【事件の表示】
　特許第３２７８６６２号「オゾン発生装置用放電セル」の請求項１ないし１８に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２７８６６２号の訂正後の請求項１〜１７に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許出願　　　　　　　平成１２年　１月３１日
　設定登録　　　　　　　平成１４年　２月２２日
　特許異議申立　　　　　平成１４年１０月２９日
　取消理由通知　　　　　平成１５年　３月１９日
　訂正請求　　　　　　　平成１５年　６月　３日
　特許異議意見書　　　　平成１５年　６月　３日
　審尋　　　　　　　　　平成１５年　７月　８日
　回答書　　　　　　　　平成１５年　９月１６日
２．訂正の適否                                           
（１）訂正の内容
　本件訂正の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち訂正事項ａ乃至ｆのとおりに訂正しようとするものである。
訂正事項ａ
　特許明細書の【特許請求の範囲】を次のとおりに訂正する。
「【請求項１】一対の第１電極と、一対の第１電極の間に、各第１電極との間に一対の放電空隙が形成されるように隙間をあけて配置された、ガラス板からなる一対の誘電体と、一対の誘電体の間に、各誘電体と接触して配置された第２電極とを備えており、第２電極を導電性の金属の薄板により形成して一対の誘電体の間に挟んで保持すると共に、一対の誘電体を第２電極の両側のみで部分的に接合して、接合部を第２電極の側方に排除し、且つ、一対の第１電極の間に空間を形成するべく、該空間の両側に位置して一対の第１電極の間に一対のスペーサを配置し、前記薄板を挟んだ一対の誘電体を、一対の第１電極との間に放電空隙が形成されるように前記空間に配置したことを特徴とするオゾン発生装置用放電セル。
【請求項２】前記薄板の厚みを２００μｍ以下としたことを特徴とする請求項１に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項３】前記ガラス板は、ＳｉＯ：４０〜７０％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０％、Ｂ２Ｏ３：０〜２０％、ＭｇＯ：０〜５％、ＣａＯ：０〜１０％、ＳｒＯ：０〜８％、ＢａＯ：０〜２０％、ＺｎＯ：０〜１％から実質的になる成分構成である請求項１又は２に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項４】一対の誘電体を前記薄板より広くし、一対の誘電体の略周囲全体でその縁部より外側へ突出させたことを特徴とする請求項１、２又は３に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項５】前記薄板の縁部より外側の少なくとも一部分で、一対の誘電体を接合したことを特徴とする請求項４に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項６】接合部を内側の薄板から離したことを特徴とする請求項５に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項７】前記薄板の縁部の一部を、一対の誘電体の間からその外へ帯状に引き出して端子部を形成したことを特徴とする請求項１、２，３，４，５又は６に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項８】前記端子部に放熱促進部材を取り付けたことを特徴とする請求項７に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項９】前記端子部の長手方向の一部に、その幅を小さくしてヒューズ部を形成したことを特徴とする請求項７又は８に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１０】前記薄板の両側の側縁部を、一対の誘電体の両側の側縁部より２〜７０ｍｍ内側に侵入させたことを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８又は９に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１１】前記薄板の前縁部及び後縁部を、一対の誘電体の前縁部及び後縁部より２〜７０ｍｍ内側に侵入させたことを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８，９又は１０に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１２】前記薄板の前縁部及び後縁部を、一対の第１電極の前縁部及び後縁部より２〜２０ｍｍ前方及び後方へ突出させたことを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８，９、１０又は１１に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１３】前記薄板の両方の側方部分で、一対の誘電体を接合したことを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８，９，１０、１１又は１２に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１４】接合部を内側の薄板から１ｍｍ以上離したことを特徴とする請求項１３に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１５】前記薄板の前縁部及び／又は後縁部を、横幅方向の一部で、一対の誘電体の間から前方及び／又は後方へ帯状に引き出して端子部を形成したことを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３又は１４に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１６】前記導電性の薄板は、圧延により製造され、圧延後の熱処理を受けない圧延ままの金属板であることを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３、１４又は１５に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１７】前記導電性の薄板はステンレス鋼板であることを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５又は１６に記載のオゾン発生装置用放電セル。」
訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【００１１】を次のとおりに訂正する。
「【課題を解決するための手段】本発明のオゾン発生装置用放電セルは、一対の第１電極と、一対の第１電極の間に、各第１電極との間に一対の放電空隙が形成されるように隙間をあけて配置された、ガラス板からなる一対の誘電体と、一対の誘電体の間に、各誘電体と接触して配置された第２電極とを備えており、第２電極を導電性の金属の薄板により形成して一対の誘電体の間に挟んで保持すると共に、一対の誘電体を第２電極の両側のみで部分的に接合して、接合部を第２電極の側方に排除し、且つ、一対の第１電極の間に空間を形成するべく、該空間の両側に位置して一対の第１電極の間に一対のスペーサを配置し、前記薄板を挟んだ一対の誘電体を、一対の第１電極との間に放電空隙が形成されるように前記空間に配置したものである。」
訂正事項ｃ
　特許明細書の段落【００１２】を次のとおりに訂正する。
「本発明のオゾン発生装置用放電セルでは、一対の誘電体の間に介在する第２電極が導電性の薄板によって形成されるため、誘電体ユニットの製作コストが非常に安価となる。また、その薄板はガラス板からなる剛性の高い一対の誘電体の間に保持されるため、高い平面度を有し、材質によっては（例えばステンレス鋼等では）自らも高い平面度を保有し、放電空隙での安定な放電を可能にする。更に、その縁部の一部分を一対の誘電体の間からその外へ帯状に引き出することにより、可撓性の扱い易い端子部が簡単に形成される。」
訂正事項ｄ
　特許明細書の段落【００１４】を次のとおりに訂正する。
「金属薄板の材質としてはステンレス鋼、ニッケル合金、アルミ合金、鋼合金等が適当であり、なかでもステンレス鋼が耐食性や材料の入手性の点から好ましい。金属薄板は通常、圧延により製造され、その圧延材が平坦度や加工硬化による剛性を期待できる点から好ましく、なかでも圧延後の焼きなまし処理を省略された圧延ままの材料が、加工硬化による剛性、及びこれによる平坦度の維持をそのまま活用できる点から好ましい。特に好ましいのは圧延ままのステンレス鋼薄板である。」
訂正事項ｅ
　特許明細書の段落【００１５】を次のとおりに訂正する。
「誘電体としては低コスト、耐電圧特性、寸法精度、表面が研磨工程なしで鏡面となることなどからガラス板を用い、特に下記の成分構成のガラス板が好ましいが、アルミナ等のセラミック板、サファイヤ等の結晶板、アルミナ等の溶射によるセラミックコート板、ほうろう板などの使用も可能である。」
訂正事項ｆ
　特許明細書の段落【００６６】を次のとおりに訂正する。
「【発明の効果】以上に説明したとおり、本発明のオゾン発生装置用放電セルは、第２電極を導電性の金属薄板により形成してガラス板からなる一対の誘電体の間に挟んで保持したことにより、電極形成コストを著しく低減できるので、その製作コストを安価に抑制でき、しかも放電空隙での安定な放電を可能にする。一対の誘電体を第２電極の両側のみで部分的に接合して、接合部を第２電極の側方に排除したことにより、誘電体ユニットの厚みを低減できる。一対の第１電極の間に空間を形成するべく、該空間の両側に位置して一対の第１電極の間に一対のスペーサを配置し、前記薄板を挟んだ一対の誘電体を、一対の第１電極との間に放電空隙が形成されるように前記空間に配置したことにより、放電空隙のギャップ量を安定的に微小化でき、且つ、スペーサが配置されている両側部に締め付けを行い、放電セル全体を均等に加圧する必要がないので、締め付け機構を簡略化できると共に、締め付けによる誘電体の破損を防止できる。」
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
  訂正事項ａは、（ａ−１）請求項１において「一対の誘電体」を「ガラス板からなる」ものに限定し、「導電性の薄板」を、「薄板」の材質として「金属」に限定して「導電性の金属の薄板」に訂正し、さらに「第２電極を・・・一対の誘電体の間に保持する」を保持の形態を限定し、「第２電極を・・・一対の誘電体の間に挟んで保持する」と訂正し、「薄板を挟んだ一対の誘電体」の構成に関し「一対の誘電体を第２電極の両側のみで部分的に接合して、接合部を第２電極の側方に排除し」と限定し、（ａ−２）請求項３を削除し、請求項３の削除に伴い以降の請求項の番号を繰り上げ、さらに従属する請求項の番号を変更しようとするものである。また、訂正事項ｂ乃至ｆは訂正事項ａと整合を図るとともに特許請求の範囲の記載と整合を図るものであるから、訂正事項ａ乃至ｆは特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正及び明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。そして、上記訂正事項ａ乃至ｆは、特許明細書の訂正前の段落【請求項３】、【００１４】、【００２５】、【００４２】、【００６１】及び図５（ｂ）に記載されるのであるから、訂正事項ａ乃至ｆは願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、新規事項の追加に該当せず実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．取消理由について
３−１．本件発明
　上記のとおり、訂正は認められるから、本件特許の請求項１〜１７に係る発明（以下「本件発明１〜１７」という）は、訂正された特許明細書に記載された次のとおりのものである。
【請求項１】一対の第１電極と、一対の第１電極の間に、各第１電極との間に一対の放電空隙が形成されるように隙間をあけて配置された、ガラス板からなる一対の誘電体と、一対の誘電体の間に、各誘電体と接触して配置された第２電極とを備えており、第２電極を導電性の金属の薄板により形成して一対の誘電体の間に挟んで保持すると共に、一対の誘電体を第２電極の両側のみで部分的に接合して、接合部を第２電極の側方に排除し、且つ、一対の第１電極の間に空間を形成するべく、該空間の両側に位置して一対の第１電極の間に一対のスペーサを配置し、前記薄板を挟んだ一対の誘電体を、一対の第１電極との間に放電空隙が形成されるように前記空間に配置したことを特徴とするオゾン発生装置用放電セル。
【請求項２】前記薄板の厚みを２００μｍ以下としたことを特徴とする請求項１に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項３】前記ガラス板は、ＳｉＯ：４０〜７０％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０％、Ｂ２Ｏ３：０〜２０％、ＭｇＯ：０〜５％、ＣａＯ：０〜１０％、ＳｒＯ：０〜８％、ＢａＯ：０〜２０％、ＺｎＯ：０〜１％から実質的になる成分構成である請求項１又は２に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項４】一対の誘電体を前記薄板より広くし、一対の誘電体の略周囲全体でその縁部より外側へ突出させたことを特徴とする請求項１、２又は３に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項５】前記薄板の縁部より外側の少なくとも一部分で、一対の誘電体を接合したことを特徴とする請求項４に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項６】接合部を内側の薄板から離したことを特徴とする請求項５に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項７】前記薄板の縁部の一部を、一対の誘電体の間からその外へ帯状に引き出して端子部を形成したことを特徴とする請求項１、２，３，４，５又は６に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項８】前記端子部に放熱促進部材を取り付けたことを特徴とする請求項７に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項９】前記端子部の長手方向の一部に、その幅を小さくしてヒューズ部を形成したことを特徴とする請求項７又は８に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１０】前記薄板の両側の側縁部を、一対の誘電体の両側の側縁部より２〜７０ｍｍ内側に侵入させたことを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８又は９に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１１】前記薄板の前縁部及び後縁部を、一対の誘電体の前縁部及び後縁部より２〜７０ｍｍ内側に侵入させたことを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８，９又は１０に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１２】前記薄板の前縁部及び後縁部を、一対の第１電極の前縁部及び後縁部より２〜２０ｍｍ前方及び後方へ突出させたことを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８，９、１０又は１１に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１３】前記薄板の両方の側方部分で、一対の誘電体を接合したことを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８，９，１０、１１又は１２に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１４】接合部を内側の薄板から１ｍｍ以上離したことを特徴とする請求項１３に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１５】前記薄板の前縁部及び／又は後縁部を、横幅方向の一部で、一対の誘電体の間から前方及び／又は後方へ帯状に引き出して端子部を形成したことを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３又は１４に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１６】前記導電性の薄板は、圧延により製造され、圧延後の熱処理を受けない圧延ままの金属板であることを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３、１４又は１５に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項１７】前記導電性の薄板はステンレス鋼板であることを特徴とする請求項１、２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５又は１６に記載のオゾン発生装置用放電セル。
３−２．取消理由
　本件訂正前の請求項１〜１８に係る発明は、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
３−３．刊行物に記載された事項
（１）刊行物１：特開平８−１２３０４号公報（申立人が提出した甲第１号証）
（イ）「【実施例】実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明する。・・・図１において、１１はヒューズ１２を介して電源１に接続された給電板、３１は給電板１１に電気接触された導電層（電極）である。この導電層３１は図４７の従来例の高圧電極３に相当する。４は誘電体であり、アルミナセラミックス板により形成されている。このセラミックス板４と導電層３１の大きさの関係を図２に示す。図２中、３２はガス通路のためにセラミックス板４の中央部に設けられた穴（ガス供給機構）である。この導電層３１はセラミックス板４の片面に厚み４０ミクロンの銀メタライズ層で形成されている。〜セラミックス板４の全面に導電層３１を形成せず、外周部と内周部に導電層３１の形成されていない領域を設けている。沿面放電を防止するための導電層３１と接地電極２との距離は、印加電圧にもよるが、通常十分な２ｍｍ以上に設定してある。」（段落【０１４６】）
（ロ）「６１は金属製のスペーサであり、接地電極２とセラミックス板４との間に挿入されている。該スペーサ６１を介してセラミックス板４と接地電極２により、放電の発生する放電空間５が形成され、・・・該放電空間５へのガス供給口（ガス供給機構）７から供給された酸素を含むガスの一部が放電空間５内でオゾン化される。用いるガスは〜有効に吸収される。」（段落【０１４７】）
（ハ）「図１に示す実施例１では、２組のオゾン発生ユニットが対向して設けられており、該２組のオゾン発生ユニットの間に、オゾン耐性のあるエチレンプロピレンゴム（以下「ＥＰゴム」と略記する）で構成されたストレス緩衝板（弾性体）１００を挿入して、上部の設置電極２を矢印Ａの方向から図示しない加圧機構により押圧することにより装置を組み立てている。すなわち、・・・・防止される。」（段落【０１４８】）
（ニ）「実施例２．上記実施例１では〜図１３に示すように、設置電極２に電源１から高電圧を印加し、導電層３１をヒューズ１２を介して接地して接地電極として、両電極間に高電圧電界を生じさせるようにしてもよい。」（段落【０１６３】）
（ホ）第１図には、上記（イ）〜（ハ）の技術事項が図示されている。（【図１】第２４頁）
（２）刊行物２：特開昭５５−３３３４号公報（申立人が提出した甲第２号証）
（イ）「第１図は、従来の平板型オゾン発生装置の要部を示す断面図で・・・（５）は主としてガラスからなる誘電体板、（６）は放電被膜または金属板によって構成された高圧電極で、２枚の誘電体板（５）（５）の間に挟み封入されており、電気的絶縁されている。・・・（１２）は放電空隙維持用スペーサ、（１３）はオゾン発生機装置の本体であるところの缶体である。」（第１頁左欄２０行〜同頁右欄１２行）
（３）刊行物３：特開昭５５−１６２４１０号公報（申立人が提出した甲第３号証）
（イ）「一方、高圧電極となる金属箔１４は誘電体１５内に埋設されると共に、その一部より高圧電極の口出導体１６が外部に引出され、さらに誘電体１５の上下には、放電空隙１７を保持するため、誘電体１５と同一材質からなる帯状スペーサ１８が設けられている。」（特許請求の範囲請求項１）
４．取消理由についての判断
４−１．本件発明１について
（１）一致点・相違点
　刊行物１には、上記（１）（イ）〜（ホ）の記載事項から、２組のオゾン発生ユニットが対向された構成をみて本件発明１の記載振りに沿って表すと、「一対の接地電極の間に、一対の放電空間が形成されるように隙間をあけて配置されたセラミックス板により形成された一対の誘電体と、一対の誘電体の間に銀メタライズ層で形成される導電層と、一対の誘電体間にストレス緩衝板とを備え、接地電極と誘電体の間にはスペーサを挿入して放電空隙を形成しているオゾン発生装置」の発明（以下「引用１発明」という）が記載されている。
　そこで、本件発明１と刊行１発明とを対比すると、両者は、「一対の第１電極と、一対の第１電極の間に、各第１電極との間に一対の放電空隙が形成されるように隙間をあけて配置された、一対の誘電体と、一対の誘電体の間に、各誘電体と接触して配置された第２電極とを備えており、一対の第１電極の間に空間を形成するべく、一対の第１電極の間に一対のスペーサを配置し、誘電体を、一対の第１電極との間に放電空隙が形成されるように前記空間に配置した」点で一致するものの、次の点で相違している。
相違点ａ：本件発明１は「ガラス板からなる一対の誘電体」であるのに対し、刊行１発明では「セラミックス板により形成された一対の誘電体」である点。
相違点ｂ：本件発明１は「第２電極を導電性の金属の薄板により形成して一対の誘電体の間に挟んで保持すると共に、一対の誘電体を第２電極の両側のみで部分的に接合して、接合部を第２電極の側方に排除し」ているのに対し、刊行１発明は「一対の誘電体の間に銀メタライズ層で形成される導電層と、一対の誘電体間にストレス緩衝板とを備え」である点。
相違点ｃ：本件発明１は「該空間の両側に位置して一対の第１電極の間に一対のスペーサを配置し」ているのに対し、刊行１発明は「一対の第１電極の間に一対のスペーサを配置」しているが、スペーサが両側に位置していない点。
（２）相違点の判断
　上記相違点ａ、ｂについてみてみると、刊行物２には、刊行物２の上記（イ）からみて「ガラスからなる誘電体板の間に金属板によって構成された高圧電極が挟み封入されている」ことが記載されており、相違点ａの構成が開示される。また相違点ｂの「金属の薄板」に関しても刊行物２に「金属の板」がどの程度の厚さを有するものか明確ではないが、「導電被膜」も開示されていることから、該「金属の板」には「金属の薄板」を含むとみれる。しかしながら、相違点ｂの他の構成、すなわち「第２電極を一対の誘電体の間に挟んで保持すると共に、一対の誘電体を第２電極の両側のみで部分的に接合して、接合部を第２電極の側方に排除し」た構成、特に「一対の誘電体を第２電極の両側のみで部分的に接合して、接合部を第２電極の側方に排除し」た構成については、刊行物２，３に記載されていない。そして、異議申立人が回答書で周知技術として例示した文献：特公昭６２−７１２１号公報には、電極を挟んで２枚のセラミック板を密着させ一体成形することが記載されるものの、これは本件発明１のように誘電体がガラスではないことから、ガラス板からなる一対の誘電体の間に金属の薄板を挟時させるものにあって、上記構成が周知とまでは云えない。
　そして、本件発明１は、上記相違点ｂの構成を採ることにより、放電空隙での安定な放電を維持しつつ、製作コストを安価に抑制できるなど本件特許明細書に記載の効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、相違点ｃを検討するまでもなく、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともすることはできない。
４−２．本件発明２〜１７について
　本件発明２〜１７は、本件発明１を引用するものであるから、４−１と同じ理由により、本件発明２〜１７は、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
５．結論
　以上のとおりであるから、取消理由及び異議申立の証拠によっては、本件訂正後の請求項１〜１７に係る発明についての特許を取り消すことができない。
　また、他に本件訂正後の請求項１〜１７に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
  よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年１月１４日（２００４．１．１４）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
オゾン発生装置用放電セル
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　一対の第１電極と、一対の第１電極の間に、各第１電極との間に一対の放電空隙が形成されるように隙間をあけて配置された
、ガラス板からなる
金属の
挟んで
すると共に、一対の誘電体を第２電極の両側のみで部分的に接合して、接合部を第２電極の側方に排除し、且つ、一対の第１電極の間に空間を形成するべく、該空間の両側に位置して一対の第１電極の間に一対のスペーサを配置し、前記薄板を挟んだ一対の誘電体を、一対の第１電極との間に放電空隙が形成されるように前記空間に配置した
　【請求項２】　前記薄板の厚みを２００μｍ以下としたことを特徴とする請求項１に記載のオゾン発生用装置放電セル。
　
【請求項３】
請求項１又は２
　
【請求項４】
請求項１、２又は３
　
【請求項５】
請求項４
　
【請求項６】
請求項５
　
【請求項７】
請求項１、２、３、４、５又は６
　
【請求項８】
請求項７
　
【請求項９】
請求項７又は８
　
【請求項１０】
前記薄板の両側の側縁部を、一対の誘電体の両側の側縁部より２〜７０ｍｍ内側に侵入させたことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８又は９に記載の
　
【請求項１１】
前記薄板の前縁部及び後縁部を、一対の誘電体の前縁部及び後縁部より２〜７０ｍｍ内側に侵入させたことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９又は１０に記載の
　
【請求項１２】
前記薄板の前縁部及び後縁部を、一対の第１電極の前縁部及び後縁部より２〜２０ｍｍ前方及び後方へ突出させたことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０又は１１に記載の
　
【請求項１３】
前記薄板の両方の側方部分で、一対の誘電体を接合したことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１又は１２に記載の
　
【請求項１４】
接合部を内側の薄板から１ｍｍ以上離したことを特徴とする請求項１３に記載の
　
【請求項１５】
前記薄板の前縁部及び／又は後縁部を、横幅方向の一部で、一対の誘電体の間から前方及び／又は後方へ帯状に引き出して端子部を形成したことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３又は１４に記載の
　
【請求項１６】
前記導電性の薄板は、圧延により製造され、圧延後の熱処理を受けない圧延ままの金属板であることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４又は１５に記載の
　
【請求項１７】
前記導電性の薄板はステンレス鋼板であることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５又は１６に記載の
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、プレート型オゾン発生装置に使用される放電セルに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　プレート型オゾン発生装置に使用される放電セルの一つとして図６に示すものが知られている。
　【０００３】
　図６に示された放電セルは、ヒートシンクを兼ねる一対の低圧電極１，１と、一対の低圧電極１，１の間に配置される誘電体ユニット２と、誘電体ユニット２の両面側に放電空隙３を形成するためのスペーサ４，４・・とを備えている。誘電体ユニット２は、誘電体としての２枚のガラス板２ａ，２ａの間に高圧電極２ｂを介在させた３層構造である。スペーサ４，４・・は金属、セラミック、ガラス或いは樹脂等からなり、放電空隙３でのガス流通方向に直角な方向に所定の間隔で配列されている。
　【０００４】
　オゾンを発生させるときは、誘電体ユニット２の両面側に形成された放電空隙３，３に酸素ガス又は酸素ガスを含む混合ガスからなる原料ガスを流通させながら、誘電体ユニット２内の高圧電極２ｂに所定の高電圧を印加する。高電圧の印加により放電空隙３，３では無声放電が発生し、原料ガス中の酸素ガスがオゾン化される。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　このようなオゾン発生装置用放電セルでは、低圧電極１，１及び誘電体ユニット２を１モジュールとし、隣接するモジュール間で低圧電極１，１を共用する形で、そのモジュールが厚み方向に積層される。
　【０００６】
　モジュールの積層数は例えば３０と多い。このため、各モジュールの製作コストを低減することがゾン発生装置用放電セルの価格低減に大きく影響する。誘電体ユニット２において２枚のガラス板２ａ，２ａの間に介在する高圧電極２ｂについては、薄型化により冷却が不要になることが知られており、この観点から、ガラス板２ａ，２ａの両方の表面に導電性材料をメタライズやメッキ、溶射等で一体的に被覆することにより形成されていた。
　【０００７】
　これにより、ガラス板２ａと高圧電極２ｂの間から空隙が排除され、放電空隙３ではオゾンの発生に必要な放電が安定して生じる。しかし、その一方では、電極形成のための被覆コストが嵩み、各モジュールの製作コストを高める大きな要因となっていた。また、被覆の過程でガラス板２ａが加熱されることによる機械的、物性的な二次弊害や端子部の引き出しが困難になることも問題であった。
　【０００８】
　また、この高圧電極２ｂは、従来はガラス板２ａ，２ａの実質全面に被覆形成されており、その前後方向の奥行きは、ガラス板２ａ，２ａの奥行きと共に、低圧電極１，１の奥行きと実質同一であった。しかし、最近の傾向として放電セルの小型化等のために、ガラス板２ａの厚みが薄くされたり、放電セルの構成部材間の距離が短くされ、高圧電極２ｂと低圧電極１，１との間に十分な絶縁距離が確保できなくなった。このため、高圧電極２ｂと低圧電極１，１との間で異常放電が多発し、放電セルの信頼性の低下が問題になってきた。
　【０００９】
　本発明の第１の目的は、モジュールの製作コスト、特に電極形成コストを低減できる経済的なオゾン発生装置用放電セルを提供することにある。
　【００１０】
　本発明の第２の目的は、異常放電を起こさない信頼性の高いオゾン発生装置用放電セルを提供することにある。
　【００１１】
　【課題を解決するための手段】
　
本発明の
、ガラス板からなる
金属の
挟んで
すると共に、一対の誘電体を第２電極の両側のみで部分的に接合して、接合部を第２電極の側方に排除し、且つ、一対の第１電極の間に空間を形成するべく、該空間の両側に位置して一対の第１電極の間に一対のスペーサを配置し、前記薄板を挟んだ一対の誘電体を、一対の第１電極との間に放電空隙が形成されるように前記空間に配置した
　【００１２】
　
本発明の
金属
ガラス板からなる
　【００１３】
　薄板の厚みは２００μｍ以下が好ましい。２００μｍを超えると、薄板の剛性が高くなり、組立作業等で誘電体に割れなどの機械的な損傷を発生させることがある。その下限については組立時の作業性の低下などの点から１０μｍ以上が好ましい。
　【００１４】
　
金属
等が適当
　【００１５】
　誘電体としては低コスト、耐電圧特性、寸法精度、表面が研磨工程なしで鏡面となることなどからガラス板
を用い
　【００１６】
　ガラス板の好ましい成分構成は、ＳｉＯ：４０〜７０％，Ａｌ２Ｏ３：５〜３０％，Ｂ２Ｏ３：０〜２０％，ＭｇＯ：０〜５％，ＣａＯ：０〜１０％，ＳｒＯ：０〜８％，ＢａＯ：０〜２０％，ＺｎＯ：０〜１％から実質的になる。この成分構成のガラス板は液晶用ガラス基板に主に使用されており、平坦度が高く、気泡などの内部欠陥が少ないという、オゾン発生装置用誘電体として優れた利点があり、入手も容易である。この成分構成のガラス板は、放電セルの構造に関係なく有効である。
　【００１７】
　ガラス板の厚みは０．３〜１．５ｍｍが好ましい。ガラス板が厚いとガラス板での電圧降下が大きくなり、放電セルへの供給電圧が高くなる。薄い場合は組立時の作業性が低下したり、機械強度不足による破損等が起こる。
　【００１８】
　一対の誘電体は、第２電極を介して接合することができる。この接合により、誘電体と電極を完全に密着でき、誘電体と電極の間の隙間で発生する不要な放電を防止できる。接合法としては、ポリイミド、ＰＦＡ、ＦＥＰによる熱溶着やシリコン樹脂、エポキシ樹脂による接着が好ましく、オゾン濃度が高い場合は、ポリイミド、ＰＦＡ、ＦＥＰによる熱溶着が好ましい。
　【００１９】
　薄板の縁部の一部を一対の誘電体の間からその外へ帯状に引き出して形成した端子部は、形成が容易であるだけでなく、板厚方向での柔軟性に富み、板圧方向にモジュールを積層する場合に、各モジュール間で端子部を簡単に重ね合わせることができる。また、端子部の長手方向の一部で、その幅を小さくすることにより、簡単にヒューズ部を一体形成できる。
　【００２０】
　端子部の横幅は、薄板の横幅の範囲内で適宜選択すればよい。
　【００２１】
　なお、この端子部は薄板であり、熱拡散が小さいため、万一、端子部に異常放電が発生した場合にはその熱で溶断が発生するおそれがある。このため、端子部には放熱促進部材を取り付けるのが良い。
　【００２２】
　また、
本発明の
では
ることができる
　【００２３】
　
この
　【００２４】
　誘電体の縁部の突出量は２〜７０ｍｍが好ましい。この突出量が２ｍｍ未満では、異常放電を抑制する効果が小さい。７０ｍｍを超えると誘電体が大きくなり、放電セルのサイズアップとコストアップが発生する。特に好ましい突出量は５〜５０ｍｍである。
　【００２５】
　一対の誘電体は、第２電極を挟んで接合することができる。その接合方法としては、例えばポリイミド、ＰＦＡ、ＦＥＰによる熱溶着や、シリコン樹脂、エポキシ樹脂による接着を用いることができ、オゾン濃度が高い場合は、ポリイミド、ＰＦＡ、ＦＥＰによる熱溶着が好ましいが、誘電体のストレス軽減のために、第２電極の縁部より外側の少なくとも一部分で、一対の誘電体を接合するのが好ましい。この場合は、誘電体と膨張係数が近いガラス封着材などの無機系接合材の使用が可能となる。
　【００２６】
　第２電極の縁部より外側で一対の誘電体を接合する場合、その接合部を内側の第２電極から離すのが好ましい。これにより、第２電極の周囲における絶縁性が向上し、異常放電が抑制される。ここにおける離間距離は１〜１０ｍｍが好ましい。１ｍｍ未満の場合は、絶縁性の向上効果が小さく、また、電極と接合部の干渉の問題が発生する。１０ｍｍを超えると、誘電体に割れが発生することがある。
　【００２７】
　【発明の実施の形態】
　以下に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の実施形態に係るプレート型オゾン発生装置用放電セルの正面図、図２は同放電セルに使用されているのセルモジュールの分解斜視図、図３は同セルモジュールに使用されている第１電極の分解斜視図、図４は同セルモジュールに使用されている誘電体ユニットの斜視図、図５は同誘電体ユニットの縦断正面図である。
　【００２８】
　本実施形態に係る放電セルは、図１に示すように、平板状の剛性体からなる複数の第１電極１０，１０・・を、両側一対の剛性体スペーサ２０，２０を挟んで板厚方向に重ね合わせることにより、セルモジュールの積層体を構成している。セルモジュールの積層体は、図示されない上下一対のエンドプレート間に、両側部を積層方向に貫通する複数本のボルトにより固定されている。この積層体では、上下のセルモジュールは第１電極１０を共用する。
　【００２９】
　各セルモジュールは、図２に示すように、上下一対の第１電極１０，１０と、第１電極１０，１０間に挟まれた両側一対の剛性体スペーサ２０，２０と、剛性体スペーサ２０，２０の内側に位置して第１電極１０，１０間に配置された誘電体ユニット３０と、誘電体ユニット３０の両面側に放電空隙５０，５０を形成するために第１電極１０，１０との間に設けられた複数の弾性体スペーサ４０，４０・・とを備えている。
　【００３０】
　なお、図面はいずれも上下方向の寸法を誇張したものになっており、実際の厚さは例えば第１電極１０で３ｍｍ以下、剛性体スペーサ２０で３ｍｍ以下というように非常に薄く設計されている。
　【００３１】
　上下一対の第１電極１０，１０は、ヒートシンクを兼ねる低圧電極である。各第１電極１０は、ステンレス鋼板等からなる２枚の導電板１５，１５を接合して板間に冷媒流通路を形成した薄板状の導電性剛体である。
　【００３２】
　第１電極１０の方の側部には、冷媒としての冷却水を冷媒流通路に導入するための冷媒導入孔１１と、その冷却水を上記流通路から取り出すための冷媒導出孔１２とが、２枚の導電板１５，１５を板厚方向に貫通して設けられている。また、当該セルモジュールで発生したオゾンガスを取り出すために、第１電極１０には、両側一対のガス導出孔１３，１３と、ガス導出孔１３，１３を繋ぐスリット状のガス導出路１４とが、２枚の導電板１５，１５を板厚方向に貫通して設けられている。第１電極１０の両側部に設けられている複数の小さな丸孔は、ボルトの通し孔である。
　【００３３】
　第１電極１０を構成する２枚の導電板１５，１５の両方の対向面には、図３に示すように、ガス導出孔１３，１３及びガス導出路１４を包囲するようにＵ字状の浅く広い溝が形成されている。両方の対向面に形成されたこの溝は合体して、導電板１５，１５間に冷媒流通路１６を形成する。浅く広いこの溝は、例えばエッチング等により簡単に形成される。
　【００３４】
　冷媒流通路１６の一端部は冷媒導入孔１１に接続され、他端部は冷媒導出孔１２に接続されている。冷媒流通路１６には、流通方向に延びる複数のリブ１７，１７・・が、流通方向に直角な方向に所定の間隔で設けられている。リブ１７，１７・・は冷却水の均一な流れと、第１電極１０の剛性確保に寄与する。
　【００３５】
　両側一対の剛性体スペーサ２０，２０は、ステンレス鋼板等の導電性板材からなる薄板状の導電性剛体で、第１電極１０，１０間の両側部に介在することにより、この間に、スペーサ厚に等しいギャップ量Ｇ′の空間を形成する。また、第１電極１０，１０の電気的な接続部材として機能する。
　【００３６】
　一方の剛性体スペーサ２０には、第１電極１０の冷媒導入孔１１及び冷媒導出孔１２にそれぞれ連通する冷媒導入孔２１及び冷媒導出孔２２が、板厚方向に貫通して設けられている。両方の剛性体スペーサ２０，２０の各内側縁部には、第１電極１０のガス導出孔１３に連通する切り込み状のガス導出孔２３が、板厚方向に貫通して設けられている。またボルトの通し孔も第１電極１０と同様に設けられている。
　【００３７】
　上下一対の第１電極１０，１０と両側一対の剛性体スペーサ２０，２０で囲まれた空間に配置される誘電体ユニット３０は、図４に示すように、誘電体としての上下一対のガラス板３１，３１の間に第２電極３２を挟んだサンドイッチ構造の薄板状剛性体である。誘電体ユニット３０の厚みＴは、上記空間のギャップ量Ｇ′より僅かに小さく、より具体的には放電空隙５０，５０の各ギャップ量をＧとして、Ｇ′−２Ｇとされる。
　【００３８】
　第２電極３２は高圧電極で、ステンレス鋼板等の導電性薄板からなり、その厚みは２００μｍ以下が適当である。第２電極３２の横幅Ｗ２は、ガラス板３１，３１の横幅Ｗ１より狭く設定されており、これにより、第２電極３２の両側の縁部は、ガラス板３１，３１の両側の縁部から内側へΔＷ，ΔＷずつ入り込むことになる。ΔＷは２〜７０ｍｍが適当である。第２電極３２の奥行きＬ２は、ガラス板３１，３１の奥行きＬ１より短く設定されており、これにより、第２電極３２の前後の縁部は、ガラス板３１，３１の前後の縁部から内側へΔＬ，ΔＬずつ入り込むことになる。ΔＬも２〜７０ｍｍが適当である。
　【００３９】
　第２電極３２の奥行きＬ２は又、上下一対の第１電極１０，１０の奥行きより大きく設定されており、これにより、第２電極３２の前後の縁部は、ガラス板３１，３１の前後の縁部から前後へ突出することになる。この突出量は２〜２０ｍｍが適当である。
　【００４０】
　つまり、セルモジュールにおける各部材の奥行きは、第１電極１０，１０、第２電極３２、ガラス板３１，３１の順に大きくなっており、剛性体スペーサ２０，２０の奥行きは第１電極１０，１０の奥行きと同じである。
　【００４１】
　第２電極３２の前縁部の一部分は、端子部３２′としてガラス板３１，３１の間からその前方へ帯状に突出している。端子部３２′には、アルミ箔を巻いて形成した放熱促進部３４が取り付けられると共に、放熱促進部３４の前方に位置しヒューズ部３２″が一体的に形成されている。ヒューズ部３２″は、端子部３２′の長手方向の一部分でその幅を小さくすることにより形成されている。
　【００４２】
　ガラス板３１，３１は、図５（ａ）に示すように、第２電極３２及びその両側に配置された絶縁性スペーサ体３３，３３を挟んで、上下の接着層３５，３５により接合一体化されている。絶縁性スペーサ体３３，３３は、第２電極３２と同じ厚みである。接着層３５，３５は、耐オゾン性を有する例えばポリイミド、ＰＦＡ、ＦＥＰ等の熱溶着層である。つまり、ガラス板３１，３１は、ポリイミド、ＰＦＡ、ＦＥＰ等の耐オゾン樹脂を用いた熱溶着により、内側の第２電極３２及び絶縁性スペーサ３３，３３と一体化されている。
　【００４３】
　誘電体ユニット３０の両面側に放電空隙５０，５０を形成するために第１電極１０，１０との間に設けられる弾性体スペーサ４０，４０・・は、耐オゾン性及び弾力性を有する、断面が円形の細い樹脂線材であり、放電空隙５０の幅方向（ガス流通方向に直角な方向）に所定の間隔で配置されている。各弾性体スペーサ４０の厚み（線材の外径Ｄ）は、圧縮のない状態で放電空隙５０，５０の各ギャップ量Ｇより５〜５０％程度大きく設定されている。
　【００４４】
　この設定により、弾性体スペーサ４０，４０・・は第１電極１０と誘電体ユニット３０により上下から圧縮され、この圧縮により、誘電体ユニット３０は上下から均等な圧力で弾性的に押圧され、上記空間内の上下方向中央部に保持される。その結果、誘電体ユニット３０の両面側には、均等なギャップ量Ｇの放電空隙５０，５０が形成される。
　【００４５】
　なお、各放電空隙５０の両側部には、弾性体スペーサ及びシール部材を兼ねて弾性体からなるテープ状の絶縁部材４１，４１が設けられている。
　【００４６】
　次に、本実施形態に係る放電セルの組立方法、使用方法及び機能について説明する。
　【００４７】
　放電セルの組立では、図示されない上下のエンドプレート間に複数枚の第１電極１０，１０・・が、各間に剛性体スペーサ２０，２０、誘電体ユニット３０及び弾性体スペーサ４０，４０・・を挟んで重ね合わされ、両側部が図示されない複数本のボルトにより重合方向に締め付けられる。
　【００４８】
　これにより、各セルモジュールでは、誘電体ユニット３０の両面側に放電空隙５０，５０が形成される。ここで、上下の第１電極１０，１０、両側の剛性体スペーサ２０，２０及び誘電体ユニット３０は圧縮を生じない剛性体であり、一方、弾性体スペーサ４０，４０・・は圧縮を生じるので、各放電空隙５０のギャップ量Ｇは（Ｇ′−Ｔ）／２の一定値となる。従って、０．２ｍｍ以下というような微小のギャップ量Ｇも安定的に実現される。
　【００４９】
　また、締め付けは、剛性体スペーサ２０，２０が配置されている両側部に行われ、放電セル全体を均等に加圧する必要がないので、締め付け機構が簡略化される。更に、締め付けによる弾性体スペーサ４０，４０・・の破損も誘電体ユニット３０内のガラス板３１，３１の破損も生じない。
　【００５０】
　組立を終えた放電セルは、各セルモジュールの放電空隙５０，５０内に前後から原料ガスを導入するために、図示されないタンク内に収容される。
　【００５１】
　その放電セルでは、第１電極１０の冷媒導入孔１１と剛性体スペーサ２０の冷媒導入孔２１が合体することにより、積層方向に連続する冷媒導入路が形成されている。また、第１電極１０の冷媒導出孔１２と剛性体スペーサ２０の冷媒導出孔２２が合体することにより、積層方向に連続する冷媒導出路が形成されている。更に、第１電極１０のガス導出孔１３，１３と剛性体２０，２０のガス導出孔２３，２３が合体することにより、積層方向に連続する両側一対のガス導出路が形成されている。
　【００５２】
　これらの冷媒導入路、冷媒導出路及びガス導出路は、上段のエンドプレートに設けられた開口部及び各開口部に接続された管によりタンク外に連通している。一方、下段のエンドプレートは、これらの路を閉じる蓋板として機能する。
　【００５３】
　オゾンを発生させるときは、放電セルを収容するタンク内に原料ガスを供給する。また、冷媒導入路に冷却水を供給する。この状態で、各セルモジュールの誘電体ユニット３０に設けられた第２電極３２に高電圧を印加し、放電空隙５０，５０で無声放電を発生させる。
　【００５４】
　タンク内に供給された原料ガスは、各セルモジュール内の上下の放電空隙５０，５０に前後から流入し、前後方向の中央部に向かって流れる過程で放電に晒されてオゾンガスとなる。放電空隙５０，５０で発生したオゾンガスは、上下の第１電極１０，１０に設けられたガス導出路１４，１４を通って両側のガス導出孔１３，１３に至り、放電セルの両側部に形成された両側一対のガス導出路を通って放電セルの上方に取り出され、更にタンク外に取り出される。
　【００５５】
　冷媒導入路に供給された冷却水は、各セルモジュールの上下の第１電極１０，１０に設けられた冷媒導入孔１１，１１から冷媒流通路１６に入り、放電空隙５０，５０を低圧電極側から水冷する。第１電極１０，１０の冷媒導出孔１２，１２から出た冷却水は、放電セルの一方の側部に形成された冷媒導出路を通って放電セルの上方に取り出され、更にタンク外に取り出される。
　【００５６】
　ここで、各セルモジュール内の誘電体ユニット３０は、その製作で第２電極３２の形成に溶射やメッキを必要とせず、ガラス板３１，３１の接合も熱溶着により簡単に行い得るため、製作が簡単で、放電セルのコスト低減に寄与する。
　【００５７】
　各誘電体ユニット３０では、第２電極３２の前後の縁部が、上下の第１電極１０，１０の前後の縁部より前後に突出している。このため、それぞれの縁部間における電界集中が緩和され、誘電体の絶縁破壊が防止できる。また、上下のガラス板３１，３１の前後の縁部は、第２電極３２の前後の縁部よりも更に前後に突出している。このため、第１電極１０，１０と第２電極３２の間で絶縁破壊が生じない距離を確保できる。
　【００５８】
　誘電体ユニット３０の横幅方向では、第２電極３２と両側の剛性体スペーサ２０，２０との間に隙間が確保され、各隙間に絶縁性スペーサ３３，３３が配置されている。このため、第２電極３２と第１電極１０，１０或いは剛性体スペーサ２０，２０との間で電気絶縁性が得られる。
　【００５９】
　第２電極３２の端子部３２′は、その板厚方向、即ちモジュールの積層方向で自由に曲がる。このため、積層された複数のモジュール間で各端子部３２′を簡単に重ね合わせ結合することができる。
　【００６０】
　各端子部３２′では、放熱促進部３４が取り付けられているので、熱拡散性が良くなり、端子部３２′への異常放電により発生する熱での溶断を防止できる。また、ヒューズ部３２″が一体的に形成されているので、ヒューズ管が不要になる。
　【００６１】
　ガラス板３１，３１の接合については、図５（ｂ）に示すように、ガラス板３１，３１を第２電極３２の両側のみで熱溶着により部分的に接合することができる。この場合、接合部である接着層３５，３５が第２電極３２の側方に排除されるため、誘電体ユニット３０の厚みが低減すると共に、両側の絶縁性スペーサとして機能する。両側の接着層３５，３５についは、図５（ｃ）に示すように、第２電極３２と接着層３５，３５の間に隙間３６，３６を設けるのがよい。これにより、絶縁された空間が接着層３５，３５との間にできるため、接着層３５，３５内に発生するツリー放電による絶縁破壊を防止できる。
　【００６２】
　また、放電空隙５０でのガス流れついては、従来は、このガス流れが、放電空隙５０の前端から後端に向かう一方通行であった。この場合、オゾンガスを取り出すためには、放電セルの積層方向に直角な後面にヘッダを取り付ける必要がある。しかし、放電セルの積層方向に直角な後面は、積層された各部材の端面が現れるため平坦ではない。このため、ヘッダと後面間のシールが難しくなる。
　【００６３】
　これに対し、本実施形態に係る放電セルでは、第１電極１０の放電空隙５０に接する部分に、放電空隙５０でのガス流通方向中央部に位置してガス導出路１４が設けられ、第１電極１０の剛性体スペーサ２０，２０に接する部分に、ガス導出路１４に繋がるガス導出孔１３，１３が設けられいる。また、剛性体スペーサ２０，２０には、ガス導出孔１３，１３に対応してガス導出孔２３，２３が設けられている。
　【００６４】
　その結果、原料ガスは放電空隙５０の一端と他端の両方から流入する。両方の流入ガスは放電空隙５０でオゾン化され、放電空隙５０の中央部で第１電極１０のガス導出路１４に入り、両側のガス導出孔１３，１３から積層方向に流れて放電セルの外に取り出される。このため、オゾンガスの取り出しは、第１電極１０の表面、或いはエンドプレートの表面から２本の管により行われる。これらの表面は上記端面と異なり平坦で、シールが容易であり、ヘッダも不要になる。また、冷却水の流通方向とオゾンガスの取り出し方向が同じになるため、配管構造が簡単になり、装置の小型化が図られる。
　【００６５】
　このガス取り出し構造は、一対の第１電極間にスペーサで空間を形成し、この空間に誘電体ユニットを配置してその両面側に放電空隙を形成する構造であれば、本発明の放電セル以外の放電セルにも適用可能である。
　【００６６】
　【発明の効果】
　以上に説明したとおり、
本発明の
金属
ガラス板からなる
挟んで
、しかも放電空隙での安定な放電を可能にする
一対の誘電体を第２電極の両側のみで部分的に接合して、接合部を第２電極の側方に排除したことにより、誘電体ユニットの厚みを低減できる。一対の第１電極の間に空間を形成するべく、該空間の両側に位置して一対の第１電極の間に一対のスペーサを配置し、前記薄板を挟んだ一対の誘電体を、一対の第１電極との間に放電空隙が形成されるように前記空間に配置したことにより、放電空隙のギャップ量を安定的に微小化でき、且つ、スペーサが配置されている両側部に締め付けを行い、放電セル全体を均等に加圧する必要がないので、締め付け機構を簡略化できると共に、締め付けによる誘電体の破損を防止できる。
　【００６７】
　
また、
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の実施形態に係るプレート型オゾン発生装置用放電セルの正面図である。
　【図２】
　同放電セルに使用されたセルモジュールの分解斜視図である。
　【図３】
　同セルモジュールに使用された第１電極の分解斜視図である。
　【図４】
　同セルモジュールに使用された誘電体ユニットの斜視図である。
　【図５】
　同誘電体ユニットの縦断正面図である。
　【図６】
　従来のプレート型オゾン発生装置用放電セルの模式構成図である。
　【符号の説明】
　１０　第１電極（低圧電極）
　１１　冷媒導入孔
　１２　冷媒導出孔
　１３　ガス導出孔
　１４　ガス導出路
　１５　導電板
　１６　冷媒流通路
　１７　リブ
　２０　剛性体スペーサ
　２１　冷媒導入孔
　２２　冷媒導出孔
　３０　誘電体ユニット
　３１　ガラス板（誘電体）
　３２　第２電極（高圧電極）
　３２′　端子部
　３２″　ヒューズ部
　３３　絶縁性スペーサ
　３４　接着層（接合部）
　３５　隙間
　４０　弾性体スペーサ
　５０　放電空隙