【事件の表示】
　特許第３４４１３２２号「基板処理装置及び方法」の請求項１〜６に係る発明についての特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３４４１３２２号の請求項１〜６に係る発明についての特許を維持する。
【理　由】
１．本件発明
　本件特許第３４４１３２２号（平成８年１２月１７日出願、平成１５年６月２０日設定登録）の請求項１〜６に係る発明（以下それぞれを、「本件発明１」等という。）は、設定登録時の願書に添付した明細書又は図面（以下、「本件特許明細書」という。）の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定される以下のとおりのものと認める。
『【請求項１】　処理対象の基板が複数の処理槽を経由して所定の一連の処理が順次に行われる基板処理装置であって、
　前記基板に対する前記処理の進行に伴って順次に前記基板を搬送する搬送手段と、
　前記搬送手段による前記基板の搬送に伴って、基板がどの処理槽に存在しているかを示す基板データを更新する更新手段と、
　前記更新手段によって更新された基板データを記憶保持する記憶手段と、
　自動運転によって前記基板を順次に搬送することが不可能となったことを検出する検出手段と、
　前記検出手段によって前記基板を順次に搬送することが不可能となったことを検出した後に自動運転を手動運転に切り換える切換手段と、
　前記搬送手段を駆動操作するための指令を操作入力する駆動操作入力手段と、
　前記記憶手段に記憶された内容を変更するための変更操作入力手段と、を備え、
　前記切換手段によって自動運転から手動運転に切り換えられた後において、
　前記記憶手段は前記基板データを保持し続け、
　前記駆動操作入力手段より入力された駆動指令に基づいて前記搬送手段が基板を搬送し、
　前記指令に基づく基板の搬送に応じて前記変更操作入力手段より入力された更新情報に基づき、前記更新手段が前記記憶手段に記憶保持している前記基板データを更新することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】　請求項１に記載の基板処理装置において、
　手動運転から自動運転を再開する際に、前記記憶手段に記憶されている前記基板データを参照し、前記基板データに基づいて前記基板に対する処理の自動運転を続行することを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】　請求項１または請求項２に記載の基板処理装置において、
　前記処理槽は、薬液槽と水洗槽とを備え、
　前記切換手段によって手動運転に切り換えられた後に、
　基板が薬液槽に浸漬しているときには、前記駆動操作入力手段より入力された駆動指令に基づいて前記搬送手段が当該基板を薬液内から取り出し水洗槽に搬送し、前記変更操作入力手段より入力された更新情報に基づいて前記更新手段が前記記憶手段に記憶保持している前記基板データを前記水洗槽の段階へと更新することを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】　処理対象の基板が複数の処理槽を経由して所定の一連の処理を順次に行う基板処理方法であって、
　前記基板に対する前記処理の進行に伴って順次に前記基板を搬送する搬送工程と、
　前記搬送工程による前記基板の搬送に伴って基板がどの処理槽に存在しているかを示す基板データを更新する更新工程と、
　前記更新工程によって更新された基板データを記憶媒体に記憶保持する記憶工程と、
　自動運転によって前記基板を順次に搬送することが不可能となったことを検出する検出工程と、
　前記検出工程によって前記基板を順次に搬送することが不可能となったことを検出した後に自動運転を手動運転に切り換える切換工程と、
　前記基板の搬送を駆動操作するための指令を操作入力する駆動操作入力工程と、
　前記記憶媒体に記憶された内容を変更する変更操作入力工程と、を含み、前記切換工程によって自動運転から手動運転に切り換えられた後において、
　前記記憶工程において記憶した前記基板データを保持し続け、
　前記駆動操作入力工程において入力された駆動指令に基づいて基板を搬送し、
　前記指令に基づく基板の搬送に応じて前記変更操作入力工程において入力された更新情報に基づき、前記記憶媒体に記憶保持している前記基板データを更新することを特徴とする基板処理方法。
【請求項５】　請求項４に記載の基板処理方法において、
　手動運転から自動運転を再開する際に、前記記憶媒体に記憶されている前記基板データを参照し、前記基板データに基づいて前記基板に対する処理の自動運転を続行することを特徴とする基板処理方法。
【請求項６】　請求項４または請求項５に記載の基板処理方法において、
　前記処理槽は、薬液槽と水洗槽とを備え、
　前記切換工程によって自動運転から手動運転に切り換えられた後に、
　基板が薬液槽に浸漬しているときには、前記駆動操作入力工程において入力された駆動指令に基づいて当該基板を薬液槽内から取り出し水洗槽に搬送し、前記変更操作入力工程において入力された更新情報に基づき、前記記憶媒体に記憶保持している前記基板データを前記水洗槽への段階へと更新することを特徴とする基板処理方法。』
　
２．申立ての理由の概要
　申立人高橋一幸は、証拠として特開昭５７−１９２２６号公報（甲第１号証）、実願昭６１−８８０３０号（実開昭６２−１９９８０３号）のマイクロフィルム（甲第２号証）及び特開平５−２９１２３６号公報（甲第３号証）を提示し、本件発明１〜６は、甲第１〜３号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１〜６についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消すべきものである旨主張している。
　
３．甲第１〜３号証記載の発明
（１）甲第１号証には、第２頁左上欄２行〜６行、第２頁右上欄８行〜１２行、第２頁右上欄１４行〜１９行、第３頁左上欄６行〜同頁左下欄４行、及び、第３頁左下欄１０行〜１１行の記載からみて、
『処理対象の基板が複数の処理槽を経由して所定の一連の処理が順次に行われる基板処理装置であって、
　前記基板に対する前記処理の進行に伴って順次に前記基板を搬送する搬送手段と、
　プログラムを記憶保持する記憶手段と、
　自動運転を手動運転に切り換える切換手段と、
　前記搬送手段を駆動操作するための指令を操作入力する駆動操作入力手段と、
　手動運転の情報を入力するための操作入力手段と、を備え、
　手動運転において、
　前記駆動操作入力手段より入力された駆動指令に基づいて前記搬送手段が基板を搬送し、
　前記手動運転による基板の搬送に応じて前記操作入力手段より入力された手動運転の情報に基づき、前記記憶手段に自動運転のプログラムを入力する基板処理装置、及び、当該基板処理装置を使用する基板処理方法』の発明（以下、「甲第１号証記載の発明」という。）が記載されていると認める。
（２）甲第２号証には、明細書第１頁５行〜第２頁１３行、同第１２頁１６行〜第１４頁４行、同第１９頁３行〜１１行、同第２９頁１７行〜２０行、及び、第１図の記載からみて、
『処理対象の基板が複数の処理槽を経由して所定の一連の処理が順次に行われる基板処理装置であって、
　前記基板に対する前記処理の進行に伴って順次に前記基板を搬送する搬送手段と、
　停電を検出する検出手段と、
　前記検出手段によって停電を検出した後に予備電源からの電力によって搬送手段の移動量を検出する移動量検出手段と、
　前記移動量検出手段によって検出された移動量を記憶させる記憶手段と、を備え、
　停電が解消された際に、前記記憶手段に記憶されている移動量を参照し、前記移動量に基づいて前記基板に対する処理の自動運転を続行する基板処理装置、及び、当該基板処理装置を使用する基板処理方法』の発明（以下、「甲第２号証記載の発明」という。）が記載されていると認める。
（３）甲第３号証には、その【要約】及び【請求項１】の記載からみて、
『処理対象の基板が複数の処理槽を経由して所定の一連の処理が順次に行われる基板処理装置であって、
　前記基板に対する前記処理の進行に伴って順次に前記基板を搬送する搬送手段と、
　搬送手段の故障を検出する検出手段と、を備え、
　前記処理槽は、薬液槽と水洗槽とを備え、
　基板が薬液槽に浸漬して状態で、前記検出手段によって搬送手段の故障を検出した場合、浸漬中の基板の処理時間が所定時間経過したことを認識した後に、薬液槽の薬液を超純水に置換する基板処理装置、及び、当該基板処理装置を使用する基板処理方法』の発明（以下、「甲第２号証記載の発明」という。）が記載されていると認める。
　
４．本件発明１について
　本件発明１と甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者は、以下の点で相違し、残余の点で一致する。
〈相違点１〉前者は、搬送手段による基板の搬送に伴って、基板がどの処理槽に存在しているかを示す基板データを更新する更新手段を備えるのに対して、後者は、そのような更新手段を備えるか否かが明らかではない点。
〈相違点２〉前者は、記憶手段が、更新手段によって更新された基板データを記憶保持するのに対して、後者は、記憶手段がプログラムを記憶保持する点。
〈相違点３〉前者は、自動運転によって基板を順次に搬送することが不可能となったことを検出する検出手段と、前記検出手段によって前記基板を順次に搬送することが不可能となったことを検出した後に自動運転を手動運転に切り換える切換手段と、前記記憶手段に記憶された内容を変更するための変更操作入力手段と、を備え、自動運転から手動運転に切り換えられた後において、前記記憶手段は前記基板データを保持し続け、手動運転に基づく基板の搬送に応じて前記変更操作入力手段より入力された更新情報に基づき、前記記憶手段に記憶保持している前記基板データを更新するのに対して、後者は、自動運転を手動運転に切り換える切換手段と、搬送手段を駆動操作するための指令を操作入力する駆動操作入力手段と、手動運転の情報を入力するための操作入力手段と、を備え、手動運転による基板の搬送に応じて前記操作入力手段より入力された手動運転の情報に基づき、記憶手段に自動運転のプログラムを入力するものであって、自動運転によって基板を順次に搬送することが不可能となったことを検出した後に自動運転を手動運転に切り換え、自動運転から手動運転に切り換えられた後において、手動運転に基づく基板の搬送に応じて入力された更新情報に基づき、前記記憶手段に記憶保持している前記基板データを更新することについて何ら特定していない点。
　そこで、上記相違点３について検討するに、当該相違点３に係る本件発明１の発明特定事項のうち、「自動運転によって基板を順次に搬送することが不可能となったことを検出した後に自動運転を手動運転に切り換え、自動運転から手動運転に切り換えられた後において、手動運転に基づく基板の搬送に応じて入力された更新情報に基づき、前記記憶手段に記憶保持している前記基板データを更新する」との事項を、甲第２号証記載の発明も甲第３号証記載の発明も備えていない。
　そして、本件発明１は、当該事項をその発明特定事項の一部として備えることにより、「・・・切換手段によって自動運転から手動運転に切り換えられた後にも記憶手段において基板データを保持し続けるため、自動運転中に何らかのトラブルが発生し、搬送手段が自動で基板の搬送を行うことができなくなった場合に、一旦、手動運転に切り換えた後にトラブル修復作業を行い、そのトラブルが解消した後に再び自動運転を再開することが可能となる。そして自動運転再開後はオペレータの作業を必要とせず、基板の製造工程の効率化が図られる。」（本件特許明細書の段落【００４４】）という優れた作用効果を奏している。
　したがって、本件発明１は、相違点１、２について検討するまでもなく、甲第１〜３号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　
５．本件発明２〜６について
　本件発明４と甲第１号証記載の発明を対比すると、両者は、上記相違点１〜３と実質上同一の点で相違する。また、本件発明２、３は本件発明１を、本件発明５、６は本件発明４を、さらに新たな事項を追加して限定したものである。
　してみると、本件発明２〜６も、本件発明１と同様の理由から、甲第１〜３号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１〜６についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜６についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年９月６日（２００４．９．６）