(57)【要約】【課題】基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットが開示される。【解決手段】本発明にかかる基板支持用ボートおよび支持ユニットは、基板の全面が均一に支持されるため、基板の処理時に、基板が自重により垂れることが防止される。そのため、基板を処理しても、基板の特性に変化がないことから、基板処理工程の信頼性が向上するという効果がある。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置のチャンバに挿入され処理される基板を支持するボートであって、
互いに対向する一対の第１メインバーと、
前記第１メインバーの上面にそれぞれ結合されて前記第１メインバーとそれぞれ平行をなし、互いに対向し、前記基板の縁部側が接触支持される一対の第２メインバーと、
一対の前記第１メインバーを互いに連結する複数の第１連結バーと、
前記第１メインバーおよび前記第２メインバーに設けられ、前記第２メインバーにより形成される空間に複数の基板が区画支持されるように前記第２メインバーにより形成される空間を複数個に区画するとともに、複数の前記基板の角部側と接触し、複数の前記基板が変位することを防止する複数の区画−支持ピンとを含むことを特徴とする基板支持用ボート。
【請求項２】
前記第２メインバーには、前記基板の縁部側を支持する複数の水平支持ピンが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板支持用ボート。
【請求項３】
前記第１連結バーには、前記基板を支持する複数の第１垂直支持ピンが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板支持用ボート。
【請求項４】
互いに隣接する前記第１連結バーは第２連結バーにより連結され、
前記第２連結バーには、前記基板を支持する複数の第２垂直支持ピンが設けられていることを特徴とする請求項３に記載の基板支持用ボート。
【請求項５】
前記第１垂直支持ピンおよび前記第２垂直支持ピンは、前記第１連結バーおよび前記第２連結バーにそれぞれ着脱可能に結合されていることを特徴とする請求項４に記載の基板支持用ボート。
【請求項６】
前記第１垂直支持ピンおよび前記第２垂直支持ピンの一側部位は、断面形状が円形、楕円形または角形の中から選択されたいずれか１つの形状に形成され、
前記第１連結バーおよび前記第２連結バーには、前記第１垂直支持ピンの一側部位および前記第２垂直支持ピンの一側部位がそれぞれ挿脱される第１結合溝および第２結合溝が、前記第１垂直支持ピンおよび前記第２垂直支持ピンの形状にそれぞれ対応して形成されていることを特徴とする請求項５に記載の基板支持用ボート。
【請求項７】
前記第１連結バーは、
前記第１垂直支持ピンが設けられて一対の前記第１メインバーの間に位置する水平バーと、
前記水平バーの両端部でそれぞれベンディング形成され、一対の前記第１メインバーのいずれか１つの前記第１メインバーと他の１つの前記第１メインバーにそれぞれ結合される結合バーを有し、前記第１メインバーの下側に位置することを特徴とする請求項３に記載の基板支持用ボート。
【請求項８】
前記結合バーは、前記水平バーから複数回ベンディング形成されていることを特徴とする請求項７に記載の基板支持用ボート。
【請求項９】
前記第１連結バーのうち、一部は互いに異なる間隔を有し、
互いに異なる間隔を有する前記第１連結バーに設けられた前記第１垂直支持ピンは、中間部位がベンディングされて前記第１連結バーに回転可能に設けられ、
前記第１連結バーに設けられた前記第１垂直支持ピンの一側部位および前記基板が支持される前記第１垂直支持ピンの他側部位の長さ方向の中心をそれぞれ通る仮想の直線は、互いに平行であることを特徴とする請求項３に記載の基板支持用ボート。
【請求項１０】
前記第１垂直支持ピンの中間部位は、複数回ベンディングされていることを特徴とする請求項９に記載の基板支持用ボート。
【請求項１１】
前記第１メインバーと前記第２メインバーとは、連結突起を介して互いに結合されていることを特徴とする請求項１に記載の基板支持用ボート。
【請求項１２】
前記第１メインバーの一端部側には、半円形状に設けられて相対物に係合支持されるアーク状支持片が設けられ、
前記第１メインバーの他端部側に結合された前記第１連結バーには、相対物に搭載支持される直線状支持片が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板支持用ボート。
【請求項１３】
前記第１メインバーの両端部側には、ロボットのアームが係合係止される係止フックがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板支持用ボート。
【請求項１４】
基板処理装置のチャンバに挿入され処理される基板を支持する支持ユニットであって、
前記チャンバの底面と接触する台座と、前記台座の一端部から垂直に延設された支持台と、前記支持台の一側面から水平に延設され、互いに間隔を有して上下に積層された形態で形成された複数の支持リブとをそれぞれ有し、互いに対向する一対がセットをなして前記チャンバの前面側および後面側にそれぞれ設けられたサポータと、
対をなして互いに対向する前記サポータの前記支持リブに一端部側および他端部側がそれぞれ支持されたクロス支持バーと、
前記チャンバの前面側に位置する前記クロス支持バーおよび前記チャンバの後面側に位置する前記クロス支持バーに一端部側および他端部側がそれぞれ支持され、複数の前記基板が区画されて搭載支持されるボートとを含むことを特徴とする基板支持用支持ユニット。
【請求項１５】
前記支持リブには、前記クロス支持バーが挿置される載置溝が形成されていることを特徴とする請求項１４に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項１６】
前記載置溝には、前記載置溝に直交する係止溝が形成され、前記クロス支持バーには、前記係止溝に挿入係止される係止リングが設けられていることを特徴とする請求項１５に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項１７】
前記クロス支持バーには、前記ボートが前記クロス支持バーに沿って変位することを防止する複数のストッパが設けられていることを特徴とする請求項１４に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項１８】
前記ボートは、
互いに対向する一対として設けられ、一端部側は、前記チャンバの前面側に位置する前記クロス支持バーに支持され、他端部側は、前記チャンバの後面側に位置する前記クロス支持バーに支持された第１メインバーと、
前記第１メインバーの上面にそれぞれ結合されて前記第１メインバーとそれぞれ平行をなし、互いに対向し、前記基板の縁部側が接触支持される一対の第２メインバーと、
一対の前記第１メインバーを互いに連結する複数の第１連結バーと、
前記第１メインバーおよび前記第２メインバーに設けられ、前記第２メインバーにより形成される空間に複数の基板が区画支持されるように前記第２メインバーにより形成される空間を複数個に区画するとともに、複数の前記基板の角部側と接触し、複数の前記基板が変位することを防止する複数の区画−支持ピンとを含むことを特徴とする請求項１４に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項１９】
前記第２メインバーには、前記基板の縁部側を支持する複数の水平支持ピンが設けられていることを特徴とする請求項１８に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項２０】
前記第１連結バーには、前記基板を支持する複数の第１垂直支持ピンが設けられていることを特徴とする請求項１８に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項２１】
互いに隣接する前記第１連結バーは第２連結バーにより連結され、
前記第２連結バーには、前記基板を支持する複数の第２垂直支持ピンが設けられていることを特徴とする請求項２０に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項２２】
前記第１垂直支持ピンおよび前記第２垂直支持ピンは、前記第１連結バーおよび前記第２連結バーにそれぞれ着脱可能に結合されていることを特徴とする請求項２１に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項２３】
前記第１垂直支持ピンおよび前記第２垂直支持ピンの一側部位は、断面形状が円形、楕円形または角形の中から選択されたいずれか１つの形状に形成され、
前記第１連結バーおよび前記第２連結バーには、前記第１垂直支持ピンの一側部位および前記第２垂直支持ピンの一側部位がそれぞれ挿脱される第１結合溝および第２結合溝が、前記第１垂直支持ピンおよび前記第２垂直支持ピンの形状にそれぞれ対応して形成されていることを特徴とする請求項２２に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項２４】
前記第１連結バーは、
前記第１垂直支持ピンが設けられて一対の前記第１メインバーの間に位置する水平バーと、
前記水平バーの両端部でそれぞれベンディング形成され、一対の前記第１メインバーのいずれか１つの前記第１メインバーと他の１つの前記第１メインバーにそれぞれ結合される結合バーを有し、前記第１メインバーの下側に位置することを特徴とする請求項２０に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項２５】
前記結合バーは、前記水平バーから複数回ベンディング形成されていることを特徴とする請求項２４に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項２６】
前記第１連結バーのうち、一部は互いに異なる間隔を有し、
互いに異なる間隔を有する前記第１連結バーに設けられた前記第１垂直支持ピンは、中間部位がベンディングされて前記第１連結バーに回転可能に設けられ、
前記第１連結バーに設けられた前記第１垂直支持ピンの一側部位および前記基板が支持される前記第１垂直支持ピンの他側部位の長さ方向の中心をそれぞれ通る仮想の直線は、互いに平行であることを特徴とする請求項２０に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項２７】
前記第１垂直支持ピンの中間部位は、複数回ベンディングされていることを特徴とする請求項２６に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項２８】
前記第１メインバーと前記第２メインバーとは、連結突起を介して互いに結合されていることを特徴とする請求項１８に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項２９】
前記第１メインバーの一端部側には、半円形状に形成されて前記チャンバの前面側に位置する前記クロス支持バーに係合支持されるアーク状支持片が設けられ、
前記メインバーの他端部側に結合された前記第１連結バーには、前記チャンバの後面側に位置する前記クロス支持バーに搭載支持される直線状支持片が設けられていることを特徴とする請求項１８に記載の基板支持用支持ユニット。
【請求項３０】
前記第１メインバーの両端部側には、ロボットのアームが係合係止される係止フックがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１８に記載の基板支持用支持ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の全面を均一に支持し、基板の処理途中に基板が自重により変形することを防止することができる基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置は、平板ディスプレイの製造時に用いられ、蒸着（Vapor Deposition）装置と、アニーリング（Annealing）装置とに大別される。
【０００３】
蒸着装置は、平板ディスプレイの核心構成をなす透明導電層、絶縁層、金属層またはシリコン層を形成する装置であって、ＬＰＣＶＤ（Low Pressure Chemical Vapor Deposition）またはＰＥＣＶＤ（Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition）などのような化学気相蒸着装置と、スパッタリング（Sputtering）などのような物理気相蒸着装置とがある。
【０００４】
そして、アニーリング装置は、基板に膜を蒸着した後、蒸着された膜の特性を向上させる装置であって、蒸着された膜を結晶化または相変化させる熱処理装置である。
【０００５】
一般的に、熱処理装置は、１つの基板を熱処理する枚葉式（Single Substrate Type）と、複数の基板を熱処理するバッチ式（Batch Type）とがある。枚葉式熱処理装置は、構成が簡単であるという利点があるが、生産性が低下するという欠点があり、大量生産にはバッチ式熱処理装置が多く用いられる。
【０００６】
バッチ式熱処理装置には熱処理空間を提供するチャンバが形成され、チャンバにはチャンバに搬入された複数の基板をそれぞれ支持する支持手段が必須的に用いられる。
【０００７】
しかしながら、従来の支持手段は、基板の縁部側を支えて支持するため、基板が熱処理されるときに、基板の自重により基板が撓み変形するおそれがあった。これにより、平板ディスプレイの特性が低下するため、基板処理工程の信頼性が低下するという問題があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記の従来技術の問題を解決するためになされたものであり、その目的は、基板の全面を均一に支持し、基板の処理途中に基板が自重により変形することを防止することができる基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するための本発明にかかる基板支持用ボートは、基板処理装置のチャンバに投入されて処理される基板を支持するボートであって、互いに対向する一対の第１のメインバーと、前記第１のメインバーの上面にそれぞれ結合されて前記第１のメインバーとそれぞれ平行をなし、互いに対向し、前記基板の縁部側が接触支持される一対の第２のメインバーと、一対の前記第１のメインバーを互いに連結する複数の第１の連結バーと、前記第１のメインバーおよび前記第２のメインバーに設けられ、前記第２のメインバーにより形成される空間に複数の基板が区画支持されるように前記第２のメインバーにより形成される空間を複数個に区画するとともに、複数の前記基板の角部側と接触し、複数の前記基板が流動することを防止する複数の区画−支持ピンとを含む。
【００１０】
また、上記の目的を達成するための本発明にかかる基板支持用支持ユニットは、基板処理装置のチャンバに投入されて処理される基板を支持する支持ユニットであって、前記チャンバの底面と接触する台座と、前記台座の一端部から垂直に延設された支持台と、前記支持台の一側面から水平に延設され、互いに間隔を有して上下に積層された形態で形成された複数の支持リブとをそれぞれ有し、互いに対向する一対がセットをなして前記チャンバの前面側および後面側にそれぞれ設けられたサポータと、対をなして互いに対向する前記サポータの前記支持リブに一端部側および他端部側がそれぞれ支持されたクロス支持バーと、前記チャンバの前面側に位置する前記クロス支持バーおよび前記チャンバの後面側が位置する前記クロス支持バーに一端部側および他端部側がそれぞれ支持され、複数の前記基板が区画されて搭載支持されるボートとを含む。
【発明の効果】
【００１１】
本発明にかかる基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットは、基板の全面を均一に支持するため、基板の処理時に、基板が自重により垂れることが防止される。そのため、基板を処理しても、基板の特性に変化がないことから、基板処理工程の信頼性が向上するという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態にかかる基板支持用支持ユニットが設けられた基板処理装置の斜視図である。
【図２】図１に示す支持ユニットの拡大図である。
【図３】図２に示すサポータの拡大図である。
【図４】図３の「Ｂ」部の拡大図である。
【図５】図２に示すボートの拡大図である。
【図６】図２の「Ａ」部の拡大図である。
【図７】図５の「Ｃ」部の拡大図である。
【図８】本発明の一実施形態にかかるボートの使用状態を示す図である。
【図９】本発明の他の実施形態にかかるボートの斜視図である。
【図１０】本発明の他の実施形態にかかる第１の垂直支持ピンの多様な形状を示す図である。
【図１１】本発明の他の実施形態にかかる第１の垂直支持ピンの多様な形状を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
後述する本発明に関する詳細な説明は、本発明が実施できる特定の実施形態を例示として示す添付図面を参照する。これらの実施形態は、当業者が本発明を実施できるように十分に詳細に説明される。本発明の多様な実施形態は、互いに異なるが、相互排他的である必要はないことが理解されなければならない。例えば、ここに記載されている特定の形状、構造および特性は一実施形態に関連し、本発明の精神および範囲を逸脱しない範囲内で他の実施形態で実現可能である。また、各々の開示す実施形態における個別構成要素の位置または配置は、本発明の精神および範囲を逸脱しない範囲内で変更可能であることが理解されなければならない。したがって、後述する詳細な説明は、限定的な意味で受け止めるものではなく、本発明の範囲は、適切に説明された場合、その請求項が主張するのと均等のすべての範囲とともに添付した請求項によってのみ限定される。図面において、類似の参照符号は、様々な側面にわたって同一または類似の機能を指し示し、長さおよび面積、厚さなどとその形態は、便宜上、誇張して表現されることもある。
【００１４】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態にかかる基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットを詳細に説明する。
【００１５】
図１は、本発明の一実施形態にかかる基板支持用支持ユニットが設けられた基板処理装置の斜視図である。
【００１６】
図示のように、基板処理装置１００は、略直方体形状に形成されて外観をなす本体１１０を含み、本体１１０の内部には、基板５０が処理されるチャンバ１１０ａが形成される。本体１１０は、直方体形状のみならず、基板５０の形状に応じて多様な形状に形成可能であり、チャンバ１１０ａは、密閉された空間として設けられる。
【００１７】
以下、基板５０の処理とは、基板５０を加熱および冷却する工程、基板５０上に所定の膜を蒸着するための全ての工程、基板５０上に蒸着された所定の膜をアニーリング、結晶化または相変化するための全ての熱処理工程などを含む概念として理解されなければならない。そして、基板５０の材質は、特に限定されず、ガラス、プラスチック、ポリマー、シリコンウエハまたはステンレススチールなどのような材質で形成可能である。
【００１８】
本体１１０の前面は開放されてドア１１３が設けられるが、ドア１１３はチャンバ１１０ａを開閉する。ドア１１３を開けてチャンバ１１０ａを開放した状態で、ロボットのアーム（図示せず）などで基板５０を支持し、基板５０をチャンバ１１０ａに搬入する。そして、ドア１１３を閉じてチャンバ１１０ａを閉鎖した状態で、基板５０を処理する。
【００１９】
本体１１０の内部には、基板５０を支持する支持ユニット１２０と、基板５０を加熱するためのヒータ（図示せず）と、基板５０を冷却させるための冷却管（図示せず）などが設けられる。
【００２０】
本実施形態にかかる支持ユニット１２０について、図１〜図４を参照して説明する。図２は、図１に示す支持ユニットの拡大図であり、図３は、図２に示すサポータの拡大図であり、図４は、図３の「Ｂ」部の拡大図である。
【００２１】
図示のように、本実施形態にかかる支持ユニット１２０は、サポータ１３０と、クロス支持バー１４０と、ボート１５０とを含む。
【００２２】
サポータ１３０は、チャンバ１１０ａを形成する本体１１０の底面に接触する台座１３１と、台座１３１の一端部から垂直に延設された支持台１３３と、支持台１３３の一側面から水平に延設され、互いに間隔を有して上下に積層された形態で形成された複数の支持リブ１３５とを有する。
【００２３】
サポータ１３０は、互いに対向する一対としてセットをなし、セットをなすサポータ１３０は、本体１１０の前面側の両角部および後面側の両角部にそれぞれ設けられる。そして、セットをなすサポータ１３０の支持リブ１３５は互いに対向する。
【００２４】
図２には、２セットのサポータ１３０が配置されていることを示し、互いに隣接する各々のサポータ１３０を互いに連結した仮想の線によりなる形状は略矩形である。すなわち、各サポータ１３０は、矩形の頂点部位に位置し、各サポータ１３０によりなる形状は、基板５０の形状に略対応する。
【００２５】
セットをなして互いに対向するサポータ１３０間の距離およびセットをなすサポータ１３０間の距離は、基板５０の大きさに応じて適切に調整することができる。
【００２６】
セットをなすサポータ１３０の支持リブ１３５には、クロス支持バー１４０の左端部側および右端部側がそれぞれ固定支持される。そして、チャンバ１１０ａの前面側および後面側に位置してそれぞれセットをなすサポータ１３０の支持リブ１３５にそれぞれ支持されたクロス支持バー１４０は、それぞれ上下に配置されて互いに平行をなすことはいうまでもない。また、チャンバ１１０ａの前面側に位置してセットをなすサポータ１３０の支持リブ１３５にそれぞれ支持された各々のクロス支持バー１４０と、チャンバ１１０ａの後面側に位置してセットをなすサポータ１３０の支持リブ１３５にそれぞれ支持された各々のクロス支持バー１４０とは、同じ高さに位置することはいうまでもない。
【００２７】
クロス支持バー１４０がサポータ１３０に安定して支持されるように、支持リブ１３５には、クロス支持バー１４０に対応する形状に形成され、クロス支持バー１４０の端部側が係合支持される載置溝１３５ａが形成される。そして、載置溝１３５ａが形成された支持リブ１３５の部位には、載置溝１３５ａの長さ方向と垂直に係止溝１３５ｂが形成され、クロス支持バー１４０の端部側の外周面には、係止溝１３５ｂに挿入係止される係止リング１４１がそれぞれ形成される。
【００２８】
載置溝１３５ａにクロス支持バー１４０が係合支持されるため、クロス支持バー１４０が支持リブ１３５上において前後方向に変位することが防止される。そして、載置溝１３５ａに垂直な係止溝１３５ｂおよび係止リング１４１により、クロス支持バー１４０が支持リブ１３５上において左右方向に変位することが防止される。
【００２９】
図２には、クロス支持バー１４０が台座１３１にも支持されていることが示されており、この場合には、台座１３１の上面にも、支持リブ１３５の上面に形成された載置溝１３５ａおよび係止溝１３５ｂが同様に形成できる。
【００３０】
チャンバ１１０ａの前面側に位置するクロス支持バー１４０と後面側に位置するクロス支持バー１４０には、基板５０が搭載支持されるボート１５０が搭載支持される。ボート１５０について、図２、図５〜図７を参照して説明する。図５は、図２に示すボートの拡大図であり、図６は、図２の「Ａ」部の拡大図であり、図７は、図５の「Ｃ」部の拡大図である。
【００３１】
図示のように、ボート１５０は、第１のメインバー１６１と、第２のメインバー１７１と、第１の連結バー１８１と、第２の連結バー１９１とを含む。
【００３２】
第１のメインバー１６１は、互いに間隔を有して対向する一対として設けられ、前端部側は、チャンバ１１０ａ（図１参照）の前面側に位置するいずれか１つのクロス支持バー１４０にそれぞれ持設され、後端部側は、チャンバ１１０ａの後面側に位置する他の１つのクロス支持バー１４０にそれぞれ持設される。
【００３３】
ボート１５０がクロス支持バー１４０に強固に支持されるように、第１のメインバー１６１の前端部には、チャンバ１１０ａの前面側に位置するクロス支持バー１４０に係止固定されるアーク状支持片１６３が設けられる。アーク状支持片１６３の形状は、クロス支持バー１４０の外形に対応する形状である半円形に形成される。
【００３４】
そして、第１のメインバー１６１の後端部側に結合された、後述する第１の連結バー１８１には、クロス支持バー１４０に搭載支持されるバー形状の直線状支持片１８３が設けられる。直線状支持片１８３は、クロス支持バー１４０と垂直に配置されてクロス支持バー１４０に搭載支持される。
【００３５】
アーク状支持片１６３がクロス支持バー１４０に係合支持され、直線状支持片１８３がクロス支持バー１４０に搭載支持されるため、ボート１５０はクロス支持バー１４０に強固に搭載支持される。また、アーク状支持片１６３が半円形に形成されてクロス支持バー１４０に係合支持され、直線状支持片１８３がバー形状に形成されてクロス支持バー１４０に搭載支持されるため、ボート１５０を上側へ持ち上げるだけで、ボート１５０がクロス支持バー１４０から分離される。したがって、ボート１５０をクロス支持バー１４０から容易に分離することができる。
【００３６】
クロス支持バー１４０には、ボート１５０が、クロス支持バー１４０上において、クロス支持バー１４０に沿って変位することを防止するストッパ１４３（図６参照）が複数個設けられる。ストッパ１４３は、チャンバ１１０ａの前面側に位置するクロス支持バー１４０に設けられてアーク状支持片１６３と接触する。ストッパ１４３の個数は、アーク状支持片１６３の個数に対応することはいうまでもない。
【００３７】
第２のメインバー１７１は、互いに対向する一対として設けられ、第１のメインバー１６１とそれぞれ平行をなし、かつ第１のメインバー１６１の上面にそれぞれ結合される。第２のメインバー１７１には、基板５０の４側面のうちの互いに対向する一側面および他側面の縁部側が接触支持される。
【００３８】
第１のメインバー１６１と第２のメインバー１７１とは、複数の連結突起１７３を介して互いに結合されて上下に間隔を有する。そして、第２のメインバー１７１には、第２のメインバー１７１と略直交する形態で形成され、かつ基板５０の縁部側を支持する複数の水平支持ピン１７５が設けられる。
【００３９】
本実施形態にかかる基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットは、１つのボート１５０に複数の基板５０が区画支持される。このために、第１のメインバー１６１および第２のメインバー１７１には、第２のメインバー１７１により形成される空間に複数の基板５０が区画支持されるように第２のメインバー１７１により形成される空間を複数個に区画するとともに、複数の基板５０の角部側と接触し、複数の基板５０をそれぞれ支持する複数の区画−支持ピン１６５、１７７がそれぞれ設けられる。区画−支持ピン１６５、１７７が基板５０の角部側と接触して基板５０を支持するため、基板５０が第２のメインバー１７１上で変位することが防止される。
【００４０】
第１の連結バー１８１は、第１のメインバー１６１と略直角をなし、一対の第１のメインバー１６１を互いに一体に連結する。第１の連結バー１８１は、第１のメインバー１６１より低い位置に配置されて結合されることが好ましい。このために、第１の連結バー１８１は、一対の第１のメインバー１６１の間に位置し、第１のメインバー１６１より下側に配置された水平バー１８１ａと、水平バー１８１ａの両端部からそれぞれ上側にベンディング形成され、第１のメインバー１６１にそれぞれ結合される結合バー１８１ｂとを有することができる。結合バー１８１ｂは、ボート１５０の構造に応じて、水平バー１８１ａから複数回ベンディング形成できることはいうまでもない。
【００４１】
第１の連結バー１８１を第１のメインバー１６１より低く配置させる理由は、基板５０を第２のメインバー１７１に搭載して処理するときに、基板５０と第１の連結バー１８１との間に十分な間隔が形成されるようにし、基板５０の処理時に投入される基板の処理ガスが円滑に流れるようにするためである。
【００４２】
第１の連結バー１８１には、基板５０が搭載支持される第１の垂直支持ピン１８５が複数個設けられる。第１の垂直支持ピン１８５が第１の連結バー１８１に一定間隔で複数個設けられるため、基板５０の全面が均一に支持される。したがって、基板５０の処理時に、基板５０が自重により垂れることが防止される。
【００４３】
基板５０が接触支持される第１の垂直支持ピン１８５の上端部は、ラウンディング状に形成されて基板５０と点接触することが好ましい。すると、基板５０の下面も、上面と同様に全て露出した状態になるため、基板５０がより均一に処理される。
【００４４】
第１の連結バー１８１は互いに異なる間隔を有することができる。第１の連結バー１８１が互いに異なる間隔で配置される場合、互いに異なる間隔を有する第１の連結バー１８１に設けられた第１の垂直支持ピン１８５は、複数回ベンディング形成できる。
【００４５】
詳細に説明すると、第１の垂直支持ピン１８５（図７参照）の中間部位はベンディング１８５ａされ、第１の垂直支持ピン１８５の上側部位および下側部位の長さ方向の中心をそれぞれ通る仮想の直線Ｌ１、Ｌ２は、互いに平行に形成される。すなわち、第１の連結バー１８１に結合された第１の垂直支持ピン１８５の下側部位の外側に上側部位が位置するため、第１の垂直支持ピン１８５の下側部位の外側に離隔した上側部位が基板５０を支持する。すると、第１の連結バー１８１間の間隔が一定でないときに、第１の連結バー１８１に設けられた第１の垂直支持ピン１８５が一定間隔を有して基板５０の全面を均一に支持することができる。
【００４６】
第１の垂直支持ピン１８５の下側部位が円形に形成されて第１の垂直支持ピン１８５が回転できる場合、第１の垂直支持ピン１８５を回転させ、基板５０が垂れる部位を容易に支持することができる。
【００４７】
第２の連結バー１９１は、互いに隣接する第１の連結バー１８１を互いに連結する。そして、第２の連結バー１９１には、基板５０を支持する複数の第２の垂直支持ピン１９３が設けられる。第２の垂直支持ピン１９３も、第１の垂直支持ピン１８５と同様の構成で形成できる。
【００４８】
第１のメインバー１６１の両端部側には、ロボットのアーム（図示せず）が係合係止される係止フック１６７がそれぞれ設けられる。前記ロボットのアームが係止フック１６７に係合されて係止フック１６７を昇降させると、ボート１５０が昇降する。
【００４９】
前記ロボットのアームを係止フック１６７に係止するときに、前記ロボットのアームが区画−支持ピン１６５、１７７と干渉しないように、係止フック１６７の高さおよび位置を適切に調整することができる。
【００５０】
図８は、本発明の一実施形態にかかるボートの使用状態を示す図であり、これを説明する。
【００５１】
図示のように、２つのボート１５０がクロス支持バー１４０（図２参照）に持設され、各々のボート１５０に２つの基板５０が支持されていることを示す。基板５０の大きさに応じて、１つ以上のボート１５０がクロス支持バー１４０に支持されてもよく、各ボート１５０に１つ以上の基板５０が支持されてもよい。
【００５２】
本実施形態にかかる基板支持用ボートおよびこれを用いた支持ユニットは、複数の水平支持ピン１７５、複数の第１の垂直支持ピン１８５および第２の垂直支持ピン１９３により基板５０の全面が均一に支持されるため、基板５０の処理時に、基板５０が自重により垂れることが防止される。
【００５３】
図９は、本発明の他の実施形態にかかるボートの斜視図であり、これを説明する。
【００５４】
図示のように、本発明の他の実施形態にかかるボート２５０において、第１の垂直支持ピン２８５の下部側および第２の垂直支持ピン２９３の下部側は、第１の連結バー２８１および第２の連結バー２９１にそれぞれ着脱可能に結合される。このために、第１の連結バー２８１および第２の連結バー２９１には、第１の垂直支持ピン２８５および第２の垂直支持ピン２９３が挿脱される第１の結合溝２８１ａおよび第２の結合溝２９１ａがそれぞれ形成される。
【００５５】
第１および第２の垂直支持ピン２８５、２９３が着脱されるため、基板５０の処理時に、基板５０の自重により基板５０が垂れる部位に第１および第２の垂直支持ピン２８５、２９３を集中的に配置することができる。したがって、基板５０が変形することをより完全に防止することができる。
【００５６】
第１および第２の垂直支持ピン２８５、２９３の下部側の形状と第１および第２の結合溝２８１ａ、２９１ａの形状は、それぞれ互いに対応することはいうまでもない。
【００５７】
図１０および図１１は、本発明の他の実施形態にかかる第１の垂直支持ピンの多様な形状を示す図であり、これを説明する。
【００５８】
図１０は、第１の垂直支持ピン３８５の下部側の断面形状が楕円形であることを示し、図１１は、第１の垂直支持ピン４８５の下部側の断面形状が角形であることを示す。第１の垂直支持ピン３８５、４８５が挿脱される第１の結合溝３８１ａ、４８１ａの形状は、第１の垂直支持ピン３８５、４８５の形状に対応すべきことはいうまでもない。
【００５９】
そして、図９で説明した第２の垂直支持ピン２９３および第２の結合溝２９１ａの形状も、互いに対応する断面形状が楕円形または断面形状が角形にそれぞれ形成できる。
【００６０】
第１の垂直支持ピン１８５、２８５、３８５、４８５の形状が互いに異なり、第２の垂直支持ピン１９３、２９３の形状が互いに異なると、第１の垂直支持ピン１８５、２８５、３８５、４８５の結合位置および第２の垂直支持ピン１９３、２９３の結合位置を表示する機能を果たすことができる。
【００６１】
上述した本発明の実施形態に関する図面は、詳細な輪郭ラインを省略したものであり、本発明の技術思想に属する部分が容易に分かるように概略的に示したものである。また、上記の実施形態は、本発明の技術思想を限定する基準になるのではなく、本発明の請求の範囲に含まれた技術事項を理解するための参照的な事項に過ぎない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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