【事件の表示】
　特許第３３２６００８号「塗布液組成物及び塗膜の形成方法」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３２６００８号の請求項１、２に係る特許を維持する。
【理　由】
1．手続の経緯
　本件特許第３３２６００８号の請求項１、２に係る発明は、平成６年６月９日出願され、平成１４年７月５日に特許の設定登録がなされ、その後、その請求項１、２に係る特許に対して、阪本裕一より特許異議の申立てがあり、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１５年８月１８日に意見書が提出されると共に、訂正請求がなされ、これに対して特許異議申立人より上申書が提出されたものである。
　
2．訂正の適否
2-1．訂正の内容
・訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の「光重合性組成物」を「バインダーとして線状有機高分子重合体を含有する光重合性組成物」と訂正する。
・訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項１の「大きく、」を「大きく、該塗布液組成物の全溶剤中４０重量％未満の他の補助溶剤が、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、乳酸エステル類、セロソルブ類及び環状エステル類から選択されるエステル系有機溶剤、ケトン系有機溶剤並びにアルコール系有機溶剤から選択される少なくとも1種であり、」と訂正する。
・訂正事項ｃ
　明細書の段落【００１１】の「満足し、」の記載を、「満足し、該塗布液組成物の全溶剤中４０重量％未満の他の補助溶剤が、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、乳酸エステル類、セロソルブ類及び環状エステル類から選択されるエステル系有機溶剤、ケトン系有機溶剤並びにアルコール系有機溶剤から選択される少なくとも１種であり、」と訂正する。
・訂正事項ｄ
　明細書の段落【００１５】の「主に感光性の組成物が用いられる。一例として光重合性組成物」の記載を、「バインダーとして線状有機高分子重合体を含有する光重合性組成物」と訂正する。
・訂正事項ｅ
　明細書の段落【００１８】の「の使用が必須であるが、」の記載を、「が使用できるが、」と訂正する。
　
2-2．訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の実質上の拡張又は変更の存否
・訂正事項ａについて
　「光重合性組成物」を「バインダーとして線状有機高分子重合体を含有する光重合性組成物」と、バインダー成分についてさらに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
・訂正事項ｂについて
　全溶剤中４０重量％未満の補助溶剤の種類についてさらに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
・訂正事項ｃ、ｄについて
　訂正事項ａ、ｂによる特許請求の範囲の減縮に伴ない、特許請求の範囲と発明の詳細な説明との間に生じた不整合を正すものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
・訂正事項ｅについて
　明細書の段落【００１８】には、「光重合開始剤としては、少なくとも１種のロフィン２量体（トリアリルイミダゾールダイマー）の使用が必須であるが、他に下記の材料を組合せることもできる。米国特許第２，３６７，６６０号明細書に開示されているビシナールポリケトアルドニル化合物、・・・」とは記載されているが、同段落【００３１】〜【００３８】の実施例に関する記載では、光重合開始剤として、実施例１では、（処方２）の４−［ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）］−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、実施例２では、（処方３）の４−［ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）］−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンであるから、実施例ではロフィン２量体を使用しておらず、その他に、参考例１、２でもロフィン２量体を使用していないなど、ロフィン２量体に関する特段の記載がないことからみて、本件発明１においては光重合開始剤としてロフィン２量体が必須であるとは認められない。
　したがって、ロフィン２量体は使用できる光重合開始剤の一例として例示したものにとどまるものといえるから、ロフィン２量体に関して、「の使用が必須であるが、」の記載を、「が使用できるが、」と訂正することは、誤記の訂正を目的とする訂正に該当する。
　そして、訂正事項ａ〜ｅは、願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内のものであり、特許請求の範囲を実質的に拡張し又は変更するものではない。
2-3．訂正の適否に関する結論
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
3．特許異議申立てについて
3-1．本件発明
　上記2．で示したように訂正が認められるから、本件の請求項１、２に係る発明は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】バインダーとして線状有機高分子重合体を含有する光重合性組成物を有機溶剤に溶解した塗布液組成物において、該有機溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、及び３−エトキシプロピオン酸エチルからなる群より選ばれた少なくとも２種を含有し、該塗布液組成物の全溶剤中に占める上記溶剤の和の比率が６０〜１００重量％で、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートの和の重量が、３−メトキシプロピオン酸メチルと３−エトキシプロピオン酸エチルの和の重量より大きく、該塗布液組成物の全溶剤中４０重量％未満の他の補助溶剤が、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、乳酸エステル類、セロソルブ類及び環状エステル類から選択されるエステル系有機溶剤、ケトン系有機溶剤並びにアルコール系有機溶剤から選択される少なくとも1種であり、且つ、該塗布液組成物の３０℃における粘度の範囲が５〜２０ＣＰＳであることを特徴とする塗布液組成物。
【請求項２】請求項１の塗布液組成物を塗布し、静置して乾燥することを特徴とする塗膜の形成方法。」
　（以下、請求項１に係る発明、請求項２に係る発明を、それぞれ「本件発明１」、「本件発明２」という。）
　
3-2．特許異議申立の理由の概要
　特許異議申立人は、
　　甲第１号証（特開平６−３５２１号公報）
　　甲第２号証（特開平２−１０３４８号公報）
　　甲第３号証（特開平６−５１５０６号公報）
　　甲第４号証（特開平４−２７０３４６号公報）
　　甲第５号証（特開平５−３４５１４号公報）
を提出し、本件発明１、２は甲第１〜５号証に記載された発明に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、また、明細書の記載が不備であるので、特許法第３６条第４項及び第５項（異議申立書において、特許法第３６条第６項第２号違反とするところは、主張の内容からみて同条第５項に関する主張と認める。）に規定される要件を満たしていないので、本件特許は取り消されるべきものであるというものである。
　
4．甲各号証の記載事項
　甲第１号証（特開平６−３５２１号公報）には、
(1a)「【請求項１】
［Ａ］顔料、
［Ｂ］バインダーポリマーおよび
［Ｃ］感放射線化合物が、
［Ｄ］有機溶剤に溶解または分散されてなり、
前記有機溶剤［Ｄ］が、
常圧における沸点が１００〜２００℃であり、２０℃における蒸気圧が０．０５〜１０mmHgであるエステル類、エーテル類またはケトン類の少なくとも１種を、５０重量％以上の量で含んでなる溶剤であることを特徴とするカラーフィルター用感放射線性組成物。」（特許請求の範囲）
(1b)「【０００４】このため基板表面上にカラーフィルターを形成するに際して、均一な膜厚を有するとともに極めて平滑性に優れた表面を有する乾燥塗膜を形成しうるカラーフィルター用感放射線性組成物の出現が望まれている。」
(1c)「【００１０】・・・本発明では、顔料［Ａ］として、有機顔料または無機顔料が用いられる。」
(1d)「【００１５】［Ｂ］バインダーポリマー
本発明では、バインダーポリマー［Ｂ］として、酸モノマー［B-1］と、この酸モノマーと共重合可能なコモノマー［B-2］との共重合体が好ましく用いられる。
【００１６】このようなバインダーポリマー［Ｂ］を形成する際に用いられる酸モノマー［B-1］としては、分子中に少なくとも１個以上のカルボン酸を有する（例えば、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸等の）不飽和カルボン酸、または分子中に少なくとも１個以上のスルホン酸を有する不飽和スルホン酸が挙げられる。不飽和カルボン酸としては、具体的に、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸などが挙げられる。
【００１７】不飽和スルホン酸としては、具体的にイソプレンスルホン酸、スチレンスルホン酸などが挙げられる。これらは、単独であるいは組み合わせて用いられる。
【００１８】またコモノマー［B-2］としては、具体的に、スチレン、α- メチルスチレン、ビニルトルエンなどの芳香族ビニル化合物、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、2-ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレートなどの不飽和カルボン酸アルキルエステル、　アミノエチルアクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル、グリシジル（メタ）アクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル、（メタ）アクリロニトリル、α- クロルアクリロニトリルなどのシアン化ビニル化合物、1,3-ブタジエン、2-メチル-1,3- ブタジエン、イソプレンなどの脂肪族共役ジエン、それぞれ末端に（メタ）アクリロイル基を有するポリスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリブチル（メタ）アクリレート、ポリシリコーンなどのマクロモノマーなどが挙げられる。
【００１９】これらは、単独であるいは組み合わせて用いられる。バインダーポリマー［Ｂ］を形成するに際しては、上記のような酸モノマー［B-1］は、モノマー合計１００重量％に対して、好ましくは１５重量％〜５０重量％の量で、より好ましくは２０重量％〜４０重量％の量で用いられる。
【００２０】このようなバインダーポリマー［Ｂ］としては、具体的には、ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体、メチルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体、ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メチルメタクリレート／メタクリル酸／ポリスチレンマクロモノマー共重合体などが挙げられる。」
(1e)「【００２４】［Ｃ］感放射線化合物
本発明で用いられる感放射線化合物［Ｃ］は、放射線を照射されると、カルベン、ナイトレンなどのラジカル（活性分子片）を生じて反応し、バインダーポリマーに三次元架橋構造を形成させる化合物である。通常、下記のような２種類の反応系によって三次元架橋構造が形成される。
【００２５】(i) 感放射線化合物に放射線を照射することによって遊離される、カルベン、ナイトレンなどのラジカルが、バインダーポリマーなどに作用して二重結合の連鎖反応を誘起させ、三次元架橋構造を形成するもの、(ii)感放射線化合物などの分子に放射線を照射することによって遊離されたカルベン、ナイトレンなどのラジカルが、バインダーポリマー中のＣ−Ｃ結合またはＣ−Ｈ結合に挿入反応して結合し、三次元架橋構造を形成するもの。
【００２６】前記バインダーポリマー［Ｂ］は、(i) の反応系により三次元架橋反応する際に絡め込まれるか、あるいは(ii)の反応系により感放射線化合物［Ｃ］と反応して架橋構造を形成して、不溶化される。
【００２７】なお本発明で「放射線」という語は、紫外線、電子線、Ｘ線などを含む概念で用いられる。このような感放射線化合物［Ｃ］としては、具体的には、光重合開始剤、光重合性モノマー、光重合性オリゴマー、光架橋剤などが挙げられる。」
(1f)「【００３９】［Ｄ］有機溶剤
本発明で用いられる有機溶剤［Ｄ］は、沸点が１００〜２００℃であり、蒸気圧が０．０５〜１０．０mmHgであるエステル類、エーテル類またはケトン類の少なくとも１種を、５０重量％以上の量で含有している必要がある。」
(1g)「【００４２】また上記のようなエステル類、エーテル類またはケトン類は、蒸気圧が０．０５〜１０．０mmHgであるが、０．１〜５．０mmHgであることがより好ましい。これらのうちでも好ましい有機溶剤の具体例としては、乳酸エチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、2-エトキシプロピオン酸エチル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどが挙げられる。
【００４３】本発明で用いられる有機溶剤［Ｄ］は、上記のようなエステル類、エーテル類またはケトン類の少なくとも１種を、有機溶剤中に、５０重量％以上、好ましくは７０重量％の量で含有している。」
(1h)「【００５６】
【実施例１】表面にナトリウムイオンの溶出を防止するＳiＯ2 膜が形成されたソーダガラス基板表面上に、所望されるパターン形状の遮光層を形成し、さらに表１に示すカラーフィルター用感放射線性組成物１をスピンコーターにより所望厚さ（１．５μｍ）に塗布した後、得られた塗膜を８０℃で１０分間プレベークして乾燥塗膜を得た。」
(1i)［Ｄ］有機溶剤として３−エトキシプロピオン酸エチル（【００５７】の【表１】）
(1j)［Ｄ］有機溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（【００７１】の【表４】）
と記載されている。
　
　そうすると、甲第１号証には、バインダーポリマーについて、酸モノマー［B-1］と、この酸モノマーと共重合可能なコモノマー［B-2］との共重合体であるとするが、酸モノマー［B-1］と、コモノマー［B-2］とは全て線状高分子となる２価モノマーのみであって、非線状高分子となる３価以上の多価モノマーは示されていないので、両モノマーの共重合体のバインダーポリマーは「線状有機高分子重合体」であることになり、
　また、「放射線」は紫外線、即ち光を意味するものであって、感放射線化合物は、光重合開始剤、光重合性モノマー等を含有するものであるから〔摘記(1d)〕、
　線状有機高分子重合体であるバインダーポリマー、感放射線化合物が、有機溶剤に溶解または分散され、
　その有機溶剤が、常圧における沸点が１００〜２００℃であり、２０℃における蒸気圧が０．０５〜１０mmHgであるエステル類、エーテル類またはケトン類の少なくとも１種を、５０重量％以上の量で含んでなる溶剤であるカラーフィルター用感放射線性組成物、及び、塗布乾燥して塗膜を形成し、露光して光硬化すること、が記載されていることになると認められる。
　
　甲第２号証（特開平２−１０３４８号公報）には、
(2a)「本発明のポジ型フォトレジストは、ノボラック樹脂及び
光増感剤のほか、溶媒を含有する。使用することのできる溶媒の例は、以下のものに限定されるものではないけれども、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＭＡ）、エチルセロソルブアセテート（ＥＣＡ）、エチル−３−エトキシプロピオネート（ＥＥＰ）、ＥＣＡ、酢酸ブチル及びキシレンの混合物、ＰＭＡ、酢酸ブチル及びキシレンの混合物、そしてＰＭＡ、酢酸ブチル及びＥＥＰの混合物を包含する。ＰＭＡ及びＥＥＰはＥＣＡに較べて有利であるけれども、それは、かかる溶媒はより低い毒性を示すからである。ＥＥＰはとりわけ有利であり、すなわち、成分のためにより安定な環境を提供し、かつより良好な粒状安定性、すなわち、保存中におけるレジスト内の造粒傾向を下げる性質を呈示する。また、ＥＥＰの単独を使用しても、例えば３成分混合物である溶媒よりもより大きな再現性をもった感光度を有する筋なし被膜を形成することができる。
　レジスト中に含まれる溶媒の量は、かなり幅広く変更することができる。一般的に、ここでもとめられることのすべてとしては、所定の塗布条件、例えばスピンコートの速度及びプリベーク温度の下において所望の膜厚を得るのに十分な溶媒を使用することがある。典型的には、しかし、約２５〜３０％の固体を有するフォトレジストを製造するのに十分な量の溶媒をポジ型フォトレジスト組成物に添加する。」（第１３頁左下欄第７行〜右下欄第１５行）
(2b)「溶媒の混合物を使用する場合、溶媒を次のような相対的
な量で使用するのが一般的である。
　
　　溶　媒　　　　　　　　　大略の量（重量％）
　──────　　　　　　　─────────
　ＥＣＡ　　　　　　　　　　　　８０％
　酢酸ブチル　　　　　　　　　　１０％
　キシレン　　　　　　　　　　　１０％
　
　ＰＭＡ　　　　　　　　　　　　８０％
　酢酸ブチル　　　　　　　　　　１０％
　キシレン　　　　　　　　　　　１０％
　
　ＰＭＡ　　　　　　　　　　　６５％
　酢酸ブチル　　　　　　　　　３０％
　ＥＥＰ　　　　　　　　　　　　５％」（第１３頁右下欄第１６行〜第１４頁左上欄第１０行）
(2c)「例２３
　本例では、混合アルデヒドノボラック樹脂を含有する本発明のポジ型フォトレジストの高められた熱的挙動を説明する。
　次のような成分をブレンドすることによってポジ型フォトレジストを調製した。
　
　　　成　　 分 　　　 　　　 　　　 　　　重量(ｇ)　　　乾燥重量％
────────────────　　　　──────　　　─────
例２０の混合物アルデヒドノボラ　　　　　　　37.16　　　　　13.92
ック樹脂
７０重量％のｍ−クレゾール及び　　　　　　　18.19　　　　　 7.76
３０重量％のｐ−クレゾールを含
有するフェノール成分から調製し
たノボラック樹脂
例２１からの光増感剤　　　　　　　　　　　　 5.39　　　　　 5.39
ＰＭＡ溶媒　　　　　　　　　　　　　　　　　38.90　　　　　72.65
アリザリンイエローＡ染料　　　　　　　　　　 0.27　　　　　 0.27
しわコントロール添加剤　　　　　　　　　　　 0.09　　　　　0.001
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　────　　　　────
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　100.00　　　　 99.99
　
　得られたレジストは、固形分が２７〜３４％、そして粘度が約１６〜１８ｃｐｓであった。」（第１６頁左下欄下から第６行〜右下欄下から第６行）
と記載されている。
　
　甲第３号証（特開平６−５１５０６号公報）には、
(3a)「【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、溶剤を選択する場合、従来は、溶剤の製造業者又はフォトレジスト製造業者が、特別の溶剤を使用するということから生じうる環境への影響を考慮にいれていない。多数の使用者は、例えば小規模でのみ被覆を行ない、溶剤を回収する装置を所有しないか、又は溶剤蒸気を環境上安全に除去する装置を所有しない。最近では、より厳しい標準規格が有機溶剤の使用に対して設定確立されたので、溶剤を選定することも制限された。また、特公平３−１６５９号公報に記載されたグリコールエーテルエステル、特にプロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＥＧＭＥＡ）を溶剤として用いる場合、沸点が低く蒸発速度が速すぎて塗布の均一性が得られず、レジストの保存安定性が悪いという問題点がある。また、特公平３−２２６１９号公報に記載されたモノオキシモノカルボン酸エステル、特に２−エトキシプロピオン酸エチル（ＥＥＰ）を溶剤として用いる場合、沸点が高く蒸発速度が遅すぎて膜厚が薄くなりすぎるという問題点がある。したがって、本発明の課題は、沸点、蒸気圧及び溶解力の点で、これまで使用された溶剤に相当する溶剤を含有し、他の所望の性質は不変のままで有効な感光速度を有し、かつ健康に対してほとんど害のないフォトレジスト溶剤を得ることである。本発明は、上記の諸点に鑑みなされたもので、アルコキシプロピオン酸エステル系の溶剤とグリコールエステル系の溶剤とを、ある特定の比率で混合した混合溶剤を使用することにより、健康に対してほとんど害がなく、かつ各種性能に優れたポジ型の感光性液組成物を提供することを目的とするものである。」
(3b)「【００１２】・・・また、エトキシプロピオン酸エチルエステル（ＥＥＰ）／プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＥＧＭＥＡ）の混合重量比が８０／２０〜６０／４０の範囲内のもので、特に好ましくはその混合重量比が７３／２７〜６７／３３の比率である混合溶剤を用いるのが望ましい。ＥＥＰ／ＰＥＧＭＥＡの混合重量比が８０／２０を超える場合は、沸点が高くなり蒸発速度が遅くなって、膜厚が薄くなりすぎるという不都合点があり、一方、ＥＥＰ／ＰＥＧＭＥＡの混合重量比が６０／４０未満の場合は、沸点が低くり蒸発速度が速すぎて、塗布の均一性が得られず、さらには、レジストの保存安定性が悪いという不都合点がある。このため、従来から用いられてきた性能の優れたエチルセロソルブアセテート（ＥＣＡ）と同等の性能を発揮させるためには、ＥＥＰ／ＰＥＧＭＥＡの混合重量比を８０／２０〜６０／４０、望ましくは７３／２７〜６７／３３とする。」
と記載されている。
　
　甲第４号証（特開平４−２７０３４６号公報）には、
(4a)「【００１９】実施例２
実施例１の条件で、感光性樹脂の固形分濃度と粘度とを変え、均一な膜厚のカラーフィルタを得るための最適条件を検討した。各画素に対する感光性樹脂モノマー、バインダー、光重合開始剤は共通とし、いずれもモノマーとして多官能性アクリル酸系モノマーを、バインダーとしてアクリル酸系共重合体を、光重合開始剤としてトリアゾール系のものを用いた。・・・・・・・
【００２１】固形分濃度の最適値が明らかになると、粘度の最適値を選ぶことにより、均一な膜厚のカラーフィルタを製造できる。図６に、粘度と膜厚との関係を示す。なお粘度の調整は溶媒中のプロピレングリコールメチルエーテルアセテートとシクロヘキサンとの割合を変えることで行った。図から明かなように、最適固形分濃度では、いずれの画素に対しても粘度と膜厚との関係は同じ直線上に有る。例えば膜厚１．８μｍ±０．１μｍを実現するための粘度の範囲は、最適値が１０ｃｐｓ（センチポアズ）、変動許容幅が３ｃｐｓである。・・・」
と記載されている。
　
　甲第５号証（特開平５−３４５１４号公報）には、
(5a)「【００２７】・・・基板および／または支持体に塗布する方法としては、スピンナー、ロールコーター、バーコーター、カーテンコーターなどの方法が用いられる。」
と記載されている。
　
5．対比・判断
5-1．特許法第２９条第２項違反について
5-1-1．本件発明１について
　本件発明１と甲第１号証に記載された発明とを対比すると、「カラーフィルター用感放射線性組成物」も光重合性組成物であり、塗布して塗膜を形成する塗布液組成物でもあるので、
　後者の「線状有機高分子重合体であるバインダーポリマー」、「カラーフィルター用感放射線性組成物」は、それぞれ、前者の「線状有機高分子重合体（バインダーとしての）」、「光重合性組成物」に相当するから、
　両者は、バインダーを含有する光重合性組成物を有機溶剤に溶解した塗布液組成物、である点で一致し、
・相違点ア
　有機溶剤について、
　前者では、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＭＡ）、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、及び３−エトキシプロピオン酸エチル（ＥＥＰ）からなる群より選ばれた少なくとも２種を含有し、該塗布液組成物の全溶剤中に占める上記溶剤の和の比率が６０〜１００重量％で、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートの和の重量が、３−メトキシプロピオン酸メチルと３−エトキシプロピオン酸エチルの和の重量より大きい（以下、この溶剤の重量関係を「ＰＭＡ＞ＥＥＰの重量関係」という。）のに対して、
　後者では、常圧における沸点が１００〜２００℃であり、２０℃における蒸気圧が０．０５〜１０mmHgであるエステル類、エーテル類またはケトン類の少なくとも１種を、５０重量％以上の量で含んでなる溶剤である点
・相違点イ
　補助溶剤について、
　前者では、全溶剤の４０重量％未満で、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、乳酸エステル類、セロソルブ類及び環状エステル類から選択されるエステル系有機溶剤、ケトン系有機溶剤並びにアルコール系有機溶剤から選択される少なくとも1種であるのに対して、
　後者では、全溶剤の５０重量％未満である以外は特に規定されていない点
・相違点ウ
　粘度が、前者では、３０℃における粘度の範囲が５〜２０ＣＰＳであるのに対して、後者では特に規定されていない点
で相違する。
　
・上記相違点アについて検討する。
　甲第１号証には、蒸気圧が０．０５〜１０．０mmHgである溶剤として、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等が例示されており〔摘記(1g)〕、本件発明１において使用する有機溶剤と重なるものであり、さらに全溶剤中に占める溶剤の比率も「５０重量％以上の量」であるから、本件発明の「６０〜１００重量％」と重なるものである。
　しかしながら、本件特許明細書の実施例１、２の記載からみて、溶剤がＰＭＡ＞ＥＥＰの重量関係であることによってうろこ雲状あるいはゆずはだ状の乾燥むらを防止するするものであるが、甲第１号証には、そのような重量関係については記載されておらず、示唆もない。
　甲第２号証には、キノンジアジド系のポジ型レジストの有機溶剤の組み合わせと、有機溶剤間の重量比が記載されており〔摘記(2a)、(2b)〕、そのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６５重量％、酢酸ブチル５０重量％及び３−エトキシプロピオン酸エチル５重量％の組み合わせは、ＰＭＡ＞ＥＥＰの重量関係を満たしているが、スピンコーター塗布を前提とするものであり〔摘記(2a)〕、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び３−エトキシプロピオン酸エチル（ＥＥＰ）は、エチルセロソルブアセテート（ＥＣＡ）より低い毒性を示すこと、また、ＥＥＰは保存中のキノンジアジド系ポジ型レジストの造粒傾向を下げるという粒状安定効果があるとするが〔摘記(2a)〕、これは、本件発明１のような乾燥むらを防止することと関連することではない。
　甲第３号証には、キノンジアジド系ポジ型レジストの溶剤を、エトキシプロピオン酸エチルエステルとプロピレングリコールメチルエーテルアセテートの混合重量比で８０／２０〜６０／４０の範囲内とすること、及び、混合重量比が８０／２０を超える場合は、沸点が高くなり蒸発速度が遅くなって、膜厚が薄くなりすぎるという不都合点があり、混合重量比が６０／４０未満の場合は、沸点が低くり蒸発速度が速すぎて、塗布の均一性が得られず、さらには、レジストの保存安定性が悪いという不都合点がある〔摘記(3b)〕と記載されている。
　該不都合点は、スピンコーター塗布時には溶剤が蒸発するが、蒸発速度が遅すぎると、スピンコーターの回転によって塗布液組成物が流動しすぎて塗膜が薄くなるものであり、反対に溶剤の蒸発速度が速すぎると、塗布液組成物が蒸発しすぎて流動しなくなり、均一な塗膜ができないということであり（本件明細書段落【０００７】参照）、該混合重量比は、キノンジアジド系ポジ型レジストの溶剤として従来から用いられてきたエチルセロソルブアセテートと同等の性能を発揮させるために採るものであって、ＰＭＡ＞ＥＥＰの重量関係とは大小関係が逆になっている。そうすると、本件発明１のＰＭＡ＞ＥＥＰの重量関係はスピンコーター塗布には不適当なものであることであって、本件発明１のような乾燥むらを防止することを何ら示唆するものではない。
　さらに、甲第４号証には、溶剤としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテートを用いた場合に、粘度は１０ＣＰＳが最適であることが記載されているにすぎない。
　甲第５号証には、スピンコーター、ロールコーター、バーコーター、カーテンコーターを用いる塗布法が普通であることが単に記載されているにすぎない。
　したがって、甲第１号証に記載の発明に、甲第２〜５号証に記載の発明を組み合わせても、バインダーを含有する光重合性組成物を有機溶剤に溶解した塗布液組成物において、有機溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、及び３−エトキシプロピオン酸エチルからなる群より選ばれた少なくとも２種を含有し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートの和の重量が、３−メトキシプロピオン酸メチルと３−エトキシプロピオン酸エチルの和の重量より大きくする点を導き出すことができない。
　そして、本件発明１は、本件特許明細書記載の乾燥むらを低減するという顕著な効果を奏するものと認められる。
　よって、本件発明１は、上記相違点イ、ウについて検討するまでもなく、甲第１〜５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
5-1-2．本件発明２について
　本件発明２は、本件発明１の塗布液組成物を用いた塗膜形成方法であるから、上記5-1-1．で述べた、本件発明１が甲第１〜５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないのと同様な理由により、甲第１〜５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　
5-2．特許法第３６条第４項違反について
　異議申立人は、本件特許明細書の段落【０００８】には、「ロールコーター、バーコーター等を用いて塗布した場合には、しばしば乾燥段階でうろこ雲状あるいはゆずはだ状のムラが生じる。基板表面に液膜を形成した後、自由表面から常圧で乾燥する塗布方式では常にこの問題に直面する。」と記載されており、この記載からみると、塗布液組成物の量を多くすると、塗膜の厚さが厚くなり、蒸発する溶剤の量が多くなって塗膜の均一性が大きく影響され、反対に、量を少なくすると、塗膜が薄くなり、蒸発する溶剤の量が少なくなって塗膜の均一性が影響されなくなるので、塗膜の均一性は塗膜の厚さによって大きく影響されるものであるが、本件特許明細書には塗膜の厚さに関しては何も記載されていないので、本件特許明細書の記載には不備がある旨主張する。
　しかしながら、塗布液組成物の塗布において、ロールコーター、バーコーター等を用いること、および、塗膜の厚さを調整することは周知である。その塗布液組成物においては、溶剤、光重合性組成物等の塗膜形成材料の種類、重量比というような、塗布に際して当然決定しなければならない種々の点があり、当業者が適宜決定して塗布していることであるので、塗膜の厚さが記載されていないことのみをもって、直ちに本件発明１、２を当業者が容易に実施することができないとすることはできない。
　
5-3．特許法第３６条第５項違反について
　異議申立人は、本件特許明細書の段落【００１８】では、「光重合開始剤としては、少なくとも１種のロフィン２量体（トリアリルイミダゾールダイマー）の使用が必須であるが、他に下記の材料を組合せることもできる。」と記載しているのに対して、本件発明１、２は、「光重合組成物」とあるのみで、「少なくとも１種のロフィン２量体（トリアリルイミダゾールダイマー）」を含有することを規定していないから、本件発明１、２は、特許を受けようとする発明が明確ではない旨主張する。
　しかしながら、上記訂正事項ｅによって、ロフィンに関し、「の使用が必須であるが」が「が使用できるが、」と訂正されたことにって、異議申立人の不備とする点は解消された。
　
6．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件請求項１、２の発明に係る特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１、２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年１２月２２日（２００３．１２．２２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
塗布液組成物及び塗膜の形成方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
バインダーとして線状有機高分子重合体を含有する
該塗布液組成物の全溶剤中４０重量％未満の他の補助溶剤が、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、乳酸エステル類、セロソルブ類及び環状エステル類から選択されるエステル系有機溶剤、ケトン系有機溶剤並びにアルコール系有機溶剤から選択される少なくとも１種であり、
　【請求項２】請求項１の塗布液組成物を塗布し、静置して乾燥することを特徴とする塗膜の形成方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、静置乾燥したときに乾燥むらの発生しにくい塗布液組成物に関する。本発明になる塗布液は、液晶ディスプレイ等に使用されるカラーフィルター及びその保護膜の作成用、あるいは液晶ディスプレイの駆動電極を形成するためのフォトレジスト等の、乾燥むらの発生を抑制することが特に重要な分野に有用である。
　【０００２】
　【従来の技術】
　カラー液晶表示装置に使われているカラーフィルタは赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）、更に必要に応じて黒色（Ｋ）のパターンをガラス基板上に規則的に配列したもので、パターン形成の手法としては染色法、印刷法、顔料分散法、電着法等が知られている。
　【０００３】
　顔料分散法においては、通常、塗布によって基板表面に色材の皮膜を形成し、フォトリソ法によって該皮膜を所定のパターンに加工する工程を一色づつ繰り返す手法が使われている。できあがったカラーフィルタの品質の良否は顔料分散液の塗布技術とフォトリソ技術に集約される。しかるに、この塗布条件は極めて複雑である。
　【０００４】
　工程を追ってみると、（Ｒ）、（Ｇ）、（Ｂ）等のパターンは一色づつ逐次形成されるため最初の１色目は平滑なガラス基板上に塗布されるが、２色目からは最初のパターンが形成されたガラス基板上に塗布しなければならない。即ち、（Ｒ）、（Ｇ）、（Ｂ）の順にパターン形成する場合には、（Ｇ）は（Ｒ）のパターンが形成されたガラス基板上に塗布しなければならないし、（Ｂ）は（Ｒ）、（Ｇ）のパターンが形成されたガラス基板上に塗布しなければならない。しかるに、ディスプレイの表示色の均一性はパターンの僅かな膜厚変動によって影響を受ける。
　【０００５】
　また、このようにして作成されたカラーフィルターの表面を平坦に保つことと表面を保護することを目的として、通常、カラーフィルタ層の表面には透明な樹脂膜が塗設される。この保護膜もカラーフィルタと同様に膜厚の均一性が要求される。
　【０００６】
　更に、ＴＦＴ型液晶ディスプレイでは、ガラス基板表面に電極駆動用トランジスターを各画素毎に形成する必要があるが、このために使用するフォトレジスト層も同様に塗膜の均一性が要求される。
　【０００７】
　塗布膜を形成する方法としては種々のコーターが知られているが、上記の条件を満す塗布方式として、これまでスピンコーターが使われてきた。スピンコーターは塗布後、塗膜の流動性が無くなる段階まで回転を続けているため、塗膜の表面に常に遠心力が働いており、乾燥の初期段階で液膜が流動し易い状態の時でも流動が起こり難い状態にあるものと思われる。スピンコーターは機構が単純で高精度の塗布ができるため長い間これらの用途に使われてきたが、この塗布方式は必要とする液量の十数倍の液量を使うため、コストと環境面からこれに代わる塗布装置が切望されていた。
　【０００８】
　一方、ロールコーターあるいは特開平２−２５８０８１号の発明に開示されているバーコーター等を用いて塗布した場合には、しばしばうろこ雲状あるいはゆずはだ状のムラが発生する。これは乾燥段階で生ずるものと思われる。即ち、この方法では液膜は自由表面からの乾燥であり、溶剤の蒸発によって液膜表面の温度が下がると液膜に温度差が生じ、液膜の内部で対流が発生し、ムラが発生するものと推定される。従って、ロールコーターあるいはバーコーターに限らず、基板表面に液膜を形成した後、自由表面から常圧で乾燥する塗布方式では常にこの問題に直面する。
　【０００９】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明の目的は、ロールコーターあるいは特開平２−２５８０８１号の発明に開示されているバーコーター等を用いて塗布し、静置して自由表面から乾燥させる方法においても、レベルの均一な塗膜が得られる塗布液組成物、及びそれを用いた塗膜の形成方法を提供することにある。
　【００１０】
　【課題を解決するための手段】
　発明者等は、塗布液組成物の溶媒として、特定の溶剤をある比率で組合せることにより上記課題が解決されることを見出し、本発明をなすに至った。
　【００１１】
　即ち、ローラー、ワイヤーバーあるいは「日経マイクロデバイス」Ｖｏｌ．１０５，Ｐ８４〜８５，Ｍａｒ．１９９４において、「レジストをムダにしない塗布装置の詳細が明らかに」の表題で紹介されている塗布機を用いて基板表面に液膜を形成後、静置乾燥する塗布方式に適した塗布液組成物として、該組成物中の溶剤の１部がプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、および３−エトキシプロピオン酸エチルからなる群から選択された少なくとも２種類の組合せであって、塗布液組成物の溶剤中に占める上記溶剤の和の比率が６０〜１００重量％で、かつ該溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート＋プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート＞３−メトキシプロピオン酸メチル＋３−エトキシプロピオン酸エチル（重量）の不等式を満足し、
該塗布液組成物の全溶剤中４０重量％未満の他の補助溶剤が、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、乳酸エステル類、セロソルブ類及び環状エステル類から選択されるエステル系有機溶剤、ケトン系有機溶剤並びにアルコール系有機溶剤から選択される少なくとも１種であり、
　【００１２】
　本発明の塗布液組成物には、４０重量％未満の範囲で他の補助溶剤を添加することができる。添加できる補助溶剤の例を挙げると、エステル系有機溶剤としてはプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル類、乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸エステル類、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、フェニルセロソルブアセテート等のセロソルブ類等の他、ガンマーブチルラクトン等の環状エステル類等が有用である。
　【００１３】
　ケトン系有機溶剤としてはメチルエチルケトン、メチル（イソ）プロピルケトン、メチル（イソ）ブチルケトン等のアルキルケトン類、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン等の環状ケトン類等が有用である。該エステルおよびケトンの選択および混合比率は任意であり、溶質の溶解性、乾燥速度、混合するアルコールの種類等によって適宜決めることができる。
　【００１４】
　アルコール系有機溶剤としては炭素数２〜６で直鎖、分岐叉は環状アルコールから選ばれた少なくとも一種からなり、具体的には、エチルアルコール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、イソブチルアルコール、ターシャリーブチルアルコール、アミルアルコール、イソペンチルアルコール、ヘキシルアルコール、イソヘキシルアルコール等あるいはシクロペンチルアルコール、シクロヘキシルアルコール等の環状アルコール等が有用である。
　【００１５】
　本発明の塗布液組成物の溶質としては、
バインダーとして線状有機高分子重合体を含有する
　【００１６】
　更に、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０．Ｎｏ．３００〜３０８頁に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものも使用できる。使用量は５〜５０％で、好ましくは１０〜４０％である。上記モノマーまたはオリゴマーは単独で使用するかあるいは複数個混合使用しても良い。
　【００１７】
　これらの中で、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートが特に好ましい。
　【００１８】
　光重合開始剤としては、少なくとも１種のロフィン２量体（トリアリルイミダゾールダイマー）
が使用できるが
　【００１９】
　これらの中で、上記特開昭６３−１５３５４２号公報、米国特許第３，９５４，４７５号もしくは独国特許２，７１８，２５９号明細書に開示された感光性ーｓートリアジン化合物、トリハロメチルーｓートリアジン系化合物が好ましい。
　【００２０】
　バインダーは、モノマーに対して相溶性のある線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば、特開昭５９ー４４６１５号、特公昭５４ー３４３２７号、特公昭５８ー１２５７７号、特公昭５４ー２５９５７号、特開昭５９ー５３８３６号、特開昭５９ー７１０４８号明細書に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体がある。
　【００２１】
　この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたものなどが有用である。特にこれらの中でベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体やベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／および他のモノマーとの多元共重合体が好適である。この他に水溶性ポリマーとして、ポリビニールピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニールアルコール等も有用である。また硬化皮膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや２，２ービスー（４ーヒドロキシフェニル）ープロパンとエピクロルヒドリンのポリエーテルなども有用である。
　【００２２】
　これらのポリマーは任意な量を混合させることができるが、固形分全体の９０重量％を越えることは形成される画像強度等の点で好ましい結果を与えない。好ましくは固形分全体の３０〜８５重量％である。
　【００２３】
　塗布液組成物としては、上記好ましい素材の中から適宜選択して組み合わせたものが好ましく用いられる。
　【００２４】
　塗布液組成物にはまた界面活性剤等の添加が有効である。特に、特開平２−８０４号公報に開示されているオルガノポリシロキサン化合物およびフッソ系界面活性剤との併用によりより均一性の高い塗膜を得ることができる。
　【００２５】
　感光剤の保存安定性改良のため熱重合防止剤の添加も一般的に行なわれている。例えば、ハイドロキノン、ｐーメトキシフェノール、ジーｔーブチルーｐークレゾール、ピロガロール、ｔーブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’ーチオビス（３ーメチルー６ーｔーブチルフェノール）、２，２’ーメチレン（４ーメチルー６ーｔーブチルフェノール）、２ーメルカプトベンゾイミダゾール等が有用であり、通常モノマーに対して５００〜２０００ＰＰＭ程度添加される。通常市販のモノマー中には、適量の熱重合防止剤が添加されている。
　【００２６】
　液晶ディスプレイ等に使用するカラーフィルタの画素を形成するための塗布液組成物を製造する場合は、ロールミル、サンドミル、ボールミルあるいはアトライターのような分散機を使用して上記光重合性組成物中に顔料を分散する。カーボンブラックあるいは混色によるブラックを分散したものはブラックストライプ用として使用できる。
　【００２７】
　感光性組成物に添加される（Ｂ）、（Ｇ）あるいは（Ｒ）用の顔料としては、アゾ系、アンスラキノン系、キサンテン系、キナクリドン系、インジゴ系、ジオキサジン系、インダンスロン系、イソインドリノン系の顔料が有用であり、例えば、フタロシアニンブルー（Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６またはＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３　例えば、東洋インキ製造（株）製のリオノールブルーＥＳ、チバガイギー社製のクロモブルーＡ３Ｒ）、フタロシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６またはＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３７例えば、東洋インキ製造（株）製のリオノールグリーン２ＹＳ）、ベリレン系顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５５）、アントラキノン系顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７：例えば、東洋インキ製造（株）製のリオノーゲンレッドＧＤ、チバガイギー社製のクロモフタルレッドＢＲＮ）等が有用であり、更に色補正用のためにＣ．Ｉ．ピグメントエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントエロー１５４例えば、東洋インキ製造（株）製リオノーゲンエロー３Ｇ、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３（例えば、東洋インキ製造（株）製のリオノーゲンバイオレトＲＬ等が特に好ましい。感光層中に占める該顔料の比率は、固形分比で５〜９０重量％であり、より好ましくは１０〜６０重量％である。
　【００２８】
　保護膜としては、上記組成から顔料を除いた組成が有用である。特開平４−１８００６５、特開平５−３４９２０等も知られている。
　【００２９】
　基板および支持体としては、ガラス等の透明な材料が好んで用いられる。また、基板および支持体と組成物との密着力を向上させるために、市販の各種シランカップリング剤等を組成物に添加するか、または、あらかじめ基板および支持体に作用させた後、組成物を塗布してもよい。
　【００３０】
　塗膜の現像液として好適に用いられるものとしては、アルカリ金属またはアルカリ土類金属の水酸化物または炭酸塩、炭酸水素塩、アンモニア水、アルカノールアミン、４級アンモニウム塩の水溶液等が挙げられる。また該アルカリ類に界面活性剤を適量添加して使用することもできる。以下に、本発明を実施例に基づき更に詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
　【００３１】
　【実施例】
参考例１
　ＦＵＳＩＯＮの＃７０５９の厚み：１．１ｍｍ、サイズ：３００ｘ３５０ｍｍのガラス基板に、下記処方１の感光性組成物を特開平２−２５８０８１号公報に開示されているバーコーターを使って塗布した。２ｍ／分の速度で塗布し、基板に対し、垂直に乾燥風（基板表面での線速度：０〜１ｍ／秒）を当てながら２分間乾燥し、ホットプレートで８５℃、３分間乾燥した。冷却後、表面検査用ランプを通して、あるいはランプの反射光で観察したところ、うろこ雲状の塗布ムラが見られた。
　【００３２】
参考例２
　ＦＵＳＩＯＮの＃７０５９の厚み：１．１ｍｍ、サイズ：３００ｘ３５０ｍｍのガラス基板に、下記処方１の感光性組成物をスピンコーターを使って塗布した。７５０ｒｐｍで、６０秒回転して後スピンコーターから取り出し、ホットプレートで８５℃、１分間乾燥した。冷却後、表面検査用ランプを通して、あるいはランプの反射光で観察したが塗布ムラは見られなかった。
　【００３３】
（処方１）
　　・ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸共重合体（バインダー）〔モル比７０／３０、平均分子量Σｗ２０，０００〕
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　６２ｇ
　　・ペンタエリスリトールテトラアクリレート（モノマー）　　３８ｇ
　　・４−［ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）］−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン（光重合開始剤）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１．５ｇ
　　・リオノーゲンレッドＣＤ（Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８）（顔料）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　３６ｇ
　　・リオノーゲンオレンジＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６）（顔料）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１２ｇ
　　・ハイドロキノンモノメチルエーテル（熱重合禁止剤）　　　　０．０１ｇ
　　・セロソルブアセテート（溶剤）　　　　　　　　　　　　４５０ｇ
　　（　）内は各成分の機能等を示している。
　【００３４】
実施例１
　ＦＵＳＩＯＮの＃７０５９の厚み：１．１ｍｍ、サイズ：３００ｘ３５０ｍｍのガラス基板に、下記処方２の感光性組成物を特開平２−２５８０８１号公報に開示されているバーコーターを使って塗布した。２ｍ／分の速度で塗布し、基板に対し垂直に乾燥風（基板表面での線速度：０〜１ｍ／秒）を当てながら２分間乾燥し、その後ホットプレートで８５℃、３分間乾燥した。冷却後、表面検査用ランプを通して、あるいはランプの反射光で観察したが塗布ムラは見られなかった。
　【００３５】
（処方２）
　　・ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸共重合体（バインダー）〔モル比７０／３０、平均分子量Σｗ２０，０００〕
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　６２ｇ
　　・ペンタエリスリトールテトラアクリレート（モノマー）　　３８ｇ
　　・４−［ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）］−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン（光重合開始剤）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１．５ｇ
　　・リオノーゲンレッドＣＤ（Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８）（顔料）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　３６ｇ
　　・リオノーゲンオレンジＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６）（顔料）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１２ｇ
　　・ハイドロキノンモノメチルエーテル（熱重合禁止剤）　　　　０．０１ｇ
　　・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶剤）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　３００ｇ
　　・３−エトキシプロピオン酸エチル（溶剤）　　　　　　　１００ｇ
　　・シクロヘキサノン（溶剤）　　　　　　　　　　　　　　　５０ｇ
　　・粘度（３０℃）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１５ｃｐｓ
　【００３６】
実施例２
　ＦＵＳＩＯＮの＃７０５９の厚み：１．１ｍｍ、サイズ：３００ｘ３５０ｍｍのガラス基板に、下記処方３の感光性組成物を特開平２−２５８０８１号公報に開示されているバーコーターを使って塗布した。２ｍ／分の速度で塗布し、基板に対し垂直に乾燥風（基板表面での線速度：０〜１ｍ／秒）を当てながら２分間乾燥し、その後ホットプレートで８５℃、３分間乾燥した。冷却後、表面検査用ランプを通して、あるいはランプの反射光で観察したが塗布ムラは見られなかった。
　【００３７】
　処方３は保護膜用の材料溶液であり、通常はカラーフィルタ層の表面に塗布するが、本実施例では塗布ムラを見易くするために上記条件を選んだ。
　【００３８】
（処方３）
　　・ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸共重合体（バインダー）〔モル比７０／３０、平均分子量Σｗ２０，０００〕
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　６２ｇ
　　・ペンタエリスリトールテトラアクリレート（モノマー）　　３８ｇ
　　・４−［ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）］−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン（光重合開始剤）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１．５ｇ
　　・ハイドロキノンモノメチルエーテル（熱重合禁止剤）　　　　０．０１ｇ
　　・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶剤）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　３００ｇ
　　・３−エトキシプロピオン酸エチル（溶剤）　　　　　　　１５０ｇ
　　・粘度（３０℃）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１４ｃｐｓ
　【００３９】
　【発明の効果】
　本発明によれば、通常バーコーター、ローラーコーターで塗布したときに発生し易いうろこ雲状あるいはゆずはだ状の乾燥むらの発生が低減されるかあるいは解消される。
　基板上に残る液量より一桁多い液量を必要とするため高価な材料を無駄に使い、多量の廃液を発生させ、材料費と廃液処理コストがかさむスピンコーター塗布に較べ非常に有利である。