(57)【要約】  ピロールカルバルドイミネート配位子を有する前駆体およびその合成方法が開示される。ピロールカルバルドイミネート配位子は、置換されていてもよい。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記式の１つを有する前駆体。
【化１】
2014527517.tif 000011
（式中、
−  Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素であり、
−  Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される）。
【請求項２】
請求項１に記載の前駆体であって、
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；および
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）
からなる群から選択される前駆体。
【請求項３】
請求項２に記載の前駆体であって、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）、および（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）からなる群から選択される前駆体。
【請求項４】
メタロイド含有フィルムを基板に堆積するプロセスであって、
下記式の１つを有する少なくとも１種のメタロイド含有前駆体を、少なくとも１つの基板が内部に配置された反応器内に導入する工程と、
【化２】
2014527517.tif 000012
（式中、
−  Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素であり、
−  Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される）
前記メタロイド含有前駆体の少なくとも一部を前記少なくとも１つの基板に堆積して、メタロイド含有フィルムを形成する工程と
を含む方法。
【請求項５】
請求項４に記載の方法であって、少なくとも１種の反応体を、前記反応器内に導入することをさらに含む方法。
【請求項６】
請求項５に記載の方法であって、前記反応体が、Ｈ2、ＮＨ3、ＳｉＨ4、Ｓｉ2Ｈ6、Ｓｉ3Ｈ8、ＳｉＨ2Ｍｅ2、ＳｉＨ2Ｅｔ2、Ｎ（ＳｉＨ3）3、それらの水素ラジカル、およびそれらの混合物からなる群から選択される方法。
【請求項７】
請求項５に記載の方法であって、前記反応体が、Ｏ2、Ｏ3、Ｈ2Ｏ、ＮＯ、Ｎ2Ｏ、それらの酸素ラジカル、およびそれらの混合物からなる群から選択される方法。
【請求項８】
請求項５に記載の方法であって、前記メタロイド含有前駆体と前記反応体とを前記反応器に実質的に同時に導入し、前記反応器は化学蒸着用である方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法であって、前記反応器はプラズマ強化化学蒸着用である方法。
【請求項１０】
請求項５に記載の方法であって、前記メタロイド含有前駆体と前記反応体とをチャンバに逐次的に導入し、前記反応器は原子層堆積用である方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の方法であって、前記反応器はプラズマ強化原子層堆積用である方法。
【請求項１２】
請求項４に記載の方法であって、前記メタロイド含有前駆体が、
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
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（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；および
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）
からなる群から選択される方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の方法であって、前記メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）、および（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）からなる群から選択される方法。
【請求項１４】
請求項４に記載の方法によって堆積されたメタロイド含有フィルム。
【発明の詳細な説明】
【発明の概要】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、２０１１年７月２２日に出願された米国仮出願第６１／５１０，６０４号、および２０１１年１２月３０日に出願された米国非仮出願第１３／３４０，８７５号の利益を主張するものであり、これらの出願の全内容が、参照により、ここに組み込まれる。
【０００２】
技術分野
式（１）または（２）を有するメタロイド含有前駆体が開示される。
【化１】
2014527517.tif 000002
【０００３】
（式中、
−  Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
−  Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される。）
また、前記開示されたメタロイド含有前駆体の合成方法、および前記開示されたメタロイド含有前駆体を使用して、メタロイド含有フィルムを１つ以上の基板に蒸着プロセスをにより堆積する方法が開示される。
【０００４】
背景
良好な安定性を有することから、ピロール環系のキレート錯体（例えば、ポルフィリン）は、極めて徹底的な研究および特徴付けが行われてきた。イミン官能基の置換基としてアルキル基を有するピロールカルバルドイミン（pyrrolecarbaldimine）の配位については、コバルト、ニッケル、パラジウム、銅を用いた研究が行われてきた（Ｉｎｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．１９６４，３，１５２１、Ｉｎｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．１９６６，５，６２５、Ｉｎｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．１９７７，１６，１３４１）。
【０００５】
数多くの重要な用途が、ピロールカルバルドイミン錯体に関して見出されており、例えば、エチレン重合のポストメタロセン触媒に用いるチタニウム錯体（Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃｓ，２００１，２０，４７９３）およびハフニウム錯体（Ｊ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．Ｄａｌｔｏｎ  Ｔｒａｎｓ．２００２，４５２９）、ならびに容易なＣ−Ｈ活性化に用いる白金誘導体（Ｊ．Ａｍ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．２００３，１２５，１２６７４）がある。
【０００６】
少なくとも１つのピロールカルバルドイミン配位子を含むヘテロレプティック錯体は、文献でほとんど報告がない。Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  ｔｈｅ  Ｉｎｄｉａｎ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｓｏｃｉｅｔｙ（１９８４），６１（７），５７１−２には、ヘテロレプティックニッケル、銅、パラジウムおよび白金ピロリルカルバルドイミン（pyrrolylcarbaldimine）／アセチルアセトネート化合物の合成方法が記載されている。Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ（２００９），（１２），１５５０−１５５２には、ヘテロレプティックパラジウムピロリルカルバルドイミン／フッ素化アセチルアセトネートを合成する方法が開示されている。Ｐｏｌｙｈｅｄｒｏｎ（１９９５），１４（１５／１６），２１７９−８７には、ニッケルピロリルカルバルドイミン／ケトイミナト（ketoiminato）（ここで、ピロリルカルバルドイミンとケトイミナトとは架橋されている）の合成方法が記載されている。
【０００７】
概要
下記式の１つを有するメタロイド含有前駆体が開示される。
【化２】
2014527517.tif 000003
【０００８】
（式中、
−  Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素であり、
−  Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される。）前記開示されたメタロイド含有前駆体は、以下の側面の１つ以上をさらに含んでもよい：
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート（pyrrolylcarbaldiminate））ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート（pyrrolecarbaldtrimethylsilyliminate））ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；および
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること。
【０００９】
メタロイド含有フィルムを基板に堆積するプロセスが開示される。少なくとも１種のメタロイド含有前駆体を、少なくとも１つの基板が内部に配置された反応器に導入する。メタロイド含有前駆体の少なくとも一部を、前記少なくとも１つの基板に堆積して、前記メタロイド含有フィルムを形成する。前記少なくとも１種のメタロイド含有前駆体は、下記式の１つを有する。
【化３】
2014527517.tif 000004
【００１０】
（式中、
−  Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素であり、
−  Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される。）開示されたプロセスは、以下の側面の１つ以上をさらに含んでもよい：
・少なくとも１種の反応体を、前記反応器に導入すること；
・前記反応体が、Ｈ2、ＮＨ3、ＳｉＨ4、Ｓｉ2Ｈ6、Ｓｉ3Ｈ8、ＳｉＨ2Ｍｅ2、ＳｉＨ2Ｅｔ2、Ｎ（ＳｉＨ3）3、それらの水素ラジカル、およびそれらの混合物からなる群から選択されること；
・前記反応体が、Ｏ2、Ｏ3、Ｈ2Ｏ、ＮＯ、Ｎ2Ｏ、それらの酸素ラジカル、およびそれらの混合物からなる群から選択されること；
・前記メタロイド含有前駆体と前記反応体とを、前記反応器に実質的に同時に導入すること；
・前記反応器が、化学蒸着（chemical vapor deposition）用であること；
・前記反応器が、プラズマ強化化学蒸着用であること；
・前記メタロイド含有前駆体と前記反応体とを、チャンバに逐次的に導入すること；
・前記反応器が、原子層堆積用であること；
・前記反応器が、プラズマ強化原子層堆積用であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロリルカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）であること；
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・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること；および
・メタロイド含有前駆体が、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）であること。
【００１１】
表記および命名
一定の略称、記号および用語が、以下の明細書および特許請求の範囲全体にわたって使用され、以下のことを含んでいる：用語「アルキル基」は、排他的に炭素および水素原子のみを含有する飽和官能基を指す。さらに、用語「アルキル基」は、直鎖状、分枝または環状のアルキル基を指す。直鎖状アルキル基の例としては、限定されないが、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などが挙げられる。分枝アルキル基の例としては、限定されないが、ｔ−ブチルが挙げられる。環状アルキル基の例としては、限定されないが、シクロプロピル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。
【００１２】
元素周期表からの元素の標準的な略称が、ここで使用される。元素は、これらの略称によって言及されてもよいことが理解されるべきである（例えば、Ｎｉはニッケルを指し、Ｃｏはコバルトを指す）。
【００１３】
ここで使用されるとき、Ｒ基を記述する文脈で使用されるときの用語「独立して」は、対象のＲ基が、同じまたは異なる上付き文字または下付き文字を有する他のＲ基に対して独立して選択されるだけでなく、同じＲ基の任意のさらなる種に対しても独立して選択されることを意味すると理解されるべきである。例えば、式ＭＲ1x（ＮＲ2Ｒ3）(4-x)（ここで、ｘは２または３）において、２個または３個のＲ1基は、互いに、またはＲ2もしくはＲ3に対して、同一でよいが、必ずしも同一でなくてもよい。さらに、特に別途明記しない限り、Ｒ基の値は、異なる式で使用されるときに互いに独立していることが理解されるべきである。
【００１４】
好ましい態様の詳細な説明
下記式の１つを有するメタロイド含有前駆体が開示される。
【化４】
2014527517.tif 000005
【００１５】
（式中、
−  Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＭｎからなる群から選択される元素（メタロイド）であり、
−  Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択される。）
例示的なメタロイド含有前駆体としては、以下が挙げられる：
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート（pyrrolecarbaldiminate））ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）ニッケル（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）コバルト（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジメチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジエチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジプロピル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−ペンタンジケチミネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルホルムアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドメチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドエチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｎブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｓｅｃブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドイソブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドｔｅｒｔブチルイミネート）マンガン（ＩＩ）；および
（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピル−Ｎ，Ｎ’−ジメチルグアニジネート）（ピロールカルバルドトリメチルシリルイミネート）マンガン（ＩＩ）。
【００１６】
好ましくは、前駆体は、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）ニッケル（ＩＩ）、（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）コバルト（ＩＩ）、または（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルアセトアミジネート）（ピロールカルバルドイソプロピルイミネート）マンガン（ＩＩ）である。本出願人は、式２において、Ｒ1〜Ｒ4が水素であり、Ｒ5およびＲ6がイソプロピルであり、Ｒ7がメチルである場合に、最も融点が低いが揮発性の顕著な低下はない化合物が得られると考えている。
【００１７】
開示された前駆体は、反応スキーム１に従って、１工程で、ビスハライドまたはビスアセチルアセトネートと、１当量の脱プロトン化ピロリルカルバルドイミン配位子および１当量の脱プロトン化ジケチミナト（diketiminato）またはアミジネート配位子とを同時に反応させることによって合成してもよい。
【化５】
2014527517.tif 000006
【００１８】
（式中、
−  Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
−  Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
−  Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
−  ＹおよびＺは、独立して、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
【００１９】
あるいは、開示された前駆体は、反応スキーム２に従って２工程で、第１工程では、ビスハライドまたはビスアセチルアセトネートと１当量の脱プロトン化ピロリルカルバルドイミン配位子とを反応させ、第２工程では、第１工程の反応生成物と１当量の脱プロトン化ジケチミナトまたはアミジネート配位子とを反応させることによって、逐次的に合成してもよい。
【化６】
2014527517.tif 000007
【００２０】
（式中、
−  Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
−  Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
−  Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
−  ｎは、１、２、または３であり、
−  ＹおよびＺは、独立して、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
【００２１】
あるいは、開示された前駆体は、反応スキーム３に従って、２工程で、第１工程では、ビスハライドまたはビスアセチルアセトネートと１当量の脱プロトン化ジケチミナトまたはアミジネート配位子とを反応させ、第２工程では、第１工程の反応生成物と１当量の脱プロトン化ピロリルカルバルドイミン配位子とを反応させることによって、逐次的に合成してもよい。
【化７】
2014527517.tif 000008
【００２２】
（式中、
−  Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
−  Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
−  Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
−  ｎは、１、２、または３であり、
−  ＹおよびＺは、独立して、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
【００２３】
別の代替態様において、開示された前駆体は、反応スキーム４に従って、ビスピロリルカルバルドイミンと１当量の脱プロトン化または脱プロトン化されていないジケチミネートまたはアミジネート配位子とを反応させて合成してもよい。
【化８】
2014527517.tif 000009
【００２４】
（式中、
−  Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
−  Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
−  Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
−  ＹおよびＺは、独立して、Ｈ、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
【００２５】
別の代替態様において、開示された前駆体は、反応スキーム５に従って、ビスジケチミナトまたはアミジナト（amidinato）と、１当量の脱プロトン化または脱プロトン化されていないピロリルカルバルドイミン配位子とを反応させて合成してもよい。
【化９】
2014527517.tif 000010
【００２６】
（式中、
−  Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、またはＭｎから選択される元素であり、
−  Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の各々は、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルシリル基（モノ、ビス、またはトリスアルキル）、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状アルキルアミノ基、またはＣ１〜Ｃ４の直鎖状、分枝もしくは環状フルオロアルキル基から独立して選択され、
−  Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、またはアセチルアセトネートから選択され、
−  Ｙは、Ｈ、Ｌｉ、Ｎａ、またはＫから選択される）。
【００２７】
合成は、限定されないが、ＴＨＦ、アセトニトリル、ジメチルスルホキシド、またはジエチルエーテルから選択される極性溶媒中で行ってよい。
【００２８】
合成は、およそ１００℃〜およそ１５０℃の範囲の温度で実行してよい。
【００２９】
配位種（coordinating species）を、反応スキーム２および３の第１工程において、反応中間体を安定させるために導入してもよい。配位種は、限定されないが、トリアルキルアミン（トリエチルアミン）、Ｎ1，Ｎ1，Ｎ2，Ｎ2−テトラメチルエタン−１，２−ジアミン、ピリジンまたはエーテルから選択してもよい。
【００３０】
合成には、溶媒を除去する工程、非極性溶媒（例えば、ペンタンまたはヘキサン）を添加して溶液を形成する工程、溶液を濾過する工程、および溶媒を除去して式（１）または（２）を有する開示された前駆体を形成する工程を含めてもよい。
【００３１】
合成には、式（１）または（２）を有する前駆体を、再結晶、蒸留、または昇華により精製する工程を含めてもよい。
【００３２】
開示された前駆体の少なくとも一部を、当業者に公知の任意の堆積方法を使用して堆積して薄膜を形成してもよい。適切な堆積方法の例としては、限定されないが、従来のＣＶＤ、原子層堆積（ＡＬＤ）およびパルス化学蒸着（Ｐ−ＣＶＤ：pulsed chemical vapor deposition）が挙げられる。ある代替態様では、熱ＣＶＤ堆積が好ましく、特に急速な成長、コンフォーマリティ（conformality）、プロセス配向および一方向フィルムが要求されるときに好ましい。別の代替態様では、熱ＡＬＤ堆積プロセスが好ましく、特に障害（例えば、溝、孔、ビア）を有する表面に堆積するフィルムの優れたコンフォーマリティが要求されるときに好ましい。
【００３３】
開示された前駆体は、反応器内に、蒸気の形態で導入する。前駆体の蒸気形態は、液体前駆体溶液を従来の気化工程（例えば、直接気化、蒸留）により気化することによって、または不活性ガス（例えば、Ｎ2、Ｈｅ、Ａｒなど）を前記前駆体溶液内に通気して、不活性ガスと前駆体との混合物を前駆体蒸気溶液として反応器に供給することによって、製造してもよい。不活性ガスを用いた通気により、前駆体溶液に存在する任意の溶解酸素を除去してもよい。
【００３４】
必要であれば、容器を加熱して、開示された前駆体が液相状態であって十分な蒸気圧を有することが可能な温度にしてもよい。例えば、容器を０℃〜１５０℃の範囲の温度に維持してもよい。当業者は、容器の温度および圧力を既知の方法で調節して、気化する前駆体の量を調整してもよいことを認識している。
【００３５】
前記反応器は、薄膜が堆積されることとなる１つ以上の基板を含有する。１つ以上の基板は、半導体、光起電力、フラットパネル、またはＬＣＤ−ＴＦＴ装置製造において使用される任意の適切な基板であってもよい。適切な基板の例としては、限定されないが、シリコン、シリカ、窒化シリコン、オキシ窒化シリコン、炭素ドープシリカ、銅および銅合金、窒化チタン、タンタル、窒化タンタル、タングステン、またはそれらの組合せが挙げられる。ケイ素基板は、任意に、ＨＦリンスで堆積前に洗浄してもよい。さらに、タングステンまたは貴金属（例えばプラチナ、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、または金）を含む基板を使用してもよい。基板は、１つ以上のさらなる材料層を含んでもよく、その層は先の製造工程から存在しているものでもよい。誘電体層および導電体層がこの例である。
【００３６】
前記反応器内の温度および圧力ならびに前記基板の温度は、開示された前駆体の少なくとも一部を基板に蒸着するために適した条件で維持する。前記反応器または堆積チャンバは、少なくとも１つ以上の基板が内部に配置された加熱された槽であってもよい。前記反応器は出口を有し、この出口を真空ポンプに接続して、チャンバから生成物を除去してもよく、または反応器内の圧力を調節もしくは制御してもよい。前記チャンバの温度は、通常、実行される堆積プロセスの種類に適した温度に維持される。いくつかの場合、例えば、基板自体が直接加熱されるとき、または別のエネルギー源（例えば、プラズマもしくは高周波源、マイクロ波源、またはＵＶ光）が堆積を補助するために備えられているときには、チャンバを低い温度に維持してもよい。反応器の例としては、限定されないが、コールドウォール型反応器、ホットウォール型反応器、単一ウェハ反応器、マルチウェハ反応器、または前記前駆体を反応させて層を形成するための適切な条件下にある他の堆積システム型反応器が挙げられる。これらの反応器のいずれも、ＡＬＤおよびＣＶＤの両方のプロセスに使用してよく、したがってＡＬＤ反応器またはＣＶＤ反応器として適したものである。
【００３７】
１つの代替態様において、堆積チャンバは、約１００℃より高い温度に維持される。例えば、温度は、約１００℃〜約５００℃、好ましくは、約１５０℃〜約３５０℃に維持される。別の代替態様において、堆積チャンバは、およそ２０℃〜およそ１００℃の範囲の温度に維持されてもよい。堆積チャンバの圧力は、約１Ｐａ〜約１０5Ｐａ、好ましくは約２５Ｐａ〜約１０3Ｐａに維持される。
【００３８】
特定のプロセスパラメータに応じて、堆積は、様々な長さの時間で行ってよい。一般に堆積は、必要な特性を有するフィルムを製造するために望ましい限り、継続してよい。フィルムの典型的な厚みは、特定の堆積プロセスに応じて、数Å〜数百ミクロンで変動させてよい。
【００３９】
いくつかの態様においては、還元ガスも反応チャンバに導入する。還元ガスは、水素、アンモニア、シラン、ジシラン、トリシラン、それらのプラズマ励起ラジカル、およびそれらの混合物の１つであってよい。例示的なプラズマ励起ラジカルとしては、水素ラジカルが挙げられる。プラズマ励起ラジカルは、反応器内に配置されているか、２つの電極間にあるウェハと一緒に配置されているか、または反応器から離れて配置されているプラズマによって生成してよい。堆積様式が化学蒸着であるとき、開示された前駆体と還元ガスとを、反応チャンバに実質的に同時に導入してよい。堆積の様式が原子層堆積であるとき、開示された前駆体と還元ガスとを、逐次的に導入してよく、いくつかの場合においては、前駆体と還元ガスとの間で不活性ガスによるパージを導入してもよい。
【００４０】
１種以上の前駆体を反応チャンバに導入して、基板に堆積してもよい。さらなる前駆体は、堆積されるフィルムの一成分として、またはドーピング剤として（つまり、少量）、機能してもよい。さらなる前駆体は、それぞれ独立して、炭素、銅、金、鉄、リチウム、ケイ素、銀、プラセオジム、マンガン、ルテニウム、チタン、タンタル、ビスマス、ジルコニウム、ハフニウム、鉛、ニオブ、マグネシウム、アルミニウム、ランタン、またはこれらの混合物から選択される元素を含んでもよい。開示された前駆体と一緒にさらなる前駆体を適用することによって、多元素フィルム、例えば、ＮｉＣ、ＮｉＳｉ、ＮｉＡｇ、ＡｕＣｏ、ＣｕＣｏ、ＬｉＣｏＯ、ＣｏＦｅ、またはＬｉＭｎＯを基板に形成してもよい。
【００４１】
開示された前駆体と任意の反応体または前駆体とを、逐次的に（ＡＬＤの場合）、または同時に（ＣＶＤの場合）、反応チャンバに導入してもよい。反応チャンバは、前駆体の導入と反応体の導入との間で、不活性ガスを用いてパージしてもよい。あるいは、反応体と前駆体とは、一緒に混合して反応体／前駆体混合物を形成し、次いで、反応器に混合物の形態で導入してもよい。別の代替態様においては、開示された前駆体または任意の反応体もしくは前駆体のいずれかを、反応チャンバに導入し、一方で、第２の成分（開示された前駆体または任意の反応体もしくは前駆体のいずれか）を、反応チャンバにパルスしてもよい（パルスＣＶＤ）。
【００４２】
開示された前駆体の蒸気溶液と前記反応ガスとを、逐次的にまたは同時に（例えば、パルスＣＶＤ）、前記反応器にパルスしてもよい。前駆体の各パルスは、約０．０１秒〜約１０秒、あるいは約０．３秒〜約３秒、あるいは約０．５秒〜約２秒の期間、継続してもよい。別の態様において、反応ガスも前記反応器にパルスしてよい。そのような態様において、各ガスのパルスは、約０．０１秒〜約１０秒、あるいは約０．３秒〜約３秒、あるいは約０．５秒〜約２秒の間、継続してもよい。
【００４３】
１つの非限定的な例示的原子層堆積型プロセスにおいて、開示された前駆体の気相を反応チャンバに導入し、ここで、適切な基板と接触させる。次いで、過剰の前駆体を、反応チャンバのパージおよび／または排気（evacuating）によって、反応チャンバから除去してもよい。任意の酸素供給源（例えば、酸素、オゾン、それらのプラズマ励起ラジカル、またはそれらの組合せ）を、反応チャンバに導入し、ここで、吸収された前駆体と自己制御式で反応させる。任意の過剰の酸素供給源は、反応チャンバのパージおよび／または排気によって、反応チャンバから除去する。所望のフィルムが酸化物フィルムである場合、この２工程プロセスによって、所望のフィルム厚さを得てもよく、または必要な厚さを有するフィルムが得られるまで、このプロセスを繰り返してもよい。
【００４４】
あるいは、所望のフィルムが２種の元素を含有する場合、開示された前駆体の気相を、反応チャンバに導入し、ここで、適切な基板と接触させてもよい。次いで、過剰の前駆体を、反応チャンバのパージおよび／または排気によって、反応チャンバから除去してもよい。第２の前駆体（例えば、シリコン含有前駆体またはリチウム含有前駆体）の気相を反応チャンバに導入し、ここで、吸収された前駆体と自己制御式で反応させる。任意の過剰な第２の前駆体は、反応チャンバのパージおよび／または排気によって、反応チャンバから除去する。この２工程プロセスによって、所望のフィルム厚さを得てもよく、または必要な厚さを有するフィルムが得られるまで、このプロセスを繰り返してもよい。
【００４５】
パルスの数を変えることによって、所望の化学量論比を有するフィルムを得てもよい。例えば、上記のＮｉＳｉフィルムが所望の量に満たないニッケルを含有する場合、上述の例示的プロセスを、開示された前駆体のさらなる導入（例えば、第２のパルス）が含まれるように変更してもよい。当業者は、所望のフィルムを得るために必要とされるパルスの数が、生じるフィルムの化学量論比と同一でなくてよいことを認識しているであろう。
【００４６】
上記で論じるプロセスから得られるフィルムは、Ｎｉ、ＮｉＣ、ＮｉＳｉ、ＮｉＡｇ、Ｃｏ、ＡｕＣｏ、ＣｕＣｏ、ＬｉＣｏＯ、ＣｏＦｅ、Ｍｎ、ＭｎＯ、ＭｎＯＮ、ＭｎＳｉ、またはＬｉＭｎＯを含んでよい。当業者は、適切な開示された前駆体、反応体、および前駆体（複数）の適正な選択によって、所望のフィルム組成を得てよいことを認識しているであろう。
【００４７】
本発明の態様を提示および記載してきたが、それらの態様の改変は、当業者によって、本発明の趣旨または教示の範囲を逸脱することなく行われ得る。ここで記載された態様は、例示にすぎず、限定的なものではない。組成物および方法の多くの変形および改変が可能であり、それらも本発明の範囲内である。したがって、保護の範囲は、ここに開示される態様に限定されず、下記の特許請求の範囲によってのみ限定され、その保護の範囲には、特許請求の範囲の主題の全ての均等物が含まれる。
【国際調査報告】
2014527517.tif 000013
2014527517.tif 000014