(57)【要約】  液化又は２相流体を入れた輸送容器から高圧で気相流体を運搬するシステムが提供される。システムは、（ａ）ほぼ水平位置に位置決めされた輸送容器と、（ｂ）輸送容器の下部に配置された１つ又は複数のエネルギー伝達デバイスとを備えており、エネルギー伝達デバイスは、加熱手段と、間隙に対してその間に配置された熱伝導性非接着層を備えており、輸送容器にほぼ均一なエネルギーを与える。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高圧で気相流体を運搬するために利用される輸送容器用エネルギー伝達機構であって、
容器壁と接触する熱伝導性非接着層の薄い層、容器壁の輪郭に実質的に一致する少なくとも１つの加熱素子、及び前記熱伝導性非接着層と前記加熱素子の間に配置された熱インターフェイス材料を含む、輸送容器の下部に配置された少なくとも１つのエネルギー伝達デバイスであって、前記熱インターフェイス材料は前記輸送容器の不一致構成と前記加熱素子の間の間隙を実質的に充填し、それにより前記輸送容器にほぼ均一なエネルギーを与えるデバイスを備えたエネルギー伝達機構。
【請求項２】
前記エネルギー伝達デバイスの外周面に配置され、前記エネルギー伝達デバイスを前記輸送容器の下部と熱接触させて前記エネルギー伝達デバイスを保持する、１つ又は複数のほぼ剛性の支持体をさらに備えた、請求項１に記載のエネルギー伝達機構。
【請求項３】
前記熱インターフェイス材料は、前記輸送壁内の欠陥を充填する、請求項１に記載のエネルギー伝達機構。
【請求項４】
前記輸送容器壁は、トン、ドラム又はＩＳＯ容器である、請求項１に記載のエネルギー伝達機構。
【請求項５】
前記加熱デバイスは、前記輸送容器を遮断することなく容易に取り外す又は変更することができる、請求項１に記載のエネルギー伝達機構。
【請求項６】
前記加熱素子は可撓性、又は剛性であってもよい、請求項１に記載のエネルギー伝達機構。
【請求項７】
前記加熱素子は、ブランケット加熱装置、ステンレス鋼加熱パッド、ケーブル及びコイル、バンド加熱装置、加熱装置テープ、加熱ワイヤ及びその組み合わせからなる群から選択することができる、請求項１に記載のエネルギー伝達機構。
【請求項８】
前記熱インターフェイス材料は固相であり、高い熱伝導性及び高い表面粘着性を有する、請求項１に記載のエネルギー伝達機構。
【請求項９】
前記熱インターフェイス材料はシリコン・ゴムである、請求項８に記載のエネルギー伝達機構。
【請求項１０】
前記加熱素子は、剛性及び整合材料の１つ又は複数の層の組み合わせから構成されている、請求項７に記載のエネルギー伝達機構。
【請求項１１】
前記熱伝導性非接着層は、約０．０２５ｍｍから０．１２５ｍｍ（約１から５ミル）の範囲の厚さを有する箔材料である、請求項１に記載のエネルギー伝達機構。
【請求項１２】
様々な円筒形輸送容器に適応された効率的なエネルギー伝達システムであって、
（ａ）水平に配置された円筒形輸送容器を収納するための三日月形のほぼ剛性のあるクレードルと、
（ｂ）容器壁と接触している熱伝導性非接着層の薄い層、前記容器壁の輪郭に実質的に一致する加熱素子、及び前記熱伝導性非接着層と前記加熱素子の間に配置された熱インターフェイス材料を含む、前記輸送容器の下部に配置された少なくとも１つのエネルギー伝達デバイスと、を有し、前記熱インターフェイス材料は、前記輸送容器の不一致構成と前記加熱素子の間の間隙を実質的に充填し、それにより前記輸送容器にほぼ均一なエネルギーを与えるエネルギー伝達システム。
【請求項１３】
前記システムは、２００から４６０ｓｌｐｍまでの範囲の持続可能な流量で使用点で気相の気体を運搬する、請求項１２に記載の効率的なエネルギー伝達システム。
【請求項１４】
高圧で気相流体を運搬するために利用される輸送容器用のエネルギー伝達機構であって、
容器壁の輪郭に実質的に一致する少なくとも１つの加熱素子、及び前記輸送容器と前記加熱素子の間に配置された熱インターフェイス材料を含む、輸送容器の下部に配置された少なくとも１つのエネルギー伝達デバイスを有し、前記熱インターフェイス材料は前記輸送容器の不一致構成と前記加熱素子の間の間隙を実質的に充填し、それにより前記輸送容器にほぼ均一なエネルギーを与えるエネルギー伝達機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルク特殊ガス供給システムで利用することができる高度エネルギー伝達機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
これらのシステムは、半導体、発光ダイオード、液晶ディスプレイ又は光電池製造者に流体を運搬するために任意の数の大規模な輸送容器を必要とする。特に、エネルギー伝達機構は、効率的な方法でエネルギーを運搬するように容器壁表面と一致する、外部の取外し可能なデバイスである。
【０００３】
半導体、発光ダイオード（ＬＥＤ）、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）製造、及び光電池（ＰＶ）などの工業的な処理及び製造の応用には、１つ又は複数の非空気流体を利用する処理ステップが必要となる。「非空気」流体又は気体は、空気の構成成分に由来しない流体（様々な相で）のことを言うことは当業者には分かるだろう。本明細書で利用されるように、非空気流体又は気体としては、これに限らないが、アンモニア、三塩化ホウ素、二酸化炭素、塩素、ジクロロシラン、含ハロゲン炭素化合物、フッ化水素などが挙げられる。特に、製造には、気相で非空気気体を加えることが必要である。
【０００４】
普通、気体は１つ又は複数の輸送容器を備えたバルク特殊気体システムでの製造者の設備に運搬される。流体は、気相でこの容器から取り除かれ、不連続した方法で使用点へ運搬される。
【０００５】
最終的な応用例では、気相気体は、そうでなければこれらの汚染物質が製品基盤（例えば、半導体ウェーハ、ＬＣＤ母材ガラス、又はＬＥＤサファイア基盤、及びＰＶ基板）上に蒸着する可能性があるので、比較的低レベルの低揮発性汚染物質を含んでいる必要がある。水、金属及び粒子状物質を含んでいる、これらの低揮発性汚染物質の蒸着により、低い輝度（ＬＥＤ製造）及び歩留まり損失（半導体、ＬＣＤ、又はＰＶ製造）を含む、いくつかの悪影響が作り出される可能性がある。
【０００６】
シラン及び三フッ化窒素などの流体は、気相に運搬及び貯蔵される。低揮発性成分はすぐには蒸発しないので、これらの流体の濃度は典型的には低い。他の非空気流体又は気体は、液体又は蒸気／液体混合物として輸送及び貯蔵される。これらの気体は普通、低蒸気圧気体として知られており、例えば、アンモニア、塩化水素、フッ化水素、二酸化炭素、及びジクロロシアンが挙げられる。これらの流体は典型的には、２１．１１℃（７０°Ｆ）の温度で１０７５.６９×１０−６Ｐａ・ｇ（１，５００ｐｓｉｇ）より低い蒸気圧を有する。貯蔵された液体低蒸気圧気体の蒸気への変換により、低揮発性汚染物質を蒸発させる傾向があるので、必要な純度で気相の使用点へこれらの後者の気体を運搬するために複雑な機構が必要である。
【０００７】
バルク気体供給システムに関連する重要な問題の１つは、核沸騰を避けるような方法での、容器壁への熱の形のエネルギーの運搬である。本明細書で使用される「核沸騰」という用語は、液相低蒸気圧流体の活発な沸騰の形を含意している。このような沸騰により、低揮発性汚染物質を含む液体液滴を気相内に混入させ運ぶことができる。
【０００８】
いくつかのエネルギー伝達機構が、バルク気体供給システムの関連技術で提案されている。いくつかの機構は、バルク気体供給容器内に取り付けられた内部加熱デバイスが必要であり、その他は、エネルギー入力、及び容器内に入れられた液体流体の蒸発を制御するために外部加熱デバイス又はその混合物を必要とする。
【０００９】
Ｆｒｉｅｄｔの特許文献１は、容器の内側の液気界面の温度を基本的に一定に維持するように機能する内部熱交換器を開示しているが、外部熱交換器は気体を予熱するように主に機能する。内部熱交換器は、液体流体の上で、容器の内部に物理的に配置されている。
【００１０】
Ｂｅｃｋ他の特許文献２は、圧縮気体分配バルク容器を加熱及び支持するための内蔵加熱素子を備えた外部加熱装置スキッドを教示している。このスキッドは、シリンダを処理するために必要な機構を組み込んでおり、また制御した方法でシリンダを加熱する手段も提供する。
【００１１】
本出願の出願人に譲渡された、Ｐａｎｔ他の特許文献３は、特に貯蔵容器に近接して位置決めされた外部加熱手段を備えた、高流量で液化圧縮気体を運搬する方法を対象としている。加熱手段の熱出力は、その中に入れられた液化気体の気化を制御するために、液化圧縮気体を加熱するように調節される。
【００１２】
関連技術の内部加熱機構に関連する欠点のいくつかは、内部加熱は、デバイスを容器製造過程中に設置する必要があるということである。これは、容器製造過程を複雑にするだけでなく、保守の問題を生じさせ、加熱手段のさらなる改良及び向上の柔軟性を小さくする。加えて、内部加熱手段は普通、液化気体に直接接触した熱伝達デバイスを有する。これにより、余分な可能性のある気体汚染物質源が加えられ、これは熱伝達デバイスから分離された不純物、又はこのようなデバイス内部に入れられた熱伝達媒体の漏洩によるものである可能性がある。
【００１３】
一方、従来のバルク供給システム内で見られる外部加熱機構は、容器の表面の輪郭に一致せず、不均一な又は核沸騰につながる。容器壁に張力接触して保持されたシリコン・ゴム加熱バンドなどの可鍛加熱装置からなる加熱機構は、加熱バンド及び／又は容器の表面の凹凸による局所空隙につながる。空隙はさらに、バルク気体供給システムの性能及び安全性に悪影響を与える、加熱バンド上の局所温点の形成に貢献する。
【００１４】
流体槽加熱機構は容器表面に一致するが、表面凹凸に関わらず、これらの機構により他の技術的及び保守問題が生じる。例えば、所要の火力が増加した場合、流体が核沸騰を展開させることが可能となり、この場合、熱運搬が小さくなる。加えて、ＩＳＯ容器などの大きな気体容器／容器の場合、流体槽の製造、制御及び保守の問題がさらにより複雑になる可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】米国特許第５，６７３，５６２号明細書
【特許文献２】米国特許第６，０２５，５７６号明細書
【特許文献３】米国特許第６，５８１，４１２号明細書
【特許文献４】米国特許出願公開第２００８／００００２３９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
上に記載した従来のシステムの欠点を解消するために、本発明の目的は、バルク気体供給システムで利用されるドラム、トン又はＩＳＯ容器などの輸送／貯蔵容器のための効率的なエネルギー伝達機構を提供することであり、外部加熱デバイスは、その間の空隙を実質的に小さくする方法で容器の表面上に配置されている。
【００１７】
本発明の別の目的は、輸送／貯蔵容器から高い圧力で気相流体を運搬するシステムを提供することであり、エネルギー伝達デバイスは、容器にエネルギーを効率的に伝達するように、容器壁と接触して構成及び保持されている。特に、エネルギー伝達デバイスは、輸送／貯蔵容器の壁面と密接に接触して保持され、エネルギーの不均一な分配を実質的になくす。加えて、エネルギー伝達デバイスの寿命が長くなる。
【００１８】
本発明のさらに別の目的は、様々な輸送／貯蔵容器上で取り除かれ利用されるように設計されたエネルギー伝達デバイスを提供することである。さらに、エネルギー伝達デバイスは、故障の場合に、容易に取り除き置換することができる。
【００１９】
本発明の別の目的は、使用点で必要な純度を維持しながら、より高い気体運搬流量につながる、輸送／貯蔵容器に伝達されるエネルギーを大きくするように設計されたエネルギー伝達デバイスを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の他の目的及び態様は、ここに添付された明細書、図面及び特許請求の範囲を参照すれば、当業者には明らかとなろう。
【００２１】
本発明の一態様によると、高圧で気相流体を運搬するために利用される輸送容器用エネルギー伝達機構が提供される。機構は、容器壁と接触する熱伝導性非接着層の薄い層、容器壁の輪郭に実質的に一致する少なくとも１つの加熱素子、及び熱伝導性非接着層と加熱素子の間に配置された熱インターフェイス材料を含む、輸送容器の下部に配置された少なくとも１つのエネルギー伝達デバイスを備えており、熱インターフェイス材料は、輸送容器の不一致構成と加熱素子の間の間隙を実質的に充填し、それにより輸送容器にほぼ均一なエネルギーを与える。
【００２２】
本発明の別の態様によると、様々な円筒形輸送容器に適応された効率的なエネルギー伝達システムが提供される。このシステムは、（ａ）水平に配置された円筒形輸送容器を収納するための三日月形のほぼ剛性のあるクレードルと、（ｂ）容器壁と接触している熱伝導性非接着層の薄い層、容器壁の輪郭に実質的に一致する加熱素子、及び熱伝導性非接着層と加熱素子の間に配置された熱インターフェイス材料を含む、前記輸送容器の下部に配置された少なくとも１つのエネルギー伝達デバイスとを備えており、熱インターフェイス材料は、輸送容器の不一致構成と加熱素子の間の間隙を実質的に充填し、それにより輸送容器にほぼ均一なエネルギーを与える。
【００２３】
本発明の目的及び利点は、添付の図面に関連するその例示的な実施例の以下の詳細な説明によりより分かるだろう。同様の番号は、全体を通して同じ特徴を示している。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】外部エネルギー伝達機構を備えた輸送容器の略図である。
【図２ａ】クレードルと輸送容器の間の間隙を充填する、熱インターフェイス材料を含むエネルギー伝達機構を備えた気相流体を運搬するシステムの例示的な実施例を示す図である。
【図２ｂ】クレードルの不一致表面湾曲と輸送容器の間の間隙を充填する熱インターフェイス材料のグラフである。
【図３】従来の加熱機構でのトン容器と本発明のものの間の比較気体運搬流を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
半導体デバイス、ＬＥＤ、ＬＣＤ、及び太陽／光電池の製造には、使用点への気相低蒸気圧気体の運搬が必要である。これらの流体は、顧客の純度及び流量要件を満たしている必要がある。本発明は、半導体又はＬＥＤ製造者に運搬するための圧縮気体の輸送で利用される、バルク特殊気体供給システムのための高度エネルギー伝達機構を提供する。圧縮気体は、使用点へ、典型的には製造場所で、低揮発性汚染物質においてリーンである低蒸気圧蒸気流として運ばれる。本明細書で利用される「リーン」という用語は、気体製造者によって与えられる液体又は２相流体より低いレベルの低揮発性汚染物質を中に有する蒸気流を意味するものとする。システムは、一貫性のあるベースで必要な純度を与える。さらに、バルク特殊気体供給システムの一部である、輸送／運搬容器（これ以下、輸送容器と呼ぶ）は、約２２６．８ｋｇ（約５００ｌｂｓ）より多く、好ましくは９０７２ｋｇと２２６８０ｋｇ（約２０，０００から５０，０００ｌｂｓ）の間の低蒸気圧流体を運ぶように設計されていることが好ましい。加えて、容器は船積みされることが可能であることが好ましく、国際標準化機構（ＩＳＯ）要件（例えば、ＩＳＯ容器基準）に準拠していることが好ましい。このような輸送容器は、シリンダ、ドラム、又はトン容器又はＩＳＯ容器を含んでいることを当業者は理解するであろう。
【００２６】
典型的には、低蒸気圧非空気流体は、その自身の蒸気圧を受けて輸送容器内に貯蔵される。使用点へ運搬される輸送容器内に入れられた流体は、プロセス依存であり、言及を容易にするために、アンモニアが一般的な流体として利用されているが、あらゆる数の低蒸気圧非空気流体を利用することができることが理解されるであろう。輸送容器は、利用される流体と完全に非反応性であり、真空及び高圧力の両方に耐えることができる、炭素鋼、タイプ３０４及び３１６ステンレス鋼、ハステロイ、ニッケル又は被覆金属（例えば、ジルコニウム被覆炭素）などの材料で構成することができる。
【００２７】
ＩＳＯ容器などの輸送容器は、「オンサイト」で、すなわち製造設備に密接して設置されており、温度が−３０℃まで下がる可能性がある屋外、又は屋内設置することができる。製造設備は、偶然の漏洩又はシステムの他の故障の場合に、自動気体センサ及び緊急緩和システムを備えていることが好ましい。
【００２８】
輸送容器を絶縁する、部分的に絶縁する、又は全く絶縁しないことができる。その結果、設備での輸送及び貯蔵中の輸送容器内容物の温度は、大気温と同様である可能性がある。例えば、１０℃（５０°Ｆ）の温度では、輸送容器内の圧力は６３．９７×１０−６Ｐａ・ａ（約８９．２ｐｓｉａ）である。従来のシステムに関連する問題の１つは、加熱素子／パッド（これ以下、加熱素子と呼ぶ）と輸送容器の間の接触点から離れて、エネルギーは加熱素子から容器表面まで効率的に伝達せず、その結果、熱損失及び余分な消費電力が大きくなる。さらに、加熱素子と輸送容器の間の接触が良くない位置では、加熱素子は過熱及び焼損の影響を受けやすい。
【００２９】
輸送容器から使用点への気相気体の運搬における最も重要なパラメータの１つは、流量である。この作動パラメータは、輸送容器内の液化気体への熱伝達によるものである。上で論じたように、熱の形で輸送容器に与えられるエネルギーは、対流沸騰方法であることが好ましい液体沸騰を達成するために注意深く制御する必要がある。このように、気相中に混入された液滴が最小限に抑えられ、その後、粒子状不純物が実質的に少なくなる。
【００３０】
本発明は、輸送容器への最適な熱伝達を可能にし、気体運搬流量の改善につながる加熱デバイスを含む熱伝達機構を提供する。図１を参照すると、外部エネルギー伝達デバイス２１０を備えた輸送容器２２０の略図が与えられている。特に、熱インターフェイス材料５１０は、加熱素子２１０と輸送容器壁２２０の間の充填材料として利用される。熱インターフェイス材料により、加熱素子２１０と容器壁２２０の間の空隙がなくなる。さらに、インターフェイス材料は、輸送容器壁２２０上の表面凹凸と、加熱輸送容器壁２２０と加熱素子２１０の不一致の湾曲を充填する。非接着材料５２０を、輸送容器壁２２０と熱インターフェイス材料の間で利用して、変更の際の加熱素子の簡単な取り除きを容易にすることができる。非接着材料５２０はまた、タンクの重量によって、又は別の方法では加熱素子を容器壁に固定する機構によって圧力が加えられた際に、輸送容器壁２２０上のあらゆる表面凹凸に一致することができるべきものである。加えて、非接着材料５２０は優れた熱伝導性を有し、それにより、それを追加することが加熱素子２１０と容器壁２２０の間の熱伝達に対する抵抗を実質的に大きくすることはない。
【００３１】
典型的には、（１つ又は複数の）円筒形に構成された輸送容器は、製造者の現場で水平位置に置かれている。エネルギー／熱源は、輸送容器の下部に配置された１つ又は複数のエネルギー伝達デバイスである。加熱素子／パッドは典型的には、ブランケット加熱装置、加熱棒、ケーブル及びコイル、バンド加熱装置、加熱装置テープ及び加熱ワイヤから選択された、電気抵抗型の加熱手段／素子である。
【００３２】
図２（ａ）の例示的な実施例では、可鍛性又は整合材料（共に、４１０）の２層が、固相である可能性がある加熱素子２１０と容器壁２２０の間に配置されている。熱インターフェイス材料５１０の層は、固相において高い熱伝導性及び高い表面粘着性を有することができる。その結果、この層は、図２（ｂ）に示す表面凹凸及び／又は不一致表面湾曲によって生じる、輸送容器２２０の表面と加熱素子２１０の間の空隙を充填することができる。空隙を最小限に抑えることにより、層４１０は、輸送容器壁２２０への熱伝導全体を向上させる。高い表面粘着性により、この層と加熱素子の間の空隙をなくす糊を使用することなく、層４１０を加熱素子にしっかり取り付けることが可能になる。さらに、熱インターフェイス材料は、バルク供給気体システム（ＢＳＧＳ）の作動温度及び圧力下での相変化を生じない。
【００３３】
同じ又は他の材料の第２の薄い非接着層５２０（図１に示す）は、固相中の容器表面上に置かれている。この非接着層は、容器の表面への熱インターフェイス材料５１０の望ましくない付着を防ぎ、それによって加熱素子２１０の変化が可能になる、或いは、輸送容器を遮断するのが容易になる。考えられる材料はアルミニウムであるが、同じ又はより大きい熱伝導性を有する他の材料の箔も考えられる。この層の厚さは、層が容器壁の凹凸及び輪郭に一致する限り、０．０２５ｍｍから０．１２５ｍｍ（１から５ミル）、好ましくは０．０５０ｍｍから０．０７５ｍｍ（２から３ミル）の範囲であってもよい。非接着層５２０などの薄いシェル／プレートの変形は材料の厚さによるので、過剰な厚さは、層５２０と容器壁の間の望ましくない空隙につながる可能性がある。上記範囲の厚さは、典型的には数百ポンドの重さであるトン容器に適当である。ドラム又はＩＳＯ容器などのより重い容器では、層５２０の厚さはそれに応じて大きくなる可能性がある。
【００３４】
別の例示的な実施例では、本明細書に参照として全体を援用する、米国同時係属、特許文献４を参照すると、輸送容器は三日月形のほぼ剛性のあるクレードルに配置されている。三日月形のクレードルは、剛性鋼加熱パッドを利用する。１つ又は複数の別個の加熱パッドを輸送容器の下部で様々な区域それぞれに配置することができる。加熱パッドは普通、容器表面の一部を覆い、寸法は利用される輸送容器のタイプ、及び使用される加熱パッドの数によって単純に決められる。区域は独立して制御され、中の液化アンモニアにエネルギーを与える。
【００３５】
熱伝導性充填剤を備えたシリコン・ゴム熱インターフェイス材料片は、ステンレス鋼加熱パッドの上に置かれ硬化される。シリコン・ゴム材料は好ましくは高い表面粘着性を有し、それにより糊などの接着剤を利用することなく、圧力を加えて加熱パッドに非永久的にくっつくことができる。材料はまた、５から７０、好ましくは５〜１０ショアＡ目盛の硬度を有し、それにより加熱パッド及び容器表面の湾曲及び凹凸に一致することができる。このシリコン・ゴム材料の厚さは、０．３７５ｍｍから２５ｍｍ（１５から１０００ミル）の範囲であってもよく、作動温度は−５４から２００℃の範囲であってもよく、熱伝導性は０．０２４Ｗ／ｍＫを超え、好ましくは１．６Ｗ／ｍＫ以上である。硬度範囲により、材料が輸送容器によって加えられる圧力での表面凹凸及び湾曲に確実に一致することができる。厚さ範囲及び熱伝導性により、材料の熱抵抗全体は、この材料の塗布の前では、空隙より小さいことが確実になる。作動温度範囲により、材料は確実に加熱素子の作動温度下で大きな物理的又は化学的変化を受けないことが確実になる。
【００３６】
加熱パッドにシリコン・ゴム材料を塗布する際に、アルミ箔の薄い層、又はその同等物をシリコン・ゴム材料の上部に塗布することができる。シリコン・ゴム材料の高い表面粘着性により、アルミニウム箔は、加熱素子の簡単な除去を容易にする。
【００３７】
上記の例示的実施例に様々な変更を加えることができる。例えば、熱インターフェイス材料より高い硬度値を有する、シリコン・ゴムなどの整合材料上に加熱素子を構成することができる。加えて、ステンレス鋼又はセラミックなどの剛性材料の１つ又は複数の層、及びシリコン・ゴムなどの整合材料の１つ又は複数の層の組み合わせから加熱素子を構成することができる。特定の構成では、加熱素子は、熱インターフェイス材料より高い硬度値を有することができる。
【００３８】
別の例示的な実施例では、熱インターフェイス材料を加熱素子に永久的に取り付けることができる。同様に、熱インターフェイスは両側で非接着剤である可能性があるが、加熱素子に面する側を熱伝導性糊を使用してこの素子に取り付けることができる。当然であるが、糊の作動温度範囲は少なくとも、加熱素子の実際の作動範囲を含んでいるべきである。任意選択では、熱インターフェイス材料の硬度は、５から７０ショアＡの範囲であってもよい。選択した熱インターフェイス材料の表面接着が望ましい場合、又は熱インターフェイス材料自体が非接着性である場合に、非接着層は必要ない可能性があることが理解される。熱インターフェイス材料又は非接着層の係合さえないエネルギー伝達デバイスを取外し可能にすることができ、故障又は劣化の場合に容易に除去又は置換することができることも理解されたい。
【００３９】
本発明のエネルギー伝達機構を、以下の実例を参照してさらに詳細に説明するが、本発明を限定するものとして解釈すべきものではない。
【実施例】
【００４０】
本発明のエネルギー／熱伝達効率を、トン容器ベースのバルク特殊ガス供給システム上で検査して、蒸気ガス運搬流量を判断した。
【００４１】
実例では、液体及び蒸気アンモニアの混合物で充填されたトン容器を、剛性鋼加熱パッドを利用した、三日月形のほぼ剛性のあるクレードルの上に水平に置いた。本発明は、上記の発明の詳細な説明に記載したように実施した。加熱パッドからの熱出力を制御し、温度及び圧力をシステムの多数の位置で監視した。実験中、液体アンモニアを蒸発させ、ＮＨ３蒸気の流量を測定した。本発明を実施することにより、容器及び加熱パッドの表面温度を上昇させることなく、加熱パッドからの熱出力を大きくして、より高い蒸気ＮＨ３流量を与えることが可能になった。
【００４２】
実験結果によって示されるように、本発明での供給気体運搬流量は、２以上の倍数だけ大きくなった。図３に示すように、液化気体レベル（すなわち、「ヒール」レベル）とは独立して気体が運搬される流量である、持続可能な気体運搬流量は、２００ｓｌｐｍから４６０ｓｌｐｍ超まで増加した。
【００４３】
本発明をその例示的な実施例を参照して詳細に記載したが、添付の特許請求の範囲から逸脱することなく、様々な変更及び変形を加えることができ、同等物を利用することができることが当業者には分かるだろう。
【図１】
2011525963.tif 000003
【図２（ａ）】
2011525963.tif 000004
【図２（ｂ）】
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【図３】
2011525963.tif 000006
【国際調査報告】
2011525963.tif 000007
2011525963.tif 000008
2011525963.tif 000009