(57)【要約】  互いにネストするベース及びカバーを備えたウェハ容器。ベースは、内壁及び外壁から成る互い違いの壁構造を含む。互い違いの壁構造は、側面衝撃による力が主に外壁セグメントにより吸収されるように配置される。カバーに設けられたリブは、外壁セグメントが内壁径を越えて曲がるのを制限する。ベースに設けられた基準タブは、カバーに対するベースの位置合わせを容易にする。【選択図】図２
2011500462.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円形領域が複数の角度セクタを含む円周を有するベースと、
第１角度セクタを定める第１外側円弧に沿った第１壁と、第２角度セクタを定める第１内側円弧に沿った第２壁とを含み、前記第１壁と前記第２壁が角度セクタの０−５０％を共有する、前記ベースに取り付けられた壁構造と、
第３角度セクタを定める第２外側円弧に沿った第３壁と、第４角度セクタを定める第２内側円弧に沿っており、角度セクタの０−５０％を前記第３壁と共有する第４壁と、
前記ベースと嵌合して閉じた容器を形成するカバーと、を備えたことを特徴とするウェハ容器。
【請求項２】
壁の総数をｋ個とする一連の付加的な壁をさらに備え、ｋは４より大きい整数であり、ｋ番目の壁は角度セクタの０−５０％を前記第１壁と共有する円弧を有し、各内側円弧は前記円周に沿って外側円弧と交互に配置されることを特徴とする請求項１に記載のウェハ容器。
【請求項３】
前記壁構造の壁は、角度セクタの０．１％から２５％を共有することを特徴とする請求項１に記載のウェハ容器。
【請求項４】
前記壁構造の壁は、角度セクタの０．１％から１０％を共有することを特徴とする請求項１に記載のウェハ容器。
【請求項５】
前記カバーは各ノッチに隣接したランプを含み、該ランプは、前記ベース上のラッチをガイドしてそれぞれのノッチと係合させるための勾配を有することを特徴とする請求項１に記載のウェハ容器。
【請求項６】
前記ベースは４つの角を有し、当該角の少なくとも２つにはラッチが取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のウェハ容器。
【請求項７】
円形領域が複数の角度セクタを含む円周を有するベースと、
セグメント化された内壁とセグメント化された外壁とを備え、前記ベースに対して垂直であり、各内壁は前記ベースにおけるそれぞれの第１円弧上に位置するとともに各外壁は前記ベースにおけるそれぞれの第２円弧上に位置し、前記第１円弧の円弧長の５０−９９．５％は前記第２円弧の円弧長と同じ角度セクタに位置しない、壁構造と、
前記ベースと嵌合して閉じた容器を形成するカバーと、を備えたことを特徴とするウェハ容器。
【請求項８】
前記第１円弧の円弧長の少なくとも９０％は、前記第２円弧の円弧長と同じ角度セクタに位置しないことを特徴とする７に記載のウェハ容器。
【請求項９】
セグメント化された内壁はそれぞれ前記円周の９０度未満を占めることを特徴とする請求項７に記載のウェハ容器。
【請求項１０】
前記セグメント化された内壁は、前記セグメント化された外壁と交互に配置されることを特徴とする請求項７に記載のウェハ容器。
【請求項１１】
前記カバーは、前記ベースを受けるためのランプを有するノッチを含むことを特徴とする請求項７に記載のウェハ容器。
【請求項１２】
前記ベースに連結された一対のラッチをさらに備え、各ラッチが前記カバーの各ランプ上にロックされると、前記ラッチは前記ベースを前記カバーに固定することを特徴とする請求項１１に記載の容器。
【請求項１３】
主面を有するトップカバー、及び該主面から延びる第１壁構造と、
前記壁構造に取り付けられた複数の支持ブラケットと、
前記カバーの各角に設けられたノッチと、
前記トップカバーの各ノッチと係合する複数のラッチを有するベースとを備え、
各ノッチは第１の縁と該第１の縁より長い第２の縁とを有し、前記第２の縁は前記ベースから対応するラッチを受けるためのランプを有することを特徴とするウェハ容器。
【請求項１４】
前記壁構造における隙間をさらに備え、前記支持ブラケットの一つは前記隙間の一方の側を囲むことを特徴とする請求項１３に記載のウェハ容器。
【請求項１５】
前記ベースに垂直な第２壁構造をさらに備え、前記ベースは複数の角度セクタを含む円周を有する円形領域を有し、前記壁構造は外壁部分と交互に配置される内壁セグメントを含み、各内壁セグメントは角度セクタの０−１０％を次に代わる外壁セグメントと共有することを特徴とする請求項１３に記載のウェハ容器。
【請求項１６】
内部に収容された複数の半導体ウェハをさらに備えたことを特徴とする請求項１３に記載のウェハ容器。
【請求項１７】
円周が配置される上面を有するベースと、
前記ベースから延びる壁構造と、
前記上面の各側に位置する一対の基準タブと、
固定されたウェハ容器を形成するために前記基準タブと位置合わせされるカバーと、を備えたことを特徴とするウェハ容器。
【請求項１８】
前記カバーはその第１表面に取り付けられた支持ブラケットを含み、各支持ブラケットは対応する一対の基準タブと連結する一対の凹部を有することを特徴とする請求項１７に記載のウェハ容器。
【請求項１９】
前記ベースの少なくとも２つの角にラッチをさらに備えたことを特徴とする請求項１７に記載のウェハ容器。
【請求項２０】
前記カバーは前記ベースからラッチを受けるノッチを有し、各ノッチは第１の縁と該第１の縁より長い第２の縁とを有し、前記第２の縁は前記ベースから対応するラッチを受けるためのランプを有することを特徴とする請求項１９に記載のウェハ容器。
【請求項２１】
内部に収容された複数の半導体ウェハをさらに備えたことを特徴とする請求項１７に記載のウェハ容器。
【請求項２２】
前記ベースと前記カバーとの位置合わせを容易にするために、前記ベースの上面及び前記カバーに目視マークをさらに備えたことを特徴とする請求項１７に記載のウェハ容器。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
半導体ウェハは、運搬に際して適切に保護されなければ容易に傷付いたり破損したりする、壊れやすい基板である。各半導体ウェハは、シリコン基板上に多数の集積回路パターンが形成されている。輸送及び荷役作業中に半導体ウェハを損傷から保護するため、種々の容器が開発されてきた。
【０００２】
ウェハ容器の上半分と下半分は、作業者によって不適切に組み合わされたり、輸送中に容器に力が及んで位置ずれしたりすることがよくある。このような位置ずれが起こると、容器内に収容された高価なウェハに汚染、割れ、その他の損傷を生じる恐れがある。
【０００３】
半導体ウェハに用いられる様々な水平型のウェハ容器の中に、二重壁構造を有する容器がある。米国特許第６，１９３，０６８号（ルイス）は一例である。ルイスの二重壁は、ベースの外壁に接触する可能性のある力からウェハを保護するために設計された。しかしながら、ルイスにおいては、外壁が内壁の真後ろにあり、同様の角度セクタに整列されている。このようなウェハ容器における内壁は、一般的に柔軟性がなく、衝撃を十分に吸収できない。外力は、外壁を内壁まで曲げるほど大きい可能性もあり、その場合、ウェハ容器内に収容されたウェハに損傷を与えてしまう。
【０００４】
分離され難く、輸送及び荷役作業中に伝わる力から半導体ウェハを保護するために十分頑丈なウェハ容器が、依然として必要とされている。
【発明の概要】
【０００５】
本発明は、ベース上に二重壁構造を有するウェハ容器に関する。壁構造は、複数の外壁と複数の内壁とを備える。各内壁が各々に隣接する外壁と共有する角度セクタの割合は、最小限に抑えられる。
【０００６】
また、本発明は、カバーとベースとの正しい位置合わせを容易にするための位置合わせシステムに関する。位置合わせシステムは、カバーによって受け止められる基準タブと、容器の２つの部分を正しく位置合わせできるように作業者をガイドする目視可能な識別部とを含む。
【０００７】
本発明の別の実施形態は、ウェハ容器の２つの部分を互いに固定するためのロック機構に関する。下半分は、ベースに垂直な壁構造を備える。壁構造は、セグメント化された内壁及び外壁を備え、壁構造の各部分は特徴的な円弧長を有する。各内壁の円弧長は、いずれの外壁の円弧長とも完全には重ならない。
【０００８】
本発明のさらに別の実施形態は、ベースと嵌合するウェハ容器用カバーに関する。カバーは、ベースから各ラッチを容易に受け止めるランプを各々有する、一又は複数のノッチを含む。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の容器の斜視図であり、容器の両半分の間にウェハが置かれた状態を示す図。
【図２】カバーに対して位置合わせされたベースの基準タブを示す図。
【図３Ａ】カバーに対して位置合わせされた状態の基準タブを示す図。
【図３Ｂ】カバーに対してずれている状態の基準タブを示す図。
【図３Ｃ】ベースに対する正しい位置付けを容易にするために位置合わせ矢印が付されたカバーを示す図。
【図４Ａ】ラッチのフック部分の高さ寸法を示す図。
【図４Ｂ】図２の基準タブの高さ寸法を示す図。
【図５】トップカバーが下半分に固定された状態の図１の容器を示す図。
【図６Ａ】図５の閉じた状態の容器の側面図。
【図６Ｂ】図５の閉じた状態の容器を示す別の側面図。
【図７】本発明のベースにおける角度セクタの配置を示す図。
【図８】ベースの上面図。
【図９】本発明のベースの斜視図。
【図１０】トップカバーの内側の斜視図。
【図１１】図１０におけるランプの破断図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の容器は、半導体ウェハ又は半導体フィルムフレームを収容する。図１は容器の２つの部分、ベース１００及びそれに対応するカバー２００を示している。デッキ６０のフロア１０に設けられたリブパターン３０は、ベース１００の信頼性を高める働きをする。ベース１００の収容領域は、内壁８０と、フロア１０と、外壁９０Ａ，９０Ｂ，９２Ａ及び９２Ｂとで定められる。カバー２００とベース１００との間に、ウェハ３０，３２及びウェハセパレータ３７−３９が挟まれる。
【００１１】
衝撃を受けると、外壁セグメント９０Ａ，９０Ｂ，９２Ａ及び９２Ｂは、内壁セグメント８０の内径１２側に曲がる。外壁セグメント９０Ａ，９０Ｂ，９２Ａ及び９２Ｂは、側面衝撃からエネルギーの大部分を吸収し、それにより、内壁セグメント８０に伝わるエネルギー量が減る。結果として、ウェハ３０及び３２は、本発明の互い違いの壁構造により、強い衝撃を受けないよう保護される。
【００１２】
図２は、ウェハ容器２５０のベース１００の別実施形態を示す。より好ましい本実施形態においては、一連の基準タブが、ベース１００のデッキ６０に取り付けられている。基準タブ２０Ａ，２０Ｂ，２２Ａ，２２Ｂ，２４Ａ，２４Ｂ，２８Ａ及び２８Ｂは、以下のような方法でカバー２００に対するベース１００の位置合わせを助けるように設計される。カバー２００は、タブ２０，２２，２４及び２８と合うように設計された支持ブラケットを有する。具体的には、ブラケット７０の凹部７０Ａはタブ２０Ａに緩く嵌合するとともに、凹部７０Ｂはタブ２０Ｂに緩く嵌合する。同様に、凹部７８Ａはタブ２８Ａ（図示せず）に嵌合し、凹部７８Ｂはタブ２８Ｂに嵌合する。凹部７４Ａ及び７４Ｂはそれぞれタブ２４Ａ及び２４Ｂに嵌合する。支持ブラケット７０，７２，７４，７８の凹部はいずれも、タブ２０，２２，２４及び２８にぴったり嵌合しないことが好ましい。最も好ましい実施形態においては、４つの支持ブラケットはいずれも同じものであり、支持ブラケット７０の外観を有する。図３Ｃは、全ての支持ブラケットが同じ構造を有するカバー２００を示している。
【００１３】
図３Ａにおいては、ベース１００の上面図が示されるとともに、カバー１００がスケルトンで示されている。斜線は、カバー２００を示すため、及び、カバー２００をベース１００に正しく位置合わせする方法を示すために用いられている。また、図３Ａには、各角に設けられたラッチ２５も示されている。各ラッチに隣接して、ラッチ２５がラッチ位置又はアンラッチ位置に移動するための余裕を与える開口３１が設けられている。対になった基準タブが、ベース１００の上面の各側に配置されている。例えば、図３Ａでは、タブ２４Ａ及び２４Ｂが、ベース１００の一側における開口３１Ｃ及び３１Ｄの間に配置され、タブ２８Ａ及び２８Ｂが、ベース１００の隣接する側における開口３１Ａ及び３１Ｄの間に配置されている。同様に、タブ２２Ａ及び２２Ｂは、ベース１００の異なる側における開口３１Ｂ及び３１Ａの間に配置されている。タブ２０Ａ及び２０Ｂは、ベース１００の第４の側に配置されている。図３Ｂは、図３Ａのカバー２００を９０度回転させた状態を示している。図３Ｂの位置では、カバー２００はベース１００に対してずれている。凹部７０Ａ及び凹部７８Ａはそれぞれ基準タブ２０Ａ及び基準タブ２８Ａと合っていないため、カバー２００はベース１００に正しく嵌まらない。すなわち、支持ブラケット７０及び７８の凹部はタブ２０Ａ及び２８Ａに自由に滑り込まず、それにより、カバー２００がベース１００に誤った位置で取り付けられることを防止する。図３Ｂはまた、位置確認矢印３５及び３７を示している。位置確認矢印３５，３７は、作業者がベース１００とカバー２００を正しく位置合わせする上で役立つ目視基準となる。好ましい実施形態においては、カバー２００も図３Ｃに示されるような一対の位置確認矢印を有し、この矢印は、２つの部分が互いに正しい位置にあるとき、ベース１００の矢印と一致する。矢印の代わりに、カバーとベースが正しく位置合わせされたときを作業者が認識するのに役立つ他の種類の目視マークを用いてもよい。
【００１４】
ラッチフックの高さ寸法Ｈ１は、図４Ａに示されている。基準タブの高さ寸法Ｈ２は、図４Ｂに示されている。Ｈ２は、カバー２００がベース１００の上に十分に押し下げられていない場合にラッチ２５がカバー２００に係合するのを防止するような高さでなければならない。好ましい実施形態においては、Ｈ２＞Ｈ１である。
【００１５】
図５は、閉じた状態のウェハ容器２５０の斜視図である。具体的には、カバー２００の側壁７５並びに支持ブラケット７０及び７４が壁構造８０，９０及び９２の外側を囲み、閉じた容器２５０を形成する。カバー２００の主面５０は、容器２５０の上部に構造強度及び剛性を与えるパターンを有する。特に、カバー２００の星形パターン３３及び同心円状のリブ５２，５４を付加することにより、剛性があり且つ軽量なカバー２００が得られることが分かった。星形パターン３３は４アームに限られず、図３Ｂに示されるように５本以上のアームを有するものであってもよい。また、ベース１００は、デッキ６０の各角にラッチ２５が取り付けられている。図５に示されるように、各ラッチ２５がカバー２００の各ノッチ４３にロックされると、容器２５０の２つの部分が固定される。また、図５では、カバー２００の周囲にリップ２７が設けられているのが分かる。このリップ２７を設けることにより、容器２５０は、第１のものと同一の第２の容器上に積み重ねることが可能になる。
【００１６】
どのようにしてベース１００のセグメント化された壁構造がカバー２００と結合するのかを説明するために、容器２５０の側面図が図６Ａ及び図６Ｂに示されている。壁セグメント８１は、カバー２００の側壁７５の内側に収まる。側壁７５はスロット３５を有し、それにより、外壁８１及び８５の一部を露出させることができる。同様に、外壁８５は、２つの部分１００，２００を嵌合させると、カバー１００の側壁７５の内側に収まる。さらに、支持ブラケット７０Ａ及び７０Ｂは、ベース１００の外壁８３及び８７の外側をネストし、内部に収容されるウェハのために安定した収容領域を提供する。
【００１７】
ベース１００の様々な壁セグメントは、ベース１００の円周内の特定領域を占める。ここでは、これらの領域を角度セクタと呼ぶ。図７は、ベース１００に配置された円周５０内に存在し得る角度セクタＲ１−Ｒ６の一例を示す。Ｒ１，Ｒ３及びＲ５は内壁セグメントが配置される角度セクタを表し、Ｒ２，Ｒ４及びＲ６は外壁セグメントが配置される領域を表す。各角度セクタの最も外側の境界は円弧で定められる。最も外側の円弧は、４１Ｂ，４１Ｄ及び４１Ｆと表示されている。円周５０内における最も内側の円弧は、４１Ａ，４１Ｃ及び４１Ｅである。円弧４１Ａは、約２度の角度γだけ角度セクタ４１Ｆ内に延びるものとして示されている。円弧４１Ｃは、隣接する両方のセクタＲ４及びＲ２内に角度θ１及びθ２だけ延びるものとして示されており、θ１は約３度、θ２は約４度である。円弧４１Ｅは、約５度の角度αだけセクタＲ５から延びる。図示されている角度セクタは６つだけであるが、容器は８つ以上の角度セクタを有するものであってもよい。
【００１８】
図８は、ベース１００の上面図であり、セグメント化された壁８０，８２，８４，８６，９０Ａ，９０Ｂ，９２Ａ，９２Ｂと角度セクタＲ１−Ｒ８の両方を示している。角度セクタＲ１−Ｒ８をより明確に示すため、デッキ６０のフロア１０はリブパターン３０なしで示されている。但し、好ましい実施形態においてはリブパターン３０が存在することを理解されたい。ベース１００に対して垂直に、又は略垂直に、一連の内壁８０，８２，８４及び８６が設けられている。さらに、一連の外壁９０Ａ，９０Ｂ，９２Ａ，９２Ｂもまた、ベース１００に対して垂直、又は略垂直である。図示される壁は各々、特定の円弧長の円弧を有する。例えば、内壁８６は円弧長５８の円弧５９を有する。同様に、外壁９２Ａは円弧長５６の円弧５３を有する。各内壁及び外壁は、角度セクタＲ１−Ｒ８のいずれかを占める。内壁の円弧の５０−９９．５％は、隣接する外壁の円弧と同じ角度セクタに位置しない。例えば、内壁の円弧５９の９０％以上がＲ７に位置しており、隣接する角度セクタＲ６又はＲ８のいずれも、ほとんど占めていない。外壁９２Ａは円弧５３上にあり、ほとんど全体が角度セクタＲ４内に位置している。従って、外壁９２Ａの約９５％は、隣接する角度セクタＲ３又はＲ５に位置しない。
【００１９】
内壁セグメントは外壁セグメントと交互に配置されるため、内壁の円弧は、隣接する角度セクタ内に侵入し得る。本発明の好ましい実施形態においては、各内壁セグメントの円弧長は、外壁の隣接する角度セクタの円弧長の約０−５０％に侵入する。本発明のより好ましい実施形態においては、内壁８２は、角度セクタＲ３を占めるとともに、角度セクタＲ４の０．１％から２５％を外壁９２Ａと共有し、また、角度セクタＲ２の０．１％から２５％を外壁９０Ａと共有する。最も好ましくは、内壁８２は、角度セクタＲ４の０．１％から１０％を外壁９２Ａと共有し、角度セクタＲ２の０．１％から１０％を外壁９０Ａと共有する。同様に、主に角度セクタＲ１を占める内壁８０は、角度セクタＲ２の０−５０％を外壁９０Ａと共有し、角度セクタＲ８の０−５０％を外壁９２Ｂと共有するのが好ましい。より好ましくは、内壁８０は、角度セクタＲ２の０．１％から２５％を外壁９０Ａと共有し、また、角度セクタＲ８の０．１％から２５％を外壁９２Ｂと共有する。最も好ましくは、内壁８０は、角度セクタＲ２の０．１％から１０％を外壁９０Ａと共有し、角度セクタＲ８の０．１％から１０％を外壁９２Ｂと共有する。
【００２０】
本発明は、図８に示される８つの角度セクタＲ１−Ｒ８のみを有する容器に限られない。本発明は、８つより少ない角度セクタを有するベースや、８つより多い角度セクタを有するベースでも機能する。セクタの数は、内壁及び外壁のセグメントの総数に等しくなる。各壁セグメントの円弧は、各角度セクタの最も外側の境界を定める。図８における各壁（８０，８２，８４，８６，９０Ａ，９０Ｂ，９２Ａ及び９２Ｂ）はそれぞれ、ベースの円周の９０度未満を占める（すなわち、各壁は（Π／２×半径）より小さい円弧長を有することが好ましい）が、これは本発明が機能するための必須条件ではない。つまり、各壁は、円周のより大きな角度部分を占めていてもよい。さらに、各内壁（８０，８２，８４，８６）は、他の全ての内壁と同じ円弧長を有する必要はない。同様に、各外壁（９０Ａ，９０Ｂ，９２Ａ及び９２Ｂ）は、ベース１００上のその他全ての外壁と同じ円弧長を有することは必須ではない。図８では、ベース１００の各角に取り付けられたラッチ２５も示されている。ラッチ２５の背面にはリブ２３がある。リブ２３は、ラッチ２５を補強するための任意的な特徴である。図５では４つのラッチが示されているが、２つだけのラッチを有するものであっても、本発明は十分に機能する。
【００２１】
図９は、ここではベース１００と呼ばれるウェハ容器２５０の下半分を示している。ベース１００の壁構造は、セグメント化された内壁とセグメント化された外壁とを含む。連続的な壁構造は、横方向の開口を１つか２つ設けたとしても、非常に堅いという欠点がある。セグメント化された壁構造を設けることにより、内壁８０，８２，８４及び８６の柔軟性及び衝撃吸収性が高まる。その結果、容器が落下した場合、あるいはその他の強い衝撃を受けた場合に、壁８０，８２，８４及び８６は、容器２５０内のウェハを十分に衝撃から守る。
【００２２】
図９に示されるように、外壁９０Ａ，９０Ｂ，９２Ａ及び９２Ｂは、内壁８０，８２，８４及び８６に対して互い違いになっている。この互い違いの二重壁構造により、容器２５０に収容されたウェハを衝撃から最大限に保護する。また、外壁９０Ａ，９０Ｂ，９２Ａ及び９２Ｂは、その角度セクタと隣接する内壁の角度セクタとの重なりを最小限に抑えると、撓みの許容範囲がより大きくなる。外壁９２Ａ及び９２Ｂは各々スロット１５を有する。スロット１５の下部はデッキ６０と同じ高さまで延びないことが好ましい。スロット１５は、作業者がベース１００内に収容されたウェハに腕を伸ばし易くする。
【００２３】
図９のデッキ６０はまた、カバー２００にベース１００を固定するためのラッチ２５を含む。各ラッチ２５は、基端がベース１００の角部６０に取り付けられている。各ラッチ２５の先端は、カバー２００を支持するフック２５Ａになっている。
【００２４】
カバー２００の詳細は図１０に示されている。カバー２００の内側面４４には、一連の同心円状のリブ５１，５２，５４が設けられている。最も外側のリブ５４は、ウェハ容器２５０が外力を受けると、ベース１００上の壁構造の一部に接触し得る。輸送又は荷役中に、閉じた状態の容器２５０が強い側面衝撃を受けると、外壁セグメント９０Ａ，９０Ｂ，９２Ａ及び９２Ｂは、内壁セグメント８０の内径１２側へ内方に曲がることにより、衝撃の大部分を吸収する。外壁セグメント９０Ａ，９０Ｂ，９２Ａ及び９２Ｂは、カバー２００の内側に設けられたリブ５８により、径１２を越えて曲がることを制限される。
【００２５】
リブに加え、カバー２００は、表面４４から垂直に延びる側壁７５を含む。好ましい実施形態においては、側壁７５には２つのスロット３５が設けられている。スロット３５は各々、支持ブラケット７１又は７３で囲まれる。支持ブラケット７０Ａ及び７０Ｂもまた、カバー２００の側壁７５に取り付けられている。支持ブラケット７０，７１及び７３は、カバー２００をベース１００上の正しい位置に置くのに役立つ。ブラケット７３は、細い結合部７４によって互いに連結された２つのフィン７７Ａ及び７７Ｂを有し、凹部７２Ａ及び７２Ｂを形成している。また、支持ブラケット７１内には凹部７４Ａ及び７４Ｂがある。カバー２００の４つの角部６０は各々、各ラッチ２５を受けるためのノッチ４３を有する。カバー２００がベース１００から外れるのをより確実に防ぐため、ノッチ４３にはランプ８５が設けられている。
【００２６】
図１１は、カバー２００をベース１００に固定する、本発明のロック機構の破断図である。長方形のノッチ４３が示されている。ノッチ４３の長いほうの縁は、ランプ８５を有する。ランプ８５の適切な角度は、カバー２００の平面から５度−３０度の範囲である。ベース１００にカバー２００を固定するため、ノッチ４３は、フック２５Ａがノッチ４３に入れるように、それぞれに対応するラッチの上方に位置合わせされる。その後、ラッチフック２５Ａは、ランプ８５のプラス勾配、すなわちカバー２００の上面５０に対してプラス、の上を下方に滑る。ラッチ２５が所定位置にロックされると、カバー２００はベース１００に確実に嵌合される。カバー２００をベース１００から取り外すには、作業者は、ノッチ４３を通過するまでフック２５Ａを押し戻し、その後、カバー２００はベース１００から持ち上げられる。ノッチ４３は長方形に示されているが、「Ｔ」形又は楕円形等、他の形状であってもよい。
【００２７】
ここで説明された様々なセグメント化された壁の例は、単に本発明を代表するものである。上述したウェハ容器の例及び操作方法は、発明の精神や範囲から逸脱することなく、様々な変更及び代用を行うことができる。当業者が直面する特定の状況によっては、本発明の一部の特徴が、他の特徴を用いずに採用される場合もある。従って、発明の範囲は添付の請求項によって定められるよう意図される。
【図１】
2011500462.tif 000003
【図２】
2011500462.tif 000004
【図３Ａ】
2011500462.tif 000005
【図３Ｂ】
2011500462.tif 000006
【図３Ｃ】
2011500462.tif 000007
【図４Ａ】
2011500462.tif 000008
【図４Ｂ】
2011500462.tif 000009
【図５】
2011500462.tif 000010
【図６Ａ】
2011500462.tif 000011
【図６Ｂ】
2011500462.tif 000012
【図７】
2011500462.tif 000013
【図８】
2011500462.tif 000014
【図９】
2011500462.tif 000015
【図１０】
2011500462.tif 000016
【図１１】
2011500462.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月13日(2010.5.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円形領域が複数の角度セクタを含む円周を有するベースと、
セグメント化された内壁とセグメント化された外壁とを備えた壁構造と、
前記ベースと嵌合して閉じた容器を形成するカバーと、を備え、
各内壁は各外壁から半径方向において空間で隔てられ、前記壁構造は前記ベースに対して垂直であり、各内壁は前記ベースにおけるそれぞれの第１円弧上に位置するとともに各外壁は前記ベースにおけるそれぞれの第２円弧上に位置し、前記第１円弧の円弧長の０．1−５０％は前記第２円弧の円弧長と同じ角度セクタに位置することを特徴とするウェハ容器。
【請求項２】
前記第１円弧の円弧長の０．１−２５％は、前記第２円弧の円弧長と同じ角度セクタに位置することを特徴とする請求項１に記載のウェハ容器。
【請求項３】
セグメント化された内壁はそれぞれ前記円周の９０度未満を占めることを特徴とする請求項１に記載のウェハ容器。
【請求項４】
前記セグメント化された内壁は、前記セグメント化された外壁と交互に配置されることを特徴とする請求項１に記載のウェハ容器。
【請求項５】
前記カバーは、前記ベースを受けるためのランプを有するノッチを含むことを特徴とする請求項１に記載のウェハ容器。
【請求項６】
前記ベースに連結された一対のラッチをさらに備え、各ラッチが前記カバーの各ランプ上にロックされると、前記ラッチは前記ベースを前記カバーに固定することを特徴とする請求項５に記載のウェハ容器。
【請求項７】
一体構造によって定められ、円形領域が複数の角度セクタを含む円周を有する、ベースと、
前記ベースから延び、第１角度セクタを定める第１外側円弧を有する、第１壁と、
前記ベースから延び、第２角度セクタを定める第１内側円弧を有し、角度セクタの０．１％から２５％を前記第１壁と共有する、第２壁と、
下縁に沿って前記ベースに取り付けられ、第３角度セクタを定める第２外側円弧に沿った第３壁と、下縁に沿って前記ベースに取り付けられ、第４角度セクタを定める第２内側円弧に沿っており、角度セクタの０．１％から２５％を前記第３壁と共有する、第４壁と、
前記第１、第２、第３及び第４壁によって形成され、前記ベースとともに同一の一体構造の一部を形成する、壁構造と、
前記ベースの一体構造と嵌合して閉じたウェハ容器を形成するカバーと、を備えたことを特徴とするウェハ容器。
【請求項８】
前記ベースの壁構造は外壁部分と交互に配置される内壁セグメントを含み、各内壁セグメントは角度セクタの０．１％から１０％を次に代わる外壁セグメントと共有することを特徴とする請求項７に記載のウェハ容器。
【請求項９】
内部に収容された複数の半導体ウェハをさらに備えたことを特徴とする請求項７に記載のウェハ容器。
【請求項１０】
円周が配置される上面を有するベースと、
前記ベースから延び、外壁セグメントと交互に配置される内壁セグメントを有する壁構造と、
前記ベースの上面の各側に位置する一対の基準タブと、
前記基準タブの上を滑り、閉じたウェハ容器を形成するカバーと、を備えたことを特徴とするウェハ容器。
【請求項１１】
前記カバーはその第１表面に取り付けられた支持ブラケットを含み、各支持ブラケットは、前記ベースと前記カバーが互いに位置合わせされているときに対応する一対の基準タブと連結する、一対の凹部を有することを特徴とする請求項１０に記載のウェハ容器。
【請求項１２】
前記ベースの少なくとも２つの角にラッチをさらに備えたことを特徴とする請求項１０に記載のウェハ容器。
【請求項１３】
前記カバーは前記ベースからラッチを受けるノッチを有し、各ノッチは第１の縁と該第１の縁より長い第２の縁とを有し、前記第２の縁は前記ベースから対応するラッチを受けるためのランプを有することを特徴とする請求項１２に記載のウェハ容器。
【請求項１４】
内部に収容された複数の半導体ウェハをさらに備えたことを特徴とする請求項１０に記載のウェハ容器。
【請求項１５】
前記ベースと前記カバーとの位置合わせを容易にするために、前記ベースの上面及び前記カバーに目視マークをさらに備えたことを特徴とする請求項１０に記載のウェハ容器。
【請求項１６】
第１円弧を有する複数の内壁と、第２円弧を有し、前記内壁とは異なる放射軸を占める複数の外壁と、を含むベースと、
前記第１円弧又は前記第２円弧のいずれかによって定まる境界を各々有する複数の角度セクタと、を備え、
前記各壁は、各内壁セグメントが角度セクタの０．1−５０％を外壁セグメントと共有するように個別の壁セグメントで形成され、ウェハ容器が外力を受けると、前記内壁セグメントは前記外壁セグメントから独立して移動することを特徴とするウェハ容器。
【請求項１７】
前記内壁セグメントは前記外壁セグメントに連結していないことを特徴とする請求項１６に記載のウェハ容器。
【請求項１８】
前記内壁セグメントは前記外壁セグメントと交互に配置され、各内壁セグメントは角度セクタの０．１％から２５％を次に代わる外壁セグメントと共有することを特徴とする請求項１６に記載のウェハ容器。
【請求項１９】
一対の凹部を含む複数のブラケットを有するカバーと、
前記ベースの上面両側に位置する一対の基準タブと、をさらに備え、
各ブラケットの凹部は各対の基準タブの上に滑り、閉じたウェハ容器を形成することを特徴とする請求項１６に記載のウェハ容器。
【請求項２０】
ウェハ容器が閉じた状態のとき、壁セグメントは、輸送又は荷役作業中に外力の大部分を吸収することを特徴とする請求項１６に記載のウェハ容器。
【請求項２１】
内部に収容された複数の半導体ウェハをさらに備えたことを特徴とする請求項１６に記載のウェハ容器。
【国際調査報告】
2011500462.tif 000018