【事件の表示】
　特許第３２８７２７４号「セラミックグリーンシートの製造方法」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２８７２７４号の訂正後の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３２８７２７４号は、平成９年９月９日に特許出願され、平成１４年３月１５日にその特許の設定登録がなされ、その後、株式会社ヒラノテクシードから特許異議の申立てがあり、取消理由が通知されたところ、その指定期間内である平成１５年７月２２日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否について
（１）訂正の内容
　本件訂正請求書における訂正の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正しようとするものである。すなわち、
訂正事項ａ：特許請求の範囲に
「【請求項１】圧送されるセラミックスラリーを受ける第１のスラリー室と、前記第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室より狭い断面を有するスラリー流路と、前記スラリー流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有するとともに外部に向く開口が形成された第２のスラリー室とを備え、前記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、スラリーコータを用意し、セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートをその上で成形するためのキャリアフィルムを用意し、前記第１のスラリー室に圧送されたセラミックスラリーを、前記スラリー流路を通して、前記第２のスラリー室まで供給するとともに、前記第２のスラリー室の前記開口の周縁部に前記キャリアフィルムを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記キャリアフィルムを前記開口に沿って移動させることによって、前記キャリアフィルム上に前記セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートを成形する、各工程を備える、セラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項２】　前記第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーは、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものである、請求項１に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項３】　前記キャリアフィルム上に成形される前記セラミックグリーンシートの厚みが１０μｍ以下である、請求項１または２に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。」とあるのを
「【請求項１】圧送されるセラミックスラリーを受ける第１のスラリー室と、前記第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室より狭い断面を有するスラリー流路と、前記スラリー流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有するとともに外部に向く開口が形成された第２のスラリー室とを備え、前記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、スラリーコータを用意し、セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートをその上で成形するためのキャリアフィルムを用意し、前記第１のスラリー室に圧送されたセラミックスラリーを、前記スラリー流路を通して、前記第２のスラリー室まで供給するとともに、前記第２のスラリー室の前記開口の周縁部に前記キャリアフィルムを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記キャリアフィルムを前記開口に沿って移動させることによって、前記キャリアフィルム上に前記セラミックスラリーからなる厚みが５μｍ以下のセラミックグリーンシートを成形する、各工程を備える、セラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項２】　前記第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーは、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものである、請求項１に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。」と訂正する。
訂正事項ｂ：明細書段落【０００９】の「厚みが１０μｍ以下」を「厚みが１０μｍ以下、さらには５μｍ以下」と訂正する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、訂正事項ａ−１：【請求項１】に「前記セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートを成形する」とあるのを「前記セラミックスラリーからなる厚みが５μｍ以下のセラミックグリーンシートを成形する」と訂正する、訂正事項ａ−２：【請求項３】を削除する、に細分することができるので、細分して検討する。
　上記訂正事項ａ−１は、明細書段落【０００７】の記載に基いて、成形するセラミックグリーンシートの厚みを「厚みが５μｍ以下」と特定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、本件特許明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものである。
　上記訂正事項ａ−２は、請求項の削除であり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　上記訂正事項ｂは、訂正事項ａ−１の訂正に伴うものであり、訂正後の特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを整合させるためにするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　また、上記訂正ａ−１〜ｂは、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（３）まとめ
　以上のとおり、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項で準用する同第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．申立て理由の概要
　特許異議申立人株式会社ヒラノテクシードは、証拠方法として甲第１〜４号証を提出し、次の理由１〜２により、本件請求項１〜３に係る発明の特許は取り消されるべきものである旨主張している。
　理由１：本件請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない。
　理由２：本件請求項１〜３に係る発明は、甲第１〜４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項に該当し、特許を受けることができない。
４．本件発明
　上記２．に記載したとおり、訂正請求は容認できるから、訂正後の本件発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜２に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 
「【請求項１】圧送されるセラミックスラリーを受ける第１のスラリー室と、前記第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室より狭い断面を有するスラリー流路と、前記スラリー流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有するとともに外部に向く開口が形成された第２のスラリー室とを備え、前記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、スラリーコータを用意し、セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートをその上で成形するためのキャリアフィルムを用意し、前記第１のスラリー室に圧送されたセラミックスラリーを、前記スラリー流路を通して、前記第２のスラリー室まで供給するとともに、前記第２のスラリー室の前記開口の周縁部に前記キャリアフィルムを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記キャリアフィルムを前記開口に沿って移動させることによって、前記キャリアフィルム上に前記セラミックスラリーからなる厚みが５μｍ以下のセラミックグリーンシートを成形する、各工程を備える、セラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項２】　前記第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーは、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものである、請求項１に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。」
　以下、適宜「請１〜２発明」と云う。
５．甲第１〜４号証の記載内容
甲第１号証（特公平６−２２３号公報）
（ａ）「【請求項１】バッキングロールの下方にドクターエッジを有するノズルヘッドを配し、前記ノズルヘッドから塗工液を圧力をかけて噴射して、パッキングロールの下周面をノズルヘッドの前方から後方へ走行するウェブに塗工するリップコータ型塗工装置において、ノズルヘッドの上面には、縦断面円弧型のドクタ−エッジが設けられ、ノズルヘッドの内部の幅方向には、第１液溜め室が設けられ、第１液溜め室とドクターエッジの前方に位置するノズルヘッドの上面との間には、流出路が設けられ、ノズルヘッドの前部には、バッキングロールの下周面へ向かってウェブ走行用の間隙を残して液溜め壁が立設され、バッキングロールの下周面、液溜め壁、ドクターエッジ及びノズルヘッドの上面とより第２液溜め室が形成され、前記第２液溜め室は、流出路の出口より前方に脹まして流出路の容積より大きく形成されているとともに、縦断面円弧型のドクターエッジの刃先に接近するほど容積が、次第に小さくなることを特徴とするリップコータ型塗工装置。」（請求項１）
（ｂ）「ウェブ（Ｆ）は塗工液が満された第２液溜め室（３２）を通過してドクターエッジ（１８）まで送行し、ドクターエッジ（１８）の刃先による線圧によって塗工液が塗工される。この場合に、塗工液が狭い流出路（２８）を通過することにより塗工液の圧力が均一化され、また、第２液溜め室（３２）は流出路（２８）の出口（２８ａ）より前方に脹まして流出路（２８）の容積より大きく形成しているため、第２液溜め室（３２）内部を大気の圧力より高い基準圧力に保持し易く、そのため、ウェブ（Ｆ）が液溜め壁（３０）とバッキングロール（１２）との間隙から第２液溜め室（３２）内部に搬入される際に、第２液溜め室（３２）内部に空気が侵入することなく、それにより、塗工層に気泡が生じることがない。」（第４頁左欄第３０〜４１行）
（ｃ）「塗工液供給手段から第１液溜め室へ圧送された塗工液は、狭い流出路を通過することによりその圧力が均一化され、」（第５頁左欄第２１〜２３行）
甲第２号証（特開平８−２７６４１４号公報）
（ｄ）「一方向に走行する可撓性支持体上に ドクターブレード法でセラミック粉、有機バインダー、可塑剤、溶剤等を含むセラミック塗料を塗布してグリーンシートを成形し、」（第２頁左欄第２３〜２６行）
 （ｅ）「 比較のため、ドクターブレードを用い、セラミック粉体の体積比が２５％であるセラミック塗料により、３μｍ及び１０μｍのグリーンシートを成形した。」（第６頁左欄第５行〜右欄第１行）
甲第３号証（特開平５−６３３２５号公報）
（ｆ）「この複合体塊５を、らいかい機を用いて粉砕（ステップ６）し、その粉砕物を３９０メッシュのふるいで約４０μｍ以上の粗大な粒子を取り除く分級（ステップ７）を行い、平均粒径４μｍの粉末を得る。その粉末粒子は、アルミナ粒子の１部あるいは全部が硼珪酸ガラスで包まれた複合体粒子８となっている。次に、スラリー化するには、重量比で、複合体粒子１００、ブチラール樹脂６（有機バインダ）、可塑剤３、溶剤６０の割合で採取し、これらをボールミルで混合してスラリーを製造する（ステップ９）。　ついで、それらのスラリーを、ドクターブレード法により、ポリエステルフィルム上に塗布して、厚さ０．２ｍｍのグリーンシートを製造する（ステップ１０）。」（第３頁右欄第２５〜３８行）
甲第４号証（特開平７−１７７６９号公報）
（ｇ）「このセラミック泥奬物を剥離性の支持体上に塗布し、これを加熱して乾燥させた後、支持体から剥離してグリーンシートを得る。」（第２頁左欄第２９〜３２行）
（ｈ）「特に、薄層のグリーンシート（例えば１０μm 以下）を得るために、より微細な粒径のセラミック粉末（例えば粒径が１μm 以下）を用いるのが好ましい。」（第４頁右欄第２３〜２６行）
６．対比判断
６−１．申立て理由１について
　甲第１号証には、上記摘示事項（ｂ）に「ドクターエッジが下流側になる方向に送行されるウェブへの塗工層の形成方法」が記載され、また、上記摘示事項（ａ）に「ノズルヘッドの内部に第１液溜め室が設けられ、第１液溜め室とノズルヘッドの上面との間には流出路が設けられ、バッキングロールの下周面、液溜め壁、ドクターエッジ及びノズルヘッドの上面とより、流出路の容積より大きな第２液溜め室が形成された、リップコータ型塗工装置を用いて、バッキングロールの下周面を走行するウェブに塗工する」こと、さらに、上記摘示事項（ｃ）に第１液溜め室へ圧送された塗工液は狭い流出路を通過することが、それぞれ記載されているから、これらを請１発明の記載に則して整理すると、バッキングロールの下周面が第２液溜め室を形成しているからノズルヘッドに着目すると第２液溜め室のバッキングロール側は外部に向く開口が形成されていると云え、さらに、バッキングロールの下周面を走行するウェブはバッキングロールにより第２液溜め室の前記開口の周縁部に圧接されて、前記開口を閉じることは明らかであるから、「圧送される塗工液を受ける第１液溜め室と、前記第１液溜め室に連通しかつ第１液溜め室より狭い断面を有する流出路と、前記流出路に連通しかつ流出路より広い断面を有するとともに外部に向く開口が形成された第２液溜め室とを備え、前記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、リップコータ型塗工装置を用意し、塗工するためのウェブを用意し、第１液溜め室に圧送された塗工液を、前記流出路を通して、前記第２液溜め室まで供給するとともに、前記第２液溜め室の前記開口の周縁部に前記ウェブを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記ウェブを前記開口に沿って移動させることによって、前記ウェブ上に塗工する、塗工層の形成方法」という発明（以下、適宜「甲１発明」という）が記載されてると云える。
　そこで、請１発明と甲１発明とを対比すると、甲１発明の「第１液溜め室」は請１発明の「第１の室」、同じく、「流出路」は「流路」、「第２液溜め室」は「第２の室」、「リップコータ型塗工装置」は「コータ」、「ウェブ」は「キャリアフィルム」に、それぞれ相当し、請１発明はドクターエッジを用いて移動するキャリアフィルム上にセラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートを成形しているから、上位概念的には塗工による成形であり、セラミックグリーンシートはキャリアフィルム上の塗工層と云えるから、両者は「圧送される原料を受ける第１の原料室と、前記第１の原料室に連通しかつ第１の原料室より狭い断面を有する原料流路と、前記原料流路に連通しかつ原料流路より広い断面を有するとともに外部に向く開口が形成された第２の原料室とを備え、前記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、コータを用意し、原料からなる塗工層をその上で成形するためのキャリアフィルムを用意し、前記第１の原料室に圧送された原料を、前記原料流路を通して、前記第２の原料室まで供給するとともに、前記第２の原料室の前記開口の周縁部に前記キャリアフィルムを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記キャリアフィルムを前記開口に沿って移動させることによって、前記キャリアフィルム上に前記原料からなる塗工層を成形する、各工程を備える、塗工方法」である点で一致し、先ず、下記の点で相違している。
　相違点：請１発明は原料としてセラミックスラリーを用い、セラミックグリーンシートを製造するのに対し、甲１発明は塗工液を用いて塗工層を形成するものであり、甲第１号証には塗工液としてセラミックスラリーを用いること、および、塗工層をウェブから剥離することを前提としたグリーンシート等の半製品を製造することについては記載乃至示唆されていない点。
　そこで、上記相違点について検討すると、甲１発明の塗工層の形成方法をセラミックグリーンシートの製造に適用することが周知慣用技術ないしは自明の事項とは認められず、さらに、請１発明はその構成により明細書記載の作用効果を奏するものである。
　よって、その余の相違点について検討するまでもなく、請１発明が甲第１号証に記載された発明であるとすることができない。
６−２．申立て理由２について
６−２−１．本件請求項１に係る発明について
　請１発明と甲１発明とを対比すると、上記６−１．に記載したとおりであるから、上記相違点について甲第２〜４号証の記載を検討する。
　甲第２号証には、上記摘示事項 （ｄ）、（ｅ）より「一方向に走行する可撓性支持体上にドクターブレード法でセラミック粉、有機バインダー、可塑剤、溶剤等を含むセラミック塗料（請１発明の「セラミックスラリー」に相当する）を塗布して３μｍのグリーンシートを成形する」ことが記載されていると云えるが、ここでのドクターブレード法はセラミック塗料を自重によって支持体上に供給する（明細書段落【０００６】）ものであって、甲１発明の圧送された塗工液をウェブ上に塗工するものとは形式及び構造が異なるものである。また、甲第４号証には、上記摘示事項（ｇ）より、「セラミック泥奬物（請１発明の「セラミックスラリー」に相当する）を剥離性の支持体上に塗布した後、剥離してグリーンシートを得る」ことが従来技術として記載されているが、具体的な塗布装置および塗布方法を教示するものではなく、さらに、甲第４号証記載の発明は特定のバインダー樹脂を用いることを特徴としているから、特定のリップコータ型塗工装置を用いた塗工層の形成を特徴とする甲１発明とは課題の共通性がない。
　してみると、甲第１号証に塗工液としてセラミックスラリーを用い、塗工層をウェブから剥離することを前提とした半製品であるグリーンシートを製造することが示唆されておらず、さらに、甲第１号証と甲第２号証記載の塗工乃至塗布方法は形式及び構造が異なり、また、甲第１号証と甲第４号証記載の発明とは課題の共通性がないから、甲第１号証に甲第２号証または甲第４号証記載のものを組み合わせる動機付けがない。
　また、甲第３号証には粉砕物から粗大粒子を取り除いてセラミックスラリーを製造することが記載されているのみである。
　そして、請１発明は、上記構成を採用することにより、「厚み…５μｍ以下といった薄いセラミックグリーンシートであっても、高い品質で、かつ高スピードで成形することが可能」（明細書段落【００３６】）という顕著な効果を奏するものである。
　したがって、請１発明が甲第１〜４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
６−２−２．本件請求項２に係る発明について
　請求項２に係る発明は請求項１に係る発明を引用し、前記した請１発明の発明特定事項を有するものであるから、請求項２に係る発明も、前項と同じ理由により、甲第１〜４号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
７．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件請求項１〜２に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜２に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年８月５日（２００４．８．５）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
セラミックグリーンシートの製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　圧送されるセラミックスラリーを受ける第１のスラリー室と、前記第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室より狭い断面を有するスラリー流路と、前記スラリー流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有するとともに外部に向く開口が形成された第２のスラリー室とを備え、前記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、スラリーコータを用意し、
セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートをその上で成形するためのキャリアフィルムを用意し、
前記第１のスラリー室に圧送されたセラミックスラリーを、前記スラリー流路を通して、前記第２のスラリー室まで供給するとともに、前記第２のスラリー室の前記開口の周縁部に前記キャリアフィルムを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記キャリアフィルムを前記開口に沿って移動させることによって、前記キャリアフィルム上に前記セラミックスラリーからなる
厚みが５μｍ以下の
　【請求項２】　前記第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーは、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものである、請求項１に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】この発明は、セラミックグリーンシートの製造方法に関するもので、特に、キャリアフィルムによって裏打ちされた状態でセラミックグリーンシートを製造するための方法に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】たとえば積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を製造する場合、セラミックグリーンシートを積層することが行なわれるが、積層セラミック電子部品の小型化あるいは薄型化を図りながら、高性能化を図るためには、セラミックグリーンシートを薄層化することが有効である。
　【０００３】他方、セラミックグリーンシートは機械的に軟弱である。したがって、上述のように薄層化された場合、その機械的強度を補うため、可撓性のキャリアフィルムが用意され、このキャリアフィルム上でセラミックグリーンシートを成形することが行なわれ、さらに、このようにキャリアフィルムによって裏打ちした状態のまま、セラミックグリーンシートを以後のいくつかの工程において取り扱うことも行なわれている。
　【０００４】従来、上述のように、キャリアフィルム上でセラミックグリーンシートを成形するため、（１）ドクターブレード法、（２）マイクログラビアロール法、（３）リバースロール法などが用いられている。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述した（１）ないし（３）の方法は、いずれも解決されるべき問題がある。（１）の方法は、比較的簡単な構造で安価な設備しか必要としない点で有利であるが、得られたセラミックグリーンシートの厚みのばらつきが比較的大きく生じ、また、空気の取込みやピンホール等も生じやすい。そのため、たとえば１０μｍ以下の厚みのセラミックグリーンシートを十分な品質で得ることが困難である。
　【０００６】（２）の方法では、たとえば１０μｍ以下の厚みのセラミックグリーンシートの成形も可能であるが、高速回転するグラビアロール部での空気の巻き込みが起こりやすく、また、グラビアロールの撓みの問題から幅の広いセラミックグリーンシートの成形が困難である。（３）の方法では、（１）の方法と同様、得られたセラミックグリーンシートの厚みのばらつきが大きく、かつピンホールも発生しやすい。そのため、たとえば１０μｍ以下のセラミックグリーンシートの成形への適用は、実用上、困難である。また、各ロールの逆回転部において、セラミックスラリーに強い剪断力が働くため、セラミックスラリーの状態によって、得られるセラミックグリーンシートの品質が変化しやすく、また、逆回転部で空気の巻き込みが起こりやすい。したがって、成形スピードを高めることが困難である。
　【０００７】また、（１）ないし（３）の方法では、いずれも、キャリアフィルムに対してセラミックスラリーを付与する部分に向かって、直接、セラミックスラリーを供給するので、この供給のためのポンプにたとえば脈動などが生じた場合、これがそのままセラミックグリーンシートの品質に影響を及ぼす、という問題もある。そこで、この発明の目的は、上述の問題を解決し、たとえば１０μｍ以下、より好ましくは５μｍ以下といった厚みのセラミックグリーンシートを高速でかつ高品質で製造できる、セラミックグリーンシートの製造方法を提供しようとすることである。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】この発明に係るセラミックグリーンシートの製造方法では、上述の技術的課題を解決するため、圧送されるセラミックスラリーを受ける第１のスラリー室と、第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室より狭い断面を有するスラリー流路と、スラリー流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有するとともに外部に向く開口が形成された第２のスラリー室とを備え、開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、スラリーコータが用意されるとともに、セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートをその上で成形するためのキャリアフィルムが用意される。そして、第１のスラリー室に圧送されたセラミックスラリーを、スラリー流路を通して、第２のスラリー室まで供給するとともに、第２のスラリー室の開口の周縁部にキャリアフィルムを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、ドクターエッジが下流側になる方向にキャリアフィルムを開口に沿って移動させることによって、キャリアフィルム上にセラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートを成形することが行なわれる。
　【０００９】この発明に係るセラミックグリーンシートの製造方法において、第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーは、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものであることが好ましい。また、この発明に係るセラミックグリーンシートの製造方法は、キャリアフィルム上に成形されるセラミックグリーンシートの厚みが１０μｍ以下
、さらには５μｍ以下
　【００１０】
　【発明の実施の形態】上述したようなこの発明に係るセラミックグリーンシートの製造方法を実施するため、図１ないし図６にそれぞれ示す製造装置を用いることができる。これら製造装置は、共通して、圧送されるセラミックスラリーを受ける第１のスラリー室と、第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室より狭い断面を有するスラリー流路と、スラリー流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有するとともに外部に向く開口が形成された第２のスラリー室とを備え、開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成され、第１のスラリー室に圧送されたセラミックスラリーを、スラリー流路を通して、第２のスラリー室まで供給するようにされた、スラリーコータを備える。さらに、これら製造装置は、セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートをその上で成形するためのキャリアフィルムを第２のスラリー室の開口の周縁部に圧接させることによって当該開口を閉じるとともに、ドクターエッジが下流側になる方向にキャリアフィルムを移動させるように、キャリアフィルムを保持するためのキャリアフィルム保持部材を備えている。
　【００１１】図１は、この発明の一実施形態によるセラミックグリーンシートの製造方法を説明するためのもので、セラミックグリーンシートの製造を実施している状態にある製造装置の第１の例を断面図で図解的に示している。図１に示すように、製造装置１は、セラミックスラリー２をキャリアフィルム３上に付与し、それによって、キャリアフィルム３上でセラミックグリーンシート４を成形しようとするもので、スラリーコータ５とキャリアフィルム保持部材としてのバッキングロール６とを備えている。
　【００１２】スラリーコータ５は、矢印７で示すように圧送されるセラミックスラリー２を受ける第１のスラリー室８と、第１のスラリー室８に連通しかつ第１のスラリー室８より狭い断面を有するスラリー流路９と、スラリー流路９に連通しかつスラリー流路９より広い断面を有するとともに外部に向く開口１０が形成された第２のスラリー室１１とを備えている。開口１０の周縁部であって、その一側縁に沿うように、ドクターエッジ１２が形成されている。
　【００１３】このスラリーコータ５において、第１のスラリー室８に圧送されたセラミックスラリー２は、スラリー流路９を通して、第２のスラリー室１１まで供給される。このように、第１のスラリー室８から第２のスラリー室１１にまでセラミックスラリー２を供給するにあたり、断面の比較的狭いスラリー流路９を通すことによって、第２のスラリー室１１の内部圧力を高くかつ一定に保つことが容易になる。
　【００１４】なお、第１のスラリー室８に圧送されるセラミックスラリー２は、当該セラミックスラリー２に含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものであることが好ましい。そのため、たとえば、このようなセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を確実に捕集できる絶対濾過フィルタが用いられ、このフィルタによって濾過したセラミックスラリーのみが、セラミックスラリー２として、第１のスラリー室８に供給される。
　【００１５】他方、バッキングロール６は、キャリアフィルム３をその周面上に配置しながら、このキャリアフィルム３を第２のスラリー室１１の開口１０の周縁部に圧接させることによって開口１０を閉じるように位置している。より特定的には、第２のスラリー室１１の開口１０は上方に向いており、バッキングロール６の周面の下方に向く部分上にあるキャリアフィルム３によって、この開口１０が閉じられている。キャリアフィルム３は、ガイドロール１３を介してバッキングロール６の周面へ供給され、バッキングロール６が矢印１４方向に回転されることによって、ドクターエッジ１２が下流側になる方向に移動される。
　【００１６】このような構成の製造装置１において、セラミックスラリー２は、第１のスラリー室８に圧送され、次いで、スラリー流路９を通して、第２のスラリー室１１まで供給される。他方、バッキングロール６の周面上に配置されたキャリアフィルム３は、第２のスラリー室１１の開口１０を閉じながら、バッキングロール６の回転に従って、第２のスラリー室１１の開口１０に沿って移動する。したがって、キャリアフィルム３がドクターエッジ１２を通過するとき、ドクターエッジ１２によって及ぼされる圧力によって、第２のスラリー室１１内のセラミックスラリー２が均一な膜厚をもってキャリアフィルム３に付与される。このようにして、キャリアフィルム３上において、セラミックスラリー２からなるセラミックグリーンシート４が成形される。
　【００１７】以上のように、この実施形態によれば、キャリアフィルム３へのセラミックスラリー２の付与部分において、セラミックスラリー２に剪断力があまり働かないため、セラミックスラリー２の粘性に影響されず、安定した成形を行なうことができる。また、空気の巻き込みを生じないので、問題なく成形スピードを高めることができる。
　【００１８】また、セラミックスラリー２を加圧した状態でキャリアフィルム３上に付与するため、得られたセラミックグリーンシート４において、ピンホールなどの欠陥を少なくすることができる。また、ドクターエッジ１２をたとえば硬質金属などで構成することにより、グラビアロールにおけるような撓みの問題を解消でき、したがって、得ようとするセラミックグリーンシート４の幅が広くても、これを均一な品質で成形することができる。
　【００１９】また、第１のスラリー室８と第２のスラリー室１１との間に、断面の比較的狭いスラリー流路９が設けられているので、第２のスラリー室１１においては、第１のスラリー室８に供給されるべきセラミックスラリー２を圧送するためのポンプの脈動などの不整の影響を受けにくくすることができ、第２のスラリー室１１の内部圧力を高くかつ一定に保つことが容易になる。
　【００２０】これらのことから、従来、量産規模での成形が困難とされていた、厚み１０μｍ以下、さらには５μｍ以下のセラミックグリーンシート４であっても、幅の広いものが、高い品質で、かつ高スピードで成形することが可能になる。なお、セラミックグリーンシート４の厚みは、バッキングロール６とドクターエッジ１２との間隔を変更したり、第２のスラリー室１１の内圧を変更したりすることにより、調整することができる。また、用いるセラミックスラリー２の粘度、比重、濃度等によっても、セラミックグリーンシート４の厚みを調整することができる。
　【００２１】また、図１に示す製造装置１によれば、キャリアフィルム３をその周面上に配置するバッキングロール６を備えているので、このバッキングロール６によって、キャリアフィルム３を第２のスラリー室１１の開口１０の周縁部に圧接させて当該開口１０を閉じる状態に安定的に維持できるとともに、バッキングロール６の回転によってキャリアフィルム３を所望のごとく移動させることができる。
　【００２２】以下に、この発明の効果を確認するため実施した実験例について説明する。積層セラミックコンデンサのための平均粒径０．４〜０．５μｍの範囲にあるセラミック粉末、溶媒および有機バインダを、それぞれ所定量ずつ秤量し、媒体攪拌ミルを用いて混合しかつ分散させることによって、セラミックスラリーを得た。
　【００２３】得られたセラミックスラリーを、そこに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を確実に捕集するため、絶対濾過フィルタによって濾過した。このように調製されたセラミックスラリー２を、図１に示したスラリーコータ５の第１のスラリー室８に供給すべく、ポンプにて圧送するとともに、キャリアフィルム３の移動スピードを一定としたまま、バッキングロール６とドクターエッジ１２との間隔およびポンプの流量を調整することによって、第２のスラリー室１１内のセラミックスラリー２の圧力が２００〜６００ｍｍＡｑ程度になるように設定し、その状態で、キャリアフィルム３上にセラミックスラリー２を付与した。
　【００２４】このように付与されたセラミックスラリー２は、キャリアフィルム３上でそのまま乾燥されることによって、厚み５μｍのセラミックグリーンシート４とされた。他方、比較例として、同じセラミックスラリーを用いながら、マイクログラビアロール法にて処理し、厚み５μｍのセラミックグリーンシートを成形した。
　【００２５】このようにして得られた、この発明の実施例に係るセラミックグリーンシートと比較例に係るセラミックグリーンシートとのそれぞれについて、密度（ｇ／ｃｍ３）、厚みのばらつき（％）、および、１００ｃｍ２の面積内に存在する直径５μｍ以上のピンホールの数を測定するとともに、これらセラミックグリーンシートをそれぞれ用いて製造した積層セラミックコンデンサのショート不良率（％）、およびＩＲ（絶縁抵抗）不良率（％）を測定した。以下の表１には、これらの測定結果が示されている。
　【００２６】
　【表１】
　【００２７】表１からわかるように、実施例は、比較例と比較して、セラミックグリーンシートの密度、厚みのばらつき、および、ピンホールの数、ならびに、積層セラミックコンデンサのショート不良率、およびＩＲ不良率のすべての点において、優れた結果を示している。図２ないし図６は、セラミックグリーンシートの製造を実施している状態にある製造装置の第２ないし第６の例をそれぞれ断面図で図解的に示している。これらの図面に示した製造装置は、図１に示した製造装置１に備える要素に対応する多くの要素を備えており、したがって、これら対応する要素には、図１で用いた参照符号を用いることにより、重複する説明は省略する。
　【００２８】図２に示した製造装置２１では、第２のスラリー室１１の開口１０は図による右下方向に向いており、バッキングロール６の周面の左上方に向く部分上にあるキャリアフィルム３によって、この開口１０が閉じられている。また、ドクターエッジ１２は、第１および第２のスラリー室８および１１ならびにスラリー流路９を形成するハウジング部材２２とは別体のたとえば中心角約２７０度の略扇形の断面を有するドクターエッジ部材２３の一部をもって形成されている。このような構成によれば、得ようとするセラミックグリーンシート４の幅が広くても、これを均一な品質で成形することを可能にすべく、ドクターエッジ１２において撓みが実質的に生じないようにすることを、ハウジング部材２２に拘束されることなく、ドクターエッジ部材２３の断面形状や材料の選択等によって容易に実現することができる。
　【００２９】図３に示した製造装置３１では、第２のスラリー室１１の開口１０は下方に向いており、バッキングロール６の周面の上方に向く部分上にあるキャリアフィルム３によって、この開口１０が閉じられている。図４に示した製造装置４１では、第２のスラリー室１１の開口１０は図による右方向に向いており、バッキングロール６の周面の左方に向く部分上にあるキャリアフィルム３によって、この開口１０が閉じられている。また、第２のスラリー室１１の容積は、比較的小さくされている。
　【００３０】図５に示した製造装置５１では、キャリアフィルム保持部材として、バッキングロールが用いられず、代わりに、２つの保持ロール５２および５３が用いられる。２つの保持ロール５２および５３は上下に並ぶように配置され、これら保持ロール５２および５３がそれぞれ矢印５４および５５方向に回転することによって、キャリアフィルム３は、保持ロール５２および５３間で上方へ向かって移動される。
　【００３１】他方、第２のスラリー室１１の開口１０は図による右方向に向いており、保持ロール５２および５３間にあるキャリアフィルム３によって、この開口１０が閉じられている。図６に示した製造装置６１においても、キャリアフィルム保持部材として、バッキングロールが用いられず、代わりに、２つの保持ロール６２および６３が用いられる。２つの保持ロール６２および６３は左右に並ぶように配置され、これら保持ロール６２および６３がそれぞれ矢印６４および６５方向に回転することによって、キャリアフィルム３は、保持ロール６２および６３間で図による左方向へ向かって移動される。
　【００３２】他方、第２のスラリー室１１の開口１０は上方に向いており、保持ロール６２および６３間にあるキャリアフィルム３によって、この開口１０が閉じられている。
　【００３３】
　【発明の効果】このように、この発明に係るセラミックグリーンシートの製造方法によれば、圧送されるセラミックスラリーを受ける第１のスラリー室と、第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室より狭い断面を有するスラリー流路と、スラリー流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有するとともに外部に向く開口が形成された第２のスラリー室とを備え、開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、スラリーコータが用いられ、第１のスラリー室に圧送されたセラミックスラリーを、スラリー流路を通して、第２のスラリー室まで供給するとともに、第２のスラリー室の開口の周縁部にキャリアフィルムを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、ドクターエッジが下流側になる方向にキャリアフィルムを開口に沿って移動させることによって、キャリアフィルム上にセラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートを成形することが行なわれるので、以下のような効果が奏される。
　【００３４】まず、キャリアフィルムへのセラミックスラリーの付与部分において、セラミックスラリーに剪断力があまり働かないため、セラミックスラリーの粘性に影響されず、安定した成形を行なうことができる。また、空気の巻き込みを生じないので、問題なく成形スピードを高めることができる。また、セラミックスラリーを加圧した状態でキャリアフィルム上に付与するため、得られたセラミックグリーンシートにおいて、ピンホールなどの欠陥を少なくすることができる。
　【００３５】また、第１のスラリー室と第２のスラリー室との間に、断面の比較的狭いスラリー流路が設けられているので、第２のスラリー室においては、第１のスラリー室に供給されるべきセラミックスラリーを圧送するためのポンプの脈動などの不整の影響を受けにくくすることができ、第２のスラリー室の内部圧力を高くかつ一定に保つことが容易になる。
　【００３６】これらのことから、従来、量産規模での成形が困難とされていた、厚み１０μｍ以下、さらには５μｍ以下といった薄いセラミックグリーンシートであっても、高い品質で、かつ高スピードで成形することが可能になり、これを積層セラミック電子部品に適用すれば、特性の安定化、小型化を図ることができる。この発明に係るセラミックグリーンシートの製造方法において、第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーとして、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものを用いると、このような凝集粒子がセラミックグリーンシート内に混入してセラミックグリーンシートの適正な成形を妨げることを防止できるので、より薄いセラミックグリーンシートの成形に一層有利である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】この発明の一実施形態によるセラミックグリーンシートの製造方法を説明するためのもので、セラミックグリーンシートの成形を実施している状態にある製造装置の第１の例を図解的に示す断面図である。
　【図２】セラミックグリーンシートの成形を実施している状態にある製造装置の第２の例を図解的に示す断面図である。
　【図３】セラミックグリーンシートの成形を実施している状態にある製造装置の第３の例を図解的に示す断面図である。
　【図４】セラミックグリーンシートの成形を実施している状態にある製造装置の第４の例を図解的に示す断面図である。
　【図５】セラミックグリーンシートの成形を実施している状態にある製造装置の第５の例を図解的に示す断面図である。
　【図６】セラミックグリーンシートの成形を実施している状態にある製造装置の第６の例を図解的に示す断面図である。
　【符号の説明】
　１，２１，３１，４１，５１，６１　セラミックグリーンシートの製造装置
　２　セラミックスラリー
　３　キャリアフィルム
　４　セラミックグリーンシート
　５　スラリーコータ
　６　バッキングロール
　８　第１のスラリー室
　９　スラリー流路
　１０　開口
　１１　第２のスラリー室
　１２　ドクターエッジ
　５２，５３，６２，６３　保持ロール