(57)【要約】  本発明は、電気信号を送受信するワイヤーを含む神経素子に関し、より具体的には、神経繊維で発生する電気信号を効率的に獲得し、前記神経繊維に電気刺激を印加するワイヤーを含む神経素子の構造に関するものである。本発明に係る神経素子は、神経繊維から検出される電気信号を処理する処理モジュールに連結され、前記神経素子は、ナノワイヤを介して神経繊維に挿入され、前記神経繊維から電気信号を獲得するか、又は前記神経繊維に挿入され、電気刺激を印加する。前記神経素子は、さらに少なくとも一つの貫通孔と支持台を備えていてもよい。本発明に係る神経素子は神経繊維を殺さずに電気信号を獲得するか、又は電気刺激を提供できる長所がある。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
神経に挿入され、前記神経に含まれた神経繊維から電気信号を獲得するか、又は電気刺激を印加する少なくとも一つのナノワイヤと、
前記ナノワイヤと電気的に連結される処理モジュールと、を含む神経素子。
【請求項２】
神経に挿入され、前記神経に含まれた神経繊維から電気信号を獲得する少なくとも一つのナノワイヤと、
前記神経に挿入され、前記神経繊維に電気刺激を印加する少なくとも一つのナノワイヤと、
前記それぞれのナノワイヤと電気的に連結される処理モジュールと、を含む神経素子。
【請求項３】
さらに、前記処理モジュールに連結され、少なくとも一つの貫通孔及びナノワイヤ支持台を備えるベースを含み、
前記ナノワイヤ支持台は、前記貫通孔を複数の領域に区分するか、又は前記貫通孔の内周面から延びて形成され、
前記ナノワイヤの一端は前記ナノワイヤ支持台に固定されることを特徴とする請求項１又は２に記載の神経素子。
【請求項４】
複数個の前記ナノワイヤは、１００×１００の配列に配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の神経素子。
【請求項５】
前記ベース、ナノワイヤ及びナノワイヤ支持台の素材は、それぞれシリコン、金、銀又は銅から選択されたいずれか１つであることを特徴とする請求項３に記載の神経素子。
【請求項６】
神経の一部を切開する工程と、
請求項１に記載の神経素子を切開部分に挿入する工程と、を含む神経繊維に対して電気信号を処理する方法。
【請求項７】
前記神経素子は、さらに少なくとも一つの貫通孔及びナノワイヤ支持台を備えるベースを含み、
前記ナノワイヤ支持台は、前記貫通孔を複数の領域に区分するか、又は前記貫通孔の内周面から延びて形成され、
前記ナノワイヤの一端は、前記ナノワイヤ支持台に固定されることを特徴とする請求項６に記載の神経繊維に対して電気信号を処理する方法。
【請求項８】
前記神経素子のベース、ナノワイヤ及びナノワイヤ支持台の素材はそれぞれシリコン、金、銀又は銅から選択されたいずれか１つであることを特徴とする請求項６又は７に記載の神経繊維に対して電気信号を処理する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気信号を送受信するワイヤーを含む神経素子に関し、より具体的には、神経で発生する電気信号を効率的に獲得し、前記神経に電気刺激を印加するワイヤーを含む神経素子の構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
以下、人体内で発生する電気信号を検出する従来の装置について説明する。
【０００３】
第一に、従来には、ＭＯＳＦＥＴ（Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ−Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｆｉｅｌｄ  Ｅｆｆｅｃｔ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を基盤にして神経の電気信号を検出する素子が提案された。このような従来技術は、外部刺激に伴う神経の膜容量（ｍｅｍｂｒａｎｅ  ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ）変化をＭＯＳＦＥＴ素子のゲーティング（ｇａｔｉｎｇ）を利用してモニターリングする技術であり、複数個の神経反応を同時にモニターする技術である。このような従来技術は、Ｐ−ＭＯＳＰＥＴ周囲にポリイミドでつくった杭形態の柱で蝸牛のニューロン等の位置を固定して移動性を制限し、培養することによって神経の信号を検出する方法に適用された（非特許文献１）。図１は、このような第一の従来技術によって検出された細胞内信号（ｉｎｔｒａ−ｃｅｌｌｕｌａｒ  ｓｉｇｎａｌ）と細胞外信号（ｅｘｔｒａ−ｃｅｌｌｕｌａｒ  ｓｉｇｎａｌ）を示す図である。
【０００４】
第二に、脳幹又はニューロンファイバー（ｎｅｕｒｏｎ  ｆｉｂｅｒ）の電気刺激を検出するための技術が提案された。米国のユタ大学のノーマングループとサイバーキネティックス社では２０００年以降、神経と脳に多数電極（ｍｕｌｔｉ−ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）を直接挿入することによって電気信号を測定し、神経を刺激する研究を行ってきた（非特許文献２）。図２は第二の従来技術に伴う多数電極と、このような電極が猫の坐骨（ｓｃｉａｔｉｃ）神経に挿入された様子を示している。
【０００５】
第三に、ニューロンファイバー（ｎｅｕｒｏｎ  ｆｉｂｅｒ）内にシーブ（ｓｉｅｖｅ）状の電極を挿入する技術が提案された。ドイツのＦｒａｕｎｈｏｆｅｒ−ＩＢＭＴ、ＩＭＴＥＫなどの共同研究を通じて、ニューロンファイバー（Ｎｅｕｒｏｎ  ｆｉｂｅｒ）内に曲がるシーブ状の電極を挿入し、電気刺激を加えることによって、神経の再生を研究しており、神経信号の記録を試みている（非特許文献３）。図３は第三の従来技術に基づいたシーブ状の電極である。全体シーブの直径はマウスの坐骨（ｓｃｉａｔｉｃ）神経と同一な１．５ｍｍであり、４０μｍの直径を有する５７１個の孔が、７０μｍ間隔で配置されている。また、環状の電極が２７個の孔を覆っており、面積が２，２００μｍ２である。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】Ｚｅｃｋ  ｅｔ．ａｌ．，Ｎｏｎｉｎｖａｓｉｖｅ  ｎｅｕｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  ｉｎｔｅｒｆａｃｉｎｇ  ｗｉｔｈ  ｓｙｎａｐｔｉｃａｌｌｙ  ｃｏｎｎｅｃｔｅｄ  ｓｎａｉｌ  ｎｅｕｒｏｎｓ  ｉｍｍｏｂｉｌｉｚｅｄ  ｏｎ  ａ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｃｈｉｐ，Ｐｒｏｃ  Ｎａｔ  Ａｃａｄ  Ｓｃｉ  ２００１；９８
【非特許文献２】Ｎｏｒｍａｎｎ  ｅｔ．ａｌ．，Ｌｏｎｇ−Ｔｅｒｍ  Ｓｔｉｍｕｌａｔｉｏｎ  ａｎｄ  Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ  Ｗｉｔｈ  ａ  Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｎｇ  Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｄｅ  Ａｒｒａｙ  ｉｎ  ＣａｔＳｃｉａｔｉｃ  Ｎｅｒｖｅ，ＩＥＥＥ  Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ  ｏｎ  Ｂｉｏｍｅｄｉｃａｌ  Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＶＯＬ．５１，ＮＯ．１，ＪＡＮＵＡＲＹ  ２００４
【非特許文献３】Ａｎｕｐ  ｅｔ．ａｌ．，Ｄｅｓｉｇｎ，ｉｎ  ｖｉｔｒｏ  ａｎｄ  ｉｎ  ｖｉｖｏ  ａｓｓｅｓｓｍｅｎｔ  ｏｆ  ａ  ｍｕｌｔｉ−ｃｈａｎｎｅｌ  ｓｉｅｖｅ  ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ  ｗｉｔｈ  ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｅｒ，Ｊ．Ｎｅｕｒａｌ  Ｅｎｇ．  ３（２００６）  １１４−２４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述した図１の従来技術の場合、ＭＯＳＦＥＴ素子のノイズが高く、電気信号の傾向性だけを確認することができるという問題がある。
【０００８】
また、前述した図２の従来技術の場合、電極の挿入時に脳幹又は神経細胞が死ぬ問題がある。
【０００９】
また、前述した図３のシーブ状の電極を挿入する場合、各電極間の混線（ｃｒｏｓｓ−ｔａｌｋ）が発生し、電気信号を正確に検出できない問題がある。
【００１０】
本発明は、従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、本発明の目的は神経繊維を殺さずに電気信号を獲得する神経素子を提案することにある。
【００１１】
本発明のさらに別の目的は、精巧に電気信号を獲得し、精巧に神経細胞に刺激を加えることができる神経素子を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る神経素子は、前述した目的を達成するために、神経に挿入され、前記神経に含まれる神経繊維から電気信号を獲得するか、又は電気刺激を印加する少なくとも一つのナノワイヤと、前記ナノワイヤと電気的に連結される処理モジュールと、を含む特徴がある。
【００１３】
また、本発明に係る神経素子は、神経に挿入され、前記神経に含まれた神経繊維から電気信号を獲得する少なくとも一つのナノワイヤと、前記神経に挿入され、前記神経繊維に電気刺激を印加する少なくとも一つのナノワイヤと、前記それぞれのナノワイヤと電気的に連結される処理モジュールと、を含む特徴がある。
【００１４】
好ましくは、さらに、前記処理モジュールに連結され、少なくとも一つの貫通孔及びナノワイヤ支持台を備えるベースを含み、前記ナノワイヤ支持台は、前記貫通孔を複数の領域に区分するか、又は前記貫通孔の内周面から延びて形成され、前記ナノワイヤの一端は、前記ナノワイヤ支持台に固定されることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明によって神経繊維に対する電気信号を処理する方法は、神経の一部を切開する工程と、前述した神経素子を切開部分に挿入する工程と、を含む。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る神経素子は、神経繊維を殺さずに電気信号を獲得するか、電気刺激を提供できる長所がある。
【００１７】
また、本発明に係る神経素子を使用すれば、精巧に電気信号を獲得し、精巧に神経細胞に刺激を加えることができる長所がある。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第一の従来技術によって検出された細胞内信号（ｉｎｔｒａ−ｃｅｌｌｕｌａｒ  ｓｉｇｎａｌ）と細胞外信号（ｅｘｔｒａ−ｃｅｌｌｕｌａｒ  ｓｉｇｎａｌ）を示す図である。
【図２】第二の従来技術に係る多数電極と、このような電極が猫の坐骨（ｓｃｉａｔｉｃ）神経に挿入された様子を示す。
【図３】第三の従来技術に基づいたシーブ状の電極である。
【図４】本実施例に係る神経素子に含まれるナノワイヤを示した図である。
【図５】本実施例に係る神経素子に含まれるナノワイヤを示した図である。
【図６】本実施例で提案する神経素子含む装置を示す図である。
【図７】本発明を製作する方法の一例を説明する図である。
【図８】本発明を製作する方法の一例を説明する図である。
【図９】本発明を製作する方法の一例を説明する図である。
【図１０】本実施例で提案する電極が神経に挿入される一例を示す。
【図１１】本実施例に係る神経素子を挿入する一例を示す。
【図１２】貫通孔を通じて復元される神経を示す斜視図である。
【図１３】前記ナノワイヤ支持台５０３が前記貫通孔５０２に固定される形状の一例を示した図である。
【図１４】前記ナノワイヤ支持台５０３が前記貫通孔５０２に固定される形状の一例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の具体的な特徴及び効果は、以下で説明する本発明の実施例によりさらに具体化されるだろう。以下添付された図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００２０】
本実施例に係る神経素子はナノサイズの物質を含む。ナノサイズの物質はサイズが小さく、表面積／体積比が増加するため、表面で起こる電気化学的な反応が優先的なので、様々なセンサーとして利用できる。特に、ナノチューブ、ナノ線及びナノバーなどの一次元ナノ素材は縦横比（ａｓｐｅｃｔ  ｒａｔｉｏ）が大きく、操作が容易なので、最も早くナノ素子として具現された。
【００２１】
本実施例は、神経から電気信号を獲得するためにナノワイヤを基盤にする神経素子を提案する。本実施例に係る神経素子は、神経から電気信号を獲得するか、又は神経に電気刺激を印加する少なくとも一つのナノワイヤを含む特徴がある。
【００２２】
図４は、本実施例に係る神経素子に含まれるナノワイヤを示した図である。
【００２３】
本実施例に係るナノワイヤ４０１は、神経繊維４０２から電気信号を獲得するか、又は前記神経繊維４０２に電気刺激を提供する特徴がある。解剖学的に神経（ｎｅｒｖｅｓ）は肉眼でも観察可能な細長い構造物であり、組織学的には多数の神経束（ｎｅｒｖｅ  ｂｕｎｄｌｅｓ）が集まったものである。一方、神経束は多数の神経繊維（ｎｅｒｖｅ  ｆｉｂｅｒｓ）が集まったものである。神経繊維は、神経細胞の軸索（ａｘｏｎ）部分を指すものであり、軸索が繊維のように細長い形状であることから、神経繊維という名称として呼ばれている。神経繊維は軸索／軸索突起などの様々な名称として呼ばれる。
【００２４】
それぞれの神経繊維は、いずれもソフトな結合組織である神経繊維膜（ｅｎｄｏｎｅｕｒｉｕｍ）に囲まれ、神経束は神経束膜（ｐｅｒｉｎｅｕｒｉｕｍ）に囲まれ、神経束の束である神経は、神経上膜（ｅｐｉｎｅｕｒｉｕｍ）に囲まれている。これらの膜は全て神経を保護するためのものであり、肉眼では神経上膜だけが識別される。
【００２５】
図示されるように、本実施例に係るナノワイヤ４０１は、神経繊維４０２に挿入され、電気信号を獲得するか、又は電気刺激を提供する。即ち、本実施例に係るナノワイヤ４０１は、神経束内の神経繊維内に挿入され、神経繊維の表面を沿って発生する電気信号を獲得するか、又は前記神経繊維に電気刺激を提供する。
【００２６】
従来には、マクロ単位サイズに製作された電極を配列して神経繊維に挿入したが、この場合、電極が挿入される神経繊維に損傷が生じ、神経繊維が死ぬ問題が発生した。しかし、本実施例の場合、電気信号の獲得及び／又は電気刺激の提供のために、ナノワイヤ４０１を使用しているため、神経繊維に対する損傷を最小化することができる。
【００２７】
前記ナノワイヤ４０１は、直径が数十〜数百ｎｍに過ぎなく、神経繊維４０２のある一部分にも挿入することができる。一般的に、神経繊維４０２の直径は数十マイクロメーター以上であるあるので、前記ナノワイヤ４０１が挿入されても神経繊維４０２に大きな損傷を与えない。
【００２８】
前記ナノワイヤ４０１は、図４に示されるように、神経繊維の長手方向に挿入されることが好ましい。前記ナノワイヤ４０１が長手方向に挿入される場合、前記ナノワイヤ４０１及び神経繊維４０２の外側の部分間の接触面積が最大になりやすいため、神経繊維の長手方向に挿入されることが好ましい。但し、前記ナノワイヤ４０１が挿入される方向には制限がなく、図５に示されるように、神経繊維４０２に垂直する方向にナノワイヤ４０１が挿入されていてもよい。
【００２９】
図６は、本実施例で提案するナノワイヤを含む装置を示す図である。
【００３０】
以下で言及される図面は、説明の便宜のために、各部材の大きさを誇張するか、又は縮小して図示したものであり、本発明が添付された図面の具体的な数値に制限されない。
【００３１】
本実施例に係る神経素子は電極及び処理モジュールを含む。
【００３２】
本実施例に係る電極５００は、神経繊維から検出される電気信号を処理する処理モジュール５１０に連結される。前記処理モジュール５１０は、神経繊維から電気信号を獲得するか、又は神経繊維に電気信号を印加する動作を制御する。前記処理モジュール５１０は、前述した従来技術などで使われた従来の素子を利用して製作しうる素子である。
【００３３】
本実施例に係る電極５００は、神経繊維から獲得した電気信号を前記処理モジュール５１０に提供し、前記処理モジュール５１０の制御に応じて前記神経繊維に電気刺激を印加する。
【００３４】
図６の一例に係る電極５００は、ベース５０１と貫通孔５０２とナノワイヤ支持台５０３及びナノワイヤ５０４を含む。
【００３５】
前記ベース５０１は、板状又は様々な立体形状で製作され、前記処理モジュール５１０に連結される。前記ベース５０１には少なくとも一つの貫通孔５０２が製作されることが好ましい。前記貫通孔５０２は円形、楕円形、多角形などの様々な断面を有していてもよいが、好ましくは製作が容易な円形形状や神経束の断面に相応する形状で製作される。前記貫通孔は、好ましくは数十μｍ  から数十ｎｍの直径を有する。
【００３６】
前記貫通孔５０２の内周面には、ナノワイヤ支持台５０３が備えられることが好ましい。前記ナノワイヤ支持台５０３は、前記ナノワイヤ５０４が一方向に固定されるように前記ナノワイヤ５０４を支持する。前記ナノワイヤ５０４は前記ナノワイヤ支持台５０３によって固定されることが好ましい。
【００３７】
図６の一例は、処理モジュール５１０の一側に、本実施例に係る電極５００が連結される一例に関するものである。処理モジュール５１０の一側に連結される電極５００は、神経繊維から電気信号を獲得するか、電気刺激を印加するか、又は電気信号を獲得すると同時に、電気刺激を印加することができる。一方、処理モジュール５１０に連結される電極５００の個数には制限がない。例えば、処理モジュール５１０の対向する両側に、二つの電極５００が連結されていてもよい。この場合、処理モジュール５０１の一側に備えられる第１電極は神経繊維から電気信号を獲得し、処理モジュール５０１の他側に備えられる第２電極は神経繊維に電気刺激を印加することが好ましい。
【００３８】
前述した図６の電極５００は様々な方法で製作できる。以下、ナノワイヤ５０４の成長方法と前記ナノワイヤ５０４を備えた電極５００の製作方法を説明する。
【００３９】
図７は、触媒を用いてナノワイヤを合成する方法を説明する概念図である。図示されるように、ナノクラスターに反応物（ｒｅａｃｔａｎｔ）を加える場合、結晶核生成（ｎｕｃｌｅａｔｉｏｎ）及び成長（ｇｒｏｗｔｈ）が行われ、ナノワイヤが合成される。合成されたナノワイヤは、図８に示される形状を有していてもよい。また、本実施例に使われるナノワイヤは、従来文献（Ｓｉ  Ｎａｎｏｗｉｒｅ  Ｂｒｉｄｇｅｓｉｎ  Ｔｒｅｎｃｈｅｓ：  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｇｒｏｗｔｈ  ｉｎｔｏ  Ｄｅｖｉｃｅ  Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ  Ａｄｖ．  Ｍａｔｅｒ．  ７，２０８９，２００５）などに記載された方法で形成されていてもよい。
【００４０】
前述した内容によれば、図９に示されるような、様々な３次元構造を有するナノワイヤの製作が可能である。
【００４１】
以下、前述したナノワイヤを含む電極５００の製作方法の一例を説明する。前述した貫通孔５０２とナノワイヤ支持台５０３とを含むベース５０１は、シリコンのような様々な素材のウエハー上にフォトマスクとエッチング工程を適用して具現することができる。
【００４２】
貫通孔５０２とナノワイヤ支持台５０３とを含むベース５０１が形成されれば、前記ナノワイヤ支持台５０３上に、ナノワイヤ５０４が成長する位置に触媒を位置する。例えば、ナノワイヤ支持台５０３の中間部位にナノワイヤ５０４を固定する場合には、前記ナノワイヤ支持台５０３の中間部位に、ナノワイヤ５０４成長のための触媒を位置する。前記触媒は、リソグラフィー工程などを介してナノワイヤ支持台５０３の任意の部分に位置されていてもよい。前記触媒は、成長させようとするナノワイヤ５０４の素材によって選択されることが好ましく、例えばシリコンナノワイヤを成長させる場合には、Ａｕ触媒を使用することができる。前記触媒が基板上に位置する場合、ＣＶＤ工程などを介して反応物を供給し、ナノワイヤ５０４を完成させることができる。
【００４３】
前記ベース５０１、ナノワイヤ支持台５０３及びナノワイヤ５０４は様々な材質であってもよい。例えば、シリコン、金、銀及び銅のようにナノ工程によりナノ素子に具現され得る半導体素子又は金属が可能である。
【００４４】
図１０は、本実施例で提案する神経素子が神経に挿入される一例を示す。前述のように、本実施例に係る神経素子は神経に挿入される。神経素子を神経に挿入するために、神経を切開し、切開した隙間に電極５００を挿入する。
【００４５】
具体的に、図１０に示されるように、多数の神経繊維（未図示）を含む神経束６０１からなる神経６００を切開した後、切開した部位に前記電極５００を挿入する。
【００４６】
前記電極５００が挿入される方向には制限がないが、好ましくは、前記電極５００に含まれたナノワイヤ５０４が神経の長手方向に挿入するように電極５００を挿入する。
【００４７】
前記電極５００が挿入された以後には、切開した神経６００を縫合する。
【００４８】
切開された神経６００が切開された状態に放置される場合には、神経が死ぬ問題が生じるが、切開された神経６００は電極５００が挿入された後、縫合されるので、自生的に神経の連結が復元され得る。特に、本実施例に係る電極５００は、図６に示されるように、少なくとも一つの貫通孔５０２を備えているので、前記貫通孔５０２を介して切開された神経繊維が自生的に復元される。従って、神経繊維から発生する電気信号を持続的に獲得できる長所がある。
【００４９】
図１１は、本実施例に係る神経素子を挿入する一例を示す。図示されるように、神経一部を切開し、挿入した後、神経内での電気信号を獲得でき、挿入される神経は図示されるように聴神経であってもよい。
【００５０】
図１２は貫通孔を通し復元される神経繊維を示す斜視図である。
【００５１】
図示されるように、一時的に切開された神経繊維８０１は、前記貫通孔５０２を介して復元されることになるが、結局、神経繊維８０１内に前記ナノワイヤ５０４が神経の長手方向に挿入される。図１２の一例に示されるように、ベース５０１には貫通孔５０２が備えられ、貫通孔５０２の内周面５０５にはナノワイヤ支持台５０３が固定され、前記ナノワイヤ支持台５０３にはナノワイヤ５０４が固定される
【００５２】
前記神経繊維８０１は、同一の方向に多数存在するので、前記ナノワイヤ５０４は一定の方向に複数個存在することが好ましい。また、神経繊維８０１内に前記ナノワイヤ５０４が正確に挿入できるように、既設定された配列パターンに応じて前記ナノワイヤ５０４が配置されることが好ましい。例えば、同間隔でナノワイヤ５０４が配置されていてもよく、特定の領域に対して密にナノワイヤ５０４が配置されていてもよい。前記ナノワイヤ５０４は縦横１００個ずつ備えられていてもよい。即ち、前記ナノワイヤ５０４は１００×１００配列に配置されていてもよい。
【００５３】
図１２のナノワイヤ５０４が多数個備えられた場合、前記ナノワイヤ５０４は神経繊維８０１様々な部分（例えば、神経繊維の外側部分）に挿入され得る。
【００５４】
図１３及び図１４は、前記ナノワイヤ支持台５０３が前記貫通孔５０２に固定される形状の一例を示した図である。図１３に示されるように、前記ナノワイヤ支持台５０３は貫通孔５０２を複数の領域に区分するように形成されていてもよい。ナノワイヤ支持台５０３は図示されるように、直線状を有するか、又は種々曲率を有する曲線で形成されてもよい。また、図示されるように貫通孔５０２の内周面５０５から延びて形成されるか、又はベース５０１のある一面から延びて形成されてもよい。
【００５５】
一方、図１４に示されるように、前記ナノワイヤ支持台５０３の一端は、前記貫通孔５０２の内周面５０５に固定され、その他端は自由に位置していてもよい。
【００５６】
本発明は、本発明の精神及び必須特徴を逸脱しない範囲で、他の特定の形態に具体化できることは当業者に自明である。従って、上記の詳細な説明は、全ての面から制限的に解析されてはならなく、例示的なものとして考慮しなければならない。本発明の範囲は、添付された請求範囲の合理的な解釈により決定されなければならなく、本発明の等価的範囲内でのあらゆる変更は本発明の範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明に係る電極は神経繊維から電気信号を獲得し、電気刺激を提供する様々な電気装置に使用することができる。従って、本発明は産業上の利用可能性が認められるのが適切である。
【符号の説明】
【００５８】
５００  電極
５０１  ベース
５０２  貫通孔
５０３  ナノワイヤ支持台
５０４  ナノワイヤ
５１０  処理モジュール
【図２】
2011500260.tif 000003
【図３（Ａ）】
2011500260.tif 000004
【図３（Ｂ）】
2011500260.tif 000005
【図４】
2011500260.tif 000006
【図５】
2011500260.tif 000007
【図６】
2011500260.tif 000008
【図８】
2011500260.tif 000009
【図９】
2011500260.tif 000010
【図１０】
2011500260.tif 000011
【図１２】
2011500260.tif 000012
【図１３】
2011500260.tif 000013
【図１４】
2011500260.tif 000014
【図１】
2011500260.tif 000015
【図７】
2011500260.tif 000016
【図１１】
2011500260.tif 000017
【国際調査報告】
2011500260.tif 000018
2011500260.tif 000019