(57)【要約】本開示は、材料を貯蔵するためのライナーに関し、ライナーは、少なくとも２つの層を含み、材料に接触する層は、活性層である。活性層は、スカベンジャを層内に組み込むことによって、活性化され得る。ライナーの少なくとも１つの層は、ポリマーまたはフルオロポリマーを備え得る。いくつかの実施形態では、活性層は、フォトレジスタ中のマイクロブリッジ構成要素を除去するように構成され得る。いくつかの実施形態では、活性層は、ガラス等の不活性材料を用いて層の内部をコーティングすることによって、活性化され得る。さらなる実施形態では、ライナーは、ステンレス鋼キャニスタ内に位置付けられ得る。本開示はまた、材料を貯蔵するためのライナーと、その中にライナーが位置付けられているオーバパックと、ライナーとオーバパックとの間に位置付けられている浄化パケットとを含む、ライナーをベースとするアセンブリに関する。
2014502235.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料を貯蔵するためのライナーであって、前記ライナーは、少なくとも２つの層を備え、前記材料と接触する層は、活性層である、ライナー。
【請求項２】
前記活性層は、前記層内にスカベンジャを組み込むことによって、活性化される、請求項１に記載のライナー。
【請求項３】
前記ライナーの少なくとも１つの層は、ポリマーを備えている、請求項２に記載のライナー。
【請求項４】
前記ライナーの少なくとも１つの層は、フルオロポリマーを備えている、請求項２に記載のライナー。
【請求項５】
前記活性層は、フォトレジスタ中のマイクロブリッジ構成要素を除去するように構成されている、請求項２に記載のライナー。
【請求項６】
前記活性層は、不活性材料を用いて前記層の内部をコーティングすることによって活性化される、請求項１に記載のライナー。
【請求項７】
前記不活性材料は、ガラスを備えている、請求項６に記載のライナー。
【請求項８】
ステンレス鋼キャニスタ内に位置付けられている、請求項１に記載のライナー。
【請求項９】
材料を貯蔵するためのライナーであって、前記ライナーは、少なくとも２つの層を備え、前記材料に接触しない層は、活性層である、ライナー。
【請求項１０】
前記活性層は、前記層内にスカベンジャを組み込むことによって活性化される、請求項９に記載のライナー。
【請求項１１】
前記ライナーの少なくとも１つの層は、ポリマーを備えている、請求項１０に記載のライナー。
【請求項１２】
前記ライナーの少なくとも１つの層は、フルオロポリマーを備えている、請求項１０に記載のライナー。
【請求項１３】
ライナーをベースとするアセンブリであって、
材料を貯蔵するためのライナーと、
オーバパックであって、前記ライナーは、前記オーバパックの中に位置付けられている、オーバパックと、
前記ライナーと前記オーバパックとの間に位置付けられている浄化パケットと
を備えている、ライナーをベースとするアセンブリ。
【請求項１４】
前記浄化パケットは、スカベンジャを備えている、請求項１３に記載のライナーをベースとするアセンブリ。
【請求項１５】
前記ライナーは、少なくとも２つの層を備え、前記層のうちの少なくとも１つは、活性層である、請求項１３に記載のライナーをベースとするアセンブリ。
【請求項１６】
ライナーをベースとするアセンブリであって、
有毒ガスを貯蔵するための容器と、
ライナーであって、前記容器は、前記ライナーの中に位置付けられている、ライナーと、
前記容器と前記ライナーとの間に位置付けられているゲッターと、
を備えている、ライナーをベースとするアセンブリ。
【請求項１７】
前記ゲッターは、前記容器内に貯蔵されているガスを誘引可能な材料、または、前記ガスと反応可能な材料を含む浸透性パッケージングを備えている、請求項１６に記載のライナーをベースとするアセンブリ。
【請求項１８】
前記ゲッターは、前記材料が前記容器からのガスと反応している場合に色を変えるように構成されている部分を備え、それによって、前記容器からガスが漏れていることを示す、請求項１７に記載のライナーをベースとするアセンブリ。
【請求項１９】
外側容器をさらに備え、前記ライナーおよびシリンダが、前記外側容器の中に位置付けられている、請求項１７に記載のライナーをベースとするアセンブリ。
【請求項２０】
前記外側容器と前記ライナーとの間に位置付けられているゲッターをさらに備えている、請求項１９に記載のライナーをベースとするアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ライナーをベースとするアセンブリに関する。より具体的には、本開示は、ライナー内に貯蔵される内容物の純度の維持または増加のいずれかを行う、ライナーをベースとするアセンブリに関する。
【背景技術】
【０００２】
多数の製造プロセスは、酸、溶媒、基剤、フォトレジスト、ドーパント、無機物、有機物、および生物学的溶液、医薬品、ならびに放射性化学物質等の超高純度液体の使用を必要とする。そのような用途は、超高純度液体中の粒子の数およびサイズが最小限であることを必要とする。特に、超高純度液体は、マイクロ電子製造プロセスの多くの側面において使用されるため、半導体製造業者は、プロセス化学物質および化学処理機器のための厳密な粒子濃度仕様を確立している。製造プロセス中に使用される液体が高レベルの粒子または気泡を含有する場合、粒子または気泡がシリコンの固体表面上に堆積され得るので、そのような仕様が必要とされる。これは、ひいては、製品故障ならびに品質および信頼性低下につながり得る。
【０００３】
故に、そのような高純度液体の保管、運搬、および分配は、貯留される液体のための適切な保護を提供することが可能な容器を必要とする。業界で典型的に使用される２つのタイプの容器は、ガラスまたはプラスチックから作製される、単純硬質壁容器と、圧潰可能ライナーをベースとする容器である。硬質壁容器は、従来、その物理的強度、厚い壁、安価なコスト、および製造の容易性のため、使用されている。しかしながら、そのような容器は、液体を圧力分配するときに気液界面を導入し得る。これは、フォトレジスト等、容器内に貯留される液体中にガスを溶解させ、分配系統における、液体中の望ましくない粒子および気泡生成につながり得る。
【０００４】
さらに、使い捨てのプラスチック袋／ライナーは、例えば、生物学的製剤産業において、貯蔵、送達、混合、反応等のために使用され得る。ライナーを構成する材料は、いくつかの点において、ライナーの内容物に悪影響を与え得る。例えば、浸出性および抽出可能な化学物質は、バッグから内容物に移り、材料の汚染をもたらし得ること、バッグが内容物に溶け、構造的弱体化を引き起こし得ること、バッグの内容物とバッグを通して透過するガス（例えば、酸素、水、オゾン等）との間に化学反応が発生し得ること、表面接着が送達される材料の量を制限し得ること、および／または内容物の望ましくない反応（例えば、生物付着）を誘発し得ること等である。
【０００５】
故に、ライナーの内容物の純度の維持だけでなく、ライナーの内容物の純度もまた増加させ得る、より優れたライナーシステムの必要性が存在する。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示は、一実施形態では、材料を貯蔵するためのライナーに関し、ライナーは少なくとも２つの層を含み、材料と接触する層は、活性層である。活性層は、層内にスカベンジャを組み込むことによって、活性化され得る。ライナーの少なくとも１つの層は、ポリマーまたはフルオロポリマーを備え得る。いくつかの実施形態では、活性層は、フォトレジスタ中のマイクロブリッジ構成要素を除去するように構成され得る。いくつかの実施形態では、活性層は、ガラス等、不活性材料を用いて層の内部をコーティングすることによって、活性化され得る。さらなる実施形態では、ライナーは、ステンレス鋼キャニスタ内に位置付けられ得る。
【０００７】
本開示は、別の実施形態では、材料を貯蔵するためのライナーに関し、ライナーは、少なくとも２つの層を含み、材料に接触していない層は、活性層である。活性層は、層内にスカベンジャを組み込むことによって、活性化され得る。ライナーの少なくとも１つの層は、ポリマーまたはフルオロポリマーを備え得る。
【０００８】
本開示は、なおも別の実施形態では、材料を貯蔵するためのライナーと、その中にライナーが位置付けられているオーバパックと、ライナーとオーバパックとの間に位置付けられている浄化パケットとを含む、ライナーをベースとするアセンブリに関する。浄化パケットは、スカベンジャを含み得る。ライナーは、少なくとも２つの層を含み得、層のうちの少なくとも１つは、活性層である。
【０００９】
本開示は、別の実施形態では、有毒ガスを貯蔵するための容器と、その中に容器が位置付けられているライナーと、容器とライナーとの間に位置付けられているゲッターとを含む、ライナーをベースとするアセンブリに関する。ゲッターは、容器内に貯蔵されているガスを誘引可能な材料、または、ガスと反応可能な材料を含む浸透性パッケージングを含み得る。ゲッターはまた、容器からのガスと反応している場合に色を変えるように構成されている部分を有し得、それによって、容器からガスが漏れていることを示す。いくつかの実施形態では、ライナーをベースとするアセンブリはさらに、その中にライナーおよびシリンダが位置付けられている、外側容器を含み得る。ゲッターは、外側容器とライナーとの間に位置付けられ得る。
【００１０】
複数の実施形態が開示されるが、本開示のさらに他の実施形態は、本開示の例証的な実施形態を例証および説明する、以下の詳細な説明から当業者にとって明らかであろう。理解されるであろうように、本開示の種々の実施形態はすべて、本開示の精神および範囲から逸脱することなく、種々の明白な側面において、修正可能である。故に、図面および発明を実施するための形態は、事実上例示としてみなされるものであり、限定するものではない。
【００１１】
本明細書は、本開示の種々の実施形態を形成するものとして見なされる主題を具体的に指摘し、明確に主張する特許請求の範囲で完結するものの、本発明は、添付の図面と使用される以下の説明からより良く理解されるであろうと考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本開示の実施形態によって使用され得るタイプのライナーを示す。
【図２Ａ】図２Ａは、本開示の一実施形態による、ライナーの層の拡大部分的図を示す。
【図２Ｂ】図２Ｂは、本開示の一実施形態による、ライナーを示す。
【図２Ｃ】図２Ｃは、本開示の別の実施形態による、ライナーを示す。
【図３Ａ】図３Ａは、本開示の一実施形態による、ライナーをベースとするシステムを示す。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本開示の別の実施形態による、ライナーをベースとするシステムを示す。
【図４】図４は、本開示の一実施形態による、ライナーをベースとするアセンブリを示す。
【図５】図５は、本開示の別の実施形態による、ライナーをベースとするアセンブリを示す。
【図６】図６は、本開示の別の実施形態による、ライナーをベースとするアセンブリの断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本開示は、新規かつ有利なライナーをベースとするアセンブリに関する。より具体的には、本開示は、ライナー内に貯蔵される内容物の純度を維持および／または増加し得る、ライナーをベースとするアセンブリに関する。いくつかの実施形態では、可撓性ライナーは、その使用後、再利用および／または廃棄され得、それによって、使用後ライナーを洗浄する必要性が取り除かれる。本開示の実施形態は、種々の異なる産業における種々の流体と使用され得る。本開示のライナーは、典型的には、例えば、これらに限定されないが、約＄２，５００／Ｌまたはそれ以上であって、非常に高価であり得る、酸、溶媒、基剤、フォトレジスト、ドーパント、無機、有機、および生物学的溶液、医薬品、ならびに放射性化学物質等、超高純度の液体、生産物の純度を維持することが重要である他の生産物、例えば、香辛料等の食品、またはライナーをベースとするシステム内に好適に貯蔵され得る任意の他の材料を含有し得る。
【００１４】
図１は、所望の材料を保持するためのライナーをベースとするシステムにおいて使用され得る、ライナー１００を示す。ライナーは、材料の充填および分配のための装備１０を有してもよく、ライナー１００はまた、ライナーの形状に応じて、１つ以上のライナー壁２０を有し得る。ライナーは、実質的に、立方体形状、円筒形形状、八角形形状、枕形状、または任意の他の幾何学形状等、任意の所望の形状を有し得る。いくつかの実施形態では、ライナー１００は、プラスチック、ナイロン、ＥＶＯＨ、ポリオレフィン、あるいは他の天然または合成ポリマーを含む、１つ以上のポリマーを使用して製造され得る。さらなる実施形態では、ライナー１００は、テレフタル酸ポリエチレン（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリ（ブチレン２，６−ナフタレート）（ＰＢＮ）、ポリエチレン（ＰＥ）、鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、中密度ポリエチレン（ＭＤＰＥ）、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、および／またはポリプロピレン（ＰＰ）を使用して製造され得る。例えば、ＰＥＮを使用して作製されるライナーは、より低い浸透性を有し、したがって、ライナー１００の外側からのガスをライナー壁２０にほとんど浸透させず、ライナー１００内に保管される材料を汚染させ得ない。ＰＥ、ＬＬＤＰＥ、ＬＤＰＥ、ＭＤＰＥ、ＨＤＰＥ、および／またはＰＰを使用して作製されるライナーはまた、約２０００Ｌ以下の材料の保管等、より大型の保管および分配システムに好適であり得る。
【００１５】
さらなる代替実施形態では、ライナー１００は、限定されないが、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、フッ素化エチレンプロピレン（ＦＥＰ）、およびパーフルオロアルコキシ（ＰＦＡ）等のフッ素ポリマーを使用して製造され得る。いくつかの実施形態では、ライナー１００は、複数の層を備え得る。例えば、ある実施形態では、ライナー１００は、内部表面層、コア層、および外側層、または任意の他の好適な数の層を含み得る。複数の層は、１つ以上の異なるポリマーまたは他の好適な材料を備え得る。例えば、内部表面層は、フッ素ポリマー（例えば、ＰＣＴＦＥ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ等）を使用して製造され得、コア層は、ナイロン、ＥＶＯＨ、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ＰＣＴＦＥ等の材料を使用して製造されたガス障壁層であり得る。外側層もまた、任意の種々の好適な材料を使用して製造され得、内部表面層およびコア層のために選択された材料に依存し得る。本明細書に説明されるライナーの種々の実施形態は、本明細書に開示される材料の任意の好適な組み合わせから製造され得ることが認識される。ライナー１００は、限定されないが、溶接、または、吹込成形、押出成形吹込成形を含む、鋳造、または任意の他の方法、あるいはライナー１００を形成するための方法の組み合わせを含む、任意の好適な手段によって、製造され得る。
【００１６】
いくつかの実施形態では、ライナー１００は、可撓性であり得る、折り畳み式ライナーであり得る一方、他の実施形態では、ライナー１００は硬質であってもよく、さらなる実施形態でも、ライナー１００は、幾分、硬質であるが、依然として、折り畳み式、すなわち、硬質折り畳み式ライナーであり得る。本開示によって使用され得るライナーのタイプの実施例が、以下に開示される。
【００１７】
国際ＰＣＴ特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ１１／５５５５８号，名称「Ｓｕｂｓｔａｎｔｉａｌｌｙ  Ｒｉｇｉｄ  Ｃｏｌｌａｐｓｉｂｌｅ  Ｌｉｎｅｒ，Ｃｏｎｔａｉｎｅｒ  ａｎｄ／ｏｒ  Ｌｉｎｅｒ  ｆｏｒ  Ｒｅｐｌａｃｉｎｇ  Ｇｌａｓｓ  Ｂｏｔｔｌｅｓ，ａｎｄ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｌｉｎｅｒｓ」２０１１年１０月１０日出願；米国仮特許出願第６１／５０１，９２５号，名称「Ｇｅｎｅｒａｌｌｙ  Ｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌｌｙ−Ｓｈａｐｅｄ  Ｌｉｎｅｒ  ｆｏｒ  Ｕｓｅ  ｉｎ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｄｉｓｐｅｎｓｅ  Ｓｙｓｔｅｍｓ  ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄｓ  ｏｆ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  ｔｈｅ  Ｓａｍｅ」２０１１年６月２８日出願；米国仮特許出願第６１／４６８，８３２号，名称「Ｌｉｎｅｒ−Ｂａｓｅｄ  Ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ」２０１１年３月２９日出願；米国仮特許出願第６１／５２５，５４０号，名称「Ｌｉｎｅｒ−Ｂａｓｅｄ  Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍｓ」２０１１年８月１９日出願；米国特許出願第１１／９１５，９９６号、名称「Ｆｌｕｉｄ  Ｓｔｏｒａｇｅ  ａｎｄ  Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍｓ  ａｎｄ  Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ」２００６年６月５日出願；国際ＰＣＴ特許出願ＰＣＴ／ＵＳ１１／５５５６０号，名称「Ｎｅｓｔｅｄ  Ｂｌｏｗ  Ｍｏｌｄｅｄ  Ｌｉｎｅｒ  ａｎｄ  Ｏｖｅｒｐａｃｋ  ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄｓ  ｏｆ  Ｍａｋｉｎｇ  Ｓａｍｅ」２０１１年１０月１０日出願；国際ＰＣＴ特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ１０／５１７８６号，名称「Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ｓｔｏｒａｇｅ  ａｎｄ  Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ  ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄ  Ｗｉｔｈ  Ｄｅｇａｓｓｉｎｇ  Ａｓｓｅｍｂｌｙ」２０１０年１０月７日出願；国際ＰＣＴ特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ１０／４１６２９号，名称「Ｓｕｂｓｔａｎｔｉａｌｌｙ  Ｒｉｇｉｄ  Ｃｏｌｌａｐｓｉｂｌｅ  Ｌｉｎｅｒ  ａｎｄ  Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｇｕｓｓｅｔｅｄ  ｏｒ  Ｎｏｎ−Ｇｕｓｓｅｔｅｄ  Ｌｉｎｅｒｓ  ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄｓ  ｏｆ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  ｔｈｅ  Ｓａｍｅ  ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄｓ  ｆｏｒ  Ｌｉｍｉｔｉｎｇ  Ｃｈｏｋｅ−Ｏｆｆ  ｉｎ  Ｌｉｎｅｒｓ」２０１０年７月９日出願；米国特許第７，３３５，７２１号，名称「Ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｔｒｅａｔｅｍｅｎｔ」２００８年２月２６日発行；米国特許出願第１１／９１２，６２９号，名称「Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ｓｔｏｒａｇｅ  ａｎｄ  Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ  Ｐａｃｋａｇｅｓ  ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄｓ」２００８年１２月２３日；米国特許出願第１２／３０２，２８７号，名称「Ｂａｒｒｉｅｒ  Ｆｌｕｏｒｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｆｉｌｍ−Ｂａｓｅｄ  Ｌｉｎｅｒｓ  ａｎｄ  Ｐａｃｋａｇｉｎｇ  Ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ  Ｓａｍｅ」２００９年６月２４日出願；および、国際ＰＣＴ特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ０８／８５２６４号，名称「Ｂｌｏｗ  Ｍｏｌｄｅｄ  Ｌｉｎｅｒ  ｆｏｒ  Ｏｖｅｒｐａｃｋ  Ｃｏｎｔａｉｎｅｒ  ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄ  ｏｆ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  ｔｈｅ  Ｓａｍｅ」２００８年１２月２日出願。上記は、それぞれ、本明細書を参照することによって、全体として本明細書に組み込まれる。本開示の実施形態と使用され得るライナーのタイプの��の実施例は、ＡＴＭＩ  Ｉｎｃ．製のＮＯＷｐａｋ（登録商標）貯蔵および分配システムにおいて使用される、またはそれと互換性があるライナーであって、２００６年６月５日に出願された米国特許第１１／９１５，９９６号の「Ｆｌｕｉｄ  Ｓｔｏｒａｇｅ  ａｎｄ  Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍｓ  ａｎｄ  Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ」等で開示され、本明細書を参照することによって、全体として本明細書に組み込まれる。
【００１８】
本開示の一実施形態では、ライナーをベースとするシステムは、ライナー内の内容物の利用または純度を、維持および／または改良し得る。典型的には、ライナーの内容物の純度は重要である場合、ライナーは、ライナーが、その内容物内に導入されることを許容され得る、不純物の量に基づいて評価され得る。ライナーは、例えば、ライナー壁を通して導入されるごく少量の不純物のみを許容する場合、好ましいと指定され得る。例えば、運搬中、水、酸素、および／またはアミン等の不純物が、拡散を介して、ライナーの内容物を汚染し得る。しかしながら、一実施形態によるライナーが、ライナー内に貯蔵される内容物から不純物を能動的に除去することによって、内容物の純度を改良し得る。
【００１９】
図２Ａは、ライナーの内容物と接触する内側層２２２と、不純物が貯蔵される内容物に達し得る前に、重大な不純物を捕捉し得る活性層２２４との２つの層を伴うライナー２００の断面側面図を示す。図２Ａは、２つの層を示すが、任意の数の層が、２つ以上の層を含む、ライナー壁を形成するために使用され得ることを理解されるであろう。加えて、活性層２２４は、２つ以上の層を伴う代替実施形態では、内側層に対して任意の層に位置付けられ得る。活性層２２４は、ライナーの所望の層において、特定の不純物または不純物の種類を、結合、誘引、および／または捕捉し得る、化合物または材料を含むことによって、活性化され得る。ライナー層の中に取り込まれ得る、好適な化合物または材料の実施例は、これらに制限されないが、シリカゲル、アルミナ、硫酸カルシウム、塩化カルシウム、モンモリロナイト粘土、および／またはモレキュラーシーブ等の湿気を捕捉するための公知の乾燥剤、例えば、鉄、ナトリウム、またはリチウムのような酸素の捕捉のために容易に酸化される物質、および／または望ましくない有機要素の捕捉および／または除去のための種々の好適な炭素ベースの化合物を含み得る。前述の化合物および材料は、実施例として提供されるが、任意の他の好適な化合物または材料、あるいは化合物または材料の組み合わせが、望ましくない不純物を誘引および結合するために、ライナー層に含まれ得ることを理解されるであろう。概して、活性層の中に取り込まれ得るスカベンジャの特性は、これに制限されないが、無視可能な程度の低蒸気圧しか有しないこと、高容量を有すること、不純物と堅く結びつく能力があること、ライナー内に貯蔵される作動流体に対して不活性であること、比較的低コストであること、活性層の原料物に容易に取り込まれること、製造中、運搬中、または充填中に取扱が容易であることのうちの１つ以上を含み得る。
【００２０】
さらに別の実施形態では、図２Ｂに示されるように、例えば、ライナー４００に貯蔵される作動内容物Ｃから、不純物４２８を能動的に誘引するために、ライナー４００の内部表面４２０は、活性化され得る。ライナー４００の内部表面４２０は、例えば、共有結合的に受容体４２５（例証的目的のために大縮尺で示される）をそれに付着することによって、活性化され得る。受容体４２５を共有結合的に接続することによって、受容体は、ライナーの内容物と相互作用し得るが、受容体４２５は、ライナー４００の内部表面４２０から移動しない。例えば、上述で説明されるように、任意の好適な要素または化合物は、作動流体内に存在し得る、所与の不純物または一式の不純物を誘引および結合し得る、ライナー層内に取り込まれ得る。一般に、受容体４２５は、それが標的不純物４２８に対して高特定性および高結合定数を有するように、受容体が不純物のみを除去し、作動内容物Ｃに作用しないように、選択され得る。典型的には、ライナーの内容物の不純物のレベルが、既に、必然的に低くあり得るので、高結合定数は、望ましい。
【００２１】
一実施形態では、例えば、適切な空洞サイズのクラウンエーテルが共、有結合的に固定化され、ライナーの内容物からＮａ＋を吸収し、それをライナーの内部表面に結合し得る。他の実施形態では、他のキレート剤が、種々の金属を除去するために、好適に使用され得る。別の実施形態では、活性層は、例えば、フォトレジスタ内のマイクロブリッジ構成要素を除去するように構成され得る。
【００２２】
別の実施形態では、図２Ｃに示されるように、ライナー２４０の内部表面は、ガラス２４４に限定されないが、ライナー２４０中に導入され、またはそこから生じ得る不純物の量が、実質的にゼロであり得るように、不活性材料でコーティングされ得る。本実施形態では、ガラス層２４４が、例えば、液体および／またはガス等の電子ビーム蒸着、プラズマ放電、真空蒸発、スパッタリング、および化学プラズマ増強化学蒸着技法等の真空技法後、後処理を続けることによって、または任意の他の好適な技法または技法の組み合わせによって、ライナー２４０内部表面上に、コーティングされ得る。ガラスコーティング２４４は、どの材料から構成されるかに関わらず、任意のタイプの可撓性ライナーに塗布され得る。さらに、コーティング２４４はまた、ライナーの取り付け部品、およびこれらに限定されないが、コネクタ管類、弁、キャップ等の他のライナーをベースとするアセンブリ要素に塗布され得る。ガラスコーティングの他の利点は、概してコーティングが、非多孔性ガス障壁であり得ること、ライナーの内容物が見え得るように、概して、光学的に透明であり得ること、滅菌のための高温処理に耐えられ得ること、ライナー加工の前後いずれかに被覆される製造プロセスにおいて、可撓性を可能にし得ること、非脆性であり得ること、良好な接着性を有すること、容易に再利用され得ること、および／または比較的に低コストであり得ることのうちの１つ以上を含み得る。ガラスコーティングは、シリカベースの材料、または他の好適な材料、または例えば、限定されないが、アルミナ、シリカアルミナ等の材料の組み合わせを備え得る。
【００２３】
別の実施形態では、図３Ａで示されるように、ライナー３２０は、当業者によって理解されるであろうように、オーバパック３５０と共に使用され得る。ライナー３２０とオーバパック３５０との間の空間に、浄化パケット３９０が設置され得る。浄化パケット３９０は、任意の適切な形状をとり得、任意の適切なサイズを有し得る。浄化パケット３９０は、一実施形態では、実質的に、上述で説明される活性層と同一機能を実行することができ、すなわち、浄化パケット３９０は、不純物が作動内容物を貯蔵するライナー３２０の内部に入る前に不純物を捕捉する。浄化パケット３９０は、活性層を含む、実施形態に関して上述で説明されるようなものに類似するスカベンジャを備え得るが、それに限定されない。
【００２４】
別の実施形態では、図３Ｂに示されるように、ライナーをベースとするシステム３９２は、ライナー３９４、オーバパック３９８、および図３Ａの参照で説明されるように、ライナー３９４とオーバパック３９８との間に位置付けられ得る、浄化パケット３９７を含み得る。しかし、ライナー３９４はまた、上述で説明されるように、活性層３９６を備え得る。活性層は、ライナーの任意の所望の層であり得る。
【００２５】
本開示の別の実施形態は、図４および５に示されるように、概して、例えば、アルシンおよびホスフィン等、有毒ガスの比較的に安全な貯蔵および／または送達を提供する、ライナーをベースとするアセンブリであり得る。例えば、ガスがシリンダまたは他の容器内に貯蔵される場合、ガスは、主として意図的でない種々の理由から、容器の外へ漏れ得る。実施形態は、容器および／またはライナーから漏れた、有毒ガスによりもたらされる危険を、減少、最小化、または実質的に除去するために本明細書に開示される。図４に見られるように、一実施形態によるライナーをベースとするシステム５００は、例えば、有毒ガスＨＧを貯蔵し得るシリンダ５２０であり得る容器を備え得る。シリンダ５２０は、障壁バッグまたはライナー５４０内に封入され得る。システムはまた、シリンダ５２０と障壁バッグ５４０との間に設置され得るゲッター５６０を含み得る。ゲッター５６０は、万一漏れる場合には、シリンダ内に含まれ得る毒ガスを誘引し、それと反応可能であるスクラバ等の材料５６２を含む浸透性パッケージングを備え得る。そのようなスクラバ材料の実施例は、硫化水素等、特定のガスを取り扱うための材料を含浸させた活性アルミナ化合物、および／またはメチルメルカプタン、アルデヒド、揮発性有機化合物、硫化ジメチル、ジメチルジスルフィド、および／またはアルカリ性材料のうちの１つ以上を含み得るが、それに限定されない。いくつかの実施形態では、ゲッターパッケージは、漏れ得るガスの量に対応するためのサイズを有することができるが、任意の好適なサイズが想定される。いくつかの実施形態では、ゲッターはまた、ゲッター材料が有毒ガスに反応すると、パッケージがそれを示すために、完全にまたは部分的に、色を変えるように、選択され、または構成され得る。このように、ゲッターはまた、有毒ガスが漏れたことを警告する役割を果たし得る。
【００２６】
別の実施形態では、図５に示されるように、例えば、図４において示されるシステムは、さらに、障壁バッグ６４０よりもより強固であり得る外側容器６８０を含み得る。例えば、外側容器６８０は、段ボール箱、あるいは木材、金属、または材料の組み合わせ等、任意の他の好適な材料の容器であり得る。この実施形態では、ゲッター６６０は、障壁バッグ６４０の外部壁と外側容器６８０の内部壁との間の空間に位置付けられ得る。なおも別の実施形態では、ゲッターは、図４に示されるように、シリンダとライナーとの間に設置され得、別のゲッターは、図５に示されるように、ライナーと外側容器との間に設置され得る。
【００２７】
本開示の別の実施形態では、ライナーをベースとするシステムは、金属オーバパックを含み得る。一実施形態では、オーバパックは、ステンレス鋼から構成され得る。実施形態は、ステンレス鋼オーバパックを参照して説明されるが、オーバパックは、他の金属または金属合金、あるいは他の実施形態では、金属または合金の組み合わせで、構成され得ることが、認識されるであろう。ステンレス鋼は、例えば、実質的に、超高純度であり、そのままでなければならない材料を貯蔵および分配されるために使用され得る。加えて、ステンレス鋼キャニスタは、有害なおよび／または極めて有害な材料、空気および湿気に敏感であり得る材料、および／または発火性および／または可燃性である材料を貯蔵ならびに分配するために使用され得る。典型的ステンレス鋼キャニスタは、キャニスタ内に、所望の内容物を直接貯蔵し、そこから所望の内容物を直接分配するために使用される。キャニスタの内容物が分配された後、キャニスタは、概して、再利用に先立って、完全に洗浄および／または殺菌される必要があり得る。
【００２８】
本開示の一実施形態では、図６に示されるように、ライナーをベースとするシステムは、ステンレス鋼オーバパック６０２と、オーバパック６０２の内側に位置付けられる、ライナー６０８とを含み得る。図に見られるように、所望の内容物Ｃは、ライナー６０８内に貯蔵され得、オーバパック６０２に接触されない。ライナーをベースとするシステム６００は、有利には、従来のステンレス鋼充填および／または分配システムと使用され得るが、また、オーバパック６０２の内側に廃棄可能ライナー６０８を含むことの追加の利益を提供し得る。したがって、その中に貯蔵される材料の内容物Ｃのために、追加の保護を提供し得る。例えば、ライナー６０８は、いくつかの実施形態では、ライナーに貯蔵される内容物の純度の確保、維持、および／または増加するための支援をし得る。加えて、ライナー６０８は、ライナーをベースとするシステム６００から漏れる有害な内容物の危険性を防止または減少する支援をし得る。さらに、オーバパック６０２は、概して、ライナー６０８の内容物と接触しないので、オーバパック６０２は、延長された使用寿命を有し得る。
【００２９】
ライナー６０８は、いくつかの実施形態では、例えば、硬質折り畳み式および／または可撓性ライナーを含むが、それらに限定されない、任意の好適なライナー、または本明細書で参照される任意の他のライナーであり得る。加えて、ライナーをベースとするシステム６００のライナーは、本明細書に開示される、任意の他の特性を含み得る。いくつかの実施形態では、ライナーは、例えば、ステンレス鋼キャニスタシステムを含む、既存のキャニスタシステムと適合するように構成され得る。
【００３０】
一実施形態では、ライナー６０８は、ライナーの上部カラー６１０において、より厚くなり得、それによって、ライナーのカラー６１０が、コネクタ６１２またはオーバパックのキャップと、オーバパック６０２自体との間で、密閉を形成するのを可能にする。使用において、ライナー６０８とオーバパック６０２との間の環状空間６１４は、例えば、窒素、または任意の他の好適なガス等、例えば、容認可能なガスの量を伴って、加圧され得る。例えば、環状空間内の窒素のブランケットは、実質的に、酸素または湿気が、ライナー６０８の壁を通して、ライナー６０８の内部に、拡散するのを防ぎ得る。
【００３１】
ライナーの内容物は、圧力分配（直接的または間接的）、圧力補助的ポンプ分配、またはポンプ分配によって、分配され得る。概して、ライナーを伴わない、産業において使用される、既存の鋼鉄製のキャニスタは、キャニスタの内容物が、ポンプ分配、または直接圧力分配のいずれかによって分配されることを必要。直接的圧力分配は、ガス源を直接キャニスタ内に導入することを伴い、それによって、圧力をライナーの内容物にかけ、それは、ライナーの内容物を、浸漬管内に、およびキャニスタから外に移動させ得る。本開示のいくつかの実施形態によって可能にされる利点の１つは、ライナー６０８の内容物Ｃが、間接的圧力分配によって分配され得ることを含む。従って、ガスまたは流体が、環状空間６１４に導入され、それによって、ライナー６０８を圧潰し、ライナー６０８から外へ、ライナーの内容物Ｃを押し出し得る。間接的圧力分配を介する分配は、直接的圧力分配より有利であり得る。なぜなら、直接的圧力分配は、ライナー内に導入されるガスによってライナーの内容物を汚染する危険性、および／またはライナーの内容物内に気泡を作り出す危険性を本質的に含むからである。それでもなお、本開示の実施形態はまた、直接的圧力分配を介して、分配され得る。
【００３２】
前述の説明では、本発明の種々の実施形態が、例証および説明の目的のために提示された。それらは、包括的であり、または本発明を開示される正確な形に限定することを意図していない。明らかな修正または変形例が、前述の教示に照らして可能である。実施形態は、本発明の原理の最良の例証およびその実用的な用途を提供し、当業者が、種々の実施形態において、かつ想定される特定の使用に好適となるように、種々の修正を伴い、本発明を利用することを可能にするために、選択および説明された。それらは公平に、法律的に、かつ平等に権利が与えられる、その範囲に従って解釈される時、全てのそのような修正および変形例は、添付の請求項によって決定される発明の範囲内にある。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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