(57)【要約】  本発明は、例えばクリームのような塗布用ペーストで満たされた複数層のウエハースブロック（１）を製造するための方法および装置に関する。当該装置においては、塗布用ペーストでコーティングされたベースウエハースシートが第一の移送平面に沿って堆積領域へと搬送され、カバーウエハースシート（３）が第二の移送平面に沿って、同じ堆積領域（５）へと搬送され、堆積領域（５）においてはカバーウエハースシート（３）が、ベースウエハースシート（２）のコーティングされた側に供給され、および面で載置され、および引き続いてベースウエハースシート（２）およびカバーウエハースシート（３）が共に搬出され、その際、カバーウエハースシート（３）とベースウエハースシート（２）は堆積領域（５）中で、各時点においてゼロではない速度で其々移動せしめられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
例えばクリームのような塗布用ペーストで満たされた複数層のウエハースブロック（１）を製造するための方法であって、
・  塗布用ペーストでコーティングされたベースウエハースシート（２）が、第一の移送平面（４）に沿って堆積領域（５）へと搬送され、
・  カバーウエハースシート（３）が第二の移送平面（６）に沿って同じ堆積領域（５）へと搬送され、
・  堆積領域（５）においてカバーウエハースシート（３）がベースウエハースシート（２）のコーティングされた側に供給され、そして面で載置され、
・  引き続いてベースウエハースシート（２）とカバーウエハースシート（３）が共に搬出される方法において、
カバーウエハースシート（３）とベースウエハースシート（２）が堆積領域（５）中でそれぞれある速度で移動せしめられ、当該速度が各時点においてゼロでないことを特徴とする方法。
【請求項２】
ベースウエハースシート（２）の塗布用ペーストとの接触する際のカバーウエハースシート（３）と、ベースウエハースシート（２）が、移送方向（７）において基本的に同じ速度を有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
カバーウエハースシート（３）が、移送方向（７）において堆積領域（５）に前支承されたストッパー（９）により停止され、および望まれる進入時点に、一又は複数の搬送装置によって第二の移送平面に沿って堆積領域（５）の方向へと搬送されることを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
カバーウエハースシート（３）が、一又は複数の位置決め要素（１０）によって移送方向（７）において堆積領域（５）の方へと搬送される、特に押し動かされることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
ベースウエハースシート（２）が、第一の搬送装置（１１）によって堆積領域（５）の方向へと搬送され、その際、移送方向（７）における第一の搬送装置（１１）の搬送速度が、位置決め要素（１０）の搬送速度よりも低いことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
ベースウエハースシート（２）が位置決め要素（１０）によって堆積領域（５）へと押し動かされれことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
ベースウエハースシート（２）が第一の移送平面（４）に沿って、およびカバーウエハースシート（３）が第二の移送平面（６）に沿って位置決め要素（１０）から堆積領域（５）へと搬送されることをと特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
位置決め要素（１０）が、カバーウエハースシート（３）の後方へと、およびベースウエハースシート（２）の後方へと伸び、およびその際、両ウエハースシートを重なり合って中心決めし、および移送方向（７）に押し動かすことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
例えばクリームのような塗布用ペーストによって満たされた複数層のウエハースブロック（１）を製造するための装置であって、
ベースウエハースシート（２）を堆積領域（５）へと搬送するための第一の移送平面（４）を有し、
カバーウエハースシート（３）を堆積領域（５）へと搬送するための第二の移送平面（６）を有し、
カバーウエハースシート（３）をベースウエハースシート（２）の上方及び／又は直上で正確に位置決めするための位置決め要素（１０）を有する装置において、
位置決め要素（１０）が移送方向（７）に可動に配置されていることを特徴とする装置。
【請求項１０】
位置決め要素（１０）が、少なくとも区分的に第二の移送平面（６）に沿って可動であることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
位置決め要素（１０）が、少なくとも区分的に第一の移送平面（４）に沿って可動であることを特徴とする請求項９または１０に記載の装置。
【請求項１２】
位置決め要素（１０）がバンド（２３）により第一の輪郭（２７）に沿って走行するよう駆動されることを特徴とする請求項９から１１のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１３】
位置決め要素（１０）が、移送方向（７）においてまず第二の移送平面（６）に沿って、およびその後第二の移送平面（４）に沿って可動であることを特徴とする請求項９から１２のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１４】
進入領域（１８）が設けられており、この進入領域中で第一および第二の移送平面（４，６）が互いに近づきあって形成されていることを特徴とする請求項９から１３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１５】
位置決め要素（１０）が進入領域（１８）中で第二の移送平面（６）に沿って可動であり、および堆積領域（５）中で第一の移送平面（４）に沿って可動であることを特徴とする請求項９から１４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１６】
位置決め要素（１０）が、堆積領域（５）中において、第一の移送平面に対して基本的に鉛直に推移して配置されていることを特徴とする請求項９から１５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１７】
第二の移送平面（６）に沿って、第四の搬送装置（１４）が設けられており、この搬送装置が好ましくはベルトコンベヤとして形成されていることを特徴とする請求項９から１６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１８】
第一の移送平面（４）に沿って第一の搬送装置（１１）が設けられており、この搬送装置が好ましくはバンドコンベヤとして形成されていることを特徴とする請求項９から１７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１９】
第一および第二の移送平面（４，６）が堆積領域（５）中で合流していることを特徴とする請求項９から１８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２０】
第二の移送平面（６）に沿って推移し、かつ進入領域（１８）に配置された分離要素（２０）が設けられており、これら分離要素が漸近的に推移して又は、第一の移送平面（４）の方に推移して形成されていることを特徴とする請求項９から１９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２１】
分離要素（２０）の間に開口部（２２）が配置されていることを特徴とする請求項９から２０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２２】
位置決め要素（１０）が突起（２１）を備えており、これら突起が、進入領域（１８）内で、分離要素（２０）の間に配置された開口部（２２）を取って第一の移送平面（４）の方へと突入していることを特徴とする請求項９から２１のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２３】
ベースウエハースシート（２）が、第一の搬送装置（１１）により堆積領域（５）の方に搬送され、その際、第一の搬送装置（１１）の移送方向（７）における搬送速度が、位置決め要素（１０）の速度よりも高いこと、およびカバーウエハースシート（３）が、第四の搬送装置（１４）によって堆積領域（５）へとは脳され、その際、第四の搬送装置（１４）の移送方向（７）における搬送速度が、位置決め要素（１０）の速度よりも高いこと、および両方のウエハースシート（２，３）が位置決め要素（１０）に対して押し動かされ、その際ウエハースシート（２，３）の速度が位置決め要素（１０）の速度によって定められることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばクリームのような塗布用ペーストで満たされた複数層のウエハースブロックを製造するための装置および方法に関する。当該装置および方法においては、塗布用ペーストでコーティングされたベースウエハースシートが第一の移送平面にそって堆積領域へと搬送され、カバーウエハースシートが第二の移送平面に沿って同じ堆積領域へと搬送され、堆積領域においてはカバーウエハースシートがベースウエハースシートのコーティングされた側に供給され、および面で載置され、および引き続いてベースウエハースシートおよびカバーウエハースシートが共に搬出される。
【背景技術】
【０００２】
このような装置は、永いこと公知であり様々な実施形で使用されている。
【０００３】
例えば、ウエハースシート、特にクリスピータイプのもろいフラットウエハースが、トング式自動焼き器内で焼かれ、その際ウエハースシートが、閉じられかつロックされたウエハーストング内で高圧のもと焼き上げられ、および引き続いて冷却されるという装置および方法が公知である。ウエハースシートは、好ましくは、薄いクリスピータイプのもろいウエハースであり、４００×８００ｍｍの大きさを有している。フラットウエハースは、例えば、ウエハースシートとクリームフィリングの交互の層から成る層状の構造を有するシュニッテンブロックの形成の為に使用される。シュニッテンブロックは、例えば二つのウエハースシートとその間に位置する一つのクリーム層から成るか、または二つのウエハースシートとその間に位置する複数のクリーム層から成ることが可能であるが、２より多くのウエハースシート層から成る構造から成ることも可能であり、その際、二つのウエハースシートの間には、其々、一又は複数のクリームフィリングが配置されている。多くの場合、シュニッテンブロックは二つの外側に位置する面に、各一のウエハースシートを備えている。よって巻上げ層はウエハースシートとして実施されている。
【０００４】
この目的のため、移送平面上のベースウエハースシートが塗布機械に搬送される。塗布機械は、例えばクリームである塗布用ペーストから成る層をもたらし、コーティングされたベースウエハースシートを更に搬送する。これと並行して、第二の移送平面に沿って搬送され、しかしその際コーティングされてはいないフラットウエハースが取り出される。カバーウエハースシートとコーティングされたベースウエハースシートを合流させるために、いわゆるサンドイッチ形成器が使用される。先行技術に相当するサンドイッチ形成器は、この目的の為ベースシートを当たり止めのもとで停止させ、この止まっている状態でカバーウエハースシートを供給し、これをクリーム層またはベースウエハースシートのコーティングされた側に平らに置く。クリームが濃密であることによって、カバーウエハースシートはクリーム、更にはベースウエハースシートに付着する。引き続いて当たり止めは引き離され、およびカバーウエハースシート、クリーム層およびベースウエハースシートから成る完成したサンドイッチは、更に搬送される。
【０００５】
この構造のデメリットは、ウエハース流が連続的に移送されることができず、ウエハースシートをつなぎ合わせ堆積化するために短時間停止される必要があるということである。現代のウエハース焼き窯は、毎分８０までのウエハースシートを移送する。特に、並行してウエハースシートを製造する二つのウエハース焼き窯を接続する際には、従って、高いスループットで処理を行うことができる一つのサンドイッチ形成装置を完成させることが有利である。個々のウエハースシートのブレーキおよび再出発によって発生する遅延によって、先行技術に相当するサンドイッチ形成器は、その移送性能面が制限されている。これは、機械的に低い抵抗性のためにウエハースシートは高い加速力に対向することができないので、クリスピータイプの脆いウエハースシートは、任意の強度で加速しおよび減速されることができない、という事実の結果である。あまりに強度の加速の結果は、不良品として失格とされなければならない破損したウエハースであろう。
【０００６】
更には、不良品を最少とするために、製造公差によってエラーを有するウエハースブロックの縁部領域を、できる限り低く保つということも有利である。この理由のため、ウエハースシート、特にベースウエハースシートとカバーウエハースシートをできる限り正確に重なり合って位置させることが重要である。正確に合同に重なり合って存在せず、少し側方にずらされているウエハースシートは、縁部領域において較正される必要がある。これは縁部領域のカットによって行われる。したがって、ウエハースシートがより正確に重なり合って載置されるほど、およびウエハースシートの縁部が、場合によっては移送装置および当たり止め装置によってより少ないエラーを有するほど、より少なくカットされる必要があり、そしてより少ない不良品が製造される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、塗布用ペーストで満たされた複数層のウエハースブロックを製造するための方法および装置であって、その際、高いスループットが図られ、その際、ウエハースシートが正確に重なり合って位置決めされ、製造された製品の製造公差が、可能な限り正確に維持され、およびその際、装置が製造面で安価であって、メンテナンス面で安価であって、使用が容易であるという方法および装置を完成させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る課題は、特に、カバーウエハースシートとベースウエハースシートが堆積領域において其々、各時点においてゼロで無い速度でもって移動せしめられることによって解決される。更に、ベースウエハースシートの塗布用ペーストとの接触の際におけるカバーウエハースシートと、ベースウエハースシートが、移送方向において基本的に同一の速度を有すること、カバーウエハースシートが移送方向において堆積領域に前支承されたストッパーによって停止せしめられ、および望まれる進入時点に対して一または複数の搬送装置によって第二の移送平面にそって堆積領域の方へ搬送されること、およびカバーウエハースシートが、一又は複数の位置決め要素によって移送方向で堆積領域の方へと搬送される、特に押し動かされることは、本発明思想に合致する。更にその上、本発明は、ベースウエハースシートが第一の搬送装置によって堆積領域の方へ搬送され、その際、第一の搬送装置の移送方向における速度が、位置決め要素の搬送速度よりも低いこと、ベースウエハースシートが位置決め要素によって堆積領域内へと押し動かされること、ベースウエハースシートが第一の移送平面に沿って、およびカバーウエハースシートが第二の移送平面に沿って、位置決め要素により堆積領域内へと搬送されること、および、位置決め要素がカバーウエハースシートの後方、およびベースウエハースシートの後方へと伸び、およびその際、両ウエハースシートを重なり合って中心決めし、および移送方向に押し動かすということによって際立っている。更に本発明に係る課題を解決するための発明は、例えばクリームのような塗布用ペーストでみたされた複数層のウエハースブロックを製造するための装置であって、ベースウエハースシートを堆積領域に搬送するための第一の移送平面を有し、カバーウエハースシートを堆積領域に搬送するための第二の移送平面を有し、および、カバーウエハースシートをベースウエハースシートの上方及び／又は直上で正確に位置決めするための少なくとも一つの位置決め要素を有し、その際位置決め要素が移送方向において可動に配置されている装置に関する。
【０００９】
装置は好ましくは、位置決め要素が、少なくとも区分的に第二の移送平面に沿って可動であること、位置決め要素が少なくとも区分的に第一の移送平面い沿って可動であること、位置決め要素がバンドによって第一の輪郭に沿って走行するよう駆動されていること、および位置決め要素が、移送方向でまず第二の移送平面に沿って可動であり、およびその後、第一の移送平面に沿って可動であることによって際立っている。本発明の更なる基本的特徴は、進入領域が設けられており、この進入領域において第一および第二の移送平面が互いに近づいて形成されていること、位置決め要素が進入領域において第二の移送平面に沿って可動であり、および堆積領域において第一の移送平面に沿って可動であり、および位置決め要素が堆積領域において、第一の移送平面に対して基本的に鉛直に推移して配置されていることである。更に発明に従い、第二の移送平面に沿って第四の搬送装置が設けられており、この搬送装置が好ましくはベルトコンベヤとして形成されていること、第一の移送平面に沿って第一の搬送装置が設けられており、この搬送装置が好ましくはバンドコンベヤとして形成されていること、および、第二の移送平面に沿って推移する、進入領域に配置された分離要素が設けられており、これら分離要素が漸近的に推移して、又はくさび形状に第一の移送平面の方へ推移して形成されていることが意図されていることが可能である。更にその上、分離要素の間に開口部が配置されていること、位置決め要素が突起を備え、これら突起が進入領域において、分離要素の間に配置された開口部を通って第一の移送平面の方へと突入していること、およびベースウエハースシートが第一の搬送装置によって堆積領域の方へと搬送され、その際、第一の搬送装置の移送法における搬送速度が、位置決め要素の速度よりも高いこと、および両ウエハースシートが、位置決め要素に対して押し動かされ、その際ウエハースシートの速度が位置決め要素の速度によって定められることは、本発明の更なる特徴であり得る。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に本発明を選択された実施例に基づき詳細に説明する。
【００１１】
図１は、例えばクリームのような塗布用ペーストにより満たされた複数層のウエハースブロックを製造する為の発明に係る装置であって、本実施形においては第一の搬送装置１１と第二の搬送装置１２を有する第一の移送平面４を有する装置を示す。更に、第三の搬送装置１３および第四の搬送装置１４を有する第二の移送平面６が設けられている。第二の移送平面は、第一の移送平面に対して基本的に平行に推移する高められた部分、基本的に高められた部分から堆積領域５に向かって推移する傾斜した部分、および進入領域１８を有する。この進入領域は、第二の移送平面に基本的に漸近的に推移して近づく、又はくさび形状に第一の移送平面に近づく。更に第五の搬送装置１５が設けられている。これは、位置決め要素１０を有しており、この位置決め要素は、基本的に第二の移送平面に沿って可動に配置されている。更に、第一の移送平面４の領域に検出部１６が設けられている。これはウエハースシートの進入の時点を検出し、特にベースウエハースシート２の本発明に係る装置内への、及び／又は第一の搬送装置１１に対する進入の時点を検出する。第二の移送平面６の領域には、当たり止め９が設けられている。これは、例えばブラシのような停止要素を有しており、この停止要素がウエハースシート、特にウエハースカバーシート３の更なる移動を防止する。制御ユニット１７から来る信号によりストッパーは操作されることが可能である。その際、停止要素は動かされ、そしてウエハースシートの移動をリリースする。その後引き続いて、ウエハースシートは更に堆積領域５の方へと移送される。
【００１２】
典型的には、ウエハースシートはウエハース焼き型から来て冷却装置に受け渡される。ウエハースは、引き続いて第一の移送平面４と第二の移送平面６に供給される。第一の移送平面４に沿って、移送されるウエハースシート上に塗布用ペースト、クリーム等からなる層を塗る装置が設けられている。この種の装置の例は、粘性のペースト又はクリームがローラー式装置によって塗られる接触式塗布装置、フィルム塗布装置、又はクリームがノズルヘッドを介して噴射される圧力ヘッド式装置である。塗布用ペーストの塗布をできる限り効率的に行うために、塗布は連続的に実施される。その際、不良品を最小限とするために、個々のウエハースシートは、縁を縁に合わせ互いに並べて平らな状態とされる。この、基本的に連続するコーティングされたウエハースシートのバンドは、以下においてベースウエハースシート２とも称されるが、第二の搬送装置１２を介して第一の搬送装置１１上へと受け渡される。その際、第一の搬送装置１１は、第二の搬送装置１２より高い搬送速度を有している。これにより、個々のウエハースシートは互いに引き分けられ、そして互いに間隔をあけて第一の移送平面に沿って堆積領域５の方へ搬送される。
【００１３】
これに平行して、第二の移送平面６に沿ってコーティングされていないウエハースシート（以下においてカバーウエハースシート３と称す）が、移送方向７に搬送される。その際、カバーウエハースシート３は、第三の搬送装置１３によって第四の搬送装置１４上へと受け渡される。これは、冒頭に記載した通りストッパー９を備えている。所定の時点においてストッパーが開き、これによってカバーウエハースシート３は堆積領域８の方へ移送される。その際、ウエハースシートは、隣接された位置決め要素１０に衝突する。この位置決め要素は第二の移送平面６に沿って動かされている。しかし、位置決め要素の移動はカバーウエハースシートの搬送速度よりも遅く、これによりシートは位置決め要素によって遅らせられる。今、ウエハースシートが、位置決め要素１０の背面と接触するので、カバーウエハースシートの速度は位置決め要素の速度によって定められる。位置決め要素１０は、従って移送方向においてウエハースシートの前方に配置され、そしてウエハースシートにブレーキをかける。
【００１４】
位置決め要素は第五の搬送要素により周回して案内され、および駆動される。その際、第五の搬送装置１５は複数の位置決め要素１０を備えている。第二の移送平面６に沿うカバーウエハースシート３の更なる移動の際、バンドに沿って配置された位置決め要素１０もまた更に移動し、これによって所定の区間の後、第二の位置決め要素は移送方向においてカバーウエハースシートの後方を追従する。これは、好ましくはウエハースシートに対して間隔をあけて配置されており、および前方の位置決め要素と同じ速度で移動する。更に、ウエハースシートが進入領域１８内へと移送されると、ブレーキ要素１９と接触するに至る。これは、ウエハースシートの移動にブレーキをかけ、および、これによってウエハースシートの位置交換を行う、つまりウエハースシートの前方縁部が前方の位置決め要素上にある位置から、ウエハースシートの後方縁部が、移送方向において後続する後方の位置決め要素に接する位置への位置交換に作用する。今、カバーウエハースシートは、ウエハースシートに続く第五の搬送装置１５、特に位置決め要素１０によって押し動かされる。
【００１５】
同時に、第一の移送平面４に沿ってコーティングされたベースウエハースシートが移送される。これは塗布用ペーストの層を備えており、この層は本構成においては、上に向かって、つまり第二の移送平面６の方に向いている。ベースウエハースシート２の下面には、塗布用ペースト層は無く、よって第一の搬送装置１１に直接接している。両方のウエハースシート（ベースウエハースシート２とカバーウエハースシート３）は、これらがおよそ同時期に進入領域１８および堆積領域５に供給されるように搬送される。速度または位置の同期は、各搬送装置において検出部１６およびストッパー９によって行われる。ベースウエハースシート２が進入領域１８に存在するとき、その上に位置して、カバーウエハースシート３が、第五の搬送装置の位置決め要素１０によって押し動かされる。進入領域には分離要素２０が設けられており、これら分離要素が、指形状に、又はストライプ形状に、第二の移送平面に沿って推移し第一の移送平面の方へと延在している。この指は、基本的に移送方向にそって延在する中間空間を備えている。カバーウエハースシート３を押し動かす位置決め要素１０は、突起２１を備えており、これら突起は分離要素２０の間を通し案内されており、かつ移動の際にベースウエハースシート２を連行する。この移動も、スライド移動として行われ、この移動の際に位置決め要素１０の突起２１は、ベースウエハースシート２の後方縁部と接触し、かつベースウエハースシートを堆積領域５の方へと押し動かす。進入領域中で位置決め要素は、ベースウエハースシート２とカバーウエハースシート３が、基本的に直角に起立した縁部又は直角に起立した面によって押し動かされるように動かされる。位置決め要素１０のこの直角なストレートガイドによって、動かされる両方のウエハースシート２，３は、正確に重なり合って中心決めされそして位置決めされる。進入領域１８の端部で分離要素２０は終了している。重なり合って位置する両方のウエハースシートは、堆積領域１５への移送の際にもはや分離要素２０によって分離されず、互いに重なり合っている。両シートの接近は、その際一方で重力によって行われ、及び／又は他方で、第一の移送平面４と第二の移送平面６のくさび形状の合流によって行われる。今や互いに重なりあうシートは、一つのウエハースブロックを形成する。このウエハースブロックは二つのウエハースシートと、その間に位置する塗布用ペーストの層から形成されている。
【００１６】
図２は図１と類似する構成を示す。当該構成においては、再び、第一の搬送装置１１が設けられている。これは、例えばコンベヤローラー装置、ベルトコンベヤ、またはバンドコンベアとして形成されている。同様に、第四の搬送装置１４がストッパー１９の経路中に設られている。ストッパー９は、検出部１６と同様、図示されていない制御ユニット１７と接続されており、および基本的にテンポごとに平行して堆積領域５に供給されるべきである、進入する両方のウエハースシートの同期に使用される。位置決め要素１０は、バンド２３により駆動され、および連結リンク２４により案内されている。連結リンクにより、位置決め要素の位置は、異なる領域内でコンベヤ面に対しておよびウエハースシートに対して相対的に制御される。特に進入領域１８内では、位置決め要素は、ベースウエハースシート２とカバーウエハースシート３が正確に重なり合って動かされるように案内されている。進入領域１８内および堆積領域５の開始部では個々のウエハースシート２，３が押し動かされ、そして引き続いて合流するウエハースブロック１が押し動かされる。これは、位置決め要素１０がウエハースシートの後方の縁部を押圧することをもたらす。両方のウエハースシート２，３からウエハースブロックを形成した後、又は形成する間、位置決め要素１０は連結リンク制御によって引き戻され、そしてこれによってウエハースブロックとの接触を失う。ウエハースブロックは、その際、一方で慣性により、そして他方で第一の搬送装置により、並びに第一の搬送装置に後続する搬送装置の一つにより移送される。引き続いて引き戻された位置決め要素は、転向ロールによって基本的に上に向かって連れ去られ、バンドに従って再び第二の移送平面へと案内される。
【００１７】
この引き戻し又は後ろに向かっての位置決め要素のフラップは、これによってウエハースブロックの後方の縁部が損傷から保護されるので、必要である。
【００１８】
図３は、本発明に係る装置の一部の斜視図を示す。再び、第一の搬送装置１１、第四の搬送装置１４および第五の搬送装置１５が表されている。これらは、再び位置決め要素１０を備えており、これら位置決め要素はバンド２３にそって動かされる。位置決め要素１０は、更に突起２１を備えており、これら突起は進入領域１８内で開口部２２を通って分離要素２０の間に入り込む。分離要素２０は、移送方向に沿って及び第二の移送平面６に沿って基本的にストライプ状に推移している。位置決め要素１０の移動の制御の為の更に連結リンク２４が設けられている。
【００１９】
図４は、機械フレームに対して強固に配置された連結リンク２４内における位置決め要素１０の案内の詳細図を示す。位置決め要素１０は、各一つのカム２５および案内要素２６を備えている。個々の要素の前進は、駆動されるベルトまたは駆動されるバンド２３によって行われる。このバンド２３に沿って、第一の輪郭２７の案内要素２６は以下のように実施されている。
【００２０】
案内要素２６には、各位置決め要素が回転可能に配置されている。更に、位置決め要素とカム２５が接続されており、これらカムは第二の輪郭２８を走査する。第一の輪郭２７に沿う位置決め要素１０の移動の際、カム２５が第二の輪郭２８を去る。第一の輪郭および第二の輪郭は、すべての領域で平行に推移しているのではないので、位置決め要素１０が、バンド２３または第一の輪郭２７に対して回転するに至る。この場合、カム２５はレバーとして実施されており、このレバーが位置決め要素１０に対する接続部から離れて位置する側にローラー３１を備えている。このローラー３１は、第二の輪郭２８に従って形成されているリード型（Ｌｅｉｔｆｏｒｍ）２９内に介入する。レバーは、位置決め要素１０と強固に接続されており、および回転軸３０の周りを回転可能に配置されている。
【００２１】
図５は、同じ連結リンクを示すが、他の側から観察した図である。再び、位置決め要素１０、カム２５、案内要素２６、第一の輪郭２７、第二の輪郭２８、リード型２９、回転軸３０およびローラー３１が見て取れる。
【００２２】
図６は、本発明に係る装置の一つの実施形の斜視図である。当該図は、図３に表されている装置の反対の側を示している。再び、ストッパー９、位置決め要素１０、第一の搬送装置１１、第四の搬送装置１４、第五の搬送装置１５、ストライプ状に形成された分離要素２０および分離要素２０の間に配置された開口部２２を有する進入領域１８が表されている。分離要素２０は、その際自由端部を備えており、この自由端部が堆積領域５の方を向いている。開口部２２も堆積領域５の方へ開かれている。位置決め要素１０の突起２１は、連結リンク２４により案内されかつバンド２３により駆動され、少なくとも部分的に第二の移送平面６に沿って移動する。その際、突起２１は分離要素２０の開口部２２内へと介入し、コーム（くし）に類似してこれを去る。突起２１は、少なくとも部分的に開口部２２を通って第一の移送平面４の方へと突入している。突入する領域によって、位置決め要素１０が、第一の移送平面上で搬送されるベースウエハースシートを連行することも可能である。バンド２３は、この実施形においてはギヤベルトとして実施されており、駆動部によって駆動され、かつ複数の転向ロールの周りを方向転換される。バンド２３は、閉じて周回するようお実施されている。更に、第五の搬送措置１４および第一の搬送装置１１は、閉じられたバンド形状の前進手段も有している。これも同様に駆動されおよび転向ロールの周りを方向転換される。
【００２３】
図１から６に対する説明においてと同様、本発明に係る装置は、ウエハースブロックを形成するためにウエハースシートを連続的に互い重なり合わせるよう装備されている。この目的の為、複数のウエハースシートが、次々と第一の移送平面および第二の移送平面６を介して堆積領域５へと供給される。場合によってはあり得る、第二の移送平面６に沿っており、かつ引き合せるべき両方のウエハースシートの正確な同期のために使用されるストッパー９による短時間の移動の中断は別として、カバーウエハースシートもベースウエハースシートも常に移動している。特に、両方のウエハースブロック構成要素の引き合せおよび正確な重なり合わせは、連続する移動プロセス中に行われる。互いに重なり合わせるべき両シートの合致正確性を向上させるため、位置決め要素１０が設けられている。記載された実施形においては、これら位置決め要素１０はカバーウエハースシートとベースウエハースシートからなる一組を押し動かし、そして、そのようにして連行しかつスライドする当たり止めとして作用する。
【００２４】
しかし、堆積領域５において位置決め要素１０が押し動かす作用を有さず、ブレーキをかける作用を有することも本発明思想にまったくもって合致する。この場合、位置決め要素１０の速度は両方のウエハースシートの移送速度よりも低い。進入領域１８中に、および更に堆積領域５中に、図示されていない実施形に相応してカバーウエハースシートおよびベースウエハースシートが搬送装置によって、移動する当たり止めのもと、つまり位置決め要素のもと押し動かされる。位置決め要素の速度が低いので、両シートは前方の縁部でもって位置決め要素１０に当接するにいたる。よって搬送装置は、各ウエハースシートに対してスリップする。特に、当たり止めとして使用される位置決め要素１０へのベースウエハースシートの移送の為、第一の搬送装置１１が設置されている。ウエハースシートの位置決め要素１０への移送のため、特に第四の搬送装置１４が設けられている。先に記載した、図示していない実施形においては、ブレーキ要素１９は省略される。
【００２５】
ブレーキ要素１９は、図１および図２中においてばねで予負荷を与えられた要素として実施されている。この要素は、所定のばね力でもって少なくとも一つの分離要素に対して予負荷を与えられている。ウエハースシートがブレーキ要素と分離要素の間にて押し動かされ、よって摩擦が作用し、シートにブレーキをかける。ウエハースシーにブレーキをかける別の可能性は、ブレーキをかけられたロール、ローラー、摩擦面等である。
【００２６】
本発明に係る装置と本発明に係る方法は、極めて高いスループットでの連続的な引き合せおよびウエハースブロックの形成を可能とする。よって例えば、毎分１００まで、またはそれ以上のウエハースブロックが形成されることが可能である。ウエハースブロックの連続的形成によって、および本発明に係る装置の更なる優位性により、それだけでなく、図られる品質およびこれと結びつけられる不良品が最適化される。
【００２７】
ここで、本発明は説明した実施例に限られない点、補足される。本発明思想に従う更なる実施形は、全明細書、図、及び／又は特許請求の範囲に記載に見られる個々の特徴または複数の特徴の組合せからも生じる。よって、異なる実施例から生ずる特徴の組合せから成る実施形もまた開示されている。図は、少なくとも部分的に簡略的な表現であり、その際、寸法および比率は、図として表されていない更なる実施形または特徴並びに現実の実施形から逸脱している可能性がある。
【符号の説明】
【００２８】
１     ウエハースブロック
２     ベースウエハースシート
３     カバーウエハースシート
４     第一の移送平面
５     堆積領域
６     第一の移送平面
７     移送方向
８     堆積領域
９     ストッパー
１０   位置決め要素
１１   第一の搬送装置
１２   第二の搬送装置
１３   第三の搬送装置
１４   第四の搬送装置
１５   第五の搬送装置
１６   検出部
１７   制御ユニット
１８   進入領域
１９   ブレーキ要素
２０   分離要素
２１   突起（位置決め要素）
２２   開口部（分離要素）
２３   バンド（位置決め要素）
２４   連結リンク
２５   カム
２６   案内要素
２７   第一の輪郭
２８   第二の輪郭
２９   リード型
３０   カムの回転軸
３１   ローラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【手続補正書】
【提出日】平成26年1月9日(2014.1.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
例えばクリームのような塗布用ペーストで満たされた複数層のウエハースブロック（１）を製造するための方法であって、
・  塗布用ペーストでコーティングされたベースウエハースシート（２）が、第一の移送平面（４）に沿って堆積領域（５）へと搬送され、
・  カバーウエハースシート（３）が第二の移送平面（６）に沿って同じ堆積領域（５）へと搬送され、
・  堆積領域（５）においてカバーウエハースシート（３）がベースウエハースシート（２）のコーティングされた側に供給され、そして面で載置され、
・  引き続いてベースウエハースシート（２）とカバーウエハースシート（３）が共に搬出される方法であって、
カバーウエハースシート（３）とベースウエハースシート（２）が堆積領域（５）中でそれぞれある速度で移動せしめられ、当該速度が各時点においてゼロでなく、
その際、カバーウエハースシート（３）が、一又は複数の位置決め要素（１０）によって移送方向（７）において堆積領域（５）の方へと搬送される、特に押し動かされ、
およびその際、ベースウエハースシート（２）が位置決め要素（１０）によって堆積領域（５）へと押し動かされる方法において、
位置決め要素（１０）が、カバーウエハースシート（３）の後方へと、およびベースウエハースシート（２）の後方へと伸び、およびその際、両ウエハースシートを重なり合って中心決めし、および移送方向（７）に押し動かすことを特徴とする方法。
【請求項２】
ベースウエハースシート（２）の塗布用ペーストとの接触する際のカバーウエハースシート（３）と、ベースウエハースシート（２）が、移送方向（７）において基本的に同じ速度を有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
カバーウエハースシート（３）が、移送方向（７）において堆積領域（５）に前支承されたストッパー（９）により停止され、および望まれる進入時点に、一又は複数の搬送装置によって第二の移送平面に沿って堆積領域（５）の方向へと搬送されることを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
ベースウエハースシート（２）が、第一の搬送装置（１１）によって堆積領域（５）の方向へと搬送され、その際、移送方向（７）における第一の搬送装置（１１）の搬送速度が、位置決め要素（１０）の搬送速度よりも低いことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
ベースウエハースシート（２）が第一の移送平面（４）に沿って、およびカバーウエハースシート（３）が第二の移送平面（６）に沿って位置決め要素（１０）から堆積領域（５）へと搬送されることをと特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
例えばクリームのような塗布用ペーストによって満たされた複数層のウエハースブロック（１）を製造するための装置であって、
ベースウエハースシート（２）を堆積領域（５）へと搬送するための第一の移送平面（４）を有し、
カバーウエハースシート（３）を堆積領域（５）へと搬送するための第二の移送平面（６）を有し、
カバーウエハースシート（３）をベースウエハースシート（２）の上方及び／又は直上で正確に位置決めするための位置決め要素（１０）を有する装置であって、
位置決め要素（１０）が移送方向（７）に可動に配置されている装置において、
進入領域（１８）が設けられており、この進入領域中で第一および第二の移送平面（４，６）が互いに近づきあって形成されていること、
第二の移送平面（６）に沿って推移し、かつ進入領域（１８）に配置された分離要素（２０）が設けられており、これら分離要素が漸近的に推移して又は、第一の移送平面（４）の方に推移して形成されていること、
および位置決め要素（１０）が突起（２１）を備えており、これら突起が、進入領域（１８）内で、分離要素（２０）の間に配置された開口部（２２）を取って第一の移送平面（４）の方へと突入していることを特徴とする装置。
【請求項７】
位置決め要素（１０）が、少なくとも区分的に第二の移送平面（６）に沿って可動であることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
位置決め要素（１０）が、少なくとも区分的に第一の移送平面（４）に沿って可動であることを特徴とする請求項６または７に記載の装置。
【請求項９】
位置決め要素（１０）がバンド（２３）により第一の輪郭（２７）に沿って走行するよう駆動されることを特徴とする請求項６から８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
位置決め要素（１０）が、移送方向（７）においてまず第二の移送平面（６）に沿って、およびその後第二の移送平面（４）に沿って可動であることを特徴とする請求項６から９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１１】
位置決め要素（１０）が進入領域（１８）中で第二の移送平面（６）に沿って可動であり、および堆積領域（５）中で第一の移送平面（４）に沿って可動であることを特徴とする請求項６から１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１２】
位置決め要素（１０）が、堆積領域（５）中において、第一の移送平面に対して基本的に鉛直に推移して配置されていることを特徴とする請求項６から１１のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１３】
第二の移送平面（６）に沿って、第四の搬送装置（１４）が設けられており、この搬送装置が好ましくはベルトコンベヤとして形成されていることを特徴とする請求項６から１２のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１４】
第一の移送平面（４）に沿って第一の搬送装置（１１）が設けられており、この搬送装置が好ましくはバンドコンベヤとして形成されていることを特徴とする請求項６から１３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１５】
第一および第二の移送平面（４，６）が堆積領域（５）中で合流していることを特徴とする請求項６から１４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１６】
分離要素（２０）の間に開口部（２２）が配置されていることを特徴とする請求項６から１５のいずれか一項に記載の装置。
【国際調査報告】
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