色点灯に左から置き換わっていく。図では、７０％まで作業時間が経過し、残りの作業時間が３０％あるときの例を示している。ステップＳ２３において、ボタン７３１ｂが短押しされると図４に示すように、ステップＳ２２に移行する。
【００５４】
なお、校正作業中には、ボタン７３１ｂを短押しすること以外には、操作パネル７３の入力ができないように設定されている。すなわち、校正作業中には、ボタン７３１ｂを短押しすることによって、ステップＳ２２とステップＳ２３との間を行き来することしかできない。
【００５５】
校正作業が終了すると、ステップＳ２２に位置していても、ステップＳ２３に位置していても、図４の符号Ｃ４で示すように、ステップＳ２１に自動移行する。
【００５６】
（調圧機能モードＭ３）
調圧機能モードＭ３、及び、調圧機能モードＭ３に属するステップＳ３１、Ｓ３２、Ｓ３３について説明する。
【００５７】
調圧機能モードＭ３は、目標圧力を設定してバルブプレート８のθ開度を変化させることで、真空処理装置の真空チャンバの圧力を調整するためのモードである。
【００５８】
ステップＳ３１では、現在圧力と目標圧力とが表示される。図５（ｇ）に示すＬＥＤアレイ７３２ｂは、黄色点滅（符号Ｄ）で現在圧力を示し、橙色点灯（符号Ｅ）で目標圧力を示している。図５（ｇ）に示す例は、現在圧力が最大圧力の６０％であって、目標圧力が最大圧力の８０％であるときの例を示している。なお、上述したように、図５（ｇ）において、１つのＬＥＤに符号Ｄおよび符号Ｅが示されているものは、黄色点滅（符号Ｄ）及び橙色点灯（符号Ｅ）を交互に行うことを意味している。ステップＳ３１において、ボタン７３１ｂが短押しされると、図４に示すように、ステップＳ３２に移行する。また、ステップＳ３１において、ボタン７３１ｂが長押しされると、図４に示すように、ステップＳ１１に移行する。
【００５９】
ステップＳ３２では、目標圧力の設定が行われる。図５（ｈ）に示すＬＥＤアレイ７３２ｂは、その目標圧力を示している。図５（ｈ）に示す例では、ＬＥＤアレイ７３２ｂの左から１０番目のＬＥＤが橙色点滅することで、目標圧力が９０％であることを示している。ボタン７３１ａを押せば目標圧力を下げる変更をすることができ、ボタン７３１ｃを押せば目標圧力を上げる変更をすることができる。その変更された目標圧力に伴ってＬＥＤアレイ７３２ｂのＬＥＤの点滅位置が移動する。また、目標圧力が変更されたことでバルブプレート８のθ開度も変更される。その際、上述の校正作業によって得られたバルブプレート８のθ開度と圧力との関係をまとめた対応関係データに基づいて、バルブプレート８のθ開度が変更される。ステップＳ３２において、ボタン７３１ｂを短押しすると、図４に示すように、ステップＳ３３に移行する。また、ステップＳ３２において、ボタン７３１ｂを長押しすると、図４に示すように、ステップＳ１１に移行する。
【００６０】
ステップＳ３３では、調圧開始準備を示す。図５（ｉ）に示す例では、ＬＥＤアレイ７３２ｂのＬＥＤが一つ置きに黄色点滅（符号Ｄで示す）することで、調圧開始準備状態を意味している。ステップＳ３３において、ボタン７３１ｂが短押しされると、図４に示すように、ステップＳ３１に移行する。また、ステップＳ３３において、ボタン７３１ｂが長押しされると、調圧を開始し図４に示すように、ステップＳ１１に移行する。
【００６１】
以上の実施形態に示した真空バルブは、以下の構成を備え、以下の作用効果を奏する。
（１）真空バルブ１は、バルブプレート８と、バルブプレート８を駆動してバルブプレート８の開度を変化させる駆動モータ２１，２２とを有するバルブ本体２と、ユーザ操作に基づく指令が入力される入力操作部７３１と、駆動モータ２１，２２を駆動する駆動部７５，７６と、少なくとも駆動部７５，７６を制御する制御部７１とを含み、バルブ本体２と一体的に構成されたコントローラ７とを備える。
入力操作部７３１は、指令を制御部７１に出力する。
制御部７１は、入力操作部７３１から入力された指令に応じた作業を実行する。
これによって、真空バルブ１は、ＰＣや操作ユニットなどの外部制御装置からの指令によらずに、ローカル操作によって、上記作業（校正作業、調圧作業、θ開度変更作業）を行うことができる。上記作業に外部制御装置を必要としないため、その分のコストを削減できる。また、外部制御装置を配線する手間も省くことができる。また、外部制御装置を周辺に置くためのスペースも不要になり、省スペース化にも貢献できる。
【００６２】
（２）入力操作部７３１は、校正するための第１の入力操作形態（ステップＳ２１でのボタン７３１ａ及びボタン７３１ｃの同時押し）、調圧するための第２の入力操作形態（ステップＳ３２でのボタン７３１ａの単独押しやボタン７３１ｃの単独押し）、開度を変更するための第３の入力操作形態（ステップＳ１３でのボタン７３１ａの単独押しやボタン７３１ｃの単独押し）を有し、それらの入力操作形態に応じた指令を制御部７１に出力する。
これによって、ＰＣや操作ユニットなどの外部制御装置からの指令によらずに、ローカル操作によって、上記作業（校正作業、調圧作業、θ開度変更作業）を行うことができる。
【００６３】
（３）制御部７１には、真空チャンバの圧力値が入力される。
入力操作部７３１は、第１の入力操作形態によって、バルブプレート８を駆動させてθ開度と真空チャンバの圧力値との関係を取得する校正作業を実行させる第１の指令を制御部７１に出力する。
制御部７１は、第１の指令に応じて、校正作業を実行する。
これによって、ＰＣや操作ユニットなどの外部制御装置からの指令によらずに、ローカル操作によって、校正作業を行うことができる。
【００６４】
（４）コントローラ７の表示部７３２は、校正作業の作業状況を表示する。
これによって、ローカル操作を行うユーザ等に、校正作業の作業状況を伝えることができる。その結果、当該ユーザ等が、表示部７３２の表示を見て、適切な対応を取ることが可能となる。
【００６５】
（５）第２の入力操作形態によって、入力操作部７３１は、真空チャンバの圧力値が目標圧力値となるようにバルブプレート８を駆動させる調圧作業を実行させる第２の指令を制御部７１に出力し、
制御部７１は、第２の指令に応じて、調圧作業を実行する。
これによって、ＰＣや操作ユニットなどの外部制御装置からの指令によらずに、ローカル操作によって、調圧作業を行うことができる。
なお、目標圧力値は、前記の入力操作部７３１からの入力設定だけではなく、別途通信などで取り込まれて設定された値の場合もあり、ローカル操作によって、あらかじめ設定された目標圧力値への調圧作業も可能である。
【００６６】
（６）コントローラ７の表示部７３２は、調圧作業の作業状況を表示する。
これによって、ローカル操作を行うユーザ等に、調圧作業の作業状況を伝えることができる。その結果、当該ユーザ等が、表示部７３２の表示を見て、適切な対応を取ることが可能となる。
【００６７】
（７）入力操作部７３１では、第３の入力操作形態によって、目標値となるθ開度（目標開度）が設定される。
入力操作部７３１は、バルブプレート８を目標開度へ駆動させる開度変更作業を実行させる第３の指令を制御部７１に出力する。
制御部７１は、第３の指令に応じて、開度変更作業を実行する。
これによって、ＰＣや操作ユニットなどの外部制御装置からの指令によらずに、ローカル操作によって、開度変更作業を行うことができる。
【００６８】
ここで、従来の真空バルブと本実施形態の真空バルブ１とを対比する。
従来の真空バルブには、ＰＣや操作ユニットなどの外部制御装置が接続されていた。そして、従来の真空バルブは、リモート操作で、すなわち、外部制御装置からの指令に基づいて、校正作業や調圧作業やθ開度変更作業を行っていた。すなわち、従来の真空バルブの制御装置の制御部は、外部制御装置からの指令に従っていただけであった。
【００６９】
一方、本実施形態の真空バルブ１の制御部７１は、制御部７１自身で図４に示すようなフローチャートを実行し、θ開度変更作業や校正作業や調圧作業を行う。また、本実施形態の真空バルブ１は操作パネル７３を有しており、外部からの入力が必要な場合はその操作パネル７３から行われる。よって、外部制御装置に係るコストを低減でき、また、外部制御装置を配線する必要もない。
【００７０】
図５に示すＬＥＤランプやＬＥＤアレイの表示は一例であって、ユーザが適切に認識し処理できるのであれば、他の表示方法であってもかまわない。また、ＬＥＤアレイのＬＥＤの数も表示する割合の厳密さに合わせて増減させることができる。
【００７１】
上記では、種々の実施形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００７２】
１：真空バルブ
２：バルブ本体
３：フランジ
４、１１：開口部
６：バルブプレート位置検出部
７：コントローラ
８、８ａ：バルブプレート（弁体）
１０：フランジ
２１、２２：モータ
７１：制御部
７３：操作パネル
７５、７６：モータ駆動部
Ｍ１：基本機能モード
Ｍ２：校正機能モード
Ｍ３：調圧機能モード
５０２：外部装置
７３１ａ、７３１ｂ、７３１ｃ：ボタン
７３２ａ：ＬＥＤランプ
７３２ｂ：ＬＥＤアレイ
７４：コネクタ部
７４１：電力コネクタ
７４２：通信用コネクタ
ＣＬ７１：内部時計（タイマ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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