(57)【要約】【課題】基板処理処置及びこれの基板移送方法を提供する。【解決手段】基板処理装置は多数の工程チャンバ６１０、６２０、…、バッファ部３００、及び移送部材５００を含む。移送部材５００は前記工程チャンバとバッファ部３００との間で基板を移送し、工程が同時に終わる少なくとも２つの工程チャンバで処理完了した基板を集める。基板移送方法については、前記工程チャンバでは基板の処理が行われる。バッファ部３００は前記工程チャンバに投入される基板と前記工程チャンバで処理完了した基板を収納する。移送部材５００は、基板が置かれる水平移動可能な多数のピックアップハンド５２０を具備し、前記工程チャンバとバッファ部３００との間で基板を移送し、処理した基板を一度にバッファ部３００に移送するために、工程が同時に終わる少なくとも２つの工程チャンバで基板を集める。【選択図】図１
2011530189.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理が各々行われる多数の工程チャンバと、
前記工程チャンバに投入される基板と前記工程チャンバで処理完了した基板を収納するバッファ部と、
基板が各々置かれる水平移動可能な多数のピックアップハンドを具備し、前記工程チャンバと前記バッファ部との間で基板を移送し、処理完了した基板を一度に前記バッファ部に移送するために、工程が同時に終了する少なくとも２つの工程チャンバで処理完了した基板を集める移送部材と、を含むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記ピックアップハンドは垂直方向に離隔されて互いに向き合うように配置され、前記ピックアップハンドは隣接した少なくとも１つのピックアップハンドと第１間隔に離隔され、
前記バッファ部は垂直方向に離隔されて基板の端部を各々支持する多数の支持台を具備し、前記多数の支持台のうち垂直方向に連続して配置された少なくとも２つの支持台は前記第１間隔に離隔されることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記多数の支持台は各々前記第１間隔に連続して配置された支持台からなる多数の単位グループを含み、互いに隣接した２つの単位グループは前記第１間隔より広い第２間隔に離隔されることを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記移送部材は前記バッファ部から処理待機中の１つまたは多数の基板を一度にピックアップし、処理完了した１つまたは多数の基板を一度に前記バッファ部に積載することを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記バッファ部は、
基板の出入りのために少なくとも１つの側壁が開放され、多数の基板を収納するための空間を提供する本体を含み、
前記多数の支持台は前記本体で互いに向き合う２つの内側壁に各々設置されることを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項６】
処理待機中の基板または処理完了した基板を収納する収納容器と、
前記収納容器から前記処理待機中の基板を引き出して前記バッファ部に積載し、前記バッファ部から前記処理完了した基板を引き出して前記収納容器に積載するインデックスロボットと、を含むことを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記インデックスロボットは基板が各々置かれる多数のインデックスアームを含み、
前記インデックスアームは垂直方向に離隔されて互いに向き合うように配置され、前記インデックスアームは隣接した少なくとも１つのインデックスアームと前記第１間隔に離隔されることを特徴とする請求項６に記載の基板処理装置。
【請求項８】
移送部材が、バッファ部から未処理の基板を引き出して、その基板を基板の処理が行われる多数の工程チャンバに提供する段階と、
前記移送部材が、前記工程チャンバから処理完了した基板を引き出す段階と、
前記移送部材が、前記処理完了した基板をバッファ部に積載する段階とを含み、
前記移送部材は、工程が同時に完了する少なくとも２つの工程チャンバで処理完了した基板を集めた後、その基板を前記バッファ部に一度に移送することを特徴とする基板移送方法。
【請求項９】
前記移送部材は、少なくとも１つの処理完了した基板を前記バッファ部に一度に積載することを特徴とする請求項８に記載の基板移送方法。
【請求項１０】
インデックスロボットが、前記未処理の基板を収納容器から引き出して前記バッファ部に積載する段階と、
前記インデックスロボットが前記処理完了した基板を前記バッファ部から引き出して前記バッファ部に積載する段階とをさらに含み、
前記インデックスロボットは、少なくとも１つの未処理の基板を前記バッファ部に一度に積載することを特徴とする請求項８に記載の基板移送方法。
【請求項１１】
前記インデックスロボットは、少なくとも１つの処理完了した基板を前記バッファ部から一度に引き出すことを特徴とする請求項１０に記載の基板移送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板を製造する装置に関し、さらに詳細には、半導体基板を処理する基板処理装置及びこれの基板移送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に基板製造工程では絶縁膜及び金属物質の蒸着(Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ)、エッチング(Ｅｔｃｈｉｎｇ)、感光剤(Ｐｈｏｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔ)の塗布(Ｃｏａｔｉｎｇ)、現像(Ｄｅｖｅｌｏｐ)、アッシャ(Ａｓｈｅｒ)除去などが数回繰り返されて微細なパターニング(Ｐａｔｔｅｒｎｉｎｇ)の配列を作るようになり、このような工程の進行によって基板内にはエッチングやアッシャの除去工程で完全除去されない異物が残るようになる。このような異物の除去のための工程では脱イオン水(Ｄｅｉｏｎｉｚｅｄ  Ｗａｔｅｒ)または薬液(Ｃｈｅｍｉｃａｌ)を利用した洗浄工程(Ｗｅｔ  Ｃｌｅａｎｉｎｇ)がある。
【０００３】
洗浄工程を実行する基板洗浄装置は配置式洗浄装置(Ｂａｔｃｈ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ)と枚葉式洗浄装置（Ｓｉｎｇｌｅ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ)に区分される。配置式洗浄装置は一度に２５枚または５０枚を処理することができるサイズの薬液槽(Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｂａｔｈ)、リンス槽(Ｒｉｎｓｅ  Ｂａｔｈ)、乾燥槽(Ｄｒｙ  Ｂａｔｈ)などを具備する。配置式洗浄装置は基板を各々の槽(Ｂａｔｈ)に一定の時間の間つけて異物を除去する。このような配置式洗浄装置は基板の上部及び下部が同時に洗浄され、同時に大容量を処理することができる利点がある。しかし、基板直径が大型化するほど槽のサイズが大きくなって装置のサイズ及び薬液の使用量が増大するだけではなく、同時に薬液槽内で洗浄されている基板に隣接の基板から離れた異物が再付着する問題がある。
【０００４】
最近には基板直径の大型化によって枚葉式洗浄装置が多用されている。枚葉式洗浄装置は一枚の基板を処理することができる小さいサイズのチャンバ(Ｃｈａｍｂｅｒ)で、基板を基板チャック(Ｃｈｕｃｋ)で固定させた後、モータ(Ｍｏｔｏｒ)によって基板を回転させながら、基板の上部でノズル(Ｎｏｚｚｌｅ)を通じて薬液または脱イオン水を基板に提供する。基板の回転力によって薬液または脱イオン水などが基板の上部に広がり、これによって、基板に付着した異物が除去される。このような枚葉式洗浄装置は配置式洗浄装置に比べて装置のサイズが小さく、均質の洗浄効果を有する。
【０００５】
一般的に枚葉式洗浄装置は一側からローディング／アンローディング部、インデックスロボット、バッファ部、工程チャンバ、及びメイン移送ロボットを含む構造からなる。インデックスロボットはバッファ部とローディング／アンローディング部との間で基板を移送し、メイン移送ロボットはバッファ部と工程チャンバとの間で基板を移送する。バッファ部には洗浄前の基板が工程チャンバに投入されるために待機するか、または洗浄の完了した基板がローディング／アンローディング部に移送されるために待機する。
【０００６】
メイン移送ロボットは洗浄待機中の基板を移送するハンドと洗浄完了した基板を移送するハンドを各々１つずつ具備し、洗浄前の基板と洗浄後の基板を各々１枚ずつ移送することができる。したがって、２つの工程チャンバで各々基板の洗浄が行われる場合、洗浄前の基板をバッファ部から工程チャンバに移送する動作と洗浄後の基板を工程チャンバからバッファ部に移送する動作が各々二度ずつ行われる。
【０００７】
このように、メイン移送ロボットは各々異なる用途として使うハンドを２つ具備するので、１つの工程チャンバとバッファ部間でのみ基板を一度に移送することができる。そのため、メイン移送ロボットの移動回数及び基板の移送時間が増加して生産性が低下される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、基板のローディング及びアンローディングの効率を向上させることができる基板処理装置を提供することにある。
【０００９】
また、本発明の目的は、上述の基板処理装置で基板を移送する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の目的を実現するための本発明の基板処理処置は、多数の工程チャンバ、バッファ部、及び移送部材からなる。
【００１１】
工程チャンバでは各々基板の処理が行われる。バッファ部は前記工程チャンバに投入される基板と前記工程チャンバで処理完了した基板を収納する。移送部材は、基板が各々置かれる水平移動可能な多数のピックアップハンドを具備し、前記工程チャンバと前記バッファ部との間で基板を移送し、処理完了した基板を一度に前記バッファ部に移送するために、工程が同時に終了する少なくとも２つの工程チャンバで処理完了した基板を集める。
【００１２】
前記ピックアップハンドは垂直方向に離隔されて互いに向き合うように配置され、前記ピックアップハンドは隣接した少なくとも１つのピックアップハンドと第１間隔に離隔される。前記バッファ部は、垂直方向に離隔されて基板の端部を各々支持する多数の支持台を具備し、前記多数の支持台のうち垂直方向に連続して配置された少なくとも２つの支持台は前記第１間隔に離隔される。
【００１３】
また、上述の目的を実現するための本発明の基板移送方法は次の通りである。まず、移送部材がバッファ部から未処理の基板を引き出して、その基板を基板の処理が行われる多数の工程チャンバに提供する。そして、前記移送部材が前記工程チャンバから処理完了した基板を引き出す。そして、前記移送部材が前記処理完了した基板をバッファ部に積載する。前記移送部材は、工程が同時に完了する少なくとも２つの工程チャンバで処理完了した基板を集めた後、その基板を前記バッファ部に一度に移送する。
【００１４】
また、前記移送部材は、少なくとも１つの処理完了した基板を前記バッファ部に一度に積載する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、移送部材は工程が同時に完了する工程チャンバで処理完了した基板を集めた後、これを一度にバッファ部に移送する。このようにすることによって、前記移送部材の移送回数が減少するので、基板処理装置は工程時間を短縮して生産量を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理システムを概略的に示す図である。
【図２】図１のバッファ部を示す斜視図である。
【図３】図２のバッファ部を示す側面図である。
【図４】図３の‘Ａ’部分を示す拡大図である。
【図５】図１のメイン移送ロボットを示す斜視図である。
【図６】図１のメイン移送ロボットがウェーハを移送する過程を示すフローチャートである。
【図７】図２のバッファ部にウェーハを積載する過程を示す図である。
【図８】図７のバッファ部にウェーハが置かれた状態を示す部分図である。
【図９】図７のメイン移送ロボットがウェーハを移送する動線を示す図である。
【図１０】図１のメイン移送ロボットが工程チャンバからウェーハを引き出す過程を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付の図面を参照して本発明の望ましい実施形態をより詳細に説明する。以下ではウェーハを基板の一例として説明するが、本発明の技術的思想と範囲はここに限定されない。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理システムを概略的に示す図である。
【００１９】
図１を参照すれば、本発明の基板処理システム１０００は、ローディング／アンローディング部１１０、インデックスロボット(Ｉｎｄｅｘ  Ｒｏｂｏｔ)２００、バッファ部３００、メイン移送ロボット(Ｍａｉｎ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｒｏｂｏｔ)５００、多数の工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０、制御部７００を含みうる。
【００２０】
前記ローディング／アンローディング部１１０は多数のロードポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄを含む。この実施形態において、前記ローディング／アンローディング部１１０は４つのロードポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄを具備するが、前記ロードポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの個数は前記基板処理システム１０００の工程効率及びフットプリント(Ｆｏｏｔ  ｐｒｉｎｔ)条件によって増加、または減少することもできる。
【００２１】
前記ロードポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄにはウェーハが収納されるＦＯＵＰ(Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄｓ)１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ)が配置される。各ＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄには前記ウェーハを地面に対して水平に配置した状態で収納するための多数のスロットが形成される。前記ＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄには、工程チャンバ６００、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０の中に投入されて処理が完了したウェーハ、または前記工程チャンバ６００、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０に投入されて処理されるウェーハを収納する。以下、説明の便宜を図るために、前記基板処理システム１０００によって処理が完了したウェーハを投入ウェーハといい、未処理のウェーハを原始ウェーハという。
【００２２】
前記ローディング／アンローディング部１１０と前記バッファ部３００との間には前記インデックスロボット２００が設置され、前記インデックスロボット２００の下には第１移送レール２０が設置される。前記インデックスロボット２００はウェーハを各々積載する多数のインデックスアーム(ｉｎｄｅｘ  ａｒｍ)２２０を含み、前記第１移送レール２０に沿って移動してウェーハを移送する。
【００２３】
前記多数のインデックスアーム２２０は各々個別駆動可能であり、前記多数のロードポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄのうちのいずれか１つに配置したＦＯＵＰから原始ウェーハをピックアップして前記バッファ部３００に提供する。
【００２４】
前記インデックスロボット２００はＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄから一度に少なくとも１つの原始ウェーハをピックアップすることができる。本発明の一例では、前記インデックスロボット２００は垂直方向に互いに平行に配置された４つのインデックスアーム２２０を具備し、インデックスアーム２２０はそれぞれ１枚のウェーハをピックアップすることができる。
【００２５】
前記インデックスロボット２００は前記４つのインデックスアーム２２０のうち互いに隣接した２つのインデックスアーム２２０を利用して該当のＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄの１つから２つの原始ウェーハを同時にピックアップすることができる。また、前記インデックスロボット２００は前記バッファ部３００に、原始ウェーハを１つ、あるいは、多数の原始ウェーハを同時に積載することもできる。
【００２６】
すなわち、前記インデックスロボット２００は前記ＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄから一度に２つの原始ウェーハをピックアップした後、引き出された２つの原始ウェーハを前記バッファ部３００に同時に積載することができる。ここで、前記インデックスロボット２００が前記バッファ部３００に同時に積載する原始ウェーハの個数は、前記ＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄから同時に引き出される原始ウェーハの個数に応じて変わる。
【００２７】
同様に、前記インデックスロボット２００は前記バッファ部３００から一度に少なくとも１つの投入ウェーハをピックアップすることができる。すなわち、前記インデックスロボット２００は前記バッファ部３００から２つの投入ウェーハを同時にピックアップした後、その引き出された２つの投入ウェーハを該当のロードポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの１つに同時に積載する。
【００２８】
工程進行の時、前記インデックスロボット２００が一度にピックアップまたは積載することができるウェーハの個数は、現在前記バッファ部３００に積載されている投入ウェーハと原始ウェーハの各個数に応じて変わる。
【００２９】
また、前記インデックスロボット２００のインデックスアーム２２０は原始ウェーハを移送するアームと投入ウェーハを移送するアームに区分して運用することができる。例えば、前記４つのインデックスアーム２２０のうち、相対的に下に位置する２つのインデックスアームは原始ウェーハ移送アームとして使い、相対的に上に位置する２つのインデックスアームは投入ウェーハ移送アームとして使うことができる。
【００３０】
この実施形態において、前記インデックスロボット２００は多数のウェーハを同時に処理する時、２つのウェーハを同時にピックアップまたは積載するが、前記インデックスロボット２００が同時にピックアップまたは積載することができるウェーハの個数は前記インデックスロボット２００が具備するインデックスアーム２２０の個数によって増加することができる。
【００３１】
一方、前記バッファ部３００は、前記インデックスロボット２００が設置された領域と、前記多数の工程チャンバ６００及び前記メイン移送ロボット５００が設置された領域との間に位置する。前記バッファ部３００は前記インデックスロボット２００によって移送された原始ウェーハを収納し、前記工程チャンバ６００で処理された投入ウェーハを収納する。
【００３２】
図２は、図１のバッファ部３００を示す斜視図であり、図３は、図２のバッファ部３００を側面からで見た図であり、図４は、図３の'Ａ'部分を拡大した図である。
【００３３】
図１〜図３を参照すれば、本発明のバッファ部３００は本体３１０と第１及び第２支持部３２０、３３０からなる。
【００３４】
具体的には、前記本体３１０は底面３１１、前記底面３１１から垂直に延長された第１及び第２側壁３１２、３１３、前記第１及び第２側壁３１２、３１３の上端に結合された上面３１４を含みうる。
【００３５】
前記本体３１０はウェーハの出入りのために前記インデックスロボット２００と向き合う前方側壁及び前記メイン移送ロボット５００と向き合う後方側壁が開放されている。これによって、前記インデックスロボット２００と前記メイン移送ロボット５００は前記バッファ部３００からウェーハの引き入れ及び引き出しが容易である。
【００３６】
前記第１及び第２側壁３１２、３１３は互いに向き合うように配置され、前記上面３１４は一部除去されて開口部３１４ａを形成する。
【００３７】
前記本体３１０の内部には前記第１及び第２支持部３２０、３３０が形成される。前記第１支持部３２０は前記第１側壁３１２に結合し、前記第２支持部３３０は第２側壁３１３に結合する。前記第１及び第２支持部３２０、３３０は各々多数の支持台を含む。前記第１支持部３２０の支持台は前記第２支持部３３０の支持台と互いに一対一に対応し、ウェーハは互いに対応する前記第１支持部３２０の支持台と前記第２支持部３３０の支持台によって端部が支持されて前記バッファ部３００に収納される。この時、前記ウェーハは前記底面３１１と向き合うように配置される。
【００３８】
この実施形態において、前記第１支持部３２０の支持台と前記第２支持部３３０の支持台は互いに同一の構成を有する。したがって、以下、前記第１支持部３２０を一例として前記支持台の構成について具体的に説明する。
【００３９】
図３及び図４を参照すれば、前記第１支持部３２０の支持台は垂直方向に互いに離隔されて位置し、隣接した一対の支持台はその位置によって第１間隔Ｄ１に離隔することができ、前記第１間隔Ｄ１より大きい第２間隔Ｄ２に離隔することもできる。前記第１間隔Ｄ１は前記インデックスロボット２００(図１参照)の各インデックスアーム２２０間の間隔と同一である。
【００４０】
具体的に、第１支持部３２０の支持台のうち、上から２×Ｎ(Ｎは１以上の自然数)番目の支持台は（２×Ｎ)−１番目の支持台と前記第１間隔Ｄ１に離隔され、（２×Ｎ)＋１番目の支持台と前記第２間隔Ｄ２に離隔される。
【００４１】
すなわち、偶数番目の支持台の各々は、直上に位置する奇数番目の支持台と前記第１間隔Ｄ１に離隔され、直下に位置する奇数番目の支持台と前記第２間隔Ｄ２に離隔される。例えば、前記第１支持部３２０の一番目の支持台３２１と二番目の支持台３２２は前記第１間隔Ｄ１に離隔され、前記二番目の支持台３２２と三番目の支持台３２３は前記第２間隔Ｄ２に離隔される。前記三番目の支持台３２３と四番目の支持台３２４は前記第１間隔Ｄ１に離隔される。
【００４２】
以下、説明の便宜を図るために、前記第１間隔Ｄ１に離隔されて連続して配置された支持台を単位グループという。
【００４３】
前記第１支持部３２０は互いに隣接した２つの単位グループが前記第２間隔Ｄ２に離隔される。すなわち、前記一番目の支持台３２１と前記二番目の支持台３２２が１つの単位グループを構成し、前記三番目の支持台３２３と前記四番目の支持台３２４が１つの単位グループを構成する。前記二番目の支持台３２２と前記三番目の支持台３２３は前記第２間隔Ｄ２に離隔されるので、互いに隣接した単位グループの間の間隔は前記第２間隔Ｄ２になる。
【００４４】
前記単位グループ内で各支持台間の第１間隔Ｄ１は、前記各インデックスアーム２２０間の間隔と同一に設定される。これによって、前記インデックスロボット２００は前記バッファ部３００から前記単位グループ毎に、２つのウェーハを同時にピックアップ、または積載することができる。
【００４５】
ここで、前記各インデックスアーム２２０間の間隔は前記ＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ(図１参照)のスロット間隔と同一に設定される。したがって、前記インデックスロボット２００は前記ＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄから多数のウェーハを同時にピックアップまたは積載することができる。
【００４６】
この実施形態において、前記第１支持部３２０は２つの支持台が１つの単位グループを構成するが、１つの単位グループを構成する支持台の個数は前記インデックスロボット２００及び前記メイン移送ロボット５００が各々前記バッファ部３００に一度に積載及びピックアップすることができるウェーハの個数によって増加することができる。
【００４７】
一方、互いに隣接した２つの単位グループは前記第１間隔Ｄ１より大きい前記第２間隔Ｄ２に離隔されるので、前記バッファ部３００内で前記インデックスロボット２００と前記メイン移送ロボット５００の動作が容易である。
【００４８】
すなわち、前記各支持台間の間隔が狭いほど、前記インデックスアーム２２０と前記ピックアップハンド５２０がウェーハをピックアップまたは積載した後に移動する時、上部または下部に位置するウェーハと衝突し易い。前記バッファ部３００は各単位グループ別にウェーハが積載またはピックアップされ、各単位グループは相対的に間隔が広い前記第２間隔Ｄ２に離隔されるので、前記インデックスアーム２２０と前記メイン移送ロボット５００のピックアップハンド５２０が移動することができる空間を十分に確保することができる。
【００４９】
本発明の一例では、前記第１間隔Ｄ１は約１０ｍｍであり、前記第２間隔Ｄ２は前記第１間隔Ｄ１の２倍になる約２０ｍｍとして設定されうる。
【００５０】
一方、前記第１及び第２支持部３２０、３３０の各支持台にはウェーハの位置をガイドするガイド部３１を形成することができる。前記ガイド部３１は前記支持台の上面から突き出されて形成され、ウェーハの側面を支持する。
【００５１】
上述のように、前記バッファ部３００の各支持台間の連続して配置された第一間隔Ｄ１及び第二間隔Ｄ２は、同時にウェーハをピックアップまたは積載する各インデックスアーム２２０間の第一間隔Ｄ１及び第二間隔Ｄ２と同じである。これによって、前記インデックスロボット２００が一度に多数のウェーハを同時に前記バッファ部３００に対してピックアップまたは積載できるので、作業効率が向上し、且つ工程時間を短縮して生産性が向上する。
【００５２】
再び、図１を参照すれば、前記バッファ部３００に収納された原始ウェーハは前記メイン移送ロボット５００によって各工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０に移送される。前記メイン移送ロボット５００は移送通路４００に設置され、前記移送通路４００に設置された第２移送レール３０に沿って移動する。前記移送通路４００は前記多数の工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０と連結される。
【００５３】
前記メイン移送ロボット５００は前記バッファ部３００から原始ウェーハをピックアップした後、前記第２移送レール３０に沿って移動しながら該当の工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０の１つに原始ウェーハを提供する。また、前記メイン移送ロボット５００は工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０で処理された投入ウェーハを前記バッファ部３００に積載する。
【００５４】
図５は、図１に示したメイン移送ロボットを示す斜視図である。
【００５５】
図１及び図５を参照すれば、前記メイン移送ロボット５００は、ハンド駆動部５１０、多数のピックアップハンド５２０、回転部５４０を含みうる。
【００５６】
具体的には、前記ハンド駆動部５１０はピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４を各々水平移動させる。各ピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４は前記ハンド駆動部５１０によって個別駆動される。
【００５７】
前記ハンド駆動部５１０の上部には前記ピックアップハンド５２０が設置される。前記ピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４は垂直方向に互いに向き合うように配置され、各々１枚のウェーハを積載することができる。この実施形態において、前記メイン移送ロボット５００は４個のピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４を具備するが、前記ピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４の個数は前記基板処理システム１０００の工程効率によって増加することもできる。
【００５８】
前記ピックアップハンド５２０は原始ウェーハを移送する投入用ピックアップハンド５２１、５２２と投入ウェーハを移送する排出用ピックアップハンド５２３、５２４に区分して運用することができ、このようにした場合、投入用ピックアップハンド５２１、５２２と排出用ピックアップハンド５２３、５２４は互いに混在して位置しない。本発明の一例では、前記排出用ピックアップハンド５２３、５２４が前記投入用ピックアップハンド５２１、５２２の上部に位置する。これによって、前記メイン移送ロボット５００は原始ウェーハと投入ウェーハを移送する過程で原始ウェーハによって投入ウェーハが汚染することを防止することができるので、製品の生産性を向上させることができる。
【００５９】
前記投入用ピックアップハンド５２１、５２２は各々前記バッファ部３００から前記原始ウェーハを引き出した後、遊休状態の工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０の１つに提供する。前記投入用ピックアップハンド５２１、５２２は、前記バッファ部３００における単位グループ別の支持台のように前記第１間隔Ｄ１(図４参照)に離隔される。したがって、前記投入用ピックアップハンド５２１、５２２は前記バッファ部３００から原始ウェーハを同時に引き出すことができる。
【００６０】
一方、前記排出用ピックアップハンド５２３、５２４は工程完了した工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０から投入ウェーハを引き出した後、その投入ウェーハを、前記バッファ部３００に積載する。前記排出用ピックアップハンド５２３、５２４は前記第１間隔Ｄ１に離隔される。したがって、前記排出用ピックアップハンド５２３、５２４は工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０から引き出した投入ウェーハを前記バッファ部３００に同時に積載することができる。
【００６１】
この実施形態において、前記投入用ピックアップハンド５２１、５２２と前記排出用ピックアップハンド５２３、５２４は各々２つのピックアップハンドからなるが、前記投入用ピックアップハンド５２１、５２２と前記排出用ピックアップハンド５２３、５２４の個数は前記基板処理システム１０００の工程効率によって増加することもできる。
【００６２】
本発明の一例では、前記バッファ部３００の各単位グループの支持台の個数と、前記バッファ部３００に対して一度にウェーハを引き出すまたは積載する前記インデックスロボット２００のインデックスアーム２２０の最大個数と、前記バッファ部３００に対して一度にウェーハを引き出すまたは積載する前記メイン移送ロボット５００のピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４の最大個数は、互いに同一である。
【００６３】
このように、前記メイン移送ロボット５００は必要に応じて前記バッファ部３００から一度に多数の原始ウェーハを引き出すこともでき、１つの原始ウェーハを引き出すこともできる。また、前記メイン移送ロボット５００は必要によって一度に多数の投入ウェーハを前記バッファ部３００に積載することもでき、１つの投入ウェーハを積載することもできる。したがって、前記メイン移送ロボット５００はウェーハの移送時間を短縮させるので、前記基板処理システム１０００は工程時間を短縮させて、生産性を向上させることができる。
【００６４】
前記ハンド駆動部５１０の下には前記回転部５４０が設置される。前記回転部５４０は前記ハンド駆動部５１０と結合し、回転して前記ハンド駆動部５１０を回転させる。これによって、前記ピックアップハンド５２１、５２２、５２３、５２４が共に回転する。
【００６５】
図示しないが、前記回転部５４０の下には垂直移動部が設置され、前記垂直移動部の下には水平移動部が設置される。前記垂直移動部は前記回転部５４０と結合して前記回転部５４０を昇降及び下降させ、これによって、前記ハンド駆動部５１０及び前記ピックアップハンド５２０の垂直位置が調節される。前記水平移動部は前記第２移送レール３０に結合して前記第２移送レール３０に沿って水平移動する。これによって、前記メイン移送ロボット５００は前記バッファ部３００と工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０の間を移動することができる。
【００６６】
工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０で同時、または殆ど同時に工程が完了すれば、前記メイン移送ロボット５００は、該当の工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０から投入ウェーハを引き出す。前記メイン移送ロボット５００は引き出した投入ウェーハを積載した状態で前記バッファ部３００まで移動して前記バッファ部３００に積載する。
【００６７】
例えば、工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０のうち２つで工程が完了すれば、前記メイン移送ロボット５００は前記バッファ部３００から２枚の原始ウェーハを引き出した後、その工程完了した工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０の２つのうちの選択した１つに移動する。続いて、前記メイン移送ロボット５００は選択した１つの工程チャンバから投入ウェーハを引き出した後、積載された２枚の原始ウェーハのうちの１つをその工程チャンバに供給する。前記メイン移送ロボット５００は、１枚の投入ウェーハと１枚の原始ウェーハとを積載した状態で、前記工程完了した工程チャンバのうちの残りの１つの工程チャンバに移動する。前記メイン移送ロボット５００はその残りの１つの工程チャンバから投入ウェーハを引き出した後、原始ウェーハをその工程チャンバに提供する。これによって、前記メイン移送ロボット５００には２枚の投入ウェーハが積載される。続いて、前記メイン移送ロボット５００は前記バッファ部３００まで移動して前記２枚の投入ウェーハを前記バッファ部３００に積載する。
【００６８】
このように、前記メイン移送ロボット５００は工程が完了した工程チャンバから投入ウェーハをそれぞれ回収した後、これを一度に前記バッファ部３００に移送する。これによって、前記メイン移送ロボット５００の移送回数が減少されるので、前記基板処理システム１０００は処理時間を短縮させて生産性を向上させることができる。
【００６９】
前記メイン移送ロボット５００が設置される移送通路４００の両側には前記原始ウェーハを処理して前記投入ウェーハを生成する前記工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０が各々配置されている。前記工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０で行われる処理工程では前記原始ウェーハを洗浄する洗浄工程などがある。前記多数の工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０は２つの工程チャンバが前記移送通路４００を挟んで互いに向き合うように配置され、前記移送通路４００の両側には各々３個の工程チャンバが配置されている。
【００７０】
この実施形態において、前記基板処理システム１０００は６個の工程チャンバを具備しているが、前記工程チャンバの個数は前記基板処理システム１０００の工程効率及びフットプリント条件によって増加、または減少することもできる。また、この実施形態において、前記工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０は一層構造に配置されているが、１２個の工程チャンバが６個ずつ複層構造に配置されても良い。
【００７１】
一方、前記メイン移送ロボット５００は前記制御部７００と連結される。前記制御部７００は前記工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０から前記投入ウェーハを引き出す時、前記メイン移送ロボット５００の動線及び引き出し順序を制御する。すなわち、前記制御部７００は、現在、前記工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０の１つで処理が完了した投入ウェーハを、ＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０に初期に積載されていた原始ウェーハの順序に従って、引き出すように制御する。
【００７２】
例えば、前記ＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄが２５個のスロットからなり、最下に１番スロットが位置し、１番スロットから２５番スロットまで順次に位置する場合、２５番スロットに位置する原始ウェーハから工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０に投入される。前記制御部７００は各工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０に対応して投入されたウェーハのスロット番号を記憶し、現在、工程チャンバの１つで工程が完了した投入ウェーハのスロット番号を検出して、ウェーハリストを作成する。前記制御部７００は前記ウェーハリストを参照して、前記処理完了した投入ウェーハのうちで最古のウェーハ、すなわち、スロット番号が最大の投入ウェーハから前記スロット番号が小さい投入ウェーハの順に引き出されるように前記メイン移送ロボット５００を制御する。
【００７３】
以下、図面を参照して前記インデックスロボット２００と前記メイン移送ロボット５００が多数のウェーハを移送する過程を具体的に説明する。
【００７４】
図６は、図１に示した基板処理システムにおいて多数のウェーハが移送される過程を示すフローチャートであり、図７は、図２のバッファ部３００にウェーハを積載する過程を示す図であり、図８は、図７のバッファ部３００にウェーハが配置された状態を示す部分拡大図である。
【００７５】
図１、図６及び図７を参照すれば、まず、前記インデックスロボット２００は前記ローディング／アンローディング部１１０に配置したＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄのうちのいずれか１つのＦＯＵＰまで移動し、前記インデックスアーム２２０のうちの第１及び第２インデックスアーム２２１、２２２をそのＦＯＵＰに引き入れて原始ウェーハ１１、１２をピックアップする（段階Ｓ１１０）。したがって、前記第１及び第２インデックスアーム２２１、２２２には各々１枚の原始ウェーハ１１，１２が積載され、前記インデックスロボット２００は前記ＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄの中から選んだ１つから一度に２枚の原始ウェーハ１１、１２をピックアップする。
【００７６】
続いて、前記インデックスロボット２００は前記バッファ部３００まで移動し、前記第１及び第２インデックスアーム２２１、２２２を前記バッファ部３００に引き入れて原始ウェーハ１１、１２を前記バッファ部３００に同時に積載する(段階Ｓ１２０)。この時、前記インデックスロボット２００は前記バッファ部３００の支持台のうち前記第１間隔Ｄ１に離隔された２つの支持台に前記原始ウェーハ１１、１２を積載する。例えば、図８に示したように、第１インデックスアーム２２１は原始ウェーハ１２を第１及び第２支持部３２０、３３０の第３支持台３２３に積載し、これと同時に、前記第２インデックスアーム２２２は原始ウェーハ１１を前記第３支持台３２３のすぐ下に位置する第４支持台３２４に積載する。
【００７７】
図９は、図７のメイン移送ロボット５００がウェーハを移送する動線を示す図である。
【００７８】
図６及び図９を参照すると、前記工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０のうちの少なくとも２つの工程チャンバで同時または殆ど同時に工程が完了する場合に、前記メイン移送ロボット５００は前記バッファ部３００まで移動する。次に、前記メイン移送ロボット５００の投入用ピックアップハンド５２１、５２２(図５参照)を前記バッファ部３００に引き入れて原始ウェーハ１１、１２を同時にピックアップする(段階Ｓ１３０)。これによって、各投入用ピックアップハンド５２１、５２２には原始ウェーハ１１、１２が積載され、前記メイン移送ロボット５００は一度に２枚の原始ウェーハ１１、１２をピックアップする。
【００７９】
続いて、前記メイン移送ロボット５００は、工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０のうち２つから、すなわち、２つの遊休工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０から選択した１つの工程チャンバに移動した後、その工程チャンバから投入ウェーハを引き出し、原始ウェーハ１１、１２のうち１枚をその工程チャンバに提供する(段階Ｓ１４０)。
【００８０】
次に、前記メイン移送ロボット５００は、もう１つの遊休工程チャンバに移動した後、その工程チャンバから投入ウェーハを引き出し、原始ウェーハ１１、１２のうち残った１枚をその工程チャンバに提供する(段階Ｓ１５０)。これによって、２つの排出用ピックアップハンド５２３、５２４には各々１枚の投入ウェーハが積載される。
【００８１】
次に、前記メイン移送ロボット５００はピックアップした２枚の投入ウェーハを前記バッファ部３００に移送し、前記ピックアップした２枚の投入ウェーハを一度に前記バッファ部３００に積載する(段階Ｓ１６０)。
【００８２】
例えば、前記工程チャンバ６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０のうち互いに隣接した第１及び第２工程チャンバ６１０、６２０が同時に工程が完了すれば、前記メイン移送ロボット５００は、前記バッファ部３００から２枚の原始ウェーハを引き出す。次に、前記メイン移送ロボット５００は前記第１工程チャンバ６１０に移動し、前記第１工程チャンバ６１０から投入ウェーハを引き出した後、１枚の原始ウェーハを前記第１工程チャンバ６１０に投入する。続いて、前記メイン移送ロボット５００は前記第１工程チャンバ６１０から引き出した前記投入ウェーハを積載した状態で前記第１工程チャンバ６１０から前記第２工程チャンバ６２０に移動する。次に、前記メイン移送ロボット５００は前記第２工程チャンバ６２０から投入ウェーハを引き出した後、残った１枚の原始ウェーハを前記第２工程チャンバ６２０に投入する。これによって、前記メイン移送ロボット５００には２枚の投入ウェーハが積載される。前記メイン移送ロボット５００は第１及び第２工程チャンバ６１０、６２０から引き出した投入ウェーハを前記バッファ部３００に移送する。
【００８３】
図９において、図面符号ＣＩＭは前記メイン移送ロボット５００が前記第１及び第２工程チャンバ６１０、６２０に各々原始ウェーハを投入し、各々投入ウェーハを引き出す動線を示し、図面符号ＣＯＭは前記メイン移送ロボット５００が前記第１及び第２工程チャンバ６１０、６２０から引き出した投入ウェーハを前記バッファ部３００に移送する動線を示す。
【００８４】
図６と図７に示したように、前記メイン移送ロボット５００は排出用ピックアップハンド５２３、５２４に置かれた投入ウェーハ１３、１４を一度に前記バッファ部３００に積載する。すなわち、前記排出用ピックアップハンド５２３、５２４を前記バッファ部３００に引き入れて投入ウェーハ１３、１４を前記バッファ部３００に同時に積載する。図８に示したように、前記排出用ピックアップハンド５２３、５２４は投入ウェーハ１３、１４を前記第１間隔Ｄ１に離隔された２つの支持台、例えば、第１及び第２支持台３２１、３２２に１枚ずつ積載する。
【００８５】
前記バッファ部３００のウェーハ引き出し及び引き入れの時、前記バッファ部３００に対する前記インデックスロボット２００と前記メイン移送ロボット５００のアクセスを同時に行うことができる。前記バッファ部３００の支持台は隣接した２つの単位グループが前記第１間隔Ｄ１より広い第２間隔Ｄ２に離隔されているので、前記バッファ部３００内での前記インデックスロボット２００と前記メイン移送ロボット５００の動作空間を十分に提供することができる。したがって、前記インデックスロボット２００による前記バッファ部３００の基板引き入れまたは引き出し動作と、前記メイン移送ロボット５００による前記バッファ部３００の基板引き入れまたは引き出し動作が共に行われても、ロボット２００、５００間の衝突を防止することができる。
【００８６】
また、前記バッファ部３００で前記原始ウェーハ１１、１２と前記投入ウェーハ１３、１４は互いに分離して位置する。すなわち、図８に示したように、前記バッファ部３００は前記第１間隔Ｄ１に離隔されて配置された２つの支持台、すなわち、単位グループ別に、投入ウェーハ１３、１４が積載されるか、原始ウェーハ１１、１２が積載されるかが設定される。この時、隣接した単位グループのうちのいずれか１つに投入ウェーハ１３、１４が積載され、残りの１つに原始ウェーハ１１、１２が積載される。
【００８７】
これとは違って、前記第１及び第２支持部３２０、３３０の各々は、支持台を上下に分けて、上部に位置する支持台には投入ウェーハ１３、１４を積載し、下部に位置する支持台には原始ウェーハ１１、１２を積載することもできる。例えば、前記第１及び第２支持部３２０、３３０各々が１６個の支持台を具備する場合、上部に位置する８個の支持台に投入ウェーハ１３、１４を積載し、下部に位置する８個の支持台に原始ウェーハ１１、１２を積載することができる。
【００８８】
前記段階Ｓ１６０の後、段階Ｓ１７０では、前記インデックスロボット２００は前記バッファ部３００まで移動し、前記バッファ部３００から２つの投入ウェーハ１３、１４を同時にピックアップするために、前記インデックスアーム２２１、２２２、２２３、２２４のうちの２つを前記バッファ部３００に挿入する。その後、前記インデックスロボット２００は前記２つの投入ウェーハ１３、１４を積載した状態で前記ＦＯＵＰ１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄのうち対応する１つに移動する。段階Ｓ１８０では、前記インデックスロボット２００は前記２つの投入ウェーハ１３、１４を対応するＦＯＵＰに一度に積載する。
【００８９】
以下、図面を参照して前記メイン移送ロボット５００が工程完了した多数の工程チャンバから投入ウェーハを引き出す過程を具体的に説明し、前記メイン移送ロボット５００が３個の排出用ピックアップハンドを具備する場合を一例にとって説明する。
【００９０】
図１０は、図１のメイン移送ロボット５００が工程チャンバからウェーハを引き出す過程を示すフローチャートである。
【００９１】
図１、図５、及び図１０を参照すれば、先ず、制御部７００は、工程が完了する工程チャンバに位置する投入ウェーハ各々のスロット番号を検索して、ウェーハリストを生成する(段階Ｓ２１０)。
【００９２】
そして、前記制御部７００は、前記ウェーハリスト上で最古の投入ウェーハ、すなわち、スロット番号が最大の投入ウェーハを検索する(段階Ｓ２２０)。
【００９３】
続いて、検索された投入ウェーハをメイン移送ロボット５００の第１ピックアップハンド５２４がピックアップする投入ウェーハとして設定し、前記メイン移送ロボット５００の第１ピックアップハンド５２４が、その選択された投入ウェーハを該当の工程チャンバからピックアップする(段階Ｓ２３０)。
【００９４】
前記制御部７００は、前記ウェーハリストで前記第１ピックアップハンド５２４の投入ウェーハに連続する投入ウェーハ、すなわち、第１ピックアップハンド５２４の投入ウェーハのスロット番号順に次の順序の投入ウェーハが存在するか否かを判断する(段階Ｓ２４０)。
【００９５】
前記段階Ｓ２４０において、前記第１ピックアップハンド５２４の投入ウェーハと連続する投入ウェーハが存在すれば、その投入ウェーハを、前記第１ピックアップハンド５２４のすぐ下に位置する第２ピックアップハンド５２３の投入ウェーハとして設定し、前記第２ピックアップハンド５２３は、その設定された投入ウェーハを該当の工程チャンバからピックアップする(段階Ｓ２５０)。
【００９６】
前記段階Ｓ２４０において、前記第１ピックアップハンド５２４の投入ウェーハと連続する投入ウェーハが存在しなければ、前記ウェーハリスト上で、前記第１ピックアップハンド５２４の投入ウェーハを除いた残りの投入ウェーハのうちスロット番号が最大の投入ウェーハを前記第２ピックアップハンド５２３の投入ウェーハとして設定し、前記第２ピックアップハンド５２３は、その設定された投入ウェーハを該当の工程チャンバからピックアップする(段階Ｓ２６０)。
【００９７】
図５では、前記メイン移送ロボット５００が２つの排出用ピックアップハンド５２３、５２４と２つの投入用ピックアップハンド５２１、５２２を具備しているが、前記メイン移送ロボット５００が排出用ピックアップハンドと投入用ピックアップハンドを各々３つ以上具備することもできる。
【００９８】
前記メイン移送ロボット５００が排出用ピックアップハンドを３つ具備する場合、前記制御部７００は、前記ウェーハリストで前記第２ピックアップハンド５２３の投入ウェーハと連続する投入ウェーハ、すなわち、第２ピックアップハンド５２３の投入ウェーハのスロット番号順に次の投入ウェーハが存在するか否かを判断する(段階Ｓ２７０)。
【００９９】
前記段階Ｓ２７０において、前記第２ピックアップハンド５２３の投入ウェーハと連続する投入ウェーハが存在すれば、前記第２ピックアップハンド５２３のすぐ下に位置する第３ピックアップハンド(図示せず)の投入ウェーハとして設定し、前記第３ピックアップハンドは、その設定された投入ウェーハを該当の工程チャンバからピックアップする(段階Ｓ２８０)。
【０１００】
前記段階Ｓ２７０において、前記第２ピックアップハンド５２３の投入ウェーハと連続する投入ウェーハが存在しなければ、前記ウェーハリスト上で、前記第２ピックアップハンド５２３の投入ウェーハを除いた残りの投入ウェーハのうち、スロット番号が最大の投入ウェーハを前記第３ピックアップハンドの投入ウェーハとして設定し、前記第３ピックアップハンドは、その設定された投入ウェーハを該当の工程チャンバからピックアップする(段階Ｓ２９０)。
【０１０１】
前記メイン移送ロボット５００は、前記第１〜第３ピックアップハンドに載せた投入ウェーハを前記バッファ部３００まで移送し、前記バッファ部３００に前記投入ウェーハを連続して積載する(段階Ｓ３１０)。
【０１０２】
このように、工程チャンバで処理完了した投入ウェーハを引き出す時、前記メイン移送ロボット５００は、投入ウェーハのスロット番号に応じて順次引き出す。これによって、前記メイン移送ロボット５００は、スロット番号順に投入ウェーハを前記バッファ部３００に積載することができるので、インデックスロボット２００は一度に投入ウェーハを該当のＦＯＵＰに積載することができる。したがって、前記基板処理システム１０００はウェーハの移送を効率的に、そしてウェーハの移送にかかる時間を短縮して生産性を向上させることができる。
【０１０３】
以上、実施形態を参照して説明したが、該当の技術分野の熟練された当業者であれば、特許請求の範囲に記載した本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができることを理解できる。
【符号の説明】
【０１０４】
１０００      基板処理システム
３００        バッファ部
５００      移送部材
５２０      ピックアップハンド
６１０      工程チャンバ
６２０      工程チャンバ
６３０      工程チャンバ
６４０      工程チャンバ
６５０      工程チャンバ
６６０      工程チャンバ
【図１】
2011530189.tif 000003
【図２】
2011530189.tif 000004
【図３】
2011530189.tif 000005
【図４】
2011530189.tif 000006
【図５】
2011530189.tif 000007
【図６】
2011530189.tif 000008
【図７】
2011530189.tif 000009
【図８】
2011530189.tif 000010
【図９】
2011530189.tif 000011
【図１０】
2011530189.tif 000012
【国際調査報告】
2011530189.tif 000013
2011530189.tif 000014