【事件の表示】
　特許第３２９００３６号「ドライエッチング装置およびドライエッチング方法」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２９００３６号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第３２９００３６号の発明についての出願は、平成６年１０月１８日に特許出願され、平成１４年３月２２日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、柴崎喜江、酒井和義、山口雅行より特許異議の申立てがなされ、取消理由が通知され、その指定期間内である平成１５年８月１２日に訂正請求がなされたものである。
　
II．訂正の適否
１．訂正の内容
（１）訂正事項ａ
　請求項１、３中の「前記電極を支持する支持部材と、」を、「前記電極を支持する支持部材と、前記電極と前記支持部材とを接触させて接続する留め具と、」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　請求項１、３中の「前記電極と前記支持部材との間に介挿された機械的弾性を有した導電材と、」を、「前記電極の表面及び前記支持部材の表面の間に流れる電流の経路と前記留め具との間において、前記電極と前記支持部材との間の接触面に介挿された機械的弾性を有した平面視リング形状の導電材と、」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　請求項２中の「を備え、前記留め具は、少なくとも前記電極と前記支持部材との接触面近傍に位置する部分において」を、「を備え、前記電極と前記支持部材との前記留め具による接触面には隙間が生じる可能性があり、前記留め具は、少なくとも前記電極と前記支持部材との前記接触面近傍に位置する部分において」と訂正する。
（４）訂正事項ｄ
　明細書段落【００１１】中の「前記電極を支持する支持部材と、」、また段落【００１３】中の「電極を支持する支持部材と、」を、「前記電極を支持する支持部材と、前記電極と前記支持部材とを接触させて接続する留め具と、」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ   
　明細書段落【００１１】中の「前記電極と前記支持部材との間に介挿された機械的弾性を有した導電材と」、また段落【００１３】中の「電極と支持部材との間に介挿された機械的弾性を有した導電材と」を、「前記電極の表面及び前記支持部材の表面の間に流れる電流の経路と前記留め具との間において、前記電極と前記支持部材との間の接触面に介挿された機械的弾性を有した平面視リング形状の導電材と」と訂正する。
（６）訂正事項ｆ  
　明細書段落【００１２】中の「を備え、前記留め具は、少なくとも前記電極と前記支持部材との接触面近傍に位置する部分において」を、「を備え、前記電極と前記支持部材との前記留め具による接触面には隙間が生じる可能性があり、前記留め具は、少なくとも前記電極と前記支持部材との前記接触面近傍に位置する部分において」と訂正する。
　
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
（１）上記訂正事項ａ、ｂは、請求項１、３において「ドライエッチング装置」として処理室内に配置された電極と、電極を支持する支持部材との関係を、両者を接続する「留め具」が存在することと限定し、「導電材」が「平面視リング形状」であって、その介挿位置が前記電極の表面及び前記支持部材の表面の間に流れる電流の経路と前記留め具との間において、前記電極と前記支持部材との接触面であることに限定したものであり、当該構造は明細書段落【００１５】〜【００１９】の第１の実施例の記載、及び図１〜図３の記載によって裏付けられている。
　したがって、訂正事項ａ、ｂは、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。又該訂正は、願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内のものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（２）上記訂正事項ｃは、請求項２において「ドライエッチング装置」として電極と支持部材とを接続する留め具による接触面には隙間が生じる可能性があることに限定したものであり、当該構造は明細書段落【００２１】〜【００２３】の第２の実施例の記載、及び図４の記載によって裏付けられている。
　したがって、訂正事項ｃは、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。又該訂正は、願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内のものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（３）上記訂正事項ｄ〜ｆは、特許請求の範囲の訂正に基づき訂正後の請求項と整合するよう、発明の詳細な説明を訂正するものであって、明りょうでない記載の釈明に該当する。又該訂正は、願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内のものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
III．特許異議申立てについて
１．特許異議申立ての概要
（１）特許異議申立人柴崎喜江は、下記甲第１〜５号証、及び参考資料を提出して、請求項１、３に係る発明は、甲第１〜３号証に記載された発明に基いて、又請求項２に係る発明は、甲第１、４、５号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、請求項１〜３に係る発明の特許は、取り消されるべきものである旨主張している。
　　　　　　　　　　　　　　　記
甲第１号証：特開平２−２９０９８４号公報（以下、「刊行物１」という）
甲第２号証：実願昭６１−５３６０６号（実開昭６２−１６６６２６号）の　マイクロフィルム（以下、「刊行物２」という）
甲第３号証：特開昭６１−２３８９６３号公報（以下、「刊行物３」という）
甲第４号証：特開平１−１８０９８２号公報（以下、「刊行物４」という）
甲第５号証：実願昭６１−４４２８１号（実開昭６２−１５７９６９号）の　マイクロフィルム（以下、「刊行物５」という）
参考資料：特開平６−１１２１６８号公報
　
（２）特許異議申立人酒井和義は、下記甲第１〜４号証を提出して、請求項１〜３に係る発明は、甲第１〜４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、請求項１〜３に係る発明の特許は、取り消されるべきものである旨主張している。
　　　　　　　　　　　　　　　記
甲第１号証：特開昭６１−２７８１４４号公報（以下、「刊行物６」という）
甲第２号証：特開平５−２２６２８９号公報（以下、「刊行物７」という）
甲第３号証：実願平３−７７５８０号（実開平５−２２５５５号）のマイク　ロフィルム（以下、「刊行物８」という）
甲第４号証：特開昭６３−１６２５８８号公報（以下、「刊行物９」という）
　   　
（３）特許異議申立人山口雅行は、証拠として下記甲第１号証を提出し、請求項１、３に係る発明は、甲第１証に記載された発明と同一であるから、該請求項１、３に係る発明の特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものであって、これを取り消すべき旨主張している。
　　　　　　　　　　　　　　　　記
甲第１号証：特願平６−１２９１６８号の願書に最初に添付した明細書（特　開平７−３３５６２８号公報参照）（以下、「先願明細書」という）
   
２．本件発明
　特許第３２９００３６号の請求項１〜３に係る発明（以下、「本件発明１」〜「本件発明３」という）は、上記のとおり訂正が認められたから、平成１５年８月１２日付の訂正明細書の特許請求の範囲に記載された以下のとおりのものである。
「【請求項１】処理室と、
　前記処理室内に配置された電極と、
　前記電極を支持する支持部材と、
　前記電極と前記支持部材とを接触させて接続する留め具と、
　前記電極の表面及び前記支持部材の表面の間に流れる電流の経路と前記留め具との間において、前記電極と前記支持部材との間の接触面に介挿された機械的弾性を有した平面視リング形状の導電材と、
を備えたドライエッチング装置。
　【請求項２】　処理室と、
　前記処理室内に配置された電極と、
　前記電極を支持する支持部材と、
　前記電極と前記支持部材とを接続する留め具と、
を備え、
　前記電極と前記支持部材との前記留め具による接触面には隙間が生じる可能性があり、
　前記留め具は、少なくとも前記電極と前記支持部材との前記接触面近傍に位置する部分において突起のない表面形状を有するドライエッチング装置。
　【請求項３】　処理室と、
　前記処理室内に配置された電極と、
　前記電極を支持する支持部材と、
　前記電極と前記支持部材とを接触させて接続する留め具と、
　前記電極の表面及び前記支持部材の表面の間に流れる電流の経路と前記留め具との間において、前記電極と前記支持部材との間の接触面に介挿された機械的弾性を有した平面視リング形状の導電材と、
を備えたドライエッチング装置
を用いてドライエッチングを行うドライエッチング方法。」
　　
３．刊行物の記載事項
（１）刊行物１（特開平２−２９０９８４号公報）
（１ａ）「プラズマ生成用の電極の少なくとも一つを、複数の導電板を接触積み重ねて構成したプラズマ装置において、上記導電板間に柔軟な導電性シートを介在配置したことを特徴とするプラズマ装置。」（特許請求の範囲１）
（１ｂ）「一つの電極を構成する少なくとも一つの導電体間に柔軟で熱伝導性の導電性シートを介在配置することにより、・・・以下、本発明装置をプラズマエッチング装置に適用した一実施例を図面に基づき具体的に説明する。・・・・・　この上部電極１０の構造について、第２図をも参照して説明すると、・・・・導電板例えばアルミニウムのムク材で構成された補強板１８が取付けられ、・・・さらに、上記補強板１８上には、本実施例の特徴的構成である導電性シート２０が積層配置され、さらにこの上に導電板であるアモルファス・カーボン電極２２が積層配置されている。上記導電性シート２０及びアモルファス・カーボン電極２２は、導電性ワッシャー２６及びカーボン電極取付ネジ２８によって前記クーリング部材１２に取付けられ、・・・・・・また、前記導電性シート２０は、例えばシリコンゴムシートにて構成され、この導電性シート２０を補強板１８及びアモルファス・カーボン電極２２の間に介在配置することによって、両者間の電気的伝導度を向上するようにしている。」（２頁左上欄１２行〜右下欄２行）
（１ｃ）「補強板１８及びアモルファス・カーボン電極２２の対向面に、微少な凹凸部あるいは反り等がある場合には、両者を接触させてもわずかに空隙部が生じてしまう。・・・・・従来は上記の空隙部によって補強板１８及びアモルファス・カーボン電極２２の間で異常放電が生じてしまうので、・・・本実施例装置では、導電性シート２０によって両者間の電気的伝導度を従来よりも向上することができるので、途中放電等を生じずに全域に亘ってプラズマ生起に寄与する電極表面まて円滑な電源供給を行うことができる。」（３頁右上欄２０行〜左下欄１５行）
（１ｄ）「上記実施例では、複数の導電体を積み重ねて一つの電極を構成する例として、上部電極１０のうちの補強板１８とアモルファス・カーボン電極２２を接触させるタイプを挙げ、この両者間に導電性シート２０を介在配置するものとしたが、これに限らず、電極を構成する複数の導電体の接合面に、この種の導電性シート２０を配置するものであればよい。・・・・・・　また、上記導電性シート２０としては、少なくとも２つの導電体に密着する柔軟性を有し、かつ電気的伝導度の良好なものであれば、その材質は種々のものが採用できる。」（４頁右上欄９行〜左下欄１２行）、が記載されている。
　
（２）刊行物２（実願昭６１−５３６０６号のマイクロフィルム）
　「電極の冷却構造」に関する考案が記載され、その第１図及び９頁７〜１０行には、「そして２０は円板状の表面電極で、Ｏリング１９a，１９b，１９cを介して上記電極構造体１１及びガス流路形成板１５とはり合わされており、・・・」、が記載されている。
　
（３）刊行物３（特開昭６１−２３８９６３号公報）
（３ａ）「すなわち、第１図に示すように、２０はシールドボックスであって、絶縁物２１Aおよび２１Bを介して、その内側に有底の円筒構造を有する保持電極２２が設けられている。シールドボックス２０はアースされ、保持電極２２はこのシールドボックス２０と絶縁されている。」（１頁右欄９〜１４行）
（３ｂ）「カセット４０の排気部分４１および４２を除いた部分には軸方向に複数個形成したガス噴出孔４３の列が周方向に複数列等間隔で形成されている。・・・ガス噴出孔４３は、後述するようにして、カセット４０を保持電極２２内に密着収納した時に、保持電極２２の内側周壁２２Fに形成したガス放出孔３４の位置に合致するように位置決めされてカセット４０に形成されている。なおカセット４０は導電性を有する材料、例えばアルミニウムから成る。」（２頁右下欄７〜１７行）
（３ｃ）「次いで、高周波電源３０から保持電極６０および上下の導電性ガス・シール５０Aおよび５０Bを介して、カセット４０に高周波電力を供給することによって放電を生起し、成膜を行なう。・・・　本発明に於いて、導電性ガスケットとして電気伝導率、および弾性回復力に優れたもの、例えば「ヘリコン・フレックス」・・・等の金属製Ｏリングが使用されるが、その他に導電性ゴム製のＯリング、シリコンゴム製等の電気絶縁性Ｏリングの表面を、Al，Ag，Auなどの導電性材料で被覆したものを使用することもできる。」（５頁左下欄１５行〜右下欄８行）、が記載されている。
　
（４）刊行物４（特開平１−１８０９８２号公報）
（４ａ）「プラズマCVD装置」に関する発明が開示され、特許請求の範囲には、「高周波電極と接地電極とからなる平行平板電極を使用し、該高周波電極は多数の微小通孔を有するシャワー電極とこのシャワー電極を支持するための電極支持部材とからなり、・・・前記シャワー電極の下面側が全面にわたって一様な平面状に形成されており、かつ、該シャワー電極はその下面側以外の箇所に前記電極支持部材との固定手段を有することを特徴とするプラズマCVD装置。」（特許請求の範囲（１））
（４ｂ）「特に従来のプラズマCVD装置で異常放電が頻発する箇所は、第４図に示されるように、シャワー電極２２を電極支持部材２３に固定する部分であることが確認された。シャワー電極の材質は一般的にアルミニウムであるのに対して、電極を金属導体に固定するためのネジ４０はステンレスである。また、このネジの頭部を収納するための穴４２が電極の下面に刻設されている。このため、このネジ４０やネジ穴４２に電界が集中して異常放電が起こるものと思われる。そして、シャワー電極２２と絶縁リング２７の隙間から放電が飛び出してくる。」（３頁左上欄７〜１８行）、が記載されている。
　
（５）刊行物５（実願昭６１−４４２８１号のマイクロフィルム）
　「プラズマCVD装置」に関する考案が記載され、５頁１１〜２０行には、「チャンバ１０内には、ヒータを内蔵した基板ホルダ２０と電極ユニット３０が対向して配設されている。・・・詳しくは、前記上部電極板３１の形状は円板状で、その周縁下部には、下部電極板３２と一定の間隔を保持するため、複数のスペーサ３１２を溶接してあり、スペーサ３１２にはネジ孔が設けられている。」が記載され、その第１図には、上部電極板３１とスペーサ３１２とを接続するネジ部材が、両者の接触面近傍に位置する部分において突起がない状態でネジ止めされていること、が記載されている。
　
（６）刊行物６（特開昭６１−２７８１４４号公報）
（６ａ）、エッチング等の処理を行うプラズマ処理装置において、２頁右下欄７〜１２行には、「第１図は本発明の原理的構成図を示す。図中、・・・、２は・・・多孔質体からなるカス導入部、３は・・導電性物質、４、６は・・電極」と記載され、
（６ｂ）「第２図は本発明の１実施例構成の側面図を示す。図中、８は処理槽、９はガス導入部２と電極４とを電気的に接続等するための電極リングを表す。」（３頁右上欄４〜６行）   
（６ｃ）「金属酸化物を主成分とする多孔質体からなるガス導入部２の内面に直接に導電性物質３を付着させているため、この部分を電極と電気的に接蝕させることで、これを新たに電極とすることができる。」（４頁右上欄５〜９行）、が記載されている。　
　
（７）刊行物７（特開平５−２２６２８９号公報）
（７ａ）プラズマエッチング装置などの真空装置においてウエハ等の被処理体を載置する載置装置及びそれを用いた処理装置に関し【０００１】、
「高周波電源４０は、支持テーブル２０の上部材２１に接続されており、・・上記第１及び第２電極間に高周波電力が供給された際に、上部チャンバー１１の上壁が上部電極として機能し、上部材２１が下部電極として機能して、これらの間にプラズマが発生する。」（【００１６】）
（７ｂ）「この支持テーブル２０は、上述したように上部材２１と下部材２２とを有しており」（【００１９】）、及び、「下部材２２には、・・Ｏリング用溝２６aが形成されており、・・・この実施例では０リング用溝２６a内にはＯリング２６が嵌込まれており、熱伝達用のガスが上部材２１と下部材２２との間から漏出するすることを防止している。」（【００２３】）、が記載されている。
　
（８）刊行物８（実願平３−７７５８０号のマイクロフィルム）
（８ａ）グロー放電分解成膜装置に関し、この考案の課題は、真空容器と電極の着脱部からのガス洩れを防止し、成膜特性を改善することに有ること（【０００８】）
（８ｂ）「図８では円筒状の真空容器２を示したが、真空容器２の形状は例えば正方形状でもよく、・・・平板状基体に成膜するものでも良い。この場合には電極の形状は例えば円盤状となり、・・・電極の外周と取り付け部材との間に、ガスシールを施す。」（【００１０】）、が記載されている。
　
（９）刊行物９（特開昭６３−１６２５８８号公報）
　プラズマエッチング装置の電極等に好適に用いられる新規な導電性多孔質の炭化珪素焼結体に関する発明が記載され、第１図には、導電性多孔質炭化珪素焼結板４とマイナス極２との接触面近傍に位置する部分において、突起のない表面形状を有しているネジ、が記載されている。
　
（１０）先願明細書（特願平６−１２９１６８号）
（１０ａ）「【請求項１】エッチング用ガスを電力印加によりプラズマ化させ、該プラズマの下で被処理物をエッチングするドライエッチング装置において、被処理物を電力印加電極を兼ねるホルダに押圧固定するための、前記プラズマに曝される面が導電性材料からなるクランプリング部材と、前記クランプリング部材を被処理物固定位置又は被処理物の搬入搬出に支障のない位置へ移動させるクランプリング部材駆動手段と、少なくとも前記クランプリング部材が被処理物固定位置におかれるとき、前記クランプリング部材のプラズマに曝される面を前記電力印加電極を兼ねるホルダに電気的に接触させる手段とを備えていることを特徴とするドライエッチング装置。」（【請求項１】）
（１０ｂ）「【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このようにクランプリング部材８が電気絶縁性材料からなる、又は電気的にフローテイングされている場合、クランプリング部材８表面に強いプラズマが発生せず、また、電極２に印加される高周波電力がクランプリング部材８に伝わらないため、クランプリング部材８に十分なイオン衝撃が得られず、プラズマ中で生成されるエッチング用ガスの重合物がクランプリング部材８表面に付着しやすい。そしてクランプリング部材８表面に付着した前記重合物が被処理基体上に飛散する等して付着しやすく、エッチングの再現性ひいてはエッチングの歩留りを低下させる。・・」（【０００９】）
（１０ｃ）「【課題を解決するための手段】前記課題を解決するために本発明者は研究を重ね、クランプリング部材を導電性材料から形成し、かつ、電力が印加される基体ホルダを兼ねる電極とクランプリング部材とを電気的に接触させることにより、前記電極への電力印加によりプラズマが発生する際、該クランプリング部材に十分なイオン衝撃が得られ、これにより該クランプリング部材表面にエッチング用ガスの重合物等が付着するのが抑制されることを見出した。」（【００１１】）
（１０ｄ）「また、前記クランプリング部材のプラズマに曝される面と前記電力印加電極を兼ねるホルダとを電気的に接触させる手段としては、例えばクランプリング部材全体が導電性材料からなる場合、被処理物と同じ厚みを有する非弾性の導電性部材を該両者の間に介在させるようにしたものの他、少なくとも前記ホルダ上面に垂直な方向に弾性を有する導電性部材を該両者の間に介在させるようにしたもの等が考えられる。
　前記の弾性を有する導電性部材は、前記ホルダ上に押圧固定される被処理物より大きな厚みを有し、前記クランプリング部材が後退位置から被処理物固定位置へ下降するのに伴って収縮し、前記クランプリング部材と前記ホルダとを確実に電気的に接触させる。このような弾性を有する導電性部材としては、例えば、伸縮性を有する芯に細い金属線を縒り巻いたものや、金属製のバネ等を例示することができる。」（【００１３】【００１４】）
（１０ｅ）「このエッチング装置によると、クランプリング部材８が導電性材料からなるため、電力印加によりエッチング用ガスが分解してプラズマが発生する際、クランプリング部材表面にも強いプラズマが発生し、また、クランプリング部材８と電極２とが電気接触体４により電気的に接続されているため、電極２に印加される高周波電力がクランプリング部材８にも印加される。これらによりクランプリング部材８に十分なイオン衝撃が得られるため、クランプリング部材８表面にエッチング用ガスの重合物等が付着するのが抑制され、ひいてはこの付着した重合物が飛散する等して基体Ｓ１表面に付着するのが抑制されてエッチングの歩留りが向上する。」（【００１８】）、が記載されている。
　
４．当審の判断
（１）特許法第２９条の２違反について
　先願明細書には、ドライエッチング装置であって、被処理物を電力印加電極を兼ねるホルダに押圧固定するための、プラズマに曝される面が導電性材料からなるクランプリング部材と、前記クランプリング部材を被処理物固定位置又は被処理物の搬入搬出に支障のない位置へ移動させるクランプリング部材駆動手段と、少なくとも前記クランプリング部材が被処理物固定位置におかれるとき、前記クランプリング部材のプラズマに曝される面を前記電力印加電極を兼ねるホルダに電気的に接触させる手段とを備え、電気的に接触させる手段が、弾性を有する導電性部材を電極を兼ねるホルダとクランプリング部材の該両者の間に介在させるようにしたこと、及びクランプリング部材８と電極２とが電気接触体４により電気的に接続されているため、電極２に印加される高周波電力がクランプリング部材８にも印加され、これによりクランプリング部材８に十分なイオン衝撃が得られるため、クランプリング部材８表面にエッチング用ガスの重合物等が付着するのが抑制され、ひいてはこの付着した重合物が飛散する等して基体Ｓ１表面に付着するのが抑制されてエッチングの歩留りが向上することが記載されている。
　しかしながら、上記先願明細書には、本件発明１が目的とする処理室内の電極付近に発生する放電に於いて、エッチング処理に悪影響を及ぼす放電を防止することに関しての記載がなく、クランプリング部材は、該部材を被処理物固定位置又は被処理物の搬入搬出に支障のない位置へ移動させるクランプリング部材駆動手段を有するもので、本件発明１でいう「電極と前記支持部材とを接触させて接続する留め具」を備えるとは考えられず、この点で両者は異なる。また、そもそも先願明細書に記載の「クランプリング部材８」は、電極２に印加される高周波電力がクランプリング部材８にも印加されるものではあるが、これ自体に高周波電力が直接印加される電極ではないので、本件発明１の「電極」には、相当しないものであり、この点で基本的に両者は異なる。
　そして、これら相違点になる構成により、本件発明１は、導電材が弾性を有するために電極と支持部材との両方に常に接触し、電極に流れる電流は電極から導電材を介して支持部材へ流れる経路に流れることにより、電極と部品との間の放電の発生が抑えられるため、放電の発生により、プラズマ状態が悪化したり、放電箇所の部材が劣化し、それによって、異物が生じたりして、エッチング処理に悪影響を及ぼすという現象を抑えることができるという技術的意義を有するものであって、本件発明１は、先願明細書記載の発明と同一ではない。
　また、本件発明３は、本件発明１のドライエッチング装置を用いたドライエッチング方法であるから、上記と同じ理由により先願明細書記載の発明と同一ではない。
　よって、本件発明１、３は、先願明細書に記載された発明と同一ではない。
　
（２）特許法第２９条第２項違反について
（２−１）本件発明１、３について
　本件発明１は、エッチング処理中のプラズマ加熱により、上部電極に熱歪が生じ、上部電極と電極ボディとの接触面に隙間が生じた場合でも、その隙間中に放電が生じないドライエッチング装置を得ることを目的として（明細書【００１０】参照）、処理室と、前記処理室内に配置された電極と、前記電極を支持する支持部材と、前記電極と前記支持部材とを接触させて接続する留め具と、前記電極の表面及び前記支持部材の表面の間に流れる電流の経路と前記留め具との間において、前記電極と前記支持部材との間の接触面に介挿された機械的弾性を有した平面視リング形状の導電材と、を備えたドライエッチング装置であることを特徴とするものである。
　これに対して、刊行物１には、補強板１８及びアモルファス・カーボン電極２２の対向面に、微少な凹凸部あるいは反り等がある場合には、両者を接触させてもわずかに空隙部が生じてしまい、従来は上記の空隙部によって補強板１８及びアモルファス・カーボン電極２２の間で異常放電が生じてしまうので、本実施例装置では、導電性シート２０によって両者間の電気的伝導度を従来よりも向上することができるので、途中放電等を生ぜずに全域に亘ってプラズマ生起に寄与する電極表面まで円滑な電源供給を行うことができること（上記摘記事項（１ｃ））は記載されているが、本件発明１の「電極の表面及び前記支持部材の表面の間に流れる電流の経路と前記留め具との間において、前記電極と前記支持部材との間の接触面に介挿された機械的弾性を有した平面視リング形状の導電材」を設けることについての記載はなく、この点で両者は異なる。
　この相違点について検討すると、刊行物２には、電極の冷却構造として、Ｏリングを介して冷媒をシールすることが記載され、刊行物３には、導電性ガスケットを保持電極とカセットの間に設けることは記載されているが、カセットの内側で放電生起して処理室となって成膜するもので、本件発明１の電極と支持部材の配置構成とは異なる。刊行物６には、ガス導入部２と電極４とを電気的に接続等するための電極リングが記載されているが、電極リングが弾性を有することは示されておらず、エッチング処理に悪影響を及ぼす放電を防止することも記載されていない。刊行物７には、熱伝達用のガスが上部材２１と下部材２２との間から漏出するすることを防止するＯリング２６が記載されているにすぎず、刊行物８には、グロー放電分解成膜装置に関し、真空容器と電極の着脱部からのガス洩れを防止しうるガスシールが記載されているにすぎない。
　以上のとおり、刊行物２、３、６〜８には、処理室内の電極付近に発生する放電に於いて、エッチング処理に悪影響を及ぼす放電を防止するという課題・認識については何の記載もなく、上記相違点なる構成を示唆するものではない。更に他の刊行物の記載も上記相違点なる構成を示唆するものでもなく、結局の所上記相違点なる構成は当業者が容易に想到し得るものではない。
　そして、本件発明１は、上記した構成により明細書に記載された導電材が弾性を有するために電極と支持部材との両方に常に接触し、電極に流れる電流は電極から導電材を介して支持部材へ流れる経路に流れることにより、電極と部品との間の放電の発生が抑えられるため、放電の発生により、プラズマ状態が悪化したり、放電箇所の部材が劣化し、それによって、異物が生じたりして、エッチング処理に悪影響を及ぼすという現象を抑えることができるという刊行物１〜９の記載からは予測することのできない格別な効果を奏しているものである。
　したがって、本件発明１は、刊行物１〜９に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
　また、本件発明３は、本件発明１のドライエッチング装置を用いたドライエッチング方法であるから、上記と同じ理由により刊行物１〜９に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
（２−２）本件発明２について
　本件発明２は、エッチング処理中のプラズマ加熱により、上部電極に熱歪が生じ、上部電極と電極ボディとの接触面に隙間が生じた場合でも、その隙間中に放電が生じないドライエッチング装置を得ることを目的として（明細書【００１０】参照）、処理室と、前記処理室内に配置された電極と、前記電極を支持する支持部材と、前記電極と前記支持部材とを接続する留め具と、を備え、前記電極と前記支持部材との前記留め具による接触面には隙間が生じる可能性があり、前記留め具は、少なくとも前記電極と前記支持部材との前記接触面近傍に位置する部分において突起のない表面形状を有するドライエッチング装置であることを特徴とするものである。
　これに対して、刊行物４には、従来、異常放電が頻発する箇所は、シャワー電極２２を電極支持部材２３に固定する部分であることが確認され、シャワー電極の材質は一般的にアルミニウムであるのに対して、電極を金属導体に固定するためのネジ４０はステンレスであり、また、このネジの頭部を収納するための穴４２が電極の下面に刻設されているため、このネジ４０やネジ穴４２に電界が集中して異常放電が起こるものと思われ、シャワー電極２２と絶縁リング２７の隙間から放電が飛び出してくること（上記摘記事項（４ｂ））が記載され、そのため、多数の微小通孔を有するシャワー電極とこの電極を支持するための電極支持部材とからなり、シャワー電極の下面側が全面にわたって一様な平面状に形成され、かつ、該シャワー電極はその下面側以外の箇所に前記電極支持部材との固定手段を有するプラズマCVD装置（上記摘記事項（４ａ））が記載されているが、本件発明２での電極と前記支持部材とを接続する留め具を備えておらず、更に留め具は、少なくとも前記電極と前記支持部材との前記接触面近傍に位置する部分において突起のない表面形状を有していない点がなく異なっている。
　そこで、この相違点について検討すると、刊行物５には、プラズマＣＶＤ装置において、上部電極板３１の形状は円板状でその周縁下部には、複数のスペーサ３１２を溶接してあることが記載されている。しかし、上部電極板とスペーサとは溶接固着されている以上、両者の間に隙間が生じるとは考えることはできず、両者を結ぶネジが、上記本件発明２の留め具に相当するものではない。
　又刊行物９には、プラズマエッチング装置の電極等に用いられる導電性多孔質の炭化珪素焼結体に関し、第１図には、導電性多孔質炭化珪素焼結板４とマイナス極２との接触面近傍において、突起のない表面形状を有しているネジが一応図示されている。しかし、刊行物９には、このネジに関しての説明が何もなく、また、エッチング処理中のプラズマ加熱により、上部電極に熱歪が生じ、上部電極と電極ボディとの接触面に隙間が生じた場合でも、その隙間中に放電が生じないドライエッチング装置を得ることに関しても全く記載がない以上、上記相違点を示唆するものでもない。また、他の刊行物の記載いずれにも上記課題、相違点を示唆するものはない。
　そして、本件発明２は、上記した構成により明細書に記載された格別な効果を奏しているものである。
　したがって、本件発明２は、刊行物１〜９に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
VI．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１〜３に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜３に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項１〜３に係る発明の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の一部の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年３月３１日（２００４．３．３１）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
ドライエッチング装置およびドライエッチング方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　処理室と、
　前記処理室内に配置された電極と、
　前記電極を支持する支持部材と、
　
前記電極と前記支持部材とを接触させて接続する留め具と、
　
前記電極の表面及び前記支持部材の表面の間に流れる電流の経路と前記留め具との間において、
の接触面
平面視リング形状の
を備えたドライエッチング装置。
　【請求項２】　処理室と、
　前記処理室内に配置された電極と、
　前記電極を支持する支持部材と、
　前記電極と前記支持部材とを接続する留め具と、
を備え、
　
前記電極と前記支持部材との前記留め具による接触面には隙間が生じる可能性があり、
　前記留め具は、少なくとも前記電極と前記支持部材との
前記
　【請求項３】　処理室と、
　前記処理室内に配置された電極と、
　前記電極を支持する支持部材と、
　
前記電極と前記支持部材とを接触させて接続する留め具と、
　
前記電極の表面及び前記支持部材の表面の間に流れる電流の経路と前記留め具との間において、
の接触面
平面視リング形状の
を備えたドライエッチング装置
を用いてドライエッチングを行う
ドライエッチング方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　この発明は、ドライエッチング装置に関し、特に処理室内の電極付近に発生する放電に於いて、エッチング処理に悪影響を及ぼす放電を防止するドライエッチング装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来のドライエッチング装置について説明する。図５は従来のドライエッチング装置の一具体例を示す構成図である。図５中の１は気密が保たれるように構成された処理室、２は排気路、１０はガス孔、３は裏面と表面を貫通するようガス孔１０が設けれれた上部電極、４は下部電極、７はガス導入路、５は中にガス導入路７が設けられ、上部電極３が接続され支持された支持部材である電極ボディ、６は上部電極３と電極ボディ５とを接続する留め具であり、その材質が導体材質（例えば、ＳＵＳ、Ａｌ等）であるネジ、８は高周波電源、９は被処理物の半導体ウエハである。
　【０００３】
　まず上記ドライエッチング装置の構成について説明する。反応室１内の上部には電極ボディ５が設けられ、電極ボディ５の下面に上部電極３がネジ６によって、固定されている。ガス導入路７の一端はガス孔１０に接続され、他端は処理室１外へ出ている。処理室１内の底面には排気路２の一端が接続され、排気路２の他端には処理室１の外部に設けられている真空ポンプ（図略）が接続されている。処理室１内の下部には下部電極４が設けられていて、下部電極４の上面に半導体ウエハ９が載置されている。電極ボディ５は接地されている。高周波電源８の一端は下部電極４に接続され、他端は接地されている。上部電極３と下部電極４とにより、一対の平行平板電極を構成する。
　【０００４】
　次に動作について説明する。処理室１内が、真空ポンプによって、排気路２を介して排気された後、下部電極４上に半導体ウエハ８が載置され、エッチングガスがガス導入路７を介して処理室１の外部から導入されると共に高周波電源８が動作し、上部電極３と下部電極４との間に高周波電圧が印加され、それによって、処理室１内にプラズマが形成され、このプラズマによる気体電気化学反応により、半導体ウエハ９にエッチング処理が施される。
　【０００５】
　上記エッチング処理中、処理室１内はプラズマにより加熱される。特に上部電極３は約１５０℃乃至約２００℃まで昇温する。その結果、上部電極３には熱歪が生じる。図６は上部電極３に熱歪が生じたときの電極ボディ５と上部電極３の接触面付近の拡大図である。図６中の１１は隙間であり、その他の各符号は図５の各符号に対応している。図６に示すように、上部電極３の熱歪により、電極ボディ５と上部電極３との接触面の間に隙間１１が生じる。
　【０００６】
　上部電極３に流れる電流の経路の一例として、電流が一方向に流れる経路の例を説明する。図７は上部電極３に熱歪が生じていない場合の上部電極３と電極ボディ５の接触面付近の電流経路を示す図である。図７中の矢印は電流の流れる経路を示す。図７に示すように上部電極３に熱歪が生じていない場合に於いて、特に高周波の場合、上部電極３の表皮を電流が流れ、内側と外側との二経路を電流が流れると考えられる。
　【０００７】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、隙間１１が生じた場合、内側の電流の経路に問題が生じる。図８は上部電極３に熱歪が生じている場合の上部電極３と電極ボディ５の接触面付近の電流経路を示す図である。図８中の矢印は電流の流れる経路を示し、各符号は図６中の各符号に対応している。図８に示すように外側の電流の経路については図７に示したのと同様なので問題ないが、内側の電流の経路については、隙間１１の空間に、電流が流れることによって、放電が生じることが考えらる。
　【０００８】
　図９も図８と同様に上部電極３に熱歪が生じている場合の上部電極３と電極ボディ５の接触面付近の電流経路を示す図である。図９中の矢印は電流の流れる経路を示し、各符号は図６中の各符号に対応している。図９は外側の電流の経路については、図７に示したのと同様なので問題ないが、内側の電流の経路については、ネジ６を介した電流の経路が生じている。放電は突起部で生じ易い性質があるため、ネジ６のネジ山部である突起部と上部電極３の表面との間、またはネジ６のネジ山部である突起部と電極ボディ５の表面との間で放電が生じることが考えられる。
　【０００９】
　上述した放電が生じると、プラズマ状態が悪化したり、放電箇所の上部電極３、電極ボディ５、あるいはネジ６等の放電箇所の部材が劣化し、それによって、異物が生じたりして、エッチング処理に悪影響を及ぼすという問題点がある。
　【００１０】
　この発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、エッチング処理中のプラズマ加熱により、上部電極に熱歪が生じ、上部電極と電極ボディとの接触面に隙間が生じた場合でも、その隙間中に放電が生じないドライエッチング装置を得ることを目的とする。
　【００１１】
　【課題を解決するための手段】
　本発明の請求項１に係わる課題解決手段は、処理室と、前記処理室内に配置された電極と、前記電極を支持する支持部材と、
前記電極と前記支持部材とを接触させて接続する留め具と、前記電極の表面及び前記支持部材の表面の間に流れる電流の経路と前記留め具との間において、
の接触面
平面視リング形状の
　【００１２】
　本発明の請求項２に係わる課題解決手段は、処理室と、前記処理室内に配置された電極と、前記電極を支持する支持部材と、前記電極と前記支持部材とを接続する留め具と、を備え、
前記電極と前記支持部材との前記留め具による接触面には隙間が生じる可能性があり、
　【００１３】
　本発明の請求項３に係わる課題解決手段は、処理室と、前記処理室内に配置された電極と、前記電極を支持する支持部材と、
前記電極と前記支持部材とを接触させて接続する留め具と、前記電極の表面及び前記支持部材の表面の間に流れる電流の経路と前記留め具との間において、
の接触面
平面視リング形状の
　【００１４】
　【作用】
　本発明の請求項１に係るドライエッチング装置では、処理室と、処理室内に配置された電極と、電極を支持する支持部材と、電極と支持部材との間に介挿された機械的弾性を有した導電材とを備えた構成にしたことにより、導電材が弾性を有するために電極と支持部材との両方に常に接触し、電極に流れる電流は電極から導電材を介して支持部材へ流れる経路に流れることにより、電極と部品との間の放電の発生が抑えられる。
　【００１５】
　本発明の請求項２に係るドライエッチング装置では、処理室と、処理室内に配置された電極と、電極を支持する支持部材と、電極と支持部材とを接続する留め具とを備え、留め具は少なくとも電極と支持部材との接触面近傍に位置する部分において突起のない表面形状を有する構造にしたことにより、電極から支持部材へ留め具を介して流れる際に、留め具が接触面近傍に突起物を有さないため、突起部で生じ易いという放電の特徴の一要因が失われているため、留め具と電極との間の放電の発生、または留め具と支持部材との間の放電の発生が抑えられる。
　【００１６】
　【実施例】
　次に、本発明の第１の実施例について説明する。図１は本発明の第１の実施例であるドライエッチング装置の概略構成図である。図１中の１２は機械的弾性を有した平面視リング形状の導電性の接地材、１３は平面視リング形状の溝であり、その他の各符号は従来例で説明した図５中の各符号に対応している。
　【００１７】
　まず上記ドライエッチング装置の構成を説明する。従来のドライエッチング装置の構成と、第１の実施例のドライエッチング装置との構成上の違いは、図１に示すように、電極ボディ５と接触する上部電極３の表面に溝１３が設けられており、その溝に接地材１２をはめ込み、接地材１２と電極ボディ５が接触するように、電極ボディ５の下面に上部電極３がネジ６によって、固定されている。接地材１２は平面視リング形状の弾性を有したチューブゴムの表面を金属（例えばＳＵＳ、Ｃｕ等）でメッシュしたものである。その他の構成については従来例で説明したドライエッチング装置の構成と同様である。
　【００１８】
　次に動作について説明する。第１の実施例のドライエッチング装置の主たる動作は、従来例で説明したドライエッチング装置の動作と同様である。従来のドライエッチング装置と第１の実施例によるドライエッチング装置との動作の違いは、上部電極３と電極ボディ５との間に接地材１２を設けたことで、以下に説明する動作が異なる。
　【００１９】
　エッチング中は、従来例と同様に上部電極３はプラズマにより、加熱昇温し、熱歪が生じ、上部電極３と電極ボディ５との間に隙間が生じる。図２は上部電極３に熱歪が生じたときの電極ボディ５と上部電極３の接触面付近の拡大図である。図２中の１１は隙間であり、その他の各符号は図１中の各符号と対応している。図２に示すように、接地材１２は機械的弾性を有しているために、隙間１１が発生しても上部電極３と電極ボディ５とは、接地材１２を介して、接触している。
　【００２０】
　図３は上部電極３に熱歪が生じたときの電極ボディ５と上部電極３の接触面付近の電流経路を示す図である。図３中の矢印は電流の経路を示し、各符号は図２中の各符号と対応している。図３に示すように、外側の経路を流れる電流については従来例で説明したのと同様に問題ない。内側の経路は上部電極３の表面と電極ボディ５の表面との間を、接地材１２を介して、最短距離を流れるので、従来例で説明したような放電の発生を防止することができる。
　【００２１】
　以上のような構成にすることにより、エッチング処理中のプラズマ加熱により、上部電極３に熱歪が生じ、上部電極３と電極ボディ５との接触面に隙間１１が生じた場合でも、その隙間１１中に放電が生じないドライエッチング装置が得られ、従来例で説明したように放電の発生により、プラズマ状態が悪化したり、放電箇所の部材が劣化し、それによって、異物が生じたりして、エッチング処理に悪影響を及ぼすという問題点を解消できる。
　【００２２】
　次に第２の実施例について説明する。従来例で説明した図９に示すように、電流がネジ６を介して流れる場合、ネジ６のネジ山部である突起部と上部電極３の表面との間、またはネジ６のネジ山部である突起部と電極ボディ５の表面との間で放電が生じるが、第２の実施例ではこの場合の放電の発生を防止する。
　【００２３】
　第２の実施例のドライエッチング装置の主たる構成は、従来例で説明した図５のドライエッチング装置と同様である。異なるのはネジ６の部分であり、これを以下に説明する。図４は第２の実施例のドライエッチング装置に於いて、上部電極３に熱歪が生じたときの電極ボディ５と上部電極３の接触面付近の拡大図である。図４中の１４は図５中の６に対応し、上部電極３と電極ボディ５とを接続する留め具であり、その材質が導体材質（例えば、ＳＵＳ、Ａｌ等）であるネジ、その他の符号および図示されていない部分は従来例で説明した図５に示す従来のドライエッチング装置と同様である。第２の実施例と従来例との構成上の相違点は、このネジ１４の形状にあり、このネジ１４を締め付けた状態において、少なくとも電極ボディ５と上部電極３の接触面近傍に位置する部分において突起部であるネジ山がないようにネジ１４の表面形状が設定されている。こうすることにより、たとえ図４に示すように、上部電極３と電極ボディ５との間に隙間１１が生じたとしても、この隙間１１に露出するネジ１４の表面の形状は突起部であるネジ山を有さないことになる。
　【００２４】
　次に動作について説明する。第２の実施例のドライエッチング装置の主たる動作は、従来例で説明した図５のドライエッチング装置と同様である。第２の実施例と従来例との動作上の相違点は、隙間１１に露出しているネジ１４の表面の形状がネジ山を有さないことにより、突起部で生じ易いという放電の発生の特徴の一要因が失われているので、放電の発生が防止できるということである。
　【００２５】
　以上のような構成にすることにより、エッチング処理中のプラズマ加熱により、上部電極３に熱歪が生じ、上部電極３と電極ボディ５との接触面に隙間１１が生じた場合でも、その隙間１１中に放電が生じないドライエッチング装置が得られ、従来例で説明したように放電の発生により、プラズマ状態が悪化したり、放電箇所の部材が劣化し、それによって、異物が生じたりして、エッチング処理に悪影響を及ぼすという問題点を解消できる。
　【００２６】
　【発明の効果】
　本発明の請求項１によると、導電材が弾性を有するために電極と支持部材との両方に常に接触し、電極に流れる電流は電極から導電材を介して支持部材へ流れる経路に流れることにより、電極と部品との間の放電の発生が抑えられるため、放電の発生により、プラズマ状態が悪化したり、放電箇所の部材が劣化し、それによって、異物が生じたりして、エッチング処理に悪影響を及ぼすという現象を抑えることができるという効果を奏する。
　【００２７】
　本発明の請求項２によると、電極から支持部材へ留め具を介して流れる際に、留め具が接触面近傍に突起物を有さないため、突起部で生じ易いという放電の特徴の一要因が失われているため、留め具と電極との間の放電の発生、または留め具と支持部材との間の放電の発生が抑えられるため、放電の発生により、プラズマ状態が悪化したり、放電箇所の部材が劣化し、それによって、異物が生じたりして、エッチング処理に悪影響を及ぼすという現象を抑えることができるという効果を奏する。
　【００２８】
　本発明の請求項３によると、導電材が弾性を有するために電極と支持部材との両方に常に接触し、電極に流れる電流は電極から導電材を介して支持部材へ流れる経路に流れることにより、電極と部品との間の放電の発生が抑えられるため、放電の発生により、プラズマ状態が悪化したり、放電箇所の部材が劣化し、それによって、異物が生じたりして、エッチング処理に悪影響を及ぼすという現象を抑えることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の第１の実施例であるドライエッチング装置の構成図である。
　【図２】　本発明のドライエッチング装置の第１の実施例における上部電極に熱歪が生じたときの電極ボディと上部電極の接触面付近の拡大図である。
　【図３】　本発明のドライエッチング装置の第１の実施例における上部電極に熱歪が生じたときの電極ボディと上部電極の接触面付近の電流経路を示す図である。
　【図４】　本発明のドライエッチング装置の第２の実施例における上部電極に熱歪が生じたときの電極ボディと上部電極の接触面付近の拡大図である。
　【図５】　従来のドライエッチング装置の一具体例を示す構成図である。
　【図６】　従来のドライエッチング装置における上部電極に熱歪が生じたときの電極ボディと上部電極の接触面付近の拡大図である。
　【図７】　従来のドライエッチング装置における上部電極に熱歪が生じていない場合の上部電極と電極ボディの接触面付近の電流経路を示す図である。
　【図８】　従来のドライエッチング装置における上部電極に熱歪が生じている場合の上部電極と電極ボディの接触面付近の電流経路を示す図である。
　【図９】　従来のドライエッチング装置における上部電極に熱歪が生じている場合の上部電極と電極ボディの接触面付近の電流経路を示す図である。
　【符号の説明】
　１　処理室、２　排気路、３　上部電極、４　下部電極、５　電極ボディ、６　ネジ、７　ガス導入路、８　高周波電源、９　半導体ウエハ、１０　ガス孔、１１　隙間、１２　接地材、１３　溝、１４　ネジ。