【事件の表示】
　特許第３４１０５１３号「圧力が精密制御されるウエハ−研磨装置」の請求項１乃至３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３４１０５１３号の請求項１乃至３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３４１０５１３号発明は、平成５年６月３０日に特許出願され、平成１５年３月２０日に特許権の設定登録がされ、平成１５年５月２６日に特許掲載公報が発行され、その６月以内の平成１５年１１月２０日に浜井産業株式会社より本件の請求項１乃至３に係る特許について特許異議の申立てがなされたものである。
　
２．本件発明
　本件特許の請求項１乃至３に係る発明（以下それぞれを、「本件発明１」等という。）は、設定登録時の願書に添付した明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載された次のとおりのものである。
　
［本件発明１］
「流体を用いてウエハ−を下定盤に押圧し研磨加工を行うウエハ−研磨装置において、流体圧発生器からウエハ−加圧機構への流体供給管の流体圧力発生器側に始端圧力センサーが、またウエハ−加圧機構側に終端圧力センサーが取り付けられ、前記始端圧力センサー及び終端圧力センサーのそれぞれの検出値を比較する第一比較器と、前記流体供給管の始端側と終端側との圧力の減衰の許容値を設定する許容圧力範囲設定器と、前記許容圧力範囲設定器の設定値と前記第一比較器の出力とを比較する第二比較器を設け、該第二比較器の出力によりサ−ボバルブを調整する制御機構を備え、これにより前記流体圧発生器の圧力調整が行われることを特徴とする圧力が精密制御されるウエハ−研磨装置。」
　
［本件発明２］
「前記許容圧力範囲設定器は、時間ごとの流体圧力スケジュ−ルの設定が可能であることを特徴とする請求項１に記載のウエハ−研磨装置。」
　
［本件発明３］
「前記許容圧力範囲設定器の設定値は、デジタル方式により数値の直接入力が可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ−研磨装置。」
　
３．申立ての理由の概要
　特許異議申立人浜井産業株式会社（以下「申立人」という。）は、証拠方法として下記甲第１乃至４号証を提出して、本件発明１乃至３は、甲第１乃至４号証に記載された発明であるか、又は、甲第１乃至４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号又は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、本件発明１乃至３に係る特許は取り消されるべきものである旨、主張していると認められる。
［証拠方法］
　甲第１号証：特開昭６１−１０３７７４号公報
　甲第２号証：特開昭６３−１７４８６６号公報
　甲第３号証：特開昭５９−１９６７２号公報
　甲第４号証：「機械工学便覧　改訂第５版」、社団法人日本機械学会編、社団法人日本機械学会、昭和４５年９月１５日、改訂第５版３刷発行、第８−２７頁〜第８−２９頁
　
　なお申立人は、申立ての理由について特許異議申立書の中で以下のように述べている。
（ア）第２頁第１行〜第７行
「本件特許の請求項１に係わる発明は甲第１号証乃至甲第４号証に記載された発明及び原理を組合せた発明であるから、当該発明に係わる特許は特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、また、請求項２乃至３に係わる発明はいずれも甲第１号証乃至甲３号証に記載された発明及び原理に基づいて当業者が容易になし得た発明であるから、特許法第２９条の２項の規定に該当し、上記各発明に係わる本件特許は同法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべきものである。」
（イ）第８頁第６行〜第９行
「従って、本発明の請求甲１にかかわる発明は、当該甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に甲第４号証に記載された公知の事実からの慣用手段で容易に発明することが出来たものである。」
（ウ）第８頁第１８行〜第２０行
「よって、当該請求項２に係わる発明は、当該甲第３号証の発明に記載された公知の事実からの慣用手段で容易に発明することが出来たものである。」
（エ）第９頁第１３行〜第１５行
「よって、当該請求項３に係わる発明は、当該甲第１乃至２号証の発明に記載された公知の事実からの慣用手段で容易に発明することが出来たものである。」
（オ）第９頁第１７行〜第２６行
「以上、詳述したように、本件特許の請求項１及び３に記載された発明は甲第１乃至４号証及び本発明の審査時の参考文献に記載された発明と公知事実並びに慣用手段に基ずいて当業者が容易に到達し得る範囲内のものであって、その効果もそれらのもつ効果の総和を特に越える発明ではないので、当該発明に係わる特許は特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、また、甲第１号証乃至４号証に記載された発明公知事実及びに慣用手段に基づいて当業者が容易になし得た発明であるので、特許法第２９条第２項の規定に該当し、上記各発明に係わる特許は同法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべきものである。」
　上記の申立ての理由に関する主張中に、本件発明１乃至３と甲第１乃至４号証と特許法の適用条文との関係に一部不整合があるが、当審では、申立人の申立ての理由に関する主張を最大限に解釈し、申立ての理由を上記のように認定した。
　
４．甲第１乃至４号証記載の発明（事項）
（１）甲第１号証には、図面とともに以下のことが記載されている。
（ア）第２頁左下欄第２０行〜右下欄第９行
「この実施例のラッピング装置において、下ラップ板１と上ラップ板２は、被ラッピング半導体ウエーハ３を挟んで互いに対向するように装置本体４上に配置され、（中略）また、上記上ラップ板２は、エアシリンダ６のピストンロッド７の下端部分に回転自在に設けられており、上記エアシリンダ６によって、上記下ラップ板１側に押圧する推力が与えられるようになっている。」
（イ）第３頁左上欄第４行〜第９行
「さらに、上記エアシリンダ６は、上記中間停止用の電磁弁９Ａ，９Ｂを介して圧縮空気が供給されている上記上室６Ａおよび下室６Ｂの空気圧がそれぞれ圧力センサ１４Ａ，１４Ｂによって検出されるようになっている。」
（ウ）第３頁右上欄第８行〜左下欄第１１行
「この実施例において、上記コントロール・ボックス２０に設けられた上記ＣＰＵ２３は、例えば第３図に示す特性線図に示す各点Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆにおける目標操作量、目標推力および時間の各制御目標データが上記キーボード・インターフェース部２６を介して図示しないキーボードのキー操作によって予め与えられ、上記制御目標データに基づいて、装置全体を所定のシーケンスで制御しながら、上記カウンタ部２１にて読み取られる操作量データおよび上記圧力センサ１４Ａ，１４Ｂにより得られる上記エアシリンダ６の上記上室６Ａおよび下室６Ｂの各空気圧の検出出力信号をＡ／Ｄ変換器２２にてデジタル化することによって得られる圧力データに応じて、上記エアシリンダ６に圧縮空気を供給する上記中間停止用の電磁弁９Ａ，９Ｂを制御して上記エアシリンダ６の上記上室６Ａと下室６Ｂに印加する空気圧の比を制御する。そして、上記エアシリンダ６は、その上室６Ａと下室６Ｂに印加される空気圧の比が実際の操作制御状態を示す操作量データおよび圧力データに応じて上記ＣＰＵ２３により実時間で制御されて、上記上ラップ板２を上記下ラップ板１側に押圧する推力を上記第３図に示した特性線図に従って与える推力ように動作制御される。」
（エ）第４頁左上欄７行〜９行
「上記エアシリンダの操作制御を行うプログラマブルコントローラを設けたことによって、ラッピング板の位置制御を高精度に行ない」
　以上の記載事項からみて、甲第１号証には、次の発明が記載されていると認められる。
［甲第１号証記載の発明］
「圧縮空気を用いて被ラッピング半導体ウエーハ３を下ラップ板１に押圧しラッピングを行う半導体ウエーハラッピング装置において、エアシリンダ６の上室６Ａ及び下室６Ｂの空気圧をそれぞれ検出する圧力センサ１４Ａ及び１４Ｂが取り付けられ、圧力センサ１４Ａ及び１４Ｂにより得られる各空気圧の検出出力信号により電磁弁９Ａ及び９Ｂを制御するＣＰＵ２３を備え、これにより推力を制御し、特性線図に示す各点の目標推力と時間の各制御目標データがキーボードのキー操作によって予め与えられ、圧力が精密制御される半導体ウエーハラッピング装置。」
　
（２）甲第２号証には、図面とともに以下のことが記載されている。
（オ）第１頁右下欄第１１行〜第１４行
「本発明は、半導体ウエハ等の被加工材を所定厚さに研磨するラップ加工機の加工圧力を、研磨状態に応じて制御するラップ加工機の面圧制御システムに関する。」
（カ）第２頁右下欄第１行〜第７行
「第１図は本実施例のラップ加工機及び制御系統を示しており、１はラップ加工機、２は下側定盤、３は上側定盤であり、（中略）上側定盤３は、円板状に形成され、下側定盤２の上方で後述する空気圧シリンダ９のピストンロッド１０に上下動可能に支持されている。」
（キ）第３頁左上欄第９行〜右上欄第３行
「空気圧シリンダ９には空気圧回路が接続され、空気圧シリンダ９の下側の室９ａには空気圧ポンプ（図示省略）からリリーフバルブ等を介して高圧空気を送給する流路１２が接続され、この通路１２には、電磁力により流量をコントロールする圧力コントロールバルブ１３が介装されるとともに、下側室内圧力を検出する圧力センサ１４が設けられている。他方、上側の室９ｂには排出口（図示省略）に連通する流路１５が接続しており、この流路１５には上側室内圧力を検出する圧力センサ１６が設けられている。これらの各センサ１４，１６及びロードセル１１からの検出信号は制御装置２０に入力され、制御装置２０からは制御信号がコントロールバルブ１３に出力され、流量の制御が行なわれる。」
（ク）第３頁右下欄第７行〜第１１行
「このキーボード２１からは、ウエハ７の目標厚さｔ0、目標精度ｍ等の加工仕様、ウエハ７の仕込み厚さｔ、１サイクルの加工枚数ｎ、その他面圧計算設定に必要なデータが入力される。」
　以上の記載事項からみて、甲第２号証には、次の発明が記載されていると認められる。
［甲第２号証記載の発明］
「空気圧を用いてウエハ７を下側定盤２に押圧しラップ加工を行うウエハラップ加工機において、流路１２には下側室内圧力を検出する圧力センサ１４が、流路１５には上側室内圧力を検出する圧力センサ１６が、それぞれ取り付けられ、圧力センサ１４及び１６からの検出信号により圧力コントロールバルブ１３を制御する制御装置２０を備え、面圧計算設定に必要なデータがキーボード２１から入力されるウエハラップ加工機。」
　
（３）甲第３号証には、図面とともに以下のことが記載されている。
（ケ）特許請求の範囲第１項
「被加工物を挟圧する一対の定盤の相対的な押圧力を変化可能にしたポリシング装置において、前記押圧力を時間軸に対して漸増または漸減させる押圧力の変化手段を設けたことを特徴とするポリシング装置の加工圧力制御装置。」
（コ）第２頁左上欄第１２行〜第１９行
「上定盤１０は自由回転継手１２を介してシリンダ１３のピストン１４に連結され、上下に移動し得るようになっている。前記上下の定盤１０，１１の対向する表面には研磨布１０ａ，１１ａが設けられ、これらの研磨布１０ａ，１１ａを介して上下の定盤１０，１１によりウエハなどの被加工物１５を挟圧するようになつている。」
（サ）第２頁右上欄第５行〜第７行
「前記シリンダ１３の上下のシリンダ室１３ａ，１３ｂは、４方電磁弁１６および電空変換器１７を介して空気圧源１８に接続されている。」
（シ）第２頁左下欄第７行〜第１５行
「なお、この目標値設定部２１は運転時間の進行に伴ない予じめ定められたプログラムに従がつて目標値に変更されるか、またはいくつかの目標値設定部２１を備えておき、それぞれの目標値設定部２１にプログラムに従つて数種の目標値を設定し、プログラムの進行に従つて各々の目標値設定部２１を選択してコンパレータ２３へ接続するように構成されている。」
　以上の記載事項からみて、甲第３号証には、次の発明が記載されていると認められる。
［甲第３号証記載の発明］
「空気圧を用いてウエハ１５を下定盤１１に押圧しポリシングを行うウエハポリシング装置において、４方電磁弁１６および電空変換器１７により押圧力を制御し、時間軸に対して変化する目標値が設定可能であるウエハポリシング装置。」
（４）甲第４号証には、以下のことが記載されている。
（ス）第８−２８頁右欄第１３行〜第１７行
「ａ．純気流の圧力損失　直管内の流れの管摩擦係数をλ，ベンドにおける流れの圧力損失係数をζとすれば、管長ｌについての純気流の圧力損失Δｐは次式で与えられる。（中略）λ及びζの値については２・１・２及び２・２・８を参照せられたい。」
　上記の記載事項からみて、甲第４号証には、次の事項が記載されていると認められる。
［甲第４号証記載の事項］
「直管内の純気流は、一定の式によって与えられる圧力損失を生じること。」
　
５．対比・判断
（１）本件発明１について
　本件発明１と甲第１号証記載の発明を対比すると、後者の「圧縮空気」は、その技術的意義からみて、前者の「流体」に相当し、以下同様に、後者の「被ラッピング半導体ウエーハ３」は前者の「ウエハー」に、後者の「下ラップ板１」は前者の「下定盤」に、後者の「ラッピング」は前者の「研磨加工」に、後者の「ウエーハラッピング装置」は前者の「ウエハ−研磨装置」に、後者の「エアシリンダ６」は前者の「ウエハ−加圧機構」に、後者の「検出出力信号」は前者の「検出値」に、後者の「ＣＰＵ２３」は前者の「制御機構」に、それぞれ相当する。
　そして、後者において、エアシリンダの制御を行うことから、「流体圧力発生器」を備えていることは明らかである。
　また、後者の「圧力センサ１４Ａ及び１４Ｂ」は、流体供給管ではなくエアシリンダ６の上室６Ａ及び下室６Ｂに直接取り付けられているが、流体供給管の終端圧力とエアシリンダの室内圧力はほぼ等しいから、実質上、流体供給管のウエハ−加圧機構側の終端に取り付けられているとみなせる。
　そうすると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
［一致点］
　流体を用いてウエハ−を下定盤に押圧し研磨加工を行うウエハ−研磨装置において、流体圧発生器からウエハ−加圧機構への流体供給管のウエハー加圧機構側に圧力センサーが取り付けられ、これにより流体圧発生器の圧力調整が行われる、圧力が精密制御されるウエハ−研磨装置。
［相違点］
　前者は、流体圧発生器からウエハ−加圧機構への流体供給管の流体圧力発生器側に始端圧力センサーが取り付けられ、当該始端圧力センサーとウエハ−加圧機構側に取り付けられた圧力センサーとのそれぞれの検出値を比較する第一比較器を備え、流体供給管の始端側と終端側との圧力の減衰の許容値を設定する許容圧力範囲設定器を備え、許容圧力範囲設定器の設定値と第一比較器の出力とを比較する第二比較器を備え、該第二比較記器の出力によりサ−ボバルブを調整する制御機構を備えているのに対して、後者は、始端圧力センサーが取り付けられておらず、始端圧力センサーとウエハ−加圧機構側に取り付けられた圧力センサーとのそれぞれの検出値を比較する第一比較器、流体供給管の始端側と終端側との圧力の減衰の許容値を設定する許容圧力範囲設定器、及び、許容圧力範囲設定器の設定値と第一比較器の出力とを比較する第二比較器がいずれも備えておらず、また、制御機構を備えるものの、当該制御機構は第二比較器の出力によりサーボバルブを制御するものではない点。
　そこで、上記相違点について検討するに、甲第２乃至４号証記載の発明（事項）は、いずれも、本件発明１の「流体圧発生器からウエハ−加圧機構への流体供給管の流体圧力発生器側に始端圧力センサーが取り付けられ」るとの構成、「当該始端圧力センサーとウエハ−加圧機構側に取り付けられた圧力センサーとのそれぞれの検出値を比較する第一比較器を備え」るとの構成、「流体供給管の始端側と終端側との圧力の減衰の許容値を設定する許容圧力範囲設定器を備え」るとの構成、「許容圧力範囲設定器の設定値と第一比較器の出力とを比較する第二比較器を備え」るとの構成、及び、「該第二比較記器の出力によりサ−ボバルブを調整する制御機構を備え」るとの構成のいずれをも具備していない。
　そして、本件発明１は、上記構成を備えることによって、「精密レギュレ−タ−を用いることなく、構造が簡単で且つ操作が容易であり、しかもウエハ−のポリッシングだけでなくラッピングにも好適に使用できる圧力を微調整し得る」（本件特許明細書の段落【０００７】）、「半導体ウエハ−のラッピングやポリッシング表面加工等において、ウエハ−は、高度に均一に押圧研磨仕上げされるから、厚さが均一且つ表面平滑性の優れた、実用的にも工業的にも極めて望ましいウエハ−が得られ、その産業上の利用価値は極めて高い。」（本件特許明細書の段落【００１６】）という顕著な効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件発明１は、甲第１乃至４号証に記載された発明であるとすることができないばかりでなく、甲第１乃至４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
（３）本件発明２及び本件発明３について
　本件発明２、３は、本件発明１をさらに他の事項を付加して限定するものである。
　そうすると、本件発明２、３と甲第１号証記載の発明とは、少なくとも上記の相違点で相違する。そして、上記相違点についてはすでに検討したとおりである。
　したがって、本件発明２、３も、甲第１乃至４号証に記載された発明であるとすることができないばかりでなく、甲第１乃至４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件の請求項１乃至３に係る特許が拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものとは認めることができない。
　また、他に、本件の請求項１乃至３に係る特許が拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めるべき理由を発見しない。
　したがって、本件の請求項１乃至３に係る特許を取り消すことはできない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年９月１６日（２００４．９．１６）