(57)【要約】  本発明は、対象の欠陥のある表面を検出するために対象（１）を検査するための方法と装置に関する。２次元の画像データを用いて、欠陥が存在する可能性がある表面領域の位置が特定される。少なくとも一つの断面平面における測定された表面経過が存在し、この測定された表面経過が算出された表面経過と比較される。位置特定された表面領域の顕著な差異が存在する場合には、実際に欠陥のあるものとして評価される。特にタービン翼のコーティングをＴＢＣ減少について自動的に検査することができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象の欠陥のある表面領域を検出するために前記対象（１）を検査する方法において、
サンプリング装置（３）を用いて、前記対象（１）の検査すべき表面を測定し（Ｓ１）、前記対象の少なくとも一つずつの断面平面における２次元の画像データ及び測定された表面経過を形成するステップと、
計算装置（５）を用いて、欠陥が存在する可能性がある表面領域を位置特定するために前記２次元の画像データを評価するステップ（Ｓ２）と、
前記計算装置を用いて、前記断面平面の前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の外側の測定された表面経過に基づき、前記断面平面における前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の算出された表面経過を形成するステップ（Ｓ３）と、
前記計算装置を用いて、前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の前記算出された表面経過と前記測定された表面経過とを比較し（Ｓ４）、位置特定された表面領域の所定の差異指標が存在する場合には実際に欠陥のあるものとして評価するステップと、
を備えていることを特徴とする、対象の欠陥のある表面領域を検出するために前記対象（１）を検査する方法。
【請求項２】
前記対象の前記２次元の画像データ及び前記測定された表面経過を相互に較正する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記２次元の画像データはカラー画像である、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記２次元の画像データをフィルタ演算（Ｓ２．１，Ｓ２．２，Ｓ２．３）によって評価する（Ｓ２）、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
フィルタ演算は色チャネルの分析（Ｓ２．１）及び／又は飽和の分析（Ｓ２．２）である、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の算出された表面経過を補間によって形成する（Ｓ３）、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の前記断面平面におけるサンプリングラインに沿って、且つ、前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の縁部領域において、前記断面平面における前記サンプリングラインに沿って測定された表面経過に基づいて前記補間を実施する、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
表示装置（７）を用いて、実際に欠陥のあるものとして評価された表面領域を包囲する縁部ラインを表示する（Ｓ５）、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
記憶装置（９）を用いて、検査された前記対象のデータを記憶する（Ｓ６）、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記計算装置によって、前記測定された表面経過を用いて対象背景のデータを除去する（Ｓ１．１）、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記サンプリング装置を用いて、回転ユニット及び／又は変位ユニット（１１）によって動かされる対象全体の表面を反復的に記録する、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の方法を実施する装置において、
前記対象（１）の検査すべき表面を測定し、前記対象（１）の少なくとも一つずつの断面平面における２次元の画像データ及び測定された表面経過を形成するサンプリング装置（３）と、
欠陥が存在する可能性がある表面領域を位置特定するために前記２次元の画像データを評価する計算装置（５）とを有しており、
前記計算装置は、前記断面平面の前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の外側の前記測定された表面経過に基づき、前記断面平面における前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の算出された表面経過を形成し、
前記計算装置は、前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の前記算出された表面経過と前記測定された表面経過とを比較し、位置特定された表面領域の所定の差異指標が存在する場合には実際に欠陥のあるものとして評価する、
ことを特徴とする、装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象の欠陥のある表面を検出するために対象を検査するための方法と装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ガスタービン翼のコーティング、いわゆる「遮熱コーティング（Thermal Barrier Coating : TBC）」は比較的長期間使用されると剥離する。その際に、「ＴＢＣ損失（TBC-loss）」、即ちＴＢＣ減少が問題となる。例えばその種の翼のような既に使用されている再利用可能な３次元の対象を検査する際に、そのような欠陥を発見し、また記録すべきである。
【０００３】
従来のやり方では、人間の目視により検査が行なわれている。結果は文書で記録されるか、手動でソフトウェアを用いて、３次元スキャンした対象、特にタービン翼のデータバンクに格納される。
【０００４】
従来のように２次元の画像を供給するカメラだけを用いてＴＢＣ減少を求める場合、その種の方法では汚れとＴＢＣ減少を区別することが難しいため困難が生じる。
【０００５】
コンピュータ支援により、対象の作成の基礎となるＣＡＤ（Computer Aided Design）モデル、即ち対象、特に翼を作成するためのモデルと比較するための純粋な３次元のモデルの使用は、種々の外観から構成される対象の幾何学形状全体を測定する必要があり、またその幾何学は複雑である可能性があることから同様に困難である。更には、スキャンした３Ｄモデルを損傷について単に検査するだけでは、即ちＣＡＤモデルを使用しなければ、表面の特徴フィーチャと剥離を区別することができない。従来のやり方では、いかなる場合においても、本来のＣＡＤモデルを使用することができない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、対象の表面における欠陥を簡単、迅速且つ確実に検出することができる、表面の損傷を検出するために対象、特にタービン翼を検査するための方法と装置を提供することである。更には、検査が人的要因に依存せずに完全自動式に実行されるべきである。検出された欠陥の記録も同様に、簡単に自動的に実行されるべきである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題は、請求項１に記載されている方法及び請求項１２に記載されている装置によって解決される。
【０００８】
第１の態様によれば、以下の複数のステップを備えている、対象の欠陥のある表面領域を検出するために対象を検査するための方法が提供される：
サンプリング装置を用いて、対象の検査すべき表面を測定し、対象の少なくとも一つずつの断面平面における２次元の画像データ及び測定された表面経過を形成するステップ；
計算装置を用いて、欠陥のある可能性がある表面領域を位置特定するために２次元の画像データを評価するステップ；
計算装置を用いて、断面平面の起こり得る欠陥のある表面領域の外側の測定された表面経過に基づき、断面平面における起こり得る欠陥のある表面領域、又は欠陥が存在する可能性がある表面領域、又は場合によっては欠陥のある表面領域の内側の算出された表面経過を形成するステップ；
計算装置を用いて、欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の算出された表面経過と測定された表面経過とを比較し、位置特定された表面領域の所定の差異指標が存在する場合には実際に欠陥のあるものとして評価するステップ。所定の差異指標として、例えば、算出された表面領域から測定された表面領域までの平均距離が考えられる。平均距離が閾値を超えると、所定の差異指標が存在する。
【０００９】
第２の態様によれば、本発明による方法を実施するための装置が提供され、この装置は、対象の検査すべき表面を測定し、対象の少なくとも一つずつの断面平面における２次元の画像データ及び測定された表面経過を形成するサンプリング装置と、欠陥が存在する可能性がある表面領域を位置特定するために２次元の画像データを評価する計算装置とを有しており、前述の計算装置は、断面平面の欠陥が存在する可能性がある表面領域の外側の測定された表面経過に基づき、断面平面における欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の算出された表面経過を形成し、また前述の計算装置は、欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の算出された表面経過と測定された表面経過とを比較し、位置特定された表面領域の顕著な差異が存在する場合には実際に欠陥のあるものとして評価する。
【００１０】
２次元の情報と３次元の情報の組み合わせ及び相応の評価により本発明による課題が解決されることが分かった。２次元とは特に２次元の画像データである。２次元の情報は更に、対象の断面平面における表面経過であることが考えられる。３次元の情報は、対象の相互に平行な少なくとも二つの断面平面における表面経過である。表面経過は、断面平面における対象表面の材料経過だけではなく、同様に、対象の表面を特徴付ける任意の物理的な特性量の経過を含む。その種の物理的な特性量は、例えば反射率又は温度であると考えられる。
【００１１】
本発明による解決手段は、自動的な欠陥検出、特にガスタービン翼の断面に関する自動的なＴＢＣ減少検出を実現する。更に、従来のやり方ではＴＢＣ減少を手動で紙に記録していたか、又はマーキングソフトウェアを用いて記録していた検査員を支援することができる。この支援を、対象の欠陥のある表面領域の表示の自動的なマーキングによって行なうことができる。択一的に、検査員は結果を手動で計算ユニットにおいて補完若しくは訂正することができる。更には、別の種々の改善された自動的な検査方法の基礎も提供される。本発明は、例えば翼における表面状態は一様ではないという困難を克服する。本発明は、長時間非常に高い温度に晒されていて、それによって大面積で黒くなっている領域における候補、即ち欠陥のある個所の発見の困難を克服する。つまり、特に温度負荷が大きい領域を検査することは困難である。更には、暗い汚れた個所が欠陥のある個所、特にＴＢＣ減少を有している個所としてマーキングされることは回避されるべきである。更には、本発明は、冷却開口部が２次元及び３次元の情報に関してＴＢＣ減少に類似するものとみなされ、これによって冷却開口部の場所が計算装置に入力されてしまうという困難を克服する。
【００１２】
対象、特にタービン翼のＴＢＣ減少についての検査を完全に自動的に実行することができるか、半自動的に実行することができる。これによって、人的要因に関して、より自立的な、若しくはより迅速な検査が実現され、それと共に自動的な記録も実現される。
【００１３】
別の有利な実施の形態は、従属請求項に記載されている。
【００１４】
一つの有利な実施の形態によれば、対象の２次元の画像データ及び測定された表面経過を相互に較正することができる。このようにして、各表面領域に関して、較正に応じて対象に関する２次元の画像データ及び表面経過データが存在する。
【００１５】
一つの別の有利な実施の形態によれば、２次元の画像データはカラー画像で良い。このようにして、対象に関する複数の情報が提供されている。
【００１６】
一つの別の有利な実施の形態によれば、２次元の画像データの評価をフィルタ演算によって行なうことができる。例えば、このためにローパスフィルタを使用することができる。
【００１７】
一つの別の有利な実施の形態によれば、フィルタ演算は色チャネル及び／又は飽和の分析で良い。このようにして、例えば剥離を、その周囲又は周囲領域に対して非常に強いコントラストで表示することができる。
【００１８】
一つの別の有利な実施の形態によれば、補間方法によって、欠陥が存在する可能性がある表面領域の算出された表面経過を形成することができる。
【００１９】
一つの別の有利な実施の形態によれば、場合によっては欠陥のある表面領域の断面平面におけるサンプリングラインに沿って、また、欠陥が存在する可能性がある表面領域の外側の領域において、このサンプリングラインに沿って測定された表面経過に基づいて補間を実施することができる。表面経過を２次元の空間で表すことができ、それにより、２次元の空間における表面領域に沿った経過についての関数を、場合によっては欠陥のある表面領域に関して、２次元で補間することができる。
【００２０】
一つの別の有利な実施の形態によれば、表示装置又は印刷装置によって、印刷された結果画像において、欠陥のあるものとして評価された表面領域を囲む縁部ラインを表示することができる。このようにして、検査の結果を容易に視覚化することができる。
【００２１】
一つの別の有利な実施の形態によれば、記憶装置を用いて、検査された対象のデータを記憶することができる。このようにして、検査の結果を簡単に記録することができる。
【００２２】
一つの別の有利な実施の形態によれば、計算装置を用いて、測定された表面経過によって対象背景のデータを除去することができる。このようにして、処理すべきデータ量を効果的に低減することができる。
【００２３】
一つの別の有利な実施の形態によれば、サンプリング装置を用いて、回転ユニット及び／又は変位ユニットによって動かされる対象全体の表面を反復的に記録することができる。
【００２４】
本発明を図面と関連させた複数の実施例に基づき詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明による方法の一つの実施例を示す。
【図２】本発明による装置の一つの実施例を示す。
【図３ａ】欠陥が存在する可能性がある表面領域の平面図を示す。
【図３ｂ】測定された表面経過に基づき表示された、欠陥が存在する可能性がある表面領域の断面図を示す。
【図３ｃ】表面経過が補間されている、欠陥が存在する可能性がある表面領域の断面図を示す。
【図３ｄ】測定された表面経過と算出された表面経過の比較を示す。
【図４】本発明による結果画像の更なる処理を示す。
【図５】結果画像の一つの実施例を示す。
【図６】結果画像の別の実施例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
図１には、本発明による方法の一つの実施例が示されている。この方法によって、対象が欠陥のある表面領域に関して検査されるべきである。ステップＳ１では、対象の表面が測定され、対象の２次元の画像データ及び対象の測定された表面経過が形成される。付加的に、対象に関する別のデータソースからの内的又は外的なデータを測定に使用することができる。後続のステップＳ１．１では、３次元の３Ｄ情報における距離データを用いて、エラー探索時に対象の背景をマスキングすることができる。このために、対象を包囲する円筒の外側にあるデータを消去することができる。本発明による方法のステップは対象についての全ての外観に有効である。基本的に、対象をあらゆる側面から測定することができる。続くステップＳ２では、欠陥が存在する可能性がある表面領域を検出するために、２次元の画像データが評価される。その種の２次元のデータを種々のフィルタ演算によって、所定の表面領域における表面の損傷、特にＴＢＣ減少の候補が生じるように処理することができる。この実施例によれば、ステップＳ２．１において赤色チャネルの分析が行なわれ、ステップＳ２．２では飽和の分析が行なわれる。赤色チャネルの分析のためのサブステップとして、例えば、赤色チャネルの情報がソース画像から取り出されて反転されるステップＳ２．１ａを設けることができる。ステップＳ２．１ｂでは、過度に高い赤色値を有している画素が消去される。ステップＳ２．１ｃでは、局所的に適応可能な閾値が使用される。択一的又は累積的に、飽和データをＨＳＶ色空間のソース画像から取り出して反転することができる。続くステップＳ２．２ｄでは、過度に高い飽和値を有している画素が消去され、ステップＳ２．２ｃによるフィルタリングには局所的に適応された閾値が使用される。ステップＳ２．１及びステップＳ２．２の二つの分析から得られた結果は、いわゆるマスクとして組み合わされる。ステップＳ２．３においては付加的に、このマスクによって、形態学的な演算を用いて、欠陥が存在する可能性がある表面領域を識別するために対象の形態学を処理することができる。続くステップＳ３では、欠陥が存在する可能性がある表面領域の縁部領域における測定された表面経過に基づき、欠陥が存在する可能性がある表面領域の表面経過が算出される。続くステップＳ４では、欠陥が存在する可能性がある表面領域に関する測定された表面経過と算出された表面経過とが相互に比較され、差異が存在する場合には、位置特定された表面領域が実際に欠陥のあるものとして評価される。ステップＳ５では、実際に欠陥のあるものとして評価された表面領域が縁部ラインによって包囲されて表示される結果画像を作成することができる。ステップＳ６では、調査された対象の結果データを、記録を目的として記憶することができる。
【００２７】
図２には、本発明による装置の一つの実施例が示されている。対象１がその表面状態に関して調査されるべきである。例えば、対象１は例えば回転ディスクとして構成されている回転プレート１１によって、サンプリング装置３の検出領域において回転される。この際、対象１の固有軸、特に長手方向軸を中心にして、対象１を少なくとも一回転させることができる。サンプリング装置３は相応の画像データを計算装置５に供給する。この計算装置５は、サンプリング装置３によって取得された、対象１に関する２次元及び３次元の情報を更に処理し、結果を記憶装置９に記憶する。付加的に、計算装置５によって表示装置７を介して検査員に結果画像を表示することができる。検査員は、例えばマウス又はキーボードであることが考えられるインタフェース１３を用いて、計算装置５及びサンプリング装置３を制御することができる。付加的に、回転ディスク１１を制御することもできる。タービン翼の場合には、検査すべき翼が、例えばGlobal Inspections Systemと称されるシステムの一部であるスキャナを用いて測定される。このようにして、対象１から２次元の画像及び３次元のモデルを形成することができ、それらは相互に較正され、それにより二つの情報を対象の表面の一つの点又は同一の領域に正確に対応付けることができる。２次元の画像はグレースケール画像であることが考えられるが、カラー画像であっても良く、後者の場合には別の情報が得られる。対象１が回転ディスク１１によって動かされ、反復的に記録されることによって、対象のあらゆる側面からの画像データ若しくは対象データが形成される。２次元のデータは種々のフィルタ演算によって、欠陥が存在する可能性がある表面領域、即ち、所定の領域におけるＴＢＣ減少の候補を検出することができるように処理される。フィルタ演算の例は、カラーチャネルの分析、例えば、特に有利には赤色チャネルの分析、並びに、剥離を非常に高いコントラストで暗く表すことができる飽和の分析である。その他のフィルタ演算も基本的には同様に実施可能である。３次元のモデルにおける複数の表面経過を結合させることによって、候補の周囲に基づいた翼表面の補間を行なうことができる。補間された値を、該当個所において測定された本来の値と比較することによって、表面の欠陥、例えばＴＢＣ減少の形態の欠陥が実際に存在しているのか、又は単なる汚れ、特に翼の汚れが存在しているのかが明らかになる。
【００２８】
図３ａから図３ｄには、対象１の欠陥が存在する可能性がある表面領域の平面図、並びに、サンプリングラインＡＬ又はスキャンラインに沿った所属の断面図でもって、本発明による方法のステップが示されている。図３ａから図３ｄに示されているステップでは、３次元のデータを使用することにより、図３ａによる２次元の画像に基づく欠陥の表示は実際に表面の損傷、例えばＴＢＣ減少であるのか否かを推論することができる。図３ａには対象の表面領域が平面図で示されている。２次元の画像データに基づき、欠陥が存在する可能性がある表面領域の位置が特定されており、その位置は図３ａにおいて暗く表されている。この暗い領域は、明るい表面領域、即ち欠陥が存在する可能性がある表面領域の縁部領域によって包囲されている。図３ａにおける直線はスキャナ又はサンプリング装置のサンプリングラインＡＬであり、点Ａから点Ｂまでの区間は欠陥が存在する可能性がある表面領域に対応付けられており、また点Ａの左側の領域及び点Ｂの右側の領域は欠陥が存在する可能性がある表面領域の縁部領域に対応付けられている。サンプリングラインＡＬを、一つの画像ラインの一区間として表すこともできる。サンプリング装置を用いることにより、サンプリングライン又はスキャンライに沿って、対象の少なくとも一つずつの断面平面における表面データを測定することができる。対象全体の完全な表面経過データは、本方法の開始時に既に完全に存在していると考えられる。それらの表面経過データを続いて、欠陥が存在する可能性がある表面領域に関してより正確に検査することができる。また、関心のある領域及び／又はその周囲に関する表面経過データを必要が生じたときに初めて検出することもできる。図３ｂには、検査すべき表面領域の断面図が示されている。この断面図にはサンプリングラインが示されており、また検査すべき対象１の測定された表面の３次元の外観を示す。点Ａと点Ｂとの間において、対象は測定された表面経過を有しており、この表面経過は図３ｂにおいて曲線によって視覚化されている。図３ｃには、欠陥が存在する可能性がある表面領域の縁部領域における測定された表面経過に基づき、付加的に、欠陥が存在する可能性がある表面領域の表面経過がどのように算出されるかが示されている。即ち、図３ｃの断面図における点Ａの左側の曲線経過及び点Ｂの右側の曲線経過に基づき、点Ａと点Ｂとの間の損傷のない表面経過が算出される。この損傷のない表面経過は、図３ｃにおいて点Ａと点Ｂとの間の上側の線ＯＬによって表されている。図３ｄには、測定された表面経過と算出された表面経過との比較が示されており、所定の指標、例えば顕著な差異が存在する場合、図３ａにおける暗い領域である位置特定された表面領域が実際に欠陥のあるものとして評価される。所定の指標として、例えば、上側の曲線経過と下側の曲線経過の相関が考えられる。本来の測定された３次元のデータと補間された３次元のデータの差異によって、例えばＴＢＣ減少が２次元での示唆及び３次元での示唆において存在しているのか、又は２次元においてのみ示唆されている暗い点だけが存在しているのかを決定することができる。
【００２９】
図４には、結果画像の実施例並びに結果画像の更なる処理が示されている。実際に欠陥のあるものとして評価された表面領域を包囲する縁部ラインを備えた結果画像を本発明に従い更に処理することができる。例えば図４には、左側に示されているオリジナル画像の、右側に示されている三つの画像、即ち赤色チャネル、緑色チャネル及び青色チャネルへの分割が示されている。赤色チャネルにおける情報は比較的簡単な目視検査のための表面情報を提供することができる。緑色チャネルにおける情報は、種々の表示タイプ又は示唆タイプのコーディングへの使用に適している。青色チャネルはフィルタ又はマスクに関する情報を表示することができる。図４において、左側にはオリジナルの結果画像、右側上には赤色チャネル画像、右側中央には緑色チャネル画像及び右側下には青色チャネル画像が示されている。
【００３０】
図５には、本発明による方法の結果画像の一つの実施例が示されている。自動的な検査では、２次元及び３次元の対象データを大きい視角範囲において評価することができる。
【００３１】
図６には、本発明による方法の本発明による結果画像の別の実施例が示されている。図６には、欠陥のある個所を識別するために、サンプリング装置の全ての視角に関する２次元及び３次元の全ての測定データを使用できないことが示されている。つまり、ＴＢＣ減少はあらゆる外観において常に発見できるものではない。表面のあらゆる欠陥、特にＴＢＣ減少は少なくとも、サンプリング装置のある視角のもとで発見されることが望ましい。図６には、ＴＢＣ減少がこの外観からの最小範囲において発見されたことが示されている。本発明による方法は、適切な視角において非常に有利に機能する。サンプリング装置からのビームが平均して実質的に、検査すべき対象の表面に対して垂直に入射する視角が特に有利である。例えば、タービン翼のサンプリングは圧力側及び吸気側からそれぞれ一度行なわれれば多数の欠陥にとって十分である。つまり、二つの画像だけでも非常に簡単に有利に使用することができる。別の有利な実施の形態によれば、検査された実際に欠陥のある表面領域を縁部ラインによってマーキングすることができる。このマーキングを計算装置によって、又は、相応の結果画像に縁部ラインをプリントすることによって実施することができる。
【図１】
2014503826.tif 000003
【図２】
2014503826.tif 000004
【図３ａ）】
2014503826.tif 000005
【図３ｂ）】
2014503826.tif 000006
【図３ｃ）】
2014503826.tif 000007
【図３ｄ）】
2014503826.tif 000008
【図４】
2014503826.tif 000009
【図５】
2014503826.tif 000010
【図６】
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【手続補正書】
【提出日】平成25年11月20日(2013.11.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象の欠陥のある表面領域を検出するために前記対象（１）を検査する方法において、
サンプリング装置（３）を用いて、前記対象（１）の検査すべき表面を測定し（Ｓ１）、前記対象の少なくとも一つずつの断面平面における２次元の画像データ及び測定された表面経過を形成するステップと、
計算装置（５）を用いて、欠陥が存在する可能性がある表面領域を位置特定するために前記２次元の画像データを評価するステップ（Ｓ２）と、
前記計算装置を用いて、前記断面平面の前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の外側の測定された表面経過に基づき、前記断面平面における前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の算出された表面経過を形成するステップ（Ｓ３）と、
前記計算装置を用いて、前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の前記算出された表面経過と前記測定された表面経過とを比較し（Ｓ４）、位置特定された表面領域の所定の差異指標が存在する場合には実際に欠陥のあるものとして評価するステップと、
を備えていることを特徴とする、対象の欠陥のある表面領域を検出するために前記対象（１）を検査する方法。
【請求項２】
前記対象の前記２次元の画像データ及び前記測定された表面経過を相互に較正する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記２次元の画像データはカラー画像である、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記２次元の画像データをフィルタ演算（Ｓ２．１，Ｓ２．２，Ｓ２．３）によって評価する（Ｓ２）、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記フィルタ演算は色チャネルの分析（Ｓ２．１）及び／又は飽和の分析（Ｓ２．２）である、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の算出された表面経過を補間によって形成する（Ｓ３）、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の前記断面平面におけるサンプリングラインに沿って、且つ、前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の縁部領域において、前記断面平面における前記サンプリングラインに沿って測定された表面経過に基づいて前記補間を実施する、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
表示装置（７）を用いて、実際に欠陥のあるものとして評価された表面領域を包囲する縁部ラインを表示する（Ｓ５）、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
記憶装置（９）を用いて、検査された前記対象のデータを記憶する（Ｓ６）、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記計算装置によって、前記測定された表面経過を用いて対象背景のデータを除去する（Ｓ１．１）、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記サンプリング装置を用いて、回転ユニット及び／又は変位ユニット（１１）によって動かされる対象全体の表面を反復的に記録する、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
対象（１）の欠陥のある表面領域を検出するための検査装置において、
前記対象（１）の検査すべき表面を測定し、前記対象（１）の少なくとも一つずつの断面平面における２次元の画像データ及び測定された表面経過を形成するサンプリング装置（３）と、
欠陥が存在する可能性がある表面領域を位置特定するために前記２次元の画像データを評価する計算装置（５）とを有しており、
前記計算装置は、前記断面平面の前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の外側の前記測定された表面経過に基づき、前記断面平面における前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の算出された表面経過を形成し、
前記計算装置は、前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の前記算出された表面経過と前記測定された表面経過とを比較し、位置特定された表面領域の所定の差異指標が存在する場合には実際に欠陥のあるものとして評価する、
ことを特徴とする、検査装置。
【請求項１３】
前記対象の前記２次元の画像データ及び前記測定された表面経過を相互に較正する、請求項１２に記載の検査装置。
【請求項１４】
前記２次元の画像データはカラー画像である、請求項１２又は１３に記載の検査装置。
【請求項１５】
前記２次元の画像データをフィルタ演算によって評価する、請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１６】
前記フィルタ演算は色チャネルの分析及び／又は飽和の分析である、請求項１５に記載の検査装置。
【請求項１７】
前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の算出された表面経過を補間によって形成する、請求項１２乃至１６のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１８】
前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の前記断面平面におけるサンプリングラインに沿って、且つ、前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の縁部領域において、前記断面平面における前記サンプリングラインに沿って測定された表面経過に基づいて前記補間を実施する、請求項１７に記載の検査装置。
【請求項１９】
表示装置（７）を更に有し、
前記表示装置（７）は、実際に欠陥のあるものとして評価された表面領域を包囲する縁部ラインを表示する、請求項１２乃至１８のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項２０】
記憶装置（９）を更に有し、
前記記憶装置（９）は、検査された前記対象のデータを記憶する、請求項１２乃至１９のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項２１】
前記計算装置は、前記測定された表面経過を用いて対象背景のデータを除去する、請求項１２乃至２０のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項２２】
前記サンプリング装置は、回転ユニット及び／又は変位ユニット（１１）によって動かされる対象全体の表面を反復的に記録する、請求項１２乃至２１のいずれか一項に記載の検査装置。
【国際調査報告】
2014503826.tif 000012
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