【事件の表示】
　特許第３２１４１５３号「誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２１４１５３号の請求項１ないし５に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３２１４１５３号の請求項１ないし５に係る発明についての出願は、平成５年４月２８日に特許出願され、平成１３年７月２７日にその発明について特許権の設定登録がなされ（公報発行平成１３年１０月２日）、その後、平成１４年３月１９日に佐藤義光より特許異議の申立てがなされ、平成１４年８月６日（発送日）に取消理由が通知され、その指定期間内である平成１４年１０月２日に訂正請求がなされ、その後平成１５年１２月２４日に再度取消理由が通知されたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　ア．訂正事項ａ：本件特許明細書の特許請求の範囲の【請求項１】を「被洗浄物を洗浄ダクト内の酸素雰囲気下に配置し、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ｎｍ単位で表した波長範囲１６５から１９０、あるいは、１２０から１９０の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する誘電体バリア放電ランプから放射される紫外線で該被洗浄物を照射して該被洗浄物を洗浄する事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。」を「被洗浄物、及び、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ｎｍ単位で表した波長範囲１６５から１９０、あるいは、１２０から１９０の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する複数の誘電体バリア放電ランプを、洗浄ダクト内に配置し、酸素を含む処理用流体を該洗浄ダクト内に注入し、該処理用流体を各誘電体バリヤ放電ランプの光取り出し窓の間を通過させて被洗浄物に吹きつけて、前記誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫外線を照射して、該被洗浄物を洗浄する事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。」と訂正する。
  イ．訂正事項ｂ：本件特許明細書段落【0004】の「被洗浄物を洗浄ダクト内の酸素雰囲気下に配置し、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ｎｍ単位で表した波長範囲１６５から１９０、もしくは、１２０から１９０の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫外線で該被洗浄物を照射して該被洗浄物を洗浄する事」（特許公報第2頁3欄15〜22行）を「被洗浄物、及び、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ｎｍ単位で表した波長範囲１６５から１９０、あるいは、１２０から１９０の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する複数の誘電体バリア放電ランプを、洗浄ダクト内に配置し、酸素を含む処理用流体を該洗浄ダクト内に注入し、該処理用流体を各誘電体バリヤ放電ランプの光取り出し窓の間を通過させて被洗浄物に吹きつけて、前記誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫外線を照射して該被洗浄物を洗浄する事」と訂正する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、
　訂正事項ａ−１：「洗浄ダクト内の酸素雰囲気下」の「の酸素雰囲気下」を削除するとともに、「誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫外線」の前段に「酸素を含む処理用流体を該洗浄ダクト内に注入し、該処理用流体を各誘電体バリヤ放電ランプの光取り出し窓の間を通過させて被洗浄物に吹きつけて、前記」を追加する訂正
　訂正事項ａ−２：「を洗浄ダクト内」の「を」の次に句読点を挿入すると共に、「被洗浄物」との間に「、及び、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ｎｍ単位で表した波長範囲１６５から１９０、あるいは、１２０から１９０の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する複数の誘電体バリア放電ランプ」を挿入する訂正
　訂正事項ａ−３：訂正前の「放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ｎｍ単位で表した波長範囲１６５から１９０、あるいは、１２０から１９０の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する誘電体バリア放電ランプから放射される紫外線で該被洗浄物を照射して」を「前記誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫外線を照射して、」とする訂正
　に細分することができる。
　ここで、上記訂正事項ａ−１は、「洗浄ダクト内の酸素雰囲気下」の内容を「酸素を含む処理用流体を該洗浄ダクト内に注入し、該処理流体を各誘電体バリヤ放電ランプの光取り出し窓の間を通過させて被洗浄物に吹きつけ」ることに限定する訂正であるから特許請求の範囲の減縮を目的とした訂正に該当する。
　そして、本件特許明細書の段落【0007】の「上記波長範囲の紫外線は、・・・かつ光取り出し窓の劣化が少ない」（第2頁4欄10〜15行）、段落【0010】の「外側管15は誘電体バリヤ放電の誘電体バリヤと光取り出し窓を兼用しており」（第2頁4欄44〜45行）という記載からみて、本件発明における「光取り出し窓」とは、誘電体バリヤ放電ランプにおける紫外線放射面を意味するものと解され、酸素を含む処理用流体を洗浄ダクト内に注入し該処理流体を被洗浄物に吹きつけることは、本件特許明細書の段落【0011】に「オゾンと酸素の混合ガスが半導体ウェハ８上に吹きつけられる」と記載され、該処理流体を各誘電体バリヤ放電ランプの光取り出し窓の間を通過させることは、本件特許明細書に添付した図面の「図１」に図示されている事項であるから、訂正事項ａ−１は新規事項の追加に該当しない。
　上記訂正事項ａ−２は、実質的に、誘電体バリヤ放電ランプが、複数具備されること、及び洗浄ダクト内に配備されることを規定するとともに、被洗浄物を洗浄する事が「誘電体バリア放電ランプから放射される紫外線で該被洗浄物を照射」するだけでなく、「酸素を含む処理用流体を該洗浄ダクト内に注入し、該処理流体を各誘電体バリヤ放電ランプの光取り出し窓の間を通過させて被処理物に吹きつけ」ることによっても行われることを規定するものであり、誘電バリヤ放電ランプが単一に配備される場合、係るランプが洗浄ダクトの外部に配備される場合、及び被洗浄物の洗浄が酸素雰囲気下での誘電体バリア放電ランプから放射される紫外線の照射のみで行われる場合を排除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
　そして、誘電体バリヤ放電ランプが、複数具備されること、及び洗浄ダクト内に配備されることは、本件特許明細書の段落【0009】の「洗浄ダクト３内に誘電体バリヤ放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅが被洗浄物であるシリコン半導体ウエハ８に近接して設けられている。」との記載、及び図１に記載されている事項であり、「酸素を含む処理用流体を該洗浄ダクト内に注入し、該処理流体を各誘電体バリヤ放電ランプの光取り出し窓の間を通過させて被処理物に吹きつけ」ることによって被洗浄物の洗浄が行われることは、本件特許明細書の段落【0011】及び図１に記載されている事項であるから、訂正事項ａ−２は新規事項の追加に該当しない。
　上記訂正事項ａ−３は、「誘電体バリア放電ランプ」の限定事項の重複部分を削除するとともに、被洗浄物を洗浄する事が「誘電体バリア放電ランプから放射される紫外線で該被洗浄物を照射」するだけでなく、「酸素を含む処理用流体を該洗浄ダクト内に注入し、該処理流体を各誘電体バリヤ放電ランプの光取り出し窓の間を通過させて被処理物に吹きつけ」ること、すなわち被処理流体にも紫外線を照射することによって行われることを明確にするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、新規事項の追加に該当しない。
　よって、訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的とした訂正および明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、新規事項の追加に該当しない。
　また、上記訂正事項ｂは、訂正事項ａに伴い、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載と整合させるものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、新規事項の追加に該当しない。
　そして、上記訂正事項ａ及びｂは、いずれも実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
３−１．本件発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１ないし５に係る発明（以下、「本件発訂正明１」ないし「本件訂正発明５」という）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】被洗浄物、及び、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ｎｍ単位で表した波長範囲１６５から１９０、あるいは、１２０から１９０の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する複数の誘電体バリア放電ランプを、洗浄ダクト内に配置し、酸素を含む処理用流体を該洗浄ダクト内に注入し、該処理流体を各誘電体バリヤ放電ランプの光取り出し窓の間を通過させて被洗浄物に吹きつけて、前記誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫外線を照射して、該被洗浄物を洗浄する事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。
【請求項２】 該被洗浄物が半導体ウエハである事を特徴とした請求項１記載の誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。
【請求項３】 該被洗浄物がガラスである事を特徴とした請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。
【請求項４】 該被洗浄物がプラスチックスである事を特徴とした請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。
【請求項５】 該被洗浄物がセラミックスである事を特徴とした請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。」
　
３−２．引用文献に記載された発明
　当審が平成１５年１２月２４日（発送日）に通知した引用文献ｂ（特開昭５９−２０１４３８号公報：甲第６号証）には、
（ａ）「移送経路上を移送中のウェハーに対して紫外線−オゾン洗浄をする洗浄手段を備えることを特徴とするウェハー移し換え装置」（特許請求の範囲第１項）
（ｂ）「洗浄手段は、紫外線をウェハーに照射する紫外線ランプと、該ウェハーの近傍に清浄な空気を供給する空気送出器とを有してなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウェハー移し換え装置」（特許請求の範囲第２項）
（ｃ）「空気送出器は、紫外線ランプの近傍に生成したオゾンをウェハーに吹きつけるエアーノズルを有してなることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載のウェハー移し換え装置」（特許請求の範囲第３項）
（ｄ）「ベルト６の上方には紫外線−オゾンランプ８及びランプカバー９からなる紫外線−オゾン洗浄装置が設けられている。また、紫外線照射部にはエアーフィルター１０が設けられ、これから清浄な空気が送られるようにされている。」（第2頁左下欄12〜17行）
（ｅ）「紫外線の大部分はウェハーに付着している有機物に吸収されてこれを分解する。」（第2頁右下欄2〜4行）
（ｆ）「エアーフィルタ１０から送られる清浄な空気を紫外線−オゾンランプ８に吹きつけるために、図の如きエアーノズル１１を取り付ける。たま、内側を鏡面仕上げしたランプカバー１２によって、紫外線−オゾンランプ８のみならずローダ、アンローダ側エレベータ１，２をも覆う。このようにすると、エアーノズルか１１から吹きつけられる空気がオゾンの運び手になって清浄効果が増す。」（第3頁右上欄2〜9行）
　
３−３．本件訂正発明１との対比・判断
（１）引用文献ｂ記載の発明
　引用文献ｂの第１図及び第２図におけるランプカバー９，１２及びベルト６で区画された空間には、複数の紫外線−オゾンランプ８及び被洗浄物であるウェハー５が配置され、記載（ｅ）によれば、該ランプの紫外線により、ウェハーに付着した有機物を分解、すなわち洗浄しており、引用文献ｂの第２図に図示される実施例に対応すると認められる記載（ｃ）、（ｆ）によれば、空気送出器から送られる空気は、紫外線−オゾンランプ８に吹きつけられ、該ランプの近傍に生成したオゾンを被洗浄物であるウェハーに吹きつけ、これによってもウェハーの洗浄を行っているのであるから、上記（ａ）〜（ｆ）を総合すれば、引用文献ｂには、「被洗浄物であるウェハーと複数の紫外線−オゾンランプをランプカバーで覆い、ウェハーに対して紫外線ランプから紫外線を照射するとともに、空気送出器からランプカバー内に空気を送り、紫外線ランプの近傍に生成したオゾンをウェハーに吹きつけるようにした、ウェハー表面の洗浄手段」が記載されていると云える。
（２）対比・判断
　ここで、引用文献ｂにおけるランプカバー９，１２が、その機能に照らし本件訂正発明１でいう「洗浄ダクト」に相当するから、本件訂正発明１と引用文献ｂ記載の発明とを対比すると、両者は「被洗浄物、及び、紫外線ランプを、洗浄ダクト内に配置し、酸素を含む処理用流体を該洗浄ダクト内に注入し、該処理用流体を各紫外線ランプの間を通過させて被洗浄物に吹きつけて、紫外線ランプから放射される紫外線を照射して、該被洗浄物を洗浄する事を特徴とする紫外線ランプを使用した洗浄方法」である点で一致し、以下の点で相違する。
　相違点１：紫外線ランプが、本件訂正発明１では「放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ｎｍ単位で表した波長範囲１６５から１９０、あるいは、１２０から１９０の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する複数の誘電体バリア放電ランプ」であるのに対し、引用文献ｂ記載の発明では低圧水銀ランプである点
　相違点２：本件訂正発明１では、処理用流体を各誘電体バリヤ放電ランプの光取り出し窓の間を通過させて被処理物に吹きつけているのに対し、引用文献ｂでは、処理用流体を紫外線ランプ及び被洗浄物に吹きつけているものの、光取り出し窓の間を通過させるとの記載がない点
　以下、上記相違点に付き検討する。
　上記相違点１について：平成１４年７月２５日付取消理由通知書において引用した刊行物３（甲第３号証）には、高出力紫外線放射器（誘電体バリヤ放電ランプ）が記載され（4頁2行〜5頁23行、Ｆｉｇ．５）、該放射器にキセノンガスを充填することにより１６０ｎｍから１９０ｎｍの波長を有する紫外線を製造することが記載され（4頁表）、刊行物１，２（甲第１、２号証）には、刊行物３に記載される高出力紫外線放射器から特定波長の紫外線を基体に照射することによって、基体表面を洗浄することが記載され、特に刊行物１（第3欄1〜22行）には紫外線の吸収により生じる活性酸素（Ｏ（３Ｐ）、Ｏ（１Ｄ））により基体の表面が処理されること、刊行物２（4欄12〜26行）には紫外線束により表面上の汚れが光分解により除去されることが、それぞれ記載されている。
　また、平成１５年１２月１１日付取消理由通知書において引用した刊行物ｃ（甲第４号証：256頁、Ｆｉｇ．Ａ）には、環状の放電ギャップと２つの円筒状電極からなる誘電バリヤ放電ランプ、および該ランプを複数本並設し、紫外線（エキシマ光線）の照射源として使用することが記載されている。
　以上、上記各刊行物の記載事項によれば、本件訂正発明１における「放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ｎｍ単位で表した波長範囲１６５から１９０、あるいは、１２０から１９０の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する誘電体バリア放電ランプ」は本件特許出願前公知であり、係る「誘電体バリア放電ランプ」を使用して基体表面を洗浄すること、該洗浄が紫外線の照射及び紫外線の照射によって発生する活性酸素によって行われること、及び係る「誘電体バリア放電ランプ」を複数併設して使用できることも知られていることになる。
　してみれば、刊行物ｂ記載の紫外線ランプが有すべき機能を、刊行物３ないし刊行物ｃに記載される「誘電体バリア放電ランプ」はすべて備えているのであるから、刊行物ｂ記載の紫外線−オゾンランプとして、「低圧水銀ランプ」に換え、より高出力である「誘電体バリア放電ランプ」を使用することは、当業者が容易に想到しうることである。
　上記相違点２について：本件訂正発明１における「光取り出し窓」とは、本件特許明細書の「上記の波長範囲の紫外線は、少なくとも、それぞれ主たる発光用ガスとして、アルゴンと塩素、もしくは、キセノンガスを使用することにより、それぞれのガスのエキシマ分子によって発光可能であるが、これらのガスを使用することにより、発光用ガスの劣化が少なく、かつ光取り出し窓の劣化が少ない状態を実現できる」（段落【0007】）及び「外側管１５は誘電体バリヤ放電の誘電体バリヤと光取り出し窓を兼用しており」（段落【0010】）という記載からみて、誘電体バリヤ放電ランプの紫外線放射面を意味するものと解される。
　してみれば、刊行物ｂ記載の第２図に記載される発明では、ノズルより紫外線−オゾンランプ８に向けて吹きつけられた空気（「処理用流体」に相当）は、該ランプの側周面を下方に通過、すなわち複数本の紫外線ランプの放射面の間を通過するのであるから、相違点１で検討したように、紫外線ランプとして「誘電体バリア放電ランプ」を使用した場合には、当然、処理用流体である「空気」は、複数本併設した「誘電体バリア放電ランプ」の「光取り出し窓」の間を通過することとなる。
　そして、本件特許明細書に記載される「また、誘電体バリヤ放電ランプは、従来の低圧水銀ランプの場合と異なって、その長さ、ランプ間の距離を変えても、放射効率などの光出力特性が変わらないので、大面積を均一に照射できるようなランプ配置が可能であり、従って、大面積の半導体ウエハを高効率で、均一に洗浄できる。また、従来の低圧水銀ランプの場合と異なって、ランプへの入力電力を変化させることによって分光分布を変えること無く光出力を変化できるので、ランプへの入力電力と誘電体バリヤ放電ランプと半導体ウエハの間の距離を調整する事により、半導体ウエハ８に照射される紫外線の量を制御できる。」（段落【0012】）という作用効果も、「誘電体バリヤ放電ランプ」自体が本来有するものであって、刊行物ｂ記載の低圧水銀ランプに換え「誘電体バリヤ放電ランプ」を使用することにより当然奏せられるものであるから、格別顕著な効果と云うことはできない。
　したがって、本件訂正発明１は、引用文献ｂに記載された発明と引用文献１ないし引用文献３、及び刊行物ｃ記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）本件訂正発明２ないし５について
　本件訂正発明１ないし５は、本件訂正発明１における被洗浄物が、「半導体ウェハー」、「ガラス」、「プラスチック」、「セラミック」であることを限定した発明である。
　しかしながら、被洗浄物として、「半導体ウェハー」とすることは刊行物ｂに記載されているものであり、「ガラス」、「プラスチック」、「セラミック」とすることも、刊行物１（3欄18〜22行）及び刊行物２（2欄15〜27行）に記載されている事項であるから、本件訂正発明１と同じ理由で、引用文献ｂに記載された発明と引用文献１ないし引用文献３、及び刊行物ｃ記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．まとめ
　以上のとおりであるから、本件訂正発明１ないし５は、引用文献ｂに記載された発明と引用文献１ないし引用文献３、及び刊行物ｃ記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　したがって、本件請求項１ないし５に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、同法第１１３条第１項第２号に該当し、特許を取り消すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年４月２３日（２００４．４．２３）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　被洗浄物
、及び、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ｎｍ単位で表した波長範囲１６５から１９０、あるいは、１２０から１９０の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する複数の誘電体バリヤ放電ランプを、洗浄ダクト内に
酸素を含む処理用流体を該洗浄ダクト内に注入し、該処理用流体を各誘電体バリヤ放電ランプの光取り出し窓の間を通過させて被洗浄物に吹き付けて、
前記
　【請求項２】　該被洗浄物が半導体ウエハである事を特徴とした請求項１記載の誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。
　【請求項３】　該被洗浄物がガラスである事を特徴とした請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。
　【請求項４】　該被洗浄物がプラスチックスである事を特徴とした請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。
　【請求項５】　該被洗浄物がセラミックスである事を特徴とした請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、シリコン半導体ウエハ、ガラス、セラミックス、プラスチックス等に付着した数分子から数十分子層の汚染物を、紫外線照射下において洗浄、除去する、いわゆる光洗浄方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】本発明に関連した技術としては、例えば、日本国公開特許公報平１−１４４５６０号があり、そこには、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あるいは無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハンドブック」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）を使用したランプについて記載されている。また、オゾン雰囲気において紫外線を照射することにより、有機物を除去出来ることは古くから知られており、低圧水銀ランプを紫外線光源とした洗浄方法が実用されている。これらの従来の方法は、大面積を均一に洗浄しにくい、洗浄の速度が必ずしも十分ではない等の問題があった。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、大面積の被処理物を均一に、かつ高速で洗浄出来る洗浄方法を提供することである。
　【０００４】
　【課題を解決するための手段】上記本発明の目的は、被洗浄物
、及び、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ｎｍ単位で表した波長範囲１６５から１９０、あるいは、１２０から１９０の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する複数の誘電体バリヤ放電ランプを、洗浄ダクト内に
酸素を含む処理用流体を該洗浄ダクトに注入し、該処理用流体を各誘電体バリヤ放電ランプの光取り出し窓の間を通過させて被洗浄物に吹き付けて、前記
　【０００５】
　【作用】放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ガスの圧力、放電ギャップ長、放電電力密度などの放電条件を適当にして誘電体バリヤ放電を行うことにより、キセノン、あるいは、アルゴンと塩素のエキシマ分子が形成され、ｎｍ単位で表した波長１７２に最大値を有し波長範囲１２０から１９０に放射光を有する誘電体バリヤ放電ランプ、もしくは、１７５に最大値を有し波長範囲１６５から１９０に放射光を有する誘電体バリヤ放電ランプが得られる。酸素を含んだ雰囲気下において、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用いた誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫外線で該被洗浄物を照射すると、１７２および１７５ｎｍ付近の紫外線は、酸素分子を解離して活性な酸素原子を生成し、この活性な酸素原子が該被洗浄物に付着した有機化合物からなる汚染物と反応、分解し、洗浄する。１７２および１７５ｎｍ付近の紫外線は、酸素原子の生成に加えて、汚染物に直接作用する事によって汚染物を活性化あるいは分解し、洗浄速度を加速する。
　【０００６】該誘電体バリヤ放電ランプが放射する１７２および１７５ｎｍ付近の狭い波長範囲の単色光的な紫外線は、従来の低圧水銀放電ランプでは発生不可能である。また、該誘電体バリヤ放電ランプは、ランプの温度を低くできる、ランプの形状の自由度が大きい等の特徴を有しているため、被洗浄物に近接して任意形状の誘電体バリヤ放電ランプを設置することが可能になり、従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電ランプだけの組み合わせでは得ることの出来ない特徴ある分光分布の光を、大面積に、均一に、高効率で照射することが可能になる。。従って小型の装置で高効率、高速で、大面積を均一に洗浄することが可能になる。
　【０００７】従来の光洗浄装置は外部にオゾン発生機を設けていたが、本発明においては外部にオゾン発生機を設ける必要がなく、従って小型の装置で高速で洗浄が出来る。更に、上記のような波長範囲の紫外線を放射させる事により、高効率、高品位の洗浄が達成される。なぜなら、上記の波長範囲の紫外線は、少なくとも、それぞれ主たる発光用ガスとして、アルゴンと塩素、もしくは、キセノンガスを使用することにより、それぞれのガスのエキシマ分子によって発光可能であるが、これらのガスを使用することにより、発光用ガスの劣化が少なく、かつ光取り出し窓の劣化が少ない状態を実現できるからである。
　【０００８】波長１７２ｎｍおよび１７５ｎｍの紫外線の酸素中における吸収断面積は、約６０×１０−１９である。従って、該紫外線は、１気圧の酸素および空気中においては、それぞれ、約０．７ｍｍおよび３ｍｍの距離を進行する間に大半が酸素に吸収されてしまう。すなわち、０．７ｍｍおよび３ｍｍの狭い空間に活性酸素が生成されることになり、高密度の活性酸素を生成することが出来る。該誘電体バリヤ放電ランプと該被洗浄物との距離は、主に、該被洗浄物に到達する該紫外線の照射量と活性酸素の密度によって決定されるが、誘電体バリヤ放電ランプ特有の寸法精度から１ｍｍ以上とすることが必要であり、かつ、光の照射効率から１０ｍｍ以下にすることによって、本発明の目的はより一層発揮出来る。
　【０００９】
　【実施例】本発明の実施例である半導体ウエハの洗浄方法の概略図を図１に示す。洗浄ダクト３内に誘電体バリヤ放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅが被洗浄物であるシリコン半導体ウエハ８に近接して設けられている。シリコン半導体ウエハ８は支持具５によって支持されており、該支持具５は、該被洗浄物の温度を変えるための通常の手段、例えば電気ヒータ等と、該被洗浄物と該誘電体バリヤ放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅとの間の距離を調整するための移動機構を有している。
　【００１０】実施例に使用した同軸円筒形誘電体バリヤ放電ランプの概略図を図２に示す。放電容器１３は石英ガラス製で内側管１４と外側管１５を同軸に配置して中空円筒状にしたもので、外側管１５は誘電体バリヤ放電の誘電体バリヤと光取り出し窓を兼用しており、その外面に光を透過する金属網からなる電極１７が設けられている。内側管１４の内径部には紫外線の反射板を兼ねた円筒状の金属電極１６が設けられている。円筒状の金属電極１６の内側には冷却用流体１９が流され、誘電体バリヤ放電ランプ全体の温度を低下させる。放電容器１３の一端にリング状のゲッター１８が設けられている。放電空間２０に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを封入して、誘電体１５の表面に設けられた金属網からなる透明電極１７と内側管１４の内径部には紫外線の反射板を兼ねた円筒状の金属電極１６に交流電源２１によって電圧を印加すると、放電空間２０内にいわゆる誘電体バリヤ放電、別名オゾナイザ放電あるいは無声放電が発生して、誘電体１５、透明電極１７を通して、高効率で紫外線が放射される。図には示していないが、必要に応じて、透明電極１７の表面を紫外線透過性の樹脂、ガラスなどで覆い電気的に絶縁する。また、被洗浄物あるいは処理用流体に直接接触する外側の電極１７は、アース電位で使用することが望ましい。
　【００１１】第１の実施例においては、誘電体バリヤ放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅの発光ガスの主成分として３５０Ｔｏｒｒのキセノンガスが封入されており、１７２ｎｍ付近で最大値を有する１２０から１９０ｎｍの波長範囲の紫外線を放出する。該紫外線は、酸素分子を高効率で活性な酸素原子に分解し、活性酸素原子を生成する。誘電体バリヤ放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅと被洗浄物である半導体シリコンウエハ８との最短距離は３ｍｍである。処理用流体供給口２より注入された１気圧の処理用流体空気１中の酸素は、洗浄ダクト３内の予備空間６において誘電体バリヤ放電ランプから放射される短波長の紫外線によってオゾンに変換される。オゾンと酸素の混合ガスが半導体ウエハ８上に吹きつけられる。処理空間７において酸素分子の分解により発生した高密度の活性な酸素原子に加え、予備空間６において発生したオゾンの分解によって発生した酸素原子によって、半導体ウエハ表面に付着した有機汚染物が高速で洗浄される。さらに、この実施例では約１０％の紫外線が被洗浄物である半導体ウエハ８に到達するので、この紫外線によって有機汚染物が活性化、分解され、したがって、より高速で半導体ウエハを洗浄することが出来る。
　【００１２】円筒状の金属電極１６の内側に冷却用流体１９を流し、誘電体バリヤ放電ランプ全体の温度を低下させているので、誘電体バリヤ放電ランプによる半導体ウエハの加熱の心配がいらないので、半導体ウエハと誘電体バリヤ放電ランプ間の距離を十分に小さくすることが出来、従って紫外線を高効率で照射する事が出来、高速で半導体ウエハを洗浄することが出来る。また、誘電体バリヤ放電ランプは、従来の低圧水銀ランプの場合と異なって、その長さ、ランプ間の距離を変えても、放射効率などの光出力特性が変わらないので、大面積を均一に照射できるようなランプ配置が可能であり、従って、大面積の半導体ウエハを高効率で、均一に洗浄できる。また、従来の低圧水銀ランプの場合と異なって、ランプへの入力電力を変化させることによって分光分布を変えること無く光出力を変化できるので、ランプへの入力電力と誘電体バリヤ放電ランプと半導体ウエハの間の距離を調整する事により、半導体ウエハ８に照射される紫外線の量を制御できる。半導体ウエハ８に照射される紫外線の量を少なくすることにより、紫外線による半導体ウエハを損傷することなく洗浄が可能になる。半導体ウエハ８に照射される紫外線の量を多くすることにより、変質した洗浄しにくい有機汚染物を高速で洗浄出来る。本発明の洗浄方法は、数分子から数十分子層の厚みで付着した真空ポンプ用の油を除去するのに最適である。
　【００１３】本発明の第２の実施例は、第１の実施例における被洗浄物８を液晶表示パネル用のガラス板にしたもので、誘電体バリヤ放電ランプ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅと被洗浄物であるガラス板との最短距離は２ｍｍにした。この実施例においては、数十％の紫外線が被洗浄物であるガラス板に到達するので、この紫外線によって汚染物が活性化、分解され、したがって、より高速でガラス板を洗浄することが出来る。本実施例の被洗浄物のように可視光を透過する場合には、微小な汚れが問題となり、本発明の効果がより発揮される。したがって、同様にサファイア板の洗浄などにも適用出来る。
　【００１４】本発明の第３の実施例を図３に示す。誘電体バリヤ放電ランプの構造は図２と類似であるが、この実施例においては、外側管１５の外面に紫外線の反射板を兼ねた金属電極１６が設けられ、内側管１４の内径部には光を透過する金属網からなる電極１７が設けられている。被洗浄物であるプラスチックス、この例ではポリエチレン瓶２２を空気とともに該誘電体バリヤ放電ランプの内側管の内部を通過させると、該紫外線によって発生した活性酸素原子と該紫外線の直接照射によって、ポリエチレン瓶２２の外面が洗浄される。該電体バリヤ放電ランプが中空円筒状なので、円筒状の瓶に効率よく紫外線を照射することが出来、高速、高効率の洗浄が可能になる。
　【００１５】本発明の第４の実施例は、第３の実施例と同様の誘電体バリヤ放電ランプを使用し、水晶振動子用水晶片あるいはセラミックスからなる部材を洗浄するものである。この実施例においては、放電用ガスとしてアルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、ｎｍ単位で表した波長１７５に最大値を有し波長範囲１６５から１９０に放射光を有する誘電体バリヤ放電ランプを使用した。水晶片あるいはセラミックスからなる部材の全表面をほぼ均一に洗浄することが出来る。
　【００１６】以上の本発明の実施例の特長を、従来の低圧水銀ランプと別装置のオゾン発生機を使用した洗浄方法に比較してまとめると、以下のようになる。（１）オゾンを供給するためのオゾン発生機を設ける必要がなく、小型、簡便の洗浄方法が得られる。（２）高密度の活性酸素原子を発生できるので、高速、高効率の洗浄が可能になる。（３）高エネルギーの紫外線で被洗浄物を照射できるので、変質した洗浄しにくい汚染物を高速で洗浄が出来る。（４）該電体バリヤ放電ランプによる被洗浄物の加熱が少ないので、低温度での洗浄が可能になる。（５）大面積の被洗浄物を高効率で、均一に洗浄できる。（６）被洗浄物に照射される紫外線の量を制御する事が出来、従って高品位の洗浄が可能になる。
　【００１７】
　【発明の効果】上記説明したように、本発明によれば、小型の方法で、大面積の被洗浄物を均一に、高速で洗浄出来る洗浄方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の実施例の概要をしめす説明図である。
　【図２】本発明に使用する誘電体バリヤ放電ランプの一例の説明図である。
　【図３】本発明の実施例の概要を示す説明図である。
　【符号の説明】
　１　処理用流体空気
　２　処理用流体供給口
　３　洗浄ダクト
　４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ　誘電体バリヤ放電ランプ
　５　支持具
　１４　内側管
　１５　外側管
　１６，１７　電極
　１９　冷却用流体
　２０　放電空間
　２１　交流電源
　２２　ポリエチレン瓶