(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックスから成る筐体であって、
板状の底部と、
前記底部の一方主面に設けられ、該一方主面の外周縁に沿った枠状の側壁部と、
前記一方主面の前記側壁部で囲まれた領域から突出するか、または、前記側壁部の内周面から突出し、前記一方主面と平行な上面を有する一対の突出部と、を備える筐体と、
金属材料からなり、前記一対の突出部のそれぞれの前記上面に設けられる一対の放電電極層と、
気体分子を吸着可能なゲッター材料からなり、前記一対の放電電極層のうちの少なくともいずれか一方の放電電極層の上面に設けられるゲッター層と、を含むことを特徴とする放電器用パッケージ。
【請求項２】
前記一対の放電電極層のうち、一方の放電電極層が陰極であり、他方の放電電極層が陽極であり、
前記ゲッター層は、前記陰極の上面に設けられることを特徴とする請求項１記載の放電器用パッケージ。
【請求項３】
前記ゲッター層は、前記一対の放電電極層の上面のうち、電子が放出される電極端部の部分を除く部分に設けられることを特徴とする請求項１または２記載の放電器用パッケージ。
【請求項４】
金属材料からなる一対の棒状電極であって、各棒状電極の先端同士が互いに対向するように、前記一対の放電電極層に接合された一対の棒状電極を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の放電器用パッケージ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の放電器用パッケージと、
前記筐体の開口を塞ぐ蓋体と、
前記筐体の前記底部および前記側壁部と前記蓋体とで囲まれた空間内に充填された不活性ガスと、を含むことを特徴とする放電器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電器用パッケージ、およびこれを備える放電器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話などの携帯機器にカメラ機能が設けられており、夜間および室内などにおいても明るい画像を撮像することが求められている。携帯機器に設ける照明装置には小型化が必要であり、従来ではＬＥＤ（Light Emitting Diode）を用いた照明装置が設けられている。しかし、ＬＥＤでは光量が低く、要求される光量の照明光を放射することができない。瞬間的に大光量の光を放射可能な照明装置として、ガラス管内にキセノンなどの不活性ガスが充填された構造の放電器がある。
【０００３】
放電器においては、ガラス管内に酸素、窒素、水などの活性成分が不純物として存在すると、発光量が低下するなどの発光不良が生じるため、特許文献１記載の高圧ナトリウムランプでは、発光管内に不純物を吸着するゲッターを封入している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−４０８６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
放電器の小型化に対する要求に応じるために、特許文献１のようなランプではなく、セラミックパッケージ型の放電器が提案されている。セラミックパッケージ型の放電器は、セラミック筐体とガラス蓋体とからなり不活性ガスを封入して筐体内部に設けた電極で放電して発光する。このセラミックパッケージ型の放電器においても不純物による発光不良を低減するために、ゲッターを封入することが考えられるが、特許文献１記載のランプとは構成が大きく異なるので、特許文献１に記載されたゲッターをセラミックパッケージ型の放電器に適用することはできない。
【０００６】
本発明の目的は、小型化が可能で発光不良を低減することができる放電器用パッケージおよび放電器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一つの態様の放電器用パッケージは、セラミックスから成る筐体であって、板状の底部と、前記底部の一方主面に設けられ、該一方主面の外周縁に沿った枠状の側壁部と、前記一方主面の前記側壁部で囲まれた領域から突出するか、または、前記側壁部の内周面から突出し、前記一方主面と平行な上面を有する一対の突出部と、を備える筐体と、金属材料からなり、前記一対の突出部のそれぞれの前記上面に設けられる一対の放電電極層と、気体分子を吸着可能なゲッター材料からなり、前記一対の放電電極層のうちの少なくともいずれか一方の放電電極層の上面に設けられるゲッター層と、を含むことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の一つの態様の放電器は、上記の放電器用パッケージと、前記筐体の開口を塞ぐ蓋体と、前記筐体の前記底部および前記側壁部と前記蓋体とで囲まれた空間内に充填された不活性ガスと、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一つの態様の放電器用パッケージによれば、セラミックスから成る筐体を使用することで小型化が可能であり、ゲッター材料からなるゲッター層を放電電極層上に設けることで、不純物の量を低減することができ、不純物に起因する発光不良を低減することができる。
【００１０】
本発明の一つの態様の放電器によれば、上記の放電器用パッケージを用いることにより、小型化が可能で発光不良が低減された放電器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態である放電器１０を有する撮像装置１の外観図である。
【図２】図１の放電器１０の斜視図である。
【図３】図２の放電器１０の分解斜視図である。
【図４】図２の切断面線Ａ−Ａで切断したときの放電器１０の断面図である。
【図５】放電器１０を構成する放電器用パッケージ１１の平面図である。
【図６】放電器用パッケージ１１を下方から見た底面図である。
【図７】放電器用パッケージ１１を製造するための積層体を示す分解斜視図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る放電器１０Ａの斜視図である。
【図９】図８の放電器１０Ａの分解斜視図である。
【図１０】図８の切断面線Ａ−Ａで切断したときの放電器１０Ａの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係る放電器用パッケージおよび放電器について、図面を参照して説明する。
【００１３】
図１は、本発明の第１実施形態である放電器１０を備える撮像装置１の外観図である。放電器１０は、たとえばスマートフォンなどの携帯端末装置やデジタルカメラなどの撮像装置１に、フラッシュ光源として内蔵するものである。放電器１０は、たとえば、希ガスなどの不活性ガスの放電作用を利用して、ＬＥＤと比較して、瞬間的に大光量の閃光を発することができる。放電器１０を発光させる回路構成は、従来公知の、ガラス管内にキセノンなどの不活性ガスが充填された構造のキセノン放電管を用いた閃光発光器と同様である。図１に示す撮像装置１は、スマートフォンであって、表示面の裏面側に撮像可能なレンズを有する光学装置２や放電器１０を内蔵した発光装置３が設けられている。
【００１４】
図２は図１の放電器１０の斜視図であり、図３は図２の放電器１０の分解斜視図であり、図４は図２の切断面線Ａ−Ａで切断したときの放電器１０の断面図である。また、図５は放電器１０を構成する放電器用パッケージ１１の平面図であり、図６は放電器用パッケージ１１を下方から見た底面図である。
【００１５】
放電器１０は、本実施形態に係る放電器用パッケージ１１と、放電器用パッケージ１１における筐体１１１の凹部１１１Ｄを覆う蓋体１２と、凹部１１１Ｄと蓋体１２とで囲まれた空間（放電空間Ｐ）内に充填された不活性ガスと、を含んで構成される。なお、不活性ガスは、たとえば、希ガスであるキセノン（Ｘｅ）を主成分とするガスである。
【００１６】
蓋体１２は、透光性を有する平板状の部材であり、凹部１１１Ｄを塞ぐように筐体１１１の側壁部１１１Ｂの上面１１１Ｂｃに接合される。ここで、蓋体１２の「透光性」とは、放電空間Ｐ内における発光によって放射された光の少なくとも一部の波長の光が透過できることをいう。蓋体１２は、たとえばガラス、サファイア、透光性セラミックスなどの絶縁材料から成る。
【００１７】
蓋体１２がガラスから成る場合、蓋体１２は、ガラス接合によって側壁部１１１Ｂの上面１１１Ｂｃに固定される。蓋体１２がサファイアまたは透光性セラミックスから成る場合、蓋体１２は、ガラス接合または焼結接合によって側壁部１１１Ｂの上面１１１Ｂｃに固定される。「焼結接合」とは、接合用治具を使用して、側壁部１１１Ｂの上面１１１Ｂｃと蓋体１２とを、被接合面を接触させた状態で高温処理することにより、筐体１１１に含まれるガラス質を接合材として機能させて接合させることをいう。
【００１８】
放電器用パッケージ１１は、筐体１１１と、一対の突出部１１１Ｂａと、一対の放電電極層１１２，１１３と、ゲッター層１１４，１１５と、トリガ電極１１６とを含んで構成される。
【００１９】
筐体１１１は、アルミナ、チタニア系酸化物、ジルコン酸系酸化物などのセラミックスから成る。筐体１１１は、矩形板状の底部１１１Ａと、底部１１１Ａの一方主面１１１Ａａに設けられる側壁部１１１Ｂと、矩形板状の一対の突出部１１１Ｂａとを有する。筐体１１１の凹部１１１Ｄは、底部１１１Ａの一方主面１１１Ａａと側壁部１１１Ｂの内周面１１１Ｂｂとで規定される。筐体１１１において、底部１１１Ａ、側壁部１１１Ｂ、および一対の突出部１１１Ｂａは、一体的に形成されている。
【００２０】
筐体１１１において、側壁部１１１Ｂは、底部１１１Ａの一方主面１１１Ａａに設けられ、一方主面１１１Ａａの外周縁に沿った枠状を成し、底部１１１Ａの主面に垂直な内周面１１１Ｂｂを有する。換言すると、側壁部１１１Ｂは、下面が底部１１１Ａの一方主面１１１Ａａにおける外周縁に連なり、上方に開放した上端開口を有し、底部１１１Ａの一方主面１１１Ａａに垂直な内周面１１１Ｂｂによって凹部１１１Ｄが規定される。
【００２１】
一対の突出部１１１Ｂａは、それぞれ、底部１１１Ａの一方主面１１１Ａａの側壁部１１１Ｂで囲まれた領域すなわち、凹部１１１Ｄに臨む領域から上方に向かって突出するか、または、側壁部１１１Ｂの内周面１１１Ｂｂから内方に向かって突出し、底部１１１Ａの一方主面１１１Ａａと平行な上面１１１Ｂｄを有する。本実施形態では、一対の突出部１１１Ｂａは、それぞれ、側壁部１１１Ｂの内周面１１１Ｂｂにおいて、矩形枠状の互いに対向する２つの短辺に対応した部分から、凹部１１１Ｄ内に突出している。これら一対の突出部１１１Ｂａは、下面が底部１１１Ａの一方主面１１１Ａａに連なっている。
【００２２】
底部１１１Ａ、側壁部１１１Ｂおよび一対の突出部１１１Ｂａによって構成される凹部１１１Ｄを有する筐体１１１において、凹部１１１Ｄの内面は、底部１１１Ａの一方主面１１１Ａａ、側壁部１１１Ｂの内周面１１１Ｂｂ、および一対の突出部１１１Ｂａの上面１１１Ｂｄを含む。
【００２３】
筐体１１１において、底部１１１Ａは、長辺の長さが５ｍｍ〜２０ｍｍであり、短辺の長さが２ｍｍ〜５ｍｍであり、厚みが０．２ｍｍ〜０．５ｍｍである。また、側壁部１１１Ｂは、厚み（底部１１１Ａの一方主面１１１Ａａからの高さ）が０．２ｍｍ〜１ｍｍであり、外周縁において、長辺の長さが５ｍｍ〜２０ｍｍであり、短辺の長さが２ｍｍ〜５ｍｍであり、内周縁において、長辺の長さが３ｍｍ〜１８ｍｍであり、短辺の長さが１ｍｍ〜４ｍｍである。さらにまた、一対の突出部１１１Ｂａは、それぞれ、厚み（底部１１１Ａの一方主面１１１Ａａからの高さ）が０．２ｍｍ〜１ｍｍであり、短辺の長さ（内周面１１１Ｂｂから放電空間Ｐへの突出長さ）が０．５ｍｍ〜３ｍｍであり、長辺の長さが１ｍｍ〜３ｍｍである。
【００２４】
また、筐体１１１には、底部１１１Ａにおける２つの短辺側の側面中央部、および、底部１１１Ａにおける１つの長辺側の側面中央部に、内方へ曲面状に窪んだキャスタレーション１１１Ｃが設けられている。なお、各キャスタレーション１１１Ｃには、後述の外部端子１１７，１１８，１１９にそれぞれ対応した導通路が形成されている。
【００２５】
一対の放電電極層１１２，１１３は、一対の突出部１１１Ｂａの上面１１１Ｂｄにそれぞれ設けられる。一対の放電電極層１１２，１１３は、複数の金属粒子から成り、電位差によって不活性ガスに絶縁破壊を生じさせて、不活性ガスに電流を流すために用いられる電極であり、陰極と陽極とからなる。本実施形態では、一方の放電電極層１１２が陰極であり、他方の放電電極層１１２が陽極である。一対の放電電極層１１２，１１３は、たとえば矩形板状に形成される。一対の放電電極層１１２，１１３のうち、一方の放電電極層１１２が陰極であり、他方の放電電極層１１３が陽極である。ゲッター層１１４は、陰極の上面に設けられる。
【００２６】
ゲッター層１１４，１１５は、一対の放電電極層１１２，１１３のうちの少なくともいずれか一方の放電電極層の上面１１２ａ，１１３ａに設けられる。ゲッター層１１４，１１５は、気体分子を吸着可能なゲッター材料からなり、放電空間Ｐ内に不活性ガスとともに混在する不純物である各種活性ガスの気体分子を吸着する。不純物である気体分子は、たとえば気体状の酸素分子、窒素分子、一酸化炭素分子、二酸化炭素分子、水分子など放電不良を生じさせる気体分子である。
【００２７】
ゲッター層１１４，１１５を構成するゲッター材料としては、上記の不純物を吸着可能な材料であれば限定されないが、たとえば、Ｚｒ、Ｖ、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｈｆなどの金属材料を用いることができる。これらの金属材料は、単独で用いてもよく、複数種類を併用してもよく、また合金などであってもよい。
【００２８】
本実施形態のゲッター層１１４，１１５は、上記金属材料からなる非蒸発型ゲッターであり、層表面に形成されている被膜が加熱によって内部に拡散され、最表面に清浄な金属面が露出する、いわゆる活性化することによって、不純物である気体分子を吸着する。ゲッター層１１４，１１５を設けることにより放電空間Ｐ内の不純物の量を低減することができ、不純物に起因する発光不良を低減することができる。
【００２９】
活性化するための加熱温度は、ゲッター層１１４，１１５を構成するゲッター材料によっても異なるが、たとえば３００〜５００℃程度である。放電器１０は、放電時に放電電極層１１２，１１３が３６００℃程度まで瞬間的に上昇する。本実施形態のようにゲッター層１１４，１１５は、一対の放電電極層１１２，１１３の上面１１２ａ，１１３ａに設けられているので、放電電極層１１２，１１３の温度上昇によって加熱され活性化される。したがって、放電器１０が、ゲッター層１１４，１１５を活性化させるための加熱手段を備える必要がない。
【００３０】
ゲッター層１１４，１１５は、不純物を吸着するものであるから、なるべき大きな表面積を有するように設けてもよい。たとえば、一対の放電電極層１１２，１１３間の底部１１１Ａの一方主面１１１Ａａに設けることが考えられるが、その場合、放電電極間に形成される電界中に導電体であるゲッター層が存在することになるので、放電電流がゲッター層を流れてしまい、発光が不十分となる。
【００３１】
本実施形態のように、放電電極層１１２，１１３の上面１１２ａ，１１３ａに設けることで、放電電流がゲッター層１１４，１１５を流れることがなく、また放電電極層１１２，１１３によって加熱されるので、加熱手段も不要となる。
【００３２】
本実施形態では、放電電極層１１２，１１３の上面１１２ａ，１１３ａそれぞれにゲッター層１１４，１１５を設けているが、いずれか一方の放電電極層の上面にのみゲッター層を設けてもよく、その場合、陰極となる放電電極層１１２の上面１１２ａに設けてもよ
い。放電時には、放電電極層１１２，１１３はいずれも高温になるが、特に陰極のほうが温度が高く、放電時には陰極を構成する金属材料が蒸発または飛散してしまう場合がある。金属材料が蒸発または飛散してしまうと、飛散した金属材料が蓋体１２の内表面に付着して光の透過を妨げたり、陰極が小さくなって放電不良などが生じて放電器１０が使用できなくなる。金属材料であるゲッター層１１４，１１５を設けることで、放電電極層１１２，１１３で発生した熱はゲッター層１１４，１１５に伝導し放熱されるので、放電電極層１１２，１１３の温度上昇が抑えられ、陰極における金属材料の蒸発や飛散を抑制することができ、放電器１０の使用寿命を延ばすことができる。
【００３３】
ゲッター層１１４，１１５は、一対の放電電極層１１２，１１３の上面のうち、電子が放出される電極端部の部分を除く部分に設けられていてもよい。陰極である放電電極層１１２にゲッター層１１４を設ける場合、電子が放出される電極端部の部分を除く部分に設けられる。電子が放出される電極端部は、一対の放電電極層１１２，１１３の互いに対向する端部である。電極端部に近接してゲッター層が設けられると、電子の放出が不十分となり十分に発光できない。ゲッター層を設けない電極端部の部分は、たとえば電極端部の端面から１００〜５００μｍの距離の部分である。
【００３４】
トリガ電極１１６は、矩形板状に形成され、一対の放電電極層１１２，１１３と電気的に絶縁されるように、筐体１１１の底部１１１Ａの内部に埋設されている。トリガ電極１１６は、外部のトリガ回路からの信号に応じて、一対の放電電極層１１２，１１３のうちの陰極となる放電電極との間で予備放電し、一対の放電電極層１１２，１１３間での安定した主放電を開始させる。
【００３５】
トリガ電極１１６は、タングステン（Ｗ）およびモリブデン（Ｍｏ）などの高融点金属から成る。また、トリガ電極１１６は、長辺の長さが３ｍｍ〜１８ｍｍであり、短辺の長さが１ｍｍ〜４ｍｍであり、厚みが１μｍ〜１０μｍである。
【００３６】
さらに、本実施形態の放電器用パッケージ１１は、筐体１１１の外面に、一対の放電電極層１１２，１１３のそれぞれに対応した外部端子１１７，１１８と、トリガ電極１１６に対応した外部端子１１９とが設けられている。
【００３７】
放電電極層１１２と外部端子１１７とはキャスタレーション１１１Ｃに形成された導通路１１７ａを介して電気的に接続され、放電電極層１１３と外部端子１１８とはキャスタレーション１１１Ｃに形成された導通路１１８ａを介して電気的に接続され、トリガ電極１１６と外部端子１１９とはキャスタレーション１１１Ｃに形成された不図示の導通路を介して電気的に接続されている。外部端子１１７，１１８，１１９および導通路１１７ａ，１１８ａは、それぞれ、タングステン（Ｗ）およびモリブデン（Ｍｏ）などの高融点金属から成る。
【００３８】
以上のような構成の本実施形態の放電器１０によれば、放電器用パッケージ１１を用いることで、小型化が可能であり、ゲッター層１１４，１１５を設けることにより放電空間Ｐ内の不純物の量を低減することができ、不純物に起因する発光不良を低減することができる。放電電極層１１２，１１３の上面１１２ａ，１１３ａに設けることで、放電電流がゲッター層１１４，１１５を流れることがなく、また放電電極層１１２，１１３によって加熱されるので、加熱手段も不要となる。
【００３９】
次に、本実施形態に係る放電器１０の製造方法について、図７を用いて説明する。図７は、放電器用パッケージ１１を製造するための積層体を示す分解斜視図である。放電器１０の製造方法は、成形工程と、印刷工程と、焼成工程と、封入工程とを含んで構成される。図７に示すように、放電器１０を構成する放電器用パッケージ１１は、矩形板状の第１のセラミックグリーンシート２１と、矩形板状の第２のセラミックグリーンシート２２と、矩形板状の第３のセラミックグリーンシート２３と、矩形板状の第４のセラミックグリーンシート２４とを積層させた積層体を用いて、製造される。
【００４０】
成形工程では、加工前の第１のセラミックグリーンシート２１、第２のセラミックグリーンシート２２、第３のセラミックグリーンシート２３、および第４のセラミックグリーンシート２４を、予め定められた形状に成形する。たとえば、第１のセラミックグリーンシート２１は、筐体１１１の凹部１１１Ｄの開口に対応した、厚み方向に貫通する第１シート孔部２１１が形成されるように、成形される。第２のセラミックグリーンシート２２は、筐体１１１の凹部１１１Ｄの開口および一対の突出部１１１Ｂａに対応した、厚み方向に貫通する第２シート孔部２２１が形成されるとともに、矩形板状のシートにおいて互いに対向する２つの短辺の縁端中央部に、キャスタレーション１１１Ｃに対応して内方へ曲面状に窪んだ第２シート切欠き２２２が形成されるように、成形される。第３のセラミックグリーンシート２３は、矩形板状のシートにおいて互いに対向する２つの短辺の縁端中央部に、キャスタレーション１１１Ｃに対応して内方へ曲面状に窪んだ第３シート切欠き２３１が形成され、１つの長辺の縁端中央部に、キャスタレーション１１１Ｃに対応して内方へ曲面状に窪んだ第３シート切欠き２３１が形成されるように、成形される。第４のセラミックグリーンシート２４は、矩形板状のシートにおいて互いに対向する２つの短辺の縁端中央部に、キャスタレーション１１１Ｃに対応して内方へ曲面状に窪んだ第４シート切欠き２４１が形成され、１つの長辺の縁端中央部に、キャスタレーション１１１Ｃに対応して内方へ曲面状に窪んだ第４シート切欠き２４１が形成されるように、成形される。
【００４１】
ここで、加工前のセラミックグリーンシートは、従来公知の方法で形成される。たとえば、加工前のセラミックグリーンシートの原料の主成分には、アルミナ、チタニア系酸化物、およびジルコン酸系酸化物等が用いられる。チタン酸バリウムを主成分とする焼結体を用いる場合には、たとえば、チタン酸バリウム粉末に対して、所定量の酸化マグネシウム粉末、希土類元素の酸化物粉末および酸化マンガン粉末を配合し、さらに、必要に応じて焼結助剤としてガラス粉末を添加して素原量粉末を得る。次に、素原量粉末に有機ビヒクルを加えてセラミックスラリを調製し、次いで、ドクターブレード法またはダイコーダ法などの従来公知のシート成形法を用いて、加工前のセラミックグリーンシートが形成される。
【００４２】
成形工程の後工程である印刷工程では、第２のセラミックグリーンシート２２の一主面上に、一対の放電電極層１１２，１１３およびゲッター層１１４，１１５となる金属ペーストを印刷する。さらに、第４のセラミックグリーンシート２４の一主面上に、トリガ電極１１６となる金属ペーストを印刷する。図７においては、第４のセラミックグリーンシート２４の一主面上にトリガ電極１１６となる金属ペーストを印刷しているが、第３のセラミックグリーンシート２３の、第４のセラミックグリーンシート２４と対向する面上に、トリガ電極１１６となる金属ペーストを印刷してもよい。
【００４３】
また、第４のセラミックグリーンシート２４の、第３のセラミックグリーンシート２３と対向する面とは反対側の面上に、外部端子１１７，１１８，１１９となる金属ペーストを印刷する。また、第２のセラミックグリーンシート２２の第２シート切欠き２２２、第３のセラミックグリーンシート２３の第３シート切欠き２３１、ならびに第４のセラミックグリーンシート２４の第４シート切欠き２４１に、導通路１１７ａ，１１８ａとなる金属ペーストを印刷する。
【００４４】
印刷工程における、一対の放電電極層１１２，１１３、トリガ電極１１６、外部端子１１７，１１８，１１９、および導通路１１７ａ，１１８ａとなる金属ペーストは、高融点金属であるタングステン（Ｗ）などの金属粒子およびニッケル（Ｎｉ）などの金属粒子に、予め定める有機バインダおよび溶剤を添加混合して得たものを、従来公知のスクリーン印刷法を用いて印刷すればよい。
【００４５】
ゲッター層１１４，１１５となる金属ペーストは、たとえばＺｒなどの金属粒子に予め定める有機バインダおよび溶剤を添加混合して得たものを、従来公知のスクリーン印刷法を用いて印刷すればよい。
【００４６】
印刷工程の後工程である焼成工程では、第１のセラミックグリーンシート２１、第２のセラミックグリーンシート２２、第３のセラミックグリーンシート２３、および第４のセラミックグリーンシート２４を、一対の放電電極層１１２，１１３が第１のセラミックグリーンシート２１の第１シート孔部２１１内に含まれ、トリガ電極１１６が第３のセラミックグリーンシート２３および第４のセラミックグリーンシート２４に挟持されるように、積層して積層体を形成する。次に、積層させた積層体を焼成する。
【００４７】
焼成工程における積層体の焼成は、昇温速度を５℃／ｈ〜３００℃／ｈとして、脱脂を５００℃までの温度範囲で行い、次いで、昇温速度を２５℃／ｈ〜１０００℃／ｈとして、水素および窒素の混合ガスの還元雰囲気中にて１４００℃〜１６００℃の温度範囲で０．５時間から４時間焼成する。このような積層体の焼成により、セラミックスから成る筐体１１１における、一対の放電電極層１１２，１１３の上面１１２ａ，１１３ａにゲッター層１１４，１１５を形成することができる。なお、ゲッター層１１４，１１５は、上記印刷工程では印刷を行わず、焼成工程後に、ゲッター層用の印刷工程を行い、再度焼成工程を行って形成してもよい。
【００４８】
次に、封入工程では、たとえばキセノン（Ｘｅ）を主成分とする不活性ガス雰囲気下において、放電器用パッケージ１１の筐体１１１における側壁部１１１Ｂの上面１１１Ｂｃを、蓋体１２と密着させ、筐体１１１の底部１１１Ａおよび側壁部１１１Ｂと、蓋体１２とで囲まれる密閉空間（放電空間Ｐ）内に、不活性ガスを封入する。側壁部１１１Ｂの上面１１１Ｂｃと蓋体１２との密着には、蓋体１２に用いるガラスより融点の低いガラスが用いられる。
【００４９】
上記成形工程、印刷工程、焼成工程、および封入工程を経ることにより、本実施形態に係る放電器１０を製造することができる。
【００５０】
図８は本発明の第２実施形態である放電器１０Ａの斜視図であり、図９は図８の放電器１０Ａの分解斜視図であり、図１０は図８の切断面線Ａ−Ａで切断したときの放電器１０Ａの断面図である。
【００５１】
放電器１０Ａは、放電器用パッケージ１１Ａの構成が、一対の放電補助電極１２０，１２１をさらに含むこと以外は、第１実施形態の放電器用パッケージ１１と同様であり、第１実施形態の放電器１０と同じ部位については、同じ参照符号を付し詳細な説明は省略する。
【００５２】
本実施形態の放電器１０Ａの放電器用パッケージ１１Ａは、第１実施形態の放電器用パッケージ１１に加えて、一対の放電補助電極１２０，１２１をさらに含む。一対の放電補助電極１２０，１２１は、放電空間Ｐ内における放電効率を高くするための補助電極であり、放電器１０Ａにおいては、一対の放電電極層１１２，１１３間での放電に加えて、一対の放電補助電極１２０，１２１間でも放電する。
【００５３】
一対の放電補助電極１２０，１２１は、それぞれ、金属から成り、長さが１ｍｍ〜５ｍ
ｍであり、外径が０．３ｍｍ〜０．８ｍｍの棒状電極である。このような、棒状の一対の放電補助電極１２０，１２１を用いることによって、放電空間Ｐ内における放電効率を高くすることができるので、瞬間的に大光量の光を放射可能となり、放電器１０Ａにおいて十分な光量を確保することができる。金属材料からなる一対の棒状電極は、各棒状電極の先端同士が互いに対向するように、一対の放電電極層１１２，１１３に接合されている。
【００５４】
一対の放電補助電極１２０，１２１は、各放電補助電極１２０，１２１の先端同士が互いに対向するように、一対の放電電極層１１２，１１３の上面１１２ａ，１１３ａのうち、ゲッター層１１４，１１５が設けられていない部分に、導電性を有する接合材によって接合される。なお、放電補助電極１２０，１２１は、一部または全部がゲッター層１１４，１１５の上面に、接合材によって接合されていてもよい。放電電極層１１２，１１３と直接接触する部分がなくても、ゲッター層１１４，１１５を介して放電電極層１１２，１１３の上面１１２ａ，１１３ａに、放電補助電極１２０，１２１が設けられていてもよい。
【００５５】
一対の放電補助電極１２０，１２１は、互いの軸線が一致し、各軸線が、矩形枠状の側壁部１１１Ｂの２つの短辺の中心を通る仮想直線と平行であり、先端が各突出部１１１Ｂａの上面から内方側に延出するように、各突出部１１１Ｂａの上面に設けられた一対の放電電極層１１２，１１３上に接合されている。また、好ましくは、一対の放電補助電極１２０，１２１は、互いの軸線が一致し、かつ、各軸線が、矩形枠状の側壁部１１１Ｂの２つの短辺の中心を通る仮想直線と一致するように設けられる。
【００５６】
一対の放電補助電極１２０，１２１を構成する金属としては、タングステン（Ｗ）およびモリブデン（Ｍｏ）などの高融点金属を挙げることができる。
【００５７】
また、一対の放電電極層１１２，１１３のうち陰極となる放電電極層上に設けられた放電補助電極は、タングステン（Ｗ）およびモリブデン（Ｍｏ）などの高融点金属の他に、電子放出特性に優れた酸化ランタン、酸化イットリウムまたは酸化セリウムを含んでいてもよい。
【００５８】
また、一対の放電補助電極１２０，１２１の先端の形状は特に限定されるものではないが、半球状、円錐台形状、四角錐台形状などの、先細状であってもよい。特に、陰極となる放電電極層上に設けられた放電補助電極の先端が先細状であることによって、電子放出特性を向上させることができ、一対の放電補助電極１２０，１２１間の放電効率をより高くすることができるので、放電器１０Ａにおいて十分な光量を確保することができる。
【００５９】
一対の放電補助電極１２０，１２１を一対の放電電極層１１２，１１３に接合するための接合材は、タングステン（Ｗ）を主成分とする金属ろう材であり、一対の放電電極層１１２，１１３を構成する金属粒子の主金属（高融点金属）、および、一対の放電補助電極１２０，１２１を構成する金属と、合金を形成可能な金属を１％以上５０％以下含有している。
【００６０】
一対の放電電極層１１２，１１３を構成する金属粒子の主金属、および、一対の放電補助電極１２０，１２１を構成する金属が、タングステン（Ｗ）またはモリブデン（Ｍｏ）である場合、接合材に含有される金属は、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）またはコバルト（Ｃｏ）である。一対の放電電極層１１２，１１３を構成する金属粒子の主金属、および、一対の放電補助電極１２０，１２１を構成する金属と合金を形成可能な金属を含有する接合材を用いることによって、一対の放電補助電極１２０，１２１と一対の放電電極層１１２，１１３との間の接合強度を向上させることができる。
【００６１】
本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変形や変更が可能である。さらに、特許請求の範囲に属する変形や変更は全て本発明の範囲内のものである。
【符号の説明】
【００６２】
１      撮像装置
２      光学装置
３      発光装置
１０，１０Ａ    放電器
１１，１１Ａ    放電器用パッケージ
１２    蓋体
２１    第１のセラミックグリーンシート
２２    第２のセラミックグリーンシート
２３    第３のセラミックグリーンシート
２４    第４のセラミックグリーンシート
１１１  筐体
１１１Ａ  底部
１１１Ａａ  一方主面
１１１Ｂ  側壁部
１１１Ｂａ  突出部
１１１Ｂｂ  内周面
１１１Ｂｃ  側壁部の上面
１１１Ｂｄ  突出部の上面
１１１Ｃ  キャスタレーション
１１１Ｄ  凹部
１１２，１１３  放電電極層
１１２ａ，１１３ａ  放電電極層の上面
１１４，１１５  ゲッター層
１１６  トリガ電極
１１７  外部端子
１１７ａ  導通路
１１８  外部端子
１１８ａ  導通路
１１９  外部端子
１２０  放電補助電極
２１１  第１シート孔部
２２１  第２シート孔部
Ｐ      放電空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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