【事件の表示】
　特許第３２９９３５９号「傾斜角位置決め装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２９９３５９号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３２９９３５９号の請求項１及び２に係る発明は、平成５年１１月１７日に特許出願され、平成１４年４月１９日にその特許権の設定登録がされ、その後、請求項１に係る特許に対し、特許異議申立人戸叶孝一により特許異議の申立がなされ、平成１５年１０月７日付（発送日平成１５年１０月１７日）で取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１５年１２月１６日に訂正請求がされた後、平成１６年１月２０日付（発送日平成１６年１月３０日）で再度取消しの理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者からは何らの応答もない。
　
２．訂正の適否についての判断
ア．訂正の内容
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の
「ステージの１点をこの１点での支点まわりに傾斜自由なように支持し」を、
「ステージの１点を支持する支点軸の尖端を、前記ステージに設けられた複数の鋼球と嵌め合わせることにより、前記ステージをこの１点での支点まわりに傾斜自由なように支持し」に訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項１の
「２つの進退部材によってそれぞれ支持し」を、
「２つの進退部材の尖端を、前記ステージの、前記２つの進退部材の尖端位置に対応する位置にそれぞれ設けられた複数の鋼球と嵌め合わせることによってそれぞれ支持し」に訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　発明の詳細な説明の段落【０００８】の
「ステージの１点をこの１点での支点まわりに傾斜自由なように支持し」を、
「ステージの１点を支持する支点軸の尖端を、前記ステージに設けられた複数の鋼球と嵌め合わせることにより、前記ステージをこの１点での支点まわりに傾斜自由なように支持し」に訂正する。
（４）訂正事項ｄ
　発明の詳細な説明の段落【０００８】の
「２つの進退部材によってそれぞれ支持し」を、
「２つの進退部材の尖端を、前記ステージの、前記２つの進退部材の尖端位置に対応する位置にそれぞれ設けられた複数の鋼球と嵌め合わせることによってそれぞれ支持し」に訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　発明の詳細な説明の段落【００１０】の
「ステージの１点を、支点まわりに傾斜自在なように支持し」を、
「ステージの１点を支持する支点軸の尖端を、ステージに設けられた複数の鋼球と嵌め合わせることにより、ステージを、支点まわりに傾斜自在なように支持し」に訂正する。
（６）訂正事項ｆ
　発明の詳細な説明の段落【００１０】の
「他の２点を進退駆動される進退部材によってそれぞれ支持する」を、
「他の２点を、尖端がステージにそれぞれ設けられた複数の鋼球と嵌め合わせられ、進退駆動される進退部材によってそれぞれ支持する」に訂正する。
（７）訂正事項ｇ
　発明の詳細な説明の段落【００１０】の
「人手によっても位置調節しやすいものとすることができる。」を、
「人手によっても位置調節しやすいものとすることができるとともに、支点軸や進退部材によるステージの支持が、それら支点軸や進退部材の尖端により、更にこの尖端がステージに設けられた鋼球と嵌め合わせられた状態で、かつこの鋼球を介して行われるため、ステージの傾斜角が変化した場合でも尖端と鋼球との接触位置が変化することにより傾斜角の変化が吸収されることとなり、その結果、３点における傾斜角の変化をもたらすステージの動きが各点間で拘束されることなく、互いにスムーズに追従しあって個別に傾斜角の変化が進められ、また傾斜角が変化した場合にも尖端と鋼球との嵌合状態は維持されることから、ステージがその面方向に変位してずり落ちることもなく、またその変位を防止するための構成を設けることも不要となる。」に訂正する。
（８）訂正事項ｈ
　発明の詳細な説明の段落【００３８】の
「ステージの１点を、支点まわりに傾斜自在なように支持し」を、
「ステージの１点を支持する支点軸の尖端を、ステージに設けられた複数の鋼球と嵌め合わせることにより、ステージを、支点まわりに傾斜自在なように支持し」に訂正する。
（９）訂正事項ｉ
　発明の詳細な説明の段落【００３８】の
「他の２点を進退駆動される進退部材によって支持する」を、
「他の２点を、尖端がステージにそれぞれ設けられた複数の鋼球と嵌め合わせられ、進退駆動される進退部材によって支持する」に訂正する。
（１０）訂正事項ｊ
　発明の詳細な説明の段落【００３８】の
「人手によっても位置調節しやすいものとすることができる。」を、
「人手によっても位置調節しやすいものとすることができるとともに、支点軸や進退部材によるステージの支持が、それら支点軸や進退部材の尖端により、更にこの尖端がステージに設けられた鋼球と嵌め合わせられた状態で、かつこの鋼球を介して行われるため、ステージの傾斜角が変化した場合でも尖端と鋼球との接触位置が変化することにより傾斜角の変化が吸収されることとなり、その結果、３点における傾斜角の変化をもたらすステージの動きが各点間で拘束されることなく、互いにスムーズに追従しあって個別に傾斜角の変化が進められ、また傾斜角が変化した場合にも尖端と鋼球との嵌合状態は維持されることから、ステージがその面方向に変位してずり落ちることもなく、またその変位を防止するための構成を設けることも不要となる。」に訂正する。
　
イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａ及びｂは、願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内において、請求項１を限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　上記訂正事項ｃ〜ｊは、上記訂正事項ａ及びｂにより特許請求の範囲を訂正したことに伴い、発明の詳細な説明の記載の整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
ウ．独立特許要件
　上記訂正事項ａ及びｂは、請求項１についての訂正であるが、請求項１を引用する形式で表現された請求項２についても実質的に訂正するものであり、特許異議の申立てがされていない請求項についての訂正であって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであるから、訂正明細書の請求項２に係る発明の独立特許要件について検討する。
　訂正明細書の請求項２に係る発明は、訂正明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項２に記載された次のとおりのものである。
「【請求項２】　ステージ上の傾斜角位置決め対象物を撮像し、傾斜位置決め対象物の基準面に対する傾斜角と傾斜向きとに応じた干渉縞を映し出す撮像手段と、この撮像手段により映し出される干渉縞によって傾斜角位置決め対象物の傾斜角と傾斜向きとを計測する計測手段と、この計測手段からの計測情報に基づいて傾斜角位置決め対象物を所定の傾斜角および傾斜向きとするための２つの進退部材の必要進退量を演算する演算手段と、この演算手段による演算結果に応じて駆動手段を動作させ傾斜角位置決め対象物の傾斜角が所定の角度になるように２つの進退部材の進退位置を制御する制御手段とを備えた請求項１に記載の傾斜角位置決め装置。」（なお、引用する請求項１については下記「３．ア．本件発明」参照。）
　そして、請求項２に係る発明の「ステージ上の傾斜角位置決め対象物を撮像し、傾斜位置決め対象物の基準面に対する傾斜角と傾斜向きとに応じた干渉縞を映し出す撮像手段と、この撮像手段により映し出される干渉縞によって傾斜角位置決め対象物の傾斜角と傾斜向きとを計測する計測手段と、この計測手段からの計測情報に基づいて傾斜角位置決め対象物を所定の傾斜角および傾斜向きとするための２つの進退部材の必要進退量を演算する演算手段」を備える点の構成は、取消しの理由で引用された刊行物１（実願昭６３−７４８６号（実開平１−１６２３１５号）のマイクロフィルム）、刊行物２（特開平５−２８５４５号公報）、刊行物３（特開平５−６０９３５号公報）及び特許異議申立人が提出した甲第１号証（前記刊行物３に同じ）、甲第２号証（前記刊行物２に同じ）、甲第３号証（特開平１−１４３３３６号公報）、甲第４号証（特開昭６１−５１４８８号公報）、甲第５号証（実願平３−１０１６２４号（実開平５−５０９８８号）のＣＤ−ＲＯＭ）のいずれの刊行物にも記載されておらず、示唆もされておらず、この点の構成が当業者であれば容易になし得たものであるとすることはできない。
　したがって、訂正明細書の請求項２に係る発明は、出願の際、独立して特許を受けることができるものである。
　
エ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
ア．本件発明
　本件特許第３２９９３５９号の請求項１に係る発明は、上記訂正に係る訂正明細書及び図面の記載からみて、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　位置決め対象物を支持するステージの１点を支持する支点軸の尖端を、前記ステージに設けられた複数の鋼球と嵌め合わせることにより、前記ステージをこの１点での支点まわりに傾斜自由なように支持し、ステージの他の２点を進退によりステージの支持高さを変えられるようにした２つの進退部材の尖端を、前記ステージの、前記２つの進退部材の尖端位置に対応する位置にそれぞれ設けられた複数の鋼球と嵌め合わせることによってそれぞれ支持し、これら進退部材を個別に進退駆動して、ステージを前記支点まわりの所定の傾斜状態に設定する進退駆動手段を備えたことを特徴とする傾斜角位置決め装置。」
　
イ．引用刊行物に記載された発明
　当審が平成１６年１月２０日付で通知した取消しの理由で引用した刊行物１（実願昭６３−７４８６号（実開平１−１６２３１５号）のマイクロフィルム）には、顕微鏡用傾斜テーブルに関して、以下の事項が図面とともに記載されている。
「本考案は、積層型圧電素子の印加電圧の大きさにより、傾斜度を調整できる、変位制御が電気的な行えるので、顕微鏡内の位置検出素子により位置検出してフィードバックすることにより、圧電素子の印加電圧制御を自動的に補正することもできる。」（明細書３頁２〜７行）、
「第１図は、本考案の一実施例を示す傾斜テーブルの傾斜図である。２枚の平面板、移動側テーブル１と固定側テーブル２の間に、平面板の中心から１２０°の角をなす等距離の３点に積層型圧電素子３，３，３を配置して、移動側テーブル１を支持する。積層型圧電素子３の下端部は、固定側テーブル２に固定しておき、上端部は、移動側テーブル１を、それぞれの積層型圧電素子３が１点で支持できるように、第３図に示す通り積層型圧電素子３の上部にボールベアリング受け部４を介してボールベアリング５を入れて、滑らかな動きになるようにした。この際、移動側テーブル１には、ボールベアリングを受けられるように、凹部を設けて、滑り落ちないようにした。積層型圧電素子に印加する電圧をそれぞれ制御することにより、自由に傾斜調整を行うことができる。」（明細書３頁９行〜４頁８行）
　
ウ．対比・判断
　本件の請求項１に係る発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、刊行物１記載の「移動側テーブル１、ボールベアリング５、積層型圧電素子３、傾斜テーブル」が、請求項１に係る発明の「ステージ、鋼球、進退部材、傾斜角位置決め装置」に相当する。そして、刊行物１記載のものにおいても移動テーブル１は３点で支点のまわりに傾斜自由に支持されており、積層型圧電素子３の印加電圧をそれぞれ制御して自由に傾斜調整を行うものであるから、両者は、「位置決め対象物を支持するステージの３点を鋼球を用いて支点のまわりに傾斜自由に支持し、ステージの支持高さを変えられるようにした進退部材を用い、この進退部材を個別に進退駆動してステージを所定の傾斜状態に設定する進退駆動手段を備えた傾斜角位置決め装置」である点の構成で一致し、以下の相違点１、２で相違する。
　相違点１：進退部材を用いる際に、請求項１に係る発明は、１点を支点軸で支持し、他の２点を進退部材で支持するのに対し、刊行物１記載のものは３点を進退部材で支持している点。
　相違点２：鋼球を用いて支点のまわりに傾斜自由に支持する際に、請求項１に係る発明は、尖端を複数の鋼球と嵌め合わせて支持するのに対し、刊行物１記載の発明は、１個のボールベアリング５をボールベアリング受け部４を介して支持している点。
　上記相違点について検討するに、相違点１については、１点を支点軸で支持し、他の２点を進退部材で支持する点は、上記取消しの理由で引用した刊行物２（特開平５−２８５４５号公報（特許異議申立人の提出した甲第２号証）：そこには、「支持点の内２点２３及び２４は圧電素子で出来ており、・・・残る１つの支持点２５は点接触するように作られており・・ステージが自由に動く（傾く）のを妨げないようになっている」旨記載されている）、及び、刊行物３（特開平５−６０９３５号公報（特許異議申立人の提出した甲第１号証）：そこには、「あおり機構２０として通常の３点支持のあおり台が使用でき、あおり量は対角に配置した調整ねじ１０、１１を回転させて行う。つまり・・・中央支点１２とネジ１０、１１との３点で接触している」旨記載されている）に記載されており、刊行物１記載の３点を進退部材で支持することに代えて刊行物２、３記載の支持構造を適用して、請求項１に係る発明のごとく１点を支点軸で支持し、他の２点を進退部材で支持する構成とすることは当業者が容易になし得たものである。
　次に、相違点２については、鋼球で支持する際に、尖端を複数の鋼球と嵌め合わせて支持する点は周知（例えば、実公昭１８−１２０６８号公報（三個のボールｏ、ｏ’、ｏ”と圓錐形部４参照）、実願昭６３−１００５１６号（実開平２−２２４１５号）のマイクロフィルム（軸２の傾斜面２ａと複数のボール３参照）、実願昭６１−１７１９５７号（実開昭６３−７７４７１号）のマイクロフィルム（円錐状の傾斜面３−２とピボットベアリング４のボール参照））であるから、刊行物１記載の１個のボールベアリング５とボールベアリング受け部４により支持することに代えて前記周知技術を適用し、請求項１に係る発明のごとく尖端を複数の鋼球と嵌め合わせて支持する構成とすることは当業者が容易になし得たものである。
　そして、請求項１に係る発明の奏する効果についても、上記刊行物１〜３に記載された発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に想到し得る程度のことである。
　
エ．むすび
　以上のとおりであるから、請求項１に係る発明は、上記刊行物１〜３に記載された発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、請求項１に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年５月１３日（２００４．５．１３）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
傾斜角位置決め装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　位置決め対象物を支持するステージの１点を
支持する支点軸の尖端を、前記ステージに設けられた複数の鋼球と嵌め合わせることにより、前記ステージを
の尖端を、前記ステージの、前記２つの進退部材の尖端位置に対応する位置にそれぞれ設けられた複数の鋼球と嵌め合わせること
　【請求項２】　ステージ上の傾斜角位置決め対象物を撮像し、傾斜位置決め対象物の基準面に対する傾斜角と傾斜向きとに応じた干渉縞を映し出す撮像手段と、この撮像手段により映し出される干渉縞によって傾斜角位置決め対象物の傾斜角と傾斜向きとを計測する計測手段と、この計測手段からの計測情報に基づいて傾斜角位置決め対象物を所定の傾斜角および傾斜向きとするための２つの進退部材の必要進退量を演算する演算手段と、この演算手段による演算結果に応じて駆動手段を動作させ傾斜角位置決め対象物の傾斜角が所定の角度になるように２つの進退部材の進退位置を制御する制御手段とを備えた請求項１に記載の傾斜角位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は傾斜角位置決め装置に関し、詳しくは、傾斜自由なように支持したステージの上に載せたワーク等の、傾斜角位置決め対象面の基準物に対する傾斜角および傾斜向きを精密に調整し、設定することができる傾斜角位置決め装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　例えばコンピュータのハードディスク用のヘッド等のように、精密要素部品の寸法を正確に計測する上で、ワークの傾斜角を所望の状態に正確に位置決めする必要がある。そこで従来、図７に示すような２自由度傾斜角精密位置決め装置が利用されている。
　【０００３】
　このものは、基台１の上にステージ２を水平な回転軸３により枢支した２つのステージ装置Ａ、Ｂを、それぞれの回転軸３が平面より見て直交する向きとなるように２段に重ねて一体化している。各ステージ２はそれぞれの基台１に設けられたツール軸４が当接する受動部２ａを有し、駆動手段５にてツール軸４を進退させて受動部２ａの押動位置を変化させることにより各ステージ２の前記互いに直交する各回転軸３のまわりの傾斜角を調節できる。
　【０００４】
　したがって、上下のステージ装置Ａ、Ｂでの傾斜角の調節により、上側のステージ装置Ｂのステージ２が、２つの回転軸３の回りに傾斜角を調節されることになる。
　【０００５】
　そこで、上側のステージ２の上にワーク６を載せて上方に設置した顕微鏡７により干渉対物レンズ８を通して観察し、ワーク６の上面の傾斜角および傾斜向きに応じて映し出される干渉縞の状態によってワーク６の上面の傾斜角および傾斜向きを人が判断しながら、前記２つの駆動手段５を動作させて各ステージ装置Ａ、Ｂでの傾斜角位置決め調整を人為的に行いワーク６を所定の傾斜角および傾斜向きに位置決めしている。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、上記従来のものでは、２つのステージ装置Ａ、Ｂを２段に重ねたもので、各ステージ装置Ａ、Ｂでの位置決め誤差が累積してしまうし、装置が大きなものになってしまう。また、２つのステージ装置Ａ、Ｂでの角度調節と、ワークの傾斜角および傾斜向きとの関係が複雑な上、前記誤差の累積もあるので、人手によるワークの位置決め調整の作業は試行錯誤しながら行うことになり、長時間を費やしてしまうことが多々ある。
　【０００７】
　本発明は、このような従来の問題を解消することを課題とし、小型で位置決め誤差が生じにくく、位置決め調整が容易な傾斜角位置決め装置、さらに位置決め調整を自動的に行える傾斜角位置決め装置を提供することを目的とするものである。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　本発明の傾斜角位置決め装置は、上記のような目的を達成するために、位置決め対象物を支持するステージの１点を
支持する支点軸の尖端を、前記ステージに設けられた複数の鋼球と嵌め合わせることにより、前記ステージを
の尖端を、前記ステージの、前記２つの進退部材の尖端位置に対応する位置にそれぞれ設けられた複数の鋼球と嵌め合わせること
　【０００９】
　さらに、このような装置において、ステージ上の傾斜角位置決め対象物を撮像し、傾斜位置決め対象物の基準面に対する傾斜角と傾斜向きとに応じた干渉縞を映し出す撮像手段と、この撮像手段により映し出される干渉縞によって傾斜角位置決め対象面の傾斜角と傾斜向きとを計測する計測手段と、この計測手段からの計測情報に基づいて傾斜角位置決め対象物を所定の傾斜角および傾斜向きとするための２つの進退部材の必要進退量を演算する演算手段と、この演算手段による演算結果に応じて駆動手段を動作させ傾斜角位置決め対象物の傾斜角が所定の角度になるように２つの進退部材の進退位置を制御する制御手段とを備えたことを第２の特徴とするものである。
　【００１０】
　【作用】
　本発明の傾斜角位置決め装置の第１の特徴の上記構成では、傾斜角位置決め対象物を支持する１つのステージの１点を
支持する支点軸の尖端を、ステージに設けられた複数の鋼球と嵌め合わせることにより、ステージを
、尖端がステージにそれぞれ設けられた複数の鋼球と嵌め合わせられ、
とともに、支点軸や進退部材によるステージの支持が、それら支点軸や進退部材の尖端により、更にこの尖端がステージに設けられた鋼球と嵌め合わせられた状態で、かつこの鋼球を介して行われるため、ステージの傾斜角が変化した場合でも尖端と鋼球との接触位置が変化することにより傾斜角の変化が吸収されることとなり、その結果、３点における傾斜角の変化をもたらすステージの動きが各点間で拘束されることなく、互いにスムーズに追従しあって傾斜角の変化が進み、また傾斜角が変化した場合にも尖端と鋼球との嵌合状態は維持されることから、ステージがその面方向に変位してずり落ちることもなく、またその変位を防止するための構成を設けることも不要となる。
　【００１１】
　本発明の傾斜角位置決め装置の第２の特徴の上記構成では、第１の特徴の場合に加えて、ステージ上の傾斜角位置決め対象物を撮像手段により撮像して映し出される干渉縞から傾斜角位置決め対象物の傾斜角と傾斜向きとを計測し、これに応じてステージ上の傾斜角位置決め対象物の傾斜角位置決め調整をするのに、前記計測が計測手段によって自動的に行われ、この計測情報に基づき演算手段が傾斜角位置決め対象物を所定の傾斜角および傾斜向きとするための２つの進退部材の必要進退量を演算し、制御手段がこの演算結果に応じて２つの駆動手段を駆動して、前記計測結果に基づいた傾斜角位置決め調整を自動的に行うので、人による手間を省き、作業時間を大幅に短縮することができる。
　【００１２】
　【実施例】
　以下本発明の一実施例としての傾斜角位置決め装置について、図１〜図６を参照しながら説明する。
　【００１３】
　本実施例の傾斜角位置決め装置は、図２に示すように傾斜角位置決め対象物であるワーク２５を載せるステージ２９を１つ有している。このステージ２９は図１の（ａ）に示すように平面視ほぼ三角形をした板部材であり、周辺部３点を支点軸２８と、傾斜角位置決め調整を行うための進退部材としての２つのツール３０ａ、３１ａとによってそれぞれ支持するようにしている。
　【００１４】
　ステージ２９の前記各支持部には、図１の（ａ）、（ｂ）に示すような凹部２９ａが形成されて、支点軸２８およびツール３０ａ、３１ａの先端と嵌まり合うようにしてある。支点軸２８は図１、図２に示すように固定されて、ステージ２９の１点を所定高さに支持し、自身の尖端と前記凹部２９ａとの間に鋼球２０を嵌め込んだいわゆるピボット軸受２１を構成し、ステージ２９が支点軸２８の尖端のまわりに傾斜自由なように支持している。
　【００１５】
　各ツール３０ａ、３１ａはそれぞれの進退駆動手段３０、３１によって上下に進退駆動され、自身の尖端を前記凹部２９ａに前記ピボット軸受２１と同様に鋼球２０を介し嵌め合わせてステージ２９の傾斜角や傾斜向きの変化の影響なくどの進退位置にてもステージ２９を無理なく支持できるようにしている。
　【００１６】
　これにより、２つのツール３０ａ、３１ａを進退駆動手段３０、３１により進退させることにより、ステージ２９をピボット軸受２１による支点まわりにどのようにも傾斜させることができ、２自由度傾斜角調節機能を奏してステージ２９の傾斜角および傾斜向きを調整することができる。
　【００１７】
　したがって、ワーク２５を支持する１つのステージ２９の１点を、ピボット軸受２１による支点回りに傾斜自在なように支持し、他の２点を進退駆動されるツール３０ａ、３１ａによって支持するだけの構成で、各ツール３０ａ、３１ａの進退位置を各進退駆動手段３０、３１にて調整することにより２自由度傾斜角調整機能を達成し、傾斜角位置決め装置を部品点数の少ない小さなものとすることができるし、２つのツール３０ａ、３１ａによる２点での支持高さがそのまま、前記ステージ２９のピボット軸受２１による支点まわりの傾斜角と傾斜向きとに関係するので、誤差が生じにくく人手によっても位置調節しやすいものとすることができる。
　【００１８】
　しかし本実施例では、前記ステージ２９に載せたワーク２５の傾斜角位置決め調整を自動的に行うようにして、人の手間を省き、所要時間も大幅に短縮できるようにしている。
　【００１９】
　これにつき説明すると、図２に示すようにワーク２５は撮像カメラ３２により干渉対物レンズ３３を介して撮像し、ワーク２５の上面の基準面、例えば水平面に対する傾斜角および傾斜向きに応じた図３に示すような干渉縞４０を映し出すようにしてある。そして撮像カメラ３２は直進ガイド３５によって水平面に対し垂直な方向に正確に上下動されて、フォーカシングを行うようになっており、フォーカシングのためのフォーカス駆動手段３４が撮像カメラ３２の図示しないフォーカシング軸を駆動するように設けられている。
　【００２０】
　撮像カメラ３２からの映像信号は視覚認識部３６に入力され、ここで、ワーク２５の位置および傾斜角と傾斜向きを前記干渉縞４０によって計測できるようにしている。
　【００２１】
　視覚認識部３６での各計測結果は、演算手段１７に入力され、ここでワーク２５の傾斜角と傾斜向きに関する計測結果に基づき、ワーク２５を所定の傾斜角に位置決め調整するのに必要なツール３０ａおよび３１ａの必要進退量を演算するようにしてある。
　【００２２】
　演算手段３７での各演算結果は指令制御手段３８に入力される。指令制御手段３８は、前記必要進退量に基づき各進退駆動手段３０、３１に進退動作信号を出力し、ワーク２５が所定の傾斜角位置決め状態となるように、ステージ２９の傾斜角と傾斜向きとを調整できるようにする。
　【００２３】
　なお、指定制御手段３８は、前記視覚認識部３６でのワーク２５の傾きの向きを後述のように計測すると云ったことのために、フォーカス信号をフォーカス駆動手段３４に入力し必要なフォーカシングが行われるようにする。
　【００２４】
　以下具体的な傾斜角位置決め調整処理について説明すると、撮像カメラ３２の画面に映し出された干渉縞４０は、図３（ａ）に一例を示してあるように、ワーク２５の基準面に対する傾斜向きに応じた傾きθを持つとともに、基準面に対する傾斜角に応じたピッチＰを持っており、この傾きθとピッチＰとが前記視覚認識部３６にて計測される。
　【００２５】
　ここで、傾きθに対応するワーク２５の傾斜向きは２通り考えられ特定しない。これを決定するため、次には撮像カメラ３２をそのフォーカス軸の正の方向に微小量、例えば干渉光の１／８波長分だけ動かして、このときの干渉縞４０の移動方向を視覚認識部３６が計測し、ワーク２５の前記計測されているθに対応した初期の傾斜向きを特定する。
　【００２６】
　これを図４、図５に基づき詳細に述べると、図４は画面に映し出された干渉縞の傾きθが９０度の場合を示しており、図５は撮像カメラ３２を矢印で示すフォーカス軸の正の方向に、干渉光の１／８波長分だけ動かしたときの干渉縞４０の移動方向を示している。図中破線は撮像カメラ３２を動かす前の干渉縞４０の位置、実線は撮像カメラ３２を動かした後の干渉縞４０の位置をそれぞれ示している。
　【００２７】
　図４から明らかなように、干渉縞４０の傾きθ（＝９０度）とピッチＰが同じでもワーク２５の傾斜向きとして（ａ）、（ｂ）に示した２つの状態が考えられる。したがって、ワーク２５の初期の傾斜向きを把握しなければツール３０ａ、３１ａの必要進退量が決定できないことが分かる。
　【００２８】
　そこで本実施例では、撮像カメラ３２をそのフォーカス軸の図５に矢印で示す正の方向に干渉光の１／８波長分だけ動かし、そのときの干渉縞４０の移動方向を認識することでワーク２５の傾斜向きを判断している。図５では干渉縞４０が破線の位置から実線の位置まで画面の右方に移動しているため、ワーク２５は画面の右方向が低くなるように傾斜していることが分かる。この方法は、干渉縞４０の傾きθが任意の方向であっても適用できる。さらに本実施例では、撮像カメラ３２の移動量を干渉光の１／８波長分としたが、干渉縞の移動方向を誤認識しない範囲であれば撮像カメラ３２の移動量は自由に設定できるし、撮像カメラ３２の移動方向についても正の方向に限る必要はない。
　【００２９】
　このようにして求めた傾きθ、ピッチＰ、傾斜向きから、初期状態のワーク２５の傾斜角および傾斜向きを知ることができる。
　【００３０】
　したがって、これらの情報と、ワーク２５が必要とする傾斜角と傾斜向き、つまりこれに対応して撮像画面上で得るべき最終的に必要な傾きθ０およびピッチＰ０〔図３（ｂ）〕とに基づき、演算手段１７が各ツール３０ａ、３１ａの必要進退量、および撮像カメラ３２のフォーカシング量を演算する。
　【００３１】
　この演算結果に基づき指令制御手段が、前記必要進退量だけ各ツール３０ａ、３１ａを進退させ、また前記フォーカシング量だけ撮像カメラ３２を移動させるように、それぞれの進退駆動手段３０、３１とに指令を出し、必要量動作させる。
　【００３２】
　これによって、ステージ２９上のワーク２５を目標とする所定の傾斜角および傾斜向きとなるように自動的に位置決め調整することができる。
　【００３３】
　ここで、２つのツール３０ａ、３１ａの進退駆動手段３０、３１を動作させてワーク２５の傾斜角および傾斜向きを調整する方法について、図６を参照しながら詳細に説明する。
　【００３４】
　図６（ａ）はワーク２５の初期の傾斜状態を示している。図６（ｂ）は干渉縞の傾きが最終の目標とする傾きθ０に一致した状態を示し、このときの干渉縞４０のピッチをＰ１とする。図６（ｃ）は干渉縞４０の傾きとピッチが、最終の目標とする傾きθ０、ピッチＰ０に一致した状態を示している。つまり位置決め完了状態である。
　【００３５】
　初期状態のワーク２５に関する干渉縞４０のθとＰ、ワーク２５の傾斜向きの情報から、まず、干渉縞の傾きを所望の角度θ０に調整するために必要なツール３０ａ、３１ａの進退量ＬＡ１、ＬＢ１（ＬＡ１＝ＬＢ１）を演算手段３７が決定し、進退駆動手段３０、３１を動作させて干渉縞４０の傾きをθ０になるように調整する。次いでこのときのピッチＰ１を基にして干渉縞４０のピッチを調整するために必要なツール３０ａ、３１ａの進退量ＬＡ２、−ＬＢ２を演算手段３７が決定し、ツール３０ａ、３１ａの進退駆動手段３０、３１を動作させて干渉縞４０のピッチをＰ０になるように調整する。
　【００３６】
　このようにして、ワーク２５の傾斜角と傾斜向きとの位置調整が完了する。なお、以上の説明では理解が容易なように、一旦図６（ｂ）の状態に動かした後、次に最終の図６（ｃ）の状態となるように２回に分けて、演算およびツール３０ａ、３１ａの動作を行っているが、実際は、図６（ｂ）の状態は計算上で作られており、各ツール３０ａ、３１ａの進退量ＬＡ、ＬＢを
　　ＬＡ＝ＬＡ１＋ＬＡ２
　　ＬＢ＝ＬＢ１、ＬＢ２
として、１回のツール３０ａ、３１ａの移動で図６（ｃ）に示す最終の位置決め完了状態が得られるようにしている。
　【００３７】
　また、本実施例では、先に干渉縞４０の傾きθとピッチＰとを計測し、その後ワーク２５の傾斜向きを認識したが、始めに傾斜向きを計測し、次に傾きθとピッチＰを計測するようにしてもよいのは勿論である。
　【００３８】
　【発明の効果】
　本発明の傾斜角位置決め装置の第１の特徴によれば、傾斜角位置決め対象物を支持する１つのステージの１点を
支持する支点軸の尖端を、ステージに設けられた複数の鋼球と嵌め合わせることにより、ステージを
、尖端がステージにそれぞれ設けられた複数の鋼球と嵌め合わせられ、
とともに、支点軸や進退部材によるステージの支持が、それら支点軸や進退部材の尖端により、更にこの尖端がステージに設けられた鋼球と嵌め合わせられた状態で、かつこの鋼球を介して行われるため、ステージの傾斜角が変化した場合でも尖端と鋼球との接触位置が変化することにより傾斜角の変化が吸収されることとなり、その結果、３点における傾斜角の変化をもたらすステージの動きが各点間で拘束されることなく、互いにスムーズに追従しあって個別に傾斜角の変化が進められ、また傾斜角が変化した場合にも尖端と鋼球との嵌合状態は維持されることから、ステージがその面方向に変位してずり落ちることもなく、またその変位を防止するための構成を設けることも不要となる。
　【００３９】
　また本発明の傾斜角位置決め装置の第２の特徴によれば、第１の特徴の場合に加え、ステージ上の傾斜角位置決め対象物を撮像したときの干渉縞の計測を基にステージの傾斜角位置決め調整をするのに、前記計測と、この計測情報に基づいて傾斜角位置決め対象物を所定の傾斜角および傾斜向きとするための２つの進退部材の必要進退量の演算と、およびこの演算結果に応じて２つの進退部材を駆動し前記傾斜角位置決め調整することを自動的に行うので、人による手間を省き、作業時間を大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例としての傾斜角位置決め装置の機構部を示す平面図、側面図および一部断面図である。
　【図２】
　図１の装置の制御系との関係を示すブロック図である。
　【図３】
　撮像カメラの画面に映し出される干渉縞の状態例を示す説明図である。
　【図４】
　干渉縞の１つの状態に対応する２通りのワークの傾斜状態を示す説明図である。
　【図５】
　図４の２通りのワークの傾斜状態のうちどちらの傾斜向きであるかを判別する操作の状態を示す説明図である。
　【図６】
　ワークの傾斜角および傾斜向きの位置決め調整状態と干渉縞の変化との関係を示す説明図である。
　【図７】
　従来の２自由度傾斜角位置決め装置を示す正面図である。
　【符号の説明】
　２９　ステージ
　３０、３１　進退駆動手段
　３０ａ、３１ａ　進退部材
　３２　撮像カメラ
　３３　干渉対物レンズ
　３４　フォーカス駆動手段
　３５　直進ガイド
　３６　計測手段
　３７　演算手段
　３８　制御手段
　４０　干渉縞