(57)【要約】前面開放式ウエハ容器は４５０ｍｍ径ウエハに適している。前扉は、扉の側部に外部的に動作可能な一対の掛止機構を有し、各掛止式機構は、扉の上部周縁部および底部周縁部から、容器部分の前面開口部の扉フレームの受容部内に突出可能な一対の掛止チップを有する。扉は、水平に積み重ねられたウエハを支持するウエハクッションを含む。クッションは、間に弓状のウエハ係合部を備えた垂直方向に延びる支持ストリップ領域を有する。弓状のウエハ係合部は扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されている。ウエハクッションは、一対の垂直方向に延びる荷重接合部にある一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において扉の内部に固定されている。各掛止式機構の掛止チップは垂直方向に延びる荷重接合部と垂直に整列している。
2014500616.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面開放式ウエハ容器であって、
前記容器の内部の両側に配置された、４５０ｍｍウエハを保持するための大きさに作られた棚の対向する柱を備えた内部と、前面開口部を画定する扉フレームとを有する容器部分と、
前記容器部分の前面開口部を作動的に閉じる扉と、
を含む前面開放式ウエハ容器において、前記扉が、
それぞれが前記扉の側部において外部的に動作可能な一対の掛止機構であって、各掛止機構が、前記扉の上部周縁部および底部周縁部から、前記扉に配置された受容部内に突出可能な一対の掛止チップを有する、一対の掛止機構と、
離間した積み重ね構成において配置された水平ウエハの前部縁端を支持するためのウエハクッションであって、間に水平に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を有しており、前記弓状のウエハ係合部が前記扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置され、前記前扉の内部表面から離間しており、前記ウエハクッションが、前記容器部分のウエハクッションと後部ウエハ支持部との間における前記ウエハの圧縮保持による荷重が前記ウエハクッションと前記前扉との間に伝達される、一対の垂直方向に延びる荷重接合部にある前記一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において前記扉の内部に固定されている、ウエハクッションと、
前記掛止機構のための複数のロボットアクセス用キー孔であって、前記垂直方向に延びる荷重接合部から水平に外側に向かって離間しており、各々の掛止式機構の掛止チップが前記ロボットアクセス用キー孔から水平に片寄っており、前記掛止チップが前記垂直方向に延びる荷重接合部と垂直線において整列して配置されている、複数のロボットアクセス用キー孔と、
を含む、前面開放式ウエハ容器。
【請求項２】
前記容器がポリカーボネートを含む、請求項１に記載の前面開放式ウエハ容器。
【請求項３】
前記容器がフルオロポリマー類を含む、請求項１に記載の前面開放式ウエハ容器。
【請求項４】
前記容器がポリエーテルエーテルケトンを含む、請求項１に記載の前面開放式ウエハ容器。
【請求項５】
二次ラッチが、前記扉の角を前記ウエハ容器に対してさらに固定するために使用される、請求項１に記載の前面開放式ウエハ容器。
【請求項６】
ウエハ容器であって、
前面開口部を備えた、４５０ｍｍウエハ用の大きさに作られた容器部分と、
前扉であって、前記前面開口部にはめ込むための大きさに作られており、前記扉の上部周縁部および底部周縁部から作動的に突出するようになっている掛止部材を有する２つの掛止機構を備えている前扉と、
前記前扉によって前記２つの掛止機構の掛止部材と垂直整列している位置に支持されているウエハクッションと、
を含む、ウエハ容器。
【請求項７】
前記ウエハクッションが、間に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を含む、請求項６に記載のウエハ容器。
【請求項８】
前記弓状のウエハ係合部が前記前扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されている、請求項７に記載のウエハ容器。
【請求項９】
前記ウエハクッションが、一対の垂直方向に延びる荷重接合部にある前記一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において、前記扉の内部に固定されている、請求項７に記載のウエハ容器。
【請求項１０】
前記前扉が、前記２つの掛止機構を操作するための複数のロボット用キー孔を含む、請求項６に記載のウエハ容器。
【請求項１１】
前記ウエハ容器が、ポリカーボネート類、フルオロポリマー類およびポリエーテルエーテルケトンの１つまたは複数から作製されている、請求項６に記載のウエハ容器。
【請求項１２】
二次ラッチが、前記扉の角を前記ウエハ容器に対してさらに固定するために使用されている、請求項６に記載のウエハ容器。
【請求項１３】
前面開放式ウエハ容器のための前扉であって、
前扉構造であって、前記前扉構造の上部周縁部および底部周縁部から作動的に突出するようになっており、前面開放式ウエハ容器の扉フレームとの掛止機構係合部を提供している掛止機構を備えた前扉構造と、
ウエハクッションであって、前記掛止機構係合部と実質的に垂直整列しているウエハクッションと前記前扉構造との間に垂直方向に延びるウエハ荷重担持接合部を有するウエハクッションと、
を含む、前扉。
【請求項１４】
前記ウエハクッションが、間に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を含む、請求項１３に記載の前扉。
【請求項１５】
前記ウエハクッションが、前記垂直方向に延びるウエハ荷重担持接合部にある前記一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において、前記前扉の内部に固定されている、請求項１４に記載の前扉。
【請求項１６】
前記弓状のウエハ係合部が前記前扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されている、請求項１５に記載の前扉。
【請求項１７】
前記前扉が、前記掛止機構を操作するための複数のロボット用キー孔を含む、請求項１３に記載の前扉。
【請求項１８】
二次ラッチが、前記扉の角を前記ウエハ容器に対してさらに固定するために使用されている、請求項１３に記載の前扉。
【請求項１９】
前面開放式ウエハ容器のための前扉であって、
前記前扉の内部表面にある中心凹部を備えた扉ハウジングであって、前記凹部が少なくとも２つの深さレベルを有し、前記少なくとも２つの深さレベルが、
前記凹部内の中央に配置されている前記少なくとも２つの深さレベルのうち第１のより深い深さレベルと、
前記凹部の縁に配置されており、前記扉に、ウエハクッション取付部または前記ウエハクッションのウエハ荷重担持位置を有している前記少なくとも２つの深さレベルのうち第２のより浅い深さレベルであって、前記第２のより浅い深さレベルにより、扉機構が、前記扉ハウジング内において、前記前扉の、前記ウエハクッション取付位置または前記ウエハクッションの荷重担持位置の直前にあることが可能になる、第２のより浅い深さレベルと、
を含む、扉ハウジング
を含む、前扉。
【請求項２０】
前面開放式ウエハ容器のための前扉であって、
扉ハウジングと、
前記扉ハウジングの内部表面にある、水平に積み重ねられたウエハを担持するためのウエハクッションと、
前記ウエハの係合による荷重を担持する、前記扉ハウジングの内部表面にある前記ウエハクッションの部分と垂直整列している、複数のウエハ掛止タブと、
を含む、前扉。
【請求項２１】
前記ウエハクッションが、間に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を含む、請求項２０に記載の前扉。
【請求項２２】
前記ウエハクッションが、前記垂直方向に延びるウエハ荷重担持接合部にある前記一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において前記前扉の内部に固定されている、請求項２１に記載の前扉。
【請求項２３】
前記弓状のウエハ係合部が前記扉ハウジングの内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されている、請求項２２に記載の前扉。
【請求項２４】
前記前扉が、ポリカーボネート類、フルオロポリマー類およびポリエーテルエーテルケトンの１つまたは複数から作製される、請求項２０に記載の前扉。
【請求項２５】
前面開放式ウエハ容器内における扉のたわみを最小化する方法であって、
ウエハ容器を用意するステップと、
垂直支持部材により前記扉によって支持された一組の内側に配置されたウエハ支持クッションを有する前記ウエハ容器のための前扉を用意するステップと、
前記前扉を前記ウエハ容器内に保持するため、一組の掛止機構を前記支持部材と垂直整列している位置から展開するステップと、
を含む、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は概して、半導体ウエハを搬送および／または貯蔵するための容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータチップなどの集積回路はシリコンウエハから製造される。シリコンウエハは、それら輸送時および製造工程段階間において極めて清浄かつ汚染のない環境に維持される必要がある。半導体ウエハを搬送および／または貯蔵するための容器のさらなる、必要とされる、もしくは望ましい特性には、軽量、剛性、清浄度、限定的なガスの排出および費用対効果の高い製造性を含む。容器が閉じられると、容器はウエハを気密またはほぼ気密に分離する。簡潔に述べると、このような容器では、ウエハを、清浄に、汚染なく、損傷なく維持することが必要である。
【０００３】
数十年もの間、工程段階間においてウエハを搬送および貯蔵するためにプラスチック容器が使用されてきた。選択した高分子材料が適切な特性を提供している。このような容器は、加工装置ならびに容器を搬送する装置／ロボットとの接続のため高度に制御された公差を有する。さらに、そのようなプラスチック容器では、ねじなどの金属締結具を使用することなく取り付け可能および取り外し可能な構成要素を利用することが望ましい。金属締結具は挿入されるおよび取り外されるときに微粒子を生じる原因となる。
【０００４】
費用効率および製造能力の向上によって、半導体の製造に使用されるウエハのサイズは増加している。今では、３００ｍｍウエハを使用している製造設備もある。ウエハのサイズが増加しており、回路の密度が増加しているため、回路がより小さな微粒子および他の汚染物質の影響を受けやくなる。したがって、ウエハのサイズの増加により容器のサイズも増加し、ウエハがより小さな微粒子および他の汚染物質の影響をより受けやすくなっているため、ウエハを清浄かつ汚染物質のない状態に維持することへの要求がより厳しくなっている。加えて、キャリアは、容器の上部に配置されたロボットフランジによるキャリアの持ち上げを含む、ロボットによるハンドリングの厳密さの下でこれら機能を維持する必要がある。
【０００５】
前面開放式ウエハ容器（ｆｒｏｎｔ  ｏｐｅｎｉｎｇ  ｗａｆｅｒ  ｃｏｎｔａｉｎｅｒ）は、大径の３００ｍｍウエハの搬送および貯蔵用の業界標準になっている。そのようなウエハ容器では、前扉は、容器部分に掛止可能であり、前面アクセス開口部（ｆｒｏｎｔ  ａｃｃｅｓｓ  ｏｐｅｎｉｎｇ）を閉じている。前面アクセス開口部を通じてウエハがロボットにより挿入され、かつ取り出される。容器にウエハが完全に装填されると、扉は容器部分の扉フレーム内に挿入され、それに掛止される。着座すると、扉上のクッションは、その後、上方、下方および内方向への拘束を提供する。
【０００６】
大きなウエハを保持および／または搬送するための前面開放式プラスチック容器、例えば、３００ｍｍ容器の製造において明らかになった問題は、容器が持ち上げられたとき、容器の上部、底部、側部、前部および後部に使用したプラスチックの拡張部が装填したウエハにより増加した重量のせいで曲がる場合があり、また、容器の前扉および後側にあるウエハクッションの間にウエハを保持することにより、前扉および後側が外側に向かって曲がる場合があることである。
【０００７】
半導体業界では、現在、大型の４５０ｍｍ径ウエハの利用に移行しているところである。大径ウエハは、費用効率は提供しても、もろさの増加、重量の増加およびプラスチック製の容器内における大型のウエハの取り扱いおよび貯蔵に関連する明らかにされていない問題も生じさせる。上部、底部、側部、前部および後部のプラスチックの拡張部に関連する湾曲および付随する問題は悪化する。
【０００８】
加工されるウエハのサイズの大幅な増加により、小型サイズのウエハにはなかった新規の課題および問題が発生している。容器内のウエハの数およびウエハ間の間隔などの４５０ｍｍウエハの基準の多くは、既存設備の互換性および費用圧力のため、３００ｍｍウエハ容器の基準とほとんど同じままであることが多い。また、当然、ウエハの直径が大きくなるとそれに応じてウエハは重くなる。標準的な３００ｍｍ容器内に提供されるのと同じ数の４５０ｍｍウエハを保持するウエハ容器は約１８．１４キログラム（４０ポンド）の重量になると予想される。この重量では、手動での取り扱いがより困難になり始める。
【０００９】
同等の厚さの高分子壁を大きな容器に使用すると容器の十分な構造的剛性を得られない可能性がある。つまり、高分子の寸法が大きくなり、拡張部が大きくなるために、装填、搬送および輸送下における容器の寸法安定性が低下することが予想される。壁を厚くし、大きな補強構造を追加すると４５０ｍｍウエハ容器の重量はさらに増加することになる。
【００１０】
さらに、従来の３００ｍｍウエハ容器は、通常、射出成形される。大型の容器の寸法を、同様の射出成形法ならびに同様のまたはより大きな壁の厚さを用いて適切に制御することは困難であることが予想される。現在、３００ｍｍウエハ容器では、一般に、ウエハと、外部装置、すなわち、ウエハ支持部および運動学的な結合機械インターフェイスとを接続する構成要素を配置するための主要構造部材としてシェルを利用している。
【００１１】
加えて、扉を密封的に受容する開放前面の面積が増加すると、開いた内部容積が大幅に増加する。これは扉と容器部分との間の密封問題がさらに困難になることを示唆している。
【００１２】
大きな寸法のウエハは、また、極めて大きなたるみを有し、取り扱いおよび搬送時により破損しやすくなるため、小さなウエハには必要のない独自の支持が必要となる。このたるみの増加は、ロボットアームによるロボット的なウエハの配置および取り出しをなお可能にする一方で、ウエハ間における所望の間隔の維持において課題を示す。
【００１３】
したがって、ウエハのたるみを最小化するため、および容器の重量を最小化するための設計特性を有する、４５０ｍｍウエハ容器用の前面開放式構成を開発ことが望ましい。加えて、扉の密封特性を向上させる構成が望ましい。さらに、ウエハのロボットによる取り扱い時、ウエハ容器内における４５０ｍｍウエハの貯蔵に適応するために強化されたウエハ支持部を提供する構成も望ましい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は上記した懸案を鑑みてなされたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
４５０ｍｍに適した前面開放式ウエハ容器は、前面開口部と、前面開口部を閉じる前扉とを有する容器部分を有する。前扉は、扉の左側および右側のそれぞれにおいて外部的に動作可能な一対の掛止機構を有する。各掛止式機構は、扉の上部周縁部および底部周縁部から、容器部分の前面開口部を画定する扉フレームに配置された受容部内に突出可能な一対の掛止チップを有する。離間した積み重ね構成において配置された水平ウエハの前部縁端をウエハクッションが支持する。本発明の一実施形態では、ウエハクッションは、その間に水平に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ領域を有する。弓状のウエハ係合部は、扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されている。弓状のウエハ係合部は前扉の内部表面から離間している。ウエハクッションは、ウエハクッションと後部ウエハ支持部との間におけるウエハの圧縮保持による荷重がウエハクッションと前扉との間に伝達される、一対の垂直方向に延びる荷重接合部（ｌｏａｄｉｎｇ  ｊｕｎｃｔｕｒｅ）にある一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において扉の内部に固定されている。掛止機構のロボットアクセス用キー孔は、垂直方向に延びる荷重接合部から水平に外側に向かって離間している。各々の掛止機構の掛止チップはロボットアクセス用キー孔から水平に片寄っており、掛止チップは垂直方向に延びる荷重接合部と垂直線において整列している。
【００１６】
これまで認識されていなかった問題は、前扉のクッションと係合するウエハの重量により、ｚ方向における相当な力の成分を生じ、主として扉ならびに後壁の外側への湾曲により示される、ｚ方向における容器の歪みの原因となるおそれがあることである。上部ウエハのある扉の上部縁端の近傍から底部ウエハのある扉の底部縁端まで、および扉の中心部において荷重がかけられるため、この力により、扉の扉フレームへの取り付け箇所が中心力受容領域（ｃｅｎｔｒａｌ  ｆｏｒｃｅ  ｒｅｃｅｉｖｉｎｇ  ｒｅｇｉｏｎ）の外側に水平に配置されている位置において、扉の反りが促進される。この力は、特に４５０ｍｍウエハ容器という状況において扉と扉フレームとの間のシールの完全性に影響しうる扉のたわみ問題を引き起こすおそれがあることがわかっている。
【００１７】
本発明の実施形態の特徴および利点は、ウエハ保持力が扉に直に伝達され、扉を横断して通過しないことである。
本発明の実施形態の特徴および利点は、扉ラッチがウエハ保持取付物と並んでいることである。これは扉のたわみを最小限にする。
【００１８】
本発明のさらなる利点および特徴は、ウエハによる扉の荷重が中心垂直領域に延びるため１つの基準水平から次の基準水平まで実質的に均一であり、かつ、扉と扉フレームとのラッチが、通常、扉フレームの上部部分および底部部分にあるため、水平（ｘ方向）軸線を中心とした扉の最小限の反りが扉に生じることである。したがって、垂直（ｙ方向）軸線を中心としたあらゆる反りに関して反り成分を除去することによって、扉の扉フレームシールに対する完全性および均一性を、大径ウエハ容器、特に４５０ｍｍ容器において向上させることができる。
【００１９】
本発明の一実施形態では、ウエハクッションと前扉構造との間に垂直方向に延びるウエハ荷重担持接合部は、実質的に扉フレームとの掛止機構係合部と垂直整列している。
本発明の一実施形態では、前扉の内部表面上の中心凹部は少なくとも２つの深さレベルを有しており、少なくとも２つの深さレベルのうち最も深いものが凹部内の中央に配置されている。より浅い深さレベルは凹部の縁に配置されており、扉に、ウエハクッション取付部またはウエハクッションのウエハ荷重担持位置を有している。より浅い深さの第２のレベルにより、扉機構が、扉ハウジング内において、扉の、前記ウエハ取付位置またはウエハクッションの荷重担持位置の直前にあることが可能となる。この凹部の圧力は３００ｍｍウエハ容器では一般的であり、多くの４５０ｍｍ容器の扉では、中心凹部がなければ、扉機能は均一な厚さの扉よりも反りやすくなる傾向がある。
【００２０】
本発明の別の実施形態は、前面開放式ウエハ容器に関する。ウエハ容器は、内部の容器の両側に配置された、４５０ｍｍウエハを保持するための大きさに作られた棚の対向する柱を備えた内部を有する容器部分と、前面開口部を画定する扉フレームとを含む。ウエハ容器は、また、容器部分の前面開口部を作動的に閉じる扉を含む。扉は、それぞれが扉の側部において外部的に動作可能な一対の掛止機構を含み、各掛止機構は、扉の上部周縁部および底部周縁部から、扉フレームに配置された受容部内に突出可能な一対の掛止チップを有する。扉は、また、離間した積み重ね構成において配置された水平ウエハの前部縁端を支持するためのウエハクッションを含み、その間に水平に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を有する。弓状のウエハ係合部は扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されており、前扉の内部表面から離間している。ウエハクッションは、容器部分のウエハクッションと後部ウエハ支持部との間におけるウエハの圧縮保持による荷重がウエハクッションと前扉との間に伝達される、一対の垂直方向に延びる荷重接合部にある一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において扉の内部に固定されている。扉は、また、垂直方向に延びる荷重接合部から水平に外側に向かって離間した、掛止機構のための複数のロボットアクセス用キー孔を含む。各々の掛止式機構の掛止式チップはロボットアクセス用キー孔から水平に片寄っており、掛止式チップは垂直方向に延びる荷重接合部と垂直線において整列して配置されている。ウエハは４５０ｍｍ径ウエハであってもよい。
【００２１】
本発明の他の実施形態は、前面開口部と、前扉と、ウエハクッションとを備えた容器部分を含む、４５０ｍｍウエハ用の大きさに作られたウエハ容器に関する。前扉は、前面開口部にはめ込むための大きさに作られており、扉の上部周縁部および底部周縁部から作動的に突出するようになっている掛止部材を有する２つの掛止機構を備えている。ウエハクッションは、前扉によって２つの掛止機構の掛止部材と垂直整列している位置に支持されている。
【００２２】
本発明の一実施形態は、前面開放式ウエハ容器のための前扉を含む。前扉は、前面開放式ウエハ容器の扉フレームとの掛止機構係合部を提供するために、前扉構造の上部周縁部および底部周縁部から作動的に突出するようになっている掛止機構を備えた前扉構造を含む。前扉は、また、掛止機構係合部と実質的に垂直整列している、ウエハクッションと前扉構造との間に垂直方向に延びるウエハ荷重担持接合部を有するウエハクッションを含む。
【００２３】
本発明のさらなる実施形態は、前面開放式ウエハ容器のための前扉に関する。前扉は、前扉の内部表面にある中心凹部を備えた扉ハウジングを含み、凹部は少なくとも２つの深さレベルを有する。少なくとも２つの深さレベルのうち第１のより深い深さレベルは凹部内の中央に配置されている。少なくとも２つの深さレベルのうち第２のより浅い深さレベルは凹部の縁に配置されており、扉に、ウエハクッション取付部またはウエハクッションのウエハ荷重担持位置を有している。この実施形態では、第２のより浅い深さレベルにより、扉機構が、扉ハウジング内において、前扉の、ウエハクッション取付位置またはウエハクッションの荷重担持位置の直前にあることが可能になる。
【００２４】
別の実施形態は、前面開放式ウエハ容器のための前扉を含む。前扉は、扉ハウジングと、ウエハクッションと、複数のウエハ掛止タブとを含む。扉ハウジングの内部表面上のウエハクッションは水平に積み重ねられたウエハを担持するようになっている。複数のウエハ掛止タブは、ウエハの係合による荷重を担持する、扉ハウジングの内部表面にあるウエハクッションの部分と垂直整列している。
【００２５】
他の実施形態は、前面開放式ウエハ容器内における扉のたわみを最小化するための方法を含む。そのような方法には、ウエハ容器を用意するステップと、垂直支持部材により扉によって支持された一組の内側に配置されたウエハ支持クッションを有するウエハ容器のための前扉を用意するステップと、前扉をウエハ容器内に保持するため、一組の掛止機構を支持部材と垂直整列している位置から展開するステップと、を含む。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明による前面開放式ウエハ容器を示す斜視図。
【図２】本明細書中における本発明による前扉の内部表面を示す斜視図。
【図３】本明細書中における本発明に従う前扉の別の内部表面を示す斜視図。
【図４】本明細書中における本発明に従う前扉の別の内部表面を示す斜視図。
【図５】ウエハクッションおよび掛止チップの配置を示す容器部分における前扉の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
図１を参照すると、前面開放式ウエハ容器２０が示され、全般的に、上部壁２３と、一対の側壁２４、２５と、後壁２６と、前面開口部２９を画定する扉フレーム２８と、開いた前面を閉じるように構成された前扉３０とを有する容器部分２２を含む。扉は、扉ハウジング４４の内部に位置する掛止機構４２に通じる一対のキー穴３６，３８を有する。このような掛止機構は、一般に、米国特許第４９９５４３０号明細書、米国特許第７１８２２０３号明細書または米国特許第７１６８５８７号明細書に示されているように構成することができる。これらのすべては本出願の権利者により所有され、すべてが参照により本明細書中に組み込まれる。扉は、外部表面５０と、周縁部５４と、内部表面５６とを有する。長穴６０が周縁部に配置されており、扉フレームの内部表面にある凹部７０に係合および解放するために、掛止タブ６４またはチップが扉から突出すること、およびそれらを扉に引き込むことを可能にする。シールまたはガスケット７２は、ラッチが作動されたときに扉を密封的に閉じるため扉の周縁に追従し、扉フレームに係合している。複数のウエハ係合部７６を含むウエハクッション７４は、前扉の内部表面の凹部８０内に配置されている。凹部８０は、扉の上部から扉の底部まで延びており、扉の左側および右側に対して中央に配置されている。
【００２８】
容器部分２２は、容器部分の内側側部に棚８４の形態のウエハ支持部と、また、後部に、ウエハの後部縁端に係合するための（９０度回転させた）Ｖ字形の溝を有するクッションとして、または剛性支持部として構成されてもよい支持部８６とを有する。扉が所定の位置に設置および掛止されると、ウエハが持ち上げられてもよい。これは４５０ｍｍの分野において採用される傾向にある。ウエハの持ち上げの動作については、本発明の権利者により所有されており、参照により本明細書中に組み込む米国特許第６２６７２４５号明細書に示されている。ウエハは、扉の内部表面にあるウエハクッションと、容器部分の後部にあるウエハ支持部との間において圧縮される。
【００２９】
図２、３、４および５に最も良く示されるように、ウエハ掛止チップまたはタブ６４が、前記前部クッションと後部ウエハ支持部との間にウエハを圧縮している、ウエハの係合による荷重を担持する、前扉の内部表面にあるウエハクッションの部分と垂直に整列している。前記整列は、曲げモーメントが扉に付与されることを排除する。曲げモーメントは、特に、４５０ｍｍウエハに関連する拡張部において、扉の密封問題はもとより、容器が閉じているときのウエハの確実な拘束の維持における問題を生じさせるおそれがある。キー穴または従来よりそのような掛止機構を駆動する回転式ホイールの中心からの掛止チップの片寄りを提供する掛式機構が、前に参照によって組み込まれた米国特許第７１８２２０３号明細書に示されている。
【００３０】
図２〜５のそれぞれでは、位置８８において、前扉３０の上部周縁部および底部周縁部の周りの位置にあるウエハ保持取付物と並んだ扉ラッチが見られる。４５０ｍｍウエハ９９を含む配置の断面図を図５に示す。図５に示すように、ウエハクッション７４により作用されるウエハ保持力（Ｆ）がラッチ６４に直に伝達される。この配置では、扉の外側への湾曲を引き起こす曲げモーメントをほとんどまたはまったく扉３０に作用することができない。したがって、ウエハ保持力がラッチ６４から片寄っていない場合、たわみが最小化される。垂直方向に延びる支持ストリップ部９０およびウエハクッション７４の弓状のウエハ係合部９２の配置は図２〜５からより良く理解されうる。さらに、一対の垂直方向に延びる荷重接合部９４における、垂直方向に延びる支持ストリップ部９０の固定についても図５の断面図に示される。
【００３１】
追加の二次掛止構造９８をさらに図３に見ることができる。二次ラッチ９８を、さらに、前扉３０の周縁部の上部および底部の角の近辺に含んでもよい。これら二次掛止構造９８は、掛止タブ６４の動作と同様、外側に向かって突出することができ、したがって、扉３０の角の容器２２に対するさらなる固定を提供することができる。
【００３２】
本出願の全体にわたり説明される種々の実施形態では、種々のウエハ容器構成要素を、全般的に、半導体ウエハに通常使用される高分子から射出成形してもよい。例えば、ポリカーボネート類、フルオロポリマー類、ポリエーテルエーテルケトンである。
【００３３】
また、１つまたは複数の例示的な実施形態は単に例であり、本発明の範囲、適用性または構成をいかようにも限定することを意図するものではないことを理解すべきである。むしろ、前述の詳細な説明は１つまたは複数の例示的な実施形態を実施するための可能な開示を当業者に提供するものである。添付の特許請求の範囲およびその法的均等物において説明する本発明の範囲から逸脱することなく要素の機能および配置に種々の変更を施すことができることを理解すべきである。
【００３４】
上記実施形態は例証的なものであり、限定的なものではない。追加の実施形態は特許請求の範囲内に含まれる。本発明は特定の実施形態を参照して記載されているが、当業者であれば、本発明の精神および範囲から逸脱することなく形態および細部に変更を施してもよいことを理解するであろう。
【００３５】
当業者がこの開示を読むと本発明に対する種々の変更が明らかとなろう。例えば、関連技術において通常の技量を有する者であれば、本発明の異なる実施形態において記載した種々の特徴を、本発明の精神内において、他の特徴と、単独で、または種々の組み合わせにおいて、適切に組み合わせることも、組み合わせないことも、再び組み合わせることもできることは理解されよう。同様に、上記の種々の特徴はすべて、本発明の範囲または精神を限定するというよりもむしろ、実施形態例とみなされるべきである。したがって、上記は本発明の範囲を限定するものと企図されるものではない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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