(57)【要約】  本発明は、粉状製品のプラズマ反応器内での機能化のための連続方法であって、この方法は、垂直反応器内にプラズマを発生し；前記反応器を通して上部から下部まで前記粉状製品を重力により落下させることによって前記粉状製品を前記プラズマと接触させる工程を含む。また、本発明は、機能化方法を実施するための設備を開示し、この設備は、垂直位置に置かれたプラズマ反応器；プラズマ反応器中にガス状プラズマ前駆物質を入れるためのプラズマ反応器と連結している第一装置；プラズマ反応器に粉状製品を充填するためのプラズマ反応器と連結している第二装置；プラズマ反応器から粉状製品を引き出すためのプラズマ反応器と連結している第三装置、但し第二装置及び第三装置が一つ以上の弁によりプラズマ反応器から隔離された一つ以上のロック室を含む；プラズマの発生のための電磁波を供給するためのプラズマ反応器の少なくとも一部を取り囲む第四装置；プラズマ反応器内に低圧を発生するためのプラズマ反応器と連結している第五装置を含む。【選択図】  図１
2014525820.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマ反応器での粉状製品の機能化のための連続方法において、
−  垂直反応器内にプラズマを発生し；
−  前記反応器を通して上部から下部まで前記粉状製品を重力により落下させることによって前記粉状製品を前記プラズマと接触させる
工程を含むことを特徴とする連続方法。
【請求項２】
入口ロック室（５）を介して前記粉状製品をプラズマ反応器中に導入する工程、及びいかなる工程も中断することなしに出口ロック室（８）内の機能化された粉状製品を回収する工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の連続方法。
【請求項３】
前記粉状製品がカーボンナノチューブを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の連続方法。
【請求項４】
プラズマの圧力が１０Ｐａ未満、好ましくは１Ｐａ未満、最も好ましくは０．８Ｐａ未満であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の連続方法。
【請求項５】
プラズマの発生のための分子がプラズマ反応器の上部に導入されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の連続方法。
【請求項６】
プラズマが、１３．５６ＭＨｚの周波数、及び１００〜１０００ワット、好ましくは２００〜６００ワットの電力により発生されることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の連続方法。
【請求項７】
プラズマの発生のための分子がアルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）、窒素（Ｎ２）、酸素（Ｏ２）、水素（Ｈ２）、水（Ｈ２Ｏ）、アンモニア（ＮＨ３）、アリルアミン（Ｃ３Ｈ５ＮＨ２）、アクリル酸（Ｃ３Ｈ４Ｏ２）、イソプレン（Ｃ５Ｈ８）、メタノール（ＣＨ３ＯＨ）及びエタノール（Ｃ２Ｈ５ＯＨ）からなる群から選ばれることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の連続方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の方法による粉状製品の機能化のための設備において、
−  垂直位置に置かれたプラズマ反応器；
−  プラズマ反応器中にガス状プラズマ前駆物質を入れるためのプラズマ反応器と連結している第一装置；
−  プラズマ反応器に粉状製品を充填するためのプラズマ反応器と連結している第二装置；
−  プラズマ反応器から粉状製品を引き出すためのプラズマ反応器と連結している第三装置、但し第二装置及び第三装置が一つ以上の弁によりプラズマ反応器から隔離された一つ以上のロック室を含む；
−  プラズマの発生のための電磁波を供給するためのプラズマ反応器の少なくとも一部を取り囲む第四装置；
−  プラズマ反応器内に低圧を発生するためのプラズマ反応器と連結している第五装置
を含むことを特徴とする設備。
【請求項９】
第二装置が粉状製品の分配器を含むことを特徴とする請求項８に記載の設備。
【請求項１０】
第四装置がアンテナであり、好ましくはソレノイドコイル形状をしていることを特徴とする請求項８または９に記載の設備。
【請求項１１】
第二装置が、ロック室と連結しているホッパーを含むことを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載の設備。
【請求項１２】
第一装置が流量制御器、好ましくは質量流量制御器を含むことを特徴とする請求項８〜１１のいずれかに記載の設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばカーボンブラック、ガラス繊維、炭素繊維及び特にカーボンナノチューブのような粒状及び粉状製品の機能化のための方法に関する。本発明はまた、これらの製品を機能化することができるプラズマ反応器に関する。
【背景技術】
【０００２】
粒状及び粉状基質は、強化された高分子系複合体のための添加剤として使用されることが多い。特に繊維、粉末及びナノ粒子は、高分子系複合体の物理的性質を改善することができる。
【０００３】
種々の粒子中で、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）は、それらの独特な機械的及び物理的性質のために特に将来有望である。しかし、高分子系複合体中でのカーボンナノチューブの使用は、それらの表面の非反応的性質及びそれらの成長時（束、球などの）のミクロンサイズの構造へのＣＮＴの凝集のために今もなお制限されている。これらの問題を克服するために、それらの表面組成を他の元素または元素団（官能基）の導入を介して変えることによるＣＮＴの機能化（修飾）が有効であることが証明された。
【０００４】
カーボンナノチューブの機能化は、それらの溶解性及び加工性を改善することができ、カーボンナノチューブの独特な性質を他のタイプの材料の性質と組み合わせることを可能にするだろう。機能化工程時に作られた新しい化学結合は、ナノチューブの溶媒または高分子マトリックスとの相互作用を適合するために使用されることができる。
【０００５】
カーボンナノチューブの機能化は、通常、Ｏ含有基（主にカルボキシル基）の導入により始まり、それはさらに、カルボキシル官能の変換による多数の機能的開発へのアクセスを与え、さらなる修飾のためのアンカー基を与える。
【０００６】
ＣＮＴの構造内へのＯ含有基の導入は、液相及び気相法によって実現されることができる。
【０００７】
カーボンナノチューブの液相酸化処理は、通常、沸騰硝酸、硫酸、または両方の混合物を使用して実施される。いわゆる「ピラニア」溶液（硫酸と過酸化水素の混合物）もまた、使用されることができる。これらの方法は、機能化の低い効率を持ち、ＣＮＴの構造内に欠陥を作り、それらの長さを減少し、材料の密度を劇的に増加し、かつかなりの量の毒性酸性廃棄物を作る。
【０００８】
気相酸化工程は、酸素、オゾンまたは空気によるカーボンナノチューブの高温での処理に基づいている。このタイプの機能化の主な欠点は、ナノチューブ構造内の欠陥の形成に導く高い処理温度である。さらに、このタイプの工程は、Ｏ２またはＯ３とＣＮＴの反応を触媒作用することがありうる微量の金属触媒を除去するために予備精製を要求する。
【０００９】
気相機能化はまた、Ｈ２Ｏ，ＮＨ３及び／またはＣｌ２のような異なる反応雰囲気下のナノチューブのボールミルによる機械化学的処理を使用することによって実現されることができる。それでも機械化学的機能化はまた、ＣＮＴのかなりの緻密化及び構造欠陥の形成をもたらす。
【００１０】
上述の方法とは対照的に、プラズマ処理に基づいた機能化法は低温工程であり、それは非常に効果的、非汚染的であり、かつそれは広範囲の官能基を与えることができる。従って、工業的用途のためにはプラズマ機能化工程は、前述した他の方法より好ましいはずである。
【００１１】
プラズマは、種々の励起状態の元素を含む部分的にまたは全体的にイオン化されたガスまたは蒸気である。これは、基本状態でない全ての分子を含む。かかるプラズマは、電磁場により作られかつ維持されることができる。電磁場にさらすことによって、イオン及び遊離ラジカルのようなプラズマの活性種が、ガス相からの分子と遊離電子の間の衝突により形成される。得られるプラズマは、イオン、遊離電子、遊離ラジカル、励起状態の種、光子及び中性安定種からなる。遊離ラジカルは、ガスの基本性質及び材料の表面化学に依存して異なるように処理された材料の表面と反応する。
【００１２】
ガス圧に依存して、プラズマは大気圧または低圧であることができる。約１０３Ｐａ以下の圧力範囲は低圧プラズマとして示される。低圧プラズマの最も重要な利点の一つは、大気圧で高温を要求する反応が典型的に低圧プラズマ条件下で周囲温度近くで起こることである。この現象は、低ガス温度にもかかわらず、高電子温度が増加した自由行程長によって低圧プラズマで実現されるという事実のためである。低圧プラズマの別の利点は、処理が減圧下で、すなわち正確に制御された環境で起こることである。この事実のため、低圧プラズマ処理は、大気圧プラズマ工程と比べてより高い反復性を持つ。これらの利点のため、低圧プラズマは、材料加工で広い用途を見出した（Ｍ．Ａ．Ｌｉｅｂｅｒｍａｎ，Ａ．Ｊ．「Ｐｒｉｎｃｉｐｌｅｓ  ｏｆ  ｐｌａｓｍａ  ｄｉｓｃｈａｒｇｅｓ  ａｎｄ  ｍａｔｅｒｉａｌｓ  ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ」ニューヨーク、Ｗｉｌｅｙ，１９９４）。低圧プラズマは、一対または一連の電極に直流（ＤＣ）、低周波（５０Ｈｚ）、高周波（ＲＦ）（４０ｋＨｚ、１３．５６ＭＨｚ）またはマイクロ波（ＧＨｚ）電場を印加することにより形成されることができる。
【００１３】
高周波（ＲＦ）プラズマ装置は一般的に１３．５６ＭＨｚの電磁波を使用する。なぜならこの周波帯は、研究専用であり、電気通信に影響を及ぼさないからである。
【００１４】
プラズマ処理は、種々の反応器内で種々のガス圧下で達成されることができる。カーボンブラック、黒鉛またはカーボンナノチューブのような粉末の場合には、各粒子の均一な処理が望ましいが、得るのが難しい。これは、主として粒子サイズ分布及び粒子の凝集のためである。
【００１５】
従来技術では、高周波電場を用いることによるプラズマ処理によってＯ含有基を持つカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を機能化するために振動及び流動床反応器が開発された。連続的に働く流動床反応器の欠点は、反応器内で処理される各粒子の滞留時間が実際に知られておらず、制御できないことにある。
【００１６】
文献ＷＯ２０１０／０８１７４７Ａは、粉末のプラズマ処理が起こる反応器の断面拡大を含む特別な形状の流動床反応器を開示する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、プラズマ反応器、及び従来技術の欠点を持たない方法を提供することを目的とする。
【００１８】
本発明は、特に、低圧でプラズマにより作られた活性種を含む反応領域を通して重力により粉末を落下させる方法を提案することを目的とし、それは特定の滞留時間及び制御された処理を保証する。
【００１９】
最後に、本発明は、本発明の方法によりかつ本発明の反応器において機能化されたカーボンナノチューブにより強化された高分子系複合体を開示する。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、プラズマ反応器内での粉状製品の機能化のための連続方法であって、以下の工程を含む方法を開示する：
−  垂直反応器内にプラズマを発生し；
−  前記反応器を通して上部から下部まで前記粉状製品を重力により落下させることによって前記粉状製品を前記プラズマと接触させる。
【００２１】
本発明の好適な実施態様は、以下の特徴の少なくとも一つまたは適切な組み合わせを開示する：
−  連続方法は、入口ロック室（５）を介して前記粉状製品をプラズマ反応器中に導入する工程、及びいかなる工程も中断することなしに出口ロック室（８）内の機能化された粉状製品を回収する工程を含む；
−  粉状製品はカーボンナノチューブを含む；
−  プラズマの圧力は１０Ｐａ未満、好ましくは１Ｐａ未満、最も好ましくは０．８Ｐａ未満である；
−  プラズマの発生のための分子はプラズマ反応器の上部に導入される；
−  垂直反応器は一定の断面を持つ；
−  プラズマが１３．５６ＭＨｚの周波数、及び１００〜１０００ワット、好ましくは２００〜６００ワットの電力により発生される；
−  プラズマの発生のために考えられる分子は、アルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）、窒素（Ｎ２）、酸素（Ｏ２）、水素（Ｈ２）、水（Ｈ２Ｏ）、アンモニア（ＮＨ３）、テトラフルオロメタン（ＣＦ４）、アリルアミン（Ｃ３Ｈ５ＮＨ２）、アクリル酸（Ｃ３Ｈ４Ｏ２）、イソプレン（Ｃ５Ｈ８）、ヘキサメチルジシロキサン（Ｃ６Ｈ１８ＯＳｉ２）、メタノール（ＣＨ３ＯＨ）及びエタノール（Ｃ２Ｈ５ＯＨ）であり、特にかかる分子はアルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）のような不活性ガス；分子状窒素（Ｎ２）、アンモニア（ＮＨ３）のような窒素含有ガス；酸素（Ｏ２）、オゾン（Ｏ３）、一酸化炭素（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ２）のような酸素含有ガス；例えばエタン（Ｃ２Ｈ６）、ヘキサン（Ｃ６Ｈ１４）のようなアルカン；例えばエチレン（Ｃ２Ｈ４）のようなアルケン；例えばアセチレン（Ｃ２Ｈ２）のようなアルキン；例えばメチルメタクリレート（Ｃ５Ｈ８Ｏ２）のようなモノマー；式Ｒ−ＣＯＯＨを持つカルボン酸、ここでＲは一価の官能基であり、Ｒは飽和されることができ、例えばプロパン酸（Ｃ３Ｈ６Ｏ２）であり、または不飽和であることができ、例えばアクリル酸（Ｃ３Ｈ４Ｏ２）であり；アルキルアミンのようなアミン、例えばメチルアミン（ＣＨ５Ｎ）、ヘプチルアミン（Ｃ７Ｈ１７Ｎ）、ブチルアミン（Ｃ４Ｈ１１Ｎ）、プロピルアミン（Ｃ３Ｈ９Ｎ）、１，３−ジアミノプロパンまたはアリルアミン（Ｃ３Ｈ７Ｎ）のようなアリルアミン；例えばジメチルホルムアミド（Ｃ３Ｈ７ＮＯ）のようなアミド、メタノール（ＣＨ３ＯＨ）、エタノール（Ｃ２Ｈ５ＯＨ）、アリルアルコール（Ｃ３Ｈ５ＯＨ）、イソプロピルアルコール（Ｃ３Ｈ７ＯＨ）、１−プロパノール（Ｃ３Ｈ７ＯＨ）、プロパルギルアルコール（Ｃ３Ｈ３ＯＨ）、フルフリルアルコール（Ｃ５Ｈ５Ｏ２Ｈ）、イソブタノール（Ｃ４Ｈ９ＯＨ）のようなアルコール；シラン及びそれらの誘導体；ヘキサメチルジシロキサン（Ｃ６Ｈ１８ＯＳｉ２）のようなシロキサン及びそれらの誘導体；フルオロカーボン、例えばテトラフルオロメタン（ＣＦ４）のようなハロゲン及びそれらの誘導体；イソプレン（Ｃ５Ｈ８）のようなテルペン及びテルペノイド及びその誘導体からなる群から選ばれる。
【００２２】
本発明はさらに、本発明による方法による粉状製品の機能化のための設備であって、以下のものを含む設備を開示する：
−  垂直位置に置かれたプラズマ反応器；
−  プラズマ反応器中にガス状プラズマ前駆物質を入れるためのプラズマ反応器と連結している第一装置；
−  プラズマ反応器に粉状製品を充填するためのプラズマ反応器と連結している第二装置；
−  プラズマ反応器から粉状製品を引き出すためのプラズマ反応器と連結している第三装置、但し第二装置及び第三装置が一つ以上の弁によりプラズマ反応器から隔離された一つ以上のロック室を含む；
−  プラズマの発生のための電磁波を供給するためのプラズマ反応器の少なくとも一部を取り囲む第四装置；
−  プラズマ反応器内に低圧を発生するためのプラズマ反応器と連結している第五装置。
【００２３】
本発明による設備の好適な実施態様は、以下の特徴の少なくとも一つまたは適切な組み合わせを開示する：
−  第二装置が粉状製品の分配器を含む；
−  第四装置がアンテナであり、好ましくはソレノイドコイル形状をしている；
−  第二装置がロック室と連結しているホッパーを含む；
−  第一装置が質量流量制御器を含む。
【００２４】
本発明はさらに、本発明の方法及び設備により機能化されたカーボンナノチューブを含む高分子系複合体を開示する。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、本発明のプラズマ機能化構成の概要を示す。
【００２６】
【図２】図２は、初期ＣＮＴ（Ａ）、及びＯ２（Ｂ）及びアリルアミン（Ｃ）雰囲気下でのプラズマ処理後のＣＮＴの構造のＴＥＭ画像を示す。
【００２７】
【図３】図３は、Ｃ，Ｎ及びＯの特徴的ピークを持つＮ２雰囲気下での機能化前（Ａ）及び後（Ｂ）のＣＮＴの典型的なＸ線光電子スペクトルを示す。
【００２８】
【図４】図４は、Ｎ２雰囲気下でのプラズマ処理後のＣＮＴ表面上に付着した窒素の濃度に対する高周波電磁（ＲＦＥＭ）場の電力の影響（ＸＰＳ測定に基づく）を示す。
【００２９】
【図５】図５は、Ｎ２プラズマ処理後のＣＮＴの窒素及び酸素濃度に対するプラズマを通過する回数の影響（ＸＰＳ測定に基づく）を示す。
【００３０】
【図６】図６は、Ｎ２雰囲気下でのプラズマ処理後のＣＮＴの窒素濃度に対するアンテナのコイルの数の影響（ＸＰＳ測定に基づく）を示す。
【００３１】
【図７】図７は、本発明のプラズマ機能化構成で試験した非炭素材料：フェライト（Ａ，Ｂ）、ヒュームドシリカ（Ｃ，Ｄ）、ケイ酸ガラス（Ｅ，Ｆ）、ｃｌｏｉｓｉｔｅ（Ｇ，Ｈ）の典型的な走査電子鏡検画像を与える。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
特定の反応器タイプによる、粉末、特にカーボンナノチューブの機能化のための大規模法が開発された。
【００３３】
この方法は、プラズマ状態下での、特に異なるガスの存在下での高周波（ＲＦ）プラズマ状態下での粉末の処理に基づく。
【００３４】
使用されるガスの性質に依存して、この方法は、炭素原子の一部の他の原子または原子群による置換、及び／または他の原子または原子群のＣＮＴの炭素原子への結合、またはＣＮＴの表面上への種々の物質の層の付着をカーボンナノチューブの特定の場合においてもたらす。
【００３５】
プロセス条件の変動は、ＣＮＴ表面または他の粉末の構造に導入されるかまたは構造上に付着された要素または化合物の性質及び濃度を変えることを可能にする。
本発明による方法の主な利点は以下の通りである：
−  低温表面処理（構成及び粉状製品の加熱が全くない）；
−  導入される要素の性質及び濃度を変える可能性；
−  他の存在する機能化方法と比べて高収率のプロセス。
【００３６】
構成の説明
図１は、プラズマ機能化のための構成の概要を与える。開発された構成は、アンテナ３と連結されている整合器２を持つＲＦ電力供給源１からなる。アンテナは幾つかのソレノイドコイルを持ち、垂直石英反応器４の周りに置かれる。表現「垂直反応器」または「垂直位置」は、９０°の直角からわずかにそれる位置を含む「実質的に垂直」として理解されるべきである。
【００３７】
反応器は、上部で、供給手段、例えば循環スクリュー６及びガス入口７を持つ電力挿入（供給）システム５と連結され、下部で、製品回収システム８と連結される。ガスラインは、ガス入口システム７、質量流量制御器９及びガス風船（ガス状前駆物質の場合）または液体を持つ容器（液体状態の前駆物質の場合）１０からなる。特定の実施態様では、ガス入口及びポンプ輸送システムの両方が反応器の上部に位置されている。
【００３８】
垂直反応器の内側の圧力は、一つ以上のターボポンプ輸送システム（１１，１３）により制御され、遮蔽システム１２が反応器領域の外側への電磁波の伝播を避ける。
【００３９】
処理された粉末は、反応器の上部の挿入システムから好適な供給システム、例えば循環スクリューにより送出され、反応器を通して移動され、そこでそれは重力により反応器の下部に落下し、その間にそれはプラズマ処理に供され、反応器の下部でそれが集められる。
【００４０】
反応器は特定の低圧状態下で働くので、（真圧）出口８と入口５のロック室は、反応器の内側に低圧を維持しながらプラズマ処理された粉末を導入及び回収するために必要である。図１に示されたように平行位置（５，８）の二重ロック室は、粉末供給及び回収の中断なしの連続機能化プロセスを可能にする好ましい構造である。
【００４１】
作動条件
ＲＦプラズマは１３．５６ＭＨｚの周波数、及び１００〜１０００Ｗの範囲の利用可能な電力により発生される。処理時の反応器内のプロセスガス圧は１０−２〜１０Ｐａの範囲である。
【００４２】
機能化は、種々の物質、例えばアルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）のような不活性ガス；分子状窒素（Ｎ２）、アンモニア（ＮＨ３）のような窒素含有ガス；酸素（Ｏ２）、オゾン（Ｏ３）、一酸化炭素（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ２）のような酸素含有ガス；例えばエタン（Ｃ２Ｈ６）、ヘキサン（Ｃ６Ｈ１４）のようなアルカン；例えばエチレン（Ｃ２Ｈ４）のようなアルケン；例えばアセチレン（Ｃ２Ｈ２）のようなアルキン；例えばメチルメタクリレート（Ｃ５Ｈ８Ｏ２）のようなモノマー；式Ｒ−ＣＯＯＨを持つカルボン酸、ここでＲは一価の官能基であり、Ｒは飽和されることができ、例えばプロパン酸（Ｃ３Ｈ６Ｏ２）であり、または不飽和であることができ、例えばアクリル酸（Ｃ３Ｈ４Ｏ２）であり；アルキルアミンのようなアミン、例えばメチルアミン（ＣＨ５Ｎ）、ヘプチルアミン（Ｃ７Ｈ１７Ｎ）、ブチルアミン（Ｃ４Ｈ１１Ｎ）、プロピルアミン（Ｃ３Ｈ９Ｎ）、１，３−ジアミノプロパンまたはアリルアミン（Ｃ３Ｈ７Ｎ）のようなアリルアミン；例えばジメチルホルムアミド（Ｃ３Ｈ７ＮＯ）のようなアミド；メタノール（ＣＨ３ＯＨ）、エタノール（Ｃ２Ｈ５ＯＨ）、アリルアルコール（Ｃ３Ｈ５ＯＨ）、イソプロピルアルコール（Ｃ３Ｈ７ＯＨ）、１−プロパノール（Ｃ３Ｈ７ＯＨ）、プロパルギルアルコール（Ｃ３Ｈ３ＯＨ）、フルフリルアルコール（Ｃ５Ｈ５Ｏ２Ｈ）、イソブタノール（Ｃ４Ｈ９ＯＨ）のようなアルコール；シラン及びそれらの誘導体；ヘキサメチルジシロキサン（Ｃ６Ｈ１８ＯＳｉ２）のようなシロキサン及びそれらの誘導体；例えばテトラフルオロメタン（ＣＦ４）のようなフルオロカーボンのようなハロゲン及びそれらの誘導体；イソプレン（Ｃ５Ｈ８）のようなテルペン及びテルペノイド及びその誘導体の存在下で実施される。
【００４３】
この方法及び設備はいかなる粉状材料に対しても適している。機能化に供される粉末の非限定的な例は、単層カーボンナノチューブ（ＳＷＣＮＴ）または多層カーボンナノチューブ（ＭＷＣＮＴ）、炭素繊維、カーボンブラック、黒鉛、ガラス繊維、金属酸化物、例えばフェライト、ヒュームドシリカ、ケイ酸ガラス、ナノクレイであることができる。
【００４４】
特性評価法
機能化後の粒子の構造は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により特徴付けられた。挿入された元素の濃度は、Ｘ線光電子分光器（ＸＰＳ）により定量された。
【００４５】
カーボンナノチューブの特定の場合において、これらのナノチューブを含む高分子系複合体の独特な電気機械的性質は、それらの凝集体の構造及びモルフォロジーによって得られる。従って、機能化時のＣＮＴ及びそれらの凝集体の構造の保存は、重要な課題の一つである。プラズマ機能化の前後のＣＮＴの構造はＴＥＭで調査された。図２に与えられた初期及びプラズマ処理されたナノチューブの典型的なＴＥＭ画像は、プラズマ機能化プロセスが、ナノチューブの構造を変えず、主としてＣＮＴの端表面に作用することを示す。
【００４６】
プラズマ機能化後のＣＮＴのＸＰＳスペクトルは、ナノチューブ内への元素（Ｏまたは／及びＮ）の導入／結合を証明した。炭素及び導入される元素の原子濃度の評価は、それらの特徴的ピークの面積の測定に基づいている。機能化後のＣＮＴの典型的なＸＰＳスペクトルの変化は、図３に与えられている。
【００４７】
プラズマ機能化時に導入される元素の性質は、異なるガスを使用することにより変動することができる。元素の濃度は、以下のパラメーターを変えることにより変動することができる：
−  ＲＦ電力；
−  アンテナの長さ（ソレノイドループの量またはそれらの間の距離）；
−  プロセスガス圧；
−  プラズマを通しての材料の通過の回数。
【００４８】
図４に与えられた結果は、１００ワットから３００ワットへの電力の増加がＣＮＴ中の窒素濃度の３原子％から９原子％への増加をもたらすことを示す。
プラズマ領域を通しての通過の回数の増加はまた、導入される元素の濃度の増加をもたらす（図５）。導入される元素のより大きな濃度はまた、アンテナのソレノイドループの数を増加することにより達成されることができる（図６）。従って、コイルの数の４から８への増加は、窒素濃度の約２倍の増加に導く。
【実施例】
【００４９】
実施例１：
５．０ｇの多層カーボンナノチューブが入口ロック室を介して挿入システムの液溜め内に置かれ、このシステムは密封閉鎖され、構成はターボポンプにより５×１０−３Ｐａの圧力までポンプ排気された。Ｎ２ガスが、約０．９９Ｐａの圧力で、垂直反応器管の上部を介してシステム中に挿入された。ＲＦプラズマが、３００Ｗの電力及び１３．５６ＭＨｚの周波数で、石英反応器上に四つのソレノイドコイルを持つアンテナにより発生された。ＣＮＴは、約０．４回転／秒の速度により循環スクリューを持つ挿入システムを使用して液溜めから上部の反応器の中心まで移動された。ＣＮＴは、重力により駆動されてプラズマ領域を通過した。プラズマ領域を通過した後、ＣＮＴは出口ロック室を介して回収システムに集められた。全システムは、ＣＮＴの連続供給及び回収が可能でありながら低圧が維持されることができるようにロック室の開閉と調和するように配置される。Ｎ，Ｏ及びＣの濃度はＸＰＳ法により定量された。ＣＮＴの構造は透過型電子顕微鏡により調査された。機能化後のＣＮＴ試料の組成は、９３．７原子％のＣ、２．９原子％のＮ、３．４原子％のＯである。機能化前のＣＮＴ試料の組成は、９９．１原子％のＣ、０．９原子％のＯであった。
実施例２：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、Ｎ２の代わりに同じ圧力（０．９９Ｐａ）を持つＮＨ３ガスが使用された。ＸＰＳ測定に基づく機能化後のＣＮＴ試料の組成は、９６．８原子％のＣ、１．０原子％のＮ、２．２原子％のＯであった。
実施例３：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、Ｎ２の代わりに同じ圧力（０．９９Ｐａ）を持つＣ３Ｈ５ＮＨ２ガスが使用された。ＸＰＳ測定に基づく機能化後のＣＮＴ試料の組成は、９５．７原子％のＣ、１．８原子％のＮ、２．５原子％のＯであった。
実施例４：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、Ｎ２の代わりに同じ圧力（０．９９Ｐａ）を持つＨ２ガスが使用された。ＸＰＳ測定に基づく機能化後のＣＮＴ試料の組成は、９８．５原子％のＣ、及び１．５原子％のＯであった。
実施例５：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、Ｎ２の代わりに同じ圧力（０．９９Ｐａ）を持つＨ２Ｏガスが使用された。ＸＰＳ測定に基づく機能化後のＣＮＴ試料の組成は、９７．２原子％のＣ、及び２．８原子％のＯであった。
実施例６：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、Ｎ２の代わりに同じ圧力（０．９９Ｐａ）を持つＯ２ガスが使用された。ＸＰＳ測定に基づく機能化後のＣＮＴ試料の組成は、９６．５原子％のＣ、及び３．５原子％のＯであった。
実施例７：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、Ｎ２の代わりに同じ圧力（０．９９Ｐａ）を持つＣ３Ｈ４Ｏ２ガスが使用された。ＸＰＳ測定に基づく機能化後のＣＮＴ試料の組成は、９７．６原子％のＣ、及び２．４原子％のＯであった。
実施例８：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、試料は１回の代わりに５回プラズマ領域を通過させられた。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後のＣＮＴ試料の組成は、８７．４原子％のＣ、６．２原子％のＮ、６．４原子％のＯであった。
実施例９：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、４ソレノイドコイルアンテナの代わりに８ソレノイドコイルを持つアンテナが使用された。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後のＣＮＴ試料の組成は、９１．２原子％のＣ、５．６原子％のＮ、３．２原子％のＯであった。
実施例１０：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、４ソレノイドコイルアンテナの代わりに８ソレノイドコイルを持つアンテナが使用され、試料は１回の代わりに５回プラズマ領域を通過させられた。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後のＣＮＴ試料の組成は、８１．３原子％のＣ、１３．４原子％のＮ、５．３原子％のＯであった。
実施例１１：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、３００Ｗの代わりに１００Ｗの電力が使用された。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後のＣＮＴ試料の組成は、９４．７原子％のＣ、１．２原子％のＮ、４．１原子％のＯであった。
実施例１２：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、３００Ｗの代わりに２００Ｗの電力が使用された。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後のＣＮＴ試料の組成は、８９．８原子％のＣ、５．９原子％のＮ、４．３原子％のＯであった。
実施例１３：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、０．９９Ｐａの代わりに０．４８ＰａのＮ２圧力が使用された。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後のＣＮＴ試料の組成は、８８．１原子％のＣ、８．７原子％のＮ、３．２原子％のＯであった。
実施例１４：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、０．９９Ｐａの代わりに０．４８ＰａのＮ２圧力が使用され、３００Ｗの代わりに１００Ｗの電力が使用された。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後のＣＮＴ試料の組成は、９３．５原子％のＣ、３．１原子％のＮ、３．４原子％のＯであった。
実施例１５：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、０．９９Ｐａの代わりに０．４８ＰａのＮ２圧力が使用され、３００Ｗの代わりに２００Ｗの電力が使用された。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後のＣＮＴ試料の組成は、９３．７原子％のＣ、３．７原子％のＮ、２．６原子％のＯであった。
実施例１６：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、多層カーボンナノチューブの代わりにカーボンブラック（ＫＥＴＪＥＮＢＬＡＣＫ  ＥＣ６００ＪＤ，ＡＫＺＯ  ＮＯＢＥＬ）の５．０ｇが使用された。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後の試料の組成は、９３．５原子％のＣ、４．１原子％のＮ、２．４原子％のＯであった。プラズマ処理前の試料の組成は、９７．４原子％のＣ、２．６原子％のＯであった。
実施例１７：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、多層カーボンナノチューブの代わりに黒鉛（Ｅｘｐａｎｄａｂｌｅ  ｇｒａｐｈｉｔｅ  ＧＨＬ  ＰＸ  ９８，ＨＵＮＴＳＭＡＮ）の５．０ｇが使用された。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後の試料の組成は、９５．２原子％のＣ、１．６原子％のＮ、３．２原子％のＯであった。処理前の試料の組成は、９９．１原子％のＣ、０．９原子％のＯであった。
実施例１８：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、多層カーボンナノチューブの代わりにガラス繊維の５．０ｇが使用された。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後の試料の組成は、４４．２原子％のＣ、１６．１原子％のＮ、３９．７原子％のＯであった。処理前の試料の組成は、７３．４原子％のＣ、２６．６原子％のＯであった。ガラス繊維の表面上の高分子サイジングの存在のためにＳｉの存在は全く検出されなかった。
実施例１９：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、多層カーボンナノチューブの代わりに０．２〜５０μｍのサイズを持つ不規則な形状の粒子からなるフェライト粉末（Ｆｅ２Ｏ３）（図７Ａ，Ｂ）の５．０ｇが使用され、４ソレノイドコイルアンテナの代わりに８ソレノイドコイルを持つアンテナが使用され、０．９９Ｐａの代わりに２．０ＰａのＮ２圧力が使用され、試料は１回の代わりに５回プラズマ領域を通過させられた。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後の試料の組成は、２．９原子％のＮ、６７．４原子％のＯ、２９．７原子％のＦｅであった。処理前の試料の組成は、６９．１原子％のＯ、３０．９原子％のＦｅであった。
実施例２０：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、多層カーボンナノチューブの代わりに＜１００ｎｍのサイズを持つ粒子の１〜２０μｍのサイズを持つ凝集体からなるヒュームドシリカ粉末（ＳｉＯ２）（図７Ｃ，Ｄ）の５．０ｇが使用され、４ソレノイドコイルアンテナの代わりに８ソレノイドコイルを持つアンテナが使用され、Ｎ２の代わりにＣ３Ｈ５ＮＨ２が２．０Ｐａの圧力で使用され、試料は１回の代わりに５回プラズマ領域を通過させられた。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後の試料の組成は、１．９原子％のＮ、６５．７原子％のＯ、３２．４原子％のＳｉであった。処理前の試料の組成は、６７．１原子％のＯ、３２．９原子％のＳｉであった。
実施例２１：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、多層カーボンナノチューブの代わりに０．１〜５０μｍのサイズを持つ球形粒子からなる（式Ｎａ２Ｏ・ＣａＯ・６ＳｉＯ２をほぼ持つ）ケイ酸ガラス粉末（図７Ｅ，Ｆ）の５．０ｇが使用され、４ソレノイドコイルアンテナの代わりに８ソレノイドコイルを持つアンテナが使用され、０．９９Ｐａの代わりに２．０ＰａのＮ２圧力が使用され、試料は１回の代わりに５回プラズマ領域を通過させられた。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後の試料の組成は、０．８原子％のＮ、６２．２原子％のＯ、２５．５原子％のＳｉ、９．９原子％のＮａ、１.６原子％のＣａであった。処理前の試料の組成は、６３．２原子％のＯ、２６．４原子％のＳｉ、８．８原子％のＮａ、１．６原子％のＣａであった。
実施例２２：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、多層カーボンナノチューブの代わりに（式Ｎａ２Ｏ・ＣａＯ・６ＳｉＯ２をほぼ持つ）ケイ酸ガラス粉末の５．０ｇが使用され、４ソレノイドコイルアンテナの代わりに８ソレノイドコイルを持つアンテナが使用され、窒素の代わりに２．０Ｐａの圧力を持つアリルアミン（Ｃ３Ｈ５ＮＨ２）が使用され、試料は１回の代わりに５回プラズマ領域を通過させられた。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後の試料の組成は、１２．１原子％のＮ、５６．２原子％のＯ、２３．７原子％のＳｉ、６．６原子％のＮａ、１．４原子％のＣａであった。処理前の試料の組成は、６３．２原子％のＯ、２６．４原子％のＳｉ、８．８原子％のＮａ、１．６原子％のＣａであった。
実施例２３：
実施例１と同じ操作条件が選ばれたが、多層カーボンナノチューブの代わりに凝集体サイズ１〜２０μｍを持つフレーク状粒子の不規則形状凝集体（図７Ｈ，Ｇ）からなる（式Ｍｘ（Ａｌ４−ｘＭｇ）Ｓｉ８Ｏ２８（ＯＨ）４、（但しＭはＮａ＋，Ｃａ２＋またはＮＨ４＋であることができる）をほぼ持つ）のナノクレイＣｌｏｉｓｉｔｅ２０Ａ粉末の５．０ｇが使用され、４ソレノイドコイルアンテナの代わりに８ソレノイドコイルを持つアンテナが使用され、０．９９Ｐａの代わりに２．０ＰａのＮ２圧力が使用され、試料は１回の代わりに５回プラズマ領域を通過させられた。ＸＰＳ測定に基づいた機能化後の試料の組成は、８．５原子％のＮ、５６．８原子％のＯ、２１．８原子％のＳｉ、９．５原子％のＡｌ、３．４原子％のＭｇであった。処理前の試料の組成は、６２．０原子％のＯ、２３．７原子％のＳｉ、１０．６原子％のＡｌ、３．７原子％のＭｇであった。
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【図１】
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【図３】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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