【事件の表示】
　特許第３３３１０２２号「弾性表面波装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３３１０２２号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３３３１０２２号の請求項１に係る発明についての出願は、平成５年９月２４日に特許出願され、平成１４年７月１９日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、黒岩景より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１５年８月７日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正の内容
（１）請求項１
「四ほう酸リチウム単結晶基板と、
　前記四ほう酸リチウム単結晶基板上に形成され、近接配置されたひとつの入力用インタデジタル電極及びひとつの出力用インタデジタル電極と、
　前記四ほう酸リチウム単結晶基板上に形成され、前記入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極を挟む一対の反射器とを有し、
　前記入力用インタデジタル電極の対数をＮｓ、前記出力用インタデジタル電極の対数をＮｆ、前記入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極の膜厚をＨ、電極周期をＬとして、前記入力用インタデジタル電極及び前記出力用インタデジタル電極の対数の和Ｎｓ＋Ｎｆが、
　　６４−９７０×Ｈ／Ｌ≦Ｎｓ＋Ｎｆ≦１０２−９００×Ｈ／Ｌの範囲内であることを特徴とする弾性表面波装置。」とあるのを、
「四ほう酸リチウム単結晶基板と、
　前記四ほう酸リチウム単結晶基板上に形成され、近接配置されたひとつの入力用インタデジタル電極及びひとつの出力用インタデジタル電極と、
　前記四ほう酸リチウム単結晶基板上に形成され、前記入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極を挟む一対の反射器とを有し、
　
前記入力用インタデジタル電極及び前記出力用インタデジタル電極は、重み付けされており、
　　６４−９７０×Ｈ／Ｌ≦Ｎｓ＋Ｎｆ≦１０２−９００×Ｈ／Ｌの範囲内であることを特徴とする弾性表面波装置。」と訂正する。
（２）発明の詳細な説明の段落【０００７】の【課題を解決するための手段】の欄の記載を請求項１の訂正と同様に訂正する。
　
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無および拡張・変更の存否
　上記訂正事項（１）は、発明を特定する事項である「入力用インタデジタル電極」及び「出力用インタデジタル電極」について「重み付けされ」と限定するものであり、しかも、入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極が重み付けされていることについては、願書に添付された明細書の段落【００２５】、【００２６】、【００２８】に記載されているから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、また、上記訂正事項（２）は、上記訂正事項（１）と整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、いずれも新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
２−３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立てについての判断
３−１．申立ての理由の概要
　申立人は、本件請求項１に係る発明は、本件特許出願日前に出願され、本件特許出願後に出願公開された考案（甲第１号証；実願平５−１５３９６号（実開平６−７７３３１号公報））と同一であるから、本件特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものである旨主張している。
　
３−２．本件発明
  ２．で示したように上記訂正が認められるから、本件請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものである。
　
３−３．申立人が提出した甲第１号証
　申立人が提出した甲第１号証には、以下の事項が記載されている。
・「四硼酸リチウム（Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７）単結晶基板表面に、弾性表面波を伝播するための１対の入力電極指群、１対の出力電極指群、２つの反射器電極指から成る複数の共振器を伝播方向に沿って直列接続して成る多重モード表面弾性波フィルタにおいて、
　前記電極指群の交叉幅Ｗと伝播波長λの比が５≦Ｗ／λ≦１５であることを特徴とする多重モード表面弾性波フィルタ。」（実用新案登録請求の範囲）
・「本考案は、上述の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、ＬＢ基板のＷ／λを最適化して、３０ｄＢ帯域内に発生するリップルを帯域外に排除することができる小型な多重モード表面弾性波フィルタを提供することになる。」（段落【０００８】）
・「１つの共振子型フィルタ１０ａは、互いに交叉しあう１対の入力電極指群２ａと、入力電極指群２ａの弾性波伝播方向に所定間隔をおいて並設された互いに交叉しあう１対の出力電極指群３ａと、入力電極指群２ａ、出力電極指群３ａの伝播方向の外部に配置した反射器電極４ａ、５ａとから構成されている。また、他方の共振子型フィルタ１０ｂに関しても同様の構成である。」（段落【００１７】）
・「入力電極指群２ａ、２ｂは、膜厚Ｈと波長λとによって規格化された規格化膜厚Ｈ／λが１％〜２％程度になるように、膜厚Ｈが設定され、夫々信号側電極２１ａ、２１ｂとアース側電極２２ａ、２２ｂとが互いに噛み合うように形成されている。この信号側電極２１ａ、２１ｂとアース側電極２２ａ、２２ｂとの交叉された部分の幅を交叉幅Ｗという。尚、図１中では、信号側電極２１ａ、２１ｂの電極指において、隣接する電極指間のピッチをＬTで示し、隣接しあう信号側電極２１ａ、２１ｂの電極指とアース側電極２２ａ、２２ｂの電極指のピッチをＰで示しており、波長λによって決定されるものである。
　また、出力電極指群３ａ、３ｂも同様の膜厚を有し、夫々信号側電極３１ａ、３１ｂとアース側電極３２ａ、３２ｂとが互いに噛み合うように所定幅Ｗをもって交叉している。」（段落【００１９】〜【００２０】）
・「本考案者らは、フィルタの中心周波数を２４０ＭＨｚ、入出力電極指群２、３の総対数Ｎが１００本、反射器電極４、５の片側本数Ｍを１００本、ＬＲ／ＬＴを１．０２、入出力電極指群２〜３と反射器電極４、５の間隔ｌ１を１．９Ｐ、電極指群２、３の信号側電極２１、３１とアース側電極２２、３２の電極交叉幅Ｗと波長λとの比、Ｗ／λ値を１０となるフィルタを作成し、そのフィルタ特性を測定した。その結果を図２に示す。」（段落【００２３】）
　
３−４．　対比・判断
　本件発明と、甲第１号証に記載された考案とを対比すると、甲第１号証に記載された考案は、本件発明が構成として備える、入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極が重み付けされている点を構成とするものではない。甲第１号証の「入力電極指群２ａ、２ｂは、膜厚Ｈと波長λとによって規格化された規格化膜厚Ｈ／λが１％〜２％程度になるように、膜厚Ｈが設定され、夫々信号側電極２１ａ、２１ｂとアース側電極２２ａ、２２ｂとが互いに噛み合うように形成されている。この信号側電極２１ａ、２１ｂとアース側電極２２ａ、２２ｂとの交叉された部分の幅を交叉幅Ｗという。」（段落【００１９】）及び「出力電極指群３ａ、３ｂも同様の膜厚を有し、夫々信号側電極３１ａ、３１ｂとアース側電極３２ａ、３２ｂとが互いに噛み合うように所定幅Ｗをもって交叉している。」（段落【００２０】）なる記載並びに図１の記載からすれば、甲第１号証に記載された考案において、入力電極指群及び出力電極指群における交叉幅は一定であり、重み付けされていないものと認められる。そして、甲第１号証に記載された考案が、ＬＢ基板のＷ／λを最適化して、３０ｄＢ帯域内に発生するリップルを帯域外に排除することができる小型な多重モード表面弾性波フィルタを提供することを目的とするものであるのに対し、本件発明が、群遅延時間が平坦で、比帯域幅が比較的広く、低挿入損失であり、移動体通信機器等におけるデジタル通信方式のフィルタに利用するのに適した弾性表面波装置を提供することを目的とするものである点で相違するものであり、効果についても同様に相違するものである。
　したがって、本件発明が甲第１号証に記載された考案と同一であると認めことはできない。
　
３−５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年９月１日（２００３．９．１）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
弾性表面波装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　四ほう酸リチウム単結晶基板と、
　前記四ほう酸リチウム単結晶基板上に形成され、近接配置されたひとつの入力用インタデジタル電極及びひとつの出力用インタデジタル電極と、
　前記四ほう酸リチウム単結晶基板上に形成され、前記入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極を挟む一対の反射器とを有し、
　
前記入力用インタデジタル電極及び前記出力用インタデジタル電極は、重み付けされており、
　前記入力用インタデジタル電極の対数をＮｓ、前記出力用インタデジタル電極の対数をＮｆ、前記入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極の膜厚をＨ、電極周期をＬとして、前記入力用インタデジタル電極及び前記出力用インタデジタル電極の対数の和Ｎｓ＋Ｎｆが、
　　６４−９７０×Ｈ／Ｌ≦Ｎｓ＋Ｎｆ≦１０２−９００×Ｈ／Ｌ
の範囲内であることを特徴とする弾性表面波装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は四ほう酸リチウム単結晶基板上にインタデジタル電極が形成された弾性表面波装置、特に移動体通信等にフィルタとして使用される弾性表面波装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　弾性表面波を利用した弾性表面波フィルタは、小型、軽量、高性能であるので多くの移動体通信機器に使用されている。従来、アナログ通信方式で使用され狭帯域特性が要求される中間周波数フィルタとしては、中心周波数における温度変化が小さく、減衰特性が厳しいものが要求され、３ｄＢ比帯域幅が０．０３〜０．１％程度の、ＳＴカット水晶基板上に形成されたトランスバーサル型弾性表面波フィルタが使用されていた。
　【０００３】
　近年、限られた周波数帯域を有効に活用すると共に、通信における秘話性を確保するため、従来のアナログ通信方式からデジタル通信方式への移行が検討されている。移動体通信機器におけるデジタル通信方式の中間周波数フィルタとしては、３ｄＢ比帯域幅が０．３〜０．５％程度と比較的広く、群遅延時間が平坦であること等の厳しい条件が要求される。
　【０００４】
　しかしながら、従来のトランスバーサル型弾性表面波フィルタでは、所望の振幅特性と位相特性を実現できるものの、挿入損失が大きいので、比帯域幅０．３〜０．５％程度を得るためには多数の電極指が必要となり、弾性表面波フィルタの素子自体が大きくなるという問題があった。
　広帯域なフィルタを得る方法として、ＬｉＮｂＯ３上に４対のくし型電極を３個、近接配置したフィルタが知られており、挿入損失が１０ｄＢで、比帯域幅が２０％のものが得られている（Ｍ．Ｆ．Ｌｅｗｉｓ，Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｌｅｔｔｅｒｓ　ｖｏｌ．８，ｎｏ．２３，ｐｐ．５５３（１９７２））が、依然として挿入損失および比帯域幅が大きすぎるという問題があった。
　【０００５】
　他方、低損失で小型な弾性表面波フィルタを得る方法として、共振子を用いた弾性表面波フィルタや多対の櫛型電極を用いた弾性表面波フィルタが知られている。これらの弾性表面波フィルタは、従来、挿入損失と減衰量を考慮してその構造を決めているだけであり、所望の群遅延時間特性を得ることができなかった。例えば、水晶基板上に、総対数７００対の３個の櫛型電極を用いたフィルタは、挿入損失５ｄＢ、比帯域幅０．０２％のものが得られている（小山田、吉川、石原、電子通信学会論文誌　ｖｏｌ．Ｊ６０−Ａ，ｎｏ．９，ｐｐ．８０５（１９７７））。しかし、群遅延時間特性及び帯域内振幅偏差は不明であり、また比帯域幅も狭かった。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　このように、従来の構成による弾性表面波フィルタでは、デジタル通信方式に使用されるフィルタに必要とされるような、比帯域幅が比較的広く、小型、低挿入損失で、しかも群遅延時間が平坦な特性を達成することはできなかった。
　本発明の目的は、群遅延時間が平坦で、比帯域幅が比較的広く、低挿入損失であり、移動体通信機器等におけるデジタル通信方式のフィルタに利用するのに適した弾性表面波装置を提供することにある。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的は、四ほう酸リチウム単結晶基板と、四ほう酸リチウム単結晶基板上に形成され、近接配置されたひとつの入力用インタデジタル電極及びひとつの出力用インタデジタル電極と、四ほう酸リチウム単結晶基板上に形成され、入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極を挟む一対の反射器とを有し、
前記入力用インタデジタル電極及び前記出力用インタデジタル電極は、重み付けされており、
　　６４−９７０×Ｈ／Ｌ≦Ｎｓ＋Ｎｆ≦１０２−９００×Ｈ／Ｌ
の範囲内であることを特徴とする弾性表面波装置によって達成される。
　【０００８】
　また、入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極の対数の和Ｎｓ＋Ｎｆとしては、
　　６８−９７０×Ｈ／Ｌ≦Ｎｓ＋Ｎｆ≦８７−９００×Ｈ／Ｌ
の範囲内であることが望ましい。
　さらに、圧電基板として用いられる四ほう酸リチウム単結晶基板としては、（１１０）又は（１００）カット面のＺ伝搬近傍、オイラ角表示で（０〜４５°、９０±５°、９０±５°）のものを用いることが望ましい。
　【０００９】
　また、入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極がＡｌを主成分とする金属材料により形成され、その開口長を外部インピーダンスに整合するように設定することが望ましい。
　【００１０】
　【作用】
　本発明によれば、四ほう酸リチウム単結晶基板を用い、ひとつの入力用インタデジタル電極及びひとつの出力用インタデジタル電極を一対の反射器で挟み、入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極の対数の和Ｎｓ＋Ｎｆを、
　　６４−９７０×Ｈ／Ｌ≦Ｎｓ＋Ｎｆ≦１０２−９００×Ｈ／Ｌ
の範囲内に限定したので、群遅延時間の偏差が小さく、３ｄＢ比帯域幅が比較的広く、挿入損失が小さく、小型であり、移動体通信機器等におけるデジタル通信方式のフィルタに適した弾性表面波装置を実現できる。さらに、縦続接続することでより大きな帯域外減衰量を得ることができる。
　【００１１】
　【実施例】
　本発明による弾性表面波装置の基本構造を図１に示す。
　四ほう酸リチウム単結晶基板１０上に、アルミニウムを主成分とする金属材料からなる金属膜により一対の櫛形電極２２、２４からなる正規型の入力用インタデジタル電極２０と、一対の櫛形電極３２、３４からなる正規型の出力用インタデジタル電極３０とが弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置されている。入力用インタデジタル電極２０の一方の櫛形電極２２は入力端子に接続され、他方の櫛形電極２４は接地されている。出力用インタデジタル電極３０の一方の櫛形電極３２は接地され、他方の櫛形電極３４は出力端子に接続されている。
　【００１２】
　四ほう酸リチウム単結晶基板１０上には、入力用インタデジタル電極２０と出力用インタデジタル電極３０を挟むように、その両側に一対の反射器４０、４２が形成され、共振器型フィルタとして構成されている。
　入力用インタデジタル電極２０、出力用インタデジタル電極３０、反射器４０、４２は、アルミニウムを主成分とする金属材料により形成されている。これら電極の膜厚は、電極の周期Ｌにより規格化された規格化膜厚Ｈ／Ｌにより表される。
　【００１３】
　図１に示す基本構造の弾性表面波装置に対して、電極の規格化膜厚Ｈ／Ｌを変化させると共に、入力用インタデジタル電極２０の対数Ｎｓと、出力用インタデジタル電極３０の対数Ｎｆの和である総対数Ｎｓ＋Ｎｆを変化させた場合における、帯域内振幅偏差（以下「振幅偏差」と称する）、比帯域幅、帯域内群遅延時間偏差（以下「群遅延時間偏差」と称する）を数値シミュレーションした。
　【００１４】
　図２乃至図４は、入力用インタデジタル電極２０及び出力用インタデジタル電極３０の電極の規格化膜厚Ｈ／Ｌが４．０％、開口長が３７０Ｌ、反射器４０、４２の本数が１００本、入力用インタデジタル電極２０と出力用インタデジタル電極３０間の距離（最近接電極指の中点の距離）が０．５Ｌ、入力用インタデジタル電極２０と反射器４０間の距離（最近接電極指の中点の距離）が０．５Ｌ、出力用インタデジタル電極３０と反射器４２間の距離（最近接電極指の中点の距離）が０．５Ｌである弾性表面波装置において、対数比Ｎｓ／Ｎｆを１として、総対数Ｎｓ＋Ｎｆを２対から８０対まで変化させた場合の振幅偏差（図２）、比帯域幅（図３）、群遅延時間偏差（図４）の評価結果である。
　【００１５】
　図２から、振幅偏差が３ｄＢになるのは、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが２４対以上のときであることがわかる。
　また、図３から、比帯域幅が０．４％以上になるのは、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが２２対から６６対の範囲内のときであり、比帯域幅が０．５％以上になるのは、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが２６対から４７対の範囲内のときであることがわかる。
　【００１６】
　さらに、図４から、群遅延時間偏差が３００ｎ秒以下になるのは、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが２２対以上のときであり、群遅延時間偏差が２００ｎ秒以下になるのは、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが３０対から４７対の範囲内であることがわかる。
　これらを総合すれば、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが２６対から６６対の範囲内のときに、振幅偏差が３ｄＢ以下、比帯域幅が０．４％以上、群遅延時間偏差が３００ｎ秒以下の良好な電気的特性を有する弾性表面波装置が得られることがわかった。また、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが３０対から４７対の範囲内のときに、振幅偏差が３ｄＢ以下、比帯域幅が０．５％以上、群遅延時間偏差が２００ｎ秒以下の更に良好な電気的特性を有する弾性表面波装置が得られることがわかった。
　【００１７】
　図５乃至図７は、入力用インタデジタル電極２０及び出力用インタデジタル電極３０の電極の規格化膜厚Ｈ／Ｌが１．０％、開口長が２６０Ｌ、反射器４０、４２の本数が１００本、入力用インタデジタル電極２０と出力用インタデジタル電極３０間の距離が０．５Ｌ、入力用インタデジタル電極２０と反射器４０間の距離が０．５Ｌ、出力用インタデジタル電極３０と反射器４２間の距離が０．５Ｌである弾性表面波装置において、対数比Ｎｓ／Ｎｆを１として、総対数Ｎｓ＋Ｎｆを１０対から１２０対まで変化させた場合の振幅偏差（図５）、比帯域幅（図６）、群遅延時間偏差（図７）の評価結果である。
　【００１８】
　図５から、振幅偏差が３ｄＢになるのは、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが４４対以上のときであることがわかる。また、図６から、比帯域幅が０．４％以上になるのは、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが４４対から９３対の範囲内のときであり、比帯域幅が０．５％以上になるのは、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが４７対から７８対の範囲内のときであることがわかる。さらに、図７から、群遅延時間偏差が３００ｎ秒以下になるのは、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが５５対から９６対の範囲内のときであり、群遅延時間偏差が２００ｎ秒以下になるのは、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが６５対から９５対の範囲内であることがわかる。
　【００１９】
　これらを総合すれば、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが５５対から９３対の範囲内のときに、振幅偏差が３ｄＢ以下、比帯域幅が０．４％以上、群遅延時間偏差が３００ｎ秒以下の良好な電気的特性を有する弾性表面波装置が得られることがわかった。また、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが６５対から７８対の範囲内のときに、振幅偏差が３ｄＢ以下、比帯域幅が０．５％以上、群遅延時間偏差が２００ｎ秒以下の更に良好な電気的特性を有する弾性表面波装置が得られることがわかった。
　【００２０】
　図８は、図２乃至図７の測定結果をまとめたものである。
　入力インタデジタル電極２０と出力インタデジタル電極３０の総対数Ｎｓ＋Ｎｆが、
　　６４−９７０×Ｈ／Ｌ≦Ｎｓ＋Ｎｆ≦１０２−９００×Ｈ／Ｌ
の範囲内（図８において斜めハッチングで示す領域）で、振幅偏差が３ｄＢ以下、比帯域幅が０．４％以上、群遅延時間偏差が３００ｎ秒以下の良好な電気的特性を有する弾性表面波装置が得られることがわかった。
　【００２１】
　また、入力インタデジタル電極２０と出力インタデジタル電極３０の総対数Ｎｓ＋Ｎｆが、
　　６８−９７０×Ｈ／Ｌ≦Ｎｓ＋Ｎｆ≦８７−９００×Ｈ／Ｌ
の範囲内（図８において交差ハッチングで示す領域）で、振幅偏差が３ｄＢ以下、比帯域幅が０．５％以上、群遅延時間偏差が２００ｎ秒以下の非常に良好な電気的特性を有する弾性表面波装置が得られることがわかった。
［実施例１］
　図１に示す基本構造の弾性表面波装置であって、４５°カットＺ伝搬の四ほう酸リチウム単結晶基板１０上に、規格化膜厚Ｈ／Ｌが４％の入力用インタデジタル電極２０、出力用インタデジタル電極３０、反射器４０、４２を形成した。
　【００２２】
　入力用インタデジタル電極２０、出力用インタデジタル電極３０の開口長は３７０Ｌであり、入力用インタデジタル電極２０と出力用インタデジタル電極３０間の距離は０．５Ｌであり、入力用インタデジタル電極２０及び出力用インタデジタル電極３０と反射器４０、４２間の距離は０．５Ｌであり、反射器４０、４２の本数は１００本であり、入力用インタデジタル電極２０と出力用インタデジタル電極３０の総対数Ｎｓ＋Ｎｆは３９対であり、対数比Ｈｓ／Ｈｆは１である。
　【００２３】
　図９に本実施例の弾性表面波装置の周波数応答特性及び群遅延時間特性を示す。横軸は中心周波数で規格化した規格化周波数［−］、左側の縦軸は挿入損失［ｄＢ］、右側の縦軸は遅延時間［ｎｓｅｃ］である。３ｄＢ通過帯域における挿入損失は１．１ｄＢ、振幅偏差は０ｄＢ、群遅延時間偏差は８２ｎ秒、比帯域幅は０．６３５％となり、優れた電気的特性を示した。
［実施例２］
　図１に示す基本構造の弾性表面波装置であって、４５°カットＺ伝搬の四ほう酸リチウム単結晶基板１０上に、規格化膜厚Ｈ／Ｌが１％の入力用インタデジタル電極２０、出力用インタデジタル電極３０、反射器４０、４２を形成した。
　【００２４】
　入力用インタデジタル電極２０、出力用インタデジタル電極３０の開口長は２６０Ｌであり、入力用インタデジタル電極２０と出力用インタデジタル電極３０間の距離は０．５Ｌであり、入力用インタデジタル電極２０及び出力用インタデジタル電極３０と反射器４０、４２間の距離は０．５Ｌであり、反射器４０、４２の本数は１００本であり、入力用インタデジタル電極２０と出力用インタデジタル電極３０の総対数Ｎｓ＋Ｎｆは７３対であり、対数比Ｎｓ／Ｎｆは１である。
　【００２５】
　図１０に本実施例の弾性表面波装置の周波数応答特性及び群遅延時間特性を示す。横軸は規格化周波数［−］、左側の縦軸は挿入損失［ｄＢ］、右側の縦軸は群遅延時間［ｎｓｅｃ］である。３ｄＢ通過帯域における挿入損失は１．２ｄＢ、振幅偏差は０．１１ｄＢ、群遅延時間偏差は１３９ｎ秒、比帯域幅は０．５２９％であり、優れた電気的特性を示した。
［実施例３］
　上述した実施例１及び実施例２では、入力用インタデジタル電極２０、出力用インタデジタル電極３０としてそれぞれの櫛形電極の長さがすべて等しい正規型インタデジタル電極を用いたが、インタデジタル電極を構成する電極指の長さを表面波の伝搬方向にそって変化するように重み付け（アポタイズ）されたインタデジタル電極を用いることも可能である。重み付けによる電極指の長さの変化の形状としては、ｃｏｓ関数状や直線状等がある。
　【００２６】
　本実施例は、図１１に示す基本構造の弾性表面波装置であって、４５°カットＺ伝搬の四ほう酸リチウム単結晶基板１０上に規格化膜厚Ｈ／Ｌが１％の入力用インタデジタル電極２０および出力用インタデジタル電極３０、反射器４０、４２を形成した。入力用インタデジタル電極２０および出力用インタデジタル電極３０には、図１１に示すようなｃｏｓ関数状の重み付けを施してある。
　【００２７】
　入力用インタデジタル電極２０、出力用インタデジタル電極３０の開口長は２６０Ｌであり、入力用インタデジタル電極２０と出力用インタデジタル電極３０間の距離は０．５Ｌであり、入力用インタデジタル電極２０及び出力用インタデジタル電極３０と反射器間４０、４２の距離は０．５Ｌであり、反射器４０、４２の本数１００本であり、入力用インタデジタル電極２０と出力用インタデジタル電極３０の総対数Ｎｓ＋Ｎｆは７３対であり、対数比Ｎｓ／Ｎｆは１である。
　【００２８】
　図１２に本実施例の弾性表面波装置の周波数応答及び群遅延時間特性を示す。横軸は規格化周波数［−］、左側の縦軸は挿入損失［ｄＢ］、右側の縦軸は群遅延時間［ｎｓｅｃ］である。３ｄＢ通過帯域における挿入損失は１．３ｄＢ、振幅偏差は０．２７ｄＢ、群遅延時間は１４４ｎｓｅｃ、比帯域幅は０．５３１％となり、優れた電気的特性を示した。
［実施例４］
　本実施例も重み付けされたインタデジタル電極を用いている。図１３に示す基本構造の弾性表面波装置であって、４５°カットＺ伝搬の四ほう酸リチウム単結晶基板上１０に規格化膜厚Ｈ／Ｌが１％の入力用インタデジタル電極２０及び出力用インタデジタル電極３０、反射器４０、４２を形成した。入力用インタデジタル電極２０及び出力用インタデジタル電極３０は、図１３に示すように、直線状の重み付けを施してある。
　【００２９】
　入力用インタデジタル電極２０、出力用インタデジタル電極３０の開口長は２６０Ｌであり、入力用インタデジタル電極と出力用インタデジタル電極間の距離は０．５Ｌであり、入力用インタデジタル電極２０及び出力用インタデジタル電極３０と反射器間４０、４２の距離は０．５Ｌであり、反射器４０、４２の本数は１００本であり、入力用インタデジタル電極２０と出力用インタデジタル電極３０の総対数Ｎｓ＋Ｎｆは７３対であり、対数比Ｎｓ／Ｎｆは１である。
　【００３０】
　図１４に本実施例の弾性表面波装置の周波数応答及び群遅延時間特性を示す。横軸は規格化周波数［−］、左側の縦軸は挿入損失［ｄＢ］、右側の縦軸は群遅延時間特性［ｎｓｅｃ］である。３ｄＢ通過帯域幅における挿入損失は１．２ｄＢ、振幅偏差は０．３ｄＢ、群遅延時間偏差は１３６ｎｓｅｃ、比帯域幅は０．５２０％となり、優れた電気的特性を示した。
　【００３１】
　上述した実施例２、実施例３及び実施例４から明らかなように、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが同じ場合には、インタデジタル電極が重み付けされても、正規型と同等の通過帯域特性を得ることができることがわかった。したがって、通過帯域外減衰量を高める等のために適宜重み付けをしても、総対数Ｎｓ＋Ｎｆが本発明の範囲であれば、すぐれた特性が得られることがわかった。
　【００３２】
　なお、入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極の対数の比Ｎｓ／Ｎｆとしては、
　　０．４≦Ｎｓ／Ｎｆ≦２．５
の範囲内であってもよい。
　また、入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極の電極周期Ｌで規格化した膜厚Ｈ／Ｌとしては、
　　０．５％≦Ｈ／Ｌ≦８．０％
の範囲内であってもよい。
　【００３３】
　さらに、インタデジタル電極の材料としては、ＡｌにＣｕ、Ｓｉ等を添加した合金を用いてもよい。
［比較例］
　入力用インタデジタル電極２０と出力用インタデジタル電極３０の総対数Ｎｓ＋Ｎｆを４１対とし、その他の条件は上記実施例２、実施例３及び実施例４と同様の弾性表面波装置を比較例とし、その周波数応答及び群遅延時間特性を測定した。
　【００３４】
　実施例２に対応する比較例の周波数応答及び群遅延時間特性を図１５に示し、実施例３に対応する比較例の周波数応答及び群遅延時間特性を図１６に示し、実施例４に対応する比較例の周波数応答及び群遅延時間特性を図１７に示す。
　これら比較例では、３ｄＢ通過帯域内における振幅偏差は５ｄＢ以上、群遅延時間偏差は５００ｎｓｅｃ以上もあり、デジタル通信用フィルタとして適切な特性を得ることはできないことがわかった。
　【００３５】
　【発明の効果】
　以上の通り、本発明によれば、四ほう酸リチウム単結晶基板を用い、ひとつの入力用インタデジタル電極及びひとつの出力用インタデジタル電極を一対の反射器で挟み、入力用インタデジタル電極及び出力用インタデジタル電極の対数の和Ｎｓ＋Ｎｆを所定の範囲内に限定したので、群遅延時間の偏差が小さく、３ｄＢ比帯域幅が比較的広く、挿入損失が小さく、小型であり、移動体通信機器等におけるデジタル通信方式のフィルタに適した弾性表面波装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明による弾性表面波装置の基本構造を示す図である。
　【図２】
　規格化膜厚が４％、開口長が３７０Ｌの弾性表面波装置における総対数と振幅偏差の関係を示すグラフである。
　【図３】
　規格化膜厚が４％、開口長が３７０Ｌの弾性表面波装置における総対数と比帯域幅の関係を示すグラフである。
　【図４】
　規格化膜厚が４％、開口長が３７０Ｌの弾性表面波装置における総対数と群遅延時間偏差の関係を示すグラフである。
　【図５】
　規格化膜厚が１％、開口長が２６０Ｌの弾性表面波装置における総対数と振幅偏差の関係を示すグラフである。
　【図６】
　規格化膜厚が１％、開口長が２６０Ｌの弾性表面波装置における総対数と比帯域幅の関係を示すグラフである。
　【図７】
　規格化膜厚が１％、開口長が２６０Ｌの弾性表面波装置における総対数と群遅延時間偏差の関係を示すグラフである。
　【図８】
　図２乃至図７の測定結果に基づいて、弾性表面波装置の規格化膜厚と総対数の関係をまとめたグラフである。
　【図９】
　実施例１の周波数応答特性及び群遅延時間特性を示すグラフである。
　【図１０】
　実施例２の周波数応答特性及び群遅延時間特性を示すグラフである。
　【図１１】
　実施例３による弾性表面波装置の基本構造を示す図である。
　【図１２】
　実施例３の周波数応答特性及び群遅延時間特性を示すグラフである。
　【図１３】
　実施例４による弾性表面波装置の基本構造を示す図である。
　【図１４】
　実施例５の周波数応答特性及び群遅延時間特性を示すグラフである。
　【図１５】
　実施例２に対応する比較例の周波数応答特性及び群遅延時間特性を示すグラフである。
　【図１６】
　実施例３に対応する比較例の周波数応答特性及び群遅延時間特性を示すグラフである。
　【図１７】
　実施例４に対応する比較例の周波数応答特性及び群遅延時間特性を示すグラフである。
　【符号の説明】
　１０…四ほう酸リチウム単結晶基板
　２０…入力用インタデジタル電極
　２２、２４…櫛形電極
　３０…出力用インタデジタル電極
　３２、３４…櫛形電極
　４０、４２…反射器