(57)【要約】  例えばクリームのような塗布用ペーストで満たされた複数層のウエハースブロックを製造する為の装置および方法であって、第一のウエハースブロック構成要素（２）が移送平面（３０）に沿って堆積領域（８）に搬送され、そこで把持装置（４）によって移送平面（３０）から持ち上げられ、引き続いて、または同時に、第二のウエハースブロック構成要素（３）が移送平面（３０）に沿って堆積領域（８）に搬送され、そして第一のウエハースブロック構成要素（２）が第二のウエハースブロック構成要素（３）上に、接合過程中に上から載置される、及び／又は押付けられる。
2014513973.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
例えばクリームのような、複数層の塗布用ペーストで満たされた複数層のウエハースブロックを製造するための方法であって、
・第一のウエハースブロック構成要素（２）が、移送平面に沿って堆積領域（８）に搬送され、
・そこで把持装置（４）によって移送平面（３０）から持ち上げられ、
・引き続いて、または同時に、第二のウエハースブロック構成要素（３）が移送平面（３０）に沿って堆積領域（８）に搬送される方法において、
・第一のウエハースブロック構成要素（２）が第二のウエハースブロック構成要素（３）上に、接合過程中に上から載置され、及び／又は押さえつけられることを特徴とする方法。
【請求項２】
第一のウエハースブロック構成要素（２）および第二のウエハースブロック構成要素（３）が、接合過程の如何なる時点においても移送方向（１１）において同じ速度であり、その際、速度がゼロでないことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
第一のウエハースブロック構成要素（２）が、把持装置（４）により移送方向（１１）における前方の位置で移送平面（３０）から持ち上げられ、および、移送方向（１１）にける後方の位置で後続するウエハースブロック構成要素上に載置されることを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
第一のウエハースブロック構成要素（２）および第二のウエハースブロック構成要素（３）が共に、把持装置（４）により移送方向（１１）における前方の位置において移送平面（３０）から持ち上げられ、移送方向（１１）における後方の位置において後続するウエハースブロック構成要素上に載置されることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
ウエハースブロック構成要素が、第一の搬送装置（１）により堆積領域（８）へと搬送されることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
第一のウエハースブロック構成要素（２）が、二つの合同かつ平行に重なり合っているウエハースシートとして形成されており、その際、ウエハースシートの間に、例えばクリームのような塗布用ペーストからなる少なくとも一つの層が設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
第二のウエハースブロック構成要素（３）がウエハースシートから形成されており、このウエハースシートが一方の平坦面に、好ましくは把持部の方の面に、例えばクリームのような塗布用ペーストからなる一つの層を備えることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
例えばクリームのような塗布用ペーストで満たされた複数層のウエハースブロックを製造するための装置であって、
・ウエハースブロック構成要素を移送平面（３０）に沿って移送方向（１１）へ搬送するための第一の搬送装置（１）を有し、
・およびウエハースブロック構成要素の堆積化の為の把持装置（４）を有する装置において、
・把持装置（４）が把持部（５）を有し、この把持部が少なくとも区分的に移送平面（３０）に沿って可動に配置されていることを特徴とする装置。
【請求項９】
把持部（３０）が、少なくとも二つの位置転換的な自由度に沿って可動であることを特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
把持部（５）を移動させるための少なくとも一つの把持アームが設けられていることを特徴とする請求項８または９に記載の装置。
【請求項１１】
把持アームが、其々、少なくとも一つの駆動部を備えることを特徴とする請求項８から１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１２】
カウンターホルダー（１４）が設けられていることを特徴とする請求項８から１１のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１３】
カウンターホルダー（１４）が、移送平面（３０）に沿って移送方向（１１）に、および移送方向（１１）と反対にスライド可能に配置されていることを特徴とする請求項８から１２のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１４】
把持部（５）が、カウンターホルダー（１４）に対して基本的に鉛直にスライド可能に配置されていることを特徴とする請求項８から１３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１５】
把持部（５）が、カウンターホルダー（１４）に対して基本的に平行に、位置転換的にスライド可能に配置されていることを特徴とする請求項８から１４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１６】
把持部（５）が、負圧プレートとして実施されており、および開口部を備え、これら開口部が少なくとも部分的に第一のウエハースブロック構成要素（２）により閉じられることが可能であることを特徴とする請求項８から１５のいずれか一項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばクリームのような塗布用ペーストで満たされた複数層のウエハースブロックを製造するための方法および装置であって、第一のウエハースブロック構成要素が移送平面に沿って堆積領域に搬送され、そこで把持装置によって移送平面から持ち上げられ、引き続いて又は同時に、第二のウエハースブロック構成要素が移送平面に沿って堆積領域に搬送される方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリームによって満たされた複数層のウエハースブロックを製造するための方法および装置は、永いこと公知であり、多くの実施形が公表されている。
【０００３】
例えば、クリームによりコーティングされたウエハースシートが第一平面内で堆積所へ搬送され、そこで第二平面内へと持ち上げられ、そしてウエハースブロックのすでに持ち上げられた部分に下から接合され、その際、各コーティングされたウエハースシートは、まず持ち上げられた状態で保持されたウエハースブロックの部分の下へとずらされ、そしてその後持ち上げられ、そしてそのようにして形成されたウエハースブロックが、持ち上げられた状態で堆積所から引き離される。
【０００４】
先行技術に相当するウエハースブロックを製造するための堆積兼押圧装置は、多くの場合、供給されるウエハースシートの移送平面に沿って配置された一つの当たり止めを備えており、移動されたウエハースシートはこの当たり止めにて停止され、そして別のウエハースシートが堆積化の目的で供給される。現在のウエハース焼き窯と現在のクリームおよび他の塗布用ペーストの為の塗布機械は、毎分６０から１００のウエハースシートという高いスループットで製造を行う又は塗布を行うよう装備されている。ウエハースシートの通常の大きさは、略４００ｍｍ×８００ｍｍである。このような量を短時間に処理することができるよう、コーティングされた又はコーティングされていない個々のウエハースシートの堆積化を可能な限り効率的に行い、その際完成した製品の品質を損なうことが無いということが必要である。
【０００５】
先行技術に相当する構造において不利であるのは、ウエハースシートが堆積領域において停止され、堆積化され、そして再び加速される必要があるという点である。ウエハースシート、特にウエハース焼き窯内で閉鎖可能なベーキング用トングによって高い圧力および高い温度のもと焼き上げられるクリスピータイプのもろいフラットウエハースの低い抵抗性に基づいて、ウエハースシートは、任意に加速され、または減速されるということが不可能である、というのはそうしないと構造的損傷、特に割れ、シート縁部における損傷、および更なる損傷に至る可能性があるからである。このようにして損傷したウエハースブロック、例えば欠けてしまった縁部やウエハースシート内部のひびは製造プロセスの後に選出され、廃棄物として除外されなければならない。先行技術に相当する製造方法およびその装置における更なる不利益は、堆積過程の正確性が、特に正確に等しいウエハースシートの重なり合っての位置決めが十分に達成されない点である。これによって縁部領域では、部分的に重なり合った又は飛び出した個々のウエハースシートが生じる。縁部は、引き続いて処理される、または切り取られなければならず、このことは再度、多くの不良品をもたらす。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
よって、以下の発明の課題は、例えばクリームのような塗布用ペーストで満たされた複数層のウエハースブロックを製造するための方法および装置であって、高いスループットを可能とし、特に複数のウエハースブロックを短時間に製造することができ、およびその際、品質に対する高い要求に十分であって、その上、不良品を最少とし、製造において簡単かつ安価であって、並びにメンテナンスと運転中に効率的であるものを完成することである。
【０００７】
ウエハースは、好ましくはフラットウエハースである。ウエハースの製造の為に、例えば、ウエハースシート、特にクリスピータイプのもろいフラットウエハースがトング式自動焼き器内で焼かれ、ウエハースシートが高い圧力で閉じられロックされたウエハーストング内で焼き上げられおよび引き続いて冷却されるという装置および方法が公知である。ウエハースシートは、好ましくは薄くかつクリスピータイプのもろいウエハースで、４００×８００ｍｍまでの大きさを有するものである。このウエハースは、例えばシュニッテンブロック（Ｓｃｈｎｉｔｔｅｎ−Ｂｌｏｅｃｋｅｎ）を形成するために使用される。このシュニッテンブロックは、例えばウエハースシートとクリームフィリングによる交互の層からなる層状の構造を備えている。シュニッテンブロックは、例えば二つのウエハースシートおよびその間に位置する一つのクリーム層や、二つのウエハースシートとその間の複数のクリーム層から成り、しかしまた二より多くのウエハースシート層から成ることもまた可能であり、その際、二つのウエハースシートの間に、各一又は複数のクリーム層が配置される。多くの場合、シュニッテンブロックは、外側に位置する二つの平面に各一つのウエハースシートを備える。よって、巻上げ層はウエハースシートとして実施されている。
【０００８】
よって本発明の課題は、塗布用ペーストで満たされた複数層のウエハースブロックを製造するための方法および装置であって、高いスループットが図られ、その際、ウエハースブロック構成要素が正確に重なり合って位置しており、ウエハースブロック構成要素ができる限り丁寧に処理され、およびその際、装置が製造面で安価であり、メンテナンス面で安価である方法および装置を完成させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る課題は、第一のウエハースブロック構成要素が、第二のウエハースブロック構成要素に一つの接合過程中に上から載置され、及び／又は押さえつけらることにより解決される。
【００１０】
更に本発明は、第一のウエハースブロック構成要素と第二のウエハースブロック構成要素が、接合過程のいずれの時点においても同じ速度を有しており、その際速度がゼロでない点、第一のウエハースブロック構成要素が把持装置によって、移送方向における前方の位置で移送平面から持ち上げられ、および移送方向における後方の位置において後続するウエハースブロック構成要素上に載置される点、および第一のウエハースブロック構成要素と第二のウエハースブロック構成要素が共に、把持装置によって、移送方向における前方の位置において移送平面から持ち上げられ、そして移送方向における後方の位置において後続するウエハースブロック構成要素上に載置される。有利には、本方法は、ウエハースブロック構成要素は第一の搬送装置によって堆積領域に搬送される点第一のウエハースブロック構成要素が、二つの合同かつ平行な重なり合って位置するウエハースシートから形成される点、その際ウエハースシートの間には、例えばクリームのような塗布用ペーストからなる少なくとも一つの層が設けられる点、および第二のウエハースブロック構成要素が、ウエハースシートから形成され、このウエハースシートが平坦面に、好ましくは把持部の方の面に、例えばクリームのような塗布用ペーストからなる一つの層を備えている点において際立っている。
【００１１】
ウエハースブロック構成要素を移送平面に沿って移送方向に搬送するための第一の搬送装置と、ウエハースブロック構成要素の堆積化の為の把持装置を有している、例えばクリームのような塗布用ペーストで満たされた複数層のウエハースブロックを製造するための発明に係る装置においては、把持装置が把持部を有し、この把持部が少なくとも区分的に移送平面に沿って可動に配置されている点、把持部が少なくとも二つの位置転換的な自由度に沿って可動である点、少なくとも一つの把持アームが把持部（５）の移動の為にもうけられている点、および把持アームが其々少なくとも一つの駆動部を備えている点において有利である。
【００１２】
更に、カウンターホルダーが設けられており、カウンターホルダーが移送平面い沿って移送方向におよび移送方向と反対にスライド可能に配置されており、および把持部が、カウンターホルダーに対して基本的に鉛直にスライド可能に配置されていることは、本発明思想に合致する。
【００１３】
更に、把持部がカウンターホルダーに対して基本的に平行に位置変換的にスライド可能に配置されており、および把持部が負圧プレートとして実施され、かつ開口部を有し、これらが少なくとも部分的に第一のウエハースブロック構成要素により閉じられることが可能である点、肯定的に補足される。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明を実施例に基づき詳細に説明する。
【００１５】
図１は、第一の搬送装置１を有する発明に従う装置を、簡略的にカット図として示す。この搬送装置上では、ウエハースブロックの構成要素が、移送平面３０上に沿って堆積領域８の方向へと搬送される。堆積領域８中には、可動式の把持装置４が配置されており、この把持装置が、例えば堆積、プレス、持ち上げ、下げおろし等といった本方法の本質的部分を担う。把持装置４は、把持部５を有している。これは、本実施例においては、負圧プレートとして実施されており、およびその、第一の搬送装置１と反対の側に負圧導管９、負圧ポンプ１０および負圧ポンプ１０の保護の為のエアフィルター３１を備えている。第一の搬送装置の方の側には、把持部５は開口部または空孔を有しており、これらは、吸引されたウエハースシートまたは吸引された第一のウエハースブロック構成要素２によって閉じられる。開口部が閉じられることにより、負圧が発生し、この負圧がウエハースシートまたはウエハースブロック構成要素をある保持力で把持部５に保持する。
【００１６】
更に把持装置４は、把持部５と接続されたベースボディ２８を備える。把持アーム、特に前方の把持アーム６と後方の把持アーム７は、可動式に把持部５及び／又はベースボディ２８と接続されている。後方との表示は、搬送方向１１における後方の位置と関係する。
【００１７】
把持アームは、其々駆動部を備えており、その際、前方の駆動アームは一つの前方の駆動部１２をそして後方の把持アームは、一つの後方の駆動部１３を備えている。これらは、本実施形においてはモーター３２，３３により駆動される。前方のモーター３２は、ギアを介して前方の駆動部１２を駆動し、および後方のモーター３３は別のギアを介して後方の駆動部１２を駆動する。さらに把持装置は、複数のガイド要素を備えており、これらガイド要素によって運動学または自由度およびその可動自在性が決定される。さらに、堆積領域８にはカウンターホルダー１４が設けられている。このカウンターホルダーは、ウエハースシートまたはウエハースブロック構成要素が堆積領域において把持部５とカウンターホルダー１４の間に存在するよう配置されている。カウンターホルダーは、様々なプロセス部分において第一の搬送装置１の方向に向けられている把持部５の力に反応するよう配置されている。
【００１８】
全装置は、機械フレーム１５に配置されており、この機械フレームは更に、ここでは図示されていない装置を介して他の機械又は床に固定されている。
【００１９】
その上、検出部１６が設けられている。検出部は、図示されていない制御ユニット１７と接続されており、ウエハースブロック構成要素の進入の時点の決定に使用され、および、把持装置４特に把持アーム６，７の動作の同期及び制御の為に使用される。把持部、把持装置、負圧ポンプ、第一の搬送装置、及び／又は、搬送アームの駆動部等も、制御ユニット１７によって制御されることが可能である。
【００２０】
ウエハースの形成の為の方法は、複数のステップで実施される。
【００２１】
ウエハースシートが、トング焼き窯内で焼かれおよび冷却装置によって冷却される。この冷却装置は、クリスピータイプで脆くかつ薄い平坦形状の焼かれたウエハースシートを搬送装置に移送する。引き続いてウエハースシートは、一方の側に塗布用ペースト、特にクリームや複数層の塗布用ペーストを塗られる。塗布用ペーストの塗布は、例えば接触式塗布装置、ローラー式塗布装置、フィルム式塗布装置といった塗布装置内で行われるか、又はノズルによる塗布によってや同様の装置によって行われる。一方の側をコーティングされたウエハースシートは、引き続いて重なり合って堆積化され、これによって複数層の構造を形成する。通常、ウエハースブロックは、２，３，４，５や更に多くのウエハースシートの層が存在し、その際、ウエハースシートの間には、其々一または複数のクリームの層が設けられる。多くの場合、ウエハースブロックの最上層と最下層は、其々、ウエハースシートの少なくとも一部から形成されている。
【００２２】
ウエハースブロックを形成するために、第一のウエハースブロック構成要素２が第一の搬送装置１によって堆積領域に移送される。第一の搬送装置１は、バンドコンベヤとして形成されており、および駆動されるバンド１８を備えている。当該バンドは転向ロールによって戻り案内される。ウエハースブロック構成要素の移送の他の可能性は、例えばベルトコンベヤ、ローラーコンベヤ等である。
【００２３】
第一のウエハースブロック構成要素は、好ましくは三層に構成され、および二つの外側に位置するウエハースシートを備え、これらウエハースシートがその間に存在するクリームフィリングにより満たされている。第一のウエハースブロック構成要素２は、所定の速度で第一の搬送装置から堆積領域へと搬送される。可動に配置された把持部５は、移送方向１１において、少なくとも把持過程の直前に同じ速度で搬送方向を共に移動し、および上から第一のウエハースブロック構成要素２へと載置される。その際、把持部５は把持アーム６，７によって後方の状態から、第一の搬送装置上に位置する第一のウエハースブロック構成要素２へと押さえつけられる。第一のウエハースブロック構成要素によって、把持部５の空孔は閉じられ、その際、負圧ポンプ１０と閉じられた負圧導管９によって、空孔内には負圧が形成されることができる。負圧からは、吸引されたウエハース構成要素の表面を介して保持力が生じ、この保持力によってウエハースブロック構成要素は、プレート形状の把持部５に保持される。その際、載置と吸引の過程の間、把持部は第一の搬送装置および第一のウエハースブロック構成要素２と搬送方向１１を共に移動するということが補足される。
【００２４】
図２は、発明に係る装置の一つの状態を示す。この状態において、把持部５は、第一のウエハースブロック構成要素に載置され、そして図２ａに示されるような後方の状態から、図２ｂに示されるような前方の状態へと移行する。後方の状態から前方の状態への移行の間、把持部は、移送方向での移動に加えて、追加的な移動を移送方向に対して鉛直な方向、特に第一のウエハースブロック２の方向へ、そして更にバンド１８の方向へ行う。第一の搬送装置１のバンド１８の撓みを防止するため、把持部５の下方にカウンターホルダー１４が設けられている。これは、移送方向１１および移送平面３０に沿ってスライド可能に配置され、しかし垂直方向へのスライドはブロックされている。今、把持部が第一のウエハースブロック構成要素に押付けられると、この力は引き続いてバンド１８へと伝達される。当該バンドは、更にカウンターホルダー１４に支持されている。カウンターホルダーは、把持部５と同様に第一のウエハースブロック構成要素の速度で連行される。よって好ましくは、堆積領域８における把持部５、第一のウエハースブロック構成要素２、バンド１８およびカウンターホルダー１４といった構成要素の間にスリップが発生しない。今、全結合体は、移送平面３０に沿って堆積領域８の端部まで動かされる。図２ｃに表されるように、把持部はそこで搬送装置１のバンド１８から持ち上げられる。保持力によって第一のウエハースブロック構成要素２が同様に持ち上げられ、そしてバンド１８から引き離される。把持部５の移動は、把持アーム６，７の駆動部１２，１３の制御によって行われる。この過程の間、把持プレートの速度は基本的に、移送方向１１におけるバンド１８の速度から逸脱している。引き続いて把持部５は、バンド１８から引き離され、そして垂直方向に持ち上げられる。これは図２ｄに表されている。
【００２５】
図２ｅは、別の状態を示している。この状態において、把持部の移動は移送方向１１と反対に行われる。把持部５は、前方の把持アーム６と後方の把持アーム７によって移送方向１１と反対に動かされ、そして、図２ｆに表されているように、後方位置の方向へ戻り案内される。
【００２６】
図２ｅ−２ｆに表されている把持部の戻り動作の間、第二のウエハースブロック構成要素３が、第一の搬送装置１によって堆積領域８の方向へ搬送される。第一のウエハースブロック構成要素２および把持部は、第一の搬送装置により持ち上げられ、これによって、これ（第一の搬送装置）は邪魔されずに、第二のウエハースブロック構成要素３を堆積領域に供給することができる。
【００２７】
図２ｇは、後方の死点の近くの状態、詳しく言うと、把持部５のここに表された左の方向、つまり移送方向１１と反対方向の最大限の可動自在性の近くの状態を示す。その際、把持部５は、第二のウエハースブロック構成要素３の上方に存在し、これと平行に移動する。第二のウエハースブロック構成要素３の上方での把持部５の位置または動作は、制御ユニット１７を介して同期されている。
【００２８】
例えばライトバリアとして実施される検出部１６が、同期と、これに伴い第一のウエハースブロック構成要素２の第二のウエハースブロック構成要素３上への正確な載置を定める。このため制御ユニットは、把持アーム６，７の駆動部１２，１３の動作に介入する。第二のウエハースブロック構成要素３が堆積領域８に存在するとき、図２ｇに表されるように、把持部は付着した第一のウエハースブロック構成要素２と共に、第二のウエハースブロック構成要素３の上方でこれと同じ速度で連行され、そして引き続いて、図２ｈに表されるようにこの上に載置される。第二のウエハースブロック構成要素は、好ましくは２層に実施されており、そしてその下方の側、バンド１８上に位置する側にウエハースシートを備えており、そして把持部５の方の側にクリームまたは塗布用ペーストからなる一つの層を備えている。その際、第一のウエハースブロック構成要素は正確に合同にダインのウエハースブロック構成要素上に押さえつけられ、これによって一つのウエハースブロックが生じ、このウエハースブロックは、この場合、三層のウエハースシートとその間に位置するクリームフィリングの二つの層から成る。
【００２９】
把持部は、再びバンド１８の方へと押付けられる。圧力又はそれから生じる力の受け台として、移送方向１１に案内されたカウンターホルダー１４が設けられている。この過程において、把持部５、第一のウエハースブロック構成要素２、第二のウエハースブロック構成要素３、バンド１８の上方の部分、およびカウンターホルダー１４は、同じ速度で移送方向１１を移動する。後方の状態から前方の状態への移動の間、移送方向における移動の他に、移送方向に対して鉛直方向への移動、特に第一のウエハースブロック構成要素を第二のウエハースブロック構成要素に重ね合わせ押付けるための移動も行われる。
【００３０】
載置および押付け過程は、図２ａおよび２ｂに表されている。
【００３１】
堆積領域８の端部において、第一のウエハースブロック構成要素２と第二のウエハースブロック構成要素３の結合体が、第二のウエハースブロック構成要素３とともに持ち上げられる。この第二のウエハースブロック構成要素はクリームの粘着により第一のウエハースブロック構成要素と接続されており、この第一のウエハースブロック構成要素が再度保持力によって把持部に付着している。
【００３２】
今、ウエハースブロックはバンドから持ち上げられ、そして図２ｃから２ｇに見られるように後方の状態へと戻される。その間に、第三のウエハースブロック構成要素が供給され、上述した第二のウエハースブロック構成要素のように、把持部に保持されるウエハースブロック構成要素と接続される。
【００３３】
その際、把持部５は制御ユニット１７によって制御された円形の輪郭にそって移動する。移動は特に図２ａから２ｈに表されており、その際、複数のウエハース構成要素の堆積化の為に、この円移動は任意の回数繰り返されることが可能である。複数の例えば三つのウエハースブロック構成要素の堆積化の際は、図２ｈに表された状態の後の次のステップとして、再び図２ａに類似した状態が続く。しかしその際、把持部５は、円形の移動の第一の行程内においてよりも所定の値だけ垂直方向に高く位置する。この値は、基本的に、これまで形成されたウエハースブロックの高さに相当する。したがって図２ａから２ｈの位置は、連続して動かされるプロセス中あいついで続き、その際、状態の順番は、図２ａから２ｈのアルファベット順に一致している。
【００３４】
更なる引き続くウエハースブロック構成要素上に、把持部５に保持された現存するウエハースブロックを載置するため、把持部およびその上に存在するウエハースブロックが、動かされ後に続くウエハースブロック構成要素の上方に連行され、そして引き続くウエハースブロック構成要素に対して基本的に直角な動作で載置される。両方の部材、つまり把持部５と付け加えられたウエハースブロック構成要素は、移送方向１１の方向を搬送装置１の速度で移動する。後続するウエハースブロック構成要素上への把持部５の正確な載置を図るために、検出部１６が設けられている。これは、後続するウエハースブロック構成要素の進入の時点を検出する。制御ユニット１７によって把持部の移動が、特に把持アーム６，７の移動が第一の搬送装置の速度に同期される。引き続いて把持部は、付着した現存するウエハースブロックとともに後続するウエハースブロック構成要素に載置され、そしてこれを堆積領域中でバンド１８に対して、および更にはカウンターホルダー１４に対して押さえつける。把持部５およびカウンターホルダー１４のプレート形状の形態によって、及ぼされた圧力により、ウエハースブロックの高さは所定の領域へと変化する。特に大量生産の際には、製造される製品が所定の寸法公差に合っていることが極めて重要である。この目的のためウエハースブロックは堆積化され、これによってある標準寸法に押しつぶされる。プレート形状の把持部５がカウンターホルダー１４に対して押さえつけられるこの押圧過程は、移送方向１１に沿う連続的移動の間に行われる。
【００３５】
堆積過程において、把持部は、各行程において所定の値だけより少なくバンド１８の方向へと、堆積化されたウエハースブロック構成要素の厚さに応じて降下する。望まれるウエハースブロック厚さが、または望まれる層数が達成されると、把持部はウエハースブロックから離される。引き続いて、これは第一の搬送装置によって搬出される。
【００３６】
しかし代替として、一度目の実行の後に、つまり第一のウエハースブロック構成要素を第二のウエハースブロック構成要素の上に載置しおよび押さえ付けた後に、把持部５のウエハースブロックとの接続が解除されるということもまた可能である。引き続いてウエハースブロックは第一の搬送装置を介して搬出される。
【００３７】
把持部に負圧がもはや及ぼされず、よって保持力が消滅し、およびウエハースブロックがもはや把持部に保持されなくなることによって、解除が行われる。好ましくは、この分離は、ウエハースブロックが第一の搬送装置１のバンド１８上に位置するときに行われる。
【００３８】
全堆積過程が連続的に行われ、つまり個々のウエハースブロック構成要素がバンドにおいて停止される必要が無く、同様な移動の間、これから持ち上げられそして互いに接続される点が、補足として述べられる。
【００３９】
図３は、本発明に係る装置の簡略図を示す。その際、表された要素は部分的にカットされて表されている。視線方向は、基本的に図１の移送方向に従う。
【００４０】
装置は、把持部５およびカウンターホルダー１４を有する把持装置４を有している。把持部５およびカウンターホルダー１４は、運動学的な拘束（力）を互いに有している。よって双方のプレートは互いに平行に案内される。一方のプレートの他方に対する傾斜は、ガイド要素の少ない遊びの範囲内においてのみ可能である。把持部５とカウンターホルダー１４の平行案内は、ボルト１９およびブッシュ２０を介して行われる。その際、複数のブッシュ２０が、一方の要素に設けられており、この要素中にボルトが案内され、スライド可能に配置されており、このボルトが各他方の要素と接続されている。本実施形においては、四つのボルト１９が把持部５及び／又は把持部のベースボディ２８と堅固に接続されている。ボルトは、基本的に垂直、詳しく言うと移送方向およびプレート形状の把持部５の主延在方向に対して垂直な方向に推移している。ボルト１９は、カウンターホルダー１４と堅固に接続されているブッシュ２０内に突出している。ブッシュは開口部を備えており、この開口部内にボルト１９が挿入されることが可能である。ブッシュの開口部は、ボルトの直線的な移動のみが可能であるように形成されている。直線的な移動の方向は、基本的に、プレート形状の把持部５の主延在方向上の法線に一致している。さらに負圧ポンプ１０、エアフィルター３１および負圧導管９といったコンポーネントが保持力発生の為に設けられている。
【００４１】
この場合、カウンターホルダー１４は、プレート形状に実施され、および直線的に移送方向に沿ってスライド可能に配置されている。特にカウンターホルダー１４は堆積領域８内でスライド可能に配置されている。運動学的にとは、カウンターホルダー１４が移送方向に沿って直線的にのみ動かされることが可能であることを意味する。案内は、直線的ガイド要素２９の配置によって与えられる。把持部５は、再び、カウンターホルダー１４に対して平行かつ直線的にのみに動かされることが可能である。しかし、把持部５のカウンターホルダー１４に対する位置転換的移動の方向は移送方向に鉛直（この場合垂直）であり、他方で、カウンターホルダー１４の可能な移動方向および位置転換的な自由度の方向が移送方向に従う、つまりこの場合水平に推移する。この運動学の構成により、把持部５は、よって垂直にも水平にも動かされることが可能である。一方で機械フレーム１５に介入し、そして他方で把持部５及び／又はベースボディ２８に介入する前方の把持アーム６および後方の把持アーム７を介して、移動は行われる。例えば図４にも表されているように、其々、二つの前方の把持アームおよび二つの後方の把持アームが配置されることが可能である点、補足的に述べられる。
【００４２】
前方の把持アーム６は、一つの前方の駆動部１２を有している。この駆動部は、回転駆動部として実施されており、およびその中央に回転軸を備え、当該回転軸の周りに第一のアーム２１が回転可能に配置されている。その際、前方のモーター３２は、ギアを介して前方の駆動部を駆動する。第一のアーム２１は、その前方の駆動部１２と反対側の端部に回転支承部２５を備え、この回転支承部を介して、これ（第一のアーム）は、第二のアーム２２と接続されている。この回転支承部は、例えばボルト・ブッシュ接続部として実施されている。これは、第二のアーム２２の第一のアーム２１に対する回転支承部２５の回転軸を中心とした回転動作を可能とする。第二のアーム２２は、再び、その第一のアームと反対側の端部において、回転支承部２５を介して把持部５及び／又はベースボディ２８と接続されている。第二のアーム２２の把持部５との接続は、同様に第二のアーム２２の回転支承部２５を中心とした自由回転を可能とする。
【００４３】
後方の把持アームも同様に形成されており、および後方のモーター３３によって駆動される後方の駆動部１３を備えており、この駆動部が第三のアーム２３を回転的に駆動することができる。これ（第３のアーム）は、後方の駆動部１３と反対側の端部に再び一つの回転支承部２５を備えており、この回転支承部を介してこれ（第３のアーム）は第４のアーム２４と接続されている。第４のアームは、回転支承部２５を介して把持部５及び／又はベースボディ２８に回転可能に配置されている。制御された駆動部１２，１３の駆動によって、把持部５の機械フレーム１５に対する状態は、運動学的境界内で選択されることができる。把持アームの配置は、最も広い意味においてはコンロッドの運動学的形態に一致しており、その際、垂直方向の移動に追加的に、両方の駆動部によって水平方向の移動もまた実現されることが可能である。両方の駆動部は、図示されていない制御ユニット１７によって制御されている。明確性を改善するために以下に自由度についてより正確に述べる。
【００４４】
前方の駆動部１２、後方の駆動部１３、および全ての回転支承部２５の回転軸は、図１中に投影されて推移している。第一の搬送装置の駆動部と転向ロールの回転軸も同様に投影されている。第一のアーム２１および第二のアーム２２は、お互いに回転自由度を備えており、その際、この回転自由度の回転軸は、回転支承部２５の回転軸に一致する。同様に、第三のアーム２３および第四のアーム２４も互いに回転可能に配置されており、その際、回転軸は、回転支承部２５の回転軸に一致する。第四のアームおよび第二のアームは把持部５に着手する。アーム２２および２４が、把持部５に直接着手せず、把持部５と接続されたベースボディ２８に着手する点、補足的に述べられる。ベースボディ２８は、把持部と強固に接続されていることが可能であり、その際、把持部５はばね付勢されてまたは制限されて、ベースボディに対して可動に配置されていいることが可能である。把持部５またはベースボディ２８は、カウンターホルダー１４に対して平行に案内されて配置されている。ベースボディ２８および把持部５は、よって、カウンターホルダー１４に対する一つの位置転換的な自由度を備えている。カウンターホルダー１４は、再び、一つの位置転換的な自由度を備えており、この自由度は、把持部５の自由度に対して基本的に直角に推移する。カウンターホルダーは、よって、移送方向１１に沿って位置転換的にスライド可能に配置されており、およびバンド１８の上方の部分の下方すれすれに推移している。カウンターホルダー１４は、バンドの上側と、戻って走行するバンドの下側の間に配置されている。したがって、これは、ウエハースブロック構成要素が載置されるバンドの部分の直下を推移する。好ましくはカウンターホルダー１４は、駆動部１２，１３の移動および制御に応じて、堆積領域８内でウエハースブロック構成要素の直下に存在しており、移送方向１１に沿ってこれに追従する。
【００４５】
図４は、第一の搬送装置１、第一のウエハースブロック構成要素２、把持部５を有する把持装置４、二つの前方の把持アーム６、および二つの後方の把持アーム７、およびベースボディ２８を有する発明に係る装置の斜視図を示す。把持部５は、ほぼ閉じられた円形状の輪郭にそって移動し、その際、下げ降ろされた領域内においては移送方向における直線状の案内を行い、その後持ち上げ動作、基本的に直線状の戻り動作、そして最後に再び下げ降ろし動作を行う。
【００４６】
さらに、負圧導管９、負圧ポンプ１０、前方の駆動部１２、後方の駆動部１３およびカウンターホルダー１４が設けられている。更にその上、機械フレーム１９と強固に検出部１９が配置されており、この検出部が図示されていない制御ユニット１７と接続されている。第一の搬送装置１のバンド１８は、駆動部２６と転向ロール２７を備えている。さらにベースボディ２８にボルト１９が設けられており、これらボルトがカウンターホルダー１４のブッシュ２０内に案内されて支承されている。
【００４７】
ここで、本発明は上述した実施例に制限されるものでない点、補足される。発明の思想に一致する他の実施形は、全明細書、図及び／又は請求項から把握される個々の又は複数の特徴の組合せからもまた生じる。異なる実施例から生ずる特徴の組合せから成る実施形もまた開示されている。図は、少なくとも部分的に簡略的な表現であり、その際、寸法および比率は、他の図として表されていない実施例又は特徴および現実の実施形から逸脱している可能性がある。
【符号の説明】
【００４８】
１     第一の搬送装置
２     第一のウエハースブロック構成要素
３     第二のウエハースブロック構成要素
４     把持装置
５     把持プレート
６     前方の把持アーム
７     後方の把持アーム
８     堆積領域
９     負圧導管
１０   負圧ポンプ
１１   移送方向
１２   前方の駆動部
１３   後方の駆動部
１４   カウンターホルダー
１５   機械フレーム
１６   検出部
１７   制御ユニット
１８   バンド
１９   ボルト
２０   ブッシュ
２１   第一のアーム
２２   第二のアーム
２３   第三のアーム
２４   第四のアーム
２５   回転支承部
２６   第一の搬送要素の駆動部
２７   転向ロール
２８   ベースボディ
２９   直線的ガイド要素
３０   移送平面
３１   エアフィルター
３２   前方のモーター
３３   後方のモーター
【図１】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図２ｃ】
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【図２ｄ】
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【図２ｅ】
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【図２ｆ】
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【図２ｇ】
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【図２ｈ】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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