【事件の表示】
　特許第３２１０７３３号「多段式逆浸透システム及びこれを用いた超純水の製造方法」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２１０７３３号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．訂正の適否についての判断
１−１．訂正の内容
　平成１５年１１月１８日になされた訂正の内容は、以下のとおりである。
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の、
「【請求項１】直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する方法において、少なくとも１台の膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いることを特徴とする多段式逆浸透システム。」
という記載を、
「【請求項１】超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いることによって直列に連結した複数台の膜モジュールにより原水を膜処理する一次純水システム用の多段式逆浸透システムにおいて、少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いることを特徴とする多段式逆浸透システム。」
と訂正する。
訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２の、
「【請求項２】複合半透膜として、負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いることを特徴とする請求項１記載の多段式逆浸透システム。」
という記載を、
「【請求項２】直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する多段式逆浸透システムにおいて、少なくとも１台の膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いることを特徴とする多段式逆浸透システム。」
と訂正する。
訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項３の、
「【請求項３】直列に連結した複数台の膜モジュールによって原水を膜処理して超純水を製造する方法において、少なくとも１台の膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いることを特徴とする超純水の製造方法。」
という記載を、
「【請求項３】超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いることによって直列に連結した複数台の膜モジュールにより原水を膜処理して一次純水を得る超純水の製造方法において、少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いることを特徴とする超純水の製造方法。」
と訂正する。
訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【０００７】の
「即ち本発明は、直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する方法において、少なくとも１台の膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いることを特徴とする多段式逆浸透システムに関する。」
という記載を、
「即ち本発明は、超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いることによって直列に連結した複数台の膜モジュールにより原水を膜処理する一次純水システム用の多段式逆浸透システムにおいて、少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いることを特徴とする多段式逆浸透システムに関する。」
と訂正する。
１−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、特許請求の範囲の訂正であって、具体的には、特許請求の範囲の請求項１において、以下の訂正をするものである。
訂正事項ａ−１「直列に連結した」の前に「超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いることによって」という記載を追加する。
訂正事項ａ−２「膜モジュールによって液体を膜処理する方法において」という記載を「膜モジュールにより原水を膜処理する一次純水システム用の多段式逆浸透システムにおいて」と訂正する。
訂正事項ａ−３「少なくとも１台の膜モジュールに、」の前に「少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ」という記載を追加する。
訂正事項ａ−４「少なくとも１台の膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、…複合半透膜を用いる」という記載を、「少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が、…複合半透膜を用いる」と訂正する。
　このうち、訂正事項ａ−１は、請求項１に係る発明である「多段式逆浸透システム」における「逆浸透膜モジュール」を、「超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂」の代わりに用いるものとする訂正であり、当該訂正は、上記「逆浸透膜モジュール」の用途を「超純水製造ラインの前段」に限定し、かつ「イオン交換樹脂の代わり」に用いることとするものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、特許明細書には、「この問題を解決する手段として、超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに、逆浸透（ＲＯ）膜モジュールを用いる２段式のＲＯシステムが最近開発されてきている。このシステムでは、１段目と２段目の膜の荷電性を変え、効率よくイオンを阻止する方法が知られている（例えば、特開昭６１−２８７４９２号公報）。」（段落【０００３】）と記載されており、特許明細書に記載される発明は、そのような超純水製造技術を改善するものであることから、当該訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ａ−２は、「…膜処理する方法において」という記載を、請求項１に係る発明である「多段式逆浸透システムにおいて」という記載に訂正し、かつ当該「多段式逆浸透システム」を、「原水を膜処理」する「一次純水システム用」とする訂正であり、当該訂正は、請求項１に係る発明のカテゴリーを明りょうにすると共に、「多段式逆浸透システム」の用途を「一次純水システム用」に限定するものであるから、明りょうでない記載の釈明及び特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、特許明細書には、「したがって本発明は、超純水の製造、例えば半導体製造における一次純水システムにおいて特に有効である。」（段落【００３１】第９行〜第１０行）と記載されているから、当該訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ａ−３は、請求項１に係る発明である「多段式逆浸透システム」における少なくとも１台の「膜モジュール」に、「負荷電性の複合半透膜」が用いられることとする訂正であり、当該訂正は、「膜モジュール」に用いる「複合半透膜」を限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、特許明細書には、「本発明においては、直列に連結した複数台の膜モジュールのうち、少なくとも１台の膜モジュールに正荷電性の特定の複合半透膜を用いればよく、例えば、２段式のＲＯシステムの場合、１段目に正荷電性でも負荷電性でもいずれの複合半透膜を用いても構わないが、２段目の複合半透膜は１段目とは逆の荷電性を持つものとする。通常は、原水にＮａＯＨを添加して炭酸ガスをＨＣＯ３− やＣＯ３２−に変えて炭酸ガスを除くため、１段目は負荷電性の複合半透膜を用いるのが好ましい。」（段落【０００９】）と記載されているから、当該訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ａ−４は、請求項１に係る発明である「多段式逆浸透システム」における少なくとも１台の「膜モジュール」に用いられる「複合半透膜」が、「負荷電性の複合半透膜が、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜」であることを明りょうにするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、かつ、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項ａの訂正は、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とするものであって、かつ、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ｂは、特許請求の範囲の訂正であって、具体的には、特許請求の範囲の請求項２において、以下の訂正をするものである。
訂正事項ｂ−１「複合半透膜として、」という記載を「直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する多段式逆浸透システムにおいて、少なくとも１台の膜モジュールに、」と訂正する。
訂正事項ｂ−２「請求項１記載の」という記載を削除する。
　そして、訂正事項ｂ−１、訂正事項ｂ−２からみて、訂正事項ｂは、訂正事項ａにより特許請求の範囲の請求項１が訂正されたことに伴って、請求項２を独立請求項とするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、かつ、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ｃは、特許請求の範囲の訂正であって、具体的には、特許請求の範囲の請求項３において、以下の訂正をするものである。
訂正事項ｃ−１「直列に連結した」の前に「超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いることによって」という記載を追加する。
訂正事項ｃ−２「複数台の膜モジュールによって原水を膜処理して超純水を製造する方法において、」という記載を「複数台の膜モジュールにより原水を膜処理して一次純水を得る超純水の製造方法において、」と訂正する。
訂正事項ｃ−３「少なくとも１台の膜モジュールに、」の前に「少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ」という記載を追加する。
訂正事項ｃ−４「少なくとも１台の膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、…複合半透膜を用いる」という記載を「少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が、…複合半透膜を用いる」と訂正する。
　このうち、訂正事項ｃ−１は、請求項３に係る発明である「超純水の製造方法」における「逆浸透膜モジュール」を、「超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂」の代わりに用いるものとする訂正であり、当該訂正は、上記「逆浸透膜モジュール」の用途を「超純水製造ラインの前段」に限定し、かつ「イオン交換樹脂の代わり」に用いることとするものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、特許明細書には、「この問題を解決する手段として、超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに、逆浸透（ＲＯ）膜モジュールを用いる２段式のＲＯシステムが最近開発されてきている。このシステムでは、１段目と２段目の膜の荷電性を変え、効率よくイオンを阻止する方法が知られている（例えば、特開昭６１−２８７４９２号公報）。」（段落【０００３】）と記載されているから、当該訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ｃ−２は、請求項３に係る発明である「超純水の製造方法」を、「一次純水」を得るものとするとする訂正であり、当該訂正は、「超純水の製造方法」を、「一次純水」を得るものに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、特許明細書には、「したがって本発明は、超純水の製造、例えば半導体製造における一次純水システムにおいて特に有効である。」（段落【００３１】第９行〜第１０行）と記載されているから、当該訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ｃ−３は、請求項３に係る発明である「超純水の製造方法」における少なくとも１台の「膜モジュール」に、「負荷電性の複合半透膜」が用いられることとする訂正であり、当該訂正は、「膜モジュール」に用いる「複合半透膜」を限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、特許明細書には、「本発明においては、直列に連結した複数台の膜モジュールのうち、少なくとも１台の膜モジュールに正荷電性の特定の複合半透膜を用いればよく、例えば、２段式のＲＯシステムの場合、１段目に正荷電性でも負荷電性でもいずれの複合半透膜を用いても構わないが、２段目の複合半透膜は１段目とは逆の荷電性を持つものとする。通常は、原水にＮａＯＨを添加して炭酸ガスをＨＣＯ３− やＣＯ３２−に変えて炭酸ガスを除くため、１段目は負荷電性の複合半透膜を用いるのが好ましい。」（段落【０００９】）と記載されているから、当該訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ｃ−４は、請求項３に係る発明である「超純水の製造方法」における少なくとも１台の「膜モジュール」に用いられる「複合半透膜」が、「負荷電性の複合半透膜が、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜」であることを明りょうにするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、かつ、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項ｃの訂正は、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とするものであって、かつ、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項ｄは、発明の詳細な説明を訂正するものであり、訂正事項ａないし訂正事項ｃにより特許請求の範囲が訂正されたことに伴って、明細書の発明の詳細な説明における特許請求の範囲に対応する記載を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　そして、上記のとおり、訂正事項ａないし訂正事項ｃの訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであるから、訂正事項ｄの訂正もまた、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　そして、これらの訂正は、実質上特許請求の範囲の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
１−３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
２．特許異議申立についての判断
２−１．本件発明
　上記「１．訂正の適否についての判断」で示したように、平成１５年１１月１８日になされた訂正は認められるから、訂正後の本件請求項１ないし請求項３に係る発明（以下、「本件訂正発明１」ないし「本件訂正発明３」という）は、上記訂正に係る訂正明細書（以下、「本件訂正明細書」という）の特許請求の範囲請求項１ないし請求項３に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いることによって直列に連結した複数台の膜モジュールにより原水を膜処理する一次純水システム用の多段式逆浸透システムにおいて、少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いることを特徴とする多段式逆浸透システム。
【請求項２】直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する多段式逆浸透システムにおいて、少なくとも１台の膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いることを特徴とする多段式逆浸透システム。
【請求項３】超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いることによって直列に連結した複数台の膜モジュールにより原水を膜処理して一次純水を得る超純水の製造方法において、少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いることを特徴とする超純水の製造方法。」
２−２．取消理由通知の概要
　当審が平成１５年９月５日付けで通知した取消しの理由の概要は、本件の請求項１及び請求項３に係る発明は、引用例１（特開平２−１９４８２０号公報）、引用例２（大矢晴彦監修「純水・超純水製造法−要素技術と応用システム−」初版第１刷　株式会社幸書房（昭６０−３−２０）ｐ．１６２−１８７、特許異議申立人東レ株式会社が平成１５年５月２２日に提出した回答書の参考文献１）、引用例３（特開昭６２−２６６１０３号公報）、引用例４（特開平２−５６２２５号公報、特許異議申立人東レ株式会社が提出した甲第２号証）及び引用例５（特開平４−６１９２１号公報、特許異議申立人東レ株式会社が提出した甲第３号証）に記載された発明（以下、「引用例１発明」ないし「引用例５発明」という）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
２−３．取消理由通知で引用された刊行物の記載事項
　上記引用例１ないし引用例５には、以下の事項が記載されている。
・引用例１（特開平２−１９４８２０号公報）
（１−Ａ）「直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を透過処理する方法において、正荷電膜のモジュールと負荷電膜のモジュールとを使用することを特徴とする液体の分離方法。」（特許請求の範囲）
（１−Ｂ）「本発明の目的は、多段処理法における、上記の不利益、すなわち、最終的に得られる透過液において、正負イオンの何れか一方のイオン濃度が各段での累積効果のために過剰になって、その透過液質が低下するのを、各段モジュールの膜の荷電極性の調和により解消することにある。」（第２ページ左上欄第１４行〜第１９行）
（１−Ｃ）「上記膜モジュール１，２の膜には、通常、操作圧力２０ｋｇｆ／ｃｍ２以下、好ましくは１５ｋｇｆ／ｃｍ２以下において、約１．０ｍ３／ｍ２・日の透過水量を有し、かつ少なくとも９０％以上好ましくは９５％以上の除去率を有するものを使用し、かかる膜としては複合膜の他、荷電膜（膜に電極を複合し、課電圧により膜を正極または負極に分極させる）がある。上記膜モジュールには、管状、ホローファイバー、プレートフレーム、スパイラル形式のものを使用できる。」（第２ページ右下欄第２０行〜第３ページ左上欄第９行）
（１−Ｄ）「また、本発明において、多段処理の段数は３段以上とし、半分の膜モジュールには正荷電の膜を、残部の膜モジュールには負荷電の膜をそれぞれ使用することもでき、この場合、交互にモジュール膜の荷電状態の極性を異ならせることが望ましい。」（第３ページ左上欄第１９行〜右上欄第３行）
（１−Ｅ）「本発明に係る液体の分離方法は上述した通りの方法であり、膜の荷電極性とイオン微粒子の極性との異同により、その微粒子の除去率が異なることに着目し、多段処理法における各モジュールの膜の荷電極性を異ならしめることによって、最終段モジュールの透過液中の正、負イオン濃度の不均衡を排除するものであり、かかる均衡化により透過液質を向上できる。従って本発明は、超純水例えば半導体製造に用いる用水の製造に極めて有用である。」（第３ページ右下欄第１行〜第１０行）
・引用例２（大矢晴彦監修「純水・超純水製造法−要素技術と応用システム−」初版第１刷　株式会社幸書房（昭６０−３−２０）ｐ．１６２−１８７、特許異議申立人東レ株式会社が平成１５年５月２２日に提出した回答書の参考文献１）
（２−Ａ）「２．２一次純水システム
　超純水製造システムは図２．１．３に示すように、一次純水システム、サブシステムに大別される。一次純水システムでは、工業用水、市水、井水などの原水を比抵抗１０ＭΩ・ｃｍ程度の純水に仕上げると同時に微粒子、有機物の大部分を除去する役目を担っている。主要な構成装置として、前処理装置、逆浸透装置、脱気装置、イオン交換装置が含まれている。」（第１６４ページ第８行〜第１３行）
（２−Ｂ）「２．２．４逆浸透装置
　電子工業用の超純水製造装置は逆浸透膜の導入によって飛躍的に進歩したといえる。一次純水製造装置に逆浸透装置を使用する目的ないし効果は、
（１）原水中の無機イオン、天然水中に多く含まれるフミン酸、フルボ酸などの有機物、前処理装置からリークした微粒子などを除去し、純水製造装置の系内を清浄に保つ。
（２）その脱塩能力を利用し、イオン交換装置への負荷を減少させることにより、高純度水の採取を容易にする。
などである。要素技術としての逆浸透技術については既に述べられているので省略し、プラントとしての計画に際して留意すべきことについて述べる。」（第１６６ページ第１３行〜第２２行）
（２−Ｃ）「２．２．５イオン交換装置
　一次純水製造装置におけるイオン交換装置は、水中の塩類を除去し、比抵抗５〜１０ＭΩ・ｃｍ以上の純水に仕上げることを目的として、通常逆浸透装置の後段に設置される。混床式単独または２床式と混床式との直列となる。逆浸透装置の透過水はやや陰イオンが多いので、混床式装置の陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂との容積比は、通常装置の１対２よりやや大き目の１対２．５程度にするとよい。逆浸透膜透過水のイオン量が少ないときには、イオン交換装置の大きさは通水空間速度（ＳＶ）によって決められるので、再生は数日に１回程度行えばよい。」（第１６８ページ第１行〜第９行）
（２−Ｄ）「２．３一次純水システムの実施例
　半導体向け超純水製造システムの最新実施例をもとに、単一機器の仕様とシステム系統図を図２．３．１に示し、構成上の留意点について述べる。
　図に示すように、原水は原水タンクを経て、砂ろ過器、逆浸透装置およびイオン交換装置などで処理され一次純水となる。原水タンク、脱塩水タンクおよび一次純水タンクはＦＲＰ製円筒竪型を使用している。従来は鋼板製内面エポキシ系樹脂塗装したものが用いられていたが、最近では耐水性に優れ、強度などの物理面でも信頼できるＦＲＰが多くなってきた。圧力式２層ろ過器は鋼板に内面エポキシ系樹脂塗装し、ろ材としてアンスラサイトおよび砂を２層に充槇している。ろ過器の逆洗はタイマー方式か差圧方式のいずれかを選択し、自動的に行う。熱交換器は逆浸透装置の水温変化による透過水量変動を防ぐために設けるもので、通常２５℃にコントロールされる。保安フィルターは逆浸透装置に流入する２０μｍ以上の異物を除去しようとするもので、積層型ポリプロピレン製カートリッジが充填されている。異物が蓄積した場合、圧縮空気および水により自動逆洗される。逆浸透装置のベッセル（モジュール充槇容器）はＦＲＰ製の円筒で、内部にスパイラル型酢酸セルロース製逆浸透膜モジュールが充槇されている。各ベッセルは濃縮水流速をできるだけ均一にするようクリスマスツリー状に配列され、給水圧力２８ｋｇ／ｃｍ２で運転し、給水２４ｍ３／ｈに対し、水回収率７５％、１８ｍ３／ｈの生産水を得ている。」（第１７０ページ第１２行〜第１７１ページ第２行）
・引用例３（特開昭６２−２６６１０３号公報）
（３−Ａ）「（１）活性層が、負固定荷電基を有する架橋有機重合体から成り、その表面を正固定荷電基を有する有機重合体によって被覆してなる複合半透膜。」（特許請求の範囲）
（３−Ｂ）「本発明は、液状混合物の成分を選択透過分離するための半透膜に関するものであり、エネルギー的に有利な低圧操作下でもカン水を脱塩し淡水化することができ、特に硬水の軟水化に有効であり、さらに染色廃水や電着塗料廃水等の公害発生原因である汚水等から、その中に含まれる汚染あるいは有価物を選択的に除去または回収し、また、半導体の製造や、医療用の超純水の製造に用いることのできる、複合半透膜に関するものである。」（第１ページ左下欄第１７行〜右下欄第５行）
（３−Ｃ）「本発明は、上記のような種々の負固定荷電型の膜に対して、その表面を正固定荷電基を有する有機重合体によって被覆することにより、２価陽イオンの脱塩率を向上するものである。
　ここにいう正固定荷電型基を有する有機重合体とは、架橋もしくは、非架橋の有機重合体において、その分子鎖および／または末端および／または、側鎖に、正固定荷電型基を有する重合体を意味し、正固定荷電型基としては、４級化アンモニウム、４級化ピリジニウム基等が一般的である。」（第３ページ左上欄第２行〜第１１行）
（３−Ｄ）「ここで、正固定荷電型基を有する有機重合体によって、活性層を被覆する方法は、通常のコーティング方法が使用できるが、より簡便には逆浸透法を行いながら、その原水に正固定荷電型基を有する有機重合体を添加することによっても達成できる。また、このような簡便な操作でも、活性層の負固定荷電型基との相互作用によって正固定荷電型基を有する有機重合体は、表面によく吸着され、使用中にはがれて消失することはない。」（第３ページ右上欄第４行〜第１２行）
・引用例４（特開平２−５６２２５号公報、特許異議申立人東レ株式会社が提出した甲第２号証）
（４−Ａ）「（１）微多孔性支持膜と該支持膜を被覆する超薄膜からなる複合半透膜において、さらに該超薄膜上に、少なくとも２つの官能基を有する水溶性ポリマを、多官能酸ハライドで架橋することにより得られる超薄膜を有することを特徴とする複合半透膜。」（特許請求の範囲）
（４−Ｂ）「本発明は、液状混合物の成分を選択透過分離するための複合半透膜およびその製造方法に関するものであり、特に半導体の製造などに用いられる超純水の製造や、またカン水の脱塩化や、さらには、染色排水、電着塗料排水等の公害発生原因である汚水等から、その中に含まれる汚染あるいは有効物質を選択的に除去または回収し、ひいては排水のクローズド化に寄与することができる、高性能複合半透膜に関するものである。」（第１ページ左下欄第２０行〜右下欄第８行）
・引用例５（特開平４−６１９２１号公報、特許異議申立人東レ株式会社が提出した甲第３号証）
（５−Ａ）「（１）多孔性基材上に半透性超薄膜を有し、更にその上に、水不溶性重合体から成るセグメントまたは枝部分と４級化ポリビニルピリジンセグメントとを有するブロック共重合体又はグラフト共重合体からなる薄膜が積層されていることを特徴とする複合半透膜。」（特許請求の範囲）
（５−Ｂ）「近年、逆浸透膜として多孔性基材上に半透性を有する超薄膜を形成させた複合半透膜が、後述するように、種々知られている。
　これらの超薄膜を備えた複合半透膜は、従来より逆浸透膜として広く用いられている酢酸セルロース膜に比較して、一般に、塩除去性能や透水性能等の逆浸透性能にすぐれてはいるが、しかし、実用的な脱塩に適用するには、尚、塩除去率の点で満足できるものではない。特に、半導体の製造において、ＬＳＩの洗浄に用いられる超純水には、近年のＬＳＩ集積密度の一層の高度化に伴って、高度に脱塩された純水が要求されるに至っており、かくして、超純水の製造に用いられる逆浸透膜には、従来に比べて、一層、高い塩除去率を有するものが求められている。しかも、低濃度の塩を含有する処理水に対しても、一層高い塩除去率を有するものが強く求められている。」（第１ページ左下欄第２０行〜右下欄第１６行）
（５−Ｃ）「参考例１
　ブレイクシール法にて高真空にした反応槽に０．１ｍｏｌ／ｌのｓｅｃ−ブチルリチウムのシクロヘキサン溶液６．５ｍｌとスチレン１５ｇを仕込み、反応器を氷水浴上で冷却しつつ、３０分間攪拌して、スチレンのリビングポリマーを得た。
　次いで、この反応器に精製２−ビニルピリジン２５ｇを加え、氷水浴上で更に３０分間攪拌して、ポリスチレン−ポリ（２−ビニルピリジン）リビングポリマーを得た。
　このダイブロック共重合体を反応器から取り出し、精製した後、ＧＰＣ及びプロトンＮＭＲにて分析した結果、ブロック共重合体は、ポリスチレンブロックが数平均分子量２３０００、ポリビニルピリジンブロックが数平均分子量３７０００を有するものであった。（第５ページ左上欄第１６行〜右上欄第１１行）
（５−Ｄ）「実施例１
　参考例１にて調整したブロック共重合体と、そのビニルピリジン成分に対して等量の二臭化ｎ−ラウリルとをテトラヒドロフラン／水等量混合溶剤に溶解させ、この溶液を第１図に示したような水面展開法にて０．０５μｍの厚さの薄膜に展開し、前記比較例として示した複合半透膜上に積層して、本発明による複合半透膜を得た。
　ブロック共重合体溶液の共重合体濃度は１０重量％、共重合体溶液の水面への供給量は０．０７ｍｌ／分、製膜速度は７ｍ／分とした。
　この後、複合半透膜を１１０℃で４０分間加熱して、ブロック共重合体を４級化架橋させた。」（第６ページ右上欄第２行〜第１４行）
２−４．対比、判断
２−４−１．本件訂正発明１について
　引用例１（１−Ａ）の記載からみて、引用例１には、「直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を透過処理する方法において、正荷電膜のモジュールと負荷電膜のモジュールとを使用することを特徴とする液体の分離方法」が記載されている。
　また、引用例１（１−Ｂ）ないし（１−Ｅ）の記載からみて、引用例１に記載された発明は、「最終的に得られる透過液」において、「正負イオンの何れか一方のイオン濃度」が過剰になって、その「透過液質」が低下するのを解消するものであり、その装置においては、「膜モジュール」の膜には「複合膜」が使用され、「多段処理の段数は３段以上とし、半分の膜モジュールには正荷電の膜を、残部の膜モジュールには負荷電の膜をそれぞれ使用することもでき、この場合、交互にモジュール膜の荷電状態の極性を異ならせることが望ましい」ものであり、そうすることにより、「最終段モジュールの透過液中の正、負イオン濃度の不均衡を排除する」ものであって、かつ、「超純水例えば半導体製造に用いる用水の製造」に極めて有用なものである。
　そこで、引用例１に記載された発明を、本件訂正発明１の記載ぶりに則って整理すると、引用例１には、
「直列に連結した複数台の膜モジュールにより液体を透過処理する超純水例えば半導体製造に用いる用水の製造装置において、半分の膜モジュールには正荷電の複合膜が用いられ、かつ残部の膜モジュールには負荷電の複合膜を用いることを特徴とする、超純水例えば半導体製造に用いる用水の製造装置」
の発明（以下、「引用例１発明」という）が記載されていると云える。
　ここで、引用例１発明は、「超純水」の製造装置であって、「装置」とは「システム」を構成するものであるから、当該引用例１発明は、「超純水システム」用の「システム」と云え、更に引用例１発明は、「直列に連結した複数台の膜モジュール」による「超純水」の製造装置であるから、「膜モジュール」により「原水」を「膜処理」するものと云える。
　かつ、上記「膜モジュール」は、「複数台」が「直列に連結」したものであるから、「多段式」であり、当該「膜モジュール」の膜には「複合膜」が使用されて、「最終段モジュールの透過液中の正、負イオン濃度の不均衡を排除する」ものであるから、引用例１発明は、「逆浸透」によるものである。
　すると、引用例１発明は、「直列に連結した複数台の膜モジュールにより原水を膜処理する超純水システム用の多段式逆浸透システム」であると云える。
　そして、「複数台」が「直列に連結」した「膜モジュール」の「半分の膜モジュールには正荷電の複合膜が用いられ、かつ残部の膜モジュールには負荷電の複合膜を用い」る場合、「少なくとも１台の膜モジュール」には「負荷電の複合膜」が用いられ、「少なくとも１台の膜モジュール」には「正荷電の複合膜」が用いられており、かつ「負荷電の複合膜」及び「正荷電の複合膜」が、それぞれ「負荷電性の複合半透膜」及び「正荷電性の複合半透膜」を意味することは明らかであるから、引用例１発明は、「少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ少なくとも１台の膜モジュールには正荷電性の複合半透膜を用い」るものである。
　そうすると、引用例１には、
「直列に連結した複数台の膜モジュールにより原水を膜処理する純水システム用の多段式逆浸透システムにおいて、少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ少なくとも１台の膜モジュールには正荷電性の複合半透膜を用いることを特徴とする多段式逆浸透システム」
の発明が記載されていると云える。
　そこで、本件訂正発明１と引用例１発明とを比較すると、両者は、「直列に連結した複数台の膜モジュールにより原水を膜処理する純水システム用の多段式逆浸透システムにおいて、少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられることを特徴とする多段式逆浸透システム」である点で一致し、
（１）前者が、「超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いる」ものであるのに対して、後者には、「超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いる」ことが記載されていない点、
（２）前者が、「一次純水システム用の多段式逆浸透システム」であるのに対して、後者には、「一次純水システム用の多段式逆浸透システム」であることが記載されていない点、
（３）前者が、「少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜」を用いるのに対して、後者は、「少なくとも１台の膜モジュールには正荷電性の複合半透膜」を用いる点、
で相違している。
　そこで、上記相違点について検討する
・相違点（１）について
　引用例２（２−Ａ）の記載からみて、引用例２には、「超純水製造システム」は、「一次純水システム」、「サブシステム」に大別され、「一次純水システム」の主要な構成装置として、「前処理装置」、「逆浸透装置」、「脱気装置」、「イオン交換装置」が含まれていることが記載されている。
　また、引用例２（２−Ｂ）ないし（２−Ｄ）の記載からみて、「一次純水製造装置」に「逆浸透装置」を使用する目的ないし効果は、「原水中の無機イオン、天然水中に多く含まれるフミン酸、フルボ酸などの有機物、前処理装置からリークした微粒子などを除去し、純水製造装置の系内を清浄に保つ」、「その脱塩能力を利用し、イオン交換装置への負荷を減少させることにより、高純度水の採取を容易にする」ことがあり、上記「逆浸透装置」は、「ベッセル（モジュール充槇容器）」はＦＲＰ製の円筒で、内部に「スパイラル型酢酸セルロース製逆浸透膜モジュール」が充槇されているものであり、「イオン交換装置」は、「通常逆浸透装置の後段に設置される」ものであって、「混床式単独または２床式と混床式との直列」であり、「混床式装置の陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂との容積比は、通常装置の１対２よりやや大き目の１対２．５程度にするとよい」ものである。
　そうすると、引用例２には、「超純水製造システム」の「一次純水システム」においては、「陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂」を有する「イオン交換装置」への負荷を減少させることを目的として、内部に「スパイラル型酢酸セルロース製逆浸透膜モジュール」が充槇されている「逆浸透装置」を用いることが記載されていると云える。
　ここで、引用例２において「一次純水システム」に「逆浸透装置」を用いる目的は、「イオン交換装置への負荷を減少させる」ことにあり、かつ、「イオン交換装置」は、「通常逆浸透装置の後段に設置される」ものであるから、引用例２における「一次純水システム」は、「逆浸透装置」と「イオン交換装置」の両方を共に用いるものである。
　そして、装置の構成からみて、引用例２に記載された「一次純水システム」、「イオン交換装置」及び「逆浸透装置」は、本件訂正発明１における「一次純水システム」、「イオン交換樹脂」及び「逆浸透膜モジュール」にそれぞれ相当するものである。
　そうすると、引用例２には、「一次純水システム」に「逆浸透膜モジュール」を用いることが記載されていると云えるが、当該「逆浸透膜モジュール」は「イオン交換樹脂」と共に用いられるものであるから、引用例２には、「超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いる」ことが、記載も示唆もされていない。
　また、引用例３（３−Ａ）ないし（３−Ｄ）の記載からみて、引用例３には、「活性層が、負固定荷電基を有する架橋有機重合体から成り、その表面を正固定荷電基を有する有機重合体によって被覆してなる複合半透膜」の発明が、引用例４（４−Ａ）及び（４−Ｂ）の記載からみて、引用例４には、「微多孔性支持膜と該支持膜を被覆する超薄膜からなる複合半透膜において、さらに該超薄膜上に、少なくとも２つの官能基を有する水溶性ポリマを、多官能酸ハライドで架橋することにより得られる超薄膜を有することを特徴とする複合半透膜」の発明が、引用例５（５−Ａ）ないし（５−Ｄ）の記載からみて、引用例５には、「多孔性基材上に半透性超薄膜を有し、更にその上に、水不溶性重合体から成るセグメントまたは枝部分と４級化ポリビニルピリジンセグメントとを有するブロック共重合体又はグラフト共重合体からなる薄膜が積層されていることを特徴とする複合半透膜」の発明が、それぞれ記載されているが、引用例３ないし引用例５には、「超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いる」ことは記載も示唆もされていない。
　そして、本件訂正発明１は、上記構成により訂正明細書記載の格別な効果を奏するものである。
　したがって、引用例１発明において、「超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いる」ことを、引用例２ないし引用例５に記載された発明に基づいて、当業者が容易になし得るとは云えない。
　故に、他の相違点について検討するまでもなく、本件訂正発明１を、引用例１ないし引用例５に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
２−４−２．本件訂正発明３について
　本件訂正発明３は、本件訂正発明１における「多段式逆浸透システム」を「超純水の製造方法」として本件訂正発明１のカテゴリーを変更しただけのものであって、本件訂正発明１を特定する事項を全て含むものである。
　そうすると、２−４−１．に記載したのと同じ理由により、本件訂正発明３を、引用例１ないし引用例５に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
２−４−３．本件訂正発明２について
　なお、当審が平成１５年９月５日付けで通知した取消しの理由には、本件訂正発明２について記載がなされていないが、ここで検討しておくと、２−４−１．に記載したとおり、引用例１には、「直列に連結した複数台の膜モジュールにより原水を膜処理する純水システム用の多段式逆浸透システムにおいて、少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ少なくとも１台の膜モジュールには正荷電性の複合半透膜を用いることを特徴とする多段式逆浸透システム」の発明が記載されていると云え、かつ「原水」は「液体」であるから、このことに基づいて本件訂正発明２と引用例１発明とを比較すると、両者は、「直列に連結した複数台の膜モジュールにより原水を膜処理する純水システム用の多段式逆浸透システム」である点で一致し、前者においては、「少なくとも１台の膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用い」ているのに対して、後者においては、「少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ少なくとも１台の膜モジュールには正荷電性の複合半透膜を用い」ている点で、相違している。
　そこで、上記相違点について検討すると、引用例２（２−Ａ）ないし（２−Ｄ）の記載からみて、引用例２には、「一次純水システム」に「逆浸透膜モジュール」を用いることが記載されていると云えるが、当該「逆浸透膜モジュール」は、「スパイラル型酢酸セルロース製逆浸透膜モジュール」が充槇されたものである。
　そうすると、引用例２には、「膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜」を用いることが記載も示唆もされているとは云えない。
　また、引用例３（３−Ａ）ないし（３−Ｄ）の記載からみて、引用例３には、「活性層が、負固定荷電基を有する架橋有機重合体から成り、その表面を正固定荷電基を有する有機重合体によって被覆してなる複合半透膜」が記載されており、具体的には、「半導体の製造や、医療用の超純水の製造に用いることのできる、複合半透膜」に関するものであって、「活性層」の表面を被覆する「正固定荷電型基を有する有機重合体」とは、「架橋もしくは、非架橋の有機重合体において、その分子鎖および／または末端および／または、側鎖に、正固定荷電型基を有する重合体」を意味し、更に「正固定荷電型基を有する有機重合体によって、活性層を被覆する方法は、通常のコーティング方法が使用できる」ものである。
　そして、上記「活性層」は、「負固定荷電基を有する架橋有機重合体」から成るものであるから、「負荷電性の複合半透膜」と云えるが、引用例３には、「活性層」が、「４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆」されることは記載されていない。
　そうすると、引用例３に記載された「複合半透膜」は、「負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜」とは云えないから、引用例３には、「膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜」を用いることが記載も示唆もされているとは云えない。
　更に、引用例４（４−Ａ）及び（４−Ｂ）の記載からみて、引用例４には、「微多孔性支持膜と該支持膜を被覆する超薄膜からなる複合半透膜において、さらに該超薄膜上に、少なくとも２つの官能基を有する水溶性ポリマを、多官能酸ハライドで架橋することにより得られる超薄膜を有することを特徴とする複合半透膜」が記載されており、当該「複合半透膜」は、「特に半導体の製造などに用いられる超純水の製造や、またカン水の脱塩化や、さらには、染色排水、電着塗料排水等の公害発生原因である汚水等から、その中に含まれる汚染あるいは有効物質を選択的に除去または回収し、ひいては排水のクローズド化に寄与することができる」ものである。
　そうすると、引用例４に記載された「複合半透膜」は、「超薄膜上に、少なくとも２つの官能基を有する水溶性ポリマを、多官能酸ハライドで架橋することにより得られる超薄膜を有する」ものであって、「負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜」とは云えないから、引用例４には、「膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜」を用いることが記載も示唆もされているとは云えない。
　最後に、引用例５（５−Ａ）ないし（５−Ｄ）の記載からみて、引用例５には、「多孔性基材上に半透性超薄膜を有し、更にその上に、水不溶性重合体から成るセグメントまたは枝部分と４級化ポリビニルピリジンセグメントとを有するブロック共重合体又はグラフト共重合体からなる薄膜が積層されていることを特徴とする複合半透膜」が記載されており、具体的には、「超純水の製造に用いられる逆浸透膜」に関するものであって、「ポリスチレン−ポリ（２−ビニルピリジン）リビングポリマー」の「ブロック共重合体溶液」を「複合半透膜上に積層」して、「この後、複合半透膜を１１０℃で４０分間加熱して、ブロック共重合体を４級化架橋」させたものである。
　そうすると、引用例５に記載された「複合半透膜」は、「複合半透膜」上に、「ポリスチレン−ポリ（２−ビニルピリジン）リビングポリマー」の「ブロック共重合体」を積層して、「４級化架橋」させたものであって、「負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜」とは云えないから、引用例５には、「膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜」を用いることが記載も示唆もされているとは云えない。
　そして、本件訂正発明２は、上記構成により、訂正明細書記載の優れた効果を奏するものである。
　以上のとおりであるから、引用例１発明において、「少なくとも１台の膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いる」ことを、引用例２ないし引用例５の記載に基づいて当業者が容易になし得るとは云えない。
　故に、本件訂正発明２を、引用例１ないし引用例５に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えない。
　また、その他の特許異議申立理由及び証拠は、本件訂正発明１ないし本件訂正発明３を取り消すべき理由として採用することができない。
２−５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件訂正発明１ないし本件訂正発明３を取り消すことはできない。
　また、他に本件訂正発明１ないし本件訂正発明３についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年１月２８日（２００４．１．２８）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
多段式逆浸透システム及びこれを用いた超純水の製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いることによって
り原水
一次純水システム用の多段式逆浸透システム
少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ
は
　【請求項２】
直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する多段式逆浸透システムにおいて、少なくとも１台の膜モジュールに、負荷電性の複合半透膜が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体が、分子内または／および分子間でイソシアネート基により架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜を用いることを特徴とする多段式逆浸透システム。
　【請求項３】
超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いることによって
り
一次純水を得る超純水の製造方法
少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する方法に関し、さらに詳しくは、半導体製造において必要不可欠な超純水を長期間安定して得ることのできる多段式逆浸透（以下ＲＯということがある）システムに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　半導体の製造においてＬＳＩの洗浄に用いられる超純水は、近年の集積密度の一層の高度化に伴って、より優れたレベルの水質が要求されてきている。　このため、超純水の水質レベルが上がると、従来は吸着により不純物を除去する機能を担ってきたイオン交換樹脂からの有機化合物の溶出が問題となってきている。
　【０００３】
　この問題を解決する手段として、超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに、逆浸透（ＲＯ）膜モジュールを用いる２段式のＲＯシステムが最近開発されてきている。　このシステムでは、１段目と２段目の膜の荷電性を変え、効率よくイオンを阻止する方法が知られている（例えば、特開昭６１−２８７４９２号公報）。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　一般に逆浸透膜は、活性層とこれを支持する支持層を異種素材から製造してなる複合半透膜が種々提案されており、さらにこの活性層はその生成のし易さから架橋ポリアミドからなるものが主流となっている。　これらは負の固定荷電基を有しており、２段式のＲＯシステムの１段目にこれらが用いられる場合が多く、２段目は正の荷電性を持つ膜が必要になってくる。　このため、従来の負の荷電性を持つ逆浸透膜の表面に、正の固定荷電基を有する有機重合体を被覆してなる複合半透膜が提案されている（例えば、特開昭６２−２６６１０３号公報）。
　【０００５】
　しかしながらかかる複合半透膜は、その製造方法からして吸着機構を主にしていることにより、繰り返しの使用に際し荷電基のある程度の脱落をともない、所望の性能が低下する場合があるという点で不十分であった。　そのため、このような膜モジュールを用いて２段式のＲＯシステムを作製しても、短期間のうちに透過水の水質が悪くなってしまい、さらに超純水製造ラインにこのシステムを用いると、後段の非再生型のイオン交換樹脂への負荷が大きくなり、樹脂の交換を頻繁に行う必要があるという欠点を有していた。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するためになされたもので、長期間にわたって安定した性能を維持できる多段式ＲＯシステムおよびこれを用いた超純水の製造方法を提供する。
　【０００７】
　即ち本発明は、
超純水製造ラインの前段において用いられる再生型のイオン交換樹脂の代わりに逆浸透膜モジュールを用いることによって
り原水
一次純水システム用の多段式逆浸透システム
少なくとも１台の膜モジュールには負荷電性の複合半透膜が用いられ、かつ
は
　【０００８】
　以下、本発明を２段式のＲＯシステムを例に説明するが、本発明は２段式に限定されるものではなく、２段式もしくはそれ以上の多段式にも適用できる。
　【０００９】
　本発明においては、直列に連結した複数台の膜モジュールのうち、少なくとも１台の膜モジュールに正荷電性の特定の複合半透膜を用いればよく、例えば、２段式のＲＯシステムの場合、１段目に正荷電性でも負荷電性でもいずれの複合半透膜を用いても構わないが、２段目の複合半透膜は１段目とは逆の荷電性を持つものとする。　通常は、原水にＮａＯＨを添加して炭酸ガスをＨＣＯ３−やＣＯ３２−に変えて炭酸ガスを除くため、１段目は負荷電性の複合半透膜を用いるのが好ましい。
　【００１０】
　ここで用いる負荷電性の複合半透膜とは、例えばポリスルホンなどからなる微多孔性支持層上に負荷電性を有する活性層が形成されたものである。　かかる活性層とは、負固定荷電基としてカルボン酸、スルホン酸、リン酸、硫酸などの基を有する架橋有機重合体からなり、特に脱塩性能、透水性の点から、界面重縮合によって合成された架橋ポリアミド系重合体が好ましい。　具体的には、ピペラジンポリアミドや芳香族ポリアミドなどを活性層とする複合半透膜を挙げることができる。
　【００１１】
　本発明で用いる正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層により被覆された複合半透膜とは、上記のような種々の負固定荷電膜の表面が、正荷電性基を持つ３次元架橋された有機重合体で被覆されたものであればよく、その有機重合体の構造は特に限定されるものではない。
　【００１２】
　しかしながら、本発明においては作業性、加工性などの点から、当該有機重合体自体は溶媒に可溶であることが望ましく、そのため複合半透膜上に被覆後に３次元架橋するものが好ましい。このような有機重合体としては、分子内に正荷電性基と架橋反応を起こす官能基を持つものであり、それ自体は溶媒に可溶なものが用いられる。　例えば一例として、正荷電性基と共に分子内に少なくとも２つの水酸基または／およびアミノ基を有する重合体（以下重合体Ａという）や、正荷電性基と共に分子内に少なくとも２つの水酸基または／およびアミノ基と２つの保護されたイソシアネート基を有する重合体（以下重合体Ｂという）などが挙げられる。
　【００１３】
　ここで正荷電性基としては、アンモニウム基、ホスホニウム基、スルホニウム基などを挙げることができる。　また、保護されたイソシアネート基とは、ブロック化剤を用いてブロックされたイソシアネート基や、あるいはアミンイミド基の形で保護されているイソシアネート基をいう。
　【００１４】
　イソシアネート基をブロックするためのブロック化剤は、種々のものが知られており、例えば、フェノール、クレゾールなどのフェノール系、メタノール、エタノール、メチルセロソルブなどのアルコール系、メチルエチルケトオキシム、アセトアルデヒドオキシムなどのオキシム系を挙げることができる。
　【００１５】
　上記重合体Ａとしては、例えば、メタクリル酸ヒドロキシプロピルトリメチルアンモニウムクロライドの単独重合体および他の重合体可能なモノマーとの共重合体、メタクリル酸エチルトリメチルアンモニウムクロライドとメタクリル酸ヒドロキシエチルとの共重合体、４−ビニルピリジンとメタクリル酸ヒドロキシエチルとの共重合体の４級化物などを挙げることができる。
　【００１６】
　また、上記重合体Ｂとしては、例えば、２−メタクリロイルオキシエチレンイソシアネートを適宜のブロック化剤でブロックしてなるイソシアネート単量体とメタクリル酸ヒドロキシプロピルトリメチルアンモニウムクロライドとの共重合体、上記ブロック化イソシアネートと４−ビニルピリジンおよびメタクリル酸ヒドロキシエチルとの共重合体の４級化物、１，１−ジメチル−１−（２−ヒドロキシプロピル）アミンメタクリルイミドのようなアミンイミド基を有するビニル単量体とメタクリル酸ヒドロキシプロピルトリメチルアンモニウムクロライドとの共重合体などを挙げることができる。
　【００１７】
　上記の重合体ＡおよびＢは、いずれも水やアルコールに可溶性である。　したがって、本発明において架橋重合体層は、例えば、次のような種々の方法によって従来の複合半透膜の半透性超薄膜の上に形成することができる。
　【００１８】
　重合体Ａを架橋してなる架橋重合体層を形成するには、重合体Ａの水溶液またはアルコール溶液を複合半透膜に塗布した後、乾燥し、多官能架橋剤としてのポリイソシアネート化合物を溶解させた溶液を接触させ、必要に応じて加熱して、重合体Ａを分子間にて架橋させればよい。
　【００１９】
　また別の方法として、重合体Ａの水溶液またはアルコール溶液に前記したようなブロック剤にてブロック化した多官能ポリイソシアネート化合物を加え、得られた溶液を複合半透膜に塗布した後、このブロック化ポリイソシアネートの解離温度以上の温度に加熱し、ポリイソシアネート化合物を遊離させ、重合体Ａと架橋反応させてもよい。
　【００２０】
　ここで用いるポリイソシアネート化合物は、特に限定されるものではないが、例えば、トリレンジイソシアネートやジフェニルメタンジイソシアネート、それらの多量体、イソホロンジイソシアネート　ヘキサメチレンジイソシアネート、トリフェニルメタントリイソシアネート、トリス（ｐ−イソシアネートフェニル）チオフォスファイト、トリメチロールプロパンとトリレンジイソシアネートとの付加体、トリメチロールプロパンとキシリレンジイソシアネートとの付加体などを挙げることができる。
　【００２１】
　また、前記重合体Ｂの架橋重合体層を複合半透膜上に形成するには、例えば、重合体Ｂの水またはアルコール溶液を複合半透膜上に塗布し、ブロック化イソシアネートの解離温度以上の温度に加熱し、イソシアネート基を遊離させて、分子間または／および分子内で架橋させればよい。
　【００２２】
　また、上述したイソシアネート基と水酸基による架橋反応を促進するために、架橋反応に際して、必要に応じて、３級アミンや有機スズ化合物などの触媒を用いることもできる。
　【００２３】
　また、上記のように有機重合体が架橋性の官能基を持たなくても、複合半透膜上に正荷電を持つ有機重合体を被覆後電子線を照射したり、あるいは有機重合体溶液中に過酸化物を混入し、複合半透膜上に被覆後加熱するなどの方法によって、有機重合体骨格上にラジカルを生じさせ、３次元架橋させることもできる。
　【００２４】
　本発明において、このようにして形成される架橋重合体層の膜厚は、通常１０オングストローム乃至１０μｍの範囲が好ましい。　１０オングストロームよりも薄いときは、得られる複合半透膜を２段式ＲＯシステムに用いても塩の除去性能がほとんど改善されず、他方、１０μｍを超えるときは、得られる膜の透水性能が著しく低下するので好ましくない。
　【００２５】
　以下、図面により本発明の多段式ＲＯシステムについて説明する。図１は、多段式ＲＯシステムの一例として、２段式ＲＯシステムを示す説明図である。　図１において、１は第１段目の膜モジュールであり、１１は同モジュール１の原液室、１２は透過液室である。　２は第２段目の膜モジュールであり、２１は同モジュール２の原液室、２２は透過室である。　上記第１段目モジュール１の透過液室１２を第２段目モジュール２の原液室２１に連通して、両モジュール１および２を直列に連結してある。　３１、３２は各モジュール１、２の原液室出口に設けた調圧バルブであり、各バルブ３１、３２により各モジュール１、２の原液室圧力を調整する。　４は送液ポンプであり、５は原液槽である。
　【００２６】
　本発明により原液を膜処理するには、調圧バルブ３１、３２の操作により各モジュール１、２の原液室圧力を所定圧力に設定し、送液ポンプ４を駆動する。この場合、原液中に金属塩、例えばＮａＣｌが含有されており、第１段目膜モジュール１が負荷電状態にあるとすれば、Ｎａ＋イオンに対しては透過方向の静電吸引力が作用するから、Ｎａ＋の阻止率がＣｌ−の阻止率よりも悪く、第１段目モジュール１における透過液はＮａ＋濃度がＣｌ−濃度よりも大となる。　この透過液は第２段目モジュール２に至り、該モジュールの膜で処理される。　しかるに、第２段目モジュール２の膜の荷電状態が、第１段目モジュール１とは逆極性であって、正荷電状態であるから、Ｎａ＋の阻止率がＣｌ−の阻止率よりも大であり、第２段目膜モジュール２の透過液においては、Ｎａ＋濃度とＣｌ−濃度との差が小さくなり（両イオン濃度の不均衡がなくなる）、透過液質を向上できる。
　【００２７】
　上記において、第１段目モジュール１の透過液にＮａＯＨを注入し、該透過液中の炭酸ガスをＨＣＯ３−やＣＯ３２−に変換し、これらのイオンを第２段目モジュール２で除去して上記炭酸ガスを最終的に透過液から除去する場合は、第１段目膜モジュール１の透過液中にＮａＯＨのＮａ＋が多量に含まれても、その多くを第２段目膜モジュール２によって除去できるので有効である。
　【００２８】
　また、原液槽５にＮａＯＨを注入し、該原液の炭酸ガスをＨＣＯ３−やＣＯ３２−に変換し、これらのイオンを第１段目モジュール１で除去して上記炭酸ガスを最終的に透過液から除去する場合は、ＨＣＯ３−やＣＯ３２−などの陰イオンは負荷電状態である第１段目モジュール１で効率よく除去することができ、さらに第１段目モジュール１の透過液中にＮａＯＨのＮａ＋が多量に含まれても、その多くを第２段目膜モジュール２によって除去できるので、さらに有効である。
　【００２９】
　上記膜モジュール１、２に用いる複合半透膜には、通常、操作圧力２０ｋｇｆ／ｃｍ２以下、好ましくは１５ｋｇｆ／ｃｍ２以下において、約１．０ｍ３／ｍ２・日の透過流束を有し、かつ少なくとも８０％以上、好ましくは９０％以上の塩阻止率を有するものを使用する。また、使用する膜モジュールの形態は何ら限定されず、例えば、菅状、ホローファイバー、プレートアンドフレーム、スパイラル形状のものが挙げられる。
　【００３０】
　上記２段式ＲＯシステムにおいて、第１段目モジュール１の透過液の貯液槽、並びに該貯液槽内の透過液を所定の圧力で第２段目モジュール２の原液室に供給するための送液ポンプを設ければ、第１段目モジュール１にも、第２段目モジュール２と同様、透過液室１２を定圧設計とせる通常の膜モジュールを使用できる。　また、上記各段のモジュール１、２には、並列接続の膜モジュール群を使用することもできる。
　【００３１】
　【発明の効果】
　本発明の多段式ＲＯシステムは、異なる荷電を持つ膜モジュールを組み合わせると共に特に特定の複合半透膜、すなわち従来の吸着機構によるだけでなくそれ自体が３次元架橋によって不溶化し、耐久性に優れた被膜を形成する正固定荷電を有する有機重合体からなる複合半透膜を用いるため、効率のよい塩阻止性能を発揮し、透過液質を向上させることができ、さらに繰り返しの使用によっても、正固定荷電を有する有機重合体が脱落することなく、システム全体の性能が低下することもなく、長期間にわたって安定した透過液質が得られるという利点がある。　したがって本発明は、超純水の製造、例えば半導体製造における一次純水システムにおいて特に有効である。
　【００３２】
　【実施例】
　以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。
　【００３３】
参考例１
　メチルエチルケトキシム２９ｇをベンゼン５０ｇに溶解し、この溶液に２５℃の温度で２−メタクロイルオキシエチレンイソシアネート５１．６ｇを約４０分を要して滴下し、さらに４５℃で２時間攪拌した。　得られた反応生成物をプロトンＮＭＲにて分析して、２−メタクロイルオキシエチレンイソシアネートにほぼ定量的にメチルエチルケトキシムが付加しているブロック化物であることを確認した。
　【００３４】
参考例２
　メタクリル酸ヒドロキシプロピルトリメチルアンモニウムクロライド１６ｇと参考例１で得たブロック化イソシアネート化合物８ｇとをメタノール６０ｇに溶解させ、これにアゾビスイソブチロニトリル０．４ｇを加え、窒素ガス雰囲気下に６０℃で６時間攪拌して、４級アンモニウム基を有する共重合体を得た。
　【００３５】
参考例３
　メタクリル酸ヒドロキシプロピルトリメチルアンモニウムクロライド６ｇとメタクリル酸ブチル１８ｇとをメタノール６０ｇに溶解させ、これにアゾビスイソブチロニトリル０．７ｇを加え、窒素ガス雰囲気下に６０℃で６時間攪拌して、４級アンモニウム基を有する共重合体を得た。　この共重合体を加熱乾燥すると、非架橋性であるが、水には不溶性であった。
　【００３６】
参考例４
　特開平２−１８７１３５号公報に記載されている方法にしたがって、負荷電性を有する芳香族ポリアミド系複合半透膜を得た。
　【００３７】
参考例５
　参考例２で得た共重合体１ｇを水に溶解させ、１重量％水溶液を作製した。これに架橋触媒として１，４−アザビシクロ（２，２，２）オクタン０．００５ｇを加えた。このようにして得られた溶液を、乾燥膜厚０．０５μｍとなるように参考例４の複合半透膜上に塗布し、１５０℃で１０分間加熱し、共重合体を架橋させて正荷電性を有する複合半透膜を得た。
　【００３８】
参考例６
　参考例３で得た共重合体１ｇをエタノールに溶解させ、１重量％エタノール溶液を作製した。　このようにして得られた溶液を、乾燥膜厚０．０５μｍとなるように参考例４の複合半透膜上に塗布し、１５０℃で１０分間加熱し、正荷電性を有する複合半透膜を得た。
　【００３９】
実施例１
　参考例４および５で得られた複合半透膜で、それぞれスパイラル型モジュールを作製した。　参考例４より得られた負荷電性を有する複合半透膜を用いて作製したモジュールを第１段目に、そして参考例５より得られた正荷電性を有する複合半透膜を用いた作製したモジュールを第２段目に用いて、２段式ＲＯシステムを構成し、この試験を下記の如く行った。
　【００４０】
　原液には、電導度１００μＳ／ｃｍ、ｐＨ＝６．５の井戸水を用い、第１段目モジュールへの供給圧力を３０ｋｇ／ｃｍ２とし、第２段目モジュールへの供給圧力を１５ｋｇ／ｃｍ２に調整した。　また原液槽にＮａＯＨを注入し、第２段目モジュールの透過液の比抵抗が最も高くなるようにｐＨ調整した。　この条件で連続して評価を行い、第２段目モジュールの透過液の最高比抵抗値の経時変化を調べ、その結果を図２に示した。
　【００４１】
比較例１
　実施例１において、参考例５で得た複合半透膜を用いて作製したモジュールの代わりに、参考例６で得た複合半透膜を用いて作製したモジュールを用いて、実施例１と同様の２段式ＲＯシステムの試験を行い、その結果を図２に併せて示した。
　【００４２】
　図２に示す結果から明らかなように、本発明の多段式ＲＯシステムでは、比較例の未架橋タイプの正荷電を持つ重合体を有する複合半透膜を用いる従来の多段式ＲＯシステムに比べて、長期間にわたって安定した透過液質が得られることがわかる。
【図面の簡単な説明】
　図１は、本発明の多段式ＲＯシステムの一例を示す説明図である。図２は、多段式ＲＯシステムにおける透過水の比抵抗の経時変化を示すグラフである。
　【符号の説明】
　１　第１段目膜モジュール
　２　第２段目膜モジュール