(57)【要約】  超小型電子アセンブリ（２１０）は、第１の表面（２１４）および第１の表面（２１４）から遠く離れた第２の表面（２１６）を有する基板（２１２）を備えている。第１の超小型電子素子（２２２）が第１の表面（２１４）の上に重なっており、第１の導電要素（２２８）が、第１の表面（２１４）および第２の表面（２２２）の１つに露出している。第１の導電要素（２２８）のいくつかが、超小型電子素子（２２２）に電気的に接続されている。ワイヤボンド（２３２）は、導電要素（２２８）に接合された基部（２３４）と、基板（２１２）および基部（２３４）から遠く離れた端面（２３８）とを有している。各ワイヤボンド（２３２）は、基部（２３４）と端面（２３８）との間に延在する縁面（２３７）を画定している。封止層（２４２）が、第１の表面（２１４）から延在しており、ワイヤボンド（２３２）が封止層（２４２）によって互いに分離されるように、ワイヤボンド（２３２）間の空間を充填している。ワイヤボンド（２３２）の未封止部分は、少なくとも封止層（２４２）によって覆われていないワイヤボンドの端面（２３８）の一部によって画定されている。
2014513439.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超小型電子パッケージにおいて、
第１の領域および第２の領域を有する基板であって、第１の表面および前記第１の表面から遠く離れた第２の表面を有している、基板と、
前記第１の領域内において前記第１の表面の上に重なる少なくとも１つの超小型電子素子と、
前記第２の領域内において前記基板の前記第１の表面および前記第２の表面の少なくとも１つに露出した導電要素であって、前記導電要素の少なくともいくつかは、前記少なくとも１つの超小型電子素子に電気的に接続されている、導電要素と、
前記導電要素のそれぞれに接合された基部と、前記基板から遠く離れてかつ前記基部から遠く離れた端面とを有する複数のワイヤボンドであって、各ワイヤボンドは、その前記基部と前記端面との間に延在する縁面を画定しており、第１のワイヤボンドは、第１の信号電位を送るように構成されており、第２のワイヤボンドは、前記第１の信号電位と異なる第２の信号電位を同時に送るように構成されている、複数のワイヤボンドと、
前記第１または第２の表面の少なくとも１つから延在する誘電体封止層であって、前記封止層は、前記ワイヤボンドが前記封止層によって互いに分離されるように前記ワイヤボンド間の空間を充填しており、前記封止層は、前記基板の少なくとも前記第２の領域の上に重なっており、前記ワイヤボンドの未封止部分は、少なくとも前記封止層によって覆われていない前記ワイヤボンドの前記端面の一部によって画定されている、誘電体封止層と、
を備えている、ことを特徴とする超小型電子パッケージ。
【請求項２】
前記基板は、リードフレームであり、前記導電要素は、前記リードフレームのリードである、ことを特徴とする請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項３】
前記ワイヤボンドの前記未封止部分は、前記ワイヤボンドの前記端面と、前記封止層によって覆われていない前記端面に隣接する前記縁面の一部と、によって画定されている、ことを特徴とする請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項４】
前記ワイヤボンドの前記未封止部分の少なくともいくつかに接触する酸化保護層をさらに備えている、ことを特徴とする請求項３に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項５】
前記ワイヤボンドの少なくとも１つの前記端面に隣接する少なくとも一部は、前記封止層の表面と実質的に直交している、ことを特徴とする請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項６】
前記導電要素は、第１の導電要素であり、
前記超小型電子パッケージは、前記ワイヤボンドの前記未封止部分に電気的に接続された複数の第２の導電要素をさらに備えており、
前記第２の導電要素は、前記第１の導電要素と接触していない、ことを特徴とする請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項７】
前記第２の導電要素は、前記第１のワイヤボンドの少なくともいくつかの前記端面に接合された複数のスタッドバンプを備えている、ことを特徴とする請求項６に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項８】
前記ワイヤボンドの少なくとも１つは、その前記基部と前記未封止部分との間で実質的に直線に沿って延在しており、前記実質的な直線は、前記基板の前記第１の表面に対して９０°未満の角度をなしている、ことを特徴とする請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項９】
前記ワイヤボンドの少なくとも１つの前記縁面は、前記端面に隣接する第１の部分と、前記端面から前記第１の部分によって分離された第２の部分とを有しており、
前記第１の部分は、前記第２の部分が延在する方向から離れる方向に延在している、ことを特徴とする請求項１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項１０】
超小型電子パッケージにおいて、
第１の領域および第２の領域を有する基板であって、第１の表面および前記第１の表面から遠く離れた第２の表面を有している、基板と、
前記第１の領域内において前記第１の表面の上に重なる少なくとも１つの超小型電子素子と、
前記第２の領域内において前記基板の前記第１の表面および前記第２の表面の少なくとも１つに露出した導電要素であって、前記導電要素の少なくともいくつかは、前記少なくとも１つの超小型電子素子に電気的に接続されている、導電要素と、
前記導電要素のそれぞれに接合された基部と、前記基板から遠く離れてかつ前記基部から遠く離れた端面とを有する複数のワイヤボンドであって、各ワイヤボンドは、その前記基部と前記端面との間に延在する縁面を画定しており、第１の前記ワイヤボンドは、第１の信号電位を送るように構成されており、第２の前記ワイヤボンドは、前記第１の信号電位と異なる第２の信号電位を同時に送るように構成されている、複数のワイヤボンドと、
前記第１または第２の表面の少なくとも１つから延在する誘電体封止層であって、前記封止層は、前記ワイヤボンドが前記封止層によって互いに分離されるように、前記ワイヤボンド間の空間を充填しており、前記封止層は、前記基板の少なくとも前記第２の領域の上に重なっており、前記ワイヤボンドの未封止部分は、少なくとも前記封止層によって覆われていない前記ワイヤボンドの前記端面に隣接する前記縁面の一部によって画定されている、誘電体封止層と、
を備えている、ことを特徴とする超小型電子パッケージ。
【請求項１１】
前記未封止部分の少なくとも１つは、前記封止層によって覆われていない前記端面の少なくとも一部によってさらに画定されている、ことを特徴とする請求項１０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項１２】
前記封止層によって覆われていない前記縁面の前記一部は、前記封止層の前記表面と実質的に平行の方向に延在する最長寸法を有している、ことを特徴とする請求項１０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項１３】
前記封止層によって覆われず、前記封止層の前記表面と実質的に平行に延在する前記縁面の前記一部の長さは、前記ワイヤボンドの断面幅よりも大きくなっている、ことを特徴とする請求項１２に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項１４】
前記封止層は、前記ワイヤボンドを形成した後に、誘電体材料を前記第１の表面上に堆積させ、前記堆積した誘電体材料を硬化させることによって、前記基板上に形成された一体化層である、ことを特徴とする請求項１または１０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項１５】
前記一体化封止層は、前記誘電体材料を含んでいる、ことを特徴とする請求項１１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項１６】
前記基板の前記第１の表面は、第１および第２の横方向に延在しており、
各横方向は、前記第１および第２の表面間において前記基板の厚みの方向を横断しており、
前記ワイヤボンドの少なくとも１つの前記未封止部分は、前記少なくとも１つのワイヤボンドが接合された前記導電要素から前記横方向の少なくとも１つにおいて変位している、ことを特徴とする請求項１または１０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項１７】
前記ワイヤボンドの少なくとも１つは、その前記基部と前記端面との間に実質的に湾曲した部分を備えている、ことを特徴とする請求項１６に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項１８】
前記少なくとも１つのワイヤボンドの前記未封止部分は、前記超小型電子素子の主面の上に重なっている、ことを特徴とする請求項１６に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項１９】
前記ワイヤボンドの少なくとも１つの前記未封止部分に接合された半田ボールをさらに備えている、ことを特徴とする請求項１または１０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項２０】
前記封止層は、少なくとも１つの表面を備えており、前記ワイヤボンドの前記未封止部分は、前記少なくとも１つの表面で覆われていない、ことを特徴とする請求項１または１０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項２１】
前記少なくとも１つの表面は、前記基板の前記第１の表面と実質的に平行の主面を含んでおり、
前記ワイヤボンドの少なくとも１つの前記未封止部分は、前記主面において前記封止層によって覆われていない、ことを特徴とする請求項２０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項２２】
少なくとも１つのワイヤボンドの前記未封止部分は、前記主面と実質的に同一平面をなしている、ことを特徴とする請求項２１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項２３】
少なくとも１つのワイヤボンドの前記未封止部分は、前記主面の上方に延在している、ことを特徴とする請求項２１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項２４】
前記少なくとも１つの表面は、前記基板の前記第１の表面から第１の距離を隔てた主面と、前記基板の前記第１の表面から前記第１の距離よりも短い第２の距離を隔てた凹面とを備えており、
前記ワイヤボンドの少なくとも１つの前記未封止部分は、前記凹面において前記封止層によって覆われていない、ことを特徴とする請求項２０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項２５】
前記少なくとも１つの表面は、前記基板の第１の表面対して大きな角度で離れる方に延在する側面を含んでおり、
少なくとも１つのワイヤボンドの未封止部分は、前記側面において前記封止層によって覆われていない、ことを特徴とする請求項２０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項２６】
前記封止層は、前記封止層の表面から前記基板に向かって延在するように形成された空洞を有しており、
前記ワイヤボンドの１つの前記未封止部分は、前記空洞内に配置されている、ことを特徴とする請求項１または１０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項２７】
前記ワイヤボンドは、銅、金、アルミニウム、および半田からなる群から選択された少なくとも一種の材料から本質的になっている、ことを特徴とする請求項１または１０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項２８】
前記ワイヤボンドの少なくとも１つは、その長さに沿って長軸を画定しており、
各ワイヤボンドは、前記長軸に沿って延在する第１の材料の内層と、前記長軸から遠く離れ、このようなワイヤボンドの長さ方向に延在する長さを有する第２の材料の外層と、を備えている、ことを特徴とする請求項１または１０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項２９】
前記第１の材料は、銅、金、ニッケル、およびアルミニウムの一種であり、
前記第２の材料は、銅、金、ニッケル、アルミニウム、および半田の一種である、ことを特徴とする請求項２８に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項３０】
前記複数のワイヤボンドは、第１のワイヤボンドであり、
前記超小型電子パッケージは、前記超小型電子素子上の接点に接合された基部と前記接点から遠く離れた端面とを有する少なくとも１つの第２のワイヤボンドをさらに備えており、
前記少なくとも１つの第２のワイヤボンドは、前記基部と前記端面との間に延在する縁面を画定しており、
前記少なくとも１つの第２のワイヤボンドの未封止部分は、第２のワイヤボンドの前記端面または前記封止層によって覆われていない第２のワイヤボンドの前記縁面の少なくとも一部によって画定されている、ことを特徴とする請求項１または１０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項３１】
前記少なくとも１つの超小型電子素子は、第１の超小型電子素子であり、
前記超小型電子パッケージは、前記第１の超小型電子素子の上に少なくとも部分的に重なる少なくとも１つの第２の超小型電子素子をさらに備えており、
前記ワイヤボンドは、第１のワイヤボンドであり、
前記超小型電子パッケージは、前記超小型型電子素子上の接点に接合された基部と、前記接点から遠く離れた端面とを有する少なくとも１つの第２のワイヤボンドを有しており、
前記少なくとも１つの第２のワイヤボンドは、前記基部と前記端面との間に延在する縁面を画定しており、
前記第２のワイヤボンドの未封止部分は、このような第２のワイヤボンドの前記端面の一部または前記封止層によって覆われていないこのような第２のワイヤボンドの前記縁面の少なくとも１つによって画定されている、ことを特徴とする請求項１または１０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項３２】
前記封止層の前記表面に沿って延在する再分配層をさらに備えており、
前記再分配層は、前記封止層の主面に隣接する第１の面を有する再分配基板を備えており、
前記再分配層は、
前記第１の表面から遠く離れた第２の表面と、
前記再分配基板の前記第１の表面上に露出し、前記ワイヤボンドのそれぞれの未封止部分と真っ直ぐに並んで機械的に接続された第１の導電パッドと、
前記基板の前記第２の表面に露出し、前記第１の導電パッドに電気的に接続された第２の導電パッドと、をさらに備えている、ことを特徴とする請求項１または１０に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項３３】
超小型電子アセンブリにおいて、
請求項１または１０に記載の第１の超小型電子パッケージと、
第１の表面および第２の表面を有する基板と、前記第１の表面に実装された第２の超小型電子素子と、前記第２の表面に露出し、前記第２の超小型電子素子に電気的に接続された接触パッドと、を備える第２の超小型電子パッケージと、
を備えており、
前記第２の超小型電子パッケージは、前記第２の超小型電子パッケージの前記第２の表面が前記誘電体封止層の前記表面の少なくとも一部の上に重なるように、かつ前記接触パッドの少なくともいくつかが前記ワイヤボンドの前記未封止部分の少なくともいくつかに電気的かつ機械的に接続されるように、前記第１の超小型電子パッケージに実装されている、ことを特徴とする超小型電子アセンブリ。
【請求項３４】
超小型電子パッケージにおいて、
第１の領域および第２の領域を有する基板であって、第１の表面および前記第１の表面から遠く離れた第２の表面を有し、横方向に延在している、基板と、
前記第１の領域内において前記第１の表面の上に重なる超小型電子素子であって、前記基板から遠く離れた主面を有している、超小型電子素子と、
前記第２の領域内において前記基板の前記第１の表面に露出した導電要素であって、前記導電要素の少なくともいくつかは、前記超小型電子素子に電気的に接続されている、導電要素と、
前記第１の導電要素のそれぞれに接合された基部と、前記基板から遠く離れてかつ前記基部から遠く離れた端面とを有するワイヤボンドであって、各ワイヤボンドは、その前記基部と前記端面との間に延在する縁面を画定しており、第１のワイヤボンドは、第１の信号電位を送るように構成されており、第２のワイヤボンドは、前記第１の信号電位と異なる第２の信号電位を同時に送るように構成されている、ワイヤボンドと、
前記第１または第２の表面の少なくとも１つから延在する誘電体封止層であって、前記封止層は、前記ワイヤボンドが前記誘電体層によって互いに分離されるように、前記ワイヤボンド間の空間を充填しており、前記封止層は、前記基板の少なくとも前記第２の領域の上に重なっており、前記ワイヤボンドの未封止部分は、少なくとも前記封止層によって覆われていない前記ワイヤボンドの前記端面の一部によって画定されている、誘電体封止層と、
を備えており、
少なくとも１つのワイヤボンドの前記未封止部分は、前記未封止部分が前記超小型電子素子の前記主面の上に重なるように、前記少なくとも１つのワイヤボンドが接続された前記導電要素から前記第１の表面に沿って少なくとも１つの横方向に変位している、ことを特徴とする超小型電子アセンブリ。
【請求項３５】
前記導電要素は、第１の所定の形態の第１のアレイに配置されており、
前記ワイヤボンドの前記未封止部分は、前記第１の所定の形態と異なる第２の所定の形態の第２のアレイに配置されている、ことを特徴とする請求項３４に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項３６】
前記第１の所定の形態は、第１のピッチによって特徴付けられており、
前記第２の所定の形態は、前記第１のピッチよりも細い第２のピッチによって特徴付けられている、ことを特徴とする請求項３５に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項３７】
絶縁層が、前記超小型電子素子の少なくとも表面を覆って延在しており、
前記絶縁層は、前記超小型電子素子の前記表面と、前記超小型電子素子の前記主面の上に重なる未封止部分を有する前記少なくとも１つのワイヤボンドと、の間に配置されている、ことを特徴とする請求項３４に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項３８】
前記ワイヤボンドのそれぞれの複数の前記未封止部分は、前記超小型電子素子の前記主面の上に重なっている、ことを特徴とする請求項３４に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項３９】
超小型電子アセンブリにおいて、
請求項３４に記載の第１の超小型電子パッケージと、
第１の表面および第２の表面を有する基板と、前記第１の表面に取り付けられた超小型電子素子と、前記第２の表面に露出し、前記超小型電子素子に電気的に接続された接触パッドと、を備える第２の超小型電子パッケージと、
を備えており、
前記第２の超小型電子パッケージは、前記第２のパッケージの前記第２の表面が前記誘電体層の前記表面の少なくとも一部の上に重なるように、かつ前記接触パッドの少なくともいくつかが前記ワイヤボンドの前記未封止部分の少なくともいくつかに電気的かつ機械的に接続されるように、前記第１の超小型電子パッケージに取り付けられている、ことを特徴とする超小型電子アセンブリ。
【請求項４０】
前記第１の超小型電子パッケージの前記導電要素は、第１の所定の形態の第１のアレイに配置されており、
前記第２の超小型電子パッケージの前記接触パッドは、前記第１の所定の形態と異なる第２の所定の形態の第２のアレイに配置されている、ことを特徴とする請求項３９に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項４１】
前記第１の超小型電子パッケージの前記ワイヤボンドの前記未封止部分の少なくともいくつかは、前記第２の所定の形態に対応する第３のアレイに配置されている、ことを特徴とする請求項３９に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項４２】
前記第１の所定の形態は、第１のピッチによって特徴付けられており、
前記第２の形態は、前記第１のピッチよりも細い第２のピッチによって特徴付けられている、ことを特徴とする請求項３９に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項４３】
超小型電子アセンブリにおいて、
第１の超小型電子パッケージであって、
第１の領域および第２の領域を有する基板であって、第１の表面および前記第１の表面から遠く離れた第２の表面を有している、基板と、
前記第１の領域内において前記第１の表面の上に重なる少なくとも１つの超小型電子素子と、
前記第２の領域内において前記基板の前記第１の表面および前記第２の表面の少なくとも１つに露出した導電要素であって、前記導電要素の少なくともいくつかは、前記少なくとも１つの超小型電子素子に電気的に接続されている、導電要素と、
前記導電要素のそれぞれに接合された基部と前記基部から遠く離れた端面とを有するワイヤボンドであって、各ワイヤボンドは、その前記基部と前記端面との間に延在する端面を画定しており、前記基板から遠く離れた少なくとも一部を有している、ワイヤボンドと、
前記第１または第２の表面の少なくとも１つから延在する誘電体封止層であって、前記封止層は、前記ワイヤボンドが前記封止層によって互いに分離されるように前記ワイヤボンド間の空間を充填しており、前記誘電体封止層は、前記基板の少なくとも前記第２の領域の上に重なっており、前記ワイヤボンドの未封止部分は、前記前記封止層によって覆われていない前記ワイヤボンドの前記端面および前記縁面の１つの少なくとも一部によって画定されている、誘電体封止層と、
を備えている、第１の超小型電子パッケージと、
第２の超小型電子素子と、前記第２の超小型電子素子に電気的に接続されており、前記第２の超小型電子パッケージの表面に露出した接触パッドとを備える第２の超小型電子パッケージであって、前記第２の超小型電子パッケージは、前記接触パッドの少なくともいくつかが前記ワイヤボンドの前記未封止部分の少なくともいくつかに電気的かつ機械的に接続されるように、前記第１の超小型電子パッケージに実装されている、第２の超小型電子パッケージと、
を備えている、ことを特徴とする超小型電子アセンブリ。
【請求項４４】
前記第２の超小型電子パッケージは、第１の表面および第２の表面を有する基板を備えており、
前記第２の超小型電子素子は、前記第１の表面に実装されており、
前記第２の超小型電子パッケージの前記第２の表面は、前記誘電体封止層の前記表面の少なくとも一部と向き合っている、ことを特徴とする請求項４３に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項４５】
前記ワイヤボンドの前記端面は、前記基板から遠く離れており、
前記ワイヤボンドの前記未封止部分は、少なくとも前記ワイヤボンドの前記端面によって画定されている、ことを特徴とする請求項４３に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項４６】
前記ワイヤボンドの前記端面は、前記基板から遠く離れており、
前記ワイヤボンドの前記未封止部分は、少なくとも前記ワイヤボンドの前記端面に隣接する前記縁面によって画定されている、ことを特徴とする請求項４３に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項４７】
前記ワイヤボンドの前記端面は、前記基板の特徴部に接合されており、
前記縁面は、前記基部と前記端面との間に配置されて前記基板から遠く離れた頂部を画定しており、
前記ワイヤボンドの前記未封止部分は、前記頂部に隣接する前記縁面の領域によって画定されている、ことを特徴とする請求項４３に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項４８】
超小型電子アセンブリにおいて、
第１の領域および第２の領域を有する基板であって、第１の表面および前記第１の表面から遠く離れた第２の表面を有している、基板と、
前記第１の領域内において前記第１の表面の上に重なる少なくとも１つの超小型電子素子と、
前記第２の領域内において前記基板の前記第１の表面に露出した導電要素であって、前記導電要素の少なくともいくつかが、前記少なくとも１つの超小型電子素子に電気的に接続されている、導電要素と、
複数のボンド要素であって、各々が、第１の基部と、第２の基部と、前記基部間に延在する縁面と，を有しており、前記第１の基部は、前記導電要素の１つに接合されており、前記縁面は、接触パッドから前記基板から遠く離れた前記縁面の頂部に延在する第１の部分を備えており、前記縁面は、前記頂部から前記第２の基部に延在する第２の部分をさらに備えており、前記第２の基部は、前記基板の特徴部に接合されている、複数のボンド要素と、
前記第１または第２の表面の少なくとも１つから延在する誘電体封止層であって、前記封止層は、前記ボンド要素が前記封止層によって互いに分離されるように、前記ボンド要素の前記第１および第２の部分間の空間および前記複数のボンド要素間の空間を充填しており、前記封止層は、少なくとも前記基板の前記第２の領域の上に重なっており、前記ボンド要素の未封止部分は、前記封止層によって覆われていない前記頂部の周りの前記ボンド要素の前記縁面の少なくとも一部によって画定されている、誘電体封止層と、
を備えている、ことを特徴とする超小型電子パッケージ。
【請求項４９】
前記ボンド要素は、ワイヤボンドである、ことを特徴とする請求項４８に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項５０】
前記基板の前記第２の基部が接合される前記基板の前記特徴部は、前記第１の基部が接続される前記導電要素である、ことを特徴とする請求項４９に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項５１】
前記基板の前記第２の基部が接合される前記基板の前記特徴部は、前記第１の基部が接合される前記導電要素と異なる各導電要素である、ことを特徴とする請求項４９に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項５２】
前記第２の基部が接合される前記導電要素は、前記超小型電子要素に電気的に接続されていない、ことを特徴とする請求項５１に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項５３】
前記ボンド要素は、ボンドリボンである、ことを特徴とする請求項４８に記載の超小型電子素子。
【請求項５４】
前記第１の基部の一部は、前記各接触パッドの一部に沿って延在しており、
前記第２の基部が接合される前記特徴部は、前記各接触パッドの一部に沿って延在する前記第１の基部の長さ部分である、ことを特徴とする請求項５３に記載の超小型電子素子。
【請求項５５】
前記基板の前記第１の表面は、前記第１および第２の横方向に延在しており、
各横方向は、前記第１および第２の表面間において前記基板の厚みの方向を横断しており、
前記ワイヤボンドの少なくとも１つの前記未封止部分は、前記少なくとも１つのワイヤボンドが接合された前記導電要素から前記横方向の少なくとも１つにおいて変位している、ことを特徴とする請求項４８に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項５６】
前記少なくとも１つのワイヤボンドの前記未封止部分は、前記超小型電子素子の主面の上に重なっている、ことを特徴とする請求項５５に記載の超小型電子パッケージ。
【請求項５７】
超小型電子パッケージを製造する方法において、
誘電体封止層を処理中ユニット上に形成するステップであって、前記処理中ユニットは、第１の表面およびそこから遠く離れた第２の表面を有する基板と、前記基板の前記第１の表面に実装された超小型電子素子と、前記第１の表面に露出した複数の導電要素であって、前記導電要素の少なくともいくつかは、前記超小型電子素子に電気的に接続されている、複数の導電要素と、前記導電要素に接合された基部および前記基部から遠く離れた端面を有するワイヤボンであって、各ワイヤボンドは、前記基部と前記端面との間に延在する縁面を画定しており、前記ワイヤボンドの第１のものは、第１の信号電位を送るように構成されており、前記ワイヤボンドの第２のものは、前記第１の信号電子と異なる第２の信号電位を同時に送るように構成されている、ワイヤボンドと、を備えている、ステップを含んでおり、
前記封止層は、前記第１の表面および前記ワイヤボンドの一部を少なくとも部分的に覆うように形成されており、前記ワイヤボンドの未封止部分は、前記封止層によって覆われていない前記端面または前記縁面の少なくとも１つの一部によって画定されている、ことを特徴とする方法。
【請求項５８】
前記基板は、リードフレームであり、前記導電要素は、前記リードフレームのリードである、ことを特徴とする請求項５７に記載の超小型電子素子。
【請求項５９】
前記封止層を形成する前記ステップは、誘電体材料塊を前記第１の表面および前記ワイヤボンドの実質的に全てを覆って堆積させ、その前記未封止部分を画定するために、前記誘電体材料塊の部分を除去し、前記ワイヤボンドの一部を露出させることを含んでいる、ことを特徴とする請求項５８に記載の方法。
【請求項６０】
前記ワイヤボンドの少なくとも１つは、前記導電要素の少なくとも２つの各々に接合されたループをなすように延ばされており、
前記誘電体材料塊は、前記第１の表面および前記少なくとも１つのワイヤボンドループを少なくとも部分的に覆うように堆積されており、
前記誘電体材料塊の一部を除去する前記ステップは、前記少なくとも１つのワイヤボンドループを前記封止層によって覆われていないそれぞれの自由端を有する第１および第２のワイヤボンドに切断し、その未封止部分を形成するように、前記少なくとも１つのワイヤボンドループの一部を除去することをさらに含んでいる、ことを特徴とする請求項５９に記載の方法。
【請求項６１】
ワイヤの第１の端を前記導電要素に接合し、前記ワイヤを前記第１の表面から離れる方向に引き出し、
前記ワイヤを前記第１の表面に沿って少なくとも横方向に引き出し、
前記ワイヤを前記第２の導電要素の方に引き出し、かつ前記ワイヤを前記第２の導電要素に接合することを含むステップによって、前記処理中ユニットの前記ループを形成することをさらに含んでいる、ことを特徴とする請求項６０に記載の方法。
【請求項６２】
誘電体材料塊を前記基板の前記第１の表面から離れた位置から、前記ワイヤボンドの前記少なくとも１つが前記誘電体材料塊を貫通するように、前記ワイヤボンドの上に押圧し、前記基板の前記第１の表面に接触させることによって、前記封止層が前記処理中ユニット上に形成されるようになっている、ことを特徴とする、請求項５７に記載の方法。
【請求項６３】
前記ワイヤボンドは、金、銅、アルミニウム、または半田から本質的になるワイヤから作製されている、ことを特徴とする請求項５７に記載の方法。
【請求項６４】
前記第１のワイヤボンドは、アルミニウムを含んでおり、前記ワイヤボンドは、ウエジボンディングによって、前記導電要素に接合されるようになっている、ことを特徴とする請求項５７に記載の方法。
【請求項６５】
前記基板の前記第１の表面は、横方向に延在しており、
前記ワイヤボンドの少なくとも１つの前記未封止部分は、前記ワイヤボンドの前記端面が前記少なくとも１つのワイヤボンドが接合された前記導電要素から前記横方向の少なくとも１つにおいて変位するように、形成されている、ことを特徴とする請求項５７に記載の方法。
【請求項６６】
前記処理中ユニットは、前記ワイヤボンドの少なくとも１つが前記導電要素と前記少なくとも１つのワイヤボンドの前記端面との間に位置する実質的に湾曲した部分を備えるように、前記ワイヤボンドを形成するステップを含むことを特徴とする請求項５７に記載の方法。
【請求項６７】
前記基板は、第１の領域および第２の領域を備えており、
前記超小型電子素子は、前記第１の領域の上に重なっており、前記基板から遠く離れた主面を有しており、
前記第１の導電要素は、前記第１の領域内に配置されており、
前記処理中ユニットは、前記ワイヤボンドの少なくとも１つの少なくとも一部が前記超小型電子素子の前記主面を覆って延在するように、
前記ワイヤボンドを形成するステップを含むことを特徴とする請求項５７に記載の方法。
【請求項６８】
前記封止層を形成する前記ステップは、前記封止層の主面から前記基板の方に延在する少なくとも１つの空洞を形成することを含んでおり、
前記少なくとも１つの空洞は、前記ワイヤボンドの１つの前記未封止部分を包囲している、ことを特徴とする請求項５７に記載の方法。
【請求項６９】
前記少なくとも１つの空洞は、前記基板上に誘電体封止材料を堆積させた後、前記封止材料の湿式エッチング、乾式エッチング、またはレーザーエッチングの少なくとも１つによって形成されるようになっている、ことを特徴とする請求項６８に記載の方法。
【請求項７０】
前記少なくとも１つの空洞は、前記基板および前記少なくとも１つのワイヤボンド上に誘電体封止材料を堆積した後、前記ワイヤボンドの少なくとも１つの所定位置から犠牲材料の塊の少なくとも一部を除去することによって、形成されるようになっている、ことを特徴とする請求項６８に記載の方法。
【請求項７１】
前記封止層を形成する前記ステップは、前記犠牲材料の塊の一部が前記封止層の主面上に露出し、
前記犠牲材料の塊の前記露出部が、前記ワイヤボンドの前記自由端の近くの部分を包囲し、前記封止層の一部を前記自由端の近くの部分から離間する、ように行われるようになっている、ことを特徴とする請求項７０に記載の方法。
【請求項７２】
前記ワイヤボンドの少なくとも１つは、その長さに沿って長軸を画定しており、
前記犠牲材料の塊の第２の部分は、前記基部に隣接する箇所から前記少なくとも１つのワイヤボンドの前記長軸に沿って延在しており、前記犠牲材料の塊の少なくとも一部を除去する前記ステップの後に残るようになっている、ことを特徴とする請求項７０に記載の方法。
【請求項７３】
前記ワイヤボンドは、その長さに沿って長軸を画定しており、
前記ワイヤボンドは、前記長軸に沿って延在する第１の材料の内層と、前記長軸から遠く離れて前記ワイヤボンドの前記長さに沿って延在する第２の材料の外層と、を備えている、ことを特徴とする請求項５７に記載の方法。
【請求項７４】
前記第１の材料は、銅であり、前記第２の材料は、半田である、ことを特徴とする請求項７３に記載の方法。
【請求項７５】
前記封止層を形成する前記ステップの後、前記ワイヤボンドの前記内層の前記縁面の一部を露出させるために、前記第２の材料の一部が除去され、前記誘電体層の表面から延在する空洞を形成するようになっている、ことを特徴とする請求項７３に記載の方法。
【請求項７６】
前記ワイヤボンドの少なくとも１つの前記未封止部分上にスタッドバンプを形成することをさらに含んでいる、ことを特徴とする請求項５７に記載の方法。
【請求項７７】
前記ワイヤボンドの少なくとも１つの前記未封止部分上に半田ボールを堆積させることをさらに含んでいる、ことを特徴とする請求項５７に記載の方法。
【請求項７８】
超小型電子アセンブリを製造する方法において、請求項４２の前記ステップによって作製された第１の超小型電子パッケージを第２の超小型電子パッケージに接合するステップを含んでおり、
前記第２の超小型電子パッケージは、第１の表面を有する基板および前記基板の前記第１の表面に露出した複数の接点を備えており、
前記第１の超小型電子パッケージを前記第２の超小型電子パッケージに接合する前記ステップは、前記第１の超小型電子パッケージの前記ワイヤボンドの前記未封止部分を前記第２の超小型電子パッケージの前記接点に電気的かつ機械的に接続することを含んでいる、ことを特徴とする方法。
【請求項７９】
超小型電子パッケージを製造する方法において、
誘電体材料塊を処理中ユニットを覆って配置するステップであって、前記処理中ユニットは、第１の表面およびそこから遠く離れた第２の表面を有する基板と、前記第１の表面に露出した複数の薄い導電要素と、前記薄い導電要素のそれぞれに接合された基部と、前記基板から遠く離れてかつ前記基部から遠く離れた端面と、を有するワイヤボンドであって、各ワイヤボンドは、その前記基部と前記端面との間に延在する縁面を画定しており、第１の前記ワイヤボンドは、第１の信号電位を送るように構成されており、第２のワイヤボンドは、前記第１の信号電位と異なる第２の信号電位を同時に送るように構成されている、ワイヤボンドと、を備えている、ステップと、
前記ワイヤボンドが前記誘電体材料塊を貫通するように、前記誘電体材料塊を前記ワイヤボンドの上に押圧し、前記基板の前記第１の表面に接触させることによって、封止層を前記処理中ユニット上に形成するステップであって、前記封止層は、前記ワイヤボンドが前記封止層によって互いに分離されるように、前記ワイヤボンド間の空間を充填し、前記封止層は、前記基板の少なくとも前記第２の領域の上に重なり、前記第１のワイヤボンドの未封止部分は、前記第１のワイヤボンドの一部が前記封止層によって覆われないように、前記ワイヤボンドが前記封止層の一部を貫通することによって形成されるようになっている、ステップと、
を含んでいる、ことを特徴とする方法。
【請求項８０】
超小型電子パッケージを製造する方法において、
誘電体封止層を処理中ユニット上に形成するステップであって、前記処理中ユニットは、第１の表面およびそこから遠く離れた第２の表面を有する基板と、前記第１の表面に露出した複数の薄い導電要素と、前記薄い導電要素の少なくとも２つのそれぞれに第１の基部および第２の基部において接合されたワイヤループであって、前記封止層は、前記第１の表面および前記少なくとも１つのワイヤループを少なくとも部分的に覆うように形成されている、ワイヤループと、を備えている、ステップと、
前記ワイヤループの各々を、前記第１および第２の基部のそれぞれに対応すると共に前記基板から遠く離れてかつ前記基部から遠く離れた端面を有する個別のワイヤボンドに分断するように、前記封止層の一部および前記ワイヤループの一部を除去するステップであって、各ワイヤボンドは、その前記基部と前記端面との間に延在する縁面を画定しており、前記封止層は、前記ワイヤボンドが前記封止層によって分離されるように、前記ワイヤボンド間の空間を充填しており、前記ワイヤボンドは、前記封止層によって少なくとも部分的に覆われていない前記ワイヤボンドの自由端によって形成された未封止部分を有しており、前記ワイヤボンドの第１のものは、第１の信号電位を送るように構成されており、前記ワイヤボンドの第２のものは、前記第１の信号電子と異なる第２の信号電位を同時に送るように構成されている、ステップと、
を含んでいる、ことを特徴とする方法。
【請求項８１】
請求項１，１０のいずれか１つに記載の超小型電子パッケージと、前記超小型電子アセンブリに電気的に接続された１つまたは複数の他の電子コンポーネントとを備えるシステム。
【請求項８２】
ハウジングをさらに備えており、前記超小型電子アセンブリおよび前記他の電子コンポーネントは、前記ハウジングに実装されている、ことを特徴とする請求項８１に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［関連出願の相互参照］
本願は、２０１１年５月３日に出願された韓国特許出願第１０−２０１１−００４１８４３号の優先権を主張するものであり、その開示内容は、参照することによって、ここに含まれるものとする。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップのような超小型電子素子は、典型的には、他の電子コンポーネントに対する多くの入力／出力接続部を必要としている。半導体チップまたは同等の素子の入力／出力接点は、一般的には、（「エリアアレイ」と一般的に呼ばれる）素子の表面を実質的に覆うグリッド状パターンまたは素子の前面の各縁と平行にかつ該縁に隣接して延在する細長の列、または該前面の中心に配置されている。典型的には、チップのような素子は、印刷回路基板のような基板に物理的に実装されるようになっており、素子の接点は、回路基板の導電特徴部に電気的に接続されるようになっている。
【０００３】
半導体チップは、一般的に、チップの製造中および回路基板または他の回路パネルのような外部基板上へのチップの実装中におけるチップの取扱いを容易にするパッケージの形態で提供されている。例えば、多くの半導体チップは、表面実装に適するパッケージの形態で提供されている。この一般的な形式の多くのパッケージが、種々の用途に対して提案されてきている。最も一般的には、このようなパッケージは、誘電体上にメッキまたはエッチングされた金属構造体として形成された端子を有する、「チップキャリア」と一般的に呼ばれる誘電体要素を備えている。これらの端子は、典型的には、チップキャリア自体に沿って延在する薄いトレースのような特徴部およびチップの接点と端子またはトレースとの間に延在する細いリードまたはワイヤによって、チップ自体の接点に接続されるようになっている。表面実装作業において、パッケージは、パッケージ上の各端子が回路基板上の対応する接触パッドに真っ直ぐに並ぶように、回路基板上に配置されることになる。半田または他の接合材料が、端子と接触パッドとの間に設けられることになる。パッケージは、半田を溶融または「リフロー」させるかまたは他の方法によって接合材料を活性化させるために、アセンブリを加熱することによって、適所に恒久的に接合されることになる。
【０００４】
多くのパッケージは、パッケージの端子に取り付けられる半田ボールの形態にある半田塊を備えている。半田ボールは、典型的には、約０．１ｍｍおよび約０．８ｍｍ（５ミルおよび３０ミル）の直径を有している。底面から突出する半田ボールのアレイを有するパッケージは、ボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）パッケージと一般的に呼ばれている。ランドグリッドアレイ（ＬＧＡ）パッケージと呼ばれる他のパッケージは、半田から形成された薄い層またはランドによって基板に固定されるようになっている。この種のパッケージは、極めて小形化することができる。「チップスケールパッケージ」と一般的に呼ばれるいくつかのパッケージは、パッケージ内に組み入れられた素子の面積と等しいかまたはわずかに大きい回路基板の面積を占めることになる。これは、アセンブルの全体の大きさを縮小し、基板上の種々の素子間の相互接続部を短縮することができ、これによって、素子間の信号伝搬時間を制限し、アセンブリの高速作動を容易にするという点において、有利である。
【０００５】
パッケージ化された半導体チップは、多くの場合、「積層」配置の形態で提供されている。この積層配置では、１つのパッケージが、例えば、回路基板上に実装され、他のパッケージが、第１のパッケージの上に実装されることになる。これらの配置によって、多くの異なるチップを回路基板の単一の設置面積内に実装することができ、パッケージ間の相互接続部を短縮することによって、高速作動をさらに促進させることができる。多くの場合、この相互接続距離は、チップ自体の厚みよりもわずかに大きくなっている。チップパッケージのスタック内において相互接続を達成するために、（最上部のパッケージを除けば）各パッケージの両側に機械的かつ電気的接続をもたらすための構造体を設ける必要がある。これは、例えば、チップが実装される基板の両側に接触パッドまたはランドを設けることによって、行われてきている。パッドは、導電ビアなどによって基板を通って接続されることになる。下側基板の上面上の接点と次に高い基板の底面上の接点との間の間隙を橋掛けするために、半田ボールなどが用いられてきている。半田ボールは、接点を接続するために、チップの高さよりも大きくなっていなければならない。積層チップ配置および相互接続構造の例は、特許文献１に記載されている。この開示内容は、参照することによって、その全体がここに含まれるものとする。
【０００６】
超小型電子パッケージを回路基板に接続するために、また超小型電子パッケージングにおける他の接続部を得るために、細長のポストまたはピンの形態にあるマイクロ接点要素が用いられることがある。場合によっては、１つまたは複数の金属層を含む金属構造をマイクロ接点が得られるようにエッチングすることによって、マイクロ接点が形成されることもある。エッチングプロセスは、マイクロ接点の大きさを制限することになる。従来のエッチングプロセスは、典型的には、ここでは「アスペクト比」と呼ばれる高さ／最大幅の比率の大きいマイクロ接点を形成することができない。適切な高さおよび互いに隣接するマイクロ接点間の極めて小さいピッチまたは間隔を有するマイクロ接点のアレイを形成することは、困難であるかまたは不可能である。さらに、従来のエッチングプロセスによって形成されたマイクロ接点の形態は、制限されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１０／０２３２１２９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
当技術分野における前述の発展のすべてにも関わらず、超小型電子パッケージの製造および試験におけるさらに一層の改良が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の一実施形態は、超小型電子パッケージに関する。超小型電子パッケージは、第１の領域および第２の領域、および第１の表面および第１の表面から遠く離れた第２の表面を有する基板を備えている。少なくとも１つの超小型電子素子が、第１の領域内において第１の表面の上に重なっている。導電要素が、第２の領域内において基板の第１の表面および第２の表面の少なくとも１つに露出しており、導電要素の少なくともいくつかは、少なくとも１つの超小型電子素子に電気的に接続されている。超小型電子パッケージは、導電要素のそれぞれに接合された基部と、基板から遠く離れてかつ基部から遠く離れた端面とを有するワイヤボンドをさらに備えており、各ワイヤボンドは、その基部と端面との間に延在する縁面を画定している。誘電体封止層が、第１または第２の表面の少なくとも１つから延在しており、ワイヤボンドが封止層によって互いに分離されるようにワイヤボンド間の空間を充填している。封止層は、基板の少なくとも第２の領域の上に重なっており、ワイヤボンドの未封止部分は、少なくとも封止層によって覆われていないワイヤボンドの端面の一部によって画定されている。基板は、リードフレームであってもよく、導電要素は、リードフレームのリードであってもよい。
【００１０】
ワイヤボンドの未封止部分は、ワイヤボンドの端面と、封止層によって覆われていない、端面に隣接する縁面の一部と、によって画定されていてもよい。ワイヤボンドの未封止部分の少なくともいくつかに接触する酸化保護層が含まれていてもよい。ワイヤボンドの少なくとも１つの端面に隣接する少なくとも一部は、封止層の表面と実質的に直交していてもよい。前述の導電要素は、第１の導電要素とされ、超小型電子パッケージは、ワイヤボンドの未封止部分に電気的に接続された複数の第２の導電要素をさらに備えていてもよい。このような実施形態では、第２の導電要素は、第１の導電要素と接触しないようになっていてもよい。第２の導電要素は、第１のワイヤボンドの少なくともいくつかの端面に接合された複数のスタッドバンプを備えていてもよい。。
【００１１】
ワイヤボンドの少なくとも１つは、その基部と未封止部分との間で実質的に直線に沿って延在していてもよく、該実質的な直線は、基板の第１の表面に関して９０°未満の角度をなしていてもよい。付加的または代替的に、ワイヤボンドの少なくとも１つの縁面は、端面に隣接する第１の部分と、端面から第１の部分によって分離された第２の部分とを有していてもよく、第１の部分は、第２の部分が延在する方向から離れる方向に延在していてもよい。
【００１２】
本開示の他の実施形態は、代替的な超小型電子パッケージに関する。このような超小型電子パッケージは、第１の領域および第２の領域、および第１の表面および第１の表面から遠く離れた第２の表面を有する基板を備えている。少なくとも１つの超小型電子素子が、第１の領域内において第１の表面の上に重なっている。導電要素が、第２の領域内において基板の第１の表面および第２の表面の少なくとも１つに露出しており、導電要素の少なくともいくつかは、少なくとも１つの超小型電子素子に電気的に接続されている。超小型電子パッケージは、導電要素のそれぞれに接合された基部と、基板から遠く離れてかつ基部から遠く離れた端面とを有する複数のワイヤボンドをさらに備えている。各ワイヤボンドは、その基部と端面との間に延在する縁面を画定している。誘電体封止層が、第１または第２の表面の少なくとも１つから延在しており、ワイヤボンドが封止層によって互いに分離されるように、ワイヤボンド間の空間を充填している。封止層は、基板の少なくとも第２の領域の上に重なっており、ワイヤボンドの未封止部分は、少なくとも封止層によって覆われていないワイヤボンドの端面に隣接する縁面の一部によって画定されている。
【００１３】
封止層は、ワイヤボンドを形成した後に、誘電体材料を第１の基板上に堆積させ、次いで、堆積した誘電体材料を硬化させることによって、基板上に形成された一体化層とすることができる。一体化封止層の形成は、誘電体材料の成形を含んでいる。
【００１４】
未封止部分の少なくとも１つは、少なくとも封止層によって覆われていない端面の一部によってさらに画定されていてもよい。封止層によって覆われていない縁面の一部は、封止層の表面と実質的に平行の方向に延在する最長寸法を有していてもよい。封止層によって覆われず、封止層の表面と実質的に平行に延在する縁面の一部の長さは、ワイヤボンドの断面幅よりも大きくなっていてもよい。
【００１５】
前述の実施形態のいずれかにおいて、基板の第１の表面は、第１および第２の方向に延在していてもよく、各横方向は、第１および第２の表面間において基板の厚みの方向を横断していてもよい。ワイヤボンドの少なくとも１つの未封止部分は、少なくとも１つのワイヤボンドが接合された導電要素から横方向の少なくとも１つにおいてさらに変位していてもよい。ワイヤボンドの少なくとも１つは、その基部と端面との間に実質的に湾曲した部分を備えていてもよい。少なくとも１つのワイヤボンドの未封止部分は、超小型電子素子の主面の上に重なっていてもよい。
【００１６】
前述の実施形態のいずれかにおいて、半田ボールが、ワイヤボンドの少なくとも１つの未封止部分に接合されるようになっていてもよい。
【００１７】
加えて、前述の実施形態のいずれかにおいて、封止層は、少なくとも１つの表面を備えることができ、ワイヤボンドの未封止部分は、少なくとも１つの表面の１つにおいて、封止層によって覆われないようになっていてもよい。少なくとも１つの表面は、基板の第１の表面と実質的に平行の主面を含むことができ、ワイヤボンドの少なくとも１つの未封止部分は、主面において封止層によって覆われないようになっていてもよい。少なくとも１つのワイヤボンドの未封止部分は、主面と実質的に同一平面をなしていてもよい。代替的に、  少なくとも１つのワイヤボンドの未封止部分は、主面の上方に延在していてもよい。少なくとも１つの表面は、基板の第１の表面から第１の距離を隔てた主面と、基板の第１の表面から第１の距離よりも短い第２の距離を隔てた凹面とを備えていてもよく、ワイヤボンドの少なくとも１つの未封止部分は、凹面において封止層によって覆われないようになっていてもよい。少なくとも１つの表面は、基板の第１の表面から大きな角度で離れる方に延在する側面を含んでいてもよく、少なくとも１つのワイヤボンドの未封止部分は、側面において封止層によって覆われないようになっていてもよい。封止層は、封止層の表面から基板に向かって延在するように形成された空洞を有していてもよく、ワイヤボンドの１つの未封止部分は、空洞内に配置されていてもよい。
【００１８】
さらに、前述の実施形態のいずれかにおいて、ワイヤボンドは、銅、金、アルミニウム、および半田からなる群から選択された少なくとも一種の材料から本質的になっているとよい。ワイヤボンドの少なくとも１つは、その長さに沿って長軸を画定しており、各ワイヤボンドは、長軸に沿って延在する第１の材料の内層と、長軸から遠く離れ、このようなワイヤボンドの長さ方向に延在する長さを有する第２の材料の外層と、を備えていてもよい。このような実施形態では、第１の材料は、銅、金、ニッケル、およびアルミニウムの一種とすることができ、第２の材料は、銅、金、ニッケル、アルミニウム、および半田の一種とすることができる。
【００１９】
前述の実施形態のいずれかにおいて、複数のワイヤボンドは、第１のワイヤボンドとされ、超小型電子パッケージは、超小型電子素子上の接点に接合された基部と接点から遠く離れた端面とを有する少なくとも１つの第２のワイヤボンドをさらに備えていてもよい。少なくとも１つの第２のワイヤボンドは、基部と端面との間に延在する縁面を画定しており、少なくとも１つの第２のワイヤボンドの未封止部分は、このような第２のワイヤボンドの端面または封止層によって覆われていないこのような第２のワイヤボンドの縁面の少なくとも１つの一部によって画定されていてもよい。少なくとも１つの超小型電子素子は、第１の超小型電子素子とされ、超小型電子パッケージは、第１の超小型電子素子の上に少なくとも部分的に重なる少なくとも１つの第２の超小型電子素子をさらに備えていてもよい。このような実施形態では、該ワイヤボンドは、第１のワイヤボンドとされ、超小型電子パッケージは、超小型型電子素子上の接点に接合された基部と、接点から遠く離れた端面とを有する少なくとも１つの第２のワイヤボンドを有していてもよい。少なくとも１つの第２のワイヤボンドは、基部と端面との間に延在する縁面を画定しており、第２のワイヤボンドの未封止部分は、このような第２のワイヤボンドの端面の一部または封止層によって覆われていないこのような第２のワイヤボンドの縁面の少なくとも１つによって画定されていてもよい。
【００２０】
前述の実施形態のいずれかにおいて、ワイヤボンドの第１のものは、第１の信号電位を送るように適合されており、ワイヤボンドの第２のものは、第１の信号電位と異なる第２の信号電位を同時に送るように適合されているとよい。
【００２１】
前述の実施形態のいずれかは、封止層の表面に沿って延在する再分配層をさらに備えていてもよい。再分配層は、封止層の主面に隣接する第１の面を有する再分配基板を備えていてもよく、再分配層は、第１の表面から遠く離れた第２の表面と、再分配基板の第１の表面上に露出し、ワイヤボンドのそれぞれの未封止部分と真っ直ぐに並んで機械的に接続された第１の導電パッドと、基板の第２の表面に露出し、第１の導電パッドに電気的に接続された第２の導電パッドと、をさらに備えていてもよい。
【００２２】
さらに他の実施形態では、超小型電子アセンブリは、前述の実施形態のいずれかによる第１の超小型電子パッケージを備えている。該アセンブリは、第１の表面および第２の表面を有する基板を有する第２の超小型電子パッケージをさらに備えているとよい。第２の超小型電子層が、第１の表面に実装されているとよく、接触パッドが、第２の表面に露出し、第２の超小型電子素子に電気的に接続されているとよい。第２の超小型電子パッケージは、第２の超小型電子パッケージの第２の表面が誘電体封止層の表面の少なくとも一部の上に重なるように、かつ接触パッドの少なくともいくつかがワイヤボンドの未封止部分の少なくともいくつかに電気的かつ機械的に接続されるように、第１の超小型電子パッケージに実装されているとよい。
【００２３】
本開示の他の実施形態は、第１の領域および第２の領域と第１の表面および第１の表面から遠く離れた第２の表面とを有し、横方向に延在している、基板を備える超小型電子パッケージに関する。超小型電子素子が、第１の領域内において第１の表面の上に重なっており、基板から遠く離れた主面を有している。導電要素が、第２の領域内において基板の第１の表面に露出しており、導電要素の少なくともいくつかは、超小型電子素子に電気的に接続されている。超小型電子パッケージは、第１の導電要素のそれぞれに接合された基部と、基板から遠く離れてかつ基部から遠く離れた端面とを有するワイヤボンドをさらに備えている。各ワイヤボンドは、その基部と端面との間に延在する縁面を画定している。誘電体封止層が、第１または第２の表面の少なくとも１つから延在しており、ワイヤボンドが誘電体層によって互いに分離されるように、ワイヤボンド間の空間を充填している。封止層は、基板の少なくとも第２の領域の上に重なっており、ワイヤボンドの未封止部分は、封止層によって覆われていないワイヤボンドの端面の少なくとも一部によって画定されている。少なくとも１つのワイヤボンドの未封止部分は、未封止部分が超小型電子素子の主面の上に重なるように、少なくとも１つのワイヤボンドが接続された導電要素から第１の表面に沿って少なくとも１つの横方向に変位している。
【００２４】
導電要素は、第１の所定の形態の第１のアレイに配置されていてもよく、ワイヤボンドの未封止部分は、第１の所定の形態と異なる第２の所定の形態の第２のアレイに配置されていてもよい。第１の所定の形態は、第１のピッチによって特徴付けられていてもよく、第２の所定の形態は、第１のピッチよりも細い第２のピッチによって特徴付けられていてもよい。絶縁層が、超小型電子素子の少なくとも表面を覆って延在していてもよい。絶縁層は、超小型電子素子の表面と、超小型電子素子の主面の上に重なる未封止部分を有する少なくとも１つのワイヤボンドと、の間に配置されていてもよい。ワイヤボンドのそれぞれの複数の未封止部分は、超小型電子素子の主面の上に重なっていてもよい。
【００２５】
本発明の一実施形態による超小型電子アセンブリは、前述の実施形態による第１の超小型電子パッケージを備えている。該アセンブリは、第１の表面および第２の表面を有する基板と、第１の表面に取り付けられた超小型電子素子と、第２の表面に露出し、超小型電子素子に電気的に接続された接触パッドと、を備える第２の超小型電子パッケージをさらに備えているとよい。第２の超小型電子パッケージは、第２のパッケージの第２の表面が誘電体層の表面の少なくとも一部の上に重なるように、かつ接触パッドの少なくともいくつかがワイヤボンドの未封止部分の少なくともいくつかに電気的かつ機械的に接続されるように、第１の超小型電子パッケージに取り付けられているとよい。
【００２６】
第１の超小型電子パッケージの導電要素は、第１の所定の形態の第１のアレイに配置されていてもよく、第２の超小型電子パッケージの接触パッドは、第１の所定の形態と異なる第２の所定の形態の第２のアレイに配置されていてもよい。第１の超小型電子パッケージのワイヤボンドの未封止部分の少なくともいくつかは、第２の所定の形態に対応する第３のアレイに配置されていてもよい。第１の所定の形態は、第１のピッチによって特徴付けられていてよく、第２の形態は、第１のピッチよりも細い第２のピッチによって特徴付けられていてもよい。
【００２７】
本発明のさらに他の実施形態は、超小型電子パッケージを製造する方法に関する。この方法は、誘電体封止層を処理中ユニット上に形成するステップを含んでいる。処理中ユニットは、第１の表面およびそこから遠く離れた第２の表面を有する基板と、基板の第１の表面に実装された超小型電子素子と、第１の表面に露出した複数の導電要素と、を備えている。導電要素の少なくともいくつかは、超小型電子素子に電気的に接続されている。処理中ユニットは、導電要素に接合された基部および基部から遠く離れた端面を有するワイヤボンをさらに備えている。各ワイヤボンドは、基部と端面との間に延在する縁面を画定している。封止層は、第１の表面およびワイヤボンドの一部を少なくとも部分的に覆うように形成されており、ワイヤボンドの未封止部分は、封止層によって覆われていない端面または縁面の少なくとも１つの一部によって画定されている。処理中ユニットの基板は、リードフレームであってもよく、導電要素は、リードフレームのリードであってもよい。スタッドバンプが、ワイヤボンドの少なくとも１つの封止部分上に形成されてもよい。半田ボールが、ワイヤボンドの少なくとも１つの未封止部分上に堆積されるようになっていてもよい。
【００２８】
封止層を形成するステップは、誘電体材料塊を第１の表面およびワイヤボンドの実質的に全てを覆って堆積させ、その未封止部分を画定するために、誘電体材料塊の部分を除去し、ワイヤボンドの一部を露出させることを含んでいてもよい。変更形態では、ワイヤボンドの少なくとも１つは、導電要素の少なくとも２つの各々に接合されたループをなすように延ばされていてもよい。誘電体材料塊は、第１の表面および少なくとも１つのワイヤボンドループを少なくとも部分的に覆うように堆積されてもよく、誘電体材料塊の一部を除去するステップは、少なくとも１つのワイヤボンドループを封止層によって覆われていないそれぞれの自由端を有する第１および第２のワイヤボンドに切断し、その未封止部分を形成するように、少なくとも１つのワイヤボンドループの一部を除去することをさらに含んでいてもよい。ワイヤの第１の端を導電要素に接合し、ワイヤを第１の表面から離れる方向に引き出し、次いで、ワイヤを第１の表面に沿って少なくとも横方向に引き出し、次いで、ワイヤを第２の導電要素の方に引き出し、かつワイヤを第２の導電要素に接合することを含むステップによって、ループが形成されてもよい。
【００２９】
誘電体材料塊を基板の第１の表面から離れた位置から、ワイヤボンドの少なくとも１つが誘電体材料塊を貫通するように、ワイヤボンドの上に押圧し、基板の第１の表面に接触させることによって、封止層が処理中ユニット上に形成されてもよい。ワイヤボンドは、金、銅、アルミニウム、または半田から本質的になるワイヤから作製されているとよい。第１のワイヤボンドは、アルミニウムを含んでいてもよく、ワイヤボンドは、ウエジボンディングによって、導電要素に接合されるようになっていてもよい。封止層を形成するステップは、付加的または代替的に、封止層の主面から基板の方に延在する少なくとも１つの空洞を形成することを含んでいてもよく、少なくとも１つの空洞は、ワイヤボンドの１つの未封止部分を包囲していてもよい。少なくとも１つの空洞は、基板上に誘電体封止材料を堆積させた後、封止材料の湿式エッチング、乾式エッチング、またはレーザーエッチングの少なくとも１つによって形成されるようになっていてもよい。少なくとも１つの空洞は、基板および少なくとも１つのワイヤボンド上に誘電体封止材料を堆積した後、ワイヤボンドの少なくとも１つの所定位置から犠牲材料の塊の少なくとも一部を除去することによって、形成されるようになっていてもよい。封止層を形成するステップは、犠牲材料の塊の一部が封止層の主面上に露出し、犠牲材料の塊の露出部が、ワイヤボンドの自由端の近くの部分を包囲し、封止層の一部を該自由端の近くの部分から離間するように行われてもよい。ワイヤボンドの少なくとも１つは、その長さに沿って長軸を画定しており、各ワイヤボンドは、長軸に沿って延在する第１の材料の内層と、長軸から遠く離れてこのようなワイヤボンドの長さに沿って延在する長さを有する犠牲材料の塊によって形成された外層と、を備えていてもよい。犠牲材料の塊の第２の部分が基部に隣接して残るような空洞を形成するように、犠牲材料の塊の第１の部分が除去されるようになっていてもよい。
【００３０】
基板の第１の表面は、横方向に延在しているとよく、ワイヤボンドの少なくとも１つの未封止部分は、ワイヤボンドの端面が少なくとも１つのワイヤボンドが接合された導電要素から横方向の少なくとも１つにおいて変位するように、形成されてもよい。従って、処理中ユニットは、ワイヤボンドの少なくとも１つが導電要素と少なくとも１つのワイヤボンドの端面との間に配置された実質的に湾曲した部分を備えるように、ワイヤボンドを形成するステップを含むように形成されてもよい。
【００３１】
さらに他の変更形態では、基板は、第１の領域および第２の領域を備えており、超小型電子素子は、第１の領域の上に重なって、基板から遠く離れた主面を有している。第１の導電要素は、第２の領域内に配置されているとよく、処理中ユニットは、ワイヤボンドの少なくとも１つの少なくとも一部が超小型電子素子の主面の上に重なるように、ワイヤボンドを形成するステップを含むように、形成されるとよい。
【００３２】
ワイヤボンドは、その長さに沿って長軸を画定しており、ワイヤボンドは、長軸に沿って延在する第１の材料の内層と、長軸から遠く離れてワイヤボンドの長さに沿って延在する第２の材料の外層と、を備えていてもよい。このような変更形態では、第１の材料は、銅であるとよく、第２の材料は、半田であるとよい。封止層を形成するステップの後、ワイヤボンドの内層の縁面の一部を露出させるために、第２の材料の一部が除去され、誘電体層の表面から延在する空洞を形成するようになっていてもよい。
【００３３】
本開示のさらに他の実施形態は、第１の領域および第２の領域を有する基板であって、第１の表面および第１の表面から遠く離れた第２の表面を有している、基板を備える超小型電子パッケージに関する。少なくとも１つの超小型電子素子が、第１の領域内において第１の表面の上に重なっており、導電要素が、第２の領域内において基板の第１の表面に露出しており、導電要素の少なくともいくつかは、少なくとも１つの超小型電子素子に電気的に接続されている。複数のボンド要素は、各々、第１の基部、第２の基部、および基部間に延在する縁面を有しており、第１の基部は、導電要素の１つに接合されている。縁面は、接触パッドから基板から遠く離れた縁面の頂部に延在する第１の部分を備えている。縁面は、頂部から第２の基部に延在する第２の部分をさらに備えており、第２の基部は、基板の特徴部に接合されている。誘電体封止層が、第１または第２の表面の少なくとも１つから延在しており、ボンド要素が封止層によって互いに分離されるように、ボンド要素の第１および第２の部分間の空間および複数のボンド要素間の空間を充填している。封止層は、少なくとも基板の第２の領域の上に重なっている。ボンド要素の未封止部分は、封止層によって覆われていない頂部の周りのボンド要素の縁面の少なくとも一部によって画定されている。
【００３４】
前述の実施形態の変更形態では、ボンド要素は、ワイヤボンドである。このような変更形態では、基板の第２の基部が接合される基板の特徴部は、第１の基部が接続される導電要素であってもよい。代替的に、基板の第２の基部が接合される基板の特徴部は、第１の基部が接合される導電要素と異なる各導電要素であってもよい。第２の基部が接合されるこのような導電要素は、超小型電子要素に電気的に接続されなくてもよい。代替的な変更形態では、ボンド要素は、ボンドリボンである。このような変更形態では、第１の基部の一部は、各接触パッドの一部に沿って延在し、第２の基部が接合される特徴部は、各接触パッドの一部に沿って延在する第１の基部の長さ部分であってもよい。
【００３５】
この実施形態では、基板の第１の表面は、第１および第２の横方向に延在しており、各横方向は、第１および第２の表面間において基板の厚みの方向を横断している。ワイヤボンドの少なくとも１つの未封止部分は、少なくとも１つのワイヤボンドが接合された導電要素から横方向の少なくとも１つにおいて変位しているとよい。さらに、少なくとも１つのワイヤボンドの未封止部分は、超小型電子素子の主面の上に重なっていてもよい。
【００３６】
本開示のさらに他の実施形態は、超小型電子アセンブリを製造する方法に関する。この実施形態の方法は、前述の実施形態によって作製された第１の超小型電子パッケージを第２の超小型電子パッケージに接合するステップを含んでおり、第２の超小型電子パッケージは、第１の表面を有する基板および基板の第１の表面に露出した複数の接点を備えており、第１の超小型電子パッケージを第２の超小型電子パッケージに接合するステップは、第１の超小型電子パッケージのワイヤボンドの未封止部分を第２の超小型電子パッケージの接点に電気的かつ機械的に接続することを含んでいる。
【００３７】
本発明のさらに他の実施形態は、超小型電子パッケージを製造する代替的な方法に関する。この実施形態の方法は、誘電体材料塊を処理中ユニットを覆って配置するステップを含んでいる。該処理中ユニットは、第１の表面およびそこから遠く離れた第２の表面を有する基板と、第１の表面に露出した複数の薄い導電要素と、薄い導電要素のそれぞれに接合された基部と、基板から遠く離れてかつ基部から遠く離れた端面と、を有するワイヤボンドと、を備えている。各ワイヤボンドは、その基部と端面との間に延在する縁面を画定している。この方法は、ワイヤボンドが誘電体材料塊を貫通するように、誘電体材料塊をワイヤボンドの上に押圧し、基板の第１の表面に接触させることによって、封止層を処理中ユニット上に形成するステップも含んでいる。従って、封止層は、ワイヤボンドが封止層によって互いに分離されるように、ワイヤボンド間の空間を充填し、封止層は、基板の少なくとも第２の領域の上に重なっている。第１のワイヤボンドの未封止部分は、第１のワイヤボンドの一部が封止層によって覆われないように、ワイヤボンドが封止層の一部を貫通することによって形成されるようになっている。
【００３８】
本開示のさらに他の実施形態は、超小型電子パッケージを製造する代替的な方法に関する。この実施形態の方法は、誘電体封止層を処理中ユニット上に形成するステップを含んでいる。該処理中ユニットは、第１の表面およびそこから遠く離れた第２の表面を有する基板と、第１の表面に露出した複数の薄い導電要素と、薄い導電要素の少なくとも２つのそれぞれに第１の基部および第２の基部において接合されたワイヤループと、を備えている。封止層は、第１の表面および少なくとも１つのワイヤループを少なくとも部分的に覆うように形成されている。この方法は、ワイヤループの各々を、第１および第２の基部のそれぞれに対応する個別のワイヤボンドに分断するように、封止層の一部およびワイヤループの一部を除去するステップをさらに含んでいる。ワイヤボンドは、基板から遠く離れかつ基部から離れた端面を有しており、各ワイヤボンドは、その基部と端面との間に延在する縁面を画定している。封止層は、ワイヤボンドが封止層によって分離されるように、ワイヤボンド間の空間を充填している。ワイヤボンドは、封止層によって少なくとも部分的に覆われていないワイヤボンドの自由端によって形成された未封止部分を有している。
【００３９】
本開示の他の実施形態は、前述の実施形態の１つによる超小型電子パッケージまたは超小型電子アセンブリと、超小型電子パッケージに電気的に接続された１つまたは複数の他の電子コンポーネントとを備えるシステムに関する。システムは、ハウジングをさらに備えることができ、超小型電子パッケージまたは超小型電子アセンブリおよび他の電子コンポーネントがハウジングに実装されているとよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施形態による超小型電子パッケージを示す図である。
【図２】図１の超小型電子パッケージの上面図である。
【図３】本発明の代替的実施形態による超小型電子パッケージを示す図である。
【図４】本発明の代替的実施形態による超小型電子パッケージを示す図である。
【図５】本発明の代替的実施形態による超小型電子パッケージを示す図である。
【図６】本発明の一実施形態による超小型電子パッケージを備える積層超小型電子アセンブリを示す図である。
【図７】本発明の代替的実施形態による超小型電子パッケージを示す図である。
【図８Ａ−８Ｅ】本発明の種々の実施形態による超小型電子パッケージの一部の詳細図である。
【図９】本発明の代替的実施形態による超小型電子パッケージの一部の詳細図である。
【図１０Ａ−１０Ｄ】本発明の種々の実施形態による超小型電子パッケージの一部の詳細図である。
【図１１−１４】本発明の一実施形態による超小型電子パッケージを製造する種々のステップ中の超小型電子パッケージを示す図である。
【図１５】本発明の代替的実施形態による製造ステップ中の超小型電子パッケージを示す図である。
【図１６Ａ−１６Ｃ】本発明の一実施形態による超小型電子パッケージを製造する種々のステップ中の超小型電子パッケージの一部の詳細図である。
【図１７Ａ−１７Ｃ】本発明の代替的実施形態による超小型電子パッケージを製造する種々のステップ中の超小型電子パッケージの一部の詳細図である。
【図１８】本発明の代替的実施形態による超小型電子パッケージの上面図である。
【図１９】本発明の代替的実施形態による超小型電子パッケージの一部の上面図である。
【図２０】本発明のさらに他の代替的実施形態による超小型電子パッケージの上面図である。
【図２１】請求項２０の超小型電子パッケージの正面図である。
【図２２】本発明のさらに他の代替的実施形態による超小型電子パッケージの正面図である。
【図２３】本発明のさらに他の実施形態によるシステムを示す図である。
【図２４】本発明のさらに他の代替的実施形態による超小型電子パッケージの正面図である。
【図２５】本発明のさらに他の代替的実施形態による超小型電子パッケージの正面図である。
【図２６】図２５の実施形態の変更形態による超小型電子パッケージの上面図である。
【図２７】本発明のさらに他の代替的実施形態による超小型電子パッケージの正面図である。
【図２８】図２７の実施形態の変更形態による超小型電子パッケージの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
以下、図面について説明する。これらの図面では、同様の特徴部を指すのに同様の参照番号が用いられている。本発明の一実施形態による超小型電子アセンブリ１０が、図１に示されている。図１の実施形態は、コンピュータまたは他の電子用途に用いられる半導体チップアセンブリのようなパッケージ化された超小型電子素子の形態にある超小型電子アセンブリである。
【００４２】
図１の超小型電子アセンブリは、第１の表面１４および第２の表面１６を有する基板１２を備えている。基板１２は、典型的には、実質的に平坦な誘電体要素の形態にある。誘電体要素は、シート状であるとよく、かつ薄くなっているとよい。特定の実施形態では、誘電体要素は、有機誘電体材料または複合誘電体材料、例えば、制限されるものではないが、ポリイミド、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、エポキシ、エポキシーガラス、ＦＲ−４、ＢＴ樹脂、熱可塑性または熱硬化性プラスチック材料の１層または複層から構成されている。第１の表面１４および第２の表面１６は、好ましくは、互いに実質的に平行であり、表面１４，１６と直交する距離だけ互いに離間しており、この距離が基板１２の厚みを画定している。基板１２の厚みは、好ましくは、本願にとって略許容できる厚みの範囲内にある。一実施形態では、第１の表面１４と第２の表面１６との間の距離は、約２５μｍから５００μｍの間である。ここでの説明の目的から、第１の表面１４は、第２の表面１６の反対側に位置すると記載されることがあり、または第２の表面１６から遠く離れて位置していると記載されることがある。このような要素の垂直または水平位置を示すこのような記載およびここに用いられる相対位置に関する任意の他の記載は、図面内のこれらの要素の位置に対応する説明を行うことのみを目的とするものであり、制限的なものではない。
【００４３】
好ましい実施形態では、基板１２は、第１の領域１８と第２の領域２０とに分割されていると考えられる。第１の領域１８は、第２の領域２０内に位置しており、基板１２の中央部分を含んでおり、そこから外方に延在している。第２の領域２０は、第１の領域１８を実質的に包囲しており、そこから外方に基板１２の外縁まで延在している。この実施形態では、基板自体のどのような特徴部も２つの境域を特に物理的に分割していないが、これらの領域は、処理または該処理に適用されるかまたは含まれる特徴部に関する本明細書における説明のために画定されている。
【００４４】
超小型電子素子２２は、第１の領域１８内において、基板１２の第１の表面１４に実装されている。超小型電子素子２２は、半導体チップであってもよいし、または他の同等の素子であってもよい。図１の実施形態では、超小型電子素子２２は、所謂、従来式の配置、具体的には、「フェイスアップ」配置で第１の表面１４に実装されている。このような実施形態では、ワイヤリード２４を用いて、超小型電子素子２２を第１の表面１４に露出した複数の導体要素２８のいくつかに電気的に接続することができる。ワイヤリード２４は、トレース（図示せず）または基板１２内の他の導電特徴部に接合され、これらのトレースまたは他の導電特徴部が、導電要素２８に接続されるようになっているとよい。
【００４５】
これらの導電要素２８は、基板１２の第１の表面１４に露出したそれぞれの「接点」またはパッド３０を含んでいる。この説明において導電要素が誘電体構造を有する他の要素の表面に「露出している」という記述がなされたとき、この記述は、該導電要素が誘電体構造の外側から誘電体構造の表面に向かって該表面と直交する方向に移動する理論点との接触に利用できることを示している。従って、誘電体構造の表面に露出した端子または他の導電要素は、このような表面から突出していてもよいし、このような表面と同一面をなしていてもよいし、またはこのような表面に対して窪んでいるが、誘電体構造の孔または凹みを通して露出していてもよい。導電要素２８は、平坦な薄い要素であるとよく、この導電要素２８のパッド３０が、基板１２の第１の表面１４に露出している。一実施形態では、導電要素２８は、実質的に円形状であり、トレース（図示せず）によって、互いに相互接続されており、または超小型電子素子２２に相互接続されるようになっている。導電要素２８は、基板１２の少なくともの第２の領域２０内に形成されているとよい。付加的に、いくつかの実施形態では、導電要素２８は、さらに第１の領域１８内に形成されていてもよい。このような配列は、超小型電子素子１２２（図３）を、所謂、「フリップチップ」配置で基板１１２に実装するとき、特に有用である。この配置では、超小型電子素子１２２の接点が、超小型電子素子１２２の下方に位置する半田バンプ１２６などによって、第１の領域１１８内における導電要素１２８に接続されることになる。図２２に示されている他の構成では、超小型電子素子６２２は、基板６１２上にフェイスダウン実装され、基板６１２の外向き表面、例えば、表面６１６を超えて延在するワイヤリード６２４によって、チップ上の導電特徴部に電気的に接続されるようになっている。図示されているこの実施形態では、ワイヤリード６２４は、基板６１２の開口６２５内を通っており、オーバモールド材６９９によって封止されるようになっている。
【００４６】
一実施形態では、導電要素２８は、固体金属材料、例えば、銅、金、ニッケル、またはこのような用途に許容される他の材料、例えば、銅、金、ニッケル、またはこれらの組合せの一種または複数種を含む種々の合金から形成されている。
【００４７】
導電要素２８の少なくともいくつかは、基板１２の第２の表面１６に露出した対応する第２の導電要素４０、例えば、導電パッドに相互接続されるようになっている。このような相互接続は、基板１２に形成されたビア４１を用いて行われるとよい。ビア４１は、導電要素２８，４０と同じ材料とすることができる導電金属によって導通されているかまたは該導電金属によって充填されているとよい。任意選択的に、導電要素４０は、基板１２上のトレースによって、さらに相互接続されているとよい。
【００４８】
超小型電子アセンブリ１０は、複数のワイヤボンド３２をさらに備えている、ワイヤボンド３２は、導電要素２８の少なくともいくつかに、例えば、そのパッド３０上に接合されている。ワイヤボンド３２は、その基部３４において導電要素２８に接合されており、それぞれの基部３４および基板１２から遠く離れた自由端３６まで延在している。ワイヤボンド３２の端３６は、それらが超小型電子素子２２または超小型電子素子２２に接続される超小型電子アセンブリ１０内の任意の他の特徴部に電気的に接続されておらず、または接合されていないという点において、自由であると特徴付けられる。換言すれば、自由端３６は、半田ボールまたはここで検討される他の特徴部によって、直接的または間接的にアセンブリ１０の外部の導電特徴部に電気的に接続されるのに利用できるようになっている。端３６が、例えば、封止層４２によって所定位置に保持されているという事実または他の導電特徴部に接合されるかまたは電気的に接続されるようになっているという事実は、任意のこのような特徴部が超小型電子素子２２に電気的に接続されない限り、ここに記載される「自由」ではないことを意味しない。逆に、基部３４は、ここに述べるように、超小型電子素子２２に直接的または間接的に電気的に接続されているので、自由ではない。図１に示されているように、基部３４は、実質的に丸い形状を有しており、基部３４と端３６との間に画定されたワイヤボンド３２の縁面３７から外方に広がっている。基部３４の具体的な大きさおよび形状は、ワイヤボンド３２を形成するために用いられる材料の種類、ワイヤボンド３２と導電要素２８との間の接続の所望の強度、またはワイヤボンド３２を形成するために用いられる具体的なプロセスによって、変更可能である。ワイヤボンドを作製するための例示的な方法は、（ワイヤボンディングの１つの形態とみなされるウエッジボンディング方法を記載している）Otrembaに付与された米国特許第７，３９１，１２１号および米国特許出願公開第２００５／００９５８３５号に記載されている。これらの開示内容は、参照することによって、それらの全体がここに含まれるものとする。ワイヤボンド３２が、追加的または代替的に、基板１２の第２の表面１６に露出した導電要素４０に接合され、そこから離れる方に延在するようになっている代替的な実施形態も可能である。
【００４９】
ワイヤボンド３２は、銅、金、ニッケル、半田、アルミニウムなどの導電材料から作製されているとよい。付加的に、ワイヤボンド３２は、材料の組合せ、例えば、銅またはアルミニウムのような導電材料のコアと該コアに施された皮膜との組合せから作製されていてもよい。この皮膜は、アルミニウム、ニッケル、などの第２の導電材料とすることができる。代替的に、この皮膜は、絶縁被覆のような絶縁材料であってもよい。一実施形態では、ワイヤボンド３２を形成するのに用いられるワイヤは、約１５μｍから１５０μｍの厚み、すなわち、ワイヤの長さを横断する方向の寸法を有している。ウエッジボンディングが用いられる他の実施形態では、ワイヤボンド３２は、最大約５００μｍの厚みを有しているとよい。一般的に、ワイヤボンドは、当技術分野において周知の専用機器を用いて、導電要素２８、パッド、トレース、などのような導電要素上に形成されるようになっている。ワイヤセグメントの先端が加熱され、該ワイヤセグメントが接合される受け面に加圧され、これによって、典型的には、導電要素２８の表面に接合されたボールまたはボール状基部３４が形成されることになる。ワイヤボンドを形成するための所望の長さのワイヤセグメントがボンディング工具の外に引き出され、次いで、該工具が所望の長さのワイヤボンドに切断することになる。アルミニウムのワイヤボンドを形成するのに用いられるウエッジボンディングは、例えば、ワイヤの加熱された部分が受け面を横切って引き出され、表面と略平行のウエッジを形成するプロセスである。次いで、ウエッジボンディングされたワイヤボンドは、必要に応じて、上方に曲げられ、所望の長さまたは所望の位置に延ばされ、この後、切断されることになる。特定の実施形態では、ワイヤボンドを形成するのに用いられるワイヤは、円筒状の断面を有していてもよい。または、ワイヤボンドまたはウエッジボンディングされるワイヤボンドを形成するために工具から送給されるワイヤは、例えば、矩形、台形などの多角形断面を有していてもよい。
【００５０】
ワイヤボンド３２の自由端３６は、端面３８を有している。これらの端面３８は、複数のワイヤボンド３２のそれぞれの端面３８によって形成されたアレイ配置の接点の少なくとも一部を形成することになる。図２は、端面３８によって形成されたこのようなアレイ配置の接点の例示的なパターンを示している。このようなアレイは、エリアアレイ形態で形成されているとよい。種々のこのようなエリアアレイ形態が、ここに記載される構造を用いて、実現されることになる。このようなアレイを用いて、超小型電子アセンブリ１０を他の超小型電子構造、例えば、印刷回路基板（ＰＣＢ）、または図６にその例が示されている他のパッケージ化された超小型電子素子に電気的かつ機械的に接続することができる。このような積層配置では、ワイヤボンド３２および導電要素２８，４０は、多数の電子信号を伝送し、それぞれの電子信号は、種々の信号が単一スタック内の種々の超小型電子素子によって処理されることを可能とするための種々の信号電位を有している。半田塊５２を用いて、例えば、端面３８を導電要素４０に電気的または機械的に取り付けることによって、このようなスタック内の超小型電子アセンブリを相互接続することができる。
【００５１】
超小型電子アセンブリ１０は、誘電体材料から形成された封止層４２をさらに備えている。図１の実施形態では、封止層４２は、基板１２の第１の表面１４の（超小型電子素子２２または導電要素２８によって覆われていない、すなわち、占有されていない）部分を覆って形成されている。同様に、封止層４２は、導電要素２８のそのパッド３０を含む（ワイヤボンド３２によって覆われていない）部分を覆って形成されている。また、封止層４２は、超小型電子素子２２、および基部３４および縁面３７の少なくとも一部を含むワイヤボンド３２も実質的に覆っているとよい。ワイヤボンド３２の一部は、封止層４２によって覆われないようになっており、この部分は、未封止部分と呼ばれることもある。この未封止部分によって、ワイヤボンドを封止層４２の外側に配置された特徴部または要素に対して電気的接続させることが可能になる。一実施形態では、ワイヤボンド３２の端面３８は、封止層４２の主面４４内において封止層４２によって覆われていない。端面３８が封止層４２によって覆われていないのに加えてまたはそれに代わって、縁面３７の一部が封止層４２によって覆われていない他の実施形態も可能である。換言すれば、封止層４２は、ワイヤボンド３６の一部、例えば、端面３８、縁面３７、またはこれらの２つの組合せを除けば、第１の表面１４およびその上方の超小型電子アセンブリ１０の全てを覆っているとよい。図示されている実施形態では、表面、例えば、封止層４２の主面４４は、超小型電子素子２２を覆うのに十分な距離だけ基板１２の第１の表面１４から離間しているとよい。従って、ワイヤボンド３２の端３８が表面４４と同一平面をなしている超小型電子アセンブリ１０の実施形態は、超小型電子素子２２よりも高い位置に延在するワイヤボンド３２およびフリップチップ接続のための任意の下部半田バンプを備えている。しかし、封止層４２の他の構成も可能である。例えば、封止層は、種々の高さを有する多数の表面を有することができる。このような構成では、端３８が位置する表面４４は、超小型電子素子２２の上向き面より高くてもよいしまたは低くてもよい。
【００５２】
封止層４２は、超小型電子アセンブリ１０内の他の要素、特に、ワイヤボンド３２を保護するように機能する。これによって、超小型電子アセンブリの試験中、移送中または他の超小型電子構造への組立中に損傷しにくいより堅牢な構造をもたらすことが可能である。封止層４２は、米国特許出願公開第２０１０／０２３２１２９号に記載されているような絶縁特性を有する誘導体材料から形成されているとよい。この開示内容は、参照することによって、その全体がここに含まれるものとする。
【００５３】
図３は、一実施形態によるワイヤボンド１３２を有する超小型電子アセンブリ１１０を示している。これらのワイヤボンド１３２は、そのそれぞれの基部３４の真上に位置しない端１３６を有している。すなわち、基板１１２の第１の表面１１４が平面を実質的に画定するために２つの横方向に延在していることを考慮すると、ワイヤボンド１３２の少なくとも１つの端１３６は、これらの横方向の少なくとも１つにおいて、基部１３４の対応する横方向位置から変位している。図３に示されているように、ワイヤボンド１３２は、図１の実施形態におけるように、その長軸に沿って実質的に真っ直ぐになっているが、該長軸は、基板１１２の第１の表面１１４に対して角度１４６で傾斜している。図３の断面図は、第１の表面１１４と直交する第１の平面における角度１４６のみを示しているが、ワイヤボンド１３２は、第１の平面および第１の表面１１４と直交する他の面において第１の表面１１４に対して傾斜していてもよい。このような角度は、角度１４６と実質的に等しくてもよいし、または異なっていてもよい。すなわち、基部１３４に対する端１３６の変位は、２つの横方向において生じていてもよく、これらの方向における変位の大きさは、同じであってもよいし、または異なっていてもよい。
【００５４】
一実施形態では、ワイヤボンド１３２のそれぞれが、アセンブリ１１０の全体にわたって、種々の方向において種々の大きさに変位していてもよい。このような構成によって、アセンブリ１１０は、基板１２の水準におけるアレイと比較して、表面１４４の水準において異なって構成されたアレイを有することが可能である。例えば、表面１４４におけるアレイは、基板１１２の第１の表面１１４におけるアレイと比較して、第１の表面１１４におけるよりも小さい全面積を覆うことができ、または第１の表面１４４におけるよりも小さいピッチを有することができる。さらに、いくつかのワイヤボンド１３２は、超小型電子要素１２２の上方に位置する端１３８を有することができ、これによって、種々の大きさのパッケージ化された超小型電子要素の積層装置に対応することができる。図１９に示されている他の例では、ワイヤボンド１３２は、以下のように、すなわち、ワイヤボンド１３２Ａの端１３６Ａが他のワイヤボンド１３４Ｂの基部１３４Ｂの実質的に上方に位置し、かつワイヤボンド１３４Ｂの端１３２Ｂが他の箇所に位置するように、構成されている。このような配置は、第２の表面１１６上の対応する接点アレイの位置と比較して、接点アレイ内において接触端面１３６の相対位置を変更させたものとみなすことができる。このようなアレイ内において、超小型電子アセンブリの用途または他の要件に依存して、望み通りに、接触端面の相対位置を変化または変更させることができる。
【００５５】
図４は、さらに他の実施形態による超小型電子サブアセンブリ２１０を示している。このアセンブリ２１０は、基部２３４に対して横方向位置に変位した端２３６を備えるワイヤボンド２３２を有している。図４の実施形態では、ワイヤボンド１３２は、湾曲部分２４８を備えることによって、この横方向変位を達成している。湾曲部分２４８は、ワイヤボンド形成プロセス中の追加的なステップにおいて、例えば、ワイヤ部分を所望の長さに引き出す間に形成されるようになっている。このステップは、（単一機械の使用を含む）市販のワイヤボンディング機器を用いて行うことができる。
【００５６】
湾曲部分２４８は、ワイヤボンド２３２の端２３６の所望の位置を得るために、必要に応じて、種々の形状を取ることができる。例えば、湾曲部分２４８は、種々の形状のＳ曲線として、例えば、図４に示されている形状のＳ曲線または（図５に示されているような）よりなめらかな形状のＳ曲線として形成されるとよい。付加的に、湾曲部分２４８は、端２３６よりも基部２３４の近くに配置されていてもよいし、またはその逆に、端２３６よりも基部２３４の遠くに配置されていてもよい。湾曲部分２４８は、螺旋またはループの形態にあってもよいし、または多数の方向の曲線の組合せまたは種々の形状または特性の組合せであってもよい。
【００５７】
図５は、さらに他の例示的な実施形態による超小型電子パッケージ３１０を示している。このパッケージ３１０は、基部３３４と端３３６との間で種々の相対的な横方向変位をもたらす種々の形状を有するワイヤボンド３３２の組合せを有している。いくつかのワイヤボンド３３２Ａは、実質的に真っ直ぐであり、それらの端３３６Ａは、それぞれの基部３３４Ａの上方に位置している。一方、他のワイヤボンド３３２Ｂは、端３３６Ｂと基部３３４Ｂとの間にいくらかの相対的横方向変位をもたらすいくらか湾曲した部分３４８Ｂを備えている。さらに、いくつかのワイヤボンド３３２Ｃは、弧状の形状を有する湾曲部分３４８Ｃを有しており、その結果、端３３６Ｃが、関連する基部３３４Ｃから端３３４Ｂよりも大きく横方向に変位している。図５は、このようなワイヤボンドの例示的な対３３２Ｃｉ，３３２Ｃｉｉも示している。これらの対のワイヤボンド３３２Ｃｉ，３３２Ｃｉｉは、基板レベルのアレイの同一列に配置された基部３３４Ｃｉ，３３４Ｃｉｉと、対応する表面レベルのアレイの互いに異なる列に配置された端３３６Ｃｉ，３３６Ｃｉｉとを有している。
【００５８】
さらに他の変更形態によるワイヤボンド３３２Ｄも示されている。このワイヤボンド３３２Ｄは、側面４７において封止層３４２によって覆われないように構成されている。しかし、自由端３３６Ｄが覆われていない図示の実施形態では、縁面３３７Ｄの一部も付加的または代替的に封止層３４２によって覆われていない。このような構成は、超小型電子アセンブリ１０を適切な特徴部に電気的に接続することによって接地するため、または超小型電子アセンブリ３１０の横方向に配置された他の特徴部に機械的または電気的に接続するために用いられるようになっている。加えて、図５は、主面３４２よりも基板１２の近くに位置する凹面３４５を画定するために、エッチング、成形、または他の方法によって形成された封止層３４２の一領域を示している。１つまたは複数のワイヤボンド、例えば、ワイヤボンド３３２Ａは、この凹面３４５に沿った領域内において覆われていない。図５に示されている例示的な実施形態では、端面３３８Ａおよび縁面３３７Ａの一部は、封止層３４２によって覆われていない。このような構成は、例えば、半田ボールなどによって、他の導電要素に接続することが可能である。具体的には、半田が縁面３３７Ａに沿ってウィッキングすることを可能とし、端面３３８への接合に加えて、縁面３３７Ａへの接合が可能になる。ワイヤボンドの一部が凹面３４５に沿って封止層３４２によって覆われていない他の構成、例えば、端面が凹面３４５と実質的に同一面をなす実施形態、または封止層３４２の任意の他の表面に関してここに示されている他の構成も可能である。同様に、ワイヤボンド３３２Ｄの一部が側面３４７に沿って封止層３４２によって覆われていない他の構成は、封止層の主面の変更形態に対して本明細書において説明する構成と同様のものとすることができる。
【００５９】
図５は、２つの超小型電子素子３２２，３５０を有する超小型電子アセンブリ３１０をさらに示している。超小型電子素子３２２，３５０は、超小型電子素子３５０が超小型電子３２２上にフェイスアップ積層される例示的な配置にある。この配置では、超小型電子素子３２２を基板３１２上の導電要素に電気的に接続するために、リード３２４が用いられている。超小型電子素子３５０を超小型電子アセンブリ３１０の種々の他の特徴部に接続するために、種々のリードが用いられている。例えば、リード３８０が超小型電子素子３５０を基板３１２の導電特徴部に電気的に接続し、リード３８２が超小型電子素子３５０を超小型電子要素３２２に電気的に接続している。さらに、ワイヤボンド３３２のそれぞれと構造が類似しているワイヤボンド３８４を用いて、超小型電子素子３５０に電気的に接続された封止層３４２の表面３４４上の接触面３８６を形成している。これを用いて、封止層３４２の上から、他の超小型電子アセンブリの特徴部を超小型電子素子３５０に直接的に電気的接続することができる。このようなリードは、例えば、超小型電子素子３２２がそれに取り付けられた超小型電子素子３５０を有することなく存在するとき、超小型電子素子３２２に接続されてもよい。開口（図示せず）が 封止層３４２に形成されていてもよい。この開口は、表面３４４から、例えば、リード３８０に沿ってある箇所まで延在し、これによって、外面３４４に配置された要素への電気的接続のためのリード３８０へのアクセスがもたらされることになる。同様の開口が、他のリードまたはワイヤボンド３３２のいずれかの上方、例えば、その端３３６Ｃから離れる箇所においてワイヤボンド３３２Ｃの上方に形成されていてもよい。このような実施形態では、端３３６Ｃは、表面３４４の下方に位置しており、開口が端３３６Ｃへの電気的接続に対して唯一のアクセスをもたらすことになる。
【００６０】
図６は、超小型電子アセンブリ４１０，４８８の積層パッケージを示している。このような装置では、半田塊５２がアセンブリ４１０の端面４３８をアセンブリ４８８の導電要素４４０に電気的かつ機械的に接続している。積層パッケージは、追加的なアセンブリを含むことができ、最終的には、電子デバイスに用いられるＰＣＢ４９０などの接点４９２に取り付けられるようになっている。このような積層装置では、ワイヤボンド４３２および導電要素４３０は、多数の電子信号を伝送することができ、それぞれの電子信号は、種々の信号が種々の超小型電子素子、例えば、単一スタック内における超小型電子要素４２２または超小型電子素子４８９によって処理されることを可能にする種々の信号電位を有している。
【００６１】
図６における例示的な構成では、ワイヤボンド４３２は、湾曲部分４４８を有するように構成されており、これによって、ワイヤボンド４３２の端４３６の少なくともいくつかが超小型電子素子４２２の主面４２４の上に重なる領域内に延在することになる。このような領域は、超小型電子素子４２２の外周によって画定されており、そこから上方に延在している。このような構成の例が、図１８の基板４１２の第１の表面４１４の方を向いている図に示されている。具体的には、ワイヤボンド４３２は、基板４１２の前面４２５にフリップチップ接合された超小型電子素子４２２の主裏面の上に重なっている。他の構成（図５）では、超小型電子素子４２２は、基板３１２にフェイスアップ実装されており、この場合、前面３２５が基板３１２から離れる方を向き、少なくとも１つのワイヤボンド３３６が超小型電子素子３２２の前面の上に重なっている。一実施形態では、このようなワイヤボンド３３６は、超小型電子素子３２２に電気的に接続されていない。基板３１２に接合されたワイヤボンド３３６は、超小型電子素子３５０の前面または裏面の上にも重なっているとよい。図１８に示されている超小型電子アセンブリ４１０の実施形態では、導電要素４２８は、第１のアレイを形成するパターンに配置されている。この第１のアレイでは、導電要素４２８が、超小型電子素子４２２を包囲する行列に配置され、かつ個々の導電要素４２８間に所定のピッチを有している。ワイヤボンド４３２は、それぞれの基部４３４が導電要素４２８によって設定された第１のアレイのパターンに従うように、導電要素４２８に接合されている。しかし、ワイヤボンド４３２は、そのそれぞれの端４３６が第２のアレイ配置による異なるパターンに配置されるように、構成されている。図示されている実施形態では、第２のアレイのピッチは、第１のアレイのピッチと異なっていてもよく、場合によっては、第１のアレイのピッチよりも小さくなっていてもよい。しかし、第２のアレイのピッチが第１のアレイのピッチよりも大きくなっている他の実施形態、またはワイヤボンド４３２の端４３６は存在しているが、導電要素４２８が所定のアレイに配置されていない他の実施形態も可能である。さらにまた、導電要素４２８は、基板４１２の全体にわたって複数組のアレイに配置されるように構成されていてもよいし、ワイヤボンド４３２は、端４３６が種々の組のアレイまたは単一のアレイに配置されるように構成されていてもよい。
【００６２】
図６は、超小型電子素子４２２の基板に沿って延在する絶縁層４２１をさらに示している。絶縁層４２１は、ワイヤボンドを形成する前に、誘電体材料または他の電気的絶縁材料から形成されている。絶縁層４２１は、超小型電子素子が、その上方に延在するワイヤボンド４２３のいずれにも接触しないように保護することができる。特に、絶縁層４２１は、ワイヤボンド間の電気的短絡およびワイヤボンドと超小型電子素子４２２との間の短絡を避けることができる。このように、絶縁層４２１は、ワイヤボンド４３２と超小型電子素子４２２との間の意図しない電気的接触による誤動作または可能性のある損傷を避けることができる。
【００６３】
図６，１８に示されているワイヤボンド配置によって、超小型電子アセンブリ４１０を他の超小型電子アセンブリ、例えば、超小型電子アセンブリ４８８に接続することが可能になる。もしこのようなワイヤボンド配置を用いないと、場合によっては、例えば、超小型アセンブリ４８８および超小型電子素子４２２の相対的な大きさによって、アセンブリの接続を行うことができないことがある。図６の実施形態では、超小型電子アセンブリ４８８は、接触パッド４４０のいくつかが超小型電子素子４２２の前面４２４または裏面４２６の面積よりも小さい面積内のアレイに含まれるように、寸法決めされている。実質的に垂直な導電特徴部、例えば、ワイヤボンド４３２に代わるピラーを有する超小型電子アセンブリでは、導電要素４２８とパッド４４０との間の直接的な接続を行うことができない。一方、図６に示されているように、適切に構成された湾曲部分４４８を有するワイヤボンド４３２は、超小型電子アセンブリ４１０と超小型電子アセンブリ４８８との間に必要な電気接続部をもたらすのに適切な位置に端４３６を有している。このような装置を用いて、積層パッケージ、例えば、超小型電子アセンブリ４１８が所定のパッドアレイを有するＤＲＡＭチップなどであり、超小型電子素子４２２がＤＲＡＭチップを制御するように構成された論理チップである積層パッケージを作製することができる。これによって、単一形式のＤＲＡＭチップを種々の大きさの種々の論理チップ、例えば、ＤＲＡＭチップよりも大きいチップと共に用いることができる。何故なら、ワイヤボンド４３２は、ＤＲＡＭチップに対して望ましい接続部を形成するのに必要とされるように配置された端４３６を有しているからである。代替的な実施形態では、超小型電子パッケージ４１０は、他の構成の印刷回路基板４９０上に実装されており、ワイヤボンド４３２の露出面４３６は、回路基板４９０のパッド４９２に電気的に接続されている。さらに、このような実施形態では、他の超小型電子パッケージ、例えば、修正形態のパッケージ４８８が、パッド４４０に接合された半田ボール４５２によって、パッケージ４１０上に実装されることになる。
【００６４】
図７は、封止層４２の表面４４に沿って延在する再分配層５４を有する図１に示されている形式の超小型電子アセンブリ１０を示している。図７に示されているように、トレース５８が、ワイヤボンド３２の端面３８に電気的に接続された内部接触パッド６１に電気的に接続されており、再分配層５４の基板５６内を通って、基板５６に表面６に露出した接触パッド６０まで延在している。次いで、追加的な超小型電子アセンブリが、半田塊などによって、接触パッド６０に接続されている。ファンアウト層として知られる再分配層５４と同様の構造が基板１２の第２の表面１６に沿って延在していてもよい。もしファンアウト層が設けられていない場合、超小型電子アセンブリ１０を導電要素４０と異なる形態のアレイに接続することができないが、ファンアウト層によって、超小型電子アセンブリ１０を導電要素４０と異なる形態のアレイに接続することが可能になる。
【００６５】
図８Ａ−８Ｅは、図１−７と同様の構造のワイヤボンド３２の端３６またはその近傍の構造に対して実施された種々の構成を示している。図８Ａは、空洞６４が封止層４２の一部に形成された構造を示している。この空洞６４において、ワイヤボンド３２の端３６が封止層の副面４３の上方に突出している。図示されている実施形態では、端面３８は、封止層４２の主面４４の下方に位置しており、空洞６４は、電子構造が端面３８に接続することを可能にするために端面３８を表面４４に露出させるように構成されている。端面３８が表面４４と実質的に同じ高さにあるかまたは表面４４の上方に離間する他の実施形態も可能である。さらに、空洞６４は、端３６の近くのワイヤボンド３２の縁面３７の一部が空洞６４内において封止層４２によって覆われないように、構成されていてもよい。これによって、アセンブリ１０の外側からのワイヤボンド３２への接続、例えば、半田接続を、端面３８と端３６の近くの縁面３７の覆われていない部分との両方に対して行うことが可能になる。このような接続は、図８Ｂに示されており、この場合、半田塊５２を用いて、第２の基板９４へのより頑健な接続をもたらすことができる。一実施形態では、空洞６４は、表面４４の下方に約１０μｍから５０μｍの深さを有しており、約１００μｍから３００μｍの幅を有している。図８Ｂは、テーパ側壁６５を有する図８Ａと同様の構造を示している。さらに、図８は、第２の超小型電子アセンブリ９４を示している。このアセンブリ９４は、その基板９８の表面に露出した接触パッド９６において、半田塊５２によってワイヤボンド３２に電気的かつ機械的に接続されている。
【００６６】
空洞６４は、所望の空洞６４の領域において封止層４２の一部を除去することによって形成されるようになっている。これは、レーザーエッチング、湿式エッチング、ラッピング、などを含む周知のプロセスによって、行われることになる。代替的に、封止層４２が射出成形によって形成される実施形態では、空洞６４は、型内に対応する特徴部を備えることによって形成されることになる。このようなプロセスは、米国特許出願公開第２０１０／０２３２１２９号において検討されている。この開示内容は、参照することによって、その全体が含まれるものになる。図８Ｂに示されている空洞６４のテーパ形状は、空洞６４の形成に用いられる特定のエッチングプロセスの結果として生じたものである。
【００６７】
図８Ｃ，８Ｅは、ワイヤボンド３２上に実質的に丸い端部分７０を備える端構造を示している。丸い端部分７０は、基部３４と端３６との間のワイヤボンド３２の部分の断面よりも広い断面を有するように，構成されている。さらに、丸い端部分７０は、移行部において，ワイヤボンド３２の縁面３７から外方に延在する縁面７１を備えている。丸い縁部分７０は、表面７１の方向の変化によって封止層４２が３方から端を包囲する係留特徴部をもたらすことによって、ワイヤボンド３２を封止層４２内に固定するように作用することになる。これによって、ワイヤボンド３２が基板１２上の導電要素２８から離脱し、その結果、電気接続不能をもたらすことが防がれることになる。加えて、丸い端部分７０は、表面４４において電気接続部が行われる封止層４２によって覆われていない表面積を拡げることができる。図８Ｅに示されているように、丸い端部分７０を表面４４の上方に延在させることもできる。代替的に、図８Ｃに示されているように、丸い端部分７０は、表面４４と実質的に同一平面の表面をもたらすように研磨されていてもよいし、または他の方法によって平坦化されていてもよく、この場合、丸い端部分７０の該表面は、ワイヤボンド３２の断面よりも大きい面積を有することになる。
【００６８】
丸い端部分７０は、ワイヤボンド３２を作製するために用いられるワイヤの端に火炎または火花の形態にある局部的な加熱を施すことによって形成されるとよい。周知のワイヤボンディング機械は、ワイヤを切断した直後にこのステップを行うように修正されるとよい。このプロセスでは、熱がワイヤの端を溶融することになる。液状金属のこの局部的な部分は、その表面張力によって丸くなり、金属が冷却されると、その形状が維持されることになる。
【００６９】
図８Ｄは、ワイヤボンド３２の端３６が封止層４２の主面４４の上方に離間した表面３８を備える超小型電子アセンブリ１０の構成を示している。このような構成は、特に、表面４４の上方の（封止層４２によって覆われていない）縁面３７の一部に沿ってウィッキングする半田塊６８によってより堅牢な接続部をもたらすことによって、空洞６４に関して前述したのと同様の利得を得ることができる。一実施形態では、端面３８は、約１０μｍから５０μｍの距離だけ表面４２から上方に離間されている。付加的に、図８Ｄの実施形態および縁面３７の一部が封止層４２の表面の上方において封止層４２によって覆われていない他の実施形態のいずれにおいても、端は、そこに形成された保護層を含むことができる。このような層の例として、酸化保護層、例えば、金から作製された保護層、酸化物皮膜、またはＯＳＰが挙げられる。
【００７０】
図９は、ワイヤボンド３２の端面３８に形成されたスタッドバンプ７２を有する超小型電子アセンブリ１０の実施形態を示している。このようなバンプ７２は、超小型電子アセンブリ１０を作製した後、端面４４の上に別の改質されたワイヤボンドを施し、任意選択的に表面４４の一部に沿って延ばすことによって、形成されるようになっている。改質されたワイヤボンドは、ワイヤを長さ方向に引き出すことなく、その基部の近くで切断されるかまたは他の方法によって分断されることになる。いくらかの金属を含むスタッドバンプ７２は、ＵＢＭのようなボンディング層を最初に施すことなく、端３８に直接施され、これによって、半田によって直接濡れないボンドパッドへの導電相互接続を形成することになる。これは、ワイヤボンド３２が非濡れ性の金属から作製されるときに有益である。一般的に、銅、ニッケル、銀、プラチナ、および金の一種または複数種から本質的になるスタッドバンプをこのように施すことができる。図９は、追加的な超小型電子アセンブリへの電気的または機械的な接続のためにスタッドバンプ７２を覆って形成された半田塊６８を示している。
【００７１】
図１０Ａ−１０Ｄは、屈曲形状または湾曲形状を備えるワイヤボンド３２の端３６の形態を示している。各実施形態では、ワイヤボンド３２の端３６は、その一部７４が封止層４２の表面４４と実質的に平行に延在するように屈曲されており、これによって、縁面７６の少なくとも一部が、例えば、主面４４によって覆われないようになっている。縁面３７のこの部分は、表面４４から上方に延在していてもよいし、または表面と実質的に同一面をなして延在するように研磨されているか、または他の方法によって平坦化されていてもよい。図１０Ａの実施形態では、ワイヤボンド３２は、端３６の一部７４に急峻な屈曲部を有している。この急峻な屈曲部は、表面４４と平行に延在し、表面４４と実質的に直交する端面３８で終端している。図１０Ｂは、表面４４と平行になっている端３６の一部７４の近くに図１０Ａに示されているよりも緩慢に屈曲した部分を有する端３６を示している。図３，４，５に示されているようなワイヤボンドの一部が、表面４４と実質的に平行の部分と、表面４４において封止層４２によって覆われていない縁面の一部を有する端を備える他の構成も可能である。加えて、図１０Ｂの実施形態は、その端にフック部分７５を備えている。このフック部分７５によって、端面３８は、封止層４２内において表面４４の下方に位置することになる。これは、封止層４２内から位置ずれしにくいより頑健な構造を端３６にもたらしている。図１０Ｃ，１０Ｄは、封止層４２に形成された空洞６４によって、表面４４に沿った箇所が封止層４２によって覆われていない以外は、図１０Ａ，１０Ｂに示されているのと同様の構造を示している。これらの空洞は、図８Ａ，８Ｂに関して前述したのと同様の構造を有している。表面４４と平行に延在する部分７４を備える端３６は、覆われていない細長の縁面７５によって、接続される表面積を大きくすることができる。このような部分７４の長さは、ワイヤボンド３２を作製するために用いられるワイヤの断面の幅よりも大きい。
【００７２】
図１１−１５は、超小型電子アセンブリ１０の製造方法の種々のステップにおける超小型電子アセンブリ１０を示している。図１１は、超小型電子素子２２を第１の領域１８内において基板１２の第１の表面１４上に電気的かつ機械的に接続するステップにおける超小型電子アセンブリ１０’を示している。超小型電子素子２２は、半田塊２６によってフリップチップ配置で基板１２上に実装されているものとして、図１１に示されている。代替的に、図１に示されているようなフェイスアップボンディングが代わって用いられてもよい。図１１に示されている方法ステップの実施形態では、誘電体アンダーフィル層６６が、超小型電子素子２２と基板１２との間に設けられている。
【００７３】
図１２は、基板１２の第１の表面１４上に露出した導電要素２８のパッド３０に施されたワイヤボンド３２を有する超小型電子アセンブリ１０’’を示している。前述したように、ワイヤボンド３２は、ワイヤセグメントの端を加熱し、該端を軟化させ、その軟化した端を導電要素２８に加圧し、これによって、導電要素２８に接合部を堆積させ、基部３４を形成することによって、施されている。次いで、ワイヤは、導電要素２８から離れる方に引き出され、必要に応じて、切断されるかまたは他の方法によって分断される前に、ワイヤボンド３２の端３６および端面３８をもたらす特定の形状に処理されることになる。代替的に、ワイヤボンド３２は、ウエッジボンディングによって、例えば、アルミニウムワイヤから形成されてもよい。ウエッジボンディングは、ワイヤの端に隣接する一部を加熱し、該加熱された部分に加えられた圧力によって、該加熱された部分を導電要素２８に沿って引き出すことによって、形成されるようになっている。このようなプロセスは、米国特許第７，３９１，１２１号にさらに記載されている。この内容は、参照することによって、その全体がここに含まれることになる。
【００７４】
図１３において、封止層４２を基板の第１の表面１４の上に施し、そこからワイヤボンド３２の縁面３７に沿って上方に延ばすことによって、封止層４２が超小型電子アセンブリ１０’’’に加えられている。封止層４２は、アンダーフィル層６６も覆っている。封止層４２は、図１２に示されている超小型電子アセンブリ１０’の上に樹脂を堆積させることによって、形成されている。これは、アセンブリ１０’を受け入れる所望の形状の封止層４２に対応する空洞を有するように適切に形作られた型内に、アセンブリ１０’を配置することによって行われる。このような型および該型によって封止層を形成する方法は、米国特許出願公開第２０１０／０２３２１２９号に図示され、かつ記載されている。この開示内容は、参照することによって、その全体がここに含まれるものとする。代替的に、封止層４２は、少なくとも部分的に柔軟な材料によって所望の形状に予め作製されるようになっていてもよい。この構成では、誘電体材料の柔軟な特性によって、封止層４２をワイヤボンド３２および超小型電子素子２２を覆う適切な位置に押し込むことが可能になる。このようなステップでは、ワイヤボンド３２は、柔軟な材料を貫通し、これによってそれぞれの孔を形成し、該孔に沿って、封止層４２が縁面３７に接触することになる。さらに、超小型電子素子２２が柔軟材料を変形させ、その結果、超小型電子素子２２が柔軟材料内に受け入れられるようになる。柔軟な誘電体材料を圧縮し、端面３８を外面４４上に露出させることができる。代替的に、過剰な誘電体材料を封止層から除去し、これによって、ワイヤボンド３２の端面３８を露出させる表面４４を形成するようになっていてもよいし、または表面６３内の位置において端面３８を露出させる空洞６４を形成するようになっていてもよい。
【００７５】
図１３に示されている実施形態では、最初、封止層の表面４４がワイヤボンド３２の端面３８から上方に離間するように、封止層が形成されている。端面３８を露出させるために、端面３８の上方の封止層４２の部分が除去され、これによって、図１４に示されているように、端面４２と実質的に同一の平面をなす新しい面４４’を露出させるようになっている。代替的に、図８Ａ，８Ｂに示されているように、端面３８が封止層４２によって覆われないようになっている空洞６４が形成されてもよい。さらに他の代替例では、封止層４２は、表面４４が予め端面４８と実質的に同一の平面をなすように、または図８Ｄに示されているように表面４４が端面４８の下方に位置するように、形成されてもよい。封止層４２の一部の除去は、必要に応じて、研磨、ドライエッチング、レーザーエッチング、湿式エッチング、ラッピング、などによってなされるとよい。必要に応じて、ワイヤボンド３２の端３６の一部は、同時に除去されてもよく、または表面４４と実質的に同一の平面をなす実質的に平坦な端面３８をもたらす追加的なステップがなされてもよい。必要に応じて、このようなステップの後に空洞６４が形成されてもよいし、または図１０に示されているようなスタッドバンプが施されてもよい。次いで、得られた超小型電子アセンブリ１０は、ＰＣＢ上に取り付けられるか、またはさらに他のアセンブリ、例えば、図６に示されているような積層パッケージ内に組み入れられることになる。
【００７６】
図１５に示されている代替的実施形態では、ワイヤボンド３２は、最初、ワイヤループ８６の対の部分３２’として形成されている。この実施形態では、ループ８６は、前述したようにワイヤボンドの形態で作製されている。ワイヤセグメントは、上方に引き出され、次いで、屈曲され、基板１３の第１の表面１４の方向の１つの成分を少なくとも有する方向において、隣接する導電要素２８の上に実質的に重なる位置まで引き出される。次いで、ワイヤは、隣接する導電要素２８の近くの位置まで実質的に下方に引き出され、この後、切断されるかまたは他の方法によって分断されることになる。次いで、ワイヤは、加熱され、堆積ボンディングなどによって隣接する導電要素２８に接続され、ループ８６を形成することになる。次いで、封止層４２が、ループ８６を実質的に覆うように形成される。次いで、封止層４２の一部が、ループ８６の一部も除去するプロセスを用いて、研磨、エッチング、などによって除去され、これによって、ループは、切断され、その２つの部分３２’に分割され、これによって、封止層４２上に形成された表面４４に沿った位置において封止層４２によって覆われていない端面３８を有するワイヤボンド３２が形成されることになる。続いて、前述したように、仕上げステップがアセンブリ１０に対して施されることになる。
【００７７】
図１６Ａ−１６Ｃは、前述したようにワイヤボンド３２の端３６を包囲する空洞６４を作製する代替的実施形態を示している。図１６Ａは、図１−６に関して前述した一般形式のワイヤボンド３２を示している。ワイヤボンド３２は、その端３６に施された犠牲材料の塊７８を有している。犠牲材料塊７８は、その形成中に材料の表面張力によって実質的に球形になっているとよく、または当業者によって理解されるような他の所望の形状になっているとよい。犠牲材料塊７８は、ワイヤボンド３２の端３６を半田ペースト内に浸漬し、その端を被覆することによって形成されるとよい。半田ペーストの粘度は、ウィッキングする半田塊の量および端３６に付着するための表面張力を制御するために、浸漬の前に調整されるようになっている。従って、これによって、端３６に施される塊７８の大きさが影響を受けることになる。代替的に、塊７８は、溶融可能な材料をワイヤボンド３２の端３６上に堆積させることによって形成されてもよい。他の可能な塊７８は、端上の個々の半田ボールまたは他の塊であってもよく、または後で除去される（超小型電子コンポーネントの製造に用いられる）銅または金のフラッシュメッキのような他の材料を用いる他の手段によるものであってもよい。
【００７８】
図１６Ｂでは、アセンブリ１０に加えられた誘電体層４２が示されている。誘電体層４２は、ワイヤボンド３２の縁面３７に沿って上方に延在している。誘電体層は、犠牲材料塊７８の表面の一部に沿っても延在しており、これによって、ワイヤボンド３２の端から離間している。続いて、犠牲材料塊７８は、例えば、溶媒内での洗浄または洗い流し、溶融、化学エッチング、または他の技術によって、除去され、これによって、除去される前の塊７８の形状と実質的に逆の形状の空洞６８が誘電体層４２に生じ、縁面３７の一部がワイヤボンド３２の端３６の近くに露出することになる。
【００７９】
代替的に、犠牲材料塊７８は、ワイヤボンド３２の縁面３７に沿って延ばすことによってワイヤボンド３２の実質的に全てを覆うように、形成されてもよい。この構成は、図１７Ａに示されている。このような皮膜は、前述したようにアセンブリ１０上にワイヤボンド３２を形成した後、ワイヤボンド３２に施されてもよいし、またはワイヤボンド３２を作製するために用いられるワイヤへの皮膜として施されてもよい。これは、本質的に、被覆ワイヤまたは２部分ワイヤ、例えば、銅の内部コアおよび半田皮膜を有する２部品ワイヤの形態にあるとよい。図１７Ｂは、犠牲塊７８の縁面７９に沿って延在するようにワイヤボンド３２および犠牲塊７８に施された誘電体層４２を示している。これによって、誘電体層４２は、実質的にその長さに沿って、ワイヤボンド３２から離間していることになる。
【００８０】
図１７Ｃは、犠牲材料塊７８の一部を除去し、端３６の周りに空洞６４を形成し、縁面３７の一部を露出させたことによって得られた構造を示している。このような実施形態では、犠牲材料塊７８の大半または少なくとも一部が、誘電体層４２とワイヤボンド３２との間の適所に残されている。図１７Ｃは、ワイヤボンド３２を他の超小型電子構造１０Ａの接触パッド４０Ａに電気的かつ機械的に接続している半田塊５２をさらに示している。
【００８１】
図２０，２１は、ワイヤボンド５３２がリードフレーム構造上に形成された超小型電子アセンブリ５１０のさらに他の実施形態を示している。リードフレーム構造の例は、米国特許第７，１７６，５０６号および第６，７６５，２８７号に図示され、かつ記載されている。これらの開示内容は、参照することによってここに含まれるものとする。一般的に、リードフレームは、導電金属、例えば、銅のシートから形成された構造体であり、該導電金属のシートは、複数のリードを含むセグメントにパターン化されている。リードフレームは、パドルおよびフレームをさらに備えている。フレームは、もし用いられるなら、アセンブリの製造中に、リードおよびパドルを固定するために用いられることになる。一実施形態では、ダイまたはチップのような超小型電子素子は、パドルにフェイスアップ接合され、ワイヤボンドを用いて、リードに電気的に接続されるようになっている。代替的に、超小型電子素子は、超小型電子素子の下方に延在するリード上に直接実装されるようになっていてもよい。このような実施形態では、超小型電子素子上の接点は、半田ボールなどによって、それぞれのリードに電気的に接続されることになる。その結果、リードを用いて、超小型電子素子に対して信号電位を送るための種々の他の導電構造への電気接続部を形成することができる。封止層が上方に形成されたこの構造のアセンブリが完成すると、個別のリードを形成するために、フレームの一時的な要素がリードフレームのリードおよびパドルから除去されることになる。この開示の目的から、個別のリード５１３およびパドル５１５は、（一体的に形成された導電要素５２８をその一部として備える）基板５１２を連携して形成するセグメント化された部分と考えられる。さらに、この実施形態では、パドル５１５は、基板５１２の第１の領域５１８内にあるとみなされ、リード５１３は第２の領域５２０内にあるとみなされる。図２１の立面図にも示されているワイヤボンド５２４は、パドル５１５に支持された超小型電子素子２２をリード５１５の導電要素５２８に接続している。ワイヤボンド５３２は、その基部５３４において、リード５１５上の付加的な導電要素５２８にさらに接合されているとよい。封止層５４２は、ワイヤボンド５３２の端５３８が表面５４４内の位置に露出するように、アセンブリ５１０上に形成されている。ワイヤボンド５３２は、本明細書の他の実施形態に関して前述した構造に対応する構造を備える場合、封止層５４２によって覆われていない付加的または代替的な部分を有していてもよい。
【００８２】
図２４−２６は、超小型電子パッケージ８１０のさらに他の代替的実施形態を示している。超小型電子パッケージ８１０は、閉ループワイヤボンド８３２を有している。この実施形態のワイヤボンド８３２は、図２４に示されているように、互いに隣接する導電要素８２８ａ，８２８ｂに接合された２つの基部８３４ａ，８３４ｂを備えている。代替的に、基部８３４ａ，８３４ｂのいずれもが、図２５,２６に示されているように、共通の導電要素８２８に接合されていてもよい。このような実施形態では、ワイヤボンド８３２は、２つの基部８３４ａ，８３４ｂ間にループ状に延在する縁面８３７を画定している。従って、縁面８３７は、それぞれの部分８３７ａ，８３７ｂとして、基部から基板８１２の上方の封止層８４２の表面８４４における頂部８３９に向かって、上方に延在している。封止層８４２は、縁面部分８３７ａ，８３７ｂの少なくともいくつかに沿って延在し、それぞれの部分を互いに分離すると共にパッケージ８１０の他のワイヤボンド８３２から分離している。頂部８３９において、縁面８３７の少なくとも一部は、封止層８４２によって覆われていない。従って、他の超小型電子コンポーネントまたは他のコンポーネント、例えば、キャパシタまたはインダクタのような種々の素子とすることができる他のコンポーネントへの電気的相互接続に、ワイヤボンド８３２を利用することができる。図２４―２６に示されているように、ワイヤボンド８３２は、頂部８３９が基板８１２の表面を横断する少なくとも１つの方向において導電要素８２８から位置ずれするように、形成されている。一例では、頂部８３９は、超小型電子素子８２０の主面の上に重なっており、または超小型電子素子８２０が真っ直ぐに並んでいる基板８１２の第１の領域の上に重なっている。ワイヤボンド８３２の他の構成、例えば、頂部８３９が他の実施形態において検討したワイヤボンドの端面の位置のいずれかに配置される構成も可能である。さらに、頂部８３９は、図８Ａに示されているように、孔内において露出するようになっていてもよい。さらにまた、頂部８３９は、細長く延在し、図１０Ａ−１０Ｄにおいて縁面に関して示されているように、表面８４４に延在するその長さ部分が露出していてもよい。１つの基部から延在するのではなく２つの基部８３４ａ，８３４ｂ間に延在するワイヤボンド８３２によって支持された頂部８３９の周りの露出した縁８３７の形態にある接続特徴部を設けることによって、主面８４４によって画定された方向における接続特徴部のより正確な配置が達成されることになる。
【００８３】
図２７，２８は、図２４−２６の実施形態の変更形態を示している。この変更形態では、ワイヤボンド８３４に代わって、ボンドリボン９３４が用いられている。ボンドリボンは、導電材料、例えば、ワイヤボンドの形成のための前述した材料のいずれかからなる略平坦片であるとよい。ボンドリボン構造は、略円形断面のワイヤボンドと対照的に、厚みよりも幅が広くなっている。図２７に示されているように、ボンドリボン９３４は、各々、導電要素９２８の一部に沿って延在して接合された第１の基部９３４ａを備えている。リボンボンド９３２の第２の基部９３４ｂは、第１の基部９３４aの一部に接合されている。縁面９３７が、２つの対応する部分９３７ａ，９３７ｂとして、基部９３４ａ，９３４ｂ間において頂部９３９に延在している。頂部９３９の領域における縁面の一部は、主面９４４の一部に沿って、封止材９４２によって覆われていない。本明細書において検討された他の実施形態に用いられるワイヤボンドに関して説明したようなさらに他の変更形態も可能である。
【００８４】
前述した構造は、種々の電子システムの構築に利用可能である。例えば、本発明のさらに他の実施形態によるシステム７１１は、前述の超小型電子アセンブリ７１０を他の電子コンポーネント７１３，７１５と併用することができる。図示されている例では、コンポーネント７１３は、半導体チップであり、コンポーネント７１５は、ディスプレイスクリーンであるが、どのような他のコンポーネントが用いられてもよい。もちろん、説明を明瞭にするために、図２３には２つの付加的なコンポーネントしか示されていないが、システムは、どのような数のこのようなコンポーネントを備えていてもよい。前述の超小型電子アセンブリ７１０は、例えば、図１に関連して前述した超小型電子アセンブリであってもよいし、図６に関連して説明した複数の超小型電子アセンブリを含む構造であってもよい。アセンブリ７１０は、図２−２２に記載した実施形態のいずれか１つをさらに含んでいてもよい。さらに他の態様では、多数の変更形態がもたらされてもよいし、どのような数のこのような構造が用いられてもよい。
【００８５】
超小型電子アセンブリ７１０およびコンポーネント７１３，７１５は、破線によって概略的に描かれている共通ハウジング７１９内に実装されており、必要に応じて、互いに電気的に相互接続され、所望の回路を形成するようになっている。図示されている例示的なシステムでは、該システムは、柔軟な印刷回路基板のような回路パネル７１７を含んでおり、回路パネルは、コンポーネントを互いに相互接続する多数の導体７２１を備えている。これらの導体の１つのみが図２３に示されている。しかし、これは単なる例示にすぎず、電気的接続をなすどのような適切な構造が用いられてもよい。
【００８６】
ハウジング７１９は、例えば、携帯電話または携帯情報端末に用いられる形式の携帯ハウジングとして描かれており、スクリーン７１５がこのハウジングの表面に露出している。超小型電子アセンブリ７１０が撮像チップのような光感応要素を含んでいる場合、レンズ７２３または他の光学素子が光を構造体に導くために設けられてもよい。ここでも、図２３に示されている簡素化されたシステムは、単なる例示にすぎず、例えば、前述の構造体を用いて、他のシステム、例えば、デスクトップコンピュータ、ルーターなどのような定置構造と一般的に見なされるシステムを作製することも可能である。
【００８７】
本発明をここでは特定の実施形態を参照して説明してきたが、これらの実施形態は、本発明の原理および用途の単なる例示にすぎないことを理解されたい。従って、例示的な実施形態に対して多くの修正がなされてもよいこと、および添付の請求項に記載される本発明の精神および範囲から逸脱することなく、他の構成が考案されてもよいことを理解されたい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図８Ｅ】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１０Ｄ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１６Ｃ】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１７Ｃ】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【国際調査報告】
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