(57)【要約】センサ装置は、電流調整器と、基準抵抗と、供給電流スケーラとを含む。更に、センサ装置は、内部抵抗を有するセンサ素子であって、センサ素子の内部抵抗および基準抵抗が互いに対する所定の比率を含むセンサ素子を含む。電流調整器は、基準抵抗によって基準電流を供給し、基準抵抗において低下する電圧が、印加される設定電圧周辺の所定の範囲内にある状態を維持するように、基準抵抗の干渉影響依存する変化に応答して、基準電流を変化させるために実行される。更に、電流調整器は、供給電流スケーラに供給電流を供給し、基準電流の大きさに応じて、供給電流の大きさを変化させるために実行される。供給電流スケーラは、供給電流のスケーリングによってセンサ素子の内部抵抗において低下する電圧をスケールするために、供給電流に基づいて、スケールされた供給電流をセンサ素子に供給するように実行される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ装置（１００、２００、３００）は、
電流調整器（１０１、３０１）と、
基準抵抗（１０３、Ｒｒｅｆ）と、
供給電流スケーラ（１０５、２０５）と、
内部抵抗（１０９、Ｒｓ）を有するセンサ素子（１０７、２０７）であって、前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９、Ｒｓ）および前記基準抵抗（１０３、Ｒｒｅｆ）が、互いに対する所定の比率を含む、前記センサ素子とを含み、
前記電流調整器（１０１、３０１）は、前記基準抵抗（１０３、Ｒｒｅｆ）によって基準電流（Ｉ１、Ｉｒｅｆ）を供給し、前記基準抵抗（１０３、Ｒｒｅｆ）において低下する電圧（ＶＲ）が、印加される設定電圧（Ｖｓｏｌｌ）周辺の所定の範囲内にある状態を維持するように、前記基準抵抗の干渉影響依存する変化に応答して、前記基準電流（Ｉ１、Ｉｒｅｆ）を変化させるために実行されること、
前記電流調整器（１０１、３０１）は、前記供給電流スケーラ（１０５、２０５）に供給電流（Ｉ２、Ｉｇｍ２）を供給し、前記基準電流（Ｉ１、Ｉｒｅｆ、Ｉｇｍ１）の大きさに応じて、前記供給電流（Ｉ２、Ｉｇｍ２）の大きさを変化させるために更に実行されること、
前記供給電流スケーラ（１０５、２０５）は、前記供給電流（Ｉ２、Ｉｇｍ２）に基づいて、前記供給電流（Ｉ２）のスケーリングによって前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９Ｒｓ）において低下する電圧（Ｖｃ）をスケールするために、前記センサ素子（１０７、２０７）に、スケールされた供給電流（Ｉｃ）を供給するために実行されることを特徴とする、前記センサ装置。
【請求項２】
前記電流調整器（１０１、３０１）は、前記基準抵抗（１０３）と前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９）との間の前記比率に、および、前記設定電圧（Ｖｓｏｌｌ）と前記供給電流（Ｉ２）をスケーリングなし又は最小スケーリングで低下する前記内部抵抗（１０９）における電圧（Ｖｃ）との間の比率に起因する比率で、前記基準電流（Ｉ１）の前記大きさに比例して、前記供給電流（Ｉ２）の前記大きさを変化させるために実行されることを特徴とする、請求項１に記載のセンサ装置（１００、２００、３００）。
【請求項３】
前記基準抵抗（１０３）は、前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９）の変化を生じさせる特定の干渉影響が、前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９）において低下する電圧（Ｖｃ）が許容差範囲内でこれらの干渉影響から独立しているように、相当する比率で、前記基準抵抗（１０３）の大きさを変化させるように実行されることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載のセンサ装置（１００、２００、３００）。
【請求項４】
前記電流調整器（１０１、３０１）および前記基準抵抗（１０３）は、前記基準抵抗（１０３）の前記干渉影響依存する変化および前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９）の同時に生じる干渉影響依存する変化に関して、前記内部抵抗（１０９）において低下する前記電圧（Ｖｃ）が所定の範囲内にある状態を維持するように、前記供給電流（Ｉ２）の前記変化を達成するために実行されることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載のセンサ装置（１００、２００、３００）。
【請求項５】
前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９）において低下する前記電圧（Ｖｃ）が前記センサ装置（１００、２００、３００）の出力信号（ＶＭ）のオフセットされた部分を相殺するように、前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９）において低下する前記電圧（Ｖｃ）を発生させるために実行されることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のセンサ装置（１００、２００、３００）。
【請求項６】
前記基準抵抗（１０３）の材料および前記内部抵抗（１０９）の材料は、干渉影響によって生じた前記基準抵抗（１０３）の変化が、前記基準抵抗（１０３）と前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９）との間の前記比率に従ってスケールされた前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９）の一方向の変化を生じさせるように、許容差範囲内で、干渉影響に対する同じ性能を含むことを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のセンサ装置（１００、２００、３００）。
【請求項７】
前記基準抵抗（１０３）のディメンションは、前記基準抵抗（１０３）と前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９）との間の前記比率に従って、前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９）のディメンションに比例して変化することを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載のセンサ装置（１００、２００、３００）
【請求項８】
前記基準抵抗（１０３）は、その抵抗値が、前記基準抵抗（１０３）と前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９）との間の前記比率に従って、前記センサ素子（１０７、２０７）の前記内部抵抗（１０９）の温度依存する変化をするように、実行されることを特徴とする、請求項１〜７のいずれかに記載のセンサ装置（１００、２００、３００）。
【請求項９】
前記センサ装置（１００、２００、３００）は、前記設定電圧（Ｖｓｏｌｌ）を発生させるための温度安定性基準電圧源（１１１）を更に含み、前記電流調整器（１０１、３０１）が、前記基準抵抗（１０３）における前記電圧（ＶＲ）が所定の許容差範囲内で前記設定電圧（Ｖｓｏｌｌ）に一致するように、前記基準電流（Ｉ１）を調整するために実行されることを特徴とする、請求項１〜８のいずれかに記載のセンサ装置（１００、２００、３００）。
【請求項１０】
前記電流調整器（３０１）は、調整増幅器（３２１）と電流供給器（３２３、３２５）とを含み、
前記調整増幅器（３２１）は、前記設定電圧（Ｖｓｏｌｌ）からの前記基準抵抗（１０３）において低下する前記電圧（ＶＲ）の偏差を示す差分信号（Ｖｃｔｌ１）を供給するために実行され、
前記電流供給器（３２３、３２５）は、前記差分信号（Ｖｃｔｌ１）に基づいて、前記供給電流（Ｉ２）が前記基準電流（Ｉ１）に比例するように、前記基準電流（Ｉ１）および前記供給電流（Ｉ２）を供給するために実行されることを特徴とする、請求項１〜９のいずれかに記載のセンサ装置（３００）。
【請求項１１】
センサ装置（４００、５００）は、
電圧調整器（４０１）と、
供給電流スケーラ（１０５、５０５）と、
内部抵抗（１０９、Ｒｓ）を有するセンサ素子（１０７、５０７）とを含み、
前記電圧調整器（４０１）は、前記センサ素子（１０７、５０７）のための供給電圧（Ｖｓｓｕｐｐｌｙ）を設定し、前記センサ素子（１０７、５０７）のための前記供給電圧（Ｖｓｓｕｐｐｌｙ）が所定の範囲内にある状態を維持するように、前記センサ素子（１０７、５０７）の前記内部抵抗（１０９、Ｒｓ）の干渉影響依存する変化に応答して、前記センサ素子（１０７、５０７）の供給電流（Ｉｓｕｐｐｌｙ）を変化させるために実行され、
前記電圧調整器（４０１）は、前記供給電流スケーラ（１０５、５０５）に供給電流（Ｉ２、Ｉｇｍ２）を供給し、前記センサ素子（１０７、５０７）のための前記供給電流（Ｉｓｕｐｐｌｙ）の前記変化に応じてこの供給電流（Ｉ２、Ｉｇｍ２）を変化させるために更に実行され、
前記供給電流スケーラ（１０５、５０５）は、前記供給電流（Ｉ２、Ｉｇｍ２）に基づいて、前記供給電流（Ｉ２、Ｉｇｍ２）のスケーリングによって前記センサ素子（１０７、５０７）の前記内部抵抗（１０９、Ｒｓ）において低下する電圧（Ｖｃ）をスケールするために、前記センサ素子（１０７、５０７）に、スケールされた供給電流（Ｉｃ）を供給するために実行されることを特徴とする、前記センサ装置（４００、５００）。
【請求項１２】
前記電圧調整器（４０１）は、許容差範囲内の前記供給電流（Ｉ２）の変化が、前記供給電流（Ｉｓｕｐｐｌｙ）の変化と比例するように、前記供給電流（Ｉ２）を設定するために実行されることを特徴とする、請求項１１に記載のセンサ装置（４００、５００）。
【請求項１３】
前記電圧調整器（４０１）は、フットポイント調整器（４０１）であって、前記フットポイント電圧（Ｖｆｐ）が所定の範囲内にある状態を維持するように、前記センサ素子（５０７）の前記内部抵抗の前記変化に応答して、前記センサ素子５０７の前記供給電流（Ｉｓｕｐｐｌｙ）を変化させるために、前記センサ素子（５０７）にフットポイント電圧（Ｖｆｐ）を供給し、許容差範囲内で前記供給電流（Ｉｓｕｐｐｌｙ）と比例して前記供給電流（Ｉ２）を設定するために実行されることを特徴とする、請求項１１又は請求項１２に記載のセンサ装置（５００）。
【請求項１４】
前記センサ装置（５００）は、前記センサ素子（５０７）にセンサ電圧を供給するために実行され、前記供給電流（Ｉｓｕｐｐｌｙ）のための電流源として機能する供給調整器（５４０）を更に含み、
前記フットポイント調整器（４０１）は、前記供給電流（Ｉｓｕｐｐｌｙ）のための電流シンクとして機能し、
前記供給電圧（Ｖｓｓｕｐｐｌｙ）は、前記センサ電圧と前記フットポイント電圧（Ｖｆｐ）との差に相当し、
前記フットポイント調整器（４０１）および前記供給調整器（５４０）は、前記センサ素子（５０７）の前記内部抵抗を変化させるときに、前記センサ素子（５０７）のための前記供給電圧（Ｖｓｓｕｐｐｌｙ）が所定の範囲内にある状態を維持するように、協動して前記供給電流（Ｉｓｕｐｐｌｙ）を変化させ、
前記フットポイント調整器（４０１）は、前記供給電流（Ｉｓｕｐｐｌｙ）に応じて前記供給電流（Ｉ２）をセットして、前記供給電流（Ｉｓｕｐｐｌｙ）の変化を前記供給電流（Ｉ２）へ伝達するために実行されることを特徴とする、請求項１３に記載のセンサ装置（５００）。
【請求項１５】
前記電圧調整器は、供給調整器であって、前記センサ電圧が所定の範囲内にある状態を維持するように、前記センサ素子の前記内部抵抗の前記変化に応答して、前記センサ素子の前記供給電流を変化させるために、前記センサ素子にセンサ電圧を供給し、許容差範囲内で前記供給電流と比例して前記供給電流を設定するために実行されることを特徴とする、請求項１１又は請求項１２に記載のセンサ装置（５００）。
【請求項１６】
前記センサ装置（５００）は、前記センサ素子にフットポイント電圧を供給するために実行され、前記供給電流のための電流シンクとして機能するフットポイント調整器を更に含み、
前記供給調整器は、前記供給電流のための電流源として機能し、
前記供給電圧は、前記センサ電圧と前記フットポイント電圧との差に相当し、
前記フットポイント調整器および前記供給調整器は、前記センサ素子のための前記供給電圧が所定の範囲内にある状態を維持するように、前記センサ素子の前記内部抵抗の前記変化によって、協動して前記供給電流を変化させ、
前記供給調整器は、前記供給電流に応じて前記供給電流を設定し、前記供給電流の変化を前記供給電流へ伝達するために実行されることを特徴とする、請求項１５に記載のセンサ装置。
【請求項１７】
前記フットポイント調整器（４０１）および前記供給調整器（５４０）は、前記センサ電圧および前記フットポイント電圧（Ｖｆｐ）がそれらのための所定の範囲内にある状態を維持するように、前記センサ素子（５０７）の前記内部抵抗の前記変化に応答して、前記供給電流（Ｉ２）を変化させるために実行されることを特徴とする、請求項１４又は請求項１６に記載のセンサ装置（５００）。
【請求項１８】
前記供給調整器又は前記供給電流（Ｉ２）を供給する前記フットポイント調整器（４０１）は、調整増幅器（３２１）および電流供給器（３２３）を含み、
前記調整増幅器（３２１）は、設定電圧（Ｖｓｏｌｌｆｐ）からの前記フットポイント電圧（Ｖｆｐ）又は前記センサ電圧の偏差を示す差分信号（Ｖｃｔｒｌ２）を供給するために実行され、
前記電流供給器（３２３）は、前記差分信号（Ｖｃｔｒｌ２）に基づいて、許容差範囲内の前記供給電流（Ｉ２）の変化が、前記供給電流（Ｉｓｕｐｐｌｙ）の変化に比例するように、前記供給電流（Ｉ２）を供給するために実行されることを特徴とする、請求項１３〜１７のいずれかに記載のセンサ装置（５００）。
【請求項１９】
前記センサ装置（５００）は、前記センサ素子（５０７）の各異なる端子（５０７ａ、５０７ｂ、５０７ｃ）に前記供給電流（Ｉｓｕｐｐｌｙ）および前記スケールされた供給電流（Ｉｃ）を供給するために実行されることを特徴とする、請求項１１〜１８のいずれかに記載のセンサ装置（５００）。
【請求項２０】
前記センサ装置（５００）は、スケーリング調整器（２１９）を更に含み、
前記スケーリング調整器（２１９）は、前記センサ装置（５００）の出力信号（ＶＭ）に基づいて、前記供給電流スケーラ（５０５）にスケーリング信号（Ｚ、ＳＩＧＮ）を供給するために実行され、
前記供給電流スケーラ（５０５）は、前記センサ素子において低下する前記電圧（Ｖｃ）が、前記センサ装置（５００）の前記出力信号（ＶＭ）のオフセットされた部分を相殺するように、前記スケーリング信号（Ｚ、ＳＩＧＮ）に基づいて、前記スケールされた供給電流（Ｉｃ）を供給するために実行させることを特徴とする、請求項１〜１９のいずれかに記載のセンサ装置（５００）。
【請求項２１】
前記センサ装置（５００）は、前記センサ素子（５０７）のセンサ信号に応じて、前記出力信号（ＶＭ）を供給するための出力増幅器（５１７）を更に含み、
前記スケーリング調整器（２１９）は、前記センサ素子（５０７）の前記内部抵抗において低下する前記電圧（Ｖｃ）が、センサオフセット（ＶＯＳ）と出力増幅器オフセット（ＶＯＡ）の両方を相殺するように、前記センサオフセット（ＶＯＳ）および前記出力増幅器オフセット（ＶＯＡ）に応じて、前記スケーリング信号（Ｚ、ＳＩＧＮ）を供給することを特徴とする、請求項２０に記載のセンサ装置（５００）。
【請求項２２】
前記センサ素子（５０７）は、ブリッジ回路のセンサ（５０７）またはホール素子であって、
前記供給電流スケーラ（５０５）は、前記スケーリング信号（Ｚ、ＳＩＧＮ）に応じて、前記スケールされた供給電流（Ｉｃ）のための前記センサ素子（５０７）でフィードポイント（５０７ｂ、５０７ｃ）を切り替えることによって、前記センサ素子（５０７）において発生させる前記電圧（Ｖｃ）の符号を選択するために実行されることを特徴とする、請求項１８〜２１のいずれかに記載のセンサ装置（５００）。
【請求項２３】
前記センサ装置（５００）は、センサ信号または前記センサ信号の少なくとも一部が、前記センサ信号に存在しているオフセットを低減させるために前記センサ素子（５０７）によって供給される前記センサ素子（５０７）への前記センサ素子（５０７）の端子（５０７ｂ、５０７ｃ）に、前記スケールされた供給電流（Ｉｃ）を印加するために実行されることを特徴とする、請求項１〜２２のいずれかに記載のセンサ装置（５００）。
【請求項２４】
前記センサ素子（５０７）は、４つの端子（５０７ａ〜５０７ｄ）を含み、
前記センサ素子（５０７）の前記４つの端子（５０７ａ〜５０７ｄ）のそれぞれに、時間的順序で前記スケールされた供給電流（Ｉｃ）を供給するために実行されることを特徴とする、請求項１〜２３のいずれかに記載のセンサ装置（５００）。
【請求項２５】
前記センサ素子（５０７）は、ホールセンサであることを特徴とする、請求項１〜２４のいずれかに記載のセンサ装置（５００）。
【請求項２６】
内部抵抗を含むセンサ素子を有するセンサ装置における方法（６００）であって、
基準抵抗によって基準電流を供給するステップ（６０１）と、
供給電流を供給するステップ（６０３）と、
前記基準抵抗において低下する電圧が、印加される設定電圧周辺の所定の範囲内にある状態を維持するように、前記センサ素子の前記内部抵抗の干渉影響に依存する変化に応答して、前記基準電流を変化させるステップ（６０５）と、
前記基準電流の大きさに応じて、前記供給電流の大きさを変化させるステップ（６０７）と、
前記供給電流に基づいて、前記供給電流の前記スケーリングによって前記センサ素子の前記内部抵抗において低下する電圧をスケールするために、前記センサ素子に、スケールされた供給電流を供給するステップ（６０９）とを含み、
前記基準抵抗および前記内部抵抗は、互いに対する所定の比率を含むことを特徴とする、方法。
【請求項２７】
内部抵抗を含むセンサ素子を有するセンサ装置における方法（７００）であって、
前記センサ素子のための供給電圧を設定するステップ（７０１）と、
供給電流を供給するステップ（７０３）と、
前記センサ素子のための前記供給電圧が所定の範囲内にある状態を維持するように、前記センサ素子の前記内部抵抗の干渉影響に依存する変化に応答して、前記センサ素子のための供給電流を変化させるステップ（７０５）と、
前記センサ素子のための前記供給電流の前記変化に応じて、前記供給電流を変化させるステップ（７０７）と、
前記供給電流のスケーリングによって、前記センサ素子の前記内部抵抗において低下する電圧をスケールするために、前記センサ素子に、前記供給電流に基づいて、スケールされた供給電流を供給するステップ（７０９）とを含むことを特徴とする、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、例えば、ホールセンサと組み合わせて使用されることができるセンサ装置を提供する。更なる実施形態は、例えば、ホールセンサと組み合わせて使用されることができる方法を提供する。
【背景技術】
【０００２】
基本的に、センサのオフセットおよび続く増幅器のオフセットは、有用信号から別々に決定され又は補償され、そうでない場合には、測定の未知の値がオーバーレイされ、その値は、良くても一定であるが、大抵温度に依存する。非常に小さい信号の測定において、オフセット信号は、有用信号以上の大きさであるだろう。更なる処理の中に存在している確率的な干渉信号が測定にほとんど影響を及ぼさず、有用信号と比較して小さい状態を維持するように、有用信号は、センサの直後に大きく増幅される。しかし、オフセット信号があまりに大きい場合には、増幅器はこのオフセット信号による制限を強いられ、有用信号は、その後の処理チェーンにもはや達することができない。以下に、オフセット補償のためのいくつかの構想が示される。
【０００３】
１．増幅器の後、デジタルに制御された信号の加算／減算によるオフセット補償
次に補正電圧を減算するために、最初に少し信号を増幅する回路がある。次に、更なる増幅器ステージが続く。センサ信号は、増幅の前に悪化しない。オフセットによって条件づけられるオーバーロードによって、小さな増幅だけが可能である。
【０００４】
いくらかより良い方法は、独国特許第１０２００４０１０３６２号Ｂ４明細書（ＤＥ  １０  ２００４  ０１０  ３６２  Ｂ４）によって、または、独国特許出願公開第１０２００９００６５４６号Ａ１明細書（ＤＥ  １０  ２００９  ００６  ５４６  Ａ１）によって示される。出力電流がデジタル的に観測されたＤＡＣからの電流と合計される出力電流を有する増幅器が示される。補償はセンサの内部抵抗から独立しているが、小さいセンサ信号についてありうるオーバーロードの課題は残る。電流回路は、電圧回路より高いダイナミックレンジを備えているが、このプロシージャは、特に高い増幅に関して最適でない。それとは別に、電流出力は、通常、電圧出力ほど、線形ではなく、増幅率において温度安定性がない。
【０００５】
このように、センサ信号の非常に高い増幅は可能でない。
【０００６】
２．増幅器の前にデジタル的に制御された信号の加算または減算によるオフセット補償
米国特許出願公開第２００３／０１７８９８９号Ａ１明細書（ＵＳ２００３／０１７８９８９Ａ１）は、増幅器の前に加算器回路（ｓｕｍｍａｔｏｒ）の使用を示す。これによって、増幅器は、オフセットによって、もはやオーバードライブまたはオーバーロードされない。しかし、加算器回路（ａｄｄｅｒ  ｃｉｒｃｕｉｔ）は、回路のノイズ感知部分および歪み感知部分に位置し、従って、確率的干渉および非線形歪みの主な出所である。このように、非常に正確なシステムは得ることはできない。
【０００７】
３．温度依存する電流の決定された供給によるセンサのオフセット補償
欧州特許第０５２５２３５号明細書（ＥＰ０５２５２３５）は、温度に応じて、センサシステムごとに製造するとすぐに設定される、一定および設定可能な線形および二乗部分によって、補償電流がどのように実現されるかを示す。この例において、これは、非常に大きいが、温度恒常的な量だけ、センサの下流のコンパレータの時間をシフトさせる役割を果たし、センサではなく、連続的に存在する外部磁界が、この量を上回る場合にだけ、切替を作動させることになっている。例えば、時間の経過に伴う温度特性の変化のように、この温度を超えたセンサのオフセットに対する影響は、補償されないままである。
【０００８】
異なる温度についてのキャリブレーションの必要性は、時間がかかり、不経済である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】独国特許第１０２００４０１０３６２号Ｂ４明細書
【特許文献２】独国特許出願公開第１０２００９００６５４６号Ａ１明細書
【特許文献３】米国特許出願公開第２００３／０１７８９８９号Ａ１明細書
【特許文献４】欧州特許第０５２５２３５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、干渉影響に対してより低い感度を有するセンサ装置を可能にする構想を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この目的は、請求項１に記載のセンサ装置、請求項１１に記載のセンサ装置、および、請求項２６に記載の方法および請求項２７に記載の方法によって達成される。
【００１２】
本発明のいくつかの実施形態は、電流調整器と、基準抵抗と、供給電流スケーラと、内部抵抗を有するセンサ素子とを有するセンサ装置を提供する。センサ素子の内部抵抗および基準抵抗は、所定の比率を含む。電流調整器は、基準抵抗によって基準電流を供給し、基準抵抗において低下する電圧が、印加される設定電圧周辺の所定の範囲内にある状態を維持するように、基準抵抗の干渉影響に依存する変化に応答して、基準電流を変化させるために実行される。更に、電流調整器は、供給電流スケーリング手段に供給電流を供給して、基準電流の量に応じて、供給電流の量を変化させるために実行される。供給電流スケーリング手段は、供給電流のスケーリングに従ってセンサ素子の内部抵抗において低下する電圧をスケールするために、供給電流に基づいて、スケールされた供給電流をセンサ素子に供給するために実行される。換言すれば、供給電流スケーリング手段は、結果としてセンサ素子の内部抵抗において低下する電圧のスケーリングももたらすスケール可能な供給電流をスケールする。
【００１３】
それは、基準抵抗によって基準電流の変化に応じて変化させられるセンサ素子の電圧を発生させるこの種のセンサ装置のセンサ素子に、供給電流が送られるとき、この文書の導入部分において説明したセンサ装置よりも、干渉影響を受けないセンサ装置を創作することができるという考えである。この供給電流は、例えば、センサ素子の干渉影響依存する（ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ  ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ−ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｅｄ）変化の影響を低減させるために使用されることができる。センサ素子への供給電流の変化および従って基準電流の変化に応じたセンサ素子において低下する電圧のため、基準抵抗において低下する電圧の変化に関して検出される干渉影響の変化に応答して、供給電流も変化させることが可能にされる。これは、センサ素子の内部抵抗において供給電流により低下する電圧が、印加される設定電圧に関してスケール可能であるが、干渉影響によって実質的に変化しないままであるように、起こる。これによって、センサ素子の内部抵抗において低下する電圧の干渉影響に依存する調節は、可能にされる。
【００１４】
いくつかの更なる実施形態は、電圧調整器と、供給電流スケーリング手段と、内部抵抗を有するセンサ素子とを有するセンサ装置を提供する。電圧調整器は、センサ素子のための供給電圧が所定の範囲内にある状態を維持するように、供給電圧をセンサ素子に設定して、センサ素子の内部抵抗の干渉影響依存する変化に応答して、センサ素子の供給電流を変化させるために実行される。電圧調整器は、供給電流スケーリング手段に供給電流を供給して、センサ素子のための供給電流の変化に応じて、この供給電流を変化させるために更に実行される。供給電流スケーリング手段は、供給電流のスケーリングに従って、センサ素子の内部抵抗において低下する電圧をスケールするために、供給電流に基づいて、スケールされた供給電流をセンサ素子に供給するために実行される。
【００１５】
（スケールされた）供給電流が、センサ素子のための供給電流の変化に応じて変化させられるこの種のセンサ装置のセンサ素子に供給される場合、導入部分にて説明したようなセンサ装置よりも、干渉影響に耐性があるセンサ装置を提供することができることが、これらの更なる実施形態についての１つの考えである。センサ素子において、センサ素子に供給される供給電流は、例えば、オフセットを相殺する（ｃｏｕｎｔｅｒａｃｔｓ）電圧を発生させる。しかし、相殺されるオフセットの大きさが、確率的に割当てられるように、そのオフセットは、供給電流によりセンサにおいて低下する電圧の適切なスケーリングによって相殺される。干渉影響によって変えられるセンサの内部抵抗から、供給電流は、同じ電圧低下のために、干渉影響変化に従って再調整され続ける。実施形態は、このように、供給電流の変化に関する基準として、センサ素子のための供給電流の変化を利用し、従って供給電流を適応させるためにセンサ素子の内部抵抗の変化を検出するための付加的な構成要素を必要としない。センサ素子については、センサ素子の供給電圧は、常にその最適動作範囲においてセンサ素子を作動するために、供給電流を適応させることによって一定に保つことができる。ここで、このような供給電圧について一定に保つことは、センサ素子のための供給電流を調整することによってもたらされる。ここで、実施形態は、供給電流によるセンサ素子において低下する電圧に関して干渉影響の変化の原因であることを示すために、供給電流の変化のための基準として、内部抵抗の干渉影響によって生じる（センサ素子について供給電圧を一定に保つのに役立つ）供給電流の変化を利用する。
【００１６】
これらの実施形態の１つの利点は、センサ素子自体のための供給電流が、供給電流を設定するための基準として役立つことである。そして、それは、例えば、オフセットを低減するために役に立つことができて、従って干渉影響の変化に応答して供給電流の正確な設定を保証することができる。
【００１７】
供給電圧は、例えば、センサ素子の２つの供給電圧端子間、例えば供給電流を供給するための供給端子とセンサ素子のベースまたはフットポイント端子との間に印加される電圧でありえる。
【００１８】
以下に、本発明の実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、一実施形態によるセンサ装置のブロック図である。
【図２】図２は、更なる実施形態によるセンサ装置のブロック図である。
【図３】図３は、更なる実施形態によるセンサ装置のブロック図である。
【図４】図４は、更なる実施形態によるセンサ装置のブロック図である。
【図５】図５は、更なる実施形態によるセンサ装置のブロック図である。
【図６】図６は、一実施形態による方法のフローチャートである。
【図７】図７は、更なる実施形態による方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の実施形態について添付図面を参照して以下に説明する前に、似た要素又は同一の機能の要素が、同じ参照番号を与えられること、および、それらの要素の繰り返しの説明は省略されることに留意されたい。同一参照番号を有する要素の記載は、従って相互に交換可能である。
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態において、センサ装置１００のブロック図を示す。
【００２２】
センサ装置１００は、電流調整器１０１と、基準抵抗１０３（Ｒｒｅｆとも呼ばれる）と、供給電流スケーリング手段１０５と、内部抵抗１０９（Ｒｓとも呼ばれる）を有するセンサ元素１０７とを含む。
【００２３】
センサ元素１０７の内部抵抗１０９および基準抵抗１０３は、互いに対する所定の比率を含む。
【００２４】
電流調整器１０１は、基準抵抗において低下する電圧ＶＲが、印加される設定電圧Ｖｓｏｌｌ周辺の所定の範囲内にある状態を維持するように、基準抵抗１０３の干渉影響依存する変化に応答して、基準電流Ｉ１を変化させるために、基準抵抗１０３によって、基準電流Ｉ１を供給するために実行される。
【００２５】
更に、電流調整器１０１は、基準電流Ｉ１の大きさに応じて、供給電流Ｉ２の量または大きさを変えるための供給電流スケーリング手段１０５に供給電流Ｉ２を供給するために実行される。
【００２６】
供給電流スケーリング手段１０５は、供給電流に基づいて、供給電流Ｉ２のスケーリングに従って、センサ元素１０７の内部抵抗１０９において低下する電圧Ｖｃをスケールするために、スケールされた供給電流Ｉｃをセンサ元素１０７に送るために実行される。
【００２７】
センサ元素１０７の内部抵抗１０９において低下する電圧Ｖｃは、例えば、センサ元素１０７のオフセットを相殺することができる。換言すれば、センサ元素１０７において、スケールされた供給電流Ｉｃを使用して、センサ装置１０７のオフセットを相殺する電圧Ｖｃが生成されることができる。基準電流Ｉ１の変化に応じて供給電流Ｉ２が変えられるという事実のため、および、基準抵抗１０３と内部抵抗１０９との間の所定の比率のため、供給電流Ｉ２が一定に保たれるときに、内部抵抗１０９において低下する電圧Ｖｃの変化につながるであろう内部抵抗１０９の干渉影響依存する変化は、少なくともある程度相殺されることができる。このようにして、例えば、内部抵抗１０９において低下する電圧Ｖｃが、供給電流Ｉ２の変化のため、干渉影響から（実質的に）独立していることが可能にされることができる。
【００２８】
例えば、電流調整器１０１は、（干渉影響の変化にもかかわらず）内部抵抗１０９において低下する電圧Ｖｃが所定の範囲（例えば設定値の１０％）にある状態を維持するように、供給電流Ｉ２を供給することができる。干渉影響は、例えば、温度または寿命でありうる。例えば、供給電流スケーリング手段１０５は、センサ装置１００の出力信号に依存して供給電流をスケールすることができる。
【００２９】
更なる実施形態によれば、供給電流スケーリング手段は、例えばセンサ元素１０７のセンサオフセットを低減するために、例えば、それに基づいて供給電流Ｉ２をスケールするキャリブレーション値を含むこともできる。
【００３０】
更なる実施形態によれば、センサ装置１００は、設定電圧Ｖｓｏｌｌを発生させるための干渉影響から独立した基準電圧源１１１を更に含みうる。例えば、干渉影響から独立した基準電圧源１１１は、温度安定性基準電圧源でありうる。
【００３１】
図２は、更なる実施形態によるセンサ装置２００を示す。センサ装置２００は、スケーリング手段１０５が、ＤＡＣ２０５（ＤＡＣ＝デジタルアナログ変換器）として実行されるように、図１において示されるセンサ装置２００とは異なる。更に、図２において、内部抵抗１０９に加えて、オフセット源２１３およびセンサ電圧源２１５を含む実際のセンサ素子２０７（センサ２０７とも呼ばれる）が示される。更に、センサ装置２００は、出力増幅器２１７（アンプ（ＡＭＰ）とも呼ばれる）を含む。
【００３２】
図２に示されるセンサ装置２００については、センサ素子２０７の信号すなわちセンサ電圧Ｖｓが、評価されることになる。図２に示されたセンサ２０２の等価回路図は、内部抵抗１０９（Ｒｓ）、有用電圧信号Ｖｓ（それが評価されることになる）、および不要であるオフセット電圧信号ＶＯＳを示す。出力増幅器２１７の入力に印加された電圧Ｖｉｎは、倍率Ｇｖによって増幅器２１７で増幅され、更なる処理のための（例えば電流または電圧の形の）信号ＶＭとして出力される。
【００３３】
特定の理由のため、できるだけ強くＶＳを増幅すること、すなわちＧｖをできるだけ大きく選択することが望まれる。ここで、センサ２０７および増幅器２１７のオフセット電圧ＶＯＳ、ＶＯＡは、それらも増幅されるので、妨げになる。特に、有用電圧（ＶＳ）と比較して非常に高いオフセット電圧については、増幅器２１７は、オフセット電圧ＶＯＳ、ＶＯＡの増幅によって、出力で過度に振幅を変えられる。それで増幅器２１７の出力で、有用信号（ＶＳ）の多くは見ることができないだろう。
【００３４】
従って、オフセット電圧ＯＳ、ＶＳの補償のために、スケールされた供給電流または補償電流Ｉｃは、センサ２０７に送られる。このスケールされた供給電流Ｉｃは、それがセンサ２０７の内部抵抗１０９で電圧Ｖｃを発生させるように、供給電流スケーリング手段２０５によって設定されることができる。そこにおいて、その電圧は、オフセット電圧を相殺して、従ってそれを補償する又は少なくとも低減する。
【００３５】
このように図２において示された実施形態は、増幅器オフセットと共にセンサオフセットを相殺する（ｂａｌａｎｃｉｎｇ）または少なくとも低減することを可能にする。センサ素子２０７に送られるスケールされた供給電流Ｉｃは、温度に依存して、供給電流スケール手段２０５の助けを借りて、デジタル的に再調整することができる。
【００３６】
例えば、電流調整器１０１は、基準抵抗１０３の電流によって発生した電圧ＶＲが、少なくとも許容差範囲内で基準電圧Ｖｓｏｌｌに一致するように、基準電流Ｉ１（Ｔ）を制御することができる。
【００３７】
許容差範囲は、例えば、基準電圧Ｖｓｏｌｌの１０％、５％、１％でありうる。
【００３８】
干渉影響は、例えば、温度Ｔでありうる。
【００３９】
基準電流Ｉ１（Ｔ）は、例えば、温度Ｔに依存する。（供給）電流Ｉ２（Ｔ）は、それに依存する（例えばそれに比例する）。それは、調整器値Ｚおよび符号ＳＩＧＮによってＤＡＣ２０５において重みを加えられて、例えば補償電流Ｉｃとしてセンサ２０７に送られる。
【００４０】
更なる実施形態によれば、センサ装置２００は、デジタル調整器２１９を含むことができる。例えば（Ｍ≧１の）Ｍビットの解像度によってデジタル化される出力信号ＶＭから、所定アルゴリズムを用いて、このオーバーレイされたデジタル調整器２１９は、デジタル設定または制御値Ｚおよび符号ＳＩＧＮを決定することができる。オーバーレイ（デジタル）調整器（ｏｖｅｒｌａｉｄ  （ｄｉｇｉｔａｌ）  ｒｅｇｕｌａｔｏｒ）２１９は、デジタル量Ｚでセンサの電圧Ｖｃを設定する。但し、本方法は未知の抵抗ＲＳによる電流（スケールされた供給電流Ｉｃ）を使用する。ユーザにとって、これは、ユーザが、調整器値Ｚから直接にオフセット合計の大きさを割り出すことができること、または、その逆に、周知のオフセット電圧から直接に最適補正値を割り出すことができることを意味する。
【００４１】
デジタルトラッキングのための値は、温度から独立しており、従って、オーバーレイデジタル調整器２１９のためのループ増幅は、一定であり、それはシステムのロバスト性に関する利点を提供する。デジタル調整器２１９は、実質的に速く実行されることができる。最適ケースにおいて、１つのステップで、最適補正値は、設定されることができる。
【００４２】
デジタル再調整またはポスト調節自体は、温度に関するオフセットの特性の変化によってさえ、そして、オフセット効果を有する付加的な影響によってさえ、なお、オフセットの安全な補償を保証する。
【００４３】
設定可能なソースは、より少ない労力で制御されることができる。特に、必要なデジタルステージの数は、明らかに低減される。
【００４４】
要約すると、実施形態は、センサおよび増幅器オフセット電圧が修正されるセンサ装置を提供する。
【００４５】
センサの電圧信号Ｖｃの最大値のための基準は、温度―定の基準電圧Ｖｓｏｌｌである。
【００４６】
補正を生じさせるための手段が、供給電流Ｉｃである。
【００４７】
補償信号Ｖｃの生成は、内部センサ抵抗１０９でこの電流Ｉｃによって生じた電圧Ｖｃでセンサ電圧の線形オーバーレイすることによって、信号パスの更なる手段なしで、センサにおいて直接なされる。
【００４８】
電流Ｉ２の最大値は、センサにおいて温度全体にわたって一定である電圧Ｖｃが生じるように、温度全体にわたって調整される。
【００４９】
その値を、センサオフセット電圧ＶＯＳおよび増幅器オフセット電圧ＶＯＡのランダムに割当てられる時間的に異なる値に適合するために、デジタル制御信号（Ｚ、ＳＩＧＮ）に応じて、電流Ｉ２の最大値の一部だけが、センサに送られる（スケールされた供給電流Ｉｃ）。これから、温度に関して一定でもある比例してより小さい補正電圧が生じる。
【００５０】
デジタル制御値Ｚ、ＳＩＧＮの設定は、上流のデジタル調整器２１９を介してなされうる。
【００５１】
内部センサ抵抗の温度低下が電流スケーリングによって考慮されるように、設定可能な回路の調整器範囲および解像度は、操作可能なままであり、その結果、回路が温度低下またはオフセットのドリフトおよび期待値からの内部センサ抵抗の温度範囲の偏差をカバーする場合、更なる実施形態によれば、充分である。
【００５２】
実施形態は、例えば、らせん電流方式において使用されることができる。
【００５３】
図３は、本発明の他の実施形態によるセンサ装置３００を示す。センサ装置３００は、ＤＡＣ２０５または供給電流スケーラ２０５の１つのありうる実施態様が示されるという点で、図２において示されるセンサ装置２００とは異なる。更に、センサ装置３００は、基準抵抗１０３および温度安定性基準電圧源１１１および電流調整器２０１を含む基準電流源３０１を含む。加えて、電流調整器の１つのありうる実施態様が示される。
【００５４】
基準抵抗１０３は、特定の干渉影響がセンサ素子２０７の内部抵抗１０９の変化を引き起こし、センサ素子２０７の内部抵抗１０９において低下する電圧ＶＣがこれらの干渉影響から許容差範囲内で独立している状態を維持するように、対応して基準抵抗１０３の大きさを変化させるように、実行されることができる。
【００５５】
このようにして、例えば、基準抵抗１０３は、センサ素子２０７の内部抵抗１０９と同じ干渉影響を受けうる。例えば、基準抵抗１０３および内部抵抗１０９は、同じ基板に、そして、例えば、同じ半導体プロセスで製造されることができた。
【００５６】
一実施形態において、温度Ｔに関する供給電流Ｉ２（Ｔ）の特性は、同一材料の基準抵抗１０３から割り出されて、従って内部センサ抵抗１０９としてスケールされた形状大きさである。
【００５７】
換言すれば、基準抵抗１０３の材料および内部抵抗１０９の材料は、この種の干渉影響によって生じる基準抵抗１０３の変化が、基準抵抗１０３と内部抵抗１０９との間の比率に従ってスケールされるセンサ素子２０７の内部抵抗１０９の一方向の変化を引き起こすように、許容差範囲内で、干渉影響に対する同じ性能を含むことができる。
【００５８】
ここで、許容差範囲は、例えば、同一材料が基準抵抗１０３および内部抵抗１０９のために選択されるときは非常に小さい。
【００５９】
更なる実施形態によれば、同じく、類似した材料が、２つの抵抗１０３および１０９のために選択されることができる。ここで、許容差範囲は、例えば、内部抵抗１０９の材料の温度係数が最大２０％、１０％、５％または１％だけ、基準抵抗１０３の材料の温度係数から外れるように選択されることができる。
【００６０】
更に、基準抵抗１０３のディメンション（ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）は、基準抵抗１０３とセンサ元素１０７の内部抵抗１０９との間の比率に従って、センサ素子２０７の内部抵抗１０９のディメンションに比例して変化することができる。
【００６１】
このように、例えば、センサ素子２０７の内部抵抗１０９の抵抗値は、知られていないが、内部抵抗１０９のディメンションは知られていることがあり、その結果、基準抵抗１０３のディメンションは、基準抵抗１０３と内部抵抗１０９との間のスケーリング比Ｋ３に従って選択される。ここで、同じく基準抵抗１０３の材料が内部抵抗１０９の材料に等しく選択される場合、そして、これらの２つの抵抗が共通の半導体プロセスで製造される場合、内部抵抗１０９の抵抗値が知られていないにもかかわらず、少なくとも、基準抵抗１０３と内部抵抗１０９との間の比率Ｋ３が正しいことが保証されうる。基準抵抗１０３は、このように内部抵抗１０９のいわゆる複製抵抗をスケーリング比Ｋ３で形成する。
【００６２】
従って、例えば、基準抵抗１０３の抵抗値が、基準抵抗１０３と内部抵抗１０９との間の比率に従ってセンサ素子２０７の内部抵抗１０９の温度依存する変化をすることが可能にされることができる。
【００６３】
電流調整器２０１は、調整増幅器（ｒｅｇｕｌａｔｉｎｇ  ａｍｐｌｉｆｉｅｒ）３２１（ＯＴＡとも呼ばれる）と電流供給器とを含む。図３において示された実施形態において、電流供給器は、ｇｍステージ３２３および任意の第１の電流ミラー３２５（ＭＩＲＲ１）を含む。その最大大きさの供給電流Ｉ２（Ｔ）は、ｇｍステージ３２３において生成され、（ＤＡＣ２０５における）部分に分岐することによって、オフセットを相殺することができる低ノイズスケールされた供給電流Ｉｃが生成される。解像度のあらゆる増加は、それ自体低雑音である小さい電流を付加する。しかし、ノイズ特性に関しては、最大電流Ｉ２（Ｔ）は不変のままである。
【００６４】
更に、供給電流スケーラ２０５は、電流分割器３２７、電流シンク３２９および第２の電流ミラー３３１（ＭＩＲＲ２とも呼ばれる）を含む。
【００６５】
以下に、図３において示されるセンサ装置の機能が、詳細に説明される。
【００６６】
ＯＴＡ、ｇｍステージ（電圧Ｖｃｔｒｌ１から電流Ｉｇｍ１およびＩｇｍ２への変換装置）、第１の電流ミラーＭＩＲＲ１および基準抵抗Ｒｒｅｆを有する安定化回路は、基準抵抗の電圧が許容差範囲内で参照電圧Ｖｓｏｌｌに一致するように、Ｉｒｅｆを制御する。
【００６７】
出力電流Ｉｇｍ２およびＩｇｍ１は、それらが同じＶｃｔｒｌ１によって制御されるように、係数Ｋｇｍで、相互に接続される：
Ｉｇｍ２／Ｉｇｍ１＝Ｋｇｍ                                          （１）
【００６８】
Ｋｇｍは、２つの電流間により良い整合（および高い相関）を得るために、約１であるべきである。
【００６９】
電流ミラー３２５において、電流Ｉｇｍ１は、係数１／Ｋ１で電流Ｉｒｅｆに変換される。温度Ｔに依存する電流Ｉｇｍ２は、このように基準抵抗によって電流Ｉｒｅｆと比例している：
Ｉｇｍ２（Ｔ）＝Ｉｒｅｆ（Ｔ）＊Ｋｇｍ／Ｋ１                        （２）
【００７０】
整合されたｇｍステージ３２３がプラスの供給ＶＤＤに対して切り替わる場合、ミラーＭＩＲＲ１は省略されることができる。Ｋ１は、それから１に設定される。
【００７１】
電流分割器において、電流Ｉｄｕｍｐの一部は、電流分割器出力Ｉｄｕｍｐのより良い終端を供給する電流シンクに分岐されて、ガイドされる。比率Ｉｄｉｖ／Ｉｇｍ２は、Ｎビット長バイナリ信号Ｚで設定される。
【００７２】
Ｉｄｉｖ（Ｔ）＝Ｉｒｅｆ（Ｔ）＊Ｚ／２N＊Ｋｇｍ／Ｋ１；Ｚ＝［０，１，…，２Ｎ−１］                                                              （３）
【００７３】
さらにまた約１であるべきであるミラー比Ｋ２を有する第２の電流ミラーＭＩＲＲ２は、センサへのＩｃとして、正しい符号を有する残りの電流Ｉｄｉｖを処理する。符号は、バイナリ信号ＳＩＧＮを使用して設定される。
【００７４】
Ｉｃ（Ｔ）＝＋／−Ｉｒｅｆ（Ｔ）＊Ｋ２＊Ｚ／２N＊Ｋｇｍ／Ｋ１    （４）
【００７５】
Ｒｒｅｆの電圧が基準電圧Ｖｓｏｌｌに一致するように、Ｉｒｅｆが調整されるので、以下が適用される：
Ｉｒｅｆ（Ｔ）＝Ｖｓｏｌｌ／（Ｒｓ（Ｔ）＊Ｋ３）                  （５）
および、従って、
Ｖｃ＝Ｒｓ（Ｔ）＊Ｉｃ（Ｔ）＝＋／−Ｒｓ（Ｔ）＊Ｉｒｅｆ（Ｔ）＊Ｋ２＊Ｚ／２N＊Ｋｇｍ／Ｋ１
＝＋／−Ｒｓ（Ｔ）＊（ＶＲｅｆ／（Ｒｓ（Ｔ）＊Ｋ３））＊Ｋ２＊Ｚ／２N＊Ｋｇｍ／Ｋ１                                                          （６）
【００７６】
ここで、Ｒｓ（Ｔ）は、さらにまたキャンセルダウンされ、センサにおいて生成される電圧Ｖｃは、さらにまた、内部センサ抵抗から、従ってその温度範囲から独立している。Ｖｃ＝＋／−（ＶＲｅｆ／Ｋ３）＊Ｋ２＊（Ｚ／２N）＊（Ｋｇｍ／Ｋ１）  （７）
【００７７】
設定解像度ΔＶｃは、以下の通りである：
ΔＶｃ＝（Ｖｓｏｌｌ／Ｋ３）＊Ｋ２＊（１／２N）＊（Ｋｇｍ／Ｋ１）      （８）
【００７８】
Ｖｃ（Ｔ）＝（−１／２…＋１／２）＊ΔＶｃ−［Ｖｏｓ（Ｔ）＋Ｖｏａ（Ｔ）］                                                                        （９）
という設定を使用すると、有用な部分とオフセットの残りだけが残る。
【００７９】
出力電圧は、以下である。
Ｖｏｕｔ＝Ｇｖ＊Ｖｓ＋Ｇｖ＊（−１／２…＋１／２）＊ΔＶｃ＝Ｇｖ＊Ｖｓ＋Ｇｖ＊（−１／２…＋１／２）＊（Ｖｓｏｌｌ／Ｋ３）＊Ｋ２＊（１／２N）＊（Ｋｇｍ／Ｋ１）                                                                （１０）
【００８０】
１／２Nが解像度を決定するように、Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３およびＫｇｍは、約１（例えば０．９以上１．１未満）に選択されることができる。
【００８１】
その回路は、低雑音であり、小さい設定解像度ΔＶｃによって、高い増幅Ｇｖを可能にする。
【００８２】
要約すると、図３のセンサ装置３００は、設定電圧Ｖｓｏｌｌを発生させるための温度安定性基準電圧源１１１を有するセンサ装置を示す。電流調整器２０５は、基準抵抗１０３の電圧ＶＲが、所定の許容差範囲内で設定電圧Ｖｓｏｌｌに一致するように、基準電流Ｉｒｅｆ（Ｉ１とも呼ばれる）を調整するために実行される。例えば、基準電圧ＶＲは、それが最大１０％、５％、１％だけ設定電圧Ｖｓｏｌｌから外れるように、選択されることができる。
【００８３】
キャパシタ３２６で、ＯＴＡ３２１の電流出力信号はまとめられ、設定電圧Ｖｓｏｌｌから基準抵抗１０３において低下する電圧ＶＲの偏差の整数値を示す電圧Ｖｃｔｒｌ１が生じる。電流供給器（第１の電流ミラー３２５と接続した整合されたｇｍステージ３２３）は、供給電流Ｉ２が基準電流Ｉｒｅｆと比例しているように、差分信号に基づいて基準電流Ｉｒｅｆおよび供給電流Ｉ２を供給するように実行される。
【００８４】
電流調整器２０５および基準抵抗１０３は、基準抵抗１０３の干渉影響依存する変化およびセンサ素子２０７の内部抵抗１０９の同時に起こる干渉影響依存する変化によって、内部抵抗１０９において低下する電圧Ｖｃが所定の範囲内にあるの（例えば一定である）状態を維持するように、基準電流Ｉ１の変化に応じて供給電流Ｉ２の変化を実行するために、実行されることができる。
【００８５】
このように、例えば、変化した干渉影響にもかかわらず、増幅器オフセットＶＯＡおよびセンサオフセットＶＯＳを低減する又は補償するために、内部抵抗１０９における電圧は、一定のままであるように、変化した干渉影響による内部抵抗１０９の変化は、無効にされる（ｃｏｕｎｔｅｒａｃｔｅｄ）ことができる。
【００８６】
例えば、それが、センサオフセットＶｏｓおよび増幅器オフセットＶｏａの総計の少なくとも８０％、９０％、９５％に相当して、総計の符号と反対の符号を有するように、内部抵抗１０９において低下する電圧Ｖｃは、選択されることができる。
【００８７】
換言すれば、センサ装置２００は、それがセンサ装置の出力信号ＶＭの（例えば出力増幅器２１７の出力の）オフセット部分を相殺するように、センサ素子２０７の内部抵抗１０９において低下する電圧Ｖｃを生成するために実行されることができる。
【００８８】
例えば、電流調整器１０１は、基準抵抗１０３とセンサ素子２０７の内部抵抗１０９との間の比率に、そして、設定電圧Ｖｓｏｌｌと供給電流Ｉ２のスケーリングなし又は最小スケーリング（ｎｏ  ｏｒ  ａ  ｍｉｎｉｍａｌ  ｓｃａｌｉｎｇ）で低下する内部抵抗１０９における電圧Ｖｃとの間の比率に起因する比率で、基準電流Ｉ１の大きさに比例して供給電流Ｉ２の大きさを変化させるために実行されることができる。ここで、最小スケーリング（ｍｉｎｉｍｕｍ  ｓｃａｌｉｎｇ）とは、供給電流スケーラ２０５が、受けた供給電流Ｉ２をスケーリングすることなく、受けた供給電流Ｉ２を直接センサ素子２０７に送ることを示すことである。
【００８９】
図４は、本発明の他の実施形態によるセンサ装置４００を示す。
【００９０】
センサ装置４００は、電圧調整器４０１と、供給電流スケーラ１０５と、抵抗部分を有するネットワークとしてモデル化されうるセンサ等価回路の一部としての内部抵抗１０９（Ｒｓとも呼ばれる）を有するセンサ素子１０７を含む。
【００９１】
電圧調整器４０１は、センサ素子１０７のための供給電圧Ｖｓｓｕｐｐｌｙを設定して、センサ素子１０７のための供給電圧Ｖｓｓｕｐｐｌｙが所定の範囲内にある状態を維持する（例えば許容差範囲内で一定である）ように、センサ素子１０７の内部抵抗１０９の干渉影響依存する変化に応答して、センサ素子１０７の供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙを変えるために実行される。
【００９２】
電圧調整器４０１は、供給電流スケーラ１０５に供給電流Ｉ２を供給して、センサ素子１０７のための供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙの変化に応じて供給電流Ｉ２を変えるように更に実行される。
【００９３】
供給電流スケーラ１０５は、供給電流Ｉ２のスケーリングに従って、センサ素子の内部抵抗において低下する電圧Ｖｃをスケールするために、供給電流Ｉ２に基づいてセンサ素子にスケールされた供給電流Ｉｃを出力するように実行される。
【００９４】
前述の実施形態の場合にすでにあったように、スケールされた供給電流Ｉｃによるセンサ素子１０７の内部抵抗１０９における低下する電圧Ｖｃは、センサ素子１０７のオフセット（および増幅器オフセット）を低減するために、例えばそれを相殺するために、利用されることができる。前述の実施形態とは対照的に、図４において示された実施形態において、基準抵抗はもはや必要でないが、センサ素子１０７自体の供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙは、供給電流Ｉ２を設定するための基準として役立つ。このように、電圧調整器４０１は、内部抵抗１０９において低下する電圧Ｖｃが、所定の範囲内にある状態を維持する（例えば、許容差範囲内で一定のままである）ように、（供給電圧Ｖｓｓｕｐｐｌｙを所定の範囲に保つために電圧調整器４０１によって実行される）供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙの変化に基づいて、電流Ｉ２および従ってスケールされた供給電流Ｉｃを変えることができる。
【００９５】
一実施形態によれば、電圧調整器４０１は、（少なくとも許容差範囲内で）供給電流Ｉ２の変化が供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙの変化に比例するように、供給電流Ｉ２を設定するために実行されることができる。ここで、許容差範囲は、例えば、供給電流Ｉ２の変化が供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙの変化から最大１０％、５％または１％だけ外れるように、選択されることができる。
【００９６】
更なる実施形態によれば、電圧調整器４０１は、供給電流Ｉ２と供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙとの間の単調機能が同一である、すなわち、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙが増加するときに供給電流Ｉ２が増加し、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙが減少するときに供給電流Ｉ２が減少するように、供給電流Ｉ２を設定するように実行されることもできる。
【００９７】
図５は、本発明の他の実施形態によればセンサ装置５００を示す。図５において図示されるセンサ装置５００は、電圧調整器４０１の１つのありうる実施態様が示されるという点で、図４において図示されるセンサ装置４００とは異なる。図５において図示される実施形態において、電圧調整器４０１は、フットポイントまたはベース調整器４０１として実行される。更に、図５は、センサ装置５００のセンサ５０７に、スケールされた供給電流Ｉｃのためのフィードポイントの符号に依存する選択を有するＤＡＣ５０５の形で、供給電流スケーラ１０５の１つのありうる実施態様を示す。図５において図示される実施形態において、センサ５０７は、ブリッジ回路のセンサとして実行される。
【００９８】
更に、センサ装置５００は、差入力回路を有する出力増幅器５１７（アンプとも呼ばれる）を含む。
【００９９】
更に、センサ装置５００は、供給調整器５４０を含む。
【０１００】
センサ素子５０７がブリッジ回路のセンサであるように、センサ素子の等価回路図は、センサ５０７のためのフィードポイントに応じて、このフィードポイントに送られる各信号のためのセンサ素子５０７の内部抵抗を形成するいくつかの個々の抵抗器を含む。理想的には、干渉影響については、ブリッジ回路のセンサ５０７のすべての抵抗は、一方向に変化する。
【０１０１】
フットポイント調整器４０１は、フットポイント電圧またはフットポイント電圧Ｖｆｐが所定の範囲内にある状態を維持する（例えば許容差範囲内で一定である）ように、そして、許容差範囲内で供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙに関して比例的に供給電流Ｉ２（Ｉｇｍ２とも呼ばれる）を設定するように、センサ素子５０７の内部抵抗の変化に応答して、それの供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙを変化させるため、センサ素子５０７のフットポイント電圧Ｖｆｐを供給するために実行される。
【０１０２】
供給調整器５４０は、給電電圧（Ｖｓｓｕｐｐｌｙ＋Ｖｆｐ）を供給して、更に供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙのための電流源として働く。フットポイント調整器４０１は、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙのための電流シンクとして働く。
【０１０３】
センサ素子５０７の供給電圧Ｖｓｓｕｐｐｌｙは、（供給調整器５４０によって供給される）センサ電圧およびフットポイント電圧Ｖｆｐの差に相当する。
【０１０４】
フットポイント調整器４０１および供給調整器５４０は、協動して、センサ素子のための供給電圧Ｖｓｓｕｐｐｌｙが所定の範囲内にある状態を維持するように、センサ素子５０７の内部抵抗の変化の場合には、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙを変える。更に、フットポイント調整器４０１は、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙに応じて、供給電流Ｉ２をセットして、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙの変化を供給電流Ｉ２へ伝達するように実行される。
【０１０５】
更に、フットポイント調整器４０１および供給調整器５４０は、センサ電圧およびフットポイント電圧Ｖｆｐがそれのために所定の範囲内にある状態を維持するように、センサ素子５０７の内部抵抗の変化に応答して、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙを変えるために実行されることができる。換言すれば、供給調整器５４０およびフットポイント調整器４０１は、一定のままであるように、それらが供給する電圧を調整することができ、その結果、定常電圧Ｖｓｓｕｐｐｌｙが、センサ素子５０７において低下する。
【０１０６】
図５にて図示したように、フットポイント調整器４０１は、電流出力を有する調整増幅器３２１（ＯＴＡとも呼ばれる）、キャパシタ３２２および（整合されるｇｍステージの形で）電流供給器３２３を含むことができる。調整増幅器３２１は、設定電圧Ｖｓｏｌｌｆｐからのフットポイント電圧Ｖｆｐの偏差を示す差分信号Ｖｃｒｌ２を供給するために実行される。設定電圧Ｖｓｏｌｌｆｐは、例えば、温度安定性基準電圧源１１１によって供給されることができる。
【０１０７】
更に、電流供給器２３２は、許容差範囲内の供給電流Ｉ２の変化が供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙの変化に比例するように、基準信号Ｖｃｔｌ２に基づいて供給電流Ｉ２を供給するために実行されることができる。ここで、許容差範囲は、とりわけ、電流供給器３２３が、供給電流Ｉ２を設定するための基準として、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙだけでなく、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙにスケールされた供給電流Ｉｃを加えたものを受けるという事実から生じる点に留意されたい。
【０１０８】
図５に示されるように、更に、スケールされた供給電流Ｉｃおよび供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙは、センサ素子５０７の各端子に出力されることができる。このように、供給調整器５４０は、センサ素子５０７の第１の端子５０７ａで、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙを入れる。供給電流スケーラ５０５は、センサ素子５０７の第２の端子５０７ｂまたは第３の端子５０７ｃで、（スケールされた供給電流Ｉｃのための符号に応じて）スケールされた供給電流Ｉｃを任意で供給することができる。更に、フットポイント調整器４０１は、センサ素子５０７の第４の端子５０７ｄでフットポイント電圧Ｖｆｐを供給することができる。更に、センサ装置５００は、センサ装置５００の出力信号ＶＭに基づいて供給電流スケーラ５０５にスケーリング信号を供給するように実行されるスケーリング調整器２１９（デジタル調整器とも呼ばれる）を含むことができる。例えば、スケーリング調整器２１９は、供給電流Ｉ２をスケールするための供給電流スケーラ５０５にデジタルデータワード（ｄｉｇｉｔａｌ  ｄａｔａ  ｗｏｒｄ）Ｚを供給することができて、出力信号ＶＭにおいて補償されるオフセット部分の方向を示す符号信号ＳＩＧＮを更に供給することができる。供給電流スケーラ５０５は、センサ素子５０７において低下する電圧Ｖｃがセンサ装置５００の出力信号ＶＭのオフセット部分を相殺するように、スケーリング信号に基づいて、スケールされた供給電流Ｉｃを供給するように実行される。例えば、センサ装置５０５は、符号信号ＳＩＧＮに応じて、センサ素子５０７で、スケールされた供給電流Ｉｃのためのフィードポイントを選択するために実行されることができる。例えば、供給電流スケーラ５０５は、符号信号ＳＩＧＮに応じて、センサ素子５０７の第２の端子５０７ｂまたは第３の端子５０７ｃに、スケールされた供給電流Ｉｃを供給するために、スイッチ５４２（Ｓｗとも呼ばれる）を含むことができる。
【０１０９】
更に、第２の端子５０７ｂおよび第３の端子５０７ｃは、出力増幅器５１７の出力信号ＶＭが、センサ素子５０７のそれらの端子５０７ｂおよび端子５０７ｃ間の信号の差を示すように、出力増幅器５１７の差入力回路と接続される。それらの端子５０７ｂまたは端子５０７ｃにも、（符号信号ＳＩＧＮに応じて）供給電流スケーラ５０５は、スケールされた供給電流Ｉｃを印加する。
【０１１０】
換言すれば、供給電流スケーラ５０５は、センサ信号または少なくともセンサ信号の（差分の）部分が、センサ信号に存在しているオフセット（例えばセンサオフセットＶＯＳおよび増幅器オフセットＶＯＡ）を低減するために、センサ素子５０７によって供給されるセンサ素子へのセンサ素子５０７の端子５０７ｂ、５０７ｃにスケールされた供給電流Ｉｃを印加するために実行される。
【０１１１】
供給電流スケーラ５０５は、電流分割器３２７、電流シンク３２９および電流ミラー５３１（ＭＩＲＲ２とも呼ばれる）を含むことができる。このように、供給電流スケーラ５０５は、スケールされた供給電流Ｉｃの方向がセンサ５０７でフィードポイントの選択によって選択されるように、電流ミラー５３１が符号入力を必要としないという違いを有するが、図３にて図示したような供給電流スケーラまたはＤＡＣ２０５に類似する。
【０１１２】
以下に、図５に示されたセンサ装置５００の機能は、更に詳細に説明される。
【０１１３】
フットポイント調整器がセンサとＶＳＳとの間の電圧Ｖｆｐを調整するシステムに存在する場合、制御信号は、電流Ｉｇｍ２を生成するこの制御回路の出力ステージのための第２の出力ステージを制御することができる。Ｒｓでの定常電圧を設定するために要求された電流ＩｓｕｐｐｌｙがＲｓ（Ｔ）に依存するように、ＫｇｍだけＩｓｕｐｐｌｙより小さい電流は、Ｒｓでの補償電圧Ｖｃを生成するための出力最大電流である。更なる実施形態によれば、その電流は、電圧調整器から推定されることもできる。
【０１１４】
すでに現存の部分に加えて必要とされる回路消費量は、実施形態３００においてより少なくなり、その回路は低雑音のままである。
【０１１５】
センサは、ブリッジ回路における抵抗性のあるセンサ、または、例えばホール素子でありえる。それから、ＳＩＧＮ信号に関して生成されたオフセットの符号は、単にＩＮＰからＩＮＮへのＩｃのフィードポイントに関して切り替えることによって実現されることができる。
【０１１６】
アンプは、更なる実施形態に従って、図５において図示される単極出力の代わりに差出力を有することもできる差動増幅器である。そして、それに、ＶＭはＶＳＳ（基準電位、例えばマスポテンシャル）に対して適用される。
【０１１７】
供給調整器およびフットポイント調整器は、センサの電圧Ｖｓｓｕｐｐｌｙを一定であるようにセットする。それから、２＊Ｒｓの分岐抵抗を有するセンサの供給電流は、
Ｉｓｕｐｐｌｙ＝Ｖｓｓｕｐｐｌｙ／（２＊Ｒｓ（Ｔ））                （１１）
である。
【０１１８】
ＩｓｕｐｐｌｙがＩｇｍ２に関して比例的に調整器によって調整されるように、（Ｉｃ＝０に関して）以下が適用される。
Ｉｇｍ２（Ｔ）＝１／Ｋｇｍ＊Ｖｓｓｕｐｐｌｙ／（２＊Ｒｓ（Ｔ））      （１２）
【０１１９】
ここで、Ｉｓｕｐｐｌｙに関して小さいと推定された電流Ｉｃは、この点でＩｓｕｐｐｌｙ＋Ｉｃが考慮される場合、結果がそれからわずかに変わるので、無視される。
【０１２０】
Ｉｄｉｖ（Ｔ）＝１／Ｋｇｍ＊Ｖｓｓｕｐｐｌｙ／（２＊Ｒｓ（Ｔ））＊Ｚ／２N；Ｚ                ＝［０，１，…，２N−１］                      （１３）
【０１２１】
同じく約１でありうるミラー比Ｋ２を有する第２の電流ミラーＭＩＲＲ２は、Ｉｃとして電流Ｉｄｉｖを供給スイッチＳｗに渡す。符号は、バイナリ信号ＳＩＧＮを使用してセットされる。
【０１２２】
Ｉｃ（Ｔ）＝＋／−Ｋ２／Ｋｇｍ＊Ｖｓｓｕｐｐｌｙ／（２＊Ｒｓ（Ｔ））＊Ｚ／２N；Ｚ＝［０，１，…，２N−１］                （１４）
【０１２３】
フィードポイントで、Ｉｃが、平行に接続された値２＊Ｒｓの２つの抵抗器から生じるセンサのインピーダンスＲｓを示すまたは供給された電流Ｉｃが２つの部分的ブランチに等しく分かれる。以下が結果として生じる：
Ｖｃ＝Ｒｓ（Ｔ）＊Ｉｃ（Ｔ）
＝＋／−Ｒｓ（Ｔ）＊Ｋ２／Ｋｇｍ＊Ｖｓｓｕｐｐｌｙ／（２＊Ｒｓ（Ｔ））＊Ｚ／２N
＝＋／−Ｋ２／Ｋｇｍ＊Ｖｓｓｕｐｐｌｙ／２＊Ｚ／２N              （１５）
【０１２４】
ここで再びＲｓ（Ｔ）はキャンセルダウンされ、センサにおいて生成された電圧Ｖｃも同じく内部センサ抵抗と独立しており、従ってその温度範囲から独立している。それは、センサの動作電圧およびデジタル調整器値Ｚに依存するだけである。補償されるオフセット電圧は、センサの供給電圧によってスケールされるので、この演算は有利である。
【０１２５】
設定解像度ΔＶｃは、以下の通りである：
ΔＶｃ＝Ｋ２／Ｋｇｍ＊Ｖｓｓｕｐｐｌｙ／２＊１／２N            （１６）
【０１２６】
設定によって、
Ｖｃ（Ｔ）＝（−１／２…＋１／２）＊ΔＶｃ−［Ｖｏｓ（Ｔ）＋Ｖｏａ（Ｔ）］          （１７）
さらにまた、有用な部分および残りのオフセットだけが残る。
【０１２７】
出力電圧は、以下である。
Ｖｏｕｔ＝Ｇｖ＊Ｖｓ＋Ｇｖ＊（−１／２…＋１／２）＊ΔＶｃ
＝Ｇｖ＊Ｖｓ＋Ｇｖ＊（−１／２…＋１／２）＊Ｋ２／Ｋｇｍ＊Ｖｓｓｕｐｐｌｙ／２＊１／２N                                    （１８）
【０１２８】
Ｋ２は、同じく、約１でありえ、Ｋｇｍは最大供給可能な信号の大きさを決定する。係数１／２Nは、解像度を決定する。センサの電圧は、自動的に考慮される。
【０１２９】
回路は、低雑音で、小さい設定解像度ΔＶｃのため、高い増幅Ｇｖを可能にする。
【０１３０】
更なる実施形態によれば、供給調整器５４０は供給電流Ｉ２を供給するために実行されることができ、そのときはフットポイント調整器４０１は供給電流Ｉ２をもはや供給する必要はないだろう。１つの利点は、供給調整器５４０が、供給電流Ｉ２の調節の基準として、もはや供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙおよびスケールされた供給電流Ｉｃの総計（Ｉｓｕｐｐｌｙ＋Ｉｃ）でなく、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙだけを含むということである。それによって、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙおよび供給電流Ｉ２間の改善された比例関係が得られうる。
【０１３１】
換言すれば、電圧調整器は、供給調整器でもよくて、センサ素子５０７でセンサ電圧を供給して、センサ電圧Ｖｓｓｕｐｐｌｙが所定の範囲内にある状態を維持するように、センサ素子５０７の内部抵抗の変化に応答して、それの供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙを変えて、許容差範囲内で供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙと比例した供給電流Ｉ２を設定するまたは供給するように実行されることもできる。
【０１３２】
加えて、フットポイント電圧Ｖｆｐを供給するフットポイント調整器が存在することもあり、その結果、例えば、フットポイント調整器および供給調整器は、センサ素子のための供給電圧Ｖｓｓｕｐｐｌｙが所定の範囲内にある状態を維持するように、センサ素子の内部抵抗の変化によって、協動して供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙを変える。供給調整器は、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙに応じて供給電流Ｉ２を設定して、供給電流Ｉｓｕｐｐｌｙの変化をスケールされた供給電流Ｉｃへ伝達するために実行されることができる。
【０１３３】
要約すると、図５は、フットポイント調節を有する差動センサを有する実施形態を示す。
【０１３４】
更なる実施形態によれば、図５において図示されたブリッジ回路のセンサは、図１〜図３において図示されたセンサ装置において使用されることもできる。
【０１３５】
特に、図５において図示されるシステムは、いわゆるらせん電流方式で、特にホールセンサを用いて使用されることができる。このように、センサ装置５０５は、例えば、センサ素子４０７を有するあらゆる測定におけるセンサ装置５００の出力信号ＶＭのオフセット部分を低減するために、センサ素子５０７の４つの端子５０７ａ〜５０７ｄの各々に、時間的順序で、スケールされた供給電流Ｉｃを供給するために実行されることができる。
【０１３６】
以下に、実施形態のいくつかの態様がまとめられる。
【０１３７】
実施形態はまた、内部オーム抵抗を有するオフセットロードされたセンサのセンサ信号のレンダリングを可能にする。本装置は、測定値検出の制限要因が、センサ自体の確率的干渉だけであり、本発明の実施形態を使用して、センサおよび増幅器のオフセットの正確で低雑音の補償が、増幅器の前でも得られるように、実行されることができる。
【０１３８】
増幅器の後のデジタル的に調整された信号の加算／減算によるオフセット補償の上述の方法とは対照的に、実施形態は、その補償が入力で所望の結果を得るので、出力で補償手段を必要としない。
【０１３９】
増幅器の前にデジタル的に調整された信号の加算または減算によるオフセット補償を用いた上述の構想とは対照的に、本発明の実施形態において、補償信号は、センサの中で直接生成されて、従って加算器回路を必要としない。センサ信号は、このように実質的に影響を受けない状態を維持する。
【０１４０】
温度に依存する電流の決定された供給によるセンサのオフセット補償の上述の構想とは対照的に、実施形態において、温度に依存しデジタル的に修正されたオフセット補償のための電流が供給される。
【０１４１】
図１〜図５において図示されるセンサ素子またはセンサは、例えばブリッジ回路における、例えばホールセンサでありうる。
【０１４２】
図６は、内部抵抗を含むセンサ素子を有するセンサ装置における方法６００を示す。
【０１４３】
方法６００は、基準抵抗によって基準電流を供給するステップ６０１を含む。
【０１４４】
更に、方法６００は、供給電流を供給するステップ６０３を含む。
【０１４５】
更に、方法６００は、基準抵抗において低下する電圧が、印加される設定電圧周辺の所定の範囲内にある状態を維持するように、センサ素子の内部抵抗の干渉影響依存する変化に応答して基準電流を変えるステップ６０５を含む。
【０１４６】
更に、方法６００は、基準電流の大きさに依存する供給電流の大きさを変えるステップ６０７を含む。
【０１４７】
更に、方法６００は、供給電流のスケーリングに従ってセンサ素子の内部抵抗において低下する電圧をスケールするために、供給電流に基づいて、スケールされた供給電流をセンサ素子に供給するステップ６０９を含む。ここで、基準抵抗および内部抵抗は、互いに対する所定の比率を含む。
【０１４８】
方法６００は、例えば、センサ装置１００〜３００のうちの１つを使用して実行されることができる。
【０１４９】
図７は、内部抵抗を含むセンサ素子を有するセンサ装置のための方法７００を示す。
【０１５０】
方法７００は、供給電圧をセンサ素子に設定するステップ７０１を含む。
【０１５１】
更に、方法７００は、供給電流を供給するステップ７０３を含む。
【０１５２】
更に、方法７００は、センサ素子のための供給電圧が所定の範囲内にある状態を維持するように、センサ素子の内部抵抗の干渉影響依存する変化に応答して、センサ素子のための供給電流を変えるステップ７０５を含む。
【０１５３】
更に、方法７００は、センサ素子のための供給電流の変化に依存する供給電流を変えるステップ７０７を含む。
【０１５４】
更に、方法７００は、供給電流のスケーリングに従ってセンサ素子の内部抵抗において低下する電圧をスケールするために、センサ素子に供給電流に基づいてスケールされた供給電流を供給するステップ７０９を含む。
【０１５５】
方法７００は、例えば、センサ装置４００および５００のうちの１つを使用して実行されることができる。
【図１】
2014512542.tif 000003
【図２】
2014512542.tif 000004
【図３】
2014512542.tif 000005
【図４】
2014512542.tif 000006
【図５】
2014512542.tif 000007
【図６】
2014512542.tif 000008
【図７】
2014512542.tif 000009
【国際調査報告】
2014512542.tif 000010
2014512542.tif 000011
2014512542.tif 000012
2014512542.tif 000013