(57)【要約】  基板を処理するための方法が提供され、ここで第１の有機シリコン前駆体、第２の有機シリコン前駆体、ポロゲン、および酸素源が、処理チャンバーに提供される。第１の有機シリコン前駆体は、一般に低い炭素含有量を有する化合物を含む。第２の有機シリコン前駆体は、より高い炭素含有量を有する化合物を含む。ポロゲンは、炭化水素化合物を含む。ＲＦ電力は、基板上に膜を堆積させるために印加され、さまざまな反応物の流れの流量は、膜の部分が堆積されるにつれて炭素含有量を変化させるために調節される。一実施形態では、堆積膜の最初の部分は、低い炭素含有量を有し、従って酸化物のようであり、一方次に続く部分は、より高い炭素含有量を有し、オキシ炭化物のようになる。他の実施形態は、酸化物のような最初の部分を特徴としない。膜を後処理するステップは、より高い炭素含有量を有する膜の部分に細孔を発生させる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する方法であって、
前記基板を処理チャンバーの支持部に位置決めするステップと、
第１の有機シリコン前駆体を第１の流量で前記チャンバーに提供するステップと、
第２の有機シリコン前駆体を第２の流量で前記チャンバーに提供するステップと、
炭化水素混合物を第３の流量で前記チャンバーに提供するステップと、
酸化剤を第４の流量で前記チャンバーに提供するステップと、
前記第２の有機シリコン前駆体の前記第２の流量をより高い流量まで一定の比率で増やすステップと、
前記酸化剤の前記流量をより高い流量まで一定の比率で増やすステップと、
前記基板が処理されている時間の少なくとも一部にわたって前記チャンバーを迂回するように前記炭化水素混合物をわきへそらすステップとを含む、方法。
【請求項２】
前記第１の有機シリコン前駆体は、前記第２の有機シリコン前駆体より低い炭素原子対シリコン原子の比を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記炭化水素混合物は、環状基を有する１つまたは複数の化合物を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第２の有機シリコン前駆体の前記第２の流量を一定の比率で変えるステップは、前記酸化剤を一定の比率で変えるために使用されるランプレートより速いランプレートを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第１の有機シリコン前駆体、前記第２の有機シリコン前駆体、前記炭化水素混合物、および前記酸化剤は、前記処理チャンバーで反応混合物を形成し、前記反応混合物中の炭素原子対シリコン原子の比は、前記基板の処理の間に約３：１から約２０：１まで増加する、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
基板を処理する方法であって、
シリコン、炭素、酸素、および水素を含む複数のガス混合物を処理チャンバーに提供するステップであって、前記ガス混合物の少なくとも２つはシリコン源であるステップと、
ＲＦ電力を前記処理チャンバーに印加することによってプラズマ処理条件を提供するステップと、
前記基板上に膜を堆積させるために前記ガス混合物の少なくとも一部分を反応させるステップと、
ＲＦ電力の印加の間に前記処理チャンバー中の炭素原子対シリコン原子の比を調節することによって前記堆積膜の部分の前記炭素含有量を調節するステップとを含む、方法。
【請求項７】
前記処理チャンバー中の炭素原子対シリコン原子の前記比を調節するステップは、前記チャンバーを迂回するように前記ガス混合物の１つまたは複数をわきへそらすステップを含む、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記複数のガス混合物は、−Ｓｉ−Ｃｘ−Ｓｉ−結合を有する１つまたは複数の有機シリコン化合物を含む第１のガス混合物を含む、請求項６に記載の方法。
【請求項９】
前記複数のガス混合物はさらに、熱的に不安定な基を有する１つまたは複数の炭化水素化合物を含む第２のガス混合物を含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記基板を後処理することによって前記堆積膜中に細孔を発生させるステップをさらに含む、請求項６に記載の方法。
【請求項１１】
前記処理チャンバー中の炭素原子対水素原子の前記比を調節するステップは、前記処理チャンバーを迂回するように前記１つまたは複数の炭化水素化合物をわきへそらすステップを含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記堆積膜の前記炭素含有量を調節するステップは、低い炭素含有量を持つ前記膜の酸化物のような部分を堆積させるステップ、前記膜の移行部分で前記炭素含有量を滑らかに増加させるステップ、および最大炭素含有量を持つ前記膜のオキシ炭化物のような部分を堆積させるステップを含む、請求項６に記載の方法。
【請求項１３】
処理チャンバーに配置される基板上に低ｋ誘電体膜を堆積させる方法であって、
−Ｓｉ−Ｃｘ−Ｓｉ−または−Ｓｉ−Ｏ−Ｃｘ−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する１つまたは複数の化合物を含み、約６：１未満の炭素原子対シリコン原子の比を有する第１のガス混合物を前記処理チャンバーに提供するステップと、
前記第１のガス混合物とともに、−Ｓｉ−Ｃｘ−Ｓｉ−または−Ｓｉ−Ｏ−Ｃｘ−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する１つまたは複数の化合物を含み、約８：１より大きい炭素原子対シリコン原子の比を有する第２のガス混合物を前記処理チャンバーに提供するステップと、
１つまたは複数の炭化水素化合物を含む第３のガス混合物を前記処理チャンバーに提供するステップであって、前記１つまたは複数の炭化水素化合物の少なくとも１つは、熱的に不安定な基を有するステップと、
酸素源を含む第４のガス混合物を前記処理チャンバーに提供するステップと、
前記基板上に膜を堆積させるためにＲＦ電力を印加し、前記ガス混合物の少なくとも一部分を反応させるステップと、
ＲＦ電力を印加している間に、前記膜中の炭素の堆積速度を変化させるために炭素を含有する前記ガス混合物の１つまたは複数の量を調節するステップと、
前記膜の誘電率を下げるために前記堆積膜を後処理するステップとを含む、方法。
【請求項１４】
−Ｓｉ−Ｃｘ−Ｓｉ−または−Ｓｉ−Ｏ−Ｃｘ−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する前記１つまたは複数の化合物は、ビス（トリエトキシシリル）メタン（Ｃ１３Ｈ３２Ｏ６Ｓｉ２）、テトラメチル−１，３−ジシラシクロブタン（Ｃ６Ｈ１６Ｓｉ２）、テトラメチル−２，５−ジシラ−１−オキサシクロペンタン、テトラメチルジシラフラン（Ｃ６Ｈ１６ＯＳｉ２）、およびビス（トリメチルシロキシ）エタン（Ｃ８Ｈ２２Ｏ２Ｓｉ２）から成る群から各々選択される、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記堆積膜を後処理するステップは、より高い炭素含有量を有する前記膜の部分に細孔を発生させる、請求項１３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は一般に、集積回路の製造に関する。より詳細には、本発明の実施形態は、集積回路のための低誘電率膜を堆積させるためのプロセスに関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路形状は、そのようなデバイスが数十年前に初めて導入されて以来劇的に寸法が減少してきた。それ以来、集積回路は一般に、２年／半分の寸法の規則（しばしばＭｏｏｒｅの法則と呼ばれる）に従っており、それは、チップ上のデバイス数が２年ごとに二倍になることを意味する。今日の製造設備は、９０ｎｍおよび６５ｎｍさえもの特徴寸法を有するデバイスを日常的に生産しており、将来の設備は近々、もっと小さい特徴寸法を有するデバイスを生産していることになる。
【０００３】
隣接する金属配線間の容量結合は、集積回路のデバイスの寸法をさらに低減するために低減されなければならないので、デバイス形状の継続する低減は、より低い誘電率（ｋ）値を有する膜に対する需要を生み出した。特に、約４．０未満の低誘電率を有する絶縁体が、望ましい。低誘電率を有する絶縁体の例は、スピンオンガラス、フッ素ドープシリコンガラス（ＦＳＧ）、炭素ドープ酸化物、およびポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を包含し、それらはすべて市販されている。
【０００４】
つい最近では、約３．０未満および約２．５未満さえものｋ値を有する低誘電率有機シリコン膜が開発された。低誘電率有機シリコン膜を開発するために使用された１つの方法は、有機シリコン化合物と熱的に不安定な種または揮発性基を含む化合物とを含むガス混合物から膜を堆積させ、次いで堆積膜から熱的に不安定な種または揮発性基、例えば有機基などを除去するために堆積膜を後処理することであった。堆積膜からの熱的に不安定な種または揮発性基の除去は、膜中にナノメートルの大きさの空洞を生成し、これにより空気が近似的に１の誘電率を有するので、膜の誘電率が下がる。
【０００５】
望ましい低誘電率を有する低誘電率有機シリコン膜が、上で述べられたように開発されたが、これらの低誘電率膜のいくつかは、貧弱な機械的強度などのあまり望ましくない機械的特性を提示し、そのことは、その後の半導体処理ステップの間に膜が損傷を受けやすい状態にする。低誘電率膜に損傷を与える可能性がある半導体処理ステップは、低誘電率膜をパターン形成するために使用されるプラズマに基づくエッチングプロセスを包含する。誘電体膜からフォトレジストまたは底部反射防止コーティング（ＢＡＲＣ）を除去するためのアッシングプロセスおよび湿式エッチングプロセスもまた、膜に損傷を与える可能性がある。
【０００６】
このように、改善された機械的特性およびその後の基板処理ステップからの損傷への耐性を有する低誘電率膜を作るためのプロセスの必要性が、依然として残っている。
【発明の概要】
【０００７】
本発明の実施形態は、基板を処理チャンバーの支持部に位置決めするステップと、第１の有機シリコン前駆体を第１の流量でチャンバーに提供するステップと、第２の有機シリコン前駆体を第２の流量でチャンバーに提供するステップと、炭化水素混合物を第３の流量でチャンバーに提供するステップと、酸化剤を第４の流量でチャンバーに提供するステップと、第２の有機シリコン前駆体の流量を第５の流量まで一定の比率で変えるステップと、酸化剤の流量を第６の流量まで一定の比率で変えるステップと、基板が処理されている時間の少なくとも一部にわたってチャンバーを迂回するように炭化水素混合物をわきへそらすステップとを含む、基板を処理する方法を提供する。いくつかの実施形態では、第１の有機シリコン前駆体および炭化水素混合物の流量は、同じように一定の比率で変えられてもよい。いくつかの実施形態では、反応混合物中の炭素原子対シリコン原子の比は、約６：１から約２０：１まで増加してもよい。
【０００８】
本発明の他の実施形態は、シリコン、炭素、酸素、および水素を含む複数のガス混合物を処理チャンバーに提供するステップであって、ガス混合物の少なくとも２つは、シリコン源であるステップと、ＲＦ電力を印加することによるプラズマ処理条件を処理チャンバーに提供するステップと、膜を基板上に堆積させるためにガス混合物の少なくとも一部分を反応させるステップと、ＲＦ電力の印加の間に処理チャンバー中の炭素原子対シリコン原子の比を調節することによって堆積膜の部分の炭素含有量を調節するステップとを含む、基板を処理する方法を提供する。
【０００９】
本発明のさらなる実施形態は、−Ｓｉ−Ｃｘ−Ｓｉ−または−Ｓｉ−Ｏ−Ｃｘ−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する１つまたは複数の化合物を含み、約６：１未満の炭素原子対シリコン原子の比を有する第１のガス混合物を処理チャンバーに提供するステップと、第１のガス混合物とともに、−Ｓｉ−Ｃｘ−Ｓｉ−または−Ｓｉ−Ｏ−Ｃｘ−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する１つまたは複数の化合物を含み、約８：１より大きい炭素原子対シリコン原子の比を有する第２のガス混合物を処理チャンバーに提供するステップと、１つまたは複数の炭化水素化合物を含む第３のガス混合物を処理チャンバーに提供するステップであって、１つまたは複数の炭化水素化合物の少なくとも１つは、処理チャンバーに熱的に不安定な基を有するステップと、酸素源を含む第４のガス混合物を処理チャンバーに提供するステップと、基板上に膜を堆積させるためにＲＦ電力を印加し、ガス混合物の少なくとも一部分を反応させるステップと、ＲＦ電力を印加している間、膜中の炭素の堆積速度を変化させるために炭素を含有するガス混合物の１つまたは複数を調節するステップと、膜の誘電率を下げるために堆積膜を後処理するステップとを含む、処理チャンバーに配置される基板上に低ｋ誘電体膜を堆積させる方法を提供する。
【００１０】
本発明の上に列挙した特徴が詳細に理解できるように、上で簡潔に要約された本発明のより詳しい記述が、実施形態を参照することによってなされてもよく、それのいくつかは、添付の図面で例示される。しかしながら、本発明は、他の同等に効果的な実施形態を認めてもよいので、添付の図面は、この発明の典型的な実施形態だけを例示し、従って本発明の範囲を限定すると考えられるべきではないことに留意すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態による方法を要約するプロセス流れ図である。
【図２】本発明の別の実施形態による方法を要約するプロセス流れ図である。
【図３Ａ】本発明の異なる実施形態でのさまざまなガス混合物の流量を示すグラフである。
【図３Ｂ】本発明の異なる実施形態でのさまざまなガス混合物の流量を示すグラフである。
【図３Ｃ】本発明の異なる実施形態でのさまざまなガス混合物の流量を示すグラフである。
【図３Ｄ】本発明の異なる実施形態でのさまざまなガス混合物の流量を示すグラフである。
【図４】本発明の一実施形態による膜の炭素濃度を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
理解を容易にするために、同一の参照数字が、図に共通する同一の要素を指定するため、可能な場合に使用されている。一実施形態で開示される要素は、明確な列挙なしに他の実施形態で有益に利用されてもよいと考えられる。
【００１３】
本発明は、低誘電率膜を堆積させる方法を提供する。低誘電率膜は、シリコン、酸素、および炭素を含む。膜はまた、ナノメートルの大きさの細孔も含む。低誘電率膜は、約３．０以下、好ましくは約２．５以下、例えば約２．０〜約２．２の間などの誘電率を有する。低誘電率膜は、少なくとも約６ＧＰａの弾性係数を有してもよい。低誘電率膜は、例えば金属間誘電体層として使用されてもよい。本発明の実施形態による低誘電率膜を堆積させる方法は、図１に関して簡潔に述べられ、次いで以下でさらに述べられることになる。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態による方法１００を要約するプロセス流れ図である。１０２において、基板が、プロセスチャンバーの基板支持部に位置決めされる。１０４において、第１のガス混合物が、チャンバーに提供される。第１のガス混合物は一般に、シリコンおよび炭素を含有する１つまたは複数の化合物を含む。好ましい実施形態では、その化合物は、一般構造−Ｓｉ−Ｃｘ−Ｓｉ−、ただしｘは、１〜４の間、または一般構造−Ｓｉ−Ｏ−（ＣＨ２）ｎ−Ｏ−Ｓｉ−、ただしｎは、１〜４の間、を有する有機シリコン化合物である。１０６において、シリコンおよび炭素を含有する１つまたは複数の化合物を含む第２のガス混合物がチャンバーに提供される。第２のガス混合物のシリコンおよび炭素含有化合物はまた、上で述べられた一般構造を有する有機シリコン化合物であってもよい。大部分の実施形態では、第２のガス混合物は好ましくは、第１のガス混合物よりも高い炭素含有量を有することになる。いくつかの実施形態では、第２のガス混合物は、第１のガス混合物の化合物よりも高い炭素原子対シリコン原子の比を有する化合物を含有することになる。１つまたは複数のポロゲン化合物を含む第３のガス混合物が、１０８においてチャンバーに提供される。ポロゲン化合物は一般に、炭化水素であることとなり、それの少なくとも１つは、１つまたは複数の熱的に不安定な基を有する。熱的に不安定な基は一般に、不飽和環状有機基などの環状基であることとなる。１つまたは複数の酸化剤を含む第４のガス混合物が、１１０においてチャンバーに提供される。
【００１５】
１１２において、ガス混合物が、チャンバーの基板上に低誘電率膜を堆積させるためにＲＦ電力の存在下で反応する。第３のガス混合物のポロゲンは、第１ならびに第２のガス混合物のシリコンおよび炭素含有化合物と反応してもよい。ガスは、その中に熱的に不安定な基を保有する膜を堆積させるように反応する。膜を後処理するステップは、１１６において表示されるように、膜からのポロゲンおよび／または熱的に不安定な基の分解ならびに放出をもたらし、膜中に空洞またはナノメートルの大きさの細孔の形成をもたらす。
【００１６】
膜の炭素および酸素含有量は、１１４においてガス混合物の流量を調節することによって調節される。一実施形態では、第１のガス混合物の流量は、一定であり、第２のガス混合物の流量は、一定の比率で増やされる。これは、膜中の堆積に利用できる炭素量を増加させ、膜が成長するにつれて滑らかに増加する炭素含有量をもたらす。別の実施形態では、第３のガス混合物の流量が、炭素を反応に追加するために一定の比率で増やされる。別の実施形態では、第４のガス混合物の流量が、一定の比率で減らされる。膜の部分の炭素および酸素含有量を調節するステップは、酸化物膜と整合するために酸化物のような組成を提供することによって界面での膜の付着を改善し、一方酸化物界面からの距離とともに膜の炭素含有量を滑らかに増加させる。
【００１７】
膜は、ポロゲンを低誘電率膜から実質的に除去するために１１６において後処理される。
【００１８】
図２は、本発明の別の実施形態による方法２００を要約するプロセス流れ図である。基板が、２０２においてプロセスチャンバーの基板支持部に位置決めされる。２０４において、−Ｓｉ−Ｃｘ−Ｓｉ−結合を有する１つまたは複数の化合物を含む第１のガス混合物が、第１の流量でチャンバーに提供される。２０６において、−Ｓｉ−Ｃｘ−Ｓｉ−結合を有する１つまたは複数の化合物を含む第２のガス混合物が、第２の流量でチャンバーに提供される。第２のガス混合物は一般に、第１のガス混合物とは異なる組成を有することになる。いくつかの実施形態では、第２のガス混合物は、第１のガス混合物よりも高い炭素原子対シリコン原子の比率を有することになる。２０８において、１つまたは複数の炭化水素化合物を含む第３のガス混合物が、第３の流量でチャンバーに提供される。第３のガス混合物中の炭化水素化合物の少なくとも１つは、本明細書の他の場所で述べられるように、１つまたは複数の熱的に不安定な基を有することになる。２１０において、１つまたは複数の酸化剤を含む第４のガス混合物が、第４の流量でチャンバーに提供される。
【００１９】
２１２において、第２のガス混合物の流量が、第５の流量まで一定の比率で変えられ、それは、第２の流量より高くてもよい。第２のガス混合物の流量を増加させることは一般に、膜中の炭素の堆積を増加させる。第５の流量は、第１の流量より高くてもまたは低くてもよい。
【００２０】
２１４において、第３のガス混合物が、チャンバーを迂回するようにわきへそらされる。第３のガス混合物をわきへそらすステップは、反応混合物の炭素含有量を低減し、膜中の炭素のより低い堆積速度を、従って炭素が低減した反応混合物から堆積される膜の部分のより低い炭素含有量をもたらす。これは、酸化物誘電体と強く整合するために膜の酸化物のような部分を形成するのに有用である可能性がある。膜の酸化物のような部分が形成された後、わきへそらされた第３のガス混合物は、炭素を反応混合物に追加するためにチャンバーに戻されてもよい。追加された炭素は、膜中の炭素のより高い堆積速度をもたらし、膜のそれらの部分のより高い炭素含有量をもたらす。このようにして、堆積膜の炭素含有量は、酸化物のような部分からオキシ炭化物のような部分まで滑らかに調節されてもよい。
【００２１】
２１６において、第４のガス混合物の流量が、第６の流量まで一定の比率で変えられ、それは、第４の流量より低くてもよい。第４のガス混合物の流量を減少させることは一般に、膜中の酸素の堆積を減少させ、炭素の相対的により高い堆積速度、および低酸素反応混合物から堆積される膜の部分のより高い炭素含有量をもたらす。
【００２２】
図３Ａ〜３Ｄは、異なる例となる実施形態での上で述べられたさまざまなガス混合物の流量を示すグラフである。図３Ａのグラフによって述べられる実施形態では、第１のガス混合物の流量は、プロセス全体にわたって一定に保持される。最初に、第１、第２、および第４のガス混合物だけが、チャンバーに流入する。第３のガス混合物は最初、チャンバーに流入しないが、チャンバーを迂回するようにわきへそらされてもよい。ＲＦ電力は、開始期間３０２によって表わされる期間の間に開始膜を堆積させるために最初のガス混合物に印加される。第１の移行期間３０４の間に、第２のガス混合物の流量は、ＲＦ電力が継続する間一定の比率で増やされる。第１の移行期間３０４の間に、反応混合物中の元素の濃度が変化して、堆積膜の組成を変化させる。第１の堆積期間３０６の間に堆積される膜はそれ故に、開始期間３０２の間に堆積される膜とは異なる組成を有する。しかしながら、ＲＦ電力が反応混合物に継続的に印加されたので、膜組成は滑らかに変化し、膜内に界面をもたらさない。膜の付着強度は、そのような界面を避けることによって高められる。第２の移行期間３１０の間に、これまではチャンバーを迂回している第３のガス混合物が、チャンバーに流入するように戻され、第３のガス混合物の流量が、一定の比率で増やされて、炭素を反応混合物および堆積膜に追加する。この同じ期間の間に、第４のガス混合物の流量が反応器圧力を維持し、反応混合物中の炭素原子対シリコン原子の比を増加させるために一定の比率で減らされて、膜中の炭素の堆積速度をさらに増加させる。反応器圧力はまた、さまざまな前駆体とともに流れる搬送ガスを調節することによって維持されてもよい。第２の移行期間３１０の後、前駆体は、最終堆積期間のためのそれらの最終流量に達する。第４のガス混合物は、異なる始動および終了流量に起因して、第３のガス混合物の第２の移行期間３１０より長くてもまたは短くてもよい第３の移行期間３０８の間に一定の比率で変わってもよい。
【００２３】
図３Ａによって例示される実施形態については、次の反応条件および流量が一般に、有益である。
【００２４】
【表１】
2011528508.tif 000003
【００２５】
さまざまな移行のためのランプレートは一般に、第１および第２のガス混合物については、規定通りに５００ｍｇｍ／ｓｅｃ〜１０００ｍｇｍ／ｓｅｃの間であり、第３および第４のガス混合物については、規定通りに１００ｍｇｍ／ｓｅｃ〜５００ｍｇｍ／ｓｅｃの間である。わきへそらされる流れについては、反応器への圧力衝撃を避けるために、流量を一定の比率で増やす前に流れをチャンバーへ流れるように戻すことが、一般に好ましい。別法として、わきへそらされる流れの流量の一定の比率での増加は、流れが反応器へ戻されるのと同時に、または直前に始まってもよい。
【００２６】
第１の堆積期間３０６および最終堆積期間の時間間隔は、異なる条件のもとで堆積される膜の２つの部分の所望の厚さに依存することになる。より高いレベルの炭素、および最終的により高い空隙率を持つ膜を堆積させることは、膜により低い全体的な誘電率をもたらすことになる。第１の堆積期間３０６は、膜全体の凝集を確実にするために十分長くすべきである。
【００２７】
図３Ｂは、別の実施形態による流量のグラフである。開始期間３１２の後には、前述のように、第１の移行期間３１４、第１の堆積期間３１６、第２の移行期間３２０、および最終堆積期間が続く。図３Ｂの実施形態では、第１のガス混合物の流量は、第２のガス混合物の流量と一緒に、第１の移行期間３１４の間に一定の比率で変えられる。この実施形態では、第１および第２のガス混合物は、第１の移行期間３１４の間に同時に一定の比率で変えられる。この実施形態での第２の移行期間は、図３Ａの実施形態のそれと全体計画において似ており、第３のガス混合物は、全移行期間３２０にわたって一定の比率で変わり、第４のガス混合物は、より短い移行期間３１８にわたって一定の比率で変わる。
【００２８】
図３Ｂによって例示される実施形態については、次の反応条件および流量が一般に、有益である。
【００２９】
【表２】
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【００３０】
ランプレートは、上で提供されたそれらと似ていてもよいが、堆積膜に望まれる濃度プロファイルに応じて、異なるランプレートが使用されてもよい。
【００３１】
図３Ｃは、別の実施形態を示す。この実施形態では、第１のガス混合物は、開始期間３３４の間わきへそらされて、第２および第４のガス混合物だけが、反応器に流入するようになる。第１のガス混合物は、線３２４によって示されるように、第１の移行期間３２６の間に第１の流量で反応器に戻され、次いで第２の流量まで一定の比率で変えられてもよく、またはそれは、線３２２によって示されるように、一定の比率で変わることなく第２の流量で反応器に戻されてもよい。第２のガス混合物の流量もまた、この期間の間に一定の比率で変えられる。前述のように、第１の堆積期間３２８の後には、第２の移行期間３３２が続き、その間に、第３および第４のガス混合物は、最終流量まで一定の比率で変えられ、第４のガス混合物は、第２の移行期間３３２より長くてもまたは短くてもよい第３の移行期間３３０にわたって一定の比率で変わる。
【００３２】
図３Ｃによって例示される実施形態については、次の反応条件および流量が一般に、有益である。
【００３３】
【表３】
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【００３４】
ランプレートは、上で提供されたそれらと似ていてもよいが、堆積膜に望まれる濃度プロファイルに応じて、異なるランプレートが使用されてもよい。
【００３５】
図３Ｄによって例示される最終の例となる実施形態では、第１のガス混合物の流量は一定に保持され、一方第４のガス混合物の流量は、２つの異なる移行期間の間に二度一定の比率で変えられる。開始期間３２６の後、第２のガス混合物の流量は、第１の移行期間３３８の間に一定の比率で変えられる。第１の堆積期間３４０の後、第４のガス混合物の流量は、第２の移行期間３４２の間に一定の比率で変えられる。図３Ｄで示されるように、第３のガス混合物の流量は、第２の移行期間３４２および第３の移行期間３４４にわたって一定の比率で変えられる。第２の堆積期間３４６の後、第４のガス混合物の流量は、第４の移行期間３４８でもう一度一定の比率で変えられ、その後、最終堆積期間が、引き続いて起きる。
【００３６】
図３Ｄによって例示される実施形態については、次の反応条件および流量が一般に有益である。
【００３７】
【表４】
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【００３８】
ランプレートは、上で提供されたそれらと似ていてもよいが、堆積膜に望まれる濃度プロファイルに応じて、異なるランプレートが使用されてもよい。
【００３９】
上で述べられたさまざまな期間のための時間は、特定の実施形態の必要に応じて選択されてもよい。いくつかの実施形態では、開始期間は、０から１０秒まで続いてもよい。０秒の開始期間は、ガスの流れの流量を変化させることが、それらをチャンバーに導入するとすぐに始まることを意味する。このため、開始期間のない実施形態が考えられる。いくつかのそのような実施形態では、プロセスは、第１の移行期間および第１の堆積期間から始まり、おそらく他の移行および堆積期間が後に続いて、連続する移行および堆積期間の間に反応混合物および堆積膜中の炭素含有量を一般に増加させる。他の実施形態では、第１の移行期間は１から１０秒まで続いてもよい。いくつかの実施形態では、各堆積期間は１から１８０秒まで続いてもよい。いくつかの実施形態では、第２の移行期間は１から１８０秒まで続いてもよい。なお他の実施形態では、第３および第４の移行期間は、もし必要とされるならば、１から６０秒まで続いてもよい。
【００４０】
開始期間は好ましくは、膜の薄い部分の堆積をもたらす。大部分の実施形態では、この部分は、約１０オングストローム未満の厚さを有することになる。膜の薄い開始部分の堆積は、低い堆積速度および相対的に短い継続時間を通じて達成される。最初の堆積速度は好ましくは、約５００オングストローム／分から約１，０００オングストローム／分、例えば約６００オングストローム／分などであり、反応性ガスの流量が増加するにつれて、後の堆積期間の間に約３，０００オングストローム／分まで上昇する。
【００４１】
先述の実施形態は、良好な付着特性を持つ多孔性低ｋ誘電体膜を生産するために有効な例となる処理条件を示すために提供される。本発明の実施形態を使用して堆積される膜の付着特性は一般に、後処理の前には、膜を通して滑らかに変化する炭素濃度を有する。図４は、例となる膜の炭素濃度を示すグラフである。膜の部分４０２は、相対的に低い炭素濃度を有する酸化物のような部分である。いくつかの実施形態では、酸化物のような部分の炭素濃度は、近似的にゼロであってもよいが、低い非ゼロ濃度は、膜全体の堆積を通してより良好なプロセス制御を可能にすることもある。炭素濃度は、上で述べられたような移行および中間堆積期間の間に一般に堆積される膜の移行部分４０４の間に上昇し、次いで最終部分４０６の間に最大値に達する。最終部分４０６は、一般に最大限の炭素で堆積されることになり、膜に低誘電率を提供するための後処理後に一般に最大空隙率を有することになる。
【００４２】
第１および第２のガス混合物に包含されるべき好ましい化合物は、一般式（Ｒ１）３ＳｉＲ２Ｓｉ（Ｒ１）３を有する化合物の部類からであり、ただし各Ｒ１は、アルキル、アルコキシ、またはアルケニル基であり、ＣＨ３、ＯＣＨ３、ＯＣ２Ｈ５、Ｃ＝ＣＨ２、Ｈ、およびＯＨから成る群から独立して選択されてもよく、Ｒ２は、（ＣＨ２）ａ、Ｃ≡Ｃ、Ｃ＝Ｃ、Ｃ６Ｈ４、Ｃ＝Ｏ、（ＣＦ２）ｂ、およびそれらの組合せから成る群から選択され、ａおよびｂは、１から４である。他の好ましい化合物は、−ＳｉＲ２Ｓｉ−構造を各シリコンが炭素環に位置を占める環状構造と交換し、それはまた、酸素原子を包含してもよい。これらの一般構造を持つ化合物の例となる範疇は、ビスシリルアルカン、ジシラシクロアルカン、ジシラオキサシクロアルカン、およびジシラフランを包含する。いくつかの例となる化合物は、ビス（トリエトキシシリル）メタン（Ｃ１３Ｈ３２Ｏ６Ｓｉ２）、テトラメチル−１，３−ジシラシクロブタン（Ｃ６Ｈ１６Ｓｉ２）、テトラメチル−２，５−ジシラ−１−オキサシクロペンタン、およびテトラメチルジシラフラン（Ｃ６Ｈ１６ＯＳｉ２）を包含する。他の例となる範疇の化合物は、一般式（Ｒ６）３ＳｉＯ（ＣＨ２）ｆＯＳｉ（Ｒ６）３を有し、ただし各Ｒ６は、ＣＨ３、ＯＣＨ３、ＯＣ２Ｈ５、Ｃ＝ＣＨ２、Ｈ、およびＯＨから成る群から独立して選択され、ｆは１から４である。この範疇の化合物は、例えば、ビスアルキルシロキシアルカンを包含する。そのような化合物の例は、ビス（トリメチルシロキシ）エタン（Ｃ８Ｈ２２Ｏ２Ｓｉ２）である。
【００４３】
シリコンおよび炭素を含有する１つまたは複数の化合物はまた、上で述べられた一般構造を包含しない有機シリコン化合物を含んでもよい。例えば、１つまたは複数の化合物は、メチルジエトキシシラン（ＭＤＥＯＳ）、テトラメチルシクロテトラシロキサン（ＴＭＣＴＳ）、オクタメチルシクロテトラシロキサン（ＯＭＣＴＳ）、トリメチルシラン（ＴＭＳ）、ペンタメチルシクロペンタシロキサン、ヘキサメチルシクロトリシロキサン、ジメチルジシロキサン、テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳ）、１，３−ビス（シラノメチレン）ジシロキサン、ビス（１−メチルジシロキサニル）メタン、ビス（１−メチルジシロキサニル）プロパン、ヘキサメトキシジシロキサン（ＨＭＤＯＳ）、ジメチルジメトキシシラン（ＤＭＤＭＯＳ）、またはジメトキシメチルビニルシラン（ＤＭＭＶＳ）を包含してもよい。
【００４４】
第３のガス混合物は一般に、１つまたは複数のポロゲン化合物を含む。ポロゲンは、熱的に不安定な基を含む化合物である。熱的に不安定な基は、不飽和環状有機基などの環状基であってもよい。本明細書で使用されるような術語「環状基」は、リング構造に言及することが意図される。リング構造は、わずか３つの原子を含有してもよい。原子は、例えば、炭素、窒素、酸素、フッ素、およびそれらの組合せを包含してもよい。環状基は、１つまたは複数の単結合、二重結合、三重結合、およびそれらの任意の組合せを包含してもよい。例えば、環状基は、１つまたは複数の芳香族化合物、アリル基、フェニル基、シクロヘキサン、シクロヘキサジエン、シクロヘプタジエン、およびそれらの組合せを包含してもよい。環状基はまた、二環状または三環状であってもよい。一実施形態では、環状基は、線状または分岐官能基に結合される。線状または分岐官能基は好ましくは、アルキルまたはビニルアルキル基を含有し、１〜２０の間の炭素原子を有する。線状または分岐官能基はまた、ケトン、エーテル、およびエステルなどで酸素原子を包含してもよい。ポロゲンは、環状炭化水素化合物を含んでもよい。使用されてもよいいくつかの例となるポロゲンは、ノルボルナジエン（ＢＣＨＤ、ビシクロ（２，２，１）ヘプタ−２，５−ジエン）、アルファ−テルピネン（ＡＴＰ）、ビニルシクロヘキサン（ＶＣＨ）、フェニルアセテート、ブタジエン、イソプレン、シクロヘキサジエン、１−メチル−４−（１−メチルエチル）−ベンゼン（シメン）、３−カレン、フェンコン、リモネン、シクロペンタン酸化物、ビニル−１，４−ジオキシニルエーテル、ビニルフリルエーテル、ビニル−１，４−ダイオキシン、ビニルフラン、フロ酸メチル、ギ酸フリル、フリルアセテート、フルアルデヒド、ジフリルケトン、ジフリルエーテル、ジフルフリルエーテル、フラン、および１，４−ダイオキシンを包含する。
【００４５】
さまざまなガス混合物が導入されるチャンバーは、プラズマ強化化学気相堆積（ＰＥＣＶＤ）チャンバーであってもよい。堆積プロセスのためのプラズマは、一定のラジオ周波数（ＲＦ）電力、パルス状ＲＦ電力、高周波数ＲＦ電力、二重周波数ＲＦ電力、またはそれらの組合せを使用して発生されてもよい。使用されてもよいＰＥＣＶＤチャンバーの例は、Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ、ＣＡ．のＡｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．から入手できるＰＲＯＤＵＣＥＲ（登録商標）チャンバーである。しかしながら、他のチャンバーが、低誘電率膜を堆積させるために使用されてもよい。チャンバーは一般に、シャワーヘッドなどのガス分配プレートを含むガス分配アセンブリを含む。ＲＦ電力は、プラズマ処理条件を提供するためにシャワーヘッドなどの電極に印加される。基板は一般に基板支持部に配置され、それは、ガス分配プレートと一緒に反応帯域を共同して規定する。スロットルバルブは、チャンバー圧力を維持するために排気導管に提供される。スロットルバルブは、チャンバー圧力を制御するために多くの流量変化の間に調節される。
【００４６】
上で述べられたプロセスの間に、基板は典型的には、約１００℃〜約４００℃の間の温度に維持される。チャンバー圧力は、約１Ｔｏｒｒ〜約２０Ｔｏｒｒの間であってもよく、基板支持部とチャンバーシャワーヘッドとの間の間隔は、約２００ミル〜約１５００ミルの間であってもよい。約０．１４Ｗ／ｃｍ２〜約２．８Ｗ／ｃｍ２の間に及ぶ電力密度が使用されてもよく、それは、３００ｍｍ基板については約１００Ｗ〜約２０００Ｗの間のＲＦ電力レベルである。ＲＦ電力は、約０．０１ＭＨｚ〜３００ＭＨｚの間の、例えば約１３．５６ＭＨｚなどの周波数で提供される。ＲＦ電力は、混合周波数で、例えば約１３．５６ＭＨｚの高周波数および約３５０ｋＨｚの低周波数などで提供されてもよい。ＲＦ電力は、基板の加熱を低減し、堆積膜中のより大きな空隙率を促進するために循環されるまたはパルス状であってもよい。ＲＦ電力はまた、連続的または不連続的であってもよい。
【００４７】
使用されてもよい例となるＵＶ後処理条件は、約１Ｔｏｒｒ〜約１０Ｔｏｒｒの間のチャンバー圧力および約３５０℃〜約５００℃の間の基板支持温度を包含する。ＵＶ放射は、水銀マイクロ波アークランプ、パルス状キセノンフラッシュランプ、または高効率ＵＶ発光ダイオードアレイなどの、任意のＵＶ源によって提供されてもよい。ＵＶ放射は、例えば、約１７０ｎｍ〜約４００ｎｍの間の波長を有してもよい。使用されてもよいＵＶチャンバーおよび処理条件のさらなる詳細は、２００５年５月９日に出願された、本願の譲受人に譲渡された米国特許出願第１１／１２４，９０８号明細書で述べられており、それは、参照により本明細書に組み込まれる。Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．からのＮａｎｏＣｕｒｅ（商標）チャンバーは、ＵＶ後処理に使用されてもよい市販のチャンバーの例である。
【００４８】
使用されてもよい例となる電子ビーム条件は、約２００℃〜約６００℃の間の、例えば約３５０℃から約４００℃のチャンバー温度を包含する。電子ビームエネルギーは、約０．５ｋｅＶから約３０ｋｅＶであってもよい。照射線量は、約１μＣ／ｃｍ２〜約４００μＣ／ｃｍ２の間であってもよい。チャンバー圧力は、約１ｍＴｏｒｒ〜約１００ｍＴｏｒｒの間であってもよい。チャンバーのガス環境は、次のガス、すなわち窒素、酸素、水素、アルゴン、水素および窒素の混合、アンモニア、キセノン、またはこれらのガスの任意の組合せのいずれであってもよい。電子ビーム電流は、約０．１５ｍＡ〜約５０ｍＡの間であってもよい。電子ビーム処理は、約１分〜約１５分の間にわたって行われてもよい。任意の電子ビーム装置が使用されてもよいが、使用されてもよい例となる電子ビームチャンバーは、Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ、ＣＡ．のＡｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ、Ｉｎｃ．から入手できるＥＢｋ（商標）電子ビームチャンバーである。
【００４９】
例となる熱アニールする後処理は、約２００℃〜約５００℃の間の基板温度で約２秒から約３時間、好ましくは約０．５から約２時間にわたって膜をチャンバーでアニールすることを包む。ヘリウム、水素、窒素、またはそれらの混合物などの非反応性ガスが、約１００から約１０，０００ｓｃｃｍの流量でチャンバーに導入されてもよい。チャンバー圧力は、約１ｍＴｏｒｒ〜約１０Ｔｏｒｒの間に維持される。好ましい基板間隔は、約３００ミル〜約８００ミルの間である。
【００５０】
本明細書で提供される有機シリコン化合物は、低誘電率膜を化学的に気相堆積させるためにポロゲンを含有しないガス混合物で使用できると認識される。しかしながら、本明細書で述べられる有機シリコン化合物を含み、ポロゲンを欠くガス混合物から堆積される膜は、他の有機シリコン化合物を含むポロゲンのない混合物から堆積される膜と比較して改善された機械的特性を有すると期待されるが、典型的には、ポロゲンは、所望の約２．４以下のより低い誘電率を提供するために包含される。
【００５１】
先述のことは、本発明の実施形態を対象にするが、本発明の他のおよびさらなる実施形態が、本発明の基本的範囲から逸脱することなく考案されてもよく、本発明の範囲は、次に来る特許請求の範囲によって決定される。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図４】
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【国際調査報告】
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