(57)【要約】  本発明は、二次容器（１５）に収容された主容器（１１）と、該主容器内に配置され、エアロック（２６）及び動作体（２０，２２）が取り付けられたマイクロプローブ（１４）と、二次容器からエアロックに、また、エアロックから動作体に移動可能な可動サンプル支持体（２８）とを備える分析装置（１０）に関する。エアロック及び動作体の各々は、可動サンプル支持体を案内するそれぞれの案内部材（５７，５９）と、可動サンプル支持体の存在を検出するそれぞれのセンサ（６０）とを具備している。
2014533369.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロプローブ（１４）を用いて物質を分析するための装置（１０）において、
二次容器（１５）を備える主容器（１１）と、
前記主容器内に配置され、動作体（２０，２２）を備えるマイクロプローブ（１４）と、
前記主容器内に配置され、前記マイクロプローブ及び前記二次容器に結合されたエアロック（２６）と、
前記二次容器から前記エアロックに、及び、前記エアロックから前記動作体（２０，２２）に移動可能な可動サンプル支持体（２８）とを備え、
前記エアロック（２６）及び前記動作体（２０，２２）のそれぞれは、前記可動サンプル支持体（２８）が移動している間に前記可動サンプル支持体（２８）を案内するための対応する部材（５７，５９）と、前記可動サンプル支持体（２８）の存在を検出するための対応する手段（６０）とを備える、装置（１０）。
【請求項２】
前記動作体（２０，２２）は、前記可動サンプル支持体（２８）を分析位置に保持するための支台（６１）を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記エアロック（２６）から前記動作体（２０，２２）まで前記可動サンプル支持体（２８）を移動させ、及び復帰させるために摺動自在の制御用ロッド（４２）を備える、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記可動サンプル支持体（２８）及び摺動自在の前記制御用ロッド（４２）は対応する追加の結合部材（３９〜４１）を有し、該結合部材（３９〜４１）は、前記制御用ロッド（４２）と前記可動サンプル支持体（２８）の間の機械的連結を与えるために相互に係合するように設計される、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記動作体（２０，２２）上に前記可動サンプル支持体（２８）がある位置である分析位置と、前記エアロック（２６）内に前記可動サンプル支持体（２８）がある位置である移送位置とにおいては前記結合部材（３９〜４１）を相互に離隔することを可能にする一方、前記分析位置と前記移送位置との間の中途にある前記可動サンプル支持体（２８）のすべての他の位置における離隔を防止するための係止手段をさらに備える、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記動作体（２０，２２）の駆動モータ（２３）の電源故障の際に、前記エアロック（２６）の案内部材（５７）と前記動作体（２０，２２）の案内部材（５９）を整列させるための位置決め手段をさらに備える、請求項１乃至５のいずれかに記載の装置。
【請求項７】
前記動作体（２０，２２）の各動作軸に対して、前記位置決め手段は、その軸に沿って前記動作体を駆動するためにウォーム・スクリュー（２４）に係合する駆動部材（５０）を備え、前記駆動部材（５０）は、前記主容器（１１）の前記壁（１３）を通過するマニュピレータ部材（４６）によって作動させることができる、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記動作体（２０，２２）の各動作軸に対して、前記位置決め手段は、その軸に沿った前記動作体（２０，２２）の位置に感応する位置センサと、その軸に沿った前記動作体（２０，２２）の位置を前記主容器（１１）の外側から視認できるように表示すべく前記センサに接続された表示装置とを備える、請求項６又は請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記案内部材のうちの少なくとも１つは、レール部分（３５，３６，５７〜５９）を備え、その上で又はそれに対して前記可動サンプル支持体がスリップ、摺動、又は回転する
ことができる、請求項１乃至８のいずれかに記載の装置。
【請求項１０】
前記可動サンプル支持体（２８）には、前記案内部材上の又は該案内部材に沿った移動を促進すべく、滑材及び車輪（３１）のうちの少なくとも一方が取り付けられている、請求項１乃至９のいずれかに記載の装置。
【請求項１１】
前記エアロック（２６）の壁（６５）は透明である、請求項１乃至１０のいずれかに記載の装置。
【請求項１２】
前記可動サンプル支持体（２８）は可視マーク（３８）を備えている、請求項１乃至１１のいずれかに記載の装置。
【請求項１３】
前記二次容器（１５）に前記エアロック（２６）を結合するための中空構造（６９）を備え、その内部で前記可動サンプル支持体（２８）を移動させることができ、それによって、前記二次容器（１５）から前記エアロック（２６）に前記可動サンプル支持体（２８）を移送し、及び復帰させることが可能である、請求項１乃至１２のいずれかに記載の装置。
【請求項１４】
前記中空構造（６９）は、低い機械的剛性を呈した塵除けカバーを備え、それによって、前記二次容器（１５）から前記エアロック（２６）への如何なる振動の伝達も制限し、前記中空構造（６９）は、プラスチック材料製の波形形状の管状カバー、特に、蛇腹の形態をなしたカバーから本質的に構成されることがある、請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記主容器（１１）は、防護壁（１２，１３）によって画定される、請求項１乃至１４のいずれかに記載の装置。
【請求項１６】
前記二次容器（１５）は、前記主容器（１１）の内圧よりも低い圧力に維持されたグローブボックスである、請求項１乃至１５のいずれかに記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロプローブ補助式放射性物質分析装置に関する。
本発明は、特に核燃料ペレットから抽出されたサンプルの分析に適用される。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線、より詳細には、衝撃に晒される際にサンプルの或る領域から放射されるＸ線スペクトルを分析することによる、サンプルの化学組成の分析が公知である。サンプルが電子衝撃に晒されるか、又はイオン衝撃に晒されるかによって、上記分析を行なうために使用される装置は、電子マイクロプローブ又はイオン・マイクロプローブと称され得る。
【０００３】
電子マイクロプローブはこの目的のために、サンプルを受容する分析チャンバと、電子ビームを放射する電子銃と、分析チャンバ内に配置され、サンプルに電子ビームを集中させるための電子カラムと、電子とサンプル物質の間の相互作用が生じる間にサンプルから放射されるＸ線を受け取るために配置された分光計とを備えている。
【０００４】
サンプルの全体又は一部の分析を可能とすべく、サンプルは、一般的には、直行する移動を行うためのテーブルの上に配備され、分析する領域を、電子ビームの光軸に垂直な平面の２つの直交軸に沿って、さらに最後の軸に沿って、電子の衝撃に晒すべく「迅速に」移動させることを可能とする。分析用サンプルを支持するこのＸＹＺテーブル（３つの直交軸に沿って移動可能）は、一般に「動作体」と称される。
【０００５】
本装置は、分析チャンバに接続されたエアロックをさらに備えることが可能である。分析チャンバ内の真空を完全に「破壊」することなく、エアロックに配置されているサンプルを分析チャンバへと挿入することを可能にすべく、エアロック内では部分的な真空を確立することが可能である。
【０００６】
そのような装置によって放射性サンプルを分析するために、サンプルが分析装置に挿入される前に、また、サンプルが分析装置から抽出された後で、サンプルを操作又は遠隔操作すべく使用されるグローブボックスを具備した防護セル内に本装置を配置することが想定されることがある。用語「遠隔操作」は、当業者に知られる手段（例えば、手動又は電動グリッパ）を利用して離れた場所から操作するという行為を包含すべく使用される。
【０００７】
公知のマイクロプローブ補助式放射性物質分析装置は、十分なレベルの安全性を保証し得ない。
グローブボックスから分析チャンバへのサンプルの密閉の如何なる破れも回避して、サンプルに起因する放射性の塵による防護セルの汚染を回避することが必要である。
【０００８】
さらに、分析装置の故障の場合にも、グローブボックスから動作体へ、また、その逆方向へのサンプルの移送を確実に実行しかつ監視することを可能ならしめる必要がある。
解決すべきさらなる課題は、防護セルの内圧未満にグローブボックスの内圧を維持するように作用する強制換気の結果としての機械的振動が分析装置へ伝達されることを回避することにある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、マイクロプローブ補助式物質分析装置を提案することであり、本装置は、少なくとも部分的に、マイクロプローブ分析を行う公知の装置の短所又は欠点を改良
及び／又は改善するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様では、防護セルなどの主容器を備えた分析装置が提供され、主容器は、該主容器内に配置され、エアロックを具備したマイクロプローブと共に、グローブボックスなどの二次容器を具備する。本装置は、二次容器からエアロックへ、且つ、エアロックから動作体に移動可能な可動サンプル支持体をさらに備えている。また、エアロック及び動作体の各々は、可動支持体の位置を監視するために可動サンプル支持体の存在を検出するそれぞれの手段と共に、それが移動している間、可動サンプル支持体を案内するそれぞれの案内部材を具備している。
【００１１】
動作体は、分析位置で可動サンプル支持体を保持するように作用する（機械式）支台をさらに具備することが可能である。
分析装置は、エアロックから動作体に可動サンプル支持体を移動させ、そして復帰させるロッドなどの摺動可能な制御用ロッドを好ましくはさらに備える。
【００１２】
そのような状況下では、可動サンプル支持体及び摺動制御用ロッドは、相互に係合するように設計されたそれぞれの補足的な機械的結合部材を有することが可能であり、その結果、制御用ロッドと可動サンプル支持体との間の機械的接続を提供する。
【００１３】
そして、分析装置は、結合部材を、動作体上の可動サンプル支持体の分析位置に、また、エアロック内の可動サンプル支持体用の移送位置に相互に離隔させ、分析位置と移送位置との間の中間にある可動サンプル支持体のすべての位置でのそのような離隔を防止する係止手段を好適には備えている。
【００１４】
好適な実施形態では、分析装置は、ＸＹＺテーブルを駆動する駆動モータに対する電源故障のような状況下でも、可動サンプル支持体を動作体からエアロックに復帰させることを可能にする、エアロックの案内部材と動作体の案内部材とを位置決めするように作用する位置決め手段をさらに備える。
【００１５】
ＸＹＺテーブルの各軸に対して、これらの「手動」位置決め手段は、それらの軸に沿って移動させるべくテーブルを駆動する、ウォーム・スクリューに係合する駆動輪などの駆動部材を備えることが可能である。駆動部材は、主容器の壁を貫通するマニュピレータ部材によって作動されるのに適している。
【００１６】
ＸＹＺテーブルの各軸に対して、これらの位置決め手段は、好ましくは、それらの軸に沿ったテーブルの位置に感応するそれぞれの位置センサと、それらの軸に沿ったテーブルの位置が主容器の外側から視認できるように表示すべくセンサに接続された表示装置とをさらに具備し、それによって、操作者がマニュピレータ部材を作動させて、これらの軸の各々に沿ってＸＹＺテーブルの移動を手動で制御することが可能となり、その結果、動作体及びエアロックに組み込まれたそれぞれの案内部材の相互の位置決めを得る。
【００１７】
各案内部材は、可動サンプル支持体がその上で又はそれに対してスリップ、摺動、又は回転することができるレール部分を具備することが可能である。
この目的のために、可動サンプル支持体にスキッド及び／又は車輪が取り付けられることが可能であり、その結果、案内部材上の又は案内部材に沿った可動サンプル支持体の移動を容易にする。
【００１８】
可動サンプル支持体の存在を検出する手段はそれぞれ、電気機械式センサ又は電磁気式センサを具備することが可能である。
一実施形態では、エアロックの壁は透明であり、その結果、エアロック内の可動サンプル支持体の存在を視覚的に監視することが可能である。
【００１９】
さらに、サンプルの位置及び可動サンプル支持体の位置を監視すべく、可視マークが可動サンプル支持体に設けられることが可能であり、その結果、分析装置に組み込まれた光学顕微鏡による分析チャンバ内の可動支持体の存在の視覚的な監視を容易にする。
【００２０】
この実施形態では、分析装置は、二次容器にエアロックを接続する中空構造をさらに備え、その内部を可動サンプル支持体が移動でき、その結果、可動サンプル支持体が二次容器からエアロックに移送され、そして復帰させることが可能である。
【００２１】
この中空構造は、可動支持体によって担持されるサンプルに起因する放射性の塵によって主容器が汚染されることを回避する塵除けカバーを備えている。
加えて、この中空構造、そして好適には塵除けカバーは、十分に低い機械的剛性を呈し、その結果、二次容器からエアロックへの、したがって分析装置への如何なる振動の伝達も大きく制限（又は除去）する。
【００２２】
一実施形態では、中空構造は、プラスチック材料製の波形状をなす管状カバー、特に蛇腹の形態のカバーによって本質的に構成される。
本発明の他の態様、特徴、及び利点は、如何なる特徴を限定することなく、本発明の好適な実施形態を示す添付図面を参照してなされる次の記述から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】放射性物質サンプル分析装置の模式的側面図。
【図２】幾つかの別個の構成における、二次容器（この例では、グローブボックス）からマイクロプローブの動作体に可動サンプル支持体を移送し、そして復帰させるシステムの模式的平面図（グローブボックス内の可動サンプル支持体上に分析用サンプルを載せるステップに対応する。この構成は、既に分析されたサンプルを降ろすステップにさらに対応することがある）。
【図３】幾つかの別個の構成における、二次容器（この例では、グローブボックス）からマイクロプローブの動作体に可動サンプル支持体を移送し、そして復帰させるシステムの模式的平面図（可動サンプル支持体を収容したエアロックを閉じるステップに対応し、その結果、サンプル支持体を分析チャンバに移送する前にエアロックから後退させる。この構成は、分析されたサンプルを担持する可動支持体を収容したエアロックの再加圧するステップにさらに対応することがある）。
【図４】幾つかの別個の構成における、二次容器（この例では、グローブボックス）からマイクロプローブの動作体に可動サンプル支持体を移送し、そして復帰させるシステムの模式的平面図（ロッドを除去し、分析チャンバを離隔する前に、摺動制御用ロッドによる分析チャンバ内の可動サンプル支持体を移送するステップに対応する。この構成は、分析されたサンプルを担持する可動支持体を復帰させるべく制御用ロッドを使用するステップにさらに対応することがある）。
【図５】幾つかの別個の構成における、二次容器（この例では、グローブボックス）からマイクロプローブの動作体に可動サンプル支持体を移送し、そして復帰させるシステムの模式的平面図（可動サンプル支持体によって担持されるサンプルを分析するステップに対応する）。
【図６】可動サンプル支持体の模式的斜視図。
【図７】エアロックの一部破断斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
反して明示的又は暗示的に指定されない限り、構造的又は機能的に同一又は同様の要素
又は部材には、様々な図中で同一の参照符号が付与されている。
特に図１を参照して、分析装置１０は、防護壁１２，１３によって画成される主容器又は「セル」１１を備えている。
【００２５】
セル１１は、マイクロプローブ１４と、グローブボックス１５とを備えている。
グローブボックス又は「二次容器」は、導管４５などの２つの導管によって抽出器及び送風機（図示せず）の両方に接続され、その結果、グローブボックスによって規定される容積は、グローブボックス内に存在する放射性ガス又は塵によってセルが汚染されるのを回避するようにセルよりも低い圧力に維持される。
【００２６】
マイクロプローブ１４は、分析用サンプル１９を収容する分析チャンバ１８に向かって電子カラムの垂直軸１７に沿って指向された電子ビームを生じさせる電子銃１６を備えている。
【００２７】
この目的のために、サンプル１９は、サンプルの一部が軸１７上に配置されるように、チャンバ１８内の支持体２０上の所定位置に配置される。
マイクロプローブ１４は、電子ビームに晒される際にサンプルから放射されるＸ線を受けるべくチャンバ１８の周囲に配置された複数の分光計２１を有している。
【００２８】
サンプルの広範囲なゾーンを分析することを可能とするために、サンプルは、軸１７に沿って、及び、該軸１７に直交する平面の２つの直交軸に沿って、チャンバ１８内を移動可能である。
【００２９】
この目的のために、サンプルを担持する支持体２０は、２つずつの対になる、これら３つの直交軸に沿って移動可能なテーブル２２上に取り付けられる。
これら３軸の各々に沿った、テーブル２２の移動、そして、それに続く支持体２０及びサンプル１９の移動が、水平軸２５に沿って延びるウォーム・スクリュー２４を駆動する回転式の電気モータ２３を作動させることによって得られ、その結果、スクリューは、軸２５回りに回転する。
【００３０】
公知の方法では、テーブルに結合され、スクリュー２４に係合するナット（図示せず）は、回転されるスクリューの効果によってテーブルを移動させる。
図１の明瞭さを損なわないため、動作体２２を駆動する３つの駆動系２３，２４のうちの１つだけが、この図に示されている。
【００３１】
マイクロプローブ１４は、水平軸２７に沿ってサンプルを分析チャンバに挿入し、それに続いてサンプルが分析された後でチャンバから取り出すことを可能にするエアロック２６に取り付けられている。
【００３２】
分析装置１０内のサンプル１９の移動のために、サンプル１９は、図６に示されるような可動支持体又は「運搬車」２８上に配置される。
特に図６を参照して、運搬車２８は、長手方向軸２９に沿って延びた形状をなしている。
【００３３】
運搬車２８は底部を有するシャーシ３０を備え、該底部にはその２つの長手方向側面３２（そのうちの一方のみが図６において視認可能）の各々には７つの車輪３１が設けられ、車輪３１は参照符号３３で示す軸などの横断する軸回りに回転自在に取り付けられている。
【００３４】
これらの車輪は、軸２９に平行な軸３４に沿って整列される結果、車輪は、図６中で参
照符号３５，３６を付けた部分などの案内レールの部分に挿入可能である。
これらのレールの各々は、コの字形断面をなし、互いに直交する３つの実質的に平面の長手方向の長片を備えている。
【００３５】
レール３５，３６のそれぞれにおいて、２つの平行な水平長片を離間する距離３７は、運搬車２８の車輪３１の直径に一致し、その結果、運搬車２８は、レール３５，３６のそれぞれの水平底長片上を走行することができる。
【００３６】
運搬車２８は頂部にて２つのサンプル担持カップ９０，９０ａを担持し、それらの内部には、ペレット又はディスクの形状をなす２つのサンプル１９，１９ａがそれぞれ配置される。すなわち、分析用サンプル１９、ならびに、該サンプルから放射されるＸ線の分光分析によってサンプル１９を分析する際に参照として作用する公知の性質及び組成のサンプル１９ａである。
【００３７】
カップ９０，９０ａのうちの少なくとも１つの頂面は、運搬車２８が動作体２０，２２上の分析チャンバ内の分析位置に正確に配置されたときに、マイクロプローブの一部を形成する光学顕微鏡（図示せず）を使用して操作者が視認することができる可視マーク３８を有している。
【００３８】
運搬車２８は、その２つの長手方向端部のうちの一方にて、軸２９に対して直交して延び、かつシャーシに固定されたプレート３９を担持し、そのプレート３９は、第１結合部材を形成すべくそこに切り欠かれた切欠４０を有している。
【００３９】
切欠４０の形状及び寸法は、マイクロプローブに設けられる制御用ロッド４２（図１〜図５において４１，４２で示される）の端部に設けられた凸部４１などの第２結合部材の形状及び寸法に適合され、その結果、これら２つの補足的な機械的結合部材は、制御用ロッド４２と運搬車２８との間の「一時的な」機械的接続を提供する。
【００４０】
図１〜図５を参照する。制御ロッド４２は、軸２７に沿って延び、この軸に沿った並進動作及び軸２７回りの回転動作が可能なように、この軸に沿って同様に延びた漏れ防止管状シース４３内に取り付けられる。
【００４１】
シース４３は、その２つの長手方向端部のうちの第１端部でエアロック２６に固定され、その第２の長手方向端部で閉じられている。
運動伝達部材４４は、軸２７に対して摺動自在に取り付けられており、その結果、シース４３周りに且つ該シース４３に沿って摺動する。
【００４２】
この伝達部材４４は、磁気接続によって制御用ロッド又はロッド４２に接続され、その結果、軸２７に沿った及びその軸回りの部材４４の並進動作及び回転動作が、制御用ロッド４２に伝達される。
【００４３】
図３〜図５を参照して下記に記載するように、摺動自在な制御用ロッド４２は、エアロックから動作体にサンプル支持体運搬車２８を移動させ、そして復帰させるように作用する。
【００４４】
分析装置は、複数のマニュピレータ部材４６をさらに有し、その各々は棒４７を備え、該棒４７の両端のうちの第１の端部には、クランプなどの把持（又はマニュピレータ）手段４８が設けられ、その第２の端部には、マニュピレータ手段４８に連結されたハンドルなどの制御手段４９が設けられている。
【００４５】
各部材４６、そして特に各棒４７は、セル１１の壁１３を貫通してオリフィス１３０〜１３２を通じて延び、その結果、操作者がセル１１の外側に位置し、制御手段４９を動作させて、対象の部材４６の把持手段４８を作動させることを可能にする（把持手段はセル１１内に設けられている）。
【００４６】
図１〜図５では、各把持手段４８は、矢符の先端によって常に表わされ、各制御手段４９は、黒い菱形によって模式的に表わされている。
このように、図１に示されるマニュピレータ部材４６は、この部材を動作させる操作者が該部材の把持手段を、角度付きの線によって図中に模式的に表わされた機械式伝動接続部６２を介してテーブル２２の移動を駆動するために使用される３つのウォーム・スクリュー２４のうちのそれぞれの１つにそれ自体係合する駆動輪５０に係合させることを可能にする。
【００４７】
これによって、操作者は、制御手段４９を手動で動作させることができ、それによって、分析チャンバ内に存在するサンプル支持体２０を、特にＸＹＺテーブルの駆動モータに対する電源の故障の際に、エアロックにサンプルを移送する手段と位置決めさせる。
【００４８】
これは、特に、動作体のガイドレールにエアロックのガイドレールを位置決めさせることを可能にする（レールについては後述する）。
テーブル２２の各軸に対して、分析装置は、その軸に沿ったテーブルの位置を検知する位置センサ（図示せず）と、その軸に沿ったテーブルの位置を表示すべくセンサに接続された表示装置（図示せず）とを有している（表示装置は、セル１１の外側の位置から視認できる）。
【００４９】
例えば、テーブルの各動作軸に対して、テーブル２２の位置を制御するこの装置は、駆動輪５０、伝達部６２、及び／又はスクリュー２４に係合する機械式積算回転計によって概ね構成されることが可能である。
【００５０】
図２〜図５を参照する。分析装置は、グローブボックス１５からエアロック２６に、また、エアロックから、動作体によって担持された支持体２０にサンプル支持体運搬車２８を移送し、そして復帰させるシステムを備えている。
【００５１】
グローブボックス１５からエアロック２６に運搬車２８を移送すべく、本装置は、実質的に水平で、且つ、軸２７に対して角度を持った（例えば、軸２７に実質的に直交した）軸５１に沿って、エアロックに対して並進移動が可能に取り付けられた移送構造６３を備える。
【００５２】
この目的のために、移送構造６３は、図７に示されるように、軸５１に沿って延び、エアロック２６を規定する構造に固定された長尺レール９９上に摺動自在に取り付けられることが可能である。
【００５３】
この移送構造６３は、軸５１に沿って延びた長尺棒５２と、該棒５２の第１端部でこの棒５２に固定された、軸２７に平行な２つのレール部分３５，３６を有している。
その第２端部で、棒５２は、操作者によって作動されるマニュピレータ部材４６の把持手段４８によって、棒を軸５１に沿って移動させることを可能にする突起６４を有している。
【００５４】
レール部分３５，３６は、図６に示されるものと同一であることが可能であり、互いに対向している。レール部分３５，３６の各々は、それらが支持する運搬車２８の２つの車輪列のうちの一方を受容することができる。
【００５５】
移送構造６３は、棒５２に固定され、エアロックが後退することを可能にすべくエアロックの側壁５４に設けられた開口５５を閉じるように作用するプレート５３を備えている。
【００５６】
マイクロプローブは、エアロック２６から分析チャンバ１８を分離する作用をなし、チャンバ１８内に真空を確立させることを可能にするゲートバルブ５６を備えている。
エアロック２６と、該エアロックと一列になって（軸２７に沿って）チャンバ１８内に延びる静止構造８９と、動作体によって担持された支持体２０との各々は、運搬車が軸２７に沿ってエアロックから支持体２０に移動され、そして復帰させる間、運搬車２８を案内するそれぞれのレール対５７〜５９を備える。
【００５７】
レール５７〜５９は、同一の間隔を有している。レール５７，５８は、軸２７に平行な２つの軸に沿って整列されている。支持体２０に固定されたレール５９もまた、動作体の一位置でレール５７，５８に位置決めされ、その結果、運搬車２８がレール５８，５９間で移送されることが可能である。
【００５８】
上述したように、レール５８，５９間の相互の位置決めのこの位置を得て、運搬車がエアロックに復帰することを可能にするために動作体の駆動モータを作動することができないときには、３つのそれぞれのウォーム・スクリュー２４の３つの駆動輪５０を動作させることによって、これらのレールを位置決めすることが可能である。
【００５９】
加えて、エアロック２６及び支持体２０の各々は、運搬車２８の存在を検出するセンサ６０を備えている。
支持体２０は、運搬車２８を支持体２０上の分析位置に保持させることを可能にする機械式支台６１をさらに備えている。
【００６０】
図２〜図５を参照する。分析装置は、以下のように使用されることも可能である。
分析用物質のサンプル１９は、グローブボックス１５内に配置される（その手段を図示せず）。
【００６１】
マニュピレータ部材４６の制御ハンドル４９を作動させる操作者は、図２に示される構成のように、移送構造６３のレール３５，３６に係合した車輪を有し、軸２７に平行な長手方向軸２９を有する運搬車２８のカップ９０にサンプル１９を配置することができる。
【００６２】
次に、操作者は、図３に示される構成のように、部材４６の把持手段４８と突起６４を結合して該突起に押力を加えることができ、その結果、エアロックの壁５４にプレート５３が押圧されるまで、且つ、レール５７〜５９にレール３５，３６が（同時に）整列するまで、エアロック２６に向かって軸５１に沿って構造６３を摺動させる。
【００６３】
この構成では、バルブ５６が閉じられており、壁５４に設けられた貫通開口５５がプレート５３によって閉じられているので、所定の真空に達するためにエアロック２６内に低圧を確立することができる。
【００６４】
一旦所望の真空に達すると、制御用ロッド４２の端部に設けられた結合部材４１は、運搬車２８のプレート３９に設けられた切欠４０に係合される。例えば、運動伝達部材４４に作用するその部材の把持手段４８により、図１に示されるマニュピレータ部材４６を操作者が動作させた結果としてロッド４２を並進動作及び回転動作させることによって係合される。
【００６５】
そして、バルブ５６が開かれると、操作者は、動作体２２によって担持された支持体２０上の支台６１に運搬車２８が係合するまで、レール３５，３６、次に５７、次に５８、そして次に５９上を運搬車２８に順次走行させることができ、これは、図４に示される構成に対応し、操作者は、部材４４、ロッド４２を介して同一のマニュピレータ部材４６を動作させることによってこれを行なう。
【００６６】
次に、制御用ロッド４２の結合部材４１は、運搬車２８の結合部材３９，４０から分離することができ（例えば、部材４４を操作者が動作させた結果としてのロッド４２の並進動作及び回転動作によって）、ロッド４２は、図５に示されるように、軸２７に沿って摺動するように同一の方法で移動されることができ、その結果、シース４３に復帰する。
【００６７】
図４に示されるような運搬車２８の分析位置にあり、また、図３に示されるようなエアロック内の運搬車２８の移送位置にあるロッド４２から運搬車２８を離隔させる一方で、それらの２つの位置間の運搬車２８のすべての中途位置におけるそのような離隔を防止することを可能にする係止手段は、ロッド４２に固定された凸部と、該凸部が係合するトラック（シース内に設けられる）とを備えることが可能であり、その結果、ロッド４２は、それらの２つの位置のみで軸２７の周りに回転することができる。
【００６８】
図１及び図７を参照する。サンプル担持運搬車２８の位置がセンサ６０によって監視されるに加えて、目視検査が、グローブボックスと分析チャンバとの間を運搬車が移送される間、運搬車を受容するエアロックの領域に亘って、エアロックの頂壁６６に設けられた透明窓６５を有することによって行なわれることが可能である。
【００６９】
この目視検査は、セル１１内に配置されたカメラ６８により、窓６５から方向６７に沿って見ることによって行なわれることが可能である。
図２〜図５に示されるように、分析装置は、グローブボックスにエアロックを接続する蛇腹部６９を備えており、運搬車２８は、蛇腹部内を移動することができ、その結果、運搬車をグローブボックスからエアロックに移送し、そして復帰させることが可能である。
【００７０】
そのような塵除け蛇腹部は、運搬車２８によって運ばれるサンプルによってセル１１が汚染されるのを回避し、また、グローブボックスからエアロックの壁への、且つ、マイクロプローブへの振動の伝達を制限又は排除することを可能にする。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【手続補正書】
【提出日】平成26年1月23日(2014.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロプローブ（１４）を用いて物質を分析するための装置（１０）において、
二次容器（１５）を備える主容器（１１）と、
前記主容器内に配置され、動作体（２０，２２）を備えるマイクロプローブ（１４）と、
前記主容器内に配置され、前記マイクロプローブ及び前記二次容器に結合されたエアロック（２６）と、
前記二次容器から前記エアロックに、及び、前記エアロックから前記動作体（２０，２２）に移動可能な可動サンプル支持体（２８）とを備え、
前記エアロック（２６）及び前記動作体（２０，２２）のそれぞれは、前記可動サンプル支持体（２８）が移動している間に前記可動サンプル支持体（２８）を案内するための対応する部材（５７，５９）と、前記可動サンプル支持体（２８）の存在を検出するための対応するセンサ（６０）とを備える、装置（１０）。
【請求項２】
前記動作体（２０，２２）は、前記可動サンプル支持体（２８）を分析位置に保持するための支台（６１）を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記エアロック（２６）から前記動作体（２０，２２）まで前記可動サンプル支持体（２８）を移動させ、及び復帰させるために摺動自在の制御用ロッド（４２）を備える、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記可動サンプル支持体（２８）及び摺動自在の前記制御用ロッド（４２）は対応する追加の結合部材（３９〜４１）を有し、該結合部材（３９〜４１）は、前記制御用ロッド（４２）と前記可動サンプル支持体（２８）の間の機械的連結を与えるために相互に係合するように設計される、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記動作体（２０，２２）上に前記可動サンプル支持体（２８）がある位置である分析位置と、前記エアロック（２６）内に前記可動サンプル支持体（２８）がある位置である
移送位置とにおいては前記結合部材（３９〜４１）を相互に離隔することを可能にする一方、前記分析位置と前記移送位置との間の中途にある前記可動サンプル支持体（２８）のすべての他の位置における離隔を防止するための係止手段をさらに備える、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記動作体（２０，２２）の駆動モータ（２３）の電源故障の際に、前記エアロック（２６）の案内部材（５７）と前記動作体（２０，２２）の案内部材（５９）を整列させるための位置決め手段をさらに備える、請求項１乃至５のいずれかに記載の装置。
【請求項７】
前記動作体（２０，２２）の各動作軸に対して、前記位置決め手段は、その軸に沿って前記動作体を駆動するためにウォーム・スクリュー（２４）に係合する駆動部材（５０）を備え、前記駆動部材（５０）は、前記主容器（１１）の前記壁（１３）を通過するマニュピレータ部材（４６）によって作動させることができる、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記動作体（２０，２２）の各動作軸に対して、前記位置決め手段は、その軸に沿った前記動作体（２０，２２）の位置に感応する位置センサと、その軸に沿った前記動作体（２０，２２）の位置を前記主容器（１１）の外側から視認できるように表示すべく前記センサに接続された表示装置とを備える、請求項６又は請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記案内部材のうちの少なくとも１つは、レール部分（３５，３６，５７〜５９）を備え、その上で又はそれに対して前記可動サンプル支持体がスリップ、摺動、又は回転することができる、請求項１乃至８のいずれかに記載の装置。
【請求項１０】
前記可動サンプル支持体（２８）には、前記案内部材上の又は該案内部材に沿った移動を促進すべく、滑材及び車輪（３１）のうちの少なくとも一方が取り付けられている、請求項１乃至９のいずれかに記載の装置。
【請求項１１】
前記エアロック（２６）の壁（６５）は透明である、請求項１乃至１０のいずれかに記載の装置。
【請求項１２】
前記可動サンプル支持体（２８）は可視マーク（３８）を備えている、請求項１乃至１１のいずれかに記載の装置。
【請求項１３】
前記二次容器（１５）に前記エアロック（２６）を結合するための中空構造（６９）を備え、その内部で前記可動サンプル支持体（２８）を移動させることができ、それによって、前記二次容器（１５）から前記エアロック（２６）に前記可動サンプル支持体（２８）を移送し、及び復帰させることが可能である、請求項１乃至１２のいずれかに記載の装置。
【請求項１４】
前記中空構造（６９）は、低い機械的剛性を呈した塵除けカバーを備え、それによって、前記二次容器（１５）から前記エアロック（２６）への如何なる振動の伝達も制限し、前記中空構造（６９）は、プラスチック材料製の波形形状の管状カバー、特に、蛇腹の形態をなしたカバーから本質的に構成されることがある、請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記主容器（１１）は、防護壁（１２，１３）によって画定される、請求項１乃至１４のいずれかに記載の装置。
【請求項１６】
前記二次容器（１５）は、前記主容器（１１）の内圧よりも低い圧力に維持されたグローブボックスである、請求項１乃至１５のいずれかに記載の装置。
【国際調査報告】
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