(57)【要約】  本発明は、内燃機関のチャンバ２９内の測定のための圧力センサ１、特に、圧力測定グロープラグに関する。この圧力センサ１は、ハウジング２と、圧力を捕捉するための圧力要素３と、圧力の方向に圧力要素３の下流でハウジング２内に配置され、センサ要素５を有する測定要素４と、ダイアフラム７とを備える。このダイアフラムは、その第１の端部９で圧力要素３に恒久的に連結され、その第２の端部１０で連結１９においてハウジング２に直接又は間接的に恒久的に連結され、圧力要素３はダイアフラム７を介して測定要素４上に支持される。
2011522263.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング（２）と、圧力を捕捉するための圧力要素（３）と、圧力の方向に前記圧力要素（３）の下流で前記ハウジング（２）内に配置され、センサ要素（５）を有する測定要素（４）と、ダイアフラム（７）とを備え、前記ダイアフラム（７）は、その第１の端部（９）で前記圧力要素（３）に恒久的に連結され、その第２の端部（１０）で連結（１９）において前記ハウジング（２）に恒久的に直接又は間接的に連結される、特に、圧力測定グロープラグである、内燃機関のチャンバ（２９）内の測定のための圧力センサ（１）であって、閉じた力経路（２０）が、作動中に前記ダイアフラム（７）から直接前記測定要素（４）を介して、特に、前記圧力要素（３）を介さずに通るように、前記圧力要素（３）は前記ダイアフラム（７）によって支持され、後者は前記測定要素（４）に支持されることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記圧力要素（３）は、少なくとも部分的に前記ハウジング（２）の外に突出することを特徴とする、請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記ダイアフラム（７）は、外部要素を通り抜けさせるために、特に、グロー電流線（３０）を通り抜けさせるために中央に切り欠きを有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記ダイアフラム（７）は、少なくとも部分的に前記圧力要素（３）と前記測定要素（４）との間の範囲内に延出することを特徴とする、請求項１から３までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記ダイアフラム（７）は、圧力方向に下流にある前記圧力要素（３）の平面に取り付けられることを特徴とする、請求項４に記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記ダイアフラム（７）は、主に有孔円盤の形で構成されることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項７】
前記ダイアフラム（７）は、圧力方向に対して横断方向に通る前記圧力要素（３）の側部平面に取り付けられることを特徴とする、請求項６に記載の圧力センサ。
【請求項８】
前記圧力要素（３）と前記ダイアフラム（７）との間の連結（１６）は、Ｉグルーブ溶接継目、Ｖグルーブ溶接継目、又は、完全溶込み溶接であることを特徴とする、請求項１から７までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記圧力要素（３）と前記ダイアフラム（７）との間の前記連結（１６）は、気密連結であることを特徴とする、請求項１から８までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項１０】
前記測定要素（４）は、前記ダイアフラム（７）のための支持面（８）上に内側と外側との両方に突出部（１２）を有することを特徴とする、請求項１から９までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項１１】
前記ダイアフラム（７）は、前記測定要素（４）上に支持される前記範囲（８）と、前記ハウジング（２）への前記連結（１９）との間の圧力伝達のための弾性的に効果的な範囲（１１）を有し、その範囲は、全ての外部構成要素から隔てて配置されることを特徴とする、請求項１から１０までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項１２】
前記ダイアフラム（７）は、前記測定要素（４）上に支持される前記範囲（８）と、前記ハウジング（２）への前記連結（１９）との間の圧力伝達のための弾性的に効果的な範囲（１１）を有し、その範囲は、前記ダイアフラム（７）の残部より薄い材料の厚さを有することを特徴とする、請求項１から１１までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項１３】
前記弾性的に効果的な範囲（１１）は、前記測定要素（４）から隔てて配置されることを特徴とする、請求項１２に記載の圧力センサ。
【請求項１４】
圧力伝達のための前記弾性的に効果的な範囲（１１）は、前記圧力センサの他の全ての構成要素から、特に、張力要素（１３）及び前記ハウジング（２）から隔てて配置されることを特徴とする、請求項１１から１３までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項１５】
前記ダイアフラム（７）は、ステンレス鋼、特に、ＤＩＮ  材料番号１．４５４２、１．４５３４、１．４５４５、ＵＮＳ  Ｓ１７７００若しくはＵＮＳ  Ｓ  １５７００、又は、Ｍａｒｖａｃ  １２５によるステンレス鋼からなることを特徴とする、請求項１から１４までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項１６】
前記圧力要素（３）、前記ダイアフラム（７）、及び／又は、前記ハウジング（２）の前方範囲は、煤の堆積、腐食及び摩耗を防止又は削減するために、表面被覆、特に、ナノ構造の表面、及び／又は、ナノ粒子で表面仕上げされた表面を提供されることを特徴とする、請求項１から１５までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項１７】
前記測定要素（４）にプレストレスを印加するための張力要素（１３）は、前記ハウジング（２）と前記測定要素（４）との間に配置され、その前記張力要素は、その第１の端部（１４）の範囲内で前記ダイアフラム（７）の近傍において、前記ハウジング（２）に直接又は間接的に恒久的に連結され、圧力方向に前記センサ要素（５）の下流の、その第２の端部（１５）で、前記測定要素（４）に恒久的に連結されることを特徴とする、請求項１から１６までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項１８】
前記ダイアフラムの前記第２の端部（１０）は、前記張力要素の前記第１の端部（１４）に恒久的に連結されることを特徴とする、請求項１７に記載の圧力センサ。
【請求項１９】
前記ダイアフラム（７）と前記張力要素（１３）との間の連結（１８）は、Ｉグルーブ継目であることを特徴とする、請求項１８に記載の圧力センサ。
【請求項２０】
前記張力要素（１３）は、スリーブ状の構成を有することを特徴とする、請求項１７から１９までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハウジングと、圧力を捕捉するための圧力要素と、圧力方向に、圧力要素の下流でハウジング内に配置され、センサ要素を有する測定要素と、ダイアフラムとを備え、ダイアフラムは、その第１の端部で圧力要素に恒久的に連結され、その第２の端部でハウジングに恒久的に直接又は間接的に連結される内燃機関のチャンバ内の測定のための圧力センサ、特に、圧力測定グロープラグに関する。
【背景技術】
【０００２】
最初に述べたものと類似の圧力センサが、例えば、国際公開第２００６／０８９４４６号から知られる。この圧力センサにおいて、ダイアフラムは、グロープラグの前方範囲内に位置し、そのダイアフラムは、燃焼空間からハウジングの内部を密封する。プレストレス（ｐｒｅｓｔｒｅｓｓ）はまた、このダイアフラムの手段によって、センサに印加できる。
【０００３】
「低歪み」スリーブとして知られるものが測定要素の周囲に施される代替実施例もまた知られている。このスリーブは、測定要素の後方範囲を支持し、前方でハウジングに連結される。これは、センサがハウジングに作用する応力及び力を感知しないことを意味する。
【０００４】
低歪みスリーブが施された、前記の文献国際公開第２００６／０８９４４６号によるセンサは、依然として、満足に作動しないことが示されている。圧力要素から力伝達要素への力伝達が弾性による場合、結果として測定中に誤差が入り込む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００６／０８９４４６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、力伝達によって引き起こされる誤差の原因がより少ない、最初に述べた種類の圧力測定要素を詳記することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
目的は、独立請求項の特徴的な形状構成によって達成される。
【０００８】
本発明が基づく理念は、ダイアフラムの手段によって測定要素上に支持される圧力要素にある。したがって、圧力要素は、測定要素から隔てて配置される。これは、もはや非常に正確に画定された、圧力要素と測定要素との間の接触面を生じさせる必要がないことを意味する。
【０００９】
ダイアフラムのこの構造的配置のおかげで、ここで、圧力要素は、もはや測定中にセンサに作用する力経路上に存在しない。したがって、他の伝達構成要素への圧力要素の不正確な取り付けは、もはや測定においてどのような誤差も引き起こさない。したがって、特に、グロープラグの圧力要素のような、いくつかの圧力要素は、その大きな労力を伴う要求される精度によってのみ作動できるので、これは重要である。それに対応して、本発明による実施例において、圧力要素、及び、その取り付けは、測定のために重要ではない。
【００１０】
本発明は、図面を参照に以下に更に詳細に説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】力伝達経路を表す、従来技術による圧力センサの概略断面図である。
【図２】力伝達経路を表す、本発明による圧力センサの概略断面図である。
【図３】力伝達経路を表す、ダイアフラムの範囲における図２の断面図である。
【図４】力伝達経路を表す、低歪みスリーブを伴う本発明による圧力センサの断面概略図である。
【図５】力伝達経路を表す、ダイアフラムの範囲における図４の断面図である。
【図６】低歪みスリーブを伴う本発明による圧力センサの断面の代替的概略図である。
【図７ａ】力伝達経路を表す、ダイアフラムの範囲における図６の変形の断面図である。
【図７ｂ】力伝達経路を表す、ダイアフラムの範囲における図６の変形の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
符号は全ての図面で同一である。
【００１３】
図１は、国際公開第２００６／０８９４４６号からの従来技術による圧力センサ１の概略断面図を表す。
【００１４】
この圧力センサ１は、ハウジング２を含み、その前方範囲に、この場合グロープラグとして構成される圧力要素３が挿入され、それは、ハウジング２の外に突出する。圧力要素３の下流には、力伝達要素２１があり、その下流にセンサ要素５が配置される。このセンサ要素５の下流には、固定要素２２があり、それは、後方で連結要素２３に支持される。連結要素２３は、その後方端部でハウジング２の肩部２４に取り付けられる。力伝達要素２１、センサ要素５及び固定要素２２は、測定要素４を共に形成する。センサ要素５は圧力センサ１内でプレストレスを印加された状態である。
【００１５】
圧力測定グロープラグとして構成される圧力センサ１を、そのためのシリンダ・ヘッドに設けられる穴内に取り付けるために、ハウジング２は、工具のための作業面として、一般的にねじ山２５及び六角部２６を有する。グロープラグの最も後方の範囲に、配線２７のための出口があり、それはまた、測定要素４のための線を含む。
【００１６】
圧力センサ１の前方範囲に、ダイアフラム７があり、それは、例えば、燃焼空間からハウジングの内部６を密封する。プレストレスはまた、このダイアフラム７の手段によって、センサ要素５に印加できる。ダイアフラム７は、この実施例において、その第１の端部の内側端部で恒久的に圧力要素３に、その第２の端部の外側端部でハウジング２に取り付けられる。
【００１７】
燃焼空間又はチャンバ２９内の圧力は、圧力要素３及び力伝達要素２１の手段によって、センサ要素５に伝達される。測定要素４は、その中心を通るピン２８によって担持される。このピン２８は、力伝達に影響しない。測定グロープラグの場合、圧力要素３を加熱できるグロー電流線３０はまた、このピン内を通る。
【００１８】
この図において、力経路２０は１つの側に点線で示される。それは、圧力要素３から力伝達要素２１を介して、センサ要素５を介して、固定要素２２を介して、連結要素２３を介して、後方肩部２４を介して、そして、最後に、ハウジング２を介して、ダイアフラム７を介して圧力要素３に戻るように通る。これらの支持面の１つが正確に形づくられず、負荷が掛けられる際、エネルギーを吸収できる弾性支持を有する場合、測定誤差が生じる。
【００１９】
圧力要素３から力伝達要素２１への力伝達が、この実施例におけるほとんどの問題を発生させる。圧力要素３の材料は、一般に、ダイアフラムの材料と異なる。要求される一様性を伴う圧力要素３を作製することは、非常に困難で高価である。
【００２０】
図２は、好ましい実施例における内燃機関のチャンバ２９内の測定のための圧力センサ１の本発明による構成を表す。この例図は、同様に、ハウジング２、及び、この場合、ハウジング２の外に突出する圧力要素３を備える。測定要素４は、圧力方向に、この圧力要素３の下流でハウジング２内に配置される。この測定要素は、力伝達要素２１、これに圧力方向に隣接してセンサ要素５、及び、これに圧力方向に隣接して固定要素２２を備える。この固定要素２２は、従来技術のように、この場合、連結要素２３、及び、最終的にはハウジング２の肩部２４のような、圧力センサ１の更なる構成要素上に支持できる。力経路２０は破線で、図２に指示される。それは、ダイアフラム７を介し、特に、圧力要素３を介さずに通る。
【００２１】
この圧力要素１は、好ましい実施例において、圧力測定グロープラグとして、特に同様に構成される。従来技術と比較して、ダイアフラム７は、図３に示されるように、本発明によるこの実施例において、異なって、取り付けられる。その第１の端部９で、それは、連結１６によって圧力要素３に、以前のように取り付けられる。この連結は、好ましくは、粘着性である。第２の端部１０の範囲において、それは、連結１９によってハウジング２に、直接又は間接的に、同様に取り付けられる。そのようにして、ハウジング内部６に対する密封はまた、以前のように確保される。ダイアフラム７は、グロー電流線３０を通り抜けさせるために中央に切り欠きを有する。しかし、図３の詳細な図に示されるように、圧力要素３は、測定要素４上のダイアフラム支持面８上のダイアフラム７の手段によって支持される。したがって、圧力要素３は、測定要素４に触れず、これらの２つの構成要素３、４は、ダイアフラム・ガイド７によって相互に分離される。力経路２０は、圧力要素を通過することなく、ハウジング２から、連結１９を介してダイアフラム７へ、更にダイアフラム支持面８を介して測定要素４へ通る。
【００２２】
力経路２０が、例えば図１のように、今やもはや圧力要素３を通過しない事実は、測定のために重要であった圧力要素３と測定要素４との間の支持面が削除されたことを意味する。一層高い精度の測定が、それによって達成できる。圧力要素３の後方面は、もはや支持面ではないので、粗く、つまり、費用効率的に製作でき、もはや機械加工後処理は必要ない。
【００２３】
図２及び３に示されるように、図４及び５は本発明による実施例を示し、図４及び５の実施例は張力要素１３を有する。
【００２４】
ハウジング２と測定要素４との間に配置されるこの張力要素１３は、測定要素４にプレストレスを印加するために使用され、それは、常に測定のためにプレストレスを印加された状態でなくてはならない。測定要素４が、通常のように、及び、図１に示されるように、張力要素１３の手段によって支持され、ハウジング２の手段によって支持されない事実は、圧力センサ１は、ハウジング２に作用する応力及び力を感知しないことを意味する。
【００２５】
このような張力要素１３は、好ましくは、その第１の端部１４の範囲内の連結１９でダイアフラム７の範囲において、ハウジング２に直接又は間接的に恒久的に連結される。圧力方向に見て、センサ要素５の下流の、その第２の端部１５で、それは、連結１７で測定要素４に恒久的に連結される。そのようにして、後方範囲内の、つまり、圧力方向に見て、ハウジングと張力要素との間の恒久的な連結１９の下流に存在する範囲内のハウジング２からの連結解除を確保する。
【００２６】
好ましい構成において、ダイアフラムの第２の端部１０は、張力要素の第１の端部１４に恒久的に連結される。これは、図４及び６に、特にまた、図５及び７ａ及び７ｂに示される。この恒久的な連結１８は、好ましくは溶接である。非常に良好な連結１８が、Ｉグルーブ溶接で達成でき、その理由のために、そのような連結は好ましい。完全溶込み溶接はまた、ダイアフラム７及び張力要素１３に跨る範囲で可能である。
【００２７】
測定要素４内のセンサ要素５にプレストレスを印加するために、次いで、第２の連結１７は、この第１の連結１８の後で、張力要素と測定要素４の後方部分との間に施される。この連結１７は、圧力方向に見て、センサ要素５の下流に配置されなくてはならない。圧力要素３へのダイアフラム７の取り付け１６によって、圧力要素３が取り付けられる前に、最初に、測定要素４が、張力要素１３によってプレストレスを印加できるか、又は、ダイアフラムが最初に圧力要素３に取り付けられ、次いで、測定要素４が、第２の溶接１７を施すことによって張力要素１３によってプレストレスを印加される。
【００２８】
最後に、プレストレスを印加された測定要素４は、完全溶込み溶接１９によって、ハウジングに取り付けできる。この溶接１９は、特に、燃焼空間内で使用される場合、圧力空間２９からハウジング内部６を密封するために、漏れ止めでなくてはならない。この連結１９は、第２の端部の範囲１０内でダイアフラム７又は張力要素１３によって取り付けできる。ダイアフラム７と張力要素１３との間の連結１８は、ダイアフラムの第２の端部１０、及び、張力要素の第１の端部１４の両方が、各場合において、ハウジング２へ直接又は間接的に１９に取り付けられることを意味する。
【００２９】
張力要素１３は、好ましくは、測定要素４の周囲を通る張力スリーブである。この代替として、それは、測定要素４の後方範囲まで通る２つ以上のアームを伴うクランプとして構成することもできる。つながった張力スリーブの利点は、簡単な製造、及び、測定要素４の周囲全体にそれを施すことができることである。
【００３０】
力経路２０は、破線で図４及び５に同様に示される。図２及び３と比較して、経路は、ここで、張力要素１３を介して通り、ハウジング２を介しては通らない。影響される構成要素がより少ない、短くされた力経路のおかげで、誤差の原因は更に相当削減される。
【００３１】
図２から５に示される第１の実施例において、ダイアフラム７は、少なくとも部分的に圧力要素３と測定要素４との間の範囲内に延出する。この配置において、ダイアフラム７は、好ましくは、圧力方向に下流にある圧力要素３の平面に取り付けられる。
【００３２】
図６、７ａ及び７ｂに示される代替的実施例において、ダイアフラム７は、主に有孔円盤の形状に構成される。これは、このようなダイアフラム７は、図３及び４によるダイアフラム７が一層より高価な旋削された部品としてのみ作製できるのに対し、型打ち／圧搾された部品として製作できるという利点を有する。
【００３３】
図７ａ及び７ｂにおいて、ダイアフラム７は、好ましくは、圧力要素３の側部面に取り付けられ、それは圧力方向に直角に通る。
【００３４】
図７ａ及び７ｂにおいて、圧力要素３へのダイアフラム７の異なる連結１６が示される。連結１６は、図７ａにおいてＶグルーブ溶接継目によって、図７ｂにおいてＩグルーブ溶接継目によって実現される。完全溶込み溶接がまた、相当な設計の適応（ここでは図示されず）によって可能である。
【００３５】
Ｖグルーブ溶接継目の利点は、センサ要素５がプレストレスを印加された後に、圧力要素３が測定要素４に取り付けできることである。Ｉグルーブ溶接継目の利点は、それが、ダイアフラム７と圧力要素３との間の僅かな半径方向のずれを伴ってさえも、良好な連結１６を提供することである。完全溶込み溶接は、図７ａのダイアフラム７が、その第１の端部９で、圧力要素３を包囲するウェブを有する場合、達成できる。したがって、完全溶込み溶接はウェブを圧力要素３に連結する。完全溶込み溶接の利点は、圧力要素３と測定要素４との間の相対的な位置だけが、完全溶込み溶接の間に画定されなくてはならないことにある。
【００３６】
ダイアフラム７から圧力要素３への恒久的な連結１６は、好ましくは、溶接である。最初に、この連結１６は、ハウジング内部６が燃焼空間２９から密封されるように、気密でなくてはならない。二番目に、この連結１６は、圧力要素３から圧力センサ１への唯一の恒久的な連結であり、それによって、更なる力経路が測定を歪ませる恐れがない。したがって、連結は、特に粘着性で、好ましくは溶接で、恒久的でなくてはならない。グロー電流線３０は、どのような力も全く伝達せず、したがって、この圧力要素３を固定するためには適切ではない。
【００３７】
図５又は図７による両方の構成において、測定要素４は、ダイアフラム支持面８に対して内側と外側との両方に突出部１２を有する。これは、測定要素４が、ダイアフラム７に対して側方に変位されても、ダイアフラム７が、常に、測定要素４上に完全に支持されることを確保する。もし突出部１２がなければ、ダイアフラムの特性は、変化する支持面８のために変化し、それによって測定に影響を与えるだろう。
【００３８】
ダイアフラム７は、ダイアフラム支持面８と、ハウジング２への連結１９との間の圧力伝達のための弾性範囲１１を有する。この範囲は、好ましくは、ダイアフラム７の残部より薄い材料の厚さを有するべきである。有効なダイアフラム直径は、弾性的なダイアフラム範囲１１の内側である。有効なダイアフラム直径が大きくなるほど、圧力センサ１の感度が高くなる。したがって、弾性的に効果的な範囲１１は、可能な限り外側に向かって離れて取り付けられるべきである。これは、例えば、図５に示されるように外側範囲内に切り落としを伴って、ダイアフラム７を対応する形状にすることによって達成できる。
【００３９】
しかし、ダイアフラム７の弾性的に効果的な範囲１１が、測定要素４から隔てて配置され、それによって、この範囲１１は、測定要素４とダイアフラム７との間の可能な変位にかかわらず、常に、同じ長さを有することが大きな利点である。加えて、この弾性的に効果的な範囲１１はまた、圧力センサの他の構成要素から、特に、張力要素１３及びハウジング２から隔てて配置されるべきである。さもないと、ダイアフラムの有効な長さは、この他の構成要素に対する正確な位置付けに依存する危険性がまた存在し、それは、延いては、測定誤差をもたらすだろう。
【００４０】
ステンレス鋼は、その溶接のために有利な特性、並びに、その耐食性及び機械的負荷特性によって、ダイアフラム７のために適した材料であることが立証されている。マルテンサイト・ステンレス鋼、粒子硬化マルテンサイト・ステンレス鋼、及び、耐食プラスティック輪郭鋼の種類の材料、特に、ＤＩＮ  材料番号１．４５４２、１．４５３４、１．４５４５による、ＵＮＳ  Ｎｏｒｍ  ＵＮＳ  Ｓ１７７００、ＵＮＳ  Ｓ  １５７００  又は  Ｍａｒｖａｃ  １２５（ｐｒｏｄｕｃｅｄ  ｂｙ  Ｖａｋｕｕｍｓｃｈｍｅｌｚｅ  ＧｍｂＨ  ＆  Ｃｏ  ＫＧ  ｉｎ  Ｈａｎａｕ、Ｇｅｒｍａｎｙ）による合金が、好ましくは、使用される。圧力要素３は、一般にダイアフラム７以外の他の材料からなり、それは、他の要求が求められるからである。それにもかかわらず、ダイアフラム７との粘着性連結の状態になり得るために、特に、後者に溶接できるために、圧力要素３は、少なくともその後方範囲において、金属の構成要素を有しなくてはならない。ダイアフラム７とハウジング２との間の連結はまた、好ましくは、粘着性である。
【００４１】
圧力チャンバ２９に露出される構成要素、すなわち、圧力要素３、ダイアフラム７、及び／又は、ハウジング２の前方範囲は、煤の堆積、腐食及び摩耗を防止又は削減する表面被覆で処理されることは特に有利である。この表面被覆は、特に、ナノ構造、及び／又は、ナノ粒子を伴う表面仕上げであり得る。非付着性被覆Ｅ２Ｃ  ４０８は、良好な結果を示した。圧力要素３に前方範囲内でハウジング２を溶接することは、更なる力経路が、測定要素を介して圧力要素からハウジングへ通り、それはまた、測定誤差をもたらすだろうことを意味する。したがって、圧力要素３は、ダイアフラムを除いて、どのような他の構成要素にも取り付けられてはならない。
【符号の説明】
【００４２】
１  圧力センサ
２  ハウジング
３  圧力要素
４  測定要素
５  センサ要素
６  ハウジング内部
７  ダイアフラム
８  測定要素のためのダイアフラム支持面
９  ダイアフラムの第１の端部
１０  ダイアフラムの第２の端部
１１  ダイアフラムの弾性範囲
１２  突出部
１３  張力要素
１４  張力要素の第１の端部
１５  張力要素の第２の端部
１６  圧力要素へのダイアフラムの連結
１７  測定要素への張力要素の連結
１８  張力要素とダイアフラムとの間の連結
１９  ダイアフラム／張力要素へのハウジングからの連結
２０  力経路
２１  力伝達要素
２２  固定要素
２３  連結要素
２４  肩部
２５  ねじ山
２６  六角部
２７  配線
２８  ピン
２９  燃焼空間又は圧力空間、チャンバ
３０  グロー電流線
【図１】
2011522263.tif 000003
【図２−３】
2011522263.tif 000004
【図４−５】
2011522263.tif 000005
【図６−７ｂ】
2011522263.tif 000006
【国際調査報告】
2011522263.tif 000007
2011522263.tif 000008
2011522263.tif 000009
2011522263.tif 000010
2011522263.tif 000011
2011522263.tif 000012