【事件の表示】
　特許第３３３９７９２号「動圧軸受における動圧溝の電解加工方法及び電解加工装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３３９７９２号の請求項１ないし４に係る特許を取り消す。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第３３３９７９２号の請求項１ないし４に係る発明についての出願は、平成９年２月４日に特許出願され、平成１４年８月１６日にその特許権の設定の登録がされ、その後、後藤裕美より請求項１ないし４に係る特許について特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１６年１月１９日に訂正請求がなされたものである。
第２　訂正の適否
１　訂正請求の内容
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲に記載の
「　【請求項１】　軸受流体に軸支用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するものであって、
　上記動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、を互いに近接して対向配置すると共に、これら被加工物及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と被加工物との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工するようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記電極工具の上記被加工物に対向する部分のうち、前記動圧溝に対応しない部分に凹部を形成して、該凹部に非導電性材料を設け、
　この非導電性材で覆われない部分を電極露出部に形成すると共に、
　上記電極露出部の表面が上記非導電性材料の表面に対して面一となるように形成し、
　この電極工具を用いて動圧溝の電解加工を行うようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
　　【請求項２】　請求項１記載の電極工具は、非導電性材料に対応する凹部を形成し、被加工物に対向する全体部分に非導電性材料を被膜した後に、電極露出部が露出して電極露出部の表面と凹部に被膜されている非導電性材料の表面とが面一となるように加工を施すことによって形成され、この電極工具を用いて動圧溝の電解加工を行うようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
　　【請求項３】　請求項１または２記載の非導電性材料を樹脂として、動圧溝の電解加工を行うようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
　　【請求項４】　軸受流体に軸支用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するものであって、
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に近接対向配置され上記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、これら電極工具及び被加工物の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記被加工物及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と被加工物との間に電解液を流動させながら通電することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工するように構成した電解加工装置において、
　上記被加工物に対向する部分のうち、前記動圧溝に対応しない部分に形成された凹部内に非導電性材料が設けられ、この非導電性材料に覆われない部分が電極露出部に構成されていると共に、
　上記電極露出部の表面が上記非導電性材料の表面に対して面一となるように構成された電極工具を備えた動圧軸受における動圧溝の電解加工装置。」を、
「　【請求項１】　軸受流体に軸支用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するものであって、
　上記動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、を互いに近接して対向配置すると共に、これら被加工物及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と被加工物との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工するようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記電極工具の上記被加工物に対向する部分のうち、前記動圧溝に対応しない部分に凹部を形成して、該凹部に非導電性材料を設け、
　この非導電性材で覆われない部分を電極露出部に形成すると共に、
　上記電極露出部の表面が上記非導電性材料の表面に対して面一となるように形成し、
　この電極工具を用いて動圧溝の電解加工を行う方法であって、
　前記電極工具と前記被加工物との間の通電電流値から電流密度を算出し、さらにその電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な総電気量を演算し、この総電気量を制御することによってμｍまたはサブμｍオーダーの高精度電解加工を行うようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
　　【請求項２】　請求項１記載の電極工具は、非導電性材料に対応する凹部を形成し、被加工物に対向する全体部分に非導電性材料を被膜した後に、電極露出部が露出して電極露出部の表面と凹部に被膜されている非導電性材料の表面とが面一となるように加工を施すことによって形成され、この電極工具を用いて動圧溝の電解加工を行うようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
　　【請求項３】　請求項１または２記載の非導電性材料を樹脂として、動圧溝の電解加工を行うようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
　　【請求項４】　軸受流体に軸支用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するものであって、
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に近接対向配置され上記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、これら電極工具及び被加工物の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記被加工物及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と被加工物との間に電解液を流動させながら通電することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工するように構成した電解加工装置において、
　上記被加工物に対向する部分のうち、前記動圧溝に対応しない部分に形成された凹部内に非導電性材料が設けられ、この非導電性材料に覆われない部分が電極露出部に構成されていると共に、
　上記電極露出部の表面が上記非導電性材料の表面に対して面一となるように構成された電極工具を備え、
　前記電極工具と前記被加工物との間の通電電流値から電流密度を算出し、さらにその電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な総電気量を演算し、この総電気量を制御することによってμｍまたはサブμｍオーダーの高精度電解加工を行う加工制御手段を有することを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工装置。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許明細書の【０００９】項の記載を、
「　【０００９】
　　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、本発明にかかる電解加工方法は、軸受流体に軸支用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するものであって、上記動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、を互いに近接して対向配置すると共に、これら被加工物及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と被加工物との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工するようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、上記電極工具の上記被加工物に対向する部分のうち、前記動圧溝に対応しない部分に凹部を形成して、該凹部に非導電性材料を設け、この非導電性材で覆われない部分を電極露出部に形成すると共に、上記電極露出部の表面が上記非導電性材料の表面に対して面一となるように形成し、この電極工具を用いて動圧溝の電解加工を行う方法であって、前記電極工具と前記被加工物との間の通電電流値から電流密度を算出し、さらにその電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な総電気量を演算し、この総電気量を制御することによってμｍまたはサブμｍオーダーの高精度電解加工を行うようにした構成になされている。」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　特許明細書の【００１０】項の記載を、
「　【００１０】
　また、本発明にかかる電解加工装置は、軸受流体に軸支用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するものであって、電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に近接対向配置され上記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、これら電極工具及び被加工物の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、上記被加工物及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と被加工物との間に電解液を流動させながら通電することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工するように構成した電解加工装置において、上記被加工物に対向する部分のうち、前記動圧溝に対応しない部分に形成された凹部内に非導電性材料が設けられ、この非導電性材料に覆われない部分が電極露出部に構成されていると共に、上記電極露出部の表面が上記非導電性材料の表面に対して面一となるように構成された電極工具を備え、前記電極工具と前記被加工物との間の通電電流値から電流密度を算出し、さらにその電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な総電気量を演算し、この総電気量を制御することによってμｍまたはサブμｍオーダーの高精度電解加工を行う加工制御手段を有する構成になされている。」と訂正する。
（４）訂正事項ｄ
　特許明細書の【００１１】項の記載を、
「　【００１１】
　このような構成を有する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法及び電解加工装置においては、電極露出部の表面が非導電性材料の表面に対して面一にされてμｍまたはサブμｍオーダーの高精度電解加工が行われることから、転写精度を向上すべく加工間隙が狭くされても、加工により生じた電解生成物や温度上昇をした電解液の滞留がなされなくなって電解条件が所望に保たれると共に、非導電性材料に対する上記電解生成物の衝突に起因して発生する当該非導電性材料の剥離片による詰まりがなくされて電解液の流速低下が防止され、特に面一にされた場合にあっては従来技術のような凹凸がなくされることから電解液の流速低下がさらに防止され、しかもこのように流速低下が防止されることによって電流密度の低下が防止されて被加工物の加工表面の面粗さが向上されると共に、このように電流密度の低下が防止されることによって電解加工速度が高められるようになる。」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　特許明細書の【００５０】項の文末に句点（。）を追加する。
（６）訂正事項ｆ
　特許明細書の【００５２】項の記載を、
「　【００５２】
　【発明の効果】
　以上述べたように、本発明にかかる電解加工方法及び電解加工装置は、電極露出部の表面を非導電性材料の表面に対して面一にしてμｍまたはサブμｍオーダーの高精度電解加工を行うようにし、転写精度を向上すべく加工間隙を狭くしても、加工により生じた電解生成物や温度上昇をした電解液の滞留が生じないようにして電解条件を所望に保ち得ると共に、非導電性材料に対する上記電解生成物の衝突に従って発生する当該非導電性材料の剥離片による詰まりをなくして電解液の流速低下を防止し、特に面一にした場合にあっては従来技術のような凹凸もなくし得ることによって電解液の流速低下をさらに防止し、しかもこのように流速低下を防止することによって電流密度の低下を防止して被加工物の加工表面の面粗さを向上すると共に、このように電流密度の低下を防止することによって電解加工速度を高め得るように構成したものであるから、高精度な動圧溝を生産性を向上しつつ得ることが可能となる。」と訂正する。
２　訂正の目的の適否、新規事項の有無および拡張・変更の存否
（１）訂正事項ａについて
　この訂正は、特許請求の範囲の請求項１において、「前記電極工具と前記被加工物との間の通電電流値から電流密度を算出し、さらにその電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な総電気量を演算し、この総電気量を制御することによってμｍまたはサブμｍの高精度電解加工を行うようにしたこと」を加入して限定し、また、特許請求の範囲の請求項４において、「前記電極工具と前記被加工物との間の通電電流値から電流密度を算出し、さらにその電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な総電気量を演算し、この総電気量を制御することによってμｍまたはサブμｍオーダーの高精度電解加工を行う加工制御手段を有すること」を加入して限定することから、いずれも特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そして、この訂正は、明細書の段落【００２９】及び【００２７】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であって、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（２）訂正事項ｂ〜ｄ、ｆについて
　この訂正は、訂正事項ａによる特許請求の範囲の請求項１及び４の訂正に伴い、発明の詳細な説明の記載をこれに整合するように訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当し、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（３）訂正事項ｅについて
　この訂正は、明瞭でない記載の記載の釈明を目的とするものに該当し、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
３　むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する同法第１２６条第２項から第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
第３　取消理由についての判断
１　本件発明
　本件特許第３３３９７９２号の請求項１ないし４に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」ないし「本件発明４」という。）は、訂正明細書及び設定登録時の図面からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定される上記第２の１の（１）のとおりのものと認める。
２　引用刊行物
　当審が通知した取消しの理由に引用した本件特許出願前に日本国内において頒布された刊行物１（特開昭５１−　６４１４１号公報、特許異議申立人の提出した甲第１号証）、刊行物２（実公昭５０−　３５０５１号公報、特許異議申立人の提出した甲第２号証）、刊行物３（実公昭６０−　３７２２６号公報、特許異議申立人の提出した甲第３号証）、刊行物４（特開昭５３−１３２４４０号公報、特許異議申立人の提出した甲第４号証）
には、それぞれ次の事項が記載されている。
（１）刊行物１
ａ「金属ブッシュに形成した内径１０ｍｍ以下の軸受孔の円筒内面に20ミクロン以下程度の浅い潤滑剤圧送溝のパターンを設けた円筒らせん溝軸受を製造するために、
　軸受孔の内径に対して２５０ミクロン以下の間隙とした外径を有する円筒電極の外面に上記溝のパターンに対応する導電パターンを形成し、上記電極を軸受けブッシュ内に軸受孔に同一軸線として取付け、電極外面と軸受孔との間隙に電解液を軸線方向に流し、電流を脈動的に電極に供給し、上記電流を電極から上記間隙を通って軸受ブッシュに流すことを特徴とする円筒らせん溝軸受の製造方法。」（第１頁左欄第４〜１６行）
ｂ「既知の軸受は、軸受面又は軸外面に極めて浅いらせん溝のパターンを設け、軸と軸受の相対回転に際して潤滑剤を軸受内方に圧送して静圧を生じさせ、高負荷に際しての金属面間接触を防ぐ。」（第１頁右欄第４〜７行）
ｃ「固定電極を使用する電解法によってブッシュの孔の内面に溝を形成することは既知である。しかし、この既知の方法は環状の１本の溝を製造する方法であり、電解液を溝の方向に流す。溝は孔内面の僅かな一部のみである。使用電流は常続電流である。」（第２頁右上欄第１０〜１５行）
ｄ「本発明の方法においては、１本の環状の溝ではなく、溝のパターンを軸受内面に形成し、電解液を軸受孔の軸線方向に流す。それ故電解液入口出口間の軸線方向距離は長く、電解を行う部分は軸線方向の長い距離に分布する。このために生ずる問題点は、電解液の流れる間の温度上昇によって入口部分と出口部分とは温度差を生じ、電解液粘度導電度が変化して電解除去される物質量が変化する。従って製品は溝深さの変化となり加工不正確の結果となる。」（第２頁右上欄第１６行〜同頁左下欄第５行）
ｅ「金属製軸受ブッシュ１の内径10mm以下の軸受孔内に円筒形電極２を挿入する。電極２の表面に合成樹脂、ガラス、陶器等の絶縁層３を被着する。
　らせん状のパターン４を絶縁層３に設けて電極の導電面を形成する。電極２の直径はブッシュ１の軸受孔内径よりも１００〜２５０μ小さくし、ブッシュ１と電極２との間に間隙５を形成する。電解液入口６と出口７とは間隙５によって連通する。」（第２頁左下欄第１３行〜２０行）
ｆ「電解液は入口６から軸線方向に間隙５を通って出口７に流れる。電流は導体８によって電極２に供給され、電極の露出したらせん状パターン４から間隙５を通ってブッシュ１に流れ、導体９を経て電源１０に戻る。電流が間隙５を通る部分でブッシュ１の孔の面が電解され、電極のパターン４に対応する溝が形成される。電流供給を周期的に遮断することによって電解液が間隙を通る間に特性が変化することなく、電極２の軸線方向全長において電解条件は同じであり、ブッシュ１の軸受孔の内面には均等な深さの溝が形成される。
　かくして、軸受ブッシュの内径10mm以下の軸受孔の内面に簡単安価に、正確な再現性を有するらせん状のパターンの溝を形成することができる。溝の深さは20ミクロン以下、例えば２ミクロンとすることができる。溝の巾と、溝の間の山の巾とは例えば０．１mm程度とすることができる。
　図示の例では絶縁被覆層３に形成した凹みを電極露出面４としたが、電極露出面の間の凹部を絶縁層とすることもできる。」（第２頁右下欄第５行〜第３頁左欄第４行）
　上記記載事項ｂにおける「静圧」は、「軸受面又は軸外面に極めて浅いらせん溝のパターンを設け、軸と軸受けの相対回転に際して潤滑剤を軸受内方に圧送して（静）圧を生じさせ、高負荷に際しての金属面間接触を防ぐ」ことから、明らかに「動圧」の誤記と認められる。また、上記記載事項ｆにおける「軸受孔の内面に簡単安価に、正確な再現性を有するらせん状パターンの溝を形成することができる。溝の深さは20ミクロン以下、例えば２ミクロンとすることができる。」は、μｍオーダーの高精度電解加工ができるということと解される。そうすると、上記記載事項ａ〜ｆ及び図面の記載からみて、刊行物１には、次の発明が記載されていると認める。
「潤滑剤に軸支用の動圧を発生させる円筒らせん溝を円筒らせん溝軸受の円筒内面に対して電解加工で所定の円筒らせん溝パターンに加工するものであって、
　上記円筒らせん溝が電解加工される金属製軸受ブッシュ１と、当該金属製軸受ブッシュ１に加工される円筒らせん溝に対応した円筒らせん溝パターンの電極露出面４を有する円筒形電極２と、を互いに近接して対向配置すると共に、これら金属製軸受ブッシュ１及び円筒形電極２を電解加工用電源１０の負極及び正極にそれぞれ接続し、円筒形電極２と金属製軸受ブッシュ１との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記金属製軸受ブッシュ１を前記円筒らせん溝パターンに対応して溶出させ円筒らせん溝を電解加工するようにした円筒らせん溝軸受における円筒らせん溝の電解加工方法において、
　上記円筒形電極２の上記金属製軸受ブッシュ１に対向する部分のうち、前記円筒らせん溝に対応しない部分に凹部を形成して、該凹部に合成樹脂、ガラス、陶器等の絶縁層３を設け、
　この合成樹脂、ガラス、陶器等の絶縁層３で覆われない部分を電極露出面４に形成し、
　この円筒形電極２を用いて円筒らせん溝のμｍオーダーの高精度電解加工を行うようにした円筒らせん溝軸受における円筒らせん溝の電解加工方法。」（以下、「刊行物１記載の第１発明」という。）、
及び、
「潤滑剤に軸支用の動圧を発生させる円筒らせん溝を円筒らせん溝軸受の円筒内面に対して電解加工で所定の円筒らせん溝パターンに加工するものであって、
　電解加工用電源１０と、上記円筒らせん溝が電解加工される金属製軸受ブッシュ１と、当該金属製軸受ブッシュ１に近接対向配置され上記円筒らせん溝に対応した円筒らせん溝パターンの電極露出面４を有する円筒形電極２と、これら円筒形電極２及び金属製軸受ブッシュ１の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記金属製軸受ブッシュ１及び円筒形電極２を前記電解加工用電源１０の負極及び正極にそれぞれ接続し、これら円筒形電極２と金属製軸受ブッシュ１との間に電解液を流動させながら通電することによって上記金属製軸受ブッシュ１を前記溝形状に対応して溶出させ円筒らせん溝を電解加工するように構成した電解加工装置において、
　上記金属製軸受ブッシュ１に対向する部分のうち、前記円筒らせん溝に対応しない部分に形成された凹部内に合成樹脂、ガラス、陶器等の絶縁層３が設けられ、この合成樹脂、ガラス、陶器等の絶縁層３に覆われない部分が電極露出面４に構成された円筒形電極２を備えたμｍオーダーの高精度電解加工を行う円筒らせん溝軸受における円筒らせん溝の電解加工装置。」（以下、「刊行物１記載の第２発明」という。）
（２）刊行物２
ａ「この考案は導電性の被印字物に電解刻印をする電解刻印機の印字電極に関するものである。
　上記の電解刻印機においては導電性の被印加物をプラス電極とし、印字電極をマイナス電極として、この両電極をわずかの間隙をあけた状態に保持し、この間隙に電解液を供給しながら両電極間に電流を流して被印字物に印字電極と同じ文字や形状を刻印する。」（第１欄第１３〜２０行）
ｂ「金属板３に取付けられた印字電極４は第２図に示されたように導電性の金属部４１と非導電性物質４２よりなり、印字部４３の表面４４と非導電性物質４２の表面４５は同じ高さあるいはほぼ同じ高さとなるように印字の周囲には非導電性物質が充填され、印字部４３は表面４４のみが露出している。そしてその中央部には電解液供給用の穴４６が加工されており、この穴４６から流入した電解液は支持台２に設けられた流出口２１から流出するようになっている。」（第１欄第３６〜第２欄第９行）
ｃ「印字電極をマイナス電極とし、被印字物をプラス電極としてこの両電極間の空隙に電解液を流通させながら、電極間に電流を通ずる電解刻印機において、印字電極の印字部の周囲空間部には非導電性物質を印字部の表面とほぼ同じ高さとなるように充填し、印字表面のみが被印字物に対応するように構成した印字電極。」（第４欄第８〜１４行）
（３）刊行物３
ａ「印字電極１５は導電性の金属体であって、印字記号群２９ａ，２９ｂの周囲に非導電性物質３０が充填されている。複数の印字記号群２９ａ，２９ｂの印字面３１は同一の平面上にあるように形成されている。非導電性物質３０の上面３２は被刻印物１ａ，１ｂが印字電極１５の位置にあるとき、被刻印物１ａ，１ｂを支持する面になる。非導電性物質３０の上面３２と印字面３１の面段差は電解刻印の加工が行われるときの電極間間隔を保持する寸法で形成されている。」（第４欄第３７行〜第５欄第２行）
（４）刊行物４
ａ「電極１の外周は絶縁体２５により被覆されており、絶縁体２５の被印字金属体４に対向する部分には印字すべき文字、記号、模様等の非絶縁の字型部１６が空隙２７を保っている。」（第３頁左下欄第１７〜２０行）
ｂ「電解液供給口２８を電極１の端部に設け、電解液３が、すべての文字、模様を印字する印字部１６に均等に満たされるように土手状のガイド３０を端部に設け、電解液３がガイド３０から他端３１に向って矢印にて示す如く流れ、他端３１で排出するようにすればよい。」（第３頁右下欄第２０行〜第４頁左上欄第５行）
３　対比・検討
（１）本件発明１について
　本件発明１と刊行物１記載の第１発明とを対比すると、刊行物１記載の第１発明の「潤滑剤」は本件発明１の「軸受流体」に相当し、以下、同様に「円筒らせん溝」は「動圧溝」に、「円筒らせん溝軸受 」は「動圧軸受」に、「円筒内面」は「動圧面」に、「円筒らせん溝パターン」は「溝形状」に、「電極露出面４」は「電極露出部」に、「円筒形電極２」は「電極工具」に、「金属製軸受ブッシュ１」は「被加工物」に、「合成樹脂、ガラス、陶器等の絶縁層３」は「非導電性材料」にそれぞれ相当することは明らかであるので、両者は、
「軸受流体に軸支用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するものであって、
　上記動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、を互いに近接して対向配置すると共に、これら被加工物及び電極工具を電解加工用電源にそれぞれ接続し、電極工具と被加工物との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工するようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記電極工具の上記被加工物に対向する部分のうち、前記動圧溝に対応しない部分に凹部を形成して、該凹部に非導電性材料を設け、
　この非導電性材で覆われない部分を電極露出部に形成し、
　この電極工具を用いて動圧溝のμｍオーダーの高精度電解加工を行うようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。」である点で一致し、次の点で相違している。
　相違点１：本件発明１では被加工物及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続しているのに対して、刊行物１記載の第１発明では被加工物及び電極工具を前記電源の負極及び正極にそれぞれ接続している点。
　相違点２：本件発明１では電極工具の電極露出部の表面が非導電性材料の表面に対して面一となるように形成されているのに対して、刊行物１記載の第１発明ではそのように形成されていない点。
　相違点３：本件発明１では、電極工具と被加工物との間の通電電流値から電流密度を算出し、さらにその電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な総電気量を演算し、この総電気量を制御することによって電解加工を行うようにしているのに対して、刊行物１記載の第１発明ではそのようにされていない点。
　そこで、前記相違点１ないし３について検討すると、
　相違点１については、被加工物及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続することは、例示するまでもなく周知技術であり、刊行物１記載の第１発明の被加工物及び電極工具に接続する電源の極性を逆にすることは当業者が適宜なし得た設計変更にすぎないことである。
　相違点２については、電解加工においては、複雑な形状をした被加工物の被加工面と電極との間隙に流す電解液の良好な流動性を確保することが重要であることは、例えば、佐藤敏一著「特殊加工」、第７版、株式会社養賢堂、１９９５年４月１０日、ｐ．２０７、第１５〜２７行に「電解加工では電流密度がきわめて大きく，加工間隙がきわめて小さいので，上述の電解生成物の発生や液の加熱はきわめて大きな悪影響を及ぼし，これらの影響をすみやかに除去しなければ加工がほとんど進行しなくなる。このため加工間隙にはかなり速い電解液の流れを形成することが必要になる。この流速は加工条件によって異なるが６〜６０ｍ/secが用いられる。・・・この電解液の流れは時間的に一定であると同時に，加工間隙内で空間的にも均一に分布することが必要であるが，複雑な形状をした広い面上で均一な液流の分布を得ることはかなりむずかしい技術になる。このためには電解液の噴出口の形状，寸法，個数，位置などを個々の場合に応じて変更する必要があるが，現在はそのための大略の規範が得られている。」と記載されているように技術常識である。
　そして、刊行物１記載の第１発明においても、電極工具の表面の凹凸が流動性に影響を与えることは明らかであるところ、電極工具の電極露出部の表面が非導電性材料の表面に対して面一となるように形成することは、刊行物２ないし４に記載されており、該記載された技術的事項と刊行物１記載の第１発明とは技術分野が共通しており、しかも、両者の組み合わせを阻害する特段の事由も見出せないことから、刊行物１記載の第１発明に前記技術的事項を適用することにより、相違点２に係る本件第１発明のように構成することは当業者が容易になし得たことである。
　相違点３については、例えば、上記の佐藤敏一著「特殊加工」のｐ．２０８−２１０の「10.2　電解加工の加工速度および電流効率」に記載されているように、電解加工において、電気量と加工量とは比例関係にあって、通電電流値と加工面積から電流密度が計算され、電流密度と加工量との関係データは予め求められていることは技術常識であり、この技術常識を刊行物１記載の第１発明に適用することにより、相違点３に係る本件第１発明のように構成することは当業者であれば容易に想到し得たことである。
　また、本件発明１の奏する効果は刊行物１記載の第１発明、刊行物２ないし４に記載された技術的事項、上記各技術常識及び上記周知技術から当業者であれば予測できる程度のものであって格別なものでもない。
（２）本件発明２について
　本件発明２と刊行物１記載の第１発明とを対比すると、両者は、前記相違点１ないし３に加えて、更に次の点で相違している。
　相違点４：本件発明２では、電極工具は、非導電性材料に対応する凹部を形成し、被加工物に対向する全体部分に非導電性材料を被膜した後に、電極露出部が露出して電極露出部の表面と凹部に被膜されている非導電性材料の表面とが面一となるように加工を施すことによって形成されているのに対して、刊行物１記載の第１発明では、電極工具は、そのように形成されていない点。
　相違点４について検討すると、一般的に、二つの物質でその表面が面一となるようなパターンを形成する際に、下層物質に凹部を形成し、被膜である上層物質を皮膜下した後、加工を施して下層のパターンを露出せしめることは、例示するまでもなく本件特許出願前において周知技術であり、この周知技術と刊行物１記載の第１発明及び刊行物２ないし４に記載された技術的事項の組み合わせを阻害する特段の事由も見出せないことから、刊行物１記載の第１発明に刊行物２ないし４に記載された技術的事項を採用するに際し、表面を面一にする手段として前記周知技術を採用し、相違点４に係る本件発明２のように構成することは当業者が容易になし得たことである。
　そして、本件発明２の奏する効果も、刊行物１記載の第１発明、刊行物２ないし４記載の技術的事項、上記各技術常識及び上記各周知技術から当業者であれば予測できる程度のものであって格別なものでもない。
（３）本件発明３について
　本件発明３は、本件発明１の「非導電性材料」について、「非導電性材料を樹脂として」と特定したものであるが、この特定事項は、刊行物１記載の第１発明も具備している（上記記載事項ｅ参照。）以上、本件発明３は、刊行物１記載の第１発明、刊行物２ないし４記載の技術的事項、上記各技術常識及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に想到し得たことである。
　そして、本件発明３の奏する効果も、刊行物１記載の第１発明、刊行物２ないし４記載の技術的事項、上記各技術常識及び上記周知技術から当業者であれば予測できる程度のものであって格別なものでもない。
（４）本件発明４について
　本件発明４と刊行物１記載の第２発明とを対比すると、刊行物１記載の第２発明の「潤滑剤」は本件発明４の「軸受流体」に相当し、以下、同様に「円筒らせん溝」は「動圧溝」に、「円筒らせん溝軸受 」は「動圧軸受」に、「円筒内面」は「動圧面」に、「金属製軸受ブッシュ１」は「被加工物」に、「円筒らせん溝パターン」は「溝形状」に、「電極露出面４」は「電極露出部」に、「円筒形電極２は「電極工具」に、「合成樹脂、ガラス、陶器等の絶縁層３」は「非導電性材料」にそれぞれ相当することは明らかであるので、両者は、
「軸受流体に軸支用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するものであって、
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に近接対向配置され上記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、これら電極工具及び被加工物の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記被加工物及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と被加工物との間に電解液を流動させながら通電することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工するように構成した電解加工装置において、
　上記被加工物に対向する部分のうち、前記動圧溝に対応しない部分に形成された凹部内に非導電性材料が設けられ、この非導電性材料に覆われない部分が電極露出部に構成された電極工具を備えたμｍオーダーの高精度電解加工を行う動圧軸受けにおける動圧溝の電解加工装置。」である点で一致し、次の点で相違している。
　相違点５：本件発明４では被加工物及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続しているのに対して、刊行物１記載の第２発明では被加工物及び電極工具を前記電源の負極及び正極にそれぞれ接続している点。
　相違点６：本件発明４では電極工具の電極露出部の表面が非導電性材料の表面に対して面一となるように構成されているのに対して、刊行物１記載の第２発明ではそのように構成されていない点。
　相違点７：本件発明４では、電極工具と被加工物との間の通電電流値から電流密度を算出し、さらにその電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な総電気量を演算し、この総電気量を制御することによって電解加工を行う加工制御手段を有しているのに対して、刊行物１記載の第２発明ではそのような加工制御手段を有していない点
　そこで、前記相違点５ないし７について検討すると、
　相違点５については、相違点１と同じであり、前述の通りである。
　また、相違点６及び７については、相違点２及び３と実質的に同じであり、前述と同様である。
　また、本件発明４の奏する効果は刊行物１記載の第２発明、刊行物２ないし４に記載された技術的事項、上記各技術常識及び上記周知技術から当業者であれば予測できる程度のものであって格別なものでもない。
第４　むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１及び３は、刊行物１記載の第１発明、刊行物２ないし４に記載された技術的事項、上記各技術常識及び上記周知技術に基づいて、また、本件発明２は、刊行物１記載の第１発明、刊行物２ないし４に記載された技術的事項、上記各技術常識及び上記各周知技術に基づいて、さらに、本件発明４は、刊行物１記載の第２発明、刊行物２ないし４に記載された技術的事項、上記各技術常識及び上記周知技術に基づいて、それぞれ当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１ないし４についての特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件発明１ないし４についての特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年２月９日（２００４．２．９）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
動圧軸受における動圧溝の電解加工方法及び電解加工装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　軸受流体に軸支用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するものであって、
　上記動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、を互いに近接して対向配置すると共に、これら被加工物及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と被加工物との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工するようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記電極工具の上記被加工物に対向する部分のうち、前記動圧溝に対応しない部分に凹部を形成して、該凹部に非導電性材料を設け、
　この非導電性材で覆われない部分を電極露出部に形成すると共に、
　上記電極露出部の表面が上記非導電性材料の表面に対して面一となるように形成し、
　この電極工具を用いて動圧溝の電解加工を行う
方法であって、
　
前記電極工具と前記被加工物との間の通電電流値から電流密度を算出し、さらにその電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な総電気量を演算し、この総電気量を制御することによってμｍまたはサブμｍオーダーの高精度電解加工を行う
ことを特徴とする
　【請求項２】　請求項１記載の電極工具は、非導電性材料に対応する凹部を形成し、被加工物に対向する全体部分に非導電性材料を被膜した後に、電極露出部が露出して電極露出部の表面と凹部に被膜されている非導電性材料の表面とが面一となるように加工を施すことによって形成され、この電極工具を用いて動圧溝の電解加工を行うようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
　【請求項３】　請求項１または２記載の非導電性材料を樹脂として、動圧溝の電解加工を行うようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
　【請求項４】　軸受流体に軸支用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するものであって、
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に近接対向配置され上記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、これら電極工具及び被加工物の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記被加工物及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と被加工物との間に電解液を流動させながら通電することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工するように構成した電解加工装置において、
　上記被加工物に対向する部分のうち、前記動圧溝に対応しない部分に形成された凹部内に非導電性材料が設けられ、この非導電性材料に覆われない部分が電極露出部に構成されていると共に、
　上記電極露出部の表面が上記非導電性材料の表面に対して面一となるように構成された電極工具を備え
、
　
前記電極工具と前記被加工物との間の通電電流値から電流密度を算出し、さらにその電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な総電気量を演算し、この総電気量を制御することによってμｍまたはサブμｍオーダーの高精度電解加工を行う加工制御手段を有することを特徴とする
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、動圧軸受の動圧面に形成される動圧溝を、電解加工によって所定の溝形状に加工するようにした電解加工方法及び電解加工装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　近年、ポリゴンミラースキャナーモーターやハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）スピンドルモーター等に用いられる軸受装置として、高速回転軸受特性に優れた動圧軸受が注目されている。この動圧軸受は、相対的に回転可能に配置された軸受と軸との間に所定の軸受流体が注入されていると共に、これら軸受及び軸の少なくとも一方側に設けられた動圧溝のポンピング作用によって軸受流体に動圧を発生させ、その動圧力によって上記軸受と軸とを相対回転可能となるように支承する構成になされている。
　【０００３】
　このような動圧軸受に設けられる動圧溝は、軸受または軸の動圧面に対してヘリングボーン状、スパイラル状等の所定の溝形状に加工されるが、その加工手段として、例えば電解加工法が従来から知られている。
　【０００４】
　この電解加工法は、動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、を互いに近接して対向配置すると共に、これら被加工物及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と被加工物との間に所定の電解液を流動させながら通電（直流電圧の印加）することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を形成するといったものである。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　ここで、上記電極工具に関しては、図１３に示されるように、電極部７０の溝形状に対応しない部分を非導電性材料７１で覆うことによって電極露出部７３を形成するのが一般的であるから、電極露出部７３の表面は非導電性材料７１の表面に対して凹むことになるが、このような形状の電極露出部７３を用いて電解加工を行うと、加工により生じた例えば水素ガス等の電解生成物７４やジュール熱により温度上昇をした電解液が、電極露出部７３が露出する上記凹部内（電極露出部７３の底壁及び非導電性材料７１の側壁によって囲まれる範囲内）に滞留して電解条件が不安定になったり、また凸となっている非導電性材料７１に上記電解生成物７４が衝突して当該非導電性材料７１が剥離しこの剥離した非導電性材料７１ａが電極工具と被加工物７２との狭い加工間隙に詰まって電解液の流れが阻害されて電解液の流速が低下したりして、精度の良い動圧溝を得られないといった問題があった。
　【０００６】
　また、流速が落ちることによって電流密度が低下し被加工物７２の加工表面７２ａの面粗さが悪くなって精度の良い動圧溝が得られないと共に、このように電流密度が低下することによって電解加工速度が遅くなり生産性が低下するといった問題もあった。
　【０００７】
　ここで、加工により生じた電解生成物７４や温度上昇をした電解液が上記凹部内に滞留したり、剥離した非導電性材料７１ａが狭い加工間隙に詰まってしまわないように、上記加工間隙を広くすることも考えられるが、このように加工間隙を広げると、転写精度が低下し、精度の良い動圧溝が得られない。
　【０００８】
　そこで本発明は、高精度な動圧溝を生産性を向上しつつ得ることができる動圧軸受における動圧溝の電解加工方法及び電解加工装置を提供することを目的とする。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、本発明にかかる電解加工方法は、軸受流体に軸支用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するものであって、上記動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、を互いに近接して対向配置すると共に、これら被加工物及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と被加工物との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工するようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、上記電極工具の上記被加工物に対向する部分のうち、前記動圧溝に対応しない部分に凹部を形成して、該凹部に非導電性材料を設け、この非導電性材で覆われない部分を電極露出部に形成すると共に、上記電極露出部の表面が上記非導電性材料の表面に対して面一となるように形成し、この電極工具を用いて動圧溝の電解加工を行う
方法であって、前記電極工具と前記被加工物との間の通電電流値から電流密度を算出し、さらにその電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な総電気量を演算し、この総電気量を制御することによってμｍまたはサブμｍオーダーの高精度電解加工を行う
　【００１０】
　また、本発明にかかる電解加工装置は、軸受流体に軸支用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するものであって、電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される被加工物と、当該被加工物に近接対向配置され上記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具と、これら電極工具及び被加工物の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、上記被加工物及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と被加工物との間に電解液を流動させながら通電することによって上記被加工物を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工するように構成した電解加工装置において、上記被加工物に対向する部分のうち、前記動圧溝に対応しない部分に形成された凹部内に非導電性材料が設けられ、この非導電性材料に覆われない部分が電極露出部に構成されていると共に、上記電極露出部の表面が上記非導電性材料の表面に対して面一となるように構成された電極工具を備え
、前記電極工具と前記被加工物との間の通電電流値から電流密度を算出し、さらにその電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な総電気量を演算し、この総電気量を制御することによってμｍまたはサブμｍオーダーの高精度電解加工を行う加工制御手段を有する
　【００１１】
　このような構成を有する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法及び電解加工装置においては、電極露出部の表面が非導電性材料の表面に対して面一にされて
μｍまたはサブμｍオーダーの高精度
　【００１２】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明を図面を用いて詳細に説明する。先ず、本発明により成形される動圧軸受を備えた機器として、例えば図１２に示されているような軸回転型のＨＤＤスピンドルモータの構造を説明する。なおこの図１２は、モータの片側半分を断面で示したものであって、軸の途中を破断して表している。本図にかかるモータは、フレーム１側に組み付けられたステータ組と、このステータ組に対して軸方向に組み付けられたロータ組とから構成されており、上記フレーム１には、円筒状の軸受ホルダー２が垂直に立設するように設けられている。またこの円筒状の軸受ホルダー２の外周部には、巻線３が巻回されたステータコア４が装着されている。さらに上記軸受ホルダー２の内部側には、円筒状のラジアル軸受５が装着されており、このラジアル軸受５を介して回転軸６が回転自在に支承されている。
　【００１３】
　すなわち、上記回転軸６とラジアル軸受５との対向部位には軸受部が形成されており、この軸受部内に磁性流体等からなる潤滑流体Ｑが充填されている。また当該軸受部におけるラジアル軸受５の内周面には、動圧発生用のラジアルグルーブ５ａが軸方向に一対形成されており、このラジアルグルーブ５ａ，５ａのポンピング作用によって発生される潤滑流体Ｑの動圧により回転軸６が回転自在に支承されるようになっている。
　【００１４】
　さらに上記回転軸６の図示上端部分は、ハブ８の中心部に一体に回転するように固着されている。ハブ８は、磁気ディスク等のメディアを外周部に装着する胴部８ａを有していると共に、この胴部８ａの図示下縁側に半径方向外周側に張り出すように設けられた取付部８ｂに、バックヨーク９を介して駆動マグネット１０が環状に装着されている。上記駆動マグネット１０は、前記ステータコア４の外周面に環状に対向するように配置されている。
　【００１５】
　また上記軸受ホルダー２の図示上端開口部には、磁性流体シール１１が設けられている。この磁性流体シール１１は、上記潤滑流体Ｑの外部への漏出を防止するために配置されているものであって、磁石１１ａの軸方向両側が一対のポールピース１１ｂ，１１ｂにより軸方向に挟み込まれていると共に、上記ポールピース１１ｂ，１１ｂの内周端縁部と回転軸６の外周面との対向部位に形成されたシール部内に、外部側と遮断するように磁性流体１１ｃ，１１ｃが保持されている。そして、この磁性流体シール１１の外部遮断作用によって上記軸受ホルダー２の内部空間内に画成される筒状の空間内に、上述した軸受部内の潤滑流体Ｑが封止され、これにより潤滑流体Ｑの外部漏出が防止されると共に、外部側からの塵埃等の流入が防止されるようになっている。
　【００１６】
　次に、前述したラジアル軸受５に内面加工を行い、動圧発生用のラジアルグルーブ５ａを形成するための本発明の一実施形態にかかる電解加工装置を説明する。図１に示されているように、非導電性材料で形成された中空状のハウジング２１には電解加工用のキャビティーが設けられており、そのキャビティー内の軸方向（図示上下方向）略中央部分には、金属材料からなる中空円筒状被加工物としての軸受素材２２が固定されている。
　【００１７】
　本実施形態における被加工物としての軸受素材２２は、上述したようにポリゴンミラースキャナーモーターやハードディスク駆動用（ＨＤＤ）スビンドルモーター等に用いられる小型動圧軸受装置のラジアル軸受５を加工する前の軸受素材であって、この軸受素材の材質としては、ステンレス鋼（ＳＵＳ）３０４または銅が用いられている。
　【００１８】
　また上記軸受素材２２を軸方向に貫通するようにして円柱状の電極工具２３がハウジング２１に固定されている。上記電極工具２３の軸方向（図示上下方向）両端部分は、上記ハウジング２１の軸方向両端における閉塞壁２１ａ，２１ｂにそれぞれ固定されており、当該電極工具２３の軸方向略中央部分に形成された一対の電極露出部２３ａ，２３ａが、上記軸受素材２２の内周壁面２２ａに対向するように配置されている。上記各電極露出部２３ａは、ヘリングボーン状の溝を周方向に多数並列配置したものであって、各溝が所定の深さを備えるように構成されている。
　【００１９】
　すなわち、上記電極工具２３の外表面は、上述した所定の溝形状の電極露出部２３ａを除いて非導電性材料２３ｂで電極部全体が覆われており、当該電極工具２３の電極露出部２３ａを構成する溝形状の底壁面が、軸受素材２２の内周壁面２２ａに対して全周にわたって均一な加工隙間を備えるように上記電極工具２３と軸受素材２２との同軸度が調整されている。そして、このように電極工具２３の電極露出部２３ａと軸受素材２２の内周壁面２２ａとが所定の加工隙間を介して対向されることによって電解加工部Ａが形成されている。この電解加工部Ａにおける加工隙間は、本実施形態においては０．１ｍｍに設定されている。
　【００２０】
　さらに上記軸受素材２２には、電解加工用パルス電源２４の正極（＋極）から延出する接片２４ａが接続されており、その延出途中部位に、前記電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流値を検出する電流計２５が設けられている。一方、前記電極工具２３に対しては、上記電解加工用パルス電源２４の負極（−）から延出する接片２４ｂが接続されており、その延出途中部位に、電解加工用パルス電源２４のオン・オフを行う通電スイッチ２６が設けられている。本実施形態における上記電解加工用パルス電源２４の出力電圧は、電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流密度が２０Ａ／ｃｍ２となる電圧に設定されている。
　【００２１】
　そして、上記電流計２５で検出された電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流値は、加工制御手段を構成する電気量演算手段２７に入力されている。この電気量演算手段２７は、上記電流計２５で検出された電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流値、及び電極工具２３における電極面の対向面積から電流密度を算出し、さらにこの電流密度から、目標電解加工量を得るための総電気量すなわち総通電時間を演算する機能を有している。この電気量計測手段２７における演算手法については後述する。
　【００２２】
　上記電気量演算手段２７からは、目標電解加工量を得るための総電気量すなわち総通電時間の設定指令信号が出力されることとなるが、この設定時間指令信号は、同じく加工制御手段を構成する通電制御手段２８に受けられている。加工制御手段２８には、タイマー２８ａが設けられており、このタイマー２８ａからの指令によって前述した通電スイッチ２６のオン・オフ動作が行われるようになっている。具体的には、上記タイマー２８ａによる通電スイッチ２６のオフ動作が、上記電気量演算手段２７により設定された総通電時間の経過時行われる。
　【００２３】
　一方電解液貯蔵タンク３０内には、ＮａＮＯ３（硝酸ナトリウム）を３０重量％含有する電解液３１が所定量蓄えられていると共に、この電解液貯蔵タンク３０とハウジング２１との間に、電解液供給手段としての液供給管３２及び液排出管３３が接続されている。このうち液供給管３２は、電解液貯蔵タンク３０からポンプ３４を介して前記ハウジング２１の図示上側すなわち前記軸受素材２２の上部側のキャビティー内に開口するように接続されていると共に、液排出管３３は、ハウジング２１の図示下側すなわち前記軸受素材２２の下部側のキャビティー内から電解液貯蔵タンク３０に向かって延出しており、上記液供給管３２からハウジング２１内に供給された電解液３１が、軸受素材２２の上部側から当該軸受素材２２と電極工具２３の電極露出部２３ａとの間の電解加工部Ａを通って、軸受素材２２の下部側に抜け、そこから液排出管３３を通して電解液貯蔵タンク３０内に回収されるように構成されている。
　【００２４】
　また本実施形態における電解液供給手段においては、図２に示されているように、上記電解加工部Ａの入口部側及び出口部側に圧力調整用のリリーフ弁３５，３６がそれぞれ設けられていると共に、これらの各圧力調整用リリーフ弁３５，３６に対して圧力計３７，３８が付設されている。そして、これらの圧力計３７，３８をモニターしつつ圧力調整用リリーフ弁３５，３６が適宜操作され、それにより電解加工部Ａにおける電解液３１の流速が所定の値に設定されている。本実施形態においては、電解加工部Ａにおける電解液３１の流速が１０ｍ／ｓｅｃとなるように設定されている。
　【００２５】
　またこのような電解液供給手段には、電解液３１の流動方向を逆転させる流動切換手段（図示省略）が設けられている。この流動切換手段としては、上記ポンプ３４を逆転可能としたものや、液供給管３２と液排出管３３との流れ方向を切り換える配管切換手段等が採用されることとなるが、当該流動切換手段によって、電解加工部Ａを通る電解液が逆流され、電解加工部Ａを通る電解液が任意の時間間隔で交互に逆転されるように構成されている。
　【００２６】
　このとき上述した電気量演算手段２７における演算は、例えば図３及び図４に示されているような予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データに基づいて実行されるようになっている。すなわち各図には、上述した装置条件下で電流計２５で検出された電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流値から求められた電流密度（横軸；Ａ／ｃｍ２）と、その電流密度に対応する単位時間当たりの加工量（縦軸；μｍ／ｓｅｃ）との関係が表されている。縦軸の単位時間当たりの加工量は、加工材料ごとに１０μｍ電解加工したときの平均値として求めたものであって、図３はＳＵＳ３０４の場合を示し、図４は銅の場合を示している。すなわち電解加工の進行に伴い加工隙間が次第に拡大してくると、それに従って加工速度が変化することとなるが、上述した各図では、当初の加工隙間（０．１ｍｍ）に対して微小量（１０μｍ）だけ加工したときの加工速度を平均して求めたものである。
　【００２７】
　これらの各図からも明らかなように、ある範囲の電流密度に対して電解加工量は略直線的に変化しており、従ってその直線的な関係を有する範囲で、加工時間を固定して電流密度を変化させ、或は本実施形態のように電流密度を固定して加工時間を変化させれば、電流密度に比例して加工量すなわち加工深さが変化することとなる。つまり電流密度を上記データに基づいて管理すれば目的の形状精度が得られることとなり、最終の加工量（溝加工深さ）は、溝加工に要した総電気量を厳密に制御することによってμｍまたはサブμｍオーダーに制御可能となることから高精度電解加工が容易に実現される。
　【００２８】
　次に、上述した電解加工装置を用いた本発明にかかる電解加工方法の形態を説明する。先ず、上述した電解加工装置のハウジング２１内に、電極工具２３と軸受素材２２とを同軸的に固定し、所定の加工隙間（０．１ｍｍ）を有する電解加工部Ａを形成する。そして通電スイッチ２６のオン動作を行い電解加工用パルス電源２４から上記電解加工部Ａに対して所定のパルス電圧を与える。このようなパルス電圧を用いれば、電解加工で生成するジュール熱や水素ガス（電解生成物）の蓄積をなくすことができ、加工精度を向上させることができる。
　【００２９】
　このとき、前記電解加工用パルス電源２４からの通電電流値は、電流計２５で常時検出されており、この電流計２５で検出された電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流値が、加工制御手段を構成する電気量演算手段２７に入力される。この電気量演算手段２７では、電流計２５で検出された電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流値から電流密度が算出され、さらにこの電流密度から、予め求めておいた電流密度と溝加工量との関係データ（図３及び図４参照）に基づいて溝加工に必要な総電気量すなわち総通電時間が演算される。
　【００３０】
　そして、この電気量演算手段２７から出力される総通電時間の設定信号により、通電制御手段２８に設けられたタイマー２８ａに総通電時間が設定され、通電スイッチ２６は、オン動作後、上記総通電時間経過時にタイマー２８ａから発せられる切替信号によってオフされる。
　【００３１】
　このような構成を有する電解加工方法及び電解加工装置においては、電極工具２３を動かすことなく固定したまま加工が行われることから、電極工具２３の送り込み誤差による溝加工精度の低下が防止されると共に、動圧溝形状の電解加工量と、その電解加工に要する総電気量との関係が略直線的な比例関係にあることから、被加工物２３への溝加工量が総電気量の制御によって正確に操作され、高精度な溝形状の電解加工が容易に行われる。
　【００３２】
　実際に、上記軸受素材２２の材質としてステンレス鋼（ＳＵＳ）３０４を採用し、当該軸受素材２２の軸受長さを１０ｍｍ、軸径を３．５ｍｍとするとともに、電解加工用パルス電源２４による加工電圧を６Ｖとして電流密度６０Ａ／ｃｍ２とした場合に、１０μｍの溝深さを１．４秒という短時間で得ることができた。
　【００３３】
　なおこの場合、前述したように加工隙間を０．１ｍｍに設定しているが、加工隙間を狭めると電極露出部２３ａの形状転写精度は向上し、さらに電流密度も上がって加工速度も速くなり加工効率が向上する傾向がある。しかしその反面、電解液３１の流速が隙間抵抗により遅くなってしまい、その結果、電解液の温度が上昇したり、電極面から発生する水素気泡の除去を良好に行い得なくなる等の問題が発生する。すなわち上述した加工隙間は、ポンプの性能や、要求されている加工表面の粗さや、形状転写精度、さらには加工速度等を考慮して決定すればよい。
　【００３４】
　また軸受長さが長くなった場合には、電解液の流れの上流側の軸受加工部と下流側の軸受加工部との各加工量すなわち溝深さに差が発生することがある。これは、電解液の温度が下流へ行くほど上昇し電導度が増すからであり、また水素気泡が混在する層の厚さが下流側ほど大きくなり、さらに気泡の容積が液温とともに増大し、それによって電導度が減少するからである。従って電解液の上流側と下流側とで均一な溝深さを得るためには、これら二つの電導度の変化を互いに相殺させる条件で加工しなければならない。
　【００３５】
　上記二つの電導度の変化を互いに相殺させるためには、流動切換手段によって電解加工部Ａを通る電解液の流れを交互にすることで溝深さを均一化することが可能である。例えば１．４秒の加工時間であれば、最初の０．７秒について電解液を一方側から流し、残りの０．７秒については反対側に流せば、電解液の流れ方向において加工条件が均一化されることとなって良好な加工状態が得られる。
　【００３６】
　なお、本実施形態においては、通電スイッチ２６のオン・オフ動作をタイマー手段によって行っているが、電解加工用パルス電源からの出力パルスをカウントし、その総パルス数に基づいて通電スイッチ２６のオン・オフ動作を行わせるように構成することもできる。また、上述したステンレス鋼（ＳＵＳ）材や銅以外の金属材料に対する電解加工についても同様に適用することができる。
　【００３７】
　次に、図５に示されている実施形態の電解加工装置においては、被加工物４２として平板状のスラスト軸受素材が用いられている。すなわち図５に示されているように、非導電性材料で形成された中空状のハウジング４１に設けられたキャビティー内には、略水平状態にて平板状被加工物としてのスラスト軸受素材４２が固定されていると共に、この平板状被加工物としてのスラスト軸受素材４２の上側に対向するようにして平板状電極工具４３が略水平に固定されており、両者間に電解加工部Ｂが略水平方向に延在するように形成されている。また上記電解加工部Ｂの図示右側上部に開口する液供給管５２から供給された電解液が、電解加工部Ｂを通って液排出管５３から外部に排出されるように構成されている。
　【００３８】
　ここで、図５に示した実施形態では、図８（ｂ）中の矢印で示したように電解液を直径方向の一方向に流動させているが、この流動方式は、図７（ｂ）のように動圧溝４３ａ”が中心部まで入り込んでいるものに対して特に好ましい実施形態であって、一般的には、図７（ａ）のようなヘリングボーン型の動圧溝４３ａ’及び図７（ｂ）のようなスパイラル型の動圧溝４３ａ”の何れに対しても適用できる図８（ａ）のように電解液を放射状に流動させる方式が採用される。
　【００３９】
　ここで、上記平板状電極工具４３の対向部分は、図６に示されているように所定の溝形状を有する電極露出部４３ａを除いて非導電性材料４３ｂで覆われており、上記電極露出部４３ａの溝形状の底壁面とスラスト軸受素材４２とが全面にわたって均一な加工間隔を備えるように、上記電極工具４３とスラスト軸受素材４２との平行度を調整してあるとする。非導電性材料４３ｂは、所定の樹脂材を印刷等によってコーティングしてあるとする。
　【００４０】
　このように構成した電極露出部４３ａを、図７（ａ）のようなヘリングボーン型の動圧溝４３ａ’、或は図７（ｂ）のようなスパイラル型の動圧溝４３ａ”の各形状に対応した形状に成形し、図６に示されているように、当該電極露出部４３ａの電極幅Ｗ１を、加工すべき動圧溝の幅Ｗ２よりもやや小さく形成する（Ｗ１＜Ｗ２）。このような差を設けるのは、理想的な電解加工では加工すべき被加工面の外側で電流密度が直ちに０になるものであるが、実際には外方に向かって徐々に減少して０に近づいていくからである。従って、加工間隙を狭くすれば上述した差も小さくなる。
　【００４１】
　ところで、図６に示した電解加工装置を用いて上述した電解加工を行うと、電極工具４３の電極露出部４３ａ表面が非導電性材料４３ｂの表面に対して凹んでいることから、たとえパルス電圧を用いて電解加工で生成するジュール熱や水素ガスの蓄積を電極露出部４３ａが露出する凹部内に滞留させない傾向にするようにしても充分ではなく、従来技術で説明したと同様な問題点が残ってしまう。
　【００４２】
　そこで、本実施形態にあっては、図９に示される電極工具１４３が用いられている。すなわち、この電極工具１４３は、そのスラスト軸受素材４２に対向する部分が、電極部１４３ｃを覆う非導電性材料１４３ｂと、この非導電性材１４３ｂで覆われない動圧溝に対応する電極露出部１４３ａと、から構成されていると共に、上記電極露出部１４３ａの表面が上記非導電性材料１４３ｂの表面に対して面一となるように構成されている。
　【００４３】
　このような形状の電極工具１４３を得るにあたっては、先ず、電極工具１４３の基部となる円形平板状の電極部１４３ｃを用意し、次いで、図１０（ａ）に示されるように、電極部１４３ｃにおけるスラスト軸受素材４２に対する対向面の動圧溝に対応しない部分、すなわち非導電性材料１４３ｂによって覆われることになる部分に、例えばエッチング工法や切削工法によって凹部１４３ｄを形成し、次いで、図１０（ｂ）に示されるように、電極部１４３ｃにおけるスラスト軸受素材４２に対する対向面全体に、例えばエポキシ樹脂等の非導電性材料１４３ｂを、例えば印刷等によって所定厚被膜し、次いでこの被膜表面に、例えば研磨加工を施して電極部を露出させる。すなわち、この研磨加工に従って電極部を露出させることによって、この露出した電極露出部１４３ａの表面と凹部１４３ｄに被膜されている非導電性材料１４３ｂの表面とが面一となり、図９に示した電極工具１４３が得られることになる。なお、非導電性材料１４３ｂとしては、上述したエポキシ樹脂以外に、電解液に対して耐薬品性が高い材料を用いることができる。
　【００４４】
　このような形状の電極工具１４３を図５に示した電解加工装置に適用して上述した電解加工を行うと、転写精度を向上すべく加工間隙を狭くしても、非導電性材料１４３ｂが電極露出部１４３ａより突出していない（面一になっている）ことから、加工により生じた電解生成物や温度上昇をした電解液の滞留が生じることがなく電解条件を所望に保つことができると共に非導電性材料１４３ｂに剥離が生じることがなくさらに凹凸がないことも相まって電解液の流速低下を防止でき、しかもこのように流速低下を防止し得ることによって電流密度の低下を防止できスラスト軸受素材４２の加工表面の面粗さを向上できると共に、このように電流密度の低下を防止し得ることによって電解加工速度を高めることができることになる。すなわち、このような電極工具１４３を用いて電解加工を行うことによって、高精度な動圧溝を生産性を向上しつつ得ることができるようになる。
　【００４５】
　図１１は図５に示した装置に用いられる電極工具の他の参考例を要部のみ抽出して表した横断面説明図である。この電極工具１５３が上記電極工具１４３と違う点は、電極露出部１５３ａを非導電性材料１５３ｂより突出させた点である。
　【００４６】
　このような形状の電極工具１５３を図５に示した電解加工装置に適用して上述したと同様な電解加工を行うと、加工間隙に凹凸ができることから電解液の流速低下の防止効果が多少軽減されることになるが、図９及び図１０で説明した実施形態と略同等な効果を得ることができることになる。
　【００４７】
　因に、この電極工具１５３にあっては、非導電性材料１５３ｂより突出する電極露出部１５３ａ側壁からの漏洩電解加工を防止するために、当該電極露出部１５３ａ側壁は、図示の如く非導電性材料１５３ｂにより覆われる構成になされている。
　【００４８】
　なお、図９乃至図１１に示した電極工具の構成、すなわち電極露出部の表面を非導電性材料の表面に対して面一または突出させる構成を、図１に示したラジアル軸受溝加工用の電極工具２３に対しても同様に適用でき、同様な作用、効果を得ることができるというのはいうまでもない。
　【００４９】
　以上本発明者によってなされた発明の実施形態を具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能であるというのはいうまでもない。例えば、上述した実施形態では、図９乃至図１１に示した電極工具を用いるにあたって、パルス電源を用いるようにしているが、直流電源を用いても良い。
　【００５０】
　また、上記実施形態においては、図９乃至図１１に示した電極工具を用いるにあたって、電極工具と被加工物とを共に固定する電解加工方式を採用しているが、例えば特開平５−８１１１号公報に記載のように両方を移動する電解加工方式や例えば特開平２−１４５８００号公報に記載のように一方を固定して他方を移動する電解加工方式（電解加工時には両者固定）であっても、図９乃至図１１に示した電極工具を用いれば、高精度な動圧溝を生産性を向上しつつ得ることができる
。
　【００５１】
　また、例えば特公昭５６−５３６６１号公報に記載のような略半球状のものまたはこれに対向するものに対しても、電極露出部の表面が非導電性材料の表面に対して面一または突出する構成の電極工具を用いることによって高精度な動圧溝を生産性を向上しつつ得ることが可能であり、あらゆる種類の形状加工に対しても同様に適用することが可能である。
　【００５２】
　【発明の効果】
　以上述べたように、本発明にかかる電解加工方法及び電解加工装置は、電極露出部の表面を非導電性材料の表面に対して面一にして
μｍまたはサブμｍオーダーの高精度
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施形態にかかる電解加工装置を表した原理的説明図である。
　【図２】
　図１の装置に用いられている電解液の循環系を表した系統説明図である。
　【図３】
　予め求めておいた電流密度と加工量との関係データのＳＵＳ３０４の場合を表した線図である。
　【図４】
　予め求めておいた電流密度と加工量との関係データの銅の場合を表した線図である。
　【図５】
　本発明の他の実施形態にかかる電解加工装置を表した原理的説明図である。
　【図６】
　図５の装置に用いられる電極工具及び被加工物の一例を拡大して表したものであり、不具合が発生する場合の側面説明図である。
　【図７】
　図５に示した装置によって成形されるスラスト軸受の動圧溝の一例を表したものであって、（ａ）はヘリングボーン型の動圧溝を表し、（ｂ）はスパイラル型の動圧溝を表した平面説明図である。
　【図８】
　電解液の流動方式の一例を表したものであって、（ａ）は放射方向に流動させたものを表し、（ｂ）は直径方向に流動させたものを表した断面説明図である。
　【図９】
　図５に示した装置に用いられる電極工具の一実施形態を表した横断面説明図である。
　【図１０】
　図９に示した電極工具の製造方法を表した各工程説明図である。
　【図１１】
　図５に示した装置に用いられる電極工具の他の実施形態を要部のみ抽出して表した横断面説明図である。
　【図１２】
　本発明によって形成された軸受を備えたＨＤＤモーターの一例を表した半断面説明図である。
　【図１３】
　従来技術における電解加工装置の電極工具及び被加工物を要部のみ抽出して表した横断面説明図である。
　【符号の説明】
　４２　被加工物
　４３ａ’、４３ａ”　動圧溝
　１４３，１５３　電極工具
　１４３ａ，１５３ａ　電極露出部
　１４３ｂ，１５３ｂ　非導電性材料
　１４３ｄ　非導電性材料に対応する凹部