(57)【要約】キャピラリーの装着及び解除を自動工程で自動化することができるように改善したキャピラリー自動取替システムを提供する。キャピラリーを先端でクランピングするクランピング部を持つクランピングローダーが着脱可能に設置されるベースと、前記ベースにＸ軸方向に水平往復移動可能に設置されるメインステージと、前記メインステージでＸ軸と交差するＹ軸方向に水平往復移動可能に設置されるサブステージと、前記サブステージ上にＺ軸方向に往復移動可能に設置され、使用済みのキャピラリーが回収されて搭載され、供給すべき新しいキャピラリーが搭載されるキャピラリー搭載ユニットと、前記メインステージ上でＸ、Ｙ、Ｚ軸方向のそれぞれに移動可能なキャピラリークランパーを持つキャピラリー回収／供給ユニットと、前記サブステージに設置され、前記クランピングローダーのクランピング部を選択的に解除させてキャピラリーの分離及び装着を可能にするクランピング解除ユニットと、前記メインステージを往復移動させるための第１駆動部と、前記サブステージを往復移動させるための第２駆動部と、前記キャピラリー回収／供給ユニットをＹ軸方向に往復移動させるための第３駆動部と；を含むことを特徴とするキャピラリー自動取替システム。
2014516213.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャピラリーを先端でクランピングするクランピング部を持つクランピングローダーが着脱可能に設置されるベースと；
前記ベースにＸ軸方向に水平往復移動可能に設置されるメインステージと；
前記メインステージでＸ軸と交差するＹ軸方向に水平往復移動可能に設置されるサブステージと；
前記サブステージ上にＺ軸方向に往復移動可能に設置され、使用済みのキャピラリーが回収されて搭載され、供給すべき新しいキャピラリーが搭載されるキャピラリー搭載ユニットと；
前記メインステージ上でＸ、Ｙ、Ｚ軸方向のそれぞれに移動可能なキャピラリークランパーを持つキャピラリー回収／供給ユニットと；
前記サブステージに設置され、前記クランピングローダーのクランピング部を選択的に解除させてキャピラリーの分離及び装着を可能にするクランピング解除ユニットと；
前記メインステージを往復移動させるための第１駆動部と；
前記サブステージを往復移動させるための第２駆動部と；
前記キャピラリー回収／供給ユニットをＹ軸方向に往復移動させるための第３駆動部と；を含むことを特徴とする、キャピラリー自動取替システム。
【請求項２】
前記キャピラリー搭載ユニットは、
前記キャピラリーが装着される複数の装着孔を持つ搭載部材と；
前記サブステージに設置され、前記搭載部材を選択的に昇降させる第１昇降駆動部と；を含むことを特徴とする、請求項１に記載のキャピラリー自動取替システム。
【請求項３】
前記キャピラリー回収／供給ユニットは、
前記メインステージでＹ軸方向に往復移動可能に設置される移動ブロックと；
前記移動ブロックにＺ軸方向に往復移動可能に設置される昇降ブロックと；
前記昇降ブロックを昇降駆動させる第２昇降駆動部と；
前記昇降ブロックにＸ軸方向に往復移動可能に設置され、前記キャピラリーをクランピングするクランパーを持つローダーブロックと；
前記ローダーブロックをＹ軸方向に往復移動させる水平駆動部と；を含むことを特徴とする、請求項１に記載のキャピラリー自動取替システム。
【請求項４】
前記クランピング解除ユニットは、
前記クランピングローダーのクランピング部に連結された作動空間に挿入される非円形の解除ピンと；
前記解除ピンを回転可能に支持する昇降部材と；
前記サブステージに設置され、前記昇降部材を昇降駆動させる昇降駆動部と；
前記解除ピンを回転させるピン駆動部と；を含み、
前記解除ピンの回転状態によって前記クランピングローダーのクランピング部が広がるか狭くなって前記キャピラリーをクランピングするとか解除することができることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載のキャピラリー自動取替システム。
【請求項５】
前記第１駆動部は、
前記ベースに設置される第１ラックギア部と；
前記第１ラックギア部と噛み合う第１駆動ギアと；
前記メインステージに設置され、前記第１駆動ギアを回転駆動させる第１駆動モーターと；を含むことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載のキャピラリー自動取替システム。
【請求項６】
前記第２駆動部は、
前記メインステージに設置される第２ラックギア部と；
前記第２ラックギア部と噛み合う第２駆動ギアと；
前記サブステージに設置され、前記第２駆動ギアを回転駆動させる第２駆動モーターと；を含むことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載のキャピラリー自動取替システム。
【請求項７】
前記第３駆動部は、
前記メインステージ設置される第３ラックギア部と；
前記第３ラックギア部と噛み合う第３駆動ギアと；
前記キャピラリー回収／供給ユニットに設置され、前記第３駆動ギアを回転駆動させる第３駆動モーターと；を含むことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載のキャピラリー自動取替システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はキャピラリーを自動で取り替えることができるキャピラリー自動取替システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤボンド（ｗｉｒｅｂｏｎｄ）工程とは、半導体パッケージ（ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｐａｃｋａｇｅ）の製作のために経ることになる工程の一つであり、半導体チップ（ｃｈｉｐ）と基板（ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）をゴールドワイヤ（ｇｏｌｄ ｗｉｒｅ）で連結させて電気的信号が流れるようにすることで、半導体が電気的特性を持つようにする工程を言う。
【０００３】
前記ワイヤボンド工程に使われるキャピラリー（Ｃａｐｉｌｌａｒｙ）は、前記ゴールドワイヤを直接接合してワイヤ軌跡（ｗｉｒｅ ｌｏｏｐ）を作るのに使われる道具である。服を作るのに使われるミシンを例としてあげれば、針のような役目をするものがキャピラリーであり、糸にあたるものがゴールドワイヤである。
【０００４】
前記キャピラリーは消耗品で、使用量には限度があり、使用量の限度によって取り替える必要がある部品である。従来のキャピラリー取替過程を詳細に説明すれば、ワイヤボンド装備にキャピラリー使用量の限界値を入力した後、その使用量の限界値に到逹すれば、ワイヤボンド装備が警告（ａｌａｒｍ）を発生させて作業者を呼び出す。その後、作業者は警告が発生したワイヤボンド装備においてキャピラリーの使用量を初期化し、キャピラリーを固定している固定ネジを除去した後、新しいキャピラリーを装着する。すなわち、従来のキャピラリー取替は作業者の手作業に相当に依存する工程であった。
【０００５】
実際の半導体パッケージング工程現場においては、ワイヤボンド工程の特性上ワイヤボンド装備が数百台に至る場合が多いから、ワイヤボンド過程で多くの装備のキャピラリーを取り替えなければならないので、多くの作業者の努力が必要であるという問題点があった。また、キャピラリーの固定用固定ネジを除去して再設置する過程においても長時間が必要となるため、キャピラリー取替工程に多大な時間及び費用の損失があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は前記のような点に鑑みてなされたもので、キャピラリーの装着及び解除を自動工程で自動化することができるように改善したキャピラリー自動取替システムを提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するための本発明のキャピラリー自動取替システムは、キャピラリーを先端でクランピングするクランピング部を持つクランピングローダーが着脱可能に設置されるベースと；前記ベースにＸ軸方向に水平往復移動可能に設置されるメインステージと；前記メインステージでＸ軸と交差するＹ軸方向に水平往復移動可能に設置されるサブステージと；前記サブステージ上にＺ軸方向に往復移動可能に設置され、使用済みのキャピラリーが回収されて搭載され、供給すべき新しいキャピラリーが搭載されるキャピラリー搭載ユニットと；前記メインステージ上でＸ、Ｙ、Ｚ軸方向のそれぞれに移動可能なキャピラリークランパーを持つキャピラリー回収／供給ユニットと；前記サブステージに設置され、前記クランピングローダーのクランピング部を選択的に解除させてキャピラリーの分離及び装着を可能にするクランピング解除ユニットと；前記メインステージを往復移動させるための第１駆動部と；前記サブステージを往復移動させるための第２駆動部と；前記キャピラリー回収／供給ユニットをＹ軸方向に往復移動させるための第３駆動部と；を含むことを特徴とする。
【０００８】
ここで、前記キャピラリー搭載ユニットは、前記キャピラリーが装着される複数の装着孔を持つ搭載部材と；前記サブステージに設置され、前記搭載部材を選択的に昇降させる第１昇降駆動部と；を含むことが好ましい。
【０００９】
また、前記キャピラリー回収／供給ユニットは、前記メインステージでＹ軸方向に往復移動可能に設置される移動ブロックと；前記移動ブロックにＺ軸方向に往復移動可能に設置される昇降ブロックと；前記昇降ブロックを昇降駆動させる第２昇降駆動部と；前記昇降ブロックにＸ軸方向に往復移動可能に設置され、前記キャピラリーをクランピングするクランパーを持つローダーブロックと；前記ローダーブロックをＹ軸方向に往復移動させる水平駆動部と；を含むことが好ましい。
【００１０】
また、前記クランピング解除ユニットは、前記クランピングローダーのクランピング部に連結された作動空間に挿入される非円形の解除ピンと；前記解除ピンを回転可能に支持する昇降部材と；前記サブステージに設置され、前記昇降部材を昇降駆動させる昇降駆動部と；前記解除ピンを回転させるピン駆動部と；を含み、前記解除ピンの回転状態によって前記クランピングローダーのクランピング部が広がるか狭くなって前記キャピラリーをクランピングするとか解除することができることが好ましい。
【００１１】
また、前記第１駆動部は、前記ベースに設置される第１ラックギア部と；前記第１ラックギア部と噛み合う第１駆動ギアと；前記メインステージに設置され、前記第１駆動ギアを回転駆動させる第１駆動モーターと；を含むことが好ましい。
【００１２】
また、前記第２駆動部は、前記メインステージに設置される第２ラックギア部と；前記第２ラックギア部と噛み合う第２駆動ギアと；前記サブステージに設置され、前記第２駆動ギアを回転駆動させる第２駆動モーターと；を含むことが好ましい。
【００１３】
また、前記第３駆動部は、前記メインステージ設置される第３ラックギア部と；前記第３ラックギア部と噛み合う第３駆動ギアと；前記キャピラリー回収／供給ユニットに設置され、前記第３駆動ギアを回転駆動させる第３駆動モーターと；を含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のキャピラリー自動取替システムによれば、キャピラリーを自動で取り替えることができる。したがって、従来のように手作業でキャピラリーを取り替える方式に比べ、作業時間を節減し、自動化による精密な取替作業を可能にして信頼性を高めて費用を節減することができる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１ａ】本発明の実施例によるキャピラリー自動取替システムを示した斜視図である。
【図１ｂ】図１ａの状態で、メインステージがＸ軸方向に移動した状態を示した図である。
【図２】図１ｂの状態で、サブステージとキャピラリー回収／供給ユニットがＹ軸方向に移動した状態を示した図である。
【図３】使用済みのキャピラリーを回収する動作を説明するための図である。
【図４】使用済みのキャピラリーを回収する動作を説明するための図である。
【図５】使用済みのキャピラリーを回収する動作を説明するための図である。
【図６】使用済みのキャピラリーを回収する動作を説明するための図である。
【図７】新しいキャピラリーを装着する動作を説明するための図である。
【図８】新しいキャピラリーを装着する動作を説明するための図である。
【図９】新しいキャピラリーを装着する動作を説明するための図である。
【図１０】図１ａに示したクランピングローダーの要部を拡大して示した図である。
【図１１】図１ａに示した第１〜第３駆動部を説明するための概略的な平面構成図である。
【図１２ａ】図１ａに示した解除ピン駆動部の動作を説明するための図である。
【図１２ｂ】図１ａに示した解除ピン駆動部の動作を説明するための図である。
【図１３】図１ａに示したキャピラリー搭載ユニットを拡大して示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面に基づいて本発明の実施例によるキャピラリー自動取替システムを詳細に説明する。
【００１７】
図１ａ〜図１３を参照すれば、本発明のキャピラリー自動取替システム１００は、キャピラリー１１を先端でクランピングするクランピング部２１を持つクランピングローダー２０が着脱可能に設置されるベース１１０と、ベース１１０にＸ軸方向に水平往復移動可能に設置されるメインステージ１２０と、前記メインステージ１２０に移動可能に設置され、使用済みのキャピラリー１１及び供給すべき新しいキャピラリー１２が搭載されるキャピラリー搭載ユニット１３０と、メインステージ１２０に対してＸ軸と交差するＹ軸方向に水平往復移動可能に設置されるサブステージ１４０と、メインステージ１２０上に移動可能に設置されるキャピラリー回収／供給ユニット１５０と、サブステージ１４０に設置され、クランピングローダー２０のクランピング部２１を選択的に解除させてキャピラリー１１の分離及び装着を可能にするクランピング解除ユニット１６０と、メインステージ１３０を往復移動させるための第１駆動部２１０と、サブステージ１４０を往復移動させるための第２駆動部２２０と、キャピラリー回収／供給ユニット１５０をＹ軸方向に往復移動させるための第３駆動部２３０とを備える。
【００１８】
前記ベース１１０には、前記クランピングローダー２０が着脱可能に支持されるローダー装着部１１１設置される。前記ローダー装着部１１１にクランピングローダー２０が装着され、クランピングローダー２０はその先端にキャピラリー１１の外側を取り囲んでクランピングするためのクランピング部２１を備える。前記クランピング部２１は、図１０に示したように、やっとこ状のもので、互いに広げられた状態でキャピラリー１１を挟んだ後、弾性力によって復元しながら圧搾してキャピラリー１１をクランピングするキャピラリー装着部２１ａと、キャピラリー装着部２１ａに連通するように形成され、一定空間を持つ解除ピン結合部２１ｂとを持つ。前記解除ピン結合部２１ｂでクランピング解除ユニット１６０の非円形の断面構造を持つ解除ピン１６１が挿入された後、９０度程度回転すれば、前記解除ピン１６１によってキャピラリー装着部２１ａが強制的に広がることによってクランピング状態であったキャピラリー１１が解除できる。したがって、使用済みのキャピラリー１１をクランピング部２１から分離することができ、新しいキャピラリー１２を広げられたキャピラリー装着部２１ａに挟みこむことができるようになる。
【００１９】
ベース１１０上にはメインステージ１２０がＸ軸方向に往復移動可能に設置される。メインステージ１２０は前記第１駆動部２１０によってベース１１０上で往復移動する。前記第１駆動部２１０は、ベース１１０上に設置される第１ガイドレール２１１と、第１ガイドレール２１１と平行に設置される第１ラックギア部２１２と、第１ラックギア部２１２と噛み合う第１駆動ギア２１３を駆動させる第１駆動モーター２１５とを備える。第１駆動モーター２１５はメインステージ１２０に設置されて正逆回転駆動可能なステッピングモーターであることができ、このような第１駆動モーター２１５の駆動によって第１駆動ギア２１３と第１ラックギア部２１２の相対的なギア連動によってメインステージ１２０をＸ軸方向に往復移動させることができるようになる。
【００２０】
メインステージ１２０にはサブステージ１４０がＹ軸方向に往復移動可能に設置される。サブステージ１４０は第２駆動部２２０によってメインステージ１２０上で往復移動する。ここで、第２駆動部２２０は、サブステージ１４０に備えられた第２ガイドレール２２１と、第２ガイドレール２２１と平行に設置される第２ラックギア部２２２と、第２ラックギア部２２２と噛み合う第２駆動ギア２２３と、第２駆動ギア２２３を回転駆動させるための第２駆動モーター２２５とを備える。第２駆動モーター２２５はサブステージ１４０に設置され、正方向及び逆方向の回転駆動可能なステッピングモーターを含むことができる。前記構成によれば、第２駆動モーター２２５を駆動させれば、第２駆動ギア２２３が回転駆動され、第２ラックギア部２２２とのギア連動によってサブステージ１４０がＹ軸方向に移動することができる。
【００２１】
また、サブステージ１４０にはキャピラリー搭載ユニット１３０が昇降可能に設置される。キャピラリー搭載ユニット１３０は、図６〜図９及び図１３に示したように、キャピラリーが装着される装着孔１３１ａを持つ搭載部材１３１と、搭載部材１３１を昇降駆動させるための第１昇降駆動部１３２とを備える。前記搭載部材１３１には装着孔１３１ａが一定間隔で複数形成され、それぞれの装着孔１３１ａには回収された使用済みのキャピラリー１１と、供給するための新しいキャピラリー１２とがそれぞれ搭載されることができる。前記第１昇降駆動部１３２は、サブステージ１４０に設置された支持ブラケット１３３に支持されて駆動時に搭載部材１３１を昇降駆動させる油圧シリンダーを含む。このように、第１昇降駆動部１３２によって搭載部材１３１が昇降することによって、前記キャピラリー回収／供給ユニット１５０によって回収されたキャピラリー１１を容易に回収し、新しいキャピラリー１２をキャピラリー回収／供給ユニット１５０で容易にクランピングして供給するようにする。前記支持ブラケット１３３には搭載部材１３１の上下移動をガイドするガイド部１３３ａが備えられる。
【００２２】
前記キャピラリー回収／供給ユニット１５０は、メインステージ１２０においてＹ軸方向に往復移動可能に設置される移動ブロック１５１と、移動ブロック１５１に上下方向（Ｚ軸方向）に往復移動可能に設置される昇降ブロック１５２と、前記昇降ブロック１５２を昇降駆動させる第２昇降駆動部１５３と、昇降ブロック１５２にＹ軸方向に往復移動可能に設置され、キャピラリー１１、１２をクランピングするクランパー１５４ａ（図５参照）を持つローダーブロック１５４と、ローダーブロック１５４をＸ軸方向に往復移動させる水平駆動部１５５とを備える。
【００２３】
前記移動ブロック１５１は第３駆動部２３０によってＹ軸方向に往復移動する。ここで、第３駆動部２３０はメインステージ１２０においてＹ軸方向に平行に設置される第３ガイドレール２３１と、第３ガイドレール２３１と平行に配置される第３ラックギア部２３２と、第３ラックギア部２３２と噛み合う第３駆動ギア２３３と、第３駆動ギア２３３を駆動させる第３駆動モーター２３５とを備える。第３駆動モーター２３５は正方向及び逆方向駆動可能なステッピングモーターであることが好ましく、駆動の際、第３駆動ギア２３３と第３ラックギア部２３２の連動によって移動ブロック１５１を往復移動させることができるようになる。
【００２４】
前記移動ブロック１５１は第３ガイドレール２３１に沿ってメインステージ１２０上で往復移動可能に設置される。この移動ブロック１５１には前記第３駆動モーター２３５が設置される。
【００２５】
前記昇降ブロック１５２は昇降駆動部１５３によって上下方向、つまりＺ軸方向に往復移動する。前記昇降駆動部１５３は、昇降ブロック１５２の昇降をガイドする昇降レール１５３ａを持つ支持ブロック１５３ｂと、支持ブロック１５３ｂに設置され、昇降ブロック１５２を昇降させる油圧シリンダー１５３ｃとを備える。前記油圧シリンダー１５３ｃの駆動によって昇降ブロック１５２が昇降レール１５３ａに沿って所定の高さだけ昇降することができる。昇降ブロック１５２には、ローダーブロック１５４が水平駆動部１５５によって水平方向、つまりＹ軸方向に往復移動可能に連結される。ローダーブロック１５４の先端にはクランパー１５４ａが設置され、駆動時にキャピラリー１１、１２を取り囲んでクランピングするとかクランピング解除することができるように備えられる。前記クランパー１５４ａは互いに近づくか離隔するように駆動される一対のやっとこ部材を含む構成のもので、やっとこ部材によってキャピラリー１１、１２をクランピングして移動させた後、クランピング解除して移動位置に位置するようにすることができる。このようなクランパー１５４ａは、一般的に産業全般で広く使われるロボットアームのクランパー構造と同様なものに理解することができるので、これ以上詳細な説明は省略する。
【００２６】
前記水平駆動部１５５は、一端に前記ローダーブロック１５４が連結され、昇降ブロック１５２にスライド可能に設置される支持ガイド１５５ａと、昇降ブロック１５２に設置され、駆動時にローダーブロック１５４を選択的に水平移動させる油圧シリンダー１５５ｂとを備える。支持ガイド１５５ａは一対が備えられることができ、油圧シリンダー１５５ｂは一対の支持ガイド１５５ａの間に設置されることができる。
【００２７】
前記構成を持つキャピラリー回収／供給ユニット１５０は、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸のそれぞれに３軸方向に移動しながら前記クランピングローダー２０のクランピング部２１に装着された使用済みのキャピラリー１１を回収してキャピラリー搭載ユニット１３０に移動させて搭載させ、キャピラリー搭載ユニット１３０に搭載されている新しいキャピラリー１２をクランピングしてクランピングローダー２０のクランピング部２１に装着させることができるようになる。
【００２８】
前記クランピング解除ユニット１６０は、クランピングローダー２０のクランピング部２１からキャピラリー１１を分離し、新しいキャピラリー１２を装着することができるようにクランピング部２１をクランピング解除させるためのものである。このようなクランピング解除ユニット１６０は、解除ピン１６１と、解除ピン１６１を支持する昇降部材１６２と、昇降部材１６２を昇降させるための昇降駆動部１６３と、前記解除ピン１６１を回転させるためのピン駆動部１６４とを備える。
【００２９】
解除ピン１６１はその断面形状が非円形に形成され、昇降部材１６１の端部に回転可能に設置される。この解除ピン１６１はクランピングローダー２０のクランピング部２１に隣接した解除ピン結合部２１ａに結合され、結合された状態でおよそ９０度だけ回転すれば、非円形の作動空間２２を広げてクランピング部２１が緩まるようにすることができる。
【００３０】
前記昇降部材１６２は、解除ピン１６１がクランピングローダー２０の作動空間２２の下部に移動した状態で上昇して解除ピン結合部２１ａに結合され、下降時に分離されるようにするために前記昇降駆動部１６３によって昇降可能に設置される。
【００３１】
昇降駆動部１６３は、昇降部材１６２の昇降をガイドする昇降ガイド１６３ａと、昇降ガイド１６３ａを持つガイドブロック１６３ｂと、昇降部材１６２を昇降駆動させるための油圧シリンダー１６３ｃとを備える。ガイドブロック１６３ｂと油圧シリンダー１６３ｃはサブステージ１４０に設置される。
【００３２】
図１２ａ及び図１２ｂを参照すれば、前記ピン駆動部１６４は、サブピン駆動モーター１６４ａと、ピン駆動モーター１６４ａの駆動軸に連結される駆動ギア１６４ｂと、駆動ギア１６４ｂと噛み合って回転するように昇降部材１６２に回転可能に設置される従動ギア１６４ｃと、前記従動ギア１６４ｃと同軸上で回転する回転板１６４ｄと、回転板１６４ｄと前記解除ピン１６１を連結するリンク部材１６４ｅとを備える。従動ギア１６４ｃは駆動ギア１６４ｂと噛み合った状態で昇降部材１６２とともに昇降し、駆動ギア１６４ｂから動力を受けて回転する。前記リンク部材１６４ｅは、一端は解除ピン１６１の回転中心に連結され、他端は従動ギア１６４ｃとともに同軸上で回転する回転板１６４ｄの回転中心から外れて偏心した位置に連結され、両端部の間に関節が備えられる。このような構成のリンク部材１６４ｅによって、従動ギア１６４ｃが被動回転するとき、解除ピン１６１を所定角度、好ましくは９０度だけ回転させ、回転復帰させることができるようになり、解除ピン１６１によるクランピングローダー２０のクランピング部２１の解除動作が自動でなされるように制御することができる。
【００３３】
以下、前記構成を持つ本発明の実施例によるキャピラリー自動取替システム１００の作用効果について詳細に説明する。
【００３４】
まず、図１ａに示したように、ベース１１０に設けられたローダー装着部１１１に使用済みのキャピラリー１１が装着されたクランピングローダー２０を装着する。この状態で、第１駆動部２１０を駆動させ、図１ｂに示したように、メインステージ１２０をＸ軸方向に移動させる。
【００３５】
ついで、第２駆動部２２０と第３駆動部２３０を駆動させてサブステージ１４０とキャピラリー回収／供給ユニット１５０を、図２に示したように、Ｙ軸方向に移動させてクランピングローダー２０に近くに位置させる。
【００３６】
ついで、クランピング解除ユニット１６０を駆動させて解除ピン１６１をクランピングローダー２０の作動空間２２に挿入する。すなわち、昇降部材１６２を上昇させることで、解除ピン１６１が作動空間２２に挿入されるようにする（図３参照）。この状態で、ローダーブロック１５４をＸ軸方向に移動させてクランピング部２１の下部に位置させた後、さらに上部に移動させることで、ローダーブロック１５４のクランパー１５４ａがクランピング部２１にクランピングされたキャピラリー１１をクランピングするようにする（図４参照）。キャピラリー１１がクランパー１５４ａによってクランピングされた後には、ピン駆動部１６４を駆動させることで、解除ピン１６１を、図１０に示したように、９０度だけ回転させる。すると、非円形の解除ピン１６１が解除ピン結合部２１ｂを広げることにより、クランピング部２１のキャピラリー１１に対するクランピング状態が解除される。すると、ローダーブロック１５４をさらに下降させた後にさらに後進（Ｘ軸方向に移動；図５参照）させた後、Ｙ軸方向に移動させることにより（図６参照）、クランピング部２１にクランピングされたキャピラリー１１が分離されてクランパー１５４ａにクランピングされた状態で前記キャピラリー搭載ユニット１３０の上部に位置する。
【００３７】
この状態で、キャピラリー搭載ユニット１３０を上昇させ、ローダーブロック１５４を下降させることで、キャピラリー１１を装着孔１３１ａに装着させた後、クランパー１５４ａをクランピング解除させれば、装着孔１３１ａに回収したキャピラリー１１が装着される。そして、ローダーブロック１５４を移動させ、キャピラリー搭載ユニット１３０に装着された新しいキャピラリー１２に対応する位置に移動させる（図７参照）。
【００３８】
移動後、クランパー１５４ａを作動させて新しいキャピラリー１２をクランピングした後、さらにローダーブロック１５４を回収動作の逆順に移動させることで、キャピラリー１２が、図８に示したように、クランピングローダー２０のクランピング部２１に装着されるように位置させる。
【００３９】
新しいキャピラリー１２が仮装着された状態で、ピン駆動部１６４を駆動させて解除ピン１６１をさらに９０度だけ回転させて元の位置に位置させれば、広がったクランピング部２２が、図１０に示したように、狭くなってキャピラリー１２が強くクランピングされて固定される。
【００４０】
このように、新しいキャピラリー１２がクランピングローダー２０に装着されれば、クランパー１５４ａのクランピング状態を解除させた後、ローダーブロック１５４を初期位置に移動させる（図９参照）。
【００４１】
また、前記昇降部材１６２を下降させて解除ピン１６１を作動空間２２から分離した後、サブステージ１４０とキャピラリー回収／供給ユニット１５０をＹ軸方向に移動させて初期位置に移動させ、続いてメインステージ１２０を元の位置に位置させることで、キャピラリーの自動取替動作が仕上げられる。
【００４２】
以上、本発明を本発明の原理を例示するための好適な実施例に基づいて示して説明したが、本発明はここに示されて説明されたままの構成及び作用に限定されるものではない。むしろ、添付の請求範囲の思想及び範囲を逸脱しない範疇内で本発明の多様な変更及び修正が可能であるのが当業者によってよく理解可能であろう。
【符号の説明】
【００４３】
１１、１２    キャピラリー
２０    クランピングローダー
１００    キャピラリー自動取替システム
１１０    ベース
１２０    メインステージ
１３０    キャピラリー搭載ユニット
１４０    サブステージ
１５０    キャピラリー回収／供給ユニット
１６０    クランピング解除ユニット
２１０    第１駆動部
２２０    第２駆動部
２３０    第３駆動部
【図１ａ】
2014516213.tif 000003
【図１ｂ】
2014516213.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２ａ】
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【図１２ｂ】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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