(57)【要約】  パッケージであって、シリコンから成る第１の要素（１０）と多孔質シリコンから成る第２の要素（２０）とを備える本体（１）と、多孔質シリコンに設けられる少なくとも１つの第１のキャビティ（３１）と、前記少なくとも１つの第１のキャビティ（３１）の少なくとも１つの内壁の少なくとも１つの部分（３１０）に電気的に結合される第１の導電接点領域（４１）と、前記少なくとも１つの第１のキャビティ（３１）の内壁とは異なる前記第２の要素（２０）の一部分（３２０）に電気的に結合される第２の導電接点領域（４２）とを有し、２つの接点領域（４１，４２）が互いに電気的に絶縁される、パッケージ。
2014505966.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージであって、
シリコンから成る第１の要素（１０）と多孔質シリコンから成る第２の要素（２０）とを備える本体（１）と、
少なくとも前記多孔質シリコンに設けられる少なくとも１つの第１のキャビティ（３１）と、
前記少なくとも１つの第１のキャビティ（３１）の少なくとも１つの内壁の少なくとも１つの部分（３１０）に電気的に結合される第１の導電接点領域（４１）と、
前記パッケージの一部分（３２０）に電気的に結合される第２の導電接点領域（４２）とを有し、
前記一部分は、少なくとも前記第２の要素（２０）内へと延びるとともに、前記少なくとも１つの第１のキャビティ（３１）の内壁とは異なり、前記２つの接点領域（４１，４２）が互いに電気的に絶縁される、
パッケージ。
【請求項２】
前記第１の接点領域（４１）は、前記本体の前記第１の要素（１０）の第１の面（Ｆ１）に位置され、
前記本体は、前記第１の接点領域（４１）から前記少なくとも１つの第１のキャビティの前記少なくとも１つの内壁の前記少なくとも１つの部分（３１０）に至るまで前記第１の要素（１０）を貫通して延びる第１の導電接続手段（４１０）を備える
請求項１に記載のパッケージ。
【請求項３】
前記第１の接続手段は、絶縁部位（４１１）によって取り囲まれる金属シリサイドから形成される第１の部位（４１０）を備える
請求項２に記載のパッケージ。
【請求項４】
前記少なくとも１つの第１のキャビティ（３１）は、前記第１の要素（１０）の前記第１の面（Ｆ１）とは反対側にある前記第２の要素（２０）の自由面（Ｆ２）で開口する
請求項２または請求項３に記載のパッケージ。
【請求項５】
前記第２の接点領域（４２）は、前記本体の前記第１の要素の前記第１の面（Ｆ１）に位置され、
前記本体は、前記第２の接点領域（４２）から前記パッケージの前記一部分（３２０）に至るまで前記第１の要素（１０）を貫通して延びる第２の導電接続手段（４２０）を備える
請求項２から請求項４の一項に記載のパッケージ。
【請求項６】
前記第２の接続手段が金属シリサイドから形成される第２の部位（４２０）を備える
請求項５に記載のパッケージ。
【請求項７】
前記第２の部位（４２０）が絶縁部位（４２１）によって取り囲まれる
請求項６に記載のパッケージ。
【請求項８】
前記多孔質シリコンの孔径が数ナノメートル程度である
請求項１から請求項７の一項に記載のパッケージ。
【請求項９】
人体へのパッケージの埋め込みに適合するサイズを有する
請求項１から請求項８の一項に記載のパッケージ。
【請求項１０】
前記本体は、少なくとも前記多孔質シリコンに設けられる少なくとも１つの第２のキャビティ（３２）を更に含み、
パッケージの前記一部分（３２０）は、前記少なくとも１つの第２のキャビティ（３２）の少なくとも１つの内壁の少なくとも１つの部分を備える
請求項１から請求項９の一項に記載のパッケージ。
【請求項１１】
前記少なくとも１つの第２のキャビティ（３２）は、前記第１の要素の前記第１の面とは反対側にある前記第２の要素の自由面（Ｆ２）で開口する
請求項２および請求項１０に記載のパッケージ。
【請求項１２】
前記少なくとも１つの第２のキャビティ（３２）が前記第１の要素の前記第１の面（Ｆ１）で開口する
請求項２および請求項１０に記載のパッケージ。
【請求項１３】
パッケージの前記一部分（３２０）が前記多孔質シリコンの孔を備える
請求項１から請求項９の一項に記載のパッケージ。
【請求項１４】
請求項１０から請求項１２の一項に記載のパッケージと、
前記少なくとも１つの第１のキャビティ（３１）内に収容される第１の活性物質（ＰＡ１）と、
前記少なくとも１つの第２のキャビティ（３２）内に収容される第２の活性物質（ＰＡ２）と、
前記少なくとも１つの第１のキャビティを塞ぐための第１の閉塞手段（５）と、
前記少なくとも１つの第２のキャビティを塞ぐための第２の閉塞手段とを備える
装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載のパッケージと、
前記少なくとも１つの第１のキャビティ内に収容される第１の活性物質（ＰＡ１）と、
前記少なくとも１つの第１のキャビティを塞ぐための第１の閉塞手段（５）とを備える
装置。
【請求項１６】
前記第１および第２の活性物質（ＰＡ１，ＰＡ２）のうちの少なくとも一方が粉末を備え、該粉末の粒径が前記多孔質シリコンの孔径よりも大きい
請求項１４または請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記１または複数のキャビティ内に収容される１または複数の活性物質と相互に作用するために活性流体（ＬＱＡ）が前記多孔質シリコンを通じて流れ、２つの前記導電接点領域間で電位差（Ｖ）がもたらされるときの、
請求項１４から請求項１６の一項に記載の装置のバイオ燃料電池。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロエレクトロニクスに関し、より詳細には、例えばバイオ燃料電池を形成するために使用され得るがこれに限定されないパッケージに関する。
【背景技術】
【０００２】
バイオ燃料電池は、生体分解性基質で利用できるエネルギーの一部を電気へと変換するために酵素またはバクテリアなどの微生物を使用する燃料電池である。
【０００３】
一般に、バイオ燃料電池は陰極を形成する電極を備え、この電極は、特に陰極によって捕捉される電子による生体分解性基質、例えばグルコースの変換のために酵素と接触して配置される。また、バイオ燃料電池は陽極も備え、この陽極において、電子受容体、例えば空気が、例えば水へと還元される。
【０００４】
したがって、陰極と陽極との間には、これらが負荷に接続されると、電位差が生じる。
【０００５】
バイオ燃料電池分野では、多くの刊行物が存在する。
【０００６】
特に、ネズミに埋め込まれる実験的なバイオ燃料電池の製造について記載する「Ａ  Ｇｌｕｃｏｓｅ  ＢｉｏＦｕｅｌ  Ｃｅｌｌ  Ｉｍｐｌａｎｔｅｄ  ｉｎ  Ｒａｔｓ」と題されるＰｈｉｌｉｐｐｅ  Ｃｉｎｑｕｉｎらによる論文、ＰＬｏＳ  ＯＮＥ／ｗｗｗ．ｐｌｏｓｏｎｅ．ｏｒｇ，Ｍａｙ  ２０１０／ｖｏｌｕｍｅ  ５／Ｉｓｓｕｅ  ５／ｅ１０４７６を挙げることができる。このバイオ燃料電池は、ネズミの生理学的流体中に存在するグルコースおよび酸素から前述した酸化還元現象によって電気を生体内で生成できる。陰極および陽極のそれぞれで２つの異なる粉末が使用される。
【０００７】
また、インターネットアドレスｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｕｃｌ．ａｃ．ｕｋ／〜ｕｃｂｐｌｒｄ／ｓｐａｒｋｓ＿ｐａｇｅ．ｈｔｍで利用できる「Ｓｐａｒｋｓ  ｏｆ  Ｌｉｆｅ」と題されるＬｅｗｉｓ  Ｄａｒｔｎｅｌｌによる論文を挙げることもできる。この論文は、Ｒｈｏｄｏｆｅｒａｘ  ｆｅｒｒｉｒｅｄｕｃｅｎｓと呼ばれるバクテリアを陰極で使用するバイオ燃料電池について記載する。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
ここで、特にインプラントのサイズを減少させて、これらのバイオ燃料電池により発生される電力を増大させるための工業的に許容できる解決策が提案されなければならない。
【０００９】
１つの実施形態によれば、本発明は、工業的に達成できるとともに人体への埋め込みに適合するバイオ燃料電池の一要素として特に使用され得るがこれに限定されないパッケージを提供する。
【００１０】
１つの態様によれば、本発明は、パッケージであって、シリコンから成る第１の要素と多孔質シリコンから成る第２の要素とを備える本体と、少なくとも多孔質シリコンに設けられる少なくとも１つの第１のキャビティと、前記少なくとも１つの第１のキャビティの少なくとも１つの内壁の少なくとも１つの部分に電気的に結合される第１の導電接点領域と、パッケージの一部分に電気的に結合される第２の導電接点領域とを有し、前記一部分が、少なくとも前記第２の要素内へと延びるとともに、前記少なくとも１つの第１のキャビティの内壁とは異なり、２つの接点領域が互いに電気的に絶縁される、パッケージを提供する。
【００１１】
１つの変形例によれば、本体は、少なくとも多孔質シリコンに設けられる少なくとも１つの第２のキャビティを更に含み、前記少なくとも１つの第１のキャビティの内壁とは異なパッケージの前記一部分は、前記少なくとも１つの第２のキャビティの少なくとも１つの内壁の少なくとも１つの部分を備える。
【００１２】
他の変形例によれば、パッケージの前記一部分が多孔質シリコンの孔を備える。
【００１３】
言い換えると、この他の変形例によれば、先の変形とは異なり、多孔質シリコンに第２のキャビティが設けられない。
【００１４】
どんな変形例であろうと、１つの実施形態によれば、第１の接点領域は、本体の第１の要素の第１の面に位置され、本体は、前記第１の接点領域から前記少なくとも１つの第１のキャビティの前記少なくとも１つの内壁の前記少なくとも１つの部分に至るまで第１の要素を貫通して延びる第１の導電接続手段を備える。
【００１５】
導電手段はシリコンから形成されてもよいが、第１の接続手段が絶縁部位によって取り囲まれる金属シリサイドから形成される第１の部位を備えることが好ましい。これにより、特に導電接続手段が液状活性物質と接触するときに酸化を防止することができる。
【００１６】
１つの実施形態によれば、前記少なくとも１つの第１のキャビティは、第１の要素の前記第１の面とは反対側にある第２の要素の自由面で開口する。
【００１７】
１つの実施形態によれば、第２の接点領域は、本体の第１の要素の前記第１の面に位置され、本体は、前記第２の接点領域からパッケージの前記一部分に至るまで前記第１の要素を貫通して延びる第２の導電接続手段を備える。
【００１８】
ここでも先と同様に、これらの第２の接続手段が金属シリサイドから形成される第２の部位を備えることが好ましい。
【００１９】
この第２の部位も絶縁部位によって取り囲まれることが好ましい。
【００２０】
少なくとも１つの第２のキャビティが少なくとも多孔質シリコンに設けられる変形例において、この第２のキャビティは、第１の要素の前記第１の面とは反対側にある第２の要素の自由面で開口してもよい。言い換えると、この実施形態によれば、前記少なくとも１つの第１のキャビティおよび前記少なくとも１つの第２のキャビティが本体の同じ自由面で開口する。
【００２１】
また、前記少なくとも１つの第２のキャビティが前記第１の要素の前記第１の面で開口することもできる。言い換えると、この実施形態によれば、前記少なくとも１つの第１のキャビティおよび前記少なくとも１つの第２のキャビティが本体の２つの反対側の面で開口する。
【００２２】
多孔質シリコンの孔径は数ナノメートル程度であることが有益であり、また、１つの実施形態によれば、パッケージは、人体への埋め込みに適合するサイズを有する。
【００２３】
他の態様によれば、本発明は、先に規定されたパッケージと、前記少なくとも１つの第１のキャビティ内に収容される第１の活性物質、例えば圧縮酵素粉末と、前記少なくとも１つの第２のキャビティ内に収容される第２の活性物質、例えば他の圧縮酵素物質と、前記少なくとも１つの第１のキャビティを塞ぐための第１の閉塞手段と、前記少なくとも１つの第２のキャビティを塞ぐための第２の閉塞手段とを備える装置を提供する。
【００２４】
パッケージが第２のキャビティを含まない場合、本発明は、先に規定されたパッケージと、前記少なくとも１つの第１のキャビティ内に収容される第１の活性物質と、前記少なくとも１つの第１のキャビティを塞ぐための第１の閉塞手段とを備える装置を提供する。
【００２５】
第１および第２の活性物質のうちの少なくとも一方が例えば粉末を備え、該粉末の粒径は多孔質シリコンの孔径よりも大きい。
【００２６】
したがって、多孔質シリコンは、好適には、膜としての機能を果たす。
【００２７】
他の態様によれば、本発明は、前記１または複数のキャビティ内に収容される１または複数の活性物質と相互に作用するために活性流体、例えば生物学的流体が多孔質シリコンを通じて流れ、２つの導電接点領域間で電位差がもたらされるときの、先に規定された装置のバイオ燃料電池としての使用を提案する。
【００２８】
本発明の他の利点および特徴は、専ら非限定的な実施形態の詳細な説明と添付図面とを検証すると明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に係るパッケージの第１の実施形態を概略的に示している。
【図２】本発明に係る装置の第１の実施形態を概略的に示している。
【図３】本発明に係るパッケージの制作の一例を概略的に示している。
【図４】本発明に係るパッケージの制作の一例を概略的に示している。
【図５】本発明に係るパッケージの制作の一例を概略的に示している。
【図６】本発明に係るパッケージの制作の一例を概略的に示している。
【図７】本発明に係るパッケージの制作の一例を概略的に示している。
【図８】本発明に係るパッケージの第２の実施形態を概略的に示している。
【図９】本発明に係るパッケージの第２の実施形態を概略的に示している。
【図１０】本発明に係る装置の第２の実施形態を概略的に示している。
【図１１】本発明に係るパッケージの第３の実施形態を概略的に示している。
【図１２】本発明に係る装置の第３の実施形態を概略的に示している。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
図１において、参照符号ＢＴは、本体１を備えるパッケージを示している。この本体１は、シリコンから成る第１の要素１０と、多孔質シリコンから成る第２の要素２０とを備える。２つの要素１０，２０は互いに結合される。第１のキャビティ３１が多孔質シリコンの第２の要素２０に設けられ、この第１のキャビティ３１は第２の要素の自由面Ｆ２で開口する。
【００３１】
第２のキャビティ３２が多孔質シリコンの第２の要素２０に設けられ、この第２のキャビティ３２も第２の要素の自由面Ｆ２で開口する。
【００３２】
第１の導電接点領域４１および第２の導電接点領域４２が、第１の要素１０の第１の面Ｆ１上、すなわち、ここでは第２の要素の自由面Ｆ２と反対側にある面Ｆ１上に設けられる。
【００３３】
第１の導電接点領域４１は、第１のキャビティ３１の内部底壁の一部分３１０に電気的に結合される。
【００３４】
同様に、第２の導電接点領域４２は、ここでは第２のキャビティ３２の内部底壁の一部分３２０に電気的に結合される。
【００３５】
このような状況であれば、一変形例において、１または複数の導電接点領域を対応するキャビティの幾つかの内壁に電気的に結合させることができる。
【００３６】
ここでは、第１の導電接点領域４１が第１の金属接点パッド４１２を備え、一方、第２の導電接点領域４２が第２の金属接点パッド４２２を備える。
【００３７】
本体１は、第１の接点領域４１２から第１のキャビティ３１の内部底壁の部分３１０に至るまで第１の要素１０を貫通して延びる第１の導電接続手段４１０も備える。
【００３８】
これらの第１の接続手段は、ここでは、絶縁部位４１１によって取り囲まれる金属シリサイド、例えばケイ化チタンから形成される第１の部位４１０を備える。
【００３９】
同様に、第２の導電接続手段は、ここでは、絶縁部位４２１によって取り囲まれる金属シリサイド、例えばケイ化チタンから同様に形成される第２の部位４２０を備える。
【００４０】
第１の接点パッド４１２は、絶縁層４５、例えば窒化ケイ素層に形成される開口を通じて第１のシリサイド化部位４１０と接触する。
【００４１】
同様に、第２の接点パッド４２２は、この層４５の他の開口を通じて第２のシリサイド化部位４２０と接触する。
【００４２】
最後に、２つの接点パッド４１２，４２２の上部は、例えば二酸化ケイ素から成る絶縁層４３によって互いから分離される。
【００４３】
その結果、２つの接点領域４１，４２は互いから電気的に分離される。
【００４４】
パッケージＢＴの寸法は、この実施形態では、パッケージＢＴを人体に容易に埋め込むことができるように選択されるのが有益である。非限定的な例として、パッケージＢＴの長さＬは、数ミリメートル程度、例えば１〜２０ｍｍであり、一方、パッケージの高さＨは、数ミクロン程度、例えば１００〜７５０ミクロンであり、また、パッケージＢＴの深さ（幅）Ｐは、数ミリメートル程度、例えば１〜２０ｍｍである。
【００４５】
また、多孔質シリコンの孔径は、この実施形態では、数ナノメートル程度、一般的には２〜３ナノメートルである。
【００４６】
ここでは、平行六面体形状を有するパッケージを示してきたが、無論、パッケージは、任意の形状、例えば円筒状を成すことができる。
【００４７】
図２において、参照符号ＤＩＳは、電池として使用され得る装置を示している。より正確には、ここで説明される例において、第１のキャビティ３１には、第１の活性物質ＰＡ１、例えば圧縮粉末の形態を成す物質が充填され、一方、第２のキャビティには、第２の活性物質ＰＡ２、例えばこの場合も圧縮粉末が充填される。
【００４８】
例えばシリコンウエハまたはガラスプレートなどの閉塞手段５が、任意の既知の手段によってパッケージの面Ｆ２に結合される。
【００４９】
この場合、活性流体ＬＱＡまたは電解液が、多孔質シリコンの第２の要素２０の全ての自由面を介して装置に入り込んで、多孔質シリコンを通じて流れ、それにより、活性物質ＰＡ１，ＰＡ２と反応することができる。活性流体ＬＱＡは、多孔質シリコンの他の自由面を通じて逃げることもできる。
【００５０】
無論、粉末ＰＡ１，ＰＡ２の粒径および多孔質シリコンの孔径は、活性物質ＰＡ１，ＰＡ２が依然として活性流体ＬＱＡと反応できつつキャビティ３１，３２から逃げないように調整される。
【００５１】
言い換えると、多孔質シリコンの孔径は、粉末の粒径がそのようにできる場合には、２または３ナノメートルを上回ってもよい。
【００５２】
また、第１のシリサイド化部位４１０は活性物質ＰＡ１と接触しており、一方、第２のシリサイド化部位４２０は活性物質ＰＡ２と接触している。このとき、第１の導電接点領域４１は例えば電池の陰極ＡＮを形成し、一方、第２の接点領域４２は例えば電池の陽極ＣＴを形成する。シリサイド化部位４１０，４２０と接触する活性物質ＰＡ１，ＰＡ２間の活性流体ＬＱＡとの相互作用によって、電流が陰極と陽極との間で流れることができ、その結果、装置の端子４１，４２間で電圧差Ｐを利用できる。
【００５３】
パッケージがそれを人体に埋め込むことができるようなサイズを有するときには、装置ＤＩＳをバイオ燃料電池として使用できる。したがって、一例として、Ｐｈｉｌｉｐｐｅ  Ｃｉｎｑｕｉｎによる前述した論文に記載されるものを、活性物質ＰＡ１，ＰＡ２として、また、流体ＬＱＡとして使用することができる。
【００５４】
一般に、パッケージＢＴは、集積回路を製造するためにマイクロエレクトロニクスで用いられるそれ自体知られる従来の技術を使用して容易に形成されてもよい。
【００５５】
一般に、幾つかのパッケージＢＴが同じシリコンウエハを発端として同時に形成される。次に、パッケージの構成要素が完成された後に、得られたパッケージを単体にするためにウエハがダイスカットされる。
【００５６】
パッケージは、例えば、直径が２００ｍｍの半導体ウエハ上に０．３５ミクロン技術で形成されてもよく、あるいは、３００ｍｍ直径のウエハ上に先進のＣＭＯＳ技術で形成されてもよい。
【００５７】
ここで、図１に示されるパッケージなどのパッケージの一実施形態を示すために特に図３〜図７を参照する。簡略化するため、ここでは、たった１つのパッケージの形成について説明する。
【００５８】
図３に示される第１のステップでは、多孔質シリコンがシリコン基板に形成される。当業者に良く知られるように、多孔質シリコンは、フッ化水素酸（ＨＦ）溶液中での固体シリコンの電気化学的陽極酸化によって得られる。
【００５９】
当業者は、所望の多孔質シリコン高さと所望の孔径とを得るために電気化学パラメータを調整する。一例として、数ナノメートル程度、例えば１〜３ナノメートルの孔径を有する多孔質シリコンは、３５％フッ化水素酸溶液中で２０ｍＡ／ｃｍ２の電流密度により陽極酸化されたＰドープされたシリコンを使用することによって得られてもよい。
【００６０】
この電気化学的陽極酸化の後、図３に示される構造が得られ、この構造は、２つの要素の全体の高さが約７５０ミクロンである場合、例えば１０ミクロン未満の高さを有するシリコンの第１の要素１０と、約７４０ミクロンの厚さを有する多孔質シリコンの第２の要素２０とを備える。
【００６１】
真性シリコンのドーピングレベルは例えば１０１５ａｔｏｍｓ／ｃｍ３である。更に高い（１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３よりも大きい）ドーピングレベルが使用されてもよい。次に、図４および図５に示されるように、従来のエッチングマスクを使用して分離トレンチ４１１，４２１が形成される（ここでは図示せず）。これらのトレンチを形成するため、通常は当業者により頭字語ＴＳＶ（貫通シリコンビアホール（ｔｈｒｏｕｇｈ−ｓｉｌｉｃｏｎ  ｖｉａｓ））で表記される基質を貫通するビアホールを形成するためにマイクロエレクトロニクスで使用される技術と同一の技術を使用することができる。例えば、約３〜１０ミクロンの深さを有するトレンチが形成され、これらのトレンチは、絶縁材料、例えば二酸化ケイ素で満たされる。
【００６２】
次に、図６に示されるように、シリサイド化部位４１０，４２０を形成するためのマスクが規定される。このマスクは、例えば窒化ケイ素から成る絶縁層から形成されてもよく、その開口は、分離トレンチ４１１，４２１により境界付けられる内部空間に対応する。
【００６３】
次に、シリサイド化部位４１０，４２０を得るために、シリコンおよび多孔質シリコンが従来のようにマスク４５を通じてシリサイド化される。
【００６４】
次に、図７に示されるように、所望の深さおよび幅のキャビティを得るために、例えば過フッ化炭化水素化合物（例えばＳＦ６またはＣＦ４）を使用するプラズマ化学エッチングによってキャビティ３１，３２が形成される。一例として、キャビティの深さは約７４０ミクロン以上であってもよく、一方、幅は約８０ミクロンであってもよい。
【００６５】
その結果、ここでは多孔質シリコンに形成される２つのキャビティ３１，３２の底壁は、これらの底壁の部分３１０，３２０でシリサイド化領域と接触する。
【００６６】
なお、ここでは、エッチング工程は、絶縁部位４１１の一部とシリサイド化部位４１０の一部とをエッチングしてもよい。
【００６７】
また、キャビティのうちの少なくとも一方は、エッチング工程を使用して、シリコン中へと真っ直ぐに延びることができる。
【００６８】
次に、絶縁層４３（図１）の開口に金属を堆積させることによって接点パッド４１２，４２２が従来のように形成される。
【００６９】
図８は、パッケージＢＴの他の実施形態を示しており、この実施形態では、２つのキャビティ３１，３２が本体の２つの反対側の面Ｆ１，Ｆ２で開口する。
【００７０】
より正確には、第１のキャビティ３１が背面Ｆ２で開口し、一方、第２のキャビティ３２が前面Ｆ１で開口する。
【００７１】
また、第２のシリサイド化部位４２０は、キャビティ３２の側方で延びて（図８および図９）、このキャビティ３２の内部側壁の一部と接触する。
【００７２】
更に、図９に示されるように、シリサイド化部位４２０がキャビティ３２から突出し、それにより、接点パッド４２２がこのシリサイド化部位４２０と接触できる一方で、依然として、図１０に示されるように、このキャビティ３２が第２の活性物質ＰＡ２で満たされた後にキャビティ３２を塞ぐべくカバー５２を適用できる。
【００７３】
図１０の装置ＤＩＳは、背面に、第１のキャビティ３１が第１の活性物質ＰＡ１で満たされた後に第１のキャビティ３１を塞ぐためのカバー５１も含む。
【００７４】
ここでも先と同様に、カバー５１，５２は例えばシリコンまたはガラスカバーであってもよい。
【００７５】
装置ＤＩＳは、ここでも先と同様に第１の接点４１２を陰極ＡＮとして使用するとともに第２の接点４２２を陽極ＣＴとして使用する電池あるいは更にはバイオ燃料電池として使用されてもよい。
【００７６】
無論、図１の実施形態においてであろうとあるいは図９の実施形態においてであろうと、キャビティのサイズが異なってもよい。したがって、陰極側には陽極側よりも大きいキャビティが設けられてもよく、あるいは更には、陰極側で互いに電気的に接続される幾つかの第１のキャビティが設けられてもよい。
【００７７】
図１１は、単一のキャビティ３１を備えるあるいは必要ならば互いに結合される幾つかのキャビティ３１の組を備えるパッケージＢＴの他の実施形態を示している。
【００７８】
図１１に示される例では、単一のキャビティ３１が示される。
【００７９】
パッケージＢＴのこの部分は、先と同様に、先の図に関連して説明した構造と同様の構造を有する。
【００８０】
しかしながら、第２のキャビティが第２のシリサイド化部位４２０と接触して設けられていない。この実施形態では、第２のシリサイド化部位４２０が多孔質シリコンの孔３２２へと直接に開口する。
【００８１】
図１１のパッケージＢＴは、電池あるいは更にはバイオ燃料電池を形成できる装置ＢＩＳの構成要素として使用されてもよい。
【００８２】
より正確には、図１２に示されるように、今回は、例えば粉末形態の活性物質ＰＡ１だけがキャビティ３１内に収容される。その後、キャビティを塞ぐために、前述した態様と同様の態様で背面にカバー５が結合される。
【００８３】
活性流体ＬＱＡは、一方ではシリサイド化部位４２０と相互に作用し、他方ではシリサイド化部位４１０とそれ自体が接触する活性物質ＰＡ１と相互に作用する。活性物質ＰＡ１に電気的に結合される第１の電気接点は例えば陰極ＡＮを形成し、一方、多孔質シリコンを通じて流れる活性流体に電気的に結合される第２の接点は、電池の陽極ＣＴを形成する。
【００８４】
装置は、適した活性物質ＰＡ１および適した活性流体ＬＱＡを用いるバイオ燃料電池、例えば「Ｓｐａｒｋｓ  ｏｆ  Ｌｉｆｅ」と題される前述した論文に記載されるバイオ燃料電池として使用されてもよい。
【００８５】
ここで説明してきた装置がバイオ燃料電池として使用されるようになっている場合、これらの装置は、例えば、Ｐ．Ｃｉｎｑｕｉｎによる前述した論文に記載される態様と同様の態様でそれ自体が人体に埋め込まれるのに適した袋または包装体の中に収容されてもよい。
【符号の説明】
【００８６】
１・・・本体
５・・・閉塞手段
１０・・・第１の要素
２０・・・第２の要素
３１・・・第１のキャビティ
３１０・・・第１のキャビティの内部底壁の一部分
３２・・・第２のキャビティ
３２０・・・第２のキャビティの内部底壁の一部分
４１・・・第１の導電接点領域
４１０・・・第１のシリサイド化部位
４１１、４２１・・・絶縁部位
４１２・・・第１の金属接点パッド
４２・・・第２の導電接点領域
４２０・・・第２のシリサイド化部位
４２２・・・第２の金属接点パッド
４３、４５・・・絶縁層
５１、５２・・・カバー
３２２・・・多孔質シリコンの孔
ＢＴ・・・パッケージ
ＰＡ１・・・第１の活性物質
ＰＡ２・・・第２の活性物質
ＬＱＡ・・・活性流体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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