(57)【要約】  本発明は、焼かれた製品、特に食用のクリスピータイプのウエハースまたはソフトウエハースを製造するための装置であって、その際少なくとも一つのベーキングプレート（１，２）が設けられており、そのベーキング面が焼き温度まで加熱可能である装置において、ベーキングプレートが、ベーキングプロセスにおいてベーキングプレート（１，２）のベーキング面（３）に作用する圧力、及び／又はベーキングプレート（１，２）の温度を検出するための一つのセンサー装置（５）を備えている点が特徴的である装置に関する。【選択図】図１
2014518622.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
焼かれた製品、特に食用のクリスピータイプのウエハース又はソフトウエハースの製造のための装置であって、その際、好ましくはベーキングの際に焼き室内を通って動く、少なくとも一つのベーキングプレート（１，２）が設けられており、このベーキングプレートのベーキング面が、焼き温度まで加熱可能である前記装置において、
ベーキングプレートが、ベーキングプレート（１，２）の温度の検出の為、及び／又はベーキングプロセスにおいてベーキングプレート（１，２）のベーキング面（３）に作用する圧力の検出のためのセンサー装置（５）を備えることを特徴とする前記装置。
【請求項２】
センサー装置（５）が、少なくとも一つのセンサー（６）を含むこと、およびセンサー（６）がベーキングプレート（１，２）内のセンサー収容開口部（７）内に配置されているので、センサー（６）はセンサーヘッド（８）がベーキング面（３）の中に存在するか、またはベーキング面（３）の近傍まで達する位置へと至っていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
センサー収容開口部（７）がベーキングプレート（１，２）の背面から出発して測定部（１０）の方へ、ベーキング面（３）の近傍まで達するよう形成されており、その際、ベーキング面および測定部が連続して推移していることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
センサー収容開口部（７）が、ベーキングプレート（１，２）の背面から出発してベーキングプレート（１，２）を貫通しており、およびセンサーヘッド（８）はそのセンサーメンブラン（１６）がベーキング面内に存在し、およびこれと同様に輪郭づけされていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項の記載の装置。
【請求項５】
センサー収容開口部（７）の測定部（１０）が、センサーヘッド（８）の方又はそのセンサーメンブラン（１６）の方へ突出するスタンプ（１７）であって、測定部（１０）に作用する測定値の伝達の為のものを備えることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項６】
センサーメンブラン（１６）が、測定部（１０）の方へ突出するスタンプ（１７）を備えることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
測定部（１０）が、１ｍｍから３ｍｍの間の壁厚を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
センサー収容開口部（７）が、ベーキングプレート（１，２）内へ突入するポケットとして形成されていること、およびセンサー（６）はそのセンサーヘッド（８）がシリンダー状に形成されており、および締結リング要素（３０）によってベーキングプレート（１，２）に固定されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
センサー（６）が、パッシブ式の、好ましくは電磁場によって探知可能な温度・圧力センサーであり、この温度・圧力センサーが、その背面にエネルギー伝達および情報伝達の為のセンサーアンテナ（１１）を担持していることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
センサーアンテナ（１１）が、Ｈスリット・アンテナであることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
センサーアンテナ（１１）の下方に反射プレートが配置されており、この反射プレートがセンサーヘッド（８）またはそのシャフト（２０）に固定されていることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
センサー（６）に、電磁場を発生しおよび評価する一または複数の読取装置（２６）が付設されていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１３】
センサー（６）が、圧力、温度およびセンサー（６）に特徴的なＩＤ特徴に関する情報の出力の為に備えられていることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１４】
ベーキングプレート（１，２）が複数のセンサー（６）を有することを特徴とする請求項１から１３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１５】
ベーキングプレート（１，２）が、焼き窯内を周回するベーキング用トングの構成要素であり、このベーキング用トングが、上方および下方のベーキングプレート（１，２）を備え、およびベーキング用トングが、生地を付与され閉じられた状態で焼き室（２５）を通って移動可能であること、および、一または複数のセンサー（６）からなるセンサー装置（５）が、上方及び／又は下方のベーキングプレートに配置されていることを特徴とする請求項１から１４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１６】
焼き窯内を周回するベーキングプレート（１，２）の少なくとも一つが、少なくとも一つのセンサー装置（５）を備えられていることを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
焼き窯の複数のベーキングプレート（１，２）または全てのベーキングプレート（１，２）が、センサー装置（５）を備えられていることを特徴とする請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
読取装置（２６）によって読み取られた計測値を、一つの所定のベーキングプレート（１，２）およびベーキング用トングおよび焼き窯内のその位置に分類することができるように、焼き窯内に、各ベーキング用トングと、センサー装置（５）を備えられたベーキングプレート（１，２）の状態を表示する位置表示部（３１）が設けられていることを特徴とする請求項１５から１７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１９】
一または複数の読取装置（２６）が、焼き室（２５）内に連続して設けられており、次々と読み取られる計測値とベーキングプレートのセンサー装置のＩＤ特徴が、評価装置へと供給されることを特徴とする請求項１から１８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２０】
センサー（６）が、圧電性の基板クリスタルに基づくＳＡＷセンサーであることを特徴とする請求項１から１９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２１】
装置が、焼かれた製品を製造するための焼き窯であり、この焼かれた製品は、二つの重なり合って配置されたベーキング用プレート（１，２）の間のベーキング用トング内で焼かれ、その際、焼き窯は、外部の断熱部材を設けられた一つのオーブンフレームを有しており、および焼き窯内で周回するベーキング用トングを設けられており、これらベーキング用トングは、焼き窯の焼き室を通って案内される周回経路内に沿って配置されており、および焼き窯の運送装置によって周回経路にそって焼き窯を通って移送され、その際、オーブンフレーム内には、ベーキング用トングの周回経路の焼き室の外側に配置された部分に、ベーキング用トングを開くための装置、焼かれた製品の為の放出ステーション、ベーキング用トングに原料を入れるための原料投入ステーション、およびベーキング用トングを閉じるための装置が、ベーキング用トングの走行方向に相前後して配置されていること、および焼き窯内に統合された、焼き窯の作業活動とベーキング用トング内で進行するベーキングプロセスの把握のための監視装置が設けられていること、当該監視装置が、
（ａ）一つのセンサー装置を設けられており、このセンサー装置が、ベーキング用トングに配置された、ベーキング用トング内で進行するベーキングプロセスを把握する少なくとも一つのセンサーを含んでおり、このセンサーが、電磁場によって探知可能なパッシブ式のセンサーとして形成されており、
（ｂ）一つの送受信装置を設けられており、この送受信装置が、焼き窯内に静的に配置されており、およびベーキング用トング連続体の周回経路に配置された少なくとも一つの読取装置を有し、この読取装置が、電磁場を介してセンサー装置のセンサーと通信し、および
センサーから読取装置を介して送られた信号を処理し、およびモニタリング信号を発生する評価装置を設けられていることを特徴とする前記装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焼かれた製品の製造の為の装置、特に食用のクリスピータイプのウエハースかソフトウエハースを製造する為の装置であって、ベーキングの際に焼き室を通って動かされる少なくとも一つのベーキングプレートが設けられており、このベーキングプレートのベーキング面が焼き温度に加熱可能である装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
このような種類の装置は、特にウエハース焼き窯である。周回するベーキング用トングを有するウエハース焼き窯は、各種のウエハースの工業的製造にとって古くから公知である。良好なベーキングプロセスを達成するために、オーブン温度が計測されるべきでありかつ調整されるべきであるということも、既に公知であるしかし現在の温度計測は、オーブン室内に配置され、温度を例えばベーキングプレートの背面で計測する赤外線熱センサーによって常に非接触にのみ行われる。その際、不利益であるのは、システムの緩慢性であり、およびこの温度計測は、プレート内でのベーキング工程中の温度推移に関する情報を提供せず、しかもベーキング面においては全く情報を提供しないということである。閉じられたベーキング用トング内に発生する圧力の計測は、これまでは工業的ベーキング工程においてはほとんど行われていないし、ベーキングプロセスの制御の為には使用されていない。これは特に、オーブンの焼き室内を通って案内されるベーキング用トングであって、静的な焼き窯におけるようなケーブル敷設が不可能であるベーキング用トングに対して当て嵌まる。ベーキングプロセスは、多数のファクターによって変更されるまたは乱されることが可能であり、これによってエラーを含むベーキング工程と不良品の増加が生じる。例えば、生地構成は、水含有量や小麦品質または他の生地ファクターに関して変化し得る。更に汚染、例えば付着した焼きかすによって、ベーキングプレート上への多重焼き直しが行われるということが可能であり、これによってベーキング製品が使用不能となるのみならず、ベーキングプレートとトングワゴンの機械的部分が損傷されるということが可能である。ベーキングプロセスのこれらのエラーの多くは、従前は、ベーキングプロセスの後に、欠陥のあるベークド製品に基づいてのみ確認されることが可能であった。これによって、特に高速稼働する焼き窯においては著しい数の不良品が発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】オーストリア国特許第３７８  ４７０Ｂ１号明細書
【特許文献２】米国特許出願第４４３８６８５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
よって本発明の課題は、ベーキングプレート内で圧力及び／又は温度を直接計測し、およびベーキングプロセスの間できる限りベーキング面の近傍で測定を行い、およびこれによって、ベーキングパラメーターの適時の調整を行う可能性を得ることによって、上述した不利益を防止することである。焼き窯のオペレーターは、目標値がばらついた場合、例えば計測データに基づいて、温度、生地量、レシピ、およびコンベア速度を調整することができる。更に汚染、摩耗発生およびこれによって引き起こされる二重の不良品が防止されることが可能であるべきである。一つの目的は、計測されたパラメーターに基づく焼き窯制御の完全自動調整である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
発明に従う装置は、温度および圧力というパラメーターの調整および使用が意味を有するすべての焼き窯に対して使用可能である。特にこれは、クリスピータイプのフラットウエハース、三次元の形状を有するウエハース製品、ベーキング工程の後に加熱された状態で三次元に成型される平らなベークド製品の為のウエハース焼き窯であり、そしてソフトウエハースもまたそうである。この焼き窯の工業技術的な作業方式は、互いに列をなして配置された周回するベーキング用トングを使って行われ、その際、ベーキング用トングは各一つの上方および下方のベーキングプレートを有しており、およびベーキング用トングは生地収容のために開かれ、閉じられた後に焼き室を横断し、そして製品を焼き上げた後に、ベーキング製品の取り出しの為に再び開かれ、その後洗浄され、そしてその後再び生地塗布ステーションに供給される。この先行技術は、特許文献１および類似する特許文献２に記載されている。
【０００６】
本発明は、提示された課題を、少なくとも一つのベーキングプレートが設けられており、そのベーキング面が焼き温度に加熱可能であり、その際、ベーキングプレートがベーキングプレートの温度の検出及び／又はベーキングプロセスの際のベーキングプレートのベーキング面に作用する圧力の検出の為のセンサー装置を備えていることによって解決する。センサー装置は、少なくとも一つのセンサーを含んでいる。センサーは、好ましくはベーキングプレート内のセンサー収容開口部内に配置されているので、センサーはそのセンサーヘッドがベーキング面内に存在し、又はベーキング面の近傍まで達するよう位置するに至る。センサー収容開口部は、ベーキングプレートの背面から出発して測定部に向かってベーキング面の近傍まで達するよう形成されており、その際ベーキング面と測定部は連続して推移している。
【０００７】
代替としてセンサー収容開口部がベーキングプレートの背面から出発してベーキングプレートを貫通しており、その際センサーヘッドはそのセンサーメンブランがベーキング面に存在し、およびこれと同様に輪郭づけされている。
【０００８】
センサー収容開口部の測定部は、センサーヘッドまたはそのセンサーメンブランの方へと突出した、測定部に作用する測定値の伝達の為の一つのスタンプを備えることが可能である。代替としてセンサーメンブランが測定部の方に突出したスタンプを備えることも可能である。測定部は、例えばおよそ、１ｍｍから３ｍｍの間の壁厚を備える。
【０００９】
センサー収容開口部は、ベーキングプレート内へと突入するポケットとして形成され、およびセンサーはそのセンサー筐体がシリンダー状に形成され、および締結リング要素でもってベーキングプレート内に固定されていることが可能である。更にセンサーは、パッシブ式の、好ましくは電磁場によって探知可能な温度・圧力センサーであり、この温度圧力センサーは、その背面にエネルギー伝達および情報伝達のためのセンサーアンテナを担持している。センサーアンテナは、Ｈスリット・アンテナである。センサーアンテナの下には、反射薄板が配置されており、この反射薄板はセンサー筐体またはそのシャフトに固定されている。
【００１０】
センサーには、一または複数の読取装置が付設されており、これら読取装置が電磁場を発生しかつ評価する。センサーは、圧力、温度および当該センサーに特徴的なＩＤ特徴に関する情報を出力するために備えられている。ベーキングプレートは複数のセンサーを備えることも可能である。ベーキングプレートは、焼き窯内を周回するベーキング用トングの構成要素であることが可能であり、これらベーキング用トングは、各一つの上方および下方のベーキングプレートを備え、その際ベーキング用トングは、生地を付与され閉じられた状態で焼き室を通って動かされることが可能である。センサー装置は、上方及び／又は下方のベーキングプレートに備わっている一または複数のセンサーから成ることが可能である。焼き窯内を周回する少なくとも一つのベーキング用トングは、少なくとも一つのセンサー装置を設けられている。焼き窯の複数のベーキング用トングまたは全てのベーキング用トングが、一つのセンサー装置を設けられていることが可能である。焼き窯内には、好ましくは、ベーキングプレートとベーキング用トングとその状態に、読取装置によって読み取られた所定の計測値を分類することができるように、ベーキング用トングの状態と、センサー装置を設けられたベーキングプレートの状態を表示する位置表示部が設けられている。一または複数の読取装置が、焼き室内に連続して設けられており、および次々と読み取られた測定値とベーキングプレートのセンサー装置のＩＤ特徴が評価装置に供給される。有利には、センサーとして圧電性の基板クリスタルに基づくＳＡＷセンサーが用いられる。更に装置は、好ましくは、焼かれた製品を製造するための焼き窯であり、この焼かれた製品は、ベーキング用トング内で重なり合って配置された二つのベーキングプレートの間に生じ、その際、焼き窯は、外部の断熱部材を設けられたオーブンフレームを有し、および焼き窯内で周回するベーキング用トングを設けられており、このベーキング用トングは焼き窯の焼き室を通って案内される周回経路にそって配置されており、および焼き窯の移送装置によって周回経路にそって焼き窯を通って移送され、その際、オーブンフレーム内には、ベーキング用トングの周回経路の焼き室の外側に配置された部分に、ベーキング用トングを開くための装置、焼かれた製品のための放出ステーション、ベーキング用トングに原料を投入するための原料投入ステーション、およびベーキング用トングを閉じるための装置が、ベーキング用トングの走行方向に相前後して配置されており、および、その際、焼き型に組み込まれた、焼き窯の作業活動とベーキング用トング内で進行するベーキングプロセスの把握の為の監視装置が設けらており、この監視装置が、
（ａ）センサー装置を設けられており、このセンサー装置が、ベーキング用トングに配置され、ベーキング用トング内で進行するベーキングプロセスを把握する少なくとも一つのセンサーを有しており、このセンサーが、電磁場により探知可能なパッシブ式のセンサーとして形成されており、
（ｂ）送受信装置を設けられており、この送受信装置が、焼き窯内に静的に配置されており、およびベーキング用トング連続体の周回経路に配置された少なくとも一つの送受信アンテナを有し、この送受信アンテナが、電磁場を介してセンサー装置のセンサーと通信を行い、および
（ｃ）評価装置が設けられており、この評価装置が、センサーから送られてくる信号を処理し、およびモニタリング信号を発生する。
【００１１】
本発明の更なる特徴は、請求項、以下に続く明細書、および図面から察知される。
【００１２】
以下に本発明を図面に基づき詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】互いに組み合わされ、かつ閉じられた二つのベーキングプレートの斜視図。
【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩを通る断面の図。
【図３】発明に従うベーキング用トングの斜視図。
【図４】図３の線ＩＶ−ＩＶを通る断面のカット図。
【図５】ベーキングプレート内のセンサーの種々の配置の実施例を表す図。
【図６】ベーキングプレート内のセンサーの種々の配置の実施例を表す図。
【図７】ベーキングプレート内のセンサーの種々の配置の実施例を表す図。
【図８】ベーキング用トングの一つの実施例を斜視図およびカット図として示す図。ベーキングプレートは自立式でなく、担持フレーム内に配置されている。
【図９】ベーキング用トングの一つの実施例を斜視図およびカット図として示す図。ベーキングプレートは自立式でなく、担持フレーム内に配置されている。
【図１０ａ】型成形される三次元形状のウエハース製品の為のベーキングプレートの半分の内部図、および閉じられた形状の中央の母型を通る断面の図。
【図１０ｂ】型成形される三次元形状のウエハース製品の為のベーキングプレートの半分の内部図、および閉じられた形状の中央の母型を通る断面の図。
【図１１】焼き窯の二つの側面図。当該焼き窯内にて、本発明に係るベーキングプレートが付設された評価装置および読取装置とともに使用されることができる。
【図１２】焼き窯の二つの側面図。当該焼き窯内にて、本発明に係るベーキングプレートが付設された評価装置および読取装置とともに使用されることができる。
【図１３】代替的な細部の簡略図。
【図１４】代替的な細部の簡略図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１から３は、発明に従うベーキングプレートを示す。その基本的構造は先行技術に相当する。表された実施例は、上方のベーキングプレートおよび下方のベーキングプレート２を示し、その際、担持フレームを必要としない自立式ベーキングプレートである。両方のベーキングプレートは、表わされた閉じられた状態でベーキング面にて互いに接しているので、ベーキング面の間には焼き上げるべき生地の為に必要な間隙４のみが残される。ベーキング面は、公知の方法でひだを設けられており、これはフラットウエハースまたはソフトウエハースにより公知である。ひだは図１から３に表されている。
【００１５】
図２に断面で表されるように、上方のベーキングプレートは、個々のセンサー６の形式のセンサー装置５を備えている。センサー６は、ベーキングプレートのセンサー収容開口部７内に配置されており、その際、この実施例では、センサーはそのセンサーヘッド８がベーキングプレート１のベーキング面３の近傍まで達している。
【００１６】
図２に同様に見て取れるように、センサー収容開口部７は、基本的にベーキング面３に直角に起立しており、およびセンサー収容開口部はベーキングプレート背面９からベーキングプレート内へと入り込んで延在している。
【００１７】
図４に基づきより詳細に後述されるように、センサーはそのセンサーヘッド８がベーキング面３の近傍へと達しており、その際ベーキング面３とセンサーヘッドの間またはセンサーヘッドを密閉するセンサーメンブランの間には、ベーキングプレートの材質から成る薄層が残っている。ベーキングプレートの薄い領域は、以下では測定部１０と称される。センサー６の他方の端部には、センサーアンテナ１１が存在している。このセンサーアンテナは、図１に従いＨスリット・アンテナとして形成されている。この図中における表現は簡略的にのみ固定されている。
【００１８】
図３は、ベーキング用トング内におけるベーキングプレート１および２の具体的配置の一例を示す。ベーキング用トングジョイント１２の周りを揺動するベーキング用トング１によって、ベーキング用トングは公知の方法で開かれ、そして再び閉じられる。ベーキング用トングは、ローラー１３と共にベーキング用トングワゴンを形成し、およびこのような種類の複数のベーキング用トングワゴンが相前後して列をなしベーキング用トング連続体を形成し、このベーキング用トング連続体が、周回経路を介して案内されている。制御ローラー１４は上方のベーキングプレート１の折畳み動作を制御する。
【００１９】
そのようなベーキング装置の機能方式の詳細は、例えば冒頭に記載した先行技術中から知ることができ、およびこれらが特に指摘される。
【００２０】
センサーアンテナ１１を有するセンサー６の配置について、このセンサーアンテナとその反射プレート１５は、可能な限り密にベーキングプレートに接しているべきであるが、しかしアンテナの機能性は制限されるべきでないということが言える。センサーアンテナ１１は、ベーキングプレートまたはベーキングプレートリブの浅いくぼみ内に位置していることもまた可能である。
【００２１】
図４はベーキングプレート内のセンサーの配置の一つの実施例を示す。
【００２２】
センサーは、センサー収容開口部７内に挿入され、および締結リング要素３０によって保持され、その際、これらセンサー収容開口部は、段付けされたポケット孔（Ｓａｃｋｌｏｃｈｂｏｈｒｕｎｇ）として形成されている。センサーは、下に向かってセンサーメンブラン１６によって密閉されて閉じたセンサーヘッド８を含んでいる。センサー収容開口部７は、ベーキングプレートのベーキング面３の略近傍まで達しており、その際、ベーキング面とセンサーメンブラン１６の間に測定部１０が存在する。この測定部は、ベーキング面３の温度と圧力状況をセンサーヘッド８へ迅速に伝達するよう十分薄い。
【００２３】
測定部１０とセンサーメンブラン１６の間の接触およびパラメーターの伝達の為に、スタンプ１７が設けられており、このスタンプは当該実施例においては、センサーメンブラン１６の方へと延在する測定部１０の小延長部として形成されている。
【００２４】
図１３に表されているように、スタンプ１７の代替として、センサーメンブラン１６の部分としてスタンプ１７を設け、およびスタンプを測定部１０に対して下方に向かって作用させるということは、当然当業者の意向に従うものである。
【００２５】
参照符号１８によって測定部１０の壁厚が記入されており、およびこれは実務では０．５ｍｍから５ｍｍの間にあり、好ましくは１ｍｍから３ｍｍの間にある。測定部の壁厚は、ベーキングプレートの材質とセンサーの感度に依存する。本質的であるのは、温度および圧力が十分な時間および十分な程度でセンサーによって確認可能であるということである。
【００２６】
測定部１０は、矢印２９によっておおよそ示された平坦領域を含んでいる。
【００２７】
センサーヘッド８内には、センサーの計測を行う本来の構成要素、特に基板を装備したピエゾクリスタルの為に、空洞部１９が設けられており、その際、この計測感度のよいセンサー装置の構造は、センサー内部の一つの分離した装置として表されており、およびここではこれ以上示されない。本質的であるのは、測定部１０によって伝達されるパラメーターである圧力および温度が、またはこのパラメーターの一方が、適当な正確性でもってシグナルとしてセンサーアンテナ１１に伝達されるということである。
【００２８】
センサーヘッド８の上には隔離シャフト２０が位置している。当該隔離シャフト２０の長手方向の長さは、ベーキングプレートの厚さを越えている。この隔離シャフト２０の上には、反射プレート１５が位置している。図示されていないのは、電動線である。この電動線は、センサー内部でセンサーヘッド８からアンテナ１１に達し、そして当然、焼き窯の高温に耐えなければならない。
【００２９】
図５は、単に、センサー６が上方のベーキングプレート１内の配置される替わりに、下方のベーキングプレート２内に配置されることが可能であるということを表している。同様に、図６は、下方の及び／又は上方のベーキングプレート内におけるセンサーの多段配置を示し、当該例においては、センサー装置としての上方のベーキングプレート内に３つのセンサーが配置されることを示す。図７は、上方および下方のベーキングプレート内の各一つのセンサーの配置を示す。
【００３０】
図８，９からは、ベーキング用トングの他の実施バリエーションにおけるセンサー６の配置がみてとれ、その際、ベーキングプレートは、自立式に形成されるのではなく、担持フレーム２１，２２内に組付けられている。ベーキングプレートのこの基本的な実施もまた先行技術から知ることが可能であり、更なる説明は必要としない、というのはベーキングプレートの組付けの方式自体は、この場合、発明として本質的でないからである。当業者は、表されたトングワゴンはロック部なしのベーキングプレートであり、これは例えば後にウエハースコーンを形成するためのソフトウエハースの製造の為またはベークドパンケーキの製造の為に使用される。同様の方法でセンサーはまたロック部ありのトングワゴンに設けられることも可能である。
【００３１】
担持フレームは、上方の担持フレーム２１および下方の担持フレーム２２として記入されている。センサー６は、上方のベーキングプレート１内のそのセンサー収容開口部７内に位置している。センサーは、ここでは上に向かって延在しているので、担持フレーム２１により支持されているが、しかしセンサーアンテナ１１の効果は減少されない。
【００３２】
図１０ａは、型成形にて製造されるウエハースコーンの母型の半分の内部図を簡略的に示し、その際センサー６は、母型の窪み２３内に挿入されており、その際センサー６に対して一つの固有なベーキング面３２が設けられ、このベーキング面において同様の方法で圧力及び／又は温度が計測されることが可能である。図１０ｂは、閉じられた状態の母型の中央を通る断面図を示す。
【００３３】
図１１は、全ベーキング装置の概観図を簡略的に示す。放出・投入ステーション２４の後で、一または複数のセンサーを設けられたベーキングプレートが、オーブンの焼き室２５内へと走行する。焼き室の開始部分には無線アンテナの読取装置が位置しており、この無線アンテナはその電磁場を、通過するベーキング用トングのセンサーの方向に発する。センサーの計測パラメーターによって、電磁場は特徴的に変化し、このことは読取装置２６によって評価することが可能である。読取装置は、例えばベーキング装置のオペレーターの為のディスプレイを有する評価装置２８にアンテナケーブル２７を通じてその信号を送り、その際、ディスプレイはベーキングパラメーターが変化した場合、適当な傾向を出力することができる。評価装置は、ベーキングパラメーターの自立式調整もまた意図することが可能である。
【００３４】
ベーキング工程のためのプロセス区間に沿う一または複数の読取装置の正確な配置は、任意かつ状況に応じて選択されることが可能である。図１２は、例えば焼き室の最初の部分における６つの読取装置２６の配置と、ベーキング用トング連続体の戻り案内される部分における更に別の６つの読取装置を示す。これは、多様な配置可能性が与えられるということの説明の為のみのものである。このようにして、各ベーキングプレートの全プロセス過程をたどること、およびベーキングプロセスの最適化を行うことが可能である。
【００３５】
図１２は、ベーキング用トング連続体がどの配置に存在しているかを表示する位置表示部３１を簡略的に示す。これによって、読取装置２６によって送られた計測データをベーキングプレートとその焼き窯内での状態に正確に分類することが可能である。
【００３６】
図１３は、センサー収容開口部７内でのセンサーの配置の代替案を簡略的に示す。計測値のセンサーヘッド８への伝達を行うスタンプ１７は、センサーメンブラン１６の固定された構成要素であり、そして、ベーキングプレートの測定部１０の方へ下に向かって突き出している。ベーキング面３のひだ３３は分割されておらず、というのは測定部１０はベーキングプレート１と連続して一体だからである。
【００３７】
図１４は、計測装置の形成の更に他の代替案を示す。センサー収容開口部７は、減少する直径を有する部分３２を越えて延在しているので、連通した開口部が存在する。スタンプ１７は、センサーメンブラン１６から当該部分３２を通ってベーキング面３まで延在している。完成したウエハース製品において、スタンプ１７の計測箇所が視覚的に検知可能であってはならないとき、スタンプ１７が中断なくひだを設けられていることも可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１     上方のベーキングプレート
２     下方のベーキングプレート
３     ベーキング面
４     間隙
５     センサー装置
６     センサー
７     センサー収容開口部
８     センサーヘッド
９     ベーキングプレート背面
１０   測定部
１１   センサーアンテナ
１２   ベーキング用トングジョイント
１３   ローラー
１４   制御ローラー
１５   反射プレート
１６   センサーメンブラン
１７   スタンプ
１８   矢印
１９   空洞部
２０   隔離シャフト
２１   上方の担持フレーム
２２   下方の担持フレーム
２３   母型の窪み
２４   放出・投与ステーション
２５   焼き室
２６   無線アンテナ、読取装置
２７   アンテナケーブル
２８   評価装置
２９   矢印
３０   締結リング要素
３１   位置表示部
３２   部分
３３   ひだ
【図１】
2014518622.tif 000003
【図２】
2014518622.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０ａ】
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【図１０ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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