(57)【要約】  本発明は、基板の品質検査装置及びその検査方法を提供する。本発明の検査装置と検査方法は、光源となる光の明るさの変化、光源の不安定性や交流電力によって発生する電源からのノイズ、検査しようとする基板の移送過程中に発生する震動、装備の震動や環境による震動などの影響を受けてノイズが影映像情報に含まれている際、そのノイズは除去して基板の表面品質を検査する装置に構成させたものであって、これにより、品質検査時のノイズによるエラーを無くして検査の精密度を高めると共に、製品に対する品質満足度を向上させることができる。
2011523701.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移送ユニットを介して工程設備に供給される基板の表面品質状態をチェックするための検査ユニットの構成において、
前記検査ユニットは、
光源を照射する照明部と、
前記照明部から照射される光源を反射する第２ミラー部と、
前記第２ミラー部を介して反射された光源が基板の表面を透過時、前記透過する光源から基板表面の影映像が投影されるスクリーン部と、
前記スクリーン部に投影された基板表面の影映像を撮影する映像処理部と、
前記映像処理部で撮影された影映像から外的要因により含まれたノイズを除去し、前記ノイズが除去された影映像情報から基板表面に対する品質状態を検査する品質検査部と、
を含んで構成することを特徴とする基板の品質検査装置。
【請求項２】
前記照明部は、ゼノンランプの光源、赤外線光源、ＬＥＤ光源のうちのいずれか一つであることを特徴とする請求項１に記載の基板の品質検査装置。
【請求項３】
前記照明部の先端には、第２ミラー部にのみ光源が照射されるように案内するスリットを構成することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板の品質検査装置。
【請求項４】
前記第２ミラー部は、光源の入射角が決定されるように１０゜〜９０゜範囲での角度が設けられることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板の品質検査装置。
【請求項５】
前記スリットの先端には、光源から特定帯域の波長帯のみを透過させるフィルタ部材を構成することを特徴とする請求項３に記載の基板の品質検査装置。
【請求項６】
前記フィルタ部材は、紫外線帯域の波長だけを透過するか、または紫外線帯域の波長だけは透過せず、その外の可視光線領域と赤外線領域の波長だけを透過させる紫外線フィルタであることを特徴とする請求項５に記載の基板の品質検査装置。
【請求項７】
前記フィルタ部材は、可視光線領域の特定波長だけを透過するか、または特定波長以下の波長を透過せず、その特定波長より大きい波長だけを透過するか、または特定波長以下の波長だけを透過し、その特定波長より大きい波長は透過しないようにする可視光線フィルタであることを特徴とする請求項５に記載の基板の品質検査装置。
【請求項８】
前記フィルタ部材は、赤外線領域の特定波長だけを透過するか、または特定波長以下の波長は透過せず、その特定波長より大きい波長だけを透過するか、または特定波長以下の波長だけを透過し、その特定波長より大きい波長は透過しないようにする赤外線フィルタであることを特徴とする請求項５に記載の基板の品質検査装置。
【請求項９】
前記映像処理部は、ラインスキャンＣＣＤカメラであることを特徴とする請求項１に記載の基板の品質検査装置。
【請求項１０】
移送ユニットを介して工程設備に供給する基板の表面品質状態をチェックするための検査ユニットの構成において、
前記検査ユニットは、
光源を照射する照明部と、
前記照明部から照射する光源の一部は透過し、一部は特定方向に反射する第１ミラー部と、
前記第１ミラー部を介して透過した一部の光源が基板を透過するように反射する第２ミラー部と、
前記第２ミラー部を介して反射した光源が基板を透過する際、前記透過する光源の光量を検出する第１光量検出部と、
前記第１ミラー部を介して特定方向に反射した一部の光源から光量を検出する第２光量検出部と、
前記第１、２光量検出部から検出される光量を比較して、外的要因により含まれたノイズを除去し、前記ノイズが除去された状態での基板表面に対する品質状態を検査する品質検査部と、
を含んで構成することを特徴とする基板の品質検査装置。
【請求項１１】
前記照明部は、ゼノンランプの光源、赤外線光源、ＬＥＤ光源のうちのいずれか１つから構成されることを特徴とする請求項１０に記載の基板の品質検査装置。
【請求項１２】
前記第２ミラー部は、光源の入射角が決定されるように１０゜〜９０゜範囲内の角度で設けられることを特徴とする請求項１０に記載の基板の品質検査装置。
【請求項１３】
前記照明部の先端には、基板の特定部分に対する検査領域が設定できるように光源の照射範囲を設定するスリットを構成することを特徴とする請求項１０又は請求項１１に記載の基板の品質検査装置。
【請求項１４】
前記スリットの先端には、光源から特定帯域の波長帯のみを透過するフィルタ部材を構成することを特徴とする請求項１３に記載の基板の品質検査装置。
【請求項１５】
前記第１ミラー部は、ハーフミラーで構成されることを特徴とする請求項１０に記載の基板の品質検査装置。
【請求項１６】
撮影された影映像の全体イメージから観察しようとする特定領域のイメージを選択する第１段階と、
前記選択した特定領域のイメージから水平／垂直ラインのコラムに対するピクセル値(明るさ)をテーブル化して移動平均方式で隣接するピクセル値の平均値を抽出しながらイメージに含まれるノイズを１次的に減少させる第２段階と、
前記第２段階から１次的にノイズが減少された状態で、抽出したピクセルの平均値から水平ラインコラム(Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４、Ａ５、…、Ａｎ)を合算または平均したイメージ信号を出力する第３段階と、
前記第３段階から出力されるイメージ信号が既設定した閾値(ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ)を超えたか否かを判断して基板の表面に対する品質状態を検査する第４段階と、
を含んで行うことを特徴とする基板の品質検査方法。
【請求項１７】
前記第３段階において、合算(または平均)結果によるイメージ信号の出力は、下記式から得られることを特徴とする請求項１６に記載の基板の品質検査方法。
【数１】
2011523701.tif 000005
【請求項１８】
照明部から光源を照射する第１段階と、
前記第１段階で照射される光源の一部を入力して光量を検出する第２段階と、
前記第１段階で照射される光源のさらに他の一部が基板を透過する際、その透過する光源の光量を検出する第３段階と、
前記第２、３段階で検出される光量を比較して、基板の特性により発生するノイズを抽出した後除去する第４段階と、
前記第４段階でノイズが光量から基板平坦度に対する基準値の境界条件を適用して前記基板表面の品質状態を検査する第５段階と、
を含んで行うことを特徴とする基板の品質検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の品質検査技術に関し、特に、基板の品質検査を行う際に外的要因から発生するノイズ(信号、雑音、光源不良、基板の震動など)による検査エラーを防止すると共に、基板表面に対する検査精密度を高める基板の品質検査装置及びその検査方法(Ｇｌａｓｓ  ｗａｖｉｎｅｓｓ  ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ  ｄｅｖｉｃｅ  ａｎｄ  ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ  ｍｅｔｈｏｄ  ｔｈｅｒｅｏｆ)に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜トランジスタ液晶表示装置は、大きく分けて薄膜トランジスタが形成される下部基板と、カラーフィルタが形成される上部基板と、下部基板と上部基板との間に注入される液晶とから構成される。
【０００３】
このような薄膜トランジスタ及びカラーフィルタを形成するための基板の場合、その表面にうねり現象、染み、スクラッチ、異物などが存在したら製品不良となってしまう。
【０００４】
そのために、基板を工程チャンバに入れて蒸着やエッチング、スパッタリングなどのプラズマを用いる工程前に、基板に対する全般的な品質検査が行われる。
【０００５】
しかし、従来では、基板に対する表面品質状態の検査を行う場合に、電気信号による雑音、光源不良、検査対象である基板の移送過程で発生する震動などのような外的要因によってノイズが含まれてカメラによる基板表面の映像情報が歪曲され、従来では、品質上異常の基板を正常基板と判定したり正常品質であるのに不良品質として判定したりするエラーなど、基板表面に対する品質検査を精密に行うことができないという問題点があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、映像情報に含まれるノイズ(光源となる光の明るさの変化、光源の不安定性や交流電力による電源ノイズ、検査対象基板の移送過程中に発生する震動、装備震動や環境震動など)を除去した状態で基板表面の品質を検査する装置を構成することで、品質検査時のノイズによるエラーを無くして検査精密度を高める基板の品質検査装置及びその検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明基板の品質検査装置は、移送ユニットを介して工程設備に供給される基板の表面品質状態をチェックするための検査ユニットにおいて、上記検査ユニットは、光源を照射する照明部と、上記照明部から照射される光源を反射する第２ミラー部と、上記第２ミラー部を介して反射する光源が基板表面を透過する際、上記透過した光源により基板表面の影映像が投影されるスクリーン部と、上記スクリーン部に投影される基板表面の影映像を撮影する映像処理部と、上記映像処理部で撮影した影映像に外的要因によって含まれるノイズを除去し、上記ノイズが除去された影映像情報から基板表面に対する品質状態を検査する品質検査部と、を含んで構成される。
【０００８】
また、上記検査ユニットは、光源を照射する照明部と、上記照明部から照射される光源の一部は透過し、一部は特定方向に反射する第１ミラー部と、上記第１ミラー部を介して透過する一部の光源が基板を透過するように反射させる第２ミラー部と、上記第２ミラー部を介して反射された光源が基板を透過する際、上記透過光源の光量を検出する第１光量検出部と、上記第１ミラー部を介して特定方向に反射する一部の光源から光量を検出する第２光量検出部と、上記第１、２光量検出部から検出される光量を比較して外的要因(例えば、基板特性または交流電力により発生する電源ノイズ)によって含まれるノイズを除去し、上記ノイズが除去される状態での基板表面に対する品質状態を検査する品質検査部と、を含めて構成される。
【０００９】
また、上記照明部は、ゼノンランプの光源、赤外線光源、ＬＥＤ光源のうちのいずれか１つから構成される。
【００１０】
また、上記第２ミラー部は、光源の入射角が決定されるように、１０゜〜９０゜の範囲内の角度に設けることが望ましい。
【００１１】
また、上記照明部の先端には、基板の特定部分に対する検査領域が設定されるように光源の照射範囲が設定されるスリットを構成する。
【００１２】
また、上記スリットの先端には、光源から特定帯域の波長帯だけを透過させるフィルタ部材が構成される。
【００１３】
また、上記映像処理部は、ラインスキャンＣＣＤカメラで構成される。
【００１４】
また、上記第１ミラー部は、ハーフミラー（Ｈａｌｆ  ｍｉｒｒｏｒ）で構成される。
【００１５】
また、上記基板の品質検査装置で実現される品質検査方法の進行段階は、撮影された影映像の全体イメージから観察しようとする特定領域のイメージを選択する第１段階と、上記選択された特定領域のイメージから水平／垂直ラインのコラムに対するピクセル値(明るさ)をテーブル化して移動平均方式で隣接するピクセル値の平均値を抽出しながらイメージに含まれるノイズを１次的に減少する第２段階と、上記第２段階で１次的にノイズが減少された状態で、抽出されたピクセルの平均値から水平ラインコラム(Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４、Ａ５、…、Ａｎ)を合算(または平均)したイメージ信号を出力する第３段階と、上記第３段階で出力されるイメージ信号が既設定された閾値（ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ）を超えたか否かを判断して基板表面に対する品質状態を検査する第４段階と、を含む。
【００１６】
また、上記第３段階において、合算(または平均)結果によるイメージ信号の出力は下記式から求められる。
【００１７】
【数１】
2011523701.tif 000003
【００１８】
ここで、Δｔは、映像処理部で１つのラインスキャンが行われた後、さらに他のラインスキャンが行われるまでにかかった時間（約１〜２ｍｓｅｃ）を意味し、ｎは自然数である。
【００１９】
また、上記第３段階において、イメージ信号のいずれの領域帯にノイズ信号が含まれるか否かの確認は、高速フーリエ変換（ＦＦＴ；Ｆａｓｔ  Ｆｏｕｒｉｅｒ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ）のアルゴリズムを介して周波数の信号波形に変換される際に行われる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、光源となる光の明るさの変化、光源の不安定性や交流電力による電源ノイズ、検査対象とする基板の移送過程中に発生する震動、装備震動や環境震動などの影響を受けて、ノイズが影映像情報に含まれる際、上記ノイズを除去した状態で基板の表面品質を検査する装置を構成し、これによりノイズによる品質検査時のエラーを無くして検査精密度を高めると共に、製品に対する品質満足度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係る基板の品質検査装置を示す構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係る照明部にスリットを適用した状態を示す正面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る照明部にフィルタを装着した状態を示す図である。
【図４】本発明の実施形態に係る照明部の先端にスリット適用時に光源の流れを示す概路図である。
【図５】本発明の実施形態に係る基板の品質検査方法の流れ図である。
【図６】本発明の実施形態に係る基板の品質検査方法の流れ図である。
【図７】本発明の実施形態に係る基板の品質検査方法の流れ図である。
【図８】本発明の実施形態に係る基板の品質検査方法の流れ図である。
【図９】本発明の実施形態に係る基板の品質検査方法の流れ図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る基板の品質検査方法の流れ図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る基板の品質検査方法の流れ図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る基板表面に水平型のうねり形態を示す概路図である。
【図１３】本発明の実施形態に係る基板表面に斜線型のうねり形態を示す概路図である。
【図１４】検査ユニットに対する本発明の他の実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。
【００２３】
図１は本発明の実施形態に係る基板の品質検査装置の構成図であり、図２は本発明の実施形態に係る照明部にスリットが適用された状態の正面図であり、図３は本発明の実施形態に係る照明部にフィルタが装着された状態図であり、図４は本発明の実施形態に係る照明部の先端にスリット適用時の光源の流れを示す概路図を示す。
【００２４】
図１ないし図４に示すように、本発明の実施形態に係る基板の品質検査装置は、移送ユニット１００により工程設備に供給される基板２００の表面品質状態をチェックするための検査ユニットを構成するものであって、上記の検査ユニットは、照明部１０、第２ミラー部２０、スクリーン部３０、映像処理部４０、そして品質検査部５０を含む。
【００２５】
上記照明部１０は光源を照射するものであって、これは、ゼノンランプの光源、赤外線光源、ＬＥＤ光源のうちのいずれか一つから構成される。
【００２６】
このとき、添付図２のように、上記照明部１０の先端には第２ミラー部２０のみに光源が照射されるように案内されるスリット１１が構成され、また上記スリット１１の先端には光源から特定帯域の波長帯のみを透過させるフィルタ部材１２が構成される。
【００２７】
このとき、上記フィルタ部材１２は、紫外線フィルタ、赤外線フィルタ、そして可視光線フィルタのうちのいずれか一つが用いられる。
【００２８】
上記紫外線フィルタは、紫外線帯域の波長だけを透過するか、または紫外線帯域の波長は透過せず、その外の可視光線領域と赤外線領域の波長を透過するものであり、その波長帯域は２１４ｎｍ〜３９６ｎｍの範囲内である。
【００２９】
上記可視光線フィルタは、可視光線領域の特定波長だけを透過するか、または特定波長以下の波長は透過せず、特定波長より大きい波長だけを透過するか、または特定波長以下の波長だけを透過し、その特定波長より大きい波長は透過しないようにするものであって、その波長帯域は４２６ｎｍ〜７５０ｎｍの範囲内である。
【００３０】
上記赤外線フィルタは、赤外線領域の特定波長だけを透過するか、または特定波長以下の波長は透過せず、特定波長より大きい波長だけを透過するか、または特定波長以下の波長だけを透過し、その特定波長より大きい波長は透過しないようにするものであって、その波長帯域は７６０ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲内である。
【００３１】
上記第２ミラー部２０は上記照明部１０から照射される光源を基板２００に反射されるように構成されていて、上記反射に伴い光源の入射角が決定されるように１０゜〜９０゜範囲内の角度で設置される。
【００３２】
上記スクリーン部３０は上記第２ミラー部２０によって反射される光源が基板２００の表面を透過する際、上記透過する光源から基板表面の影映像が投影されるように構成されている。
【００３３】
上記映像処理部４０は上記スクリーン部３０に投影する基板２００表面の影映像を撮影するものであって、これにはラインスキャンＣＣＤカメラを用いる。
【００３４】
上記品質検査部５０は上記映像処理部４０から撮影した影映像における外的要因、すなわち、光源となる光の明るさの変化、光源の不安定性や特定帯域(例えば、４０〜８０Ｈｚ)の電気信号、検査対象の基板２００の移送過程中に発生する震動、装備の震動や環境の震動などの影響を受けて、影映像から発生するノイズを除去すると共に、このノイズを除去した影映像情報から基板２００の表面に対する品質状態をチェックするように構成されている。
【００３５】
すなわち、本発明の実施形態に係る基板の品質検査装置及びその検査方法は、添付の図１ないし図１３に示すように、まず、ローラまたはロボットアームのように等速区間を有する移送ユニット１００により薄膜トランジスタ液晶表示装置の製造のための蒸着、エッチング、スパッタリング工程などのプラズマを用いる工程設備に基板２００を移送したり、停止したりする。
【００３６】
このとき、上記移送ユニット１００の下端には、所定の照射角度に設けられた照明部１０から光源が照射された場合、上記光源は１０゜〜９０゜範囲内の角度で設けられた第２ミラー部２０を介して光源の入射角を決定し反射された後、上記移送ユニット１００によって移送される基板２００の反対面に透過される。
【００３７】
これにより、上記基板２００を透過する光源によってスクリーン部３０には基板２００の影映像が投影され、上記投影の影映像はラインスキャンＣＣＤカメラである映像処理部４０によって撮影された後、品質検査部５０に伝送される。
【００３８】
ここで、上記照明部１０から光源の照射が行われる場合に、上記光源は添付の図２ないし図４のように、上記照明部１０の先端にスリット１１が設けられ、上記スリット１１を介して第２ミラー部２０に照射されると共に、フィルタ部材１２を介して上記の光源により特定帯域の波長帯のみを透過することができる。
【００３９】
すなわち、上記照明部１０に、フィルタ部材１２として紫外線フィルタまたは可視光線フィルタまたは赤外線フィルタを選択的に結合構成することができるが、この場合、上記フィルタ部材４０は上記照明部１０から照射される光源によって特定帯域の波長帯のみを透過することになる。
【００４０】
すなわち、上記照明部１０にフィルタ部材１２として紫外線フィルタを適用する場合、上記紫外線フィルタは、上記照明部１０から光源を基板２００に照射する際、２１４ｎｍ〜３９６ｎｍ範囲内の波長帯域の紫外線帯域の波長のみを透過させるか、または紫外線帯域の波長は透過せず、残りの可視光線領域と赤外線領域の波長のみを透過することになる。
【００４１】
これにより、上記透過された特定帯域の光源は、第２ミラー部２０を介して入射角が決定された状態において反射され、基板２００表面にだけ照射されながら反対面に透過される。これによって、上記基板２００の上面から透過された光源によってスクリーン部３０には影映像がさらに鮮明に投影され、上記鮮明な影映像は映像処理部４０、すなわちラインスキャン方式のＣＣＤカメラによりさらに鮮明に撮影された後、品質検査部５０に伝送される。
【００４２】
また、上記照明部１０にフィルタ部材１２として可視光線フィルタが適用される場合、上記可視光線フィルタは上記照明部１０から光源を基板２００に照射する際、４２６ｎｍ〜７５０ｎｍの範囲内の波長帯域の可視光線領域の特定波長だけを透過するか、または特定波長以下の波長は透過せず、その特定波長より大きい波長だけを透過するか、または特定波長以下の波長は透過し、その特定波長より大きい波長は透過しないようにする。
【００４３】
これにより、上記のように透過した特定帯域の光源は、基板２００の表面だけにその照射が行われながら反対面に透過され、これにより上記基板２００の上面に透過する光源によってスクリーン部３０には影映像がさらに鮮明に投影され、上記鮮明な影映像は映像処理部４０によってさらに鮮明に撮影された後、品質検査部５０に送信される。
【００４４】
また、上記照明部１０にフィルタ部材１２として赤外線フィルタが適用される場合、上記赤外線フィルタは上記照明部１０から光源を基板２００に照射するとき、７６０ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲内の波長帯域である赤外線領域の特定波長だけを透過するか、または特定波長以下の波長は透過せず、その特定波長より大きい波長だけを透過するか、または特定波長以下の波長は透過し、その特定波長より大きい波長は透過しないようにするので、このように透過された特定帯域の光源は基板２００の表面だけにその照射が行われながら反対面に透過され、これにより上記基板２００の上面に透過される光源によってスクリーン部３０に投影される影映像がさらに鮮明に投影され、上記鮮明な影映像は映像処理部４０によりさらに鮮明に撮影された後、品質制御部５０に伝送される。
【００４５】
このとき、上記品質検査部５０は、上記のように鮮明に撮影された影映像を波形化した後、上記波形化した影映像に外的要因によって影映像に含まれたノイズを除去すると共に、上記ノイズが除去された映像情報から基板２００の平坦度に対する基準値の境界条件を適用し、上記基板２００の表面に不良があるか否かをさらに精密に判断することができる。
【００４６】
これをさらに詳しく説明すると、品質検査部５０は図５のように、まず映像処理部４０によって撮影して伝送される影映像の全体イメージから観察しようとする特定領域のイメージを選択する。
【００４７】
ここで、上記影映像の全体イメージを選択せず、特定領域のイメージだけを選択することは、基板２００に対する品質検査を行う場合に、うねり形態は図１２のように大体水平方向に現われるが、図１３のように斜線型である場合もあるので、影映像の全体イメージを選択した場合、合算過程においてうねり、すなわち信号となる領域だけを合算(または平均)したら問題が発生することもあるからである。
【００４８】
次に、図６のように上記選択された特定領域のイメージから水平／垂直ラインのコラムに対するピクセル値(明るさ)をテーブル化して移動平均方式により隣接するピクセル値の平均値を抽出して映像イメージに含まれるノイズを１次的に減少させる。
【００４９】
ここで、上記ノイズはデータを蓄積する過程において、既に影映像のイメージに含まれるものであって、上記ノイズの根本原因は光源となる光の明るさの変化、光源の不安定性や特定帯域の電気信号、検査対象とする基板２００の移送過程中に発生する震動、装備の震動や環境の震動などの影響を受けて上記影映像に含まれるものであり、これにより、上記品質検査部５０は１次的にノイズを減少する作業を先に実施することである。
【００５０】
次に、上記のように、１次的にノイズが減少された状態で、上記品質検査部５０は抽出されたピクセルの平均値から図７のように水平ラインコラム(Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４、Ａ５、…、Ａｎ)を合算(または平均)したイメージ信号を出力することになるが、上記のイメージ信号は下記式から得られる。
【００５１】
【数２】
2011523701.tif 000004
【００５２】
ここで、Δｔは映像処理部による一つのラインスキャンが行なわれた後、さらに他のラインスキャンを行うのにかかる時間(約１〜２ｍｓｅｃ)を意味し、上記ｎは自然数である。
【００５３】
このとき、上記イメージ信号は図８のように波形化され、上記波形化されたイメージ信号に含まれるノイズは高速フーリエ変換(ＦＦＴ)のアルゴリズムを介して図９のように周波数の信号波形に変換させた場合、検査者が直接目で確認することができる。
【００５４】
したがって、上記品質検査部５０は、上記のようにノイズが含まれているイメージ信号が既設定された閾値(ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ)を超えるか否かを判断し、この判断結果の閾値を超えた場合、上記品質検査部５０は、図１０のように基板表面に対する品質状態を精密にチェックすることができる。
【００５５】
すなわち、感知しようとするうねり幅は約３ｍｍ〜１０ｍｍ、厚さは数ｎｍあるいは数十ｎｍであり、上記基板２００は等速運動をし(ｖ＝ｃｏｎｓｔａｎｔ)、イメージ情報は毎特定時間(１〜２ｍｓｅｃ)に得られるので、図８のイメージ信号を、図９のようにＦＦＴ変換した場合、どの領域が信号領域であるかを計算すると、３ｍｍ間隔のうねりはｔ(時間)＝３ｍｍ／ｖとなり、これを周波数に換算するとｆ＝１／ｔ＝ｖ／３ｍｍとなり、求めようとする信号領域はｆ１〜ｆ２(ｆ１：ｆ１＝１／ｔ＝ｖ／３ｍｍ、ｆ２＝１／ｔ２＝ｖ／１０ｍｍ)となる。
【００５６】
したがって、上記範囲以外の領域はノイズと見做して不要なものであって、それで上記品質検査部５０では基板２００の平坦度に対する基準値の境界条件を適用して上記基板２００の表面にうねりが発生したかどうかをより精密にチェックすることができるようになる。
【００５７】
ここで、上記のようにノイズが除去された、図１０のイメージ信号の波形はＦＦＴ変換によって図１１のように周波数の信号波形に変換されると、検査者が直接目でノイズが除去された状態を確認することができる。
【００５８】
一方、図１４は検査ユニットに対する本発明の他の実施形態であり、光源を照射する照明部１０、上記照明部１０から照射される光源の一部は透過し、一部は特定方向に反射する第１ミラー部６０、上記第１ミラー部６０を介して透過する一部の光源が基板２００を透過するように反射する第２ミラー部２０、上記第２ミラー部２０を介して反射した光源が基板２００を透過する際、上記透過された光源の光量を検出する第１光量検出部７０、上記第１ミラー部６０を介して特定方向に反射する一部の光源から光量を検出する第２光量検出部８０、及び上記第１、２光量検出部７０、８０から検出された光量を比較して、外的要因から基板の特性により含まれるノイズまたは交流電源から発生する電源ノイズルを除去し、上記ノイズが除去された光量により基板の表面に対する品質状態を検査する品質検査部５０を含めて構成したものである。
【００５９】
すなわち、本発明の他の実施形態は、図１４のように、照明部１０から光源が照射される際、上記の光源の一部(５０％)はハーフミラーで構成される第１ミラー部６０を介して第２光量検出部８０に案内され、さらに他の一部(５０％)は上記第１ミラー部６０を透過して第２ミラー部２０に案内される。
【００６０】
これにより、上記第２光量検出部８０は上記一部の光源に対する光量を検出した後これを品質検査部５０に出力し、上記第２ミラー部２０は上記第１ミラー部６０を介して透過する一部の光源が基板２００を透過できるように反射される。
【００６１】
このとき、上記第２ミラー部２０を介して反射された光源が基板２００を透過する際、上記透過された光源の光量は第１光量検出部７０によって検出された後、上記品質制御部５０に出力されるが、上記品質制御部５０は上記第１、２光量検出部７０、８０から検出される光量を比較し、外的要因から含まれるノイズ(特に、電源ノイズ)を除去し、上記ノイズが除去された光量から基板表面に対する品質状態を検査することになる。
【００６２】
すなわち、上記第２光量検出部８０から検出される光量は基板２００の影響を受けない状態であり、上記第１光量検出部７０から検出される光量は基板２００を透過して、上記基板２００の影響を受けることになるが、上記品質検査部５０は上記第２光量検出部８０から検出される光量を基準値として、上記第１光量検出部７０から検出される光量から交流電源により発生する電源ノイズを除去することができ、これにより、上記品質検査部５０は上記ノイズが除去された光量から基板２００の平坦度に対する基準値の境界条件を適用して上記基板２００の表面にうねりが発生したか否かをさらに精密にチェックすることができる。
【００６３】
本発明の実施形態と同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００６４】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００６５】
１０  照明部
１１  スリット
１２  フィルタ部材
１３  光線路
２０  第２ミラー部
３０  スクリーン部
４０  映像処理部
５０  品質検査部
６０  第１ミラー部
７０、８０  第１、２光量検出部
１００  移送ユニット
２００  基板 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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