(57)【要約】少なくとも１種のポリシランと少なくとも１種のポリカルボシランとの混合物は、金属シリサイドの存在下で形成される。この混合物は、反応器にて２００℃〜６００℃の温度で金属シリサイドとアルキルハライドとを混合する工程を含む方法を用いて形成される。アルキルハライドは、式ＲＸ（式中、ＲはＣ１〜Ｃ１０アルキルであり、Ｘはハロである）を有する。この方法は、少なくとも１種のポリシランと少なくとも１種のポリカルボシランとの混合物を高収率で形成する。更に、この混合物は時間効率及び費用効率が高く、予測可能かつ制御されたやり方で混合物を形成するのを可能にする。更に、この方法で用いる構成成分は、容易にリサイクル可能であり、及び／又は他のプロセスにおいて容易に再利用可能である。【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１種のポリシランと少なくとも１種のポリカルボシランとを含む混合物を、金属シリサイドの存在下で形成する方法であって、該方法は、反応器にて２００℃〜６００℃の温度で前記金属シリサイドとアルキルハライドとを混合して前記混合物を形成する工程を含み、前記アルキルハライドは、式ＲＸ（式中、ＲはＣ１〜Ｃ１０アルキルであり、Ｘはハロである）を有する、方法。
【請求項２】
前記金属シリサイドがＩ族又はＩＩ族の金属を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記金属シリサイドが、Ｍｇ２Ｓｉとして更に定義される、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記Ｘがクロロである、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
Ｒがメチルとして更に定義される、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
少なくとも１種のポリシランが、式Ｒ３Ｓｉ（Ｒ２Ｓｉ）ｍＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃ１〜Ｃ４アルキル、ハロ、又は−Ｈであり、また、ｍは１〜５の平均値を有する）を有する、請求項１〜５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記少なくとも１種のポリシランが直鎖状である、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記混合物が少なくとも２種のポリシランを含み、該ポリシランの少なくとも１種が分枝状である、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
前記混合物が少なくとも２種のポリシランを含み、該ポリシランの少なくとも１種が環状である、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
少なくとも１種のポリカルボシランが式Ｒ２３Ｓｉ−ＣＨ２（Ｒ２２Ｓｉ−ＣＨ２）ｎＳｉＲ２３（式中、各Ｒ２は、独立して、Ｃ１〜Ｃ４アルキル、ハロ、又は−Ｈであり、また、ｎは１〜５の平均値を有する）を有する、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記少なくとも１種のポリカルボシランが直鎖状である、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記混合物が、式Ｒ３３Ｓｉ−［ＳｉＲ３２］ｍ［ＳｉＲ３２ＣＨ２］ｎＳｉＲ３３（式中、各Ｒ３は、独立して、Ｃ１〜Ｃ４アルキル、ハロ、又は−Ｈであり、ｍは１〜５の値を有し、また、ｎは１〜５の平均値を有する）を有する少なくとも１種のハイブリッドポリシラン−カルボポリシランを更に含む、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
前記混合物が少なくとも２種のポリカルボシランを含み、該ポリカルボシランの少なくとも１種が分枝状である、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
前記混合物が少なくとも２種のポリカルボシランを含み、該ポリカルボシランの少なくとも１種が環状である、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
前記環状のポリカルボシランが、１，１，３，３−テトラメチル−１，３ジシラシクロブタン、１，１，３，３，−テトラメチル−１，３−ジシラシクロペンタン、１，１，３，３，５−ペンタメチル−１，３，５−トリシラシロヘキサン、１，１，３，３，５，５−ヘキサメチル−１，３，５−トリシラシロヘキサン、及びこれらの組み合わせの群から選択される、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記混合物が、Ｍｅ４Ｓｉ、Ｍｅ３ＳｉＨ、Ｍｅ３ＳｉＣｌ、Ｍｅ２ＳｉＣｌ２、Ｍｅ２ＨＳｉＣｌ、ＭｅＳｉＣｌ３、ＭｅＨＳｉＣｌ２、ＳｉＣｌ４、ＥｔＳｉＣｌ３、ｎ−ＰｒＳｉＣｌ３、アリル−ＳｉＣｌ３、シラシクロブタン、Ｍｅ２ＥｔＳｉＣｌ、ＭｅＥｔＳｉＣｌ２、ｔ−ＢｕＭｅ２ＳｉＣｌ、Ｍｅ３ＳｉＣＨ２Ｃ≡ＣＣＨ３、及びこれらの組み合わせの群から選択される少なくとも１種のシリコンモノマーを更に含む、請求項１〜１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
プロセスが、連続式であるとして更に定義され、前記反応器が、流動床反応器として更に定義される、請求項１〜１６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
前記反応器の温度が３２５℃〜５００℃として更に定義される、請求項１〜１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
前記金属シリサイドと前記アルキルハライドとが、大気圧を超える圧力で反応器内で反応する、請求項１〜１８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２０】
請求項１〜１９のいずれか一項に記載の方法から形成される、少なくとも１種のポリシランと少なくとも１種のポリカルボシランとを含む混合物。
【請求項２１】
少なくとも１種の直鎖状ポリシランと、少なくとも１種の直鎖状ポリカルボシランと、少なくとも１種の環状ポリカルボシランとを含む混合物を、Ｍｇ２Ｓｉの存在下で形成する方法であって、該方法は、連続式流動層反応器にて２００℃〜６００℃の温度でＭｇ２Ｓｉと塩化メチルとを混合して前記混合物を形成する工程を含み、
少なくとも１種のポリシランが、式Ｘ３Ｓｉ−（Ｘ２Ｓｉ−ＳｉＸ２）ａ−ＳｉＸ３を有し、
少なくとも１種のポリカルボシランが、式Ｘ’３Ｓｉ−ＣＨ２−（Ｘ’２Ｓｉ−ＣＨ２）ｂ−ＳｉＸ’３を有し、また
式中、０≦ａ、ｂ＜２０であり、また、Ｘ及びＸ’のそれぞれが、独立してＣｌ、Ｈ、又はＭｅである、方法。
【請求項２２】
前記少なくとも１種のポリシランのＸが、メチルとして更に定義される、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記混合物が、１，１，３，３−テトラメチル−１，３ジシラシクロブタン、１，１，３，３，−テトラメチル−１，３−ジシラシクロペンタン、１，１，３，３，５−ペンタメチル−１，３，５−トリシラシロヘキサン、１，１，３，３，５，５−ヘキサメチル−１，３，５−トリシラシロヘキサン、及びこれらの組み合わせの群から選択される少なくとも１種の追加のポリカルボシランを含む、請求項２１又は２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記混合物が、Ｍｅ４Ｓｉ、Ｍｅ３ＳｉＨ、Ｍｅ３ＳｉＣｌ、Ｍｅ２ＳｉＣｌ２、Ｍｅ２ＨＳｉＣｌ、ＭｅＳｉＣｌ３、ＭｅＨＳｉＣｌ２、ＳｉＣｌ４、ＥｔＳｉＣｌ３、ｎ−ＰｒＳｉＣｌ３、アリル−ＳｉＣｌ３、シラシクロブタン、Ｍｅ２ＥｔＳｉＣｌ、ＭｅＥｔＳｉＣｌ２、ｔ−ＢｕＭｅ２ＳｉＣｌ、Ｍｅ３ＳｉＣＨ２Ｃ≡ＣＣＨ３、及びこれらの組み合わせの群から選択される少なくとも１種のシリコンモノマーを更に含む、請求項２１〜２３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２５】
請求項２１〜２４のいずれか一項に記載の方法から形成される少なくとも１種の直鎖状ポリシランと少なくとも１種の直鎖状ポリカルボシランとを含む混合物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（関連出願の相互参照）
本出願は、２０１１年６月１６日出願の米国特許仮出願第６１／４９７５７７号に対する優先権及び全ての利点を主張するものであり、該文献は参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
【背景技術】
【０００２】
ポリシラン及びポリカルボシランは当該技術分野において周知であり、それぞれ、全てシリコン主鎖−（Ｓｉ−Ｓｉ）−又はシリコン−炭素主鎖−（Ｓｉ−Ｃ）−を有する傾向がある。ポリシランは、典型的には、一例として、Ｍｅ２ＳｉＣｌ２、ナトリウム金属又はカリウム金属、トルエン、及び熱を使用するウルツカップリング法で形成される。このプロセスは時間がかかり、コスト高であり、また、ナトリウム及びカリウムなどの金属は自然発火性であり、取り扱いが難しく、高価であるので、生産規模で実施するのは困難である。更に、このプロセスは、廃棄及び／又はリサイクルする必要がある無機塩類を副生成物として生成し、それにより生産の複雑性及び生産コストが更に増加する。このプロセスを商業生産規模まで拡大するのは実際的ではないので、ポリシランの大規模生産は困難でありかつ費用がかかる傾向がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ポリカルボシランは、典型的には、クロロメチルトリクロロシランのグリニャール反応、１，３−ジシラシクロブタン誘導体の開環重合反応、及び／又はビニルシランのヒドロシリル化反応を用いて形成される。これらの反応は、効率が悪くかつ費用がかかる傾向があり、ポリカルボシランの収率を低くする不必要な副生成物を生成する傾向がある。更に、これらの反応の副生成物及び他の残余物をリサイクルするのは費用がかかり、かつ困難である。結果的にこれらの反応を商業生産規模まで拡大するのも実際的でない。上と同様に、このように拡大が困難なことから、ポリカルボシラン大規模生産は困難で費用がかかるものとなる。上記製造上の難しさの結果、ポリシラン及びポリカルボシランの両方を形成するための改善されたプロセスを開発する余地が残されている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本開示は、少なくとも１種のポリシランと少なくとも１種のポリカルボシランとを含む混合物の、金属シリサイドの存在下での形成方法を提供する。該方法は、反応器にて２００℃〜６００℃の温度で金属シリサイドとアルキルハライドとを混合して混合物を形成する工程を含む。アルキルハライドは、式ＲＸ（式中、ＲはＣ１〜Ｃ１０アルキルであり、Ｘはハロである）を有する。
【発明を実施するための形態】
【０００５】
本開示は、少なくとも１種のポリシラン及び少なくとも１種のポリカルボシランを含む混合物の形成方法を提供する。当該技術分野において周知であるように、ポリシランは、典型的には、互いに結合した（Ｓｉ−Ｓｉ結合）シリコン原子の主鎖を有し、一方、ポリカルボシランは、典型的には、炭素原子に結合したシリコン原子（Ｓｉ−Ｃ−Ｓｉ結合）の主鎖を有する。典型的なポリシラン及びポリカルボシランの説明に役立つが非限定的である例を以下で説明する。
【化１】
2014522810.tif 000002
【０００６】
上記構造において、「Ｒ」は単に位置保持記号として示されており、非限定的であり、特定の原子又は化合物を表すものではない。他の非限定的な例は上記のものと類似であり、主鎖炭素原子に結合したペンダントシリコン原子、主鎖シリコン原子に結合したペンダント炭素原子、及び／又は主鎖シリコン原子に結合したペンダントシリコン原子が挙げられる。少なくとも１種のポリシラン及び少なくとも１種のポリカルボシランのそれぞれは、直鎖、分岐、又は環状であってもよい。換言すれば、少なくとも１種のポリシランと少なくとも１種のポリカルボシランとの混合物は、１種以上の直鎖、分岐、又は環状ポリシラン、及び１種以上の直鎖、分岐、又は環状ポリカルボシランを含んでもよい。更に、同一分子内、例えば、混合したポリシラン／ポリカルボシラン分子内に、Ｓｉ−Ｃ−Ｓｉ結合及びＳｉ−Ｓｉ結合の両方が存在し得る。
【０００７】
ポリシラン：
一実施形態では、混合物は、式Ｒ３Ｓｉ−（Ｒ２Ｓｉ）ｍ−ＳｉＲ３（式中、各Ｒは、互いに同じであっても異なっていてもよく、各Ｒは、独立して、Ｃ１〜Ｃ２０、Ｃ１〜Ｃ１０、及び／又はＣ１〜Ｃ４アルキル、アリール、アルカリール、又はアラルキル（基）であり、ｍは１〜１００の値を有する）を有する少なくとも１種のポリシランを含む。あるいは、１つ以上のＲ基が−Ｈ、即ち、水素原子であり得ることが考えられる。更に、ＲがＣｌなどのハロゲン原子であり得ることが考えられる。代替実施形態では、ｍは、１〜１５、２〜１４、３〜１３、４〜１４、５〜１３、６〜１２、７〜１１、８〜１０、９〜１０、１〜５、１〜４、１〜３、１〜２、２〜５、２〜３、２〜４、３〜５、又は３〜４の平均値を有する。この混合物はまた、ジシランを含んでもよく、その場合ｍ＝０である。言うまでもなく、本開示は、これら特定のｍ値に限定されず、ｍの値、任意の値又は値の範囲、これらの範囲内、及び上記の値の全部及び部分の両方であってよい。
【０００８】
少なくとも１種のポリシランは分枝状であってもよい。特に限定されるものではないが、分枝状ポリシランは、典型的には、１分子当たりシリコン側鎖を１つだけ有するが、２つ以上有していてもよい。更に別の実施形態では、少なくとも１種のポリシランは環状である。典型的には、環状のポリシランは、４〜１２個、４〜１０個、又は４〜８個のシリコン原子を有する。該混合物は、少なくとも２種のポリシランを含んでもよく、該ポリシランの少なくとも１種は分枝状であってもよく、及び／又は該ポリシランの少なくとも１種は環状であってもよいことが考えられる。
【０００９】
ポリカルボシラン：
少なくとも１種のポリカルボシランは、式Ｒ２３Ｓｉ−ＣＨ２（Ｒ２２Ｓｉ−ＣＨ２）ｎＳｉＲ２３（式中、各Ｒ２は、独立して、上記のＲと同じであっても異なっていてもよく、また、ｎは上記のｍと同じであっても異なっていてもよい）を有し得る。同じ混合物において、Ｒ及びＲ２、並びにｍ及びｎのそれぞれは、ポリシラン及びポリカルボシランのそれぞれにおいて互いに異なり得ることに留意されたい。一実施形態では、該混合物はカルボジシランを含み、その場合ｎ＝０である。別の実施形態では、少なくとも１種のポリカルボシランは分枝状である。特に限定されるものではないが、分枝状ポリカルボシランは、典型的には、１分子当たりシリコン側鎖を１つだけ有するが、２つ以上有していてもよい。更に別の実施形態では、少なくとも１種のポリカルボシランは環状である。典型的には、環状のポリカルボシランは、２〜４個又は２〜３個のシリコン原子を有する。これら環状のポリカルボシランは特に限定されるものではなく、１つ以上が、１，１，３，３−テトラメチル−１，３ジシラシクロブタン、１，１，３，３，−テトラメチル−１，３−ジシラシクロペンタン、１，１，３，３，５−ペンタメチル−１，３，５−トリシラシロヘキサン、１，１，３，３，５，５−ヘキサミチル（ヘキサメチル）−１，３，５−トリシラシロヘキサン、及びこれらの組み合わせの群から選択されてもよい。あるいは、該混合物は、少なくとも２種のポリカルボシランを含んでもよく、該ポリカルボシランの少なくとも１種は分枝状であってもよく、及び／又は該ポリカルボシランの少なくとも１種は環状であってもよい。
【００１０】
あるいは、該混合物は、少なくとも２種のポリシランと、少なくとも２種のポリカルボシランとを含んでもよく、その場合、該ポリシランの少なくとも１種及び／又は該ポリカルボシランの少なくとも１種は環状である。別の実施形態では、該混合物は、少なくとも２種のポリシランと、少なくとも２種のポリカルボシランとを含み、その場合、該ポリシランの少なくとも１種及び／又は該ポリカルボシランの少なくとも１種は分枝状である。
【００１１】
追加的ポリシラン／ポリカルボシラン：
該混合物はまた、１種以上の混合又はハイブリッドポリシラン−ポリカルボシランを含んでもよいことが考えられる。混合又はハイブリッドポリシラン−ポリカルボシランは、主鎖にＳｉ−Ｓｉ結合及びＳｉ−Ｃ結合の両方を含む。典型的には、混合又はハイブリッドポリシラン−ポリカルボシランは、例示を目的として以下に厳密に示されるように、ポリシラン部分又はブロック及びポリカルボシラン部分又はブロックを含み、式中、ｍ及び／又はｎは、独立して、上記のｍ及び／又はｎと同じでも異なっていてもよく、各Ｒ３は、独立して選択され、上記のＲ及びＲ２と同じでも異なっていてもよい。
【化２】
2014522810.tif 000003
【００１２】
該混合物は、次の式の化合物を１つ以上含んでもよいことが考えられる：Ｘ３Ｓｉ−（Ｘ２Ｓｉ−ＳｉＸ２）ａ−ＳｉＸ３及びＸ’３Ｓｉ−ＣＨ２−（Ｘ’２Ｓｉ−ＣＨ２）ｂ−ＳｉＸ’３（式中、０≦ａ、ｂ＜２０であり、Ｘ及びＸ’のそれぞれは、独立して、Ｃｌ、Ｈ、又はＭｅである）。Ｘ及びＸ’のそれぞれは、独立して、Ｃ１〜Ｃ１０若しくはＣ１〜Ｃ４又はハロであり得ることも考えられる。種々の実施形態において、該混合物を形成するための反応の開始時において、ＸはＭｅ又はＨである傾向がある。次いで、反応の終わりにおいて、Ｘは、多くの場合Ｃｌである傾向がある。他の実施形態では、上記化合物及び／又は式Ｍｅ３Ｓｉ−Ｍｅ２Ｓｉ−ＣＨ２−ＳｉＭｅ３の化合物の分枝状類似体が、該混合物に含まれる。
【００１３】
更に他の実施形態では、該混合物は、１種以上のハロポリシラン及び／又は１種以上のハロポリカルボシランを含む。これら化合物のハロ原子は特に限定されず、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及び／又はヨード原子を含んでもよい。種々の他の実施形態では、該混合物はまた、ＳｉＨ４、Ｍｅ４Ｓｉ、Ｍｅ３ＳｉＨ、Ｍｅ３ＳｉＣｌ、Ｍｅ２ＳｉＣｌ２、Ｍｅ２ＨＳｉＣｌ、ＭｅＳｉＣｌ３、ＭｅＨＳｉＣｌ２、ＳｉＣｌ４、ＥｔＳｉＣｌ３、ｎ−ＰｒＳｉＣｌ３、アリル−ＳｉＣｌ３、シラシクロブタン、Ｍｅ２ＥｔＳｉＣｌ、ＭｅＥｔＳｉＣｌ２、ｔ−ＢｕＭｅ２ＳｉＣｌ、Ｍｅ３ＳｉＣＨ２Ｃ≡ＣＣＨ３、及びこれらの組み合わせの群から選択される１つ以上のシリコンモノマーを含む。
【００１４】
更に他の実施形態では、次に記載されるもののような１種以上の環状又は分枝種が、該混合物中に存在してもよい：
（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｆ（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈであり、ｆ＞３である）；
（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｆ（ＯＳｉＲ２）ｅ（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、（ｆ＋ｅ）＞３である）；
（ＳｉＲ２）ｆ（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈであり、ｆ＞３である）：
（ＳｉＲ２）ｆ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｅ（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈであり、（ｆ＋ｅ）＞３である；
Ｒ２Ｓｉ（ＣＲ２）３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈである）；
Ｒ３Ｓｉ（ＳｉＲ２）ｆ［ＳｉＲ（ＳｉＲ３）］（ＳｉＲ２）ｅＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、ｆ＞０、ｅ＞０である）；
Ｒ３Ｓｉ（ＳｉＲ２）ｆ［ＳｉＲ（ＣＨ２ＳｉＲ３）］（ＳｉＲ２）ｅＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、ｆ＞０、ｅ＞０である）；
Ｒ３Ｓｉ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｆ［ＣＨ２ＳｉＲ（ＳｉＲ３）］（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｅＣＨ２ＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、ｆ＞０、ｅ＞０である）；
Ｒ３Ｓｉ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｆ［ＣＨ（ＳｉＲ３）ＳｉＲ２］（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｅＣＨ２ＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、ｆ＞０、ｅ＞０である）；
Ｒ３Ｓｉ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｆ［ＣＨ（Ｒ）ＳｉＲ２］（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｅＣＨ２ＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、ｆ＞０、ｅ＞０である）；
Ｒ３Ｓｉ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｆ［ＣＨ２ＳｉＲ（ＣＨ２ＳｉＲ３）］（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｅＣＨ２ＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、ｆ＞０、ｅ＞０である）；
（Ｒ３Ｓｉ）３ＣＨ（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択される）；
（Ｒ３Ｓｉ）３Ｃ−ＣＨ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択される）；
（Ｒ３Ｓｉ）２Ｃ＝ＣＨ２（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択される）；
Ｒ３Ｓｉ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｇ（ＳｉＲ２）ｈ［ＳｉＲ（ＳｉＲ３）］（ＳｉＲ２）ｅ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｆＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、ｇ＞０、ｈ＞０、ｆ＞０、ｅ＞０である）；
Ｒ３Ｓｉ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｇ（ＳｉＲ２）ｈ［ＳｉＲ（ＣＨ２ＳｉＲ３）］（ＳｉＲ２）ｅ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｆＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、ｇ＞０、ｈ＞０、ｆ＞０、ｅ＞０である）；
Ｒ３Ｓｉ（ＳｉＲ２）ｇ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｈ［ＣＨ２ＳｉＲ（ＳｉＲ３）］（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｅ（ＳｉＲ２）ｆＣＨ２ＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、ｇ＞０、ｈ＞０、ｆ＞０、ｅ＞０である；
Ｒ３Ｓｉ（ＳｉＲ２）ｇ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｈ［ＣＨ（ＳｉＲ３）ＳｉＲ２］（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｅ（ＳｉＲ２）ｆＣＨ２ＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、ｇ＞０、ｈ＞０、ｆ＞０、ｅ＞０である）；
Ｒ３Ｓｉ（ＳｉＲ２）ｇ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｈ［ＣＨ（Ｒ）ＳｉＲ２］（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｅ（ＳｉＲ２）ｆＣＨ２ＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、ｇ＞０、ｈ＞０、ｆ＞０、ｅ＞０である）；及び
Ｒ３Ｓｉ（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｆ［ＣＨ２ＳｉＲ（ＣＨ２ＳｉＲ３）］（ＣＨ２ＳｉＲ２）ｅ（ＳｉＲ２）ｆＣＨ２ＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃｌ、Ｍｅ、Ｅｔ、Ｈから選択され、ｆ＞０、ｅ＞０である）。
【００１５】
追加の複数の分枝状、長鎖分枝状、及び／又はより複合化された混合カルボシラン／ポリシラン化合物もまた、該混合物に含まれてもよい。
【００１６】
追加の化合物もまた、本開示の方法によって形成されてもよい。これら化合物としては、直鎖ポリシラン、直鎖カルボシラン、及び混合カルボ／ポリシランが挙げられるが、これらに限定されない。直鎖ポリシランの好適であるが非限定的な例は、式Ｒ３Ｓｉ（ＳｉＲ２）ｆＳｉＲ３［式中、ｆ≧０、及び各Ｒは、独立して、Ｈ、メチル（若しくは他の炭化水素）、又はＣｌ（若しくは他のハロゲン）である］を有する。直鎖カルボシランの好適であるが非限定的な例は、式Ｒ３ＳｉＣＨ２（ＳｉＲ２ＣＨ２）ｆＳｉＲ３［式中、ｆ≧０であり、各Ｒは、独立して、Ｈ、メチル（若しくは他の炭化水素）、又はＣｌ（若しくは他のハロゲン）から選択される］を有する。混合カルボ／ポリシランの好適であるが非限定的な例は、次式を１つ以上有する：Ｒ３ＳｉＣＨ２（ＳｉＲ２ＣＨ２）ｅ（ＳｉＲ２）ｆＳｉＲ３（ｅ≧０、ｆ＞０）；Ｒ３Ｓｉ（ＳｉＲ２ＣＨ２）ｅ（ＳｉＲ２）ｆＳｉＲ３（ｅ＞０、ｆ≧０）；Ｒ３ＳｉＣＨ２（ＳｉＲ２）ｍ（ＳｉＲ２ＣＨ２）ｎＳｉＲ３（ｅ＞０、ｆ＞０）；Ｒ３ＳｉＣＨ２（ＳｉＲ２）ｇ（ＳｉＲ２ＣＨ２）ｅ（ＳｉＲ２）ｆＳｉＲ３（ｇ、ｅ、ｆ＞０）；Ｒ３ＳｉＣＨ２（ＳｉＲ２ＣＨ２）ｇ（ＳｉＲ２）ｅ（ＳｉＲ２ＣＨ２）ｂＳｉＲ３（ｇ、ｅ、ｆ＞０）；Ｒ３Ｓｉ（ＳｉＲ２）ｇ（ＳｉＲ２ＣＨ２）ｅ（ＳｉＲ２）ｂＳｉＲ３（ｇ、ｅ、ｆ＞０）；及びＲ３Ｓｉ（ＳｉＲ２ＣＨ２）ｇ（ＳｉＲ２）ｅ（ＳｉＲ２ＣＨ２）ｆＳｉＲ３（例えば、ｇ、ｅ、ｆ＞０）、［上記式のそれぞれにおいて、各Ｒは、独立して、Ｈ、メチル（若しくは他の炭化水素）、又はＣｌ（若しくは他のハロゲン）である］。ｇ、ｅ、及びｆに類似した基を含む更により複合化された混合カルボ／ポリシランもまた、本明細書で意図される。
【００１７】
該混合物は、少なくとも１種のポリシラン及び少なくとも１種のポリカルボシランの量に対して特に限定されない。少なくとも１種のポリシランは、混合物の総重量に対して１重量％〜９９重量％、５重量％〜９５重量％、１０重量％〜９０重量％、１５重量％〜８５重量％、２０重量％〜８０重量％、２５重量％〜７５重量％、３０重量％〜７０重量％、３５重量％〜６５重量％、４０重量％〜６０重量％、４５重量％〜５５重量％、又は４５重量％〜５０重量％の量で該混合物中に存在し得ることが考えられる。少なくとも１種のポリカルボシランは、同じか又は同様の量で存在し得る。一実施形態では、少なくとも１種のポリシラン及び少なくとも１種のポリカルボシランは、それぞれ、混合物の総重量に対して約５０重量％の量で存在する。更に、１種以上の混合又はハイブリッドポリシラン−ポリカルボシランは、混合物の総重量に対して０．１重量％〜２０重量％、０．１重量％〜１０重量％、又は０．１重量％〜５重量％の量で該混合物中に存在し得る。１種以上のハロポリシラン及び／又は１種以上のハロポリカルボシランは、混合物の総重量に対して０．１重量％〜２０重量％、若しくは０．１重量％〜１０重量％、又は０．１重量％〜５重量％の量で該混合物中に存在し得る。１つ以上のシリコンモノマーは、混合物の総重量に対して０．１重量％〜９９重量％、０．５重量％〜５０重量％、１重量％〜５０重量％、５重量％〜５０重量％、又は５重量％〜２５重量％の量で該混合物中に存在し得る。本開示は上述のいずれの値にも制限されるものではなく、これらの値のうちのいずれかの１つ以上は、特定の値又は特定の値の範囲として更に定義され得、全体と部分の両方で、これらの範囲内にある。
【００１８】
あるいは、該混合物は、少なくとも１種のポリシラン及び少なくとも１種のポリカルボシランからなってもよく、又はこれらから本質的になってもよい。該混合物は、混合又はハイブリッドポリシラン−ポリカルボシラン、シリコンモノマー（１又は複数）、ハロポリシラン及び／又はハロポリカルボシランの１つ以上に加えて、少なくとも１種のポリシラン及び少なくとも１種のポリカルボシランからなってもよく、又はこれらから本質的になってもよいことが意図される。該混合物が少なくとも１種のポリシラン及び少なくとも１種のポリカルボシランから本質的になる種々の実施形態では、該混合物は、ＣＣｌ４、ＳｉＨ４、他のシラン類、モノメチルトリクロロシラン、及び／若しくは上記したシリコンモノマーのいずれか、並びに又はこれらの組み合わせなどの塩化（又はハロゲン化）有機溶媒を含有しないか、又は混合物の総重量に対して１０、５、又は１重量％未満含む。ポリシラン及びポリカルボシランから本質的になる混合物は、シリコンモノマーを含んでもよいか、又はシリコンモノマーを含まなくてもよいことも考えられる。上記重量％の記述は、混合物が、混合又はハイブリッドポリシラン−ポリカルボシラン、シリコンモノマー（１又は複数）、ハロポリシラン及び／又はハロポリカルボシランの１つ以上に加えて、少なくとも１種のポリシラン及び少なくとも１種のポリカルボシランから本質的になる実施形態にも適用することができることが更に考えられる。他の実施形態では、用語「から本質的になる」とは、当業者に既知であるように、混合物が、該混合物の全体組成に実質的に影響を及ぼす化合物を含まないことについて記述している。
【００１９】
混合物の形成方法：
方法自体に戻ると、この方法は、反応器にて２００℃〜６００℃の温度で金属シリサイドとアルキルハライドとを混合して混合物を形成する工程を含む。金属シリサイドは、典型的には、Ｍｇ２Ｓｉとして更に定義されるが、この化合物に限定されるものではない。金属シリサイドは、更に、Ｉ族、ＩＩ族、又は遷移金属シリサイドとして定義され得る。あるいは、２種以上のシリサイド及び／又は混合シリサイドを使用することができる。金属シリサイドは、典型的には固体であり、かつ、約２．５４ｃｍ（１インチ）、２．２２ｃｍ（７／８インチ）、１．９１ｃｍ（３／４インチ）、１．５９ｃｍ（５／８インチ）、１．３５ｃｍ（０．５３０インチ）、１．２７ｃｍ（１／２インチ）、１．１１ｃｍ（７／１６インチ）、０．９５ｃｍ（３／８インチ）、０．７９ｃｍ（５／１６インチ）、０．６７３ｃｍ（０．２６５インチ）、あるいは１．９１ｃｍ（１／４インチ）の粒径、又は３．５、４〜８、１０、１２、１４、１６、１８、２０、２５、３０、３５、４０、４５、５０、６０、７０、８０、１００、１２０、１４０、１７０、２００、２３０、２７０、３２５、４００メッシュなどのメッシュサイズを有してもよい。本開示は上記した特定の値又は値の範囲のいずれにも限定されず、粒径は、任意の値又は値の範囲、これらの範囲内、及び上記の値の全部及び部分の両方であってよい。
【００２０】
アルキルハライドは、式ＲＸ（式中、ＲはＣ１〜Ｃ１０アルキルであり、Ｘはハロ、即ち、ハロゲン原子である）を有する。ＲはＣ１〜Ｃ４アルキルであってもよいことも考えられる。Ｃ１〜Ｃ１０（又はＣ１〜Ｃ４）アルキルは、特に限定されず、１、２、３、４、５、６、７、８、９、又は１０個の炭素原子を有する任意のアルキル基（それらの異性体を含む）を用いてもよい。同様に、任意のハロ原子を用いることができる。典型的には、アルキルハライドは、ＭｅＣｌ及び／又は塩化プロピルとして更に定義される。混合物の少なくとも１種のアルキルハライドが上記式のものである限りにおいて、アルキルハライド類の混合物を用いることができることも考えられる。換言すれば、アルキルハライド類の混合物は、上記式の少なくとも１種のアルキルハライドを用いる限りにおいて、上記式と異なる１種以上のアルキルハライドを含むことができる。
【００２１】
一実施形態では、本方法は、反応器にて２００℃〜６００℃の温度でＭｇ２Ｓｉ（即ち、金属シリサイド）とアルキルハライドとを混合して混合物を形成する工程を含む。典型的には、安定な塩の形成は、少なくとも１種のポリシラン及び少なくとも１種のポリカルボシランを含む混合物の形成を促進する。この混合工程は、Ｍｇ２Ｓｉとアルキルハライドとの反応として更に定義される。Ｍｇ２Ｓｉ及びアルキルハライドは、典型的には、ほぼ等しいモル比で反応するが、それぞれの量は特に限定されない。一実施形態では、付加反応が生じなくなるまで、又は生成物の望ましくない選択性が開始するまで、フロー反応器の中でアルキルハライドをＭｇ２Ｓｉの上に通過させる。典型的には、全てのシリコンが反応した時点で及び／又は（例えば、塩素を取り込むことによってＭｇＣｌ２を形成するように）全てのＭｇが反応した時点で、反応は停止する。
【００２２】
金属シリサイド（例えば、Ｍｇ２Ｓｉ）及びアルキルハライドは、反応器内で連続、半連続、又はバッチモードで反応する。最も典型的には、反応器は連続反応器である。反応器の特定の種類は限定されず、流動層反応器、気相非均質（gas phase heterogeneous）反応器、固定層反応器等として更に定義することができる。反応器の長さ及び寸法も特に限定されない。典型的には、反応器の長さ及び体積は、アルキルハライドとシリサイドとの適切な接触滞留時間を達成するのに十分である。典型的には、非限定的な滞留時間は、０．１〜１００秒、０．１〜３０秒、０．５〜２０秒、又は１〜１０秒である。当業者には明らかなように、用語「滞留時間」は、アルキルハライドが反応器を出ていく前に、アルキルハライドがシリサイドと接触するように反応器の中で費やす平均時間を記述する。
【００２３】
一実施形態では、金属シリサイド（例えば、Ｍｇ２Ｓｉ）は静止しており、アルキルハライドがＭｇ２Ｓｉの中を及び／又はその上を通過する。この実施形態では、アルキルハライドは、金属シリサイドの中又は上で、０．１〜１０秒、０．５〜１０秒、０．５〜９．５秒、１〜８．５秒、１．５〜８秒、２〜７．５秒、３〜７秒、３．５〜６．５秒、４〜６秒、４．５〜５．５秒、又は約５秒の滞留時間を有する。これらの滞留時間は、反応器のサイズ、反応条件、及び所望の生成物に応じて適切に増減させてもよいことが考えられる。反応器の寸法の増加が必ずしも滞留時間を増加させないことを理解されたい。実際に、反応器の寸法の増加は滞留時間を減少させる場合がある。アルキルハライド及び金属シリサイドは、典型的には、合計で数分から数時間にわたって反応する。換言すれば、全体の反応（及びいずれかに特定されない滞留時間）は、典型的には数分から数時間にわたって生じる。種々の実施形態において、金属シリサイドとアルキルハライドとは、１〜６０分、１〜４０分、１〜２０分、１〜２４時間、１〜１５時間、１〜１０時間、１〜５時間などの時間にわたって反応する。更に、反応器の温度は、上記の範囲内に特に限定されず、更に、２１０〜５９０、２２０〜５８０、２３０〜５７０、２４０〜５６０、２５０〜５５０、２６０〜５４０、２７０〜５３０、２８０〜５２０、２９０〜５１０、３００〜５００、３１０〜４９０、３２０〜４８０、３３０〜４７０、３４０〜４６０、３５０〜４５０、３６０〜４４０、３７０〜４３０、３８０〜４２０、３９０〜４１０℃、３２５〜５００℃、又は約４００℃として定義されてもよい。６００℃を超える温度は、アルキルハライドの分解を引き起こす傾向がある。２００℃未満の温度は、反応を促進する上で効果がない傾向がある。金属シリサイドとアルキルハライドとはまた、典型的には、大気圧下又はそれ以上で反応するが、本開示は特定の圧力に限定されない。様々な実施形態では、圧力は０．５、１、１．５、２、２．５、３、３．５、４、４．５、５又は５＋気圧として更に定義される。金属シリサイドとアルキルハライドとは、反応して、少なくとも１種のポリシラン及び／又は少なくとも１種のポリシランの収率が少なくとも３０、３５、４０、４５、５０、５５、６０、６５、７０、７５、８０、８５、９０、９５、又は９５＋パーセント収率である混合物を形成する。本開示は上述のいずれの値にも制限されるものではなく、これらの値のうちのいずれかの１つ以上は、特定の値又は特定の値の範囲として更に定義され得、全体と部分の両方で、これらの範囲内にある。
【００２４】
更なる実施形態では、本方法は更に、Ｍｇ２Ｓｉの存在下で、少なくとも１種の直鎖状ポリシラン、少なくとも１種の直鎖状ポリカルボシラン、及び少なくとも１種の環状ポリカルボシランを含む混合物を形成する方法として定義され、その場合、本方法は、連続式流動層反応器にて２００℃〜６００℃の温度でＭｇ２Ｓｉと塩化メチルとを混合して混合物を形成する工程を含む。この実施形態では、少なくとも１種のポリシランは、式Ｘ３Ｓｉ−（Ｘ２Ｓｉ−ＳｉＸ２）ａ−ＳｉＸ３を有し、少なくとも１種のポリカルボシランは、式Ｘ’３Ｓｉ−ＣＨ２−（Ｘ’２Ｓｉ−ＣＨ２）ｂ−ＳｉＸ’３を有し、式中、０≦ａ、ｂ＜２０であり、Ｘ及びＸ’のそれぞれは、独立して、Ｃｌ、Ｈ、又はＭｅである。別の実施形態では、少なくとも１種のポリシランのＸは、メチルとして更に定義される。更に別の実施形態では、該混合物は、１，１，３，３−テトラメチル−１，３ジシラシクロブタン、１，１，３，３，−テトラメチル−１，３−ジシラシクロペンタン、１，１，３，３，５−ペンタメチル−１，３，５−トリシラシロヘキサン、１，１，３，３，５，５−ヘキサメチル−１，３，５−トリシラシロヘキサン、及びこれらの組み合わせの群から選択される少なくとも１種の追加のポリカルボシランを含む。更なる実施形態では、該混合物は、Ｍｅ４Ｓｉ、Ｍｅ３ＳｉＨ、Ｍｅ３ＳｉＣｌ、Ｍｅ２ＳｉＣｌ２、Ｍｅ２ＨＳｉＣｌ、ＭｅＳｉＣｌ３、ＭｅＨＳｉＣｌ２、ＳｉＣｌ４、ＥｔＳｉＣｌ３、ｎ−ＰｒＳｉＣｌ３、アリル−ＳｉＣｌ３、シラシクロブタン、Ｍｅ２ＥｔＳｉＣｌ、ＭｅＥｔＳｉＣｌ２、ｔ−ＢｕＭｅ２ＳｉＣｌ、Ｍｅ３ＳｉＣＨ２Ｃ≡ＣＣＨ３、及びこれらの組み合わせの群から選択される少なくとも１種のシリコンモノマーを更に含む。
【００２５】
本開示の方法は、少なくとも１種のポリシランと少なくとも１種のポリカルボシランとの混合物を高収率で形成する傾向がある。あるいは、該混合物の調製方法は、時間効率及び費用効率が高く、予測可能かつ制御されたやり方で混合物を形成するのを可能にする。更に、この方法で使用する構成成分は、容易にリサイクル可能である及び／又は他のプロセスにおいて容易に再利用可能である。更に、この方法は、労働安全性を高める傾向があり、製造上の複雑さを最小にする傾向があり（例えば、流動層又は振動層を利用することができる）、シリサイド含有量、滞留時間、塩化物含有量などを操作することによって、ポリシラン及びポリカルボシランを形成する選択性のカスタマイズ／調整を可能にする。
【実施例】
【００２６】
本開示の混合物を、本開示を代表しない比較混合物と共に形成した。次に、少なくとも１種のポリシラン及び少なくとも１種のポリカルボシランの含有量を判定するため、これら混合物を分析した。
【００２７】
実施例１−本開示の一実施形態の形成：
混合物を形成するため、Ｍｇ２Ｓｉ（シグマオールドリッチ、９９＋  ％）及び０．３２ｇのＭｇ２Ｓｉ（即ち、ＩＩ族の金属シリサイド）を、不活性グローブボックス内部の石英ガラス管に充填した。次に、石英管をフロー反応器に挿入し、挿入中、Ｍｇ２Ｓｉを大気の（即ち、乾燥していない）空気に短時間（最大１０〜２０秒）暴露した。次に、反応器をＨ２でパージし、余分な大気を除去した。５００℃（Ｌｉｎｄｂｅｒｇ／Ｂｌｕｅ  Ｍｉｎｉｍｉｔｅ  １”管状炉で加熱）にて１００ｓｃｃｍのＨ２（オメガＦＭＡ  ５５００マスフローコントローラーにより制御）で、Ｍｇ２Ｓｉの活性化を行った。その後、反応器の温度を４００℃まで低下させ、Ｈ２流を遮断し、５０ｓｃｃｍのＡｒ流を３０分にわたり用いて反応器から全てのＨ２をパージした。
【００２８】
Ａｒでパージした後、Ａｒを遮断し、ＭｅＣｌ（即ち、Ｃ１アルキルハライド）を５ｓｃｃｍの流量で反応器に流すことによって反応を開始した。形成された様々な反応生成物の量をモニターするために、ＧＣ／ＧＣ−ＭＳにより６０分にわたって反応物を周期的にサンプリングした。反応器からの流出物を、廃棄前に、１００μＬの一定量の注入ループを有する６方作動バルブ（Ｖｉｃｉ）を通した。注入バルブを作動させて試料を反応流から採取し、分析のために１００μＬの試料を、注入口におけるスプリット比を１００：１として、７８９０ＡアジレントＧＣ−ＭＳの注入口に直接通過させた。ＧＣは２つの３０ｍ  ＳＰＢ−オクチルカラム（スペルコ、内径２５０μｍ、膜厚０．２５ｕｍ）を備え、これらは、試料が２つのカラムの間で均等に分かれるように平衡に配置されていた。１つのカラムは反応生成物の計量のためにＴＣＤ検出器に連結させ、もう一方のカラムはトレース生成物の高感度検出及び形成された任意生成物の陽性識別のために質量分析器（アジレント７８９５Ｃ  ＭＳＤ）に連結させた。ＧＣ炉の中でカラムを加熱するのでなく、アジレントＬＴＭモジュールでカラムを加熱した。即ち、カラムが正確に及び迅速に所望の温度まで上昇するように、カラムに加熱要素及び熱電対を巻き付けた。この低熱質量システムは迅速な分析を可能にした（試料注入の間はわずか７分）。全工程は大気圧で実施された。
【００２９】
上記手順を用いて形成された混合物は、式Ｘ３Ｓｉ−（Ｘ２Ｓｉ−ＳｉＸ２）ａ−ＳｉＸ３及びＸ’３Ｓｉ−ＣＨ２−（Ｘ’２Ｓｉ−ＣＨ２）ｂ−ＳｉＸ’３（式中、０≦ａ、ｂ＜２０であり、Ｘ及びＸ’のそれぞれは、独立して、Ｃｌ、Ｈ、又はＭｅである）の多数の直鎖状オリゴポリシラン及びポリカルボシランを含んだ。反応の開始時において、ＸはＭｅ又はＨである傾向を有した。次に、反応の終わりにおいて、Ｘは、多くの場合Ｃｌである傾向があった。この混合物中には、式Ｍｅ３Ｓｉ−Ｍｅ２Ｓｉ−ＣＨ２−ＳｉＭｅ３のいくつかを含む混合ポリシラン／カルボシランも含まれた。この混合物は、１，１，３，３−テトラメチル−１，３ジシラシクロブタン；１，１，３，３，−テトラメチル−１，３−ジシラシクロペンタン；１，１，３，３，５−ペンタメチル−１，３，５−トリシラシロヘキサン；及び１，１，３，３，５，５−ヘキサメチル−１，３，５−トリシラシロヘキサンなどの環状のカルボシランも含んだ。更に、この混合物は、Ｍｅ４Ｓｉ、Ｍｅ３ＳｉＨ、Ｍｅ３ＳｉＣｌ、Ｍｅ２ＳｉＣｌ２、Ｍｅ２ＨＳｉＣｌ、ＭｅＳｉＣｌ３、ＭｅＨＳｉＣｌ２、ＳｉＣｌ４、ＥｔＳｉＣｌ３、ｎ−ＰｒＳｉＣｌ３、アリル−ＳｉＣｌ３、シラシクロブタン、Ｍｅ２ＥｔＳｉＣｌ、ＭｅＥｔＳｉＣｌ２、ｔ−ＢｕＭｅ２ＳｉＣｌ、及びＭｅ３ＳｉＣＨ２Ｃ≡ＣＣＨ３などの様々なＳｉモノマーを含んだ。この混合物は、合計で、混合物の総重量に対して約１０〜３０重量％のポリシラン、及び混合物の総重量に対して約１０〜３０重量％のポリカルボシランを含み、それぞれ５〜５０収率を示した。
【００３０】
比較例１Ａ：
比較例１Ａは、アルキルハライド（ＭｅＣｌ）を本開示のアルキルハライドでないＰｈＣｌで置き換え、反応器の温度を２００℃としたことを除き、上記と同じ手順を用いて形成された。比較例１Ａは顕著な量のポリシラン又はポリカルボシランを形成しなかった。
【００３１】
比較例１Ｂ：
比較例１Ｂは、アルキルハライド（ＭｅＣｌ）を本開示のアルキルハライドでないＰｈＣｌで置き換え、反応器の温度を５００℃としたことを除き、上記と同じ手順を用いて形成された。比較例１Ｂは顕著な量のポリシラン又はポリカルボシランを形成しなかった。
【００３２】
比較例２Ａ：
比較例２Ａは、アルキルハライド（ＭｅＣｌ）をアルキルハライドでないＨＣｌで置き換え、反応器の温度を２００℃としたことを除き、上記と同じ手順を用いて形成された。比較例２Ａは、いずれもポリシラン又はポリカルボシランではない微量のＳｉＨ４、ＨＳｉＣｌ３、及びＳｉＣｌ４を含む混合物を生成した。
【００３３】
比較例２Ｂ：
比較例２Ｂは、アルキルハライド（ＭｅＣｌ）をアルキルハライドでないＨＣｌで置き換え、反応器の温度を５００℃としたことを除き、上記と同じ手順を用いて形成された。比較例２Ｂは、いずれもポリシラン又はポリカルボシランではない微量のＳｉＨ４、ＨＳｉＣｌ３、及びＳｉＣｌ４を含む混合物を生成した。
【００３４】
比較例３Ａ：
比較例３Ａは、アルキルハライド（ＭｅＣｌ）を本開示のアルキルハライドでないＰｒＳｉＣｌ３で置き換え、反応器の温度を２００℃としたことを除き、上記と同じ手順を用いて形成された。比較例３Ａは、いずれもポリシラン又はポリカルボシランではない微量のＰｒＳｉＨ３、ＰｒＳｉＨＣｌ２、ＳｉＣｌ４、及びアリル−ＳｉＣｌ３を含む混合物を生成した。
【００３５】
比較例３Ｂ：
比較例３Ｂは、アルキルハライド（ＭｅＣｌ）を本開示のアルキルハライドでないＰｒＳｉＣｌ３で置き換え、反応器の温度を５００℃としたことを除き、上記と同じ手順を用いて形成された。比較例３Ｂは、いずれもポリシラン又はポリカルボシランではない微量のＰｒＳｉＨ３、ＰｒＳｉＨＣｌ２、ＳｉＣｌ４、及びアリル−ＳｉＣｌ３を含む混合物を生成した。
【００３６】
上記結果は、本開示が比較例よりも優れておりかつ予想外の結果を生むことを示している。より具体的には、これらの結果は、本開示が、時間効率及び費用効率が高く、かつ予測可能で制御されたやり方で混合物を形成するのを可能にする方法を用いて、ポリシラン及びポリカルボシランを高い収率で生成することを示している。更に、更に、この方法で使用する構成成分は、容易にリサイクル可能である及び／又は他のプロセスにおいて容易に再利用可能である。
【００３７】
上記の値の１つ以上は、変化が本開示の範囲内である限りにおいて、±５％、±１０％、±１５％、±２０％、±２５％、±３０％などだけ変化してもよいことを理解すべきである。また、添付の特許請求の範囲が、詳細な説明に記述された明確で特定の化合物、組成物、又は方法に限定されず、化合物、組成物、又は方法が、添付の特許請求の範囲内にある特定の実施形態間で異なってもよいことを理解されたい。種々の実施形態の特定の特色又は特徴を記述するために本明細書で依拠されるマーカッシュグループに関して、別のマーカッシュのメンバー全てから独立している、それぞれのマーカッシュグループの各メンバーから、異なる、特有の、及び／又は予想外の結果が得られることが可能と理解されることになる。マーカッシュ群の各要素は、添付の特許請求の範囲内の特定の実施形態に個別及び／又は個別に依存してもよく、適切な根拠を提供する。
【００３８】
また、本開示の種々の実施形態を記載する際に依存する任意の範囲及び部分範囲が、添付の特許請求の範囲内に個別かつ集合的に入ることも理解されるべきであり、またかかる値が明白に記載されていない場合でも、全体及び／又は部分値を含む全ての範囲を記載し、考慮することが理解される。当業者であれば、列挙された範囲及び部分範囲が十分に本開示の種々の実施形態を記述し可能にすること、そのような範囲及び部分範囲は更に関連した半分、３分の１、４分の１、５分の１等と表現できることを容易に認識する。ほんの一例として、範囲「０．１〜０．９」は、下の方の３分の１、即ち、０．１〜０．３、中間の３分の１、即ち、０．４〜０．６、及び上の方の３分の１、即ち、０．７〜０．９に更に詳述でき、これらは、個別かつ集合的に添付の特許請求の範囲内であり、添付の特許請求の範囲内の特定の実施態様に個別及び／又は集合的に依存され、適切な根拠を提供し得る。更に、「少なくとも」、「より大きい」、「未満」、「以下」等の範囲を定義又は修飾する用語に関して、かかる用語が部分範囲及び／又は上限又は下限を含むことを理解されたい。別の例として、「少なくとも１０」の範囲は、本質的に、少なくとも１０〜３５の部分範囲、少なくとも１０〜２５の部分範囲、２５〜３５の部分範囲等を含み、各部分範囲は、添付の特許請求の範囲内の特定の実施形態に個別及び／又は集合的に依存することがあり、これに適切な根拠を提供する。最終的には、開示された範囲内の個々の数は、添付の特許請求の範囲内の特定の実施態様に依存することができ、これに適切な根拠を提供する。例えば、範囲「１〜９」は、様々な個々の整数、例えば、３、並びに小数点（又は分数）を含む個別の数、例えば、４．１を含み、これは添付の特許請求の範囲内の特定の実施態様に依存してもよく、これに適切な根拠を提供する。
【００３９】
独立請求項及び従属請求項（単一従属形式及び多数従属形式の両方）の全ての組み合わせの主題が明白に考えられるが、説明の簡略化のため詳細に記載されていない。本開示は例示的に記載したものであり、使用されている用語は、限定するものではなく、記述の単語の性質を意図するものであることを理解すべきである。前述した教示に照らして、本開示の多くの修正形態及び変形形態が考えられ、添付の特許請求の範囲内で、本開示は具体的に記述されているものとは異なる方法で実現することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成26年3月3日(2014.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１種のポリシランと少なくとも１種のポリカルボシランとを含む混合物を、金属シリサイドの存在下で形成する方法であって、該方法は、反応器にて２００℃〜６００℃の温度で前記金属シリサイドとアルキルハライドとを混合して前記混合物を形成する工程を含み、前記アルキルハライドは、式ＲＸ（式中、ＲはＣ１〜Ｃ１０アルキルであり、Ｘはハロである）を有する、方法。
【請求項２】
前記金属シリサイドがＩ族又はＩＩ族の金属を含み、前記金属シリサイドがＭｇ２Ｓｉとして更に定義され、Ｘがクロロであり、Ｒがメチルである、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
少なくとも１種のポリシランが、式Ｒ３Ｓｉ（Ｒ２Ｓｉ）ｍＳｉＲ３（式中、各Ｒは独立して、Ｃ１〜Ｃ４アルキル、ハロ、又は−Ｈであり、また、ｍは１〜５の平均値を有する）を有し、少なくとも１種のポリシロキサンが、任意に直鎖状である、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記混合物が少なくとも２種のポリシランを含み、該ポリシランの少なくとも１種が分枝状である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記混合物が少なくとも２種のポリシランを含み、該ポリシランの少なくとも１種が環状である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
少なくとも１種のポリカルボシランが式Ｒ２３Ｓｉ−ＣＨ２（Ｒ２２Ｓｉ−ＣＨ２）ｎＳｉＲ２３（式中、各Ｒ２は、独立して、Ｃ１〜Ｃ４アルキル、ハロ、又は−Ｈであり、また、ｎは１〜５の平均値を有する）を有し、少なくとも１種のポリカルボシランが、任意に直鎖状である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記混合物が、式Ｒ３３Ｓｉ−［ＳｉＲ３２］ｍ［ＳｉＲ３２ＣＨ２］ｎＳｉＲ３３（式中、各Ｒ３は、独立して、Ｃ１〜Ｃ４アルキル、ハロ、又は−Ｈであり、ｍは１〜５の値を有し、また、ｎは１〜５の平均値を有する）を有する少なくとも１種のハイブリッドポリシラン−カルボポリシランを更に含む、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
前記混合物が少なくとも２種のポリカルボシランを含み、該ポリカルボシランの少なくとも１種が分枝状である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
前記混合物が少なくとも２種のポリカルボシランを含み、該ポリカルボシランの少なくとも１種が環状である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の方法から形成される、少なくとも１種のポリシランと少なくとも１種のポリカルボシランとを含む混合物。
【国際調査報告】
2014522810.tif 000004
2014522810.tif 000005