【事件の表示】
　特許第３４１９３４１号「流量計測装置」の請求項１、６、８に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４１９３４１号の請求項１、６、８に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３４１９３４１号「流量計測装置」の特許請求の範囲の請求項１ないし８に記載された発明についての出願は、平成１１年４月２日に特許出願され、平成１５年４月１８日にその特許の設定登録がなされたものであり、その後、平成１５年１２月２２日に杉山浩康より請求項１、６及び８に係る特許について特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その所定の期間内である平成１６年５月１１日に特許異議意見書と共に、訂正請求書が提出されたものである。
　
２．訂正の適否について
　（１）訂正の内容
　訂正事項ａ
　　特許請求の範囲の請求項１を次のように訂正する。
「【請求項１】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を実測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を備え、前記遅延時間計測手段は、前記累積時間計測手段の稼動時間ごとに遅延時間を実測する流量計測装置。」
　訂正事項ｂ
　　特許請求の範囲の請求項２を次のように訂正する。
「【請求項２】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、遅延時間計測手段の計測値を基に、遅延時間を制御する遅延時間制御手段を備えた流量計測装置。」
　訂正事項ｃ
　　特許請求の範囲の請求項３を次のように訂正する。
「【請求項３】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、遅延時間計測手段は繰り返し手段による超音波伝達終了時に動作する流量計測装置。」
　訂正事項ｄ
　　特許請求の範囲の請求項４を次のように訂正する。
「【請求項４】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、遅延時間計測手段は、繰り返し手段による超音波伝達開始時および終了時に動作し、流量演算手段は超音波伝達の前後に計測した遅延時間計測値から遅延時間を算出する流量計測装置。」
　訂正事項ｅ
　　特許請求の範囲の請求項５を次のように訂正する。
「【請求項５】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、雰囲気温度を検出する温度検出手段と、前記温度検出手段による遅延時間計測手段の動作時の検出温度を記憶する記憶手段と、前記温度検出手段の検出温度と前記記憶手段の記憶温度が所定温度以上異なる場合に前記遅延時間計測手段を動作させる流量計測装置。」
　訂正事項ｆ
　　特許請求の範囲の請求項６を次のように訂正する。
「【請求項６】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を実測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を備え、前記遅延時間計測手段は、前記累積時間計測手段の稼動時間ごとに遅延時間を実測する流量計測装置。」
　訂正事項ｇ
　　特許請求の範囲の請求項７を次のように訂正する。
「【請求項７】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、遅延時間計測手段は、繰り返し手段による超音波伝達終了時に再度、繰り返し時の遅延時間と同等の時間を発生させて、当該遅延時間の計測動作を行う流量計測装置。」
　訂正事項ｈ
　　特許請求の範囲の請求項８を次のように訂正する。
「【請求項８】発信側の振動子から超音波信号を発信し、流体流路の中を伝搬させて受信側の振動子にて受信するステップと、前記発信から受信のステップを複数回繰り返すステップと、前記複数回繰り返すステップにおいて、再度、発信側の振動子から超音波信号を発信するまでの遅延時間を発生させるステップと、前記繰り返しステップによる超音波伝達の累積時間を計測するステップと、前記累積時間を計測するステップごとに遅延時間を実測するステップと、前記累積時間計測結果と前記遅延時間計測結果とから流量を算出するステップとを備えた流量計測方法。」
　訂正事項ｉ
　　明細書の段落０００６及び００１０中の記載「遅延時間を計測する」及び「流量演算手段を備えた構成」を、それぞれ、「遅延時間を実測する」及び「流量演算手段を備え、前記遅延時間計測手段は、前記累積時間計測手段の稼働時間ごとに遅延時間を実測する構成」と訂正する。
　訂正事項ｊ
　　明細書の段落００１１中の記載「遅延時間を発生させるステップと、前記遅延時間を計測するステップと、前記繰り返しステップによる超音波伝達の累積時間を計測するステップと、前記累積時間計測結果」を、「遅延時間を発生させるステップと、前記繰り返しステップによる超音波伝達の累積時間を計測するステップと、前記累積時間を計測するステップごとに遅延時間を実測するステップと、前記累積時間計測結果」と訂正する。
　（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａおよびｆについて；
　　「遅延時間を計測する遅延時間計測手段」を「遅延時間を実測する遅延時間計測手段」と訂正することは、明細書の段落０００６及び００２７中の記載「遅延時間計測手段で実測した値」及び明細書の段落００１５中の記載「遅延時間を遅延時間計測手段１０により計測する」に基づき、遅延時間計測手段による計測が実測であることを具体的に特定するものであり、当該訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするもので、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　　「流量演算手段を備えた構成」を「流量演算手段を備え、前記遅延時間計測手段は、前記累積時間計測手段の稼働時間ごとに遅延時間を実測する構成」と訂正することは、明細書の段落００１７中の記載「繰り返し手段６により遅延時間発生手段９にトリガ信号が送出されると同時に、累積時間計測手段１２により、超音波伝達時間の計測が開始される。その後、繰り返し手段６により、遅延→送受信→送受信→・・・・の如く規定の回数だけ動作を繰り返す。図２に示す様に、受信回路５でｎ回目の受信信号が検知されると、最後にもう一度、遅延時間発生手段９により遅延時間と同等の時間が発生し、遅延時間計測手段１０が計測を開始する。所定の遅延時間が終了すると、累積時間計測手段１２および遅延時間計測手段１０は計時動作を終える。」に基づき遅延時間計測手段の実測のタイミングについての限定を附加するものであるから、当該訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするもので、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項ｂについて；
　　訂正後の請求項２は、引用形式の記載を独立形式に書き改めたものであって、実質的に請求項２を訂正するものではない。
　訂正事項ｃ、ｄおよびｇについて；
　　当該訂正についての判断は、上記「訂正事項ｂについて」と同趣旨である。
　訂正事項ｅについて；
　　当該訂正は、訂正前の請求項５において、請求項１のみを引用する発明を独立形式に書き改めたものであって、この訂正についての判断は、上記「訂正事項ｂについて」と同趣旨である。
　訂正事項ｈについて；
　　「前記遅延時間を計測するステップと、前記繰り返しステップによる超音波伝達の累積時間を計測するステップと」を「前記繰り返しステップによる超音波伝達の累積時間を計測するステップと、前記累積時間を計測するステップごとに遅延時間を実測するステップと」と訂正することは、明細書の段落００１７中の記載「繰り返し手段６により遅延時間発生手段９にトリガ信号が送出されると同時に、累積時間計測手段１２により、超音波伝達時間の計測が開始される。その後、繰り返し手段６により、遅延→送受信→送受信→・・・・の如く規定の回数だけ動作を繰り返す。図２に示す様に、受信回路５でｎ回目の受信信号が検知されると、最後にもう一度、遅延時間発生手段９により遅延時間と同等の時間が発生し、遅延時間計測手段１０が計測を開始する。所定の遅延時間が終了すると、累積時間計測手段１２および遅延時間計測手段１０は計時動作を終える。」に基づき累積時間を計測するステップごとに遅延時間を実測するステップを備えることについての限定を附加するものであるから、当該訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするもので、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項ｉおよびｊについて；
　　訂正事項ｉおよびｊは、それぞれ、上記訂正事項ａ、ｂおよびｈによる訂正との整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　
　（３）むすび
　したがって、本件訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書の規定及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
　（１）本件発明
　上述のとおり、本件訂正請求は認められるので、本件発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし８に記載された事項により特定される次のとおりのものである。（以下、「本件発明１」、「本件発明２」・・・・・「本件発明８」という。）
　【請求項１】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を実測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を備え、前記遅延時間計測手段は、前記累積時間計測手段の稼動時間ごとに遅延時間を実測する流量計測装置。
　【請求項２】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、遅延時間計測手段の計測値を基に、遅延時間を制御する遅延時間制御手段を備えた流量計測装置。
　【請求項３】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、遅延時間計測手段は繰り返し手段による超音波伝達終了時に動作する流量計測装置。
　【請求項４】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、遅延時間計測手段は、繰り返し手段による超音波伝達開始時および終了時に動作し、流量演算手段は超音波伝達の前後に計測した遅延時間計測値から遅延時間を算出する流量計測装置。
　【請求項５】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、雰囲気温度を検出する温度検出手段と、前記温度検出手段による遅延時間計測手段の動作時の検出温度を記憶する記憶手段と、前記温度検出手段の検出温度と前記記憶手段の記憶温度が所定温度以上異なる場合に前記遅延時間計測手段を動作させる流量計測装置。
　【請求項６】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を実測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を備え、前記遅延時間計測手段は、前記累積時間計測手段の稼動時間ごとに遅延時間を実測する流量計測装置。
　【請求項７】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、遅延時間計測手段は、繰り返し手段による超音波伝達終了時に再度、繰り返し時の遅延時間と同等の時間を発生させて、当該遅延時間の計測動作を行う流量計測装置。」
　【請求項８】発信側の振動子から超音波信号を発信し、流体流路の中を伝搬させて受信側の振動子にて受信するステップと、前記発信から受信のステップを複数回繰り返すステップと、前記複数回繰り返すステップにおいて、再度、発信側の振動子から超音波信号を発信するまでの遅延時間を発生させるステップと、前記繰り返しステップによる超音波伝達の累積時間を計測するステップと、前記累積時間を計測するステップごとに遅延時間を実測するステップと、前記累積時間計測結果と前記遅延時間計測結果とから流量を算出するステップとを備えた流量計測方法。
　
　（２）申立ての理由の概要
　特許異議申立人杉山浩康は、請求項１、６および８に係る発明は、甲第１号証（特開平１１−２３３３３号公報）に記載されている発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明であって、それらの特許は取り消されるべきものである旨主張している。
　
　（３）対比・判断
　特許異議の申立てがなされた請求項１、６および８は、上記訂正により本件発明１、６および８のように訂正されているので、当該本件発明について検討する。
　本件発明１および６について；
　　当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物である特開平１１−２３３３３号公報（甲第１号証）には、本件発明１および６の「遅延時間を実測する遅延時間計測手段」及び「遅延時間計測手段は、前記累積時間計測手段の稼動時間ごとに遅延時間を実測する」という事項が記載も示唆もされていない。そして、本件発明１および６は、当該事項を備えることにより、「流量演算手段が、遅延時間計測手段で実測した値を基に、超音波伝達の正確な時間を求めることができるので、遅延時間が変動しても高精度の計測を実現できる。」（段落００２７）という効果を奏するものと認められる。したがって、本件発明１および６は、上記刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　本件発明８について；
　　当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物である特開平１１−２３３３３号公報（甲第１号証）には、本件発明８の「累積時間を計測するステップごとに遅延時間を実測するステップ」という事項が記載も示唆もされていない。そして、本件発明８は、当該事項を備えることにより、「流量演算手段が、遅延時間計測手段で実測した値を基に、超音波伝達の正確な時間を求めることができるので、遅延時間が変動しても高精度の計測を実現できる。」（段落００２７）という効果を奏するものと認められる。したがって、本件発明８は、上記刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、本件の請求項１、６および８に係る特許は、特許異議申立ての理由及び証拠によっては取り消すことができない。
　また、他に本件の請求項１、６および８に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年５月２６日（２００４．５．２６）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
流量計測装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を
実測
、前記遅延時間計測手段は、前記累積時間計測手段の稼動時間ごとに遅延時間を実測する
　【請求項２】
流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、
た流
　【請求項３】
流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、
る流
　【請求項４】
流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、
る流
　【請求項５】
流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、
る流
　【請求項６】流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を
実測
、前記遅延時間計測手段は、前記累積時間計測手段の稼動時間ごとに遅延時間を実測する
　【請求項７】
流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記繰り返し手段による超音波伝達の累積時間を計測する累積時間計測手段と、前記累積時間計測手段と前記遅延時間計測手段の計測値から流量を算出する流量演算手段を設け、
う流
　【請求項８】発信側の振動子から超音波信号を発信し、流体流路の中を伝搬させて受信側の振動子にて受信するステップと、前記発信から受信のステップを複数回繰り返すステップと、前記複数回繰り返すステップにおいて、再度、発信側の振動子から超音波信号を発信するまでの遅延時間を発生させるステップと
、前
前記累積時間を計測するステップごとに遅延時間を実測するステップと、
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、超音波を利用してガスなどの流量を計測する流量計測装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来のこの種の流量計測装置は、例えば図５に示す様な構成が知られている。図５において、流体管路１の一部に超音波振動子２と３が流れの方向に相対して設けらていて、送信回路４により振動子２から超音波を送信し、振動子３で受信した超音波を受信回路５で検知する。受信回路５が超音波を検知すると、再び送信回路４により再び振動子２から超音波を発生させ、この繰り返しを繰り返し手段６で行って、その時間を計時手段７で計測し、流量演算手段８で計測している。この様な繰り返し計測を行う場合、１回の送受信が完了した後も超音波は受信側の振動子３で反射を受け再び送信側の振動子２に伝達される。この反射波が、２回目以降の超音波信号に重畳されることがない様に、遅延回路９を用いて受信完了毎に適当な遅延時間を発生させている。そして流量演算手段８では、計時手段７で計測した時間から遅延回路９で設定した遅延時間を差し引いて、超音波伝達のみの所要時間を求めている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら上記流量計測装置では、遅延回路の素子の特性が回路素子の温度変化の影響を受けて微妙に変化しているため、一定値を示すとは限らない。そのため予め設定した時間から外れた場合には、計測誤差の原因となっていた。
　【０００４】
　本発明は上記の課題を解決するもので、誤差要因を低減し、高精度の計測を実現することを目的としている。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は上記課題を解決するため、遅延時間発生手段により発生した遅延時間を遅延時間計測手段で計測し流量を求めているので、高精度の計測を実現することができる。
　【０００６】
　【発明の実施の形態】
　請求項１に係る流量計測装置は、流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を
実測
、前記遅延時間計測手段は、前記累積時間計測手段の稼動時間ごとに遅延時間を実測する
　【０００７】
　また請求項２に係る流量計測装置は、遅延時間計測手段の計測値を基に、遅延時間を制御する遅延時間制御手段を備えた構成としている。そして、遅延時間制御手段が、遅延時間計測手段で計測した値を基に、遅延時間を反射波の影響を受けない適切な値に制御できるので、高精度の計測が実現できる。
　【０００８】
　また請求項３に係る流量計測装置は、遅延時間計測手段は繰り返し手段による超音波伝達終了時に動作する構成としている。そして、遅延時間計測手段は、比較的回路素子の動作が安定している時間に遅延時間を計測しているため、超音波伝達の正確な時間を求めることができるので、正確な計測が実現できる。
　【０００９】
　また請求項４に係る流量計測装置は、遅延時間計測手段は、繰り返し手段による超音波伝達開始時および終了時に動作し、流量演算手段は遅延時間計測時間で計測した超音波伝達前後の値から遅延時間を算出する構成としている。そして、遅延時間計測手段は、回路素子の動作が不安定な時と安定している時の両方を計測し、その結果により、遅延時間を求めているため、超音波伝達の正確な時間を求めることができるので、正確な計測が実現できる。
　【００１０】
　さらにまた請求項５に係る流量計測装置は、雰囲気温度を検出する温度検出手段と、前記温度検出手段による遅延時間計測手段の動作時の検出温度を記憶する記憶手段と、前記温度検出手段の検出温度と前記記憶手段の記憶温度が所定温度以上異なる場合に前記遅延時間計測手段を動作させる構成としている。そして、温度変化が発生し、回路素子の特性変化の発生が予想される場合にのみ、遅延時間を計測しているので、省電力を実現しつつ、正確な計測が実現できる。請求項６記載の流量計測装置は、流体流路に設けられ超音波信号を発信受信する第１振動子及び第２振動子と、前記超音波振動子間の超音波伝達を複数回行う繰り返し手段と、前記振動子からの信号発信の遅延時間を発生する遅延時間発生手段と、前記遅延時間を
実測
、前記遅延時間計測手段は、前記累積時間計測手段の稼動時間ごとに遅延時間を実測する
　【００１１】
　請求項７記載の流量計測装置は、さらに、遅延時間計測手段は、繰り返し手段による超音波伝達終了時に再度、繰り返し時の遅延時間と同等の時間を発生させて、当該遅延時間の計測動作を行う構成である請求項８記載の発明は、発信側の振動子から超音波信号を発信し、流体流路の中を伝搬させて受信側の振動子にて受信するステップと、前記発信から受信のステップを複数回繰り返すステップと、前記複数回繰り返すステップにおいて、再度、発信側の振動子から超音波信号を発信するまでの遅延時間を発生させるステップと
、前
前記累積時間を計測するステップごとに遅延時間を実測するステップと、
　【００１２】
　【実施例】
　以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
　【００１３】
　（実施例１）
　図１は本発明の実施例１の流量計測装置の構成を示すブロック図、図２は同装置の動作を説明するタイミングチャートである。
　【００１４】
　図１において、流体流路１の途中に超音波を発信する第１振動子２と受信する第２振動子３が流れ方向に配置されている。４は第１振動子２への送信回路、５は第２振動子３で受信した超音波を信号処理する受信回路である。６は受信回路５で超音波を検知した後第１振動子２からの送信と第２振動子３での受信を複数回繰り返す繰り返し手段である。９は受信回路で超音波を検出した後、再度第１振動子２から超音波を送信するまでの遅延時間を発生させる遅延時間発生手段であり、１０は遅延時間発生手段９により発生した遅延時間を計測する遅延時間計測手段、１１は遅延時間発生手段９の計測値を基に、遅延時間を制御する遅延時間制御手段、１２はは繰り返し手段により行われる複数回の超音波伝達の所要時間を計測する累積時間計測手段、８は遅延時間計測手段１２および累積時間計測手段１２の計測値から流量を求める流量演算手段である。
　【００１５】
　次に、動作、作用について説明する。送信回路４より送出されたバースト信号により第１振動子２から発信された超音波信号は、流れの中を伝搬し、第２振動子３で受信され受信回路５で検知され、遅延時間発生手段９で発生した遅延時間を置いた後、再び送信回路４よりバースト信号が送出される。送信回路４からのバースト信号は、予め定められた回数だけ繰り返され、この繰り返しに要した時間を累積時間計測手段１２で、また、遅延時間を遅延時間計測手段１０により計測する。
　【００１６】
　更に、流量演算手段８では、累積時間計測手段１２で求めた値から遅延時間計測手段１０で求めた遅延時間を差し引くことにより、超音波の伝達のみの所要時間Ｔを求める。遅延時間１１による遅延時間を実測しているため、変動要因が発生しても、Ｔは正確かつ容易に求めることができ、その結果、流体の流量も正確に求めることができる。また、遅延時間計測手段１０で計測した値を基に、遅延時間制御手段１０で遅延時間を制御できるため、反射波の影響を受けない最適値を設定することが可能である。
　【００１７】
　次に、遅延時間の計測方法について説明する。計測開始時には、遅延制御手段１１により計測繰り返し中の遅延時間の設定値の指示が遅延時間発生手段９に与えられる。更に、繰り返し手段６により遅延時間発生手段９にトリガ信号が送出されると同時に、累積時間計測手段１２により、超音波伝達時間の計測が開始される。その後、繰り返し手段６により、遅延→送受信→送受信→・・・・の如く規定の回数だけ動作を繰り返す。図２に示す様に、受信回路５でｎ回目の受信信号が検知されると、最後にもう一度、遅延時間発生手段９により遅延時間と同等の時間が発生し、遅延時間計測手段１０が計測を開始する。所定の遅延時間が終了すると、累積時間計測手段１２および遅延時間計測手段１０は計時動作を終える。この時、累積時間計測手段１２で計測された時間Ｔａはｎ回の超音波伝達時間とｎ＋１回の遅延時間の合計値であり、遅延時間計測手段で計測された時間はｎ回目の受信が完了した後に、遅延時間発生手段９により発生させた遅延時間ｔｎ＋１である。遅延時間発生手段９は間欠動作を繰り返すが、繰り返し開始直後に比べて繰り返し終了直前では回路素子の動作電流により回路素子の温度上昇が発生する。
　【００１８】
　また、繰り返し開始直後は、急激な環境変化が発生するため温度上昇のカーブも急激であると考えられる。温度変化と回路素子の特性変化が直線的であると仮定すれば、繰り返し後半の方が回路の特性変化のカーも緩やかであるため、遅延時間も安定していると考えられる。よって、ｎ回目の送受信完了後の遅延時間発生手段９が生成する遅延時間ｔｎ＋１を遅延時間の代表値と考えて、繰り返し動作中の遅延時間の合計値はｔｎ＋１・（ｎ＋１）と求められる。
　【００１９】
　（実施例２）
　図３は本発明の実施例２における流量計測装置の動作を説明するブロック図である。実施例２において、実施例１と異なるのは、遅延時間計測手段１０による遅延時間の計測方法である。なお、実施例１と同一符号のものは同一構造を有し、説明は省略する。
　【００２０】
　次に、遅延時間の計測方法について説明する。計測開始時には、遅延時間制御手段１１により計測繰り返し中の遅延時間の設定値の指示が遅延時間発生手段９に与えられる。更に、繰り返し手段６により遅延時間発生手段９にトリガ信号が送出される。この時、累積時間計測手段１２により、超音波伝達時間の計測が開始されると共に、遅延時間計測手段１１で１回目の遅延時間の計測を開始する。次に、所定の遅延時間が完了すると、遅延時間計測１１は計測動作を終了し、この時求めた遅延時間ｔ１を流量演算手段８へ記憶させる。その後、繰り返し手段６により、遅延→送受信→送受信→・・・・の如く規定の回数だけ動作を繰り返す。図３に示す様に、受信回路５でｎ回目の受信信号を検知されると、最後にもう一度、遅延時間発生手段９により遅延時間と同等の時間が発生し、遅延時間計測手段１０が計測を開始する。所定の遅延時間が終了した後は、実施例１と同様に、累積時間計測手段１２ではｎ回分の超音波伝達時間とｎ＋１回の遅延時間の合計値Ｔａ、遅延時間計測手段１１では、ｎ＋１回目の遅延時間ｔｎ＋１が得られる。
　【００２１】
　実施例１で述べた様に、遅延時間発生手段９で生成される時間が変化するものと考えれば、ｎ回の送受信の前後の遅延時間を計測すれば、繰り返し動作の間の遅延時間の変化を推定できる。すなわち、直線的に変化していると仮定すれば、ｔ１とｔｎ＋１の平均値を遅延時間の代表値と考えることが可能であるし、何らかの曲線変化を示すのであれば、荷重平均値を代表値と考えることができる。流量演算手段８は、遅延時間発生手段９の特性に基づいて予め遅延時間の代表値を求める演算式を記憶しており、この式から遅延時間の総和を求めることができる。
　【００２２】
　（実施例３）
　図４は本発明の実施例３における流量計測装置の動作を説明するタイミングチャートである。実施例３において、装置の雰囲気温度を検出する温度検出手段１３を備え、所定の温度変化が得られた時のみ遅延時間計測手段９により遅延時間を計測している点である。
　【００２３】
　なお、実施例１と同一符号のものは同一構造を有し、説明は省略する。図４において、１３は装置の雰囲気温度を検出する温度検出手段、１４は温度検出手段１３の検出温度から遅延時間計測手段１０の動作を制御する計測制御手段、１５は遅延時間制御手段１０で遅延時間を計測した時の温度を記憶する温度記憶手段である。
　【００２４】
　次に、動作作用について説明する。装置電源投入後、初回の計測時には、実施例１で説明した様に、ｎ回の繰り返し送受信終了後の遅延時間ｔｎ＋１を計測する。遅延時間計測手段１０により遅延時間の計測が実行されると、この時の雰囲気温度が温度記憶手段１５に記憶されると共に、この時の値を基に、流量演算手段８で流量が求められる。所定時間経過の後、２回目以降の計測タイミングが来た場合には、まず、温度検出手段１３により雰囲気温度を検出する。この時の温度と温度記憶手段１５で記憶した温度の差違が所定値未満であれば、前回に遅延時間を計測した時からの環境変化は小さいと判断して、ｎ回の送受信繰り返しを実行する間の遅延時間は、前回と同一の値を用いて流量演算を実行する。
　【００２５】
　逆に、計測開始時に検出した温度と温度記憶手段１５で記憶した温度の差異が所定値以上であれば、初回の計測時と同様に、ｎ回の繰り返し送受信終了後の遅延時間ｔｎ＋１を計測する。そして、温度記憶手段１５に記憶する温度を更新し、遅延時間計測手段１１で計測した値を流量演算に用いる。遅延時間計測手段にタイマーカウンタを用いた場合には極めて分解能の高い高速クロックで動作させることが必要であるから、余分な消費電力を増加させることなく高い精度を保つことができる。また、温度変化に伴って音速も変化するため、遅延時間の最適値も変化する。よって、温度変化が大きい時には、遅延時間を変更して、常に、反射波の影響を受けずに計測することが可能になる。
　【００２６】
　【発明の効果】
　以上の説明から明らかのように、本発明の流量計測装置によれば、次の効果が得られる。
　【００２７】
　流量演算手段が、遅延時間計測手段で実測した値を基に、超音波伝達の正確な時間を求めることができるので、遅延時間が変動しても高精度の計測が実現できる。
　【００２８】
　また、延時間制御手段が、遅延時間計測手段で計測した値を基に、遅延時間を制御しているので、反射波の影響を受けない遅延時間制御ができるので、高精度の計測が実現できる。
　【００２９】
　また、遅延時間計測手段が、比較的回路素子の動作が安定している時間に遅延時間を計測しているため、超音波伝達の正確な時間を求めることができるので、正確な計測が実現できる。
　【００３０】
　また、遅延時間計測手段は、回路素子の動作が不安定な時と安定している時の両方を計測し、その結果により、遅延時間を求めているため、超音波伝達の正確な時間を求めることができるので、正確な計測が実現できる。
　【００３１】
　更に、温度変化が発生し、回路素子の特性変化の発生が予想される場合にのみ、遅延時間を計測しているので、省電力を実現しつつ、正確な計測が実現できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の実施例１における流量計測装置の構成図
　【図２】
　同装置における動作を説明するタイミングチャート
　【図３】
　本発明の実施例２における流量計測装置の動作を説明するタイミングチャート
　【図４】
　本発明の実施例３における流量計測装置の構成図
　【図５】
　従来の流量計測装置の構成図
　【符号の説明】
　１　流体流路
　２　第１振動子
　３　第２振動子
　６　繰り返し手段
　８　流量演算手段
　９　遅延時間発生手段
　１０　遅延時間計測手段
　１１　遅延時間制御手段
　１２　累積時間計測手段
　１３　温度検出手段
　１４　計測制御手段
　１５　温度記憶手段