【事件の表示】
　特許第２９０４３１１号「印刷配線板用プリプレグ、樹脂ワニス及び樹脂組成物とそれらを用いて作製される印刷配線板用積層板」の請求項１、２、４〜４９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９０４３１１号の請求項１、２、４〜４９に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯　
　特許第２９０４３１１号に係る発明についての出願は、平成８年６月２０日に国際出願（優先日　平成７年６月２７日　日本、平成７年１０月３日　日本）され、平成１１年３月２６日にその発明について特許の設定登録がなされ、その後、その特許について、旭シュエーベル株式会社により特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年５月２９日付けで訂正請求がなされ、更に取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年７月２４日付けで訂正請求がなされるとともに先の訂正請求は取り下げられたものである。　
　
２．訂正の適否についての判断
ア．訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のａ〜ｃのとおりである。
ａ．【請求項１】の「基材」を「ガラス基材」と訂正する。
ｂ．【請求項１】の
「３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が２〜70であり、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」を
「シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」と訂正する。　
ｃ．【請求項１４】の
「３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が２〜70であり、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」を
「シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」と訂正する。
ｄ．【請求項２６】の
「３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が２〜70であり、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」を
「シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」と訂正する。　
ｅ．【請求項３９】の
「３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が２〜70であり、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」を
「シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」と訂正する。
ｆ．明細書第５頁第７〜１１行（特許公報第９欄第３７〜４３行）の
「基材を、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が２〜70であり、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」を
「ガラス基材を、シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」と訂正する。
ｇ．明細書第５頁第１７〜２１行（特許公報第１０欄第２〜８行）の
「３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が２〜70であり、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」を
「シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」と訂正する。
ｈ．明細書第６頁第８〜１２行（特許公報第１０欄第３１〜３７行）の
「３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が２〜70であり、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」を
「シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」と訂正する。
ｉ．明細書第７頁第１１〜２３行（特許公報第１１欄第２１行〜第１２欄第１５行）の
「基材の表面処理に用いられるシリコーンオリゴマーとしては、末端に基材表面の水酸基と反応する官能基を１つ以上有していれば、その分子量や構造等に特に制限はない。シリコーンオリゴマーが末端に有する基材表面の水酸基と反応する官能基としては、通常、炭素数１又は２のアルコキシル基やシラノール基等が好ましい。また、シリコーンオリゴマーとしては、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基、例えば、メチル基、エチル基等の炭素数１又は２のアルキル基、フェニル基等の炭素数６〜12のアリール基、ビニル基等であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、必要に応じ２官能性シロキサン単位（RSiO2/2）を含有する重合度が２〜70（GPCによる重量平均分子量からの換算）のものが好ましい。」を
「基材の表面処理に用いられるシリコーンオリゴマーとしては、シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、必要に応じ２官能性シロキサン単位（R２SiO2/2）を含有する重合度（GPCによる重量平均分子量からの換算）が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するものが用いられる。」と訂正する。
ｊ．明細書第８頁第６〜７行（特許公報第１１欄第３０行）の
「３次元架橋していることが好ましく、」を「３次元架橋されており、」と訂正する。
ｋ．明細書第１２頁第１４〜１９行（特許公報第１５欄第２３〜３０行）の
「上記シリコーンオリゴマーのうち、特に３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が２〜70であり、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」を
「シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」と訂正する。
ｌ．明細書第１５頁第２９行〜第１６頁第５行（特許公報第１８欄第１２〜１９行）の
「３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が２〜70であり、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」を
「シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」と訂正する。
ｍ．明細書第１２頁第２２行及び第１６頁第１２行（特許公報第１５欄第３４〜３５行及び第１８欄第２０行）の「通常、」を削除する。
ｎ．明細書第１８頁第２５行〜第１９頁第１行（特許公報第２０欄第２３〜２９行）の
「３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が２〜70であり、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」を
「シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」と訂正する。
ｏ．明細書第１９頁第２行（特許公報第２０欄第３１行）の「通常、」を削除する。
　
イ．訂正の目的の適否、訂正範囲の適否及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａに関連して、訂正前の明細書の第６頁第２８行〜第７頁第６行（特許公報第１１欄第５〜１４行）には、「本発明で用いられる基材は、金属張積層板や多層印刷配線板を製造する際に用いられるものであれば特に制限されないが、通常、織布や不織布等の繊維基材が用いられる。繊維基材としては、例えば、ガラス、・・があり、特にガラス繊維の織布が好ましく用いられる。」と記載されている。そうすると、この訂正事項は、特許請求の範囲の減縮を目的として「基材」を「ガラス基材」に限定するものであり、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲をこえるものではなく、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｂ、ｃ、ｄ及びｅに関連して、訂正前の明細書の第７頁第１６〜１９行（特許公報第１２欄第６〜１０行）には、「シリコーンオリゴマーとしては、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基、例えば、メチル基、エチル基等の炭素数１又は２のアルキル基、フェニル基等の炭素数６〜12のアリール基、ビニル基等であり、」と記載されており、また、訂正前の明細書の第８頁第１６〜２２行（第１１欄第４４行〜第１２欄第３０行）及び第１９頁第２〜３行（特許公報第２０欄第３１〜３２行）には、それぞれ「十分な３次元架橋構造によって基材表面を覆うためには、３官能性シロキサン単位及び／又は４官能性シロキサン単位を含有するシリコーンオリゴマーの重合度が６〜70であることが好ましく、より好ましくは10〜50である。このようなシリコーンオリゴマーは、例えば、所望のシロキサン単位に対応する１種以上のクロロ又はアルコキシシランを、水の存在下、酸触媒を用いて縮合させることにより合成することができる。」及び「上記のようなシリコーンオリゴマーは、通常、３次元架橋しているものである。」と記載されている。そうすると、これらの訂正事項は、「３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒは有機基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）」におけるＲを「アルキル基、アリール基又はビニル基」に限定し、また、「重合度が２〜70であり、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」を「シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され」、「重合度が70以下で３次元架橋され」た「末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」に限定するものであり、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲をこえるものではなく、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｍ、ｎ及びｏは、請求項１、１４、２６及び３９の訂正（訂正事項ａ〜ｅ）に整合させるための明瞭でない記載の釈明を目的をするものであり、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲をこえるものではなく、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｉにおける「Ｒ」を「Ｒ２」とする訂正は、構造式の明らかな誤りを訂正しようとするものであるから誤記の訂正を目的とするものであり、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲をこえるものではなく、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない
　
ウ．独立特許要件
（１）訂正後の本件発明
　訂正後における請求項１乃至４９に係る本件特許発明（以下、「訂正後の本件発明１」、・・及び「訂正後の本件発明４９」という。）は、訂正明細書の請求項１乃至４９に記載された下記の事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】ガラス基材を、シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーで処理し、得られた処理基材に樹脂ワニスを含浸させた後乾燥することからなる印刷配線板用プリプレグの製造方法。
【請求項２】樹脂ワニスが、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、トリアジン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリエステル樹脂及びこれら樹脂を変性した変性樹脂からなる群から選ばれる樹脂及びこの樹脂の硬化剤を含有するものである請求の範囲１記載の方法。
【請求項３】削除
【請求項４】シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（R2SiO2/2）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲１記載の方法。
【請求項５】シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲１記載の方法。
【請求項６】シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（R2SiO2/2）及び３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲１記載の方法。
【請求項７】シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（R2SiO2/2）、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲１記載の方法。
【請求項８】シリコーンオリゴマーの全シロキサン単位中の４官能性シロキサン単位（SiO4/2）の割合が15mol％以上である請求の範囲４、５又は７記載の方法。
【請求項９】シリコーンオリゴマーが４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲１記載の方法。
【請求項１０】シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲１記載の方法。
【請求項１１】基材をシリコーンオリゴマーで処理する際に、シラン系カップリング剤を併用する請求の範囲１記載の方法。
【請求項１２】基材をシリコーンオリゴマーで処理した後、シラン系カップリング剤で処理する請求の範囲１記載の方法。
【請求項１３】請求の範囲１記載の方法で得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより得られる印刷配線板用積層板。
【請求項１４】シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーを溶剤に溶解した処理液中で無機充填剤を表面処理し、次いで、その表面処理した無機充填剤が入った処理液に樹脂材料を直接配合することからなる印刷配線板用樹脂ワニスの製造方法。
【請求項１５】樹脂材料が、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、トリアジン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリエステル樹脂及びこれら樹脂を変性した変性樹脂からなる群から選ばれる樹脂及びこの樹脂の硬化剤を含有するものである請求の範囲14記載の方法。
【請求項１６】シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（R2SiO2/2）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲14記載の方法。
【請求項１７】シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲14記載の方法。
【請求項１８】シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（R2SiO2/2）及び３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲14記載の方法。
【請求項１９】シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（R2SiO2/2）、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（及び４官能性シロキサン単位（SiO
）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲14記載の方法。
【請求項２０】シリコーンオリゴマーの全シロキサン単位中の４官能性シロキサン単位（SiO4/2）の割合が15mol％以上である請求の範囲16、17又は19記載の方法。
【請求項２１】シリコーンオリゴマーが４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲14記載の方法。
【請求項２２】シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）からなり重合度が６〜70のものである請求の範囲14記載の方法。
【請求項２３】処理液が、シリコーンオリゴマーと共にシラン系カップリング剤を溶剤に溶解したものである請求の範囲14記載の方法。
【請求項２４】処理液が、シリコーンオリゴマーと共にチタネート系カップリング剤を溶剤に溶解したものである請求の範囲14記載の方法。
【請求項２５】基材に請求の範囲14記載の方法で得られた印刷配線板用樹脂ワニスを含浸させた後乾燥させてプリプレグを製造し、得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより得られる印刷配線板用積層板。
【請求項２６】樹脂材料、及び、シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーからなる印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項２７】樹脂材料が、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、トリアジン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリエステル樹脂及びこれら樹脂を変性した変性樹脂からなる群から選ばれる樹脂とこの樹脂の硬化剤を含有するものである請求の範囲26記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項２８】シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（R2SiO2/2）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲26記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項２９】シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲26記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項３０】シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（R2SiO2/2）及び３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲26記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項３１】シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（R2SiO2/2）、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲26記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項３２】シリコーンオリゴマーの全シロキサン単位中の４官能性シロキサン単位（SiO4/2）の割合が15mol％以上である請求の範囲28、29又は31記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項３３】シリコーンオリゴマーが４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70である請求の範囲26記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項３４】シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲26記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項３５】カップリング剤を更に含有する請求の範囲26記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項３６】無機充填剤を更に含有する請求の範囲26記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項３７】カップリング剤及び無機充填剤を更に含有する請求の範囲26記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項３８】基材に請求の範囲26記載の印刷配線板用樹脂組成物を含浸させた後乾燥させてプリプレグを製造し、得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより得られる印刷配線板用積層板。
【請求項３９】樹脂材料、及び、シリコーンオリゴマーで処理した無機充填剤からなり、該シリコーンオリゴマーがシロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーである印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項４０】樹脂材料が、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、トリアジン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリエステル樹脂及びこれら樹脂を変性した変性樹脂からなる群から選ばれる樹脂とこの樹脂の硬化剤を含有するものである請求の範囲39記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項４１】シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（R2SiO2/2）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲39記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項４２】シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲39記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項４３】シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（R2SiO2/2）及び３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲39記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項４４】シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（R2SiO2/2）、３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）及び４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲39記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項４５】シリコーンオリゴマーの全シロキサン単位中の４官能性シロキサン単位（SiO4/2）の割合が15mol％以上である請求の範囲41、42又は44記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項４６】シリコーンオリゴマーが４官能性シロキサン単位（SiO4/2）からなり、重合度が６〜70である請求の範囲39記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項４７】シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（RSiO3/2）からなり、重合度が６〜70のものである請求の範囲39記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項４８】無機充填剤がシリコーンオリゴマー及びカップリング剤で表面処理されたものである請求の範囲39記載の印刷配線板用樹脂組成物。
【請求項４９】基材に請求の範囲39記載の印刷配線板用樹脂組成物を含浸させた後乾燥させてプリプレグを製造し、得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより得られる印刷配線板用積層板。」
　
（２）取消理由
　当審が通知した取消理由は、概略以下のとおりである。
「本件発明１，２，４，５，７，８，９，１１，１２及び１３は、いずれも刊行物１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　よって、本件発明１，２，４，５，７，８，９，１１，１２及び１３の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。」
　
（３）刊行物
　取消理由に引用した刊行物は以下のとおりである。
刊行物１：特開平05-283826号公報（特許異議申立人旭シュエーベルが提出した甲第１号証）
刊行物２：特開平2-88448号公報（同特許異議申立人が提出した甲第２号証）
刊行物３：特開平1-141925号公報（同特許異議申立人が提出した甲第３号証）
　
　上記刊行物には、以下の事項が記載されている。
　刊行物１には、その特許請求の範囲に、
「【請求項１】 一種もしくは二種以上の金属アルコキシド化合物の縮合によって形成される多孔質のゲル被膜を表面に有する無機繊維から成る無機繊維織物を補強材として使用することを特徴とするプリント配線基板。
【請求項２】 前記金属アルコキシドがシリコンアルコキシド、チタンアルコキシド、アルミニウムアルコキシド、又はジルコニウムアルコキシドであることを特徴とする請求項１のプリント配線基板。
【請求項３】 水または水／アルコール混合溶媒に、一種もしくは二種以上の金属アルコキシド化合物を溶解し、該金属酸化物前駆体高分子を含む溶液をガラス繊維織物に塗布し加熱して、金属酸化物のゲル化合物の被膜が表面に塗布されている織物を製造し、ついで該織物に合成樹脂を含浸させてプリプレグを作成し、積層後加熱加圧することにより一体化することを特徴とするプリント配線基板の製造方法。」
と記載されており、目的について、「本発明の目的は、補強材を構成するガラス繊維等の無機繊維の表面を改質することにより、無機繊維と樹脂界面の接着性を高め且つ無機繊維織物の切削性を向上させ、これによって基板の強度を低下させることなく優れたドリル加工性、耐熱性、絶縁信頼性および耐電食性を有するプリント配線基板、及びその製造方法を提供することにある。」（【０００７】）と記載されている。また、「したがって金属アルコキシドを溶解する溶媒の種類、その溶液のｐＨ、あるいはｐＨコントロールするための触媒の種類に留意する必要がある。即ち、ゲル状金属酸化物被膜の嵩高度はこうしたファクターによって変化し、これにともなってガラス繊維織物の強度も変化する。金属アルコキシド化合物としてシリコンアルコキシドを用いる場合にはｐＨ１０以上で行うと好ましい。」（【００１５】）と記載され、「実施例−１　オルトケイ酸テトラエチルの０．１モルを、アンモニアでｐＨ１０に成るように調節しながら、水／エタノールが５０／５０重量比の混合溶液に溶解した溶液１リットルを作成後、１０時間攪拌した。ついでヒートクリーニングされた平織りガラス繊維織物（経糸及び緯糸がＥＣＧ７５−１／０で打ち込み密度が４４×３２本／インチ、重量が２１０ｇ／ｍ２のスタイル７６２８、旭シュエーベル製）を該溶液に浸漬し、絞液した。溶液持ち上がり率は２５％であった。絞液後、 １８０℃で乾燥し、 ３５０℃で２０時間加熱して、シリカゲルが繊維表面に被覆されたガラス繊維織物を得た。このガラス繊維織物に一般的によく知られている方法でエポキシシランカップリング剤（トーレダウコーニング社製、ＳＺ−６０４０）を表面処理し、乾燥した。このガラス繊維織物の引っ張り強度を測定したところ、通常の製法で製造される織物・・とほぼ同等であった。ついで該ガラス繊維織物にエポキシ樹脂ワニスを含浸し、乾燥して得たプリプレグを使用して、１．６ｍｍ厚みのＦＲ−４両面銅張り積層板を得た。」（【００２２】）との実施例が示されている。
　刊行物２には、特許請求の範囲に、
「（１）脱油処理されたガラスクロスをテトラアルコキシシランで処理することにより、ガラスクロスを構成するガラス繊維の引張強度を低下せしめることを特徴とするプリント基板用ガラスクロスの製造方法。」
と記載されている。そして、この方法が、「・・ドリリング加工性に優れたプリント基板を「提供する・・」（第１頁左欄第１３−１４行）ことが記載され、その作用について、「本願発明の脱油処理されたガラスクロスにテトラアルコキシシランを処理することにより、大きな強度低下がもたらされることは、ガラス繊維表面に付着したテトラアルコキシシランの加水分解生成物であるテトラシラノールが三次元的に、且つ緻密に縮合することにより、又その１部はガラス表面のＯＨ基と縮合することにより、ガラス表面に残留する圧縮応力を打ち消す大きな引張応力を発生させるためと考えられる。」（第３頁左上欄第７−１６行）と記載されており、更に、
「〔実施例１〕ガラスクロス　ＷＥＡ１８Ｗ［日東紡績（株）製］を４００℃で２５時間脱油処理をする。この脱油クロスをテトラエトキシシラン０．３％加水分解水溶液に浸漬し、絞液後１１０℃にて５分間熱風乾燥をおこなう。更にエポキシシラン１．０％加水分解水溶液に浸漬し、絞液後乾燥し処理クロスを得る。該処理クロスをＦＲ−４タイプのエポキシ樹脂ワニスに含浸、乾燥させプリプレグを作る。このプリプレグ８枚を積層し、両側に３５μ銅箔を重ね、１７０℃で６０分間加熱加圧して、厚さ１．６ｍｍの銅張積層板を得る。」（第３頁左下欄第１−１２行）
との実施例が示されている。また、同刊行物には従来技術について、
「例えば特公昭６３−５５１２に於いては、ガラスクロスをテトラアルコキシシラン、トリアルコキシシラン、ジアルコキシシラン等のアルコキシシラン化合物を付着せしめた状態で高温、長時間の加熱処理をおこなうことにより、ガラスクロスの機械的強度を低下せしめる方法が開示されている。」（第２頁左上欄第８−１４行）
との記載が認められる。
　刊行物３には、その特許請求の範囲に、
「（１）パラ配向性アラミド繊維シートの繊維を、熱硬化性樹脂母材との界面に、反応性シロキサンオリゴマーを有してなることを特徴とするパラ配向アラミド繊維シートを基材とする複合材料。
（２）パラ配向アラミド繊維シートは、パラ配向アラミド繊維を主体とする繊維材料を熱硬化性バインダーの単独または熱硬化性バインダーと反応性シロキサンオリゴマーとの混合物で結合させてなる不織布である特許請求の範囲第１項記載のパラ配向アラミド繊維シートを基材とする複合材料。−中略−
（５）パラ配向アラミド繊維シートを反応性シロキサンオリゴマーで処理し、ついで熱硬化性樹脂母剤を添加することを特徴とするパラ配向アラミド繊維シートを基材とする複合材料の製造法。−中略−
（７）反応性シロキサンオリゴマーは、エポキシ基、アミノ基、エチレン基、メルカプト基の少くとも１種の官能基で末端が変性されていることを特徴とする特許請求の範囲第５項記載のパラ配向アラミド繊維シートを基材とする複合材料の製造法。
（８）反応性シロキサンオリゴマーとして、一般式（１）
 ＮＨ２−、又はＣＨ２＝ＣＨ−を表わし、ｍ＝０〜４、ｎ＝１〜９の整数を表わし、Ｒ１は同一又は相違し、夫々メチル、エチル、又はフェニルを表わす）を使用することを特徴とする特許請求の範囲第５項記載のパラ配向アラミド繊維シートを基材とする複合材料の製造法。−以下、略−」
と記載されており、「産業上の利用分野」として「・・特にプリント回路基板や絶縁用積層板等の電気用複合材料（又は補強基材）として優れた性能を発揮するパラ配向アラミド繊維シートを基材とする複合材料及びその製造方法に関する。」（第２頁左下欄第５−９行）と記載されている。また、効果に関して、「ところで従来補強用基材と母材樹脂との結合を高めるために、シラン系あるいはチタネート系などの各種カップリング剤が一般に用いられている。・・本発明で使用する反応性シロキサンオリゴマーの末端基の幾つかは、前記カップリング剤や多官能エポキシ系化合物に通常含まれている官能基である。しかしながら予想に反しパラ配向アラミド繊維と熱硬化性樹脂との接着性改善に関し顕著な効果があることが分った。それ故理論に拘泥する意図はないが、本発明で使用する反応性シロキサンオリゴマーは、単に「末端官能基」が各種効果に寄与するのではなく、適当な長さ（オリゴマー）の「主鎖部分」も各種優れた効果に寄与していることが明らかである。」（第４頁左上欄第８行−同頁右上欄第６行）及び「・・本発明の実施により得られたものは従来品よりも、電気絶縁性（特に煮沸後の特性）が優れ、さらにハンダ耐熱性に於ても著しく優れていることが分る。」（第５頁右下欄第１−４行）と記載されている。
　
（４）取消理由についての判断
　まず、訂正後の本件発明１と刊行物１に記載された発明とを対比、検討する。
  上記のように刊行物１には、優れたドリル加工性、耐熱性、絶縁信頼性および耐電食性を有するプリント配線基板を製造すること（第２欄第１６−２２行）を目的とする方法であって、「水または水／アルコール混合溶媒に、一種もしくは二種以上の金属アルコキシド化合物を溶解し、該金属酸化物前駆体高分子を含む溶液をガラス繊維織物に塗布し加熱して、金属酸化物のゲル化合物の被膜が表面に塗布されている織物を製造し、ついで該織物に合成樹脂を含浸させてプリプレグを作成し、積層後加熱加圧することにより一体化することを特徴とするプリント配線基板の製造方法」（請求項３）が記載されており、この金属アルコキシド化合物としてシリコンアルコキシド等を用いること（請求項２）が記載され、実施例１には、オルトケイ酸テトラエチルを水／エタノールに溶解して１０時間撹拌した溶液でガラス繊維織物を処理し、さらにシランカップリング剤処理した後、エポキシ樹脂ワニスを含浸して乾燥してプリプレグを得ることが記載されている。そして、このオルトケイ酸テトラエチルは「テトラエトキシシラン」にほかならず、４官能性シロキサン単位を有するものであるから、訂正後の本件発明１と刊行物１に記載された発明とは、ともに、
「ガラス基材を、４官能性シロキサン単位含有化合物で処理し、得られた処理基材に樹脂ワニスを含浸させた後乾燥することからなる印刷配線板用プリプレグの製造方法」
である点で一致するが、同刊行物には４官能性シロキサン単位含有化合物として、訂正後の本件発明１における下記（イ）のシリコーンオリゴマーを用いる点が記載されていない点でこれらの発明の間には相違が認められる。
　
（イ）「シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、重合度が70以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマー」
　
　そこで、この点について検討すると、刊行物１の実施例−１には上記４官能性シロキサン単位含有化合物について子細には、「オルトケイ酸テトラエチルの０．１モルを、アンモニアでｐＨ１０に成るように調節しながら、水／エタノールが５０／５０重量比の混合溶液に溶解した溶液１リットルを作成後、１０時間攪拌」することによって得られることが記載されており、これによりオルトケイ酸テトラエチル（テトラエトキシシラン）の加水分解，縮合によりシリコーンオリゴマーが形成されるとしても、このようなアルカリ性条件下で得られるものは、酸触媒を用いることにより合成される訂正後の本件発明１におけるシリコーンオリゴマーとは、その物性及び機能において大きく異なることが予測される。このことは、特許権者が平成１２年５月２９日付け特許異議意見書中で提示した実験報告書に記載された、本件特許明細書に記載された実施例において酸触媒に換えてアンモニアを用いた場合に、ドリル加工性の向上が認められず、吸水性が上昇し、絶縁抵抗は低下し、耐電蝕性の向上が認められないとする実験結果によっても裏付けられている。
　また、刊行物２には、ガラスクロスをテトラアルコキシシランで処理するプリント基板用ガラスクロスの製造方法（請求項１）において、「ガラス繊維表面に付着したテトラアルコキシシランの加水分解生成物であるテトラシラノールが三次元的に、且つ緻密に縮合することにより、又その１部はガラス表面のＯＨ基と縮合する」（第３頁左上欄第７−１６行）ことが記載されているものの、同刊行物には、ガラスクロスをシリコーンオリゴマーで処理することは示されておらず、「テトラシラノールの三次元的、且つ緻密な縮合」についても、どのようなｐＨ条件下で生ずるものか明らかでない。
　更に、刊行物３には、パラ配向アラミド繊維シートを反応性シロキサンオリゴマーで処理することが記載されているが、このシリコーンオリゴマーとして開示された化合物は２官能性であり、３次元架橋し得ないものである。
　そうすると、刊行物１〜３には、訂正後の本件発明１で用いる上記（イ）のシリコーンオリゴマーについて、記載乃至示唆されているものとすることはできない。
　そして、訂正後の本件発明１は（イ）のシリコーンオリゴマーを用いることにより、十分な３次元架橋構造によって基材表面を覆うことができ、樹脂−基材界面でのクッション的役割により優れた接着性を発現し、顕著なドリル加工性を有するプリプレグを得ることができるという訂正後の明細書に記載されたとおりの作用効果を生ずるものと認められる。
　したがって、訂正後の本件発明１は、刊行物１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。　
　次に、訂正後の本件発明２，４，５，７，８，９，１１，１２及び１３についてみると、これらは、訂正後の本件発明１に更に技術的限定を付加したもの、あるいはそれをさらに積層板に応用したものであるから、上記と同様、刊行物１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　また、他に訂正後の本件発明１，２，４，５，７，８，９，１１，１２及び１３について、特許を受けることができないとする理由を発見しない。
　よって、訂正後の本件発明１，２，４，５，７，８，９，１１，１２及び１３は、出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　
（５）他の請求項に係る発明の独立特許要件
　本件発明１，２，４，５，７，８，９，１１，１２及び１３以外の本件発明の独立特許要件について以下（ｉ）〜（ｉｖ）に検討する。
（ｉ）訂正後の本件発明６及び１０
　これらの発明は、訂正後の本件発明１に更に技術的限定を付加したもの、あるいはそれをさらに積層板に応用したものであるから、上記と同様、刊行物１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（ｉｉ）訂正後の本件発明１４〜２５
　訂正後の本件発明１４に係る発明における、「シリコーンオリゴマー溶剤に溶解した処理液中で無機充填剤を表面処理し、次いで、その表面処理した無機充填剤が入った処理液に樹脂材料を直接配合して印刷配線板用樹脂ワニスを得る」点及び上記（イ）のシリコーンオリゴマーを用いる点は刊行物１〜３に記載も示唆もされておらず、該発明が刊行物１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　訂正後の本件発明１５〜２５に係る発明は、訂正後の本件発明１４に係る発明に更に技術的限定を付加したもの、あるいはそれをさらに積層板に応用したものであるから、上記と同様、刊行物１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（ｉｉｉ）訂正後の本件発明２６〜３８に係る発明
　訂正後の本件発明２６に係る発明における、「樹脂材料、及び、シリコーンオリゴマーから印刷配線板用樹脂組成物」を形成する点及び上記（イ）のシリコーンオリゴマーを用いる点は刊行物１〜３に記載も示唆もされておらず、該発明が刊行物１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　訂正後の本件発明２７〜３８に係る発明は、訂正後の本件発明２６に係る発明に更に技術的限定を付加したもの、あるいはそれをさらに積層板に応用したものであるから、上記と同様、刊行物１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（ｉｖ）訂正後の本件発明３９〜４９に係る発明
　訂正後の本件発明３９に係る発明における、「樹脂材料、及び、シリコーンオリゴマーで処理した無機充填剤樹脂材料から印刷配線板用樹脂組成物」を形成する点及び上記（イ）のシリコーンオリゴマーを用いる点は刊行物１〜３に記載も示唆もされておらず、該発明が刊行物１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　訂正後の本件発明４０〜４９に係る発明は、訂正後の本件発明３９に係る発明に更に技術的限定を付加したもの、あるいはそれをさらに積層板に応用したものであるから、上記と同様、刊行物１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　また、他に訂正後の本件発明６，１０，１４〜４９に係る発明について、特許を受けることができないとする理由を発見しない。
　よって、訂正後の本件発明６，１０，１４〜４９に係る発明は、出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　
エ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立についての判断　
ア．特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人旭シュエーベル株式会社株式会社は、下記甲第１〜４号証を提出して、本件の請求項１に係る発明についての特許は、次の理由により取り消されるべきである旨主張している。
（ｉ）請求項１〜１３に係る本件発明は甲第１号証に記載された発明であり、また、請求項９に係る本件発明は甲第２号証に記載された発明であるから、請求項１〜１３に係る本件発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものである。
（ｉｉ）請求項１〜８及び１０〜４９に係る本件発明は、甲第４号証の記載を加味して甲第１〜３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１〜８及び１０〜４９に係る本件発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
（ｉｉｉ）本件明細書の記載は、３官能性シランを規定するＲ基が不明瞭である点、請求項にシランカップリング剤処理を併用することが規定されておらず請求項と実施例とが不一致である点、及びシリコーンオリゴマーの重合度が不適切である点で不備であるから、本件発明の特許は、特許法第３６条第４項及び第６項の規定する要件を満たしていない出願に対してされたものである。
〈証拠方法〉　
甲第１号証（刊行物１）：特開平05-283826号公報
甲第２号証（刊行物２）：特開平2-88448号公報
甲第３号証（刊行物３）：特開平1-141925号公報
甲第４号証　　　　　　：「トーレ・シリコーン　技術資料ＮＯ．Ｚ００３　シランカップリング剤」，トーレ・シリコーン株式会社，（1983.8）　
　
イ．判断
　特許異議申立人旭シュエーベル株式会社の申立てた理由（ｉ）及び（ｉｉ）については、上記２．ウ．で述べた通り、訂正後の本件発明１〜４９（請求項３は削除）は甲第１〜３号証に記載された発明であるとも、それに基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるともすることができない。（なお、甲第４号証にはシランカップリング剤についての一般的記載がなされているが、シリコーンオリゴマーのプリプレグへの適用に関して何ら教示するものではない。）
　（ｉｉｉ）の点については、本件明細書にはシランカップリング剤を用いていない実施例Ｉ−１〜６が示されているので請求項と実施例の記載が不一致とはいえず、また、特許異議申立人が指摘するその余の不備は、上記訂正により解消された。
　
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由及び証拠によっては、本件発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月１日（２０００．８．１）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
印刷配線板用プリプレグ、樹脂ワニス及び樹脂組成物とそれらを用いて作製される印刷配線板用積層板
【発明の詳細な説明】
　技術分野
　本発明は、多層印刷配線板を含む印刷配線板の製造に用いられるプリプレグ及び樹脂ワニスの製造方法に関する。また、本発明は、印刷配線板の製造に用いられる樹脂組成物に関する。更に、本発明は、上記方法によって得られるプリプレグ、樹脂ワニス又は上記樹脂組成物を用いて製造される印刷配線板用積層板に関する。
　背景技術
　電子機器の小型化・高性能化に伴い、印刷配線板に用いられる積層板においては、高多層化、薄型化、スルーホールの小径化及び穴間隔の減少などによる高密度化が進んでいる。このため、積層板の耐熱性やドリル加工性、絶縁特性等に対する要求はますます厳しくなってきている。
　積層板は、通常、基材に樹脂ワニスを含浸させ、乾燥させて得られるプリプレグを所定枚数積層し、片側または両側に金属箔を配置して平行熱盤で加熱加圧することにより製造される。また、多層印刷配線板は、通常、両側が金属箔である積層板に回路加工を施した内層用印刷配線板の両側にプリプレグを積層し、その外側に金属箔を配置して平行熱盤で加熱加圧することにより製造される。
　耐熱性や絶縁特性を向上させる手法としては、従来から積層板用樹脂の高Ｔｇ（ガラス転移温度）化等による樹脂硬化物物性の改良が広く行われてきた。しかしながら、上記特性を十分に満足させるためには、樹脂の改良だけでは不十分となってきた。
　また、樹脂の改良と並行して、基材／樹脂界面の接着性の向上を目的とした検討も古くから行われている。特に、積層板の耐湿耐熱性やドリル加工性、絶縁特性及び耐電食性は、この界面接着性の良否が直接影響するため、界面制御は非常に重要な技術となっている。
　また、その他の解決策の一つとして、無機充填剤を併用する方法がある。無機充填剤は、増量剤としての効果だけでなく、寸法安定性や耐湿耐熱性等の向上効果も目的として使用されており、近年では特殊な充填剤を選択することにより、高誘電率化や高放熱化、高強度化等の優れた機能を付与することも検討されている。しかし、通常、充填剤を樹脂ワニスに配合すると、充填剤は徐々に沈降しはじめるため、塗工時に再度撹拌等を行い、充填剤を分散させる必要がある。また、沈降が著しい場合には、充填剤が容器の底に溜まり、凝集等により固まってしまい、撹拌だけでは十分な分散は困難となる。また、プリプレグを製造する際にも、充填剤はワニスタンクや含浸タンク等のワニスがたまる部分に沈降し、更にロール等にも徐々に付着する。このため、プリプレグの外観等は著しく低下する。また、充填剤の分散性が不均一となるため、積層板とした場合に基材と樹脂との界面、及び充填剤と樹脂との界面の接着性が低下し、ドリル加工性や絶縁特性等が低下してしまう。
　基材／樹脂界面の接着性を向上させる手法としては、ガラス織布等の基材に予めカップリング剤等の表面処理剤による処理を施す方法が一般的である。表面処理された基材に樹脂ワニスを含浸させた後、樹脂が半硬化するように乾燥させることによりプリプレグを作製する。この乾燥工程で、基材表面の表面処理剤と樹脂の反応がある程度進行し、更に積層板や多層印刷配線板を成形する際の加熱時にも進行して基材／樹脂間の接着性を高めている。この接着性を更に高めるための手段として、シラン系カップリング剤等の通常の表面処理剤が有する有機官能基の種類や数を調整し、樹脂との反応性を高める方法（特開昭６３−２３０７２９号公報、特公昭６２−４０３６８号公報）があるが、樹脂との反応性を高くするだけでは界面にリジッドな薄い層ができるだけで、界面に生じる残留応力等の低減は困難であり、接着性の顕著な向上は期待できない。
　界面の残留応力の低減も含めた改良手法としては、表面処理剤に加えて低応力化のために長鎖のポリシロキサンを併用するもの（特開平３−６２８４５公報、特開平３−２８７８６９号公報）があるが、通常の処理条件では表面処理剤と長鎖ポリシロキサンの反応性が非常に低いこと、また一般的な長鎖ポリシロキサンは基材と反応するアルコキシル基を有していないこと、長鎖ポリシロキサンが有するメチル基等の疎水性の影響によるプリプレグ基材への含浸性の低下等により、界面の高接着性を発現することは非常に困難である。
　一方、充填剤の分散性を向上させる手法としては、カップリング剤等の表面処理剤により予め表面を処理した充填剤を用いる方法がある。しかしながら、処理充填剤はコストが高く、市販されている処理充填剤の種類も非常に限られているため、各種樹脂配合系に適した処理充填剤を選択するのは困難であった。一方、更なる機能性向上を目的として、樹脂材料への充填剤の配合量は増加する傾向にある。充填剤の配合量の増加に伴い、上記の沈降やロール等への付着はますます顕著となり、これまで以上に優れた分散性やチキソトロピー性が必要となる。これら特性を満足させことは、従来行われているカップリング剤による処理方法では困難となってきている。
　また、充填剤を処理する場合、通常は表面処理剤の希釈溶液等への浸漬、又はスプレーによる希釈溶液の噴霧後、加熱乾燥させる。この乾燥工程は、次の２つの問題を持っている。一つは、カップリング剤がオリゴマー化して処理充填剤の表面に物理的吸着層を形成するということである。もう一つは、充填剤が凝集するため、樹脂ワニス等への配合時に微粉砕する必要があり、このため充填剤の表面には不均一な処理層が残ってしまう。物理的吸着層や不均一な処理層は、積層板とした場合に界面の接着性を低下させる。
　また、樹脂ワニス配合時に、直接カップリング剤を添加する方法（特開昭６１−２７２２４３号公報）がある。しかし、市販されている通常のカップリング剤では、やはりリジッドな薄い層の形成にとどまり、基板／樹脂界面の接着性の向上は不十分である。一方、この方法によれば、予め樹脂が配合されているため樹脂ワニスの粘度が高く、充填剤の凝集はある程度回避できる。しかし、充填剤／樹脂界面の接着性の観点からすると、カップリング剤が選択的に充填剤表面に均一に配向することができないため、十分な充填剤／樹脂界面の接着性を発現することができないという難点がある。
　図１に、一般的なシラン系カップリング剤で表面処理された基材又は無機充填剤表面の理想的なモデル形態を示す。基材又は無機充填剤１の表面に化学的に吸着したシリコーン鎖２（基材又は無機充填剤との化学的な結合によって吸着しているシリコーン鎖）がある程度の層を形成し、樹脂層４との接着性を向上させている。３は化学的に吸着したシリコーン鎖２の層の外側で物理的に吸着されているシリコーン鎖（基材又は無機充填剤との化学的な結合のないシリコーン鎖）である。しかしながら、工業的に行われる基材や無機充填剤への表面処理は極めて短時間で行われるため、図２に示すように多くの欠陥を含んだ処理形態になっているといわれている。すなわち、化学的に吸着したシリコーン鎖２も、基材又は無機充填剤１の表面を均一に覆うにはいたっておらず、樹脂層４へ溶け出しやすい物理的に吸着したシリコーン鎖３も多く存在する。このような欠陥の多い化学的吸着層では、本来の接着性は期待できない。逆に物理的吸着層によって界面近傍の樹脂硬化物の不均一化や、低強度化による接着性の低下を引き起こす可能性が高い。
　このような問題に対する対策として、特開平１−２０４９５３号公報には、無機充填剤と反応するトリアルコキシル基及び樹脂と反応する有機官能基を併せ持つ鎖状ポリシロキサンで表面処理を行う方法が記載されている。しかしながら、図３に示すように、鎖状ポリシロキサンの鎖を長くした場合、メチル基等の疎水性基の配向等により、化学的に吸着した長鎖ポリシロキサン鎖６が無機充填剤表面に横向きとなる可能性が高く、樹脂層４への鎖の入り込みは難しい。また、１分子の数か所で無機充填剤に吸着するため、リジッドな層を形成しやすい。樹脂内に侵入しても、鎖の周りを樹脂が取り囲むため、鎖の長さに見合った界面の低応力化を実現するのは困難となる。また、物理的に吸着した長鎖ポリシロキサン鎖７は大きな環状鎖５を形成しやすく、樹脂硬化物の物性低下を引き起こしやすい。
　発明の開示
　本発明の目的は、基材や無機充填剤と樹脂との界面の接着性を向上させるための新たな手段を提供することにより、上記従来技術の問題点を解消し、ドリル加工性及び絶縁特性に優れた積層板や多層印刷配線板を製造することを可能にすることにある。
　本発明者らは、基材や無機充填剤の表面処理剤として、基材や無機充填剤がその構造上、又は吸湿などにより表面に有する水酸基と反応する官能基を有するシリコーンオリゴマーを用いることにより、あるいは、そのようなシリコーンオリゴマーによって処理された無機充填剤を含む樹脂ワニスを新たな方法で作製することにより、上記従来技術の問題点を解決することができることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
　すなわち、本発明は、ガラス基材を、シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が７０以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーで処理し、得られた処理基材に樹脂ワニスを含浸させた後乾燥することからなる印刷配線板用プリプレグの製造方法を提供するものである。
　また、本発明は、上記の方法で得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより得られる印刷配線板用積層板（以下、積層板（ａ）と呼ぶことがある。）を提供するものである。
　本発明は、更に、シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が７０以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーを溶剤に溶解した処理液中で無機充填剤を表面処理し、次いで、その表面処理した無機充填剤が入った処理液に樹脂材料を直接配合することからなる印刷配線板用樹脂ワニスの製造方法を提供する。
　また、本発明は、上記の方法で得られた印刷配線板用樹脂ワニスを含浸させた後乾燥させてプリプレグを製造し、得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより得られる印刷配線板用積層板（以下、積層板（ｂ）と呼ぶことがある。）を提供する。
　本発明は、更に、樹脂材料、及び、前記シリコーンオリゴマーからなる印刷配線板用樹脂組成物（以下、印刷配線板用樹脂組成物（Ａ）又は樹脂組成物（Ａ）と呼ぶことがある。）を提供する。
　また、本発明は、基材に上記の印刷配線板用樹脂組成物（Ａ）を含浸させた後乾燥させてプリプレグを製造し、得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより得られる印刷配線板用積層板（以下、積層板（ｃ）と呼ぶことがある。）を提供する。
　本発明は、更に、樹脂材料、及び、シリコーンオリゴマーで処理した無機充填剤からなり、該シリコーンオリゴマーがシロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が７０以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーである印刷配線板用樹脂組成物（以下、印刷配線板用樹脂組成物（Ｂ）又は樹脂組成物（Ｂ）と呼ぶことがある。）を提供する。
　また、本発明は、基材に上記の印刷配線板用樹脂組成物（Ｂ）を含浸させた後乾燥させてプリプレグを製造し、得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより得られる印刷配線板用積層板（以下、積層板（ｄ）と呼ぶことがある。）を提供する。
　図面の簡単な説明
　図１〜図４は、各々、表面処理剤で表面処理した基材又は無機充填剤と樹脂との界面の状態を示す模式図である。
　発明を実施するための最良の形態
印刷配線板用プリプレグの製造方法
　本発明の印刷配線板用プリプレグの製造方法では、まず、基材を水酸基と反応する官能基を末端に１個以上有する前記シリコーンオリゴマーで処理する。
　本発明で用いられる基材は、金属張積層板や多層印刷配線板を製造する際に用いられるものであれば特に制限されないが、通常、織布や不織布等の繊維基材が用いられる。繊維基材としては、例えば、ガラス、アルミナ、アスベスト、ボロン、シリカアルミナガラス、シリカガラス、チラノ、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ジルコニア、カーボン等の無機繊維や、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルフォン、セルロース等の有機繊維等、及びこれらの混抄系があり、特にガラス繊維の織布が好ましく用いられる。
　これらシリコーンオリゴマーで処理される基材の表面状態には特に制限はなく、通常のシラン系カップリング剤等を含んだ表面処理剤で処理されたものでもよいが、通常は、他の表面処理剤による処理を施されていないもので、基材表面にシリコーンオリゴマーと反応する水酸基が存在する基材が好ましい。
　基材の表面処理に用いられるシリコーンオリゴマーとしては、シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、必要に応じ２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）を含有する重合度（ＧＰＣによる重量平均分子量からの換算）が７０以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するものが用いられる。重合度が７０を超えるシリコーンオリゴマーを用いると、表面処理の際に処理むらが起こり、耐熱性が低下することがある。
　ここで、２官能性、３官能性、４官能性シロキサン単位を表すＲ２ＳｉＯ２／２、ＲＳｉＯ３／２、ＳｉＯ４／２は、それぞれ下記の構造を有する。
　また、本発明に用いられるシリコーンオリゴマーは予め３次元架橋されており、従って、２官能性、３官能性及び４官能性シロキサン単位から選ばれるシロキサン単位少なくとも１種類からなるとともに、３官能性及び４官能性シロキサン単位から選ばれるシロキサン単位を少なくとも１種類有することが好ましい。例えば、３官能性シロキサン単位のみからなるもの、４官能性シロキサン単位のみからなるもの、２官能性シロキサン単位と３官能性シロキサン単位からなるもの、２官能性シロキサン単位と４官能性シロキサン単位からなるもの、３官能性シロキサン単位と４官能性シロキサン単位からなるもの、及び２官能性シロキサン単位と３官能性シロキサン単位と４官能性シロキサン単位からなるものが好ましい。また、全シロキサン単位中、４官能性シロキサン単位を１５モル％以上、好ましくは２０〜６０モル％含有することが好ましい。また、十分な３次元架橋構造によって基材表面を覆うためには、３官能性シロキサン単位及び／又は４官能性シロキサン単位を含有するシリコーンオリゴマーの重合度が６〜７０であることが好ましく、より好ましくは１０〜５０である。このようなシリコーンオリゴマーは、例えば、所望のシロキサン単位に対応する１種以上のクロロ又はアルコキシシランを、水の存在下、酸触媒を用いて縮合させることにより合成することができる。縮合反応は、表面処理前にゲル状態とならない程度に行う。このためには、反応温度、反応時間、オリゴマー組成比、触媒の種類や量を変えて調整する。触媒としては、酢酸、塩酸、マレイン酸、リン酸等が好ましく用いられる。
　シリコーンオリゴマーの処理液や表面処理条件等の基材への処理方法は特に制限されないが、シリコーンオリゴマーの基材に対する付着量は０．０１〜５重量％の範囲が好ましく、より好ましくは０．０５〜２．００重量％である。なお、本明細書中、表面処理剤の付着量とは、基材又は無機充填剤の重量に対するそれらに付着した表面処理剤の重量の割合を意味する。付着量が０．０１重量％未満では界面接着性向上の効果は得にくく、５重量％を超えると耐熱性等が低下するおそれがある。
　また、基材を処理する際の処理液には、シリコーンオリゴマーに加えて各種溶剤やシラン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤等のカップリング剤を含めた添加剤を配合してもよい。シラン系カップリング剤としては、一般に、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のエポキシシラン系、Ｎ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩等のアミノシラン系、カチオニックシラン系、ビニルシラン系、アクリルシラン系、メルカプトシラン系及びこれらの複合系等が挙げられる。チタネート系カップリング剤としては、例えば、イソプロピルトリス（ジオクチルパイロホスフェート）チタネート等が挙げられる。これらのカップリング剤は、任意の付着量で用いられる。また、シリコーンオリゴマーで処理する前又は後の基材の表面に、更にシラン系カップリング剤やチタネート系カップリング剤による表面処理を施してもよく、その際のシラン系カップリング剤等のカップリング剤の種類や処理条件は特に限定しないが、カップリング剤の付着量は５重量％以下、好ましくは０．０１〜５重量％が好ましい。また、これら成分の安定化等のために、処理液に酢酸、リン酸、マレイン酸、塩酸、硫酸等の酸を添加してもよい。酸の添加量には特に制限はないが、通常、処理液のｐＨが３〜６となる量が好適である。
　シリコーンオリゴマーを用いて基材を処理する際のシリコーンオリゴマーの処理液や処理条件は、特に制限されないが、通常は、シリコーンオリゴマーを溶剤に溶解した溶液中に基材を浸漬した後、５０〜２００℃、好ましくは８０〜１５０℃で、５〜６０分間、好ましくは１０〜３０分間乾燥させる方法が好適である。溶剤を使用する場合、その使用量に特に制限はないが、通常、シリコーンオリゴマー等の固形分濃度が０．０１〜５０重量％、好ましくは０．０５〜１０重量％となる量が好適である。溶剤としては、特に制限はなく、例えば水、メタノール、エタノール等のアルコール系溶剤、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤が好適に用いられる。
　このようにして基材をシリコーンオリゴマーで表面処理した後、処理基材に樹脂ワニスを含浸させ、次いで乾燥することにより、プリプレグを得る。
　樹脂ワニスは、通常、樹脂、又は樹脂とその硬化剤を必須成分として含有する。必要に応じ、溶剤、樹脂と硬化剤との反応等を促進させるための硬化促進剤、無機充填剤等をを含有してもよい。
　本発明で用いるプリプレグ用の樹脂は特に限定されず、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、トリアジン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、これらの樹脂の変性樹脂等が用いられる。これら樹脂としては、通常、重量平均分子量が２００〜１００，０００、好ましくは２００〜１０，０００のものが好適に用いられる。エポキシ樹脂としては、エポキシ当量が１００〜５，０００、好ましくは１５０〜６００のものが好適に用いられる。また、これらの樹脂は２種類以上を併用してもよい。
　硬化剤としては、従来公知の種々のものを使用することができ、例えば樹脂としてエポキシ樹脂を用いる場合には、ジシアンジアミド、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルスルホン、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、フェノールノボラックやクレゾールノボラック等の多官能性フェノール等を挙げることができる。硬化促進剤の種類は特に限定するものではなく、例えばイミダゾール系化合物、有機リン系化合物、第３級アミン、第４級アンモニウム塩等が用いられ、２種以上を併用してもよい。
　硬化剤及び硬化促進剤の配合量は、樹脂や硬化剤の種類及びそれらの組み合わせなどによって適宜選択される。通常、硬化剤は、樹脂１００重量部に対して０．１〜２００重量部、好ましくは３．０〜１００重量部、硬化促進剤は、樹脂１００重量部に対して０．０１〜１０．０重量部、好ましくは０．１〜５．０重量部用いられる。
　溶剤としては特に限定はなく、例えばメタノール、エタノール等のアルコール系溶剤、エチレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル系溶剤、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等のアミド系溶剤、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤、酢酸エチル等のエステル系溶剤、ニトリル系溶剤などが用いられ、これらは２種類以上を併用してもよく、混合溶剤として用いてもよい。
　無機充填剤としては、特に制限はなく、例えば、炭酸カルシウム、アルミナ、酸化チタン、マイカ、炭酸アルミニウム、水酸化アルミニウム、ケイ酸マグネシウム、ケイ酸アルミニウム、焼成クレー等のクレー、タルク、シリカ、ガラス短繊維やホウ酸アルミニウムや炭化ケイ素等の各種ウィスカ等が用いられる。これらは単独で用いてもよいし、数種類併用してもよく、配合量も特に限定するものではない。通常は、樹脂１００重量部当たり、１．０〜５００重量部、好ましくは１０〜１００重量部配合することが好適である。無機充填剤の形状、粒径についても特に制限はなく、通常、粒径０．０１〜５０μｍ、好ましくは０．１〜１５．０μｍのものが好適に用いられる。
　前記各成分を配合して得られた樹脂ワニスを、上記処理基材に浸漬、塗布、噴霧等によって含浸させ、次いで乾燥させることにより印刷配線板用プリプレグを得る。乾燥温度、乾燥時間は、樹脂ワニスの成分により異なるが、通常、溶剤を用いた場合には溶剤が揮発可能な温度以上で８０〜２００℃、好ましくは１００〜１８０℃の温度範囲で３〜３０分間、好ましくは５〜１５分間加熱して乾燥させる。
　本発明の方法によるプリプレグの製法では、予め基材表面の水酸基と反応する官能基を末端に１個以上有するシリコーンオリゴマーで表面処理した基材を用いている。従って、得られるプリプレグを用いて製造した積層板や多層印刷配線板において、従来のシラン系カップリング剤等による薄くてリジッドな処理剤層に対してシリコーンオリゴマーが基材／樹脂の界面でクッション的な役割を果たし、界面に発生する歪みを緩和させ、樹脂が本来有している優れた接着性を発揮させることができる。
印刷配線板用積層板（ａ）
　本発明の印刷配線板用積層板（ａ）は、上記の方法で得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより作製されたものである。
　プリプレグを重ねたものの片面に金属箔を更に重ねて加熱加圧することにより、片面金属張り積層板が、両面に金属箔を重ねることにより、両面金属張り積層板が得られる。金属箔としては、印刷配線板に用いられるものであれば特に制限はなく、通常、銅箔が好適である。加熱温度は通常、１５０〜２００℃、圧力は通常１〜１０ＭＰａ、加熱加圧時間は通常３０〜１５０分が適当である。
　図４に、本発明の方法によって得られるプリプレグ、特に、３官能性及び／又は４官能性シロキサン単位を有し、３次元架橋しているシリコーンオリゴマーを用いて作製したプリプレグを用いて作製した積層板中の、基材１と樹脂層４との界面の状態を示す模式図を示す。３次元架橋したシリコーンオリゴマー８が基材１の表面に均一に化学的に吸着して基材表面を十分に覆い、基材／樹脂層の界面でクッション的な役割をはたし、界面に発生する歪みを緩和させ、樹脂が本来有している優れた接着性を引き出す。
印刷配線板用樹脂ワニスの製造方法
　本発明の樹脂ワニスの製造方法は、シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が７０以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーを溶剤に溶解した処理液中で無機充填剤を表面処理し、次いで、その表面処理した無機充填剤が入った処理液に樹脂材料を直接配合することを特徴とする。
　この方法に用いられるシリコーンオリゴマーは、３次元架橋しているものである。例えば、３官能性シロキサン単位のみからなるもの、４官能性シロキサン単位のみからなるもの、２官能性シロキサン単位と３官能性シロキサン単位からなるもの、２官能性シロキサン単位と４官能性シロキサン単位からなるもの、３官能性シロキサン単位と４官能性シロキサン単位からなるもの、及び２官能性シロキサン単位と３官能性シロキサン単位と４官能性シロキサン単位からなるものが好ましい。また、全シロキサン単位中、４官能性シロキサン単位を１５モル％以上、好ましくは２０〜６０モル％含有することが好ましい。また、十分な３次元架橋構造によって無機充填剤表面を覆うためには、３官能性シロキサン単位及び／又は４官能性シロキサン単位を含有するシリコーンオリゴマーの重合度が　６〜７０であることが好ましく、より好ましくは１０〜５０である。
　また、本発明においては、表面処理剤として、上記シリコーンオリゴマーと共に、従来のカップリング剤を併用してもよい。そのようなカップリング剤としてはシラン系カップリング剤やチタネート系カップリング剤等が用いられ、シラン系カップリング剤としては、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のエポキシシラン系、Ｎ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩等のアミノシラン系、カチオニックシラン系、ビニルシラン系、アクリルシラン系、メルカプトシラン系及びこれらの複合系等が好適に用いられる。チタネート系カップリング剤としては、例えば、イソプロピルトリス（ジオクチルパイロホスフェート）チタネート等が好適に用いられる。これらは１種単独で、又は２種以上を所望の配合量で組み合わせて用いることができる。
　上記のカップリング剤とシリコーンオリゴマーとを併用する場合には、その割合には特に制限はなく、両方の特性を発揮させるためには、通常、カップリング剤：シリコーンオリゴマーの重量比を０．００１：１〜１：０．００１、好ましくは０．００１：１〜１：１とすることが好適である。
　また、本発明の直接配合法によれば、表面処理剤として従来のカップリング剤のみを用いた場合にも、その分散性をある程度向上させることができる。
　これら処理液の調製に用いられる溶剤としては特に限定はなく、例えばメタノール、エタノール等のアルコール系溶剤、エチレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル系溶剤、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等のアミド系溶剤、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤、酢酸エチル等のエステル系溶剤、ニトリル系溶剤、水などが用いられ、これらは２種類以上を併用してもよく、混合溶剤として用いてもよい。また、処理液の固形分濃度は特に制限はなく、表面処理剤の種類や無機充填剤への所望の付着量等により適宜変更できるが、通常、０．１〜５０重量％、好ましくは０．１〜２０重量％とすることが好適である。０．１重量％未満であると表面処理の効果が発現しにくくなることがあり、５０重量％を超えると、耐熱性等が低下しやすくなることがある。
　本発明で用いる無機充填剤は特に制約はなく、好ましい例としては、先に例示したものなどが挙げられる。
　本発明の方法は、無機充填剤を上記処理液中で処理後、乾燥工程を経ないでそのまま樹脂材料を配合し、樹脂ワニスにすることを特徴としている。その際、処理温度や処理時間等に制限はなく、無機充填剤や表面処理剤の種類及び所望の付着量等により適宜調整できるが、通常は室温〜８０℃で３０分以上、好ましくは３０〜１２０分間処理することが好ましい。
　本発明で用いる樹脂材料は特に限定されず、通常は先に例示した樹脂、又は樹脂とその硬化剤からなるものなどが挙げられる。樹脂は１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよく、また、必要に応じて硬化促進剤等を併用してもよい。このような樹脂材料を処理無機充填剤を含有する処理液中に、直接配合し、溶解させる。
　なお、硬化促進剤としては、従来公知の種々のものを使用することができ、好適なものとしては先に例示したものなどが挙げられる。また、樹脂ワニス中の樹脂、無機充填剤、硬化剤、硬化促進剤の好ましい配合量も上記のとおりである。
　また、上記処理剤に樹脂材料を配合して樹脂ワニスを作製する際には、更に溶剤を添加して不揮発分濃度を調整してもよい。溶剤としては特に限定はなく、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、トルエン、キシレン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、メタノール、エタノール等が用いられ、これらは２種類以上を混合して用いてもよい。溶剤の使用量には特に制限はないが、通常、不揮発分濃度が２０〜９０重量％、好ましくは５０〜８０重量％となる量で用いることが好適である。
　本発明の印刷配線板用樹脂ワニスの製造方法によれば、無機充填剤の表面を処理した無機充填剤入り処理液に直接樹脂材料を配合していることから、無機充填剤を処理した後の乾燥工程がなく、従って、無機充填剤の凝集等がなく樹脂ワニス中に均一に分散し、無機充填剤表面には均一な表面処理剤層が形成され、かつ樹脂との相溶性が向上する。このため、充填剤の更なる高充填化も可能であり、また、界面の接着性に影響する従来のカップリング剤のオリゴマー化による物理的吸着層の形成がおこらず、また、不均一な表面処理層の存在もない。また、プリプレグ製造時にワニスタンク等での無機充填剤の沈降やロールへの巻きつきなどもなく、外観が良好なプリプレグが得られる。さらに、積層板成形時には界面の接着性が向上し、ドリル加工性や耐電食性等の絶縁特性に優れた積層板を得ることができる。本発明によって得られる樹脂ワニスを用いて作製した積層板中の無機充填剤／樹脂界面の状態も、先に説明したとおり、図４に示す状態となっている。
印刷配線板用積層板（ｂ）
　本発明の印刷配線板用積層板（ｂ）は、基材に上記の方法で得られた印刷配線板用樹脂ワニスを含浸させた後乾燥させてプリプレグを製造し、得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより作製されたものである。
　樹脂ワニスの基材への含浸方法としては特に制限はなく、浸漬、塗工、噴霧などにより行うことができる。基材としては、金属張り積層板や多層印刷配線板を製造する際に用いられるものであれば特に制限はなく、先に例示したものなどが好適に用いられる。特にガラス繊維の織布や不織布が好ましく用いられる。
　基材に樹脂ワニスを含浸させた後、乾燥炉中などで通常８０〜２００℃、好ましくは１００〜１８０℃の温度で３〜３０分、好ましくは５〜１５分間乾燥させることにより、プリプレグが得られる。
　得られたプリプレグを複数枚重ね、その片面又は両面に金属箔を配置し、加熱加圧することにより、本発明の印刷配線板用片面金属張り積層板又は両面金属張り積層板（ｂ）が得られる。加熱温度は通常、１５０〜２００℃、圧力は通常１〜１０ＭＰａが、時間は通常３０〜１５０分間が適当である。
印刷配線板用樹脂組成物（Ａ）
　本発明の樹脂組成物（Ａ）は、樹脂材料と、シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が７０以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーからなるものである。
　樹脂材料としては、通常、樹脂、又は樹脂とその硬化剤からなるものが用いられる。樹脂としては特に制限はなく、先に例示したものなどが挙げられ、また、硬化剤としても先に例示したものなどが挙げられる。また、必要に応じ、硬化促進剤を併用してもよい。硬化促進剤の例としても、先に例示したものなどが挙げられる。硬化剤及び硬化促進剤の配合量もそれらと樹脂との組み合わせなどに応じて、適宜選択される。好ましい配合量は、先に記載したとおりである。
　本発明の樹脂組成物（Ａ）に用いられる上記シリコーンオリゴマーは３次元架橋しているものである。
　例えば、３官能性シロキサン単位のみからなるもの、４官能性シロキサン単位のみからなるもの、２官能性シロキサン単位と３官能性シロキサン単位からなるもの、２官能性シロキサン単位と４官能性シロキサン単位からなるもの、３官能性シロキサン単位と４官能性シロキサン単位からなるもの、及び２官能性シロキサン単位と３官能性シロキサン単位と４官能性シロキサン単位からなるものが好ましい。また、全シロキサン単位中、４官能性シロキサン単位を１５モル％以上、好ましくは２０〜６０モル％含有することが好ましい。また、十分な３次元架橋構造によって基材表面を覆うためには、３官能性シロキサン単位及び／又は４官能性シロキサン単位を含有するシリコーンオリゴマーの重合度が６〜７０であることが好ましく、より好ましくは１０〜５０である。シリコーンオリゴマーの重合度が７０を超えると、基材表面に形成される表面処理剤層にむらが生じることがある。
　シリコーンオリゴマーの配合量は特に制限されないが、樹脂固形分１００重量部に対して０．１〜５０重量部とすることが好ましく、より好ましくは０．１〜２０重量部である。０．１重量部未満では、界面接着性向上の効果が不十分となることがあり、５０重量部を超えると、耐熱性等が低下することがある。
　また、シリコーンオリゴマーに加えて、各種カップリング剤等を含めた添加剤を配合してもよい。カップリング剤としては、先に例示したシラン系カップリング剤やチタネート系カップリング剤等が好適に用いられる。このようなカップリング剤を配合する場合、その量には特に制限はないが、通常、樹脂固形分１００重量部に対して０．００１〜５０重量部、好ましくは０．００１〜２０重量部とすることが好適である。
　本発明においては、さらに無機充填剤を配合することも可能である。無機充填剤としては特に制約はなく、先に例示したようなものが挙げられる。その配合量も特に制限はなく、好ましい範囲も先に記載したとおりである。
　本発明の樹脂組成物（Ａ）は、各種の形態で使用されるが、樹脂ワニスとして基材に塗布、含浸する際には、溶剤に溶解希釈した溶液として使用してもよい。溶剤としては特に限定はなく、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、トルエン、キシレン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、メタノール、エタノール、水等が用いられ、これらは２種類以上を混合して用いてもよい。溶剤の使用量には特に制限はないが、通常、不揮発分濃度が２０〜９０重量％、好ましくは５０〜８０重量％となる量で用いることが好適である。
印刷配線板用積層板（ｃ）
　本発明の印刷配線板用積層板（ｃ）は、基材に上記の印刷配線板用樹脂組成物（Ａ）を含浸させた後乾燥させてプリプレグを製造し、得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより作製されたものである。
　樹脂組成物（Ａ）の基材への含浸方法としては特に限定はなく、通常、溶剤や必要に応じてその他の添加剤を配合して樹脂ワニスを調製し、樹脂ワニスを基材に浸漬、塗工、噴霧などの方法によって含浸させることにより行われる。基材としては、金属張り積層板や多層印刷配線板を製造する際に用いられるものであれば特に制限はなく、先に例示したものなどが好適に用いられる。特にガラス繊維の織布や不織布が好ましく用いられる。
　基材に樹脂ワニスを含浸させた後、乾燥炉中などで通常８０〜２００℃（溶剤を用いた場合は溶剤の揮発可能な温度以上）、好ましくは１００〜１８０℃の温度で、３〜３０分間、好ましくは５〜１５分間乾燥させることにより、プリプレグが得られる。
　得られたプリプレグを複数枚重ね、プリプレグを重ねたものの片面、又は両面に金属箔を更に重ねて加熱加圧することにより、本発明の片面又は両面金属張り積層板（ｃ）が得られる。加熱加圧してもよく、その場合には片面又は両面金属張り積層板が得られる。加熱温度は通常、１５０〜２００℃、圧力は通常１〜１０ＭＰａ、加熱加圧時間は３０〜１５０分間が適当である。
　本発明の樹脂組成物（Ａ）には、基材や無機充填剤表面の水酸基と反応する官能基を末端に有し、３次元架橋したシリコーンオリゴマーが配合されているので、これを用いて作製された積層板や多層印刷配線板中の基材／樹脂界面及び無機充填剤／樹脂には、従来のシラン系カップリング剤等による薄くてリジッドな表面処理剤層ではなく、架橋シリコーンオリゴマーが形成するクッション的な役割を果たす表面処理剤層が形成されている。従って、この表面処理剤層が界面に発生する歪みを緩和させ、樹脂が本来有している優れた接着性を引き出す機能を果たしている。従って、本発明の樹脂組成物（Ａ）を用いて作製した積層板や多層印刷配線板は、優れたドリル加工性及び絶縁特性等を発現することができる。
　本発明の樹脂組成物（Ａ）を用いて作製した積層板中の基材／樹脂界面、無機充填剤／樹脂界面の状態も、先に説明したとおり、図４に示す状態となっている。
印刷配線板用樹脂組成物（Ｂ）
　本発明の印刷配線板用樹脂組成物（Ｂ）は、樹脂材料と無機充填剤を必須成分とするものであるが、その無機充填剤として、シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が７０以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーで表面処理された無機充填剤を用いていることを特徴とする。
　上記のようなシリコーンオリゴマーは、３次元架橋しているものである。例えば、３官能性シロキサン単位のみからなるもの、４官能性シロキサン単位のみからなるもの、２官能性シロキサン単位と３官能性シロキサン単位からなるもの、２官能性シロキサン単位と４官能性シロキサン単位からなるもの、３官能性シロキサン単位と４官能性シロキサン単位からなるもの、及び２官能性シロキサン単位と３官能性シロキサン単位と４官能性シロキサン単位からなるものが好ましい。また、全シロキサン単位中、４官能性シロキサン単位を１５モル％以上、好ましくは２０〜６０モル％含有することが好ましい。また、十分な３次元架橋構造によって無機充填剤表面を覆うためには、３官能性シロキサン単位及び／又は４官能性シロキサン単位を含有するシリコーンオリゴマーの重合度が６〜７０であることが好ましく、より好ましくは１０〜５０である。シリコーンオリゴマーの重合度が７０を超えると、無機充填剤の表面処理時に、処理むらが生じることがある。
　本発明で用いる無機充填剤は、特に制限はなく、先に例示したものなどが好適に用いられる。それら無機充填剤を数種類併用してもよく、また、その際の配合量も特に限定するものではない。
　無機充填剤に対するシリコーンオリゴマーの処理方法は特に限定するものではなく、シリコーンオリゴマーを直接添加する乾式法や、希釈処理液を用いた湿式法等が好適である。また、無機充填剤へのシリコーンオリゴマーの付着量も特に制限されないが、無機充填剤重量の０．０１〜５重量％が通常好適であり、好ましくは０．０１〜２．００重量％である。０．０１重量％未満では界面接着性向上の効果が不十分となることがあり、５重量％を超えると耐熱性等が低下することがある。
　また、シリコーンオリゴマーに加えて各種カップリング剤等を含めた添加剤を併用して表面処理を行ってもよい。カップリング剤としては、先に例示したようなシラン系カップリング剤やチタネート系カップリング剤などが好適である。添加剤は何種類を併用してもよく、その配合量も特に制限はない。カップリング剤を併用する場合、通常、カップリング剤：シリコーンオリゴマー＝０．００１：１〜１：０．００１重量比、好ましくは０．００１：１〜１：１重量比となる量で用いることが好ましい。
　表面処理に際し、希釈処理液を用いた湿式法を採用する場合、溶剤としては例えば、メタノール、エタノール等のアルコール系溶剤、エチレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル系溶剤、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等のアミド系溶剤、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤、酢酸エチル等のエステル系溶剤、ニトリル系溶剤、水などが好適に用いられる。溶剤を使用する場合、その使用量に特に制限はないが、通常、シリコーンオリゴマー等の不揮発分濃度が０．０１〜５０重量％、好ましくは０．０５〜１０重量％となる量が好適である。乾式法や湿式法によりシリコーンオリゴマーや必要に応じてカップリング剤を無機充填剤表面に付着させた後、通常、５０〜２００℃、好ましくは８０〜１５０℃で、５〜６０分間、好ましくは１０〜３０分間加熱して乾燥させる。
　本発明で用いる樹脂材料は、特に制限はなく、通常、先に例示したような樹脂を、必要に応じて硬化剤、硬化促進剤等と併用して用いる。
　硬化剤、硬化促進剤の例としては、先に例示したものなどが好適に用いられる。また、これらも適宜２種以上を併用して用いてもよい。硬化剤及び硬化促進剤の配合量もそれらと樹脂との組み合わせなどに応じて、適宜選択される。好ましい配合量は、先に記載したとおりである。
　本発明の樹脂組成物（Ｂ）における処理無機充填剤と樹脂材料との割合は、通常、樹脂１００重量部に対して、処理無機充填剤１．０〜５００重量部とすることが好ましく、より好ましくは１０〜１００重量部とする。
　本発明の樹脂組成物（Ｂ）は、各種の形態で使用されるが、樹脂ワニスとして基材に塗布、含浸する際には、溶剤に溶解希釈した溶液として使用してもよい。
　溶剤としては特に限定はなく、例えばメタノール、エタノール等のアルコール系溶剤、エチレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル系溶剤、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等のアミド系溶剤、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤、酢酸エチル等のエステル系溶剤、ニトリル系溶剤などが用いられ、これらは２種類以上を併用してもよく、混合溶剤として用いてもよい。
溶剤を用いる場合、その使用量に特に制限はないが、通常、不揮発分濃度が２０〜９０重量％、好ましくは５０〜８０重量％となる量で用いることが好適である。
印刷配線板用積層板（ｄ）
　本発明の印刷配線板用積層板（ｄ）は、基材に上記の印刷配線板用樹脂組成物（Ｂ）を含浸させた後乾燥させてプリプレグを製造し、得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより作製されたものである。
　樹脂組成物（Ｂ）の基材への含浸方法としては特に限定はなく、通常、溶剤や必要に応じてその他の添加剤を配合して樹脂ワニスを調製し、樹脂ワニスを基材に浸漬、塗工、噴霧などの方法によって含浸させることにより行われる。基材としては、金属張り積層板や多層印刷配線板を製造する際に用いられるものであれば特に制限はなく、先に例示したものなどが好適に用いられる。特にガラス繊維の織布や不織布が好ましく用いられる。
　基材に樹脂ワニスを含浸させた後、乾燥炉中などで通常８０〜２００℃（溶剤を用いた場合は溶剤の揮発可能な温度以上）、好ましくは１００〜１８０℃の温度で、３〜３０分間、好ましくは５〜１５分間乾燥させることにより、プリプレグが得られる。
　得られたプリプレグを複数枚重ね、その片面又は両面に金属箔を配置し、加熱加圧することにより、本発明の積層板（ｄ）が得られる。片面に金属箔を配置した場合には片面金属張り積層板が、両面に金属箔を配置した場合には両面金属張り積層板が得られる。加熱温度は通常、１５０〜２００℃、圧力は通常１〜１０ＭＰａ、加熱加圧時間は通常３０〜１５０分が適当である。
　本発明の樹脂組成物（Ｂ）には、無機充填剤表面の水酸基と反応する官能基を末端に有し、３次元架橋したシリコーンオリゴマーが配合されているので、これを用いて作製された積層板や多層印刷配線板中の無機充填剤／樹脂界面には、従来のシラン系カップリング剤等による薄くてリジッドな表面処理剤層ではなく、架橋シリコーンオリゴマーが形成するクッション的な役割を果たす表面処理剤層が形成されている。従って、この表面処理剤層が無機充填剤／樹脂界面に発生する歪みを緩和させ、樹脂が本来有している優れた接着性を引き出す機能を果たしている。従って、本発明の樹脂組成物（Ｂ）を用いて作製した積層板や多層印刷配線板は、優れたドリル加工性及び絶縁特性を発現することができる。
　本発明の樹脂組成物（Ｂ）を用いて作製した積層板中の無機充填剤／樹脂界面の状態も、先に説明したとおり、図４に示す状態となっている。
　以下、本発明を実施例によって更に詳細に説明するが、本発明の範囲はこれら実施例に限定されるものではない。
（Ｉ）
印刷配線板用プリプレグの製造方法及びこのプリプレグを用いて作製した積層板の実施例、及び、比較例
実施例Ｉ−１
　撹拌装置、コンデンサー及び温度計を備えたガラスフラスコに、テトラメトキシシラン４０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液を入れ、次いで、酢酸０．４７ｇ及び蒸留水１８．９ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２０（ＧＰＣによる重量平均分子量から換算、以下同じ）のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び／又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例Ｉ−２
　実施例Ｉ−１と同様の装置を用い、トリメトキシメチルシラン４０ｇとメタノール９３ｇを配合した溶液に、酢酸０．５３ｇ及び蒸留水１５．８ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が１５のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び／又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例Ｉ−３
　実施例Ｉ−１と同様の装置を用い、ジメトキシジメチルシラン３４ｇ、テトラメトキシシラン８ｇ及びメタノール９８ｇを配合した溶液に、酢酸０．６０ｇ及び蒸留水１４．０ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２８のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例Ｉ−４
　実施例Ｉ−１同様の装置を用い、ジメトキシジメチルシラン２０ｇ、テトラメトキシシラン２５ｇ及びメタノール１０５ｇを配合した溶液に、酢酸０．６０ｇ及び蒸留水１７．８ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が３０のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例Ｉ−５
　実施例Ｉ−１と同様の装置を用い、トリメトキシメチルシラン２０ｇ、テトラメトキシシラン２２ｇ及びメタノール９８ｇを配合した溶液に、酢酸０．５２ｇ及び蒸留水１８．３ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２５のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例Ｉ−６
　実施例Ｉ−１と同様の装置を用い、ジメトキシジメチルシラン１０ｇ、トリメトキシメチルシラン１０ｇ、テトラメトキシシラン２０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液に、酢酸０．５２ｇ及び蒸留水１６．５ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２３のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例Ｉ−７
　実施例Ｉ−４で得られたシリコーンオリゴマー溶液に、シラン系カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（商品名：Ａ−１８７、日本ユニカー（株）製）とメタノールを加えて、固形分１重量％（シリコーンオリゴマー：Ａ−１８７＝１：０．５重量比）の処理液を作製した。
実施例Ｉ−８
　実施例Ｉ−４で得られたシリコーンオリゴマー溶液に、シラン系カップリング剤としてＮ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩（商品名：ＳＺ−６０３２、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）とメタノールを加え、固形分１重量％（シリコーンオリゴマー：ＳＺ−６０３２＝１：０．５重量比）の処理液を作製した。
　次に、実施例Ｉ−１〜８で作製した処理液に、ガラス繊維基材として４００℃で２４時間熱処理脱脂した厚さ０．２ｍｍのガラス布を浸漬した後、１２０℃で３０分間加熱乾燥し、シリコーンオリゴマー、又はシリコーンオリゴマーとカップリング剤を表面に付着させたガラス布を得た。シリコーンオリゴマーの付着量は０．０８〜０．１１重量％であった。
実施例Ｉ−９
　実施例Ｉ−４の処理液で処理したガラス布（シリコーンオリゴマー付着量：０．０８重量％）に、シラン系カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（商品名：Ａ−１８７、日本ユニカー（株）製）を固形分で０．５重量％、酢酸を０．５重量％含有する水溶液で更に浸漬処理を施し、１２０℃で３０分間加熱乾燥し、シリコーンオリゴマー及びシラン系カップリング剤で表面処理されたガラス布を得た。シラン系カップリング剤の付着量は０．０５重量％であった。
実施例Ｉ−１０
　上記の操作により実施例Ｉ−４の処理液で処理したガラス布（シリコーンオリゴマー付着量：０．０８重量％）に、シラン系カップリング剤としてＮ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩（商品名：ＳＺ−６０３２、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）を固形分で０．５重量％、酢酸を０．５重量％含有する水溶液で更に浸漬処理を施し、１２０℃で３０分間加熱乾燥し、シリコーンオリゴマー及びシラン系カップリング剤で表面処理されたガラス布を得た。シラン系カップリング剤の付着量は０．０４重量％であった。
実施例Ｉ−１１
　ガラス繊維基材として、４００℃で２４時間熱処理脱脂した厚さ０．２ｍｍのガラス布を用い、これを、シラン系カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（商品名：Ａ−１８７、日本ユニカー（株）製）を含有する実施例Ｉ−９で用いたと同じ水溶液で浸漬処理し、１２０℃で３０分間加熱乾燥し、カップリング剤が０．１重量％付着したカップリング剤処理済ガラス布を得た。このガラス布を実施例Ｉ−４で作製した処理液に浸漬後、１２０℃で３０分間加熱乾燥し、シリコーンオリゴマーを更に表面に付着させたガラス布を得た。シリコーンオリゴマーの付着量は０．０４重量％であった。
実施例Ｉ−１２
　ガラス繊維基材として、４００℃で２４時間熱処理脱脂した厚さ０．２ｍｍのガラス布を用い、これを、シラン系カップリング剤としてＮ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩（商品名：ＳＺ−６０３２、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）を含有する実施例Ｉ−１０で用いたと同じ水溶液で浸漬処理し、１２０℃で３０分間加熱乾燥し、カップリング剤が０．１重量％付着したカップリング剤処理済ガラス布を得た。このガラス布を実施例Ｉ−４で作製した処理液に浸漬後、１２０℃で３０分間加熱乾燥し、シリコーンオリゴマーを更に表面に付着させたガラス布を得た。シリコーンオリゴマーの付着量は０．０３重量％であった。
比較例Ｉ−１
　ガラス繊維基材として、実施例Ｉ−１１で使用したγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（商品名：Ａ−１８７、日本ユニカー（株）製）が０．１重量％付着した厚さ０．２ｍｍのガラス布を用いた。
比較例Ｉ−２
　ガラス繊維基材として、実施例Ｉ−１２で使用したＮ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩（商品名：ＳＺ−６０３２、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）が０．１重量％付着した厚さ０．２ｍｍのガラス布を用いた。
比較例Ｉ−３
　シリコーンオリゴマー処理液のかわりに、エポキシ変性シリコーンオイル（商品名：ＫＦ１０１、信越化学工業（株）製）を固形分で１．０重量％含有するメタノール溶液を作製し、この処理液にガラス繊維基材として４００℃で２４時間熱処理脱脂した厚さ０．２ｍｍのガラス布を浸漬後、１２０℃で３０分間加熱乾燥し、シリコーンオイルを表面に付着させたガラス布を得た。シリコーンオイルの付着量は０．１２重量％であった。
　実施例Ｉ−１〜１２、比較例Ｉ−１〜３で得られたガラス布に、以下に示すエポキシ樹脂ワニスを含浸させた後、１４０℃で５〜１０分間加熱乾燥し、樹脂分４１重量％のプリプレグを得た。このプリプレグを４枚重ね、その両側に厚みが３５μｍの銅箔を重ね、１７０℃、９０分、４．０ＭＰａのプレス条件で加熱加圧を行い、両面銅張積層板を作製した。
　　臭素化ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（エポキシ当量：５３０）：１００重量部
　　ジシアンジアミド：４重量部
　　２−エチル−４−メチルイミダゾール：０．５重量部
　上記化合物をメチルエチルケトン／エチレングリコールモノメチルエーテル（重量比１／１）混合溶剤に溶解し、不揮発分７０重量％の樹脂ワニスを作製し、上記エポキシ樹脂ワニスとして使用した。
　得られた両面銅張積層板について、ドリル加工性、吸水率、はんだ耐熱性及び絶縁抵抗を評価した。その結果を表Ｉ−１に示す。
　試験方法は以下の通りである。耐電食性試験を除いて、試験片はすべて銅箔をエッチングにより全面除去したものを使用した。
　ドリル加工性：φ０．４ｍｍのドリルを用いて、回転数：８０，０００ｒｐｍ、送り速度：３，２００ｍｍ／ｍｉｎで穴開けを行い、基材／樹脂界面の剥離等による穴壁クラックを評価した。穴壁クラックは、穴あけした試験片をレッドチェック液で１時間煮沸後、顕微鏡による表面観察より、穴面積に対して穴回りにしみ込んだ面積の割合を画像処理装置で測定した（２０穴の平均）。単位：％
　吸水率：常態及びプレッシャークッカーテスター（条件：１２１℃、２気圧）中に２時間保持した後の重量差より算出した。単位：重量％
　はんだ耐熱性：プレッシャークッカーテスター（条件：１２１℃、２気圧）中に２時間保持した後、２６０℃のはんだに２０秒間浸漬し、外観を目視で調べた。表中、ＯＫはミーズリング及びふくれがないことを意味する。
　絶縁抵抗：常態及びプレッシャークッカーテスター（条件：１２１℃、２気圧）中に５時間保持した後、５００Ｖ／１分印加後の絶縁抵抗を測定した。単位：Ω
　また、実施例Ｉ−１及び比較例Ｉ−２について耐電食性の試験を行った。
　耐電食性試験：基板に直径０．４ｍｍのドリルを用いて横方向に５０穴（穴間ピッチ１．０ｍｍ）を一列として縦方向に穴間ピッチ０．７ｍｍの間隔で６列の合計３００穴のスルーホールをあけ、常法に従い無電解めっきと電気めっきにより、銅の厚み３５μｍのスルホールメッキを行った。そしてフォトリトグラフィーによりランド径が０．６ｍｍでライン幅が０．１ｍｍとなるように配線を形成し、横方向５０穴のスルーホール間をクランク状に結合し、一列おきに配線を連結し、その一組を＋電極、もう一組を−電極とし、８５℃／８５％ＲＨの条件で１００Ｖを印加した。
　比較例Ｉ−２は約１２００時間でＣＡＦ（ＣＯＮＤＵＣＴＩＶＥ　ＡＮＯＤＩＣ　ＦＩＬＡＭＥＮＴ）による導通破壊が起こったが、実施例Ｉ−１では１５００時間後も１０１０Ω以上の絶縁抵抗値を有していた。
　以上の結果から、実施例Ｉ−１〜１２で得られた銅張積層板では、はんだ耐熱性等の低下がなく、ドリル加工時の内壁クラックが少なく、吸湿後の絶縁抵抗の低下も小さく、耐電食性が向上していることがわかる。
　本発明の方法で作製した印刷配線板用プリプレグは、積層板とした場合に、これまでの積層板が有する特性を下げることなく、ドリル加工性や耐電食性等の絶縁特性を向上させることができる。
（ＩＩ）
印刷配線板用樹脂ワニスの製造方法及びこの樹脂ワニスを用いて作製した積層板の実施例、参考例及び比較例
参考例ＩＩ−１
　撹拌装置、コンデンサー及び温度計を備えたガラスフラスコに、シラン系カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（商品名：Ａ−１８７、日本ユニカー（株）製）とメチルエチルケトンを加えて、固形分１０重量％の処理液を作製した。この処理液に焼成クレー（平均粒径：１．２μｍ）を樹脂固形分に対して５０重量％の量で添加し、室温で１時間撹拌し、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
参考例ＩＩ−２
　撹拌装置、コンデンサー及び温度計を備えたガラスフラスコに、シラン系カップリング剤としてＮ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩（商品名：ＳＺ−６０３２、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）とメチルエチルケトンを加えて、固形分１０重量％の処理液を作製した。この処理液に焼成クレーを樹脂固形分に対して５０重量％添加し、室温で１時間撹拌し、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
参考例ＩＩ−３
　撹拌装置、コンデンサー及び温度計を備えたガラスフラスコに、チタネート系カップリング剤としてイソプロピルトリス（ジオクチルパイロホスフェート）チタネート（商品名：ＫＲ４６Ｂ、味の素株式会社製）とメチルエチルケトンを加えて、固形分１０重量％の処理液を作製した。この処理液に焼成クレーを樹脂固形分に対して５０重量％添加し、室温で１時間撹拌し、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
実施例ＩＩ−１
　撹拌装置、コンデンサー及び温度計を備えたガラスフラスコに、テトラメトキシシラン４０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液を入れ、酢酸０．４７ｇ及び蒸留水１８．９を添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２０（ＧＰＣによる重量平均分子量から換算、以下同じ）のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　このシリコーンオリゴマー溶液にメチルエチルケトンを加え、固形分１０重量％の処理液を作製した。この処理液に焼成クレーを樹脂固形分に対して５０重量％添加して室温で１時間撹拌し、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
実施例ＩＩ−２
　実施例ＩＩ−１と同様の装置を用い、トリメトキシメチルシラン４０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液に、酢酸０．５３ｇ及び蒸留水１５．８ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が１５のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　このシリコーンオリゴマー溶液にメチルエチルケトンを加え、固形分１０重量％の処理液を作製した。この処理液に焼成クレーを樹脂固形分に対して５０重量％添加して室温で１時間撹拌し、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
実施例ＩＩ−３
　実施例ＩＩ−１と同様の装置を用い、ジメトキシジメチルシラン３４ｇ、テトラメトキシシラン８ｇ及びメタノール９８ｇを配合した溶液に、酢酸０．６０ｇ及び蒸留水１４．０ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２８のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　このシリコーンオリゴマー溶液にメチルエチルケトンを加え、固形分１０重量％の処理液を作製した。この処理液に焼成クレーを樹脂固形分に対して５０重量％添加して室温で１時間撹拌し、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
実施例ＩＩ−４
　実施例ＩＩ−１と同様の装置を用い、ジメトキシジメチルシラン２０ｇ、テトラメトキシシラン２５ｇ及びメタノール１０５ｇを配合した溶液に、酢酸０．６０ｇ及び蒸留水１７．８ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が３０のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　このシリコーンオリゴマー溶液にメチルエチルケトンを加え、固形分１０重量％の処理液を作製した。この処理液に焼成クレーを樹脂固形分に対して５０重量％添加して室温で１時間撹拌し、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
実施例ＩＩ−５
　実施例ＩＩ−１と同様の装置を用い、トリメトキシメチルシラン２０ｇ、テトラメトキシシラン２２ｇ及びメタノール９８ｇを配合した溶液に、酢酸０．５２ｇ及び蒸留水１８．３ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２５のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　このシリコーンオリゴマー溶液にメチルエチルケトンを加え、固形分１０重量％の処理液を作製した。この処理液に焼成クレーを樹脂固形分に対して５０重量％添加して室温で１時間撹拌し、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
実施例ＩＩ−６
　実施例ＩＩ−１と同様の装置を用い、ジメトキシジメチルシラン１０ｇ、トリメトキシメチルシラン１０ｇ、テトラメトキシシラン２０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液に、酢酸０．５２ｇ及び蒸留水１６．５ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２３のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　このシリコーンオリゴマー溶液にメチルエチルケトンを加え、固形分１０重量％の処理液を作製した。この処理液に焼成クレーを樹脂固形分に対して５０重量％添加して室温で１時間撹拌し、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
実施例ＩＩ−７
　実施例ＩＩ−１と同様の装置を用い、テトラエトキシシラン４０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液に、酢酸０．３４ｇ及び蒸留水１３．８ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が１９のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてエトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　このシリコーンオリゴマー溶液にメチルエチルケトンを加え、固形分１０重量％の処理液を作製した。この処理液に焼成クレーを樹脂固形分に対して５０重量％添加して室温で１時間撹拌し、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
参考例ＩＩ−４
　無機充填剤としてタルク（平均粒径：１２μｍ）を用いた以外は参考例ＩＩ−１と同様にして、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
参考例ＩＩ−５
　無機充填剤としてシリカ（平均粒径：１．０μｍ）を用いた以外は、参考例ＩＩ−１と同様にして表面処理した無機充填剤入り溶剤処理液を作製した。
実施例ＩＩ−８
　実施例ＩＩ−１で得られたシリコーンオリゴマー溶液に、シラン系カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（商品名：Ａ−１８７）とメチルエチルケトンを加えて、固形分１０重量％（シリコーンオリゴマー：Ａ−１８７＝１：１重量比）の処理液を作製した。この処理液に焼成クレーを樹脂固形分に対して５０重量％添加し、室温で１時間撹拌し、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
実施例ＩＩ−９
　実施例ＩＩ−１で得られたシリコーンオリゴマー溶液に、チタネート系カップリング剤としてイソプロピルトリス（ジオクチルパイロホスフェート）チタネート（商品名：ＫＲ４６Ｂ）とメチルエチルケトンを加えて、固形分１０重量％（シリコーンオリゴマー：ＫＲ４６Ｂ＝１：１重量比）の処理液を作製した。この処理液に焼成クレーを樹脂固形分に対して５０重量％添加し、室温で１時間撹拌し、表面処理した無機充填剤入り処理液を作製した。
　実施例ＩＩ−１〜９及び参考例ＩＩ−１〜５の表面処理した無機充填剤入り処理液を５０℃に加熱し、この処理液に以下に示す樹脂材料及びメチルエチルケトン／エチレングリコールモノメチルエーテル（重量比１：１）混合溶剤を加え、固形分７０重量％の樹脂ワニスを作製した。
　　臭素化ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（エポキシ当量：５３０）：１００重量部
　　ジシアンジアミド：４重量部
　　２−エチル−４−メチルイミダゾール：０．５重量部
比較例ＩＩ−１
　メチルエチルケトン／エチレングリコールモノメチルエーテル（重量比１：１）混合溶剤に未処理の焼成クレーを５０重量％配合し、更に上記樹脂材料を添加し、固形分７０重量％の樹脂ワニスを作製した。
比較例ＩＩ−２
　比較例ＩＩ−１の樹脂ワニス１００重量部にシラン系カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン２重量部を配合した。
比較例ＩＩ−３
　シラン系カップリング剤の代わりに、エポキシ変性シリコーンオイル（商品名：ＫＦ１０１、信越化学工業株式会社製）を用いて焼成クレーを処理した以外は、参考例ＩＩ−１と同様にして樹脂ワニスを作製した。
比較例ＩＩ−４
　参考例ＩＩ−１で使用したシラン系カップリング剤、即ちγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランをメタノールに溶解して固形分１重量％の処理液を作製し、これに未処理の焼成クレーを１時間浸漬・撹拌した後、１２０℃で１時間乾燥して表面処理を施した。この処理済焼成クレーを用いたこと以外は比較例ＩＩ−１と同様にして、樹脂ワニスを作製した。
　実施例ＩＩ−１〜９、参考例ＩＩ−１〜５及び比較例ＩＩ−１〜４で作製した樹脂ワニスを厚さ約０．２ｍｍのガラス布に含浸した後、１４０℃で５〜１０分加熱乾燥し、樹脂分４１重量％のプリプレグを得た。このプリプレグ４枚を重ね、その両側に厚みが３５μｍの銅箔を重ね、１７０℃、９０分、４．０ＭＰａのプレス条件で加熱加圧し、両面銅張積層板を作製した。
　得られた両面銅張積層板について、ドリル加工性、吸水率、はんだ耐熱性及び耐電食性を評価した。その結果を表ＩＩ−１及び表ＩＩ−２に示す。
　試験方法は以下の通りである。塗工性及びプリプレグの外観は、予め目視により評価した。塗工性は、塗工時に充填剤がロールに付着しないものを○、多少とも付着したものを×とした。また、プリプレグの外観は、充填剤を配合しないものと同等の表面平滑性を有するものを○、それ以外は×とした。
　積層板の評価は、耐電食性以外の試験はすべて銅箔をエッチングにより全面除去したものを使用した。
　ドリル加工性：φ０．４ｍｍのドリルを用いて、回転数：８０，０００ｒｐｍ、送り速度：３，２００ｍｍ／ｍｉｎで穴あけを行い、基材／樹脂界面の剥離等による穴壁クラックを評価した。穴壁クラックは、穴あけした試験片をレッドチェック液で１時間煮沸後、顕微鏡による表面観察により穴面積に対する穴回りにしみ込んだ面積の割合を画像処理装置で測定した（２０穴の平均）。単位：％
　吸水率：常態及びプレッシャークッカーテスター（条件：１２１℃、２気圧）中に２時間保持した後の重量差より算出した。単位：重量％
　はんだ耐熱性：プレッシャークッカーテスター（条件：１２１℃、２気圧）中に２時間保持した後、２６０℃のはんだに２０秒間浸漬して、外観を目視で調べた。表中、ＯＫはミーズリング及びふくれがないことを意味する。
　耐電食性：先に記載したと同様の方法で行い、８５℃／８５％ＲＨ、１００Ｖ印加での導通破壊までの時間を測定した。また、導通破壊は全てスルーホール間のＣＡＦ（ＣＯＮＤＵＣＴＩＶＥ　ＡＮＯＤＩＣ　ＦＩＬＡＭＥＮＴ）であることを確認した。
　以上の結果から、次のことがわかる。
　実施例ＩＩ−１〜９及び参考例ＩＩ−１〜５は、プリプレグの外観が良好で、はんだ耐熱性の低下がなく、吸水率が小さく、かつ、ドリル加工時の内壁クラックが小さくなり、耐電食性が向上している。更に、シリコーンオリゴマーを用いた実施例ＩＩ−１〜９は、ロールへの充填剤の付着もなく、塗工性がより向上している。
　本発明の方法によって作製した樹脂ワニスを用いて作製したプリプレグは、外観が良好で、かつ積層板とした場合に、これまでの積層板が有する特性を下げることなく、ドリル加工性や耐電食性等の絶縁特性を向上させることができる。
（ＩＩＩ）
印刷配線板用樹脂組成物（Ａ）及びそれを用いた作製した積層板の実施例及び比較例
実施例ＩＩＩ−１
　撹拌装置、コンデンサー及び温度計を備えたガラスフラスコに、テトラメトキシシラン４０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液を入れ、酢酸０．４７ｇ及び蒸留水１８．９ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２０（ＧＰＣによる重量平均分子量から換算、以下同じ）のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
実施例ＩＩＩ−２
　実施例ＩＩＩ−１と同様の装置を用い、トリメトキシメチルシラン４０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液に、酢酸０．５３ｇ及び蒸留水１５．８ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が１５のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
実施例ＩＩＩ−３
　実施例ＩＩＩ−１と同様の装置を用い、ジメトキシジメチルシラン３４ｇ、テトラメトキシシラン８ｇ及びメタノール９８ｇを配合した溶液に、酢酸０．６０ｇ及び蒸留水１４．０ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２８のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
実施例ＩＩＩ−４
　実施例ＩＩＩ−１と同様の装置を用い、ジメトキシジメチルシラン２０ｇ、テトラメトキシシラン２５ｇ及びメタノール１０５ｇを配合した溶液に、酢酸０．６０ｇ及び蒸留水１７．８ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が３０のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
実施例ＩＩＩ−５
　実施例ＩＩＩ−１と同様の装置を用い、トリメトキシメチルシラン２０ｇ、テトラメトキシシラン２２ｇ及びメタノール９８ｇを配合した溶液に、酢酸０．５２ｇ及び蒸留水１８．３ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２５のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
実施例ＩＩＩ−６
　実施例ＩＩＩ−１と同様の装置を用い、ジメトキシジメチルシラン１０ｇ、トリメトキシメチルシラン１０ｇ、テトラメトキシシラン２０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液に、酢酸０．５２ｇ及び蒸留水１６．５ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２３のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
実施例ＩＩＩ−７
　実施例ＩＩＩ−１と同様の装置を用い、テトラエトキシシラン４０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液に、酢酸０．３４ｇ及び蒸留水１３．８ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が１９のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてエトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　次に、実施例ＩＩＩ−１〜７で作製したシリコーンオリゴマーを用いて、以下に示す成分からなるエポキシ樹脂ワニスを配合した。
　　臭素化ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（エポキシ当量：５３０）：１００重量部
　　ジシアンジアミド：４重量部
　　シリコーンオリゴマー：２重量部
　　２−エチル−４−メチルイミダゾール：０．５重量部
　上記化合物をメチルエチルケトン／エチレングリコールモノメチルエーテル（重量比１：１）混合溶剤に溶解し、不揮発分７０重量％の樹脂ワニスを作製した。
実施例ＩＩＩ−８
　実施例ＩＩＩ−１で得られたシリコーンオリゴマーの配合量を１重量部に変えた以外は上記と同様の成分及び配合量で作製した樹脂ワニスに、シラン系カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（商品名：Ａ−１８７、日本ユニカー（株）製）を１重量部加えて、不揮発分７０重量％の樹脂ワニスを作製した。
実施例ＩＩＩ−９
　実施例ＩＩＩ−１で得られたシリコーンオリゴマーの配合量を１重量部に変えた以外は上記と同様の成分及び配合量で作製した樹脂ワニスに、シラン系カップリング剤としてＮ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩（商品名：ＳＺ−６０３２、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）を１重量部加えて、不揮発分７０重量％の樹脂ワニスを作製した。
実施例ＩＩＩ−１０
　実施例ＩＩＩ−１のシリコーンオリゴマーを２重量部配合した上記樹脂ワニスに、無機充填剤として焼成クレー（平均粒径：１．２μｍ）をエポキシ樹脂１００重量部に当たり５０重量部の割合で配合し、不揮発分７０重量％の樹脂ワニスを作製した。
比較例ＩＩＩ−１
　シリコーンオリゴマーを配合しないこと以外は、実施例ＩＩＩ−１〜７と同様の樹脂ワニスを作製した。
比較例ＩＩＩ−２
　シリコーンオリゴマーを配合せず、シラン系カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを２重量部加えた以外は、実施例ＩＩＩ−１〜７と同様の樹脂ワニスを作製した。
比較例ＩＩＩ−３
　シリコーンオリゴマーの代わりに、エポキシ変性シリコーンオイル（商品名：ＫＦ１０１、信越化学工業株式会社製）を２重量部配合した以外は、実施例ＩＩＩ−１〜７と同様の樹脂ワニスを作製した。
比較例ＩＩＩ−４
　シリコーンオリゴマーを配合しない以外は、実施例ＩＩＩ−９と同様の樹脂ワニスを作製した。
比較例ＩＩＩ−５
　比較例ＩＩＩ−２の樹脂ワニスに、無機充填剤として焼成クレーをエポキシ樹脂１００重量部に当たり５０重量部の割合で配合し、不揮発分７０重量％の樹脂ワニスを作製した。
　実施例ＩＩＩ−１〜１０及び比較例ＩＩＩ−１〜５で作製した樹脂ワニスを厚さ約０．２ｍｍのガラス布に含浸後、１４０℃で５〜１０分間加熱乾燥して、樹脂分４１重量％のプリプレグを得た。このプリプレグ４枚を重ね、その両側に厚みが３５μｍの銅箔を重ね、１７０℃、９０分、４．０ＭＰａのプレス条件で加熱加圧し、両面銅張積層板を作製した。
　得られた両面銅張積層板について、ドリル加工性、吸水率、はんだ耐熱性及び耐電食性を評価した。その結果を表ＩＩＩ−１及び表ＩＩＩ−２に示す。
　　Ａ−１８７：γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
　　ＳＺ−６０３２：Ｎ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩
　　ＫＦ１０１：エポキシ変性シリコーンオイル
　試験方法は、実施例ＩＩ−１〜９、参考例ＩＩ−１〜５及び比較例ＩＩ−１〜４で行ったと同様の方法を採用した。なお、耐電食性以外の試験片は、すべて銅箔をエッチングにより全面除去したものを使用した。
　以上の結果から、次のことがわかる。
　実施例ＩＩＩ−１〜１０は、はんだ耐熱性等の低下がなく、ドリル加工時の内壁クラックが小さくなり耐電食性が向上している。
　本発明の印刷配線板用樹脂組成物（Ａ）を、積層板とした場合に、これまでの積層板が有する特性を下げることなく、ドリル加工性や耐電食性等の絶縁特性を向上させることができる。
（ＩＶ）
印刷配線板用樹脂組成物（Ｂ）及びそれを用いて作製した積層板の実施例及び比較例
実施例ＩＶ−１
　撹拌装置、コンデンサー及び温度計を備えたガラスフラスコに、テトラメトキシシラン４０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液を入れ、酢酸０．４７ｇ及び蒸留水１８．９ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２０（ＧＰＣによる重量平均分子量から換算、以下同じ）のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例ＩＶ−２
　実施例ＩＶ−１と同様の装置を用い、トリメトキシメチルシラン４０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液に、酢酸０．５３ｇ及び蒸留水１５．８ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が１５のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例ＩＶ−３
　実施例ＩＶ−１と同様の装置を用い、ジメトキシジメチルシラン３４ｇ、テトラメトキシシラン８ｇ及びメタノール９８ｇを配合した溶液に、酢酸０．６０ｇ及び蒸留水１４．０ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２８のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例ＩＶ−４
　実施例ＩＶ−１と同様の装置を用い、ジメトキシジメチルシラン２０ｇ、テトラメトキシシラン２５ｇ及びメタノール１０５ｇを配合した溶液に、酢酸０．６０ｇ及び蒸留水１７．８ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が３０のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例ＩＶ−５
　実施例ＩＶ−１と同様の装置を用い、トリメトキシメチルシラン２０ｇ、テトラメトキシシラン２２ｇ及びメタノール９８ｇを配合した溶液に、酢酸０．５２ｇ及び蒸留水１８．３ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２５のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例ＩＶ−６
　実施例ＩＶ−１と同様の装置を用い、ジメトキシジメチルシラン１０ｇ、トリメトキシメチルシラン１０ｇ、テトラメトキシシラン２０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液に、酢酸０．５２ｇ及び蒸留水１６．５ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が２３のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてメトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例ＩＶ−７
　実施例ＩＶ−１と同様の装置を用い、テトラエトキシシラン４０ｇ及びメタノール９３ｇを配合した溶液に、酢酸０．３４ｇ及び蒸留水１３．８ｇを添加し、５０℃で８時間撹拌し、シロキサン単位の重合度が１９のシリコーンオリゴマーを合成した。得られたシリコーンオリゴマーは、水酸基と反応する末端官能基としてエトキシ基及び又はシラノール基を有するものである。
　得られたシリコーンオリゴマー溶液にメタノールを加えて、固形分１重量％の処理液を作製した。
実施例ＩＶ−８
　実施例ＩＶ−４で得られたシリコーンオリゴマー溶液に、シラン系カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（商品名：Ａ−１８７、日本ユニカー（株）製）とメタノールを加えて、固形分１重量％（シリコーンオリゴマー：Ａ−１８７＝１：１重量比）の処理液を作製した。
実施例ＩＶ−９
　実施例ＩＶ−４で得られたシリコーンオリゴマー溶液に、シラン系カップリング剤としてＮ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩（商品名：ＳＺ−６０３２、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）とメタノールを加えて、固形分１重量％（シリコーンオリゴマー：ＳＺ−６０３２＝１：１重量比）の処理液を作製した。
　次に、実施例ＩＶ−１〜９で作製した処理液に、無機充填剤として焼成クレー（平均粒径：１．２μｍ）を浸漬して１時間撹拌後、濾過し、１２０℃で１時間加熱乾燥してシリコーンオリゴマー処理無機充填剤を得た。シリコーンオリゴマーの付着量は、０．０８〜０．１１重量％であった。
実施例ＩＶ−１０
　無機充填剤としてタルク（平均粒径：１２μｍ）を用いた以外は、実施例ＩＶ−１と同様にしてシリコーンオリゴマー処理無機充填剤を得た。シリコーンオリゴマーの付着量は０．１０重量％であった。
実施例ＩＶ−１１
　無機充填剤としてシリカ（平均粒径：１．０μｍ）を用いた以外は、実施例ＩＶ−１と同様にしてシリコーンオリゴマー処理無機充填剤を得た。シリコーンオリゴマーの付着量は０．０９重量％であった。
実施例ＩＶ−１２
　実施例ＩＶ−１で作製したシリコーンオリゴマー溶液をメタノールで希釈せずに、直接焼成クレーに滴下後（シリコーンオリゴマー：焼成クレー＝１．０：１００重量比）、十分に撹拌し、１２０℃で１時間乾燥してシリコーンオリゴマー処理無機充填剤を得た。シリコーンオリゴマーの付着量は０．０５重量％であった。
　次に、実施例ＩＶ−１〜１２で作製したシリコーンオリゴマー処理充填剤を、下記樹脂成分と下記配合量で配合し、エポキシ樹脂ワニスを調製した。
　　臭素化ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（エポキシ当量：５３０）：１００重量部
　　ジシアンジアミド：４重量部
　　シリコーンオリゴマー処理無機充填剤：５０重量部
　　２−エチル−４−メチルイミダゾール：０．５重量部
　上記化合物をメチルエチルケトン／エチレングリコールモノメチルエーテル（１：１重量比）混合溶剤に溶解及び分散させ、不揮発分７０重量％の樹脂ワニスを作製した。
比較例ＩＶ−１
　無機充填剤として未処理の焼成クレーを用いた以外は上記と同様にして樹脂ワニスを作製した。
比較例ＩＶ−２
　シリコーンオリゴマー含有処理液の代わりにシラン系カップリング剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（商品名：Ａ−１８７、日本ユニカー（株）製）を用いて、シラン系カップリング剤の付着量が０．０７重量％である焼成クレーを調製し、この焼成クレーを用いたこと以外は上記と同様にして樹脂ワニスを作製した。
比較例ＩＶ−３
　シリコーンオリゴマー含有処理液の代わりにエポキシ変性シリコーンオイル（商品名：ＫＦ１０１、信越化学工業株式会社製）用いて、シリコーンオイルの付着量が０．０６重量％である焼成クレーを調製し、この焼成クレーを用いたこと以外は上記と同様にして樹脂ワニスを作製した。
　実施例ＩＶ−１〜１２及び比較例ＩＶ−１〜３で作製した樹脂ワニスを、厚さ約０．２ｍｍのガラス布に含浸した後、１４０℃で５〜１０分間加熱乾燥して、樹脂分４１重量％のプリプレグを得た。このプリプレグ４枚を重ね、その両側に厚みが３５μｍの銅箔を重ね、１７０℃、９０分、４．０ＭＰａのプレス条件で加熱加圧し、両面銅張積層板を作製した。
　得られた両面銅張積層板について、ドリル加工性、吸水率、はんだ耐熱性及び耐電食性を評価した。その結果を表ＩＶ−１及び表ＩＶ−２に示す。
　　Ａ−１８７　：γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシン
　　ＳＺ−６０３２：Ｎ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩
　　ＫＦ１０１　：エポキシ変性シリコーンオイル
　　○：表記の材料を使用したことを示す。
　試験方法は、実施例ＩＩ−１〜９、参考例ＩＩ−１〜５及び比較例ＩＩ−１〜４で行ったと同様の方法を採用した。なお、耐電食性以外の試験片は、すべて銅箔をエッチングにより全面除去したものを使用した。
　以上の結果から、次のことがわかる。
　実施例ＩＶ−１〜１２は、はんだ耐熱性の低下がなく、吸水率が小さく、かつ、ドリル加工時の内壁クラックが小さくなり、耐電食性が向上している。
　本発明の印刷配線板用樹脂組成物（Ｂ）は、積層板とした場合に、これまでの積層板が有する特性を下げることなく、ドリル加工性や耐電食性等の絶縁特性を向上させることができる。
　産業上の利用可能性
　本発明によって得られる印刷配線板用のプリプレグは、基材／樹脂界面の接着性に優れたものである。また、本発明によって得られる印刷配線板用樹脂ワニスは、無機充填剤の分散性及び無機充填剤／樹脂界面の接着性に優れたものである。また、本発明の印刷配線板用樹脂組成物は、無機充填剤の分散性及び無機充填剤／樹脂界面の接着性及び基材／樹脂界面の接着性に優れたものである。従って、本発明によって得られるプリプレグ、樹脂ワニス及び樹脂組成物は、印刷配線板用積層板、多層印刷配線板の作製に好適に用いられ、これらを用いて作製した積層板や多層印刷配線板は、耐熱性、耐湿性に優れ、また、ドリル加工性、耐電食性等の絶縁特性に優れたものとなり、各種電気・電子機器の部品として好適に用いられる。
（５７）【特許請求の範囲】
１．　（補正後）ガラス基材を、シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が７０以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーで処理し、得られた処理基材に樹脂ワニスを含浸させた後乾燥することからなる印刷配線板用プリプレグの製造方法。
２．　樹脂ワニスが、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、トリアジン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリエステル樹脂及びこれら樹脂を変性した変性樹脂からなる群から選ばれる樹脂及びこの樹脂の硬化剤を含有するものである請求の範囲１記載の方法。
３．　（削除）
４．　シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲１記載の方法。
５．　シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲１記載の方法。
６．　シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）及び３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲１記載の方法。
７．　シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲１記載の方法。
８．　シリコーンオリゴマーの全シロキサン単位中の４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）の割合が１５ｍｏｌ％以上である請求の範囲４、５又は７記載の方法。
９．　シリコーンオリゴマーが４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲１記載の方法。
１０．　シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲１記載の方法。
１１．　基材をシリコーンオリゴマーで処理する際に、シラン系カップリング剤を併用する請求の範囲１記載の方法。
１２．　基材をシリコーンオリゴマーで処理した後、シラン系カップリング剤で処理する請求の範囲１記載の方法。
１３．　請求の範囲１記載の方法で得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより得られる印刷配線板用積層板。
１４．　シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が７０以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーを溶剤に溶解した処理液中で無機充填剤を表面処理し、次いで、その表面処理した無機充填剤が入った処理液に樹脂材料を直接配合することからなる印刷配線板用樹脂ワニスの製造方法。
１５．　樹脂材料が、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、トリアジン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリエステル樹脂及びこれら樹脂を変性した変性樹脂からなる群から選ばれる樹脂及びこの樹脂の硬化剤を含有するものである請求の範囲１４記載の方法。
１６．　シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲１４記載の方法。
１７．　シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲１４記載の方法。
１８．　シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）及び３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲１４記載の方法。
１９．　シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）（及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲１４記載の方法。
２０．　シリコーンオリゴマーの全シロキサン単位中の４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）の割合が１５ｍｏｌ％以上である請求の範囲１６、１７又は１９記載の方法。
２１．　シリコーンオリゴマーが４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲１４記載の方法。
２２．　シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）からなり重合度が６〜７０のものである請求の範囲１４記載の方法。
２３．　処理液が、シリコーンオリゴマーと共にシラン系カップリング剤を溶剤に溶解したものである請求の範囲１４記載の方法。
２４．　処理液が、シリコーンオリゴマーと共にチタネート系カップリング剤を溶剤に溶解したものである請求の範囲１４記載の方法。
２５．　基材に請求の範囲１４記載の方法で得られた印刷配線板用樹脂ワニスを含浸させた後乾燥させてプリプレグを製造し、得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより得られる印刷配線板用積層板。
２６．　樹脂材料、及び、シロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が７０以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーからなる印刷配線板用樹脂組成物。
２７．　樹脂材料が、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、トリアジン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリエステル樹脂及びこれら樹脂を変性した変性樹脂からなる群から選ばれる樹脂とこの樹脂の硬化剤を含有するものである請求の範囲２６記載の印刷配線板用樹脂組成物。
２８．　シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲２６記載の印刷配線板用樹脂組成物。
２９．　シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲２６記載の印刷配線板用樹脂組成物。
３０．　シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）及び３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲２６記載の印刷配線板用樹脂組成物。
３１．　シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲２６記載の印刷配線板用樹脂組成物。
３２．　シリコーンオリゴマーの全シロキサン単位中の４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）の割合が１５ｍｏｌ％以上である請求の範囲２８、２９又は３１記載の印刷配線板用樹脂組成物。
３３．　シリコーンオリゴマーが４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０である請求の範囲２６記載の印刷配線板用樹脂組成物。
３４．　シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲２６記載の印刷配線板用樹脂組成物。
３５．　カップリング剤を更に含有する請求の範囲２６記載の印刷配線板用樹脂組成物。
３６．　無機充填剤を更に含有する請求の範囲２６記載の印刷配線板用樹脂組成物。
３７．　カップリング剤及び無機充填剤を更に含有する請求の範囲２６記載の印刷配線板用樹脂組成物。
３８．　基材に請求の範囲２６記載の印刷配線板用樹脂組成物を含浸させた後乾燥させてプリプレグを製造し、得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより得られる印刷配線板用積層板。
３９．　樹脂材料、及び、シリコーンオリゴマーで処理した無機充填剤からなり、該シリコーンオリゴマーがシロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを水の存在下、酸触媒を用いることにより合成され、３官能性シロキサン単位，（ＲＳｉＯ３／２）（式中、Ｒはアルキル基、アリール基又はビニル基であり、シリコーンオリゴマー中のＲ基は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）から選ばれる少なくとも１種類のシロキサン単位を含有し、重合度が７０以下で３次元架橋されており、末端に水酸基と反応する官能基を１個以上有するシリコーンオリゴマーである印刷配線板用樹脂組成物。
４０．　樹脂材料が、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、トリアジン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリエステル樹脂及びこれら樹脂を変性した変性樹脂からなる群から選ばれる樹脂とこの樹脂の硬化剤を含有するものである請求の範囲３９記載の印刷配線板用樹脂組成物。
４１．　シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲３９記載の印刷配線板用樹脂組成物。
４２．　シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲３９記載の印刷配線板用樹脂組成物。
４３．　シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）及び３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲３９記載の印刷配線板用樹脂組成物。
４４．　シリコーンオリゴマーが２官能性シロキサン単位（Ｒ２ＳｉＯ２／２）、３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）及び４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲３９記載の印刷配線板用樹脂組成物。
４５．　シリコーンオリゴマーの全シロキサン単位中の４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）の割合が１５ｍｏｌ％以上である請求の範囲４１、４２又は４４記載の印刷配線板用樹脂組成物。
４６．　シリコーンオリゴマーが４官能性シロキサン単位（ＳｉＯ４／２）からなり、重合度が６〜７０である請求の範囲３９記載の印刷配線板用樹脂組成物。
４７．　シリコーンオリゴマーが３官能性シロキサン単位（ＲＳｉＯ３／２）からなり、重合度が６〜７０のものである請求の範囲３９記載の印刷配線板用樹脂組成物。
４８．　無機充填剤がシリコーンオリゴマー及びカップリング剤で表面処理されたものである請求の範囲３９記載の印刷配線板用樹脂組成物。
４９．　基材に請求の範囲３９記載の印刷配線板用樹脂組成物を含浸させた後乾燥させてプリプレグを製造し、得られたプリプレグを複数枚重ね、更にその少なくとも一方の外面に金属箔を重ね、加熱加圧することにより得られる印刷配線板用積層板。