(57)【要約】  本発明は、電気回路の検査・修復システムに用いられる、改良された使い易い光学技術の提供を目的する。この課題の解決の手段として、本発明は、修復用レーザビームの特定の波長の収差を修正可能なスキャンレンズと、カメラのカメラレンズであって、該スキャンレンズを介して検査品からの光を捕捉することが可能で、該カメラによって検知された該修復用レーザビームの該特定の波長以外の１つ以上の特定の波長の収差を修正可能なカメラレンズと、を備える電気回路の検査・修復・検査システム用レンズアセンブリを提供する。 【選択図】図１
2014529734.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
修復用レーザビームの特定の波長の収差を修正可能なスキャンレンズと、
カメラのカメラレンズであって、該スキャンレンズを介して検査品からの光を捕捉することが可能で、該カメラによって検知された該修復用レーザビームの該特定の波長以外の１つ以上の特定の波長の収差を修正可能なカメラレンズと、
を備える電気回路の検査・修復・検査システム用レンズアセンブリ。
【請求項２】
該スキャンレンズの上流側に位置する走査ミラーに付随した入射瞳をさらに有する、請求項１に記載のレンズアセンブリ。
【請求項３】
該入射瞳は該走査ミラーの光学的中心に位置する、請求項２に記載のレンズアセンブリ。
【請求項４】
該修復用レーザビームの該特定の波長は２６６ｎｍである、請求項１に記載のレンズアセンブリ。
【請求項５】
該カメラによって検知された該１つ以上の特定の波長は、範囲４６０−４８０ｎｍと範囲５２０−５４０ｎｍとの少なくとも１つの範囲から選択される、請求項１に記載のレンズアセンブリ。
【請求項６】
該レーザビームを発振できるレーザをさらに有し、該レーザは１マイクロジュール未満のパルスエネルギーレベルで作動できる、請求項１に記載のレンズアセンブリ。
【請求項７】
走査ミラーとスキャンレンズの間に配置され、該走査ミラーからの第１波長のレーザエネルギーを該スキャンレンズを介して検査品上へと誘導する第１コンバイナであって、第１波長とは異なる第２波長の光を第１コンバイナ内に通過させる第１コンバイナと、
第１カメラと該第１コンバイナの間に配置され、該検査品からの光を該第１コンバイナを介して該第１カメラへと誘導する第２コンバイナと、
該第２コンバイナと照明光源の間に配置され、該照明光源からの光を該第２コンバイナと該第１コンバイナを通過させて該検査品へと誘導し、該検査品からの光を該第１コンバイナと該第２コンバイナを通過させて第２カメラへと到達させる第３コンバイナと、
を有する電気回路の検査・修復・検査システム用コンバイナアセンブリ。
【請求項８】
該照明光源はカラーＬＥＤアセンブリとストロボ光源との少なくとも１つを有する、請求項７に記載のコンバイナアセンブリ。
【請求項９】
該ストロボ光源は閃光ランプを備える、請求項８に記載のコンバイナアセンブリ。
【請求項１０】
該第１カメラは白黒カメラである、請求項７に記載のコンバイナアセンブリ。
【請求項１１】
該第２カメラはカラーカメラである、請求項７に記載のコンバイナアセンブリ。
【請求項１２】
該第１波長は２６６ｎｍである、請求項７に記載のコンバイナアセンブリ。
【請求項１３】
該第２波長は４６０−６６０ｎｍの範囲内である、請求項７に記載のコンバイナアセンブリ。
【請求項１４】
該レーザエネルギーを発振可能なレーザをさらに有し、該レーザは１マイクロジュール未満のパルスエネルギーレベルで作動可能である、請求項７に記載のコンバイナアセンブリ。
【請求項１５】
電気回路の金属、有機物、シリコン酸化物及び金属酸化物の除去が可能なレーザ除去装置であって、１マイクロジュール未満のパルスエネルギーレベルで２６６ナノメータの波長を発振するレーザを有するレーザ除去装置を備える、電気回路の検査・修復・検査システム。
【請求項１６】
金属同士または金属と金属酸化物との溶接に供されるレーザ溶接機であって、１マイクロジュール未満のパルスエネルギーレベルで２６６ナノメータの波長を発振するレーザを備えるレーザ溶接機を有する、電気回路の検査・修復・検査システム。
【請求項１７】
出力ビームを発する紫外線レーザであって、該出力ビームのエネルギー分布は該出力ビームの進行方向軸に直交する第１軸に沿って略ガウス分布を形成するとともに、該第１軸と該進行方向軸に直交する第２軸に沿ってはガウス分布を形成しない紫外線レーザと、
該出力ビームの該エネルギー分布を該第２軸に沿って略ガウス分布に修正するよう作動できるビーム修正光学機器と、
を備えるレーザ書き込みシステム。
【請求項１８】
音響光学変調器及び電気光学変調器のうち少なくとも１つと、
高速操作ミラーと、
該音響光学変調器及び該電気光学変調器のうち少なくとも１つと、該高速操作ミラーとを正確に調整するよう作動できる制御アセンブリと、
を備える電気回路の検査・修復・検査システム。
【請求項１９】
該制御アセンブリを該高速操作ミラー及び該音響光学変調器に相互接続する制御ラインをさらに備える、請求項１８に記載の電気回路の検査・修復・検査システム。
【請求項２０】
該制御アセンブリは、該音響光学変調器からのレーザビーム出力が該システムによって検査、修復、検査された検査品の所望の位置に正確に当たるように、該音響光学変調器に対して該高速操作ミラーを位置決めできる、請求項１８に記載の電気回路の検査・修復・検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気回路の検査と修復システムに関し、特に光学機器を用いた電気回路の検査と修復システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の出版・刊行物は、従来技術を表すものと考えられる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】Ｃブリトンら「紫外線―可視光波長光に励起された色素による共焦点画像解析を可能とする光学的改良」、ジャーナルオブマイクロスコピー、１６９号パート１、１９９３年１月、ｐｐ．１５−２６（C. Bliton et al., Optical modifications enabling simultaneous confocal imaging with dyes excited by ultraviolet - and visible-wavelength light. Journal of Microscopy, Vol. 169 Pt. 1 January 1993 pp. 15-26）
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１０／１００６３５号
【０００５】
本出願は、２０１１年８月１８日出願の米国仮特許出願第６１／５２４，９９５号「検査・修復・検査システム」を参照し、この参照により開示に含まれるものとする。本出願の優先権は、ＣＦＲ１．７８（ａ）（４）と（５）（ｉ）による。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、電気回路の検査・修復システムに用いられる、改良された使い易い光学技術の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の実施の形態として、本発明は、修復用レーザビームの特定の波長の収差を修正可能なスキャンレンズと、カメラのカメラレンズであって、該スキャンレンズを介して検査品からの光を捕捉することが可能で、該カメラによって検知された該修復用レーザビームの該特定の波長以外の１つ以上の特定の波長の収差を修正可能なカメラレンズと、を備える電気回路の検査・修復・検査システム用レンズアセンブリを提供する。
【０００８】
レンズアセンブリは、該スキャンレンズの上流側に位置する走査ミラーに付随した入射瞳をさらに有することが好ましい。また、該入射瞳は該走査ミラーの光学的中心に位置する。
【０００９】
本発明の実施の形態として、該修復用レーザビームの該特定の波長は２６６ｎｍである。変形・修正例として、該カメラによって検知された該１つ以上の特定の波長は、範囲４６０−４８０ｎｍと範囲５２０−５４０ｎｍとの少なくとも１つの範囲から選択される。
【００１０】
レンズアセンブリは、該レーザビームを発振できるレーザをさらに有し、該レーザは１マイクロジュール未満のパルスエネルギーレベルで作動できることが好ましい。
【００１１】
本発明のもう１つの実施の形態として、本発明は、走査ミラーとスキャンレンズの間に配置され、該走査ミラーからの第１波長のレーザエネルギーを該スキャンレンズを介して検査品上へと誘導する第１コンバイナであって、第１波長とは異なる第２波長の光を第１コンバイナ内に通過させる第１コンバイナと、第１カメラと該第１コンバイナの間に配置され、該検査品からの光を該第１コンバイナを介して該第１カメラへと誘導する第２コンバイナと、該第２コンバイナと照明光源の間に配置され、該照明光源からの光を該第２コンバイナと該第１コンバイナを通過させて該検査品へと誘導し、該検査品からの光を該第１コンバイナと該第２コンバイナを通過させて第２カメラへと到達させる第３コンバイナと、を有する電気回路の検査・修復・検査システム用コンバイナアセンブリを提供する。
【００１２】
該照明光源はカラーＬＥＤアセンブリとストロボ光源との少なくとも１つを有することが好ましい。さらに、該ストロボ光源は閃光ランプを備えることが好ましい。
【００１３】
本発明の実施の形態として、該第１カメラは白黒カメラであることが好ましい。追加例若しくは変形例として、該第２カメラはカラーカメラであることが好ましい。
【００１４】
該第１波長は２６６ｎｍであることが好ましい。追加例若しくは変形例として、該第２波長は４６０−６６０ｎｍの範囲内であることが好ましい。
【００１５】
本発明の実施の形態として、該レーザエネルギーを発振可能なレーザをさらに有し、該レーザは１マイクロジュール未満のパルスエネルギーレベルで作動可能であるコンバイナアセンブリを提供する。
【００１６】
さらにもう１つの本発明の実施の形態として、電気回路の金属、有機物、シリコン酸化物及び金属酸化物の除去が可能なレーザ除去装置であって、１マイクロジュール未満のパルスエネルギーレベルで２６６ナノメータの波長を発振するレーザを有するレーザ除去装置を備える、電気回路の検査・修復・検査システムが提供される。
【００１７】
さらにもう１つの本発明の実施の形態として、金属同士または金属と金属酸化物との溶接に供されるレーザ溶接機であって、１マイクロジュール未満のパルスエネルギーレベルで２６６ナノメータの波長を発振するレーザを備えるレーザ溶接機を有する、電気回路の検査・修復・検査システムが提供される。
【００１８】
さらにもう１つの本発明の実施の形態として、出力ビームを発する紫外線レーザであって、該出力ビームのエネルギー分布は該出力ビームの進行方向軸に直交する第１軸に沿って略ガウス分布を形成するとともに、該第１軸と該進行方向軸に直交する第２軸に沿ってはガウス分布を形成しない紫外線レーザと、該出力ビームの該エネルギー分布を該第２軸に沿って略ガウス分布に修正するよう作動するビーム修正光学機器と、を備えるレーザ書き込みシステムが提供される。
【００１９】
さらにもう１つの本発明の実施の形態として、音響光学変調器と、高速操作ミラーと、該音響光学変調器と該高速操作ミラーとを正確に調整するよう作動できる制御アセンブリと、を備える電気回路の検査・修復・検査システムが示される。
【００２０】
電気回路の検査・修復・検査システムは、該制御アセンブリを該高速操作ミラー及び該音響光学変調器に相互接続する制御ラインをさらに備えることが好ましい。
【００２１】
本発明の実施の形態として、該制御アセンブリは、該音響光学変調器からのレーザビーム出力が該システムによって検査、修復、検査された検査品の所望の位置に正確に当たるように、該音響光学変調器に対して該高速操作ミラーを位置決めできる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
正確かつ完全な理解のため、以下に本発明の詳細な記載を示す。
【図１】図１は、本発明の１つの実施の形態によって構成され作動する、電気回路の検査・修復・検査システムである。
【図２】図２は、図１に示される本システムの概略図である。
【図３】図３は、図１及び図２に示される本システムの動作を表す、簡略化したフローチャートである。
【図４】図４は、図１及び図２に示される本システムを用いた欠陥修復作業の動作を表す、簡略化したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
図１を参照して説明を行う。図１は、電気回路の検査・修復・再検査を行うためのシステムの概略図である。
【００２４】
図１に示されるように、本システムはシャーシ１０１を有することが好ましい。好ましくは、シャーシ１０１は汎用の光学台１０２上に設置される。シャーシ１０１には、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）１０６のような、検査・修復対象の電気回路がその上部に配置されるための検査・修復位置１０４が設置される。ＦＰＤ１０６は、一般的に、１以上の欠陥を有している。導体の構造中にみられる代表的な欠陥として、材料過剰による欠陥と材料欠損による欠陥が挙げられる。
【００２５】
シャーシ１０１は、第１検査・修復軸１１４方向を規定している。ブリッジ１１２が、第１検査・修復軸１１４方向に、検査・修復位置１０４に対して直線状に移動できるように設置されている。また、光学ヘッドアセンブリ１１６が、第１検査・修復軸１１４と直交する第２検査・修復軸１１８方向に、ブリッジ１１２に対して直線状に移動できるように設置されている。
【００２６】
本発明の実施の形態では、光学ヘッドアセンブリ１１６は、検査・修復サブアセンブリ１２０を有することが好ましい。
【００２７】
また、好ましくは、本システムは制御アセンブリ１２４も有する。好ましくは、制御アセンブリ１２４はコンピュータ１２６を備える。好ましくは、さらにコンピュータ１２６は、ユーザインターフェース１２８と、検査・修復サブアセンブリ１２０を制御するためのソフトウェアモジュールを有する。好ましくは、制御アセンブリ１２４は、図示せぬ自動光学検査システムから欠陥箇所の入力信号を受け取る。自動光学検査システムの一例として、イスラエル・ヤブネに所在のOrbotechから販路を通じて入手可能な、Supervision（登録商標）システムが挙げられる。
【００２８】
好ましくは、検査・修復サブアセンブリ１２０は、ベース１３０を有する。カラーカメラ１３２及び白黒カメラ１３４が、ベース１３０上に設置される。カラーカメラ１３２の一例として、Dalsa CMOSカメラ、ModelFalcon 4M60 colorが挙げられる。白黒カメラ１３４の一例として、Dalsa CMOSカメラ、Model Falcon 4M60が挙げられる。変形例として、２台の白黒カメラがベース１３０の上に設置されても良い。カラーカメラ及び白黒カメラのいずれも、カナダ・オンタリオ州ウォータールー所在のTeledyne DALSAより、販路を通じて入手可能である。
【００２９】
カメラ１３２は、チューブレンズ１３８を通じ、光軸１３６を介してＦＰＤ１０６上の画像処理対象部位１３５を捕捉する。チューブレンズ１３８は、一般的に、焦点距離が２００−２５０ｍｍであり、ビームスプリッタアセンブリ１４０と対物レンズアセンブリ１４２を備える。カメラ１３４はチューブレンズ１４４を通じ、光軸１４３及び光軸１３６を介して、ＦＰＤ１０６上の画像処理対象部位１３５を撮像する。チューブレンズ１４４は、一般的に焦点距離が４００−６００ｍｍであり、ビームスプリッタアセンブリ１４０とスキャンレンズ１４６を備える。
【００３０】
好ましくは、検査・修復サブアセンブリ１２０は、パルスレーザ光源１５２を備える。パルスレーザ光源１５２の一例として、フランス・クールタブーフＺＡ、パシフィク通り２所在のQuantel Corporation（http://www.quantel-laser.com)より販路を通じて入手可能な、ファイバカップルQスイッチレーザがある。また、パルスレーザ光源１５２の例として、ノースカロライナ州シャーロット所在のConcepts Research Corporationより入手可能な受動Qスイッチマイクロチップレーザ、あるいは、ドイツ・グレーフェルフィング（ミュンヒェン）８２１６６所在のToptica Photonicsより販路を通じて入手可能な、ピコ秒ファイバレーザも挙げられる。パルスレーザ光源１５２は、その稼働によりパルスレーザビーム１５４を発振する。
【００３１】
パルスビーム１５４はビーム形成・コリメート光学装置１５８を通過する。ビーム形成・コリメート光学装置１５８は、レーザビーム１５４をコリメートし、所望のビームサイズに形成することができる。なお、好適なビームサイズは１．５ｍｍから２．５ｍｍである。ビーム形成・コリメート光学装置１５８は、好ましくは、モジュレータ１６０を備える。好適なモジュレータ１６０の例としては、音響光学変調器（ＡＯＭ）及び電気光学変調器が挙げられる。ＡＯＭの代表的なものとして、カリフォルニア州パロアルトのCrystal Technologyより入手できるＡＯＭがある。また、電気光学変調器の代表例としてイギリス・ケンブリッジのKey Photonics Ltdより販路を通じて入手可能なPicoseconds Pockel Cellsが挙げられる。レーザビーム１５４は、次にビームエキスパンダ１７０によって、好ましくは８−１５ｍｍの所定の直径に調整される。ビームエキスパンダ１７０は、コリメートされた出力ビームを所定のサイズにするために配置・調整された、複数のレンズを備える。
【００３２】
次に、レーザビーム１５４は鏡１８０によって反射され、二軸高速操作ミラー（ＦＳＭ）１８２に当たる。さらに、ビーム１５４は、ビームスプリッタアセンブリ１４０を通過し、光軸１３６上の対物レンズアセンブリ１４２へと誘導される。なお、二軸高速操作ミラー（ＦＳＭ）１８２の代表例として、米国特許第７，５９８，６８８号の図７及び図８に記載のＦＳＭが挙げられる。米国特許第７，５９８，６８８号は、この参照により開示に含まれるものとする。
【００３３】
好ましくは、照明は、可動鏡１８６を介して得られる閃光ランプ１８４と、カラーＬＥＤアセンブリ１８８の、二つのストロボ光源のうちいずれかが用いられる。閃光ランプ１８４かＬＥＤアセンブリ１８８からの光は、照明調整器１９０によって誘導される。照明調整器１９０の出力面は、部位１３５のＦＰＤ１０６上に形成され、レンズアセンブリ１９２によって、及び、対物レンズアセンブリ１４２とスキャンレンズ１４６のいずれかによって、その出力面上に投影される。
【００３４】
次に図２を参照して説明する。図２は、図１に示される本システムのうち、本発明で特に新規な特徴部分を強調して示した概略図である。図２に示されるように、チューブレンズ１４４は、白黒カメラ１３４のカメラレンズとして機能し、スキャンレンズ１４６を介してＦＰＤ１０６上の画像処理対象部位１３５から受光する。スキャンレンズ１４６は、修復のために用いられるレーザビーム１５４の収差を修正するために使用される。レーザビーム１５４は、好ましくは２６６ｎｍの波長を有する。
【００３５】
２６６ｎｍの波長を使用することは、本発明における特別な特徴である。なぜならば、２６６ｎｍの波長を用いることで、電気回路中の金属、金属酸化物、シリコン酸化物および有機物の除去ができるためである。また当然に、２６６ｎｍの波長は、電気回路中の金属同士の溶接、または金属と金属酸化物の溶接にも使用できる。
【００３６】
レーザ１５２が、１マイクロジュール未満のパルスエネルギーレベルで使用されるということも、本発明のさらなる特別な特徴である。
【００３７】
チューブレンズ１４４が、白黒カメラ１３４によって検知される、少なくとも一つの特定の波長の収差を修正することは、本発明における特別な特徴である。ここで示す波長とは、４６０−４８０ｎｍ、５２０−５４０ｎｍのいずれかの範囲内であり、修復に用いられるレーザビーム１５４の有する特定の波長、２６６ｎｍとは異なる。
【００３８】
さらに図２に示すように、スキャンレンズ１４６は入射瞳１９４を有する。その入射瞳１９４は、スキャンレンズ１４６の上流に配置される鏡１８２に位置する。特に好ましくは、入射瞳１９４は鏡１８２の光学的中心に位置する。
【００３９】
図２には、本発明の特別な特徴の一つである、ビームスプリッタアセンブリ１４０の構造と動作が示されている。特に図２に示されるように、ビームスプリッタアセンブリ１４０は、第１コンバイナ２００と、第２コンバイナ２０２と、第３コンバイナ２０４とを備えている。
【００４０】
第１コンバイナ２００は、鏡１８２と、スキャンレンズ１４６との間に位置する。また第１コンバイナ２００は、鏡１８２から反射された、第１波長を持つレーザビーム１５４を誘導し、スキャンレンズ１４６を通してＦＰＤ１０６の画像処理対象部位１３５上へと到達させる。好ましくは、第１波長は２６６ｎｍである。さらに第１コンバイナ２００は、第１波長とは異なり可視領域の第２波長を有する光を、その中に通過させることもできる。好ましくは、第２波長は４６０−６６０ｎｍである。
【００４１】
第２コンバイナ２０２は、白黒カメラ１３４と第１コンバイナ２００の間に配置され、第１コンバイナ２００を通過したＦＰＤ１０６の画像処理対象部位１３５の光を、白黒カメラ１３４へと誘導する。
【００４２】
第３コンバイナ２０４は、第２コンバイナ２０２と照明光源との間に配置される。なお、照明光源とは、好ましくはカラーＬＥＤアセンブリ１８８と閃光ランプ１８４である。第３コンバイナ２０４は、照明光源からの光を誘導し、第２コンバイナ２０２と第１コンバイナ２００を通過させ、ＦＰＤ１０６の画像処理対象部位１３５へと導く。さらに第３コンバイナ２０４は、第１コンバイナ２００と第２コンバイナ２０２を通過した、ＦＰＤ１０６の画像処理対象部位１３５からの光を、カラーカメラ１３２へ到達させる。
【００４３】
上記の、そして図１及び図２記載の発明における、レーザ書込みシステムの特別な特徴は以下の通りである。
【００４４】
レーザ１５２は紫外線レーザであり、出力ビーム１５４は、軸２０８に沿ったエネルギー分布が略ガウス分布となる。なお、軸２０８は、出力ビーム１５４の進行方向である軸２１０と直交する。
【００４５】
出力ビーム１５４は、軸２０８と直交する軸２１２に沿ったエネルギー分布が、好ましくは非ガウス分布となる。なお、軸２１２は進行方向である軸２１０とも直交する。
【００４６】
ビーム修正光学機器（ビーム形成・コリメート光学装置）１５８は、出力ビーム１５４の軸２１２に沿ったエネルギー分布を、略ガウス分布へ修正する。
【００４７】
本発明の実施の形態より取得・改良された除去品質パラメータによって、過剰材料の除去が他のレイヤを傷めずに実施されることは、本発明の更なる特別な特徴である。
【００４８】
鏡１８２の作動が、モジュレータ１６０の作動によって正確に制御されることも本発明の更なる特別な特徴である。好ましくは、この制御は以下のような制御ラインによって行われる。即ち、鏡１８２とモジュレータ１６０とを、制御アセンブリ１２４と相互接続させる制御ラインである。好ましくは、制御アセンブリ１２４は、モジュレータ１６０からのレーザビーム出力が正確にＦＰＤ１０６の画像処理対象部位１３５の所望の位置へ当たるよう、鏡１８２の位置を確実に設定する。
【００４９】
次に図３を参照しながら説明する。図３は、本システムの動作を示す簡略化されたフローチャートである。
【００５０】
図３のステップ３００では、自動光学検査システムによって取得された欠陥位置情報が入力される。
【００５１】
上述のように、好ましくは、制御アセンブリ１２４は、自動光学検査システムからの欠陥位置入力を受取る。図３に示すようにステップ３０２において、制御アセンブリ１２４は、検出及び修復がなされた、または、検出若しくは修復された電気回路の入力欠陥位置上へ、光学ヘッドアセンブリ１１６を移動して位置取りさせるよう動作する。ステップ３０４では、制御アセンブリ１２４は欠陥位置座標を登録する。続けてステップ３０６では、欠陥の分類が作成される。
【００５２】
次のステップ３０８において、制御アセンブリ１２４は、欠陥が修復可能な欠陥であるかをチェックする。もし、その欠陥が修復不能な場合、プロセスはステップ３００へ戻って、次の欠陥位置を処理することとなる。
【００５３】
もし欠陥が修復可能である場合、プロセスはステップ３１０へ移り、ユーザにその領域の修復を手動で行うか自動で行うかの判断を委ねることとなる。もし手動による修復という判断が選択された場合、ステップ３１２に示されるようにユーザは修復領域を決める。もし自動修復の判断が選択された場合、ステップ３１４に示されるように、制御アセンブリ１２４は、カラーカメラ１３２に付随する画像機能を用いて修復領域を自動的に決定する。
【００５４】
ステップ３１６において制御アセンブリ１２４は、ＦＳＭ１８２の動作プランを計算する。ステップ３１８において、欠陥修復作業準備段階の制御アセンブリ１２４は、画像処理機能を変更し、それによって白黒カメラ１３４、それに付随する光学機能、及びステップ３０４で登録された欠陥位置情報を使用する。
【００５５】
ステップ３２０では、制御アセンブリ１２４は欠陥修復作業を実行する。ステップ３２２の欠陥修復作業後では、制御アセンブリ１２４は欠陥位置の再検出を行い、欠陥が正常に修復されたかどうかを判断する。ステップ３２４に示されるように、もし欠陥が正常に修復された場合には、プロセスはステップ３００に続き、次の欠陥位置の処理へと移る。もし欠陥の修復が正常に行われなかった場合は、プロセスはステップ３２０に戻り、欠陥修復作業を再度行う。
【００５６】
次に図４を参照して説明を行う。図４は、図１及び２で示す本システムを用いた欠陥修復作業の一実施形態による動作を、簡略化したフローチャートで表したものある。
【００５７】
図４に示すように、制御アセンブリ１２４はステップ４０２において、指定のレーザ点サイズが得られるようにビームエキスパンダ１７０を配置する。ステップ４０４では、制御アセンブリ１２４は、レーザエネルギーが必要な範囲に収まるよう、エネルギー減衰器を設定する。さらにステップ４０６では、制御アセンブリ１２４は、必要なレーザエネルギーレベルが得られるように、ＡＯＭ１６０の振幅を設定する。
【００５８】
欠陥修復作業は、レーザを発振させ続けることで継続する。ステップ４０８及び４１０では、ＦＳＭ動作プランの実行を開始する。
【００５９】
ステップ４１２では、制御アセンブリ１２４は、ＦＳＭ１８２が修復領域上の位置に適切に配置されたかどうかを確認する。もしＦＳＭ１８２が修復領域上に適切に配置されていれば、ステップ４１４において、ＦＳＭ１８２はＡＯＭ１６０のトリガをＯＮに設定し、レーザビーム１５４を修復領域に到達させる。もしＦＳＭ１８２が修復領域上に適切に配置されていない場合、ＦＳＭ１８２はＡＯＭ１６０のトリガをＯＦＦに設定し、レーザビーム１５４の修復領域への到達を阻害する。
【００６０】
ステップ４１８において、制御アセンブリ１２４は、ＦＳＭの動作プランが最後まで行われたかどうかを確認する。ＦＳＭの動作プランが最後まで実行されていない場合は、プロセスはステップ４１２に戻る。ＦＳＭの動作プランが最後まで実行されていた場合、ステップ４２０において、プロセスは終了する。
【００６１】
変形例または追加例として、そのほかの動作プランを用いることも可能である。例えば、図４のステップ４０２、４０４，４０６に示される一つ以上のパラメータは、欠陥修復作業の実行中に変更することが可能である。例えば、使用されるエネルギー領域を正確に設定するという手順（図４の４０４ブロック）が、修復作業中のどのタイミングでも行われるようにするというものである。さらなる変形例または追加例として、図３のブロック３２０に示す欠陥修復ルーティンは、ステップ３２２に進む前に２回以上行ってもよい。さらなる変形例として、ＦＳＭ１８２のスキャン速度は、修復作業の合間若しくは修復作業中に、再設定してもよい。
【００６２】
上記図３と図４に示されるように、本発明の欠陥修復機能は、レーザ除去によって過剰材料の除去を可能とする機能と、レーザ溶接によって溶接材料の再分布を実施可能とする機能とを、明らかに含み得る。
【００６３】
本発明が上記の開示と記載のみに限定されないことは、当業者にとって明らかである。本発明の範囲は、上記の従来技術以外の記載を読んだ当業者が着想し得る、上記記載及び変形・修正例の様々な特徴のコンビネーション及びサブコンビネーションを含むものである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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