(57)【要約】  能動型磁気軸受上に装着され且つグリッパを有するロボットを較正するための方法であって、このグリッパは、ｚ軸に沿って垂直方向に位置決め可能であり、前記グリッパが、ｘ軸に沿って第１磁気軸受内で移動可能であり、且つｙ軸に沿って第２磁気軸受内で移動可能である。当該方法は、前記第１磁気軸受及び前記第２磁気軸受をそれぞれ、４つずつの取り付け地点（６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ；６ｅ、６ｆ、６ｇ、６ｈ）に分割し、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対する設定点の中心座標と、角度位置に対するこの設定点の値とを規定し、当該設定点の値を前記４つずつの取り付け地点の垂直方向の設定点の位置に対する複数の設定点の値に変換し、前記４つずつの取り付け地点の電磁石に対する作動力Ｆ１−Ｆ４を特定し、前記４つずつの取り付け地点に対するそれぞれの現在の垂直方向の位置を測定し、前記４つずつの取り付け地点の現在の垂直方向の位置ｚを測定し、実際の中心座標に変換し、前記実際の中心座標を前記設定点の中心座標と比較し、その偏差を特定し、上記のステップを繰り返すことから成る。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
能動型磁気軸受上に装着され且つグリッパを有するロボットを較正するための方法であって、このグリッパは、シリコンウェーハを取り上げて操作し、これらのシリコンウェーハを搬送ボックス内に収納するためにｚ軸に沿って垂直方向に位置決め可能であり、この搬送ボックス内では、複数のシリコンウェーハが、垂直方向に一定の間隔をあけて収納可能であり、前記グリッパが、ｘ軸に沿って第１磁気軸受内で移動可能であり、且つｙ軸に沿って第２磁気軸受内で移動可能である当該方法において、
・前記第１磁気軸受及び前記第２磁気軸受をそれぞれ、４つずつの取り付け地点（６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ；６ｅ、６ｆ、６ｇ、６ｈ）に分割し、
・Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対する設定点の中心座標と、角度位置δ、εに対するこの設定点の値とを規定し、当該設定点の値を前記４つずつの取り付け地点（６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ；６ｅ、６ｆ、６ｇ、６ｈ）の垂直方向の設定点の位置に対する複数の設定点の値に変換し、
・前記４つずつの取り付け地点（６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ；６ｅ、６ｆ、６ｇ、６ｈ）の電磁石に対する作動力Ｆ１−Ｆ４を特定し、
・前記４つずつの取り付け地点（６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ；６ｅ、６ｆ、６ｇ、６ｈ）に対するそれぞれの現在の垂直方向の位置を測定し、
・前記４つずつの取り付け地点（６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ；６ｅ、６ｆ、６ｇ、６ｈ）の現在の垂直方向の位置ｚを測定し、実際の中心座標に変換し、
・前記実際の中心座標を前記設定点の中心座標と比較し、その偏差を特定し、この設定点の中心座標からこの実際の中心座標までの偏差が零になって初めて、較正された設定点の値をこの設定点の中心座標として特定するまで、上記のステップを繰り返すことを特徴とする方法。
【請求項２】
０°が、２つの前記角度位置δ、εに対して特定されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記角度位置δ、εに対する前記設定点の値は、前記実際の角度位置δ、εを比較することによって特定され、前記角度位置δ、εに対する設定点の中心座標として特定されることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記中心座標Ｘ，Ｙ，Ｚ及び前記角度位置δ、εを前記４つずつの取り付け地点の垂直方向の位置に変換すること、及び、前記４つずつの取り付け地点の垂直方向の位置を前記中心座標Ｘ，Ｙ，Ｚ及び前記角度位置δ、εに変換することはそれぞれ、１つの変換マトリクス（１３；１５）内で実行されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記実際の値と前記設定点の値との比較は、少なくとも１つのマルチプレクサ内で実行されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記実際の角度位置δ、εは、１つの傾斜センサによって測定されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記ロボット（２）の前記角度位置δ、εの方向付けが、１つの基準位置に対して実行されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
少なくとも１つのシリコンウェーハ（１）の位置が、基準位置として使用されることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記実際の角度位置δ、εがそれぞれ、複数の距離センサ（１８）を用いて測定されることを特徴とする請求項７又は８に記載の方法。
【請求項１０】
２つの距離センサ（１８）がそれぞれ、前記グリッパ（１）上に互いに一定の距離をあけて配置されていることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記実際の角度位置δが、特定の量だけｘ軸に沿って移動される１つの距離センサ（１８）を用いて測定されることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、能動型磁気軸受上に装着され且つグリッパを有するロボットを較正するための方法に関する。このグリッパは、シリコンウェーハを取り上げて操作し、これらのシリコンウェーハを搬送ボックス内に収納するためにｚ軸に沿って垂直方向に位置決め可能である。この搬送ボックス内では、複数のシリコンウェーハが、垂直方向に一定の間隔をあけて収納可能である。この場合、グリッパが、ｘ軸に沿って第１磁気軸受内で移動可能であり、且つｙ軸に沿って第２磁気軸受内で移動可能である。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェーハとは、シリコン以外の材料から作られたものを含み、且つ任意の希望する用途向けの、あらゆる種類のディスク状ウェーハを意味する。
【０００３】
一組の積層された複数のシリコンウェーハずつのための、現在使用される搬送ボックスは、その片側が開いていて、その内側の側面とその背面に挿入方向に、多数のシリコンウェーハを取り上げ、これらのシリコンウェーハを積み重ねて設置し、安全に収納するための複数のガイドを備える。ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）としても知られている当該搬送ボックスでは、その規格化された間隔は、最大寸法の４５０ｍｍに定められたウェーハを積み重ねた複数のシリコンウェーハに対しては一般に１０ｍｍである。エンドエフェクタとしても知られているグリッパが、フォーク状の形を成し、当該シリコンウェーハを継続して保持することなしに、これらのシリコンウェーハの下に嵌入する働きをする。換言すれば、これらのシリコンウェーハが操作されている間に、これらのシリコンウェーハが、グリッパ上に固定されずに搭載されている。グリッパ自体が、８ｍｍの厚さを有するので、このグリッパを当該間隔内で位置決めするための１ｍｍの小さいエアギャップだけが、このグリッパの上下で存在する。
【０００４】
したがって、シリコンウェーハが操作されている間に、これらのシリコンウェーハの表面に対する損傷を排除するためには、ロボットが、グリッパを非常に正確に位置決めする必要がある。シリコンウェーハの直径が、通常の４５０ｍｍの場合、このことは、±１／４５０より優れている、つまり０．１°内に維持すべき角度偏差という点で要求が高いことを意味する。
【０００５】
従来では、機械式に構成された操作ロボットが、当該課題のために使用された。当該操作ロボットでは、移動軸方向の要求精度が、操作開始地点の機械的な方向と組み合わせて機械式に設定されていた。可動部品が、当該装置内の機械式の軸受手段で案内されるので、やや長い期間の使用後に、摩耗現象を軸受点において常に配慮する必要がある。
【０００６】
当該摩耗現象は、それぞれの移動軸における精度の変化を引き起こし、又は、当該操作開始地点の設定の結果として、グリッパの方向における精度の低下を引き起こす。その結果、グリッパの移動の複雑な監視なしでは、シリコンウェーハが、搬送ボックスから取り出されるか又は搬送ボックス内に設置されるときに、これらのシリコンウェーハを損傷するおそれがある。
【０００７】
シリコンウェーハをｚ軸方向に位置制御する要因になる、例えばシリコンウェーハの下面からそれぞれの搭載地点までの距離を測定する監視センサが、ｚ軸方向に垂直に整合させるために使用され得るものの、角度誤差（δ及びε）の較正は不可能である。この場合、δは、ｙ軸周りの角度偏差を示し、εは、ｘ軸周りの角度偏差を示す。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の課題は、能動型磁気軸受上に装着されたロボットを較正するための方法を提供することにある。シリコンウェーハを搬送ボックスから取り出す前と、シリコンウェーハを当該搬送ボックス内に新たに収納する前とに、グリッパの速くて正確な方向付けが、当該方法によって可能になる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この本発明の課題は、冒頭で述べた種類の方法の場合において、第１磁気軸受及び第２磁気軸受をそれぞれ、４つずつの取り付け地点に分割し、
・Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対する設定点の中心座標と、角度位置δ、εに対するこの設定点の値とを規定し、当該設定点の値を前記４つずつの取り付け地点の垂直方向の設定点の位置に対する複数の設定点の値に変換し、
・前記４つずつの取り付け地点の電磁石に対する作動力を特定し、
・前記４つずつの取り付け地点に対するそれぞれの現在の垂直方向の位置を測定し、
・前記４つずつの取り付け地点の現在の垂直方向の位置ｚを測定し、実際の中心座標に変換し、
・前記実際の中心座標を前記設定点の中心座標と比較し、その偏差を特定し、この設定点の中心座標からこの実際の中心座標までの偏差が零になって初めて、較正された設定点の値をこの設定点の中心座標として特定するまで、上記のステップを繰り返すことによって解決される。
【００１０】
本発明による方法の第１の実施の形態では、０°が、２つの前記角度位置δ、εに対して特定される。
【００１１】
本発明の別の実施の形態では、前記角度位置δ、εに対する前記設定点の値が、前記実際の角度位置δ、εを比較することによって特定され、前記角度位置δ、εに対する設定点の中心座標として特定される。
【００１２】
前記中心座標Ｘ，Ｙ，Ｚ及び前記角度位置δ、εを前記４つずつの取り付け地点の垂直方向の位置に変換すること、及び、前記４つずつの取り付け地点の垂直方向の位置を前記中心座標Ｘ，Ｙ，Ｚ及び前記角度位置δ、εに変換することはそれぞれ、好ましくは１つの変換マトリクス内で実行される。
【００１３】
さらに、前記実際の値と前記設定点の値との比較は、少なくとも１つのマルチプレクサ内で実行されることが提唱されている。
【００１４】
前記実際の角度位置δ、εを正確に測定するため、１つの傾斜センサが使用される。
【００１５】
この代わりに、ロボットの前記角度位置δ、εの方向付けが、１つの基準位置に対して実行される。
【００１６】
少なくとも１つのシリコンウェーハの位置が、基準位置として使用される場合、１つの較正が、グリッパの各動作位置に対して実行され得る。
【００１７】
この代わりに、又は、これに追加して、前記実際の角度位置δ、εがそれぞれ、複数の距離センサを用いて測定される。
【００１８】
２つの距離センサをそれぞれ、前記グリッパ上に互いに一定の距離をあけて配置することも可能である。
【００１９】
さらに、前記実際の角度位置δが、特定の量だけｘ軸に沿って移動される１つの距離センサを用いて測定され得る。例えば、前記グリッパ上に設置された１つの距離センサが、ｘ軸に沿ってこのグリッパによって移動され得る。
【００２０】
以下に、本発明を１つの実施の形態によってさらに詳しく説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】取り出し中に搬送ボックスから又は搬送ボックス内でシリコンウェーハを取り出し、操作し、収納するための、グリッパを備えるロボットを示す。
【図２】シリコンウェーハが取り出し後にグリッパ上に搭載されている図１によるロボットを示す。
【図３】垂直方向に調整可能な能動型磁気軸受の概略図である。
【図４】シリコンウェーハを操作するためのロボットのグリッパの傾斜自由度の投影図である。
【図５】４つの装着地点での重複測定を回避するための、中心制御用の中心座標が使用されることを示す。
【図６】能動型磁気軸受としてアクチュエータと、付随した距離センサとの配置の概略図である。
【図７】複数の変換マトリクスが、ｚ軸のための制御構成内に組み込まれていることを示す。
【図８】追加の１つの傾斜センサを伴う、能動型磁気軸受と付随した距離センサとの形式をとった複数のアクチュエータの配置の概略図である。
【図９】この傾斜センサが、角度偏差δ及びεを検出するための図７による制御構成内に組み込まれていることを示す。
【図１０】グリッパとシリコンウェーハとの間の角度偏差εが測定されることを概略的に示す。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図１及び２は、搬送ボックス４から個々のシリコンウェーハ３を取り出すための、又は搬送ボックス４内に個々のシリコンウェーハ３を収納するための、さらに１つのシリコンウェーハ３の取り出し中に個々のシリコンウェーハ３を操作するためのグリッパ１を備えるロボット２を示す。ウェーハスタック５が、搬送ボックス４内に有る。このウェーハスタック５内では、複数のウェーハ３が、一般には１０ｍｍの一定の間隔をあけて積み重ねて収納されている。ロボット２が、搬送区間に沿って水平方向に移動され得るキャリッジ１０上に設置されている。このキャリッジ１０は、垂直方向に調整可能な磁気軸受６を介して固定式のフレーム７内に取り付けられている。磁気軸受６が、固定式のフレーム７内でのキャリッジ１０の摩擦なしの直線運動を可能にする。さらに、同様に摩擦なしの昇降／回転支持装置８が、キャリッジ１０上に有る。グリップ１が、この昇降／回転支持装置８の上端部に配置されている。
【００２３】
この保持／回転装置８は、グリッパ１を一平面内でｚ軸（垂直軸）周りに旋回させるためと、搬送ボックス４内に設置された複数のシリコンウェーハ３の垂直方向の間隔に一致するように、このグリッパ１を垂直方向に位置決めするためとの双方で使用される。
【００２４】
昇降／回転支持装置８の上端部に設置された当該グリッパ１が、非摩擦式のリニアガイド９に沿って摺動される。このリニアガイド９は、リニアドライブ（図示せず）によってｘ軸に沿ったグリッパ１の水平方向の移動を可能にする。その結果、グリッパ１が、搬送ボックス４内の１つのシリコンウェーハ３の下に位置決めされ得る。そして、このグリッパが、そのときのシリコンウェーハ３を僅かに持ち上げるまで、このグリッパが、上昇され得る。その結果、次いで、そのシリコンウェーハ３が、このグリッパ１の逆の運動によって搬送ボックスから取り出され得る。個々のシリコンウェーハ３が、これに対応する逆の順序で搬送ボックス４内に収納される。
【００２５】
図１は、ウェーハスタック５内で１つのシリコンウェーハ３の下にこのシリコンウェーハ３に接触して位置決めされているグリッパ１を示す。そして図２は、シリコンウェーハ３を搬送ボックス４から取り出した後に、このグリッパ１上に設置された当該シリコンウェーハ３を示す。
【００２６】
図３は、垂直方向に調整可能な能動型磁気軸受６の細部を示す。この磁気軸受６は、リニアモータを用いて固定式の支持フレーム７上で移動され得る。
【００２７】
図４は、シリコンウェーハ３を操作するためのロボット２のグリッパ１の傾斜自由角度δ及びεの投影図である。これらの傾斜自由角度δ及びεは、ｘ軸に沿ってグリッパ１を移動させるためのリニアガイド９の調整可能な磁気軸受６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄを１つずつ有する４つの軸受点の各軸受点と、支持フレーム７内でｙ軸に沿ってキャリッジ１０を移動させるための磁気軸受６ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈを有する４つの軸受点とによって調整され得る。
【００２８】
それぞれのエアギャップＬ、つまり浮いている部分の位置が、これらの磁気軸受６において制御のために＋−１ｍｍの範囲内で調整され得る。人間の介入が必要であることなしに、必要なエアギャップが、ソフトウェアによって特定され得る。当該浮いている位置が、例えばｘ軸に対して軸受点つまり磁気軸受６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄごとに個々に特定されると、ｚ方向の位置に加えて、角度位置δ及びεが調整され得る。
【００２９】
４つの取り付け地点の場合における重複測定を回避するため、図５中に概略的に示されているように、中心座標が、中心位置制御のために使用される。上述したように、グリッパ１用のリニアガイド９が、磁気軸受６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ内に４つの取り付け地点を有する。そして支持フレーム７内のキャリッジ１０のリニアガイドも、４つの取り付け地点を磁気軸受６ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈ内に有する。
【００３０】
以下の説明では、中心座標Ｘ，Ｙ，Ｚ，δ及びεにおける４つの取り付け地点のそれぞれの垂直位置の変化が、磁気軸受６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄに対する例によって説明されている。このため、最初に、現在の垂直位置ｚ１，ｚ２，ｚ３，ｚ４が、磁気軸受６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄの各取り付け地点において距離センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを用いて測定される。
【００３１】
図６は、実際の垂直位置ｚ１，ｚ２，ｚ３，ｚ４を測定するための、能動型磁気軸受６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄとしてのアクチュエータと、ｚ軸用の付随した距離センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄとの配置の概略図である。
【００３２】
図７は、本発明による位置制御用の内部制御回路のための、ｚ軸と、ｘ軸及びｙ軸のそれぞれの軸周りの角度位置δ及びεとの信号フロー図である。位置をｚ軸と角度位置δ及びεとで制御するため、ｚ軸の中心座標のための設定点のスペック、つまりグリッパ１の制御されるべき垂直位置と、角度位置に対する、例えばδ＝０°及びε＝０°とが、第１マルチプレクサ１２内に最初に入力される。このマルチプレクサ１２は、これらの値を変化させないで変換マトリクス１３に伝達する。この変換マトリクス１３内では、これらの中心座標が、磁気軸受の取り付け地点６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄの選択されるべき垂直方向の位置に対する設定点のスペックに変換され、当該各々のスペックが、これらの磁気軸受の当該取り付け地点６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄに伝達される。その結果として、対応する作動力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４が、これらの磁気軸受の当該取り付け地点６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄで発生され、これに応じてキャリッジ１０が移動される。
【００３３】
このとき、これらの選択された位置は、依然として検査される必要があり、これらの設定点の値が、可能であるならば、フィードバックを通じて較正される。このため、現在の垂直方向の位置ｚ１，ｚ２，ｚ３，ｚ４が、距離センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを用いて測定され、実際の値ｚ１′，ｚ２′，ｚ３′，ｚ４′が、別の変換マトリクス１５に伝達される。実際の値ｚ′，δ′，ε′への変換が、この変換マトリクス１５内で実行される。
【００３４】
次いで、これらの実際の値が、第１マルチプレクサ１２内の設定点の値ｚ，δ，εと比較される。この比較は、ｚ１＝ｚ１′、ｚ２＝ｚ２′、ｚ３＝ｚ３′及びｚ４＝ｚ４′になるまで実行される。
【００３５】
言うまでもなく、磁気軸受６ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈの取り付け地点に対する中心座標ｘ、ｙ、ｚ、δ及びεが、適切な方法で測定される。
【００３６】
図８は、傾斜センサ１７を追加された図６による配置を示す。そして図９は、実際の角度位置δ，εを感知する傾斜センサ１７を組み込むための外部制御回路を追加された図７による内部制御回路を示す。したがって、予備制御の意味で、角度位置δ，εに対する測定値をこの内部制御回路に対して特定することが可能である。当該外部制御回路の傾斜センサは、単独で作動できる。すなわち、０°の一定の設定点の値が特定されるか、又は、設定点の値が、基準位置に適合されてもよい。例えば、図１０から見て取れるように不正確に位置決めされているシリコンウェーハ３に対してグリッパ１を平行に配向させることが、当該相対測定によって可能である。
【００３７】
このため、距離センサ１８が、グリッパ１内に組み込まれている。グリッパ１とシリコンウェーハ３との間の相対角度又は角度誤差を測定することが、当該距離センサを通じて可能である。したがって、これとは逆に、この角度は、図９による角度位置の外部制御回路に対する設定点の値として使用される。
【００３８】
２つの距離センサ１８が、互いに一定の距離をあけてグリッパ１内に組み込まれ、ｘ軸上の位置におけるグリッパ１とシリコンウェーハ３との間の距離を測定する。この代わりに、ただ１つの距離センサ１８によって、すなわちグリッパ１が、ｘ軸に沿って特定の量だけ移動されることによって、ｘ軸上の２つの位置で測定を実行することも可能である。
【００３９】
ロボット１が、多軸構造である場合、説明した較正は、全ての磁気軸受の全てのエアギャップ間で分配され得る。この場合には、磁気軸受６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄの、ｘ軸に対する４つの取り付け地点が、ｙ軸に対する磁気軸受６ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈの４つの取り付け地点のためにも同様に使用され得る。
【００４０】
本発明の方法によれば、最初に、第１磁気軸受及び第２磁気軸受がそれぞれ、４つの取り付け地点（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ；６ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈ）に分割され、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸に対する設定点の中心座標と、角度位置δ，εに対する設定点の値とが決定され、次いでこれらの設定点の値が、当該４つずつの取り付け地点（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ；６ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈ）の垂直方向の設定点の位置に対する設定点の値に変換される。
【００４１】
その後に、当該４つずつの取り付け地点（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ；６ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈ）の電磁石に対する作動力Ｆ１〜Ｆ４が特定され、次いで当該４つずつの取り付け地点（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ；６ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈ）に対する現在のそれぞれの垂直位置が、当該４つずつの取り付け地点（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ；６ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈ）を測定することによって決定され、実際の中心座標に変換される。
【００４２】
次いで、当該実際の中心座標が、設定点の中心座標と比較され、その偏差が特定される。
【００４３】
上記のステップは、設定点の中心座標から実際の中心座標までの偏差が零になって初めて、較正された設定点の値を当該設定点の中心座標として特定するまで繰り返される。
【００４４】
角度位置の、説明した相対測定は、グリッパ１の各動作位置に対する較正を可能にする。つまり、グリッパ１の方向が、異なる動作位置での異なる値に対して自動的に調整され得る。
【符号の説明】
【００４５】
１    グリッパ
２    ロボット
３    シリコンウェーハ
４    搬送ボックス
５    ウェーハスタック
６    磁気軸受
７    キャリッジ用のフレーム／支持フレーム
８    昇降／回転支持装置
９    リニアガイド
１０  キャリッジ
１１  距離センサ
１２  マルチプレクサ
１３  変換マトリクス
１４  能動型磁気軸受の電磁石
１５  変換マトリクス
１６  第２マルチプレクサ
１７  傾斜センサ
１８  距離センサ
Ｆ    作動力
Ｌ    エアギャップ
δ    傾いている自由／角度位置の度数
ε    傾いている自由／角度位置の度数
【図１】
2014520398.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
2014520398.tif 000009
【図１０】
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【図７】
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【図９】
2014520398.tif 000012
【国際調査報告】
2014520398.tif 000013
2014520398.tif 000014