(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延びるように設置されるベースと、
該ベースに取り付けられた一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受と、
前記ベースに取り付けられた一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受と、
軸方向が前記一方向となるように前記一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支され、外周にねじ溝が形成されたメインテーブル用駆動ねじ軸と、
軸方向が前記一方向となるように前記一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支され、外周に前記メインテーブル用駆動ねじ軸のねじ溝とねじれ方向が逆のねじ溝が形成されたウエイトテーブル用駆動ねじ軸と、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記メインテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより前記メインテーブル用駆動ねじ軸に沿って移動するメインテーブル用ナットと、
前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸が前記メインテーブル用駆動ねじ軸と同一方向に回転することにより、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に沿って前記メインテーブル用ナットと逆方向に移動するウエイトテーブル用ナットと、
前記メインテーブル用ナットに固定された被搭載物を搭載可能なメインテーブル及び前記ウエイトテーブル用ナットに固定されたウエイトテーブルと、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸のいずれか一方を回転駆動する駆動モータと、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸の端部に固定された第１プーリ、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸の端部に固定されだ第２プーリ、及び前記第１プーリ及び前記第２プーリの外周に巻回されたベルトとを備え、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸は、前記軸方向となる前記一方向と直交する方向において並列配置されており、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸及び前記メインテーブル用ナットを有するメインテーブル側ボールねじの動定格荷重と、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸及び前記ウエイトテーブル用ナットを有するウエイトテーブル側ボールねじの動定格荷重とを同一にすることを特徴とする直動テーブル装置。
【請求項２】
前記メインテーブルは、前記ベースに取り付けられ、前記メインテーブル用駆動軸の軸方向に延びるレールと、該レール上を前記レールに沿って移動するスライダとを備えた直動案内装置の前記スライダに取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の直動テーブル装置。
【請求項３】
前記ウエイトテーブルは、前記ベースに取り付けられ、前記ウエイトテーブル用駆動軸の軸方向に延びるレールと、該レール上を前記レールに沿って移動するスライダとを備えた直動案内装置の前記スライダに取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の直動テーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられる直動テーブル装置、特に、工作物等の被搭載物を移動、位置決め可能な直動テーブル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の直動テーブル装置として、例えば、特許文献１に示すものが知られている。
特許文献１に示す直動テーブル装置は、被搭載物を搭載する、略鉛直方向に移動可能なメインテーブルと、メインテーブルに対して鉛直方向下方に配置され、略鉛直方向に移動可能なウエイトとを備え、メインテーブル及びウエイトは、同軸の駆動ねじ軸によって駆動されるようになっている。そして、メインテーブルは、駆動ねじ軸の鉛直方向の上部で右ねじナットと結合され、ウエイトは、駆動ねじ軸の鉛直方向の下部で左ねじナットに結合されている。そして、右ねじナット及び左ねじナットは、モータから伝達される駆動ねじ軸の回転によりそれぞれ上下逆方向に移動し、これにより、メインテーブル及びウエイトは上下逆方向に移動するようになっている。
そして、メインテーブル側にかかるトルクとウエイト側にかかるトルクとを同等としてバランスさせることにより、両トルクを相殺し、装置の振動を抑制するようにしている。
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載された直動テーブル装置にあっては、１本の駆動ねじ軸上に右ねじ溝及び左ねじ溝の２種類のねじ溝を加工する必要があり、駆動ねじ軸が軸方向に長尺化し、ひいては駆動ねじ軸の軸方向において装置長が長くなってしまう、という課題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２３２３５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前述の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、駆動ねじ軸の軸方向における装置長を短くできる直動テーブル装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のある態様は、一方向に延びるように設置されるベースと、該ベースに取り付けられた一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受と、前記ベースに取り付けられた一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受と、軸方向が前記一方向となるように前記一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支され、外周にねじ溝が形成されたメインテーブル用駆動ねじ軸と、軸方向が前記一方向となるように前記一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支され、外周に前記メインテーブル用駆動ねじ軸のねじ溝とねじれ方向が逆のねじ溝が形成されたウエイトテーブル用駆動ねじ軸と、前記メインテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記メインテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより前記メインテーブル用駆動ねじ軸に沿って移動するメインテーブル用ナットと、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸が前記メインテーブル用駆動ねじ軸と同一方向に回転することにより、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に沿って前記メインテーブル用ナットと逆方向に移動するウエイトテーブル用ナットと、前記メインテーブル用ナットに固定された被搭載物を搭載可能なメインテーブル及び前記ウエイトテーブル用ナットに固定されたウエイトテーブルと、前記メインテーブル用駆動ねじ軸及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸のいずれか一方を回転駆動する駆動モータと、前記メインテーブル用駆動ねじ軸の端部に固定された第１プーリ、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸の端部に固定されだ第２プーリ、及び前記第１プーリ及び前記第２プーリの外周に巻回されたベルトとを備え、前記メインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸は、前記軸方向となる前記一方向と直交する方向において並列配置されており、前記メインテーブル用駆動ねじ軸及び前記メインテーブル用ナットを有するメインテーブル側ボールねじの動定格荷重と、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸及び前記ウエイトテーブル用ナットを有するウエイトテーブル側ボールねじの動定格荷重とを同一にすることを要旨とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る直動テーブル装置によれば、メインテーブルを駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸と、ウエイトテーブルを駆動するための前記メインテーブル用駆動ねじ軸とは別個のウエイトテーブル用駆動ねじ軸とを用い、それらメインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸が、軸方向となる一方向と直交する方向において並列配置されているので、駆動ねじ軸の軸方向における装置長を短くできる直動テーブル装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る直動テーブル装置の平面図である。
【図２】図１に示す直動テーブル装置の正面図である。
【図３】図１に示す直動テーブル装置において、（Ａ）はメインテーブル用駆動ねじ軸が撓んでベルトが引っ張られる様子を示す図、（Ｂ）は（Ａ）の状態からウエイトテーブル用駆動ねじ軸が撓み、ベルトの引っ張り状態が解消された様子を示す図である。
【図４】図１及び図２に示す第１実施形態に係る直動テーブル装置の変形例の正面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る直動テーブル装置の正面図である。
【図６】図５に示す直動テーブル装置の左側面図である。
【図７】図５及び図６に示す第２実施形態に係る直動テーブル装置の変形例の左側面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る直動テーブル装置の正面図である。
【図９】図８に示す直動テーブル装置に設けられた工具による被搭載物への加工の様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の第１乃至第３実施形態の直動テーブル装置について説明する。
（第１実施形態）
第１実施形態の直動テーブル装置は、図１及び図２に示されており、この直動テーブル装置１は、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、工作物などの被搭載物を水平方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。
【００１０】
図１及び図２に示す直動テーブル装置１において、長方形の板状に形成されたベース２が水平方向（図１における上下及び左右方向、請求項１における一方向）に延びるように設置されている。
このベース２の上面には、水平方向の左右（図１における左右）において所定間隔離れた位置に一対のメインテーブル側第１軸受１３及びメインテーブル側第２軸受１４が取り付けられている。メインテーブル側第１軸受１３は、ベース２の水平方向左端部近傍に取り付けられ、メインテーブル側第２軸受１４は、ベース２の水平方向中央部よりやや右側の位置に取り付けられている。
【００１１】
そして、外周に右ねじ溝１１ａを形成したメインテーブル用駆動ねじ軸１１の両端が、軸方向が水平方向となるように一対のメインテーブル側第１軸受１３及びメインテーブル側第２軸受１４に回転可能に軸支されている。
また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１には、メインテーブル用ナット１２が外装されている。メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成された右ねじ溝１１ａとメインテーブル用ナット１２の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が回転することによりメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向に移動するようになっている。メインテーブル用駆動ねじ軸１１、転動体及びメインテーブル用ナット１２によりメインテーブル側ボールねじを構成している。
【００１２】
また、メインテーブル用ナット１２には、メインテーブル１０が固定されている。メインテーブル１０は、メインテーブル用ナット１２に固定される本体部１２ａと、本体部１２ａの上端に設けられた平板状の搭載板部１０ｂとを備えている。搭載板部１０ｂは上面側から見て長方形状に形成され、上面に工作物等の被搭載物６０（図９参照）が搭載可能となっている。メインテーブル１０の本体部１０ａには、後述するウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が挿通可能な水平方向に延びる貫通孔１０ｃが形成されている。
【００１３】
そして、メインテーブル１０の本体部１０ａは、長手方向（図１における上下方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、メインテーブル１０の本体部１０ａの長手方向の一端下面は、図１及び図２に示すように、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ上に取り付けられ、本体部１０ａの長手方向の他端下面は、第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられている。第１直動案内装置１７ａは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の一端（図１における下端）に取り付けられ、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ａと、レール１５ａ上をレール１５ａに沿って移動するスライダ１６ａとを備えている。また、第２直動案内装置１７ｂは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の他端（図１における上端）に取り付けられ、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ｂと、レール１５ｂ上をレール１５ｂに沿って移動するスライダ１６ｂとを備えている。
また、ベース２の上面には、水平方向の左右（図１における左右）において所定間隔離れた位置に一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４が取り付けられている。ウエイトテーブル側第１軸受３３は、ベース２の水平方向においてメインテーブル側第１軸受１３と同じ位置であってメインテーブル側第１軸受１３に対して水平方向と直交する鉛直方向の下側に位置している。ウエイトテーブル側第１軸受３３は、図示しない外輪に固定されたハウジングがメインテーブル側第１軸受１３のハウジングと共通化して一体となっている。一方、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、ベース２の水平方向においてメインテーブル側第２軸受１４と同じ位置であってメインテーブル側第２軸受１４に対して水平方向と直交する鉛直方向の下側に位置している。ウエイトテーブル側第２軸受３４は、図示しない外輪に固定されたハウジングがメインテーブル側第２軸受１４のハウジングと共通化して一体となっている。
【００１４】
そして、外周にメインテーブル用駆動ねじ軸１１の右ねじ溝１１ａとねじれ方向が逆の左ねじ溝３１ａを形成したウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の両端が、軸方向が水平方向となるように一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４に回転可能に軸支されている。
ここで、ウエイトテーブル側第１軸受３３は、メインテーブル側第１軸受１３に対して鉛直方向の下側に位置し、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、メインテーブル側第２軸受１４に対して鉛直方向下側に位置しているから、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に対して鉛直方向の下側に位置している。このため、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１は、軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されていることになる。
【００１５】
そして、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１には、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている。ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に形成された左ねじ溝３１ａとウエイトテーブル用ナット３２の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１がメインテーブル用駆動ねじ軸１１と同一方向に回転することによりウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル用ナット１２と逆方向に移動するようになっている。ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１、転動体及びウエイトテーブル用ナット３２によりウエイトテーブル側ボールねじを構成している。
【００１６】
また、ウエイトテーブル用ナット３２には、ウエイトテーブル３０が固定されている。ウエイトテーブル３０は、長手方向（図１における上下方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端下面は、図１及び図２に示すように、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端下面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。第３直動案内装置３７ａは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の一端（図１における下端）に取り付けられ、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向に延びるレール３５ａと、レール３５ａ上をレール３５ａに沿って移動するスライダ３６ａとを備えている。また、第４直動案内装置３７ｂは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の他端（図１における上端）に取り付けられ、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向に延びるレール３５ｂと、レール３５ｂ上をレール３５ｂに沿って移動するスライダ３６ｂとを備えている。
【００１７】
そして、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１のうちメインテーブル用駆動ねじ軸１１は、駆動モータ１８によって回転駆動される。駆動モータ１８は、ベース２の上面に設けられた駆動モータ用支持部材１９に取り付けられている。そして、駆動モータ１８の出力軸がカップリング２０を介してメインテーブル用駆動ねじ軸１１のメインテーブル側第２軸受１４側の端部に連結されている。なお、駆動モータ１８の軸の近傍には、図示しない支持部材に取り付けられたエンコーダ２１が設けられ、このエンコーダ２１により、駆動モータ１８の回転数を検出するようにしている。
また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１のメインテーブル側第１軸受１３側の端部には、第１プーリ４１が固定されている。更に、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１のウエイトテーブル側第１軸受３３側の端部には、第２プーリ４２が固定されている。そして、第１プーリ４１及び第２プーリ４２の外周には、ベルト４３が巻回されている。
【００１８】
次に、第１実施形態の直動テーブル装置１の動作について説明する。
駆動モータ１８の出力軸が一方向に回転すると、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が一方向に回転し、これにより、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動する。メインテーブル用ナット１２がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動することで、そのメインテーブル用ナット１２に固定されたメインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動する。
【００１９】
一方、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が一方向に回転すると、第１プーリ４１、ベルト４３及び第２プーリ４２を介してウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が前記一方向と同一方向に回転し、これにより、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の一方向と逆方向に移動する。ウエイトテーブル用ナット３２がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の一方向と逆方向に移動することで、そのウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル１０と逆方向に移動する。
【００２０】
本実施形態に係る直動テーブル装置１においては、ウエイトテーブル３０をメインテーブル１０と逆方向に移動させ、更に、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とを同等としてバランスさせることにより、両慣性力を相殺し、装置の振動を抑制するようにしている。
ここで、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１は次の（１）式で表すことができる。
Ｆ１＝Ｍ１×α１  ・・・（１）
ここで、Ｍ１はメインテーブル１０側の被搭載物の質量を含む総質量、α１はメインテーブル１０側の加速度である。
【００２１】
また、ベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２は次の（２）式で表すことができる。
Ｆ２＝Ｍ２×α２  ・・・（２）
ここで、Ｍ２はウエイトテーブル３０側の総質量、α２はウエイトテーブル３０側の加速度である。
そして、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等としてバランスさせるために、次の（３）式が成立しなければならない。
Ｆ１＝Ｍ１×α１≒Ｍ２×α２＝Ｆ２  ・・・（３）
【００２２】
従って、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が変化した場合には、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２及び/又はウエイトテーブル３０側の加速度α２を調整することにより、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等とすることができる。メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が変化した場合において、ウエイトテーブル３０側の総重量Ｍ２を変えない場合には、ウエイトテーブル３０側の加速度α２のみを調整することで、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等とすることができる。
【００２３】
そして、第１実施形態の直動テーブル装置１においては、メインテーブル１０を駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸１１と、ウエイトテーブル３０を駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸１１とは別個のウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１とを用いているので、右ねじと左ねじとを一つの駆動ねじ軸に形成する必要はない。そして、それらメインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が、軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されているので、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向における装置長を短くすることができる。
【００２４】
また、メインテーブル１０の長手方向の一端下面は、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ上に取り付けられ、メインテーブル１０の長手方向の他端下面は、第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられている。このため、メインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。
【００２５】
また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端下面は、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端下面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。このため、ウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル１０と逆方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。
なお、第１実施形態においては、直動テーブル装置１の諸元として、駆動モータ１８の回転数は、４５０〜３０００（ｒｐｍ）、メインテーブル１０の送り速度は、３６〜６０（ｍ/ｍｉｎ）、第２プーリ４２の外径の第１プーリ４１の外径に対する比は、１〜２、メインテーブル用駆動ねじ軸１１のリードは２０〜４０（ｍｍ）である。
【００２６】
そして、直動テーブル装置１を工作機械に用いた場合において、工作物である被搭載物６０を切削、研磨すると、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が軽量になるので、メインテーブル１０の送り速度が高速となり、メインテーブル１０の加速度α１が増加する。そうなると、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とのバランスが不均衡となり、駆動モータ１８の回転数に変化が生じるとともに、直動テーブル装置１全体に振動が発生する。
このため、この場合、メインテーブル１０の上部あるはメインテーブル用ナット１２に図示しない錘を付加して、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１を増加させ、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とをバランスさせ、駆動モータ１８の回転数をもとに戻す。
【００２７】
また、直動テーブル装置１を工作機械に用いた場合において、メインテーブル１０に搭載した工作物である被搭載物６０を加工した後に、加工した被搭載物６０に合わせて他の工作物を組み合わせて加工をする場合がある。
この場合、メインテーブル１０に搭載した被搭載物の質量が重くなり、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が重くなるため、メインテーブル１０の送り速度が遅くなり、メインテーブル１０側の加速度α１が減少し、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とのバランスが不均衡となり、駆動モータ１８の回転数に変化が生じるとともに直動テーブル装置１全体に振動が発生する。
このため、この場合、ウエイトテーブル３０またはウエイトテーブル用ナット３２に錘を付加して、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２を増加させ、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とをバランスさせ、駆動モータ１８の回転数をもとに戻すようにしている。
【００２８】
また、第１プーリ４１側のメインテーブル側第１軸受１３とメインテーブル用駆動ねじ軸１１とは、当該ねじ軸１１が熱膨張しても軸方向に膨張しないようにすきま嵌めにしている。このため、メインテーブル１０に載置されている被搭載物６０の重量が増加すると、図３（ａ）に示すように、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が撓み、ベルト４３が引っ張られ、ベルト４３が破損するおそれがある。
【００２９】
これを防止するために、ウエイトテーブル３０のウエイトテーブル用駆動ねじ３１付近あるいはウエイトテーブル用ナット３２に錘を付加する。これにより、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が撓み、図３（ｂ）に示すように、ベルト４３が引っ張られるのが阻止されてベルト４３の破損を回避することができることになる。
なお、第１実施形態の直動テーブル装置１においては、駆動モータ１８が、メインテーブル用駆動ねじ軸１１を直接回転駆動するようにしてあるが、メインテーブル用駆動ねじ軸１１ではなく、図４に示すように、駆動モータ１８がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１を直接回転駆動するようにしてもよい。
【００３０】
このように、駆動モータ１８を、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１を直接回転駆動するようにした場合、駆動モータ１８の出力軸が一方向に回転すると、ウエイト用駆動ねじ軸３１が一方向に回転し、これにより、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の一方向に移動する。ウエイトテーブル用ナット３２がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の一方向に移動することで、そのウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の一方向に移動する。
【００３１】
一方、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が一方向に回転すると、第２プーリ４２、ベルト４３及び第１プーリ４１を介してメインテーブル用駆動ねじ軸１１が前記一方向と同一方向に回転し、これにより、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿ってウエイトテーブル用ナット３２と逆方向に移動する。メインテーブル用ナット１２がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿ってウエイトテーブル用ナット３２と逆方向に移動することで、そのメインテーブル用ナット１２に固定されたメインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿ってウエイトテーブル３０と逆方向に移動する。
【００３２】
この場合にあっても、ウエイトテーブル３０をメインテーブル１０と逆方向に移動させ、更に、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とを同等としてバランスさせることにより、両慣性力を相殺し、装置の振動を抑制することができる。
また、この場合にあっても、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が、軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されているので、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向における装置長を短くすることができる。
【００３３】
なお、第１実施形態の直動テーブル装置１及び図４に示す変形例の直動テーブル装置１においては、一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１、ウエイトテーブル用ナット３２、及びウエイトテーブル３０は、ベース２の上面側、即ち表面側に設けられているが、これらはベース２の裏面側に設けられてもよい。
【００３４】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態の直動テーブル装置について、図５及び図６を参照して説明する。図５及び図６において、図５及び図６に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
第２実施形態の直動テーブル装置は、図５及び図６に示されており、この直動テーブル装置は、図１及び図２に示す直動テーブル装置１と同様に、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、図１及び図２に示す直動テーブル装置１と異なり、工作物などの被搭載物を垂直方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。
【００３５】
図５及び図６に示す直動テーブル装置１において、長方形の板状に形成された台座３が水平方向（図５における左右方向及び図６における左右方向）に延びるように設置されている。そして、この台座３の上面に、長方形の板状に形成されたベース２が水平方向に直交する鉛直方向（図５における上下方向及び図６における上下方向、請求項１の一方向）に延びるように設置されている。
【００３６】
このベース２の表面（図６における右側面）には、鉛直方向において所定間隔離れた位置に一対のメインテーブル側第１軸受１３及びメインテーブル側第２軸受１４が取り付けられている。メインテーブル側第１軸受１３は、ベース２の鉛直方向下端部近傍に取り付けられ、メインテーブル側第２軸受１４は、ベース２の鉛直方向中央部よりやや上側の位置に取り付けられている。
【００３７】
そして、外周に右ねじ溝１１ａを形成したメインテーブル用駆動ねじ軸１１の両端が、軸方向が鉛直方向となるように一対のメインテーブル側第１軸受１３及びメインテーブル側第２軸受１４に回転可能に軸支されている。
また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１には、メインテーブル用ナット１２が外装されている。メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成された右ねじ溝１１ａとメインテーブル用ナット１２の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が回転することによりメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向に移動するようになっている。メインテーブル用駆動ねじ軸１１、転動体及びメインテーブル用ナット１２によりメインテーブル側ボールねじを構成している。
【００３８】
また、メインテーブル用ナット１２には、メインテーブル１０が固定されている。メインテーブル１０は、メインテーブル用ナット１２に固定される本体部１２ａと、本体部１２ａの上端に設けられた平板状の搭載板部１０ｂとを備えている。搭載板部１０ｂは表面側から見て長方形状に形成され、表面に工作物等の被搭載物６０（図９参照）が搭載可能となっている。
【００３９】
そして、メインテーブル１０の本体部１０ａは、長手方向（図５における左右方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、メインテーブル１０の本体部１０ａの長手方向の一端下面は、図５及び図６に示すように、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ上に取り付けられ、本体部１０ａの長手方向の他端下面は、第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられている。第１直動案内装置１７ａは、ベース２の幅方向（図５における左右方向）の一側（図５における右側）に取り付けられ、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ａと、レール１５ａ上をレール１５ａに沿って移動するスライダ１６ａとを備えている。また、第２直動案内装置１７ｂは、ベース２の幅方向の他側（図５における左側）に取り付けられ、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ｂと、レール１５ｂ上をレール１５ｂに沿って移動するスライダ１６ｂとを備えている。
【００４０】
一方、ベース２の裏面には、鉛直方向において所定間隔離れた位置に一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４が取り付けられている。ウエイトテーブル側第１軸受３３は、ベース２の鉛直方向においてメインテーブル側第１軸受１３と同じ位置に位置し、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、ベース２の鉛直方向においてメインテーブル側第２軸受１４と同じ位置に位置している。
そして、外周にメインテーブル用駆動ねじ軸１１の右ねじ溝１１ａとねじれ方向が逆の左ねじ溝３１ａを形成したウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の両端が、軸方向が水平方向となるように一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４に回転可能に軸支されている。
【００４１】
ここで、ウエイトテーブル側第１軸受３３は、メインテーブル側第１軸受１３に対して鉛直方向の同じ位置に位置し、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、メインテーブル側第２軸受１４に対して鉛直方向の同じ位置に位置しているから、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に対して、軸方向となる鉛直方向と直交する水平方向に並列配置されていることになる。
【００４２】
そして、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１には、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている。ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に形成された左ねじ溝３１ａとウエイトテーブル用ナット３２の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１がメインテーブル用駆動ねじ軸１１と同一方向に回転することによりウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル用ナット１２と逆方向に移動するようになっている。ウエイトテーブル用駆動ねじ軸１１、転動体及びウエイトテーブル用ナット３２によりウエイトテーブル側ボールねじを構成している。
【００４３】
また、ウエイトテーブル用ナット３２には、ウエイトテーブル３０が固定されている。ウエイトテーブル３０は、長手方向（図５における左右方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端下面は、図５及び図６に示すように、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端下面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。第３直動案内装置３７ａは、ベース２の幅方向（図５における左右方向）の一側（図５における右側）に取り付けられ、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向に延びるレール３５ａと、レール３５ａ上をレール３５ａに沿って移動するスライダ３６ａとを備えている。また、第４直動案内装置３７ｂは、ベース２の幅方向の他側（図５における左側）に取り付けられ、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向に延びるレール３５ｂと、レール３５ｂ上をレール３５ｂに沿って移動するスライダ３６ｂとを備えている。
【００４４】
そして、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１のうちメインテーブル用駆動ねじ軸１１は、駆動モータ１８によって回転駆動される。駆動モータ１８は、ベース２の表面に設けられた駆動モータ用支持部材１９に取り付けられている。そして、駆動モータ１８の出力軸がカップリング２０を介してメインテーブル用駆動ねじ軸１１のメインテーブル側第２軸受１４側の端部に連結されている。なお、駆動モータ１８の軸の近傍には、図示しない支持部材に取り付けられたエンコーダ２１が設けられ、このエンコーダ２１により、駆動モータ１８の回転数を検出するようにしている。
また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１のメインテーブル側第１軸受１３側の端部には、第１プーリ４１が固定されている。更に、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１のウエイトテーブル側第１軸受３３側の端部には、第２プーリ４２が固定されている。そして、第１プーリ４１及び第２プーリ４２の外周には、ベルト４３が巻回されている。
【００４５】
次に、第２実施形態の直動テーブル装置１の動作について説明する。
駆動モータ１８の出力軸が一方向に回転すると、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が一方向に回転し、これにより、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向の一方向に移動する。メインテーブル用ナット１２がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向の一方向に移動することで、そのメインテーブル用ナット１２に固定されたメインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向の一方向に移動する。
【００４６】
一方、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が一方向に回転すると、第１プーリ４１、ベルト４３及び第２プーリ４２を介してウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が前記一方向と同一方向に回転し、これにより、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル用ナット１２と逆方向に移動する。ウエイトテーブル用ナット３２がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル用ナット１２と逆方向に移動することで、そのウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル１０と逆方向に移動する。
【００４７】
第２実施形態の直動テーブル装置１においても、第１実施形態の直動テーブル装置１と同様に、ウエイトテーブル３０をメインテーブル１０と逆方向に移動させ、更に、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とを同等としてバランスさせることにより、両慣性力を相殺し、装置の振動を抑制するようにしている。
ここで、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１は、前述の（１）式で表し、また、ベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２は前述の（２）式で表される。
そして、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等としてバランスさせるために、前述の（３）式が成立する。
【００４８】
従って、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が変化した場合には、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２及び/又はウエイトテーブル３０側の加速度α２を調整することにより、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等とすることができる。メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が変化した場合において、ウエイトテーブル３０側の総重量Ｍ２を変えない場合には、ウエイトテーブル３０側の加速度α２のみを調整することで、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等とすることができる。
【００４９】
そして、第１実施形態の直動テーブル装置１においては、メインテーブル１０を駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸１１と、ウエイトテーブル３０を駆動するための、メインテーブル用駆動ねじ軸１１とは別個のウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１とを用いているので、右ねじと左ねじとを一つの駆動ねじ軸に形成する必要はない。そして、それらメインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が、軸方向となる鉛直方向と直交する水平方向において並列配置されているので、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向における装置長を短くすることができる。
【００５０】
また、メインテーブル１０の長手方向の一端下面は、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ上に取り付けられ、メインテーブル１０の長手方向の他端下面は、第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられている。このため、メインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。
【００５１】
また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端下面は、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端下面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。このため、ウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル１０と逆方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。
なお、第２実施形態の直動テーブル装置１においては、駆動モータ１８が、メインテーブル用駆動ねじ軸１１を直接回転駆動するようにしてあるが、メインテーブル用駆動ねじ軸１１ではなく、図７に示すように、駆動モータ１８がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１を直接回転駆動するようにしてもよい。
【００５２】
このように、駆動モータ１８を、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１を直接回転駆動するようにした場合、駆動モータ１８の出力軸が一方向に回転すると、ウエイト用駆動ねじ軸３１が一方向に回転し、これにより、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って鉛直方向の一方向に移動する。ウエイトテーブル用ナット３２がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って鉛直方向の一方向に移動することで、そのウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って鉛直方向の一方向に移動する。
【００５３】
一方、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が一方向に回転すると、第２プーリ４２、ベルト４３及び第１プーリ４１を介してメインテーブル用駆動ねじ軸１１が前記一方向と同一方向に回転し、これにより、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿ってウエイトテーブル用ナット３２と逆方向に移動する。メインテーブル用ナット１２がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿ってウエイトテーブル用ナット３２と逆方向に移動することで、そのメインテーブル用ナット１２に固定されたメインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿ってウエイトテーブル３０と逆方向に移動する。
【００５４】
この場合にあっても、ウエイトテーブル３０をメインテーブル１０と逆方向に移動させ、更に、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とを同等としてバランスさせることにより、両慣性力を相殺し、装置の振動を抑制することができる。
また、この場合にあっても、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が、軸方向となる鉛直方向と直交する水平方向において並列配置されているので、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向における装置長を短くすることができる。
【００５５】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態の直動テーブル装置について、図８及び図９を参照して説明する。図８及び図９において、図１乃至図７に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
第３実施形態の直動テーブル装置は、図８及び図９に示されており、この直動テーブル装置１は、第１実施形態の直動テーブル装置１と同様に、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、工作物などの被搭載物を水平方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。
そして、第３実施形態の直動テーブル装置１は、第１実施形態の直動テーブル装置１と基本構成は同様であるが、ウエイトテーブル３０の構成が異なっている。
【００５６】
即ち、ウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０は、ウエイトテーブル用ナット３２に固定される本体部３０ａと、本体部３０ａの上端面に設けられた平板状の搭載板部３０ｂとを備えている。搭載板部３０ｂは上面側から見て長方形状に形成され、上面に工作物等の被搭載物６０（図９参照）が搭載可能となっている。搭載板部３０ｂの上面の位置は、メインテーブル１０の搭載板部１０ｂの上面の位置と、上下方向においてほぼ同一の位置に設定されている。そして、本体部３０ａは、長手方向（図８における紙面に対して直交する方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、本体部３０ａには、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が挿通可能な貫通孔３０ｃがメインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるように形成されている。
【００５７】
第３実施形態の直動テーブル装置１によれば、メインテーブル１０のみならず、ウエイトテーブル３０にも工作物等の被搭載物６０が搭載可能なので、メインテーブル１０及びウエイトテーブル３０上に被搭載物６０を搭載し、両テーブル１０、３０上で同じ製品を製造することができる。
また、直動テーブル装置１においては、図９に示すように、水平方向に移動するメインテーブル１０上の被搭載物６０及びウエイトテーブル３０上の被搭載物６０の双方を加工することが可能な工具５０が設置されている。工具５０は、工具５０の動作を制御する工具制御部５１に接続されている。工具制御部５１には、エンコーダ２１（図８参照）からメインテーブル１０及びウエイトテーブル３０の水平方向の位置が入力されるとともに、図示しない上位コンピュータから加工するメインテーブル１０上及びウエイトテーブル３０上の被搭載物６０の最終形状が入力される。工具制御部５１は、これらの情報を基に工具５０を移動させて、メインテーブル１０上の被搭載物６０及びウエイトテーブル３０上の被搭載物６０の双方を加工可能である。工具制御部５１に、メインテーブル１０上の被搭載物６０の最終形状とウエイトテーブル３０上の被搭載物６０の最終形状とを同じにする情報を入力することにより、両テーブル１０、３０上で同じ形状の製品を製造することができる。
【００５８】
（変形例）
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されず、種々の変更、改良を行うことができる。
例えば、図１及び図２に示す第１実施形態の直動テーブル装置１、図３に示す変形例の直動テーブル装置１、図５及び図６に示す第２実施形態の直動テーブル装置１、及び図７に示す変形例の直動テーブル装置１においては、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に右ねじ溝１１ａを形成し、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に左ねじ溝３１ａを形成してあるが、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に左ねじ溝を形成し、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に右ねじ溝を形成してもよい。
【００５９】
また、図１及び図２に示す第１実施形態の直動テーブル装置１、図３に示す変形例の直動テーブル装置１、図５及び図６に示す第２実施形態の直動テーブル装置１、及び図７に示す変形例の直動テーブル装置１においては、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成した右ねじ溝１１ａのリードと、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成した左ねじ溝３１ａのリードとは同等にしてある。ただし、これに限定されるものではなく、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に形成した左ねじ溝３１ａのリードを、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成した右ねじ溝１１ａのリードよりも小さくしてもよい。これにより、ウエートテーブル用駆動ねじ軸３１の重量、ひいては装置の重量を軽量にすることができる。ただし、この場合、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に形成した左ねじ溝３１ａのリードを小さくすると、ウエイトテーブル３０側の加速度α２が小さくなるため、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２大きくして、ウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２を変えないようにする必要がある。メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とバランスをとるためである。
【００６０】
また、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に形成した左ねじ溝３１ａのリードを、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成した右ねじ溝１１ａのリードよりも小さくすると、ウエイトテーブル側ボールねじの転動体の直径が小さくなり、動定格荷重が小さくなる。従って、この場合に、ウエイトテーブル側ボールねじの転動体の直径を大きくすることにより、ウエイトテーブル側ボールねじの動定格荷重を大きくすることが好ましい。
【００６１】
更に、図１及び図２に示す第１実施形態の直動テーブル装置１、図３に示す変形例の直動テーブル装置１、図５及び図６に示す第２実施形態の直動テーブル装置１、及び図７に示す変形例の直動テーブル装置１において、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びメインテーブル用ナット１２を有するメインテーブル側ボールねじの転動体の直径及び右ねじ溝１１ａのリードと、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１及びウエイトテーブル用ナット３２を有するウエイトテーブル側ボールねじの転動体の直径及び左ねじ溝３１ａのリードとを調整して、メインテーブル側ボールねじ及びウエイトテーブル側ボールねじの動定格荷重を合わせる（同一とする）ことが好ましい。
このように、メインテーブル側ボールねじ及びウエイトテーブル側ボールねじの動定格荷重を合わせることにより、メインテーブル側ボールねじ及びウエイトテーブル側ボールねじの交換時期を揃えることができる。これにより、装置のメンテナンスによる未稼働時間を減少させることができる。
【００６２】
また、図１及び図２に示す第１実施形態の直動テーブル装置１、図３に示す変形例の直動テーブル装置１、図５及び図６に示す第２実施形態の直動テーブル装置１、及び図７に示す変形例の直動テーブル装置１において、第１プーリ４１の外径と第２プーリ４２の外径との比を調整して、ウエイトテーブル用ナット３２及びウエイトテーブル３０の移動速度を増速させるようにしてもよい。このように、ウエイトテーブル用ナット３２及びウエイトテーブル３０の移動速度を増速させることで、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２を小さくすることができ、装置全体を軽量化することができる。
【００６３】
また、図１及び図２に示す第１実施形態の直動テーブル装置１、図３に示す変形例の直動テーブル装置１、図５及び図６に示す第２実施形態の直動テーブル装置１、及び図７に示す変形例の直動テーブル装置１において、メインテーブル１０は、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ及び第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０は、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ及び第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられているが、メインテーブル１０は、１つあるいは３つ以上の直動案内装置のスライダ上に取り付けられてもよいし、ウエイトテーブル３０も、１つあるいは３つ以上の直動案内装置のスライダ上に取り付けられてもよい。
【符号の説明】
【００６４】
１  直動テーブル装置
２  ベース
１０  メインテーブル
１１  メインテーブル用駆動ねじ軸
１２  メインテーブル用ナット
１３  メインテーブル側第１軸受
１４  メインテーブル側第２軸受
１５ａ，１５ｂ  レール
１６ａ，１６ｂ  スライダ
１７ａ  第１直動案内装置
１７ｂ  第２直動案内装置
１８  駆動モータ
３０  ウエイトテーブル
３１  ウエイトテーブル用駆動ねじ軸
３２  ウエイトテーブル用ナット
３３  ウエイトテーブル側第１軸受
３４  ウエイトテーブル側第２軸受
３５ａ，３５ｂ  レール
３６ａ，３６ｂ  スライダ
３７ａ  第３直動案内装置
３７ｂ  第４直動案内装置
４１  第１プーリ
４２  第２プーリ
４３  ベルト
６０  被搭載物
【図１】
0006447009.tif 000002
【図２】
0006447009.tif 000003
【図３】
0006447009.tif 000004
【図４】
0006447009.tif 000005
【図５】
0006447009.tif 000006
【図６】
0006447009.tif 000007
【図７】
0006447009.tif 000008
【図８】
0006447009.tif 000009
【図９】
0006447009.tif 000010