【事件の表示】
　特許第３２２２０６２号「エッチング穿孔性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク素材」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２２２０６２号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３２２２０６２号発明は、平成８年５月２１日に特許出願され、平成１３年８月１７日にその特許の設定登録がなされたものである。
　これに対し、日立金属株式会社より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１５年６月２３日に訂正請求がなされたが、その後新たな取消理由が発見されたので平成１５年１２月４日付けで再度取消理由通知がなされたところ、平成１５年６月２３日付け訂正請求書が取下げられ、平成１５年１２月１０日付けで再度訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正事項
　平成１５年１２月１０日付けの訂正請求は、特許請求の範囲の減縮、この減縮に伴う明りょうでない記載の釈明を目的として、訂正請求書に添附した全文訂正明細書のとおり、すなわち次の訂正事項ａ乃至訂正事項ｈのとおり訂正するものである。　
（１）訂正事項ａ：請求項１及び２の「最終焼鈍前」を「完全に再結晶させる最終焼鈍前」と、また請求項１及び２の「加工度を８０％以上」を「加工度を８２％以上」とそれぞれ訂正する。
（２）訂正事項ｂ：明細書の段落【０００８】の「最終焼鈍前の加工度が８０％以上」を「完全に再結晶させる最終焼鈍前の加工度が８２％以上」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ：明細書の段落【００１０】及び【００１１】の「最終焼鈍前の加工度を８０％以上」を「完全に再結晶させる最終焼鈍前の加工度を８２％以上」とそれぞれ訂正する。
（４）訂正事項ｄ：明細書の段落【００１８】の２箇所の「最終焼鈍」を「完全に再結晶させる最終焼鈍」とそれぞれ訂正する。
（５）訂正事項ｅ：明細書の段落【００２０】の「中間冷間圧延の加工度が例えば８０〜９０％の範囲で調整される。再結晶を完全なものにするために、熱間圧延後に焼鈍を行っても良い。」を「中間冷間圧延の加工度が例えば８２〜９０％の範囲で調整される。」と訂正する。
（６）訂正事項ｆ：明細書の段落【００２５】の表１中に「参考例」の項目を設け、本発明例の項目の「試料Ｎｏ．１」の内容を「参考例」と訂正する。
（７）訂正事項ｇ：明細書の段落【００２６】の「加工度が８０％以上」を「加工度が８２％以上」と訂正する。
（８）訂正事項ｈ：明細書の段落【００２７】の「加工度が８０％」を「加工度が８２％」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項１及び２の「最終焼鈍前」を「完全に再結晶させる最終焼鈍前」と、また請求項１及び２の「加工度を８０％以上」を「加工度を８２％以上」とそれぞれ訂正するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。また訂正事項ｂ乃至訂正事項ｈは、特許請求の範囲の減縮に伴って特許明細書の記載を請求項１及び２の記載と整合させるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当する。そして、いずれの訂正事項も特許明細書に記載した事項の範囲内でなされたものであるから新規事項の追加に該当せず、また当該訂正によって実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
２−３．むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項乃至第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．本件訂正発明
　特許権者が請求した上記訂正は、上述したとおり、認容することができるから、本件請求項１及び２に係る発明（以下、それぞれ「本件訂正発明１及び２」という）は、訂正後の請求項１及び２に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】Ｎｉを３０〜４５ｗｔ％含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物もしくは随伴元素−但しＣ：０．１０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．３０ｗｔ％以下、Ａｌ：０．３０ｗｔ％以下、Ｓ：０．００５ｗｔ％以下、Ｐ：０．００５ｗｔ％以下−の組成のＦｅ−Ｎｉ系合金からなり、完全に再結晶させる最終焼鈍前の加工度を８２％以上として圧延することにより製造されたシャドウマスク素材において、Ｍｎを０．１０ｗｔ％以下として｛１００｝集積度を低くしかつエッチング面の結晶粒度が粒度番号で９．０以上であり、エッチング穿孔性に優れることを特徴とするシャドウマスク素材。
【請求項２】Ｎｉを３０〜４５ｗｔ％含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物もしくは随伴元素−但しＣ：０．１０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．３０ｗｔ％以下、Ａｌ：０．３０ｗｔ％以下、Ｓ：０．００５ｗｔ％以下、Ｐ：０．００５ｗｔ％以下−の組成のＦｅ−Ｎｉ系合金からなり、完全に再結晶させる最終焼鈍前の加工度を８２％以上として圧延することにより製造されたシャドウマスク素材をエッチング穿孔した電子線透過孔を備えるシャドウマスク素材において、Ｍｎを０．１０ｗｔ％以下として｛１００｝集積度を低くしかつエッチング面の結晶粒度が粒度番号で９．０以上としてエッチング穿孔された、良好な真円度を有する電子線透過孔を備えることを特徴とする電子線透過孔を備えるシャドウマスク素材。」
４．特許異議申立てについて
（４−１）特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、証拠方法として、甲第１号証及び甲第２号証と参考資料を提出して、次のとおり主張している。
（１）訂正前の本件請求項１及び２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるか、又は甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号及び同条第２項に違反してなされたものである。
　また、補足的な主張として、訂正前の本件請求項１及び２に係る発明の「最終焼鈍前の加工度を８０％以上とする」という特定事項は、本件発明の「素材」としての特徴を構成する要件ではないから、訂正前の本件請求項１及び２に係る発明は、甲第２号証に記載された発明であるか、又は甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとも主張している。
（２）甲第１号証に記載の表３中の「比較例Ｆ１，Ｆ６」では、これら比較例が本件発明の組成や結晶粒度、最終焼鈍前の加工度の条件を満足する条件で作製されたにもかかわらず、その｛１００｝集積度が８０％を超えるものであるから、本件発明の組成、結晶粒度や加工度８０％以上の圧延という条件の開示だけでは本件発明でいう８０％以下の｛１００｝集積度を有するシャドウマスク素材を作製することは困難である。
　してみると、本件特許明細書は、当業者が容易に実施することができる程度に本件発明を明確かつ十分に記載しているとは云えないから、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない。
（４−２）証拠の記載内容
　甲第１号証及び甲第２号証と参考資料には、それぞれ次の事項が記載されている。
（１）甲第１号証：特開平６−２７９９４６号公報
（１ａ）「本発明は、シャドウマスク用Fe−Ni系アンバー合金に関し、特に優れたエッチング性を有するシャドウマスク材料、その中間材料、前記シャドウマスク材料のの製造方法、シャドウマスクの製造方法ならびにこれらシャドウマスクまたはシャドウマスク材料を用いた陰極線管に関するものである。」（段落【０００１】）
（１ｂ）「すなわち、本願の第１発明は、重量％でNi30〜40%を含有し、残部Feおよび不可避不純物からなるFe−Ni系アンバー合金でなるシャドウマスク材料において圧延面の{100}方位集積度が85%以上であり、かつ、板幅方向に垂直な断面内での検鏡で繊維状の圧延組織を有することを特徴とするエッチング性に優れるシャドウマスク材料である。
　なお、本発明は主要構成元素がFeとNiからなり、鋼の製造上不可避的なC,MnをそれぞれC≦0.05、Mn≦0.1で含む鋼に対して適用できる。」（段落【００１０】）
（１ｃ）「【実施例】
  表１にまとめて示すように、Ａ，Ｂ１〜Ｂ１６，Ｃ１〜Ｃ７，Ｄ１〜Ｄ５，Ｅ１〜Ｅ５の各種のFe−Ni系アンバー合金を、真空誘導溶解、鋳造し、次いで1100〜1150℃で鍛造と熱間圧延を行って、所定厚みの熱間圧延コイルとした。次いで、表面を酸洗、研磨後、表２および表３のそれぞれ前駆材料欄に示す冷間圧延およびこれに続く焼鈍を施してそれぞれ前駆材料を調製した。ここで表３のＦ１〜Ｆ６の各材料は、Ａと同じ素材を用いたものである。」（段落【００２７】）
（１ｄ）表１には「Ａ」の組成（％）が「Ｎｉ：３５．９４、Ｃ：０．００１５、Ｓ：０．００１０、Ｐ：０．０００９、Ｏ：０．００１０、Ｎ：０．００１０、Ｆｅ：ｂａｌ」であると記載されている。
（１ｅ）表３には、「Ｆ４」について、前駆材料についてその冷間圧延９５％、焼鈍温度９５０℃であり、仕上材料（ｔ＝０．１５ｍｍ）についてその冷間圧延８０％、｛１００｝方位９５％、焼鈍温度８７０℃、｛１００｝方位７６％、｛１００｝方位変化−１９％であり、シャドウマスク評価について非繊維状又は再結晶組織面積率が１００％であると記載されている。
（１ｆ）「これに対し、Ｆ１〜Ｆ６の比較材料は、Ａ材料と同一材であり、成分的に問題ないものであるが、前駆材料欄に示したような、不適正な冷間圧延条件（Ｆ１，Ｆ５，Ｆ６）もしくは、不適正な焼鈍条件（Ｆ２，Ｆ５，Ｆ６）により、立方体組織の発達が不十分となるか、または、仕上材料欄に示したような不適正な冷間圧延条件（Ｆ１，Ｆ３，Ｆ５，Ｆ６）もしくは、仕上げ材料欄に示したような不適正な焼鈍条件（Ｆ４，Ｆ６）により、立方体組織が壊されており、その結果、最終のシャドウマスク材料の状態は、従来と同様の再結晶組織、または不十分な繊維状圧延組織となってしまい(非繊維状はまたは再結晶組織面積率 100%、平均アスペクト比 1〜1.5)、エッチング面の表面粗さ値 Ｒaは0.63〜0.75μmと粗く、また、マスクむらを有するものとなっている。」（段落【００３４】）
（２）甲第２号証：特開平７−１８８８６０号公報
（２ａ）「【請求項１】Ｎｉ：３３〜３９ｗｔ％、Ｓｉ：０．２０ｗｔ％以下、Ｍｎ：０．００１〜１．０ｗｔ％、Ｂ：０．００５０ｗｔ％以下、Ｏ：０．００４０ｗｔ％以下、Ｎ：０．００３０ｗｔ％以下、Ｓｂ：０．０００５〜０．０５００ｗｔ％、Ｓｎ：０．０００２〜０．００５０ｗｔ％、Ａｓ：０．０００２〜０．００５０ｗｔ％を含有し、且つ、
０．００６０≦〔Ｓｂ〕＋１０〔Ｓｎ〕＋１５〔Ａｓ〕≦０．１００
但し　〔Ｓｂ〕：Ｓｂ含有量（ｗｔ％）
　　　〔Ｓｎ〕：Ｓｎ含有量（ｗｔ％）
　　　〔Ａｓ〕：Ａｓ含有量（ｗｔ％）
を満足し、残部Ｆｅおよび不可避不純物からなる化学成分を有し、シャドウマスク成形のためのプレス前焼鈍前におけるまたはアパーチャーグリルに加工前における平均オーステナイト結晶粒径Ｄavが８．０〜１５．０μｍ、オーステナイト結晶粒径の最大値Ｄmaxと最小値Ｄminとの比Ｄmax／Ｄminが１〜１５、ビッカース硬さＨｖが１６５〜２４０で且つ平均オーステナイト結晶粒径Ｄav（μｍ）との関係で、
Ｈｖ≧１０×Ｄav＋５０
の条件を満足し、板表面での結晶面集積度が下記条件を満足する加工性に優れたカラー受像管用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板。
｛１１１｝結晶面の集積度：１４％以下
｛１００｝結晶面の集積度：５〜７５％
｛１１０｝結晶面の集積度：５〜４０％
｛３１１｝結晶面の集積度：２０％以下
｛３３１｝結晶面の集積度：２０％以下
｛２１０｝結晶面の集積度：２０％以下
｛２１１｝結晶面の集積度：２０％以下
但し　集積度は｛１１１｝、｛１００｝、｛１１０｝、｛３１１｝、｛３３１｝、｛２１０｝および｛２１１｝の相対比率」（特許請求の範囲）
（２ｂ）「本発明は、加工性に優れたカラー受像管用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板とそれらの製造方法に関するものである。」（段落【０００１】）
（２ｃ）「Ｍｎは熱間加工性を向上させる作用があり、その添加量が０．００１ｗｔ％未満では熱間加工性の向上効果が得られない。一方、１．０ｗｔ％を超えて添加すると合金の強度が高くなり過ぎ、却って熱間加工性が劣化する。このためＭｎは０．００１〜１．０ｗｔ％とする。」（段落【００２２】）
（２ｄ）「材料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０は、合金Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０の熱延板から、熱延板焼鈍（昇温速度３℃／ｓｅｃ以上、９１０〜９９０℃）−冷間圧延?再結晶焼鈍（昇温速度１０℃／ｓｅｃ以上、８６０〜９４０℃×１２０秒）−仕上冷間圧延（圧延率２１％）−歪取り焼鈍（昇温速度５℃／ｓｅｃ以上、５４０℃×４５秒）の工程を経て製造された板厚０．２５ｍｍの合金板である。材料Ｎｏ．２８は、合金Ｎｏ．２２の熱延板から、冷間圧延（圧延率９２．５％）−再結晶焼鈍（８５０℃×１分）−仕上冷間圧延（圧延率１５％）−歪取り焼鈍（５３０℃×３秒）の工程を経て製造された板厚０．２５ｍｍの合金板である。」（段落【００４９】）
（３）参考資料：「鉄と鋼」Ｖｏｌ．７１、Ｎｏ．１３、（社）日本鉄鋼協会発行、１９８５年９月、第１６７頁
「インバー合金の面内異方性は冷延前後の焼鈍温度により著しく変化する。」（第１６７頁「４．結言」）
（４−３）当審の判断
（４−３−１）上記（１）の主張について
（１）本件訂正発明１について
　甲第１号証には、シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系アンバー合金に関し、その表３には、材料Ａ「Ｎｉ：３５．９４、Ｃ：０．００１５、Ｓ：０．００１０、Ｐ：０．０００９、Ｏ：０．００１０、Ｎ：０．００１０、Ｆｅ：ｂａｌ」を使用した比較例「Ｆ４」について、仕上材料（ｔ＝０．１５ｍｍ）の焼鈍前の冷間圧延が８０％、焼鈍後の｛１００｝方位が７６％であり、その組織が非繊維状又は再結晶組織面積率１００％（上記（１ｅ）参照）とそれぞれ記載されている。また、上記（１ｂ）には「Ｍｎ≦０．１で含む鋼に対して適用できる。」とも記載されているから、これら記載を請求項１の記載ぶりに則って整理すると、甲第１号証には、「Ｎｉを３５．９４ｗｔ％含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物もしくは随伴元素−但しＣ：０．００１５％、Ｓ：０．００１０％、Ｐ：０．０００９％、Ｏ：０．００１０％、Ｎ：０．００１０％−の組成のＦｅ−Ｎｉ系合金からなり、最終焼鈍前の加工度を８０％として圧延することにより製造されたシャドウマスク素材において、Ｍｎが０．１０ｗｔ％以下であり、その組織が｛１００｝集積度７６％であり非繊維状又は再結晶組織面積率１００％であることを特徴とするシャドウマスク素材」という発明（以下、「甲１発明」という）が記載されていると云える。
　そこで、本件訂正発明１と甲１発明とを対比すると、両者は、「Ｎｉを３５．９４ｗｔ％含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物もしくは随伴元素−但しＣ：０．００１５％、Ｓ：０．００１０％、Ｐ：０．０００９％−の組成のＦｅ−Ｎｉ系合金からなり、最終焼鈍前に圧延することにより製造されたシャドウマスク素材において、Ｍｎが０．１０ｗｔ％以下であることを特徴とするシャドウマスク素材」という点で一致し、次の点で相違していると云える。
（イ）本件訂正発明１では、「エッチング面の結晶粒度が粒度番号で９．０以上であり、エッチング穿孔性に優れる」のに対し、甲１発明では、この点が明らかではない点
（ロ）本件訂正発明１では、その組織が「完全に再結晶させた組織」であって「｛１００｝集積度が低い」のに対し、甲１発明では、その組織が「非繊維状又は再結晶組織面積率１００％」であって「｛１００｝集積度が７６％」である点
（ハ）本件訂正発明１では、不可避的不純物もしくは随伴元素のＳｉとＡｌが「Ｓｉ：０．３０ｗｔ％以下、Ａｌ：０．３０ｗｔ％以下」であるのに対し、甲１発明では、この点が明らかではない点
（ニ）本件訂正発明１では、「最終焼鈍前の加工度を８２％以上として圧延する」のに対し、甲１発明では、最終焼鈍前の加工度を８０％として圧延する点
　次に、これら相違点の上記（イ）及び（ロ）について検討する。
（ｉ）相違点（イ）について
　甲第１号証には、シャドウマスク素材のエッチング穿孔性について、「本発明のシャドウマスク材料は、・・・これにより従来材に比べ、優れたエッチング面の表面粗さと孔形状誤差が小さい、むらのない高いマスク品位が得られる極めて高品質の高精細または超高精細シャドウマスク材料である。・・・比較的簡単な工程で良好なエッチング穿孔性を有する高精細シャドウマスク材料を製造することができるものである。」（段落【００３８】）と記載されているが、この性質は、あくまで「繊維状の圧延組織を有するシャドウマスク素材」の場合であり、これに対し、甲１発明は、この繊維状組織のシャドウマスクの「比較例」として開示されたその組織が「非繊維状又は再結晶組織面積率１００％」のいずれかであるシャドウマスク素材であるからその「エッチング穿孔性」が優れているとは断言できないものであり、したがって、本件訂正発明１は「エッチング穿孔性」が優れている点で甲１発明と相違していると云うべきである。
　また、「結晶粒度が粒度番号で９．０以上」の点についても、甲第１号証の「図１のｂ」には、比較材料の再結晶組織（１００％）図が開示されているが、甲１発明（Ｆ４）の組織が図１のｂの再結晶組織（１００％）であると決め付ける記載又は根拠はない。この図１のｂの再結晶組織図については、甲第１号証の「図１および２に、本発明材料(a)と従来の再結晶組織を有するシャドウマスク材料(b)の、それぞれミクロ組織およびエッチング穿孔面の状況を示す。」（段落【０００８】）という記載に照らせば、繊維状の組織と比較するために引用された「従来の再結晶組織のシャドウマスク材料」のものであって、表３中に記載されているＦ４を含む「比較材料」の組織図であるとは言い難いものである。加えて、甲１発明であるＦ４を含む「比較材料」の組織については、表３中に単に「非繊維状又は再結晶組織面積率１００％」と記載されているにすぎず、比較材料の説明である上記（１ｆ）の記載を参照しても、甲１発明の組織が「再結晶組織１００％」と決め付ける根拠はない。Ｆ４の組織については、むしろ次の相違点（ロ）で述べるとおり、完全な再結晶組織であるとは云えないから、図１のｂの組織図からその結晶粒の大きさを求めて甲１発明が「９．０以上の結晶粒度組織」であると決め付けることはできないと云うべきである。
（ｉｉ）相違点（ロ）について
　甲１発明は、その組織が「非繊維状又は再結晶組織面積率１００％」のいずれであるか明らかではなく、再結晶組織が１００％であるとも決め付けられないことは上述したとおりである。また、表３の「Ｆ４」と繊維状組織を有する「Ｄ２及びＤ３」とを比べると、その組成が殆ど同じであり前駆材料の冷間圧延や焼鈍温度の条件及び仕上材料の冷間圧延条件も同じであって、仕上材料の焼鈍温度が「８７０℃」（Ｆ４）か「７３０℃」（Ｄ２及びＤ３）かで相違するだけであるところ、このように、Ｆ４がその前駆材料の冷間圧延や焼鈍温度の条件でＤ２やＤ３と同じであれば、甲第１号証の段落【００２３】の「本発明の前駆材料は冷間圧延や、焼鈍によっても結晶方位の変化に対し影響を受けることが非常に小さいことがわかる。そのため、本発明材料は、焼鈍後も繊維状の圧延組織と高い{100}方位集積度を維持したままのものであり、」という記載に照らせば、Ｆ４も、Ｄ２やＤ３と同様、仕上材料の焼鈍前の組織は「繊維状の圧延組織」を維持していると云えるものである。そして、この繊維状組織のＦ４を７３０℃より高い８７０℃の焼鈍温度で焼鈍した場合の組織は、甲第１号証の「圧延後に約750℃程度以上の高温の焼鈍を必要とし、このような高温焼鈍では、図５に示すようにビッカース硬さがHV130未満となり強度的に不十分となり、さらに非繊維状組織面積率が50%以上となってエッチング性が低下してしまう。」（段落【００２４】）という記載に照らせば、せいぜい繊維状組織の一部が非繊維状組織となる程度のものと解するのが相当であるから、Ｆ４、すなわち甲１発明の組織については「完全な再結晶組織」であるとまでは云えないと解するのが相当である。
　さらに、図５に図示された「硬さと焼鈍温度」とのグラフにＦ４の硬さとこれと同じ加工条件であるＡ１とＡ２の硬さをプロットしてその硬さの減少傾向をみてみると、Ｆ４の硬さは、特許権者が提出した例えば参考資料１の第６８頁のＦｉｇ．１に示す再結晶挙動に照らせば、再結晶化途上の硬さというものであって再結晶化が完全に終了した時点の硬さとは認められないから、硬さと焼鈍温度の観点からみても、甲１発明（Ｆ４）の組織については「完全な再結晶組織」ではないと解するのが相当であると云える。
　してみると、その余の相違点（ハ）及び（ニ）について検討するまでもなく、本件訂正発明１は、甲第１号証に記載された発明であるとすることはできないし、また甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともすることができない。
　次に、特許異議申立人の補足的な上記主張について検討すると、この主張は、本件訂正発明１の「最終焼鈍前の加工度を８２％以上として圧延することにより製造された」という特定事項が本件訂正発明１の「素材」としての特徴を構成する要件ではないという前提に立つものであるが、本件特許明細書には「｛１００｝集積度を例えば７０〜８０％に制御するために、中間冷間圧延の加工度が例えば８２〜９０％の範囲で調整される。」（段落【００２０】）と記載されているように、本件訂正発明１の「加工度８２％」は、「｛１００｝集積度を低く」するために必要な事項であり、本件訂正発明１の素材の特徴に影響を及ぼす要件であると云えるから、特許異議申立人の上記前提は当を得たものではない。
　したがって、特許異議申立人の上記主張も採用することができない。
（２）本件訂正発明２について
　この発明も、本件訂正発明１の上記相違点に係る特定事項をすべて有するものであるから、上記（１）で述べた理由により、甲第１号証又は甲第２号証に記載された発明であるとすることはできないし、また甲第１号証又は甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともすることができない。
（４−３−２）上記（２）の主張について
　この主張は、甲第１号証に記載の「比較例」の結果を根拠とするものであるが、この「比較例」については、その一例であるＦ４について上記（１）（ｉ）及び（ｉｉ）で検討したとおり、その組織が非繊維状であって本件訂正発明１及び２のような「完全な再結晶組織」とまではいえないものであるから、組織が相違する別異のシャドウマスク素材に関する甲第１号証に記載された結果の如何が基本的には本件特許明細書の記載の結果に影響を及ぼすものではないと云うべきである。そして、本件特許明細書には、｛１００｝集積度を８０％以下とするための方策として、Ｍｎ含有量を０．１０ｗｔ％以下に低減すること、中間冷間圧延の加工度を８２〜９０％に調整すること等が記載されているから、当業者が容易に実施することができる程度に本件訂正発明が明確かつ十分に記載されていると云うことができる。
　したがって、特許異議申立人の上記主張も採用することができない。
５．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件訂正発明１及び２についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件訂正発明１及び２についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年１２月１１日（２００３．１２．１１）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
エッチング穿孔性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク素材
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　Ｎｉを３０〜４５ｗｔ％含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物もしくは随伴元素−但しＣ：０．１０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．３０ｗｔ％以下、Ａｌ：０．３０ｗｔ％以下、Ｓ：０．００５ｗｔ％以下、Ｐ：０．００５ｗｔ％以下−の組成のＦｅ−Ｎｉ系合金からなり、
完全に再結晶させる
８２
　【請求項２】　Ｎｉを３０〜４５ｗｔ％含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物もしくは随伴元素−但しＣ：０．１０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．３０ｗｔ％以下、Ａｌ：０．３０ｗｔ％以下、Ｓ：０．００５ｗｔ％以下、Ｐ：０．００５ｗｔ％以下−の組成のＦｅ−Ｎｉ系合金からなり、
完全に再結晶させる
８２
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、微細エッチングにより加工されるシャドウマスクに用いられるＦｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク素材、特にシャドウマスク素材のエッチング加工により形成する電子線透過孔の穿孔性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク素材に関するものである。本発明はまた、良好な真円度を有する電子線透過孔を備えるシャドウマスク素材に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、カラーブラウン管用シャドウマスクには一般に軟鋼が使用されていた。しかし、ブラウン管を連続使用すると、シャドウマスクは電子線の照射によって温度が上昇し、熱膨張によって蛍光体と電子線の照射位置が一致しなくなり色ズレを生じる。そこで、近年、カラーブラウン管用のシャドウマスクの分野でも、色ズレの観点から低熱膨張係数の「３６合金」と呼ばれるＦｅ−Ｎｉ系合金が使用されつつある。
　【０００３】
　こうしたシャドウマスクは、一般的に塩化第二鉄水溶液を使用しての周知のエッチングにより電子線の透過孔を形成する。しかしながら、Ｆｅ−Ｎｉ系合金は従来の軟鋼に比べてエッチング穿孔性が劣ることが問題となっていた。
　【０００４】
　これに対して、結晶粒が小さいほどエッチング後の孔形状及び孔壁面が平滑になり、マスクの品質が向上することは従来より知られており、特開昭５９−１４９６３８号に記載されるように、結晶粒を微細化するとともに圧延面への｛１００｝集積度を高めることでエッチングの均一性をはかることが行われていた。
　【０００５】
　しかし、最近になってシャドウマスクの高精細化が進み、エッチング壁面の平滑性が要求されるとともに、生産性を上げるためにエッチング速度の向上が要求されるようになると、｛１００｝集積度の高い材料では透過孔の形状が真円にならないといった新たな問題を生じるようになった。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　｛１００｝集積度を高くした場合に透過孔の形状が真円にならなくなる理由は、次のように考えることができる。面心立方晶であるＦｅ−Ｎｉ系合金はエッチング速度の最も遅い面（最密面）である（１１１）面が残るようにエッチングが進行する。従って、圧延面に（１００）面を揃えると、圧延方向に対して４５度の角度を持つ四辺を底面とする逆四角錐の形にエッチングされてしまう。これに対して、特開平５−３１１３５７のように、｛１００｝集積度を低くしてエッチングをランダムに進行させる方法が提案されており、透過孔の真円度を主とした形状の均一性を向上させるには一応の効果が得られるようになった。しかしながら、｛１００｝集積度を低くするには、焼鈍間の加工度を小さくしなければならず、焼鈍回数が増えることから生産コストがかかるといった問題があり、加工度を小さくする方法によらずに｛１００｝集積度を低くできるシャドウマスク素材が望まれていた。
　【０００７】
　このようなことから、本発明が課題としたのは、加工度を小さくする方法によらずに｛１００｝集積度を低くできるシャドウマスク素材を開発し、シャドウマスクの製造工程における電子線の透過孔のエッチング穿孔性に優れたシャドウマスク素材を提供することである。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　本発明者等は、上記課題を達成すべく、微量成分および不可避的不純物がＦｅ−Ｎｉ系合金の集合組織に及ぼす影響を詳細に調査した結果、Ｍｎが０．１０ｗｔ％以下で、エッチング面の結晶粒度が９．０以上のものは、
完全に再結晶させる
８２
　【０００９】
　【数１】
　【００１０】
　本発明は、上記知見事項に基づいてなされたものであり、Ｎｉを３０〜４５ｗｔ％含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物もしくは随伴元素−但しＣ：０．１０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．３０ｗｔ％以下、Ａｌ：０．３０ｗｔ％以下、Ｓ：０．００５ｗｔ％以下、Ｐ：０．００５ｗｔ％以下−の組成のＦｅ−Ｎｉ系合金からなり、
完全に再結晶させる
８２
　【００１１】
　本発明はまた、Ｎｉを３０〜４５ｗｔ％含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物もしくは随伴元素−但しＣ：０．１０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．３０ｗｔ％以下、Ａｌ：０．３０ｗｔ％以下、Ｓ：０．００５ｗｔ％以下、Ｐ：０．００５ｗｔ％以下−の組成のＦｅ−Ｎｉ系合金からなり、
完全に再結晶させる
８２
　【００１２】
　【発明の実施の形態】
　本発明におけるＦｅ−Ｎｉ系合金素材のＮｉ含有量は３０ｗｔ％未満、または４５ｗｔ％を超えると熱膨張係数が大きくシャドウマスク用として不適当であるために、３０〜４５ｗｔ％の範囲に限定している。さらに、該合金素材の不純物及び随伴元素の量は以下説明する理由により上限を限定している。
　【００１３】
　ａ）Ｃ含有量
　Ｃが０．１０ｗｔ％を超えると、炭化物の生成によってエッチング穿孔性が阻害されシャドウマスク用素材として適さない。従って、Ｃ含有量の上限を０．１０ｗｔ％と定めた。
　【００１４】
　ｂ）Ｓｉ含有量
　Ｓｉが０．３０ｗｔ％を超えると、エッチング穿孔性が阻害され、シャドウマスク用素材として適さない。従って、Ｓｉ含有量の上限を０．３０ｗｔ％と定めた。
　【００１５】
　ｃ）Ａｌ含有量
　Ａｌが０．３０ｗｔ％を超えると、アルミナ系の介在物の形成が著しく、エッチング穿孔性を阻害する。従って、Ａｌ含有量の上限を０．３０ｗｔ％と定めた。
　【００１６】
　ｄ）Ｓ含有量
　Ｓは、０．００５ｗｔ％を超えると、素材の熱間加工性を著しく阻害する。従って、Ｓ含有量の上限を０．００５ｗｔ％と定めた。
　【００１７】
　ｅ）Ｐ含有量
　Ｐが０．００５ｗｔ％を超えると、素材のエッチング穿孔性が阻害され、シャドウマスク用素材として適さない。従って、Ｐ含有量の上限を０．００５ｗｔ％と定めた。
　【００１８】
　ｆ）Ｍｎ含有量
　Ｍｎは、熱間加工性を阻害するＳを無害化するために鉄系合金に随伴されている。しかし、Ｍｎは、その含有量が少なければ少ないほどエッチング穿孔した透過孔が真円となる。またＭｎが０．１０ｗｔ％を超えると、
完全に再結晶させる
完全に再結晶させる
　【００１９】
　次に、結晶粒度の規定理由を説明する。
　結晶粒度が小さいほど、エッチング後の孔形状及びエッチング壁面が平滑になり、シャドウマスクの品質が向上することは従来より知られており、本発明においてもこの点は同様で、結晶粒度が粒度番号で９．０以上であることが必要である。好ましくは９．５〜１２．０の範囲とされる。なお、９．０未満の場合、Ｍｎの効果で圧延面への｛１００｝集積度を低くしても、孔形状の均一性が得られない。ここでの粒度番号はＪＩＳＧ０５５１の規定に基づく。
　【００２０】
　本発明におけるシャドウマスク材は、基本的には、特にＭｎ含有量を０．１０ｗｔ％以下に低減した、所定の組成のスラブを調製し、熱間圧延後に表面の酸化スケールを除去し、冷間圧延と焼鈍を繰り返して厚さ０．３ｍｍ以下のシャドウマスク素材に仕上げられる。例えば、冷間圧延→焼鈍→中間冷間圧延→焼鈍→最終冷間圧延の順に加工し、厚さ０．３ｍｍ以下のシャドウマスク素材に仕上げられる。各焼鈍は完全に再結晶するのに充分な温度と時間で実施される。最終冷間圧延終了後の圧延面への｛１００｝集積度を例えば７０〜８０％に制御するために、中間冷間圧延の加工度が例えば
８２
。結
　エッチングは、周知のフォトグラフィー技術を適用し、素材の片側の表面に例えば直径８０μｍの真円状開口部を多数有し、もう一方の表面の相対する位置に例えば直径１８０μｍの真円状開口部を有するレジストマスクを形成した後、塩化第二鉄水溶液をスプレー状に吹付け、透過孔を形成する。
　【００２１】
　次いで、本発明の実施例を比較例と対比しながら説明する。
　【００２２】
　【実施例】
　まず、真空溶解法にてＭｎ以外の随伴元素を下記成分に調整して溶解鋳造したＦｅ−Ｎｉ系合金インゴットを熱間鍛造、熱間圧延した。ついで表面の酸化スケール除去後に冷間圧延▲１▼→焼鈍▲１▼→冷間圧延▲２▼→焼鈍▲２▼→冷間圧延▲３▼の順に加工し、０．１３ｍｍ厚さの合金帯を製造した。なお、冷間圧延▲３▼は加工度２０％のダル圧延で実施した。ここで、各焼鈍は完全に再結晶するのに充分な温度と時間で実施し、冷間圧延▲２▼の加工度を表１の範囲で変化させ、その加工度にするために冷間圧延▲１▼の仕上げ厚さを調整した。
　なお、Ｆｅ−Ｎｉ系合金の成分は次のように調整した。
　　Ｎｉ：３６．２％、Ｃ：０．００７％、Ｓｉ：０．０５％、
　　Ａｌ：０．００５％、Ｓ：０．００２％、Ｐ：０．００３％
　【００２３】
　ここで、得られた合金帯のうち、試料Ｎｏ．１〜５の本発明の要件を満たす実施例であり、そして試料Ｎｏ．６〜１０は比較例である。
　【００２４】
　次に、これら合金帯に周知のフォトグラフィー技術を適用し、合金帯の片側の表面に直径８０μｍの真円状開口部を多数有し、もう一方の表面の相対する位置に直径１８０μｍの真円状開口部を有するレジストマスクを形成した後、塩化第二鉄水溶液をスプレー状に吹付け、透過孔を形成しシャドウマスクを作製した。
　そして、透過孔の貫通部の形状について、真円度の評価は、透過孔の貫通部の形状を、その最大径の２乗と円周率の積を面積で割った値を１００倍した形状係数を用いて評価した。この形状係数は真円の場合に４００となり、正方形の場合に６２８（２×円周率×１００）となる。真円度の評価は、形状係数で４００〜４４０の場合を良とし、４４０を超える場合を不良とした。
　【００２５】
　【表１】
　【００２６】
　表１に示した結果から、本発明に係る試料Ｎｏ．
２
８２
　【００２７】
　これに対して、試料Ｎｏ．６〜８はＭｎ量が０．１％を超えるために最終焼鈍前の加工度が
８２
　【００２８】
　つまり、上記結果から、本発明の要件を満足することによって、エッチング加工により形成する電子線の透過孔の真円度を損なわないという優れたエッチング穿孔性をＦｅ−Ｎｉ系合金のシャドウマスク素材に付与することが初めて可能となったのである。
　【００２９】
　【発明の効果】
　以上に説明した如く、本発明によれば、Ｆｅ−Ｎｉ系合金のシャドウマスク素材において、エッチング加工により形成する電子線の透過孔を真円度を損なわずに穿孔することができ、焼鈍間の加工度を大きくすることができるのでシャドウマスク素材の薄肉化に対して、焼鈍回数を増やすことなく高精度シャドウマスク用の高品質な素材の提供が可能となるなど、産業上非常に有用な効果がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　エッチングファクターの説明図である。