【事件の表示】
　特許第３２６５６７０号「ステージ装置、ステージ駆動方法、及び露光装置」の請求項１ないし１３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２６５６７０号の請求項１ないし１３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　 本件特許第３２６５６７０号は、平成５年１月２１日に特許出願され、平成１４年１月１１日にその特許の設定登録がなされ、その後、異議申立人中田美代子から特許異議の申立てがされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１５年２月７日に訂正請求（後日取り下げ）がなされ、再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１５年１２月２６日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
（１）　訂正の内容
　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１中の「前記ステージの移動情報」、請求項３中の「所定の駆動情報」、請求項４中の「前記駆動情報」、請求項８中の「前記駆動情報」及び請求項９中の「前記位置制御に関する情報」を「前記ステージの位置決め情報」と訂正する。
　訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項１中の「防振手段」及び請求項２中の「防振手段」を「複数の防振手段」と訂正し、請求項１中の「前記ステージの移動情報又は前記ステージの変位情報」を「前記ステージの位置決め情報及び前記ステージの変位情報」と訂正する。
　訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項３中の「前記ステージを移動可能に支持するベース」を「前記ステージを移動可能に支持する表面を有したベース」と訂正し、請求項３中の「前記ステージを駆動する駆動手段と、を備え、前記防振手段は、前記干渉計の出力と前記加速度センサーの出力とに基づいて前記ステージの駆動の方向と直交する方向に前記ベースを付勢して前記振動を抑制する」を「前記ステージを駆動する駆動手段と、前記干渉計の出力に基づいて前記ステージの運動を予測して前記防振手段により前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢するとともに、前記加速度センサーの出力に基づいて前記防振手段により前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢して前記振動を抑制する制御手段とを備えた」と訂正する。
　訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の請求項１１中の「前記ステージを移動可能に支持するベース」を「前記ステージを移動可能に支持する表面を有したベース」と訂正し、請求項１１中の「前記ステージの位置情報と前記ベースの加速度とに基づいて、前記ステージの駆動の方向と直交する方向に前記ベースを付勢する」を「前記干渉計の出力に基づいて前記ステージの運動を予測して前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢するとともに、前記ベースの加速度に基づいて前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢する」と訂正する。
　訂正事項ｅ
　願書に添付した明細書の段落【０００７】の「ステージ（１３）の移動情報」、段落【０００８】の「ステージ（１３）の移動情報」、段落【０００９】の「所定の駆動情報」、同段落の「その駆動情報」（２ケ所）及び同段落の「その位置制御に関する情報」をそれぞれ「ステージ（１３）の位置決め情報」と訂正し、同明細書の段落【０００９】の同段落の「駆動手段（１１，１２）」（２ケ所）をそれぞれ「駆動手段（１１，１２，１６，１８）」と訂正する。
　訂正事項ｆ
　願書に添付した明細書の段落【０００７】の「防振手段」及び段落【０００９】の「防振手段」をそれぞれ「複数の防振手段」と訂正し、同明細書の段落【０００８】の「ステージ（１３）の移動情報又はステージ（１３）の変位情報」を「ステージ（１３）の位置決め情報及びステージ（１３）の変位情報」と訂正し、同明細書の段落【００１１】の「ステージ制御手段（１６）から」を「ステージ（１３）の位置決め情報を用いるステージ制御手段（１６）から」と訂正する。
　訂正事項ｇ
　願書に添付した明細書の段落【０００９】の「ステージ（１３）を移動可能に支持するベース（３，１０）」を「ステージ（１３）を移動可能に支持する表面を有したベース（３，１０）」と訂正し、同段落の「と、を備え、防振手段（１９）は、干渉計（１５）の出力と加速度センサー（７）の出力とに基づいてステージ（１３）の駆動の方向と直交する方向にベース（３，１０）を付勢してその振動を抑制する」を「と、干渉計（１５）の出力に基づいてステージ（１３）の運動を予測して防振手段（１９）によりベース（３，１０）の表面と直交する方向及びその表面と平行な方向のそれぞれの方向にベース（３，１０）を付勢するとともに、加速度センサー（７）の出力に基づいて防振手段（１９）によりベース（３，１０）のその表面と直交する方向及びその表面と平行な方向のそれぞれの方向にベース（３，１０）を付勢してその振動を抑制する制御手段（８，１６）とを備えた」と訂正し、同明細書の段落【００１３】の「ステージの駆動の方向と直交する方向」を「ベースの表面と直交する方向及びその表面と平行な方向」と訂正する。
　訂正事項ｈ
　願書に添付した明細書の段落【０００９】の「ステージ（１３）を移動可能に支持するベース（３，１０）」を「ステージ（１３）を移動可能に支持する表面を有したベース（３，１０）」と訂正し、同段落の「ステージ（１３）の位置情報とべース（３，１０）の加速度とに基づいて、ステージ（１３）の駆動の方向と直交する方向にベースを付勢する」を「干渉計（１３）の出力に基づいてステージ（１３）の運動を予測してベース（３，１０）のその表面と直交する方向及びその表面と平行な方向のそれぞれの方向にベース（３，１０）を付勢するとともに、ベース（３，１０）の加速度に基づいてベース（３，１０）のその表面と直交する方向及びその表面と平行な方向のそれぞれの方向にベース（３，１０）を付勢する」と訂正し、同明細書の段落【００１３】の「ステージ（１３）の駆動の方向と直交する方向」を「ベースの表面と直交する方向及びその表面と平行な方向」と訂正する。
　訂正事項ｉ
　願書に添付した明細書の段落【００２９】の第２行目の「振動整定時闇」を「振動整定時間」と訂正する。
　
（２）　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａについて
　上記訂正事項ａについては、特許請求の範囲の請求項１中の「前記ステージの移動情報」、請求項３中の「所定の駆動情報」、請求項４中の「前記駆動情報」、請求項８中の「前記駆動情報」、及び請求項９中の「前記位置制御に関する情報」を「前記ステージの位置決め情報」と訂正し、訂正前の請求項中の様々な用語「前記ステージの移動情報」、「所定の駆動情報」及び「前記位置制御に関する情報」がそれぞれ「前記ステージの位置決め情報」を意味することを明確にするものであるから、この訂正は、明りようでない記載の釈明に当たる。
　また、この訂正後の記載「前記ステージの位置決め情報」は、本件願書に添付した明細書又は図面の発明の詳細な説明の段落【００１８】の記載「装置全体の動作を制御する主制御系１８から、ステージ制御系１７内のステージ制御部１６に対して、図１のステージ１３の位置決め情報Ｓ１を供給する。位置決め情報Ｓ１には、ステージ１３がステッピングする際の各自標停止位置及びステージ１３を動作させるタイミング等の情報が含まれている。」中の「位置決め情報Ｓ１」に対応している。
　従って、上記訂正事項ａは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ｂについて
　上記訂正事項ｂについては、本件特許請求の範囲の請求項１中の「防振手段」及び請求項２中の「防振手段」をそれぞれ下位概念である「複数の防振手段」と限定し、請求項１中の「前記ステージの移動情報又は前記ステージの変位情報」を「前記スブージの位置決め情報及び前記ステージの変位情報」と訂正するものであるから、この訂正は、特許請求の範囲の減縮に当たる。
　また、「複数の防振手段」は、願書に添付した明細書又は図面の段落【００１８】の記載「圧力調整部２０は、防振台制御部８からの指示によりエアーチューブを介してエアーダシパー２Ａ，２Ｂ，５Ａ，５Ｂ内の気体の圧力を調整するものである。」及び願書に添付した図面の図１の記載に基づいている。
　また、「前記ステージの移動情報及び前記ステージの変位情報に基づいて予め前記防振手段を動作させること」は、同明細書の段落【００１８】の記載「また、装置全体の動作を制御する主制御系１８から、ステージ制御系１７内のステージ制御部１６に対して、図１のステージ１３の位置決め情報Ｓ１を供給する。位置決め情報Ｓ１には、ステージ１３がステッピングする際の各自標停止位置…等の情報が含まれている。」及び同明細書の段落【００１９】の記載「また、本例ではステージ制御部１６から防振台制御系１９内の防振台制御部８に対して、ステージ１３の変位情報Ｓ２を供給している。そのステージ１３の変位情報Ｓ２には、レーザー干渉計１５で計測されたステージ１３のＸ方向の座標、…Ｘ方向の速度情報、…駆動電圧の大きさの情報等がある。」に基づいている。
　即ち、同明細書の段落【００１８】、【００１９】のステージ制御部１６は、位置決め情報Ｓ１に基づいて変位情報Ｓ２を防振台制御部８に対して供給しているため、結果として位置決め情報Ｓ１及び変位情報Ｓ２に基づいて防振手段が動作することになる。
　従って、上記訂正事項ｂは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ｃについて
　上記訂正事項ｃについては、特許請求の範囲の請求項３中の「前記ステージを移動可能に支持するベース」を「前記ステージを移動可能に支持する表面を有したベース」と訂正し、請求項３中の「前記ステージを駆動する駆動手段と、を備え、前記防振手段は、前記干渉計の出力と前記加速度センサーの出力とに基づいて前記ステージの駆動の方向と直交する方向に前記ベースを付勢して前記振動を抑制する」を「前記ステージを駆動する駆動手段と、前記干渉計の出力に基づいて前記ステージの運動を予測して前記防振手段により前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢するとともに、前記加速度センサーの出力に基づいて前記防振手段により前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢して前記振動を抑制する制御手段とを備えた」と訂正しようとするものであり、訂正前の「ステージの駆動の方向と直交する方向」の記載では、どの方向であるのかが明確でないので、「前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向」と訂正して、その方向が、そのベースの表面と直交する方向及びその表面と平行な方向であることが明確にするものであるから、この訂正は、明りようでない記載の釈明に当たる。
　また、この訂正後の請求項３の第１の記載事項「前記ステージを移動可能に支持する表面を有したベース」は、願書に添付した明細書又は図面の段落【００１４】の記載「この図１において、床１上にエアーダンパー２Ａ及び２Ｂを介してベース（定盤）３を支持する。」及び同明細書の段落【００１５】の記載「また、ベース３上にコの字型の支持枠１０を固定し、支持枠１０の内部にベース３の表面に平行に送りねじ１１を回転自在に取り付け、…駆動モーター１２の駆動軸にその送りねじ１１を接続する。送りねじ１１にはステージ１３が螺合され、…送りねじ１１に沿ったＸ方向にステーン１３を移動させることができる。」に基づいている。
　また、その訂正後の請求項３の第２の記載事項「前記干渉計の出力に基づいて前記ステージの運動を予測して前記防振手段により前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢するとともに、前記加速度センサーの出力に基づいて前記防振手段により前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢して前記振動を抑制する制御手段とを備えた」は、願書に添付した図１の記載、願書に添付した明細書又は図面の段落【００１８】〜【００１９】の記載「また、装置全体の動作を制御する主制御系１８から、ステージ制御系１７内のステージ制御部１６に対して、図１のステーン１３の位置決め情報Ｓ１を供給する。位置決め情報ＳＩには、ステージ１３がステッピングする際の各自標停止位置及びステージ１３を動作させるタイミング等の情報が含まれている。また、本例ではステージ制御部１６から防振台制御系１９内の防振台制御部８に対して、ステージ１３の変位情報Ｓ２を供給している。」、段落【００１９】の記載「そのステージ１３の変位情報Ｓ２には、レーザー干渉計１５で計測されたステージ１３のＸ方向の座標、駆動モーター１２から発生される角速度情報に基づいたステージ１３のＸ方向の速度情報、及び駆動モーター１２に対して供給される駆動電圧の大きさの情報等がある。」、段落【００１９】の記載「防振台制御部８は送られてきた変位情報Ｓ２から、ステージ１３の運動によってどのような振動が発生するかを予測し、その振動を押さえるよう圧力調整部２０を介してエアーダンパー２Ａ，２Ｂ，５Ａ，５Ｂ内の気体の圧力を調整する。」、段落【００２１】の記載「具体的に、図１に示すように、例えばステーン１３がＸ方向に移動を始める際には、ステージ１３にＸ方向への力Ｆ１が作用し、ベース３にはその反作用Ｆ２（＝−Ｆ１）が作用する。そこで、予め左側のエアーダンパー５Ａ内の圧力を右側のエアーダンパー５Ｂ内の圧力よりも大きくしておくことにより、ステージ１３がＸ方向へ移動を始める際のベース３の振動を小さくできる。」及び段落【００２３】の記載「そこで、このような位置制御が行われる期間Ｔ２では、単に傾斜センサー６及び加速度センサー７の出力信号をフィードバックして行う制御で十分に対応出来る。」に基づいている。
　従って、上記訂正事項ｃは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ｄについて
　上記訂正事項ｄについては、本件特許請求の範囲の請求項１１中の「前記ステージを移動可能に支持するベース」を「前記ステージを移動可能に支持する表面を有したベース」と訂正し、請求項１１中の「前記ステージの位置情報と前記ベースの加速度とに基づいて、前記ステージの駆動の方向と直交する方向に前記ベースを付勢する」を「前記干渉計の出力に基づいて前記ステージの運動を予測して前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢するとともに、前記ベースの加速度に基づいて前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢する」と訂正しようとするものであり、この訂正事項ｄは、上記訂正事項ｃと実質的に同じ内容の訂正であるから、上記訂正事項ｃと同様に、この訂正は、明りようでない記載の釈明に当たる。
　また、訂正事項ｃと同様に、上記訂正事項ｄは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ｅについて
　上記訂正事項ｅについては、特許請求の範囲の請求項１、３、４、８及び９の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、願書に添付した明細書の段落【０００７】、【０００８】及び【０００９】の対応する記載を訂正したものであり、この訂正は、明りようでない記載の釈明に当たる。
　また、上記訂正事項ａと同じく、上記訂正事項ｅは、願書に添付した明細書又１０は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ｆについて
　上記訂正事項ｆについては、特許請求の範囲の請求項１及び２の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、願書に添付した明細書の段落【０００７】〜【０００９】及び【００１１】１の対応する記載を訂正したものであるから、この訂正は、明りようでない記載の釈明に当たる。
　また、上記訂正事項ｂと同じく、上記訂正事項ｆは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ｇについて
　上記訂正事項ｇについては、特許請求の範囲の請求項３の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、願書に添付した明細書の段落【０００９】及び【００１３】の対応する記載を訂正したものであるから、この訂正は、明りようでない記載の釈明に当たる。
　また、上記訂正事項ｃと同じく、上記訂正事項ｇは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ｈについて
　上記訂正事項ｈについては、特許請求の範囲の請求項１１の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、願書に添付した明細書の段落【０００９】及び【００１３】の対応する記載を訂正したものであるから、この訂正は、明りようでない記載の釈明に当たる。
　また、上記訂正事項ｄと同じく、上記訂正事項ｈは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ｉについて
　上記訂正事項ｉについては、本件の願書に添付した明細書の段落【００２９】に記載された「振動整定時闇」を「振動整定時間」に訂正するものであるから誤記の訂正に当たる。
　また、この訂正後の記載「振動整定時間」は、本件の出願当初の明細書の段落【００２９】の記載「振動整定時間」に基づいている。従って、上記訂正事項ｉは、本件の出願当初の明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正である。
　更に、上記訂正事項ｉは、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
（３）　むすび
　上記訂正事項ａ〜ｉは、上記（２）のとおりであるから、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び同条第２項の規定に適合する。
　従って、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立てについての判断
（１）　申立て理由の概要
　本件請求項１、２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないものである。
　本件請求項３〜５、８及び１１に係る発明は、甲第２号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないものである。
　本件請求項６、７、１２及び１３に係る発明は、甲第２号証と甲第３号証に記載された発明とを組合せて、当業者が容易に想到できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　本件請求項９に係る発明は、甲第２号証、甲第３号証並びに甲第１号証に記載された発明とを組合せて、当業者が容易に想到できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　本件請求項１０に係る発明は、引用される請求項１〜９に応じて甲第１号証、甲第２号証、甲第３号証の何れ又はその組合せにより、特許法第２９条第１項第３号に該当し又は第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　よって、本件請求項１〜１３に係る特許を取り消すべきと主張している。
　
（２）本件の請求項１〜１３に係る発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１〜１３に係る発明は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜１３に記載されたとおりのものである。
　
（３）刊行物等
　異議申立人中田美代子が証拠として提示した刊行物には、それぞれ、以下のような発明が記載されている。
　刊行物１：特開昭６４−３０９４３号公報（甲第１号証）
　甲第１号証の第２頁左下欄第９行目〜第１２行目には「
除振台１
　同号証第２頁左下欄第１７行日〜右下欄第３行目には「
動力駆動機構２
　同号証第３頁左上欄第１６行目〜右上欄第２行目には「
ブレーキ制御部１２
　同号証第１頁左下欄第２０行目〜右上欄第２行目には「動力駆動機構を具備する機器を載置する精密除振台の除振方法」と記載されている。
　同号証第２頁左上欄第１７行目〜第１８行目には「動力駆動機構を具備する機器の駆動時に、起動信号を発信し」と記載され、同号証第３頁右上欄第５行目〜第１１行目には「予めステージ駆動機構２′、２″よりステージ起動信号を発信するようにし、ステージ７が駆動する時、該起動信号をコンピュータ６に送る。コンピュータ６は、予め各種起動信号に対し、制御方法を記憶しており、該起動信号に従いブレーキ４をかけ、除振台１が大きく振動するのを制御する。」と記載されている。
　同号証第３頁左上欄第７行〜第１１行目には「
コンピュータ６
　同号証第３頁左上欄第２行〜第４行目には「
センサ５
　同号証第３頁左下欄第１１行〜第１７行目には「なお、ステージ駆動機構２′、２″からのステージ駆動信号がなくても、大きな床振動などが発生した場合に除振できるように、予め指定した以上の振動または加速度をセンサ５により検知した際には、予め指定した時間幅だけ衝撃的にブレーキ４をかけ、その後ゆっくりとブレーキを解除することができる。」と記載されている。
　同号証第３頁右下欄第１２行〜第１６行目には「支持構造体もしくは除振台等に加わる振動を除振するとともに、動力駆動機構を具備する機器の駆動時に、それ自身が生じる振動や変位を予測制御し、除振台が大きく振動するのを防振することができる。」と記載されている。
　刊行物２：特開平２−１９９８１３号公報（甲第２号証）
　甲第２号証の第２頁左上欄第９行目〜第１０行目には「６はステージの位置を制御するための干渉計、」と記載され、同号証第３頁右上欄第１８行目〜第２０行目には「１５は投影レンズ３とＸＹステージとの相対位置を計測しかつＸＹステージの姿勢を計測するためのレーザー干渉測定器、」と記載され、同号証第３頁右上欄第８行目〜第１０行目には「１０はＸ方向に移動可能なＸステージ、１１はＹ方向に移動可能なＹステージ、」と記載され、同号証第３頁右下欄第１７行目〜第４頁左上欄第３行目には「４１はＸＹステージのステップ量および移動速度…に基づき、瞬間瞬間のステージの位置速度にフィードバックをかける制御コンピューターである。」と記載されている。
　同号証第３頁右上欄第８行目〜第１３行目には「１０はＸ方向に移動可能なＸステージ、１１はＹ方向に移動可能なＹステージ、１２はＸステージ１０およびＹステージ１１を支持するステージベース、１３はＸＹステージ９〜１２を支持するＸＹステージ用定盤、」と記載されている。
　同号証第４頁左上欄第１５行目〜第１６行目には「５１はステージ定盤１３上に取付けられた加速度計、」と記載され、同号証第４頁左下欄第２行目〜第１０行目には「次に、ＸＹステージが速度サーボから位置決めサーボに切り換わった後、ステージ定盤１３上に取り付けられた加速度計５１からの加速度データよりアクティブダンパコントローラ４８内のボイスコイルモータドライバに対しボイスコイルモータ５０の駆動指令を行なう。これにより、ステージ定盤１３の振動を制振させると同時に、アクティブダンパコントローラ４８内の圧力コントローラに対しサーボバルブ駆動指令を出す。」と記載されている。
　同号証第３頁右上欄第１３行目〜第１７行目には「１４はステージの移動により生じるステージ用定盤１３の振動を防振させかつ床からの振動を絶縁するＸＹステージ用マウントである。このマウント１４は一般的にアクティブマウントと呼ばれる。」と記載されている。
　同号証第３頁左下欄第５行目〜第８行目には「１７はＸステージ１０をＸ方向に移動させるための駆動用ＤＣサーボモータ、１８はＸステージ１０とＹステージ１１とをＹ方向に移動させるための駆動用ＤＣサーボモータである。」と記載され、同号証第３頁右下欄第１７行目〜第４頁左上欄第３行目には「４１はＸＹステージのステップ量および移動速度並びにステージ移動後のステージ定盤の傾きに対応するエアマウントの空気圧を記憶し、各ドライバーへの動作命令を発信し、さらに所要ステップ量および移動速度に基づき、瞬間瞬間のステージの位置速度にフィードバックをかける制御コンピューターである。」と記載され、同号証第４頁右上欄第３行目〜第９行目には「本体とＸＹステージの相対位置および姿勢を計測するための原点を、鏡筒支持体４に固定されたレーザーヘッド２１からのレーザー光とトップステージ９上に配置された二次元センサー８により決定する。これ以降、本体リセット命令が制御用コンピュータに入力されるまで本原点は書き換えられない。」と記載されている。
　同号証第３頁左下欄第９行目〜第１９行目には「第２図は、本実施例の露光装置のＸＹステージ用測定系の配置を示す斜視図であり、第１図のトップステージ９の周辺のレーザ干渉計１５等の部分を詳細に表わした図である。同図において、２１は光源であるレーザーヘッド、２２は第１図のトップ（θ−Ｚおよびティルト）ステージ９に取り付けられた反射ミラー、２３はレ一ザ干渉計、２４は干渉稿を電気信号に変換するレシーバ、２５は第１図の投影レンズ３と同一の投影レンズ、２６は投影レンズ３に固定された反射ミラーである。」と記載されている。
　同号証第３頁右上欄第１８行目〜第２０行目には「１５は投影レンズ３とＸＹステージとの相対位置を計測しかつＸＹステージの姿勢を計測するためのレーザー干渉測定器、」と記載され、同号証第４頁左下欄第２行目〜第１０行目には「次に、ＸＹステージが速度サーボから位置決めサーボに切り換わった後、ステージ定盤１３上に取り付けられた加速度計５１からの加速度データよりアクティブダンパコントローラ４８内のボイスコイルモータドライバに対しボイスコイルモータ５０の駆動指令を行なう。これにより、ステージ定盤１３の振動を制振させる」と記載されている。
　同号証第４頁左下欄第２行目〜第１０行目には「次に、ＸＹステージが速度サーボから位置決めサーボに切り換わった後、ステージ定盤１３上に取り付けられた加速度計５１からの加速度データよりアクティブダンパコントローラ４８内のボイスコイルモータドライバに対しボイスコイルモータ５０の駆動指令を行なう。これにより、ステージ定盤１３の振動を制振させると同時に、アクティブダンパコントローラ４８内の圧力コントローラに対しサーボバルブ駆動指令を出す。」と記載されいる。
　同号証第４頁左下欄第１１行目〜第１６行目には「次に、フォーカス検出部５３およびステージの位置および姿勢を表わすレーザ測定システム４４からのデータと制御用コンピュータ４１内に記憶してある所定レイアウトとの差分であるθ（ヨーイング）、α（ローリング）およびβ（ピッチング）を算出する。」と記載され、同号証第４頁左上欄第１１行目〜第１５行目には「４８はアクティブダンパコントローラで、サーボバルブ４９（第３図付番３６）を制御するエアーマウント圧力コントローラとボイスコイルモータ５０（第３図付番３１）を駆動するボイスコイルモータドライバとからなる。」と記載され、同号証第３頁右下欄第９行目〜第１１行目には「３３は固定体に固定されたＸＹ方向に剛性が高くＺ方向に剛性が低いエアマウント、３６はエアマウント３３の内圧をコントロールするサーボバルブ、」と記載されている。
　同号証第３頁左下欄第２０行目〜右下欄第９行目には「第３図は、本実施例の露光装置のＸＹステージ用マウントいわゆるアクティブマウント（第１図の付番１４）の詳細図である。…３３は固定体に固定されたＸＹ方向に剛性が高くＺ方向に剛性が低いエアマウント、」と記載されている。
　同号証第３頁右下欄第９行目〜第１１行目には「３６はエアマウント３３の内圧をコントロールするサーボバルブ、」と記載され、同号証第４頁左上欄第１１行目〜第１５行目には「４８はアクティブダンパコントローラで、サーボバルブ４９（第３図付番３６）を制御するエアーマウント圧力コントローラとボイスコイルモータ５０（第３図付番３１）を駆動するボイスコイルモータドライバとからなる。」と記載され、同号証第４頁左下欄第２行目〜第１０行目には「次に、ＸＹステージが速度サーボから位置決めサーボに切り換わった後、ステージ定盤１３上に取り付けられた加速度計５１からの加速度データよりアクティブダンパコントローラ４８内のボイスコイルモータドライバに対しボイスコイルモータ５０の駆動指令を行なう。これにより、ステージ定盤１３の振動を制振させると同時に、アクティブダンパコントローラ４８内の圧力コントローラに対しサーボバルブ駆動指令を出す。」と記載されている。
　同号証第４頁左上欄第１６行目〜第１８行目には「５２はＸＹステージ用定盤１３の傾きを検知する非接触タイプの変位計（第３図付番３８）」と記載されている。
　同号証第４頁右上欄第１０行目〜左下欄第１０行日には「次に、露光すべき半導体ウエハ毎にショット配列（レイアウト）およびＸＹ方向の移動量を予め制御用コンピュータ４１に入力する。制御用コンピューター４１は、これらのデータおよびステージの移動荷重よりステージ移動後のステージ定盤１３の傾きを求めその傾きを補正すべく各マウントの圧力および速度サーボと位置決めサーボ切換え位置を計算し設定する。そして、ＸＹステージのサーボドライバ４５に対しＤＣサーボモータ４６の駆動指令を行ない、アクティブダンパコントローラ４８内の圧力コントローラに対しサーボバルブ４９の駆動指令を行なう。次に、ＸＹステージが速度サーボから位置決めサーボに切り換わった後、ステージ定盤１３上に取り付けられた加速度計５１からの加速度データよりアクティブダンパコントローラ４８内のボイスコイルモータドライバに対しボイスコイルモータ５０の駆動指令を行なう。これにより、ステージ定盤１３の振動を制振させると同時に、アクティブダンパコントローラ４８内の圧力コントローラに対しサーボバルブ駆動指令を出す。」と記載されている。
　同号証第４頁左下欄第１３行目〜第１４行目には、「制御用コンピュータ４１内に記憶してある所定レイアウト」との記載があり、同号証第４頁右下欄第９行目〜第１４行目には「本発明によれば、ＸＹステージと本体構造体とを別々に配置し、ＸＹステージ用マウントにアクティブダンパと簡略フイードフオワード適用したオートレベラーを細合せるという簡単な構造により、アクティブダンパを，小型化しコスト低減が可能となる。」と記載されている。
　刊行物３：特開平４−１８１１９８号公報（甲第３号証）
　甲第３号証の第２頁右上欄第１１行目〜左下欄第２行目には「基盤２２側のレーザ干渉計２５とテーブル２０の端部に設けられた反射器（平面鏡）２６とにより、基盤２２上にはテーブル２０駆動用の座標軸ｘが形成されて、座標軸ｘ上におけるテーブル２０の位置ｘが精密に計測される。制御器２７は、レーザ干渉計２５の計測結果に基づいてテーブル２０を駆動、すなわち、座標軸ｘ上に定めたテーブル２０の停止目標位置ｘｏに向って、テーブル２０を加速し等速度移動した後に減速して、干渉計２５により計測される現在位置ｘが停止時に位置ｘｏと一致するように、モータ２４を作動する。」と記載されている。
　同号証第２頁右上欄第３行目〜第６行目には「本従来例は、被加工片を載置するテーブル２０を送りネジ２３により駆動して、基盤２２に対する位置決めを行うステージ装置である。」と記載されている。
　同号証第５頁左下欄第１４行日〜右下欄第８行目には「制御器１０は、レーザ干渉計８ｘの計測結果に基づいて、予め定めたプログラムに従ってモータ７ｘとりニアモータ（３ｘ、４ｘ）を作動させてテーブル１を駆動する。従来例同様に、制御器１０は、座標軸ｘ上に定められたテーブル１の停止日標位置ｘｏに向ってテーブル１を加速し、等速度移動した後に、これを減速して、現在位置ｘと目標位置ｘｏとが一致するようにテーブル１を停止させて位置決めを遂行するが、その際、リニアモータ３ｘ、４ｘとモータ７ｘとを相互に関連付けて作動させる。これにより、減速に伴って送りネジ６ｘに発生する残留振動を停止までに相殺、または減衰し、目標位置ｘｏにより近く、また、停止時のテーブル振動がより小さい位置決め停止動作を実現する。」と記載されている。
　同号証第５頁右下欄第１９行目〜第６頁左上欄第６行目には「一方、停止後のステージ位置の補正は、送りネジ６ｘを停止した状態で、干渉計８ｘにより測定された停止位置を、制御器１０に蓄えられた目標位置と比較しながら、これが−致するまで、リニアモータ３ｘ、４ｘによるテーブル１の付勢力を準静的に増すことにより、送りネジ６ｘを弾性変形して、テーブル１の位置をずらすことで達成される。」と記載されている。
　同号証第５頁右上欄第１０行目〜第１４行目には「送りネジ６ｘとりニアモータ（３ｘ、４ｘ）は、テーブル１停止時の振動抑制を目的として、後述するような相互に関連付けて予め定めた所定の駆動条件（プログラム）に従って、制御器１０により作動される。」と記載されている。
　同号証第５頁左下欄第８行目〜第１４行目には「基板５ｘ側のレーザ干渉計８ｘとテーブル１の端部に設けられた移動鏡としての反射器（平面鏡）９ｘとにより、基板５ｘ上にはテーブル１駆動用の座標軸ｘが形成されることになり、この座標軸ｘ上におけるテーブル１の位置ｘが、刻々精密に計測される。」と記載されている。
　同号証第８頁右下欄第１行目〜第７行日には「従って、（４）、（５）式のフィードバックゲインλ１、λ２、κ１、κ２、を適度に調節することで、各パラメータをテーブル送りに望ましい値に設定することができる。これらのフィードバックゲインは固定としても良いが、最適レギュレータや学習制御等により、ゲインを時々刻々と調整することでより高精度な位置決めが可能となる。」と記載されている。
　同号証第１０頁左上欄第９行目〜第１６行目には「本発明の請求項第１項のステージ装置では、ガイド機構の接触式、非接触式を問わず、駆動軸に発生する振動成分がリニアモータによって抑制または減衰されるから、振動発生を気にすることなく駆動軸による思い切った大きな減速を行うことも可能となる。これにより、減速期間および停止後の減衰待ち時間が短縮され、停止位置の精度も向上する。」と記載されている。
　
（４）　対比・判断
　本件請求項１に係る発明が、「予め定められた前記ステージの位置決め情報に応じて前記駆動手段を介して前記ステージを移動させると共に、前記ステージの変位情報を発生するステージ制御手段を設け、
　前記ステージの移動により前記ベースが振動する前に前記ステージの位置決め情報及び前記ステージの変位情報に基づいて予め前記複数の防振手段を動作させて、前記ベースの防振を行う」構成（以下、「本件請求項１に係る発明の特徴的構成」という。）を有するのに対し、甲第１号証に記載された発明は、本件請求項１に係る発明の特徴的構成について記載又は当該記載を示唆をするものではない。
　従って、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明ではない。
　本件請求項１に係る発明を引用する本件請求項２に係る発明は、本件請求項１に係る発明の特徴的構成を有するから、本件請求項１に係る発明と同様に、本件請求項２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明ではない。
　本件請求項３に係る発明が、「ベースの加速度を検出する加速度センサーと、
　前記ベースに発生する振動を抑制するための防振手段と、
　前記位置制御に関連する前記ステージの位置決め情報と前記干渉計で得られる前記ステージの位置情報とに基づいて前記ステージを駆動する駆動手段と、
　前記干渉計の出力に基づいて前記ステージの運動を予測して前記防振手段により前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢するとともに、前記加速度センサーの出力に基づいて前記防振手段により前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢して前記振動を抑制する制御手段とを備えたこと」構成（以下、「本件請求項３に係る発明の特徴的構成」という。）を有するのに対し、甲第２号証に記載された発明は、本件請求項３に係る発明の特徴的構成について記載又は当該記載を示唆をするものではない。
　従って、本件請求項３に係る発明は、甲第２号証に記載された発明ではない。
　本件請求項３に係る発明を引用する本件請求項４、５及び８に係る発明は、本件請求項３に係る発明の特徴的構成を有するから、本件請求項３に係る発明と同様に、甲第２号証に記載された発明ではない。
　本件請求項１１に係る発明が、「干渉計で得られる前記ステージの位置情報に基づいて前記ステージを駆動し、
　前記ステージを移動可能に支持する表面を有したベースの加速度を検出し、
　前記干渉計の出力に基づいて前記ステージの運動を予測して前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢するとともに、前記ベースの加速度に基づいて前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢すること」構成（以下、「本件請求項１１に係る発明の特徴的構成」という。）を有するのに対し、甲第２号証に記載された発明は、本件請求項１１に係る発明の特徴的構成について記載又は当該記載を示唆をするものではない。
　従って、本件請求項１１に係る発明は、甲第２号証に記載された発明ではない。
　本件請求項１又は３に係る発明を引用する本件請求項１０に係る発明は、本件請求項１に係る発明の特徴的構成又は本件請求項３に係る発明の特徴的構成を有するから、本件請求項１及び３に係る発明と同様に、甲第１〜３号証のいずれにも記載された発明ではない。
　本件請求項１又は３に係る発明を引用する本件請求項１０に係る発明は、甲第１〜３号証に記載された発明の何れも有さない本件請求項１又は３に係る発明の特徴的構成を有するから、本件請求項１０に係る発明は、甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　本件請求項３に係る発明を引用する本件請求項６及び７に係る発明は、甲第２号証及び甲第３号証に記載された発明の何れも有さない本件請求項３に係る発明の特徴的構成を有するから、本件請求項６及び７に係る発明は、甲第２号証及び甲第３号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　本件請求項１１に係る発明を引用する本件請求項１２及び１３に係る発明は、甲第２号証及び甲第３号証に記載された発明の何れも有さない本件請求項１１に係る発明の特徴的構成を有するから、本件請求項１２及び１３に係る発明は、甲第２号証及び甲第３号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　本件請求項３に係る発明を引用する本件請求項９に係る発明は、甲第１〜３号証に記載された発明の何れも有さない本件請求項３に係る発明の特徴的構成を有するから、本件請求項９に係る発明は、甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　
（５）　むすび
 したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１〜１３に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜１３に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　従って、本件請求項１〜１３に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年１月２９日（２００４．１．２９）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
ステージ装置、ステージ駆動方法、及び露光装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　所定のベースと、前記ベースに対して移動自在に配設され位置決め対象物が載置されるステージと、該ステージを駆動する駆動手段と、前記ステージが移動する際の前記ベースの振動を外力を加えることにより抑える
複数の
　予め定められた前記ステージの
位置決め情報
　前記ステージの移動により前記ベースが振動する前に前記ステージの
位置決め情報及び
複数の
　【請求項２】　前記防振手段は、前記ベースの変位を検出する変位検出手段を有し、
　前記ステージ制御手段は、前記ベースの変位情報及び前記
複数の
　【請求項３】　干渉計を用いてステージの位置制御を行うステージ装置において、
　前記ステージを移動可能に支持する
表面を有した
　前記ベースの加速度を検出する加速度センサーと、
　前記ベースに発生する振動を抑制するための防振手段と、
　前記位置制御に関連する
前記ステージの位置決め情報
　前記干渉計の出力
に基づいて前記ステージの運動を予測して前記防振手段により前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢するとともに、
前記防振手段により前記ベースの前記表面と
及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向
制御手段とを備えた
　【請求項４】　前記防振手段は、前記ベースと該ベースが設置される基礎部との間に配置された少なくとも１つの緩衝手段を有し、
　前記
ステージの位置決め情報
　【請求項５】　前記ベースの傾斜を検出する傾斜センサーを設けたことを特徴とする請求項３又は４記載のステージ装置。
　【請求項６】　前記防振手段はリニアモーターを備えていることを特徴とする請求項３、４、又は５記載のステージ装置。
　【請求項７】　前記干渉計は前記ベースに設けられていることを特徴とする請求項３から６の何れか一項記載のステージ装置。
　【請求項８】　前記防振手段は、
前記ステージの位置決め情報
　【請求項９】　前記防振手段は、前記駆動手段に記憶されている
前記ステージの位置決め情報
　【請求項１０】　請求項１から９の何れか一項記載のステージ装置を備えたことを特徴とする露光装置。
　【請求項１１】　干渉計を用いてステージを駆動させるステージ駆動方法において、
　前記干渉計で得られる前記ステージの位置情報に基づいて前記ステージを駆動し、
　前記ステージを移動可能に支持する
表面を有した
　
前記干渉計の出力に基づいて前記ステージの運動を予測して前記ベースの前記表面と直交する方向及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向に前記ベースを付勢するとともに、
前記ベースの前記表面
及び前記表面と平行な方向のそれぞれの方向
　【請求項１２】　前記ベースの付勢はリニアモーターにより行われることを特徴とする請求項１１記載のステージ駆動方法。
　【請求項１３】　前記干渉計は前記ベースに設けられていることを特徴とする請求項１１又は１２記載のステージ駆動方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、例えば投影露光装置において感光基板の位置決めを行うステージ、又は測定機において測定対象物を載置して移動するステージ等に適用して好適な防振機構を備えたステージ装置及び露光装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　半導体素子又は液晶表示素子等をフォトリソグラフィ工程で製造する際に、フォトマスク又はレチクルのパターン像を投影光学系を介して感光基板上に露光する投影露光装置が使用されている。斯かる投影露光装置においては、感光基板を正確に位置決めする必要があるため、その感光基板を載置して３次元的に移動するステージが備えられている。
　【０００３】
　また、従来の投影露光装置においては、装置外部からの外乱振動及び装置内部で発生する内部振動が投影露光装置本体の諸性能を悪化させるのを防ぐために、投影露光装置の全体が防振台と呼ばれる振動減衰機構の上に載置されている。しかし、感光基板の大型化によってステージの移動する部分の重量が大きくなり、またステージの高速化も進むにつれて、ステージを加速する際の装置全体への反力も益々大きくなっている。このような反力が益々大きくなるのに応じて、防振台で発生する振動振幅も大きくなり、更にこの振動がステージに働くために、ステージの位置決め整定時間及び停止精度などの悪化につながることになる。
　【０００４】
　そのようなステージの位置決め整定時間及び停止精度などを改善するためには、発生した振動を傾斜センサー又は加速度センサー等で検出し、アクチュエータによってその検出された振動を能動的に制御するアクティブ型防振機構を使用することが考えられる。このような防振機構の使用によって防振台における振動整定時間の短縮が期待でき、これによりステージ性能の向上が期待される。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、アクティブ型防振機構を採用した場合でも、防振の原理はあくまでも発生した振動をセンサーにより電気的な検出信号に変換し、この検出信号をアクチュエータへフィードバックするものである。そのため、発生した振動を抑制するまでの応答速度が十分でなく、発生した振動に対する防振動作の追従性が悪いという不都合があった。
　【０００６】
　本発明は斯かる点に鑑み、アクティブ型防振機構の採用によって短縮される振動整定時間が更に短縮された、即ちそれによってステージの位置決め性能が更に改善されたステージ装置を提供することを目的とする。また、本発明はそのようなステージ装置を用いた露光装置を提供することをも目的とする。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　本発明による第１のステージ装置は、例えば図１及び図２に示すように、所定のベース（３）と、ベース（３）に対して移動自在に配設され位置決め対象物が載置されるステージ（１３）と、ステージ（１３）を駆動する駆動手段（１１，１２）と、ステージ（１３）が移動する際のベース（３）の振動を外力を加えることにより抑える
複数の
位置決め
　【０００８】
　更に、本発明は、ステージ（１３）の移動によりベース（３）が振動する前にステージ（１３）の
位置決め
及び
複数の
　【０００９】
　この場合、例えば図４に示すように、防振手段（８Ａ）はベース（３）の変位を検出する変位検出手段（６，７）を有し、ステージ制御手段（１６Ａ）は、ベース（３）の変位情報及びその
複数の
　次に、本発明による第２のステージ装置は、例えば図１に示すように、干渉計（１５）を用いてステージ（１３）の位置制御を行うステージ装置において、ステージ（１３）を移動可能に支持する
表面を有した
ステージ（１３）の位置決め情報と
，１６，１８
に基づいてステージ（１３）の運動を予測して防振手段（１９）によりベース（３，１０）の表面と直交する方向及びその表面と平行な方向のそれぞれの方向にベース（３，１０）を付勢するとともに、
防振手段（１９）によりベース（３，１０）のその表面と
及びその表面と平行な方向のそれぞれの方向
制御手段（８，１６）とを備えた
　この場合、例えば図１に示すように、防振手段（１９）がベース（３，１０）とベース（３，１０）が設置される基礎部（１）との間に配置された少なくとも１つの緩衝手段（２Ａ，２Ｂ）を有し、
ステージ（１３）の位置決め情報
　また、例えば図１に示すように、ベース（３，１０）の傾斜を検出する傾斜センサーを設けることが望ましい。
　また、防振手段（１９）がリニアモーターを備えていることが望ましい。
　また、例えば図１に示すように、干渉計（１５）がベース（３，１０）に設けられていることが望ましい。
　また、防振手段（１９）が
ステージ（１３）の位置決め情報
　また、防振手段（１９）が駆動手段（１１，１２
，１６，１８
ステージ（１３）の位置決め情報
　また、本発明による露光装置は、本発明のステージ装置を備えたものである。
　次に、本発明によるステージ駆動方法は、干渉計（１５）を用いてステージ（１３）を駆動させるステージ駆動方法において、干渉計（１５）で得られるステージ（１３）の位置情報に基づいてステージ（１３）を駆動し、ステージ（１３）を移動可能に支持する
表面を有した
干渉計（１３）の出力に基づいてステージ（１３）の運動を予測してベース（３，１０）のその表面と直交する方向及びその表面と平行な方向のそれぞれの方向にベース（３，１０）を付勢するとともに、
ベース（３，１０）のその表面
及びその表面と平行な方向のそれぞれの方向
（３，１０）
　この場合、ベース（３，１０）の付勢はリニアモーターにより行われることが望ましい。
　また、干渉計（１５）がベース（３，１０）に設けられていることが望ましい。
　以下、本発明の作用につき、主に実施例に即して説明する。
　【００１０】
　【作用】
　斯かる本発明の防振手段は、アクティブ型防振機構を構成している。そして、ステージ（１３）の駆動を制御するステージ制御手段（１６）と、アクティブ型防振機構の動作を制御する防振制御手段（８）との間に信号交換経路が設けられ、ステージ制御手段（１６）から防振制御手段（８）の側にステージ（１３）の変位情報が供給されるようになっている。ステージ（１３）の変位情報には、レーザー干渉計等の計測手段によるステージ（１３）の位置情報、駆動手段（１１，１２）等から得られるステージ（１３）の速度情報又は駆動手段（１１，１２）への制御信号といったものがある。
　【００１１】
　このため、防振制御手段（８）では変位検出手段（６，７）で実際の振動が検出される前に、
ステージ（１３）の位置決め情報を用いる
　【００１２】
　更に、防振制御手段（８Ａ）側からステージ制御手段（１６Ａ）に対して変位検出手段（６，７）で検出された振動の情報及びその緩衝手段に対する制御情報をフィードバックすることによって、ベース（３）の残留振動の整定時間の短縮を図ることができる。これにより、例えばベース（３）の振動が大きい場合にステージ（１３）の位置決め動作を行わないようにすることができ、位置決め時の停止精度等を向上できる。
　【００１３】
　また、上記２つの方法を併用することによって、ステージ（１３）の位置決め整定時間の一層の短縮を図ることができるだけでなく、位置決め時の装置全体の振動のステージ（１３）への影響を排除することができ、位置決め時の停止精度が一層改善される。
　また、本発明による第２のステージ装置は、防振手段（１９）が干渉計（１５）の出力と加速度センサー（７）の出力とに基づいて
ベースの表面
及びその表面と平行な方向
　また、本発明によるステージ駆動方法は、ステージ（１３）の位置情報とベース（３，１０）の加速度とに基づいて、
ベースの表面
及びその表面と平行な方向
　【００１４】
　【実施例】
　以下、本発明の一実施例につき図１及び図２を参照して説明する。本実施例はアクティブ型防振機構を備えたステージ装置に本発明を適用したものである。
　図１は本実施例のステージ装置の機構部を示し、この図１において、床１上にエアーダンパー２Ａ及び２Ｂを介してベース（定盤）３を支持する。また、ベース３の両側の床１上には支持台４Ａ及び４Ｂを植設し、これら支持台４Ａ及び４Ｂとベース３の側面との間にそれぞれエアーダンパー５Ａ及び５Ｂを介装する。ベース３の底部に傾斜センサー６及び加速度センサー７を取り付け、これら傾斜センサー６及び加速度センサー７の検出信号を防振台制御部８に供給する。防振台制御部８は、エアーチューブ９Ａ〜９Ｄを介してそれぞれエアーダンパー２Ａ，２Ｂ，５Ａ，５Ｂ内の気体の圧力を調整する。
　【００１５】
　また、ベース３上にコの字型の支持枠１０を固定し、支持枠１０の内部にベース３の表面に平行に送りねじ１１を回転自在に取り付け、支持枠１０の一方の側面部に固定された駆動モーター１２の駆動軸にその送りねじ１１を接続する。送りねじ１１にはステージ１３が螺合され、駆動モーター１２で送りねじ１１を回転することにより、送りねじ１１に沿ったＸ方向にステージ１３を移動させることができる。ステージ１３上に位置決め対象物が載置される。
　【００１６】
　そのステージ１３の上面の一端に移動鏡１４を取り付け、移動鏡１４に対向するように支持枠１０の一方の側面部の上部にレーザー干渉計１５を固定する。レーザー干渉計１５からＸ方向に平行にレーザービームを移動鏡１４に供給し、移動鏡１４から反射されたレーザービームをレーザー干渉計１５で受光することにより、レーザー干渉計１５でステージ１３のＸ方向の座標を検出する。レーザー干渉計１５で計測した座標をステージ制御部１６に供給し、ステージ制御部１６は、供給された座標に基づいて駆動モーター１２を介してステージ１３の位置を主制御系（図２参照）から指示された位置に設定する。
　【００１７】
　また、駆動モーター１２には駆動軸の角速度に対応する信号を発生するタコジェネレータが設けられ、このタコジェネレータから発生された角速度信号がステージ制御系１６に供給されている。ステージ制御系１６はその角速度信号から駆動モーター１２の駆動軸の角速度及びステージ１３の移動速度を検出し、このステージ１３の移動速度の制御を行う。
　【００１８】
　図２を参照して本例のステージ装置の制御系の説明を行う。図２において、駆動モーター１２、レーザー干渉計１５及びステージ制御部１６よりステージ制御系１７が構成され、傾斜センサー６、加速度センサー７、圧力調整部２０及び防振台制御部８より防振台制御系１９が構成されている。圧力調整部２０は、防振台制御部８からの指示によりエアーチューブを介してエアーダンパー２Ａ，２Ｂ，５Ａ，５Ｂ内の気体の圧力を調整するものである。また、装置全体の動作を制御する主制御系１８から、ステージ制御系１７内のステージ制御部１６に対して、図１のステージ１３の位置決め情報Ｓ１を供給する。位置決め情報Ｓ１には、ステージ１３がステッピングする際の各目標停止位置及びステージ１３を動作させるタイミング等の情報が含まれている。
　【００１９】
　また、本例ではステージ制御部１６から防振台制御系１９内の防振台制御部８に対して、ステージ１３の変位情報Ｓ２を供給している。そのステージ１３の変位情報Ｓ２には、レーザー干渉計１５で計測されたステージ１３のＸ方向の座標、駆動モーター１２から発生される角速度情報に基づいたステージ１３のＸ方向の速度情報、及び駆動モーター１２に対して供給される駆動電圧の大きさの情報等がある。防振台制御部８は送られてきた変位情報Ｓ２から、ステージ１３の運動によってどのような振動が発生するかを予測し、その振動を押さえるよう圧力調整部２０を介してエアーダンパー２Ａ，２Ｂ，５Ａ，５Ｂ内の気体の圧力を調整する。
　【００２０】
　次に、本例のステージ装置の位置決め動作の一例につき説明する。この場合、図１のステージ１３がステッピング的に移動するものとして、そのときの制御を、ステージ１３が目標位置の直前に達するまでは速度制御で行い、最終位置決めは位置制御で行うようにする。このときのステージ１３の移動速度Ｖは、図３に示すように、期間Ｔ１においては急激に大きく変化し、それに続く期間Ｔ２においては緩やかに且つ小さい速度範囲で変化する。また、一般に振動は速度や加速度が変化するときに発生するため、本例の防振対象であるベース３の振動は、主にステージ１３が期間Ｔ１内で運動をしているときに発生すると考えてよい。
　【００２１】
　また、期間Ｔ１の範囲では速度制御なので、ステージ１３がどのような運動をするか予め予測できる。従って、ステージ制御部１６から供給される変位情報Ｓ２に基づいて、防振台制御部８は発生する振動を予測し、その振動を防ぐように圧力調整部２０を制御する。具体的に、図１に示すように、例えばステージ１３がＸ方向に移動を始める際には、ステージ１３にＸ方向への力Ｆ１が作用し、ベース３にはその反作用Ｆ２（＝−Ｆ１）が作用する。そこで、予め左側のエアーダンパー５Ａ内の圧力を右側のエアーダンパー５Ｂ内の圧力よりも大きくしておくことにより、ステージ１３がＸ方向へ移動を始める際のベース３の振動を小さくできる。
　【００２２】
　この場合、ベース３には傾斜センサー６及び加速度センサー７が装着されているので、これらの検出信号を防振台制御部８にフィードバックすることにより防振制御を並行して行ってもよい。これにより、大きな振動の発生を抑制した上で小さな振動を迅速に抑制することができる。従って、単に傾斜センサー６及び加速度センサー７の検出信号をフィードバックして防振制御を行う場合に比べて、振動整定時間が更に短縮され、これによってステージ１３の位置決め性能が更に改善される。
　【００２３】
　一方、期間Ｔ２の範囲では位置制御であるため、ステージ１３の運動は予測が難しい。但し、この範囲での加速度変化は小さく、またステージ１３と装置全体との質量比から考えて、この範囲でステージ１３の挙動が原因で発生するベース３の振動は小さいと考えられる。そこで、このような位置制御が行われる期間Ｔ２では、単に傾斜センサー６及び加速度センサー７の出力信号をフィードバックして行う制御で十分に対応出来る。
　【００２４】
　なお、図１のステージ装置は、駆動軸が一軸（Ｘ軸）のみであるが、２軸、３軸又はより多軸の駆動軸を備えたステージ装置では、その駆動軸の数に応じて防振のためのエアーダンパーの個数を増加させればよい。この場合、複数の駆動軸が同時に運動した場合にも、複数軸に対応したエアーダンパーを並行に動作させることで対応できる。また、ステージ１３が同じような運動をしたときに、位置によって発生する振動が異なる場合には、ステージ１３の位置に応じた補正をかけることができる。
　【００２５】
　次に、本発明の他の実施例につき図４を参照して説明する。本例は図２の防振台制御部８及びステージ制御部１６をそれぞれ防振台制御部８Ａ及びステージ制御部１６Ａに変更したものであり、図４において図２に対応する部分には同一符号を付してその詳細説明を省略する。
　図４は本例のステージ装置の制御系を示し、この図４において、主制御系１８から、ステージ制御系１７内のステージ制御部１６Ａに対して、図１のステージ１３の位置決め情報Ｓ１が供給され、ステージ制御部１６Ａから防振台制御系１９内の防振台制御部８Ａに対して、ステージ１３の変位情報Ｓ２が供給されている。そして、本例では防振台制御部８Ａからステージ制御部１６Ａに対して、傾斜センサー６及び加速度センサー７の検出信号並びに圧力調整部２０に供給される制御信号よりなる防振情報Ｓ３が供給されている。その他の信号の授受関係は図１及び図２の実施例と同様である。
　【００２６】
　本例のステージ装置で位置決めを行う場合には、ステージ制御部１６Ａは、ステージ１３の位置決め情報Ｓ１、レーザー干渉計１５で計測されるステージ１３のＸ座標、駆動モーター１２から供給される角速度情報及び防振情報Ｓ３に基づいて、駆動モーター１２を介してステージ１３の位置決めを行う。そして、例えば加速度センサー７からの検出信号によりベース３の振動が抑制されていないことが分かる場合には、ステージ制御部１６Ａはその振動が抑制されるまでステージ１３の位置決め動作を行わないようにすることにより、ステージ１３の位置決め精度を向上することができる。
　【００２７】
　また、加速度センサー７からのベース３の振動の抑制量とモーター１２の駆動量とを記憶し、最も振動が少なくなるモーター１２の駆動量を学習する。そして、この学習した結果を次のショットでのモーター１２の駆動量としたり、駆動量を決定する際のパタメータの１つとして加味するようにしても良い。具体的には、最近の位置決め時の加速度センサー７の情報を位置ずれ量に変換して記憶する。そして、次の位置決めからはその位置ずれをキャンセルする駆動量を位置決めのための駆動量に加えるようにすれば良い。
　【００２８】
　なお、上述実施例においては、ベース３の振動を抑制するための手段としてエアーダンパーが使用されているが、それ以外に例えばリニアモーター方式の非接触の付勢手段、発生する力を調整できる防振ばね又は油圧方式のダンパー等を使用できる。
　また、上述実施例のステージ装置は投影露光装置や精密測定機のステージ部のみならず、広く高精度な位置決め精度が要求されるステージを備えた装置に適用できるものである。このように、本発明は上述実施例に限定されず本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。
　【００２９】
　【発明の効果】
　本発明によれば、ステージが動いた場合の振動整定
時間
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例のステージ装置の機構部を示す構成図である。
　【図２】
　図１のステージ装置の制御系の構成を示すブロック図である。
　【図３】
　図１のステージ装置のステージの速度特性の一例を示す図である。
　【図４】
　本発明の他の実施例のステージ装置の制御系の構成を示すブロックである。
　【符号の説明】
　２Ａ，２Ｂ，５Ａ，５Ｂ　エアーダンパー
　３　ベース
　６　傾斜センサー
　７　加速度センサー
　８　防振台制御部
　１１　送りねじ
　１２　駆動モーター
　１３　ステージ
　１５　レーザー干渉計
　１６　ステージ制御部
　１７　ステージ制御系
　１８　主制御系
　１９　防振台制御系
　２０　圧力調整部