【事件の表示】
　特許第３２５２５１３号「誘電体バリヤ放電ランプ」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２５２５１３号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本件特許第３２５２５１３号に係る手続の経緯の概要は、以下のとおりである。
　平成５年１月２９日　　　　特許出願
　平成１３年１１月２２日　　特許権の設定の登録
　平成１４年２月４日　　　　特許掲載公報の発行
　平成１４年８月２日　　　　渡辺静雄から特許異議の申立て
　平成１４年８月５日　　　　ヘレーウス・ノーブルライト・ゲーエムベー
　　　　　　　　　　　　　　ハーから特許異議の申立て
　平成１４年１１月１３日付　取消理由の通知
　平成１５年１月２０日　　　意見書及び訂正請求書の提出
　平成１５年２月２４日付　　渡辺静雄に対する審尋
　平成１５年２月２４日付　　ヘレーウス・ノーブルライト・ゲーエムベー　　　　　　　　　　　　　　ハーに対する審尋
　平成１５年４月２５日　　　渡辺静雄から回答書の提出
　平成１５年６月９日　　　　ヘレーウス・ノーブルライト・ゲーエムベー　　　　　　　　　　　　　　ハーから回答書の提出
　
第２．訂正の適否について
１．訂正事項
特許権者が求めている訂正事項は、以下のとおりである。
(１)訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１に「該エキシマ分子から放射される紫外光」とあるのを、「該エキシマ分子から放射される波長２００ｎｍ以下の紫外光」と訂正する。
(２)訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項１に「取り出し部を有する誘電体バリヤ放電ランプ」とあるのを、「取り出し部を放電容器に有する誘電体バリヤ放電ランプ」と訂正する。
(３)訂正事項ｃ
　段落【０００４】に「該エキシマ分子から放射される紫外光」とあるのを、「該エキシマ分子から放射される波長２００ｎｍ以下の紫外光」と訂正する。
(４)訂正事項ｄ
　段落【０００４】に「取り出し部（窓部材に相当）を有する誘電体バリヤ放電ランプ」とあるのを、「取り出し部（窓部材に相当）を放電容器に有する誘電体バリヤ放電ランプ」と訂正する。
　
２．新規事項の有無、訂正の目的の適否及び拡張・変更の存否
(１)訂正事項ａについて
　訂正事項ａは、願書に添付した明細書の段落【０００５】に記載されており、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内の訂正であって、訂正前の請求項１に記載された「紫外光」を「波長２００ｎｍ以下の紫外光」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。また、訂正事項ａは、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
(２)訂正事項ｂについて
　訂正事項ｂは、願書に添付した明細書の段落【０００６】に記載されており、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内の訂正であって、訂正前の請求項１に記載された「取り出し部」を「放電容器に」有することを限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。また、訂正事項ｂは、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
(３)訂正事項ｃ及びｄについて
　訂正事項ｃ及びｄは、いずれも、上記訂正事項ａ及びｂの訂正に伴って生じた、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との間の不整合部分の整合を図るものであるから、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内の訂正であって、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、また、実質的に特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
３．まとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法の一部を改正する法律（平成６年法律１１６号）附則第６条１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３．本件発明
　前項「第２．訂正の適否について」に記載したとおり、本件訂正請求は認められるから、本件特許に係る発明は、平成１５年１月２０日提出の訂正請求書に添付した全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された以下のとおりのものと認める。
「【請求項１】放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、該エキシマ分子から放射される波長２００ｎｍ以下の紫外光の取り出し部を放電容器に有する誘電体バリヤ放電ランプにおいて、前記紫外光の取り出し部は、ＯＨ基含有量が重量で１００ｐｐｍ以上１２００ｐｐｍ以下の石英ガラスからなることを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ。」（以下、「本件発明」という。）
　
第４．取消理由の概要
　平成１４年１１月１３日付けで通知した取消理由１の概要は、以下のとおりである。
　本件の訂正前の請求項１に係る発明は、その出願前に頒布された下記の刊行物１ないし５に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する分野における通常の知識を有するものが、容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　よって、本件の請求項１に係る特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　記
刊行物１：特開平２−７３５３号公報（申立人ヘレーウス・ノーブルライト　　　　　・ゲーエムベーハー（以下、「申立人１」という。）が提出した　　　　　甲第２号証）
刊行物２：特開平１−１４４５６０号公報（申立人１が提出した甲第３号証　　　　　、申立人渡辺静雄(以下、「申立人２」という。)が提出した甲第　　　　　１号証）
刊行物３：「セラミックス」昭和６２年１２月、社団法人日本セラミックス　　　　　協会発行、第22巻、第12号、第1047〜1051頁（申立人２が提出し　　　　　た甲第２号証）
刊行物４：特開平１−１６７２５８号公報（申立人２が提出した甲第３号証　　　　　；申立人１が提出した甲第４号証は該公報の特許公告公報）
刊行物５：特開平３−２３２３６号公報（申立人２が提出した甲第４号証）
　
第５．各刊行物に記載された発明
１．刊行物２：特開平１−１４４５６０号公報
(ア)「本発明は、例えば紫外線の、高出力放射であて、充填ガスにより充填されている放電空間を有し、
前記放電空間の壁は第１の誘電体と第２の誘電体により形成され、
前記第１の誘電体と第２の誘電体の、前記放電空間に対向していない表面に第１及び第２の電極が設けられ、
前記第１及び第２の電極に接続されている交流電源を備え、
前記交流電源は放電のために給電する高出力放電器。」（第２頁右上欄第１１行〜左下欄第２行）
(イ)「誘電障壁放電により励起され放射波を出すガスは、２つの（例えば水晶から成る）誘電体壁の間の、１cmまでの幅を有する間隙を充填する。紫外線放射波は両側において放電間隙から出る。」（第４頁左上欄第２０行〜同右上欄第４行）
と記載され、実施例として、
(ウ)「第１図に示されているパネル形紫外線高出力放射器は実質的に、２つの水晶又はサファイアプレート１と２から成り、これらの水晶又はサファイアプレート１と２は、絶縁材から成るスペーサ３により互いに分離され、又、これらの水晶又はサファイアプレート１と２は、１ないし１０mmの典型的な間隙幅を有する放電空間４の境界を定めている。」（第４頁右上欄第１５行〜同左下欄第２行）
(エ)「放電空間４の側面は通常は閉じており、閉成される前に真空にされ、不活性ガス、又は、放電条件においてエクサイマーを形成する物質、たとえば水銀・希ガス・希ガス−金属混合物・希ガス−ハロゲン混合物等により充填され、場合に応じて、付加的な別の希ガス（Ａｒ，Ｈｅ，Ｎｅ）を緩衝ガスとして使用する。
　所望の放射波成分に依存して、次表に記載の物質を使用することができる。
充填ガス　　　　　　　　　　放射波の波長
ヘリウム　　　　　　　　　　６０−１００ｎｍ
ネオン　　　　　　　　　　　８０−　９０ｎｍ
アルゴン　　　　　　　　　１０７−１６５ｎｍ
キセノン　　　　　　　　　１６０−１９０ｎｍ
窒素　　　　　　　　　　　３３７−４１５ｎｍ
クリプトン　　　　　　　　１２４ｎｍ，１４０−１６０ｎｍ
クリプトン＋フッ素　　　　２４０−２５５ｎｍ
水銀　　　　　　　　　　　１８５，２５４ｎｍ
セレン　　　　　　　　　　１９６，２０４，２０６ｎｍ
重水素　　　　　　　　　　１５０−２５０ｎｍ
キセノン＋フッ素　　　　　４００−５５０ｎｍ
キセノン＋塩素　　　　　　３００−３２０ｎｍ」（第４頁左下欄第１３行〜同右下欄第１７行）
と記載されており、
　これらの摘記事項からみて、刊行物２には、以下の発明が記載されているといえる。
「放電容器内に誘電障壁放電によってエクサイマーを形成するガスを充填し、該エクサイマーから放射される紫外線の取り出し部を放電容器に有する紫外線高出力放射器であって、前記紫外線の取り出し部が水晶プレートからなり、エクサイマーを形成するガスとして、キセノン等の紫外線を放射するガスを使用する紫外線高出力放射器。」（以下、「刊行物２記載の発明」という。）
　
２．刊行物３：「セラミックス」第22巻、第12号、第1047〜1051頁　
　「ガラスの微視的不均質と性質−高純度シリカガラスの点欠陥と真空紫外吸収を例にして−」と題し、
(オ)「エキシマレーザーは従来使用されていきた光源と比較して極めて大パワーであり、発振波長もＫｒＦレーザーで２４８ｎｍ、ＡｒＦでは１９３ｎｍと短波長である。このような大パワーの短波長紫外光の光学系を構成するレンズ素材として光励起されやすい非架橋酸素が存在しないシリカガラスに関心が集まっている。シリカガラスとγ線、Ｘ線などの放射線との相互作用は古くからよく研究されているが、大パワーの短波長紫外光に対する特性はほとんど検討されていない。このような背景から我々のグループはほぼ１年前から高純度シリカガラスの構造欠陥と紫外特性（特に２００ｎｍ以下の波長のいわゆる真空紫外域の光吸収）、製造履歴、更にエキシマレーザー光による損傷との関係を解析する作業を行っている。ここでは、“ガラスの均質性と物性”のケーススタディーの一例として“高純度シリカガラスの構造欠陥と真空紫外吸収”についての結果を紹介する。」（第１０４７頁右欄下から第６行〜第１０４８頁左欄第１３行）と記載され、
(カ)図１に関し、「図１にＳｉＯ２ガラスの真空紫外（ＶＵＶ）吸収スペクトルを示す。・・・７．６ｅＶ付近にピークをもつ吸収帯についてはパーオキシラジカルＯ２−（ＰＯＲ）と酸素欠乏欠陥の一つである≡Ｓｉ−Ｓｉ≡（Ｖｏ、−は酸素との結合を表す）がこの位置に吸収を与えるというモデルが報告されているが、・・・」（第１０４８頁右欄表１の下、第２〜１２行）と記載されるとともに、その図１には、火炎加水分解法によるシリカガラスの真空紫外吸収スペクトルが波長１６０〜１８０ｎｍにおいて極めて少ないことが示され、
(キ)「以上の結果をまとめると、ＶＵＶ吸収は図３のように３種の反磁性欠陥種と本質吸収との寄与に分離できる。Ｖｏ中心のモル吸収係数はおよそ１６０００（ｍｏｌ−１・ｃｍ・ｌ）で紫外線透過性に対して著しい害を及ばすＦｅ３＋のそれ（約７０００）よりもかなり大きい。」（第１０４９頁右欄第４〜９行）
(ク)表２に関し、「表２に異なった製造履歴をもつ試料中の欠陥種とその濃度をまとめた。欠陥種の間は下記のような相反関係みられる。
　(ａ)ＯＨ基を多量に含有する試料にはＶｏもＰＯＬもともに存在しない。
　(ｂ)ＯＨ基をほとんど含有しない試料には、Ｖｏ、又はＰＯＬのいずれかが支配的に存在し、両者は比較できるような濃度で共存しない。」（第１０４９頁右欄第１６〜２３行）と記載されるとともに、表２には、火炎加水分解法により合成されたシリカガラスについて、ＯＨ含有量が８００〜９００ｐｐｍであって、ＰＯＬ濃度（酸素過剰欠陥）及びＶｏ濃度（酸素欠乏欠陥）が共にＮ．Ｄ．（検出されず）であることが記載され、
(ケ)製造履歴と欠陥種との関係について、「(ii)ＯＨ基が多量に含まれている火炎法で合成された試料中にはＶｏもＰＯＬもともに存在しない。ＯＨ基がアモルファスシリコンに対する水素のようにこれらの欠陥の生成を抑制する作用をしているようである。」（第１０５０頁左欄第９〜１３行）
と記載されている。
　
３．刊行物４：特開平１−１６７２５８号公報
(コ)「略４００ｎｍ以下の特定波長域のレーザ光に使用されるレーザ光学系素体において、該素体を高純度の石英ガラス材で形成するとともに、該ガラス材組織中のＯＨ基含有量を少なくとも３００ｐｐｍ以上に設定した事を特徴とするレーザ光学系素体」（特許請求の範囲の請求項１）に関し、
(サ)産業上の利用分野に関し、「本発明は、レーザステッパ装置、レーザ発振装置、レーザ核融合装置等に用いるレンズ、窓部材、ミラー、プリズム、フィルタ等の製造に好適なレーザ光学系素体に係り、特に高出力の且つ短波長域のレーザ光に対し耐久性と高品質を保証しうるレザー光学系素体に関する。」（第１頁左下欄下から第３行〜右下欄第３行）、
(シ)レーザ光について、「そこで前述光リソグラフィー用の光源としてスペクトル巾の狭いレーザ光を使うことが考えられ、特に光リソグラフィー用のレーザの中で最も完成度の高いものがエキシマレーザである。
　エキシマレーザは短波長域、主として紫外域で発振する高出力パルスレーザであり、エキシマレーザの種類としては、Ｘｅ２（１７２ｎｍ），Ｋｒ２（１４６ｎｍ），Ａｒ２（１２６ｎｍ），等の希ガスエキシマ、・・・（中略）・・・など、合計、数１０種類に及ぶが、発振効率とガス寿命の点から、ＫｒＦ（２４８ｎｍ），ＸｅＣｌ（３０８ｎｍ），ＡｒＦ（１９３ｎｍ）等が有利である。」（第２頁右上欄第１６行〜左下欄第９行）
(ス)発明が解決しようとする問題点について、「しかしながら、例え石英ガラスを用いてレーザ光学系を製作したとしても、該光学系に高出力パルス光である短波長のエキシマレーザ光が長時間照射されると時間経過とともに、石英ガラス（レンズ等）がダメージを受け、歪が入り複屈折が起こるのみならず、前記短波長レーザ光の長時間照射により、透過率の低下、絶対屈折率の上昇、屈折率分布の変動が起こり、最終的にクラックが発生するという問題が派生する。」（第２頁右下欄第４行〜同第１２行）
(セ)問題点を解決する為の手段について、「このように、不純物濃度の低減と相まってＯＨ基含有量の増大が、短波長域レーザ光に使用されるレーザ光学系の蛍光を低減させ、透過率、屈折率等の安定性が向上し得る事は本発明者達が始めて知見した事実であり、従って石英ガラスの高純度化とともに、前記ＯＨ基含有量を規定する事により、前記した本発明の目的を達成し得る。
尚、ＯＨ基含有量が何故前述した光学特性に影響するのかはさだかではないが、以下のように考えられる。
　石英ガラスに強力なレーザ光を照射すると、ガラス網目構造を構成する元素間の結合が切断され、その結果透過率が低下し、吸収バンドが現れる。又、蛍光強度も増加する。
　しかし、これらの元素間の切断も、石英ガラス中に含まれるＯＨ基そのものや、ＯＨ基の水素元素の存在や移動により大部分が修復されるものと推定している。」（第３頁左下欄第８行〜同右下欄第５行）
(ソ)「尚、短波長域で且つより高出力のレーザ光を用いる場合には前記設定値を更に引き上げ、前記素体を高純度の合成石英ガラス材で形成するとともに、該ガラス材組織中のＯＨ基含有量を７００ｐｐｍ以上に設定する事により、３５０ｎｍ以下の高出力レーザ光学系素体として特に好適なものを提供し得る。」（第３頁右下欄第２０行〜第４頁左上欄第６行）
と記載されており、さらに、
(タ)第５頁左下欄実験結果一覧表には、合成石英ガラスのＯＨ基の含有量が７００，９００，１１００ｐｐｍの場合、耐エキシマレーザ性（２４８ｎｍ）として、透過、屈折率が良いことが記載されている。
　
４．刊行物５：特開平３−２３２３６号公報
(チ)「略４００ｎｍ以下の紫外線波長域のレーザ光に使用されるレーザ光用光学系部材において、該光学系部材を、ＯＨ基濃度を少なくとも１００ｐｐｍ以上含有する高純度合成石英ガラス材で形成するとともに、該光学系部材が、そのガラス組織中に酸素欠陥が実質的に存在せずかつ水素ガスを含有させた石英ガラス材であることを特徴とするレーザ光用光学系部材」（特許請求の範囲の請求項１）に関し、
(ツ)産業上の利用分野に関し、「本発明はレンズ、窓部材、ミラー、プリズム、フィルタ、エタロン板、その他のレーザ光用光学系部材に係り、特に略４００ｎｍ以下の特定波長域で使用されるレーザ光用光学系部材に関する。」（第１頁右下欄第１〜４行）と記載され、従来技術について、
(テ)「レンズ材料を従来の光学ガラスから石英ガラスに代えるとともに、石英ガラスを用いた場合における色収差の発生を防止する為にスペクトル巾の狭いレーザ光を使うことが考えられ、特に該レーザの中で最も完成度の高いものがエキシマレーザである。
　しかしながら前記エキシマレーザ光は従来使用されてきた光源に比較して極めてパワーが大であり而もＫｒＦ（２４８ｎｍ），ＸｅＣｌ（３０８ｎｍ），ＡｒＦ（１９３ｎｍ）等の発振波長が略３５０ｎｍ以下の短波長レーザ光を用いた場合には、例え前記レーザ光用光学系部材に石英ガラスを用いて製作したとしても前記レーザ光が長時間照射されるとレンズ等の光学系がダメージを受け、透過率の低下、絶対屈折率の上昇、屈折率分布の変動や蛍光が発生し、特にエネルギー密度が高い場合は最終的にクラックが発生するという問題が生じる。」（第２頁左上欄第２〜１８行）
(ト)「前記ガラス組成中のＯＨ基濃度を増大する事により蛍光特性、屈折率、透過率等の耐紫外線特性を向上させる事は、本発明者が先に第１先願技術において知見した技術であり、・・・しかしながら一般のレンズ部材を含めてレーザ光用光学系部材は、前記母材をそのまま切断研磨若しくはコーテングして所望のレンズを製作するのではなく、前記母材を一旦加熱して内部歪等を除去した後、前記した加工手段により所望のレンズを製作するものである為に、例え前記出発母材側でレーザ性を保証しても前記処理過程中に生じる不具合により完成部品としてのレーザ光用光学部材が、所望の耐レーザ性を得る事ができない場合がある。」（第２頁右下欄第６行〜第３頁左上欄第５行）
(ナ)「本発明者は前記合成石英ガラスのガラス組成（ＳｉＯ２）中に下記の〈１〉式で示される代表的酸素欠損型欠陥、あるいは下記の〈２〉式で示される代表的酸素過剰型欠陥が存在すると、レーザ光照射により光学的特性の劣化を受け易い事を突き止めた。（特願昭６３−２１３６６１号参照）」（第３頁左上欄下から第２行〜右上欄第５行、なお〈　〉は丸付き数字であることを示す。）
と記載されている。
　
第６．対比・判断
１．対比
　そこで、本件発明と、刊行物２記載の発明とを対比すると、刊行物２記載の発明における「誘電障壁放電」及び「エクサイマー」は、それぞれ本件発明における「誘電体バリヤ放電」及び「エキシマ分子」に相当し、また、「水晶」とは、無色またはそれに近い石英を指すから（必要であれば、化学大辞典　５」共立出版株式会社発行、第４２左欄「すいしょう　水晶」の項参照）、刊行物２記載の発明における「水晶プレート」は、本件発明における「石英ガラス」に相当し、刊行物２記載の発明の「誘電障壁放電」による「紫外線高出力放射器」は、本件発明の「誘電体バリヤ放電ランプ」に相当する。
　よって、両者は、
「放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、該エキシマ分子から放射される紫外光の取り出し部を放電容器に有する誘電体バリヤ放電ランプであって、前記紫外光の取り出し部が石英ガラスからなる誘電体バリヤ放電ランプ。」
である点で一致し、次の点で相違する。
相違点１：
　紫外光の取り出し部の石英ガラスが、本件発明では、「ＯＨ基含有量が重量で１００ｐｐｍ以上１２００ｐｐｍ以下である」としているのに対して、刊行物２記載の発明では、ＯＨ基含有量については特定されていない点。
相違点２：
　エキシマ分子から放射される紫外光の波長について、本件発明では、「２００ｎｍ以下」としているのに対して、刊行物２記載の発明では、特にそのような特定については言及がない点。
　
２．相違点についての判断
２．１．相違点１について
(１)刊行物４には、上記摘記事項(コ)〜(タ)から明らかなように、Ｘｅ２（１７２ｎｍ）の希ガスエキシマ等による波長４００ｎｍ以下の紫外線エキシマレーザ光に使用される、石英ガラス材で形成されたレーザ光学系素体において、石英ガラスのＯＨ基含有量を３００ｐｐｍ以上、具体的には７００，９００，１１００ｐｐｍとすることにより、紫外線エキシマレーザ光の照射により石英ガラスがダメージを受けた場合でも、透過率が低下することを防止できることが記載されており、その理由としては紫外線エキシマレーザ光の照射によるガラス網目構造を構成する元素間の結合の切断を、石英ガラス中に含まれるＯＨ基そのものや、ＯＨ基の水素元素の存在や移動により大部分が修復されるものと推定されると記載されているおり、また、レーザ光の波長、出力に応じてＯＨ基の含有量を設定することが（摘記事項(ソ)参照）記載されており、レンズ素体として、「レンズ、窓部材、ミラー、プリズム、フィルタ等の製造に好適なレーザ光学系素体」であることも記載されている。
　また、刊行物５にも、エキシマレーザーに使用されるレーザー光用光学系素材において、該素材として、ＯＨ基含有量が１００ｐｐｍ以上、具体的には１５０ｐｐｍ及び４００ｐｐｍの石英ガラスを用いることにより、短波長紫外光による劣化を防止しうることが記載されている。
　さらに、刊行物５には「代表的酸素欠損型欠陥、あるいは代表的酸素過剰型欠陥が存在すると、レーザ光照射により光学的特性の劣化を受け易いこと」（摘記事項(ナ)参照）が記載され、刊行物３には、製造履歴と欠陥種との関係について、「ＯＨ基が多量に含まれている火炎法で合成された試料中にはＶｏ（酸素欠乏欠陥）もＰＯＬ（酸素過剰欠陥）もともに存在しない。ＯＨ基がアモルファスシリコンに対する水素のようにこれらの欠陥の生成を抑制する作用をしているようである。」（摘記事項(ケ)参照）と記載されている。
　これら刊行物３ないし５の記載から明らかなように、エキシマレーザ光等の短波長紫外線レーザ光の照射による石英ガラスの劣化を防止するには、石英ガラスに含有されるＯＨ基が有効であること、及びその含有量を１００ｐｐｍ以上とすることは、本件の出願前にすでに良く知られているところであるといえる。
　
(２)ここで、これらの刊行物４、５には、石英ガラスが使用される光学系部材として、本件発明の「紫外光取り出し部」に相当する「窓部材」が例示されてはいるもの、刊行物３ないし５に記載された石英ガラスは、いずれもレーザ光用の光学系部材であって、刊行物２記載の発明のごとき誘電体バリヤ放電ランプの紫外光、すなわちレーザ光でない単なる放射光である短波長紫外線が照射される石英ガラスについてまでは記載されていない。
　しかしながら、刊行物２記載の発明における「紫外光取り出し部」は、刊行物３ないし５に記載されたレーザ光学系と同様に、エキシマから放射される短波長紫外光が照射される部材であって、照射される紫外光の波長が同程度の短波長紫外光が照射される部材であることを考慮すると、刊行物２記載の発明における「紫外光の取り出し部」が、レーザ光が照射されるものでなくても、刊行物３ないし５に記載されたレーザ光学系と同様のダメージを受け得ることは、刊行物３ないし５の記載に接した当業者であれば当然に理解できることである。
　このとき、刊行物２記載の発明の紫外光はレーザ光ではないため、一般的に、刊行物３ないし５に記載された紫外線エキシマレーザ光よりも照射強度ないしエネルギー密度が低いと認識されているとしても、刊行物３ないし５に記載されている元素間の結合の切断は光子エネルギーの吸収によるものであると考えられるから、レーザー光であるか放射光であるかの差は、紫外光照射時間あたりのダメージの程度には影響を与えるものの、石英ガラスのダメージの有無に影響を与えるとは考えられない。そして両者は紫外光照射時間あたりのダメージの程度が異なるものの、刊行物２記載の発明においても紫外光の照射時間によっては石英ガラスのダメージを考慮する必要があることも、当業者であれば容易に想到し得るところである。
　したがって、刊行物２記載の発明において、刊行物３ないし５の記載を参酌して、放電容器が有する石英ガラスからなる紫外光取り出し部のダメージ及びこれに起因する透過率の低下を防止すべく、石英ガラスのダメージを修復できる程度にＯＨ基の含有量を実験的に決定することは、当業者が容易になし得ることである。
　そして、本件発明において特定する「１００ｐｐｍ以上１２００ｐｐｍ以下」という範囲は、刊行物４に記載されたレーザ光学系素体に用いた場合と比較して格別な差異はなく、該数値範囲が、当業者が予期し得ない格別な値であるとすることもできない。
　
２．２．相違点２及び相違点１と相違点２の組み合わせについて
　摘記事項(エ)のとおり、刊行物２には、紫外光の波長として２００ｎｍ以下のものも記載されており、放電用ガスとして、特にキセノンまたはキセノンを主成分とするガスを用いた誘電体バリアランプは、該ランプから放射される波長が２００ｎｍ以下の紫外光であることを利用して表面改質等に使用されることは、本件出願前にすでに良く知られているところである（必要ならば、第５４回応用物理学会学術講演要旨集２７ａ−ＨＥ−１ないし２７ａ−ＨＥ−３等を参照されたい。）から、当業者であれば、刊行物２記載の発明において、エキシマ分子から放射される紫外光の波長を、「２００ｎｍ以下」とする点に格別な創意を要するものではない。
　そして、一般に紫外光の波長が短い、即ち紫外光のエネルギーが高い方が被照射部材の劣化の度合いが大きいことも、刊行物３（摘記事項(オ)参照）及び刊行物４(摘記事項(ソ)参照)の記載からも明らかなように、本件出願前に既に技術常識であることを考慮すると、刊行物２記載の発明で波長が２００ｎｍ以下の紫外光を選択した場合には、より石英ガラスのダメージが大きくなることは当業者には明らかである。
　そのうえ、刊行物４（摘記事項(ソ)参照）には、レーザ光の波長及び出力に応じてＯＨ基の含有量を決定することが記載されているのであるから、刊行物２記載の発明でＯＨ基の含有量を決定する際に、紫外光の波長、及び刊行物３ないし５に記載されたようなレーザ光と刊行物２記載の発明における放射光では当然に異なると予測される出力強度に応じて、ＯＨ基の含有量を決定することに、格別の困難は認められない。
　したがって、刊行物２記載の発明において、紫外光の波長が２００ｎｍ以下であると特定するとともに、紫外光の波長が２００ｎｍ以下の場合に、石英ガラスのＯＨ基含有量を特定することは、当業者が容易になしうることであって、しかも、「１００ｐｐｍ以上１２００ｐｐｍ以下」という範囲が、予期し得ない格別なものであるとは認められない。
　
第７．特許権者の主張について
１．特許権者は平成１５年１月２０日提出の意見書において、以下の主張を行っている。
主張１：
　「第一に、本件特許発明は放電用ガスを覆う放電容器のＯＨ基含有量を規定しているのに対し、刊行物３ないし５に記載の発明は放電用ガスを覆う放電容器ではなく、放射光が通過する光学部品におけるＯＨ基含有量を規定しています。
　具体的には、本件特許発明は、放電容器の構成材料である石英ガラスが放電ガスと直接接触することになり、当該石英ガラスは大きな熱的影響と放電容器内で発生する紫外線の照射を全領域において直接、かつ多量に受けることになります。
　この点で、刊行物３ないし５に記載の発明は、放電用がスが封入された発振空間（ランプにおける放電空間に相当）ではなく、レーザ光の光学部品を対象とするものです。つまり、構造的に、紫外光の発生源の石英ガラスを規定するものではなく、発生源から離れた部品のＯＨ基含有量を規定しているわけです。
　このため、刊行物３ないし５に記載の発明は、本件特許発明と異なり、放電ガスと直接接触していないため熱的影響を受ける程度が大きく異なるばかりか、レーザ光はビームとして局部的に照射されるだけであって、ＯＨ基含有量が規定される石英ガラスが配置されるべき状況は全く相違しています。」（第４頁第２行〜同第１５行）
主張２：
「第二に、本件特許発明と刊行物３ないし５に記載の発明は、石英ガラスの紫外線劣化メカニズムについても異なります。
　具体的には、刊行物３ないし５に記載の発明は、コヒーレントなレーザ光であって、誘電体バリヤ放電ランプの放射光よりも格段にエネルギー密度が高い光が光学部品（石英ガラス）に照射されます。
　このため、石英ガラスでは、例えば２光子吸収という放電ランプの放射光では決して生じることのない独特の現象が生じています。
つまり、レーザ光と放電ランプの放射光は、性質が本来異なるものであるから、石英ガラスの紫外光による劣化メカニズムや劣化度合いも当然に異なるものであり、これらを同一のごとく議論することはできないはずであります。」（第４頁第１８行〜同第２７行）
主張３：
「因みに、刊行物３ないし５に記載の発明は、波長２００ｎｍ以下の光について他の波長のレーザ光と併記する形で一応言及してはいるものの、波長２００ｎｍ以下の光に限定するものではなく、特に、刊行物４、刊行物５などは、実施例の記載を見ると波長２４８ｎｍのレーザ光のみを対象に説明していることは明らかであります。いずれにしても刊行物３ないし５に記載の発明は、エネルギー密度の高いレーザ光における石英ガラスの劣化を説明するものであります。
　一方、本件特許発明のようにエネルギー密度の低い放射光においては、波長２００ｎｍ以下の紫外光の照射により石英ガラスの劣化が顕著に発生するのであって、逆の言い方をすれば、波長光２００ｎｍ以上の光では石英ガラスの劣化はさほど問題にならないというわけであります（特許明細書の段落０００６参照）。」（第５頁第１４行〜同第２３行）
主張４：
「第三に、本件特許発明は誘電体バリヤ放電ランプという製品レベルにおける石英ガラスのＯＨ基含有量を規定しているのに対し、刊行物３ないし５に記載の発明は製品になる前の素材レベルにおける石英ガラスのＯＨ基含有量を規定している点で両者は相違しています。
わかりやすく言えば、石英ガラスは素材（母材）から切削加工、加熱処理などが行われ、また、本件特許発明の場合は放電空間を形成するための気密封止工程などを経て放電容器が完成し、また、刊行物４ないし５に記載の発明で言えば鏡面仕上処理などの工程を経て光学素子として製品が完成します。
本件特許発明は、このような種々の工程を終えた誘電体バリヤ放電ランプという製品段階における石英ガラスのＯＨ基含有量を規定しており、一方、刊行物３ないし５に記載の発明は製品ではない素材段階におけるＯＨ基含有量を規定しているにすぎません。」（第５頁第２９行〜第６頁１０行）
　
２．上記の特許権者の主張１ないし４について検討する。
(１)主張１について
　刊行物２記載の発明では、放電容器が紫外光取り出し部を有するものであるから、この点において本件発明と刊行物２記載の発明とが相違しないことは、前項「第６．対比・判断　１．対比」において検討したとおりである。
　そこで、刊行物２記載の発明における「紫外光取り出し部」が放電容器を構成するものであることが、刊行物３ないし５に記載された技術を採用する阻害要因となるかどうかを検討する。
　まず、熱的影響については、熱的影響を受ける程度と石英ガラスの劣化との関係については本件明細書には記載がなく明らかではないものの、熱的影響により、より一層紫外線による石英ガラスの損傷が重大となることが予想されることがあっても、熱的影響が、刊行物２記載の発明に刊行物３ないし５記載の技術を適用することを阻害する要因となるとは認められない。
　また、紫外線の照射を全領域において直接、かつ多量に受ける点については、より紫外線の影響が強まるのであるから、刊行物２記載の発明に、刊行物３ないし５記載の技術を適用して、石英ガラスの劣化をより積極的に防止する動機付けとなっても、阻害する要因になるとは考えられない。
　そして、本件発明において放電容器を構成する紫外光取り出し部のＯＨ基含有量を規定することによる効果について検討しても、これは、石英ガラスの透過率の低下を防止できるという刊行物３ないし５の記載から当業者が予測し得る程度のものである。
　したがって、特許権者の主張１は採用できない。
　
(２)主張２について
　放射光であるか、あるいはレーザ光であるかの違いはあっても、刊行物３ないし５に記載された技術を、刊行物２に記載された発明に適用することは当業者が容易に想到し得ることであることは、前項「第６．対比・判断　２．相違点についての判断」で検討したとおりである。
　また、特許権者は、放射光とレーザ光とは劣化メカニズムが異なる旨主張しているが、前項「第６．対比・判断　２．相違点についての判断」で指摘したとおり、刊行物２記載の発明における紫外光取り出し部には、刊行物３ないし５に記載されたレーザ光学系と同程度の波長の紫外光が照射されるのであるから、刊行物３ないし５に記載されたレーザ光学系と同様の劣化が起こると考える方が合理的である。
　これに対して特許権者は、レーザ光では放射光では生じることのない２光子吸収が生じるなどの相違点を指摘してはいるものの、これがどのように劣化メカニズムに関わっているのか具体的な論証を何ら提示していない。
　すなわち、レーザ光と放射光とでは同じ波長の紫外線であっても、照射による石英ガラスの劣化のメカニズムは両者間で全く異なるものであることが当業者間で本件出願前に既に周知であった等の明らかな阻害理由がない以上、当業者であれば、刊行物２に記載された発明の紫外光取り出し部においても、刊行物３ないし５に記載されたレーザ光学系と同様の紫外線照射による劣化が生じると考えるのが当然である。
　したがって、特許権者の主張２も採用できない。
　
(３)主張３について
　刊行物２記載の発明において、紫外線として波長２００ｎｍ以下のものを選択することの容易性については、前項「第６．対比・判断　２．相違点についての判断　２．２．相違点２及び相違点１と２の組み合わせについて」において検討したとおりである。
　
(４)主張４について
　刊行物４では、レーザ光学系の製造に好適なレーザ光学系素体のＯＨ基含有量が規定されていることについては特許権者の主張するとおりである。
　しかしながら、摘記事項(チ)(ツ)(ト)等から明らかなように、刊行物５記載の発明では、完成品であるレーザ用光学系部材自体の耐レーザ性を問題としており、ＯＨ基含有量の規定は、実際に紫外光が照射される完成した部材に対して、即ち、刊行物２記載の発明においては紫外光取り出し部に対して行うことが好ましいことは、当業者には自明のことである。
　したがって、特許権者の主張４も採用できない。
　
第８．結び
　以上のとおり、本件発明は、その出願前に頒布された刊行物２ないし５に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件の請求項１についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものである。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第１項及び第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年１月２９日（２００４．１．２９）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
誘電体バリヤ放電ランプ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、該エキシマ分子から放射される
波長２００ｎｍ以下の
放電容器に
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、例えば、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成し、該エキシマ分子から放射される光を光化学反応用の紫外線光源として利用するいわゆる誘電体バリヤ放電ランプの改良に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　本発明に関連した技術としては、例えば、日本国公開特許公報平２−７３５３号には、放電容器内にエキシマ分子を形成する放電用ガスを充満し、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あるいは無声放電。電気学会発行改訂新版（放電ハンドブック）平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子から放射される光を取り出す放射器、すなわち誘電体バリヤ放電ランプについて記載されている。また、日本国公開特許公報平２−７３５３号には、誘電体バリヤ放電ランプの放電容器に紫外線を別の波長の光に変換するルミネッセンス（例えば蛍光体）を設けた放射器（例えば蛍光ランプ）について記載されている。上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電ランプにはない種々の特徴を有しているため有用である。しかし、上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、点灯時間の経過に従って光出力が低下して行くという問題があった。
　【０００３】
　【本発明が解決しようとする技術課題】
　本発明の課題は、点灯時間の経過にしたがって光出力が低下しない誘電体バリヤ放電ランプを提供することである。
　【０００４】
　【課題を解決するための手段】
　上記本発明の目的は、放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、該エキシマ分子から放射される
波長２００ｎｍ以下の
放電容器に
　【０００５】
　【上記手段の有する作用】
　我々は、誘電体バリヤ放電の光出力低下の主原因が窓部材である石英ガラスの紫外線劣化であることを発見した。誘電体バリヤ放電は従来のアーク放電では得られない波長の紫外線を高効率で発生できる。前記特徴ある紫外線の発生は、以下の機構によっている。すなわち、まず、誘電体バリヤ放電によって従来のアーク放電ランプには無い高エネルギープラズマが発生する。このプラズマが種々の衝突過程を経てエキシマ分子を生成し、このエキシマ分子が特徴のある紫外線を高効率で放射する。窓部材、誘電体はこれら多量の紫外線の照射を受け紫外線劣化を生じる。特にキセノンエキシマ光（放射波長域１６０−１９０ｎｍ）のように２００ｎｍ以下の紫外線の場合、紫外線劣化が著しい。紫外線劣化とは、紫外線により≡Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ≡結合が切断され≡Ｓｉ・（・は不対電子、≡は酸素との結合を表す）などの欠陥などが生じることである。これら欠陥を生じると石英ガラスは透過率が減少し、エキシマ光出力が減少する。出力の減少を防ぐには、この紫外線劣化を防ぐ必要があった。我々は種々検討し、石英ガラスのＯＨ基が誘電体バリヤ放電ランプの紫外線劣化に有効なことを発見した。ＯＨ基は≡Ｓｉ・などの欠陥に作用し、≡Ｓｉ−Ｈ、≡Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ≡結合を形成し、欠陥などを減少させるためと思われる。
　【０００６】
　【実施例】
　本発明の実施例である同軸円筒形誘電体バリヤ放電ランプの概略図を図１に示す。放電容器１は全長約３００ｍｍの石英ガラス製で外径Ｄ１が６ｍｍの内側管２、内径Ｄ２が８ｍｍの外側管３を同軸に配置して中空円筒状にした物である。内側管２、外側管３は誘電体バリヤ放電の誘電体と取り出し窓部材を兼用しておりＯＨ基が重量で１００ｐｐｍ以上１２００ｐｐｍ以下を含む石英ガラスからなる。内側管２、外側管３の外面に光を透過する金属網からなる電極４，５が設けられている。不純ガス吸収のためのゲッター６を設けることもある。７は、ゲッター移動防止用凸部である。放電用ガスとして放電空間８にキセノンガスが圧力で１５０００Ｐａ充填されている。
　【０００７】
　しかして、かかる誘電体バリヤ放電ランプを交流電源９で点灯すると、前述のように放射される紫外線による。石英ガラスの紫外線劣化が石英ガラスに含まれるＯＨ基によって抑制される。従って石英ガラスの透過率の減少が少なく、紫外線の出力低下の少ない誘電体バリヤ放電ランプが得られる。
　【０００８】
　次にＯＨ基含有量の異なる石英ガラスでランプを製作し、１００時間後のエキシマ光の減衰率を測定した結果を図２に基づいて説明する。たて軸は、初期値の光強度を１００として表示した相対値を％で表示し、よこ軸は、石英ガラス中のＯＨ基の濃度を対数メモリで表示している。用いたランプは図１に示した誘電体バリヤ放電ランプであり、石英ガラス中のＯＨ基濃度は、重量で、１ｐｐｍ以下、５ｐｐｍ、３０ｐｐｍ、１００ｐｐｍ、１５００ｐｐｍの５水準である。それぞれのランプを１００時間点灯後のエキシマ光の減衰率を測定した。１ｐｐｍ以下、５ｐｐｍの減衰率が７０％であるのに対し、３０ｐｐｍで３５％、１００ｐｐｍで２０％、１５００ｐｐｍで１５％となり、ＯＨ基の濃度が増加するに従い減衰率が減少し、１００ｐｐｍ以上で極めて効果的でる。
　【０００９】
　【発明の効果】
　以上説明したように本発明は点灯時間の経過に従い、光を取り出す窓部材を形成する石英ガラスの紫外線劣化による光出力の低下が少ない誘電体バリヤ放電ランプを提供出来る。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の誘電体バリヤ放電ランプの一実施例の説明図である。
　【図２】光減衰率のデータの説明図である。
　【符号の説明】
　２　内側管
　３　外側管
　４，５　電極
　６　ゲッター
　８　放電空間
　９　交流電源