(57)【要約】  本発明は、半導体ウェハを個々の半導体ダイへと個片化するための方法であって、半導体ウェハの上面は、金属プレコネクションでバンプを形成され、金属プレコネクションバンプを覆いかつその周りに配置されたアンダーフィルのコーティングを有する。本方法は、（Ａ）金属プレコネクションバンプのアレイおよび金属プレコネクションバンプを覆いかつその周りに配置されたアンダーフィルのコーティングを有する上面を有する半導体ウェハを用意するステップと、（Ｂ）金属プレコネクションバンプ間でアンダーフィルを貫通し、最終的な所望のウェハ厚さまで半導体ウェハの上面中へとダイシングして、ダイシングラインを作るステップと、（Ｃ）少なくともダイシングラインの深さまでウェハの裏面からウェハ材料を除去し、このようにしてウェハから得られるダイを個片化するステップとを含む。
2014529182.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
個々の半導体ダイへと半導体ウェハを個片化するための方法であって、半導体ウェハの上面が金属プレコネクションでバンプを形成され、金属プレコネクションバンプを覆いかつその周りに配置されたアンダーフィルのコーティングを有する方法において、
（Ａ）金属プレコネクションバンプのアレイおよび金属プレコネクションバンプを覆いかつその周りに配置されたアンダーフィルのコーティングを有する上面を有する半導体ウェハを用意するステップと、
（Ｂ）金属プレコネクションバンプ間でアンダーフィルを貫通し、最終的な所望のウェハ厚さまで半導体ウェハの上面中へとダイシングして、ダイシングラインを作るステップと、
（Ｃ）少なくともダイシングラインの深さまでウェハの裏面からウェハ材料を除去し、これによってウェハから得られるダイを個片化するステップと
を含む方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、２０１１年７月２９日に出願された米国特許出願第６１／５１３，１４６号の優先権を主張し、その内容は、参照により本明細書中に組み込まれる。
【０００２】
本発明は、アンダーフィル封止材を有する半導体ウェハを製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
電気装置および電子装置の小型化およびスリム化は、より薄い半導体デバイスおよびより薄い半導体パッケージングの両者についての必要性をもたらしている。
【０００４】
より薄い半導体ダイを製造する方法は、個々のダイがダイシングされる半導体ウェハの裏面から余分な材料を除去することである。余分なウェハの除去は、典型的には、一般に裏面グラインディングと呼ばれるグラインディングプロセスで行われる。ウェハを薄くする前にウェハが個々の半導体回路へとダイシングされるとき、そのプロセスは、「グラインディング前ダイシング」すなわちＤＢＧと呼ばれる。
【０００５】
より小さくかつより効率的な半導体パッケージを製造する方法は、パッケージの能動面に取り付けられた金属バンプのアレイを有するパッケージを利用することである。金属バンプは、基板上にボンディングパッドと位置が合うように配置される。金属バンプが溶融物へとリフローすると、バンプはボンディングパッドと接続して、電気的接続および機械的接続の両方を形成する。
【０００６】
熱的なミスマッチが、ウェハ材料、金属バンプ、および基板の間に存在し、熱サイクルを繰り返すことで金属相互接続に応力を生じさせる。これが、潜在的に故障の原因になることがある。これを相殺するために、アンダーフィルと呼ばれる封止材料が、金属バンプを囲みかつ支持するギャップ内で、ウェハと基板との間に配置される。
【０００７】
ダイの個片化後に行うような個々にというより複数の集積回路を同時に処理することを可能にするため、半導体パッケージ製造における現在の傾向はウェハレベルで可能な限り多くのプロセスステップを終わらせることを好む。ウェハを個々の半導体ダイへとダイシングする前に金属バンプのアレイおよびウェハ回路を覆ってアンダーフィル封止材を付けることは、ウェハレベルで実行される作業の１つである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
典型的なプロセスでは、金属プレコネクションでバンプを形成した半導体ウェハは、金属バンプを覆ってアンダーフィル材料でコーティングされる。バックグラインディングテープと呼ばれる支持テープを、ウェハの上面上にアンダーフィル材料を覆って積層する。ウェハの裏面からウェハ材料を、グラインディングまたは別の手段によって除去する。バックグラインディングテープはウェハの上面上のアンダーフィルから除去される。ダイシングテープは、ウェハの裏面に付けられ、後に続くダイシング中にウェハを支持する。ダイシングは費用がかかるレーザにより行うか、ダイシングブレードにより機械的に行うことができる。薄くしたウェハが特に脆いために、費用がかからないとはいえ、ダイシングブレードの使用は、ウェハ、回路、およびアンダーフィルを損傷させることがある。
【０００９】
これにより、機械的なダイシング作業がバンプを形成したウェハおよびアンダーフィルに損傷を与えずに、アンダーフィルを事前に付けることができる半導体ウェハを個々の半導体ダイへと個片化するプロセスが必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、半導体ウェハを個々の半導体ダイへと個片化するための方法であって、半導体ウェハの上面は、金属プレコネクションでバンプを形成され、金属プレコネクションバンプを覆いかつその周りに配置されたアンダーフィルのコーティングを有する。
【００１１】
本方法は、（Ａ）金属プレコネクションバンプのアレイおよび金属プレコネクションバンプを覆いかつその周りに配置されたアンダーフィルのコーティングを有する上面を有する半導体ウェハを用意するステップと、（Ｂ）金属プレコネクションバンプ間でアンダーフィルを貫通し、最終的な所望のウェハ厚さまで半導体ウェハの上面中へとダイシングして、ダイシングラインを作るステップと、（Ｃ）ダイシングラインの深さまでウェハの裏面からウェハ材料を除去し、このようにしてウェハから得られるダイを個片化するステップとを含む。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】事前に付けられたアンダーフィル材料を有するウェハを個片化するための従来技術プロセスの概略図である。
【図２】事前に付けられたアンダーフィル材料を有するウェハを個片化するための本発明のプロセスの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
半導体ウェハを、半導体材料、典型的には、シリコン、ガリウムヒ素、ゲルマニウム、または類似の化合物半導体材料から製造する。ウェハの上面上に能動回路および金属バンプを、業界文献に良く文書化された半導体および金属製造方法にしたがって作る。
【００１４】
ダイシング作業中にウェハを支持するために、ダイシングテープを典型的には使用する。ダイシングテープは、多数の供給元から市販されており、キャリア上の感熱性接着剤、感圧性接着剤、または感ＵＶ性接着剤の形態とすることができる。キャリアは、典型的にはポリオレフィンまたはポリイミドの可撓性基板である。熱、引張り応力、またはＵＶがそれぞれ加えられると、接着性は低下する。通常は、リリースライナが、接着層を覆い、ダイシングテープの使用の直前に容易に除去され得る。ＤＢＧプロセスでは、ダイシングテープを、ウェハの裏面に付け、ダイシング溝を、裏面グラインディングが行われるレベルを満足するまでまたは通過する深さまでウェハの上面の回路の間を切り込む。
【００１５】
ウェハ薄膜化プロセス中に金属バンプおよびウェハの上面を保護し支持するために、バックグラインディングテープを使用する。バックグラインディングテープは、多数の供給元から市販されており、キャリア上の感熱性接着剤、感圧性接着剤、または感ＵＶ性接着剤からなる一形態である。キャリアは、典型的にはポリオレフィンまたはポリイミドの可撓性基板である。熱、引張り応力、またはＵＶがそれぞれ加えられると、接着性は低下する。通常は、リリースライナが、接着層を覆い、バックグラインディングテープの使用の直前に容易に除去され得る。バックグラインディング作業を、機械的グラインディングまたはエッチングによって実行することができる。ダイを個片化するダイシング溝に達するまたは超えるまで、ウェハの裏面上の材料を除去する。
【００１６】
アンダーフィル封止材は、典型的にはペーストまたは膜の形態で付けられる。スプレイ、スピンコーティング、スクリーン印刷、または業界において使用される方法のいずれかによって、ペーストを付けることができる。一様な厚さに付けることが面倒でなく容易であるために、膜の形態のアンダーフィルがしばしば好まれる。アンダーフィルの化学的性質として適しており、膜の形態とすることができる接着剤および封止材は、膜自体を作る方法と同様に知られている。アンダーフィル材料の厚さは調節することができ、その結果、金属バンプを積層化の後で完全にも部分的だけにも覆うことができる。いずれのケースにおいても、アンダーフィル材料が半導体と目的とする基板との間の空間を完全に満たすように、アンダーフィル材料は供給される。
【００１７】
一実施形態では、アンダーフィル材料は、キャリア上に供給され、リリースライナで保護される。したがって、１つの仕様のアンダーフィル材料は、第１の層が可撓性ポリオレフィンまたはポリイミドテープなどのキャリアであり、第２の層がアンダーフィル材料であり、そして第３の層がリリースライナである、この順番の３層の形態で設けられる。使用の直前に、リリースライナを除去し、まだキャリアに付けられているときに、アンダーフィルを典型的には付ける。ウェハにアンダーフィルを付けた後で、キャリアを除去する。
【００１８】
図を参照して、本発明をさらに説明する。図１は、一上面上に能動回路１２および金属バンプのアレイ１３を有するシリコンウェハ１１をダイシングする従来技術の方法を示す。能動回路および金属バンプを、アンダーフィル材料１４ではじめに封止する。ウェハを支持しかつアンダーフィルを保護するために、バックグラインディングテープ１５を、アンダーフィル１４に積層し、その後で、グラインディングブレード１６または実施者によって選択される任意の別の適切な方法によって、ウェハの裏面は厚さを薄くされる。
【００１９】
バックグラインディングの後で、ダイシング中およびダイシングが行われた後でウェハを支持しかつ所定の位置にダイを保つために、ダイシングテープ１８をウェハの裏面に付ける。バックグラインディングテープ１５をウェハから除去し、個々のダイへと回路を個片化するために、アンダーフィルを貫通しかつ能動回路の周りの空間内のウェハ中へとダイシングトレンチ（ダイシングラインとも呼ばれる）を、ダイシングブレード１９を使用して切り込む。要素１７は、ダイシングライン、そして最終的にはダイシングおよび個片化の後の個々の半導体間の空間を表す。バックグラインディング中にウェハを薄くすると、ウェハは非常に脆くなり、切断ブレードの機械的な応力によってダイシング作業中に能動回路が損傷を受けることがある。これを補うために、切断速度を低下させる。能動回路への損傷および切断速度の低下は、製造量を低下させ、費用を増加させる。
【００２０】
アンダーフィル封止の後で、かつグラインディングの前にダイシングを行う本発明の方法を、図２に描く。能動回路１２および金属バンプのアレイ１３を有するシリコンウェハ１１を用意し、能動回路および金属バンプを、アンダーフィル材料１４で封止する。ウェハの裏面がダイシングテープと接触する状態で、ウェハをダイシングテープ１８上に設置する。ダイシングブレード１９は、アンダーフィルを貫通しかつ能動回路の周りの空間内のウェハ中へと切り込み、ダイシングライン１７を作る。個片化の後で、要素１７は、個々の半導体間の空間を表す。ウェハの最終的な厚さのために望まれる深さまでまたはそれを超える深さまで、ダイシングラインをウェハ中へと切り込む。ウェハの上面上のアンダーフィルに、バックグラインディングテープ１５を積層し、ダイシングテープ１８をウェハの裏面から除去する。次に、グラインディングブレード１９を用いたグラインディング、または実施者によって選択される任意の別の適切な方法などによって、ウェハの裏面は厚さを薄くされる。厚さを薄くすることを、少なくともダイシングラインの深さまで行い、あらゆる所望なウェハの最終の厚さまで、さらに行うことができる。少なくともダイシングラインの深さまでウェハの裏面を薄くすることによって、ウェハを、個々のダイへと個片化する。
【図１】
2014529182.tif 000003
【図２】
2014529182.tif 000004
【国際調査報告】
2014529182.tif 000005
2014529182.tif 000006