【事件の表示】
　特許第３３１８６５５号「薄膜積層体の製造方法および製造装置」の請求項１、３、５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３１８６５５号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続きの経緯
本件特許第３３１８６５５号に係る手続きの主な経緯は次のとおりである。
　特許出願（特願平１１−２２６２１４号）　　　平成１１年　８月１０日
　特許権設定登録　　　　　　　　　　　　　　　平成１４年　６月２１日
　特許異議申立（異議申立人：雨山範子）　　　　平成１５年　２月２６日
　特許異議申立（異議申立人：沼田玉枝）　　　　平成１５年　２月２６日
　取消理由通知　　　　　　　　　　　　　　　　平成１５年１２月　５日
　特許異議意見書・訂正請求書　　　　　　　　　平成１６年　１月３０日
　
第２　訂正の適否についての判断
　１　訂正の内容
　（１）　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の【請求項１】を
「【請求項１】　薄膜状の搬送媒体に載置されて搬送されている薄膜シートを所定サイズに切断して薄膜シート片を得、前記薄膜シート片を吸着保持している保持・搬送手段を積層個所にボールネジ機構により搬送して、同薄膜シート片を積層する薄膜積層体の製造方法であって、
　前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ、
　撮像装置を、前記保持・搬送手段が積層個所に位置決めされた状態で、切断位置における位置決めマークを撮像可能に同保持・搬送手段に一体化して設け、
　前記薄膜シートの前記切断位置の位置決めを、前記撮像手段により撮像された画像に基づいてなすことを特徴とする薄膜積層体の製造方法。」と訂正する。
　
　（２）　訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の【請求項２】を削除する。
　
　（３）　訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の【請求項３】を
「【請求項２】　薄膜シートが載置されている薄膜状の搬送媒体を搬送する搬送媒体搬送機構と、前記薄膜シートを所定サイズの薄膜シート片に切断する切断手段と、前記薄膜シート片を保持して切断位置から積層位置まで搬送する保持・搬送手段と、前記保持・搬送手段を前記切断位置から積層位置まで搬送するボールネジ機構と、前記保持・搬送手段に一体化されて設けられている撮像手段と、前記撮像手段からの画像を処理する画像処理手段とを備え、
　前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ、
　前記撮像手段は、前記保持・搬送手段が積層個所に位置決めされた状態で、切断位置における位置決めマークを撮像可能とされ、
　前記画像処理手段からの補正移動量により前記保持・搬送手段の移動量が補正されてなることを特徴とする薄膜積層体の製造装置。」と訂正する。
　
　（４）　訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の【請求項４】を削除する。
　
　（５）　訂正事項ｅ
　特許請求の範囲の【請求項５】を
「【請求項３】　前記切断手段が、前記薄膜シートを搬送方向に切断する第１切断機構と、前記搬送方向と直交方向に切断する第２切断機構とを備え、
　前記第２切断機構が前記保持・搬送手段に装着されてなることを特徴とする請求項２記載の薄膜積層体の製造装置。」と訂正する。
　
　（６）　訂正事項ｆ
　明細書の段落【００１９】を
「【００１９】
　【課題を解決するための手段】
　本発明の薄膜積層体の製造方法は、薄膜状の搬送媒体に載置されて搬送されている薄膜シートを所定サイズに切断して薄膜シート片を得、前記薄膜シート片を吸着保持している保持・搬送手段を積層個所にボールネジ機構により搬送して、同薄膜シート片を積層する薄膜積層体の製造方法であって、前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ、撮像装置を、前記保持・搬送手段が積層個所に位置決めされた状態で、切断位置における位置決めマークを撮像可能に同保持・搬送手段に一体化して設け、前記薄膜シートの前記切断位置の位置決めを、前記撮像手段により撮像された画像に基づいてなすことを特徴とする。」と訂正する。
　
　（７）　訂正事項ｇ
　明細書の段落【００２０】を削除する。
　
　（８）　訂正事項ｈ
　明細書の段落【００２１】を
「【００２１】
　一方、本発明の薄膜積層体の製造装置は、薄膜シートが載置されている薄膜状の搬送媒体を搬送する搬送媒体搬送機構と、前記薄膜シートを所定サイズの薄膜シート片に切断する切断手段と、前記薄膜シート片を保持して切断位置から積層位置まで搬送する保持・搬送手段と、前記保持・搬送手段を前記切断位置から積層位置まで搬送するボールネジ機構と、前記保持・搬送手段に一体化されて設けられている撮像手段と、前記撮像手段からの画像を処理する画像処理手段とを備え、前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ、前記撮像手段は、前記保持・搬送手段が積層個所に位置決めされた状態で、切断位置における位置決めマークを撮像可能とされ、前記画像処理手段からの補正移動量により前記保持・搬送手段の移動量が補正されてなることを特徴とする。」と訂正する。
　
　（９）　訂正事項ｉ
　明細書の段落【００２２】を削除する。
　
　２　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　（１）　訂正事項ａ
　訂正事項ａは、【請求項１】において、「前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ」ていることを限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に当たる。
　さらに、訂正事項ａにおける限定事項は、特許明細書の訂正前の【請求項２】に記載されているので、新規事項には当たらない。
　したがって、訂正事項ａは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
　（２）　訂正事項ｂ
　訂正事項ｂは、【請求項２】を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮に当たる。
　
　（３）　訂正事項ｃ
　訂正事項ｃは、【請求項３】において、【請求項２】を削除したことにより、項番を新たな【請求項２】に繰り上げるとともに、「前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ」ていることを限定するものであるから、明りょうでない記載の釈明及び特許請求の範囲の減縮に当たる。
　さらに、訂正事項ｃにおける限定事項は、特許明細書の訂正前の【請求項４】に記載されているので、新規事項には当たらない。
　したがって、訂正事項ｃは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
　（４）　訂正事項ｄ
　訂正事項ｄは、【請求項４】を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮に当たる。
　
　（５）　訂正事項ｅ
　訂正事項ｅは、【請求項５】において、【請求項２】及び【請求項４】を削除したことにより、項番を新たな【請求項３】とするとともに引用項の項番を繰り上げて新たな【請求項３】としたものであるから、明りょうでない記載の釈明に当たる。
　さらに、訂正事項ｅは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
　（６）　訂正事項ｆ〜ｉ
　訂正事項ｆ〜ｉは、特許請求の範囲の訂正にともない明細書の記載を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明に当たる。
　さらに、訂正事項ｆ〜ｉは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
　３　訂正の適否のむすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３　特許異議申立及びこれについての判断
　１　本件発明
　上記第２で示したように上記訂正は認められるので、本件請求項１〜３に係る発明（以下、「本件発明１〜３」という。）は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　薄膜状の搬送媒体に載置されて搬送されている薄膜シートを所定サイズに切断して薄膜シート片を得、前記薄膜シート片を吸着保持している保持・搬送手段を積層個所にボールネジ機構により搬送して、同薄膜シート片を積層する薄膜積層体の製造方法であって、
　前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ、
　撮像装置を、前記保持・搬送手段が積層個所に位置決めされた状態で、切断位置における位置決めマークを撮像可能に同保持・搬送手段に一体化して設け、
　前記薄膜シートの前記切断位置の位置決めを、前記撮像手段により撮像された画像に基づいてなすことを特徴とする薄膜積層体の製造方法。
【請求項２】　薄膜シートが載置されている薄膜状の搬送媒体を搬送する搬送媒体搬送機構と、前記薄膜シートを所定サイズの薄膜シート片に切断する切断手段と、前記薄膜シート片を保持して切断位置から積層位置まで搬送する保持・搬送手段と、前記保持・搬送手段を前記切断位置から積層位置まで搬送するボールネジ機構と、前記保持・搬送手段に一体化されて設けられている撮像手段と、前記撮像手段からの画像を処理する画像処理手段とを備え、
　前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ、
　前記撮像手段は、前記保持・搬送手段が積層個所に位置決めされた状態で、切断位置における位置決めマークを撮像可能とされ、
　前記画像処理手段からの補正移動量により前記保持・搬送手段の移動量が補正されてなることを特徴とする薄膜積層体の製造装置。
【請求項３】　前記切断手段が、前記薄膜シートを搬送方向に切断する第１切断機構と、前記搬送方向と直交方向に切断する第２切断機構とを備え、
　前記第２切断機構が前記保持・搬送手段に装着されてなることを特徴とする請求項２記載の薄膜積層体の製造装置。」
　
　２　特許異議申立の理由及び取消理由の内容
　（１）　特許異議申立の理由
　特許異議申立人雨山範子は、証拠として、
刊行物１（特許異議申立人雨山範子及び沼田玉枝提出の甲第１号証）：特公平７−１２３０９８号公報
刊行物２（特許異議申立人雨山範子提出の甲第２号証）：特開平１０−２８４３４６号公報
を提出し、本件請求項１，３，５に係る発明は、刊行物１，２に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、特許を取り消すべき旨主張している。
　
　また、特許異議申立人沼田玉枝子は、証拠として、
刊行物１（特許異議申立人雨山範子及び沼田玉枝提出の甲第１号証）：特公平７−１２３０９８号公報
刊行物３（特許異議申立人沼田玉枝提出の甲第２号証）：特開平８−１６２３６４号公報
を提出し、本件請求項１，３に係る発明は、刊行物１，３に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、さらに、本件請求項１，３に係る発明は、積層位置、切断位置、ボールネジ機構のボールネジ機構の支点との位置関係が明確に特定されていないので、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていないので、特許を取り消すべき旨主張している。
　
　（２）　取消理由の内容
　取消理由の内容は、以下のとおりである。
「１）本件特許の請求項１，３，５に係る発明は、その出願前日本国内または外国において頒布された下記の刊行物１〜３に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１，３，５に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
２）本件特許は、明細書及び図面の記載が下記４の点で不備のため、特許法第３６条第６項第２号の規定に違反してされたものである。
　
　　　　　　　　　　　　　　記
　
１．刊行物１（特許異議申立人雨山範子及び沼田玉枝提出の甲第１号証）：特公平７−１２３０９８号公報
２．刊行物２（特許異議申立人雨山範子提出の甲第２号証）：特開平１０−２８４３４６号公報
３．刊行物３（特許異議申立人沼田玉枝提出の甲第２号証）：特開平８−１６２３６４号公報
　
　特許異議申立人雨山範子が提出した特許異議申立書の「３．申立ての理由」記載の理由により、本件請求項１，３，５に係る発明は、刊行物１，２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　特許異議申立人沼田玉枝が提出した特許異議申立書の「３．申立ての理由」記載の理由により、本件請求項１，３に係る発明は、刊行物１，３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　さらに、本件請求項１，３，５に係る発明は、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．特許異議申立人沼田玉枝が提出した特許異議申立書の「３．申立ての理由」（特に、第３頁の表及び第１１〜１２頁の（３）参照）記載の点において不明確である。」
　
　３　特許法第２９条第２項について
　（１）　刊行物に記載された発明
　（ア）刊行物１に記載された発明
　刊行物１は、「セラミック積層体の製造方法および装置」に関するものであり、第３，７〜９図とともに以下の点が記載されている。
「【請求項１】複数の電極パターンおよび各電極パターンに対して一定の位置関係を有する複数の位置合わせ用マークがその長手方向に分布するように形成された複数種類の長尺のマザーセラミックシートをそれぞれ巻取った複数種類のリールを準備するステップと、
前記複数種類のリールの各々からマザーセラミックシートを関連のシートカッティングステージ上にまでそれぞれ引き出すステップと、
選ばれたシートカッティングステージ上にあるマザーセラミックシートの一部から位置合わせ用マークを基準にして電極パターンを含む領域を周囲がカッテンィング刃で囲まれたカッティングヘッドにより打抜くステップと、
カッティングヘッドにより打抜かれたカッティングシートをカッティングヘッドにより積重ね治具にまで搬送しかつ積重ね治具上でセラミックシートの積重ねを行なうステップと、
を備える、セラミック積層体の製造方法。
【請求項２】複数の電極パターンおよび各電極パターンに対して一定の位置関係を有する複数の位置合わせ用マークがその長手方向に分布するように形成された複数種類の長尺のマザーセラミックシートをそれぞれ巻取った複数種類のリールを並列にセットするリール台と、
複数種類のリールの各々から引出されたマザーセラミックシートをそれぞれ位置決めする複数のシートカッティングステージと、
マザーセラミックシートの一部から電極パターンを含む領域を打抜いて得られたセラミックシートをその上で積重ねるための積重ね治具と、
シートカッティングステージ上にあるマザーセラミックシートの位置合わせ用マークの位置を検出するための光学センサと、
複数のシートカッティングステージおよび積重ね治具のそれぞれの間を移動可能であり、マザーセラミックシートの電極パターンを含む領域を打抜くため周囲がカッティング刃で囲まれ、かつ打抜かれたセラミックシートを搬送するカッティングヘッドと、
を備える、セラミック積層体の製造装置。」（【特許請求の範囲】）
「［産業上の利用分野］
この発明は、セラミック積層体の製造方法および装置に関するものである。」（第２頁第３欄第１１行〜第１３行）
「また、電極パターンと一定の位置関係をもって形成された位置合わせ用マークを基準としてシートカッティングを行ない、次いで積重ねを行なうので、シートの端面を基準として揃える方式では困難であった、静電気が発生するセラミックシートや厚みが極めて薄いセラミックシートの積重ねが可能となる。また、電極パターンおよび位置合わせ用マークが印刷により同時に形成される場合、そのための印刷パターンの位置合わせは、位置合わせ用マークがＣＣＤカメラのような光学センサの視野に入るようにさえ調整すればよいだけであるので、印刷パターンの交換時間が短縮される。
また、位置合わせ用マークを基準として、カッティングヘッドによりマザーセラミックシートを打抜き、そのまま、カッティングヘッドにより保持されながら積重ね治具にまで搬送され、そこで積重ねが行なわれるため、シートカッティング後、積重ね治具への挿入までに生じ得る誤差要因の除去が可能となる。
したがって、高精度の積重ねが可能となり、たとえば、高容量の積層セラミックコンデンサの製造が可能となる。」（第３頁第６欄第３１行〜第５０行）
「第４図を参照して、シートカッティングステージ２５は、メッシュベルト２６をもって構成されたベルトコンベア機構を含む。メッシュベルト２６は、３個のローラ２７，２８，２９の周囲に巻掛けされた状態で駆動され、それによって、マザーセラミックシート１２を矢印３０で示す方向に移動させる。」（第４頁第８欄第１０行〜第１５行）
「第３図を参照して、マザーセラミックシート１２の位置合わせ用マーク１５の位置を検出するための光学センサとなるべきＣＣＤカメラ４９，５０がシートカッティングステージ２５の上方に配置される。また、マザーセラミックシート１２の電極パターン１４を含む領域２０（第２図）を打抜くため、周囲がカッティング刃５１で囲まれたカッティングヘッド５２が、ＣＣＤカメラ４９，５０の近傍に配置される。
この実施例では、カッティングヘッド５２およびＣＣＤカメラ４６，５０は、ＸＹθロボット５３上に取付けられ、Ｘ、Ｙ、およびθ方向に移動可能とされている。」（第５頁第９欄第２０行〜第２９行）
「第７図に示すように、ＸＹθロボット５３の駆動により、選ばれたマザーセラミックシート１２上の位置合わせ用マーク１５がＣＣＤカメラ４９，５０の視野内に入るように移動される。ＣＣＤカメラ４９，５０は、位置合わせ用マーク１５の位置を画像処理する。この画像処理の結果は、図示しないコンピュータに入力され、それによって、マザーセラミックシート１２を打抜くべき位置に関する補正値が算出される。
次いで、第８図に示すように、上述した補正値を加味してＸＹθロボット５３が駆動され、カッティングヘッド５２がマザーセラミックシート１２に向かって移動される。これによって、第２図に示した電極パターン１４が形成された領域２０が打抜かれる。打抜かれたセラミークシートは、カッティング刃５１で隠れるため、図示されないが、カッティングヘッド５２によって搬送される。このようなカッティングヘッド５２による搬送を確実にするため、図示しないが、カッティングヘッド５２には、セラクシートを真空吸引する機能が備えられている。
第９図に示すように、カッティングヘッド５２は、ＸＹθロボット５３の駆動により、コンベア３６上に置かれた積重ね治具３４上にセラミックシートを搬送し、積重ね治具３４上において、セラミックシートの積重ねを行なう。」（第５頁第９欄第４１行〜第１０欄第１２行）
　
　（イ）刊行物２に記載された発明
　刊行物２は、「セラミック生シートの積層装置」に関するものであり、図３〜５，１０とともに以下の点が記載されている。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミック電子部品に代表される積層製品を製造するときに必要なセラミック生シートの積層装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】積層セラミックコンデンサー等の積層セラミック電子部品を製造するときには、キャリアフィルム上にセラミック生シートを設け、さらにその上から電極パターンと位置決め検出用マークとを印刷した積層シートをコイル状に巻き取ったものを準備する。そして、この積層シートを繰り出しながら、セラミック生シートのみを縦方向および横方向に切断した後、所定の寸法に切断された単位セラミック生シートをプレステーブル上に搬送して積層圧着していく。たとえば、特公平７−５４７７９号公報（特開昭６３−１０２２１６号公報）、特開平７−１４２８号公報を参照。」
「【０００４】図１０のように、従来は、搬送装置（１）の移動および位置決めのために、長尺のボールネジ軸（９’）をサーボモーター（１０）で駆動する機構を採用していた。」
「【００１５】・・・
・　キャリアフィルム（Ｆ）／セラミック生シート（Ｇ）の層構成を有するコイル状に巻き取った積層シートを繰り出して供給する巻出装置（１４）、
・　その積層シートを下方から吸着して搬送させるサクションロール（５）・・・」
「【００３７】またこのサクションロール（５）の上部にセラミック生シート（Ｇ）のみ進行方向に切断する２枚の回転自由な円板刃（６ａ），（６ａ）を付設しており、セラミック生シート（Ｇ）は一定の巾に切断されながら搬送されて、印刷されたパターンが剥離テーブル（４）で停止、位置決めされる。その位置決めされた正確な位置をＣＣＤカメラ（１３）で検出して、そのデータに基いて搬送装置（１）が剥離テーブル（４）上へ移動する。
【００３８】該搬送装置（１）が剥離テーブル（４）上で、セラミック生シート（Ｇ）を横方向切断刃（平刃）（３），（３）で切断し、吸着盤（２）で吸着すると、剥離テーブル（４）は図１の左方向へ移動し、セラミック生シート（Ｇ）のみが吸着盤（２）に吸着されたままキャリアフィルム（Ｆ）と分離される。
【００３９】その後、吸着盤（２）　が上昇して、搬送装置（１）はプレステーブル（７）上に移動する。そのプレステーブル（７）の上面にはキャリアプレート（２１）が保持されており、プレステーブル（７）が上昇することによってセラミック生シート（Ｇ）がキャリアプレート（２１）上に圧着され、プレステーブル（７）が下降をはじめる。と同時に、吸着盤（２）の真空は断たれ、エヤーを吹き出すことによって吸着盤（２）に吸着されていたセラミック生シート（Ｇ）はキャリアプレート（２１）上に積層される。
【００４０】その後、搬送装置（１）は、前述の剥離テーブル（４）上で位置決め停止されたセラミック生シート（Ｇ）の印刷部分の正確な位置のデータをＣＣＤカメラ（１３），（１３）から受け取ってその位置に移動する。
【００４１】このときＣＣＤカメラ（１３），（１３）から受け取ったデータに対して、印刷パターン寸法に応じた所定の長さ分を一層積層するごとに加算および減算して位置決めし切断することによって、印刷位置が交互に所定の位置になるように積層することができる。」
　
　（ウ）刊行物３に記載された発明
　刊行物３は、「積層型電子部品の積層方法及びその装置」に関するものであり、図１，９とともに以下の点が記載されている。
「【請求項１】　部品種に対応する導体群を備えた単位シートを積層し熱圧着する積層型電子部品の積層方法において、
所定枚数の単位シートを順次積み重ねて熱圧着した後、この上に所定枚数の単位シートを順次積み重ねて全体を熱圧着する手順を所定回数繰り返す、
ことを特徴とする積層型電子部品の積層方法。
【請求項２】　所定回数の単位シート積層及び熱圧着が完了した後にこれを最終的に熱圧着する、
ことを特徴とする請求項１記載の積層型電子部品の積層方法。
【請求項３】　積層用パレットを積層位置と熱圧着位置の順で搬送するパレット搬送手段と、
キャリアテープにより支持され且つ部品種に対応する導体群が長手方向に等間隔で形成された帯状のグリーンシートを移動させるシート移送手段と、
一導体群が包含されるようにグリーンシートを単位シートの幅及び長さ寸法で切断するシート切断手段と、
切断された単位シートを搬送し積層位置にあるパレット上に積み重ねる単位シート搬送手段と、
熱圧着位置にあるパレット上の単位シートを熱圧着する熱圧着手段とを具備した、
ことを特徴とする積層型電子部品の積層装置。」
「【００２１】搬送ユニット１０は、図５に示すように、平坦な矩形状下面を有する吸着ブロック１０ａと、該吸着ブロック１０ａの前後位置に上下動可能に配置された一対の矩形刃１０ｂと、該矩形刃１０ｂを下方に付勢するバネ材１０ｃと、これらを上下動させるエアシリンダ等から構成されている。両矩形刃１０ｂの間隔（切断間隔）は単位シートＳｔの長さ寸法に合致している。また、吸着ブロック１０ａの外周部分、即ち吸着される単位シートの導体群Ｐから離れた外周位置には、エアコンプレッサ等の吸引源に通じる複数の吸引口１０ｄが設けられており、吸着時に導体群Ｐ及びシート表面に傷を付けない配慮がなされている。この搬送ユニット１０は、モータ１８ａにより回転駆動されるボールネジ１８ｂに装着されており、打抜テーブル９と平行に前後動する。
【００２２】ＣＣＤカメラ１１は打抜テーブル９の上方に退避可能に配置され、打抜テーブル９上のグリーンシートＧＳを撮像し、導体群Ｐの位置決めマークを読み取ってその位置検出を行う。
【００２３】ＣＣＤカメラ１２は、仮プレス位置のパレット１７の上方に退避可能に配置され、パレット１７上のカバーシートＳｋ或いは最上層の単位シートＳｔの位置検出を行う。」
「【００３５】単位シートＳｔを保持した搬送ユニット１０は、図９に示すように、仮プレス位置に移動し位置決めの後に停止する。この移動過程では、上記ＣＣＤカメラ１１による位置検出結果に基づいて仮プレス位置にあるパレット１７のＹ方向位置とθ方向位置が仮プレステーブル１３により補正され、単位シートＳｔとの位置合わせが行われる。」
「【００３７】この後は、搬送ユニット１０による単位シートＳｔの切断・搬送と仮プレスが上記と同様の手順で所定回数繰り返され、図１１に示すように、仮プレス位置にあるパレット１７のカバーシートＳｋ上に単位シートＳｔが所定枚数、例えば３０枚（Ｓｔ１）積層される。この積層過程では仮プレス後の単位シートＳｔがＣＣＤカメラ１２により撮像され、該画像に基づいて仮プレス後の位置ずれ等が検出される。」
　
　（２）　本件発明と刊行物に記載された発明との対比・判断
　（ア）本件発明１，２について
　本件発明１，２と刊行物１〜３に記載された発明とを対比すると、刊行物１〜３には、本件発明１，２の構成要素である「前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ」る点が記載されていない。
　そして、本件発明１，２は、上記構成要素を有するため、ボールネジ機構のボールネジ軸の熱膨張により、予め設定されている切断位置からずれた位置に保持・搬送手段が搬送されたとしても、撮像手段により撮像された画像を処理して得られる補正移動量により、保持・搬送手段を所定位置に位置決めでき、そのため、ボールネジ軸の熱膨張による製品精度への悪影響を解消することができるという明細書記載の優れた効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１，２は、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
　（イ）本件発明３について
　本件発明３は、本件発明２を引用し、更に限定したものであるから、本件発明２と同様の理由により、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
　４　特許法第３６条第６項第２号について
　本件発明１及び２は、上記訂正により、積層位置、切断位置、ボールネジ機構のボールネジ機構の支点との位置関係が特定されたので、明確となった。
　
　５　特許異議申立についての判断のむすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び取消理由によっては本件発明１〜３についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜３についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年３月１１日（２００４．３．１１）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
薄膜積層体の製造方法および製造装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　薄膜状の搬送媒体に載置されて搬送されている薄膜シートを所定サイズに切断して薄膜シート片を得、前記薄膜シート片を吸着保持している保持・搬送手段を積層個所にボールネジ機構により搬送して、同薄膜シート片を積層する薄膜積層体の製造方法であって、
　
前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ、
　撮像装置を、前記保持・搬送手段が積層個所に位置決めされた状態で、切断位置における位置決めマークを撮像可能に同保持・搬送手段に一体化して設け、
　前記薄膜シートの前記切断位置の位置決めを、前記撮像手段により撮像された画像に基づいてなすことを特徴とする薄膜積層体の製造方法。
　【請求項
２
　
前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ、
　前記撮像手段は、前記保持・搬送手段が積層個所に位置決めされた状態で、切断位置における位置決めマークを撮像可能とされ、
　前記画像処理手段からの補正移動量により前記保持・搬送手段の移動量が補正されてなることを特徴とする薄膜積層体の製造装置。
　【請求項
３
　前記第２切断機構が前記保持・搬送手段に装着されてなることを特徴とする請求項
２
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は薄膜積層体の製造方法および製造装置に関する。さらに詳しくは、電極パターンが形成された、例えばセラミックシートを所定寸法のシート片に切断した後、積層して積層セラミックコンデンサなどを製造する薄膜積層体の製造方法および製造装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来より、積層セラミックコンデンサなどの電子部品を製造する製造装置において、キャリアフィルムと呼ばれる可撓性支持体上に形成されるセラミックシートに電極パターンを印刷する場合や、電極パターンが印刷されたセラミックシートを所定寸法のシート片に切断する場合にＣＣＤ撮像装置を利用して位置決めをすることが行われている（特開平８−１６７５４４号および特開平１０−２８４３４６号公報参照）。
　【０００３】
　図５に、電極パターンが印刷されたセラミックシートを所定寸法のシート片に切断する際にＣＣＤ撮像装置を利用して位置決めをする前記従来技術の薄膜積層体製造装置の概略構成を示す。
　【０００４】
　この製造装置１００は、セラミックシートＧが表面に形成されるキャリアフィルムＦを搬送するフィルム搬送機構１０１と、この搬送機構１０１により送られるキャリアフィルムＦ表面のセラミックシートＧを所定寸法のシート片に切断し所定位置まで搬送する切断搬送機構１０２と、切断搬送機構１０２がセラミックシートＧを切断する際の位置決めをする位置決め機構１０３と、切断搬送機構１０２により前記所定位置まで搬送されたセラミックシートを積層して圧着する積層圧着機構１０４とから構成されている。
　【０００５】
　フィルム搬送機構１０１は、セラミックシートＧが表面に形成されたキャリアフィルムＦがセットされる巻出装置１０５を有しており、この巻出装置１０５から繰り出されるキャリアフィルムＦが各ロール１０６にガイドされつつ巻取装置１０７まで搬送され、巻き取られるように構成されている。
　【０００６】
　切断搬送機構１０２は、セラミックシートＧを剥離テーブル１１５を支台として所定寸法のシート片に切断する切断刃１０８およびセラミックシートＧを吸着する吸盤１０９を備えた搬送ユニット１１０と、搬送ユニット１１０によりセラミックシートＧを切断する切断位置と積層圧着機構１０４がシート片を積層して圧着する積層位置との間で搬送ユニット１１０を移動させるロッドレス流体シリンダ１１１と、このロッドレス流体シリンダ１１１を微調整のために小距離移動させるボールネジ機構１１２とを備えている。
　【０００７】
　位置決め機構１０３は、セラミックシートＧに電極パターンと対応して所定間隔で印刷される位置決めマークを撮影するＣＣＤ撮像装置１１３ａと、ＣＣＤ撮像装置１１３ａにより撮像された画像を処理する画像処理装置１１３ｂとを有しており、このカメラ１１３ａにより撮影される位置決めマークの画像情報を画像処理装置１１３ｂにより処理して得られる補正移動量により、搬送ユニット１１０を前記積層位置から前記切断位置に移動させる際の位置決めを行うように構成されている。
　【０００８】
　積層圧着機構１０４は、切断搬送機構１０２により前記積層位置まで搬送されたセラミックシートを積層して圧着するプレステーブル１１４や、このプレステーブル１１４を押上げる油圧シリンダ１１５などから構成されている。
　【０００９】
　この従来技術においては、搬送ユニット１１０はロッドレス流体シリンダ１１１によりほとんどの距離移動されるとともに、ボールネジ機構１１２がシリンダ１０９を小距離移動できるようにして、搬送ユニット１１０を位置決めする構成とされている。これによって、搬送ユニット１１０を、例えばボールネジ機構１１２を用いて全ての距離移動させるようにした場合おける、摩擦熱によるボールネジ軸１１２ａの軸方向における熱膨張に起因する、積層圧着されるシート片の位置ずれを防止することができる。
　【００１０】
　次に、図６および図７を参照しながら、ボールネジ機構１１２を用いて全ての距離移動させるようにした場合おける、摩擦熱によるボールネジ軸１１２ａの軸方向における熱膨張に起因する、積層圧着されるシート片の位置ずれについて説明する。なお、図６は製造装置１００の始動時の状態を示し、また図７は所定枚数のシート片が積層されたときの状態を示している。
　【００１１】
　図６および図７中、ポイントＡはボールネジ機構１１２のボールネジ軸１１２ａ先端の支点を示している。ポイントＢ１は搬送ユニット１１０が積層位置で停止される基準位置、すなわちプレステーブル１１４のセンタを示しており、ポイントＡからポイントＢ１までの距離はＬ１とされている。ポイントＢ２は図７の時点において実際に搬送ユニット１１０が積層位置で停止される位置を示している。すなわち、図６の状態では、搬送ユニット１１０の位置はプレステーブル１１４のセンタと一致しているが、図７の状態では、搬送ユニット１１０の積層位置での停止位置は、前記熱膨張の影響によりポイントＢ１から図の左方向にΔＬ１ずれたポイントＢ２となっている。
　【００１２】
　ポイントＣ１はＣＣＤ撮像装置１１３ａの固定位置であるとともに、セラミックシートＧ上に印刷された位置決めマークの切断位置における基準位置でもある。ポイントＣ１はポイントＢ１から図の左方向にＬ２移動した点とされている。
　【００１３】
　ポイントＤ１は、前記ＣＣＤ撮像装置１１３ａで検出されるずれを０と仮定した場合に、搬送ユニット１１０が前記切断位置まで移動されたときの位置を示している。ポイントＤ１はポイントＣ１と一致しており、実際にはポイントＣ１からの位置決めマークのずれに応じて距離Ｌ２が補正されて、搬送ユニット１１０がポイントＢ１から前記切断位置に移動される際の移動距離が決定される。
　【００１４】
　ポイントＤ２は、図７の時点において、前記ＣＣＤ撮像装置１１３ａで検出されるずれを０と仮定した場合に、搬送ユニット１１０が前記切断位置で停止される位置を示している。ポイントＤ２とポイントＢ２との距離は、ボールネジ軸１１２ａの熱膨張の影響によって、Ｌ２＋ΔＬ２となっている。したがって、図７の状態では、搬送ユニット１１０はポイントＤ１よりも図の左方向にΔＬ１＋ΔＬ２ずれた位置に停止されることになる。
　【００１５】
　この結果、図７の時点において、積層位置において積層されるシート片は当初の位置よりも図の左方向にΔＬ１ずれるとともに、位置決めマークの位置（すなわち、電極パターンの位置（図７中、線分Ｅで位置決めマークの位置を表している）は、図の右方向にΔＬ２ずれることになる。
　【００１６】
　このように、搬送ユニット１１０をボールネジ機構１１２により前記切断位置と前記積層位置との間で移動させる場合、始動時からボールネジ軸１１２ａの温度が安定するまでの間、ボールネジ軸１１２ａが熱膨張により伸びていくため、積層されるシート片の電極パターンがずれていくという問題がある。この点、前記従来技術では、ロッドレス流体シリンダ１１１により搬送ユニット１１０を前記切断位置と前記積層位置との間の大分部を移動させるため、ボールネジ軸１１２ａの熱膨張の影響による電極パターンのずれをほとんど問題とならない程度におさえることが可能である。
　【００１７】
　しかしながら、前記従来技術ではロッドレス流体シリンダ１１１という比較的複雑な機構を製造装置に含ませる必要があるため、製造装置の機構を複雑化し、薄膜積層体の製造コストを増大させるという問題がある。
　【００１８】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、機構を複雑化することなく、部材の熱膨張による製品精度への悪影響を解消することができる薄膜積層体の製造方法および製造装置を提供することを目的としている。
　【００１９】
　【課題を解決するための手段】
　本発明の薄膜積層体の製造方法は、薄膜状の搬送媒体に載置されて搬送されている薄膜シートを所定サイズに切断して薄膜シート片を得、前記薄膜シート片を吸着保持している保持・搬送手段を積層個所にボールネジ機構により搬送して、同薄膜シート片を積層する薄膜積層体の製造方法であって、
前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ、
　【００２０】
　削除
　【００２１】
　一方、本発明の薄膜積層体の製造装置は、薄膜シートが載置されている薄膜状の搬送媒体を搬送する搬送媒体搬送機構と、前記薄膜シートを所定サイズの薄膜シート片に切断する切断手段と、前記薄膜シート片を保持して切断位置から積層位置まで搬送する保持・搬送手段と、前記保持・搬送手段を前記切断位置から積層位置まで搬送するボールネジ機構と、前記保持・搬送手段に一体化されて設けられている撮像手段と、前記撮像手段からの画像を処理する画像処理手段とを備え、
前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位置とされ、
　【００２２】
　削除
　【００２３】
　本発明の薄膜積層体の製造装置においては、前記切断手段が、前記薄膜シートを搬送方向に切断する第１切断機構と、前記搬送方向と直交方向に切断する第２切断機構とを備え、前記第２切断機構が前記保持・搬送手段に装着されてなるのが好ましい。
　【００２４】
　【作用】
　本発明は前記の如く構成されているので、ボールネジ機構のボールネジ軸の熱膨張により、予め設定されている切断位置からずれた位置に保持・搬送手段が搬送されたとしても、撮像手段により撮像された画像を処理して得られる補正移動量により、保持・搬送手段を所定位置に位置決めできる。そのため、ボールネジ軸の熱膨張による製品精度への悪影響を解消することができる。
　【００２５】
　【発明の実施の形態】
　以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
　【００２６】
　図１および図２に、本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造方法が適用される製造装置１の概略構成を示す。
　【００２７】
　この製造装置１は、セラミックシートＧが表面に形成されるキャリアフィルムＦを所定長さづつ送るように搬送するフィルム搬送機構２と、この搬送機構２により送られるキャリアフィルムＦ表面のセラミックシートＧを所定寸法のシート片に切断する切断機構Ｃと、このシート片を所定位置まで搬送するシート搬送機構３と、切断機構ＣがセラミックシートＧを切断する際の位置決めをする位置決め機構４と、シート搬送機構３により前記所定位置まで搬送されたセラミックシートＧを積層して圧着する積層圧着機構５とを主要構成要素としてなる。
　【００２８】
　ここで、キャリアフィルムＦは、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（ポリエステルフィルム）または二軸延伸ポリプロピレンフィルムなどの硬質樹脂材料から形成されている。
　【００２９】
　一方、セラミックシートＧは、各種セラミック誘電体粉末、樹脂バインダーおよび溶媒からなるスラリー状の組成物をコーティング法または印刷法により製膜することによりキャリアフィルムＦ表面に形成される。このセラミックシートＧの厚さは、たとえば２〜３０μｍ程度とされる。
　【００３０】
　また、セラミックシートＧの上面には、パラジウム、銀、ニッケルなどの金属粉を含む導電材が矩形状の電極パターンとして印刷されるとともに、セラミックシートＧ切断の際における位置決めのため、位置決めマークが電極パターンと対応させて所定間隔で印刷される。
　【００３１】
　フィルム搬送機構２は、セラミックシートＧが表面に形成されたキャリアフィルムＦがセットされる巻出装置６を有しており、この巻出装置６から繰り出されるキャリアフィルムＦがロール群７にガイドされつつ巻取装置８まで搬送され、巻き取られるように構成されている。
　【００３２】
　ロール群７のうち、サクションロール９は外周面を真空状態にしてキャリアフィルムＦを吸着しつつ回転し、キャリアフィルムＦを搬送する。また、サクションロール９の上方には、セラミックシートＧのみをサクションロール９を支台として進行方向に縦長に切断する、切断機構Ｃを構成している縦方向切断器１０が設けられている。この縦方向切断器１０は、例えば２枚の円形回転刃１０ａ、１０ｂを支持する回転刃支持部材１０ｃが、付勢部材１０ｄにより適当な力でサクションロール９に向かって付勢されるように構成されている。
　【００３３】
　また、サクションロール９の回転により送られるキャリアフィルムＦは、供給側テンションロール１１、巻取側テンションロール１２および移動ロール１３により適当な張力が与えられ、各ガイドローラ１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、１４ｅ、１４ｆにガイドされつつ巻取装置８まで搬送される。
　【００３４】
　シート搬送機構３は、縦方向切断器１０により進行方向に切断されたセラミックシートＧを、さらに進行方向と直角方向に切断して所定寸法のシート片に成形するとともに、このシート片を吸着保持する搬送ユニット１５と、この搬送ユニット１５をセラミックシートＧを切断する切断位置と、切断されたセラミックシートＧを積層圧着機構５により圧着して積層する積層位置との間で移動させるボールネジ機構１６とを備えている。
　【００３５】
　搬送ユニット１５は、セラミックシートＧを剥離テーブル３３を支台として、進行方向と直角方向に切断して所定寸法のシート片に成形する、切断機構Ｃを構成している横方向切断刃１５ａ、およびシート片を吸着して保持する吸盤１５ｂとを備えている。ボールネジ機構１６は、製造装置１の基台１ａに一端部（先端部）が支持されるボールネジ軸１７と、ボールネジ軸１７の他端部（基端部）が軸継手１８を介して接続されボールネジ軸１７を回転駆動するサーボモータ１９と、搬送ユニット１５に固定されてボールネジ軸１７と螺合するボール雌ネジ２０とから構成されている。なお、前記説明から明らかなように、本実施形態では、切断機構Ｃは、縦方向切断器つまり第１切断機構と、横方向切断器つまり第２切断機構とから構成されている。
　【００３６】
　軸継手１８は、ボールネジ軸１７が熱膨張により軸方向に伸びたときに機械を破損しないように、その伸びを吸収する構成とされている。その具体的な構成については、従来より公知の各種構成とすることができる。
　【００３７】
　位置決め機構４は、セラミックシートＧ上に電極パターンと対応させて所定間隔で印刷された位置決めマークを撮影するＣＣＤ撮像装置２１Ａと、このＣＣＤ撮像装置２１Ａにより撮像された画像を処理する画像処理装置２１Ｂとを備え、このＣＣＤ撮像装置２１Ａにより撮影された位置決めマークの画像情報を、画像処理装置２１Ｂにより処理して得られる補正量に応じて、ボールネジ機構１６が搬送ユニット１５を前記積層位置から前記切断位置に移動するときの距離を補正する。
　【００３８】
　ＣＣＤ撮像装置２１Ａは、支持金具２１ａを介してボール雌ネジ２０に接合され、つまりボール雌ネジ２０を介して搬送ユニット１５と連結されており、それにより搬送ユニット１５と一体となって移動するように構成されている。
　【００３９】
　積層圧着機構５は、キャリアプレート供給装置２２から供給され、キャリアプレート搬送コンベア３１により搬送される、キャリアプレート２３を支持するプレステーブル２４と、このプレステーブル２４を昇降させる基台１ａに支持された油圧シリンダ２５とを備え、そしてこの油圧シリンダ２５がシート片を仮圧着して積層するとともに、ここで仮圧着されたシート片が必要に応じて本圧着プレス２６で加圧されるように構成されている。
　【００４０】
　キャリアプレート２３上面には、低粘着性または熱剥離性の糊が塗布されており、これによってシート片が動かないように貼り付けられるとともに、積層されたシート片をキャリアプレート２３から取外す際にも、シート片を損傷することなく剥がすことが可能とされている。なお、キャリアプレート２３上面に直接糊を塗布するのではなく、例えば低粘着性または熱剥離性の糊が塗布された両面接着シートをキャリアプレート２３上に貼付して、この上にシート片を積層圧着していく構成としても良い。
　【００４１】
　この場合、所定枚数のシート片の積層の途中で電極パターンが印刷されていないダミーシートなどの種類の異なるシートを積層するときには、キャリアプレート２３がプレステーブル２４から排出され、ブランクシート供給装置２７によって予め準備されたシートをキャリアプレート２３上の積層体の上に載せることができる。
　【００４２】
　また、所定枚数のシート片が積層される前に本圧着プレス２６で加圧されたキャリアプレート２３は、各キャリアプレート搬送コンベア２８、２９、３０によりプレステーブル２４まで戻される一方、所定枚数のシート片が積層されたキャリアプレート２３は、必要に応じて本圧着プレス２６で加圧された後にキャリアプレート収納装置３２に収納される。
　【００４３】
　次に、図３および図４を参照して、位置決め機構４により搬送ユニット１５を位置決めする原理について説明する。
　【００４４】
　図３は製造装置１の始動時の状態を示している。また、図４はシート片がある程度の枚数積層されたときの状態を示している。
　【００４５】
　図３および図４中、ポイントＡはボールネジ軸１７の支点を示している。ポイントＢ１は搬送ユニット１５が積層位置で停止される基準位置、すなわちプレステーブル２４のセンタを示しており、ポイントＡからポイントＢ１までの距離はＬ１とされている。
　【００４６】
　ポイントＢ２は、図４の時点において、実際に搬送ユニット１５が積層位置で停止される位置を示している。すなわち、図３の状態では、搬送ユニット１５の位置はプレステーブル２４のセンタと一致しているが、図４の状態では、搬送ユニット１５の積層位置での停止位置は、前記熱膨張の影響によりポイントＢ１から図の左方向にΔＬ１ずれたポイントＢ２となっている。
　【００４７】
　ポイントＣ１は、製造装置１の始動時、搬送ユニット１５がポイントＢ１にあるときのＣＣＤ撮像装置２１Ａの位置を示している。この位置は、セラミックシートＧ上に印刷された位置決めマークの切断位置における基準位置でもある。ポイントＣ１はポイントＢ１から図の左方向にＬ２移動した点とされている。
　【００４８】
　ポイントＣ２は、図４の時点におけるＣＣＤ撮像装置２１Ａの位置である。ＣＣＤ撮像装置２１Ａは支持金具２１ａによりボール雌ネジ２０を介して搬送ユニット１５と連結されており、この支持金具２１ａには摩擦熱による影響がなく熱膨張による伸びは生じないので、ポイントＣ２とポイントＢ２との間の距離はＬ２とみなすことができる。
　【００４９】
　ここで、製造装置１の始動時に搬送ユニット１５を距離Ｌ２移動させるためのサーボモータ１９のパルス数をＮＬ２とすると、図４の時点においてはこのパルス数ＮＬ２により搬送ユニット１５は距離（Ｌ２＋ΔＬ２）移動することになる。したがって、ポイントＢ２にある搬送ユニット１５を図の左方向に距離Ｌ２移動させようとすると、搬送ユニット１５は距離Ｌ２＋ΔＬ２移動して、ポイントＡから図の左方向にＬ１＋Ｌ２＋（ΔＬ１＋ΔＬ２）にあるポイントＤ２まで移動することになる。
　【００５０】
　ところが、図４の時点において、ＣＣＤ撮像装置２１Ａは本来の基準位置であるポイントＣ１から図の左方向にΔＬ１ずれたポイントＣ２にあるため、このＣＣＤ撮像装置２１Ａにより撮像された位置決めマークの画像情報に応じて搬送ユニット１５の移動距離Ｌ２を補正すると、本来の補正分に−ΔＬ１が加算されて移動距離Ｌ２が補正されることになる。したがって、搬送ユニット１５は、位置決めマークのポイントＣ１からのずれが０であると仮定した場合、切断位置に移動する際にポイントＢ２から（Ｌ２＋ΔＬ２）−ΔＬ１移動することになる。
　【００５１】
　このとき位置決めマークの基準位置は、ポイントＢ２から図の左方向に距離（Ｌ２−ΔＬ１）の位置にあるので、搬送ユニット１５に保持されるセラミックシートＧ上の位置決めマークの位置は搬送ユニット１５の中心から（Ｌ２−ΔＬ１）−［（Ｌ２＋ΔＬ２）−ΔＬ１］の位置、すなわち右方向にΔＬ２ずれた位置となる。
　この状態で積層位置にもどったときの搬送ユニット１５の位置はポイントＢ２、すなわちポイントＡから図の左方向に距離（Ｌ１＋ΔＬ１）の位置であるため、このときの位置基準マークの位置はポイントＡから図の左方向に距離（Ｌ１＋ΔＬ１−ΔＬ２）の位置となる。
　【００５２】
　そこで、ΔＬ１とΔＬ２が同程度の値になるように各部材の配置を調整することによって、図に線分Ｈで示されるように位置決めマークが鉛直方向に並ぶように調整、すなわち積層される各シート片の電極パターンがずれていくのを防止することが可能となる。
　【００５３】
　本出願人の実験例によれば、気温が２０℃のとき、製造装置１の始動時から約２５分の間ボールネジ軸１７の温度が上昇し、前記従来技術ではΔＬ１が６０μｍ程度あり、積層された各シート片の電極パターンのずれも最大で同程度あったものが、本実施形態に係る製造装置１では距離Ｌ１と距離Ｌ２を同程度とすることによって、前記電極パターンのずれを０とすることができた。
　【００５４】
　このように、本実施形態では、セラミックシート上に電極パターンと対応させて印刷された位置決めマークを撮影する、ＣＣＤ撮像装置２１Ａを搬送ユニット１５と連結して、この搬送ユニット１５と一体的に移動するように設けたので、摩擦熱によりボールネジ軸１７が熱膨張して、搬送ユニット１５の位置が変化して、積層されるシート片の電極パターンが、ずれていくのを防止することができる。
　【００５５】
　なお、本実施形態の製造装置１により製造される薄膜積層体の例としては、積層セラミックコンデンサ、積層セラミックバリスタ、積層セラミックレジスタ、積層圧電アクチュエータ、圧電トランス、積層セラミック基板などの積層セラミック製品が挙げられるが、本発明の薄膜積層体の製造方法がセラミック以外の材料からなるものの製造に適用可能であることはいうまでもない。
　【００５６】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明によれば、ボールネジ機構のボールネジ軸の熱膨張により、予め設定されている切断位置からずれた位置に保持・搬送手段が搬送されたとしても、撮像手段により撮像された画像を処理して得られる補正移動量により、保持・搬送手段を所定位置に位置決めできる。そのため、ボールネジ軸の熱膨張による製品精度への悪影響を解消することができるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装置の概略構成を示す正面図である。
　【図２】
　本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装置の概略構成を示す平面図である。
　【図３】
　本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装置の動作原理を説明する説明図であって、始動時の状態を示す。
　【図４】
　本発明の一実施形態に係る電子部品の製造装置の動作原理を説明する説明図であって、所定時間経過後の状態を示す。
　【図５】
　従来の薄膜積層体の製造装置の概略構成を示す正面図である。
　【図６】
　従来の薄膜積層体の製造装置の問題点を説明する説明図であって、図３相当図である。
　【図７】
　従来の電子部品の製造装置の問題点を説明する説明図であって、図４相当図である。
　【符号の説明】
　　１　　　製造装置
　　２　　　フィルム搬送機構
　　３　　　シート切断搬送機構
　　４　　　位置決め機構
　　５　　　積層圧着機構
　　６　　　巻出装置
　　８　　　巻取装置
　１０　　　縦方向切断器
　１５　　　搬送ユニット
　１６　　　ボールネジ機構
　２１Ａ　　ＣＣＤ撮像装置
　２１Ｂ　　画像処理装置
　２２　　　キャリアプレート供給装置
　２４　　　プレステーブル
　２６　　　本圧着プレス
　３２　　　キャリアプレート収納装置
　　Ｃ　　　切断機構
　　Ｆ　　　キャリアフィルム
　　Ｇ　　　セラミックシート