(57)【要約】  本発明は、圧力チャンバ（４６）、−圧力チャンバ（４６）の第１の柔軟壁を形成するように配置される第１のアクチュエータ膜（６０）、第１のアクチュエータ膜（６０）の表面に動作可能に接続される第１の圧電部（４５）、圧力チャンバ（４６）の第２の柔軟壁を形成するように配置される第２のアクチュエータ膜（６２）及び第２のアクチュエータ膜（６２）の表面に動作可能に接続される第２の圧電部（５５）、を有し、第２の柔軟壁が第１の柔軟壁から機械的に切り離された、インクジェット印刷装置に関する。
2014520011.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
−  圧力チャンバと；
−  第１の膜幅Ｗｍ、１及び第１の膜長さＬｍ、１を有する第１のアクチュエータ膜であって、前記第１の膜幅は前記第１の膜長さ以下であり、前記第１のアクチュエータ膜は前記圧力チャンバの第１の柔軟壁を形成するように配置される、第１のアクチュエータ膜と；
−  前記第１のアクチュエータ膜の表面に動作可能に接続される第１の圧電部と；
−  第２の膜幅Ｗｍ、２及び第２の膜長さＬｍ、２を有する第２のアクチュエータ膜であって、前記第２の膜幅は前記第２の膜長さ以下であり、前記第２のアクチュエータ膜は前記圧力チャンバの第２の柔軟壁を形成するように配置される、第２のアクチュエータ膜と；
−  前記第２のアクチュエータ膜の表面に動作可能に接続される第２の圧電部と；
を有し、
前記第２の柔軟壁は前記第１の柔軟壁から機械的に切り離される、
インクジェット印刷装置。
【請求項２】
−  前記第１のアクチュエータ膜は第１のアスペクト比、ＡＲ１＝Ｌｍ、１／Ｗｍ、１を有し；
−  前記第２のアクチュエータ膜は第２のアスペクト比、ＡＲ２＝Ｌｍ、２／Ｗｍ、２を有し；
前記ＡＲ１及び／又は前記ＡＲ２は、１と２０との間である、
請求項１に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項３】
−  前記第１のアクチュエータ膜は、第１の膜厚さｔｍ、１を有し；
−  前記第１の圧電部は第１のピエゾ厚さｔｐ、１を有し；
−  前記第２の膜厚さｔｍ、２を有し；
−  前記第２の圧電部は第２のピエゾ厚さｔｐ、２を有し；
ｔｐ、１／ｔｍ、１及び／又はｔｐ、２／ｔｍ、２は、０．１と２との間である、
請求項１又は２に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項４】
前記ｔｍ、１及び／又は前記ｔｍ、２は、０．１μｍと１０μｍとの間であり、
前記ｔｐ、１及び／又は前記ｔｐ、２は、０．１μｍと１０μｍとの間である、
請求項３に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項５】
前記第１及び前記第２のアクチュエータ膜は、それらのそれぞれの前記長さ（それぞれ前記Ｌｍ、１及び前記Ｌｍ、２）が前記圧力チャンバの長さＬＰＣと平行であるように、配置される、
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項６】
前記第１及び前記第２のアクチュエータ膜は、前記圧力チャンバの幅方向に互いに隣接して配置される、
請求項５に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項７】
−  前記第１のアクチュエータ膜は、前記圧力チャンバの第１の部分の第１の柔軟壁を形成するように配置され；
−  前記第２のアクチュエータ膜は、前記圧力チャンバの第２の部分の第２の柔軟壁を形成するように配置され；
−  前記インクジェット印刷装置は、前記圧力チャンバから前記印刷装置の外側表面に延びるオリフィスを有し；
−  前記オリフィスは、前記圧力チャンバの前記第１と前記第２の部分との間の境界面に配置される；
請求項５に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項８】
前記インクジェット印刷装置はさらに：
−  前記圧力チャンバの前記第１の部分と流体接続するとともに前記圧力チャンバに流体を供給するように配置される吸入チャンネルと；
−  前記圧力チャンバの前記第２の部分と流体接続するとともに前記圧力チャンバから前記流体を排出するように配置される排出チャンネルと；
を有する、
請求項７に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項９】
−  前記第１のアクチュエータ膜は、前記圧力チャンバの前記第１の柔軟壁の内部表面を形成するように配置された第１の表面及び前記第１の表面の反対側に配置されるとともに前記圧力チャンバの前記第１の柔軟壁の外側表面を形成する第２の表面を有し、前記第１の圧電部は前記第１のアクチュエータ膜の前記第２の表面に配置され；
−  前記第２のアクチュエータ膜は、前記圧力チャンバの前記第２の柔軟壁の内部表面を形成するように配置された第３の表面及び前記第２のアクチュエータ膜の前記第３の表面の反対側に配置されるとともに前記圧力チャンバの前記第２の柔軟壁の外側表面を形成する第４の表面を有し、前記第２の圧電部は前記第２のアクチュエータ膜の前記第４の表面に配置される；
請求項１乃至８のいずれか１項に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項１０】
−  前記第１の圧電部は、第１のピエゾ幅ＷＰ、１及び第１のピエゾ長さＬＰ、１を有し、前記第１のピエゾ幅は前記第１のピエゾ長さ以下であり；
−  前記第２の圧電部は、第２のピエゾ幅ＷＰ、２及び第２のピエゾ長さＬＰ、２を有し、前記第２のピエゾ幅は前記第１のピエゾ長さ以下であり；
ＬＰ、１／Ｌｍ、１及び／又はＬＰ、２／Ｌｍ、２は、０．７と１との間である；
請求項１乃至９のいずれか１項に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項１１】
−  前記第１の圧電部は、第１のピエゾ幅ＷＰ、１及び第１のピエゾ長さＬＰ、１を有し、前記第１のピエゾ幅は前記第１のピエゾ長さ以下であり；
−  前記第２の圧電部は、第２のピエゾ幅ＷＰ、２及び第２のピエゾ長さＬＰ、２を有し、前記第２のピエゾ幅は前記第１のピエゾ長さ以下であり；
ＷＰ、１／Ｗｍ、１及び／又はＷＰ、２／Ｗｍ、２は、０．５と１との間である；
請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項１２】
前記アクチュエータ膜は、シリコン（Ｓｉ）、窒化ケイ素（ＳｉＮ）、シリコンリッチ窒化物（ＳｉＲＮ）、窒化チタン、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ジルコニウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、炭化チタン、炭化タングステン、炭化タンタル、及びこれらの混合物から成るグループから選択される材料で作られる、
請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項１３】
前記圧電部は、薄膜圧電部を有する、
請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項１４】
前記圧電部は、ＰＺＴで作られる、
請求項１乃至１３のいずれか１項に記載のインクジェット印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力チャンバ、圧力チャンバの柔軟壁を形成するように配置されたアクチュエータ膜、及びアクチュエータ膜に動作可能に接続された圧電部を有する、インクジェット印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンアクチュエータ膜及び薄膜ピエゾ（ＴＦＰ）を有するバイモルフアクチュエータを使用するＭＥＭＳベースのインクジェットプリントヘッドは技術分野で知られている。アクチュエータ性能及び頑健性（寿命）のために、低駆動電圧が重要である。低電圧作動は、アクチュエータが、ボルト当りの大きい体積変位［ｐｌ／Ｖ］を所与のアクチュエータコンプライアンス［ｐｌ／ｂａｒ］で出すことができるべきであるという意味を含み、後者はプリントヘッドの所望の音響設計によって決定される。低電圧作動に関して、２つの因子が重要である：
１）  結合効率、すなわち、アクチュエータ膜のある機械的なバイモルフ動作を得るために必要とされる電気エネルギ。結合効率は、上述のボルト当りの体積変位［ｐｌ／Ｖ］及びアクチュエータ膜のコンプライアンス［ｐｌ／ｂａｒ］によって表され得る。結合効率は、薄膜ピエゾ及びアクチュエータ膜の厚さ比に関連する。この厚さ比の最適値は、ＴＦＰ及びアクチュエータ膜の基本的な材料特性に依存し、例えば、次の組成：Ｐｂ［ＺｒＸＴｉ１−Ｘ］Ｏ３、ここで０＜ｘ＜１の、鉛（Ｐｂ）、ジルコン酸（Ｚｒ）及びチタン酸塩（Ｔｉ）を含むセラミック材料のＰＺＴピエゾ材料及びシリコンアクチュエータ膜に対して約１であり；
２）  所与の電位差（電圧）に対してＴＦＰに蓄えられることができる電気エネルギの量を表す、ピエゾの電気容量。電気容量はＴＦＰ表面積とＴＦＰ厚さの比に比例する。
【０００３】
低電圧作動に関して、両方の因子は大きくなるべきであり、これは、アクチュエータ膜の大きい面積のＴＦＰ（したがって大きい電気容量を有する）の使用という意味を含み、ＴＦＰ及びアクチュエータ膜の厚さ比は、結合効率を最大化するために最適化される。シリコンアクチュエータ膜及びＰＺＴＴＦＰの場合、シリコンアクチュエータ膜及びＴＦＰは実質的に同じ厚さを有する。
【０００４】
大きい面積の薄いアクチュエータ膜の欠点は、このようなアクチュエータ膜がしばしば、インクジェット印刷装置の適切な動作に対してあまりに柔軟であり、印刷品質に悪影響を及ぼし得るあらゆる種類のアーチファクトをもたらすことである。
【０００５】
このようなアクチュエータ膜の他の欠点は、インクジェット印刷装置の小型化が幾つかの不必要な制限（例えば、制限された最大単一パス解像度）を示すことである。
【０００６】
アクチュエータ膜のコンプライアンスは、アクチュエータ膜のアスペクト比が増加すること、すなわち、アクチュエータ膜の必要とされる表面積を維持しながら膜の長さが増加することによって、減少し得る。言い換えると、薄膜の表面積は、アクチュエータ膜の必要とされるコンプライアンスを維持するために、アクチュエータ膜のアスペクト比を増加させることと共に増加され得る。
【０００７】
上述の設計戦略に従うことは、アクチュエータ膜が比較的大きい長さを有し、したがってまた長い圧力チャンバを必要とすることをもたらし得る。
【０００８】
より長い圧力チャンバは、圧力チャンバ（インクチャンネルとも称される）に著しい影響を与え得る：作動によって、音圧応答及び流れプロファイルが、圧力チャンバに存在する液体、例えば、インク組成物に生成され、液体が圧力チャンバと流体接続して配置されたノズルから噴射されることを可能にする。音圧応答及び流れプロファイルは、その密度及び粘性等の液体の特性、及び、圧力チャンバの深さ等プリントヘッドの液体を収容する部品の他の寸法に依存し得る。
【０００９】
一般的に、圧力チャンバ内部の音響特性（例えば、共鳴振動数）は、圧力チャンバ内に存在するインクボリュームのコンプライアンスとアクチュエータ膜のコンプライアンスの組み合わせ（すなわち和）、すなわち全体のコンプライアンスによってかなりの程度まで決定され得る。ある程度は、上述のコンプライアンスは、交換可能であることができ、例えば、インクボリュームのコンプライアンスが（インクの組成及び／又は圧力チャンバの幾何学的形状を変化させることによって）減少する場合、アクチュエータ膜のコンプライアンスは、全体のコンプライアンス、したがって圧力チャンバ内部の音響特性が同じままであるように、同じ程度まで増加され得る。
【００１０】
上述の構造（すなわち、比較的長い圧力チャンバの上に位置する比較的長いアクチュエータ膜）の欠点は、必要とされる圧力応答及び流れプロファイルを生成する効率が、例えば、増大した液体ボリュームのために、減少し得るので、インクジェット印刷装置の効率的な動作が不可能であることである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
したがって、本発明の目的は、上述の不利な点を解決する又は少なくとも緩和するインクジェット印刷装置を提供することであり、インクジェット印刷装置はしたがって、頑強且つ耐久性のある設計を有し、印刷装置の効率的な動作及び結果として得られる印刷品質を損なうことなく、特に３０Ｖより低い、低駆動電圧で作動され得る。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この目的はインクジェット印刷装置を提供することによって達成され、このインクジェット印刷装置は：
−  圧力チャンバと；
−  第１の膜幅Ｗｍ、１及び第１の膜長さＬｍ、１を有する第１のアクチュエータ膜であって、第１の膜幅は第１の膜長さ以下であり、第１のアクチュエータ膜は圧力チャンバの第１の柔軟壁を形成するように配置される、第１のアクチュエータ膜と；
−  第１のアクチュエータ膜の表面に動作可能に接続される第１の圧電部と；
−  第２の膜幅Ｗｍ、２及び第２の膜長さＬｍ、２を有する第２のアクチュエータ膜であって、第２の膜幅は第２の膜長さ以下であり、第２のアクチュエータ膜は圧力チャンバの第２の柔軟壁を形成するように配置される、第２のアクチュエータ膜と；
−  第２のアクチュエータ膜の表面に動作可能に接続される第２の圧電部と；
を有し、
第２の柔軟壁は第１の柔軟壁から機械的に切り離される。
【００１３】
圧力チャンバごとに多数のアクチュエータ膜を使用することは、アクチュエータ膜の所望のコンプライアンスを維持するとともに、長いアクチュエータ膜、したがって長い圧力チャンバを必要とすることなしに、大きい面積の薄いアクチュエータ膜の使用を可能にする。したがって、この構成は、圧力チャンバ内部の乱れた音響効果（例えば、ランタイム効果）に悩まされることなしに、アクチュエータの低電圧作動を可能にする。
【００１４】
本発明による第１及び第２のアクチュエータ膜は個々に固定され、これは第１のアクチュエータ膜及び第２のアクチュエータ膜が、機械的に切り離された、圧力チャンバの独立し且つ柔軟な壁を形成することを意味する。したがって、両方のアクチュエータ膜は独立して作動され得る。
【００１５】
実施形態において、第１の柔軟壁及び第２の柔軟壁は、圧力チャンバの１つの壁に含まれる、言い換えると、アクチュエータ膜は、第１のアクチュエータ膜が圧力チャンバの１つの壁の第１の柔軟部を形成するとともに第２のアクチュエータ膜が圧力チャンバの１つの壁の第２の柔軟部を形成するように、同じ平面に配置される。第１及び第２の圧電部は、それらがそれぞれのアクチュエータ膜の表面に動作可能に接続されるように、配置され得る。
【００１６】
この実施形態は、減少した幾何学的な複雑さの利点、したがって複雑でない製造方法の利点を有する。第１のアクチュエータ膜及び第２のアクチュエータ膜は、一体部品として、例えば、１つのウエハサイズのキャリアプレートに形成され得る。第１の圧電部及び第２の圧電部は、１回の加工ステップでつけられ得る。
【００１７】
圧力チャンバは、チャンバ幅ＷＰＣ及びチャンバ長さＬＰＣを有することができ、チャンバ幅はチャンバ長さ以下である。
【００１８】
実施形態では、第１のアクチュエータ膜は第１のアスペクト比、ＡＲ１＝Ｌｍ、１／Ｗｍ、１を有し得るとともに、第２のアクチュエータ膜は第２のアスペクト比、ＡＲ２＝Ｌｍ、２／Ｗｍ、２を有し得る。ここで、ＡＲ１及び／又はＡＲ２は１と１５０との間、好ましくは１と２０との間であり得る。
【００１９】
実施形態では、第１のアクチュエータ膜及び／又は第２のアクチュエータ膜は、それぞれ１．５と１５との間、より好ましくは２と１０との間、さらにより好ましくは２．５と８との間のアスペクト比、すなわちＡＲ１及びＡＲ２を有し得る。
【００２０】
実施形態では、第１のアクチュエータ膜は、第１の膜厚さｔｍ、１を有することができ、第１の圧電部は第１のピエゾ厚さｔｐ、１を有することができ、第２の膜厚さｔｍ、２を有することができ、第２の圧電部は第２のピエゾ厚さｔｐ、２を有することができ、ｔｐ、１／ｔｍ、１及び／又はｔｐ、２／ｔｍ、２は、０．１と２との間、好ましくは０．３と１．７との間、より好ましくは０．５と１．５との間、さらにより好ましくは０．７と１．３との間であり得る。両方の比は同じであっても異なっても良い。ピエゾ厚さと膜厚さの最適な比は、電気エネルギと機械的バイモルフ動作に関連するエネルギとの間の所望の結合効率によって決定され得るとともに、使用される材料の基本的な特性に依存し得る。ＰＺＴ圧電材料及びシリコンで作られたアクチュエータ膜に関して、最適な厚さ比は約１であり得る。
【００２１】
圧電部は、底部電極、圧電材料の層、及び上部電極の積層物を有する。底部電極は、アクチュエータ膜と接触し得るとともに、上部電極は、圧電部の自由上方表面を形成し得る。電極は、例えば金属、特に、銅、銀、金又はそれらの組合せ等、導電性材料で作られる。本発明の文脈では、圧電部の厚さ（すなわち、ｔｐ、１及びｔｐ、２）は、圧電部の一部である電極の厚さを含む。それぞれの電極及び圧電材料の層の厚さ比は、具体的な用途に応じて選択され得る及び／又は最適化され得る。
【００２２】
実施形態では、ｔｍ、１及び／又はｔｍ、２は、０．１μｍと１０μｍとの間、好ましくは０．５μｍと５μｍとの間、より好ましくは１μｍと４μｍとの間であり得る。ｔｍ、１及びｔｍ、２はしたがって、同じであっても異なってもよい。
【００２３】
実施形態では、ｔｐ、１及び／又はｔｐ、２は、０．１μｍと１０μｍとの間、好ましくは０．５μｍと５μｍとの間、より好ましくは１μｍと４μｍとの間であり得る。ｔｐ、１及びｔｐ、２はしたがって、同じであっても異なってもよい。
【００２４】
実施形態では、上述の厚さの要件は組み合わされ得る。
【００２５】
第１のアクチュエータ膜及び／又は第２のアクチュエータ膜のコンプライアンスは、一定の膜厚さ、ピエゾ厚さ及びそれぞれのアクチュエータ膜−圧電部の組合せ全体の表面積においてそれぞれのアスペクト比が増加することによって、減少し得る。
【００２６】
実施形態では、第１のアクチュエータ膜及び第２のアクチュエータ膜は、それらのそれぞれの長さ方向に平行に配置され得る。
【００２７】
実施形態では、第１及び第２のアクチュエータ膜は、それらのそれぞれの長さ（それぞれＬｍ、１及びＬｍ、２）が圧力チャンバの長さ、ＬＰＣと平行であるように、配置される。
【００２８】
実施形態では、第１及び第２のアクチュエータ膜は、圧力チャンバの幅方向に互いに隣接して配置される。
【００２９】
アクチュエータ膜のこの配置を使用することの利点は、アクチュエータ膜の低電圧作動が、比較的長いインクチャンネルに配置された比較的長いアクチュエータ膜によってもたらされる圧力チャンバ内部の乱れた音響効果（例えば、ランタイム効果）に悩まされることなしに、可能であり得ることである。実際、この配置は、圧力チャンバの長さ方向に配置された長いアクチュエータ膜を２つ以上の短い部分に切断するとともに２つ以上の部分を圧力チャンバの幅方向に互いに隣接して配置すると見なされ得る。したがって、膜表面積並びに膜コンプライアンスは、維持され得る。しかし、必要とされる圧力応答及び流れプロファイル（例えば、長いチャンネルにおけるランタイム効果）を生成する効率に悪影響を及ぼし得る、したがって印刷装置の効率的な動作に悪影響を及ぼし得る音響効果の影響は、減少され得る。
【００３０】
実施形態では、第１のアクチュエータ膜は、圧力チャンバの第１の部分の第１の柔軟壁を形成するように配置されることができ、第２のアクチュエータ膜は、圧力チャンバの第２の部分の第２の柔軟壁を形成するように配置されることができる。インクジェット印刷装置は、オリフィスを有することができ、オリフィスは、圧力チャンバから印刷装置の外側表面に延びる。オリフィスは、圧力チャンバの第１と第２の部分との間の境界面に配置され得る。
【００３１】
好ましくは、圧力チャンバの第１の部分及び圧力チャンバの第２の部分は、実質的に対称であるとともに圧力チャンバの第１及び第２の部分の境界面で（ノズル）オリフィスを共有する。圧力チャンバの第１の部分の内部容積の形状は、圧力チャンバの第２の部分の内部容積の形状の鏡像であり得る。
【００３２】
好ましくは、第１の柔軟壁及び第２の柔軟壁は、圧力チャンバの１つの壁に含まれる、言い換えると、アクチュエータ膜は、第１のアクチュエータ膜が圧力チャンバの１つの壁の第１の柔軟部を形成するとともに第２のアクチュエータ膜が圧力チャンバの１つの壁の第２の柔軟部を形成するように、同じ平面に配置される。
【００３３】
好ましくは、第１のアクチュエータ膜及び第２のアクチュエータ膜は、（ノズル）オリフィスから実質的に等しい距離に配置され得る。
【００３４】
本実施形態の利点は、第１のアクチュエータ膜がオリフィスの上流に配置されることができるとともに第２のアクチュエータ膜がオリフィスの下流に配置されることができるので、アクチュエータ膜の低電圧作動が、比較的長いインクチャンネルに配置された比較的長いアクチュエータ膜によってもたらされる圧力チャンバ内部の乱れた音響効果（例えば、ランタイム効果）に悩まされることなしに、可能であり得ることである。
【００３５】
本実施形態で使用される用語境界面は、第１のアクチュエータ膜が圧力チャンバの第１の部分の第１の柔軟壁を形成するように配置されるとともに第２のアクチュエータ膜が圧力チャンバの第２の部分の第２の柔軟壁を形成するように配置されるように、圧力チャンバを第１及び第２の部分に分割する仮想的な面と解釈されるべきである。したがって、圧力チャンバの第１及び第２の部分は物理的に分離されていない、すなわち、組合せられた圧力チャンバの第１及び第２の部分は、実質的に圧力チャンバの内部容積と等しい、１つの内部容積を形成する。
【００３６】
実施形態では、インクジェット印刷装置はさらに：
−  圧力チャンバの第１の部分と流体接続するとともに圧力チャンバに流体を供給するように配置される吸入チャンネルと；
−  圧力チャンバの第２の部分と流体接続するとともに圧力チャンバから流体を排出するように配置される排出チャンネルと；
を有する。
【００３７】
この実施形態は、フロースルー配置を可能にする：特定の圧力チャンバが使用されていないときも、すなわち、液滴が特定のオリフィスから噴射されないときも、液体は圧力チャンバを通って流れ得る。この配置の利点は、圧力チャンバ内のデッドボリュームが防がれる又は少なくとも減らされるということであり、これは、オリフィスが圧力チャンバの第１と第２の部分との間の境界面に配置されるとき、特に有利である。デッドボリュームの減少は、例えば、圧力チャンバの表面に付着し得る又はノズルの目詰まりをもたらし得る大きい粒子を形成するように凝固し得る固体微粒子によって、圧力チャンバの汚れの恐れを減少させ得る。
【００３８】
したがって、作動時、流体、例えば、インク組成物が圧力チャンバを通って流れ得る間、液滴が生成され得る。
【００３９】
実施形態では、第１のアクチュエータ膜は、圧力チャンバの第１の柔軟壁の内部表面を形成するように配置された第１の表面及び第１の表面の反対側に配置されるとともに圧力チャンバの第１の柔軟壁の外側表面を形成する第２の表面を有し、第１の圧電部は第１のアクチュエータ膜の第２の表面に配置される。第２のアクチュエータ膜は、圧力チャンバの第２の柔軟壁の内部表面を形成するように配置された第３の表面及び第２のアクチュエータ膜の第３の表面の反対側に配置されるとともに圧力チャンバの第２の柔軟壁の外側表面を形成する第４の表面を有し、第２の圧電部は第２のアクチュエータ膜の第４の表面に配置される。
【００４０】
この配置は、第１の圧電部及び第２の圧電部が圧力チャンバに存在するインク組成物と接触しないという利点を有する。これは、インク組成物が、圧電材料に害を及ぼし得る成分を含むとき、特に有利である。
【００４１】
実施形態では、圧電部は、それぞれの長さ方向をそれぞれのアクチュエータ膜の長さ方向と平行にして配置され得る。
【００４２】
実施形態では、第１の圧電部は、第１のピエゾ幅ＷＰ、１及び第１のピエゾ長さＬＰ、１を有することができ、第１のピエゾ幅は、第１のピエゾ長さ以下である；第２の圧電部は、第２のピエゾ幅ＷＰ、２及び第２のピエゾ長さＬＰ、２を有することができ、第２のピエゾ幅は、第１のピエゾ長さ以下である；ここで、ＬＰ、１／Ｌｍ、１及び／又はＬＰ、２／Ｌｍ、２は、０．７と１との間、好ましくは０．７５と０．９８との間、より好ましくは０．８と０．９５との間であり得るので、第１及び第２のアクチュエータ膜は、７０％と１００％との間の、好ましくは７５％と９８％との間の、より好ましくは８０％と９５％との間の圧電材料による長さ被覆率を有する。
【００４３】
実施形態では、第１の圧電部は、第１のピエゾ幅ＷＰ、１及び第１のピエゾ長さＬＰ、１を有することができ、第１のピエゾ幅は、第１のピエゾ長さ以下である；第２の圧電部は、第２のピエゾ幅ＷＰ、２及び第２のピエゾ長さＬＰ、２を有することができ、第２のピエゾ幅は、第１のピエゾ長さ以下である；ここで、ＷＰ、１／Ｗｍ、１及び／又はＷＰ、２／Ｗｍ、２は、０．５と１との間、好ましくは０．６と０．９８との間、より好ましくは０．７と０．９５との間であり得るので、第１及び第２のアクチュエータ膜は、５０％と１００％との間の、好ましくは６０％と９８％との間の、より好ましくは７０％と９５％との間の圧電材料による幅被覆率を有する。
【００４４】
実施形態では、それぞれの圧電部によるそれぞれのアクチュエータ膜の長さ及び幅の被覆率に関する要件は、圧電部によるアクチュエータ膜の全表面の被覆率が、３５％と１００％との間の、好ましくは５０％と９８％との間の、より好ましくは７０％と９５％との間であり得るように、組み合わされ得る。
【００４５】
実施形態では、第１のアクチュエータ膜及び第２のアクチュエータ膜は、実質的に同じ長さ及び幅を有し得る。好ましくは、第１の圧電部による第１のアクチュエータ膜の表面被覆率及び第２の圧電部による第２のアクチュエータ膜の表面被覆率は実質的に同じである。
【００４６】
実施形態では、アクチュエータ膜は、シリコン（Ｓｉ）、窒化ケイ素（ＳｉＮ）、シリコンリッチ窒化物（ＳｉＲＮ）、窒化チタン、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ジルコニウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、炭化チタン、炭化タングステン、炭化タンタル、及びこれらの混合物から成るグループから選択される材料で作られ得る。
【００４７】
実施形態では、圧電部は、好ましくはＰＺＴで作られた、薄膜圧電部を有する。圧電部は、作動時にそれぞれのアクチュエータ膜の少なくとも幅方向に伸びる及び／又は収縮するように構成され得る。
【００４８】
実施形態では、インクジェット印刷装置は、ＭＥＭＳベースのインクジェット印刷装置である。
【００４９】
動作中、インクジェット印刷装置は、例えば、（部分的な）目詰まりしたノズル、通常ノズル近くの、圧力チャンバ内の空気及び／又はゴミの存在によってもたらされる、液滴形成障害に悩まされ得る。このようなアーチファクトは、圧力チャンバ内の音響効果に著しい影響を与え得るとともに圧電アクチュエータをセンサとして使用することによって検出され得る。検知モードでは、圧電アクチュエータは、圧力チャンバ内に存在する液体（例えばインク組成物）の残留圧力応答を電気信号に変換する。生成された電気信号は典型的には、液滴形成が損なわれているか否かを明らかにする。特に、電気信号は、アーチファクトの種類（目詰まり、空気の閉じ込め、ゴミの存在等）を明らかにし得るので、必要とされるインクドットは、隣接したノズルによって印刷され得る及び／又は特定のメンテナンス動作（例えば、パージング、ワイピング、フラッシング等）が実行され得る。従来のインクジェット印刷装置は、圧力チャンバ毎に１つの圧電アクチュエータを有する。このような構成では、圧電アクチュエータは、作動モード（すなわち、圧力チャンバ内に存在する液体に圧力応答を生成する）又は続いて起こる方法で、上述の検知モードで使用され得る。作動パルスの印加及び圧電アクチュエータで残留圧力応答をその後に測定することに起因して、作動パルスによって発生する初期圧力応答は測定することができない。さらに、生成された圧力応答の減衰（減少した信号対ノイズ比につながる）のために、検知された残留圧力応答は、圧力チャンバの音響の状況に関して、情報を提供しない可能性がある。
【００５０】
本発明によるインクジェット印刷装置は、インクジェット印刷装置の内部、特に圧力チャンバ内の音響の状況を監視するための方法に使用され得る。この方法では、第１の圧電部が作動モードで使用されるとともに第２の圧電部が検知モードで使用されることができ、この方法は：
１．圧力応答が圧力チャンバ内に第１のアクチュエータ膜を介して引き起こされるように第１の圧電部を作動させるステップ；
２．第２のアクチュエータ膜を介して第２の圧電部によって圧力応答を測定するステップ；
を有し、ステップ１及び２は同時に実行されることを特徴とする
第１及び第２のアクチュエータ膜が機械的に切り離されているという事実は、検知圧電部が作動された圧電部の作動動作を直接測定するこということを防ぐ（又は少なくとも軽減する）。代わりに、圧力チャンバの音響の状況は、作動パルスの印加中及び印加後に決定され得る。
【００５１】
同時に（第１の圧電部で）作動させるとともに（第２の圧電部で）検知することによって、作動パルスが印加されるとき、圧力応答の検知がすぐに開始することは、本発明の利点である。検知された信号は、残留圧力応答に限定されるものではなく、作動パルスの印加中に生成された初期圧力応答も含む。初期圧力応答は、より少ない程度で減衰されているので、その信号対ノイズ比は、残留圧力応答の信号対ノイズ比より高い。したがって、検知された信号は、圧力チャンバの音響の状況に関して、特にアーチファクトの存在及びその種類に関して、より情報を提供し得る。
【００５２】
実施形態では、方法はさらに：
３．測定された圧力応答を幾つかの種類のアーチファクトに対応する所定の圧力応答と比較するステップと；
４．アーチファクトが存在するかを決定する及び存在する場合アーチファクトの種類を決定するステップと；を有する。
【００５３】
本実施形態では、第２の圧電部によって生成された電気信号によって表される、測定された圧力応答は、例えば上述のような、幾つかの種類のアーチファクトに対応する所定の圧力応答と比較され得る。所定の圧力応答はデータベースに保存され得る。
【００５４】
実施形態では、幾つかの種類のアーチファクトに関連付けられた圧力応答の特性が、予め決定され得るとともに（追加的に）データベースに保存され得る（例えば、（初期）振幅、周期、減衰の速度、周波数スペクトル等）。
【００５５】
本発明による方法は：
１．圧力応答が圧力チャンバ内に第１のアクチュエータ膜を介して引き起こされるように第１の圧電部を作動させるステップと；
２．第２のアクチュエータ膜を介して第２の圧電部によって圧力応答を測定するステップと；
３．ステップ２で測定された圧力応答の特性を決定するとともに特性を幾つかの種類のアーチファクトに関連付けられた所定の圧力応答の類似する特性と比較するステップと；
４．アーチファクトが存在するかを決定する及び存在する場合アーチファクトの種類を決定するステップと；
を有し、ステップ１及び２は同時に実行される。
【００５６】
本実施形態では、測定された圧力応答の少なくとも１つの特性、例えば初期振幅が、例えば、目詰まり、空気の閉じ込め又はゴミの存在等、幾つかのアーチファクトに関連付けられた所定の圧力応答の同じ特性（例では、初期振幅）と比較される（ステップ３）。アーチファクトは、測定された圧力応答（ステップ２）の特性がアーチファクトに関連付けられた所定の圧力応答の同じ特性に（ある所定のマージン内で）対応する場合に識別され得る。異なる種類のアーチファクトの中での弁別性を提供するために、使用される特性は好ましくは、それぞれの種類のアーチファクトに関して固有の値を有する。
【００５７】
実施形態では、圧力応答の１つより多い特性が決定され得るとともに、幾つかの種類のアーチファクトに関連付けられた所定の圧力応答の類似する特性と比較され得る。
【００５８】
本実施形態では、異なる種類のアーチファクトの中での弁別性が、あるアーチファクトを識別するために１つより多い特性を組み合わせることによって改良され得る。
【００５９】
特性は、例えば、初期振幅、振幅、周期、減衰の速度（減衰係数）及び周波数スペクトルから成るグループから選択され得る。
【００６０】
実施形態では、第２のステップは、第１の圧電部の作動（ステップ１）と同時に始まる第２のアクチュエータ膜を介した第２の圧電部によって第１の圧力応答を測定するステップ及び第１の圧電部の作動（ステップ１）後に始まる第１の圧電部によって第２の圧力応答を測定するステップ、を有する。
【００６１】
第１の圧力応答は、上述の圧力応答に対応するとともに、第１のアクチュエータ膜から第２のアクチュエータ膜への圧力応答の伝達慣性のために、第２の圧力応答に対して遅れ得る（タイムシフトされ得る）。この遅れ（タイムシフト）は、圧力チャンバの音響の状況に関してさらなる情報を提供し得る、すなわち、遅れ(タイムシフト)は、アーチファクトを識別するための追加的な特性として使用され得る。
【００６２】
実施形態では、液滴を生成しない作動パルスが、ステップ１で使用される。
【００６３】
アーチファクトが検出されるとともにその種類が上述の実施形態に記載されたいずれかの方法のステップ４で識別される場合、印刷は、アーチファクトの種類が、ぞれぞれのノズルのいくらかのアイドルタイムによって解決され得ることが知られている場合、例えば、アーチファクトがノズル内の空気又は圧力チャンバ内の空気を含むとき等、続けられ得る。アイドルタイム中、アーチファクトは自然に消失することができ、その後それぞれのノズルでの印刷が続けられ得る。しかし、アーチファクトの種類が、ノズル内又は圧力チャンバ内のゴミ等、より重大である場合、これは自然に発生しないので、印刷を停止するとともに、ゴミを取り除くために１つ又は複数のメンテナンス動作（例えば、パージング、ワイピング、フラッシング、複数の組合せ等）が（オフラインで）実行されなければならないサービスモードに移行する必要があり得る。
【００６４】
したがって、実施形態では、方法は：
１．圧力応答が圧力チャンバ内に第１のアクチュエータ膜を介して引き起こされるように第１の圧電部を作動させるステップと；
２．第２のアクチュエータ膜を介して第２の圧電部によって圧力応答を測定するステップと；を有し、ステップ１及び２は同時に実行され、方法はさらに：
３．測定された圧力応答を幾つかの種類のアーチファクトに対応する所定の圧力応答と比較するステップ及び／又はステップ２で測定された圧力応答の特性を決定するとともに特性を幾つかの種類のアーチファクトに関連付けられた所定の圧力応答の類似する特性と比較するステップと；
４．アーチファクトが存在するかを決定するとともに存在する場合にアーチファクトの種類を決定するステップと；を有し、ステップ１−４は第１のノズルオリフィスに関連付けられた第１の圧力チャンバに関して実行され、方法はさらに：
５．第２のノズルオリフィスに関連付けられた第２の圧力チャンバを使用してドットを印刷するステップ及び／又は、アーチファクトが第１の圧力チャンバ及び／又は第１のノズルオリフィスに存在しないときスッテップ５が省略されるという条件で、第１の圧力チャンバ及び／又は第１のノズルオリフィスに存在する決定されたアーチファクトの種類に基づいて、第１のノズルオリフィスに関連付けられた第１の圧力チャンバに適用されることになるメンテナンス動作を選択するステップ；を有する。
【００６５】
上述の方法に関して、インクジェット印刷装置が：
−  圧力チャンバと；
−  圧力チャンバの第１の部分の第１の柔軟壁を形成するように配置される第１のアクチュエータ膜と；
−  第１のアクチュエータ膜の表面に動作可能に接続されるとともに作動モード及び検知モードで動作可能である第１の圧電部と；
−  圧力チャンバの第２の部分の第２の柔軟壁を形成するように配置される第２のアクチュエータ膜と；
−  第２のアクチュエータ膜の表面に動作可能に接続されるとともに作動モード及び検知モードで動作可能である第２の圧電部と；
−  圧力チャンバから印刷装置の外側表面に延び、圧力チャンバの第１と第２の部分との間の境界面に配置される、オリフィスと；を有することは、有利であり得る。
【００６６】
本実施形態で使用される用語境界面は、第１のアクチュエータ膜が圧力チャンバの第１の部分の第１の柔軟壁を形成するように配置されるとともに第２のアクチュエータ膜が圧力チャンバの第２の部分の第２の柔軟壁を形成するように配置されるように、圧力チャンバを第１及び第２の部分に分割する仮想的な面と解釈されるべきである。したがって、圧力チャンバの第１及び第２の部分は物理的に分離されていない、すなわち、組合せられた圧力チャンバの第１及び第２の部分は、圧力チャンバの内部容積と実質的に等しい、１つの内部容積を形成する。
【００６７】
この構成では、インクジェット印刷装置の最も重要な部分である、（ノズル）オリフィス及び圧力チャンバのそれを囲む部分は、第１の圧電部と第２の圧電部との間に配置される。よって、第１のアクチュエータ膜が作動モードで動作され得るとともに第２のアクチュエータ膜が検知モードで動作され得る（又はその逆の）検知モードでは、第１のアクチュエータ膜を介して第１の圧電部によって生成される圧力応答は、第２のアクチュエータ膜に関連付けられた第２の圧電部によって検知される前に、インクジェット印刷装置の最も重要な部分を通って伝搬する（又はその逆）。したがって、ノズル及び圧力チャンバのそれを囲む部分のアーチファクトの検出が改善され得る。
【００６８】
実施形態では、インクジェット印刷装置はさらに、第１の圧電部及び第２の圧電部に動作可能に接続される検出電子機器を有するので、検知モードにおいて、第１の圧電部及び／又は第２の圧電部によって生成される電気信号が検出されることができる。
【００６９】
検出電子機器は、電気信号、例えば、電位差（電圧）の発生電流、を測定するための装置を有する。
【００７０】
本発明によるインクジェット印刷装置はまた、印刷中の液滴サイズ変調が必要とされ得る、印刷方法で使用され得る。第１のアクチュエータ膜は第１の作動モードで使用されることができ、第２のアクチュエータ膜が作動されていない間、第１の作動パルスが第１のアクチュエータ膜に印加される。第１のサイズを有する液滴が生成され得る。第２の作動モードでは、第２のアクチュエータ膜は、第１のアクチュエータが作動されていない間、好ましくは第１の作動パルスと異なる、第２の作動パルスを使用して作動され得る。第２のサイズを有する液滴が生成され得る。第３の作動モードでは、第１のアクチュエータ膜は、第１の作動パルスと同じ又は異なり得る、第３の作動パルスを使用して作動され得るとともに、第２のアクチュエータ膜は、第２の作動パルスと同じ又は異なり得る、第４の作動パルスを使用して作動され得る。第３のサイズを有する液滴が生成され得る。
【００７１】
実施形態では、第１のアクチュエータ膜は常に同じ第１の作動パルスで作動されるとともに、第２のアクチュエータ膜は常に、同じ第２の作動パルスで作動され、第２の作動パルスは好ましくは第１の作動パルスと異なる。この実施形態では、３つの異なる（別々の）液滴サイズが生成され得る。
【００７２】
アクチュエータ膜は、例えば、圧電部の必要とされる厚さに応じて、ボンディング又はデポジションによって、圧電部が付けられ得る、ウエハサイズの第１のキャリアプレートを使用することによって準備され得る。圧電部を駆動するように配置される導電性構造が、キャリアプレートの上面の適切なパターンにしたがって形成され得る。第１のキャリアプレートは好ましくは、後にアクチュエータ膜を形成する上部シリコン層、後にエッチング除去される底部シリコン層、及び２つのシリコン層を分離するとともにエッチング停止として機能する二酸化ケイ素層を有するＳＯＩウエハによって形成される。
【００７３】
実際的な実施形態では、上部シリコン層したがって膜は、０．１μｍと２５μｍとの間、好ましくは０．５と１０μｍとの間、より好ましくは１と５μｍとの間の厚さを有し得る。エッチング停止は、０．１μｍと２μｍとの間の厚さを有し得るとともに、底部シリコン層は１５０と１０００μｍとの間の厚さを有し得るので、プリントヘッド組立中の高い機械的安定性が保証される。
【００７４】
圧電部の必要とされる厚さが３μｍより下である場合、より経済的な製造プロセスが適用され得る：圧電部は、ウエハサイズキャリアプレートに結合する代わりに、ウエハサイズキャリアプレートに堆積され得る。結合するプロセスは、以下のプロセスステップを必要とし得る：
−  第２のキャリアプレートに圧電部を準備するステップ；
−  圧電部を第１のキャリアプレートに結合するステップ；
−  第２のキャリアプレートを除去するステップ。
【００７５】
これらのステップは、圧電部が第１のキャリアプレートに直接堆積され得るとき、省略され得る。
【００７６】
本発明のこれらの及びさらなる特徴及び利点は、以下に限定するものでない実施形態を示す添付の図面を参照して説明される。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１Ａ】図１Ａは、画像受像部材に画像を提供するためのインクジェットプリントヘッドを適用する画像形成装置の斜視図を示す。
【図１Ｂ】図１Ｂは、インクジェットプロセスの実施形態の略図の斜視図を示す。
【図２】図２は、インクジェットプリントヘッドの実施形態の概略断面図を示す。
【図３】図３は、従来のアクチュエータ膜配置を持つ、図２のインクジェット印刷装置の断面図（ａ−ａ）を概略的に示す。
【図４】図４は、従来技術から知られるアクチュエータ膜配置を持つ、図２のインクジェット印刷装置の断面図（ａ−ａ）を概略的に示す。
【図５】図５は、図４に示されるアクチュエータ膜配置を持つ、図２のインクジェット印刷装置の断面図（ｂ−ｂ）を概略的に示す。
【図６】図６は、本発明の実施形態によるアクチュエータ膜配置を持つ、図２のインクジェット印刷装置の断面図（ａ−ａ）を概略的に示す。
【図７】図７は、図６に示されるアクチュエータ膜配置を持つ、図２のインクジェット印刷装置の断面図（ｂ−ｂ）を概略的に示す。
【図８】図８は、本発明の実施形態によるアクチュエータ膜配置を持つ、図２のインクジェット印刷装置の断面図（ｂ−ｂ）を概略的に示す。
【図９】図９は、本発明の実施形態によるアクチュエータ膜配置を持つ、図２のインクジェット印刷装置の断面図（ｂ−ｂ）を概略的に示す。
【図１０Ａ】図１０Ａは、作動パルス及び対応する圧力応答を概略的に示す。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、作動パルス及び対応する圧力応答を概略的に示す。
【発明を実施するための形態】
【００７８】
本発明が今添付の図面を参照して記載され、同じ参照数字は、幾つかの図面に渡って、同じ又は類似の要素を特定するために使用されている。
【００７９】
図１Ａは、画像形成装置３６を示し、印刷は大判インクジェットプリンタを使用して実現される。大判画像形成装置３６はハウジング２６を有し、そこに印刷組立体、例えば図１Ｂに示されるインクジェット印刷組立体が配置される。画像形成装置３６はまた、画像受像部材２８、３０を格納するための収納手段、印刷後に画像受像手段２８、３０を集めるための送出ステーション及びマーキング材料２０のための貯蔵手段を有する。図１Ａでは、送出ステーションは排紙トレイ３２として具体化される。任意選択で、送出ステーションは、印刷後に画像受像手段２８、３０を処理するための処理手段、例えば、折り畳み機又は穴開け機を有し得る。大判画像形成装置３６はさらに、印刷ジョブを受信するための手段及び任意選択で印刷ジョブを操作するための手段を有する。これらの手段は、インターフェースユニット２４及び／又は制御ユニット３４、例えばコンピュータを含み得る。
【００８０】
画像は、ロール２８、３０によって供給される画像受像部材、例えば紙に印刷される。ロール２８はロール支持部Ｒ１に支持される一方、ロール３０はロール支持部Ｒ２に支持される。代替的には、単票画像受像部材が画像受像部材のロール２８、３０の代わりに使用され得る。ロール２８、３０から切り離された画像受像部材の印刷されたシートは、排紙トレイ３２に置かれる。
【００８１】
印刷組立体での使用のためのマーキング材料の一つ一つは、マーキング材料を印刷ヘッドに供給するようにそれぞれのプリントヘッドと流体接続して構成された４つの容器２０に蓄えられる。
【００８２】
ローカルユーザインターフェースユニット２４は、プリントエンジンに統合されるとともにディスプレイユニット及びコントロールパネルを有し得る。代替的には、コントロールパネルは、例えば、タッチスクリーンコントロールパネルの形態で、ディスプレイユニットに統合され得る。ローカルユーザインターフェースユニット２４は、印刷装置３６内に配置されたコントロールユニット３４に接続される。コントロールユニット３４、例えばコンピュータは、例えばプリントプロセスを制御するように、プリントエンジンに命令を出すように適合される。画像形成装置３６は、任意選択でネットワークＮに接続され得る。ネットワークＮへの接続は、ケーブル２２の形態で図式的に示されているが、接続は無線であることができる。画像形成装置３６は、ネットワークを介して印刷ジョブを受信し得る。さらに、任意選択で、プリンタのコントローラは、ＵＳＢポートを備え得るので、印刷ジョブはプリンタにＵＳＢポートを介して送信され得る。
【００８３】
図１Ｂはインクジェット印刷組立体３を示す。インクジェット印刷組立体３は、画像受像部材２を支持するための支持手段を有する。支持手段は、図１Ｂにプラテン１として示されるが、代替的には、支持手段は平面であり得る。図１Ｂに描かれるように、プラテン１は回転可能なドラムであり、このドラムは、その軸周りに矢印Ａによって示されるように回転可能である。支持手段は、任意選択で、画像受像手段を支持手段に対して固定位置に保持するための吸引孔を備え得る。インクジェット印刷組立体３は、走査プリントキャリッジ５に取付けられた、プリントヘッド４ａ−４ｄを有する。走査プリントキャリッジ５は、主操作方向Ｂに往復動するように、適切な案内手段６、７によって案内される。各プリントヘッド４ａ−４ｄはオリフィス面９を有し、このオリフィス面９は少なくとも１つのオリフィス８を備える。プリントヘッド４ａ−４ｄは、画像受像部材２の上にマーキング材料の液滴を噴出するように構成される。プラテン１、キャリッジ５及びプリントヘッド４ａ−４ｄは、適切な制御手段１０ａ、１０ｂ及び１０ｃによってそれぞれ制御される。
【００８４】
画像受像部材２は、ウェブ又はシート形態の媒体であり得るとともに例えば、紙、ボール紙、印刷用粘着シート、コート紙、プラスチック又は織物から構成され得る。代替的には、画像受像部材２はまた、無端又はそうでない、中間部材であり得る。循環的に動かされ得る、無端部材の例は、ベルト又はドラムである。画像受像部材２は、流体マーキング材料が供給される４つのプリントヘッド４ａ−４ｄに沿ってプラテン１によって副走査方向Ａに動かされる。走査プリントキャリッジ５は、４つのプリントヘッド４ａ−４ｄを支えるとともに、主走査方向Ｂの画像受像部材２の走査を可能にするように、プラテン１と平行な主走査方向Ｂに往復動され得る。４つのプリントヘッド４ａ−４ｄのみが本発明を説明するために描かれている。実際には、任意の数のプリントヘッドが用いられ得る。いずれの場合も、マーキング材料の色ごとに少なくとも１つのプリントヘッド４ａ−４ｄが走査プリントキャリッジ５に配置される。例えば、白黒プリンタに関して、通常黒マーキング材料を含む、少なくとも１つのプリントヘッド４ａ−４ｄが存在する。代替的には、白黒プリンタは白マーキング材料を含むことができ、この白マーキング材料は黒画像受像部材２に塗布されることになる。複数の色を含む、フルカラープリンタに関して、各色、通常、黒、シアン、マゼンタ及び黄に対して少なくとも１つのプリントヘッド４ａ−４ｄが存在する。しばしば、フルカラープリンタに関して、黒マーキング材料は、違った色の付いたマーキング材料と比較してより頻繁に使用される。したがって、黒マーキング材料を含むより多くのプリントヘッド４ａ−４ｄが、他の色のいずれかのマーキング材料を含むプリントヘッド４ａ−４ｄに比べて、走査プリントキャリッジ５に設けられ得る。代替的には、黒マーキング材料を含むプリントヘッド４ａ−４ｄは、違った色の付いたマーキング材料を含むいずれのプリントヘッドよりも大きくなり得る。
【００８５】
キャリッジ５は、案内手段６，７によって案内される。これらの案内手段６，７は、図１Ｂに描かれるように、ロッドであり得る。ロッドは、適切な駆動手段（図示せず）によって駆動され得る。代替的には、キャリッジ５は、キャリッジ５を動かすことができるアーム等、他の案内手段によって案内され得る。別の代替は、画像受像部材２を主走査方向Ｂに動かすことである。
【００８６】
各プリントヘッド４ａ−４ｄは、プリントヘッド４ａ−４ｄに設けられた流体マーキング材料を収容する圧力チャンバと流体連通する、少なくとも１つのオリフィス８を有するオリフィス面９を有する。オリフィス面９には、幾つかのオリフィス８が副走査方向Ａと平行な１つの直線アレイに配置される。プリントヘッド４ａ−４ｄごとに８つのオリフィス８が図１Ｂに描かれているが、当然、実際的な実施形態では、数百のオリフィス８が、プリントヘッド４ａ−４ｂごとに、任意選択で複数アレイに配置されて、設けられ得る。図１Ｂに描かれるように、それぞれのプリントヘッド４ａ−４ｂは、それぞれのプリントヘッド４ａ−４ｂの対応するオリフィス８が主走査方向Ｂに一列に並んで位置されるように、互いに平行に配置される。これは、主走査方向Ｂの画像ドットの線が、それぞれが異なるプリントヘッド４ａ−４ｄの一部である、４つまでのオリフィス８を選択的に作動させることによって形成され得ることを意味する。対応するオリフィス８の一列に並んだ配置を伴うプリントヘッド４ａ−４ｄのこの平行な位置調整は、生産性を増加させるために及び／又は印刷品質を向上させるために有利である。代替的には、複数プリントヘッド４ａ−４ｄは、それぞれのプリントヘッド４ａ−４ｄのオリフィス８が一列に並ぶ代わりに互い違いの配置に位置付けられるように、互いに隣接してプリントキャリッジに設置され得る。例えば、これは、印刷解像度を向上させるために又は有効印刷領域を拡大するために行われことができ、主走査方向の単一の走査で対処され得る。画像ドットは、オリフィス８からマーキング材料の液滴を噴出することによって形成される。
【００８７】
マーキング材料の噴出時、あるマーキング材料は、プリントヘッド４ａ−４ｄのオリフィス面９に流出され得るとともに留まり得る。オリフィス面９に存在するインクは、液滴の噴出及びこれらの液滴の画像受像部材２への配置に悪影響を及ぼし得る。したがって、オリフィス面９から余分なインクを除去することは有利であり得る。余分なインクは、例えば、ワイパでワイピングすることによって及び／又は例えばコーティングによって提供される、表面の適切な抗濡れ特性の適用によって、除去され得る。
【００８８】
図２は、プリントヘッド４の実施形態をより詳細に示す。プリントヘッド４は、３層の材料から組み立てられる：流体吸入チャンネル４７及びアクチュエータキャビティ４４が配置されている第１の層４１；ピエゾアクチュエータ４５が配置されるとともに吸入チャンネル４７を延長するための貫通孔を備える第２の層４７；及び圧力チャンバ４６及び対応するオリフィス８（ノズルとも称される）が配置された第３の層４３。図２はボンディング層４９を示し、このボンディング層４９は、第１の層４１と第２の層４２の結合をもたらす。同様に、第２の層４２と第３の層４３は、互いに結合され得る（図示せず）。
【００８９】
プリントヘッド４は、インク組成物等、流体を、吸入チャンネル４７を通って受けるように構成される。流体は、圧力チャンバ４６を満たす。ピエゾアクチュエータ４５への適切な駆動信号の供給時、圧力応答が圧力チャンバ４６で生成され、ノズル８を通って排出される流体の液滴をもたらす。
【００９０】
図３は、図２に示された線ａ−ａに沿うとともに従来のアクチュエータ配置を有するプリントヘッド４の断面図を示す。第２の層４２はｔｍ、１の厚さを有する。原理的には、アクチュエータ膜６０は、２つの固定線の間に固定される第２の層４２の一部として定められ、この２つの固定線は、図３の断面図において点７０及び７１でそれぞれ示される。図２に４９で示される、第１の層４１と第２の層４２との間のボンディング層は、図３に示されていない。このようなボンディング層の存在は、有効膜幅をＷｍとＷＰＣとの間のどこかにするので、２つの固定線の間の距離は、ボンディング層４９の特性に応じて、ＷｍとＷＰＣとの間で変化し得る。アクチュエータ膜は、幅Ｗｍ、長さＬｍ（図２参照）、及び厚さｔｍを有し、アクチュエータ膜の幅はアクチュエータ膜の長さより小さいので、アスペクト比ＡＲ＝Ｌｍ／Ｗｍは１より大きい。ピエゾアクチュエータ４５（本発明の文脈において圧電部とも称される）の厚さはｔＰである。電気エネルギとアクチュエータ膜の機械的バイモルフ動作に関連するエネルギとの間の結合効率は、ｔＰ及びｔｍの比に依存する。この比の最適値は、アクチュエータ膜及び圧電材料の材料特性に依存し、シリコン膜及びＰＺＴ圧電材料に対して約１である。圧電部４５は、アクチュエータキャビティ４４内に配置される。適切な駆動信号を圧電部に印加することによる作動時に、圧電部は最初に、少なくともその幅方向に伸びる。圧電部４５と第１の膜６０の境界面において（図２も参照）、圧電部４５は、例えば接着層によって、アクチュエータ膜６０の表面に強固に固定される。圧電部４５の伸張はしたがって、この境界面において制限される。圧電部４５と膜の境界面と反対側の圧電部４５は自由表面である。圧電部４５の伸張はしたがって制限されない、又は少なくともより小さい程度でしか制限されない。アクチュエータ膜は、点線６５によって概略的に示されるように、バイモルフ動作によって変形される。この変形中、圧力チャンバはインクでいっぱいである。作動の第２の部分では、圧電部は、適切な駆動信号を印加することによって少なくともその幅方向に収縮する。圧電部４５の収縮はこの場合も上述の境界面で制限される。上述の自由表面における圧電部４５の収縮は制限されない、又は少なくともより少ない程度でしか制限されない。作動の第２の部分では、アクチュエータ膜は、点線６１によって概略的に示されるように、バイモルフ動作によって変形される。圧力応答が、圧力チャンバ４６内に存在するマーキング流体、例えばインク組成物に生成される。この圧力応答は、マーキング流体、例えばインク組成物の液滴がノズル８（図２参照）を通って排出されることをもたらし得る。
【００９１】
図４は、図２に示された線ａ−ａに沿うとともに従来のアクチュエータ配置を有するプリントヘッド４の断面図を示す。前述の実施形態（図３）に対して、第２の層４２の厚さｔｍは減らされている。図３に示されたアクチュエータ膜と同様のコンプライアンスを維持するために、アクチュエータ膜の幅Ｗｍが、２つの固定線の間の距離を減らすことによって減らされている。この２つの固定線は、図４の断面図において点７０及び７１で示される。したがって、圧電部の幅ＷＰもまた減らされている。作動時、アクチュエータ膜は、上述のようにそして点線６１及び６５によって概略的に示されるように、バイモルフ動作によって変形される。アクチュエータ膜の長さＬｍ（図２及び図５参照）が前述の実施形態（図３参照）と同じままである場合、アクチュエータ膜のアスペクト比（ＡＲ＝Ｌｍ／Ｗｍ）は増加するとともにアクチュエータ膜の表面積（すなわち、Ｌｍ×Ｗｍ）は減少する。図３に示された実施形態と比べて、現在の実施形態によるアクチュエータ膜の作動時に十分大きい全体の容積変位を得るために必要な駆動電圧は、より高い結合効率のために、低い。しかし、アクチュエータ膜の表面積を増加させることが圧電部４５の電気容量を増加させるので、駆動電圧は、アクチュエータ膜の表面積を増加させることによってさらにまた減少され得る。アクチュエータ膜のコンプライアンスを保持するために、アクチュエータ膜の表面積は、アクチュエータ膜のアスペクト比の増加と組み合わせて増加されるべきである。言い換えると：膜の全体の表面積が増加し、アスペクト比が増加し且つアクチュエータ膜のコンプライアンスが一定のままであるように、膜幅はさらに減少されるべきであるとともに膜長さは増加されるべきである。
【００９２】
アクチュエータ膜の長さ、したがって圧力チャンバ４６の長さＬＰＣ（図２参照）を増加させることによって、作動時に必要とされる圧力応答及び流れプロファイルを生成する効率は、前に説明されるように、減少し得る。平易な表現では、圧力チャンバ４６を満たすインクの流れは、作動周波数についていくことができない。
【００９３】
図５は、図４に示されたアクチュエータ膜配置を持つ、図２のインクジェット印刷装置の（ｂ−ｂ）断面図を示す。図５は、幅ＷＰＣ及び長さＬＰＣを有する圧力チャンバ４６を示す。明確さのために、圧電部４５の位置は、点線で示されているとともに、圧電部の寸法に関する表示は図５に示されていない。オリフィス８（ノズル）の位置の投影及び吸入チャンネル４７の位置もまた図５に示されている。この配置において、吸入チャンネル４７及びオリフィス８は、圧力チャンバ４６の長さ方向において反対側の端部に配置されている。
【００９４】
図６は、本発明の実施形態の断面図を示すとともに、図２に示された線ａ−ａに沿ったプリントヘッド４を示す。アクチュエータ膜の長さＬｍ（及び同様に圧電部の長さＬＰ）を増加させる代わりに、圧力チャンバ４６は、第１のアクチュエータキャビティ４４に配置された第１の圧電部を持つ第１のアクチュエータ膜６０及び第２のアクチュエータキャビティ５４に配置された第２の圧電部５５を持つ第２のアクチュエータ膜６２を備える。第１のアクチュエータ膜は、第１の膜長さＬｍ、１及び第１の膜幅Ｗｍ、１を有する。第１のアクチュエータ膜６０は、２つの固定線の間に固定される第２の層４２の一部として定められ、この２つの固定線は、図６の断面図において点７０及び７１でそれぞれ示される。第２のアクチュエータ膜６０は、２つの固定線の間に固定される第２の層４２の一部として定められ、この２つの固定線は、図６の断面図において点７２及び７３でそれぞれ示される。第２のアクチュエータ膜は、幅Ｗｍ、２及び長さＬｍ、２を有し（図７参照）、第２のアクチュエータ膜の幅は第２の第２のアクチュエータ膜の長さより小さい。第２のアクチュエータ膜の厚さはｔｍ、２であり、これは、この特定の実施形態では、第２の層４２の厚さと等しく、したがってｔｍ、１と等しい。しかし、ｔｍ、１及びｔｍ、２は異なってもよい。ピエゾアクチュエータ５５の厚さ（本発明の文脈では、第２の圧電部５５とも称される）はｔＰ、２であり、ｔＰ、１と同じであっても異なってもよい。第１及び第２のアクチュエータ膜を同時に作動させるに際し、アクチュエータ膜は、点線６５及び６６によって概略的に示される第１のステップ及び点線６１及び６３によって概略的に示される第２のステップの、バイモルフ動作によって同時に変形される。この実施形態は、コンプライアンスを一定に維持しながら且つ長いチャンネルの音響効果におけるランタイム効果の導入なしで、全体の膜表面積（すなわち、Ｌｍ、１×Ｗｍ、１＋Ｌｍ、２×Ｗｍ、２）とアクチュエータ膜の厚さ（ｔｍ、１、ｔｍ、２）との間の比を大きくできることを提供する。第１のアクチュエータ膜６０及び第２のアクチュエータ膜６２はまた独立して作動され得る。
【００９５】
図２に４９で示されるとともに図６に示されていない、第１の層４１と第２の層４２との間のボンディング層の存在は、第１のアクチュエータ膜６０の有効膜幅を、Ｗｍ、１とＷＰＣ、１との間のどこかにするとともに、第２のアクチュエータ膜６２の有効膜幅を、Ｗｍ、２とＷＰＣ、２との間のどこかにする。ここで、ＷＰＣ、１＋ＷＰＣ、２＝ＷＰＣである。したがって、第１のアクチュエータ膜の２つの固定線（図６に点７０及び７１で示される）の間の距離及び第２のアクチュエータ膜の２つの固定線（図６に点７２及び７３で示される）の間の距離は、ボンディング層４９の特性に応じて、Ｗｍ、１とＷＰＣ、１との間並びにＷｍ、２とＷＰＣ、２との間でそれぞれ変化し得る。ある場合には、図６に点７１で示される第１のアクチュエータ膜の固定線及び図６に点７２で示される第２のアクチュエータ膜の固定線は、不活性な膜表面積が最小にされるように、実質的に一致する。
【００９６】
図７は、図６に示された本発明の実施形態によるアクチュエータ膜配置を持つ、図２のインクジェット印刷装置の（ｂ−ｂ）断面図を示す。図７は、第１のアクチュエータ膜６０が圧力チャンバ４６’の第１の部分の柔軟壁を形成するように配置され、第２のアクチュエータ膜６２が圧力チャンバ４６”の第２の部分の柔軟壁を形成するように配置される、ことを示す。圧力チャンバ全体４６は、幅ＷＰＣ及び長さＬＰＣを有する。明確さのために、圧電部４５及び５５の位置は、点線で示されているとともに、圧電部の寸法に関する表示は図７に示されていない。オリフィス８（ノズル）の位置の投影もまた図７に示されている。オリフィス８は、圧力チャンバの第１と第２の部分の境界面に配置される。この実施形態では、アクチュエータ膜６０及び６２は、圧力チャンバ４６の幅方向（ＷＰＣ）に互いに隣接して配置される。吸入チャンネル４７及びオリフィス８は、圧力チャンバ４６の長さ方向において反対側の端部に配置されている。この実施形態では、圧力チャンバの長さＬＰＣは、図５に示される、比較的長いアクチュエータ膜を持つ圧力チャンバの長さに対して、減らされることができる。本発明は、例えば図５に示されるような従来の配置に対して、音響的な利点（例えば、より少ないランタイム効果によって生じる乱れ）を有する。
【００９７】
図８は、本発明の実施形態によるアクチュエータ膜配置を持つ、図２のインクジェット印刷装置の（ｂ−ｂ）断面図を示す。この実施形態によれば、第１のアクチュエータ膜６０は圧力チャンバ４６’の第１の部分の柔軟壁を形成するように配置され、第２のアクチュエータ膜６２が圧力チャンバ４６”の第２の部分の柔軟壁を形成するように配置され、アクチュエータ膜６０及び６２は圧力チャンバ４６の長さ（ＬＰＣ）方向に互いに隣接して配置される。
【００９８】
オリフィス８は、圧力チャンバの第１と第２の部分の境界面に配置される。この実施形態では、アクチュエータ膜６０はオリフィス８の上流に配置され、第２のアクチュエータ膜６２はオリフィス８の下流に配置される。本発明は、オリフィス８の位置のために、例えば図５に示されるような従来の配置に対して、音響的な利点（例えば、より少ないランタイム効果によって生じる乱れ）を有する。
【００９９】
この実施形態では、５０で示される圧力チャンバ４６の端部が行き止まりであるため、少なくとも圧力チャンバ（４６”）の第２の部分の一部が、流体のデッドボリューム（すなわち、ある量の動かない流体）を有し得る。
【０１００】
さらなる実施形態では、印刷装置は、圧力チャンバ（４６”）の第２の部分から流体を除去するように圧力チャンバ（４６”）の第２の部分と流体接続して配置される、排出チャンネル４８を有する。この実施形態の吸入チャンネル４７及び排出チャンネル４８は、圧力チャンバ４６の長さ方向の反対側の端部に配置される。
【０１０１】
動作において、流体は、液滴の形成（作動）が生じないときでさえ、圧力チャンバ４６を通って循環され得る（フロースルー配置）。流体は、吸入チャンネル４７を経由して圧力チャンバに入ることができ、排出チャンネル４８を経由して圧力チャンバから出ることができる。本発明によるこの配置の利点は、圧力チャンバ内のデッドボリュームが最小にされる又はさらには無いことである。
【０１０２】
図９は、本発明の実施形態によるアクチュエータ膜配置を持つ、図２のインクジェット印刷装置の（ｂ−ｂ）断面図を示す。この実施形態は、図８に示されるとともに上述された実施形態の（多くの）変形である。
【０１０３】
表１は、同様のコンプライアンスを有する幾つかのアクチュエータ膜構造を示す。
【０１０４】
【表１】
2014520011.tif 000003
表１は、アクチュエータ膜のコンプライアンスを同じに保ちながら、駆動電圧が減らされることができることを示す（項目１（図３）と２（図４）を比較されたい）。表１はさらに、全動作表面積及びアスペクト比を増加させることによって、駆動電圧がさらに減らされ得ることも示す（図４に示す実施形態による項目２及び３を比較されたい）。表１はまた、高アスペクト比、したがって、比較的大きい長さを有する１つのアクチュエータの代わりに、２つの別々に固定されたアクチュエータが使用されるとき、低駆動電圧がさらにもっと減らされることも示す（図４及び６にそれぞれ示された実施形態による項目３及び４を比較されたい）。
【０１０５】
上述の実施形態は、本発明の範囲を限定するものではない。
【０１０６】
他のプリントヘッドの設計では、２つより多い別々に固定された、すなわち機械的に切り離されたアクチュエータ膜が、駆動電圧並びに、例えば結合効率及び／又は体積変位に関するアクチュエータ性能において最適条件をもたらし得る。
【０１０７】
図示されたプリントヘッド４（図２−９）は、シリコンから製造され得るとともに、特に、リソグラフィ法及びエッチング法が第１、第２及び第３の層をシリコンウエハから形成するために用いられ得る。したがって、コンパクト且つコスト効率の良いプリントヘッド４が製造され得る。インク等、ノズル８から排出されることになる流体が、吸入チャンネル４７、圧力チャンバ４６及びノズルを通って流れる間、ピエゾアクチュエータの効率及びしたがって寿命が、流体、湿気、及び同様のものによって悪影響を及ぼされるので、いずれの流体も、アクチュエータキャビティ４４及び図６に示されるような多キャビティの第１の層４１の場合にはアクチュエータキャビティ５４にも達し得る、したがって、圧電部４５及び５５にそれぞれ達することが防止されることが望ましい。しかし、ＢＣＢ及び同等のもの等、シリコンウエハ加工に良く使われる幾つかの接着剤は、流体（インク）に対して不浸透性でない場合がある。
【０１０８】
図１０Ａ及び１０Ｂは、作動パルス１０１を示す。図１０Ａは、対応する圧力応答を示す。１つのアクチュエータ膜６０（図３）及び１つの圧電部４５（図３）を有する従来のアクチュエータ膜配置では、アクチュエータ膜は、作動モード（図１０Ａ及び１０Ｂの期間Ａによって示される）及び検知モード（図１０Ａ及び１０Ｂの期間Ｂによって示される）で連続的に使用されることができる。図１０Ａ及び１０Ｂでは、作動パルス１０１を含む作動期間Ａ及び検知期間Ｂが示され、これらの作動期間Ａ及び検知期間Ｂは、破線１００によって示される、作動パルス１０１の終了によって分けられる。しかし、曲線１０３で示されるように、作動パルスが開始するとき、圧力チャンバ内の圧力応答がすぐに開始する。
【０１０９】
本発明の実施形態では、２つのアクチュエータ膜（図６、７、８及び９の６０及び６２）が１つの圧力チャンバ（図６の４６）に関連付けられる。第１の圧電部４５(図６)を有する第１のアクチュエータ膜６０（図６）は作動モードで作動され得るとともに、同時に、第２の圧電部５５（図６）を有する第２のアクチュエータ膜６２（図６）は検知モードで作動され得る、又はその逆になる。
【０１１０】
このような方法で、作動期間が再び、図１０Ａ及び１０Ｂに時間期間Ａによって示される。しかし、検知期間は組み合わされた時間期間Ａ及びＢによって示される。言い換えると、圧力チャンバの音響の状況の検知は、作動期間と同時に開始する。したがって、この実施形態では、検知される圧力応答は、曲線１０３で示される作動パルス中の圧力チャンバ内部の圧力応答（初期圧力応答とも呼ばれる）及び曲線１０２の作動パルス後の圧力応答（残留圧力応答とも呼ばれる）の両方を含む。得られた圧力応答信号はしたがって、上述のように、１つのアクチュエータ膜が作動モードと検知モードで連続的に作動される場合より、圧力チャンバ内部の音響の状況に関してより上方を提供し得る。
【０１１１】
第２のアクチュエータ膜への圧力応答の伝達慣性のために存在し得る、第２のアクチュエータ膜の検出応答における微小遅延のために、第２のアクチュエータ膜によって検知された圧力応答は、時間において僅かにシフトされ得る（図１０Ａに１０４で示される）。上述の方法を適用することによって、検出された圧力応答は、曲線１０２及び曲線１０３で示される圧力応答を含む。
【０１１２】
図１０Ｂは、検知された圧力応答（図１０Ａの１０２及び１０３）が、１０２’及び１０３’及びノイズ信号で示された、実際の圧力応答の和であることを示す。図１０Ｂは、初期圧力応答（図１０Ａの曲線１０３）に対応する信号の第１の部分の信号対ノイズ比が、残留圧力応答（図１０Ａの曲線１０２）に対応する信号の第２の部分の信号対ノイズ比より大きいことを示す。
【０１１３】
信号対ノイズ比（ＳＮＲ）は、次の式で定義され得る：
ＡＮＲ＝Ａｓｉｇｎａｌ２／Ａｎｏｉｓｅ２
ここで：
ＳＮＲは信号対ノイズ比；
Ａｎｏｉｓｅは、ノイズの振幅；
Ａｓｉｇｎａｌは、信号の振幅；である。
【０１１４】
ノイズ及び信号の振幅の単位は、ＳＮＲが無次元化数であるように、同じである。本発明では、第１の圧電部によって生成された圧力応答を検出時に第２の圧電部によって生成される信号は、電気信号であり得る。検出された信号の振幅の単位は、例えば、誘導電流が測定される場合にはＡ（アンペア）又は誘導電位差（電圧）が測定される場合にはＶ（ボルト）であり得る。
【０１１５】
それとは独立して、次の例が与えられ得る：
ノイズの振幅（２倍のノイズの振幅が１０７で示される）が初期圧力応答に対応する信号の振幅（１０８で示される）の約１５％である場合、ＳＮＲは１２／０．１５２＝４４．４である。本例では約０．７５倍に減衰される、残留圧力応答（例えば１０９で示される）に対応する信号の振幅は、初期圧力応答（１０８）に対応する信号の振幅の約７５％である。（絶対的に）同じノイズレベルでは、残留圧力応答に対応する信号のＳＮＲは、（０．７５＊１）２／０．１５２＝２５である。ＳＮＲはさらに、残留圧力応答がさらに減衰されるとき、さらに減少し、これは図１０Ａ及び１０Ｂに示される。信号対ノイズ比が大きいほど、圧力チャンバの音響の状況に関する検知された圧力応答はより情報を提供するようになる。
【０１１６】
本発明の詳細な実施形態がここに開示されるが、開示された実施形態は単なる本発明の例示であり、本発明は様々な形態で実施され得ることが理解されるべきである。したがって、ここに開示される特定の構造的な及び機能的な詳細は、限定するものとして解釈されるべきではなく、単に特許請求の範囲の基礎として及び本発明を仮想的及び適切な詳細な構造に様々に用いるための当業者への教示の代表的な基礎として解釈されるべきである。特に、別々の従属請求項に記載された特徴は、組み合わせて適用され得るとともに、このような請求項のいずれの組合せもこれにより開示されている。さらに、ここに使用される用語及び句は限定することが意図されるものではなく、むしろ、本発明の理解可能な記載を提供することを意図するものである。ここに使用される用語“ａ”又は“ａｎ”は１つ又は１つより多い定義される。ここに使用される用語他は、少なくとも第２のまたはそれ以上として定義される。ここに使用される用語有するは、有する（含む）（すなわち、オープンランゲージ）として定められる。ここに使用される用語動作可能に接続されるは、協働することとして定義され、必ずしも動作可能に接続される部品が直接接続されることを意味しない。
【図１Ａ】
2014520011.tif 000004
【図１Ｂ】
2014520011.tif 000005
【図２】
2014520011.tif 000006
【図３】
2014520011.tif 000007
【図４】
2014520011.tif 000008
【図５】
2014520011.tif 000009
【図６】
2014520011.tif 000010
【図７】
2014520011.tif 000011
【図８】
2014520011.tif 000012
【図９】
2014520011.tif 000013
【図１０Ａ】
2014520011.tif 000014
【図１０Ｂ】
2014520011.tif 000015
【国際調査報告】
2014520011.tif 000016
2014520011.tif 000017
2014520011.tif 000018