(57)【要約】  並存している複数の領域を有する有機発光する発光体に関し、且つ１つの真空室と、１つの基板を直進搬送するための１つの設備と、複数の蒸着源と、複数のスクリーンとを有する、当該有機発光する発光体を製造するための蒸着装置に関する本発明は、改良された発光強度を呈するＯＬＥＤ構造体を提供することを課題とする。この場合、当該ＯＬＥＤ発光体を製造するための蒸着装置の効率が向上されなければならない。この場合、当該製造は、安価に且つ商業的に適応可能でなければならない。  この課題は、対応する領域ごとに放射された発光色に対する最適な光出射効率が達成可能であるように、正孔輸送層の厚さ、発光層の厚さ及び電子輸送層の厚さが、並存している当該領域ごとに異なり、且つそれぞれ設定されていることによって解決される。
2014503949.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ異なる発光色を呈する、並存している複数の領域（１，２，３）を有する有機発光する発光体であって、
これらの領域（１，２，３）の各々が、以下の構造：
・１つの基板（２００）、
・１つの第１電極層（２０２，２０６）、
・１つの第１電荷キャリア輸送層（２０３，２０５）、
・少なくとも１つの発光層（２０４）、
・１つの第２電荷キャリア輸送層（２０３，２０５）、及び
・１つの第２電極層（２０２，２０６）、
を有する当該有機発光する発光体において、
対応する領域（１，２，３）ごとに放射された発光色に対する最適な光出射効率が達成可能であるように、第１電荷キャリア輸送層（２０３，２０５）の厚さ、発光する発光層（２０４）の厚さ及び／又は第２電荷キャリア輸送層（２０３，２０５）の厚さが、並存している当該領域ごとに異なり、且つそれぞれ設定されていることを特徴とする有機発光する発光体。
【請求項２】
複数の前記領域（１，２，３）の各々が、前記基板上に１つの平滑化層（２０１）を有することを特徴とする請求項１に記載の有機発光する発光体。
【請求項３】
複数の前記領域（１，２，３）の各々が、中間接続された透明な少なくとも１つのバッファ層を有する請求項１又は２に記載の有機発光する発光体。
【請求項４】
放射される光に対して、前記基板（２００）及び前記第１電極層（２０２，２０６）は、透明であり、前記第２電極層は、非透明であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の有機発光する発光体。
【請求項５】
放射される光に対して、前記基板（２００）及び前記第１電極層（２０２，２０６）は、非透明であり、前記第２電極層は、少なくとも半透明、特に透明であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の有機発光する発光体。
【請求項６】
複数の前記電極のうちの少なくとも１つの電極が、透明な導電性酸化物、金属若しくは導電性有機材料を有する、又は当該透明な導電性酸化物、金属若しくは導電性有機材料から成ることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の有機発光する発光体。
【請求項７】
前記基板は、巻き付け又は巻き戻し時に破損されることなしに、フィルム状にフレキシブルに、特にロール上に巻き付け可能であり、且つこのロールから巻き戻し可能であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の有機発光する発光体。
【請求項８】
それぞれ異なる発光色を呈するそれぞれの前記領域（１，２，３）の複数の前記発光層（２０４．１，２０４．２，２０４．３）はそれぞれ、異なる発光材料を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の有機発光する発光体。
【請求項９】
前記発光層（２０４．１，２０４．２，２０４．３）は、単色光を放射することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の有機発光する発光体。
【請求項１０】
それぞれの領域に対する層厚の最適値が、シミュレーション及び／又は実験から算出可能であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の有機発光する発光体。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の有機発光する発光体を製造するための蒸着装置であって、
この蒸着装置は、１つの真空室と、１つの基板（３００）を直進搬送するための１つの設備と、複数の蒸着源（３０２．１〜３０２．５）と、この基板（３００）を個々の蒸着領域（３０２．１〜３０２．５）に対して通過させるときに、露出した基板面を限定するための複数のスクリーン（３０３．１〜３０３．５）とを有し、
それぞれのスクリーン（３０３．１〜３０３．５）が、前記基板の搬送方向に対して垂直方向に並存している複数の部分領域（Ａ，Ｂ，Ｃ）に区分されていて、これらの部分領域は、前記基板の搬送方向に沿って異なる延在部分を有する、又は、その一部が、完全に閉鎖されている当該蒸着装置において、
前記基板（３００）を複数の前記蒸着源（３０２．１〜３０２．５）に対して通過させるときに、この基板（３００）上に並存している複数の領域（１，２，３）が、それぞれの発光色の光出射効率に対して最適な層厚で形成されるように、複数の前記部分領域（Ａ，Ｂ，Ｃ）の前記延在部分が、前後して設定されていることを特徴とする蒸着装置。
【請求項１２】
複数の前記スクリーン（３０３．１〜３０３．５）は、それぞれ１つの蒸着源（３０２．１〜３０２．５）と通過される前記基板（３００）との間に固定配置されていることを特徴とする請求項１１に記載の蒸着装置。
【請求項１３】
前記蒸着装置は、前記基板（３００）を水平方向に直進移動させるための手段を有する結果、その蒸着方向が、垂直方向であることを特徴とする請求項１２に記載の蒸着装置。
【請求項１４】
蒸着されるそれぞれの層のそれぞれ異なる層厚が、それぞれの前記部分領域の前記延在部分の異なる大きさによって設定可能であることを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項１５】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の有機発光する発光体を製造するための方法において、
当該方法は、請求項１１〜１４のいずれか１項に記載の有機発光する発光体を製造するための蒸着装置を使用し、最適な層厚を選択することを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念に記載の有機発光する発光体及び請求項１１の上位概念に記載の当該発光体を製造するための蒸着装置並びに請求項１５の上位概念に記載の当該発光体を製造するための方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機発光する発光体、特に有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）は、現在では既に家電の多くの分野で、例えば表示装置の用途で使用され、照明産業では未来技術とも考えられている。有機発光ダイオードの構造が、１つ又は複数の有機発光層（ＥＭＩ）を有する。当該有機発光層は、２つの電極の間に配置されている、例えば基板上の陰極と陽極との間に配置されている。
【０００３】
従来の技術によれば、発光の方向に応じて、２種類の有機発光ダイオードが公知である。基板からの発光を伴う有機発光ダイオードが、いわゆるトップエミッション構造で製造され得る。又は、基板を透過する発光を伴う有機発光ダイオードが、ボトムエミッション構造で製造され得る。
【０００４】
図１には、従来の技術から公知の、トップエミッション構造の有機発光ダイオードの大まかな構造が示されている。当該構造は、不透明な基板１００と、この基板１００上に続く、省略可能な平滑化層１０１と、図１における陽極に相当する第１電極層１０２と、正孔輸送層１０３（ＨＴＬ）から成る有機層スタックと、それぞれ異なる色、例えば赤色、緑色又は青色の光を放射する、少なくとも１つ、特に２つ又は３つの、垂直方向に別々に形成された発光層１０４（ＥＭＬ）と、電子輸送層１０５（ＥＴＬ）と、図１において陰極に相当する半透明な金属電極層１０６とから構成される。正孔輸送層及び電子輸送層は、纏めて電荷キャリアと呼ばれる。省略可能なさらなる透明な層、例えばバッファ層が、説明したこれらの層の間に存在してもよい。電圧を第１電極層と第２電極層との間に印加した場合、異なる色の光量子が、発光層中で生成される。当該光量子は、半透明な陰極によってその一部を消失させることができる。
【０００５】
ボトムエミッション構造の有機発光ダイオードは、トップエミッション構造の有機発光ダイオードと違って透光性基板を有する。第１透光性電極層及び第２透光性電極層が、この透光性基板上に蒸着されている。その結果、発光が、当該基板を透過して、すなわちボトム方向に発生し得る。
【０００６】
基板上に形成された層、陽極／ＨＴＬ／ＥＢＬ／ＥＭＬ／ＨＢＬ／ＥＴＬ／陰極の順序は、原理的には、その逆の順序でもよい。この場合、当該順序は、光を放つ側の電極をその都度半透明又は透明に構成することが必要である。
【０００７】
さらに、白色光の放射を発生させるため、異なる色の光を放射する複数の領域が並んで配置されているＯＬＥＤ発光体が公知である。例えば、並存している２つの領域が、異なる色の光を放射するときに、１つの領域が、第１の色の光を放射し、その次の領域が、第２の色の光を放射する。この場合、この第１の色とこの第２の色とは相違する。個々の領域の光の色の加法混合に起因して、所定の、例えば白の色彩効果が、観察者のための、個々の色とそれぞれの光強度とを適切に選択することによって設定され得る。この場合、これらの領域の各々が、基板、第１電極、有機層スタック及び電極を含む下記の層構造を有する。この場合、当該有機発光スタックは、正孔輸送層、単色光を放射する発光層及び電子輸送層を有する。当該複数の有機層に続く層が、基板上に形成されている第１電極として陽極を有する層構造体に相当する。電子輸送層、単色光を放射する発光層及び正孔輸送層を有する当該複数の有機層に続くもう１つの層が、第１電極として陰極を有する層構造体に相当する。当該複数の領域の各々に対するこれらの２種類の層構造体は、基板上に形成されている平滑化層をオプションとして有してもよい。
【０００８】
オプションとして、ＯＬＥＤ層構造体は、従来の技術から公知のその他の、機能層並びに層アレイ、例えばカバー電極上に配置された、水蒸気及び酸素に対して障壁として作用する層、機械的な保護層又は光学的に作用する、光出射効率を上げる層若しくは構造体を有してもよい。
【０００９】
トップエミッション構造の構造体では、反射する電極と中間に存在する透明な層と半透明な層との協働によって、光共振器が構成され、且つ、干渉効果によって、カバー電極を通じて出射された光の強度が、以下でＨＴＬ，ＥＭＬ及びＥＴＬとも呼ばれる、正孔輸送層（ＨＴＬ）、発光層（ＥＭＬ）及び電子輸送層（ＥＴＬ）のような、これらの透明な層の合計の層厚に依存する。この場合、当該合計の層厚の最適値、いわゆる光出射効率の最大値が、複数の発光層の各々に対して存在する。放射された光量が、当該光出射効率の最大値に対して最大値をとる。
【００１０】
ボトムエミッション構造では、この干渉効果は、透明な電極に起因して、同様に光の強度を減少させるように存在する。何故なら、同様に、複数のＯＬＥＤ層と基板との間の異なる複数の境界線又はＯＬＥＤ層組織内の異なる複数の境界線の反射率の違いが、光出射効率の、層厚に依存する変化を示すからである。
【００１１】
異なる発光色に対する厚さの最適値は、異なる値を有する。その結果、これらの層厚を最適にする場合、最適な光出射条件が、これらの発光色の各々に対して設定され得ない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明の課題は、発光の強度を改良するＯＬＥＤ構造体を提供することにある。この場合、当該ＯＬＥＤ発光体を製造するための蒸着装置の効率が向上されなければならない。この場合、当該製造は、安価に且つ商業的に適応可能でなければならない。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この課題は、請求項１に記載の有機発光する発光体並びに請求項１１及び１５に記載の当該発光体を製造するための装置及び方法によって解決される。本発明のその他の好適な構成は、それぞれの従属請求項に記載されている。
【００１４】
本発明の有機発光する発光体（ＯＬＥＤ）は、対応する領域ごとに放射された発光色に対する最適な光出射効率が達成されるように、第１電荷キャリア輸送層の厚さ、発光する発光層の厚さ及び／又は第２電荷キャリア層の厚さが、異なる発光色を呈する、並存している複数の当該領域の各々ごとに異なり、且つそれぞれ設定されていることを特徴とする。このため、有機発光する発光体に対する最大光量が、全体で合計の層厚を与える上記の複数の層の厚さを適切に設定することによって、並存している、異なる色を発光する複数の当該領域のそれぞれの領域に対して達成され得る。したがって、これらの厚さの当該設定は、ＨＴＬ層、ＥＭＬ層及びＥＴＬ層を有する有機層スタックの全体の厚さの設定だけに限定されるのではなくて、当該設定は、それぞれの層スタック内のそれぞれの層の層厚の設定に同様に適用され得る。
【００１５】
本発明のＯＬＥＤ発光体の好適な構成では、複数の領域の各々が、基板上に形成されている平滑化層を有する。最適な平滑化層とは、粗い表面のときに、複数の構成要素における短絡及び複数の構成要素間の短絡を阻止するように、基板表面を平坦にするための、例えばコーティング剤のことをいう。本発明のＯＬＥＤ発光体の別の構成では、必要であるならば、複数の領域の各々が、中間接続された透明な少なくとも１つのバッファ層、好ましくは中間接続された透明な複数のバッファ層を有する。
【００１６】
本発明によれば、複数の電極のうちの一方の電極が、陽極である一方で、その他方の電極が、陰極である。第１電極が、陽極である場合、本発明の有機発光する発光層の有機発光スタックが、１つの正孔輸送層、少なくとも１つの発光層及び／又は１つの電子輸送層の順序で当該有機発光層を有する。第１電極として陰極を有する有機発光体の場合、当該複数の有機層が、その逆の順序で構成されていて、且つ１つの電子輸送層、少なくとも１つの発光層又は１つの正孔輸送層の順序で当該有機発光層を有する。通常、これらの有機発光層は、有機層スタックから放射された光に対して光透過性である。
【００１７】
本発明の有機発光する発光体（ＯＬＥＤ発光体）は、有機層スタック内で発生した光を当該有機層スタックの下面と基板との双方を透過させて放射する。有機発光スタックから放射された光の経路上の複数の層が、放射光に対して透過性であると有益である。
【００１８】
本発明の発光体の好適な実施の形態によれば、有機層スタックから放射された光に対して、第１電極が、少なくとも半透明に、特に透明に形成されていて、第２電極が、非透明に形成されている。この実施の形態では、基板が、有機発光層から放射される光に対して同様に透過性に、すなわち透明に形成されている。この場合、それぞれの有機層スタック内で発生した光が、この基板を透過して放射される。特に、第２電極が、反射するように形成されている。
【００１９】
本発明の発光体の少なくとも１つの別の実施の形態によれば、有機層スタックから放射される光に対して、第２電極が、少なくとも半透明に、特に透明に形成されていて、第１電極が、非透明に形成されている。特に、第１電極が、反射するように形成されている。この場合、それぞれの有機発光スタック内で発生した光が、本発明の発光体の上面を透過して放射される。
【００２０】
本発明の発光体の少なくとも１つの別の実施に形態によれば、有機層スタックから放射された光に対して、両電極が、透過性に形成されている。この実施の形態では、本発明の有機発光体の複数の層が、有機層スタックから発生した光に対して基本的に透過性に形成されている。
【００２１】
少なくとも１つの実施の形態によれば、複数の電極のうちの少なくとも１つの電極が、透明な導電性酸化物、金属若しくは導電性有機材料を有する、又は当該透明な導電性酸化物、金属若しくは導電性有機材料から成る。通常、有機材料は、可視光に対して透過性である。それ故に、通常、導電性有機材料を有する電極又は導電性有機材料から成る電極も、有機層スタックから出射された光に対して透過性である。金属層を有する電極又は金属層から成る電極が、有機層スタックから出射された光に対して透過性に形成されなければならない場合、当該金属層は、十分に薄く形成される必要がある。
【００２２】
本発明の発光体の少なくとも１つの実施の形態によれば、基板が、巻き付け又は巻き戻し時に破損されることなしに、フィルム状にフレキシブルにロール上に巻き付け可能であり、且つこのロールから巻き戻し可能である。この場合、フレキシブルとは、特に、基板が、曲げるときに破損されることなしに、基板が、或る程度まで湾曲可能であることを意味する。
【００２３】
発光体の１つの実施の形態によれば、この場合、異なる発光色を呈する、並存している複数の領域の有機層スタックがそれぞれ、互いに異なる発光層を有する。これらの発光層は、その有機発光材料に関して相違し、これらの発光層は、異なる色の光を発生させることに適している。すなわち、例えば、第１領域が、第１有機発光材料を有する有機層スタックを含む。次いで、異なる発光色を呈する隣の領域が、第２有機発光材料を含む。この場合、当該第１有機発光材料は、当該第２有機発光材料と異なる。このとき、これらの異なる有機発光材料のために、それぞれの領域の有機層スタックが、異なる色の光を発生させるために適している。
【００２４】
特に、放射された光の所定の波長のためのそれぞれの領域に対する層厚の最適値が、シミュレーション及び／又は実験から算出され得る。
【００２５】
また、本発明の課題は、当該ＯＬＥＤ発光体を製造するための蒸着装置によって解決される。この蒸着装置は、真空室を有し、基板を直進搬送するための設備を有し、複数の蒸着源を有し、且つ基板を個々の蒸着領域に対して通過させるときに、露出した基板面を限定するための複数のスクリーンを有する。この場合、それぞれのスクリーンが、基板の搬送方向に対して垂直方向に並存している複数の部分領域に区分されている。この場合、これらの部分領域は、基板の搬送方向に沿って異なる延在部分を有する、又は、その一部が、完全に閉鎖されている。この場合、基板を蒸着源に対して通過させるときに、この基板上に並存している複数の領域が、それぞれの発光色の光出射効率に対して最適な層厚で形成されるように、それぞれの部分領域の延在部分が、前後して設定されている。本発明の蒸着装置によって、効率の良いＯＬＥＤ構造体、特に有機発光ダイオードを製造することができる。それぞれの発光色のために放射された光量が、その最大値をとる。
【００２６】
本発明に関しては、表現「個々の蒸着領域に対して基板を通過させる」とは、異なる複数の層を蒸着するため、１つの蒸着ステーションからその次の蒸着ステーションまでこの基板を一体的に搬送することを意味する。この場合、この基板は、蒸着工程中に連続して搬送される。当該方法は、連続して搬送される基板テープを有するインライン真空蒸着装置内で、連続基板をロール・ツー・ロール方式で蒸着する、又はほぼ連続して同期移動する、相前後する扁平な複数のスティック基板を蒸着する。
【００２７】
本発明によれば、基板を個々の蒸着領域に対して通過させるときに、露出した基板面を限定するためのスクリーンが、固定されて形成されている。このことは、蒸着源又は構造化ステーションの前方で基板を保持することなしに、且つシャドウマスクと一緒に移動させることなしに、連続して移動する連続基板又はほぼ連続する複数の基板に対する蒸着工程を本発明の蒸着装置によって可能にする。このため、一緒に移動する当該シャドウマスクの面倒な取り扱いが回避され得る。
【００２８】
本発明によれば、１つの蒸着領域が、複数の蒸着源のうちの１つの蒸着源ごとによって蒸着される。この蒸着領域とは、材料蒸気を有する蒸着源の作用領域を意味する。これらの蒸着源は、基板の軌道の上側に配置されている。すなわち、これらの蒸着源は、垂直方向に下側に向いている。この場合、当該基板が、これらの蒸着源を水平方向に通過する。その結果、蒸着方向が、垂直方向に延在する。
【００２９】
原理的には、その他の種類の、蒸着源と基板との関係も可能である。例えば、上に向かる蒸着方向を伴う、基板の下側に配置された蒸着源が可能であり、又は、水平方向の蒸着方向を伴う、垂直方向に指向された基板が可能である。
【００３０】
本発明によれば、少なくとも１つの固定式スクリーンが、それぞれ１つの蒸着源と通過される基板との間に配置されている。
【００３１】
本発明の１つの実施の形態によれば、１つの部分領域が、１つの開口部として形成されている。この開口部を通じて、複数の層が、通過される又は移動される、ストリップ構造を成す複数の基板上に動的に蒸着される。
【００３２】
本発明の別の実施の形態によれば、部分領域が、蒸着領域の上方のマスキングによって形成される。
【００３３】
本発明によれば、基板の搬送方向の延在部分における階段状の輪郭が、蒸着される層の層厚を決定する。搬送方向の当該延在部分が長いほど、それぞれの層がより厚い。したがって、蒸着されるそれぞれの層のそれぞれ異なる層厚が、それぞれの部分領域の延在部分の異なる大きさによって設定可能である。
【００３４】
本発明によれば、エバポレータが、特に有機材料用の蒸着源として使用される。有機材料用のリニアエバポレータが、１００℃〜７００℃の気化範囲内で使用される。
【００３５】
また、この課題は、有機発光する発光体を製造するための蒸着装置を使用し、最適な層厚を選択する、上記ＯＬＥＤ発光体を製造するための方法によって解決される。
【００３６】
以下に、本発明を図面を参照しつつ好適な実施の形態に基づいて詳しく説明する。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】従来の技術による有機発光する発光体の構造を概略的に示す。
【図２】本発明にしたがって製造された有機発光する発光体の横断面の実施の形態を示す。
【図３】本発明の蒸着装置の概略構造を概略的に示す。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
図２によれば、本発明にしたがって製造されたＯＬＥＤ発光体が、基板２００を有する。平滑化層２０１と反射性の陽極２０２とが、この順番でこの基板上に配置されている。３つの層スタック１，２及び３が、間隔をあけて並んで陽極層２０２上に配置されている。すなわち、陽極領域の、層スタックと層スタックとの間に存在し、且つ当該それぞれの層スタックの周りに存在する領域が、事後的に蒸着されないことを意味する。原理的には、これらの層スタックの当該複数の領域が、互いに直に隣接していてもよいし、又はその層厚勾配若しくは濃度勾配を利用して徐々に変化されてもよい。
【００３９】
各層スタック１，２，３はそれぞれ、４つの層を有する、すなわち正孔輸送層（ＨＴＬ）２０３．１，２０３．２，２０３．３、発光層（ＥＭＬ）２０４．１，２０４．２，２０４．３、電子輸送層（ＥＴＬ）２０５．１，２０５．２，２０５．３及び陰極層２０６．１，２０６．２，２０６．３を有する。第１層スタック１の発光層２０４．１は、青色の光を生成し、放射するために適している。第２層スタック２の発光層２０４．２は、緑色の光を生成し、放射するために適している。第３層スタック３の発光層２０４．３は、赤色の光を生成し、放射するために適している。図２に示されたＯＬＥＤ発光体は、トップエミッション構造のＯＬＥＤ発光体であるので、当該光はそれぞれ、半透明の陰極２０６．１，２０６．２，２０６．３を透過して出射される。このため、３つの領域が、異なる色によって発光される。
図２において見て取れるように、それぞれの層スタックのＨＴＬ，ＥＭＬ及びＥＴＬは、他方の層スタックと異なる層厚を有する。このことは、ＨＴＬ層とＥＭＬ層とＥＴＬ層との合計の層厚の最適値、いわゆる光出射効率の最大値が、各発光色に対して存在するという認識に基づく。放射された光量が、当該光出射効率の最大値に対して最大値をとる。それぞれの発光色ごとに最大の放射光量を得るため、それぞれの層スタックに対する層ＨＴＬ，ＥＭＬ及びＥＴＬが、実施された測定及び／又はシミュレーションによってこれらの層に適合された層厚を有する。したがって、ＯＬＥＤ発光体の光出射効率の条件が、有機層の層厚を適合することによって最適に設定され得る当該ＯＬＥＤ発光体を製造することが可能である。このことは、それぞれの色に対する光の放射の効率を良くする。このため、ＯＬＥＤ発光体の全体の効率が、本発明にしたがって向上され得る。
【００４０】
本発明の蒸着装置３０１は、インライン真空蒸着装置である。このインライン真空蒸着装置では、大面積の１つの基板３００が、蒸着ステーション又は処理ステーション３０２を連続に通過して移動され、有機発光する複数の発光体に仕上げられる。異なる発光層をそれぞれ有する３つの層スタックを備える１つのＯＬＥＤ発光体が、当該蒸着装置３０１によって製造される。図３に示したように、これらの層スタックはそれぞれ、青色の発光層、緑色の発光層及び赤色の発光層を有する。図３では、青色、赤色及び緑色のような異なる３つの色の光で発光する、異なる厚さの有機層を有する有機層スタックを製造するためのスクリーン３０３が示されているものの、本発明のこの蒸着装置３０１は、この例だけに限定されるのではなくて、３つより多い層スタック若しくは３つより少ない層スタック又は別の発光色を有する層スタックを備えるＯＬＥＤ発光体も考えられる。
【００４１】
本発明によれば、図３に示されたスクリーン３０３は、それぞれの蒸着源３０２と搬送された基板との間に固定配置されている。図３には、固定式スクリーン３０３．１〜３０３．５を１つずつ有する５つの処理ステーション３０２．１〜３０２．５がある。第１スクリーン３０３．１は、階段状の形を成す１つの開口部を有する。この開口部は、合成されていて且つ一緒に中心に配置されている、異なる大きさの３つの四角形Ａ，Ｂ，Ｃの組み合わせから形成される。各四角形は、本発明による１つの部分領域を示す。この場合、これらの部分領域Ａ，Ｂ，Ｃは、基板の搬送方向に異なる延在部分を有する、又は、その一部が完全に閉鎖されている。当該異なる延在部分は、基板の搬送方向の、それぞれの長方形のそれぞれの異なる長さに一致する。当該延在部分方向のこの階段状の輪郭が、−全ての領域に対して等しい一定の蒸着速度及び基板の搬送速度に対して−それぞれの層スタックの層厚を決定する。当該延在部分が長いほど、蒸着された層がより厚くなる。
【００４２】
スクリーン３０３．１を有する第１蒸着ステーション３０２．１では、正孔輸送層１つの正孔輸送層２０３．１，２０３．２，２０３．３（ＨＴＬ）が、それぞれの層ごとに蒸着される、特に熱蒸着される。第１層スタック１に関しては、正孔輸送層２０３．１の層厚は、第２層スタック２と第３層スタック３とにおける正孔輸送層の層厚より薄い。スクリーン３０３．２を有する第２蒸着ステーション３０２．２では、第１層スタック１の所だけで、青色の発光色の光で発光する発光層２０４．１が蒸着される。この第２蒸着ステーション３０２．２内の部分領域Ａの延在部分の長さは、第１蒸着ステーション３０２．１内の部分領域Ａの延在部分の長さに一致する。したがって、第１層スタック１のための正孔輸送層２０３．１と発光層２０４．１との層厚は等しい。第２層スタック２と第３層スタック３とのための部分領域がそれぞれ、完全に閉鎖されている。すなわち、蒸着工程を開口部によって実施できる当該開口部が、スクリーン３０３．２内に存在しない。
【００４３】
発光層２０４．２を第２層スタック２上に蒸着するため、第３蒸着ステーション３０２．３では、固定式スクリーン３０３．３が、ただ１つの開口部を有する。部分領域Ｂ、すなわち開口部の、搬送方向の延在部分が、蒸着された発光層２０４．２の層厚に一致する。この発光層２０４．２は、青色の光を生成するために適している。当該スクリーン３０３．３は、第１層スタック１と第３層スタック３とのための開口部を有しない。すなわち、スクリーン３０３．３のための部分領域Ａ及びＣが完全に閉鎖されていることを意味する。第４処理ステーション３０２．４では、固定式スクリーン３０３．４が、発光層２０４．３を第３層スタック上に蒸着する工程のためのただ１つの開口部を有する。部分領域、すなわち開口部の、搬送方向の延在部分が、蒸着された発光層２０４．３の層厚に一致する。この発光層２０４．３は、赤色の光を生成するために適している。当該スクリーン３０３．４は、第１層スタック１と第２層スタック２とのための開口部を有しない。すなわち、スクリーン３０３．４のための部分領域Ａ及びＢが完全に閉鎖されていることを意味する。第５処理ステーション３０２．５では、固定式スクリーン３０３．５が、電子輸送層２０５．１，２０５．２，２０５．３を蒸着する工程のために、それぞれの層スタック１，２，３に対して部分領域を１つずつ有する。当該それぞれの部分領域、すなわち開口部の、搬送方向の延在部分がそれぞれ、蒸着されたそれぞれの電子輸送層２０５．１，２０５．２，２０５．３の層厚に一致する。この実施の形態では、当該それぞれの電子輸送層２０５．１，２０５．２，２０５．３の層厚は、それぞれの層スタック１，２及び３の各有機層に対する厚さに等しい。一方で、これらの層厚は、層スタックごとに異なる。しかしながら、層厚を１つの層スタック内でも本発明の蒸着装置によって変えることが考えられる。
【符号の説明】
【００４４】
１００  基板
１０１  平滑化層
１０２  陽極層
１０３  正孔輸送層（ＨＴＬ）
１０４  発光層（ＥＭＬ）
１０５  電子輸送層（ＥＴＬ）
１０６  陰極層
２００  基板
２０１  平滑化層
２０２  陽極
１  第１層有機スタック
２  第２層有機スタック
３  第３層有機スタック
２０３．１，２０３．２，２０３．３  それぞれの層スタックに対する正孔輸送層
２０４．１，２０４．２，２０４．３  それぞれの層スタックに対する発光層
２０５．１，２０５．２，２０５．３  それぞれの層スタックに対する電子輸送層
２０６．１，２０６．２，２０６．３  それぞれの層スタックに対する陰極層
３００  基板
３０１  蒸着装置
３０２．１〜３０２．５  蒸着ステーション、蒸着源
３０３．１〜３０３．５  スクリーン
Ａ，Ｂ，Ｃ  部分領域
【図１】
2014503949.tif 000003
【図２】
2014503949.tif 000004
【図３】
2014503949.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月2日(2013.8.2)
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機発光する発光体を製造するための蒸着装置であって、
前記発光体は、それぞれ異なる発光色を呈する、並存している複数の領域（１，２，３）を有し、これらの領域（１，２，３）の各々が、以下の構造：
・１つの基板（２００）、
・１つの第１電極層（２０２，２０６）、
・１つの第１電荷キャリア輸送層（２０３，２０５）、
・少なくとも１つの発光層（２０４）、
・１つの第２電荷キャリア輸送層（２０３，２０５）、及び
・１つの第２電極層（２０２，２０６）、
を有し、
当該蒸着装置は、１つの真空室と、１つの基板（３００）を直進搬送するための１つの設備と、複数の蒸着源（３０２．１〜３０２．５）と、この基板（３００）を個々の蒸着領域（３０２．１〜３０２．５）に対して通過させるときに、露出した基板面を限定するための複数のスクリーン（３０３．１〜３０３．５）とを有し、
それぞれのスクリーン（３０３．１〜３０３．５）が、前記基板の搬送方向に対して垂直方向に並存している複数の部分領域（Ａ，Ｂ，Ｃ）に区分されていて、これらの部分領域は、前記基板の搬送方向に沿って異なる延在部分を有する、又は、その一部が、完全に閉鎖されている当該蒸着装置において、
前記基板（３００）を複数の前記蒸着源（３０２．１〜３０２．５）に対して通過させるときに、この基板（３００）上に並存している複数の領域（１，２，３）が、それぞれの発光色の光出射効率に対して最適な層厚で形成されるように、複数の前記部分領域（Ａ，Ｂ，Ｃ）の前記延在部分が、前後して設定されていることを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
複数の前記スクリーン（３０３．１〜３０３．５）は、それぞれ１つの蒸着源（３０２．１〜３０２．５）と通過される前記基板（３００）との間に固定配置されていることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記蒸着装置は、前記基板（３００）を水平方向に直進移動させるための手段を有する結果、その蒸着方向が、垂直方向であることを特徴とする請求項２に記載の蒸着装置。
【請求項４】
蒸着されるそれぞれの層のそれぞれ異なる層厚が、それぞれの前記部分領域の前記延在部分の異なる大きさによって設定可能であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項５】
請求項１に記載の有機発光する発光体を製造するための方法において、
当該方法は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の有機発光する発光体を製造するための蒸着装置を使用し、最適な層厚を選択することを特徴とする方法。
【国際調査報告】
2014503949.tif 000006
2014503949.tif 000007
2014503949.tif 000008
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